(57)【要約】      （修正有）【課題】複数のＸ線ラインセンサを備えていても検出素子のＸ線受光状態や不良の有無を確認することができるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】表示制御部は、表示器５に、少なくとも１つのＸ線検出データ５０ｂと、合成済データ１０ｄｍとを、同時に表示させるよう制御している。また、表示制御部は、複数のＸ線ラインセンサのうち１つのＸ線ラインセンサによるＸ線検出データ５０ｂと他のＸ線ラインセンサによるＸ線検出データ６０ｂとの間で切り換え可能に、Ｘ線検出データ５０ｂを表示させるよう制御している。また、表示制御部は、フィルタ処理部で処理が施された少なくとも１つのＸ線検出データ５０ｄと、合成済データ１０ｄｍとを、同時に表示させるよう制御している。また、被検査物中の異物の混入の有無を判定するための検出リミット値の設定操作が設定操作部から行われる。【選択図】図６
2015184242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送路（２１）の搬送面（２ａ）上を搬送される被検査物（Ｗ）にＸ線を照射するＸ線管（１２）と、
前記被検査物の搬送方向（Ｘ方向）の平面上で搬送方向に直交する幅方向（Ｙ方向）に直線状に配置された複数の検出素子からなる複数のＸ線ラインセンサ（５０、６０）を前記搬送方向に有し、前記Ｘ線の受光量に応じたＸ線検出データを前記Ｘ線ラインセンサ毎に出力するＸ線検出器（１０）と、
前記複数のＸ線ラインセンサからのＸ線検出データを合成して合成済データとして出力する合成部（４４）と、
前記合成済データに基づいて異物の混入の有無を含む前記被検査物の良否判定を行う判定部（４８）と、
前記合成済データまたは前記判定部による良否判定結果の少なくとも一方を表示可能な表示器（５）と、
前記表示器の表示内容を制御する表示制御部（４５）と、を備え、
前記表示制御部は、前記表示器に、少なくとも１つの前記Ｘ線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記表示制御部は、前記表示器に、少なくとも１つの前記Ｘ線検出データと、前記合成済データとを、重ねた状態で同時に表示させるよう制御することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記表示制御部は、複数の前記Ｘ線ラインセンサのうち１つの前記Ｘ線ラインセンサによる前記Ｘ線検出データと他の前記Ｘ線ラインセンサによる前記Ｘ線検出データとの間で切り換え可能に、前記表示器に、少なくとも１つの前記Ｘ線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記複数のＸ線ラインセンサからの各Ｘ線検出データに処理を施すフィルタ処理部（４３）を備え、
前記表示制御部は、前記表示器に、前記フィルタ処理部で処理が施された少なくとも１つの前記Ｘ線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする請求項１〜請求項３の何れかに記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記被検査物中の異物の混入の有無を判定するための検出リミット値の設定操作を行うリミット値設定操作部（４９）を備え、
前記表示制御部は、前記表示器に、前記Ｘ線検出データとしての前記幅方向または搬送方向の断面波形画像の少なくとも１つと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする請求項１〜請求項４の何れかに記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記検出素子のうち不使用とする検出素子の設定操作を行う検出素子設定操作部（４９）を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項５の何れかに記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線を用いて被検査物を検査するＸ線検査装置に関し、特に、Ｘ線ラインセンサを被検査物の搬送方向に複数備えるＸ線検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、Ｘ線検査装置は、搬送路上を所定間隔で順次搬送されてくる各品種の被検査物（例えば、肉、魚、加工食品、医薬品など）にＸ線発生器からＸ線を照射し、被検査物を透過したＸ線の透過量を検出することで、被検査物中の異物（金属、ガラス、石、骨など）や欠陥の有無などを判別し、被検査物の良否判定を行っている。
【０００３】
従来、この種のＸ線検査装置には、Ｘ線ラインセンサを被検査物の搬送方向に複数本併設し、複数のＸ線ラインセンサからの検出信号から生成される画像データを合成することにより、検査精度を向上させるようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、従来、この種のＸ線検査装置には、コントラスト差の２次元画像の他だけでなく、被検査物の搬送方向と略直交する方向の断面波形画像や３次元鳥瞰波形画像を選択的に表示することにより、検出リミット値を容易に設定することができるようにしたものがある（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１４５２５３号公報
【特許文献２】特許３９１７０１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１のように、複数のＸ線ラインセンサからの画像データを合成するものは、合成後の画像にのみ基づいて被検査物の良否判定を行っており、また、合成前の画像を表示することができなかったため、ユーザーが合成前の画像を参照してＸ線ラインセンサの不良の有無を確認したり、被検査物の良否判定結果の分析をすることができなかった。
【０００７】
また、特許文献２のように、１つのＸ線ラインセンサを有し、合成されていない異なる種類の画像データを選択的に表示するものは、複数のＸ線ラインセンサを備える構成を想定しておらず、特許文献１と同様に合成前の画像を表示することができなかった。
【０００８】
そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、複数のＸ線ラインセンサを備えていても検出素子のＸ線受光状態や不良の有無を確認することができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るＸ線検査装置は、搬送路の搬送面上を搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線管と、前記被検査物の搬送方向の平面上で搬送方向に直交する幅方向に直線状に配置された複数の検出素子からなる複数のＸ線ラインセンサを前記搬送方向に有し、前記Ｘ線の受光量に応じたＸ線検出データを前記Ｘ線ラインセンサ毎に出力するＸ線検出器と、前記複数のＸ線ラインセンサからのＸ線検出データを合成して合成済データとして出力する合成部と、前記合成済データに基づいて異物の混入の有無を含む前記被検査物の良否判定を行う判定部と、前記合成済データまたは前記判定部による良否判定結果の少なくとも一方を表示可能な表示器と、前記表示器の表示内容を制御する表示制御部と、を備え、前記表示制御部は、前記表示器に、少なくとも１つの前記Ｘ線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする。
【００１０】
この構成により、合成済データと同時にＸ線検出データが表示器に表示されるので、ユーザーは、複数のＸ線ラインセンサを備えていても検出素子のＸ線受光状態や不良の有無を確認することができる。
【００１１】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記表示制御部は、前記表示器に、少なくとも１つの前記Ｘ線検出データと、前記合成済データとを、重ねた状態で同時に表示させるよう制御することを特徴とする。
【００１２】
この構成により、合成済データと合成前のＸ線検出データとが重ねられた状態で同時に表示器に表示されるので、ユーザーは、検出素子のＸ線受光状態や不良の有無を確認することができる。
【００１３】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記表示制御部は、複数の前記Ｘ線ラインセンサのうち１つの前記Ｘ線ラインセンサによる前記Ｘ線検出データと他の前記Ｘ線ラインセンサによる前記Ｘ線検出データとの間で切り換え可能に、前記表示器に、少なくとも１つの前記Ｘ線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする。
【００１４】
この構成により、何れのＸ線ラインセンサからのＸ線検出データを表示器に表示させるかが切り換え可能なため、ユーザーは、Ｘ線ラインセンサ毎に、検出素子のＸ線受光状態や不良の有無を確認することができる。
【００１５】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記複数のＸ線ラインセンサからの各Ｘ線検出データに処理を施すフィルタ処理部を備え、前記表示制御部は、前記表示器に、前記フィルタ処理部で処理が施された少なくとも１つの前記Ｘ線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする。
【００１６】
この構成により、合成前であってフィルタ処理等が施された後のＸ線検出データが、合成済データと同時に表示されるので、ユーザーは、フィルタ処理等が施された後のＸ線検出データを参照してＸ線ラインセンサの良否を確認することができる。
【００１７】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記被検査物中の異物の混入の有無を判定するための検出リミット値の設定操作を行うリミット値設定操作部を備え、前記表示制御部は、前記表示器に、前記Ｘ線検出データとしての前記幅方向または搬送方向の断面波形画像の少なくとも１つと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする。
【００１８】
この構成により、ユーザーは、表示器に表示される断面波形画像を見ることでピーク値の確認をしながら、検出リミット値の設定操作を行うことができる。
【００１９】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記検出素子のうち不使用とする検出素子の設定操作を行う検出素子設定操作部（４９）を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この構成により、ユーザーは、表示器に表示されるＸ線検出データを見ながら、不使用とする検出素子を設定することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は、複数のＸ線ラインセンサを備えていても検出素子のＸ線受光状態や不良の有無を確認することができるＸ線検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の側面および内部構成を示す図である。
【図３】（ａ）は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置のＸ線検出器の構成を示す斜視図であり、（ｂ）は、Ｘ線検出器の上面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置のＸ線検出データおよび合成済データを示す図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の表示器にＸ線検出データと合成済データとが同時に表示される表示例を示す図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の表示器にＸ線検出データと合成済データとが同時に表示される表示例を示す図である。
【図７】は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の表示器にＸ線検出データと合成済データとが同時に表示される表示例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。まず構成について説明する。図１に示すように、Ｘ線検査装置１は、搬送部２と検出部３とを筐体４の内部に備え、表示器５を筐体４の前面上部に備えている。
【００２４】
搬送部２は、筐体４に対して水平に配置されたベルトコンベアの搬送面（ベルト面）２ａ上で、被検査物Ｗを所定間隔をおいて順次搬送するようになっている。搬送部２は、図１に示す駆動モータ６の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口７から搬入された被検査物Ｗを搬出口８側（図中Ｘ方向）に向けて搬送するようになっている。筐体４内部において搬送面２ａ上を搬入口７から搬出口８まで貫通する空間は搬送路２１を形成している。
【００２５】
検出部３は、搬送路２１途中の検査空間２２の上方に所定高さ離隔して配置されたＸ線発生源としてのＸ線発生器９と、このＸ線発生器９と搬送部２内に対向して配置されたＸ線検出器１０とを備えている。検出部３は、搬送路２１の途中の検査空間２２において、順次搬送される被検査物Ｗに対し、Ｘ線発生器９によりＸ線を照射するとともに、被検査物Ｗを透過するＸ線をＸ線検出器１０により検出するようになっている。
【００２６】
Ｘ線発生器９は、円筒状のＸ線管１２と、このＸ線管１２を絶縁油に浸漬した状態で収納する金属製の箱体１１とを備えており、Ｘ線管１２の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてＸ線を生成するようになっている。
【００２７】
Ｘ線管１２により生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器１０に向けて、図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって搬送方向（Ｘ方向）を横切るように照射されるようになっている。
【００２８】
ここで、Ｘ線管１２の陽極と陰極との間に流す電流（管電流）に比例して、Ｘ線管１２が発生するＸ線の強度は変化する。また、Ｘ線管１２の陽極と陰極との間に印加する電圧（管電圧）が高くなるに連れて、Ｘ線管１２が発生するＸ線の波長が短くなりＸ線の透過力が強くなる。このため、Ｘ線管１２の管電流および管電圧は、検出対象とする異物および被検査物Ｗの種類や搬送速度に応じて調整されるようになっている。
【００２９】
図２に示すように、搬送路２１内の天井部２１ａには、搬送方向（Ｘ方向）に沿って複数個所にＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン１６が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン１６は、Ｘ線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状（上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態）に加工したものから構成されており、検査空間２２から搬送路２１を介してＸ線が筐体４の外部に漏えいすることを防止するようになっている。
【００３０】
遮蔽カーテン１６は、本実施形態では、搬入口７と検査空間２２との間、および検査空間２２と搬出口８との間にそれぞれ２枚ずつ設けられており、１つの遮蔽カーテン１６が被検査物Ｗと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン１６がＸ線を遮蔽することで、漏えい基準量を超えることなくＸ線の漏えいを防止できるようになっている。搬送路２１における遮蔽カーテン１６により囲まれた内側の空間は検査空間２２を構成している。
【００３１】
Ｘ線検出器１０は、図３（ａ）、図３（ｂ）に示すように、Ｙ方向（幅方向）に直線状に延在する複数のＸ線ラインセンサ５０、６０を搬送面２ａの下方に備えている。Ｘ線ラインセンサ５０はＸ方向上流側に配置され、Ｘ線ラインセンサ６０はＸ方向下流側に配置されている。
【００３２】
Ｘ線ラインセンサ５０、６０は、同じエネルギーのＸ線を検出するシングルエナジー、または、Ｘ線を一方が高エネルギーで検出し他方が低エネルギーで検出するデュアルエナジーセンサーとして構成されている。
【００３３】
Ｘ線ラインセンサ５０は、Ｘ線検出素子としての複数のセンサモジュール５１、５２、５３、５４をＹ方向にそれぞれ直線状に配置したものから構成されている。Ｘ線ラインセンサ６０は、Ｘ線検出素子としての複数のセンサモジュール６１、６２、６３、６４をＹ方向にそれぞれ直線状に配置したものから構成されている。
【００３４】
各センサモジュール５１、５２、５３、５４、６１、６２、６３、６４は、それぞれＸ線検知部５１ａ、５２ａ、５３ａ、５４ａ、６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａを基板５１ｂ、５２ｂ、５３ｂ、５４ｂ、６１ｂ、６２ｂ、６３ｂ、６４ｂ上に実装したものから構成されている。
【００３５】
Ｘ線検知部５１ａ、５２ａ、５３ａ、５４ａ、６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａは、受光素子としてのフォトダイオード（図示せず）と、フォトダイオード上に設けられたシンチレータ（図示せず）とから構成されている。
【００３６】
Ｘ線検知部５１ａ、５２ａ、５３ａ、５４ａ、６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａは、Ｘ線発生器９から被検査物Ｗに対してＸ線が照射されているとき、被検査物Ｗを透過してくるＸ線をシンチレータで受けて光に変換するようになっている。また、Ｘ線検知部５１ａ、５２ａ、５３ａ、５４ａ、６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａは、シンチレータで変換された光をフォトダイオードで受光し、受光した光を電気信号に変換して出力するようになっている。このため、Ｘ線ラインセンサ５０、６０は、入射するＸ線の強度に応じたＸ線検出データを出力するようになっている。
【００３７】
なお、Ｘ線ラインセンサ５０、６０は、他の例として、テルル化カドミウム（ＣｄＴｅ）のような半導体を用いて、Ｘ線を直接的に効率良く電気信号に変換するように構成されていてもよい。
【００３８】
Ｘ線検出器１０はＡ／Ｄ変換部４１を備えており、このＡ／Ｄ変換部４１は、Ｘ線ラインセンサ５０、６０からのＸ線検出データをデジタルデータに変換して出力するようになっている。
【００３９】
ここで、Ｘ線検出器１０がＡ／Ｄ変換部４１を備える代わりに、制御部４０がＡ／Ｄ変換部４１を備えるようにしてもよい。すなわち、Ｘ線検出器１０から制御部４０への出力を、デジタルデータに変換された後のＸ線検出データとする代わりに、デジタルデータに変換される前のＸ線検出データをＸ線検出器１０の側で出力し、制御部４０の側でデジタルデータに変換するように構成してもよい。
【００４０】
図２に示すように、Ｘ線検査装置１は制御部４０を備え、この制御部４０は、Ｘ線検出器１０からのＸ線検出データに基づいて判定部４８により被検査物Ｗの良否判定を行うようになっている。また、制御部４０は、被検査物Ｗの良否判定の他に、Ｘ線検査装置１全体の制御を行うようになっている。
【００４１】
制御部４０は、一時記憶部４２と、画像処理部４６と、判定部４８と、表示制御部４５とを備えている。また、Ｘ線検査装置１は、表示器５と設定操作部４９とを備えており、これら表示器５および設定操作部４９は、筐体４の前面上部に互いに隣接して配置されている。
【００４２】
制御部４０は、一時記憶部４２に記憶されたＸ線ラインセンサ５０、６０からのＸ線検出データを、画像処理部４６で判定用の合成済データとして合成し、作成された合成済データに基づいて、判定部４８で被検査物Ｗの良否を判定し、判定結果を表示器５により表示するようになっている。
【００４３】
一時記憶部４２は、Ｘ線検出データを高速に記憶および読み出しが可能な半導体メモリ等から構成されており、Ｘ線ラインセンサ５０、６０からのＸ線検出データを一時的に記憶するようになっている。
【００４４】
画像処理部４６は、フィルタ処理部４３と合成部４４とを備え、Ｘ線ラインセンサ５０、６０のＸ線検出データを一時記憶部４２から読み出すとともに、読み出したＸ線検出データを判定部４８での判定用に合成して、被検査物Ｗに対応する合成済データとして出力するようになっている。
【００４５】
フィルタ処理部４３は、一時記憶部４２に記憶されたＸ線ラインセンサ５０、６０からのＸ線検出データに基づいて生成される合成前または合成後の被検査物ＷのＸ線検出データ（Ｘ線画像）に対し、検出しようとする異物情報がより強調されて抽出できるように所定のフィルタ処理などの画像処理を施すようになっている。フィルタ処理部４３がＸ線検出データに施すフィルタとしては、例えば微分フィルタ（Ｒｏｂｅｒｔｓフィルタ、Ｐｒｅｗｉｔｔフィルタ、Ｓｏｂｅｌフィルタ）やラプラシアンフィルタなどの特徴抽出フィルタがある。
【００４６】
合成部４４は、一時記憶部４２に記憶されたＸ線ラインセンサ５０、６０からのＸ線検出データに基づくＸ線画像を合成するものであり、一時記憶部４２に記憶されたＸ線ラインセンサ５０、６０からのＸ線検出データに対し、フィルタ処理部４３による画像処理前または画像処理後のＸ線画像を合成するようになっている。
【００４７】
画像処理部４６は、例えば、図４に示すように、一時記憶部４２から読み出したＸ線検出データ５０ｂ、６０ｂにフィルタ処理部４３によって画像処理を施し、画像処理済のＸ線検出データ５０ｄ、６０ｄを作成する。さらに、画像処理部４６は、画像処理済のＸ線検出データ５０ｄ、６０ｄを合成部４４によって合成し、判定部４８で判定するための被検査物Ｗに対応する合成済データ１０ｄｍとして出力するようになっている。
【００４８】
なお、画像処理部４６は、一時記憶部４２から読み出したＸ線検出データ５０ｂ、６０ｂを合成部４４によって合成し、その合成された合成画像に対し、フィルタ処理部４３による画像処理を施して、被検査物Ｗに対応する合成画像である合成済データ１０ｄｍを出力するようにしてもよい。また、画像処理部４６は、フィルタ処理部４３により画像処理済のＸ線検出データ５０ｄ、６０ｄを合成部４４によって合成して合成画像を作成した後に、再度、フィルタ処理部４３による画像処理を施して、被検査物Ｗに対応する合成済データ１０ｄｍを出力するようにしてもよい。
【００４９】
判定部４８は、画像処理部４６で合成された合成済データ１０ｄｍ（濃度データ）に基づいて異物の混入の有無または欠陥の有無を判定するようになっている。判定部４８は、異物の混入の有無を判定するときは、被検査物Ｗと異物との判別を行うことで被検査物Ｗの中から異物を検出するようになっている。
【００５０】
また、判定部４８は、欠陥の有無を判定するときは、予め記憶された被検査物Ｗの形状またはリミットと比較することで、被検査物Ｗの形状や内容物の過不足等に関する欠陥の有無を判定するようになっている。
【００５１】
表示制御部４５は、表示器５の表示内容を制御するようになっている。表示制御部４５の機能については、後に詳しく説明する。
【００５２】
設定操作部４９は、不図示のキーボードおよびタッチパネルを備えており、Ｘ線発生器９のＸ線出力の設定や、搬送速度等の検査パラメータの設定操作、動作モードの選択操作が行われるようになっている。
【００５３】
ここで、制御部４０が実行する動作モードとしては、通常運用モードとリミット調整モードと素子検査モードとがある。
【００５４】
設定操作部４９は、後述する通常運用モードとリミット調整モードと不良素子検査モードとの間の動作モードの切り換え操作が行われるようになっている。
【００５５】
通常運用モードとは、被検査物Ｗに対して異物の有無等の検査を行う動作モードである。リミット調整モードとは、異物判定の検出リミット値を調整する動作モードである。また、不良素子検査モードとは、Ｘ線ラインセンサ５０、６０の複数の検出素子のうち不使用とする検出素子を設定するモードである。
【００５６】
制御部４０は、設定操作部４９で指定された動作モードに従って、通常運用モード、リミット調整モード、または素子検査モードの何れかを選択的に実行するようになっている。
【００５７】
図４において、Ｘ線ラインセンサ５０、６０で検出されたＸ線検出データ５０ｂ、６０ｂのうち、Ｘ線ラインセンサ５０の一部の検出素子に不良によりＸ線検出データ５０ｂに筋状の線が発生している。
【００５８】
この場合、フィルタ処理部４３でフィルタ処理が施されることにより、画像処理後のＸ線検出データ５０ｄでは筋状の線が薄くなり視認し難くなることがある。また、この場合、合成済データ１０ｄｍにおいて筋状の線は判別不可能になってしまい、異物箇所Ｇを判定部４８で判定することはできるものの、合成済データ１０ｄｍからはＸ線ラインセンサ５０の検出素子の不良を確認することができない場合がある。
【００５９】
そこで、本実施形態では、表示制御部４５は、不良素子検査モードにおいて、図５（ａ）に示すように、表示器５に、少なくとも１つのＸ線検出データ５０ｂと、合成済データ１０ｄｍとを、同時に表示させるようになっている。
【００６０】
また、表示制御部４５は、図５（ｂ）に示すように、表示器５に、少なくとも１つのＸ線検出データ５０ｂと、合成済データ１０ｄｍとを、重ねた状態で同時に表示させるようになっていてもよい。
【００６１】
また、表示制御部４５は、このＸ線検出データを、図６（ａ）に示すように、複数のＸ線ラインセンサ５０、６０のうち１つのＸ線ラインセンサ５０によるＸ線検出データ５０ｂと他のＸ線ラインセンサ６０によるＸ線検出データ６０ｂとの間で切り換え可能に表示器５に表示させるようにしてもよい。
【００６２】
また、表示制御部４５は、図６（ｂ）に示すように、表示器５に、フィルタ処理部４３で処理が施された少なくとも１つのＸ線検出データ５０ｄと、合成済データ１０ｄｍとを、同時に表示させるようにしてもよい。
【００６３】
不良素子検査モードにおける図５（ａ）、図５（ｂ）、図６（ａ）、図６（ｂ）の画面では、不良により不使用とする検出素子の設定操作が設定操作部４９から行われるようになっている。不使用とする検出素子は、不良素子のみに設定してもよいし、不良素子を含む検出素子列全て、すなわちＸ線ラインセンサ５０を不使用に設定してもよい。
【００６４】
また、本実施形態では、リミット調整モードにおいて、表示制御部４５は、図７に示すように、表示器５に、画像処理済のＸ線検出データ５０ｄとしての幅方向または搬送方向の断面波形画像の少なくとも１つと、合成済データ１０ｄｍとを、同時に表示させるようにしてもよい。図７において、断面波形画像のＸ線検出データ５０ｄは、図６（ｂ）の平面画像のＸ線検出データ５０ｄを搬送面２ａの幅方向に切断した断面波形を表すものである。
【００６５】
リミット調整モードにおける図７の画面では、ユーザーにより、被検査物Ｗ中の異物の混入の有無を判定するための検出リミット値Ｌの設定操作が設定操作部４９から行われるようになっている。例えば、ユーザーは、表示器５に表示された断面波形画像を見ながら設定操作部４９から操作を行うことで、異物箇所Ｇのピーク部分等に応じて検出リミット値Ｌを増減することができるようになっている。また、ユーザーは、表示器５の断面波形画像に重ねて表示される矢印形状のポインタＰを、設定操作部４９からの操作により移動させることで、このポインタＰで指定された箇所の検出データの数値を確認することができるようになっている。図７ではポインタＰで指定された箇所の数値が「３００」であることが表示されている。このように、表示制御部４５により表示器５に表示される情報は、画像データだけでなく、数値データも含まれる。
【００６６】
なお、リミット調整モードは、設定操作部４９からの操作設定に応じて他の動作モードから切り換えられるようになっていてもよいが、通常運用モードで被検査物Ｗを検査中に異物混入等による不良品判定が発生した場合等に、自動的に移行するようにしてもよい。
【００６７】
以上のように、本実施形態に係るＸ線検査装置１では、表示制御部４５は、表示器５に、少なくとも１つのＸ線検出データ５０ｂと、合成済データ１０ｄｍとを、同時に表示させるよう制御している。
【００６８】
このため、合成済データ１０ｄｍと同時にＸ線検出データ５０ｂが表示器５に表示されるので、ユーザーは、複数のＸ線ラインセンサ５０、６０を備えていても検出素子のＸ線受光状態や不良の有無を確認することができる。
【００６９】
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１では、表示制御部４５は、表示器５に、少なくとも１つのＸ線検出データ５０ｂと、合成済データ１０ｄｍとを、重ねた状態で同時に表示させるよう制御している。
【００７０】
このため、合成済データ１０ｄｍと合成前のＸ線検出データ５０ｂとが重ねられた状態で同時に表示器５に表示されるので、ユーザーは、検出素子のＸ線受光状態や不良の有無を確認することができる。
【００７１】
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１では、表示制御部４５は、複数のＸ線ラインセンサ５０、６０のうち１つのＸ線ラインセンサ５０によるＸ線検出データ５０ｂと他のＸ線ラインセンサ６０によるＸ線検出データ６０ｂとの間で切り換え可能に、表示器５に、少なくとも１つのＸ線検出データ５０ｂと、合成済データ１０ｄｍとを、同時に表示させるよう制御している。
【００７２】
このため、何れのＸ線ラインセンサ５０、６０からのＸ線検出データ５０ｂ、６０ｂを表示器に表示させるかが切り換え可能なため、ユーザーは、Ｘ線ラインセンサ５０、６０毎に、検出素子のＸ線受光状態や不良の有無を確認することができる。
【００７３】
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１では、複数のＸ線ラインセンサ５０、６０からの各Ｘ線検出データに処理を施すフィルタ処理部４３を備え、表示制御部４５は、表示器５に、フィルタ処理部４３で処理が施された少なくとも１つのＸ線検出データ５０ｄと、合成済データ１０ｄｍとを、同時に表示させるよう制御している。
【００７４】
このため、合成前であってフィルタ処理等が施された後のＸ線検出データ５０ｄが、合成済データ１０ｄｍと同時に表示されるので、ユーザーは、フィルタ処理等が施された後のＸ線検出データ５０ｄを参照してＸ線ラインセンサ５０、６０の良否を確認することができる。
【００７５】
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１では、被検査物Ｗ中の異物の混入の有無を判定するための検出リミット値の設定操作が設定操作部４９から行われる。また、表示制御部４５は、表示器５に、Ｘ線検出データ５０ｄ、６０ｄである幅方向の断面波形画像の少なくとも１つと、合成済データ１０ｄｍとを、同時に表示させるよう制御している。
【００７６】
このため、ユーザーは、表示器５に表示される断面波形画像を見ることでピーク値の確認をしながら、検出リミット値の設定操作を行うことができる。
【００７７】
また、本実施形態に係るＸ線検査装置１では、検出素子のうち不使用とする検出素子の設定操作が設定操作部４９から行われる。
【００７８】
このため、ユーザーは、表示器５に表示されるＸ線検出データ５０ｂ、６０ｂを見ながら、不使用とする検出素子を設定することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
以上のように、本発明に係るＸ線検査装置は、複数のＸ線ラインセンサを備えていても検出素子のＸ線受光状態や不良の有無を確認することができるという効果を有し、Ｘ線ラインセンサを被検査物の搬送方向に複数備えるＸ線検査装置として有用である。
【符号の説明】
【００８０】
１  Ｘ線検査装置
２ａ  搬送面
５  表示器
９  Ｘ線発生器
１０  Ｘ線検出器
１０ｄｍ  合成済データ
１２  Ｘ線管
２１  搬送路
４０  制御部
４３  フィルタ処理部
４４  合成部
４５  表示制御部
４６  画像処理部
４８  判定部
４９  設定操作部（リミット値設定操作部、検出素子設定操作部）
５０、６０  Ｘ線ラインセンサ
５０ｂ、６０ｂ  Ｘ線検出データ
５０ｄ、６０ｄ  Ｘ線検出データ
５１、５２、５３、５４、６１、６２、６３、６４  センサモジュール（検出素子）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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