(57)【要約】【目的】優れた安定性を有する感光性樹脂組成物、電子素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】感光性樹脂組成物は、光開始剤と、アルカリ可溶性樹脂と、重合性モノマーと、接着促進剤と、オルトエステルと、溶媒とを含む。接着促進剤は、分子量が１００〜３００００のシラン化合物である。【選択図】無し【特許請求の範囲】
【請求項１】
光開始剤と、
アルカリ可溶性樹脂と、
重合性モノマーと、
分子量が１００〜３００００のシラン化合物である接着促進剤と、
オルトエステルと、
溶媒と
を含む感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記接着促進剤が、Ｒ1Ｓｉ（ＯＲ2）3-nＲ3nで表されるシラン化合物であり、
式中、Ｒ1が、未置換のアルキル基、またはビニル基、エポキシ基、アミノ基、メタクリロキシ基、メルカプト基、シラン基またはイソブテニル基を有するアルキル基であり、
Ｒ2が、それぞれＣ1-Ｃ3アルキル基であり、
Ｒ3が、それぞれＣ1-Ｃ3アルキル基であり、
nが、０、１または２である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
ｎが、０である請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記接着促進剤が、γ-（メタクリロキシ）プロピルトリメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシランまたはγ-グリシジルプロピルトリメトキシシランである請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記オルトエステルが、Ｒ4 Ｃ（ＯＲ5）3で表される化合物であり、式中、Ｒ4が、水素またはＣ1-Ｃ3アルキル基であり、Ｒ5が、それぞれ独立してＣ1-Ｃ4アルキル基である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記感光性樹脂組成物の総重量に対し、前記接着促進剤の含有量が、０．１重量％〜１０重量％である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記感光性樹脂組成物の総重量に対し、前記オルトエステルの含有量が、０．１重量％〜３５重量％である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
前記感光性樹脂組成物の総重量に対し、前記光開始剤の含有量が、１重量％〜１０重量％であり、前記アルカリ可溶性樹脂の含有量が、１重量％〜４０重量％であり、前記重合性モノマーの含有量が、１重量％〜４０重量％であり、前記溶媒の含有量が、２０重量％〜８０重量％である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
基材を提供することと、
前記基材上に請求項１〜請求項８のうちのいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物をコーティングすることと、
前記基材上にコーティングした前記感光性樹脂組成物を光照射して硬化させることと
を含む電子素子の製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の電子素子の製造方法により製造される電子素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物に関するものであり、特に、シラン化合物およびオルトエステル（orthoester）を含有する感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を用いて電子素子を製造する方法、および前記方法により得られた電子素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、半導体集積回路の製造過程は、基本的に以下のステップで行われる：基材上に材料層を形成する；感光性樹脂組成物を前記材料層の上にコーティングする；感光性樹脂組成物に対して選択的に露光および現像を行い、マスクパターンを形成する；マスクパターンの存在下で前記材料層に対してエッチングを行い、パターンを前記材料層に転写する；最後に、剥離剤を用いて不必要な感光性樹脂組成物を取り除く。
【０００３】
シリル基含有重合体（Ｓ）に、オルガノシリケート化合物を加えて硬化させることで、粘着体内の架橋密度を増やし、濡れ性を損なわずに、粘着体の濡れ広がりをコントロールすることができる粘着積層体が知られている（たとえば、特許文献１参照）。その発明の効果を奏するために、オルガノシリケート化合物は１分子中に含まれる架橋点が多い方が好ましいと考えられた。そのようなオルガノシリケート化合物としては、反応性を有する基を多く持つ多量体が好ましいと考えられた。その発明における硬化性組成物は、貯蔵安定性を改良するために、その発明の効果を損なわない範囲で少量の脱水剤を含有させてもよいとされた。かかる脱水剤の具体例としては、オルトギ酸メチル、オルトギ酸エチル等のオルトギ酸アルキル；オルト酢酸メチル、オルト酢酸エチル等のオルト酢酸アルキル；メチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン又はテトラエトキシシラン等の加水分解性有機シリコーン化合物；加水分解性有機チタン化合物等が挙げられた。これらの中でもビニルトリメトキシシラン又はテトラエトキシシランがコスト、脱水能力の点から好ましいとされた。硬化性組成物に脱水剤を添加する場合、その添加量は、シリル基含有重合体（Ｓ）およびオルガノシリケート化合物の合計量の１００質量部に対して０．００１〜３０質量部であることが好ましく、０．０１〜１０質量部であることがより好ましいとされた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】TW 201207067A（台湾特許出願公開第２０１２０７０６７号明細書）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
露光および現像作用に必要な光開始剤、重合性モノマーおよびアルカリ可溶性樹脂の他に、感光性樹脂組成物は、例えば、接着促進剤（adhesion promoter）、界面活性剤、酸化防止剤、可塑剤または染料等のその他の成分をさらに含有して、その性質を調節してもよい。接着促進剤は、感光性樹脂組成物の下方の材料層に対する接着力を上げることができるが、感光性樹脂組成物を密閉環境から取り出して使用を開始すると、接着促進剤の効果は時間とともに徐々に低下する可能性がある。この問題に対して、さらに研究および改良を進める余地がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、優れた安定性を有する感光性樹脂組成物を提供する。
【０００７】
本発明の感光性樹脂組成物は、光開始剤と、アルカリ可溶性樹脂と、重合性モノマーと、接着促進剤と、オルトエステルと、溶媒とを含む。接着促進剤は、分子量が１００〜３００００のシラン化合物である。
【０００８】
本発明の１つの実施形態において、接着促進剤は、Ｒ1Ｓｉ（ＯＲ2）3-nＲ3nで表されるシラン化合物であり、式中、Ｒ1は、未置換のアルキル基、またはビニル基（vinyl）、エポキシ基（epoxy）、アミノ基（amino）、メタクリロキシ基（(meth)acryloxy）、メルカプト基（mercapto）、シラン基（silane group）またはイソブテニル基（isobutenyl）を有するアルキル基であり、Ｒ2は、それぞれＣ1-Ｃ3アルキル基であり、Ｒ3は、それぞれＣ1-Ｃ3アルキル基であり、且つnは、０、１または２である。
【０００９】
本発明の１つの実施形態において、nは、０である。
【００１０】
本発明の１つの実施形態において、接着促進剤は、γ-（メタクリロキシ）プロピルトリメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシランまたはγ-グリシジルプロピルトリメトキシシランである。
【００１１】
本発明の１つの実施形態において、オルトエステルは、Ｒ4 Ｃ（ＯＲ5）3で表される化合物であり、式中、Ｒ4は、水素またはＣ1-Ｃ3アルキル基であり、且つＲ5は、それぞれ独立してＣ1-Ｃ4アルキル基である。
【００１２】
本発明の１つの実施形態において、感光性樹脂組成物の総重量に対し、接着促進剤の含有量は、０．１重量％〜１０重量％である。
【００１３】
本発明の１つの実施形態において、感光性樹脂組成物の総重量に対し、オルトエステルの含有量は、０．１重量％〜３５重量％である。
【００１４】
本発明の１つの実施形態において、感光性樹脂組成物の総重量に対し、光開始剤の含有量は、１重量％〜１０重量％であり、アルカリ可溶性樹脂の含有量は、１重量％〜４０重量％であり、重合性モノマーの含有量は、１重量％〜４０重量％であり、溶媒の含有量は、２０重量％〜８０重量％である。
【００１５】
本発明の電子素子の製造方法は、以下のステップを含む。まず、基材を提供する。続いて、基材上に上述した感光性樹脂組成物をコーティングする。そして、基材上にコーティングした感光性樹脂組成物を光照射して硬化させる。
【００１６】
本発明の電子素子は、上述した電子素子の製造方法により製造される。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように、本発明は、感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を用いた電子素子の製造方法、およびこの方法により得られる電子素子を提供する。感光性樹脂組成物がシラン化合物を含有することによって、基材に対する接着力を上げることができ、オルトエステルをさらに含有することによって、一般環境中に一定の時間保存しても、基材に対する接着力を維持することができる。
【００１８】
本発明の上記および他の目的、特徴、および利点をより分かり易くするため、幾つかの実施形態を以下に説明する。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本文において、「ある数値から別の数値」により示している範囲は、明細書において当該範囲内の全ての数値を１つ１つ挙げることを回避するための概要的表示方法である。したがって、ある特定数値範囲の記載は、同時に、当該数値範囲内の任意の数値および当該数値範囲内の任意の数値により限定される比較的小さな数値範囲も開示しており、明細書において当該任意の数値および当該比較的小さな数値範囲が明記されていることと同じである。例えば、「含有量が１０％〜８０％」の範囲は、明細書において他の数値が列挙されているかどうかに関わらず、「含有量が２０％〜５０％」の範囲を開示していることに相当する。
【００２０】
また、本文において、ある基が置換されたかどうか特に明記されていない場合、当該基は、置換された基または置換されていない基を示すことができる。例えば、「アルキル基」は、置換されたアルキル基でも、または置換されていないアルキル基でもよい。また、ある基を「Ｃx」により描写している時は、当該基がＸ個の炭素原子を有することを示す。
【００２１】
本発明の第１実施形態は、光開始剤、アルカリ可溶性樹脂、重合性モノマー、接着促進剤、オルトエステルおよび溶媒を含む感光性樹脂組成物を提出する。接着促進剤は、分子量が１００〜３００００のシラン化合物である。照光時、感光性樹脂組成物中の光開始剤が励起されて、重合性モノマーが重合反応を開始する。例を挙げて説明すると、光開始剤の照光時にラジカルが生成され、重合性モノマーがラジカル重合反応を起こす。これにより、感光性樹脂組成物の光照射された部分はアルカリ性溶媒に溶けないが、光照射されなかった部分はアルカリ性溶媒に溶けるため、フォトレジストとして使用することができる。
【００２２】
光開始剤は、当該技術分野において周知の適切な化合物であれば任意の化合物であってもよい。感光性樹脂組成物の総重量に対し、光開始剤の含有量は、１重量％〜１０重量％であってもよく、より好ましくは、１重量％〜５重量％である。その実例は、２，４‐トリクロロメチル‐（４’‐メトキシフェニル）‐６‐トリアジン（2,4-trichloromethyl-(4'-methoxyphenyl)-6-triazine）等のトリアジン系化合物；２‐ヒドロキシ‐２‐メチル‐１‐フェニルプロパン‐１‐オン（2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane-1-on）等のアセトフェノン（acetophenone）系化合物；４，４’‐ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（4,4'-bis(dimethylamino)benzophenone）等のベンゾフェノン系化合物；２，４‐ジエチルチオキサントン（2,4-diethyl thioxanthone）等のチオキサントン系化合物；２，４，６‐トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド（2,4,6-trimethylbenzoyl diphenylphosphine oxide）等のホスフィンオキシド系化合物；３，３’‐カルボビニル‐７‐（ジエチルアミノ）（3,3'-carbovinyl-7-(diethylamino)）等のクマリン（coumarin）系化合物、およびＢＡＳＦ社から購入可能なイルガキュア（Irgacure）ＯＸＥ‐０１およびＯＸＥ‐０２等のＯ‐アシルオキシム（O-acyloxime）系化合物を含む。光開始剤は、１種を単独で使用してもよく、または、２種以上を混合して使用してもよい。
【００２３】
アルカリ可溶性樹脂は、酸性基を含有する接着樹脂であってもよい。その構造は特に限定されず、いずれも本発明の属する技術分野において周知のアルカリ可溶性接着樹脂を使用することができる。その含有量は、感光性樹脂組成物の総重量に対し、１重量％〜４０重量％の間であってもよく、より好ましくは、２重量％〜２０重量％である。また、アルカリ可溶性樹脂は、１種を単独で使用してもよく、または、２種以上を組み合わせて使用してもよい。例を挙げて説明すると、接着樹脂は、アクリル系樹脂（acrylic resin）またはエポキシ樹脂であってもよい。
【００２４】
重合性モノマーは、光開始剤により触媒されて重合反応を開始するモノマーであってもよい。その構造は特に限定されず、いずれも本発明の属する技術分野において周知の重合性モノマーを使用することができる。その含有量は、感光性樹脂組成物の総重量に対し、１重量％〜４０重量％の間であってもよく、且つその実例は、トリプロピレングリコールジアクリレート（tripropylene glycol diacrylate，TPGDA）、トリメチロールプロパントリアクリレート（trimethylolpropane triacrylate，TMPTA）、ペンタエリスリトールトリアクリレート（pentaerythritol triacrylate，PETA）、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（dipentaerythritol hexaacrylate，DPHA）、４‐メチルテトラヒドロフタル酸無水物（4-methyl tetrahydrophthalic anhydride）、３，４‐エポキシシクロヘキシルメチル‐３，４‐エポキシシクロヘキサンカルボキシレート（3,4-epoxycyclohexylmethyl 3,4-epoxycyclohexane carboxylate）、ヘキサメトキシメチルメラミン（hexamethoxymethylmelamine）およびイソホロンジイソシアネート（isophorone diisocyanate）等の化合物を含む。重合性モノマーは、１種を単独で使用してもよく、または、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
【００２５】
溶媒は、本発明の属する技術分野において周知の感光性樹脂組成物の各主成分に溶解するのに適した溶媒であれば任意の溶媒であってもよい。その含有量は、感光性樹脂組成物の総重量に対し、２０重量％〜８０重量％の間である。溶媒の実例は、メチルエチルケトン（methylethylketone）、メチルセロソルブ（methylcellosolve）、エチルセロソルブ（ethylcellosolve）、プロピルセロソルブ（propylcellosolve）、エチレングリコールジメチルエーテル（ethylene glycol dimethylether）、エチレングリコールジエチルエーテル（ethylene glycol diethylether）、エチレングリコールメチルエチルエーテル（ethylene glycol methylethylether）、プロピレングリコールジメチルエーテル（propylene glycol dimethylether）、プロピレングリコールジエチルエーテル（propylglycol diethylether）、プロピレングリコールメチルエチルエーテル（propylene glycol methylethylether）、２‐エトキシプロパノール（2-ethoxypropanol）、２‐メトキシプロパノール（2-methoxypropanol）、３‐メトキシブタノール（3-methoxybutanol）、シクロペンタノン（cyclopentanone）、シクロヘキサノン（cyclohexanone）、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（propyleneglycol methylether acetate，PGMEA）、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート（propyleneglycol ethylether acetate）、３‐メトキシブチルアセテート（3-methoxybutyl acetate）、３‐エトキシプロピオン酸エチル（ethoxyethylpropionate，EEP）、エチル３‐エトキシプロピオネート（ethyl 3-ethoxy propionate）、エチルセロソルブアセテート（ethyl cellosolve acetate）、メチルセロソルブアセテート（methyl cellosolve acetate）、ブチルアセテート（butyl acetate）またはジプロピレングリコールモノメチルエーテル（dipropylene glycol monomethylether）を含む。溶媒は、１種を単独で使用してもよく、または、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
【００２６】
感光性樹脂組成物とコーティングされるべき物体（例えば、無機材料の基材）の間の接着強度を強化するため、第１実施形態の感光性樹脂組成物は、さらに、接着促進剤としてシラン化合物を含有する。シラン化合物の分子量は、１００〜３００００の間であるが、分子量の小さい接着促進剤は、現像効果がさらに良くなるため、シラン化合物の分子量は、１００〜１０００であるのがより好ましい。
【００２７】
具体的に説明すると、接着促進剤は、Ｒ1Ｓｉ（ＯＲ2）3-nＲ3nで表されるシラン化合物ができ、式中、Ｒ1は、未置換のアルキル基、またはビニル基を有するアルキル基、エポキシ基を有するアルキル基、アミノ基を有するアルキル基、メタクリロキシ基を有するアルキル基、メルカプト基を有するアルキル基、シラン基を有するアルキル基またはイソブテニル基を有するアルキル基である。Ｒ2は、それぞれＣ1-Ｃ3アルキル基であり、Ｒ3は、それぞれＣ1-Ｃ3アルキル基であり、且つnは、０、１または２である。すなわち、１分子のシラン化合物は、少なくとも１つの‐ＯＲ2基を有する。
【００２８】
１つの実施形態において、ｎは、０である。すなわち、接着促進剤は、トリアルコキシシラン（trialkoxy silane）である。
【００２９】
１つの実施形態において、接着促進剤は、γ-（メタクリロキシ）プロピルトリメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシランまたはγ-グリシジルプロピルトリメトキシシランである。
【００３０】
Ｒ1がシランを有する場合、接着促進剤は、１分子内に２個以上のシラン基を含有するシラン化合物である。この場合、Ｒ1は、‐Ｒ1’Ｓｉ（ＯＲ2）3-nＲ3nで表され、式中、Ｒ1’は、二価の未置換のアルキル基、またはビニル基を有するアルキル基、エポキシ基を有するアルキル基、アミノ基を有するアルキル基、メタクリロキシ基を有するアルキル基、メルカプト基を有するアルキル基、シラン基を有するアルキル基またはイソブテニル基を有するアルキル基であり、Ｒ2、Ｒ3およびｎの定義は、第［００２７］段落の説明と同じである。
【００３１】
また、接着促進剤は、１種のみを使用してもよく、または多種を混合して使用してもよい。例えば、Ｒ1は、未置換のアルキル基を有するシラン化合物、及びＲ1は、ビニル基を有するアルキル基、エポキシ基を有するアルキル基、アミノ基を有するアルキル基、メタクリロキシ基を有するアルキル基、メルカプト基を有するアルキル基、シラン基を有するアルキル基またはイソブテニル基を有するアルキル基のシラン化合物を混合して使用できる。感光性樹脂組成物の総重量に対し、接着促進剤の含有量は、０．１重量％〜１０重量％である。
【００３２】
本実施形態において、接着促進剤の感光性樹脂組成物において発生する作用のうちの１つの可能なメカニズムは、以下の通りである。感光性樹脂組成物を無機材料の基材上にコーティングした後、一部のシラン化合物上のアルコキシ基が環境中の水分と反応してシラノール基を形成するため、アルコキシ基またはシラノール基は、基材の表面および／またはその他のシラン化合物の官能基と反応して、共有結合を形成する可能性がある；シラン化合物の別の側の官能基は、樹脂組成物中のその他の成分（例えば、接着樹脂または重合性モノマー等の成分）と化学結合を形成する。したがって、シラン化合物を基材と樹脂組成物の間のブリッジとすることにより、感光性樹脂組成物の無機材料の基材に対する接着性を強化することができる。
【００３３】
しかしながら、発明者は、感光性樹脂組成物が空気中の微量の水分またはもともと存在する溶媒中の微量の水分を吸収することにより、シラン化合物のアルコキシ基を加水分解させてシラノール基を形成し、シラノール基の増加によりシラン化合物間で縮合反応が起こってポリマーになることを発見した。この期間に生じた重合反応は、シラン化合物上のアルコキシ基を消耗し、密着性を上げる能力を弱める。
【００３４】
これにより、発明者は、感光性樹脂組成物中にオルトエステルを追加すると、シラン化合物と水蒸気の反応を抑制し、基材上にコーティングした感光性樹脂組成物を長時間放置しても接着性を維持することができるため、感光性樹脂組成物の安定性を大幅に向上させる；または、開封後に感光性樹脂組成物を長時間放置してから使用しても比較的優れた接着性を保持し、感光性樹脂組成物の使用期限を延長させることができることを発見した。
【００３５】
オルトエステルは、Ｒ4 Ｃ（ＯＲ5）3で表わされる化合物であり、式中、Ｒ4は、水素またはＣ1-Ｃ3アルキル基であり、且つＲ5は、それぞれ独立してＣ1-Ｃ4アルキル基である。具体的に説明すると、オルトエステルは、オルトギ酸トリメチル（trimethyl orthoformate）、オルトプロピオン酸トリメチル（trimethyl orthopropionate）またはオルトギ酸トリブチル（tributyl orthoformate）であってもよく、且つその含有量は、感光性樹脂組成物の総重量に対し、０．１重量％〜３５重量％である。
【００３６】
注意すべきこととして、オルトエステルは乾燥剤の一種であるが、感光性樹脂組成物にどの乾燥剤を入れても全て安定性を上げる効果が達成される訳ではない。この点に関し、以下の実験により証明する。
【００３７】
本発明の別の実施形態は、さらに、電子素子の製造方法およびその製造方法を用いて得られる電子素子を提供する。上述した製造方法は、上述した感光性樹脂組成物を用いたリソグラフィー工程を含む。具体的に説明すると、まず、基材を提供し、続いて、基材の上に上述した感光性樹脂組成物をコーティングした後、基材上にコーティングした感光性樹脂組成物を光照射して硬化させる。続いて、現像工程をさらに行って感光性樹脂組成物の光照射されなかった部分を取り除く。上述した基材は、例えば、ＩＴＯ基材またはモリブデン（Ｍｏ）基材等の一般の半導体素子製造過程中で使用する任意の材料を含んでもよい。
【００３８】
＜実験＞
【００３９】
以下、実験例を参照して本発明をさらに具体的に説明する。以下の実験例に示す材料、使用量、割合、処理内容および処理手順等は、本発明の範囲内で適宜変更することができる。したがって、本発明は、以下の実験例により限定的に解釈されるものではない。
【００４０】
表１に示した比率（重量百分率）に基づき、実施例１〜７および比較例１〜３の感光性樹脂組成物を製造する。各成分の説明は、以下の通りである：
アルカリ可溶性樹脂：達興材料（Daxin Materials）社製のアクリル系接着樹脂は、３個以上の繰り返し単位を含む重合体）であり、これらの繰り返し単位は、以下のモノマーから誘導された構造を有する：（Ａ‐１）酸性基含有エチレン性不飽和モノマー；（Ａ‐２）（Ａ‐１）以外のエチレン性不飽和モノマー；（Ａ‐３）エポキシ基含有不飽和モノマー；
重合性モノマー：根上工業社製のＵＮ‐９０４、長興化学工業（Eternal Chemical）社製のジペンタエリスリトールペンタアクリレート（ＤＰＨＡ）、ウォーターストーン（Waterstone）社製の４‐メチルテトラヒドロフタル酸無水物、３，４‐エポキシシクロヘキシルメチル‐３，４‐エポキシシクロヘキサンカルボキシレート（3,4-epoxycyclohexylmethyl 3,4-epoxycyclohexane carboxylate）、ヘキサメトキシメチルメラミン（hexamethoxymethylmelamine）およびイソホロンジイソシアネート（isophorone diisocyanate）；
レベリング剤：ＤＩＣ社製のＦ‐４７９；
光開始剤：ＢＡＳＦ社製のイルガキュア〔Irgacure（R）（商標）〕９０７；
接着促進剤：γ‐（メタクリロキシ）プロピルトリメトキシシラン（gamma-methacryloxypropyltrimethoxysilane）またはγ‐アミノプロピルトリエトキシシラン（gamma-aminopropyltriethoxysilane）またはγ‐グリシジルプロピルトリメトキシシラン；
溶媒：三福化工（San Fu Chemical）社製のプロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）および３‐エトキシプロピオン酸エチル（ethoxyethylpropionate，EEP）；
オルトエステル：オルトギ酸トリメチル（trimethyl orthoformate）、オルトプロピオン酸トリメチル（trimethyl orthopropionate）、オルトギ酸トリブチル（tributyl orthoformate）；
その他の乾燥剤：ブチルセロソルブ（butyl cellosolve）および３‐メチル‐３‐メトキシブタノール（3-methyl-3-methoxybutanol）。
【００４１】
【表１】
2015141414.tif 000002
【００４２】
【表２】
2015141414.tif 000003
【００４３】
各実施例および各比較例の感光性樹脂組成物をそれぞれ下記の３つのタイムポイントでＩＴＯ基材およびＭｏ基材の上にコーティングした後、接着強度の測定を行った：
（１）コーティング完了後すぐに測定を行う（すなわち、表２の「初期」）；
（２）コーティング完了後２５℃で３日放置した後、超音波振動処理を行う；
（３）コーティング完了後４５℃で１２時間放置した後、超音波振動処理を行う。
【００４４】
上述した超音波振動処理は、トランソニック（Transonic）３００Ｈ超音波振動子を使用し、３７ｋＨｚの周波数により、５０℃で６０分間振動して、各サンプルの比較的悪条件下での接着力を測定した。
【００４５】
接着強度の測定は、クロスカット法（cross-cut method）を用いる。これは、塗層の接着力を測定する最も簡単な方法である。標準のマルチブレード切削ヘッド（ＺＥＨＮＴＮＥＲ社製のＺＣＣ２０８７、クロスカットテスター（cross-cut tester））を用いて塗層表面に対して９０度のクロスカットを行い、塗層の剥落状態を観察して、塗層の接着力を測定した。測定結果は、表２に示した通りであり、そのうち、「５Ｂ」、「４Ｂ」、「２Ｂ」、「１Ｂ」および「０Ｂ」は、それぞれ下記の状態を示す：
５Ｂ：切断縁部は平滑で完全であり、塗層には全く剥落がない；
４Ｂ：切断線の交差点に小さな破片があり、剥落エリアは総面積の５％よりも小さい；
２Ｂ：切断線の縁部、小格子の一部または全部に剥落がある、剥落エリアは総面積の１５〜３５％を占める；
１Ｂ：切断線の縁部、小格子の一部または全部に剥落がある、剥落エリアは総面積の３５〜６５％を占める；
０Ｂ：切断線の縁部、小格子の一部または全部に剥落がある、剥落エリアは総面積の６５％以上を占める。
【００４６】
表２を参照すると、比較例１は乾燥剤を添加していないため、感光性樹脂組成物を基材にコーティングし、且つ一般環境に一定の時間放置した後、基材に対する接着性は、大幅に低下している。比較例２および比較例３はその他の乾燥剤を添加したため、接着性がアイドル時間（idle time）とともに低下する程度は比較例１ほど悪くないものの、コーティング完了後すぐの「５Ｂ」または「４Ｂ」から「２Ｂ」または「１Ｂ」に低下している。オルトエステルを添加した実験例１〜７については、感光性樹脂を比較的悪条件の下で１２時間放置しても非常に優れた基材接着力を保持しており、且つオルトエステルの含有量を大幅に変更しても、その効果に変化はなかった。
【００４７】
以上のように、本発明は、感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を用いた電子素子の製造方法、およびこの方法により得られる電子素子を提供する。感光性樹脂組成物がシラン化合物を含有することによって、基材に対する接着力を上げることができ、オルトエステルをさらに含有することによって、感光性樹脂組成物を一般環境中に一定の時間保存しても、基材に対する接着力を維持することができる。
【００４８】
以上のごとく、この発明を実施形態により開示したが、もとより、この発明を限定するためのものではなく、当業者であれば容易に理解できるように、この発明の技術思想の範囲内において、適当な変更ならびに修正が当然なされうるものであるから、その特許権保護の範囲は、特許請求の範囲および、それと均等な領域を基準として定めなければならない。