(57)【要約】【課題】力学的な特性の計測を行いやすくすることを目的とする。【解決手段】計測装置と、情報処理装置と、を有する情報処理システムに行わせる試料の試験に係る情報処理であって、前記計測装置は、前記試料に荷重を加える加圧手段と、前記荷重を計測する計測手段と、前記加圧手段で前記試料に荷重を加える箇所を撮像する撮像手段と、を有し、前記情報処理装置が、前記撮像手段が撮影した撮像画像を取得し、前記計測手段が計測した計測結果を取得し、少なくとも前記撮像画像を解析した解析画像を生成し、少なくとも前記撮像画像と、前記解析画像と、を比較するための比較画像を出力することで上記課題を解決する。【選択図】図１
2015175666.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測装置と、情報処理装置と、を有する情報処理システムに行わせる試料の試験に係る情報処理方法であって、
前記計測装置は、
前記試料に荷重を加える加圧手段と、
前記荷重を計測する計測手段と、
前記加圧手段で前記試料に荷重を加える箇所を撮像する撮像手段と、を有し、
前記情報処理装置に、
前記撮像手段が撮影した撮像画像を取得させる画像取得手順と、
前記計測手段が計測した計測結果を取得させる計測結果取得手順と、
少なくとも前記撮像画像を解析した解析画像を生成させる生成手順と、
少なくとも前記撮像画像と、前記解析画像と、を比較するための比較画像を出力させる出力手順と、を実行させる情報処理方法。
【請求項２】
少なくとも基準片の硬さを含む基準片の情報を取得させる入力手順と、
前記硬さと、前記計測結果と、に基づいて理論面積を計算させる理論面積計算手順と、を有し、
前記比較画像は、前記理論面積に基づく参考画像を有する請求項１に記載の情報処理方法。
【請求項３】
計測装置と、情報処理装置と、を有する情報処理システムに行わせる試料の試験に係る情報処理方法であって、
前記計測装置は、
前記試料に荷重を加える加圧手段と、
前記荷重を計測する計測手段と、
前記加圧手段で前記試料に荷重を加える箇所を撮像する撮像手段と、を有し、
前記情報処理装置に、
基準片の情報を取得させる入力手順と、
前記撮像手段が撮影した撮像画像を取得させる画像取得手順と、
前記計測手段が計測した計測結果を取得させる計測結果取得手順と、
前記計測結果と、前記基準片の情報と、に基づいて理論面積を算出させる算出手順と、
前記撮像画像を解析した解析結果と、前記理論面積と、に基づいて前記解析の条件である解析条件を変更させる情報処理方法。
【請求項４】
前記撮像画像は、前記加圧手段が前記試料に荷重を加えている場合の画像である請求項１乃至３のいずれかに記載の情報処理方法。
【請求項５】
計測装置と、情報処理装置と、を有し、試料の試験に係る処理を行う情報処理システムであって、
前記計測装置は、
前記試料に荷重を加える加圧手段と、
前記荷重を計測する計測手段と、
前記加圧手段で前記試料に荷重を加える箇所を撮像する撮像手段と、を有し、
前記情報処理装置は、
前記撮像手段が撮影した撮像画像を取得する画像取得手段と、
前記計測手段が計測した計測結果を取得する計測結果取得手段と、
少なくとも前記撮像画像を解析した解析画像を生成する生成手段と、
少なくとも前記撮像画像と、前記解析画像と、を比較するための比較画像を出力する出力手段と、を有する情報処理システム。
【請求項６】
試料の試験を行う情報処理装置であって、
前記試料に荷重を加える加圧手段と、
前記荷重を計測する計測手段と、
前記加圧手段で前記試料に荷重を加える箇所を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮影した撮像画像を取得する画像取得手段と、
前記計測手段が計測した計測結果を取得する計測結果取得手段と、
少なくとも前記撮像画像を解析した解析画像を生成する生成手段と、
少なくとも前記撮像画像と、前記解析画像と、を比較するための比較画像を出力する出力手段と、を有する情報処理装置。
【請求項７】
計測装置と、情報処理装置と、を有し、試料の試験に係る処理を行う情報処理システムに実行させるプログラムであって、
前記計測装置は、
前記試料に荷重を加える加圧手段と、
前記荷重を計測する計測手段と、
前記加圧手段で前記試料に荷重を加える箇所を撮像する撮像手段と、を有し、
前記情報処理装置に、
前記撮像手段が撮影した撮像画像を取得させる画像取得手順と、
前記計測手段が計測した計測結果を取得させる計測結果取得手順と、
少なくとも前記撮像画像を解析した解析画像を生成させる生成手順と、
少なくとも前記撮像画像と、前記解析画像と、を比較するための比較画像を出力させる出力手順と、を実行させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報処理方法、情報処理システム、情報処理装置、およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、金属など物質の硬さなど機械的特性を計測する方法が知られている（例えば、非特許文献１乃至非特許文献５）。
【０００３】
また、計測装置が計測対象に荷重をかけてできる窪みの投影接触面積を光学的に観察し、計測する方法が知られている（例えば、非特許文献５、特許文献１、および特許文献２）。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】ＪＩＳ  Ｚ  ２２５５  超微小負荷硬さ試験方法
【非特許文献２】ＪＩＳ  Ｂ  ７７２５  ビッカース硬さ試験−試験機の検証及び校正
【非特許文献３】ＪＩＳ  Ｂ  ７７３５  ビッカース硬さ試験−基準片の校正
【非特許文献４】ＪＩＳ  Ｋ  ７２１５  プラスチックのデュロメータ硬さ試験方法
【非特許文献５】羽切教雄、逆井基次、宮島達也「顕微インデンターの開発と圧子力学への応用」、材料、５６巻、６号、５１０頁〜５１５頁（２００７）
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１９５３５７号公報
【特許文献２】実用新案登録第３１８２２５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の方法では、面積を利用する際、圧子の接触面を撮像した画像と、圧子の押し込み荷重、および硬さから計算できる面積を示す画像と、の比較が難しかったため、力学的な特性の計測が難しい場合があった。
【０００７】
本発明の１つの側面は、力学的な特性の計測を行いやすくすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
一態様における、計測装置と、情報処理装置と、を有する情報処理システムに行わせる試料の試験に係る情報処理方法であって、前記計測装置は、前記試料に荷重を加える加圧手段と、前記荷重を計測する計測手段と、前記加圧手段で前記試料に荷重を加える箇所を撮像する撮像手段と、を有し、前記情報処理装置に、前記撮像手段が撮影した撮像画像を取得させる画像取得手順と、前記計測手段が計測した計測結果を取得させる計測結果取得手順と、少なくとも前記撮像画像を解析した解析画像を生成させる生成手順と、少なくとも前記撮像画像と、前記解析画像と、を比較するための比較画像を出力させる出力手順と、を実行させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
力学的な特性の計測を行いやすくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係る情報処理システムの全体構成の一例を説明する概略図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る計測装置のハードウェア構成の一例を説明するブロック図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る情報処理装置のハードウェア構成の一例を説明するブロック図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る情報処理システムによる全体処理の一例を説明するシーケンス図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る情報処理システムによる解析処理の一例を説明する図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る比較画像の一例を説明する図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る第二の比較画像の一例を説明する図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る情報処理装置の全体処理の一例を説明するフローチャート図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る情報処理システムの機能構成の一例を説明する機能ブロック図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る情報処理システムによる第２実施形態の全体処理の一例を説明するシーケンス図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係るガンマ値の変更の一例を説明する図である。
【図１２】本発明の一実施形態に係る情報処理装置の第２実施形態の全体処理の一例を説明するフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００１２】
＜第１実施形態＞
＜全体構成＞
図１は、本発明の一実施形態に係る情報処理システムの全体構成の一例を説明する概略図である。
【００１３】
情報処理システムは、例えば情報処理システム１である。以下、情報処理システム１を例に説明する。
【００１４】
情報処理システム１は、情報処理装置１１と、計測装置１２と、を有する。情報処理システム１は、ディスプレイ３と接続する。
【００１５】
情報処理装置１１は、ユーザに計測装置１２に係る操作を入力させ、ユーザの操作に基づいて各種命令、および計測条件などを計測装置１２に入力する。
【００１６】
情報処理装置１１は、計測装置１２が撮像した画像、および計測結果などをディスプレイ３に出力する。
【００１７】
計測装置１２は、試料２の計測を行う。計測装置１２は、試料２の力学的な物性値を計測するための装置である。
【００１８】
計測装置１２は、カメラ１２Ｈ２と、圧子１２Ｈ３と、を有する。計測装置１２の有する各要素は、図示するようにフレーム１２Ｈ１に組み付けて構成される。
【００１９】
カメラ１２Ｈ２は、光学系である顕微鏡１２Ｈ１５と接続している。
【００２０】
情報処理システム１は、例えばいわゆる計装化インデンテーション法によって力学的な物性値を計測する。計装化インデンテーション法は、例えば圧子１２Ｈ３を試料２に押し込み、圧子１２Ｈ３が試料２にかける負荷荷重、押し込み深さ、または接触面積などを計測し、圧子１２Ｈ３の形状、および特性に基づいて試料２の計測を行う。以下、計装化インデンテーション法による計測を行う場合を例に説明する。
【００２１】
圧子１２Ｈ３は、計装化インデンテーション法の場合、試料２に対して押し込まれる治具である。押し込みの際、計測装置１２は、圧子１２Ｈ３の接触深さを計測できないため、接触深さの代替としての押し込み深さを計測する。計測装置１２は、圧子１２Ｈ３の押し込み深さから接触面積を計算する。
【００２２】
計測装置１２は、計装化インデンテーション法を用いることで、例えば基板上に形成した膜、いわゆる機能性薄膜、いわゆる機能性厚膜、またはいわゆる機能性フィルムなどの計測を行うことができる。
【００２３】
圧子１２Ｈ３は、計測する力学的な物性値にあわせた形状の治具である。圧子１２Ｈ３は、例えば三角錐、四角錐、および円錐など鋭角な形状の圧子である。圧子１２Ｈ３は、例えば球、および平板など鈍角な形状の圧子である。
【００２４】
圧子１２Ｈ３の材質は、硬さ、および耐摩耗性などの優れている例えばダイヤモンド、または超硬合金などである。
【００２５】
圧子１２Ｈ３が鋭角な形状の場合、試料２は、圧子１２Ｈ３と接触の際、試料２にかけられる荷重が小さくとも接触面積が小さいため、高い圧力がかかる。したがって、試料２には、塑性変形、または粘性流動などが生じる場合が多い。
【００２６】
圧子１２Ｈ３が鈍角な形状、かつ、荷重が小さい場合、試料２は、弾性変形が生じる。圧子１２Ｈ３が鈍角な形状、かつ、荷重が大きい場合、試料２は、塑性変形が生じる。
【００２７】
圧子１２Ｈ３が表面に押し込まれた場合に発生する塑性変形、または粘性流動などは、圧子１２Ｈ３が押し込まれた箇所の周辺に影響があるため、弾性変形とは異なる表面変形が発生する。圧子１２Ｈ３の接触深さは、試料２の塑性、または粘弾性の特性によっては表面変形が大きく影響するため、実際の接触面積が、試料２を完全弾性体と仮定した圧子１２Ｈ３の押し込み深さから計算される結果と大きく異なる場合がある。
【００２８】
計装化インデンテーション法は、例えば顕微インデンテーション法である。以下、顕微インデンテーション法を例に説明する。顕微インデンテーション法は、透明度の高い材質の圧子１２Ｈ３を用いる方法である。透明度の高い材質の圧子１２Ｈ３を用いることで、カメラ１２Ｈ２は、圧子１２Ｈ３と、試料２と、の接触面積を撮像することができ、接触面積を光学的に計測できる。したがって、顕微インデンテーション法は、圧子の押し込み深さを計測する必要がない。
【００２９】
顕微インデンテーション法は、試料２の塑性、または粘弾性の特性によって完全弾性体と異なる表面変形が生じている場合であっても、圧子１２Ｈ３が試料表面に接触する実際の面積を精度良く計測することができる。
【００３０】
以下、情報処理システム１で硬さＨを計測する場合を例に説明する。硬さＨは、例えばいわゆるマイヤー（Ｍｅｙｅｒ）硬度である。以下、マイヤー硬度の計測を例に説明する。
【００３１】
硬さＨは、例えば試料２に圧子１２Ｈ３よって荷重をかけた場合、試料２表面に形成される窪みとなる圧痕（以下、窪みという。）の投影面積によって計測できる。
【００３２】
計測装置１２は、例えば窪みを観察することによって、硬さＨを計測するための装置である。計測装置１２は、試料２と圧子１２Ｈ３との接触面積を観察窓１２Ｈ１４、および顕微鏡１２Ｈ１５を通してカメラ１２Ｈ２によって撮像する。
【００３３】
＜計測装置のハードウェア構成＞
図２は、本発明の一実施形態に係る計測装置のハードウェア構成の一例を説明するブロック図である。
【００３４】
計測装置１２は、カメラ１２Ｈ２と、圧子１２Ｈ３と、圧子制御装置１２Ｈ４と、荷重計測装置１２Ｈ５と、Ｄ／Ａ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｎａｌｏｇ）変換装置１２Ｈ６と、Ａ／Ｄ（Ａｎａｌｏｇ  Ｄｉｇｉｔａｌ）変換装置１２Ｈ７と、を有する。計測装置１２は、画像入力Ｉ／Ｆ（ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）１２Ｈ８と、入力Ｉ／Ｆ１２Ｈ９と、出力Ｉ／Ｆ１２Ｈ１０と、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）１２Ｈ１１と、記憶装置１２Ｈ１２と、を有する。計測装置１２の有する各要素は、バス（Ｂｕｓ）１２Ｈ１３によって接続されている。
【００３５】
カメラ１２Ｈ２は、例えばＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）、またはＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）の光学センサを有する。図１で示すように、カメラ１２Ｈ２は、圧子１２Ｈ３によって試料２の表面に形成される窪みを含むように試料２の表面を撮像するための装置である。
【００３６】
圧子制御装置１２Ｈ４は、圧子１２Ｈ３を動かすための制御装置である。圧子制御装置１２Ｈ４は、例えばアクチュエータ、および制御回路などである。圧子制御装置１２Ｈ４は、例えば圧子１２Ｈ３を試料２の表面に押し当てるため、圧子１２Ｈ３、または試料２の位置制御を行う。
【００３７】
荷重計測装置１２Ｈ５は、圧子１２Ｈ３が試料２にかける荷重を計測するための装置である。荷重計測装置１２Ｈ５は、例えばひずみセンサなどを利用するいわゆるロードセルなどである。
【００３８】
Ｄ／Ａ変換装置１２Ｈ６は、圧子制御装置１２Ｈ４を制御するための信号を出力する装置である。Ｄ／Ａ変換装置１２Ｈ６は、例えばＤ／Ａ変換回路などで構成される。
【００３９】
Ａ／Ｄ変換装置１２Ｈ７は、荷重計測装置１２Ｈ５の出力する信号を入力するための装置である。Ａ／Ｄ変換装置１２Ｈ７は、例えばＡ／Ｄ変換回路などで構成される。
【００４０】
画像入力Ｉ／Ｆ１２Ｈ８は、カメラ１２Ｈ２が出力する画像データを入力するためのインタフェースである。画像入力Ｉ／Ｆ１２Ｈ８は、例えばコネクタ、およびドライバなどで構成される。
【００４１】
入力Ｉ／Ｆ１２Ｈ９は、情報処理装置１１から情報を入力するためのインタフェースである。入力Ｉ／Ｆ１２Ｈ９は、例えばコネクタ、およびドライバなどで構成される。入力Ｉ／Ｆ１２Ｈ９は、例えばカメラ１２Ｈ２の撮像の際のパラメータである撮像条件などを情報処理装置１１から入力する。
【００４２】
出力Ｉ／Ｆ１２Ｈ１０は、情報処理装置１１に情報を出力するためのインタフェースである。出力Ｉ／Ｆ１２Ｈ１０は、例えばコネクタ、およびドライバなどで構成される。出力Ｉ／Ｆ１２Ｈ１０は、例えばカメラ１２Ｈ２の撮像した画像データを情報処理装置１１に出力する。
【００４３】
ＣＰＵ１２Ｈ１１は、計測装置１２の行う各種処理のための演算を行う演算装置である。ＣＰＵ１２Ｈ１１は、計測装置１２の行う各種処理のために計測装置１２の有する各種装置を制御する制御装置である。
【００４４】
記憶装置１２Ｈ１２は、計測装置１２が用いるデータ、パラメータ、およびプログラムなどを記憶するための装置である。記憶装置１２Ｈ１２は、例えば主記憶装置、および補助記憶装置である。主記憶装置は、例えばいわゆるメモリである。補助記憶装置は、例えばハードディスクなどである。
【００４５】
＜情報処理装置のハードウェア構成＞
図３は、本発明の一実施形態に係る情報処理装置のハードウェア構成の一例を説明するブロック図である。
【００４６】
情報処理装置は、例えば情報処理装置１１である。以下、情報処理装置１１を例に説明する。情報処理装置１１は、例えばＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）などである。
【００４７】
情報処理装置１１は、ＣＰＵ１１Ｈ１と、記憶装置１１Ｈ２と、入力Ｉ／Ｆ１１Ｈ３と、出力Ｉ／Ｆ１１Ｈ４と、入力Ｉ／Ｆ１１Ｈ５と、出力Ｉ／Ｆ１１Ｈ６と、を有する。情報処理装置１１の有する各要素は、バス１１Ｈ７によって接続している。
【００４８】
ＣＰＵ１１Ｈ１は、情報処理装置１１の行う各種処理のための演算を行う演算装置である。ＣＰＵ１１Ｈ１は、情報処理装置１１の行う各種処理のために情報処理装置１１の有する各種装置を制御する制御装置である。
【００４９】
記憶装置１１Ｈ２は、情報処理装置１１が用いるデータ、パラメータ、およびプログラムなどを記憶するための装置である。記憶装置１１Ｈ２は、例えば主記憶装置、および補助記憶装置である。主記憶装置は、例えばいわゆるメモリである。補助記憶装置は、例えばハードディスクなどである。
【００５０】
入力Ｉ／Ｆ１１Ｈ３は、ユーザの操作を入力するためのインタフェースである。入力Ｉ／Ｆ１１Ｈ３は、例えばコネクタ、およびドライバなどで構成される。入力Ｉ／Ｆ１１Ｈ３は、入力装置１１Ｈ３１が接続される。入力装置１１Ｈ３１は、例えばキーボード、またはマウスなどである。入力Ｉ／Ｆ１１Ｈ３は、入力装置１１Ｈ３１によって入力されたユーザの操作を情報処理装置１１に入力するための処理を行う。
【００５１】
出力Ｉ／Ｆ１１Ｈ４は、ユーザに情報を表示する出力を行うためのインタフェースである。出力Ｉ／Ｆ１１Ｈ４は、例えばコネクタ、およびドライバなどで構成される。出力Ｉ／Ｆ１１Ｈ４は、例えばディスプレイ３など出力装置が接続される。ディスプレイ３は、ユーザに計測装置１２から取得した画像データを表示する。
【００５２】
入力Ｉ／Ｆ１１Ｈ５は、計測装置１２からの入力を行うためのインタフェースである。入力Ｉ／Ｆ１１Ｈ５は、例えばコネクタ、ケーブル、およびドライバなどで構成される。情報処理装置１１は、入力Ｉ／Ｆ１１Ｈ５を介して計測装置１２から画像データなどを取得する。
【００５３】
出力Ｉ／Ｆ１１Ｈ６は、計測装置１２に出力を行うためのインタフェースである。出力Ｉ／Ｆ１１Ｈ６は、例えばコネクタ、ケーブル、およびドライバなどで構成される。情報処理装置１１は、出力Ｉ／Ｆ１１Ｈ６を介して計測装置１２に撮像条件のパラメータなどを出力する。
【００５４】
＜全体処理＞
図４は、本発明の一実施形態に係る情報処理システムによる全体処理の一例を説明するシーケンス図である。
【００５５】
ステップＳ０４０１では、情報処理装置１１は、ユーザに圧子形状を入力させるための処理を行う。圧子形状は、例えば圧子１２Ｈ３が三角錐の場合、三角形状である。ユーザは、使用する圧子１２Ｈ３に基づいて圧子形状を入力する。
【００５６】
ステップＳ０４０２では、情報処理装置１１は、ユーザに撮像条件、および解析条件を入力させるための処理を行う。撮像条件は、例えば図１の光学系である顕微鏡１２Ｈ５、およびカメラ１２Ｈ２の撮像倍率などである。ユーザは、使用する顕微鏡１２Ｈ５、およびカメラ１２Ｈ２に基づいて撮像条件を入力する。解析条件は、例えば明るさ、コントラスト、ガンマ値、または二値化処理の閾値などである。
【００５７】
ステップＳ０４０３では、情報処理装置１１は、参考値に基づく処理を行う。参考値は、ユーザが装置の検証を行う際に入力される値である。装置の検証は、例えば基準となる硬さを有する試料、または標準試料（以下、基準片という。）によって行われる。基準片は、規格などによって硬さが既に校正された試料である。標準片は、例えばＪＩＳ  Ｂ  ７７３５に定められている鋼、ベリリウム鋼、黄銅、または銅の物質などである。基準片は、例えばＪＩＳ  Ｋ  ７２１５に定められているポリウレタンエラストマー製、またはメタクリル樹脂製の物質などである。参考値に基づく処理は、例えば基準片に基づいて行う処理である。硬さＨは、下記（１）式で示される。
【００５８】
【数１】
2015175666.tif 000003
【００５９】
上述の（１）式において、計測する試料が基準片の場合、硬さＨは、選択した基準片に基づいて既知である。硬さＨの基準片に荷重Ｐの荷重をかけた場合の理論面積Ａｔｈは、（１）式より（２）式の通りに示せる。
【００６０】
【数２】
2015175666.tif 000004
【００６１】
参考値に基づく処理は、（２）式で計算された理論面積Ａｔｈとなるように、例えば撮像条件を変更する。すなわち、参考値に基づく処理は、試料が基準片の場合、理論面積Ａｔｈを計算し、計測装置１２が理論面積Ａｔｈとなるような画像を撮像できるようにするための処理である。なお、ステップＳ０４０３の処理は、装置の検証であるため、計測の際に毎回必須ではない。
【００６２】
ステップＳ０４０４では、情報処理装置１１は、撮像条件などユーザが情報処理装置１１に入力した各種パラメータなど情報を計測装置１２に送信する。
【００６３】
ステップＳ０４０５では、計測装置１２は、試料２に圧子１２Ｈ３を押し当てる処理を行う。ステップＳ０４０５では、計測装置１２は、試料２に荷重を加える加圧処理を行う。
【００６４】
ステップＳ０４０６では、計測装置１２は、ステップＳ０４０５の加圧処理で試料２に加えられている荷重を計測する。
【００６５】
ステップＳ０４０７では、計測装置１２は、ステップＳ０４０６の計測結果を情報処理装置１１に送信する。
【００６６】
ステップＳ０４０８では、計測装置１２は、ステップＳ０４０５の加圧処理で試料２に荷重が加えられている箇所を撮像する。
【００６７】
ステップＳ０４０９では、計測装置１２は、ステップＳ０４０８の処理で撮像された撮像データを情報処理装置１１に送信する。
【００６８】
ステップＳ０４１０では、情報処理装置１１は、参考画像を生成する処理を行う。参考画像は、ステップＳ０４０１で入力された形状、およびステップＳ０４０３で計算された理論面積Ａｔｈに相当する画像である。すなわち、参考画像は、上述の（２）式で計算された理論面積Ａｔｈを圧子の形状で目視できるようにするための画像である。
【００６９】
ステップＳ０４１１では、情報処理装置１１は、解析処理を行う。解析処理は、ステップＳ０４０９で計測装置１２から取得された撮像データに対して行う。
【００７０】
図５は、本発明の一実施形態に係る情報処理システムによる解析処理の一例を説明する図である。
【００７１】
撮像データは、例えば撮像画像１Ｉ１である。以下、撮像画像１Ｉ１を例に説明する。
【００７２】
図５（ａ）は、本発明の一実施形態に係る撮像画像の一例を説明する図である。
撮像画像１Ｉ１は、低輝度画素領域１Ｉ１１を有する。低輝度画素領域１Ｉ１１は、試料２に圧子１２Ｈ３を加圧することによって形成される窪みに対応する。窪みは、圧子１２Ｈ３の形状によって形状が決まるため、圧子１２Ｈ３の形状が三角錐の場合、図示する低輝度画素領域１Ｉ１１のように三角形となる。窪みの箇所は、明視野観察では光が当たらないため、図１のカメラ１２Ｈ２で撮像した場合、周辺の領域より暗い箇所となり、低輝度な画像の領域となる。
【００７３】
解析処理は、撮像画像１Ｉ１の窪み部分を特定する処理である。解析処理は、例えば所定の輝度値を設定し、設定した輝度値より輝度値が低い撮像画像１Ｉ１の画素の箇所を窪み部分と判定する処理である。なお、図５（ａ）は、同時に参考画像１Ｉ４を示してもよい。参考画像１Ｉ４については、後述する。
【００７４】
なお、解析処理は、輝度値による判定の処理に限られない。解析処理は、窪みが特定できる処理であればよい。解析処理は、例えばエッジ（ｅｄｇｅ）で囲まれた範囲を窪み部分と判定する処理などでもよい。
【００７５】
図５（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る解析画像の一例を説明する図である。
【００７６】
解析画像１Ｉ２は、解析処理によって生成される画像である。解析画像１Ｉ２は、低輝度画素領域１Ｉ１１を解析した解析面積Ａａｎを示す画像である。解析画像１Ｉ２は、例えば低輝度画素領域１Ｉ１１を撮像画像１Ｉ１から解析処理に基づいて切り出して生成する。解析画像１Ｉ２は、例えば解析処理で算出した解析面積Ａａｎ以外の周辺箇所を透明化処理して生成する。
【００７７】
切り出し、または周辺箇所を透明化させることによって解析画像１Ｉ２を生成することによって、例えば解析画像１Ｉ２を他の画像に重ねる処理をした場合、解析画像１Ｉ２は、解析面積Ａａｎ以外の箇所を上書きすることなく他の画像に重ねられる。
【００７８】
ステップＳ０４１２では、情報処理装置１１は、比較画像を生成する処理を行う。
【００７９】
比較画像１Ｉ３は、理論面積Ａｔｈと、図５の解析画像１Ｉ２の解析面積Ａａｎと、の大きさの比較をユーザが行いやすくするための評価用の画像である。
【００８０】
図６は、本発明の一実施形態に係る比較画像の一例を説明する図である。
【００８１】
比較画像１Ｉ３は、例えば撮像画像１Ｉ１と、解析画像１Ｉ２と、参考画像１Ｉ４と、に基づいて生成される画像である。
【００８２】
比較画像１Ｉ３は、例えばステップＳ０４０９で計測装置１２から取得した撮像画像１Ｉ１を基にして生成する。比較画像１Ｉ３は、図示するように撮像画像１Ｉ１に少なくとも解析画像１Ｉ２を取り込んで生成する。なお、比較画像１Ｉ３は、計測器におけるいわゆるトレーサビリティの確保のために、図示するように参考画像を取り込んで生成されてもよい。以下、比較画像は、解析画像と、参考画像と、の双方を取り込んだ場合を例に説明する。
【００８３】
参考画像１Ｉ４は、ステップＳ０４１０で計算された面積を表示する画像である。
【００８４】
比較画像１Ｉ３は、理論面積Ａｔｈを示す参考画像１Ｉ４と、解析面積Ａａｎを示す解析画像１Ｉ２と、が表示されているため、ユーザが視覚的に比較しやすい画像である。
【００８５】
したがって、情報処理システム１は、比較画像１Ｉ３を表示することで撮像画像１Ｉ１と、解析面積Ａａｎと、の比較をユーザが行いやすくさせることができる。よって、情報処理システム１は、比較画像１Ｉ３を表示することで力学的な特性の計測を行いやすくすることができる。
【００８６】
また、撮像画像１Ｉ１と、解析画像１Ｉ２と、参考画像１Ｉ４と、を比較することで、情報処理システム１は、例えば撮像画像１Ｉ１と比較して解析画像１Ｉ２の解析面積Ａａｎが想定よりも小さい面積となってしまう場合をユーザに見つけさせることができる。解析画像１Ｉ２の解析面積Ａａｎが想定よりも小さい面積とユーザが評価する場合、情報処理システム１は、例えば解析条件を変更し、解析画像１Ｉ２の解析面積Ａａｎを撮像画像１Ｉ１の窪みを精度よく示す画像にすることができる。
【００８７】
なお、比較画像は、図６に示した画像に限られない。
【００８８】
図７は、本発明の一実施形態に係る第二の比較画像の一例を説明する図である。
【００８９】
第二の比較画像１Ｉ５は、図６と同様に撮像画像１Ｉ１を基にして生成する場合を例に説明する。
【００９０】
第二の比較画像１Ｉ５は、例えば画像内に解析画像１Ｉ２、および参考画像１Ｉ４を表示する際、表示する位置をユーザに指定させて生成される。例えば解析画像１Ｉ２は、ユーザが図３の入力装置１１Ｈ３１によって操作することによって配置する位置を決定される。例えば情報処理システム１は、ユーザに図７に示すように撮像画像１Ｉ１の窪みに解析画像１Ｉ２が重なるように解析画像１Ｉ２を移動させて第二の比較画像１Ｉ５を表示することができる。情報処理システム１は、撮像画像１Ｉ１の窪みと、解析画像１Ｉ２と、を重ねることでユーザに面積の大小の比較をしやすく表示することができる。
【００９１】
＜情報処理装置の処理＞
図８は、本発明の一実施形態に係る情報処理装置の全体処理の一例を説明するフローチャート図である。
【００９２】
ステップＳ０８０１では、情報処理装置１１は、圧子形状を入力させる処理を行う。ステップＳ０８０１の処理は、図４のステップＳ０４０１の処理に相当する。ステップＳ０８０１では、情報処理装置１１は、ユーザに圧子１２Ｈ３に基づいて圧子形状を入力させる処理を行う。
【００９３】
ステップＳ０８０２では、情報処理装置１１は、撮像条件と、解析条件と、を入力させる処理を行う。ステップＳ０８０２の処理は、図４のステップＳ０４０２の処理に相当する。ステップＳ０８０２では、情報処理装置１１は、図５（ａ）の撮像画像１Ｉ１を撮像するための撮像条件をユーザに入力させる処理を行う。ステップＳ０８０２では、情報処理装置１１は、図５（ｂ）の解析画像１Ｉ２を図５（ａ）の撮像画像１Ｉ１から生成するための解析条件をユーザに入力させる処理を行う。
【００９４】
ステップＳ０８０３では、情報処理装置１１は、参考値に基づく処理を行う。ステップＳ０８０３の処理は、図４のステップＳ０４０３の処理に相当する。ステップＳ０８０３では、情報処理装置１１は、計測装置１２の検証を行うため、および後段で図６の参考画像１Ｉ４を生成するための参考値を計算する。ステップＳ０８０３の処理は、試料２を基準片で行う。基準片の硬さＨなどの情報は、既知のため、ユーザによって情報処理装置１１に入力される。ステップＳ０８０３では、情報処理装置１１は、硬さＨから理論面積Ａｔｈなど参考値を計算する。
【００９５】
ステップＳ０８０４では、情報処理装置１１は、パラメータを計測装置に送信する処理を行う。パラメータは、例えばステップＳ０８０２で入力した撮像条件などである。計測装置１２は、ステップＳ０８０４で送信されたパラメータに基づいて撮像、および圧子１２Ｈ３を試料２に押し当てる処理を行う。ステップＳ０８０４の処理は、図４のステップＳ０４０４の処理に相当する。
【００９６】
ステップＳ０８０５では、情報処理装置１１は、計測結果を取得する処理を行う。ステップＳ０８０５では、情報処理装置１１は、計測装置１２が図４のステップＳ０４０５の処理の際に計測した荷重の計測結果を計測装置１２から取得する。ステップＳ０８０５の処理は、図４のステップＳ０４０７の処理に相当する。
【００９７】
ステップＳ０８０６では、情報処理装置１１は、撮像データを取得する処理を行う。ステップＳ０８０６の処理は、図４のステップＳ０４０９の処理に相当する。ステップＳ０８０６では、情報処理装置１１は、図５（ａ）の撮像画像１Ｉ１を計測装置１２から取得する処理を行う。
【００９８】
ステップＳ０８０７では、情報処理装置１１は、参考画像を生成する処理を行う。ステップＳ０８０７の処理は、ステップＳ０４１０の処理に相当する。ステップＳ０８０７では、情報処理装置１１は、ステップＳ０８０１で入力された圧子形状、ステップＳ０８０３で計算された参考値、およびステップＳ０８０５で取得した計測結果からわかる荷重Ｐに基づいて図６の参考画像１Ｉ４を生成する。
【００９９】
ステップＳ０８０８では、情報処理装置１１は、解析処理を行う。ステップＳ０８０８の処理は、ステップＳ０４１１の処理に相当する。解析処理は、ステップＳ０８０２で入力された解析条件に基づいてステップＳ０８０６で取得した図５（ａ）の撮像画像１Ｉ１を解析する処理である。解析処理は、図５（ａ）の撮像画像１Ｉ１に基づいて図５（ｂ）の解析画像１Ｉ２を生成する処理である。
【０１００】
ステップＳ０８０９では、情報処理装置１１は、比較画像を生成する処理を行う。ステップＳ０８０９の処理は、ステップＳ０４１２の処理に相当する。ステップＳ０８０９では、情報処理装置１１は、ステップＳ０８０７、およびステップＳ０８０８生成された画像などに基づいて図６の比較画像１Ｉ３などを生成する。情報処理装置１１は、生成した比較画像を例えば図１のディスプレイ３などに出力する。情報処理装置１１は、比較画像を出力することでユーザに評価を行わせる。情報処理装置１１は、出力された比較画像の評価に基づいて、例えばユーザに解析条件などを変更させる。情報処理装置１１は、解析条件などの変更によって、解析処理によって生成される解析画像１Ｉ２を調整することができる。特に顕微インデンテーション法の場合、解析画像１Ｉ２が精度よく生成されることによって硬さなど力学的な特性を精度よく計測することができる。また、解析条件の検討の際に比較画像に参考画像があることで、ユーザに撮像画像が正しく生成されているかなどを確認させることができる。
【０１０１】
＜機能構成＞
図９は、本発明の一実施形態に係る情報処理システムの機能構成の一例を説明する機能ブロック図である。
【０１０２】
情報処理システム１は、パラメータ入力部１１Ｆ１と、計測結果取得部１１Ｆ２と、画像取得部１１Ｆ３と、解析処理部１１Ｆ４と、算出処理部１１Ｆ５と、比較画像生成部１１Ｆ６と、を有する。情報処理システム１は、加圧部１２Ｆ１と、計測部１２Ｆ２と、撮像部１２Ｆ３と、を有する。
【０１０３】
パラメータ入力部１１Ｆ１は、ユーザに硬さ、撮像条件、および解析条件などパラメータを入力させる処理を行う。パラメータ入力部１１Ｆ１は、例えば図３の入力Ｉ／Ｆ１１Ｈ３などによって実現される。パラメータ入力部１１Ｆ１は、例えばユーザに図８のステップＳ０８０１の圧子形状、図８のステップＳ０８０２の撮像条件と、解析条件と、を入力させる処理、および図８のステップＳ０８０３の基準片の硬さＨなどを入力させる処理を行う。
【０１０４】
計測結果取得部１１Ｆ２は、計測装置１２が計測する荷重など計測結果を計測装置１２から取得する処理を行う。計測結果取得部１１Ｆ２は、例えば図３の入力Ｉ／Ｆ１１Ｈ５などで実現される。計測結果取得部１１Ｆ２は、計測装置１２が試料２に荷重を加えた際、試料２に加えられている荷重Ｐを上述した（２）式の計算を行うために取得する。
【０１０５】
画像取得部１１Ｆ３は、計測装置１２が撮像した図５の撮像画像１Ｉ１などを取得する。画像取得部１１Ｆ３は、例えば図３の入力Ｉ／Ｆ１１Ｈ５などで実現される。画像取得部１１Ｆ３は、解析処理、および比較画像を生成する処理のための図５の撮像画像１Ｉ１などを計測装置１２から取得する。
【０１０６】
解析処理部１１Ｆ４は、解析処理を行う。解析処理部１１Ｆ４は、図３のＣＰＵ１１Ｈ１などで実現される。解析処理部１１Ｆ４は、画像取得部１１Ｆ３が取得した図５の撮像画像１Ｉ１を解析処理する。解析処理部１１Ｆ４は、パラメータ入力部１１Ｆ１がユーザに入力させた解析条件に基づいて解析処理を行う。解析処理部１１Ｆ４は、解析処理によって解析画像を生成する。
【０１０７】
算出処理部１１Ｆ５は、理論面積Ａｔｈを算出する処理を行う。算出処理部１１Ｆ５は、図３のＣＰＵ１１Ｈ１などで実現される。算出処理部１１Ｆ５は、パラメータ入力部１１Ｆ１が基準片の情報である硬さＨと、計測結果取得部１１Ｆ２から入力する荷重Ｐと、に基づいて上述した（２）式から理論面積Ａｔｈを算出する。算出処理部１１Ｆ５は、算出した理論面積Ａｔｈと、パラメータ入力部１１Ｆ１がユーザに入力させる圧子形状と、に基づいて参考画像を生成する。
【０１０８】
比較画像生成部１１Ｆ６は、比較画像を生成する処理を行う。比較画像生成部１１Ｆ６は、図３のＣＰＵ１１Ｈ１などで実現される。比較画像生成部１１Ｆ６は、生成した比較画像を例えば図３の出力Ｉ／Ｆ１１Ｈ４によって図３のディスプレイ３に出力し、ユーザに評価を行わせる。比較画像生成部１１Ｆ６は、比較画像を画像取得部１１Ｆ３が取得した撮像画像、解析処理部１１Ｆ４が生成した解析画像、および算出処理部１１Ｆ５が生成した参考画像などに基づいて生成する。
【０１０９】
加圧部１２Ｆ１は、試料に荷重を加える。加圧部１２Ｆ１は、例えば図２の圧子１２Ｈ３、および圧子制御装置１２Ｈ４などで実現される。加圧部１２Ｆ１は、試料２に圧子１２Ｈ３を押し当てるための処理を行う。
【０１１０】
計測部１２Ｆ２は、荷重を計測する。計測部１２Ｆ２は、例えば図２の荷重計測装置１２Ｈ５などによって実現される。計測結果は、例えば荷重の情報である。計測結果は、図２の出力Ｉ／Ｆ１２Ｈ１０などによって計測結果取得部１１Ｆ２に出力される。
【０１１１】
撮像部１２Ｆ３は、加圧部１２Ｆ１が荷重を加える箇所を撮像する。撮像部１２Ｆ３は、例えばカメラ１２Ｈ２などで実現される。撮像部１２Ｆ３は、撮像画像を生成する。生成された撮像画像は、図２の出力Ｉ／Ｆ１２Ｈ１０などによって画像取得部１１Ｆ３に出力される。
【０１１２】
なお、機能構成は、図９の構成に限られない。例えば情報処理装置１１は、計測装置１２の機能の一部または全部を有し、１の情報処理装置であってもよい。
【０１１３】
情報処理システム１は、撮像画像１Ｉ１と、解析画像１Ｉ２と、参考画像１Ｉ４と、を比較しやすくするため、比較画像を生成する。比較画像によって、情報処理システム１は、ユーザに撮像画像１Ｉ１と、解析画像１Ｉ２と、参考画像１Ｉ４と、の大きさの比較を行いやすくすることができる。したがって、情報処理システム１は、比較画像を生成することによって、硬さなどの計測を行いやすくすることができる。
【０１１４】
＜第２実施形態＞
第２実施形態は、第１実施形態と同様に図１の情報処理システム１を用いる。したがって、情報処理システム１については、説明を省略する。
【０１１５】
第２実施形態の情報処理システム１は、図４で説明した処理に代えて図１０で説明する処理を行う。
【０１１６】
＜第２実施形態の全体処理＞
図１０は、本発明の一実施形態に係る情報処理システムによる第２実施形態の全体処理の一例を説明するシーケンス図である。
【０１１７】
図１０は、第１実施形態の図４と比較してステップＳ０４０４以降の処理が繰り返し処理となっている点が異なる。図１０は、第１実施形態の図４と比較してステップＳ０４１２の処理に代えてステップＳ１００１の処理を行う点が異なる。図１０は、第１実施形態の図４と比較してステップＳ０４１０の処理を行わない点が異なる。図１０について図４と同一の処理については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【０１１８】
ステップＳ１００１では、情報処理装置１１は、解析画像１Ｉ２と、理想画像１Ｉ４と、比較する処理を行う。ステップＳ１００１では、情報処理装置１１は、例えば解析画像１Ｉ２の解析面積Ａａｎと、理論面積Ａｔｈと、の面積の値の差分Ａｄｉｆｆを算出する。差分Ａｄｉｆｆは、例えば下記（３）式に基づいて算出する。
【０１１９】
【数３】
2015175666.tif 000005
【０１２０】
情報処理システム１は、上述した（３）式で算出された差分Ａｄｉｆｆの値が所定の値以下、すなわちゼロに十分近づくように解析画像１Ｉ２を生成する解析条件を変更する。解析条件の変更は、例えばガンマ補正のパラメータであるガンマ値の変更である。
【０１２１】
図１１は、本発明の一実施形態に係るガンマ値の変更の一例を説明する図である。
【０１２２】
図１１は、ステップＳ１００１でガンマ値の変更を行った場合の一例である。図１１は、ステップＳ１００１でガンマ値を０．１から０．４に変更し、比較画像を生成した場合の画像である。
【０１２３】
ガンマ値が変更された場合、変更によって解析画像１Ｉ２の解析面積Ａａｎが変化する。理論面積Ａｔｈは、上述した（２）式に基づくため、硬さＨ、および荷重Ｐが変更されない限り変化しない。したがって、情報処理システム１は、解析面積Ａａｎを変化させることで差分Ａｄｉｆｆの値をゼロに十分近づくように調整できる。
【０１２４】
繰り返しの際、ステップＳ０４０４では、ステップＳ１００１の比較結果に基づいて変更した撮像条件を送信する。
【０１２５】
なお、解析条件の変更の場合、変更された解析条件に基づいてステップＳ０４１１の処理である解析処理から繰り返し処理を行うとしてもよい。
【０１２６】
なお、第２実施形態では、解析面積Ａａｎと、理論面積Ａｔｈと、の面積の値の差分Ａｄｉｆｆの算出が行えればよく、比較画像を生成しなくともよい。以下、画像を生成しない場合を例に説明する。
【０１２７】
＜第２実施形態の情報処理装置の処理＞
図１２は、本発明の一実施形態に係る情報処理装置の第２実施形態の全体処理の一例を説明するフローチャート図である。
【０１２８】
第２実施形態の情報処理装置１１は、図８の処理に代えて図１２の処理を行う。図１２の処理は、ステップＳ０８０９の処理に代えてステップＳ１２０１乃至ステップＳ１２０３の処理を行う。図１２の処理は、ステップＳ０８０７の処理がない点が図８の処理と異なる。図８と同様の処理は、図１２では同一の符号を付し、説明を省略する。
【０１２９】
ステップＳ１２０１では、情報処理装置１１は、理論面積と、解析面積と、を比較する処理を行う。ステップＳ１２０１の処理は、例えば上述した（３）式の算出を行い、差分Ａｄｉｆｆを算出する処理である。比較結果は、例えば差分Ａｄｉｆｆである。以下、比較結果が差分Ａｄｉｆｆの場合を例に説明する。
【０１３０】
ステップＳ１２０２では、情報処理装置１１は、理論面積と、解析面積と、の差分が所定の値以下であるか否かの判断を行う。情報処理装置１１がステップＳ１２０１の比較結果である理論面積と、解析面積と、の差分が所定の値以下と判断した場合（ステップＳ１２０２でＹＥＳ）、情報処理装置１１は、全体処理を終了する。情報処理装置１１がステップＳ１２０１の比較結果である理論面積と、解析面積と、の差分が所定の値以下ではないと判断した場合（ステップＳ１２０２でＮＯ）、情報処理装置１１は、ステップＳ１２０３に進む。
【０１３１】
ステップＳ１２０３では、情報処理装置１１は、解析条件を変更する処理を行う。
【０１３２】
ステップＳ１２０１乃至ステップＳ１２０３の処理は、図１０のステップＳ１００１の処理に相当する。
【０１３３】
情報処理システム１は、解析画像１Ｉ２と、理想画像１Ｉ４と、を比較し、比較結果に基づいて解析条件を変更する。解析条件を変更することによって、情報処理システム１は、解析画像１Ｉ２を変化させ、理論面積と、解析面積と、の差分が所定の値以下である十分に差がない条件を得ることができる。したがって、情報処理システム１は、比較結果に基づいて解析条件を変更することによって、理想画像１Ｉ４に近い解析画像１Ｉ２を生成することができる。よって、情報処理システム１は、比較結果に基づいて解析条件を変更することによって解析面積の数値を取得することができ、力学的な特性の計測を行いやすくすることができる。
【０１３４】
なお、第２実施形態は、第１実施形態のようにユーザが画像を出力してもよい。すなわち、第２実施形態は、図８のステップＳ０８０７の処理、およびステップＳ０８０９の処理を行う全体処理であってもよい。
【０１３５】
また、実施形態は、図１に記載された構成に限られない。例えば情報処理装置１１、および計測装置１２は、１の情報処理装置であってもよい。
【０１３６】
なお、検証に用いる力学的な特性は、硬さに限られない。検証に用いる力学的な特性は、計測時間に依存が少なく、かつ、弾性、弾塑性、または塑性に係る力学的な特性であってもよい。例えばヤング率などでもよい。
【０１３７】
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【０１３８】
１  情報処理システム
１１  情報処理装置
１１Ｈ１  ＣＰＵ
１１Ｈ２  記憶装置
１１Ｈ３  入力Ｉ／Ｆ
１１Ｈ３１  入力装置
１１Ｈ４  出力Ｉ／Ｆ
１１Ｈ５  入力Ｉ／Ｆ
１１Ｈ６  出力Ｉ／Ｆ
１１Ｈ７  バス
１１Ｆ１  パラメータ入力部
１１Ｆ２  計測結果取得部
１１Ｆ３  画像取得部
１１Ｆ４  解析処理部
１１Ｆ５  算出処理部
１１Ｆ６  比較画像生成部
１２  計測装置
１２Ｈ１  フレーム
１２Ｈ２  カメラ
１２Ｈ３  圧子
１２Ｈ４  圧子制御装置
１２Ｈ５  荷重計測装置
１２Ｈ６  Ｄ／Ａ変換装置
１２Ｈ７  Ａ／Ｄ変換装置
１２Ｈ８  画像入力Ｉ／Ｆ
１２Ｈ９  入力Ｉ／Ｆ
１２Ｈ１０  出力Ｉ／Ｆ
１２Ｈ１１  ＣＰＵ
１２Ｈ１２  記憶装置
１２Ｈ１３  バス
１２Ｈ１４  観察窓
１２Ｈ１５  顕微鏡
１２Ｆ１  加圧部
１２Ｆ２  計測部
１２Ｆ３  撮像部
２  試料
３  ディスプレイ
Ａｔｈ  理論面積
Ａａｎ  解析面積
１Ｉ１  撮像画像
１Ｉ１１  低輝度画素領域
１Ｉ２  解析画像
１Ｉ３  比較画像
１Ｉ４  参考画像
【図１】
2015175666.tif 000006
【図２】
2015175666.tif 000007
【図３】
2015175666.tif 000008
【図４】
2015175666.tif 000009
【図８】
2015175666.tif 000010
【図９】
2015175666.tif 000011
【図１０】
2015175666.tif 000012
【図１２】
2015175666.tif 000013
【図５】
2015175666.tif 000014
【図６】
2015175666.tif 000015
【図７】
2015175666.tif 000016
【図１１】
2015175666.tif 000017