(57)【要約】【課題】  中空穴に金属配線を収容する長尺中空部材のリーク検査を簡便に行うのに有効な技術を提供する。【解決手段】  本発明にかかる樹脂成形体１００は、長尺状に形成され両端部１０ａ，１０ｂ間を貫通する中空穴１１を有するとともに中空穴１１に金属配線１４を収容した状態で中空穴１１が樹脂製の封止部材１５，１５によって封止された樹脂製の長尺中空部材１０と、長尺中空部材１０の両端部１０ａ，１０ｂ間の側面１０ｃに貫通形成され長尺中空部材１０の外部から中空穴１１にリーク検査用のガスを導入可能なガス導入孔１６と、ガス導入孔１６を被覆した状態で長尺中空部材１０の側面１０ｃのうちガス導入孔１６を取り囲む所定の接着領域１８に接着された樹脂製の被覆部材３０と、を備える。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状に形成され両端部間を貫通する中空穴を有するとともに前記中空穴に金属配線を収容した状態で前記中空穴が樹脂製の封止部材によって封止された樹脂製の長尺中空部材と、
前記長尺中空部材の両端部間の側面に貫通形成され前記長尺中空部材の外部から前記中空穴にリーク検査用のガスを導入可能なガス導入孔と、
前記ガス導入孔を被覆した状態で前記長尺中空部材の側面のうち前記ガス導入孔を取り囲む所定の接着領域に接着された樹脂製の被覆部材と、
を備える、樹脂成形体。
【請求項２】
請求項１に記載の樹脂成形体であって、
前記被覆部材は、前記ガス導入孔とともに前記封止部材を被覆する、樹脂成形体。
【請求項３】
請求項２に記載の樹脂成形体であって、
前記ガス導入孔は、前記長尺中空部材の側面のうち前記両端部のいずれか一方に近接した位置に設けられている、樹脂成形体。
【請求項４】
請求項１から３のうちのいずれか一項に記載の樹脂成形体であって、
前記長尺中空部材の側面のうち前記ガス導入孔のまわりに前記被覆部材を構成する樹脂材料に対して撥液性を有する撥液材が塗布された状態で、前記樹脂材料による樹脂成型によって前記被覆部材が形成されている、樹脂成形体。
【請求項５】
請求項１から４のうちのいずれか一項に記載の樹脂成形体であって、
前記金属配線は、互いに接触可能な複数の導線を含み、当該複数の導線の接触を利用してセンシングを行うセンシング機構を構成する、樹脂成形体。
【請求項６】
長尺状に形成され両端部間を貫通する中空穴を有するとともに前記中空穴に金属配線を収容した状態で前記中空穴が前記両端部のそれぞれにおいて樹脂製の封止部材によって封止された樹脂製の長尺中空部材のリーク検査を行うための、長尺中空部材のリーク検査方法であって、
前記長尺中空部材の外部から前記中空穴にリーク検査用のガスを導入可能なガス導入孔を前記長尺中空部材の両端部間の側面に貫通形成する第１ステップと、
前記ガス導入孔を通じて前記中空穴へリーク検査用のガスを導入し、当該中空穴の圧力変化に基づいて前記封止部材による当該中空穴の封止効果の有無を判定する第２ステップと、
前記第２ステップにおいて前記封止部材による前記中空穴の封止効果が有るとされた前記長尺中空部材について前記ガス導入孔を樹脂製の被覆部材によって被覆し且つ当該被覆部材を前記長尺中空部材の側面のうち前記ガス導入孔を取り囲む所定の接着領域に接着する第３ステップと、
前記長尺中空部材の前記接着領域における前記被覆部材との接着状態を前記被覆部材の外部から判定する第４ステップと、
を含む、長尺中空部材のリーク検査方法。
【請求項７】
請求項６に記載の、長尺中空部材のリーク検査方法であって、
前記第３ステップにおいて、前記被覆部材によって前記ガス導入孔とともに前記封止部材を被覆する、長尺中空部材のリーク検査方法。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の、長尺中空部材のリーク検査方法であって、
前記第３ステップにおいて、前記長尺中空部材の側面のうち前記ガス導入孔のまわりに前記被覆部材を構成する樹脂材料に対して撥液性を有する撥液材を塗布した状態で、前記樹脂材料による樹脂成型によって前記被覆部材を形成する、長尺中空部材のリーク検査方法。
【請求項９】
請求項６から８のうちのいずれか一項に記載の、長尺中空部材のリーク検査方法であって、
前記第４ステップにおいて、超音波の発信及び受信が可能な超音波センサを前記被覆部材の外表面上で走査したときに当該超音波センサが受信した超音波の受信波形に基づいて前記接着状態を判定する、長尺中空部材のリーク検査方法。
【請求項１０】
長尺状に形成され両端部間を貫通する中空穴を有するとともに前記中空穴に金属配線を収容した状態で前記中空穴が前記両端部のそれぞれにおいて樹脂製の封止部材によって封止された樹脂製の長尺中空部材のリーク検査を行うための、長尺中空部材のリーク検査システムであって、
前記長尺中空部材の外部から前記中空穴にリーク検査用のガスを導入可能なガス導入孔が前記長尺中空部材の両端部間の側面に貫通形成された状態で、前記ガス導入孔を通じて前記中空穴へリーク検査用のガスを導入し、当該中空穴の圧力変化に基づいて前記封止部材による当該中空穴の封止効果の有無を判定するための第１検査装置と、
前記第１検査装置によって前記封止部材による前記中空穴の封止効果が有るとされた前記長尺中空部材について前記ガス導入孔が樹脂製の被覆部材によって被覆され且つ当該被覆部材が前記長尺中空部材の側面のうち前記ガス導入孔を取り囲む所定の接着領域に接着された状態で、前記長尺中空部材の前記接着領域における前記被覆部材との接着状態を前記被覆部材の外部から判定するための第２検査装置と、
を備える、長尺中空部材のリーク検査システム。
【請求項１１】
請求項１０に記載の、長尺中空部材のリーク検査システムであって、
前記第１検査装置は、前記ガス導入孔に挿入される検査ガス送入ノズルと、前記検査ガス送入ノズルにリーク検査用のガスを供給するための検査ガス供給部と、前記中空穴の圧力を検出するための圧力検出部と、前記圧力検出部による前記中空穴の圧力の検出結果に基づいて前記封止部材による前記中空穴の封止効果の有無を判定するための第１判定部と、を備える、長尺中空部材のリーク検査システム。
【請求項１２】
請求項１０又は１１に記載の、長尺中空部材のリーク検査システムであって、
前記第２検査装置は、超音波の発信及び受信が可能な超音波センサと、前記超音波センサが前記被覆部材の外表面上で走査されたときに受信した超音波の受信波形に基づいて前記接着状態を判定するための第２判定部と、を備える、長尺中空部材のリーク検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺中空部材のリーク検査を行うのに有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、検査対象のリーク検査を行う技術が種々提案されている。例えば、下記特許文献１には、内容物を密閉収納した合成樹脂製容器のリーク検査を行うためのリーク検査装置が開示されている。このリーク検査装置では、合成樹脂製容器が加圧タンク内において所定の加圧状態で一定時間保持され、更に真空チャンバー内において所定の減圧状態で一定時間保持され、このときの真空チャンバーの圧力変化に基づいて合成樹脂製容器のリークの有無が判定される。また、下記特許文献２には、長尺パイプのリーク検査を行うためのリーク検査方法が開示されている。このリーク検査方法では、一端の開口部を封止した長尺パイプが真空容器内に収容された状態で、他端の開口部から長尺パイプ内が真空引きされ、更にリーク検査用ガスが他端の開口部から長尺パイプ内に封入された後、真空容器内が真空引きされることによって、長尺パイプのリークの有無が判定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−２３３４３０号公報
【特許文献２】特開昭６４−２１３３５号公報
【発明の概要】
【０００４】
（発明が解決しようとする課題）
ところで、この種のリーク検査では、長尺状に形成され両端部間を貫通する中空穴に金属配線を収容した状態で中空穴が封止された部材（以下、「長尺中空部材」ともいう）を検査対象とする要請がある。このような長尺中空部材では、外部から中空穴に異物（例えば、水等）が浸入して金属配線に悪影響を及ぼすことがないように中空穴が予め封止部材によって封止され、この封止状態でリーク検査を行うのが好ましい。
しかしながら、この長尺中空部材のリーク検査に上記特許文献１に開示のリーク検査装置を用いる場合には、真空チャンバーを大きくする必要があり、その結果、設備の大型化やコストの増大といった問題が生じる。また、上記特許文献２に開示された類のリーク検査方法は、両端部のうちの少なくとも一方が開口した状態の検査対象を前提としている。このため、上記の長尺中空部材のように中空穴が予め封止された検査対象に対しては、このリーク検査方法を適用することができない。
【０００５】
そこで本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、その目的の１つは、中空穴に金属配線を収容する長尺中空部材のリーク検査を簡便に行うのに有効な技術を提供することである。
【０００６】
（課題を解決するための手段）
上述の目的を達成するため、本発明に係る樹脂成形体は、樹脂製の長尺中空部材と、ガス導入孔と、樹脂製の被覆部材と、を含む。長尺中空部材は、長尺状に形成され両端部間を貫通する中空穴を有するとともに中空穴に金属配線を収容した状態で中空穴が両端部のそれぞれにおいて樹脂製の封止部材によって封止されている。ガス導入孔は、長尺中空部材の両端部間の側面に貫通形成され長尺中空部材の外部から中空穴にリーク検査用のガスを導入可能な孔部分である。被覆部材は、ガス導入孔を被覆した状態で長尺中空部材の側面のうちガス導入孔を取り囲む所定の接着領域に、例えば樹脂成型や接着剤等によって接着される。即ち、長尺中空部材の中空穴は、樹脂製の封止部材と樹脂製の被覆部材との双方によって密封される。この場合、被覆部材が長尺中空部材に接着される前に、ガス導入孔を通じてリーク検査用のガスを中空穴に導入して加圧し当該中空穴の圧力変化を監視することによって、封止部材による中空穴の封止状態を検査することができる。更に、中空穴を被覆した状態で長尺中空部材の接着領域に接着された被覆部材の接着状態を、例えば超音波センサを用いて被覆部材の外部から検査することができる。このため、上記構成の樹脂成形体は、中空穴に金属配線を収容する長尺中空部材のリーク検査を簡便に行うのに適している。この樹脂成形体では、封止部材による中空穴の封止状態が良好であり、且つ被覆部材の接着状態が良好である長尺中空部材では、当該長尺中空部材の中空穴に外部から異物（例えば、水等）が浸入して金属配線に悪影響を及ぼすことが阻止される。
【０００７】
上記構成の樹脂成形体では、被覆部材はガス導入孔とともに封止部材を被覆するのが好ましい。この場合、被覆部材は、ガス導入孔を被覆する機能と封止部材を保護する機能との双方を兼ね備えているため合理的である。
【０００８】
上記構成の樹脂成形体では、ガス導入孔は、長尺中空部材の側面のうち両端部のいずれか一方に近接した位置に設けられるのが好ましい。この場合、長尺中空部材の一方の端部に割り当てられた封止部材から近い位置にガス導入孔が存在する。その結果、樹脂成型によってガス導入孔及び当該封止部材を一度に被覆する際の作業性が良く、また樹脂材料の使用量を抑えることができる。
【０００９】
上記構成の樹脂成形体では、長尺中空部材の側面のうちガス導入孔のまわりに被覆部材を構成する樹脂材料に対して撥液性を有する撥液材が塗布された状態で、樹脂材料による樹脂成型によって被覆部材が形成されるのが好ましい。これにより、被覆部材を構成する樹脂材料がガス導入孔を通じて中空穴に流入して当該樹脂材料によって中空穴が塞がれるのを阻止することができる。
【００１０】
上記構成の樹脂成形体では、金属配線は、互いに接触可能な複数の導線を含み、当該複数の導線の接触を利用してセンシングを行うセンシング機構を構成するのが好ましい。これにより、長尺中空部材の中空穴に外部から異物（例えば、水等）が浸入してセンシング機構によるセンシングに悪影響を及ぼすことが阻止される。
【００１１】
上述の目的を達成するため、本発明に係る、長尺中空部材のリーク検査方法は、前述の樹脂成形体の長尺中空部材と同様の部材のリーク検査を行うための方法であり、第１ステップから第４ステップまでのステップを含む。この場合、各ステップの実施前や実施後に必要に応じて別のステップが追加されてもよい。第１ステップは、長尺中空部材の外部から中空穴にリーク検査用のガスを導入可能なガス導入孔を長尺中空部材の両端部間の側面に貫通形成するためのステップである。第２ステップは、ガス導入孔を通じて中空穴へリーク検査用のガスを導入し、当該中空穴の圧力変化に基づいて封止部材による当該中空穴の封止効果の有無を判定するためのステップである。この第２ステップは、長尺中空部材の中空穴の圧力変化のみに基づいて封止効果の有無を判定する方法、所謂「直圧式リークテスト」の原理を利用したものであってもよいし、或いは長尺中空部材の中空穴の圧力変化を漏れの無いマスター部材での圧力変化と比較することによって、封止効果の有無を判定する方法、所謂「差圧式リークテスト」の原理を利用したものであってもよい。第３ステップは、第２ステップにおいて封止部材による中空穴の封止効果が有るとされた長尺中空部材についてガス導入孔を樹脂製の被覆部材によって被覆し且つ当該被覆部材を長尺中空部材の側面のうちガス導入孔を取り囲む所定の接着領域に接着するためのステップである。第４ステップは、長尺中空部材の接着領域における被覆部材との接着状態を被覆部材の外部から判定するためのステップである。この場合、封止部材による中空穴の封止状態が良好であり、且つ被覆部材の接着状態が良好であると判定された長尺中空部材では、当該長尺中空部材の中空穴に外部から異物（例えば、水等）が浸入して金属配線に悪影響を及ぼすことが阻止される。少なくとも上記の第１ステップから第４ステップまで処理を実施することによって、中空穴に金属配線を収容する長尺中空部材のリーク検査を簡便に行うことが可能になる。
【００１２】
上記のリーク検査方法では、第３ステップにおいて、被覆部材によってガス導入孔とともに封止部材を被覆するのが好ましい。この場合、被覆部材によってガス導入孔を被覆する処理と封止部材を保護する処理との双方を実現できるため合理的である。
【００１３】
上記のリーク検査方法では、第３ステップにおいて、長尺中空部材の側面のうちガス導入孔のまわりに被覆部材を構成する樹脂材料に対して撥液性を有する撥液材を塗布した状態で、樹脂材料による樹脂成型によって被覆部材を形成するのが好ましい。これにより、被覆部材を構成する樹脂材料がガス導入孔を通じて中空穴に流入して当該樹脂材料によって中空穴が塞がれるのを阻止することができる。
【００１４】
上記のリーク検査方法では、第４ステップにおいて、超音波の発信及び受信が可能な超音波センサを被覆部材の外表面上で走査したときに当該超音波センサが受信した超音波の受信波形に基づいて長尺中空部材の接着領域における被覆部材との接着状態を判定するのが好ましい。これにより、長尺中空部材の接着領域における被覆部材との接着状態を超音波センサを用いて簡便に判定することが可能になる。
【００１５】
上述の目的を達成するため、本発明に係る、長尺中空部材のリーク検査システムは、前述の樹脂成形体の長尺中空部材と同様の部材のリーク検査を行うためのシステムであり、第１検査装置及び第２検査装置を備える。この場合、必要に応じて別の検査装置が追加されてもよい。第１検査装置は、長尺中空部材の外部から中空穴にリーク検査用のガスを導入可能なガス導入孔が長尺中空部材の両端部間の側面に貫通形成された状態で、ガス導入孔を通じて中空穴へリーク検査用のガスを導入し、当該中空穴の圧力変化に基づいて封止部材による当該中空穴の封止効果の有無を判定するのに用いられる。第２検査装置は、第１検査装置によって封止部材による中空穴の封止効果が有るとされた長尺中空部材についてガス導入孔が樹脂製の被覆部材によって被覆され且つ当該被覆部材が長尺中空部材の側面のうちガス導入孔を取り囲む所定の接着領域に接着された状態で、長尺中空部材の接着領域における被覆部材との接着状態を被覆部材の外部から判定するのに用いられる。このリーク検査システムによれば、中空穴に金属配線を収容する長尺中空部材のリーク検査を簡便に行うことが可能になる。
【００１６】
上記のリーク検査システムでは、第１検査装置は、検査ガス送入ノズル、検査ガス供給部、圧力検出部及び第１判定部を備えるのが好ましい。検査ガス送入ノズルは、ガス導入孔に挿入される。検査ガス供給部は、検査ガス送入ノズルにリーク検査用のガスを供給する機能を果たす。圧力検出部は、中空穴の圧力を検出する機能を果たす。従って、中空穴の圧力がテスト圧になるまで検査ガス供給部から検査ガス送入ノズルにリーク検査用のガスが供給された後、圧力検出部によって中空穴の圧力が検出される。また、第１判定部によれば、圧力検出部による中空穴の圧力の検出結果に基づいて封止部材による中空穴の封止効果が判定される。これにより、封止部材による中空穴の封止効果の有無を第１検査装置を用いて簡便に判定することが可能になる。
【００１７】
上記のリーク検査システムでは、第２検査装置は、超音波センサ及び第２判定部を備えるのが好ましい。超音波センサは、超音波の発信及び受信が可能なセンサである。第２判定部によれば、この超音波センサが被覆部材の外表面上で走査されたときに受信した超音波の受信波形に基づいて長尺中空部材の接着領域における被覆部材との接着状態を判定することができる。これにより、長尺中空部材の接着領域における被覆部材との接着状態を超音波センサを用いて簡便に判定することが可能になる。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように、本発明によれば、中空穴に金属配線を収容する長尺中空部材のリーク検査を簡便に行うことが可能になった。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は本発明にかかる長尺中空部材１０の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図２は図１中の長尺中空部材１０のリーク検査に関するフローチャートである。
【図３】図３は図１中の長尺中空部材１０の側面１０ｃにガス導入孔１６が形成された状態を示す斜視図である。
【図４】図４は図３中の長尺中空部材１０に封止検査装置２０が設置される様子を示す斜視図である。
【図５】図５は本発明にかかる樹脂成形体１００の概略構成を示す斜視図である。
【図６】図６は図５中の樹脂成形体１００のＡ−Ａ線についての断面図である。
【図７】図７は図５中の樹脂成形体１００を超音波検査装置４０によって検査する様子を示す斜視図である。
【図８】図８は図６において超音波センサ４１のセンサ先端部４１ａが被覆部材３０の外表面のうちガス導入孔１６に対応する位置にあるときの断面図である。
【図９】図９は図６において超音波センサ４１のセンサ先端部４１ａが被覆部材３０の外表面のうち撥液材塗布領域１７にあるときの断面図である。
【図１０】図１０は図８或いは図９の場合の超音波センサ４１による検出の様子を模式的に示す図である。
【図１１】図１１は図８或いは図９の場合に超音波センサ４１によって計測される受信波形を示す図である。
【図１２】図１２は図６において超音波センサ４１のセンサ先端部４１ａが被覆部材３０の外表面のち接着領域１８にあるときの断面図である。
【図１３】図１３は図１２の場合の超音波センサ４１による検出の様子を模式的に示す図である。
【図１４】図１４は図１２の場合に超音波センサ４１によって計測される受信波形を示す図である。
【図１５】図１５は超音波センサ４１のセンサ先端部４１ａによって被覆部材３０の外表面上を走査する走査態様を示す図である。
【図１６】図１６は図８中の超音波センサ４１に別の超音波センサ１４１を組み合わせた場合の使用例を示す断面図である。
【図１７】図１７は超音波センサ４１のセンサ先端部４１ａ及び超音波センサ１４１のセンサ先端部１４１ａの双方によって被覆部材３０の外表面上を走査する走査態様を示す図である。
【図１８】図１８は図８中の超音波センサ４１の変更例に係る超音波アレイセンサ２４１による検査の様子を示す断面図である。
【図１９】図１９は図１８中の超音波アレイセンサ２４１による検査画像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
【００２１】
図１に示される長尺中空部材１０は、所定方向に長尺状に延在する部材であり、樹脂材料によって構成されている。この長尺中空部材１０は、両端部１０ａ，１０ｂ間を貫通する中空穴１１を有するとともに中空穴１１に金属配線１４を収容した状態で中空穴１１が樹脂製の２つの封止部材１５，１５によって封止されている。即ち、長尺中空部材１０の両端部１０ａ，１０ｂにそれぞれ封止部材１５が接合されることによって、中空穴１１の両端の２つの開口１２，１３がそれぞれ密閉されて中空空間が形成されている。金属配線１４は、互いに接触可能な複数（図１では２つ）の導線（裸線）を含み、当該複数の導線の接触を利用してセンシングを行うセンシング機構を構成している。この長尺中空部材１０が本発明の「長尺中空部材」に相当する。
【００２２】
この長尺中空部材１０のリーク検査（「気密検査」ともいう）を行うためのリーク検査方法は、図２に示されるステップＳ１０１からステップＳ１１０までの複数のステップによって実行され得る。この場合、各ステップの実施前や実施後に必要に応じて別のステップが追加されてもよい。例えば、上述のように長尺中空部材１０の両端部１０ａ，１０ｂにそれぞれ封止部材１５を接合するステップを、このリーク検査方法に包含させることもできる。
【００２３】
図２中のステップＳ１０１は、長尺中空部材１０の両端部１０ａ，１０ｂ間の側面１０ｃにガス導入孔１６を設けるステップである。このステップＳ１０１が本発明の「第１ステップ」に相当する。このステップＳ１０１を具体的に説明すると、図３に示されるように、長尺中空部材１０の側面１０ｃの所定位置に長尺中空部材１０の外部から中空穴１１にリーク検査用のガスを導入可能なガス導入孔１６を貫通形成する。このガス導入孔１６によれば、中空穴１１が長尺中空部材１０の外部に連通した状態になる。このガス導入孔１６が本発明の「ガス導入孔」に相当する。
【００２４】
図２中のステップＳ１０２からステップＳ１０５までの処理は、長尺中空部材１０の中空穴１１が封止部材１５によって確実に封止されているか否か、要するに封止部材１５による中空穴１１の封止効果の有無を判定するための処理である。これらのステップの処理が本発明の「第２ステップ」に相当する。ステップＳ１０２は長尺中空部材１０に封止検査装置を設置するステップであり、ステップＳ１０３は封止検査装置によって長尺中空部材１０の中空穴１１にリーク検査用のガスを送入するステップであり、ステップＳ１０４は長尺中空部材１０の中空穴１１の圧力変化を監視するステップであり、ステップＳ１０５はステップＳ１０４の監視結果に基づいて封止効果の有無を判定するステップである。これらのステップを実行するために、例えば図４中の封止検査装置２０を用いることができる。
【００２５】
図４に示すように、封止検査装置２０は、検査ガス送入ノズル２１と、検査ガス供給部２２と、圧力検出部２３と、判定部２４と、を備えている。この封止検査装置２０が本発明の「第１検査装置」に相当する。図２中のステップＳ１０２によれば、長尺中空部材１０のガス導入孔１６に検査ガス送入ノズル２１が挿入される。この場合、検査ガス送入ノズル２１をガス導入孔１６に挿入し易くするとともに、最終的にガス導入孔１６を密封し易くするために、ガス導入孔１６の孔径及び検査ガス送入ノズル２１のノズル外径をともに１［ｍｍ］程度に抑えるのが好ましい。また、検査ガス送入ノズル２１とガス導入孔１６の開口縁との間にガスシール用のパッキン材（図示省略）を介在させることによってガスシール性を強化するのが好ましい。この検査ガス送入ノズル２１が本発明の「検査ガス送入ノズル」に相当する。
【００２６】
検査ガス供給部２２は、検査ガス送入ノズル２１にリーク検査用のガスを供給する手段である。図２中のステップＳ１０３によれば、検査ガス供給部２２から供給された検査ガスは、検査ガス送入ノズル２１及びガス導入孔１６を通じて長尺中空部材１０の中空穴１１に送入される。この検査ガス供給部２２として、ガスを機械的に圧縮して吐出する構成や、予め圧縮して貯留されたガスを供給する構成などを採用することができる。この検査ガス供給部２２が本発明の「検査ガス供給部」に相当する。
【００２７】
圧力検出部２３は、長尺中空部材１０の中空穴１１の圧力を実際に検出する手段である。この場合、圧力検出部２３による圧力検出値が予め定められたテスト圧に達するまで検査ガス供給部２２からのリーク検査用のガスの供給が継続される。このテスト圧は、典型的には数十〜数百［ｋＰａ］の範囲の中から適宜に選択される。図２中のステップＳ１０４によれば、検査ガス供給部２２によるテスト圧での加圧を維持した状態でその後の規定時間内（例えば、数秒間）の圧力変化を圧力検出部２３によって監視する。この場合、圧力検出部２３は、中空穴１１の圧力に関する情報を出力（データ出力、表示出力、音声出力など）することが可能な種々の形態を採り得る。この圧力検出部２３が本発明の「圧力検出部」に相当する。
【００２８】
判定部２４は、圧力検出部２３による、長尺中空部材１０の中空穴１１の圧力変化の監視結果に基づいて、封止部材１５による中空穴１１の封止効果の有無を判定するのに用いられる。この判定は、中空穴１１の圧力変化のみに基づいて封止効果の有無を判定する方法、所謂「直圧式リークテスト」の原理を利用したものであってもよいし、或いは中空穴１１の圧力変化を漏れの無いマスター部材での圧力変化と比較することによって、封止効果の有無を判定する方法、所謂「差圧式リークテスト」の原理を利用したものであってもよい。この判定部２４が本発明の「第１判定部」に相当する。
【００２９】
図２中のステップＳ１０５によれば、判定部２４は、中空穴１１の予め定められた規定範囲内での圧力変化に対しては検査結果が合格である、即ち封止部材１５による中空穴１１の封止効果が有るという判定を行う。一方で、この判定部２４は、中空穴１１の規定範囲を超えた圧力変化に対しては検査結果が不合格である、即ち封止部材１５による中空穴１１の封止効果が無いという判定を行う。この場合、封止検査装置２０による検査結果が合格である場合（ステップＳ１０５のＹｅｓの場合）には図２中のステップＳ１０７にすすみ、当該検査結果が合格と判定された長尺中空部材１０の更なる検査を行う。一方で、封止検査装置２０による検査結果が不合格である場合（ステップＳ１０５のＮｏの場合）には図２中のステップＳ１０６にすすみ、当該検査結果が不合格と判定された長尺中空部材１０の払い出しを行う。その後、必要に応じて別の長尺中空部材１０のリーク検査に移行する。
【００３０】
なお、ステップＳ１０５における判定については、判定部２４が当該判定を実行する形態に代えて、圧力検出部２３から出力された情報に基づいて検査者が当該判定を実行する形態を採用することができる。この場合、圧力検出部２３によって本発明の「第１判定部」が構成される。
【００３１】
図２中のステップＳ１０７及びステップＳ１０８の処理は、ステップＳ１０５において検査結果が合格（封止部材１５による中空穴１１の封止効果が有る）とされた長尺中空部材１０を樹脂製の被覆部材によって密封するための処理である。ステップＳ１０７によれば、長尺中空部材１０の側面１０ｃのうちガス導入孔１６のまわりに被覆部材の樹脂材料に対して撥液性を有する撥液材（例えば、シリコン材）が円環状の撥液材塗布領域に塗布される。その後、ステップＳ１０８によれば、長尺中空部材１０が樹脂材料によって樹脂成型される。この樹脂成型の際、樹脂材料がガス導入孔１６を通じて中空穴１１に流入して当該樹脂材料によって中空穴１１が塞がれるのを撥液材によって阻止することができる。この樹脂成型によって、図５及び図６に示されるように、長尺中空部材１０の両端部１０ａ，１０ｂがそれぞれ被覆部材（「保護樹脂」ともいう）３０によって被覆された樹脂成形体１００が得られる。この樹脂成形体１００が本発明の「樹脂成形体」に相当する。なお、必要に応じては、樹脂材料による樹脂成型に代えて被覆部材を接着剤によって長尺中空部材に接着する方法を採用することもできる。
【００３２】
樹脂成形体１００では、樹脂製の被覆部材３０は、長尺中空部材１０のガス導入孔１６を被覆した状態で長尺中空部材１０の側面１０ｃのうちガス導入孔１６を取り囲む所定の接着領域１８に接着されている。具体的には、ガス導入孔１６のまわりに上記の撥液材の円環状の撥液材塗布領域１７が形成されており、この撥液材塗布領域１７には撥液材の撥液作用によって被覆部材３０は接着されない。従って、この撥液材塗布領域１７よりも外方が接着領域１８になる。このため、ガス導入孔１６を通じて中空穴に異物（例えば、水等）が浸入するのが阻止される。この場合、接着不良が発生し難いようにするために撥液材塗布領域１７の幅寸法を１［ｍｍ］程度に抑えるのが好ましい。また、この被覆部材３０は、ガス導入孔１６とともに封止部材１５を被覆している。このため、封止部材１５を被覆部材３０によって保護することができる。この場合、被覆部材３０は、ガス導入孔１６を被覆する機能と封止部材１５を保護する機能との双方を兼ね備えているため合理的である。樹脂成型によってこの被覆部材３０を形成するための上記のステップＳ１０７及びステップＳ１０８の処理が本発明の「第３ステップ」に相当する。
【００３３】
上記のガス導入孔１６は、長尺中空部材１０の側面１０ｃのうち両端部１０ａ，１０ｂのいずれか一方に近接した位置に設けられるのが好ましい。例えば、図５が参照されるように、長尺中空部材１０の側面１０ｃのうち一方の端部１０ａから他方に端部１０ｂ側に３［ｍｍ］移動した位置にガス導入孔１６を設けることができる。この場合、端部１０ａに割り当てられた封止部材１５から近い位置にガス導入孔１６が存在する。その結果、樹脂成型によってガス導入孔１６及び当該封止部材１５を一度に被覆する際の作業性が良く、また樹脂材料の使用量を抑えることができる。
【００３４】
図２中のステップＳ１０９及びステップＳ１１０の処理は、長尺中空部材１０のガス導入孔１６のまわりが被覆部材３０によって確実に接着されているか否か、即ち長尺中空部材１０の接着領域１８における被覆部材３０との接着状態を被覆部材３０の外部から判定するための処理である。これらステップＳ１０９及びステップＳ１１０の処理が本発明の「第４ステップ」に相当する。ステップＳ１０９は接着領域１８にガス導入孔１６につながる隙間が有るか否かを、超音波検査装置を利用して判定するステップであり、ステップＳ１１０はステップＳ１０９における検査結果に基づいて判定を行うステップである。ステップＳ１０９における検査を実行するために、例えば図７中の超音波検査装置４０を用いることができる。
【００３５】
図７に示すように、超音波検査装置４０は、超音波センサ４１と、走査制御装置４２と、超音波制御装置４３と、演算処理装置４４と、表示部４５と、を備えている。この超音波検査装置４０は、被覆部材３０の外表面に被着された超音波センサ４１から長尺中空部材１０に向けて超音波を発信し、その反射波を超音波センサ４１で受信する検査装置であり、特に接着領域１８にガス導入孔１６につながる隙間が有るか否かを判定するのに用いられる。この超音波検査装置４０が本発明の「第２検査装置」に相当する。また、この超音波検査装置４０に上記の封止検査装置２０を組み合わせた装置（システム）によって本発明の「長尺中空部材のリーク検査システム」が構成される。
【００３６】
超音波センサ４１は、超音波の発信及び受信が可能なセンサであり、この超音波センサ４１のセンサ先端部４１ａが被覆部材３０の外表面に接触媒質を介して被着される。超音波センサ４１から発信された超音波（「入射波」ともいう）は被覆部材３０の表面から長尺中空部材１０に向けて入射した後、その反射波が超音波センサ４１によって受信される。超音波センサ４１から発信される超音波は、超音波制御装置４３及び演算処理装置４４によって制御される。この超音波センサ４１が本発明の「超音波センサ」に相当する。
【００３７】
走査制御装置４２は、超音波センサ４１のセンサ先端部４１ａによって被覆部材３０の外表面上を予め設定された走査軌道にしたがって走査するように当該超音波センサ４１の位置を制御する機能を果たす。図２中のステップＳ１０９によれば、この走査の際に超音波センサ４１で受信された信号が演算処理装置４４において処理されることによって超音波（「反射波」ともいう）の受信波形が計測される。計測された受信波形に関する情報は必要に応じて表示部４５に表示される。
【００３８】
図２中のステップＳ１１０によれば、計測された受信波形に基づいて、長尺中空部材１０の接着領域１８における被覆部材３０との接着状態が被覆部材３０の外部から判定される。このとき、接着領域１８における接着状態が良好であり当該接着領域１８にガス導入孔１６につながる隙間が無いとされた場合、超音波による検査結果（最終的なリーク検査結果）が合格であると判定される（ステップＳ１１０のＹｅｓ）。この検査に合格した長尺中空部材１０（樹脂成形体１００）では、中空穴１１に外部から異物（例えば、水等）が浸入して金属配線１４に悪影響を及ぼすこと、具体的には金属配線１４によって構成されるセンシング機構によるセンシングに悪影響を及ぼすことが阻止される。その後、必要に応じて別の長尺中空部材１０のリーク検査に移行する。一方で、接着領域１８における接着状態が不良であり当該接着領域１８にガス導入孔１６につながる隙間が有るとされた場合、超音波による検査結果（最終的なリーク検査結果）が不合格であると判定される（ステップＳ１１０のＮｏ）。この場合、図２中のステップＳ１０６にすすみ、超音波による検査結果が不合格と判定された長尺中空部材１０の払い出しを行う。その後、必要に応じて別の長尺中空部材１０のリーク検査に移行する。
【００３９】
ステップＳ１１０における判定については、演算処理装置４４が当該判定を実行する第１の判定形態や、表示部４５に表示された情報に基づいて検査者が当該判定を実行する第２の判定形態が採用され得る。この場合、第１の判定形態では演算処理装置４４によって本発明の「第２判定部」が構成され、第２の判定形態では表示部４５によって本発明の「第２判定部」が構成される。
【００４０】
なお、長尺中空部材１０の接着領域１８における被覆部材３０との接着状態を被覆部材３０の外部から判定する手段として、上記の超音波検査装置４０に代えて、例えば熱の伝わり方が相違する接着部と未接着部とをサーモグラフィ装置による熱画像を利用して判別する検査手法や、放射線を利用した検査手法を用いることもできる。
【００４１】
ここで、上記の超音波センサ４１によって計測される受信波形について、図８〜図１４を参照しつつ具体的に説明する。
【００４２】
図８に示されるように超音波センサ４１のセンサ先端部４１ａが被覆部材３０の外表面のうちガス導入孔１６に対応する位置にある場合と、図９に示されるように超音波センサ４１のセンサ先端部４１ａが被覆部材３０の外表面のうち撥液材塗布領域１７にある場合とでは同様の受信波形が計測される。これらの場合、図１０に示されるように、超音波センサ４１から発信された超音波（入力波Ｉ）は、接触媒質５０の通過後に被覆部材３０の表面で反射し（反射波Ｒ１）、また被覆部材３０の裏面（ガス導入孔１６の空気層１９や撥液材塗布領域１７の撥液材）で反射した後（反射波Ｒ２）、反射波Ｒ１及びＲ２がそれぞれ超音波センサ４１によって受信される。従って、図１１に示されるように、超音波センサ４１は、反射波Ｒ１を受信してから遅れ時間ΔＴａの経過後に反射波Ｒ２を受信する。
【００４３】
これに対して、図１２に示されるように超音波センサ４１のセンサ先端部４１ａが被覆部材３０の外表面のうち接着状態が良好な接着領域１８に対応する位置にある場合には、図８及び図９の場合とは異なる受信波形が計測される。この場合、図１３に示されるように、超音波センサ４１から発信された超音波（入力波Ｉ）は、接触媒質５０の通過後に被覆部材３０の表面で反射し（反射波Ｒ３）、また長尺中空部材１０の裏面（中空穴１１の空気層）で反射した後（反射波Ｒ４）、反射波Ｒ１及びＲ２がそれぞれ超音波センサ４１によって受信される。即ち、長尺中空部材１０に対する被覆部材３０の接着状態が良好である場合には、反射波は長尺中空部材１０と被覆部材３０との境界で反射されない。従って、図１４に示されるように、超音波センサ４１は、反射波Ｒ３を受信してから遅れ時間ΔＴｂ（＞ΔＴａ）の経過後に反射波Ｒ４を受信する。
【００４４】
超音波センサ４１のセンサ先端部４１ａによって被覆部材３０の外表面上を走査する走査態様の一実施例について図１５を参照しつつ説明する。この実施例では、孔径が１［ｍｍ］のガス導入孔１６に対してセンサ先端部４１ａの径が１．５［ｍｍ］の超音波センサ４１が割り当てられている。なお、図１５では、センサ先端部４１ａの走査軌道の理解を容易にするべく、長尺中空部材１０を実線で示し、且つ被覆部材３０を二点鎖線で示している。
【００４５】
まずセンサ先端部４１ａを被覆部材３０の外表面のうちガス導入孔１６に対応する位置（第１位置Ｐ１）に被着させる。このとき図１１に示すような受信波形が計測された場合、第１位置Ｐ１がガス導入孔１６の孔中心に相当する位置であるとみなすことができ、引き続いて第１位置Ｐ１を中心にしてセンサ先端部４１ａによって被覆部材３０の外表面上を円弧状に走査することができる。例えば、第１位置Ｐ１からガス導入孔１６の径方向外側に２．３［ｍｍ］外れた第２位置Ｐ２を始点として、第３位置Ｐ３、第４位置Ｐ４、第５位置Ｐ５の順で円弧状の走査軌道Ｃ上をセンサ先端部４１ａで走査することによって、長尺中空部材１０に対する被覆部材３０の接着状態を確認することができる。このとき、接着領域１８において図１４に示すような受信波形が計測されれば、接着領域１８での接着状態が良好であり、接着領域１８にガス導入孔１６につながる隙間が無いことを確認することができる。この場合、図１５に示すように撥液材塗布領域１７を第５位置Ｐ５においてのみ走査軌道Ｃ上まで延出させた延出部１７ａを設けるのが好ましい。これより、超音波センサ４１は、走査軌道Ｃ上をセンサ先端部４１ａで走査するのみで、接着領域１８のおける受信波形と撥液材塗布領域１７のおける受信波形との双方を計測することができ合理的である。
【００４６】
変更例として、図１６に示すように上記の超音波センサ４１に当該超音波センサ４１と同構造の別の超音波センサ１４１を組み合わせて使用することもできる。この実施例では、２つの超音波センサ４１，１４１が固定手段４６によって固定され、互いの離間距離が一定に維持されている。これら２つの超音波センサ４１，１４１によって被覆部材３０の外表面上を走査する場合、図１７に示すように、センサ先端部４１ａをガス導入孔１６に対応した第１位置Ｐ１に配置した状態で、センサ先端部１４１ａをセンサ先端部４１ａを中心に回転させる。この場合、超音波センサ４１は、センサ先端部４１ａが第１位置Ｐ１で自転しつつ常時にガス導入孔１６における受信波形（図１１参照）を計測することができる。一方で、超音波センサ１４１は、円弧状の走査軌道Ｃ上をセンサ先端部１４１ａで走査することによって、接着領域１８と撥液材塗布領域１７の延出部１７ａとの双方における受信波形（図１４参照）を計測することができる。このような走査態様によれば、検査者は、図１１に示すような受信波形が計測されていること、即ちセンサ先端部４１ａが第１位置Ｐ１にあることを常時に確認しながら検査を行うことができる。その結果、超音波センサ４１，１４１が適正な検査位置から外れるのを防止することができる。
【００４７】
別の変更例として、上記の超音波センサ４１に代えて図１８に示すような超音波アレイセンサ２４１を採用することもできる。この超音波アレイセンサ２４１は、センサ先端部２４１ａに複数の超音波素子２４１ｂが配列された既知センサであり、超音波の発信順序及び角度を電気的に変化させ、そのときの素子配列範囲内での反射波を受信して検査画像として表示するように構成されている。この超音波アレイセンサ２４１による検査によって、例えば図１９に示されるような検査画像が表示される。この検査画像によれば、反射波のガス導入孔１６、撥液材塗布領域１７及び接着領域１８のそれぞれについて反射強度が異なることが判る。従って、この超音波アレイセンサ２４１によれば、長尺中空部材１０に対する被覆部材３０の接着状態を確認する際に、センサ先端部２４１ａによって接着領域１８の外表面の広範囲を一度に検査することができる。
【００４８】
上記の実施形態によれば、第１段階として、長尺中空部材１０において封止部材１５による中空穴１１の封止効果の有無を封止検査装置２０を用いて簡便に判定することが可能になる。また、第２段階として、封止部材１５による中空穴１１の封止効果があるとされた長尺中空部材１０を含む樹脂成形体１００について、当該長尺中空部材１０の接着領域１８における被覆部材３０との接着状態を超音波検査装置４０（超音波センサ４１、超音波センサ１４１、超音波アレイセンサ２４１）を用いて簡便に判定することが可能になる。その結果、中空穴１１に金属配線１４を収容する長尺中空部材１０のリーク検査を簡便に行うことが可能になる。また、長尺中空部材１０を含む樹脂成形体１００は、長尺中空部材１０のためのこのようなリーク検査を簡便に行うのに適している。
【００４９】
本発明は、上記の典型的な実施形態のみに限定されるものではなく、種々の応用や変形が考えられる。例えば、上記実施の形態を応用した次の各形態を実施することもできる。
【００５０】
上記実施の形態では、被覆部材３０がガス導入孔１６とともに封止部材１５を被覆する場合について記載したが、本発明では、少なくとも被覆部材３０がガス導入孔１６を被覆していればよい。
【００５１】
上記実施の形態では、ガス導入孔１６を長尺中空部材１０の側面１０ｃのうち両端部１０ａ，１０ｂのいずれか一方に近接した位置に設ける場合について記載したが、本発明では、必要に応じて長尺中空部材１０の側面１０ｃの所望の位置にガス導入孔１６を設けることができる。
【００５２】
上記実施の形態では、長尺中空部材１０の側面１０ｃのうちガス導入孔１６のまわりに撥液材を塗布する場合について記載したが、本発明では、樹脂材料がガス導入孔１６を通じて中空穴１１に流入する虞の無い場合には、この撥液材を塗布を省略することもできる。
【００５３】
上記実施の形態では、中空穴１１に金属配線１４が収容され両端部１０ａ，１０ｂのそれぞれに封止部材１５が接合された構造の長尺中空部材１０をリーク検査対象としたが、本発明では検査対象はこの構造の長尺中空部材１０のみに限定されるものではない。中空穴に金属配線を収容する各種の構造の長尺中空部材に対して、本発明のリーク検査技術を適用することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１０…長尺中空部材、１０ａ，１０ｂ…端部、１０ｃ…側面、１１…中空穴、１５…封止部材、１６…ガス導入孔、１７…撥液材塗布領域、１８…接着領域、２０…封止検査装置、３０…被覆部材、４０…超音波検査装置、１００…樹脂成形体  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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