(57)【要約】【課題】第１の金属層に対して、第２の金属層を形成するための原版マスクの位置決め精度を容易に向上させることができる、スクリーン印刷版の製造方法を提供する。【解決手段】第１の原版マスク４０を用いて、感光性レジスト層を露光、現像し、レジストパターン３１を形成した後、電解めっきによって、メッシュ孔と基準孔１１を有する第１の金属層を形成する。第２の透光部４６に、基準孔１１よりも細く、少なくとも基準孔１１の外に配置される基準線４７が形成された第２の原版マスク４４を、基準孔１１に対して位置決めした後、第２の遮光部４６を遮光した状態で、ネガタイプの感光性レジストを露光、現像し、レジストパターンを形成した後、電解めっきによって、パターン印刷孔を有し、基準孔１１を覆う第２の金属層を形成する。【選択図】図４
2015064454.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッシュ孔を有する第１の金属層の上に、パターン印刷孔を有する第２の金属層が積層され、前記メッシュ孔と前記パターン印刷孔とが連通しているスクリーン印刷版を製造する方法であって、
基準面の上に、前記メッシュ孔に対応する図形を含む第１の原版マスクを用いて、感光性レジストを露光、現像して、第１のレジストパターンを形成した後、電解めっきによって、前記基準面の上に、前記メッシュ孔を有する前記第１の金属層を形成する第１の工程と、
前記第１のレジストパターンを除去した後、前記第１の金属層及び前記メッシュ孔の上に、前記パターン印刷孔に対応する図形を含む第２の原版マスクを用いて、感光性レジストを露光、現像して、第２のレジストパターンを形成した後、電解めっきによって、前記第１の金属層の上に、前記パターン印刷孔を有する前記第２の金属層を形成する第２の工程と、
前記第２のレジストパターンを除去した後、前記第１の金属層の上に前記第２の金属層が積層された積層体を前記基準面から分離する第３の工程と、
を備え、
前記第１の原版マスクは、少なくとも３箇所にアライメントマークを含み、
前記第１の工程において、第１の金属層の少なくとも３箇所に、前記メッシュ孔と同時に、前記アライメントマークに対応する基準孔を形成し、
前記第２の原版マスクは、前記パターン印刷孔に対応する位置に形成された第１の透光部と、前記基準孔に対応する位置及びその周囲に形成された第２の透光部とを含み、前記第２の透光部には、少なくとも前記基準孔に対応する部分の外側に、前記基準孔よりも細い基準線が形成され、
前記第２の工程において、
前記基準孔と前記基準線との相対位置に基づいて、前記第１の金属層に対して前記第２の原版マスクを位置決めした後、前記第２の透光部を遮光した状態で、前記第２の原版マスクを用いて、ネガタイプの前記感光性レジストを露光、現像して、前記第２のレジストパターンを形成した後、電解めっきによって、前記基準孔を覆う前記第２の金属層を形成することを特徴とするスクリーン印刷版の製造方法。
【請求項２】
前記第１の原版マスクの前記アライメントマークは、中心の周りを間欠的に取り囲む線状又は点状の複数の要素を含み、
前記第２の原版マスクの前記第２の透光部に、前記アライメントマークと同心の前記基準線が形成されていることを特徴とする、請求項１に記載のスクリーン印刷版の製造方法。
【請求項３】
前記第２の原版マスクの前記第２の透光部に、それぞれ、複数本の前記基準線が形成されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載のスクリーン印刷版の製造方法。
【請求項４】
前記アライメントマークの前記要素は、湾曲した形状又は折れ曲がった形状であることを特徴とする、請求項３に記載のスクリーン印刷版の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷版の製造方法に関し、詳しくは、電解めっきによって形成された金属層を備えるスクリーン印刷版を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の製造工程において、電極パッドや配線などの導電パターンを印刷するために、スクリーン印刷版が用いられている。
【０００３】
例えば図１２の断面図に示すように、スクリーン印刷版１０１は、第１の金属層１３１の上に第２の金属層１３２が一体に形成された積層体（金属シート）である。第１の金属層１３１に形成されたメッシュ孔１４２と、第２の金属層１３２に形成されたパターン印刷孔１４１とが連通している。第１の金属層１３１側からペーストが供給され、メッシュ孔１４２を通ってパターン印刷孔１４１に充填されたペーストが、被印刷物に転写される。
【０００４】
このスクリーン印刷版１０１は、例えば図１３の断面図に示す工程で作製される。すなわち、図１３（ａ）に示すように、基板１１０の上に感光性レジスト層を形成し、露光、現像して、ペーストが通過する個々のメッシュ孔に対応する第１のレジストパターン１２１を形成する。次いで、図１３（ｂ）に示すように、電解めっきによって金属膜を成長させ、メッシュ孔を有する第１の金属層１３１を形成する。次いで、図１３（ｃ）に示すように、第１の金属層１３１の上に感光性レジスト層を形成し、露光、現像して、パターン印刷孔１４１に対応する第２のレジストパターン１２２を形成する。次いで、図１３（ｄ）に示すように、電解めっきによって第２の金属層１３２を形成する。次いで、第１及び第２のレジストパターン１２１，１２２を剥離し、基板１１０から、第１及び第２の金属層１３１，１３２が一体構造となった積層体を分離して、スクリーン印刷版１０１に用いる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−０２５７０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
スクリーン印刷版を高精度に作製するには、第１の金属層と第２の金属層との位置のずれを抑制する必要がある。そのため、第１の金属層にアライメントマーク部を形成しておき、第２の金属層を形成するための原版マスクを、アライメントマーク部を基準に位置決めすることがある。
【０００７】
例えば、詳しくは後述する比較例１では、図６（ａ）の要部平面図に示すように、第１の金属層を形成するための第１の原版マスク４０ｘの４箇所に、十字状の図形のアライメントマーク４１ｘを形成しておき、図７（ａ）の要部平面図に示すように、母材２０に十字状のレジストパターン３１ｘを形成した後、母材２０にめっき膜を形成することによって、図７（ｂ）の要部平面図に示すように、第１の金属層１２ｘに、メッシュ孔と同時に、アライメントマーク部として十字状の基準孔１１ｘを形成する。
【０００８】
図６（ｂ）の要部平面図に示すように、第２の金属層を形成するための第２の原版マスク４４ｘには、第１の原版マスク４０ｘのアライメントマーク４１ｘに対応する位置に、透光部４６ｘが形成され、透光部４６ｘの内部に十字部分４７ｘが形成されたものを用いる。そして、第１の金属層１２ｘの基準孔１１ｘに、十字部分４７ｘが重なるように、第１の金属層１２ｘに対して第２の原版マスク４４ｘを位置決めした状態で、露光、現像する。これによって、図７（ｃ）の要部平面図に示すように、第１の金属層１２ｘの上に、十字状の基準孔１１ｘとの間に間隔を設けて、４つの矩形のレジストパターン３６を形成する。この状態で第２の金属層１４ｘのめっき膜を形成することによって、図７（ｄ）の要部平面図に示すように、基準孔１１ｘが第２の金属層１４ｘのめっきで塞がれ、基準孔１１ｘとの間に間隔を設けて第１の金属層１２ｘが露出する４つの矩形部１６が形成される。これによって、第１の金属層１２ｘと第２の金属層１４ｘの積層体（めっきシート）には、基準孔１１ｘに沿ってアライメントマーク形状（十字形状）が存在する。
【０００９】
第１の金属層１２ｘの基準孔１１ｘを確実に塞ぐことができるように、第２の原版マスク４４ｘの十字部分４７ｘの幅は、第１の原版マスク４０ｘの十字状のアライメントマーク４１ｘの幅よりも大きくする必要がある。図６（ｂ）に示すように、第２の原版マスク４４ｘの十字部分４７ｘは遮光部分であり、十字部分４７ｘが基準孔１１ｘに重なると、基準孔１１ｘが見えなくなるため、さらに位置決め精度を向上することが難しい。
【００１０】
第２の原版マスク４４ｘの十字部分４７ｘの幅と、第１の原版マスク４０ｘの十字状のアライメントマーク４１ｘの幅との差を小さくすると位置決め精度は向上するが、アライメントのズレが発生した場合は、第２の金属層１４ｘのめっき膜で第１の金属層１２ｘの十字状の基準孔１１ｘを確実に覆うことが困難となり、第２の金属層１４ｘのめっき終了後に、第１の金属層１２ｘのアライメントマーク部にピンホールや、スリット状の切れ目不良が入る可能性がある。
【００１１】
図１１は、スクリーン印刷版２の構成を模式的に示す説明図である。図１１に示すように、アライメントマーク形状（十字形状）３が存在する積層体（めっきシート）１０ｘは、印刷枠４に接合される。積層体（めっきシート）１０ｘに沿ってスキージ６を、領域８内において矢印７で示す方向に摺動させて、スクリーン印刷を行う。スクリーン印刷のショット数を重ねると、破線９で示すように、スキージ６の移動方向と平行に、スクリーン印刷版２のアライメントマーク形状３を起点とする亀裂が入り易くなる。そのため、アライメントマーク形状３が存在しない場合と比べ、スクリーン印刷版２の寿命が短くなる。特に、第１の金属層が厚く、第２の金属層が薄い条件では、アライメントマーク部の基準孔が形成されている第１の金属層が、スクリーン印刷時のスキージの摺動によってストレスを繰返し受けるため、第１の金属層のアライメントマーク部の基準孔を起点とする亀裂が発生し、破損し易い。
【００１２】
図６（ｃ）の要部平面図に示す第１の原版マスク４０ｙと、図６（ｄ）の要部平面図に示す第２の原版マスク４４ｙとを組み合わせて用いると、第１の金属層の基準孔を分断し、短くすることはできるが、第１の金属層の基準孔が亀裂の起点になることに変わりはない。
【００１３】
本発明は、かかる実情に鑑み、第１の金属層に対して、第２の金属層を形成するための原版マスクの位置決め精度を容易に向上させることができる、スクリーン印刷版の製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成したスクリーン印刷版の製造方法を提供する。
【００１５】
スクリーン印刷版の製造方法は、メッシュ孔を有する第１の金属層の上に、パターン印刷孔を有する第２の金属層が積層され、前記メッシュ孔と前記パターン印刷孔とが連通しているスクリーン印刷版を製造する方法である。スクリーン印刷版の製造方法は、（ｉ）基準面の上に、前記メッシュ孔に対応する図形を含む第１の原版マスクを用いて、感光性レジストを露光、現像して、第１のレジストパターンを形成した後、電解めっきによって、前記基準面の上に、前記メッシュ孔を有する前記第１の金属層を形成する第１の工程と、（ii）前記第１のレジストパターンを除去した後、前記第１の金属層及び前記メッシュ孔の上に、前記パターン印刷孔に対応する図形を含む第２の原版マスクを用いて、感光性レジストを露光、現像して、第２のレジストパターンを形成した後、電解めっきによって、前記第１の金属層の上に、前記パターン印刷孔を有する前記第２の金属層を形成する第２の工程と、（iii）前記第２のレジストパターンを除去した後、前記第１の金属層の上に前記第２の金属層が積層された積層体を前記基準面から分離する第３の工程とを備える。前記第１の原版マスクは、少なくとも３箇所にアライメントマークを含む。前記第１の工程において、第１の金属層の少なくとも３箇所に、前記メッシュ孔と同時に、前記アライメントマークに対応する基準孔を形成する。前記第２の原版マスクは、前記パターン印刷孔に対応する位置に形成された第１の透光部と、前記基準孔に対応する位置及びその周囲に形成された第２の透光部とを含み、前記第２の透光部には、少なくとも前記基準孔に対応する部分の外側に、前記基準孔よりも細い基準線が形成されている。前記第２の工程において、前記基準孔と前記基準線との相対位置に基づいて、前記第１の金属層に対して前記第２の原版マスクを位置決めした後、前記第２の透光部を遮光した状態で、前記第２の原版マスクを用いて、ネガタイプの前記感光性レジストを露光、現像して、前記第２のレジストパターンを形成した後、電解めっきによって、前記基準孔を覆う前記第２の金属層を形成する。
【００１６】
上記方法によれば、第２の原版マスクを位置決めするとき、第２の原版マスクの第２の透光部に形成されている基準線は、第１の金属層のアライメントマーク部となる基準孔よりも細く、基準孔の外に配置されるため、正しい位置決め状態からのずれの程度を、正しい位置決め状態になるまで確認することができる。そのため、第２の原版マスクを精度よく位置決めすることができ、調整作業も容易になる。
【００１７】
好ましくは、前記第１の原版マスクの前記アライメントマークは、中心の周りを間欠的に取り囲む線状又は点状の複数の要素を含む。前記第２の原版マスクの前記第２の透光部に、前記アライメントマークと同心の前記基準線が形成されている。
【００１８】
この場合、第１の原版マスクのアライメントマークによって、第１の金属層には、中心の周りを間欠的に取り囲む基準孔が形成される。この基準孔が、第２の原版マスクの第２の透光部の基準線と同心になるように、第１の金属層に対して第２の原版マスクを位置決めする。第１の原版マスクのアライメントマークによって形成されるレジストパターンの一部が形成されなくても、他のレジストパターンによって第１の金属層に形成された基準孔に対して中心が一致するように、第２の原版マスクを位置決めすることが可能である。
【００１９】
基準孔と基準線の配置から、それぞれの中心位置が分かるため、位置ずれの方向と位置ずれ量を容易に確認することができ、位置決め作業が容易になる。
【００２０】
好ましくは、前記第２の原版マスクの前記第２の透光部に、それぞれ、複数本の前記基準線が形成されている。
【００２１】
この場合、第２の原版マスクの位置決め時に、正しい位置決め状態からのずれを分かり易くい。例えば、互いに平行な基準線の間隔によって、位置ずれを定量的に認識することができる。また、格子状の基準線によって、異なる２方向の位置ずれを定量的に認識することができる。
【００２２】
好ましくは、前記アライメントマークの前記要素は、湾曲した形状又は折れ曲がった形状である。
【００２３】
この場合、アライメントマークに対応する基準孔は、スキージの移動方向に真直ぐに延在する形状ではないため、基準孔を起点とする破損の発生を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、第１の金属層に対して、第２の金属層を形成するための原版マスクの位置決め精度を容易に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】スクリーン印刷版の製造工程を示す断面図である。（実施例１）
【図２】スクリーン印刷版の製造工程を示す断面図である。（実施例１）
【図３】スクリーン印刷版の製造工程を示す断面図である。（実施例１）
【図４】原版マスク及びレジストパターンの要部平面図である。（実施例１）
【図５】第１の原版マスクの要部平面図である。（実施例１の変形例１）
【図６】原版マスクの要部平面図である。（比較例１）
【図７】レジストパターン及び金属層の要部平面図である。（比較例１）
【図８】スクリーン印刷版の製造工程を示す断面図である。（比較例１）
【図９】スクリーン印刷版の製造工程を示す断面図である。（比較例１）
【図１０】スクリーン印刷版の製造工程を示す断面図である。（比較例１）
【図１１】スクリーン印刷装置の説明図である。（比較例１）
【図１２】スクリーン印刷版の断面図である。（従来例１）
【図１３】スクリーン印刷版の製造工程を示す断面図である。（従来例１）
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図１０を参照しながら説明する。
【００２７】
＜実施例１＞  実施例１のスクリーン印刷版の製造方法について、図１〜図５を参照しながら説明する。
【００２８】
図１〜図３は、スクリーン印刷版の積層体１０の製造工程を示す断面図である。図３（１２）に示すように、スクリーン印刷版に用いる積層体（金属シート）１０は、メッシュ孔１３を有する第１の金属層１２の上に、パターン印刷孔１５を有する第２の金属層１４が積層されたオールメタルの２層構造である。メッシュ孔１３とパターン印刷孔１５とは、連通している。
【００２９】
メッシュ孔１３の形状は長方形、菱形、扇形、三角形、ハニカム形状など、適宜形状を選択することができる。メッシュ孔１３の大きさ、配置個数、配置の態様は、印刷図形を決定する第２の金属層１４のパターン印刷孔１５による印刷特性（塗布厚、均一性、エッジの直線性）を満足するよう選択する。例えば、メッシュ孔１３の寸法は約１５μｍ〜１００μｍ程度であり、メッシュ線径（隣接するメッシュ孔１３間の間隔）は１０μｍ〜５０μｍ程度である。
【００３０】
積層体１０は、以下の（１）〜（１２）の手順によって、第１及び第２の金属層１２，１４が一体に形成される。
【００３１】
（１）まず、図１（１）に示すように、所定の表面粗さの基準面２０ａを有する導電性の母材２０を準備する。例えば、表面粗さＲａ０．０１μｍ〜１μｍのステンレス鋼ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３０４に、アルカリ脱脂、水洗、酸処理、水洗、乾燥等の表面処理を施す。
【００３２】
（２）次いで、図１（２）に示すように、脱脂洗浄、酸処理による表面処理を施した母材２０の基準面２０ａに、第１の金属層１２にメッシュ孔１３を形成するための感光性レジスト層３０を形成する。感光性レジスト層３０は、ドライフィルム感光性レジストをラミネーターで母材２０の基準面２０ａに貼り合わせて形成しても、液体感光性レジストをスピンコーターで母材２０の基準面２０ａに塗布形成してもよい。
【００３３】
メッシュ部を電解めっきで成長させる際に、感光性レジスト厚みがメッシュ厚みより低い場合には、メッシュ孔の開口部がオーバーハング形状となり、メッシュ孔の開口寸法精度が保証できなくなる。これを防ぐため、感光性レジスト層３０の厚みは、メッシュ部厚み（すなわち、第１の金属層１２の厚み）よりも厚い膜厚で設定する。感光性レジスト層３０の膜厚範囲は約１０μｍ〜５０μｍとし、めっき形成するメッシュ部の厚み（第１の金属層１２の厚み）よりも、感光性レジスト層３０の厚みが＋２〜＋１０μｍ程度厚くなる組み合わせで選定する。
【００３４】
（３）次いで、図１（３）に示すように、第１の原版マスク４０を用いて露光する。第１の原版マスク４０には、メッシュ孔１３を形成するためのメッシュ図形４３と、第２の原版マスク４４との位置合わせの基準となる整合性マーク（アライメントマーク）４１が描画されている。なお、ここでは、感光性レジスト層３０にネガタイプの感光性レジストを使用しているため、第１の原版マスク４０では、レジストパターンを形成する図形が、透明の図形である。感光性レジスト層３０にポジタイプの感光性レジストを使用する場合、レジストパターンを形成する図形は不透明の図形にする。
【００３５】
図４（ａ−１）及び（ａ−２）は、第１の原版マスク４０の要部平面図である。図４（ａ−１）に示す第１の原版マスク４０のアライメントマーク４１は、矩形の線の一部が途切れた形状であり、Ｌ字状に折れ曲がった形状の４つの要素からなる。図４（ａ−２）に示す第１の原版マスク４０のアライメントマーク４１は、円の線の一部が途切れた形状であり、円弧状に湾曲した形状の４つの要素からなる。アライメントマーク４１の線幅は、２０μｍ〜３５μｍである。図５の第１の原版マスク４０ａの要部平面図に示すように、点線状のアライメントマーク４１ａとしてもよい。
【００３６】
アライメントマーク４１は、中心を取り囲み、一部が途切れた形状であるため、アライメントマーク４１によって形成されるべきレジストパターンのうち、一部が形成されない場合でも、他のレジストパターンによって形成される第１の金属層の基準孔によって、アライメント部の全体形状を推定することができるので、第２の原版マスクを位置決めすることができる。アライメントマーク４１は、少なくとも３箇所に形成する必要があり、４箇所（スキージの移動方向に対して両側に各２箇所）設けると、縦方向、横方向の位置ずれと、傾きを容易に認識できるので、アライメント調整作業が容易になる。
【００３７】
（４）次いで、露光された第１の感光性レジスト層３０に対して、現像処理を施す。これによって、図１（４）に示すように、メッシュ図形４３に対応するレジストパターン３３と、アライメントマーク４１に対応するレジストパターン３１が、母材２０の基準面２０ａ上に形成される。アライメントマーク４１のレジストパターン３１は、図４（ｂ−１）及び（ｂ−２）の要部平面図に示すように、図４（ａ−１）及び（ａ−２）に示した第１の原版マスク４０の透明図形（アライメントマーク４１）に対応して、形成される。
【００３８】
（５）次いで、母材２０の基準面２０ａ上にレジストパターン３１，３３が形成された状態で、母材２０に電解めっきを施し、図１（５）に示すように、母材２０の基準面２０ａ上に第１の金属層１２を形成する。メッシュ図形４３に対応するレジストパターン３３の部分には、めっきが形成されないため、第１の金属層１２にメッシュ孔１３が形成される。また、アライメントマーク４１に対応するレジストパターン３１の部分にも、めっきが形成されないため、第１の金属層１２に基準孔１１が形成される。
【００３９】
例えば、電解めっき浴には、めっき膜の応力制御に優れたスルファミン酸Ｎｉ浴を用いて、電解Ｎｉめっきで、第１の金属層１２を形成する。めっき厚みは、電解めっき電気量（電流値×導通時間）と比例関係があることから、所望するめっきの厚みに対応した電解めっき電気量を設定することによって、めっきの厚みを制御することが可能である。めっきの厚み（第１の金属層１２の厚み）は、スクリーン印刷版で使用するペースト粘度や所望する印刷品質（印刷塗布厚、にじみ量抑制）によっても異なるが、メッシュ開口率との関係も含めて、約５μｍ〜５０μｍ厚みの範囲で設定する。
【００４０】
（６）次いで、第１の金属層１２の電解めっきが終了した後、図２（６）に示すように、レジストパターン３１，３３を剥離除去する。レジストパターン３１，３３の剥離除去は、アルカリ液や有機溶剤含有溶液などをシャワー噴霧、又は浸漬することによってレジストパターン３１，３３を完全に溶解除去し、その後の水洗処理で表面のアルカリ残渣分を洗浄除去する。
【００４１】
（７）次いで、図２（７）に示すように、パターン印刷孔１５を有する第２の金属層１４の形成のため、第１の金属層１２を覆うように第２の感光性レジスト層３４を形成する。感光性レジスト層３４の厚みは、第２の金属層１４の設計めっき厚みを上回るようにする。なお、図２（７）は、液体感光性レジストをスピンコーターによって塗布した後、乾燥させた状態を示している。第２の感光性レジスト層３４は、フィルム感光性レジストを、ラミネーターを用いて貼り付けることによって形成してもよい。第２の感光性レジスト層３４の厚みは、約１０μｍ〜１５０μｍである。
【００４２】
（８）次いで、図２（８）に示すように、印刷図形に対応するパターン印刷孔１５を形成するため、第２の原版マスク４４を用いて露光する。第２の原版マスク４４には、パターン印刷孔１５を形成するための第１の透光部４５と、第１の金属層１２との位置合わせのための第２の透光部４６とを有している。
【００４３】
図４（ｃ−１）及び（ｃ−２）は、第２の原版マスク４４の要部平面図である。図４（ｃ−１）及び（ｃ−２）に示すように、第２の原版マスク４４の第２の透光部４６には、第１の原版マスク４０のアライメントマーク４１と対応する位置に、黒色の基準線４７が同心状に複数本描かれている。基準線４７の線幅は３μｍ〜１０μｍ、基準線４７の間隔は４０μｍ〜５０μｍである。
【００４４】
第１の金属層１２に対して第２の原版マスク４４を位置決めするとき、第２の原版マスク４４の第２の透光部４６を介して、第１の金属層１２の基準孔１１を観察しながら、第１の金属層１２と第２の原版マスク４４の相対位置を調整する。
【００４５】
正しく位置決めされると、図４（ｄ−１）及び（ｄ−２）の要部平面図に示すように、第２の原版マスク４４の第２の透光部４６内の基準線４７に、第１の金属層１２のアライメントマーク部である基準孔１１が同心に重なる。基準線４７に対して基準孔１１の位置がずれていると、同心に配置された複数本の基準線４７によって、ずれている方向（ずれ方向）と、ずれている量（ずれ量）が分かるので、ずれ方向とずれ量に応じて、位置ずれがなくなるように、第１の金属層１２と第２の原版マスク４４の相対位置を調整することによって、整合性を確保する。基準線４７の線幅は、基準孔１１を覆うように形成する必要がないため、基準孔１１より細くすることができるので、より高精度に整合確認できる。
【００４６】
第２の原版マスク４４を位置決めし、整合状態が確認できたら、露光を行う。ただし、露光の前に、図２（８）において鎖線で示すように、第２の原版マスク４４の第２の透光部４６のみにマスキング４８を施し、第２の透光部４６に対応するレジストパターンが形成されないように非露光状態として、露光作業を行う。
【００４７】
（９）次いで、露光後の第２の感光性レジスト層３４に対して現像処理を施すことによって、図２（９）に示すように、印刷図形に相当するレジストパターン３５が、第１の金属層１２の上に、第１の金属層１２のメッシュ孔１３を覆うように形成される。例えば、レジストパターン３５の幅寸法は約１５μｍ〜５００μｍ程度である。このとき、第１の金属層１２のアライメントマーク部である基準孔１１及びその近傍には、レジストパターンが全く存在していない。
【００４８】
（１０）次いで、第２の金属層１２にレジストパターン３５が形成された状態で、図３（１０）に示すように、電解めっきによって、第２の金属層１４を形成する。
【００４９】
詳しくは、第２の金属層１４のめっき前処理として、第１の金属層１２のめっき表面に酸洗浄を施し、レジストパターン３５の存在しない第１の金属層１２のめっき表面を活性化処理した後に、第２の金属層１４の電解めっき処理を施す。めっき前処理を施すことで、第１の金属層１２のめっき膜と第２の金属層１４のめっき膜をより強固に接合することが可能となる。
【００５０】
第２の金属層１４の電解めっきは、例えば第１の金属層１２と同様に、スルファミン酸Ｎｉ浴を用いたＮｉめっき等を用いる。第２の金属層１４のめっき厚みは、約２μｍ〜１２０μｍと様々であり、印刷特性に応じてめっき厚みを選択する。第２の金属層１４のめっき厚みは、レジストパターン３５の厚みを超えることはない。
【００５１】
図３（１３）に示すように、第１の金属層１２のアライメントマーク部である基準孔１１は、第２の金属層１４のめっき膜によって、完全に覆われるため、第１の金属層１２のアライメントマーク部にピンホールや、スリット状の切れ目不良が入ることはない。
【００５２】
（１１）次いで、第２の金属層１４の電解めっきが終了した後に、図３（１１）に示すように、レジストパターン３５を、第１の金属層１２用のレジストパターン３１，３３の剥離除去と同様にアルカリ液で剥離除去し、表面を水洗する。これによって、第１の金属層１２のメッシュ孔１３と第２の金属層１４のパターン印刷孔１５がオールメタルで一体型をなすスクリーン印刷シート（金属シート）が完成する。
【００５３】
（１２）次いで、図３（１２）に示すように、母材２０の基準面２０ａから、第１及び第２の金属層１２，１４が一体に形成された積層体１０を剥離して、スクリーン印刷版を作製する。
【００５４】
詳しくは、予め支持紗を張り付けて準備した印刷枠に、コンビネーションスクリーン印刷版として、上記積層体１０を貼付した後、母材２０から剥離するこによって、スクリーン印刷版を作製する。
【００５５】
コンビネーション版の作製は、支持紗に積層体１０の外周を接着剤で接合・乾燥させ、接合部の内側の支持紗スクリーンをカット除去することで、積層体１０に張力がかけられる。その後、積層体１０を母材２０から剥剥がして、スクリーン印刷版が完成する。
【００５６】
また、直貼りスクリーン版の作製作業の場合も同様であり、予め印刷枠に補助板となる固定用の金属枠を準備し、積層体１０を貼り付け・乾燥させた後、母材２０を積層体１０から剥がすことで得られる。
【００５７】
以上の（１）〜（１２）の手順のスクリーン印刷版を製造する場合、第２の原版マスクを位置決めするとき、第２の原版マスクの基準線は、第１の金属層のアライメントマーク部の基準孔よりも細く、基準孔の外に配置されるため、正しい位置決め状態からのずれの程度（ずれ方向、ずれ量）を、正しい位置決め状態になるまで確認することができる。そのため、第２の原版マスクを精度よく位置決めすることができる。
【００５８】
また、複数個所のアライメント部のすべてについて同時に整合させることができないときに、各アライメント部について位置ずれを均等にすることによって、全体として位置決め精度を向上させることができる。このような場合に、ずれ方向とずれ量を容易に確認できるため、調整作業が容易になる。
【００５９】
アライメントマーク部の基準孔を細くしなくても、第２の原版マスクを精度よく位置決めすることができる。第２の原版マスクの第２の透光部は、露光時にマスクされ非露光状態になるため、大きくても問題ない。そのため、第１の金属層の基準孔や、第２の原版マスクの第２の透光部を、第２の透光部を介して基準孔を容易に発見できるように、適切な大きさに形成することによって、調整作業が容易になる。
【００６０】
第１の金属層にアライメントマーク部を構成する基準孔は、第１の金属層の主面に垂直な方向から見たとき、湾曲したり折れ曲がった形状であるため、第１の金属層のアライメントマーク部がスキージの移動方向と平行に並ぶように形成されても、基準孔は、スキージの移動方向に真直ぐに並ぶ形状にはならない。これによって、基準孔を起点とするスキージの移動方向の破損の発生が抑制される。
【００６１】
＜比較例１＞  比較例１のスクリーン印刷版の積層体１０ｘの製造方法について、図６〜図１０を参照しながら説明する。
【００６２】
図８〜図９は、スクリーン印刷版の積層体１０ｘの製造工程を示す断面図である。比較例１のスクリーン印刷版の積層体１０ｘは、図８〜図１０に示す手順で作製する。
【００６３】
まず、図８（１）に示すように、母材２０として導電性基板を準備する。次いで、図８（２）に示すように、母材２０の基準面２０ａの上に、第１の感光性レジスト層３０を形成する。
【００６４】
次いで、図８（３）に示すように、第１の原版マスク４０ｘを用いて、露光する。第１の原版マスク４０ｘは、第１の金属層１２ｘのメッシュ孔１３を形成するためのメッシュ図形４３と、図６（ａ）の要部平面図に示す十字状のアライメントマーク４１ｘが描画されている。アライメントマーク４１は、線幅が２０〜３０μｍである。
【００６５】
次いで、第１の感光性レジスト層３０に対して現像処理を施して、図８（４）に示すように、メッシュ図形４３に対応するレジストパターン３３と、アライメントマーク４１ｘに対応するレジストパターン３１ｘを形成する。アライメントマーク４１ｘに対応するレジストパターン３１ｘは、図７（ａ）の要部平面図に示すように、十字状に形成される。
【００６６】
次いで、図８（５）に示すように、レジストパターン３１ｘ，３３が形成された状態で、電解めっき処理によって、第１の金属層１２ｘを形成する。次いで、図９（６）に示すように、レジストパターン３１ｘ，３３の剥離処理を行う。このとき、図７（ｂ）の要部平面図に示すように、第１の金属層１２ｘには、十字状の基準孔１１ｘが形成されている。
【００６７】
次いで、図９（７）に示すように、第１の金属層１２を覆うように第２の感光性レジスト層３４を形成する。
【００６８】
次いで、図９（８）に示すように、第２の原版マスク４４ｘを用いて露光する。第２の原版マスク４４ｘには、パターン印刷孔１５を形成するための第１の透光部４５と、第２の透光部４６ｘとを有する。図６（ｂ）の要部平面図に示すように、第２の原版マスク４４ｘの第２の透光部４６ｘの内部には、十字部分４７ｘが形成されている。第２の原版マスク４４ｘの第２の透光部４６ｘの内部に形成された十字部分４７ｘが、第１の金属層１２ｘの十字状の基準孔１１ｘに重なるように、第２の原版マスク４４ｘを位置決めした状態で、露光、現像する。
【００６９】
次いで、第２の感光性レジスト層３４に対して現像処理を施して、図９（９）に示すように、第１の透光部４５に対応するレジストパターン３５と、第２の透光部４６ｘに対応するレジストパターン３６を形成する。このとき、図７（ｃ）の要部平面図に示すように、レジストパターン３６は、第１の金属層１２ｘの上に、十字状の基準孔１１ｘとの間に隙間を設けて形成される。
【００７０】
次いで、図１０（１０）に示すように、レジストパターン３５，３６が形成された状態で、電解めっきによって、第２の金属層１４ｘを形成する。
【００７１】
次いで、図１０（１１）に示すように、レジストパターン３５，３６の剥離処理を行う。図７（ｄ）の要部平面図及び図１０（１３）の要部拡大断面図に示すように、第１の金属層１２ｘの基準孔１１ｘは、第２の金属層１４ｘのめっき１４ｐで塞がれ、基準孔１１ｘとの間に間隔を設けて第１の金属層１２ｘが露出する４つの矩形部３７が形成される。これによって、積層体１０ｘには、アライメントマーク形状（十字形状）３が形成される。
【００７２】
次いで、図１０（１２）に示すように、第１の金属層１２ｘの上に第２の金属層１４ｘが形成されている積層体１０ｘを、母材２０から剥離して、スクリーン印刷版に用いる。
【００７３】
なお、図６（ｃ）の要部平面図に示す第１の原版マスク４０ｙと、図６（ｄ）の要部平面図に示す第２の原版マスク４４ｙとを組み合わせて用いてもよい。この場合、第１の原版マスク４０ｙのアライメントマーク４１ｙは、十字状の中心が分断された形状である。第２の原版マスク４４ｙの第２の透光部４６ｙには、交差部分が拡張された十字部分４７ｙが形成されている。
【００７４】
以上の比較例１の方法でスクリーン印刷版を製造する場合、第１の金属層１２ｘの基準孔１１ｘを確実に塞ぐことができるように、第２の原版マスク４４ｘの十字部分４７ｘの幅は、第１の原版マスク４０ｘの十字状のアライメントマーク４１ｘの幅よりも大きくする必要がある。そのため、第２の原版マスク４４ｘの十字部分４７ｘは、第１の金属層１２ｘの基準孔１１ｘよりも大きくなる。図６（ｂ）に示すように、第２の原版マスク４４ｘの十字部分４７ｘは遮光部分であるため、十字部分４７ｘが基準孔１１ｘに重なると、基準孔１１ｘが見えなくなるため、さらに位置決め精度を向上することは難しい。
【００７５】
第２の原版マスク４４ｘの十字部分４７ｘの幅と、第１の原版マスク４０ｘの十字状のアライメントマーク４１ｘの幅との差を小さくすると位置決め精度は向上するが、アライメントのズレが発生した場合は、第２の金属層１４ｘのめっき膜で第１の金属層１２ｘの十字状の基準孔１１ｘを確実に覆うことが困難となり、第２の金属層１４ｘのめっき終了後に、第１の金属層１２ｘのアライメントマーク部にピンホールや、スリット状の切れ目不良が入る可能性がある。
【００７６】
図１１は、積層体１０ｘを用いて作製したスクリーン印刷版２の構成を模式的に示す説明図である。図１１に示すように、アライメントマーク形状（十字形状）３が存在する積層体（めっきシート）１０ｘは、印刷枠４に接合される。積層体（めっきシート）１０ｘに沿ってスキージ６を、領域８内において矢印７で示す方向に摺動させて、スクリーン印刷を行う。スクリーン印刷のショット数を重ねると、破線９で示すように、スキージ６の移動方向と平行に、スクリーン印刷版２のアライメントマーク形状３を起点とする亀裂が入り易くなる。そのため、アライメントマーク形状３が存在しない場合と比べ、スクリーン印刷版２の寿命が短くなる。特に、第１の金属層１２ｘが厚く、第２の金属層１４ｘが薄い条件では、アライメントマーク部の基準孔１１ｘが形成されている第１の金属層１２ｘが、スクリーン印刷時のスキージの摺動によってストレスを繰返し受けるため、第１の金属層１２ｘのアライメントマーク部の基準孔１１ｘを起点とする亀裂が発生し、破損し易い。
【００７７】
図６（ｃ）の要部平面図に示す第１の原版マスク４０ｙと、図６（ｄ）の要部平面図に示す第２の原版マスク４４ｙとを組み合わせて用いると、第１の金属層の基準孔を分断し、短くすることはできるが、第１の金属層１２ｘの基準孔１１ｘが亀裂の起点になることに変わりはない。
【００７８】
これに対し、実施例１の方法でスクリーン印刷版を製造すると、第２の原版マスクを位置決めするとき、第２の原版マスクの第２の透光部に形成されている基準線は、第１の金属層のアライメントマーク部となる基準孔よりも細く、基準孔の外に配置されるため、正しい位置決め状態からのずれの程度を、正しい位置決め状態になるまで確認することができる。そのため、第２の原版マスクを精度よく位置決めすることができる。
【００７９】
また、実施例１の基準孔は、第１の金属層の主面に対して垂直方向から見ると、湾曲した形状又は折れ曲がった形状に形成されるため、スキージの移動方向に真直ぐに延在する形状にはならない。そのため、基準孔を起点とする破損の発生を抑制することができる。
【００８０】
＜まとめ＞  以上に説明したように、第２の原版マスクの第２の透光部に、第１の金属層の基準孔よりも細い基準線を形成し、第２の原版マスクの位置決めした後、第２の原版マスクの第２の透光部を遮光した状態で、露光、現像して形成したレジストパターンを用いて第２の金属層を形成することによって、第１の金属層に対して、第２の金属層を形成するための原版マスクの位置決め精度を容易に向上させることができる。
【００８１】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。
【００８２】
アライメントマーク部として形成する基準孔は、複数の図形要素からなるもであっても、単一の図形のみからなるものであっても構わない。第２の原版マスクの第２の透光部の基準線は、少なくとも１本あればよいが、互いに平行な直線や曲線のほか、格子状や斜めに交差する直線や曲線など、複数本としてもよい。基準線は、線幅の異なるものや、一定の線幅ではなく部分的に線幅が異なるものでも構わない。基準線は、連続していても、途切れていていも構わない。
【符号の説明】
【００８３】
２  スクリーン印刷版
３  アライメントマーク形状
４  印刷枠
６  スキージ
１０，１０ｘ  積層体
１１，１１ｘ  基準孔
１２，１２ｘ  第１の金属層
１３  メッシュ孔
１４，１４ｘ  第２の金属層
１４ｐ  めっき
１５  パターン印刷孔
１６  矩形部
２０  母材
２０ａ  基準面
３０  第１の感光性レジスト層
３１，３１ｘ  レジストパターン
３３  レジストパターン
３４  第２の感光性レジスト層
３５，３６  レジストパターン
３７  矩形部
４０，４０ａ，４０ｘ，４０ｙ  第１の原版マスク
４１，４１ａ，４１ｘ，４１ｙ  アライメントマーク
４３  メッシュ図形
４４，４４ｘ，４４ｙ  第２の原版マスク
４５  第１の透光部
４６，４６ｘ，４６ｙ  第２の透光部
４７  基準線
４７ｘ，４７ｙ  十字部分
４８  マスキング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１２】
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【図１３】
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【図４】
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【図７】
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【図１１】
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