(57)【要約】     【課題】部品点数が少なく簡素な構成でドットピッチを変更でき、インクの変更等の作業を容易に行うことができるインクジェット技術を提供する。    【解決手段】複数のノズル４２が列状に配列されたインクジェットヘッド４１と、インク供給部４３とが一体的に構成されたインクカートリッジ部４と、基準ブラケット２に取り付けられ、インクカートリッジ部４を回転させるサーボモータ３と、サーボモータ３の駆動軸３０に連結固定されるとともに駆動軸３０の回転軸線と一致する回転軸線を中心として回転するように基準ブラケット２に取り付けられた中間連結軸２６とを有する。インクカートリッジ部４は、中間連結軸２６に着脱自在に連結可能で、中間連結軸２６に連結された場合に、中間連結軸２６の回転軸線と一致し且つノズル４２の配列方向と直交する回転軸線を中心として回転するように構成されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルが列状に配列されたインクジェットヘッドと、当該インクジェットヘッドに対してインクを供給するインク供給部とが一体的に構成されたインクカートリッジ部と、
位置決め基準となる取付部に取り付けられ、前記インクカートリッジ部を回転させるための電動機と、
前記電動機の駆動軸に連結固定されるとともに、当該電動機の駆動軸の回転軸線と一致する回転軸線を中心として回転するように前記取付部に取り付けられた中間連結軸とを有し、
前記インクカートリッジ部は、前記中間連結軸に着脱自在に連結可能であって、前記中間連結軸に連結された場合において、前記中間連結軸の回転軸線と一致し、かつ、前記インクジェットヘッドの複数のノズルの配列方向と直交する回転軸線を中心として回転するように構成されている吐出装置。
【請求項２】
前記取付部には、第１及び第２の基準平面が設けられ、当該第１の基準平面に対して直交し、かつ、前記第１及び第２の基準平面が交差する部分の基準直線から所定の距離でもって形成した断面真円形状の取付孔が設けられ、当該取付孔に装着された軸受機構によって前記中間連結軸が回転するように支持されている請求項１記載の吐出装置。
【請求項３】
前記軸受機構は、前記取付部の取付孔に微小隙間で装着された円筒形状のベアリングホルダと、当該ベアリングホルダの内側に設けられた軸受によって前記中間連結軸を回転可能に支持するように構成されるとともに、
前記ベアリングホルダは、前記取付部に前記取付孔の中心軸線に対して直交する方向からねじ部材によって固定されるように構成されている請求項２記載の吐出装置。
【請求項４】
前記ベアリングホルダには、外周部に沿ってねじ部が設けられるとともに、当該ベアリングホルダの回転軸線と平行に長溝状のキー溝部が設けられ、
一方、前記取付部には、前記取付孔の中心軸線に対して直交する方向に延びる位置決め孔が設けられ、
前記取付部の位置決め孔を介してキー部材を前記キー溝部に嵌め合わせた状態で、前記ベアリングホルダのねじ部に噛み合わされた外ねじ部材を回転させることにより、前記取付部の取付孔の中心軸線と前記中間連結軸の回転軸線を一致させながら前記ベアリングホルダを前記第１の基準平面に対して移動するように構成されている請求項３記載の吐出装置。
【請求項５】
前記キー部材の先端部には、前記ベアリングホルダのキー溝部に微小隙間をもって嵌り合う位置決め係止部が二面取りによって設けられるとともに、
前記キー部材の内部には、前記ねじ部材に噛み合うねじ部が設けられ、
前記キー部材の位置決め係止部を前記ベアリングホルダのキー溝部に嵌め合わせた状態で、前記ねじ部材を前記キー部材内のねじ部に噛み合わせて前記ベアリングホルダのキー溝部に向って移動させ、当該ねじ部材の先端を前記ベアリングホルダのキー溝部に押し付けて当該ベアリングホルダを位置決め固定するように構成されている請求項４記載の吐出装置。
【請求項６】
前記取付部には、吐出対象物のアライメントマークを撮像するカメラの円筒鏡筒を保持する鏡筒保持溝が設けられ、
当該鏡筒保持溝は、当該円筒鏡筒を保持した場合において、前記取付部の基準直線に対する当該円筒鏡筒の中心軸線の距離が、前記取付部の基準直線に対する前記取付孔の中心軸線の距離と等しくなるように、その位置及び形状が設定されている請求項２乃至５のいずれか１項記載の吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式によってインクの吐出を行う装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の装置としては、発光材料や導電材料を含むインクを吐出して種々のパターンを形成するものが知られている。
このようなパターンをインクジェット技術で形成する場合には、微細なパターンを形成する必要があり、また、プロセス中にインクの液滴のドットピッチを変更する必要がある場合がある。
【０００３】
このため、従来、列状に配列された吐出孔を有する吐出ヘッド（インクジェットヘッド）の角度を変更することにより、インクの液滴のドットピッチを変更する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
しかし、この従来技術では、列状に配列された吐出孔を有する吐出ヘッドの角度を変更する構成は具体的に記載されておらず、一般的には複雑な構成の機構部分が必要になる。
【０００４】
その一方、従来技術では、インクの種類を変えて種々のパターンを形成したいという要望もあるが、インクジェットヘッドの角度を変更する装置において、インクの供給部を交換する場合には、装置構成が複雑になるとともに、インクを吐出する際の応答時間を短くすることが困難であるという問題もある。
また、インクジェットヘッドを交換する際、インクの吐出位置を一定にするため再調整するなどの工程が必要になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−４２００１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、部品点数が少なく簡素な構成でドットピッチを変更することができ、しかもインクの変更等の際の作業を容易に行うことができるインクジェット技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するためになされた本発明は、複数のノズルが列状に配列されたインクジェットヘッドと、当該インクジェットヘッドに対してインクを供給するインク供給部とが一体的に構成されたインクカートリッジ部と、位置決め基準となる取付部に取り付けられ、前記インクカートリッジ部を回転させるための電動機と、前記電動機の駆動軸に連結固定されるとともに、当該電動機の駆動軸の回転軸線と一致する回転軸線を中心として回転するように前記取付部に取り付けられた中間連結軸とを有し、前記インクカートリッジ部は、前記中間連結軸に着脱自在に連結可能であって、前記中間連結軸に連結された場合において、前記中間連結軸の回転軸線と一致し、かつ、前記インクジェットヘッドの複数のノズルの配列方向と直交する回転軸線を中心として回転するように構成されている吐出装置である。
本発明では、前記取付部には、第１及び第２の基準平面が設けられ、当該第１の基準平面に対して直交し、かつ、前記第１及び第２の基準平面が交差する部分の基準直線から所定の距離でもって形成した断面真円形状の取付孔が設けられ、当該取付孔に装着された軸受機構によって前記中間連結軸が回転するように支持されている場合にも効果的である。
本発明では、前記軸受機構は、前記取付部の取付孔に微小隙間で装着された円筒形状のベアリングホルダと、当該ベアリングホルダの内側に設けられた軸受によって前記中間連結軸を回転可能に支持するように構成されるとともに、前記ベアリングホルダは、前記取付部に前記取付孔の中心軸線に対して直交する方向からねじ部材によって固定されるように構成されている場合にも効果的である。
本発明では、前記ベアリングホルダには、外周部に沿ってねじ部が設けられるとともに、当該ベアリングホルダの回転軸線と平行に長溝状のキー溝部が設けられ、一方、前記取付部には、前記取付孔の中心軸線に対して直交する方向に延びる位置決め孔が設けられ、前記取付部の位置決め孔を介してキー部材を前記キー溝部に嵌め合わせた状態で、前記ベアリングホルダのねじ部に噛み合わされた外ねじ部材を回転させることにより、前記取付部の取付孔の中心軸線と前記中間連結軸の回転軸線を一致させながら前記ベアリングホルダを前記第１の基準平面に対して移動するように構成されている場合にも効果的である。
本発明では、前記キー部材の先端部には、前記ベアリングホルダのキー溝部に微小隙間をもって嵌り合う位置決め係止部が二面取りによって設けられるとともに、前記キー部材の内部には、前記ねじ部材に噛み合うねじ部が設けられ、前記キー部材の位置決め係止部を前記ベアリングホルダのキー溝部に嵌め合わせた状態で、前記ねじ部材を前記キー部材内のねじ部に噛み合わせて前記ベアリングホルダのキー溝部に向って移動させ、当該ねじ部材の先端を前記ベアリングホルダのキー溝部に押し付けて当該ベアリングホルダを位置決め固定するように構成されている場合にも効果的である。
本発明では、前記取付部には、吐出対象物のアライメントマークを撮像するカメラの円筒鏡筒を保持する鏡筒保持溝が設けられ、当該鏡筒保持溝は、当該円筒鏡筒を保持した場合において、前記取付部の基準直線に対する当該円筒鏡筒の中心軸線の距離が、前記取付部の基準直線に対する前記取付孔の中心軸線の距離と等しくなるように、その位置及び形状が設定されている場合にも効果的である。
【発明の効果】
【０００８】
以上述べた本発明の場合、複数のノズルが列状に配列されたインクジェットヘッドと、このインクジェットヘッドに対してインクを供給するインク供給部とが一体的に構成されたインクカートリッジ部を有し、インクカートリッジ部は、電動機の駆動軸に連結された中間連結軸に着脱自在に連結可能であって、インクカートリッジ部が中間連結軸に連結された場合において、インクジェットヘッドの複数のノズルの配列方向と直交する回転軸線を中心として回転するように構成されていることから、簡素な構成で、電動機を駆動してインクカートリッジ部を回転させることによってノズルから吐出されるインクのドットピッチを容易に変更することができる。
【０００９】
また、本発明におけるインクカートリッジ部は、複数のノズルが列状に配列されたインクジェットヘッドと、インクジェットヘッドに対してインクを供給するインク供給部とが一体的に構成されており、インクジェットヘッドとインク供給部との距離を近くに配置してインクを供給するパイプ等を短くすることができるため、インクを吐出する際の応答時間を短くすることができる。
【００１０】
さらに、本発明では、電動機の駆動軸の回転軸線と中間連結軸の回転軸線が一致するとともに、中間連結軸にインクカートリッジ部を連結した場合に中間連結軸の回転軸線とインクカートリッジ部の回転軸線が一致するように構成されていることから、インクカートリッジ部を交換した場合であっても、高い位置再現性を得ることができ、これにより調整工程を必要とすることなくインクの変更や補充を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る吐出装置の実施の形態の全体構成を示す部分断面図
【図２】（ａ）〜（ｃ）：同実施の形態における基準ブラケットの例を示すもので、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は正面図、図２（ｃ）は斜視図
【図３】（ａ）〜（ｃ）：同実施の形態におけるキー固定具の構成を示すもので、図３（ａ）は、ねじ部材とキー部材を示す外観図、図３（ｂ）は、ねじ部材の外観とキー部材の断面を示す図、図３（ｃ）は、ねじ部材とキー部材を組み合わせた状態を示す外観図
【図４】（ａ）（ｂ）：キー部材と、基準ブラケットと、ベアリングホルダの嵌め合い部分の寸法関係を示す説明図
【図５】キー固定具を基準ブラケットに装着した状態を示す説明図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明に係る吐出装置の実施の形態の全体構成を示す部分断面図である。
また、図２（ａ）〜（ｃ）は、同実施の形態における基準ブラケットの例を示すもので、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は正面図、図２（ｃ）は斜視図である。
【００１３】
図１に示すように、本実施の形態の吐出装置１は、インクジェット技術を用いてインクを吐出するもので、基準ブラケット（取付部）２と、サーボモータ（電動機）３と、インクカートリッジ部４とを有している。
【００１４】
基準ブラケット２は、例えばＸＹテーブル（図示せず）等に固定されるもので、ステンレス等の金属からなり例えば細長で平板ブロック状に一体的に形成されている。
この基準ブラケット２には、第１及び第２の基準平面２Ａ、２Ｂが設けられている。
【００１５】
第１の基準平面２Ａは、基準ブラケット２の長手方向に高精度で形成された平面からなり、基準ブラケット２が吐出装置１に組み込まれた際には水平面となるものである。
第２の基準平面２Ｂは、第１の基準平面２Ａに対して直交し高精度で形成された平面からなり、基準ブラケット２が吐出装置１に組み込まれた際には鉛直面となるものである。
また、第１及び第２の基準平面２Ａ、２Ｂが交わる部分の直線は、ここでは、基準直線２Ｃとする。
【００１６】
図２（ａ）（ｂ）に示すように、基準ブラケット２の第１の基準平面２Ａが設けられた側と反対側には、その厚さ方向を貫通するように断面真円形状の取付孔２０が設けられている。
この取付孔２０は、その中心軸線Ｏが第１の基準平面２Ａに対して直交し、基準直線２Ｃから一定の距離だけ離れた位置に高精度で形成されている。
【００１７】
また、基準ブラケット２の取付孔２０が設けられた側の端部には、キー取付部２ａが形成されている。このキー取付部２ａは、第２の基準平面２Ｂと平行な平面からなる。
また、基準ブラケット２のキー取付部２ａには、取付孔２０と連通する位置決め孔２ｂが設けられている。
この位置決め孔２ｂは、例えば断面真円形状に形成され、その中心軸線Ｎが上記取付孔２０の中心軸線Ｏと直交して交差するように高精度で形成されている。
【００１８】
さらに、基準ブラケット２の一方の側部で取付孔２０の近傍には、鏡筒保持溝２ｃが設けられている。
この鏡筒保持溝２ｃは、吐出対象物である基板のアライメントマークを撮像するカメラの対物レンズの円筒鏡筒１０を保持するもので、例えば断面Ｖ字形状で、取付孔２０の中心軸線Ｏと平行な方向に延びるように形成されている。
【００１９】
この場合、鏡筒保持溝２ｃは、円筒鏡筒１０を保持した場合において、基準ブラケット２の基準直線２Ｃに対する円筒鏡筒１０の中心軸線Ｏ1の距離が、基準ブラケット２の基準直線２Ｃに対する取付孔２０の中心軸線Ｏの距離と等しくなるように、その位置及び形状が設定されている（図２（ａ）参照）。
【００２０】
以上述べた基準ブラケット２は、上述したように一体的に形成されたものであるが、加工精度をより向上させる観点からは、基準ブラケット２の第１及び第２の基準平面２Ａ、２Ｂ、基準直線２Ｃ、取付孔２０、鏡筒保持溝２ｃは、同一の段取りで加工プロセスを行うことが好ましい。
【００２１】
図１に示すように、基準ブラケット２の取付孔２０には、軸受機構２１が装着されている。
この軸受機構２１は、円筒形状のベアリングホルダ２２と、ベアリングホルダ２２の内壁面に外輪が保持されるころがり軸受（軸受）２３とを有している。
【００２２】
ここで、ベアリングホルダ２２は、基準ブラケット２の取付孔２０の内径より若干小さな外径を有し、基準ブラケット２の取付孔２０に微小隙間をもって嵌り合うように構成されている。
そして、これにより、基準ブラケット２の取付孔２０の中心軸線Ｏと、ベアリングホルダ２２の回転軸線とが一致するようになっている。
【００２３】
また、ベアリングホルダ２２は、その上部にサーボモータ３を支持するための平面状の支持部２２ａが設けられている。
ベアリングホルダ２２の外周面には、ベアリングホルダ２２の回転軸線と平行に長溝状のキー溝部２４が高精度で形成されている。
このキー溝部２４は、後述するように、基準ブラケット２の位置決め孔２ｂと対応する位置に配置されるようになっている。
【００２４】
一方、ころがり軸受２３の内輪には、中間連結軸２６が固定されている。
この中間連結軸２６は、円筒形状の部材からなり、ベアリングホルダ２２の回転軸線と回転軸線が一致するように配置構成されている。
【００２５】
そして、ベアリングホルダ２２の支持部２２ａには、サーボモータ３が駆動軸３０を下方に向けて配置され、その駆動軸３０の回転軸線が、ベアリングホルダ２２及び中間連結軸２６の回転軸線と一致するように配置構成されている。
このサーボモータ３の駆動軸３０は、中間連結軸２６の上部部材２７から内部に貫通し、締結部材２８によって中間連結軸２６と締結固定されている。
【００２６】
一方、ベアリングホルダ２２の上部の外周部分には、ねじ部２２ｂが設けられている。そして、ベアリングホルダ２２のねじ部２２ｂには、当該ねじ部２２ｂと噛み合うリング状のナット（外ねじ部材）２９が装着されている。
【００２７】
そして、このナット２９を回転させることにより、基準ブラケット２の取付孔２０の中心軸線Ｏと、中間連結軸２６の回転軸線とを一致させた状態で、ベアリングホルダ２２が、第１の基準平面２Ａに対し、当該回転軸線方向即ち鉛直方向に移動するように構成されている。
このような構成によれば、ナット２９を回転させることによってベアリングホルダ２２の高さ方向の位置を容易に調整することができる。
【００２８】
インクカートリッジ部４は、例えば円筒形状のカートリッジフレーム４０を有している。
このカートリッジフレーム４０の上部の外周部には、例えば雄ねじ部（図示せず）が設けられ、この雄ねじ部が中間連結軸２６の下部に設けられた雌ねじ部（図示せず）と噛み合うことにより、それぞれの回転軸線を一致させた状態で連結固定されるように構成されている。
【００２９】
このカートリッジフレーム４０の下端部には、インクジェットヘッド４１が一体的に取り付けられている。
インクジェットヘッド４１には、インクを吐出するための複数のノズル４２が設けられている。
【００３０】
これら複数のノズル４２は、図示しない吐出面に向けて例えば直線状に所定（例えば一定）の間隔で配列されている。ここで、複数のノズル４２は、カートリッジフレーム４０の回転軸線に対して直交する方向に沿って固定されている。
【００３１】
また、カートリッジフレーム４０の中腹部の側部には、インクを供給するためのインク供給部４３が設けられている。
このインク供給部４３は、保持部材４４によってカートリッジフレーム４０の側部に固定され、インクジェットヘッド４１との相対位置が変化しないように一体的に構成されている。
【００３２】
そして、インク供給部４３に接続されたインク供給管４５を介してインクジェット用のインクをインクジェットヘッド４１に供給するようになっている。なお、このインク供給部４３には、他のインク供給源から連続的又は所定のタイミングでインクを供給するように構成することもできる。
【００３３】
そして、このような構成を有するインクカートリッジ部４では、カートリッジフレーム４０が、中間連結軸２６に対してそれぞれの回転軸線を一致させた状態で連結固定されており、また、カートリッジフレーム４０に対してインクジェットヘッド４１とインク供給部４３が一体的に構成されていることから、中間連結軸２６に対し、それぞれの回転軸線を一致させた状態でインクカートリッジ部４が回転するようになっている。
【００３４】
図３（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態におけるキー固定具の構成を示すもので、図３（ａ）は、ねじ部材とキー部材を示す外観図、図３（ｂ）は、ねじ部材の外観とキー部材の断面を示す図、図３（ｃ）は、ねじ部材とキー部材を組み合わせた状態を示す外観図である。
【００３５】
本実施の形態に用いるキー固定具２５は、ねじ部材３１とキー部材３２とを有するものである。
ここで、ねじ部材３１は、公知の小ねじからなるもので、頭部３１ａと直線状の雄ねじ部３１ｂとから構成されている。
【００３６】
一方、キー部材３２は、平板状の取付フランジ部３２ａと、この取付フランジ部３２ａに対して直交する方向に延びる円筒形状の嵌合部３２ｂとを有している。
また、キー部材３２の嵌合部３２ｂの先端部には、二面取りによって位置決め係止部３２ｃが設けられている。
【００３７】
さらに、キー部材３２には、嵌合部３２ｂの延びる方向に沿って貫通するように雌ねじ部３２ｄが設けられている。このキー部材３２の雌ねじ部３２ｄは、ねじ部材３１の雄ねじ部３１ｂと噛み合うように構成されている。
【００３８】
本実施の形態の場合、キー部材３２の取付フランジ部３２ａ側からねじ部材３１を装着した場合に、ねじ部材３１の雄ねじ部３１ｂの先端がキー部材３２の位置決め係止部３２ｃの先端から所定長さだけ突出するようにそれぞれの寸法が設定されている（図３（ｃ）参照）。
【００３９】
図４（ａ）（ｂ）は、キー部材と、基準ブラケットと、ベアリングホルダの嵌め合い部分の寸法関係を示す説明図である。
図５は、キー固定具を基準ブラケットに装着した状態を示す説明図である。
【００４０】
本実施の形態においては、基準ブラケット２のキー取付部２ａに設けられた位置決め孔２ｂに、キー部材３２の嵌合部３２ｂが嵌め合わされる。
ここでは、基準ブラケット２の位置決め孔２ｂの内径Ｄ0に対し、キー部材３２の嵌合部３２ｂの外径Ｄ1が若干小さくなるように設定し（図４（ａ）参照）、これによりキー部材３２の嵌合部３２ｂが、基準ブラケット２の位置決め孔２ｂに微小隙間をもって嵌り合うように構成されている。
【００４１】
この場合、基準ブラケット２の取付孔２０に嵌め合わされたベアリングホルダ２２のキー溝部２４が、基準ブラケット２の取付孔２０と対向する位置に配置されるようにする。
そして、基準ブラケット２の位置決め孔２ｂにキー部材３２の嵌合部３２ｂが嵌め合わされ、さらに、キー部材３２の嵌合部３２ｂの先端部の位置決め係止部３２ｃが、ベアリングホルダ２２のキー溝部２４に嵌め合わされる。
【００４２】
ここでは、ベアリングホルダ２２のキー溝部２４の幅ｄ0に対し、キー部材３２の位置決め係止部３２ｃの幅（二面取りした部分の厚さ）ｄ1が若干小さくなるように設定し（図４（ｂ）参照）、これによりキー部材３２の位置決め係止部３２ｃが、基準ブラケット２のキー溝部２４に微小隙間をもって嵌り合うように構成されている。
【００４３】
この場合、キー部材３２の位置決め係止部３２ｃが、基準ブラケット２のキー溝部２４に嵌り合った状態において、キー部材３２の位置決め係止部３２ｃの先端が、基準ブラケット２のキー溝部２４の溝底に対して若干の隙間が形成されるようにそれぞれの寸法が設定されている。
【００４４】
このような構成を有する本実施の形態においては、キー部材３２の嵌合部３２ｂを基準ブラケット２の位置決め孔２ｂに嵌め合わせるとともに、キー部材３２の位置決め係止部３２ｃをベアリングホルダ２２のキー溝部２４に嵌め合わせる。
【００４５】
そして、キー部材３２の取付フランジ部３２ａを基準ブラケット２のキー取付部２ａに例えばねじ止めで固定し、キー部材３２に嵌め合わされたねじ部材３１を固定方向に回転させ、ベアリングホルダ２２のキー溝部２４に向って移動させる。
【００４６】
これにより、キー部材３２の位置決め係止部３２ｃの先端からねじ部材３１の雄ねじ部３１ｂの先端が所定長さだけ突出してベアリングホルダ２２のキー溝部２４の底部に接触し、更にねじ部材３１を同方向に回転させることにより、ねじ部材３１の雄ねじ部３１ｂの先端がベアリングホルダ２２のキー溝部２４の底部に押し付けられる。
【００４７】
その結果、ベアリングホルダ２２が、基準ブラケット２に対して回転せず、また鉛直方向にも移動しないように、位置決めされた状態で固定される。
この状態では、サーボモータ３の駆動軸３０の回転軸線と、中間連結軸２６の回転軸線と、カートリッジフレーム４０（インクカートリッジ部４）の回転軸線が一致している。
【００４８】
そして、この状態で、サーボモータ３を駆動することにより、中間連結軸２６及びインクカートリッジ部４が、それぞれ一致する回転軸線、すなわち、基準ブラケット２の取付孔２０の中心軸線Ｏを中心として回転する。
【００４９】
これによりインクジェットヘッド４１が水平方向に回転することから、インクジェットヘッド４１のノズル４２列の方向を、インクジェットヘッド４１と吐出面の相対移動方向に対して傾斜させることができるので、ピッチを変更することができる。
【００５０】
以上述べた本実施の形態の場合、複数のノズル４２が列状に配列されたインクジェットヘッド４１と、このインクジェットヘッド４１に対してインクを供給するインク供給部４３とが一体的に構成されたインクカートリッジ部４を有し、インクカートリッジ部４は、サーボモータ３の駆動軸３０に連結された中間連結軸２６に着脱自在に連結可能であって、インクカートリッジ部４が中間連結軸２６に連結された場合において、インクジェットヘッド４１の複数のノズル４２の配列方向と直交する回転軸線を中心として回転するように構成されていることから、簡素な構成で、サーボモータ３を駆動してインクカートリッジ部４を回転させることによってノズル４２から吐出されるインクのドットピッチを容易に変更することができる。
【００５１】
また、本実施の形態におけるインクカートリッジ部４は、複数のノズル４２が列状に配列されたインクジェットヘッド４１と、インクジェットヘッド４１に対してインクを供給するインク供給部４３とが一体的に構成されており、インクジェットヘッド４１とインク供給部４３との距離を近くに配置してインクを供給するインク供給管４５を短くすることができるため、インクを吐出する際の応答時間を短くすることができる。
【００５２】
さらに、本実施の形態では、サーボモータ３の駆動軸３０の回転軸線と中間連結軸２６の回転軸線が一致するとともに、中間連結軸２６にインクカートリッジ部４を連結した場合に中間連結軸２６の回転軸線とインクカートリッジ部４の回転軸線が一致するように構成されていることから、インクカートリッジ部４を交換した場合であっても、高い位置再現性を得ることができ、これにより調整工程を必要とすることなくインクの変更や補充を容易に行うことができる。
【００５３】
その一方、一般にディスプレイ等産業用途でインクジェットで成膜する場合には、吐出対象物である例えばガラス基板の所定位置に精密にインクを着弾させることが必要となるためガラス基板の基準となる位置にアライメントマークが描画されているが、このアライメントマークに基づいて所定座標に正確に着弾させるためには、アライメントマークを撮像し、その画像から得られた座標の位置にインクジェットヘッドを正確に移動させなければならない。
【００５４】
その際、インクジェットヘッドの回転中心と、アライメントマークの相対位置が再現よく固定されていることが望ましい。そうでなければ、撮像画像から得られた座標位置に移動しても着弾位置の再現性が保たれないからである。
【００５５】
これに対し、本実施の形態では、基準ブラケット２の鏡筒保持溝２ｃについて、円筒鏡筒１０を保持した場合に、基準ブラケット２の基準直線２Ｃに対する円筒鏡筒１０の中心軸線Ｏ1の距離が、基準ブラケット２の基準直線２Ｃに対する取付孔２０の中心軸線Ｏの距離と等しくなるようにその位置及び形状が設定され、しかも、基準ブラケット２の取付孔２０の中心軸線Ｏとインクカートリッジ部４の回転軸線が一致するように構成されていることから、基準ブラケット２の基準直線２Ｃに対する、インクカートリッジ部４の回転軸線の距離と円筒鏡筒１０の中心軸線Ｏ1の距離を等距離に固定することが可能になり、その結果、撮像画像から得られた座標位置にインクジェットヘッド４１を移動させた場合において高い着弾位置の再現性を保持することができる。
【００５６】
この場合、基準ブラケット２の取付孔２０と鏡筒保持溝２ｃを同一の段取りで加工プロセスを行うことにより、極めて高い加工精度で加工することができるので、撮像画像から得られた座標位置にインクジェットヘッド４１を移動させた場合における着弾位置の再現性をより向上させることができる。
【００５７】
さらに、円筒鏡筒１０として外径精度が高いものを使用することにより着弾位置の相対間距離再現性も高くできるので、同一の円筒鏡筒１０を交換して組み替えることによって高い組立再現性を維持することができる。
【００５８】
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、インク吐出の際に、吐出装置を移動させて吐出面を固定させることもでき、また、吐出装置を固定して吐出面を移動させることもできる。
さらに、吐出装置と吐出面の両方を移動させることもできる。
【符号の説明】
【００５９】
１…吐出装置
２…基準ブラケット（取付部）
２ａ…キー取付部
２ｂ…位置決め孔
２ｃ…鏡筒保持溝
２Ａ…第１の基準面
２Ｂ…第２の基準面
２Ｃ…基準直線
３…サーボモータ（電動機）
４…インクカートリッジ部
１０…円筒鏡筒
２０…取付孔
２１…軸受機構
２２…ベアリングホルダ
２３…ころがり軸受（軸受）
２５…キー固定具
２６…中間連結軸
３０…駆動軸
３１…ねじ部材
３２…キー部材
３２ｃ…位置決め係止部
４０…カートリッジフレーム
４１…インクジェットヘッド
４２…ノズル
４３…インク供給部 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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