(57)【要約】【課題】ノズルの高さ位置を短時間に調整可能な切削装置を提供する。【解決手段】スピンドルハウジング（４４）に装着されたベース部（５０）と、ベース部に移動可能に配設され被加工物と切削ブレード（３６）とに切削液（Ｌ）を供給するノズル（５２）と、ノズルをチャックテーブル（１０）に保持された被加工物に対して垂直方向に移動させるノズル移動手段（５４）と、ノズルの位置を検出するノズル位置検出手段（５６）と、を備えたブレードカバー（４６）と、ノズルと切削ブレードの刃先との所定の位置関係を基準データとして記憶するとともに、実際のノズルの位置と実際の刃先の位置とを記憶する記憶部（４２ａ）と、記憶部に記憶された実際のノズルの位置と実際の刃先の位置とから実際の位置関係を算出して基準データと比較する比較部（４２ｂ）と、を備えた制御手段（４２）と、を有し、ノズルと切削ブレードの刃先との位置関係が基準データと等しくなるようにノズル移動手段でノズルを移動させる構成とした。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段を制御する制御手段と、該切削手段に装着された該切削ブレード下端の刃先の位置を検出する刃先位置検出手段と、を少なくとも備える切削装置であって、
該切削手段は、一端部に該切削ブレードが装着されたスピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルを回転させるモータと、該スピンドルハウジングの一端側に配設され、該スピンドルの一端部に装着された該切削ブレードを覆うブレードカバーとを有し、
該ブレードカバーは、該スピンドルハウジングに装着されたベース部と、該ベース部に移動可能に配設され被加工物と該切削ブレードとに切削液を供給するノズルと、該ノズルを該チャックテーブルに保持された被加工物に対して垂直方向に移動させるノズル移動手段と、該ノズルの位置を検出するノズル位置検出手段と、を備え、
該ノズルは、該ベース部に移動可能に装着される支持部と、該支持部に配設され切削液を噴出する噴出部とを有し、
該制御手段は、該ノズルと該切削ブレードの該刃先との所定の位置関係を基準データとして記憶するとともに、該ノズル位置検出手段によって検出された実際のノズルの位置と該刃先位置検出手段によって検出された実際の刃先の位置とを記憶する記憶部と、該記憶部に記憶された該実際のノズルの位置と該実際の刃先の位置とから実際の位置関係を算出して該基準データと比較する比較部とを有し、該ノズルと該切削ブレードの該刃先との位置関係が該基準データと等しくなるように該ノズル移動手段によって該ノズルを移動させることを特徴とする切削装置。
【請求項２】
該ノズルは、該切削ブレードの側面を挟んで両側に配設され、該切削ブレードの側面及び該加工点に切削液を供給する一対の該噴出部を有する側面ノズルであることを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
【請求項３】
該刃先位置検出手段は、発光面を有する発光部と、該発光面から発光された光を受光する受光面を有する受光部とを有し、該発光面と該受光面とが対面して配設され、該切削ブレードが該発光面と該受光面との間に位置付けられる事によって該切削ブレードの刃先の位置を検出することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の切削装置。
【請求項４】
該基準データを入力するための入力手段を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を切削する切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面にＩＣ等のデバイスが形成された半導体ウェーハに代表される板状の被加工物は、例えば、回転する円環状の切削ブレードを備える切削装置（ダイシング装置）で切削されて、複数のチップへと分割される。この切削装置では、切削ブレードや被加工物に切削液（純水等）を供給しながら切削を実施するのが一般的である（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
切削装置には、例えば、切削の進行方向前方側から切削ブレードの外周部分に向けて切削液を噴射するノズルや、切削ブレードの表裏面（側面）に向けて切削液を噴射する一対のノズル（側面ノズル）が設けられている。切削ブレードや被加工物は、これらのノズルから供給される切削液で冷却、洗浄される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１１４２２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した側面ノズルは、切削ブレードの下方側において被加工物の加工面と略平行に配置されており、その高さ位置は、切削ブレード及び被加工物の加工点を効果的に冷却できるように、切削ブレードの刃先の位置に応じて調整される。
【０００６】
しかしながら、従来の切削装置において、ノズルの高さ位置の調整は各種の工具を使用する手作業で実施されており、ある程度の時間を要していた。特に、切削ブレードの裏面側（奥側）に位置するノズルを調整する場合には、切削ブレードを覆うブレードカバーを取り外さなくてはならないので、調整作業に要する時間も長くなる。
【０００７】
その上、被加工物の切削によって切削ブレードが摩耗すると、切削ブレードの刃先とノズルとの位置関係は変化するので、切削液の供給状態を維持するためには、ある程度の高い頻度でノズルを調整する必要がある。このように、従来の切削装置では、ノズルの調整に長時間を要するという問題があった。
【０００８】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ノズルの高さ位置を短時間に調整可能な切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段を制御する制御手段と、該切削手段に装着された該切削ブレード下端の刃先の位置を検出する刃先位置検出手段と、を少なくとも備える切削装置であって、該切削手段は、一端部に該切削ブレードが装着されたスピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルを回転させるモータと、該スピンドルハウジングの一端側に配設され、該スピンドルの一端部に装着された該切削ブレードを覆うブレードカバーとを有し、該ブレードカバーは、該スピンドルハウジングに装着されたベース部と、該ベース部に移動可能に配設され被加工物と該切削ブレードとに切削液を供給するノズルと、該ノズルを該チャックテーブルに保持された被加工物に対して垂直方向に移動させるノズル移動手段と、該ノズルの位置を検出するノズル位置検出手段と、を備え、該ノズルは、該ベース部に移動可能に装着される支持部と、該支持部に配設され切削液を噴出する噴出部とを有し、該制御手段は、該ノズルと該切削ブレードの該刃先との所定の位置関係を基準データとして記憶するとともに、該ノズル位置検出手段によって検出された実際のノズルの位置と該刃先位置検出手段によって検出された実際の刃先の位置とを記憶する記憶部と、該記憶部に記憶された該実際のノズルの位置と該実際の刃先の位置とから実際の位置関係を算出して該基準データと比較する比較部とを有し、該ノズルと該切削ブレードの該刃先との位置関係が該基準データと等しくなるように該ノズル移動手段によって該ノズルを移動させることを特徴とする切削装置が提供される。
【００１０】
また、本発明において、該ノズルは、該切削ブレードの側面を挟んで両側に配設され、該切削ブレードの側面及び該加工点に切削液を供給する一対の該噴出部を有する側面ノズルであることが好ましい。
【００１１】
また、本発明において、該刃先位置検出手段は、発光面を有する発光部と、該発光面から発光された光を受光する受光面を有する受光部とを有し、該発光面と該受光面とが対面して配設され、該切削ブレードが該発光面と該受光面との間に位置付けられる事によって該切削ブレードの刃先の位置を検出することが好ましい。
【００１２】
また、本発明において、該基準データを入力するための入力手段を有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の切削装置は、被加工物と切削ブレードとに切削液を供給するノズルと、ノズルを被加工物の加工面と垂直な方向に移動させるノズル移動手段と、ノズルの位置を検出するノズル位置検出手段と、を備えるので、ノズルと切削ブレードの刃先との位置関係があらかじめ制御手段の記憶部に記憶されている基準データと等しくなるように、ノズル移動手段でノズルを移動させることで、ノズルと切削ブレードの刃先とを所定の位置関係に調整できる。
【００１４】
すなわち、本発明の切削装置によれば、ノズルの高さ位置を手作業で調整する必要はない。よって、ノズルの高さ位置を短時間に調整できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施の形態に係る切削装置の構成例を模式的に示す図である。
【図２】切削ユニットの構成例を模式的に示す斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は、切削液の供給状態を模式的に示す平面図であり、図３（Ｂ）は、切削液の供給状態を模式的に示す正面図（側面図）である。
【図４】刃先位置検出機構の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図５】ノズルの高さ位置調整を説明するための側面図（正面図）である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係る切削装置の構成例を模式的に示す図である。図１に示すように、切削装置２は、各構成を支持する基台４を備えている。
【００１７】
基台４の上面には、前後方向（Ｘ軸方向）に長い矩形状の開口４ａが形成されている。この開口４ａ内には、Ｘ軸移動テーブル６、Ｘ軸移動テーブル６をＸ軸方向（前後方向、加工送り方向）に移動させるＸ軸移動機構（不図示）、及びＸ軸移動機構を覆う防水カバー８が設けられている。
【００１８】
Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール（不図示）を備えており、Ｘ軸ガイドレールには、Ｘ軸移動テーブル６がスライド可能に設置されている。Ｘ軸移動テーブル６の下面側には、ナット部（不図示）が固定されており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレールと平行なＸ軸ボールネジ（不図示）が螺合されている。
【００１９】
Ｘ軸ボールネジの一端部には、Ｘ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｘ軸パルスモータでＸ軸ボールネジを回転させることで、Ｘ軸移動テーブル６はＸ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。
【００２０】
Ｘ軸移動テーブル６上には、被加工物（不図示）を吸引保持するチャックテーブル１０が設けられている。被加工物は、例えば、円盤状の半導体ウェーハであり、下面側に貼着されたダイシングテープを介して環状のフレームに支持される。チャックテーブル１０の周囲には、環状のフレームを四方から挟持固定する４個のクランプ１２が設けられている。
【００２１】
チャックテーブル１０は、モータ等の回転機構（不図示）と連結されており、鉛直方向（Ｚ軸方向）に伸びる回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１０は、上述のＸ軸移動機構によりＸ軸方向に移動する。
【００２２】
チャックテーブル１０の上面は、被加工物を吸引保持する保持面１０ａとなっている。この保持面１０ａは、チャックテーブル１０の内部に形成された流路（不図示）を通じて吸引源（不図示）と接続されている。
【００２３】
基台４の上面には、切削ユニット（切削手段）１４を支持する門型の支持構造１６が、開口４ａを跨ぐように配置されている。支持構造１６の前面上部には、切削ユニット１４をＹ軸方向（割り出し送り方向）及びＺ軸方向（鉛直方向）に移動させる切削ユニット移動機構１８が設けられている。
【００２４】
切削ユニット移動機構１８は、支持部１６の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２０を備えている。Ｙ軸ガイドレール２０には、切削ユニット移動機構１８を構成するＹ軸移動テーブル２２がスライド可能に設置されている。
【００２５】
Ｙ軸移動テーブル２２の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が固定されており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２０と平行なＹ軸ボールネジ２４が螺合されている。Ｙ軸ボールネジ２４の一端部には、Ｙ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｙ軸パルスモータでＹ軸ボールネジ２４を回転させれば、Ｙ軸移動テーブル２２は、Ｙ軸ガイドレール２０に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００２６】
Ｙ軸移動テーブル２２の表面（前面）には、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール２６が設けられている。Ｚ軸ガイドレール２６には、Ｚ軸移動テーブル２８がスライド可能に設置されている。
【００２７】
Ｚ軸移動テーブル２８の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が固定されており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール２６と平行なＺ軸ボールネジ３０が螺合されている。Ｚ軸ボールネジ３０の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３２が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３２でＺ軸ボールネジ３０を回転させれば、Ｚ軸移動テーブル２８は、Ｚ軸ガイドレール２６に沿ってＺ軸方向に移動する。
【００２８】
Ｚ軸移動テーブル２８の下部には、被加工物を切削する切削ユニット１４が設けられている。また、切削ユニット１４と隣接する位置には、被加工物の加工面を撮像するカメラ３４が設置されている。上述のようにＹ軸移動テーブル２２及びＺ軸移動テーブル２８を移動させることで、切削ユニット１４及びカメラ３４は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２９】
切削ユニット１４は、Ｙ軸の周りに回転するスピンドル（不図示）の一端側に装着された円環状の切削ブレード３６を備えている。スピンドルの他端側にはモータ（不図示）が連結されており、スピンドルに装着された切削ブレード３６を回転させる。
【００３０】
Ｘ軸移動テーブル６上においてチャックテーブル１０と隣接する位置には、切削ブレード３６の下端に相当する刃先の位置を検出する刃先位置検出機構（刃先位置検出手段）３８が設けられている。また、基台４の上面前部には、切削条件等を入力するための操作パネル（入力手段）４０が設置されている。
【００３１】
Ｘ軸移動機構、切削ユニット１４、切削ユニット移動機構１８、刃先位置検出機構３８、操作パネル４０等は、制御装置（制御手段）４２と接続されている。各構成は、この制御装置４２によって制御される。制御装置４２の詳細については後述する。
【００３２】
図２は、切削ユニット１４の構成例を模式的に示す斜視図である。切削ユニット１４は、スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジング４４を備えている。スピンドルハウジング４４の一端側には、切削ブレード３６を収容するブレードカバー４６が取り付けられている。切削ブレード３６の外周は、下部を除いてブレードカバー４６に覆われている。
【００３３】
切削ブレード３６は、スピンドルの先端部分に取り付けられたフランジ４８で挟み込まれるように固定されている。この切削ブレード３６は、いわゆるワッシャーブレードであり、ダイヤモンド等の砥粒を結合材で結合して円環状に形成されている。なお、切削ブレード３６としては、円環状の支持基台の外周に切り刃を設けた、いわゆるハブブレードを用いても良い。
【００３４】
ブレードカバー４６は、スピンドルハウジング４４に固定されたベース（ベース部）５０を含む。ベース５０には、切削ブレード３６の下部を挟む略Ｌ字状のノズル５２が移動可能に取り付けられている。
【００３５】
ノズル５２は、ベース５０に装着される支持部５２ａと、支持部５２ａの下端側から水平方向に伸びる噴出部５２ｂとを含み、切削ブレード３６及び被加工物の加工点に切削液を供給する。この噴出部５２ｂは、切削ブレード３６の表裏面（側面）を挟んで両側に配置されている。
【００３６】
図３（Ａ）は、切削液の供給状態を模式的に示す平面図であり、図３（Ｂ）は、切削液の供給状態を模式的に示す正面図（側面図）である。図３（Ａ）に示すように、噴出部５２ｂの内側には、切削ブレード３６と対向する複数のスリットＳが形成されている。複数のスリットＳを通じて噴出する切削液（純水等）Ｌによって、切削ブレード３６及び被加工物の加工点は冷却、洗浄される。
【００３７】
支持部５２ａの上部には、ベース５０に対してノズル５２を移動させるノズル移動機構（ノズル移動手段）５４が設けられている。このノズル移動機構５４は、例えば、パルスモータを含み、制御装置４２からの指示に応じてノズル５２を上下に移動させる。すなわち、ノズル移動機構５４によって、ノズル５２は被加工物の加工面に対して垂直に移動する。
【００３８】
また、ベース５０及び支持部５２ａには、ベース５０に対するノズル５２の高さ位置を検出するノズル位置検出機構（ノズル位置検出手段）５６（図５参照）が設けられている。
【００３９】
図４は、刃先位置検出機構３８の構成例を模式的に示す斜視図である。図４に示すように、刃先位置検出機構３８は、直方体状の底部５８と、底部５８の中央において上向きに突出する突出部６０とを含む。突出部６０の上面には、所定の間隔を空けて発光部６２ａ及び受光部６２ｂが設けられている。
【００４０】
発光部６２ａ及び受光部６２ｂは、略立方体状に形成されている。また、発光部６２ａと受光部６２ｂとの間には、図４に示すように、切削ブレード３６が上方から通される。すなわち、発光部６２ａと受光部６２ｂとは、それぞれ、切削ブレード３６と干渉しないように配置されている。
【００４１】
発光部６２ａ及び受光部６２ｂの内側の側面には、それぞれ、発光面６４ａ及び受光面（不図示）が互いに向かい合うように（対面して）配置されている。図４に示すように、発光部６２ａ及び受光部６２ｂの間に切削ブレード３６を通すと、発光面６４ａから放射された光は切削ブレード３６で遮られる。そのため、受光面における受光量に基づいて、切削ブレード３６の下端に相当する刃先の位置を検出できる。
【００４２】
次に、上述した切削装置２において実施されるノズル５２の高さ位置調整について説明する。図５は、ノズル５２の高さ位置調整を説明するための側面図（正面図）である。この高さ位置調整では、あらかじめ、切削ブレード３６の刃先とノズル５２との適切な位置関係を高さ位置調整の基準データとして制御装置４２に記憶させる基準データ記憶ステップを実施しておく。
【００４３】
基準データ記憶ステップでは、まず、操作パネル４０に切削ブレード３６の刃先とノズル５２との適切な位置関係を入力して制御装置４２の記憶部４２ａに記憶させる。切削ブレード３６の刃先とノズル５２との位置関係は、例えば、切削ブレード３６の下端に位置する刃先（以下、単に刃先と呼ぶ）を基準とするノズル５２の高さで表すことができる。
【００４４】
この場合、操作パネル４０には、刃先を基準とするノズル５２の適切な高さＨを入力する。ここで、適切な高さＨとは、切削ブレード３６及び被加工物の加工点を効果的に冷却できる位置関係に相当する高さをいう。なお、記憶部４２ａに記憶させる基準データは、必ずしも、刃先を基準とするノズル５２の適切な高さＨに限定されない。
【００４５】
基準データ記憶ステップの後には、刃先位置検出機構３８を用いて切削ブレード３６の刃先の位置を検出し、ノズル移動機構５４でノズル５２を移動させて適切な高さＨに位置付ける（初期状態）。その後、被加工物を切削する切削ステップ等を実施する。
【００４６】
切削ステップ等で切削ブレード３６が摩耗すると、切削ブレード３６の刃先とノズル５２との位置関係は変化してしまう。そこで、切削液Ｌの供給状態を維持するために、切削ブレード３６の刃先の位置とノズル５２の位置とを検出して、制御装置４２の記憶部４２ａに記憶する位置記憶ステップを実施する。なお、この位置記憶ステップは、任意のタイミングで実施できる。
【００４７】
位置記憶ステップでは、まず、刃先位置検出機構３８で切削ブレード３６の刃先の位置（実際の刃先の位置）を検出し、また、ノズル位置検出機構５６でノズル５２の位置（実際のノズル５２の位置）を検出する。そして、実際の刃先の位置及び実際のノズル５２の位置を、制御装置４２の記憶部４２ａに記憶させる。
【００４８】
位置記憶ステップの後には、記憶部４２ａに記憶された実際の刃先の位置及び実際のノズル５２の位置から、実際の位置関係を算出する位置関係算出ステップを実施する。この位置関係算出ステップは、制御装置４２の比較部４２ｂで実施される。
【００４９】
比較部４２ｂは、例えば、記憶部４２ａから読み出された実際の刃先の位置及び実際のノズル５２の位置を、初期状態における刃先の位置及びノズル５２の位置と比較して、それぞれの変化量を求める。そして、この変化量から、実際の位置関係（実際の刃先に対する実際のノズル５２の高さ）を算出する。
【００５０】
例えば、初期状態における刃先の位置に対して実際の刃先の位置がΔ１上昇し、初期状態におけるノズル５２の位置に対して実際のノズル５２の位置がΔ２上昇した場合、実際の位置関係は、Ｈ−（Δ１−Δ２）となる。
【００５１】
位置関係算出ステップの後には、ノズル５２を移動させるノズル移動ステップを実施する。このノズル移動ステップでは、位置関係算出ステップで算出された実際の位置関係に基づいて、ノズル５２と切削ブレード３６の刃先との位置関係が基準データと等しくなるようにノズル５２を移動させる。
【００５２】
具体的には、まず、比較部４２ｂが、実際の位置関係（Ｈ−（Δ１−Δ２））と基準データの位置関係（Ｈ）とを比較して、ノズル５２を適切な高さ（Ｈ）に位置付けるために必要なノズル５２の移動距離（Δ１−Δ２）を算出する。そして、算出した移動距離（Δ１−Δ２）だけノズル５２を移動させ、切削ブレード３６の刃先に対して適切な高さＨに位置付ける。
【００５３】
以上のように、本実施の形態に係る切削装置２は、被加工物と切削ブレード３６とに切削液Ｌを供給するノズル５２と、ノズル５２を被加工物の加工面と垂直な方向に移動させるノズル移動機構（ノズル移動手段）５４と、ノズル５２の位置を検出するノズル位置検出機構（ノズル位置検出手段）５６と、を備えるので、ノズル５２と切削ブレード３６の刃先との位置関係があらかじめ制御装置（制御手段）４２の記憶部４２ａに記憶されている基準データと等しくなるようにノズル移動機構５４でノズル５２を移動させることで、ノズル５２と切削ブレード３６の刃先とを所定の位置関係に調整できる。
【００５４】
すなわち、本発明の切削装置２によれば、ノズル５２の高さ位置を手作業で調整する必要はない。よって、ノズル５２の高さ位置を短時間に調整できる。
【００５５】
なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、切削ブレード３６の表裏面（側面）に向けて切削液Ｌを噴射するノズル５２（いわゆる、側面ノズル）の高さ位置を調整できる切削装置２を例示しているが、同様の構成で他のノズルの高さ位置を調整できるようにしても良い。
【００５６】
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００５７】
２  切削装置
４  基台
４ａ  開口
６  Ｘ軸移動テーブル
８  防水カバー
１０  チャックテーブル
１０ａ  保持面
１２  クランプ
１４  切削ユニット（切削手段）
１６  支持構造
１８  切削ユニット移動機構
２０  Ｙ軸ガイドレール
２２  Ｙ軸移動テーブル
２４  Ｙ軸ボールネジ
２６  Ｚ軸ガイドレール
２８  Ｚ軸移動テーブル
３０  Ｚ軸ボールネジ
３２  Ｚ軸パルスモータ
３４  カメラ
３６  切削ブレード
３８  刃先位置検出機構（刃先位置検出手段）
４０  操作パネル（入力手段）
４２  制御装置（制御手段）
４２ａ  記憶部
４２ｂ  比較部
４４  スピンドルハウジング
４６  ブレードカバー
４８  フランジ
５０  ベース（ベース部）
５２  ノズル
５２ａ  支持部
５２ｂ  噴出部
５４  ノズル移動機構（ノズル移動手段）
５６  ノズル位置検出機構（ノズル位置検出手段）
５８  底部
６０  突出部
６２ａ  発光部
６２ｂ  受光部
６４ａ  発光面
Ｈ  高さ
Ｌ  切削液
Ｓ  スリット
【図１】
2015138950.tif 000003
【図２】
2015138950.tif 000004
【図３】
2015138950.tif 000005
【図４】
2015138950.tif 000006
【図５】
2015138950.tif 000007