(57)【要約】【課題】信頼性に優れた金属配線を形成することができる金属配線の形成方法を提供すること。【解決手段】実施形態に係る金属配線の形成方法は、半導体基板上に金属層、有機系反射防止膜をこの順に積層し、前記有機系反射防止膜の表面上に、カーボンを含むレジストパターンを形成し、前記レジストパターンの間から露出する前記有機系反射防止膜を、酸素を含まないフッ素系のガスを用いてエッチングすると同時に、前記レジストパターンの側壁に側壁保護膜を形成し、前記側壁保護膜が形成された前記レジストパターンをマスクとして用い、前記レジストパターンの間から露出する前記金属層をエッチングする方法である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上にアルミニウムからなる金属層、ＳｉＯＮからなる有機系反射防止膜をこの順に積層し、
前記有機系反射防止膜の表面上に、カーボンを含むレジストパターンを形成し、
前記レジストパターンの間から露出する前記有機系反射防止膜を、Ｃ４Ｆ８、ＣＯ、およびＡｒからなり、酸素を含まない混合ガスを用いてエッチングすると同時に、前記レジストパターンの側壁に側壁保護膜を形成し、
前記側壁保護膜が形成された前記レジストパターンをマスクとして用い、前記レジストパターンの間から露出する前記金属層をエッチングすることを特徴とする金属配線の形成方法。
【請求項２】
半導体基板上に金属層、有機系反射防止膜をこの順に積層し、
前記有機系反射防止膜の表面上に、カーボンを含むレジストパターンを形成し、
前記レジストパターンの間から露出する前記有機系反射防止膜を、酸素を含まないフッ素系のガスを用いてエッチングすると同時に、前記レジストパターンの側壁に側壁保護膜を形成し、
前記側壁保護膜が形成された前記レジストパターンをマスクとして用い、前記レジストパターンの間から露出する前記金属層をエッチングすることを特徴とする金属配線の形成方法。
【請求項３】
前記有機系反射防止膜をエッチングする際に使用される前記ガスは、Ｃ４Ｆ８、ＣＯ、およびＡｒからなり、前記酸素を含まない混合ガスであることを特徴とする請求項２に記載の金属配線の形成方法。
【請求項４】
前記有機系反射防止膜は、ＳｉＯＮ膜であることを特徴とする請求項３に記載の金属配線の形成方法。
【請求項５】
前記金属層は、アルミニウムからなることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の金属配線の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、金属配線の形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばＣＭＯＳトランジスタを含む各種半導体装置には、例えばアルミニウム等の金属からなる金属配線が設けられている。一般に、この金属配線は以下のように製造される。
【０００３】
まず、半導体基板上に絶縁膜を介して金属層、有機系反射防止膜、およびレジスト層をそれぞれ一様に形成し、レジスト層を露光、現像することにより有機系反射防止膜上にレジストパターンを形成する。続いて、形成されたレジストパターンから露出する有機系反射防止膜を、酸素を含む例えばフッ素系のエッチングガスを用いてエッチングし、金属層を、例えば塩素系のエッチングガスを用いてエッチングする。これにより、金属層にレジストパターンが転写され、金属配線が形成される。
【０００４】
このように形成される金属配線を有する各種半導体装置の近年の微細化に伴って、金属配線の配線幅および金属配線間の距離は短くなる。レジストパターンの間隔は、レジスト層の膜厚が厚いほど広くなる傾向にあるため、半導体装置の微細化に伴って、レジスト層の膜厚を薄くする必要がある。この結果、金属層のエッチングが終了するより前に、レジストパターンがエッチングによって消失する、という問題がある。この結果、形成される金属配線の一部に欠け等の形状の劣化が生じ、信頼性に優れた金属配線を形成することが困難となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２１９５５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
実施形態は、信頼性に優れた金属配線を形成することができる金属配線の形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態に係る金属配線の形成方法は、半導体基板上に金属層、有機系反射防止膜をこの順に積層し、前記有機系反射防止膜の表面上に、カーボンを含むレジストパターンを形成し、前記レジストパターンの間から露出する前記有機系反射防止膜を、酸素を含まないフッ素系のガスを用いてエッチングすると同時に、前記レジストパターンの側壁に側壁保護膜を形成し、前記側壁保護膜が形成された前記レジストパターンをマスクとして用い、前記レジストパターンの間から露出する前記金属層をエッチングする方法である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態に係る金属配線の形成方法により形成された金属配線を有する半導体装置を模式的に示す部分断面図である。
【図２】本実施形態に係る金属配線の形成方法を含む半導体装置の製造方法を説明するための、図１に相当する断面図である。
【図３】本実施形態に係る金属配線の形成方法を含む半導体装置の製造方法を説明するための、図１に相当する断面図である。
【図４】本実施形態に係る金属配線の形成方法を含む半導体装置の製造方法を説明するための、図１に相当する断面図である。
【図５】本実施形態に係る金属配線の形成方法を含む半導体装置の製造方法を説明するための、図１に相当する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、実施形態に係る金属配線の形成方法について説明する。
【００１０】
図１は、実施形態に係る金属配線の形成方法により形成された金属配線を有する半導体装置として、例えばＣＭＯＳトランジスタを模式的に示す部分断面図である。図１に示す半導体装置１０において、例えばｐ型のシリコンからなる半導体基板１１の表面の一部には、ｎ型の不純物層であるチャネル層１２が設けられており、このチャネル層１２の表面には、ｐ型の不純物層であるドレイン１３ｄおよびソース１３ｓが設けられている。そして、ドレイン１３ｄとソース１３ｓとの間のチャネル層１２の表面上には、例えばシリコン酸化膜等の酸化膜１４を介してゲート電極１５が設けられている。このようにして、ｐＭＯＳトランジスタ１５が形成されている。
【００１１】
また、半導体基板１１の表面のうち、ｐＭＯＳトランジスタ１６の近傍には、ｎ型の不純物層であるドレイン１７ｄおよびソース１７ｓが設けられている。そして、ドレイン１７ｄとソース１７ｓとの間の半導体基板１１の表面上には、酸化膜１４を介してゲート電極１８が設けられている。このようにして、ｎＭＯＳトランジスタ１９が形成されている。
【００１２】
このように各種不純物層等が形成された半導体基板１１の表面上には、酸化膜１４を介して、例えばＳｉＯ２からなる絶縁膜２０が設けられている。この絶縁膜２０には、絶縁膜２０を貫通し、ｐＭＯＳトランジスタ１６のドレイン１３ｄおよびソース１３ｓ、ｎＭＯＳトランジスタ１９のドレイン１７ｄおよびソース１７ｓ、にそれぞれ接続される貫通電極２１が設けられている。
【００１３】
そして、絶縁膜２０の表面上には、貫通電極２１に接続されるように、例えばアルミニウムからなる金属配線２２が形成されている。なお、金属配線２２の表面には、例えばＴｉＮ等からなるバリアメタルが設けられていてもよい。
【００１４】
この金属配線２２の表面上には、例えば酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）からなる有機系反射防止膜２３が形成されている。なお、この膜２３は、金属配線２２の形成に必要なレジストマスクを形成する際の膜厚不足を補足するために設けられており、レジスト露光時に、露光光が乱反射し、レジストマスクのサイズの精度が劣化することを抑制する目的も担っている。
【００１５】
以下に、図１に示す半導体装置１０に形成される金属配線２２の形成方法を含む半導体装置の製造方法について、図２〜図５を参照して詳細に説明する。なお、図２〜図５はそれぞれ、本実施形態に係る金属配線２２の形成方法を含む半導体装置の製造方法を説明するための、図１に相当する断面図である。
【００１６】
まず、図２に示すように、例えばシリコン基板である半導体基板１１にｐＭＯＳトランジスタ１６およびｎＭＯＳトランジスタ１９を形成し、このような半導体基板１１の表面上に、酸化膜１４を介して例えばＳｉＯ２からなる絶縁膜２０を形成する。
【００１７】
続いて、この絶縁膜２０に複数の貫通電極２１を形成した後、絶縁膜２０の表面上に、後に金属配線２２（図１）となる金属層２２´および有機系反射防止膜２３を、この順に積層する。本実施形態において、金属層２２´は例えばアルミニウム（Ａｌ）層、有機系反射防止膜２３は例えば酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）膜、である。
【００１８】
このように金属層２２´および有機系反射防止膜２３を形成した後、有機系反射防止膜２３の表面上に、露光、現像工程を経て、レジストパターン２４を形成する。レジストパターン２４は、少なくともカーボン（Ｃ）を含む感光性材料からなる。なお、レジストパターン２４は、有機系反射防止膜２３上に形成されているため、レジストパターン２４形成時における露光光の乱反射が抑制され、精度よく形成される。
【００１９】
次に、図３に示すように、例えば容量結合プラズマ（ＣＣＰ）装置、または誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）装置を用い、レジストパターン２４の間から露出する有機系反射防止膜２３を、酸素（Ｏ２）を含まないフッ素系のエッチングガス（例えばＣ４Ｆ８／ＣＯ／Ａｒ）を用いてエッチングする。このとき、有機系反射防止膜２３のエッチングによる消失と同時に、レジストパターン２４の側壁には、エッチングガス（例えばＣ４Ｆ８／ＣＯ／Ａｒ）とレジストパターン２４および有機系反射防止膜２３との反応生成物からなる側壁保護膜２５が形成される。側壁保護膜２５は、レジストパターン２４の側壁のうち、略垂直な面上には厚く形成され、傾斜面上には薄く形成される。この側壁保護膜２５は、例えばＣ−Ｆ、Ｃ−Ｏ、Ｃ−Ｎ等からなるものである。
【００２０】
なお、従来のように、有機系反射防止膜２３を、酸素（Ｏ２）を含むフッ素系のエッチングガス（例えばＣ４Ｆ８／ＣＯ／Ａｒ／Ｏ２）を用いてエッチングする場合であっても、レジストパターン２４の側壁には、上記のように側壁保護膜２５が形成される。しかしながら、その膜厚は十分ではなく、後の金属層２２´のエッチング工程において、金属層２２´のエッチングが終了する前にレジストパターン２４が消失し、形成される金属配線２２の一部に欠け等の形状の劣化が生じ、信頼性に優れた金属配線２２を形成することは困難である。
【００２１】
すなわち、本実施形態において、図３に示す工程は、従来の有機系反射防止膜２３のエッチング工程と比較して、エッチングガスから酸素（Ｏ２）を除くことにより、側壁保護膜２５の生成を促進する工程である。
【００２２】
次に、図４に示すように、側壁保護膜２５が形成されたレジストパターン２４の間から露出する金属層２２´をエッチングし、絶縁膜２０上に金属配線２２を形成する。本実施形態において、金属層２２´は、塩素系のエッチングガス（例えばＣｌ２／ＢＣｌ３／ＣＨ４）を用いてエッチングされる。なお、金属層２２´の表面上に、例えばＴｉＮ等のバリアメタルが設けられている場合、このバリアメタルは、例えばＣｌ２／Ａｒ／ＣＨＦ３からなるエッチングガスを用いてエッチングされる。
【００２３】
このエッチング工程において、レジストパターン２４もエッチングされるが、レジストパターン２４の側壁には側壁保護膜２５が形成されているため、金属層２２´をエッチングするガスからレジストパターン２４が保護され、エッチングによるレジストパターン２４の消失が抑制される。この結果、金属層２２´のエッチングが終了する時点において、レジストパターン２４のレジスト残膜が確保される。従って、欠け等の不良のない、良好な形状の金属配線２２が形成される。
【００２４】
なお、この工程においても、エッチングガス（例えばＣｌ２／ＢＣｌ３／ＣＨ４）とレジストパターン２４および金属層２２´との反応生成物である例えばＡｌ−Ｏ、Ａｌ−Ｃｌ、Ｔｉ−Ｃｌ、Ｃ−Ｏ等が金属配線２２、有機系反射防止膜２３、およびレジストパターン２４の側壁に側壁保護膜２５´として堆積される。この側壁保護膜２５´も、金属配線２２、有機系反射防止膜２３、レジストパターン２４の側壁のうち、略垂直な面上には厚く形成され、レジストパターン２４の傾斜面上には薄く形成される。
【００２５】
これに対して、レジストパターン２４の側壁に、必要な膜厚以下のごく薄い側壁保護膜２５が形成されている場合、金属層２２´のエッチング工程において、レジストパターン２４のエッチングも抑制されずに進行し、金属層２２´のエッチングが終了する前に、レジストパターン２４が消失する場合がある。この結果、形成される金属配線２２には欠け等の不良が生じる。
【００２６】
次に、図５に示すように、例えばアッシングによってレジストパターン２４を除去する。このとき、レジストパターン２４の傾斜面上に薄く形成された側壁保護膜２５´も同時に除去される。続いて、例えばフッ素含有水溶性無機化合物等を用いたウェットエッチングにより、残存する側壁保護膜２５´を除去する。
【００２７】
以上の工程を経て、図１に示す金属配線２２が形成される。
【００２８】
以上に説明したように、本実施形態に係る金属配線２２の形成方法においては、有機系反射防止膜２３をエッチングする際のエッチングガスとして、酸素を含まないフッ素系のエッチンガスを使用している。この結果、有機系反射防止膜２３のエッチングの際に、レジストパターン２４の側壁に、側壁保護膜２５が形成されることが促進される。従って、金属層２２´のエッチングが終了する前にレジストパターン２４が消失することが抑制され、金属層２２´のエッチングが終了する時点において、レジストパターン２４のレジスト残膜が確保される。この結果、欠け等の不良のない、良好な形状の金属配線２２を形成することができ、信頼性に優れた金属配線２２を形成することができる。
【００２９】
以上に、本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００３０】
１０・・・半導体装置
１１・・・半導体基板
１２・・・チャネル層
１３ｄ・・・ドレイン
１３ｓ・・・ソース
１４・・・酸化膜
１５・・・ゲート電極
１６・・・ｐＭＯＳトランジスタ
１７ｄ・・・ドレイン
１７ｓ・・・ソース
１８・・・ゲート電極
１９・・・ｎＭＯＳトランジスタ
２０・・・絶縁膜
２１・・・貫通電極
２２・・・金属配線
２２´・・・金属層
２３・・・有機系反射防止膜
２４・・・レジストパターン
２５・・・側壁保護膜
２５´・・・側壁保護膜
【図１】
2015176997.tif 000003
【図２】
2015176997.tif 000004
【図３】
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【図４】
2015176997.tif 000006
【図５】
2015176997.tif 000007