(57)【要約】【課題】複数のソケットのうち一部のソケットの劣化が原因で良品を不良品として判定し続けることを抑制できるＩＣ試験方法を提供する。【解決手段】本発明の一態様は、ＩＣハンドラー２０の複数のソケット１５〜１８それぞれにＩＣをセットし、テスター１１によって前記ＩＣを同時に測定して良否判定する工程を繰り返すＩＣ試験方法において、前記複数のソケットそれぞれで測定されたＩＣの良否判定結果からソケット毎のＩＣの歩留まりを計算し、前記ソケット毎のＩＣの歩留まりのうち一番良い歩留まりをその他の歩留まりと比較し、その他の歩留まりの中に前記一番良い歩留まりより一定値以上低い歩留まりがある場合は、当該一定値以上低い歩留まりのソケットを次の測定から使用しないＩＣ試験方法である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＩＣハンドラーの複数のソケットそれぞれにＩＣをセットし、テスターによって前記ＩＣを同時に測定して良否判定する工程を繰り返すＩＣ試験方法において、
前記複数のソケットそれぞれで測定されたＩＣの良否判定結果からソケット毎のＩＣの歩留まりを計算し、
前記ソケット毎のＩＣの歩留まりのうち一番良い歩留まりをその他の歩留まりと比較し、その他の歩留まりの中に前記一番良い歩留まりより一定値以上低い歩留まりがある場合は、当該一定値以上低い歩留まりのソケットを次の測定から使用しないことを特徴とするＩＣ試験方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記一定値が５％であることを特徴とするＩＣ試験方法。
【請求項３】
ＩＣハンドラーの複数のソケットそれぞれにＩＣをセットし、テスターによって前記ＩＣを同時に測定して良否判定する工程を繰り返すＩＣ試験方法において、
前記複数のソケットそれぞれで測定されたＩＣの良否判定結果からソケット毎のＩＣの歩留まりを計算し、
前記ソケット毎のＩＣの歩留まりを基準歩留まりと比較し、前記ソケット毎のＩＣの歩留まりの中に前記基準歩留まりより低い歩留まりがある場合は、当該低い歩留まりのソケットを次の測定から使用しないことを特徴とするＩＣ試験方法。
【請求項４】
請求項３において、
前記基準歩留まりが９０％であることを特徴とするＩＣ試験方法。
【請求項５】
複数のＩＣを同時に測定する複数のソケットと、コントローラーを有するＩＣハンドラーと、
前記複数のソケット及び前記コントローラーそれぞれに電気的に接続され、前記複数のソケットそれぞれにセットされたＩＣを測定して良否判定するテスターと、
を具備し、
前記コントローラーは、
前記複数のソケットそれぞれで測定されたＩＣの良否判定結果からソケット毎のＩＣの歩留まりを計算し、
前記ソケット毎のＩＣの歩留まりのうち一番良い歩留まりをその他の歩留まりと比較し、その他の歩留まりの中に前記一番良い歩留まりより一定値以上低い歩留まりがある場合は、当該一定値以上低い歩留まりのソケットを次の測定から使用しないように制御することを特徴とするＩＣ試験装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記一定値が５％であることを特徴とするＩＣ試験装置。
【請求項７】
複数のＩＣを同時に測定する複数のソケットと、コントローラーを有するＩＣハンドラーと、
前記複数のソケット及び前記コントローラーそれぞれに電気的に接続され、前記複数のソケットそれぞれにセットされたＩＣを測定して良否判定するテスターと、
を具備し、
前記コントローラーは、
前記複数のソケットそれぞれで測定されたＩＣの良否判定結果からソケット毎のＩＣの歩留まりを計算し、
前記ソケット毎のＩＣの歩留まりを基準歩留まりと比較し、前記ソケット毎のＩＣの歩留まりの中に前記基準歩留まりより低い歩留まりがある場合は、当該低い歩留まりのソケットを次の測定から使用しないように制御することを特徴とするＩＣ試験装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記基準歩留まりが９０％であることを特徴とするＩＣ試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣ試験方法及びＩＣ試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のＩＣ試験装置はＩＣハンドラー及びテスターを有する。ＩＣハンドラーは、複数のＩＣを同時に測定する複数のソケット（以下、「ＤＵＴ」ともいう。）と、複数のＤＵＴを制御するコントローラーを有する。テスターは、複数のＤＵＴそれぞれにセットされたＩＣを測定して良否判定するものである。そして、ＩＣ試験装置において、複数のＤＵＴで複数のＩＣを同時に測定して良否判定する工程を繰り返すことで、ＤＵＴ毎に多数のＩＣの試験を連続して行うことができる（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
ＩＣ試験装置では、複数のＩＣを同時に測定する工程を繰り返す自動運転時に、ＤＵＴに異物が付着する等の原因で、特定のＤＵＴの電気特性が劣化して不良判定が多発することがある。そこで、ＩＣ試験装置は、特定のＤＵＴで連続不良が発生した場合、例えば特定のＤＵＴで連続５回以上不良になった場合に、アラームを出してＩＣ試験装置を停止する機能を有している。
【０００４】
上記従来のＩＣ試験装置では、特定のＤＵＴで連続不良が発生すると装置が停止し、オペレーターが対応するまでその装置が停止した状態が続くため、稼働率が低下することがある。
【０００５】
また、連続不良が発生した場合に装置を停止する設定しかできないと、寿命ではないので特定のＤＵＴが連続不良には至らないが、異物の付着等の突発的な原因で特定のＤＵＴが他のＤＵＴと比べて明らかに歩留りが悪い場合に、それを検知する事ができない。そのような場合は、特定のＤＵＴの電気特性の劣化が原因であることがあり、本来の良品を不良品として判定し続けていることがある。その場合、ＩＣ試験装置で再測定作業を行うことになるため、試験コストが増大する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】実開平７−５０７６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の幾つかの態様は、複数のソケットのうち一部のソケットの劣化が原因で良品を不良品として判定し続けることを抑制できるＩＣ試験方法及びＩＣ試験装置に関連している。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、ＩＣハンドラーの複数のソケットそれぞれにＩＣをセットし、テスターによって前記ＩＣを同時に測定して良否判定する工程を繰り返すＩＣ試験方法において、前記複数のソケットそれぞれで測定されたＩＣの良否判定結果からソケット毎のＩＣの歩留まりを計算し、前記ソケット毎のＩＣの歩留まりのうち一番良い歩留まりをその他の歩留まりと比較し、その他の歩留まりの中に前記一番良い歩留まりより一定値以上低い歩留まりがある場合は、当該一定値以上低い歩留まりのソケットを次の測定から使用しないことを特徴とするＩＣ試験方法である。
【０００９】
上記本発明の一態様によれば、ＩＣハンドラーがソケット毎の歩留まりをモニタリングし、特定のソケットの低歩留まりを感知すると、低歩留まりのソケットを自動的に切り離すことができる。このため、複数のソケットのうち一部のソケットの劣化が原因で良品を不良品として判定し続けることを抑制できる。
【００１０】
また、本発明の一態様において、前記一定値が５％である。これにより、複数のソケットのうち一部のソケットの劣化が原因で良品を不良品として判定し続けることを抑制できる。
【００１１】
本発明の一態様は、ＩＣハンドラーの複数のソケットそれぞれにＩＣをセットし、テスターによって前記ＩＣを同時に測定して良否判定する工程を繰り返すＩＣ試験方法において、前記複数のソケットそれぞれで測定されたＩＣの良否判定結果からソケット毎のＩＣの歩留まりを計算し、前記ソケット毎のＩＣの歩留まりを基準歩留まりと比較し、前記ソケット毎のＩＣの歩留まりの中に前記基準歩留まりより低い歩留まりがある場合は、当該低い歩留まりのソケットを次の測定から使用しないことを特徴とするＩＣ試験方法である。
【００１２】
上記本発明の一態様によれば、ＩＣハンドラーがソケット毎の歩留まりをモニタリングし、特定のソケットの低歩留まりを感知すると、低歩留まりのソケットを自動的に切り離すことができる。このため、複数のソケットのうち一部のソケットの劣化が原因で良品を不良品として判定し続けることを抑制できる。
【００１３】
また、本発明の一態様において、前記基準歩留まりが９０％である。これにより、複数のソケットのうち一部のソケットの劣化が原因で良品を不良品として判定し続けることを抑制できる。
【００１４】
本発明の一態様は、複数のＩＣを同時に測定する複数のソケットと、コントローラーを有するＩＣハンドラーと、前記複数のソケット及び前記コントローラーそれぞれに電気的に接続され、前記複数のソケットそれぞれにセットされたＩＣを測定して良否判定するテスターと、を具備し、前記コントローラーは、前記複数のソケットそれぞれで測定されたＩＣの良否判定結果からソケット毎のＩＣの歩留まりを計算し、前記ソケット毎のＩＣの歩留まりのうち一番良い歩留まりをその他の歩留まりと比較し、その他の歩留まりの中に前記一番良い歩留まりより一定値以上低い歩留まりがある場合は、当該一定値以上低い歩留まりのソケットを次の測定から使用しないように制御することを特徴とするＩＣ試験装置である。
【００１５】
上記本発明の一態様によれば、ＩＣハンドラーがソケット毎の歩留まりをモニタリングし、特定のソケットの低歩留まりを感知すると、低歩留まりのソケットを自動的に切り離すことができる。このため、複数のソケットのうち一部のソケットの劣化が原因で良品を不良品として判定し続けることを抑制できる。
【００１６】
また、本発明の一態様において、前記一定値が５％である。これにより、複数のソケットのうち一部のソケットの劣化が原因で良品を不良品として判定し続けることを抑制できる。
【００１７】
本発明の一態様は、複数のＩＣを同時に測定する複数のソケットと、コントローラーを有するＩＣハンドラーと、前記複数のソケット及び前記コントローラーそれぞれに電気的に接続され、前記複数のソケットそれぞれにセットされたＩＣを測定して良否判定するテスターと、を具備し、前記コントローラーは、前記複数のソケットそれぞれで測定されたＩＣの良否判定結果からソケット毎のＩＣの歩留まりを計算し、前記ソケット毎のＩＣの歩留まりを基準歩留まりと比較し、前記ソケット毎のＩＣの歩留まりの中に前記基準歩留まりより低い歩留まりがある場合は、当該低い歩留まりのソケットを次の測定から使用しないように制御することを特徴とするＩＣ試験装置である。
【００１８】
上記本発明の一態様によれば、ＩＣハンドラーがソケット毎の歩留まりをモニタリングし、特定のソケットの低歩留まりを感知すると、低歩留まりのソケットを自動的に切り離すことができる。このため、複数のソケットのうち一部のソケットの劣化が原因で良品を不良品として判定し続けることを抑制できる。
【００１９】
また、本発明の一態様において、前記基準歩留まりが９０％である。これにより、複数のソケットのうち一部のソケットの劣化が原因で良品を不良品として判定し続けることを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】（Ａ）は本発明の一態様に係るＩＣ試験装置を模式的に示す平面図、（Ｂ）は（Ａ）に示す測定ロボット部１４の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００２２】
［実施の形態１］
図１（Ａ）は、本発明の一態様に係るＩＣ試験装置を模式的に示す平面図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示す測定ロボット部１４の断面図である。
【００２３】
ＩＣ試験装置はＩＣテスター１９とＩＣハンドラー２０を有している。ＩＣハンドラー２０は、複数の被測定ＩＣ２１を収納したトレイを備えた供給部１と、供給ロボット２と、測定ロボット部１４と、テストヘッド９と、回収ロボット６と、不良と判定されたＩＣを回収する不良品回収部（Fail判定品）７と、良品と判定されたＩＣを回収する良品回収部（Pass判定品）８を有している（図１（Ａ）参照）。
【００２４】
テストヘッド９上にはパフォーマスンスボード（治具）１０が配置されている。パフォーマンスボード１０には測定ロボット部１４が配置されている。測定ロボット部１４には、第１のＩＣソケット１５（以下、「ＤＵＴ１」ともいう。）、第２のＩＣソケット１６（以下、「ＤＵＴ２」ともいう。）、第３のＩＣソケット１７（以下、「ＤＵＴ３」ともいう。）及び第４のＩＣソケット１８（以下、「ＤＵＴ４」ともいう。）が配置されている。第１〜第４のＩＣソケット１５〜１８の上方には測定ロボット４が配置されている（図１（Ｂ）参照）。
【００２５】
また、ＩＣ試験装置は、測定ロボット部１４に被測定ＩＣを供給するための供給シャトル３と、測定ロボット部１４で測定された被測定ＩＣを回収するための回収シャトル５と、ＩＣハンドラー２０の各部を制御するコントローラー１１を有している（図１（Ａ）参照）。
【００２６】
供給ロボット２は、供給部１から被測定ＩＣ２１を取り出し、その被測定ＩＣ２１を供給シャトル３に移動させる機能を有する。回収ロボット６は、回収シャトル５から測定後の被測定ＩＣを取り出し、その被測定ＩＣを不良品回収部７または良品回収部８に移動させる機能を有する。
【００２７】
コントローラー１１は、ＤＵＴ１〜ＤＵＴ４それぞれの歩留まりを計算する機能、歩留まりが非常に悪いＤＵＴを測定で使用しないように切り離す機能を有する。また、ＩＣテスター１９は、試験用ケーブル１２によってテストヘッド９に電気的に接続され、試験用ケーブル１２及びテストヘッド９を介してＤＵＴ１〜４それぞれに電気的に接続されている。ＩＣテスター１９は、インターフェースケーブル１３によってコントローラー１１に電気的に接続され、インターフェースケーブル１３及びコントローラー１１を通してＩＣハンドラー２０との通信が可能になる。
【００２８】
なお、本実施の形態では、４個のＤＵＴ１〜４を用いて４個の被測定ＩＣを同時に試験できるＩＣ試験装置としているが、複数個のＤＵＴを用いて複数個の被測定ＩＣを同時に試験できるものであれば、４個以外の個数のＤＵＴを用いるＩＣ試験装置とすることも可能である。
【００２９】
次に、上記のＩＣ試験装置を用いて４個の被測定ＩＣを同時に試験する動作順序について説明する。
【００３０】
まず、供給ロボット２によって４個の被測定ＩＣ２１が矢印のように供給部１から供給シャトル３へ運ばれる。次いで、供給シャトル３によって４個の被測定ＩＣが矢印のように測定ロボット４の近傍へ運ばれる。次いで、測定ロボット４によって供給シャトル３より４個の被測定ＩＣが取り出される。次いで、その４個の被測定ＩＣは測定ロボット４によって第１〜第４のＩＣソケット１５〜１８それぞれにセットされる。
【００３１】
次に、コントローラー１１よりＩＣテスター１９にインターフェースケーブル１３を通して測定開始信号が送られる。次いで、ＩＣテスター１９とテストヘッド９及びＤＵＴ１〜４が試験用ケーブル１２によって接続され、ＩＣテスター１９によってＤＵＴ１〜４にセットされた４個の被測定ＩＣの試験が行われる。次いで、４個の被測定ＩＣの試験が終了すると、ＩＣテスター１９よりコントローラー１１に測定終了信号とＰＡＳＳ／ＦＡＩＬ情報が送られる。ＰＡＳＳ／ＦＡＩＬ情報は、４個の被測定ＩＣそれぞれが良品であるか不良品であるかを判定した情報である。
【００３２】
次に、コントローラー１１によってＤＵＴ１〜４それぞれで測定された被測定ＩＣの歩留まりを計算する。即ち、ＩＣソケット毎の歩留まりを計算する。歩留まりの計算方法は以下のとおりである。
【００３３】
第１〜第４のＩＣソケット１５〜１８それぞれで複数回測定を繰り返した後に、ＩＣソケット毎（ＤＵＴ毎）の直近の１００〜２００個のいずれかの個数の被測定ＩＣのＰＡＳＳ／ＦＡＩＬ情報から歩留まりを計算する。
【００３４】
次いで、ＩＣソケット毎の被測定ＩＣの歩留まりのうち一番良いＩＣソケットの歩留まりをその他のＩＣソケットの歩留まりそれぞれと比較する。その結果、その他のＩＣソケットの歩留まりの中に一番良いＩＣソケットの歩留まりより５％以上低い歩留まりのＩＣソケットがあるか否かを判定する。そして、５％以上低い歩留まりのＩＣソケットがある場合は、そのＩＣソケットを次回の測定から使用しないようにコントローラー１１において設定切替を行う。これとともに、５％以上低い歩留まりのＩＣソケットがあることをオペレーターに知らせる動作を行う。この動作は、アラーム、シグナルタワー点灯及びオペレーターへのメール自動配信等である。
【００３５】
また、上記の比較結果で、５％以上低い歩留まりのＩＣソケットがない場合は、上記の設定切替を行わない。
【００３６】
次に、測定ロボット４によって第１〜第４のＩＣソケット１５〜１８それぞれから被測定ＩＣを取り出し、その４個の被測定ＩＣが測定ロボット４によって回収シャトル５へ運ばれる。次いで、回収シャトル５によって４個の被測定ＩＣが回収ロボット６の近傍へ矢印のように運ばれる。
【００３７】
次いで、試験結果であるＰＡＳＳ／ＦＡＩＬ情報を基に、回収ロボット６によって不良品と判定された被測定ＩＣが不良品回収部７へ矢印のように運ばれ、良品と判定された被測定ＩＣが良品回収部８へ矢印のように運ばれる。このようにして４個の被測定ＩＣの試験が終了する。
【００３８】
この後、次の被測定ＩＣの試験を行うために、供給ロボット２によって供給部１から被測定ＩＣ２１を取り出す。この際、上記の設定切替が例えばＤＵＴ４で行われた場合（ＤＵＴ４が５％以上低い歩留まりのＩＣソケットである場合）は、供給ロボット２によって３個の被測定ＩＣ２１が矢印のように供給部１から供給シャトル３へ運ばれる。次いで、供給シャトル３によって３個の被測定ＩＣが矢印のように測定ロボット４の近傍へ運ばれる。次いで、測定ロボット４によって供給シャトル３より３個の被測定ＩＣが取り出される。次いで、その３個の被測定ＩＣは測定ロボット４によって第１〜第３のＩＣソケット１５〜１７それぞれにセットされる。
【００３９】
次に、コントローラー１１よりＩＣテスター１９に測定開始信号が送られ、ＩＣテスター１９とテストヘッド９及びＤＵＴ１〜３が試験用ケーブル１２によって接続され、ＩＣテスター１９によってＤＵＴ１〜３にセットされた３個の被測定ＩＣの試験が行われる。次いで、３個の被測定ＩＣの試験が終了すると、ＩＣテスター１９よりコントローラー１１に測定終了信号とＰＡＳＳ／ＦＡＩＬ情報が送られる。ＰＡＳＳ／ＦＡＩＬ情報は、３個の被測定ＩＣそれぞれが良品であるか不良品であるかを判定した情報である。
【００４０】
次に、コントローラー１１によってＤＵＴ１〜３それぞれで測定された被測定ＩＣの歩留まりを計算する。歩留まりの計算方法は以下のとおりである。
【００４１】
第１〜第３のＩＣソケット１５〜１７それぞれのＩＣソケット毎（ＤＵＴ毎）の直近の１００〜２００個のいずれかの個数の被測定ＩＣのＰＡＳＳ／ＦＡＩＬ情報から歩留まりを計算する。
【００４２】
次いで、ＩＣソケット毎の被測定ＩＣの歩留まりのうち一番良いＩＣソケットの歩留まりをその他のＩＣソケットの歩留まりそれぞれと比較し、その他のＩＣソケットの歩留まりの中に一番良いＩＣソケットの歩留まりより５％以上低い歩留まりのＩＣソケットがあるか否かを判定する。そして、５％以上低い歩留まりのＩＣソケットがある場合は、そのＩＣソケットを次回の測定から使用しないようにコントローラー１１において設定切替を行う。これとともに、５％以上低い歩留まりのＩＣソケットがあることをオペレーターに知らせる動作を行う。この動作は、アラーム、シグナルタワー点灯及びオペレーターへのメール自動配信等である。
【００４３】
また、上記の比較結果で、５％以上低い歩留まりのＩＣソケットがない場合は、上記の設定切替を行わない。
【００４４】
この後の工程は前述したものと同様である。
【００４５】
本実施の形態によれば、ＩＣハンドラー２０がＤＵＴ毎の歩留まりをモニタリングし、特定ＤＵＴの低歩留まりを感知すると、低歩留まりのＤＵＴを自動的に切り離す（OFF）することができる。このため、オペレーターが対応しないと装置が停止し続ける従来技術に比べて、低歩留まりのＤＵＴの対応を後回しにしてもＩＣハンドラー２０を稼動させておくことができる。従って、生産ロスを少なくでき、結果的にコスト削減につながる。
【００４６】
また、連続不良には至らないが、他のＤＵＴと比べて歩留りが悪い状態を検知できるため、早い段階で、良品を不良品として出し続けることを止めることができる。つまり、本来の良品を不良品として選別し続けることが無くなるため、再測定作業を行う製品数量を減らすことができ、生産ロスを少なくして結果的にコスト削減につながる。
【００４７】
なお、本実施の形態では、ＩＣソケット毎の被測定ＩＣの歩留まりのうち一番良い歩留まりをその他の歩留まりと比較し、その他の歩留まりの中に一番良い歩留まりより５％以上低い歩留まりがある場合に設定切替を行っているが、５％に限定されるものではなく、一定値以上低い歩留まりであれば、他の値であってもよい。
【００４８】
また、本実施の形態では、ＩＣソケット毎の被測定ＩＣの歩留まりのうち一番良い歩留まりをその他の歩留まりと比較し、その他の歩留まりの中に一番良い歩留まりより５％以上低い歩留まりがある場合に設定切替を行っているが、設定切替を行うための歩留まりの比較を以下のように変更して実施してもよい。
【００４９】
ＩＣソケット毎の被測定ＩＣの歩留まりを基準歩留まりと比較し、ＩＣソケット毎の被測定ＩＣの歩留まりの中に基準歩留まりより低い歩留まりがある場合は、当該低い歩留まりのソケットを次回の測定から使用しないようにコントローラー１１によって設定切替を行う。ここでいう基準歩留まりは、製品毎に異なり、製品毎の標準歩留まりより一定値（例えば５％）低い歩留まりを意味し、ある製品の標準歩留まりが９５％である場合は基準歩留まりが９０％となる。
【００５０】
［実施の形態２］
実施の形態１では、ＩＣハンドラー２０のコントローラー１１が、ＤＵＴ１〜４それぞれで測定された被測定ＩＣの歩留まりを計算し、その計算結果から特定のＩＣソケットを次回の測定から使用するかしないかの判定を行っているが、本実施の形態では、ＤＵＴ１〜４それぞれで測定された被測定ＩＣの歩留まりの計算と、その計算結果から特定のＩＣソケットを次回の測定から使用するかしないかの判定をＩＣテスター１９が行う点が異なる。以下に異なる点について詳細に説明する。
【００５１】
コントローラー１１よりＩＣテスター１９にインターフェースケーブル１３を通して測定開始信号が送られる。次いで、ＩＣテスター１９とテストヘッド９及びＤＵＴ１〜４が試験用ケーブル１２によって接続され、ＩＣテスター１９によってＤＵＴ１〜４にセットされた４個の被測定ＩＣの試験が行われる。
【００５２】
次に、ＩＣテスター１９によってＤＵＴ１〜４それぞれで測定された被測定ＩＣの歩留まりを計算する。歩留まりの計算方法は実施の形態１と同様である。
【００５３】
次いで、ＩＣソケット毎の被測定ＩＣの歩留まりのうち一番良いＩＣソケットの歩留まりをその他のＩＣソケットの歩留まりそれぞれと比較する。その結果、その他のＩＣソケットの歩留まりの中に一番良いＩＣソケットの歩留まりより５％以上低い歩留まりのＩＣソケットがあるか否かを判定する。そして、５％以上低い歩留まりのＩＣソケットがある場合は、そのＩＣソケットを次回の測定から使用しないことを判定する。
【００５４】
また、上記の比較結果で、５％以上低い歩留まりのＩＣソケットがない場合は、次回から使用しないＩＣソケットが無いことを判定する。
【００５５】
次に、ＩＣテスター１９よりコントローラー１１に測定終了信号とＰＡＳＳ／ＦＡＩＬ情報と特定のＩＣソケットを次回の測定から使用するかしないかの判定結果が送られる。
【００５６】
この後、上記の特定のＩＣソケットを次回の測定から使用するかしないかの判定結果を基に、コントローラー１１においてＩＣソケットの設定切替を行う。これとともに、５％以上低い歩留まりのＩＣソケットがあることをオペレーターに知らせる動作を行う。この動作は、アラーム、シグナルタワー点灯及びオペレーターへのメール自動配信等である。
【００５７】
次に、測定ロボット４によって第１〜第４のＩＣソケット１５〜１８それぞれから被測定ＩＣを取り出し、その４個の被測定ＩＣが測定ロボット４によって回収シャトル５へ運ばれる。
【００５８】
本実施の形態においても実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
【００５９】
また、上記の実施の形態１と実施の形態２を適宜組合せて実施することも可能である。
【符号の説明】
【００６０】
１…供給部、２…供給ロボット、３…供給シャトル、４…測定ロボット、５…回収シャトル、６…回収ロボット、７…不良品回収部（Fail判定品）、８…良品回収部（Pass判定品）、９…テストヘッド、１０…パフォーマンスボード（治具）、１１…コントローラー、１２…試験用ケーブル、１３…インターフェースケーブル、１４…測定ロボット部、１５…第１のＩＣソケット（ＤＵＴ１）、１６…第２のＩＣソケット（ＤＵＴ２）、１７…第３のＩＣソケット（ＤＵＴ３）、１８…第４のＩＣソケット（ＤＵＴ４）、１９…ＩＣテスター、２０…ＩＣハンドラー、２１…被測定ＩＣ。
【図１】
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