(57)【要約】【課題】ワイヤーソーのワーク位置決め作業が簡便化されるワイヤーソーによる切断方法と位置決め治具群を提供する。【解決手段】ワークシート基準面52Aを有するワークシート52と、ワーク30を収容する開口部とワーク位置決め基準面70Aを有するワーク位置決め台70から成る位置決め治具群を用意する第一工程、基準面60Aを有する載置台60にワーク位置決め台とワークシートを載置かつワーク位置決め台に収容されたワークをワークシートのスライスベッド51に固着させる第二工程、ワーク位置決め台を引き離しかつワークシートをマルチワイヤーソーのサドル50に固定する第三工程、サドルの傾斜回転機能と回転機能を作用させてワークの位置決めを行った後、サドルの各機能を停止かつ固定させる第四工程を具備することを特徴とするワイヤーソーによる切断方法。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークシート上に固定されたスライスベッドに基準平面を有するワークが取付けられ、かつ、ワイヤー列へ向かわせる軌道が上記基準平面と平行となるようにワークを傾けさせる傾斜回転機能と上記基準平面がワイヤー列の走行方向と平行となるようにワークを上記軌道軸上で回転させる回転機能を有するサドル部材に上記ワークシートを固定してワイヤーソーに対するワークの位置決めを行うワイヤーソーによる切断方法において、
一方の端面側にワークシート基準面を有しかつ片側平面にスライスベッドが固定された平板状のワークシートと、ワークを収容し保持する少なくとも１つの矩形状開口部を有しかつ収容されるワークの基準平面が位置整合されるワーク位置決め基準面を有すると共に上記ワーク位置決め基準面と平行なワーク位置決め台底面を備えるワーク位置決め台の組から成る位置決め治具群を用意する第一工程と、
上記ワーク位置決め台についてそのワーク位置決め台底面側を載置台の基準面に整合させた状態で載置台上に載置し、かつ、スライスベッドの露出面に接着剤を塗布した上記ワークシートについてそのワークシート基準面側を載置台の基準面に整合させると共に上記接着剤にワーク位置決め台に収容したワークの外周面を接触させた状態で載置台上に載置した後、上記接着剤を硬化させる第二工程と、
上記接着剤が硬化してワークシートのスライスベッドにワークを接着させた後、ワークシートから上記ワーク位置決め台を引き離し、かつ、スライスベッドにワークが取付けられたワークシートを上記サドル部材に固定する第三工程と、
ワークシートが固定されたサドル部材の上記傾斜回転機能と回転機能を作用させてワイヤーソーに対するワークの位置決めを行った後、上記サドル部材の傾斜回転機能と回転機能を停止かつ固定させる第四工程と、
を具備することを特徴とするワイヤーソーによる切断方法。
【請求項２】
第一工程の上記ワーク位置決め台が、２つ以上の矩形状開口部を有しかつ各矩形状開口部には収容されるワークの基準平面が位置整合されるワーク位置決め基準面をそれぞれ有すると共に各ワーク位置決め基準面と平行なワーク位置決め台底面を備えることを特徴とする請求項１に記載のワイヤーソーによる切断方法。
【請求項３】
砒化ガリウム、ガリウム燐、インジウム燐、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、サファイア、および、シリコンから選択される単結晶材料により上記ワークが構成されることを特徴とする請求項１または２に記載のワイヤーソーによる切断方法。
【請求項４】
請求項１に記載の切断方法に使用される位置決め治具群において、
一方の端面側にワークシート基準面を有しかつ片側平面にスライスベッドが固定された平板状のワークシートと、ワークを収容し保持する少なくとも１つの矩形状開口部を有しかつ収容されるワークの基準平面が位置整合されるワーク位置決め基準面を有すると共に上記ワーク位置決め基準面と平行なワーク位置決め台底面を備えるワーク位置決め台の組から成ることを特徴とする位置決め治具群。
【請求項５】
上記ワーク位置決め台が、２つ以上の矩形状開口部を有しかつ各矩形状開口部には収容されるワークの基準平面が位置整合されるワーク位置決め基準面をそれぞれ有すると共に各ワーク位置決め基準面と平行なワーク位置決め台底面を備えることを特徴とする請求項４に記載の位置決め治具群。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はマルチワイヤーソーによる切断方法に係り、特に、マルチワイヤーソーに対するワークの位置決め作業の簡便化が図れるワイヤーソーによる切断方法とこの方法に使用される位置決め治具群に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
結晶材料ウェーハの製造プロセス（工程）を簡単に並べると、円筒研削工程、スライス工程、ベベル工程、ラップ工程、および、ポリッシュ工程となる。以下、加工される結晶材料をワークと略称し、説明する。
【０００３】
上記円筒研削工程は、チョクラルスキー法等により育成されたワークを円柱状に整えるプロセスであり、上記スライス工程は、円柱状に整形されたワークを薄く裁断しウェーハ状にするプロセスである。また、上記ベベル工程は、ウェーハ状に裁断されたワークの外周を研磨し、面取りし、整形する役割を持ち、後に行うラップ工程、ポリッシュ工程時における割れやカケの防止効果も有している。
【０００４】
上記ラップ工程は、ウェーハ状に裁断されたワークの厚みを一定に整え、平坦性を得るためにワーク表裏面を研磨するプロセスである。ラップ工程においてはラップ盤による遊離砥粒を介した研磨や、固定砥粒を用いた平面研削盤等が使用される場合が多い。上記ポリッシュ工程は、必要に応じてワークの両面若しくは片面を鏡面に研磨し、仕上げる。
【０００５】
最終的に、得られた結晶材料ウェーハ自体は、チップ状に裁断され、デバイス、例えば集積回路、表面弾性波フィルタ等に用いられ、ウェーハ表面のマイクロクラック、キズ、汚れ、凹凸等はデバイス特性に悪影響を与えるため、可能な限り平坦、清浄にポリッシュされる必要がある。このため、コロイダルシリカ、酸化セリウム等の研磨液が用いられ、クリーンルームで作業する場合が多い。
【０００６】
尚、材料や用途によってこれ等のプロセスは若干異なり、プロセス順も一様ではなく、洗浄やエッチング、熱処理等の細かい他のプロセスが加えられる場合が多い。
【０００７】
しかし、どのワークにも共通して言えるのは、ウェーハ状をなすために、まず、スライス工程（プロセス）が存在することである。
【０００８】
そして、本発明は上記スライス工程（プロセス）に関するものである。
【０００９】
ところで、ワークをウェーハ状にスライスするためには、マルチワイヤーソーが広く用いられている。
【００１０】
そして、マルチワイヤーソーが用いられたスライス方法の一例を図１に示す。
【００１１】
すなわち、この種のマルチワイヤーソーは、２本以上（図１では３本のガイドローラーが用いられた例を示している）のガイドローラー３２、３２ａ、３２ｂに、１本のワイヤー３１を繰り返し巻き付けてワイヤー群３５を形成し、張力をかけ、上記ガイドローラー３２、３２ａ、３２ｂを往復回転運動させることによってワイヤー３１を往復走行させ、これを切刃とし、ワーク３０をスライスする。
【００１２】
切刃としての切削能力はワイヤー３１自身には無いため、砥粒と油または水を混合したスラリー４０をノズル４１、ノズル４１ａから噴射し、走行するワイヤー３１に付着させて共に加速し、ワーク３０に衝突させることで切削力を得る場合が多い。ワイヤー３１自身に切削能力を持たせる目的で、ワイヤー３１表面にダイヤモンド粒を電着等で固定し、スラリー４０を不要とする方式もある。いずれの方式であっても、ワイヤー３１は繰り返し使用を続けると、スライスに伴い、ワイヤー３１自身も磨耗していつかは断線してしまうため、常に新線リール２１から一定量を送り続け、磨耗して余ったワイヤー３１は、順次回収リール２２に巻き取られる。
【００１３】
また、上記ガイドローラー３２、３２ａ、３２ｂには、ワイヤー３１を掛けるための溝が等間隔で形成されており、これによりワイヤー群３５は平行で等間隔となり、この結果、スライス後、平行で厚さが等しいウェーハを得ることができる。スライスの厚さを変更するには、上記溝の間隔を変更すればよく、容易である。
【００１４】
上記ワーク３０は、セラミック、レジン、ガラス等で構成されるスライスベッド５１に接着固定され、更に、スライスベッド５１がワークシート５２に接着またはビス留め等で固定される場合が多い。また、上記ワークシート５２は、ワイヤー群３５に向って移動するサドル５０にビス留め等で固定される場合が多い。
【００１５】
そして、サドル５０をワイヤー群３５へ向けて移動させ押し当てると、ワーク３０はスライスされ、ワイヤー群３５がワーク３０を完全に通過し、スライスベッド５１を少し切り込んだ位置でスライス工程は終了となる。
【００１６】
最後に、サドル５０を逆方向へ移動させてワイヤー群３５から引き抜くか、ワイヤー群３５をワイヤーカッター等で切断、破棄し、サドル５０からワーク３０をスライスベッド５１、ワークシート５２ごと取り外し、洗油等で洗浄した後、ウェーハをスライスベッド５１から引き剥がす。上記スライスベッド５１はスライスされたウェーハを保持する役割を持ち、かつ、一度のスライスで破棄される消耗品である。
【００１７】
そして、マルチワイヤーソーによるスライスプロセスは、直径０．０８〜０．１６ｍｍという細線ワイヤーとスラリーによる方法のため、ロスとダメージが小さく、かつ、複数のウェーハを同時にスライスできる量産性から、特に、砒化ガリウム、ガリウム燐、インジウム燐、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、サファイア、シリコン等、電子材料用ワークのスライスには欠かせない方法となっている。
【００１８】
ところで、これ等の結晶材料から成るウェーハは、特定の結晶方位を要求されるため、予めワーク３０に目標の結晶方位とした基準平面４５を設けておき、この平面がワイヤーの走行方向と平行、かつ、サドル５０がワイヤー群３５へ向かう軌道と平行になるよう、マルチワイヤーソー機上で、基準平面４５の向きを調整する必要がある。このため、ワーク３０が固定されるサドル５０には、ワイヤー群３５に対して旋回（回転）する軸と、サドル５０がワイヤー群３５へ向かう軌道をチルトする軸の２方向で、ワーク３０の姿勢を調整できる機構（すなわち、ワーク３０の基準平面４５がワイヤー群３５の走行方向と平行となるようにワーク３０を上記軌道軸上で回転させる回転機能と、ワイヤー群３５へ向かう軌道が上記基準平面４５と平行となるようにワーク３０を傾けさせる傾斜回転機能）を備える必要があり、サドル回転軸５０Ｘとサドルチルトゴニオ５０Ｙを具備する。
【００１９】
基準平面４５は、内周刃式のスライサー、外周刃式の丸鋸、バンドソー、平面研削盤等によって形成される場合が多く、結晶方位はＸ線カット面検査装置により測定される。
【００２０】
図２は、予め用意されたワーク３０の形態を示すものである。ワークが、砒化ガリウム、ガリウム燐、インジウム燐、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、サファイアで構成される場合は、直径２〜６インチ、長さ３００ｍｍ以下が一般的であり、シリコンで構成される場合は、直径４〜１０インチ、長さ５００ｍｍを越える程大きい場合もある。
【００２１】
総じて、結晶の方位を示すオリエンテーション・フラット４６という平面を備える場合が多く、平面研削盤等で形成される。オリエンテーション・フラット４６は、最終的にウェーハをデバイスとするため裁断する際、特定の方向を決めるための基準となる。
【００２２】
オリエンテーション・フラット４６は、ワーク３０をスライスベッドに接着する面として都合が良いことから利用する場合が多く、スライスベッドを単純な平板状にできる。
【００２３】
他方、結晶性によるスライスのし易さおよびスライス後におけるでき栄えに関してスライス方向と関係性があることから、例外的に、オリエンテーション・フラット４６以外の部分をスライスベッドに接着させる場合もある。この場合、接着強度を確保するため、断面円弧状の凹面を有するＲ形状スライスベッドを用意することが多い。
【００２４】
ところで、従来のマルチワイヤーソーにおいては、ワークをサドルに固定することに関し、解決すべき複数の課題が存在した。
【００２５】
まず、従来のマルチワイヤーソーではワークを固定するサドルが一つしか無く、複数個のワークを一度にスライスしたい場合、複数個のワークを接着して見掛け上１個のワークとしてから扱わなければならず、手間がかかる問題がある。すなわち、ワーク同志を接着する都合から接着の合わせ面の役割となる基準平面を余計に設けなければならず、生産性を低下させる問題があった。
【００２６】
また、ワーク同志を接着することで、接着の合わせ面に介在する接着剤の膜厚ムラの影響を受け、結晶方位にズレを起こすワークが現れる場合があり、歩留りを低下させる問題が存在する。方位のズレの許容範囲は、結晶の種類、用途により異なるが、１０′（分）以内から、緩くても３０′（分）以内が一般的である。
【００２７】
更に、ワークの基準平面が、ワイヤーの走行方向と平行、かつ、サドルのワイヤー群へ向かう軌道と平行になるようマルチワイヤーソー機上で調整するための作業（すなわち、マルチワイヤーソーに対するワークの位置決め作業）に時間がかかる問題があった。
【００２８】
尚、ワークの基準平面がワイヤーの走行方向と平行になっていることを検査するには、ツールスコープ（顕微鏡）等が使用され、また、ワークの基準平面がサドルのワイヤー群へ向かう軌道と平行になっていることを検査するには、ダイヤルゲージ、レーザー距離計等が使われる場合が多い。
【００２９】
このような課題を解決するため、例えば、特許文献１においては、特殊なワークシートを用い、２個のワークの方位をそれぞれワークシート上で調整する方法を紹介しており、サドルを複数個設けることが特徴となっている。そして、特許文献１で紹介された方法を採用することで上述した課題の多くは解決されるが、その反面、特殊で複雑なワークシートの設計、製造が必要となり、かつ、各ワークの方位を揃えるためにＸ線カット面検査装置を使用する都合から、ワークシートを基準としたワークの方位を測定できるＸ線カット面検査装置の改良若しくは開発が必要となる等、コスト的な問題を有している。
【００３０】
加えて、ワイヤーを巻き付けた巻幅全て、ワイヤー群全域を使って、１個の長尺ワークをスライスする場合、反って、ワークの固定が煩雑になると考えられ、特許文献１で紹介されている方法は、多くの改良の余地を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３１】
【特許文献１】特開平２００２−３３７１３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００３２】
本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、従来のマルチワイヤーソー、サドル、ワークシート等に複雑な改良を加えることなく、マルチワイヤーソーに対するワークの位置決め作業の簡便化が図れるワイヤーソーによる切断方法を提供し、合わせてこの方法に使用される位置決め治具群を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３３】
すなわち、本発明に係る第１の発明は、
ワークシート上に固定されたスライスベッドに基準平面を有するワークが取付けられ、かつ、ワイヤー列へ向かわせる軌道が上記基準平面と平行となるようにワークを傾けさせる傾斜回転機能と上記基準平面がワイヤー列の走行方向と平行となるようにワークを上記軌道軸上で回転させる回転機能を有するサドル部材に上記ワークシートを固定してワイヤーソーに対するワークの位置決めを行うワイヤーソーによる切断方法において、
一方の端面側にワークシート基準面を有しかつ片側平面にスライスベッドが固定された平板状のワークシートと、ワークを収容し保持する少なくとも１つの矩形状開口部を有しかつ収容されるワークの基準平面が位置整合されるワーク位置決め基準面を有すると共に上記ワーク位置決め基準面と平行なワーク位置決め台底面を備えるワーク位置決め台の組から成る位置決め治具群を用意する第一工程と、
上記ワーク位置決め台についてそのワーク位置決め台底面側を載置台の基準面に整合させた状態で載置台上に載置し、かつ、スライスベッドの露出面に接着剤を塗布した上記ワークシートについてそのワークシート基準面側を載置台の基準面に整合させると共に上記接着剤にワーク位置決め台に収容したワークの外周面を接触させた状態で載置台上に載置した後、上記接着剤を硬化させる第二工程と、
上記接着剤が硬化してワークシートのスライスベッドにワークを接着させた後、ワークシートから上記ワーク位置決め台を引き離し、かつ、スライスベッドにワークが取付けられたワークシートを上記サドル部材に固定する第三工程と、
ワークシートが固定されたサドル部材の上記傾斜回転機能と回転機能を作用させてワイヤーソーに対するワークの位置決めを行った後、上記サドル部材の傾斜回転機能と回転機能を停止かつ固定させる第四工程と、
を具備することを特徴とするものである。
【００３４】
また、第２の発明は、
第１の発明に記載のワイヤーソーによる切断方法において、
第一工程の上記ワーク位置決め台が、２つ以上の矩形状開口部を有しかつ各矩形状開口部には収容されるワークの基準平面が位置整合されるワーク位置決め基準面をそれぞれ有すると共に各ワーク位置決め基準面と平行なワーク位置決め台底面を備えることを特徴とし、
第３の発明は、
第１または第２の発明に記載のワイヤーソーによる切断方法において、
砒化ガリウム、ガリウム燐、インジウム燐、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、サファイア、および、シリコンから選択される単結晶材料により上記ワークが構成されることを特徴とするものである。
【００３５】
次に、第４の発明は、
第１の発明に記載の切断方法に使用される位置決め治具群において、
一方の端面側にワークシート基準面を有しかつ片側平面にスライスベッドが固定された平板状のワークシートと、ワークを収容し保持する少なくとも１つの矩形状開口部を有しかつ収容されるワークの基準平面が位置整合されるワーク位置決め基準面を有すると共に上記ワーク位置決め基準面と平行なワーク位置決め台底面を備えるワーク位置決め台の組から成ることを特徴とし、
また、第５の発明は、
第４の発明に記載の位置決め治具群において、
上記ワーク位置決め台が、２つ以上の矩形状開口部を有しかつ各矩形状開口部には収容されるワークの基準平面が位置整合されるワーク位置決め基準面をそれぞれ有すると共に各ワーク位置決め基準面と平行なワーク位置決め台底面を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３６】
本発明に係るワイヤーソーによる切断方法によれば、
一方の端面側にワークシート基準面を有しかつ片側平面にスライスベッドが固定された平板状のワークシートと、ワークを収容し保持する少なくとも１つの矩形状開口部を有しかつ収容されるワークの基準平面が位置整合されるワーク位置決め基準面を有すると共に上記ワーク位置決め基準面と平行なワーク位置決め台底面を備えるワーク位置決め台の組から成る第一工程の位置決め治具群を用い、かつ、第二工程と第三工程を経てサドル部材にワークシートが固定された場合、スライスベッドに取り付けられたワークの上記ワイヤーソーに対する位置関係は常に同一の条件に設定される。
【００３７】
そして、複数個のワークを順次スライス処理する場合、第四工程において一番目のワークの位置決めが行われた後、サドル部材の傾斜回転機能と回転機能を停止かつ固定させることで二番目以降のワークについてはその位置決め作業を行う必要がなくなるため、マルチワイヤーソー、サドル、ワークシート等に複雑な改良を加えることなくマルチワイヤーソーに対するワークの位置決め作業を著しく簡便化させることが可能となる。
【００３８】
特に、２つ以上の矩形状開口部を有しかつ各矩形状開口部には収容されるワークの基準平面が位置整合されるワーク位置決め基準面をそれぞれ有すると共に各ワーク位置決め基準面と平行なワーク位置決め台底面を備えるワーク位置決め台が適用された場合、従来技術と相違して複数のワークを接着させる必要が無く、接着の合わせ面となる基準平面を余計に設ける必要も無いことから作業性が著しく改善され、かつ、ワーク同志を接着しないため接着剤の膜厚ムラに起因する結晶方位のズレも起こることがない。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】マルチワイヤーソーが用いられたスライス方法の説明図。
【図２】基準平面を有するワークの概略斜視図。
【図３】図３（Ａ）は本発明の第一工程における位置決め治具群を構成するワーク位置決め台の概略斜視図、図３（Ｂ）は上記位置決め治具群を構成するワークシートの概略斜視図、図３（Ｃ）は上記ワーク位置決め台とワークシートが載置される載置台の概略斜視図、図３（Ｄ）の紙面左側図は第二工程において載置台に載置されたワーク位置決め台とワークシートの正面図、図３（Ｄ）の紙面右側図は第二工程において載置台に載置されたワーク位置決め台とワークシートの側面図、図３（Ｅ）は第三工程において載置台に載置されたワークシートからワーク位置決め台を引き離した後の状態を示す概略斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００４１】
（１）第一工程
第一工程において予め用意される位置決め治具群とは、図３（Ａ）に示すワーク位置決め台７０と図３（Ｂ）に示すワークシート５２の組から構成され、かつ、位置決め治具群の付属品として上記ワーク位置決め台７０とワークシート５２が載置される図３（Ｃ）に示す載置台（フィクスチャ）６０を有する。
【００４２】
（1-1）ワーク位置決め台
上記ワーク位置決め台７０は、図３（Ａ）に示すようにワークを収容し保持する少なくとも１つの矩形状開口部（図３Ａにおいては矩形状開口部が２つのケースを示す）を有し、かつ、収容されるワークの基準平面が位置整合されるワーク位置決め基準面７０Ａ、７０Ｂを有すると共に、上記ワーク位置決め基準面７０Ａ、７０Ｂと平行なワーク位置決め台底面７０Ｃを備えている。すなわち、上記ワーク位置決め台７０は、ワーク位置決め基準面を揃えかつワークを保持する役割を持ち、ワーク位置決め基準面７０Ａ、ワーク位置決め基準面７０Ｂ、ワーク位置決め台底面７０Ｃを備える。
【００４３】
上記ワーク位置決め基準面７０Ａ、ワーク位置決め基準面７０Ｂ、ワーク位置決め台底面７０Ｃはより平面精度が高いことが望ましく、少なくとも０．０５ｍｍ以下の平面度が望ましい。また、ワーク位置決め基準面７０Ａ、ワーク位置決め基準面７０Ｂ、ワーク位置決め台底面７０Ｃの各面において、互いの平行度が高いことが望ましく、少なくとも０．０５ｍｍ以下の平行度が望ましい。
【００４４】
図３（Ａ）においては、ワークを２個保持できる「日」の字型をなしているが、ワークを３個保持できる「目」の字型でもよい。すなわち、矩形状開口部の段数に特に制限はなく、段数が増えるに従いワーク位置決め基準面が増加するだけである。マルチワイヤーソーとワークのサイズを考慮し、自由に設計すればよい。
【００４５】
（1-2）ワークシート
上記ワークシート５２は、ワークをマルチワイヤーソーのサドル部材に固定する役割を持ち、図３（Ｂ）に示すようにワークシート基準面５２Ａを備える。ワークシート基準面５２Ａはより平面精度が高いことが望ましく、少なくとも０．０５ｍｍ以下の平面度が望ましい。また、ワークシート基準面５２Ａはワークシート底面５２Ｂと直角をなす。直角精度は厳密である必要は無いが、複数個のワークシートを運用し、マルチワイヤーソーのスライス中に次のワーク（二番目以降のワーク）を準備しておく、所謂、予めの外段取りを行う場合、複数個のワークシート間でできるだけ差が無いよう注意することを要する。
【００４６】
また、図３（Ｂ）に示すように、ワークシート５２の片側平面にはスライスベッド５１を、予め、接着材やビス留めで固定しておくことを要する。尚、スライスベッド５１は、上述したように一度のスライスで破棄される消耗品である。
【００４７】
（1-3）付属品としての載置台（フィクスチャ）
上記載置台（フィクスチャ）６０は、いわば基準となる台であり、図３（Ｃ）に示すように基準面（フィクスチャ基準面）６０Ａを備える。この基準面（フィクスチャ基準面）６０Ａはより平面精度が高いことが望ましく、少なくとも０．０５ｍｍ以下の平面度が望ましい。
【００４８】
（２）第二工程〜第四工程
上記位置決め治具群と載置台（フィクスチャ）を用いて、図３（Ｄ）に示すようにワークの位置決め作業が行われる。
【００４９】
すなわち、上記ワーク位置決め台７０について、そのワーク位置決め台底面７０Ｃ側を載置台（フィクスチャ）６０の基準面（フィクスチャ基準面）６０Ａに整合させた状態で載置台（フィクスチャ）６０上に載置し、かつ、上記ワークシート５２について、そのワークシート基準面５２Ａ側を載置台（フィクスチャ）６０の基準面（フィクスチャ基準面）６０Ａに整合させた状態で載置台（フィクスチャ）６０上に載置する。尚、ワークシート５２に固定された上記スライスベッド５１の露出面には、図３（Ｄ）に示すように、予め、接着剤５を塗布しておく。
【００５０】
また、ワーク３０ａ、３０ｂについては、図３（Ｄ）に示すように、上記ワーク位置決め台７０の各矩形状開口部内にそれぞれ収容されるが、ワーク３０ａ、３０ｂの基準平面４５ａ、４５ｂを下方側、かつ、ワーク３０ａ、３０ｂの各基準平面４５ａ、４５ｂがワーク位置決め台７０の各ワーク位置決め基準面７０Ａ、７０Ｂに位置整合した状態でワーク３０ａ、３０ｂを収容する。
【００５１】
そして、ワーク３０ａ、３０ｂが収容されたワーク位置決め台７０を上記ワークシート５２のスライスベッド５１側に近づけ、かつ、上記ワーク３０ａ、３０ｂの外周面をスライスベッド５１に塗布された接着剤５に接触させると共に、接着剤５が硬化するまで放置する。尚、上記ワーク３０ａ、３０ｂについて、図３（Ｄ）に示すように外周面の一部が外方へ食み出るようにワーク位置決め台７０に収容された場合、比較的簡単にワーク３０ａ、３０ｂの外周面を接着剤５に接触させることが可能となる。
【００５２】
これ等一連の作業で、ワーク３０ａ、３０ｂの各基準平面４５ａ、４５ｂは、ワークシート５２に対し一定の姿勢をとることになる。
【００５３】
上記接着剤５が硬化した後、スライスベッド５１にワーク３０ａ、３０ｂが固着されたワークシート５２からワーク位置決め台７０を引き離すことにより、図３（Ｅ）に示すような状態となる。すなわち、図３（Ｅ）から分かるように、載置台（フィクスチャ）６０の基準面（フィクスチャ基準面）６０Ａ、ワークシート基準面５２Ａ、ワーク位置決め基準面７０Ａ、ワーク位置決め基準面７０Ｂ、ワーク位置決め台底面７０Ｃ、各ワーク３０ａ、３０ｂの各基準平面４５ａ、４５ｂはそれぞれ平行となる。
【００５４】
そして、マルチワイヤーソーに対しワークシート５２が取付けられる基準は、ワークシート基準面５２Ａに対し直角に設定されたワークシート底面５２Ｂになるため（図１におけるワークシート５２がサドル５０に固定される形態を参照）、載置台（フィクスチャ）６０の基準面（フィクスチャ基準面）６０Ａ、ワークシート基準面５２Ａ、ワーク位置決め基準面７０Ａ、ワーク位置決め基準面７０Ｂ、ワーク位置決め台底面７０Ｃ、各ワーク３０ａ、３０ｂの各基準平面４５ａ、４５ｂ等がなす平行面と、上記ワークシート５２が取付けられる基準（ワークシート底面５２Ｂ）は一定の関係（直角）になる。
【００５５】
すなわち、第一工程の位置決め治具群と付属品である載置台（フィクスチャ）を用いれば、上記作業を何度繰り返しても同じ関係になるため、常に、ワークの基準平面はワークシートに対し同じ姿勢をとることになる。
【００５６】
この後、スライスベッド５１にワーク３０ａ、３０ｂが固着されたワークシート５２をマルチワイヤーソーのサドル（サドル部材）５０（図１参照）に固定し、ワーク３０ａ、３０ｂの基準平面４５ａ、４５ｂを、ワイヤー群３５の走行方向と平行、かつ、サドル（サドル部材）５０がワイヤー群３５へ向かう軌道と平行になるよう、マルチワイヤーソー機上で調整する。ツールスコープ（顕微鏡）、ダイヤルゲージ、レーザー距離計等を用いて検査すればよい。調整後、サドル（サドル部材）５０の回転機能として作用するサドル回転軸５０Ｘ、および、サドル（サドル部材）５０の傾斜回転機能として作用するサドルチルトゴニオ５０Ｙについてロックボルト等を用いてロックし、各機能を停止かつ固定させる。
【００５７】
ここで、サドル（サドル部材）５０の調整は厳密に行うことが望ましい。サドル（サドル部材）５０の調整が適当であるかどうかは、スライス後におけるウェーハの方位をＸ線カット面検査装置で測定し、基準平面４５ａ若しくは４５ｂとの差異を検査することで確認できる。尚、差異があった場合は、上記サドル回転軸５０Ｘ、サドルチルトゴニオ５０Ｙを微調整する。
【００５８】
そして、一旦、サドル（サドル部材）５０の方向を調整し、ワーク３０ａ、３０ｂの基準平面４５ａ、４５ｂとワイヤー群３５の走行方向との平行、および、サドル（サドル部材）５０がワイヤー群３５へ向かう軌道との平行度合いが適当な範囲に調整され、ロックされれば、以降のサドル（サドル部材）５０の調整は不要となる。第一工程の位置決め治具群と付属品である載置台（フィクスチャ）を用いる限り、上述したように、常に、ワークの基準平面はワークシートに対し同じ姿勢をとることになり、この結果、ワークの基準平面は、サドル（サドル部材）５０に対して、並びに、マルチワイヤーソーに対して同じ姿勢をとることになる。すなわち、サドル（サドル部材）５０の調整さえ済んでしまえば、スライス方位はズレルことがなく、連続して容易にスライスを行えるようになる。
【００５９】
尚、特許文献１において、１個の長尺ワークをスライスする場合、ワークの固定が煩雑になる問題を指摘したが、本発明においては、縦寸法が長く（すなわち、長尺に）設定された単一の矩形状開口部を有するワーク位置決め台を用意することで上記問題を解決することができる。
【実施例】
【００６０】
以下、本発明の実施例について比較例を挙げて具体的に説明する。
【００６１】
［実施例１］
第一工程の位置決め治具群、すなわちワークシート、ワーク位置決め台と、付属品である載置台（フィクスチャ）を用意した。上記ワーク位置決め台は、図３（Ａ）に示すものと同型の「日」の字型で、ワークを２個、固定できるタイプのものとした。また、サドルの調整は、上記位置決め治具群等を用いて予め厳密に行っている。
【００６２】
載置台（フィクスチャ）が備える基準面（フィクスチャ基準面）の平面精度は０．０５ｍｍとし、上記ワークシートが備えるワークシート基準面の平面精度は、０．０５ｍｍとし、また、ワーク位置決め台が備えるワーク位置決め基準面とワーク位置決め台底面の平面精度は０．０５ｍｍとした。更に、全てのワーク位置決め基準面とワーク位置決め台底面の平行度は０．０５ｍｍとした。
【００６３】
また、スライス後におけるウェーハ結晶方位のズレの合格基準は、３０′（分）以下とした。
【００６４】
そして、方位４２°ＲＹ、直径４インチ、長さ８０ｍｍ程度のタンタル酸リチウム結晶（ワーク）２個組みのスライス処理を、マルチワイヤーソー（株式会社安永製Ｆ−６００Ｓ式）を用いて連続５バッチ実施した。この結果を表１に示す。
【００６５】
【表１】
2015205354.tif 000003
【００６６】
そして、ワークの位置決め作業に要した時間は１１５分であった。
【００６７】
また、スライス後における結晶方位のズレは些少で、歩留りは１００％であった。
【００６８】
［実施例２］
スライス処理の対象（ワーク）が、方位３８．５°ＲＹ、直径６インチ、長さ５０ｍｍ程度のタンタル酸リチウム結晶である点を除き、実施例１と条件を同じにしてスライスを連続５バッチ行った。この結果を表２に示す。
【００６９】
【表２】
2015205354.tif 000004
【００７０】
そして、ワークの位置決め作業に要した時間は１５５分であった。
【００７１】
また、スライス後における結晶方位の狂いは些少で、歩留りは１００％であった。
【００７２】
［比較例１］
実施例で用いた位置決め治具群等を利用せず、２個のワーク（方位４２°ＲＹ、直径４インチ、長さ８０ｍｍ程度のタンタル酸リチウム結晶）を接着させて見掛け上１個のワークにして図１に示すマルチワイヤーソーのサドルに固定した以外は、実施例１と条件を同じにしてスライスを連続５バッチ行った。
【００７３】
尚、毎バッチ、ワークの基準平面が、ワイヤーの走行方向と平行、かつ、サドルがワイヤー群へ向かう軌道と平行になるよう、マルチワイヤーソー機上で上記サドルの調整を行った。調整に用いたワークの基準平面は、図３に示すワーク３０ａの基準平面である。
【００７４】
この結果を表３に示す。
【００７５】
【表３】
2015205354.tif 000005
【００７６】
そして、ワークの位置決め作業に要した時間は２０５分であった。
【００７７】
また、ワーク３０ａの位置に相当するＬｏｔ１は、基準平面４５ａを、ワイヤー群の走行方向と平行、かつ、サドルがワイヤー群へ向かう軌道と平行になるよう、マルチワイヤーソー機上でサドルの調整を行っているため、スライス後におけるウェーハ結晶方位のズレは些少であったが、接着剤を介して固定されたワーク３０ｂの位置に相当するＬｏｔ２は、ズレが大きく、不合格品の発生があり、歩留りは８０％であった。
【００７８】
［比較例２］
実施例で用いた位置決め治具群等を利用せず、２個のワーク（方位３８．５°ＲＹ、直径６インチ、長さ５０ｍｍ程度のタンタル酸リチウム結晶）を接着させて見掛け上１個のワークにして図１に示すマルチワイヤーソーのサドルに固定した以外は、実施例２と条件を同じにしてスライスを連続５バッチ行った。
【００７９】
尚、毎バッチ、ワークの基準平面が、ワイヤーの走行方向と平行、かつ、サドルがワイヤー群へ向かう軌道と平行になるよう、マルチワイヤーソー機上で上記サドルの調整を行った。調整に用いたワークの基準平面は、図３に示すワーク３０ａの基準平面である。
【００８０】
この結果を表４に示す。
【００８１】
【表４】
2015205354.tif 000006
【００８２】
そして、ワークの位置決め作業に要した時間は２６５分であった。
【００８３】
また、ワーク３０ａの位置に相当するＬｏｔ１は、基準平面４５ａを、ワイヤー群の走行方向と平行、かつ、サドルがワイヤー群へ向かう軌道と平行になるよう、マルチワイヤーソー機上でサドルの調整を行っているため、スライス後におけるウェーハ結晶方位のズレは些少であったが、接着剤を介して固定されたワーク３０ｂの位置に相当するＬｏｔ２は、ズレが大きく、不合格品の発生は無かったものの全体に品質の劣るものであった。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
本発明に係るワイヤーソーによる切断方法によれば、マルチワイヤーソー、サドル、ワークシート等に複雑な改良を加えることなくマルチワイヤーソーに対するワークの位置決め作業を著しく簡便化させることが可能になるため、砒化ガリウム、ガリウム燐、インジウム燐、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム等から選択される結晶材料のスライス作業に適用される産業上の利用可能性を有している。
【符号の説明】
【００８５】
３０  ワーク
３０ａ  ワーク
３０ｂ  ワーク
３５  ワイヤー群
４５  基準平面
４５ａ  基準平面
４５ｂ  基準平面
５０  サドル（サドル部材）
５０Ｘ  サドル回転軸
５０Ｙ  サドルチルトゴニオ
５１  スライスベッド
５２  ワークシート
５２Ａ  ワークシート基準面
５２Ｂ  ワークシート底面
６０  載置台（フィクスチャ）
６０Ａ  基準面（フィクスチャ基準面）
７０  ワーク位置決め台
７０Ａ  ワーク位置決め基準面
７０Ｂ  ワーク位置決め基準面
７０Ｃ  ワーク位置決め台底面
【図１】
2015205354.tif 000007
【図２】
2015205354.tif 000008
【図３】
2015205354.tif 000009