(57)【要約】【課題】一つの側面として、波長毎の蛍光画像を同時に取得するためのコストを低減することを目的とする。【解決手段】カメラ２６は、複数の画素５０Ａ，５０Ｂを有する。一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂは、樹脂３６と一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂとの間の光路上に配置され、互いに異なる波長の光をそれぞれ透過する。一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂは、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂと複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂとの間の光路上に配置され、入射光を偏光方向が互いに異なる二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂに変換する。複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂは、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのそれぞれに対応して設けられ、二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂの各々をそれぞれ透過する。【選択図】図１
2015141038.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素を有し、樹脂で発生した蛍光を撮影するカメラと、
前記樹脂と前記カメラとの間の光路上に配置され、互いに異なる波長の光をそれぞれ透過する複数のフィルタと、
前記樹脂と前記カメラとの間の光路上に配置され、入射光を偏光方向が互いに異なる複数の偏光光に変換する偏光部と、
前記複数のフィルタ及び前記偏光部と前記カメラとの間の光路上に配置されると共に、前記複数の画素のそれぞれに対応して設けられ、前記複数のフィルタ及び前記偏光部を通過することで波長毎に偏光方向が互いに異なる複数の偏光光の各々をそれぞれ透過する複数の偏光子と、
を備える樹脂硬化状態モニタリング装置。
【請求項２】
前記複数のフィルタは、互いに異なる波長の光をそれぞれ透過する一対のフィルタであり、
前記偏光部は、前記一対のフィルタと前記カメラとの間、又は、前記樹脂と前記一対のフィルタとの間の光路上に配置され、互いに偏光方向が異なる一対の第一偏光子を有し、
前記複数の偏光子は、前記一対の第一偏光子における一方の偏光方向と対応する偏光方向を有する複数の偏光子と、前記一対の第一偏光子における他方の偏光方向と対応する偏光方向を有する複数の偏光子とを含む複数の第二偏光子を有する、
請求項１に記載の樹脂硬化状態モニタリング装置。
【請求項３】
前記複数のフィルタは、互いに異なる波長の光をそれぞれ透過する一対のフィルタであり、
前記偏光部は、前記樹脂と前記一対のフィルタとの間、又は、前記一対のフィルタと前記カメラとの間の光路上に配置された偏光ビームスプリッタを有し、
前記複数の偏光子は、前記偏光ビームスプリッタにおける一方の偏光方向と対応する偏光方向を有する複数の偏光子と、前記偏光ビームスプリッタにおける他方の偏光方向と対応する偏光方向を有する複数の偏光子とを含む、
請求項１に記載の樹脂硬化状態モニタリング装置。
【請求項４】
前記カメラで取得した波長毎の蛍光画像から前記樹脂の硬化度を算出する制御部をさらに備える、
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の樹脂硬化状態モニタリング装置。
【請求項５】
樹脂で発生した蛍光を、波長毎に偏光方向が互いに異なる複数の偏光光に変換し、
前記複数の偏光光の各々をカメラに設けられた複数の画素でそれぞれ検出させる、
樹脂硬化状態モニタリング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願の開示する技術は、樹脂硬化状態モニタリング装置及び樹脂硬化状態モニタリング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂の硬化状態をモニタリングする樹脂硬化状態モニタリング装置としては、次のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。すなわち、この樹脂硬化状態モニタリング装置は、ダイクロイックミラーと、一対のフィルタと、一対のカメラとを備える。
【０００３】
この樹脂硬化状態モニタリング装置において、樹脂で発生した蛍光は、波長に応じて、ダイクロイックミラーを透過する光と、ダイクロイックミラーで反射される光とに分割される。ダイクロイックミラーを透過する光は、一方のフィルタを通過した後、一方のカメラにて検出される。また、ダイクロイックミラーで反射される光は、他方のフィルタを通過した後、他方のカメラにて検出される。そして、このようにして一対のカメラにより波長毎の蛍光画像が同時に取得される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１３７１９９号公報
【特許文献２】特開２０１３−１６７５４２号公報
【特許文献３】特開２０１３−１７８１７５号公報
【特許文献４】特公平６−１０６５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の樹脂硬化状態モニタリング装置では、波長毎の蛍光画像を同時に取得するために一対のカメラを用いるため、コストアップになる。
【０００６】
そこで、本願の開示する技術は、一つの側面として、波長毎の蛍光画像を同時に取得するためのコストを低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本願の開示する技術の一観点によれば、カメラと、複数のフィルタと、偏光部と、複数の偏光子とを備える樹脂硬化状態モニタリング装置が提供される。カメラは、複数の画素を有し、樹脂で発生した蛍光を撮影する。複数のフィルタは、樹脂とカメラとの間の光路上に配置され、互いに異なる波長の光をそれぞれ透過する。偏光部は、樹脂とカメラとの間の光路上に配置され、入射光を偏光方向が互いに異なる複数の偏光光に変換する。複数の偏光子は、複数のフィルタ及び偏光部とカメラとの間の光路上に配置されると共に、複数の画素のそれぞれに対応して設けられる。この複数の偏光子は、複数のフィルタ及び偏光部を通過することで波長毎に偏光方向が互いに異なる複数の偏光光の各々をそれぞれ透過する。
【０００８】
また、本願の開示する技術の他の一観点によれば、樹脂で発生した蛍光を、波長毎に偏光方向が互いに異なる複数の偏光光に変換し、複数の偏光光の各々をカメラに設けられた複数の画素でそれぞれ検出する樹脂硬化状態モニタリング方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本願の開示する技術によれば、波長毎の蛍光画像を同時に取得するためのコストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第一実施形態に係る樹脂硬化状態モニタリング装置を示す図である。
【図２】フィルタユニット及び第一偏光ユニットを示す図である。
【図３】第二偏光ユニット及びカメラを示す図である。
【図４Ａ】カメラで取得された蛍光画像から波長毎の蛍光画像が抽出される様子を説明する図である。
【図４Ｂ】波長毎に得られた複数の画素の各々における階調度から硬化度画像が作成される様子を説明する図である。
【図５Ａ】サンプル樹脂における蛍光強度と波長との関係を示す図である。
【図５Ｂ】サンプル樹脂における硬化開始後の経過時間と硬化度との関係を示す図である。
【図６】フィルタ交換時の校正方法を説明する第一説明図である。
【図７】フィルタ交換時の校正方法を説明する第二説明図である。
【図８】フィルタ交換時の校正方法を説明する第三説明図である。
【図９】フィルタ交換時の校正方法を説明する第四説明図である。
【図１０】第二実施形態に係る樹脂硬化状態モニタリング装置を示す図である。
【図１１】第三実施形態に係る樹脂硬化状態モニタリング装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
［第一実施形態］
はじめに、本願の開示する技術の第一実施形態を説明する。
【００１２】
図１に示されるように、第一実施形態に係る樹脂硬化状態モニタリング装置１０は、ステージ１２と、光源１４と、対物レンズ１６と、結像レンズ１８と、フィルタユニット２０と、第一偏光ユニット２２と、第二偏光子ユニット２４と、カメラ２６を備える。また、この樹脂硬化状態モニタリング装置１０は、制御部２８を備える。制御部２８は、光源制御部３０と、画像入力部３２と、画像処理部３４とを有する。
【００１３】
ステージ１２上には、樹脂３６が付着した観察対象物３８が載置される。樹脂３６には、一例として、紫外線で硬化する光硬化性樹脂（光硬化接着剤）が用いられる。光源１４は、光源制御部３０から出力される信号により点灯して光を出射する。光源１４から出射される光には励起光となる紫外線が含まれる。この光源１４としては、例えば、水銀ランプやレーザダイオード等が使用される。光源１４から樹脂３６に光が照射されると、これに伴い樹脂３６から蛍光が発生する。
【００１４】
ステージ１２、光源１４、及び、光源制御部３０は、樹脂３６を硬化させる装置（例えば観察対象物３８が被製造物である場合に観察対象物３８を製造する製造装置）の構成要素に含まれても良い。この場合、ステージ１２、光源１４、及び、光源制御部３０は、樹脂硬化状態モニタリング装置１０の構成要素に含まれなくても良い。
【００１５】
フィルタユニット２０及び第一偏光ユニット２２は、樹脂３６とカメラ２６との間の光路上に配置される。第一実施形態では、一例として、第一偏光ユニット２２がフィルタユニット２０に対してカメラ２６側に位置されており、第一偏光ユニット２２は、フィルタユニット２０とカメラ２６との間の光路上に配置される。フィルタユニット２０と樹脂３６との間の光路上には、対物レンズ１６が配置され、第一偏光ユニット２２とカメラ２６との間の光路上には、結像レンズ１８が配置される。上述のフィルタユニット２０及び第一偏光ユニット２２は、より具体的には、対物レンズ１６の開口絞りの位置に配置される。
【００１６】
フィルタユニット２０は、複数のフィルタの一例である一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂを有する（図２も参照）。この一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂは、上述の光路の軸方向と直交する方向に並んで配置される。この一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂは、互いに異なる波長特性を有しており、互いに異なる波長の光をそれぞれ透過する。一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂで透過させる光の波長は、樹脂３６の種類に基づいて後述する方法により適宜選択される。
【００１７】
第一偏光ユニット２２は、互いに偏光方向が９０度異なる一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂを有する。一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂは、偏光部の一例であり、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂにそれぞれ対応して配置される（図２も参照）。この一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂには、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂを透過した光が入射され、この一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂに入射された光は、偏光方向が互いに９０度異なる二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂ（Ｓ偏光光及びＰ偏光光）に変換される。つまり、第一実施形態において、上述の樹脂３６で発生した蛍光は、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂ及び一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂを通過することで波長毎に偏光方向が互いに異なる二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂに変換される。この二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂは、複数の偏光光の一例である。
【００１８】
第二偏光子ユニット２４は、第一偏光ユニット２２とカメラ２６との間の光路上に配置される。第一実施形態では、一例として、第二偏光子ユニット２４は、カメラ２６の撮像面に対向する。カメラ２６は、複数の画素５０Ａ，５０Ｂ（複数の画素５０Ａ及び複数の画素５０Ｂ）を有する。この複数の画素５０Ａ，５０Ｂは、上述の光路の軸方向と直交する二次元方向に配列される。第二偏光子ユニット２４は、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのそれぞれに対応して設けられた複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂ（複数の第二偏光子５２Ａ及び複数の第二偏光子５２Ｂ）を有する。つまり、この複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂは、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのそれぞれと対向する（図３も参照）。
【００１９】
複数の第二偏光子５２Ａは、上述の一方の第一偏光子４６Ａの偏光方向と対応する偏光方向を有し、複数の第二偏光子５２Ｂは、上述の他方の第一偏光子４６Ｂと対応する偏光方向を有する。この場合における偏光方向と対応する偏光方向とは、両偏光方向が同じであることを意味する。複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂは、二次元方向に隣り合う同士で互いに偏光方向が９０度異なる。
【００２０】
そして、上述の二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂの各々は、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂをそれぞれ透過する。つまり、一方の偏光光４８Ａは、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂのうち他方の第二偏光子５２Ｂにより遮断されるが、一方の第二偏光子５２Ａを透過する。これに対し、他方の偏光光４８Ｂは、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂのうち一方の第二偏光子５２Ａにより遮断されるが、他方の第二偏光子５２Ｂを透過する。
【００２１】
また、複数の第二偏光子５２Ａを透過した一方の偏光光４８Ａは、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち一方の画素５０Ａで検出され、複数の第二偏光子５２Ｂを透過した他方の偏光光４８Ｂは、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち他方の画素５０Ｂで検出される。このようにして樹脂３６で発生した蛍光がカメラ２６で撮影され、このカメラ２６で蛍光画像が取得される。
【００２２】
画像入力部３２には、カメラ２６で取得された蛍光画像が入力され、画像処理部３４では、後に詳述する如くカメラ２６で取得された蛍光画像から樹脂３６の硬化度が算出される。この画像入力部３２、画像処理部３４、及び、上述の光源制御部３０を有する制御部２８は、例えば演算素子や記憶装置などを有する電子回路により構成される。
【００２３】
続いて、第一実施形態に係る樹脂硬化状態モニタリング装置１０を用いる樹脂硬化状態モニタリング方法について説明する。
【００２４】
先ず、樹脂３６が付着した観察対象物３８がステージ１２上に載置される。そして、光源制御部３０から出力される信号により光源１４が点灯して、光源１４から光が出射される。光源１４から樹脂３６に光が照射されると、これに伴い樹脂３６から蛍光が発生する。
【００２５】
樹脂３６で発生した蛍光は、対物レンズ１６を透過し、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂに入射する。一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂに入射された蛍光には、複数の波長の光が含まれており、この複数の波長の光のうち互いに波長が異なる一対の光が一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂをそれぞれ透過する。
【００２６】
一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂを透過した互いに異なる波長の一対の光は、一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂにそれぞれ入射される。一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂにそれぞれ入射された一対の光は、偏光方向が互いに９０度異なる二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂに変換される。このように、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂ及び一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂを通過することで波長毎に偏光方向が互いに９０度異なる二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂ（Ｓ偏光光及びＰ偏光光）が生成される。
【００２７】
この波長毎に偏光方向が互いに９０度異なる二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂは、結像レンズ１８を透過した後、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂに到達する。そして、この二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂの各々は、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂをそれぞれ透過する。つまり、一方の偏光光４８Ａは、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂのうち他方の第二偏光子５２Ｂにより遮断されるが、一方の第二偏光子５２Ａを透過する。これに対し、他方の偏光光４８Ｂは、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂのうち一方の第二偏光子５２Ａにより遮断されるが、他方の第二偏光子５２Ｂを透過する。
【００２８】
そして、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂを透過した一方の偏光光４８Ａは、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち一方の画素５０Ａで検出される。また、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂを透過した他方の偏光光４８Ｂは、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち他方の画素５０Ｂで検出される。
【００２９】
このように、第一実施形態では、樹脂３６で発生した蛍光が、波長毎に偏光方向が互いに９０度異なる二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂに変換され、この二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂの各々がカメラ２６に設けられた複数の画素５０Ａ，５０Ｂでそれぞれ検出される。また、カメラ２６では、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち隣り合う画素同士で互いに波長が異なる偏光光が検出される。
【００３０】
そして、上述のように複数の画素５０Ａ，５０Ｂで受光されることにより、カメラ２６で蛍光画像が取得され、この蛍光画像は、画像入力部３２に入力される。この蛍光画像は、樹脂３６の硬化開始後における任意の経過時間毎に取得される。また、画像処理部３４では、カメラ２６で取得された蛍光画像から樹脂３６の硬化度が以下の要領で算出される。
【００３１】
図４Ａに示されるように、上述のカメラ２６で取得された蛍光画像５４には、一方の波長の蛍光画像５６Ａと、他方の波長の蛍光画像５６Ｂが含まれる。画像処理部３４では、カメラ２６で取得された蛍光画像５４から、一方の波長の蛍光画像５６Ａと、他方の波長の蛍光画像５６Ｂとがそれぞれ抽出される。
【００３２】
一方の波長の蛍光画像５６Ａでは、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち受光に応じて一方の画素５０Ａから出力された出力値が含まれるが、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち受光していない他方の画素５０Ｂの出力値は含まれていない。これに対し、他方の波長の蛍光画像５６Ｂでは、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち受光していない一方の画素５０Ａの出力値は含まれていないが、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち受光に応じて他方の画素５０Ｂから出力された出力値が含まれる。
【００３３】
そして、画像処理部３４では、カメラ２６で取得した波長毎の蛍光画像５６Ａ，５６Ｂから波長毎の複数の画素５０Ａ，５０Ｂの各々における階調度が算出される。蛍光画像５４における各画素の階調度Ｉ、一方の波長の蛍光画像５６Ａにおける各画素５０Ａの階調度Ｉａ、及び、他方の波長の蛍光画像５６Ｂにおける各画素５０Ｂの階調度Ｉｂは、以下の式１〜式３で表される。ｘ，ｙは、複数の画素５０Ａ，５０Ｂにおける二次元方向（Ｘ−Ｙ座標）の位置を示している。以下の式１〜式３で表される階調度は、各画素５０Ａ，５０Ｂから受光に応じて出力された実際の出力値である。
【００３４】
［式１］
Ｉ（ｘ，ｙ）
ｘ＝｛０，１，・・・，Ｍ｝、ｙ＝｛０，１，・・・，Ｎ｝
【００３５】
［式２］
Ｉａ（ｘ，ｙ）＝Ｉ（ｘ，ｙ）
ｘが偶数のときｙ＝２ｎ＋１、ｘが奇数のときｙ＝２ｎ
ｎ＝｛０，１，・・・，Ｎ／２｝
【００３６】
［式３］
Ｉｂ（ｘ，ｙ）＝Ｉ（ｘ，ｙ）
ｘが奇数のときｙ＝２ｎ＋１、ｘが偶数のときｙ＝２ｎ
ｎ＝｛０，１，・・・，Ｎ／２｝
【００３７】
続いて、画像処理部３４では、受光していない画素の階調度の補間が行われる。図４Ｂに示される一方の波長の蛍光画像５６Ａにおいて受光していない画素５０Ｂの階調度Ｉａ、及び、他方の波長の蛍光画像５６Ｂにおいて受光していない画素５０Ａの階調度Ｉｂには、以下の式４，式５で表される補間値が採用される。第一実施形態では、一例として、各画素５０Ａ，５０Ｂについて該画素に隣接する複数の画素５０Ａ，５０Ｂから受光に応じて出力された出力値の平均が補間値とされる。隣接する画素が４つの場合には、式４，式５が使用される。
【００３８】
［式４］
2015141038.tif 000003
Ｚ＝｛−１，１｝
ｘが奇数のときｙ＝２ｎ＋１、ｘが偶数のときｙ＝２ｎ
ｎ＝｛０，１，・・・，Ｎ／２｝
【００３９】
［式５］
2015141038.tif 000004
Ｚ＝｛−１，１｝
ｘが偶数のときｙ＝２ｎ＋１、ｘが奇数のときｙ＝２ｎ
ｎ＝｛０，１，・・・，Ｎ／２｝
【００４０】
そして、以上の要領により、画像処理部３４では、波長毎に、画素５０Ａ，５０Ｂから受光に応じて出力された出力値が該画素における階調度とされると共に受光しない画素については補間値が階調度とされる。つまり、一方の波長の蛍光画像５６Ａについては、画素５０Ａから受光に応じて出力された出力値が該画素５０Ａにおける階調度とされると共に受光しない画素５０Ｂについては補間値が階調度とされる。同様に、他方の波長の蛍光画像５６Ｂについては、画素５０Ｂから受光に応じて出力された出力値が該画素５０Ｂにおける階調度とされると共に受光しない画素５０Ａについては補間値が階調度とされる。
【００４１】
続いて、画像処理部３４では、上述の如く一方の波長の蛍光画像５６Ａと他方の波長の蛍光画像５６Ｂとについて複数の画素５０Ａ，５０Ｂの各々における階調度（出力値又は補間値）が得られた後、樹脂３６の硬化度が算出される。つまり、画像処理部３４では、波長毎の複数の画素５０Ａ，５０Ｂの各々における階調度から硬化度の分布を表す硬化度画像５８（図４Ｂ参照）が作成される。この硬化度画像５８は、上述の蛍光画像５４が取得される毎、すなわち、樹脂３６の硬化開始後における任意の経過時間毎に作成される。この硬化度画像５８における各画素５０Ａ，５０Ｂの硬化度ｇは、以下の式６で表される。
【００４２】
［式６］
2015141038.tif 000005
【００４３】
そして、以上の要領により、画像処理部３４では、樹脂３６の硬化開始後における任意の経過時間毎に、カメラ２６で取得した波長毎の蛍光画像５６Ａ，５６Ｂから樹脂３６の硬化度が算出される（硬化度画像５８が作成される）。
【００４４】
なお、上述の一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂで透過する光の波長は、樹脂３６の種類に応じて以下の要領で選定される。
【００４５】
つまり、先ず、観察対象物３８に使用される樹脂３６と同一材料であるサンプル樹脂が使用される。そして、このサンプル樹脂の硬化開始後における任意の経過時間毎に、サンプル樹脂で発生する蛍光の蛍光強度と波長との関係が測定される。蛍光強度は、分光計を用いて測定される。
【００４６】
この測定結果の一例として、図５Ａには、任意の経過時間ｔ１，ｔ２について蛍光強度と波長との関係が示されている。図５Ａにおいて、グラフＧ１は、経過時間ｔ１における測定結果であり、グラフＧ２は、経過時間ｔ２における測定結果である。図５Ａに示されるように、任意の経過時間ｔ１から任意の経過時間ｔ２に移行することに伴い蛍光強度と波長との関係は推移する。
【００４７】
続いて、上述の蛍光強度と波長との関係から任意の経過時間毎に任意で選択した複数の波長について蛍光の蛍光強度からサンプル樹脂の硬化度が算出される。図５Ｂには、上記要領で算出した経過時間と硬化度との関係が示されている。図５Ｂにおいて、グラフＧｙは、経過時間ｔ１からｔｎの間において経過時間の増加に伴い硬化度が単調増加する波長に関する計算結果を示し、グラフＧＮは、経過時間ｔ１からｔｎの間において経過時間が増加しても硬化度が単調増加しない波長に関する計算結果を示している。このように、経過時間と硬化度との関係においては、経過時間ｔ１からｔｎの間において経過時間の増加に伴い硬化度が単調増加する波長と、経過時間が増加しても硬化度が単調増加しない波長とが存在する。
【００４８】
このようにして、上述の任意で選択した複数の波長について経過時間と硬化度との関係が算出され、この複数の波長のうち経過時間の増加に伴い硬化度が単調増加する波長が複数選択される。この複数の波長は、例えば、図５Ａに示されるピーク値の前後から一つずつ選択される。
【００４９】
そして、上述の要領で選択した複数の波長が、上述の如く樹脂硬化状態モニタリング装置１０によって樹脂３６の硬化状態をモニタリングする際に使用される。つまり、上述の一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂには、上述のようにして選択された波長に対応する波長特性を有するものが使用される。
【００５０】
また、このようにして樹脂３６の種類の変更に伴い一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂの種類が変更された場合、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂの波長特性が変更前と変更後とで変化する。また、一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂ及び複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂは、波長依存性を有する場合がある。そこで、以下の要領にてカメラ２６の出力値の校正が行われる。なお、以下の説明において、図６〜図９に示されない樹脂硬化状態モニタリング装置１０の構成要素については、図１を適宜参照することにする。
【００５１】
先ず、図６に示されるように、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂのうち一方の波長の偏光光を透過する第二偏光子５２Ａが用いられると共に、光源１４の代わりに標準光源６０が用いられる。また、標準光源６０とカメラ２６との間の光路上には、一方のフィルタ４４Ａ及び一方の第一偏光子４６Ａ（偏光部）が設けられる。そして、この一方のフィルタ４４Ａ及び一方の第一偏光子４６Ａを通過した一方の波長の偏光光についてカメラ２６の出力値ＩＡが求められる。
【００５２】
また、図７に示されるように、上述の樹脂硬化状態モニタリング装置１０において光源１４及びカメラ２６の代わりに標準光源６０及び分光計６２が用いられると共に、分光計６２のヘッド６４に複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂのうち一方の波長の偏光光を透過する第二偏光子５２Ａが取り付けられる。そして、この状態で、一方の波長の偏光光について分光計６２の第一積算値ＯＡが求められる。
【００５３】
さらに、図８に示されるように、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂのうち他方の波長の偏光光を透過する第二偏光子５２Ｂが用いられると共に、光源１４の代わりに標準光源６０が用いられる。また、標準光源６０とカメラ２６との間の光路上には、他方のフィルタ４４Ｂ及び他方の第一偏光子４６Ｂ（偏光部）が設けられる。そして、この他方のフィルタ４４Ｂ及び他方の第一偏光子４６Ｂを通過した他方の波長の偏光光についてカメラ２６の出力値ＩＢが求められる。
【００５４】
また、図９に示されるように、上述の樹脂硬化状態モニタリング装置１０において光源１４及びカメラ２６の代わりに標準光源６０及び分光計６２が用いられると共に、分光計６２のヘッド６４に複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂのうち他方の波長の偏光光を透過する第二偏光子５２Ｂが取り付けられる。そして、この状態で、他方の波長の偏光光について分光計６２の第二積算値ＯＢが求められる。以上の作業は、適宜順番が変更されても良い。
【００５５】
続いて、第一積算値ＯＡ及び第二積算値ＯＢが等しくなるように標準光源６０の出力強度が調整され、第一積算値ＯＡ及び第二積算値ＯＢが等しくなるときのカメラ２６の出力値ＩＢ’が求められる。このようにして、補正係数ｋ＝ＩＡ／ＩＢ’が得られる。
【００５６】
そして、樹脂硬化状態モニタリング装置１０を用いて樹脂３６の硬化状態をモニタリングする際には、上述の他の波長で検出したカメラ２６の出力値ＩＢに補正係数ｋが乗じられるように制御部２８が調整される。このように、樹脂３６の種類の変更に伴い一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂの種類が変更された場合には、上記要領にてカメラ２６の出力値の校正が行われる。
【００５７】
次に、第一実施形態の作用及び効果について説明する。
【００５８】
以上詳述したように、図１に示される第一実施形態に係る樹脂硬化状態モニタリング装置１０によれば、樹脂３６で発生した蛍光が、波長毎に偏光方向が互いに異なる二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂに変換される。そして、この二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂの各々がカメラ２６に設けられた複数の画素５０Ａ，５０Ｂでそれぞれ検出される。これにより、波長毎の蛍光画像を一つのカメラ２６で同時に取得することができるので、波長毎の蛍光画像を同時に取得するためのコストを低減することができる。
【００５９】
しかも、この樹脂硬化状態モニタリング装置１０によれば、カメラ２６の台数が一台で済むので、光学系の規模の拡大を抑制することができる。これにより、樹脂硬化状態モニタリング装置１０を小型化することができる。
【００６０】
また、樹脂硬化状態モニタリング装置１０によれば、樹脂３６の種類が変更される場合でも、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂの種類の変更とカメラ２６の出力値の校正で足りる。そして、一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂ及び複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂについてはそのまま使用することができる。これにより、例えば、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのそれぞれに対応して複数のフィルタが設けられる場合に比して、コストアップを抑制しつつ、樹脂３６の種類の変更に対して柔軟に対応することができる。
【００６１】
また、樹脂硬化状態モニタリング装置１０によれば、カメラ２６で取得した波長毎の蛍光画像から樹脂３６の硬化度が算出される（硬化度画像が作成される）。従って、樹脂３６の硬化度を視覚で容易に把握することができる。
【００６２】
次に、第一実施形態の変形例について説明する。
【００６３】
第一実施形態では、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂが用いられることにより、二つの波長の光が利用されているが、三つ以上のフィルタが用いられ、三つ以上の波長の光が利用されても良い。
【００６４】
また、第一実施形態において、樹脂３６は、一例として、紫外線で硬化する光硬化性樹脂とされているが、樹脂３６は、蛍光を発生するものであれば、例えば、熱硬化性樹脂など光硬化性樹脂以外のものでも良い。
【００６５】
また、第一実施形態において、第一偏光ユニット２２は、フィルタユニット２０に対して樹脂３６側に位置されることにより、樹脂３６とフィルタユニット２０との間の光路上に配置されても良い。このような配置でも、上述の樹脂３６で発生した蛍光は、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂ及び一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂを通過することで波長毎に偏光方向が互いに９０度異なる二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂに変換される
【００６６】
また、第一実施形態では、式４、式５で示されるように、各画素５０Ａ，５０Ｂについて該画素に隣接する複数の画素から受光に応じて出力された出力値の平均が補間値とされる。しかしながら、他の平滑化手法が用いられることで補間値が算出されても良い。また、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち受光した画素を含む幾つかの画素の集まり（例えば、四つの画素）を一つの画素とし、この幾つかの画素のうち受光した画素の出力値の平均値を補間値（階調度）としても良い。
【００６７】
［第二実施形態］
次に、本願の開示する技術の第二実施形態を説明する。
【００６８】
図１０に示される第二実施形態に係る樹脂硬化状態モニタリング装置７０は、上述の第一実施形態に係る樹脂硬化状態モニタリング装置１０に対して次のように構成が変更されている。なお、第二実施形態において、第一実施形態と同様の構成については、同一の符号を用い説明を省略する。
【００６９】
第二実施形態に係る樹脂硬化状態モニタリング装置７０は、偏光部の一例である偏光ビームスプリッタ７２と、一対のミラー７４Ａ，７４Ｂと、ビームスプリッタ７６を有している。一方のフィルタ４４Ａは、偏光ビームスプリッタ７２における一方の出射面と対向し、他方のフィルタ４４Ｂは、偏光ビームスプリッタ７２における他方の出射面と対向する。
【００７０】
樹脂３６で発生した蛍光は、偏光ビームスプリッタ７２にて二つの偏光光に分離され、各偏光光は、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂの各々を通過することで余分な波長がカットされる。そして、このようにして、樹脂３６で発生した蛍光が、波長毎に偏光方向が互いに異なる二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂに変換される。
【００７１】
この二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂの各々は、一対のミラー７４Ａ，７４Ｂでそれぞれ反射される。この一対のミラー７４Ａ，７４Ｂでそれぞれ反射される二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂは、ビームスプリッタ７６で合成され、この合成された偏光光は、第二偏光子ユニット２４における複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂに向けて出射される。
【００７２】
複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂは、偏光ビームスプリッタ７２における一方の偏光方向と対応する偏光方向を有し、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂは、偏光ビームスプリッタ７２における他方の偏光方向と対応する偏光方向を有する。そして、上述の合成光に含まれる一方の偏光光４８Ａは、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂのうち他方の第二偏光子５２Ｂにより遮断されるが、一方の第二偏光子５２Ａを透過する。また、上述の合成光に含まれる他方の偏光光４８Ｂは、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂのうち一方の第二偏光子５２Ａにより遮断されるが、他方の第二偏光子５２Ｂを透過する。
【００７３】
そして、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂを透過した一方の偏光光４８Ａは、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち一方の画素５０Ａで検出され、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂを透過した他方の偏光光４８Ｂは、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち他方の画素５０Ｂで検出される。このようにして樹脂３６で発生した蛍光がカメラ２６で撮影され、このカメラ２６で蛍光画像が取得される。
【００７４】
この第二実施形態によっても、第一実施形態と同様に樹脂３６の硬化状態をモニタリングすることができる。
【００７５】
なお、第二実施形態において、カメラ２６の出力値の校正を行う場合、図６，図７に示される工程では、偏光ビームスプリッタ７２で分離された一方の波長の偏光光４８Ａについてカメラ２６の出力値ＩＡ及び分光計６２の第一積算値ＯＡが求められる。同様に、図８，図９に示される工程では、偏光ビームスプリッタ７２で分離された他方の波長の偏光光４８Ｂについてカメラ２６の出力値ＩＢ及び分光計６２の第一積算値ＯＢが求められる。
【００７６】
また、偏光ビームスプリッタ７２は、樹脂３６と一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂとの間の光路上に配置されているが、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂとカメラ２６との間の光路上に配置されても良い。つまり、換言すれば、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂは、偏光ビームスプリッタ７２における一対の入射面の各々と対向しても良い。
【００７７】
［第三実施形態］
次に、本願の開示する技術の第三実施形態を説明する。
【００７８】
図１１に示される第三実施形態に係る樹脂硬化状態モニタリング装置８０は、上述の第一実施形態に係る樹脂硬化状態モニタリング装置１０に対して次のように構成が変更されている。なお、第三実施形態において、第一実施形態と同様の構成については、同一の符号を用い説明を省略する。
【００７９】
第三実施形態に係る樹脂硬化状態モニタリング装置８０は、偏光部の一例である第一偏光ビームスプリッタ８２と、一対の第一ミラー８４Ａ，８４Ｂと、第二偏光ビームスプリッタ８６と、第二ミラー８８を有している。一方のフィルタ４４Ａは、第一偏光ビームスプリッタ８２における一方の出射面と対向し、他方のフィルタ４４Ｂは、第一偏光ビームスプリッタ８２における他方の出射面と対向する。
【００８０】
樹脂３６で発生した蛍光は、第一偏光ビームスプリッタ８２にて二つの偏光光に分離され、各偏光光は、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂの各々を通過することで余分な波長がカットされる。そして、このようにして、樹脂３６で発生した蛍光が、波長毎に偏光方向が互いに異なる二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂに変換される。
【００８１】
この二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂの各々は、一対の第一ミラー８４Ａ，８４Ｂでそれぞれ反射され、この一対の第一ミラー８４Ａ，８４Ｂでそれぞれ反射される二つの偏光光４８Ａ，４８Ｂは、第二偏光ビームスプリッタ８６で合成される。第二偏光ビームスプリッタ８６から出射される偏光光は、第二偏光子ユニット２４における複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂに向けて出射される。
【００８２】
複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂは、第一偏光ビームスプリッタ８２及び第二偏光ビームスプリッタ８６における一方の偏光方向と対応する偏光方向を有する。また、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂは、第一偏光ビームスプリッタ８２及び第二偏光ビームスプリッタ８６における他方の偏光方向と対応する偏光方向を有する。
【００８３】
そして、一方の偏光光４８Ａは、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂのうち他方の第二偏光子５２Ｂにより遮断されるが、一方の第二偏光子５２Ａを透過する。また、他方の偏光光４８Ｂは、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂのうち一方の第二偏光子５２Ａにより遮断されるが、他方の第二偏光子５２Ｂを透過する。
【００８４】
また、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂを透過した一方の偏光光４８Ａは、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち一方の画素５０Ａで検出される。また、複数の第二偏光子５２Ａ，５２Ｂを透過した他方の偏光光４８Ｂは、複数の画素５０Ａ，５０Ｂのうち他方の画素５０Ｂで検出される。このようにして樹脂３６で発生した蛍光がカメラ２６で撮影され、このカメラ２６で蛍光画像が取得される。
【００８５】
この第三実施形態によっても、第一実施形態と同様に樹脂３６の硬化状態をモニタリングすることができる。
【００８６】
また、第一偏光ビームスプリッタ８２及び第二偏光ビームスプリッタ８６を用いるので、上述の第一実施形態のようにビームスプリッタ７６を用いる場合に比して、光の損失（光の透過）を低減することができる。
【００８７】
なお、第三実施形態において、カメラ２６の出力値の校正を行う場合、以下のようにされる。すなわち、図６，図７に示される工程では、第一偏光ビームスプリッタ８２で分離され第二偏光ビームスプリッタ８６を通過する一方の波長の偏光光４８Ａについてカメラ２６の出力値ＩＡ及び分光計６２の第一積算値ＯＡが求められる。同様に、図８，図９に示される工程では、第一偏光ビームスプリッタ８２で分離され第二偏光ビームスプリッタ８６を通過する他方の波長の偏光光４８Ｂについてカメラ２６の出力値ＩＢ及び分光計６２の第一積算値ＯＢが求められる。
【００８８】
また、第三実施形態において、第一偏光ビームスプリッタ８２は、樹脂３６と一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂとの間の光路上に配置されているが、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂとカメラ２６との間の光路上に配置されても良い。つまり、換言すれば、一対のフィルタ４４Ａ，４４Ｂは、第一偏光ビームスプリッタ８２における一対の入射面の各々と対向しても良い。
【００８９】
また、第一乃至第三実施形態では、偏光部の一例として、一対の第一偏光子４６Ａ，４６Ｂを有する第一偏光ユニット２２、偏光ビームスプリッタ７２、第一偏光ビームスプリッタ８２が用いられる。しかしながら、第一乃至第三実施形態では、偏光部の一例として、その他の偏光素子が用いられても良い。
【００９０】
以上、本願の開示する技術の一例について説明したが、本願の開示する技術は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。
【００９１】
なお、上述の本願の開示する技術の一態様に関し、更に以下の付記を開示する。
【００９２】
（付記１）
複数の画素を有し、樹脂で発生した蛍光を撮影するカメラと、
前記樹脂と前記カメラとの間の光路上に配置され、互いに異なる波長の光をそれぞれ透過する複数のフィルタと、
前記樹脂と前記カメラとの間の光路上に配置され、入射光を偏光方向が互いに異なる複数の偏光光に変換する偏光部と、
前記複数のフィルタ及び前記偏光部と前記カメラとの間の光路上に配置されると共に、前記複数の画素のそれぞれに対応して設けられ、前記複数のフィルタ及び前記偏光部を通過することで波長毎に偏光方向が互いに異なる複数の偏光光の各々をそれぞれ透過する複数の偏光子と、
を備える樹脂硬化状態モニタリング装置。
（付記２）
前記複数のフィルタは、互いに異なる波長の光をそれぞれ透過する一対のフィルタである、
付記１に記載の樹脂硬化状態モニタリング装置。
（付記３）
前記偏光部は、前記一対のフィルタと前記カメラとの間、又は、前記樹脂と前記一対のフィルタとの間の光路上に配置され、互いに偏光方向が異なる一対の第一偏光子を有し、
前記複数の偏光子は、前記一対の第一偏光子における一方の偏光方向と対応する偏光方向を有する複数の偏光子と、前記一対の第一偏光子における他方の偏光方向と対応する偏光方向を有する複数の偏光子とを含む複数の第二偏光子を有する、
付記２に記載の樹脂硬化状態モニタリング装置。
（付記４）
前記偏光部は、前記樹脂と前記一対のフィルタとの間、又は、前記一対のフィルタと前記カメラとの間の光路上に配置された偏光ビームスプリッタを有し、
前記複数の偏光子は、前記偏光ビームスプリッタにおける一方の偏光方向と対応する偏光方向を有する複数の偏光子と、前記偏光ビームスプリッタにおける他方の偏光方向と対応する偏光方向を有する複数の偏光子とを含む、
付記２に記載の樹脂硬化状態モニタリング装置。
（付記５）
前記偏光ビームスプリッタにより分離される二つの偏光光の各々をそれぞれ反射する一対のミラーと、
前記一対のミラーで反射される前記二つの偏光光を合成し、該合成した偏光光を前記複数の偏光子に向けて出射するビームスプリッタと、をさらに備える、
付記４に記載の樹脂硬化状態モニタリング装置。
（付記６）
前記偏光ビームスプリッタとしての第一偏光ビームスプリッタと、
前記偏光ビームスプリッタにより分離される二つの偏光光の各々をそれぞれ反射する一対の第一ミラーと、
前記一対の第一ミラーで反射される前記二つの偏光光を合成する第二偏光ビームスプリッタと、
前記第二偏光ビームスプリッタから出射される偏光光を前記複数の偏光子に向けて反射する第二ミラーと、をさらに備える、
付記４に記載の樹脂硬化状態モニタリング装置。
（付記７）
前記複数の偏光子は、隣り合う同士で互いに偏光方向が異なる、
付記１〜付記６のいずれか一項に記載の樹脂硬化状態モニタリング装置。
（付記８）
前記カメラで取得した波長毎の蛍光画像から前記樹脂の硬化度を算出する制御部をさらに備える、
付記１〜付記７のいずれか一項に記載の樹脂硬化状態モニタリング装置。
（付記９）
前記制御部は、前記カメラで取得した波長毎の蛍光画像から波長毎の前記複数の画素の各々における階調度を算出し、該算出した波長毎の前記複数の画素の各々における階調度から前記樹脂の硬化度を算出する、
付記８に記載の樹脂硬化状態モニタリング装置。
（付記１０）
前記制御部は、波長毎に、前記画素から受光に応じて出力された出力値を該画素における前記階調度とすると共に受光しない前記画素については補間値を前記階調度とする、
付記９に記載の樹脂硬化状態モニタリング装置。
（付記１１）
前記複数の画素は、二次元方向に配列され、
前記複数の偏光子は、隣り合う同士で互いに偏光方向が異なり、
前記制御部は、前記各画素について該画素に隣接する複数の画素から受光に応じて出力された出力値の平均を前記補間値とする、
付記１０に記載の樹脂硬化状態モニタリング装置。
（付記１２）
樹脂で発生した蛍光を、波長毎に偏光方向が互いに異なる複数の偏光光に変換し、
前記複数の偏光光の各々をカメラに設けられた複数の画素でそれぞれ検出させる、
樹脂硬化状態モニタリング方法。
（付記１３）
前記樹脂で発生した蛍光を、波長毎に偏光方向が互いに９０度異なる二つの偏光光に変換する、
付記１２に記載の樹脂硬化状態モニタリング方法。
（付記１４）
前記複数の画素のうち隣り合う画素同士で互いに波長が異なる偏光光を検出する、
付記１２又は付記１３に記載の樹脂硬化状態モニタリング方法。
（付記１５）
前記カメラで取得した波長毎の蛍光画像から前記樹脂の硬化度を算出する、
付記１２〜付記１４のいずれか一項に記載の樹脂硬化状態モニタリング方法。
（付記１６）
前記カメラで取得した波長毎の蛍光画像から波長毎の前記複数の画素の各々における階調度を算出し、該算出した波長毎の前記複数の画素の各々における階調度から前記樹脂の硬化度を算出する、
付記１５に記載の樹脂硬化状態モニタリング方法。
（付記１７）
波長毎に、前記画素から受光に応じて出力された出力値を該画素における前記階調度とすると共に受光しない前記画素については補間値を前記階調度とする、
付記１６に記載の樹脂硬化状態モニタリング方法。
（付記１８）
前記カメラとして、前記複数の画素が二次元方向に配列されたカメラを用い、
前記複数の画素のうち隣り合う画素同士で互いに波長が異なる偏光光を検出し、
前記各画素について該画素に隣接する複数の画素から受光に応じて出力された出力値の平均を前記補間値とする、
付記１７に記載の樹脂硬化状態モニタリング方法。
（付記１９）
前記樹脂と同一材料であるサンプル樹脂の硬化開始後における任意の経過時間毎に、前記サンプル樹脂で発生する蛍光の蛍光強度と波長との関係を測定し、
前記蛍光の蛍光強度と波長との関係から前記任意の経過時間毎に任意で選択した複数の波長について前記蛍光の蛍光強度から前記サンプル樹脂の硬化度を算出し、
前記任意で選択した複数の波長のうち前記経過時間の増加に伴い前記硬化度が単調増加する波長を複数選択し、該選択した複数の波長を、前記樹脂の硬化状態をモニタリングする際に使用する、
付記１２〜付記１８のいずれか一項に記載の樹脂硬化状態モニタリング方法。
（付記２０）
複数の画素を有し、樹脂で発生した蛍光を撮影するカメラと、
前記樹脂と前記カメラとの間の光路上に配置され、波長が互いに異なる光をそれぞれ透過する一対のフィルタと、
前記樹脂と前記カメラとの間の光路上に配置され、光を互いに偏光方向が異なる二つの偏光光に変換する偏光部と、
前記一対のフィルタ及び前記偏光部と前記カメラとの間の光路上に配置されると共に、前記複数の画素のそれぞれに対応して設けられ、前記一対のフィルタ及び前記偏光部を通過することで波長毎に偏光方向が互いに異なる二つの偏光光の各々をそれぞれ透過する複数の偏光子と、
を備える樹脂硬化状態モニタリング装置を用い、
前記樹脂の種類が変更された場合には、前記一対のフィルタの種類を変更し、
前記一対のフィルタの種類を変更した場合には、
前記複数の偏光子のうち前記一方の波長の偏光光を透過する偏光子を用いると共に、標準光源を用いて前記一対のフィルタのうち一方のフィルタ及び前記偏光部を通過した一方の波長の偏光光について前記カメラの出力値ＩＡを求め、
前記標準光源を用いると共に、前記カメラの代わりに分光計を用い、前記分光計のヘッドに前記複数の偏光子のうち前記一方の波長の偏光光を透過する偏光子を取り付けた状態で、前記一方の波長の偏光光について前記分光計の第一積算値ＯＡを求め、
前記複数の偏光子のうち前記他方の波長の偏光光を透過する偏光子を用いると共に、前記標準光源を用いて前記一対のフィルタのうち他方のフィルタ及び前記偏光部を通過した他方の波長の偏光光について前記カメラの出力値ＩＢを求め、
前記標準光源を用いると共に、前記カメラの代わりに前記分光計を用い、前記分光計のヘッドに前記複数の偏光子のうち前記他方の波長の偏光光を透過する偏光子を取り付けた状態で、前記他方の波長の偏光光について前記分光計の第二積算値ＯＢを求め、
前記第一積算値ＯＡ及び前記第二積算値ＯＢが等しくなるように前記標準光源の出力強度を調整したときの前記カメラの出力値ＩＢ’を求めて、補正係数ｋ＝ＩＡ／ＩＢ’とし、
前記樹脂硬化状態モニタリング装置を用いて前記樹脂の硬化状態をモニタリングする際には、前記他の波長で検出した前記カメラの出力値ＩＢに前記補正係数ｋを乗じる、
付記１２〜付記１９のいずれか一項に記載の樹脂硬化状態モニタリング方法。
（付記２１）
前記樹脂として、光硬化性樹脂を用いる、
付記１２〜付記２０のいずれか一項に記載の樹脂硬化状態モニタリング方法。
【符号の説明】
【００９３】
１０，７０，８０  樹脂硬化状態モニタリング装置
１４  光源
２６  カメラ
２８  制御部
３６  樹脂
４４Ａ，４４Ｂ  一対のフィルタ（複数のフィルタの一例）
４６Ａ，４６Ｂ  一対の第一偏光子（偏光部の一例）
４８Ａ，４８Ｂ  二つの偏光光（複数の偏光光の一例）
５０Ａ，５０Ｂ  複数の画素
５２Ａ，５２Ｂ  複数の第二偏光子（複数の偏光子の一例）
５４  カメラで取得された蛍光画像
５６Ａ  一方の波長の蛍光画像
５６Ｂ  他方の波長の蛍光画像蛍光画像
５８  硬化度画像
６０  標準光源
６２  分光計
６４  ヘッド
７２  偏光ビームスプリッタ（偏光部の一例）
７４Ａ，７４Ｂ  一対のミラー
７６  ビームスプリッタ
８２  第一偏光ビームスプリッタ（偏光部の一例）
８４Ａ，８４Ｂ  一対の第一ミラー
８６  第二偏光ビームスプリッタ
８８  第二ミラー
【図１】
2015141038.tif 000006
【図５Ａ】
2015141038.tif 000007
【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
2015141038.tif 000015
【図４Ｂ】
2015141038.tif 000016
【図１０】
2015141038.tif 000017
【図１１】
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