(57)【要約】【課題】本発明は、マニホールド等の流体機器に対しバルブを容易且つ迅速に脱着することができるバルブの取付構造を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、バルブにコネクタ部が設けられ、該コネクタ部には、一側端に突部、他側端にフック部が形成されてなり、該フック部は、先端に係合部が形成されるとともに後端側を押圧部とするレバーを有し、該レバーは、前記係合部と押圧部の中間位置において前記他端側にヒンジ部を介して弾性変形可能に連結されるものであって、前記コネクタ部の前記一側端に形成される突部を前記流体機器のバルブ設置部に形成される凹部に挿入するとともに当該挿入部を支点として前記バルブを回動し、前記コネクタ部の前記他側端に形成されるフック部の前記レバー先端に形成される係合部を前記流体機器のバルブ設置部に形成される係合突部に係合することで、前記バルブを前記流体機器に取り付けることを特徴とする。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バルブを流体機器に取り付けるための構造であって、前記バルブは前記流体機器の給気通路と連通する気体吸入路及び前記流体機器の排気通路と連通する気体排出路を有し、前記流体機器の給気通路を介して前記気体吸入路からバルブ内に吸入される圧縮エアを当該バルブの作動により前記気体排出路から前記流体機器の排気通路を介して排出するバルブの取付構造において、
前記バルブには、前記流体機器への取り付け部側に前記気体吸入路の吸入口及び前記気体排出路の排出口が開口するとともに前記流体機器へ当接する当接面を有するコネクタ部が設けられ、
該コネクタ部には、一側端に突部、他側端にフック部が形成されてなり、該フック部は、先端に係合部が形成されるとともに後端側を押圧部とするレバーを有し、該レバーは、前記係合部と押圧部の中間位置において前記他端側にヒンジ部を介して弾性変形可能に連結されるものであって、
前記コネクタ部の前記一側端に形成される突部を前記流体機器のバルブ設置部に形成される凹部に挿入するとともに当該挿入部を支点として前記バルブを回動し、前記コネクタ部の前記他側端に形成されるフック部の前記レバー先端に形成される係合部を前記流体機器のバルブ設置部に形成される係合突部に係合することで、前記バルブを前記流体機器に取り付けることを特徴とするバルブの取付構造。
【請求項２】
前記コネクタ部の前記当接面であって、前記一側には当該一側から他側に向けて延びる突条が形成され、前記他側には前記気体吸入路の吸入口が開口する吸入突部が形成されてなり、
前記コネクタ部の前記一側に形成される突条を前記流体機器のバルブ設置部に形成される凹条に嵌合するとともに、前記コネクタ部の前記他側に形成される吸入突部を前記流体機器のバルブ設置部に形成される前記給気通路が開口する給気凹部に嵌合し、前記バルブの前記流体機器に対する位置決めを行う請求項１記載のバルブの取付構造。
【請求項３】
前記流体機器のバルブ設置部には、前記凹部及び係合突部が連続した態様で形成されてなり、
前記凹部及び係合突部を利用して多数のバルブを前記流体機器に連設する請求項１又は２記載のバルブの取り付け構造。
【請求項４】
前記バルブは、前記気体吸入路から圧縮エアを吸入するバルブ本体を備え、該バルブ本体内に、前記気体排出路を開閉する弁体と、該弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する圧電素子と、該圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる変位拡大機構を有するアクチュエータが配設される圧電式バルブであって、備える圧電式バルブであって、前記バルブ本体と前記コネクタ部の間には、前記圧電素子に給電するための配線基板が配設されてなり、前記コネクタ部の前記一側であって前記バルブ本体の側方に、前記配線基板を介して前記圧電素子に給電するための配線コネクタを配設してなる請求項１乃至３の何れかに記載のバルブの取付構造。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかに記載の取付構造によりバルブを取り付けてなる流体機器。
【請求項６】
請求項５に記載された流体機器は、多数のバルブが連設されてなるマニホールドであって、当該マニホールドを用いて構成される光学式粒状物選別機のエジェクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バルブの取付構造に関し、具体的には圧電式バルブや電磁バルブ等のバルブをマニホールド等の流体機器に取り付けるための構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、多数のバルブを連設してなる流体機器は周知である（特許文献１〜４を参照。）。
特許文献１〜３には、多数の電磁バルブが連設されたマニホールドを用いて光学式粒状物選別機のエジェクタを構成することが記載されている。
また、特許文献４には、多数の圧電式バルブが連設されたマニホールドを用いて光学式粒状物選別機のエジェクタを構成することが記載されている。
【０００３】
前記エジェクタは、先端に多数のノズル孔が開口し、前記各バルブの作動により前記各ノズル孔からエアを噴射する。
そして、前記光学式粒状物選別機は、前記エジェクタの作用により所定の粒状物を吹き飛ばし当該粒状物を選別する。
【０００４】
ところで、前記エジェクタは、前記バルブに不具合が生じた場合に当該バルブを交換する必要がある。
【０００５】
これに関連し、特許文献１には、マニホールドに対しバルブをねじ部材により取り付ける構造が記載されている。
しかしながら、前記ねじ部材によるバルブの取付構造は、バルブの交換に時間がかかる問題がある。
【０００６】
また、特許文献２には、マニホールドに対しバルブをクリップにより取り付ける構造が図示されている。そして、当該バルブの取付構造によれば、前記ねじ部材による取付構造に比べ、バルブを容易に交換することができる。
しかしながら、前記クリップによるバルブの取付構造は、二本の指先に力を加えてクリップを操作する必要があり、多くのバルブを交換する場合には必ずしも作業を迅速に行うことができない問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１３−２４１９７７号公報
【特許文献２】特開２０１２−３５１８５号公報
【特許文献３】特許第２９７０８２３号公報
【特許文献４】特開２０１３−１２４６９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明は、マニホールド等の流体機器に対しバルブを容易且つ迅速に脱着することができるバルブの取付構造及び該バルブを取り付けた流体機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明は、
バルブを流体機器に取り付けるための構造であって、前記バルブは前記流体機器の給気通路と連通する気体吸入路及び前記流体機器の排気通路と連通する気体排出路を有し、前記流体機器の給気通路を介して前記気体吸入路からバルブ内に吸入される圧縮エアを当該バルブの作動により前記気体排出路から前記流体機器の排気通路を介して排出するバルブの取付構造において、
前記バルブには、前記流体機器への取り付け部側に前記気体吸入路の吸入口及び前記気体排出路の排出口が開口するとともに前記流体機器へ当接する当接面を有するコネクタ部が設けられ、
該コネクタ部には、一側端に突部、他側端にフック部が形成されてなり、該フック部は、先端に係合部が形成されるとともに後端側を押圧部とするレバーを有し、該レバーは、前記係合部と押圧部の中間位置において前記他端側にヒンジ部を介して弾性変形可能に連結されるものであって、
前記コネクタ部の前記一側端に形成される突部を前記流体機器のバルブ設置部に形成される凹部に挿入するとともに当該挿入部を支点として前記バルブを回動し、前記コネクタ部の前記他側端に形成されるフック部の前記レバー先端に形成される係合部を前記流体機器のバルブ設置部に形成される係合突部に係合することで、前記バルブを前記流体機器に取り付けることを特徴とする。
【００１０】
本発明は、前記コネクタ部の前記当接面であって、前記一側には当該一側から他側に向けて延びる突条が形成され、前記他側には前記気体吸入路の吸入口が開口する吸入突部が形成されてなり、
前記コネクタ部の前記一側に形成される突条を前記流体機器のバルブ設置部に形成される凹条に嵌合するとともに、前記コネクタ部の前記他側に形成される吸入突部を前記流体機器のバルブ設置部に形成される前記給気通路が開口する給気凹部に嵌合し、前記バルブの前記流体機器に対する位置決めを行うことが好ましい。
【００１１】
本発明は、前記流体機器のバルブ設置部に、前記凹部及び係合突部が連続した態様で形成されてなり、
前記凹部及び係合突部を利用して多数のバルブを当該流体機器に連設することが好ましい。
【００１２】
本発明は、前記バルブが、前記気体吸入路から圧縮エアを吸入するバルブ本体を備え、該バルブ本体内に、前記気体排出路を開閉する弁体と、該弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する圧電素子と、該圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる変位拡大機構を有するアクチュエータが配設される圧電式バルブであって、前記バルブ本体と前記コネクタ部の間には、前記圧電素子に給電するための配線基板が配設されてなり、前記コネクタ部の前記一側であって前記バルブ本体の側方に、前記配線基板を介して前記圧電素子に給電するための配線コネクタを配設してなることが好ましい。
【００１３】
本発明は、前記何れかに記載の取付構造によりバルブを取り付けてなる流体機器である。
【００１４】
本発明は、前記流体機器が、多数のバルブが連設されてなるマニホールドであって、当該マニホールドを用いて構成される光学式粒状物選別機のエジェクタである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、バルブには、流体機器への取り付け部側に気体吸入路の吸入口及び気体排出路の排出口が開口するとともに前記流体機器へ当接する当接面を有するコネクタ部が設けられ、該コネクタ部には、一側端に突部、他側端にフック部が形成されてなり、該フック部は、先端に係合部が形成されるとともに後端側を押圧部とするレバーを有し、該レバーは、前記係合部と押圧部の中間位置において前記他端側にヒンジ部を介して弾性変形可能に連結されるものであって、前記コネクタ部の前記一側端に形成される突部を前記流体機器のバルブ設置部に形成される凹部に挿入するとともに当該挿入部を支点として前記バルブを回動し、前記コネクタ部の前記他側端に形成されるフック部の前記レバー先端に形成される係合部を前記流体機器のバルブ設置部に形成される係合突部に係合することで、前記バルブを前記流体機器に取り付けるものであるから、マニホールド等の流体機器に対しバルブをワンタッチで容易かつ迅速に脱着することができる。
【００１６】
本発明は、前記コネクタ部の前記当接面であって、前記一側には当該一側から他側に向けて延びる突条が形成され、前記他側には前記気体吸入路の吸入口が開口する吸入突部が形成されてなり、バルブを流体機器に取り付けるに際し、前記コネクタ部の前記一側に形成される突条を前記流体機器のバルブ設置部に形成される凹条に嵌合するとともに、前記コネクタ部の前記他側に形成される吸入突部を前記流体機器のバルブ設置部に形成される前記給気通路が開口する給気凹部に嵌合することとすれば、流体機器に対しバルブを容易かつ迅速・的確に位置決めすることができる。
【００１７】
本発明は、前記流体機器のバルブ設置部に、前記凹部及び係合突部が連続した態様で形成されてなり、前記バルブ設置部に形成される凹部及び係合突部を利用してバルブを流体機器に取り付けることとすれば、流体機器に対し多数のバルブを容易かつ迅速に連設することができる。
【００１８】
本発明は、前記バルブが、気体吸入路から圧縮エアを吸入するバルブ本体を備え、該バルブ本体内に、気体排出路を開閉する弁体と、該弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する圧電素子と、該圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる変位拡大機構を有するアクチュエータが配設される圧電式バルブであって、前記バルブ本体と前記コネクタ部の間に、前記圧電素子に給電するための配線基板が配設されてなり、前記コネクタ部の前記一側であって前記バルブ本体の側方に、前記配線基板を介して前記圧電素子に給電するための配線コネクタを配設してなるものであれば、流体機器に対するバルブの脱着に際し前記配線コネクタが障害となることがない。
【００１９】
本発明の取付構造によりバルブを取り付けてなる流体機器は、該流体機器に対しバルブをワンタッチで容易かつ迅速に脱着することができる。
【００２０】
本発明の取付構造により多数のバルブが連設されてなるマニホールドを用いて構成される光学式粒状物選別機のエジェクタは、前記マニホールドに対しバルブをワンタッチで容易かつ迅速に脱着することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】バルブの斜視図。
【図２】バルブの正面図。
【図３】バルブの平面図。
【図４】図３のＡ−Ａ断面図。
【図５】バルブの分解図。
【図６】バルブを流体機器に取り付ける際の説明図。
【図７】バルブを流体機器から取り外す際の説明図。
【図８】エジェクタの説明図。
【図９】図８のＦ−Ｆ断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２３】
図１はバルブの斜視図、図２はバルブの正面図、図３はバルブの平面図を示す。
本発明の実施の形態において、バルブ１０は、バルブ本体２０内に圧縮エアを吸入する気体吸入路及び前記圧縮エアを排出する気体排出路を有する。
【００２４】
前記バルブ１０には、バルブ本体２０の前面にコネクタ部３０が設けられる。
前記コネクタ部３０は、当該バルブ１０の流体機器への取り付け部側に前記気体吸入路の吸入口３８及び前記気体排出路の排出口４１が開口するとともに前記流体機器へ当接する当接面３１を有する。
【００２５】
前記コネクタ部３０の長手方向一側端には突部３２、他側端にはフック部３３が形成される。
前記フック部３３は、先端に係合部３６が形成され、後端側を押圧部とするレバー３５を有する。当該レバー３５は、前記係合部３６と押圧部の中間位置において前記他端側にヒンジ部３４を介して弾性変形可能に一体に連結される。
【００２６】
前記当接面３１の長手方向一側には、該長手方向に延びる突条３７が形成される。
また、前記当接面３１の長手方向他側には、前記気体吸入路の吸入口３８が開口する吸入突部３９が形成される。
さらに、前記突条３７と前記吸入突部３９の間には、前記気体排出路の排出口４１が開口するとともに、流体機器と当接面３１の間からのエア漏れを防止するためガスケット４２が配設される。なお、ここでは、４つの排出口４１が開口する例を示す。
【００２７】
ここで、前記バルブ本体２０は、ガラス繊維入りのポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ樹脂）等、内部に吸入するエアの圧力に耐え得るよう機械的強度に優れる樹脂材料等により形成することが望ましい。
また、前記コネクタ部３０は、ポリアセタール樹脂（ＰＯＭ樹脂）等、高弾性率を有し、耐疲労性、耐摩耗性に優れる樹脂材料等により一体に成形することが望ましい。
【００２８】
図４は図３のＡ−Ａ断面図、図５はバルブの分解図を示す。
前記バルブ１０は、圧電素子の変位を駆動力として弁体を動作させる圧電式バルブであって、前記バルブ本体２０内には、前記気体排出路１２を開閉する弁体２１と、該弁体２１の動作に必要な駆動力を変位として発生する圧電素子２２と、該圧電素子２２の変位を拡大して前記弁体２１に作用させる変位拡大機構２３を有するアクチュエータ２５が配設されている。
【００２９】
前記アクチュエータ２５は、前記圧電素子２２に通電すると該圧電素子２２が伸長し、前記変位拡大機構２３を介して前記弁体２１を弁座２４から離間させる。
これにより、前記バルブ１０は、前記気体排出路１２が開放されて前記バルブ本体２０内に吸入した圧縮エアを前記排出口４１から排出する。
【００３０】
また、前記アクチュエータ２５は、前記圧電素子２２への通電が解除されると該圧電素子２２が収縮し、前記変位拡大機構２３を介して前記弁体２１を前記弁座２４に着座させる。
これにより、前記バルブ１０は、前記気体排出路１２が閉鎖されて前記圧縮エアの排出を停止する。
【００３１】
ここでは、前記バルブ１０は４つの気体排出路１２を有するとともに、前記バルブ本体２０内に４組のアクチュエータ２５が配設されている。
したがって、前記バルブ１０は、当該４組のアクチュエータ２５を任意に動作させることで、前記バルブ本体２０内に吸入した圧縮エアを図１及び図３に示す４つの排出口４１から任意に排出することができる。
【００３２】
なお、本発明の実施の形態において、前記バルブ１０は、前記バルブ本体２０と前記コネクタ部３０の間に、前記圧電素子２２に給電するための配線基板２６が配設されてなり、前記コネクタ部３０の前記一側であって前記バルブ本体２０の側方位置に、前記配線基板２６を介して前記圧電素子２２に給電するための配線コネクタ２７が配設されている。
【００３３】
図６はバルブを流体機器に取り付ける際の説明図を示す。
前記バルブ１０を流体機器５０に取り付ける際は、まず、前記コネクタ部３０の前記一側端に形成される突部３２を前記流体機器５０のバルブ設置部に形成される凹部５１に挿入する。
【００３４】
次に、前記突部３２を前記凹部５１に挿入した挿入部Ｂを支点として前記バルブ１０を矢印Ｃ方向に回動させる。その際、前記コネクタ部３０の前記他側端に形成されるフック部３３は、前記レバー３５の先端に形成される係合部３６が前記流体機器５０のバルブ設置部に形成される係合突部５２に当接するが、前記係合部３６の上部及び前記係合突部５２の下部にはそれぞれ傾斜面が形成されており、前記係合部３６の傾斜面が前記係合突部５２の傾斜面に案内されるとともに前記ヒンジ３４部の作用により該レバー３５の先端側が後方へ撓む。そして、前記レバー３５先端の係合部３６が前記バルブ設置部の係合突部５２を乗り越えて該係合突部５２に係合する。
これにより、前記流体機器５０に対し前記バルブ１０をワンタッチで容易かつ迅速に取り付けることができる。
【００３５】
なお、前記係合部３６の上部及び前記係合突部５２の下部に傾斜面が形成されていない場合でも、前記フック部３３のレバー３５後端側の押圧部を指で押すことで、前記ヒンジ部３４の作用により該レバー３５の先端側を後方へ撓ませて、前記レバー３５先端の係合部３６を前記バルブ設置部の係合突部５２に係合させることができる。
この場合でも、前記流体機器５０に対し前記バルブ１０をワンタッチで容易かつ迅速に取り付けることができる。
【００３６】
また、前記バルブ１０を前記流体機器５０に取り付けるに際し、前記コネクタ部３０の前記一側に形成される突条３７を前記流体機器５０のバルブ設置部に形成される図示しない凹条に嵌合するとともに、前記コネクタ部３０の前記他側に形成される吸入突部３９を前記流体機器５０のバルブ設置部に形成されて給気通路が開口する図示しない給気凹部に嵌合する。
これにより、前記流体機器５０に対し前記バルブ１０を容易かつ迅速・的確に位置決めすることができる。
【００３７】
図７はバルブを流体機器から取り外す際の説明図を示す。
前記バルブ１０を前記流体機器５０から取り外す際は、まず、前記フック部３３のレバー３５後端側の押圧部を矢印Ｄ方向に指で押すことで、前記ヒンジ部３４の作用により該レバー３５の先端側を後方へ撓ませて、当該レバー３５先端の係合部３６を前記流体機器５０のバルブ設置部に形成される係合突部５２から離間させる。
【００３８】
次に、前記コネクタ部３０の前記一側端に形成される突部３２を前記流体機器５０のバルブ設置部に形成される凹部５１に挿入した前記挿入部Ｂを支点として前記バルブ１０を矢印Ｅ方向に回動させる。
これにより、前記流体機器５０から前記バルブ１０をワンタッチで容易かつ迅速に取り外すことができる。
【００３９】
図８及び図９はエジェクタの説明図であって、図９は図８のＦ−Ｆ断面図を示す。
本発明の実施の形態において、前記流体機器５０は、図示しない圧縮エア源から圧縮エアが供給されるエア空間５３を内部に有するマニホールドであり、該マニホールド５０は、前記エア空間５３と連通する多数の給気通路５４及び後述するノズル部材６０のノズル孔６１に連通する多数の排気通路５５を有する。
また、前記マニホールド５０には、前記給気通路５４及び排気通路５５とそれぞれ連通する気体吸入路及び気体排出路を有する多数のバルブ１０が連設される。
【００４０】
そして、本発明の実施の形態において、エジェクタ７０は、多数のバルブ１０が連設されてなる前記マニホールド５０に対し、該マニホールド５０の各排気通路５５と連通する多数のノズル孔６１を有するノズル部材６０を取り付けることで構成される。
【００４１】
前記マニホールド５０には、１本の給気通路５４と４本の排気通路５５を対として、当該給気通路５４と排気通路５５の対が前記マニホールド５０の長手方向に沿って前記バルブ１０の数だけ形成される。
また、前記マニホールド５０のバルブ設置部には、図６及び図７に示したとおりの凹部５１及び係合突部５２が、当該マニホールド５０の長手方向に沿って連続した態様で形成される。
さらに、前記マニホールド５０のバルブ設置部には、図６及び図７と同様の図示しない凹条と給気凹部の対が、前記マニホールド５０の長手方向に沿って前記連設するバルブ１０の数だけ形成される。
【００４２】
そして、前記エジェクタ７０は、前記バルブ１０を前記マニホールド５０に取り付けるに際し、図６と同様に前記マニホールド５０の長手方向に沿って形成される図示しない凹条と給気凹部を利用して前記バルブ１０の前記マニホールド５０に対する位置決めが行われ、前記マニホールド５０の長手方向に沿って形成される凹部５１及び係合突部５２を利用して前記バルブ１０の前記マニホールド５０に対する取り付けが行われる。
これにより、前記マニホールド５０に対し多数のバルブ１０を容易かつ迅速・的確に連設することができる。
【００４３】
なお、前記マニホールド５０は強度を要するためにアルミニウム押出材により成形し、前記ノズル部材６１は複雑なノズル形状を有するため樹脂により一体成形することが望ましい。
【００４４】
本発明の実施の形態によれば、コネクタ部３０の長手方向一側端に形成される突部３２を流体機器５０のバルブ設置部に形成される凹部５１に挿入するとともに前記挿入部Ｂを支点としてバルブ１０を回動し、前記コネクタ部３０の他側端に形成されるフック部３３のレバー３５先端に形成される係合部３６を前記流体機器５０のバルブ設置部に形成される係合突部５２に係合することで、前記バルブ１０を前記流体機器５０に取り付けることができる。
【００４５】
また、本発明の実施の形態によれば、前記フック部３３のレバー３５後端側の押圧部を指で押し、該レバー３５先端の係合部３６を前記バルブ設置部の係合突部５２から離間させることで、前記バルブ１０を前記流体機器５０から取り外すことができる。
【００４６】
したがって、上記本発明の実施の形態によれば、マニホールド等の流体機器５０に対し前記バルブ１０をワンタッチで容易かつ迅速に脱着することができる。
【００４７】
本発明の実施の形態によれば、流体機器５０がマニホールドの場合には、当該マニホールド５０のバルブ設置部に、前記凹部５１及び係合突部５２が該マニホールド５０の長手方向に沿って連続した態様で形成されるので、前記マニホールド５０対し多数のバルブ１０を容易かつ迅速に連設することができる。
【００４８】
また、本発明の実施の形態によれば、流体機器５０がマニホールドの場合には、前記マニホールド５０のバルブ設置部に凹条と給気凹部の対が、前記マニホールド５０の長手方向に沿ってバルブの数だけ形成されるので、前記マニホールド５０に対し多数のバルブ１０を容易かつ迅速・的確に位置決めすることができる。
【００４９】
本発明の実施の形態によれば、バルブ１０に圧電式バルブを用いる場合でも、コネクタ部３０の長手方向一側であってバルブ本体２０の側方位置に、圧電素子２２に給電するための配線コネクタ２７を配設してなるので、前記バルブ１０をコンパクトに構成できるとともに、流体機器に対する前記バルブ１０の脱着に際し前記配線コネクタ２７が障害となることがない。
【００５０】
なお、本発明の実施の形態におけるバルブの取り付け構造は、圧電式バルブに限るものでなく、例えば電磁バルブの場合でも、該電磁バルブに前記コネクタ部３０を設けることで、当該電磁バルブを流体機器５０に対しワンタッチで容易かつ迅速に脱着することができる。
【００５１】
本発明は、上記実施の形態に限るものでなく、発明の範囲を逸脱しない限りにおいてその構成を適宜変更できることはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、マニホールド等の流体機器に対しバルブをワンタッチで容易且つ迅速に脱着することができるため、極めて実用性が高い。
【符号の説明】
【００５３】
１０      バルブ（圧電式バルブ）
１１      気体吸入路
１２      気体排出路
２０      バルブ本体
２１      弁体
２２      圧電素子
２３      変位拡大機構
２４      弁座
２５      アクチュエータ
２６      配線基板
２７      配線コネクタ
３０      コネクタ部
３１      当接面
３２      突部
３３      フック部
３４      ヒンジ部
３５      レバー
３６      係合部
３７      突条
３８      吸入口
３９      吸入突部
４１      排出口
４２      ガスケット
５０      流体機器（マニホールド）
５１      凹部
５２      係合突部
５３      エア空間
５４      給気通路
５５      排気通路
６０      ノズル部材
６１      ノズル孔
７０      エジェクタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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