(57)【要約】      （修正有）【課題】強化ガラスの分断に適したスクライビングホイール、ホルダユニット及びスクライブ装置を提供する。【解決手段】刃４２に複数の溝部４４が形成された強化ガラス基板分断用のスクライビングホイールであって、溝部４４の深さＨが１〜５μｍであり、溝部４４の幅Ｗが２〜３５μｍであり、溝部４４には、刃先４３の稜線方向Ａと同じ方向に伸びる溝稜線部４７を設けておくことで、強化ガラス基板の分断に非常に適したものとなる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
刃に複数の溝部が形成された強化ガラスを分断するためのスクライビングホイールであって、
前記溝部の深さが１〜５μｍであり、
前記溝部の幅が２〜３５μｍであり、
前記溝部には、刃先の稜線方向と同じ方向に伸びる溝稜線部が設けられていることを特徴とするスクライビングホイール。
【請求項２】
前記溝部の深さは３μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載のスクライビングホイール。
【請求項３】
前記溝稜線部を起点として前記溝部の長さは、２０〜４０μｍであることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクライビングホイール。
【請求項４】
前記溝部は、レーザ光を照射することにより形成されたものであることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のスクライビングホイール。
【請求項５】
化学強化ガラス用であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のスクライビングホイール。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかに記載のスクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを回転自在に保持するホルダと、を有するホルダユニット。
【請求項７】
請求項６に記載のホルダユニットを備えるスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、強化ガラスへスクライブラインを形成するためのスクライビングホイール、ホルダユニット及びスクライブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板を分断する際に用いられるスクライビングホイールとして、刃に所定形状の複数の溝を形成することで、ガラス基板に対する高い浸透性を実現しているものが知られている。
【０００３】
刃に形成される溝は、例えば特許文献１に記載されているように、円形状の砥石を用いて、この砥石を刃先となる稜線部分に直交させて当接することにより形成されている。また、この他、スクライビングホイールの側面方向からレーザ光を照射することにより、刃に溝が形成されたスクライビングホイールも知られている。
【０００４】
ところで、携帯用端末の表示部の保護カバーには、通常のガラスに比べて高い強度を持った強化ガラスが用いられている。そして、携帯用端末の急激な普及もあり、強化ガラスの使用量もますます多くなっている。当然ながら、用途にあった大きさの強化ガラスが必要となるため、強化ガラスの分断が行われ、強化ガラスの分断においても特許文献１のようなスクライビングホイールが用いられることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−８２０９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
強化ガラスとして、例えばイオン交換法によりガラス表面を強化した化学強化ガラスが広く知られている。この化学強化ガラスを分断するために特許文献１に記載されているような刃に所定形状の複数の溝を形成したスクライビングホイールを用いてスクライブラインを形成してみたところ、通常のガラスにスクライブラインを形成する場合とは大きく異なる問題が生じた。
【０００７】
図７は、特許文献１に開示されている刃に所定形状の複数の溝を形成したスクライビングホイールを用いて、化学強化ガラスにスクライブラインを形成した際の表面の顕微鏡写真（１０００倍）である。図７に示すように、回転するスクライビングホイールの刃先と溝とが交互に基板と接触することにより、化学強化ガラスの表面には刃先が基板に食い込んで形成される打痕７０Ａが刃先のピッチにあわせて複数形成される。
【０００８】
この時、打痕７０Ａの形状は四角くなっている。そのため、通常のガラスに比べ表面が硬い化学強化ガラスでは、打痕７０Ａの角からガラス表面に対し水平方向へのクラックが生じやすく、打痕７０Ａの角や隣接する打痕７０Ａとの間で、表面の剥離部７０Ｂが非常に多く発生してしまう。そして、この剥離部７０Ｂは、時間が経つと基板表面から完全に剥がれた状態（剥離部７０Ｃ）になってしまう。
【０００９】
このように、特許文献１に開示されているような刃に所定形状の複数の溝を形成したスクライビングホイールを用いて、化学強化ガラスにスクライブラインを形成すると、通常のガラスでは発生し難い剥離部７０Ｃのような数十μｍ程度のカレットが多発してしまう。
【００１０】
図８は、刃に所定形状の複数の溝を形成したスクライビングホイールを用いてスクライブラインを形成した図７とは異なる化学強化ガラスの表面写真である。図８（Ａ）は表面全体の写真であり、図８（Ｂ）はその一部を７０倍に拡大した写真である。図８（Ａ）における参照符号８０Ａは、化学強化ガラスの表面でスクライビングホイールを回転させることで形成された実際のスクライブラインであり、参照符号８０Ｂは実際に形成された割線である。
【００１１】
特許文献１に開示されているような刃に所定形状の複数の溝を形成したスクライビングホイールは、溝のないスクライビングホイールに比べて非常に高浸透であるため、荷重が少しでも大きくなり過ぎると、打痕の角で生じたクラックがスクライブラインをそれて基板の厚さ方向へと伸展し、打痕の角を起点に、本来の目的とするスクライビングライン８０Ａとは関係ない方向にガラスが割れてしまう、いわゆる先走りと呼ばれている割線８０Ｂができてしまうことがある。
【００１２】
一方、化学強化ガラスの表面は非常に硬いため、分断の際の荷重が小さくなり過ぎると、刃先が基板に食い込まなくなってしまう、いわゆるカカリ不良が生じてしまう。このように、強化ガラスの分断では、通常のガラスの分断の場合に比べると最適に分断できる荷重範囲（切断領域）が非常に狭く、分断が非常に難しいという問題がある。
【００１３】
本発明は、このような強化ガラスの分断に適したスクライビングホイール、ホルダユニット及びスクライブ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するため、本発明のスクライビングホイールは、刃に複数の溝部が形成された強化ガラスを分断するためのスクライビングホイールであって、前記溝部の深さが１〜５μｍであり、前記溝部の幅が２〜３５μｍであり、前記溝部には、刃先の稜線方向と同じ方向に伸びる溝稜線部が設けられていることを特徴とする。
【００１５】
本発明のスクライビングホイールによれば、強化ガラス基板の表面に形成される打痕が、丸みを帯びた形状となるので、打痕の角からクラックが生じ難く、基板表面での剥離が生じない等、強化ガラス基板の分断に非常に適したものとなる。
【００１６】
また、本発明のスクライビングホイールは、前記溝部の深さは３μｍ以下であることを特徴とする。
【００１７】
本発明のスクライビングホイールによれば、溝部が欠け難い等、強化ガラス基板の分断により適したものとなる。
【００１８】
また、本発明のスクライビングホイールは、前記溝稜線部を起点として前記溝部の長さは、２０〜４０μｍであることを特徴とする。
【００１９】
本発明のスクライビングホイールによれば、比較的厚い強化ガラスにおいて上記作用効果がより良好に奏されるようになる。
【００２０】
また、本発明のスクライビングホイールは、前記溝部は、レーザ光を照射することにより形成されたものであることを特徴とする。
【００２１】
本発明のスクライビングホイールによれば、溝部及び溝稜線部の加工精度が向上するので、上記作用効果がより良好に奏されるようになる。
【００２２】
また、本発明のスクライビングホイールは、化学強化ガラス用であることを特徴とする。
【００２３】
本発明のスクライビングホイールによれば、表層が硬質である化学強化ガラスを良好に切断することができるようになる。
【００２４】
また、本発明のホルダユニットは、上記何れかに記載のスクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを回転自在に保持するホルダと、を有することを特徴する。
【００２５】
本発明のホルダユニットによれば、強化ガラス基板の表面に形成される打痕が、丸みを帯びた形状となるので、打痕の角からクラックが生じ難く、基板表面での剥離が生じない等、強化ガラス基板の分断に非常に適したホルダユニットとなる。
【００２６】
また、本発明のスクライブ装置は、上記ホルダユニットを備えることを特徴とする。
【００２７】
本発明のスクライブ装置によれば、強化ガラス基板の表面に形成される打痕が、丸みを帯びた形状となるので、打痕の角からクラックが生じ難く、基板表面での剥離が生じない等、強化ガラス基板の分断に非常に適したスクライブ装置となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】実施形態におけるスクライブ装置の概略図である。
【図２】実施形態におけるホルダジョイントの正面図である。
【図３】実施形態におけるホルダユニットの斜視図である。
【図４】実施形態におけるスクライビングホイールの側面図である。
【図５】図５（Ａ）は実施形態における刃の拡大斜視図であり、図５（Ｂ）は実施形態における刃の拡大側面図である。
【図６】実施形態におけるスクライビングホイールによって形成されたスクライブラインの模式図である。
【図７】従来のスクライビングホイールによって形成されたスクライブラインの写真である。
【図８】図８（Ａ）は、従来のスクライビングホイールによって形成されたスクライブラインの写真であり、図８（Ｂ）は一部の拡大写真である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための一例を示すものであり、本発明をこの実施形態に特定することを意図するものではない。本発明は、特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態にも適応できるものである。
【００３０】
図１は、本発明の一実施形態に係るスクライブ装置１０の概略図である。スクライブ装置１０は、移動台１１を備えている。移動台１１は、ボールネジ１３と螺合されており、モータ１４の駆動によりこのボールネジ１３が回転することで、一対の案内レール１２ａ、１２ｂに沿ってｙ軸方向に移動するようになっている。
【００３１】
移動台１１の上面には、モータ１５が設置されている。モータ１５は、上部に位置するテーブル１６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めする。分断（スクライブ）対象物としての強化ガラス基板１７は、テーブル１６上に載置され、図示しない真空吸引手段等によって保持される。
【００３２】
強化ガラス基板１７として、具体的には化学強化ガラスを用いている。化学強化ガラスは薄いガラス基板に対する強化加工が簡単にできるため、携帯用端末など、軽量化が要求されるものに多用されている強化ガラスである。化学強化ガラスからなる強化ガラス基板１７は、イオン交換法によりガラス表面に圧縮応力を発生させたガラスである。
【００３３】
スクライブ装置１０は、テーブル１６に載置された強化ガラス基板１７の上方に、この強化ガラス基板１７の表面に形成されたアライメントマークを撮像する二台のＣＣＤカメラ１８を備えている。移動台１１とその上部のテーブル１６とを跨ぐように、ブリッジ１９がｘ軸方向に沿うようにして支柱２０ａ、２０ｂに架設されている。
【００３４】
ブリッジ１９にはガイド２２が取り付けられており、スクライブヘッド２１はこのガイド２２に案内されてｘ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド２１には、ホルダジョイント２３を介してホルダユニット３０が取り付けられている。
【００３５】
図２はホルダユニット３０が取り付けられたホルダジョイント２３の正面図である。また、図３はホルダユニット３０の斜視図である。
【００３６】
ホルダジョイント２３は略円柱状をしており、回転軸部２３ａと、ジョイント部２３ｂを備えている。スクライブヘッド２１にホルダジョイント２３が装着された状態においては、回転軸部２３ａが二つのベアリング２４ａ、２４ｂに円筒形のスペーサ２４ｃを介して取り付けられ、このホルダジョイント２３は回動自在に保持される。
【００３７】
円柱形のジョイント部２３ｂには、下端側に円形の開口２５を備えた内部空間２６が設けられている。この内部空間２６の上部にマグネット２７が埋設されている。そして、マグネット２７によって着脱自在なホルダユニット３０が、この内部空間２６に挿入されて取り付けられている。
【００３８】
ホルダユニット３０は、ホルダ３１と、スクライビングホイール４０と、ピン（図示せず）とが一体となったものである。ホルダ３１は、図３に示すように略円柱形をしており、磁性体金属で形成されている。ホルダ３１の上部には、位置決め用の取付部３２が設けられている。この取付部３２は、ホルダ３１の上部を切り欠いて形成されており、傾斜部３２ａと平坦部３２ｂを備えている。
【００３９】
ホルダ３１の取付部３２側を、開口２５を介して内部空間２６へ挿入する。その際、ホルダ３１の上端側がマグネット２７によって引き寄せられ、取付部３２の傾斜部３２ａが内部空間２６を通る平行ピン２８と接触することで、ホルダジョイント２３に対するホルダユニット３０の位置決めと固定が行われる。また、ホルダジョイント２３からホルダユニット３０を取り外す際には、ホルダ３１を下方へ引くことで容易に外すことができる。
【００４０】
なお、スクライビングホイール４０は、消耗品であるため、定期的な交換が必要になる。本実施形態においては、ホルダユニット３０の着脱が容易に行えるため、ホルダユニット３０そのものを交換することで、ホルダユニット３０を構成するスクライビングホイール４０の交換を行うようになっており、スクライビングホイール４０の交換を迅速に行うことができる。
【００４１】
ホルダ３１の下部には、ホルダ３１を切り欠いて形成された保持溝３３が設けられている。この保持溝３３を設けるために切り欠いたホルダ３１の下部には、保持溝３３を挟んで支持部３４ａ、３４ｂが位置している。この保持溝３３には、スクライビングホイール４０が回転自在に配置されている。また、支持部３４ａ、３４ｂには、スクライビングホイール４０を回転自在に保持するためのピンが挿入される支持孔３５がそれぞれ形成されている。
【００４２】
次に、強化ガラス基板１７を分断するためのスクライビングホイール４０の詳細について説明を行う。図４はホルダ３１の先端に取り付けられるスクライビングホイール４０の側面図である。図５は図４の円Ｂで示す刃４２の拡大図であり、図５（Ａ）は斜視図、図５（Ｂ）は側面図である。
【００４３】
図４、図５に示すように、スクライビングホイール４０は円板状であり、ホイール本体部４１と、刃４２と、刃先４３と、溝部４４とを備える。
【００４４】
ホイール本体部４１の中心付近には、このホイール本体部４１を回転軸方向に貫通する貫通孔４５が形成されている。貫通孔４５にピンが挿入されることで、スクライビングホイール４０はこのピンを介してホルダ３１に回転自在に保持される。
【００４５】
刃４２は、ホイール本体部４１の外周に円環状に形成されている。刃４２は正面視で略Ｖ字状となっており、回転軸方向に対する刃５２の厚さが、稜線部分となる刃先４３に向かうに従って徐々に小さくなっている。
【００４６】
刃先４３は、刃４２の最外周部に沿って設けられ、スクライビングホイール４０の稜線を形成している。刃４２の最外周部には、刃先４３と溝部４４とが交互に等ピッチで形成されている。
【００４７】
溝部４４は、刃先４３から刃４２の両傾斜面に沿って伸びる長く窪んだ溝４６と、刃先４３よりもホイール本体部４１の中心側（貫通孔４５側）に窪むとともに刃先４３の稜線方向（図５の矢印Ａ方向）に沿って延びる溝稜線部４７と、により構成されている。
【００４８】
なお、特許文献１のスクライビングホイールの刃に形成されている溝部は、円形状の砥石を刃先となる稜線部分に直交させて当接することにより形成されているため、刃先を切り欠いたような形状となり、曲面状の溝底部となり、図５に示した本実施形態のような刃４２の両傾斜面に沿って長く窪んだ溝４６や、溝稜線部４７は存在していない。
【００４９】
そして、本実施形態の溝部４４が溝４６や溝稜線部４７を備えるスクライビングホイール４０を用いて強化ガラス基板１７にスクライブラインを形成することで、後述する形状の打痕５０（図６参照）が形成され、特許文献１に示されているスクライビングホイールによる打痕（図７に示した打痕７０Ａ）とは明確に異なる形状となるとともに、明確に異なる分断結果となる。なお、かかる点についての詳細は、後述する。
【００５０】
スクライビングホイール４０は、焼結ダイヤモンド（Ｐｏｌｙ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  Ｄｉａｍｏｎｄ）や超硬合金、単結晶ダイヤモンドまたは多結晶ダイヤモンド等から形成される。スクライビングホイール４０は、超硬合金等の基材にダイヤモンド等の硬質材料の膜をコーティングしたものを用いることもできる。この場合、溝部４４は膜にのみ形成しても良く、基材に溝部を形成した後に膜をコーティングするようにし、溝部４４を形成しても良い。
【００５１】
例えば、焼結ダイヤモンド製のスクライビングホイール４０は主に、ダイヤモンド粒子と、残部の添加剤及び結合材からなる結合相とから調製される。ダイヤモンド粒子の平均粒子径は１．５μｍ以下のものが用いられる。焼結ダイヤモンド中におけるダイヤモンドの含有量は、７５．０〜９０．０ｖｏｌ％の範囲とすることが好ましい。
【００５２】
添加剤としては例えば、タングステン、チタン、ニオブ、タンタルより選ばれる少なくとも１種以上の元素の超微粒子炭化物が好適に用いられる。焼結ダイヤモンド中における超微粒子炭化物の含有量は３．０〜１０．０ｖｏｌ％の範囲であり、この超微粒子炭化物は１．０〜４．０ｖｏｌ％の炭化チタンと、残部の炭化タングステンとを含む。
【００５３】
結合材としては、通常、鉄族元素が好適に用いられる。鉄族元素としては、例えばコバルトやニッケル、鉄等が挙げられ、この中でもコバルトが好適である。焼結ダイヤモンド中における結合材の含有量は、好ましくはダイヤモンド及び超微粒子炭化物の残部であり、さらに好ましくは３．０〜２０．５ｖｏｌ％の範囲である。
【００５４】
ダイヤモンド粒子、添加剤及び結合材を混合し、ダイヤモンドが熱力学的に安定となる高温及び超高圧下において、これらの混合物を焼結させことで、焼結ダイヤモンドが製造される。この焼結時において、超高圧発生装置の金型内の圧力は５．０〜８．０ＧＰａの範囲であり、金型内の温度は１５００〜１９００℃の範囲である。このようにして製造された焼結ダイヤモンドから所望する半径となる円板を切り取り、この円板の周縁部の両面側それぞれを削ることで刃先４３の形成されたスクライビングホイール４０が製造される。
【００５５】
そして、このスクライビングホイール４０の刃先４３に溝部４４が形成される。溝部４４は、例えば、スクライビングホイール４０の貫通孔４５を、図示しないモータの回転軸に装着し、レーザ照射装置からレーザ光を回転軸と直交する方向（図４の矢印Ｃ方向）から刃４２の両傾斜面や刃先４３へ向けて照射することによって、高精度に形成することができる。
【００５６】
スクライビングホイール４０の寸法について説明する。スクライビングホイール４０の外径は１．０〜１０．０ｍｍ、好ましくは１．０〜５．０ｍｍの範囲であり、更に好ましくは１．０〜３．０ｍｍである。スクライビングホイール４０の外径が１．０ｍｍより小さい場合には、スクライビングホイール４０の取り扱い性が低下する。一方、スクライビングホイール４０の外径が１０．０ｍｍより大きい場合には、スクライブ時の垂直クラックが強化ガラス基板１７に対して十分に深く形成されないことがある。
【００５７】
スクライビングホイール４０の厚さは、０．４〜１．２ｍｍ、好ましくは０．４〜１．１ｍｍの範囲である。スクライビングホイール４０の厚さが０．４ｍｍより小さい場合には、加工性及び取り扱い性が低下することがある。一方、スクライビングホイール４０の厚さが１．２ｍｍより大きい場合には、スクライビングホイール４０の材料及び製造のためのコストが高くなる。また、貫通孔４５の孔径は、例えば０．８ｍｍである。
【００５８】
刃４２の刃先角は通常鈍角であり、９０〜１６０°、好ましくは１００〜１５０°、特に好ましくは１１５〜１４５°の範囲である。刃先角が９０°より小さい場合には表面剥離や先走りが発生しやすく、１６０°より大きい場合にはカカリ不良が生じやすくなる。
【００５９】
溝部４４の深さＨは、浅過ぎると強化ガラス基板１７へ食い込み難くカカリ不良が生じてしまい、深過ぎると強化ガラス基板１７へ食い込み過ぎたり、刃先４３が欠け易くなったりしてしまうため、１〜５μｍの範囲で形成され、好ましくは２〜３μｍの範囲である。
【００６０】
溝部４４の幅Ｗは、２〜３５μｍの範囲で形成される。そして、強化ガラス基板１７の板厚が０．７ｍｍ程度の場合、幅Ｗは２〜１５μｍの範囲がより好ましく、板厚が１．１ｍｍ程度の場合、幅Ｗが１０〜３０μｍの範囲がより好ましい。
【００６１】
また、溝部４４の溝４６が刃４２の両傾斜面に沿って伸びる長さは、あまり長過ぎても短過ぎても効果を奏さないため、溝稜線部４７を起点としてそれぞれ両傾斜面に沿って２０〜４０μｍ程度の長さがあればよい。
また、溝部４４の数（分割数）はホイール径に応じて５〜９００程度、溝のピッチＰは１０〜２０００μｍ程度の間から適宜選択される。溝の個数が多く、溝のピッチＰが狭い方がカカリが良く、先走りが起こりにくい傾向があり、溝のピッチが１０〜５０μｍとなるように溝部４４を形成することが好ましい。
【００６２】
なお、溝部４４の深さＨや幅Ｗは、図５（Ｂ）に示すように、刃先４３の位置する最外周部を基準としている。したがって、刃４２の両傾斜面における溝４６の位置によっては、深さや幅が、基準となる深さＨや幅Ｗと異なった値となる場合もある。また、例えば、刃４２の両傾斜面における溝４６では、刃先４３から離れるにしたがって深さや幅が変化していくような構成であっても構わない。
【００６３】
次に、実際にスクライビングホイール４０を用いて強化ガラス基板１７の分断を行った結果について具体的に説明する。分断条件は次のとおりである。
【００６４】
スクライビングホイール４０は、外径２．０ｍｍ、刃先角１３０°、溝部４４の深さＨ３．０μｍ、幅Ｗ３０μｍ、隣接する溝に挟まれた刃先４３の幅１５μｍ、溝部４４の数（分割数）１４０である。
用いたスクライブ装置は、三星ダイヤモンド工業株式会社製スクライブ装置（モデル名：ＭＳ５００）である。分断を行った強化ガラス基板１７は、板厚０．７ｍｍの化学強化ガラスである。
切断速度は２００ｍｍ／ｓｅｃであり、切込量が０．１５ｍｍとなるようスクライブ荷重の設定を行った。
【００６５】
上記の分断条件によって、強化ガラス基板１７の表面に形成されたスクライブラインについて模式図を用いて説明する。図６は、強化ガラス基板１７の表面に形成されたスクライブラインの模式図である。
【００６６】
図６に示すように、強化ガラス基板１７の表面に、スクライビングホイール４０の刃先４３が食い込むことで、複数の打痕５０が形成される。この時、打痕５０は、図７に示した四角い打痕７０Ａとは異なり、全体として丸みを帯びた形状になっている。したがって、打痕７０Ａのように角からの水平方向へのクラックは生じ難く、図７のような表面の剥離部７０Ｂについてはほとんど生じなかった。
【００６７】
また、打痕５０においては、打痕の角部を起点としたスクライブラインから外れた部分でのクラックが生じ難いため、図８のような先走りと呼ばれる割線８０Ｂも生じなかった。また、打痕５０では表面の剥離や先走りが生じ難いため、分断の際の荷重が多少大きくなったりしても分断に大きな影響がないため、最適に分断できる切断領域も広くなり、スクライビングホイール４０を用いることで、強化ガラスの分断をより容易に行うことができた。
【００６８】
また、溝部４４には溝稜線部４７が設けられているため、図６に示すように打痕５０と打痕５０の間にもスクライブライン５１が形成されることになり、予期しない方向へのクラックの伸展を抑制することができ、強化ガラス基板１７の表面に安定したスクライブラインを形成することができた。
【００６９】
また、実施形態のスクライビングホイール４０を用いて強化ガラス基板１７にスクライブラインを形成すると、カレットが生じ難く、溝部４４に溝稜線部４７が設けられているため、カレットが生じても、刃４２の両傾斜面に沿って伸びる溝４６を介してカレットは排出されてしまうので、溝部４４には溜まり難い。
【００７０】
以上のように、刃４２に複数の溝部４４が形成された強化ガラス基板分断用のスクライビングホイール４０であって、溝部４４の深さＨが１〜５μｍであり、溝部４４の幅Ｗが２〜３５μｍであり、溝部４４には、刃先４３の稜線方向Ａと同じ方向に伸びる溝稜線部４７が設けられているスクライビングホイール４０は、特許文献１のようなスクライビングホイールに比べて、強化ガラス基板１７の分断に非常に適していることが分かった。
【００７１】
なお、図５に示した拡大図は、スクライビングホイール４０の刃４２を模式的に示している。したがって、刃４２の両傾斜面に沿って伸びる溝４６の両端は、溝４６の窪みと刃４２との境目が明確に描かれているが、必ずしも溝４６の窪みと刃４２との境目が図５のように明確である必要はない。また、溝４６の窪みと刃４２との境目がなだらかに変化するように形成しておくことで、表面が非常に硬い強化ガラス基板１７を分断する際、境目での欠けを防ぐことができるので、スクライビングホイール４０の寿命を延ばすことができる。溝４６の窪みと刃４２との境目がなだらかに変化するように形成するには、レーザ照射の調整により、高精度に簡単に行うことができる。
【００７２】
また、本実施形態のスクライブ装置１０は、スクライビングホイール４０を保持するホルダ３１をスクライブヘッド２１に取り付ける際に、ホルダジョイント２３を介して取り付ける構成となっている。しかしながら、スクライブ装置１０は、スクライブヘッド２１に直接ホルダ３１を取り付ける構成であってもよい。
【００７３】
また、本実施形態のスクライブ装置１０として、スクライブヘッド２１を移動させるためのガイド２２やブリッジ１９が設けられていたり、強化ガラス基板１７が載置されるテーブル１６を回転させる移動台１１が備わっていたりするものを示したが、このようなスクライブ装置１０に限定されるものではない。例えば、ホルダ３１が取り付けられたスクライブヘッド２１をユーザが握れるようにするために、スクライブヘッド２１の一部形状が柄の形状をしており、ユーザがこの柄を持って移動させることで強化ガラス基板１７の分断を行う、いわゆる手動式のスクライブ装置であっても適用可能である。
【符号の説明】
【００７４】
１０…スクライブ装置
１７…強化ガラス基板
３０…ホルダユニット
３１…ホルダ
４０…スクライビングホイール
４１…ホイール本体部
４２…刃
４３…刃先
４４…溝部
４５…貫通孔
４６…溝
４７…溝稜線部
５０、７０Ａ…打痕
５１…スクライブライン
７０Ｂ、７０Ｃ…剥離部
８０Ｂ…割線
【図１】
2015048260.tif 000003
【図２】
2015048260.tif 000004
【図３】
2015048260.tif 000005
【図４】
2015048260.tif 000006
【図５】
2015048260.tif 000007
【図６】
2015048260.tif 000008
【図７】
2015048260.tif 000009
【図８】
2015048260.tif 000010