(57)【要約】【課題】被処理体に紫外線を照射することなく、適切にプラズマ処理を行うことが可能な大気圧プラズマ発生装置を提供する。【解決手段】プラズマ流路６２の傾斜面５４への開口からプラズマを吹き出す大気圧プラズマ発生装置１０において、プラズマ流路を流れるプラズマに向かって、不活性ガス流入路６８から不活性ガスが噴出されており、プラズマ流路の開口から吹き出されたプラズマが、傾斜面の傾斜部６０および垂直部５８に沿って流れる（矢印７６参照）。このため、傾斜面の下方に、被処理体７８を配設することで、プラズマを拡散させることなく、被処理体にプラズマを照射することが可能となる。さらに、紫外線は、開口から直線的に放出される（矢印７９参照）ため、紫外線の照射されない位置において、被処理体に対するプラズマ処理を行うことが可能となる。これにより、被処理体に紫外線を照射することなく、適切にプラズマ処理を行うことが可能となる。【選択図】図１
2015153652.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理ガスをプラズマ化するプラズマ発生器と、
前記プラズマ発生器によって発生されたプラズマが流れるとともに、ハウジングの外壁に開口するプラズマ流路と
を備え、前記プラズマ流路の前記ハウジングの外壁への開口からプラズマを吹き出す大気圧プラズマ発生装置であって、
当該大気圧プラズマ発生装置が、
前記プラズマ流路に配設され、前記開口から吹き出されるプラズマを前記ハウジングの外壁に沿って流すためのガスを噴出するガス噴出器を備えることを特徴とする大気圧プラズマ発生装置。
【請求項２】
前記ガス噴出器が、
不活性ガスを噴出することを特徴とする請求項１に記載の大気圧プラズマ発生装置。
【請求項３】
当該大気圧プラズマ発生装置が、
前記プラズマ流路の外部に配設され、前記開口に向かって不活性ガスを噴出する不活性ガス噴出器を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の大気圧プラズマ発生装置。
【請求項４】
前記不活性ガス噴出器が、
前記開口から吹き出されるプラズマが前記ハウジングの外壁に沿って流れる方向と同じ方向に、不活性ガスを噴出することを特徴とする請求項３に記載の大気圧プラズマ発生装置。
【請求項５】
前記プラズマ発生器が、
プラズマ発生器ハウジング内に形成された反応室で、処理ガスをプラズマ化し、
前記ハウジングが、
前記反応室でプラズマ化されたプラズマが前記プラズマ流路に流れるように、前記プラズマ発生器ハウジングに連結されたことを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載の大気圧プラズマ発生装置。
【請求項６】
前記プラズマ発生器が、
前記プラズマ流路に配設され、前記プラズマ流路で処理ガスをプラズマ化することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載の大気圧プラズマ発生装置。
【請求項７】
前記プラズマ発生器が、複数の電極によって構成されており、
前記複数の電極の各々が、誘電体によって覆われていることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の大気圧プラズマ発生装置。
【請求項８】
当該大気圧プラズマ発生装置が、
前記開口から吹き出され、前記ハウジングの外壁に沿って流れるプラズマによって、被処理体に対するプラズマ処理を行うことを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１つに記載の大気圧プラズマ発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大気圧下でプラズマを発生させる大気圧プラズマ発生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
大気圧プラズマ発生装置では、一般的に、処理ガスがプラズマ化され、プラズマ流路にプラズマが流される。プラズマ流路は、ハウジングの外壁に開口しており、その開口から吹き出されたプラズマにより、プラズマ処理が行われる。しかしながら、処理ガスがプラズマ化される際に、紫外線が生じ、その紫外線も、プラズマとともに、開口から放出される。プラズマ処理の対象となる被処理体には、紫外線の影響を受けやすい素材、例えば、紫外線硬化樹脂等により成形された被処理体もあり、そのような被処理体に紫外線が照射されると、被処理体に変質，劣化等が生じる虞がある。このようなことに鑑みて、下記特許文献に記載の大気圧プラズマ発生装置は、開口から吹き出されたプラズマに、ガスを噴出することで、プラズマを、紫外線の照射方向と異なる方向に流している。このため、下記特許文献に記載の大気圧プラズマ発生装置によれば、開口から放出された紫外線の照射されない位置において、被処理体に対するプラズマ処理を行うことが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１４４３１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献に記載の大気圧プラズマ発生装置によれば、被処理体に紫外線を照射することなく、プラズマ処理を行うことが可能となる。しかしながら、上記特許文献に記載の大気圧プラズマ発生装置では、開口から吹き出されたプラズマに、ガスが噴出されており、プラズマを被処理体に向けて適切に流すことができない虞がある。つまり、プラズマが噴出されたガスにより拡散し、適切なプラズマ処理を行うことができない虞がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、被処理体に紫外線を照射することなく、適切にプラズマ処理を行うことが可能な大気圧プラズマ発生装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本願に記載の大気圧プラズマ発生装置は、処理ガスをプラズマ化するプラズマ発生器と、前記プラズマ発生器によって発生されたプラズマが流れるとともに、ハウジングの外壁に開口するプラズマ流路とを備え、前記プラズマ流路の前記ハウジングの外壁への開口からプラズマを吹き出す大気圧プラズマ発生装置であって、前記プラズマ流路に配設され、前記開口から吹き出されるプラズマを前記ハウジングの外壁に沿って流すためのガスを噴出するガス噴出器を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本願に記載の大気圧プラズマ発生装置では、プラズマ流路を流れるプラズマにガスが噴出されており、プラズマ流路の開口から吹き出されたプラズマが、ハウジングの外壁に沿って流れる。このため、ハウジングの外壁の延長線上に、被処理体を配設することで、プラズマを拡散させることなく、被処理体にプラズマを照射することが可能となる。さらに、紫外線は、開口から直線的に放出されるため、紫外線の照射されない位置において、被処理体に対するプラズマ処理を行うことが可能となる。このように、本願に記載の大気圧プラズマ発生装置によれば、被処理体に紫外線を照射することなく、適切にプラズマ処理を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第１実施例の大気圧プラズマ発生装置を示す断面図である。
【図２】図１の大気圧プラズマ発生装置が備える制御装置を示すブロック図である。
【図３】本発明の第２実施例の大気圧プラズマ発生装置を示す断面図である。
【図４】本発明の変形例の大気圧プラズマ発生装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。
【０００９】
［第１実施例］
＜大気圧プラズマ発生装置の構成＞
図１は、本発明の第１実施例の大気圧プラズマ発生装置１０である。大気圧プラズマ発生装置１０は、大気圧下で発生させたプラズマにより、被処理体に対するプラズマ処理を行うための装置である。大気圧プラズマ発生装置１０は、プラズマ発生器２０と流量増幅器２２とによって構成されている。プラズマ発生器２０は、プラズマを発生させるための装置であり、流量増幅器２２は、被処理体に向かって吹出されるプラズマの流量を増幅させるための装置である。
【００１０】
プラズマ発生器２０は、概して直方体形状の躯体３０を有しており、躯体３０の内部には、反応室３２と流入路３４と流出路３６とが形成されている。流入路３４は、上下方向に延びるように形成されており、上端部において、躯体３０の上面に開口し、下端部において、反応室３２に開口している。その流入路３４には、１対の電極３８が向かい合うように配設されている。また、流出路３６は、左右方向に延びるように形成されており、一端部において、躯体３０の側面に開口し、他端部において、反応室３２に開口している。
【００１１】
また、プラズマ発生器２０は、処理ガス供給装置（図２参照）４０を有しており、流入路３４の上端部に接続されている。処理ガス供給装置４０は、希ガス，窒素ガス等の不活性ガスと、酸素等の活性ガスとを所定の割合で混合した処理ガスを供給する装置である。これにより、処理ガスが、流入路３４を介して反応室３２に供給される。
【００１２】
また、流量増幅器２２は、躯体５０と不活性ガス供給装置（図２参照）５２とによって構成されている。躯体５０は、傾斜面５４を除いて概して直方体形状をしており、その傾斜面５４は、垂直部５６，５８と傾斜部６０とに区分けされる。詳しくは、傾斜面５４は、躯体５０の側面に位置している。そして、垂直部５６は、傾斜面５４の上端部に位置し、垂直部５８は、傾斜面５４の下端部に位置している。さらに、傾斜部６０は、斜め上方を向いた状態で、垂直部５６と垂直部５８とに連続している。
【００１３】
その躯体５０には、左右方向に延びるように、プラズマ流路６２が形成されており、そのプラズマ流路６２は、傾斜面５４と、その傾斜面５４の反対側の側面に開口している。なお、プラズマ流路６２の傾斜面５４への開口は、垂直部５６と傾斜部６０との間に位置している。プラズマ流路６２は、第１流路６４と第２流路６６とに区分けされ、第１流路６４は、傾斜面５４の反対側の側面に開口し、第２流路６６は、傾斜面５４に開口する。また、第１流路６４の内寸は、傾斜面５４の反対側の側面から離れるほど、小さくなる。一方、第２流路６６の内寸は、ほぼ一定である。
【００１４】
躯体５０には、さらに、上下方向に延びるように、不活性ガス流入路６８が形成されている。不活性ガス流入路６８の上端部は、躯体５０の上面に開口し、不活性ガス供給装置５２に接続されている。不活性ガス供給装置５２は、圧縮された不活性ガスを供給する装置である。一方、不活性ガス流入路６８の下端部は、プラズマ流路６２の第１流路６４と第２流路６６との間に開口している。なお、不活性ガス流入路６８のプラズマ流路６２への開口には、第２流路６６側に切欠部７０が形成されている。
【００１５】
このような構造により、不活性ガス供給装置５２から不活性ガス流入路６８に圧縮された不活性ガスが供給されると、不活性ガスは、プラズマ流路６２内に噴出する。この際、プラズマ流路６２内に噴出した不活性ガスは、切欠部７０により、第２流路６６に向かって流れる。つまり、不活性ガスは、プラズマ流路６２の傾斜面５４への開口に向かって流れる。なお、不活性ガスは、不活性ガス流入路６８からプラズマ流路６２に勢いよく流れ込むため、プラズマ流路６２の上面から下面に向かって流れる。このため、プラズマ流路６２内を流れる不活性ガスは、プラズマ流路６２の下面に沿って流れる。
【００１６】
また、躯体５０の傾斜面５４の上端部、つまり、傾斜面５４の垂直部５６には、不活性ガス噴出管７２が固定されている。不活性ガス噴出管７２は、上下方向に延びるように、配設されており、不活性ガス噴出管７２の下端部は、下方に向かって開口している。一方、不活性ガス噴出管７２の上端部は、不活性ガス供給装置５２に接続されている。このため、不活性ガス供給装置５２から不活性ガス噴出管７２に圧縮された不活性ガスが供給されると、不活性ガス噴出管７２の下端部から不活性ガスが噴出し、プラズマ流路６２の傾斜面５４への開口付近に、不活性ガスが充満する。
【００１７】
また、躯体５０は、傾斜面５４と反対側の側面において、プラズマ発生器２０の躯体３０の側面に固定されており、その躯体３０に形成された流出路３６と、躯体５０に形成されたプラズマ流路６２とが接続されている。これにより、プラズマ発生器２０と流量増幅器２２とが、一体化されている。
【００１８】
大気圧プラズマ発生装置１０は、さらに、図２に示すように、制御装置８０を備えている。制御装置８０は、コントローラ８２と複数の駆動回路８６と制御回路８８とを備えている。複数の駆動回路８６は、上記処理ガス供給装置４０、不活性ガス供給装置５２に接続されている。また、制御回路８８は、電極３８に接続されている。コントローラ８２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、駆動回路８６および制御回路８８に接続されている。これにより、プラズマ発生器２０および流量増幅器２２、つまり、大気圧プラズマ発生装置１０の作動が、コントローラ８２によって制御される。
【００１９】
＜大気圧プラズマ発生装置によるプラズマ処理＞
大気圧プラズマ発生装置１０では、上述した構成により、プラズマ発生器２０において、処理ガスがプラズマ化され、そのプラズマの流量が、流量増幅器２２によって増幅される。そして、流量の増幅されたプラズマによって、被処理体に対するプラズマ処理が行われる。
【００２０】
具体的には、コントローラ８２の指令により、プラズマ発生器２０において、処理ガス供給装置４０が、処理ガスを流入路３４に供給する。この際、流入路３４では、コントローラ８２の指令により、所定のタイミングで１対の電極３８に電圧が印加され、１対の電極３８間に電流が流れる。これにより、１対の電極３８間に放電が生じ、その放電により、処理ガスがプラズマ化される。そして、プラズマが、反応室３２を介して、流出路３６に流れ込む。
【００２１】
なお、放電時に電極３８が僅かに損壊する場合がある。このような場合には、損壊した電極３８の欠片が、反応室３２に落下するが、流出路３６は、反応室３２の側面に開口しているため、損壊した電極３８の欠片は、反応室３２内に留められる。これにより、損壊した電極３８の欠片が、被処理体等へ落下することを防止できる。
【００２２】
また、流量増幅器２２では、コントローラ８２の指令により、不活性ガス供給装置５２が、圧縮された不活性ガスを不活性ガス流入路６８および不活性ガス噴出管７２に供給する。これにより、不活性ガスが、上述したように、プラズマ流路６２内を傾斜面５４の開口に向かうとともに、プラズマ流路６２の下面に沿って流れる。この際、プラズマ発生器２０の流出路３６から、プラズマがプラズマ流路６２に流れ込み、不活性ガスとともに、プラズマ流路６２の傾斜面５４の開口に向かって流れる。つまり、プラズマ発生器２０において発生したプラズマが、不活性ガスによって増幅され、プラズマ流路６２の傾斜面５４の開口に向かって流れる。そして、増幅されたプラズマが、プラズマ流路６２の傾斜面５４の開口から吹き出される。
【００２３】
なお、増幅されたプラズマは、不活性ガスの流れによって、プラズマ流路６２の下面に沿って流れるため、プラズマ流路６２の傾斜面５４の開口から吹き出されたプラズマは、傾斜面５４の傾斜部６０および、垂直部５８に沿って流れる。つまり、増幅されたプラズマは、図１に示すように、矢印７６に沿って流れる。そして、傾斜面５４の垂直部５８の下方に、被処理体７８が配設されており、傾斜面５４に沿って流れるプラズマによって、被処理体７８に対してプラズマ処理が行われる。
【００２４】
大気圧プラズマ発生装置１０では、上述したように、傾斜面５４に沿って流れるプラズマによって、被処理体７８に対してプラズマ処理が行われる。このため、電極３８への電圧印加により、プラズマとともに生じる紫外線の被処理体７８への照射を防止することが可能となる。詳しくは、大気圧プラズマ発生装置１０では、流入路３４において、電極３８に電圧が印加され、紫外線が、プラズマとともに発生する。この紫外線は、プラズマとともに、反応室３２および、流出路３６を介して、プラズマ流路６２に到達する。この際、紫外線は、ガスによって流されないため、プラズマ流路６２の傾斜面５４への開口から、概して直進する。つまり、紫外線は、矢印７９の方向に照射される。一方、プラズマ流路６２に流れ込んだプラズマは、不活性ガスにより、傾斜面５４に沿って流され、そのプラズマによって、傾斜面５４の下方に配設された被処理体７８がプラズマ処理される。このように、大気圧プラズマ発生装置１０では、紫外線が放出される開口から離れた位置において、被処理体７８に対するプラズマ処理が行われるため、紫外線の被処理体７８への照射を防止することが可能となる。
【００２５】
一方で、従来の大気圧プラズマ発生装置では、プラズマ流路の開口付近に、被処理体が配設され、その開口から吹き出されたプラズマによりプラズマ処理が行われる。このため、開口から放出された紫外線は、被処理体に照射される。つまり、従来の大気圧プラズマ発生装置では、紫外線の影響を受けやすい素材、例えば、紫外線硬化樹脂等により成形された被処理体に対してプラズマ処理を行った場合に、被処理体に変質，劣化等が生じる虞があった。一方、大気圧プラズマ発生装置１０によれば、紫外線の被処理体７８への照射を防止することが可能であるため、紫外線の影響を受けやすい素材により成形された被処理体であっても、適切にプラズマ処理を行うことが可能となる。
【００２６】
また、大気圧プラズマ発生装置１０では、プラズマ流路６２の傾斜面５４の開口の周囲に、不活性ガス噴出管７２から不活性ガスが噴出され、開口の周囲は、不活性ガスが充満している。このため、プラズマ流路６２の開口から吹き出されたプラズマは、開口付近に充満する不活性ガスにより、空気から遮断される。これにより、空気中でのプラズマの失活を防止することが可能となり、適切なプラズマ処理を担保することが可能となる。
【００２７】
さらに言えば、不活性ガス噴出管７２からの不活性ガスの噴出方向は、傾斜面５４に沿って流れるプラズマの流れる方向と同じである。このため、開口から吹き出されたプラズマは、不活性ガス噴出管７２から噴出された不活性ガスとともに、被処理体７８に向かって流れる。これにより、プラズマが被処理体７８に到達するまで、プラズマの失活を防止することが可能となる。
【００２８】
［第２実施例］
図３に、本発明の第２実施例の大気圧プラズマ発生装置１００を示す。大気圧プラズマ発生装置１００は、上記大気圧プラズマ発生装置１０の構成要素と同じ構成要素を備えているため、大気圧プラズマ発生装置１０の構成要素と同じ構成要素については、大気圧プラズマ発生装置１０の構成要素と同じ符号を用い、それらの説明は省略あるいは簡略に行う。
【００２９】
大気圧プラズマ発生装置１００は、上記大気圧プラズマ発生装置１０の躯体５０と略同じ形状の躯体１０２を備えている。つまり、躯体１０２の側面は、傾斜面１０４とされており、傾斜面１０４は、垂直部１０６，１０８と傾斜部１１０とに区分けされる。そして、垂直部１０６は、傾斜面１０４の上端部に位置し、垂直部１０８は、傾斜面１０４の下端部に位置している。さらに、傾斜部１１０は、斜め上方を向いた状態で、垂直部１０６と垂直部１０８とに連続している。
【００３０】
躯体１０２には、左右方向に延びるように、プラズマ流路１１２が形成されており、そのプラズマ流路１１２は、傾斜面１０４と、その傾斜面１０４の反対側の側面に開口している。なお、プラズマ流路１１２の傾斜面１０４への開口は、垂直部１０６と傾斜部１１０との間に位置している。また、プラズマ流路１１２の傾斜面１０４と反対側の側面への開口には、処理ガス供給装置４０が接続されている。
【００３１】
プラズマ流路１１２には、１対の誘電体１１６が向かい合うように配設されており、１対の誘電体１１６の各々の内部には、電極１１８が内包されている。つまり、プラズマ流路１１２には、電極１１８を内包する誘電体１１６が、１対配設されており、１対の誘電体１１６が、プラズマ流路１１２を挟んで向かい合っている。
【００３２】
また、躯体１０２には、上記不活性ガス流入路６８と同形状の不活性ガス流入路１２０が形成されている。その不活性ガス流入路１２０の下端部は、プラズマ流路１１２の誘電体１１６と傾斜面１０４の開口との間に開口し、不活性ガス流入路１２０の上端部は、不活性ガス供給装置５２に接続されている。これにより、不活性ガス供給装置５２から不活性ガス流入路１２０に圧縮された不活性ガスが供給されると、不活性ガスは、プラズマ流路１１２内に噴出し、プラズマ流路１１２の傾斜面１０４への開口に向かって流れる。この際、プラズマ流路１１２内を流れる不活性ガスは、プラズマ流路１１２の下面に沿って流れる。
【００３３】
また、躯体１０２の傾斜面１０４の上端部、つまり、傾斜面１０４の垂直部１０６には、不活性ガス噴出管７２が固定されている。これにより、不活性ガス供給装置５２から不活性ガス噴出管７２に圧縮された不活性ガスが供給されると、不活性ガス噴出管７２の下端部から不活性ガスが噴出し、プラズマ流路１１２の傾斜面１０４への開口付近に、不活性ガスが充満する。
【００３４】
大気圧プラズマ発生装置１００では、上述した構成において、コントローラ８２の指令により、処理ガス供給装置４０が、処理ガスをプラズマ流路１１２に供給する。この際、プラズマ流路１１２では、コントローラ８２の指令により、所定のタイミングで１対の電極１１８に電圧が印加され、１対の電極１１８間に電流が流れる。これにより、１対の電極１１８間に放電が生じ、その放電により、処理ガスがプラズマ化される。
【００３５】
また、コントローラ８２の指令により、不活性ガス供給装置５２が、圧縮された不活性ガスを不活性ガス流入路１２０および不活性ガス噴出管７２に供給する。これにより、不活性ガスが、上述したように、プラズマ流路１１２内を傾斜面１０４の開口に向かうとともに、プラズマ流路１１２の下面に沿って流れる。この際、１対の電極１１８によって発生したプラズマが、不活性ガスとともに、プラズマ流路１１２の傾斜面１０４の開口に向かって流れる。つまり、１対の電極１１８によって発生したプラズマが、不活性ガスによって増幅され、プラズマ流路１１２の傾斜面１０４の開口に向かって流れる。そして、増幅されたプラズマが、プラズマ流路１１２の傾斜面１０４の開口から吹き出され、不活性ガスの流れによって、傾斜面１０４の傾斜部１１０および、垂直部１０８に沿って流れる。なお、大気圧プラズマ発生装置１００においても、大気圧プラズマ発生装置１０と同様に、傾斜面１０４の垂直部１０８の下方に、被処理体７８が配設されており、傾斜面１０４に沿って流れるプラズマによって、被処理体７８に対してプラズマ処理が行われる。
【００３６】
このように、大気圧プラズマ発生装置１００においても、プラズマ流路１１２の傾斜面１０４の開口から吹き出されたプラズマは、矢印１２６に示すように、傾斜面１０４に沿って流れ、プラズマ流路１１２の傾斜面１０４の開口から放出された紫外線は、矢印１２８に示す方向に照射される。これにより、紫外線が放出される開口から離れた位置において、被処理体７８に対するプラズマ処理を行うことが可能となり、紫外線の被処理体７８への照射を防止することが可能となる。
【００３７】
また、大気圧プラズマ発生装置１００においても、不活性ガス噴出管７２が配設されているため、大気圧プラズマ発生装置１０での不活性ガス噴出管７２の効果と同じ効果が生じる。
【００３８】
さらに、大気圧プラズマ発生装置１００の躯体１０２は、大気圧プラズマ発生装置１０の躯体５０と略同じサイズとされている。このため、非常にコンパクトな大気圧プラズマ発生装置が実現する。なお、大気圧プラズマ発生装置１００はコンパクトであり、電極１１８とプラズマ流路１１２の開口との距離が短い。このため、放電時に電極１１８が損壊すると、損壊による電極１１８の欠片が、開口から落下し、被処理体７８の上に落下する恐れがある。このため、大気圧プラズマ発生装置１００では、電極１１８が誘電体１１６によって覆われている。これにより、放電時の電極１１８の損壊を防止することが可能となり、電極１１８の欠片の開口からの落下を防止できる。
【００３９】
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、プラズマに向かって不活性ガスを噴出することで、プラズマを傾斜面に沿って流しているが、処理ガスに向かって不活性ガスを噴出し、その後に、処理ガスと不活性ガスとの混合ガスをプラズマ化し、そのプラズマを、傾斜面に沿って流してもよい。具体的には、図４に示す大気圧プラズマ発生装置１５０では、不活性ガス流入路１５２の下端部が、プラズマ流路１１２の傾斜面１０４と反対側の側面への開口と、誘電体１１６との間に開口している。なお、大気圧プラズマ発生装置１５０は、大気圧プラズマ発生装置１００と不活性ガス流入路１２０を除いて、同じ構成である。
【００４０】
これにより、処理ガス供給装置４０から供給された処理ガスと、不活性ガス流入路１５２に供給された不活性ガスとが、プラズマ流路１１２の電極１１８の上流側で混合される。この際、混合されたガスは、不活性ガスの流れにより、プラズマ流路１１２に下面に沿って流れる。そして、プラズマ流路１１２の下面に沿って流れる混合ガスが、電極１１８への電圧の印加によりプラズマ化する。このプラズマは、プラズマ化前の混合ガスの流れと同様に、プラズマ流路１１２に下面に沿って流れる。このため、大気圧プラズマ発生装置１５０においても、プラズマ流路１１２の傾斜面１０４の開口から吹き出されたプラズマは、矢印１５６に示すように、傾斜面１０４に沿って流れ、プラズマ流路１１２の傾斜面１０４の開口から放出された紫外線は、矢印１５８に示す方向に照射される。これにより、大気圧プラズマ発生装置１５０においても、上記大気圧プラズマ発生装置１００と同様に、紫外線の被処理体７８への照射を防止することが可能となる。
【符号の説明】
【００４１】
１０：大気圧プラズマ発生装置    ３０：躯体（プラズマ発生ハウジング）    ３４：流入路（反応室）    ３８：電極（プラズマ発生器）    ５０：躯体（ハウジング）    ６２：プラズマ流路    ６８：不活性ガス流入路（ガス噴出器）    ７２：不活性ガス噴出管（不活性ガス噴出器）    １００：大気圧プラズマ発生装置    １０２：躯体（ハウジング）    １１２：プラズマ流路    １１６：誘電体    １１８：電極（プラズマ発生器）    １２０：不活性ガス流入路（ガス噴出器）    １５０：大気圧プラズマ発生装置    １５２：不活性ガス流入路（ガス噴出器）
【図１】
2015153652.tif 000003
【図２】
2015153652.tif 000004
【図３】
2015153652.tif 000005
【図４】
2015153652.tif 000006