(57)【要約】【課題】電子部品の損傷を低減することができ、電子部品の搬送を簡単な構成で行うことのできる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１は、ＩＣデバイス９が通る搬送レーン３１と、ＩＣデバイス９の姿勢を変える姿勢制御機構３４と、を含み、姿勢制御機構３４は、搬送レーン３１を通ったＩＣデバイス９を載置する載置レーン３４４を有する載置ステージ３４１と、少なくとも、ＩＣデバイス９の搬送方向の上流側の第１位置と下流側の第２位置とにおいて、載置ステージ３４１と接するガイド部３４７と、を含み、第１位置においてガイド部３４７と接する時の載置ステージ３４３の第１姿勢と、第２位置においてガイド部３４７と接する時の載置ステージ３４３の第２姿勢とは異なる。【選択図】図９
2015184161.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定面に対して傾斜し、電子部品が通る通路と、
前記電子部品の姿勢を変える姿勢制御機構と、を含み、
前記姿勢制御機構は、
前記通路を通った前記電子部品を載置する少なくとも１つの載置部を有する載置機構と、
少なくとも、前記電子部品の搬送方向の上流側の第１位置と前記電子部品の搬送方向の下流側の第２位置とにおいて、前記載置機構と接する案内部と、を含み、
前記第１位置において前記案内部と接する時の前記載置機構の第１姿勢と、前記第２位置において前記案内部と接する時の前記載置機構の第２姿勢とは異なる、
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記載置機構は、前記案内部に沿って直線移動することで前記第１姿勢から前記第２姿勢となる、
請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記載置機構は、
ベース部と、
前記ベース部に対して回動可能に連結され、前記載置部が設けられている傾斜部と、を含み、
前記載置機構は、前記ベース部の移動により、前記傾斜部を前記ベース部に対して回動させることで、前記第１姿勢から前記第２姿勢となる、
請求項１または２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記載置部には、前記電子部品と当接する当接部が設けられている、
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記通路は、水平に対して傾斜し、
前記電子部品は、重力によって、前記通路を移動する、
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記通路を通った複数の前記電子部品のうちの、第１電子部品を前記第１電子部品の１つ後方に位置する第２電子部品から離間させる離間機構を更に含む、
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記離間機構は、前記第１電子部品を固定する第１固定部と、前記第２電子部品を固定する第２固定部と、を含み、
前記離間機構は、前記第１電子部品を前記第２電子部品から離間させた後、前記第１固定部による前記第１電子部品の固定を解除する、
請求項６に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記載置機構は、複数の前記載置部を含み、
複数の前記載置部は、前記電子部品の前記搬送方向と異なる方向に並設されている、
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
前記通路を通った前記電子部品を複数の前記載置部のいずれかの前記載置部に振り分ける振分機構を更に含む、
請求項８に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１０】
前記載置部に載置された前記電子部品を把持する把持ロボットを更に含む、
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置と、
前記電子部品を検査する検査部と、を含む、
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばＩＣデバイスなどの電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られており、この電子部品検査装置には、検査部までＩＣデバイスを搬送するための電子部品搬送装置（ハンドラー）が組み込まれている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、垂直に延びるＩＣデバイス搬送用通路を有し、このＩＣデバイス搬送用通路内でＩＣデバイスを自然落下させることで、ＩＣデバイスを検査部まで搬送するハンドラーが記載されている。
【０００４】
また、例えば、特許文献２には、水平に対して傾斜し、ＩＣデバイスを自然滑走させるバッファレールと、バッファレールの下流側に位置し、回転可能に設けられている回転アームと、を有し、バッファレールを自然滑走してきたＩＣデバイスを回転アームで受け取り、回転アームを回転させることで、ＩＣデバイスを水平状態とし、水平状態としたＩＣデバイスを吸着ヘッドで吸着して検査部まで搬送するハンドラーが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１０３５５３号公報
【特許文献２】国際公開ＷＯ９７／１７６１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１のような構成のハンドラーでは、自然落下したＩＣデバイス同士が勢いよくぶつかるため、その衝撃によってＩＣデバイスが損傷するおそれがある。また、特許文献２のような構成では、ハンドラー全体の構成が複雑化するという問題がある。
【０００７】
本発明の目的は、電子部品の損傷を低減することができ、電子部品の搬送を簡単な構成で行うことのできる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の電子部品搬送装置は、所定面に対して傾斜し、電子部品が通る通路と、
前記電子部品の姿勢を変える姿勢制御機構と、を含み、
前記姿勢制御機構は、
前記通路を通った前記電子部品を載置する少なくとも１つの載置部を有する載置機構と、
少なくとも、前記電子部品の搬送方向の上流側の第１位置と前記電子部品の搬送方向の下流側の第２位置とにおいて、前記載置機構と接する案内部と、を含み、
前記第１位置において前記案内部と接する時の前記載置機構の第１姿勢と、前記第２位置において前記案内部と接する時の前記載置機構の第２姿勢とは異なる、
ことを特徴とする。
【０００９】
これにより、電子部品の損傷を低減することができ、電子部品の搬送を簡単な構成で行うことのできる電子部品搬送装置が得られる。
【００１０】
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置機構は、前記案内部に沿って直線移動することで前記第１姿勢から前記第２姿勢となる、ことが好ましい。
【００１１】
これにより、電子部品の搬送をより簡単な構成で行うことができる。また、回転を伴わないため、回転のための大きなスペースを確保する必要がなく装置の小型化を図ることもできる。
【００１２】
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置機構は、
ベース部と、
前記ベース部に対して回動可能に連結され、前記載置部が設けられている傾斜部と、を含み、
前記載置機構は、前記ベース部の移動により、前記傾斜部を前記ベース部に対して回動させることで、前記第１姿勢から前記第２姿勢となる、ことが好ましい。
【００１３】
これにより、載置機構の構成が簡単なものとなる。また、傾斜部を直線的に移動させつつ傾斜させることができるので、載置機構と他の部材との接続等を簡単に図ることができる。
【００１４】
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置部には、前記電子部品と当接する当接部が設けられている、ことが好ましい。
【００１５】
これにより、載置部上の定められた位置（正しい位置）に電子部品を配置することができる。そのため、その後の電子部品の搬送をスムーズにかつ正確（的確）に行うことができる。
【００１６】
本発明の電子部品搬送装置では、前記通路は、水平に対して傾斜し、
前記電子部品は、重力によって、前記通路を移動する、ことが好ましい。
これにより、機械的な機構を用いずに電子部品を搬送することができる。
【００１７】
本発明の電子部品搬送装置では、前記通路を通った複数の前記電子部品のうちの、第１電子部品を前記第１電子部品の１つ後方に位置する第２電子部品から離間させる離間機構を更に含む、ことが好ましい。
【００１８】
第１、第２電子部品の種類によってはバリが生じている場合があり、このバリ同士が引っ掛かることで第１電子部品と第２電子部品とが繋がった状態となり、その後の搬送に支障を来たすおそれがある。そこで、離間機構によって、第１、第２電子部品を離間させることで、その後の電子部品の搬送をスムーズにかつ正確（的確）に行うことができる。
【００１９】
本発明の電子部品搬送装置では、前記離間機構は、前記第１電子部品を固定する第１固定部と、前記第２電子部品を固定する第２固定部と、を含み、
前記離間機構は、前記第１電子部品を前記第２電子部品から離間させた後、前記第１固定部による前記第１電子部品の固定を解除する、ことが好ましい。
【００２０】
これにより、通路の先頭に位置する電子部品を１つずつ順番に滑走させることができるため、例えば、せっかく離間させた第１、第２電子部品が再度繋がってしまうと言った問題が生じない。したがって、その後の電子部品の搬送をスムーズにかつ正確（的確）に行うことができる。
【００２１】
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置機構は、複数の前記載置部を含み、
複数の前記載置部は、前記電子部品の前記搬送方向と異なる方向に並設されている、ことが好ましい。
【００２２】
これにより、電子部品を複数列に並び替えることができ、例えば、同列に並んだ複数の電子部品を一度に搬送するといったことも可能となり、その後の電子部品の搬送をスムーズにかつ正確（的確）に行うことができる。
【００２３】
本発明の電子部品搬送装置では、前記通路を通った前記電子部品を複数の前記載置部のいずれかの前記載置部に振り分ける振分機構を更に含む、ことが好ましい。
【００２４】
これにより、通路を通過する電子部品を簡単に複数の載置部に振り分けることができる。
【００２５】
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置部に載置された前記電子部品を把持する把持ロボットを更に含む、ことが好ましい。
【００２６】
これにより、第２姿勢（水平状態）となっている電子部品を把持することができるので、把持ロボットによる電子部品の把持を簡単に行うことができる。
【００２７】
本発明の電子部品検査装置は、本発明の電子部品搬送装置と、
前記電子部品を検査する検査部と、を含む、
ことを特徴とする。
【００２８】
これにより、電子部品の損傷を防ぐことができ、電子部品の搬送を簡単な構成で行うことのできる電子部品検査装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の電子部品検査装置の好適な実施形態を示す概略図である。
【図２】収容チューブおよび図１に示す電子部品検査装置の供給部を示す図である。
【図３】図１に示す電子部品検査装置の供給側配列部を示す図である。
【図４】図３に示す供給側配列部の離間機構を示す図である。
【図５】図４に示す離間機構の作動を説明する図である。
【図６】図４に示す離間機構の作動を説明する図である。
【図７】図３に示す供給側配列部の振分機構を示す図である。
【図８】図３に示す供給側配列部の振分機構を示す図である。
【図９】図３に示す供給側配列部の姿勢制御機構を示す図である。
【図１０】図３に示す供給側配列部の姿勢制御機構を示す図である。
【図１１】図９に示す姿勢制御機構の作動を説明する図である。
【図１２】図１に示す電子部品検査装置の搬送部および検査部を示す図である。
【図１３】図１に示す電子部品検査装置の回収側配列部を示す図である。
【図１４】図１に示す電子部品検査装置の回収側配列部を示す図である。
【図１５】図１に示す電子部品検査装置の回収部を示す図である。
【図１６】図１に示す電子部品検査装置の回収部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置について添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３１】
図１は、本発明の電子部品検査装置の好適な実施形態を示す概略図である。図２は、収容チューブおよび図１に示す電子部品検査装置の供給部を示す図である。図３は、図１に示す電子部品検査装置の供給側配列部を示す図である。図４は、図３に示す供給側配列部の離間機構を示す図である。図５は、図４に示す離間機構の作動を説明する図である。図６は、図４に示す離間機構の作動を説明する図である。図７は、図３に示す供給側配列部の振分機構を示す図である。図８は、図３に示す供給側配列部の振分機構を示す図である。図９は、図３に示す供給側配列部の姿勢制御機構を示す図である。図１０は、図３に示す供給側配列部の姿勢制御機構を示す図である。図１１は、図９に示す姿勢制御機構の作動を説明する図である。図１２は、図１に示す電子部品検査装置の搬送部および検査部を示す図である。図１３は、図１に示す電子部品検査装置の回収側配列部を示す図である。図１４は、図１に示す電子部品検査装置の回収側配列部を示す図である。図１５は、図１に示す電子部品検査装置の回収部を示す図である。図１６は、図１に示す電子部品検査装置の回収部を示す図である。
【００３２】
なお、以下では、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」とも言う。また、電子部品の搬送方向の上流側を単に「上流側」とも言い、下流側を単に「下流側」とも言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いていた状態も含む。
【００３３】
図１に示す検査装置（電子部品検査装置）１は、例えば、ＩＣデバイス、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＣＩＳ（CMOS Image Sensor）などの電子部品の電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）するための装置である。なお、以下では、説明の便宜上、検査を行う前記電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９」とする。
【００３４】
検査装置１は、供給部２と、供給側配列部３と、搬送部４と、検査部５と、回収側配列部６と、回収部７と、これら各部の制御を行う制御部８と、を有している。また、検査装置１は、供給部２、供給側配列部３、搬送部４、検査部５、回収側配列部６および回収部７を配置するベース１１と、供給側配列部３、搬送部４、検査部５および回収側配列部６を収容するようにベース１１に被せられているカバー１２と、を有している。なお、ベース１１の上面であるベース面（所定面）１１１は、ほぼ水平となっており、このベース面１１１に供給側配列部３、搬送部４、検査部５、回収側配列部６の構成部材が配置されている。また、検査装置１は、この他、必要に応じて、ＩＣデバイス９を加熱するためのヒーターやチャンバー等を有していてもよい。
【００３５】
このような検査装置１は、供給部２が供給側配列部３にＩＣデバイス９を供給し、供給されたＩＣデバイス９を供給側配列部３が配列し、配列したＩＣデバイス９を搬送部４が検査部５に搬送し、搬送したＩＣデバイス９を検査部５が検査し、検査を終えたＩＣデバイス９を搬送部４が回収側配列部６に搬送／配列し、回収側配列部６に配列したＩＣデバイス９を回収部７が回収するように構成されている。このような検査装置１によれば、ＩＣデバイス９の供給・検査・回収を自動的に行うことができる。なお、検査装置１では検査部５を除く構成、すなわち、供給部２、供給側配列部３、搬送部４、回収側配列部６および回収部７によって、ＩＣデバイス９の搬送を行う電子部品搬送装置１’が構成されている。
【００３６】
以下、供給部２、供給側配列部３、搬送部４、検査部５、回収側配列部６および回収部７の構成について順次説明する。
【００３７】
≪供給部≫
供給部２は、供給側配列部３にＩＣデバイス９を供給するユニットである。なお、ＩＣデバイス９は、図２に示すように、複数が一列に並べられた状態で収容チューブ（電子部品収容部）９０に収容されている。また、収容チューブ９０は、長尺な管状をなしており、先端に開口９０１を有している。そのため、この開口９０１から収容チューブ９０内のＩＣデバイス９を先頭側から順に送出することができる。なお、検査前は、開口９０１にキャップを被せておくことで、収容チューブ９０内にＩＣデバイス９を保管しておくことができる。また、ＩＣデバイス９は、ＩＣチップをエポキシ樹脂封止材料等で樹脂封止したパッケージ型のＩＣデバイスであり、ＩＣチップを封止している樹脂封止体９１と、樹脂封止体９１から突出している複数のリード（図示せず）と、を有している。ただし、ＩＣデバイス９の構成としては、これに限定されず、例えば、リードを省略してもよい。
【００３８】
供給部２は、図２に示すように、収容チューブ９０を載置する載置ステージ２１を有している。このような供給部２は、収容チューブ９０を載置ステージ２１に固定した状態で、載置ステージ２１を回動軸Ｊ２１回りに回動させることで、収容チューブ９０を水平（例えば、ベース面１１１）に対して傾斜させることができる。これにより、ＩＣデバイス９を自然滑走によって収容チューブ９０から送出することができる。ここで、自然滑走とは、重力によってＩＣデバイス９がＩＣデバイス９と接する面に沿って移動することを言う。
【００３９】
≪供給側配列部≫
供給側配列部３は、供給部２から供給された複数のＩＣデバイス９を決められた配置に並び替えるユニットである。このような供給側配列部３は、図３に示すように、水平に対して傾斜し、供給部２から供給されるＩＣデバイス９を自然滑走させて搬送する搬送レーン（通路）３１と、搬送レーン３１の途中に設けられている離間機構３２と、搬送レーン３１の下流側に設けられている姿勢制御機構３４と、搬送レーン３１と姿勢制御機構３４との間に設けられている振分機構３３と、を有している。
【００４０】
−搬送レーン−
搬送レーン３１の上流側には収容チューブ９０が接続され、収容チューブ９０内のＩＣデバイス９が先頭側から順に搬送レーン３１に送出される。搬送レーン３１に送出されたＩＣデバイス９は、それぞれ、搬送レーン３１を自然滑走する。このような搬送レーン３１は、図３に示すように、上流側に位置し、ベース１１に固定されている第２搬送レーン３１２と、第２搬送レーン３１２の下流側に位置し、第２搬送レーン３１２に対してその延在方向に移動（接続／離間）可能な第１搬送レーン３１１と、を有している。なお、搬送レーン３１の水平に対する傾斜角度としては、特に限定されないが、例えば、３０°〜６０°程度とすることができる。
【００４１】
−離間機構−
離間機構３２は、図４に示すように、搬送レーン３１に並んだ複数のＩＣデバイス９のうちの、先頭に位置するＩＣデバイス（第１電子部品）９Ａを、このＩＣデバイス９Ａの１つ後方に位置するＩＣデバイス（第２電子部品）９Ｂから離間させるためのユニットである。ＩＣデバイス９の製造方法によってはＩＣデバイス９の先端面や基端面にバリ（パーティングライン等の突起）が発生することがあり、隣り合うＩＣデバイス９のバリ同士が引っ掛かる場合がある。このような引っ掛かりが生じていると、検査装置１内でのＩＣデバイス９の的確な搬送が阻害されるおそれがある。そのため、離間機構３２を設け、隣り合うＩＣデバイス９を離間させることでこれら引っ掛かりを解除し、その後のＩＣデバイス９の的確な搬送を行うことができるようになっている。
【００４２】
このような離間機構３２は、ストッパー３２１と、第１固定部３２２と、第２固定部３２３と、を有している。
【００４３】
ストッパー３２１は、搬送レーン３１の途中に、突出／退避（下降／上昇）可能に設けられており、突出状態（図４中の鎖線で示す状態）となることで、搬送レーン３１上でのＩＣデバイス９の自然滑走を規制することができる。これにより、搬送レーン３１上にＩＣデバイス９を留めることができる。搬送レーン３１上にＩＣデバイス９を留めた状態では、ＩＣデバイス９Ａが第１搬送レーン３１１上に位置し、ＩＣデバイス９Ｂが第２搬送レーン３１２に位置している。
【００４４】
第１固定部３２２は、ストッパー３２１よりも上流側に位置し、第１搬送レーン３１１上のＩＣデバイス９Ａと対向して設けられている。第１固定部３２２は、突出／退避（下降／上昇）可能に設けられており、下方へ突出することでＩＣデバイス９Ａの樹脂封止体９１を上側から第１搬送レーン３１１へ押し付け、ＩＣデバイス９Ａを第１搬送レーン３１１に固定することができる。
【００４５】
第２固定部３２３は、第１固定部３２２よりも上流側に位置し、第２搬送レーン３１２上のＩＣデバイス９Ｂと対向して設けられている。第２固定部３２３は、突出／退避（下降／上昇）可能に設けられており、下方へ突出することでＩＣデバイス９Ｂの樹脂封止体９１を上側から第２搬送レーン３１２へ押し付け、ＩＣデバイス９Ｂを第２搬送レーン３１２に固定することができる。
【００４６】
以上、離間機構３２の構成について説明した。このような離間機構３２は、次のようにＩＣデバイス９Ａ、９Ｂを離間させる。まず、供給部２からＩＣデバイス９が供給されるのに先立って、第１搬送レーン３１１を第２搬送レーン３１２に接続すると共に、ストッパー３２１を突出状態とする。そして、図５（ａ）に示すように、搬送レーン３１を自然滑走してきた複数のＩＣデバイス９をストッパー３２１によって受け止め、その後、図５（ｂ）に示すように、第１固定部３２２でＩＣデバイス９Ａを第１搬送レーン３１１に固定し、第２固定部３２３でＩＣデバイス９Ｂを第２搬送レーン３１２に固定する。次に、図６（ａ）に示すように、第１搬送レーン３１１を下流側へ移動させ、第２搬送レーン３１２から離間させる。これにより、第１搬送レーン３１１に固定されたＩＣデバイス９Ａが、第２搬送レーン３１２に固定されたＩＣデバイス９Ｂから離間する。
【００４７】
ＩＣデバイス９Ａ、９Ｂを離間させた後は、図６（ｂ）に示すように、第１固定部３２２を退避させてＩＣデバイス９Ａの固定を解除すると共に、ストッパー３２１を退避させてＩＣデバイス９Ａのみを自然滑走させて振分機構３３に供給する。このように、分割したＩＣデバイス９を１つずつ順に搬送することで、隣り合うＩＣデバイス９のバリ同士が再度引っ掛かり、これらが繋がってしまうと言った問題を防止できる。したがって、その後のＩＣデバイス９の搬送をスムーズにかつ的確に行うことができる。
【００４８】
−振分機構−
振分機構３３は、搬送レーン３１を自然滑走（通過）してきたＩＣデバイス９を複数のレーンに振り分けて、複数列に並び替えるユニットである。このような振分機構３３を設けることで、これより下流側において、複数列に並んだ複数のＩＣデバイス９を一括して搬送することができるため、ＩＣデバイス９の搬送効率を高めることができる。このような振分機構３３は、図７に示すように、振分ステージ３３１を有している。
【００４９】
振分ステージ３３１は、搬送レーン３１の下流側に位置しており、搬送レーン３１と同程度傾斜している。また、振分ステージ３３１は、直動ガイドによってＸ方向に往復移動可能となっている。このような振分ステージ３３１にはＸ方向に沿って並設されている４本の振分レーン（振分部）３３２（３３２Ａ〜３３２Ｄ）が設けられている。これら４本の振分レーン３３２のうちのいずれか１つを搬送レーン３１に接続することで、その振分レーン３３２に搬送レーン３１を自然滑走してきたＩＣデバイス９を導入することができる。なお、振分レーン３３２の数は、４本に限定されず、２、３本であってもよいし、５本以上であってもよい。
【００５０】
振分レーン３３２へ導入されたＩＣデバイス９がそのまま振分レーン３３２を通過して離脱してしまわないように、図８に示すように、各振分レーン３３２には、突出／退避可能なストッパー３３３が設けられている。ストッパー３３３を突出させることで、振分レーン３３２でのＩＣデバイス９の自然滑走が規制され、振分レーン３３２にＩＣデバイス９を留めることができる。反対に、ストッパー３３３を退避させることで、振分レーン３３２のＩＣデバイス９を自然滑走させて、下流側に設けられている姿勢制御機構３４へ導入することができる。
【００５１】
また、振分ステージ３３１には振分レーン３３２の上方を覆うカバー３３４が設けられており、カバー３３４には振分レーン３３２に配置されるＩＣデバイス９を視認可能とする窓部３３４ａが設けられている。
【００５２】
このような構成の振分機構３３は、次のようにしてＩＣデバイス９を振り分ける。すなわち、まず、ストッパー３３３を突出させた状態で、図８に示すように、振分レーン３３２Ａを搬送レーン３１に接続する。次に、離間機構３２によって、搬送レーン３１の先頭に位置するＩＣデバイス９を自然滑走させ、振分レーン３３２Ａに導入する。残りの振分レーン３３２Ｂ〜３３２Ｄについても、この工程を繰り返すことで、各振分レーン３３２にＩＣデバイス９を１つずつ均等に導入する。これにより、搬送レーン３１を１列で通過するＩＣデバイス９を４列に並び替えることができる。各振分レーン３３２にＩＣデバイス９を１つずつ導入し終えると、振分ステージ３３１を姿勢制御機構３４に接続し、ストッパー３３３を退避させることで、各振分レーン３３２上のＩＣデバイス９を姿勢制御機構３４へ導入する。
【００５３】
−姿勢制御機構−
姿勢制御機構３４は、振分機構３３から導入されたＩＣデバイス９を水平に対して傾斜した状態から水平な状態とするユニットである。このような姿勢制御機構３４は、図９に示すように、載置ステージ（載置機構）３４１と、載置ステージ３４１を移動させる移動機構（載置ステージ移動機構）３４５と、押圧機構３４８と、を有している。
【００５４】
載置ステージ３４１は、振分ステージ３３１の下流側に位置している。また、載置ステージ３４１は、直動ガイドによってガイドされることでＹ方向（水平方向）に移動可能なベース部３４２と、ベース部３４２に対してＸ軸（回動軸Ｊ３４３）まわりに回動可能に連結されている傾斜ステージ（傾斜部）３４３と、を有している。また、傾斜ステージ３４３にはＸ方向に沿って並設されている４本の載置レーン（載置部）３４４が設けられている。
【００５５】
また、移動機構３４５は、前記直動ガイドに沿ってベース部３４２をＹ方向に直線移動させる駆動部３４６と、少なくとも上流側の第１位置と下流側の第２位置とにおいて、傾斜ステージ３４３と接し、当該第１位置と当該第２位置との間で傾斜ステージ３４３を案内するガイド部（案内部）３４７と、を有している。駆動部３４６は、モーター等の駆動源を有し、この駆動源の作動により、ベース部３４２をＹ方向に移動させる。一方、ガイド部３４７は、水平に対して傾斜しているガイド面３４７ａを有し、このガイド面３４７ａでベース部３４２と共にＹ方向に移動する傾斜ステージ３４３をガイドすることで、傾斜ステージ３４３がベース部３４２に対して回動軸Ｊ３４３まわりに回動し、傾斜ステージ３４３の傾きが変化する。
【００５６】
このような移動機構３４５によれば、図９および図１１（ａ）に示すように、傾斜ステージ３４３が水平に対して振分ステージ３３１と同程度傾斜していると共に、振分ステージ３３１に接続されている傾斜状態（第１姿勢）と、図１０および図１１（ｂ）に示すように、傾斜ステージ３４３がほぼ水平となっている水平状態（第２姿勢）と、の間で傾斜ステージ３４３の姿勢を変化させることができる。なお、本実施形態では、例えば、図９のように、載置ステージ３４１（傾斜ステージ３４３）が傾斜状態となっている時に、載置ステージ３４１（傾斜ステージ３４３）がガイド部３４７（ガイド面３４７ａ）と接している位置が上記の第１位置である。そして、本実施形態では、例えば、図１０のように、載置ステージ３４１（傾斜ステージ３４３）が水平状態となっている時に、載置ステージ３４１（傾斜ステージ３４３）がガイド部３４７（ガイド面３４７ａ）と接している位置が上記の第２位置である。
【００５７】
また、傾斜ステージ３４３を傾斜状態とすることで、各載置レーン３４４を振分レーン３３２に接続することができる。そのため、傾斜ステージ３４３を傾斜状態として、ストッパー３３３を解除すれば、振分レーン３３２上のＩＣデバイス９が自然滑走によって載置レーン３４４に導入される。
【００５８】
また、各載置レーン３４４には、振分レーン３３２から導入されたＩＣデバイス９と当接する当接部３８が設けられており、ＩＣデバイス９が当接部３８に当接することで、載置レーン３４４上の正しい位置（定められた位置）にＩＣデバイス９が配置される。そのため、その後のＩＣデバイス９の搬送を的確に行うことができる。
【００５９】
また、例えば、載置レーン３４４上でのＩＣデバイス９の滑りが悪かったり、ＩＣデバイス９に振動が加わったりすると、ＩＣデバイス９が当接部３８から離間した状態で留まってしまうおそれがあり、その後のＩＣデバイス９の搬送に支障を来たす場合がある。そこで、姿勢制御機構３４は、ＩＣデバイス９を当接部３８に押し当てて、ＩＣデバイス９を当接部３８に当接させる押圧機構３４８を有している。これにより、ＩＣデバイス９を載置レーン３４４上の正しい位置に配置することができる。
【００６０】
このような押圧機構３４８は、傾斜ステージ３４３に対してＸ軸回りに回動可能に設けられている押圧プレート３４８ａを有している。この押圧プレート３４８ａを回動させると、当接部３８から離間しているＩＣデバイス９が存在する場合には、押圧プレート３４８ａがそのＩＣデバイス９を後方から押圧する。これにより、当接部３８から離間しているＩＣデバイス９が前方へ導かれ、当接部３８に当接した状態となる。
【００６１】
なお、振分レーン３３２から載置レーン３４４へのＩＣデバイス９の導入を阻害しないように、図９および図１１（ａ）に示すように、傾斜ステージ３４３が傾斜状態のとき、押圧プレート３４８ａは、下方に退避した状態となっている。そして、振分レーン３３２から載置レーン３４４へのＩＣデバイス９の導入が完了し、傾斜ステージ３４３が傾斜状態から水平状態へと移動している最中に押圧プレート３４８ａでＩＣデバイス９を後方から押圧する。そして、図１０および図１１（ｂ）に示すように、傾斜ステージ３４３が平行状態となった後に、押圧プレート３４８ａによるＩＣデバイス９の押圧を解除する。このようなタイミングで押圧プレート３４８ａを操作することで、ＩＣデバイス９の押圧を傾斜ステージ３４３の移動のバックグラウンドで行うことができ、ＩＣデバイス９の迅速な搬送が可能となる。また、傾斜ステージ３４３が停止した後に押圧プレート３４８ａによる押圧を解除するため、押圧を解除した後も、ＩＣデバイス９が当接部３８に当接した状態を維持することができる。
【００６２】
以上、姿勢制御機構３４の構成について説明した。このような姿勢制御機構３４は、次のように作動する。すなわち、まず、押圧プレート３４８ａを退避状態として、傾斜ステージ３４３を傾斜状態とし、図１１（ａ）に示すように、載置レーン３４４を振分レーン３３２に接続する。次に、振分レーン３３２に設けられているストッパー３３３を解除して、振分レーン３３２のＩＣデバイス９を載置レーン３４４に導入する。次に、ベース部３４２をＹ方向に移動させて傾斜ステージ３４３を傾斜状態から水平状態へ変位させると共に、押圧プレート３４８ａによって載置レーン３４４上のＩＣデバイス９を当接部３８側へ押圧する。そして、傾斜ステージ３４３が水平状態となったら、押圧プレート３４８ａでのＩＣデバイス９の押圧を解除する。これにより、各載置レーン３４４上のＩＣデバイス９が正しい位置に、かつ、水平な状態で配置された状態となる。そして、水平状態なったＩＣデバイス９は、搬送部４によって検査部５に搬送される。ＩＣデバイス９を水平状態とすることで、搬送部４によるＩＣデバイス９の搬送を的確に行うことができる。
【００６３】
このような構成によれば、ＩＣデバイス９の損傷を低減することができ、ＩＣデバイス９の搬送を簡単な構成で行うことのできる検査装置１となる。特に、傾斜ステージ３４３を前述した特許文献２のように回転させずに、直線移動させることで、簡単な構成で傾斜ステージ３４３を傾斜状態から水平状態とすることができる。また、回転させるスペースを確保しなくてもよい分、検査装置１の小型化を図ることができる。また、ガイド部３４７を用いることで、傾斜ステージ３４３を水平状態と傾斜状態との間でスムーズに移動させることができる。
【００６４】
≪搬送部≫
搬送部４は、図１２に示すように、水平状態の傾斜ステージ３４３上に配置されているＩＣデバイス９を検査部５まで搬送し、検査部５での検査を終えたＩＣデバイス９を回収側配列部６まで搬送するユニットである。このような搬送部４は、シャトル４１と、供給ロボット４２と、検査ロボット４３と、回収ロボット４４と、を有している。
【００６５】
−シャトル−
シャトル４１は、傾斜ステージ３４３上のＩＣデバイス９を検査部５の近傍まで搬送するため、さらには、検査部５で検査された検査済みのＩＣデバイス９を回収側配列部６の近傍まで搬送するためのシャトルである。このようなシャトル４１には、ＩＣデバイス９を収容するための４つのポケット４１１がＸ方向に並んで形成されている。また、シャトル４１は、直動ガイドによってガイドされており、リニアモーター等の駆動源によってＸ方向に往復移動可能となっている。
【００６６】
−供給ロボット−
供給ロボット４２は、水平状態の傾斜ステージ３４３上に配置されているＩＣデバイス９をシャトル４１に搬送するロボットである。このような供給ロボット４２は、ベース１１に支持された支持フレーム４２１と、支持フレーム４２１に支持され、支持フレーム４２１に対してＹ方向に往復移動可能な移動フレーム４２２と、移動フレーム４２２に支持された４つのハンドユニット（把持ロボット）４２３と、を有している。各ハンドユニット４２３は、昇降機構および吸着ノズルを備え、ＩＣデバイス９を吸着保持することができる。
【００６７】
−検査ロボット−
検査ロボット４３は、シャトル４１に収容されたＩＣデバイス９を検査部５へ搬送するとともに、検査を終えたＩＣデバイス９を検査部５からシャトル４１へ搬送するロボットである。また、検査ロボット４３は、検査の際に、ＩＣデバイス９を検査部５に押し付け、ＩＣデバイス９に所定の検査圧を印加することもできる。このような検査ロボット４３は、ベース１１に支持された支持フレーム４３１と、支持フレーム４３１に支持され、支持フレーム４３１に対してＹ方向に往復移動可能な移動フレーム４３２と、移動フレーム４３２に支持された４つのハンドユニット（把持ロボット）４３３と、を有している。各ハンドユニット４３３は、昇降機構および吸着ノズルを備え、ＩＣデバイス９を吸着保持することができる。
【００６８】
−回収ロボット−
回収ロボット４４は、検査部５での検査を終えたＩＣデバイス９を回収側配列部６に搬送するロボットである。このような回収ロボット４４は、ベース１１に支持された支持フレーム４４１と、支持フレーム４４１に支持され、支持フレーム４４１に対してＹ方向に往復移動可能な移動フレーム４４２と、移動フレーム４４２に支持された４つのハンドユニット（把持ロボット）４４３と、を有している。各ハンドユニット４４３は、昇降機構および吸着ノズルを備え、ＩＣデバイス９を吸着保持することができる。
【００６９】
このような搬送部４は、次のようにしてＩＣデバイス９を搬送する。まず、シャトル４１が図中左側に移動し、供給ロボット４２が傾斜ステージ３４３上のＩＣデバイス９をシャトル４１に搬送する（ＳＴＥＰ１）。次に、シャトル４１が中央へ移動し、検査ロボット４３がシャトル４１上のＩＣデバイス９を検査部５へ搬送する（ＳＴＥＰ２）。次に、検査ロボット４３が検査部５での検査を終えたＩＣデバイス９をシャトル４１へ搬送する（ＳＴＥＰ３）。次に、シャトル４１が図中右側へ移動し、回収ロボット４４がシャトル４１上の検査済みのＩＣデバイス９を回収側配列部６に搬送する。このようなＳＴＥＰ１〜ＳＴＥＰ３を繰り返すことで、ＩＣデバイス９を検査部５を経由して回収側配列部６へ搬送することができる。
【００７０】
以上、搬送部４の構成について説明したが、搬送部４の構成としては、載置ステージ３４１上のＩＣデバイス９を検査部５へ搬送し、検査を終えたＩＣデバイス９を回収側配列部６へ搬送することができれば、特に限定されない。例えば、シャトル４１を省略し、供給ロボット４２、検査ロボット４３および回収ロボット４４のいずれか１つのロボットで、載置ステージ３４１から検査部５への搬送、および、検査部５から回収側配列部６への搬送を行ってもよい。
【００７１】
≪検査部≫
検査部５は、ＩＣデバイス９の電気的特性を検査・試験するユニットである。検査部５は、図１２に示すように、ＩＣデバイス９を配置する４つの検査ソケット５１を有している。これら検査ソケット５１にはＩＣデバイス９の端子と電気的に接続されるプローブピン（図示せず）が設けられている。検査ソケット５１に配置されたＩＣデバイス９は、検査ロボット４３の押圧によって所定の検査圧でプローブピンに押し付けられる。これにより、ＩＣデバイス９とプローブピンとが接続され、プローブピンを介してＩＣデバイス９の検査が行われる。ＩＣデバイス９の検査は、制御部８に記憶されているプログラムに基づいて行われる。
【００７２】
≪回収側配列部≫
回収側配列部６は、検査部５での検査を終え、搬送部４によって搬送されてきたＩＣデバイス９を配列して回収部７へ送出するユニットである。このような回収側配列部６は、図１３に示すように、姿勢制御機構６１を有している。
【００７３】
姿勢制御機構６１は、ＩＣデバイス９を水平な状態から、水平に対して傾斜する状態とし、自然滑走させるユニットである。このような姿勢制御機構６１は、載置ステージ６２と、傾斜ガイド６５と、を有している。
【００７４】
載置ステージ６２は、直動ガイドによってガイドされてＹ方向に移動するベース部６２１と、ベース部６２１に対してＸ軸（回動軸Ｊ６２２）まわりに回動可能に連結されている傾斜ステージ６２２と、を有している。また、傾斜ステージ６２２にはＸ方向に沿って並設されている４本の載置レーン６２３が設けられており、これら４本の載置レーン６２３に回収ロボット４４によって搬送されてきたＩＣデバイス９が１つずつ配置される。また、傾斜ステージ６２２には載置レーン６２３の上方を覆うカバー６２６が設けられており、このカバー６２６には載置レーン６２３に配置されるＩＣデバイス９を視認可能とする窓部６２６ａが設けられている。なお、カバー６２６は、載置レーン６２３へのＩＣデバイス９の載置を阻害しないように、回収ロボット４４で搬送されてきたＩＣデバイス９が載置される載置部Ｓ１を避けて、載置部Ｓ１よりも下流側を覆うように設けられている。また、傾斜ステージ６２２は、その回動軸Ｊ６２２よりも下流側に位置し、側方へ突出している軸部６２４を有しており、この軸部６２４が傾斜ガイド６５に接続されている。
【００７５】
傾斜ガイド６５は、水平に対して傾斜した方向に延在するガイド溝６５１を有しており、このガイド溝６５１に軸部６２４が接続されている。そのため、ベース部６２１がＹ方向に移動すると、傾斜ステージ６２２は、ベース部６２１と共にＹ方向に移動しつつ、傾斜ガイド６５によってガイドされ、これにより、回動軸Ｊ６２２まわりに回動し、その傾きが変化する。
【００７６】
このような構成によれば、図１３に示すように、傾斜ステージ６２２が水平となっている水平状態と、図１４に示すように、傾斜ステージ６２２が水平に対して傾斜していると共に、回収部７に接続されている傾斜状態と、の間で傾斜ステージ６２２の姿勢を変化させることができる。なお、傾斜ステージ６２２を傾斜状態としたときに載置レーン６２３上のＩＣデバイス９が自然滑走して載置レーン６２３から離脱してしまわないように、図１４に示すように、載置レーン６２３には、突出／退避可能なストッパー６２５が設けられている。
【００７７】
以上、姿勢制御機構６１の構成について説明した。このような姿勢制御機構６１は、次のように作動する。すなわち、まず、傾斜ステージ６２２を水平状態（図１３に示す状態）とする。次に、載置部Ｓ１にＩＣデバイス９が載置された後、ベース部６２１をＹ方向に移動させる。これにより、傾斜ステージ６２２がベース部６２１と共にＹ方向に移動しながら傾斜角を増していって傾斜状態（図１４に示す状態）となると共に、回収部７に接続される。次に、ストッパー６２５を解除することで、各載置レーン６２３上のＩＣデバイス９を自然滑走させて回収部７に送出する。
【００７８】
≪回収部≫
回収部７は、検査済みのＩＣデバイス９をその検査結果に基づいて分別して回収するユニットである。このような回収部７は、図１５に示すように、傾斜ステージ６２２の下流側に位置し、空の収容チューブ９０が接続されている接続部７２と、接続部７２と傾斜ステージ６２２との間に位置し、傾斜ステージ６２２から供給されたＩＣデバイス９を所定の収容チューブ９０に振り分ける振分機構７１と、を有している。
【００７９】
接続部７２は、Ｘ方向に並ぶ６つの接続レーン７２１を有し、これら接続レーン７２１には、それぞれ、空の収容チューブ９０が接続されている。接続レーン７２１は、傾斜状態の傾斜ステージ６２２と同程度傾斜しており、接続レーン７２１に接続されている収容チューブ９０も同様に傾斜している。これにより、自然滑走によってＩＣデバイス９を収容チューブ９０に導入することができる。
【００８０】
６本の接続レーン７２１のうちの４本の接続レーン７２１（７２１Ａ〜７２１Ｄ）には検査部５での検査で所定の基準を満たし「良品」として判断されたＩＣデバイス９が振り分けられ、残りの２本の接続レーン７２１（７２１Ｅ、７２１Ｆ）には検査部５での検査で所定の基準を満たすことができず「不良品」として判断されたＩＣデバイス９が振り分けられる。
【００８１】
なお、接続レーン７２１に接続されている収容チューブ９０がＩＣデバイス９で満たされた場合には、空の収容チューブ９０に交換する必要がある。本実施形態の回収部７では、接続レーン７２１Ａ、７２１Ｂについては検査装置１が自動的に空の収容チューブ９０に交換し、残りの接続レーン７２１Ｃ〜７２１Ｆについては操作者が手動で空の収容チューブ９０に交換するようになっている。このように、検査装置１が自動で交換する接続レーン７２１と、操作者が手動で交換する接続レーン７２１とを組み合わせることで、検査装置１の使い勝手が向上する。ただし、検査装置１が全接続レーン７２１で収容チューブ９０を自動的に交換するように構成されていてもよいし、操作者が全接続レーン７２１で収容チューブ９０を手動で交換するように構成されていてもよい。また、どの接続レーン７２１にどの検査結果のＩＣデバイス９を振り分けるかは、適宜設定することができ、上述したような本実施形態の例には限定されない。また、接続レーン７２１の数も６つに限定されない。
【００８２】
振分機構７１は、傾斜ステージ６２２からＩＣデバイス９を受け取り、受け取ったＩＣデバイス９をそれぞれその検査結果に基づいて所定の接続レーン７２１に振り分けるユニットである。このような振分機構７１は、図１５および図１６に示すように、振分ステージ７１１を有している。振分ステージ７１１は、傾斜ステージ６２２と接続部７２との間に位置し、直動ガイドによってＸ方向に移動可能となっている。また、振分ステージ７１１は、傾斜状態となっている傾斜ステージ６２２と同程度傾斜している。また、振分ステージ７１１にはＸ方向に沿って並設されている４本の振分レーン７１２が設けられている。また、振分ステージ７１１には振分レーン７１２の上方を覆うカバー７１４が設けられており、このカバー７１４には振分レーン７１２に配置されるＩＣデバイス９を視認可能とする窓部７１４ａが設けられている。
【００８３】
このような振分ステージ７１１の振分レーン７１２を傾斜ステージ６２２の載置レーン６２３に接続することで、載置レーン６２３上のＩＣデバイス９を振分レーン７１２に導入することができる。ここで、振分レーン７１２に導入されたＩＣデバイス９がそのまま振分レーン７１２を通過して、離脱／落下してしまわないように、各振分レーン７１２には、突出／退避可能なストッパー７１３が設けられている。
【００８４】
このような構成の振分機構７１は、次のようにしてＩＣデバイス９を振り分ける。すなわち、まず、ストッパー７１３を突出状態としてから、傾斜ステージ６２２上のＩＣデバイス９を受け取る。次に、各振分レーン７１２上のＩＣデバイス９を順に、所定の接続レーン７２１を介して所定の収容チューブ９０に収容する。例えば、振分レーン７１２Ａ上に位置するＩＣデバイス９を接続レーン７２１Ｃに振り分けたい場合には、まず、振分ステージ７１１をＸ方向に移動させて、振分レーン７１２Ａと接続レーン７２１Ｃとを接続する（図１６の状態）。次に、振分レーン７１２Ａのストッパー７１３を退避させて振分レーン７１２上のＩＣデバイス９を自然滑走させることで、接続レーン７２１Ｃを介して収容チューブ９０内に導入する。このような工程を、他の振分レーン７１２についても順に行うことで、振分ステージ７１１上のＩＣデバイス９が所定の収容チューブ９０に導入する。
【００８５】
≪制御部≫
制御部８は、例えば、検査制御部と、駆動制御部と、を有している。検査制御部は、例えば、図示しないメモリー内に記憶されたプログラムに基づいて、検査部５に配置されたＩＣデバイス９の電気的特性の検査を行う。また、駆動制御部は、例えば、供給部２、供給側配列部３、搬送部４、回収側配列部６および回収部７の各部の駆動を制御し、ＩＣデバイス９の搬送を行う。
【００８６】
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【符号の説明】
【００８７】
１……検査装置
１’……電子部品搬送装置
１１……ベース
１１１……ベース面
１２……カバー
２……供給部
２１……載置ステージ
３……供給側配列部
３１……搬送レーン
３１１……第１搬送レーン
３１２……第２搬送レーン
３２……離間機構
３２１……ストッパー
３２２……第１固定部
３２３……第２固定部
３３……振分機構
３３１……振分ステージ
３３２、３３２Ａ、３３２Ｂ、３３２Ｃ、３３２Ｄ……振分レーン
３３３……ストッパー
３３４……カバー
３３４ａ……窓部
３４……姿勢制御機構
３４１……載置ステージ
３４２……ベース部
３４３……傾斜ステージ
３４４……載置レーン
３４５……移動機構
３４６……駆動部
３４７……ガイド部
３４７ａ……ガイド面
３４８……押圧機構
３４８ａ……押圧プレート
３８……当接部
４……搬送部
４１……シャトル
４１１……ポケット
４２……供給ロボット
４２１……支持フレーム
４２２……移動フレーム
４２３……ハンドユニット
４３……検査ロボット
４３１……支持フレーム
４３２……移動フレーム
４３３……ハンドユニット
４４……回収ロボット
４４１……支持フレーム
４４２……移動フレーム
４４３……ハンドユニット
５……検査部
５１……検査ソケット
６……回収側配列部
６１……姿勢制御機構
６２……載置ステージ
６２１……ベース部
６２２……傾斜ステージ
６２３……載置レーン
６２４……軸部
６２５……ストッパー
６２６……カバー
６２６ａ……窓部
６５……傾斜ガイド
６５１……ガイド溝
７……回収部
７１……振分機構
７１１……振分ステージ
７１２、７１２Ａ……振分レーン
７１３……ストッパー
７１４……カバー
７１４ａ……窓部
７２……接続部
７２１、７２１Ａ、７２１Ｂ、７２１Ｃ、７２１Ｄ、７２１Ｅ、７２１Ｆ……接続レーン
８……制御部
９、９Ａ、９Ｂ……ＩＣデバイス
９１……樹脂封止体
９０……収容チューブ
９０１……開口
Ｊ２１、Ｊ３４３、Ｊ６２２……回動軸
Ｓ１……載置部
【図１】
2015184161.tif 000003
【図２】
2015184161.tif 000004
【図３】
2015184161.tif 000005
【図４】
2015184161.tif 000006
【図５】
2015184161.tif 000007
【図６】
2015184161.tif 000008
【図７】
2015184161.tif 000009
【図８】
2015184161.tif 000010
【図９】
2015184161.tif 000011
【図１０】
2015184161.tif 000012
【図１１】
2015184161.tif 000013
【図１２】
2015184161.tif 000014
【図１３】
2015184161.tif 000015
【図１４】
2015184161.tif 000016
【図１５】
2015184161.tif 000017
【図１６】
2015184161.tif 000018