(57)【要約】【課題】スクライビングツールの下降量を制限することが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供する。【解決手段】スクライブヘッド２は、カッターホイール２２９が一端に取り付けられたホイールホルダ２２８と、ホイールホルダ２２８をマザー基板Ｇに接近および離間させる駆動部２１および昇降部２２と、ホイールホルダ２２８のマザー基板Ｇへの接近を規制してホイールホルダ２２８のマザー基板Ｇに対する接近量を規定するストッパーＳ１を備える。ストッパーＳ１により、カッターホイール２２９の下降可能量を制限する。これにより、カッターホイール２２９が過度にマザー基板Ｇに食い込むことを防ぐことができ、マザー基板Ｇに水平クラックＨｃが発生することが抑制される。【選択図】図７
2015212016.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板のスクライブに使用されるスクライブヘッドであって、
スクライビングツールが一端に取付けられたホルダと、
前記ホルダを前記基板に接近および離間させる駆動機構と、
前記ホルダの前記基板への接近を規制して前記ホルダの前記基板に対する接近量を規定するストッパーと、を備える、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記ストッパーは、前記ホルダとともに前記基板に接近する移動部材または前記駆動機構を支持する支持部材の少なくとも一方に設けられ、前記ホルダの移動方向に平行な方向に突出する突出部を含む、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記突出部は、ネジを含み、前記ネジを旋回することで突出量が調整可能となっている、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項４】
請求項１ないし３に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記ホルダと前記ストッパーの組が２つ配置され、
前記駆動機構は、２つの前記ホルダを１つのモータにより選択的に移動させるよう構成されている、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記ストッパーは、前記ホルダとともに前記基板に接近する移動部材に設けられている、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項６】
請求項１ないし５の何れか一項に記載のスクライブヘッドと、
切断対象の基板を支持する支持部と、
前記支持部に支持された前記基板に対して前記スクライブヘッドを移動させる移動機構と、を備える、
ことを特徴とするスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板にスクライブラインを形成するために用いられるスクライブヘッドおよびスクライブヘッドを備えたスクライブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板等の脆性材料基板の分断は、基板表面にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、形成されたスクライブラインに沿って基板表面に所定の力を付加するブレイク工程とによって行われる。スクライブ工程では、スクライビングホイールの刃先が、基板表面に押し付けられながら、所定のラインに沿って移動される。スクライブラインの形成には、スクライブヘッドを備えたスクライブ装置が用いられる。
【０００３】
スクライブ装置は、たとえば、基板が載置されるテーブルを備え、このテーブルに載置された基板に対して、スクライブヘッドが水平方向および上下方向に移動する。スクライブヘッドの下端には、ホイールホルダが取り付けられており、このホイールホルダに対し、刃先を備えるスクライビングホイールが回転自在に保持される（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３―２３４０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に開示された構成において、基板に対するスクライビングホイールの食い込み量が大きいと、基板の表面付近に蓄積された内部歪みが飽和し、基板の表面に平行な方向に水平クラックが発生する惧れがある。水平クラックが発生すると、切り粉が多量に発生し、基板の分断面の品質低下に起因する歩留まりの低下の原因となる。
【０００６】
かかる課題を鑑み、本発明は、スクライビングツールの下降量を制限することが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様は、基板のスクライブに用いられるスクライブヘッドに関する。この態様に係るスクライブヘッドは、スクライビングツールが一端に取付けられたホルダと、前記ホルダを前記基板に接近および離間させる駆動機構と、前記ホルダの前記基板への接近を規制して前記ホルダの前記基板に対する接近量を規定するストッパーと、を備える。
【０００８】
本態様に係るスクライブヘッドによれば、ストッパーによって、ホルダの基板に対する接近量が制限される。これにより、スクライビングツールが過度に基板に食い込むことを防ぐことができ、基板に水平クラックが発生することを抑制することができる。
【０００９】
第１の態様に係るスクライブヘッドにおいて、前記ストッパーは、前記ホルダとともに前記基板に接近する移動部材または前記駆動機構を支持する支持部材の少なくとも一方に設けられ、前記ホルダの移動方向に平行な方向に突出する突出部を含むよう構成され得る。
【００１０】
この場合、前記突出部は、ネジを含み、前記ネジを旋回することで突出量が調整可能な構成とされ得る。こうすると、ホルダの基板に対する接近量を調整することができる。
【００１１】
第１の態様に係るスクライブヘッドにおいて、前記ホルダと前記ストッパーの組が２つ配置され、前記駆動機構は、２つの前記ホルダを１つのモータにより選択的に移動させるよう構成されているよう構成され得る。こうすると、ホルダ毎に個別にホルダの接近量を設定することができる。
【００１２】
この場合、前記ストッパーは、前記ホルダとともに前記基板に接近する移動部材に設けられていることが望ましい。こうすると、移動部材上側の空きスペースに、ストッパーの一部を配置できるため、ストッパーに対する操作が容易となり、且つ、装置をコンパクトに構成することができる。
【００１３】
本発明の第２の態様はスクライブ装置に関する。第２の態様に係るスクライブ装置は、上記第１の態様のスクライブヘッドと、切断対象の基板を支持する支持部と、前記支持部に支持された前記基板に対して前記スクライブヘッドを移動させる移動機構と、を備える。
【００１４】
本態様に係るスクライブ装置によれば、上記第１の態様のスクライブヘッドと同様の作用および効果が奏され得る。
【発明の効果】
【００１５】
以上のとおり、本発明によれば、スクライビングツールの下降量を制限することが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することができる。
【００１６】
本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１実施形態に係るスクライブ装置の構成を示す模式図である。
【図２】第１実施形態に係るスクライブヘッドの構成を示す一部分解斜視図である。
【図３】第１実施形態に係るスクライブヘッドの構成を示す正面図である。
【図４】第１実施形態に係るスクライブヘッドの構成を示す側面図である。
【図５】第１実施形態に係るストッパーの構成を示す一部拡大図である。
【図６】第１実施形態に係るスクライブヘッドの構成を示す斜視図である。
【図７】第１実施形態に係るカッターホイールが下降されたときのスクライブヘッドの構成を示す正面図である。
【図８】第１実施形態に係るカッターホイールが下降されたときのスクライブヘッドの構成を示す側面図である。
【図９】第１実施形態に係るバックアップローラが下降されたときのスクライブヘッドの構成を示す正面図である。
【図１０】第１実施形態に係るバックアップローラが下降されたときのスクライブヘッドの構成を示す側面図である。
【図１１】第２実施形態に係るスクライブヘッドの構成を示す一部分解斜視図である。
【図１２】第２実施形態に係るスクライブヘッドの構成を示す側面図である。
【図１３】第２実施形態に係るストッパーの構成を示す一部拡大図である。
【図１４】第２実施形態に係るスクライブヘッドの構成を示す斜視図である。
【図１５】第２実施形態に係るカッターホイールが下降されたときのスクライブヘッドの構成を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｘ−Ｙ平面は水平面に平行で、Ｚ軸方向は鉛直方向である。
【００１９】
本実施の形態において、コンベア１１は、特許請求の範囲に記載の「支持部」に相当する。駆動部２１、５１および昇降部２２、２３、５２は、特許請求の範囲に記載の「駆動機構」に相当する。ボトムプレート２６、５５は、特許請求の範囲に記載の「支持部材」に相当する。サーボモータ２１１、５１１は、特許請求の範囲に記載の「モータ」に相当する。押圧部２２４、２３４、５２２は、特許請求の範囲に記載の「移動部材」に相当する。ホイールホルダ２２８、２３８、５２６、５２７は、特許請求の範囲に記載の「ホルダ」に相当する。カッターホイール２２９、５２８は、特許請求の範囲に記載の「スクライビングツール」に相当する。ストッパーＳ１、Ｓ２、Ｓ３は、特許請求の範囲に記載の「突出部」および「ネジ」に相当する。マザー基板Ｇは、特許請求の範囲に記載の「基板」に相当する。ただし、上記特許請求の範囲と本実施の形態との対応付けにより、特許請求の範囲に係る発明が本実施の形態に限定されるものではない。
【００２０】
＜第１実施形態＞
図１（ａ）、（ｂ）は、第１実施形態に係るスクライブ装置１の構成を示す模式図である。図１（ａ）は、Ｙ軸正側からスクライブ装置１を見た模式図、図１（ｂ）は、Ｘ軸負側からスクライブ装置１を見た模式図である。図１（ｃ）は、スクライブヘッド２とマザー基板Ｇの斜め上から見た模式図である。
【００２１】
図１（ａ）を参照して、スクライブ装置１は、コンベア１１と、支柱１２ａ、１２ｂと、可動ガイド１３ａ、１３ｂと、可動ガイド１４ａ、１４ｂと、摺動ユニット１５、１６と、２つのスクライブヘッド２を備える。
【００２２】
図１（ｂ）に示すように、コンベア１１は、スクライブヘッド２が設けられている箇所を除き、Ｙ軸方向に延びるように設けられている。コンベア１１上には、マザー基板Ｇが載置される。マザー基板Ｇは、一対のガラス基板が相互に貼り合わされた基板構造を有する。マザー基板Ｇは、コンベア１１によりＹ軸方向に送られる。
【００２３】
支柱１２ａ、１２ｂは、スクライブ装置１のベースにコンベア１１を挟んで垂直に設けられている。可動ガイド１３ａ、１３ｂおよび可動ガイド１４ａ、１４ｂは、それぞれ、Ｘ軸方向に平行となるように、支柱１２ａ、１２ｂの間に架設されている。摺動ユニット１５、１６は、それぞれ、可動ガイド１３ａ、１３ｂ、可動ガイド１４ａ、１４ｂに摺動自在に設けられている。可動ガイド１３ａ、１３ｂおよび可動ガイド１４ａ、１４には、それぞれ、所定の駆動機構が設けられており、この駆動機構により、摺動ユニット１５、１６がＸ軸方向に摺動される。
【００２４】
Ｚ軸負側のスクライブヘッド２は、駆動部２１と、昇降部２２、２３を備える。昇降部２２には、カッターホイール２２９（図３参照）が装着されており、昇降部２３には、バックアップローラ２３９（図３参照）が装着されている。駆動部２１は、昇降部２２と昇降部２３のどちらか一方を上昇させ、他の一方を下降させる。Ｚ軸正側のスクライブヘッド２も、Ｚ軸負側のスクライブヘッドと同様の構成を備える。２つのスクライブヘッド２は、一方のスクライブヘッド２のカッターホイール２２９と他方のスクライブヘッド２のバックアップローラ２３９とが互いに対向するように配置されている。
【００２５】
Ｚ軸負側のスクライブヘッド２の昇降部２２と、Ｚ軸正側のスクライブヘッド２の昇降部２３を、それぞれ、マザー基板Ｇに近接させることにより、Ｚ軸負側のカッターホイール２２９が、マザー基板Ｇの上面に圧接される。これにより、カッターホイール２２９の刃先がマザー基板Ｇの表面に垂直クラック（板厚方向に伸展するクラック）が発生する。このとき、マザー基板Ｇの下面は、周面が平らなバックアップローラ２３９によって受け止められる。そして、所定の駆動機構（図示せず）により摺動ユニット１５、１６がＸ軸方向に送られる。これにより、Ｚ軸負側のカッターホイール２２９がマザー基板Ｇの上面に圧接された状態で移動し、マザー基板Ｇの上面にスクライブラインが形成される。マザー基板Ｇの下面にスクライブラインが形成される場合には、Ｚ軸正側のカッターホイール２２９と、Ｚ軸負側のバックアップローラ２３９が、マザー基板Ｇに近接される。
【００２６】
ここで、スクライブヘッド２のカッターホイール２２９がマザー基板Ｇに対して大きく食い込むと、マザー基板Ｇの表面付近に蓄積された内部歪みが飽和し、マザー基板Ｇの表面に平行な方向に水平クラックＨｃが発生する。水平クラックＨｃは、切り粉の多量発生の原因およびマザー基板Ｇの分断面の品質低下に起因する歩留まりの低下の原因となる。そこで、第１実施形態に係るスクライブヘッド２では、カッターホイール２２９の下降可能量を制限することができる構成が設けられている。
【００２７】
図２は、スクライブヘッド２の構成を示す一部分解斜視図である。
【００２８】
スクライブヘッド２は、駆動部２１と、昇降部２２、２３と、ベースプレート２４と、トッププレート２５と、ボトムプレート２６と、シール部材２７と、カバー２８とを備える。
【００２９】
ベースプレート２４は、Ｘ軸正方向に見たときに、略長方形の輪郭を有する。ベースプレート２４の２つの側面には、段部２４ａが形成されている。ベースプレート２４には、複数のネジ孔が形成されている。
【００３０】
トッププレート２５は、上面視において、略長方形の輪郭を有する。トッププレート２５の側面には、段部２５ａが形成されている。トッププレート２５の中央には、開口が形成されている（図示せず）。トッププレート２５の段部２５ａには、複数のネジ孔が形成されている。また、トッププレート２５には、給気用継手２５ｂが設けられている。
【００３１】
ボトムプレート２６は、上面視において、略長方形の輪郭を有する。ボトムプレート２６の側面には、段部２６ａが形成されている。ボトムプレート２６には、開口２６ｂ、２６ｃが形成されている。ボトムプレート２６の段部２６ａには、複数のネジ孔が形成されている。
【００３２】
図２の状態において、トッププレート２５とボトムプレート２６は、ネジによって、ベースプレート２４に螺着されている。この状態で、段部２４ａ、２５ａ、２６ａは、一続きとなっている。すなわち、トッププレート２５に形成された段部２５ａの両端が、ベースプレート２４の２つの側面に形成された段部２４ａの上端にそれぞれ繋がっている。また、ボトムプレート２６に形成された段部２６ａの両端が、ベースプレート２４の２つの側面に形成された段部２４ａの下端にそれぞれ繋がっている。
【００３３】
図２の状態において、ベースプレート２４は、Ｘ軸正側の側面とＸ軸負側の側面がそれぞれＹ−Ｚ平面（鉛直面）に平行となっている。また、トッププレート２５は、Ｚ軸正側の側面とＺ軸負側の側面がそれぞれＸ−Ｙ平面（水平面）に平行となっており、ボトムプレート２６は、Ｚ軸正側の側面とＺ軸負側の側面がそれぞれＸ−Ｙ平面（水平面）に平行となっている。すなわち、トッププレート２５とボトムプレート２６は、ベースプレート２４に垂直に繋がり、且つ、所定の間隔をおいて互いに正対向するように、ベースプレート２４に取り付けられている。
【００３４】
図３は、駆動部２１と昇降部２２、２３をＸ軸負側から見た構成を示す正面図である。図４（ａ）は、駆動部２１と昇降部２２をＹ軸正側から見た構成を示す側面図である。図４（ｂ）は、駆動部２１と昇降部２３をＹ軸負側から見た構成を示す側面図である。なお、図３、図４（ａ）、（ｂ）では、連結部２２２が透視された状態が示されている。また、図３、図４（ａ）、（ｂ）には、円筒カム２１２が中立位置にあるときの状態が示されている。
【００３５】
図３を参照して、駆動部２１は、サーボモータ２１１と、円筒カム２１２を備える。
【００３６】
サーボモータ２１１は、出力軸の軸心がＺ軸に平行となるように配されている。サーボモータ２１１は、出力軸が円筒カム２１２の上部に形成された穴に圧入されている。また、サーボモータ２１１の出力軸の付け根部分は、トッププレート２５に形成された開口の径よりもやや小さい円柱部となっている。サーボモータ２１１は、この円柱部がトッププレート２５の開口に略隙間なく挿入されるようにして、トッププレート２５の上面に設置されている。
【００３７】
円筒カム２１２は、円柱が２つの方向から斜めに切り欠かれた形状を有する。サーボモータ２１１の出力軸と円筒カム２１２は、ネジによって圧着固定されている。したがって、サーボモータ２１１が駆動されると、円筒カム２１２は、サーボモータ２１１の出力軸と一体となって、Ｘ−Ｙ平面に平行な方向に回転する。図４（ａ）に示すように、円筒カム２１２のカム面２１２ａは、Ｘ−Ｙ平面（水平面）に対して、所定の角度で傾斜している。また、図４（ｂ）に示すように、円筒カム２１２のカム面２１２ｂは、Ｘ−Ｙ平面（水平面）に対して、所定の角度で傾斜している。図３に示すように円筒カム２１２が中立位置にあるとき、カム面２１２ａとカム面２１２ｂは、互いに左右方向に対称な形状となっている。
【００３８】
図３を参照して、昇降部２２は、カムフォロア２２１と、連結部２２２と、ストッパー２２３ａ、２２３ｂと、押圧部２２４と、リニアガイド２２５ａと、弾性部材２２５ｂと、ホルダガイド２２６と、ホルダ保持体２２７と、ホイールホルダ２２８と、カッターホイール２２９と、ストッパーＳ１を備える。同様に、昇降部２３は、カムフォロア２３１と、連結部２３２と、ストッパー２３３ａ、２３３ｂと、押圧部２３４と、リニアガイド２３５ａと、弾性部材２３５ｂと、ホルダガイド２３６と、ホルダ保持体２３７と、ホイールホルダ２３８と、バックアップローラ２３９と、ストッパーＳ２を備える。昇降部２２と昇降部２３は、Ｘ−Ｚ平面に対して面対称となるように配されている。
【００３９】
カムフォロア２２１は、Ｙ軸に平行な固定軸２２２ａにより、連結部２２２に回転可能に軸支されている。円筒カム２１２のカム面２１２ａ（図４（ａ）参照）は、カムフォロア２２１の外周面に当接している。円筒カム２１２がサーボモータ２１１により回転されると、カム面２１２ａ（図４（ａ）参照）とカムフォロア２２１の当接位置が、Ｚ軸方向に変化する。これにより、カムフォロア２２１が上下方向（Ｚ軸方向）に移動される。
【００４０】
連結部２２２は、１つの角が切り欠かれた略長方体の形状を有する。連結部２２２の上側（Ｚ軸負側）には、カムフォロア２２１を軸支するための固定軸２２２ａが固着されており、連結部２２２の下側（Ｚ軸正側）には、押圧部２２４を連結固定するための２つの固定軸２２２ｂが固着されている。連結部２２２は、図示の如く、切り欠き部２２２ｃが押圧部２２４の上面に掛けられるようにして、カムフォロア２２１と押圧部２２４を連結している。したがって、カムフォロア２２１に伝えられた駆動力は、連結部２２２を介して、押圧部２２４に伝えられる。
【００４１】
図４（ａ）に示すように、ストッパー２２３ａは、ネジ状の部材であり、連結部２２２の上面中央に固着されている。ストッパー２２３ｂは、ネジ状の部材であり、トッププレート２５のストッパー２２３ａに対向する位置に固着されている。ストッパー２２３ａの上面およびストッパー２２３ｂの下面は、Ｘ−Ｙ平面に平行となっている。ストッパー２２３ａは、ストッパー２２３ｂと当接することにより連結部２２２に連結されたカムフォロア２２１の上側への移動を所定の範囲に制限する。すなわち、円筒カム２１２が所定以上に回転したとしても、ストッパー２２３ａがストッパー２２３ｂに当接することによって、連結部２２２およびカムフォロア２２１の上昇が抑制され、カムフォロア２２１とカム面２１２ａの間には、隙間が発生する。
【００４２】
押圧部２２４は、背面（Ｘ軸負側の面）にガイド受け部２２４ａが設けられている。ガイド受け部２２４ａは、ネジによって押圧部２２４に固着されている。押圧部２２４の下面（Ｚ軸正側の面）には、円筒部２２４ｂが形成されている。円筒部２２４ｂの外周の径は、ボトムプレート２６の開口２６ｂ（図２参照）の径よりもやや小さい。円筒部２２４ｂはボトムプレート２６の開口２６ｂに挿入される。円筒部２２４ｂの下端面は、ホルダ保持体２２７にネジ留めされている。
【００４３】
図５は、ストッパーＳ１、Ｓ２の周辺部を拡大した一部拡大図である。
【００４４】
図５に示すように、ストッパーＳ１は、ネジ状の部材であり、押圧部２２４のＹ軸負側の上面に形成されたネジ孔に、ナットＳ１ａとともに螺着されている。また、同様に、ストッパーＳ２は、ネジ状の部材であり、押圧部２３４のＹ軸正側の上面に形成されたネジ孔に、ナットＳ２ａとともに螺着されている。ボトムプレート２６には、窪み２６ｄ、２６ｅが形成されており、窪み２６ｄ、２６ｅには、それぞれ、マーカーピンＳ１ｂ、Ｓ２ｂが固着されている。ストッパーＳ１、Ｓ２の下面およびマーカーピンＳ１ｂ、Ｓ２ｂの上面は、Ｘ−Ｙ平面に平行となっている。図４に示す状態で、ストッパーＳ１、Ｓ２の下端と、マーカーピンＳ１ｂ、Ｓ２ｂの間には、所定の隙間が生じている。この隙間がカッターホイール２２９（図３参照）、バックアップローラ２３９（図３参照）の下降可能量に相当する。この隙間の大きさは、ストッパーＳ１、Ｓ２を回すことにより調整可能である。ストッパーＳ１、Ｓ２の下端がマーカーピンＳ１ｂ、Ｓ２ｂに近づけば近づくほど、カッターホイール２２９（図３参照）、バックアップローラ２３９（図３参照）の下降可能量が小さくなる。ストッパーＳ１、Ｓ２とマーカーピンＳ１ｂ、Ｓ２ｂの距離は、スクライブヘッド２とマザー基板Ｇとの距離に応じて、カッターホイール２２９の刃先がマザー基板Ｇに所定量以上食い込まないように、適宜設定される。
【００４５】
図４（ａ）に戻り、リニアガイド２２５ａは、Ｚ軸方向に延びるように、ベースプレート２４にネジによって固着されている。押圧部２２４のガイド受け部２２４ａは、リニアガイド２２５ａと噛み合っている。これにより、押圧部２２４は、リニアガイド２２５ａによって、上下方向（Ｚ軸方向）に案内される。弾性部材２２５ｂは、上端がトッププレート２５に固定されたネジの先端に形成された穴に掛けられており、下端が押圧部２２４の背面に形成された凸部に引っ掛けられている。なお、弾性部材２２５ｂは、Ｙ軸正側とベースプレート２４のＹ軸方向の中央付近に、それぞれ、設けられている。押圧部２２４は、弾性部材２２５ｂによって、上方向（Ｚ軸負方向）に付勢されている。弾性部材２２５ｂは、たとえば、コイルバネによって構成されている。
【００４６】
ホルダガイド２２６は、板部２２６ａと、円筒部２２６ｂからなっている。円筒部２２６ｂの内側は、上下方向（Ｚ軸方向）に貫通する開口となっている。ホルダガイド２２６の板部２２６ａは、ボトムプレート２６の下面（Ｚ軸正側）にネジによって螺着されている。円筒部２２６ｂの内周の径は、押圧部２２４の円筒部２２４ｂの外周の径よりも僅かに大きい。押圧部２２４が上下方向（Ｚ軸方向）に移動すると、押圧部２２４の円筒部２２４ｂが、円筒部２２６ｂの内周に沿って移動する。また、ホルダガイド２２６は、円筒部２２６ｂの外周に沿って、後述するホルダ保持体２２７を上下方向（Ｚ軸方向）に案内する。
【００４７】
ホルダ保持体２２７には、Ｚ軸正側とＺ軸負側に、それぞれ開口が形成されている。Ｚ軸負側の開口の径は、ホルダガイド２２６の円筒部２２６ｂの外周の径よりも僅かに大きい。Ｚ軸正側の開口の径は、Ｚ軸負側の開口の径よりも小さい。ホルダガイド２２６の円筒部２２６ｂがホルダ保持体２２７のＺ軸負側の開口に挿入されて、ホルダ保持体２２７は、ネジにより押圧部２２４の円筒部２２４ｂに螺着される。これにより、ホルダ保持体２２７は、押圧部２２４に組み付けられる。
【００４８】
ホイールホルダ２２８は、ホルダ保持体２２７によってＺ軸正側に保持されている。ホイールホルダ２２８は、ホイール形状のカッターホイール２２９を、Ｘ軸に平行な２つの支軸によって、回転可能に軸支する。カッターホイール２２９は、先端がマザー基板Ｇの表面にスクライブラインを形成するための刃となっている。
【００４９】
昇降部２３は、バックアップローラ２３９を除き、昇降部２２と略同様にして構成されている。昇降部２３のホイールホルダ２３８は、バックアップローラ２３９を、Ｘ軸に平行な２つの支軸によって、回転可能に軸支する。バックアップローラ２３９は、周面が平らな形状を有している。
【００５０】
図２に戻り、シール部材２７は、ゴム枠２７ａ〜２７ｄと、留め具２７ｅからなる。ゴム枠２７ａ〜２７ｄは、それぞれ、空気を通さない弾性部材である。ゴム枠２７ａは、トッププレート２５の段部２５ａに、ゴム枠２７ｂは、ボトムプレート２６の段部２６ａに嵌り込む形状を有している。ゴム枠２７ｃ、２７ｄは、それぞれ、ベースプレート２４のＹ軸負側の段部２４ａとＹ軸正側の段部２４ａに嵌り込む形状を有している。ゴム枠２７ａ〜２７ｄの厚みは、段部２４ａ、２５ａおよび２６ａの深さよりもやや小さい。留め具２７ｅは、ベースプレート２４の段部２４ａのＺ軸方向の幅よりもやや大きい。
【００５１】
カバー２８は、左カバー部２８ａと、右カバー部２８ｂからなる。左カバー部２８ａは、板状の左側面部２８ｃと、左側面部２８ｃのＸ軸負側の端部が折り曲げられた折り曲げ部２８ｄから構成されている。右カバー部２８ｂは、板状の右側面部２８ｅと前面部２８ｆと、右側面部２８ｅのＹ軸正側の端部がＸ軸負側に一段高い段部２８ｇから構成されている。
【００５２】
ゴム枠２７ａが段部２５ａに、ゴム枠２７ｂが段部２６ａに、ゴム枠２７ｃ、２７ｄが段部２４ａに嵌め込まれた状態で、左カバー部２８ａの上下の端部がゴム枠２７ａ、２７ｂ、２７ｄの表面に当てられる。そして、左カバー部２８ａの折り曲げ部２８ｄと右カバー部２８ｂの段部２８ｇの間にスポンジ２８ｈが挟み込まれるようにし、右カバー部２８ｂの上下の端部がゴム枠２７ａ、２７ｂ、２７ｃの表面に当てられる。この状態で、左カバー部２８ａ、右カバー部２８ｂの端縁に形成された孔を介して、ネジがベースプレート２４、トッププレート２５およびボトムプレート２６に螺着される。
【００５３】
そして、留め具２７ｅがゴム枠２７ａ、２７ｂ、２７ｃを覆うようにベースプレート２４のＹ軸負側の側面に取り付けられ、留め具２７ｅがネジによりベースプレート２４に螺着される。これにより、左側面部２８ｃの上下の端部がゴム枠２７ａ、２７ｂに押し付けられ、左側面部２８ｃのＸ軸正側の端部がゴム枠２７ａ、２７ｂ、２７ｄに押し付けられるようにして、左カバー部２８ａがベースプレート２４、トッププレート２５およびボトムプレート２６に固定される。また、前面部２８ｆおよび右側面部２８ｅの上下の端部がゴム枠２７ａ、２７ｂに押し付けられ、右側面部２８ｅのＸ軸正側の端部がゴム枠２７ａ、２７ｂ、２７ｃに押し付けられるようにして、右カバー部２８ｂがベースプレート２４、トッププレート２５およびボトムプレート２６に固定される。こうして、図６に示すようにスクライブヘッド２が組み立てられる。
【００５４】
図６は、スクライブヘッド２の構成を示す斜視図である。
【００５５】
図６に示すように、駆動部２１が収容されるベースプレート２４とトッププレート２５およびボトムプレート２６の間の空間がカバー２８により囲われている。このように、駆動部２１は、カバー２８と、ベースプレート２４とトッププレート２５と、ボトムプレート２６により形成された閉空間内に配されているため、スクライブヘッド２の側面等から駆動部２１にカレットや塵埃等が侵入することが抑制される。また、トッププレート２５の給気用継手２５ｂから空気が供給されることにより、閉空間内から外部に向かう空気の流れができ、カレットや塵埃等が駆動部２１に侵入することがさらに抑制される。
【００５６】
図１（ｂ）に示すように、一対のガラス基板が相互に貼り合わされたマザー基板Ｇに対して、スクライブラインが形成される場合、上下に一対のスクライブヘッド２が配されることにより基板が挟み込まれる。この場合、バックアップローラ２３９は、反対側に配されるスクライブヘッド２のカッターホイール２２９に対向し、カッターホイール２２９よって与えられる圧力を受けて基板を支持する。
【００５７】
図７〜８（ｂ）を参照して、カッターホイール２２９を降下させる動作について説明する。
【００５８】
図７は、駆動部２１と昇降部２２、２３をＸ軸負側から見た構成を示す側面図である。図８（ａ）は、駆動部２１と昇降部２２をＹ軸正側から見た構成を示す側面図である。図８（ｂ）は、駆動部２１と昇降部２３をＹ軸負側から見た構成を示す側面図である。なお、図８（ａ）、（ｂ）では、連結部２２２が透視された状態が示されている。
【００５９】
図７を参照して、サーボモータ２１１が駆動され、サーボモータ２１１の出力軸がＺ軸負側から見て時計回りに回転すると、サーボモータ２１１の出力軸と一体的に装着された円筒カム２１２がＺ軸負側から見て時計回りに中立位置から回転する。これにより、図８（ａ）に示すように、カム面２１２ａとカムフォロア２２１の当接位置が斜面を下る方向に移動し、連結部２２２を介して押圧部２２４が下方向（Ｚ軸正側）に移動する。
【００６０】
このとき、図８（ｂ）に示すように、押圧部２３４は、弾性部材２３５ｂによって、上方向（Ｚ軸負方向）に付勢されているため、カム面２１２ｂとカムフォロア２３１の当接位置が斜面を昇る方向に移動する。押圧部２２４は、リニアガイド２２５ａに案内されて下方向に移動し、押圧部２２４の円筒部２２４ｂに固定されたホルダ保持体２２７は、ホルダガイド２２６の円筒部２２６ｂに案内されて下方向に移動する。
【００６１】
これにより、押圧部２２４に固着されたストッパーＳ１の下端部がマーカーピンＳ１ｂ（図５参照）側に近づく。あらかじめ決められたカッターホイール２２９の下降量分、押圧部２２４が下方向に移動されると、ストッパーＳ１の下端部がマーカーピンＳ１ｂに当接する。これにより、昇降部２２の下方向への移動が規制される。したがって、カッターホイール２２９の刃先がマザー基板Ｇに所定量を超えて大きく食い込むことを防ぐことができる。これにより、マザー基板Ｇに対する水平クラックＨｃの発生を抑止することができる。
【００６２】
また、押圧部２２４の下降と同時に、押圧部２３４は、リニアガイド２３５ａに案内されて上方向に移動し、押圧部２３４の円筒部２３４ｂに固定されたホルダ保持体２３７は、ホルダガイド２３６の円筒部２３６ｂに案内されて上方向に移動する。
【００６３】
こうして昇降部２３が上方向に移動すると、間もなく、ストッパー２３３ａがストッパー２３３ｂに当接する。これにより、昇降部２３の上方向の移動が抑制され、カムフォロア２３１と円筒カム２１２のカム面２１２ｂの間に、隙間が発生する。したがって、他方の昇降部２２を下方向に移動させる際にカムフォロア２３１が負荷となることがなく、昇降部２２を円滑に下方向に移動させることができる。
【００６４】
図９〜１０（ｂ）を参照して、バックアップローラ２３９を降下させる動作について説明する。
【００６５】
図９は、駆動部２１と昇降部２２、２３をＸ軸負側から見た構成を示す側面図である。図１０（ａ）は、駆動部２１と昇降部２２をＹ軸正側から見た構成を示す側面図である。図１０（ｂ）は、駆動部２１と昇降部２３をＹ軸負側から見た構成を示す側面図である。なお、図１０（ａ）、（ｂ）では、連結部２２２が透視された状態が示されている。
【００６６】
図９を参照して、サーボモータ２１１が駆動され、サーボモータ２１１の出力軸がＺ軸負側から見て反時計回りに回転すると、サーボモータ２１１の出力軸と一体的に装着された円筒カム２１２がＺ軸負側から見て反時計回りに中立位置から回転する。これにより、図１０（ｂ）に示すように、カム面２１２ｂとカムフォロア２３１の当接位置が斜面を下る方向に移動し、連結部２３２を介して押圧部２３４が下方向（Ｚ軸正側）に移動する。
【００６７】
これにより、押圧部２３４に固着されたストッパーＳ２の下端部がマーカーピンＳ２ｂ（図５参照）側に近づく。あらかじめ決められたバックアップローラ２３９の下降量分、押圧部２３４が下方向に移動されると、ストッパーＳ２の下端部がマーカーピンＳ２ｂに当接する。これにより、昇降部２３の下方向への移動が規制される。したがって、カッターホイール２２９の刃先がマザー基板Ｇに所定量を超えて大きく食い込むことを防ぐことができる。これにより、マザー基板Ｇに対する水平クラックＨｃの発生を抑止することができる。
【００６８】
なお、この場合も、図１０（ａ）に示すように、カムフォロア２２１と円筒カム２１２のカム面２１２ａの間に、隙間が発生する。したがって、昇降部２３の下方向に移動させる際にカムフォロア２２１が負荷となることがなく、昇降部２３を円滑に下方向に移動させることができる。
【００６９】
こうして、円筒カム２１２が一方に回動されることにより、図１（ｂ）に示すように、Ｚ軸負側のマザー基板Ｇにカッターホイール２２９が圧接され、Ｚ軸正側のマザー基板Ｇにバックアップローラ２３９が圧接されて、Ｚ軸負側のマザー基板Ｇにスクライブラインが形成される。また、Ｚ軸正側のマザー基板Ｇにスクライブラインが形成される場合には、円筒カム２１２が他方に回動されることにより、Ｚ軸負側のマザー基板Ｇにバックアップローラ２３９が圧接され、Ｚ軸正側のマザー基板Ｇにカッターホイール２２９が圧接される。これにより、Ｚ軸正側のマザー基板Ｇにスクライブラインが形成される。
【００７０】
＜第１実施形態の効果＞
以下、第１実施形態による作用および効果について説明する。
【００７１】
図５に示すストッパーＳ１、Ｓ２によって、カッターホイール２２９およびバックアップローラ２３９の下降可能量を制限することができる。これにより、カッターホイール２２９、バックアップローラ２３９が過度にマザー基板Ｇに食い込むことを防ぐことができ、図１（ｃ）に示すようなマザー基板Ｇに水平クラックＨｃが発生することを抑制することができる。
【００７２】
また、図５に示すように、ストッパーＳ１、Ｓ２は、ネジ状の部材となっているため、容易にカッターホイール２２９、バックアップローラ２３９の下降可能量を調整することができる。また、マザー基板Ｇの厚みに応じてバックアップローラ２３９の下降可能量を円滑に変更することができる。第１実施形態では、ストッパーＳ１、Ｓ２が設けられているため、ホイールホルダ２２８、２３８毎に個別にカッターホイール２２９とバックアップローラ２３９の下降可能量を設定することができる。
【００７３】
また、図５に示すように、押圧部２２４、２２５上側の空きスペースに、それぞれ、ストッパーＳ１、Ｓ２の一部が配置されるため、ストッパーＳ１、Ｓ２に対する操作が容易となり、且つ、装置をコンパクトに構成することができる。
【００７４】
＜第２実施形態＞
第１実施形態では、２つの昇降部２２、２３を備えるスクライブヘッド２の構成が示されたが、第２実施形態に係るスクライブヘッド５は、１つの昇降部５２を備えている。
【００７５】
図１１は、スクライブヘッド５の構成を示す一部分解斜視図である。
【００７６】
スクライブヘッド５は、駆動部５１と、昇降部５２と、ベースプレート５３と、トッププレート５４と、ボトムプレート５５と、ゴム枠５６と、カバー５７とを備える。
【００７７】
ベースプレート５３は、Ｘ軸正方向に見たときに、略長方形の輪郭を有する。ベースプレート５３のＹ軸正側およびＹ軸負側の側面には、断面がＵ字状の溝５３ａが形成されている。また、ベースプレート５３の側面には、溝５３ａに沿って複数のネジ孔が形成されている。
【００７８】
トッププレート５４は、上面視において、略長方形の輪郭を有する。トッププレート５４のＹ軸正側、Ｙ軸負側、およびＸ軸負側の側面には、断面がＵ字状の一連の溝５４ａが形成されている。トッププレート５４の中央には、開口５４ｂが形成されている。また、トッププレート５４の側面には、溝５４ａに沿って複数のネジ孔が形成されている。
【００７９】
ボトムプレート５５は、上面視において、略長方形の輪郭を有する。ボトムプレート５５のＹ軸正側、Ｙ軸負側、およびＸ軸負側の側面には、断面がＵ字状の一連の溝５５ａが形成されている。ボトムプレート５５の中央には、開口３５ｂが形成されている。また、ボトムプレート５５の側面には、溝５５ａに沿って複数のネジ孔が形成されている。
【００８０】
図１１の状態において、トッププレート５４とボトムプレート５５は、ネジによって、ベースプレート３３に螺着されている。この状態で、溝５３ａ、５４ａ、５５aは、一続きとなっている。すなわち、トッププレート５４に形成された溝５４ａの両端が、ベースプレート３３の２つの側面に形成された溝３３ａの上端にそれぞれ繋がっている。また、ボトムプレート５５に形成された溝５５ａの両端が、ベースプレート５３の２つの側面に形成された溝５３ａの下端にそれぞれ繋がっている。
【００８１】
図１１の状態において、ベースプレート５３は、Ｘ軸正側の側面とＸ軸負側の側面がそれぞれＹ−Ｚ平面（鉛直面）に平行となっている。また、トッププレート５４は、Ｚ軸正側の側面とＺ軸負側の側面がそれぞれＸ−Ｙ平面（水平面）に平行となっており、ボトムプレート５５は、Ｚ軸正側の側面とＺ軸負側の側面がそれぞれＸ−Ｙ平面（水平面）に平行となっている。すなわち、トッププレート５４とボトムプレート５５は、ベースプレート５３に垂直に繋がり、且つ、所定の間隔をおいて互いに正対向するように、ベースプレート５３に取り付けられている。
【００８２】
図１２（ａ）は、駆動部５１と昇降部５２をＹ軸正側から見た構成を示す側面図である。図１２（ｂ）は、駆動部５１と昇降部５２をＹ軸負側から見た構成を示す側面図である。
【００８３】
図１２（ａ）を参照して、駆動部５１は、サーボモータ５１１と、円筒カム５１２を備えている。
【００８４】
サーボモータ５１１は、出力軸が円筒カム５１２の上部に形成された穴に圧入されている。この他、サーボモータ５１１は、上記第１実施形態と同様にして構成されている。
【００８５】
円筒カム５１２は、上記第１実施形態とは異なり、円柱が斜めに切り欠かれた形状を有する。サーボモータ５１１の出力軸と円筒カム５１２は、ネジによって圧着固定されている。したがって、サーボモータ５１１が駆動されると、円筒カム５１２は、サーボモータ５１１の出力軸と一体となって、Ｘ−Ｙ平面に平行な方向に回転する。円筒カム５１２のカム面５１２ａは、Ｘ−Ｙ平面（水平面）に対して、所定の角度で傾斜している。
【００８６】
昇降部５２は、カムフォロア５２１と、押圧部５２２と、リニアガイド５２３ａと、弾性部材５２３ｂと、ホルダガイド５２４と、ホルダ保持体５２５と、ホイールホルダ５２６、５２７と、カッターホイール５２８と、バックアップローラ５２９と、ストッパーＳ３を備える。
【００８７】
カムフォロア５２１は、Ｙ軸に平行な軸により、押圧部５２２に回転可能に軸支されている。円筒カム５１２のカム面５１２ａは、カムフォロア５２１の外周面に当接している。円筒カム５１２がサーボモータ５１１により回転されると、カム面５１２ａとカムフォロア５２１の当接位置が、Ｚ軸方向に変化する。これにより、カムフォロア５２１が上下方向（Ｚ軸方向）に移動される。
【００８８】
押圧部５２２は、背面（Ｘ軸正側の面）にガイド受け部５２２ａが設けられている。ガイド受け部５２２ａは、ネジによって押圧部５２２に固着されている。押圧部５２２の下面（Ｚ軸正側の面）には、円筒部５２２ｂが形成されている。円筒部５２２ｂの外周の径は、ボトムプレート５５の開口５５ｂ（図１１参照）の径よりもやや小さい。円筒部５２２ｂはボトムプレート５５の開口５５ｂ（図１１参照）に挿入される。円筒部５２２ｂの下端面は、ホルダ保持体５２５にネジ留めされている。
【００８９】
リニアガイド５２３ａは、Ｚ軸方向に延びるように、ベースプレート５３にネジによって固着されている。押圧部５２２のガイド受け部５２２ａは、リニアガイド５２３ａと噛み合っている。これにより、押圧部５２２は、リニアガイド５２３ａによって、上下方向（Ｚ軸方向）に案内される。弾性部材５２３ｂは、上端がトッププレート５４に固定されたネジの先端に形成された穴に掛けられており、下端が押圧部５２２の背面に形成された凸部に引っ掛けられている。なお、弾性部材５２３ｂは、Ｙ軸正側とＹ軸負側の両方に、それぞれ、設けられている。押圧部５２２は、弾性部材２１６によって、上方向（Ｚ軸負方向）に付勢されている。弾性部材５２３ｂは、たとえば、コイルバネによって構成されている。
【００９０】
図１３（ａ）、（ｂ）は、ストッパーＳ３の周辺部を拡大した一部拡大図である。図１３（ａ）では、ホルダ保持体５２５と、ストッパーＳ３が取り外された状態の昇降部５２が示されている。
【００９１】
図１３（ａ）を参照して、ホルダガイド５２４は、板部５２４ａと、円筒部５２４ｂからなっている。円筒部５２４ｂの内側は、上下方向に貫通する開口となっている。ホルダガイド５２４の板部５２４ａは、ボトムプレート５５の下面に３つのネジ５２４ｃによって螺着されている。また、ホルダガイド５２４の３つのネジ５２４ｃが螺着されていない角には、孔５２４ｄが形成されている。また、ボトムプレート５５にも孔５２４ｄに繋がるようにして、上下方向に貫通するネジ孔５５ｃが形成されている。円筒部５２４ｂの内周の径は、押圧部５２２の円筒部５２２ｂの外周の径よりも僅かに大きい。押圧部５２２が上下方向に移動すると、押圧部５２２の円筒部５２２ｂが、円筒部５２４ｂの内周に沿って移動する。また、ホルダガイド５２４は、円筒部５２４ｂの外周に沿って、後述するホルダ保持体５２５を上下方向に案内する。
【００９２】
ストッパーＳ３は、ネジ状の部材である。ストッパーＳ３は、図１３（ｂ）に示すように、ナットＳ３ａが取り付けられた状態で、孔５２４ｄを介して、ボトムプレート５５に形成されたネジ孔３５ｃに螺着される。押圧部５２２の下面には、窪み５２２ｃが形成されており、窪み５２２ｃには、マーカーピンＳ３ｂが固着されている。ストッパーＳ３の下面およびマーカーピンＳ３ｂの上面は、Ｘ−Ｙ平面に平行となっている。図１３（ｂ）に示す状態で、ストッパーＳ３の上端と、マーカーピンＳ３ｂの間には、所定の隙間が生じている。この隙間がカッターホイール５２８、バックアップローラ５２９の下降可能量に相当する。この隙間の大きさは、ストッパーＳ３を回すことにより調整可能である。ストッパーＳ３の上端がマーカーピンＳ３ｂに近づけば近づくほど、カッターホイール５２８、バックアップローラ５２９の下降可能量が小さくなる。ストッパーＳ３とマーカーピンＳ３ｂとの距離は、スクライブヘッド５とマザー基板Ｇとの距離に応じて、カッターホイール５２８の刃先が所定量以上マザー基板Ｇに食い込まないように、適宜設定される。
【００９３】
ホルダ保持体５２５には、Ｚ軸正側とＺ軸負側に、それぞれ開口が形成されている。Ｚ軸負側の開口の径は、ホルダガイド５２４の円筒部５２４ｂの外周の径よりも僅かに大きい。Ｚ軸正側の開口の径は、Ｚ軸負側の開口の径よりも小さい。ホルダガイド５２４の円筒部５２４ｂがホルダ保持体５２５のＺ軸負側の開口に挿入されて、ホルダ保持体５２５は、ネジにより押圧部５２２の円筒部５２２ｂに螺着される。これにより、ホルダ保持体５２５は、押圧部５２２に組み付けられる。
【００９４】
ホイールホルダ５２６、５２７は、ホルダ保持体５２５によってＺ軸正側に保持されている。ホイールホルダ５２６は、ホイール形状のカッターホイール５２８を、Ｘ軸に平行な２つの支軸によって、回転可能に軸支する。ホイールホルダ５２７は、バックアップローラ５２９を、Ｘ軸に平行な２つの支軸によって、回転可能に軸支する。バックアップローラ５２９は、周面が平らな形状を有している。カッターホイール５２８は、先端がマザー基板Ｇの表面にスクライブラインを形成するための刃となっている。バックアップローラ５２９は、周面が平らな形状を有している。
【００９５】
なお、図１１〜１４（ｂ）には、カッターホイール５２８と、バックアップローラ５２９が設けられている構成例が示されたが、図１（ａ）に示すように、スクライブヘッド５がＺ軸負側に配され、Ｚ軸負側のマザー基板Ｇの上面にスクライブラインを形成する場合は、ホイールホルダ５２７とバックアップローラ５２９が取り外される。また、図１（ａ）に示すように、スクライブヘッド５がＺ軸負側に配され、Ｚ軸正側のマザー基板Ｇの上面にスクライブラインを形成する場合は、ホイールホルダ５２６とカッターホイール５２８が取り外される。以下では、ホイールホルダ５２６とバックアップローラ５２９は、ホルダ保持体５２５から取り外されているとして、説明を行う。
【００９６】
図１１に戻り、ゴム枠５６は、空気を通さない弾性部材である。ゴム枠５６は、ベースプレート５３の溝５３ａ、トッププレート５４の溝５４ａおよびボトムプレート５５の溝５５ａに嵌まり込む形状を有している。ゴム枠５６の厚みは、溝５３ａ、５４ａおよび５５ａの深さよりも大きい。すなわち、ゴム枠５６が溝５３ａ、５４ａ、５５ａに装着された状態で、ゴム枠５６の表面は、ベースプレート５３、トッププレート５４およびボトムプレート５５の側面よりも僅かに外側に突出する。
【００９７】
カバー５７は、前面部５７ａ、右側面部５７ｂおよび左側面部５７ｃの３つの板部が折り曲げられた形状を有する。右側面部５７ｂには、給気用継手５７ｄが設けられている。
【００９８】
ゴム枠５６が溝５３ａ、５４ａ、５５ａに嵌め込まれた状態で、カバー５７の右側面部５７ｂと左側面部５７ｃが外側に撓むように変形されて、カバー５７がベースプレート５３、トッププレート５４およびボトムプレート５５に取り付けられる。この状態で、前面部５７ａの上下の端縁に形成された２つの孔５７ｆを介して、ネジがトッププレート５４およびボトムプレート５５に螺着される。これにより、前面部５７ａの上下の端部がゴム枠５６に押し付けられるようにして、カバー５７が、トッププレート５４およびボトムプレート５５に固定される。さらに、ベースプレート５３、トッププレート５４およびボトムプレート５５の溝５３ａ、５４ａ、５５ａのやや外側に形成されたネジ穴に、ネジが螺着される。これにより、カバー５７が、ベースプレート５３、トッププレート５４およびボトムプレート５５とネジの頭部とによって挟み込まれ、右側面部５７ｂおよび左側面部５７ｃの周縁部がゴム枠５６に押し付けられる。こうして、図１４に示すようにスクライブヘッド５が組み立てられる。
【００９９】
図１４は、スクライブヘッド５の構成を示す斜視図である。
【０１００】
図１４に示すように、駆動部５１が収容されるベースプレート５３とトッププレート５４およびボトムプレート５５の間の空間がカバー５７により囲われている。このように、駆動部５１は、カバー５７と、ベースプレート５３とトッププレート５４と、ボトムプレート５５により形成された閉空間内に配されているため、スクライブヘッド５の側面等から駆動部５１にカレットや塵埃等が侵入することを防ぐことができる。また、給気用継手５７ｄから空気が供給されることにより、閉空間内から外部に向かう空気の流れができ、カレットや塵埃等が駆動部５１に侵入することがさらに抑制される。
【０１０１】
図１５（ａ）、（ｂ）を参照して、カッターホイール５２８を降下させる動作について説明する。
【０１０２】
図１５（ａ）、（ｂ）は、駆動部５１と昇降部５２をＸ軸負側から見た構成を示す側面図である。なお、図１５（ａ）、（ｂ）では、カバー５７が透視された状態が示されている。
【０１０３】
サーボモータ５１１が駆動され、サーボモータ５１１の出力軸がＺ軸負側から見て時計周りに回転すると、サーボモータ５１１の出力軸と一体的に装着された円筒カム５１２が回転する。これにより、図１５（ｂ）に示すように、カム面５１２ａ（図１２（ｂ）参照）とカムフォロア５２１の当接位置が斜面を下る方向に移動し、押圧部５２２が下方向（Ｚ軸正側）に移動する。押圧部５２２は、リニアガイド５２３ａ（図１２（ａ）参照）に案内されて下方向に移動され、押圧部５２２の円筒部５２２ｂに固定されたホルダ保持体５２５は、ホルダガイド５２４の円筒部５２４ｂに案内されて下方向に移動される。
【０１０４】
これにより、押圧部５２２のマーカーピンＳ３ｂ（図１３（ｂ）参照）がストッパーＳ３の上端部側に近づく。あらかじめ決められたカッターホイール５２８の下降量分、押圧部５２２が下方向に移動されると、ストッパーＳ３の上端部がマーカーピンＳ３ｂに当接する。これにより、昇降部５２の下方向への移動が規制される。したがって、カッターホイール５２８の刃先が過度にマザー基板Ｇに食い込むことを防ぐことができる。これにより、マザー基板Ｇに対する水平クラックＨｃの発生を抑止することができる。
【０１０５】
こうして、カッターホイール５２８がマザー基板Ｇに圧接されて、スクライブラインが形成される。
【０１０６】
サーボモータ５１１が他方に回転すると、カム面５１２ａ（図１２（ｂ）参照）とカムフォロア５２１の当接位置が元の位置に戻り、弾性部材５２３ｂによる付勢力によって、押圧部５２２が上方向（Ｚ軸負側）に移動される。これにより、カッターホイール５２８がマザー基板Ｇから離される。
【０１０７】
＜第２実施形態の効果＞
以下、第２実施形態による作用および効果について説明する。
【０１０８】
図１３（ｂ）に示すストッパーＳ３によって、カッターホイール５２８、バックアップローラ５２９の下降可能量を制限することができる。これにより、カッターホイール５２８、バックアップローラ５２９が過度にマザー基板Ｇに食い込むことを防ぐことができ、図１（ｃ）に示すようなマザー基板Ｇに水平クラックＨｃが発生することを抑制することができる。
【０１０９】
また、図１３（ａ）に示すように、ストッパーＳ３は、ネジ状の部材となっているため、容易にカッターホイール５２８、バックアップローラ５２９の下降可能量を調整することができる。
【０１１０】
また、図１３（ｂ）に示すように、ストッパーＳ３は、ボトムプレート５５の下側にネジの頭部が位置付けられるように設けられているため、カバー５７を取り外すことなく、カッターホイール５２８、バックアップローラ５２９の下降可能量を調整することができる。
【０１１１】
また、ストッパーＳ３は、ホルダガイド５２４の角に形成された孔５２４ｄを介して、ボトムプレート５５にネジ留めされており、ホルダガイド５２４のネジ留め部材として共用される。これにより、ボトムプレート５５の下部のスペースを有効的に利用することができる。
【０１１２】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施の形態も上記以外に種々の変更が可能である。
【０１１３】
たとえば、上記第１実施形態では、円筒カム２１２とカムフォロア２２１、２３１によって、ホイールホルダ２２８、２３８が昇降されたが他の駆動手段によって、ホイールホルダが昇降されても良い。たとえば、ラック・アンド・ピニオン方式によりホイールホルダが昇降されても良い。
【０１１４】
また、上記第１実施形態では、ストッパーＳ１、Ｓ２がホイールホルダ２２８、２３８の昇降方向（Ｚ軸方向）に平行な方向に突出するように設けられたが、たとえば、ベースプレート２４側からＸ軸負側に向かって突出するようにストッパーが設けられても良い。同様に、上記第２実施形態のストッパーＳ３に代えて、ベースプレート３３側からＸ軸負側に向かって突出するようにストッパーが設けられても良い。
【０１１５】
また、上記第１実施形態では、ストッパーＳ１、Ｓ２がボトムプレート２６に向かって突出するように設けられたが、第１実施形態に示す構成においても、上記第２実施形態のように、ボトムプレート２６から押圧部２２４、２３４に向かって突出するように２つのストッパーが設けられても良い。さらには、押圧部２２４、２３４とボトムプレート２６の両方から互いに近づく方向に突出するようにストッパーが設けられても良い。上記第２実施形態においても同様にストッパーＳ３の突出方向は変更され得る。
【０１１６】
また、上記第１実施形態では、ストッパーは２つ設けられ、上記第２の実施形態では、ストッパーは１つ設けられたが、それぞれ、１つ以上の任意の数のストッパーに変更され得る。
【０１１７】
また、上記第１実施形態では、ストッパーＳ１、Ｓ２は、それぞれ、ネジ状の部材として構成されたが、たとえば、押圧部２２４、２３４の下面を下方向に突出させることによりストッパーＳ１、Ｓ２が形成されていて良いし、ボトムプレート２６の上面を上方向に突出させることによりストッパーＳ１、Ｓ２が形成されていても良い。この他、ストッパーは、ホイールホルダ２２８、２３８の下降可能量を制限することが可能であれば、どのような形態であっても良い。また、上記第２実施形態におけるストッパーＳ３も同様に変更され得る。
【０１１８】
また、上記第１実施形態では、ホイールホルダ２２８にカッターホイール２２９、ホイールホルダ２３８にバックアップローラ２３９が保持されたが、ホイールホルダ２３８にもカッターホイール２２９が保持されていても良い。上記第２実施形態においても同様に変更され得る。
【０１１９】
また、上記第１実施形態では、マザー基板Ｇの表面にスクライブラインを形成するカッター（スクライビングツール）として、支軸周りに回転するカッターホイール２２９が用いられたが、スクライブラインを形成するカッターはこれに限られない。たとえば、マザー基板Ｇの表面に圧接しながら回転することなく移動するカッターを用いたスクライブヘッドにも、本発明を適用可能である。上記第２実施形態においても同様に変更され得る。
【０１２０】
この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【０１２１】
１  …  スクライブ装置
２、５  …  スクライブヘッド
４  …  移動機構
１１  …  コンベア
２１、５１  …  駆動部
２２、２３、５２  …  昇降部
２６、５５  …  ボトムプレート
２１１、５１１  …  サーボモータ
２２４、２３４、５２２  …  押圧部
２２８、２３８、５２６、５２７  …  ホイールホルダ
２２９、５２８  …  カッターホイール
２３９、５２９  …  バックアップローラ
Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３  …  ストッパー
Ｇ  …  マザー基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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