(57)【要約】【課題】ワークの状態に応じて洗浄時間を最適化しやすい真空洗浄機を提供することを課題とする。【解決手段】真空洗浄機１は、ワークＷが配置される蒸気洗浄室２０と、炭化水素系の洗浄剤の蒸気Ｓを蒸気洗浄室２０に供給する蒸気供給部３と、蒸気洗浄室２０と蒸気供給部３との間に介装される蒸気コントロールバルブ４と、蒸気洗浄室２０における蒸気Ｓの凝縮量を測定する凝縮量測定センサ５と、凝縮量に応じて蒸気コントロールバルブ４を制御することにより、蒸気供給部３から蒸気洗浄室２０への、蒸気Ｓの供給を調整する制御部６と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが配置される蒸気洗浄室と、
炭化水素系の洗浄剤の蒸気を該蒸気洗浄室に供給する蒸気供給部と、
該蒸気洗浄室と該蒸気供給部との間に介装される蒸気コントロールバルブと、
該蒸気洗浄室における該蒸気の凝縮量を測定する凝縮量測定センサと、
該凝縮量に応じて該蒸気コントロールバルブを制御することにより、該蒸気供給部から該蒸気洗浄室への、該蒸気の供給を調整する制御部と、
を備える真空洗浄機。
【請求項２】
前記制御部は、閉弁しきい値が格納される記憶部と、前記凝縮量が該閉弁しきい値以下の場合に前記蒸気コントロールバルブを閉める演算部と、を有する請求項１に記載の真空洗浄機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば焼入れ後のワークを洗浄する際に用いられる、真空洗浄機に関する。
【背景技術】
【０００２】
焼入れ後のワークには、焼入れ用のオイルが付着している。当該オイルを落とすため、ワークは、真空洗浄機により脱脂洗浄される。特許文献１に示すように、真空洗浄機は、洗浄剤の蒸気をワークに吹き付けることにより、ワークを洗浄している。例えば、重いワークの場合、洗浄に必要な蒸気の供給量は多くなる。このため、洗浄時間は長くなる。反対に、軽いのワークの場合、洗浄に必要な蒸気の供給量は少なくなる。このため、洗浄時間は短くなる。従来は、ワークの質量に基づいて洗浄時間が設定されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２２６５１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、洗浄時間に影響を与える因子は、ワークの質量だけではない。例えば、ワークの形状、ワークに付着したオイルの種類などによっても、洗浄時間は変化する。このため、ワークの質量に基づき設定される洗浄時間と、現実に必要な洗浄時間と、の間に乖離が生じていた。例えば、ワークの洗浄が完了しているにもかかわらず、蒸気洗浄が継続される場合があった。反対に、ワークの洗浄が完了していないにもかかわらず、蒸気洗浄が打ち切られる場合があった。このように、従来は、ワークの状態に応じて洗浄時間を最適化することが困難だった。そこで、本発明は、ワークの状態に応じて洗浄時間を最適化しやすい真空洗浄機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）上記課題を解決するため、本発明の真空洗浄機は、ワークが配置される蒸気洗浄室と、炭化水素系の洗浄剤の蒸気を該蒸気洗浄室に供給する蒸気供給部と、該蒸気洗浄室と該蒸気供給部との間に介装される蒸気コントロールバルブと、該蒸気供給部に配置される再生タンクと、該再生タンクと該蒸気洗浄室との間に介装される初期蒸気コントロールバルブと、該蒸気洗浄室における該蒸気の凝縮量を測定する凝縮量測定センサと、該凝縮量に応じて該蒸気コントロールバルブを制御することにより、該蒸気供給部から該蒸気洗浄室への、該蒸気の供給を調整する制御部と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
ここで、蒸気の「凝縮量」とは、単位時間（１秒、１分、１０分、１時間など）あたりの蒸気の凝縮量（質量、または体積）をいう。蒸気の「供給」には、蒸気の供給時間、蒸気の供給量などが含まれる。蒸気の「供給量」とは、単位時間あたりの蒸気の供給量をいう。
【０００７】
洗浄剤の蒸気は、ワークよりも高温である。蒸気がワークに触れると、低温のワークが加熱される一方、高温の蒸気が冷却される。このため、蒸気が凝縮する。ここで、ワーク洗浄初期においては、蒸気とワークとの温度差が大きい。このため、蒸気の凝縮量は多くなる。一方、ワーク洗浄終期においては、蒸気とワークとの温度差が小さい。このため、蒸気の凝縮量は少なくなる。このように、蒸気の凝縮量は、ワークの洗浄が進むのに従って、少なくなる。言い換えると、蒸気の凝縮量と、ワークの状態（洗浄の進行程度）と、は関連している。この点に着目して、本発明の真空洗浄機の制御部は、蒸気の凝縮量を基に、蒸気の供給を調整している。一例として、蒸気の凝縮量が多い場合は、ワークの洗浄があまり進行していないと想定されるため、制御部は、蒸気の供給を増やすことができる。反対に、蒸気の凝縮量が少ない場合は、ワークの洗浄がほぼ完了していると想定されるため、制御部は、蒸気の供給を停止することができる。このように、本発明の蒸気洗浄機によると、蒸気の凝縮量を基に、自動的に蒸気の供給を調整している。このため、ワークの状態に応じて、蒸気の供給を簡単に調整することができる。すなわち、ワークの状態に応じて、洗浄時間を簡単に調整することができる。また、本発明の蒸気洗浄機によると、ワークに対して、簡単に清浄な蒸気を供給することができる。
【０００８】
（２）上記（１）の構成において、前記制御部は、閉弁しきい値が格納される記憶部と、前記凝縮量が該閉弁しきい値以下の場合に前記蒸気コントロールバルブを閉める演算部と、を有する構成とする方がよい。
【０００９】
閉弁しきい値は、ワークの洗浄がほぼ完了した状態に対応している。本構成によると、凝縮量が閉弁しきい値以下の場合、演算部が蒸気コントロールバルブを閉める。すなわち、演算部は、蒸気供給部から蒸気洗浄室への蒸気の供給を停止する。このため、ワークの洗浄が完了しているにもかかわらず、蒸気が供給され続けるような事態を回避することができる。すなわち、蒸気の過剰供給を抑制することができる。したがって、蒸気の供給コストを削減することができる。また、ワークの状態に応じて、洗浄時間を自動的に調整することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によると、ワークの状態に応じて洗浄時間を最適化しやすい真空洗浄機を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態である真空洗浄機の模式図である。
【図２】図１のエレベータ付近の左面図である。
【図３】同真空洗浄機の浸漬洗浄工程における模式図（その１）である。
【図４】同真空洗浄機の同工程における模式図（その２）である。
【図５】同真空洗浄機の同工程における模式図（その３）である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の真空洗浄機の実施の形態について説明する。なお、洗浄剤の蒸気を「蒸気」と略称する。また、洗浄剤の蒸気が凝縮して生成した液体を「凝縮液」と称する。
【００１３】
＜真空洗浄機の配置および構成＞
まず、本実施形態の真空洗浄機の配置および構成について説明する。図１に、本実施形態の真空洗浄機の模式図を示す。図２に、図１のエレベータ付近の左面図を示す。真空洗浄機１は、図示しない焼入れ炉と、焼戻し炉と、の間に配置されている。焼入れ炉においては、焼入れ用のオイルにワークを浸漬することにより、ワークに焼入れ処理が施される。このため、ワークにはオイルが付着する。真空洗浄機１は、ワークを脱脂洗浄することにより、ワークに付着したオイルを落としている。
【００１４】
真空洗浄機１は、洗浄室２と、蒸気供給部３と、蒸気コントロールバルブ４と、凝縮量測定センサ５と、制御部６と、外壁８０と、隔壁８１と、中間ドア８２と、昇降部８３と、一対のガイドフレーム８４と、乾燥凝縮器９０と、減圧ポンプ９２と、凝縮器９３と、シャワータンク９４と、複数のヒータ９５と、エアチューブ９６と、初期蒸気コントロールバルブＡと、再生タンクＢと、を備えている。
【００１５】
［洗浄室２、外壁８０、隔壁８１、中間ドア８２］
外壁８０は、真空洗浄機１の外殻を形成している。外壁８０の内面には、断熱材（図略）が配置されている。隔壁８１は、外壁８０の内側に配置されている。隔壁８１は、外壁８０の内部空間を、洗浄室２と、蒸気室３０と、に仕切っている。隔壁８１には、窓部８１０が開設されている。窓部８１０の周囲には、Ｏリング９７が配置されている。洗浄室２は、窓部８１０を境に、上側の蒸気洗浄室２０と、下側の浸漬室２１と、に区画されている。蒸気洗浄室２０には、後述する配管３１を介して、蒸気室３０から、蒸気が供給される。浸漬室２１には、凝縮液Ｌが貯留されている。
【００１６】
中間ドア８２は、後述する一対のガイドフレーム８４に沿って、左右方向にスライド可能である。中間ドア８２は、上側からＯリング９７に弾接することにより、窓部８１０を封止可能である。すなわち、中間ドア８２は、蒸気洗浄室２０と浸漬室２１とを隔離可能である。中間ドア８２の上側には、二対のローラ８２０が配置されている。図２に示すように、二対のローラ８２０のうち、一対のローラ８２０は、中間ドア８２の前側に、左右方向に並んで配置されている。また、残りの一対のローラ８２０は、中間ドア８２の後側に、左右方向に並んで配置されている。
【００１７】
［昇降部８３、ガイドフレーム８４］
昇降部８３は、エアシリンダ８３０と、エレベータ８３１と、を備えている。エアシリンダ８３０のロッドは、エレベータ８３１の上壁に連結されている。エアシリンダ８３０は、エレベータ８３１を昇降可能である。エレベータ８３１は、枠状を呈している。エレベータ８３１の内部には、ワークＷが収容されている。図２に示すように、エレベータ８３１の下壁の下面からは、前後一対のフック８３１ａが突設されている。また、エレベータ８３１の下壁の下面からは、前後一対のドア押圧部材８３１ｂが突設されている。前後一対のドア押圧部材８３１ｂは、中間ドア８２（図２においては、点線ハッチングを施す。）を、上側から押圧することができる。
【００１８】
一対のガイドフレーム８４は、エレベータ８３１の下側に配置されている。一対のガイドフレーム８４は、前後方向に離間して配置されている。ガイドフレーム８４は、左右方向に延在している。ガイドフレーム８４には、一対のローラ８２０が、相対的に左右方向に移動可能に係合している。ガイドフレーム８４は、左端の揺動軸８４０を中心に、上下方向に揺動可能である。ガイドフレーム８４の上面からは、左右一対のフック８４１が突設されている。図２に示すように、フック８４１の先端は、フック８３１ａの先端に、上側から係合している。このため、エレベータ８３１は、ガイドフレーム８４を持ち上げることができる。
【００１９】
［蒸気供給部３、蒸気コントロールバルブ４、初期蒸気コントロールバルブＡ、再生タンクＢ、凝縮量測定センサ５］
蒸気供給部３は、蒸気室３０と配管３１とを備えている。蒸気室３０は、洗浄室２を外側から覆っている。蒸気室３０の下側部分には、凝縮液Ｌが貯留されている。配管３１は、蒸気室３０と蒸気洗浄室２０とを連結している。
【００２０】
再生タンクＢは、蒸気室３０に配置されている。再生タンクＢは、凝縮液Ｌに浸かっている。再生タンクＢは、後述する乾燥凝縮器９０に連通している。再生タンクＢと乾燥凝縮器９０との間には、空圧式の再生バルブＣが介装されている。
【００２１】
蒸気コントロールバルブ４は、配管３１に配置されている。蒸気コントロールバルブ４は、空圧式であり、配管３１を開閉することができる。凝縮量測定センサ５は、蒸気洗浄室２０に連結されている。凝縮量測定センサ５は、蒸気洗浄室２０における蒸気Ｓの凝縮量（詳しくは、単位時間あたりの蒸気Ｓの凝縮量）を測定することができる。初期蒸気コントロールバルブＡは、空圧式であり、再生タンクＢと蒸気洗浄室２０との間に介装されている。
【００２２】
［乾燥凝縮器９０、減圧ポンプ９２、凝縮器９３、シャワータンク９４、ヒータ９５、エアチューブ９６］
乾燥凝縮器９０は、配管９００を介して、蒸気洗浄室２０に連通している。配管９００には、空圧式のバルブ９０１が配置されている。減圧ポンプ９２は、配管９２０を介して、乾燥凝縮器９０に連通している。配管９２０には、空圧式のバルブ９２１が配置されている。バルブ９２１は、いわゆるアングルバルブである。また、減圧ポンプ９２は、配管９２２を介して、蒸気洗浄室２０に連通している。配管９２２には、空圧式のバルブ９２３が配置されている。バルブ９２３は、いわゆるアングルバルブである。
【００２３】
凝縮器９３は、配管９３０を介して、蒸気洗浄室２０に連通している。配管９３０には、空圧式のバルブ９３１が配置されている。シャワータンク９４は、配管９４０を介して、凝縮器９３に連通している。配管９４０には、空圧式のバルブ９４１が配置されている。また、シャワータンク９４は、配管９４２を介して、浸漬室２１に連通している。配管９４２には、空圧式のバルブ９４３が配置されている。なお、シャワータンク９４は、配管（図略）を介して、蒸気洗浄室２０にも連通している。このため、蒸気洗浄室２０のワークＷに対して、凝縮液を噴射することができる。複数のヒータ９５は、浸漬室２１、蒸気室３０に配置されている。ヒータ９５は、凝縮液Ｌを加熱することができる。
【００２４】
エアチューブ９６は、浸漬室２１の底面に配置されている。エアチューブ９６には、空気が供給される。また、エアチューブ９６の側周壁には、複数の通孔（図略）が穿設されている。このため、エアチューブ９６は、浸漬室２１の凝縮液Ｌに、バブリング処理を施すことができる。
【００２５】
［制御部６］
制御部６は、記憶部６０と演算部６１とを備えている。記憶部６０には、蒸気コントロールバルブ４の開閉に関する閉弁しきい値が格納されている。制御部６は、凝縮量測定センサ５、蒸気コントロールバルブ４に電気的に接続されている。また、制御部６は、エアシリンダ８３０、減圧ポンプ９２、乾燥凝縮器９０、ヒータ９５、エアチューブ９６、バルブ９０１、９２１、９２３、９３１、９４１、９４３などにも、電気的に接続されている。
【００２６】
＜ワークの洗浄方法＞
次に、本実施形態の真空洗浄機が行うワークの洗浄方法について説明する。洗浄方法は、蒸気洗浄工程と、第一乾燥工程と、浸漬洗浄工程と、第二乾燥工程と、を有している。
【００２７】
［蒸気洗浄工程］
本工程においては、蒸気Ｓを用いてワークＷを洗浄する。まず、前工程の焼入れ処理によりオイルが付着したワークＷを、蒸気洗浄室２０に搬入する。具体的には、ワークＷをエレベータ８３１に搭載する。図２に示すように、エレベータ８３１のドア押圧部材８３１ｂは、中間ドア８２を上側から押さえつけている。このため、中間ドア８２は、窓部８１０を封止している。
【００２８】
なお、ワークＷを搬入する際、制御部６は、バルブ９０１、９２３、９３１を閉じている。また、乾燥凝縮器９０は、真空状態（圧力が大気圧よりも低い状態。例えば１０ｋＰａ以下の状態。）に確保されている。また、制御部６は、蒸気室３０のヒータ９５を駆動している。このため、蒸気室３０には、蒸気Ｓが発生している。
【００２９】
次に、制御部６は、バルブ９２３を開き、減圧ポンプ９２を始動する。制御部６は、蒸気洗浄室２０を、乾燥凝縮器９０と同じ圧力になるまで減圧する。続いて、制御部６は、蒸気コントロールバルブ４を開く。制御部６は、蒸気室３０から蒸気洗浄室２０に、蒸気Ｓを導入する。蒸気ＳがワークＷに触れると、蒸気Ｓが凝縮して液化する。すなわち、凝縮液Ｌが生成する。ワークＷに付着したオイルは、凝縮液Ｌに溶解し、蒸気室３０に流入する。このため、ワークＷが洗浄される。
【００３０】
ワークＷの洗浄と並行して、制御部６は、バルブ９３１を開閉制御する。バルブ９３１の開弁時に凝縮器９３に流入した蒸気Ｓは、凝縮液Ｌになる。凝縮液Ｌは、バルブ９４１を介して、シャワータンク９４に流入する。また、凝縮液Ｌは、バルブ９４３を介して、浸漬室２１に流入する。
【００３１】
制御部６には、凝縮量測定センサ５から、蒸気Ｓの凝縮量、言い換えると凝縮液Ｌの生成量が入力される。演算部６１は、入力された凝縮量と、記憶部６０の閉弁しきい値と、を比較する。比較の結果、凝縮量が閉弁しきい値超過の場合は、蒸気洗浄室２０において、蒸気Ｓの凝縮が続いていることが想定される。すなわち、高温（例えば、８０℃以上１５０℃以下）の蒸気Ｓと、低温（例えば、１０℃以上４０℃以下）のワークＷと、の間で熱交換が続いていることが想定される。つまり、ワークＷの洗浄が完了していないことが想定される。このため、制御部６は、本工程を続行する。
【００３２】
一方、比較の結果、凝縮量が閉弁しきい値以下になった場合は、蒸気洗浄室２０において、蒸気Ｓの凝縮が完了したことが想定される。すなわち、蒸気ＳとワークＷとが等温になり、熱交換が完了したことが想定される。つまり、ワークＷの洗浄が完了したことが想定される。このため、制御部６は、本工程を終了する。具体的には、制御部６は、蒸気コントロールバルブ４を閉じる。
【００３３】
［第一乾燥工程］
本工程においては、ワークＷに付着した凝縮液Ｌを乾燥させる。制御部６は、バルブ９０１、９２１を開く。ここで、乾燥凝縮器９０は、蒸気洗浄室２０よりも、低温（例えば、５℃以上５０℃以下）、かつ低圧に設定されている。このため、蒸気洗浄室２０の凝縮液Ｌは、気化しながら乾燥凝縮器９０に移動する。したがって、ワークＷが乾燥する。気化した蒸気Ｓは、乾燥凝縮器９０にて再凝縮され、回収される。ワークＷの乾燥が完了したら、制御部６は、バルブ９０１、９２１を閉じる。
【００３４】
［浸漬洗浄工程］
図３に、本実施形態の真空洗浄機の浸漬洗浄工程における模式図（その１）を示す。  図４に、同真空洗浄機の同工程における模式図（その２）を示す。図５に、同真空洗浄機の同工程における模式図（その３）を示す。
【００３５】
本工程においては、浸漬室２１の凝縮液Ｌを用いてワークＷを洗浄する。まず、制御部６は、浸漬室２１のヒータ９５を駆動する。制御部６は、浸漬室２１の温度が一定になるように、ヒータ９５を制御する。次に、制御部６は、図３に示すように、エアシリンダ８３０を駆動する。制御部６は、エレベータ８３１を上昇させる。ここで、図２に示すように、フック８４１の先端は、フック８３１ａの先端に、上側から係合している。また、中間ドア８２のローラ８２０は、ガイドフレーム８４に、上側から係合している。このため、エレベータ８３１は、ガイドフレーム８４を持ち上げる。並びに、ガイドフレーム８４は、窓部８１０の上面から、中間ドア８２を持ち上げる。ガイドフレーム８４は、左端の揺動軸８４０を中心に、上側に揺動する。すなわち、ガイドフレーム８４は、右側から左側に下がる方向に、傾斜する。
【００３６】
次に、制御部６は、ローラ駆動部（図略）により、ローラ８２０を転動させる。制御部６は、図４に示すように、中間ドア８２を左側にスライドさせる。中間ドア８２（図２に点線ハッチングで示す）が左側にスライドすると、エレベータ８３１の真下に、窓部８１０の開口が出現する。
【００３７】
続いて、制御部６は、図５に示すように、エアシリンダ８３０を駆動する。制御部６は、エレベータ８３１を下降させる。制御部６は、ワークＷを浸漬室２１の凝縮液Ｌに浸漬する。それから、制御部６は、エアチューブ９６を介して、凝縮液Ｌに、空気を送り込む。すなわち、制御部６は、バブリング処理を施しながら、凝縮液Ｌを用いてワークＷを洗浄する。
【００３８】
［第二乾燥工程］
本工程においては、まず、図５→図４→図３→図１に示すように、エレベータ８３１を、浸漬室２１から蒸気洗浄室２０に、引き上げる。次に、中間ドア８２により、窓部８１０を封止する。続いて、第一乾燥工程同様の手順により、ワークＷに付着した凝縮液Ｌを乾燥させる。
【００３９】
＜作用効果＞
次に、本実施形態の真空洗浄機の作用効果について説明する。本実施形態の真空洗浄機１の制御部６は、蒸気Ｓの凝縮量を基に、蒸気Ｓの供給時間を自動的に調整している。このため、ワークＷの状態に応じて、蒸気Ｓの供給時間を簡単に調整することができる。例えば、蒸気Ｓの凝縮量が多い場合（ワークＷの洗浄が進んでいない場合）は、蒸気コントロールバルブ４の全開時間を長くして、蒸気Ｓの供給時間を長くすることができる。反対に、蒸気Ｓの凝縮量が少ない場合（ワークＷの洗浄が進んでいる場合）は、蒸気コントロールバルブ４の全開時間を短くして、蒸気Ｓの供給時間を短くすることができる。
【００４０】
また、制御部６は、蒸気洗浄室２０と蒸気室３０との間に急激な圧力差が生じないように、蒸気コントロールバルブ４を制御している。このため、ワークＷに対して、常に清浄な蒸気を供給することができる。
【００４１】
また、記憶部６０に格納された閉弁しきい値は、ワークＷの洗浄が完了した状態に対応している。蒸気Ｓの凝縮量が閉弁しきい値以下の場合、演算部６１が蒸気コントロールバルブ４を閉める。すなわち、演算部６１は、蒸気室３０から蒸気洗浄室２０への蒸気Ｓの供給を停止する。このため、ワークＷの洗浄が完了しているにもかかわらず、蒸気Ｓが供給され続けるような事態を回避することができる。すなわち、蒸気Ｓの過剰供給を抑制することができる。したがって、蒸気Ｓの供給コストを削減することができる。また、蒸気洗浄工程に要する時間、つまり洗浄時間を短縮することができる。また、ワークＷの種類に応じて、洗浄時間を自動的に調整することができる。
【００４２】
また、図１に示すように、洗浄室２は、蒸気室３０により、外側から覆われている。蒸気室３０には、高温の蒸気Ｓが充満している。このため、洗浄室２を、蒸気室３０により、保温、加熱することができる。したがって、第一乾燥工程、第二乾燥工程において、蒸気洗浄室２０の温度低下を抑制することができる。また、浸漬室２１における凝縮液Ｌの温度低下を抑制することができる。
【００４３】
また、図２に示すように、ドア押圧部材８３１ｂは、中間ドア８２の上面に当接している。このため、エレベータ８３１の自重により、中間ドア８２を窓部８１０に押し付けることができる。したがって、別途、中間ドア８２を封止する機構を配置する必要がない。
【００４４】
また、図５に示すように、浸漬洗浄工程においては、バブリング処理を行っている。このため、ワークＷの形状が複雑な場合であっても、簡単にワークＷを洗浄することができる。すなわち、本実施形態の真空洗浄機１は、洗浄能力が高い。
【００４５】
また、図１に示すように、バルブ９２１、９２３は、いわゆるアングルバルブである。このため、バルブ９２１、９２３がグローブバルブである場合と比較して、バルブのメンテナンスコストを削減することができる。
【００４６】
また、図１に示すように、本実施形態の真空洗浄機１には、油圧式の駆動機構が用いられていない。例えば、蒸気コントロールバルブ４は空気駆動式である。また、エアシリンダ８３０は、空気駆動式である。このため、安全性が高い。
【００４７】
また、図１に示すように、本実施形態の真空洗浄機１には、乾燥凝縮器９０が配置されている。このため、第一乾燥工程、第二乾燥工程に要する時間を、短縮することができる。また、蒸気室３０を介して浸漬室２１にオイルで汚染された凝縮液Ｌが流れ込むのを、抑制することができる。また、図１に示すように、制御部６は、バルブ９３１を開閉制御する。このため、凝縮液Ｌの再生量を制御することができる。
【００４８】
＜その他＞
以上、本発明の真空洗浄機の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
【００４９】
上記実施形態のワークの洗浄方法に、シャワー洗浄工程を入れてもよい。すなわち、蒸気洗浄室２０のワークＷに、シャワータンク９４に貯留された凝縮液Ｌを、噴射してもよい。シャワー洗浄工程は、例えば、浸漬工程の後に実行してもよい。
【００５０】
凝縮量測定センサの種類は特に限定しない。単位時間あたりの蒸気の凝縮量（凝縮量に関する電気量）を測定できればよい。例えば、容積流量計、絞り流量計、差圧式流量計、カルマン渦流量計、タービン流量計、超音波流量計、電磁流量計、コリオリ式流量計などの流量計を、凝縮量測定センサとして用いることができる。
【００５１】
制御部６が行う蒸気コントロールバルブ４の制御方法は特に限定しない。例えば、制御部６は、蒸気Ｓの流量が最大になる全開位置と、蒸気Ｓの流量が０になる全閉位置と、を切り換えてもよい。また、制御部６は、全開位置と全閉位置との間で、連続的に蒸気コントロールバルブ４の開度を調整してもよい。すなわち、制御部６は、蒸気Ｓの流量を、連続的に増減させてもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１：真空洗浄機。
２：洗浄室、２０：蒸気洗浄室、２１：浸漬室。
３：蒸気供給部、３０：蒸気室、３１：配管。
４：蒸気コントロールバルブ。
５：凝縮量測定センサ。
６：制御部、６０：記憶部、６１：演算部。
８０：外壁、８１：隔壁、８１０：窓部、８２：中間ドア、８２０：ローラ、８３：昇降部、８３０：エアシリンダ、８３１：エレベータ、８３１ａ：フック、８３１ｂ：ドア押圧部材、８４：ガイドフレーム、８４０：揺動軸、８４１：フック。
９０：乾燥凝縮器、９００：配管、９０１：バルブ、９２：減圧ポンプ、９２０：配管、９２１：バルブ、９２２：配管、９２３：バルブ、９３：凝縮器、９３０：配管、９３１：バルブ、９４：シャワータンク、９４０：配管、９４１：バルブ、９４２：配管、９４３：バルブ、９５：ヒータ、９６：エアチューブ、９７：Ｏリング。
Ａ：初期蒸気コントロールバルブＡ、Ｂ：再生タンク、Ｃ：再生バルブ、Ｌ：凝縮液、Ｓ：蒸気、Ｗ：ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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