(57)【要約】【課題】減衰力を発生するオリフィス部による漏れ流体の発生を抑制し、圧縮側又は伸び側の一方で減衰力を高め他方で減衰力を低くすることが可能なダンパ装置を提供することを課題とする。【解決手段】シリンダ１２を上液圧室３１と下液圧室３２に区画し上液圧室３１と下液圧室３２を連通する作動油流路１３０を有するピストン組立体１４と、ピストン組立体１４が上液圧室３１の方向に変位して作動油流路１３０における作動油１３の圧力がピストンバルブ開放値に達したときに作動油流路１３０を開放する積層バルブ２０と、を有し、作動油１３の流通を規制して減衰力を発生させるオリフィス部をピストン組立体１４に備えるダンパ装置とする。そして、ピストン組立体１４が下液圧室３２の方向に変位するときにオリフィス部を開放し、ピストン組立体１４が上液圧室３１の方向に変位するときにオリフィス部を閉塞するチェックバルブ４０を有する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動油が充填されているシリンダに摺動可能に収納されて前記シリンダを摺動方向に第１流体室と第２流体室に区画するピストン組立体と、
前記第１流体室と前記第２流体室を連通して前記作動油が流通可能な第１作動油流路及び第２作動油流路と、
前記ピストン組立体が前記第２流体室の方向に変位するときには前記第１作動油流路を閉塞し、前記ピストン組立体が前記第１流体室の方向に変位するときには前記第１作動油流路における前記作動油の圧力が所定の第１閾値に達したときに前記第１作動油流路の前記作動油に押圧されて前記第１作動油流路を開放する第１バルブと、
前記ピストン組立体が前記第１流体室の方向に変位するときには前記第２作動油流路を閉塞し、前記ピストン組立体が前記第２流体室の方向に変位するときには前記第２作動油流路における前記作動油の圧力が所定の第２閾値に達したときに前記第２作動油流路の前記作動油に押圧されて前記第２作動油流路を開放する第２バルブと、
を有するダンパ装置であって、
前記第２バルブは、前記作動油が流通して前記ピストン組立体の変位を減衰する減衰力を発生させるオリフィス部と、前記オリフィス部を開閉するチェック弁と、を具備し、
前記チェック弁は、前記ピストン組立体が前記第２流体室の方向に変位するときには前記オリフィス部を開放し、前記ピストン組立体が前記第１流体室の方向に変位するときには前記オリフィス部を閉塞することを特徴とするダンパ装置。
【請求項２】
前記第２バルブは、
前記第２作動油流路における前記作動油の流通を規制して前記オリフィス部を形成するオリフィス孔を有するオリフィス板と、
前記作動油に押圧されて前記オリフィス孔を開閉する前記チェック弁を有するバルブ板と、
前記オリフィス板と前記チェック弁の間に間隙を形成するスペーサ板と、が積層されて構成され、
前記チェック弁は、
前記ピストン組立体が前記第２流体室の方向に変位するときには前記オリフィス孔の側から前記作動油で押圧されて当該オリフィス板から離反して前記オリフィス孔を開放し、
前記ピストン組立体が前記第１流体室の方向に変位するときには前記作動油で押圧されて前記オリフィス板に押し付けられて前記オリフィス孔を閉塞することを特徴とする請求項１に記載のダンパ装置。
【請求項３】
前記第２バルブは、
円環状の前記チェック弁と、
前記チェック弁の内側に配設される円環状の内環部と、
前記チェック弁と前記内環部を連結する連結部と、を含んで構成されるバルブ板を具備し、
前記連結部は、前記内環部から前記チェック弁に向かって延設されて前記チェック弁が前記内環部に対して可動となるように弾性を有し、
前記連結部の延伸方向に沿った長さが、前記内環部と前記チェック弁を最短で結ぶ長さよりも長いことを特徴とする請求項１に記載のダンパ装置。
【請求項４】
前記連結部は、前記内環部の径方向に延びる全ての直線上に少なくとも１箇所の非連続部が形成されるように、前記チェック弁と前記内環部を連結することを特徴とする請求項３に記載のダンパ装置。
【請求項５】
前記第２バルブは、
前記第２作動油流路における前記作動油の流通を規制して前記オリフィス部を形成するオリフィス孔を有するオリフィス板と、
前記バルブ板と、
前記バルブ板の変形を規制するサポート板と、
前記サポート板と前記チェック弁の間に間隙を形成するスペーサ板と、が積層されて構成され、
前記チェック弁は、
前記ピストン組立体が前記第２流体室の方向に変位するときには前記オリフィス孔の側から前記作動油で押圧されて当該オリフィス板から離反して前記オリフィス孔を開放し、
前記ピストン組立体が前記第１流体室の方向に変位するときには前記作動油で押圧されて前記オリフィス板に押し付けられて前記オリフィス孔を閉塞することを特徴とする請求項３又は請求項４に記載のダンパ装置。
【請求項６】
前記チェック弁と前記内環部とが互いに同心円状に配置され、
前記連結部は、
前記内環部と前記チェック弁との間に配置される環状部と、
前記環状部から前記内環部に向かって延伸して前記環状部を前記内環部に接続する内周側接続部と、
前記環状部から前記チェック弁に向かって延伸して前記環状部を前記チェック弁に接続する外周側接続部と、を有し、
前記環状部は前記チェック弁及び前記内環部と同心円状に配置される円環の一部が切断された形状であって、
前記内周側接続部が前記環状部の切断された一端に設けられ、前記外周側接続部が前記環状部の切断された他端に設けられていることを特徴とする請求項３から請求項５までのいずれか１項に記載のダンパ装置。
【請求項７】
前記ピストン組立体は、
前記第１作動油流路の一部をなすバルブ孔が形成されている磁性体のピストン本体と、
前記ピストン本体の周囲に巻回されるコイルと、
前記ピストン本体及び前記コイルを内包するアウターヨークと、を含んで構成され、
前記第１バルブは、
励磁電流が前記コイルに供給されたときに発生する磁力で前記ピストン本体側に吸引されて前記バルブ孔を閉塞する開閉部を有し、
制御部が前記励磁電流を変更して前記第１閾値を設定し、
前記開閉部が前記バルブ孔を閉塞している状態で前記第１流体室の方向に変位する前記ピストン組立体の変位によって前記作動油の圧力が前記第１閾値に達したときに、前記第１作動油流路の前記作動油が前記開閉部を押し開けることを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載のダンパ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダンパ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
車両には、振動を減衰するためにダンパ装置が備わっている。ダンパ装置は伸縮して車両の振動を減衰する。このようなダンパ装置において、伸長する動作（伸び行程）では減衰力を高め、収縮する動作（圧縮行程）では減衰力を低くすることが要求される場合がある。
特許文献１の図６には、緩衝器（ダンパ装置）が記載されている。この緩衝器は、ピストンにおいて粘性流体が流通する油路（伸び側油路，圧縮側油路）を開閉するバルブ（伸び側バルブ群，圧縮側バルブ群）を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１４４７９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の図６に記載される緩衝器は、伸び側バルブ群がピストンに当接して油路を閉塞するとき、スリットによって伸び側バルブ群とピストンの間にオリフィスが形成される。ピストンが伸び側に変位するとき、ピストンを流通する流体の圧力が所定の圧力を超えるまで流体はオリフィスを通過し、所定の圧力を超えたときに伸び側バルブ群がピストンの油路を開放する。つまり、特許文献１の緩衝器は、所定の圧力までオリフィスで減衰力を発生させ、所定の圧力を超えるとピストンの油路で減衰力を発生させる。
一方、この緩衝器は、ピストンが圧縮側に変位するとき、伸び側バルブ群はピストンの油路を閉塞し圧縮側バルブがピストンの油路を解放することで減衰力を発生させる。このとき、伸び側バルブ群とピストンの間に形成されるオリフィスが閉塞されないため、ピストンが圧縮側に変位するときにも粘性流体の一部が当該オリフィスを流通する。このようにオリフィスを流通する粘性流体は、伸び側バルブ群で流通が規制されない漏れ流体となる。
【０００５】
ピストンが圧縮側に変位するときにオリフィスを流通する漏れ流体が生じると、圧縮側に変位するときの減衰力が効果的に高まらないという問題が生じる。この問題は、特にピストンの変位速度が微低速の場合に顕著に発生する。このような問題のため、ピストンの油路にオリフィスを有する構造では、圧縮側又は伸び側の一方で減衰力を高め他方で減衰力を低くすることが困難になる。
【０００６】
そこで本発明は、減衰力を発生するオリフィス部による漏れ流体の発生を抑制し、圧縮側又は伸び側の一方で減衰力を高め他方で減衰力を低くすることが可能なダンパ装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため本発明は、作動油が充填されているシリンダに摺動可能に収納されて前記シリンダを摺動方向に第１流体室と第２流体室に区画するピストン組立体と、前記第１流体室と前記第２流体室を連通して前記作動油が流通可能な第１作動油流路及び第２作動油流路と、前記ピストン組立体が前記第２流体室の方向に変位するときには前記第１作動油流路を閉塞し、前記ピストン組立体が前記第１流体室の方向に変位するときには前記第１作動油流路における前記作動油の圧力が所定の第１閾値に達したときに前記第１作動油流路の前記作動油に押圧されて前記第１作動油流路を開放する第１バルブと、前記ピストン組立体が前記第１流体室の方向に変位するときには前記第２作動油流路を閉塞し、前記ピストン組立体が前記第２流体室の方向に変位するときには前記第２作動油流路における前記作動油の圧力が所定の第２閾値に達したときに前記第２作動油流路の前記作動油に押圧されて前記第２作動油流路を開放する第２バルブと、を有するダンパ装置とする。そして、前記第２バルブは、前記作動油が流通して前記ピストン組立体の変位を減衰する減衰力を発生させるオリフィス部と、前記オリフィス部を開閉するチェック弁と、を具備し、前記チェック弁は、前記ピストン組立体が前記第２流体室の方向に変位するときには前記オリフィス部を開放し、前記ピストン組立体が前記第１流体室の方向に変位するときには前記オリフィス部を閉塞することを特徴とする。
【０００８】
本発明のダンパ装置は、ピストン組立体が第２流体室の方向に変位するときに作動油が流通して減衰力を発生させるオリフィス部を有する。このオリフィス部は、ピストン組立体が第１流体室の方向に変位するときに閉塞される。したがって、ピストン組立体が第１流体室の方向に変位するときに、作動油がオリフィス部を流通することが防止される。ピストン組立体が第１流体室の方向に変位するときにオリフィス部を流通する作動油は、第１作動油流路を流通しない漏れ流体となるが、オリフィス部が閉塞することによって漏れ流体の発生が抑制される。
このように、本発明によると、減衰力を発生させるオリフィス部を有するダンパ装置において、ピストン組立体が変位する方向に応じてオリフィス部を開閉することで漏れ流体の発生を効果的に抑制でき、一方の行程で減衰力を高め他方の行程で減衰力を低くすることができる。
【０００９】
また、本発明のダンパ装置の前記第２バルブは、前記第２作動油流路における前記作動油の流通を規制して前記オリフィス部を形成するオリフィス孔を有するオリフィス板と、前記作動油に押圧されて前記オリフィス孔を開閉する前記チェック弁を有するバルブ板と、前記オリフィス板と前記チェック弁の間に間隙を形成するスペーサ板と、が積層されて構成される。そして前記チェック弁は、前記ピストン組立体が前記第２流体室の方向に変位するときには前記オリフィス孔の側から前記作動油で押圧されて当該オリフィス板から離反して前記オリフィス孔を開放し、前記ピストン組立体が前記第１流体室の方向に変位するときには前記作動油で押圧されて前記オリフィス板に押し付けられて前記オリフィス孔を閉塞することを特徴とする。
【００１０】
本発明によると、第２バルブは、オリフィス板とバルブ板が積層されて形成される。オリフィス板にはオリフィス部を形成するオリフィス孔が開口している。バルブ板は、オリフィス板のオリフィス孔を開閉するチェック弁を有する。このチェック弁は、ピストン組立体が第２流体室の方向に変位するときには作動油で押圧されてオリフィス孔を開放する。また、ピストン組立体が第１流体室の方向に変位するときには作動油で押圧されてオリフィス孔を閉塞し、オリフィス部を閉塞する。
このように、本発明によると、オリフィス板とバルブ板が積層されている簡素な構造の第２バルブで、ピストン組立体が変位する方向に応じてオリフィス部を開閉できる。
【００１１】
また、本発明のダンパ装置の前記第２バルブは、円環状の前記チェック弁と、前記チェック弁の内側に配設される円環状の内環部と、前記チェック弁と前記内環部を連結する連結部と、を含んで構成されるバルブ板を具備し、前記連結部は、前記内環部から前記チェック弁に向かって延設されて前記チェック弁が前記内環部に対して可動となるように弾性を有し、前記連結部の延伸方向に沿った長さが、前記内環部と前記チェック弁を最短で結ぶ長さよりも長いことを特徴とする。
【００１２】
本発明によると、第２バルブは、円環状のチェック弁と、その内側に配置される円環状の内環部と、チェック弁と内環部を連結する連結部と、を有するバルブ板を具備する。そして、連結部は弾性を有し、チェック弁と内環部を結ぶ最短の長さよりも長く形成される。このため、弾性変形しやすい連結部となり、チェック弁が内環部に対して変位しやすくなっている。
【００１３】
また、本発明に係る前記連結部は、前記内環部の径方向に延びる全ての直線上に少なくとも１箇所の非連続部が形成されるように、前記チェック弁と前記内環部を連結することを特徴とする。
【００１４】
本発明によると、連結部は、内環部の径方向に延びる全ての直線上に少なくとも１箇所の非連続部が形成されるようにしてチェック弁と内環部を連結する。したがって、チェック弁のどの位置でも、内環部を臨む方向において内環部とチェック弁が分離している。このため、チェック弁のどこの一部が押圧された場合であっても、チェック弁におけるその位置が内環部に対して容易に変位する構造になっている。
【００１５】
また、本発明のダンパ装置の前記第２バルブは、前記第２作動油流路における前記作動油の流通を規制して前記オリフィス部を形成するオリフィス孔を有するオリフィス板と、前記バルブ板と、前記バルブ板の変形を規制するサポート板と、前記サポート板と前記チェック弁の間に間隙を形成するスペーサ板と、が積層されて構成され、前記チェック弁は、前記ピストン組立体が前記第２流体室の方向に変位するときには前記オリフィス孔の側から前記作動油で押圧されて当該オリフィス板から離反して前記オリフィス孔を開放し、前記ピストン組立体が前記第１流体室の方向に変位するときには前記作動油で押圧されて前記オリフィス板に押し付けられて前記オリフィス孔を閉塞することを特徴とする。
【００１６】
本発明によると、第２バルブは、オリフィス板とバルブ板とスペーサ板とサポート板とが積層されて形成される。オリフィス板にはオリフィス部を形成するオリフィス孔が開口している。バルブ板は、オリフィス板のオリフィス孔を開閉するチェック弁を有する。このチェック弁は、ピストン組立体が第２流体室の方向に変位するときには作動油で押圧されてオリフィス孔を開放する。また、ピストン組立体が第１流体室の方向に変位するときには作動油で押圧されてオリフィス孔を閉塞し、オリフィス部を閉塞する。
このように、本発明によると、オリフィス板とバルブ板スペーサ板とサポート板とが積層されている簡素な構造の第２バルブで、ピストン組立体が変位する方向に応じてオリフィス部を開閉できる。
【００１７】
また、前記チェック弁と前記内環部とが互いに同心円状に配置され、前記連結部は、前記内環部と前記チェック弁との間に配置される環状部と、前記環状部から前記内環部に向かって延伸して前記環状部を前記内環部に接続する内周側接続部と、前記環状部から前記チェック弁に向かって延伸して前記環状部を前記チェック弁に接続する外周側接続部と、を有し、前記環状部は前記チェック弁及び前記内環部と同心円状に配置される円環の一部が切断された形状であって、前記内周側接続部が前記環状部の切断された一端に設けられ、前記外周側接続部が前記環状部の切断された他端に設けられていることを特徴とする。
【００１８】
本発明によると、チェック弁と内環部を連結する連結部が長く形成されるので、弾性変形しやすい連結部になっている。このため、内環部に対して変位しやすいチェック弁になっており、オリフィス部を滑らかに開閉可能なチェック弁とすることができる。
【００１９】
また、前記ピストン組立体は、前記第１作動油流路の一部をなすバルブ孔が形成されている磁性体のピストン本体と、前記ピストン本体の周囲に巻回されるコイルと、前記ピストン本体及び前記コイルを内包するアウターヨークと、を含んで構成され、前記第１バルブは、励磁電流が前記コイルに供給されたときに発生する磁力で前記ピストン本体側に吸引されて前記バルブ孔を閉塞する開閉部を有する。そして、制御部が前記励磁電流を変更して前記第１閾値を設定し、前記開閉部が前記バルブ孔を閉塞している状態で前記第１流体室の方向に変位する前記ピストン組立体の変位によって前記作動油の圧力が前記第１閾値に達したときに、前記第１作動油流路の前記作動油が前記開閉部を押し開けることを特徴とする。
【００２０】
ピストン組立体が第１流体室の方向に変位する際の変位速度が微低速で作動油の圧力が第１閾値よりも低く第１作動油流路が開放されない状態のときオリフィス部による漏れ流体が発生すると、第１流体室から第２流体室への作動油の流通が完全に遮断されない。このため、ダンパ装置の減衰力を可変としても減衰力の可変領域が狭くなる。
本発明によると、ピストン組立体が第１流体室の方向に変位するときにはオリフィス部による漏れ流体が発生しない。したがって、第１流体室から第２流体室への作動油の流通が完全に遮断された状態から第１作動油流路が開放される状態まで減衰力を変化させることができ、減衰力の可変領域を充分に確保できる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によると、減衰力を発生するオリフィス部による漏れ流体の発生を抑制し、圧縮側又は伸び側の一方で減衰力を高め他方で減衰力を低くすることが可能なダンパ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】減衰力可変ダンパの構成図である。
【図２】ピストン組立体の構造を示す斜視図である。
【図３】ピストン組立体の断面図である。
【図４】（ａ）は積層バルブの構造を示す斜視図、（ｂ）はバルブプレートの平面図である。
【図５】コンベピストン及びチェックバルブの構造を示す斜視図である。
【図６】チェックバルブの断面図である。
【図７】（ａ）はピストン組立体が下方に変位する場合の作動油の流れを示す図、（ｂ）はピストン組立体が上方に変位する場合の作動油の流れを示す図である。
【図８】第２実施形態の減衰力可変ダンパに備わるチェックバルブを示す図である。
【図９】第２実施形態に係るバルブ板の平面図である。
【図１０】第２実施形態に係るチェックバルブの断面図である。
【図１１】（ａ）はピストン組立体が下方に変位する場合の作動油の流れを示す図、（ｂ）はピストン組立体が上方に変位する場合の作動油の流れを示す図である。
【図１２】バルブ板の設計変更例を示す図であり、（ａ）はオリフィス孔を閉塞する開閉腕が内環部から延設されている図、（ｂ）は開閉腕の先端が広がっている状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
≪第１実施形態≫
以下、適宜図面を参照しながら、本発明の第１実施形態を詳細に説明する。
図１は減衰力可変ダンパの構成図、図２はピストン組立体の構造を示す斜視図、図３はピストン組立体の断面図である。
図１に示すように、第１実施形態のダンパ装置（減衰力可変ダンパ１０）は、能動的に減衰力を変化して車両１１に生じる振動を吸収する緩衝装置である。
なお、本発明に係るダンパ装置の一例として、減衰力が可変の減衰力可変ダンパ１０が図１に記載されている。しかしながら、本発明は減衰力が一定に設定されるダンパ装置にも適用可能である。
図１に示す減衰力可変ダンパ１０は、シリンダ１２と、ピストン組立体１４と、ピストンロッド１６とを備える。ピストン組立体１４は円筒状のシリンダ１２内に摺動自在に収納される。ピストンロッド１６は、ピストン組立体１４に連結されてシリンダ１２の上端部１２ａから突出する。
なお、第１実施形態においては、ピストンロッド１６が突出する上端部１２ａの側を上方として減衰力可変ダンパ１０の上下方向を設定する。
【００２４】
ピストン組立体１４の内部にはコイル１５が備わる。コイル１５は、ワイヤハーネス２１を介して制御部２２に接続される。コイル１５には電源２４（バッテリ等）から電流（励磁電流Ｉｃ）が供給される。
【００２５】
シリンダ１２の内部には液体（作動油１３）が充填されている。ピストン組立体１４は、矢印で示す上下方向（シリンダ１２の軸線方向）に摺動可能に備わっている。そして、シリンダ１２の内部は、ピストン組立体１４によって、上端部１２ａ側の第１流体室（上液圧室３１）と、第２流体室（下液圧室３２）に、ピストン組立体１４の摺動方向（上下方向）に区画される。
【００２６】
このように構成される減衰力可変ダンパ１０は、車両１１からピストンロッド１６を変位させる圧力が印加されたときに、シリンダ１２内でピストン組立体１４を矢印方向（上下方向）に摺動させて作動油１３を上液圧室３１と下液圧室３２の間で移動させることによって減衰力を生じる。
【００２７】
なお、ピストン組立体１４が上液圧室３１の方向に変位すると、上端部１２ａからのピストンロッド１６の突出量が増大して減衰力可変ダンパ１０が伸長する。また、ピストン組立体１４が下液圧室３２の方向に変位すると、上端部１２ａからのピストンロッド１６の突出量が減少して減衰力可変ダンパ１０が収縮する。よって、第１実施形態の減衰力可変ダンパ１０は、ピストン組立体１４が上液圧室３１の方向に変位する行程が伸び行程となり、ピストン組立体１４が下液圧室３２の方向に変位する行程が圧縮行程となる。
【００２８】
シリンダ１２の下液圧室３２は、ボトムバルブ１００によってリザーブ室６０と区画されている。ボトムバルブ１００には、下液圧室３２とリザーブ室６０を連通する複数の連通路１００ａが形成されている。複数の連通路１００ａは、第１制御弁１１０ａまたは第２制御弁１１０ｂのいずれか一方で開閉される。
【００２９】
第１制御弁１１０ａは、下液圧室３２における作動油１３の圧力（以下、「下室液圧」と称する）が所定の圧力よりも低くなったときに開弁して、リザーブ室６０から下液圧室３２に向かう一方向の作動油１３の流通を許可する逆止弁である。第２制御弁１１０ｂは、下室液圧が所定の圧力よりも高くなったときに開弁して、下液圧室３２からリザーブ室６０に向かう一方向の作動油１３の流通を許可する逆止弁である。
以下、上液圧室３１における作動油１３の圧力を「上室液圧」と称する。
【００３０】
リザーブ室６０は、適宜与圧されたガスが充填されるガス室６１とフリーピストン６０ａによって区画されている。フリーピストン６０ａはシリンダ１２内を上下方向に摺動可能に備わる。この構成によって、ガス室６１に充填されているガスの気圧が下液圧室３２および上液圧室３１に充填される作動油１３に付与され、下室液圧および上室液圧がガス室６１に充填されているガスの気圧と等しく維持される。
減衰力可変ダンパ１０は、ガス室６１に充填されているガスの気圧を初期内圧として作動する。
【００３１】
第１実施形態の減衰力可変ダンパ１０は、ピストン組立体１４で区画される上液圧室３１と下液圧室３２の間における作動油１３の流通を操作して減衰力を変化させる。ピストン組立体１４は図２，３に示すように構成される。
図２に示すように、ピストン組立体１４は、ピストンロッド１６の側から、ピストン本体１８、シールコア１７ａ、積層バルブ２０（第１バルブ）、非磁性ストッパー１７ｂ、チェックバルブ４０（第２バルブ）、およびコンベピストン３０がこの順に直列に配設される。ピストン本体１８の周囲にはコイル１５が巻回されている。
また、コンベピストン３０には、チェックバルブ４０と反対の端部にコンベバルブ５０が備わる。
【００３２】
ピストン本体１８の周囲にはアウターヨーク１７が配設され、シールコア１７ａによってアウターヨーク１７内にピストン本体１８とコイル１５が密封される。つまり、アウターヨーク１７はピストン本体１８とコイル１５を内包している。
また、ピストン本体１８に雌ねじが形成されてピストンロッド１６に雄ねじが形成される。そして、ピストン本体１８にピストンロッド１６がねじ込まれて締結固定される。
【００３３】
なお、図３に示すように、アウターヨーク１７と、ピストン本体１８と、シールコア１７ａと、の間は、Ｏリング１９などのシール部材で適宜液密に密封されている。
また、符号２５はリフターであり、符号２１０はスペーサ部材である。リフター２５及びスペーサ部材２１０の詳細は後記する。
【００３４】
ピストン本体１８には、複数のバルブ孔１８ａが軸線方向に貫通している。積層バルブ２０はバルブ孔１８ａを開閉する。積層バルブ２０の詳細は後記する。
非磁性ストッパー１７ｂとコンベピストン３０は、非磁性ボルト１８ｂによってピストン本体１８に取り付けられる。非磁性ボルト１８ｂは、ピストン本体１８に締結固定される。そして、積層バルブ２０は、非磁性ストッパー１７ｂとピストン本体１８に挟持されて固定される。
【００３５】
非磁性ストッパー１７ｂには空間領域１７ｂ１が形成されている。空間領域１７ｂ１はピストン本体１８のバルブ孔１８ａと対向する位置に形成される。空間領域１７ｂ１には、積層バルブ２０を通過した作動油１３が流れ込む。
コンベピストン３０の外周には、ゴムなどの弾性体であるピストンリング３０ａが環装される。ピストンリング３０ａはシリンダ１２の周壁とピストン組立体１４の間隙を閉塞する。この構成によって、ピストン組立体１４がシリンダ１２を摺動する。また、ピストンリング３０ａによって、シリンダ１２の上液圧室３１と下液圧室３２が液密に区画される。
【００３６】
なお、コンベピストン３０と非磁性ストッパー１７ｂの間にスペーサ部材３３とチェックバルブ４０が配設される。
非磁性ストッパー１７ｂ、スペーサ部材３３、及びコンベピストン３０には、それぞれ作動油１３の流路が形成され、それらの流路が連通して作動油流路１３０（第１作動油流路）が形成される。さらに、アウターヨーク１７にもピストン本体１８のバルブ孔１８ａと上液圧室３１を連通する連通孔１７１が形成されている。
非磁性ストッパー１７ｂに形成される作動油流路１３０は、作動油１３が流れ込む空間領域１７ｂ１と下液圧室３２を連通し、空間領域１７ｂ１に流れこんだ作動油１３が作動油流路１３０を経由して下液圧室３２に流入する。この構成によって、連通孔１７１、バルブ孔１８ａ、空間領域１７ｂ１を含んだ作動油流路１３０が形成される。上液圧室３１と下液圧室３２は作動油流路１３０によって連通する。
符号１７ｂ２は、積層バルブ２０がバルブ孔１８ａを開閉する動作をするために設けられる退避用スペースである。
【００３７】
第１実施形態の減衰力可変ダンパ１０は、上液圧室３１から下液圧室３２に向かう方向に、またはその逆方向に、作動油流路１３０（連通孔１７１，バルブ孔１８ａ，空間領域１７ｂ１）に作動油１３を流通させて、ピストン組立体１４の変位を減衰する減衰力（つまり、ピストン組立体１４に作用する減衰力）を発生する。
【００３８】
ピストン本体１８は、鋼材などの磁性体で形成される。ピストン本体１８が磁性体であれば、コイル１５に励磁電流Ｉｃが供給されたときにピストン本体１８を鉄心とする電磁石が形成されて磁力が発生する。さらに、磁性体のピストン本体１８はそれ自体が磁化する。つまり、コイル１５に励磁電流Ｉｃが供給されるとピストン本体１８とアウターヨーク１７が磁化して磁力が発生する電磁石が形成される。
【００３９】
第１実施形態の減衰力可変ダンパ１０に備わるピストン組立体１４は、図２，３に示すように構成される。そして、ピストン本体１８に形成されるバルブ孔１８ａが積層バルブ２０で閉塞されると、バルブ孔１８ａにおける作動油１３の流通が遮断されてピストン組立体１４の変位に対する抵抗力が生じる。この抵抗力が、ピストン組立体１４の変位を減衰させる減衰力となる。
【００４０】
図３に示すように構成されるピストン組立体１４が下方（下液圧室３２の方向）に変位するとき、積層バルブ２０の開閉部２０ａはバルブ孔１８ａ（作動油流路１３０）を閉塞する。また、コンベピストン３０においては、コンベバルブ５０が作動油流路１３０を閉塞する。
ピストン組立体１４が上方（上液圧室３１の方向）に変位するとき（伸び行程）、変位速度が低い状態では上液圧室３１と下液圧室３２の容積が徐々に変化する。この場合、容積が徐々に増大する下液圧室３２にリザーブ室６０（図１参照）から作動油１３が供給される。これによって、シリンダ１２内の液圧が均等化されて、上液圧室３１と下液圧室３２の液圧は大きく変化しない。一方、変位速度が高い状態では、上液圧室３１と下液圧室３２の容積が急激に変化する。この場合、容積が急激に増大する下液圧室３２へのリザーブ室６０からの作動油１３の供給が遅れる。したがって、シリンダ１２内の液圧の均等が崩れ、容積が減少する上液圧室３１は液圧が高まる。バルブ孔１８ａを流通する作動油１３が積層バルブ２０の開閉部２０ａを押圧する圧力が高まって開閉部２０ａを押し開ける。そして、開閉部２０ａがバルブ孔１８ａ（作動油流路１３０）を開放する。
【００４１】
このように、ピストン組立体１４が上液圧室３１の方向に変位する伸び行程のとき、変位速度が高くなって上液圧室３１における作動油１３の圧力が第１閾値（ピストンバルブ開放値）に達したときに、作動油流路１３０を流通する作動油１３が開閉部２０ａを押し開ける。そして、積層バルブ２０がバルブ孔１８ａ（作動油流路１３０）を開放する。積層バルブ２０がバルブ孔１８ａを開放する作動油１３の圧力のピストンバルブ開放値は、ピストン本体１８が開閉部２０ａを吸引する磁力によって決定される。開閉部２０ａが吸引される磁力は、制御部２２（図１参照）が、コイル１５に供給する励磁電流Ｉｃを変更することで調節される。つまり、コイル１５に供給する励磁電流Ｉｃを変更して磁力を調節する制御部２２によって、バルブ孔１８ａが開放される作動油１３の圧力のピストンバルブ開放値（第１閾値）が設定される。
【００４２】
また、アウターヨーク１７及び非磁性ストッパー１７ｂとシリンダ１２の周壁との間には間隙が形成されている。この間隙は、積層バルブ２０がバルブ孔１８ａを閉塞している状態でピストン組立体１４が変位するときに作動油１３が流通する逃げ流路１４０を形成する。
【００４３】
図３に示すように、コンベピストン３０は、スペーサ部材３３によって非磁性ストッパー１７ｂとの間が離間する。そして、コンベピストン３０と非磁性ストッパー１７ｂの間に、上液圧室３１と逃げ流路１４０を介して連通する液圧室（中間室３１ａ）が形成される。また、コンベピストン３０には、下液圧室３２と中間室３１ａを連通するオリフィス流路１５０（第２作動油流路）が形成されている。オリフィス流路１５０は、中間室３１ａの側がチェックバルブ４０で開閉される。チェックバルブ４０は、コンベピストン３０とスペーサ部材３３とで挟持される。チェックバルブ４０の詳細は後記する。
【００４４】
図４の（ａ）は積層バルブの構造を示す斜視図、（ｂ）はバルブプレートの平面図である。
図４の（ａ）に示すように、積層バルブ２０は、複数（１０〜３０枚程度）のバルブプレート２００が積層されて構成される。複数のバルブプレート２００は、接着や溶接などで互いに固着されていてもよい。又は、複数のバルブプレート２００が互いに固着されることなく、非磁性ストッパー１７ｂ（図２参照）とピストン本体１８で押圧された状態で減衰力可変ダンパ１０（図１参照）に備わる構成であってもよい。
なお、バルブプレート２００の枚数（１０〜３０枚程度）は限定されない。
【００４５】
積層バルブ２０は開閉部２０ａを有する。開閉部２０ａは、バルブ孔１８ａに対応して配置される。第１実施形態の積層バルブ２０は、ピストン本体１８のバルブ孔１８ａと同数の開閉部２０ａを有する（バルブ孔１８ａと開閉部２０ａが同数になっている）。しかしながら、開閉部２０ａは、バルブ孔１８ａに対応して配置されていれば、その数は限定されない。例えば、２つ（又はそれ以上）のバルブ孔１８ａに対して１つの開閉部２０ａが配置されるように構成される積層バルブ２０であってもよい。
【００４６】
開閉部２０ａはたわんで弾性変形し、ピストン本体１８のバルブ孔１８ａを開放および閉塞する（バルブ孔１８ａを開閉する）。開閉部２０ａは円環状に形成される外周部２０ｂから中心に向かって延出する。開閉部２０ａは、バルブ孔１８ａを流通する作動油１３（図３参照）によってピストン本体１８の側から押圧される。そして開閉部２０ａは、図３に示すように非磁性ストッパー１７ｂに適宜形成される隙間（退避用スペース１７ｂ２）に入り込むようにたわんでバルブ孔１８ａを開放する。
このように、積層バルブ２０の開閉部２０ａは、バルブ孔１８ａを流通する作動油１３によって押し開けられる。
また、積層バルブ２０の開閉部２０ａは、バルブ孔１８ａの側（ピストン本体１８の端面１８Ｆの側）に復帰する弾性力を有する。開閉部２０ａが弾性力を有するとバルブ孔１８ａを開閉可能になる。
前記したようにバルブ孔１８ａは作動油流路１３０（図３参照）の一部である。したがって、積層バルブ２０の開閉部２０ａはバルブ孔１８ａを開閉することで作動油流路１３０を開閉する。
【００４７】
積層バルブ２０の開閉部２０ａは、ピストン組立体１４が上液圧室３１（図３参照）の側に変位するとき（伸び行程）、バルブ孔１８ａを流通する作動油１３によって押し開けられてバルブ孔１８ａ（作動油流路１３０）を開放する。また、開閉部２０ａは、ピストン組立体１４が下液圧室３２（図３参照）の側に変位するとき（圧縮行程）、バルブ孔１８ａ（作動油流路１３０）を閉塞する。
【００４８】
また、制御部２２（図１参照）は、コイル１５（図１参照）に供給する励磁電流Ｉｃを調節して、開閉部２０ａをピストン本体１８に吸引する磁力を調節する。磁力が強くなるほど開閉部２０ａがバルブ孔１８ａを開放しにくくなる。バルブ孔１８ａが開放されにくいほど、バルブ孔１８ａでの作動油１３の流通の遮断による抵抗が大きくなって減衰力が大きくなる。つまり、制御部２２は、コイル１５に供給する励磁電流Ｉｃを大きくして減衰力を高める。
【００４９】
バルブプレート２００は薄い板状の部材である。図４の（ｂ）に示すように、バルブプレート２００には可動部２００ａが形成されている。可動部２００ａは、ピストン本体１８のバルブ孔１８ａの数と位置に対応するように形成されている。可動部２００ａは、円環状の外縁部２００ｂから中央に向かって延設される。外縁部２００ｂは、バルブプレート２００が積層されたときに積層バルブ２０の外周部２０ｂを形成する。
【００５０】
隣接する可動部２００ａの間にはスリット２００ｃが形成されている。つまり、１つの可動部２００ａは２つのスリット２００ｃの間に形成される。そして、複数の可動部２００ａが互いに干渉しないように構成される。
１つの可動部２００ａは１つのバルブ孔１８ａを閉塞する。図４の（ａ）に示すようにバルブプレート２００が積層してなる積層バルブ２０は、可動部２００ａが積層された部分で開閉部２０ａが形成される。
スリット２００ｃは、外縁部２００ｂ側の端部が、例えば円形に形成されていてもよい。このような形状のスリット２００ｃが形成されることによって、スリット２００ｃの外縁部２００ｂ側に応力集中が発生せず、バルブプレート２００は、スリット２００ｃから外縁部２００ｂが破断するなどの破損が発生しにくくなる。
【００５１】
バルブプレート２００は、スリット２００ｃが外縁部２００ｂから周方向に回り込むように中心に向かう渦巻状の曲線で形成される。
これによって、可動部２００ａは、外縁部２００ｂから中心の側に向かって渦巻状に回り込むように延設され、湾曲した曲線形状を呈する。
積層バルブ２０の開閉部２０ａは可動部２００ａが積層されて形成される。このため、積層バルブ２０の開閉部２０ａも、外周部２０ｂから中心の側に向かって回り込むように延設され、渦巻状に湾曲する曲線形状になる。
【００５２】
可動部２００ａは、バルブ孔１８ａを流通する作動油１３（図１参照）から受ける圧力でピストン本体１８から離反する方向にたわむように構成される。
また、可動部２００ａは、作動油１３から圧力を受ける位置（作用点Ｐ１）から、外縁部２００ｂ側の固定端Ｐ２（図４の（ｂ）に二点鎖線で示す）までの長さ（符号Ｌ１で示す）が長いほどたわみやすくなる。ここでいう長さＬ１は、可動部２００ａに沿った長さを示し、実際にたわむことができる長さ（可撓長さ）を示す。
つまり、作用点Ｐ１から固定端Ｐ２まで、可動部２００ａに沿った長さ（可撓長さ）Ｌ１が長ければ、作用点Ｐ１に入力される圧力が小さくてもバルブ孔１８ａが開放されることになり、可動部２００ａの剛性が低いバルブプレート２００とすることができる。
なお、固定端Ｐ２から中心の側に可動部２００ａが形成されるため、固定端Ｐ２よりも外側が外縁部２００ｂになる。
【００５３】
このように、第１実施形態のバルブプレート２００は、可撓長さＬ１が長く形成されて可動部２００ａの剛性が低くなるように形成されている。
【００５４】
バルブプレート２００は、鋼板など磁性体で形成される。磁性体のバルブプレート２００は、コイル１５（図１参照）に励磁電流Ｉｃが供給されたときにピストン本体１８及びアウターヨーク１７（図２参照）に生じる磁力で吸引される。したがって、開閉部２０ａは、コイル１５に励磁電流Ｉｃが供給されたときに発生する磁力でピストン本体１８側に吸引される開閉部となる。
【００５５】
なお、図４の（ａ）に示すように、ピストン本体１８と積層バルブ２０の間にリフター２５が備わっている。
リフター２５は、例えば、バルブ孔１８ａを閉塞する円盤（円環）状に形成される板金部材である。リフター２５は、非磁性ボルト１８ｂ（図２参照）が挿通するように中心が開口している。
リフター２５は、積層バルブ２０を構成するバルブプレート２００の全ての可動部２００ａにまたがるように形成されている。つまり、リフター２５は、積層バルブ２０の全ての開閉部２０ａにまたがって配設される。このように配設されるリフター２５によって、積層バルブ２０の全ての開閉部２０ａが接続される。
【００５６】
また、リフター２５の中心に形成される開口部の周囲に、積層バルブ２０の中心部に嵌合する凸状部２５ａが形成されている。凸状部２５ａが積層バルブ２０の中心部に嵌合することによってリフター２５の位置ずれが効果的に回避される。
【００５７】
また、リフター２５の周囲に、当該リフター２５と、ピストン本体１８の端面１８Ｆ（バルブ孔１８ａ）と、の間隙を調節するスペーサ部材２１０が配設される構成であってもよい。スペーサ部材２１０は、積層バルブ２０の外周部２０ｂに相対する位置に配設される。
【００５８】
図５はコンベピストン及びチェックバルブの構造を示す斜視図である。図６はチェックバルブの断面図である。
【００５９】
図５に示すように、コンベピストン３０の上端部３０Ｆ（図３に示す中間室３１ａ側の端部）にオリフィス流路１５０が開口している。上端部３０Ｆにおいてオリフィス流路１５０が開口している周囲には壁部３０Ｆａが立設される。全ての壁部３０Ｆａは、上端部３０Ｆの外径よりも内側に形成されている。また、上端部３０Ｆの中心部には、壁部３０Ｆａと同じ高さの台座部３０Ｆｂが形成されている。
なお、壁部３０Ｆａ及び台座部３０Ｆｂが形成されないコンベピストン３０であってもよい。
【００６０】
チェックバルブ４０は、オリフィス板４１と、スペーサ板４２と、バルブ板４３と、サポート板４４と、を有する。オリフィス板４１、スペーサ板４２、バルブ板４３、及びサポート板４４はいずれも薄い円盤状を呈し、コンベピストン３０の側からこの順で同心円状に積層されてチェックバルブ４０を構成する。
また、チェックバルブ４０（オリフィス板４１，スペーサ板４２，バルブ板４３，サポート板４４）の中心部には、非磁性ボルト１８ｂ（図２参照）が貫通する貫通孔４０ａが形成されている。
【００６１】
オリフィス板４１は、コンベピストン３０の上端部３０Ｆにおいて全てのオリフィス流路１５０を覆い、かつ、上端部３０Ｆの外径よりも小さく形成される。オリフィス板４１には、少なくとも１つのオリフィス孔４１ａが開口している。オリフィス孔４１ａは、コンベピストン３０の上端部３０Ｆにおけるオリフィス流路１５０の位置に対応して形成されている。また、オリフィス孔４１ａは、上端部３０Ｆにおけるオリフィス流路１５０の開口面積よりも小さく形成されている。これによって、オリフィス流路１５０における作動油１３の流通がオリフィス孔４１ａで規制される。オリフィス板４１は、壁部３０Ｆａの上端面３０Ｆｃ及び台座部３０Ｆｂにほぼ密着する。
【００６２】
スペーサ板４２は、オリフィス板４１よりも小さな外径の円環状を呈する。スペーサ板４２は、オリフィス板４１とバルブ板４３（後記する内環部４３ｂ）の間に介在して、オリフィス板４１と外環部（チェック弁４３ａ）の間に間隙Ｇ１（図６参照）を形成する。
【００６３】
バルブ板４３は、チェック弁４３ａと、内環部４３ｂと、を有する。チェック弁４３ａは、外径がオリフィス板４１の外径よりも大きく、かつ、シリンダ１２（図１参照）の内径よりも小さい環状を呈する。内環部４３ｂは、スペーサ板４２と同じ外径を有し、チェック弁４３ａの内側に配置される。チェック弁４３ａと内環部４３ｂは連結部４３ｃで連結される。バルブ板４３は、例えば薄い金属で形成されて弾性を有する。バルブ板４３は、オリフィス板４１に対して同心円状に積層されたときにチェック弁４３ａがオリフィス孔４１ａを閉塞可能に構成される。このように、バルブ板４３は、オリフィス板４１のオリフィス孔４１ａを開閉可能に構成される。このため、バルブ板４３のチェック弁４３ａは、オリフィス孔４１ａを開閉する弁体部として機能する。
【００６４】
サポート板４４は、オリフィス板４１と同じ外径の円盤状を呈する。サポート板４４は、バルブ板４３を上方（図３に示す中間室３１ａ側）から押さえ、バルブ板４３の上方への変形を規制する。
【００６５】
図５に示す符号４０ｂは回転防止溝である。回転防止溝４０ｂは、例えば、シリンダ１２（図２参照）の周壁に上下方向に延設される突起部（図示せず）に係合する。これによって、オリフィス板４１、バルブ板４３、及びサポート板４４の回転が規制される。
【００６６】
また、このように構成されるチェックバルブ４０は、オリフィス流路１５０を流通する作動油１３から受ける圧力が所定の第２閾値（チェックバルブ開放値）を超えたときにオリフィス流路１５０を開放するように構成される。チェックバルブ開放値は、減衰力可変ダンパ１０（図１参照）の特性値としてあらかじめ設定されている。
【００６７】
図６に示すように、オリフィス板４１と、スペーサ板４２と、バルブ板４３と、サポート板４４がこの順に積層されてチェックバルブ４０が形成される。オリフィス板４１とバルブ板４３の間にスペーサ板４２が配置される。スペーサ板４２はバルブ板４３の内環部４３ｂと積層する。チェック弁４３ａとオリフィス板４１の間に、スペーサ板４２の厚みに等しい間隙Ｇ１が形成される。
【００６８】
バルブ板４３は弾性を有して容易にたわみ、チェック弁４３ａがオリフィス板４１に近接可能になっている。間隙Ｇ１が形成されることによって、チェックバルブ４０に積層されたバルブ板４３はチェック弁４３ａ及び連結部４３ｃがたわむ。チェック弁４３ａは、オリフィス板４１との間に形成される間隙Ｇ１に対して変位し、オリフィス板４１に接してオリフィス孔４１ａを閉塞する。
なお、スペーサ板４２の厚み（間隙Ｇ１の大きさ）は、バルブ板４３が弾性変形する範囲に設定される。
【００６９】
図７の（ａ）はピストン組立体が下方に変位する場合の作動油の流れを示す図、（ｂ）はピストン組立体が上方に変位する場合の作動油の流れを示す図である。
【００７０】
図７の（ａ）に示すように、コンベピストン３０を備えるピストン組立体１４が下方に変位するとき（白矢印方向）、積層バルブ２０（図３参照）は作動油流路１３０（図３参照）を閉塞する。また、下液圧室３２（図３参照）の作動油１３はコンベピストン３０のオリフィス流路１５０に流れ込む。オリフィス流路１５０に流れ込んだ作動油１３はオリフィス板４１のオリフィス孔４１ａを流れてバルブ板４３のチェック弁４３ａを押圧する。チェック弁４３ａは、オリフィス流路１５０の側から作動油１３に押圧されてオリフィス板４１から離反する。これによって、オリフィス孔４１ａが開放される。したがって、オリフィス流路１５０に流れ込んだ作動油１３はオリフィス孔４１ａを通過して中間室３１ａに流れ込む。
中間室３１ａに流れ込んだ作動油１３は、逃げ流路１４０（図３参照）を流通して上液圧室３１（図３参照）に流れ込む。
【００７１】
オリフィス流路１５０を流通する作動油１３がオリフィス孔４１ａを通過するときに流通が規制されて流通抵抗が生じる。このように生じた流通抵抗がピストン組立体１４（図３参照）の変位を減衰する減衰力を発生させる。つまり、第１実施形態のオリフィス孔４１ａは、オリフィス流路１５０における作動油１３の流通を規制してピストン組立体１４の減衰力を発生するオリフィス部を形成する。
また、チェックバルブ４０は、ピストン組立体１４が下方（下液圧室３２の方向）に変位する圧縮行程のときにオリフィス部（オリフィス孔４１ａ）を開放する。
【００７２】
なお、ピストン組立体１４が下方に変位する変位速度が高くなって、オリフィス流路１５０における作動油１３の流通量が所定量に達し、オリフィス流路１５０での作動油１３の圧力がチェックバルブ開放値に達したとき、図７の（ａ）に二点鎖線で示すようにチェックバルブ４０の全体が上方に向かってたわみ、オリフィス流路１５０が開放される。
【００７３】
図７の（ｂ）に示すように、コイル１５（図３参照）に励磁電流Ｉｃが供給されない状態でコンベピストン３０を備えるピストン組立体１４が上方に変位する場合（白矢印方向）、ピストン組立体１４の変位速度が遅く（微低速状態）、上液圧室３１（図３参照）における作動油１３の圧力が、コンベピストン３０の下方に配置されるコンベバルブ５０（図３参照）の開放値より低いときには、コンベバルブ５０が作動油流路１３０（図３参照）を閉塞し、バルブプレート２００とバルブ孔１８ａの隙間を通過した作動油の流れを止める。このため、上液圧室３１（図３参照）の作動油１３は作動油流路１３０を流通しない。上液圧室３１の作動油１３は、逃げ流路１４０（図３参照）を流通して中間室３１ａに流れ込む。
【００７４】
中間室３１ａに作動油１３が流れ込むことによって中間室３１ａの液圧が高くなる。このとき、オリフィス孔４１ａでオリフィス流路１５０への作動油１３の流入が規制されるためオリフィス流路１５０は中間室３１ａよりも液圧が低くなる。さらに、チェックバルブ４０においてバルブ板４３のチェック弁４３ａはサポート板４４よりも外径が大きく形成されている。このため、チェック弁４３ａは、中間室３１ａの高い液圧でオリフィス流路１５０（オリフィス板４１）の側に押圧される。チェック弁４３ａは作動油１３に押圧されてオリフィス板４１に押し付けられ、オリフィス孔４１ａを閉塞する。したがって、作動油１３はオリフィス孔４１ａを通過しない。
【００７５】
このように、チェックバルブ４０は、ピストン組立体１４が上方（上液圧室３１の方向）に変位する伸び行程のときにオリフィス部（オリフィス孔４１ａ）を閉塞する。
オリフィス孔４１ａが閉塞されると、上液圧室３１の作動油１３は、中間室３１ａからオリフィス孔４１ａを流通して下液圧室３２に流れ込むことなく全てが作動油流路１３０（図３参照）に流れ込む。つまり、作動油流路１３０以外の流路を通る作動油１３（漏れ流体）が生じない。
【００７６】
ピストン組立体１４の変位速度が高くなって作動油１３（図３参照）の圧力がピストンバルブ開放値に達すると、作動油流路１３０を流通する作動油１３が、バルブ孔１８ａ（図３参照）を閉塞している開閉部２０ａ（図４の（ａ）参照）を押し開ける。作動油流路１３０が開放される。これによって、作動油１３が上液圧室３１から作動油流路１３０に流れ込む。作動油１３は作動油流路１３０を流通して下液圧室３２（図３参照）に流れ込む。
【００７７】
以上のように、第１実施形態のピストン組立体１４に備わるコンベピストン３０（図２参照）には、図７の（ａ）に示すようにオリフィス流路１５０が形成されている。オリフィス流路１５０は、下液圧室３２（図３参照）と中間室３１ａを連通する。オリフィス流路１５０は、中間室３１ａ側がチェックバルブ４０で開閉される。
【００７８】
チェックバルブ４０には、作動油１３が流通するオリフィス孔４１ａが開口している。オリフィス孔４１ａはオリフィス部を形成する。オリフィス部（オリフィス孔４１ａ）は、オリフィス流路１５０における作動油１３の流通を規制してピストン組立体１４の変位を減衰する減衰力を生じる。オリフィス部（オリフィス孔４１ａ）はバルブ板４３（チェック弁４３ａ）で開閉される。
【００７９】
図７の（ａ）に示すように、ピストン組立体１４が下方（中間室３１ａと逆の方向）に変位するとき、バルブ板４３のチェック弁４３ａはオリフィス孔４１ａを開放する。下液圧室３２（図３参照）からオリフィス流路１５０に流れ込んだ作動油１３はオリフィス孔４１ａを流通して中間室３１ａに流れ込む。
【００８０】
図７の（ｂ）に示すように、ピストン組立体１４が上方（中間室３１ａの方向）に変位するとき、バルブ板４３のチェック弁４３ａはオリフィス孔４１ａを閉塞する。中間室３１ａの作動油１３、及び中間室３１ａと逃げ流路１４０（図３参照）を介して連通する上液圧室３１（図３参照）の作動油１３は、全て作動油流路１３０（図３参照）に流れ込む。したがって、上液圧室３１から下液圧室３２（図３参照）まで、作動油流路１３０以外を流れる作動油１３（漏れ流体）が生じない。
【００８１】
ピストン組立体１４が上液圧室３１の方向に変位する伸び行程のときに漏れ流体が生じると、作動油流路１３０（図３参照）における作動油１３の流通が積層バルブ２０（図３参照）で遮断されることによる抵抗が低下する。これによって、ピストン組立体１４の変位を減衰させる減衰力が低下する。つまり、漏れ流体が生じることで減衰力が低下し、伸び行程時の減衰力を効果的に高めることができなくなる。
【００８２】
第１実施形態の減衰力可変ダンパ１０（図１参照）は、ピストン組立体１４（図１参照）が上液圧室３１の方向に変位するときにオリフィス部（図５に示すオリフィス孔４１ａ）が閉塞される。したがって、作動油１３が作動油流路１３０（図３参照）以外を流通することが抑制されて漏れ流体の発生が抑制される。
そして、ピストン組立体１４の変位を減衰する減衰力の低下が抑制される。これによって、ピストン組立体１４が上液圧室３１の方向に変位する伸び行程時の減衰力を効果的に高めることが可能となる。
【００８３】
≪第２実施形態≫
図８は第２実施形態の減衰力可変ダンパに備わるチェックバルブを示す図である。
本発明の第２実施形態に係る減衰力可変ダンパ１０（図１参照）は、第１実施形態に係るチェックバルブ４０（図２参照）に替えて、図８に示すような構造のチェックバルブ８０（第２バルブ）を備える。
その他、第２実施形態の減衰力可変ダンパ１０は第１実施形態の減衰力可変ダンパ１０と同等の構造であり、詳細な説明は省略する。
【００８４】
図８に示すように、第２実施形態の減衰力可変ダンパ１０（図１参照）に備わるチェックバルブ８０は、オリフィス板８１と、バルブ板８３と、スペーサ板８２と、サポート板８４と、を有する。オリフィス板８１、バルブ板８３、スペーサ板８２、及びサポート板８４はいずれも薄い円盤状を呈し、コンベピストン３０の側からこの順で同心円状に積層されてチェックバルブ８０を構成する。
そして、チェックバルブ８０（オリフィス板８１，バルブ板８３，スペーサ板８２，サポート板８４）の中心部には、非磁性ボルト１８ｂ（図２参照）が貫通する貫通孔８０ａが形成されている。
【００８５】
オリフィス板８１は、図５に示す、第１実施形態に係るチェックバルブ４０のオリフィス板４１と同等の形状を呈する。つまり、オリフィス板８１は、コンベピストン３０の上端部３０Ｆにおいて全てのオリフィス流路１５０を覆う。なお、第２実施形態において、コンベピストン３０の壁部３０Ｆａは、台座部３０Ｆｂと同心円状に形成されている。また、オリフィス板８１は、環状を呈する壁部３０Ｆａの外径と略同径に形成されて、壁部３０Ｆａの上端面３０Ｆｃにほぼ密着する。そして、オリフィス板８１には、少なくとも１つのオリフィス孔８１ａ（オリフィス部）が開口している。また、オリフィス孔８１ａは、上端部３０Ｆにおけるオリフィス流路１５０の開口面積よりも小さく形成されている。これによって、オリフィス流路１５０における作動油１３（図３参照）の流通がオリフィス孔８１ａで規制される。
【００８６】
第２実施形態に係るバルブ板８３は、チェック弁８３ａと、内環部８３ｂと、を有する。チェック弁８３ａは、外径がオリフィス板８１の外径よりも大きく、かつ、シリンダ１２（図１参照）の内径よりも小さい環状（リング状）を呈する。内環部８３ｂはチェック弁８３ａの内側に配置されている。
【００８７】
図９は第２実施形態に係るバルブ板の平面図である。
図９に示すように、内環部８３ｂは環状（リング状）に形成され、チェック弁８３ａと互いに同心円状に配置される。内環部８３ｂの中心には貫通孔８０ａが開口している。
チェック弁８３ａと内環部８３ｂは連結部８３ｃで連結される。連結部８３ｃは、環状部８３ｃ１と、内周側接続部８３ｃ２と、外周側接続部８３ｃ３と、を有し、内環部８３ｂからチェック弁８３ａに向かって延設される。
【００８８】
環状部８３ｃ１は、内環部８３ｂとチェック弁８３ａの間に、内環部８３ｂ及びチェック弁８３ａと同心円状に配設される。つまり、内環部８３ｂと、環状部８３ｃ１と、チェック弁８３ａと、が同心円状に配設される。
内周側接続部８３ｃ２は、環状部８３ｃ１から内環部８３ｂに向かって延出して環状部８３ｃ１と内環部８３ｂとを接続する。外周側接続部８３ｃ３は、環状部８３ｃ１からチェック弁８３ａに向かって延出して環状部８３ｃ１とチェック弁８３ａとを接続する。
内周側接続部８３ｃ２と外周側接続部８３ｃ３は隣接して設けられ、内周側接続部８３ｃ２と外周側接続部８３ｃ３の間において環状部８３ｃ１が切断されている。つまり、環状部８３ｃ１は、円環の一部が切断された形状（Ｃ環状）を呈している。そして、Ｃ環状の環状部８３ｃ１の一端に内周側接続部８３ｃ２が設けられ、Ｃ環状の環状部８３ｃ１の他端に外周側接続部８３ｃ３が設けられる。
【００８９】
このように、第２実施形態のバルブ板８３において、チェック弁８３ａと内環部８３ｂを連結する連結部８３ｃは環状部８３ｃ１を有する。したがって、連結部８３ｃの延伸方向の長さは環状部８３ｃ１に沿った長さを含む。このため、連結部８３ｃの延伸方向の長さは、内環部８３ｂとチェック弁８３ａを最短で結ぶ長さよりも長くなる。なお、内環部８３ｂとチェック弁８３ａを最短で結ぶ長さは、内環部８３ｂの中心から径方向に伸びる直線（径方向仮想直線Ｘ）の方向に内環部８３ｂとチェック弁８３ａを結ぶ長さとなる。例えば、図５に示す第１実施形態のバルブ板４３の連結部４３ｃは、内環部４３ｂとチェック弁４３ａを最短の長さで連結している。
【００９０】
また、連結部８３ｃは、内環部８３ｂの径方向に延びる直線（径方向仮想直線Ｘ）上に、少なくとも１つの非連続部を有する。径方向仮想直線Ｘは、図９に示す方向に限定されず、任意の方向に延びる直線を示す。つまり、第２実施形態のバルブ板８０において連結部８３ｃは、内環部８３ｂの任意の径方向に延びる全ての径方向仮想直線Ｘ上に、少なくとも１つの非連続部を有するようにチェック弁８３ａと内環部８３ｂとを連結する。
図９に示すように、チェック弁８３ａ及び内環部８３ｂと、連結部８３ｃの環状部８３ｃ１と、の間には所定の分離溝８３０が形成されている。第２実施形態のバルブ板８３には、内周側接続部８３ｃ２から外周側接続部８３ｃ３まで連続した１本の分離溝８３０が形成されている。
そして、内環部８３ｂの径方向仮想直線Ｘ上には、分離溝８３０によって、少なくとも１箇所の非連続部が形成されている。
【００９１】
このような分離溝８３０（非連続部）がバルブ板８３に形成されていると、内環部８３ｂの径方向仮想直線Ｘ上では内環部８３ｂとチェック弁８３ａが分離した状態になる。つまり、チェック弁８３ａのどの位置でも内環部８３ｂを臨む方向において、内環部８３ｂとチェック弁８３ａが分離した状態になっている。したがって、チェック弁８３ａの一部が押圧された場合、チェック弁８３ａにおけるその位置が内環部８３ｂに対して容易に変位する。
【００９２】
また、第１実施形態と同様に、バルブ板８３は、例えば薄い金属で形成されて弾性を有する。さらに、図８に示すように、オリフィス板８１に対して同心円状に積層されたバルブ板８３は、チェック弁８３ａがオリフィス孔８１ａを閉塞可能に構成される。したがって、第１実施形態と同様に、バルブ板８３は、オリフィス板８１のオリフィス孔８１ａを開閉可能となっている。そして、第２実施形態においては、バルブ板８３のチェック弁８３ａが、オリフィス孔８１ａを開閉する弁体部となる。
【００９３】
このように、第２実施形態に係るバルブ板８３の連結部８３ｃは、内環部８３ｂの外周（チェック弁８３ａの内周）に沿って長く形成される環状部８３ｃ１を有し、容易に弾性変形する形状になっている。また、環状部８３ｃ１は、分離溝８３０によってチェック弁８３ａ及び内環部８３ｂと分離した形状になっている。
さらに、連結部８３ｃ（特に、環状部８３ｃ１）は弾性を有し、チェック弁８３ａは、連結部８３ｃで内環部８３ｂに弾性支持される。よって、第２実施形態に係るバルブ板８３は、内環部８３ｂに対してチェック弁８３ａが変位しやすくなっている。
【００９４】
図８の説明に戻る。
スペーサ板８２は、図５に示す、第１実施形態に係るスペーサ板４２と同等の形状を有する。つまり、スペーサ板８２は、バルブ板８３の内環部８３ｂと略同じ外径の円盤状を呈し、中心に貫通孔８０ａが開口している。第２実施形態において、スペーサ板８２はバルブ板８３の内環部８３ｂと、サポート板８４と、の間に介在する。
【００９５】
サポート板８４は、オリフィス板８１と略同じ外径の円盤状を呈する。サポート板８４は、バルブ板８３、及びスペーサ８２を上方（図３に示す中間室３１ａ側）から押さえ、バルブ板８３の上方への変形を規制する。
【００９６】
図１０は第２実施形態に係るチェックバルブの断面図である。
図１０に示すように、オリフィス板８１と、バルブ板８３と、スペーサ板８２と、サポート板８４がこの順に積層されて、第２実施形態に係るチェックバルブ８０が形成される。第２実施形態では、バルブ板８３とサポート板８４の間にスペーサ板８２が配置される。スペーサ板８２はバルブ板８３の内環部８３ｂと積層し、チェック弁８３ａとサポート板８４の間に、スペーサ板８２の厚みに等しい間隙Ｇ２が形成される。
【００９７】
また、第２実施形態ではオリフィス板８１にバルブ板８３が積層される。したがって、チェック弁８３ａはオリフィス板８１に段差なく面接触する。このため、チェック弁８３ａは確実にオリフィス孔８１ａを閉塞することができる。
【００９８】
図１１の（ａ）はピストン組立体が下方に変位する場合の作動油の流れを示す図、（ｂ）はピストン組立体が上方に変位する場合の作動油の流れを示す図である。
【００９９】
図１１の（ａ）に示すように、コンベピストン３０を備えるピストン組立体１４が下方に変位するとき（白矢印方向）、積層バルブ２０（図３参照）は作動油流路１３０（図３参照）を閉塞する。また、下液圧室３２（図３参照）の作動油１３はコンベピストン３０のオリフィス流路１５０に流れ込む。オリフィス流路１５０に流れ込んだ作動油１３はオリフィス板８１のオリフィス孔８１ａを流れてバルブ板８３のチェック弁８３ａを押圧する。チェック弁８３ａは、オリフィス流路１５０の側から作動油１３に押圧されてオリフィス板８１から離反する。これによって、オリフィス孔８１ａが開放される。したがって、オリフィス流路１５０に流れ込んだ作動油１３はオリフィス孔８１ａを通過して中間室３１ａに流れ込む。
中間室３１ａに流れ込んだ作動油１３は、逃げ流路１４０（図３参照）を流通して上液圧室３１（図３参照）に流れ込む。
【０１００】
オリフィス流路１５０を流通する作動油１３がオリフィス孔８１ａを通過するときに流通が規制されて流通抵抗が生じる。このように生じた流通抵抗がピストン組立体１４の変位を減衰する減衰力を発生させる。つまり、第１実施形態のオリフィス孔８１ａは、オリフィス流路１５０における作動油１３の流通を規制してピストン組立体１４の減衰力を発生するオリフィス部を形成する。
また、チェックバルブ８０は、ピストン組立体１４が下方（下液圧室３２の方向）に変位する圧縮行程のときにオリフィス部（オリフィス孔８１ａ）を開放する。
【０１０１】
なお、ピストン組立体１４が下方に変位する変位速度が高くなって、オリフィス流路１５０における作動油１３の流通量が所定量に達し、オリフィス流路１５０での作動油１３の圧力がチェックバルブ開放値に達したときには、第１実施形態と同様に、図１１の（ａ）に二点鎖線で示すようにチェックバルブ８０の全体が上方に向かってたわみ、オリフィス流路１５０が開放される。
【０１０２】
図１１の（ｂ）に示すように、コイル１５（図３参照）に励磁電流Ｉｃが供給されない状態でコンベピストン３０を備えるピストン組立体１４が上方に変位する場合（白矢印方向）、ピストン組立体１４の変位速度が遅く（微低速状態）、上液圧室３１（図３参照）における作動油１３の圧力が、コンベピストン３０の下方に配置されるコンベバルブ５０（図３参照）の開放値より低いときには、コンベバルブ５０が作動油流路１３０（図３参照）を閉塞し、バルブプレート２００とバルブ孔１８ａの隙間を通過した作動油の流れを止める。このため、上液圧室３１（図３参照）の作動油１３は作動油流路１３０を流通しない。上液圧室３１の作動油１３は、逃げ流路１４０（図３参照）を流通して中間室３１ａに流れ込む。
【０１０３】
中間室３１ａに作動油１３が流れ込むことによって中間室３１ａの液圧が高くなる。このとき、オリフィス孔８１ａでオリフィス流路１５０への作動油１３の流入が規制されるためオリフィス流路１５０は中間室３１ａよりも液圧が低くなる。さらに、チェックバルブ８０においてバルブ板８３のチェック弁８３ａはサポート板８４よりも外径が大きく形成されている。このため、チェック弁８３ａは、中間室３１ａの高い液圧でオリフィス流路１５０（オリフィス板８１）の側に押圧される。チェック弁８３ａは作動油１３に押圧されてオリフィス板８１に押し付けられ、オリフィス孔８１ａを閉塞する。したがって、作動油１３はオリフィス孔８１ａを通過しない。
【０１０４】
第１実施形態と同様に、チェックバルブ８０は、ピストン組立体１４が上方（上液圧室３１の方向）に変位する伸び行程のときにオリフィス部（オリフィス孔８１ａ）を閉塞する。
オリフィス孔８１ａが閉塞されると、上液圧室３１の作動油１３は、中間室３１ａからオリフィス孔８１ａを流通して下液圧室３２に流れ込むことなく全てが作動油流路１３０（図３参照）に流れ込む。つまり、作動油流路１３０以外の流路を通る作動油１３（漏れ流体）が生じない。
【０１０５】
前記したように、第２実施形態ではオリフィス板８１にバルブ板８３が積層されて、チェック弁８３ａはオリフィス板８１に段差なく面接触できる。このため、オリフィス孔８１ａがチェック弁８３ａによって確実に閉塞される。
【０１０６】
ピストン組立体１４の変位速度が高くなって作動油１３（図３参照）の圧力がピストンバルブ開放値に達すると、作動油流路１３０を流通する作動油１３が、バルブ孔１８ａ（図３参照）を閉塞している開閉部２０ａ（図４の（ａ）参照）を押し開ける。作動油流路１３０が開放される。これによって、作動油１３が上液圧室３１から作動油流路１３０に流れ込む。作動油１３は作動油流路１３０を流通して下液圧室３２（図３参照）に流れ込む。
【０１０７】
以上のように、第２実施形態に係るピストン組立体１４（図２参照）には、図８に示すように構成されるチェックバルブ８０が備わっている。このチェックバルブ８０は、第１実施形態に係るチェックバルブ４０（図５参照）と同等に動作する。そして、第２実施形態に係る減衰力可変ダンパ１０（図１参照）は、第１実施形態と同様に、作動油１３が作動油流路１３０（図３参照）以外を流通することが抑制されて漏れ流体の発生が抑制されるという効果を奏する。
また、ピストン組立体１４が上液圧室３１の方向に変位する伸び行程時の減衰力を効果的に高めることが可能となるという第１実施形態と同等の効果を奏する。
【０１０８】
また、第２実施形態のチェックバルブ８０に備わるバルブ板８３は、図９に示すように、チェック弁８３ａと内環部８３ｂが環状部８３ｃ１を有する連結部８３ｃで接続されている。環状部８３ｃ１は、分離溝８３０によってチェック弁８３ａ及び内環部８３ｂと分離した状態に形成されている。これによって、内環部８３ｂの径方向仮想直線Ｘ上において、チェック弁８３ａと内環部８３ｂの間が少なくとも１箇所で分離する。したがって、チェック弁８３ａのどの部分が押圧されても、チェック弁８３ａは内環部８３ｂに対して容易に変位する。
つまり、オリフィス板８１のオリフィス孔８１ａがチェック弁８３ａに対してどの位置に配置されても、オリフィス孔８１ａを流れる作動油１３（図１参照）でチェック弁８３ａを容易に作動させることができる。
【０１０９】
例えば、図５に示す、第１実施形態に係るバルブ板４３は、チェック弁４３ａにおいて連結部４３ｃの位置にオリフィス孔４１ａが配置されると、オリフィス孔４１ａを流れる作動油１３（図１参照）でチェック弁４３ａを作動させることができない。そこで、第１実施形態ではバルブ板４３に回転防止溝４０ｂを設け、チェック弁４３ａにおいて連結部４３ｃと対向する位置（連結部４３ｃの延長線上）にオリフィス孔４１ａが配置されるようにしている。
このような構成であると、ピストン組立体１４（図２参照）の組み立て時に、シリンダ１２（図２参照）の周壁に上下方向に延設される突起部（図示せず）に回転防止溝４０ｂを係合する作業が生じるので作業効率が低下する。
【０１１０】
これに対し、図８に示す第２実施形態のバルブ板８３は、チェック弁８３ａに対するオリフィス孔８１ａの位置が制限されない。したがって、回転防止溝等によるバルブ板８３の回転防止が必要なく、ピストン組立体１４（図２参照）の組み立て時に、回転防止溝等を突起部等に係合する作業が不要になる。これによって、ピストン組立体１４を組み立てるときの作業効率が向上する。
【０１１１】
また、第２実施形態ではオリフィス板８１にバルブ板８３が積層されるので、チェック弁８３ａがオリフィス板８１に段差なく面接触し、オリフィス孔８１ａがチェック弁８３ａによって確実に閉塞される。
【０１１２】
また、第２実施形態のバルブ板８３は、図９に示すように、チェック弁８３ａと内環部８３ｂが環状部８３ｃ１を有する連結部８３ｃで接続されている。環状部８３ｃ１は、チェック弁８３ａと内環部８３ｂの間をほぼ一周する長さのＣ環状を呈する。そして、連結部８３ｃは、Ｃ環状を呈する環状部８３ｃ１の端部に形成される内周側接続部８３ｃ２と外周側接続部８３ｃ３で内環部８３ｂとチェック弁８３ａに接続されている。したがって、連結部８３ｃの長さを長くすることができ、弾性変形しやすい連結部８３ｃとすることができる。このため、内環部８３ｂに対して変位しやすいチェック弁８３ａになっており、滑らかにオリフィス孔８１ａ（図８参照）の開閉が可能なチェック弁８３ａとすることができる。
【０１１３】
なお、本発明は、前記した第１実施形態，第２実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜設計変更が可能である。また、本実施形態は、可変減衰力ダンパを例にしたが、可変減衰力機構を有さないダンパに本発明を適用することも可能である。
【０１１４】
図１２はバルブ板の設計変更例を示す図であり、（ａ）はオリフィス孔を閉塞する開閉腕が内環部から延設されている図、（ｂ）は開閉腕の先端が広がっている状態を示す図である。
例えば、図７に示すバルブ板４３は、オリフィス板４１のオリフィス孔４１ａを開閉可能な構造であれば、図７に示す構造に限定されない。
図１２の（ａ）に示すように、スペーサ板４２と同形状の内環部４３１ａから、オリフィス板４１のオリフィス孔４１ａに向かって延設される開閉腕４３１ｂを備える形状のバルブ板４３０であってもよい。そして、開閉腕４３１ｂがオリフィス孔４１ａを開閉する弁体部となる構成であってもよい。
【０１１５】
また、図１２の（ｂ）に示すように、開閉腕４３１ｂの先端が広がって受圧面４３１ｃが形成されていてもよい。受圧面４３１ｃが形成されることによって、開閉腕４３１ｂは中間室３１ａ（図３参照）の液圧を受けやすくなる。そして、中間室３１ａの液圧が高くなったときに開閉腕４３１ｂ（弁体部）によってオリフィス孔４１ａが確実に閉塞される。
【０１１６】
また、前記したように、本発明は、減衰力が一定に設定されるダンパ装置にも適用可能である。この場合、積層バルブ２０（図３参照）の弾性力（より詳細には、図４の（ａ）に示す開閉部２０ａの弾性力）によって、バルブ孔１８ａ（図４の（ａ）参照）が開放される作動油１３（図１参照）の圧力の第１閾値（ピストンバルブ開放値）が設定される。
【０１１７】
また、第２実施形態に係るバルブ板８３は、図９に示すように、連結部８３ｃの環状部８３ｃ１が長く形成されて、内周側接続部８３ｃ２と、外周側接続部８３ｃ３と、が隣接するように配置されている。このような形状の環状部８３ｃ１に限定されず、例えば、内周側接続部８３ｃ２と、外周側接続部８３ｃ３と、が９０°間隔で配置されるような長さの環状部８３ｃ１であってもよいし、内周側接続部８３ｃ２と、外周側接続部８３ｃ３と、が１８０°間隔で配置されるような長さの環状部８３ｃ１であってもよい。環状部８３ｃ１の長さは限定されない。
【符号の説明】
【０１１８】
１０    減衰力可変ダンパ（ダンパ装置）
１２    シリンダ
１３    作動油
１５    コイル
１７    アウターヨーク
１８    ピストン本体
１８ａ  バルブ孔
２０    積層バルブ（第１バルブ）
２０ａ  開閉部
２２    制御部
３１    上液圧室（第１流体室）
３１ａ  中間室
３２    下液圧室（第２流体室）
４０，８０  チェックバルブ（第２バルブ）
４１，８１  オリフィス板
４１ａ，８１ａ  オリフィス孔（オリフィス部）
４２，８２  スペーサ板
４３，８３  バルブ板
４３ａ，８３ａ  チェック弁
４４，８４  サポート板
１３０  作動油流路（第１作動油流路）
１５０  オリフィス流路（第２作動油流路）
８３０  分離溝（非連続部）
【図１】
2015206458.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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