(57)【要約】【目的】少なくとも一部に，同一形状（良品の場合）の検査対象部位をもつ複数の製品を順次検査する装置および方法において，長時間の検査においても疲労がたまりにくくかつ検査品質が低下しにくいように工夫した。【構成】少なくとも一部に，同一形状の検査対象部位（12）を持つ複数の製品（11）を搬送装置（39）により順次搬送し，搬送過程で各製品の少なくとも検査対象部位を撮像装置（29）により撮像し，撮像された検査対象部位の画像を表示装置（22）の表示画面上に表示し，このとき，複数の製品の検査対象部位画像のそれぞれを，あらかじめ設定された大きさで，あらかじめ設定された表示時間の間ずつ，上記表示画面上の同一表示位置に，順次切換えて表示するように制御する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部に，同一形状の検査対象部位を持つ複数の製品を順次検査する装置であり，
各製品の少なくとも検査対象部位を撮像する撮像装置，
上記撮像装置によって撮像された検査対象部位の画像を表示画面上に表示する表示手段，
上記表示手段の表示画面上に表示する検査対象部位画像の大きさを設定する倍率設定手段，
上記表示手段の表示画面に表示される検査対象部位画像の表示時間を設定する切換え速度設定手段，および
上記撮像装置によって撮像された複数の製品の検査対象部位画像のそれぞれを，上記倍率設定手段によって設定された大きさで，上記切換え速度設定手段によって設定された表示時間の間ずつ，上記表示画面上の同一表示位置に，順次切換えて表示するように，少なくとも上記表示手段を制御する切換え表示制御手段，
を備える検査装置。
【請求項２】
上記表示手段の表示画面上に表示される検査対象部位の検査判定結果を入力する入力手段をさらに備える請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
検査員の識別情報を入力するための第１の入力手段，
上記表示手段の表示画面上に表示される検査対象部位の検査判定結果を入力するための第２の入力手段，ならびに
上記第１の入力手段によって入力された検査員の識別情報ごとに，上記第２の入力手段によって入力された，その検査員が行った複数の製品についての検査判定結果と，その検査において上記倍率設定手段によって設定されている画像の大きさを表わす値および上記切換え速度設定手段によって設定されている表示時間を表わす値とを含む検査結果情報を作成する検査結果情報作成手段，
をさらに備える請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
上記検査結果情報作成手段によって作成された検査結果情報を出力する出力手段をさらに備える請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
複数の製品を順次搬送する搬送装置をさらに備え，
上記撮像装置は上記搬送装置による搬送途上の製品の検査対象部位を撮像するものである，
請求項１から４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
上記搬送装置は一定時間間隔で間欠的に複数の製品を順次移動させるものである，請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
少なくとも一部に，同一形状の検査対象部位を持つ複数の製品を順次検査する方法であり，
各製品の少なくとも検査対象部位を撮像装置により撮像し，
撮像された検査対象部位の画像を表示手段の表示画面上に表示し，
このとき，複数の製品の検査対象部位画像のそれぞれを，あらかじめ設定された大きさで，あらかじめ設定された表示時間の間ずつ，上記表示画面上の同一表示位置に，順次切換えて表示するように少なくとも上記表示手段を制御する，
検査方法。
【請求項８】
上記表示手段の表示画面上に表示される検査対象部位の検査判定結果を入力手段から入力するのを受付ける，請求項７に記載の検査方法。
【請求項９】
検査員の識別情報の入力を受付け，
上記表示画面上に表示される検査対象部位の検査判定結果の入力を受付け，そして
受付けた検査員の識別情報ごとに，その検査員が行った複数の製品についての検査判定結果と，その検査において設定されている画像の大きさを表わす値および表示時間を表わす値とを含む検査結果情報を作成する，
請求項７に記載の検査方法。
【請求項１０】
作成された検査結果情報を出力手段から出力する，請求項９に記載の検査方法。
【請求項１１】
複数の製品を搬送装置により順次搬送し，
搬送途上の製品の検査対象部位を上記撮像装置により撮像する，
請求項７から10のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項１２】
一定時間間隔で間欠的に複数の製品を順次移動させる，請求項11に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は，少なくとも一部に，同一形状の検査対象部位を持つ複数の製品を順次検査するための装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には表示パネルの検査装置および方法が記載されている。この検査装置および方法は，表示パネルの一部を検査領域として，検査領域を白表示（点灯）または黒表示（消灯）し，検査領域を所定の移動パターンにしたがって順次移動させていき，各位置で検査員が，各検査領域を目視で，またはＣＣＤカメラによって撮像した画像を表示装置に表示して検査（欠陥の有無等）するものであり，表示領域の大きさ，移動速度，移動パターンを適宜変更することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４４０８２４８号公報
【０００４】
この従来の検査装置および方法は，製品を検査する際に，画像をじっくり眼で見るという方法を採用するものであり，そのために検査員の疲労がたまりやすく，検査の品質が低下しやすいという問題がある。
【発明の概要】
【０００５】
この発明は，比較検査の考え方をベースにするもので，検査が容易でかつ精度を高めることができる検査装置および方法を提供するものである。
【０００６】
この発明はまた，長時間の検査においても疲労がたまりにくく，検査品質が低下しにくい検査装置および方法を提供するものである。
【０００７】
この発明はさらに，目視検査に適した人員の選択，および検査員に最適な検査条件の選定を可能とするものである。
【０００８】
この発明は，少なくとも一部に，同一形状の検査対象部位を持つ複数の製品を順次検査する装置であり，各製品の少なくとも検査対象部位を撮像する撮像装置，上記撮像装置によって撮像された検査対象部位の画像を表示画面上に表示する表示手段，上記表示手段の表示画面上に表示する検査対象部位画像の大きさを設定する倍率設定手段，上記表示手段の表示画面に表示される検査対象部位画像の表示時間を設定する切換え速度設定手段，および上記撮像装置によって撮像された複数の製品の検査対象部位画像のそれぞれを，上記倍率設定手段によって設定された大きさで，上記切換え速度設定手段によって設定された表示時間の間ずつ，上記表示画面上の同一表示位置に，順次切換えて表示するように，少なくとも上記表示手段を制御する切換え表示制御手段を備えるものである。
【０００９】
また，この発明は，少なくとも一部に，同一形状の検査対象部位を持つ複数の製品を順次検査する方法であり，各製品の少なくとも検査対象部位を撮像装置により撮像し，撮像された検査対象部位の画像を表示手段の表示画面上に表示し，このとき，複数の製品の検査対象部位画像のそれぞれを，あらかじめ設定された大きさで，あらかじめ設定された表示時間の間ずつ，上記表示画面上の同一表示位置に，順次切換えて表示するように少なくとも上記表示手段を制御するものである。
【００１０】
同一形状の検査対象部位とは，少なくとも検査対象部位が良品（正常なもの，不良でないもの，欠陥のないもの）である場合に同一形状を持つという意味である。製品には完成品，半製品，未完成品，部品等が含まれ，複数の製品が個別に分離していてもよいし，基材，基板，枠材等により結合しているものでもよい。
【００１１】
複数の製品は検査対象部位として同一の形状（良品の場合）を持っている。このような同一形状の複数の検査対象部位が所定の表示時間間隔で順次，表示画面上の同じ位置に，あたかも重なるように，切換わって表示される。前後して表示される検査対象部位がともに良品で同一形状の場合には，表示画面上に順次表示される検査対象部位の画像は変化しない。ところが，不良品があると，その不良品の画像は直前に表示されていた良品の画像と異なるために，検査員は，異常であることに，即座かつ容易に気がつく。このようにして，検査員による検査は比較的容易であり，かつ精度が高いものとなる。検査員の能力により，表示の切換えが速すぎても正しい判断ができにくく，遅すぎると能率が悪くなる。また，表示される検査対象部位の大きさが大きすぎても，小さすぎても見づらく，検査がしにくい。この発明によると検査員ごとに最適な切換え速度や倍率を設定できるから，能率の良い，かつ疲労の少ないものとなる。
【００１２】
当然ながら，この発明による検査装置は，上記表示手段の表示画面上に表示される検査対象部位の検査判定結果を入力する入力手段をさらに備えると良い。さらに詳しくは，検査装置は，好ましい実施態様では，検査員の識別情報を入力するための第１の入力手段，上記表示手段の表示画面上に表示される検査対象部位の検査判定結果を入力するための第２の入力手段，ならびに上記第１の入力手段によって入力された検査員の識別情報ごとに，上記第２の入力手段によって入力された，その検査員が行った複数の製品についての検査判定結果と，その検査において上記倍率設定手段によって設定されている画像の大きさを表わす値および上記切換え速度設定手段によって設定されている表示時間を表わす値とを含む検査結果情報を作成する検査結果情報作成手段を備える。第１の入力手段と第２の入力手段は同じものでも，異なるものでもよい。さらに望ましくは，上記検査結果情報作成手段によって作成された検査結果情報を出力する出力手段が設けられる。
【００１３】
検査員ごとに，検査判定結果のみならず，表示画像の大きさを表わす値や表示時間が記録されるので，この記録をみて，目視検査に向いている人員の選定，各検査員に最適な検査条件（上記画像の大きさ，表示時間など）の選定（設定）が可能となる。また，このようにして選定された適切な検査員による最適な検査条件下での検査を実行することにより，不良製品の見逃しの低減（検査の質の向上），検査時間の管理等が可能となる。
【００１４】
好ましい実施態様では，複数の製品を順次搬送する搬送装置をさらに設ける。上記撮像装置は上記搬送装置による搬送途上の製品の検査対象部位を所定位置で撮像するものである。
【００１５】
この場合に，搬送装置による製品の搬送を間欠的に行い，表示画面上における検査対象部位画像の切換えを間欠的搬送と同期して行なうことが望ましい。撮像装置によって撮像された画像は，表示の前に，必要に応じて一時的に記憶される。
【００１６】
連続的に搬送し，ある瞬間において電子カメラにより高速で製品を撮像し，得られた静止画像データを一定時間保持して，表示画面上に，検査対象部位の静止画を一定時間ごとに切換えて表示するようにすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】検査装置（システム）の全体的な電気的構成を示すブロック図である。
【図２】複数の製品を持つ基材を示す平面図である。
【図３】搬送装置の正面図である。
【図４】搬送装置の平面図である。
【図５】検査判定結果を示す表である。
【図６】検査員の検査能力（検査結果情報）を示す表である。
【図７】不良製品を表わす表である。
【図８】検査装置による検査処理の手順を示すフローチャートである。
【実施例】
【００１８】
図１は検査装置（検査システム）の全体的な電気的構成を示すものである。この検査装置は搬送装置により複数の検査対象製品を間欠的に搬送しながら該製品の一部（検査対象部位）を電子カメラで順次撮像し，撮像により得られた各検査対象部位の画像を一時的に表示装置に表示し，検査員がこの表示画像を目視によりチェック（検査）して，対象製品の欠陥の有無（良品）を判定し，判定結果を検査装置に入力し，検査装置がこれを集計するものである。
【００１９】
図２は検査対象製品の一例を示している。基材（または基板）10に多数の製品11が配置されている。図示のものでは製品11は基材10と一体であるが，検査後の最終工程で打抜き等により基材10から切り離される。このように，この明細書において，検査対象である製品は未完成品，半製品であってもよく，部品という名称で呼ばれるものであっても，デバイスや装置等という名称で呼ばれるものであってもよい。もちろん，製品は一般的には互いに離れた個別独立のものであって，基材，基板，台紙等に取付けられている必要は必ずしもない。
【００２０】
この実施例では製品11は，基材10上に複数行，複数列にわたって配置されている。便宜的に，列方向（横方向）をＸ方向，行方向（縦方向）をＹ方向とする。製品11は縦方向に細長い形状のものであるが，この製品11の全体のうち，破線13で示す方形の枠に囲まれた部分（上部１／３の部分）が検査対象部位である（第２行，第３行については１つの枠13のみを代表的に示す）。もちろん，これに加えて，またはこれに代えて製品11の他の部分，すなわち鎖線14，15等の枠で囲まれた製品の一部を検査対象部位としてもよい。
【００２１】
図３および図４は複数の製品の搬送装置の例を示している。搬送装置39はＸ方向搬送装置30とＹ方向搬送装置40とを含む。これらのＸ方向，Ｙ方向搬送装置30，40は，アクチュエータ，電動シリンダ，リニアモータ等と呼ばれるもので実現される。たとえば，搬送装置30，40は，モータ31，41と，これらのモータ31，41により回転駆動されるねじ軸（図示略）とを含み，ねじ軸にねじ嵌められたナットがねじ軸の回転に伴ってＸ軸またはＹ軸方向に移動する。ナットに移動台32，42がそれぞれ取付けられている。そして，Ｙ方向搬送装置40の移動台42上にＸ方向搬送装置30が固定され，Ｘ方向搬送装置30の移動台32上に製品取付（載置）台33が固定される。図２に示す基材10の全体が製品取付台33上に固定される。このようにして，複数の製品11を含む基材10は，搬送装置39によりＸ方向およびＹ方向に移動（搬送）可能である。
【００２２】
搬送装置による製品の搬送路の上方には撮像装置29が設けられ，支持部材（図示略）により固定されている。撮像装置29は，真下の検査対象部位を照明する照明装置28，検査対象部位の光像を拡大する顕微鏡27，および顕微鏡27により拡大された検査対象部位光像を撮像し，その像を表わす映像信号（ディジタル信号の場合を含む）を出力する電子カメラ（スチルカメラ）26を含む。照明装置28による照明の明るさ，光源の種類，その他の照明条件は可変である。顕微鏡27は好ましくは実体顕微鏡であり，その光学倍率は可変である。電子カメラ26から出力される映像信号は，必要な加工が加えられた後，表示装置（モニタ）22に与えられ，製品11の検査対象部位12の拡大像がその表示画面に表示される。検査員はこの表示画像をみて検査結果（欠陥の有無，種類等）を入力装置23から入力する。
【００２３】
図１に戻って検査装置（システム）は，処理装置20を備えている。処理装置20は好ましくはコンピュータシステムにより実現され，検査装置の各種設定，全体の制御，検査結果の集計等を行う。撮像装置29における照明装置28の照明条件（のうちのいくつか），顕微鏡27等による画像の倍率（光学倍率と後述する電子倍率），カメラ26の各種撮影条件の設定や撮影制御（撮影タイミングの制御）等は処理装置20によって，必要に応じて入力装置23からの入力情報に基づいて，行なわれる。
【００２４】
搬送装置39は処理装置20の統括の下に，搬送制御装置36によって間欠的に搬送するように制御される。すなわち，搬送制御装置36からの指令に応じて，駆動装置（回路）35が各モータ31，41を駆動し，製品11の検査対象部位12を順次撮像装置29の真下の位置に搬送し，かつ一定時間の間，静止状態に保持する。
【００２５】
画像処理装置25は電子カメラ26から出力される検査対象部位を表わす映像信号のＡ／Ｄ変換，Ｄ／Ａ変換，輪郭強調，色調整，その他の画像処理を行い，表示装置22における表示に適した信号に変換して出力する。また，検査対象部位を表わす画像データを一時的に保持して，一定時間の間，同じ検査対象部位の画像を表わす信号を繰返して送出し，表示装置22に所定の表示時間の間，その検査対象部位画像の静止画像を表示させる。また，必要に応じて画像処理により拡大画像を作成する（電子倍率）。
【００２６】
データベース21には検査に関するデータ，たとえば倍率，切換え速度，検査部位情報，照明条件，検査結果等を記憶する。倍率には，顕微鏡27による光学倍率と画像処理装置25による電子倍率が含まれる。切換え速度は，表示装置22に１つの検査対象画像を表示している時間（表示時間）と同じ意味である。一般に表示装置22に表示される検査対象画像の切換えは搬送装置39による製品の搬送（間欠搬送）と同期して行なわれるので，切換え速度という用語を用いている。
【００２７】
検査員情報には，検査員ごとに，その氏名（識別符号），視力，年令，性別等がある。照明条件は，照明装置28の光源の種類（ＬＥＤ，蛍光灯など），照明の明るさまたは強さ（ワット等），照明の色，検査対象製品に対する照明方向を示す角度（rad ），照明装置28と検査対象製品との間の間隔（mm）等がある。検査結果情報は，検査員が入力した検査判定結果データに加えて，必要に応じてこの検査結果データを加工して得られる検査員の検査能力データや不良と判定された製品に関するデータ等が含まれる。
【００２８】
入力装置23は，検査員が検査判定結果を入力するものである。この入力装置23は，上述した倍率，切換え速度，照明条件等の設定データ，検査員情報等を入力するために用いてもよいし，これらのデータまたは情報は他の入力装置（図示略）を用いて入力してもよい。出力装置24は検査結果情報等を出力するもので，プリンタや表示装置（表示装置22を用いてもよい）によって実現される。
【００２９】
図５は検査判定結果の一例を示している。この検査判定結果は，検査シートNO. ごとに作成される。検査シートは，ある単位でまとめられた一群の製品，たとえば上述した１枚の基材10上の製品群ごとに作成される。１つの検査シートにおいて，図２に示す基材10に関しては，行番号と列番号によって製品11が特定され，それらの各製品11について検査判定結果があらかじめ定められた記号で，特に欠陥の種類等が記録される。欠陥のない良品についてはデータの記録はなく，ブランクとしてもよい。この検査シートは，一群の製品について検査が行なわれるその都度，処理装置20によって作成され，データベース21に保存され，必要に応じて出力装置24から出力される。
【００３０】
図６は検査判定結果，その他の情報を集計して得られる検査員の検査能力（検査結果情報）の一例を示す表であり，処理装置20により作成され，データベース21に保存されるとともに，必要に応じて出力装置24から出力される。この表は，日付ごとに，かつ検査員氏名ごとに，その検査員が検査した製品群の検査シートNO. （図５），検査時間（一つの製品群，すなわち１枚の検査シート分の検査を実行するのに要した時間），倍率および切換え速度が集計されている。このように，製品の拡大画像の倍率や切換え速度（表示時間）が検査員ごとに記録されるので，この記録をみて，目視検査に向いている人員の選定，各検査員に最適な検査条件の選定（設定）が可能となる。また，このようにして選定された適切な検査員による最適な検査条件下での検査を実行することにより，不良製品の見逃しの低減，（検査の質の向上），検査時間の管理等が可能となる。不良品であることがあらかじめ分っている製品を含む製品群について検査を試行することにより，各検査員の見逃し率の計測等も可能である。
【００３１】
図７は不良製品に関するデータを記録したもので，検査シートNO. とその検査シート（基材）における行番号および列番号とによって不良製品が特定され，その不良製品に対応して不良製品の画像データ（画像データのファイル名）等が記述される。画像データは検査員によって不良である旨が入力されたときに，表示装置22に表示されている検査対象部位拡大画像を取込むことによって（必要に応じてそれを加工して）得られる。このような不良製品に関するデータは処理装置20によって作成され，データベース21に保存されるとともに，必要に応じて出力装置24から出力される。製品が図２に示すように基材上に固定されていずに，互いに分離個別のものである場合には，搬送装置39によって搬送される順番によって製品が特定されよう。または，製品に識別符号を付けておき，これを非接触センサまたはカメラ等で読取って製品を特定することもできる。
【００３２】
図８は図２に示す１つの基材10上の複数の製品について検査を行う場合の動作の手順を示している。この動作は主に処理装置20および搬送制御装置36の制御の下に実行される。
【００３３】
１枚の基材10を搬送装置39の製品取付台33上に固定し，基材10上の第１行，第１列の製品がカメラ26の視野内の中央に収まるように取付台33の位置を調整する（Ｓ11）。これは一般には表示装置22に表示された画像をみて操作員が手動で行なうことになろう。このとき，倍率の入力（調整）も行なわれる。もちろん，照明条件も適切に設定される。検査員の能力に応じた切換え速度（表示時間）が入力（設定）される（Ｓ12）。これらの入力，設定された倍率，照明条件，切換え速度はデータベース21に記憶される。以上の準備ののち，搬送制御装置36による自動搬送制御が開始される（Ｓ13）。搬送制御装置36には，基材10上の製品群について搬送パターン（Ｘ方向のピッチ，Ｙ方向のピッチ）があらかじめ設定されており，制御装置36はこの搬送パターンにしたがって，まず第１行の製品について第１列のものから最終列のものまで順次，一定時間ごとに間欠的に搬送し，続いて第２行の製品について同じように搬送制御する。
【００３４】
第１行，第１列の製品11の検査対象部位の拡大画像が表示装置22に表示されると，検査員は入力装置23から良品か，不良品（欠陥あり）かを入力する。良品でない場合，すなわち不良品である旨の入力があると（Ｓ14），処理装置はその製品（行番号と列番号）について不良の旨を記憶する（図５の検査結果の表の作成）（Ｓ15）。検査員が不良の種類を入力したときには，その種類が記号（コード）で記憶される。良品である旨の入力があったときには，記録は必ずしも行なわなくてもよい。
【００３５】
搬送制御装置36は，基材10をＸ方向の製品11のＸ方向配列ピッチずつ，順次，隣接する製品がカメラ26の視野内に入るように，一定時間間隔で間欠的に搬送していく。これにより，基材10上の複数の製品の検査対象部位12の拡大画像が表示装置22の表示画面の同じ位置に，順次，切換えて表示されていく。検査員は，次の検査対象部位の拡大画像が表示される毎に，検査結果を入力していく（Ｓ16，Ｓ17，Ｓ14，Ｓ15のループ）。搬送装置39が隣接する製品をカメラ26の真下まで搬送するためにわずかの時間を要する。このとき表示装置22に表示される画像に乱れが生じないように，画像処理装置25は搬送装置による間欠搬送と同期をとり，製品11がカメラ26の視野に入って静止したときにその画像を撮像し，撮像した画像を表示装置22の表示画面上に，次の製品の画像を撮像するまで静止画として表示し続ける。表示装置22の画面上において検査対象部位画像が表示されている時間が表示時間（切換え速度）であり，これは搬送装置39が基材10の搬送を停止している時間よりもわずかに（１ピッチ送る時間だけ）長い。
【００３６】
１つの行の最後の製品についての検査が終了すると，搬送制御装置36は基材10を次の行の製品（搬送パターンに依るが，次の行の最終列番号または第１列番号の製品となる）がカメラ26の視野に入るようにＹ方向に１ピッチ分搬送し（Ｓ18，Ｓ19），その行について再び上記の動作が繰返される。
【００３７】
１つの基材10の最後の行の最後の列の製品まで検査が終了すれば（Ｓ18），搬送装置39による自動搬送が終る（Ｓ20）。処理装置20は検査判定結果の表（図５）を作成し，さらにこれに基づいて，検査員の検査能力（検査結果情報）の表（図６）や不良製品の表（図７）を作成する（Ｓ21）。必要ならば，次の基材について同じ検査員により，または他の検査員により同じような検査が行なわれていく。
【００３８】
一つの基材10上の多数の製品11は検査対象部位として同一の形状（良品の場合）を持っている。このような同一形状の複数の検査対象部位が一定時間間隔で順次，表示画面上の同じ位置に，あたかも重なるように，切換わって表示される。隣接する検査対象部位がともに良品で同一形状の場合には，表示画面上に順次表示される検査対象部位の画像は変化しない。ところが，不良品があると，その不良品の画像は直前に表示されていた良品の画像と異なるために検査員は異常に即座かつ容易に気がつく。このようにして，検査員による検査は比較的容易であり，かつ精度が高いものとなる。そして，上述したように，検査員ごとに最適な切換え速度や倍率（大きすぎても小さすぎても見づらい）を求めて設定できるから，能率の良い，かつ疲労が少ないものとなる。
【００３９】
上記実施例では複数の製品を間欠的に搬送しているが，連続的に搬送し，ある瞬間において電子カメラにより高速で製品を撮像し，得られた静止画像データを一定時間保持して，表示画面上に，静止画を一定時間ごとに切換えて表示するようにすることもできる。
【符号の説明】
【００４０】
10  基材
11  製品
12  検査対象部位
20  処理装置（表示制御手段，倍率設定手段，切換え速度設定手段，検査結果情報作成手段）
21  データベース
22  表示装置（表示手段）
23  入力装置（入力手段，第１の入力手段，第２の入力手段，倍率設定手段，切換え速度設定手段）
24  出力装置（出力手段）
25  画像処理装置（表示手段）（倍率設定手段）（表示制御手段）
26  電子カメラ（撮像装置）
27  顕微鏡（撮像装置）（倍率設定手段）
28  照明装置（撮像手段）
36  搬送制御装置（搬送装置）
39  搬送装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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