(57)【要約】【課題】板状物を固定する際に内部に生じる応力を低く抑え、かつ生産性を高く維持可能な樹脂組成物を提供する。【解決手段】板状物（１１）を固定する樹脂組成物（１５）であって、２５質量％以上３５質量％以下のウレタン結合を有する（メタ）アクリレートと、５質量％以上１５質量％以下のウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートと、５０質量％以上７０質量％以下のエポキシ基含有樹脂と、からなる組成物に、光重合開始材を含ませる構成とした。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状物を固定する樹脂組成物であって、
２５質量％以上３５質量％以下のウレタン結合を有する（メタ）アクリレートと、５質量％以上１５質量％以下のウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートと、５０質量％以上７０質量％以下のエポキシ基含有樹脂と、からなる組成物に、光重合開始材を含ませたことを特徴とする樹脂組成物。
【請求項２】
前記組成物の５５質量％以上６５質量％以下をエポキシ基含有樹脂としたことを特徴とする請求項１に記載の樹脂組成物。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の樹脂組成物に対して、該樹脂組成物の５質量％以上１０質量％以下のチクソ性付与剤を更に含ませたことを特徴とする樹脂組成物。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の樹脂組成物を用いる板状物の固定方法であって、
ステージと板状物の第１面との間に前記樹脂組成物を供給する樹脂組成物供給ステップと、
該樹脂組成物供給ステップを実施した後に、板状物の第２面側から該第１面に向かう力を加えて板状物を該ステージに向けて押し付け、該樹脂組成物を該第１面の全体に広げる押圧ステップと、
該押圧ステップを実施した後に、光を照射して該樹脂組成物を硬化する硬化ステップと、を備えることを特徴とする板状物の固定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハ等の板状物を固定するために用いられる樹脂組成物、及び当該樹脂組成物を用いる板状物の固定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス（デバイス）の材料となるウェーハは、通常、シリコン、シリコンカーバイド、ガリウムナイトライド等の半導体でなるインゴットから、バンドソーやワイヤーソー等の工具で切り出される。
【０００３】
このように切り出された直後のウェーハ（アズスライスウェーハ）には、反りやうねりが存在している。そこで、このウェーハの片面に樹脂を塗布して硬化させた後に、反対側の面を研削することで、反りやうねりを除去してウェーハを平坦にする加工方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１４８８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、水や溶剤等の液体を含む樹脂は、液体を揮発させると収縮する。また、光や熱で硬化する硬化型の樹脂は、硬化の前後において自由体積が変化して収縮し易い。硬化の際の収縮率が高い樹脂を、ウェーハ等の板状物を固定するために用いると、樹脂の収縮によって板状物の内部に応力が発生してしまう。
【０００６】
内部に応力が発生した状態で板状物を研削して平坦にすると、樹脂を除去する際に内部の応力が解放されて、反りやうねりが再び現れてしまう（いわゆる、スプリングバック）。この問題を解決するには、硬化の際の収縮率が十分に低い樹脂を用いて、板状物に加わる力を小さく抑えれば良い。
【０００７】
しかしながら、収縮率の低い樹脂は、硬化し難く、板状物の固定に適さない。また、硬化の完了までに長い時間を要するので、生産性も低くなってしまう。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、板状物を固定する際に内部に生じる応力を低く抑え、かつ生産性を高く維持可能な樹脂組成物、及び当該樹脂組成物を用いる板状物の固定方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、板状物を固定する樹脂組成物であって、２５質量％以上３５質量％以下のウレタン結合を有する（メタ）アクリレートと、５質量％以上１５質量％以下のウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートと、５０質量％以上７０質量％以下のエポキシ基含有樹脂と、からなる組成物に、光重合開始材を含ませたことを特徴とする樹脂組成物が提供される。
【０００９】
また、本発明において、前記組成物の５５質量％以上６５質量％以下をエポキシ基含有樹脂としたことが好ましい。
【００１０】
また、本発明によれば、前記樹脂組成物に対して、該樹脂組成物の５質量％以上１０質量％以下のチクソ性付与剤を更に含ませたことを特徴とする樹脂組成物が提供される。
【００１１】
また、本発明によれば、前記樹脂組成物を用いる板状物の固定方法であって、ステージと板状物の第１面との間に前記樹脂組成物を供給する樹脂組成物供給ステップと、該樹脂組成物供給ステップを実施した後に、板状物の第２面側から該第１面に向かう力を加えて板状物を該ステージに向けて押し付け、該樹脂組成物を該第１面の全体に広げる押圧ステップと、該押圧ステップを実施した後に、光を照射して該樹脂組成物を硬化する硬化ステップと、を備えることを特徴とする板状物の固定方法が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の樹脂組成物には、ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートと、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートと、エポキシ基含有樹脂とが所定の比率で混合されている。ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートは、高い硬化性及び高い収縮率を示し、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートは、高い硬化性及び低い収縮率を示し、エポキシ基含有樹脂は、低い硬化性及び低い収縮率を示す。
【００１３】
このような複数の材料を適切な分量で混合することにより、収縮を抑えながら短時間に硬化可能な樹脂組成物を実現できる。すなわち、本発明によれば、板状物を固定する際に内部に生じる応力を低く抑え、かつ生産性を高く維持可能な樹脂組成物を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１（Ａ）は、本実施の形態の樹脂組成物で固定される板状物の例を模式的に示す斜視図であり、図１（Ｂ）は、板状物の例を模式的に示す断面図である。
【図２】板状物を固定する固定装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図３】図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は、樹脂組成物を用いて板状物を固定する固定方法を模式的に示す一部断面側面図である。
【図４】図４（Ａ）及び図４（Ｂ）は、樹脂組成物を用いて板状物を固定する固定方法を模式的に示す一部断面側面図である。
【図５】実験１において表面欠陥検査装置で撮影したシリコンウェーハの表面の写真である。
【図６】実験２において表面欠陥検査装置で撮影したシリコンウェーハの表面の写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る樹脂組成物は、例えば、ウェーハ等の板状物の固定に用いられる。図１（Ａ）は、本実施の形態の樹脂組成物で固定される板状物の例を模式的に示す斜視図であり、図１（Ｂ）は、板状物の例を模式的に示す断面図である。
【００１６】
図１（Ａ）に示すように、板状物１１は、例えば、シリコン、シリコンカーバイド、ガリウムナイトライド等の半導体でなる円柱状のインゴットから、バンドソーやワイヤーソー等の工具で切り出された円盤状のウェーハ（アズスライスウェーハ）である。この板状物１１には、図１（Ｂ）に示すように、インゴットからの切り出しに伴う反りやうねりが存在している。
【００１７】
反りやうねりのある板状物１１は、デバイス等の形成に適さない。そのため、板状物１１を樹脂組成物で固定し、平坦化する必要がある。例えば、板状物１１の裏面（第１面）１１ｂ側に塗布した樹脂組成物を硬化させて平坦な基準面を形成し、その後、板状物１１の表面（第２面）１１ａ側を研削することで、板状物１１の反りやうねりを除去できる。
【００１８】
図２は、板状物１１を固定する固定装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図２に示すように、固定装置２は、ロール状に巻回されたフィルム１３が装着される送り出しローラー４と、送り出しローラー４から送り出されたフィルム１３を巻き取る巻き取りローラー６とを備える。
【００１９】
送り出しローラー４及び巻き取りローラー６は、それぞれ、モーター等の回転駆動源（不図示）と連結されており、フィルム１３を、送り出しローラー４側から巻き取りローラー６側へと移動させる。フィルム１３は、例えば、ポリオレフィン等の柔らかい樹脂材料で形成されている。
【００２０】
送り出しローラー４の上方には、スリットコーター等の樹脂供給ユニット８が配置されている。この樹脂供給ユニット８は、送り出しローラー４から送り出されたフィルム１３の表面１３ａ側に、本実施の形態に係る樹脂組成物１５（図３、図４参照）を供給する。樹脂組成物１５としては、次に示す第１態様に係る樹脂組成物１５ａ、又は第２態様に係る樹脂組成物１５ｂを用いることができる。
【００２１】
第１態様に係る樹脂組成物１５ａは、２５質量％以上３５質量％以下のウレタン結合（ウレタン基）を有する（メタ）アクリレートと、５質量％以上１５質量％以下のウレタン結合（ウレタン基）を有さない（メタ）アクリレートと、５０質量％以上７０質量％以下のエポキシ基含有樹脂と、からなる組成物（以下、組成物Ａ）を含む。
【００２２】
ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートは、高い硬化性を示すが硬化時の収縮率も高い。そのため、ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートだけで樹脂組成物１５ａを構成すると、板状物１１の内部に大きな応力を発生させてしまう。そこで、本実施の形態では、ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートに対して、収縮率の低いエポキシ基含有樹脂を混合している。
【００２３】
ここで、エポキシ基含有樹脂の硬化性は低いので、エポキシ基含有樹脂に対してウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートの分量が少なくなりすぎると、樹脂組成物１５ａは硬化し難くなる。一方、ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートと、エポキシ基含有樹脂とを硬化に適した分量で混合すると、収縮率を十分に低く抑えることができなくなって、板状物１１にうねり等が残存してしまう。
【００２４】
そこで、本実施の形態では、硬化性が高い割に収縮率の低いウレタン結合を有する（メタ）アクリレートを所定の分量で含ませることにより、（メタ）アクリレート全体の分量を確保して、収縮率を低く抑えながら硬化性を高く維持している。これにより、収縮を抑えて短時間に硬化できる。
【００２５】
樹脂組成物１５ａには、上述した組成物Ａ（ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートと、ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートと、エポキシ基含有樹脂とでなる組成物）の全量に対して、例えば、０．２質量％程度の光重合開始材（以下、光重合開始材Ｂ）が含まれている。上述した組成物Ａに対して光重合開始材Ｂを添加し、光（代表的には、紫外光）を照射することで、組成物Ａ中の（メタ）アクリレートを硬化させることができる。なお、光重合開始材Ｂの分量は、樹脂組成物１５ａの硬化性を維持できる範囲で任意に調整される。
【００２６】
第２態様に係る樹脂組成物１５ｂは、上述した第１態様に係る樹脂組成物１５ａに、樹脂組成物１５ａの全量の５質量％以上１０質量％以下のチクソ性付与剤（以下、チクソ性付与剤Ｃ）を添加して得られる。第１態様に係る樹脂組成物１５ａにチクソ性付与剤Ｃを添加することで、塗布後の広がりを抑制できる。この第２態様に係る樹脂組成物１５ｂは、板状物１１と小さな面積で接触した後に広がるので、気泡等の混入を抑制できる。
【００２７】
ここで、（メタ）アクリレートとは、アクリル酸化合物であるアクリレート、又はメタクリル酸化合物であるメタクリレートを指す。具体的には、例えば、テトラヒドロフルフリルアクリレート（Tetrahydrofurfuryl acrylate）、イソボルニルアクリレート（Isoboornyl acrylate）、１，９−ノナンジオールジアクリレート（1,9-Nonanediol diacrylate）等を用いることができる。
【００２８】
また、エポキシ基含有樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂や脂肪族型エポキシ樹樹脂（ダイマー酸型エポキシ樹脂）等を用いると良い。チクソ性付与剤としては、シリカ、酸化チタン、酸化マグネシウム等を用いることができる。
【００２９】
樹脂供給ユニット８の上方には、樹脂組成物１５が供給されたフィルム１３の表面１３ａに板状物１１を位置付ける上下一対のローラー１０，１２が設けられている。下側のローラー１０は、フィルム１３の進行方向を変えて、樹脂組成物１５が供給された表面１３ａ側を上方に位置付ける。
【００３０】
フィルム１３の表面１３ａには、樹脂組成物１５を介して板状物１１が載置される。本実施の形態では、板状物１１の裏面１１ｂ側を樹脂組成物１５に接触させる。ただし、板状物１１の表面１１ａ側を樹脂組成物１５に接触させても良い。その後、上側のローラー１２は、フィルム１３に載置された板状物１１に当接して回転する。板状物１１は、フィルム１３と共にローラー１０，１２で挟み込まれ、所定の位置に位置付けられる。
【００３１】
ローラー１０，１２で所定の位置に位置付けられた板状物１１は、フィルム１３と共に隣接する樹脂硬化ユニット１４へと搬送される。樹脂硬化ユニット１４は、内部に空間を有する略直方体状の基台１６を含む。基台１６の上部には、内部の空間を閉じるように、略平坦な上面を有するステージ１８が配置されている。
【００３２】
ステージ１８は、例えば、ホウ酸ガラス、石英ガラス等で構成されており、樹脂組成物１５を硬化させる波長の光を透過する。このステージ１８の上面は、ローラー１０，１２側から搬送されたフィルム１３を保持する保持面となっている。ステージ１８上に載置されたフィルム１３は、吸引機構（不図示）等で保持面に吸引保持される。
【００３３】
ステージ１８の下方には、樹脂組成物１５を硬化させる波長の光を放射する光源２０が配置されている。ステージ１８と光源２０との間には、光源２０からの光を遮断するシャッター２２が設けられている。また、シャッター２２の上方には、樹脂組成物１５の硬化に必要のない波長の光を遮断するフィルタ２４が配置されている。
【００３４】
シャッター２２を完全に閉じると、光源２０からの光はシャッター２２で遮断され、ステージ１８に到達しない。一方、シャッター２２を開くと、光源２０からの光は、フィルタ２４及びステージ１８を透過して、フィルム１３に照射される。フィルム１３は、樹脂組成物１５を硬化させる波長の光を透過できるように構成されており、樹脂組成物１５は、フィルム１３を透過した光で硬化する。
【００３５】
基台１６の側壁には、内部の空間に繋がる排気管２６が設けられている。この排気管２６は、基台１６の外部において排気ポンプ（不図示）等と接続されている。光源２０からの光で基台１６の内部の温度が上昇すると、ステージ１８が変形して保持面の平坦度は低下してしまう。そのため、排気管２６に接続された排気ポンプ等で基台１６の内部を排気して、温度上昇を抑制する。
【００３６】
ステージ１８と隣接する位置には、支持構造２８が設けられている。支持構造２８は、基台１６に立設された壁部２８ａと、壁部２８ａの上端から水平方向に延出された庇部２８ｂとを含む。ステージ１８の上方に位置する庇部２８ｂの中央には、フィルム１３上の板状物１１を下向きに押圧する押圧機構３０が設けられている。
【００３７】
押圧機構３０は、鉛直方向に伸びる中央の主ロッド３２と、主ロッド３２と平行に配置された複数（本実施の形態では４本）の副ロッド３４とを含む。複数の副ロッド３４は、主ロッド３２の周りにおいて略等間隔に配置されている。主ロッド３２及び複数の副ロッド３４の下端には、板状物１１の形状に対応した円盤状の押圧パッド３６が固定されている。
【００３８】
主ロッド３２及び複数の副ロッド３４は、それぞれ、モーター等を含む昇降機構（不図示）と連結されている。この昇降機構で主ロッド３２及び複数の副ロッド３４を下降させることにより、押圧パッド３６で板状物１１の表面１１ａ側を押圧できる。昇降機構は、主ロッド３２及び複数の副ロッド３４を独立に昇降させて、板状物１１にかかる押圧力を調整する。
【００３９】
フィルム１３上の樹脂組成物１５に板状物１１の裏面１１ｂ側を重ねた後、上述した押圧機構３０で表面１１ａ側を押圧して、フィルム１３の表面１３ａと板状物１１の裏面１１ｂとの間で樹脂組成物１５を均一に広げる。その後、光源２０の光を樹脂組成物１５に照射すれば、樹脂組成物１５を硬化して板状物１１を固定できる。
【００４０】
樹脂組成物１５で固定された板状物１１は、隣接するフィルム切断ユニット３８へと搬送される。フィルム切断ユニット３８は、略直方体状の基台４０を含む。基台４０の上部には、略平坦な上面を有するテーブル４２が配置されている。このテーブル４２の上面は、樹脂硬化ユニット１４側から搬送されたフィルム１３を保持する保持面となっている。
【００４１】
また、テーブル４２と隣接する位置には、支持構造４４が設けられている。支持構造４４は、基台４０に立設された壁部４４ａと、壁部４４ａの上端から水平方向に延出された庇部４４ｂとを含む。テーブル４２の上方に位置する庇部４４ｂの中央には、フィルム１３を円形に切断する切断機構４６が設けられている。
【００４２】
切断機構４６は、鉛直方向に伸びるロッド４８と、板状物１１より大径のリング状の刃を備えたカッター５０とを含む。カッター５０は、ロッド４８の下端に固定されており、ロッド４８の上部に連結されたエアシリンダ等の昇降機構（不図示）で上下に移動する。この昇降機構でカッター５０を下降させて、テーブル４２上のフィルム１３に接触させれば、フィルム１３を板状物１１の外形に対応する円形に切断できる。
【００４３】
板状物固定装置２で固定された板状物１１は、例えば、研削装置（不図示）で表面１１ａ側を研削された後に、樹脂組成物１５及びフィルム１３を除去される。上述のように、本実施の形態の樹脂組成物１５は、収縮を抑えながら短時間に硬化されるので、板状物１１を固定する際に内部に生じる応力を低く抑え、かつ生産性を高く維持できる。
【００４４】
図３（Ａ）、図３（Ｂ）、図４（Ａ）、及び図４（Ｂ）は、樹脂組成物１５を用いて板状物１１を固定する固定方法を模式的に示す一部断面側面図である。本実施の形態に係る生産方法では、まず、板状物１１を保持するステージ１８と板状物１１の裏面（第１面）１１ｂとの間に樹脂組成物１５を供給する樹脂組成物供給ステップを実施する。具体的には、図３（Ａ）に示すように、樹脂供給ユニット８からフィルム１３に供給された樹脂組成物１５上に板状物１１の裏面１１ｂ側を重ね、樹脂硬化ユニット１４のステージ１８上に搬入する。
【００４５】
樹脂組成物供給ステップを実施した後には、押圧パッド３６を下降させて、板状物１１の表面（第２面）１１ａ側を下向きに押圧する押圧ステップを実施する。この押圧ステップでは、まず、板状物１１を押圧機構３０の下方に位置付けた状態で、フィルム１３をステージ１８の保持面に吸引保持させる。
【００４６】
そして、図３（Ｂ）に示すように、押圧パッド３６を下降させて、板状物１１を下向きに押圧する。これにより、フィルム１３の表面１３ａと板状物１１の裏面１１ｂとの間で、樹脂組成物１５は均一に広がる。樹脂組成物１５が均一に広がった後には、図４（Ａ）に示すように、押圧パッド３６を上昇させて板状物１１の押圧を解除する。
【００４７】
押圧ステップを実施した後には、光を照射して樹脂組成物１５を硬化する硬化ステップを実施する。具体的には、図４（Ｂ）に示すように、光源２０から光を放射した状態でシャッター２２を開き、光源２０の光を樹脂組成物１５に照射する。その結果、樹脂組成物１５は硬化して、板状物１１を固定できる。
【００４８】
保持面となるステージ１８の上面は、略平坦に形成されているので、フィルム１３の表面１３ａと接する樹脂組成物１５の下面も略平坦になる。本実施の形態では、上述した第１態様に係る樹脂組成物１５ａ、又は第２態様に係る樹脂組成物１５ｂを用いるので、収縮を抑えながら短時間に硬化して、板状物１１を適切に固定できる。
【００４９】
なお、板状物１１の固定に使用される装置は、上述した固定装置２に限定されない。例えば、ステージの上方に、板状物１１を保持する保持機構を備えた固定装置を用いて板状物１１を固定することもできる。この場合、ステージに対面させるように板状物１１を保持機構で保持し、ステージ上に樹脂組成物１５を供給してから、板状物１１をステージにプレスして樹脂組成物１５を均一に広げる。その後、樹脂組成物１５に光を照射することで板状物１１を固定できる。
【００５０】
次に、本実施の形態に係る樹脂組成物１５の有効性を確認するために行った２種類の実験について説明する。
【００５１】
（実験１）
本実験では、ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートとエポキシ基含有樹脂との混合比が異なる複数の樹脂組成物でそれぞれシリコンウェーハ（アズスライスウェーハ）を固定し、表面欠陥検査装置「魔境」（山下電装社製、YIS-300SP）でシリコンウェーハの表面の状態を確認した。
【００５２】
シリコンウェーハの反りを、平坦度測定装置（コベルコ科研社製、SBW-330）で評価した。具体的には、シリコンウェーハの中心を通って等角度間隔に規定された１６本の線分上において表面の高さを１ｍｍ間隔で測定し、最高点と最低点との差を算出している。また、シリコンウェーハのうねりを、切り出し時に形成されるソーマークの湾曲、濃淡に基づいて評価した。例えば、ソーマークが濃く、凹凸が強調されている場合には、うねりが大きいと判断した。
【００５３】
なお、本実験では、ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレート及びエポキシ基含有樹脂の全量に対して０．２質量％の光重合開始材を添加した。本実験の結果は次表の通りである。なお、次表の「評価」の欄は、○が良好、△が可、ＮＧが不可を表している。図５には、表面欠陥検査装置で撮影したシリコンウェーハの表面の写真を併せて示す。
【００５４】
【表１】
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【００５５】
（メタ）アクリレートが２０質量％でエポキシ基含有樹脂が８０質量％の条件（試料１−１）、及び（メタ）アクリレートが２５質量％でエポキシ基含有樹脂が７５質量％の条件（試料１−２）では、樹脂組成物を十分に硬化させることができなかった。一方、（メタ）アクリレートが５５質量％でエポキシ基含有樹脂が４５質量％の条件（試料１−８、図５（Ｆ））、及び（メタ）アクリレートが６０質量％でエポキシ基含有樹脂が４０質量％の条件（試料１−９、図５（Ｇ））では、シリコンウェーハの反りが大きい。これは、硬化に伴う樹脂組成物の収縮率が高すぎるためである。上述した理由から、試料１−１、試料１−２、試料１−８、試料１−９では、うねりの評価を行っていない。
【００５６】
これに対して、（メタ）アクリレートが３０質量％でエポキシ基含有樹脂が７０質量％の条件（試料１−３、図５（Ａ））、（メタ）アクリレートが３５質量％でエポキシ基含有樹脂が６５質量％の条件（試料１−４、図５（Ｂ））、（メタ）アクリレートが４０質量％でエポキシ基含有樹脂が６０質量％の条件（試料１−５、図５（Ｃ））、（メタ）アクリレートが４５質量％でエポキシ基含有樹脂が５５質量％の条件（試料１−６、図５（Ｄ））、及び（メタ）アクリレートが５０質量％でエポキシ基含有樹脂が５０質量％の条件（試料１−７、図５（Ｅ））では、樹脂組成物を適切に硬化し、また、シリコンウェーハの反りを抑制できた。
【００５７】
ただし、試料１−３及び試料１−７では、試料１−４、試料１−５及び試料１−６に対してやや大きなうねり及び反りが観察されたため、試料１−４、試料１−５及び試料１−６の評価を○、試料１−３及び試料１−７の評価を△としている。試料１−３、試料１−４、試料１−５、試料１−６及び試料１−７の５条件の中では、試料１−５が最も良好であった。
【００５８】
本実験により、３０質量％以上５０質量％以下のウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートと、５０質量％以上７０質量％以下のエポキシ基含有樹脂とを混合することで、樹脂組成物を適切に硬化し、また、硬化に伴う樹脂組成物の収縮率を低く抑えて、シリコンウェーハの反りを抑制できるのが分かる。中でも、３５質量％以上４５質量％以下のウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートと、５５質量％以上６５質量％以下のエポキシ基含有樹脂とを混合する場合には、より良い結果が得られた。ただし、この条件では、シリコンウェーハのうねりを十分に小さくすることはできなかった。
【００５９】
（実験２）
本実験では、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートとウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートとの混合比が異なる複数の樹脂組成物でそれぞれシリコンウェーハを固定し、表面欠陥検査装置「魔境」（山下電装社製、YIS-300SP）でシリコンウェーハの表面の状態を確認した。シリコンウェーハの反り及びうねりの評価方法は、実験１と同様である。
【００６０】
なお、本実験では、（メタ）アクリレート（ウレタン結合有、及びウレタン結合無）及びエポキシ基含有樹脂の全量に対して０．２質量％の光重合開始材を添加した。また、（メタ）アクリレートとエポキシ基含有樹脂との混合比は、（メタ）アクリレートが４０質量％、エポキシ基含有樹脂が６０質量％の条件（実験１の試料１−５に相当）で固定した。本実験の結果は次表の通りである。なお、次表の「評価」の欄は、◎が最良、○が良好、ＮＧが不可を表している。図６には、表面欠陥検査装置で撮影したシリコンウェーハの表面の写真を併せて示す。
【００６１】
【表２】
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【００６２】
ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートが４０質量％でウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートが０質量％の条件（試料２−７）では、樹脂組成物の粘度が高くなりすぎて、シリコンウェーハの全面に樹脂組成物を広げることができなかった。また、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートが３７質量％でウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートが３質量％の条件（試料２−６）では、樹脂組成物の粘度が高く、貼着中に押圧圧力が樹脂中に残存し、押圧圧力を開放した際に応力でシリコンウェーハが変形した。上述した理由から、試料２−７及び試料２−６では、うねりの評価を行っていない。
【００６３】
一方、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートが２２質量％でウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートが１８質量％の条件（試料２−２、図６（Ｂ））、及びウレタン結合を有する（メタ）アクリレートが２０質量％でウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートが２０質量％の条件（試料２−１、図６（Ａ））では、シリコンウェーハの反り及びうねりが大きい。これは、硬化に伴う樹脂組成物の収縮率が高すぎるためである。
【００６４】
これに対して、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートが３５質量％でウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートが５質量％の条件（試料２−５、図６（Ｅ））、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートが３０質量％でウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートが１０質量％の条件（試料２−４、図６（Ｄ））、及びウレタン結合を有する（メタ）アクリレートが２５質量％でウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートが１５質量％の条件（試料２−３、図６（Ｃ））では、樹脂組成物を適切に硬化し、また、シリコンウェーハの反り及びうねりを抑制できた。試料２−３、試料２−４、及び試料２−５の３条件の中では、試料２−４が最も良好であり、うねりも殆ど見られなかった。
【００６５】
以上の実験により、２５質量％以上３５質量％以下のウレタン結合（ウレタン基）を有する（メタ）アクリレートと、５質量％以上１５質量％以下のウレタン結合（ウレタン基）を有さない（メタ）アクリレートと、５０質量％以上７０質量％以下のエポキシ基含有樹脂とを混合することで、樹脂組成物を適切に硬化し、また、硬化に伴う樹脂組成物の収縮率を低く抑えて、シリコンウェーハの反り及びうねりを抑制できるのが分かった。
【００６６】
以上のように、本実施の形態に係る樹脂組成物１５には、ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートと、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートと、エポキシ基含有樹脂とが所定の比率で混合されている。ウレタン結合を有さない（メタ）アクリレートは、高い硬化性及び高い収縮率を示し、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレートは、高い硬化性及び低い収縮率を示し、エポキシ基含有樹脂は、低い硬化性及び低い収縮率を示す。
【００６７】
このような複数の材料を適切な分量で混合することにより、収縮を抑えながら短時間に硬化可能な樹脂組成物１５を実現できる。すなわち、本実施の形態によれば、板状物１１を固定する際に内部に生じる応力を低く抑え、かつ生産性を高く維持可能な樹脂組成物１５を提供できる。
【００６８】
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００６９】
１１  板状物
１１ａ  表面（第２面）
１１ｂ  裏面（第１面）
１３  フィルム
１３ａ  表面
１５，１５ａ，１５ｂ  樹脂組成物
２  固定装置
４  送り出しローラー
６  巻き取りローラー
８  樹脂供給ユニット
１０  ローラー
１２  ローラー
１４  樹脂硬化ユニット
１６  基台
１８  ステージ
２０  光源
２２  シャッター
２４  フィルタ
２６  排気管
２８  支持構造
２８ａ  壁部
２８ｂ  庇部
３０  押圧機構
３２  主ロッド
３４  副ロッド
３６  押圧パッド
３８  フィルム切断ユニット
４０  基台
４２  テーブル
４４  支持構造
４４ａ  壁部
４４ｂ  庇部
４６  切断機構
４８  ロッド
５０  カッター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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