(57)【要約】      （修正有）【課題】ケーブルの長さを容易に計測できるケーブルを提供する。【解決手段】電線コード、電線ケーブル、光ファイバー、光ファイバーケーブル、流体を伝送するチューブ等を含むケーブルの外周に、長さを示す目盛３２を、所定の間隔を持って数字を施し、該目盛の始点と終点の数字の差によって長さを計測可能な形態とする、ないし、所定の間隔を持って色彩を施し、該目盛３２Ａの始点と終点の色彩の違いによって長さを計測可能な形態とする。【選択図】図２
2015064979.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーブルであって、
外周に長さを示す目盛が形成されていることを特徴とするケーブル。
【請求項２】
該目盛は、所定の間隔を持って数字が施され、該目盛の始点と終点の数字の差によって長さが計測できる請求項１記載のケーブル。
【請求項３】
該目盛は、所定の間隔を持って色彩が施され、該目盛の始点と終点の色彩の違いによって長さが計測できる請求項１記載のケーブル。
【請求項４】
加工装置の配線に使用される請求項１〜３の何れかに記載のケーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の長さに切って使用する紐状体又はケーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ，ＬＳＩ等の複数のデバイスが格子状に形成された複数の分割予定ラインによって区画され表面に形成された半導体ウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割されたデバイスチップは携帯電話、パソコン等の各種電子機器に広く利用されている。
【０００３】
研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削ユニットと、ウエーハの厚みを計測する厚み測定ゲージと、チャックテーブルを研削位置とウエーハを搬出入する搬出入位置とに位置付けるターンテーブルと、カセットからウエーハを搬出する搬出手段と、搬出されたウエーハの中心位置を適正な位置に位置付ける位置付けテーブルと、中心が位置づけられたウエーハをチャックテーブルに搬入する搬入機構と、研削が終了したウエーハを洗浄するスピンナー洗浄ユニットとから概ね構成されていて、ウエーハを所望の厚みに研削することができる（例えば、特開２００７−２７６０９３号公報参照）。
【０００４】
一方、ダイシング装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、切削すべき領域を検出するアライメントユニットと、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ユニットと、カセットからウエーハを搬出する搬出手段と、搬出されたウエーハを適正な位置に位置付ける位置付け手段と、適正な位置に位置付けられたウエーハをチャックテーブルに搬送する搬送ユニットと、切削が終了したウエーハを洗浄するスピンナー洗浄ユニットと、から概ね構成されていて、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（例えば、特開平７−３３５５９３号公報参照）。
【０００５】
研削装置又はダイシング装置等の加工装置には、コンピュータ、モータ、温度コントローラ、センサー、計測器、配電盤等の多くの電装品が組み込まれており、各電装品はケーブルで接続されている。
【０００６】
そして、加工装置を試作する際に、または特別仕様の加工装置に変更する際に、各電装品に接続されたケーブルの長さをメジャーで計測し、ケーブルの長さを組み図等に記録して生産ラインにおける作業の効率化を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−２７６０９３号公報
【特許文献２】特開平７−３３５５９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、複数の電装品が入り組んだ加工装置の内部でメジャーを使ってケーブルの長さを計測するには非常な困難が伴い、作業性が悪いという問題がある。また、電線を内蔵したケーブルに限らず、光ファイバー、流体を伝送するチューブにおいても同様な問題が生じる。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、電線、光ファイバー、チューブ等を含むケーブルの長さを容易に計測できるケーブルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によると、外周に長さを示す目盛が形成されているケーブルが提供される。好ましくは、目盛は、所定の間隔を持って数字が施され、目盛の始点と終点の数字の差によって長さが計測できる。
【００１１】
或いは、目盛は、所定の間隔を持って色彩が施され、目盛の始点と終点の色彩の違いによって長さが計測できる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のケーブルは、外周に長さを示す目盛が形成されているので、メジャーを使用することなく容易にケーブルの長さを計測でき、組み図等にケーブルの長さを記録することができる。
【００１３】
また、生産ラインにおいて本発明に係るケーブルを用いれば、メジャーを使用することなく指示された長さにケーブルを切断でき、生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】ダイシング装置の外観を示す斜視図である。
【図２】図２（Ａ）〜図２（Ｃ）は本発明実施形態に係るケーブルの模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明のケーブルが適用可能なダイシング装置２の斜視図が示されている。ダイシング装置２の機構部は、複数のパネルを組み合わせて形成されたハウジング４内に収容されている。
【００１６】
６はチャックテーブルであり、回転可能且つＸ軸方向に移動可能に構成されている。チャックテーブル６には、よく知られているようにダイシングテープを介してウエーハを支持する環状フレームをクランプする複数のクランプ８が配設されている。
【００１７】
ダイシング装置２は、Ｙ軸方向に整列して配設された第１切削ユニット１０及び第２切削ユニット１２を有している。第１切削ユニット１０及び第２切削ユニット１２ともＹ軸方向に伸長するガイドレール１４に案内されてＹ軸方向に移動可能であるとともに、Ｚ軸方向（高さ方向）にも移動可能に配設されている。
【００１８】
１６は内部に複数枚のウエーハを収容したカセットを載置するカセット載置台であり、上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に構成されている。１８はダイシング装置２の稼働状況を表示する表示ランプであり、ダイシング装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。
【００１９】
２０はタッチパネル式の表示モニターであり、オペレーターが装置の操作指令を入力できるとともに、装置の稼働状況が表示モニタ―２０上に表示される。２２，２４は非常停止ボタンであり、作業者がこの非常停止ボタン２２，２４を押すとダイシング装置２の作動を直ちに停止することができる。
【００２０】
ダイシング装置２には、コンピュータ、各種モータ、温度コントローラ、各種センサー、計測器、配電盤等の多くの電装品が組み込まれており、各電装品は図２に示す本発明のケーブル３０，３０Ａ，３０Ｂにより接続されている。
【００２１】
尚、本明細書及び特許請求の範囲で使用するケーブルという用語は、電線コード、電線ケーブル、光ファイバー、光ファイバーケーブル、流体を伝送するチューブ等の紐状体を意味するものとする。
【００２２】
図２（Ａ）を参照すると、本発明第一実施形態のケーブル３０が模式的に示されている。ケーブル３０の外周には所定の間隔を持って数字からなる目盛３２が形成されている。所定の間隔は例えば２０ｃｍに設定され、数字は１〜１０の繰り返しから構成される。
【００２３】
作業者がダイシング装置２を試作する際に、又は特別仕様のダイシング装置に改装する際に、ケーブルの配線が必要な場合には、作業者がケーブル３０の目盛３２の手前でケーブル３０を切断することにした場合において、始点である１と必要とするケーブルの長さの終点の数字の差によって長さを計測することができる。
【００２４】
ケーブル３０の長さが２ｍ未満か、或いは、２ｍ以上かは作業者が直感で判断することができるので、例えば終点の数字が２で作業者がケーブル３０の長さは２ｍ以上と判断した場合には、ケーブル３０の長さは２ｍ４０ｃｍとなる。
【００２５】
よって、作業者はメジャーを使用することなく容易にケーブル３０の長さを計測することができ、ケーブル３０を必要とする長さで切断して、各電装品をケーブル３０で接続することができる。尚、本実施形態では数字からなる目盛３２の間隔は２０ｃｍに設定されているが、間隔はこれに限定されるものではなく、一定値の間隔であれば良い。
【００２６】
図２（Ｂ）を参照すると、本発明第二実施形態のケーブル３０Ａの模式図が示されている。本実施形態のケーブル３０Ａの外周には、所定の間隔を持って一定の順序で異なる色彩が施された目盛３２Ａが形成されている。本実施形態のケーブル３０Ａでも目盛３２Ａの始点と終点の色彩の違いによって長さを計測することができる。
【００２７】
図２（Ｃ）を参照すると、本発明第三実施形態のケーブル３０Ｂの模式図が示されている。本実施形態のケーブル３０Ｂの外周には、所定の間隔を持って一定の順序で異なる記号が施された目盛３２Ｂが形成されている。本実施形態のケーブル３０Ｂでも、目盛３２Ｂの始点と終点の記号の違いによって長さを計測することができる。
【００２８】
上述した実施形態のケーブル３０，３０Ａ，３０Ｂは、外周に長さを示す目盛３２，３２Ａ，３２Ｂが一定の間隔で形成されているので、メジャーを使用することなく容易にケーブル３０，３０Ａ，３０Ｂの長さを計測でき、組み図等にケーブル３０，３０Ａ，３０Ｂの長さを記録することができる。
【００２９】
また、生産ラインにおいて本実施形態に係るケーブル３０，３０Ａ，３０Ｂを用いれば、メジャーを使用することなく指示された長さにケーブル３０，３０Ａ，３０Ｂを切断でき、生産性が向上する。
【符号の説明】
【００３０】
２    ダイシング装置
６    チャックテーブル
１０    第１切削ユニット
１２    第２切削ユニット
３０，３０Ａ，３０Ｂ    ケーブル
３２，３２Ａ，３２Ｂ    目盛
【図１】
2015064979.tif 000003
【図２】
2015064979.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成25年10月1日(2013.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
ケーブル３０の長さが２ｍ未満か、或いは、２ｍ以上かは作業者が直感で判断することができるので、例えば終点の数字が３で作業者がケーブル３０の長さは２ｍ以上と判断した場合には、ケーブル３０の長さは２ｍ４０ｃｍとなる。