(57)【要約】【課題】高精度の樹脂評価装置及び樹脂評価方法を提供する。【解決手段】実施形態によれば、樹脂評価装置は、光源部と、変調部と、検出部と、を含む。前記光源部は、樹脂が反応する第１波長を含む第１光を出射する。前記変調部は、前記光源部と前記樹脂との間に設けられる。前記変調部は、前記第１光を透過させる第１部分と、前記第１部分の前記第１光に対する透過率よりも前記第１光に対する透過率が低い第２部分と、を含む。前記変調部は、前記第１光の光路上に前記第１部分と前記第２部分とを交互に位置させて、前記第１光の強度が変調された変調光を前記樹脂に入射させる。前記検出部は、前記樹脂の前記反応による変形を、前記光路上に前記第２部分が位置する複数の低透過期間の少なくともいずれかにおいて第２光を用いて検出し、前記第１波長の光に対して感度を有する。【選択図】図１
2015184024.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂が反応する第１波長を含む第１光を出射する光源部と、
前記光源部と前記樹脂との間に設けられ、前記第１光を透過させる第１部分と、前記第１部分の前記第１光に対する透過率よりも前記第１光に対する透過率が低い第２部分と、を含み、前記第１光の光路上に前記第１部分と前記第２部分とを交互に位置させて、前記第１光の強度が変調された変調光を前記樹脂に入射させる変調部と、
前記樹脂の前記反応による変形を、前記光路上に前記第２部分が位置する複数の低透過期間の少なくともいずれかにおいて第２光を用いて検出し、前記第１波長の光に対して感度を有する検出部と、
を備えた樹脂評価装置。
【請求項２】
前記変調部及び前記検出部に接続された制御部を含み、
前記制御部は、前記変調部に前記複数の低透過期間どうしの間の間隔を変化させ、
前記制御部は、前記検出部に前記間隔が変化させられた前記複数の低透過期間に前記検出を実施させる請求項１記載の樹脂評価装置。
【請求項３】
前記検出部に接続された制御部を含み、
前記制御部は、前記変形を、前記光路上に前記第１部分が位置する高透過期間に前記第２光を用いてさらに検出し、
前記制御部は、前記複数の低透過期間の前記少なくともいずれかにおいて検出された結果を抽出する請求項１記載の樹脂評価装置。
【請求項４】
前記第２光は、前記第１波長の成分を有する請求項１〜３のいずれか１つに記載の樹脂評価方法。
【請求項５】
樹脂が反応する第１波長を含む第１光を、前記第１光を透過させる第１部分と、前記第１部分の前記第１光に対する透過率よりも前記第１光に対する透過率が低い第２部分と、を交互に通過させて、前記第１光の強度が変調された変調光を前記樹脂に入射させ、
前記樹脂の前記反応による変形を、前記光路上に前記第２部分が位置する複数の低透過期間の少なくともいずれかにおいて第２光を用いて検出する樹脂評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、樹脂評価装置及び樹脂評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、光硬化性の樹脂が各種の用途に用いられている。このような樹脂の特性を高精度に評価することが望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２８１６０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、高精度の樹脂評価装置及び樹脂評価方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態によれば、樹脂評価装置は、光源部と、変調部と、検出部と、を含む。前記光源部は、樹脂が反応する第１波長を含む第１光を出射する。前記変調部は、前記光源部と前記樹脂との間に設けられる。前記変調部は、前記第１光を透過させる第１部分と、前記第１部分の前記第１光に対する透過率よりも前記第１光に対する透過率が低い第２部分と、を含む。前記変調部は、前記第１光の光路上に前記第１部分と前記第２部分とを交互に位置させて、前記第１光の強度が変調された変調光を前記樹脂に入射させる。前記検出部は、前記樹脂の前記反応による変形を、前記光路上に前記第２部分が位置する複数の低透過期間の少なくともいずれかにおいて第２光を用いて検出し、前記第１波長の光に対して感度を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１の実施形態に係る樹脂評価装置を例示する模式図である。
【図２】図２（ａ）及び図２（ｂ）は、第１の実施形態に係る樹脂評価装置を例示するグラフ図である。
【図３】図３（ａ）及び図３（ｂ）は、第１の実施形態に係る樹脂評価装置を例示するグラフ図である。
【図４】図４（ａ）及び図４（ｂ）は、第１の実施形態に係る別の樹脂評価装置を例示する模式図である。
【図５】図５は、第２の実施形態に係る樹脂評価方法を例示するフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。  
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。  
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１の実施形態）  
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１の実施形態に係る樹脂評価装置を例示する模式図である。  
図１（ａ）は、模式的断面図である。図１（ｂ）は、樹脂評価装置の一部を例示する模式的斜視図である。
【０００９】
図１（ａ）に表したように、本実施形態に係る樹脂評価装置１１０は、光源部１０と、変調部２０と、検出部３０と、を含む。
【００１０】
この例では、保持部５０が設けられている。保持部５０は、光透過性である。保持部５０の上に、評価対象である樹脂６０が配置される。例えば、保持部５０の下に光源部１０が配置される。光源部１０と保持部５０との間に、変調部２０が配置される。
【００１１】
光源部１０は、樹脂６０が反応する第１光Ｌ１を出射する。第１光Ｌ１は、第１波長を含む。第１光Ｌ１は、紫外光（紫外線）を含む。樹脂６０は、例えば、第１波長の光により、実質的に反応する。例えば、硬化反応が生じる。
【００１２】
変調部２０は、光源部１０と樹脂６０との間に設けられる。
【００１３】
光源部１０から変調部２０に向かう方向をＺ軸方向とする。Ｚ軸方向に対して垂直な１つの方向をＸ軸方向とする。Ｚ軸方向とＸ軸方向とに対して垂直な方向をＹ軸方向とする。
【００１４】
図１（ｂ）は、変調部２０を例示している。変調部２０は、第１部分ｐ１と第２部分ｐ２とを含む。第１部分ｐ１は、第１光Ｌ１を透過させる。第２部分ｐ２の第１光Ｌ１に対する透過率は、第１部分ｐ１の第１光Ｌ１に対する透過率よりも低い。例えば、第１部分ｐ１は、透過部分である。第２部分ｐ２は、第１光Ｌ１を実質的に透過させない部分である。例えば、第２部分ｐ２は、遮光部分である。第２部分ｐ２の第１光Ｌ１に対する透過率が零でなくても良い。
【００１５】
変調部２０は、第１光Ｌ１の光路上に、第１部分ｐ１と第２部分ｐ２とを交互に位置させる。これにより、第１光Ｌ１の強度が変調される。
【００１６】
この例では、変調部２０は、開口部２０ｏが設けられた金属板２０ａを含む。開口部２０ｏが、第１部分ｐ１に対応する。すなわち、第１部分ｐ１は、開口部２０ｏを含む。金属板２０ａが第２部分ｐ２に対応する。すなわち、第２部分ｐ２は、金属板２０ａのうちの開口部２０ｏを除く部分を含む。
【００１７】
例えば、変調部２０は、光学部２１と、駆動部２２と、を含む、光学部２１は、第１部分ｐ１と第２部分ｐ２と含む。この例では、光学部２１には、開口部２０ｏが設けられた金属板２０ａが用いられる。駆動部２２は、光学部２１を移動させる。この例では、駆動部２２は、Ｚ軸方向を軸として、光学部２１を回転させる。
【００１８】
例えば、光学部２１は、第１位置２１ｃを有する。第１位置２１ｃは、例えば、金属板２０ａの中心である。第１部分ｐ１及び第２部分ｐ２のそれぞれは、第１位置２１ｃとは異なる位置に配置されている。駆動部２２は、第１位置２１ｃを中心として、光学部２１を回転させる。すなわち、駆動部２２は、第１光Ｌ１の光路と交差する方向に、光学部２１を移動させる。
【００１９】
これにより、第１光Ｌ１の光路状に、第１部分ｐ１が位置する第１状態と、第２部分ｐ２が位置する第２状態と、が形成される。
【００２０】
例えば、第１光Ｌ１の光路上に第２部分ｐ２が位置するときに、光の強度は低い。または、光の強度は、零である。光路上に第２部分ｐ２が位置する期間を、低透過期間とする。光路上に第１部分ｐ１が位置するときに、光の強度は強い。光路上に第１部分ｐ１が位置する期間を高透過期間とする。高透過期間における光（変調光Ｌｍ）の強度は、低透過期間における光（変調光Ｌｍ）の強度よりも高い。例えば、複数の低透過期間と、複数の高硬化期間と、が交互に繰り返される。
【００２１】
このように、変調部２０により、変調光Ｌｍが得られる。変調部２０は、変調光Ｌｍを樹脂６０に樹脂６０に入射させる。  
この例では、変調光Ｌｍは、保持部５０を介して樹脂に照射される。
【００２２】
変調光Ｌｍも第１波長の成分を有している。変調光Ｌｍにより、樹脂６０において、反応が生じる。反応に伴って、例えば、樹脂６０において収縮が生じる。硬化収縮が生じる。樹脂６０において、変形が生じる。
【００２３】
検出部３０は、樹脂６０の反応による変形を検出する。複数の低透過期間の少なくともいずれかにおいて、第２光Ｌ２を用いて変形を検出する。検出部３０は、第２光Ｌ１が有する波長に対して感度を有する。さらに、例えば、検出部３０は、第１波長の光に対しても感度を有する。
【００２４】
例えば、検出部３０は、光出射部３１と、受光部３２と、を含む。光出射部３１は、第２光Ｌ２を出射する。光出射部３１には、例えば、レーザが用いられる。受光部３２は、樹脂６０で反射された第２光Ｌ２を受光する。これにより、樹脂６０の表面の位置の変化が検出できる。すなわち、樹脂６０の変形が検出できる。
【００２５】
実施形態において、樹脂６０の変形を検出する際に用いられる第２光Ｌ２は、第１波長の成分を含んでも良い。
【００２６】
実施形態において、検出部３０は、第２光Ｌ２だけではなく、第１波長の光に対しても感度を有する。このため、第２光Ｌ２により変形を検出する際に、第１光Ｌ１の成分の一部が検出部３０により検出されてしまう。このため、樹脂６０に第１光Ｌ１が照射されているときに変形を検出しようとすると、ノイズが発生し、検出の精度が低下する。
【００２７】
このとき、実施形態においては、変調部２０により、第１光Ｌ１から変調光Ｌｍを生成する。そして、その変調光Ｌｍを樹脂６０に照射させる。変調光Ｌｍのうちの光強度が低い低透過期間に検出を行う。これにより、樹脂６０に第１光Ｌ１が実質的に照射されていない状態で、樹脂６０の変形を検出することができる。これにより、高精度の評価が実施できる。
【００２８】
この例では、保持部５０の上に、壁部５１が設けられる。壁部５１には、例えば、フッ素系樹脂が用いられる。保持部５０と壁部５１とにより空間が形成され、その空間の中に、試料となる樹脂６０が配置される。
【００２９】
この例では、制御部４０が設けられている。制御部４０は、例えば、変調部２０及び検出部３０に接続される。制御部４０は、光源部１０に接続されても良い。制御部４０は、例えば、変調部２０、検出部３０及び光源部１０の少なくともいずれかの動作を制御しても良い。制御部４０は、検出部３０で検出された結果（データ）を処理しても良い。制御部４０には、例えば、コンピュータなどが用いられる。
【００３０】
この例では、検出部３０と光源部１０との間に、変調部２０が配置される。すなわち、検出部３０と光源部１０との間に、樹脂６０が配置される。樹脂６０の一方の面に、第１光Ｌ１（変調光Ｌｍ）が照射される。樹脂６０の他方面に、第２光Ｌ２が照射される。樹脂６０の異なる面に変調光Ｌｍと第２光Ｌ２とを照射することで、これらの光における互いの影響を分離できる。より高精度の評価が可能になる。
【００３１】
すなわち、第１光Ｌ１（変調光Ｌｍ）に対して透過性の保持部５０が設けられる。保持部５０と光源部１０との間に、変調部２０が配置される。変調光Ｌｍは、保持部５０を介して、樹脂６０に入射する。
【００３２】
以下、変調光Ｌｍの例と、検出結果の例と、について説明する。  
図２（ａ）及び図２（ｂ）は、第１の実施形態に係る樹脂評価装置を例示するグラフ図である。  
図２（ａ）は、変調光Ｌｍの強度を例示している。図２（ｂ）は、樹脂６０の変形の検出結果を例示している。これらの図の横軸は、時間ｔである。図２（ａ）の縦軸は、変調光Ｌｍの強度Ｉ２である。図２（ｂ）の縦軸は、変位Ｐｚである。
【００３３】
図２（ａ）に表したように、光の強度Ｉ２が高い第１期間ｔｍ１と、光の強度Ｉ２が低い第２期間ｔｍ２と、が交互に繰り返される。第１期間ｔｍ１は、高透過期間である。第２期間ｔｍ２は、低透過期間である。
【００３４】
第１期間ｔｍ１の長さｔ１は、例えば、１ｍｓ（ミリ秒）以上１秒（ｓ）以下である。第２期間ｔｍ２の長さｔ２、例えば、１ｍｓ以上１秒以下である。長さｔ１は、長さｔ２と同じでも良く、異なっても良い。
【００３５】
図２（ｂ）に表したように、第２期間ｔｍ２（低透過期間）において、樹脂６０の変形（変位Ｐｚ）が検出される。
【００３６】
例えば、第１光Ｌ１（変調光Ｌｍ）を樹脂６０に照射することで、樹脂６０において反応が生じる。反応により、例えば硬化収縮が生じる。これにより、変位Ｐｚが変化する。反応（例えば硬化）に要する時間は、例えば、５分以上に３時間以下である。この反応に要する時間の間において、変位Ｐｚの検出が複数回行われる。時間ｔの経過と共に、変位Ｐｚが変化し、この変化の程度により、樹脂６０が評価される。
【００３７】
実施形態においては、第１光Ｌ１が実質的に照射されない第２期間ｔｍ２（低透過期間）において、検出が行われる。これにより、第１光１の成分が、検出の結果に影響を与えることが抑制される。これにより、高精度の評価が可能になる。
【００３８】
複数の第２期間ｔｍ２（低透過期間）のそれぞれの長さｔ２は、複数の第２期間ｔｍ２（低透過期間）どうしの間の長さ以下でも良い。すなわち、複数の第２期間ｔｍ２のそれぞれの長さｔ２は、複数の第１期間ｔｍ１の間の長さｔ１以下でも良い。第２期間ｔｍ２の長さｔ２が長いと、第１期間ｔｍ１の長さｔ１が、相対的に短くなる。第２期間ｔｍ２においては、第１光Ｌ１は樹脂に照射されない。第２期間ｔｍ２においては、反応が実質的に生じない。第２期間ｔｍ２の長さｔ２を過度に長くしないことで、適正な評価が実施できる。
【００３９】
複数の第２期間ｔｍ２（低透過期間）どうしの間の長さを変更しても良い。例えば、樹脂６０の評価の初期段階と、その後の段階（例えば反応速度が高い状態）と、で期間を変更しても良い。効率的な評価が実施できる。
【００４０】
例えば、制御部４０は、変調部２０に、複数の第２期間ｔｍ２（低透過期間）どうしの間の間隔を変化させても良い。制御部４０は、検出部３０に、間隔が変化させられた複数の低透過期間に、検出を実施させても良い。
【００４１】
例えば、検出部３０で検出された結果を制御部４０でサンプリングしても良い。例えば、制御部４０は、樹脂６０の変形を、高透過期間（第１期間ｔｍ１）に、第２光Ｌ２を用いてさらに検出しても良い。すなわち、検出部３０は、第２期間ｔｍ２に加えて、第１期間ｔｍ１においても検出を行う。このとき、制御部４０は、複数の第２期間ｔｍ２（低透過期間）の少なくともいずれかにおいて検出された結果を、抽出しても良い。  
このように、データの取得及び処理について、種々の変形が可能である。
【００４２】
図３（ａ）及び図３（ｂ）は、第１の実施形態に係る樹脂評価装置を例示するグラフ図である。  
これらの図は、光源部１０から出射される第１光Ｌ１のスペクトルを例示している。横軸は、波長λ（ナノメートル：ｎｍ）である。縦軸は、光の強度Ｉ１である。
【００４３】
図３（ａ）は、光源部１０に高圧水銀ランプを用いた場合に対応する。この場合、例えば、約３６５ｎｍ及び約２５４ｎｍの波長において、スペクトルのピークがある。第１波長は、例えば、３５０ｎｍ以上３７０ｎｍ以下である。第１波長は、２４０ｎｍ以上２６０ｎｍ以下である。第１波長は、例えば、２４０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下である。
【００４４】
図３（ｂ）は、光源部１０にメタルハライドランプを用いた場合に対応する。この場合、例えば、約３８０ｎｍの波長において、スペクトルのピークがある。第１波長は、例えば、３７０ｎｍ以上３９０ｎｍ以下である。  
このように、第１波長は、２４０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下である。このとき、第２光Ｌ２のピーク波長は、例えば、４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下である。
【００４５】
このように、実施形態において、光源部１０として、高圧水銀ランプ及びメタルハライドランプの少なくともいずれかを用いることができる。
【００４６】
光源部１０から出射される第１光Ｌ１の出力は、例えば、５００ｍＷ／ｃｍ２以上である。第１光Ｌ１の出力が低い場合は、樹脂６０の特性を適正に評価することが困難である。光源部１０として、高圧水銀ランプ及びメタルハライドランプの少なくともいずれかを用いることにより、このような高い出力を得ることができる。
【００４７】
光源部１０の発光の強度を時間的に変化させる参考例が考えられる。例えば、発光する部分に供給する電流（電力）を時間的に変化させる。しかしながら、光源部１０として高出力のランプを用いた場合には、ランプの光出力を短い時間で変化させることは実用的には困難である。ランプにおいて、熱の変化が大きくなり、ランプの損傷も生じやすくなる。
【００４８】
実施形態においては、光源部１０から出射した第１光Ｌ１の強度を変調部２０により変化させて、変調光Ｌｍを形成する。そして、この変調光Ｌｍを樹脂６０に照射する。実施形態においては、光源部１０を変更することなく、光の強度を検査させることができる。
【００４９】
例えば、第２光Ｌ２に対する樹脂６０の透過率が過度に高いと、第２光Ｌ２による樹脂６０の変形の検出の感度が低下する。このため、第２光Ｌ２に対する樹脂６０の透過率は、過度に高くないことが好ましい。一方、樹脂６０は、第１波長の光を吸収して、そのエネルギーにより反応が生じる。例えば、樹脂６０における第１波長の透過率は、比較的低い。変形を検出する第２光Ｌ２として、反応を促進する第１波長の光を用いると、変形の検出は比較的容易になる。
【００５０】
実施形態においては、樹脂６０の変形を検出する際に用いられる第２光Ｌ２が、樹脂６０を反応させる第１波長の成分を含んでも良い。例えば、樹脂６０を反応させる第１光Ｌ１のスペクトルは、変形を検出する第２光Ｌ２のスペクトルの少なくとも一部と重なっても良い。
【００５１】
このとき、実施形態においては、低透過期間に検出を行うため、第１光Ｌ１の影響が抑制され、第２光Ｌ２による変位の検知が高精度で実施できる。
【００５２】
図４（ａ）及び図４（ｂ）は、第１の実施形態に係る別の樹脂評価装置を例示する模式図である。  
図４（ａ）は、模式的断面図である。図４（ｂ）は、樹脂評価装置の一部を例示する模式的斜視図である。  
図４（ａ）に表したように、本実施形態に係る別の樹脂評価装置１１１においても、光源部１０と、変調部２０と、検出部３０と、が設けられる。この場合も、変調部２０は、光学部２１と、駆動部２２と、を含む。樹脂評価装置１１１において、変調部２０が、樹脂評価装置１１０とは異なる。それ以外は、樹脂評価装置１１０と同様である。
【００５３】
図４（ｂ）は、光学部２１を例示している。光学部２１には、第１部分ｐ１（開口部２０ｏ）と、第２部分ｐ２（金属板２０ａ）と、が設けられる。
【００５４】
この例では、第１部分ｐ１と第２部分ｐ２とが、往復してスライドさせられる。すなわち、駆動部２２は、第１部分ｐ１と第２部分ｐ２とを結ぶ方向に沿って、光学部２１を移動させる。  
樹脂評価装置１１１によっても、高精度の樹脂評価装置が提供できる。
【００５５】
（第２の実施形態）  
図５は、第２の実施形態に係る樹脂評価方法を例示するフローチャート図である。  
図５に表したように、本評価方法においては、変調光Ｌｍを樹脂６０に入射させる（ステップＳ１１０）。変調光Ｌｍは、第１光Ｌ１の強度が変調されて形成される。第１光Ｌ１は、樹脂６０が反応する第１波長を含む。変調光Ｌｍは、第１光Ｌ１を、第１部分ｐ１と、第２部分ｐ２と、交互に通過させて変調して得られる。第１部分ｐ１は、第１光Ｌ１を透過させる。第２部分ｐ２の第１光Ｌ１に対する透過率は、第１部分ｐ１の第１光Ｌ１に対する透過率よりも低い。例えば、変調部２０が用いられる。
【００５６】
樹脂６０の反応による変形を検出する（ステップＳ１２０）。この検出は、第１光Ｌ１の光路上に上記の第２部分が位置する複数の低透過期間の少なくともいずれかにおいて、第２光Ｌ２を用いて実施される。検出の際に用いる検出部３０は、第１波長の光に対して感度を有する。  
本実施形態に係る評価方法により、高精度の樹脂評価装置及び樹脂評価方法が提供できる。
【００５７】
実施形態は、以下の構成を含む。  
（構成１）  
樹脂が反応する第１波長を含む第１光を出射する光源部と、
前記光源部と前記樹脂との間に設けられ、前記第１光を透過させる第１部分と、前記第１部分の前記第１光に対する透過率よりも前記第１光に対する透過率が低い第２部分と、を含み、前記第１光の光路上に前記第１部分と前記第２部分とを交互に位置させて、前記第１光の強度が変調された変調光を前記樹脂に入射させる変調部と、
前記樹脂の前記反応による変形を、前記光路上に前記第２部分が位置する複数の低透過期間の少なくともいずれかにおいて第２光を用いて検出し、前記第１波長の光に対して感度を有する検出部と、
を備えた樹脂評価装置。
【００５８】
（構成２）
前記変調部及び前記検出部に接続された制御部を含み、
前記制御部は、前記変調部に前記複数の低透過期間どうしの間の間隔を変化させ、
前記制御部は、前記検出部に前記間隔が変化させられた前記複数の低透過期間に前記検出を実施させる構成１記載の樹脂評価装置。
【００５９】
（構成３）  
前記検出部に接続された制御部を含み、
前記制御部は、前記変形を、前記光路上に前記第１部分が位置する高透過期間に前記第２光を用いてさらに検出し、
前記制御部は、前記複数の低透過期間の前記少なくともいずれかにおいて検出された結果を抽出する構成１記載の樹脂評価装置。
【００６０】
（構成４）  
前記光源部から出射される前記第１光の出力は、５００ｍＷ／ｃｍ２以上である構成１〜３のいずれか１つに記載の樹脂評価装置。
【００６１】
（構成５）  
前記第２光は、前記第１波長の成分を有する構成１〜４のいずれか１つに記載の樹脂評価装置。
【００６２】
（構成６）  
前記光源部は、高圧水銀ランプ及びメタルハライドランプの少なくともいずれかを含む構成１〜５のいずれか１つに記載の樹脂評価装置。
【００６３】
（構成７）  
前記第１波長は、２４０ナノメートル以上４５０ナノメートル以下である構成１〜６のいずれか１つに記載の樹脂評価装置。
【００６４】
（構成８）  
前記第２光のピーク波長は、４００ナノメートル以上７００ナノメートル以下である構成１〜７のいずれか１つに記載の樹脂評価装置。
【００６５】
（構成９）  
前記検出部は、
前記第２光を出射する光出射部と
前記樹脂で反射された前記第２光を受光する受光部と、
を含む構成１〜８のいずれか１つに記載の樹脂評価装置。
【００６６】
（構成１０）  
前記光出射部はレーザを含む構成９記載の樹脂評価装置。
【００６７】
（構成１１）  
前記変調部は、開口部が設けられた金属板を含み、
前記第１部分は、前記開口部を含み、
前記第２部分は、前記金属板のうちの開口部を除く部分を含む構成１〜１０のいずれか１つに記載の樹脂評価装置。
【００６８】
（構成１２）  
前記変調部は、
前記第１部分と前記第２部分と含む光学部と、
前記光路と交差する方向に前記光学部を移動させる駆動部と、
を含む構成１〜１１のいずれか１つに記載の樹脂評価装置。
【００６９】
（構成１３）  
前記光学部は、第１位置を有し、
前記第１部分及び前記第２部分のそれぞれは、前記第１位置とは異なる位置に配置され、
前記駆動部は、前記第１位置を中心として前記光学部を回転させる構成１２記載の樹脂評価装置。
【００７０】
（構成１４）
前記駆動部は、前記第１部分と前記第２部分とを結ぶ方向に沿って前記光学部を移動させる構成１２記載の樹脂評価装置。
【００７１】
（構成１５）  
前記複数の低透過期間のそれぞれの長さは、１ミリ秒の以上１秒以下である構成１〜１４のいずれか１つに記載の樹脂評価装置。
【００７２】
（構成１６）  
前記光路上に前記第１部分が位置する複数の高透過期間が設けられ、
前記複数の高透過期間のそれぞれの長さは、１ミリ秒の以上１秒以下である構成１〜１５のいずれか１つに記載の樹脂評価装置。
【００７３】
（構成１７）
前記複数の低透過期間のそれぞれの長さは、前記複数の低透過期間どうしの間の長さ以下である構成１〜１６のいずれか１つに記載の樹脂評価装置。
【００７４】
（構成１８）  
前記検出部と前記光源部との間に前記変調部が配置される構成１〜１７のいずれか１つに記載の樹脂評価装置。
【００７５】
（構成１９）  
前記樹脂を保持し前記第１光に対して透過性の保持部をさらに備え、
前記保持部と前記光源部との間に前記変調部が配置され、
前記変調光は、前記保持部を介して前記樹脂に入射する構成１〜１８のいずれか１つに記載の樹脂評価装置。
【００７６】
（構成２０）
樹脂が反応する第１波長を含む第１光を、前記第１光を透過させる第１部分と、前記第１部分の前記第１光に対する透過率よりも前記第１光に対する透過率が低い第２部分と、を交互に通過させて、前記第１光の強度が変調された変調光を前記樹脂に入射させ、
前記樹脂の前記反応による変形を、前記光路上に前記第２部分が位置する複数の低透過期間の少なくともいずれかにおいて第２光を用いて検出する樹脂評価方法。
【００７７】
実施形態によれば、高精度の樹脂評価装置及び樹脂評価方法が提供できる。
【００７８】
なお、本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。
【００７９】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、光学素子及び光検出装置に含まれる領域及び光検出部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。  
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
【００８０】
その他、本発明の実施の形態として上述した光学素子及び光検出装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての光学素子及び光検出装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
【００８１】
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
【００８２】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８３】
１０…光源部、  ２０…変調部、  ２０ａ…金属板、  ２０ｏ…開口部、  ２１…光学部、  ２１ｃ…第１位置、  ２２…駆動部、  ３０…検出部、  ３１…光出射部、  ３２…受光部、  ４０…制御部、  ５０…保持部、  ５１…壁部、  ６０…樹脂、  λ…波長、  １１０、１１１…樹脂評価装置、  Ｉ１、Ｉ２…強度、  Ｌ１…第１光、  Ｌ２…第２光、  Ｌｍ…変調光、  Ｐｚ…変位、  ｐ１…第１部分、  ｐ２…第２部分、  ｔ…時間、  ｔ１、ｔ２…長さ、  ｔｍ１…第１期間、  ｔｍ２…第２期間
【図１】
2015184024.tif 000003
【図２】
2015184024.tif 000004
【図３】
2015184024.tif 000005
【図４】
2015184024.tif 000006
【図５】
2015184024.tif 000007