(57)【要約】【課題】高い測定精度で光量検出が可能な光学モジュール、電子機器、及び光源装置を提供する。【解決手段】分光測定装置１は、点灯開始からの経時的な光量の変動特性がそれぞれ異なるように駆動される各光源６，７と、各光源６，７から出射され、対象により反射された光から所定波長の光を分光する波長可変干渉フィルター５と、波長可変干渉フィルター５から出射された光を検出する受光素子８と、を備え、各光源６，７による総光量の変化率が、光源６又は光源７の光量の変化率よりも小さい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
点灯開始からの経時的な光量の変動特性がそれぞれ異なる複数の光源部と、
前記光源部から出射され、対象により反射された光から所定波長の光を分光する分光素子と、
前記分光素子から出射された光を検出する検出部と、を備え、
前記複数の光源部による総光量の変化率が、単一の前記光源部の光量の変化率よりも小さい
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の光学モジュールにおいて、
前記複数の光源部は、定電圧駆動及び定電流駆動のいずれかで駆動される
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項３】
請求項２に記載の光学モジュールにおいて、
前記光源部を定電圧駆動させる定電圧駆動部と、
前記光源部を定電流行動させる定電流駆動部と、
前記定電圧駆動部により駆動される光源部、及び前記定電流駆動部により駆動される光源部を切り替える駆動切替部と、を備えた
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の光学モジュールにおいて、
前記複数の光源部は、同一の駆動方法に対して同一の前記変動特性を有する
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項５】
請求項４に記載の光学モジュールにおいて、
前記複数の光源部は、前記定電圧駆動及び前記定電流駆動のいずれかで駆動され、
前記定電圧駆動で駆動される前記光源部、及び前記定電流駆動で駆動される前記光源部は同数である
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の光学モジュールにおいて、
前記光源部は、複数の光源を有する
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項７】
点灯開始からの経時的な光量の変動特性がそれぞれ異なる複数の光源部と、
前記光源部から出射され、対象により反射された光から所定波長の光を分光する分光素子と、
前記分光素子から出射された光を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果を用いた処理を行う処理部と、を備え、
前記複数の光源部による総光量の変化率が、単一の前記光源部の光量の変化率よりも小さい
ことを特徴とする電子機器。
【請求項８】
点灯開始からの経時的な光量の変動特性がそれぞれ異なる複数の光源部を備え、
前記複数の光源部による総光量の変化率が、単一の前記光源部の光量の変化率よりも小さい
ことを特徴とする光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学モジュール、電子機器、及び光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光源からの光で測定対象を照明し、当該測定対象の反射光を分光することで分光測定を実施する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の装置では、２つの光源からの光を物体に照射し、反射光を分光器で分光し、分光された光の光量を光検出素子で検出している。
【０００３】
特許文献１には白色光源としてハロゲンランプが例示されている。このような白色光源を使用した場合、光源強度の変動や、光源からの光を集光した際のフィラメント像に起因する照度むら等の、短期的な光量のゆらぎが発生する場合がある。
特許文献１では、２つの白色光源を同時に駆動させることで、上記光源強度の変動及び照度むら等の光量のゆらぎの抑制を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６０−１４１３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の装置が備える白色光源（ハロゲンランプ）は、ハロゲンやキセノン等が封入された各種タングステンランプ（いわゆる白熱光源）と同様に、点灯後の経過時間に応じて光量が変化する。すなわち、点灯後の経過時間に応じて、フィラメントの温度が変化することで、例えば、定電圧駆動時の電流値や、定電流駆動時の電圧値が変化するため、光源の光量が変化する。
【０００６】
このため、上述のような白熱光源を、特許文献１に記載されるように２つ同時に駆動させたとしても、各光源の駆動時間に応じた光量の増減に応じて、２つの光源からの総光量も増減する。このため、分光測定の実施時に、総光量が、測定開始時に対して許容量を超えて変動すると、所望の測定精度を得ることができないおそれがある。
【０００７】
本発明は、高い測定精度で光量検出が可能な光学モジュール、電子機器、及び光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の光学モジュールは、点灯開始からの経時的な光量の変動特性がそれぞれ異なる複数の光源部と、前記光源部から出射され、対象により反射された光から所定波長の光を分光する分光素子と、前記分光素子から出射された光を検出する検出部と、を備え、前記複数の光源部による総光量の変化率が、単一の前記光源部の光量の変化率よりも小さいことを特徴とする。
【０００９】
本発明では、複数の光源部は、経過時間に対する光量の変動特性が異なり、複数の光源部による総光量の変化率が、単一の光源部の光量の変化率よりも小さい。
つまり、本発明では、複数の光源部を同時に点灯させることで、光量の経時的な変動特性が異なる光源部を組み合わせて用いることで、単体の光源部の光量変動を打ち消す。例えば、単体の光源部の光量が増大した際に、他の光源部の光量が減少することで、総光量の変化率が小さくなる。これにより、光学モジュールにより、所定波長の光の光量を検出する際に、総光量の変動を抑えることができ、高い測定精度で光量検出を実施できる。
なお、光源部は、単一の光源で構成される構成に限らず、複数の光源で構成される場合も含む。
【００１０】
本発明の光学モジュールにおいて、前記複数の光源部は、定電圧駆動及び定電流駆動のいずれかで駆動されることが好ましい。
【００１１】
本発明では、光源を定電圧駆動及び定電流駆動のいずれかで駆動する。例えば、白熱光源（キセノンやハロゲン等が封入された各種タングステンランプ）は、定電圧駆動時において光量が徐々に減少し、所定の時間経過後に光量が安定化する。一方、定電流駆動時において光量が徐々に増大し、所定の時間経過後に光量が安定化する。このような白熱光源を用いる場合、互いに光量変動を打ち消し合うことができ、全光源部による総光量の変化率をより容易に抑制することができる。
また、総光量が安定化するまでの時間も、全光源部を同一の駆動方法で駆動した場合に光源部の光量が安定化するまでの時間よりも短くできる。
【００１２】
なお、光量が安定化するとは、点灯後の所定期間における、複数の光源部による総光量の変化率が所定範囲に収まる状態となることである。
また、点灯後の所定期間とは、例えば、分光測定等を実施する際に対象を照明する期間である。また、所定範囲とは、変化率の許容範囲であり、例えば分光測定を実施する場合、測定精度に応じて決まる。
【００１３】
本発明の光学モジュールにおいて、前記光源部を定電圧駆動させる定電圧駆動部と、前記光源部を定電流行動させる定電流駆動部と、前記定電圧駆動部により駆動される光源部、及び前記定電流駆動部により駆動される光源部を切り替える駆動切替部と、を備えたことが好ましい。
【００１４】
本発明では、駆動切替部により、複数の光源部のうち、定電圧駆動される光源部、定電流駆動により駆動される光源部を切り替える。
同一の光源部に対して同一の駆動方法で駆動させ続けると、それぞれの光源部に対する負荷が偏り、光源部の寿命も偏ってしまう。例えば、上記白熱ランプの場合、定電圧駆動時に、点灯直後では、フィラメントの温度が低く、抵抗値が低いため、大きな電流が流れる場合がある。従って、定電圧駆動を行う光源部は、定電流駆動を行う光源部よりも大負荷となり、光源寿命も短くなる。
これに対して、本発明では、駆動方法を切り替えることで、このような負荷の偏りを抑制することができ、光源寿命の偏りも抑制できる。
【００１５】
本発明の光学モジュールにおいて、前記複数の光源部は、同一の駆動方法に対して同一の前記変動特性を有することが好ましい。
なお、本発明において、同一の変動特性とは、全光源部に対して変動特性が完全に一致することのみならず、所定の許容値の範囲で変動特性が異なる場合も同一の変動特性とする。すなわち、光源部として、例えば、同種の光源部で、同一の仕様で設計され製造された光源部であっても、個体差を有する。本発明では、このような個体差の範囲といった、所定の許容値の範囲における変動特性の差異を許容する。
【００１６】
本発明では、複数の光源部は、同一の駆動方法に対して略同一の変動特性を示す。このような構成では、例えば、光源部に所定の電力を付与した場合の光量を、各光源部で略同様とすることができる。このため、各光源部で略同程度の光量を取得できるように、各光源部の駆動パラメーター（駆動電圧や駆動電流）を容易に設定することができる。このため、全光源部からの総光量が所望の光量となるように、各光源部の駆動パラメーターを容易に設定することができる。
【００１７】
本発明の光学モジュールにおいて、前記複数の光源部は、前記定電圧駆動及び前記定電流駆動のいずれかで駆動され、前記定電圧駆動で駆動される前記光源部、及び前記定電流駆動で駆動される前記光源部は同数であることが好ましい。
本発明では、定電圧駆動で駆動される光源部と、定電流駆動で駆動される光源部とが、それぞれ同数である。これら光源部は、上述のように駆動方法に応じた変動特性が略同一である。このため、定電圧駆動で駆動される光源部からの光量と、定電流駆動で駆動される光源部からの光量と、を略同一とし、所望の総光量の略半分の値とすることが容易となる。従って、複数の光源部の総光量を所望の値とすることを容易とすることができる。
また、上述のように、白熱光源を用いる場合、互いに光量変動を打ち消し合うように、定電圧駆動で駆動される光源部からの光量と、定電流駆動で駆動される光源部からの光量と、を調整することが容易となり、総光量が安定化するまでの時間をより確実に短くできる。
【００１８】
本発明の光学モジュールにおいて、前記光源部は、複数の光源を有することが好ましい。
【００１９】
本発明では、光源部が複数の光源を有する。このような構成では、各光源部において、光量変化のばらつきを平均化することができ、総光量の変化をより一層抑制することができる。
また、所望の総光量を設定した際、各駆動方法で駆動される光源が１つの場合よりも、総光量に対する１つの光源の光量が占める割合を小さくすることができ、１つの光源への負荷を小さくすることができる。
【００２０】
本発明の電子機器は、点灯開始からの経時的な光量の変動特性がそれぞれ異なる複数の光源部と、前記光源部から出射され、対象により反射された光から所定波長の光を分光する分光素子と、前記分光素子から出射された光を検出する検出部と、前記検出部の検出結果を用いた処理を行う処理部と、を備え、前記複数の光源部による総光量の変化率が、単一の前記光源部の光量の変化率よりも小さいことを特徴とする。
【００２１】
本発明では、上記、光学モジュールに係る発明と同様に、複数の光源部を同時に点灯させることで、光量の経時的な変動特性が異なる光源部を組み合わせて用いることで、単体の光源部の光量変動を打ち消す。例えば、単体の光源部の光量が増大した際に、他の光源部の光量が減少することで、総光量の変化率が小さくなる。これにより、光学モジュールにより、所定波長の光の光量を検出する際に、総光量の変動を抑えることができ、処理部における処理の精度を向上させることができる。
【００２２】
本発明の光源装置は、点灯開始からの経時的な光量の変動特性がそれぞれ異なる複数の光源部を備え、前記複数の光源部による総光量の変化率が、単一の前記光源部の光量の変化率よりも小さいことを特徴とする。
【００２３】
本発明では、上記、光学モジュールに係る発明と同様に、複数の光源部を同時に点灯させることで、光量の経時的な変動特性が異なる光源部を組み合わせて用いることで、単体の光源部の光量変動を打ち消す。例えば、単体の光源部の光量が増大した際に、他の光源部の光量が減少することで、総光量の変化率が小さくなる。これにより、光学モジュールにより、所定波長の光の光量を検出する際に、総光量の変動を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に係る第一実施形態の分光測定装置の概略構成を示すブロック図。
【図２】上記実施形態の波長可変干渉フィルターの概略構成を示す平面図。
【図３】上記実施形態の波長可変干渉フィルターの概略構成を示す断面図。
【図４】定電圧駆動及び定電流駆動時の点灯時間と光量変化との一例を示すグラフ。
【図５】第１光源及び第２光源を同時に点灯した際の点灯時間と光量変化との一例を示すグラフ。
【図６】本発明に係る第二実施形態の分光測定装置の概略構成を示すブロック図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
［第一実施形態］
以下、本発明に係る一実施形態について、図面に基づいて説明する。
［分光測定装置の構成］
図１は、本発明に係る分光測定装置の概略構成を示すブロック図である。
分光測定装置１は、分光測定の対象である測定対象Ｘで反射した測定対象光における各波長の光量を取得し、分光スペクトルを測定する装置である。この分光測定装置１は、図１に示すように、分光モジュール１０と、分光モジュール１０を制御する制御部２０と、を備えている。
なお、本実施形態における分光測定とは、対象により反射され、分光モジュール１０に入射した光から、所定波長の光を順次分光させ、順次分光された光の光量を測定する処理を指す。
【００２６】
［分光モジュールの構成］
分光モジュール１０は、波長可変干渉フィルター５と、本発明の光源部に相当する第１光源６及び第２光源７と、本発明の検出部に相当する受光素子８と、電圧制御部１１と、定電圧駆動部１２Ａと、定電流駆動部１２Ｂと、駆動切替部１３と、検出信号処理部１４と、を備えている。
この分光モジュール１０は、測定対象Ｘを照明する各光源６，７からの照明光が測定対象Ｘで反射され、この反射された測定対象光を、入射光学系（図示略）を通して、波長可変干渉フィルター５に導き、波長可変干渉フィルター５を透過した光を受光素子８に受光させる。そして、受光素子８から出力された検出信号は、検出信号処理部１４を介して制御部２０に出力される。
【００２７】
［波長可変干渉フィルターの構成］
図２は、波長可変干渉フィルターの概略構成を示す平面図である。図３は、図２のIII−III線を断面した際の波長可変干渉フィルターの断面図である。
波長可変干渉フィルター５は、波長可変型のファブリーペローエタロンである。この波長可変干渉フィルター５は、例えば矩形板状の光学部材であり、固定基板５１と可動基板５２とを備えている。これらの固定基板５１及び可動基板５２は、それぞれ例えば、ソーダガラス、結晶性ガラス、石英ガラス、鉛ガラス、カリウムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラスなどの各種ガラスや、水晶などにより形成されている。そして、これらの固定基板５１及び可動基板５２は、固定基板５１の第一接合部５１３及び可動基板の第二接合部５２３が、例えばシロキサンを主成分とするプラズマ重合膜などにより構成された接合膜５３（第一接合膜５３１及び第二接合膜５３２）により接合されることで、一体的に構成されている。
【００２８】
固定基板５１には、固定反射膜５４が設けられ、可動基板５２には、可動反射膜５５が設けられている。これらの固定反射膜５４及び可動反射膜５５は、ギャップＧ１を介して対向配置されている。そして、波長可変干渉フィルター５には、このギャップＧ１の寸法を調整（変更）するのに用いられる静電アクチュエーター５６が設けられている。
また、波長可変干渉フィルター５を固定基板５１（可動基板５２）の基板厚み方向から見た図２に示すような平面視（以降、フィルター平面視と称する）において、固定基板５１及び可動基板５２の平面中心点Ｏは、固定反射膜５４及び可動反射膜５５の中心点と一致し、かつ後述する可動部５２１の中心点と一致するものとする。
【００２９】
（固定基板の構成）
固定基板５１には、エッチングにより電極配置溝５１１及び反射膜設置部５１２が形成されている。この固定基板５１は、可動基板５２に対して厚み寸法が大きく形成されており、固定電極５６１及び可動電極５６２間に電圧を印加した際の静電引力や、固定電極５６１の内部応力による固定基板５１の撓みはない。
また、固定基板５１の頂点Ｃ１には、切欠部５１４が形成されており、波長可変干渉フィルター５の固定基板５１側に、後述する可動電極パッド５６４Ｐが露出する。
【００３０】
電極配置溝５１１は、フィルター平面視で、固定基板５１の平面中心点Ｏを中心とした環状に形成されている。反射膜設置部５１２は、前記平面視において、電極配置溝５１１の中心部から可動基板５２側に突出して形成されている。この電極配置溝５１１の溝底面は、固定電極５６１が配置される電極設置面５１１Ａとなる。また、反射膜設置部５１２の突出先端面は、反射膜設置面５１２Ａとなる。
また、固定基板５１には、電極配置溝５１１から、固定基板５１の外周縁の頂点Ｃ１，頂点Ｃ２に向かって延出する電極引出溝５１１Ｂが設けられている。
【００３１】
電極配置溝５１１の電極設置面５１１Ａには、静電アクチュエーター５６を構成する固定電極５６１が設けられている。より具体的には、固定電極５６１は、電極設置面５１１Ａのうち、後述する可動部５２１の可動電極５６２に対向する領域に設けられている。また、固定電極５６１上に、固定電極５６１及び可動電極５６２の間の絶縁性を確保するための絶縁膜が積層される構成としてもよい。
そして、固定基板５１には、固定電極５６１の外周縁から、頂点Ｃ２方向に延出する固定引出電極５６３が設けられている。この固定引出電極５６３の延出先端部（固定基板５１の頂点Ｃ２に位置する部分）は、電圧制御部１１に接続される固定電極パッド５６３Ｐを構成する。
なお、本実施形態では、電極設置面５１１Ａに１つの固定電極５６１が設けられる構成を示すが、例えば、平面中心点Ｏを中心とした同心円となる２つの電極が設けられる構成（二重電極構成）などとしてもよい。
【００３２】
反射膜設置部５１２は、上述したように、電極配置溝５１１と同軸上で、電極配置溝５１１よりも小さい径寸法となる略円柱状に形成され、当該反射膜設置部５１２の可動基板５２に対向する反射膜設置面５１２Ａを備えている。
この反射膜設置部５１２には、図３に示すように、固定反射膜５４が設置されている。この固定反射膜５４としては、例えばＡｇ等の金属膜や、Ａｇ合金等の合金膜を用いることができる。また、例えば高屈折層をＴｉＯ２、低屈折層をＳｉＯ２とした誘電体多層膜を用いてもよい。さらに、誘電体多層膜上に金属膜（又は合金膜）を積層した反射膜や、金属膜（又は合金膜）上に誘電体多層膜を積層した反射膜、単層の屈折層（ＴｉＯ２やＳｉＯ２等）と金属膜（又は合金膜）とを積層した反射膜などを用いてもよい。
【００３３】
また、固定基板５１の光入射面（固定反射膜５４が設けられない面）には、固定反射膜５４に対応する位置に反射防止膜を形成してもよい。この反射防止膜は、低屈折率膜及び高屈折率膜を交互に積層することで形成することができ、固定基板５１の表面での可視光の反射率を低下させ、透過率を増大させる。
【００３４】
そして、固定基板５１の可動基板５２に対向する面のうち、エッチングにより、電極配置溝５１１、反射膜設置部５１２、及び電極引出溝５１１Ｂが形成されない面は、第一接合部５１３を構成する。この第一接合部５１３には、第一接合膜５３１が設けられ、この第一接合膜５３１が、可動基板５２に設けられた第二接合膜５３２に接合されることで、上述したように、固定基板５１及び可動基板５２が接合される。
【００３５】
（可動基板の構成）
可動基板５２は、図２に示すフィルター平面視において、平面中心点Ｏを中心とした円形状の可動部５２１と、可動部５２１と同軸であり可動部５２１を保持する保持部５２２と、保持部５２２の外側に設けられた基板外周部５２５と、を備えている。
また、可動基板５２には、図２に示すように、頂点Ｃ２に対応して、切欠部５２４が形成されており、波長可変干渉フィルター５を可動基板５２側から見た際に、固定電極パッド５６３Ｐが露出する。
【００３６】
可動部５２１は、保持部５２２よりも厚み寸法が大きく形成され、例えば、本実施形態では、可動基板５２の厚み寸法と同一寸法に形成されている。この可動部５２１は、フィルター平面視において、少なくとも反射膜設置面５１２Ａの外周縁の径寸法よりも大きい径寸法に形成されている。そして、この可動部５２１には、可動電極５６２及び可動反射膜５５が設けられている。
なお、固定基板５１と同様に、可動部５２１の固定基板５１とは反対側の面には、反射防止膜が形成されていてもよい。このような反射防止膜は、低屈折率膜及び高屈折率膜を交互に積層することで形成することができ、可動基板５２の表面での可視光の反射率を低下させ、透過率を増大させることができる。
【００３７】
可動電極５６２は、ギャップＧ２を介して固定電極５６１に対向し、固定電極５６１と同一形状となる環状に形成されている。この可動電極５６２は、固定電極５６１とともに静電アクチュエーター５６を構成する。また、可動基板５２には、可動電極５６２の外周縁から可動基板５２の頂点Ｃ１に向かって延出する可動引出電極５６４を備えている。この可動引出電極５６４の延出先端部（可動基板５２の頂点Ｃ１に位置する部分）は、電圧制御部１１に接続される可動電極パッド５６４Ｐを構成する。
可動反射膜５５は、可動部５２１の可動面５２１Ａの中心部に、固定反射膜５４とギャップＧ１を介して対向して設けられる。この可動反射膜５５としては、上述した固定反射膜５４と同一の構成の反射膜が用いられる。
なお、本実施形態では、上述したように、ギャップＧ２がギャップＧ１の寸法よりも大きい例を示すがこれに限定されない。例えば、測定対象光として赤外線や遠赤外線を用いる場合等、測定対象光の波長域によっては、ギャップＧ１の寸法が、ギャップＧ２の寸法よりも大きくなる構成としてもよい。
【００３８】
保持部５２２は、可動部５２１の周囲を囲うダイアフラムであり、可動部５２１よりも厚み寸法が小さく形成されている。このような保持部５２２は、可動部５２１よりも撓みやすく、僅かな静電引力により、可動部５２１を固定基板５１側に変位させることが可能となる。この際、可動部５２１が保持部５２２よりも厚み寸法が大きく、剛性が大きくなるため、保持部５２２が静電引力により固定基板５１側に引っ張られた場合でも、可動部５２１の形状変化が起こらない。従って、可動部５２１に設けられた可動反射膜５５の撓みも生じず、固定反射膜５４及び可動反射膜５５を常に平行状態に維持することが可能となる。
なお、本実施形態では、ダイアフラム状の保持部５２２を例示するが、これに限定されず、例えば、平面中心点Ｏを中心として、等角度間隔で配置された梁状の保持部が設けられる構成などとしてもよい。
【００３９】
基板外周部５２５は、上述したように、フィルター平面視において保持部５２２の外側に設けられている。この基板外周部５２５の固定基板５１に対向する面は、第一接合部５１３に対向する第二接合部５２３を備えている。そして、この第二接合部５２３には、第二接合膜５３２が設けられ、上述したように、第二接合膜５３２が第一接合膜５３１に接合されることで、固定基板５１及び可動基板５２が接合されている。
【００４０】
［電圧制御部の構成］
次に、図１に戻り、分光モジュール１０における波長可変干渉フィルター５以外の構成について説明する。
電圧制御部１１は、制御部２０の制御に基づいて、波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６に対して駆動電圧を印加する。これにより、静電アクチュエーター５６の固定電極５６１及び可動電極５６２間で静電引力が発生し、可動部５２１が固定基板５１側に変位する。
【００４１】
［第１光源、第２光源、定電圧駆動部、定電流駆動部、及び駆動切替部の構成］
第１光源６は、照明光の光量が経時的に変動する光量変動特性を有する（図４参照）。この光量変動特性は、後に詳述するが、予め光源の光量を測定することによって取得することができる。
なお、第１光源６として、例えば、キセノンが封入されたタングステンランプを用いているが、これに限定されず、キセノン以外にもハロゲン等が封入された各種タングステンランプといった各種白熱光源を用いることができる。また、図示しないが、分光モジュール１０は、第１光源６からの照明光を集光するレンズや、第１光源６からの光をレンズに向かって反射させるリフレクター等を備えていてもよい。
第２光源７は、第１光源６と同一の光源である。すなわち、第２光源７は、第１光源６と、同じ仕様を有し、同一の駆動方法で駆動された際に同様の変動特性を示す。
【００４２】
なお、本実施形態において、光源の変動特性が同一とは、各光源６，７の変動特性が完全に一致することのみならず、所定の許容値の範囲で変動特性が異なる場合も同一の変動特性とする。すなわち、例えば、同一の仕様で設計され製造された同種の光源であっても個体差を有する。本実施形態では、このような個体差の範囲といった、所定の許容値の範囲での変動特性の差異を許容する。
【００４３】
定電圧駆動部１２Ａは、駆動切替部１３を介して、第１光源６又は第２光源７に接続可能に構成されている。この定電圧駆動部１２Ａは、制御部２０の制御に基づいて、第１光源６又は第２光源７を定電圧駆動で駆動する。定電圧駆動部１２Ａは、第１光源６を定電圧駆動で駆動するための駆動回路を備えている。
【００４４】
定電流駆動部１２Ｂは、駆動切替部１３を介して、第１光源６又は第２光源７に接続可能に構成されている。この定電流駆動部１２Ｂは、制御部２０の制御に基づいて、第１光源６又は第２光源７を定電流駆動で駆動する。定電流駆動部１２Ｂは、第２光源７を定電流駆動で駆動するための駆動回路を備えている。
【００４５】
駆動切替部１３は、制御部２０の制御に基づいて、第１光源６及び第２光源７のうちの一方を定電圧駆動部１２Ａによって定電圧駆動で駆動させ、他方を定電流駆動部１２Ｂによって定電流駆動で駆動させる。また、駆動切替部１３は、制御部２０の制御に基づいて、第１光源６及び第２光源７の駆動方法を切り替える。すなわち、この駆動切替部１３は、定電圧駆動部１２Ａを第１光源６及び第２光源７のいずれか一方に接続した場合、定電流駆動部１２Ｂを第１光源６及び第２光源７の他方に接続するように、接続先を切り替える。駆動切替部１３は、各駆動部１２Ａ，１２Ｂの接続先を切り替えるスイッチ回路を備えている。
【００４６】
ここで、本発明の光学モジュールは、波長可変干渉フィルター５、各光源６，７、及び受光素子８を少なくとも備えている。本実施形態では、波長可変干渉フィルター５、各光源６，７、受光素子８、定電圧駆動部１２Ａ、定電流駆動部１２Ｂ、及び光源制御部２１が、本発明の光学モジュールに相当する。すなわち、光学モジュールは、分光モジュール１０及び制御部２０の一部で構成されている。
【００４７】
［受光素子及び検出信号処理部の構成］
受光素子８は、波長可変干渉フィルター５を透過した光を受光（検出）し、受光量に基づいた検出信号を検出信号処理部１４に出力する。つまり、受光素子８は、光が露光されると、その露光量に応じた検出信号を出力する。
検出信号処理部１４は、入力された検出信号（アナログ信号）を増幅したのち、デジタル信号に変換して制御部２０に出力する。検出信号処理部１４は、例えば、検出信号が電流値である場合、検出した電流値を電圧値に変換するＩ−Ｖ変換器や、検出信号を増幅するアンプや、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器等により構成される。
【００４８】
［制御部の構成］
制御部２０は、例えばＣＰＵやメモリー等が組み合わされることで構成され、分光測定装置１の全体の動作を制御する。この制御部２０は、図１に示すように、光源制御部２１と、フィルター駆動部２２と、光量取得部２３と、分光測定部２４と、記憶部２５とを備えている。
【００４９】
光源制御部２１は、分光測定の測定タイミングに応じて、各光源６，７の点灯及び消灯を制御する。また、光源制御部２１は、定電圧駆動部１２Ａ及び定電流駆動部１２Ｂを定電圧駆動及び定電流駆動のいずれの駆動方法で駆動するかを制御する。
光源制御部２１は、定電圧駆動部１２Ａ及び定電流駆動部１２Ｂの接続先をそれぞれ、第１光源６及び第２光源７のいずれにするかを設定するための指令信号を駆動切替部１３に出力する。
【００５０】
また、光源制御部２１は、定電圧駆動部１２Ａ及び定電流駆動部１２Ｂにそれぞれ指令信号を出力する。例えば、光源制御部２１は、定電圧駆動部１２Ａに第１光源６を定電圧駆動で駆動させる場合、定電圧駆動部１２Ａに駆動電圧を指示する指令信号を出力し第１光源６を定電圧駆動で駆動させ、定電流駆動部１２Ｂに駆動電流を指示する指令信号を出力し第２光源７を定電流駆動で駆動させる。また、定電圧駆動部１２Ａに第２光源７を定電圧駆動で駆動させる場合、定電圧駆動部１２Ａに駆動電圧を指示する指令信号を出力し第２光源７を定電圧駆動で駆動させ、定電流駆動部１２Ｂに駆動電流を指示する指令信号を出力し第１光源６を定電流駆動で駆動させる。
【００５１】
ここで、図４は、第１光源６を定電圧駆動で駆動した場合と、第２光源７を定電流駆動で駆動した場合とのそれぞれについて、点灯時間と規格化光量との関係の一例を示すグラフである。第１光源６を定電圧駆動で駆動した場合を実線、第２光源７を定電流駆動で駆動した場合を点線で示す。また、図４では、分光測定時に必要な総光量（第１光源６及び第２光源７により得られる光量）の半分の値を基準として規格化している。
【００５２】
図４の実線で示すように、定電圧駆動の場合、点灯直後に一旦光量が最大となり、その後、徐々に減少する。また、点線で示すように、定電流駆動の場合、点灯直後に光量が急激に増大し、その後、徐々に増大する。いずれの場合も、点灯後の経過時間とともに、光量の変化率は徐々に小さくなる。
【００５３】
光源を定電圧駆動又は定電流駆動で駆動した場合、上述のように、光源の光量は点灯時間に応じて変化する。このため、測定開始から測定終了までの測定期間において、光源の光量変化が許容量（例えば、光量変化が基準光量に対して±０．３％以下）を超える場合がある。
【００５４】
図４に示す例では、定電圧駆動及び定電流駆動のいずれの場合も、５秒以上経過しても徐々に光量が変化している。このため、測定時間が長い場合は、測定開始から測定終了までの光量変化が許容量を超え、所望の精度の測定結果を得ることができないおそれがある。
これに対して、上述のように、経過時間とともに光量の変化率は徐々に小さくなるため、点灯開始から測定開始までの待機時間を十分に長く設定して、光量変化がほとんどない状態で測定することが考えられる。しかしながら、待機時間を長く設定すると、点灯開始から測定終了までに要する時間（測定所要時間）が長くなる。
【００５５】
本実施形態では、上記問題点に対して、第１光源６を定電圧駆動で駆動した場合は、第２光源７を定電流駆動で駆動することで、各光源の光量変化を相殺する。すなわち、上述のように、第１光源６を定電圧駆動させると点灯時間に応じて光量が減少し、逆に、第２光源７を定電流駆動させると点灯時間に応じて光量が増大する。このように、二つの光源を、点灯時間に対する光量変化が逆の特性となるように、２つの光源を点灯させることで、各光源の光量変化を相殺する。
【００５６】
図５は、第１光源６を所定電圧で定電圧駆動するともに、第２光源７を所定電流で定電流駆動した場合の総光量と点灯時間と関係の一例を示すグラフである。
図５に示すように、０．５秒程度で光量変化が安定し、規格化光量値が分光測定装置１の基準光量に対して、例えば、点線で示す±０．３％の範囲である許容範囲に収まっている。
なお、図５に示す例では、分光測定時に必要な総光量（第１光源６及び第２光源７により得られる光量）を基準光量として規格化している。
【００５７】
ここで、第１光源６を定電圧駆動する際の駆動電圧値、及び、第２光源７を定電流駆動する際の駆動電流値は、分光測定の際の所望の光量値を考慮して、総光量が基準光量で安定化するように設定すればよい。
なお、総光量が安定化するとは、点灯後の所定期間における総光量の変化率が所定の許容範囲で収まる状態となることである。許容範囲は、例えば分光測定を実施する際の測定精度等に応じて決まる。
また、点灯後の所定期間とは、分光測定を実施する際に測定対象Ｘを照明する必要がある期間であり、図５では、例えば、点灯開始から０．５秒後以降で、かつ、分光測定に要する時間に対応する期間である。
【００５８】
例えば、所望の総光量の略半分程度の光量を得ることができる駆動電圧値で、所定の時間だけ、第１光源６を定電圧駆動する。所定時間経過時の第１光源６の駆動電圧に対する電流値を取得し、第２光源７を定電流駆動する際の駆動電流値に設定する。なお、上記所定の時間は、例えば、予定された分光測定に要する所要時間である。
同様に、所望の総光量の略半分程度の光量を得ることができる駆動電流値で、所定の時間だけ、第１光源６を定電流駆動する。所定時間経過時の第１光源６の駆動電流に対する電圧値を取得し、第２光源７を定電圧駆動する際の駆動電圧値に設定してもよい。
【００５９】
また、駆動電圧値及び駆動電流値は、第１光源６及び第２光源７のそれぞれの変動特性に基づいて設定してもよい。
例えば、第１光源６を複数の駆動電圧値で定電圧駆動し、光量が安定した際の光量値を取得し、取得した光量値と駆動電圧値とを関連付けた光量値データを記憶部２５に記憶する。同様に、第１光源６を複数の駆動電流値で定電流駆動し、光量が安定した際の光量値を取得し、取得した光量値と駆動電流値とを関連付けた光量値データを記憶部２５に記憶する。同様の光量値データを、第２光源７についても取得する。なお、第１光源６及び第２光源７では、例えば３〜５秒程度、点灯させた際に光量が安定する。
【００６０】
光源制御部２１は、第１光源６を定電圧駆動させるとともに、第２光源７を定電流駆動させる場合、所望の総光量を安定的に得ることができる駆動電圧値及び駆動電流値を、記憶部２５に記憶された光量値データを参照して取得し、取得した駆動電圧値で第１光源６を定電圧駆動させ、駆動電流値で第２光源７を定電流駆動させる。光源制御部２１によって、第１光源６を定電流駆動させるとともに、第２光源７を定電圧駆動させる場合も同様である。
【００６１】
また、光源制御部２１は、上述のような各光源６，７の駆動方法の変更を所定のタイミングで実施する。
ここで、上記所定のタイミングは、例えば、分光測定を実施するために各光源６，７を点灯させる毎である。すなわち、光源制御部２１は、各光源６，７を点灯させる度に、前回の点灯時に定電圧駆動で駆動した光源は定電流で、定電流駆動で駆動した光源は定電圧駆動で駆動する。また、例えば、所定のタイミングは、前回の駆動方法の変更から、１時間、１日及び１週間等の所定の期間が経過した後、最初に各光源６，７を点灯させるタイミングである。また、例えば、所定の点灯時間が経過した後、最初に各光源６，７を点灯させるタイミングである。
【００６２】
フィルター駆動部２２は、総光量が安定した後に設定されている、分光測定の測定タイミングに応じて、波長可変干渉フィルター５により取り出す光の目的波長を設定し、Ｖ−λデータに基づいて、設定した目的波長に対応する駆動電圧を静電アクチュエーター５６に印加させる旨の指令信号を電圧制御部１１に出力する。
光量取得部２３は、受光素子８によって検出された検出信号を取得し、当該検出信号において、波長可変干渉フィルター５を透過した目的波長の光の光量を測定する。
分光測定部２４は、光量取得部２３によって測定された各波長の光量に基づいて、測定対象光の分光スペクトル特性を取得する。
【００６３】
記憶部２５は、上述の光量データ以外にも、分光測定装置１を制御するために各種データ及び各種プログラム等が記憶されている。分光測定部２４には、例えば、波長可変干渉フィルター５を透過させる光の波長と、当該波長に対応して静電アクチュエーター５６に印加する駆動電圧との関係を示すＶ−λデータが記憶されている。
【００６４】
［分光測定装置の動作の概要］
上述のように構成された分光測定装置１は、測定対象Ｘに対する分光測定に先立ち、所望の総光量に基づいて、各光源６，７の駆動電圧値又は駆動電流値を取得する。具体的には、光源制御部２１は、第１光源６を定電圧駆動させ、第２光源７を定電流駆動させる場合は、第１光源６の駆動電圧値及び第２光源７の駆動電流値を取得する。そして、光源制御部２１は、駆動切替部１３に指令信号を出力し、定電圧駆動部１２Ａを第１光源６に接続させ、定電流駆動部１２Ｂを第２光源７に接続させる。そして、光源制御部２１は、取得した駆動電圧値で第１光源６を定電圧駆動させるための指令信号を定電圧駆動部１２Ａに出力し、かつ、取得した駆動電流値で第２光源７を定電流駆動させるための指令信号を定電流駆動部１２Ｂに出力する。光源制御部２１からの指令信号に基づいて、定電圧駆動部１２Ａは第１光源６を定電圧駆動で駆動させ、定電流駆動部１２Ｂは第２光源７を定電流駆動で駆動させる。
【００６５】
その後、分光測定装置１は、総光量が安定した後の所定のタイミングで、分光測定を実施させる。分光測定では、フィルター駆動部２２は、記憶部２５に記憶されたＶ−λデータから、測定対象波長域の所定の測定波長に対する駆動電圧を読み出し、当該駆動電圧を静電アクチュエーター５６に印加する旨の指令信号を電圧制御部１１に出力する。これにより、静電アクチュエーター５６に駆動電圧が印加され、ギャップＧ１が、測定波長に対応した寸法に設定される。ギャップＧ１が設定されると、波長可変干渉フィルター５から測定波長の光が透過され、受光素子８に入射する。光量取得部２３は、現在の測定波長における、受光素子８の各画素における検出信号に基づいて、当該測定波長における光量を取得する。分光測定装置１は、全測定波長に関する光量を同様に取得する。分光測定部２４は、取得した光量に基づいて分光測定結果を取得する。
【００６６】
［第一実施形態の作用効果］
分光測定装置１では、各光源６，７が、異なる駆動方法で駆動され、その際の経過時間に対する光量の変動特性が異なる。駆動方法は、本実施形態では定電圧駆動及び定電流駆動である。そして、上述のように、第１光源６を定電圧駆動で、第２光源７を定電流駆動で駆動した際の総光量の変化率が、第１光源６を定電圧駆動で駆動した際の光量の変化率や、第２光源７を定電流駆動で駆動した際の変化率よりも小さい。
つまり、本実施形態では、各光源６，７を異なる駆動方法で駆動させて、同時に点灯させる際に、光量の経時的な変動特性が異なるように各光源６，７を同時点灯させることで、各光源６，７の光量変動を打ち消す。これにより、所定波長の光の光量を検出する際に、総光量の変動を抑えることができ、高い測定精度で光量検出を実施できる。
【００６７】
また、本実施形態では、定電圧駆動及び定電流駆動のいずれかで光源を駆動する。
ここで、例えば、白熱光源は、定電圧駆動時において光量が徐々に減少する。一方、定電流駆動時において光量が徐々に増大する。このような白熱光源を用いる場合、互いに光量変動を打ち消し合うことができ、総光量の変化率をより容易に抑制することができる。
また、総光量が安定化するまでの時間も、全光源を同一の駆動方法で駆動した場合に光量が安定化するまでの時間よりも短くできる。
【００６８】
また、本実施形態では、各光源６，７のうち、定電圧駆動で駆動される光源、定電流駆動で駆動される光源を切り替える。
同一の光源に対して同一の駆動方法で駆動させ続けると、それぞれの光源に対する負荷が偏り、光源の寿命も偏ってしまう。すなわち、定電圧駆動時に、点灯直後では、フィラメントの温度が低く、抵抗値が低いため、大きな電流が流れる場合がある。従って、定電圧駆動を行う光源は、定電流駆動を行う光源よりも大負荷となり、光源寿命も短くなる。これに対して、駆動方法を切り替えることで、このような負荷の偏りを抑制することができ、光源寿命の偏りも抑制できる。
【００６９】
各光源６，７は、同一の各駆動方法に対して略同一の変動特性を示す。このような構成では、例えば、光源に所定の電力を付与した場合の光量を、各光源６，７で略同様とすることができる。このため、各光源で略同程度の光量を取得できるように、駆動電圧や駆動電流を容易に設定することができる。このため、総光量が所望の光量となるように、各光源６，７を制御する際の駆動パラメーターを容易に設定できる。
【００７０】
さらに、各駆動方法で駆動される光源が、それぞれ同数である。各光源６，７は、上述のように駆動方法に応じた変動特性が略同一である。このため、定電圧駆動で駆動される光源からの光量と、定電流駆動で駆動される光源からの光量と、を略同一とし、所望の総光量の略半分の値とすることが容易となる。従って、総光量を所望の値とすることを容易とすることができる。
また、上述のように、白熱光源を用いる場合、互いに光量変動を打ち消し合うように、定電圧駆動で駆動される光源からの光量と、定電流駆動で駆動される光源からの光量と、を調整することが容易となり、総光量が安定化するまでの時間をより確実に短くできる。
【００７１】
［第二実施形態］
第一実施形態では、第１の駆動方法及び第２の駆動方法で駆動される光源がそれぞれ１つである構成を例示した。
第二実施形態では、第１の駆動方法及び第２の駆動方法で駆動される光源がそれぞれ、複数である構成について説明する。すなわち、第二実施形態は、第一実施形態における第１光源６及び第２光源７をそれぞれ複数有する点で第一実施形態と相違する。
図６は、本発明に係る第二実施形態の分光測定装置１Ａの概略構成を示すブロック図である。
図６に示すように、分光測定装置１Ａが備える分光モジュール１０Ａは、複数の第１光源６Ａ，６Ｂ，６Ｃ、及び複数の第２光源７Ａ，７Ｂ，７Ｃを備えている。図示例では、第１光源及び第２光源をそれぞれ３つ備えている。
第１光源６Ａ，６Ｂ，６Ｃは、定電圧駆動部１２Ａによって個別に駆動可能に構成されている。同様に、第２光源７Ａ，７Ｂ，７Ｃは、定電流駆動部１２Ｂによってそれぞれ個別に駆動可能に構成されている。
【００７２】
第一定電圧実施形態同様に、定電圧駆動部１２Ａは、駆動切替部１３を介して、第１光源６Ａ，６Ｂ，６Ｃ又は第２光源７Ａ，７Ｂ，７Ｃに接続可能に構成されている。また、同様に、定電流駆動部１２Ｂは、駆動切替部１３を介して、第１光源６Ａ，６Ｂ，６Ｃ又は第２光源７Ａ，７Ｂ，７Ｃに接続可能に構成されている。光源制御部２１は、分光測定の測定タイミングに応じて、駆動切替部１３を制御して定電圧駆動部１２Ａ及び定電流駆動部１２Ｂの接続先を設定し、各光源６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，７Ａ，７Ｂ，７Ｃの点灯及び消灯を制御する。
【００７３】
［第二実施形態の作用効果］
第二実施形態の分光測定装置１Ａは、同一の駆動方法で駆動される光源が複数存在する。
このような構成では、各光源による光量変化のばらつきを平均化することができ、総光量の変化をより一層抑制することができる。
また、所望の光量に総光量を設定した際、各駆動方法で駆動される光源が１つの場合よりも、総光量に対する１つの光源の光量が占める割合を小さくすることができ、１つの光源への負荷を小さくすることができる。
【００７４】
［実施形態の変形］
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良を適宜組み合わせる等によって得られる構成は本発明に含まれるものである。
上記各実施形態では、光源が同様の変動特性を有する構成を例示したが、本発明はこれに限定されず、同一の変動特性を有していなくてもよい。例えば、光源の変動特性が異なる場合でも、各光源の変動特性を予め取得しておけばよい。
上記各実施形態では、光源が各駆動方法で駆動される光源の数が同数である構成を例示したが、本発明はこれに限定されず、同数でなくてもよい。この場合、例えば、各駆動方法に対応する光量を、光源の数を考慮して予め取得しておけばよい。
【００７５】
上記各実施形態では、駆動方法として、定電流駆動及び定電圧駆動の２つの駆動方法のいずれかの場合を例示したが、本発明はこれに限定されず、他の駆動方法であってもよいし、３以上の駆動方法で駆動してもよい。例えば、駆動電圧や駆動電流を駆動中に変更するようにしてもよい。また、３以上の駆動方法で駆動する際、各駆動方法で駆動された光源からの光量が、総光量の変動を相殺する関係にあればよい。
【００７６】
また、上記各実施形態では、同様の変動特性を有する複数の光源を互いに異なる駆動方法で駆動することで変動特性を異ならせる複数の光源部を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、異なる変動特性を有する複数の光源を同時に点灯してもよく、この場合においても、各光源からの光量が、総光量の変動を相殺する関係となるように、各光源の駆動方法を設定すればよい。
【００７７】
上記第二実施形態では、各駆動方法に対して複数の光源を有し、全光源を同時に点灯させる構成を例示したが、本発明では全光源を同時に点灯させなくてもよい。
例えば、各駆動方法について同数の光源を点灯するようにしてもよい。具体的には、第二実施形態において、第１光源６Ａ及び第２光源７Ａのみを点灯させ、総光量を増大させる場合に第１光源６Ａ，６Ｂ及び第２光源７Ａ，７Ｂを点灯させ、さらに総光量を増大させる場合に第１光源６Ａ，６Ｂ，６Ｃ及び第２光源７Ａ，７Ｂ，７Ｃを点灯させてもよい。
このように、光源制御部２１は、第１駆動方法で駆動される光源と、第２駆動方法で駆動される光源とを同数としつつ、各駆動方法で駆動される光源の数を変更してもよい。
このような構成では、光量を変える際に、駆動電圧値、駆動電流値の値を現在の設定を維持したまま、点灯する光源の数を変更するだけで、総光量を変更することができる。
例えば、定電圧駆動部１２Ａ及び定電流駆動部１２Ｂの駆動回路のゲインを調整する等による光量変更する場合、総光量を所望の値で安定化させるために駆動電圧値及び駆動電流値を再設定する必要があるが、本変形例では、再設定する必要がなく、総光量を容易に変更でき、変更後も素早く安定化させることができる。
【００７８】
上記実施形態では、分光測定装置１の例を示したが、測定対象の成分分析等を実施する分析装置に適用することができる。
また、上記実施形態では、分光測定装置１として、測定結果に基づいて分光スペクトルを取得する構成を例示したが、本発明はこれに限定されず、分光画像を取得する分光カメラ等にも本発明を適用することができる。すなわち、各波長の各画素について検出信号を選択し、選択された各画素の検出信号に基づいて各波長の分光画像を取得するように構成してもよい。また、取得した分光画像に基づいて測色処理を行ってもよい。このような構成でも、各画素について適性露光の範囲の露光量に対応する検出信号が選択されるので、高精度の分光画像を取得でき、高精度の測色を実施できる。
【００７９】
上記実施形態において、波長可変干渉フィルター５がパッケージ内に収納された状態で分光モジュール１０に組み込まれる構成などとしてもよい。この場合、パッケージ内を真空密閉することで、波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６に電圧を印加した際の駆動応答性を向上させることができる。
【００８０】
上記実施形態において、波長可変干渉フィルター５は、電圧印加により反射膜５４，５５間のギャップ寸法を変動させる静電アクチュエーター５６を備える構成としたが、これに限定されない。
例えば、固定電極５６１の代わりに、第一誘電コイルを配置し、可動電極５６２の代わりに第二誘電コイル又は永久磁石を配置した誘電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。
さらに、静電アクチュエーター５６の代わりに圧電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。この場合、例えば保持部５２２に下部電極層、圧電膜、及び上部電極層を積層配置させ、下部電極層及び上部電極層の間に印加する電圧を入力値として可変させることで、圧電膜を伸縮させて保持部５２２を撓ませることができる。
【００８１】
上記実施形態において、ファブリーペローエタロンとして、固定基板５１及び可動基板５２が互いに対向する状態で接合され、固定基板５１に固定反射膜５４が設けられ、可動基板５２に可動反射膜５５が設けられる波長可変干渉フィルター５を例示したが、これに限らない。
例えば、固定基板５１及び可動基板５２が接合されておらず、これらの基板間に圧電素子等の反射膜間ギャップを変更するギャップ変更部が設けられる構成などとしてもよい。
また、２つ基板により構成される構成に限られない。例えば、１つの基板上に犠牲層を介して２つの反射膜を積層し、犠牲層をエッチング等により除去してギャップを形成した波長可変干渉フィルターを用いてもよい。
また、分光素子として、例えばＡＯＴＦ（Acousto Optic Tunable Filter）やＬＣＴＦ（Liquid Crystal Tunable Filter）が用いられてもよい。ただし、装置の小型化の観点から上記各実施形態のようにファブリーペローフィルターを用いることが好ましい。
【００８２】
上記各実施形態及び変形例は、複数の光源（第一実施形態では各光源６，７）と、各駆動部１２Ａ，１２Ｂと、光源制御部２１と、を備える光源装置を、光学モジュールや電子機器の光源装置として採用する構成を例示した。しかしながら、本発明はこれに限定されず、光源装置を単体で使用してもよい。この場合であっても、光源の変動を抑制することができる。また、点灯開始から安定化するまでの時間を容易に短縮することができる。
【００８３】
その他、本発明の実施の際の具体的な構造は、本発明の目的を達成できる範囲で上記各実施形態及び変形例を適宜組み合わせることで構成してもよく、また他の構造などに適宜変更してもよい。
【符号の説明】
【００８４】
１，１Ａ…分光測定装置、５…波長可変干渉フィルター（分光素子）、６，６Ａ，６Ｂ，６Ｃ…第１光源（光源部）、７，７Ａ，７Ｂ，７Ｃ…第２光源（光源部）、８…受光素子（検出部）、１０，１０Ａ…分光モジュール、１１…電圧制御部、１２Ａ…定電圧駆動部、１２Ｂ…定電流駆動部、１３…駆動切替部、２０…制御部、２１…光源制御部、２３…光量取得部。
【図１】
2015141105.tif 000003
【図２】
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【図３】
2015141105.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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