(57)【要約】【課題】改良された部品搭載装置を提供すること。【解決手段】作業面を持つワークテーブル（１２０）と、ワークテーブルの作業面（１２１）にある電子部品を認識する部品認識部（１５０）と、部品認識部（１５０）によって認識された電子部品を吸着する複数のノズルを備えたロータリーヘッド（１７０）と、ロータリーヘッドのノズル（１７１）に吸着された電子部品が搭載されるトレイ（Ｔ）を支持するトレイ支持部（１９７）とを含む部品搭載装置。【選択図】図１
2015205730.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業面を持つワークテーブルと、
前記ワークテーブルの作業面にある電子部品を認識する部品認識部と、
前記部品認識部によって認識された電子部品を吸着する複数のノズルを備えたロータリーヘッドと、
前記ロータリーヘッドのノズルに吸着された電子部品が搭載されるトレイを支持するトレイ支持部とを含む部品搭載装置。
【請求項２】
前記ワークテーブルに電子部品を供給する部品供給部をさらに含む、請求項１に記載の部品搭載装置。
【請求項３】
前記部品認識部は部品認識カメラを含む、請求項１又は２に記載の部品搭載装置。
【請求項４】
前記ノズルは、前記ロータリーヘッドの円周方向に沿って配置されている、請求項１から３のいずれかに記載の部品搭載装置。
【請求項５】
前記ワークテーブルの作業面にある電子部品に付着した異物を除去する第１の異物除去部をさらに含む、請求項１から４のいずれかに記載の部品搭載装置。
【請求項６】
前記第１の異物除去部は、空気を噴出する第１の空気ブローノズルと、異物を吸引する第１の真空吸引部とを含む、請求項５に記載の部品搭載装置。
【請求項７】
前記ノズルに吸着された電子部品に付着した異物を除去する第２の異物除去部をさらに含む、請求項１から６のいずれかに記載の部品搭載装置。
【請求項８】
前記第２の異物除去部は、空気を噴出する第２の空気ブローノズルと、異物を吸引する第２の真空吸引部とを含む、請求項７に記載の部品搭載装置。
【請求項９】
前記部品認識部によって認識された電子部品を検査する第１の部品検査部をさらに含み、前記ロータリーヘッドのノズルが、前記第１の部品検査部の検査を通過した電子部品を吸着する、請求項１から８のいずれかに記載の部品搭載装置。
【請求項１０】
前記ロータリーヘッドのノズルに吸着された電子部品を検査する第２の部品検査部をさらに含み、前記第２の部品検査部の検査を通過した電子部品を前記トレイに搭載する、請求項１から９のいずれかに記載の部品搭載装置。
【請求項１１】
前記第１の部品検査部は、第１の部品検査カメラを含む、請求項９に記載の部品搭載装置。
【請求項１２】
前記第２の部品検査部は、第２の部品検査カメラを含む、請求項１０に記載の部品搭載装置。
【請求項１３】
前記第２の部品検査カメラは、前記電子部品の下面を撮影する、請求項１２に記載の部品搭載装置。
【請求項１４】
前記第２の部品検査部は、前記電子部品の側面を撮影する第３の部品検査カメラを含む、請求項１０又は１３に記載の部品搭載装置。
【請求項１５】
前記第３の部品検査カメラは、前記電子部品の、前記ロータリーヘッドの通過方向に対面する側面を撮影する、請求項１４に記載の部品搭載装置。
【請求項１６】
（ａ）ワークテーブルの作業面に電子部品を配置する段階と、
（ｂ）前記ワークテーブルの作業面にある電子部品を認識する段階と、
（ｃ）前記ワークテーブルの作業面にある電子部品が不良かどうかを検査する第１次部品検査段階と、
（ｄ）前記第１次部品検査段階を経た電子部品をノズルで吸着して運搬する段階と、
（ｅ）前記ノズルに吸着された電子部品が不良かどうかを検査する第２次部品検査段階と、
（ｆ）前記第２次部品検査段階を経た電子部品の良品のみをトレイに搭載する段階とを含む部品搭載方法。
【請求項１７】
前記（ｂ）の段階では、前記ワークテーブルの作業面にある電子部品を撮影し、その撮影で得られた画像を利用して、各電子部品の位置と回転角を算出する、請求項１６に記載の部品搭載方法。
【請求項１８】
前記（ｃ）の段階では、前記ワークテーブルの作業面にある電子部品を撮影し、その撮影で得られた画像を利用して各電子部品の表面検査を実行し、良品と不良品とを選別する、請求項１６又は１７に記載の部品搭載方法。
【請求項１９】
前記（ｅ）の段階では、前記ノズルに吸着された電子部品を撮影し、その撮影で得られた画像を利用して各電子部品の表面検査を実行し、良品と不良品とを選別する、請求項１６から１８のいずれかに記載の部品搭載方法。
【請求項２０】
前記（ｆ）の段階の後、前記トレイの上面を撮影し、その撮影で得られた画像を利用して前記トレイが不良かどうかを判断する、請求項１６から１９のいずれかに記載の部品搭載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品搭載装置及び部品搭載方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高性能の超小型電子部品の製造技術の重要性はますます増加している。大量に生産された電子部品は、部品単位で包装されて販売されることもあるが、電子機器を製造するメーカーでは部品装着装置に大量の電子部品を投入する工程を実施する場合もあるので、多数の電子部品をトレイに搭載し包装（パッケージング）して販売されることもある。
【０００３】
この場合、最終的に販売される包装トレイには、不良品以外の良品の電子部品のみが存在するが、このような最終的な包装トレイを大量に迅速に製造する技術が開発されている。例えば特許文献１には、電子部品用トレイに関する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】韓国公開特許第２００１−００９１９２４号公報（特開２００１−２６１０８９号公報）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、改良された部品搭載装置及び部品搭載方法を提供することを主な課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面によれば、作業面を持つワークテーブルと、前記ワークテーブルの作業面にある電子部品を認識する部品認識部と、前記部品認識部によって認識された電子部品を吸着する複数のノズルを備えたロータリーヘッドと、前記ロータリーヘッドのノズルに吸着された電子部品が搭載されるトレイを支持するトレイ支持部とを含む部品搭載装置が提供される。
【０００７】
本発明の部品搭載装置は、前記ワークテーブルに電子部品を供給する部品供給部をさらに含むことができる。
【０００８】
前記部品認識部は部品認識カメラを含むことができる。
【０００９】
前記ノズルは、前記ロータリーヘッドの円周方向に沿って配置することができる。
【００１０】
また、本発明の本発明の部品搭載装置は、前記ワークテーブルの作業面にある電子部品に付着した異物を除去する第１の異物除去部をさらに含むことができる。
【００１１】
前記第１の異物除去部は、空気を噴出する第１の空気ブローノズルと、異物を吸引する第１の真空吸引部とを含むことができる。
【００１２】
また、本発明の本発明の部品搭載装置は、前記ノズルに吸着された電子部品に付着した異物を除去する第２の異物除去部をさらに含むことができる。
【００１３】
前記第２の異物除去部は、空気を噴出する第２の空気ブローノズルと、異物を吸引する第２の真空吸引部とを含むことができる。
【００１４】
また、本発明の部品搭載装置は、前記部品認識部によって認識された電子部品を検査する第１の部品検査部をさらに含み、前記ロータリーヘッドのノズルが、前記第１の部品検査部の検査を通過した電子部品を吸着することができる。
【００１５】
また、本発明の部品搭載装置は、前記ロータリーヘッドのノズルに吸着された電子部品を検査する第２の部品検査部をさらに含み、前記第２の部品検査部の検査を通過した電子部品を前記トレイに搭載することができる。
【００１６】
前記第１の部品検査部は、第１の部品検査カメラを含むことができる。
【００１７】
前記第２の部品検査部は、第２の部品検査カメラを含むことができる。
【００１８】
前記第２の部品検査カメラは、前記電子部品の下面を撮影することができる。
【００１９】
前記第２の部品検査部は、前記電子部品の側面を撮影する第３の部品検査カメラを含むことができる。
【００２０】
前記第３の部品検査カメラは、前記電子部品の、前記ロータリーヘッドの通過方向に対面する側面を撮影することができる。
【００２１】
さらに、本発明の他の側面によれば、（ａ）ワークテーブルの作業面に電子部品を配置する段階と、（ｂ）前記ワークテーブルの作業面にある電子部品を認識する段階と、（ｃ）前記ワークテーブルの作業面にある電子部品が不良かどうかを検査する第１次部品検査段階と、（ｄ）前記第１次部品検査段階を経た電子部品をノズルで吸着して運搬する段階と、（ｅ）前記ノズルに吸着された電子部品が不良かどうかを検査する第２次部品検査段階と、（ｆ）前記第２次部品検査段階を経た電子部品の良品のみをトレイに搭載する段階とを含む部品搭載方法が提供される。
【００２２】
前記（ｂ）の段階では、前記ワークテーブルの作業面にある電子部品を撮影し、その撮影で得られた画像を利用して、各電子部品の位置と回転角を算出することができる。
【００２３】
前記（ｃ）の段階では、前記ワークテーブルの作業面にある電子部品を撮影し、その撮影で得られた画像を利用して各電子部品の表面検査を実行し、良品と不良品とを選別することができる。
【００２４】
前記（ｅ）の段階では、前記ノズルに吸着された電子部品を撮影し、その撮影で得られた画像を利用して各電子部品の表面検査を実行し、良品と不良品とを選別することができる。
【００２５】
前記（ｆ）の段階の後、前記トレイの上面を撮影し、その撮影で得られた画像を利用して前記トレイが不良かどうかを判断することができる。
【００２６】
本発明の一側面による部品搭載装置は、電子部品をトレイに運搬するために、円周方向に沿って配置される複数のノズルを具備するロータリーヘッドを使用するので、小さい体積のロータリーヘッドにて多くの電子部品を効率的に運搬することができる。
【００２７】
また、電子部品をトレイに搭載する前に外観検査を介して良品の電子部品だけを搭載するようにすれば、トレイに搭載後に追加で不良の電子部品を選別する作業を行う必要がなくなるので、作業工程の簡素化とともにコストを削減する効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施例に係る部品搭載装置を概略的に示した斜視図である。
【図２】本発明の一実施例に係る部品搭載装置において部品供給部からワークテーブルに部品が供給され、第１異物除去部にて電子部品の異物を除去する様子を図示した概略的な斜視図である。
【図３】本発明の一実施例に係る部品搭載装置においてロータリーヘッドのノズルが電子部品を吸着する様子を示す概略的な斜視図である。
【図４】本発明の一実施例に係る部品搭載装置が作動する様子を順次示した概略的な斜視図である。
【図５】図４と同じ。ただし、前方のガイド部、部品認識部及びトレイ検査部を除いて示した。
【図６】図４と同じ。ただし、前方のガイド部、部品認識部及びトレイ検査部を除いて示した。
【図７】図４と同じ。
【図８】本発明の一実施例に係るロータリーヘッドのノズルが電子部品をトレイの部品搭載凹部に配置する様子を図示した概略的な斜視図である。
【図９】本発明の一実施例に係る部品搭載装置において電子部品が搭載されたトレイを移動させて搭載不良かどうかを検査する様子を図示した概略的な斜視図である。
【図１０】本発明の他の実施例に係る部品搭載装置を概略的に示した斜視図である。
【図１１】図１０の実施例に係る部品搭載装置において部品供給部からワークテーブルに部品が供給される様子を図示した概略的な斜視図である。
【図１２】図１０の実施例に係る部品搭載装置においてロータリーヘッドのノズルが電子部品を吸着する様子を示す概略的な斜視図である。
【図１３】図１０の実施例に係る部品搭載装置が作動する様子を順次示した概略的な斜視図である。
【図１４】図１３と同じ。ただし、前方ガイド部、部品認識部及びトレイ検査部を除いて示した。
【図１５】図１３と同じ。ただし、前方ガイド部、部品認識部及びトレイ検査部を除いて示した。
【図１６】図１３と同じ。ただし、前方ガイド部、部品認識部及びトレイ検査部を除いて示した。
【図１７】図１３と同じ。
【図１８】図１０の実施例に係る部品搭載装置のロータリーヘッドのノズルが電子部品をトレイの部品搭載凹部に配置する様子を図示した概略的な斜視図である。
【図１９】図１０の実施例に係る部品搭載装置において電子部品が搭載されたトレイを移動させて搭載不良かどうかを検査する様子を図示した概略的な斜視図である。
【図２０】本発明のさらに他の実施例に係る部品搭載装置の要部を概略的に示した斜視図である。
【図２１】図２０実施例に係る部品搭載装置において使用したロータリーヘッドを概略的に示した断面図である。
【図２２】図２２（ａ）は第３部品検査カメラの光学系を概略的に示した平面図、図２２（ｂ）は図２２（ａ）のＡ方向矢視に相当する図である。
【図２３】第３部品検査カメラの光学系の他の例を概略的に示した平面図である。
【図２４】第３部品検査カメラによる電子部品の側面の撮影動作を概略的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、添付した図面を参照して好適な実施例を説明する。
【実施例１】
【００３０】
図１は、本発明の一実施例に係る部品搭載装置を概略的に示した斜視図であり、図２は、本発明の一実施例に係る部品搭載装置において部品供給部からワークテーブルに部品が供給され、第１異物除去部にて電子部品の異物を除去する様子を図示した概略的な斜視図である。また、図３は、本発明の一実施例に係る部品搭載装置においてロータリーヘッドのノズルが電子部品を吸着する様子を示す概略的な斜視図である。
【００３１】
本実施例に係る部品搭載装置（１００）は、個々の単位で製造が完了した大量の電子部品を供給して、ロータリーヘッド（１７０）に電子部品を運搬した後、運搬された各電子部品を正確に整列した姿勢でトレイ（Ｔ）の部品搭載凹部（Ｇ）に搭載する機能を実行する装置である。
【００３２】
部品搭載装置（１００）は、部品供給部（１１０）、ワークテーブル（１２０）、第１ガイド部（１３０）、第２ガイド部（１４０）、部品認識部（１５０）、第１異物除去部（１６０）、ロータリーヘッド（１７０）、部品回収部（１７５）、第２異物除去部（１８０）、トレイ検査部（１９０）、トレイ支持部（１９７）、及び制御部（１９９）を含んでいる。
【００３３】
部品供給部（１１０）は、製造が完了した複数の電子部品をワークテーブル（１２０）に供給する機能を実行する。
【００３４】
部品供給部（１１０）は、供給台（Ｓ）に位置する電子部品をワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に供給するが、図２に示すように、部品供給部（１１０）の一端から電子部品（Ｐ）が排出され、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に電子部品（Ｐ）が位置することになる。
【００３５】
部品供給部（１１０）の構成としては公知の構成が適用可能であり、例えば、ロボットアームを用いた方式では、一端にて真空吸引した後、移送し、他端にて排出させる構成など様々な技術が適用可能である。
【００３６】
本実施例に係る部品搭載装置（１００）は部品供給部（１１０）を含むが、本発明はこれに限定されない。すなわち、本発明に係る部品搭載装置（１００）は、部品供給部（１１０）を含まない場合があり、その場合、ワークテーブル（１２０）への電子部品の供給は、作業者が手動で実行することができる。
【００３７】
ワークテーブル（１２０）は、部品供給部（１１０）から供給された電子部品（Ｐ）を移動させながら、部品認識作業及び部品吸着作業の作業テーブルとしての機能を実行する。
【００３８】
ワークテーブル（１２０）は、電子部品が置かれた作業面（１２１）と、作業面（１２１）を支持するテーブル支持部（１２２）を含んでいる。
【００３９】
作業面（１２１）は置かれた電子部品の選別を支援するために、伸縮自在な薄い弾性膜で構成することができる。その場合には、電子部品が作業面（１２１）の上に置かれた後、テーブル支持部（１２２）の内部に位置する伸張装置（図示せず）の作動により作業面（１２１）が伸張されることにより、作業面（１２１）の上に置かれた電子部品間の間隔が開き、その後の部品認識工程と部品吸着工程に助けを与えることになる。
【００４０】
テーブル支持部（１２２）は、作業面（１２１）を支持しながら、第１ガイド部（１３０）と結合してＹ軸方向に移動可能な構造を有する。例えば、第１ガイド部（１３０）には、ネジ棒が設置され、テーブル支持部（１２２）の下部には、そのネジ棒に挿入されるナットが設置され、ネジ棒の回転に応じて、テーブル支持部（１２２）が移動するように設定することができる。
【００４１】
また、第１ガイド部（１３０）は、ワークテーブル（１２０）とトレイ支持部（１９７）をＹ軸方向に移動可能な構成を有する。第１ガイド部（１３０）の構成は、制御部（１９９）の指示に従って、ワークテーブル（１２０）とトレイ支持部（１９７）をＹ軸方向に移動可能な構成を持つだけでよく、詳細な構造や移動方式等については特別な制限はない。例えば、第１ガイド部（１３０）の構成としては、広く知られている線形移動構造（ネジ−ナット結合移動構造、リニアモータの移動構造、コンベアベルトの構造等）を制限なく適用することができる。
【００４２】
第１ガイド部（１３０）は、ワークテーブル（１２０）をＹ軸方向に移動させるワークテーブルガイド部（１３１）と、トレイ支持部（１９７）をＹ軸方向に移動させるトレイガイド部（１３２）を含んでいる。
【００４３】
一方、第２ガイド部（１４０）は、部品認識部（１５０）、ロータリーヘッド（１７０）、及びトレイ検査部（１９０）をＸ軸方向に移動可能な構成を有する。
【００４４】
第２ガイド部（１４０）の構成は、制御部（１９９）の指示に基づいて部品認識部（１５０）、ロータリーヘッド（１７０）及びトレイ検査部（１９０）をＸ軸方向に移動可能な構成を持つだけでよく、詳細な構造や移動方式等については特別な制限はない。例えば、第２ガイド部（１４０）の構成としては、広く知られている線形移動構造（取り外し可能なガントリ構造、ガイドビームに設置されたローラーの移動構造、ネジ−ナット結合移動構造、リニアモータの移動構造、ロープ−プーリー結合移動構造等）を制限なく適用することができる。
【００４５】
第２ガイド部（１４０）は、部品認識部（１５０）とトレイ検査部（１９０）をＸ軸方向に移動させる前方ガイド部（１４１）と、ロータリーヘッド（１７０）をＸ軸方向に移動させる後方ガイド部（１４２）を含んでいる。
【００４６】
部品認識部（１５０）は、部品認識カメラ（１５１）と照明部（１５２）を含んでおり、前述したように、前方ガイド部（１４１）に沿ってＸ軸方向に移動できるように設置されている。
【００４７】
部品認識カメラ（１５１）は、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に置かれている複数の電子部品の画像を撮影する。制御部（１９９）は、部品認識カメラ（１５１）の撮影画像を利用して、複数の電子部品のそれぞれのＸ軸とＹ軸の位置と、回転した角度（θ）を算出することができる。
【００４８】
照明部（１５２）は、部品認識カメラ（１５１）が電子部品を撮影するのに十分な照明光を提供する。
【００４９】
第１異物除去部（１６０）は、ワークテーブルガイド部（１３１）の近くに配置され、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に位置する電子部品に付着したホコリなどの異物を除去する。
【００５０】
第１異物除去部（１６０）は、第１空気ブローノズル（１６１）と、第１真空吸引部（１６２）を含み、第１空気ブローノズル（１６１）の端部は、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）を向くように設置されており、第１真空吸引部（１６２）の端部もワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）を向くように設置されている。ワークテーブル（１２０）が第１異物除去部（１６０）を経由（通過）するときに、制御部（１９９）は、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）の方向に第１空気ブローノズル（１６１）に空気を勢いよく噴出させ、電子部品に付着したホコリなどの異物を飛ばして、第１真空吸引部（１６２）は、その異物を吸引する作業を行う。
【００５１】
本実施例に係る部品搭載装置（１００）は第１異物除去部（１６０）を含んでいるが、本発明はこれに限定されない。すなわち、本発明に係る部品搭載装置（１００）は第１異物除去部（１６０）を含まない場合がある。
【００５２】
ロータリヘッド（１７０）は、円周方向に沿って配置される複数のノズル（１７１）を備えており、前述したように、後方ガイド部（１４２）に沿ってＸ軸方向に移動できるように設置される。
【００５３】
図３に示すように、ロータリヘッド（１７０）の構成としては、通常のチップマウンタ（部品装着装置）に使用されるロータリーヘッドの構成が適用可能である。ロータリーヘッド（１７０）は、電子部品の位置に対応する位置に移動した後、ロータリーヘッド（１７０）のノズル（１７１）を下降させて、真空吸引力でワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に置かれている電子部品を吸着（ピックアップ）する。その後、トレー（Ｔ）に電子部品を搭載する場合には、ノズル（１７１）内の真空を破壊して電子部品をトレー（Ｔ）の部品搭載凹部（Ｇ）に置くことができる。
【００５４】
部品回収部（１７５）は、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に配置された電子部品の中で、ロータリーヘッド（１７０）によって運搬されない電子部品を回収する装置であって、ワークテーブルガイド部（１３１）の近くに設置されている。
【００５５】
部品回収部（１７５）の構造は、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に残っている電子部品を除去することができる構造であればよく、その他の構成に特別な制限はない。例えば、部品回収部（１７５）は、真空によって電子部品を吸引させる構成を有することもできる。
【００５６】
第２異物除去部（１８０）は、後方ガイド部（１４２）の近くに配置され、ロータリーヘッド（１７０）のノズル（１７１）に吸着された電子部品に付着したホコリなどの異物を除去する。
【００５７】
第２異物除去部（１８０）は、第２空気ブローノズル（１８１）と第２真空吸引部（１８２）を含み、第２空気ブローノズル（１８１）の端部は、ロータリーヘッド（１７０）を向くように設置されており、第２真空吸引部（１８２）の端部もロータリーヘッド（１７０）を向くように設置されている。ロータリーヘッド（１７０）が第２異物除去部（１８０）を経由（通過）するときに、制御部（１９９）は、ノズル（１７１）に吸着された電子部品の方向に第２空気ブローノズル（１８１）から空気を勢いよく噴出させ、電子部品に付着したホコリなどの異物を飛ばして、第２真空吸引部（１８２）は、その異物を吸引する作業を行う。
【００５８】
本実施例に係る部品搭載装置（１００）は第２異物除去部（１８０）を含んでいるが、本発明はこれに限定されない。すなわち、本発明に係る部品搭載装置（１００）は、第２異物除去部（１８０）を含まない場合がある。
【００５９】
トレイ検査部（１９０）は、トレイ検査カメラ（１９１）と照明部（１９２）を含んでおり、前述したように、前方ガイド部（１４１）に沿ってＸ軸方向に移動できるように設置される。
【００６０】
トレイ検査カメラ（１９１）は、トレイ支持部（１９７）に置かれているトレイ（Ｔ）の上面の画像を撮影する。制御部（１９９）は、トレイ検査カメラ（１９１）の撮影画像を利用して、トレイ（Ｔ）の部品搭載凹部（Ｇ）に電子部品が欠落しているかどうか、及び各電子部品が部品搭載凹部（Ｇ）に整合して搭載されているかどうかを判断することができる。
【００６１】
照明部（１９２）は、トレイ検査カメラ（１９１）がトレイ（Ｔ）の上面を撮影するのに十分な照明光を提供する。
【００６２】
制御部（１９９）は、部品搭載装置（１００）を構成するデバイス（構成要素）の制御を実行する。制御部（１９９）は、集積回路チップ、回路基板等の回路デバイスと運用プログラム等を含んで構成することができる。
【００６３】
以下、図１から図９を参照して、以上で説明した部品搭載装置（１００）を用いた部品搭載方法について説明する。
【００６４】
図４から図７は、本発明の一実施例に係る部品搭載装置が作動する様子を順次示した概略的な斜視図であるが、そのうち図５及び図６においては、便宜上、前方ガイド部、部品認識部及びトレイ検査部を除いて示した。また、図８は、本発明の一実施例に係るロータリーヘッドのノズルが電子部品をトレイの部品搭載凹部に配置する様子を図示した概略的な斜視図であり、図９は、本発明の一実施例に係る部品搭載装置において電子部品が搭載されたトレイを移動させて搭載不良かどうかを検査する様子を図示した概略的な斜視図である。
【００６５】
まず、制御部（１９９）は、事前に入力されたプログラムにより、部品供給部（１１０）を駆動させ、供給台（Ｓ）に位置する電子部品をワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に積載する。図１及び図２に示すように、部品供給部（１１０）の一端から電子部品が排出され、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に電子部品が置かれる。
【００６６】
続いて制御部（１９９）は、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）方向に第１空気ブローノズル（１６１）から空気を勢いよく吹き出させ、電子部品に付着したホコリなどの異物を飛ばす。第１真空吸引部（１６２）は、その異物を吸引する。つまり、電子部品には、部品の分離過程で部品の一部やセラミック粉末が混入されて付着することがあるが、このような異物は、部品認識工程での認識精度を低下させ、その後の工程にも不良を起こすことがあるので、この工程において異物を除去する。
【００６７】
続いてワークテーブル（１２０）は、ワークテーブルガイド部（１３１）によってＹ軸の正の方向に移動し、図４に示すように、部品認識部（１５０）の下方に到達する。ワークテーブル（１２０）が部品認識部（１５０）の下方に到達すると、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）が伸張され、電子部品間の間隔が開いて撮影が容易な状態になる。続いて照明部（１５２）は照明光を照射し、部品認識カメラ（１５１）はワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に置かれている複数の電子部品の画像を撮影する。制御部（１９９）は、部品認識カメラ（１５１）の撮影画像を利用して、複数の電子部品のそれぞれのＸ軸とＹ軸の位置と、回転した角度（θ）を算出することができる。
【００６８】
部品認識部（１５０）がワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に置かれている電子部品を撮影した後、ワークテーブル（１２０）は、ワークテーブルガイド部（１３１）によって再びＹ軸の正の方向に移動して、図５に示すように、後方ガイド部（１４２）の下方近傍に到達する。併せて、ロータリーヘッド（１７０）は、後方ガイド部（１４２）に沿ってＸ軸の負の方向に移動して、ワークテーブル（１２０）の上方に移動する。
【００６９】
ロータリーヘッド（１７０）は、制御部（１９９）の指示に従って、具備しているノズル（１７１）を使用してワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に置かれている電子部品を吸着する。つまり、制御部（１９９）の指示に従って、ロータリーヘッド（１７０）が回転しながら、複数のノズル（１７１）は、それぞれ一つの電子部品を吸着する。
【００７０】
ロータリーヘッド（１７０）は、電子部品を吸着した後は、図６に示すように、後方ガイド部（１４２）に沿ってＸ軸の正の方向に移動して第２異物除去部（１８０）の上方に到達する。
【００７１】
続いて制御部（１９９）は、ノズル（１７１）に吸着された電子部品の方向に第２空気ブローノズル（１８１）から空気を勢いよく吹き出させ、電子部品に付着したホコリなどの異物を飛ばす。そして第２真空吸引部（１８２）が、その異物を吸引することにより、以後の工程で異物が除去されたクリーンな電子部品をトレー（Ｔ）に搭載することができるようになる。異物が除去されたクリーンな電子部品が搭載されたトレイ（Ｔ）は、トレー（Ｔ）を購入したり、供給を受けるユーザーの立場では、不良発生を防ぐことができるので、このような製品が好まれる。
【００７２】
一方、ノズル（１７１）によって吸着されなかった電子部品が残っているワークテーブル（１２０）は、ワークテーブルガイド部（１３１）に沿ってＹ軸の負の方向に移動し、部品回収部（１７５）の下方に到達し、部品回収部（１７５）は、ワークテーブル（１２０）に残っている電子部品を回収する。
【００７３】
続いてロータリーヘッド（１７０）は、後方ガイド部（１４２）に沿ってＸ軸の正の方向にさらに移動して、図７に示すように、トレイ支持部（１９７）に配置されたトレイ（Ｔ）の上方に到達する。
【００７４】
続いて図８に示すように、ロータリヘッド（１７０）は、制御部（１９９）の指示に基づいて、ノズル（１７１）に吸着された電子部品をトレー（Ｔ）の部品搭載凹部（Ｇ）に置く。
【００７５】
トレイ（Ｔ）の部品搭載凹部（Ｇ）に電子部品がすべて搭載された後、制御部（１９９）は、トレイ検査部（１９０）をトレイガイド部（１３２）に向かって移動させるとともに、トレイ支持部（１９７）をトレイガイド部（１３２）に沿ってＹ軸の負の方向に移動させて、図９に示すように、トレイ（Ｔ）をトレイ検査部（１９０）の下方に位置させる。
【００７６】
トレイ検査部（１９０）の照明部（１９２）は照明光を照射し、トレイ検査カメラ（１９１）はトレイ支持部（１９７）に置かれているトレイ（Ｔ）の上面の画像を撮影する。制御部（１９９）は、トレイ検査カメラ（１９１）の撮影画像を利用して、トレイ（Ｔ）の部品搭載凹部（Ｇ）に電子部品が欠落しているかどうか、及び各電子部品が部品搭載凹部（Ｇ）に整合しているかどうかを判断し、もし不良が見つかった場合、警告音を発生させる。
【００７７】
以上のように、本実施例に係る部品搭載装置（１００）は、電子部品をトレー（Ｔ）に運搬するために、円周方向に沿って配置される複数のノズル（１７１）を具備するロータリーヘッド（１７０）を使用するので、小さい体積のロータリーヘッド（１７０）にて多量の電子部品を効率的に運搬することができる、これにより、運搬（持ち運び距離）を短縮して、すぐに次工程を進めることができる。併せて、部品搭載装置（１００）の全体のサイズを縮小し、設置スペースを削減することができる。
【００７８】
また、本実施例に係る部品搭載装置（１００）は、第１異物除去部（１６０）と第２異物除去部（１８０）を利用して、電子部品に付着した異物を確実に除去することにより、各工程の信頼性を高め、最終的には、異物が除去されたクリーンな電子部品をトレー（Ｔ）に搭載することができる。異物が除去されたクリーンな電子部品が搭載されたトレイ（Ｔ）は、以後の工程で不良発生を防ぐことができるので、商品性が高められる。
【実施例２】
【００７９】
図１０は、本発明の他の実施例に係る部品搭載装置を概略的に示した斜視図であり、図１１は、本実施例に係る部品搭載装置において部品供給部からワークテーブルに部品が供給される様子を図示した概略的な斜視図、図１２は、本実施例に係る部品搭載装置においてロータリーヘッドのノズルが電子部品を吸着する様子を示す概略的な斜視図である。
【００８０】
本実施例に係る部品搭載装置（１００）は、個々の単位で製造が完了した大量の電子部品の供給を受け、不良品を検出し、品質が良好である電子部品（良品）のみを選別した後、選別された電子部品を正確に整列した姿勢でトレイ（Ｔ）に積載する機能を実行する装置である。
【００８１】
部品搭載装置（１００）は、部品供給部（１１０）、ワークテーブル（１２０）、第１ガイド部（１３０）、第２ガイド部（１４０）、部品認識部（１５０）、第１部品検査部（１６０）、ロータリーヘッド（１７０）、部品回収部（１７５）、第２部品検査部（１８０）、トレイ検査部（１９０）、ダンプボックス（１９５）、トレイ支持部（１９７）、及び制御部（１９９）を含んでいる。
【００８２】
部品供給部（１１０）は、製造が完了した複数の電子部品をワークテーブル（１２０）に供給する機能を実行する装置である。
【００８３】
部品供給部（１１０）は、供給台（Ｓ）に位置する電子部品をワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に供給するが、図１１に示すように、部品供給部（１１０）の一端から電子部品が排出され、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に電子部品が位置することになる。
【００８４】
部品供給部（１１０）の構成としては公知の構成が適用可能であり、例えば、ロボットアームを用いた方式では、一端にて真空吸引した後、移送し、他端にて排出させる構成など様々な技術が適用可能である。
【００８５】
本実施例に係る部品搭載装置（１００）は部品供給部（１１０）を含むが、本発明はこれに限定されない。すなわち、本発明に係る部品搭載装置（１００）は、部品供給部（１１０）を含まない場合があり、その場合、ワークテーブル（１２０）への電子部品の供給は、作業者が手動で実行することができる。
【００８６】
一方、ワークテーブル（１２０）は、部品供給部（１１０）から供給された電子部品（Ｐ）を移動させながら、部品認識作業及び部品吸着作業の作業テーブルとしての機能を実行する。
【００８７】
ワークテーブル（１２０）は、電子部品が置かれた作業面（１２１）と、作業面（１２１）を支持するテーブル支持部（１２２）を含んでいる。
【００８８】
作業面（１２１）は置かれた電子部品の選別を支援するために、伸縮自在な薄い弾性膜で構成することができる。その場合には、電子部品が作業面（１２１）の上に置かれた後、テーブル支持部（１２２）の内部に位置する伸張装置（図示せず）の作動により作業面（１２１）が伸張されることにより、作業面（１２１）の上に置かれた電子部品間の間隔が開き、その部品認識工程と部品吸着工程に助けを与えることになる。
【００８９】
テーブル支持部（１２２）は、作業面（１２１）を支持しながら、第１ガイド部（１３０）と結合してＹ軸方向に移動可能な構造を有する。例えば、第１ガイド部（１３０）には、ネジ棒が設置され、テーブル支持部（１２２）の下部には、そのネジ棒に挿入されるナットが設置され、ネジ棒の回転に応じて、テーブル支持部（１２２）が移動するように設定することができる。
【００９０】
また、第１ガイド部（１３０）は、ワークテーブル（１２０）とトレイ支持部（１９７）をＹ軸方向に移動可能な構成を有する。第１ガイド部（１３０）の構成は、制御部（１９９）の指示に従って、ワークテーブル（１２０）とトレイ支持部（１９７）をＹ軸方向に移動可能な構成を持つだけでよく、詳細な構造や移動方式等については特別な制限はない。例えば、第１ガイド部（１３０）の構成としては、広く知られている線形移動構造（ネジ−ナット結合移動構造、リニアモータの移動構造、コンベアベルトの構造等）を制限なく適用することができる。
【００９１】
第１ガイド部（１３０）は、ワークテーブル（１２０）をＹ軸方向に移動させるワークテーブルガイド部（１３１）と、トレイ支持部（１９７）をＹ軸方向に移動させるトレイガイド部（１３２）を含んでいる。
【００９２】
一方、第２のガイド部（１４０）は、部品認識部（１５０）、第１部品検査部（１６０）、ロータリーヘッド（１７０）、トレイ検査部（１９０）をＸ軸方向に移動可能な構成を有する。
【００９３】
第２のガイド部（１４０）の構成は、制御部（１９９）の指示に基づいて部品認識部（１５０）、第１部品検査部（１６０）、ロータリーヘッド（１７０）及びトレイ検査部（１９０）をＸ軸方向に移動可能な構成を持つだけでよく、詳細な構造や移動方式等については特別な制限はない。例えば、第２ガイド部（１４０）の構成としては、広く知られている線形移動構造（取り外し可能なガントリ構造、ガイドビームに設置されたローラーの移動構造、ネジ−ナット結合移動構造、リニアモータの移動構造、ロープ−プーリー結合移動構造等）を制限なく適用することができる。
【００９４】
第２のガイド部（１４０）は、部品認識部（１５０）及びトレイ検査部（１９０）をＸ軸方向に移動させる前方ガイド部（１４１）と、第１部品検査部（１６０）及びロータリーヘッド（１７０）をＸ軸方向に移動させる後方ガイド部（１４２）を含んでいる。
【００９５】
部品認識部（１５０）は、部品認識カメラ（１５１）と照明部（１５２）を含んでおり、前述したように、前方ガイド部（１４１）に沿ってＸ軸方向に移動できるように設置されている。
【００９６】
部品認識カメラ（１５１）は、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に置かれている複数の電子部品の画像を撮影する。制御部（１９９）は、部品認識カメラ（１５１）の撮影画像を利用して、複数の電子部品のそれぞれのＸ軸とＹ軸の位置と、回転した角度（θ）を算出することができる。
【００９７】
照明部（１５２）は、部品認識カメラ（１５１）が電子部品を撮影するのに十分な照明光を提供する。
【００９８】
第１部品検査部（１６０）は、第１部品検査カメラ（１６１）と照明部（１６２）を含んでおり、前述したように、後方ガイド部（１４２）に沿ってＸ軸方向に移動できるように設置されている。
【００９９】
第１部品検査カメラ（１６１）は、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に配置されている複数の電子部品の画像を撮影する。制御部（１９９）は、第１部品検査カメラ（１６１）の撮影画像を利用して、複数の電子部品のそれぞれの表面検査を行って良品と不良品とを選別し、また、個々の電子部品の重心位置を求めることができる。
【０１００】
照明部（１６２）は、第１部品検査カメラ（１６１）が電子部品を撮影するのに十分な照明光を提供する。
【０１０１】
ロータリヘッド（１７０）は、円周方向に沿って配置される複数のノズル（１７１）を備えており、前述したように、後方ガイド部（１４２）に沿ってＸ軸方向に移動できるように設置される。
【０１０２】
図１２に示すように、ロータリヘッド（１７０）の構成としては、通常のチップマウンタ（部品装着装置）に使用されるロータリーヘッドの構成が適用可能である。ロータリーヘッド（１７０）は、電子部品の位置に対応する位置に移動した後、ロータリーヘッド（１７０）のノズル（１７１）を下降させて、真空吸引力でワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に置かれている電子部品を吸着（ピックアップ）する。その後、トレー（Ｔ）に電子部品を搭載する場合には、ノズル（１７１）内の真空を破壊して電子部品をトレー（Ｔ）の部品搭載凹部（Ｇ）に置くことができる。
【０１０３】
部品回収部（１７５）は、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に配置された電子部品の中で、ロータリーヘッド（１７０）によって運搬されない電子部品を回収する装置であって、ワークテーブルガイド部（１３１）の近くに設置されている。
【０１０４】
部品回収部（１７５）の構造は、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に残っている電子部品を除去することができる構造であればよく、その他の構成に特別な制限はない。例えば、部品回収部（１７５）は、真空によって電子部品を吸引させる構成を有することもできる。
【０１０５】
第２部品検査部（１８０）は、第２部品検査カメラ（１８１）と照明部（１８２）を含み、後方ガイド部（１４２）の近くに設置されている。
【０１０６】
第２部品検査カメラ（１８１）は、ノズル（１７１）の一端に吸着された電子部品の表面（下側の面）を撮影する。制御部（１９９）は、第２部品検査カメラ（１８１）の撮影画像を利用して、複数の電子部品のそれぞれの表面検査を実行して、良品と不良品を選別する。
【０１０７】
照明部（１８２）は、第２部品検査カメラ（１８１）が電子部品を撮影するのに十分な照明光を提供する。
【０１０８】
トレイ検査部（１９０）は、トレイ検査カメラ（１９１）と照明部（１９２）を含んでおり、前述したように、前方ガイド部（１４１）に沿ってＸ軸方向に移動できるように設置される。
【０１０９】
トレイ検査カメラ（１９１）は、トレイ支持部（１９７）に置かれているトレイ（Ｔ）の上面の画像を撮影する。制御部（１９９）は、トレイ検査カメラ（１９１）の撮影画像を利用して、トレイ（Ｔ）の部品搭載凹部（Ｇ）に電子部品が欠落しているかどうか、及び各電子部品が部品搭載凹部（Ｇ）に整合して搭載されていることかどうかを判断することができる。
【０１１０】
照明部（１９２）は、トレイ検査カメラ（１９１）がトレイ（Ｔ）の上面を撮影するのに十分な照明光を提供する。
【０１１１】
ダンプボックス（１９５）は、第２部品検査部（１８０）で撮影された画像を基にして不良品と判定された電子部品を回収するボックスである。つまり、制御部（１９９）は、第２部品検査部（１８０）が電子部品を撮影した画像を分析して、電子部品を良品と不良品とに選別し、良品の電子部品についてはトレイ（Ｔ）に搭載し、不良の電子部品についてはロータリーヘッド（１７０）をダンプボックス（１９５）の上方に移動させて不良の電子部品を回収する。
【０１１２】
制御部（１９９）は、部品搭載装置（１００）を構成するデバイス（構成要素）の制御を実行する。制御部（１９９）は、集積回路チップ、回路基板等の回路デバイスと運用プログラム等を含んで構成することができる。
【０１１３】
以下、図１０から図１９を参照して、以上で説明した本実施例に係る部品搭載装置（１００）を用いた部品搭載方法について説明する。
【０１１４】
図１３から図１７は、本実施例に係る部品搭載装置が作動する様子を順次示した概略的な斜視図であるが、そのうち図１４から図１６においては、便宜上、前方ガイド部、部品認識部及びトレイ検査部を除いて示した。また、図１８は、本実施例に係る部品搭載装置のロータリーヘッドのノズルが電子部品をトレイの部品搭載凹部に配置する様子を図示した概略的な斜視図であり、図１９は、本実施例に係る部品搭載装置において電子部品が搭載されたトレイを移動させて搭載不良かどうかを検査する様子を図示した概略的な斜視図である。
【０１１５】
まず、制御部（１９９）は、事前に入力されたプログラムによって部品供給（１１０）を駆動させ、供給台（Ｓ）に位置する電子部品をワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に積載する。図１０及び図１１に示すように、部品供給部（１１０）の一端から電子部品が排出され、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に電子部品が置かれる。なお、本実施例において図面には示されていないが、このとき、先の実施例（実施例１）で説明した「第１異物除去部」を使用することで、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に位置する電子部品に付着しているホコリなどの異物を除去することもできる。つまり、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）の方向に第１空気ブローノズルから空気を勢いよく噴出し、電子部品に付着しているホコリなどの異物を飛ばして、第１真空吸引部にてその異物を吸引することにより、以後の部品認識及び検査工程での精度を高めることができ、電子部品の不良率も減らすことができる。
【０１１６】
続いて、ワークテーブル（１２０）は、ワークテーブルガイド部（１３１）によってＹ軸の正の方向に移動し、図１３に示すように、部品認識部（１５０）の下方に到達する。ワークテーブル（１２０）が部品認識部（１５０）の下方に到達すると、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）が伸張され、電子部品間の間隔が開いて撮影が容易な状態になる。続いて、照明部（１５２）は照明光を照射し、部品認識カメラ（１５１）は、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に置かれている複数の電子部品の画像を撮影する。制御部（１９９）は、部品認識カメラ（１５１）の撮影画像を利用して、複数の電子部品のそれぞれのＸ軸とＹ軸の位置と、回転した角度（θ）を算出することができる。
【０１１７】
部品認識部（１５０）がワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に置かれている電子部品を撮影した後、ワークテーブル（１２０）は、ワークテーブルガイド部（１３１）によって再びＹ軸の正の方向に移動して、図１４に示すように、後方ガイド部（１４２）の下方近傍に到達する。
【０１１８】
一方、第１部品検査部（１６０）は、後方ガイド部（１４２）に沿ってＸ軸の負の方向に移動し、ワークテーブル（１２０）の上方に移動する。続いて、照明部（１６２）は照明光を照射し、第１部品検査カメラ（１６１）はワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に置かれている複数の電子部品の画像を撮影し、制御部（１９９）は第１部品検査カメラ（１６１）の撮影画像を利用して、複数の電子部品のそれぞれの表面検査を実行し、良品と不良品とを選別するとともに、個々の電子部品の重心位置を求める（第１次部品検査段階）。
【０１１９】
第１部品検査部（１６０）は、ワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に置かれている電子部品を撮影した後、図１５に示すように、後方ガイド部（１４２）に沿ってＸ軸の負の方向に移動する。さらに、ロータリーヘッド（１７０）は、後方ガイド部（１４２）に沿ってＸ軸の負の方向に移動し、ワークテーブル（１２０）の上方に移動する。
【０１２０】
ロータリーヘッド（１７０）は、制御部（１９９）の指示に従って、具備しているノズル（１７１）を使用してワークテーブル（１２０）の作業面（１２１）に置かれている電子部品を吸着する。つまり、制御部（１９９）の指示に従って、ロータリーヘッド（１７０）が回転しながら、複数のノズル（１７１）は、それぞれ一つの電子部品を吸着する。このとき、制御部（１９９）は、第１部品検査部（１６０）が撮影した画像に基づいて決定された良品の部品のみがノズル（１７１）に吸着されるように制御する。
【０１２１】
ロータリーヘッド（１７０）は、電子部品を吸着した後は、図１６に示すように、後方ガイド部（１４２）に沿ってＸ軸の正の方向に移動して第２部品検査部（１８０）の上方に到達する。
【０１２２】
第２の部品検査部（１８０）の照明部（１８２）は照明光を照射し、第２部品検査カメラ（１８１）は、ノズル（１７１）の一端に吸着された電子部品の表面（下側の面）を上向きに撮影する。このように下から上向きに撮影することで、前述した第１次部品検査段階で実行していなかった電子部品の下面も撮影することができ、不良品の選別がより正確になる。制御部（１９９）は、第２部品検査カメラ（１８１）の撮影画像を利用して、各ノズル（１７１）に吸着された複数の電子部品の表面検査を実行して、良品と不良品とを選別する（第２次部品検査段階）。なお、本実施例では図面に示さなかったが、この撮影前に、先の実施例（実施例１）で説明した「第２異物除去部」を使用することで、電子部品に付着しているホコリなどの異物を除去することもできる。つまり、ノズル（１７１）の一端に吸着された電子部品の方向に第２空気ブローノズルから空気を勢いよく噴出し、電子部品に付着しているホコリなどの異物を飛ばして、第２真空吸引部にてその異物を吸引することにより、検査工程での精度を高めることができ、電子部品の不良率も減らすことができる。
【０１２３】
ここで、第２部品検査カメラ（１８１）の撮影時に、もしノズル（１７１）に吸着された電子部品の厚さが過剰に薄かったり、あるいは逆に厚かったりして、第２部品検査カメラ（１８１）の焦点が合わない場合には、制御部（１９９）は、電子部品を吸着するノズル（１７１）の高さを適切に調整して焦点（ピント）を合わせて撮影することができる。このほか、第２部品検査カメラ（１８１）に別々の焦点調整機構を備えてもよい。
【０１２４】
一方、不良品のためノズル（１７１）によって吸着されてなかった電子部品が残っているワークテーブル（１２０）は、ワークテーブルガイド部（１３１）に沿ってＹ軸の負の方向に移動し、部品回収部（１７５）の下方に到達し、部品回収部（１７５）は、ワークテーブル（１２０）に残っている不良品を回収する。
【０１２５】
続いてロータリーヘッド（１７０）は、後方ガイド部（１４２）に沿ってＸ軸の正の方向にさらに移動して、図１７に示すように、トレイ支持部（１９７）に配置されたトレイ（Ｔ）の上方に到達する。
【０１２６】
続いて、図１８に示すように、ロータリヘッド（１７０）は、制御部（１９９）の指示に基づいて、ノズル（１７１）に吸着された電子部品のうち、良品の部品だけをトレー（Ｔ）の部品搭載凹部（Ｇ）に置く。つまり、制御部（１９９）は、第２部品検査カメラ（１８１）の撮影画像を利用して、複数の電子部品のそれぞれの表面検査（第２次部品検査段階）を実行して良品と不良品とを選別した結果、良品であることが判明した部品のみをトレイ（Ｔ）の部品搭載凹部（Ｇ）に配置する。
【０１２７】
ロータリーヘッド（１７０）は、ノズル（１７１）に吸着された電子部品のうち良品の部品のみをトレー（Ｔ）の部品搭載凹部（Ｇ）に置いた後、後方ガイド部（１４２）に沿ってＸ軸の正の方向にさらに移動して、ダンプボックス（１９５）の上方まで移動する。続いて、ノズル（１７１）に吸着されている不良の電子部品をダンプボックス（１９５）に落とし、不良の電子部品を回収し、廃棄する。
【０１２８】
トレイ（Ｔ）の部品搭載凹部（Ｇ）に電子部品がすべて配置された後、制御部（１９９）は、トレイ検査部（１９０）をトレイガイド部（１３２）に向かって移動させるとともに、トレイ支持部（１９７）をトレイガイド部（１３２）に沿ってＹ軸の負の方向に移動させて、図１９に示すように、トレイ（Ｔ）をトレイ検査部（１９０）の下方に位置させる。
【０１２９】
トレイ検査部（１９０）の照明部（１９２）は、照明光を照射し、トレイ検査カメラ（１９１）は、トレイ支持部（１９７）に置かれているトレイ（Ｔ）の上面の画像を撮影する。制御部（１９９）は、トレイ検査カメラ（１９１）の撮影画像を利用して、トレイ（Ｔ）の部品搭載凹部（Ｇ）に電子部品が欠落しているかどうか、及び各電子部品が部品搭載凹部（Ｇ）に整合しているかどうかを判断し、もし不良が見つかった場合、警告音を発生させる。
【０１３０】
以上のように、本実施例に係る部品搭載装置（１００）は、トレー（Ｔ）に電子部品を搭載する前に、第１部品検査部（１６０）及び第２部品検査部（１８０）を用いた外観検査を介して電子部品の不良を判断し、良品の電子部品だけをトレー（Ｔ）に搭載する。これにより、搭載工程後に、電子部品の不良を判断する工程が不要となり、全体的な工程が単純になり、それに応じて搭載コストを削減することができる。
【０１３１】
また、本実施例に係る部品搭載装置（１００）では、ロータリーヘッド（１７０）のノズル（１７１）が電子部品を吸着する前に、第１部品検査部（１６０）を利用した第１次部品検査段階を経て、ロータリーヘッド（１７０）のノズル（１７１）が電子部品を吸着した後、第２部品検査部（１８０）を用いた第２次部品検査の段階を踏むように外観検査（スキャン）を実行するので、電子部品のすべての表面（上面及び下面）を撮影し、不良かどうかを判断することができる。これにより、トレイ（Ｔ）に搭載される電子部品が不良かどうかをより確実に判断することができ、トレイ（Ｔ）の不良率を減らすことができる。
【０１３２】
また、本実施例に係る部品搭載装置（１００）は、電子部品をトレー（Ｔ）に運搬するために、円周方向に沿って配置される複数のノズル（１７１）を具備するロータリーヘッド（１７０）を使用するので、小さい体積のロータリーヘッド（１７０）にて多量の電子部品を効率的に運搬することができる。これにより、部品搭載装置（１００）の全体のサイズを減らし、設置スペースを削減することができる。
【実施例３】
【０１３３】
図２０は、本発明のさらに他の実施例に係る部品搭載装置の要部を概略的に示した斜視図であり、図２１は、本実施例に係る部品搭載装置において使用したロータリーヘッドを概略的に示した断面図である。
【０１３４】
本実施例に係る部品搭載装置（１００）は、先の実施例（実施例２）に係る部品搭載装置の第２部品検査部（１８０）に第３部品検査カメラ（１８３）を付加することにより、電子部品の下面に加え側面の撮影も行うことができるようにしたものである。
【０１３５】
まず、図２１を参照して、本実施例に係る部品搭載装置（１００）において使用したロータリーヘッド（１７０）の構成を説明する。
【０１３６】
ロータリーヘッド（１７０）は、中央の回転軸（１７２）周り（Ｒ方向）に回転する円筒状の回転ヘッド（１７３）を有する。回転ヘッド（１７３）には、その周方向に沿って等間隔で複数本のノズルシャフト（１７４）が設けられており、各ノズルシャフト（１７４）の下端にノズル（１７１）が着脱自在に取り付けられている。各ノズルシャフト（１７４）はその軸心周り（Ｔ方向）に回転可能であり、基準位置Ｓに位置するノズルシャフト（１７４）は、押圧具（１７５）を下降させることで下降し、押圧具（１７５）を元の位置に戻すことで、図２１の初期位置に復帰する。すなわち、各ノズルシャフト（１７４）及びノズル（１７１）は回転ヘッド（１７３）の回転より、順次、基準位置Ｓに到来し、この基準位置ＳにおいてＺ方向に昇降可能となっている。そして、この基準位置Ｓにおいてノズル（１７１）を下降させて、真空吸引力で電子部品を吸着し、また、真空を破壊して電子部品を置くことができる。
【０１３７】
次に、図２０を参照して、第２部品検査部（１８０）の構成について説明する。第２部品検査部（１８０）は、先の実施例（実施例２）で説明した第２部品検査カメラ（１８１）及び照明部（１８２）に加え、第３部品検査カメラ（１８３）、照明部（１８４）及びミラー部（１８５）を含み、部品搭載装置（１００）のベース部に固定的に設置されている。
【０１３８】
第２部品検査カメラ（１８１）は、先の実施例（実施例２）で説明したようにノズル（１７１）に吸着された電子部品（Ｐ）の下面を撮影する。一方、第３部品検査カメラ（１８３）は、ノズル（１７１）に吸着された電子部品（Ｐ）の側面、より具体的にはロータリーヘッド（１７０）の通過方向（Ｘ方向）に対面する電子部品（Ｐ）の側面を撮影する。
【０１３９】
図２２（ａ）は、第３部品検査カメラ（１８３）の光学系を概略的に示した平面図、図２２（ｂ）は図２２（ａ）のＡ方向矢視に相当する図である。図２２（ａ）に示すように、第３部品検査カメラ（１８３）と照明部（１８４）の光学経路（光軸）はＸ方向（ロータリーヘッド（１７０）の通過方向）と直交し、ミラー部（１８５）によってその光学経路がＸ方向の平行となるように構成されている。すなわち、このような光学系により、第３部品検査カメラ（１８３）は、電子部品（Ｐ）のＸ方向に対面する側面Ｐ１を撮影することができる。
【０１４０】
また、図２２（ａ）のように、第３部品検査カメラ（１８３）と照明部（１８４）の光学経路をＸ方向と交差するように配置すると、これらをＸ方向に平行に配置する場合に比べ、部品搭載装置がＸ方向に拡大することを抑制することができる。
【０１４１】
なお、電子部品（Ｐ）の側面を撮影後、ロータリーヘッド（１７０）が次工程のためにＸ方向（図中では右方向）に移動する際は、図２２（ｂ）に示すようにノズル（１７１）に吸着された電子部品（Ｐ）がミラー部（１８５）と干渉しないようにノズル（１７１）をＺ方向に上昇させて逃がす必要がある。このＺ方向のストロークには制限があるので、ミラー部（１８５）を含む第３部品検査カメラ（１８３）の光学系の高さ寸法は、Ｚ方向のストロークより低くする必要がある。
【０１４２】
図２３は、第３部品検査カメラ（１８３）の光学系の他の例を概略的に示した平面図である。同図のように、第３部品検査カメラ（１８３）と照明部（１８４）の光学経路を傾斜（例えば４５度傾斜）させて配置すれば、ミラー部を使用することなく第３部品検査カメラ（１８３）と照明部（１８４）の光学経路をＸ方向と交差するように配置することもできる。この場合、電子部品（Ｐ）の側面Ｐ１を上記光学経路と対向するように向けることで、当該側面Ｐ１を撮影する。
【０１４３】
ここで、図２３のように光学経路を傾斜させて配置すると、ノズル（１７１）に吸着された電子部品（Ｐ）がＸ方向に移動する際、第３部品検査カメラ（１８３）の光学系が電子部品（Ｐ）と干渉しないようにすることができる。そうすると、第３部品検査カメラ（１８３）の光学系の高さ寸法は、図２２（ｂ）で説明したＺ方向のストロークの制約を受けない。したがって、より高性能な光学系を配置することも可能となる。
【０１４４】
図２４は、第３部品検査カメラ（１８３）による電子部品（Ｐ）の側面（Ｐ１−１〜Ｐ１−４）の撮影動作を概略的に示す説明図である。
【０１４５】
図２４とともに図２１を参照しつつ説明すると、動作の一例として、ロータリーヘッド（１７０）のノズル（１７１）に吸着された電子部品（Ｐ）の側面（Ｐ１−１）が第３部品検査カメラ（１８３）の光学系の焦点距離位置に来るように、ロータリーヘッド（１７０）がＸ方向に移動する。この位置でロータリーヘッド（１７０）は撮影したい側面（Ｐ１−１）がＸ方向と直交（対面）するようにノズル（１７１）をＴ方向に回転させ、その後、第３部品検査カメラ（１８３）の撮影範囲までＺ方向に下降させる。そして、第３部品検査カメラ（１８３）が側面（Ｐ１−１）を撮影する。
【０１４６】
その側面（Ｐ１−１）の撮影が終わると、ロータリーヘッド（１７０）は、当該ノズル（１７１）をＺ方向に上昇させ、次のノズル（１７１）が撮影位置に来るようにＲ方向に回転する。そして、当該ノズル（１７１）に吸着された電子部品（Ｐ）の側面（Ｐ１−１）を上述の要領で撮影する。この動作をノズル（１７１）の個数分繰り返して側面（Ｐ１−１）の撮影を完了する。
【０１４７】
同様にして、他の側面（Ｐ１−２〜Ｐ１−４）の撮影も実行するが、図２４に示すように電子部品（Ｐ）が長方形の場合、例えば側面（Ｐ１−２）を撮影した後に側面（Ｐ１−３）をする際、電子部品（Ｐ）をＴ方向に回転させただけでは、第３部品検査カメラ（１８３）の焦点が合わない。このような場合でも、本実施例ではロータリーヘッド（１７０）をＸ方向に移動させることで焦点を合わせることができる（図２４の上段及び下段参照）。このようにして、１個の光学系で４つの側面を撮影することが可能である。
【０１４８】
なお、電子部品Ｐの下面については、上述した側面撮影の一連の動作において、第２部品検査カメラ（１８１）により撮影することができる。例えば、側面（Ｐ１−１）の撮影の際に同時に下面を撮影することができる。
【０１４９】
本発明について、図面に示された実施例を参考にして説明したが、これは例示的なものに過ぎず、当該分野における通常の知識を有する者であれば、このことから多様な変形及び実施形態の変形が可能である。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、添付された特許請求の範囲の技術的思想によって定められなければならない。
【産業上の利用可能性】
【０１５０】
本発明は、部品を搭載する装置の製造及び適用に使用することができる。  
【符号の説明】
【０１５１】
１００：部品搭載装置
１１０：部品供給部
１２０：ワークテーブル
１３０：第１ガイド部
１４０：第２ガイド部
１５０：部品認識部
１６０：第１異物除去部（第１部品検査部）
１７０：ロータリーヘッド  
１８０：第２異物除去部（第２部品検査部）
１９０：トレイ検査部  
１９７：トレイ支持部
１９９：制御部
【図１】
2015205730.tif 000003
【図２】
2015205730.tif 000004
【図３】
2015205730.tif 000005
【図４】
2015205730.tif 000006
【図５】
2015205730.tif 000007
【図６】
2015205730.tif 000008
【図７】
2015205730.tif 000009
【図８】
2015205730.tif 000010
【図９】
2015205730.tif 000011
【図１０】
2015205730.tif 000012
【図１１】
2015205730.tif 000013
【図１２】
2015205730.tif 000014
【図１３】
2015205730.tif 000015
【図１４】
2015205730.tif 000016
【図１５】
2015205730.tif 000017
【図１６】
2015205730.tif 000018
【図１７】
2015205730.tif 000019
【図１８】
2015205730.tif 000020
【図１９】
2015205730.tif 000021
【図２０】
2015205730.tif 000022
【図２１】
2015205730.tif 000023
【図２２】
2015205730.tif 000024
【図２３】
2015205730.tif 000025
【図２４】
2015205730.tif 000026