(57)【要約】【課題】  本発明は、複数枚のディスクを同時に高品質に乾燥できるディスクのスピン乾燥装置およびその方法を提供することにある。【解決手段】  本発明は、同心軸状に列状に配置された複数枚の磁気ディスクを回転させ、回転中に磁気ディスクの表面に温水を吹き付け、表面から遠心力によって飛ばされた水分を網状のキャッチネットに付着させ、網状の網目から透過した付着した水分を遠心力で放出する。また、本発明は、乾燥機構が、列状方向に長く、回転する方向とは反対方向に乾燥機構筐体に向かって傾斜したフィンを有するサイクロン羽根を、キャッチネットを囲むように複数有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同心軸状に列状に配置された複数枚の磁気ディスクの周方向を囲むように設けられた網状のキャッチネット及び前記キャッチネットの内側に前記磁気ディスクの表面に液体又は気体の少なくとも一方を吹き付けるノズルと、これらを内部に収める乾燥機構筐体とを有する乾燥機構と、
複数枚の前記磁気ディスクを一度にチャックする保持チャックを形成する複数のチャックシャフトと、
複数の前記チャックシャフトを前記磁気ディスクの径方向に移動させる保持機構と、
複数の前記チャックシャフトを前記乾燥機構内で回転させる回転機構と、を有する、
ことを特徴とするスピン乾燥装置。
【請求項２】
請求項１に記載のスピン乾燥装置であって、
前記乾燥機構は、前記列状方向に長く、前記回転する方向とは反対方向に前記乾燥機構筐体に向かって傾斜したフィンを有する前記サイクロン羽根を、前記キャッチネットを囲むように複数有する、
ことを特徴とするスピン乾燥装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のスピン乾燥装置であって、
前記キャッチネットは、ステンレスで網状に形成されている、
ことを特徴とするスピン乾燥装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載のスピン乾燥装置であって
複数の前記サイクロン羽根は、複数の前記チャックシャフトと共に前記回転機構によって回転する、
ことを特徴とするスピン乾燥装置。
【請求項５】
請求項１または２に記載のスピン乾燥装置であって、
前記チャックシャフトが前記キャッチネットと同心円状に設けられるように前記保持機構に隣接して設けられている、
ことを特徴とするスピン乾燥装置。
【請求項６】
請求項１、２、５のいずれかに記載のスピン乾燥装置であって、
前記保持機構は、断面が台形状した円錐状のカムと、該カムを前記列状方向に移動させる駆動源と、前記カムによって前記径方向に移動するカムフォロアと、一端で前記チャックシャフトを固定し、他端側に前記カムフォロアを有するチャック平板と、前記チャック平板を常に前記回転の回転軸の方向に押付ける保持バネと、を有するチャック部を有し、
前記回転機構は、前記チャック部を回転させる、
ことを特徴とするスピン乾燥装置。
【請求項７】
請求項６に記載のスピン乾燥装置であって、
前記保持バネは、一端側が前記チャック平板に設けられた孔内を前記径方向に摺動し、他端が剛性を有し、前記チャック部を囲むように設けられた高剛性回転円筒体に固定されたバネ摺動部を内在し、前記回転中に前記チャックシャフトが複数枚の前記磁気ディスクを保持できる保持力を発生させることができ、
前記剛性は、前記回転中に前記チャックシャフトが複数枚の前記磁気ディスクを保持できるように前記高剛性回転円筒体が前記回転によって変形せず、かつ前記保持力を支持できる剛性である、
ことを特徴とするスピン乾燥装置。
【請求項８】
同心軸状に列状に配置された複数枚の磁気ディスクを回転させ、
前記回転中に前記磁気ディスクの表面に液体又は気体の少なくとも一方を吹き付け、
前記表面から遠心力によって飛ばされた水分を網状のキャッチネットに付着させ、前記網状の網目から透過した前記付着した水分を前記遠心力で放出する、
ことを特徴とするスピン乾燥方法。
【請求項９】
請求項８に記載のスピン乾燥方法であって、
前記放出された前記水分を前記回転する方向とは反対方向に向かって遠心力で再放出する、
ことを特徴とするスピン乾燥方法。
【請求項１０】
請求項８または９に記載のスピン乾燥方法であって、
前記回転は、初めに第１の回転速度で複数枚の前記磁気ディスクを回転させ、その後、前記第１の回転速度より速い第２の回転速度で回転させることである、
ことを特徴とするスピン乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク（以下、ディスクと称する）をスピン乾燥処理する装置およびその方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
情報記憶媒体となるディスクは、近年の大容量化に伴い、表面状態の更なる品質改善が求められている。また、生産工程設備は、ディスクの低コスト化に向けて生産処理能力の向上が強く求められてきている。ディスクの生産工程には、研削、研磨、スパッタリング、メッキ工程、洗浄工程等の後に乾燥する乾燥工程がある。
【０００３】
上記の背景にて乾燥工程においても、ディスク表面を高品質に乾燥できることが、乾燥工程の生産工程設備であるディスク乾燥装置は、複数枚のディスクを一括処理可能な高処理能力を有する設備技術が求められている。
【０００４】
ディスク乾燥装置の従来技術としては、特許文献１に記載されているものがある。特許文献１では、円筒状の内壁面に谷溝のある水受けカバーに、複数枚のディスクを挿入し、ディスク表面に温水を供給しながら回転させ、遠心力により温水を谷溝に回収し、内壁面に設けられた開口部から排出し、ディスクを乾燥する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−００３２４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載されているディスクのスピン乾燥方式の発明では、谷溝に回収された温水が、時間経過で多く溜り、落下してディスクに再付着し、シミやムラを残してしまい、ディスク汚染が発生しやすい。
【０００７】
また、ディスク生産における量産機対応の実現が出来ない。複数枚のディスクを同時にチャックさせ一括にて乾燥処理する為のチャック機構に剛性がなく、高速回転時における動バランスやディスクチャック保持状態の安定性に難がある。それ故、ディスク洗浄機の処理能力が向上する中で、一括乾燥処理枚数のニーズは洗浄と乾燥の処理バランスから枚数の多い、例えば、２５枚の一括処理が望まれているが、従来の発明では、５枚程度での処理能力であり、業界ニーズに応えることが出来ない。
【０００８】
本発明の目的は、上記した従来技術の課題を解決し、複数枚のディスクを同時に高品質に乾燥できるディスクのスピン乾燥装置およびその方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記目的を達成するために、少なくとも下記の構成を有する。
本発明は、同心軸状に列状に配置された複数枚の磁気ディスクの周方向を囲むように設けられた網状のキャッチネット及びキャッチネットの内側に磁気ディスクの表面に液体又は気体の少なくとも一方を吹き付けるノズルと、これらを内部に収める乾燥機構筐体とを有する乾燥機構と、複数枚の磁気ディスクを一度にチャックする保持チャックを形成する複数のチャックシャフトと、複数のチャックシャフトを磁気ディスクの径方向に移動させる保持機構と、複数のチャックシャフトを乾燥機構内で回転させる回転機構と、を有する。
【００１０】
また、本発明は、同心軸状に列状に配置された複数枚の磁気ディスクを回転させ、回転中に磁気ディスクの表面に液体又は気体の少なくとも一方を吹き付け、表面から遠心力によって飛ばされた水分を網状のキャッチネットに付着させ、網状の網目から透過した付着した水分を遠心力で放出する。
【００１１】
さらに、本発明は、乾燥機構が、列状方向に長く、回転する方向とは反対方向に乾燥機構筐体に向かって傾斜したフィンを有するサイクロン羽根を、キャッチネットを囲むように複数有してもよい。
【００１２】
また、本発明は、保持機構が、断面が台形状した円錐状のカムと、該カムを列状方向に移動させる駆動源と、カムによって径方向に移動するカムフォロアと、一端でチャックシャフトを固定し、他端側にカムフォロアを有するチャック平板と、チャック平板を常に回転の回転軸の方向に押付ける保持バネと、を有するチャック部を有し、回転機構は、チャック部を回転させてもよい。
【００１３】
さらに、本発明は、保持バネが、一端側がチャック平板に設けられた孔内を径方向に摺動し、他端が剛性を有し、チャック部を囲むように設けられた高剛性回転円筒体に固定されたバネ摺動部を内在し、回転中にチャックシャフトが複数枚の磁気ディスクを保持できる保持力を発生させることができ、剛性は、回転中にチャックシャフトが複数枚の磁気ディスクを保持できるように高剛性回転円筒体が回転によって変形せず、かつ保持力を支持できる剛性であってもよい。
【００１４】
また、本発明は、放出された水分を回転する方向とは反対方向に向かって遠心力で再放出してもよい。
さらに、本発明は、回転が、初めに第１の回転速度で複数枚の磁気ディスクを回転させ、その後、第１の回転速度より速い第２の回転速度で回転させることであってもよい
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、複数枚のディスクを同時に高品質に乾燥できるディスクのスピン乾燥装置およびその方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態におけるスピン乾燥装置の断面図である。
【図２】図１において、断面Ａ−Ａから保持回転機構に向かって見た矢視図である。
【図３】ディスクをスピン乾燥するフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明のスピン乾燥装置及び乾燥方法について、図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の実施形態におけるスピン乾燥装置の断面図である。スピン乾燥装置１００は、大別して、内部に挿入されたディスク１を乾燥する乾燥機構２、乾燥させるために直立状態でディスク１を保持し回転する保持回転機構３と、乾燥機構２にディスク１を搬入出する図示しないディスク搬入出機構と、を有する。また、その他付属機構として、乾燥効果を高める気体を排出するために乾燥機構２にチリ等の少ない純度の高いエアを送風管７ｈから送る図示しない送風装置と、乾燥機構２から水分及びガスを排出する排出管６ｈに吸引する図示しない吸引装置と、を有する。
【００１８】
ディスク搬入出機構は、乾燥機構２に設けられた挿入開口部２ｆから複数枚のディスク１を搬入出するInside Diａmeter（以下、ＩＤと称する）ハンガー８を有し、ＩＤハンガー８を矢印Ｂの方向に移動させる図示しないハンガー駆動部とを有する。
【００１９】
ＩＤハンガー８は、ディスク１が２５枚セットできるように、２５個の溝８ｍが、設けられている。ＩＤハンガー８は、ディスク１の内周にある穴に挿入されて、この溝８ｍによって等ピッチで直立性を確保する。溝８ｍのピッチは、乾燥時にディスク１を保持する乾燥機構２内のチャックシャフト４１ｃの保持ピッチと同じピッチにする。
【００２０】
ＩＤハンガー８は、ディスク１を保持した状態で乾燥機構２に挿入されて、乾燥機構２内のチャックシャフト４１ｃがディスク１の外周を保持した時点で、乾燥機構２から抜き取られる。また、ディスク１の乾燥が終了したら、チャックシャフト４１ｃがディスク１の外周を保持した状態で乾燥機構２に挿入されて、チャックシャフト４１ｃがディスク１を解放することで、ディスク１はＩＤハンガー８に保持されてディスク１を乾燥機構２から取り出す。
【００２１】
図２は、図１において乾燥機構２の断面Ａ−Ａから保持回転機構３に向かって見た矢視図である。図１、図２を用いて乾燥機構２を説明する。
乾燥機構２は、ディスク１に温水（基本的には温純水）及び窒素、アルゴン等不活性ガスなど清浄なガスを吹き付ける温水・気体ノズル２ｎと、温水・気体ノズル２ｎの外側に設けられ、遠心力にて吹き飛ばした水分をディスク１に戻さないようにするキャッチネット２ｃと、キャッチネット２ｃの外側の雰囲気中のミストを乾燥機構筐体２ｋの内壁側に強制的に排出するサイクロン羽根２ｄと、を有する。
【００２２】
温水・気体ノズル２ｎは、ディスク１が回転している際に、ディスク１に温水及び気体を吹き付けて、ディスク１に付着している水分を短時間にて除去する。温水を吹き付けるのは、ディスク１を加熱させ乾燥時間を短縮させる手段であり、気体を吹き付けるのは、湿度０％のガスにて乾燥エリアの雰囲気を置換させることにより、さらなる乾燥時間短縮が可能となるためである。温水の温度は、６０°〜８０°が好ましい。
【００２３】
また、温水・気体ノズル２ｎは、温水と気体の吹き出し口を左右別々に有し、温水は、２５枚のディスク１の両面に、温水を吹き付けられるように配置され、気体は、乾燥エリア全体の雰囲気をカバーできる配置となっている。なお、温水又は気体のいずれかをディスク１に吹き付けても、ディスク乾燥には効果がある。
【００２４】
キャッチネット２ｃは、網状を有し、図２に示すように、ディスク１を保持するチャックシャフト４１ｃが回転したときに、チャックシャフト４１ｃと接触しないように、かつ囲むように配置され、乾燥機構筐体２ｋに例えばネジで固定されている。本実施形態では、温水・気体ノズル２ｎの外側で八角形形状に配置されている。
【００２５】
キャッチネット２ｃは、ステンレス製で細かい網状の細工が施されている。網状としているのは、第１に、ディスク１から遠心力で放出された水滴が、キャッチネット２ｃに付着し平面方向に広がり、回転中及び回転を停止したときに、再度水滴がディスク１に戻って再付着するのを防ぐためである。第２に、キャッチネット２ｃの網状を透過した水滴が、遠心力でサイクロン羽根２ｄに放出する。回転中にサイクロン羽根２ｄから水滴が落下しても、再度キャッチネット２ｃで捉え、再び遠心力でサイクロン羽根２ｄに戻す。また、回転を停止したときでも、例え、サイクロン羽根２ｄの表面が残った水分が落下し、再度キャッチネット２ｃに付着したとしても、キャッチネット２ｃの外面を伝わり、乾燥機構筐体２ｋの外部に排出される。
【００２６】
以上説明したように、キャッチネット２ｃを設けることによって、ディスク１への水分の再付着を極力防ぐことができ、ディスク１のシミやムラを残さない高品質なディスク１を提供できる。
【００２７】
サイクロン羽根２ｄは、複数枚列状に配列されたディスクの列状方向に長く、回転によって付着して水分を乾燥機構筐体２ｋ側に排出するように、回転方向とは反対方向に外側、即ち乾燥機構筐体２ｋに向かって傾斜したフィン２ｄｆを有し、キャッチネット２ｃの外側に同心円状に複数配置されている。サイクロン羽根２ｄは、ディスク１と同じ回転速度で回転し、その回転によってキャッチネット２ｃを透過して付着した水分を再度放出できるように斜めにフィン２ｄｆが配置されている。
【００２８】
フィン２ｄｆは、本例では、３つの部分に分かれ、中央部にフラットな部分があり、キャッチネット２ｃに近い吸入側が下方に曲げられ、乾燥機構筐体２ｋ側に近い排出側が上方に曲げられて、全体として斜めになり、水分を洗浄機構筐体２ｋ側に導く構造になっている。例え、乾燥機構筐体２ｋからフィン２ｄｆの乾燥機構筐体２ｋ側の背面に再付着しても、遠心力によって再度乾燥機構筐体２ｋに戻される。なお、フィン２ｄｆは、中央部が乾燥機構筐体２ｋにネジなどで固定されている。
【００２９】
以上説明したように、サイクロン羽根２ｄを設けることによって、水分を効率よく乾燥機構筐体２ｋの外部に排出できると共に、キャッチネット２ｃ、即ちディスク１への再付着を防止でき、ディスク１のシミによるムラを残さない高品質なディスク１を提供できる。
【００３０】
このようにして、回収した水分をディスク１に戻り難くし、後述する保持回転機構筐体３ｋの下部に設けられた排出開口部３ｇから外部に排出される。排出された水分は、排出管６ｈを介して図示しない吸引装置によって気体と共に吸引される。
【００３１】
本実施形態では、キャッチネット２ｃで水分をディスク１に戻り難くし、さらにサイクロン羽根２ｄによって、キャッチネット２ｃを透過した水分をキャッチネット２ｃに戻り難くしている。
この結果、本実施形態によれば、シミやムラを残さない高品質のディスク１を提供できる。
【００３２】
保持回転機構３は、ディスク１をチャックシャフト４１ｃにチャックし保持させる保持機構４と、ディスク１とサイクロン羽根２ｄを回転させ、ディスク１を回転させる回転機構５とを有する。
【００３３】
また、保持回転機構３は、保持回転機構筐体３ｋの下部に設けられた水分、気体を排出する排出開口部３ｇと、保持回転機構筐体３ｋ内の上部に設けられ気体を排出するために送風用の送風開口部３ｈと、を有する。排出は、排出開口部３ｇに接続された排出管６ｈを介して図示しないタンクを有する吸引装置で行われる。送風は、送風開口部３ｈに接続された送風管７ｈを介して図示しない送風装置で行われる。
【００３４】
保持機構４は、チャックシャフト４１ｃと、チャックシャフト４１ｃを径方向に移動させるチェック部４１と、チャック部４１を駆動するチャック駆動部４２と、を有する。
【００３５】
チャックシャフト４１ｃは３本あり、それぞれにディスク１が等ピッチに保持する溝、例えばＶ溝４１ｃｍがある。３本のチャックシャフト４１ｃの３つのＶ溝４１ｃｍで保持チャックを形成し、保持チャックでディスク１の外周を保持し、ディスク１を回転させる。３本のチャックシャフト４１ｃは、ディスク１の外周に対して１２０度ずつずれた位置に配置され、ディスク１を保持する。このとき、チャックシャフト４１ｃの保持チャックのピッチは、ＩＤハンガー８におけるディスク１を保持する溝８ｍのピッチと一致しているので、チャックシャフト４１ｃがディスク１の外周を保持する際に、ピッチを変更したり、ディスク１を持ち替えたりしないで済む。
チャック部４１は、チャックシャフト４１ｃを固定し、チャックシャフト４１ｃと同様に径方向に移動するチャック平板４１ｐと、一端側をチャック平板４１ｐに設けられた貫通部に摺動可能に設けられ、他端側を後述する高剛性回転円筒体５ｈに固定されたバネ摺動部４１ｓと、バネ摺動部４１ｓに保持され、チャック平板４１ｐを高い保持力で常に中心側に押付けている保持バネ４１ｂと、を有する。
【００３６】
一端が高剛性回転円筒体５ｈに固定され摺動部４１ｓは、常に径方向に垂直姿勢を保つことで、保持バネ４１ｂによる保持力を常にチャック平板４１ｐに対して径方向内側に垂直に与えることができる。その結果、チャック平板４１ｐに固定されたチャックシャフト４１ｃも、常に径方向内側に垂直に保持力を有することができる。保持バネ４１ｂの保持力を調整することによって、片側支持のチャックシャフト４１ｃの開放側先端においても、回転中のディスク１を保持することが可能となる。本実施形態では、十分な保持力を得るために、バネ摺動部４１ｓと保持バネ４１ｂは、チャックシャフト４１ｃの長さ方向前後に２組有している。
【００３７】
また、チャック部４１は、後述する高剛性回転円筒体５ｈの側部体５ｈｓの中心部に設けられたクランプ力調整コマ４１ｊを有する。クランプ力調整コマ４１ｊは、乾燥機構２側に向けてテーパを有し、前後にその位置を手動で調整できるようになっている。そこで、チャック平板４１ｐの乾燥機構２側下部角部をテーパとの接触位置を調整することにより、保持バネ４１ｂによるチャックシャフト４１ｃのディスク１の保持力を調整できる。
チャック部４１は、３本のチャックシャフト４１ｃにそれぞれ設けられ、回転機構５によってチャックシャフト４１ｃと共に回転する。
【００３８】
上記したチャック部４１の構成により、回転中であっても、３本のチャックシャフト４１ｃで形成される保持チャック力を、開放側先端でも十分得ることができ、例えば、従来例の５枚の５倍の２５枚のディスクを一度に乾燥させることができる。
【００３９】
一方は、チャック駆動部４２は、チャック平板４１ｐのチャックシャフト４１ｃとは反対側に設けられ、保持バネ４１ｂと平行に動作するカムフォロア４２ｆと、断面が台形で円錐状を有し、カムフォロア４２ｆを径方向に移動させる開閉カム４２ｃと、を有する。また、チャック駆動部４２は、開閉カム４２ｃに一端が固定され、チャックシャフト４１ｃの長さ方向に開閉駆動バネ４２ｂの伸縮によって移動するカムシャフト４２ｓと、一端が保持回転機構筐体３ｋに固定され、他端側のシリンダロッドで開閉駆動バネ４２ｂを伸縮させるエアシリンダ４２ｅと、を有する。なお、開閉駆動バネ４２ｂを介さずエアシリンダ４２ｅで直接開閉カム４２ｃを駆動してもよい。
【００４０】
チャック駆動部４２は、カムシャフト４２ｓを支持するベアリング４２ｋ１と無回転部に設けられたベアリング４２ｋ２によって回転しない構造となっており、チャック部４１の回転に関係なく、どの位置でも確実にチャック部４１を作動できる。
【００４１】
このような構成によって、エアシリンダ４２ｅが開閉駆動バネ４２ｂを押付けると、カム４２ｃがカムシャフト４２ｓを介して破線で示す位置から実線で示す位置に移動し、カムフォロア４２ｆが保持バネ４１ｂに打ち勝って径方向外側に押し上げられる。カムフォロア４２ｆに押し上げられると、それぞれのチャック平板４１ｐ、即ち外周に１２０度分割で位置した３本のチャックシャフト４１ｃが径方向外側に移動し、ディスク１から離間する。この状態が、図１において、乾燥機構２の回転中心から下側に示すように、ディスク１がチャックシャフト４１ｃから離間した状態になる。勿論、この時は、ＩＤハンガー８が乾燥機構２に挿入されていて、ディスク１を保持できる状態になっており、その後ディスク１を乾燥機構２から搬出できる。
【００４２】
逆に、ＩＤハンガー８によりディスク１が乾燥機構２に搬入されると、エアシリンダ４２ｅは、シリンダロットの先端が破線で示す位置に後退し、開閉カム４２ｃも破線の位置に戻る。これら動作に伴いカムフォロア４２ｆが保持バネ４１ｂによって径方向内側に移動する。カムフォロア４２ｆの径方向の移動に伴い、３枚のチャック平板４１ｐ、即ち３本のチャックシャフト４１ｃが径方向内側に移動し、２５枚のディスク１をそれぞれのＶ溝４１ｃｍで保持する。この状態が、図１において、乾燥機構２の回転中心から上側に示すように、ディスク１がチャックシャフト４１ｃで保持された状態になる。その後の回転中は、ディスク１は保持バネ４１ｂによって、３本のチャックシャフト４１ｃに保持固定される。なお、回転開始前に、ＩＤハンガー８は、乾燥機構２から除去される。
【００４３】
このように、開閉カム４２ｃがエアシリンダ４２ｅによる１駆動にてチャックシャフト４１ｃの長さ方向前後に動作することにより、カムフォロア４２ｆと保持バネ４１ｂが平行移動し、チャック平板４１ｐが動作することで外周に１２０度分割で位置した３本のチャックシャフト４１ｃが連動し、ディスク１を均一なクリアランスで支持し、または開放できる。
【００４４】
回転機構５は、紙面左右に側部体５ｈｓを左右に有し、回転部分を高い剛性で支持し、回転部分が振れることなく回転させる高剛性回転円筒体５ｈと、斜線で示す無回転部に対して高剛性回転円筒体５ｈ回転させるベアリング５ｂと、プーリ５ｍｐに巻回されたベルト５ｍｂを介して斜線部を駆動するモータ５ｍと、を有する。ベルト５ｍｂは、安定して高剛性回転円筒体５ｈを同心状に回転させるために、前後２箇所に設けている。なお、サイクロン羽根２ｄも乾燥機構２側の側部体５ｈｓに固定され、３本のチャックシャフト４１ｃ共に回転され、ディスク１を乾燥する。
【００４５】
このような構成によって、回転機構５は、高剛性回転円筒体５ｈをもって、回転中に３本のチャックシャフト４１ｃの開放側が開くことがなく、多く、例えば２５枚のディスク１を保持でき、乾燥させることができる。
【００４６】
次に、スピン乾燥装置１００の動作について説明する。
【００４７】
図３は、ディスクをスピン乾燥するフロー図である。まず、チャック部４１により、３本のチャックシャフト４１ｃを乾燥機構２の径方向外側に向けて移動させ、３本のチャックシャフト４１ｃで形成される保持チャックを開く（ステップＳ１）。複数枚のディスク１をＩＤハンガー８に挿入して、ディスク１をＩＤハンガー８で保持する（ステップＳ２）。３本のチャックシャフト４１ｃが径方向外側に移動後、ディスク１を保持したＩＤハンガー８を乾燥機構２に挿入する（ステップＳ３）。乾燥機構２に挿入された各ディスク１を保持するために、保持機構４により、３本のチャックシャフト４１ｃを径方向内側に移動させて保持チャックを閉じ、この保持チャックで複数のディスク１を一度に保持する（ステップＳ４）。ディスク１がチャックシャフト４１ｃで保持された後、乾燥作業に不要なＩＤハンガー８を乾燥機構２から抜き出す（ステップＳ５）。
【００４８】
その後、乾燥ステップに入る。まず、温水や気体を温水・気体ノズル２ｎからディスク１に向けて同時に噴射し、ディスク１とサイクロン羽根２ｄを低速で回転させる（ステップＳ６）。この時の回転数は、約３００〜５００ｒｐｍである。低速で回転するのは、吹き付けた温水と噴霧した気体をディスク表面に均一に広げるためである。
【００４９】
しばらく低速で回転した後、温水・気体ノズル２ｎから温水の吹き出しと気体の噴霧を停止し、ディスク１とサイクロン羽根２ｄを高速で回転させる（ステップＳ７）。この時の回転数は、約３５００〜５５００ｒｐｍである。高速で回転するのは、ディスク１の表面上に付着している水分をディスク１の回転により発生する遠心力にて振切るためである。
【００５０】
ステップＳ７において、ディスク１の表面上に付着している水分は、遠心力でディスク１の外周側にあるキャッチネット２ｃに飛ばされ吸収される。キャッチネット２ｃで吸収された水分は、キャッチネット２ｃの網目を透過し、キャッチネット２ｃの外側で回転しているサイクロン羽根２ｄに遠心力で飛ばされ吸着される。サイクロン羽根２ｄに吸着した水分は、フィン２ｄｆの傾斜表面を遠心力を受けて内側から外側に向かって移動し、サイクロン羽根２ｄに乾燥機構筐体２ｋの内面に放出される。放出された水分は、乾燥機構筐体２ｋの内面を伝わり下部に移動し、吸引装置によって吸引され乾燥機構筐体２ｋの下部から保持回転機構筐体３ｋの下部内面に流れ、排出開口部３ｇから排出管６ｈを介して吸引装置内のタンクに回収される。
【００５１】
回収しきれなかった水分は、サイクロン羽根２ｄまたは乾燥機構筐体２ｋからキャッチネット２ｃ上に落ちるが、再び遠心力でサイクロン羽根２ｄに飛ばされる。キャッチネット２ｃは網状の構造であるため、最悪キャッチネット２ｃで留まっている。従って、キャッチネット２ｃ上の水分が、ディスク１上に落下して、ディスク１の表面に付着することはなく、ディスク１へのシミやムラ等の影響が無い構造となっている
ディスク１に付着している水滴を高速回転させて遠心力によって外周方向へ振り切ると、ディスク１とサイクロン羽根２ｄの回転を停止する（ステップＳ８）。乾燥したディスク１
を取り出すため、ＩＤハンガー８を乾燥機構２に挿入する（ステップＳ９）。チャック部４１により３本のチャックシャフト４１ｃで形成された保持チャックを開いて、ディスク１を解放する（ステップＳ１０）。解放されたディスク１は、ＩＤハンガー８によって保持され、ＩＤハンガー８と共に乾燥機構２から取り出す（ステップＳ１１）。乾燥すべき全てのディスク１の乾燥が終了したか否かを判断する（ステップ１２）。乾燥が終了していないディスクがあるときは（ステップ１２でＹの場合）、ステップ２に戻ってステップ１１までの工程を行う。一方、乾燥すべき全てのディスク１の乾燥が終了したときは（ステップ１２でＮの場合）、乾燥作業を終了する。
【００５２】
以上説明したスピン乾燥装置及びスピン乾燥方法によれば、温水又は気体の少なくとも一方を吹き付けるノズル及びディスクに対し径方向外側にキャッチネットを設けることで、ディスク１に水分が落下することがなく、ディスクにシミやムラのない高品質のディスクを提供できる。
【００５３】
また、以上説明したスピン乾燥装置及びスピン乾燥方法によれば、キャッチネットに対し径方向外側に向けて傾斜したフィンを有するサイクロン羽根２ｄを設けることで、遠心力で飛ばされた水分を効率よく乾燥機構筐体内面に運ぶことができる。
【００５４】
さらに、以上説明したスピン乾燥装置及びスピン乾燥方法によれば、回転機構の回転部分を高い剛性で支持する高剛性回転円筒体と、回転中であっても、複数のチャックシャフトを互いに平行に維持して摺動させ、強い保持力を有する保持チャックを形成できるチャック部と、を設けることで、従来の５枚かから５倍の２５枚のディスクを一度に乾燥させることができる。
【００５５】
なお、以上説明したスピン乾燥装置及びスピン乾燥方法によれば、ディスク１を垂直に立て水平に搬送や乾燥処理を行なうことで高い生産処理能力を有している。
【００５６】
さらにまた、以上説明したスピン乾燥装置及びスピン乾燥方法によれば、装置設備のトータルコスト、ランニングコスト、生産性向上及び多数枚の一括処理の実現によるプロセス条件設定時間の延長にて製品品質の向上の、これらの効果を同時に実現できる。
【００５７】
また、以上説明したキャッチネットやサイクロン羽根を、ディスクの乾燥機構、ディスクの搬入出機構、チャック部及び温水の吹き付け機構等が異なる従来技術に対して適用することで、上記の実施形態が示した効果を奏することができる。例えば、特許文献１の記載のスピン乾燥装置に対しは、ディスクと水受カバーの間にキャッチネットを設ける、あるいは、Ｖ溝の水受けユニットの替わりにサイクロン羽根を設けることで、本発明のディスクにシミやムラのない高品質のディスクを提供できる等の効果を奏することができる。
【００５８】
以上のように本発明の実施形態について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００５９】
１：磁気ディスク(ディスク)              ２：乾燥機構
２ｃ：キャッチネット                    ２ｄ：サイクロン羽根
２ｄｆ：フィン                          ２ｋ：乾燥機構筐体
２ｎ：温水・気体ノズル                  ３：保持回転機構
３ｇ：排出開口部                        ３ｈ：送風開口部
３ｋ：保持回転機構筐体                  ４：保持機構
４１ｃ：チャックシャフト                ４１：チャック部
４１ｂ：保持バネ                        ４１ｊ：クランプ力調整コマ
４１ｐ：チャック平板                    ４１ｓ：バネ摺動部
４２：チャック駆動部                    ４２ｂ：開閉駆動バネ
４２ｃ：開閉カム                        ４２ｅ：エアシリンダ
４２ｆ：カムフォロア                    ４２ｋ１，４２ｋ２：ベアリング
４２ｓ：カムシャフト                    ５：回転機構
５ｈ：高剛性回転円筒体                  ５ｂ：ベアリング
５ｈｓ：高剛性回転円筒体の側部体        ５ｍ：モータ
５ｍｂ：ベルト                          ５ｍｐ：プーリ
６ｈ：排出管                            ７ｈ：送風管
８：ＩＤハンガー                        １００：スピン乾燥装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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