(57)【要約】【課題】大型搬送物と小型搬送物とを搬送できながら、これらの搬送物の支持部の支持や支持解除の切換動作を迅速に行うことができる搬送装置を提供する。【解決手段】一対の大型用支持部３１Ｌａ，３１Ｌｂの夫々を大型用支持位置及び大型用退避位置に移動させる大型用駆動部と、一対の小型用支持部３１Ｓａ，３１Ｓｂの夫々を小型用支持位置及び小型用退避位置に移動させる小型用駆動部と、を設け、小型用退避位置を、一対の大型用支持部３１Ｌａ，３１Ｌｂにて支持されている被支持部９よりも一対の小型用支持部３１Ｓａ，３１Ｓｂが上方に位置する高さに設定し、一対の小型用支持部３１Ｓａ，３１Ｓｂを、横幅方向において一対の大型用支持部３１Ｌａ，３１Ｌｂの間に設ける。【選択図】図６
2015048194.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物の上端部に備えられた被支持部を前記搬送物の横幅方向から支持する一対の支持部と、
前記一対の支持部を支持する移動体と、
前記移動体を移動させる搬送用駆動部と、が設けられている搬送装置であって、
前記搬送物として、小型搬送物と当該小型搬送物より体積が大きい大型搬送物とがあり、
前記大型搬送物の前記被支持部が、前記小型搬送物の前記被支持部より前記横幅方向に幅広に形成され、
前記一対の支持部として、前記大型搬送物の前記被支持部を支持する一対の大型用支持部と、前記小型搬送物の前記被支持部を支持する一対の小型用支持部と、を各別に設け、
前記一対の大型用支持部の夫々を、他方の前記大型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる大型用支持位置、及び、他方の前記大型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅広な間隔となる大型用退避位置、に移動させる大型用駆動部と、
前記一対の小型用支持部の夫々を、他方の前記小型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記小型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる小型用支持位置、及び、他方の前記小型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記小型搬送物の前記被支持部の横幅より幅広な間隔で且つ前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる小型用退避位置、に移動させる小型用駆動部と、が設けられ、
前記小型用退避位置が、前記一対の大型用支持部にて支持されている前記被支持部よりも前記一対の小型用支持部が上方に位置する高さに設定され、
前記一対の小型用支持部が、前記横幅方向において前記一対の大型用支持部の間に設けられている搬送装置。
【請求項２】
前記一対の大型用支持部及び前記一対の小型用支持部の夫々が、前記横幅方向と直交する前後方向に沿う揺動軸心周りに揺動自在に前記移動体に支持され、
前記一対の大型用支持部が、前記揺動軸心周りの揺動により、前記大型用支持位置と前記大型用退避位置とに移動自在に構成され、
前記一対の小型用支持部が、前記揺動軸心周りの揺動により、前記小型用支持位置と前記小型用退避位置とに移動自在に構成されている請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記一対の大型用支持部について、前記横幅方向の一方側となる第１方向側に位置する前記大型用支持部を第１大型用支持部、前記横幅方向の前記第１方向側とは反対側の第２方向側に位置する前記大型用支持部を第２大型用支持部とし、
前記一対の小型用支持部について、前記第１方向側に位置する前記小型用支持部を第１小型用支持部、前記第２方向側に位置する前記小型用支持部を第２小型用支持部として、
前記第１大型用支持部及び前記第１小型用支持部を移動操作する第１操作部と、前記第２大型用支持部及び前記第２小型用支持部を移動操作する第２操作部と、を設け、
前記第１操作部が、第１基準位置から前記第１方向側に移動することで前記第１大型用支持部における揺動軸心より上方に位置する小型用被操作部分を前記第１方向側に押圧して前記第１大型用支持部を前記大型用退避位置から前記大型用支持位置に移動操作し、且つ、前記第１基準位置から前記第２方向側に移動することで前記第１小型用支持部における揺動軸心より下方に位置する小型用被操作部分を前記第２方向側に押圧して前記第１小型用支持部を前記小型用退避位置から前記小型用支持位置に移動操作する状態で、前記横幅方向で前記第１大型用支持部と前記第１小型用支持部との間に設けられ、
前記第２操作部が、第２基準位置から前記第２方向側に移動することで前記第２大型用支持部における揺動軸心より上方に位置する大型用被操作部分を前記第２方向側に押圧して前記第２大型用支持部を前記大型用退避位置から前記大型用支持位置に移動操作し、且つ、第２基準位置から前記第１方向側に移動することで前記第２小型用支持部における揺動軸心より下方に位置する小型用被操作部分を前記第１方向側に押圧して前記第２小型用支持部を前記小型用退避位置から前記小型用支持位置に移動操作する状態で、前記横幅方向で前記第２大型用支持部と前記第２小型用支持部との間に設けられ、
前記第１操作部と前記第２操作部とを前記横幅方向で反対方向に同期させた状態で移動させるように前記第１操作部と前記第２操作部とを連係する連係部と、
前記連係部を駆動操作する支持用駆動部が、前記大型用駆動部及び前記小型用駆動部として設けられている請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記第１大型用支持部における前記大型用被操作部分を前記第２方向側に付勢する第１大型用付勢部材と、前記第２大型用支持部における前記大型用被操作部分を前記第１方向側に付勢する第２大型用付勢部材と、前記第１小型用支持部における前記小型用被操作部分を前記第１方向側に付勢する第１小型用付勢部材と、前記第２小型用支持部における前記小型用被操作部分を前記第２方向側に付勢する第２小型用付勢部材と、が設けられている請求項３記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送物に、本体部と、前記本体部の上面より上方に突出した突出部と、前記突出部から横幅方向の両側に突出する被支持部と、が備えられ、前記被支持部を支持する一対の支持部と、前記一対の支持部を前記横幅方向及び上下方向に移動自在に支持する移動体と、前記移動体を移動させる搬送用駆動部と、を設けている搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる搬送装置の従来例が、特開２００３−１７１０８１号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の搬送設備では、一対の支持部にて搬送物の被支持部を支持した状態で移動体を移動させて物品を搬送するようになっており、搬送物を搬送するために用いられるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１７１０８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した特許文献１の搬送設備は、１種類の搬送物を搬送するように構成されているが、搬送装置において、容積が異なる複数種の物品を搬送することが要求される場合がある。
具体例を挙げると、特許文献１の搬送装置では、半導体ウェハを収容するＦＯＵＰを搬送物として搬送しているが、ＦＯＵＰには、４５０ｍｍサイズの半導体ウェハを収容するＦＯＵＰ（以下、大型搬送物の一例）や、３００ｍｍサイズの半導体ウェハを収容するＦＯＵＰ（以下、小型搬送物の一例）があり、これらの容積が異なるＦＯＵＰを搬送することが要求される場合がある。そして、上述の４５０ｍｍ用ＦＯＵＰと３００ｍｍ用ＦＯＵＰとでは、容積が異なるに伴って被支持部の横幅方向の幅（横幅）も異なっている。
【０００５】
このように、大型搬送物と小型搬送物とを搬送しようとする場合、一対の支持部にて支持する被支持部は、大型搬送物と小型搬送物とで横幅が異なる場合がある。
そこで、被支持部の横幅が異なる大型搬送物と小型搬送物とを搬送する場合、例えば、一対の支持部の位置を、互いの間隔が大型搬送物の被支持部の横幅より幅広となる退避位置と、大型搬送物の被支持部の横幅に対応する間隔となる大型用支持位置と、小型搬送物の支持部の横幅に対応する間隔となる小型用支持位置と、に位置変更させるようにすることで、一対の支持部にて大型搬送物と小型搬送物とを支持できるようにすることが考えられる。
しかしながら、上述のように構成した場合では、大型用支持位置での一対の支持部の間隔は退避位置での一対の支持部の間隔より狭く、小型用支持位置での一対の支持部の間隔は大型用位置での一対の支持部の間隔よりさらに狭い。そのため、一対の支持体の退避位置から小型用支持位置までの移動距離が長く、一対の支持体を退避位置から小型支持位置まで移動に要する時間が長くなるので、小型搬送物を支持や支持解除の切換動作に長い時間を要することになる。
【０００６】
そこで、大型搬送物と小型搬送物とを搬送できながら、これらの搬送物の支持部の支持や支持解除の切換動作を迅速に行うことができる搬送装置が求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る搬送装置の特徴構成は、搬送物の上端部に備えられた被支持部を支持する一対の支持部と、前記一対の支持部を支持する移動体と、前記移動体を移動させる搬送用駆動部と、を設けている搬送装置において、
前記搬送物として、小型搬送物と当該小型搬送物より体積が大きい大型搬送物とがあり、前記大型搬送物の前記被支持部が、前記小型搬送物の前記被支持部より横幅方向に幅広に形成され、前記一対の支持部として、前記大型搬送物の前記被支持部を支持する一対の大型用支持部と、前記小型搬送物の前記被支持部を支持する一対の小型用支持部と、を各別に設け、  前記一対の大型用支持部の夫々を、他方の前記大型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる大型用支持位置、及び、他方の前記大型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅広な間隔となる大型用退避位置、に移動させる大型用駆動部と、前記一対の小型用支持部の夫々を、他方の前記小型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記小型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる小型用支持位置、及び、他方の前記小型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記小型搬送物の前記被支持部の横幅より幅広な間隔で且つ前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる小型用退避位置、に移動させる小型用駆動部と、が設けられ、前記小型用退避位置が、前記一対の大型用支持部にて支持されている前記被支持部よりも前記一対の小型用支持部が上方に位置する高さに設定され、前記一対の小型用支持部が、前記横幅方向において前記一対の大型用支持部の間に設けられている点にある。
【０００８】
この特徴構成によれば、一対の大型用支持部を、大型用退避位置から大型用支持位置に移動させることで、一対の大型用支持部にて大型搬送物の被支持部を支持することができ、このように一対の大型用支持部にて大型搬送物の被支持部を支持した状態で、移動体を移動させることで、大型搬送物を搬送することができる。
また、一対の小型用支持部を、小型用退避位置から小型用支持位置に移動させることで、一対の小型用支持部にて小型搬送物の被支持部を支持することができ、このように一対の小型用支持部にて小型搬送物の被支持部を支持した状態で、移動体を移動させることで、小型搬送物を搬送することができる。
【０００９】
そして、大型用退避位置を、一対の大型用支持部の互いの間隔が大型搬送物の被支持部の横幅より幅広となる位置に設定しており、これに対して、小型用退避位置を、一対の小型用支持部の互いの間隔が小型搬送物の被支持部の横幅より幅広で且つ大型搬送物の被支持部の横幅より幅狭となる位置に設定している。
つまり、小型用退避位置に位置する一対の小型用支持部の間隔は、大型用退避位置に位置する一対の大型用支持部の間隔より横幅方向に狭い。そのため、小型搬送物を支持するときや支持を解除する場合、一対の小型用支持部を小型用退避位置から小型用支持位置に移動させるときに、その移動距離を比較的短くでき、小型搬送物を支持するときや支持を解除するときの時間の短縮化を図ることができる。
【００１０】
小型用退避位置は、一対の大型用支持部にて支持されている被支持部よりも一対の小型用支持部が上方に位置する高さに設定されている。そのため、搬送装置の小型化を図るべく一対の小型用支持部を一対の大型用支持部の間に配設したとしても、一対の大型用支持部にて支持されている大型搬送物の被支持部が小型用退避位置に位置する一対の小型用支持部に接触することを回避できるため、大型搬送物と小型搬送物とを搬送することができる。
このように、大型搬送物と小型搬送物とを搬送できながら、これらの搬送物の支持部の支持や支持解除の切換動作を迅速に行うことができる搬送装置を提供できるに至った。
【００１１】
ここで、前記一対の大型用支持部及び前記一対の小型用支持部の夫々が、前記横幅方向と直交する前後方向に沿う揺動軸心周りに揺動自在に前記移動体に支持され、前記一対の大型用支持部が、前記揺動軸心周りの揺動により、前記大型用支持位置と前記大型用退避位置とに移動自在に構成され、前記一対の小型用支持部が、前記揺動軸心周りの揺動により、前記小型用支持位置と前記小型用退避位置とに移動自在に構成されていると好適である。
【００１２】
この構成によれば、一対の大型用支持部を揺動軸心周りに揺動させることで、一対の大型用支持部を横幅方向及び上下方向に移動させて大型用退避位置や小型用支持位置に移動させることができる。また、一対の小型用支持部を揺動軸心周りに揺動させることで、一対の小型用支持部を横幅方向及び上下方向に移動させて小型用退避位置や大型用支持位置に移動させることができる。
このように一対の大型用支持部や一対の小型用支持部を揺動軸心周りに揺動させるだけで退避位置や支持位置に移動させることができるので、支持部を横幅方向に移動させる機構と支持部を上下方向に移動させる機構とを各別に設ける場合に比べて構成の簡素化を図ることができる。
【００１３】
また、前記一対の大型用支持部について、前記横幅方向の一方側となる第１方向側に位置する前記大型用支持部を第１大型用支持部、前記横幅方向の前記第１方向側とは反対側の第２方向側に位置する前記大型用支持部を第２大型用支持部とし、前記一対の小型用支持部について、前記第１方向側に位置する前記小型用支持部を第１小型用支持部、前記第２方向側に位置する前記小型用支持部を第２小型用支持部として、前記第１大型用支持部及び前記第１小型用支持部を移動操作する第１操作部と、前記第２大型用支持部及び前記第２小型用支持部を移動操作する第２操作部と、を設け、前記第１操作部が、第１基準位置から前記第１方向側に移動することで前記第１大型用支持部における揺動軸心より上方に位置する大型用被操作部分を前記第１方向側に押圧して前記第１大型用支持部を前記大型用退避位置から前記大型用支持位置に移動操作し、且つ、前記第１基準位置から前記第２方向側に移動することで前記第１小型用支持部における揺動軸心より下方に位置する小型用被操作部分を前記第２方向側に押圧して前記第１小型用支持部を前記小型用退避位置から前記小型用支持位置に移動操作する状態で、前記横幅方向で前記第１大型用支持部と前記第１小型用支持部との間に設けられ、前記第２操作部が、第２基準位置から前記第２方向側に移動することで前記第２大型用支持部における揺動軸心より上方に位置する大型用被操作部分を前記第２方向側に押圧して前記第２大型用支持部を前記大型用退避位置から前記大型用支持位置に移動操作し、且つ、第２基準位置から前記第１方向側に移動することで前記第２小型用支持部における揺動軸心より下方に位置する小型用被操作部分を前記第１方向側に押圧して前記第２小型用支持部を前記小型用退避位置から前記小型用支持位置に移動操作する状態で、前記横幅方向で前記第２大型用支持部と前記第２小型用支持部との間に設けられ、前記第１操作部と前記第２操作部とを前記横幅方向で反対方向に移動させるように前記第１操作部と前記第２操作部とを連係する連係部と、前記支持用駆動部が、前記連係部を駆動操作するように構成されて前記大型用駆動部及び前記小型用駆動部として機能していると好適である。
【００１４】
この構成によれば、連係部の操作により、第１操作部を第１方向側に移動させて第１大型用支持部を大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作するとともに、第２操作部を第２方向側に移動させて第２大型操作部を大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作することができる。また、連係部の操作により、第１操作部を第２方向側に移動させて第１小型用支持部を小型用退避位置から小型用支持位置に移動操作するとともに、第２操作部を第１方向側に移動させて第２小型操作部を小型用退避位置から小型用支持位置に移動操作することができる。
そして、第１操作部の第１方向への移動と第２操作部の第２方向への移動とを同期させた状態で移動させることができ、また、第１操作部の第２方向への移動と第２操作部の第１方向への移動とを同期させることができるので、横幅方向の両側から同時に一対の支持部を移動させて搬送物を適切に支持し易い。
また、連係部を駆動操作する１つの支持用駆動部に、一対の大型用支持部を大型用退避位置と大型用支持位置とに移動させる大型用駆動部としての機能と、一対の小型用支持部を小型用退避位置と小型用支持位置とに移動させる小型用駆動部としての機能と、を備えさせることができるため、駆動部の個数を減少させることができる。
【００１５】
また、前記第１大型用支持部における前記大型用被操作部分を前記第２方向側に付勢する第１大型用付勢部材と、前記第２大型用支持部における前記大型用被操作部分を前記第１方向側に付勢する第２大型用付勢部材と、前記第１小型用支持部における前記小型用被操作部分を前記第１方向側に付勢する第１小型用付勢部材と、前記第２小型用支持部における前記小型用被操作部分を前記第２方向側に付勢する第２小型用付勢部材と、が設けられていると好適である。
【００１６】
この構成によれば、第１大型用支持部を第１大型用支持位置に移動させた状態では、第１大型用付勢部材の被操作部が第１大型用付勢部材にて第１操作部が存在する第１方向側に付勢される。そのため、第１大型用付勢部材の被操作部が第１操作部に押し付けられて、第１大型用付勢部材を第２大型用支持位置に保持することができる。同様に、第２大型用支持部を第２大型用支持位置に保持し、第１小型用支持部を第１小型用支持位置に保持し、第２小型用支持部を第２小型用支持位置に保持することができる。
このように一対の大型用支持部の夫々を大型用支持位置に保持し、一対の小型用支持部の夫々を小型用支持位置に保持することができるので、大型搬送物や小型搬送物を適切に支持して搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】物品搬送設備の正面図
【図２】大型搬送物を支持している搬送装置の正面図
【図３】小型搬送物を支持している搬送装置の正面図
【図４】移動体の内部構造を示す平面図
【図５】移動体の縦断正面図
【図６】一対の大型用支持部を支持位置に移動させた移動体の縦断正面図
【図７】一対の小型用支持部を支持位置に移動させた移動体の縦断正面図
【図８】第１操作部の移動作用図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明にかかる搬送装置を備えた物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図４に示すように、物品搬送設備には、天井側に走行経路に沿って配設された走行レール２に案内支持されて走行経路に沿って走行自在な搬送装置としての天井搬送車１と、基板に対して処理を行う処理装置３と、その処理装置３に隣接する状態で床側に設けられた物品支持台４と、が設けられている。搬送物６は、収容物を収容する搬送容器であり、具体的には、半導体ウェハを収容するＦＯＵＰである。
【００１９】
図２及び図３に示すように、搬送物６には、複数枚の基板を収容する本体部７と、この本体部７より上方に位置して搬送物６の上端部に備えられた被支持部９と、本体部７と被支持部９とを連結する連結部８と、が備えられている。被支持部９は、連結部８から容器前後方向及び容器左右方向に突出する形状に形成されており、本体部７と被支持部９との間には、後述する支持部３１が容器横幅方向に挿入される隙間が形成されている。また、被支持部９の上面には、天井搬送車１に備えられた突起部３４が上方から係合する凹入部１０（図６及び図７参照）が備えられている。図示は省略するが、本体部７の前面には、本体部７の収容空間に対して基板を出し入れするための開口部が形成されている。
【００２０】
図２及び図３に示すように、搬送物６には、小型搬送物６Ｓ（３００ｍｍサイズの半導体ウェハを収容するＦＯＵＰ）と当該小型搬送物６Ｓより体積が大きい大型搬送物６Ｌ（４５０ｍｍサイズの半導体ウェハを収容するＦＯＵＰ）とがある。大型搬送物６Ｌの本体部７は、小型搬送物６Ｓの本体部７に比べて、上下方向、容器左右方向及び容器前後方向に大きく形成されており、小型搬送物６Ｓの本体部７より大きな基板を収容できるようになっている。
ちなみに、図１は、大型搬送物６Ｌを例に、天井搬送車１が処理装置３の物品支持台４との間で搬送物６を授受する状態を示す図である。また、図２は、大型搬送物６Ｌを搬送している天井搬送車１を示す図であり、図３は、小型搬送物６Ｓを搬送している天井搬送車１を示す図である。
【００２１】
図６及び図７に示すように、大型搬送物６Ｌの連結部８は、小型搬送物６Ｓの連結部８に比べて、上下方向に長く形成されている。そのため、大型搬送物６Ｌにおける本体部７と被支持部９との間に上下方向に形成される隙間は、小型搬送物６Ｓにおける本体部７と被支持部９との間に上下方向に形成される隙間より広い隙間となっている。
また、大型搬送物６Ｌの被支持部９は、小型搬送物６Ｓの被支持部９に比べて、容器前後方向及び容器左右方向に幅広に形成されている。ちなみに、大型搬送物６Ｌの凹入部１０と小型搬送物６Ｓの凹入部１０とは同じ大きさ及び形状に形成されている。
【００２２】
〔天井搬送車〕
図２及び図３に示すように、天井搬送車１は、走行レール２上を走行経路に沿って走行する走行移動部１２と、走行レール２の下方に位置するように走行移動部１２に吊り下げ支持され且つ搬送物６を支持する支持機構１９を昇降移動自在に支持する昇降支持部１３と、を備えて構成されている。
ちなみに、天井搬送車１の走行方向に沿う方向を横幅方向と称し、この横幅方向と交差する方向を前後方向と称する。また、昇降支持部１３には、搬送物６はその容器左右方向が天井搬送車１の横幅方向に沿う状態で支持される。そのため、以下、搬送物６の容器左右方向について横幅方向と称して説明する。また、横幅方向の一方側（図４における左側）を第１方向側、横幅方向の第１方向とは反対側（図４における右側）を第２方向側と称する。
【００２３】
走行移動部１２には、走行用モータ１５にて回転駆動されて走行レール２の上面を転動する駆動輪１６と、走行レール２の側面に当接する回転自在な案内輪１７と、が設けられている。そして、走行移動部１２は、走行用モータ１５にて駆動輪１６を回転駆動し、案内輪１７が走行レール２にて接触案内されることにより、走行移動部１２が走行レール２に案内されて走行経路に沿って走行するように構成されている。
【００２４】
昇降支持部１３には、搬送物６を支持する支持機構１９と、支持機構１９を昇降移動させる昇降操作機構２０と、搬送用位置に位置する搬送物６の上方側及び走行経路長手方向の両側を覆うカバー部２１と、支持機構１９にて搬送用位置で支持された搬送物６の落下を防止する落下防止体２２と、を備えて構成されている。
【００２５】
昇降操作機構２０は、先端部に支持機構１９を連結支持した巻き取りベルト２０ａを巻回する巻回体２４と、巻回体２４を回転駆動する昇降用モータ２５と、が設けられている。そして、昇降用モータ２５にて巻回体２４を正逆に回転駆動させて、巻き取りベルト２０ａを巻き取り及び繰り出し操作することで、支持機構１９を昇降移動させるように構成されている。図２や図３に示すように、巻き取りベルト２０ａを巻き取った状態では、支持機構１９に支持された搬送物６（大型搬送物６Ｌ及び小型搬送物６Ｓ）はカバー部２１内の搬送用位置に位置している。
【００２６】
落下防止体２２は、横幅方向に並ぶ状態で一対設けられており、一対の落下防止体２２の間隔を、小型搬送物６Ｓの横幅方向の幅より幅狭な受止用間隔（図１（ｂ），図２及び図３参照）と、大型搬送物６Ｌの横幅方向の幅より幅広な退避用間隔（図１（ａ）参照）と、に位置変更自在に構成されている。
そして、落下防止用モータ２７の駆動により、一対の落下防止体２２の間隔を受止用間隔に変更することで、天井搬送車１の走行中に支持機構１９による支持が外れても搬送物６を落下防止体２２にて受け止めることで搬送物６の落下を防止することができるようになっている。また、落下防止用モータ２７の駆動により、一対の落下防止体２２の間隔を退避用間隔に変更することで、図１に示すように、支持機構１９を昇降移動させて搬送物６を物品支持台４に受け渡すことや物品支持台４から搬送物６を受け取ることができるようになっている。
【００２７】
〔支持機構〕
次に、天井搬送車１の支持機構１９について説明する。
図４及び図５に示すように、天井搬送車１の支持機構１９には、搬送物６の被支持部９を載置支持する一対の支持部３１と、一対の支持部３１を前後方向に沿う軸心周りに揺動自在に支持する移動体３２と、移動体３２に対する一対の支持部３１の位置を支持位置と退避位置とに移動させる支持用駆動部としての支持用モータ３３と、搬送物６の凹入部１０に係合して移動体３２に対して水平方向でセンタリングさせる突起部３４と、が設けられている。
【００２８】
移動体３２は、走行用モータ１５の駆動により天井搬送車１を走行移動させることで水平方向に沿って移動し、昇降用モータ２５の駆動により昇降支持部１３を昇降移動させることで昇降移動する。そのため、これら走行用モータ１５や昇降用モータ２５が、移動体３２を移動させる搬送用駆動部に相当する。
【００２９】
一対の支持部３１として、大型搬送物６Ｌの被支持部９を載置支持する一対の大型用支持部３１Ｌと、小型搬送物６Ｓの被支持部９を載置支持する一対の小型用支持部３１Ｓと、が各別に設けられており、支持機構１９には、２組の支持部３１、計４つの支持部３１が設けられている。そして、一対の小型用支持部３１Ｓが、横幅方向において一対の大型用支持部３１Ｌの間で且つ上下方向において一対の大型用支持部３１Ｌと同じ高さに設けられている。
【００３０】
図５及び図６に示すように、一対の大型用支持部３１Ｌの夫々は、前後方向に沿う大型用揺動軸心ＰＬ周りに揺動自在に移動体３２に支持されている。一対の大型用支持部３１Ｌの夫々は、大型用揺動軸心ＰＬ周りに揺動することで、移動体３２に対して大型用支持位置（図６参照）と大型用退避位置（図５参照）とに移動するように構成されている。
また、図５及び図７に示すように、一対の小型用支持部３１Ｓの夫々は、前後方向に沿う小型用揺動軸心ＰＳ周りに揺動自在に移動体３２に支持されている。一対の小型用支持部３１Ｓの夫々は、小型用揺動軸心ＰＳ周りに揺動することで、移動体３２に対して小型用支持位置（図７参照）と小型用退避位置（図５参照）とに移動するように構成されている。
このように、一対の大型用支持部３１Ｌ及び一対の小型用支持部３１Ｓの夫々を、前後方向に沿う揺動軸心周りに揺動自在に移動体３２に支持している。
【００３１】
図５〜図７に示すように、大型用支持位置は、他方の大型用支持部３１Ｌとの横幅方向での間隔が大型搬送物６Ｌの被支持部９の横幅より幅狭で且つ小型搬送物６Ｓの被支持部９の横幅より幅広な間隔となる位置に設定されている。大型用退避位置は、他方の大型用支持部３１Ｌとの横幅方向での間隔が大型搬送物６Ｌの被支持部９の横幅より幅広な間隔となる位置に設定されている。また、この大型用退避位置は、大型用支持位置より設定高さ高い位置に設定されており、一対の小型用支持部３１Ｓにて載置支持されている小型搬送物６Ｓの被支持部９よりも一対の大型用支持部３１Ｌが上方に位置する高さに設定されている。
【００３２】
小型用支持位置は、他方の小型用支持部３１Ｓとの横幅方向での間隔が小型搬送物６Ｓの被支持部９の横幅より幅狭な間隔となる位置に設定されている。小型用退避位置は、他方の小型用支持部３１Ｓとの横幅方向での間隔が小型搬送物６Ｓの被支持部９の横幅より幅広で且つ大型搬送物６Ｌの被支持部９の横幅より幅狭な間隔となる位置に設定されている。また、この小型用退避位置は、小型用支持位置より設定高さ高い位置に設定されており、一対の大型用支持部３１Ｌにて載置支持されている大型搬送物６Ｌの被支持部９よりも一対の小型用支持部３１Ｓが上方に位置する高さに設定されている。
【００３３】
ちなみに、一対の大型用支持部３１Ｌと一対の小型用支持部３１Ｓとは、大型用揺動軸心ＰＬと小型用揺動軸心ＰＳとが同じ高さ（図８参照）になるように移動体３２に支持されており、大型用支持部３１Ｌを大型用支持位置に位置させた状態での大型用揺動軸心ＰＬから大型用支持部３１Ｌの載置面までの上下方向の間隔と、小型用支持部３１Ｓを小型用支持位置に位置させた状態での小型用揺動軸心ＰＳから小型用支持部３１Ｓの載置面までの上下方向の間隔とが同じ間隔となっている。
【００３４】
図５及び図６に示すように、一対の大型用支持部３１Ｌについて、横幅方向の第１方向側に位置する大型用支持部３１Ｌを第１大型用支持部３１Ｌａ、横幅方向の第２方向側に位置する大型用支持部３１Ｌを第２大型用支持部３１Ｌｂとしている。そして、図６に示すように、支持機構１９は、第１大型用支持部３１Ｌａにて、大型搬送物６Ｌの被支持部９における第１方向側端部を載置支持し、第２大型用支持部３１Ｌｂにて、大型搬送物６Ｌの被支持部９における第２方向側端部を載置支持することで、大型搬送物６Ｌを吊り下げ支持するように構成されている。
【００３５】
また、図５及び図７に示すように、一対の小型用支持部３１Ｓについて、横幅方向の第１方向側に位置する小型用支持部３１Ｓを第１小型用支持部３１Ｓａ、横幅方向の第２方向側に位置する小型用支持部３１Ｓを第２小型用支持部３１Ｓｂとしている。そして、図７に示すように、支持機構１９は、第１小型用支持部３１Ｓａにて、小型搬送物６Ｓの被支持部９における第１方向側端部を載置支持し、第２小型用支持部３１Ｓｂにて、小型搬送物６Ｓの被支持部９における第２方向側端部を載置支持することで、小型搬送物６Ｓを吊り下げ支持するように構成されている。
【００３６】
図８に示すように、一対の大型用支持部３１Ｌの夫々は、支持位置から退避位置側に向けて大型用付勢部材３０Ｌにて付勢されるとともに、退避位置から支持位置とは反対側への揺動は大型用規制部材２９Ｌとの接当により規制されている。そのため、図８（ｂ），（ｃ）に示すように、一対の大型用支持部３１Ｌの夫々は、大型用付勢部材３０Ｌの付勢力にて大型用規制部材２９Ｌに押し付けられることで、退避位置に保持されている。
また、一対の小型用支持部３１Ｓの夫々は、支持位置から退避位置側に向けて小型用付勢部材３０Ｓにて付勢されるとともに、退避位置から支持位置とは反対側への揺動は小型用規制部材２９Ｓとの接当により規制されている。そのため、図８（ａ），（ｂ）に示すように、一対の小型用支持部３１Ｓの夫々は、小型用規制部材２９Ｓの付勢力にて小型用規制部材２９Ｓに押し付けられることで、退避位置に保持されている。
ちなみに、図８では、一対の大型用支持部３１Ｌのうちの第１大型用支持部３１Ｌａのみを図示しており、一対の小型用支持部３１Ｓのうちの第１小型用支持部３１Ｓａのみを図示している。また、大型用付勢部材３０Ｌ及び小型用付勢部材３０Ｓは、コイルスプリングにて構成されている。
【００３７】
図４に示すように、支持機構１９には、回転軸３６に螺合されて回転軸３６の回転に伴って横幅方向に移動する第１移動ブロック３７ａ及び第２移動ブロック３７ｂと、案内レール３８に案内される状態で横幅方向に移動自在な第１案内ブロック３９ａ及び第２案内ブロック３９ｂと、第１大型用支持部３１Ｌａを移動操作する第１大型用操作部４０Ｌａと、第２大型用支持部３１Ｌｂを移動操作する第２大型用操作部４０Ｌｂと、第１小型用支持部３１Ｓａを移動操作する第１小型用操作部４０Ｓａと、第２小型用支持部３１Ｓｂを移動操作する第２小型用操作部４０Ｓｂと、が設けられている。
【００３８】
そして、横幅方向において同じ第１方向側に位置する第１移動ブロック３７ａと第１案内ブロック３９ａと第１大型用操作部４０Ｌａと第１小型用操作部４０Ｓａとが、一体的に横幅方向に移動するように第１連結部材４１ａにて互いに連結されている。
また、横幅方向において同じ第２方向側に位置する第２移動ブロック３７ｂと第２案内ブロック３９ｂと第２大型用操作部４０Ｌｂと第２小型用操作部４０Ｓｂとが、一体的に横幅方向に移動するように第２連結部材４１ｂにて互いに連結されている。
【００３９】
ちなみに、第１大型用支持部３１Ｌａを移動操作する第１大型用操作部４０Ｌａと第１小型用支持部３１Ｓａを移動操作する第１小型用操作部４０Ｓａとで、第１操作部４０ａが構成されている。また、第２大型用支持部３１Ｌｂを移動操作する第２大型用操作部４０Ｌｂと第２小型用支持部３１Ｓｂを移動操作する第２小型用操作部４０Ｓｂとで、第２操作部４０ｂが構成されている。
そして、回転軸３６、第１移動ブロック３７ａ、第２移動ブロック３７ｂ、第１連結部材４１ａ及び第２連結部材４１ｂにて、第１操作部４０ａと第２操作部４０ｂとを横幅方向移動させるように第１操作部４０ａと第２操作部４０ｂとを連結する連係部が構成されている。
また、支持用モータ３３が、連係部を駆動操作する支持用駆動部に相当し、一対の大型用支持部３１Ｌの夫々を大型用支持位置及び大型用退避位置に移動させる大型用駆動部や一対の小型用支持部３１Ｓの夫々を小型用支持位置及び小型用退避位置に移動させる小型用駆動部として設けられている。
【００４０】
図５〜図８に示すように、第１操作部４０ａは、第１基準位置から第１方向側に移動することで、第１大型用支持部３１Ｌａにおける揺動軸心より上方に位置する大型用被操作部分４７Ｌを第１方向側に押圧して第１大型用支持部３１Ｌａを大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作する。また、第１操作部４０ａは、第１基準位置から第２方向側に移動することで第１小型用支持部３１Ｓａにおける揺動軸心より下方に位置する小型用被操作部分４７Ｓを第２方向側に押圧して第１小型用支持部３１Ｓａを小型用退避位置から小型用支持位置に移動操作する。
このように第１操作部４０ａは、第１基準位置から第１方向側に移動することで第１大型用支持部３１Ｌａを移動操作し、第１基準位置から第２方向側に移動することで第１小型用支持部３１Ｓａを移動操作するように、横幅方向で第１大型用支持部３１Ｌａと第１小型用支持部３１Ｓａとの間に設けられている。
【００４１】
第２操作部４０ｂは、第２基準位置から第２方向側に移動することで第２大型用支持部３１Ｌｂにおける揺動軸心より上方に位置する大型用被操作部分４７Ｌを第２方向側に押圧して第２大型用支持部３１Ｌｂを大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作する。また、第２操作部４０ｂは、第２基準位置から第１方向側に移動することで第２小型用支持部３１Ｓｂにおける揺動軸心より下方に位置する小型用被操作部分４７Ｓを第１方向側に押圧して第２小型用支持部３１Ｓｂを小型用退避位置から小型用支持位置に移動操作する。
このように第２操作部４０ｂは、第２基準位置から第２方向側に移動することで第２大型用支持部３１Ｌｂを移動操作し、第２基準位置から第１方向側に移動することで第２小型用支持部３１Ｓｂを移動操作するように、横幅方向で第２大型用支持部３１Ｌｂと第２小型用支持部３１Ｓｂとの間に設けられている。
【００４２】
図４に示すように、支持用モータ３３の出力軸に駆動側プーリ４３で設けられ、回転軸３６の第１方向側の端部に従動側プーリ４４が設けられており、これら駆動側プーリ４３と従動側プーリ４４とに亘って駆動ベルト４５が巻回されている。支持用モータ３３を正逆に回転駆動させることで、回転軸３６を正逆に回転させるようになっている。尚、移動体３２には、回転軸３６の回転を制動させるブレーキ４６が設けられている。
【００４３】
回転軸３６には、第１移動ブロック３７ａや第２移動ブロック３７ｂを螺合させるためのネジ山が螺刻されている。この回転軸３６に螺刻されているネジ山は、第１移動ブロック３７ａが螺合する第１方向側に位置する部分と第２移動ブロック３７ｂが螺合する第２方向側に位置する部分とでは、逆向きのネジ山が螺刻されている。そのため、回転軸３６を回転させたときの第１移動ブロック３７ａの移動方向と第２移動ブロック３７ｂの移動方向とが逆になるようになっている。
【００４４】
４つの支持部３１の夫々は、前後方向に沿う板状に形成されて上面にて被支持部９を載置支持する載置面を形成する支持用部分と、その支持用部分の前後方向両端部から上方に立ち上げられた一対の連結部分と、を備えて構成されており、横幅方向視でＵ字状に形成されている。そして、第１大型用支持部３１Ｌａの板状部分と連結部分とに囲まれる空間を利用して駆動側プーリ４３、従動側プーリ４４及び駆動ベルト４５等が配設されている。
【００４５】
次に、図８に基づいて一対の大型用支持部３１Ｌと一対の小型用支持部３１Ｓとの操作構造について説明する。
第１大型用支持部３１Ｌａや第１小型用支持部３１Ｓａの操作構造と第２大型用支持部３１Ｌｂや第２小型用支持部３１Ｓｂの操作構造とは、横幅方向に反転させた点以外は同様に構成されているため、第１大型用支持部３１Ｌａや第１小型用支持部３１Ｓａの操作構造について説明し、第２大型用支持部３１Ｌｂや第２小型用支持部３１Ｓｂの操作構造については説明を省略する。
【００４６】
第１大型用支持部３１Ｌａは、大型用揺動軸心ＰＬ周りに揺動するように移動体３２に連結されており、第１大型用支持部３１Ｌａにおける大型用揺動軸心ＰＬより上方箇所に大型用被操作部分４７Ｌが設けられている。そのため、第１大型用支持部３１Ｌａは、大型用被操作部分４７Ｌが第１方向側に押圧操作されることで、反時計回りに揺動して大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作されるようになっている。
ちなみに、押圧操作が解除されるに伴って、第１大型用支持部３１Ｌａは、大型用付勢部材３０Ｌの付勢力により時計回りに揺動して大型用支持位置から大型用退避位置に移動操作されるようになっている。
尚、図８に示された大型用付勢部材３０Ｌが、第１大型用支持部３１Ｌａにおける大型用被操作部分４７Ｌを第２方向側に付勢する第１大型用付勢部材に相当し、第２大型用支持部３１Ｌｂにおける大型用被操作部分４７Ｌを第１方向側に付勢する第２大型用付勢部材については図示を省略している。
【００４７】
第１小型用支持部３１Ｓａは、小型用揺動軸心ＰＳ周りに揺動するように構成されており、第１小型用支持部３１Ｓａにおける小型用揺動軸心ＰＳより下方箇所に小型用被操作部分４７Ｓが設けられている。そのため、第１小型用支持部３１Ｓａは、小型用被操作部分４７Ｓが第２方向側に押圧操作されることで、反時計回りに揺動して小型用退避位置から小型用支持位置に移動操作されるようになっている。
ちなみに、押圧操作が解除されるに伴って、第１小型用支持部３１Ｓａは、小型用付勢部材３０Ｓの付勢力により時計回りに揺動して小型用支持位置から大型用退避位置に移動操作されるようになっている。
尚、図８に示された小型用付勢部材３０Ｓが、第１小型用支持部３１Ｓａにおける小型用被操作部分４７Ｓを第１方向側に付勢する第１小型用付勢部材に相当し、第２小型用支持部３１Ｓｂにおける小型用被操作部分４７Ｓを第２方向側に付勢する第２小型用付勢部材については図示を省略している。
【００４８】
そして、図８（ａ），（ｂ）に示すように、第１操作部４０ａを第１基準位置から第１方向側に移動させることで、第１小型用支持部３１Ｓａを小型用退避位置に維持させた状態で、第１大型用支持部３１Ｌａを大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作できるようになっている。
また、図８（ｂ），（ｃ）に示すように、第１操作部４０ａを第１基準位置から第２方向側に移動させることで、第１大型用支持部３１Ｌａを大型用退避位置に維持させた状態で、第１小型用支持部３１Ｓａを小型用退避位置から小型用支持位置に移動操作できるようになっている。
【００４９】
物品搬送設備には、天井搬送車１の作動を制御する制御装置（図示せず）が設けられている。この制御装置は、搬送物６を物品支持台４に受け渡す受渡処理と、搬送物６を物品支持台４から受け取る受取処理と、を実行するように構成されている。
【００５０】
受渡処理では、まず、搬送物６を支持する天井搬送車１を物品支持台４に対応する停止位置に停止させた状態で、落下防止体２２の間隔を退避用間隔に変更した後、搬送用位置の搬送物６の下面と物品支持台４の載置面との高低差に対応した長さの巻き取りベルト２０ａを繰り出す。そして、搬送物６が大型搬送物６Ｌである場合は、一対の大型用支持部３１Ｌを大型用支持位置から大型用退避位置に移動させて大型搬送物６Ｌを物品支持台４に受け渡し、搬送物６が小型搬送物６Ｓである場合は、一対の小型用支持部３１Ｓを小型用支持位置から小型用退避位置に移動させて小型搬送物６Ｓを物品支持台４に受け渡す。その後、天井搬送車１の高さと物品支持台４に位置する搬送物６の被支持部９の高さとの高低差に対応する長さの巻き取りベルト２０ａを巻き取る。このように各機構を作動させるべく、走行用モータ１５、昇降用モータ２５、落下防止用モータ２７及び支持用モータ３３の作動が制御されて受渡処理が実行される。
【００５１】
また、受取処理では、まず、搬送物６を支持しない天井搬送車１を物品支持台４に対応する停止位置に停止させた状態で、天井搬送車１の高さと物品支持台４に位置する搬送物６の被支持部９の高さとの高低差に対応する長さの巻き取りベルト２０ａを繰り出す。そして、搬送物６が大型搬送物６Ｌである場合は、一対の大型用支持部３１Ｌを大型用退避位置から大型用支持位置に移動させて大型搬送物６Ｌを物品支持台４から受け取り、搬送物６が小型搬送物６Ｓである場合は、一対の小型用支持部３１Ｓを小型用退避位置から小型用支持位置に移動させて小型搬送物６Ｓを物品支持台４から受け取る。その後、搬送用位置の搬送物６の下面と物品支持台４の載置面との高低差に対応した長さの巻き取りベルト２０ａを巻き取る。このように各機構を作動させるべく、走行用モータ１５、昇降用モータ２５、落下防止用モータ２７及び支持用モータ３３の作動が制御されて受取処理が実行される。
【００５２】
このように構成された天井搬送車１は、小型用退避位置に位置する一対の小型用支持部３１Ｓの間隔は、大型用退避位置に位置する一対の大型用支持部３１Ｌの間隔より狭いため、小型搬送物６Ｓを支持するときや支持を解除する場合、一対の小型用支持部３１Ｓを小型用退避位置から小型用支持位置に移動させるときに、その移動距離を比較的短くできる。そのため、小型搬送物６Ｓを支持するときや支持を解除するときの時間の短縮化を図ることができるようになっている。
【００５３】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、大型用揺動軸心ＰＬの高さと小型用揺動軸心ＰＳの高さとを同じ高さとしたが、大型用揺動軸心ＰＬの高さと小型用揺動軸心ＰＳの高さとを異なる高さにしてもよい。具体的には、例えば、大型用揺動軸心ＰＬを小型用揺動軸心ＰＳより低い高さにしてもよい。この場合、大型用揺動軸心ＰＬより低く且つ小型用揺動軸心ＰＳより高い高さに、大型用操作部と小型用操作部とを設けてもよい。
【００５４】
（２）上記実施形態では、一対の大型用支持部３１Ｌの夫々を大型用揺動軸心ＰＬ周りに揺動させて大型用支持位置と大型用退避位置とに移動するように構成したが、一対の大型用支持部３１Ｌの夫々を左右方向と上下方向とに各別に移動させて大型用支持位置と大型用退避位置とに移動するように構成してもよい。また、一対の小型用支持部３１Ｓの夫々を小型用揺動軸心ＰＳ周りに揺動させて小型用支持位置と小型用退避位置とに移動するように構成したが、一対の小型用支持部３１Ｓの夫々を左右方向と上下方向とに各別に移動させて小型用支持位置と小型用退避位置とに移動するように構成してもよい。
【００５５】
（３）上記実施形態では、支持用駆動部を、大型用駆動部及び小型用駆動部として設けて、１つの駆動部にて、４つの支持部３１を移動操作するように構成したが、大型用駆動部と小型用駆動部とを各別に設けて、２つの駆動部にて４つの支持部３１を移動操作するように構成してもよく、また、大型用駆動部として、第１大型用支持部３１Ｌａを移動操作する第１大型用駆動部と第２大型用支持部３１Ｌｂを移動操作する第１大型用駆動部とを設け、小型用駆動部として、第１小型用支持部３１Ｓａを移動操作する第１小型用駆動部と第２小型用支持部３１Ｓｂを移動操作する第２小型用駆動部とを設けて、４つの駆動部にて４つの支持部３１を移動操作するように構成してもよい。
【００５６】
（４）上記実施形態では、搬送物６として、大型搬送物６Ｌと小型搬送物６Ｓとの２種類の搬送物６を搬送するようにしたが、搬送物６として、３種類以上の搬送物６を搬送するようにしてもよい。また、一対の支持部３１として、一対の大型用支持部３１Ｌと一対の小型用支持部３１Ｓとの２組の一対の支持部３１を設けたが、３組以上の一対の支持部３１を設けてもよい。
【００５７】
（５）上記実施形態では、第１大型用付勢部材、第２大型用付勢部材、第１小型用付勢部材及び第２小型用付勢部材を設けて、付勢部材の付勢力により支持部３１を支持位置に保持するように構成したが、このような付勢部材を設けずに支持部３１を支持位置に保持するように構成してもよい。
具体的には、例えば、第１大型用支持部３１Ｌａであれば、第１大型用支持部３１Ｌａと大型用揺動軸心ＰＬ周りに一体回転するピニオンを設け、第１大型用操作部４０Ｌａにラックを設けて、第１大型用操作部４０Ｌａが第１方向側に移動するときは、ラックとピニオンとが噛合して第１大型用支持部３１Ｌａを大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作するとともにラックとピニオンとの噛合により大型用支持位置に保持するように構成してもよい。ちなみに、このように構成する場合、第１大型用操作部４０Ｌａが第２方向側に移動するときは、ラックとピニオンとの噛合が外れて第１大型用支持部３１Ｌａが大型用退避位置から移動しないように構成してもよい。
【００５８】
（６）上記実施形態では、搬送装置を、天井近くを走行する天井搬送車１としたが、床面上を走行する床面走行車や、案内マストに沿って昇降移動する昇降台車や、床面上等に固設された移載ロボット等でもよい。
【００５９】
（７）上記実施形態では、搬送物をＦＯＵＰとしたが、例えばコンテナの上面に被支持部と取り付けたもの等、搬送物としては別のものでもよい。
【符号の説明】
【００６０】
６      搬送物
６Ｌ    大型搬送物
６Ｓ    小型搬送物
９      被支持部
１５      走行用モータ（搬送用駆動部）
２５      昇降用モータ（搬送用駆動部）
３０Ｌ    大型用付勢部材（第１大型用付勢部材、第２大型用付勢部材）
３０Ｓ    小型用付勢部材（第１小型用付勢部材、第２小型用付勢部材）
３１      支持部
３１Ｌ    大型用支持部
３１Ｌａ  第１大型用支持部
３１Ｌｂ  第２大型用支持部
３１Ｓ    小型用支持部
３１Ｌａ  第１大型用支持部
３１Ｌｂ  第２大型用支持部
３２      移動体
３３      支持用モータ（支持用駆動部、大型用駆動部、小型用駆動部）
４０ａ    第１操作部
４０ｂ    第２操作部
４７Ｌ    大型用被操作部（被操作部）
４７Ｓ    小型用被操作部（被操作部）
ＰＬ      大型用揺動軸心（揺動軸心）
ＰＳ      小型用揺動軸心（揺動軸心）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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