(57)【要約】      （修正有）【課題】高速且つ高精度に真直度の測定を行う真直度測定装置などを提供する。【解決手段】真直度測定装置１は、真直性が確認されている基準パターン３と、基準パターン３と測定対象物４の直線状パターンを同時に撮像するカメラ５と、カメラ５を基準パターン３に沿って搬送させるカメラ搬送ステージ６とによって構成される。真直度測定装置１は、カメラ５を搬送させながら撮像して取得した画像データに基づいて、基準パターン３と測定対象物４の直線状パターンの重心間距離を算出し、重心間距離から測定対象物４の直線状パターンの真直度を算出する。【選択図】図１
2015137994.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象パターンの真直度を測定する真直度測定装置であって、
真直性が確認されている基準パターンと、
前記基準パターンと前記測定対象パターンを同時に撮像する撮像器と、
前記撮像器を前記基準パターンに沿って搬送させる撮像器搬送手段と、
前記搬送させながら撮像して取得した画像データに基づいて、前記基準パターンと前記測定対象パターンとのパターン間距離を算出し、前記パターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出する真直度算出手段と、
を備えることを特徴とする真直度測定装置。
【請求項２】
前記パターン間距離を前記測定対象パターンの傾きに応じて補正する補正手段を、更に備え、
前記真直度算出手段は、前記補正されたパターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出することを特徴とする請求項１に記載の真直度測定装置。
【請求項３】
真直性が確認されている基準パターンと、前記基準パターンと測定対象パターンを同時に撮像する撮像器と、を備える真直度測定装置を用いて、前記測定対象パターンの真直度を測定する真直度測定方法であって、
前記撮像器を前記基準パターンに沿って搬送させながら撮像する搬送撮像ステップと、
前記搬送させながら撮像して取得した画像データに基づいて、前記基準パターンと前記測定対象パターンとのパターン間距離を算出し、前記パターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出する真直度算出ステップと、
を含むことを特徴とする真直度測定方法。
【請求項４】
コンピュータを、測定対象パターンの真直度を測定する真直度測定装置として機能させるためのプログラムであって、
前記真直度測定装置は、真直性が確認されている基準パターンと、前記基準パターンと前記測定対象パターンを同時に撮像する撮像器と、を備え、
前記コンピュータを、
前記撮像器を前記基準パターンに沿って搬送させながら撮像する搬送撮像手段、
前記搬送させながら撮像して取得した画像データに基づいて、前記基準パターンと前記測定対象パターンとのパターン間距離を算出し、前記パターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出する真直度算出手段、
として機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物の真直度を測定する真直度測定装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から測定対象物の真直性を測定する手段が様々提供されている。例えば、
特許文献１では、２次元変位検出機にレーザ光を用い、生成されたスペックル画像を解析することで、簡単でコンパクトな構成で真直度の測定を行う発明が開示されている。
【０００３】
一方、特許文献２では、ワイヤのワイヤ曲がりを簡単且つ正確に測定評価する発明が開示されており、ワイヤを垂下してワイヤの垂下方向に対して垂直な方向から撮影し、その画像から仮想の中心線を求めて２次元連続蛇行曲線に変換し、ワイヤ長さの２〜２５倍の複数区間で区切り、その区切られた２次元曲線の区間毎に該曲線の真直性を評価することを特徴としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４９７０２０４号
【特許文献２】特許第４０５０７７２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方、測定対象物が、直線パターンを多数有するような場合には、その直線パターンの数に応じて測定量も膨大となる。このようなケースでは、測定精度を担保しつつも測定の高速を図ることが肝要である。
【０００６】
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高速且つ高精度に真直度の測定を行う真直度測定装置などを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前述した目的を達成するための第１の発明は、測定対象パターンの真直度を測定する真直度測定装置であって、真直性が確認されている基準パターンと、前記基準パターンと前記測定対象パターンを同時に撮像する撮像器と、前記撮像器を前記基準パターンに沿って搬送させる撮像器搬送手段と、前記搬送させながら撮像して取得した画像データに基づいて、前記基準パターンと前記測定対象パターンとのパターン間距離を算出し、前記パターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出する真直度算出手段と、を備えることを特徴とする真直度測定装置。
である。
第１の発明によって、撮像器を停止することなく搬送させながら測定を行うため、高速に測定対象パターンの真直度を測定できる。また、測定対象パターンの真直度は同一の画像内の基準パターンとの相対値（パターン間距離）から算出されるため、撮像器の搬送が蛇行するような場合でも、その影響を相殺でき高精度な真直度の測定が行える。
【０００８】
前記パターン間距離を前記測定対象パターンの傾きに応じて補正する補正手段を、更に備え、前記真直度算出手段は、前記補正されたパターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出することが望ましい。
これによって、測定対象パターンが基準パターンの軸方向に対して斜めに傾いている場合であっても、その傾きを補正し測定対象パターンの真直度を算出するため、測定対象物の配置の影響による測定誤差を軽減でき、より高精度な真直度の測定が行える。
【０００９】
第２の発明は、真直性が確認されている基準パターンと、前記基準パターンと測定対象パターンを同時に撮像する撮像器と、を備える真直度測定装置を用いて、前記測定対象パターンの真直度を測定する真直度測定方法であって、前記撮像器を前記基準パターンに沿って搬送させながら撮像する搬送撮像ステップと、前記搬送させながら撮像して取得した画像データに基づいて、前記基準パターンと前記測定対象パターンとのパターン間距離を算出し、前記パターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出する真直度算出ステップと、を含むことを特徴とする真直度測定方法である。
第２の発明によって、撮像器を停止することなく搬送させながら測定を行うため、高速に測定対象パターンの真直度を測定できる。また、測定対象パターンの真直度は同一の画像内の基準パターンとの相対値（パターン間距離）から算出されるため、撮像器の搬送が蛇行するような場合でも、その影響を相殺でき高精度な真直度の測定が行える。
【００１０】
第３の発明は、コンピュータを、測定対象パターンの真直度を測定する真直度測定装置として機能させるためのプログラムであって、前記真直度測定装置は、真直性が確認されている基準パターンと、前記基準パターンと前記測定対象パターンを同時に撮像する撮像器と、を備え、前記コンピュータを、前記撮像器を前記基準パターンに沿って搬送させながら撮像する搬送撮像手段、前記搬送させながら撮像して取得した画像データに基づいて、前記基準パターンと前記測定対象パターンとのパターン間距離を算出し、前記パターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出する真直度算出手段、として機能させるためのプログラムである。
第３の発明によって、撮像器を停止することなく搬送させながら測定を行うため、高速に測定対象パターンの真直度を測定できる。また、測定対象パターンの真直度は同一の画像内の基準パターンとの相対値（パターン間距離）から算出されるため、撮像器の搬送が蛇行するような場合でも、その影響を相殺でき高精度な真直度の測定が行える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、撮像器を停止することなく搬送させながら測定を行うため、高速に測定対象パターンの真直度を測定できる。また、測定対象パターンの真直度は同一の画像内の基準パターンとの相対値（パターン間距離）から算出されるため、撮像器の搬送が蛇行するような場合でも、その影響を相殺でき高精度な真直度の測定が行える。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態に係る真直度測定装置の構成を示す模式図
【図２】基準パターンの一例を示す図
【図３】(ａ)基準パターンの一例を示す拡大図(ｂ)基準パターンの別例を示す拡大図
【図４】測定対象物の一例を示す図
【図５】測定対象物の拡大図
【図６】カメラと照明の搬送状態を示す図
【図７】制御機構の一例を示す機能図
【図８】真直度測定装置の基本動作を説明するフローチャート
【図９】撮像した画像データの一例を示す図
【図１０】真直度算出処理を説明するフローチャート
【図１１】(ａ)基準パターンと測定対象パターンのエッジを示す図（ｂ）基準パターンと測定対象パターンの重心位置を示す図（ｃ）基準パターンと測定対象パターンの重心間距離を示す図
【図１２】(ａ)重心間距離データの２次元プロット図（ｂ）重心間距離データに一次関数をフィットした図（ｃ）補正後の重心間距離データの２次元プロット図
【図１３】測定対象パターンの真直度の結果を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面に基づいて、本発明の好適な実施形態を詳細に説明する。
【００１４】
[本発明の実施の形態]
図１は、本発明の実施の形態の真直度測定装置１の構成例を示す模式図である。
図１に示すように、真直度測定装置１は、測定機構１ａと制御機構１ｂから構成される。
【００１５】
真直度測定装置１の測定機構１aは、測定テーブル２と、測定テーブル２に設置される基準パターン３と、測定テーブル２に配置される測定対象物４と、測定テーブル２の上方に基準パターン３と測定対象物４とを同時に撮像するためのカメラ５と、カメラ５を搬送するカメラ搬送ステージ６と、測定テーブル２の下方に基準パターン３と測定対象物４とを背面から照射するための照明７と、照明７を搬送する照明搬送ステージ８と、を備える。
【００１６】
測定テーブル２は、平板状に形成され、その中央部には図示しない長矩形状の凹部を有し、当該凹部に後述する基準パターン３を形成するガラス板が固定される。
なお、測定テーブル２は、測定対象物４を基準パターン３の長手方向と直交する軸方向に搬送する機構を有していてもよい。
【００１７】
基準パターン３は、真直度を測定するための基準となる直線状のパターンであり、真直性が保証されているものである。
【００１８】
図２は、基準パターン３の一例を示す図である。本実施形態では、基準パターン３は、長さ２０００ｍｍ、厚さ５ｍｍのガラス板にクロム膜をコーティングすることで形成される。基準パターン３が形成されたガラス板は、測定テーブル２の図示しない凹部に固定される。
【００１９】
図３（ａ）は図２の基準パターン３の一部分を拡大した図である。図３（ａ）に示すように、クロム膜を一定の幅で長手方向に一様にコーティングすることで基準パターン３は形成される。クロム膜の幅は任意であるが、本実施形態では１００ミクロンとしている。
図３（ｂ）は、図３（ａ）と異なる基準パターン例を示した拡大図であり、クロム膜を長手方向に所定間隔おきに縞状にコーティングしている。
【００２０】
図４は測定対象物４を示す図である。本実施形態では、測定対象物４は、真直性が確認されていない直線状パターンを等間隔にコーティングしたフィルムを用いた。また、図５は、図４の測定対象物４の一部分を拡大した図である。
【００２１】
カメラ５は、図示しない撮像レンズと、撮像レンズを透過した被写体像を２次元の画像信号に変換するＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）やＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ−ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）等の電子撮像部等を備えており、カメラ搬送ステージ６に搬送可能に設置される（図１参照）。
なお、本実施形態において撮像レンズは、テレセントリックレンズを用いている。テレセントリックレンズは、主光線がレンズ光軸に対して平行に進むように設計されているため、歪曲収差が生じにくく、被写体の位置を高精度に測定することが可能である。
カメラ５で撮像した被写体像は後述する送受信部２２を介して制御機構１ｂの記憶部２４に画像データとして記憶される。
【００２２】
カメラ搬送ステージ６は、基準パターン３の上方に設置される（図１参照）。また、カメラ搬送ステージ６は、カメラ５を保持し、且つ、カメラ５を基準パターン３と一定の距離を保ちながら基準パターン３の長手方向に沿って搬送する。当該搬送は、後述する制御部２０の制御命令に従って実行される。なお、カメラ搬送ステージ６の両端に停止リミッタを設置し、カメラ５が停止リミッタを超えて搬送されたら自動的にカメラ５を停止するように構成してもよい。
【００２３】
照明７は、照明搬送ステージ８に搬送可能に設置され、基準パターン３及び測定対象物４の背面（下方）から光を照射する（図１参照）。照明７には、透過照明を用いるのが望ましい。透過照明を用いることにより、後述する画像処理部２４の真直度算出処理において、基準パターン３及び測定対象物４の直線状パターンのエッジ（輪郭）が鮮明に画像化され、エッジ抽出精度が向上する。
【００２４】
照明搬送ステージ８は、照明７を保持し（図１参照）、且つ、照明７を基準パターン３と一定の間隔を保ちながら基準パターン３の長手方向に沿って搬送する。当該搬送は、後述する制御部２０の制御命令に従って実行される。なお、照明搬送ステージ８の両端に停止リミッタを設置し、照明７が停止リミッタを超えて搬送されたら自動的に照明７を停止するように構成してもよい。
【００２５】
図６は、カメラ５と照明７の搬送の様子を示す図であり、真直度測定装置１を側面から見たものである。カメラ５と照明７は、測定テーブル２を挟んで真向いに配置されており、カメラ５と照明７は同じ水平位置を保ちながら協働して搬送される。これにより、カメラが移動しても常に一定の照明条件を確保しながら測定を行うことができる。
【００２６】
図７は、真直度測定装置１の制御機構１ｂの機能を示す図である。制御機構１ｂは、制御部２０、設定部２１、送受信部２２、入力部２３、記憶部２４、画像処理部２５、及び、表示部２６を備える。制御機構１ｂは、通常、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えたコンピュータで実現される。
【００２７】
制御部２０は、真直度測定装置１全体の制御を行う。具体的には、制御部２０は、カメラ搬送ステージ６のカメラ５の搬送制御、照明搬送ステージ８の照明７の搬送制御、カメラ５の撮像制御、を行う。この際、制御部２０は、設定部２１に設定されている制御条件（搬送条件、撮像条件）に従って制御を行う。
【００２８】
設定部２１は、制御部２０の制御条件を保持する。具体的には、カメラ５及び照明７の搬送速度、搬送距離などの「搬送条件」、カメラ５の撮像間隔などの「撮像条件」を保持する。カメラ５及び照明７の搬送速度は、要求される測定スピードなどに応じて適宜決定すればよい。また、カメラ５及び照明７の搬送距離は、測定対象物４のサイズなどに応じて適宜決定すればよい。
カメラ５の撮像間隔とは、例えば、「５秒ごとに撮像を実行する」、「１０秒ごとに撮像を実行する」といった撮像する時間間隔のことを言う。撮像間隔は、カメラ５の搬送速度とカメラレンズの画角などに応じて適宜決定されるものであり、少なくとも、基準パターン３が撮像されない部分（死角）が出来ないようにその値を設定するのが望ましい。
本実施形態の場合、カメラ５と照明７の搬送速度を共に１５（ｍｍ／秒）、搬送距離を共に基準パターンの寸法と同じ１５００ｍｍに設定する。撮像間隔は、１０秒とした。
【００２９】
送受信部２２は、所定の形式に従った情報の送受信を行うインターフェースとしての機能を有し、本実施形態の場合、カメラ５、カメラ搬送ステージ６、照明７、照明搬送ステージ８と接続されている。
【００３０】
入力部２３は、キーボード、マウス等により構成され、制御部２０の制御条件（搬送条件、撮像条件など）の入力、測定開始及び測定停止の操作を受け付ける。
【００３１】
記憶部２４は、情報を磁気的に記憶するハードディスク、制御機構１ａの制御を実行する制御プログラムなどをハードディスクからロードして電気的に記憶するメモリ、により構成される。
また、記憶部２４は、カメラ５で撮像した被写体像を、送受信部２２を介して画像データとして記憶する。
【００３２】
画像処理部２５は、記憶部２４に記憶された画像データに対して、後述する真直度算出処理を実行し、測定対象物４の真直度を算出する。
【００３３】
表示部２６は、ディスプレイ等により構成され、カメラ５で撮像した画像、後述する真直度算出処理の結果、などを表示する。
【００３４】
＜基本動作処理＞
次に、図８のフローチャートを参照して、真直度測定装置１の基本動作について説明する。
測定準備として、カメラ５を測定開始位置に移動しておく。そして、測定者などが、測定対象物４を測定テーブル１の所定位置に配置する。測定対象物４を配置する際、カメラ５の撮像視野内に、基準パターン３と測定対象物４の真直度を測定したい直線状パターンの両方が同時に写るようにする。以降、測定対象物４の真直度を測定したい直線状パターンを「測定対象パターン」と呼ぶ。
【００３５】
ステップ１において、制御部２０は、測定者の測定開始の操作を受け付けることによって、設定部２１に設定された搬送条件に従って、カメラ５及び照明７の搬送を開始し、同時に、設定部２１に設定された撮像条件に従って、カメラ５の撮像を開始する。カメラ５で撮像した被写体像は、送受信部２２を介して画像データとして記憶部２４に蓄積されていく。図９は撮像された画像データの一例である。図９の左が基準パターン３、右が測定対象パターンである。
【００３６】
ステップ２において、制御部２０は、カメラ５及び照明７を、設定部２１に設定された搬送距離だけ搬送したら、カメラ５及び照明７の搬送を終了し、同時に、カメラ５の撮像を終了する。
【００３７】
ステップ３において、画像処理部２５（制御部２０）は、記憶部２４に記憶された画像データに基づいて測定対象パターンの真直度を算出する（真直度算出処理）。真直度算出処理の詳細については後述する。
【００３８】
ステップ４において、制御部２０は、ステップ３で算出した測定対象パターンの真直度の結果を表示部２６に表示し、測定を終了する。
【００３９】
測定対象物４の次の直線状パターンを測定したい場合は、測定者などが、再度測定対象物４を配置し直し、ステップ１に戻り測定を開始する。
【００４０】
なお、前述したように測定テーブル２が測定対象物４を基準パターン３の長手方向と直交する軸方向に搬送する機構を有している場合には、ステップ４の終了後、制御部２０が、測定対象物４を所定の間隔だけ搬送し、当該搬送後、制御部２０が、カメラ５の搬送及び撮像を開始し、測定対象物４の次の直線状パターンの測定を実行するようにしてもよい。つまり、本実施形態に加えて、測定対象物４を基準パターン３の長手方向と直交する軸方向に搬送する機構と、制御部２０がカメラ５の搬送、撮像制御と測定対象物４の搬送制御を切り替える手段と、を更に備えることで、測定者の作業を介することなく、測定対象物４のすべての直線状パターンの測定を自動化することができる。この場合、測定対象物４を搬送する所定の間隔には、測定対象物４の直線状パターンの間隔を採用するのが望ましい。
【００４１】
次に、真直度算出処理の具体的内容を説明する。
＜真直度算出処理＞
図１０は、測定対象パターンの真直度を算出する処理を説明するフローチャートである。以降、記憶部２４に記憶された図９の画像データを例として真直度算出処理の説明をする。
【００４２】
ステップ１１において、画像処理部２５（制御部２０）は、記憶部２４に記憶された画像データ（図９参照）に基づいて、基準パターン３と測定対象パターンの重心位置を算出する（重心位置算出処理）。
【００４３】
重心位置算出処理は、まず、画像データに対してエッジ抽出処理を施し、基準パターン３と測定対象パターンの両端のエッジ（輪郭）を長手方向に一定間隔ごと抽出する（図１１（a）参照）。そして、抽出した基準パターン３と測定パターンの両端のエッジ座標の中心位置を算出することで各パターンの重心位置を算出する（図１１（ｂ）参照）。
【００４４】
以降、重心位置を画像データの長手方向にＮ点算出したものとして説明する。
ここで、ステップ１の重心位置算出処理により得られた基準パターン３の重心位置をＡ１、Ａ２、・・・、ＡＮと定義し、測定対象パターンの重心位置をＢ１、Ｂ２、・・・、ＢＮと定義する。
【００４５】
ステップ１２において、画像処理部２５（制御部２０）は、ステップ１１の処理により得られた基準パターン３と測定対象パターンの重心位置の距離（重心間距離、図１１（ｃ）参照）を算出する（重心間距離算出処理）。具体的には、Ｎ点の重心間距離Ｄ１、Ｄ２、・・・、ＤＮを次のように算出する。
【００４６】
【数１】
2015137994.tif 000003
【００４７】
ステップ１３において、画像処理部２５（制御部２０）は、ステップ１２において算出した重心間距離を補正する（補正処理）。補正処理は、まず、ステップ１２の重心間距離算出処理により得られたＮ点の重心間距離のデータを２次元グラフ上にプロットし（図１２（ａ）参照）、プロットしたデータにフィットする一次関数を算出する（図１２（ｂ）参照）。一次関数は、例えば、Ｎ点の重心間距離のデータを回帰分析することにより得られる。ここで、得られた一次関数の傾きをαとして、重心位置の間隔を１（単位長）とすると、補正後の重心間距離は次のように算出できる。
【００４８】
【数２】
2015137994.tif 000004
【００４９】
図１２（ｃ）は補正後の重心間距離のデータをプロットした図である。
【００５０】
ステップ１４において、画像処理部２５（制御部２０）は、ステップ１３で得られたＮ点の補正後の重心間距離のデータを平均０に正規化し、最終的に測定対象パターンの真直度を次のように算出する。
【００５１】
【数３】
2015137994.tif 000005
【００５２】
以上の処理により、測定対象パターンの真直度の分布が得られる（図１３参照）。測定対象パターンの真直度は、得られた分布の標準偏差としても良いし、例えば、｜ｍａｘ｛σｉ｝−ｍｉｎ｛σｊ｝｜、ｍａｘ｛σｉ｝、ｍｉｎ｛σｉ｝（１≦ｉ，ｊ≦Ｎ）など分布を特徴付ける指標を真直度としても良い。なお、最終的な真直度はピクセル値で出力してもよいし、実寸値で出力してもかまわない。
【００５３】
本実施形態によれば、カメラ５を搬送させながら撮像し、測定対象パターンの真直度の算出を行うため、高速に測定対象パターンの真直度を測定できる。
【００５４】
また、基準パターン３と測定対象パターンの重心間距離は、基準パターン３の重心位置を基準とした相対値として算出されるため、たとえカメラ搬送ステージ６が蛇行するような場合であっても、測定対象パターンの真直度の算出精度への影響を極めて小さく抑えることができる。
【００５５】
さらに、測定対象物４の配置の仕方により、測定対象パターンが基準パターン３の軸方向に対して傾きを持つ場合でも、ステップ１３の補正処理によりその傾きの影響を相殺できるため、測定対象物の配置の影響による測定誤差を軽減でき、より高精度な真直度の測定が行える。
【００５６】
本実施形態では、測定対象物４として、直線状パターンを等間隔にコーティングした２次元状のフィルムを用いたが、カメラ５で撮像できる直線状パターンであれば、３次元の測定対象物に対しても真直度の測定を行うことができる。
【００５７】
以上、添付図面を参照しながら、本発明に係る真直度測定装置１等の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例又は修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【００５８】
１  ・・・・・・真直度測定装置
１ａ・・・・・・測定機構
１ｂ・・・・・・制御機構
２  ・・・・・・測定テーブル
３  ・・・・・・基準パターン
４  ・・・・・・測定対象物
５  ・・・・・・カメラ
６  ・・・・・・カメラ搬送ステージ
７  ・・・・・・照明
８  ・・・・・・照明搬送ステージ
２０・・・・・・制御部
２１・・・・・・設定部
２２・・・・・・送受信部
２３・・・・・・入力部
２４・・・・・・記憶部
２５・・・・・・画像処理部
２６・・・・・・表示部
【図１】
2015137994.tif 000006
【図２】
2015137994.tif 000007
【図３】
2015137994.tif 000008
【図４】
2015137994.tif 000009
【図５】
2015137994.tif 000010
【図６】
2015137994.tif 000011
【図７】
2015137994.tif 000012
【図８】
2015137994.tif 000013
【図９】
2015137994.tif 000014
【図１０】
2015137994.tif 000015
【図１１】
2015137994.tif 000016
【図１２】
2015137994.tif 000017
【図１３】
2015137994.tif 000018