(57)【要約】      （修正有）【課題】低コストで過圧縮に対する対策がされた液封式真空ポンプを提供する。【解決手段】液封式真空ポンプは、ケーシング用側板４０ａ、４０ｂの内部空間に液体を供給して、モータで羽根車を回転させることで、遠心力によってケーシングの内部空間に液環を形成し、隣り合う２つの翼３２、液環、及び側板によって形成される気室に吸気口から取り込んだ気体を、羽根車の回転に伴う気室の容積の減少によって圧縮し、羽根車の回転によって気室が排気口４２に達することで、気室内で圧縮された気体を排気口から排気する。排気口を有する後側板４０ｂに、隣り合う２つの翼３２及び液環とともに排気口４２の直前の気室を形成する弾性材４５を備え、弾性材は、排気口４２の直前の気室の気圧によって弾性変形することで、排気口の直前の気室と排気口とを連通させる。【選択図】図３
2015175323.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部空間が形成され、側板に前記内部空間を開放する吸気口及び排気口を有するケーシングと、
前記ケーシングの内部空間に偏心して設けられ、複数の翼を備えた羽根車と、
前記羽根車を回転させる回転電動機と、
を備え、
前記ケーシングの内部空間に液体を供給して、前記回転電動機で前記羽根車を回転させることで、遠心力によって前記ケーシングの内部空間に液環を形成し、隣り合う２つの前記翼、前記液環、及び前記側板によって形成される気室に前記吸気口から取り込んだ気体を、前記羽根車の回転に伴う前記気室の容積の減少によって圧縮し、前記羽根車の回転によって前記気室が前記排気口に達することで、前記気室内で圧縮された気体を前記排気口から排気する液封式真空ポンプであって、
前記排気口を有する前記側板に、隣り合う２つの前記翼及び前記液環とともに前記排気口の直前の前記気室を形成する弾性変形部を備え、
前記弾性変形部は、前記排気口の直前の前記気室の気圧によって弾性変形することで、前記排気口の直前の前記気室と前記排気口とを連通させることを特徴とする液封式真空ポンプ。
【請求項２】
前記弾性変形部は、前記排気口を有する前記側板とともに前記排気口を形成し、前記排気口を形成する面と前記排気口の直前の前記気室を形成する面との間が押しつぶされることで、前記排気口の直前の前記気室と前記排気口とを連通させる弾性材であることを特徴とする請求項１に記載の液封式真空ポンプ。
【請求項３】
前記弾性変形部は、前記排気口を形成する面と反対側の面、及び前記排気口の直前の前記気室を形成する面と反対側の面が、それぞれ前記側板に接着されることで、前記側板に固定されることを特徴とする請求項２に記載の液封式真空ポンプ。
【請求項４】
前記弾性変形部は、前記排気口を形成する面が前記側板に設けられた止め部によって支持されることを特徴とする請求項２又は３に記載の液封式真空ポンプ。
【請求項５】
前記弾性変形部は、締結具によって前記側板に固定されることを特徴とする請求項２に記載の液封式真空ポンプ。
【請求項６】
前記弾性変形部は、前記排気口の直前の前記気室を形成する面を有し、自由端で前記排気口を有する前記側板とともに前記排気口を形成する片持ち板ばねであることを特徴とする請求項１に記載の液封式真空ポンプ。
【請求項７】
前記弾性変形部材の、前記排気口の直前の前記気室を形成する面の両側と、前記側板との間に微小の隙間を有することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の液封式真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、羽根車とケーシングの偏心配置によって吸気側から排気側への気体容積の変化（圧縮）により真空を作り出す液封式真空ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液封式真空ポンプは、羽根車とケーシングの偏心配置による吸気側から排気側への気体容量の変化（圧縮）により真空を作り出す。図９は、従来の液封式真空ポンプの断面図であり、図１０は、図９のＸ−Ｘ断面図である。ケーシング４００は、円柱状の内部空間を有し、その内部空間には液体（例えば、水）が供給される。羽根車３００が回転すると、複数の翼３０２によって液体が羽根車３００の外周方向に掻き出され、液体はケーシング４００の内部空間に沿った液環Ｌを形成する。
【０００３】
液環Ｌの内部に形成される圧縮空間Ｃは、偏心した羽根車３００の基部３０１によって三日月形状となる。圧縮空間Ｃは、液環Ｌと基部３０１とケーシング４００の前面４１０及び背面４２０とによって囲われた空間であり、翼３０２によって各気室に区分けされる。
【０００４】
ケーシング４００の前側板４１０に形成された吸気口４０１は、この三日月状の圧縮空間Ｃの上流側の部分に対応する形状を有し、ケーシング４００の後側板４２０に形成された排気口４０２は、圧縮空間Ｃの下流側の部分に対応する形状を有している。吸気口４０１より空気が気室に取り込まれると、羽根車３００の回転によって気室の容積が減少することで空気は圧縮される。気室が羽根車３００の回転によって排気口４０２に達すると、気室内の圧縮された空気は排気口４０２から排気される。
【０００５】
上記のような液封式真空ポンプにおいて、偏心した羽根車３００の回転による気室の容積変化率（圧縮率）を大きくすると、圧縮性能が向上する。吸気口４０１から気体流入がない締切運転の場合や、吸気口４０１からの吸入流量が少ない高真空運転の場合には、圧縮率を大きくしても問題は生じないが、吸気口４０１から大量の気体流入がある場合、排気口４０２までの圧縮経路の途中で気室内の気体が大気圧以上に圧縮されるという過圧縮状態が生じてしまう。このような過圧縮状態が生じると、羽根車３００を回転させるのに必要な動力が増大し、振動や騒音が増大し、排気性能が低下してしまう。
【０００６】
このような過圧縮の問題に対する対策として、ケーシングの排気口近傍にボールバルブを介して別の排気流路を設けて、過圧縮発生時にボールバルブが自動的に開いて別の排気流路から過圧縮された気体を排気する（一部の気体をリークさせる）液封式真空ポンプが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−１５０２３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記のボールバルブを利用して過圧縮気体を排気する構成では、ボールバルブ、及びそれに連結する別の排気流路を設ける必要があるので、構造が複雑になり、コストがかかる。
【０００９】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、低コストで過圧縮に対する対策がされた液封式真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の液封式真空ポンプは、内部空間が形成され、側板に前記内部空間を開放する吸気口及び排気口を有するケーシングと、前記ケーシングの内部空間に偏心して設けられ、複数の翼を備えた羽根車と、前記羽根車を回転させる回転電動機とを備え、前記ケーシングの内部空間に液体を供給して、前記回転電動機で前記羽根車を回転させることで、遠心力によって前記ケーシングの内部空間に液環を形成し、隣り合う２つの前記翼、前記液環、及び前記側板によって形成される気室に前記吸気口から取り込んだ気体を、前記羽根車の回転に伴う前記気室の容積の減少によって圧縮し、前記羽根車の回転によって前記気室が前記排気口に達することで、前記気室内で圧縮された気体を前記排気口から排気する液封式真空ポンプであって、前記排気口を有する前記側板に、隣り合う２つの前記翼及び前記液環とともに前記排気口の直前の前記気室を形成する弾性変形部を備え、前記弾性変形部は、前記排気口の直前の前記気室の気圧によって弾性変形することで、前記排気口の直前の前記気室と前記排気口とを連通させる構成を有する。
【００１１】
この構成により、側板の一部を弾性変形部にして、過圧縮を防止するための排気は排気口を通して行うので、ボールねじ等の特別な機構を追加することなく、また、過圧縮防止の排気のための特別な排気流路を設けることなく、高圧になった気室内の空気を排気口に排出できる。
【００１２】
上記の液封式真空ポンプにおいて、前記弾性変形部は、前記排気口を有する前記側板とともに前記排気口を形成し、前記排気口を形成する面と前記排気口の直前の前記気室を形成する面との間が押しつぶされることで、前記排気口の直前の前記気室と前記排気口とを連通させる弾性材であってよい。この構成により、弾性材が変形することにより高圧になった気室内の気体を排気口に排出できる。
【００１３】
上記の液封式真空ポンプにおいて、前記弾性変形部は、前記排気口を形成する面と反対側の面、及び前記排気口の直前の前記気室を形成する面と反対側の面が、それぞれ前記側板に接着されることで、前記側板に固定されてよい。この構成により、弾性変形部を側板に確実に固定できるとともに、高圧になった気室内の気体を排気するための弾性材の変形が可能となる。
【００１４】
上記の液封式真空ポンプにおいて、前記弾性変形部は、前記前記排気口を形成する面が前記側板に設けられた止め部によって支持されてよい。この構成によっても、弾性変形部を側板に確実に固定できるとともに、高圧になった気室内の気体を排気するための弾性材の変形が可能となる。
【００１５】
上記の液封式真空ポンプにおいて、前記弾性変形部は、締結具によって前記側板に固定されてよい。この構成によっても、弾性変形部を側板に確実に固定できるとともに、高圧になった気室内の気体を排気するための弾性材の変形が可能となる。
【００１６】
上記の液封式真空ポンプにおいて、前記弾性変形部は、前記排気口の直前の前記気室を形成する面を有し、自由端で前記排気口を有する前記側板とともに前記排気口を形成する片持ち板ばねであってよい。この構成により、片持ち板ばねが撓むことにより高圧になった気室内の気体を排気口に排出できる。
【００１７】
上記の液封式真空ポンプにおいて、前記弾性変形部材の、前記排気口の直前の前記気室を形成する面の両側と、前記側板との間に微小の隙間を有していてよい。この構成により、排気口の直前の気室の気密性を確保でき、かつ、弾性変形部材の弾性変形によって弾性変形部材が側板と摺れて摩耗することを防止できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、側板の一部を弾性変形部にして、過圧縮を防止するための排気は排気口を通して行うので、ボールねじ等の特別な機構を追加することなく、また、過圧縮防止の排気のための特別な排気流路を設けることなく、簡易な構成で過圧縮を防止でき、コストを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態の液封式真空ポンプの全体構成を示す平面図
【図２】図１のＡ−Ａ断面図
【図３】（ａ）図２のＸ−Ｘ断面図（弾性変形部の変形なし）  （ｂ）図２のＸ−Ｘ断面図（弾性変形部の変形あり）
【図４】（ａ）図２のＸ−Ｘ断面図  （ｂ）図４（ａ）のＤ−Ｄ矢視図
【図５】（ａ）図２のＸ−Ｘ断面図  （ｂ）図５（ａ）のＤ−Ｄ矢視図
【図６】（ａ）図２のＸ−Ｘ断面図  （ｂ）図６（ａ）のＤ−Ｄ矢視図
【図７】（ａ）図２のＸ−Ｘ断面図  （ｂ）図７（ａ）のＤ−Ｄ矢視図
【図８】（ａ）図４（ａ）のＤ−Ｄ矢視図  （ｂ）図８（ａ）の部分拡大図
【図９】従来の液封式真空ポンプの断面図
【図１０】図９のＸ−Ｘ断面図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態の液封式真空ポンプについて、図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、本発明を実施する場合の一例を示すものであって、本発明を以下に説明する具体的構成に限定するものではない。本発明の実施にあたっては、実施の形態に応じた具体的構成が適宜採用されてよい。
【００２１】
図１は、本発明の実施の形態の液封式真空ポンプの全体構成を示す平面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。液封式真空ポンプ１は、回転電動機としてのモータ１０と、モータ１０の前方に設けられたモータ軸２０と、モータ軸２０に軸支された羽根車３０と、羽根車３０を収納するケーシング４０を備えている。液封式真空ポンプ１は、側板を有しないオープン型の羽根車３０を有し、モータ軸２０に羽根車３０が直接締結されるオーバーハング構造の液封式真空ポンプである。
【００２２】
ケーシング４０は円柱形の内部空間を有し、後側板４０ｂにモータ軸２０を通す孔が形成されている。モータ軸２０には羽根車３０が固定されており、羽根車３０はケーシング４０の円柱形の内部空間に対して偏心している。羽根車３０は、モータ軸２０の回転によって回転する。ケーシング４０の内部空間の円柱形の高さ（図１の左右方向の大きさ）は、羽根車３０がケーシング４０の内面に接触せずに回転可能なように、わずかに羽根車３０の高さ（図１の左右方向の大きさ）より高くなっている。よって、羽根車３０の前面及び背面とケーシング４０の内面との間にはわずかな隙間（端面隙間）が形成されている。
【００２３】
ケーシング４０の前側板４０ａには、ケーシング４０の内部空間を開放する吸気口４１が形成されており、ケーシング４０の後側板４０ｂにはケーシング４０の内部空間を開放する排気口４２が形成されている。吸気口４１には吸気流路４３が接続されており、排気口４２に排気流路４４が接続されている。
【００２４】
羽根車３０は、円柱形の基部３１と、基部３１から等間隔に放射状に形成された複数の翼３２を備えている。図２において、羽根車３０は反時計回りに回転する。複数の翼３２は、外側部分が回転方向に向けて湾曲した形状を有している。ケーシング４０の内部空間には、その約半分の容積を満たす量の液体（例えば、水）が供給される。羽根車３０が回転すると、複数の翼３２が羽根車３０の外周方向に液体を掻き出し、液体は、遠心力によってケーシング４０の内面に沿って還流し、環状の液環Ｌを形成する。
【００２５】
ケーシング４０の内部空間に供給される液体の量は、図２に示すように液環Ｌが形成されたときにその液環Ｌの内面が、ケーシング４０の内部空間に対して偏心して設けられた羽根車３０の基部３１の外周と接する量、即ち、液環Ｌの内面が羽根車３０の偏心方向に位置する翼３２の根本の位置に一致する量とされる。よって、液環Ｌの内部に形成される圧縮空間Ｃは、図２に示すように、偏心した基部３１によって三日月形状となる。圧縮空間Ｃは、液環Ｌと基部３１とケーシング４０の前側板４０ａ及び後側板４０ｂの内面とによって囲われた空間であり、翼３２によって各気室に区分けされる。すなわち、各気室は、隣り合う２枚の翼３２と、それらの間の基部３１の外面と、液環Ｌの内面と、ケーシング４０の前側板４０ａ及び後側板４０ｂの内面とによって囲われた空間である。
【００２６】
図２に示すように、吸気口４１は、この三日月状の圧縮空間Ｃの上流側（羽根車３０の回転により気室が移動する方向における上流側）の部分に対応する形状を有し、排気口４２は、圧縮空間Ｃの下流側の部分に対応する形状を有している。吸気口４１より空気が気室に取り込まれると、羽根車３０の回転によって気室の容積が減少することで空気は圧縮される。気室が羽根車３０の回転によって排気口４２に達すると、気室内の圧縮された空気は排気口４２から排気される。
【００２７】
即ち、ケーシング４０の内部空間には液体が供給されており、モータ１０で羽根車３０を回転させることで、複数の翼３２が液体を掻き出して、液体は遠心力によってケーシング４０の内周に沿った液環Ｌを形成する。このようにして、圧縮空間Ｃには、隣り合う２つの翼３２、液環Ｌ、及び前後の両側板によって気室が形成される。この気室に吸気口４１から取り込まれた気体は、羽根車３０の回転に伴う気室の容積の減少によって圧縮される。羽根車３０の回転によって気室が排気口４２まで達すると、気室内で圧縮された気体は排気口４２から排気される。
【００２８】
ケーシング４０の排気口４２の近傍には、過圧縮を防ぐための弾性変形部として、弾性材４５が設けられている。図３（ａ）及び（ｂ）は、図２のＸ−Ｘ断面図である。図３（ａ）に示すように、排気口４２が形成されるケーシング４０の後側板４０ｂに弾性材４５が設けられている。弾性材４５は、ケーシング４０の後側板４０ｂの内面の排気口４２の直前の気室に対応する位置（排気口４２の上流側）に設けられている。弾性材４５は、排気口４２を形成する部材の一部であり、ケーシング４０の後側板４０ｂとともに排気口４２を形成する。換言すると、弾性材４５は、排気口４２から上流側にかけて設けられている。弾性材４５の表面の高さは、弾性材４５の変形がない状態で、ケーシング４０の後側板４０ｂの内面の高さと一致しており、翼３２との間に微小の間隔（微小クリアランス）をもって排気口４２の直前の気室を密封している。
【００２９】
弾性材４５は、ケーシング４０の後側板４０ｂの排気口４２の上流側の内面に弾性材設置用の掘り込みを形成することで、ケーシング４０の後側板４０ｂと高さが一致するようにケーシング４０の後側板４０ｂに取り付けられる。弾性材４５の材質としては、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、ブチルゴム、二トリルゴム、エチレン・プロピレンゴム、クロロブチレンゴム、フッ素ゴム等のゴム材を採用できる。
【００３０】
図３（ａ）に示すように、排気口４２に到達する前の気室において、過圧縮が生じていない場合には、そのような気室が弾性材４５の上を通過する際にも弾性材４５は変形することなく、気室が排気口４２に到達したところで、矢印Ａで示すように、排気口４２から圧縮された気体が排出される。排気口４２に到達する前の気室が所定の圧力以上になると、図３（ｂ）に示すように、気室が弾性材４５の上を通過する際に、気室内の圧力で弾性材４５が変形して、弾性材４５と翼３２との間のクリアランスが拡大し、その結果、矢印Ｂで示すように、未だ排気口４２に達していない気室から排気口４２に気体が漏れ出し、これによって過圧縮が防止される。
【００３１】
弾性材４５の変形によって排気口４２に達する前に気体を放出することでその気室の圧力は低下し、この圧力の低下に伴って弾性材４５の変形は徐々に小さくなり、やがて図３（ａ）に示すように元の形状に戻って再び気室を密封する。
【００３２】
弾性材４５の前後方向（図３の左右方向）の長さは、隣接する２つの翼３２の間の間隔程度とされる。前後方向の長さが短すぎると排気口４２に開放される前の気室の圧力を受けることができなくなり、上記のような過圧縮防止のための動作を実現することができず、一方、前後方向の長さが長すぎる場合にも、うまく過圧縮防止のための気道を確保するように弾性変形しなくなるので、上記のとおり、隣接する２つの翼３２の間の間隔程度とするのが望ましい。
【００３３】
図４（ａ）は、図２のＸ−Ｘ断面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＤ−Ｄ矢視図である。なお、図４（ａ）及び（ｂ）では液環Ｌは図示を省略している。また、図４（ａ）のＤ−Ｄ矢視図において、排気口４２及び弾性材４５の形状は、正確には図２に示すように三日月状の圧縮空間Ｃの先端部分に対応する形状を有するが、図４（ｂ）では模式的にこれらを矩形で表している（図５〜図８においても同様である）。
【００３４】
図４（ａ）に示すように、弾性材４５が変形していない状態では、その上面４５ａは、ケーシング４０の後側板４０ｂの内面と同じ高さである。弾性材４５の後面４５ｄ及び底面４５ｃは、ケーシング４０に接着剤で接着される。このとき、弾性材４５の二つの側面４５ｅ、４５ｅは、図４（ｂ）に示すように、ケーシング４０の後側板４０ｂに形成された掘り込みの内壁に接するが、弾性材４５が弾性変形可能となるように、ケーシング４０の後側板４０ｂの内壁には接着されていない。よって、弾性材４５は、上面４５ａと前面４５ｂとの間の辺が潰れるように弾性変形し、これによって、排気口４２に開放されていないが弾性材４５の上に達している気室を排気口４２に連通させる。
【００３５】
図５（ａ）及び（ｂ）は、弾性変形部についての他の例を示す図である。図５（ａ）は、図２のＸ−Ｘ断面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＤ−Ｄ矢視図である。図５の例では、弾性材４５が移動できないように、ケーシング４０の後側板４０ｂに、止め部４０ｂ１が形成されている。止め部４０ｂ１は、弾性材４５をその位置に保持するとともに、弾性材４５の前面４５ｂの両側を押さえることで、弾性材４５の弾性変形によって前面４５ｂが前方に倒れることを防止している。
【００３６】
この例でも、弾性材４５の後面４５ｄ及び底面４５ｃがケーシング４０に形成された掘り込みに接着され、両側面４５ｅ、４５ｅは、ケーシング４０に形成された掘り込みの内壁に接着されずに接している。この構成によって、弾性材４５は、気室の圧力が高くなると、上面４５ａと前面４５ｂとの間の辺が真下に落ち込んで気室から排気口４２への気道を形成する。
【００３７】
図６（ａ）及び（ｂ）は、弾性変形部についてのさらに他の例を示す図である。図６（ａ）は、図２のＸ−Ｘ断面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＤ−Ｄ矢視図である。図６の例では、弾性材４５´の上面４５ａ´には締結部品用の凹部が形成される。締結具としてのボルト４０ｂ２は、凹部に挿入され、弾性材４５´の底面４５ｃ´を貫通して、ケーシング４０の掘り込みの底面に固定される。弾性材４５´の底面４５ｃ´、後面４５ｄ´、及び両側面４５ｅ´、４５ｅ´はケーシング４０に形成された掘り込みの内壁には接着剤等による固定はされない。
【００３８】
この例でも、弾性材４５´の上にある気室が所定の圧力より高圧になると、弾性材４５´の上面４５ａ´と前面４５ｂ´との間の辺が潰れるように、弾性材４５´が変形して、まだ排気口４２に差し掛かっていない気室と排気口４２とを連通して、過圧縮が防止される。
【００３９】
図７（ａ）及び（ｂ）は、弾性変形部についてのさらに他の例を示す図である。図７（ａ）は、図２のＸ−Ｘ断面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＤ−Ｄ矢視図である。図４〜図６の例では、弾性変形部がゴム等の弾性材で構成されていたが、図７の例では、弾性変形部として片持ち板ばね４５´´を用いている。ケーシング４０の内面には、図４〜図６の例と同様に掘り込みが形成されている。片持ち板ばね４５´´の上面４５ａ´´は、ケーシング４０の後側板４０ｂの内面と同じ高さにされる。片持ち板ばね４５´´の底面４５ｃ´´の下には、ケーシング４０の掘り込みによって片持ち板ばね４５´´が弾性変形（撓る）するための空間が確保されている。片持ち板ばね４５´´の材質としては、ばね鋼（ＳＵＰ）、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０１、３０４）、黄銅、りん青銅等を採用できる。
【００４０】
片持ち板ばね４５´´は、上流側で締結具としての１本以上のボルト４０ｂ３（図７（ｂ）では２本）によってケーシング４０の内面に固定され、排気口４２まで達する片持ち板ばね４５´´の下流側先端が自由端とされる。片持ち板ばね４５´´の上の気室が高圧になると、片持ち板ばね４５´´の自由端が下に押し下げられて、片持ち板ばね４５´´と翼３２との間のクリアランスが拡大して、気室と排気口４２との間を連通する気道が形成される。これによって、高圧となった気室の気体が排気口４２に漏れ出し、過圧縮が防止される。
【００４１】
図８（ａ）及び（ｂ）は、弾性変形部についてのさらに他の例を示す図である。図８（ａ）は、図４（ａ）のＤ−Ｄ矢視図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）の部分拡大図である。上記の図４の例では、弾性材４５の２つの側面４５ｅ、４５ｅは、ケーシング４０の内面に形成された掘り込みの内壁に接しており、弾性材４５が圧縮変形する際には弾性材４５の両側面４５ｅ、４５ｅが掘り込みの内壁を摺動する構成となっていたが、図８（ｂ）に示すように、弾性材４５の側面４５ｅと掘り込みの内壁との間に微小な隙間をあけてもよい。
【００４２】
この隙間が微小であれば、実質的にこの隙間から圧縮された気体が漏れ出すことはなく、気室の気密性を維持できるとともに、弾性材４５の側面４５ｅが掘り込みの内壁に接触していないので、両者の間の摩擦がなく、弾性材４５は容易に圧縮変形できる。また、弾性材４５の側面４５ｅとケーシング４０との間の摺動による弾性材４５の摩耗を防止できる。
【００４３】
なお、図５、図６の例においても、同様に、このような弾性材４５、４５´の側面４５ｅ、４５ｅ´とケーシング４０の内面の掘り込みの内壁との間に微小の隙間を設けて、弾性材４５、４５´を変形しやすくしてよい。また、図７の例においても、同様に、片持ち板ばね４５´´の側部とケーシング４０の内面の掘り込みの内壁との間に微小の隙間を設けて、片持ち板ばね４５´´を変形しやすくしてよい。
【００４４】
以上のように、上記の実施の形態の液封式真空ポンプによれば、過圧縮を防止するための対策として、従来技術のようなバルブ及び別の排気経路の形成が不要であり、従来技術に比べて低コストである。また、上記の実施の形態の液封式真空ポンプにより、過圧縮を有効に防止できるので、排気流量の少ない到達圧力付近から低圧力域での排気では、高排気速度、高い圧縮性能を有し、排気流量が増し吸気圧が大気圧に近づく高圧力域での排気でも高い排気速度を維持する液封式真空ポンプを実現することが可能となる。
【００４５】
なお、上記の実施の形態では、吸気口４１をケーシング４０の前側板４０ａに形成し、排気口４２をケーシング４０の後側板４０ｂに形成したが、吸気口４１及び排気口４２は、ケーシング４０の前側板４０ａ及び後側板４０ｂのいずれに設けてもよい。例えば、吸気口４１及び排気口４２をいずれも前側板４０ａに設けてもよいし、吸気口４１を後側板４０ｂに設け、排気口４２を前側板４０ａに設けてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、側板の一部を弾性変形部にして、過圧縮を防止するための排気は排気口を通して行うので、ボールねじ等の特別な機構を追加することなく、また、過圧縮防止の排気のための特別な排気流路を設けることなく、簡易な構成で過圧縮を防止でき、コストを抑えることができるという効果を有し、羽根車とケーシングの偏心配置によって吸気側から排気側への気体容積の変化（圧縮）により真空を作り出す液封式真空ポンプ等として有用である。
【符号の説明】
【００４７】
１  液封式真空ポンプ
１０  モータ
２０  モータ軸
３０  羽根車
３１  基部
３２  翼
４０  ケーシング
４０ａ  前側板
４０ｂ  後側板
４１  吸気口
４２  排気口
４３  吸気流路
４４  排気流路
４５、４５´  弾性材（弾性変形部）
４５´´  片持ち板ばね（弾性変形部）
４５ａ、４５ａ´、４５ａ´´  上面
４５ｂ、４５ｂ´  前面
４５ｃ、４５ｃ´、４５ｃ´´  底面
４５ｄ、４５ｄ´  後面
４５ｅ、４５ｅ´  側面
【図１】
2015175323.tif 000003
【図２】
2015175323.tif 000004
【図３】
2015175323.tif 000005
【図４】
2015175323.tif 000006
【図５】
2015175323.tif 000007
【図６】
2015175323.tif 000008
【図７】
2015175323.tif 000009
【図８】
2015175323.tif 000010
【図９】
2015175323.tif 000011
【図１０】
2015175323.tif 000012