(57)【要約】【課題】アイソレータ２内を洗浄する洗浄液体供給手段２８と乾燥のための気体を供給する乾燥気体供給手段３０を、アイソレータ２内に除染ガスを供給する供給管路６に接続し、配管を共通化する。【解決手段】アイソレータ２内を除染する除染ガスを供給する供給管路６に、洗浄液体供給手段２８と乾燥気体を供給する乾燥気体供給手段３０を接続する。この供給管路６への、除染ガス供給手段４、洗浄液体供給手段２８および乾燥気体供給手段３０を切り換える切換手段（開閉弁１８）を設け、制御手段３８による制御によって順次切り換える。先ず、洗浄液体を供給してアイソレータ２内を洗浄し、続いて乾燥気体を供給して供給管路６を含む全体を乾燥させ、その後、除染ガスを供給してアイソレータ２内を除染した後、再び供給管路に乾燥気体を供給して、エアレーションを行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部が気密に維持されるアイソレータと、蒸気化した除染ガスを発生させる除染ガス供給手段と、除染ガスをアイソレータ内部に供給する供給管路とを備えたアイソレータ装置において、
前記供給管路に洗浄液体を供給する洗浄液体供給手段と、前記供給管路に乾燥のための気体を供給する気体供給手段とを接続するとともに、前記供給管路への、除染ガス、洗浄液体および気体の供給を切り換える切換手段と、この切換手段の作動を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、供給管路に洗浄液体を流入させてアイソレータ内に洗浄液体を供給した後、供給管路に気体を流入させて管路内を乾燥させ、その後、供給管路に除染ガスを流通させてアイソレータ内に除染ガスを供給し、さらにその後、再び供給管路に気体を流入させてアイソレータ内に気体を供給することを特徴とするアイソレータ装置。
【請求項２】
前記除染ガス供給手段が、除染液体を加熱して蒸気化する加熱手段と、蒸気化して発生した除染ガスを送る送気手段とを備え、前記供給管路に流入させた乾燥のための気体を除染ガス発生手段で加熱することを特徴とする請求項１に記載のアイソレータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外部から隔離された内部空間で被処理物の処理を行うアイソレータに係り、特に、処理を行った後に内部の粉末や粉塵を洗い流すための洗浄液体の供給手段を備えたアイソレータ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、内部に有害物質等を収容して処理を行うアイソレータの場合には、処理を終わった後、内部を洗浄する必要があるため、洗浄液体（洗浄水）を供給できるようにしている（特許文献１ないし特許文献３参照）。このような洗浄水による洗浄後には、アイソレータの内面に付着している水分を布で拭き取って洗浄を終了するようにしている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１４９７２６号公報
【特許文献２】特許第４７６１４９７号公報
【特許文献３】特開２０１２−７７６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記特許文献１に記載された発明のように、アイソレータ内を洗浄水により洗浄をした後水分を拭き取った場合でも、散水ノズルや配管内は水分が残り雑菌の温床となるおそれがあった。しかも、アイソレータ内部を除染する際に、除染ガスをアイソレータ内部に充満させても、ノズルから配管内へは除染ガスが流入しないため、ノズル内部や配管内は除染することができなかった。さらに、アイソレータには除染ガスを供給するための配管が備えられているため、洗浄液体の供給用の配管と２系統の配管を付設する必要があるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、内部が気密に維持されるアイソレータと、蒸気化した除染ガスを発生させる除染ガス供給手段と、除染ガスをアイソレータ内部に供給する供給管路とを備えたアイソレータ装置において、前記供給管路に洗浄液体を供給する洗浄液体供給手段と、前記供給管路に乾燥のための気体を供給する気体供給手段とを接続するとともに、前記供給管路への、除染ガス、洗浄液体および気体の供給を切り換える切換手段と、この切換手段の作動を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、供給管路に洗浄液体を流入させてアイソレータ内に洗浄液体を供給した後、供給管路に気体を流入させて管路内を乾燥させ、その後、供給管路に除染ガスを流通させてアイソレータ内に除染ガスを供給し、さらにその後、再び供給管路に気体を流入させてアイソレータ内に気体を供給することを特徴とするものである。
【０００６】
また、第２の発明は、前記第１の発明において、前記除染ガス供給手段が、除染液体を加熱して蒸気化する加熱手段と、蒸気化して発生した除染ガスを送る送気手段とを備え、前記供給管路に流入させた乾燥のための気体を除染ガス発生手段で加熱することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
除染ガスをアイソレータ内部に供給する供給管路に、洗浄液体を供給する洗浄液体供給手段を接続し、除染ガスの供給管路を介して洗浄液体を供給できるようにしたので、配管の共通化を図るとともに管路内の除染を可能とした。さらに、前記供給管路に、乾燥のための気体を供給する気体供給手段を接続して、乾燥のための気体を供給できるようにしたので、管路内部を乾燥するとともに、配管をヒートアップすることも可能になった。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は本発明の一実施例に係るアイソレータ装置の概略構成を示す回路図である。（実施例１）
【発明を実施するための形態】
【０００９】
外部から遮断され、内部が密閉されて気密状態に維持されるアイソレータに、供給管路を介して、内部を除染する除染ガスを供給する除染ガス供給手段を接続する。除染ガス供給手段は、例えば、過酸化水素溶液等の除染液体を貯留するタンクと、この貯留タンク内の液体を蒸発器（加熱手段）に送るポンプを備えている。除染液体は蒸発器で蒸気化されて除染ガスとなり、送気手段であるブロアによって前記供給管路内を流通される。
【００１０】
供給管路には、それぞれ開閉弁を介して複数のノズルが接続され、アイソレータ内部に臨んでいる。また、供給管路は、給気側のＨＥＰＡフィルタおよび排気側のＨＥＰＡフィルタを介してアイソレータ内部に連通している。各ＨＥＰＡフィルタは、それぞれ開閉弁を介して供給管路と連通遮断できる。さらに、供給管路には、洗浄液体供給手段と乾燥のための気体供給手段が接続されている。これら洗浄液体供給手段と気体供給手段および前記除染ガス供給手段は、供給管路の各所に設けた開閉弁の開閉によって供給管路に切換接続できるようになっている。これら各供給手段の流路を切り換える切換手段としての開閉弁は、制御手段によって作動を制御される。
【００１１】
アイソレータ内で被処理物の処理が行われた後、制御手段により開閉弁を切り換えて、洗浄液体供給手段を供給管路に接続して洗浄液体を流入させ、ノズルからアイソレータ内に洗浄液体を供給して内部の洗浄を行う。洗浄液体による洗浄を行った後、内部を布等により拭き取る。その後、洗浄液体供給手段を遮断して気体供給手段を接続し、供給管路に気体を流入させて管路内を乾燥させるとともに、前記ノズルを介してアイソレータ内に導入し、アイソレータ内およびノズルを乾燥させる。また、同時に給気ブロア、排気ブロアを作動させてアイソレータ内全体の換気を行ってアイソレータの内部を乾燥させる。気体供給手段から供給される乾燥のための気体は加熱手段を通して供給管路内に流入されるので、管路内の乾燥を早めることができるとともに、管路内での除染ガスの液滴化を防止するように管路のヒートアップを実行することができる。管路内を乾燥させた後、気体供給手段を遮断して、供給管路に除染ガス供給手段を接続して除染ガスを流通させ、アイソレータ内に除染ガスを供給して除染を行う。日常的な除染であればノズルを通して除染ガスをアイソレータ内に供給しノズルも含めて除染を行う。また、所定期間毎に定期的な除染を行う場合には、さらに、ＨＥＰＡフィルタを通して除染ガスを供給してＨＥＰＡフィルタも除染する。その後、再び気体供給手段から供給管路に乾燥のための気体を供給し、エアレーションを行う。ＨＥＰＡフィルタを通して除染を行ったときには、気体をＨＥＰＡフィルタを通して給排し、ＨＥＰＡフィルタを含めたエアレーションを行う。
【実施例１】
【００１２】
以下、図面に示す実施例により本発明を説明する。このアイソレータ２は、省略して図示しているが、従来から一般に用いられているものと同様であり、外部から遮断されて密閉された内部空間を有し、この気密を保持した空間内で処理する物品やその他作業用の部材等を搬入搬出する開閉扉や、作業者が外部からアイソレータ２内に手を挿入して作業を行うためのグローブ等が設けられている。
【００１３】
このアイソレータ２を備えたアイソレータ装置（全体として符号１で示す）には、アイソレータ２の内部を除染するために、除染ガスを発生させる除染ガス供給手段４と、除染ガス供給手段４によって発生した除染ガスをアイソレータ２内に供給する供給管路６が設けられている。除染ガス供給手段４は、除染液体（例えば、過酸化水素溶液）を収容するタンク８と、このタンク８から除染液体を送り出すポンプ１０と、ポンプ１０によって送り込まれた除染液体を加熱して蒸気化する蒸発器（加熱手段１２）とを備えている。
【００１４】
供給管路６は、循環可能な閉鎖された回路を形成しており、この循環回路６に前記蒸発器１２が接続されるとともに、送気手段としてのブロア１４が設けられており、このブロア１４により、蒸発器１２で蒸気化された除染ガスが供給管路６に送られる。また、アイソレータ２の内部の全体に渡って除染ガスを供給できるように、供給管路６には複数個のノズル１６が接続され、アイソレータ２内に臨んでいる。この実施例では第１ノズルから第４ノズルの４箇所のノズル１６（１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ）がアイソレータ２の内部側に向けて取り付けられている。各ノズル１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄには、除染ガスの供給停止を行えるようにそれぞれ開閉弁１８（第１開閉弁〜第４開閉弁１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄ）が設けられている。
【００１５】
また、アイソレータ２の天面には、給気側のＨＥＰＡフィルタ２０Ａと、排気側のＨＥＰＡフィルタ２０Ｂが配置されており、前記供給管路６にそれぞれ開閉弁１８（第５開閉弁１８Ｅと第６開閉弁１８Ｆ）を介して接続されている。さらに、給気側のＨＥＰＡフィルタ２０Ａには、給気ブロア２２が接続されており、外気をアイソレータ２の内部空間に導入できるようになっている。また、排気側のＨＥＰＡフィルタ２０Ｂには、排気ブロア２４が接続されており、アイソレータ２内部の空間内の気体を触媒２６を介して外部に排出できるようになっている。
【００１６】
この実施例に係るアイソレータ装置１には、前記供給管路６に洗浄液体（例えば洗浄水）を供給する洗浄液体供給手段２８と、同じ供給管路６に、気体供給手段として乾燥するための気体を供給する乾燥気体供給手段３０が接続されている。洗浄液体供給手段２８は開閉弁１８（第７開閉弁１８Ｇ）を介して供給管路６に接続されており、供給管路６に洗浄液体を供給し、あるいは遮断することができる。このアイソレータ２の底部には、アイソレータ２内に供給されて内部等を洗浄した液体を排出する排液口３２が設けられている。この排液口３２に接続された排液管３４には開閉弁３６が設けられている。
【００１７】
前記供給管路６の除染ガス供給手段４が接続されている側に、開閉弁１８（第８開閉弁１８Ｈ）を介して乾燥気体供給手段３０が接続されている。この乾燥気体供給手段３０で除湿され供給管路６に導入された気体は、ブロア１４によって蒸発器（加熱手段１２）に送られて加熱された後供給管路６に供給される。閉鎖された供給管路６の、除染ガス供給手段４および乾燥気体供給手段３０が接続されている側と、アイソレータ２内に配置されているノズル１６が接続されている部分との間に、開閉弁１８（第９開閉弁１８Ｉおよび第１０開閉弁１８Ｊ）が設けられて、これら両供給手段４、３０側とアイソレータ２の内部側とを連通遮断できるようになっている。また、供給管路６の、洗浄液体供給手段２８が接続されている側と、アイソレータ２内に設けられたノズル１６（第１ノズル１６Ａ〜第４ノズル１６Ｄ）が接続されている部分との間に、開閉弁１８（第１１開閉弁１８Ｋおよび第１２開閉弁１８Ｌ）が設けられて、これらアイソレータ２の内部側と洗浄液体供給手段２８側を連通遮断できるようになっている。
【００１８】
前記供給管路６に、除染ガス供給手段４、洗浄液体供給手段２８および乾燥気体供給手段３０が接続されており、切換手段としての開閉弁１８（第１開閉弁１８Ａ〜第１２開閉弁１８Ｌ）の開閉によって、除染ガス、洗浄液体および除湿された乾燥気体を切り換えて供給することができる。これら開閉弁１８の作動は制御手段３８によって制御される。
【００１９】
以上の構成に係るアイソレータ装置１の作動について説明する。アイソレータ２内での作業が終了した後、洗浄液体（洗浄水）を供給してアイソレータ２の内部を洗浄する。この時には、乾燥気体供給手段３０を供給管路６に接続する第８開閉弁１８Ｈ、供給管路６の除染ガス供給手段４と乾燥気体供給手段３０側に設けられている第９開閉弁１８Ｉおよび第１０開閉弁１８Ｊを閉じ、さらに、供給管路６をＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂに接続する第５開閉弁１８Ｅ、第６開閉弁１８Ｆを閉じる。そして、アイソレータ２内の４箇所のノズル（第１ノズル１６Ａ〜第４ノズル１６Ｄ）に接続する開閉弁（第１開閉弁１８Ａ〜第４開閉弁１８Ｄ）、洗浄液体供給手段２８を供給管路６に接続する第７開閉弁１８Ｇ、供給管路６の洗浄液体供給手段２８側に設けられている第１１開閉弁１８Ｋおよび第１２開閉弁１８Ｌを開放して、洗浄液体供給手段２８から洗浄液体を供給管路６に供給する。
【００２０】
前記のように切換手段である開閉弁１８を開閉して、洗浄液体供給手段２８から供給管路６に洗浄液体を供給すると、洗浄液体は、供給管路６から各ノズル１６（第１ノズル１６Ａ〜第４ノズル１６Ｄ）に送られ、アイソレータ２の内面等に噴射されて洗浄を行う。洗浄液体による水洗いをした後、作業者が図示しないグローブから両手をアイソレータ２の内部に挿入し、アイソレータ２内に予め設置しておいた布等によって内部を拭き取る。洗浄液体を噴射してアイソレータ２内を洗浄する際には、アイソレータ２の底面に設けた排液口３２の開閉弁３６を開放して、洗浄した液体を排出する。
【００２１】
アイソレータ２の内部を拭き取る際に使用した布等の資材を搬出した後、乾燥気体供給手段３０から供給管路６に乾燥気体を供給する。この時には、洗浄液体供給手段２８を供給管路６に接続する第７開閉弁１８Ｇを閉じ、乾燥気体供給手段３０を接続する第８開閉弁１８Ｈと、第９開閉弁１８Ｉおよび第１０開閉弁１８Ｊを開放する。これにより供給管路６が全周連通して、流体を循環させることが可能になる。さらに、ＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂに接続する第５開閉弁１８Ｅおよび第６開閉弁１８Ｆを開放する。乾燥気体供給手段３０から供給管路６に供給された気体は、ブロア１４によって加熱手段１２に送られ、加熱されて供給管路６を流通して循環する。この加熱された乾燥気体は、ＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂを含むすべての経路に流通され、内部を乾燥する。また、加熱された乾燥気体は、供給管路６のヒートアップを実施する。このように供給配管６のヒートアップを行うことにより、除染を行う際に供給管路６内で除染ガスが液滴化することを防止できる。また、この時に第５開閉弁１８Ｅおよび第６開閉弁１８Ｆを開放せずに給気ブロア２２と排気ブロア２４を作動させ、アイソレータ２内を換気することで乾燥するようにしても良い。
【００２２】
乾燥気体を流通させて回路すべての乾燥を終えた後、乾燥気体供給手段３０を供給管路６に接続する第８開閉弁１８Ｈを閉じ、除染ガス供給手段４のポンプ１０を作動して、タンク８内の除染液体を加熱手段１２に送り込んで蒸発させ、供給管路６内を流通させて、各ノズル１６からアイソレータ２内に除染ガスを供給し、供給管路６、開閉弁１８内の通路およびノズル１６を含めて除染する。この時には、ＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂに接続する第５開閉弁１８Ｅおよび第６開閉弁１８Ｆを閉鎖する。
【００２３】
日常的な除染であれば、ＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂを供給管路６に接続する開閉弁（第５開閉弁１８Ｅおよび第６開閉弁１８Ｆ）を閉じたまま、各ノズル１６からアイソレータ２内に除染ガスを供給するだけで終了しても良い。但し、所定期間毎の定期的な除染の場合には、同時に前記第５開閉弁１８Ｅを開放して、給気側のＨＥＰＡフィルタ２０Ａを通して除染ガスを供給し、排気ブロア２４の駆動により排気側のＨＥＰＡフィルタ２０Ｂを通して排出することにより、ＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂを含めた除染を行う。なお、排気側のＨＥＰＡフィルタ２０Ｂを通して排出された除染ガスは、触媒２６によって浄化される。このようにＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂを通した除染は日常的に行っても良いが、この場合には、ＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂの除染ガスを取り除くエアレーションに時間がかかるため、ＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂに関しては、毎回ではなく定期的に除染を行うようにしてもよい。
【００２４】
所定量の除染ガスの供給が終了すると、再度、乾燥気体供給手段３０から加熱した乾燥気体を供給管路６を介してアイソレータ２に供給してエアレーションを行う。この時には、洗浄液体供給手段２８を供給管路６に接続する第７開閉弁１８Ｇを閉じ、ＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂを供給管路６に接続する開閉弁（第５開閉弁１８Ｅおよび第６開閉弁１８Ｆ）を閉じる。また、除染ガス供給手段４の除染液体を送り出すポンプ１０を停止させ、排気側のＨＥＰＡフィルタ２０Ｂの外部に接続されている排気ブロア２４を作動させる。乾燥気体供給手段３０から供給管路６に供給された乾燥気体は加熱手段１２により加熱されて、供給管路６内を循環するとともに、各ノズル１６からアイソレータ２内に送り込まれ、排気側ＨＥＰＡフィルタ２０Ｂを通り触媒２６によって浄化されて排出される。前記のようにＨＥＰＡフィルタ２０Ａを通さず除染を行った場合には、このようにＨＥＰＡフィルタ２０Ａを除いた部分のエアレーションを行えばよい。
【００２５】
また、ＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂを含めて除染を行った場合には、ＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂに付着した除染ガスを除去する必要があるので、ＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂを含めたエアレーションを行う。その時には、４箇所のノズル６への開閉弁（第１開閉弁１８Ａ〜第４開閉弁１８Ｄ）を閉じて、供給側のＨＥＰＡフィルタ２０Ａへの第５開閉弁１８Ｅを開放する。加熱した乾燥気体は、供給側のＨＥＰＡフィルタ２０Ａを介してアイソレータ２内に供給され、排気ブロア２４に吸引されて排気側のＨＥＰＡフィルタ２０Ｂから触媒２６を通して排出される。このようにして、ＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂを含めたエアレーションを行う。
【００２６】
なお、前記ＨＥＰＡフィルタ２０Ａ、２０Ｂに直接接続した給気ブロア２２および排気ブロア２４はアイソレータ２内部の圧力管理に使用する。内部圧力は、アイソレータ２内で取り扱う作業対象や、アイソレータ２の設置環境等により、周囲の環境に対して陽圧、陰圧、微加圧、微減圧など様々な圧力状態に制御することが行われる。また、アイソレータ２は大型、小型を問わず、広義には内部に種々の機器等を収容したクリーンルームのような、内部に作業者が立ち入るよう構成したものであってもよい。また、排液口３２と開閉弁３６の間の排液管３４と、第９開閉弁１８Ｉと第１１開閉弁１８Ｋの間または第１０開閉弁１８Ｊと第１２開閉弁１８Ｌの間の供給管路６とを配管で接続し、この配管に第１３番目の開閉弁を設けて、供給管路６内に除染ガスを流通させて各ノズル１６からアイソレータ２内に除染ガスを供給する際に、排液口３２の開閉弁３６は閉鎖させた状態で、この第１３開閉弁を開放して排液口３２や排液管３４を含めて除染することも可能である。
【符号の説明】
【００２７】
１  アイソレータ装置
２  アイソレータ
４  除染ガス供給手段
６  供給管路
１２  加熱手段（蒸発器）
１４  送気手段（ブロア）
１８  切換手段（開閉弁１８Ａ〜Ｌ）
２８  洗浄液供給手段
３０  気体供給手段（乾燥気体供給手段）
３８  制御手段
【図１】
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