(57)【要約】【課題】この小形開閉型スライド装置は，一対のテーブルにそれぞれ固定したナットをねじ軸のフリー側から容易に組み立てることができ，ナット交換が容易にできる。【解決手段】ねじ軸５には，モータ２側の部位に大径ねじ１１が形成され，反対側に小径ねじ１２に形成され，ナット１５又は１６と螺合する右ねじの部位とナット１６又は１５と螺合する左ねじの部位とが長手方向に隣接して形成され，大径ねじ１１に隣接して軸端部５６にベアリング７の内輪３０が当接係止する段部又はフランジ部２０が形成されている。モータ２の回転駆動によってテーブル３，４が互いに近寄った位置で近接状態に，テーブル３，４が互いに遠ざかった位置で開放状態になる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形平面の取付け面を有する長尺状のベッド，前記ベッドの長手方向に沿って直動案内ユニットを介して摺動自在で且つワーク取付け面を備えた一対のテーブル，それぞれの前記テーブルに固定されたナットに螺合し且つ前記ベッド上に回転可能に支持されて前記長手方向に延びるねじ軸，前記ねじ軸の一方の軸端部をベアリングを介して軸支する前記ベッドに固定されたベアリングハウス，及び前記ベアリングハウス内の前記ベアリングに回転自在に支持された前記軸端部の先端部とモータ出力軸とを連結するカップリングを介して前記ねじ軸を回転駆動するモータを備えており，
前記ねじ軸は，前記モータ側の部位に大径ねじが形成され且つ反モータ側の部位に小径ねじに形成され，一方の前記ナットと螺合する右ねじの部位と他方の前記ナットと螺合する左ねじの部位とが前記長手方向に隣接して形成され，及び前記大径ねじに隣接して前記軸端部に前記ベアリングの内輪に端面が当接係止する段部又はフランジ部が形成され，前記モータの回転駆動によって，前記一対のテーブルが互いに近寄った予め決められた所定の位置で近接状態になり，前記一対のテーブルが互いに遠ざかった予め決められた所定の位置で開放状態になることを特徴とする小形開閉スライド装置。
【請求項２】
前記ナットは，前記テーブルに軸方向に貫通して形成された設置孔にそれぞれ配設されて前記ナットの端面に設けた取付け部を介して前記テーブルに固定されており，前記ねじ軸の前記大径ねじに螺合する前記ナットは，前記ねじ軸の前記小径ねじを貫通するサイズに形成されていることを特徴とする請求項１に記載の小形開閉スライド装置。
【請求項３】
前記ねじ軸には，前記大径ねじ及び前記小径ねじのいずれか一方に形成された前記右ねじと他方に形成された前記左ねじとは，同一ピッチで形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の小形開閉スライド装置。
【請求項４】
前記ねじ軸を軸支する前記ベアリングは，一対のアンギュラベアリングで構成され，前記アンギュラベアリングは，前記ねじ軸に形成された前記段部又は前記フランジ部と前記カップリングとによって位置決めして前記ねじ軸に固定されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の小形開閉スライド装置。
【請求項５】
前記ねじ軸の前記フランジ部が前記大径ねじよりも大径に形成されて，前記大径ねじを固定した前記ナットが前記ねじ軸上で規制されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の小形開閉スライド装置。
【請求項６】
前記ねじ軸は，前記段部又はフランジ部の前記端面と前記カップリングの端面とで前記ベアリングの前記内輪を挟持して前記ベアリングに軸支されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の小形開閉スライド装置。
【請求項７】
前記ねじ軸は，すべりねじ形式又はボールを介して前記一対のナットと螺合するボールねじ形式に形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の小形開閉スライド装置。
【請求項８】
前記ボールねじ形式の前記ねじ軸の最小サイズは，前記大径ねじが実質的に外径６ｍｍであり，前記小径ねじが実質的に外径４ｍｍであることを特徴とする請求項７に記載の小形開閉スライド装置。
【請求項９】
前記一対のテーブルがスライド案内される前記直動案内ユニットの周囲部には異物の侵入を防止するために一つのカバーが配設され，前記カバーは，前記カバーに形成された凸部が前記ベッドの前記反モータ側の端面に形成された凹部と前記ベアリングハウスの両側面にそれぞれ形成された凹部とにスナップフィットして固着されて成ることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の小形開閉スライド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は，マイクロマシン，小形工作機械，各種組立装置，半導体製造装置，各種組立装置，試験装置等に使用されるチャック等の開閉動作をする小形開閉スライド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の開閉動作をするスライド装置は，すべりねじを使用しているものが知られている。すべりねじの軸端の外径は，ナットを組み付けるためにねじ軸外径より小さくする必要があった。上記スライド装置は，ダイレクトにカップリング端面でアンギュラベアリングを押して固定した構造であった。軸端の外径部には，アンギュラベアリングを固定するために別部品のカラーを使用するが，モータの回転トルクの方が大きくなり，カラーとアンギュラベアリング端面がすべってしまうことがあった。また，別のスライド装置として，ねじ軸にナットを組み付けた後に，フランジ一体形カラーを使用するものが知られている。このタイプでは，圧入や接着等して固着せねばならず，面倒なものであった。このタイプのスライド装置は，上記のスライド装置と同様に，ねじ軸端の外径もナットを取り付けるために小さくしなくてはいけない。従って，小形スライド装置では，回転サポート用のアンギュラベアリングも内径の小さなものを使用し，カップリングもモータ軸径と異なったサイズにする必要があり，汎用品を使用できず，特殊品として一から製作せねばならずコストがかさむ問題があった。
【０００３】
また，小型スライド装置として，長さ方向における一層の小型化を実現したものが知られている。該小型スライド装置は，モータを駆動してスクリューシャフトを回転させ，スクリューシャフトの回転によってスライドテーブルをレールの軸方向に移動させるものであり，スクリューシャフトには狭持部を設けると共に，該狭持部とカップリング部材との間にベアリングを挟持させたものである。上記小型スライド装置は，ベアリングナットを用いずに，段付きのフランジを一体型のカラーをねじ軸と一体化しているが，圧入のうえ接着せねばならず面倒なものであった（例えば，特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５０４７７４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記小型スライド装置は，アンギュラベアリングの固定用ベアリングナットを使用せずに，ダイレクトにカップリングを組み付けて，テーブル全長を短くしたものであり，テーブルに組み込んだナットは，１つの直動案内ユニットであって，シングルタイプである。そこで，本出願人は，上記の小型スライド装置を利用して１本のねじ軸に一対のスライダを摺動自在に配設し，互いのスライダがねじ軸上で接近したり離間したりする移動ができ，その動きを小さな部品を把持して移動できないかの課題を直面し，一対のテーブルが相対的に移動して開閉動作を行わうタイプに構成することを考えた。
【０００６】
この発明の目的は，小形開閉スライド装置であって，半導体製造装置，各種組立装置，試験装置等の各種装置に使用することができ，ベッドの長手方向に沿って直動案内ユニットを介して往復移動自在な一対のテーブル上にそれぞれチャック等の部品を取り付け，供給位置で小さなワーク（部品）を掴み（把持）したり，組立位置で把持したワーク（部品）を解放するようなチャック等の開閉動作を一対のテーブルに行わせるため，モータの駆動によって対向するテーブルに精確な開閉を行わせるスライド装置に構成されており，所謂，フィンガ等の把持部材を一対のテーブルにそれぞれ取り付けて，モータの駆動によって対向するテーブルが互いに近寄った任意位置で閉状態即ち把持状態に，又は一対のテーブルが互いに遠ざかった任意位置では開状態即ち解放状態に動作させることができる小形開閉スライド装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明は，矩形平面の取付け面を有する長尺状のベッド，前記ベッドの長手方向に沿って直動案内ユニットを介して摺動自在な一対のテーブル，それぞれの前記テーブルに固定されたナットに螺合し且つ前記ベッド上に回転可能に支持されて前記長手方向に延びるねじ軸，前記ねじ軸の一方の軸端部をベアリングを介して軸支する前記ベッドに固定されたベアリングハウス，及び前記ベアリングハウス内の前記ベアリングに回転自在に支持された前記軸端部の先端部とモータ出力軸とを連結するカップリングを介して前記ねじ軸を回転駆動するモータを備えており，
前記ねじ軸は，前記モータ側の部位に大径ねじが形成され且つ反モータ側の部位に小径ねじに形成され，一方の前記ナットと螺合する右ねじの部位と他方の前記ナットと螺合する左ねじの部位とが前記長手方向に隣接して形成され，及び前記大径ねじに隣接して前記軸端部に前記ベアリングの内輪に端面が当接係止する段部又はフランジ部が形成され，前記モータの回転駆動によって，前記一対のテーブルが互いに近寄った予め決められた所定の位置で近接状態になり，前記一対のテーブルが互いに遠ざかった予め決められた所定の位置で開放状態になることを特徴とする小形開閉スライド装置に関する。
【０００８】
この小形開閉スライド装置において，前記ナットは，前記テーブルに軸方向に貫通して形成された設置孔にそれぞれ配設されて前記ナットの端面に設けた取付け部を介して前記テーブルに固定されており，前記ねじ軸の前記大径ねじに螺合する前記ナットは，前記ねじ軸の前記小径ねじを貫通するサイズに形成されている。また，前記ねじ軸には，前記大径ねじ及び前記小径ねじのいずれか一方に形成された前記右ねじと他方に形成された前記左ねじとは，同一ピッチで形成されているものである。
【０００９】
また，前記ねじ軸を軸支する前記ベアリングは，一対のアンギュラベアリングで構成され，前記アンギュラベアリングは，前記ねじ軸に形成された前記段部又は前記フランジ部と前記カップリングとによって位置決めして前記ねじ軸に固定されているものである。更に，前記ねじ軸の前記フランジ部が前記大径ねじよりも大径に形成されて，前記大径ねじを固定した前記ナットが前記ねじ軸上で規制されているものである。
【００１０】
また，前記ねじ軸は，前記段部又はフランジ部の前記端面と前記カップリングの端面とで前記ベアリングの前記内輪を挟持して前記ベアリングに軸支されている。
【００１１】
また，前記ねじ軸は，すべりねじ形式又はボールを介して前記一対のナットと螺合するボールねじ形式に形成されているものである。
【００１２】
また，前記ボールねじ形式の前記ねじ軸の最小サイズは，前記大径ねじが実質的に外径６ｍｍであり，前記小径ねじが実質的に外径４ｍｍである。
【００１３】
また，前記一対のテーブルがスライド案内される前記直動案内ユニットの周囲部には異物の侵入を防止するために一つのカバーが配設され，前記カバーは，前記カバーに形成された凸部が前記ベッドの前記反モータ側の端面に形成された凹部と前記ベアリングハウスの両側面にそれぞれ形成された凹部とにスナップフィットして固着されているものである。
【発明の効果】
【００１４】
この小形開閉スライド装置は，上記のように構成されているので，一対のテーブルにそれぞれ固定したナットをねじ軸の一方のフリー側から容易に組み立てることができ，ナットの交換を容易に行うことができ，また，可及的に最小に小型化可能なスライド装置を構成することができ，スライド装置の姿勢にかかわらず，ねじ軸を軸支可能なベアリングを収容するベアリングハウスをベッドに配設して，ベアリングに端面を当接する段部又はフランジが形成されたねじ軸をベアリングに軸支させた状態で，該ねじ軸に一対のナットを螺入し，その際に，まず，ねじ軸に大径ねじに螺合するナットを固定したテーブルを組み込み，次いでねじ軸に小径ねじに螺合するナットを固定したテーブルを組み込むものであり，更に，ねじ軸に形成された段部又はフランジ部によってねじ軸が堅固にベアリングに軸支され，スライド装置の組立・分解が容易になると共にメンテナンスが容易になっている。また，この小形開閉スライド装置では，ねじ軸が一対のアンギュラベアリングを介してベッドに軸支されているので，ねじ軸が強固に安定してベッドに取り付けられ，一対のテーブルの往復運動が安定して精確に行われる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】この発明による小形開閉スライド装置の一実施例を示し，本体とカバーとを分解した状態であって，本体にはセンサコード，モータコード，レゾルバコード等のコード類が取り除かれた状態を示した斜視図である。
【図２】この小形開閉スライド装置を示す平面図である。
【図３】図２の小形開閉スライド装置の側面図である。
【図４】図２の小形開閉スライド装置のＡ−Ａ断面を示す断面図である。
【図５】図４の小形開閉スライド装置のＢ−Ｂ断面を示す断面図である。
【図６】この小形開閉スライド装置に組み込まれたナットと該ナットが螺入されたねじ軸を示す正面図である。
【図７】図６のナットが螺入されたねじ軸を示す側面図である
【図８】この小形開閉スライド装置における一方のテーブルを示す平面図である。
【図９】図８のテーブルを示す側面図である。
【図１０】この小形開閉スライド装置におけるベアリングハウスを示す側面図である。
【図１１】図１０のベアリングハウスを示す正面図である。
【図１２】この小形開閉スライド装置におけるベッドを示す正面図である。
【図１３】図１２のベッドを示す底面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下，図面を参照して，この発明による小形開閉スライド装置の一実施例を説明する。この小形開閉スライド装置は，半導体製造装置，組立装置，測定・検査装置，試験装置，工作機械等の各種装置にアクチュエータとして組み込んで使用できるものであり，アクチュエータとしての可動なテーブル３，４を種々のストローク長さに構成することができ，使い勝手がよいものになっている。
【００１７】
この発明による小形開閉スライド装置は，概して，図１〜図４に示すように，矩形平面の取付け面１８を有した長尺状のベッド１，ベッド１の長手方向に沿って直動案内ユニット１３，１４を介してスライド自在な一対のテーブル３，４，テーブル３に固定されたナット１５とテーブル４に固定されたナット１６とに螺合して長手方向に延びるねじ軸５，ねじ軸５の一方の軸端部５６をベアリング７を介して軸支するベッド１に固定されたベアリングハウス６，及びベアリングハウス６の嵌入穴３８に配設されたベアリング７，ベアリング７を貫通した軸端部５６の先端部とモータ軸４９とを連結するカップリング８，及びカップリング８を介してねじ軸５を回転駆動する超小形のＡＣサーボモータ，ステッピングモータ，ＤＣモータ等のモータ２を備えている。ベッド１は，ベースに設置して取り付けるため取付けねじ孔３７が形成されている。テーブル３，４には．ナット１５，１６を配設する嵌挿孔３５が形成されている。テーブル３には嵌挿孔３５に嵌合したナット１５が固定され，テーブル４には嵌挿孔３５に嵌合したナット１６が固定されている。ナット１５，１６には雌ねじ３３（図５）がそれぞれ形成され，雌ねじ３３は，互いに左右逆のねじが形成されている。ねじ軸５に形成された雄ねじは，ナット１５，１６に螺入するように，右ねじと左ねじが長手方向に隣接して形成されている。
【００１８】
また，この小形開閉スライド装置において，テーブル３，４には，図８に示すように，上面に長手方向に伸びる凹溝４８の両側にワーク等の部品を取り付けるための取付け面１７が形成され，取付け面１７には  ワーク取付けねじ孔２３及び取付け用孔２２が形成されている。また，テーブル３，４の凹溝４８には，カバー１０のブリッジ部４７が嵌入位置し，カバー１０の長孔４６からテーブル３，４の取付け面１７が突出した状態で長孔４６に沿って取付け面１７が往復移動する。また，テーブル３，４は，その側面にナット１５，１６に設けたフランジ形状の取付け部５０を配設するため凹溝状に形成された収容段部５４が形成されており，収容段部５４には，ナット１５，１６を嵌合配設して固定するための嵌挿孔３５が形成されている。また，取付け部５０には，取付け用孔３２が形成されており，また，収容段部５４には，ナット１５，１６に設けた取付け部５０を固定するための取付け用ねじ孔３４が形成されている。そこで，テーブル３，４の収容段部５４にナット１５，１６の取付け部５０を配設して固定ねじ２７を取付け用孔３２を挿通して取付け用ねじ孔３４に螺入し，テーブル３，４にナット１５，１６を固定することができる。この小形開閉スライド装置には，図２に示すように，センサコード２４，レゾルバコード２５，モータコード２６等のセンサが，モータ２を作動制御し，テーブル３，４を往復移動制御させるため設けられている。
【００１９】
図１３に示すように，ベッド１には，テーブル３，４の摺動移動部にセンサ基板取付け用凹部２８が形成されており，また，長手方向両側に沿って伸びる取付け用孔６３が形成されており，一対の軌道レール１３Ｒが取付け用孔６３に通したねじ（図示せず）によってベッド１に固定されており，１本の軌道レール１３Ｒには，テーブル３に固定されたスライダ１３Ｓとテーブル４に固定されたスライダ１４Ｓとが摺動自在に配設されている。即ち，ベッド１には，一対の直動案内ユニット１３，１４が配設されている。直動案内ユニット１３は，軌道レール１３Ｒと軌道レール１３Ｒ上を摺動移動するスライダ１３Ｓから構成され，また，直動案内ユニット１４は，軌道レール１３Ｒと軌道レール１３Ｒ上を摺動移動するスライダ１４Ｓから構成されている。また，ベッド１には，取付け用孔６４が形成されており，ベアリングハウス６は，取付け用孔６４に通したねじ（図示せず）によってベッド１に固定されている。ベアリングハウス６には，一対のアンギュラベアリングで成るベアリング７が配設されている。ベアリング７は，内輪３０，外輪２１及び内輪３０と外輪２１との間にボール６２が介在して構成されている。更に，ベッド１には，端部に形成された突出部５１に取付け用ねじ孔６５が形成されており，カップリング８が取付け用ねじ孔６５に螺入してねじ（図示せず）によって固定されている。カップリング８の端部はベアリングハウス６に形成されている挿通孔５３に嵌挿している。即ち，ベッド１には，一対の軌道レール１３Ｒ，ベアリングハウス６，及びカップリング８がねじでそれぞれ固定されている。
【００２０】
この小形開閉スライド装置については，特に，ねじ軸５には，右ねじと左ねじとが長手方向に隣接して形成されており，これらの左右ねじに螺合するナット１５，１６にそれぞれ固定されたテーブル３，４は，ねじ軸５の回転によって互いに逆方向に移動して互いに近寄ったり又は離れたりする往復運動をするものである。具体的には，ねじ軸５には，一方のナット１５に螺合する右ねじ及び左ねじのいずれか一方が大径ねじ１１に形成され，他方のナット１６に螺合する他方が小径ねじ１２に形成されており，モータ２側の軸端部５６には，大径ねじ１１に形成され，反モータ２側には小径軸に小径ねじ１２が形成されており，大径ねじ１１に螺合するナット１５は，小径ねじ１２を挿通するサイズに形成されている。また，ねじ軸５は，大径ねじ１１が形成されている部位に続く軸端部５６には，ベアリング７の内輪３０に端面が当接して係止可能な段部又はフランジ部２０が形成されている。即ち，ねじ軸５は，モータ２側に大径ねじ１１が形成され，反モータ２側に小径ねじ１２が形成されている。また，ねじ軸５のフランジ部２０の外周には押さえ板３９が配設されており，押さえ板３９は，アンギュラベアリング７の外輪２１に隣接してベアリングハウス６内にアンギュラベアリング７を収容し，ベアリングハウス６に形成されたねじ孔５５にねじ込んだねじ（図示せず）でベアリングハウス６に固定されている。この小形開閉スライド装置は，可逆回転するモータ２によってねじ軸５が回転させられると，テーブル３，４が互いに反対方向に移動するようになり，モータ２の一方向の回転によってテーブル３，４が接近する方向に移動し，モータ２の反対方向の回転によってテーブル３，４が離間する方向に移動するように作動することになる。
【００２１】
また，この小形開閉スライド装置は，モータ２は，モータブラケット９を介してベッド１に固定されており，モータ２の出力軸４９は，振れ止めのためにサポートベアリング２９によってモータブラケット９に支持されている。モータ２の回転駆動によって一対のテーブル３，４が互いに近寄った予め決められた所定の位置に位置決めされたり，一対のテーブル３，４が互いに遠ざかった予め決められた所定の位置に位置決めされるように構成されていることを特徴としている。それ故に，この小形開閉スライド装置は，テーブル３，４にフィンガ等の把持部材をそれぞれ取り付けて，テーブル３，４を接近する位置へ移動させれば，ワーク等の部品を把持できる閉位置になり，テーブル３，４を遠ざかった位置へ移動させれば，ワーク等の部品を離す開位置になり，開閉スライド装置を構成することができる。
【００２２】
また，ねじ軸５には，右ねじ又は左ねじが形成された大径ねじ１１と，大径ねじ１１とは逆方向の左ねじ又は右ねじが形成された小径ねじ１２とが，同一ピッチで形成されている。例えば，この小形開閉スライド装置がワーク等の部品を把持するチャックに構成された場合に，一対のテーブル３，４即ちフィンガが等速で移動し，ワーク等の部品に対する衝撃等の悪影響を与えることが無く，好ましいものとなる。また，ねじ軸５は，軸端部５６側にフランジ部２０を備えており，フランジ部２０は，大径ねじ１１よりも大径に形成されてフランジ部２０にベアリング７の内輪３０に当接する端面５７が形成されている。また，カップリング８の端部がベアリングハウス６の挿通孔５３に挿通してカップリング８の端面がベアリング７の内輪３０に当接している。即ち，ねじ軸５の段部又はフランジ部２０の端面５７とカップリング８の端面５８とでベアリング７の内輪３０が挟持されており，ねじ軸５は，ベアリング７に軸支されている。また，ねじ軸５は，一対のナット３，４が直接螺合するすべりねじ形式に構成するか，又は，ナット３，４とねじ軸５との間に配設されるボール（図示せず）を介して一対のナット３，４と螺合するボールねじ形式に構成したものである。また，ねじ軸５がボールねじ形式に形成されている場合には，ねじ軸５は，大径ねじ１１がＭ６（外径６ｍｍ）に形成され，また，小径ねじ１２がＭ４（外径４ｍｍ）に形成された場合，装置自体を小型化に形成できるものである。
【００２３】
また，この小形開閉スライド装置は，一対のテーブル３，４がスライド案内される直動案内ユニット１３，１４の周囲部には，塵や粉塵等の異物の侵入を防止するために，カバー１０が配設されている。カバー１０は，両側面５９，一方の端面６１，及び上面６０から形成され，モータ２側の端面と底面が開口した形状であり，上面６０には，テーブル３，４のワーク取付け面１７が挿通する長孔４６がブリッジ部４７の長手方向両側に形成され，長孔４６からテーブル３，４の取付け面１７が露出している。カバー１０は，両側面５９の内側には凸部４１が形成され，端面６１の内側には凸部４３が形成され，上面６０の裏面側には凸部４５が形成されている。また，ベッド１には，反モータ２側の端面にはカバー１０の凸部４３が嵌合する凹部４２が形成され，ベアリングハウス６は，両側面にカバー１０の凸部４１が嵌合する凹部４０が形成され，上面にカバー１０の凸部４５が嵌合する凹部４４が形成されている。従って，カバー１０は，開口したモータ２側の端面と底面とを，ベッド１に配設されたテーブル３，４に覆って配設することによって，ベッド１の凹部４２とベアリングハウス６の両側面の凹部４０と上面の凹部４４とに，スナップフィットして固着される。
【００２４】
この小形開閉スライド装置では，テーブル３，テーブル４，ベッド１，ねじ軸５等の仕様は，例えば，次のように構成することができる。テーブル３，４は，幅１５ｍｍであり，また，テーブル３，４が配設されるベッド１は，幅１５ｍｍに形成され，カバー１０付きの状態で総高さが２０ｍｍであって幅が１７ｍｍ程度に構成されたものである。また，テーブル３，４は，直動案内ユニット１３，１４の軌道レール１３Ｒ上を往復移動するストロークが５ｍｍ程度であり，従って，テーブル３，４間の開閉ストロークが１０ｍｍに構成されている。また，ねじ軸５に形成された大径ねじ１１及び小径ねじ１２は，ねじ仕様が次のように構成されている。ねじ軸５は，小径部のねじ径がＭ４（外径４ｍｍ）であり，ねじのピッチ即ちリードが１ｍｍであり，また，大径部のねじ径がＭ５（外径５ｍｍ）であり，ねじのピッチ即ちリードが１ｍｍに形成されている。ねじ軸５は，全長が５４ｍｍであり，右ねじ部の長さが１８．５ｍｍであり，左ねじ部が１９．５ｍｍに形成されている。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
この発明による小形開閉スライド装置は，半導体製造装置，組立装置，測定・検査装置，試験装置，位置決めテーブル，スライドテーブル等の各種装置に適用して好ましいものである。
【符号の説明】
【００２６】
１      ベッド
２      モータ
３，４    テーブル
５      ねじ軸
６      ベアリングハウス
７      ベアリング
８      カップリング
１０    カバー
１１    大径ねじ
１２    小径ねじ
１３，１４    直動案内ユニット
１３Ｒ  軌道レール
１３Ｓ，１４Ｓ  スライダ
１５，１６    ナット
１７    ワーク取付け面
１８    ベース取付け面
２０    フランジ部
３０    内輪
３５    嵌挿孔
４０，４２，４４    凹部
４１，４３，４５    凸部
４９    モータ出力軸
５０    取付け部
５４    収容段部
５６    軸端部
５７    端面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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