(57)【要約】【課題】本発明は、検査費用の増大が抑えられた表面実装型圧電装置を検査するための測定治具及び表面実装型圧電装置の検査方法を提供する。【解決手段】測定治具（１００）は、第１主面及び第１主面の反対側の第２主面を有するベース基板（１１２）と、複数のリード端子（１１４）を有し複数のリード端子が第２主面に露出するようにベース基板の第１主面に載置されるピン型圧電デバイス（１１１）と、を備える表面実装の表面実装型圧電装置（１１０）を検査するための測定治具である。測定治具は、第３主面及びその反対側の第４主面を有し、表面実装型圧電装置の第２主面を第３主面に面するように載置する載置部（１０１）と、表面実装型圧電装置を載置部に固定する固定部（１０２）と、載置部に固定され、表面実装型圧電装置が載置部に載置された場合に複数のリード端子に接触する複数の第１コンタクトプローブ（１０３）と、を有する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面及び前記第１主面の反対側の第２主面を有するベース基板と、複数のリード端子を有し前記複数のリード端子が前記第２主面に露出するように前記ベース基板の前記第１主面に載置されるピン型圧電デバイスと、を備える表面実装の表面実装型圧電装置を検査するための測定治具であって、
第３主面及びその反対側の第４主面を有し、前記表面実装型圧電装置の前記第２主面を前記第３主面に面するように載置する載置部と、
前記表面実装型圧電装置を前記載置部に固定する固定部と、
前記載置部に固定され、前記表面実装型圧電装置が前記載置部に載置された場合に前記複数のリード端子に接触する複数の第１コンタクトプローブと、を有する測定治具。
【請求項２】
前記第１コンタクトプローブは、直線状に伸びた形状で前記載置部を前記第４主面から前記第３主面に貫通している請求項１に記載の測定治具。
【請求項３】
前記ベース基板は、前記リード端子に電気的に接続する複数の表面実装端子を前記第２主面に有し、
前記載置部に固定され、前記表面実装型圧電装置が前記載置部に載置された場合に前記複数の表面実装端子に接触する複数の第２コンタクトプローブを有する請求項１又は請求項２に記載の測定治具。
【請求項４】
前記各第２コンタクトプローブは、前記表面実装端子に接触する接点部が前記第３面に垂直方向に弾性変形するように前記接点部から弓状に曲がった軸部を有し、打ち抜かれて形成されたプレートが複数枚重ね合って形成される請求項３に記載の測定治具。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の測定治具に前記複数のリード端子と前記複数の第１コンタクトプローブとが接触するように前記表面実装型圧電装置を前記載置部に載置する載置工程と、
前記表面実装型圧電装置を前記固定部で固定する固定工程と、
前記第１コンタクトプローブを介して前記表面実装型圧電装置の電源の供給及び出力信号の検査を行う検査工程と、を有する表面実装型圧電装置の検査方法。
【請求項６】
請求項３又は請求項４に記載の測定治具に前記複数の表面実装端子と前記複数の第２コンタクトプローブとが接触するように前記表面実装型圧電装置を前記載置部に載置する載置工程と、
前記表面実装型圧電装置を前記固定部で固定する固定工程と、
前記第２コンタクトプローブを介して前記表面実装型圧電装置の電源の供給及び出力信号の検査を行う検査工程と、を有する表面実装型圧電装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面実装型圧電装置の電気的特性の検査時に用いられる測定治具及び表面実装型圧電装置の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定の振動周波数で振動し、複数のリード端子が設けられたピン型圧電デバイスが知られている。このようなピン型圧電デバイスは、表面実装するための表面実装端子を備えるベース基板に載置されて表面実装型の表面実装型圧電装置として形成される。また、表面実装型圧電装置は出荷前等に電気的特性の検査が行われる。検査は検査用の測定治具に表面実装型圧電装置を取り付けることにより行われる。
【０００３】
例えば、特許文献１ではソケットの中にプローブが配置される表面実装型の電子部品を検査するための測定治具が示されている。このような測定治具を用いた検査は、プローブと表面実装端子とが接触するようにソケットに電子部品が載置されることにより行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３３７１１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に示される測定治具では表面実装型の表面実装型圧電装置の様々な端子配置に対応するために複数の測定治具を準備する必要があり、検査費用が増大するという問題があった。
【０００６】
本発明は、検査費用の増大が抑えられた表面実装型圧電装置を検査するための測定治具及び表面実装型圧電装置の検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１観点の測定治具は、第１主面及び第１主面の反対側の第２主面を有するベース基板と、複数のリード端子を有し複数のリード端子が第２主面に露出するようにベース基板の第１主面に載置されるピン型圧電デバイスとを備える表面実装の表面実装型圧電装置を検査するための測定治具である。また、測定治具は、第３主面及びその反対側の第４主面を有し、表面実装型圧電装置の第２主面を第３主面に面するように載置する載置部と、表面実装型圧電装置を載置部に固定する固定部と、載置部に固定され、表面実装型圧電装置が載置部に載置された場合に複数のリード端子に接触する複数の第１コンタクトプローブと、を有する。
【０００８】
第２観点の測定治具は、第１観点において、第１コンタクトプローブが直線状に伸びた形状で載置部を第４主面から第３主面に貫通している。
【０００９】
第３観点の測定治具は、第１観点又は第２観点において、ベース基板がリード端子に電気的に接続する複数の表面実装端子を第２主面に有する。また測定治具は、載置部に固定され、表面実装型圧電装置が載置部に載置された場合に複数の表面実装端子に接触する複数の第２コンタクトプローブを有する。
【００１０】
第４観点の測定治具は、第３観点において、各第２コンタクトプローブが、表面実装端子に接触する接点部が第３面に垂直方向に弾性変形するように接点部から弓状に曲がった軸部を有し、打ち抜かれて形成されたプレートが複数枚重ね合って形成される。
【００１１】
第５観点の表面実装型圧電装置の検査方法は、第１観点から第４観点の測定治具に複数のリード端子と複数の第１コンタクトプローブとが接触するように表面実装型圧電装置を載置部に載置する載置工程と、表面実装型圧電装置を固定部で固定する固定工程と、第１コンタクトプローブを介して表面実装型圧電装置の電源の供給及び出力信号の検査を行う検査工程と、を有する。
【００１２】
第６観点の表面実装型圧電装置の検査方法は、第３観点又は第４観点の測定治具に複数の表面実装端子と複数の第２コンタクトプローブとが接触するように表面実装型圧電装置を載置部に載置する載置工程と、表面実装型圧電装置を固定部で固定する固定工程と、第２コンタクトプローブを介して表面実装型圧電装置の電源の供給及び出力信号の検査を行う検査工程と、を有する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の表面実装型圧電装置を検査するための測定治具及び表面実装型圧電装置の検査方法によれば、表面実装型圧電装置の検査費用の増大を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】表面実装型圧電装置１１０及び測定治具１００の斜視図である。
【図２】（ａ）は、表面実装型圧電装置１１０の側面図である。  （ｂ）は、表面実装型圧電装置１１０の下面図である。
【図３】（ａ）は、測定治具１００の平面図である。  （ｂ）は、表面実装型圧電装置１１０が載置された測定治具１００の側面図である。
【図４】（ａ）は、測定治具２００の側面図である。  （ｂ）は、表面実装型圧電装置１１０が載置された測定治具２００の側面図である。
【図５】（ａ）は、第２コンタクトプローブ２０３の側面図である。  （ｂ）は、第２コンタクトプローブ２０３の上面図である。  （ｃ）は、測定治具２００の概略平面図である。
【図６】表面実装型圧電装置１１０の検査方法が示されたフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１６】
（第１実施形態）
＜測定治具１００の構成＞
図１は、表面実装型圧電装置１１０及び測定治具１００の斜視図である。表面実装型圧電装置１１０は、ベース基板１１２にピン型圧電デバイス１１１が載置されることにより形成されている。ベース基板１１２は矩形形状の平面を有する基板である。以下の説明では、ベース基板１１２の長辺に平行な軸をＸ軸、短辺に平行な軸をＹ軸、Ｘ軸及びＹ軸に直交する軸をＺ軸として説明する。また、測定治具１００に関しても、測定治具１００に表面実装型圧電装置１１０が載置された場合の表面実装型圧電装置１１０の座標軸に合わせて説明する。
【００１７】
ピン型圧電デバイス１１１は、例えば恒温槽付水晶発振器（ＯＣＸＯ）である。恒温槽付水晶発振器（ＯＣＸＯ）は、所定の振動周波数で振動する水晶振動片（不図示）を恒温槽内に配置し、ヒーターで水晶振動片の周囲を所定の温度に保つことで水晶振動片の振動周波数を高い精度で安定化させる水晶発振器である。また、ベース基板１１２は、＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の辺に沿って、表面実装端子１１３が形成されている。表面実装型圧電装置１１０は、ピン型圧電デバイス１１１がベース基板１１２の＋Ｚ軸側の面に載置されることにより形成される。表面実装型圧電装置１１０は、表面実装端子１１３を介してプリント基板等に表面実装されることにより使用される。
【００１８】
測定治具１００は、載置部１０１と、固定部１０２と、第１コンタクトプローブ１０３と、を含んで構成されている。載置部１０１はＸ軸方向に長辺が伸びＹ軸方向に短辺が伸びる矩形形状の平面を有し、＋Ｚ軸側の面に表面実装型圧電装置１１０が載置される。固定部１０２は載置部１０１の＋Ｚ軸側の面の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の両端に配置され、載置部１０１に載置される表面実装型圧電装置１１０を固定する。また、載置部１０１の中央には載置部１０１をＺ軸方向に貫通するように複数の第１コンタクトプローブ１０３が配置されている。
【００１９】
図２（ａ）は、表面実装型圧電装置１１０の側面図である。ピン型圧電デバイス１１１の−Ｚ軸側の面には複数のリード端子１１４が形成されている。ベース基板１１２にはベース基板１１２をＺ軸方向に貫通する複数の貫通孔１１５（図２（ｂ）参照）が形成されており、リード端子１１４が貫通孔１１５に差し込まれることによりピン型圧電デバイス１１１がベース基板１１２に載置される。ベース基板１１２の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の辺に沿って形成される表面実装端子１１３は、それぞれベース基板１１２の＋Ｚ軸側の面からベース基板１１２の側面を介して−Ｚ軸側に引き出されるように形成されている。
【００２０】
図２（ｂ）は、ベース基板１１２の下面図である。ベース基板１１２の中央付近には、複数の貫通孔１１５が形成されている。貫通孔１１５の配置としては、例えばＹ軸方向に並ぶように貫通孔１１５が配置されて形成される列がＸ軸方向に並ぶように２本形成される。＋Ｘ軸側の列は３つの貫通孔１１５により形成され、−Ｘ軸側の列は６つの貫通孔１１５により形成されている。このような貫通孔１１５の配置はリード端子１１４の配置に合わせられている。すなわち、リード端子１１４は、図２（ｂ）に示される貫通孔１１５の配置に重なるようにピン型圧電デバイス１１１の−Ｚ軸側の面に形成されている。
【００２１】
また、ベース基板１１２の−Ｘ軸側の辺には３つの表面実装端子１１３が形成されており、＋Ｘ軸側の辺には４つの表面実装端子１１３が形成されている。以下では説明のために、−Ｘ軸側の表面実装端子１１３を＋Ｙ軸側から−Ｙ軸側に向かって表面実装端子１１３ａ〜１１３ｃとし、＋Ｘ軸側の表面実装端子１１３を＋Ｙ軸側から−Ｙ軸側に向かって表面実装端子１１３ｄ〜１１３ｇとする。各貫通孔１１５には電極（不図示）が形成されており、ピン型圧電デバイス１１４がベース基板１１２に載置された場合には貫通孔１１５の電極とリード端子１１４とが電気的に接続される。また、各表面実装端子１１３は、各貫通孔１１５に形成される電極に電気的に接続されている。
【００２２】
表面実装型圧電装置１１０では、同一のピン型圧電デバイス１１１が用いられる場合でも、ベース基板１１２に形成される各表面実装端子１１３の役割（ピン配置）が異なる場合がある。例えば、表面実装端子１１３ａ、１１３ｂ、１１３ｅは、それぞれ制御電圧用端子（ＶＣＯＮＴ）、基準電圧出力端子（Ｖｒｅｆ）、不使用端子（Ｎ．Ｃ．）とされる場合がある。別の例では、表面実装端子１１３ａ、１１３ｂ、１１３ｅが、それぞれ不使用端子（Ｎ．Ｃ．）、電源（ＶＣＣ）、接地端子（ＧＮＤ）とされる場合がある。このような表面実装端子のピン配置の違いは、表面実装型圧電装置１１０の使用者の要望に応えるため、表面実装端子１１３と貫通孔１１５に形成される電極とを接続する配線を変えていることに起因する。これに対して、ピン型圧電デバイス１１１のリード端子１１４のピン配置は統一されている。
【００２３】
図３（ａ）は、測定治具１００の平面図である。載置部１０１の中央付近には、複数の第１コンタクトプローブ１０３が配置されている。第１コンタクトプローブ１０３の配置としては、Ｙ軸方向に並ぶように第１コンタクトプローブ１０３が配置されて形成される列がＸ軸方向に２本並んでいる。＋Ｘ軸側の列は３つの第１コンタクトプローブ１０３により形成され、−Ｘ軸側の列は６つの第１コンタクトプローブ１０３により形成されている。このような第１コンタクトプローブ１０３の配置は、載置部１０１に表面実装型圧電装置１１０が載置された場合に、リード端子１１４が第１コンタクトプローブ１０３に接触する配置となっている。
【００２４】
載置部１０１の＋Ｚ軸側の面には、載置部１０１の一部として表面実装型圧電装置１１０が載置される台座１０１ａが形成される。図３（ａ）では、台座１０１ａの一部が示されている。表面実装型圧電装置１１０は台座１０１ａに載置されることにより、表面実装型圧電装置１１０と載置部１０１の＋Ｚ軸側の面との間に隙間が形成される。台座１０１ａは、この隙間に表面実装型圧電装置１１０の表面実装端子１１３及びリード端子１１４が露出するように形成される。図３（ａ）では台座１０１ａが載置部１０１の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側に形成されているが、台座１０１ａは第１コンタクトプローブ１０３の＋Ｘ軸側の列と−Ｘ軸側の列との間等の検査の妨げとならない様々な箇所に形成されることができる。
【００２５】
図３（ｂ）は、表面実装型圧電装置１１０が載置された測定治具１００の側面図である。図３（ｂ）では、説明のために、第１コンタクトプローブ１０３を載置部１０１の手前に表示させている。表面実装型圧電装置１１０は、載置部１０１に載置された状態で、固定部１０２によりベース基板１１２の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の両端が固定される。固定部１０２は、例えばクリップとして形成される。バネ１０２ａにより固定部１０２の先端１０２ｂがベース基板１１２に押し付けられることにより、ベース基板１１２の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の両端が載置部１０１に固定される。
【００２６】
表面実装型圧電装置１１０のリード端子１１４は、表面実装型圧電装置１１０が載置部１０１に載置された状態で、第１コンタクトプローブ１０３に接触する。これにより、第１コンタクトプローブ１０３を介して表面実装型圧電装置１１０の電気的特性の検査を行うことができる。
【００２７】
第１コンタクトプローブ１０３は、例えば、リード端子１１４に接触するヘッド１０３ａと、載置部１０１に固定される本体１０３ｂと、により構成される。ヘッド１０３ａは、リード端子１１４の長さ、形状などに応じて取り外し及び付け替えが可能となっている。また、図３（ｂ）の右側に示される第１コンタクトプローブ１０３に点線で示されるように、本体１０３ｂの中にはスプリング１０３ｃが仕込まれている。これにより、表面実装型圧電装置１１０が載置部１０１に載置され固定されてヘッド１０３ａとリード端子１１４とが接触した場合に、ヘッド１０３ａにはリード端子１１４を押し返す力が生じ、ヘッド１０３ａとリード端子１１４との接触を確実にすることができる。
【００２８】
表面実装型圧電装置では、図２（ｂ）で説明されたように、各表面実装端子１１３のピン配置は様々である。また、各表面実装端子１１３のピン配置は使用者により異なるため統一化することができない。そのため、表面実装型圧電装置の検査を行うための測定治具を共通化することができず、表面実装型圧電装置ごとに測定治具を用意しなければならなかった。これにより、表面実装型圧電装置の電気的性質の検査に係る費用が大きくなるという問題があった。また、表面実装型圧電装置の表面実装端子１１３のピン配置が変更になった場合には新たな測定治具を作製しなければならないという手間が生じていた。
【００２９】
測定治具１００では、表面実装型圧電装置１１０のリード端子１１４に直接第１コンタクトプローブ１０３を接触させて検査を行うことにより、表面実装端子１１３のピン配置に関係なく検査を行うことができる。また、表面実装型圧電装置１１０では、リード端子１１４のピン配置を統一し、ベース基板１１２の配線を変更することで使用者ごとに異なる表面実装端子１１３のピン配置に対応することができる。測定治具１００では、このような表面実装端子１１３のピン配置が異なる複数の表面実装型圧電装置に対応することができる。これにより、測定治具１００を検査に使用した場合には表面実装型圧電装置に応じた複数の測定治具を用意する必要がないため検査の費用を削減することができる。また、表面実装型圧電装置の表面実装端子１１３のピン配置が変更になった場合でも新たな測定治具を作製する必要がなく好ましい。
【００３０】
また、従来は市場からの戻り品としての表面実装型圧電装置を検査する場合に、ピン型圧電デバイス１１１をベース基板１１２から取り外した後にピン型圧電デバイス１１１の検査を行う場合があったが、測定治具１００を用いる場合にはベース基板１１２からピン型圧電デバイス１１１を取り外さずにピン型圧電デバイス１１１の検査を行うことができるため、市場からの戻り品の検査が容易になる。
【００３１】
さらに、従来は製造工程の途中でピン型圧電デバイス１１１の検査を行うため検査工程と製造工程との分離ができなかった。これに対して、測定治具１００を用いた検査では表面実装型の表面実装型圧電装置１１０を組み上げた後に検査を行うことが可能であるため、検査工程と製造工程とを分離することが可能である。これにより、検査工程及び製造工程を互いの制約を受けることなく行えるため好ましい。
【００３２】
（第２実施形態）
測定治具では、リード端子に接触する第１コンタクトプローブと共に、表面実装端子に接触する第２コンタクトプローブが形成されても良い。以下に第１コンタクトプローブと共に第２コンタクトプローブが形成された測定治具２００について説明する。また、以下の説明では、第１実施形態と同様の部分に関しては第１実施形態と同様の符号を付してその説明を省略する。
【００３３】
＜測定治具２００の構成＞
図４（ａ）は、測定治具２００の側面図である。測定治具２００は、測定治具１００に、さらに第２コンタクトプローブ２０３が配置されることにより形成されている。図４（ａ）では、説明のために、第１コンタクトプローブ１０３及び第２コンタクトプローブ２０３を載置部１０１の手前に示している。第２コンタクトプローブ２０３は、表面実装型圧電装置１１０が測定治具２００に載置された状態で第２コンタクトプローブ２０３の先端に形成される接点部２０３ａが表面実装端子１１３に接触するように形成されている。また、第２コンタクトプローブ２０３は、第１コンタクトプローブ１０３と同様に載置部１０１の−Ｚ軸側の面に第２コンタクトプローブ２０３の一部が突き出るように形成されている。
【００３４】
図４（ｂ）は、表面実装型圧電装置１１０が載置された測定治具２００の側面図である。表面実装型圧電装置１１０は、顧客等の要求によりリード端子１１４が切断されて絶縁体であるエポキシ樹脂等のアンダーフィル（不図示）で覆われる場合がある。この場合には、リード端子１１４を介して表面実装型圧電装置１１０の検査を行うことができない。測定装置２００では、このような場合等でも第２コンタクトプローブ２０３を介して表面実装型圧電装置１１０の検査を行うことができる。
【００３５】
図４（ｂ）では、表面実装型圧電装置１１０が測定治具２００の載置部１０１に載置され、第２コンタクトプローブ２０３の接点部２０３ａが表面実装端子１１３に接触している状態が示されている。測定治具２００では、第２コンタクトプローブ２０３と表面実装端子１１３とを接触させることで、第２コンタクトプローブ２０３を介して表面実装型圧電装置１１０の電気的特性の検査を行うことができる。また、この第２コンタクトプローブ２０３を用いる検査では、第１コンタクトプローブ１０３が測定の妨げとならないように第１コンタクトプローブ１０３からヘッド１０３ａが取り外されても良い。
【００３６】
図５（ａ）は、第２コンタクトプローブ２０３の側面図である。第２コンタクトプローブ２０３は弓状に曲がった軸部２０３ｂを有しており、軸部２０３ｂの先端に接点部２０３ａが形成される。測定治具２００に表面実装型圧電装置１１０が載置されて接点部２０３ａが表面実装端子１１３に接触した場合には、接点部２０３ａが−Ｚ軸方向に移動するように軸部２０３ｂがしなって弾性変形する。また、この反作用として接点部２０３ａが表面実装端子１１３に押さえつけられる。これにより、接点部２０３ａと表面実装端子１１３との接触が確実になる。
【００３７】
図５（ｂ）は、第２コンタクトプローブ２０３の上面図である。第２コンタクトプローブ２０３は、プレートが折り曲げられたように形成されるプレート式のコンタクトプローブである。第２コンタクトプローブ２０３は、様々な表面実装端子の形状、大きさに対応させるために、Ｙ軸方向の幅が狭く形成されている。このような第２コンタクトプローブ２０３は、例えば所定の金型から打ち抜かれることにより形成される。
【００３８】
図５（ｃ）は、測定治具２００の概略平面図である。図５（ｃ）では、説明のために固定部１０２が省略されて示されている。また、図５（ｃ）では、表面実装型圧電装置１１０の外形及び表面実装型圧電装置１１０の−Ｚ軸側の面の表面実装端子１１３が点線で示されている。測定治具２００では、３つの第２コンタクトプローブ２０３がＹ軸方向に重なり合うように束になって１つの端子２０４が形成されている。測定治具２００では、１つの端子２０４が１つの表面実装端子１１３に対応するように形成されている。
【００３９】
従来の測定治具にプレート式のコンタクトプローブを配置する場合には、１つのコンタクトプローブが１つの表面実装端子に対応するように形成されていた。しかし、１つのコンタクトプローブは、プレートが薄いため大電流を流すことができず、コンタクトプローブの接触が点接触となる可能性が大きく電源電圧が一定となる状態で電圧を印加することができない場合があった。また、厚いプレートを使用するには、コンタクトプローブを作製するための新たな金型を作る必要があり、検査のための費用が増大するという問題があった。
【００４０】
測定治具２００では、複数の第２コンタクトプローブ２０３を重ね合わせて束ねて使用することにより、１つの表面実装端子に複数の第２コンタクトプローブ２０３が接触するためコンタクトプローブの接触が１点のみでの接触とならず、大電流にも耐えられるコンタクトプローブとされている。また、測定治具２００の端子２０４では、新たなコンタクトプローブが作製されている訳ではないので検査費用を増大させることがない。
【００４１】
また、ピン型圧電デバイスをベース基板に取り付けて表面実装型圧電装置とした場合に、端子数の制約がある表面実装型圧電装置はピン型圧電デバイスよりも端子数が少なくなるため、ピン型圧電デバイスには実際に使用できない又は検査できないリード端子が存在する。測定治具１００では、表面実装端子を有する表面実装型圧電装置のままでもリード端子を介してピン型圧電デバイスの検査を行えるため、表面実装端子を介しては検査できないリード端子の検査をも行うことが出来る。
【００４２】
すなわち、測定治具２００では、製品で必要な表面実装端子１１３を測定するための第１コンタクトプローブ１０３を有すると共に、検査用として第２コンタクトプローブ２０３を使用することができる。
【００４３】
（第３実施形態）
以下に、測定治具１００又は測定治具２００を用いた表面実装型圧電装置１１０の検査方法について説明する。また、以下の説明では、第１実施形態又は第２実施形態と同様の部分に関して第１実施形態又は第２実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
【００４４】
＜表面実装型圧電装置１１０の検査方法＞
図６は、表面実装型圧電装置１１０の検査方法が示されたフローチャートである。以下に図６を参照して表面実装型圧電装置１１０の検査方法を説明する。
【００４５】
ステップＳ１０１では、使用するコンタクトプローブが選択される。すなわち、ステップＳ１０１では表面実装型圧電装置１１０の表面実装端子１１３を使用して検査を行うかリード端子１１４を使用して検査を行うかが選択される。リード端子１１４を介して検査を行う場合には第１コンタクトプローブ１０３が選択される。測定治具には測定治具１００又は測定治具２００のどちらの測定治具が選択されても良い。表面実装端子１１３を介して検査を行う場合には第２コンタクトプローブ２０３が選択されるため、測定治具には測定治具２００が選択される。使用するコンタクトプローブに第１コンタクトプローブ１０３が選択される場合にはステップＳ１０２に進み、第２コンタクトプローブ２０３が選択される場合にはステップＳ２０２に進む。
【００４６】
ステップＳ１０２では、第１コンタクトプローブ１０３にリード端子１１４が接触するように表面実装型圧電装置１１０が載置部１０１に載置される。ステップＳ１０２は載置工程である。表面実装型圧電装置１１０を載置部１０１に載置する場合には、固定部１０２の先端１０２ｂ（図３（ｂ）等参照）を＋Ｚ軸側に上げておく等して固定部１０２が載置の妨げとならないようにしておく。
【００４７】
ステップＳ１０３では、表面実装型圧電装置１１０が固定部１０２で固定される。ステップＳ１０３は固定工程である。固定工程では、ベース基板１１２の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の両端が固定部１０２の先端１０２ｂで抑えられることにより表面実装型圧電装置１１０が載置部１０１に固定される（図３（ｂ）参照）。
【００４８】
ステップＳ１０４では、第１コンタクトプローブ１０３を介して表面実装型圧電装置１１０の検査が行われる。ステップＳ１０４は検査工程である。検査工程では、載置部１０１の−Ｚ軸側の面から突き出た第１コンタクトプローブ１０３を介して表面実装型圧電装置１１０の電源の供給及び出力信号等の電気的特性が検査される。
【００４９】
一方、ステップＳ２０２では、第２コンタクトプローブ２０３に表面実装端子１１３が接触するように表面実装型圧電装置１１０が載置部１０１に載置される。ステップＳ２０２は載置工程である。ステップＳ２０２では、表面実装端子１１３の大きさ及び使用電圧等を考慮して、測定治具２００の各端子２０４に使用される第２コンタクトプローブ２０３の枚数が調整されて載置部１０１に配置される（図５（ｃ）参照）。その後、各第２コンタクトプローブ２０３の接点部２０３ａが表面実装端子１１３に接触するように表面実装型圧電装置１１０が載置部１０１に載置される。また、表面実装型圧電装置１１０を載置部１０１に載置する場合には、ステップＳ１０２と同様に、固定部１０２の先端１０２ｂ（図４（ｂ）等参照）を＋Ｚ軸側に上げておく等して固定部１０２が載置の妨げとならないようにしておく。
【００５０】
ステップＳ２０３では、表面実装型圧電装置１１０が固定部１０２で固定される。ステップＳ２０３は固定工程である。固定工程では、ベース基板１１２の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の両端が固定部１０２の先端１０２ｂで抑えられることにより表面実装型圧電装置１１０が載置部１０１に固定される（図４（ｂ）参照）。
【００５１】
ステップＳ２０４では、第２コンタクトプローブ２０４を介して表面実装型圧電装置１１０の検査が行われる。ステップＳ２０４は検査工程である。検査工程では、載置部１０１の−Ｚ軸側の面から突き出た第２コンタクトプローブ２０３を介して表面実装型圧電装置１１０の電源の供給及び出力信号等の電気的特性が検査される。
【００５２】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更及び変形を加えて実施することができる。また、各実施形態の特徴を様々に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００５３】
１００、２００  …  測定治具
１０１  …  載置部
１０１ａ  …  台座
１０２  …  固定部
１０２ａ  …  バネ
１０２ｂ  …  固定部の先端
１０３  …  第１コンタクトプローブ
１０３ａ  …  ヘッド
１０３ｂ  …  本体
１０３ｃ  …  スプリング
１１０  …  表面実装型圧電装置
１１１  …  ピン型圧電デバイス
１１２  …  ベース基板
１１３、１１３ａ〜１１３ｇ  …  表面実装端子
１１４  …  リード端子
２０３  …  第２コンタクトプローブ
２０３ａ  …  接点部
２０３ｂ  …  軸部
２０４  …  端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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