(57)【要約】【課題】成膜時に生じた残留応力の急激な解放による膜の剥がれを防ぎ、光学信号の乱反射などによる光学特性の低下を防止する。【解決手段】光学部品としての光学多層膜フィルター１０は、光学用の基板としてのガラス基板１１と、ガラス基板１１上に設けられた膜としての無機薄膜２と、を備え、無機薄膜２は、第１領域１２、および第１領域１２を囲み、第１領域１２から連続して延在されている第２領域１５を有し、第２領域１５は、第２領域１５の外周縁１６から第１領域１２との境１４に向かうに従い無機薄膜２の厚さが増加している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学用の基板と、
前記基板上に設けられている膜と、を備え、
前記膜は、第１領域、および前記第１領域を囲み、前記第１領域から連続して延在されている第２領域を有し、
前記第２領域は、前記第２領域の外周縁から前記第１領域との境に向かうに従い前記膜の厚さが増加していることを特徴とする光学部品。
【請求項２】
前記第１領域は、前記第２領域と比較して前記膜の上面と前記基板の上面との平行度が高いことを特徴とする請求項１に記載の光学部品。
【請求項３】
光学用の基板を用意する準備工程と、
貫通孔を有するマスク部材を、前記基板上に前記貫通孔が配置されると共に、前記貫通孔を形成する開口から延在する遮蔽部分が前記基板と重なり、さらに前記基板における前記遮蔽部分に対向している対向面と前記遮蔽部分との距離が、０．１ｍｍよりも大きく、且つ１ｍｍ以下の範囲内に配置する配置工程と、
前記貫通孔を通過させて前記対向面を含む前記基板の面に、光学用の膜材料を付着させ、光学膜を基板上に成膜する成膜工程と、を含む光学部品の製造方法。
【請求項４】
前記配置工程の後に、前記基板上に前記マスク部材が配置されている状態で前記基板を洗浄する洗浄工程を備えている請求項３に記載の光学部品の製造方法。
【請求項５】
前記洗浄工程は、前記配置工程と前記成膜工程との間、および前記成膜工程の後の少なくとも一方に設けられている請求項４に記載の光学部品の製造方法。
【請求項６】
請求項１に記載の光学部品を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項７】
請求項１に記載の光学部品を備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品、光学部品の製造方法、光学部品を備えた電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
マスクを用いて基板上に所定形状の膜を成膜する場合、マスクと基板との距離を可能な限り近づけることで、膜の端部が基板面に対して垂直面となるように膜を形成することができ、規定の厚さで構成された膜領域を広く得ることができるため理想とされてきた（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１４５１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、基板上の膜には、成膜時に生じた応力が存在（残留応力）しており、膜の端部が垂直面であると、膜の端部で急激に応力が解放される。そのため、膜の端部付近において、膜が基板面から剥がれてしまう欠損を生じ易い。特に光学部品の場合は、剥がれた部分（欠損部分）において光学信号の乱反射などが起こり、光学特性の低下を生じてしまう恐れを有していた。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係る光学部品は、光学用の基板と、前記基板上に設けられている膜と、を備え、前記膜は、第１領域、および前記第１領域を囲み、前記第１領域から連続して延在されている第２領域を有し、前記第２領域は、前記第２領域の外周縁から前記第１領域との境に向かうに従い前記膜の厚さが増加していることを特徴とする。
【０００７】
本適用例によれば、基板上に設けられている膜は、第２領域の外周縁から第１領域との境に向かうに従って膜の厚さが増加している第２領域を備えている。この第２領域により、膜の成膜時の応力などの残留応力が緩やかに解放されるため、膜の剥がれなどの欠損が生じ難くなり、光学的な性能（光学特性）を発揮する規定膜厚の領域を確保することが可能となる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に記載の光学部品において、前記第１領域は、前記第２領域と比較して前記膜の上面と前記基板の上面との平行度が高いことが好ましい。
【０００９】
本適用例によれば、第１領域は、第２領域と比較して膜の上面と基板の上面との平行度が高いことから、光学信号が安定し、良好な光学特性を得ることができる。
【００１０】
［適用例３］本適用例に係る光学部品の製造方法は、光学用の基板を用意する準備工程と、貫通孔を有するマスク部材を、前記基板上に前記貫通孔が配置されると共に、前記貫通孔を形成する開口から延在する遮蔽部分が前記基板と重なり、さらに前記基板における前記遮蔽部分に対向している対向面と前記遮蔽部分との距離が、０．１ｍｍよりも大きく、且つ１ｍｍ以下の範囲内に配置する配置工程と、前記貫通孔を通過させて前記対向面を含む前記基板の面に、光学用の膜材料を付着させ、光学膜を基板上に成膜する成膜工程と、を含むことを特徴とする。
【００１１】
本適用例によれば、マスク部材と基板面との距離を０．１ｍｍよりも大きく、且つ１ｍｍ以下の範囲内とすることにより、基板面に成膜される光学膜の外周縁に緩やかに厚さが変化する、所謂にじみ領域を効果的に形成させることが可能であり、且つ光学的な性能（光学特性）を発揮する規定膜厚の領域を確保することが可能となる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に記載の光学部品の製造方法において、前記配置工程の後に、前記基板上に前記マスク部材が配置されている状態で前記基板を洗浄する洗浄工程を備えていることが好ましい。
【００１３】
［適用例５］上記適用例に記載の光学部品の製造方法において、前記洗浄工程は、前記配置工程と前記成膜工程との間、および前記成膜工程の後の少なくとも一方に設けられていることが好ましい。
【００１４】
上記適用例によれば、基板上にマスク部材が配置されている状態で基板を洗浄することから、基板の脱着作業が不要となり生産性が向上すると共に、基板へのごみなどの異物付着を防止することが可能となる。
【００１５】
［適用例６］本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の光学部品を備えていることを特徴とする。
【００１６】
本適用例によれば、膜の成膜時の応力などの残留応力が緩やかに解放され、光学的な性能（光学特性）が確保されている光学部品が備えられているため、安定して所望の特性を得ることが可能な電子機器を提供することができる。
【００１７】
［適用例７］本適用例に係る移動体は、上記適用例に記載の光学部品を備えていることを特徴とする。
【００１８】
本適用例によれば、膜の成膜時の応力などの残留応力が緩やかに解放され、光学的な性能（光学特性）が確保されている光学部品が備えられているため、安定して所望の特性を得ることが可能な移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の光学部品に係る一実施形態の光学多層膜フィルターの構成を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ）は図中Ｑの部分拡大図。
【図２】光学膜成膜に係る工程フロー図。
【図３】光学膜成膜に用いる基板装着具を示す分解斜視図。
【図４】基板装着具への基板の装着状態を示し、（ａ）は実施形態に係る基板装着具を用いた例を示す断面図、（ｂ）は変形例に係る基板装着具を用いた例を示す断面図。
【図５】本実施形態に係る光学多層膜フィルターを示し、（ａ）は光学用の基板を基板装着具へ装着した状態を示す断面図で、（ｂ）は成膜された光学多層膜フィルターの平面図、図５（ｃ）は図５（ｂ）の断面図。
【図６】比較例に係る従来の基板装着具によって成膜された光学多層膜フィルターを示し、（ａ）は基板装着具への基板の装着状態を示す断面図、（ｂ）は成膜された光学多層膜フィルターの平面図。
【図７】電子機器の一例としての携帯電話機の構成を示す斜視図。
【図８】電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。
【図９】移動体の一例としての自動車の構成を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
［実施形態］
以下、本発明に係る光学部品の一例としての光学多層膜フィルターについて、図面に沿って詳細に説明する。ただし、本発明はこれらの例によって何等限定されるものではない。なお、それぞれの説明においては、同様の構造・機能を有するものは同じ符号を付けて説明する。
【００２１】
本実施形態は、可視波長域を通過し、所定波長以下の紫外波長域と所定波長以上の赤外波長域の光をカットする光学特性を有する光学多層膜フィルター（ＵＶ−ＩＲカットフィルター）に適用した一例である。なお、本発明に係る光学部品としては、光学ローパスフィルターなどを挙げることができ、本発明を適用することができる。
【００２２】
（光学多層膜フィルターの構成）
先ず、光学部品の一例としての光学多層膜フィルターの構成について、図１を用いて説明する。図１は、本発明に係る光学部品に係る一実施形態の光学多層膜フィルターの構成を模式的に示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図、（ｃ）は図１（ｂ）中に示すＱの部分拡大図である。
【００２３】
光学多層膜フィルター１０は、光を透過させる光学用の基板としてのガラス基板１１と、ガラス基板１１の上面に多層の膜としての無機薄膜２とを備えて構成される。ガラス基板１１は、白板ガラス（屈折率、ｎ＝１．５２）であり、本実施例では、厚さ０．３ｍｍの略矩形の外形形状を有する基板を用いた。なお、光学用の基板としては、白板ガラス、ＢＫ７、サファイアガラス、ホウケイ酸ガラス、青板ガラス、ＳＦ３、ＳＦ７、シリコン、および水晶などの透明基板であってもよいし、一般に市販されている透明な光学ガラス基板も使用できる。
【００２４】
膜としての無機薄膜２の材料は、高屈折率材料層（Ｈ）がＴｉＯ2（ｎ＝２．４０）、低屈折率材料層（Ｌ）がＳｉＯ2（ｎ＝１．４６）から構成される。この無機薄膜２は、ガラス基板１１側から、高屈折率材料のＴｉＯ2膜２Ｈ１がまず積層され、積層された高屈折率材料のＴｉＯ2膜２Ｈ１の上面に、低屈折率材料のＳｉＯ2膜２Ｌ１が積層される。以下、低屈折率材料のＳｉＯ2膜２Ｌ１の上面に高屈折率材料のＴｉＯ2膜と低屈折率材料のＳｉＯ2膜が順次、交互に積層され、無機薄膜２の最上膜層（最表層）には、低屈折率材料のＳｉＯ2膜２Ｌ３０が積層されて、各々３０層、計６０層の無機薄膜２を形成している。なお、高屈折率材料層の材料としてＴｉＯ2を用いた場合で説明したが、Ｔａ2Ｏ5、Ｎｂ2Ｏ5を適用することもできる。
【００２５】
この無機薄膜２の膜構成の詳細を説明する。以下に説明する膜厚構成の表記では、光学膜厚ｎｄ＝１／４λの値を用いる。具体的には、高屈折率材料層（Ｈ）の膜厚を１Ｈとして表記し、低屈折率材料層（Ｌ）の膜厚を同様に１Ｌと表記する。また、（ｘＨ、ｙＬ）Sの「Ｓ」の表記は、スタック数と呼ばれる繰り返しの回数で、括弧内の構成を周期的に繰り返すことを表している。
【００２６】
無機薄膜２の膜厚構成は、設計波長λは５５０ｎｍ、第１層の高屈折率材料のＴｉＯ2膜２Ｈ１が０．６０Ｈ、第２層の低屈折率材料のＳｉＯ2膜２Ｌ１が０．２０Ｌ、以下、順次１．０５Ｈ、０．３７Ｌ、（０．６８Ｈ、０．５３Ｌ）4、０．６９Ｈ、０．４２Ｌ、０．５９Ｈ、１．９２Ｌ、（１．３８Ｈ、１．３８Ｌ）6、１．４８Ｈ、１．５２Ｌ、１．６５Ｈ、１．７１Ｌ、１．５４Ｈ、１．５９Ｌ、１．４２Ｈ、１．５８Ｌ、１．５１Ｈ、１．７２Ｌ、１．８４Ｈ、１．８０Ｌ、１．６７Ｈ、１．７７Ｌ、（１．８７Ｈ、１．８７Ｌ）7、１．８９Ｈ、１．９０Ｌ、１．９０Ｈ、最表層（最表面）の低屈折率材料のＳｉＯ2膜２Ｌ３０が０．９６Ｌの、計６０層が形成されている。
【００２７】
無機薄膜２は、ガラス基板１１の中央部分に略矩形状に設けられている第１領域１２と、第１領域１２から連続して延在されている第２領域１５とを含み構成されている。第２領域１５は、第１領域１２の外周縁（境１４）から外側に外周に沿って枠状（周状）に設けられている。
【００２８】
第１領域１２の無機薄膜２の上面２ｂは、ガラス基板１１の無機薄膜２が形成されている面である対向面１１ｂに並行して設けられている。図１（ｃ）に示すように、第２領域１５の無機薄膜２は、第１領域１２の外周縁（境１４）からガラス基板１１の外周端１１ａに向かうに従い、無機薄膜２の厚さｔが減少するように設けられている。換言すれば、第２領域１５の外周縁１６から第１領域１２との境（交差線）１４に向かうに従い無機薄膜２の厚さｔが増加している。なお、無機薄膜２を構成するＴｉＯ2膜２Ｈ１、ＳｉＯ2膜２Ｌ１から最上層のＳｉＯ2膜２Ｌ３０までのそれぞれの膜においても、同様に第１領域１２の外周縁（境１４）からガラス基板１１の外周端１１ａに向かうに従い、ＴｉＯ2膜、ＳｉＯ2膜の厚さが減少するように設けられている。したがって、第１領域１２の上面２ｂは、第２領域１５の上面２ａと比較して、ガラス基板１１の対向面１１ｂとの平行度が高くなる。
【００２９】
このように、第２領域１５における無機薄膜２が、第１領域１２の外周縁（境１４）からガラス基板１１の外周端１１ａに向かうに従い厚さｔが減少しているため、無機薄膜２の成膜時の応力などの残留応力が緩やかに解放される。これにより、残留応力に起因する無機薄膜２の剥がれなどの欠損が生じ難くなり、光学的な性能（光学特性）を発揮することができる規定膜厚の領域を確保することが可能となる。
【００３０】
また、第１領域１２における無機薄膜２の上面２ｂは、第２領域１５における無機薄膜２の上面２ａと比較して、ガラス基板１１の対向面１１ｂとの平行度が高いことから、光学信号が安定し、光学多層膜フィルター１０の良好な光学特性を得ることができる。
【００３１】
（光学多層膜フィルターの成膜方法）
次に、上述の光学多層膜フィルター１０の成膜方法について、図２〜図６を用いて説明する。図２は、光学多層膜フィルター１０における光学膜の成膜方法に係る工程フロー図である。図３は、光学膜の成膜に用いる光学基板装着具の概略構成を示す分解斜視図である。図４は、基板装着具への光学基板の装着状態を示し、図４（ａ）は本実施形態に係る基板装着具を用いた例を示す断面図であり、図４（ｂ）は変形例に係る基板装着具を用いた例を示す断面図である。図５は、本実施形態に係る光学多層膜フィルターを示し、図５（ａ）は光学用の基板を基板装着具へ装着した状態を示す断面図であり、図５（ｂ）は成膜された光学多層膜フィルターの平面図であり、図５（ｃ）は図５（ｂ）の断面図である。図６は、比較例としての従来の基板装着具によって成膜された光学多層膜フィルターを示し、図６（ａ）は基板装着具への基板の装着状態を示す断面図であり、図６（ｂ）は成膜された光学多層膜フィルターの平面図である。
【００３２】
図２に沿って、光学多層膜フィルター１０の光学膜の成膜方法について説明する。本実施形態において、光学多層膜フィルター１０の成膜は、真空装置を用いた真空蒸着法による光学膜形成工程によって行われる。以下、基板準備工程から光学膜成膜工程までの工程について順次説明する。
【００３３】
先ず、光学多層膜フィルター１０のベース基板となる光学用の基板としてガラス基板１１を用意する（ステップＳ１０１）。ガラス基板１１は、四隅に面取り加工が施された厚さ０．３ｍｍの略矩形の外形形状を有する白板ガラス（屈折率、ｎ＝１．５２）を用いている。なお、面取り加工は、施されていない構成でもよい。
【００３４】
次に、図３に示されている光学基板装着具２５０に、ガラス基板１１を装着する工程であるマスク部材配置工程に移行する（ステップＳ１０３）。ここで、図３および図４（ａ）を参照しながら、マスク部材配置工程（ステップＳ１０３）において使用する光学基板装着具２５０および光学基板装着具２５０へのガラス基板１１の装着方法について説明する。
【００３５】
図３および図４（ａ）に示すように、本実施形態の光学基板装着具２５０は、４層構造となっており、マスク部材としてのマスク板２０と、スペーサー３０と、ガイド板４０と、カバー５０とが含まれている。光学基板装着具２５０は、マスク板２０と、スペーサー３０と、ガイド板４０と、カバー５０とが順次重ねられて固定されることによって一つの装着具として機能することになる。ガラス基板１１は、この構成の光学基板装着具２５０に装着される。
【００３６】
ガイド板４０は、ガラス基板１１を保持する機能を有している。ガイド板４０には、ガラス基板１１を装着する窓部４１が４か所に設けられている。この窓部４１の内側に、窓部４１の側壁を平面方向のガイドとしてガラス基板１１が装着される。また、ガイド板４０には、一方向（ガラス基板１１の長辺方向に沿った方向）に対向する両側の外枠部分に、ガイド板４０から表裏方向に突出するガイドピン４３が設けられている。ガイドピン４３は、マスク板２０と、スペーサー３０と、ガイド板４０と、カバー５０とが順次重ねられる際の位置決めピンとして機能する。また、ガイド板４０には、ガイドピン４３の両側に、表裏方向に貫通する四つの固定孔４４が設けられている。
【００３７】
スペーサー３０は、マスク板２０とガイド板４０との間に配置され、マスク板２０とガラス基板１１との間に隙間Ｈ（図４（ａ）参照）を形成し、マスク板２０が直接ガラス基板１１に接触しないようにするために用いる。スペーサー３０には、ガイド板４０と組み合わされた際にガイド板４０の窓部４１と対向する位置に、窓部３１が設けられている。窓部３１は、ガイド板４０の窓部４１の内壁よりわずかに内側に位置する内壁を有している。そして、窓部３１の内壁から窓部４１の内壁までの間のスペーサー３０の上面が、ガラス基板１１の厚み方向（裏側）のガイドとなる。また、スペーサー３０の両側の外枠部分には、ガイド板４０のガイドピン４３に対向する位置に、外枠部分を表裏面方向に貫通するガイドホール３３が設けられている。また、スペーサー３０には、ガイド板４０の固定孔４４に対向する位置に、表裏方向に貫通する四つの固定孔３４が設けられている。
【００３８】
マスク板２０は、ガラス基板１１に形成する無機薄膜２（図１参照）の形状を定める機能を有している。マスク板２０には、ガイド板４０と組み合わされた際にガイド板４０の窓部４１と対向する位置に、貫通孔であるマスク窓２１が設けられている。このマスク窓２１の内壁（開口）が、無機薄膜２の外形を定めるマスクとして機能し、マスク窓２１を通過する光学用の膜材料としての蒸着材料によって無機薄膜２がガラス基板１１の一面上に形成される。従って、マスク板２０は、ガラス基板１１上にマスク窓２１が対向すると共に、マスク窓２１の内壁（開口）から延在する遮蔽部分２５がガラス基板１１と重なるように配置する。さらに、マスク板２０は、ガラス基板１１における遮蔽部分２５に対向している対向面１１ｂと遮蔽部分２５との距離が、０．１ｍｍよりも大きく、且つ１ｍｍ以下の範囲内に配置する。換言すれば、マスク窓２１の内壁（開口）は、無機薄膜２の第１領域１２の外周縁（境１４）に、平面視で重なる位置に設けられ、スペーサー３０の窓部３１の内壁よりわずかに内側（マスク窓２１の中心側）に位置している。なお、マスク窓２１の、ガラス基板１１の配置側と反対側の内壁角には、面取り２２が設けられている。この面取り２２は、蒸着材料が通過しやすいようにするように設けられているが、必須の構成ではなく、面取り２２が設けられていない構成でもよい。また、マスク板２０の両側の外枠部分には、ガイド板４０のガイドピン４３に対向する位置に、外枠部分を表裏面方向に貫通するガイドホール２３が設けられている。また、マスク板２０には、ガイド板４０の固定孔４４に対向する位置に、表裏方向に貫通する四つの固定孔２４が設けられている。
【００３９】
このように、マスク板２０とガラス基板１１とを配置することにより、対向面１１ｂに成膜される光学膜としての無機薄膜２の外周部分に、外周縁１６に向かうに従って厚さが減少する、所謂にじみ領域（第２領域１５、図１参照）を効果的に形成することが可能となる。また、光学的な性能（光学特性）を発揮する規定膜厚の領域（第１領域１２、図１参照）を確保することが可能となる。
【００４０】
カバー５０は、ガイド板４０に装着されたガラス基板１１の無機薄膜２形成面と反対側の面を覆い、この面に無機薄膜２が付着しないように用いる。カバー５０は、ガイド板４０のマスク板２０が配置される側と反対側にあって、ガラス基板１１の無機薄膜２が形成されない面を覆うようにガイド板４０に接続される。カバー５０には、ガイド板４０のガイドピン４３に対向する位置に、表裏面方向に貫通するガイドホール５３が設けられている。また、カバー５０には、ガイド板４０の固定孔４４に対向する位置に、表裏方向に貫通する四つの固定孔５４が設けられている。
【００４１】
上述したような構成の光学基板装着具２５０は、マスク板２０と、スペーサー３０と、ガイド板４０と、カバー５０とが、ガイドピン４３によって位置決めされて重ねられた後、固定される。固定には、それぞれの固定孔２４、３４、４４、５４を用いるなどによる、例えばネジ締め、バネ締めなどを用いることができる。
【００４２】
また、上述した光学基板装着具２５０では、マスク板２０とガラス基板１１との間に隙間Ｈを形成し、マスク板２０が直接ガラス基板１１に接触しないようにするために、図４（ａ）に示すスペーサー３０を用いる構成で説明したが、スペーサー３０を用いない構成でもよい。例えば、図４（ｂ）に示すように、ガイド板４０とスペーサー３０を一つにした変形例のガイド板３５とすることができる。ガイド板３５は、ガラス基板１１の装着部として、ガイド板３５の表面から凹状に設けられたガイド部３６と、ガイド部３６の底部３８を貫通する窓部３７を有している。そして、ガイド板３５では、底部３８からマスク板２０との接触面までの距離、即ち窓部３７の厚みが、マスク板２０とガラス基板１１との間の隙間Ｈとなる。
【００４３】
図２に戻り、光学膜成膜工程（ステップＳ１０５）について説明する。
光学膜成膜工程（ステップＳ１０５）では、ガラス基板１１の一面上に光学膜としての無機薄膜２を成膜する。無機薄膜２の成膜は、前述のマスク部材配置工程（ステップＳ１０３）において光学基板装着具２５０に装着されたガラス基板１１を、真空装置のチャンバー内に保持し、真空蒸着法を用いて行う。本実施形態では、真空蒸着法として、一般的なイオンアシストを用いた電子ビーム蒸着（いわゆるＩＡＤ法）により、光学用のガラス基板１１の上に無機薄膜２を形成して光学多層膜フィルター１０を製造している。
【００４４】
具体的には、ガラス基板１１が装着された光学基板装着具２５０を真空蒸着用のチャンバー（図示せず）内に取り付けた後、チャンバー内の下部に光学用の膜材料としての蒸着材料を充填したルツボを配置し、電子ビームにより蒸発させる。同時にイオン銃によりイオン化した酸素（ＴｉＯ2の成膜時はＡｒを付加する）を加速照射することにより、ガラス基板１１上にＴｉＯ2膜２Ｈ１〜２Ｈ３０とＳｉＯ2の膜２Ｌ１〜２Ｌ３０（図１参照）を、前述した膜構成（図１参照）で交互に成膜する。
【００４５】
真空装置のチャンバーには、図示しないドライポンプとターボ分子ポンプを組み合わせた真空ポンプが連結されており、この真空ポンプを作動させることによってチャンバー内の排気が行われ、所定の真空状態が確保される。そして、この真空状態において、ガラス基板１１を、例えば３５０℃程度に加熱しながら、ガラス基板１１の対向面１１ｂに蒸着材料を成膜する。なお、本説明における真空状態とは、通常の大気圧より低い圧力（１×１０5Ｐａ〜１×１０-10Ｐａ以下（ＪＩＳ  Ｚ  ８１２６−１：１９９９））の空間の状態をいう。
【００４６】
この真空蒸着法による成膜について、図５（ａ）、図５（ｂ）、図５（ｃ）を参照しながら詳細を説明する。図５（ａ）に示すように、ガラス基板１１とマスク板２０との間には、マスク板２０とガイド板４０との間に配置されたスペーサー３０によって、隙間Ｈが設けられている。
【００４７】
蒸発して飛散した蒸着材料Ｄ１は、マスク板２０のマスク窓２１の部分を通過し、ガラス基板１１に遮るものがない状態で到達し、図５（ｂ）、（ｃ）に示すような第１領域１２の無機薄膜２を形成する。このように、第１領域１２の無機薄膜２は、マスク板２０のマスク窓２１を遮るものがなく通過した蒸着材料Ｄ１によって形成されるため、無機薄膜２の厚みは略均一になり、換言すれば、ガラス基板１１の無機薄膜２が成膜される面に対する平行度が高い。
【００４８】
これに対し、第１領域１２の外側においては、ガラス基板１１とマスク板２０との間に隙間Ｈが存在するため、この隙間Ｈの部分に蒸着材料Ｄ２が回り込み、ガラス基板１１の対向面１１ｂに付着する。この場合、マスク窓２１の内壁から遠い部分には、蒸着材料Ｄ２が回り込み難いため無機薄膜２の膜厚は薄くなり、マスク窓２１の内壁に近くなるに従って蒸着材料Ｄ２が回り込み易くなり無機薄膜２の膜厚もそれに連れて厚くなる。その結果、スペーサー３０の窓部３１の内壁に沿った外周縁１６から第１領域１２との境（交差線）１４に向かうに従い無機薄膜２の厚さが増加している第２領域１５が形成される。
【００４９】
このようにして、ガラス基板１１の中央部分に略矩形状に設けられている上面２ｂが平坦な第１領域１２と、外周縁１６から第１領域１２との境（交差線）１４に向かうに従い無機薄膜２の厚さが増加し、第１領域１２から連続して延在されている第２領域１５とを含む無機薄膜２を成膜することができる。換言すれば、第１領域１２の無機薄膜２の上面２ｂはガラス基板１１の対向面１１ｂと略平行であり、第２領域１５の無機薄膜２の上面２ａはガラス基板１１の対向面１１ｂに対し傾斜している。
【００５０】
このような工程を経ることによって、図１に示すような光学多層膜フィルター１０を得ることができる。
【００５１】
このような製造方法によれば、上述のようにマスク板２０とガラス基板１１とを配置することにより、対向面１１ｂに成膜される光学膜としての無機薄膜２の外周部分に、外周に向かうに従って厚さが減少する、所謂にじみ領域（第２領域１５）を効果的に形成することが可能となる。このにじみ領域（第２領域１５）が形成されることにより、無機薄膜２の成膜時の応力などの残留応力が緩やかに解放され、残留応力に起因する無機薄膜２の剥がれなどの欠損が生じ難くなり、光学的な性能（光学特性）を発揮する規定膜厚の領域を確保することが可能となる。
また、光学的な性能（光学特性）を発揮する規定膜厚の領域（第１領域１２）を確保することが可能となる。
【００５２】
［比較例］
ここで、比較例として、実施形態におけるガラス基板１１とマスク板２０との間に隙間Ｈが存在しない、即ち、上述のスペーサー３０を用いない構成の光学基板装着具１７０を用いた例について、図６（ａ）、図６（ｂ）に沿って説明する。図６（ａ）に示すように、比較例に係る光学基板装着具１７０は、窓部１４１にガラス基板１１１を装着するガイド板１４０と、ガラス基板１１１の一面（無機薄膜形成面）に当接するようにガイド板１４０に接続されたマスク板１２０と、一面（無機薄膜形成面）と反対側のガラス基板１１１の他面を覆うカバー１５０とを備えている。このような、光学基板装着具１７０を用いて真空蒸着法により無機薄膜２を形成すると、ガラス基板１１１とマスク板１２０とが当接しているため、前述の実施形態のような蒸着材料の回り込みが起こらずに、マスク板１２０のマスク窓１２１を通過した蒸着材料Ｄ１によって無機薄膜２が形成されるため、外周縁１１４で囲まれた第１領域１２の無機薄膜２は略均一の厚みで形成される。即ち、前述の実施形態における第２領域１５は形成されないことになる。
【００５３】
（ガラス基板の洗浄工程）
なお、マスク部材配置工程（ステップＳ１０３）の後に、ガラス基板１１上にマスク板２０が配置されている状態、換言すれば光学基板装着具２５０に、ガラス基板１１が装着されている状態で、ガラス基板１１を洗浄する洗浄工程を行うことができる。なお、洗浄工程は、マスク部材配置工程（ステップＳ１０３）と光学膜成膜工程（ステップＳ１０５）との間、および光学膜成膜工程（ステップＳ１０５）の後、の少なくとも一方に設けることができる。
【００５４】
このように洗浄工程を設けることにより、ガラス基板１１上にマスク板２０が配置されている状態でガラス基板１１を洗浄することから、ガラス基板１１の脱着作業が不要となり生産性が向上すると共に、ガラス基板１１へのパーティクル（ごみ）などの異物付着を防止することが可能となる。
また、洗浄工程において、ガラス基板１１上にマスク板２０が配置されている状態、即ち光学基板装着具２５０にガラス基板１１が装着されている状態のままで洗浄を行うことができるため、洗浄の都度、ガラス基板１１の脱着を行うことが不要となり、洗浄工程の効率化を推進することができる。
【００５５】
［電子機器］
次いで、本発明の光学部品の一実施形態に係る光学多層膜フィルター１０を用いた電子機器について、図７および図８に沿って説明する。
【００５６】
図７は、本発明の光学部品の一実施形態に係る光学多層膜フィルター１０を備える電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成の概略を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０１が配置されている。このような携帯電話機１２００には、被写体を撮影する撮像装置が備えられており、この撮像装置に光学多層膜フィルター１０が用いられている。
【００５７】
図８は、本発明の光学部品の一実施形態に係る光学多層膜フィルター１０を備える電子機器としてのデジタルスチールカメラの構成の概略を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、従来のフィルムカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。そして、この撮像素子に光学多層膜フィルター１０が用いられている。
【００５８】
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３０１が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３０１は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）や光学多層膜フィルター１０が用いられているＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００５９】
撮影者が表示部１３０１に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
【００６０】
なお、本発明の一実施形態に係る光学多層膜フィルター１０（光学部品）は、図７の携帯電話機、図８のデジタルスチールカメラの他にも撮像装置を備えている電子機器にも適用することができる。適用可能な電子機器は、例えば、タブレット型情報端末装置、ハンドヘルド型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、カーナビゲーション装置、ドライブレコーダー装置、電子手帳（通信機能付も含む）、電子ゲーム機器、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、電子内視鏡などの医療機器、各種測定機器、などが挙げられる。
【００６１】
［移動体］
図９は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車５０６には本発明の光学部品の一実施形態に係る光学多層膜フィルター１０が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車５０６には、光学多層膜フィルター１０を用いた撮像装置が適用され、自動車の運行状態を記録するドライブレコーダー５０５が搭載されている。また、光学多層膜フィルター１０などの光学デバイスは、他にもカーナビゲーションシステム、全方位撮像システム（バックモニタリングシステム）、ブレーキングシステムユニット、車体姿勢制御システムなどに適用することができる。
【符号の説明】
【００６２】
２…光学膜としての無機薄膜、２ｂ…第１領域の無機薄膜の上面、１０…光学部品としての光学多層膜フィルター、１１…光学用基板としてのガラス基板、１１ａ…ガラス基板の外周端、１１ｂ…ガラス基板の対向面、１２…第１領域、１４…境、１５…第２領域、１６…外周縁、２０…マスク板、２１…マスク窓、２３…ガイドホール、２４…固定孔、２５…遮蔽部分、３０…スペーサー、３１…窓部、３３…ガイドホール、３４…固定孔、３５…ガイド板、３６…ガイド部、３７…窓部、３８…底部、４０…ガイド板、４１…窓部、４３…ガイドピン、４４…固定孔、５０…カバー、５３…ガイドホール、５４…固定孔、２５０、２５０ａ…光学基板装着具、５０６…移動体としての自動車、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのデジタルスチールカメラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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