(57)【要約】【課題】半導体チップを３段積層し且つフルモールドタイプとした半導体パッケージにおいて、モールド樹脂の収縮によって中段チップに発生する圧縮応力を低減するのに適した構成を提供する。【解決手段】アイランド１０と、アイランド１０の一面１１上に順次搭載された半導体よりなる下段チップ２０、中段チップ３０、および上段チップ４０と、これら全体を封止するモールド樹脂５０と、を備え、中段チップ３０は回路部３０ａを有するものであり、下段チップの厚みＤ１は上段チップの厚みＤ３以上であり、中段チップの厚みＤ２は上段チップの厚みＤ３以上であり、中段チップの平面サイズＨ１は上段チップの平面サイズＨ２よりも大きいものであり、アイランド１０の他面１２の直下に位置するモールド樹脂５０の厚みＤ４は、中段チップ３０の上面３２上に位置するモールド樹脂５０の厚みＤ５よりも大きい。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面（１１）と他面（１２）とが表裏の板面の関係にある金属製のアイランド（１０）と、
前記アイランドの一面上に搭載された半導体よりなる下段チップ（２０）と、
前記下段チップ上に積層された半導体よりなる中段チップ（３０）と、
前記中段チップ上に積層された半導体よりなる上段チップ（４０）と、
前記アイランドの一面側、前記アイランドの他面側、および前記３個のチップ（２０〜４０）を封止するモールド樹脂（５０）と、を備え、
前記下段チップおよび前記中段チップのうち少なくとも前記中段チップは、回路部（３０ａ）を有するものである半導体パッケージであって、
前記下段チップの厚み（Ｄ１）は、前記上段チップの厚み（Ｄ３）以上であり、
前記中段チップの厚み（Ｄ２）は、前記上段チップの厚み以上であり、
前記中段チップの平面サイズ（Ｈ１）は、前記上段チップの平面サイズ（Ｈ２）よりも大きいものであり、
前記アイランドの他面の直下に位置する前記モールド樹脂の厚み（Ｄ４）は、前記中段チップの上面（３２）上に位置する前記モールド樹脂の厚み（Ｄ５）よりも大きいものであることを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項２】
前記下段チップの平面サイズは、前記中段チップの平面サイズよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の半導体パッケージ。
【請求項３】
前記上段チップの平面サイズは、前記中段チップにおける前記回路部の平面サイズよりも大きいものであり、
前記回路部の全体が前記上段チップの外郭の内周に位置するように、前記回路部の全体が前記上段チップにて被覆されていることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属製のアイランド上に３個の半導体チップを積層し、これら３個の半導体チップおよびアイランドの全体を、モールド樹脂で封止してなる半導体パッケージに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、たとえば、基板上に３個の半導体チップを積層したものを、モールド樹脂でハーフモールドしてなる半導体パッケージ、いわゆる３段積層チップのハーフモールドパッケージとして、特許文献１に記載のものが提案されている。
【０００３】
このものは、これは一面と他面とが表裏の板面の関係にある回路基板等の基板と、基板の一面上に搭載された半導体よりなる下段チップと、下段チップ上に積層された半導体よりなる中段チップと、中段チップ上に積層された半導体よりなる上段チップと、基板の一面側、および３個の半導体チップを封止するモールド樹脂と、を備える。そして、基板の他面はモールド樹脂より露出するハーフモールドタイプのものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１８８３６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記従来の３段積層チップのハーフモールドパッケージでは、３段の半導体チップを搭載している基板の一面側のみにモールド樹脂が存在する。そのため、樹脂硬化時や使用時の温度サイクル等におけるモールド樹脂の収縮により、チップ側とは反対側である基板の他面側が凸となるように反りが生じやすい。そして、このようなパッケージの反りにより、各チップにダメージが発生しやすい。
【０００６】
そこで、本発明者は、半導体チップを３段積層した場合において、基板に代えて金属製のアイランドを採用するとともに、アイランドにおけるチップ搭載側とは反対側の他面側も、モールド樹脂で封止した構成を、試作検討することとした。このような本発明者が採用した構成は、金属製のアイランドの表裏両面をモールド樹脂で封止するものであり、いわゆるフルモールドパッケージといわれる。
【０００７】
この本発明者の試作品としてのフルモールドパッケージは、図８に示されるように、一面１１と他面１２とが表裏の板面の関係にある金属製のアイランド１０を備えている。そして、アイランド１０の一面１１上には、当該一面１１側より下段チップ２０、中段チップ３０、および上段チップ４０が順次積層されて搭載され、アイランド１０の一面１１側と他面１２側および３個の半導体チップ２０〜４０は、モールド樹脂５０で封止されている。
【０００８】
このフルモールドタイプによれば、上記ハーフモールドタイプに比べて、アイランド１０の両面１１、１２におけるモールド樹脂５０のバランスを取ることができ、パッケージの反りを抑制できると考えられる。
【０００９】
また、３段のチップ２０、３０、４０のうち、上段チップ４０はモールド樹脂５０外部に近いので温度等の影響をうけやすく、下段チップ２０は金属製のアイランド１０に接着されるので温度変化の影響を受けやすい等の理由から、本発明者は、機能面で重要な回路部３０ａを中段チップ３０に設けることとした。
【００１０】
しかし、上記フルモールドタイプの場合においても、各チップ２０〜４０とモールド樹脂５０との線膨張係数差により、図８中の矢印に示されるように、中段チップ３０において主に平面方向に圧縮応力が発生する。この圧縮応力が大きいものになると、中段チップ３０の回路部３０ａがダメージを受けるおそれがある。
【００１１】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、半導体チップを３段積層し且つフルモールドタイプとした半導体パッケージにおいて、モールド樹脂の収縮によって中段チップに発生する圧縮応力を低減するのに適した構成を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、一面（１１）と他面（１２）とが表裏の板面の関係にある金属製のアイランド（１０）と、アイランドの一面上に搭載された半導体よりなる下段チップ（２０）と、下段チップ上に積層された半導体よりなる中段チップ（３０）と、中段チップ上に積層された半導体よりなる上段チップ（４０）と、アイランドの一面側、アイランドの他面側、および３個のチップ（２０〜４０）を封止するモールド樹脂（５０）と、を備え、下段チップおよび中段チップのうち少なくとも中段チップは、回路部（３０ａ）を有するものである半導体パッケージであって、
下段チップの厚み（Ｄ１）は、上段チップの厚み（Ｄ３）以上であり、中段チップの厚み（Ｄ２）は、上段チップの厚み以上であり、中段チップの平面サイズ（Ｈ１）は、上段チップの平面サイズ（Ｈ２）よりも大きいものであり、アイランドの他面の直下に位置するモールド樹脂の厚み（Ｄ４）は、中段チップの上面（３２）上に位置するモールド樹脂の厚み（Ｄ５）よりも大きいものであることを特徴とする。
【００１３】
それによれば、モールド樹脂の収縮時に、中段チップが上面側に凸、つまりアイランドの一面上に凸となるように反りやすくなり、この反りによる引っ張り応力が、上記した中段チップに発生する圧縮応力を相殺するため、中段チップに発生する圧縮応力を低減することができる。
【００１４】
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態にかかる半導体パッケージを示す概略断面図である。
【図２】本発明の実施形態にかかる半導体パッケージを示す概略平面図である。
【図３】実施形態にかかる半導体パッケージの反り状態を示す図である。
【図４】下段チップの厚みＤ１に対する上段チップの厚みＤ３の比Ｄ３／Ｄ１と圧縮応力との関係を示すグラフである。
【図５】中段チップの厚みＤ２に対する上段チップの厚みＤ３の比Ｄ３／Ｄ２と圧縮応力との関係を示すグラフである。
【図６】中段チップの平面サイズＨ１に対する上段チップの平面サイズＨ２の比Ｈ２／Ｈ１と圧縮応力との関係を示すグラフである。
【図７】アイランドの他面の直下に位置するモールド樹脂の厚みＤ４と中段チップの上面上に位置するモールド樹脂の厚みＤ５の比Ｄ５／Ｄ４と圧縮応力との関係を示すグラフである。
【図８】本発明者の試作品としてのフルモールドタイプの半導体パッケージを示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各図相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００１７】
まず、本実施形態にかかる半導体パッケージＰ１について、図１、図２を参照して述べる。なお、図２は、図１の上視平面図に相当するが、図２中では、モールド樹脂５０の外形を一点鎖線で示し、モールド樹脂５０を透過してモールド樹脂５０の内部に位置する構成要素を実線にて示している。この半導体パッケージＰ１は、たとえば自動車などの車両に搭載され、車両用の各種電子装置を駆動するための装置として適用される。
【００１８】
本実施形態の半導体パッケージＰ１は、大きくは、一面１１と他面１２とが表裏の板面の関係にある金属製のアイランド１０における一面１１上に、下段チップ２０、中段チップ３０、および上段チップ４０を順次積層してなり、これらをモールド樹脂５０によりフルモールド状態で封止したものである。
【００１９】
アイランド１０は、Ｃｕ（銅）やＦｅ（鉄）あるいはこれらの合金等の金属よりなる板状をなすもので、３個のチップ２０〜４０を搭載するチップ搭載部として構成されている。ここでは、図１、図２に示されるように、アイランド１０は、矩形板状をなすが、このアイランド１０には、溝、スリットまたはホール等が設けられてもよい。
【００２０】
なお、図２では、アイランド１０の四隅部からモールド樹脂５０の表面まで吊りリード１０ａが延びている。この吊りリード１０ａは、後述するように、アイランド１０がリード６０と一体のリードフレーム素材より形成されたものである場合に必然的に存在するものである。
【００２１】
下段チップ２０は、アイランド１０の一面１１上に搭載されたシリコン等の半導体よりなる板状をなす半導体チップである。ここでは下段チップ２０は、アイランド１０側の板面を下面２１、当該下面２１とは反対側の板面を上面２２とする矩形板状をなす。そして、下段チップ２０の下面２１とアイランド１０の一面１１とは、第１の接合材７０を介して接合されている。
【００２２】
中段チップ３０は、下段チップ２０上すなわち下段チップ２０の上面２２上に積層されたシリコン等の半導体よりなる板状をなす半導体チップである。ここでは中段チップ３０は、下段チップ２０の上面２２側の板面を下面３１、当該下面３１とは反対側の板面を上面３２とする矩形板状をなす。
【００２３】
また、この中段チップ３０の上面３２側には、中段チップ３０の一部としてトランジスタなどにより構成された回路部３０ａが設けられている。そして、中段チップ３０の下面３１と下段チップ２０の上面２２とは、第２の接合材７１を介して接合されている。
【００２４】
上段チップ４０は、中段チップ３０上すなわち中段チップ３０の上面３２上に積層されたシリコン等の半導体よりなる板状をなす半導体チップである。ここでは上段チップ４０は、中段チップ３０の上面３２側の板面を下面４１、当該下面４１とは反対側の板面を上面４２とする矩形板状をなす。
【００２５】
また、ここでは上段チップ４０は、半導体パッケージＰ１における回路とは電気的に無関係なダミーチップである。つまり、上段チップ４０は、下段チップ２０、中段チップ３０、アイランド１０およびリード６０とは、電気的に接続されていないものである。そして、上段チップ４０の下面４１と中段チップ３０の上面３２とは、第３の接合材７２を介して接合されている。
【００２６】
ここで、下段チップ２０および中段チップ３０は、半導体プロセスにより形成されたＩＣチップやマイコン等の半導体チップである。ここで、回路部３０ａは中段チップ３０には必須のものとして設けられているが、下段チップ２０の一部として下段チップ２０にも設けられていてもよいし、下段チップ２０には設けられていなくてもよい。
【００２７】
また、上段チップ４０は、ここではダミーチップであり、上段チップ４０は、単なるシリコンの板として構成されたものである。しかし、上段チップ４０についても、トランジスタ等の素子が形成されたものとして、パッケージＰ１における回路を構成する一部としてもよいことはもちろんである。この場合、上段チップ４０と他のチップ２０、３０やリード６０とは、たとえば後述するワイヤ８０で接続されたものになる。
【００２８】
また、上記したアイランド１０、下段チップ２０、中段チップ３０、および上段チップ４０を接続する第１〜第３の接合材７０〜７２としては、低弾性樹脂よりなるダイアタッチフィルム（ＤＡＦ）が使用される。
【００２９】
このＤＡＦを構成する樹脂としては、たとえばエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂あるいはこれらの混合物等が挙げられる。また、このＤＡＦを構成する樹脂には、シリカ、アルミナ、窒化ホウ素等のフィラーが含有されていてもよい。なお、第１の接合材７０については、ＤＡＦに代えてＡｇペースト等の導電ペースト及び絶縁ペーストであってもよい。
【００３０】
また、図１、図２に示されるように、本実施形態の半導体パッケージＰ１においては、アイランド１０の外郭の外側に、半導体パッケージＰ１における外部接続用のリード６０が設けられている。ここでは、リード６０は、複数個のものがアイランド１０を取り巻くように放射状に設けられている。
【００３１】
このリード６０は、たとえばタイバー等によりアイランド１０とリード６０とが一体に連結されたリードフレーム素材より形成されるもので、モールド樹脂５０による封止後に、リードカットを行うことで、アイランド１０と分離される。なお、リード６０とアイランド１０とは、もともと別体のものより形成されたものであってもよい。
【００３２】
このようなリード６０は、たとえばアイランド１０と同様、ＣｕやＦｅ等の金属よりなる。そして、リード６０と、下段チップ２０および中段チップ３０とが、ワイヤ８０を介して結線され電気的に接続されている。このワイヤ８０は、通常のワイヤボンディングにより形成されるもので、たとえばＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ等よりなる。
【００３３】
そして、モールド樹脂５０は、アイランド１０の一面１１側、アイランド１０の他面１２側、および、３個のチップ２０〜４０を封止している。つまり、モールド樹脂５０は、アイランド１０および３個のチップ２０〜４０の全体を封止し、フルモールドパッケージ構成を実現している。
【００３４】
さらに、モールド樹脂５０は、いわゆるＱＦＰ（クワッドフラットパッケージ）の如く、ワイヤ８０、およびリード６０におけるワイヤ８０との接続部であるインナーリードを封止している。そして、リード６０におけるワイヤ８０との接続部とは反対側の部位であるアウターリードは、モールド樹脂５０より突出し、外部の配線部材等と接続されるようになっている。
【００３５】
このモールド樹脂５０は、フルモールドパッケージにおける典型的なものと同様、３段のチップ２０〜４０およびアイランド１０の積層方向を板厚方向として、アイランド１０よりも一回り大きい矩形板状をなしている。ここでは、モールド樹脂５０は、アイランド１０の他面１２側の板面を下表面５１、当該下表面５１とは反対側の板面を上表面５２とする矩形板状をなす。
【００３６】
このような半導体パッケージＰ１の製造方法の一例を示しておく。たとえばアイランド１０とリード６０とが一体となったリードフレーム素材を用意し、アイランド１０上に各チップ２０〜４０を積層して搭載するとともに、ワイヤボンディング等によりワイヤ８０を形成する。
【００３７】
そして、このものを、トランスファー成形やコンプレッション成形等により、モールド樹脂５０で封止する。この封止後に、リードカット、リード６０の曲げ等の成形などを行う。これにより、本実施形態の半導体パッケージＰ１ができあがる。
【００３８】
ここで、本実施形態の半導体パッケージＰ１においては、さらに、以下の（１）、（２）、（３）、（４）に述べるような独自の構成が採用されている。なお、（１）〜（４）の構成における各寸法Ｄ１〜Ｄ５、Ｈ１、Ｈ２については、図１中に示されている。
【００３９】
構成（１）：Ｄ１≧Ｄ３。つまり、この構成（１）は、下段チップ２０の厚みＤ１は、上段チップ４０の厚みＤ３以上であること。ここで、下段チップ２０の厚みＤ１は、下段チップ２０の上面２２と下面２１との距離であり、シリコン部分の厚さ（つまり板厚）である。また、上段チップ４０の厚みＤ３は、上段チップ４０の上面４２と下面４１との距離であり、シリコン部分の厚さ（つまり板厚）である。
【００４０】
構成（２）：Ｄ２≧Ｄ３。つまり、この構成（２）は、中段チップ３０の厚みＤ２は、上段チップ４０の厚みＤ３以上であること。ここで、中段チップ３０の厚みＤ２は、中段チップ３０の上面３２と下面３１との距離であり、シリコン部分の厚さ（つまり板厚）である。
【００４１】
構成（３）：Ｈ１＞Ｈ２。つまり、この構成（３）は、中段チップ３０の平面サイズＨ１は、上段チップ４０の平面サイズＨ２よりも大きいものであること。そして、上段チップ４０の全体が、中段チップ３０の外郭の内周（つまり、中段チップ３０の端部の内側）に位置している。ここで、各チップ３０、４０の平面サイズＨ１、Ｈ２とは、チップの平面の面積（例えば矩形板状のチップならば当該矩形の面積）である。
【００４２】
構成（４）：Ｄ４＞Ｄ５。つまり、この構成（４）は、アイランド１０の他面１２の直下に位置するモールド樹脂５０の厚みＤ４は、中段チップ３０の上面３２上に位置するモールド樹脂５０の厚みＤ５よりも大きいものであること。
【００４３】
ここで、アイランド１０の他面１２の直下に位置するモールド樹脂５０の厚みＤ４は、アイランド１０の他面１２からモールド樹脂５０の下表面５１までの距離である。また、中段チップ３０の上面３２上に位置するモールド樹脂５０の厚みＤ５は、中段チップ３０の上面３２（上段チップ４０が位置しない部分の上面３２）からモールド樹脂５０の上表面５２までの距離である。
【００４４】
これら構成（１）〜（４）による作用効果について、図３も参照して述べる。まず、構成（１）のＤ１≧Ｄ３、および、構成（２）のＤ２≧Ｄ３によれば、３段のチップ２０〜４０の合計厚みの中で、中段チップ３０の厚みＤ２と、中段チップ３０を支持する下段チップ２０の厚みＤ１とを相対的に厚くできる。
【００４５】
そうすることで、中段チップ３０および下段チップ２０の剛性を大きくすることができ、モールド樹脂５０の収縮時における中段チップ３０の収縮量を低減できることから、中段チップ３０の圧縮応力を低減しやすくなる。
【００４６】
次に、構成（３）のＨ１＞Ｈ２によれば、中段チップ３０の上面３２のうち上段チップ４０が存在しない部位、すなわち中段チップ３０の上面３２のうち直接モールド樹脂５０に接している周辺部にて、図３の矢印に示されるように、モールド樹脂５０の収縮時にモールド樹脂５０から中段チップ３０の上面３２を押さえる押さえ力Ｆ１が印加される。
【００４７】
次に、構成（４）のＤ４＞Ｄ５によれば、アイランド１０の他面１２直下のモールド樹脂５０の方が、中段チップ３０の上面３２上のモールド樹脂５０よりも厚い（たとえば２〜３倍）と、アイランド１０の他面１２直下の方が中段チップ３０の上面３２上の方よりもモールド樹脂５０の体積が大きい構成となる。
【００４８】
これにより、結果的に、アイランド１０の他面１２直下の方が中段チップ３０の上面３２上の方よりも、モールド樹脂５０の収縮量が大きくなる。そのため、この上下のモールド樹脂５０の収縮量差により、パッケージＰ１がアイランド１０の一面１１側に凸となるように反りやすくなる。
【００４９】
つまり、構成（３）および構成（４）によれば、モールド樹脂５０の収縮時において、モールド樹脂５０からの押さえ力Ｆ１、および、上記の上下モールド樹脂５０の収縮量差による力によって、中段チップ３０が上面３２側に凸、つまりアイランド１０の一面１１上に凸となるように反りやすくなる。
【００５０】
そのため、図３の両矢印に示されるように、この反りによる引っ張り応力Ｆ２が中段チップ３０に発生する。そして、この引っ張り応力Ｆ２が、上記した中段チップ３０に発生する圧縮応力を相殺するから、本実施形態によれば、モールド樹脂５０の収縮時に中段チップ３０に発生する圧縮応力を低減することができる。
【００５１】
なお、本実施形態において、モールド樹脂５０の収縮時には、上段チップ４０の上面４２に対してモールド樹脂５０の押さえ力Ｆ３が加わるため、上段チップ４０は下面４１に凸となるように反りやすくなる。しかし、回路部３０ａを有する機能上重要な中段チップ３０については、上記のように圧縮応力が低減されるため、問題無い。
【００５２】
ここで、上記の構成（１）〜（４）と中段チップ３０に発生する圧縮応力との関係については、本発明者はシミュレーションにより確認している。そのシミュレーションの一例について、図４〜図７に示しておく。図４〜図７の各グラフは、ＦＥＭ（有限要素法）による応力解析によりシミュレーションを行ったものである。
【００５３】
ここで、図４〜図７の横軸には、上記の構成（１）〜（４）の各比を採り、縦軸には圧縮応力を採っている。この圧縮応力は、上記したモールド樹脂５０の収縮時における中段チップ３０に発生する圧縮応力であり、各グラフに示される最小値を０に規格化して、当該縦軸の下に行くにつれて当該圧縮応力が大きくなっていくことを意味する。
【００５４】
図４に示されるように、下段チップ２０の厚みＤ１に対する上段チップ４０の厚みＤ３の比Ｄ３／Ｄ１が１以上、つまり、構成（１）のＤ１≧Ｄ３であれば、圧縮応力が小さくなることが、確認される。
【００５５】
図５に示されるように、中段チップ３０の厚みＤ２に対する上段チップ４０の厚みＤ３の比Ｄ３／Ｄ２が１以上、つまり、構成（２）のＤ２≧Ｄ３であれば、圧縮応力が小さくなることが、確認される。
【００５６】
図６に示されるように、中段チップ３０の平面サイズＨ１に対する上段チップの平面サイズＨ２の比Ｈ２／Ｈ１が１未満、つまり、構成（３）のＨ１＞Ｈ２であれば、圧縮応力が小さくなることが、確認される。
【００５７】
そして、図７に示されるように、アイランド１０の他面１２の直下に位置するモールド樹脂５０の厚みＤ４と中段チップ３０の上面３２上に位置するモールド樹脂５０の厚みＤ５の比Ｄ５／Ｄ４が１未満、つまり、構成（４）のＤ４＞Ｄ５であれば、圧縮応力が小さくなることが、確認される。
【００５８】
このように、上記した構成（１）〜（４）のいずれの場合も、圧縮応力が小さくなる関係を満足するものである。そして、各構成（１）〜（４）による作用のメカニズムについては上述の通りである。そのため、本実施形態では、構成（１）〜（４）のすべてを満足する構成とすることにより、モールド樹脂５０の収縮時に中段チップ３０に発生する圧縮応力を低減できるのである。
【００５９】
また、図１、図２に示されるように、本実施形態においては、上記の構成（１）〜（４）に加えて、さらに好ましい形態として、下段チップ２０の平面サイズを中段チップ３０の平面サイズＨ１よりも大きいものとしている。この下段チップ２０の平面サイズも、上記した中段チップ３０および上段チップ４０の平面サイズと同様の定義である。
【００６０】
この好ましい形態によれば、上記した中段チップ３０および上段チップ４０の平面サイズの関係と同様に、中段チップ３０の全体が、下段チップ２０の外郭の内周（つまり、下段チップ２０の端部の内側）に位置したものとなる。
【００６１】
つまり、この好ましい形態によれば、下段チップ２０の上面２２のうち中段チップ３０が存在しない部位、すなわち下段チップ２０の上面２２のうち直接モールド樹脂５０に接している周辺部にて、図３の矢印に示されるように、モールド樹脂５０の収縮時にモールド樹脂５０から下段チップ２０の上面２２を押さえる押さえ力Ｆ４が印加される。
【００６２】
そのため、下段チップ２０が上面２２側に凸、つまりアイランド１０の一面１１上に凸となるように反りやすくなり、これに倣って、中段チップ３０も上面３２側に凸となるように反りやすくなる。そうすると、上記した引っ張り応力Ｆ２が中段チップ３０に発生しやすくなり、上記した中段チップ３０に発生する圧縮応力の相殺という点で好ましいものとなる。
【００６３】
さらに、本実施形態における好ましい形態としては、図１、図２に示されるように、上段チップ４０の平面サイズＨ２を、中段チップ３０における回路部３０ａの平面サイズよりも大きいものとし、この回路部３０ａの全体が上段チップ４０の外郭の内周に位置するようにする。
【００６４】
つまり、回路部３０ａ全体が上段チップ４０の端部の内側に位置するように、回路部３０ａの全体が上段チップ４０にて被覆されている。言い換えれば、上段チップ４０は中段チップ３０における回路部３０ａ上に搭載されるが、このとき上段チップ４０が回路部３０ａよりも平面サイズが大きいため、上段チップ４０の外郭全周が回路部３０ａの外郭よりはみ出した状態とされている。
【００６５】
このように、上段チップ４０を中段チップ３０の上面３２に搭載した場合、上段チップ４０が中段チップ３０における回路部３０ａよりも平面サイズが大きいものであれば、上段チップ４０が回路部３０ａ全体を被覆するように、搭載することが望ましい。これにより、上段チップ４０によって、回路部３０ａの保護がなされるためである。
【００６６】
（他の実施形態）
なお、上記実施形態では、好ましい形態として、下段チップ２０の平面サイズを中段チップ３０の平面サイズＨ１よりも大きいものとしたが、下段チップ２０の平面サイズが中段チップ３０の平面サイズＨ１より小さいものであってもよい。その場合、下段チップ３０と中段チップ３０とをワイヤ８０ではなく、たとえばフリップチップの如くバンプ接合等で接合すればよい。
【００６７】
また、上段チップ４０の平面サイズＨ２は、必ずしも中段チップ３０の回路部３０ａの平面サイズよりも大きいものでなくてもよい。また、上段チップ４０は、回路部３０ａの全体ではなく一部を被覆するものでもよいし、まったく被覆しないように配置されたものであってもよい。
【００６８】
また、アイランド１０および３個の各チップ２０〜４０は平面矩形の板状であったが、板状であるならば、たとえば矩形以外の多角形板や円形板等のものであってもよい。また、半導体パッケージＰ１と外部の配線部材等との接続は、ワイヤ８０およびリード６０を介して行われるものであったが、これに限定されるものではない。
【００６９】
また、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記実施形態に示した各例は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能であり、また、上記実施形態は、上記の図示例に限定されるものではない。また、上記実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００７０】
１０    アイランド
２０    下段チップ
３０    中段チップ
３０ａ  回路部
３２    中段チップの上面
４０    上段チップ
５０    モールド樹脂
Ｄ１    下段チップの厚み
Ｄ２    中段チップの厚み
Ｄ３    上段チップの厚み
Ｄ４    アイランドの他面の直下に位置するモールド樹脂の厚み
Ｄ５    中段チップの上面上に位置するモールド樹脂の厚み
Ｈ１    中段チップの平面サイズ
Ｈ２    上段チップの平面サイズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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