(57)【要約】【課題】回転部材に作用する圧力が周方向で均一になり、軸受負荷容量および軸受剛性の低下を抑制できる静圧気体軸受回転案内装置を提供すること。【解決手段】静圧気体軸受回転案内装置は、軸周りに回転する円盤形状の部材であって、軸を含む平面で切った断面の軸方向の大きさが径方向外側に向かって小さくなっているコニカル部と、コニカル部の表面であって軸に対して傾斜する第１傾斜面と、コニカル部の表面であって軸に対して第１傾斜面とは異なる方向に傾斜する第２傾斜面と、を備える回転部材を備える。静圧気体軸受回転案内装置は、第１傾斜面に向かって気体を噴出する第１エアパッドを備え、回転部材の周方向に等間隔に配置される複数の第１静圧気体軸受と、第２傾斜面に向かって気体を噴出する第２エアパッドを備え、回転部材の周方向に等間隔に配置される複数の第２静圧気体軸受と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸周りに回転する円盤形状の部材であって、前記軸を含む平面で切った断面の前記軸方向の大きさが径方向外側に向かって小さくなっているコニカル部と、前記コニカル部の表面であって前記軸に対して傾斜する第１傾斜面と、前記コニカル部の表面であって前記軸に対して前記第１傾斜面とは異なる方向に傾斜する第２傾斜面と、を備える回転部材と、
第１ハウジングと、前記第１ハウジングに設けられて前記第１傾斜面に向かって気体を噴出する第１エアパッドと、を備え、前記回転部材の周方向に等間隔に配置される複数の第１静圧気体軸受と、
第２ハウジングと、前記第２ハウジングに設けられて前記第２傾斜面に向かって気体を噴出する第２エアパッドと、を備え、前記回転部材の周方向に等間隔に配置される複数の第２静圧気体軸受と、
を備えることを特徴とする静圧気体軸受回転案内装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静圧気体軸受回転案内装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
回転軸を支持する支持構造として、静圧気体軸受が知られている。静圧気体軸受は、回転軸を非接触の状態で回転可能に支持することができる。例えば、特許文献１には、ラジアル軸受部分およびスラスト軸受部分を備えた軸受ハウジングと、軸受ハウジングのラジアル軸受部分およびスラスト軸受部分のそれぞれに保持された静圧軸受パッドと、を備える静圧流体軸受が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−７１５３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の技術では、ラジアル軸受、スラスト軸受および多孔質の円筒パッド等の部材が、回転軸の周方向の全周に設けられている。このため、特許文献１の技術を用いる場合、回転軸の径方向の大きさを大型化すると、ラジアル軸受、スラスト軸受および円筒パッド等の部材が、回転軸の大型化に応じて大きくなる。しかし、部材の加工精度および多孔質材の気孔率の安定性には限界がある。このため、回転軸が大型化する場合、回転軸に作用する圧力が周方向で不均一となり、軸受負荷容量および軸受剛性が低下する可能性がある。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、回転部材に作用する圧力が周方向で均一になり、軸受負荷容量および軸受剛性の低下を抑制できる静圧気体軸受回転案内装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、静圧気体軸受回転案内装置は、軸周りに回転する円盤形状の部材であって、前記軸を含む平面で切った断面の前記軸方向の大きさが径方向外側に向かって小さくなっているコニカル部と、前記コニカル部の表面であって前記軸に対して傾斜する第１傾斜面と、前記コニカル部の表面であって前記軸に対して前記第１傾斜面とは異なる方向に傾斜する第２傾斜面と、を備える回転部材と、第１ハウジングと、前記第１ハウジングに設けられて前記第１傾斜面に向かって気体を噴出する第１エアパッドと、を備え、前記回転部材の周方向に等間隔に配置される複数の第１静圧気体軸受と、第２ハウジングと、前記第２ハウジングに設けられて前記第２傾斜面に向かって気体を噴出する第２エアパッドと、を備え、前記回転部材の周方向に等間隔に配置される複数の第２静圧気体軸受と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
これにより、回転部材が大型化する場合であっても、第１静圧気体軸受および第２静圧気体軸受の大型化は抑制される。このため、第１静圧気体軸受および第２静圧気体軸受が備える各部材の大きさが一定の大きさ以下に留まり、各部材の加工精度の低下および多孔質材の気孔率のバラつきが抑制される。これにより、回転部材に作用する圧力が周方向で均一になりやすくなる。よって、本発明に係る静圧気体軸受回転案内装置は、軸受負荷容量および軸受剛性の低下を抑制できる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、回転部材に作用する圧力が周方向で均一になり、軸受負荷容量および軸受剛性の低下を抑制できる静圧気体軸受回転案内装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本実施形態に係る静圧気体軸受回転案内装置を、筐体の上面部を除いて示す平面図である。
【図２】図２は、図１におけるＡ−Ａ’断面を示す図である。
【図３】図３は、回転部材の第１傾斜面側から見た第１ハウジングおよび第１エアパッドを示す図である。
【図４】図４は、図３におけるＢ−Ｂ’断面を示す図である。
【図５】図５は、変形例に係る静圧気体軸受回転案内装置を、回転部材の軸を含む平面で切った断面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。
【００１１】
（実施形態）
図１は、本実施形態に係る静圧気体軸受回転案内装置を、筐体の上面部を除いて示す平面図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ’断面を示す図である。図３は、回転部材の第１傾斜面側から見た第１ハウジングおよび第１エアパッドを示す図である。図４は、図３におけるＢ−Ｂ’断面を示す図である。図１、２に示すように、静圧気体軸受回転案内装置１は、例えば、筐体１０と、回転部材６と、３つの第１静圧気体軸受ａｂ１と、３つの第２静圧気体軸受ａｂ２と、を備える。静圧気体軸受回転案内装置１は、例えば、ウェハーの検査装置において、被検査物であるウェハーを回転させる機構として用いられる。なお、第１静圧気体軸受ａｂ１および第２静圧気体軸受ａｂ２は、必ずしもそれぞれ３つでなくてもよく、それぞれ２つであってもよいし、それぞれ４つ以上であってもよい。
【００１２】
図１に示すように、筐体１０は、環状である。また、図２に示すように、筐体１０は、上面部１０１と、底面部１０２と、側面部１０３と、を備える。上面部１０１は、円環形状の板状部材である。上面部１０１の表面形状は、水平な底面と当該底面よりも鉛直方向上側に位置する頂点とを有する円錐の側面に沿う形状である。底面部１０２は、円環形状の板状部材である。底面部１０２の表面形状は、水平な底面と当該底面よりも鉛直方向下側に位置する頂点とを有する円錐の側面に沿う形状である。側面部１０３は、上面部１０１および底面部１０２を連結する部材である。側面部１０３は、鉛直方向に貫通する複数の固定用孔１０ｈを備える。固定用孔１０ｈは、例えば筐体１０の周方向に等間隔に設けられている。例えば、筐体１０は、ボルト等の固定具および固定用孔１０ｈを用いて、図示しない支持構造に固定される。
【００１３】
回転部材６は、軸Ｚ周りに回転する円盤形状の部材である。例えば本実施形態において、軸Ｚは、水平面に対して直交している。回転部材６は、例えばステンレス鋼で形成されている。回転部材６は、軸Ｚを含む平面で切った断面の軸Ｚ方向の大きさが径方向外側に向かって小さくなっているコニカル部６ｃを備える。コニカル部６ｃは、回転部材６の径方向外側の端部に設けられている。回転部材６は、コニカル部６ｃの表面であって軸Ｚに対して傾斜する第１傾斜面６１と、コニカル部６ｃの表面であって軸Ｚに対して第１傾斜面６１とは異なる方向に傾斜する第２傾斜面６２と、を備える。第１傾斜面６１は、曲面であって、第１傾斜面６１の径方向外側の端部と第２傾斜面６２の径方向外側の端部とを接続している。また、回転部材６は、軸Ｚ方向に貫通する貫通孔６ｈと、貫通孔６ｈの内周面に設けられる環状の溝６５と、を備える。溝６５は、例えば貫通孔６ｈの内周面を切削することで形成されている。これにより、回転部材６は、中実部材である場合に比較して軽量である。また、回転部材６は、貫通孔６ｈよりも径方向外側かつコニカル部６ｃよりも径方向内側の位置に、軸Ｚ方向に貫通する複数の取付孔６１ｈ、６２ｈを備える。取付孔６１ｈおよび取付孔６２ｈは、例えば、回転部材６の周方向に等間隔に配置されている。取付孔６１ｈと６２ｈとは、溝６５を介して対向している。例えば、ウェハー等の被検査物を保持する機台（チャック）が、ボルト等の固定具および取付孔６１ｈ、６２ｈを用いて、回転部材６に固定される。
【００１４】
なお、回転部材６は、第１傾斜面６１を形成する部材と、第２傾斜面６２を形成する部材と、取付孔６１ｈ、６２ｈを備えた部材とを組み立てて形成されていてもよい。このように別部材を組み立てて回転部材６を形成する場合、第１傾斜面６１を形成する部材と第２傾斜面６２を形成する部材との間の隙間、および取付孔６１ｈを備えた部材と取付孔６２ｈを備えた部材との間の隙間が、溝６５である。
【００１５】
図１に示すように、３つの第１静圧気体軸受ａｂ１は、回転部材６の周方向に等間隔に配置されている。図２に示すように、第１静圧気体軸受ａｂ１は、第１ハウジング４と、第１エアパッド５と、を備える。
【００１６】
第１ハウジング４は、第１傾斜面６１に対向するように配置されている。第１ハウジング４は、例えばステンレス鋼で形成されている。第１ハウジング４を第１傾斜面６１から見た形状は、例えば扇形状である。図２に示すように、第１ハウジング４は、第１傾斜面６１と対向する面とは反対側の面に、球状の窪みであるソケット部４８を備える。ソケット部４８には、ボールスタッドｂの球状の先端部が嵌まっている。ボールスタッドｂは、上面部１０１を貫通しており、緩み止めナットｎによって位置決めされている。これにより、第１ハウジング４は、上面部１０１に揺動可能に支持されている。また、ボールスタッドｂの先端部の位置は、緩み止めナットｎを緩めることで調整することができる。
【００１７】
第１エアパッド５は、例えばグラファイトにより形成された板状の多孔質材であって、第１ハウジング４に支持される。図２に示すように、第１ハウジング４は、第１傾斜面６１と対向する面に第１凹部４９を備える。第１エアパッド５は、第１凹部４９に嵌まっている。第１エアパッド５は、例えば、接着剤によって第１凹部４９に固定されている。図３に示すように、第１エアパッド５は、例えばそれぞれの第１ハウジング４に５つずつ固定されている。５つの第１エアパッド５は、例えば回転部材６の周方向で等間隔に並べられている。なお、第１エアパッド５は、ボルト等によって第１凹部４９に固定されていてもよい。また、それぞれの第１ハウジング４に固定される第１エアパッド５は、必ずしも５つでなくてもよく、４つ以下であってもよいし６つ以上であってもよい。
【００１８】
図１に示すように、３つの第２静圧気体軸受ａｂ２は、回転部材６の周方向に等間隔に配置されている。第２静圧気体軸受ａｂ２は、例えば、回転部材６の軸Ｚ方向から見た場合に第１静圧気体軸受ａｂ１と重なるように配置されている。図２に示すように、第２静圧気体軸受ａｂ２は、第２ハウジング７と、第２エアパッド８と、を備える。
【００１９】
第２ハウジング７は、第２傾斜面６２に対向するように配置されている。第２ハウジング７は、例えばステンレス鋼で形成されている。第２ハウジング７を第２傾斜面６２から見た形状は、例えば扇形状である。図２に示すように、第２ハウジング７は、第２傾斜面６２と対向する面とは反対側の面に、球状の窪みであるソケット部７８を備える。ソケット部７８には、ボールスタッドｂの球状の先端部が嵌まっている。ボールスタッドｂは、底面部１０２を貫通しており、緩み止めナットｎによって位置決めされている。これにより、第２ハウジング７は、底面部１０２に揺動可能に支持されている。
【００２０】
第２エアパッド８は、例えばグラファイトにより形成された板状の多孔質材であって、第２ハウジング７に支持される。第２ハウジング７は、第２傾斜面６２と対向する面に第１凹部７９を備える。第２エアパッド８は、第１凹部７９に嵌まっている。第２エアパッド８は、例えば、接着剤によって第１凹部７９に固定されている。第２エアパッド８は、例えばそれぞれの第２ハウジング７に５つずつ固定されている。５つの第２エアパッド８は、例えば回転部材６の周方向で等間隔に並べられている。なお、第２エアパッド８は、ボルト等によって第１凹部７９に固定されていてもよい。また、それぞれの第２ハウジング７に固定される第２エアパッド８は、必ずしも５つでなくてもよく、４つ以下であってもよいし６つ以上であってもよい。
【００２１】
図３、４に示すように、第１ハウジング４は、内部に設けられる流路である内部流路４１を備える。内部流路４１の一端は、第１ハウジング４の外部に開口している。第１ハウジング４は、第１凹部４９の底面に設けられる第１凹部４９よりも小さい凹部であって内部流路４１に接続される第２凹部４３を備える。例えば、第２凹部４３は、第１傾斜面６１から見た形状が矩形である矩形部４３ａと、第１傾斜面６１から見た形状が十字形である十字部４３ｂと、を備える。十字部４３ｂは、矩形部４３ａの内側に配置されている。十字部４３ｂの端部は、矩形部４３ａの４辺それぞれの中間部に連結されている。
【００２２】
図４に示すように、第１エアパッド５は、回転部材６の第１傾斜面６１に対向する表面である噴出面５１と、噴出面５１とは反対側の表面である裏面５２を備える。噴出面５１は、例えば、第１エアパッド５が対向する回転部材６の第１傾斜面６１に沿う曲面状である。これにより、噴出面５１と第１傾斜面６１との間に生ずる隙間Ｇは一定になっている。例えば本実施形態において、隙間Ｇは、１０μｍ程度である。裏面５２は、平坦面であり、第１凹部４９の底面に接している。
【００２３】
内部流路４１には、外部から圧縮空気が導入される。内部流路４１に導入された圧縮空気は、第２凹部４３を通じて、第１エアパッド５の裏面５２の広範囲に接する。第１エアパッド５が多孔質材であるため、圧縮空気は、裏面５２側から噴出面５１側へ第１エアパッド５の内部を移動する。圧縮空気は、第１エアパッド５の内部の気孔を通じて拡散するので、噴出面５１の全体から回転部材６の第１傾斜面６１に向かって噴出する。このため、第１静圧気体軸受ａｂ１によって、鉛直方向下向きの力および径方向内側向きの力が回転部材６に加えられる。
【００２４】
また、第２ハウジング７は、例えば内部流路４１と同じ形状の内部流路と、第２凹部４３と同じ形状の第２凹部と、を備える。第２ハウジング７における内部流路および第２凹部を通じて圧縮空気が第２エアパッド８に導入され、第２エアパッド８から第２傾斜面６２に向かって圧縮空気が噴出する。このため、第２静圧気体軸受ａｂ２によって、鉛直方向上向きの力および径方向内側向きの力が回転部材６に加えられる。また、第２エアパッド８の圧縮空気が噴出する面と第２傾斜面６２の間の隙間の大きさは、上述した隙間Ｇの大きさと同程度である。
【００２５】
第１エアパッド５から噴出させる圧縮空気の量および第２エアパッド８から噴出させる圧縮空気の量は、それぞれ独立に調整することができる。これにより、第２静圧気体軸受ａｂ２によって回転部材６に加えられる鉛直方向上向きの力が、第１静圧気体軸受ａｂ１によって回転部材６に加えられる鉛直方向下向きの力と回転部材６にかかる重力との合力に釣り合う。このため、回転部材６が第１エアパッド５および第２エアパッド８に非接触の状態で、回転部材６の軸Ｚ方向の位置が規制される。また、第１静圧気体軸受ａｂ１および第２静圧気体軸受ａｂ２が回転部材６の周方向に等間隔に配置されているため、回転部材６の軸Ｚに対する傾きの規制が容易である。また、回転部材６の軸Ｚに対する傾きに変化が生じた場合であっても、第１ハウジング４および第２ハウジング７が揺動できるので、回転部材６が第１エアパッド５および第２エアパッド８に非接触である状態が保たれやすい。
【００２６】
また、第１静圧気体軸受ａｂ１および第２静圧気体軸受ａｂ２は、それぞれ３つである。これにより、第１静圧気体軸受ａｂ１および第２静圧気体軸受ａｂ２がそれぞれ２つである場合に比較して、静圧気体軸受回転案内装置１は、回転部材６の軸Ｚ方向の位置および回転部材６の軸Ｚに対する傾きを規制しやすくなる。よって、静圧気体軸受回転案内装置１は、回転部材６の回転運動の安定性を向上させることができる。
【００２７】
また、第２静圧気体軸受ａｂ２は、回転部材６の軸Ｚ方向から見た場合に第１静圧気体軸受ａｂ１と重なるように配置される。これにより、第１静圧気体軸受ａｂ１によって回転部材６に加えられる力の作用点と、第２静圧気体軸受ａｂ２によって回転部材６に加えられる力の作用点とが、回転部材６の周方向で一致しやすくなる。このため、第１エアパッド５から噴出させる圧縮空気の量および第２エアパッド８から噴出させる圧縮空気の量の調整が容易になる。よって、静圧気体軸受回転案内装置１は、回転部材６の回転運動の安定性を容易に維持することができる。
【００２８】
また、回転部材６は、軸Ｚ方向に貫通する貫通孔６ｈと、貫通孔６ｈの内周面に設けられる環状の溝６５と、を備える。これにより、回転部材６は、中実部材である場合に比較して軽量になる。このため、回転部材６を回転させるときに回転部材６に作用する慣性力が小さくなる。よって、静圧気体軸受回転案内装置１は、回転部材６の回転速度の制御を容易にすることができる。
【００２９】
なお、第１静圧気体軸受ａｂ１および第２静圧気体軸受ａｂ２は、必ずしも同じ数で配置されていなくてもよい。例えば、第２静圧気体軸受ａｂ２の数が、第１静圧気体軸受ａｂ１の数よりも多くてもよい。上述したように、第２静圧気体軸受ａｂ２によって回転部材６に加えられる鉛直方向上向きの力は、第１静圧気体軸受ａｂ１によって回転部材６に加えられる鉛直方向下向きの力と回転部材６にかかる重力との合力に釣り合う必要がある。このため、第２静圧気体軸受ａｂ２の数を第１静圧気体軸受ａｂ１の数よりも多くすることで、１つの第１エアパッド５から噴出する圧縮空気の量と１つの第２エアパッド８から噴出する圧縮空気の量とが、より均一になる。これにより、回転部材６の回転運動の安定性が向上する可能性がある。
【００３０】
また、回転部材６、第１ハウジング４および第２ハウジング７は、必ずしもステンレス鋼で形成されていなくてもよく、他の材料で形成されていてもよい。ただし、回転部材６、第１ハウジング４および第２ハウジング７は、熱膨張率が低い金属で形成されることが好ましい。また、第１エアパッド５および第２エアパッド８は、必ずしもグラファイトで形成されていなくてもよく、他の材料で形成されていてもよい。ただし、第１エアパッド５および第２エアパッド８がグラファイトで形成されている場合、回転部材６に接触したときでも回転部材６との摩擦が生じにくい点で好ましい。
【００３１】
以上述べたように、静圧気体軸受回転案内装置１は、軸Ｚ周りに回転する円盤形状の部材であって、軸Ｚを含む平面で切った断面の軸Ｚ方向の大きさが径方向外側に向かって小さくなっているコニカル部６ｃと、コニカル部６ｃの表面であって軸Ｚに対して傾斜する第１傾斜面６１と、コニカル部６ｃの表面であって軸Ｚに対して第１傾斜面６１とは異なる方向に傾斜する第２傾斜面６２と、を備える回転部材６を備える。静圧気体軸受回転案内装置１は、第１ハウジング４と、第１ハウジング４に設けられて第１傾斜面６１に向かって気体（圧縮空気）を噴出する第１エアパッド５と、を備え、回転部材６の周方向に等間隔に配置される複数の第１静圧気体軸受ａｂ１を備える。静圧気体軸受回転案内装置１は、第２ハウジング７と、第２ハウジング７に設けられて第２傾斜面６２に向かって気体（圧縮空気）を噴出する第２エアパッド８と、を備え、回転部材６の周方向に等間隔に配置される複数の第２静圧気体軸受ａｂ２を備える。
【００３２】
これにより、回転部材６が大型化する場合であっても、第１静圧気体軸受ａｂ１および第２静圧気体軸受ａｂ２の大型化は抑制される。このため、第１静圧気体軸受ａｂ１および第２静圧気体軸受ａｂ２が備える各部材の大きさが一定の大きさ以下に留まり、各部材の加工精度の低下が抑制される。よって、静圧気体軸受回転案内装置１は、回転部材６が大きい場合でも、回転部材６を非接触で支持することができる。「回転部材６を非接触で支持する」とは、第１エアパッド５と回転部材６との間、および第２エアパッド８と回転部材６との間にある気体（圧縮空気）によって、回転部材６の軸Ｚ方向および径方向の位置が規制されている状態を意味する。すなわち、「回転部材６を非接触で支持する」とは、気体（圧縮空気）によって回転部材６が宙に浮かんでいる状態を意味する。また、各部材の加工精度の低下および多孔質材の気孔率のバラつきが抑制されることで、回転部材６に作用する圧力が周方向で均一になりやすくなる。よって、静圧気体軸受回転案内装置１は、回転部材６が大きい場合でも軸受負荷容量および軸受剛性の低下を抑制できる。ここで、軸受負荷容量とは、静圧気体軸受回転案内装置１が回転部材６を非接触で支持することができる最大荷重である。軸受剛性とは、回転部材６の回転中において衝撃または振動等が回転部材６に加えられたとき、回転部材６が第１エアパッド５または第２エアパッド８に接触せずに回転できる度合である。軸受剛性の単位は、例えば[Ｎ／μｍ]である。すなわち、軸受剛性は、回転中の回転部材６を１μｍ移動させるのに要する荷重[Ｎ]を意味する。
【００３３】
（変形例）
図５は、変形例に係る静圧気体軸受回転案内装置を、回転部材の軸を含む平面で切った断面を示す図である。上述した実施形態で説明したものと同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００３４】
変形例に係る静圧気体軸受回転案内装置１は、回転部材６Ａを備える。回転部材６Ａは、軸Ｚ周りに回転する円盤形状の部材である。回転部材６Ａは、例えばステンレス鋼で形成されている。回転部材６Ａは、軸Ｚに対して直交する板状であって、軸Ｚ方向に貫通する貫通孔６ｈＡを有する平坦部６４を備える。回転部材６Ａは、軸Ｚを含む平面で切った断面の軸Ｚ方向の大きさが径方向外側に向かって小さくなっているコニカル部６ｃＡを備える。コニカル部６ｃＡは、平坦部６４の径方向外側の端部に設けられている。回転部材６Ａは、コニカル部６ｃＡの表面であって軸Ｚに対して傾斜する第１傾斜面６１Ａと、コニカル部６ｃＡの表面であって軸Ｚに対して第１傾斜面６１Ａとは異なる方向に傾斜する第２傾斜面６２Ａと、を備える。また、平坦部６４は、貫通孔６ｈＡよりも径方向外側かつコニカル部６ｃＡよりも径方向内側に、軸Ｚ方向に貫通する複数の取付孔６４ｈを備える。取付孔６４ｈは、例えば回転部材６Ａの周方向に等間隔に配置されている。例えば、ウェハー等の被検査物を保持する機台（チャック）が、ボルト等の固定具および取付孔６４ｈを用いて、平坦部６４に固定される。
【００３５】
これにより、回転部材６Ａは、ウェハー等の被検査物の重量による力は平坦部６４が負担するので、平坦部６４以外の部分の肉厚が薄くできる可能性がある。これにより、回転部材６Ａは、上述した実施形態の回転部材６に比較して軽量になる可能性がある。このため、回転部材６Ａを回転させるときに回転部材６Ａに作用する慣性力が小さくなる可能性がある。よって、変形例に係る静圧気体軸受回転案内装置１は、回転部材６Ａの回転速度の制御を容易にすることができる可能性がある。
【符号の説明】
【００３６】
１  静圧気体軸受回転案内装置
１０  筐体
１０ｈ  固定用孔
１０１  上面部
１０２  底面部
１０３  側面部
４  第１ハウジング
４１  内部流路
４３  第２凹部
４３ａ  矩形部
４３ｂ  十字部
４８  ソケット部
４９  第１凹部
５  第１エアパッド
５１  噴出面
５２  裏面
６、６Ａ  回転部材
６ｃ、６ｃＡ  コニカル部
６ｈ、６ｈＡ  貫通孔
６１、６１Ａ  第１傾斜面
６１ｈ  取付孔
６２、６２Ａ  第２傾斜面
６２ｈ  取付孔
６４  平坦部
６４ｈ  取付孔
６５  溝
７  第２ハウジング
７８  ソケット部
７９  第１凹部
８  第２エアパッド
ａｂ１  第１静圧気体軸受
ａｂ２  第２静圧気体軸受
ｂ  ボールスタッド
Ｇ  隙間
ｎ  緩み止めナット
【図１】
2015175510.tif 000003
【図２】
2015175510.tif 000004
【図３】
2015175510.tif 000005
【図４】
2015175510.tif 000006
【図５】
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