(57)【要約】【課題】  ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、ユーザに対してわかり易く表示することができる半導体ウェーハ位置表示システム、半導体ウェーハ位置表示方法および半導体ウェーハ位置表示プログラムを提供する。【解決手段】  本発明の半導体ウェーハ位置表示システムは、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信するデータ受信部と、データ受信部が受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う画面表示制御部とを備え、画面表示制御部は、データ受信部が受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、半導体ウェーハの円周を表示することにより表現する円周表示画面制御部を有する。【選択図】図１
2015176878.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを表示するための半導体ウェーハ位置表示システムであって、
前記半導体ウェーハ位置表示システムは、
前記ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信するデータ受信部と、
前記データ受信部が受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う画面表示制御部と
を有する半導体ウェーハ位置表示制御装置を備え、
前記画面表示制御部は、
前記データ受信部が受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記半導体ウェーハの円周を表示することにより表現する円周表示画面制御部を含む半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項２】
前記円周表示画面制御部は、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記ウェーハ載置部の円周に、前記測定データに基づいて生成された測定円周を重ねて表示することにより表現することを特徴とする請求項１に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項３】
前記画面表示制御部は、さらに、前記データ受信部が受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記半導体ウェーハのノッチ位置およびホーム位置を表示することにより表現するノッチ位置表示画面制御部を有する請求項１または２に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項４】
前記ウェーハ位置表示制御装置は、さらに、
前記データ受信部が受信した測定データを解析する測定データ解析部を有し、
前記測定データ解析部は、前記測定データから、前記半導体ウェーハのノッチを検出した際のデータであるノッチ検出データを解析し、
前記円周表示画面制御部は、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記データ受信部が受信した測定データから前記ノッチ検出データを除いたデータに基づいて、前記半導体ウェーハの円周を表示することにより表現することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項５】
前記ウェーハ位置表示制御装置は、さらに、
前記データ受信部が受信した測定データを解析する測定データ解析部を有し、
前記測定データ解析部は、前記測定データから、前記半導体ウェーハのノッチを検出した際のデータであるノッチ検出データ、および、前記ウェーハ載置部の回転がホーム位置にあることを示すデータであるホーム位置データを解析し、
前記ノッチ位置表示画面制御部は、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記ノッチ検出データ、および、前記ホーム位置データに基づいて、前記半導体ウェーハのノッチ位置およびホーム位置を表示することにより表現することを特徴とする請求項３に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項６】
前記円周表示画面制御部は、さらに、前記ずれの最大値および／または最小値を表示することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項７】
前記円周表示画面制御部は、さらに、前記ずれが最大となる位置および／または最小となる位置を表示することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項８】
前記測定データ解析部は、さらに、前記ずれの最大値および／または前記最小値が許容範囲内かを判断し、
前記画面表示制御部は、さらに、前記判断結果を表示する判断結果表示画面制御部を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項９】
前記測定データは、前記半導体ウェーハ位置測定装置によって、前記ウェーハ載置部および前記半導体ウェーハを撮像して得られた画像を解析することにより作成されることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項１０】
前記データ受信部は、さらに、前記画像を受信し、
前記画面表示制御部は、さらに、前記データ受信部が受信した画像をリアルタイムに表示するリアルタイム表示画面制御部を有することを特徴とする請求項９に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項１１】
前記画面表示制御部は、さらに、前記データ受信部が受信した測定データを、時系列に沿ってグラフとして表示する統計情報表示画面制御部を有することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項１２】
前記画面表示制御部は、さらに、前記円周表示画面制御部により表示される円周表示画面に、前記ずれを半導体製造装置のウェーハ搬送用自動ロボットのアームの回転方向の移動量であるＳＴＥＰ数と伸縮方向の移動量であるＳＴＥＰ数とを表示することを特徴とする請求項１に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項１３】
ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを表示するための半導体ウェーハ位置表示方法であって、
前記半導体ウェーハ位置表示方法は、
コンピュータに、
前記ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信するデータ受信ステップと、
前記データ受信ステップにおいて受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う画面表示制御ステップと
を有する半導体ウェーハ位置表示制御ステップを処理させ、
前記画面表示制御ステップは、
前記データ受信ステップにおいて受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記半導体ウェーハの円周を表示することにより表現する円周表示画面制御ステップを含む半導体ウェーハ位置表示方法。
【請求項１４】
ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを表示するための半導体ウェーハ位置表示プログラムであって、
前記半導体ウェーハ位置表示プログラムは、
コンピュータに、
前記ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信するデータ受信機能と、
前記データ受信機能により受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う画面表示制御機能と
を有する半導体ウェーハ位置表示制御機能を実行させ、
前記画面表示制御機能は、
前記データ受信機能により受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記半導体ウェーハの円周を表示することにより表現する円周表示画面制御機能を含む半導体ウェーハ位置表示プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ位置表示システム、半導体ウェーハ位置表示方法および半導体ウェーハ位置表示プログラムに関するものであって、特に、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、半導体ウェーハの円周を表示することにより表現する半導体ウェーハ位置表示システム、半導体ウェーハ位置表示方法および半導体ウェーハ位置表示プログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置は、半導体ウェーハに対して、高温による熱処理や化学蒸着を行い、この半導体ウェーハの表面に結晶を成長させ、基板を生成する。この場合、半導体ウェーハは一般的に、サセプタと呼ばれる載置部材に載置される。
【０００３】
載置部材は、ポケットと呼ばれるウェーハ載置部を有し、このウェーハ載置部に半導体ウェーハが載置される。そして、成膜中に載置部材が回転することにより、載置部材上に載置された半導体ウェーハも回転し、この半導体ウェーハの表面全体に均質の結晶層が形成される。そのため、成膜中は、半導体ウェーハが、このウェーハ載置部内に完全に収まっているよう留意する必要がある。
【０００４】
特許文献１には、半導体ウェーハの熱放射を測定することにより、半導体ウェーハの位置が適切であるか否かを判断する技術が開示されている。
【０００５】
このように、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを測定する技術の開発が進められる一方で、このようにして検出されたずれを、ユーザに対してわかり易く表示する技術の開発も望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−１９９５８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、ユーザに対してわかり易く表示することができる半導体ウェーハ位置表示システム、半導体ウェーハ位置表示方法および半導体ウェーハ位置表示プログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の半導体ウェーハ位置表示システムは、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを表示するための半導体ウェーハ位置表示システムであって、半導体ウェーハ位置表示システムは、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信するデータ受信部と、データ受信部が受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う画面表示制御部とを有する半導体ウェーハ位置表示制御装置を備え、画面表示制御部は、データ受信部が受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、半導体ウェーハの円周を表示することにより表現する円周表示画面制御部を含むことを特徴とする。
【０００９】
上記円周表示画面制御部は、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記ウェーハ載置部の円周に、測定データに基づいて生成された測定円周を重ねて表示することにより表現することができる。
【００１０】
上記画面表示制御部は、さらに、データ受信部が受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、半導体ウェーハのノッチ位置のホーム位置からの角度を表示することにより表現するノッチ位置表示画面制御部を有することができる。
【００１１】
上記ウェーハ位置表示システムは、さらに、測定データを解析する測定データ解析部を備え、測定データ解析部は、測定データから、半導体ウェーハのノッチを検出した際のデータであるノッチ検出データを解析し、円周表示画面制御部は、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、データ受信部が受信した測定データからノッチ検出データを除いたデータに基づいて、半導体ウェーハの円周を表示することにより表現することができる。
【００１２】
上記ウェーハ位置表示システムは、さらに、測定データを解析する測定データ解析部を備え、測定データ解析部は、測定データから、半導体ウェーハのノッチを検出した際のデータであるノッチ検出データ、および、ウェーハ載置部の回転がホーム位置にあることを示すデータであるホーム位置データを解析し、ノッチ位置表示画面制御部は、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、ノッチ検出データ、および、ホーム位置データに基づいて、半導体ウェーハのノッチ位置のホーム位置からの角度を表示することにより表現することを特徴とすることができる。
【００１３】
上記円周表示画面制御部は、さらに、ずれの最大値および／または最小値を表示することができる。
【００１４】
上記円周表示画面制御部は、さらに、ずれが最大となる位置および／または最小となる位置を表示することができる。
【００１５】
上記半導体ウェーハ位置表示システムは、さらに、ずれの最大値および／または最小値が許容範囲内かを判断するずれ判断部を備え、画面表示制御部は、さらに、ずれ判断部による判断結果を表示する判断結果表示制御部を有することができる。
【００１６】
上記測定データは、半導体ウェーハ位置測定装置によって、ウェーハ載置部および半導体ウェーハを撮像して得られた画像を解析することにより作成されることができる。
【００１７】
上記データ受信部は、さらに、画像を受信し、画面表示制御部は、さらに、データ受信部が受信した画像をリアルタイムに表示するリアルタイム表示画面制御部を有することができる。
【００１８】
上記画面表示制御部は、さらに、データ受信部が受信した測定データを、時系列に沿ってグラフとして表示する統計情報表示画面制御部を有することができる。
【００１９】
上記画面表示制御部は、さらに、円周表示画面制御部により表示される円周表示画面に、ずれを半導体製造装置のウェーハ搬送用自動ロボットのアームの回転方向の移動量であるＳＴＥＰ数と伸縮方向の移動量であるＳＴＥＰ数とを表示することができる。
【００２０】
本発明の半導体ウェーハ位置表示方法は、コンピュータに、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信するデータ受信ステップと、データ受信ステップにおいて受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う画面表示制御ステップと処理させ、画面表示制御ステップは、データ受信ステップにおいて受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、半導体ウェーハの円周を表示することにより表現する円周表示画面制御ステップを有することを特徴とする。
【００２１】
本発明の半導体ウェーハ位置表示プログラムは、コンピュータに、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信するデータ受信機能と、データ受信機能により受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う画面表示制御機能とを実行させ、画面表示制御機能は、データ受信機能により受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、半導体ウェーハの円周を表示することにより表現する円周表示画面制御機能を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の半導体ウェーハ位置表示システム、半導体ウェーハ位置表示方法および半導体ウェーハ位置表示プログラムによれば、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、ユーザに対してわかり易く表示することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施形態に従う半導体ウェーハ位置表示システムの概要を示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態に従う半導体ウェーハ位置表示制御装置の詳細な機能構成の一例を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施形態に従う半導体ウェーハ位置測定装置の機能構成の一例を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施形態に従う半導体ウェーハ位置測定装置によるずれの解析を説明するための模式図である。
【図５】円周表示画面制御部により表示される円周表示画面の一例を示す模式図である。
【図６】リアルタイム表示画面制御部により表示されるリアルタイム表示画面の一例を示す模式図である。
【図７】統計情報表示画面制御部により表示される統計情報表示画面の一例を示す模式図である。
【図８】円周表示画面、リアルタイム表示画面、および、統計情報表示画面を同時に表示した表示画面の一例を示す模式図である。
【図９】コンソール表示画面制御部により表示されるコンソール表示画面の一例を示す模式図である。
【図１０】円周表示画面制御部により表示される円周表示画面の別の例を示す模式図である。
【図１１】本発明の実施形態に従う半導体ウェーハ位置表示方法のフロー示すフローチャートである。
【図１２】本発明の実施形態に従う半導体ウェーハ位置表示方法の外部データのフローを示す模式図である。
【図１３】本発明の実施形態に従う半導体ウェーハ位置表示方法の外部データのフローを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明の半導体ウェーハ位置表示システムの実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２５】
（半導体ウェーハ位置表示システムの概要）
図１は、本発明の実施形態に従う半導体ウェーハ位置表示システム１の概要を示す模式図である。
【００２６】
図１に示すように、本発明の実施形態に従う半導体ウェーハ位置表示システムは、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを表示するための半導体ウェーハ位置表示システム１であって、半導体ウェーハ位置表示制御装置１００を備えることを特徴する。なお、本実施形態においては、上記半導体ウェーハ位置表示システム１が、さらに、半導体ウェーハ位置測定装置２００、および半導体製造装置３００を備える場合について説明を行うが、これに限られるものではない。
【００２７】
（半導体ウェーハ位置表示制御装置１００の詳細）
図２は、上記半導体ウェーハ位置表示制御装置１００の詳細な機能構成の一例を示すブロック図である。
【００２８】
図２に示すように、半導体ウェーハ位置表示制御装置１００は、データ受信部１１０と、画面表示制御部１２０とを備える。
【００２９】
データ受信部１１０は、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置２００により得られた測定データを受信する。半導体ウェーハ位置測定装置２００の詳細については後述する。
【００３０】
画面表示制御部１２０は、データ受信部１１０が受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う。
【００３１】
そして、本発明の半導体ウェーハ位置表示システム１は、画面表示制御部１２０が、データ受信部１１０が受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、半導体ウェーハの円周を表示することにより表現する円周表示画面制御部１２１を含むことを特徴とする。このような構成とすることにより、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、ユーザに対してわかり易く表示することが可能となる。
【００３２】
円周表示画面制御部１２１は、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記ウェーハ載置部の円周に、測定データに基づいて生成された測定円周を重ねて表示することにより表現することができる。このような構成とすることにより、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、ユーザに対してよりわかり易く表示することが可能となる。
【００３３】
画面表示制御部１２０は、さらに、データ受信部１１０が受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを半導体ウェーハのノッチ位置およびホーム位置を表示することにより表現するノッチ位置表示画面制御部１２２を有することができる。このような構成とすることにより、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、ユーザに対してよりわかり易く表示することが可能となる。
【００３４】
半導体ウェーハ位置表示制御装置１００は、さらに、データ受信部１２０が受信した測定データを解析する測定データ解析部１３０を有することができる。
【００３５】
測定データ解析部１３０は、測定データから、半導体ウェーハのノッチを検出した際のデータであるノッチ検出データを解析する。そして、円周表示画面制御部１２１は、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、データ受信部１１０が受信した測定データからノッチ検出データを除いたデータに基づいて、半導体ウェーハの円周を表示することにより表現することができる。このような構成とすることにより、半導体ウェーハの円周をより正確に表示することが可能となる。
【００３６】
あるいは、測定データ解析部１３０は、測定データから、半導体ウェーハのノッチを検出した際のデータであるノッチ検出データ、および、ウェーハ載置部の回転がホーム位置にあることを示すデータであるホーム位置データを解析する。そして、ノッチ位置表示画面制御部１２２は、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、ノッチ検出データ、および、ホーム位置データに基づいて、半導体ウェーハのノッチ位置およびホーム位置を表示することにより表現することができる。このような構成とすることにより、ノッチ位置のずれをより正確に表示することが可能となる。
【００３７】
上記ノッチ位置およびホーム位置は、例えば線で表示され、同時にこれらの角度も表示されることができる。詳細については後述する。また、このノッチ位置およびホーム位置の表示は、設定により非表示に切り替えることも可能である。なお、ノッチ位置が正常に検出されない場合は表示されないものとすることができる。
【００３８】
円周表示画面制御部１２１は、さらに、ずれの最大値および／または最小値を表示することができる。このような構成とすることにより、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれの度合を、ユーザに対してよりわかり易く表示することが可能となる。
【００３９】
円周表示画面制御部１２１は、さらに、ずれが最大となる位置および／または最小となる位置を表示することができる。このような構成とすることにより、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれの度合が大きい位置および小さい位置を、ユーザに対してよりわかり易く表示することが可能となる。
【００４０】
測定データ解析部１３０は、さらに、ずれの最大値および／または最小値が許容範囲内かを判断し、画面表示制御部１２０は、さらに、判断結果を表示する判断結果表示画面制御部１２３を有するのが好ましい。このような構成とすることにより、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれの度合を、ユーザに対してよりわかり易く表示することが可能となる。
【００４１】
測定データは、半導体ウェーハ位置測定装置２００によって、ウェーハ載置部および半導体ウェーハを撮像して得られた画像を解析することにより作成されることができる。詳細については、後述する半導体ウェーハ位置測定装置２００の詳細説明において説明する。
【００４２】
データ受信部１１０は、さらに、上記画像を受信し、画面表示制御部１２０は、さらに、データ受信部１１０が受信した画像をリアルタイムに表示するリアルタイム表示画面制御部１２４を有することができる。
【００４３】
画面表示制御部１２０は、さらに、データ受信部１１０が受信した測定データを、時系列に沿ってグラフとして表示する統計情報表示画面制御部１２５を有することができる。
【００４４】
（半導体ウェーハ位置測定装置２００の詳細）
図３は、上記半導体ウェーハ位置測定装置２００の機能構成の一例を示すブロック図である。
図３に示すように、半導体ウェーハ位置測定装置２００は、撮像部２１０と、画像解析部２２０とを備えることができる。
【００４５】
上記撮像部２１０は、半導体製造装置３００に配置され、半導体ウェーハおよびウェーハ載置部を撮像する。
【００４６】
上記画像解析部２２０は、撮像部２１０が撮像した画像に基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを解析する。
【００４７】
具体的には、図４（ａ），（ｂ）に示すように、回転する半導体ウェーハＷ、および、回転する載置部材１０のウェーハ載置部１５を、所定の位置において連続的に撮影し、半導体ウェーハＷの端部Ｗｅとウェーハ載置部１５の側壁部１５ｅとの間の距離Ｄを連続的に測定することができる。
【００４８】
（円周表示画面制御部１２１の詳細）
図５は、円周表示画面制御部１２１により表示される円周表示画面１２１ａの一例を示したものである。
図５に示すように、円周表示画面１２１ａには、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記ウェーハ載置部の円周２０に、測定データに基づいて生成された測定円周２５を重ねて表示することにより表現されることができる。
【００４９】
また、円周表示画面１２１ａには、ずれの最大値Ｘｍａｘおよび／または最小値Ｘｍｉｎが表示されることができる。図に示した例では、最大値Ｘｍａｘが2.685000ｍｍ、最小値Ｘｍｉｎが0.003000ｍｍと表示され、それぞれのホーム位置からのずれの角度は、6.823720度、165.168100度と表示されている。
【００５０】
また、円周表示画面１２１ａには、ずれが最大となる位置および／または最小となる位置が表示されることができる。図に示した例では、上記位置は、それぞれ線３０および線３２で表示されている。
【００５１】
また、円周表示画面１２１ａには、ホーム位置が線３４として、ノッチ位置が線３６として表示され、ノッチ位置の近くにはホーム位置からの角度が268.122300度と表示されている。
【００５２】
（リアルタイム表示画面制御部１２４の詳細）
図６は、リアルタイム表示画面制御部１２４により表示されるリアルタイム表示画面１２４ａの一例を示したものである。
図６に示すように、リアルタイム表示画面１２４ａには、データ受信部１１０が受信した画像をリアルタイムに表示されることができる。この画像は、上記撮像部２１０により撮像された画像と同じものとすることができる。なお、この画像は、ＡｃｔｉｖｅＸ（登録商標）コントロールの技術を用いて表示されるものとすることができる。
【００５３】
（統計情報表示画面制御部１２５の詳細）
図７は、統計情報表示画面制御部１２５により表示される統計情報表示画面１２５ａの一例を示したものである。
図７に示すように、統計情報表示画面１２５ａでは、データ受信部１１０が受信した測定データを、時系列に沿ってグラフ４０として表示されることができる。
【００５４】
また、統計情報表示画面１２５ａには、ホーム信号の位置に縦線４２が表示されるのが好ましい。
【００５５】
また、統計情報表示画面１２５ａには、ホーム信号の下部に描画が重ならない範囲で時間が表示されるのが好ましい。
【００５６】
また、統計情報表示画面１２５ａには、ずれの許容範囲の閾値の上限値および下限値と、理想値となる中央値の値とが線で表示されるのが好ましい。図７では、中央値が線４４、下限値が線４６、上限値が線４８で示されている。
【００５７】
また、統計情報表示画面１２５ａでは、新データは左端から表示され画面は右に流れていくのが好ましい。
【００５８】
また、統計情報表示画面１２５ａでは、水平スクロールバーにより時間軸上のスクロールが可能とし、スライダーにより時間スケールの変更も可能とすることができる。
【００５９】
（表示画面の詳細）
図８は、上述した円周表示画面１２１ａ、リアルタイム表示画面１２４ａ、および、統計情報表示画面１２５ａを同時に表示した表示画面の一例を示したものである。なお、表示画面には、いずれかの表示画面が少なくとも１つ表示されていればよい。
【００６０】
図８に示すように、本発明の画面表示制御部１２０は、さらに、コンソール表示画面１２６ａを表示するコンソール表示画面制御部（図示せず）を有することができる。
【００６１】
（コンソール表示画面の詳細）
図９は、コンソール表示画面制御部１２６により表示されるコンソール表示画面１２６ａの一例を示したものである。
図９に示すように、コンソール表示画面１２６ａには、モード表示５０、判断結果表示５５、情報表示６０等が表示される他、開始／停止ボタン６５、処理枚数編集ボタン７０、検索ボタン７５、設定ボタン８０等が表示されることができる。
【００６２】
上記モード表示５０には、オートモード、マニュアルモード、または、キャリブレーションモードのいずれかを示す表記が表示される。
【００６３】
上記判断結果表示５５には、上記判断結果画面表示制御部１２３により判断結果が表示される。具体的には、予め設定されたずれの許容範囲の閾値の下限を下回る場合、上限を上回る場合、一周のデータ中の閾値を超える値の数が設定された割合よりも大きい場合、および、測定不能のデータがある場合に、ＮＧ等の表記を表示し、それ以外の場合にはＯＫ等の表記を表示する。
【００６４】
上記情報表示６０には、オートモードおよびマニュアルモードの場合には、処理枚数カウントが表示され、キャリブレーションモードの場合には、アームの位置としてＥＸＴ／ＲＯＴの値が表示される。
【００６５】
上記開始／停止ボタン６５は、停止中は開始ボタンとなり、測定中は、停止ボタンとなる。停止ボタンが押下されると、停止確認画面が表示される。
【００６６】
上記処理枚数編集ボタン７０を押下すると、処理枚数編集画面が表示され、この画面において、処理枚数の変更を行うことができる。なお、このボタンの測定中の押下は無効とする。
【００６７】
上記検索ボタン７５を押下すると、検索設定画面が表示される。この画面において、検索対象とするファイルの日付の開始、終了を選択することができる。選択方法としては、例えばカレンダーを表示し、表示されたカレンダーから所定の日付を選択する等とすることができる。また、検索結果画面では、検索結果のファイル名をリスト表示することができ、このリストから特定のファイルを選択すると、そのファイルの内容に従って処理が行われる。なお、このボタンの測定中の押下は無効とする。なお、検索対象となるファイルには、表示画面の画像ファイルおよびそのデータが記録されているｃｓｖファイルが含まれる。
【００６８】
上記設定ボタンを押下すると、設定画面が表示される。この画面において、モード設定、ウェーハサイズ設定、閾値設定、ＮＧ信号送信ＯＮ／ＯＦＦ設定、ＣＳＶ保存設定、ＣＳＶ保存ディレクトリ設定、保存モード設定、ホーム位置アライメント値設定、トリガ間隔設定、カメラ位置設定、ノッチ幅設定、ノッチ高さ設定、周波数誤差の許容範囲設定等を行うことができる。設定画面では、上述した設定画面をタブで切り替えることができるよう設定することができる。なお、このボタンの測定中の押下は無効とする。
【００６９】
上記モード設定では、オートモード、マニュアルモード、または、キャリブレーションモードのいずれのモードで動作させるかの設定を行うことができる。
【００７０】
上記ウェーハサイズ設定では、ウェーハのサイズを設定することができる。ウェーハサイズの例として、例えば、２００ｍｍ、３００ｍｍ等が挙げられる。
【００７１】
上記閾値設定では、上記ＯＫとする最小値と最大値を設定する。同様に、ＮＧとなる値の割合の閾値を設定することができる。
【００７２】
ＮＧ信号送信ＯＮ／ＯＦＦ設定では、ＮＧ時に装置に信号を送るかを設定することができる。
【００７３】
ＣＳＶ保存設定では、ＣＳＶファイルを保存するか設定することができる。
【００７４】
ＣＳＶ保存ディレクトリ設定では、ＣＳＶファイルを保存するディレクトリを決定することができる。このディレクトリ内にオート／マニュアルそれぞれのＡｌｌ／ＮＧでの保存フォルダが作成される。
【００７５】
保存モード設定では、測定データの保存単位を設定することができる。例えば、測定データをすべて保存せず、最小単位のみ保存することとすることができる。最小単位は、最初のホーム位置データから、次のホーム位置検出データまでの一周分とする。
【００７６】
ホーム位置アライメント値設定では、ホーム位置の実際のズレを設定することができる。
【００７７】
トリガ間隔設定では、コントローラに設定されているトリガ間隔を設定することができる。本発明では、この間隔を元にデータの時間を計算する。
【００７８】
カメラ位置設定では、半導体ウェーハ位置測定装置の撮像装置であるカメラの位置のオフセットを角度で設定することができる。
【００７９】
ノッチ幅設定では、ノッチの幅を設定することができる。このノッチの幅は、ノッチ除去に使用される。
【００８０】
ノッチ高さ設定では、ノッチの高さを設定することができる。このノッチ高さは、ノッチの判定に使用される。
【００８１】
周波数誤差の許容範囲設定では、サセプタの回転時間にばらつきがある場合にＮＧとする閾値を設定する。
【００８２】
（解析機能の詳細）
測定データ解析部１３０は、測定データから、半導体ウェーハのノッチを検出した際のデータであるノッチ検出データ、および／または、ウェーハ載置部の回転がホーム位置にあることを示すデータであるホーム位置データを解析する。
そして、データ受信部１１０が受信した測定データからノッチ検出データを除いたデータに基づいて、ずれの最大値および／または最小値が許容範囲内かを判断することができる。
【００８３】
（キャリブレーション機能）
キャリブレーション機能では、ウェーハの中心からのズレにより、ＲＯＴ（アーム回転方向の移動量）／ＥＸＴ（アーム伸縮方向の移動量）の値を算出し、平均化された円周データを作成することができる。
【００８４】
本発明の半導体ウェーハ位置表示システム１によれば、半導体製造装置３００のチャンバ内におけるウェーハの位置情報を高精度に得ることができ、その位置情報を半導体製造装置３００のウェーハ搬送用自動ロボットに反映させることにより、ウェーハの搬送位置を、従来よりも高精度に調整、設定することが可能となる。
【００８５】
図１０は、円周表示画面制御部１２１により表示される円周表示画面１２１ａの別の例を示したものである。
図１０に示すように、円周表示画面は、ウェーハ載置部の円周と、測定円周とが重ねて表示されることができる。そして、この例では、さらに、ホーム位置に相当する場所に「Ｈｏｍｅ（ＥＸＴ）」との表記がなされ、スリットバルブ位置に相当する場所に「Ｓｌｉｔ  Ｖａｌｖｅ」との表記がなされている。なお、上記ホーム位置に相当する場所は、１２時の位置とする。
【００８６】
また、図１０には、丸で囲まれた撮像部による撮像範囲も示されている。そして、ホーム位置と撮像部との角度も表示されることができる。
【００８７】
さらに、図１０には、センサ位置も示される。そして、ホーム位置とセンサとの角度も表示される。
【００８８】
また、画面表示制御部１２０は、さらに、円周表示画面制御部１２１により表示される円周表示画面１２１ａに、ずれを半導体製造装置のウェーハ搬送用自動ロボットのアームの回転方向の移動量であるＳＴＥＰ数と伸縮方向の移動量であるＳＴＥＰ数とを表示することができる。
【００８９】
続いて、本発明の半導体ウェーハ位置表示方法の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００９０】
図１１に示すように、本発明の半導体ウェーハ位置表示方法は、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを表示するための半導体ウェーハ位置表示方法であって、コンピュータに、データ受信ステップ（ＳＴＥＰ１１０）と、画面表示制御ステップ（ＳＴＥＰ１２０）とを有する半導体ウェーハ位置表示制御ステップ（ＳＴＥＰ１００）を処理させる。そして、画面表示制御ステップ（ＳＴＥＰ１２０）は、データ受信ステップ（ＳＴＥＰ１１０）において受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、半導体ウェーハの円周を表示することにより表現する円周表示画面制御ステップ（ＳＴＥＰ１２１）を含むことを特徴とする。
【００９１】
上記データ受信ステップ（ＳＴＥＰ１１０）は、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信する。このステップは、上述したデータ受信部１１０により処理されることができる。詳細については上述した通りである。
【００９２】
上記画面表示制御ステップ（ＳＴＥＰ１２０）は、データ受信ステップにおいて受信した測定データに基づいて、表示部に表示する表示画面の制御を行う。このステップは、上述した画面表示制御部１２０により処理されることができる。詳細については上述した通りである。
【００９３】
最後に、本発明の半導体ウェーハ位置表示プログラムの実施形態について説明する。
【００９４】
本発明の半導体ウェーハ位置表示プログラムは、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを表示するための半導体ウェーハ位置表示プログラムであって、半導体ウェーハ位置表示プログラムは、コンピュータに、ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信するデータ受信機能と、データ受信機能により受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う画面表示制御機能とを有する半導体ウェーハ位置表示制御機能を実行させ、画面表示制御機能は、データ受信機能により受信した測定データに基づいて、半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、半導体ウェーハの円周を表示することにより表現する円周表示画面制御機能を含むことを特徴とする。
【００９５】
データ受信機能は、上述したデータ受信部１１０により実行されることができる。詳細については上述した通りである。
【００９６】
画面表示制御機能は、上述した画面表示制御部１２０により実行されることができる。詳細については上述した通りである。
【００９７】
上記半導体ウェーハ位置表示プログラムプログラムは、コンピュータが読み取り可能な記録媒体に記録されて提供することができる。記録媒体としては、ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ等、コンピュータが読み取り可能なものであれば特に限定されるものではない。
【００９８】
（外部データフロー）
図１２および図１３は、本発明の半導体ウェーハ位置表示システム１のデータのフローの一例を説明するための模式図である。
【００９９】
（データ受信）
図１２（ａ）に示すように、本発明の半導体ウェーハ位置表示制御装置１００は、半導体ウェーハ位置測定装置２００による処理結果のデータを、トリガ間隔ごとに受信する。
【０１００】
（スタートデータ）
図１２（ｂ）に示すように、半導体製造装置３００から、ウェーハのガス吹付状態を意味するスタート信号を受信した半導体ウェーハ位置測定装置２００は、データに０〜１の値でスタート信号の有無を格納し、半導体ウェーハ位置表示制御装置１００に送信する。このデータをスタートデータとする。吹付開始から停止までの間、データＮ番目の値が１となる。
【０１０１】
（ホーム位置データ）
図１２（ｃ）に示すように、サセプタの回転がホーム位置にあることを示すデータであるホーム信号が、半導体製造装置３００から半導体ウェーハ位置測定装置２００に送られ、半導体ウェーハ位置測定装置２００は、データに０〜１の値でホーム信号の有無を格納し、半導体ウェーハ位置表示制御装置１００に送信する。一度のホーム位置に対して、複数回連続してホーム信号が含まれる場合がある。連続したホーム信号は、半導体ウェーハ位置表示制御装置１００でフィルタリングして処理される。
【０１０２】
（ＮＧ信号）
図１３（ａ）に示すように、ＮＧ検出時に半導体ウェーハ位置表示制御装置１００から送信されるＮＧ信号が、半導体製造装置３００に送信される。
【０１０３】
（ノッチ検出データ）
半導体ウェーハ位置測定装置２００が、カメラの画像からノッチの有無を解析し、データに０〜１の値で検出の有無を格納して半導体ウェーハ位置表示制御装置１００に送信する。
【０１０４】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、上記に記載した実施の形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施の形態の中で説明した特徴の組合せのすべてが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない点に留意すべきである。
【符号の説明】
【０１０５】
１    半導体ウェーハ位置表示システム
１００    半導体ウェーハ位置表示制御装置
１１０    データ受信部
１２０    画面表示制御部
１２１    円周表示画面制御部
１２２    ノッチ位置表示画面制御部
１２３    判断結果表示画面制御部
１２４    リアルタイム表示画面制御部
１２５    統計情報表示画面制御部
１３０    測定データ解析部
２００    半導体ウェーハ位置測定装置
２１０    撮像部
２２０    画像解析部
３００    半導体製造装置
【図１】
2015176878.tif 000003
【図２】
2015176878.tif 000004
【図３】
2015176878.tif 000005
【図４】
2015176878.tif 000006
【図５】
2015176878.tif 000007
【図６】
2015176878.tif 000008
【図７】
2015176878.tif 000009
【図８】
2015176878.tif 000010
【図９】
2015176878.tif 000011
【図１０】
2015176878.tif 000012
【図１１】
2015176878.tif 000013
【図１２】
2015176878.tif 000014
【図１３】
2015176878.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月1日(2014.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを表示するための半導体ウェーハ位置表示システムであって、
前記半導体ウェーハ位置表示システムは、
前記ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信するデータ受信部と、
前記データ受信部が受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う画面表示制御部とを有する半導体ウェーハ位置表示制御装置を備え、
前記画面表示制御部は、
前記データ受信部が受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記ウェーハ載置部の円周に、前記測定データに基づいて生成された測定円周を重ねて表示することにより表現する円周表示画面制御部を含む半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項２】
前記画面表示制御部は、さらに、前記データ受信部が受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記半導体ウェーハのノッチ位置およびホーム位置を表示することにより表現するノッチ位置表示画面制御部を有する請求項１に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項３】
前記ウェーハ位置表示制御装置は、さらに、
前記データ受信部が受信した測定データを解析する測定データ解析部を有し、
前記測定データ解析部は、前記測定データから、前記半導体ウェーハのノッチを検出した際のデータであるノッチ検出データを解析し、
前記円周表示画面制御部は、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記データ受信部が受信した測定データから前記ノッチ検出データを除いたデータに基づいて、前記半導体ウェーハの円周を表示することにより表現することを特徴とする請求項１または２に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項４】
前記ウェーハ位置表示制御装置は、さらに、
前記データ受信部が受信した測定データを解析する測定データ解析部を有し、
前記測定データ解析部は、前記測定データから、前記半導体ウェーハのノッチを検出した際のデータであるノッチ検出データ、および、前記ウェーハ載置部の回転がホーム位置にあることを示すデータであるホーム位置データを解析し、
前記ノッチ位置表示画面制御部は、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記ノッチ検出データ、および、前記ホーム位置データに基づいて、前記半導体ウェーハのノッチ位置およびホーム位置を表示することにより表現することを特徴とする請求項２に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項５】
前記円周表示画面制御部は、さらに、前記ずれの最大値および／または最小値を表示することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項６】
前記円周表示画面制御部は、さらに、前記ずれが最大となる位置および／または最小となる位置を表示することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項７】
前記測定データ解析部は、さらに、前記ずれの最大値および／または前記最小値が許容範囲内かを判断し、
前記画面表示制御部は、さらに、前記判断結果を表示する判断結果表示画面制御部を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項８】
前記測定データは、前記半導体ウェーハ位置測定装置によって、前記ウェーハ載置部および前記半導体ウェーハを撮像して得られた画像を解析することにより作成されることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項９】
前記データ受信部は、さらに、前記画像を受信し、
前記画面表示制御部は、さらに、前記データ受信部が受信した画像をリアルタイムに表示するリアルタイム表示画面制御部を有することを特徴とする請求項８に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項１０】
前記画面表示制御部は、さらに、前記データ受信部が受信した測定データを、時系列に沿ってグラフとして表示する統計情報表示画面制御部を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項１１】
前記画面表示制御部は、さらに、前記円周表示画面制御部により表示される円周表示画面に、前記ずれを、半導体製造装置のウェーハ搬送用自動ロボットのアームの回転方向の移動量であるＳＴＥＰ数と、伸縮方向の移動量であるＳＴＥＰ数とにより表示することを特徴とする請求項１に記載の半導体ウェーハ位置表示システム。
【請求項１２】
ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを表示するための半導体ウェーハ位置表示方法であって、
前記半導体ウェーハ位置表示方法は、
コンピュータに、
前記ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信するデータ受信ステップと、
前記データ受信ステップにおいて受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う画面表示制御ステップとを有する半導体ウェーハ位置表示制御ステップを処理させ、
前記画面表示制御ステップは、
前記データ受信ステップにおいて受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記ウェーハ載置部の円周に、前記測定データに基づいて生成された測定円周を重ねて表示することにより表現する円周表示画面制御ステップを含む半導体ウェーハ位置表示方法。
【請求項１３】
ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを表示するための半導体ウェーハ位置表示プログラムであって、
前記半導体ウェーハ位置表示プログラムは、
コンピュータに、
前記ウェーハ載置部に載置された半導体ウェーハの、適切な配置位置からのずれを測定する半導体ウェーハ位置測定装置により得られた測定データを受信するデータ受信機能と、
前記データ受信機能により受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを視認可能に表示する表示画面の制御を行う画面表示制御機能とを有する半導体ウェーハ位置表示制御機能を実行させ、
前記画面表示制御機能は、
前記データ受信機能により受信した測定データに基づいて、前記半導体ウェーハの適切な配置位置からのずれを、前記ウェーハ載置部の円周に、前記測定データに基づいて生成された測定円周を重ねて表示することにより表現する円周表示画面制御機能を含む半導体ウェーハ位置表示プログラム。