(57)【要約】【課題】生産性が高く、自動化が可能なワイヤーソーダイシング法を実現すると共に、被切断部材を固定する部材のコストを抑制する。【解決手段】  本発明に係るワイヤーソーダイシング法用の仮固定用接着部材１は、平坦な板状物１２の少なくとも一方の面上に被切断部材を仮固定するための接着層１１を有している。予め板状物１２に接着層１１を有する仮固定用接着部材１を使用することで、ワイヤーソーダイシング法における仮固定接着剤の接着剤手塗り工程、および、被切断部材と平坦な板状物（台座）との位置合わせ工程を省略することが可能であり、作業時間の短縮、工程の自動化の障害になっていた工程を省略することができる。また、溝を形成する必要がなく、利便性が高い平坦な板状物１２を使用することでトータルコスト面でも経済的になる。【選択図】図１
2015185830.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦な板状物の少なくとも一方の面上に被切断部材を仮固定するための接着層を有することを特徴とするワイヤーソーダイシング法用の仮固定用接着部材。
【請求項２】
上記接着層が、熱可塑性材料からなることを特徴とする請求項１に記載の仮固定用接着部材。
【請求項３】
上記接着層が、溶解液により溶解し、被切断部材と接着層とが分離することを特徴とする請求項１または２に記載の仮固定用接着部材。
【請求項４】
平坦な板状物の少なくとも一方の面上に被切断部材を仮固定するための接着層を有する仮固定用接着部材の接着層に被切断部材を仮固定し、
上記被切断部材をワイヤーソーによって切断し、
上記被切断部材を切断した切断片を接着層から離脱させることを特徴とするワイヤーソーダイシング法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤーソーダイシング法にて被切断部材を仮固定するための仮固定用接着部材、およびワイヤーソーダイシング法に関する。
【背景技術】
【０００２】
チップコンデンサなどを製造する際には、多数の配線パターンが形成されたセラミック板を格子状に切断して個々のチップを得る工程が必要となる。もちろん、チップコンデンサ以外の電子部品、例えば、チップ抵抗器やチップインダクタ、ＩＣ、ＬＳＩ、ＱＦＮ等でも製造時に同様の切断工程を要する。
【０００３】
このようなセラミック板を格子状に切断するダイシングを行うべく、例えば、ワイヤーソー装置が知られている。ワイヤーソー装置は、所定間隔をおいてワイヤーソーが平行に並ぶ部分が現れるように少なくとも２本の軸に切断用ワイヤーソーを巻き付けて構成されている。ワイヤーソー装置を用いる際、ワイヤーに撓みが生じ、セラミック板が仮固定された台座の両端を切断してしまうため、同じ台座を繰り返し使用することが困難であるという問題があった。
【０００４】
そこで、ワイヤーソー装置を使用するにあたり、例えば、特許文献１に開示されたような溝付き台座が採用されている。このようなワイヤーソー装置について図３を用いて説明する。図３（ａ）は、溝３３ａが形成された溝付き台座３３に接着固定された被切断部材３１を切断する前における、ダイヤモンドワイヤーソー装置２、および積層体３を示す側面図である。ダイヤモンドワイヤーソー装置２は、ワイヤーソー位置を制御するプーリー（滑車）２１にダイヤモンドワイヤーソー２２が巻き付けられた構造であり、積層体３は、溝付き台座３３に接着剤３２が塗布され、さらに被切断部材３１が接着固定された構造となっている。図３（ａ）には、ダイヤモンドワイヤーソー２２を被切断部材３１に接近させつつある状態が示されており、プーリー２１は被切断部材３１の上方に位置している。
【０００５】
被切断部材３１を切断するためには、図３（ｂ）のように、プーリー２１を下方に移動させてダイヤモンドワイヤーソー２２と被切断部材３１とを密接に接触させる必要がある。そのため、ダイヤモンドワイヤーソー２２を下方に移動させていくと、ダイヤモンドワイヤーソー２２の一部は被切断部材３１の両端と接触し、両端により強い負荷がかかる結果、被切断部材３１の中央部上方にて、ダイヤモンドワイヤーソー２２に撓みが生じる。被切断部材３１は、両端から中央へと徐々に切断されるが、撓んだダイヤモンドワイヤーソー２２によって被切断部材３１の中央部まで切断するには、図３（ｃ）に示すように、プーリー２１をさらに下方に移動させ、被切断部材３１の両端に位置するダイヤモンドワイヤーソー２２を、溝付き台座３３に切り込む位置まで下げる必要が生じる。
【０００６】
図３（ｃ）の状態で溝付き台座３３が切り込まれないよう、溝付き台座３３にはダイヤモンドワイヤーソー２２を受容するための溝３３ａが格子状に予め切り込まれており、溝３３ａは溝付き台座３３の断面に沿っても形成されている。溝付き台座３３の斜視図を図３（ｃ）の右部に示す。
【０００７】
被切断部材３１を切断したダイヤモンドワイヤーソー２２を溝３３ａに収容された状態で停止させることで、溝付き台座３３を切断することがない。その後、ダイヤモンドワイヤーソー２２を溝３３ａから取り外すことで溝付き台座３３が再利用される。
【０００８】
また、被切断部材を台座に接着固定するためには、従来、ビニル系樹脂、石油系樹脂、ワックス等の熱可塑性を有する接着剤や、エポキシ樹脂等の熱硬化系の接着剤が使用されてきた。一例として、特許文献２に記載の仮止め用接着剤が挙げられる。
【０００９】
前者の熱可塑性接着剤は、粉末状または固体の棒状で提供されており、被切断部材を固定する台座（または被切断部材）を加熱し、その上で接着剤を融解して塗り拡げていき、被切断部材（または台座）を押し付けて密着させた後で冷却することで固定を行ってきた。また、後者の熱硬化系接着剤は、１液若しくは２液で提供され、液状の接着剤を台座または被切断部材に塗布して両者を貼り合せた後、常温放置または一定時間加熱することで接着剤が硬化し、被切断部材を固定するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−１９１３２４号公報
【特許文献２】特許第２７６７１９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、上述の溝を切り込んだ台座を使用するワイヤーソーダイシング法において、以下の工程上およびコスト面で課題がある。
【００１２】
まず、工程上の課題に関して図４を用いて説明する。まず、溝付き台座３３を図示しない台座固定部にセットする（図４（ａ））。その後、溝付き台座３３への仮固定用接着剤の塗工は、現場においてワックスなどの棒状接着剤４を用い、溝付き台座３３（または被切断部材３１）に仮固定用の接着剤３２を手塗りすることでなされている（図４（ｂ））。さらに、被切断部材３１を接着剤３２に仮固定する（図４（ｃ））。
【００１３】
溝付き台座３３には溝３３ａが形成されているため、被切断部材３１の切断予定箇所（図示しない）と、溝付き台座３３の溝とを位置合わせする必要があり（図４（ｄ））、位置合わせ後、被切断部材３１を接着剤３２に固定した上でダイシングがなされてきた（図４（ｅ））。
【００１４】
各工程の中でも、上記図４（ｃ）の接着剤を手塗りする工程は一定の技術を要するものであるため、生産性が低い。また、図４（ｄ）の被切断部材の切断予定箇所と台座の溝とを位置合わせする工程は微細な調整を要するため作業性が低いという欠点がある。さらに、これらの工程では人の手による最終確認および微調整を必要とし、工程の自動化が困難であるとの問題もある。
【００１５】
一方、コスト面の課題に関し、上記溝付き台座を製造するにあたり、溝を切り込む加工が必要であり、台座が高額になることから、初期投資額が大きくなる。その上、図４（ｄ）の位置合わせやワイヤーソー送線に不具合が発生すると、ワイヤーソーが台座に切り込んでしまい、台座が再利用できなくなる結果、コスト増加を招くこととなる。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
そこで、本願発明者は、溝を形成した高価な台座を繰り返し使用するよりも、溝のない平坦な板状物に仮固定用接着層を形成し、両者が一体となった仮固定用接着部材を予め準備することによって、ワイヤーソーダイシング法を高い生産性にて実行できることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【００１７】
本発明１に係る仮固定用接着部材は、平坦な板状物の少なくとも一方の面上に被切断部材を仮固定するための接着層を有することを特徴とする。
【００１８】
本発明２に係る仮固定用接着部材では、上記接着層が、熱可塑性材料からなることを特徴とする。
【００１９】
本発明３に係る仮固定用接着部材では、上記接着層が、溶解液により溶解し、被切断部材と接着層とが分離することを特徴とする。
【００２０】
本発明４に係るワイヤーソーダイシング法は、平坦な板状物の少なくとも一方の面上に被切断部材を仮固定するための接着層を有する仮固定用接着部材の接着層に被切断部材を仮固定し、上記被切断部材をワイヤーソーによって切断し、上記被切断部材を切断した切断片を接着層から離脱させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
（１）本発明に係る仮固定用接着部材によれば、接着層が板状物に形成されているため、現場での接着剤手塗り工程が不要となる。また、台座に溝がないため、従来必要とされた被切断部材の切断箇所と台座の溝との位置合わせ工程が不要である。これらの工程が不要となる結果、作業時間が減少する。
【００２２】
（２）さらには、例えば、仮固定用接着部材を装填したマガジンを用意し、ワイヤーソー装置に装着することで、台座の連続供給を可能とし、台座セットから被切断部材接着までの工程の自動化が可能となる。
【００２３】
（３）また、台座に溝を形成する必要がなく、台座のコストを低減できる。当該仮固定用接着部材は、板状物と仮固定用接着層とが一体化されており、板状物が仮固定接着層の支持体となるため、接着層の欠損や割れが抑制され、輸送時や作業時の利便性が向上し、製造後、使用までの歩留まりが高い。よって、トータルコスト面でも経済的である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に係る板状物に接着層を設けた仮固定用接着部材を示す断面図である。
【図２】本発明に係る仮固定用接着部材を使用したワイヤーソーダイシング法を示す工程図であり、図２（ａ）は、仮固定用接着部材を台座固定部に固定する工程、図２（ｃ）は、被切断部材を接着層に固定する工程、図２（ｅ）は、被切断部材をワイヤーソーダイシングする工程を示す。
【図３】従来技術に係る溝付き台座を使用したワイヤーソー装置を示す断面図であり、図３（ａ）は被切断部材の切断前、図３（ｂ）は被切断部材の両端を切断中、図３（ｃ）は被切断部材の中央部を切断中における断面図、および、溝付き台座を示す斜視図である。
【図４】従来技術に係る溝付き台座を使用したワイヤーソーダイシング法を示す工程図であり、図４（ａ）は溝付き台座を台座固定部に固定する工程、図４（ｂ）は、接着剤を手塗りする工程、図４（ｃ）は、被切断部材を接着層に固定する工程、図４（ｄ）は被切断部材を接着層に仮固定する工程、図４（ｅ）は被切断部材をワイヤーソーダイシングする工程を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明に係るワイヤーソーダイシング法用の仮固定用接着部材は、平坦な板状物の少なくとも一方の面上に被切断部材を仮固定するための接着層を有する。仮固定用接着部材の一例を図１に示す。図１は、板状物１２の片面上に接着層１１を有する仮固定用接着部材１を示す断面図である。
【００２６】
本発明に用いられる板状物１２は、ワイヤーソーダイシング法の際に、接着層１１を介して被切断部材を仮固定し、かつ、接着層１１の支持体となり、被切断部材の切断時に使用する冷却水などで構造が崩壊しない防水性、ワイヤーソーが切り込んだ際に抵抗が少ない快削性、仮固定用材料としての十分な剛性を持つ材料である。
【００２７】
上記材料としては、例えば、石材、木材、金属材、高分子材料、セラミックス、水和性硬化物などが挙げられる。より具体的には、石材として軽石、木材として防水処理を施した合板または集成材、金属材として多孔質金属焼結材、高分子材料として、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などの熱硬化性樹脂、または、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂などの熱可塑性樹脂、セラミックスとして多孔質セラミックス、水和性硬化物として、石膏ボード、ケイ酸カルシウム板、セメントおよびセメントに骨材を加えたモルタル、コンクリートが挙げられる。上記材料の中でも、易廃棄性、快削性の観点から、防水処理を施した合板が好適に使用される。なお、上記セラミックスとしてタイル、上記木材として建材用途の安価な板材や間伐材などの廃材を含むものとする。
【００２８】
上記材料は単独または複合して用いてもよい。例えば、シリカ、水酸化アルミなどの無機フィラーを、エポキシ樹脂またはフェノール樹脂などの熱硬化性樹脂に配合した複合材、または、熱硬化性樹脂に繊維を配合した繊維強化プラスチック、もしくはコンクリートに繊維を配合した繊維強化コンクリートなどの複合材が挙げられる。
【００２９】
板状物１２は、平坦な形状であり、溝が形成されていない形状であると換言できる。従来の溝付き台座における溝はワイヤーソーを受容すべく、ワイヤーソーよりも大きく形成されている。当該溝の大きさは、ワイヤーソーのサイズに応じて変化するため、一義的に規定することは困難であるが、概して、幅が１００μｍ以上、５００μｍ以下であり、長さが５０ｍｍ以上、５００ｍｍ以下であり、深さが０．５ｍｍ以上、５.０ｍｍ以下である。
【００３０】
これに対し、本発明に係る板状物は、上記ワイヤーソーを受容する溝が形成されていないものを指すため、上記溝よりも小さな凹凸が形成された程度であれば、本発明に係る板状物の範囲に属する。上記凹凸のサイズは、例えば、幅が１００μｍ未満、好ましくは５０μｍ以下、より好ましくは２５μｍ以下であり、長さが５０ｍｍ未満、好ましくは２５ｍｍ以下であり、深さが５００μｍ未満、好ましくは２５０μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下である。幅、長さおよび深さの下限については特に限定されない。
【００３１】
本発明に係る仮固定用接着部材１は、板状物１２の片面上に接着層１１を有しているが、接着層１１は、板状物１２の両面上に備えられていてもよい。
【００３２】
接着層１１としては、熱硬化型である熱硬化性樹脂、または、熱可塑型である、熱可塑性樹脂もしくはワックスなどの材料を、単独でまたは混合したものが用いられる。
【００３３】
熱硬化性樹脂は、常温（常温とは２５℃を示すものとする。以降の記載においても同様である）で半硬化状態であり、被切断部材と板状物１２との隙間を充填し、加熱によって硬化反応が進み、被切断部材と板状物を強固に接着固定する材料である。具体的には、ユリア樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、レゾルシノール樹脂、エポキシ樹脂、構造用アクリル樹脂、ポリエステル、ウレタン樹脂、ポリイミドやポリベンズイミダゾールやこれらの変成樹脂、共重合体が挙げられ、これらは単独で、または混合して使用することができる。
【００３４】
熱可塑性樹脂は、常温では接着性を持たない樹脂状であって、加熱時に軟化または融解して被切断部材と板状物１２との間に濡れ拡がってその隙間を充填し、この状態で常温まで冷却すれば被切断部材と板状物とを固く接着固定することができる材料である。具体的には、天然樹脂としてロジン及びその誘導体、シェラックなど、合成樹脂としてポリエチレン、ポリプロピレン、スチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリ酢酸ビニル、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂やこれらの変性樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、スチレン−アクリル共重合体のような共重合体が挙げられ、これらは単独で、または混合して使用することができる。
【００３５】
また、いわゆるワックスも熱可塑型であり、単独または、上記の熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂と共に本発明の仮固定用接着部材の接着層に使用することができる。具体的には、カルナウバワックスのような植物系ワックス、蜜蝋のような動物系ワックス、モンタンワックスのような鉱物系ワックス、パラフィンワックスのような石油系ワックス、高級脂肪酸、高級アルコール、高級脂肪酸エステル、脂肪酸アミド、ケトン類、アミン類、水素硬化油などの合成ワックスなどであり、これらは単独で、または混合して使用することができる。
【００３６】
本発明の仮固定用接着部材の接着層には、上記の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂やワックスに加え、軟化点や融点、溶融粘度、接着性、固体時の固さや溶解液への溶解性などを調整するために、フタル酸エステル、リン酸エステル等の可塑剤や、ポリエチレングリコール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコールなどの水溶性化合物、界面活性剤、有機または無機の各種フィラーなどを配合することができる。また、上記熱可塑性樹脂やワックスが軟化または融解した後、被切断部材と板状物とを貼り合わせるタイミングを目視で確認できるように、適切な変色温度の示温材料を配合することも可能である。
【００３７】
本発明の仮固定用接着部材の接着層は、接着固定の機能と共に、最終的に板状物から被切断部材を離脱させる離脱機能を有する材料で無ければならない。離脱方法は様々であるが、加熱による接着層の再流動化による離脱、スクレイパーなどを使う外部からの力による離脱、溶解液により接着層を溶解して離脱する方法が挙げられ、被切断部材を切断した後の切断片および板状物から接着層を完全に除去するためには溶解液による接着層の溶解分離が好ましい。そのような溶解液としては、作業の安全性や、自然環境への影響を考慮すると、トリクロルエチレンのようなハロゲン系溶剤や、強酸や強アルカリ液、強酸化性液体などではなく、エチルアルコール、イソプロピルアルコールなどのアルコール系溶剤、アセトンやメチルエチルケトンのようなケトン系溶剤、ノナン、デカン及びトリデカン等の脂肪族系溶剤、環状脂肪族のナフテン系溶剤、トルエン及びキシレン等のアルキルベンゼン系溶剤、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなどのグリコールエーテル系溶剤などが好ましい。また、苛性ソーダや苛性カリなどの無機アルカリ、アルカノールアミンやアミノアルコールなどの水溶性アミンなどの水溶液も使用できる。更に、仮固定時の被切断部材への切断において水を使用することがなければ、溶解液に常温の水や温水を使用することも可能である。あるいは、切断時の常温の水には溶けず、温水や熱水を溶解液として使用することも可能である。
【００３８】
なお、本発明の接着層がこのような溶解液に溶解するためには、その組成にも工夫が必要であり、例えば、アルカリ水溶液に溶解するためには、接着層における高分子鎖がカルボン酸基やそのアルカリ金属塩基を備えることが有効であり、また、水や温水を溶解液とする場合は、上述のポリエチレングリコールのような水溶性化合物を配合させた材料を使用して接着層を形成する。
【００３９】
本発明の仮固定用接着部材の接着層は、加熱前には半硬化状態であり、加熱によって硬化反応が進み、被切断部材と板状物とを強固に接着固定する熱硬化型や、加熱により軟化、融解して被切断部材と板状物との間に濡れ拡がり、冷却時には強固にこの２つを接着固定する熱可塑型であるが、好ましくは熱可塑型の工程によって接着固定するものであり、作業性を考慮すると軟化、融解する温度は、５０〜２００℃の範囲が好ましく、６０〜１２０℃の範囲がより好ましい。
【００４０】
本発明の仮固定用接着部材の接着層厚さは、板状物や被切断部材の表面凹凸の状態により適宜調整することができるが、１０μｍ以上、５ｍｍ以下が好ましく、より好ましくは１００μｍ以上１ｍｍ以下である。１０μｍ以上であることで、板状物と被切断部材との接着時のハンドリングが好適となる。一方、５ｍｍ以下の厚さであることで、板状物と被切断部材とを加熱により接着固定するのに要する時間を短縮でき、コスト的にも有利となるため好ましい。
【００４１】
本発明の仮固定用接着部材の接着層と板状物の界面は、互いの領域が明確に分かれている形態の他に、多孔質板状物に接着シートが一部浸透した形態、仮固定用接着層と板状物とが相互に浸透しあった形態など色々なバリエーションがある。
【００４２】
本発明の仮固定用接着部材を使用して仮固定する被切断部材は、ワイヤーソーダイシングの切断対象であり、シリコン（Ｓｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）などの半導体、石英ガラスを含む各種ガラス材料、アルミナ、ジルコニア、窒素アルミ、チタン酸バリウムなどのセラミックス、フェライトやセンダストなどの磁性材料、水晶やガーネット、サファイアなどの結晶材料、さらに樹脂、金属、セラミックからなるチップコンデンサ、インダクタ、抵抗器やＩＣ、ＬＳＩ、ＱＦＮなどの電子部品が挙げられる。また、本発明の仮固定用接着部材は、上述の工業用途の切断だけでなく、岩石や化石、生物などの標本作りのための切断にも使用することができる。
【００４３】
熱可塑性の接着層を有する仮固定用接着部材を使った一連の加工プロセスは以下のようになる。
（１）準備工程：
仮固定用接着部材を台座固定部にセットする。
（２）仮固定工程：
仮固定用接着部材の接着層側に、被切断部材を載せ、加熱することで接着層を軟化させ、さらに融解する。その後、接着層を冷却することで被切断部材を仮固定用接着部材に仮固定する。
（３）切断工程：
仮固定された被切断部材をワイヤーソーダイシングにて切断する。
（４）離脱工程：
被切断部材を切断した切断片を、仮固定用接着部材ごと溶解液に浸漬し、接着層を溶解させることで被切断部材を仮固定用接着部材から離脱させる。
（５）洗浄工程：
離脱した切断片を溶解液で洗浄し、乾燥する。
【００４４】
上記（２）仮固定工程において、予め仮固定用接着部材を加熱しておき、接着層の上に被切断部材を載せることも可能である。また、（４）離脱工程において、切断片を溶解液に浸漬することに代えて、切断片をスクレイパーや加熱により仮固定用接着部材から離脱させることも可能である。この場合、切断片に残存した接着層は、（５）洗浄工程において溶解液で洗浄される。
【００４５】
図２は、本発明に係る仮固定用接着部材を使用したワイヤーソーダイシング法のダイシングまでを示す工程図であり、図２（ａ）は準備工程を、図２（ｃ）は仮固定工程を、図２（ｅ）は切断工程を示している。
【００４６】
仮固定用接着部材１は、板状物１２上に接着層１１を有する構造であるため、接着剤を手塗りする工程は不要であり、準備工程の直後に、被切断部材１３を接着層１１に仮固定することができる。板状物１２は平坦であり、溝が形成されていないため、従来の手法に必要な、被切断部材と溝との位置合わせも不要である。したがって、被切断部材１３を仮接着した後、被切断部材１３を速やかに切断することができる（図２（ｅ））。
【００４７】
上記接着剤の手塗り、および被切断部材と溝との位置合わせを行うにはオペレータによる作業が必要であるが、  図２（ａ）、（ｃ）、（ｅ）の工程はオペレータによる作業が不要であるため、当該ワイヤーソーダイシング法は自動化が可能であり、生産性が高い点で非常に有用である。
【実施例】
【００４８】
以下、実施例を用いて本発明を説明するが、本発明は当該実施例に限定されるものではない。
【００４９】
〔実施例１〕
ポリエステル系樹脂２０質量部とエステル系ワックス８０質量部を８０〜２００℃の範囲内で昇温し、溶融するまで加熱攪拌し、これを５００μｍ厚みのスペーサーを配置した板の間に挟み、室温で冷却して仮固定用接着層を得た。防水処理を施した木材合板からなる板状物に上記接着層を積層し、再度加熱溶融して、接着層と板状物とを一体化させ、仮固定用接着部材Ａを得た。
【００５０】
上記仮固定用接着部材Ａを１００℃に加熱し、接着層を溶融させた状態で被切断部材を積層し、１５ｃｍ角の仮固定用接着部材に対して約２ｋｇの加重をかけた状態で冷却し、被切断部材を接着固定して積層体Ａを作製した。
【００５１】
上記積層体Ａを多機能型ダイヤモンドワイヤーソー（ＤＷＳ３２４２、メイワフォーシス株式会社製）にて切断し、切断片が固定されていること、板状物を切断しても問題ないことを確認した。また、切断後の板状物を溶解液に一定時間浸漬することで、接着層を溶解除去し切断片を回収できることを確認した。
【００５２】
〔実施例２〕
実施例１にて作製した積層体Ａを実施例１と同様に多機能型ダイヤモンドワイヤーソーで切断した後、１３０℃の温度に昇温して、板状物の接着層を熱溶融し、切断片を回収できることを確認した。
【００５３】
〔実施例３〕
１液硬化型のエポキシ系樹脂１００質量部、ポリアミド樹脂５０質量部、ワックス５質量部を、実施例１と同様の板状物の上に、アプリケーターを用いて塗工し、乾燥して厚さ２００μｍの接着層を有する仮固定用接着部材Ｂを得た。
【００５４】
上記仮固定用接着部材Ｂの上に、被切断部材を積層し、１５ｃｍ角の仮固定用接着部材に対して約２ｋｇの加重をかけた状態で１３０℃にて加熱硬化し、被切断部材を接着固定して積層体を作成した。
【００５５】
上記積層体を実施例１と同様にして切断し、接着層をスクレイパーにて剥離することで、切断片を回収できることを確認した。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明の仮固定用接着部材を使用することで、仮固定接着剤の接着剤手塗り工程および被切断部材と平坦な板状物（台座）との位置合わせ工程を省略することが可能となり、作業時間の減少、さらには工程の自動化が可能となる。また、溝を形成する必要がなく、利便性が高い平坦な板状物を使用することでトータルコスト面でも経済的になる。当該仮固定用接着部材は、チップコンデンサやチップ抵抗器、チップインダクタ、ＩＣ、ＬＳＩ、ＱＦＮ等の製造分野において有用である。
【符号の説明】
【００５７】
１      仮固定用接着部材
１１    接着層
１２    板状物
１３    被切断部材
２      ダイヤモンドワイヤーソー装置
２１    プーリー（滑車）
２２    ダイヤモンドワイヤーソー
３      被切断部材を含む積層体
３１    被切断部材
３２    接着剤
３３    溝付き台座
３３ａ  溝
４      棒状接着剤
【図１】
2015185830.tif 000003
【図２】
2015185830.tif 000004
【図３】
2015185830.tif 000005
【図４】
2015185830.tif 000006