(57)【要約】【課題】配線間の容量結合によって検出信号に重畳するノイズを防止し、検出精度を向上させた機能素子を提供する。【解決手段】機能素子５は、基体１０と、固定電位を有する外延部としての第１外延部１２を有し、基体１０に支持されている第１振動体２１と、平面視で第１外延部１２よりも内側に少なくとも一部を有し、基体１０に設けられている第１固定電極としての第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５と、第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５延出され、基体１０に設けられている第１配線５６，６０と、を備え、前記第１配線５６，６０は、平面視で第１外延部１２の少なくとも一部と重なる位置に配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体と、
外延部を有し、前記基体に支持されている第１振動体と、
平面視で前記外延部よりも内側に少なくとも一部を有し、前記基体に設けられている第１固定電極と、
前記第１固定電極から延出され、前記基体に設けられている第１配線と、を備え、
前記外延部は、固定電位を有し、
前記第１配線は、平面視で前記外延部の少なくとも一部と重なるように配置されていることを特徴とする機能素子。
【請求項２】
平面視で、前記外延部に対して前記第１固定電極と反対側に、前記第１振動体を振動させる駆動部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の機能素子。
【請求項３】
前記第１振動体には、前記第１固定電極と少なくとも一部が対向し、前記第１配線と重ならない位置に第１可動電極が設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の機能素子。
【請求項４】
前記第１振動体は、第１方向に伸縮可能な弾性部を介して前記基体に支持されており、
前記第１配線は、平面視で前記第１配線と前記外延部との重なる領域内において、前記第１方向に沿って延出されている部分を有していることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の機能素子。
【請求項５】
前記基体は、
前記第１固定電極と間隙を有して並設されている第２固定電極と、
前記第２固定電極から延出されている第２配線と、を有し、
前記第１配線は、平面視で前記外延部の一方側と重なり、
前記第２配線は、平面視で前記外延部の他方側と重なっていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の機能素子。
【請求項６】
前記第１振動体と、前記第１方向に沿う方向において並設されている第２振動体と、
前記第１振動体および前記第２振動体に接続され、前記第１方向に沿う方向に伸縮可能な連結部と、を備え、
前記第１振動体および前記第２振動体には、それぞれ前記第１固定電極および第２固定電極が設けられており、
前記第１振動体の前記第１固定電極と、前記第２振動体の前記第２固定電極とが、前記第１配線に接続されており、
前記第１振動体の前記第２固定電極と、前記第２振動体の前記第１固定電極とが、前記第２配線に接続されていることを特徴とする請求項５に記載の機能素子。
【請求項７】
前記第１配線および前記第２配線の少なくとも一方は、前記基体に設けられている凹部内に配設されていることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の機能素子。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の機能素子と、
前記機能素子の前記基体に接合されて、少なくとも前記第１振動体および第２振動体を覆う蓋体と、を備えていることを特徴とするセンサーデバイス。
【請求項９】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の機能素子を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の機能素子を備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能素子、およびそれを用いたセンサーデバイス、電子機器、並びに移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、振動デバイスとして、例えばシリコンＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）技術を用いて角速度を検出するジャイロセンサー（静電容量型ＭＥＭＳジャイロセンサー素子）が開発されている。このようなジャイロセンサーの一例としては、移動可能な内側フレームと、この内側フレームを囲むように設けられた移動可能な外側フレームとが設けられたジャイロセンサーが開示されている（例えば、特許文献１の図２、特許文献２の図１参照）。
【０００３】
例えば特許文献１に記載されているジャイロセンサーには、矩形状の開口を備えた環状体の内側フレームに駆動フィンガーと感知フィンガーとが設けられており、この内側フレームに駆動フィンガーと感知フィンガーとに対向して設けられた固定のディザ駆動フィンガーが設けられている。そして、角速度が加わった場合は、駆動フィンガーおよび感知フィンガーの動きを、駆動フィンガーおよび感知フィンガーとディザ駆動フィンガーとの間のキャパシタンスの変化によって検知する。この場合、外側フレームと内側フレームとに囲まれた領域で駆動フィンガーおよび感知フィンガーとディザ駆動フィンガーとによる角速度の検知が行われる。この検知のための信号のやり取りを行うためには、駆動フィンガーおよび感知フィンガーに通じる配線電極が外側フレームや内側フレームに配線される。また、別の電極配線パターンが外側フレームや内側フレームと交差して設けられ、内側フレームの内側にあるディザ駆動フィンガーに接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００１−５１５２０１号公報
【特許文献２】特開２０１３−２１７６６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の構成では、配線電極が設けられた外側フレームおよび内側フレームと、ディザ駆動フィンガーに接続される電極配線パターンとが交差して配置されるため、双方の配線間に容量結合によるノイズが生じる。このノイズが検出信号に重畳されると、ジャイロセンサーとしての検出精度が低下してしまう虞があった。また、電極配線パターンの引き出しによってジャイロセンサー素子が大型化してしまう虞も有していた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
本適用例に係る機能素子は、基体と、外延部を有し、前記基体に支持されている第１振動体と、平面視で前記外延部よりも内側に少なくとも一部を有し、前記基体に設けられている第１固定電極と、前記第１固定電極から延出され、前記基体に設けられている第１配線と、を備え、前記外延部は、固定電位を有し、前記第１配線は、平面視で前記外延部の少なくとも一部と重なるように配置されていることを特徴とする。
【０００８】
このような機能素子によれば、第１固定電極から延出される第１配線が、固定電位を有する外延部と平面視で重なる位置に設けられ、該外延部の外側に引き出されていることから、第１配線に対する容量結合によるノイズ重畳を低減することができる。これにより、ノイズの影響による特性劣化を低減した機能素子を提供することができる。また、他の電極との位置関係など第１配線の引き回しパターンの制限を少なくすることができるため、第１配線を効率よく引き回せることから機能素子の大型化を抑制することができる。
【０００９】
なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定のもの（以下、「Ａ」という）の「上方」に他の特定のもの（以下、「Ｂ」という）を形成する」などと用いる場合に、Ａ上に直接Ｂを形成するような場合と、Ａ上に他のものを介してＢを形成するような場合とが含まれるものとして、「上方」という文言を用いている。
【００１０】
また、本発明に係る記載では、「平面視」という文言を、「基体の振動体が設けられる基面の法線方向から見た平面視」を意味する文言として用いる。また、「固定電位」という文言を、「電源や基準電位などの変動しない電位」を意味する文言として用いる。
【００１１】
［適用例２］
上記適用例に記載の機能素子において、平面視で、前記外延部に対して前記第１固定電極と反対側に、前記第１振動体を振動させる駆動部が設けられていることが好ましい。
【００１２】
このような機能素子によれば、第１固定電極が外延部に平面視で重なるように配置されており、外延部に対して第１固定電極と反対側に設けられている駆動部とは重ならない。また、外延部が固定電位であるため、駆動部のノイズによる容量結合を抑制することが可能となる。また、第１配線が第１固定電極と駆動部との間に配置されているため配線効率を向上でき、素子の大型化を防止することが可能となる。
【００１３】
［適用例３］
上記適用例に記載の機能素子において、前記第１振動体には、前記第１固定電極と少なくとも一部が対向し、前記第１配線と重ならない位置に第１可動電極が設けられていることが好ましい。
【００１４】
このような機能素子によれば、第１固定電極および第１配線と第１可動電極とが重ならないように配置されていることから、第１可動電極が、第１固定電極および第１配線に電気的に吸引されてしまうことを防止することが可能となる。
【００１５】
［適用例４］
上記適用例に記載の機能素子において、前記第１振動体は、第１方向に伸縮可能な弾性部を介して前記基体に支持されており、前記第１配線は、平面視で前記第１配線と前記外延部との重なる領域内において、前記第１方向に沿って延出されている部分を有していることが好ましい。
【００１６】
このような機能素子によれば、第１配線が、平面視で第１配線と外延部との重なる領域内において第１方向に沿って延出されており、第１振動体が第１方向に振動しても外延部から第１配線が外れないため、第１振動体が振動している状態でも容量結合を抑制することが可能となる。
【００１７】
［適用例５］
上記適用例に記載の機能素子において、前記基体は、前記第１固定電極と間隙を有して並設されている第２固定電極と、前記第２固定電極から延出されている第２配線と、を有し、前記第１配線は、平面視で前記外延部の一方側と重なり、前記第２配線は、平面視で前記外延部の他方側と重なっていることが好ましい。
【００１８】
このような機能素子によれば、一方側の外延部に第１配線が重なり、他方側の外延部に第２配線が重なっている。これにより、一方側の外延部と第１配線との間に働く電気的な吸引力または電気的な斥力と、他方側の外延部と第２配線との間に働く電気的な吸引力または電気的な斥力とが同じとなるため、電気的な力の違いによって生じる第１振動体の傾きを防止することが可能となる。
【００１９】
［適用例６］
上記適用例に記載の機能素子において、前記第１振動体と、前記第１方向に沿う方向において並設されている第２振動体と、前記第１振動体および前記第２振動体に接続され、前記第１方向に沿う方向に伸縮可能な連結部と、を備え、前記第１振動体および前記第２振動体には、それぞれ前記第１固定電極および第２固定電極が設けられており、前記第１振動体の前記第１固定電極と、前記第２振動体の前記第２固定電極とが、前記第１配線に接続されており、前記第１振動体の前記第２固定電極と、前記第２振動体の前記第１固定電極とが、前記第２配線に接続されていることが好ましい。
【００２０】
このような機能素子によれば、第１振動体と第２振動体を互いに逆相で振動させることが可能となり、例えばジャイロセンサーなどに用いることができる。
【００２１】
［適用例７］
上記適用例に記載の機能素子において、前記第１配線および前記第２配線の少なくとも一方は、前記基体に設けられている凹部内に配設されていることが好ましい。
【００２２】
このような機能素子によれば、配線を凹部内に設けることで、配線に生じる容量結合をより低減することが可能となる。
【００２３】
［適用例８］
本適用例に係るセンサーデバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の機能素子と、前記機能素子の前記基体に接合されて、少なくとも前記第１振動体および前記第２振動体を覆う蓋体と、を備えていることを特徴とする。
【００２４】
本適用に係るセンサーデバイスによれば、容量結合によるノイズ重畳を低減させ、特性の安定した機能素子が蓋体により覆われているため、特性の安定したセンサーデバイスを提供することができる。
【００２５】
［適用例９］
本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の機能素子を備えていることを特徴とする。
【００２６】
本適用に係る電子機器によれば、容量結合によるノイズ重畳を低減させ、特性の安定した機能素子が用いられているため、特性のより安定した電子機器を提供することができる。
【００２７】
［適用例１０］
本適用例に係る移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の機能素子を備えていることを特徴とする。
【００２８】
本適用に係る移動体によれば、容量結合によるノイズ重畳を低減させ、特性の安定した機能素子が用いられており、移動体の性能を安定させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す平面図。
【図２】第１実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。
【図３】第１実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。
【図４】第２実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。
【図５】本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明する模式平面図。
【図６】本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明する模式平面図。
【図７】本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明する模式平面図。
【図８】本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明する模式平面図。
【図９】電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図。
【図１０】電子機器の一例としての携帯電話機の構成を模式的に示す斜視図。
【図１１】電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を模式的に示す斜視図。
【図１２】移動体の一例としての自動車の構成を模式的に示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００３１】
１．ジャイロセンサー
１−１．第１実施形態に係るジャイロセンサーの構成
まず、本発明に係る機能素子としてのジャイロ素子を用いた電子デバイスとしてのジャイロセンサーの第１実施形態について図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す平面図である。図２は、第１実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す図１のＡ−Ａ線断面図である。図３は、第１実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す図１のＢ−Ｂ線断面図である。なお、図１〜図３では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸（第１方向）、Ｙ軸（第２方向）、Ｚ軸（第３方向）を図示している。
【００３２】
ジャイロセンサー１００は、図１および図２に示すように、基体１０と、機能素子５とを含んでいる。機能素子５は、振動体２０と、弾性部としてのバネ部３０と、駆動部４０と、検出部５０と、を含んでいる。ジャイロセンサー１００では、機能素子５を構成する検出部５０が、Ｚ軸回りの角速度を検出するジャイロセンサー素子（静電容量型ＭＥＭＳジャイロセンサー素子）である。なお、便宜上、図１では、基体１０および蓋体８０を透視して図示している。また、基体１０の振動体２０が設けられる基面である第１面１１（図２参照）の法線方向から見ること、即ち基体１０に支持されている振動体２０を上方から見ることを、以下、「平面視」という。
【００３３】
基体１０の材質は、例えば、ガラス、シリコンである。基体１０は、図２に示すように、第１面１１と、第１面１１と反対側の第２面１１ｂと、を有している。第１面１１には、凹部１４が設けられている。凹部１４の上方には、間隙を介して、振動体２０（第１振動体２１、第２振動体２２、および連結バネ部２６）、バネ部３０が設けられている。凹部１４によって、振動体２０は、基体１０に妨害されることなく、所望の方向に可動することができる。凹部１４の平面形状（Ｚ軸方向から見たときの形状）は、特に限定されないが、図１に示す例では、長方形である。凹部１４は、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって形成される。
【００３４】
基体１０は、図２に示すように振動体２０の形態に応じて、第１面１１に適宜設けられる第１固定部１５を有している。第１固定部１５は、振動体２０を支持するバネ部３０の一端が固定（接合）され、該バネ部３０を介して振動体２０を支持する部分である。図１および図２に示すように、第１固定部１５は、Ｘ軸方向において振動体２０を挟むように配置されていてもよい。
【００３５】
また、基体１０は、図３に示すように振動体２０の形態に応じて、第１面１１に適宜設けられる第２固定部１６を有している。第２固定部１６は、振動体２０の連結バネ部２６から延出する弾性体２８の一端が固定（接合）され、該弾性体２８を介して連結バネ部２６を支持する部分である。図３に示すように、第２固定部１６は、少なくとも弾性体２８を支持するように配置される。
【００３６】
第１固定部１５や第２固定部１６の第１面１１（基体１０）と、後述されるバネ部３０、駆動用固定電極部４２、第１検出用固定電極部５４、第２検出用固定電極部５５等と、の固定（接合）方法は、特に限定されないが、例えば、基体１０の材質がガラスであり、振動体２０等の材質がシリコンである場合は、陽極接合を適用することができる。
【００３７】
振動体２０は、図２に示すように、基体１０および蓋体８０によって囲まれるキャビティー８２に収容されている。振動体２０は、基体１０の上方に間隙（凹部１４）を介して設けられている。振動体２０は、基体１０の第１面１１に（基体１０上に）バネ部３０を介して支持される。振動体２０は、図１に示すように、第１振動体２１、および第２振動体２２と、連結バネ部２６と、弾性体２８と、を有している。
【００３８】
振動体２０の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。振動体２０は、例えば、シリコン基板（図示せず）を、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって加工することにより形成される。
【００３９】
第１振動体２１および第２振動体２２は、Ｘ軸に沿う方向（第１方向）において並設され、連結バネ部２６によって連結されている。また、第１振動体２１および第２振動体２２は、バネ部３０を介して第１固定部１５によって、支持されており、基体１０と離間して配置されている。より具体的には、基体１０の上方に間隙（凹部１４）を介して、第１振動体２１および第２振動体２２が設けられている。第１振動体２１および第２振動体２２は、例えば、フレーム状の形状（升形状）を有することができ、第１振動体２１には第１外延部１２が備えられ、第２振動体２２には第２外延部１３が備えられている。なお、第１外延部１２、および第２外延部１３は、電気的に固定電位を有している。本例の第１外延部１２、および第２外延部１３は、固定電位としてグランド（ＧＮＤ：接地）電位を有している。なお、固定電位とは、例えばグランド（設置）だけでなく、電源や基準電位などの変動しない電位であってもよい。第１振動体２１および第２振動体２２は、図１に示すように、両者の境界線Ｂ−Ｂ線（Ｙ軸に沿った直線）に対して、対称となる形状であってもよい。
【００４０】
連結部としての連結バネ部２６は、第１振動体２１および第２振動体２２をＸ軸方向において変位し得るように構成されている。より具体的には、連結バネ部２６は、第１振動体２１および第２振動体２２の間においてＸ軸に沿う方向に延出し、Ｙ軸方向に往復しながらＸ軸方向に延出する形状を有している。これにより、第１振動体２１および第２振動体２２は、Ｘ軸方向において互いに逆相で振動することができる。
【００４１】
弾性体２８は、連結バネ部２６から、Ｙ軸に沿う方向（振動体２０が振動する方向と直交する方向）に延出し、第２固定部１６に固定（接合）されている。具体的には、図１および図３に示すように、弾性体２８の一端は、延出位置２７において、連結バネ部２６に接続されている。また、弾性体２８の他端（先端部２９）は、第２固定部１６（基体１０の第１面１１）に接合（固定）されている。弾性体２８の構成は、Ｘ軸に沿う方向（振動体２０が振動する方向）に所定のバネ定数によって弾性変形することができる限り限定されない。
【００４２】
ここで、弾性体２８の、Ｘ軸に沿う方向におけるバネ定数は、連結バネ部２６の、Ｘ軸に沿う方向におけるバネ定数よりも小さくなるように設定することができる。
【００４３】
また、弾性体２８が延出している延出位置２７の配置は、延出位置２７から第１振動体２１までの連結バネ部２６ａのバネ定数（Ｋ１）と、延出位置２７から第２振動体２２までの連結バネ部２６ｂのバネ定数（Ｋ２）と、が等しくなるように決定することができる。
【００４４】
弾性体２８は、例えば、図１および図３に示すように、幅Ｗ（Ｘ軸方向の幅）、厚みＴ（Ｚ軸方向の厚み）、長さＬ１（Ｙ軸方向の長さ）を有する板状部材（直方体）であってもよい。なお、弾性体２８の長さＬ１は、第２固定部１６に接合され、実質的に弾性変形することができない先端部２９を除いた長さである。ここで、弾性体２８は、高アスペクト比（Ｗ＜Ｔ）の形状である。弾性体２８の形状（幅Ｗ、厚みＴ、長さＬ１）は、弾性体２８の所望のバネ定数を得るために適宜調整される。
【００４５】
弾性体２８をこのような形状とすることで、製造工程上、高度なアライメント精度が要求されず、簡便に弾性体２８のバネ定数を調整することができる。また、弾性体２８が対称性の高い形状であるために、振動体２０のＸ軸方向における対称性を容易に維持することができる。
【００４６】
弾性部としてのバネ部３０は、Ｘ軸方向に振動体２０を変位し得るように構成されている。より具体的には、バネ部３０は、第１固定部１５から振動体２０（第１振動体２１または第２振動体２２）までＸ軸に沿う方向に延出し、Ｙ軸方向に往復しながらＸ軸方向に延出する形状を有している。具体的には、バネ部３０の一端は、第１固定部１５（基体１０の第１面１１）に接合（固定）されている。また、バネ部３０の他端は、振動体２０（第１振動体２１または第２振動体２２）に接続されている。図示の例では、バネ部３０は、振動体２０をＸ軸方向において挟むように、４つ設けられている。
【００４７】
バネ部３０の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。バネ部３０は、例えば、シリコン基板（図示せず）を、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって振動体２０と共に一体的に加工することにより形成される。
【００４８】
検出部５０は、振動体２０（第１振動体２１、および第２振動体２２）に連結されている。本実施形態では、検出部５０は、第１振動体２１の第１外延部１２、および第２振動体２２の第２外延部１３の内側に、それぞれが設けられている。検出部５０は、検出用支持部５１と、検出用バネ部５２と、第１可動電極としての検出用可動電極部５３と、検出用固定電極部（第１固定電極、および第２固定電極）としての第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５と、を有している。検出用支持部５１の形状は環状の形状であれば特に限定されない。検出用支持部５１は、例えば、フレーム状の形状を有している。
【００４９】
検出用バネ部５２は、検出用支持部５１の外側に配置されている。検出用バネ部５２は、検出用支持部５１と振動体２０（第１振動体２１または第２振動体２２）とを接続している。より具体的には、検出用バネ部５２の一端は、検出用支持部５１に接続されている。検出用バネ部５２の他端は、振動体２０（第１振動体２１または第２振動体２２）に接続されている。検出用バネ部５２は、Ｙ軸方向に検出用支持部５１を変位し得るように構成されている。より具体的には、検出用バネ部５２は、Ｘ軸方向に往復しながらＹ軸方向に延出する形状を有している。検出用可動電極部５３は、検出用支持部５１の内側に、検出用支持部５１に接続されて配置されている。図示の例では、検出用可動電極部５３は、Ｘ軸に沿って延出している。
【００５０】
第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５は、検出用支持部５１の内側に配置されている。第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５は、基体１０の第１面１１に設けられた凹部１４の底面１１ａに接合（固定）されている。図示の例では、第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５は、複数設けられており、検出用可動電極部５３を介して、対向配置されている。換言すれば、第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５は、検出用可動電極部５３と平面視で重ならないように配置されている。また、第１振動体２１の第１検出用固定電極部５４からは、第１検出用固定電極部５４と電気的に接続された第１配線５６，６０が延出され、第２検出用固定電極部５５からは、第２検出用固定電極部５５と電気的に接続された第２配線５７，６１が延出されている。同様に、第２振動体２２の第１検出用固定電極部５４からは、第１検出用固定電極部５４と電気的に接続された第２配線５９，６１が延出され、第２検出用固定電極部５５からは、第２検出用固定電極部５５と電気的に接続された第１配線５８，６０が延出されている。
【００５１】
第１振動体２１側の第１配線５６，６０は、Ｙ軸に沿った方向に延出されている部分の第１配線５６とＸ軸に沿った方向に延在する部分の第１配線６０とが接続されている。同様に、第２振動体２２側の第１配線５８，６０は、Ｙ軸に沿った方向に延出されている部分の第１配線５８とＸ軸に沿った方向に延在する部分の第１配線６０とが接続されている。Ｙ軸に沿った方向に延在する部分の第１配線５６は、第１振動体２１の第１外延部１２の内のＹ軸に沿った外延部と平面視で重なった位置に配置され、同様に第１配線５８は、第２振動体２２の第２外延部１３の内のＹ軸に沿った外延部に平面視で重なった位置に配置されている。換言すれば、第１配線５６，５８は、検出用可動電極部５３と平面視で重ならないように配置されている。また、Ｘ軸に沿った方向に延在する部分の第１配線６０は、第１振動体２１の第１外延部１２の内の一方外延１２ｂと、第２振動体２２の第２外延部１３の内の一方外延１３ｂとに、平面視で重なった位置に配置され、基体１０の第１面１１に設けられている接続端子６２に、その端部が接続されている。
【００５２】
第１振動体２１側の第２配線５７，６１は、Ｙ軸に沿った方向に延出されている部分の第２配線５７とＸ軸に沿った方向に延在する部分の第２配線６１とが接続されている。同様に、第２振動体２２側の第２配線５９，６１は、Ｙ軸に沿った方向に延出されている部分の第２配線５９とＸ軸に沿った方向に延在する部分の第２配線６１とが接続されている。Ｙ軸に沿った方向に延在する部分の第２配線５７は、第１振動体２１の第１外延部１２の内のＹ軸に沿った外延部と平面視で重なった位置に配置され、同様に第２配線５９は、第２振動体２２の第２外延部１３の内のＹ軸に沿った外延部に平面視で重なった位置に配置されている。換言すれば、第２配線５７，５９は、検出用可動電極部５３と平面視で重ならないように配置されている。また、Ｘ軸に沿った方向に延在する部分の第２配線６１は、第１振動体２１の第１外延部１２の内の他方外延１２ａと、第２振動体２２の第２外延部１３の内の他方外延１３ａとに、平面視で重なった位置に配置され、基体１０の第１面１１に設けられている接続端子６３に、その端部が接続されている。
【００５３】
第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１は、基体１０の第１面１１に設けられた凹部１４の底面１１ａに接合（固定）されている。第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１は、振動体２０（第１振動体２１、および第２振動体２２）の内側に位置する第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５の電気信号を振動体２０の外側に導出する機能を有している。
【００５４】
このように、第１固定電極としての第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５から延出される第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１が、固定電位を有する第１外延部１２および第２外延部１３と平面視で重なる位置に設けられ、振動体２０の外側に引き出されていることから、第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１に対する容量結合によるノイズ重畳を低減させた機能素子５を提供することができる。
【００５５】
また、他の電極との位置関係など第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１の引き回しパターンの制限を少なくすることができるため、第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１を効率よく引き回せることから機能素子５の大型化を抑制することができる。
【００５６】
また、第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５と、第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１とが、検出用可動電極部５３と平面視で重ならないように配置されている。これにより、検出用可動電極部５３が第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５や第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１に電気的に吸引されてしまうことを防止することが可能な機能素子５を提供することができる。
【００５７】
また、第１配線６０、および第２配線６１が、平面視で第１外延部１２および第２外延部１３の一方外延１２ｂ，１３ｂ、および他方外延１２ａ，１３ａと重なる領域内においてＸ軸に沿った方向（第１方向）に沿って延出されている。これにより、第１振動体２１、および第２振動体２２がＸ軸に沿った方向（第１方向）に振動しても、第１外延部１２および第２外延部１３の領域から第１配線６０、および第２配線６１が平面視で外れないため、第１振動体２１、および第２振動体２２が振動している状態でも容量結合を抑制することが可能な機能素子５を提供することができる。
【００５８】
検出部５０の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。検出部５０は、例えば、シリコン基板（図示せず）を、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって振動体２０と共に一体的に加工することにより形成される。
【００５９】
駆動部４０は、平面視で、第１振動体２１の第１外延部１２および第２振動体２２の第２外延部１３に対して、第１固定電極としての第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５と反対側に設けられている。これにより、第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５と駆動部４０とが、重ならないように配置することができる。また、第１外延部１２および第２外延部１３が固定電位であるため、駆動部４０のノイズによる第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５への容量結合を抑制することが可能となる。
【００６０】
駆動部４０は、振動体２０の第１振動体２１または第２振動体２２を励振することができる機構を有する。なお、駆動部４０の構成および数は、第１振動体２１または第２振動体２２を励振することができる限り、特に限定されない。例えば、駆動部４０は、振動体２０に直接設けられていてもよい。図１に示すように、振動体２０の外側に接続された駆動用可動電極部４１と、該駆動用可動電極部４１と所定の距離を介して対向配置された駆動用固定電極部４２から構成されていてもよい。また、図示はされないが、駆動部４０は、振動体２０に直接接続せずに静電気力等によって振動体２０を励振する機構を有し、振動体２０の外側に配置されていてもよい。
【００６１】
駆動用可動電極部４１は、第１振動体２１および第２振動体２２に接続されて複数設けられていてもよい。本実施形態では、駆動用可動電極部４１は、第１振動体２１、第２振動体２２から＋Ｙ軸方向（または−Ｙ軸方向）に延出している幹部と、該幹部から＋Ｘ軸方向および−Ｘ軸方向に延出している複数の枝部と、を有する櫛歯状電極をなしている。
【００６２】
駆動用固定電極部４２は、駆動用可動電極部４１の外側に配置されている。駆動用固定電極部４２は、基体１０の第１面１１に接合（固定）されている。本実施形態では、駆動用固定電極部４２は、複数設けられ、駆動用可動電極部４１を介して、対向配置されている。駆動用可動電極部４１が櫛歯状の形状を有する場合、駆動用固定電極部４２の形状は、駆動用可動電極部４１に対応した櫛歯状電極であってもよい。
【００６３】
駆動用可動電極部４１および駆動用固定電極部４２は、図示しない電源に電気的に接続されている。駆動用可動電極部４１および駆動用固定電極部４２に電圧が印加されると、駆動用可動電極部４１と駆動用固定電極部４２との間に静電力を発生させることができる。これにより、バネ部３０をＸ軸に沿って伸縮させることができ、振動体２０をＸ軸に沿って振動させることができる。
【００６４】
駆動部４０の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。駆動部４０は、例えば、シリコン基板（図示せず）を、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって振動体２０と共に一体的に加工することにより形成される。
【００６５】
蓋体８０は、基体１０上に設けられている。基体１０および蓋体８０は、図２に示すように、パッケージを構成することができる。基体１０および蓋体８０は、キャビティー８２を形成することができ、キャビティー８２に振動体２０を収容することができる。例えば、図２に示す基体１０と蓋体８０との間の接合部分は、接着部材等によって埋められていてもよく、この場合、キャビティー８２は、例えば、不活性ガス（例えば窒素ガス）雰囲気、または真空雰囲気で密閉されていてもよい。
【００６６】
蓋体８０の材質は、例えば、シリコン、ガラスである。蓋体８０と基体１０との接合方法は、特に限定されないが、例えば、基体１０の材質がガラスであり、蓋体８０の材質がシリコンである場合は、基体１０と蓋体８０とは、陽極接合されることができる。
【００６７】
第１実施形態に係るジャイロセンサー１００によれば、第１固定電極としての第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５から延出される第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１が、固定電位を有する第１外延部１２および第２外延部１３と平面視で重なる位置に設けられ、振動体２０の外側に引き出されていることから、第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１に対する容量結合によるノイズ重畳を低減することができる。
【００６８】
また、他の電極との位置関係など第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１の引き回しパターンの制限を少なくすることができるため、第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１を効率よく引き回せることから機能素子５の大型化を抑制することができる。
【００６９】
また、第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５と、第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１とが、検出用可動電極部５３と平面視で重ならないように配置されている。これにより、検出用可動電極部５３が第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５や第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１に電気的に吸引されてしまうことを防止することができる。
【００７０】
また、第１配線６０、および第２配線６１が、平面視で第１外延部１２および第２外延部１３の一方外延１２ｂ，１３ｂ、および他方外延１２ａ，１３ａと重なる領域内においてＸ軸に沿った方向（第１方向）に沿って延出されている。これにより、第１振動体２１、および第２振動体２２がＸ軸に沿った方向（第１方向）に振動しても第１外延部１２および第２外延部１３の領域から第１配線６０、および第２配線６１が平面視で外れないため、第１振動体２１、および第２振動体２２が振動している状態でも容量結合を抑制することが可能となる。
【００７１】
また、平面視で、第１振動体２１の第１外延部１２および第２振動体２２の第２外延部１３に対して、第１固定電極としての第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５と反対側に駆動部４０が設けられている。これにより、第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５と駆動部４０とが、重ならないように配置することができる。また、第１外延部１２および第２外延部１３が固定電位であるため、駆動部４０のノイズによる第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５への容量結合を抑制することが可能となる。
【００７２】
また、弾性体２８は、振動体２０の振動方向に弾性変形することができるため、第１振動体２１と第２振動体２２との相互間の振動エネルギー交換を阻害せずに、連結バネ部２６を支持することができる。
【００７３】
また、振動体２０が、２つの第１振動体２１、および第２振動体２２から構成される場合や複数のバネ部３０を備える場合、それぞれの部材の寸法は同一ではなく、寸法にばらつき（誤差）が発生する。これにより、駆動系の振動モードには、所望の逆相モードだけではなく、同相モードも発生する。ジャイロセンサー１００によれば、第２固定部１６に固定（アンカー）された弾性体２８を設けることで、駆動系の振動モードにおいて、逆相モードから同相モードの駆動周波数を引き離すことができる。
【００７４】
１−２．第２実施形態に係るジャイロセンサーの構成
本発明に係る機能素子としてのジャイロ素子を用いた電子デバイスとしてのジャイロセンサーの第２実施形態について図面を参照しながら説明する。図４は、第２実施形態に係るジャイロセンサー１０２を模式的に示す第１実施形態を示す図１のＡ−Ａ線断面に該当する断面図である。なお、以下では、前述の第１実施形態と同様な構成については同符号を付してその説明を省略する。
【００７５】
本第２実施形態のジャイロセンサー１０２は、第１固定電極としての第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５と、第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１とが設けられている箇所が、前述の第１実施形態のジャイロセンサー１００と異なる。以下、第２実施形態のジャイロセンサー１０２について、第１実施形態のジャイロセンサー１００と異なる構成を中心にして具体的に説明する。
【００７６】
図４に示すように、第２実施形態のジャイロセンサー１０２は、第１実施形態と同様に、基体１０と、機能素子５とを含んでいる。機能素子５は、振動体２０と、弾性部としてのバネ部３０と、駆動部４０と、検出部５０と、を含んでいる。ジャイロセンサー１００では、機能素子５を構成する検出部５０が、Ｚ軸回りの角速度を検出するジャイロセンサー素子（静電容量型ＭＥＭＳジャイロセンサー素子）である。
【００７７】
第２実施形態のジャイロセンサー１０２では、第１固定電極としての第１検出用固定電極部５４および第２検出用固定電極部５５と、第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１とが、基体１０に設けられた凹部１４の底面１１ａから掘り下げられた凹部６５内に配置されている。なお、凹部６５内には、第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１の少なくとも一方が配置されていればよい。これにより、第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１に生じる容量結合を、より低減することが可能な機能素子５を提供することが可能となる。
【００７８】
また、図４に示すように、基体１０の第１面１１にも凹部６６が設けられており、第１配線６０、および第２配線６１や接続端子６２，６３が、その凹部６６内に配置されていてもよい。このような、基体１０の第１面１１にも凹部６６が設けられ、第１配線６０、および第２配線６１や接続端子６２，６３が、その凹部６６内に配置される構成は、第１実施形態のジャイロセンサー１００にも適用することができる。
【００７９】
このような第２実施形態のジャイロセンサー１０２によれば、第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１の少なくとも一方が凹部６６内に配置されていることから、第１配線５６，５８，６０、および第２配線５７，５９，６１に生じる容量結合をより低減することが可能となる。
【００８０】
１−３．ジャイロセンサーの動作
次に、ジャイロセンサー１００，１０２の動作について、図面を参照しながら説明する。図５〜図８はジャイロセンサー１００，１０２の動作を模式的に説明するための図である。なお、図５〜図８では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。また、便宜上、図５〜図８では、ジャイロセンサー１００の各構成を、簡略化して図示している。また、便宜上、図７および図８では、検出部５０の内の、第１振動体２１側を第１検出部５０ａとし、第２振動体２２側を第２検出部５０ｂとしている。
【００８１】
前述のように、ジャイロセンサー１００の振動モードでは、第１振動体２１と第２振動体２２は、駆動部４０により励振され、互いに逆相（逆位相）で駆動振動することができる。より具体的には、第１振動体２１に設けられた駆動用可動電極部４１と駆動用固定電極部４２との間に第１交番電圧を印加し、第２振動体２２の駆動用可動電極部４１と駆動用固定電極部４２との間に第１交番電圧と位相が１８０度ずれた第２交番電圧を印加する。これにより、第１振動体２１および第２振動体２２を、互いに逆相（逆位相）でかつ所定の周波数で、Ｘ軸に沿って振動させることができる。すなわち、Ｘ軸に沿って互いに連結された第１振動体２１および第２振動体２２は、Ｘ軸に沿って、互いに逆相で振動する。すなわち、第１振動体２１および第２振動体２２は、Ｘ軸に沿って、互いに反対方向に変位する。
【００８２】
図５に示す例では、第１振動体２１は、α１方向（−Ｘ軸方向）に変位し、第２振動体２２は、α１方向と反対方向のα２方向（＋Ｘ軸方向）に変位している。図６に示す例では、第１振動体２１は、α２方向に変位し、第２振動体２２は、α１方向に変位している。
【００８３】
なお、検出部５０の振動体２０（第１振動体２１、第２振動体２２）に連結されている部分は、振動体２０（第１振動体２１、第２振動体２２）の振動に伴い、Ｘ軸に沿って変位する。
【００８４】
図７および図８に示すように、第１振動体２１、第２振動体２２がＸ軸に沿って振動を行っている状態で、ジャイロセンサー１００にＺ軸回りの角速度ωが加わると、コリオリの力が働き、検出部５０は、Ｙ軸に沿って変位する。すなわち、第１振動体２１に連結された第１検出部５０ａ、および第２振動体２２に連結された第２検出部５０ｂは、Ｙ軸に沿って、互いに反対方向に変位する。図７に示す例では、第１検出部５０ａは、β１方向に変位し、第２検出部５０ｂは、β１方向と反対方向のβ２方向に変位している。図８に示す例では、第１検出部５０ａは、β２方向に変位し、第２検出部５０ｂは、β１方向に変位している。
【００８５】
第１検出部５０ａおよび第２検出部５０ｂがＹ軸に沿って変位することにより、検出用可動電極部５３と第１検出用固定電極部５４との間の距離Ｌは、変化する。そのため、検出用可動電極部５３と第１検出用固定電極部５４との間の静電容量は、変化する。ジャイロセンサー１００では、検出用可動電極部５３および第１検出用固定電極部５４に電圧を印加することにより、検出用可動電極部５３と第１検出用固定電極部５４との間の静電容量の変化量を検出し、Ｚ軸回りの角速度ωを求めることができる。
【００８６】
ジャイロセンサー１００によれば、連結バネ部２６に弾性体２８が設けられているため、振動モードにおいて、同相モードの影響を低減することができる。これにより、ジャイロセンサーが所望の振動周波数を達成することができ、ジャイロセンサーの信頼性を向上させることができる。
【００８７】
２．ジャイロセンサーの製造方法
次に、本実施形態に係るジャイロセンサーの製造方法について簡単に説明する。なお、本説明では、図１、図２を参照しており、同図と同様な符号を付している。
【００８８】
先ず、基板（基体１０）の第１面１１に、凹部１４を形成する。このとき、凹部１４の周囲に溝部（図示せず）を形成することができる。凹部１４、溝部は、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術により形成される。これにより、第１面１１に凹部１４が設けられている基体１０を用意することができる。
【００８９】
次に、図示はされないが、凹部１４内を含む基体１０上に駆動部４０や検出部５０を構成するための配線を形成することができる。配線は、例えば、スパッタ法やＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などによって成膜された後、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によってパターニングされることによって形成される。
【００９０】
次に、基体１０上に振動体２０、バネ部３０等を形成する。より具体的には、シリコン基板（図示せず）を基体１０の第１面１１に載置（接合）し、該シリコン基板を薄膜化させた後にパターニングすることにより形成される。パターニングは、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって行われる。シリコン基板と基体１０の接合は、例えば、陽極接合によって行われる。
【００９１】
本工程において、第１面１１上に駆動用固定電極部４２、第１検出用固定電極部５４等を形成し、駆動部４０、検出部５０を形成することができる。
【００９２】
図２に示すように、基体１０および蓋体８０を接合して、基体１０および蓋体８０によって囲まれるキャビティー８２に振動体２０を収容する。基体１０と蓋体８０との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。
以上の工程により、ジャイロセンサー１００を製造することができる。
【００９３】
なお、上述の実施形態では、振動体２０の構成として、第１振動体２１および第２振動体２２が設けられている構成を例に説明したが、振動体２０の構成としては、例えば第１振動体２１のみが設けられている構成、あるいは３つ以上の第１〜第ｎ振動体が用いられている構成であってもよい。
【００９４】
また、上述では、機能素子５の一例として角速度を検出するジャイロセンサー１００，１０２に用いられるジャイロ素子について説明したが、機能素子５はこれに限らない。機能素子５は、形態としては、減圧状態や不活性ガス雰囲気で密閉されたキャビティー８２内で動作するものであれば、特に限定されず、例えば、加速度センサーに用いられる加速度検出素子、圧力計に用いられる圧力検出素子、振動子、マイクロアクチュエーターなどの各種の機能素子を挙げることができる。
【００９５】
３．電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る電子機器は、本発明に係るジャイロセンサー１００，１０２を含む。以下では、本発明に係るジャイロセンサー１００を含む電子機器について説明する。
【００９６】
図９は、本実施形態に係る電子機器として、モバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００を模式的に示す斜視図である。図９に示すように、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を有する表示ユニット１１０６と、により構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。
【００９７】
図１０は、本実施形態に係る電子機器として、携帯電話機（ＰＨＳも含む）１２００を模式的に示す斜視図である。図１０に示すように、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。
【００９８】
図１１は、本実施形態に係る電子機器として、デジタルスチールカメラ１３００を模式的に示す斜視図である。なお、図１１には、外部機器との接続についても簡易的に示している。ここで、従来のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００９９】
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。
【０１００】
また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子１３１２には、テレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４には、パーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。
【０１０１】
以上のような電子機器としてのパーソナルコンピューター１１００、携帯電話機１２００、デジタルスチールカメラ１３００は、２つの振動体が逆相で振動する駆動系において、相互間の振動エネルギー交換を阻害せず、且つ容量結合による特性の劣化を防止することができるジャイロセンサー１００を有することができる。
【０１０２】
なお、上記ジャイロセンサー１００を備えた電子機器は、図９に示すパーソナルコンピューター１１００（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１０に示す携帯電話機１２００、図１１に示すデジタルスチールカメラ１３００の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ヘッドマウントディスプレイ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、ロケット、船舶の計器類）、ロボットや人体などの姿勢制御、フライトシミュレーターなどを挙げることができる。
【０１０３】
４．移動体
図１２は、本実施形態に係る移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車５０６には本発明に係る機能素子５（ジャイロ素子）を用いたジャイロセンサー１００が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車５０６には、機能素子５（ジャイロ素子）を用いたジャイロセンサー１００を内蔵してタイヤ５０９などを制御する電子制御ユニット５０８が車体５０７に搭載されている。また、ジャイロセンサー１００は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
【０１０４】
上述した実施形態は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。
【０１０５】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１０６】
５…機能素子（ジャイロ素子）、１０…基体、１１…第１面、１１ａ…底面、１１ｂ…第２面、１２…第１外延部、１２ａ…他方外延、１２ｂ…一方外延、１３…第２外延部、１３ａ…他方外延、１３ｂ…一方外延、１４…凹部、１５…第１固定部、１６…第２固定部、２０…振動体、２１…第１振動体、２２…第２振動体、２６…連結バネ部、２７…延出位置、２８…弾性体、２９…先端部、３０…バネ部、４０…駆動部、４１…駆動用可動電極部、４２…駆動用固定電極部、５０…検出部、５１…検出用支持部、５２…検出用バネ部、５３…検出用可動電極部、５４…第１検出用固定電極部、５５…第２検出用固定電極部、５６…第１配線、５７…第２配線、５８…第１配線、５９…第２配線、６０…第１配線、６１…第２配線、６２，６３…接続端子、６５…凹部、６６…凹部、８０…蓋体、８２…キャビティー、１００，１０２…電子デバイスとしてのジャイロセンサー、５０６…移動体としての自動車、１１００…電子機器としてのパーソナルコンピューター、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１１０８…表示部、１２００…電子機器としての携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１２０８…表示部、１３００…電子機器としてのデジタルスチールカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１３１２…ビデオ信号出力端子、１３１４…入出力端子、１４３０…テレビモニター、１４４０…パーソナルコンピューター。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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