(57)【要約】      （修正有）【課題】磁石ユニットを製造するための費用を安価にするとともに、一対のフローチューブを高い効率で加振させるコリオリ流量計の駆動装置を提供する。【解決手段】磁石２０と、磁石２０を載置する保持金具３１と、保持金具３１を載置し、一対のフローチューブ１２のうちの一方の対向する面に固定されるベース金具３２と、を有するものであって、ベース金具３２に保持金具３１を載置した場合に、磁石２０の外周を囲磁石ユニット３と、電磁コイル４１３を有する電磁コイル部４１と、一対のフローチューブ１２のうちの他方の対向する面に固定されるコイル取付部４２と、を有するコイルユニット４と、からなるコリオリ流量計の駆動装置。【選択図】図３
2015064216.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁石と,
前記磁石を載置する載置部と、前記磁石を挟むように位置し、前記載置部に対して直角に又は前記磁石側へ屈折した第一屈折部および第二屈折部とを有する保持金具と、前記保持金具を載置し、被測定流体が内部に流通する一対のフローチューブのうちの一方の対向する面に固定されるベース部と、前記保持金具を挟むように位置し、前記ベース部に対して直角にまたは前記保持金具側へ屈折した第三屈折部および第四屈折部とを有するベース金具と、を有するものであって、前記ベース金具に前記保持金具を載置した場合に、前記磁石の外周を囲むようにして、前記第一屈折部、前記第二屈折部、前記第三屈折部および前記第四屈折部が位置する磁石ユニットと,
電磁コイルを有する電磁コイル部と、前記一対のフローチューブのうちの他方の対向する面に固定され、前記電磁コイルを前記磁石に面するようにして、前記電磁コイル部が取り付けられるコイル取付部と、を有するコイルユニットと,
を有することを特徴とするコリオリ流量計の駆動装置。
【請求項２】
前記ベース部の厚さが、前記載置部の厚さに対して０．５倍以上２．０倍以下であることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計の駆動装置。
【請求項３】
前記載置部には、さらに、挿通するボルトの外径よりも大きい載置部貫通孔が形成されており、
前記ベース部には、さらに、前記載置部貫通孔に対応する位置に形成されており、前記挿通するボルトの外径よりも大きいベース部貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のコリオリ流量計の駆動装置。
【請求項４】
被測定流体を内部に流通する一対のフローチューブと、
前記一対のフローチューブの間に取り付けられる請求項１乃至３のいずれか１項に記載のコリオリ流量計の駆動装置と、
前記コリオリ流量計の駆動装置により加振された前記一対のフローチューブの速度を測定する速度センサと、
前記一対のフローチューブの温度を測定する温度センサと、
前記温度センサおよび前記速度センサからの情報に基づいて、前記一対のフローチューブ内を流れる被測定流体の質量流量および密度を算出する変換器と、を有することを特徴とするコリオリ流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対のフローチューブの間に取り付けられるコリオリ流量計の駆動装置およびこのコリオリ流量計の駆動装置を備えたコリオリ流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
コリオリ流量計は、被測定流体が内部に流通する流管（以下、フローチューブという）の両端を支持した状態でフローチューブに振動を与えて、フローチューブを円弧運動させた際に、被測定流体に加わる慣性力、即ち、コリオリの力が質量流量に比例することを利用した質量流量計である。
【０００３】
具体的には、コリオリ流量計は、フローチューブを両端で支持し、支持されたフローチューブの中央部に駆動装置、そして支持された両端部と駆動装置の間であり駆動装置を基準にした対称位置に一対の速度センサを取り付けたものである。このような構成のコリオリ流量計は、駆動装置を交番駆動して、フローチューブの管軸に対して直角な方向にフローチューブを加振させて、フローチューブの振動速度を一対の速度センサで検出し、質量流量に比例した位相差信号を検出し、この位相差信号からフローチューブ内を流れる被測定流体の質量流量を測定する。また、駆動装置により交番駆動されるフローチューブの周波数からフローチューブ内の被測定流体の密度を測定する。
【０００４】
このコリオリ流量計においては、フローチューブを湾曲させて、一対形成し、この一対のフローチューブに駆動装置を固定するものがある。この駆動装置は、電磁コイルを有するコイルユニットを一方のフローチューブに取り付け、磁石を有する磁石ユニットを他方のフローチューブに取り付ける。この状態において、電磁コイルに交流電流を通電して、電磁コイルと磁石との間で電磁力を発生させて、一対のフローチューブを被測定流体の流れる方向に対して垂直な方向に振動させ、フローチューブを円弧運動させる。近年、このようなコリオリ流量計の駆動装置の構成に関し、鋭意研究されている（例えば、特許文献１および２参照）。
【０００５】
特許文献１には、マグネットの第２の端部をスリーブに圧し込めて、スリーブとマグネットキーパーをはんだ付けまたは溶接して、高温環境下において使用することができるコリオリ流量計の駆動装置が開示されている。
【０００６】
特許文献２には、磁石を載置する基部と、基部から伸張する少なくとも３つの脚部を有する保持器で、実質的に磁石を取り囲み、磁石の大部分の磁束線を補足して、仕事が行われる空隙の磁束密度を最大化する線形アクチュエータが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特表２００２−５２３７６６号公報
【特許文献２】特表２００５−５３４０２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に開示されたコリオリ流量計の駆動装置におけるマグネットキーパーは、マグネットを取り囲む壁部を形成するために複雑な加工または成形型の使用などが必要となり、製造コストが嵩んでいた。
【０００９】
また、特許文献２に開示された線形アクチュエータにおける保持器は、板金物で形成されており、磁石の底面側の基部から半径方向に伸張する底部部材の厚さが十分ではないため、磁石の底面側における磁化方向の磁束が外部へ漏洩し、一対のフローチューブを振動させる効率が劣る問題があった。
【００１０】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされるものであって、製造コストが安価であり、一対のフローチューブを高い効率で振動させることができるコリオリ流量計の駆動装置およびこのコリオリ流量計の駆動装置を備えたコリオリ流量計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するためになされた請求項１に記載の発明は、磁石と,前記磁石を載置する載置部と、前記磁石を挟むように位置し、前記載置部に対して直角に又は前記磁石側へ屈折した第一屈折部および第二屈折部とを有する保持金具と、前記保持金具を載置し、被測定流体が内部に流通する一対のフローチューブのうちの一方の対向する面に固定されるベース部と、前記保持金具を挟むように位置し、前記ベース部に対して直角にまたは前記保持金具側へ屈折した第三屈折部および第四屈折部とを有するベース金具と、を有するものであって、前記ベース金具に前記保持金具を載置した場合に、前記磁石の外周を囲むようにして、前記第一屈折部、前記第二屈折部、前記第三屈折部および前記第四屈折部が位置する磁石ユニットと,電磁コイルを有する電磁コイル部と、前記一対のフローチューブのうちの他方の対向する面に固定され、前記電磁コイルを前記磁石に面するようにして、前記電磁コイル部が取り付けられるコイル取付部と、を有するコイルユニットと,を有することを特徴とする。
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、磁石ユニットを保持金具とベース金具で形成することで、磁石ユニットを製造するための費用を安価にするとともに、一対のフローチューブを高い効率で加振させることができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、前記ベース部の厚さが、前記載置部の厚さに対し０．５倍以上２．０倍以下であることを特徴とする。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、磁石の底面側における磁束の漏れを防ぐことで磁石の上面側の磁束を増加させるとともに、磁石ユニットを極力軽くすることで、コイルユニットに対する重量差を低減し、磁石ユニットとコイルユニットが取り付けられる一対のフローチューブを所定の振動数で振動させることができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、前記載置部には、さらに、挿通するボルトの外径よりも大きい載置部貫通孔が形成されており、前記ベース部には、さらに、前記載置部貫通孔に対応する位置に形成されており、前記挿通するボルトの外径よりも大きいベース部貫通孔が形成されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項３に記載の発明によれば、ボルトの外径よりも載置部貫通孔およびベース部貫通孔の径を大きく形成することで、ベース金具に対する保持金具の位置を簡単に調整することができる。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、被測定流体を内部に流通する一対のフローチューブと、前記一対のフローチューブの間に取り付けられる請求項１乃至３のいずれか１項に記載のコリオリ流量計の駆動装置と、前記コリオリ流量計の駆動装置により加振された前記一対のフローチューブの速度を測定する速度センサと、前記一対のフローチューブの温度を測定する温度センサと、前記温度センサおよび前記速度センサからの情報に基づいて、前記一対のフローチューブ内を流れる被測定流体の質量流量および密度を算出する変換器と、を有することを特徴とする。
【００１８】
請求項４に記載の発明によれば、磁石ユニットを製造するための費用を安価にするとともに、一対のフローチューブを高い効率で加振させることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、磁石ユニットを製造するための費用を安価にするとともに、一対のフローチューブを高い効率で加振させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第一実施形態におけるコリオリ流量計の駆動装置を適用したコリオリ流量計の概略構成図である。
【図２】図１におけるＡ部拡大図である。
【図３】図２におけるコリオリ流量計の駆動装置を展開した斜視図である。
【図４】図３における磁石ユニットの斜視図である。
【図５】（Ａ）は図４における保持金具の斜視図であり、（Ｂ）は図４におけるベース金具の斜視図である。
【図６】（Ａ）は磁石の外周面を２方向で対向させた場合の磁束の方向を示す概略図であり、（Ｂ）は、磁石の外周面を４方向で対向させた場合の磁束の方向を示す第一の概略図であり、（Ｃ）は磁束の外周面を４方向で対向させた場合の磁束の方向を示す第二の概略図である。
【図７】（Ａ）はは磁石ユニット３の底面方向の厚さに伴う磁束の漏洩量検証試験を示す概略図であり、（Ｂ）は（Ａ）の試験状況において載置部３１１の背面にベース金具３２のベース部３２１を模擬した数種の厚みの板を重ね合わせた側面図である。
【図８】磁石ユニットの厚さに伴う磁束の漏洩量検証試験の試験結果を示す図である。
【図９】第二実施形態におけるコリオリ流量計の駆動装置の磁石ユニットに関する斜視図である。
【図１０】第三実施形態におけるコリオリ流量計の駆動装置の磁石ユニットに関する斜視図である。
【図１１】第四実施形態におけるコリオリ流量計の駆動装置の磁石ユニットに関する斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（第一実施形態）
以下、図面を参照して、第一実施形態におけるコリオリ流量計の駆動装置２（以下、駆動装置２と言う）を適用したコリオリ流量計１について説明する。
【００２２】
図１は第一実施形態におけるコリオリ流量計の駆動装置２を適用したコリオリ流量計１の概略構成図であり、図２は図１におけるＡ部拡大図である。
なお、コリオリ流量計本体１１の長手方向をｘ軸、コリオリ流量計本体１１の幅方向をｙ軸、コリオリ流量計本体１１の高さ方向をｚ軸とする。
【００２３】
図１に示すように、第一実施形態における駆動装置２を適用したコリオリ流量計１は、コリオリ流量計本体１１と、コリオリ流量計本体１１に支持され、Ｕ字状に湾曲した一対のフローチューブ１２と、駆動装置２と、左速度センサ１３（速度センサ）と、右速度センサ１４（速度センサ）と、温度センサ１５と、質量流量計変換器１６（変換器）とを有する。
【００２４】
図１に示すように、駆動装置２は、一対のフローチューブ１２の略中央に取り付けられており、磁石２０と、磁石ユニット３と、コイルユニット４とを有する。図２に示すように、磁石ユニット３は、一対のフローチューブ１２のうちの一方の対向する面に取り付けられており、コイルユニット４は、一対のフローチューブ１２のうちの他方の対向する面に取り付けられている。
【００２５】
駆動装置２は、質量流量計変換器１６からの出力信号（加振信号）に基づいて、コイルユニット４に交流電流を通電し、コイルユニット４と磁石ユニット３との間で電磁力を発生させて、一対のフローチューブ１２を被測定流体の流れる方向に対して垂直な方向（ｙ軸方向）に加振させる。この駆動装置２による一対のフローチューブ１２の加振する振動数は、フローチューブ１２のＹ方向逆相一次の固有振動数とすると良い。左速度センサ１３、右速度センサ１４から得た入力信号を基に同期させるようにフローチューブ１２を共振運動させることで、いわゆる正帰還ループで駆動制御することができる。
なお、磁石２０、磁石ユニット３、コイルユニット４の詳細な構成に関しては後述する。
【００２６】
図１に示すように、左速度センサ１３および右速度センサ１４は、一対のフローチューブ１２における駆動装置２の固定位置と一対のフローチューブ１２のコリオリ流量計本体１１に対する支持位置との間であり、駆動装置２の取り付け位置に対して左右対称の位置に取り付けられている。左速度センサ１３と右速度センサ１４からは、フローチューブ１２の振動に伴い、正弦波状の速度信号が生じるが、フローチューブ１２の中に被測定流体が流れると、コリオリの力により左速度センサ１３と右速度センサ１４との間で位相差が生じる。この位相差がフローチューブ１２内を流れる被測定流体の質量流量に比例することが、本流量計の計測原理である。
【００２７】
図１に示す温度センサ１５は、フローチューブ１２に取り付けられている。この温度センサ１５は、フローチューブ１２の温度を測定し、フローチューブ１２の熱変化による弾性係数を補正している。
【００２８】
図１に示すように、質量流量計変換器１６は、駆動制御部１６１と、温度計測部１６２と、位相計測部１６３と、を有する。
【００２９】
駆動制御部１６１は、駆動装置２に対して所定の加振信号を送信し、駆動装置２が取り付けられた一対のフローチューブ１２を共振させる。温度計測部１６２は、温度センサ１５で測定した温度からフローチューブ１２の熱変化による弾性係数を補正している。位相計測部１６３は、左速度センサ１３および右速度センサ１４から取得した一対のフローチューブ１２の振動速度に関する情報を基に位相差を算出する。質量流量変換器１６は、位相計測部１６３で算出した位相差を質量流量に関する情報に変換した上で、温度センサ１５で得た情報を用いて補正し、フローチューブ１２内を流れる被測定流体の質量流量を算出する。
【００３０】
また、駆動装置２が出力する駆動周波数は被測定流体の密度により変化することから、質量流量計変換器１６で、フローチューブ１２内を流れる被測定流体の密度を算出する。
【００３１】
次に、駆動装置２を構成する磁石２０、磁石ユニット３およびコイルユニット４について説明する。
【００３２】
図３は図２におけるコリオリ流量計の駆動装置２を展開した斜視図であり、図４は図３における磁石ユニット３の斜視図であり、図５（Ａ）は図４における保持金具３１の斜視図であり、（Ｂ）は図４におけるベース金具３２の斜視図であり、図６（Ａ）は磁石２０の外周面を２方向で対向させた場合の磁束の方向を示す概略図であり、（Ｂ）は、磁石２０の外周面を４方向で対向させた場合の磁束の方向を示す第一の概略図であり、（Ｃ）は磁束の外周面を４方向で対向させた場合の磁束の方向を示す第二の概略図である。
【００３３】
図３に示すように、磁石２０は、例えば円柱形状をしている。
【００３４】
図３および４に示すように、磁石ユニット３は、保持金具３１とベース金具３２とを有するものであり、ベース金具３２の上面に保持金具３１を載置する。
【００３５】
図５（Ａ）に示すように、保持金具３１は、例えば磁性材料からなり、磁石２０を載置する載置部３１１と、磁石２０を挟むように位置し、載置部３１１に対して直角に屈折した第一屈折部３１２および第二屈折部３１３とを有する。載置部３１１には、四隅にボルト３１５を挿通する載置部側貫通孔３１４が形成されている。この載置部側貫通孔３１４の孔径は、挿通するボルト３１５の径より大きく形成すると良い。
【００３６】
図５（Ｂ）に示すように、ベース金具３２は、例えば磁性材料からなり、保持金具３１を載置するベース部３２１と、保持金具３１を挟むように位置し、ベース部３２１に対して直角に屈折した第三屈折部３２２および第四屈折部３２３とを有する。
【００３７】
第三屈折部３２２および第四屈折部３２３の底部には、第三屈折部３２２および第四屈折部３２３の屈折方向と反対方向に延びる第一ベース側固定部３２５および第二ベース側固定部３２６が形成されている。第一ベース側固定部３２５と第二ベース側固定部３２６は対向して位置しており、この第一ベース側固定部３２５と第二ベース側固定部３２６の間にフローチューブ１２を挟み込み、ベース部３２１、第一ベース側固定部３２５、第二ベース側固定部３２６とフローチューブ１２の接触部を溶接することで、ベース金具３２をフローチューブ１２に固定する。
【００３８】
また、図５（Ｂ）に示すように、ベース部３２１の四隅であり、載置部側貫通孔３１４に対応する位置には、ボルト３１５を挿通するベース部側貫通孔３２４が形成されている。このベース側貫通孔の孔径は、挿通するボルト３１５の径よりも大きく形成すると良い。
【００３９】
なお、ベース金具３２をステンレスからなるフローチューブ１２に溶接する場合には、ベース金具３２をフローチューブ１２に十分に固定するために、ベース金具３２の材料をステンレスでかつ磁性体であるフェライト系、例えばＳＵＳ４３０とすると良い。
【００４０】
コイルユニット４は、図３に示すように、電磁コイル部４１と、コイル取付部４２とを有する。
【００４１】
電磁コイル部４１は、図３に示すように、板状部材から円環状に立ち上がった円環部４１１を有する電磁コイル部本体４１２と、円環部４１１に巻付く電磁コイル４１３とを有する。電磁コイル４１３は質量流量計変換器１６に導通している。
【００４２】
コイル取付部４２は、図３に示すように、板状のコイル取付部本体４２１と、コイル取付部本体４２１に形成されている。また、コイル取付部４２には、駆動装置２の駆動時にマグネット２０とコイル取付部本体４２１の間で生じる圧力変動（呼吸作用）を減じるための圧逃げ孔４２２とを有する。
【００４３】
また、コイル取付部４２は、コイル取付部本体４２１を中心として、コイル取付部本体４２１に対して直角に屈折した第一取付部側固定部４２３および第二取付部側固定部４２４とを有する。第一取付部側固定部４２３と第二取付部側固定部４２４は、互いに対向して位置しており、これらの間でフローチューブ１２を挟み込み、コイル取付部本体４２１、第一取付部側固定部４２３および第二取付部側固定部４２４とフローチューブ１２の接触部を溶接して、コイル取付部４２をフローチューブ１２に固定する。
【００４４】
上記構成において、磁石２０を磁石ユニット３内に載置し、磁石ユニット３およびコイルユニット４を一対のフローチューブ１２の間に固定して、電磁コイル４１３に交流電流を通電することで、磁石ユニット３とコイルユニット４の間で、被測定流体の流れる方向に垂直な方向に電磁力を生じさせて、一対のフローチューブ１２を所定の振動モードで駆動させることができる。
【００４５】
ここで、本実施形態の磁石ユニット３は、磁石２０の外周面を４方向で対向させる構成（磁石２０の外周を第一屈折部３１２、第二屈折部３１３、第三屈折部３２２および第四屈折部３２３で囲む構成）としているため、磁石２０の外周面を２方向で対向させる構成に比べて、高い電磁力を発生させることができる。また、磁石２０の外周面を４方向で対向させた構成とした本実施形態の磁石ユニット３は、磁束の方向を磁石２０の円周方向における４方向に向けることができるため、磁石２０の外周面を２方向で対向させた構成に比べて、磁石２０の磁束が磁石ユニット３の外へ漏洩することを減じることができる。
【００４６】
具体的には、図６（Ａ）に示すように、磁石２０の外周面を２方向で対向させる構成である場合、磁石２０の外周面が覆われていない側（磁石２０の外周面における他の２方向）の磁束の方向は、磁石２０の上面から下面に向かう略上下方向（Ｎ⇔Ｓ方向）となる。これに対して、図６（Ｂ）および（Ｃ）に示すように、本実施形態の磁石ユニット３のように磁石２０の外周面を４方向で対向させる場合には、磁石２０と対向する各方向において、磁束の方向を磁石２０の円周方向に向かすことができる。
【００４７】
一般的に、磁石２０と電磁コイル４１３との間で生じる電磁力は、磁束の方向が磁石２０の円周方向に向かうと最も大きくすることができる。このことを踏まえると、本実施形態の磁石ユニット３のように磁石２０の外周面を４方向で対向させる場合には、磁石２０の外周面における４方向において、磁石２０の磁束方向を円周方向に向けることができるため、磁石２０を２方向で対向させる場合に比べて、高い電磁力を発生させることができる。
【００４８】
また、図６（Ａ）に示すように、磁石ユニット３が磁石２０の外周面を２方向で対向させる場合には、磁石ユニット３に対向していない側の２方向の外周面は、磁束が疎になっている。すなわち、磁石２０における磁石ユニット３に対向していない２方向の外周面は、磁石２０の磁力の大部分が磁石ユニット３の外へ漏洩していると考えられる。このように、磁石２０の磁力の大部分が外へ漏洩すると、駆動装置２の近傍に位置する他の電子機器、さらにはコリオリ流量計自身の左右の速度センサ１３、１４などに影響を与える可能性があった。
【００４９】
これに対して、図６（Ｂ）および（Ｃ）に示すように、本実施形態の磁石ユニット３のように、磁石２０の円周方向の４方向に磁束を確実に向けることで、磁石２０の磁力が磁石ユニット３の外へ漏洩することを防ぎ、駆動装置２の近傍に位置する他の電子機器への影響を低減することができる。
【００５０】
さらに、本実施形態の磁石ユニット３は、ベース金具３２と保持金具３１が重なった上に磁石２０が載置するため、磁石２０の底面方向における磁石ユニット３の厚さが、磁石２０の円周方向における磁石ユニット３の厚さよりも厚くなり、磁石２０の底面における高い磁束を磁石ユニット３の外へ漏れることを防ぎ、電磁コイル４１３との間で高い電磁力を発生させることができる。
【００５１】
すなわち、本実施形態の磁石ユニット３は、磁石２０の底面方向に保持金具３１およびベース金具３２が重なるように位置しているため、磁石２０の底面方向に保持金具３１のみ、または磁石２０の底面方向にベース金具３２のみが位置する場合に比べて、磁石２０の底面における磁束が磁石ユニット３の外へ漏洩することを防ぎ、高い電磁力を発生させることができる。
【００５２】
また、磁石２０の底面側の磁束の漏洩と磁石ユニット３の底面方向の厚さの関係を検証するために、次に磁石ユニット３の底面方向の厚さに伴う磁束の漏洩量の検証試験を行った。
【００５３】
図７（Ａ）は磁石ユニット３の底面方向の厚さに伴う磁束の漏洩量検証試験を示す概略図であり、（Ｂ）は（Ａ）の試験状況において載置部３１１の背面にベース金具３２のベース部３２１を模擬した数種の厚みの板を重ね合わせた側面図であり、図８は磁石ユニット３の底面方向の厚さに伴う磁束の漏洩量検証試験の試験結果を示す図である。
【００５４】
（磁石ユニット３の底面方向の厚さに伴う磁束の漏洩量検証試験）
図７に示すように、本試験では、本実施形態の磁石ユニット３において、ベース金具３２のベース部３２１を模擬した板（以下、ベース部模擬板３２１と言う）の厚さ（図７（Ｂ）中のｘ）を変えて、磁石２０の上面（図７中のＢ点）、磁石２０から２４ｍｍ上（図７中のＡ点）、および磁石２０を載置した保持金具３１の下面から２４ｍｍ下（図７中のＣ点）の３つの位置において、ガウスメータ５を用いて磁石２０の磁束密度を測定した。磁石２０は、外径９０mm、厚さ３３mmであり、端面中心の表面磁束密度を２９００ＧＡＵＳＳとするサマリウムコバルト磁石とした。保持金具３１およびベース部模擬板３２１の材質はともにＳＳ４００とし、保持金具３１の厚さを３．０ｍｍとした。
【００５５】
このようにして試験をした結果が表１である。また、表１の結果を、縦軸を磁束密度とし、横軸をベース部模擬板３２１の板厚として、まとめたものが図８である。
なお、表１においてＡ点およびＢ点の磁束密度は絶対値として表記した。
【表１】
2015064216.tif 000003
【００５６】
図８を見て分かるように、保持金具３１を載置するベース部模擬板３２１の厚さが増加するに従って、保持金具３１から２４ｍｍ下の位置（Ｃ点）での磁石２０の磁束密度が小さくなっていることが分かる。また、この磁石２０の底面側への磁束密度の低下に伴い、磁石２０の上面（Ｂ点）および磁石２０から２４ｍｍ上（Ａ点）、の各位置における磁束密度が増加することも分かる。このように、ベース部模擬板３２１の板厚を増加させて磁石２０の底面側の磁束が漏洩することを防ぐことで、磁石２０の上面側の磁束を増加させることができる。
【００５７】
図８を見て分かるように、ベース部模擬板３２１の厚さが６.０ｍｍとなると、保持金具３１から２４ｍｍ下（Ｃ点）、磁石２０の上面（Ｂ点）および磁石２０から２４ｍｍ上（Ａ点）、の各位置において、ベース部模擬板３２１の厚さが増加しても磁石２０の磁束密度は大きく変化しないことが分かる。すなわち、磁石ユニット３の底面側の厚さ（保持金具３１の載置部３１１の厚さ（３．０ｍｍ）とベース部模擬板３２１の厚さ（６．０ｍｍ）を合わせた厚さ）が９．０ｍｍより厚くしても、磁石２０の底面側の磁束の漏洩量はあまり少なくならないことが分かる。つまり、ベース部模擬板３２１の厚さを載置部３１１の厚さ（３．０ｍｍ）に対して２倍（６．０ｍｍ）よりも厚くしても、磁石２０の底面側の磁束の漏洩量があまり少なくならないことが分かる。このため、磁石ユニット３の底面側の厚さを９．０ｍｍ、つまりベース部模擬板３２１の厚さを載置部３１１の厚さに対し２倍より厚くしても、磁石２０の上面側の磁束密度（磁石２０の上面および磁石２０から２４ｍｍ上、の各位置の磁束密度）もあまり大きくならないことが分かる。
【００５８】
また、磁石２０の底面側での吸着力が半分となる場合とは、吸着力が磁束密度の２乗に比例することからその位置での磁束密度が２の平方根の逆数倍（１／√２）となる場合である。図８を見て分かるように、磁石２０の底面側である保持金具３１から２４ｍｍ下の位置（Ｃ点）での磁束密度（９３０ＧＡＵＳＳ）の漏洩を１／√２倍以下（６５７．６ＧＡＵＳＳ以下）となる場合は、ベース部模擬板３２１の厚さを１．５ｍｍ以上とすると良いことも分かる。すなわち、ベース部模擬板３２１の厚さを載置部３１１の厚さ（３．０ｍｍ）に対して０．５倍（１．５ｍｍ）以上とすることで、保持金具３１から２４ｍｍ下の位置（Ｃ点）での磁束密度（９３０ＧＡＵＳＳ）の漏洩を１／√２倍以下にできることが分かる。ここから、磁石２０の底面側の厚さを４．５ｍｍ（載置部３１１の厚さ：３．０ｍｍ＋ベース部模擬板３２１の厚さ：１．５ｍｍ）以上、つまりベース部の厚さを載置部の厚さに対し０．５倍以上とすることで、磁石２０の底面側での吸着力の漏れを半分以上防ぎ（磁石２０の底面側での磁束密度の漏洩を１／√２以上防ぎ）、磁石２０の上面側の磁束密度を大きくすることができる。
【００５９】
このような試験結果より、磁石２０の底面側の厚さ（保持金具３１の載置部３１１およびベース金具３２のベース部３２１（ベース部模擬板３２１）を合わせた厚さ）を４．５ｍｍ以上９．０ｍｍ以下、つまりベース部３２１の厚さを載置部３１１の厚さに対し０．５倍以上２．０倍以下とすることで、効率良く磁石２０の底面側の磁束の漏れを防ぎ、磁石２０の上面側への磁束を大きくすることができる。また、このような範囲内に磁石２０の底面側の板厚を設定することで、磁石ユニット３の重量を極力軽くした状態として磁石２０の背面側の磁束の漏れを防ぎ、コイルユニット４との重量差を極力小さくすることもできる。すなわち、磁石ユニット３とコイルユニット４の重量差を低減することで、これらが取り付けられる一対のフローチューブ１２を所望の振動数で振動させることができる。
【００６０】
次に、本実施形態の駆動装置２を一対のフローチューブ１２に取り付ける作業について説明する。初期条件としては、コリオリ流量計本体１１に一対の湾曲したフローチューブ１２が支持されており、この一対のフローチューブ１２には、左速度センサ１３、右速度センサ１４、温度センサ１５が取り付けられている。また、左速度センサ１３、右速度センサ１４、温度センサ１５および電磁コイル４１３のそれぞれには、電気的に質量流量計変換器１６が接続されており、電磁コイル部本体４１２の円環部４１１には電磁コイル４１３が巻付いているものとする。
【００６１】
まず、作業者は、ベース金具３２の第一ベース側固定部３２５および第二ベース側固定部３２６の間に、一対のフローチューブ１２のうちの一方を挟み込む。作業者は、一方のフローチューブ１２と、ベース部３２１、第一ベース側固定部３２５および第二ベース側固定部３２６との接触部を溶接して、ベース金具３２を一方のフローチューブ１２の対向する面に固定する。
【００６２】
作業者は、コイル取付部４２の第一取付部側固定部４２３および第二取付部側固定部４２４の間に、一対のフローチューブ１２のうちの他方を挟み込む。作業者は、他方のフローチューブ１２と、コイル取付部本体４２１、第一取付部側固定部４２３および第二取付部側固定部４２４との接触部をそれぞれ溶接して、コイル取付部４２を他方のフローチューブ１２の対向する面に固定する。
【００６３】
作業者は、他方のフローチューブ１２に固定されたコイル取付部４２に対して、電磁コイル４１３が一方のフローチューブ１２に面するように電磁コイル部４１を固定する。
【００６４】
作業者は、保持金具３１の載置部３１１に磁石２０を例えば接着剤で接着する。作業者は、磁石２０を載置した保持金具３１を、一方のフローチューブ１２に固定されたベース金具３２に合わせ、載置部側貫通孔３１４およびベース部側貫通孔３２４にボルト３１５を挿通する。作業者は、載置部側貫通孔３１４およびベース部側貫通孔３２４に挿通したボルト３１５の端部をナットで螺合して、図２に示すように、ベース金具３２に保持金具３１を固定して作業を終了する。
【００６５】
ここで、作業者によるベース金具３２に保持金具３１を固定する作業時においては、載置部側貫通孔３１４の径およびベース部側貫通孔３２４の径を挿通するボルト３１５の径よりもそれぞれ大きく形成されているため、ベース金具３２に対する保持金具３１の固定位置を簡単に調整することができる。
【００６６】
また、この調整の際に、磁石２０の外周面は、保持金具３１の第一屈折部３１２および第二屈折部３１３とベース金具３２の第三屈折部３２２および第四屈折部３２３で、４方向から対向しているだけのため、これらの屈折部の間には隙間が存在し、作業者は、この隙間から、磁石２０と電磁コイル４１３または円環部４１１の隙間の距離を確認することができる。
【００６７】
このようにして、作業者は、磁石２０と電磁コイル４１３または円環部４１１の隙間の距離が適切になるように確認しながら、ベース金具３２に対する保持金具３１の固定位置を調整して、保持金具３１をベース金具３２に固定することができる。
【００６８】
このように第一屈折部３１２、第二屈折部３１３、第三屈折部３２２および第四屈折部３２３の間から、磁石２０と電磁コイル４１３または円環部４１１の隙間を確認することができるため、磁石２０と電磁コイル４１３または円環部４１１の隙間にホコリ等の異物が挟まっていることも作業者は簡単に把握することができる。
【００６９】
本実施形態の駆動装置２の磁石ユニット３は、磁石２０を載置する保持金具３１と、一方のフローチューブ１２に固定するベース金具３２の２つの部品により構成することで、一対のフローチューブ１２の間などの狭い空間においても簡単に取り付けることができる。
【００７０】
すなわち、一方のフローチューブ１２に固定したベース金具３２に対して、横（一対のフローチューブ１２の間）から磁石２０を載置した保持金具３１をスライド挿入して、保持金具３１をベース金具３２に固定することで、簡単に狭いスペースでも固定することができる。
【００７１】
本実施形態の駆動装置２は、一対のフローチューブ１２の間に磁石ユニット３とコイルユニット４を位置させることができるため、駆動装置２から発生する電磁力の力点を一対のフローチューブ１２の２本の管軸上を結ぶ線上に置くことができ、所定の振動モードで一対のフローチューブ１２を駆動させることができる。すなわち、本実施形態の駆動装置２は、本来のフローチューブ１２単体の振動に近い振動で、フローチューブ１２を共振駆動させることができる。
【００７２】
また、駆動装置２から発生する力点が一対のフローチューブ１２の２本の管軸を結ぶ線にあるため、磁石２０を載置する保持金具３１と一方のフローチューブ１２とを固定するベース金具３２の剛性を確保することができる。すなわち、ベース金具３２の背面がフローチューブ１２に当接することで、ベース金具３２がたわむことを防ぎ、駆動装置２の駆動への悪影響を防ぐことができる。
【００７３】
さらに、このようにベース金具３２の剛性を高くする必要がないため、ベース金具３２の重量を軽くすることで、一対のフローチューブ１２に取り付ける駆動装置２の重量を軽くすることができる。
【００７４】
（第二実施形態）
第二実施形態の駆動装置２は、第一実施形態の駆動装置２における保持金具３１の第一屈折部３１２、第二屈折部３１３の各屈折角度およびベース金具３２の第三屈折部３２２および第四屈折部３２３の各屈折角度のみが異なるため、これらの異なる構成のみ説明し、他の構成については第一実施形態と同じ構成であるため説明を省略する。
なお、座標系は第一実施形態と同じものとする。
【００７５】
図９は第二実施形態におけるコリオリ流量計の駆動装置２の磁石ユニット３aに関する斜視図である。
【００７６】
図９に示すように、第二実施形態における保持金具３１aの第一屈折部３１２aおよび第二屈折部３１３aは、載置部３１１に載置した磁石２０を挟むように位置し、載置部３１１に対して磁石２０側に屈折している。また、第二実施形態におけるベース金具３２aの第三屈折部３２２aおよび第四屈折部３２３aは、ベース部３２１に載置した保持金具３１aを挟むようにして、ベース部３２１に対して保持金具３１a側に屈折している。
【００７７】
このように、第二実施形態における磁石ユニット３aは、磁石ユニット３aの中央に載置した磁石２０に対して、第一屈折部３１２a、第二屈折部３１３a、第三屈折部３２２aおよび第四屈折部３２３aの屈折端部を、これらの屈折部の屈折基部に比べて、磁石２０に近づけることで、磁石２０の外周面における磁束の方向を各屈折部３１２a,３１３a,３２２a,３２３aの屈折端部に向けることができる。
【００７８】
すなわち、第二実施形態の駆動装置２は、このような方向に磁石２０の磁束を向けることで、磁石２０の円周方向により近い方向に磁石２０の磁束が向くため、第一実施形態の駆動装置２で生じる電磁力よりも大きい電磁力を発生させることができる。
【００７９】
（第三実施形態）
第三実施形態の駆動装置２は、第一実施形態の駆動装置２における保持金具３１の第一屈折部３１２、第二屈折部３１３の形状およびベース金具３２の第三屈折部３２２および第四屈折部３２３の形状のみが異なるため、これらの異なる構成のみ説明し、他の構成については第一実施形態と同じ構成であるため説明を省略する。
なお、座標系は第一実施形態と同じものとする。
【００８０】
図１０は第三実施形態におけるコリオリ流量計の駆動装置２の磁石ユニット３bに関する斜視図である。
【００８１】
図１０に示すように、第三実施形態における保持金具３１ｂの第一屈折部３１２bおよび第二屈折部３１３bは、載置部３１１に載置する磁石２０の外周面に沿うように、各幅を円弧状に曲げて形成されている。また、ベース金具３２bの第三屈折部３２２bおよび第四屈折部３２３bに関しても、同様に、中央に位置する磁石２０の外周面に沿うように、各幅を円弧状に曲げて形成されている。
【００８２】
なお、第三実施形態の磁石ユニット３bにおける、載置部３１１に対する第一屈折部３１２b、第二屈折部３１３bの屈折角度およびベース部３２１に対する第三屈折部３２２b、第四屈折部３２３bの屈折角度は、第一実施形態と同じ直角とする。
【００８３】
このように、第三実施形態の第一屈折部３１２b、第二屈折部３１３b、第三屈折部３２２bおよび第四屈折部３２３bの各幅を、中央に位置する磁石２０の曲率に合わせて円弧状に曲げることで、これらの屈折部の各幅方向の辺を磁石２０に均等に近づけることができる。
【００８４】
このように、第三実施形態の駆動装置２は、第一屈折部３１２b、第二屈折部３１３b、第三屈折部３２２bおよび第四屈折部３２３bの屈折端部と磁石２０の距離を均等に近づけることで、磁石２０と電磁コイル４１３との間で生じる電磁力を、第一実施形態の駆動装置２で生じる電磁力に比べて、大きくすることができる。
【００８５】
（第四実施形態）
第四実施形態の駆動装置２は、第一実施形態の駆動装置２における保持金具３１の第一屈折部３１２、第二屈折部３１３の形状およびベース金具３２の第三屈折部３２２、第四屈折部３２３の形状のみが異なるため、これらの異なる構成のみ説明し、他の構成については第一実施形態と同じ構成であるため説明を省略する。
なお、座標系は第一実施形態と同じものとする。
【００８６】
図１１は第四実施形態におけるコリオリ流量計の駆動装置２の磁石ユニット３cに関する斜視図である。
【００８７】
図１１に示すように、第四実施形態における保持金具３１ｃの第一屈折部３１２cおよび第二屈折部３１３cは、載置部３１１に載置する磁石２０の外周面に沿うように各幅を円弧状に曲げ、かつ屈折基部から屈折端部に近づくにつれて幅方向に広く形成している。また、第四実施形態におけるベース金具３２cの第三屈折部３２２cおよび第四屈折部３２３cに関しても、同様に、中央に位置する磁石２０の外周面に沿うように各幅を円弧状に曲げ、かつ屈折基部から屈折端部に近づくにつれて幅方向に広く形成している。
【００８８】
なお、第四実施形態の磁石ユニット３cにおける、第一屈折部３１２c、第二屈折部３１３cの載置部３１１に対する屈折角度および第三屈折部３２２c、第四屈折部３２３cのベース部３２１に対する屈折角度は、第一実施形態と同じ直角とする。
【００８９】
このように、第四実施形態の第一屈折部３１２c、第二屈折部３１３c、第三屈折部３２２cおよび第四屈折部３２３cの各幅を、中央に位置する磁石２０の外周面に沿うように円弧状に曲げ、かつ屈折基部から屈折端部に向かうにつれて、幅を広く形成することで、磁石２０の磁束をより多く円周方向に向け、磁石２０と電磁コイル４１３との間で生じる電磁力をより大きくすることができる。
【００９０】
また、第四実施形態の駆動装置２の磁石ユニット３cは、第一屈折部３１２c、第二屈折部３１３c、第三屈折部３２２cおよび第四屈折部３２３cの各幅を屈折基部から屈折端部に向かうにしたがって広く形成しているため、屈折基部では、第一屈折部３１２c、第二屈折部３１３c、第三屈折部３２２cおよび第四屈折部３２３cとの間が広く形成されている。このように、これらの屈折部３１２c,３１３c,３２２c,３２３cの屈折基部側における間隔を広く形成することで、作業者は斜め下方向から磁石２０と電磁コイル４１３または円環部４１１との隙間を簡単に確認することができる。
【００９１】
（他の実施形態）
上記実施形態の駆動装置２は、いずれもコリオリ流量計本体１１に二本のフローチューブ１２を支持して形成された一対のフローチューブ１２間に固定するものとして説明したが、特に二本のフローチューブ１２である必要はなく、一本のフローチューブ１２と、このフローチューブ１２の側面に対向する固定壁との間に、上記実施形態の駆動装置２を取り付けるものとしても良い。
【００９２】
上記実施形態の駆動装置２は、一対のフローチューブ１２の略中央に取り付けるものとして説明したが、一対のフローチューブ１２が振動する腹の位置であれば特にこれに限られるものではない。また、上記実施形態の駆動装置２は、一対のフローチューブ１２が振動する腹の位置に応じて、複数箇所において駆動装置２を取り付けても良い。
【００９３】
また、上記実施形態の駆動装置２における磁石ユニット３,３a,３b,３cとして、保持金具３１,３１a,３１ｂ,３１ｃとベース金具３２,３２a,３２ｂ,３２cをボルト３１５およびナットにより固定するものとして説明したが、ベース金具３２,３２a,３２ｂ,３２cに対して保持金具３１,３１a,３１ｂ,３１ｃが固定できる方法であれば、特にこれに限られるものではない。すなわち、上記実施形態において、保持金具３１,３１a,３１ｂ,３１ｃとベース金具３２,３２a,３２ｂ,３２cを溶接、接着、かしめ等の固定方法や、単に磁石２０の吸着力を利用して固定するものであってもよい。
【００９４】
さらに、上記実施形態において、コイル取付部４２には圧逃げ孔４２２を形成するものとして説明したが、十分な隙間や、他の部分に流通することができる隙間がある場合には圧逃げ孔４２２を設けなくても良い。
【００９５】
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他の様々な形で実施することができる。そのため、前述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する全ての変形、様々な改良、代替および改質は、すべて本発明の範囲内のものである。
【符号の説明】
【００９６】
１…コリオリ流量計
１１…コリオリ流量計本体    １２…フローチューブ    １３…左速度センサ（速度センサ）    １４…右速度センサ（速度センサ）    １５…温度センサ    １６…質量流量計変換器（変換器）    １６１…駆動制御部    １６２…温度計測部    １６３…位相計測部
２…コリオリ流量計の駆動装置（駆動装置）
２０…磁石
３,３a,３b,３c…磁石ユニット
３１,３１a,３１b,３１ｃ…保持金具    ３１１…載置部    ３１２,３１２a,３１２ｂ,３１２ｃ…第一屈折部    ３１３,３１３a,３１３b,３１３c…第二屈折部    ３１４…載置部側貫通孔    ３１５…ボルト
３２,３２a,３２ｂ,３２ｃ…ベース金具    ３２１…ベース部、ベース部模擬板    ３２２,３２２a,３２２ｂ,３２２ｃ…第三屈折部    ３２３,３２３a,３２３ｂ,３２３c…第四屈折部    ３２４…ベース部側貫通孔    ３２５…第一ベース側固定部    ３２６…第二ベース側固定部
４…コイルユニット
４１…電磁コイル部    ４１１…円環部    ４１２…電磁コイル部本体    ４１３…電磁コイル
４２…コイル取付部    ４２１…コイル取付部本体    ４２２…圧逃げ孔    ４２３…第一取付部側固定部    ４２４…第二取付部側固定部
５…ガウスメータ
【図１】
2015064216.tif 000004
【図２】
2015064216.tif 000005
【図３】
2015064216.tif 000006
【図４】
2015064216.tif 000007
【図５】
2015064216.tif 000008
【図７】
2015064216.tif 000009
【図８】
2015064216.tif 000010
【図９】
2015064216.tif 000011
【図１０】
2015064216.tif 000012
【図１１】
2015064216.tif 000013
【図６】
2015064216.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成26年10月16日(2014.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定用の流管を構成する一対のフローチューブを駆動装置によって加振器を作動させ前記フローチューブを交番駆動し、該フローチューブを振動させて、振動検出センサである２つの速度センサによって前記フローチューブに作用するコリオリの力に比例した位相差及び／又は振動周波数を検出することにより、被計測流体の質量流量及び／又は密度を得るコリオリ流量計において，
前記駆動装置は、前記一対のフローチューブの間に取り付けられ、磁石と、磁石ユニットと、コイルユニットとによって構成され、
前記磁石は、円柱形状に形成され、
前記磁石ユニットは、
磁性材料からなり前記磁石を載置する載置部の相対向する端部に直角に屈折する第一の屈折部と第二の屈折部を形成してなる保持金具と、磁性材料からなり前記保持金具を載置するベース部の相対向する端部を直角に屈折して第三の屈折部と第四の屈折部を形成し、前記第三の屈折部の底部と第四の屈折部の底部に屈折方向とは反対方向に延びる第一ベース側固定部と第二ベース側固定部を形成してなるベース金具とからなり、
前記ベース金具は、前記保持金具を前記保持金具の前記第一の屈折部と第二の屈折部と、前記ベース金具の第三の屈折部と第四の屈折部とが重ならないように、該ベース金具の第三の屈折部と第四の屈折部によって前記保持金具を挟むように重ね合わせて配置し、
前記コイルユニットは、
板状部材からなり円環状に立ち上がった円環部に導体を巻付けて形成される電磁コイルを備える電磁コイル部本体を形成してなる電磁コイル部と、板状に形成されフローチューブに固定され前記電磁コイル部を固定するコイル取付部とからなり、
前記磁石ユニットの第一ベース側固定部と第二ベース側固定部の間に前記一対のフローチューブのいずれか一方のフローチューブを挟み込み、前記一方のフローチューブが接触する前記ベース部と前記第一ベース側固定部と前記第二ベース側固定部とのそれぞれの接触部を固定するとともに、前記一対のフローチューブの他方のフローチューブに前記電磁コイル部が固定された前記コイル取付部との接触部を固定して取り付けてなる
ことを特徴とするコリオリ流量計の駆動装置。
【請求項２】
前記ベース金具のベース部の厚さは、
前記保持金具の載置部の厚さに対して０．５倍以上２．０倍以下である
ことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計の駆動装置。
【請求項３】
前記保持金具の載置部には、
さらに、挿通するボルトの外径よりも大きい載置部貫通孔が形成されており、
前記ベース金具のベース部には、
さらに、前記載置部貫通孔に対応する位置に前記挿通するボルトの外径よりも大きいベース部貫通孔が形成されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のコリオリ流量計の駆動装置。
【請求項４】
被測定流体を内部に流通する一対のフローチューブと、
前記一対のフローチューブの間に取り付けられる請求項１乃至３のいずれか１項に記載のコリオリ流量計の駆動装置と、
前記コリオリ流量計の駆動装置により加振された前記一対のフローチューブの速度を測定する速度センサと、
前記一対のフローチューブの温度を測定する温度センサと、
前記温度センサおよび前記速度センサからの情報に基づいて、前記一対のフローチューブ内を流れる被測定流体の質量流量および密度を算出する変換器と、を有することを特徴とするコリオリ流量計。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記課題を解決するためになされた請求項１に記載の発明は、測定用の流管を構成する一対のフローチューブを駆動装置によって加振器を作動させ前記フローチューブを交番駆動し、該フローチューブを振動させて、振動検出センサである２つの速度センサによって前記フローチューブに作用するコリオリの力に比例した位相差及び／又は振動周波数を検出することにより、被計測流体の質量流量及び／又は密度を得るコリオリ流量計において，
前記駆動装置は、前記一対のフローチューブの間に取り付けられ、磁石と、磁石ユニットと、コイルユニットとによって構成され、
前記磁石は、円柱形状に形成され、
前記磁石ユニットは、
磁性材料からなり前記磁石を載置する載置部の相対向する端部に直角に屈折する第一の屈折部と第二の屈折部を形成してなる保持金具と、磁性材料からなり前記保持金具を載置するベース部の相対向する端部を直角に屈折して第三の屈折部と第四の屈折部を形成し、前記第三の屈折部の底部と第四の屈折部の底部に屈折方向とは反対方向に延びる第一ベース側固定部と第二ベース側固定部を形成してなるベース金具とからなり、
前記ベース金具は、前記保持金具を前記保持金具の前記第一の屈折部と第二の屈折部と、前記ベース金具の第三の屈折部と第四の屈折部とが重ならないように、該ベース金具の第三の屈折部と第四の屈折部によって前記保持金具を挟むように重ね合わせて配置し、
前記コイルユニットは、
板状部材からなり円環状に立ち上がった円環部に導体を巻付けて形成される電磁コイルを備える電磁コイル部本体を形成してなる電磁コイル部と、板状に形成されフローチューブに固定され前記電磁コイル部を固定するコイル取付部とからなり、
前記磁石ユニットの第一ベース側固定部と第二ベース側固定部の間に前記一対のフローチューブのいずれか一方のフローチューブを挟み込み、前記一方のフローチューブが接触する前記ベース部と前記第一ベース側固定部と前記第二ベース側固定部とのそれぞれの接触部を固定するとともに、前記一対のフローチューブの他方のフローチューブに前記電磁コイル部が固定された前記コイル取付部との接触部を固定して取り付けてなることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項２に記載の発明は、前記ベース金具のベース部の厚さを、前記保持金具の載置部の厚さに対して０．５倍以上２．０倍以下としたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項３に記載の発明は、前記保持金具の載置部には、さらに、挿通するボルトの外径よりも大きい載置部貫通孔が形成されており、前記ベース金具のベース部には、さらに、前記載置部貫通孔に対応する位置に前記挿通するボルトの外径よりも大きいベース部貫通孔が形成されていることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
コイル取付部４２は、図３に示すように、板状のコイル取付部本体４２１に形成されている。また、コイル取付部４２には、駆動装置２の駆動時にマグネット２０とコイル取付部本体４２１の間で生じる圧力変動（呼吸作用）を減じるための圧逃げ孔４２２とを有する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2015064216.tif 000015
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2015064216.tif 000016
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2015064216.tif 000017
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2015064216.tif 000018