(57)【要約】【課題】弁体が弁孔から離間する際の弁体の振動現象の発生を抑制することが可能な安全弁を提供する。【解決手段】弁室１６には、弁孔１７の周囲に配置され弁孔１７の中心軸に沿って弁体５ａが弁孔１７から離間する方向に凸となる平面視が円環形状の円環凸部１６ａが形成されており、弁体５ａには、弁孔１７の中心軸に沿って弁体５ａが弁孔１７から離間する方向に凹となる平面視が円環形状の円環凹部５ｄが形成されており、弁体５ａが弁孔１７と接触する遮断状態において、円環凸部１６ａが円環凹部５ｄに収納され、円環凸部１６ａの外周面１６ｂと円環凹部５ｄの内周面５ｅとの間に中心軸方向に延在する平面視が円環形状の円環流路１９が形成される安全弁を提供する。【選択図】図４
2015059649.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁体と、
前記弁体が収容される弁室が形成された本体部と、
上流側から流入する流体を前記弁室へ導く流入流路と、
前記弁体が挿入可能となっており、前記弁体と接触することにより前記弁室との流体の流通を遮断する弁孔と、
前記弁室から前記弁孔に流入した流体を下流側に導く流出流路と、
前記弁体に前記弁孔に接触させる方向の付勢力を与えるスプリングとを備え、
前記弁室には、前記弁孔の周囲に配置され前記弁孔の中心軸に沿って前記弁体が前記弁孔から離間する方向に凸となる平面視が円環形状の円環凸部が形成されており、
前記弁体には、前記弁孔の中心軸に沿って前記弁体が前記弁孔から離間する方向に凹となる平面視が円環形状の円環凹部が形成されており、
前記弁体が前記弁孔と接触する遮断状態において、前記円環凸部が前記円環凹部に収納され、前記円環凸部の外周面と前記円環凹部の内周面との間に前記中心軸方向に延在する平面視が円環形状の円環流路が形成されることを特徴とする安全弁。
【請求項２】
前記中心軸に沿った一端が前記弁体と連結され、他端に前記スプリングが挿入される溝部が形成された連結部と、
一端が前記連結部の前記溝部に挿入される前記スプリングの他端を支持する支持部と、
前記支持部の前記中心軸方向の位置を調整する調整機構とを備えることを特徴とする請求項１に記載の安全弁。
【請求項３】
前記本体部に固定され、前記連結部の前記中心軸周りの外径と略同径の内径を有するナット部と、
前記連結部の外周面に形成された周溝に配置されたＯリングを備え、
前記Ｏリングと前記ナット部の内周面とが接触していることを特徴とする請求項２に記載の安全弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、安全弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流入流路から流入する流体の流体圧が一定圧力を超える場合に開状態となり、流体の流通を行う安全弁が知られている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１に開示された安全弁は、弁体が挿入される弁孔と、弁体を収納する弁室とを備えている。また、弁体には、スプリングによって弁孔に接触する方向の付勢力が与えられている。
【０００３】
特許文献１に開示された安全弁においては、流入流路側（一次側）の流体圧が一定圧力より低い場合、弁体が弁孔に接触する閉状態となる。一方、流入流路側の流体圧が一定圧力以上となると、弁孔近傍の流体の流体圧が作用して、弁体にスプリングによる付勢力に打ち勝つ力が与えられる。そして、弁体が弁孔から離間して流入流路の流体が弁孔を介して弁室に流入し、さらに弁室から流出流路に向けて流体が流出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１６６６５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、特許文献１に開示された安全弁は、流入流路側（一次側）の流体圧が一定圧力以上となる場合に、弁孔を介して弁室側（２次側）に流体が流入する。
しかしながら、弁体が弁孔から離間する際に、弁孔から弁室に多量の流体が流入し、流入流路側（１次側）の流体の流体圧が急激に下降し、弁室側（２次側）の流体の流体圧が上昇してしまう。この場合、弁体を弁孔から離間させる方向の力が弱まり、弁体が弁孔に接触する方向に移動してしまう。弁体が弁孔に接触する方向に移動すると、弁孔から弁室への流体の流入量が減少し、あるいは流体の流入が停止し、再び流入流路側（１次側）の流体の流体圧が上昇する。
【０００６】
このように、弁体が弁孔から離間する際に、弁孔から弁室に多量の流体が流入すると、弁体の弁孔から離間する方向への移動と弁体の弁孔に接触する方向への移動とが繰り返される振動現象が発生する可能性がある。振動現象が発生すると、安全弁の動作が不安定になるとともに、弁体と弁孔の接触が繰り返されること等によって安全弁が劣化するという問題が発生する。
【０００７】
本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、弁体が弁孔から離間する際の弁体の振動現象の発生を抑制することが可能な安全弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明に係る安全弁は、弁体と、前記弁体が収容される弁室が形成された本体部と、上流側から流入する流体を前記弁室へ導く流入流路と、前記弁体が挿入可能となっており、前記弁体と接触することにより前記弁室との流体の流通を遮断する弁孔と、前記弁室から前記弁孔に流入した流体を下流側に導く流出流路と、前記弁体に前記弁孔に接触させる方向の付勢力を与えるスプリングとを備え、前記弁室には、前記弁孔の周囲に配置され前記弁孔の中心軸に沿って前記弁体が前記弁孔から離間する方向に凸となる平面視が円環形状の円環凸部が形成されており、前記弁体には、前記弁孔の中心軸に沿って前記弁体が前記弁孔から離間する方向に凹となる平面視が円環形状の円環凹部が形成されており、前記弁体が前記弁孔と接触する遮断状態において、前記円環凸部が前記円環凹部に収納され、前記円環凸部の外周面と前記円環凹部の内周面との間に前記中心軸方向に延在する平面視が円環形状の円環流路が形成されることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る安全弁によれば、上流側から流入する流体が１次側である流入流路から弁室へ導かれる。弁室に収納される弁体には弁孔に接触させる方向の付勢力がスプリングにより与えられており、１次側の流体圧が低い状態では弁体が弁孔に接触する遮断状態となる。１次側の流体圧が一定圧力以上となると、弁体にスプリングによる付勢力に打ち勝つ力が与えられ、弁体が弁孔から離間して、弁室内の流体が弁孔を介して２次側である流出流路に流入する。
【００１０】
弁体が弁孔から離間する際に、弁室内の流体は円環凸部の外周面と円環凹部の内周面との間に形成される円環流路を通過する。この円環流路は中心軸方向に延在しているため、弁体が弁孔から離間する際に弁体が中心軸に沿って移動しても、円環流路の断面積は変化しない。従って、弁体が弁孔から離間する際に弁室から弁孔に流入する流体の流量が円環流路によって規制され、弁室から弁孔に多量の流体が流入することが防止される。
このようにすることで、弁体が弁孔から離間する際に、弁室から弁孔に多量の流体が流入することによる弁体の振動現象の発生を抑制することができる。
【００１１】
本発明の第１態様の安全弁は、前記中心軸に沿った一端が前記弁体と連結され、他端に前記スプリングが挿入される溝部が形成された連結部と、一端が前記連結部の前記溝部に挿入される前記スプリングの他端を支持する支持部と、前記支持部の前記中心軸方向の位置を調整する調整機構とを備えることを特徴とする。
このようにすることで、支持部の中心軸方向の位置を調整機構により調整することにより、スプリングが弁体に与える付勢力を適切に調整することが可能となる。
【００１２】
本発明の第１態様の安全弁においては、前記本体部に固定され、前記連結部の前記中心軸周りの外径と略同径の内径を有するナット部と、前記連結部の外周面に形成された周溝に配置されたＯリングを備え、前記Ｏリングと前記ナット部の内周面とが接触している構成であってもよい。この構成によれば、弁体が弁孔から離間する際に、弁体と連結された連結部の外周面に形成された周溝に配置されたＯリングが、本体部に固定されたナット部の内周面と接触する。
このようにすることで、弁体が弁孔から離間する際の弁体の移動速度が制限され、弁室から弁孔に多量の流体が流入することによる弁体の振動現象の発生を更に抑制することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、弁体が弁孔から離間する際の弁体の振動現象の発生を抑制することが可能な安全弁を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態の安全弁を示す縦断面図である。
【図２】本発明の一実施形態の安全弁を示す縦断面図である。
【図３】本発明の一実施形態の安全弁を示す縦断面図である。
【図４】安全弁の要部拡大図であり、（ａ）が図１に示す遮断状態の安全弁の弁孔近傍を示し、（ｂ）が図２に示す開状態の安全弁の弁孔近傍を示し、（ｃ）が図３に示す全開状態の安全弁の弁孔近傍を示す。
【図５】本発明の一実施形態の安全弁のボディの平面図である。
【図６】本発明の他の実施形態の安全弁のボディの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態の安全弁１００を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施形態の安全弁１００を示す縦断面図であり、遮断状態の安全弁１００を示す図である。図２は、本発明の一実施形態の安全弁１００を示す縦断面図であり、開状態の安全弁１００を示す図である。図３は、本発明の一実施形態の安全弁１００を示す縦断面図であり、全開状態の安全弁１００を示す図である。
【００１６】
図１に示される安全弁１００は、半導体製造装置等に用いられる流体（薬液、純水等）の配管流路に設置される機器である。安全弁１００は、上流側配管（不図示）から流入する流体の流体圧が一定圧力以上となると、開状態となって下流側配管（不図示）に流体を流通させる装置である。
【００１７】
ボディ１（本体部）は、安全弁１００の筐体部分を構成する部材であり、ボディ１の内部にダイヤフラム弁５の弁体５ａが収納される弁室１６が形成されている。安全弁１００は、上流側配管から流入する流体を弁室１６に導く流入流路８と、弁室１６から弁孔１７に流入した流体を下流側配管（不図示）に導く流出流路９とを備える。上流側配管から流入流路８に流入した流体は、弁室１６に開口した開口部１８から弁室１６に流入する。
【００１８】
弁孔１７は、ボディ１の内部に形成されており、ダイヤフラム弁５の弁体５ａが挿入可能となっている。弁孔１７は、中心軸Ｃに沿って延在し、断面視が略円形状となっている。弁体５ａの先端部が弁孔１７を形成するボディ１に接触することにより、弁孔１７と弁室１６との間での流体の流通が遮断される。
【００１９】
ダイヤフラム弁５にはベローズダイヤフラム５ｂが設けられており、ベローズダイヤフラム５ｂによって流体の流路と他の部分とが隔離されている。ベローズダイヤフラム５ｂは、筒状の薄膜部材であり、弁体５ａが中心軸Ｃ方向に移動するのに応じて変形する部材となっている。
【００２０】
ダイヤフラム弁５は、ベローズダイヤフラム５ｂに接続された環状縁部５ｃを備えている。環状縁部５ｃは、中心軸Ｃに沿った平面視が円環形状の部材である。環状縁部５ｃの外周側縁部の下方には周方向に延在する突起部が設けられている。そして、突起部は、ボディ１に設けられた中心軸Ｃに沿った平面視が円環形状の溝部に挿入されている。また、環状縁部５ｃの外周側縁部の上面は、支持ナット６（ナット部）と接触した状態となっている。環状縁部５ｃの外周側縁部の上面を支持部ナット６によって押さえつけることにより、環状縁部５ｃがボディ１に固定される。支持ナット６は、温度特性や機械的特性に優れた樹脂材料（例えば、ＰＦＡ，ＰＣＴＦＥ等）で構成されていることが好ましい。
【００２１】
支持ナット６の外周面には雄ねじ部が形成されており、支持ナット６の雄ねじ部がボディ１の内周面に形成された雌ねじ部に締結されている。支持ナット６の外周面には座繰り孔が形成されている。ボディ１に形成された貫通穴を介して座繰り孔に固定ピン１３を挿入することにより、支持ナット６の中心軸Ｃ周りの回転が制限される。固定ピン１３によって支持ナット６が固定されるので、支持ナット６及びボディ１を構成する樹脂材料が流体の温度等の影響により膨張又は収縮する場合であっても、支持ナット６の中心軸Ｃ周りの回転が制限される。
【００２２】
支持ナット６の環状縁部５ｃと接する面には、中心軸Ｃに直交する方向に延在する溝部６ａが設けられている。溝部６ａとボディ１に形成された排出孔１４とは連通した状態で配置されている。溝部６ａと排出孔１４とを含む流路は、安全弁１００の内部で発生した腐食性ガスを外部に排出するための流路である。腐食性ガスは、フッ酸や硝酸などの薬液の一部がダイヤフラム弁５のダイヤフラムベローズ５ｂを透過することによって生じる。腐食性ガスを安全弁１００の外部に排出することにより、腐食性ガスが安全弁１００の上部に流入することが防止される。
【００２３】
弁体５ａには、中心軸Ｃ周りに上方向に凹となっている凹部が設けられている。この凹部の内周面には雌ねじ部が形成されている。弁体５ａに形成された雌ねじ部には、連結部７の連結部本体７ａの先端に形成された雄ねじ部が締結されている。連結部本体７ａの上部にはスプリング支持部７ｂが固定されており、スプリング支持部７ｂと連結部本体７ａにより形成される溝部にスプリング１０の端部が挿入されている。このように、連結部７は、中心軸Ｃに沿った一端が弁体５ａと連結され、他端にスプリング１０が挿入される溝部が形成されている。
【００２４】
連結部本体７ａは、中心軸Ｃと同軸に配置される軸状部材である。中心軸Ｃに沿った環状縁部５ｃの位置における連結部本体７ａの軸径は、環状縁部５ｃの内径と略同径である。ここで、略同径とは、連結部本体７ａが中心軸Ｃに沿って移動可能な程度に、連結部本体７ａの軸径が環状縁部５ｃの内径よりも少し小さいことをいう。
また、中心軸Ｃに沿った支持ナット６の位置における連結部本体７ａの軸径は、支持ナット６の内径と略同径である。ここで、略同径とは、連結部本体７ａが中心軸Ｃに沿って移動可能な程度に、連結部本体７ａの軸径が支持ナット６の内径よりも少し小さいことをいう。
【００２５】
このように、連結部７の形状は、中心軸Ｃに沿って弁孔１６に近い先端部分の軸径が小さく、中心軸Ｃに沿ってスプリング１０に近い後端部分の軸径が大きい段形状の部材となっている。連結部７を段形状の部材とすることにより、ダイヤフラム弁５を小型化しつつ、軸径の大きいスプリング１０によりダイヤフラム弁５に安定した付勢力を与えることが可能となっている。
【００２６】
連結部７の外周面には周溝が形成されており、周溝にはＯリング１５が配置されている。Ｏリング１５は、支持ナット６の内周面に接触した状態で配置されている。従って、弁体５ａと連結部７が中心軸Ｃに沿って移動する際には、Ｏリング１５が支持ナット６の内周面に接触した状態となる。
【００２７】
支持ナット６は、中心軸Ｃに沿ってスプリング１０に近い後端部分において、中心軸Ｃに向かって突出する段部を備えている。安全弁１００が全開状態となった後、更に連結部７が中心軸Ｃに沿ってスプリング１０方向に移動すると、連結部本体７ａが段部に接触する。このように、段部は、連結部７が中心軸Ｃに沿ってスプリング１０方向に移動することを制限するストッパとして機能する。
【００２８】
ボディ１の上部にはカバー部２が連結されている。カバー部２には４箇所の貫通穴（不図示）が設けられており、４箇所の貫通穴の位置は、後述する図５に示す４箇所のねじ穴２０,２１,２２,２３の位置にそれぞれ対応している。４箇所の貫通穴に締結ねじをそれぞれ挿入し、４箇所のねじ穴２０,２１,２２,２３の内周面に形成された雌ねじ部に締結することにより、カバー部２がボディ１に連結される。
【００２９】
カバー部２は、中心軸Ｃと同軸に配置される円筒形状の部材である。カバー部２の先端部（弁孔１７から遠い方向の端部）の内周面には雌ねじ部が形成され、外周面には雄ねじ部が形成されている。カバー部２の内周面に形成された雌ねじ部には保持部材１１が締結されており、カバー部２の外周面に形成された雄ねじ部には、つまみ部３およびロックナット４が締結されている。
【００３０】
保持部材１１の内側には、保持部材１１の内周面に接するように配置されたスプリング支持部１２が配置されている。スプリング支持部１２は、一端が連結部７の溝部に挿入されるスプリング１０の他端を支持する部材である。スプリング支持部１２には、スプリング１０により、中心軸Ｃに沿って弁孔１７から遠ざかる方向の付勢力が与えられている。一端部にスプリング１０による付勢力が与えられたスプリング支持部１２は、その他端部がつまみ部３の下面に突き当てられている。
【００３１】
つまみ部３の内周面に形成された雌ねじ部は、カバー部２の外周面に形成された雄ねじ部に締結されている。従って、つまみ部３を中心軸Ｃ周りに回転させることにより、カバー部２に対するつまみ部３の中心軸Ｃ方向の位置が調整される。つまみ部３の位置によりスプリング支持部１２の位置が決定し、それに伴ってスプリング１０が連結部７を介して弁体５ａに与える付勢力が決定する。このようにして、つまみ部３の中心軸Ｃ方向の位置を調整することにより、弁体５ａを弁孔１７に接触させる方向の付勢力が調整される。
【００３２】
ロックナット４は、つまみ部３の中心軸Ｃ周りの回転を制限し、つまみ部３の中心軸Ｃに沿った位置を固定するための部材である。ロックナット４を中心軸Ｃ周りに回転させ、ロックナット４の上面をつまみ部３の下面と接触させることにより、つまみ部３の中心軸Ｃに沿った位置が固定される。このように、カバー部２と、つまみ部３と、ロックナット４とにより、スプリング支持部１２の中心軸Ｃ方向の位置を調整する調整機構が構成される。
【００３３】
次に、図４を用いて、遮断状態（全閉状態）から全開状態に移行する際の安全弁１００の動作について説明する。図４は安全弁１００の要部拡大図であり、図４（ａ）が図１に示す遮断状態の安全弁１００の弁孔１７近傍を示し、図４（ｂ）が図２に示す開状態の安全弁１００の弁孔１７近傍を示し、図４（ｃ）が図３に示す全開状態の安全弁１００の弁孔１７近傍を示す。図４中の矢印は、弁体５ａが弁孔１７から離間した際に弁室１６から弁孔１７に流入する流体の流れを示すものである。
【００３４】
図４に示す弁室１６には、弁孔１７の周囲となる部分に円環凸部１６ａが配置されている。円環凸部１６ａは、弁孔１７の中心軸Ｃに沿って弁体５ａが弁孔１７から離間する方向に凸となっている。円環凸部１６ａを中心軸Ｃ方向に平面視した形状は、円環形状となっている。図４に示す弁体５ａには、弁孔１７の中心軸Ｃに沿って弁体５ａが弁孔１７から離間する方向に凹となる円環凹部５ｄが配置されている。円環凹部５ｄを中心軸Ｃ方向に平面視した形状は、円環形状となっている。
【００３５】
図４（ａ）に示す遮断状態の安全弁１００は、流入流路８を介して流入した流体が弁室１６に滞留した状態となっている。遮断状態の安全弁１００では、円環凸部１６ａが円環凹部５ｄに収納された状態となっている。また、遮断状態の安全弁１００では、円環凸部１６ａの外周面１６ｂと円環凹部５ｄの内周面５ｅとの間に、中心軸Ｃ方向に延在する円環流路１９が形成されている。円環流路１９は、中心軸Ｃ方向に平面視した形状が円環形状となる流路である。
【００３６】
遮断状態の安全弁１００は、図４（ａ）に示すように弁体５ａと弁孔１７が接触しており、弁室１６から弁孔１７に流体が流入しないようになっている。なお、弁体５ａと弁孔１７が接触する遮断状態とは、弁体５に対して、弁孔１７を形成するボディ１の円環凸部１６ａの内周端部が接触している状態をいう。
【００３７】
図４（ａ）に示す遮断状態の安全弁１００において、一次側である弁室１６の流体の流体圧が上昇すると、円環流路１９を介して円環凸部１６ａと円環凹部５ｄの間に流入した流体の流体圧が弁体５ａに与える力が徐々に高くなる。１次側の流体圧が一定圧力以上となると、弁体５ａにスプリング１０による付勢力に打ち勝つ力が与えられ、弁体５ａが弁孔１７から離間して、弁室１６内の流体が弁孔１７を介して２次側である流出流路９に流入する。
【００３８】
弁体５ａが弁孔１７から離間する際に、弁室１６内の流体は円環凸部１６ａの外周面１６ｂと円環凹部５ｄの内周面５ｅとの間に形成される円環流路１９を通過する。この円環流路１９は中心軸Ｃ方向に延在している。そのため、弁体５ａが弁孔から離間する際に弁体５ａが中心軸Ｃに沿って移動しても、円環流路１９の断面積は変化しない。従って、弁体５ａが弁孔１７から離間する際に弁室１６から弁孔１７に流入する流体の流量が円環流路１９によって規制される。よって、弁体５ａが弁孔１７から離間する際に、弁室１６から弁孔１７に多量の流体が流入することが防止される。
【００３９】
なお、遮断状態の安全弁１００における、円環凸部１６ａの外周面１６ｂと円環凹部５ｄの内周面５ｅとの間の距離は、安全弁１００が開状態となる際の弁室１６（１次側）の流体圧、流体の種類、流出流路９の流路径等に応じて適宜に設定すればよい。同様に、遮断状態の安全弁１００における、円環流路１９の中心軸Ｃ方向の長さは、安全弁１００が開状態となる際の弁室１６（１次側）の流体圧、流体の種類、流出流路９の流路径等に応じて適宜に設定すればよい。
【００４０】
弁体５ａが弁孔１７から離間し、弁室１６内の流体の流体圧が更に高まると、安全弁１００は図４（ｂ）に示す開状態となる。図４（ｂ）に示す開状態では、円環凸部１６ａが円環凹部５ｄから離間し、円環凸部１６ａが円環凹部５ｄに収納されない状態となっている。従って、図４（ｂ）に示す開状態では、円環流路１９が形成されていない。
【００４１】
図４（ｂ）に示す状態から更に弁室１６内の流体の流体圧が高まると、安全弁１００は図４（ｃ）に示す全開状態となる。安全弁１００が全開状態になると、図３に示すように、連結部本体７ａの上面が支持ナット６に接触する。連結部本体７ａが支持ナット６に接触することにより、弁体５ａが更に上方に移動することが制限される。
【００４２】
図５は、本発明の一実施形態の安全弁１００のボディ１の平面図である。図５に示す開口部１８は、流入流路８から弁室１６への流体の流入口となっている。図５に示すように、開口部１８は、流入流路８側を中央とした中心軸Ｃ周りの略２７０°の範囲に渡って設けられている。このように広範囲の領域に開口部１８を設けることにより、流入流路８から弁室１６に流入する流体が弁室１６内で旋回する流れを形成する等の不具合を抑制することができる。
【００４３】
以上説明したように、本実施形態の安全弁１００によれば、上流側から流入する流体が１次側である流入流路８から弁室１６へ導かれる。弁室１６に収納される弁体５ａには弁孔１７に接触させる方向の付勢力がスプリング１０により与えられており、１次側の流体圧が低い状態では弁体１７が弁孔５ａに接触する遮断状態となる。１次側の流体圧が一定圧力以上となると、弁体５ａにスプリング１０による付勢力に打ち勝つ力が与えられ、弁体５ａが弁孔１７から離間して、弁室１６内の流体が弁孔１７を介して２次側である流出流路９に流入する。
【００４４】
弁体５ａが弁孔１７から離間する際に、弁室１６内の流体は円環凸部１６ａの外周面１６ｂと円環凹部５ｄの内周面５ｅとの間に形成される円環流路１９を通過する。この円環流路１９は中心軸Ｃ方向に延在しているため、弁体５ａが弁孔１７から離間する際に弁体５ａが中心軸Ｃに沿って移動しても、円環流路１９の断面積は変化しない。従って、弁体５ａが弁孔１７から離間する際に弁室１６から弁孔１７に流入する流体の流量が円環流路１９によって規制され、弁室１６から弁孔１７に多量の流体が流入することが防止される。
このようにすることで、弁体５ａが弁孔１７から離間する際に、弁室１６から弁孔１７に多量の流体が流入することによる弁体５ａの振動現象の発生を抑制することができる。
【００４５】
特許文献１（特開２００３−１６６６５９号公報）に開示された安全弁は、弁孔を介して流入流路側（１次側）から弁室側（２次側）に流体が流入する。弁孔の径は弁室の径に比較して十分に小さいので、安全弁が閉状態である場合に弁体が１次側の流体の圧力を受ける受圧面積が小さい。従って、安全弁が閉状態から開状態となった場合に、弁体が２次側の流体の圧力の影響を受けやすく、それに伴って振動現象が発生するという不具合が発生しやすい。
【００４６】
それに対して、本実施形態の安全弁１００は、弁孔１７を介して弁室１６側（１次側）から流出流路９側（２次側）に流体が流出する。弁室１６の径は弁孔１７の径に比較して十分に大きいので、弁体５ａの形状を本実施形態のように構成することにより、安全弁１００が閉状態である場合に弁体５ａが１次側の流体を受ける受圧面積が大きくすることができる。従って、安全弁１００が閉状態から開状態となった場合に、弁体５ａが２次側の流体の圧力の影響を受けて振動現象が発生するという不具合が発生しにくい。
【００４７】
本実施形態の安全弁１００は、スプリング支持部１２の中心軸Ｃ方向の位置を調整する調整機構（カバー部２、つまみ部３、ロックナット４）を備える。このようにすることで、スプリング支持部１２の中心軸Ｃ方向の位置を調整機構により調整し、スプリング１０が弁体５ａに与える付勢力を適切に調整することが可能である。
【００４８】
本実施形態の安全弁１００は、弁体５ａが弁孔１７から離間する際に、弁体５ａと連結された連結部７の外周面に形成された周溝に配置されたＯリング１５が、ボディ１に固定された支持ナット６の内周面と接触する。このようにすることで、弁体５ａが弁孔１７から離間する際の弁体５ａの移動速度が制限され、弁室１６から弁孔１７に多量の流体が流入することによる弁体５ａの振動現象の発生を更に抑制することができる。
【００４９】
＜他の実施形態＞
以上の説明において、開口部１８は、図５に示されるように、流入流路８側を中央とした中心軸Ｃ周りの略２７０°の範囲に渡って設けられているものであったが、他の態様であってもよい。例えば、図６に示すように、流入流路８側を中央とした中心軸Ｃ周りの略９０°の範囲に渡って設けられているものであってもよい。
その他、本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。
【符号の説明】
【００５０】
１      ボディ（本体部）
２      カバー部（調整機構）
３      つまみ部（調整機構）
４      ロックナット（調整機構）
５      ダイヤフラム弁
５ａ    弁体
５ｄ    円環凹部
５ｅ    内周面
６      支持ナット（ナット部）
８      流入流路
９      流出流路
１０    スプリング
１２    スプリング支持部（支持部）
１５    Ｏリング
１６    弁室
１６ａ  円環凸部
１６ｂ  外周面
１７    弁孔
１９    円環流路
１００  安全弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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