(57)【要約】      （修正有）【課題】ワークの欠陥の検出を適切に行うことができるワーク処理装置を提供する。【解決手段】円形状のワーク１０を回転させた場合の、回転角度と、回転角度に対応したワーク１０の回転中心からエッジ１１までの距離に関する情報である第一距離情報とを対応づけて有する情報である複数の第一回転距離情報が格納される第一回転距離情報格納部１０１と、第一回転距離情報格納部１０１に格納されている複数の第一回転距離情報を用いて、ワーク１０を位置あわせするための情報と、ワーク１０の向きを特定するための情報と、ワーク１０のエッジ１１の欠陥部分に関する情報とを取得する取得部と、取得部が取得したワーク１０を位置あわせするための情報と、ワーク１０の向きを特定するための情報と、欠陥部分に関する情報とを出力する出力部とを備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円形状のワークを回転させた場合の、回転角度と、当該回転角度に対応したワークの回転中心からエッジまでの距離に関する情報である第一距離情報とを対応づけて有する情報である複数の第一回転距離情報が格納される第一回転距離情報格納部と、
前記第一回転距離情報格納部に格納されている複数の第一回転距離情報を用いて、前記ワークを位置あわせするための情報と、前記ワークの向きを特定するための情報と、前記ワークのエッジの欠陥部分に関する情報とを取得する取得部と、
前記取得部が取得した前記ワークを位置あわせするための情報と、前記ワークの向きを特定するための情報と、前記欠陥部分に関する情報とを出力する出力部とを備えたワーク処理装置。
【請求項２】
前記取得部は、欠陥部分の大きさに関する１以上の閾値を用いて欠陥部分の検出を行い、欠陥部分が検出された場合に、欠陥部分に関する情報を取得する請求項１記載のワーク処理装置。
【請求項３】
前記出力部は、前記取得部が取得した欠陥部分に関する情報に応じて、前記ワークのエッジに異常がある場合の出力である異常出力を更に行う請求項２記載のワーク処理装置。
【請求項４】
前記ワークのエッジの欠陥部分についての評価に関連した情報である評価関連情報を受け付ける評価関連情報受付部と、
前記評価関連情報を用いて、前記取得部が欠陥部分の検出に用いる大きさに関する１以上の閾値を取得し、当該取得した閾値を用いて、前記取得部が欠陥部分の検出に用いる大きさに関する１以上の閾値を設定する設定部と、を更に備えた請求項２または請求項３記載のワーク処理装置。
【請求項５】
前記取得部は、
前記複数の第一回転距離情報に含まれる第一距離情報のうちの、対応する回転角度が９０度ずつ異なる複数の第一距離情報を合成する合成手段と、
前記合成手段が第一距離情報を合成して取得した情報である複数の合成距離情報において、対応する回転角度が連続している複数の合成距離情報であって、値の大きさの変化が小さい複数の合成距離情報を検出し、検出した複数の合成距離情報のうちの１以上に対応する合成前の複数の第一距離情報と、合成前の一以上の第一距離情報に対応する回転角度とを取得する合成処理手段と、
前記合成処理手段が取得した複数の第一距離情報と回転角度とを用いて、前記ワークを位置あわせするための情報として、前記ワークの回転中心をワークの中心に合わせるための補正情報を取得する補正情報取得手段と、
前記補正情報取得手段が取得した補正情報を用いて、前記ワークがエッジに凹凸を有さない円形である場合の、回転角度と、回転角度に応じたワークのエッジまでの距離に関する情報である第二距離情報との関係を示す関係式を取得し、当該取得した関係式に、前記複数の第一回転距離情報に対応する複数の回転角度をそれぞれ代入して第二距離情報を取得する第二距離情報取得手段と、
前記複数の第一回転距離情報と、前記第二距離情報取得手段が取得した複数の第二距離情報とを用いて、同じ回転角度と対応づけられた前記第一距離情報と第二距離情報との差を取得する算出手段と、
前記算出手段が算出した前記第一距離情報と第二距離情報との差を用いて、前記ワークの向きを特定する情報として、当該ワークの向きを特定するための切り欠き部を示す情報を取得する切り欠き検出手段と、
前記算出手段が算出した前記第一距離情報と第二距離情報との差を用いて、前記ワークのエッジの欠陥部分に関する情報を取得する欠陥検出手段とを備えた請求項１から請求項４いずれか一項記載のワーク処理装置。
【請求項６】
前記合成処理手段は、前記複数の合成距離情報において、値の大きいものから順に一以上の合成距離情報を検出する第一処理と、値の小さいものから順に一以上の合成距離情報を検出する第二処理と、の少なくとも一方を１回以上実行し、当該第一処理及び第二処理で検出されずに残った合成距離情報のうちの、対応する回転角度が予め指定された数以上連続している合成距離情報の一以上に対応する合成前の複数の第一距離情報と、合成前の一以上の第一距離情報に対応する回転角度との組を取得する請求項５記載のワーク処理装置。
【請求項７】
前記切り欠き検出手段は、前記算出手段が算出した前記第一距離情報と第二距離情報との差と、切り欠き部の大きさに関する１以上の閾値とを用いて、前記ワークのエッジに設けられた切り欠き部を検出し、当該切り欠き部を示す情報を取得する請求項５または請求項６記載のワーク処理装置。
【請求項８】
前記欠陥検出手段は、前記算出手段が算出した前記第一距離情報と第二距離情報との差と、欠陥部分の大きさに関する１以上の閾値とを用いて、前記ワークのエッジの欠陥部分を検出し、当該検出した欠陥部分に関する情報を取得する請求項５から請求項７いずれか一項記載のワーク処理装置。
【請求項９】
前記合成手段は、前記複数の第一回転距離情報に含まれる第一距離情報のうちの、対応する回転角度が９０度ずつ異なる４つの第一距離情報をそれぞれ合成して複数の合成距離情報を取得する請求項５から請求項８いずれか一項記載のワーク処理装置。
【請求項１０】
前記出力部が出力する前記ワークのエッジの欠陥部分に関する情報を用いて、当該ワークのエッジの欠陥部分が予め指定された領域である撮像領域内に配置されるよう、前記ワークを移動させる移動部と、
前記撮像領域内に配置された前記ワークのエッジの欠陥部分を撮像する撮像部と、
前記撮像部が撮像した画像を出力する画像出力部とを、更に備えた請求項１から請求項９いずれか一項記載のワーク処理装置。
【請求項１１】
前記移動部は、前記ワークの中心が予め指定された位置に配置され、かつ、前記ワークのエッジの欠陥部分が前記撮像部の撮像領域内に配置されるよう前記ワークを移動させる請求項１０記載のワーク処理装置。
【請求項１２】
前記出力部が出力する前記ワークを位置あわせするための情報と、前記ワークの向きを特定するための情報と、前記ワークのエッジの欠陥部分に関する情報とを用い、前記ワークの中心と当該ワークについて特定される向きとを基準として、前記ワークの欠陥部分の位置を示す情報である補正欠陥位置情報を取得する補正欠陥位置取得部を更に備え、
前記画像出力部は、前記撮像部が撮像した画像を、当該画像に撮像された欠陥部分に対応する補正欠陥位置情報と対応づけて出力する請求項１０または請求項１１記載のワーク処理装置。
【請求項１３】
前記出力部が出力する前記ワークのエッジの欠陥部分に関する情報を用いて、前記ワークのエッジの、欠陥部分の大きさが大きい１以上の欠陥部分を検出する検出部を更に備え、
前記移動部は、前記検出部が検出した前記ワークのエッジの欠陥部分を前記撮像領域に移動させ、
前記撮像部は、前記検出部が検出した前記ワークのエッジの欠陥部分を撮像する請求項１０から請求項１２いずれか一項記載のワーク処理装置。
【請求項１４】
前記画像出力部が出力する画像を用いて、当該画像が示す欠陥部分を評価する評価部と、
前記評価部の評価結果を出力する評価結果出力部とを更に備えた請求項１０から請求項１３いずれか一項記載のワーク処理装置。
【請求項１５】
前記撮像部が欠陥部分を撮像したワークについての、当該欠陥部分を撮像した後の状況であって、予め指定された処理を行った後の状況を示す情報であるワーク状況情報を受け付ける状況受付部と、
前記画像出力部が出力する欠陥部分の画像に関する情報と、ワーク状況情報とを有する情報である画像状況情報が格納される画像状況情報格納部と、
前記画像出力部が出力する欠陥部分の画像に関する情報と、前記状況受付部が受け付けた当該欠陥部分についてのワーク状況情報とを有する画像状況情報を、前記画像状況情報格納部に蓄積する画像状況情報蓄積部とを備え、
前記評価部は、前記画像状況情報格納部に格納された画像状況情報を用いて、前記欠陥部分を評価する請求項１４記載のワーク処理装置。
【請求項１６】
請求項１から請求項１５いずれか一項記載のワーク処理装置と、
当該ワーク処理装置に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送装置とを備えたワーク搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの位置決めを行うワーク処理装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術として、ウエハを回転させてそのエッジ位置を回転角度に対応させて検出記憶し、検出信号の最大値、最小値によってウエハ位置の偏心量と方向とを算出し、この偏心データによってウエハのセンタ合せを行うようにしたものであって、ウエハに設けられた平坦部等の開始点および終了点においては他の部分よりもエッジ位置の変化が急になるのでエッジ位置データの変化率が一定以上となったところを算出することによって、この平坦部等を搬送装置等の他のステージに対して特定の位置となるように同一の装置で行うようにしたものが知られていた（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第２７２９２９７号公報（第１頁、第１図等）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、上記のような従来の装置を用いて位置決めされたワークを、ワーク搬送装置により、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：化学蒸着）やＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：化学機械研磨）等を行う装置に搬送することで、ワークに対して所望の処理を適切に行うことが可能となる。
【０００５】
ここで、バリやチッピング等がエッジに存在しているウエハ等のワークに対して、ＣＶＤや、研磨等の処理を行った場合、ワークに与えられる熱や、圧力等により、ワークが破損してしまう恐れがある。このため、ワークに対して処理を行う前に、バリやチッピング等の欠陥部分の有無を検出するための検査を行うことが好ましく、このためには、まず、上述したような従来の技術を用いてワークの位置決めを行う前にワークの欠陥部分の検査を行うことが望まれる。
【０００６】
しかしながら、ワークの欠陥部分の検査を行う場合、一旦、ワークをワーク搬送装置で欠陥部分を検査するための装置に搬送して欠陥部分の検査を行い、検査後に、ワークをワーク搬送装置でワークの位置決めを行う装置に搬送して位置決めを行う必要があり、ワークに対する検査や、検査を行う装置に対するワークの搬送に時間がかかる、という問題があった、
【０００７】
また、位置決めを行う装置に加えて、検査を行う装置を設ける必要があり、コストが高くなるとともに、ワークの搬送路に、検査を行う装置の設置場所を確保しなければならず、省スペース化を図ることが難しい、という問題があった。
【０００８】
この結果、従来の技術においては、ワークの欠陥の検出を適切に行うことができない、という課題があった。
【０００９】
本発明は、上記のような課題を解消するためになされたものであり、ワークの欠陥の検出を適切に行うことができるワーク処理装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のワーク処理装置は、円形状のワークを回転させた場合の、回転角度と、回転角度に対応したワークの回転中心からエッジまでの距離に関する情報である第一距離情報とを対応づけて有する情報である複数の第一回転距離情報が格納される第一回転距離情報格納部と、第一回転距離情報格納部に格納されている複数の第一回転距離情報を用いて、ワークを位置あわせするための情報と、ワークの向きを特定するための情報と、ワークのエッジの欠陥部分に関する情報とを取得する取得部と、取得部が取得したワークを位置あわせするための情報と、ワークの向きを特定するための情報と、欠陥部分に関する情報とを出力する出力部とを備えたワーク処理装置である。
【００１１】
かかる構成により、ワークの位置と向きを合わせる際に、ワークのエッジの欠陥の検出を行うことができ、ワークの欠陥の検出を適切に行うことができる。
【００１２】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、取得部は、欠陥部分の大きさに関する１以上の閾値を用いて欠陥部分の検出を行い、欠陥部分が検出された場合に、欠陥部分に関する情報を取得するワーク処理装置である。
【００１３】
かかる構成により、ワークのエッジの欠陥を大きさによって判断することができる。
【００１４】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、出力部は、取得部が取得した欠陥部分に関する情報に応じて、ワークのエッジに異常がある場合の出力である異常出力を更に行うワーク処理装置である。
【００１５】
かかる構成により、ワークに欠陥が検出された場合に、適切な対応を行うことができる。
【００１６】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、ワークのエッジの欠陥部分についての評価に関連した情報である評価関連情報を受け付ける評価関連情報受付部と、評価関連情報を用いて、取得部が欠陥部分の検出に用いる大きさに関する１以上の閾値を取得し、取得した閾値を用いて、取得部が欠陥部分の検出に用いる大きさに関する１以上の閾値を設定する設定部と、を更に備えたワーク処理装置である。
【００１７】
かかる構成により、エッジの欠陥検出結果を評価して、評価を閾値にフィードバックすることができ、エッジの欠陥検出の精度をワークに対して行われる処理に合わせて最適化することができる。
【００１８】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、取得部は、複数の第一回転距離情報に含まれる第一距離情報のうちの、対応する回転角度が９０度ずつ異なる複数の第一距離情報を合成する合成手段と、合成手段が第一距離情報を合成して取得した情報である複数の合成距離情報において、対応する回転角度が連続している複数の合成距離情報であって、値の大きさの変化が小さい複数の合成距離情報を検出し、検出した複数の合成距離情報のうちの１以上に対応する合成前の複数の第一距離情報と、合成前の一以上の第一距離情報に対応する回転角度とを取得する合成処理手段と、合成処理手段が取得した複数の第一距離情報と回転角度とを用いて、ワークを位置あわせするための情報として、ワークの回転中心をワークの中心に合わせるための補正情報を取得する補正情報取得手段と、補正情報取得手段が取得した補正情報を用いて、ワークがエッジに凹凸を有さない円形である場合の、回転角度と、回転角度に応じたワークのエッジまでの距離に関する情報である第二距離情報との関係を示す関係式を取得し、取得した関係式に、複数の第一回転距離情報に対応する複数の回転角度をそれぞれ代入して第二距離情報を取得する第二距離情報取得手段と、複数の第一回転距離情報と、第二距離情報取得手段が取得した複数の第二距離情報とを用いて、同じ回転角度と対応づけられた第一距離情報と第二距離情報との差を取得する算出手段と、算出手段が算出した第一距離情報と第二距離情報との差を用いて、ワークの向きを特定する情報として、ワークの向きを特定するための切り欠き部を示す情報を取得する切り欠き検出手段と、算出手段が算出した第一距離情報と第二距離情報との差を用いて、ワークのエッジの欠陥部分に関する情報を取得する欠陥検出手段とを備えたワーク処理装置である。
【００１９】
かかる構成により、回転角度が９０度ずつ異なるエッジの距離に関する情報を合成することで、回転中心がウエハの中心とは異なることによって発生するエッジの距離に関する情報の変動を除去した情報から、エッジの凹凸のない部分の距離に関する情報を取得して、補正情報を取得することができるため、ウエハの回転中心を補正するための情報を適切に取得することができる。また、理想的なエッジの距離に関する情報との差を用いて、ウエハのエッジの凹凸に関する情報を精度良く取得して出力することができ、これにより、精度よく切り欠き部を示す情報と、欠陥部分に関する情報とを取得することができる。
【００２０】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、合成処理手段は、複数の合成距離情報において、値の大きいものから順に一以上の合成距離情報を検出する第一処理と、値の小さいものから順に一以上の合成距離情報を検出する第二処理と、の少なくとも一方を１回以上実行し、第一処理及び第二処理で検出されずに残った合成距離情報のうちの、対応する回転角度が予め指定された数以上連続している合成距離情報の一以上に対応する合成前の複数の第一距離情報と、合成前の一以上の第一距離情報に対応する回転角度との組を取得するワーク処理装置である。
【００２１】
かかる構成により、エッジの切り欠き部や欠陥部分等の凹凸を除いた部分のエッジの距離に関する情報を用いて、精度良く回転中心を補正するための情報を取得することができる。
【００２２】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、切り欠き検出手段は、算出手段が算出した第一距離情報と第二距離情報との差と、切り欠き部の大きさに関する１以上の閾値とを用いて、ワークのエッジに設けられた切り欠き部を検出し、切り欠き部を示す情報を取得するワーク処理装置である。
【００２３】
かかる構成により、切り欠き部の位置を適切に示すことができる。
【００２４】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、欠陥検出手段は、算出手段が算出した第一距離情報と第二距離情報との差と、欠陥部分の大きさに関する１以上の閾値とを用いて、ワークのエッジの欠陥部分を検出し、検出した欠陥部分に関する情報を取得するワーク処理装置である。
【００２５】
かかる構成により、欠陥部分に関する適切な情報を示すことができる。
【００２６】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、合成手段は、複数の第一回転距離情報に含まれる第一距離情報のうちの、対応する回転角度が９０度ずつ異なる４つの第一距離情報をそれぞれ合成して複数の合成距離情報を取得するワーク処理装置である。
【００２７】
かかる構成により、回転中心がウエハの中心とは異なることによって発生するエッジの距離に関する情報の変動を除去した情報を利用して、精度良く回転中心を補正するための情報と、切り欠き部を示す情報と、欠陥部分に関する情報とを取得することができる。
【００２８】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、出力部が出力するワークのエッジの欠陥部分に関する情報を用いて、ワークのエッジの欠陥部分が予め指定された領域である撮像領域内に配置されるよう、ワークを移動させる移動部と、撮像領域内に配置されたワークのエッジの欠陥部分を撮像する撮像部と、撮像部が撮像した画像を出力する画像出力部とを、更に備えたワーク処理装置である。
【００２９】
かかる構成により、ワークのエッジの欠陥部分を容易に確認することができる。
【００３０】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、移動部は、ワークの中心が予め指定された位置に配置され、かつ、ワークのエッジの欠陥部分が撮像部の撮像領域内に配置されるようワークを移動させるワーク処理装置である。
【００３１】
かかる構成により、欠陥部分を撮像した画像において、エッジの欠陥部分の位置を揃えることができる。これにより、例えば、欠陥部分の比較が容易になる。
【００３２】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、出力部が出力するワークを位置あわせするための情報と、ワークの向きを特定するための情報と、ワークのエッジの欠陥部分に関する情報とを用い、ワークの中心とワークについて特定される向きとを基準として、ワークの欠陥部分の位置を示す情報である補正欠陥位置情報を取得する補正欠陥位置取得部を更に備え、画像出力部は、撮像部が撮像した画像を、画像に撮像された欠陥部分に対応する補正欠陥位置情報と対応づけて出力するワーク処理装置である。
【００３３】
かかる構成により、エッジの欠陥部分の位置を、特定の向きを基準として示すことができ、欠陥部分の位置を容易に示すことができる。
【００３４】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、出力部が出力するワークのエッジの欠陥部分に関する情報を用いて、ワークのエッジの、欠陥部分の大きさが大きい１以上の欠陥部分を検出する検出部を更に備え、移動部は、検出部が検出したワークのエッジの欠陥部分を撮像領域に移動させ、撮像部は、検出部が検出したワークのエッジの欠陥部分を撮像するワーク処理装置である。
【００３５】
かかる構成により、大きな欠陥部分だけを選択的に撮像することができる。これにより、例えば、品質等に影響の少ない小さな欠陥部分等の画像を出力しないようにすることができる。
【００３６】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、画像出力部が出力する画像を用いて、画像が示す欠陥部分を評価する評価部と、評価部の評価結果を出力する評価結果出力部とを更に備えたワーク処理装置である。
【００３７】
かかる構成により、画像を用いて欠陥部分を評価することができる。
【００３８】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、撮像部が欠陥部分を撮像したワークについての、欠陥部分を撮像した後の状況であって、予め指定された処理を行った後の状況を示す情報であるワーク状況情報を受け付ける状況受付部と、画像出力部が出力する欠陥部分の画像に関する情報と、ワーク状況情報とを有する情報である画像状況情報が格納される画像状況情報格納部と、画像出力部が出力する欠陥部分の画像に関する情報と、状況受付部が受け付けた欠陥部分についてのワーク状況情報とを有する画像状況情報を、画像状況情報格納部に蓄積する画像状況情報蓄積部とを備え、評価部は、画像状況情報格納部に格納された画像状況情報を用いて、欠陥部分を評価するワーク処理装置である。
【００３９】
かかる構成により、欠陥部分の画像に関する情報と、この欠陥部分を有するワークの状況とを対応づけて蓄積することができる。これにより、例えば、欠陥部分の画像と、欠陥部分がワーク１０に与える影響等を対応づけて蓄積することとなり、欠陥部分の画像を利用して欠陥部分の評価等を行う際の精度を向上させることができる。
【００４０】
また、本発明のワーク処理装置は、前記ワーク処理装置において、ワーク処理装置と、ワーク処理装置に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送装置とを備えたワーク搬送システムである。
【００４１】
かかる構成により、ワークの位置と向きを合わせる処理と、欠陥部分を検出する処理とを、搬送中に、ワーク処理装置においてまとめて行うことができ、ワークの位置と向きを合わせる処理と、欠陥部分を検出する処理とに要する時間を短縮することができる。また、搬送時のワークの移動を最小限に抑えることができる。
【発明の効果】
【００４２】
本発明によるワーク処理装置等によれば、ワークの欠陥の検出を適切に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】実施の形態１におけるワーク処理装置のブロック図
【図２】同ワーク処理装置において用いられる円形状のワークの一例を説明するための模式図（図２（ａ））、及びワークの補正情報を取得する処理を説明するための模式図（図２（ｂ））
【図３】同ワーク処理装置のエッジ位置検出器の一例を示す模式図
【図４】同ワーク処理装置を備えたワーク搬送システムの一例を示す平面図
【図５】同ワーク処理装置が利用する関係式を説明するための図
【図６】同ワーク処理装置の動作について説明するフローチャート
【図７】同ワーク処理装置を備えたワーク搬送システム動作について説明するフローチャート
【図８】同ワーク処理装置の第一回転距離情報管理表を示す図を示す図
【図９】同ワーク処理装置の第一回転距離情報を説明するためのグラフを示す図
【図１０】同ワーク処理装置の第一回転距離情報の、回転角度が０度以上９０度未満の範囲のグラフ（図１０（ａ））、回転角度が９０度以上１８０度未満の範囲のグラフ（図１０（ｂ））、回転角度が１８０度以上２７０度未満の範囲のグラフ（図１０（ｃ））、回転角度が２７０度以上３６０度未満の範囲のグラフ（図１０（ｄ））、合成したグラフ（図１０（ｅ））、変化の小さい部分のグラフ（図１０（ｆ））
【図１１】同ワーク処理装置の合成距離情報管理表を示す図
【図１２】同ワーク処理装置の第二回転距離情報管理表を示す図
【図１３】同ワーク処理装置の複数の第二回転距離情報を示す図
【図１４】同ワーク処理装置の距離差情報管理表を示す図
【図１５】同ワーク処理装置が取得した距離差情報と回転角度との関係を示すグラフ（図１５（ａ））、切り欠き検出手段が実行する処理を説明するためのグラフ（図１５（ｂ））、及び、欠陥検出手段が実行する処理を説明するためのグラフ（図１５（ｃ））
【図１６】同ワーク処理装置の出力例を示す図
【図１７】実施の形態２におけるワーク処理装置のブロック図
【図１８】同ワーク処理装置の一例を示す模式図（図１８（ａ））、及び同ワーク処理装置のエッジ位置検出器の一例を示す模式図（図１８（ｂ））
【図１９】同ワーク処理装置の欠陥部分を撮像領域内に移動させる処理を説明するための、回転前の図（図１９（ａ））、及び回転後の図（図１９ｂ））
【図２０】同ワーク処理装置の動作について説明するフローチャート
【図２１】同ワーク処理装置の画像管理表の一例を示す図
【図２２】同ワーク処理装置の表示例を示す図
【図２３】同ワーク処理装置の画像状況情報管理表の一例を示す図
【図２４】同ワーク処理装置の表示例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００４４】
以下、ワーク処理装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
【００４５】
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態におけるワーク処理装置１のブロック図である。
【００４６】
ワーク処理装置１は、第一回転距離情報格納部１０１、エッジ位置検出器１０２、取得部１０３、出力部１０４、評価関連情報受付部１０５、及び設定部１０６を備える。
【００４７】
取得部１０３は、例えば、合成手段１０３１、合成処理手段１０３２、補正情報取得手段１０３３、第二距離情報取得手段１０３４、算出手段１０３５、切り欠き検出手段１０３６、欠陥検出手段１０３７を備える。
【００４８】
図２は、本実施の形態の第一回転距離情報の取得対象となる円形状のワークの一例を説明するための模式図（図２（ａ））、及びワークの補正情報を取得する処理を説明するための模式図（図２（ｂ））である。
【００４９】
図３は、本実施の形態のエッジ位置検出器１０２の一例を示す模式図である。
【００５０】
図４は、本実施の形態におけるワーク処理装置１を備えたワーク搬送システム１０００の一例を示す平面図である。
【００５１】
ワーク処理装置１は、例えば、円形状のワーク（以下、単にワークとも称す）１０に対して、ワーク１０の位置と向きとを合わせるための情報を取得する処理と、エッジの欠陥部分を検出する処理とを行う装置である。ワーク１０の位置と向きとを合わせるための情報とは、例えば、ワーク１０を予め指定された位置に予め指定された方向に向けて配置できるようにするために用いられる情報である。
【００５２】
円形状のワーク１０は、例えば、円形状の半導体ウエハ（以下、ウエハと称す）や、補強用の円形状のウエハ台等に貼り付けられたウエハや、円形状のガラス基板等の基板である。円形状のワークの材質（例えばウエハの材質）は問わない。なお、円形状のワーク１０は、完全な円形でなくてもよく、例えば、エッジ１１の一部にオリフラ（オリエンテーションフラット）部１７や、ノッチ部（図示せず）等の切り欠き部を有していても良い。ワーク１０は、２以上の切り欠き部を有していてもよい。ワーク１０のエッジ１１とは、例えば、ワーク１０の周縁部である。
【００５３】
第一回転距離情報格納部１０１には、複数の第一回転距離情報が格納される。第一回転距離情報は、円形状のワーク１０を、例えばワーク１０上の一点を回転中心Ｏとして回転させた場合の、回転角度と、この回転角度に対応した第一距離情報とを対応づけて有する情報である。ワーク１０の回転中心からエッジまでの距離に関する情報である。ワーク１０の回転中心Ｏは、必ずしもワーク１０の中心Ｑとは一致していなくてもよい。
【００５４】
第一距離情報は、ワーク１０の回転中心Ｏからワーク１０のエッジ１１までの距離に関する情報である。第一距離情報は、例えば、ワーク１０の回転中心Ｏを一端とした予め指定された線分が、ワーク１０のエッジ１１と重なる位置までの距離に関する情報である。第一距離情報は、例えば、ワーク１０の回転中心Ｏからエッジ１１までの距離である。第一距離情報は、例えば、図２に示すように、ワーク１０の回転中心Ｏを一端とした予め指定された線分１４上に、この線分に沿って配置されたラインセンサ等のセンサ１５を用いて取得されたエッジ１１の位置に関する測定値や、その測定値を用いて取得された値である。
【００５５】
以下、本実施の形態においては、第一距離情報が、センサ１５により取得されたワーク１０のエッジ１１の位置を示す情報から取得されたワーク１０の回転中心Ｏからエッジ１１までの距離ｒである場合を例に挙げて説明する。
【００５６】
なお、第一距離情報は、実質的に、ワーク１０の回転中心Ｏからワーク１０のエッジ１１までの距離に対応した値を示す情報であればよく、第一距離情報は、例えば、センサ１５の基準となる位置（例えば、０点）等から、エッジ１１までの位置を示す情報であっても良い。また、センサ１５の、エッジ１１を検出した部分、例えば、エッジ１１を検出した素子やその配列位置等を示す情報であってもよい。
【００５７】
回転角度とは、例えば、回転前や、第一距離情報の取得を開始した状態等の予め指定された状態の値を０度等の初期値とした場合の、ワーク１０を回転させた角度の値である。第一回転距離情報格納部１０１に格納されている複数の第一回転距離情報は、例えば、ワーク１０を予め指定された角度ずつ順次回転させた場合に得られる第一距離情報と、その回転角度とを有する情報である。複数の第一回転距離情報は、例えば、予め指定された角度間隔で連続している回転角度を有している。予め指定された角度とは、一定の角度であり、例えば、ワーク１０を回転させて第一距離情報を取得する際の、回転角度の最小単位である。予め指定された角度は、例えば、３６０度を４の倍数で分割した値であることが好ましい。予め指定された角度は、例えば、３６０度を、１０００や、１００００等で分割した値、例えば、０．３６度や、０．０３６度等である。なお、回転角度の単位等は問わない。
【００５８】
第一回転距離情報格納部１０１には、例えば、１または２以上のワーク１０についてそれぞれ取得された複数の第一回転距離情報が格納される。例えば、各ワーク１０に対応する複数の第一回転距離情報は、このワーク１０の識別子であるワーク識別子と対応づけて格納される。
【００５９】
第一回転距離情報格納部１０１には、例えば、少なくとも１回転分の複数の回転角度、具体的には０から３６０度までの範囲の複数の回転角度に対応した複数の第一回転距離情報が格納される。ただし、１回転に満たない複数の回転角度に対応した複数の第一回転距離情報が格納されていてもよい。、例えば一回転よりも回転角度の最小単位よりも少ない角度だけ少ない回転分に対応した複数の第一回転距離情報が格納されていてもよい。また、１回転よりも多い回転数分の複数の回転角度、例えば、１．５回転分や、２回転分の複数の回転角度に対応した複数の第１回転距離情報が格納されていてもよい。
【００６０】
本実施の形態においては、一例として、第一回転距離情報格納部１０１に、エッジ位置検出器１０２が取得した複数の第一回転距離情報が蓄積される場合について説明する。ただし、第一回転距離情報格納部１０１にどのように複数の第一回転距離情報が蓄積されるかについては問わない。例えば、図示しない受付部等が記憶媒体や通信回線等を介して受け付けた複数の第一回転強情報が第一回転距離情報格納部１０１に蓄積されるようにしてもよい。
【００６１】
なお、ここでの格納は一時記憶も含む概念である。例えば、エッジ位置検出器１０２がワークについて取得した複数の第一回転距離情報が一時記憶されることも、ここでは、格納と考えてよい。
【００６２】
第一回転距離情報格納部１０１は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。かかることは、他の格納部についても同様である。
【００６３】
エッジ位置検出器１０２は、ワーク１０について複数の第一回転距離情報を取得する。エッジ位置検出器１０２は、具体的には、ワーク１０のエッジ位置を検出して、ワークについて複数の第一回転距離情報を取得する。エッジ位置検出器１０２は、取得した複数の第一回転距離情報を第一回転距離情報格納部１０１に蓄積する。
【００６４】
エッジ位置検出器１０２は、例えば、ラインセンサ等のセンサ１５と、載置されたワーク１０を回転させるターンテーブル５２等を備えており、ワーク１０を予め指定された回転角度だけ回転させる毎に測定したエッジの位置を示す測定値、例えば、ワーク１０の回転中心からエッジまでの距離の測定値等を用いて、第一距離情報と回転角度とを順次取得する。ワーク１０の回転中心は、例えば、ワーク１０を回転させるターンテーブルの回転中心である。
【００６５】
エッジ位置検出器１０２は、後述する出力部１０４が出力するワーク１０を位置あわせするための情報、例えば、補正情報を用いて、ワーク１０の中心が、予め指定された位置に位置するように、ターンテーブル５２等の位置を移動させる移動手段（図示せず）を備えていてもよい。また、エッジ位置検出器１０２は、、後述する出力部１０４が出力するワーク１０の向きを特定する情報、例えば、切り欠き部を示す情報を用いて、ワーク１０予め指定された方向を向くように、ターンテーブル５２を回転させる制御手段（図示せず）等を備えていてもよい。
【００６６】
エッジ位置検出器１０２は、例えば、異なるワークについて第一回転距離情報を取得した場合、各ワークについて取得した複数の第一回転距離情報を、各ワークのワーク識別子と対応づけて、第一回転距離情報格納部１０１に蓄積する。
【００６７】
エッジ位置検出器１０２の具体例については後述する。
【００６８】
取得部１０３は、第一回転距離情報格納部１０１に格納されている一のワークに対応する複数の第一回転距離情報を用いて、ワーク１０を位置あわせするための情報と、ワーク１０の向きを特定するための情報と、ワーク１０のエッジ１１の欠陥部分に関する情報とを取得する。
【００６９】
ワーク１０を位置あわせするための情報とは、例えば、ワーク１０を予め指定された位置に配置するために用いられる情報である。ワーク１０を位置あわせするための情報とは、例えば、ワーク１０が本来配置される位置と、ワーク１０が実際に配置されている位置とのずれを示す情報である。また、ワーク１０を位置あわせするための情報とは、例えば、補正情報である。この補正情報は、例えば、補正情報取得手段１０３３が取得する補正情報である。補正情報については後述する。取得部１０３がどのようにワーク１０を位置あわせするための情報を取得しても良い。例えば、取得部１０３は、上述したような従来の技術を用いて、位置あわせのための情報を取得しても良い。なお、本実施の形態においては、取得部１０３が位置あわせするための情報を取得する処理の具体例として、補正情報取得手段１０３３が位置あわせするための情報を取得する処理を後述する。
【００７０】
ワーク１０の向きを特定するための情報とは、例えば、ワークを予め指定された向きに向けて配置するために用いられる情報である。ワークの１０の向きを特定するための情報は、例えば、ワークの向きを特定するためのオリフラ部やノッチ部等の切り欠き部を示す情報である。切り欠き部を示す情報は、例えば、切り欠き部の位置を示す情報である。また、切り欠き部を示す情報は、切り欠き部のサイズ等の情報をさらに有していてもよい。この切り欠き部を示す情報は、例えば、切り欠き検出手段１０３６により取得される。取得部１０３がどのようにワーク１０の向きを特定するための情報を取得しても良い。例えば、取得部１０３は、上述したような従来の技術を用いて、ワークの向きを特定するための情報を取得しても良い。
【００７１】
例えば、取得部１０３は、切り欠き部の大きさに関する１または２以上の閾値を用いて切り欠き部の検出を行い、切り欠き部が検出された場合に、切り欠き部を示す情報を取得する。切り欠き部の大きさに関する１または２以上の閾値とは、例えば、切り欠き部の幅及びエッジからの距離のうちの少なくとも１以上についての１または２以上の閾値である。例えば、切り欠き部の大きさに関する１または２以上の閾値とは、切り欠き部のエッジからの距離についての下限値を示す閾値や、切り欠き部の幅の下限値と上限値とをそれぞれ示す閾値である。切り欠き部のエッジからの距離についての下限値は、例えば、切り欠き部の、エッジからの距離が大きい部分、例えば最も距離が大きい部分の、切り欠き部がない場合の本来のエッジの位置からの距離の下限値である。
【００７２】
例えば、取得部１０３は、複数の第一回転距離情報を用いて、ワーク１０のエッジ１１におけるワーク１０の内側に向かって凹である連続した領域を検出し、この凹である領域内に、エッジからの深さ、即ちエッジからの距離が、切り欠き部のエッジからの距離の下限値である閾値以上である部分があるか否かを判断し、閾値以上の部分があれば、この凹である領域を切り欠き部と判断して、この領域の位置を示す情報、例えば、回転角度の範囲の情報を切り欠き部を示す情報として取得してもよい。
【００７３】
なお、連続した領域とは、例えば、第一距離情報の取得した順番が連続している部分や、第一距離情報の対応する回転角度が連続している部分である。例えば、取得部１０３は、第一回転距離情報と、ワーク１０の半径、あるいはワーク１０の回転中心からエッジまでの距離との差から、連続した凹部や連続した凸部を検出することが可能である。また、ワーク１０のエッジ１１に存在する凹である部分や凸である部分の両端を、例えば、連続した第一距離情報に対して２階微分を行うことにより検出してもよい。そして、このようにして検出した部分に挟まれた領域内の第一回転距離情報の値や、上記と同様のワーク１０の半径等との差から、この検出した領域が、凹であるか凸であるかを判断することができる。そして、このようにして凹であると判断されたワーク１０のエッジ１１の領域が切り欠き部であるか否かを上記のように閾値を用いて判断することで、取得部１０３は、切り欠き部を検出してもよい。なお、このようにして２階微分等を行うことで、エッジ１１の切り欠き部や欠陥部分を検出する処理は公知であるので、ここでは詳細な説明は省略する。
【００７４】
なお、複数の第一回転距離情報を用いるということは、複数の第一回転距離情報を用いて得られる情報、例えば、後述する距離差情報等を用いることも含む概念である。
【００７５】
また、取得部１０３は、例えば、複数の第一回転距離情報を用いて、ワーク１０のエッジ１１におけるワーク１０の内側に向かって凹である連続した領域を検出しこの凹である領域の幅が、切り欠き部の幅の下限値と上限値とをそれぞれ示す閾値の範囲内であるか否かを判断し、範囲内であれば、この凹である領域を切り欠き部と判断して、この領域の位置を示す情報、例えば、回転角度の範囲の情報を切り欠き部を示す情報として取得するようにしてもよい。
【００７６】
あるいは、上記のエッジからの距離による判断と幅による判断とを組み合わせて、エッジからの距離が閾値以上であり、かつ、幅が閾値が示す範囲内である場合に、連続した領域を切り欠き部と判断するようにしてもよい。
【００７７】
なお、本実施の形態においては、取得部１０３が向きを特定するための情報を取得する処理の具体例として、切り欠き検出手段１０３６が切り欠き部を示す情報を取得する処理を後述する。
【００７８】
欠陥部分に関する情報とは、例えば、ワーク１０の欠陥部分が存在する位置、具体的には回転角度や、欠陥部分が存在する領域の範囲を示す情報（例えば、回転角度の範囲を示す情報）である。また、欠陥部分に関する情報は、欠陥部分の大きさ、例えばエッジからの距離、具体的には欠陥部分の深さや高さや、欠陥部分の幅を示す情報である。欠陥部分に関する情報は、さらに、欠陥部分を識別する識別子や、ワーク１０の識別子を有していてもよい。欠陥部分とは、例えば、ワーク１０のエッジ１１のバリや、チッピング、ゴミ等である。また、欠陥部分に関する情報は、欠陥部分があるか否かを示す情報であってもよい。また、欠陥部分に関する情報は、欠陥部分がワーク１０のエッジ１１の凹部であるか、凸部であるかを示す情報であってもよい。例えば、欠陥部分に関する情報は、欠陥検出手段１０３７が取得する欠陥部分に関する情報である。
【００７９】
取得部１０３は、例えば、欠陥部分の大きさに関する１または２以上の閾値を用いて欠陥部分の検出を行い、欠陥部分が検出された場合に、欠陥部分に関する情報を取得する。欠陥部分の大きさに関する１または２以上の閾値とは、例えば、欠陥部分の幅及びエッジからの距離のうちの少なくとも１以上についての１または２以上の閾値である。
【００８０】
取得部１０３は、例えば、複数の第一回転距離情報について、エッジ１１に欠陥部分がない場合のワーク１０の回転中心からエッジまでの距離（あるいは、ワーク１０の半径）との差を示す距離を算出し、その距離が、欠陥部分の距離の下限値以上である第一回転距離情報を検出し、検出した場合に、欠陥部分に関する情報を取得する。例えば、取得部１０３は、この第一回転距離情報が有する回転角度の情報等を、欠陥部分に関する情報として取得する。なお、第一回転距離情報を検出することは、第一回転距離情報が有する第一距離情報を検出することや、回転角度を検出することも含む概念である。
【００８１】
また、取得部１０３は、例えば、複数の第一回転距離情報を用いて、ワーク１０のエッジ１１におけるワーク１０の内側に向かって凹である連続した領域、またはワーク１０の外側に向かって凸である連続した領域を検出し、この凹である領域または凸である領域内に、エッジからの距離が、欠陥部分のエッジからの距離の下限値である閾値以上である部分があるか否かを判断し、閾値以上の部分があれば、この凹である領域または凸である領域を欠陥部分と判断して、この欠陥部分に関する情報、例えば、回転角度の範囲の情報を取得してもよい。
【００８２】
なお、ここでのエッジからの距離とは、例えば、欠陥や切り欠き部がなかった場合のエッジからの距離や、欠陥や切り欠き部のない理想的なワークのエッジを基準とした距離である。ここでのエッジからの距離とは、例えば、ワーク１０のエッジからワーク１０の回転中心に向かう方向の距離や、エッジからワーク１０の回転中心とは逆方向に向かう方向の距離である。例えば、ここでのエッジからの距離は、ワークに切り欠き部や欠陥部分がないとした場合のエッジから切り欠き部までの距離や、エッジから欠陥部分までの距離である。ここでのエッジからの距離は、エッジの凹である領域の深さや、凸である領域の高さと考えてよい。ここでのエッジからの距離は、エッジからの距離の大きさや、切り欠き部や欠陥部分の深さや高さの大きさや絶対値と考えてもよい。かかることは、以下においても同様である。
【００８３】
ワーク１０のエッジ１１に存在する凹である部分や凸である部分の両端は、上述したように、例えば、連続した第一距離情報に対して２階微分を行うことにより検出してもよい。そして、このようにして検出した部分に挟まれたワーク１０のエッジ１１の領域を上記のような閾値を用いて欠陥部分であるか否か判断することで、取得部１０３は、欠陥部分を検出してもよい。
【００８４】
また、取得部１０３は、例えば、複数の第一回転距離情報を用いて、ワーク１０のエッジ１１におけるワーク１０の内側に向かって凹である連続した領域、またはワーク１０の外側に向かって凸である連続した領域を検出し、この凹である領域または凸である領域の幅が、欠陥部分の幅の下限値である閾値以上であるか否かを判断し、下限値以上であれば、この凹である領域または凸である領域を切り欠き部と判断して、この欠陥部分に関する情報を取得するようにしてもよい。なお、下限値である閾値として、連続した領域が凹である場合と凸である場合とで異なる閾値を用いてもよいし、同じ閾値を用いてもよい。
【００８５】
あるいは、上記のエッジからの距離による判断と幅による判断とを組み合わせて、エッジからの距離が閾値以上であり、かつ、幅が閾値以上である場合に、連続した領域を欠陥部分と判断するようにしてもよい。
【００８６】
なお、取得部１０３は、複数の第一回転距離情報を用いて検出したワークの向きを特定するための切り欠き部の数と、ワーク１０に本来設けられている切り欠き部の数とを比較し、両者の数が異なる場合に、エッジに欠陥があることを示す欠陥部分に関する情報を取得するようにしても良い。
【００８７】
また、取得部１０３は、欠陥部分を検出する際には、ワークの向きを特定するための切り欠き部が配置されている領域を除外して検出を行うようにしてもよく、あるいは、検出した欠陥部分が、切り欠き部が配置されている領域内にある場合、この検出した欠陥部分に関する情報を取得しないようにしてもよい。
【００８８】
取得部１０３は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。取得部１０３の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００８９】
なお、本実施の形態においては、特に、取得部１０３が、合成手段１０３１、合成処理手段１０３２、補正情報取得手段１０３３、第二距離情報取得手段１０３４、算出手段１０３５、切り欠き検出手段１０３６、欠陥検出手段１０３７を備えている場合を例に挙げて説明する。
【００９０】
合成手段１０３１は、複数の第一回転距離情報に含まれる第一距離情報のうちの、対応する回転角度が９０度ずつ異なる複数の第一距離情報を合成する。ここでの複数の第一回転距離情報は、第一回転距離情報格納部１０１に格納されている一のワーク１０についての複数の第一回転距離情報である。
【００９１】
回転角度が９０度ずつ異なる複数の第一距離情報を合成するということは、例えば、対応する回転角度の差が９０度の整数倍である複数の第一距離情報の組をそれぞれ合成することと考えてもよい。９０度の整数倍とは、例えば９０度、１８０度、２７０度等である。
【００９２】
合成手段１０３１は、例えば、複数の第一回転距離情報に含まれる第一距離情報のうちの、対応する回転角度が９０度ずつ異なる４つの第一距離情報をそれぞれ合成して複数の合成距離情報を取得するこのことは、例えば、対応する回転角度の差が９０度のｎ（ｎは１から３までの整数）倍である複数の第一距離情報の組をそれぞれ合成することと考えてもよい。
【００９３】
複数の第一距離情報を合成した第一距離情報を、ここでは、合成距離情報と称す。合成手段１０３１は、通常、複数の合成距離情報を取得する。ここでの合成とは、例えば、一の組の複数の第一距離情報をあわせて一つにすることである。ここでの合成は、例えば、複数の第一距離情報の平均値を取得することであっても良いし、複数の第一距離情報を加算することであってもよい。また、複数の第一距離情報の差の平均を算出することであってもよい。例えば、合成手段１０３１は、複数の第一回転距離情報に含まれる第一距離情報のうちの、対応する回転角度がθ０、θ０＋９０度、θ０＋１８０度、及びθ０＋２７０度である複数の第一距離情報の組を合成して、合成距離情報を取得する。
【００９４】
合成手段１０３１は、どのようにして、対応する回転角度が９０度ずつ異なる複数の第一距離情報同士をそれぞれ合成するようにしてもよい。例えば、合成手段１０３１は、対応する回転角度の値が連続している複数の第一回転距離情報を、回転角度の値の範囲が９０度となるよう複数の組に分割していき、分割した各組の、配列順が同じである第一回転距離情報が有する第一距離情報同士を合成することにより、上記のような合成を行っても良い。
【００９５】
回転角度の値が連続しているということは、例えば、第一距離情報を取得する毎にワーク１０を回転させる際の回転角度の単位毎に、回転角度の値が連続していることを意味する。回転角度の値が連続していることを、ここでは、適宜、回転角度が連続していると称している。
【００９６】
ここでの配列順とは、例えば、分割した各組の第一回転距離情報を、第一回転距離情報のそれぞれが有する回転角度の昇順または降順に沿って配列した場合の配列順である。
【００９７】
例えば、ワークを１回転させること等により取得された、０度以上３６０度未満の回転角度を有する複数の第一回転距離情報が第一回転距離情報格納部１０１に格納されているものとすると、合成手段１０３１は、まず、対応する回転角度の範囲が、０度以上９０未満、９０度以上１８０度未満、１８０度以上、２７０度未満、２７０度以上３６０度未満となるように、第一回転距離情報を４分割する。そして、合成手段１０３１は、分割した各範囲の第一回転距離情報が有する第一距離情報の値を、回転角度の配列順ごと、例えば、回転角度の昇順や降順で、合成して、連続した複数の合成距離情報を取得する。これにより、対応する回転角度が９０度ずつことなる４つの第一距離情報同士をそれぞれ合成することができる。なお、分割する際の回転角度の範囲は、０度から始まる必要はなく、例えば、１５度等から９０度毎に、回転角度の範囲を設定しても良い。
【００９８】
また、回転角度の範囲が９０度の範囲内である連続した複数の第一回転距離情報から、１つずつ第一回転距離情報を順次取得し、取得した第一回転距離情報ごとに、その回転角度に対して、９０度、１８０度、及び２７０度をそれぞれ加算した回転角度を有する第一回転距離情報を検出し、取得した第一回転距離情報と検出した第一回転距離情報とがそれぞれ有する第一距離情報を合成していくようにしてもよい。これにより、上記のような対応する回転角度が９０度ずつ異なる４つの第一距離情報同士を順次合成することができる。
【００９９】
このように回転角度が９０度ずつ異なる複数、好ましくは４つの第一距離情報の組を順次合成することにより、例えば、ワーク１０の回転中心Ｏが、ワーク１０の中心Ｑからずれていることにより発生する第一距離情報の増減を打ち消すことができる。
【０１００】
なお、合成して得られた各合成距離情報には、例えば、合成前の複数の第一距離情報に対応する複数の回転角度の組を対応づけて格納する。または、その回転角度の組のうちの一部、例えば、対応する複数の回転角度の最も値の小さい回転角度を対応づけて格納するようにしてもよい。
【０１０１】
合成手段１０３１は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。合成手段１０３１の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【０１０２】
合成処理手段１０３２は、合成手段１０３１が第一距離情報を合成して取得した情報である複数の合成距離情報において、対応する回転角度が連続している複数の合成距離情報であって、値の大きさの変化が小さい複数の合成距離情報を検出する。そして、合成処理手段１０３２は、検出した複数の合成距離情報のうちの１以上に対応する合成前の複数の第一距離情報と、合成前の複数の第一距離情報のうちの１以上の第一距離情報に対応する回転角度とを取得する。
【０１０３】
合成距離情報の値の大きさとは、例えば、合成距離情報の絶対値である。値の大きさの変化が小さい複数の合成距離情報とは、例えば、値の大きさの変化量の最大値等が他の連続している複数の合成距離情報よりも小さい連続した複数の合成距離情報である。連続した複数の合成距離情報とは、予め指定された二以上の数以上連続している合成距離情報である。ここでの連続とは、合成距離情報に対応する一以上の回転角度の一以上が連続していることを意味する。上述したように、合成距離情報においては、ワーク１０の回転中心Ｏが、ワーク１０の中心Ｑからずれていることにより発生する第一距離情報の増減は打ち消されているため、大きさの変化が大きい部分の合成距離情報は、例えば、ワーク１０のエッジ１１の凹凸のある部分である。エッジ１１の凹凸とは、オリフラ部１７やノッチ部等の切り欠き部や、ワーク１０のバリやチッピング、ゴミ等である。チッピングとは、例えば、ワーク１０のエッジの割れや欠け等の欠損部である。大きさの変化が小さい部分の合成距離情報は、例えば、凹凸のない、もしくは小さい部分であり、この部分における大きさの変化は、例えば、測定時の誤差等によるものである。
【０１０４】
合成処理手段１０３２は、値の大きさの変化が小さい複数の合成距離情報として、例えば、値の大きさの変化量が大きい合成距離情報を除外して残った合成距離情報のうちの、対応する回転角度が連続した複数の合成距離情報を取得する。
【０１０５】
合成処理手段１０３２は、例えば、合成手段１０３１が合成した複数の合成距離情報において、値の大きいものから順に一以上の合成距離情報を検出する第一処理と、値の小さいものから順に一以上の合成距離情報を検出する第二処理と、の少なくとも一方を１回以上実行する。なお、第一処理及び第二処理で検出されずに残った合成距離情報が、合成処理手段１０３２が検出した値の大きさの変化が小さい複数の合成距離情報に相当する。なお、ここでの合成処理情報の検出は、除外対象の合成処理情報の検出と考えてもよい。
【０１０６】
第一の処理は、例えば、合成手段１０３１が合成した複数の合成距離情報について、最大値の合成距離情報を検出する処理である。具体的には、未検出の合成距離情報の中から、最大値の合成距離情報を検出する処理である。また、第二の処理は、例えば、合成手段１０３１が合成した複数の合成距離情報について、最小値の合成距離情報を検出する処理である。具体的には、未検出の合成距離情報の中から、最小値の合成距離情報を検出する処理である。
【０１０７】
合成処理手段１０３２は、第一の処理と第二の処理とをそれぞれ複数回実行することが好ましい。複数回の第一の処理と複数回の第二の処理とを、どのような順番で複数回実行するようにしても良い。例えば、第一の処理と第二の処理とを交互に一回ずつ実行しても良い。また、複数回の第一の処理が終了した後に、複数回の第二の処理を実行するようにしてもよい。また、第一の処理と第二の処理とのいずれを最初に実行してもよい。
【０１０８】
なお、第一の処理を繰り返す場合、直前までの処理で既に検出されている合成距離情報は、検出対象から除外する。例えば、検出した合成距離情報に対しては、検出済みであることを示すフラグ等の情報を対応づけるようにし、このフラグ等の情報が対応づけられている合成距離情報は、その後の検出処理では検出しないようにする。かかることは、第二の処理を繰り返す場合においても同様である。
【０１０９】
また、合成処理手段１０３２は、第一処理や第二処理等において検出した合成距離情報を順次削除したり、検出したものに対して、削除されたことを示すフラグ等の情報を付与したりしても良い。この場合、例えば、合成処理手段１０３２は、第一の処理において、削除されていない合成距離情報から、最大値の合成距離情報を検出するようにしてもよい。また、例えば、合成処理手段１０３２は、第二の処理において、削除されていない合成距離情報から、最小値の合成距離情報を検出するようにしてもよい。
【０１１０】
また、第一の処理を繰り返し実行する場合においては、合成処理手段１０３２は、例えば、予め指定された条件を満たすまで、第一の処理を繰り返し実行する。予め指定された条件とは、例えば、予め指定された数である。例えば、予め指定された条件を満たすまで合成距離情報を検出するということは、予め指定された数に達するまで合成距離情報を検出することである。また、予め指定された条件は、検出されずに残った合成距離情報の最大値と最小値との差が、予め指定された閾値以下となること等であってもよい。かかることは、第二の処理においても同様である。
【０１１１】
第一の処理の繰り返し、及び第二の処理の繰り返しについての上述した予め指定された条件が回数である場合、第一の処理の条件である回数と、第二の処理の条件である回数とは、異なる回数としても良い。例えば、合成距離情報が、ワーク１０の回転中心からエッジまでの距離を示す第一距離情報を合成したものである場合、通常、オリフラ部やノッチ部等の切り欠き部で取得された第一距離情報を含む複数の第一距離情報を合成した合成距離情報は、他の部分で取得された合成距離情報よりも値が小さく、なおかつ、このような切り欠き部が存在する回転角度の範囲は広いことから、このような切り欠き部に対応した合成距離情報を変化の大きい箇所として検出するためには、合成距離情報の値の小さいものを検出する数は、値の大きいものを検出する数よりも多い数となるよう設定することが好ましい。このため、このような状況においては、第二の処理についての予め指定された条件である繰り返しの回数の値を、第一の処理についての予め指定された条件である繰り返しの回数の値よりも小さい値に設定することが好ましい。
【０１１２】
合成処理手段１０３２は、例えば、第一処理及び第二処理で検出されずに残った合成距離情報のうちの、予め指定された数以上連続している複数の合成距離情報のうちの一以上に対応する合成前の複数の第一距離情報と、この複数の第一距離情報のうちの１以上に対応する回転角度とを取得する。予め指定された数は、２以上の数である。
【０１１３】
あるいは、合成処理手段１０３２は、例えば、第一処理及び第二処理で検出されずに残った合成距離情報のうちの、連続している数が最も多い複数の合成距離情報のうちの一以上に対応する合成前の複数の第一距離情報と、この複数の第一距離情報のうちの１以上に対応する回転角度とを取得する。
【０１１４】
合成処理手段１０３２は、例えば、対応する回転角度が連続している複数の合成距離情報であって、値の大きさの変化が小さい複数の合成距離情報を検出し、検出した複数の合成距離情報のうちの一つに対応する合成前の４つの第一距離情報と、合成前の複数の第一距離情報のうちの一の第一距離情報に対応する回転角度とを取得する。合成前の４つの第一距離情報は、対応する回転角度が９０度ずつ異なる４つの第一距離情報である。この４つの第一合成距離は、回転中心を通る直交する２つの直線がワーク１０のエッジと交わる４点と、ワークの回転中心との距離を示している。
【０１１５】
合成前の複数の第一距離情報のうちの一以上の第一距離情報に対応する回転角度として、一または二以上のどの第一距離情報に対応する回転角度を取得するかは、例えば、後述する補正情報取得手段１０３３が補正情報を取得する際に、どのような回転角度を用いるかに応じて決定される。例えば、一の合成距離情報が、回転角度が９０度ずつ異なる４つの第一距離情報を合成したものである場合、合成処理手段１０３２は、値の大きさの変化が小さい複数の合成距離情報を検出し、検出した複数の合成距離情報のうちの一つに対応する合成前の４つの第一距離情報に対応する回転角度であって、実質的に値の最も小さい回転角度を取得する。あるいは、検出した複数の合成距離情報のうちの一つに対応する合成前の４つの第一距離情報に対応する回転角度であって、０から９０度までの範囲内の一の回転角度を取得するようにしても良い。なお、例えば、３６０度＋Ｄ度（Ｄは正の値）の回転角度は、実質的にＤ度と考えてもよい。また、−Ｄ度は、実質的に３６０度−Ｄ度と考えてもよい。
【０１１６】
なお、合成処理手段１０３２は、上述したようなオリフラ部１７に対応した合成距離情報を検出するために、合成距離情報の平均値よりも小さい複数の合成距離情報をまとめて検出するようにしても良い。
【０１１７】
また、上記においては、合成処理手段１０３２は、例えば、値の大きい合成距離情報や値の小さい合成距離情報を検出してこれらを除外することで、値の大きさの変化が小さい連続した複数の合成距離情報を検出するようにしたが、本発明においては、合成処理手段１０３２が、どのように値の大きさの変化が小さい連続した複数の合成距離情報を検出するようにしてもよい。
【０１１８】
例えば、合成処理手段１０３２は、連続した合成距離情報に対して微分や、２階微分等を行うことで得られた値を用いて、値の大きさの変化が大きい連続した合成距離情報を検出してこれらを除外することで、値の大きさの変化が小さい連続した複数の合成距離情報を検出するようにしてもよい。例えば、合成処理手段１０３２は、連続した合成距離情報に対して２階微分等を行うことで得られた値において、予め指定された閾値以上の値を検出し、閾値以上の値が検出された回転角度から、次に閾値以上の値が検出された回転角度までの間の合成距離情報を、値の大きさの変化が大きい合成距離情報として検出して、検出された合成距離情報を除いた合成距離情報のうちの連続している合成距離情報を、値の大きさの変化が小さい連続した複数の合成距離情報として検出するようにしてもよい。
【０１１９】
合成処理手段１０３２は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。合成処理手段１０３２の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【０１２０】
補正情報取得手段１０３３は、合成処理手段１０３２が取得した複数の第一距離情報と回転角度とを用いて、ワーク１０を位置あわせするための情報として、ワーク１０の回転中心を、ワーク１０の中心に合わせるための補正情報を取得する。補正情報は、ワーク１０の回転中心を、ワーク１０の中心に移動させるため情報や、位置ずれの方向や大きさを示す情報と考えてもよい。補正情報は、例えば、回転中心の移動方向を示す情報、例えば、予め指定された方向に対する角度と、移動距離との組み合わせである。また、補正情報は、ワーク１０の中心の移動方向と移動距離とを示すベクトル等であっても良い。また、補正情報は、ワーク１０の中心と、ワーク１０の回転中心とを直交座標系に配置した場合の、ワーク１０の回転中心をワーク１０の中心上に移動させるための、各座標軸に沿った移動量を示す情報であっても良い。
【０１２１】
補正情報取得手段１０３３は、例えば、合成処理手段１０３２が取得した対応する回転角度が９０度ずつ異なる４つの第一距離情報と、その一つに対応する回転角度とを用いて、ワーク１０の回転中心を、ワーク１０の中心に移動させるための補正情報を取得する。
【０１２２】
以下、補正情報の取得処理の一例について、図２（ｂ）を用いて説明する。なお、図２（ｂ）において、第一距離情報ｒａ、ｒｂ、ｒｃ、ｒｄは、合成処理手段１０３２が一の合成距離情報について取得した、対応する回転角度が９０度ずつ異なる４つの第一距離情報であり、それぞれに対応する回転角度は、θ、θ＋９０、θ＋１８０、θ＋２７０であるとする。ただし、θは任意の値であるとする。ここでは、例えば、θは、０から９０度までの範囲の角度であるとする。点Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、及びＰｄは、第一距離情報ｒａ、ｒｂ、ｒｃ、及びｒｄに対応したワーク１０のエッジ１１上の点であり、回転中心Ｏと点Ｐａ，Ｐｂ、Ｐｃ、及びＰｄをそれぞれ結んだ線分の距離が、第一距離情報ｒａ、ｒｂ、ｒｃ、及びｒｄである。点Ｐａと点Ｐｃとを結ぶ線分と、点Ｐｂと点Ｐｄとを結ぶ線分とは回転中心Ｏにおいて直交している。ここでは、説明の便宜上、ワーク１０の回転中心Ｏをｘｙ座標の原点に配置している。ここでは、ワーク１０の回転方向が時計回りであるとする。第一距離情報ｒａに対応する線分とｘ軸とがなす角度が回転角度θであり、反時計回り方向が正の値であるとする。ワーク１０の回転中心Ｏとワーク１０の中心Ｑとを結ぶ線分がｘ軸となす角度αが、補正情報のうちの移動方向を示す情報であり、反時計回り方向が、ここでは正の値であるとする。また、ワーク１０の回転中心Ｏとワーク１０の中心Ｑとを結ぶ線分の長さｈが、補正情報のうちの移動量（移動距離）を示す情報である。第一距離情報を取得するためのセンサ（図示せず）は、例えば、ｙ軸上に、ｙ軸に沿って配置される。
【０１２３】
図２（ｂ）において、ワーク１０の中心Ｑに対して点Ｐａと点Ｐｃとを結ぶ線分、及び点Ｐｂと点Ｐｄとを結ぶ線分に対称な線分を引くと、補正情報である移動方向を示す情報αと、移動量を示す長さｈは、以下の式から求まる。
【数１】
2015195328.tif 000003
【０１２４】
なお、上記の式において、ｒａ−ｒｃ、及び、ｒｂ−ｒｄは、距離の差であるため、上記の式は、第一距離情報がセンサ等の読み取り値や、センサの基準点等からの距離である場合にも成立することがわかる。
【０１２５】
なお、上記において示した補正情報の取得処理は一例であり、本発明は、どのように合成処理手段１０３２が取得した第一距離情報と、回転角度との組から、どのようにして補正情報を取得するかは問わない。
【０１２６】
また、上記においては、補正情報取得手段１０３３が、合成処理手段１０３２が取得した一の合成距離情報について取得した４つの第一距離情報と一の回転角度とを用いて補正情報を取得するようにしたが、合成処理手段１０３２が複数の合成距離情報についてそれぞれ取得した複数の第一距離情報と回転角度との組について、それぞれ上記と同様に補正情報を取得し、各組について取得した補正情報の平均値を、最終的な補正情報として取得するようにしてもよい。
【０１２７】
補正情報取得手段１０３３は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。補正情報取得手段１０３３の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【０１２８】
第二距離情報取得手段１０３４は、補正情報取得手段１０３３が取得した補正情報を用いて、ワーク１０がエッジ１１に凹凸を有さない円形である場合の、回転角度と、回転角度に応じた第二距離情報との関係を示す関係式を取得する。第二距離情報は、エッジ１１に凹凸を有さないワーク１０の回転中心からエッジ１１までの距離に関する情報である。そして、取得した関係式に、第一回転距離情報格納部１０１に格納されている複数の第一回転距離情報に対応する複数の回転角度をそれぞれ代入して第二距離情報を取得する。
【０１２９】
第二距離情報は、例えば、第一距離情報と同様の情報である。第二距離情報は、例えば、エッジ１１に凹凸を有さない円形であるワークを、ワーク１０の代わりにおいた場合に取得される第一距離情報に相当する距離の情報である。
【０１３０】
エッジ１１に凹凸を有さない円形のワークとは、例えば、オリフラ部やノッチ部や、バリや、チッピングやゴミをエッジに有さない円形のワークであり、ワーク１０と同じサイズの、理想的な形状のワークと考えてもよい。
【０１３１】
関係式は、例えば、エッジ１１に凹凸を有さない円形であるワーク１０を回転させた場合の、回転角度と、回転角度に応じた第二距離情報との関係を示す式である。ここでの関係式は、ワーク１０の回転角度と回転角度に応じた回転中心からエッジまでの距離との関係を示す理想曲線を表す式と考えてもよい。また、第二距離情報も理想的なワーク１０の回転中心からエッジまでの距離と考えてもよい。なお、関係式は、エッジ１１に凹凸を有さない円形であるワーク１０を回転させた場合の、回転角度と、回転角度に応じた第二距離情報との関係を近似した近似式であっても良い。
【０１３２】
ここでの関係式の取得とは、図示しない記憶媒体等に予め格納されている関係式を読み出すことや、読み出した関係式の係数の値等を決定したり、係数の値を代入したりすることも含む概念である。
【０１３３】
第二距離情報取得手段１０３４は、例えば、補正情報である移動方向を示す角度及び移動量を示す長さに加えて、更に、ワーク１０の半径を用いて関係式を取得してもよい。ワーク１０の半径は、予め図示しない格納部等に格納しておくようにして、適宜読み出すようにすればよい。
【０１３４】
以下、関係式の一例について説明する。
【０１３５】
図５は、第二距離情報を取得する際に利用する関係式を説明するための模式図である。図において、図２（ｂ）と同一符号は、同一または相当する部分を示している。ただし、図５においては、図２（ｂ）とは異なり、ワーク１０は、エッジに凹凸のない半径ａのワークであるとする。また、図５においては、説明の便宜上、ワーク１０の回転中心がワーク上以外の場所に位置している例を示している。ただし、ワーク上に回転中心が位置していても良い。
【０１３６】
図５に示すような、回転中心Ｏが中心Ｑからずれている円形のワーク１０のエッジを極座標で表すと、次式のようになる。
【数２】
2015195328.tif 000004
【０１３７】
この式を、ｒｉについて展開すると、次式のようになる。
【数３】
2015195328.tif 000005
【０１３８】
この式（３）が、エッジ１１に凹凸を有さない円形であるワーク１０を回転させた場合の、回転角度と、回転角度に応じた第二距離情報との関係を示す式である。例えば、図示しない格納部に式（３）を予め格納しておくようにし、第二距離情報取得手段１０３４が、この式を読み出して、この式（３）に、上記の式（１）及び式（２）を用いて取得した補正情報、具体的には移動方向を示す情報である角度αの値と、移動量を示す情報である長さｈの値と、ワーク１０の半径ａとを代入することで、ワーク１０がエッジ１１に凹凸を有さない円形である場合の、回転角度θと、回転角度に応じた第二距離情報ｒｉとの関係を示す関係式を取得する。以下、このαと長さｈの値とを代入した関係式を、理想曲線式と称す。
【０１３９】
なお、ここで示した理想曲線式を取得することが最も好ましいが、関係式としては、他の近似式、例えば、正弦曲線等を用いて作成した近似式等を取得するようにしても良い。
【０１４０】
なお、上記においては、補正情報取得手段１０３３が、式（１）、及び式（２）から、合成処理手段１０３２が取得した複数の第一距離情報と回転角度との１以上の組を用いて補正情報を取得するようにした。しかしながら、本発明においては、補正情報取得手段１０３３が、上記の式（３）に、合成処理手段１０３２が一以上の合成距離情報について取得した複数の第一距離情報と、この複数の第一距離情報のそれぞれに対応する回転角度との複数の組をそれぞれ代入して連立方程式を作成し、この連立方程式を解くことにより、補正情報を取得するようにしても良い。また、この連立方程式に対して、適宜、ワーク１０の半径を適宜代入するようにしても良い。かかることは、他の近似式を用いた場合においても同様である。
【０１４１】
第二距離情報取得手段１０３４は、取得した関係式、例えば理想曲線式に、第一回転距離情報格納部１０１に格納されている複数の第一回転距離情報に対応する複数の回転角度をそれぞれ代入して第二距離情報を取得する。なお、複数の第一回転距離情報に対応する複数の回転角度は、必ずしも、第一回転距離情報格納部１０１から読み出したものである必要はなく、複数の第一回転距離情報が有する複数の回転角度と実質的に同じ複数の回転角度であればよい。例えば、実質的に同じ複数の回転角度を取得して用いても良い。例えばワーク１０から一の第一距離情報を取得するごとにワーク１０を回転させる角度の値等を用いて、例えば、この角度の値を順次加算すること等により、複数の第一回転距離情報が有する複数の回転角度と実質的に同じ複数の回転角度を取得しても良い。
【０１４２】
第二距離情報取得手段１０３４は、関係式に複数の回転角度を順次代入して取得した第二距離情報、例えば、第二距離情報ｒｉを、回転角度と対応づけて、図示しない格納部等に蓄積する。ここでの蓄積は一時記憶であってもよい。第二距離情報取得手段１０３４が取得して蓄積した第二距離情報と回転角度との組のそれぞれを、ここでは、第二回転距離情報と呼ぶ。なお、第二距離情報取得手段１０３４が、第二回転距離情報を取得すると考えてもよい。
【０１４３】
第二距離情報取得手段１０３４は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。第二距離情報取得手段１０３４の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【０１４４】
算出手段１０３５は、第一回転距離情報格納部１０１に格納されている複数の第一回転距離情報と、第二距離情報取得手段１０３４が取得した複数の第二距離情報とを用いて、同じ回転角度と対応づけられた第一距離情報と第二距離情報との差を取得する。例えば、算出手段１０３５は、同じ回転角度と対応づけられた第一距離情報と、第二距離情報とをそれぞれ、第一回転距離情報及び第二距離情報取得手段１０３４が図示しない格納部に蓄積した第二回転距離情報から順次呼出し、その差を取得する。ここでの差は、第一距離情報の値から第二距離情報の値を減算した値であっても良いし、その逆の値であっても良い。また、単にエッジの欠陥のある箇所を検出するだけであれば、ここでの差は、差の大きさ、例えば、差の絶対値であっても良い。なお、第一距離情報と第二距離情報との差を、ここでは、距離差情報と呼ぶ。
【０１４５】
算出手段１０３５は、例えば、取得した距離差情報と、回転角度とを対応づけて、図示しない格納部等に蓄積する。ここでの蓄積は一時記憶であってもよい。
【０１４６】
算出手段１０３５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。算出手段１０３５の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【０１４７】
切り欠き検出手段１０３６は、算出手段１０３５が算出した第一距離情報と第二距離情報との差、即ち距離差情報を用いて、ワーク１０の向きを特定する情報として、ワーク１０の切り欠き部を示す情報を取得する。切り欠き部は、上述したようにワーク１０のエッジ１１に設けられた、ワーク１０の向きを特定するためのオリフラ部やノッチ部等の部分である。切り欠き部を示す情報は、例えば、ワーク１０の、切り欠き部が設けられた部分を表す回転角度の範囲を示す情報や、切り欠き部について取得された複数の第一距離情報を示す情報である。
【０１４８】
切り欠き検出手段１０３６は、例えば、算出手段１０３５が算出した第一距離情報と第二距離情報との差、即ち距離差情報と、切り欠き部の大きさに関する１以上の閾値とを用いて、ワーク１０のエッジ１１に設けられた切り欠き部を検出し、検出した切り欠き部を示す情報を取得するようにしてもよい。
【０１４９】
切り欠き部の大きさに関する１以上の閾値とは、上述したように切り欠き部のエッジからの距離に関する閾値や、切り欠き部の幅に関する閾値である。
【０１５０】
切り欠き検出手段１０３６は、例えば、算出手段１０３５が算出した距離差情報を用いて、エッジ１１がワーク１０の内側に向かって凹である連続した領域であって、予め指定された切り欠き部のエッジからの距離の下限値を示す閾値以上の距離差情報を有し、かつその幅が、予め指定された切り欠き部の幅の下限値と上限値とをそれぞれ示す閾値の範囲内である領域を検出する。そして、検出した領域に対応する位置を示す情報、例えば、回転角度や検出した領域について取得された複数の第一距離情報を示す情報を、ワーク１０のエッジ１１に設けられた切り欠き部を示す情報として取得する。
【０１５１】
エッジ１１がワーク１０の内側に向かって凹である連続した領域は、例えば、第一距離情報が示す位置が、第二距離情報が示す位置よりもワークの内側に位置することを示す距離差情報に対応づけられた連続した領域を検出することで、検出できる。例えば、第一距離情報が、ワーク１０の回転中心からエッジ１１までの距離であり、距離差情報が、第二距離情報から第一距離情報を減算した値である場合、エッジ１１の距離差情報が正の値である連続した領域を、凹である連続した領域として検出することができる。なお、第一距離情報の測定誤差等を考慮する場合、エッジ１１の測定差情報の値が、凹となる領域を検出するための、測定誤差等の値を考慮して予め設定された閾値以上である連続した領域を、凹である連続した領域として検出してもよい。この場合の閾値は、例えば、０前後の値に設定される。かかることは、エッジ１１の欠陥部分を検出する際においても同様である。また、かかることは、連続した凸となる領域を検出する際においても同様である。
【０１５２】
なお、上記においては、切り欠き部のエッジからの距離の下限値を示す閾値の代わりに、エッジからの距離の下限値と上限値とをそれぞれ示す閾値を用い、連続した領域の距離差情報の最大値、あるいは、その前後の値等が、この閾値が示す範囲内の値であるか否かを判断し、範囲内の値である場合を、切り欠き部のエッジからの距離の下限値を示す閾値以上の距離差情報を有する場合の判断結果の代わりに用いてもよい。同様に、幅の下限値と最大値とをそれぞれ示す閾値の代わりに、幅の下限値を示す閾値を用い、連続した領域の幅が、幅の下限値以上である場合を、切り欠き部の幅の下限値と上限値とをそれぞれ示す閾値の範囲内である領域の判断結果の代わりに用いてもよい。また、連続した領域が欠陥部分であるか否かを判断する際において、エッジからの距離と幅とを判断する代わりに、エッジからの距離のみや幅のみを判断するようにしてもよい。なお、これらの組み合わせは適宜変更可能である。
【０１５３】
また、切り欠き検出手段１０３６は、算出手段１０３５が算出した第一距離情報と第二距離情報との差、即ち距離差情報において、値の大きさが予め指定された第一の閾値よりも大きい部分を検出し、検出した部分に対応する回転角度を示す情報を、ワーク１０の切り欠き部を示す情報として取得するようにしてもよい。ワーク１０が凹凸のない円形であるとした場合の切り欠き部のエッジからの距離は、通常、ワーク１０のエッジに存在しうるチッピング等の距離よりも深い。また、切り欠き部の深さ（エッジからの距離）は、既知の値である。このため、第一の閾値を、チッピング等の深さ（エッジからの距離）よりも大きく、かつ、既知の切り欠き部の深さ（エッジからの距離）よりも小さい値に設定することで、切り欠き部に対応する一以上の距離差情報を検出することができ、切り欠き部を示す情報を取得することができる。
【０１５４】
第一の閾値は、例えば、値の大きさの閾値である。値の大きさが第一の閾値よりも大きい距離差情報を検出するということは、例えば、距離差情報の絶対値と、値の大きさを示す閾値（あるいは値の閾値の絶対値）とを比較して、絶対値の値が大きい距離差情報を検出することである。かかることは、後述する第二の閾値についても同様である。
【０１５５】
また、値の大きさが第一の閾値よりも大きい距離差情報を検出するということは、例えば、絶対値が第一の閾値と同じ値となる負の値を閾値として、この閾値よりも小さい値である距離差情報（即ち、負の値であって、絶対値が、第一の閾値の絶対値よりも大きい距離差情報）を検出することであっても良い。かかることは、後述する第二の閾値についても同様である。
【０１５６】
また、値の大きさが第一の閾値よりも値の大きさが大きい距離差情報を検出するということは、例えば、絶対値が第一の閾値と同じ値となる正の値を閾値として、この閾値よりも小さい値である距離差情報（即ち、正の値であって、絶対値が、第一の閾値の絶対値よりも大きい距離差情報）を検出することであっても良い。かかることは、後述する第二の閾値についても同様である。
【０１５７】
なお、切り欠き部に対応する距離差情報の値が、正の値になるか負の値になるか否かは、第一距離情報から、第二距離情報を減算して距離差情報を取得するか、第二距離情報から、第一距離情報を減算して距離差情報を取得するかによって異なる。
【０１５８】
切り欠き検出手段１０３６は、第一の閾値よりも値の大きさが大きい複数の距離差情報であって、対応する回転角度が連続している複数の距離差情報を検出した場合、この複数の回転角度をグループ化してもよい。そして、切り欠き検出手段１０３６は、このグループを示す情報を更に有する切り欠き部を示す情報を取得するようにしてもよい。グループを示す情報は、例えば、対応する回転角度の範囲を示す情報や、対応する回転角度の集合や、対応する回転角度に付与されたグループ識別子等である。かかることは、後述する、欠陥部分のグループを示す情報についても同様である。なお、この場合の回転角度の一のグループは、例えば、一の切り欠き部上の複数の位置に対応する複数の回転角度や、切り欠き部の範囲を示す情報と考えてもよい。
【０１５９】
なお、切り欠き検出手段１０３６は、第一の閾値よりも値の大きさが大きい複数の距離差情報であって、対応する回転角度が予め指定された二以上の数以上連続している複数の距離差情報を検出するようにしてもよい。通常、切り欠き部は、ワーク１０のエッジ上に広い範囲に設定されるため、このようにして検出することで、より確実に切り欠き部を検出することができる。
【０１６０】
切り欠き検出部１０３６は、一のワーク１０について複数の切り欠き部を検出してもよい。
【０１６１】
切り欠き検出手段１０３６は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。切り欠き検出手段１０３６の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【０１６２】
欠陥検出手段１０３７は、算出手段１０３５が算出した第一距離情報と第二距離情報との差、即ち距離差情報を用いて、ワーク１０のエッジ１１の欠陥部分に関する情報を取得する。
【０１６３】
例えば、欠陥検出手段１０３７は、算出手段１０３５が算出した第一距離情報と第二距離情報との差と、欠陥部分の大きさに関する１以上の閾値とを用いて、ワーク１０のエッジ１１の欠陥部分を検出し、検出した欠陥部分に関する情報を取得する。
【０１６４】
例えば、欠陥検出手段１０３７は、例えば、算出手段１０３５が算出した距離差情報において、値の大きさが、欠陥部分のエッジからの距離の下限値を示す閾値以上である距離差情報を検出し、検出した場合に欠陥部分に関する情報を取得する。なお、欠陥部分のエッジからの距離についての下限値を閾値として用いる代わりに、欠陥部分の深さの下限値を示す閾値と、欠陥部分の高さの下限値を示す閾値とを用いて、値が、欠陥部分の深さの下限値を示す閾値と、欠陥部分の高さの下限値を示す閾値との間の値でない距離差情報を検出するようにしてもよい。
【０１６５】
また、欠陥検出手段１０３７は、例えば、算出手段１０３５が算出した距離差情報を用いて、ワーク１０のエッジ１１におけるワーク１０の内側に向かって凹である連続した領域、またはワーク１０の外側に向かって凸である連続した領域を検出し、この凹である領域または凸である領域内に、距離差情報の値の大きさが、欠陥部分のエッジからの距離の下限値を示す閾値以上である部分があるか否かを判断し、閾値以上の部分があれば、この凹である領域または凸である領域を欠陥部分と判断して、この欠陥部分に関する情報、例えば、回転角度の範囲の情報を取得してもよい。
【０１６６】
また、欠陥検出手段１０３７は、例えば、算出手段１０３５が算出した距離差情報を用いて、ワーク１０のエッジ１１におけるワーク１０の内側に向かって凹である連続した領域、またはワーク１０の外側に向かって凸である連続した領域を検出し、この凹である領域または凸である領域の幅が、欠陥部分の幅の下限値である閾値以上であるか否かを判断し、下限値以上であれば、この凹である領域または凸である領域を切り欠き部と判断して、この欠陥部分に関する情報を取得するようにしてもよい。
【０１６７】
なお、上述したような連続した領域が欠陥部分であるか否かを検出するために用いられる１以上の閾値としては、連続した領域が凹である場合と凸である場合とで異なる閾値を用いてもよいし、同じ閾値を用いてもよい。
【０１６８】
あるいは、上記の深さによる判断と幅による判断とを組み合わせて、エッジからの距離が閾値以上であり、かつ、幅が閾値以上である場合に、連続した領域を欠陥部分と判断するようにしてもよい。
【０１６９】
また、欠陥検出手段１０３７は、例えば、算出手段１０３５が算出した第一距離情報と第二距離情報との差、即ち距離差情報において、値の大きさが予め指定された第二の閾値よりも大きい部分を検出する。そして、検出した部分に関する情報を、ワーク１０のエッジ１１の欠陥部分に関する情報として取得するようにしてもよい。
【０１７０】
第二の閾値は、ワーク１０のエッジ１１における欠陥が存在しない部分と、ワーク１０のエッジ１１の欠陥部分とを判別するための閾値である。例えば、ワーク１０のエッジ１１の欠陥が存在しない部分においては第一距離情報と第二距離情報との値の差は、第一距離情報を取得する際の測定誤差程度の差となる。一方で、欠陥が存在する部分においては、この差は、測定誤差よりも十分に大きい差となる。このため、第二の閾値を、例えば、測定誤差よりも大きい値に設定することで、ワーク１０のエッジ１１の欠陥部分を検出することができる。
【０１７１】
検出した部分に関する情報、即ち、検出した距離差情報に関する情報とは、例えば、検出した距離差情報に対応する回転角度を示す情報や、検出した距離差情報と、対応する回転角度を示す情報との組である。例えば、検出された距離差情報は、欠陥部分の深さや高さを示す情報と考えることができる。
【０１７２】
なお、欠陥部分が、バリのようにワーク１０の外側に凸であるものであるか、チッピングのようにワーク１０の内側に向かってへこんでいる部分であるかは、例えば、第一距離情報の基準点等と、距離差情報の符号により判断可能であるため、欠陥検出手段１０３７は、距離差情報の符号により、欠陥部分が、外側に凸の形状であるか否かを判断するようにしてもよい。そして、欠陥検出手段１０３７は、この検出結果を更に有する欠陥部分に関する情報を取得するようにしても良い。
【０１７３】
また、欠陥検出手段１０３７は、値の大きさが第二の閾値よりも大きい複数の距離差情報であって、対応する回転角度が連続している複数の距離差情報を検出した場合、この複数の距離差情報、あるいは複数の回転角度をグループ化してもよい。そして、欠陥検出手段１０３７は、このグループを示す情報を更に有する欠陥部分に関する情報を取得しても良い。この場合の距離差情報の一のグループは、例えば、一の欠陥部分上の複数の位置についての距離差情報と考えてもよい。また、この場合の回転角度の一のグループは、例えば、一の欠陥部分上の複数の位置を示す複数の回転角度や、欠陥部分の範囲を示す情報と考えてもよい。
【０１７４】
なお、上記のような処理の場合、ワーク１０のオリフラ部等の切り欠き部も、欠陥部分として検出されることとなる。切り欠き部が欠陥部分として検出されても問題がない場合においては、上記の処理でよいが、切り欠き部を欠陥部分として検出しないようにする場合、切り欠き部を、欠陥部分として検出しない、あるいは、欠陥部分から除外する必要がある。
【０１７５】
このため、例えば、欠陥検出手段１０３７は、第二の閾値を用いて検出した距離差情報において、対応する回転角度が、二以上の所定数以上連続している複数の距離差情報を検出する。この所定数は、例えば、ワーク１０に設けられた切り欠き部の長さ、即ち回転角度に応じた数に設定する。そして、このように検出した複数の距離差情報を欠陥部分から除外することで、切り欠き部を除いて精度良く欠陥部分を検出することができる。
【０１７６】
または、切り欠き検出手段１０３６が取得した切り欠き部を示す回転角度を除外した回転角度に対応する距離差情報のみについて、上記と同様の第二の閾値を用いた欠陥部分の検出処理を行うようにしても良い。
【０１７７】
あるいは、欠陥検出手段１０３７は、算出手段１０３５が算出した第一距離情報と第二距離情報との差、即ち距離差情報において、値の大きさが予め指定された第一の閾値よりも小さく、かつ、この第一の閾値よりも値の大きさが小さい第二の閾値よりも大きい部分を検出するようにしてもよい。そして、検出した部分に関する情報を、ワーク１０のエッジ１１の欠陥部分に関する情報として取得する。なお、欠陥検出手段１０３７は、値の大きさが第一の閾値と同じである距離差情報も検出するようにしても良い。第一の閾値は、例えば、上述したようなワーク１０の切り欠き部を検出するための閾値である。第二の閾値は、上記と同様である。このようにすることで、第一の閾値よりも大きい距離差情報を検出しないようにして、切り欠き部を含まないように精度良く欠陥部分を検出することができる。
【０１７８】
欠陥検出手段１０３７は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。欠陥検出手段１０３７の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【０１７９】
出力部１０４は、取得部１０３が取得したワークを位置あわせするための情報を出力する。また、出力部１０４は、取得部１０３が取得したワークの向きを特定するための情報を出力する。また、出力部１０４は、取得部１０３が取得した欠陥部分に関する情報とを出力する。例えば、出力部１０４は、取得部１０３が取得したワークを位置あわせするための情報である補正情報を出力する。また、出力部１０４は、取得部１０３が取得したワークの向きを特定するための情報である切り欠き部を示す情報を出力する。これらの出力は、ワーク１０の識別子を有していてもよい。
【０１８０】
ここでの出力とは、ディスプレイへの表示、プロジェクターを用いた投影、音出力、警告灯の点灯、プリンタへの印刷、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積、他の処理装置や他のプログラムなどへの処理結果の引渡しなどを含む概念である。
【０１８１】
例えば、出力部１０４は、ワーク１０を位置あわせするための情報と、ワーク１０の向きを特定するための情報とを、後述するワーク搬送装置２に対して出力してもよい。そして、ワーク搬送装置２は、これらの情報を用いて、ワーク１０をエッジ位置検出器１０２から取り出したり、ワーク１０を搬送したり、ワーク１０を所定の場所に載置したりする際に、ワーク１０の向きや、位置を補正することで、ワーク１０を適切な位置に、適切な方向を向けて載置することができる。
【０１８２】
また、例えば、出力部１０４が、ワーク１０を位置あわせするための情報と、ワーク１０の向きを特定するための情報とを、エッジ位置検出器１０２等に送信するようにしてもよい。これらの情報を用いて、例えば、エッジ位置検出器１０２がワーク１０の位置や方向を適切な位置や方向に変更して、ワーク搬送装置２に対してワーク１０に渡すことで、ワーク搬送装置２が、ワーク１０を適切な位置に適切な方向を向けて載置することができる。
【０１８３】
例えば、出力部１０４が、補正情報を出力することで、この補正情報を受け付けたワーク搬送装置２等が、ワーク１０を利用する際にワーク１０の回転中心がワーク１０の中心となるようにワーク１０の位置を適宜補正することが可能となる。例えば、補正情報を、ワーク１０を搬送するワーク搬送装置２等に出力することで、ワーク搬送装置２等が、ワーク１０の回転中心をワーク１０の中心に補正してワーク１０を搬送するようにしても良い。また、ワーク１０の位置を修正するための移動手段（図示せず）等を有するエッジ位置検出器１０２等に、補正情報を出力することで、エッジ位置検出器１０２等が、ターンテーブル５２を移動させたり回転させたりすることで、ワーク搬送装置２にワーク１０を渡す際に、ワーク１０の位置を回転中心がワーク１０の中心となるように移動させるようにしてもよい。
【０１８４】
また、出力部１０４が、ワークの切り欠き部を示す情報を出力することで、この補正情報を受け付けたワーク搬送装置２や、エッジ位置検出器１０２等が、ワーク１０の向きが予め指定された向きとなるようにワーク１０の向きを適宜補正することが可能となる。
【０１８５】
出力部１０４は、取得部１０３が取得した欠陥部分に関する情報に応じて、異常出力を更に行うようにしてもよい。異常出力とは、ワーク１０のエッジ１１に異常がある場合の出力である。異常出力は、ワーク１０のエッジ１１に異常があることを示す出力であってもよく、異常に対応する動作を行う指示の外部の装置等への出力であってもよい。
【０１８６】
異常出力とは、例えば、異常が発生したことを示す警告等の出力である。警告の出力とは、例えば、警告音の出力や、モニタ等への警告表示、警告灯の点灯等である。警告の出力は、欠陥部分が検出されたワーク１０の識別子等を有していてもよい。
【０１８７】
また、異常出力は、ワーク１０に対する操作を停止する指示の出力であってもよい。ワーク１０に対する操作とは、ワーク１０をワーク搬送装置２で搬送することや、ワーク１０に対して、エッジ位置検出器１０２等が位置決め等を行うことや、ワーク１０に対してワーク搬送装置２の搬送先が予め指定された処理等を行うことである。出力部１０４は、例えば、操作を停止する指示を、ワーク搬送装置２や、エッジ位置検出器１０２や、ワーク１０に対して処理を行う処理装置（図示せず）等に出力する。これにより、エッジに異常があるワーク１０に対する操作を停止することができる。
【０１８８】
また、異常出力は、例えば、異常が検出されたワーク１０を回収させる指示の出力であってもよい。ここでの回収とは、例えば、予め指定された回収用の場所に移動させることや、ワーク１０を通常の処理ルートから除外することや、待避させることや、搬送路から取り除くこと等である。例えば、出力部１０４は、ワーク搬送装置２等に、異常が検出されたワーク１０を回収させる指示を出力する。ワーク搬送装置２が、この指示に従って、ワークを、予め指定された回収用の場所等にワーク１０を搬送することで、異常が検出されたワークに対して、その後の操作や処理等を行わないようにすることができる。また、回収したワークに対して、欠陥の検査等を行うことが可能となる。
【０１８９】
出力部１０４は、例えば、取得部１０３が一の欠陥部分に関する情報を取得した場合に、異常出力を行うようにしてもよい。また、出力部１０４は、取得部１０３が取得した欠陥部分に関する情報が予め指定された条件を満たす場合に、異常出力を行うようにしてもよい。例えば、取得部１０３が取得した欠陥部分に関する情報から、取得部１０３が予め指定されたｋ（ｋは２以上の整数）以上の欠陥部分を検出したか否かを判断し、ｋ以上の欠陥部分を検出していると判断された場合に、異常出力を行うようにしてもよい。また、取得部１０３が取得した欠陥部分に関する情報の中に、エッジからの距離の最大値が予め指定された値以上である欠陥部分を示す情報が含まれている場合に、異常出力を行うようにしてもよい。
【０１９０】
評価関連情報受付部１０５は、１または２以上のワーク１０のエッジ１１の欠陥部分についての評価に関連した情報である評価関連情報を受け付ける。評価関連情報受付部１０５は、複数のワーク１０についての評価関連情報を受け付けることが好ましい。
【０１９１】
評価関連情報とは、例えば、欠陥部分を検出する処理に用いられた１以上の閾値を評価するために用いられる情報である。欠陥部分を検出する処理に用いられた１以上の閾値は、例えば、欠陥部分の大きさに関する１以上の閾値である。
【０１９２】
評価関連情報は、例えば、ワーク処理装置１において欠陥部分がないと判断されたワーク１０、例えば、取得部１０３が欠陥部分に関する情報を取得しなかったワーク１０に、実際に欠陥があったか否かを示す情報を有する情報である。また、評価関連情報は、例えば、ワーク処理装置１において欠陥部分があると判断されたワーク１０、例えば、取得部１０３が欠陥部分に関する情報を取得したワーク１０に、実際に欠陥があったか否か、あるいはあったと評価されたか否かを示す情報を有する情報である。例えば、実際に欠陥があったか否かを示す情報は、ワーク１０が、ワーク処理装置１による処理の後の処理工程において正常に利用できたか否かを示す情報、例えば、破損しなかったか否かを示す情報であってもよく、欠陥部分が検出されたワーク１０に対して欠陥部分を検出するために行われた再検査（目視等も含む）の結果を示す情報であってもよい。欠陥部分が検出されたワーク１０は、異常出力によって回収されたワーク１０であってもよい。
【０１９３】
また、評価関連情報は、例えば、欠陥部分の検出の正誤を示す正誤情報を含む情報であってもよい。正誤情報は、ワーク処理装置１における欠陥部分の検出結果が、正しいものであったか否かを示す情報である。例えば、取得部１０３が欠陥部分に関する情報を取得しなかったワーク１０に、実際に欠陥があったか否かを評価し、欠陥がなければ、評価関連情報には、取得部１０３の欠陥部分の検出が正しかったことを示す正誤情報が格納され、欠陥があれば、欠陥部分の検出が正しくなかったことを示す正誤情報が格納される。また、例えば、取得部１０３が欠陥部分に関する情報を取得したワーク１０に、実際に欠陥があったか否かを評価し、欠陥がなければ、評価関連情報には、取得部１０３の欠陥部分の検出が正しくなかったことを示す正誤情報が格納され、欠陥があれば、欠陥部分の検出が正しかったことを示す正誤情報が格納される。欠陥部分の検出の正誤は、例えば、上述したようなワーク１０の再検査の結果や、その後の処理においてワーク１０が正常に利用できたか否かを示す情報から判断される。
【０１９４】
また、評価関連情報は、ワーク処理装置１の後工程の処理に関する情報を更に有していてもよい。例えば、１または２以上の後工程の処理の種類（例えば、熱処理、ＣＶＤ、ＣＭＰ、エッチング等）を示す情報や、処理に用いられる装置の識別子や、その処理の処理時間や圧力、温度等のパラメータや、処理に利用するガスの種類や濃度、処理に利用する液体の種類や濃度等を有していてもよい。
【０１９５】
また、評価関連情報は、ワーク１０のサイズや、ワークの材料系や組成等のワーク１０に関する情報を有していてもよい。
【０１９６】
また、評価関連情報は、取得部１０３が取得した欠陥部分に関する情報、例えば欠陥部分の大きさに関する情報や、ワーク１０の再検査等で取得された同様の欠陥部分に関する情報等を有していてもよい。
【０１９７】
また、評価関連情報は、欠陥部分を検出する処理に用いられた欠陥部分の大きさに関する１以上の閾値を有していてもよい。ただし、現在、取得部１０３が利用している１以上の閾値を評価する場合であって、この現在の閾値により欠陥部分の検出処理が行われたワーク１０についての評価関連情報を用いる場合においては、評価関連情報は、閾値を有していなくてもよい。
【０１９８】
受け付けとは、キーボードやマウス、タッチパネルなどの入力デバイスから入力された情報の受け付け、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された情報の受信、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなどの記録媒体から読み出された情報の受け付けなどを含む概念である。
【０１９９】
評価関連情報受付部１０５が受け付けた評価関連情報は、例えば、図示しない格納部等に蓄積される。
【０２００】
評価関連情報受付部１０５は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェアや、受信手段等で実現され得る。
【０２０１】
設定部１０６は、評価関連情報を用いて、取得部１０３が欠陥部分の検出に用いる大きさに関する１または２以上の閾値を取得する。そして、取得した閾値を用いて、取得部１０３が欠陥部分の検出に用いる大きさに関する閾値を設定する。ここでの設定は、例えば、デフォルト等やユーザ等により設定された、取得部１０３が欠陥部分の検出に用いる１または２以上の閾値の更新、例えば上書き等も含む概念である。
【０２０２】
例えば、取得部１０３が、欠陥部分のエッジ１１からの距離についての一の閾値を用いてワーク１０に対して欠陥部分の検出を行った場合において、欠陥部分が検出されなかったと判断された１または２以上の所定数以上のワーク１０に、実際には欠陥部分があったと判断されたワーク１０があったことを示す情報を有する評価関連情報を評価関連情報受付部１０５が受け付けた場合に、設定部１０６は、取得部１０３が用いていた欠陥部分のエッジ１１からの距離についての一の閾値の値よりも欠陥部分を検出しやすい閾値、例えば、小さい値の閾値を取得し、この閾値で、取得部１０３が利用しているエッジ１１からの距離ついての閾値を更新する。これにより、エッジ１１からの距離の変化がより小さい部分も欠陥部分として検出することができ、欠陥部分の検出漏れを低減させることができる。なお、この場合、再検査等で取得された欠陥部分のエッジ１１からの距離を示す情報を更に有する評価関連情報を受け付けるようにして、欠陥部分は検出されなかったが、実際には欠陥部分があったワーク１０の欠陥部分のエッジ１１からの距離を示す情報を用いて、この欠陥部分が検出されるような閾値を取得するようにしてもよい。
【０２０３】
また、例えば、欠陥部分が検出された１または２以上の所定数のワーク１０に、再検査等において、実際には、欠陥部分が検出されなかったことを示す情報を含む評価関連情報を評価関連情報受付部１０５が受け付けた場合、設定部１０６は、エッジからの距離についての閾値として、取得部１０３が用いていた欠陥部分のエッジ１１からの距離についての一の閾値の値よりも欠陥が検出しにくくなる閾値、例えば、大きい値の閾値を取得し、この閾値で、取得部１０３が利用しているエッジ１１からの距離ついての閾値を更新するようにしてもよい。これにより、欠陥部分のないワーク１０が、回収されることとなることを防ぐことが可能となる。
【０２０４】
また、設定部１０６は、正誤情報と閾値とを有する評価関連情報を用いて機械学習を行って、欠陥部分の大きさについての１以上の閾値を取得しても良い。例えば、設定部１０６は、評価関連情報受付部１０５が受け付けた複数のワークについて評価関連情報の正誤情報と、欠陥部分の大きさに関する１以上の閾値と、上述したようなワーク処理装置１の後工程の処理に関する情報や、ワーク１０に関する情報や、欠陥部分に関する情報等のうちの１以上の情報との組み合わせを学習データとして用いて学習を行う。そして、例えば、ワーク処理装置１が１以上のワーク１０について処理を行う際等において、欠陥検出のための閾値を設定する際に、このワーク１０に関して、上記で学習させたものと同様の、ワーク処理装置１の後工程の処理に関する情報や、ワーク１０に関する情報や、欠陥部分に関する情報等のうちの１以上の情報と、欠陥部分の大きさに関する１以上の閾値（例えばエッジからの距離についての閾値や幅についての閾値）について予め用意した複数の閾値のそれぞれとの組みを、上述した評価関連情報受付部１０５等を介して入力することで、それぞれの組みを学習結果を用いて評価させる。そして、欠陥部分について正しく判断できることを示す正誤情報を有する評価結果が得られた場合の上記の組みに含まれる閾値のうちの一つ（例えば、最も大きい閾値等）を、欠陥部分の大きさについての１以上の閾値として取得するようにしてもよい。そして、この閾値を、欠陥部分を検出するための閾値として設定するようにしてもよい。
【０２０５】
このようにすることで、後工程の処理や、ワークの種類等に応じた適切な閾値を用いて、ワーク１０のエッジ１１の欠陥部分を精度よく検出することができる。
【０２０６】
学習データを用いた学習については、ＳＶＲ等の学習モデルが、公知技術として利用可能である。この場合、学習データは教師データと考えてもよい。
【０２０７】
なお、正誤情報は、評価関連情報が有する一のワーク１０の欠陥部分に関する情報と、実際にワーク１０のエッジ１１に欠陥部分があったか否かを示す情報から、設定部１０６が適宜取得するようにしても良い。
【０２０８】
また、上記において、正誤情報の代わりに、ワーク１０の処理結果、例えば、ワーク１０が破損したか否か等を学習させ、閾値の代わりに、ワーク１０の欠陥部分のエッジ１１からの距離を学習させるようにしてもよく、この場合、ワーク処理装置１の後工程の処理に関する情報や、ワーク１０に関する情報や、欠陥部分に関する情報等のうちの１以上の情報と、欠陥部分のエッジからの複数の距離のそれぞれとを有する複数の組みを学習結果に入力することで、後行程で破損等が発生しない欠陥部分のエッジからの距離を取得することができ、例えば、この距離を閾値として用いることで、適切に欠陥部分を検出することが可能となる。なお、これら以外の機械学習を行うことで、欠陥検出時に用いられるサイズに関する閾値を設定するようにしてもよいことは言うまでもない。
【０２０９】
また、設定部１０６は、評価関連情報に含まれる過去に利用した閾値と、後工程の処理や、ワークの種類等から得られるパラメータ等との組み合わせから、重回帰分析等を用いて閾値の予測式を作成し、この予測式により、後工程の処理や、ワークの種類等に応じた適切な閾値を算出し、算出した閾値を設定するようにしてもよい。
【０２１０】
設定部１０６は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。設定部１０６の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【０２１１】
次に、エッジ位置検出器１０２の一例について、図３を用いて説明する。
【０２１２】
エッジ位置検出器１０２は、ワーク１０が載置されるターンテーブル５２を回転させるためのターンテーブル回転機構５３を備えており、ターンテーブル回転機構５３は、電動機５４により駆動される。ワーク１０のエッジ位置を検出するエッジ検出部５５は、投光器５５ａ及びセンサ５５ｂを有する。センサ５５ｂは、例えば光センサである。センサ５５ｂは受光量に応じて出力が特定の関係を保ちながら連続的に変化するものであり、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＰＳＤ（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ：商品名）とよばれる入射光量に対して出力が直線的に変化するものが用いられる。センサ５５ｂは、例えば、図２（ａ）のセンサ１５に相当する。エッジ検出部５５のセンサ５５ｂは、投光器５５ａから出射され、直下のワーク１０によって減量されて到達する光の量に応じた出力を発生する。この出力が、ワーク１０のエッジ位置を示すものとなる。エンコーダ５６は、ターンテーブル５２の回転角度に相当する電動機５４の回転量を検出しデジタル信号を出力する。蓄積部５７はセンサ５５ｂの出力とエンコーダ５６の出力とを１対のデータとしてターンテーブル５２の一定回転角度毎に蓄積する。なお、蓄積部５７はセンサ５５ｂの出力を、ワーク１０の回転中心からエッジ１１までの距離に換算して出力しても良い。この具体例においては、この蓄積部５７が、回転角度とセンサ５５ｂの出力を、ワーク１０の回転中心からエッジ１１までの距離に換算した第一距離情報との対を第一回転距離情報として、第一回転距離情報格納部１０１に蓄積するものとする。なお、センサ５５ｂの出力がアナログ信号である場合には蓄積部５７とセンサ５５ｂとの間にＡ／Ｄ変換器等を設けておけばよい。
【０２１３】
なお、ここで挙げたエッジ位置検出器１０２は一例であって、本発明においては、エッジ位置検出器１０２と同様の、ワーク１０について複数の第一距離回転情報を取得可能なものであれば、他のエッジ位置検出器１０２を用いるようにしてもよい。
【０２１４】
なお、ここでは、エッジ位置検出器１０２が、ワーク処理装置１の一部である場合について示しているが、エッジ位置検出器１０２を、例えば、ワーク処理装置１とは異なる装置としてもよい。
【０２１５】
次に、図４を用いて、本実施の形態におけるワーク搬送システムの一例について説明する。
【０２１６】
ワーク搬送システム１０００は、ワーク処理装置１、ワーク搬送装置２を備えている。ワーク搬送システム１０００の、搬送路１００１は、例えば、図示しないカバー等で覆われている。
【０２１７】
ワーク搬送装置２は、ワーク１０の搬送を行う装置である。例えば、ワーク搬送装置２は、水平方向や、垂直方向に移動させることが可能なアーム等を備えており、ワーク１０を載置した状態でこのアームを動かすことにより、ワーク１０を搬送する。ワーク搬送装置２自身が、水平方向や、垂直方向に移動可能な構造を有していてもよい。ただし、ワーク搬送装置２の構造等は問わない。
【０２１８】
ワーク搬送装置２は、ワーク処理装置１に対してワーク１０の受け渡しを行う。ワーク処理装置１に対してワーク１０の受け渡しを行う、ということは、例えば、ワーク１０の搬送中に、ワーク処理装置１までワーク１０を搬送してワークをワーク処理装置１０に渡し、その後、ワーク処理装置１からワーク１０を受け取って他の地点に搬送することである。
【０２１９】
ワーク搬送装置２は、例えば、第一の地点からワーク処理装置１までの搬送、及びワーク処理装置１から第二の地点までの搬送を行う装置である。第一の地点は、搬送対象となるワーク１０が配置されている地点である。第二の地点は、搬送対象となるワーク１０の搬送先となる地点である。なお、ワーク搬送装置２は、更に、ワーク処理装置１から回収用のワーク１０が載置される地点である第三の地点までの搬送を行うようにしてもよい。例えば、ワーク搬送装置２は、外部等から入力される指示等に応じてワーク１０を、第二の地点または第三の地点のいずれか一方に搬送するようにしてもよい。
【０２２０】
ここでは、一例として、ワーク搬送装置２が、第一の地点である容器４に収容されているワーク１０をワーク処理装置１のターンテーブル５２上まで搬送し、ワーク処理装置１のターンテーブル５２上に載置されたワーク１０を、第二の地点である予め指定された処理を行う装置（図示せず）の載置台６、または第三の地点である回収用の容器５内まで搬送する場合を例に挙げて説明する。この場合、例えば、ワーク搬送装置２は、ワーク処理装置１の出力部１０４が出力する異常出力を図示しない受信部等を介して受信し、異常出力を受信した場合には、ワーク処理装置１のターンテーブル５２上に載置されたワーク１０を、第三の地点である回収用の容器５内まで搬送してワーク１０を回収するようにし、異常出力を受信していない場合には、ワーク処理装置１のターンテーブル５２上に載置されたワーク１０を、第二の地点である予め指定された処理を行う装置（図示せず）の載置台６まで搬送するようにする。
【０２２１】
なお、ワーク搬送装置２は、ワーク処理装置１の出力部１０４が出力する補正情報等のワークを位置あわせするための情報を受信して、ワーク１０の位置を補正する手段や、ワーク処理装置１の出力部１０４が出力する切り欠き部を示す情報等のワークの向きを特定する情報を受信して、ワーク１０の向きを補正する手段を備えていてもよい。
【０２２２】
また、ワーク搬送装置２は、ワーク処理装置１の出力部１０４が出力する異常出力を受信して、受信した異常出力に応じてワーク１０の搬送を停止する手段等を備えていてもよい。
【０２２３】
なお、ワーク搬送装置２の構成については、公知技術であるので、ここでは詳細な説明は省略する。
【０２２４】
載置台６は、ワーク１０に対して予め指定された処理を行う装置（図示せず）の、処理対象となるワーク１０を載置するための台である。載置台６は、上述した第二の地点に相当する。予め指定された処理を行う装置は、ＣＶＤ装置や、表面研磨装置等、どのような装置であってもよい。例えば、この載置台６に載置されたワーク１０に対して予め指定された処理が行われる。
【０２２５】
容器４は、１または２以上のワーク１０を収容して搬送するための容器である。容器４は、上述した第二の地点に相当する。容器４には、上述した図示しない装置の処理対象となるワーク１０が収容される。容器４には、ワーク搬送装置２により搬送され、載置台６に載置されるワーク１０が収容される。容器４は、例えば、１または２以上のワーク１０を収容して搬送するカセットである。容器４は、例えば、いわゆるＦＯＵＰ（ｆｒｏｎｔ  ｏｐｅｎ  ｕｎｉｆｉｅｄ  ｐｏｄ）である。容器４は、搬送路１００１の図示しないカバーに対して取り付け及び取り外しが可能である。搬送路１００１のカバーには、例えば、容器４を取り付けるためのドア（図示せず）等が設けられている。
【０２２６】
容器５は、１または２以上のワーク１０を収容して搬送するための容器である。容器５は、上述した第三の地点に相当する。容器５は、出力部１０４が出力する異常出力に応じて回収されるワーク１０が収容される容器である。容器５には、異常出力に応じて、ワーク搬送装置２により搬送されたワーク１０が収容される。容器５のその他の構成等については、容器４と同様である。
【０２２７】
なお、ここでは、第一の地点が容器４、第二の地点が載置台６、第三の地点が容器５である場合について説明したが、それぞれの地点は、どのような地点であってもよい。例えば、第一の地点が、ワークに対して所定の処理を行う装置の載置台等であってもよい。また、第二の地点が、容器４と同様の容器であってもよい。また、第三の地点が、ワークの検査を行う検査装置（図示せず）の載置台等であってもよい。
【０２２８】
次に、ワーク処理装置１の動作の一例について図６のフローチャートを用いて説明する。なお、エッジ位置検出器１０２が、第一回転距離情報を取得する処理については公知であるのでここでは説明は省略する。また、エッジ位置検出器１０２がワーク１０について取得した複数の第一回転距離情報を、第一回転距離情報格納部１０１に蓄積する処理についてもここでは説明を省略する。また、ここでは、設定部１０６が機械学習を利用せずに欠陥部分のサイズに関する閾値を取得する場合を例に挙げて説明する。
【０２２９】
（ステップＳ１００）ワーク処理装置１は、補正情報、切り欠き部を示す情報、及び欠陥部分に関する情報を出力するタイミングであるか否かを判断する。例えば、ワーク処理装置１は、第一回転距離情報格納部１０１に、一のワーク１０について取得された、ワーク１０の一周に相当する複数の第一回転距離情報が格納されているか否かを判断し、格納されている場合、上記の情報を出力するタイミングであると判断し、格納されていない場合、出力するタイミングでないと判断する。あるいは、エッジ位置検出器１０２による一のワーク１０についての複数の第一回転距離情報を取得する処理が終了した場合に、出力するタイミングであると判断するようにしてもよい。出力する場合、ステップＳ１０１に進み、出力しない場合、ステップＳ１２０に進む。
【０２３０】
（ステップＳ１０１）合成手段１０３１は、一のワーク１０に対応する複数の第一回転距離情報に含まれる複数の第一距離情報のうちの、対応する回転角度の差が９０度ずつ異なる４つの第一距離情報をそれぞれ合成して、複数の合成距離情報を取得する。例えば、合成手段１０３１は、回転角度の値が連続している複数の第一回転距離情報を、回転角度の値の範囲が９０度となるよう複数の組に分割していき、分割した各組の、配列順が同じである第一回転距離情報が有する第一距離情報同士を合成する。ここでの合成は、例えば平均値の算出である。合成手段１０３１は、取得した合成距離情報と、合成した４つの第一距離情報にそれぞれ対応する４つの回転角度を対応づけて図示しない格納部に蓄積する。
【０２３１】
（ステップＳ１０２）合成処理手段１０３２は、カウンターｐの値として１を代入する。
【０２３２】
（ステップＳ１０３）合成処理手段１０３２は、ステップＳ１０２で合成された合成距離情報において、値の小さいものから数えてｐ番目の合成距離情報を検出する。合成処理手段１０３２は、例えば、検出した合成距離情報に対して、検出したことを示すフラグや削除することを示すフラグ等の情報を付与する。なお、ｐ番目の合成距離情報を検出する代わりに、最小値を示す合成距離情報を検出し、削除するようにしてもよい。削除する場合、次回は削除されずに残った合成距離情報から、再度最小値を示す合成距離情報を検出し削除を行うようにする。
【０２３３】
（ステップＳ１０４）合成処理手段１０３２は、カウンターｐの値を１インクリメントする。
【０２３４】
（ステップＳ１０５）合成処理手段１０３２は、カウンターｐの値が予め指定された所定数以上であるか否かを判断する。所定数以上であれば、ステップＳ１０６に進み、所定数以上でなければ、ステップＳ１０３に戻る。
【０２３５】
（ステップＳ１０６）合成処理手段１０３２は、カウンターｑの値として１を代入する。
【０２３６】
（ステップＳ１０７）合成処理手段１０３２は、ステップＳ１０２で合成された合成距離情報において、値の大きいものから数えてｑ番目の合成距離情報を検出する。合成処理手段１０３２は、例えば、検出した合成距離情報に対して、検出したことを示すフラグや削除することを示すフラグ等の情報を付与する。なお、ｑ番目の合成距離情報を検出する代わりに、最大値を示す合成距離情報を検出し、削除するようにしてもよい。削除する場合、次回は削除されずに残った合成距離情報から、再度最大値を示す合成距離情報を検出し削除を行うようにする。
【０２３７】
（ステップＳ１０８）合成処理手段１０３２は、カウンターｑの値を１インクリメントする。
【０２３８】
（ステップＳ１０９）合成処理手段１０３２は、カウンターｑの値が所定数以上であるか否かを判断する。所定数以上であれば、ステップＳ１０７に戻り、所定数以上でなければ、ステップＳ１１０に進む。
【０２３９】
（ステップＳ１１０）合成処理手段１０３２は、ステップＳ１０３及びステップＳ１０７で検出されていない（あるいは削除されていない）合成距離情報であって、予め指定された数以上連続している合成距離情報を検出する。
【０２４０】
（ステップＳ１１１）合成処理手段１０３２は、ステップＳ１１０で検出した連続している合成距離情報から、一の合成距離情報、例えば、中央の順番の合成距離情報を検出し、検出した合成距離情報の合成元となる４つの第一距離情報と、この第一距離情報のうちの１つに対応する回転角度とを取得する。例えば、一の回転角度として、４つの第一距離情報に対応する回転角度のうちの値の最も小さいものを取得する。
【０２４１】
（ステップＳ１１２）補正情報取得手段１０３３は、ステップＳ１１１で取得した４つの第一距離情報と、一の回転角度とを用いて、ワーク１０の回転中心を、ワーク１０の中心に移動させるための補正情報を取得する。例えば、上述した式（１）及び式（２）を用いて補正情報を取得する。そして、取得した補正情報を、図示しない格納部に一時記憶する。
【０２４２】
（ステップＳ１１３）第二距離情報取得手段１０３４は、ステップＳ１１２で取得された補正情報を用いて、ワーク１０がエッジ１１に凹凸を有さない円形である場合の、回転角度と、回転角度に応じた第二距離情報との関係を示す関係式を取得する。例えば、上述した式（３）の係数に補正情報を代入して理想曲線式を取得する。
【０２４３】
（ステップＳ１１４）第二距離情報取得手段１０３４は、ステップＳ１１３で取得した関係式に、上述した一のワーク１０に対応する複数の第一回転距離情報に対応する複数の回転角度をそれぞれ代入して、回転角度毎に、第二距離情報を取得する。そして、回転角度と第二距離情報とを有する複数の第二回転距離情報を、図示しない格納部に蓄積する。
【０２４４】
（ステップＳ１１５）算出部１１５は、同じ回転角度と対応づけられた第一距離情報と第二距離情報との差を示す複数の距離差情報を取得する。
【０２４５】
（ステップＳ１１６）切り欠き検出手段１０３６は、複数の距離差情報と、第一の閾値とを用いて、切り欠き部を示す情報を取得する。
【０２４６】
（ステップＳ１１７）欠陥検出部１０８は、複数の距離差情報と、第二の閾値とを用いて、欠陥部分に関する情報を取得する処理を行う。
【０２４７】
（ステップＳ１１８）出力部１０４は、欠陥部分に関する情報に応じて、異常出力を行う。なお、欠陥部分に関する情報に応じて異常出力を行うということは、欠陥部分に関する情報によっては、異常出力を行わないことや、欠陥部分に関する情報を取得していない場合においては、異常出力を行わないことも含む概念である。
【０２４８】
（ステップＳ１１９）出力部１０４は、補正情報、切り欠き部を示す情報、及び欠陥部分に関する情報を出力する。そして、ステップＳ１００に戻る。なお、ステップＳ１１８で異常出力を行っている場合、出力部１０４は、補正情報や切り欠き部を示す情報を出力しないようにしてもよい。また、出力部１０４は、欠陥検出部１０８が欠陥部分に関する情報を取得していない場合、欠陥部分に関する情報を出力しなくてよい。
【０２４９】
（ステップＳ１２０）評価関連情報受付部１０５は、評価関連情報を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ１２１に進み、受け付けていない場合、ステップＳ１２２に進む。
【０２５０】
（ステップＳ１２１）評価関連情報受付部１０５は、ステップＳ１２０で受け付けた評価関連情報を、図示しない格納部に蓄積する。そして、ステップＳ１００に戻る。
【０２５１】
（ステップＳ１２２）設定部１０６は、欠陥部分のサイズに関する１以上の閾値を設定するタイミングであるか否かを判断する。例えば、ユーザから、図示しない受付部等を介して、閾値を設定する指示を受け付けた場合に、設定するタイミングであると判断し、受け付けていない場合、タイミングでないと判断する。また、ステップＳ１２０で評価関連情報を受け付けた場合や、ステップＳ１２１において、予め指定された数の評価関連情報を受けつけた場合に、設定するタイミングであると判断してもよい。タイミングである場合、ステップＳ１２３に進み、タイミングでない場合、ステップＳ１００に戻る。
【０２５２】
（ステップＳ１２３）設定部１０６は、ステップＳ１２１で蓄積した評価関連情報を用いて、欠陥部分のサイズに関する１以上の閾値を取得する。
【０２５３】
（ステップＳ１２４）設定部１０６は、ステップＳ１２３で取得した閾値を、取得部１０３が欠陥部分を検出する際に利用する閾値に設定する。例えば、閾値を図示しない格納部に蓄積する。なお、ステップＳ１２３で取得した閾値に対応する閾値、例えば、同じ処理に用いられる閾値が既に設定されている場合、例えば、デフォルトの閾値が設定されている場合においては、設定部１０６は、この閾値を更新する。この更新を設定と考えてよい。そして、ステップＳ１００に戻る。
【０２５４】
なお、図６においては、設定部１０６が機械学習を利用せずに閾値を取得する場合について説明したが、設定部１０６が機械学習を利用して閾値を取得する場合、例えば、ステップＳ１２１で蓄積した評価関連情報を用いて、設定部１０６が学習を行うようにし、ステップＳ１２３で閾値を取得する前に、学習させた評価関連情報と同様の、ワーク処理装置１の後工程の処理に関する情報や、ワーク１０に関する情報や、欠陥部分に関する情報等のうちの１以上の情報と、欠陥部分の大きさに関する１以上の閾値（例えばエッジからの距離についての閾値や幅についての閾値）について予め用意した複数の閾値のそれぞれとの組みを、上述した評価関連情報受付部１０５等を介して受け付けるようにし、設定部１０６が、ステップＳ１２３において、受け付けたこれらの情報を学習結果とから、閾値を取得するようにすればよい。なお、予め用意した複数の閾値は、デフォルト等で予め図示しない格納部等に格納されているものを利用するようにしてもよい。
【０２５５】
なお、図６のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【０２５６】
次に、ワーク搬送システム１０００の動作の一例について図７のフローチャートを用いて説明する。なお、ここでは、一例として、ワーク処理装置１のエッジ位置検出器１０２のターンテーブル５２上にワーク１０が載置された場合、エッジ位置検出器１０２が、このワーク１０について複数の第一回転距離情報を取得し、取得した回転距離情報を、第一回転距離情報格納部１０１に蓄積する場合を例に挙げて説明する。なお、
【０２５７】
（ステップＳ２０１）ワーク搬送装置２は、第一の地点のワーク１０、例えば、容器４に収容されている一のワーク１０を取り出し、ワーク処理装置１まで搬送する。具体的には、エッジ位置検出器１０２のターンテーブル５２上に載置する。
【０２５８】
（ステップＳ２０２）エッジ位置検出器１０２は、ターンテーブル５２に載置されたワークについて複数の第一回転距離情報を取得し、取得した第一回転距離情報を、第一回転距離情報格納部１０１に蓄積する。
【０２５９】
（ステップＳ２０３）ワーク処理装置１は、ワーク１０について補正情報、切り込み部を示す情報、欠陥部分に関する情報を取得して出力する処理や、異常出力の処理を行う。なお、この処理は、例えば、図６のフローチャートにおいてステップＳ１００から、ステップＳ１１９に示したワーク処理装置１の処理に相当する。
【０２６０】
（ステップＳ２０４）ワーク搬送装置２は、ワーク処理装置１の出力部１０４から異常出力を受信したか否かを判断する。受信した場合、ステップＳ２０７に進み、受信していない場合、ステップＳ２０５に進む。
【０２６１】
（ステップＳ２０５）ワーク搬送装置２は、エッジ位置検出器１０２のターンテーブル５２上に載置されたワークを、出力部１０４が出力する補正情報および切り欠き部を示す情報を用いて位置及び方向が所定の位置及び方向となるように補正して取り上げる。この補正は、ワーク搬送装置２が、ワーク１０を取り上げる際に、ワークを支える位置や方向を変更することと等により行ってもよいし、エッジ位置検出器１０２のターンテーブルの位置や方向を変更することにより行ってもよい。
【０２６２】
（ステップＳ２０６）ワーク搬送装置２は、ワーク１０を、第二の地点、例えば、載置台６に搬送して載置する。そして搬送処理を終了する。
【０２６３】
（ステップＳ２０７）ワーク搬送装置２は、ワーク１０をエッジ位置検出器１０２のターンテーブルから取り上げ、回収用の第三の地点、ここでは、回収用の容器５まで搬送して、容器５内にワークを収容する。そして搬送処理を終了する。
【０２６４】
以下、本実施の形態におけるワーク搬送システム１０００の具体的な動作の一例について説明する。ここでは、エッジ位置検出器１０２は、出力部１０４が出力する補正情報や切り欠き部を示す情報の応じて、ターンテーブル５２の位置や方向を変更する手段等を備えている場合について説明する。また、ここでは、ワーク１０がウエハ１０である場合を例に挙げて説明する。
【０２６５】
ワーク搬送装置２は、容器４に格納されている一のウエハ１０を取り出し、取り出したウエハ１０を、ワーク処理装置１まで搬送して、図３に示したようなエッジ位置検出器１０２のターンテーブル５２上に載置する。
【０２６６】
ターンテーブル５２にウエハ１０が載置されると、エッジ位置検出器１０２は、ウエハ１０を回転させながら、回転角度と第一距離情報とを取得して、蓄積部５７が、回転角度と第一距離情報との組みを有する複数の第一回転距離情報を第一回転距離情報格納部１０１に蓄積する。
【０２６７】
図８は、第一回転距離情報格納部１０１に格納されている第一回転距離情報を管理する第一回転距離情報管理表を示す図である。この第一回転距離情報は、上述したように、図３に示すようなエッジ位置検出器１０２を用いて取得されたものであるとする。ここでは、説明の便宜上、ウエハ１０を、一回転させた場合において、０．０３６度毎に順次取得された第一回転距離情報が格納されている場合を例に挙げて説明する。即ち、一のウエハについて、１００００レコードの第一回転距離情報が格納されているものとする。
【０２６８】
第一回転距離情報管理表は、「ウエハＩＤ」と、「回転角度」と、「第一距離情報」という属性を有している。「ウエハＩＤ」は、ウエハの識別情報である。「回転角度」は、ウエハの回転角度である。「第一距離情報」は、ウエハの回転中心から、ウエハのエッジまでの距離である。なお、「第一距離情報」のｒｍ（ｍは１から１００００までの整数）は、対応する回転角度が０．０３６×ｍ（度）である第一距離情報であるとする。ｒｍの値は、任意の値であるとする。第一回転距離情報管理表において、各行（レコード）が、それぞれ第一回転距離情報を示している。
【０２６９】
図９は、第一回転距離情報の、回転角度と第一距離情報との関係を説明するためのグラフである。このグラフは、「ウエハＩＤ」が「Ｗ００１」であるウエハ（以下、ウエハＷ００１と称す）についての第一回転距離情報の、回転角度と第一距離情報との関係を示すグラフである。ウエハ回転中心がウエハの中心からずれているとすると、図９に示しているように、グラフ全体は、例えば、３６０度を一周期とした曲線状の波形を描いたものとなる。図において、凹部２０は、ウエハ１０のオリフラ部に対応する部分である。また、凹部２１及び２２は、ウエハ１０のチッピングに対応する部分である。また、凸部２３は、ウエハ１０のバリに対応する部分である。
【０２７０】
まず、ユーザ等が、例えば、ウエハＷ００１を補正情報等の取得対象として指定する操作を行ったとする。
【０２７１】
図１０は、合成手段１０３１が第一回転距離情報について行う処理を説明するための、第一回転距離情報の回転角度と第一距離情報との関係を示すグラフであり、図１０（ａ）は、回転角度が０度以上９０度未満の範囲のグラフ、図１０（ｂ）は、回転角度が９０度以上１８０度未満の範囲のグラフ、図１０（ｃ）は、回転角度が１８０度以上２７０度未満の範囲のグラフ、図１０（ｄ）は、回転角度が２７０度以上３６０度未満の範囲のグラフ、図１０（ｅ）は、図１０（ａ）から、図１０（ｄ）までのグラフを、回転角度の配列順に応じて合成したグラフである。図１０（ｆ）は、図１０（ｅ）のグラフから、値の変化の大きい部分を削除した状態を示すグラフである。
【０２７２】
合成手段１０３１は、図８に示した第一回転情報管理表から、「ウエハＩＤ」が「Ｗ００１」であるレコードを取得し、取得したレコードを「回転角度」を９０度毎に４つに分割する。具体的には、「回転角度」が０度以上９０度未満のレコードの組と、「回転角度」が９０度以上１８０度未満のレコードの組と、「回転角度」が１８０度以上２７０度未満のレコードの組と、「回転角度」が２７０度以上３６０度未満のレコードの組とに分割する。それぞれの組のレコードをグラフで示したものが、図１０（ａ）から図１０（ｄ）に示したグラフである。
【０２７３】
そして、合成手段１０３１は、分割した各組の、配列順が同じである第一回転距離情報が有する第一距離情報同士を合成する。ここでの合成は、平均値の算出である。例えば、合成手段１０３１は、それぞれの組のレコードを、回転角度の値の小さいものから順番に配列した場合における一番目のレコード、即ち「回転角度」が「０」、「９０」、「１８０」、及び「２７０」であるレコードの「第一距離情報」の値「ｒ１」、「ｒ２５０１」、「ｒ５００１」、及び「ｒ７５０１」の平均値Ｒ１を、１番目の合成距離情報として取得し、これらの回転角度と対応づけて、図示しない格納部に蓄積する。なお、Ｒ１＝（ｒ１＋ｒ２５０１＋ｒ５００１＋ｒ７５０１）／４である。
【０２７４】
また、同様に、それぞれの組の二番目のレコード、即ち「回転角度」が「０．０３６」、「９０．０３６」、「１８０．０３６」、及び「２７０．０３６」であるレコードの「第一距離情報」の値「ｒ２」、「ｒ２５０２」、「ｒ５００２」、及び「ｒ７５０２」の平均値Ｒ２を、２番目の合成距離情報として取得し、これらの回転角度と対応づけて、図示しない格納部に蓄積する。三番目以降のレコードについても同様の処理を行う。
【０２７５】
図１１は、合成手段１０３１が取得した合成距離情報を管理する合成距離情報管理表である。合成距離情報管理表は、「回転角度」と、「合成距離」という属性を有している。「回転角度」は、合成した４つの第一距離情報にそれぞれ対応していた回転角度である。「合成距離」は合成距離情報である。なお、Ｒｍ＝（ｒｍ＋ｒｍ＋２５００＋ｒｍ＋５０００＋ｒｍ＋７５００）／４であるとする。
【０２７６】
図１０（ｅ）は、合成手段１０３１が取得した合成距離情報をグラフで示したものである。なお、ここでは、横軸として、各「回転角度」のうちの、値の最も小さい角度を示している。図１０（ｅ）に示すように、回転角度が９０度ずつ異なる第一距離情報を合成することにより、図９に示したような回転中心が、ウエハの中心からずれていることにより起こる波形は打ち消されてグラフ全体が直線状になっている。ただし、合成前の連続した複数の第一距離情報に存在していたチッピングやバリ等の欠陥部分や、オリフラ部等の切り欠け部に対応した凹部２０，２１，及び２２や凸部２３は、合成によって値は変化するが、打ち消されることはないため、残っている。
【０２７７】
次に、合成処理手段１０３２は、図１１に示した合成手段１０３１が合成した複数の合成距離情報において、最小値の合成距離情報を検出して削除する処理を、予め指定された回数に達するまで繰り返す。この削除は、削除したことを示すフラグの情報を、合成距離情報に付与することであっても良い。これにより、例えば、図１０（ｅ）において、他の部分に対して値の大きさの変化が大きいオリフラ部に対応する凹部２０の複数の合成距離情報から順番に削除され、更に、オリフラ部に次いで他の部分に対する値の大きさの変化が大きいチッピングに対応する凹部２１，２２の合成距離情報が順番に削除されることとなる。
【０２７８】
次に、合成処理手段１０３２は、予め指定された回数だけ最小値を削除したことにより残った複数の合成距離情報において、最大値の合成距離情報を検出して削除する処理を、予め指定された回数に達するまで上記と同様に繰り返す。これにより、例えば、図１０（ｅ）において、他の部分に対して値の大きさの変化が大きいバリに対応する凹部２１，２２の合成距離情報が順番に削除されることとなる。なお、上記のそれぞれの削除の回数は、実験等を繰り返すことによって決定することが好ましい。また、例えば、オリフラ部等の切り欠き部が存在する側の検出及び削除回数（ここでは最小値の検出及び削除回数）は、オリフラ部等の切り欠き部が存在しない側の検出及び削除回数（ここでは最大値の検出及び削除回数）よりも多い回数とすることが好ましい。
【０２７９】
これにより、図１１に示した合成距離情報から、値の大きさの変化の大きい部分を検出して削除することができ、検出されずに残った合成距離情報、即ち削除されずに残った合成距離情報は、図１０（ｆ）のようになる。この検出されずに残った合成距離情報のうちの二以上の連続している合成距離情報が、変化の小さい複数の合成距離情報である。
【０２８０】
つぎに、合成処理手段１０３２は、検出されずに（ここでは、削除されずに）残った連続している合成距離情報から一の合成距離情報を検出する。ここでは、連続している合成距離情報の数を、連続している複数の合成距離情報毎に検出し、連続している数が最も多い部分の、配列順番が中央となる一の合成距離情報を検出する。ここでは、例えば、回転角度θがθ６００から、θ１２００の範囲の合成距離情報、具体的には図１０（ｆ）の領域２５の合成距離情報が連続しているとともに、その連続数が他の連続している部分よりも多かったとすると、合成処理手段１０３２は、この範囲の中央に位置する合成距離情報、具体的には、対応する回転角度がθ９００である合成距離情報を検出する。なお、θｍ（ｍは１から１００００までの整数）は、例えば、ウエハＷ００１を、０．０３６度ずつ６００回回転移動させた場合の回転角度、即ち回転角度０．０３６×ｍ（度）を示す。θ６００は、例えば、ウエハＷ００１を、０．０３６×６００（度）回転させた際の回転角度である。
【０２８１】
更に、合成処理手段１０３２は、検出した合成距離情報の合成前の４つの第一距離情報に対応する４つの回転角度を、図１１に示した合成距離情報管理表から取得する。例えば、図１１に示した合成距離情報管理表において、「回転角度」の値として、上記で検出した合成距離情報に対応する回転角度θ度を含むレコードを検出し、このレコードに含まれる全ての「回転角度」の値を取得する。あるいは、回転角度θ９００に、９０度と、１８０度と、２７０度とを順次加算して、４つの合成前の回転角度を取得する。ここでは、回転角度として、θ９００と、θ９００＋９０度と、θ９００＋１８０度と、θ９００＋２７０度とが取得されたとする。そして、合成処理手段１０３２は、取得した４つの回転角度にそれぞれ対応する４つの第一距離情報ｒ９００，ｒ３４００，ｒ５９００，及びｒ８４００を、図８に示した第一回転距離情報管理表から取得する。
【０２８２】
このようにして取得された４つの第一距離情報は、ウエハの切り欠き部や、バリや、チッピング等の存在しないエッジについて取得した第一距離情報であるため、切り欠き部や欠陥部分の影響の少ないウエハの回転中心からエッジまでの距離となる。
【０２８３】
補正情報取得手段１０３３は、上述した式（１）及び式（２）を、例えば、図示しない格納部等から読み出して、合成処理手段１０３２が取得した４つの第一距離情報と、この第一距離情報に対応する回転角度の一つ、ここでは、上記で取得した最も値の小さい回転角度θ９００とを、式（１）及び式（２）に代入して、ウエハＷ００１の回転中心を、ウエハＷ００１の中心に移動させるための補正情報、即ち、移動方向を示す情報である角度と、移動量である長さとを算出する。ここでは、角度α１と長さｈ１とを補正情報として取得したとする。補正情報取得手段１０３３は、取得した補正情報を、例えば、図示しない格納部等に一時記憶する。
【０２８４】
補正情報を受け取った第二距離情報取得手段１０３４は、図示しない格納部から上述した式（３）を読出し、この式（３）に補正情報である角度α１と長さｈ１とを代入して理想曲線式を取得する。
【０２８５】
第二距離情報取得手段１０３４は、取得した理想曲線式に、複数の第一回転距離情報に対応した複数の回転角度を順次代入して、第二距離情報を順次取得する。具体的には、０度から、０．０３６度ずつ、３６０度の直前まで値を順次増加させた場合のそれぞれの回転角度を、理想曲線式に代入して第二距離情報を順次算出する。そして、代入した回転角度と、取得した第二距離情報とを有する第二回転距離情報を図示しない格納部に蓄積していく。
【０２８６】
図１２は、第二距離情報取得手段１０３４が取得して蓄積した第二回転距離情報を管理する第二回転距離情報管理表を示す図である。第二回転距離情報管理表は、「回転角度」と、「第二距離情報」とを有する。「第二距離情報」は、第二距離情報であり、例えば、ウエハＷ００１がエッジに凹凸を有さない理想的な円形のウエハである場合の、回転角度に応じたウエハＷ００１の回転中心からエッジまでの距離である。なお、「第二距離情報」のｒｉｍ（ｍは１から１００００までの整数）は、対応する回転角度が０．０３６×ｍ（度）である第二距離情報であるとする。
【０２８７】
図１３は、第二距離情報取得手段１０３４が取得した複数の第二回転距離情報の、回転角度と、第二距離情報との関係を示すグラフである。横軸は回転角度θを示し、縦軸は第二距離情報ｒｉを示す。
【０２８８】
算出手段１０３５は、第一回転距離情報に格納されている複数の第一距離情報と、第二距離情報取得手段１０３４が取得した複数の第二距離情報とにおいて、同じ回転角度と対応づけられた第一距離情報と第二距離情報との差を順次取得する。ここでは、一例として、算出手段１０３５は、第二距離情報から、第一距離情報を減算した値を取得する。例えば、回転角度「０度」に対応した第二距離情報「ｒｉ１」から、回転角度「０」に対応した第一距離情報「ｒ１」を減算して、回転角度「０度」に対応した距離差情報「ｒｉ１−ｒ１」を取得する。また、例えば、回転角度「０．０３６度」に対応した第二距離情報「ｒｉ２」から、回転角度「０」に対応した第一距離情報「ｒ２」を減算して、回転角度「０度」に対応した距離差情報「ｒｉ１−ｒ１」を取得する。同様の処理を他の回転角度についても行う。算出手段１０３５は、取得した値を、距離差情報として、回転角度と対応づけて、図示しない格納部に蓄積する。
【０２８９】
図１４は、算出手段１０３５が取得した距離差情報を管理する距離差情報管理表である。距離差情報管理表は、「回転角度」と「距離差」という属性を有している。「距離差」は距離差情報である。
【０２９０】
図１５は、算出手段１０３５が取得した距離差情報と回転角度との関係を示すグラフ（図１５（ａ））、切り欠き検出手段１０３６が実行する処理を説明するためのグラフ（図１５（ｂ））、及び、欠陥検出手段１０３７が実行する処理を説明するためのグラフ（図１５（ｃ））である。図において、横軸は回転角度を示し、縦軸は距離差情報の値を示す。なお、ここでは、説明のため、例えば、図１５のグラフの縦軸のスケールとして、図９や図１３等の縦軸のスケールよりも拡大したスケールを用いている。
【０２９１】
算出手段１０３５が取得した距離差情報をグラフで示すと、図１５（ａ）のようなグラフになる。このグラフは、例えば、図１３に示したオリフラ部やバリやチッピング等を有する実測値等である第一距離情報のグラフの縦軸方向の値から、図９に示したエッジに凹凸を有さないウエハを回転させた場合の理想的なグラフの縦軸方向の値を減算したグラフとなる。このため、ウエハＷ００１のエッジの凹凸のない部分において取得された第一距離情報については、値はほぼ０に近い一定の値となり、凹凸の部分だけが、他の部分とは異なる大きさの正または負の値としてグラフに現れる。例えば、図１５に示したグラフにおいては、オリフラ部に対応した凸部２０ａ、チッピングに対応した凸部２１ａ、２２ａ、バリに対応した凹部２３ａが値の大きさに変化がある部分として現れ、他の部分は、ほぼｘ軸に平行な直線に近い形状となる。
【０２９２】
切り欠き検出手段１０３６は、算出手段１０３５が取得した距離差情報において、予め指定された第一の閾値ＴＨ１よりも大きさの大きい距離差情報を検出する。第一の閾値ＴＨ１は、ウエハのエッジに通常発生するチッピングの深さよりも長い長さであって、オリフラ部の深さよりも十分に短い長さを示す正の値に予め設定されているものとする。この第一の閾値ＴＨ１は、例えば、大きさについての閾値である。ここでは、第一の閾値ＴＨ１よりも値が大きい正または負の距離差情報を、検出するために、ＴＨ１よりも大きい距離差情報、あるいは、−ＴＨ１よりも値が小さい距離差情報を検出する。
【０２９３】
第一の閾値ＴＨ１を距離差情報と回転角度との関係を示すグラフに示すと、図１５（ｂ）のようになる。
【０２９４】
なお、距離差情報が、第二距離情報から第一距離情報を減算した値であることがわかっている場合、オリフラ部に対応する距離差情報の値は正の値となることから、−ＴＨ１よりも値が小さい距離差情報を検出する処理は省略しても良い。
【０２９５】
切り欠き検出手段１０３６は、第一の閾値ＴＨ１以上の距離差情報を検出し、検出した距離差情報に対応する回転角度を取得する。例えば、切り欠き検出手段１０３６は、図１５（ｂ）のオリフラ部に対応する凸部２０ａの、ＴＨ１より値の大きい距離差情報を検出する。そして、切り欠き検出手段１０３６は、検出した距離差情報に対応する回転角度の最小値と最大値とを、ウエハＷ００１の切り欠き部であるオリフラ部の位置を示す情報として取得する。例えば、切り欠き検出手段１０３６が取得した最小値がθ３８００，最大値がθ４４００であったとする。切り欠き検出手段１０３６は、取得した最小値θ３８００と最大値θ４４００とを、図示しない格納部に蓄積する。
【０２９６】
欠陥検出手段１０３７は、算出手段１０３５が取得した距離差情報において、予め指定された第二の閾値ＴＨ２よりも大きさの大きい距離差情報を検出する。ただし、ここでは、上述した第一の閾値ＴＨ１よりも大きさの大きい距離差情報は検出しないものとする。第二の閾値ＴＨ２は、第一の閾値ＴＨ１よりも大きさの小さい値であって、０よりも大きい値に設定される。なお、距離差情報は、第一距離情報の測定誤差等によって、０以外の値も取り得るため、第二の閾値ＴＨ２この測定誤差の分の値を考慮した値に設定する。この第二の閾値ＴＨ２は、例えば、エッジの欠陥部分を検出するための大きさについての閾値である。ここでは、第二の閾値ＴＨ２よりも値が大きい正または負の距離差情報を、検出するために、ＴＨ２よりも大きい距離差情報、あるいは、−ＴＨ２よりも値が小さい距離差情報を検出する。
【０２９７】
第二の閾値ＴＨ２を距離差情報と回転角度との関係を示すグラフに示すと、図１５（ｃ）のようになる。
【０２９８】
また、ここでは、上記と同様に、−ＴＨ１よりも値が小さい距離差情報を検出する処理は省略しても良い。
【０２９９】
欠陥検出手段１０３７は、第二の閾値ＴＨ２以上の距離差情報を検出し、検出した距離差情報に対応する回転角度を取得する。例えば、欠陥検出手段１０３７は、図１５（ｃ）の欠陥部分に対応する凸部２１ａ、２２ａの、ＴＨ２より値の大きい部分と、欠陥部分に対応する凹部２３ａの、ＴＨ２よりも値の小さい部分とを検出する。そして、切り欠き検出手段１０３６は、検出した距離差情報において、対応する回転角度が連続している距離差情報を検出し、連続している距離差情報に対応する回転角度の最小値と最大値とを、それぞれ、ウエハＷ００１の欠陥部分の位置を示す情報として取得する。例えば、凸部２１ａについては、回転角度の最小値θ５５０と最大値θ５５８とを取得したとする。また、例えば、凸部２２ａについては、回転角度の最小値θ７４４６と最大値θ７４５０とを取得したとする。また、例えば、凹部２３ａについては、回転角度の最小値θ８７３８と最大値θ８７４３とを取得したとする。
【０３００】
また、ＴＨ２よりも大きい部分として検出された距離差情報、即ち凸部２１ａ、２２ａにそれぞれ対応する回転角度の最小値と最大値については、更にチッピングであることを示す情報を欠陥部分の種類を示す情報として取得する。また、−ＴＨ２よりも小さい部分として検出された距離差情報に対応する回転角度、即ち凹部２３ａに対応する最小値と最大値については、更にバリであることを示す情報を欠陥部分の種類を示す情報として取得する。
【０３０１】
また、欠陥検出手段１０３７は、回転角度が連続している距離差情報の絶対値の最大値を、欠陥部分の大きさ、例えば、バリの高さや、チッピングの深さを示す情報として取得する。例えば、回転角度がθ８７３８からθ８７４３の範囲内の距離差情報の絶対値の最大値がｒｉ８７４１−ｒ８７４１であったとすると、欠陥検出手段１０３７は、この最大値を欠陥部分の大きさを示す情報として取得する。
【０３０２】
そして、欠陥検出手段１０３７は、取得した欠陥部分に関する情報、即ち欠陥部分の範囲を示す回転角度と、欠陥部分の種類を示す情報と、欠陥部分の大きさを示す情報とを図示しない格納部に蓄積する。
【０３０３】
出力部１０４は、欠陥検出手段１０３７が取得した欠陥部分に関する情報に応じて、異常出力を行う。出力部１０４は、欠陥検出手段１０３７が１以上の欠陥部分を検出しているか否かを判断し、欠陥部分を検出している場合に、異常出力を行う。ここでは、欠陥検出手段１０３７が１以上の欠陥部分を検出しているため、異常出力を行う。なお、欠陥検出手段１０３７が欠陥部分を検出したことを示す欠陥部分に関する情報を出力した場合に、出力部１０４は、異常出力を行うようにしてもよい。出力部１０４は、具体的には、異常出力として、異常が検出されたことを示す情報をワーク搬送装置２に送信する。
【０３０４】
また、出力部１０４は、欠陥検出手段１０３７が検出した欠陥部分に関する情報を出力する。例えば、出力部１０４は、欠陥検出手段１０３７が検出した欠陥部分に関する情報のうちの、回転角度の範囲を示す情報を、欠陥がある箇所を示す情報として出力する。また、出力部１０４は、欠陥部分の種類を示す情報をこの欠陥部分の種類を示す情報として出力する。また、出力部１０４は、欠陥部分の大きさを示す情報を出力する。例えば、回転角度がθ８７３８からθ８７４３の範囲に、高さがｒｉ８７４０−ｒ８７４０であるバリが存在することを示す情報を出力する。例えば、出力部１０４は、予め指定された格納部等に、欠陥部分に関する情報を、ウエハ１０の識別子と対応づけて蓄積する。この蓄積される欠陥部分に関する情報は、例えば、ワーク処理装置１の処理を示すログ情報であってもよい。
【０３０５】
なお、ここでは説明を省略しているが、図９に示した第一距離情報と回転角度とのグラフ等の、欠陥部分に関する情報が示す回転角度の範囲に対応する範囲の背景を、他と異なる背景色としたグラフをモニタ等に表示するようにしてもよい。なお、このとき、チッピングとバリについても異なる背景色とすることが好ましい。また、各回転角度の範囲に、欠陥部分の大きさを示す値等を表示してもよい。
【０３０６】
ワーク搬送装置２は、ワーク処理装置１の出力部１０４から、異常があったことを示す情報を受信すると、エッジ位置検出器１０２のターンテーブル５２に載置されているウエハ１０を取り上げ、回収用の容器５の地点まで移動させ、容器５内にウエハ１０を収容する。これにより、異常があると判断されたウエハ１０を、その後の処理工程に回さずに容器５で回収することができる。
【０３０７】
ここで、仮に、欠陥検出手段１０３７が、一以上の欠陥部分を検出せず、欠陥部分に関する情報を取得しなかったとする。
【０３０８】
出力部１０４は、欠陥検出手段１０３７が１以上の欠陥部分を検出していないと判断し、異常出力を行わない。
【０３０９】
そして、出力部１０４は、補正情報取得手段１０３３が取得した補正情報を、エッジ位置検出器１０２に出力する。
【０３１０】
また、出力部１０４は、切り欠き検出手段１０３６が検出した切り欠き部を示す情報をエッジ位置検出器１０２に出力する。例えば、出力部１０４は、切り欠き検出手段１０３６が検出した回転角度の範囲θ３８００からθ４４００までを、オリフラ部が設けられた場所を示す情報として出力する。
【０３１１】
エッジ位置検出器１０２が、出力部１０４から補正情報を受け付けると、補正情報に応じて、ターンテーブル５２を水平方向に移動させて、ウエハ１０の中心が、移動前のターンテーブル５２（移動前のウエハ１０）の回転中心に位置するようにウエハ１０を移動させる。
【０３１２】
また、エッジ位置検出器１０２が、切り欠き部を示す情報を受け付けると、この切り欠き部が予め指定された方向を向くように、ターンテーブル５２を水平方向に移動、あるいは回転移動させる。
【０３１３】
ワーク搬送装置２は、ターンテーブル５２を移動させることにより配置や向きが変更されたウエハ１０を、ターンテーブル５２から取り上げ、次の載置先である載置台６上に搬送し、載置台６上に載置する。
【０３１４】
このように補正情報及び切り欠き部を示す情報により位置及び向きを補正したウエハ１０を、ワーク搬送装置２に対してウエハ１０に渡すことで、ワーク搬送装置２は、ウエハ１０を適切な位置に適切な方向を向けて次の搬送先である載置台６に載置することができる。この結果、欠陥部分のないウエハについては、ウエハ１０の位置決めを行うことができる。
【０３１５】
なお、ここでは、エッジ位置検出器１０２がウエハ１０の位置や向きを変更するようにしたが、出力部１０４が補正情報及び切り欠き部を示す情報をワーク搬送装置２に送信するようにし、このワーク搬送装置２が、ウエハ１０の位置や向きを変更するようにしてもよい。
【０３１６】
また、出力部１０４は、切り欠き部を示す情報と、欠陥検出手段１０３７が検出した欠陥部分に関する情報とを図示しないモニタ等に出力するようにしてもよい。
【０３１７】
図１６は、出力部１０４による切り欠き部を示す情報と、欠陥部分に関する情報の出力例を示す図である。
【０３１８】
このような出力部１０４の出力により、例えば、ユーザは、ウエハＷ００１のエッジのどこにオリフラ部があるか、あるいはどこにどのような欠陥があるかを、容易に知ることが可能となる。また、このようなオリフラ部の位置や、欠陥部の位置や種類を示す情報を他の装置（図示せず）に出力した場合、他の装置においては、例えば、オリフラ部や欠陥部の位置に考慮した処理を行うことが可能となる。
【０３１９】
ここで、仮にワーク搬送システム１０００により載置台６に搬送された一のウエハ１０に対して処理を行った結果、ウエハ１０のエッジ１１のチッピングに由来した割れが、ウエハ１０に発生したとする。このことは、ワーク処理装置１の欠陥検出処理で、検出できなかった欠陥部分があったと考えられる。このため、例えば、ユーザ、評価関連情報受付部１０５に対して、現在の欠陥検出処理で検出できなかった欠陥部分があることを示す情報を有する評価関連情報を入力したとする。
【０３２０】
評価関連情報受付部１０５が、検出できなかった欠陥部分があることを示す情報を有する評価関連情報を受け付けると、設定部１０６は、欠陥検出に用いられている閾値よりも、より小さい欠陥部分が検出できる閾値を取得する。具体的には、上記で欠陥部分の検出に用いられた第二の閾値ＴＨ２の値を、現在の値よりも、予め指定された値だけ小さい値に変更した閾値を取得する。例えば、現在の第二の閾値ＴＨ２の値から予め指定された値を減算した値を新たな第二の閾値として取得する。ここで減算する値は微少な値とすることが好ましい。また、減算後の第二の閾値の大きさが、０以下とならないようにすることが好ましい。
【０３２１】
そして、設定部１０６は、取得した新たな第二の閾値で、欠陥検出手段１０３７が利用していた第二の閾値を更新する。
【０３２２】
これにより、更新前の閾値を用いた場合よりも細かい欠陥部分を検出することが可能となり、欠陥部分の検出結果をフィードバックさせて、欠陥検出の漏れを低減させていくことができる。
【０３２３】
（変形例１）
以下、上記の具体例において、設定部１０６が、機械学習を用いて欠陥部分を検出する際の閾値を取得する場合の一例について説明する。
【０３２４】
ここでは、例えば、ワーク搬送システム１０００の搬送先が、ＣＶＤ装置（図示せず）であり、載置台６が、このＣＶＤ装置の載置台であるとする。
【０３２５】
評価関連情報受付部１０５は、ウエハ１０に対して欠陥部分の検出を行った際に用いた第二の閾値と、このウエハ１０の搬送先のＣＶＤ装置で行われる処理の処理温度と、処理時間とを、ワーク処理装置１による欠陥部分の検出結果が正しかったか否かを示す正誤情報と対応づけて有する複数の評価関連情報を受信し、図示しない格納部に蓄積する。
【０３２６】
設定部１０６は、受信した複数の評価関連情報に含まれる第二の閾値と、処理温度と、処理時間と、正誤情報とを教師データとして順次学習する。
【０３２７】
そして、ユーザが、同じＣＶＤ装置を用いて、一のウエハ１０に対して一の処理条件で処理を行う場合において、処理中に割れ等の問題が発生する欠陥部分を検出できるような閾値を取得するために、この一の処理条件の処理温度と処理時間と、第二の閾値の候補となる複数の値とをそれぞれ対応づけた複数の組みをそれぞれ学習結果に対して入力し、それぞれの組に含まれる第二の閾値で欠陥部分を検出した場合の検出結果が正しいか否かの判断結果を取得する。これにより、入力された処理温度と、処理時間と、第二の閾値との組み合わせに対して、この第二の閾値を用いて欠陥検出を行うことが適切であるか否かを判断することができる。第二の閾値の候補となる複数の値は、例えば、予め指定された値を隔てた複数の値である。第二の閾値の候補となる複数の値は、例えば、デフォルトで用いられる第二の閾値等の周辺の複数の値である。
【０３２８】
そして、正しいと判断された判断結果に対応する第二の閾値のうちの一つ、例えば、値の最も大きいものを取得する。そして、この第二の閾値を欠陥検出手段１０３７が欠陥検出に利用する第二の閾値に設定する。
【０３２９】
これにより、学習結果を利用して、後行程のＣＶＤ処理において問題となる欠陥部分を備えたウエハ１０を適切に検出することができるとともに、後行程において問題とならない凹凸をエッジに備えたウエハ１０は検出しないようにすることができる第二の閾値を取得することができる。この結果、例えば、ウエハ１０の選別を精度よく行うことが可能となる。
【０３３０】
以上、本実施の形態によれば、ワークの搬送時において、ワークの位置と向きを合わせる際に、ワークのエッジの欠陥部分の検出を行うことができ、ワークの欠陥の検出を適切に行うことができる。
【０３３１】
また、本実施の形態によれば、回転角度が９０度ずつ異なる複数の第一距離情報を合成した合成距離情報において、変化の小さい連続した複数の合成距離情報を検出して、検出した複数の合成距離情報のうちの一の合成距離情報に対応する合成元の複数の第一距離情報を用いて、ワークの回転中心をワークの中心に移動させるための補正情報を取得することにより、ワークのエッジの凹凸が少ない部分から取得した第一距離情報を用いて精度の高い補正情報を適切に取得することができる。
【０３３２】
また、本実施の形態によれば、上記の補正情報を用いてワークが凹凸のない円形である場合の、回転角度と、エッジまでの距離との関係を示す関係式を取得し、取得した関係式から取得した第二距離情報と第一距離情報との差を用いてワークの切り欠き部を示す情報や、ワークの欠陥部分に関する情報を取得することにより、ワークのエッジの凹凸を適切に示すことができる。例えば、ワークの切り欠き部の位置を適切に示すことができる。また、ワークのエッジの欠陥部分の位置やその種類を適切に示すことができる。
【０３３３】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２は、上記実施の形態１において、ワークのエッジの欠陥部分を撮像した画像を出力するようにしたものである。
【０３３４】
図１７は、本実施の形態におけるワーク処理装置３のブロック図である。
【０３３５】
ワーク処理装置３は、第一回転距離情報格納部１０１、取得部１０３、出力部１０４、評価関連情報受付部１０５、設定部１０６、エッジ位置検出器３０１、撮像部３０３、補正欠陥位置取得部３０４、画像出力部３０５、検出部３０６、評価部３０７、評価結果出力部３０８、状況受付部３０９、画像状況情報格納部３１０、及び画像状況情報蓄積部３１１を備える。エッジ位置検出器３０１は、移動部３０２を備えている。
【０３３６】
取得部１０３は、例えば、合成手段１０３１、合成処理手段１０３２、補正情報取得手段１０３３、第二距離情報取得手段１０３４、算出手段１０３５、切り欠き検出手段１０３６、欠陥検出手段１０３７を備える。
【０３３７】
第一回転距離情報格納部１０１、取得部１０３、出力部１０４、評価関連情報受付部１０５、及び設定部１０６や、取得部１０３を構成する合成手段１０３１、合成処理手段１０３２、補正情報取得手段１０３３、第二距離情報取得手段１０３４、算出手段１０３５、切り欠き検出手段１０３６、及び欠陥検出手段１０３７等についての構成及び動作等については、上記実施の形態１と同様であり、ここでは詳細な説明は省略する。
【０３３８】
図１８は、実施の形態のワーク処理装置３の一例を示す斜視図（図１８（ａ）、及び本実施の形態におけるエッジ位置検出器３０１の一例を示す模式図（図１８（ｂ）である。ワーク処理装置３はワーク１０を載置するための台である載置台３０２１と、載置台３０２１に載置したワーク１０のエッジの欠陥部分を撮像するための撮像部３０３とを備えている。カバー３０２５の内部には、エッジ検出部５５が設けられている。
【０３３９】
エッジ位置検出器３０１は、ワーク１０について複数の第一回転距離情報を取得する。具体的には、エッジ位置検出器３０１は、ワーク１０のエッジ位置を検出して、ワーク１０について複数の第一回転距離情報を取得して、第一回転距離情報格納部１０１に蓄積する。
【０３４０】
エッジ位置検出器３０１は、例えば、ワーク１０のエッジ位置を検出するエッジ検出部５５と、移動部３０２と、エンコーダ５６と、蓄積部５７とを備えている。エッジ検出部５５は、投光器５５ａとセンサ５５ｂとを有している。エッジ検出部５５、エンコーダ５６、及び蓄積部５７の構成や処理等については、図３に示したエッジ位置検出器１０２と同様であるため、説明は省略する。
【０３４１】
移動部３０２は、ワーク１０を移動させる。移動部３０２は、例えば、載置台３０２１に載置されたワーク１０を移動させる。移動部３０２によるワーク１０の移動は、例えば、ワーク１０を回転させる移動や、ワーク１０を平行に移動させる移動である。ワーク１０を平行に移動させるということは、例えば、ワーク１０をワーク１０の表面を含む平面内において移動させることである。
【０３４２】
移動部３０２は、ワーク１０を回転させる。移動部３０２は、例えば、載置台３０２１を中心軸を回転軸として回転させる回転機構３０２２とを有している。そして、例えば、回転機構３０２２により、載置台３０２１をその載置面が同一平面内に位置するよう回転させることで、載置台３０２１上に載置されたワーク１０を回転させる。回転機構３０２２は、回転を載置台３０２１に伝達する電動機（図示せず）等を有している。ワーク１０が載置される載置台３０２１の上面には、例えば、載置されるワーク１０を吸着するための吸着面を備えたいわゆる吸着ベース（図示せず）等が設けられている。エンコーダ５６は、例えば、ワーク１０の回転角度に相当する回転機構３０２２が有する電動機（図示せず）の回転量を検出しデジタル信号を出力する。
【０３４３】
エッジ位置検出器３０１は、例えば、移動部３０２がワーク１０を予め指定された回転角度だけ回転させる毎にエッジの位置を示す測定値を取得する。そして、この回転角度と、測定値を用いて、第一距離情報と回転角度とを順次取得する。エッジの位置を示す測定値は、例えば、ワーク１０の回転中心からエッジまでの距離の測定値等である。エッジ位置検出器３０１は、例えば、異なるワークについて第一回転距離情報を取得した場合、各ワークについて取得した複数の第一回転距離情報を、各ワークのワーク識別子と対応づけて、第一回転距離情報格納部１０１に蓄積する。
【０３４４】
移動部３０２は、更に、載置台３０２１に載置されたワーク１０を、ワーク１０の表面に対して平行な方向に移動させる構造を有している。ここでの平行は、略平行も含む概念である。ワーク１０の表面に平行な方向は、ワーク１０が載置される載置台３０２１の載置面に対して平行となる方向と考えてもよい。移動部３０２は、例えば、ワーク１０を水平方向に移動させる。例えば、移動部３０２は、ワーク１０を、ワーク１０の表面に対して平行である直交する二軸方向にそれぞれ移動させる構成を有している。移動部３０２は、例えば、この二軸のそれぞれの方向への移動の組み合わせにより、ワーク１０を、平行に移動させる。ここでは、この二軸を便宜上、ｘ軸方向、ｙ軸方向と呼ぶ。具体的には、移動部３０２は、回転機構３０２２をｘ軸方向に移動させるｘ軸移動機構３０２３と、ｘ軸機構３０２３をｙ軸方向に移動させるｙ軸移動機構３０２４とを備えている。例えば、ｘ軸移動機構３０２３及びｙ軸移動機構３０２４は、それぞれ、ｘ軸方向やｙ軸方向に伸びるように設けられたボールネジと電動機等の組み合わせ等で構成されている。ただし、移動部３０２が、載置台３０２１に載置されたワーク１０を、ワーク１０の表面に対して平行な方向に移動させるための構成等は問わない。
【０３４５】
移動部３０２は、例えば、上記実施の形態１において説明した出力部１０４が出力するワーク１０を位置あわせするための補正情報等の情報を用いて、ワーク１０の中心が、予め指定された位置に位置するようワーク１０を移動させる。移動部３０２は、例えば、ワーク１０が載置された載置台３０２１を、載置台３０２１の載置面に平行な方向への移動させる移動と、載置台３０２１を回転させる移動とを適宜組合わせることで、上記のようにワーク１０を移動させる。
【０３４６】
移動部３０２は、出力部１０４が出力するワーク１０のエッジの欠陥部分に関する情報を用いて、このワーク１０のエッジの欠陥部分が撮像領域内に配置されるよう、ワーク１０を移動させる。撮像領域は、予め指定された領域であり、具体的には、撮像部３０３が撮像可能な領域である。撮像領域は、撮像部３０３が撮像可能な範囲と考えてもよい。移動部３０２は、ワーク１０のエッジの欠陥部分が撮像領域内の予め指定された位置、例えば中央等に位置するようにワーク１０を移動させることが好ましい。
【０３４７】
例えば、移動部３０２は、エッジの欠陥部分に関する情報である欠陥部分の位置を示す情報、例えば、ワーク１０の回転中心に対する欠陥部分の角度を示す情報等を用いて、この欠陥部分の位置が、撮像領域内に位置するようにワーク１０を移動させる。ここでの移動は、ワーク１０を回転させる移動（以下、回転移動と称す）と、ワーク１０をワーク１０の表面に対して平行に移動させる移動（以下、平行移動と称す）との少なくとも１以上を組合わせである。
【０３４８】
以下、移動部３０２が、欠陥部分の位置を撮像領域内に移動させる処理について例を挙げて説明する。
【０３４９】
（１）ワークの中心が、予め指定された位置に配置されるよう移動させる場合
移動部３０２は、例えば、ワーク１０の中心が予め指定された位置に配置され、かつ、ワーク１０のエッジの欠陥部分が撮像領域内に配置されるようワーク１０を移動させる。予め指定された位置とは、例えば、ワーク１０の中心が配置されるべき位置や、ワーク１０を位置あわせする際の基準となる位置であり、具体例を挙げると、上記実施の形態１において説明したワーク搬送装置２等にワーク１０を渡す際に、ワーク１０の中心が配置される位置である。ワーク１０は、例えば、移動部３０２の載置台３０２１の回転の中心が、この予め指定された位置に配置されている状態において、ワーク搬送装置２等により、この載置台３０２１上に載置される。移動部３０２は、例えば、回転移動と平行移動とを適宜組合わせることでワーク１０を上記のような位置に移動させる。
【０３５０】
移動部３０２は、例えば、出力部１０４が出力するワーク１０を位置あわせするための情報と、欠陥部分に関する情報とを用いて上記のような移動を行う。例えば、移動部３０２は、出力部１０４が出力するワーク１０の回転中心をワーク１０の中心に合わせるための補正情報と、ワーク１０のエッジの欠陥部分を示す回転角度の情報（例えば、欠陥部分の範囲を示す角度の情報）とを用いて、ワーク１０の中心が予め指定された位置に配置され、かつ、ワーク１０のエッジの欠陥部分が撮像領域内に配置されるようワーク１０を移動させる。
【０３５１】
図１９は、ワーク１０の欠陥部分を撮像領域内に移動させるための処理の一例を説明するための、ワーク１０を回転させる前の状態を示す図（図１９（ａ））、及び回転させた後の図（図１９（ｂ））である。図において図２と同一符号は同一または相当する部分を示している。
【０３５２】
図において、ｘｙ座標は、ワーク処理装置３のエッジ位置検出器３０１に対して予め設定されている座標系であり、原点Ｏは、ワーク１０の中心が配置されるべき位置であるとする。ワーク１０が載置される載置台３０２１の回転中心は、例えばワーク１０が載置される際に、この原点Ｏと一致する位置にあるとする。ワーク１０が、載置された時点では、原点Ｏに、ワーク１０の中心Ｑが位置しておらず、ワーク１０は、この原点Ｏの位置を回転中心として回転する。ワーク１０の中心は、原点から角度αの方向に、距離ｈだけ離れた位置に位置しているものとする。
【０３５３】
点Ｐ１は、撮像領域ＡＰ１内の１点、例えば中心点であり、原点Ｏに対して、予め指定された回転角度の位置であって、ワーク１０の半径と同じ距離だけ離れた位置に設定されている。これにより、ワーク１０の中心が原点Ｏ上に載置された場合、ワーク１０のエッジ上に、点Ｐ１が位置することとなる。
【０３５４】
なお、図１９においては、ｘ軸の正の範囲において、ワーク１０のエッジがｘ軸と交わる位置と、原点であるワーク１０の回転中心Ｏとを結ぶ線分の位置が回転角度が０°の位置であり、回転角度は反時計回りに値が増加するものとする。
【０３５５】
以下、具体的な例を、図１９を用いて説明する。図１９（ａ）に示す状態において、移動部３０２は、上記実施の形態１において説明した補正情報が示す、ワーク１０の回転中心をワーク１０の中心に合わせるための角度αの基準となる線（ここでは、ｘ軸）に直交する線（ここでは、ｙ軸）と、撮像領域内への移動対象となる一の欠陥部分１９０１の、両端を結んだ線とがなす角度θｔを取得する。この角度θｔを偏位角度と考えてもよい。例えば、図示しない格納部等に予め格納されているワーク１０の半径等の情報と、欠陥部分１９０１の両端Ａ，Ｂの回転角度とを用いることで、欠陥部分１９０１の両端Ａ，Ｂの座標等を算出することが可能であるため、この両端の座標Ａ，Ｂ等を用いて、角度θｔを算出することができる。この角度θｔは、欠陥部分１９０１の両端Ａ，Ｂを結ぶ線上の中点Ｍと、ワーク１０の中心とを結ぶ線ＱＭが、上記の基準となる線（例えば、ｘ軸）となす角度に相当する。
【０３５６】
次に、欠陥部分１９０１の両端を結ぶ線上の中点Ｍと、ワーク１０の中心とを結ぶ線ＱＭが、線分ＯＰ１と平行となれば、あとは、ワーク１０を水平方向、例えば、ｘ軸方向やｙ軸方向に移動させることで、欠陥部分１９０１の両端を結ぶ線上の中点Ｍとワーク１０の中心とを結ぶ線ＱＭを、線分ＯＰ１と重ねることができる。このため、欠陥部分１９０１の両端を結ぶ線上の中点Ｍと、ワーク１０の中心とを結ぶ線ＱＭが、線分ＯＰ１と平行となるように、ワーク１０を、回転中心である原点Ｏを中心として回転させるための回転角度γを算出する。この回転角度γは、例えば、撮像領域の中心点Ｐ１と原点Ｏとを結ぶ直線ＯＰ１が、上記の基準となる線（例えば、ｘ軸）とのなす角をβとすると、β−θｔとなる。
【０３５７】
この回転角度γにより、ワーク１０を原点Ｏを中心として回転させることで、図１９（ｂ）に示すように、欠陥部分１９０１の両端を結ぶ線上の中点Ｍと、ワーク１０の中心とを結ぶ線ＱＭが、線分ＯＰ１と平行になる。
【０３５８】
このとき、ワーク１０の中心Ｑは、ワーク１０がγ回転したことにより、原点Ｏに対して、角度α＋γの方向に、距離ｈ離れた位置となる。このため、このワーク１０の中心Ｑが、原点Ｏと重なるように、ワーク１０を移動させる、即ち角度α＋γの反対方向に、距離ｈだけワーク１０を移動させることにより、線分ＱＭが、中心Ｑが原点Ｏと重なるように平行移動して、線分ＯＰ１と重なり、欠陥部分１９０１の中点Ｍが、撮像領域ＡＰ１内に配置される。更に、ここでは、撮像領域ＡＰ１の中心点Ｐ１とワーク１０の中心が配置されるべき位置である原点Ｏとを結ぶ直線上に、欠陥部分１９０１の中点Ｍが位置するようになる。
【０３５９】
従って、上記のように、撮像の対象となる各欠陥部分について、欠陥部分を示す情報と、撮像領域ＡＰ１の位置を示す情報（例えば中心点Ｐ１を示す情報等）とを用いて、欠陥部分の両端を結ぶ線分の中点が角度の基準となる線に対して直交する線に対してなす角度θｔを算出し、この角度θｔを用いて、ワーク１０の回転中心を中心として回転させる回転角度γを算出し、更に、補正情報が示すワーク１０の回転中心を中心に移動させるための移動方向を示す角度αを用いて、角度γ回転させたワーク１０の中心を、予め指定された位置に移動させるための移動方向を示す角度α＋γを算出する。そして、各欠陥部分を撮像するにあたって、ワーク１０を、載置台３０２１に載置された初期状態から、各欠陥部分を、回転角度γで回転させ、角度α＋γが示す方向の逆方向に、補正情報が示す移動量ｈだけ水平方向に移動させる。
【０３６０】
これによりワーク１０の中心が予め指定された位置に配置され、かつ、欠陥部分１９０１が、撮像領域ＡＰ１内に配置されるようにすることができる。
【０３６１】
また、ワーク１０の中心が、予め指定された位置に配置した状態で、欠陥部分の撮像を行うことができるため、例えば、ワーク１０が円形形状等である場合、撮像により得られた画像におけるワーク１０のエッジの位置をほぼ同じ位置に揃えることができ、複数の画像を比較する際等に見やすく、利便性の高い画像を提供することが可能となる。
【０３６２】
なお、上記の回転移動と、水平方向の移動の順番等は問わない。
【０３６３】
また、上記において利用した算出式等は、一例であって、本発明においては、実質的に同様の値が得られるものであれば、他の算出式等を用いてもよい。また、上記で利用した角度等は、実質的に同様の値が得られるものであれば、ワーク１０の回転方向や、０°となる位置や基準となる線の設定等により、適宜変更して用いてもよい。
【０３６４】
また、予め指定されたｘ軸等の直線や線分は、必ずしも、ワーク１０の回転中心をワーク１０の中心に移動させるための方向を示す回転角度αの基準となる直線や線分で無くてもよく、この場合、例えば、この回転角度αの基準となる直線と、予め指定されたｘ軸等の直線や線分との傾き等の違いの分だけ、ワーク１０を移動させる際に取得する移動方向や、移動距離や、回転角度を、適宜補正するようにすればよい。また、ワーク１０の中心が配置されるべき予め指定された位置は、移動部３０２にワーク１０が載置される際のワークの回転中心が位置する位置でなくてもよく、この場合も、載置される際の回転中心が位置する位置と、ワーク１０が載置される予め指定された位置との位置関係に応じて、ワーク１０を移動させる際に取得する移動方向や、移動距離や、回転角度を適宜補正するようにすればよい。
【０３６５】
また、上記の処理は、主として角度等により移動方向を示したが、角度の代わりに、角度と移動量等とかから取得した座標等を用いるようにしてもよい。
【０３６６】
また、上記の処理は、一例であって、実質的に同様の回転角度γや、回転中心の移動方向等を取得できれば、本発明においては、他の方法を用いてもよい。
【０３６７】
（２）ワークを水平方向において移動させない場合
移動部３０２は、例えば、第一回転距離情報を取得するために載置台３０２１に載置した状態のワーク１０に対して、回転移動だけを行うことによって、欠陥部分を撮像領域に移動させてもよい。具体的には、移動部３０２は、出力部１０４が出力する欠陥部分の位置を示す回転角度に応じて、ワーク１０を回転させることで、欠陥部分を、撮像領域内に適切に配置することができる。例えば、欠陥部分の両端の位置を示す角度の平均の角度を算出し、この角度が、回転中心と予め指定された基準線とを基準とした撮像領域の中心点の方向を示す角度と一致するよう、ワーク１０を回転させることで、欠陥部分の中心が、ほぼ撮像領域の中心に位置するよう、ワーク１０を移動させることができる。
【０３６８】
（３）ワークの中心を、ワークを回転させる載置台の回転軸と合わせる場合
例えば、移動部３０２が、ワーク１０を載置台３０２１から持ち上げた後、水平方向に移動させて、再度ワーク１０を載置台３０２１上に載置するリフト手段（図示せず）等を設けるようにし、出力部１０４が出力する補正情報を利用して、このリフト手段によりワーク１０を載置台３０２１から持ち上げて、出力部１０４が出力する補正情報を利用して、ワーク１０の中心が、ワーク１０を回転させる載置台３０２１の回転中心と重なるよう移動させ、ワーク１０を載置台３０２１上に載置する。その上で、上記で説明したように、欠陥部分から取得した欠陥部分の位置を示す角度θｔを利用して、欠陥部分を回転角度γ回転させて、欠陥部分を撮像領域内に移動させるようにしてもよい。
【０３６９】
なお、載置台３０２１上においてワーク１０の位置を移動可能であれば、上記のリフト手段以外の手段を用いてもよい。
【０３７０】
なお、以下、本実施の形態においては、上記の（１）の処理により、移動部３０２がワーク１０を移動させる場合を例に挙げて説明する。
【０３７１】
移動部３０２は、一のワーク１０のエッジに複数の欠陥部分が存在する場合、各欠陥部分を順次、撮像領域に移動させるようにしてもよい。例えば、移動部３０２は、撮像領域に移動させた欠陥部分についての、撮像部３０３による撮像が終わる毎に、次の欠陥部分を撮像領域に移動させる。
【０３７２】
また、移動部３０２は、一のワーク１０のエッジに存在する複数の欠陥部分のうちの、近接して位置する複数の欠陥部分をまとめて、同じ撮像領域に移動させてもよい。近接して位置する欠陥部分とは、例えば、予め指定された範囲内に位置する欠陥部分であり、具体例を挙げると、欠陥部分の位置を示す回転角度が、予め指定された範囲内である欠陥部分である。予め指定された範囲は、例えば、ワーク１０のエッジの、一度に撮像領域内に収まる範囲以下の範囲である。例えば、移動部３０２は、近接してエッジに位置する複数の欠陥部分のうちの両端の欠陥部分の位置を二等分する位置が、撮像領域の中央に位置するように、ワーク１０を移動させてもよい。この場合、近接した複数の欠陥部分を一の欠陥部分と考えて、その両端の位置を示す回転角度等を用いて、近接した複数の欠陥部分を撮像領域内に移動させるようにすればよい。この処理は、近接した欠陥部分をグループ化して移動させる処理と考えてもよい。
【０３７３】
移動部３０２は、ワーク１０のエッジの欠陥部分のうちの、検出部３０６が検出した１以上の欠陥部分だけを撮像領域に移動させるようにしてもよい。検出部３０６が検出した欠陥部分とは、ワーク１０のエッジの、他の欠陥部分に対して大きさが大きい１以上の欠陥部分である。検出部３０６の処理等については、後述する。
【０３７４】
なお、移動部３０２は、一のワーク１０についての１以上の欠陥部分の撮像が終了した場合、例えば、位置あわせをした状態のワーク１０を後段のワーク搬送装置２等に渡せるようにするために、出力部１０４が出力するワーク１０を位置あわせするための情報や、ワーク１０の向きを特定するための情報等を用いて、ワーク１０の中心が、上述したような予め指定された位置に配置され、かつ、ワーク１０の向きが、予め指定された向きとなるように、ワーク１０を移動させるようにしてもよい。
【０３７５】
また、移動部３０２は、一のワーク１０に欠陥部分がない場合、上記のような欠陥部分を撮像領域に移動させる処理は行わないようにしてよい。例えば、出力部１０４が出力する欠陥部分に関する情報が、ワーク１０に欠陥が無いことを示す場合、上記のような欠陥部分を撮像領域に移動させる処理は行わないようにしてよい。
【０３７６】
なお、移動部３０２は、上記で説明した以外の、上記実施の形態１において説明したターンテーブル５２や、ターンテーブル回転機構５３や、電動機５４等と同様の動作等を適宜、行うようにしてもよい。
【０３７７】
移動部３０２は、移動距離や回転角度等の情報を算出するための、ＭＰＵやメモリ等の構成を有していてもよい。移動距離や回転角度等を算出するための処理手順等は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【０３７８】
なお、ここでは、移動部３０２が、エッジ位置検出器３０１の一部を構成する場合を例に挙げて説明したが、移動部３０２は、エッジ位置検出器３０１の一部でないと考えてもよい。
【０３７９】
撮像部３０３は、撮像領域内に配置されたワークのエッジの欠陥部分を撮像する。欠陥部分を撮像するということは、例えば、欠陥部分が配置された撮像領域内を撮像することである。撮像部３０３は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等のイメージセンサを備えたカメラである。撮像部３０３は、例えば、その撮像領域が、中心が予め指定された位置に配置されるように配置した状態のワーク１０のエッジの一部とその周辺を含む領域となるように、配置されている。撮像部３０３は、通常、その光軸が、ワーク１０の表面に対して垂直となるよう設置される。撮像部３０３の設置される位置は、ワーク１０のサイズに応じて、撮像領域が変更されるよう、水平方向に移動可能なものであることが好ましい。撮像部３０３は、例えば、ワーク処理装置３に治具等で取り付けられる。この場合、移動部３０２が、ワーク１０を移動させても、撮像部３０３の位置は移動しないようにする。
【０３８０】
撮像部３０３は、通常、撮像対象からの光をイメージセンサの受光面に結像させるための光学系を有している。また、撮像部３０３は、撮像領域やその周辺を照明するための照明器具、例えば、リング照明等を備えていてもよい。撮像部３０３としては、高解像度の欠陥部分の画像が撮像できるものを用いることが好ましい。撮像部３０３の一例としては、例えば、視野角が３ｍｍ角で、画素数が３５万画素のＣＣＤカメラ等が用いられる。なお、撮像部３０３としては、例えば、民生用のデジタルカメラを用いることも可能である。撮像部３０３が撮像する画像は、カラー画像であってもグレースケール画像であってもよい。画像の色深度等は問わない。撮像部３０３が撮像する画像は、通常は静止画像であるが、動画像であってもよい。撮像部３０３は、固定焦点で撮像を行ってもよく、オートフォーカスで撮像を行ってもよい。撮像部３０３が取得する画像のデータ形式等は問わない。なお、撮像部３０３として、ラインセンサを走査させることで撮像を行ういわゆるスキャナ等を用いてもよい。
【０３８１】
撮像部３０３は、例えば、移動部３０２が、一の欠陥部分、あるいは一の近接した欠陥部分の組を撮像領域に移動させた場合に、欠陥部分の撮像を行う。ただし、図示しない受付部等が受け付けるユーザ等の指示に応じて、撮像を行うようにしてもよい。
【０３８２】
撮像部３０３は、ワーク１０のエッジの欠陥部分のうちの、後述する検出部３０６が検出した欠陥部分だけを撮像するようにしてもよい。これにより、ワーク１０のエッジの複数の欠陥部分のうちの、他の欠陥部分に対して大きさが大きい１以上の欠陥部分だけを選択的に撮像することができる。
【０３８３】
なお、ワーク処理装置３は、複数の撮像部３０３を備えていてもよい。例えば、異なる撮像領域、あるいは、部分的に重なる撮像領域を備えた複数の撮像部３０３を備えていてもよい。複数の撮像部３０３は、例えば、中心を予め指定された位置に配置したワークのエッジに沿った配置領域をそれぞれ有する複数の撮像部である。この複数の撮像部３０３は、例えば、実質的に一の撮像部と同様に、同時に撮像等を行うようにしてよい。このようにすることで、同時に広い範囲に存在する複数の欠陥部分の組を同時に撮像することができ、撮像や撮像のための移動にかかる時間を短縮することができる。
【０３８４】
補正欠陥位置取得部３０４は、出力部１０４が出力するワーク１０を位置あわせするための情報と、ワーク１０の向きを特定するための情報と、ワーク１０のエッジの欠陥部分に関する情報とを用いて、ワーク１０の中心とこのワークについて特定される向きを基準として、前記ワークの欠陥部分の位置を示す情報である補正欠陥位置情報を取得する。ワーク１０の向きを特定するための情報は、例えば、オリフラ面等のワーク１０の切り欠き部の位置を示す情報である。切り欠き部の位置を示す情報は、例えば、切り欠き部の両端を結ぶ線分の中点の位置を示す情報である。切り欠き部の位置を示す情報は、切り欠き部の両端を結ぶ線分の中点と、ワーク１０の中心とを結ぶ線分の回転角度である。補正欠陥位置情報は、例えば、ワーク１０の中心と、切り欠き部の位置とにより特定される位置を基準として、ワーク１０のエッジの欠陥の位置を表す情報である。具体的には、補正欠陥位置情報は、切り欠き部の位置を示す点と、ワーク１０の中心とを結ぶ線分と、ワーク１０のエッジの欠陥部分を示す点とワーク１０の中心とを結ぶ線がなす角度である。切り欠き部の位置を示す点は、例えば、切り欠き部の両端を結ぶ線分の中点である。欠陥部分の位置を示す点は、例えば、欠陥部分の両端を結ぶ線分の中点である。
【０３８５】
ワーク１０の中心とこのワークについて特定される向きを基準とするということは、この特定される向きを回転角度の基準、例えば０°に相当する位置に設定することであっても、０°以外の所望の回転角度に設定することであってもよく、また、この向きに応じて特定される向きを、回転角度の基準等に設定することであってもよい。
【０３８６】
上記において図１９を用いて説明したように、欠陥部分の両端の中点と、ワーク１０の中心とを結ぶ線分が、予め指定された直線に直交する直線（例えば、図１９のｙ軸等）とがなす角度は、欠陥部分の両端を結ぶ直線が、予め指定された直線（例えば、図１９のｘ軸）となす角度と同じであり、この角度は、欠陥部分の両端の位置を示す情報から取得可能である。このため、各欠陥部分についてこの角度を取得することで、欠陥部分の両端の中点の、ワーク１０の中心を回転中心とした場合の回転角度を算出することができる。同様の回転角度を、出力部１０４等が出力する切り欠き部の両端の位置の情報を用いることで、切り欠き部についても算出することができる。そして、このように算出した各欠陥部分の回転角度から、切り欠き部の回転角度を減算することで、切り欠き部とワーク１０の中心とを結ぶ線を基準とした、各欠陥部分の回転角度である補正欠陥位置情報を取得することができる。
【０３８７】
なお、補正欠陥位置取得部３０４は、補正欠陥位置情報を取得する際に、移動部３０２がワーク１０を移動させる際に算出した欠陥部分の中点と、ワーク１０の中心とを結ぶ直線の回転角度の情報等を適宜利用するようにしてもよい。このように、出力部１０４が出力するワーク１０を位置あわせするための情報と、ワーク１０の向きを特定するための情報と、ワーク１０のエッジの欠陥部分に関する情報とを直接用いて、補正欠陥位置情報を取得することも、移動部３０２等が、これらの情報を用いて取得した情報を用いて補正欠陥位置情報を取得することも、ここでは、出力部１０４が出力するワーク１０を位置あわせするための情報と、ワーク１０の向きを特定するための情報と、ワーク１０のエッジの欠陥部分に関する情報とを用いて、補正欠陥位置情報を取得することと考える。
【０３８８】
画像出力部３０５は、撮像部３０３が撮像した画像を出力する。ここでの出力とは、例えば、モニタ画面への表示、プロジェクターを用いた投影、プリンタへの印字、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積、他の処理装置や他のプログラム等への処理結果の引渡し等を含む概念である。
【０３８９】
画像出力部３０５は、例えば、撮像部３０３が撮像した画像を、この画像に対応するワーク１０の識別子と、欠陥部分の識別子との少なくとも一方と対応づけて出力する。ワーク１０の識別子は、ワーク１０に個別に割り当てられたコード等であってもよく、撮像対象となるワークを含む複数のワークで構成されるワーク群のロットを示す識別子（例えば、コード等）と、そのロット内の撮像対象となるワークの順番を示す情報（例えば、何枚目等の情報）との組合わせであってもよい。欠陥部分の識別子は、欠陥部分に割り当てられた番号等のコードである。画像に対応するワーク１０の識別子とは、画像の撮像対象となったワーク１０の識別子である。また、画像に対応する欠陥部分の識別子とは、画像の撮像対象となった１以上の欠陥部分の識別子である。画像出力部３０５は、更に、画像の撮像対象となった欠陥部分について補正欠陥位置取得部３０４が取得した補正欠陥位置情報を、画像と対応づけて出力するようにしてもよい。
【０３９０】
画像出力部３０５が、画像を表示する場合においては、図示しない受け付け部等を介して受け付けるユーザ等の指示に応じて、表示される画像の拡大や、縮小、表示範囲の移動等が行えるようにすることが好ましい。このように、拡大を可能とすることで、撮像部３０３が撮像する画像が高解像であれば、エッジの欠陥部分を拡大表示することができ、肉眼では確認しにくいエッジの欠陥部分の形状等を容易に確認することができる。
【０３９１】
また、画像を表示する際には、画像の縮尺を示す情報、例えば、スケールや、目盛り等を、画像と重ねて表示するようにしてもよい。このようにすることで、欠陥部分のサイズを容易に把握することができる。また、画像の縮尺を示す情報の表示される位置等は、ユーザの指示に応じて変更できるようにしてもよい。なお、スケールや、目盛り等は、撮像部３０３の解像度や、撮像部３０３からワーク１０までの距離等に応じて適宜算出したり、解像度や距離に応じて、図示しない格納部等から予め指定されたスケールや目盛り等を取得するようにすればよい。撮像部３０３からワーク１０までの距離等は、例えば、測距用のセンサ（図示せず）等を用いて取得するようにしても良い。
【０３９２】
画像出力部３０５は、ディスプレイやプリンタや通信手段や蓄積手段等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。画像出力部３０５は、出力デバイスのドライバーソフトウェアまたは、出力デバイスのドライバーソフトウェアと出力デバイス等で実現され得る。
【０３９３】
検出部３０６は、出力部１０４が出力するワーク１０のエッジの欠陥部分に関する情報を用いて、ワーク１０のエッジの欠陥部分のうちの、欠陥部分の大きさが大きい１以上の欠陥部分を検出する。大きさが大きい１以上の欠陥部分とは、大きさについての予め指定された条件を満たすほど大きい欠陥部分と考えてもよい。
【０３９４】
検出部３０６は、例えば、出力部１０４が出力する欠陥部分に関する情報である欠陥部分の回転角度の範囲を示す情報を用いて、１以上の欠陥部分を検出する。検出部３０６は、例えば、回転角度の範囲が、予め指定された回転角度の範囲に関する閾値以上である欠陥部分を、欠陥部分の大きさが大きい１以上の欠陥部分として検出する。また、欠陥部分の大きさが大きい１以上の欠陥部分として、一のワーク１０の欠陥部分から回転角度の範囲が大きいものから順に予め指定された数の欠陥部分を検出してもよい。
【０３９５】
また、検出部３０６は、例えば、出力部１０４が出力する欠陥部分に関する情報である距離差情報に関する情報を用いて、１以上の欠陥部分を検出する。検出部３０６は、例えば、予め欠陥部分に対応づけられた距離差情報の最大値が閾値以上である欠陥部分を、欠陥部分の大きさが大きい１以上の欠陥部分として検出する。また、欠陥部分の大きさが大きい１以上の欠陥部分として、一のワーク１０の欠陥部分から対応づけられた距離差情報の値が大きいものから順に予め指定された数の欠陥部分を検出してもよい。欠陥部分に対応づけられた距離差情報は、欠陥部分の深さや高さを示す情報と考えてもよい。
【０３９６】
また、検出部３０６は、上記の回転角度の範囲を示す情報と、距離差情報に関する情報との組合わせに応じて、欠陥部分の大きさが大きい１以上の欠陥部分として検出するようにしてもよい。例えば、回転角度の範囲が閾値以上であり、かつ距離差情報の値が、閾値以上である欠陥部分を検出してもよい。また、回転角度の範囲の大きさの順位と、距離差情報の大きさの順位とが、いずれも、所定の順位以内である欠陥部分を検出してもよい。
【０３９７】
なお、検出部３０６は、上記以外の条件を満たす欠陥部分を、欠陥部分の大きさが大きい１以上の欠陥部分として検出してもよい。
【０３９８】
評価部３０７は、画像出力部３０５が出力する画像を用いて、この画像が示す欠陥部分を評価する。欠陥部分を評価するとは、例えば、欠陥部分がワーク１０に与える影響の評価することである。例えば、欠陥部分が検出されたワーク１０をその後の行程において使用した場合に、その欠陥部分が、ワーク１０に対して、影響を与えるものであるか否かや、どのような影響を与えるかを評価することである。欠陥部分を評価するとは、例えば、欠陥部分に起因して、その欠陥部分を有するワーク１０に、後行程等において割れ等の破損が起こる可能性が高いか否かを評価することであってもよい。欠陥部分を評価することは、ワーク１０が、異常があるワークであるか否かを評価することであってもよい。
【０３９９】
例えば、評価部３０７は、パターンマッチングにより、画像が示す欠陥部分の評価を行う。例えば、予め、図示しない格納部等に、画像のパターンと、欠陥部分に対する評価結果とを対応づけて有する情報である１以上の評価パターン管理情報を格納しておく。そして、画像出力部３０５が出力する画像が、各評価パターン管理情報が有する画像のパターンとマッチするか否かを判断し、マッチする場合、その画像のパターンと対応づけられた評価結果を取得する。画像のパターンとは、例えば、画像の特徴点の情報である。画像の特徴点とは、例えば、欠陥部分の角の数や、角の位置、欠陥部分の幅や深さ等を示す情報である。画像のパターンが示す特徴点と一致すると判断される特徴点を有する画像が、画像のパターンにマッチする画像であると判断される。評価部３０７は、パターンマッチングを行う前に、画像出力部３０５が出力する画像に対して、二値化等の画像処理を行ってもよい。
【０４００】
なお、画像について行われるパターンマッチングの処理については、公知技術であるため、ここでは詳細な説明は省略する。
【０４０１】
また、評価部３０７は、例えば、画像の類似検索を行うことで、画像が示す欠陥部分の評価を行うようにしてもよい。例えば、予め、図示しない格納部等に、評価用の画像と、欠陥部分に対する評価結果とを対応づけて有する情報である１以上の評価画像管理情報を格納しておく。そして、画像出力部３０５が出力する画像と、各評価用の画像との類似度を取得し、その類似度が予め指定された閾値以上である場合に、評価部３０７は、その評価用の画像と対応づけられた評価結果を取得する。評価用の画像は、例えば、撮像部３０３が撮像した画像の１以上である。評価用の画像は、カラー画像であっても、グレースケール画像であっても、二値化画像であってもよい。画像間の類似度は、例えば、画像を構成する画素値の平均の比較や、画素値のヒストグラムや、画像から算出した周波数ごとの振れ幅の比較等であってもよく、二値化した画像同士の一致する画素の比率等であってもよい。
【０４０２】
また、評価部３０７は、画像の類似検索として、平均２乗誤差を利用した類似画像検索等のその他の公知の類似画像検索を用いてもよい。
【０４０３】
なお、画像について行われる類似検索や、画像間の類似度等を取得する処理等は、公知技術であるため、ここでは詳細な説明は省略する。
【０４０４】
評価結果は、例えば、欠陥部分に関連した評価結果を示す情報であればどのような情報であってもよく、例えば、ワーク１０の破損につながる可能性が高い欠陥部分であるか否かを示す情報や、破損の発生率の範囲、例えば５０％以上等を示す情報であってもよい。また、どのような異常が発生するかを示す情報であってもよく、また、ワーク１０が破損することを示す情報であってもよい。また、これらの２以上の組み合わせであってもよい。
【０４０５】
なお、評価部３０７は、後述する画像状況情報格納部３１０に格納された画像状況情報を用いて、画像出力部３０５が出力する画像が示す欠陥部分を評価してもよい。例えば、画像状況情報が有する撮像部３０３が撮像した欠陥部分の画像に関する情報と、画像状況情報が有するその画像が示すワーク１０についてのワーク状況情報とを用いて、欠陥部分を評価してもよい。ワーク状況情報については後述する。画像状況情報が有する欠陥部分の画像に関する情報とは、欠陥部分の画像そのものであってもよく、欠陥部分の画像から取得した特徴点の情報であってもよい。
【０４０６】
例えば、欠陥部分の画像に関する情報が、欠陥部分の画像である場合、評価部３０７は、画像出力部３０５が出力する画像に対して、画像状況情報が有する画像を用いて上記と同様の類似検索を行い、画像状況情報から類似すると判断された画像に対応づけられたワーク状況情報を評価結果として取得する。この場合の画像状況情報は、上述した評価画像管理情報と考えてもよい。
【０４０７】
また、例えば、欠陥部分の画像に関する情報が、欠陥部分の画像の特徴点の情報である場合、評価部３０７は、画像出力部３０５が出力する画像に対して、画像状況情報が有する画像の特徴点の情報を用いて上記と同様のパターンマッチングを行い、画像状況情報からマッチすると判断された特徴点の情報と対応づけられたワーク状況情報を評価結果として取得する。この場合の画像状況は、上述した評価パターン管理情報と考えてもよい。
【０４０８】
なお、評価部３０７は、後述する画像状況情報格納部３１０に蓄積された画像状況情報を用いて、機械学習を行って、その機械学習の結果を用いて、画像出力部３０５が出力する画像の評価を行うようにしてもよい。例えば、画像状況情報が有する画像の特徴点と、その画像が示す欠陥部分に対するワーク状況情報との１または２以上の組を学習させ、その学習結果を用いて、画像出力部３０５が出力する画像から取得される特徴点に対応するワーク状況情報を評価結果として取得することが可能となる。なお、機械学習の構成や処理については、上記実施の形態１と同様であるので、ここでは詳細な説明は省略する。
【０４０９】
評価結果出力部３０８は、評価部３０７が取得した評価結果を出力する。評価結果出力部３０８は、例えば、評価結果を、この評価結果の評価対象となった画像が対応づけられたワークの識別子や、欠陥部分の識別子や、補正欠陥位置情報と対応づけて出力してもよい。
【０４１０】
ここでの出力とは、例えば、モニタ画面への表示、プロジェクターを用いた投影、プリンタへの印字、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積、他の処理装置や他のプログラム等への処理結果の引渡し等を含む概念である。
【０４１１】
評価結果出力部３０８は、ディスプレイやプリンタや通信手段や蓄積手段等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。画像出力部３０５は、出力デバイスのドライバーソフトウェアまたは、出力デバイスのドライバーソフトウェアと出力デバイス等で実現され得る。
【０４１２】
状況受付部３０９は、撮像部３０３が欠陥部分を撮像したワーク１０についての、欠陥部分を撮像した後の状況であって、このワーク１０に対して予め指定された１または２以上の処理を行った後の状況を示す情報であるワーク状況情報を受け付ける。例えば、状況受付部３０９は、ユーザ等からワーク状況情報を受け付ける。
【０４１３】
予め指定された処理とは、例えば、ワーク１０に対して行われる処理である。予め指定された処理は、ワーク１０が半導体ウエハであれば、例えば、半導体製造プロセスを構成する１以上の処理である。
【０４１４】
ワーク１０の状況とは、ワーク１０の状態と考えてもよく、例えば、ワーク１０に破損等の異常が生じたか否かということや、その異常がどのような異常かということである。どのような異常かということは、例えば、異常が破損である場合、割れた、あるいはひびが入った等の、どのように破損したかということである。ワーク１０の状況は、ワーク１０に存在する一の欠陥部分に起因するワーク１０の状況であってもよい。ワーク１０に存在する一の欠陥部分に起因するワーク１０の状況とは、例えば、ワーク１０の一の欠陥部分に対応した位置に、この欠陥部分からひびが入っていることである。
【０４１５】
ワーク状況情報は、上記のようなワーク１０の状況を示す情報である。ワーク状況情報は、例えば、ワーク１０が撮像後の処理においても正常であったか否かを示す情報である。あるいは、撮像後の処理でワーク１０にどのような異常が発生したかを示す情報であってもよい。また、ワーク状況情報は、撮像後の処理が終了したワーク１０を評価する値や指標等であってもよい。
【０４１６】
例えば、状況受付部３０９は、ワーク１０の識別子や、欠陥部分の識別子と対応づけられたワーク状況情報を受け付ける。例えば、一のワーク１０に対して撮像後の後行程において異常が検出された場合、このワーク１０の識別子とともにワーク状況情報を受け付ける。
【０４１７】
ここでの受付とは、例えば、入力手段からの受付や、他の機器等から送信される入力信号の受信や、記録媒体等からの情報の読み出し等である。ワーク状況情報を受け付けるための入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。状況受付部３０９は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【０４１８】
画像状況情報格納部３１０には、画像出力部３０５が出力する欠陥部分の画像に関する情報と、ワーク状況情報とを有する情報である画像状況情報が格納される。欠陥部分の画像に関する情報は、例えば、パターンマッチングや画像の類似検索に利用される画像から取得される情報である。欠陥部分の画像に関する情報は、例えば、欠陥部分の画像そのものであってもよく、欠陥部分の画像に対して、二値化等の画像処理が行われた画像であってもよく、欠陥部分の画像から取得された特徴点の情報であってもよく、欠陥部分の画像に対してフィルタ処理等の予め指定された処理を行って得られた情報であってもよい。また、欠陥部分の画像に関する情報は、これらの情報のうちの２以上を有する情報であってもよい。画像状況情報格納部３１０に格納されるワーク状況情報は、例えば、状況受付部３０９が受け付けた状況情報である。
【０４１９】
画像状況情報蓄積部３１１は、画像出力部３０５が出力する欠陥部分の画像に関する情報と、状況受付部３０９が受け付けたこの欠陥部分についてのワーク状況情報とを有する画像状況情報を、画像状況情報格納部３１０に蓄積する。例えば、画像状況情報蓄積部３１１は、画像出力部３０５が出力する欠陥部分の画像と、この欠陥部分についてのワーク状況情報とを有する画像状況情報を蓄積する。また、例えば、画像状況情報蓄積部３１１は、画像出力部３０５が出力する欠陥部分の画像から上述したようなこの画像に関する情報を取得し、取得した画像に関する情報と、この欠陥部分についてのワーク状況情報とを有する画像状況情報を蓄積してもよい。
【０４２０】
欠陥部分についてのワーク状況情報とは、一の欠陥部分についてのワーク状況情報であってもよく、一の欠陥部分を有するワークについてのワーク状況情報であってもよい。画像状況情報蓄積部３１１は、例えば、一以上の欠陥部分の画像を指定する情報と、これらの画像が示す欠陥部分についての一のワーク状況情報を受け付けた場合に、この欠陥部分の画像に関する情報と、受け付けたワーク状況情報とを対応づけて画像状況情報格納部３１０に蓄積する。
【０４２１】
例えば、状況受付部３０９が、ワークの識別子とそのワークの欠陥部分の識別子と対応づけられたワーク状況情報を受け付けた場合、画像状況情報蓄積部３１１は、画像出力部３０５が出力する欠陥部分の画像の内の、このワークの識別子と一致するワークの識別子と対応づけられており、かつ、この欠陥部分の識別子と一致する欠陥部分の識別子と対応づけられた１以上の欠陥部分の画像と、受け付けたワーク状況情報とを対応づけて有する画像状況情報を、画像状況情報格納部３１０に蓄積するようにしてもよい。
【０４２２】
例えば、状況受付部３０９が、ワークの識別子と対応づけられたワーク状況情報を受け付けた場合、画像状況情報蓄積部３１１は、画像出力部３０５が出力する欠陥部分の画像の内の、このワークの識別子と一致するワークの識別子と対応づけられた１以上の欠陥部分の画像と、受け付けたワーク状況情報とを対応づけて有する画像状況情報を、画像状況情報格納部３１０に蓄積するようにしてもよい。
【０４２３】
なお、本実施の形態のワーク処理装置３と、上記実施の形態１において説明したワーク搬送装置２とにより、ワーク搬送システムを構成していてもよい。例えば、このワーク搬送システムは、図４等に示した上記実施の形態１のワーク搬送システム１０００において、ワーク処理装置１の代わりに、ワーク処理装置３を設けたワーク搬送システムである。
【０４２４】
次に、本実施の形態のワーク処理装置３の動作について図２０のフローチャートを用いて説明する。本実施の形態のワーク処理装置３の処理は、図６に示した上記実施の形態１のワーク処理装置１と同様の処理を行うとともに、図６に示した処理の、ステップＳ１１９から、ステップＳ１００に戻るまでの間の処理として、以下の図２０に示す処理を行うものである。具体的には、図６のステップＳ１１９の次に、図２０の処理を開始し、図２０の処理が終了した場合に、図６のステップＳ１００に戻るようにする。なお、図６に示した処理についての説明は、ここでは省略する。
【０４２５】
（ステップＳ３０１）移動部３０２は、出力部１０４が出力する欠陥部分に関する情報から、ワーク１０のエッジに１以上の欠陥部分があるか否かを判断する。ある場合、ステップＳ３０２に進み、ない場合、ステップＳ３１４に進む。
【０４２６】
（ステップＳ３０２）検出部３０６は、欠陥部分の中から、大きさが大きい１以上の欠陥部分を検出する。なお、欠陥部分が１つしかない場合は、この処理を省略してもよい。また、大きさが大きい欠陥部分が検出できない場合、ステップＳ３１４に進むようにしてもよい。
【０４２７】
（ステップＳ３０３）移動部３０２は、カウンターｋに１を代入する。
【０４２８】
（ステップＳ３０４）移動部３０２は、ｋ番目の欠陥部分の回転角度等の位置を示す情報を用いて、ワーク１０の中心を予め指定された位置に移動させ、かつｋ番目の欠陥部分を撮像領域に移動させる際に必要となるワーク１０を回転させる角度を取得する。
【０４２９】
（ステップＳ３０５）移動部３０２は、上記と同様の位置にワーク１０及びｋ番目の欠陥部分を移動させる際に必要となるワーク１０の水平方向の移動量を取得する。水平方向の移動量とは、水平方向にワーク１０を移動させるための距離や角度や、移動方向、ｘ軸方向の移動距離、ｙ軸方向の移動距離等の情報である。
【０４３０】
（ステップＳ３０６）移動部３０２は、ステップＳ３０４及びステップＳ３０５で取得した回転させる角度の情報と、水平方向の移動量とに従って、ワーク１０を移動させて、ｋ番目の欠陥部分を、撮像領域に移動させる。
【０４３１】
（ステップＳ３０７）撮像部３０３は、ワーク１０のｋ番目のエッジを撮像する。
【０４３２】
（ステップＳ３０８）補正欠陥位置取得部３０４は、ｋ番目の欠陥部分について補正欠陥位置情報を取得する。例えば、ｋ番目の欠陥部分と、切り込み部分とについて、それぞれ、ワーク１０の中心を回転の中心とした場合の回転角度を取得し、その差を補正欠陥位置情報として取得する。
【０４３３】
（ステップＳ３０９）画像出力部３０５は、撮像部３０３が撮像した画像を出力する。例えば、画像出力部３０５は、画像を、ワーク１０の識別子やｋ番目の欠陥部分の識別子や、ステップ３０８で取得したｋ番目の欠陥部分についての補正欠陥位置情報等と対応づけて出力する。例えば、画像出力部３０５は、画像を図示しない格納部に蓄積する。また、画像出力部３０５は、画像をモニタ等に表示してもよい。
【０４３４】
（ステップＳ３１０）評価部３０７は、ステップＳ３０９で蓄積した画像を用いて、この画像に示されているｋ番目の欠陥部分の評価を行う。例えば、画像状況情報格納部３１０に格納されている画像状況情報が有する画像のパターンの中から、パターンマッチングにより、ｋ番目の欠陥部分の画像にマッチする画像のパターンを検出し、検出したパターンに対応づけられたワーク状況情報を、評価結果として取得する。
【０４３５】
（ステップＳ３１１）評価結果出力部３０８は、評価結果を出力する。例えば、モニタ等に表示する。
【０４３６】
（ステップＳ３１２）移動部３０２は、カウンターｋの値を１インクリメントする。
【０４３７】
（ステップＳ３１３）移動部３０２は、ｋ番目の欠陥部分があるか否かを判断する。ある場合、ステップＳ３０４に戻り、ない場合、ステップＳ３１４に進む。
【０４３８】
（ステップＳ３１４）移動部３０２は、切り欠き部を予め指定された方向に移動させ、かつワーク１０の中心を予め指定された位置に移動させる際に必要となるワーク１０を回転させる角度を取得する。
【０４３９】
（ステップＳ３１５）移動部３０２は、切り欠き部を予め指定された方向に移動させ、かつワーク１０の中心を予め指定された位置に移動させる際に必要となるワーク１０の水平方向の移動量を取得する。
【０４４０】
（ステップＳ３１６）移動部３０２は、ステップＳ３１４で取得した回転角度と、ステップＳ３１５で取得した移動量に従ってワーク１０を移動させる。この移動は、例えば、ワーク１０を、ワーク搬送装置２等に位置合わせして渡せるようにするための移動である。そして、処理を終了する。この処理が終了すると、図６のステップＳ１００に戻る。
【０４４１】
なお、本実施の形態のワーク処理装置３においては、図６に示したフローチャートのステップＳ１２２において閾値を設定するタイミングでないと判断された後に、さらに、状況受付部３０９がワーク状況情報を受け付けたか否かを判断する処理を行うようにし、ワーク状況情報を受け付けた場合は、受け付けたワーク状況情報とこのワーク状況情報に対応する欠陥部分の画像に関する情報とを有する画像状況情報を、画像状況情報蓄積部３１１が画像状況情報格納部３１０に蓄積してステップＳ１００に戻り、受け付けていない場合は、ステップＳ１００に戻るようにしてもよい。
【０４４２】
また、図６に示したフローチャートにおいては、ステップＳ３１６で移動部３０２がワーク１０を移動させた後、ワーク１０は、例えば、ワーク搬送装置２等によってワーク処理装置３から他の装置等へ搬送される。また、ここでは説明は省略しているが、ワーク搬送装置２がワークを移動部３０２の載置台３０２１等においた場合、例えば、ワーク処理装置３は、通常のいわゆるアライナ等と同様に、ワーク１０を回転させてワーク１０について第一回転距離情報を取得して、第一回転距離情報格納部１０１に蓄積するようにしてよい。
【０４４３】
また、図２０において、ステップＳ３１０や、ステップＳ３１１等の処理や、画像出力部３０５が、欠陥部分の画像を出力、例えば表示する処理は、ユーザ等の指示に応じて適宜行うようにしてもよい。
【０４４４】
また、図２０に示したフローチャートにおいて、ステップＳ３１４とステップＳ３１５の処理とを、ステップＳ３０１の直前に行うようにし、ステップＳ３０１で欠陥部分がないと判断された場合、ステップＳ３１６へ進むようにし、ステップＳ３１５でｋ番目の欠陥部分がないと判断された場合、ステップＳ３１６に進んでステップＳ３１４及びステップＳ３１５で取得した情報を用いてワーク１０を移動させるようにしてもよい。
【０４４５】
次に、本実施の形態のワーク処理装置３の具体例について説明する。なお、ここではワーク処理装置３とワーク搬送装置２とがワーク搬送システムを構成している場合を例に挙げて説明する。また、このワーク処理装置３等は、例えば、上記実施の形態１において説明した具体例と同様の処理を行うことができるものであるが、ここでは、この処理等についての詳細な説明は省略する。
【０４４６】
上記実施の形態１の具体例と同様に、ワーク処理装置３が、一のワーク１０について、ワークを位置あわせするための情報である補正情報と、欠陥部分に関する情報と、ワークの向きを特定するための情報とを取得して、これらの情報を出力部１０４が出力したとする。出力部１０４が出力した補正情報は、移動方向を示す回転角度α１と、移動する長さｈ１であったとする。また、出力部１０４が出力した欠陥部分に関する情報は、例えば、図１６に示したものと同様の、複数の欠陥部分についての、欠陥部分の範囲を示す回転角度の範囲と、欠陥部分の大きさの最大値との組や、ワーク１０の回転中心から各欠陥部分の両端までの長さ等を有する情報であったとする。また、出力部１０４が出力したワークの向きを特定するための情報は、図１６に示したものと同様のオリフラの範囲を示す回転角度の範囲であるとする。
【０４４７】
移動部３０２は、上記のような情報を出力部１０４から受け付けると、まず、ワーク１０に、欠陥部分があるか否かを判断する。ここでは、欠陥部分に関する情報が欠陥部分があることを示しているため、欠陥部分があると判断する。
【０４４８】
移動部３０２によりワーク１０に欠陥部分があると判断されたため、検出部３０６は、この欠陥部分の中から、大きさの大きい欠陥部分を検出する。ここでは、欠陥部分の大きさの絶対値が、閾値以上である欠陥部分を検出する。ここでは、例えば、全ての欠陥部分の大きさが、閾値以上であると判断されたとする。
【０４４９】
移動部３０２は、検出部３０６が検出した欠陥部分のうちの第一の欠陥部分について、この欠陥部分の両端を結ぶ線分の中点を撮像部３０３の撮像範囲に位置し、かつワーク１０の中心が、予め指定されたワーク１０をワーク搬送装置２に渡す際にワーク１０の中心を配置すべき位置にするように、ワーク１０を移動させるための、回転移動の回転角度と、水平移動の移動量との組みあわせを以下のように取得する。
【０４５０】
具体的には、第一の欠陥部分の範囲を示す回転角度の範囲を示す情報や、ワーク１０の回転中心からこの欠陥部分の両端までの長さ等を用いて、欠陥部分の両端の座標等を取得して、この欠陥部分の両端を通る線分が、回転角度が９０°である線分に対してなす角度を取得する。ここでの回転角度が９０°となる線分は、上記の回転角度α１を取得した際の０°を示す直線に対してなす角度が９０度である線分であり、この角度が、図１９のθｔに相当する。
【０４５１】
次に、移動部３０２は、図示しない格納部等に予め格納されている撮像領域内の中心の位置を示す回転角度を読出し、この角度から、上記で取得した欠陥部分の両端を通る線分が、回転角度が９０°である線分に対してなす角度を減算する。これにより得られた角度が、ワーク１０を回転させる際に利用する回転角度であり、図１９の角度γに相当する。
【０４５２】
更に、移動部３０２は、補正情報が有する回転角度α１に、上記で取得した欠陥部分の両端を通る線分が、回転角度が９０°である線分に対してなす角度を加えた値を、ワーク１０を移動させる際の回転角度として取得し、補正情報が有する長さｈ１を、ワーク１０の移動距離として取得する。ただし、ここで取得した回転角度は、ワーク１０の回転中心を、ワーク１０の中心に重ねるための移動方向を示す角度であるため、ワーク１０を移動させる際には、この取得した回転角度の反対方向、つまり１８０°回転させた方向に移動させるものとする。
【０４５３】
移動部３０２は、上記で取得した回転角度が示す角度だけ、ワーク１０を、ワーク１０の回転中心を中心として回転させ、上記で取得した回転角度が示す方向の反対方向に、長さｈ１だけワーク１０を移動させる。
【０４５４】
撮像部３０３は、このような移動により、撮像領域に位置することとなったワーク１０の第一の欠陥部分を撮像する。
【０４５５】
また、補正欠陥位置取得部３０４は、上述した移動部３０２に処理と同様の処理を行って、出力部１０４が出力する補正情報が有するオリフラの範囲を示す回転角度等を用いて、上述した移動部３０２に処理と同様の処理を行ってオリフラの両端を結ぶ直線が、回転角度が９０°である線分に対してなす角度を取得し、上記で移動部３０２が取得した第一の欠陥部分の両端を通る線分が回転角度が９０°である線分に対してなす角度から減算して、この減算により得られた値を、第一の欠陥部分についての補正欠陥位置情報として取得する。この補正欠陥位置情報は、ワーク１０の中心を、回転の中心とした場合の、オリフラの回転角度を基準、つまり０°とした場合の、第一の欠陥部分の回転角度である。
【０４５６】
画像出力部３０５は、撮像部３０３が撮像した第一の欠陥部分を撮像した画像を、ワーク１０の識別子（例えば、ワーク１０に割り当てられたコード）と、欠陥部分のＩＤ（例えば、欠陥部分の番号等）と、補正欠陥位置情報と、撮像日時と、出力部１０４が出力する欠陥部分の深さ（高さ）と、出力部１０４が出力する欠陥部分の範囲を長さに換算した値である欠陥部分の幅とを、対応づけて、図示しない格納部に蓄積するとともに、撮像した画像を、これらの情報と対応づけて図示しないモニタ等に表示する。
【０４５７】
図２１は、画像出力部３０５が蓄積した欠陥部分の画像を管理する画像管理表である。画像管理表は、「画像」、「ワークＩＤ」、「欠陥ＩＤ」、「補正欠陥位置」、「日時」、「高さ」、「幅」とを有している。「画像」は、欠陥部分の画像であり、ここでは、画像のファイル名を示している。「ワークＩＤ」は、ワークの識別子である。「欠陥ＩＤ」は、ワーク１０内における欠陥部分の識別子であり、ここでは、検出部３０６が検出した欠陥部分に、回転角度の小さいものから順に昇順となるよう割り当てられた番号であるとする。「補正欠陥位置」は、補正欠陥位置取得部３０４が取得した補正欠陥位置情報である。「日時」は、図示しない時計等から取得した画像の撮像日時である。「高さ」は、欠陥部分の高さまたは深さであり、「幅」は、欠陥部分の幅である。
【０４５８】
図２２は、画像出力部３０５が出力する欠陥部分の画像の表示例を示す図である。図において、領域２１１には、欠陥部分の画像が表示される。画像出力部３０５は、領域２１２に、予め用意された欠陥部分のないワーク１０を示す画像の、補正欠陥位置情報が示す回転角度が示す方向のエッジ上の位置に、欠陥部分があることを示すマークを配置した画像を表示する。領域２１３には、欠陥部分の画像の識別子が表示される。領域２１４には、欠陥部分の画像に対応する補正欠陥位置情報が示す回転角度と、欠陥部分の幅と、深さとが表示される。領域２１５には撮像日時が表示される。なお、領域２１１に表示される画像は、ユーザ等の指示に応じて、拡大や、縮小、表示範囲の移動等を行うことが可能である。
【０４５９】
図２３は、画像状況情報格納部３１０に格納されている画像状況情報を管理する画像状況情報管理表を示す図である。画像状況情報管理表は、「パターン」と、「状況」という属性を有している。「パターン」は、欠陥部分の画像から取得した、欠陥部分の特徴量のパターンである。「状況」は、「パターン」に対応する欠陥部分を有するワークに関するワーク状況情報である。
【０４６０】
評価部３０７は、画像出力部３０５が出力した第一の欠陥部分の画像について、図２３に示した画像状況情報を用いて評価を行う。具体的には、評価部３０７は、図２３の画像状況情報管理表の各レコード（行）から、「パターン」の属性値を順次取得し、取得した属性値が示す画像のパターンが、第一の欠陥部分の画像とマッチするか否かを順次判断する。マッチした場合、マッチした属性値に対応する「状況」の属性値を、評価結果として取得する。なお、一のレコードのパターンがマッチした時点で、処理を終了してもよいし、全てのレコードについて処理を行うようにしてもよい。この場合、複数の「状況」の属性値を評価結果として取得してもよい。また、マッチするパターンがなかった場合、評価部３０７は、デフォルト等で指定された評価結果、例えば、「異常なし」等の評価結果を取得する。ここでは、例えば、第一の欠陥部分を撮像した画像が、「パターン」のうちの「パターン２」とマッチしたため、「ワーク割れ大」という評価結果を取得する。
【０４６１】
そして、評価結果出力部３０８は、評価部３０７が取得した評価結果を、画像と対応づけて蓄積し、更に、図示しないモニタ等に表示する。
【０４６２】
図２４は、評価結果出力部３０８による評価結果の出力例を示す図である。
【０４６３】
この出力により、ユーザは、この欠陥部分が、後行程で大きなワーク割れを発生させる可能性がある欠陥部分であることを認識することができる。
【０４６４】
更に、検出部３０６が検出した他の欠陥部分についても上記のような処理を繰り返す。
【０４６５】
そして、検出部３０６が検出した全ての欠陥部分についての処理が終了した場合、移動部３０２は、欠陥部分を撮像領域に移動させる場合と同様に、ワーク１０のオリフラを予め指定された方向に向けて配置され、かつワーク１０の中心が、予め指定された位置に配置されるようにするための、ワーク１０の回転角度と、水平方向の移動量を取得し、取得した回転角度と水平方向の移動量を用いてワーク１０を移動させる。これにより、ワーク１０を所定の位置に、所定の方向を向けて配置することができる。
【０４６６】
ワーク搬送装置２は、このようにして位置と方向とを合わせたワーク１０を取り上げて搬送する。ワーク搬送装置２による搬送等は、上記実施の形態１の具体例と同様であるため、ここでは説明は省略する。
【０４６７】
なお、画像出力部３０５は、例えば、図示しない受付部等を介してユーザから、一の欠陥部分の画像を表示する指示等を受け付けた場合に、図２１に示すように指定された欠陥部分の画像を表示するようにしてもよい。
【０４６８】
ここで、例えば、ユーザが後行程において、一のワーク１０において、識別子が「Ｗ００１」であるワーク割れ等の異常が発生したことを検出したとする。そして、ユーザが、図示しない入力インターフェース等を利用して、この割れが発生したワーク１０の識別子と、この割れに関するワーク状況情報とを入力すると、状況受付部３０９は、これらの情報を受け付ける。例えば、ワーク１０の識別子である「Ｗ００１」と、ワーク状況情報である「ワーク割れ」とを受け付けたとする。
【０４６９】
そして、画像状況情報蓄積部３１１は、受け付けたワーク１０の識別子「Ｗ００１」と対応づけられた全ての画像、具体的には、「ｉｍｇ１００１」から「ｉｍｇ１００５」を、図２１に示した画像管理表から読出し、それぞれの画像から特徴点を取得して、各画像について欠陥部分の特徴点のパターンの情報を取得する。そして、各パターンの情報と、状況受付部３０９が受け付けたワーク状況情報とを対応づけて、画像状況情報格納部３１０に蓄積する。これにより、図２３に示した画像状況情報管理表にレコード（行）が５つ追加されることとなる。これにより、欠陥部分の画像に関する情報と、欠陥部分がワーク１０に与える影響等を対応づけて蓄積することができ、欠陥部分の画像を利用して欠陥部分の評価等を行う際の精度を向上させることができる。
【０４７０】
なお、ワーク割れの原因となる欠陥部分を特定できた場合、異常が発生したワーク１０を指定してワーク状況情報を入力する代わりに、ワーク１０の欠陥部分を、例えば、ワークの識別子と、欠陥部分の識別子との組合わせ等によって、指定するようにしても良い。あるいは、図２２に示した表示画面の、領域２１２に示された画像から、欠陥部分の指定を受け付けるようにしてもよい。
【０４７１】
また、ワーク１０についての後行程の異常の検出とその異常の状況を示すワーク状況情報の取得とを、図示しない異常検出装置等を用いて自動化してもよい。この場合、この装置等が出力する割れが発生したワーク１０の識別子と、ワーク状況情報とを、この装置が、状況受付部３０９に入力するようにする。
【０４７２】
以上、本実施の形態によれば、ワークのエッジの欠陥部分を撮像領域内に移動させ、この欠陥部分を撮像するようにしたことにより、画像によりワークのエッジを容易に確認することができる。
【０４７３】
また、撮像画像でエッジの欠陥部分を出力することにより、エッジの欠陥部分を容易に拡大表示することが可能となり、肉眼では確認しにくい欠陥部分の形状等を容易に確認することができる。
【０４７４】
また、本発明によれば、移動部３０２により、ワーク１０の中心が、予め指定された位置（例えば、ワーク１０をワーク搬送装置２に渡す際にワーク１０の中心を配置すべき位置）に配置され、かつ欠陥部分が撮像部３０３の撮像範囲に配置されるように、ワーク１０を移動させて、欠陥部分の撮像を行うようにしたことにより、同じサイズのワーク１０の異なる欠陥部分について撮像した画像間で、画像内のワーク１０の欠陥部分の位置や、欠陥部分以外のエッジの位置を同じ位置に保つことができる。これにより、画像間の比較がしやすく、さらには、画像から特徴点を取得したり、画像の類似度を判断する際に、精度のよい処理が可能となる。
【０４７５】
なお、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。
【０４７６】
また、上記各実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。その実行時に、プログラム実行部は、格納部（例えば、ハードディスクやメモリ等の記録媒体）にアクセスしながらプログラムを実行してもよい。また、上記実施の形態におけるワーク情報処理装置をソフトウェアにより実現するようにしてもよい。
【０４７７】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０４７８】
以上のように、本発明にかかるワーク処理装置等は、ワークを処理する装置等として適しており、特に、ワークの位置決め等を行う装置等として有用である。
【符号の説明】
【０４７９】
１、３  ワーク処理装置
２  ワーク搬送装置
４、５  容器
６  載置台
１０  ワーク
１５、５５ｂ  センサ
５２  ターンテーブル
１０１  第一回転距離情報格納部
１０２  ３０１  エッジ位置検出器
１０３  取得部
１０４  出力部
１０５  評価関連情報受付部
１０６  設定部
１０８  欠陥検出部
１０００  ワーク搬送システム
１０３１  合成手段
１０３２  合成処理手段
１０３３  補正情報取得手段
１０３４  第二距離情報取得手段
１０３５  算出手段
１０３６  切り欠き検出手段
１０３７  欠陥検出手段
３０２  移動部
３０３  撮像部
３０４  補正欠陥位置取得部
３０５  画像出力部
３０６  検出部
３０７  評価部
３０８  評価結果出力部
３０９  状況受付部
３１０  画像状況情報格納部
３１１  画像状況情報蓄積部
【図１】
2015195328.tif 000006
【図２】
2015195328.tif 000007
【図３】
2015195328.tif 000008
【図４】
2015195328.tif 000009
【図５】
2015195328.tif 000010
【図６】
2015195328.tif 000011
【図７】
2015195328.tif 000012
【図８】
2015195328.tif 000013
【図９】
2015195328.tif 000014
【図１０】
2015195328.tif 000015
【図１１】
2015195328.tif 000016
【図１２】
2015195328.tif 000017
【図１３】
2015195328.tif 000018
【図１４】
2015195328.tif 000019
【図１５】
2015195328.tif 000020
【図１６】
2015195328.tif 000021
【図１７】
2015195328.tif 000022
【図１８】
2015195328.tif 000023
【図１９】
2015195328.tif 000024
【図２０】
2015195328.tif 000025
【図２１】
2015195328.tif 000026
【図２２】
2015195328.tif 000027
【図２３】
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【図２４】
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