(57)【要約】      （修正有）【課題】プローブカードに使用される垂直型プローブモジュールおよびその柱状支持部を提供する。【解決手段】垂直型プローブモジュール１０は、下ガイドプレート３０、片状位置決め部４０、複数のプローブ５０および複数の柱状支持部６０Ａを備える。下ガイドプレートは複数の嵌合孔３４および複数のプローブ装着孔２２を有する。柱状支持部６０Ａは順に繋がるヘッド部５２と、ネック部と、柱状部６６と、底部６８と、ヘッド部６２に位置する上方当接面および柱状部６６に位置する下方当接面またはいずれか一つとを有する。柱状支持部６０Ａは片状位置決め部４０が剥がれてしまうことを抑制し、片状位置決め部４０を微動させることによってプローブの損壊を抑制する。【選択図】図１
2015184283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下ガイドプレート、片状位置決め部、複数のプローブおよび複数の柱状支持部を備え、
前記下ガイドプレートは、複数の嵌合孔および複数のプローブ装着孔を有し、
前記片状位置決め部は、複数の位置限定孔および複数のプローブ装着孔を有し、
前記プローブは、前記下ガイドプレートの前記プローブ装着孔および前記片状位置決め部の前記プローブ装着孔を貫通し、
前記柱状支持部は、順に繋がるヘッド部と、ネック部と、柱状部と、底部と、前記ヘッド部に位置する上方当接面および前記柱状部に位置する下方当接面またはいずれか一つとを有し、
少なくとも一つの前記柱状支持部は、前記上方当接面を有し、少なくとも一つの前記柱状支持部は前記下方当接面を有し、
前記柱状支持部は前記ネック部が前記片状位置決め部の前記位置限定孔に差し込まれ、前記ネック部の長さが前記片状位置決め部の厚さより大きく、前記底部が前記下方ガイドプレートの前記嵌合孔に嵌め込まれ、
前記片状位置決め部は、前記柱状支持部の前記上方当接面および前記下方当接面の間を移動できるように限定されることを特徴とする、
垂直型プローブモジュール。
【請求項２】
下ガイドプレートおよび片状位置決め部を備える垂直型プローブモジュールによって用いられ、前記下ガイドプレートの上方に前記片状位置決め部を宙吊りにして維持する柱状支持部であって、
順に繋がるヘッド部、ネック部、柱状部および底部を有し、前記ネック部は、前記片状位置決め部の位置限定孔に差し込まれ、長さが前記片状位置決め部の厚さより大きく、前記底部は前記下ガイドプレートの前記嵌合孔に嵌め込まれ、
さらに前記ヘッド部に位置する上方当接面を有するか、または、前記柱状部に位置する下方当接面を有するか、または、前記ヘッド部に位置する前記上方当接面および前記上方当接面に向かい合って前記柱状部に位置する前記下方当接面を有するため、前記片状位置決め部は前記ネック部に移動できるように限定されることができることを特徴とする、
柱状支持部。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブカードに関し、詳しくはプローブカードに使用される垂直型プローブモジュールおよびその柱状支持部に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１により掲示された従来の垂直型プローブモジュールは、プローブホルダー、片状位置決め部および複数のプローブを備える。プローブホルダーは上ガイドプレートおよび下ガイドプレートまたは上ガイドプレート、中ガイドプレートおよび下ガイドプレートから構成される。片状位置決め部は上ガイドプレートおよび下ガイドプレートの間に配置される。プローブはヘッド部、先端部およびピン本体を有する。ヘッド部は上ガイドプレートおよび片状位置決め部を貫通する。先端部は下ガイドプレートを貫通する。ピン本体は湾曲状を呈し、上ガイドプレートと下ガイドプレートとの間の格納空間に位置する。
高さの異なる測定対象にプローブの先端部を接触させる際、プローブの先端部は上下移動によってプローブの尖端の高さを微調整することができる。プローブが歪み、上ガイドプレートの装着が難しくなることを避けるために、上ガイドプレートを取り付ける前には、プローブのヘッド部は片状位置決め部によって固定される。
【０００３】
従来の片状位置決め部の装着方式は、片状位置決め部を宙吊り状態で格納空間に装着していた。しかしながら、上ガイドプレートを取り外し、プローブを取り替える際、片状位置決め部を一緒に剥がし、片状位置決め部とともにプローブを抜いてしまうことが起こりやすいため、抜けたプローブを装着し直す手間が掛かるだけでなく、プローブを損壊させる可能性がある。
【０００４】
別の片状位置決め部の装着方式は、下ガイドプレートの頂面に片状位置決め部を固定する方法であるため、取替作業に伴って片状位置決め部が剥がれてしまうという問題を解決できるが、片状位置決め部は外力を受けたプローブに対応して微動することができないため、プローブが比較的大きい応力を受けることによる損壊が起こりやすい。
【０００５】
それに対し、特許文献１により掲示された垂直型プローブモジュールは、片状位置決め部が下ガイドプレートに配置され、上ガイドプレートと下ガイドプレートとの間に間隔を置くため、片状位置決め部を微動させることができる。
また、特許文献１は情況に応じて片状位置決め部をねじで上ガイドプレートに締め付けることができるため、上ガイドプレートを取り外す時、余計に片状位置決め部を剥がしてしまう事態を抑制できる。
しかしながら、プローブモジュールの上ガイドプレートの頂面と接続する回路基板およびスペーストランスフォーマに電子部品を配置するには、プローブモジュールの頂面に電子部品を格納できる空間が必要である。しかし、電子部品を配置する部位と下ガイドプレートの片状位置決め部が固定してある部位とは相互に干渉するため、特許文献１により掲示された垂直型プローブモジュールの頂面に電子部品を格納することが難しい。
【０００６】
一方、特許文献２は、プローブモジュール内に維持装置を配置し、維持装置によって片状位置決め部を固定し、片状位置決め部が剥がれてしまうことを抑制する。しかしながら、維持装置は片状位置決め部を固定できるが、部品が多いため、構造が複雑であるだけでなく、装着に時間がかかる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】台湾特許Ｉ２９９０８５号
【特許文献２】台湾特許公開２０１１２０４５２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上述した欠点に鑑み、垂直型プローブモジュールおよびその柱状支持部を提供することを主な目的とする。柱状支持部は垂直型プローブモジュールの片状位置決め部が剥がれてしまうことを抑制できるだけでなく、片状位置決め部を微動させることによってプローブの損壊を抑制することができる。垂直型プローブモジュールは構造が簡単で装着に便利であるだけでなく、頂面に電子部品を格納する必要がある情況に対応できる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の目的を達成するために、本発明による垂直型プローブモジュールは下ガイドプレート、片状位置決め部、複数のプローブおよび複数の柱状支持部を備える。下ガイドプレートは複数の嵌合孔および複数のプローブ装着孔を有する。片状位置決め部は複数の位置限定孔および複数のプローブ装着孔を有する。プローブは下ガイドプレートのプローブ装着孔および片状位置決め部のプローブ装着孔を貫通する。柱状支持部は順に繋がるヘッド部と、ネック部と、柱状部と、底部と、ヘッド部に位置する上方当接面および柱状部に位置する下方当接面またはいずれか一つとを有する。少なくとも一つの柱状支持部は上方当接面を有する。少なくとも一つの柱状支持部は下方当接面を有する。柱状支持部はネック部が片状位置決め部の位置限定孔に差し込まれ、ネック部の長さが片状位置決め部の厚さより大きく、底部が下方ガイドプレートの嵌合孔に嵌め込まれる。片状位置決め部は柱状支持部の上方当接面および下方当接面の間を移動できるように限定される。
【００１０】
上述した構造により、片状位置決め部と下ガイドプレートの連結関係は柱状支持部によって維持され、安定する。プローブが配置してある上ガイドプレートを下ガイドプレートから取り外す際、柱状支持部は片状位置決め部が剥がれてしまうことを抑制できる。片状位置決め部は柱状支持部によって位置が限定されても、柱状支持部の上方当接面と下方当接面との間を微動できるため、プローブは測定対象にプロービングを進める際に過大な応力を受けることによる損壊を抑制できる。一方、垂直型プローブモジュールは構造が簡単で装着に便利であるだけでなく、柱状支持部に取られる空間が小さいため、プローブの周りを空けて電子部品の格納に用いる空間を設けることができる。
【００１１】
好ましい場合、柱状支持部は上方当接面および下方当接面を有する。上方当接面と下方当接面は間に片状位置決め部を挟んで向かい合う。
【００１２】
好ましい場合、位置限定孔は線状部と線状部の中央に形成された拡張部を有する。柱状支持部の柱状部は線状部を貫通する。柱状支持部のネック部は位置限定孔の拡張部に回転できるように配置される。
【００１３】
好ましい場合、本発明による垂直型プローブモジュールは、少なくとも一つのプローブから定義されたプローブ配置部位を有し、柱状支持部がプローブ配置部位の外周に位置付けられる。
【００１４】
好ましい場合、本発明による垂直型プローブモジュールは複数のプローブ配置部位を有し、一部の柱状支持部が二つの隣り合うプローブ配置部位の外周に位置付けられる。
【００１５】
好ましい場合、本発明による垂直型プローブモジュールは複数のプローブ配置部位に別々に位置する片状位置決め部を有する。二つずつ隣り合う片状位置決め部は一部分が重なる。二つの隣り合うプローブ配置部位の外周に位置する柱状支持部のネック部は二つの重なる片状位置決め部を貫通する。
【００１６】
好ましい場合、本発明による垂直型プローブモジュールは、さらに上ガイドプレートを備え、プローブが上ガイドプレートを貫通する。上ガイドプレートは下ガイドプレートに固定され、かつ電子部品の格納に用いる格納孔を有する。
【００１７】
好ましい場合、柱状支持部はさらに引張抵抗部を有し、柱状部が底部の一端に繋がり、引張抵抗部が底部の他端に繋がる。柱状支持部の引張抵抗部は下ガイドプレートの嵌合孔に配置され、下ガイドプレートによって限定される。
【００１８】
好ましい場合、下ガイドプレートは複数の凹状溝を有する。柱状支持部の引張抵抗部は凹状溝に配置される。
【００１９】
好ましい場合、柱状支持部の底部および引張抵抗部は形が連続した桿状体を折り曲げることによって形成され、かつ相互に垂直である。
【００２０】
上述の目的を達成するために、本発明による柱状支持部は、下ガイドプレートおよび片状位置決め部を備える垂直型プローブモジュールによって用いられ、下ガイドプレートの上方に片状位置決め部を宙吊りにして維持する。柱状支持部は順に繋がるヘッド部、ネック部、柱状部および底部を有する。ネック部は片状位置決め部の位置限定孔に差し込まれ、長さが片状位置決め部の厚さより大きい。底部は下ガイドプレートの嵌合孔に嵌め込まれる。柱状支持部は下記の三つ構造特徴を有する。
構造特徴ａ）はヘッド部に形成された上方当接面を有することである。
構造特徴ｂ）は柱状部に形成された下方当接面を有することである。
構造特徴ｃ）はヘッド部に形成された上方当接面および柱状部に形成された下方当接面を有し、上方当接面と下方当接面とが相互に向かい合うことである。
上述した三つの構造特徴のうちの一つにより、片状位置決め部は柱状支持部のネック部に移動できるように限定されることができる。
【００２１】
好ましい場合、柱状支持部はネック部がヘッド部から縦方向に沿って伸び、柱状部がネック部から傾斜方向に沿って伸び、傾斜方向と縦方向との間に鋭角をなす。柱状支持部は下方当接面を有する。下方当接面は縦方向に垂直の柱状部の頂面からなる。
【００２２】
好ましい場合、柱状支持部はネック部がヘッド部から縦方向に沿って伸び、柱状部がネック部から傾斜方向に沿って伸び、傾斜方向と縦方向との間に鋭角をなす。柱状支持部は下方当接面を有する。下方当接面はネック部から傾斜方向に沿って伸びる柱状部の側面からなる。
【００２３】
好ましい場合、柱状支持部はネック部がヘッド部から縦方向に沿って伸び、柱状部がネック部から縦方向に沿って伸びる。
【００２４】
好ましい場合、柱状支持部は下方当接面を有する。下方当接面は縦方向に垂直の柱状部の頂面からなる。縦方向に垂直の柱状部の断面は下方当接面の形と同じである。
【００２５】
好ましい場合、柱状支持部の柱状部はストッパー部位および延長部位を有する。柱状支持部は下方当接面を有する。下方当接面はストッパー部位に位置付けられる。縦方向に垂直の延長部位の断面は下方当接面より小さい。
【００２６】
好ましい場合、柱状支持部のネック部は縦方向に沿って伸びる。柱状支持部の柱状部はネック部に繋がるストッパー部位と、ストッパー部位から傾斜方向に沿って伸びて形成された延長部位とを有する。傾斜方向と縦方向との間は鋭角をなす。柱状支持部は下方当接面を有する。下方当接面はストッパー部位に位置付けられ、かつ縦方向に垂直の柱状部の頂面からなる。縦方向に垂直の延長部位の断面は下方当接面より小さい。
【００２７】
好ましい場合、柱状支持部は上方当接面を有し、ネック部が上方当接面から縦方向に沿って伸びる。
【００２８】
好ましい場合、柱状支持部の柱状部は底面を有し、底面が下ガイドプレートに当接し、かつ縦方向に垂直である。柱状支持部の底部は柱状部の底面が縦方向に平行に伸びることによって形成される。
【００２９】
好ましい場合、柱状支持部の底部は末端部、スロットおよび二つの嵌合部を有する。スロットは末端部に開放状に形成される。嵌合部はスロットによって分離し、弾性的に横振れする。
【００３０】
好ましい場合、柱状支持部の底部はさらに二つの嵌合部に形成されたフック部を有する。
【００３１】
好ましい場合、柱状支持部のヘッド部は弾性的に圧縮され、片状位置決め部の位置限定孔に差し込まれる。柱状支持部の底部は二つの脚部と、二つの脚部の末端に形成されたフック部と、二つの脚部の間に位置する弾性部位とを有する。二つのフック部は弾性的に圧縮され、下ガイドプレートの二つの嵌合孔に差し込まれるため、下ガイドプレートは弾性部位と二つのフック部の間に押さえられる。
【００３２】
好ましい場合、柱状支持部は引張抵抗部を有し、柱状部が底部の一端に繋がり、引張抵抗部が底部の他端に繋がる。柱状支持部の引張抵抗部は下ガイドプレートの嵌合孔の外側に位置付けられ、かつ下ガイドプレートに遮断され、嵌合孔へ進むことができない。
【００３３】
好ましい場合、柱状支持部の底部および引張抵抗部は形が連続した桿状体を折り曲げることによって形成され、かつ相互に垂直である。
【００３４】
本発明による垂直型プローブモジュールおよびその柱状支持部の詳細な構造、特徴、組み立てまたは使用方法は、以下の実施形態の詳細な説明を通して明確にする。
また、以下の詳細な説明および本発明により提示された実施形態は本発明を説明するための一例に過ぎず、本発明の請求範囲を限定できないことは、本発明に係る領域において常識がある人ならば理解できるはずである。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明第１実施形態による垂直型プローブモジュールを示す断面図である。
【図２】図１中のＡ部分を示す拡大図である。
【図３】本発明第１実施形態による垂直型プローブモジュールの上ガイドプレートが除去された後の状態を平面図である。
【図４】本発明第１実施形態による垂直型プローブモジュールの片状位置決め部、プローブおよび柱状支持部を組み立てる方式を示す斜視図である。
【図５】本発明第１実施形態による垂直型プローブモジュールの片状位置決め部、プローブおよび柱状支持部を組み立てる方式を示す斜視図である。
【図６】本発明第１実施形態により掲示された柱状支持部を示す斜視図である。
【図７】図３に示したとおり、本発明第１実施形態による垂直型プローブモジュールに複数のプローブ配置部位を設ける方式を示す平面図である。
【図８】図３に示したとおり、本発明第１実施形態による垂直型プローブモジュールに複数のプローブ配置部位を設ける別の方式を示す平面図である。
【図９】本発明第２実施形態により掲示された柱状支持部を示す斜視図である。
【図１０】本発明第３実施形態により掲示された柱状支持部を示す斜視図である。
【図１１】本発明第４実施形態により掲示された柱状支持部を示す斜視図である。
【図１２】本発明第５実施形態により掲示された柱状支持部を示す斜視図である。
【図１３】本発明第６実施形態による垂直型プローブモジュールを示す断面図である。
【図１４】本発明第７実施形態により掲示された柱状支持部を示す斜視図である。
【図１５】本発明第７実施形態による垂直型プローブモジュールの下ガイドプレート、片状位置決め部および二つの柱状支持部を示す断面図である。
【図１６】本発明第７実施形態による垂直型プローブモジュールを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明による垂直型プローブモジュールおよびその柱状支持部を図面に基づいて説明する。図中の同じ符号は同じ部品または類似した部品のまたはその構造特徴を示す。
【００３７】
（第１実施形態）
図１から図３に示すように、本発明の第１実施形態による垂直型プローブモジュール１０は、上ガイドプレート２０、下ガイドプレート３０、片状位置決め部４０、複数のプローブ５０および複数の柱状支持部６０Ａを備える。
【００３８】
上ガイドプレート２０はねじ（図中未表示）によって下ガイドプレート３０に締め付けられることで下ガイドプレート３０との間に格納空間１２を形成する。
本実施形態において、下ガイドプレート３０は二つのパーツが合わさる、即ちねじ（図中未表示）で上方パーツ３１および下方パーツ３２を相互に固定することによって構成されるが、これに限らず、一つのパーツから構成されてもよい。つまり、上方パーツ３１および下方パーツ３２は一体成型である。上ガイドプレート２０は複数のプローブ装着孔２２を有する。下ガイドプレート３０は複数の嵌合孔３４および複数のプローブ装着孔３６を有する。
【００３９】
片状位置決め部４０は、可とう性のある絶縁薄片から製作され、複数の位置限定孔４２および複数のプローブ装着孔４４を有する。図４および図５に示すように、位置限定孔４２およびプローブ装着孔４４は形が同じである。位置限定孔４２は線状部４２２と、線状部４２２の中央に円弧状に形成された拡張部４２４とを有する。プローブ装着孔４４は線状部４４２と、線状部４４２の中央に円弧状に形成された拡張部４４４とを有する。
【００４０】
プローブ５０即ち従来の垂直型プローブは、順に繋がるヘッド部５２、ピン本体５４および先端部５６を有する。ヘッド部５２および先端部５６は円形桿状を呈し、かつ相互に平行である。ピン本体５４は湾曲状を呈するため、ピン本体５４の一端に位置するヘッド部５２とピン本体５４の他端に位置する先端部５６は軸線が異なる。ピン本体５４の水平断面は細長い矩形（または楕円形）を呈する。
【００４１】
図２および図６に示すように、柱状支持部６０Ａは順に繋がるヘッド部６２、ネック部６４、柱状部６６および底部６８を有する。ヘッド部６２は長方形を呈し、縦方向Ｄ１に垂直の断面が細長い矩形を呈し、かつ縦方向Ｄ１に垂直の底面が上方当接面６２２となる。ネック部６４は上方当接面６２２から縦方向Ｄ１に沿って伸び、縦方向Ｄ１に垂直の断面が上方当接面６２２の短辺の長さと同じ正方形を呈する。
柱状部６６は湾曲状を呈し、ネック部６４から傾斜方向Ｄ２に沿って伸びる。傾斜方向Ｄ２と縦方向Ｄ１との間はθ角度をなす。柱状部６６は縦方向Ｄ１に垂直の断面が細長い矩形を呈し、矩形の短辺の長さが上方当接面６２２の短辺の長さと同じであり、矩形の長辺が上方当接面６２２の長辺より小さく、かつそれに垂直である。柱状部６６は縦方向Ｄ１に垂直の頂面が下方当接面６６２となる。底部６８は縦方向Ｄ１に垂直の柱状部６６の底面６６４から伸び、その延長方向が縦方向Ｄ１に平行である。底部６８は縦方向Ｄ１に垂直の断面が柱状部６６の底面６６４より小さい。
【００４２】
組み立てを行う際、上ガイドプレート２０を下ガイドプレート３０に取り付ける前に、片状位置決め部４０、プローブ５０および柱状支持部６０Ａを下ガイドプレート３０に装着する。このときプローブ５０のヘッド部５２は片状位置決め部４０のプローブ装着孔４４を貫通する。プローブ５０の先端部５６は下ガイドプレート３０のプローブ装着孔３６を貫通する。柱状支持部６０Ａのネック部６４は片状位置決め部４０の位置限定孔４２を貫通する。柱状支持部６０Ａの底部６８は下ガイドプレート３０の嵌合孔３４に嵌め込まれる。
【００４３】
図４に示すように、プローブ５０のピン本体５４は片状位置決め部４０のプローブ装着孔４４を貫通する。柱状支持部６０Ａの柱状部６６は片状位置決め部４０の位置限定孔４２を貫通する。つまり、プローブ５０は先端部５６とピン本体５４の順で片状位置決め部４０のプローブ装着孔４４を貫通するため、プローブ５０のヘッド部５２はプローブ装着孔４４の拡張部４４４に位置する。柱状支持部６０Ａは底部６８と柱状部６６の順で片状位置決め部４０の位置限定孔４２を貫通するため、柱状支持部６０Ａのネック部６４は位置限定孔４２の拡張部４２４に位置する。
図５に示すように、柱状支持部６０Ａはネック部６４によって位置限定孔４２の拡張部４２４内を９０度回転できる。プローブ５０はヘッド部５２によってプローブ装着孔４４の拡張部４４４内を９０度回転できる。このとき、プローブ５０および柱状支持部６０Ａは外力によって上昇し、片状位置決め部４０から逸脱することができない。一方、柱状支持部６０Ａのネック部６４は長さが片状位置決め部４０の厚さより大きい。柱状支持部６０Ａの上方当接面６２２および下方当接面６６２は間に片状位置決め部４０を挟んで向かい合うため、片状位置決め部４０は柱状支持部６０Ａの上方当接面６２２および下方当接面６６２の間を上下に微動できるように限定される。
【００４４】
上ガイドプレート２０を下ガイドプレート３０に取り付けると、プローブ５０のヘッド部５２は上ガイドプレート２０のプローブ装着孔２２を貫通する。回路基板またはスペーストランスフォーマ（図中未表示）の底部に垂直型プローブモジュール１０を取り付けてプローブカードを完成させると、プローブ５０のヘッド部５２の上ガイドプレート２０に突出した部位は回路基板またはスペーストランスフォーマの接点に電気的に接続される。プローブ５０の先端部５６の下ガイドプレート３０に突出した部位は測定対象の接点にプロービングを行う。
【００４５】
垂直型プローブモジュール１０のプローブ５０を取り替える際、下ガイドプレート３０から上ガイドプレート２０を取り外す。このとき片状位置決め部４０と下ガイドプレートの連結関係は柱状支持部６０Ａによって維持され、安定するため、上ガイドプレート２０を取り外す際、柱状支持部６０Ａは片状位置決め部４０が剥がれてしまうことを抑制できるだけでなく、片状位置決め部４０とともにプローブ５０が抜けてしまうことを抑制できる。
【００４６】
片状位置決め部４０は柱状支持部６０Ａによって剥がれてしまうことを抑制でき、かつ柱状支持部６０Ａの上方当接面６２２および下方当接面６６２の間を微動できるため、プローブ５０は測定対象にプロービングを進める際に過大な応力を受けることによる損壊を抑制できる。一方、垂直型プローブモジュール１０は構造が簡単で装着に便利である。柱状支持部６０Ａの装着方式はプローブ５０の装着方式とあまり変わらないため、プローブ５０を装着する時についでに柱状支持部６０Ａを装着すればよい。一方、柱状支持部６０Ａはプローブ５０に非常に近く、取る空間が小さい。片状位置決め部４０は柱状支持部６０Ａによって格納空間１２に宙吊りになり、かつ上ガイドプレート２０と下ガイドプレート３０の接続箇所まで伸びる必要がない。
上述した構造により、底面に突出した電子部品を有する回路基板またはスペーストランスフォーマを垂直型プローブモジュール１０の頂面に装着する際、電子部品の格納に用いる格納孔２４（図１に示した凹状孔２４即ち穿孔）を上ガイドプレート２０に設けることができる。言い換えれば、本発明の設計はプローブ５０の周りを空けて電子部品の格納に用いる空間を設けるため、垂直型プローブモジュールの頂面に電子部品を格納する必要がある情況に対応できる。
【００４７】
図３に示すように、垂直型プローブモジュール１０はプローブ５０から定義されたプローブ配置部位１４を有し、柱状支持部６０Ａがプローブ配置部位１４の外周に位置付けられる。上述した配置方式により、片状位置決め部４０を効果的に維持することができる。一方、複数の測定対象（Ｍｕｌｔｉ−ＤＵＴｓ）にプロービングを同時に行うプローブカードに対応するために、本発明は複数のプローブ配置部位１４を設けることができる。
図７および図８に示すように、垂直型プローブモジュール１０は同時に四つの測定対象（Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ，  ＤＵＴ）にプロービングを行う四つのプローブ配置部位１４を有する。
図７に示すように、四つのプローブ配置部位１４は一つの片状位置決め部４０を共同で使用する。一部の柱状支持部６０Ａは二つの隣り合うプローブ配置部位１４の外周に位置付けられる。つまり、二つの隣り合うプローブ配置部位１４の間に一列の柱状支持部６０Ａのみを配置すればよい。上述した配置方法により柱状支持部６０Ａの数および取る空間を削減することができる。
図８に示すように、四つの片状位置決め部４０は四つのプローブ配置部位１４に別々に配置される。二つずつ隣り合う片状位置決め部４０は一部分が重なる。上述した配置方式により、一部の柱状支持部６０Ａは二つの隣り合うプローブ配置部位１４の外側に配置されるため、比較的少ない柱状支持部６０Ａによって片状位置決め部４０に良好な支持効果を果たすことができる。二つの隣り合うプローブ配置部位１４の外側に位置する柱状支持部６０Ａのネック部６４は二つの重なる片状位置決め部４０を貫通する。
【００４８】
（第２実施形態）
図９に示すように、垂直型プローブモジュール１０は本発明の第２実施形態による柱状支持部６０Ｂを採用することができる。上述した柱状支持部６０Ａとの違いは次の通りである。柱状支持部６０Ｂの柱状部６６は縦方向Ｄ１に垂直の断面の形がネック部６４と同じであるため、頂面によって片状位置決め部４０に当接することができない。柱状支持部６０Ｂの下方当接面６６２はネック部６４から傾斜方向Ｄ２に沿って伸びる柱状部６６の側面からなる。下方当接面６６２は上方当接面６２２に平行せず、上方当接面６２２に向かい合うため、片状位置決め部４０の位置を上方当接面６２２と下方当接面６６２との間に限定することができる。
【００４９】
第２実施形態および以下の実施形態において、上述した説明および図２により、縦方向Ｄ１はネック部６４がヘッド部６２から伸びる方向であり、傾斜方向Ｄ２と縦方向Ｄ１との間は鋭角θをなすと定義される。
【００５０】
（第３実施形態）
図１０に示すように、垂直型プローブモジュール１０は本発明の第３実施形態による柱状支持部６０Ｃを採用することができる。上述した柱状支持部６０Ａとの違いは次の通りである。柱状支持部６０Ｃの柱状部６６はネック部６４から縦方向Ｄ１に沿って伸びる。つまり、柱状部６６は湾曲せず直線状を呈する。
【００５１】
（第４実施形態）
図１１に示すように、垂直型プローブモジュール１０は本発明の第４実施形態による柱状支持部６０Ｄを採用することができる。上述した柱状支持部６０Ｃとの違いは次の通りである。柱状支持部６０Ｄの柱状部６６は縦方向Ｄ１に垂直の断面が下方当接面６６２の形と同じである。柱状支持部６０Ｄの柱状部６６はストッパー部位６６６および延長部位６６８を有する。下方当接面６６２はストッパー部位６６６に位置付けられる。延長部位６６８は縦方向Ｄ１に垂直の断面が下方当接面６６２より小さい。
【００５２】
（第５実施形態）
図１２に示すように、垂直型プローブモジュール１０は本発明の第５実施形態による柱状支持部６０Ｅを採用することができる。柱状支持部６０Ｅの柱状部６６は上述した柱状支持部６０Ｄの柱状部６６と同じように、断面積の比較的大きいストッパー部位６６６および断面積の比較的小さい延長部位６６８を有する。柱状支持部６０Ｅの延長部位６６８はストッパー部位６６６から傾斜方向Ｄ２に沿って伸びて形成される。
【００５３】
図１１および図１２に示すように、柱状支持部の底部６８はスロット６８４および二つの嵌合部６８６を有する。スロット６８４は末端部６８２に開放状に形成される。嵌合部６８６はスロット６８４によって分離し、弾性的に横振れする。上述した構造により、底部６８は二つの嵌合部６８６を相互に接近させる外力によって下ガイドプレート３０の嵌合孔３４に嵌め込まれ、安定するため、柱状支持部の回転を抑制できる。
一方、底部６８はさらに二つの嵌合部６８６の末端に形成された二つのフック部６８８を有するため、柱状部６６の底面６６４とフック部６８８との間に下ガイドプレート３０を限定できるだけでなく、柱状支持部の底部６８が下ガイドプレート６８から逸脱することが起こりにくい。
【００５４】
（第６実施形態）
図１３に示すように、本発明の第６実施形態による垂直型プローブモジュールにおいて、柱状支持部７０は順に繋がるヘッド部７２、ネック部７４、柱状部７６および底部７８を有する。ヘッド部７２は弾性的に圧縮され、片状位置決め部４０の位置限定孔４２を貫通し、ネック部７４は位置限定孔４２に差し込まれるため、片状位置決め部４０はヘッド部７２と柱状部７６との間に限定される。
柱状支持部７０の底部７８は二つの脚部７８２と、二つの脚部７８２の末端に形成されたフック部７８４と、二つの脚部７８２の間に位置する弾性部位７８６とを有する。二つのフック部７８４は弾性的に圧縮され、下ガイドプレート３０の二つの嵌合孔３４を貫通するため、下ガイドプレート３０は弾性部位７８６と二つのフック７８４部の間に押さえられる。上述した構造により、柱状支持部７０は第１実施形態により掲示された柱状支持部６０Ａと同じ効果を達成することができる。
【００５５】
（第７実施形態）
図１４に示すように、垂直型プローブモジュール１０は本発明の第７実施形態による柱状支持部６０Ｆを採用することができる。柱状支持部６０Ｆは図６に示した柱状支持部６０Ａに類似する。
柱状支持部６０Ａは半導体技術によって製作される。それに対し、柱状支持部６０Ｆは機械加工技術によって製作される。詳しく言えば、ヘッド部６２は桿状体の上端部を扁平に叩くことによって成型される。柱状部６６は桿状体の中間部位を扁平に叩くか、扁平に叩いて折り曲げることによって成型される。一方、本実施形態において、柱状支持部６０Ｆは下端部を折り曲げることによって形成された引張抵抗部６９を有する。柱状部６６は底部６８の一端に繋がる。引張抵抗部６９は底部６８の他端に繋がる。
【００５６】
図１５に示すように、本実施形態は、柱状支持部６０Ｆの下端部を折り曲げる前、片状位置決め部４０および下ガイドプレート３０に柱状支持部６０Ｆを差し込む。このとき柱状支持部６０Ｆの下端部は形が連続した桿状体８０を呈する。
続いて、図１６に示すように、桿状体８０を折り曲げて底部６８および引張抵抗部６９を形成する。底部６８と引張抵抗部６９は相互に垂直である。続いて、片状位置決め部４０および下ガイドプレート３０にプローブ５０を差し込み、そののち上ガイドプレート２０を取り付ける。このとき柱状支持部６０Ｆの引張抵抗部６９は下ガイドプレート３０の嵌合孔３４の外側に位置付けられ、かつ下ガイドプレート３０に遮断され、嵌合孔３４へ進むことができない。一方、本実施形態は下ガイドプレート３０の底部に複数の凹状溝３８を配置することができるが、これに限らない。柱状支持部６０Ｆの引張抵抗部６９は凹状溝３８に配置される。
【００５７】
垂直型プローブモジュールの組み立てまたはメンテナンスを行う際、引張抵抗部６９は、柱状支持部６０Ｆが上から引っ張られて底部６８を下ガイドプレート３０から逸脱させることを抑制するため、片状位置決め部４０が剥がれてしまうといったことは発生しない。
【００５８】
上述した実施形態において、柱状支持部は、間に片状位置決め部を挟んで向かい合う上方当接面および下方当接面を有するが、これに限らない。柱状支持部はヘッド部に位置する上方当接面のみ、または柱状部に位置する下方当接面のみがあってもよい。つまり、一部分の柱状支持部に上方当接面を配置し、上方当接面の下方に片状位置決め部を限定し、それ以外の柱状支持部に下方当接面を配置し、下方当接面の上方に片状位置決め部を限定すればよい。言い換えれば、本発明において、柱状支持部は上方当接面を有するとは限らない。例えば、第１実施形態から第５実施形態において、柱状支持部６０Ａから６０Ｅはヘッド部６２が細長い矩形を呈するが、これに限らず、断面積がネット部６４より小さい形、または断面積とネット部６４とが一致し、かつ相互に繋がる形になってもよい。
或いは、柱状支持部は下方当接面を有するとは限らない。例えば、第４実施形態において、柱状支持部６０Ｄの柱状部６６はストッパー部位６６６が配置されず、延長部位６６８とネック部６４とが相互に繋がる形になってもよい。つまり、本発明において、柱状支持部はヘッド部６２に位置する上方当接面６２２および柱状部６６に位置する下方当接面６６２またはいずれか一つを有する。少なくとも一つの柱状支持部は上方当接面６２２を有する。少なくとも一つの柱状支持部は下方当接面６６２を有する。
【００５９】
以上、本発明は、上記実施形態になんら限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施可能である。
【符号の説明】
【００６０】
１０  垂直型プローブモジュール
１２  格納空間
１４  プローブ配置部位
２０  上ガイドプレート
２２  プローブ装着孔
２４  格納孔
３０  下ガイドプレート
３１  上方パーツ
３２  下方パーツ
３４  嵌合孔
３６  プローブ装着孔
３８  凹状溝
４０  片状位置決め部
４２  位置限定孔
４２２  線状部
４２４  拡張部
４４  プローブ装着孔
４４２  線状部
４４４  拡張部
５０  プローブ
５２  ヘッド部
５４  ピン本体
５６  先端部
６０Ａから６０Ｆ  柱状支持部
６２  ヘッド部
６２２  上方当接面
６４  ネック部
６６  柱状部
６６２  下方当接面
６６４  底面
６６６  ストッパー部位
６６８  延長部位
６８  底部
６８２  末端部
６８４  スロット
６８２  嵌合部
６８８  フック部
６９  引張抵抗部
７０  柱状支持部
７２  ヘッド部
７４  ネック部
７６  柱状部
７８  底部
７８２  脚部
７８４  フック部
７８６  弾性部位
８０  桿状体
Ｄ１  縦方向
Ｄ２  傾斜方向
θ  角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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