(57)【要約】      （修正有）【課題】ガラス部材を枠状部材の段差部で接合することによってガラス部材に応力が加わりにくく光学装置用カバー部材を提供する。【解決手段】光学装置用カバー部材３であって、第１の開口部３１ａを有し、第１の開口部３１ａが枠状部３１ｂで囲まれた、矩形状の金属フレーム３１と、金属フレーム３１の枠状部３１ｂに設けられた、第１の開口部３１ａに対応しており、四方が側壁で囲まれた第２の開口部３２ａを有するとともに、側壁３２ｃに上面から内壁面にかけて切り欠いてなる段差部３２ｂを有する、平面視において矩形状の枠状部材３２と、第１の開口部３１ａおよび第２の開口部３２ａを塞ぐように、下側主面の外周縁部と側面とがガラス接合材３４を介して段差部３２ｂに接合されたガラス部材３３とを備えている。【選択図】図１
2015195330.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み方向に貫通する第１の開口部を有し、該第１の開口部が枠状部で囲まれた、平面視において矩形状の金属フレームと、
前記金属フレームの前記枠状部に設けられた、前記第１の開口部に対応しており、四方が側壁で囲まれた第２の開口部を有するとともに、前記側壁に上面から内壁面にかけて切り欠いてなる段差部を有する、平面視において矩形状の枠状部材と、
前記第１の開口部および前記第２の開口部を塞ぐように、下側主面の外周縁部と側面とがガラス接合材を介して前記段差部に接合されたガラス部材とを備えていることを特徴とする光学装置用カバー部材。
【請求項２】
前記枠状部材は、対向する一対の側壁において前記側壁の高さが互いに異なっていることを特徴とする請求項１に記載の光学装置用カバー部材。
【請求項３】
前記金属フレームは、前記枠状部の対向する一対の辺部おいて前記枠状部の高さが互いに異なっていることを特徴とする請求項１に記載の光学装置用カバー部材。
【請求項４】
前記ガラス部材は、前記下側主面が水平方向に対して傾いていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光学装置用カバー部材。
【請求項５】
前記金属フレームと前記枠状部材との間に銅板が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の光学装置用カバー部材。
【請求項６】
前記金属フレームは、上面に銅を主成分とする銅層が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の光学装置用カバー部材。
【請求項７】
厚み方向に貫通する第１の開口部を有し、該第１の開口部が枠状部で囲まれた、平面視において矩形状の金属フレームと、
前記金属フレームの前記枠状部に設けられた、前記第１の開口部に対応しており、四方が側壁で囲まれた第２の開口部を有する、平面視において矩形状の枠状部材と、
前記第１の開口部および前記第２の開口部を塞ぐように、下側主面の外周縁部がガラス接合材を介して前記枠状部材に接合されたガラス部材とを備えており、
前記枠状部材は、対向する一対の側壁において前記側壁の高さが互いに異なっていることを特徴とする光学装置用カバー部材。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の光学装置用カバー部材と、
該光学装置用カバー部材によって塞がれた、光学素子の搭載領域を有する光学装置用基体と、
前記搭載領域に設けられた光学素子とを備えており、
前記金属フレームが、前記光学装置用基体に接合されていることを特徴とする光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、プロジェクター等で使用されるミラーデバイス等の光学素子を有する光学装置に用いられるカバー部材等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、例えば、ミラーデバイス等の光学素子を有する光学装置においては、微小なミラーを安定して動作させるために、高い気密性が要求されており、金属フレームにガラス部材を直接接合させた構造を有する光学装置用カバー部材が用いられることがある（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３-２８２７５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記構造とした場合には、安定して気密性を保つために、ガラス部材に圧縮応力が加わり、ガラス部材の内部に応力が残りやすくなる。また、例えば、シームウエルド接合による封止等で金属フレームが変形するとガラス部材に直接応力が加わり、ガラス部材の内部に応力が残りやすくなる。そして、応力が加わった部分では本来のガラス部材の屈折率から屈折率がずれる複屈折という現象が発生しやすくなる。このように、ガラス部材に複屈折が発生すると、ガラス部材を透過する画像の回折角度が部位によって異なるため、映写される画像に歪みが発生しやすくなるという問題点があった。
【０００５】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、段差部を有する枠状部材にガラス接合材を介してガラス部材を接合することによってガラス部材に応力が加わりにくい光学装置用カバー部材および光学装置を提案することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一つの態様による光学素子用カバー部材は、厚み方向に貫通する第１の開口部を有し、該第１の開口部が枠状部で囲まれた、平面視において矩形状の金属フレームと、前記金属フレームの前記枠状部に設けられた、前記第１の開口部に対応しており、四方を側壁で囲まれた第２の開口部を有するとともに、前記側壁に上面から内壁面にかけて切り欠いてなる段差部を有する、平面視において矩形状の枠状部材と、前記第１の開口部および前記第２の開口部を塞ぐように、下側主面の外周縁部と側面とがガラス接合材を介して前記段差部に接合されたガラス部材とを備えていることを特徴とするものである。
【０００７】
本発明の一つの態様による光学装置は、本発明の光学装置用カバー部材と、該光学装置用カバー部材によって塞がれた、光学素子の搭載領域を有する光学装置用基体と、前記搭載領域に設けられた光学素子とを備えており、前記金属フレームが、前記光学装置用基体に接合されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の光学装置用カバー部材によれば、段差部を有する枠状部材にガラス接合材を介してガラス部材を接合することによってガラス部材に応力が加わりにくくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】（ａ）は、本発明の実施形態における光学装置の平面図、（ｂ）は（ａ）に示す光学装置のＡ−Ａにおける縦断面図である。
【図２】図１（ｂ）に示す光学装置において符号Ｂによって示された部分の拡大図である。
【図３】（ａ）は、図１に示す光学装置における光学装置用カバー部材の金属フレームを除いた平面図、（ｂ）は、（ａ）に示す光学装置用カバー部材を裏面から見た裏面図である。
【図４】（ａ）は、図３（ａ）に示す光学装置用カバー部材において符号Ｃによって示された部分の拡大図、（ｂ）は、図３（ｂ）に示す光学装置用カバー部材において符号Ｄによって示された部分の拡大図である。
【図５】（ａ）および（ｂ）は、図１に示す光学装置の他の例を示す断面図である。
【図６】図１に示す光学装置の他の例を示す断面図である。
【図７】（ａ）は、図１示す光学装置における他の光学装置用カバー部材の金属フレームを除いた平面図、（ｂ）は、（ａ）に示す光学装置用カバー部材を裏面から見た裏面図を示している。
【図８】（ａ）は、図７（ａ）に示す光学装置用カバー部材において符号Ｅによって示された部分の拡大図、（ｂ）は、図７（ｂ）に示す光学装置用カバー部材において符号Ｆによって示された部分の拡大図である。
【図９】図１に示す光学装置における他の例の光学装置の符号Ｂによって示された部分の拡大図である。
【図１０】図１に示す光学装置における他の例の光学装置の符号Ｂによって示された部分の拡大図である。
【図１１】（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ図１に示す光学装置の他の例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の例示的な実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明で用いられる図面は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。また、光学装置は、説明の便宜上、直交座標系ｘｙｚを定義するとともに、ｚ方向の正側を上方として、上面（表面）、もしくは下面の語を用いるものとする。
【００１１】
また、実施の形態等の説明において、既に説明した構成と同一もしくは類似する構成については、同一の符号を付して説明を省略することがある。
【００１２】
＜実施の形態１＞
本発明の第１の実施の形態（実施の形態１という）に係る光学装置用カバー部材および光学装置について、図１乃至図４を参照しながら以下に説明する。
【００１３】
本発明の実施の形態１における光学装置用カバー部材３は、図１に示すように、厚み方向に貫通する第１の開口部３１ａを有し、第１の開口部３１ａが枠状部３１ｂで囲まれた、平面視において矩形状の金属フレーム３１と、金属フレーム３１の枠状部３１ｂに設けられた、第１の開口部３１ａに対応しており、四方が側壁で囲まれた第２の開口部３２ａを有するとともに、側壁３２ｃに上面から内壁面にかけて切り欠いてなる段差部３２ｂを有する、平面視において矩形状の枠状部材３２と、第１の開口部３１ａおよび第２の開口部３２ａを塞ぐように、下側主面の外周縁部と側面とがガラス接合材３４を介して段差部３２ｂに接合されたガラス部材とを備えている。
【００１４】
また、光学装置は、光学装置用基体１と、光学装置用基体１に実装された光学素子２と
、光学装置用基体１に接合された光学装置用カバー部材３とを含んでいる。なお、以下の説明では、光学装置用基体１を基体１といい、光学装置用カバー部材３をカバー部材３という場合もある。
【００１５】
基体１は、絶縁体１１と、絶縁体１１の上面、下面または内部に設けられた配線導体（図示せず）と、絶縁体１１の上面に設けられた接合用金属リング１２とを含んでいる。
【００１６】
絶縁体１１は、例えば、セラミック材料から成り、中央の領域に凹部１１aを有してお
り、この凹部１１ａは、光学素子２の搭載領域となる。また、絶縁体１１は、例えば、セラミック材料から成る場合、焼成によって一体的に形成されているものである。また、図１に示すように、光学素子２は、凹部１１ａの底部に搭載されてワイヤボンディング法を用いて基体１１に実装されている。また、絶縁体１１は、凹部１１ａ内に搭載領域を設けているが、これに限らない。絶縁体１１は、凹部を形成せずに、中央領域の平坦部に搭載領域を設けてもよい。
【００１７】
絶縁体１１が、例えば、セラミック材料から成る場合、その例は、酸化アルミニウム（アルミナ：Ａｌ２Ｏ３）質焼結体または窒化アルミニウム（ＡｌＮ）質焼結体等である。絶縁体１１上には、上述の配線導体および接合用メタライズ層等が形成されている。
【００１８】
絶縁体１１は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、まず、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）とシリカ（ＳｉＯ２）、カルシア（ＣａＯ）またはマグネシア（ＭｇＯ）等との原料粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加混合して泥漿状とし、これを周知のドクターブレード法またはカレンダーロール法等を用いてシート状に成形してセラミックグリーンシート（以下、グリーンシートともいう）を得る。
【００１９】
次に、スクリーン印刷法等を用いてグリーンシートの所定位置に、配線導体および接合用メタライズ層となる導体ペースト層を１０（μｍ）〜２０（μｍ）程度の厚みに形成する。
【００２０】
導体ペーストは、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）またはモリブデン−マンガン（Ｍｏ−Ｍｎ）合金等の融点の高い金属粉末と適当な樹脂バインダおよび溶剤とを混練することにより作製される。
【００２１】
次に、適当な打ち抜き加工を用いてグリーンシートの所定位置に凹部１１ａとなる貫通孔を形成し、必要に応じてこれらグリーンシートを重ね合わせて圧着して積層体を作製して、この積層体を１６００（℃）程度の高温で焼成することによって多数個取り状態の母基板が作製される。
【００２２】
次に、上述の母基板は、必要に応じてめっき層がメタライズ層上に設けられる。なお、めっき層は、例えば、ニッケル等の金属材料で形成される。母基板は、接合用メタライズ層上に、例えば、銀銅共晶合金を用いたろう材が組み立て冶具を用いて所定形状に設けられる。そして、銀銅共晶合金のろう材上に、例えば、接続用金属リング１２が配置される。また、接続用金属リング１２は、例えば、ＦｅＮｉ29Ｃｏ17合金を周知のプレス加工法等を用いて所定形状に形成して作製される。なお、接続用金属リング１２は、光学装置用カバー部材３の金属フレーム３１にシームウエルド接合するためのものであり、これによって、光学装置は光学装置用基体１と光学装置用カバー部材３とが接合されて気密封止される。還元雰囲気中で、ろう材の融点を超えた温度に保持することで、絶縁体１１上の接合用メタライズ層と接合用金属リング１２とをろう材を介して接合する。必要に応じて、接続用金属リング１２等にめっき法を用いてニッケルめっき層または金めっき層を形成して、個片に分割することで、基体１となる。
【００２３】
絶縁体１１が酸化アルミニウム質焼結体からなる場合には、絶縁体１１は、機械強度が高いので、反り等が発生しにくく、また、適度な熱伝導率を有しているので、光学素子２が発生する熱を外部に放散しやすくなる。このように、絶縁体１１は、酸化アルミニウム質焼結体である場合には、機械強度、熱伝導率またはコストの観点において好ましいものとなる。
【００２４】
光学素子２は、例えば、ミラーデバイスであり、例えば、ミラーデバイスに入射した光を反射させて画像等をスクリーン上に映写するものである。また、光学素子２は、発光ダイオード等の発光素子であってもよい。
【００２５】
図１に示すように、カバー部材３は、金属フレーム３１と、金属フレーム３１に設けられた枠状部材３２、枠状部材３２に接合されたガラス部材３３とを含んでいる。金属フレーム３１と枠状部材３２とは接合材３５を介して接合されている。
【００２６】
金属フレーム３１は、上面（一方の主面）と下面（他方の主面）とを貫通する第１の開口部３１ａを有し、この第１の開口部３１ａが枠状部３１ｂで囲まれている。このように、金属フレーム３１は、平面視において矩形状であり、厚み方向に貫通して第１の開口部３１ａが中央部に設けられており、第１の開口部３１ａが枠状部３１ｂで囲まれている。また、第１の開口部３１ａは、例えば、矩形状を有している。金属フレーム３１は、外形の一辺の長さが、例えば、１０（ｍｍ）〜３０（ｍｍ）であり、また、第１の開口部３１ａは、一辺の長さが、例えば、５（ｍｍ）〜２０（ｍｍ）で開口されている。
【００２７】
また、金属フレーム３１は、枠状部３１ｂの上面に接合される枠状部材３２、ガラス部材３３および絶縁体１１と類似した熱膨張係数を有するものが好ましい。絶縁体１１は、窒化アルミニウム質焼結体またはアルミナ質焼結体等のセラミックス材料が熱伝導性に優れており、放熱性の点で好ましく、そのため、金属フレーム３１は、窒化アルミニウム質焼結体またはアルミナ質焼結体の熱膨張係数に類似した熱膨張係数を有するものが好ましい。
【００２８】
例えば、42アロイ(熱膨張係数約５．０（×10−６／℃）)またはＦｅＮｉ29Ｃｏ17合金（熱膨張係数約４．８（×10−６／℃））は、窒化アルミニウム質焼結体の熱膨張係数（線熱膨張係数が約４．６（×10−６／℃））またはアルミナ質焼結体の熱膨張係数（線熱膨張係数が約７．２（×10−６／℃））に類似した熱膨張係数を有しており、金属フレーム３１は、42アロイまたはＦｅＮｉ29Ｃｏ17合金を用いるのが好ましい。
【００２９】
また、金属フレーム３１は、従来周知のエッチング法またはプレス加工法等を用いることで、中央部を含む領域に第１の開口部３１ａを有するものとすることができる。
【００３０】
枠状部材３２は、図１に示すように、四方が４つの側壁３２ｃで囲まれており、金属フレーム３１の第１の開口部３１aに対応する第２の開口部３２aを有しており、平面視において矩形状である。また、枠状部材３２は、側壁３２ｃに上面（上部）から内壁面にかけて切り欠いてなる段差部３２ｂを全周にわたって有している。すなわち、枠状部材３２は、上面（上部）から内壁面にかけて、例えば、Ｌ字形状に切り欠くように段差部３２ｂが側壁３２ｃに形成されており、この段差部３２ｂが枠状部材３２の全周にわたって側壁３２ｃの内側に設けられている。また、枠状部材３２は、ガラス部材３３より剛性の高い材料、例えば、絶縁体１１と同じセラミック材料からなる。また、枠状部材３２は、平面視において、一辺の長さが、例えば、８（ｍｍ）〜２７（ｍｍ）である。
【００３１】
枠状部材３２は、例えば、酸化アルミニウム（アルミナ：Ａｌ２Ｏ３、アルミナのヤン
グ率：３７０（Ｇｐａ））質焼結体または窒化アルミニウム（AlＮ、窒化アルミニウムのヤング率：３２０（Ｇｐａ））質焼結体等であり、このように、ガラス部材３３(Ｄ２６
３ガラスのヤング率：７２（Ｇｐａ）)より剛性の高い材料を用いると、ガラス部材３３
に加わる応力を減少させることができるので好ましい。
【００３２】
また、枠状部材３２は、基体１と同様に積層して打ち抜くことで外形および段差部３２ｂを形成してもよく、また、金型を用いて粉体プレス成型することで外形および段差部３２ｂを形成してもよい。その後、基体１と同様に焼成することでセラミックス材料からなる枠状部材３２とすることができる。
【００３３】
枠状部材３２は、側壁３２ｃの下面が金属フレーム３１の枠状部３１ｂに接合されている。すなわち、枠状部材３２は、第２の開口部３２ａが金属フレーム３１の第１の開口部３１ａに対応するように、金属フレーム３１の上面の枠状部３１ｂに接合されている。
【００３４】
ガラス部材３３は、直方体状（板状）であり、図１および図２に示すように、第１の開口部３１ａおよび第２の開口部３２ａを塞ぐように設けられており、下側主面の外周縁部と側面とがガラス接合材３４を介して枠状部材３２の段差部３２ｂに接合されている。これによって、ガラス部材３３は、下側主面のみで枠状部材３２と接合している場合に比べて、加わる応力が分散されるので応力が加わりにくくなる。したがって、光学装置用カバー部材３は、ガラス部材３３に加わる応力を抑制することができる。
【００３５】
また、ガラス部材３３、枠状部材３２、金属フレーム３１および絶縁体１１は、互いに熱膨張係数が類似した材料を用いることが好ましい。また、ガラス部材３３は、複屈折または破損等の可能性を低減させるために、また、温度サイクル等の信頼性を向上させるために、例えば、熱膨張係数が４（×10−６／℃）〜８（×10−６／℃）程度を有するガラス材料を用いるのが好ましい。
【００３６】
ガラス部材３３は、例えば、ＢＫ７（ＨＯＹＡ社製、線熱膨張係数が約７．５（×10−６／℃））またはＤ２６３（ショット社製、線熱膨張係数が約７．２（×10−６／℃））等のガラス材料を用いて、従来周知のダイシング法またはレーザーカット法等を用いることによって矩形状に成形することができる。
【００３７】
また、ガラス部材３３は、図においては、直方体状の各稜線の面取り加工を行っていない形状となっているが、直方体状の各稜線をＣ面またはＲ面で面取り加工することで、例えば、ガラス部材３３の加工によってガラス部材３３を所定の形状にする場合にマイクロクラックからの割れ等を低減させることができる。
【００３８】
ここで、光学装置用カバー部材３および光学装置の製造方法について説明する。
【００３９】
枠状部材３２は、図１および図２に示すように、第２の開口部３２ａを金属フレーム３１の第１の開口部３１ａに対応させて、接合材３５を介して金属フレーム３１上に接合される。なお、接合材３５は、例えば、活性金属ろう材等である。
【００４０】
接合材３５が活性金属ろう材である場合には、そのペーストは、銀および銅粉末、銀−銅合金粉末、またはこれらの混合粉末から成る銀ろう材（例えば、銀：７２質量（％）−銅：２８質量（％））粉末に対して、チタン、ハフニウム、ジルコニウムまたはその水素化物等の活性金属を銀ろう材に対して２〜５質量（％）添加混合して、適当なバインダと有機溶剤、溶媒とを添加混合して、混練することによって製作される。
【００４１】
金属フレーム３１と枠状部材３２とを活性金属ろう材の接合材３５で接合する場合は、
各部材の接合面の少なくとも一方に活性金属ろう材ペーストを周知のスクリーン印刷等を用いて、例えば、３０（μｍ）〜５０（μｍ）の厚さで所定パターンに印刷塗布する。
【００４２】
そして、所定の構造となるように金属フレーム３１を枠状部材３２上に載置した後に、金属フレーム３１に荷重をかけながら、真空中、水素ガス雰囲気または窒素ガス雰囲気等の非酸化性雰囲気中で７８０（℃）〜９００（℃）、１０（分）〜１２０（分）間加熱し、ろう材ペーストの有機溶剤、溶媒、分散剤を気体に変えて発散させるとともにろう材を溶融させることによって接合が行なわれる。また、金属フレーム３１は、ニッケル等のめっき層を設けることによって、腐食を抑制することができるので、例えば、枠状部材３２との接合後にめっき法を用いてニッケル層等を設けるのが好ましい。
【００４３】
ガラス部材３３は、図１および図２に示すように、金属フレーム３１を接合した枠状部材３２の段差部３２ｂにガラス接合材３４を用いて接合される。これによって、金属フレーム３１と、枠状部材３２と、ガラス部材３３とを含むカバー部材３になる。ガラス接合材３４としては、例えば、低融点ガラス等を用いることができる。
【００４４】
ガラス接合材３４は、枠状部材３２またはガラス部材３３と同程度の熱膨張係数を有する材料が好ましい。例えば、ガラス接合材３４として低融点ガラスを用いる場合には、低融点ガラスは、枠状部材３２またはガラス部材３３と同程度の熱膨張係数を有することが好ましい。これによって、ガラス部材３３は、加わる応力が抑制されて、高い接合強度でもって枠状部材３２の段差部３２ｂに接合される。
【００４５】
また、低融点ガラスの熱膨張係数が大きめの場合には、ガラス接合材３４は、コージェライト系化合物等の低熱膨張性の材料をフィラーとして加えて、熱膨張係数を４〜８（×10−６／℃）程度以下とすることによって、ガラス部材３３に加わる応力を抑制するとともに接合強度を向上させることができる。
【００４６】
また、低融点ガラスは、例えば、従来周知の鉛系の低融点ガラスを用いてもよいが、環境に与える影響から、鉛フリーガラスからなるものが好ましい。低融点ガラスは、例えば、約４５０（℃）程度の低温で接合できるビスマス系鉛フリーガラスまたは約４００（℃）程度の低温で接合できる五酸化バナジウム系鉛フリーガラスからなるのが好ましい。
【００４７】
低融点ガラスをガラス接合材３４として使用する場合には、ガラス部材３３の下側主面の外周縁部と側面の全周にわたってスクリーン印刷法を用いて低融点ガラスとなるペーストを形成する。そして、ペーストを加熱して溶剤を蒸発させた後に、金属フレーム３１が接合された枠状部材３２の段差部３２ｂにガラス部材３３を載置して、低融点ガラスの融点以上となる温度に保持して、溶融接着すればよい。それによって、金属フレーム３１と、枠状部材３２と、ガラス部材３３とを含む本発明のカバー部材３となる。
【００４８】
一方、基体１は、図２に示すように、絶縁体１１上に設けられた接合用メタライズ層１３と、ろう材１４によって接合用メタライズ層１３に接合された接合用金属リング１２とを含んでいる。組み立て冶具を用いて接合用メタライズ層１３上に、例えば、銀銅共晶合金から成るろう材１４を配置して、その上に接合用金属リング１２を配置して、還元雰囲気中で、ろう材１４の融点を超えた温度で保持することで、接合用メタライズ層１３と接合用金属リング１２とが接合される。
【００４９】
その後、光学素子２を光学装置用基体１に搭載した後、例えば、光学素子２はワイヤボンディング法を用いてボンディングワイヤで配線導体に電気的に接続される。そして、シームウエルド接合によって、カバー部材３の金属フレーム３１の全周の外縁部と基体１の接合用金属リング１２とが接合される。なお、接合用金属リング１２を用いないダイレク
トシーム接合または電子ビーム接合を用いて光学装置用基体１と光学装置用蓋体３との接合を行ってもよい。このようにして、光学装置は、光学装置用基体１と、光学装置用基体１に実装された光学素子２と、光学装置用基体１に接合された光学装置用カバー部材３とを含んだものとなる。
【００５０】
本実施形態に係る光学装置用カバー部材３では、ガラス部材３３は、図１および図２に示すように、ガラス接合材３４を介して下側主面の外周縁部と側面とが枠状部材３２の段差部３２ｂに接合されており、また、金属フレーム３１とガラス部材３３との間に枠状部材３２が設けられている。したがって、光学装置用カバー部材３は、金属フレーム３１に加わる応力が剛性の高い枠状部材３２によって抑えられ、ガラス部材３３に加わる応力が抑制されるので、ガラス部材３３の応力が加わった部分で発生する複屈折の現象が起こりにくくなる。なお、複屈折とは、本来のガラス部材３３の屈折率から屈折率がずれる現象のことをいう。
【００５１】
また、例えば、光学装置用基体１に金属フレーム３１をシームウエルド接合した場合には局部的に熱が加わるので応力が発生しやすくなるが、光学装置用カバー部材３は、金属フレーム３１に加わる応力が剛性の高い枠状部材３２で抑えられるので、ガラス部材３３に対して応力が分散して加わるようになる。これによって、光学装置用カバー部材３は、ガラス部材３３に加わる応力が分散されることで、ガラス部材３３の破損等が抑えられ、光学装置を光学素子２の気密性が向上した信頼性の高いものとすることができる。また、ガラス部材３３は、加わる応力が抑制されるので、複屈折が抑えられる。したがって、光学装置用カバー部材３は、光学装置を高画質で信頼性の高いものとすることができる。
【００５２】
また、本実施形態に係る光学装置では、例えば、このシームウエルド接合における金属フレーム３１の歪みがガラス部材３３よりヤング率の高い材料からなる枠状部材３２によって抑制されることで、ガラス部材３３にまで応力が伝わりにくくなっており、ガラス部材３３の破損等が抑えられ、気密性を向上させることができる。
【００５３】
また、ガラス接合材３４は、間に設けられて、枠状部材３２とガラス部材３３とを接合しており、枠状部材３２とガラス部材３３との接合強度を向上させるために、図３および図４に示すように、平面視でガラス接合材３４の内周縁が枠状部材３２の第２の開口部３２ａの内側に位置するようにガラス部材３３の下側主面に設けられている。すなわち、ガラス部材３３は、平面視でガラス接合材３４の内周縁が枠状部材３２の内周縁よりも内側に位置するようにガラス接合材３４を介して枠状部材３２の段差部３２ｂに接合されている。なお、図３（ａ）において、枠状部材３２の第２の開口部３２ａの位置を破線で示している。また、図３および図４では、ガラス接合材３４にハッチングを施して示しており、図３（ａ）および図４（ａ）では、説明の便宜上、平面透視においてガラス接合材３４が設けられている領域をハッチングしている。
【００５４】
また、図４に示すように、平面視で枠状部材３２の内周縁とガラス接合材３４の内周縁との距離Ｌは、例えば、０．１（ｍｍ）〜０．５（ｍｍ）である。
【００５５】
本発明は、上述の第１の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の変更、改良等が可能である。以下、他の実施の形態について説明する。なお、他の実施の形態に係る光学装置または光学装置用カバー部材のうち、第１の実施の形態に係る光学装置または光学装置用カバー部材と同様な部分については、同一の符号を付して適宜説明を省略する。
【００５６】
＜実施の形態２＞
本発明の第２の実施の形態（実施の形態２という）に係る光学装置用カバー部材３Ａお
よび３Ｂについて、図５（ａ）および図５（ｂ）を参照しながら以下に説明する。
【００５７】
本発明の実施の形態２における光学装置用カバー部材３Ａは、ガラス部材３３の下側主面が、水平方向に対して傾いて段差部３２ｂに接合されている。また、枠状部材３２は、平面視において矩形状であり、四方が側壁３２ｃで囲まれており、２組の対向する側壁３２ｃで構成されている。
【００５８】
図５（ａ）に示すように、光学装置用カバー部材３Ａでは、枠状部材３２は、ガラス部材３３の下側主面が水平方向に対して傾くように、対向する一対の側壁３２ｃにおいて側壁３２ｃの高さが互いに異なっている。このように、枠状部材３２は、ｘ方向に平行な対向する一対の側壁３２ｃにおいて、側壁３２ｃの高さがｘ方向の正方向に向かうにつれて漸次高くなっており、また、ｙ方向に平行な対向する一対の側壁３２において、側壁３２ｃの高さが互いに異なっている。図５（ａ）に示すように、ｙ方向からの側面視において、枠状部材３２は、右側の側壁３２ｃが高くなるような傾きを有している。
【００５９】
すなわち、枠状部材３２は、２組の対向する側壁３２ｃのうちの一方の組の対向する側壁３２ｃにおいて側壁３２ｃの高さが互いに異なっている。このように、枠状部材３２の側壁３２ｃの高さを異ならせることによって、ガラス部材３３は、主面（下側主面または上側主面）が水平方向に対して傾いて枠状部材３２の段差部３２ｂに接合されることになる。ガラス部材３３は、図５（ａ）に示すように、水平方向に対して、角度αで傾いており、角度αは、例えば、５（度）〜３０（度）である。
【００６０】
また、ガラス部材３３の水平方向に対する傾きに応じて、枠状部材３２は、段差部３２ｂが側壁３２ｃに上面（上部）から内壁面にかけて切り欠いて設けられている。すなわち、枠状部材３２は、段差部３２ｃの切り欠きの形状がガラス部材３３の水平方向に対する傾きに応じて適宜設定される。
【００６１】
例えば、ガラス部材３３は、下側主面が金属フレーム３１の枠状部３１ｂの上面に平行となるように設けると、結果として、光学素子２の上側主面に対して平行に配置されることになる。例えば、外部からガラス部材３３を透過して光学素子２に入射した光は、光学素子２によって反射されて、例えば、ガラス部材３３の外側に配置されたレンズ等に向かって出射される。この出射光は、ガラス部材３３と光学素子２とが平行に配置されていると、一部がガラス部材３３の表面（下側主面または上側主面）で光学素子２に向かって反射されることになる。そして、このガラス部材３３の表面での反射光は、外部から光学素子２に最初に入射した光の入射領域の近傍の領域に入射されやすくなる。
【００６２】
光学素子２が、ミラーデバイスであり、例えば、ミラーデバイスに入射した光を反射させて画像等をスクリーン等に映写するものである場合には、光学素子２とガラス部材３３とが平行に設けられている場合には、ガラス部材３３の表面で反射された反射光が、外部からの入射光が最初に入射した入射領域の近傍の領域のミラーデバイスに入射されやすくなる。したがって、ミラーデバイスに入射された光は、再びミラーデバイスで反射されて、この反射光による画像も本来映写される画像に重なってスクリーンに映写されることになり、スクリーン上で画像が多重に映る現象(いわゆるゴースト現象)が発生しやすくなる。
【００６３】
また、ミラーデバイスが、光信号を扱っている場合には、同様な現象が信号の時間的なずれとなり、ノイズとして発生しやすくなる。
【００６４】
しかしながら、図５（ａ）に示すように、光学装置用カバー部材３Ａは、ガラス部材３３の主面（下側主面または上側主面）が、金属フレーム３１の枠状部３１ｂの上面に対し
傾いている。このような構成にすることによって、外部からガラス部材３２を透過して入射した入射光が光学素子２で反射されて、その反射光がガラス部材３３の表面（下側主面または上側主面）で反射されたとしても、このガラス部材３３の表面で反射された反射光は、ガラス部材３３が光学素子２に対して傾いているため、ガラス部材３３の傾きに応じて反射方向が変わり、最初の入射光が入射した光学素子２の近傍の領域には入射しにくくなる。すなわち、ガラス部材３３の表面での反射光は、外部からの入射光が最初に入射した入射領域の近傍の領域には入射されにくくなる。
【００６５】
したがって、光学素子２が、ミラーデバイスであり、例えば、入射した光を反射させて画像等を映写するものである場合には、光学素子２とガラス部材３３とが傾いて設けられているので、ガラス部材３３の表面で反射された反射光は、外部からの入射光が最初に入射した入射領域の近傍の領域のミラーデバイスに入射しにくくなり、ガラス部材３３の表面で反射された反射光による画像が本来映写される画像に重なってスクリーンに映写されることが抑制されるので、スクリーン上で画像が多重に映る現象(いわゆるゴースト)が発生しにくくなり、より高画質の画像を映写することができる。また、ミラーデバイスが、光信号を扱っている場合でも、同様な現象が信号のノイズとして発生しにくくなるので、より信号のノイズを低減することができる。
【００６６】
また、図５（ａ）では、枠状部材３２は、対向する一対の側壁３２ｃにおいて側壁３２ｃの高さが異なっており、ガラス部材３３の傾きに応じた形状となるように段差部３２ｂが側壁３２ｃに設けられている。また、金属フレーム３１は、実施の形態１と同様に、第１の開口部３１ａを有している。
【００６７】
図５（ａ）では、光学装置用カバー部材３Ａは、接合材３５を介して金属フレーム３１と枠状部材３２とが接合されており、また、ガラス部材３３が枠状部材３２の側壁３２ｃの上面の段差部３２ｂにガラス接合材３４を介して接合されている。また、枠状部材３２は、対応する一対の側壁３２ｃにおいて側壁３２ｃの高さが互いに異なっており、このような形状の枠状部材３２を形成するには、枠状部材３２の段差部３２ｂの傾きの形状に応じた金型を用いて従来周知のプレス加工法によって成形して、焼成すればよい。
【００６８】
図５（ｂ）に示すように、光学装置用カバー部材３Ｂでは、枠状部材３２は、ガラス部材３３の下側主面が水平方向に対して傾くように、対向する一対の側壁３２ｃにおいて側壁３２ｃの高さが互いに異なっている。このように、枠状部材３２は、ｘ方向に平行な対向する一対の側壁３２ｃにおいて、側壁３２ｃの高さがｘ方向の正方向に向かうにつれて漸次高くなっており、また、ｙ方向に平行な対向する一対の側壁３２において、側壁３２ｃの高さが互いに異なっている。図５（ｂ）に示すように、ｙ方向からの側面視において、枠状部材３２は、右側の側壁３２ｃが高くなるような傾きを有している。
【００６９】
すなわち、枠状部材３２は、２組の対向する側壁３２ｃのうちの一方の組の対向する側壁３２ｃにおいて側壁３２ｃの高さが互いに異なっている。このように、枠状部材３２の側壁３２ｃの高さを異ならせることによって、ガラス部材３３は、主面（下側主面または上側主面）が水平方向に対して傾くことになる。また、ガラス部材３３は、第１の開口部３１ａと第２の開口部３２ａを塞ぐように、外周縁部が枠状部材３２の上面にガラス接合材３４を介して接合されている。ガラス部材３３は、下側主面の外周縁部と側面とが枠状部材３２の上面にガラス接合材３４を介して接合されることが好ましい。また、枠状部材３２は、ガラス部材３３の傾きに合わせて傾いている。ガラス部材３３は、図５（ｂ）に示すように、水平方向に対して、角度βで傾いており、角度βは、例えば、５（度）〜３０（度）である。
【００７０】
このように、枠状部材３２は、ガラス部材３３の水平方向に対する傾きに応じて、側壁
３２ｃの上面（上部）が傾いており、側壁３２ｃ上面の傾きは、ガラス部材３３の水平方向に対する傾きに応じてその傾きが適宜設定される。
【００７１】
したがって、光学装置用カバー部材３Ｂは、光学装置用カバー部材３Ａと同様な効果を有しており、ガラス部材３３の表面で反射された反射光は、ガラス部材３３が光学素子２に対して傾いているため、ガラス部材３３の傾きに応じて反射方向が変わり、最初の入射光が入射した光学素子２の近傍の領域には入射しにくくなる。すなわち、ガラス部材３３の表面での反射光は、外部からの入射光が最初に入射した入射領域の近傍の領域には入射されにくくなる。
【００７２】
また、図５（ｂ）では、枠状部材３２は、対向する一対の側壁３２ｃにおいて側壁３２ｃの高さが異なっており、ガラス部材３３の傾きに応じた形状となるように、側壁３２ｃの上面が傾いて設けられている。また、金属フレーム３１は、実施の形態１と同様に、第１の開口部３１ａを有している。
【００７３】
図５（ｂ）では、光学装置用カバー部材３Ｂは、接合材３５を介して金属フレーム３１と枠状部材３２とが接合されており、また、ガラス部材３３が枠状部材３２の側壁３２ｃの上面にガラス接合材３４を介して接合されている。また、枠状部材３２は、対応する一対の側壁３２ｃにおいて側壁３２ｃの高さが互いに異なっており、このような形状の枠状部材３２を形成するには、枠状部材３２の側壁３２ｃの上面の形状に応じた金型を用いて従来周知のプレス加工法によって成形して、焼成すればよい。
【００７４】
＜実施の形態３＞
本発明の第３の実施の形態（実施の形態３という）に係る光学装置用カバー部材３Ｃについて、図６を参照しながら以下に説明する。
【００７５】
本発明の実施の形態３における光学装置用カバー部材３Ｃは、ガラス部材３３の下側主面が、水平方向に対して傾いて段差部３２ｂに接合されている。
【００７６】
図６に示すように、光学装置用カバー部材３Ｃでは、金属フレーム３１は、ガラス部材３３の下側主面が水平方向に対して傾くように、枠状部３１ｂの対向する一対の辺部において枠状部３１ｂの高さが互いに異なっている。このように、枠状部材３２は、ｘ方向に平行な枠状部３１ｂの対向する一対の辺部において、枠状部３１ｂの高さがｘ方向の正方向に向かうにつれて漸次高くなっており、また、ｙ方向に平行な枠状部３１ｂの対向する一対の辺部において、枠状部３１ｂの高さが互いに異なっている。図６に示すように、ｙ方向からの側面視において、金属フレーム３１は、右側の枠状部３１ｂが高くなるような傾きを有している。ガラス部材３３は、図６に示すように、水平方向に対して、角度γで傾いており、角度γは、例えば、５（度）〜３０（度）である。
【００７７】
すなわち、金属フレーム３１は、２組の対向する枠状部３１ｂの辺部のうちの一方の組の対向する枠状部３１ｂの辺部において枠状部３１ｂの高さが互いに異なっている。このように、金属フレーム３１の枠状部３１ｂの高さを対向する一対の辺部で互いに異ならせることによって、ガラス部材３３は、主面（下側主面または上側主面）が水平方向に対して傾くことになる。また、金属フレーム３１は、例えば、厚みが、０．０５（ｍｍ）〜０．２（ｍｍ）である。
【００７８】
光学装置用カバー部材３Ｃは、実施の形態２の光学装置用カバー部材３Ａおよび３Ｂと同様に、ガラス部材３３の主面（下側主面または上側主面）が、光学素子２の上面に対して傾いている。このような構成にすることによって、外部からガラス部材３２を透過して入射した入射光が光学素子２の表面で反射され、その反射光がガラス部材３３の表面（下
側主面または上側主面）で反射されたとしても、ガラス部材３３の表面で反射された反射光は、ガラス部材３３が光学素子２に対して傾いているため、ガラス部材３３の傾きに応じて反射方向が変わり、最初の入射光が入射した光学素子２の近傍の領域には入射しにくくなる。すなわち、ガラス部材３３の表面での反射光は、外部からの入射光が最初に入射した入射領域の近傍の領域には入射されにくくなる。
【００７９】
したがって、光学装置用カバー部材３Ｃは、光学装置用カバー部材３Ａおよび３Ｂと同様な効果を有しており、光学装置は、例えば、光学素子２がプロジェクターまたは通信で使用されるミラーデバイスにおいて、画像が多重に映る現象（いわゆるゴースト）または信号のノイズ等を抑制することができる。
【００８０】
また、図６では、光学装置用カバー部材３Ｃは、接合材３５を介して、傾きを有する金属フレーム３１と枠状部材３２とが接合されており、また、ガラス部材３３が枠状部材３２の側壁３２ｃの上面の段差部３２ｂに、ガラス接合材３４を介して接合されている。金属フレーム３１は、枠状部３１ｂの対向する一対の辺部において枠状部３１ｂの高さが異なっており、このような形状の金属フレーム３１を形成するには、金属フレーム３１の傾きの形状に応じた金型を用いて従来周知のプレス加工法によって成形すればよい。
【００８１】
また、光学装置用カバー部材３Ｃは、金属フレーム３１を用いてガラス部材３３が水平方向に対して傾いており、金属フレーム３１の肉厚を薄くして軽量化することができる。したがって、光学装置用カバー部材３Ｃは、光学装置を軽量化する点においてより好ましい。
【００８２】
また、図６においては、金属フレーム３１は、枠状部３１ｂの高さを異ならせるために、右側の枠状部３１ｂの一部を屈曲させて高くしているが、例えば、図５（ａ）における枠状部材３２の側壁３２ｃのように、右側の枠状部３１ｂの全体が高くなるようにしてもよい。
【００８３】
＜実施の形態４＞
本発明の第４の実施の形態（実施の形態４という）に係る光学装置用カバー部材３Ｄについて、図７および図８を参照しながら以下に説明する。図７（ａ）および図８（ａ）では、説明の便宜上、平面透視においてガラス接合材３４が設けられている領域をハッチングしている。
【００８４】
本発明の実施の形態４における光学装置用カバー部材３Ｄは、実施の形態１の光学装置用カバー部材３よりも枠状部材３２の第２の開口部３２ａの角部の曲率半径Ｒが大きくなっている。また、実施の形態４の技術内容は、実施の形態２および実施の形態３においても適用可能である。
【００８５】
枠状部材３２は、矩形状であり、応力が角部（四隅）に加わりやすく、その応力がガラス接合材３４を介してガラス部材３３に加わりやすい。すなわち、ガラス部材３３は、金属フレーム３１から枠状部材３２の各部位に加わった応力に応じてガラス接合材３４を介して応力が加わりやすく、特に、角部においては、ｘ方向およびｙ方向の両方向から応力が加わるので、角部に加わる応力が大きくなりやすい。これによって、ガラス部材３３は、枠状部材３２と接合している角部の領域において複屈折が発生しやすくなる。すなわち、ガラス部材３３は、角部の領域において複屈折が発生しやすい傾向にある。
【００８６】
しかしながら、図７および図８に示すように、枠状部材３２は、第２の開口３２ａの角部の曲率半径Ｒが大きく設けられており、枠状部材３２の第２の開口部３２ａに対して、平面視において、ガラス接合材３４は、平面視において、角部の領域では、内周縁が第２
の開口部３２ａの外側に位置するように、また、角部以外の領域では、内周縁が第２の開口部３２ａの内側に位置するように設けられている。なお、図７および図８において、枠状部材３２の第２の開口部３２ａの位置を破線で示している。
【００８７】
すなわち、ガラス接合材３４は、平面視において、角部以外の領域では内周縁が第２の開口部３２ａの内側に延出するように設けられており、また、角部の領域では内周縁が第２の開口部３２ａの外側に引っ込むように設けられている。このように、ガラス接合材３４は、角部の領域で内周縁が第２の開口部３２ａの内側に延出していないので、角部の領域でガラス部材３３に加わる応力が大きくなるのを抑制することができる。
【００８８】
このように、光学装置用カバー部材３Ｄは、予め、角部の領域においてガラス接合材３４が第２の開口部３２ａの外側に位置するように設けられている。したがって、光学装置用カバー部材３Ｄは、複屈折がガラス部材３３の角部の領域で発生しても、ガラス接合材３４が第２の開口部３２ａの外側に位置しているので、たとえ、ガラス部材３３の角部で発生する複屈折の面積が同じであっても、ガラス部材３３における複屈折の発生する領域を枠状部材３２の第２の開口部３２ａよりも外側に位置させることができるので好ましい。すなわち、複屈折の発生する領域が第２の開口部３２ａよりも外側に位置することになるので、光学装置用カバー部材３Ｃは、第２の開口部３２ａに位置するガラス部材３３に対して複屈折の影響が及びにくくなる。したがって、光学装置用カバー部材３Ｄは、ガラス部材３３を透過する画像の回折角度が部位によって異なるのを抑制して、映写される画像に歪みを発生しにくくすることができる。
【００８９】
また、枠状部材３２は、第２の開口３２ａの角部の曲率半径Ｒを大きくすることによって、角部の領域において枠状部材３２の占める割合を高くすることができる。すなわち、枠状部材３２は、曲率半径Ｒを大きくすることによって、角部の領域において剛性の高いセラミック材料の占める割合が高くなる。したがって、枠状部材３２は、角部の領域において剛性が高まり、ガラス部材３３に加わる応力を抑制することができるので、ガラス部材３３は、複屈折の発生する領域が減少することになる。また、角部の曲率半径Ｒは、例えば、２（ｍｍ）〜８（ｍｍ）である。
【００９０】
したがって、枠状部材３２は、第２の開口３２ａの角部の曲率半径Ｒを大きくして、ガラス接合材３４は、図６および図７に示すように、平面視で角部の領域では内周縁を第２の開口部３２ａの外側（枠状部材３２の内周縁の外側）に位置するように、また、角部以外の領域では内周縁を第２の開口部３２ａの内側（枠状部材３２の内周縁の内側）に位置するように設けることによって、ガラス部材３３において複屈折が発生しない領域を拡げることができる。
【００９１】
＜実施の形態５＞
本発明の第５の実施の形態（実施の形態５という）に係る光学装置用カバー部材３Ｅについて、図９を参照しながら以下に説明する。また、実施の形態５の技術内容は、実施の形態２乃至実施の形態４においても適用可能である。
【００９２】
本発明の実施の形態５における光学装置用カバー部材３Ｅは、図９に示すように、金属フレーム３１と枠状部材３２との間に銅板３６が設けられており、金属フレーム３１は銅板３６を間に介して枠状部材３２に接合されている。枠状部材３２は、活性金属を含有した活性ろう材からなる接合材３５を介して銅板３６に接合しており、また、銅板３６は、ろう材３７を介して金属フレーム３１に接合している。なお、ろう材３７は、例えば、上述の接合材３５の組成から活性金属を除いた組成で構成されている。
【００９３】
また、銅板３６は、第２の開口部３２ａに対応した開口部３６ａを有しており、外形は
枠状部材３２の外形に対応して形成されており、第２の開口部３２ａに対応させて枠状部材３２に接合している。銅板３６は、少なくとも外周縁部がろう材３７を介して全周にわたって金属フレーム３１の内周縁部と接合している。
【００９４】
例えば、42アロイまたはＦｅＮｉ29Ｃｏ17合金からなる金属フレーム３１とセラミック材料からなる枠状部材３２とを活性金属を含有した接合材３５で接合した場合と比べて、光学装置用カバー部材３Ｅは、銅板３６とセラミック材料から成る枠状部材３２とが活性金属を含有した接合材３５を介して接合されており、接合材３５の活性金属の成分がセラミック材料の表面に緻密な層を形成するため、枠状部材３２のセラミック材料と接合材３５との間の接合強度が高くなる。このように、光学装置用カバー部材３Ｅは、活性ろう材からなる接合材３５を介して金属フレーム３１を枠状部材３２に直接接合した場合よりも、接合強度を高くすることができる。また、銅板３６は柔らかく応力を緩和することができるため、光学装置用カバー部材３Ｅは、温度サイクル等に対して高い信頼性を有することになる。
【００９５】
したがって、光学装置用カバー部材３Ｅは、銅板３６を間に介して金属フレーム３１が枠状部材３２に接合されているので、銅板３６によって応力が緩和されるとともに、枠状部材３２と金属フレーム３１との接合強度が高くなり、枠状部材３２と金属フレーム３１との間の接続信頼性が高くなる。このように、光学装置用カバー部材３Ｅを用いた光学装置は、気密性が高く、高い信頼性を有することになる。
【００９６】
＜実施の形態６＞
本発明の第６の実施の形態（実施の形態６という）に係る光学装置用カバー部材３Ｆについて、図１０を参照しながら以下に説明する。また、実施の形態６の技術内容は、実施の形態２乃至実施の形態４においても適用可能である。
【００９７】
本発明の実施の形態６における光学装置用カバー部材３Ｆは、図１０に示すように、金属フレーム３１は、上面に銅を主成分とする銅層３８が設けられており、この銅層３８を間に介して枠状部材３２に接合されている。このように、枠状部材３２は、活性金属を含有した活性ろう材からなる接合材３５を介して金属フレーム３１の上面の銅層３８に接合されている。なお、銅層３８は、銅を主成分としており、例えば、無酸素銅またはタフピッチ銅等である。また、銅層３８は、例えば、金属フレーム３１となる金属材料の上面にクラッド加工またはめっき法を用いて形成される。そして、その後、従来周知のエッチング法またはプレス加工法等を用いることで、金属フレーム３１は、中央部を含む領域に第１の開口部３１ａが設けられているとともに、枠状部３１ｂの上面に銅層３８が設けられている。銅層３８は、例えば、厚みが、１０（μｍ）〜５０（μｍ）である。
【００９８】
例えば、42アロイまたはＦｅＮｉ29Ｃｏ17合金でできた金属フレーム３１とセラミック材料からなる枠状部材３２とを活性金属を含有した接合材３５で接合した場合と比べて、光学装置用カバー部材３Ｆは、銅層３８が上面に形成された金属フレーム３１と枠状部材３２とが活性金属を含有した接合材３５を介して接合されており、接合材３５の活性金属の成分がセラミック材料の表面に緻密に層を形成するため、枠状部材３２のセラミック材料と接合材３５との間の接合強度が高くなる。このように、金属フレーム３１を活性ろう材からなる接合材３５を介して枠状部材３２に直接接合した場合よりも、光学装置用カバー部材３Ｆは、接合強度を高くすることができる。
【００９９】
したがって、光学装置用カバー部材３Ｆは、銅層３８を間に介して金属フレーム３１が枠状部材３２に接合されているので、銅層３８によって応力が緩和されるとともに、枠状部材３２と金属フレーム３１との接合強度が高くなり、枠状部材３２と金属フレーム３１との間の接続信頼性が高くなる。このように、光学装置用カバー部材３Ｆを用いた光学装
置は、気密性が高く、高い信頼性を有することになる。
【０１００】
本発明は、上述した実施の形態１乃至実施の形態６に特に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変更および改良が可能である。
【０１０１】
図１１（ａ）に示す例においては、枠状部材３２は、枠状部３１ｂの下面に接合されている。このような構成により、金属フレーム３１や接合用金属リング１２の表面の一部は、枠状部材３２で覆われるので、金属フレーム３１や接合用金属リング１２の表面のうち光学装置用基体１の内部空間に露出している部分が減少する。よって、金属フレーム３１や接合用金属リング１２の内面の不要反射光が減少すると共に、セラミックの枠状部材３２が不要光を吸収するので、ノイズが減少し画質が向上する。また、金属フレーム３１の上面に枠状部材３２を接合する場合より装置全体の高さを抑えることができる。
【０１０２】
図１１（ｂ）に示す例においては、枠状部材３２は、側壁３２ｃに下面（下部）から外壁面にかけて切り欠いてなる段差部３２ｄを全周にわたって有している。また、金属フレーム３１の上面は、段差部３２ｄに接合されている。このような構成により、枠状部材３２の剛性を確保しつつ、光学装置用基体１の上にカバー部材３が突出する寸法を減らすことができるようになる。また、光学装置用基体１の内部空間において、金属フレーム３１の内側端部は、段差部３２ｄによって部分的に遮蔽されるので、金属フレーム３１や接合用金属リング１２の内面の不要反射光の影響を小さくすることができる。
【０１０３】
図１１（ｃ）に示す例においては、枠状部材３２は、側壁３２ｃに上面（上部）から外壁面にかけて切り欠いてなる段差部３２ｄを全周にわたって有している。また、金属フレーム３１の下面は、段差部３２ｄに接合されている。このような構成により、上述したように不要反射光を大幅に減少できることに加え、キャビティ内の容積を確保しつつ光学装置用基体１の厚みを薄くできるので光学装置用基体１の剛性を低下させることができ、ガラス部材３３に加わる応力を抑え気密信頼性がより向上する。
【符号の説明】
【０１０４】
１  光学装置用基体
１１  絶縁体
１２  接合用金属リング
２  光学素子
３、３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ、３Ｅ、３Ｆ  光学装置用カバー部材
３１  金属フレーム
３１ａ  第１の開口部
３１ｂ  枠状部
３２  枠状部材
３２ａ  第２の開口部
３２ｂ  段差部
３２ｃ  側壁
３２ｄ  段差部
３３  ガラス部材
３４  ガラス接合材
３５  接合材
３６  銅板
３７  ろう材
３８  銅層
【図１】
2015195330.tif 000003
【図２】
2015195330.tif 000004
【図３】
2015195330.tif 000005
【図４】
2015195330.tif 000006
【図５】
2015195330.tif 000007
【図６】
2015195330.tif 000008
【図７】
2015195330.tif 000009
【図８】
2015195330.tif 000010
【図９】
2015195330.tif 000011
【図１０】
2015195330.tif 000012
【図１１】
2015195330.tif 000013