(57)【要約】      （修正有）【課題】被着体を薬液で処理する際に薬液の影響を排除したい部分をマスクする薬液浸入防止性に優れた薬液処理用保護シートを提供する。【解決手段】二軸延伸ポリプロピレン層を含み、水蒸気透過度が５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下である厚さ１０〜５００μｍの基材１０と基材１０の片面に設けられた粘着剤層２０とを備える高い薬液浸入防止性を示す薬液処理用保護シート１。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と該基材の一方の面に設けられた粘着剤層とを備える薬液処理用保護シートであって、
前記基材は、二軸延伸ポリプロピレン層を含み、
前記基材は、水蒸気透過度が５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下である、薬液処理用保護シート。
【請求項２】
前記二軸延伸ポリプロピレン層の合計厚さは、１０μｍ以上である、請求項１に記載の薬液処理用保護シート。
【請求項３】
前記基材は、水蒸気透過度が０．１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以上である、請求項１または２に記載の薬液処理用保護シート。
【請求項４】
前記基材の厚さが５００μｍ以下である、請求項１から３のいずれか一項に記載の薬液処理用保護シート。
【請求項５】
前記基材の他方の面を構成する層は、前記二軸延伸ポリプロピレン層である、請求項１から４のいずれか一項に記載の薬液処理用保護シート。
【請求項６】
前記粘着剤層を構成する粘着剤は、アクリル系ポリマーを主成分とするアクリル系粘着剤である、請求項１から５のいずれか一項に記載の薬液処理用保護シート。
【請求項７】
前記請求項１から６のいずれか一項に記載の薬液処理用保護シートが貼付された回路基板。
【請求項８】
前記請求項１から６のいずれか一項に記載の薬液処理用保護シートが貼付されたガラス基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薬液処理用保護シートに関し、より詳しくは、被着体を薬液で処理する際に薬液の影響を排除したい部分をマスクする薬液処理用保護シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
被着体（処理対象物）を薬液で処理する際に、該被着体の保護対象部分（すなわち、薬液の影響を排除したい部分）をマスクするための粘着シートは、典型的には、フィルム状の粘着剤（感圧接着剤もいう。以下同じ。）と、該粘着剤を支持する基材とを含んで構成され、上記粘着剤を被着体に貼り付けて使用される。このような薬液処理用の粘着シート（以下、「薬液処理用保護シート」あるいは単に「保護シート」ともいう。）は、例えば、ガラスの厚さ調整やガラスの切断端面に形成されたバリの除去等のためにガラスを薬液（エッチング液）で溶解するエッチング処理、金属の表面を薬液（エッチング液）で部分的に腐食させるエッチング処理、回路基板（プリント基板、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等）の接続端子部等を薬液（めっき液）で部分的にめっきするめっき処理等において好適に利用され得る。この種の技術に関する文献として特許文献１および２が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−８２２９９号公報
【特許文献２】特開２００９−２０９２３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような薬液処理用保護シートを被着体の保護対象部分に貼り付けて薬液に浸漬等するような場面において、該保護シートには、上記保護対象部分に薬液が浸入することを防ぐ性質（薬液浸入防止性）が求められる。具体的には、薬液処理用保護シートの表面（薬液に直接曝される表面、すなわち被着体に貼り付けられた側とは反対側の表面）から浸入した薬液が該保護シートを透過して保護対象部分にまで到達することを防ぐ必要がある。しかしながら、一般に、エッチング液、めっき液などの薬液は、酸やアルカリなど腐食性および／または浸透性が高いものであることが多いため、このような薬液の浸入を充分に防ぐことは容易ではなかった。特に、非常に腐食性の高い薬液に長時間曝されるような、よりシビアな条件下において使用される薬液処理用保護シートには、より優れた薬液浸入防止性が求められる。
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みて創出されたものであり、従来とは異なる新規な構成を採用することにより、薬液浸入防止性に優れた薬液処理用保護シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によると、基材と、該基材の一方の面に設けられた粘着剤層と、を備える薬液処理用保護シートが提供される。上記基材は、二軸延伸ポリプロピレン層を含む。かかる構成の薬液処理用保護シートは、優れた薬液浸入防止性を示すものとなり得る。また、上記基材は、水蒸気透過度が５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下である。かかる構成の薬液処理用保護シートは、該保護シートの表面（薬液に直接曝される側の表面。以下同じ。）からの薬液の浸透を抑制し得るため、優れた薬液浸入防止性を示すものとなり得る。
【０００７】
ここに開示される薬液処理用保護シートの好ましい一態様において、上記二軸延伸ポリプロピレン層の合計厚さは、１０μｍ以上である。かかる構成の薬液処理用保護シートは、より優れた薬液浸入防止性を示すものとなり得る。
【０００８】
ここに開示される薬液処理用保護シートの好ましい一態様において、上記基材は、水蒸気透過度が０．１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以上である。かかる構成の薬液処理用保護シートは、上記保護シートの表面からの薬液浸入防止と、該保護シートの外縁からの薬液浸入防止とを両立しやすい。
【０００９】
ここに開示される薬液処理用保護シートの好ましい一態様において、上記基材の厚さが５００μｍ以下である。かかる構成の薬液処理用保護シートは、柔軟性、段差追従性に優れたものになり得る。保護シートの段差追従性向上は、該保護シートと被着体との密着性向上に寄与し、さらに該保護シートの薬液浸入防止性にも寄与し得る。
【００１０】
ここに開示される薬液処理用保護シートの好ましい一態様において、上記二軸延伸ポリプロピレン層は、上記基材の他方の面を構成している。かかる構成によると、基材自体の耐薬品性が向上する。上記基材の耐薬品性の向上は、薬液浸入防止性の向上に寄与し得る。
【００１１】
ここに開示される薬液処理用保護シートの好ましい一態様において、上記粘着剤層を構成する粘着剤は、典型的には、アクリル系ポリマーを主成分とするアクリル系粘着剤である。かかる構成の薬液処理用保護シートは、優れた薬液浸入防止性と高い剥離作業性とを示し得る。
【００１２】
ここに開示される薬液処理用保護シートは、回路基板を薬液で処理する用途に好ましく使用される。したがって、この明細書によると、ここに開示されるいずれかの薬液処理用保護シートが貼付された回路基板が提供される。
【００１３】
ここに開示される薬液処理用保護シートは、ガラス基板を薬液で処理する用途に好ましく使用される。したがって、この明細書によると、ここに開示されるいずれかの薬液処理用保護シートが貼付されたガラス基板が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】薬液処理用保護シートの一構成例を模式的に示す断面図である。
【図２】薬液処理用保護シートの他の構成例を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の好適な実施形態を説明する。本明細書において特に言及している事項以外の事柄であって本発明の実施に必要な事柄は、当該分野における従来技術に基づく当業者の設計事項として把握され得る。本発明は、本明細書に開示されている内容と当該分野における技術常識とに基づいて実施することができる。
なお、以下の図面において、同じ作用を奏する部材・部位には同じ符号を付して説明することがあり、重複する説明は省略または簡略化することがある。また、図面に記載の実施形態は、本発明を明瞭に説明するために模式化されており、製品として実際に提供される本発明の薬液処理用保護シート用基材または薬液処理用保護シートのサイズや縮尺を正確に表したものではない。
また、本明細書における「シート」は、シートより厚さが相対的に薄いとされるフィルムや、一般的に粘着テープと称されるようなテープを包含する。
【００１６】
＜薬液処理用保護シートの構成＞
ここで開示される薬液処理用保護シートは、基材と、該基材の少なくとも一方の表面に設けられた粘着剤層と、を備える。薬液処理用保護シートの形態は、例えばロール状、セパレータ付きの単板状等であり得る。
かかる薬液処理用保護シートの典型的な構成例を図１に模式的に示す。薬液処理用保護シート１は、シート状の基材（例えば樹脂製のシート状基材）１０と、その一方の面（片面）に設けられた粘着剤層２０とを備える。薬液処理用保護シート１は、その粘着剤層２０側の表面を、被着体（処理対象物）を薬液で処理する前に該被着体の所定箇所（保護対象部分、典型的には薬液の影響を排除したい部分。以下、「マスク部分」ともいう。）に貼り付けて使用される。これによって上記マスク部分を薬液から保護する。使用前（すなわち被着体への貼付前）の薬液処理用保護シート１は、典型的には、粘着剤層２０の表面（被着体への貼付面。以下、粘着面ともいう。）が、少なくとも粘着剤層２０側が剥離面となっている剥離ライナー（図示せず）によって保護された形態であり得る。あるいは、基材１０の他面（粘着剤層２０が設けられる面の背面）が剥離面となっており、薬液処理用保護シート１がロール状に巻回されることにより該他面に粘着剤層２０が当接してその表面（粘着面）が保護された形態であってもよい。
【００１７】
＜基材＞
ここに開示される薬液処理用保護シートは、基材（粘着剤層の支持基材）を含んで構成される。基材としては、薬液浸入（浸透）防止性に優れたものが好ましい。特に、上記基材としては耐酸性の高い樹脂材料からなるものを好ましく採用し得る。かかる基材は、酸性の薬液（例えば、ガラスのエッチングに用いられるフッ酸溶液や、クロムめっき液、硫酸銅めっき液、ニッケルめっき液、酸性無電解ニッケルめっき液、酸性錫めっき液等の酸性のめっき液）に曝されても膨潤しにくい。このことは、酸性の薬液が基材を膨潤させて保護シートに浸入することで該薬液が被着体のマスク部分に到達する事象を阻止する上で有利である。
【００１８】
上記基材は、好ましくは、一または二以上の樹脂層を含む樹脂フィルムとして構成され得る。上記樹脂フィルムは、典型的には非多孔質の樹脂フィルムである。ここでいう「非多孔質の樹脂フィルム」は、いわゆる不織布とは区別される（すなわち、不織布を含まない）概念である。このような樹脂フィルムは、例えば、樹脂成分を主成分とする樹脂組成物を膜状に成形してなるものであり得る。
【００１９】
ここに開示される技術において、上記基材は、その水蒸気透過度（透湿度ともいう。以下同じ。）が５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下（より好ましくは４ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下、さらに好ましくは３．５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが好ましい。上記基材の水蒸気透過度が５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下である保護シートは、良好な薬液浸入防止性を示し得る。
【００２０】
上記水蒸気透過度は、所定の温度および湿度の条件で単位時間に単位面積の試験片を通過する水蒸気の量を測定することにより算出することができる。代表的な試験方法としては、感湿センサ法、赤外センサ法、ガスクロマトグラフ法、カップ法がある。上記水蒸気透過度はＪＩＳ  Ｋ  ７１２９またはＪＩＳ  Ｚ  ０２０８に準拠して測定され得る。より具体的には、実施例に記載の方法で測定される。
【００２１】
上記基材の水蒸気透過度の下限値は、特に限定されないが、０．１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以上であることが好ましく、より好ましくは０．５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以上、さらに好ましくは１．０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以上、例えば１．５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以上である。上記基材の水蒸気透過度が０．１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以上である保護シートは、段差追従性が向上する傾向があるため、該保護シートと被着体との間の密着性（シール性）が向上し得る。保護シートと被着体との密着性向上は、該保護シートの外縁からの薬液浸入防止に寄与し得るため、かかる薬液処理用保護シートは表面および外縁からの薬液浸入防止を両立させやすい。
【００２２】
ここに開示される技術において、二軸延伸ポリプロピレン（以下、「ＢＯＰＰ」ともいう。なお「ＢＯＰＰ」は「Ｂｉａｘｉａｌｌｙ  Ｏｒｉｅｎｔｅｄ  Ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ」の略称である。）からなるＢＯＰＰ層を含む。ＢＯＰＰ層を含むことにより、基材の薬液浸入防止性が向上する。ＢＯＰＰを含むことは、耐酸性向上の観点からも有利である。
ここで二軸延伸ポリプロピレン（ＢＯＰＰ）とは、ポリプロピレン（ＰＰ）を原料とした二軸延伸フィルムを指す。上記ＢＯＰＰは、典型的には、原料のＰＰを縦方向、横方向の二方向に逐次延伸あるいは同時延伸をしてフィルム状に成形したのち、熱固定することにより製造され得る。
ここに開示される技術において、上記基材に含まれるＢＯＰＰ層の数は特に限定されないが、成形性および取扱性の観点から、例えば１以上５以下（好ましくは４以下、より好ましくは３以下、典型的には２以下）であることが適当である。
【００２３】
ここに開示される技術において、上記ＢＯＰＰの原料となるＰＰ（以下、単に「ＰＰ」ともいう。）は、プロピレンを主モノマー（主構成単量体、すなわち単量体全体の５０重量％を超える成分）とする種々のポリマー（プロピレン系ポリマー）であり得る。ここでいうプロピレン系ポリマーの概念には、例えば以下のようなポリプロピレンが包含される。
プロピレンのホモポリマー（すなわちホモポリプロピレン）。例えばアイソタクチックポリプロピレン、シンジオタクチックポリプロピレン、アタクチックポリプロピレン。
プロピレンと他のα−オレフィン（典型的には、エチレンおよび炭素原子数４〜１０のα−オレフィンから選択される１種または２種以上）とのランダム共重合体（ランダムポリプロピレン）。例えばプロピレン９６モル％〜９９．９モル％と他のα−オレフィン（好ましくはエチレンおよび／またはブテン）０．１モル％〜４モル％とをランダム共重合したランダムポリプロピレン。
プロピレンに他のα−オレフィン（典型的には、エチレンおよび炭素原子数４〜１０のα−オレフィンから選択される１種または２種以上）をブロック共重合した共重合体（ブロックポリプロピレン）。かかるブロックポリプロピレンは、副生成物として、プロピレンおよび上記他のα−オレフィンのうち少なくとも１種を成分とするゴム成分をさらに含み得る。例えばプロピレン９０モル％〜９９．９モル％に他のα−オレフィン（好ましくはエチレンおよび／またはブテン）０．１モル％〜１０モル％をブロック共重合したポリマーと、副生成物としてプロピレンおよび他のα−オレフィンのうち少なくとも１種を成分とするゴム成分をさらに含むブロックポリプロピレン。
【００２４】
ここに開示される技術において、上記ＰＰは、樹脂成分のうちの主成分が上述のようなプロピレン系ポリマーであり、副成分として他のポリマーがブレンドされた樹脂であり得る。上記他のポリマーは、プロピレン以外のα−オレフィン、例えば炭素原子数２または４〜１０のα−オレフィンを主モノマー（主構成単量体、すなわち単量体全体の５０重量％を超える成分）とするポリオレフィンの１種または２種以上であり得る。上記ＰＰは、上記副成分として少なくともポリエチレン（ＰＥ）を含む組成であり得る。また、副成分として少なくともＰＥおよびエチレンプロピレンゴム（ＥＰＲ）とを含む組成であってもよい。
【００２５】
ここに開示される技術において、上記ＰＰは、ホモポリプロピレンであるか、あるいは、プロピレン９６モル％以上と他のα−オレフィン（好ましくはエチレンおよび／またはブテン）４モル％以下とのランダム共重合体であることが好ましい。かかるＰＰを原料とするＢＯＰＰは、比較的高い結晶化度を有するものとなる傾向にある。ＢＯＰＰの結晶化度が高いことは、該ＢＯＰＰを含む保護シートの薬液浸入防止性向上に有利に寄与し得る。
【００２６】
ここに開示される技術において、上記ＢＯＰＰ層の水蒸気透過度は、基材全体としての水蒸気透過度が上述した好ましい範囲となる程度であればよく、特に限定されない。上記ＢＯＰＰ層の水蒸気透過度は、通常、１０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下（より好ましくは８ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下、さらに好ましくは７ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下、典型的には５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下、例えば４ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下）であることが好ましい。水蒸気透過度が１０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であるＢＯＰＰ層を含む保護シートは、主に該ＢＯＰＰ層の部分で薬液の浸透が抑制され得るため、良好な薬液浸入防止性を示し得る。
上記ＢＯＰＰ層の水蒸気透過度の下限値は、特に限定されないが、０．１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以上であることが好ましく、より好ましくは０．５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以上、さらに好ましくは１．０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以上、例えば１．５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以上である。上記ＢＯＰＰ層の水蒸気透過度が０．１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以上である基材を含む保護シートは、段差追従性が向上する傾向があるため、該保護シートと被着体との間の密着性（シール性）が向上し得る。保護シートと被着体との密着性向上は、該保護シートの外縁からの薬液浸入防止に寄与し得るため、かかる薬液処理用保護シートは表面および外縁からの薬液浸入防止を両立させやすい。
なお、基材に含まれるＢＯＰＰ層の数が２以上である場合において、上記ＢＯＰＰ層の水蒸気透過度とは、それぞれ単独のＢＯＰＰ層における水蒸気透過度のことを指す。
【００２７】
ここに開示される技術において、上記ＢＯＰＰの結晶化度は、特に限定されないが、例えば１０％以上（好ましくは２０％以上、より好ましくは３０％以上）であることが適当である。上記ＢＯＰＰの結晶化度が上述する下限値以上であると、上記ＢＯＰＰ層の水蒸気透過度が低くなる傾向があり、該ＢＯＰＰ層を含む保護シートの薬液浸入防止性向上に寄与し得る。結晶化度の測定方法としては、例えば、示差走査熱量分析（ＤＳＣ）装置を用いて、試料を室温から溶融温度まで昇温した際の融解熱量を測定することにより算出することができる。
【００２８】
上記ＢＯＰＰ層の融点は、特に限定されないが、凡そ１３０℃以上（好ましくは１４０℃以上、より好ましくは１５０℃以上、さらに好ましくは１６０℃以上）であることが適当である。上記ＢＯＰＰ層の融点が高くなると、薬液浸入防止性が向上する傾向にある。上記ＢＯＰＰ層の融点の上限は、特に限定されないが、通常は凡そ２００℃以下（好ましくは１８０℃以下、より好ましくは１７５℃以下）である。なお、上記ＢＯＰＰ層の融点は、例えば、ＤＳＣ装置などを用いた熱分析法により測定され得る。
【００２９】
上記ＢＯＰＰ層の引張弾性率は、特に限定されないが、被着体表面への追従性等の観点から、凡そ５００ＭＰａ以上（例えば１０００ＭＰａ以上、典型的には１５００ＭＰａ以上）であり、凡そ８０００ＭＰａ以下（例えば６０００ＭＰａ以下、典型的には５０００ＭＰａ以下）であることが適当である。上記ＢＯＰＰ層の引張弾性率は、該ＢＯＰＰ層から任意の一方向（例えばＭＤ（Ｍａｃｈｉｎｅ  Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）またはＴＤ（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ  Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ；ＭＤに直交する方向）、好ましくはＭＤ）に沿って所定幅の試験片を切り出し、ＪＩＳ  Ｋ  ７１２７に準拠して、室温（２３℃）にて試験片を上記一方向に延伸して得られた応力−ひずみ曲線の線形回帰から算出することができる。
【００３０】
上記ＢＯＰＰ層の引張強度は、特に限定されないが、凡そ５０ＭＰａ以上（好ましくは７０ＭＰａ以上、より好ましくは１００ＭＰａ以上、例えば１２０ＭＰａ以上）であり、凡そ８００ＭＰａ以下（好ましくは６００ＭＰａ以下、より好ましくは５００ＭＰａ以下、例えば４００ＭＰａ以下）であることが適当である。上記ＢＯＰＰ層の引張強度を上述する下限値以上とすると、取扱性が向上し得る。また上記ＢＯＰＰ層の引張強度を上述する上限以下とすると、段差追従性が向上する傾向がある。上記ＢＯＰＰ層の引張強度は、上記ＢＯＰＰ層から任意の一方向（例えばＭＤまたはＴＤ、好ましくはＭＤ）に沿って所定幅の試験片を切り出し、ＪＩＳ  Ｚ  １７１２に準拠して、該試験片を上記一方向に破断するまで延伸して得られた最大応力から算出することができる。
【００３１】
上記ＢＯＰＰ層の厚さは、特に限定されないが、１０μｍ以上５００μｍ以下が好ましく、より好ましくは３０μｍ以上３００μｍ以下、さらに好ましくは４０μｍ以上２００μｍ以下、典型的には５０μｍ以上１００μｍ以下、例えば５５μｍ以上８０μｍ以下である。ここで、上記ＢＯＰＰ層が二以上存在する場合は、上記ＢＯＰＰ層の厚さとは、上記ＢＯＰＰ層の合計厚さを意味する。ＢＯＰＰ層の厚さが１０μｍ以上である薬液処理用保護シートは、優れた薬液浸入防止性を示し得る。また、ＢＯＰＰ層の厚さが５００μｍ以下である薬液処理用保護シートは、被着体の凹凸に対する段差追従性、および被着体との密着性が向上する傾向がある。被着体との密着性向上は、上記保護シートの外縁からの薬液浸入の抑制に寄与し得る。
【００３２】
上記基材は、単層であってもよく、二層以上の多層構造（例えば三層構造）であってもよい。特に限定するものではないが、ここに開示される基材の好適例として、単層（一層）のＢＯＰＰ層からなる基材が挙げられる。他の好適例として、多層（例えば一層〜三層）のＢＯＰＰ層からなる基材が挙げられる。また、ここに開示される保護シートの他の一態様では、上記基材の構成は、少なくとも一層のＢＯＰＰ層と、少なくとも一層の他の層とを含む多層構造であり得る。
【００３３】
ここに開示される技術において、上記基材が多層構造を有する場合、上記ＢＯＰＰ層以外の他の層として、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）（ただし二軸延伸フィルムを除く）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＲ）、エチレン−プロピレン−ブテン共重合体、エチレン−エチルアクリレート共重合体等のポリオレフィン樹脂；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル樹脂；ポリアミド樹脂（ＰＡ）；ポリイミド樹脂（ＰＩ）；ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）；ポリカーボネート樹脂（ＰＣ）；ポリウレタン樹脂（ＰＵ）；エチレン−酢酸ビニル樹脂（ＥＶＡ）；ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂；アクリル樹脂；等の樹脂成分からなる樹脂フィルムを採用することができる。これらの樹脂成分は１種を単体で、もしくは２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００３４】
上述したいずれかの樹脂フィルム（すなわち上記ＢＯＰＰ層および／または他の層）には、薬液処理用保護シートの用途に応じた適宜の成分を必要に応じて含有させることができる。例えばラジカル捕捉剤や紫外線吸収剤等の光安定剤、酸化防止剤、帯電防止剤、着色剤（染料、顔料等）、充填材、スリップ剤、アンチブロッキング剤、難燃剤等の添加剤を適宜配合することができる。光安定剤の例としては、ベンゾトリアゾール類、ヒンダードアミン類、ベンゾエート類等を有効成分とするものが挙げられる。酸化防止剤の例としては、アルキルフェノール類、アルキレンビスフェノール類、チオプロピレン酸エステル類、有機亜リン酸エステル類、アミン類、ヒドロキノン類、ヒドロキシルアミン類等を有効成分とするものが挙げられる。このような添加剤は、それぞれ１種のみを単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。添加剤の配合量は、保護シートの用途（例えば、ガラスエッチング用、めっきマスキング用）に応じて、当該用途において保護シートの基材として用いられる樹脂フィルムの通常の配合量と同程度とすることができる。
【００３５】
上記基材のうち粘着剤層が設けられる側の表面（粘着剤層側表面、粘着剤を塗付する面）には、該粘着剤層との接着性を向上させるための処理（粘着剤の投錨性を得るための処理）、例えばコロナ放電処理、酸処理、紫外線照射処理、プラズマ処理、下塗剤（プライマー）塗付等の表面処理が施されていてもよい。プライマー塗付による表面処理（プライマー処理）としては、アクリルポリマーにイソシアネートを配合した下塗り剤を用いることが好ましい。基材のうち上記粘着剤層側表面とは反対側の面（背面）には、必要に応じて、帯電防止処理、剥離処理等の表面処理が施されていてもよい。剥離処理としては、例えば基材の背面に長鎖アルキル系、シリコーン系の剥離処理層を設けることで、ロール状に捲回された形態の保護シートの巻戻し力を軽くすることができる。
【００３６】
ここに開示される基材の厚さは、上述した好ましい水蒸気透過度を実現し得る限りにおいて、特に限定されず、例えば１０μｍ以上（典型的には３０μｍ以上）であり得る。薬液浸入防止性の観点から、通常、基材の厚さは、４０μｍ以上が適当であり、５０μｍ以上が好ましく、５５μｍ以上がより好ましい。基材の厚さが大きくなると、保護シート表面からの薬液浸入を防ぎやすくなる傾向にある。段差のある表面に対する追従性や密着性の観点から、通常は、基材の厚さは５００μｍ以下（好ましくは３００μｍ以下、より好ましくは２００μｍ以下、典型的には１００μｍ以下、例えば８０μｍ以下）が適当である。
なお、上記段差は、被着体の表面に形成された構造物に由来するものであり得る。そのような構造物を有する被着体としては、例えば、タブレット型パソコンや携帯電話、有機ＬＥＤ（発光ダイオード）等に用いられるような、表面に部分的に透明導電膜（例えばＩＴＯ（酸化インジウムスズ）膜）やＦＰＣが設けられたガラス基材が挙げられる。
【００３７】
ここに開示される技術において、上記ＢＯＰＰ層の厚さは、上記基材の厚さの１０％以上（より好ましくは２０％以上、さらに好ましくは３０％以上、例えば４０％以上、典型的には５０％以上）であることが好ましい。かかる構成の基材によると、該基材全体の厚さを抑えて効率良く薬液浸透を防止することができる。
【００３８】
ここで開示される基材は、上記ＢＯＰＰ層を含み、該基材の一方の面に粘着剤層が配置される。ここで開示される保護シートの好ましい一態様では、少なくとも上記基材の他方の面（すなわち、該基材の粘着剤層側ではない側の面）がＢＯＰＰ層により構成されている。そのような構成の代表例としては、（ａ）上記基材全体がＢＯＰＰ層（一層でも二層以上でもよい）からなる態様、（ｂ）上記基材の他方の面を構成するＢＯＰＰ層と、その背面に積層されたＢＯＰＰ以外の層とを含む態様、が例示される。
上述する好適な態様（ｂ）に係る薬液処理用保護シートの構成例を図２に模式的に示す。この薬液処理用保護シート２は、基材１０と、その一方の面に設けられた粘着剤層２０とを備える。基材１０は、表面を構成する層１０ａと、背面を構成する層１０ｂと、からなる二層の積層構造を有する。ここに開示される技術において、基材１０の表面を構成する層１０ａは上記ＢＯＰＰ層であり得る。薬液処理用保護シート２は、その粘着剤層２０側の表面を、被着体に貼り付けて使用される。かかる構成の薬液処理用保護シート２は、該保護シートの表側（薬液に晒される側）が高い耐薬品性（典型的には耐酸性）をもつＢＯＰＰ層により守られているため、薬液浸漬中の基材自体の劣化が抑制され得る。かかる薬液処理用保護シートは、長時間の薬液処理など、よりシビアな条件下における使用においても高い薬液浸入防止性を示し得る。
【００３９】
＜粘着剤層＞
ここに開示される技術において、上記基材上に設けられる粘着剤層を構成する粘着剤の種類は特に限定されない。例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤（天然ゴム系、合成ゴム系、これらの混合系等）、シリコーン系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ポリエーテル系粘着剤、フッ素系粘着剤、ポリエステル系粘着剤等の公知の各種粘着剤から選択される１種または２種以上の粘着剤であり得る。なかでも、薬液（例えば、エッチング液、酸性めっき液等の酸性の薬液）に対する耐性に優れるという理由から、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤が好ましい。同様に、粘着剤を形成するために用いられる粘着剤組成物も特に限定されず、上述した粘着剤を構成するポリマーを配合し、その配合割合を適宜選定したものを用いることができる。
【００４０】
なかでも、粘着剤層を構成する粘着剤は、ベースポリマー（ポリマー成分のなかの主成分、主たる粘着性成分）としてアクリル系ポリマーを含有するアクリル系粘着剤であることが好ましい。ここで「ベースポリマー」とは、当該粘着剤に含まれるポリマー成分のなかの主成分（主たる粘着成分）を指し、典型的には上記ポリマー成分の５０重量％よりも多くを占める成分をいう。また、「アクリル系ポリマー」とは、１分子中に少なくとも１つの（メタ）アクリロイル基を有するモノマー（アクリル系モノマー）に由来するモノマー単位を含むポリマーを指す。上記アクリル系ポリマーは、アクリル系モノマーを含み、該アクリル系モノマーと共重合性を有する他のモノマー（すなわち、（メタ）アクリロイル基を有しないモノマー）をさらに含んでよいモノマー原料（単一モノマーまたはモノマー混合物）を重合することによって合成された重合体（共重合体）であり得る。
【００４１】
アクリル系ポリマーの典型例として、上記モノマー原料に含まれるアクリル系モノマーの主成分がアルキル（メタ）アクリレートであるものが挙げられる。なお、「（メタ）アクリレート」とは、アクリレートおよびメタクリレートを包括的に指す意味である。同様に、「（メタ）アクリロイル」はアクリロイルおよびメタクリロイルを、「（メタ）アクリル」はアクリルおよびメタクリルを、それぞれ包括的に指す意味である。
モノマー原料中に含まれるアクリル系モノマーのうち、アルキル（メタ）アクリレートの占める割合は、典型的には５０重量％を超え、好ましくは６０重量％以上であり、より好ましくは７０重量％以上であり、例えば８０重量であり得る。好ましい一態様において、アクリル系モノマーに占めるアルキル（メタ）アクリレートの割合は９０重量％であり得る。アクリル系モノマーとしてアルキル（メタ）アクリレートのみを含む組成のモノマー原料であってもよい。あるいは、上記モノマー原料は、例えば粘着性能やゲル分率の調整等のために、アルキル（メタ）アクリレート以外のアクリル系モノマーを含んでもよい。その場合、モノマー原料中のアクリル系モノマーに占めるアルキル（メタ）アクリレートの割合は、例えば９９．５重量％以下とすることができ、９９重量％以下（例えば９８重量％以下）であってもよい。
【００４２】
アルキル（メタ）アクリレートとしては、例えば次式（１）で表わされる化合物を好適に用いることができる。
ＣＨ２＝ＣＲ１ＣＯＯＲ２        （１）
ここで、上記式（１）中のＲ１は、水素原子またはメチル基である。また、Ｒ２は、直鎖状または分岐状のアルキル基であり、典型的にはＣ１−２０のアルキル基である。粘着剤の貯蔵弾性率等の観点から、Ｒ２がＣ１−１４（例えばＣ１−１０）のアルキル基であるアルキル（メタ）アクリレートを好ましく使用し得る。
なお、本明細書中においてＣａ−ｂとは、炭素原子数の範囲（ａ以上ｂ以下であること）を指す。例えば、Ｃ１−２０のアルキル基とは、炭素原子数１〜２０のアルキル基を指す。
【００４３】
Ｒ２がＣ１−１４の鎖状アルキル基であるアルキル（メタ）アクリレートとしては、例えばメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、ヘプチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、テトラデシル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらアルキル（メタ）アクリレートは、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。好ましいアルキル（メタ）アクリレートとして、ｎ−ブチルアクリレート（ＢＡ）および２−エチルヘキシルアクリレート（２ＥＨＡ）が挙げられる。
【００４４】
ここに開示される技術におけるアクリル系ポリマーには、本発明の効果を顕著に損なわない範囲で、上記以外のモノマー（その他モノマー）が共重合されていてもよい。上記その他のモノマーは、例えば、アクリル系ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）の調整、粘着性能の調整等の目的で使用することができる。例えば、粘着剤の凝集力や耐熱性を向上させ得るモノマーとして、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、シアノ基含有モノマー、ビニルエステル類、芳香族ビニル化合物等が挙げられる。これらのうちの好適例として、ビニルエステル類が挙げられる。ビニルエステル類の具体例としては、酢酸ビニル（ＶＡｃ）、プロピオン酸ビニル、ラウリン酸ビニル等が挙げられる。なかでもＶＡｃが好ましい。
【００４５】
また、アクリル系ポリマーに架橋基点となり得る官能基を導入し、あるいは接着力の向上に寄与し得るその他モノマーとして、水酸基（ＯＨ基）含有モノマー、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物基含有モノマー、アミド基含有モノマー、アミノ基含有モノマー、イミド基含有モノマー、エポキシ基含有モノマー、（メタ）アクリロイルモルホリン、ビニルエーテル類等が挙げられる。
【００４６】
ここに開示される技術におけるアクリル系ポリマーの一好適例として、上記その他モノマーとしてカルボキシ基含有モノマーが共重合されたアクリル系ポリマーが挙げられる。カルボキシ基含有モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）、メタクリル酸（ＭＡＡ）、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、イソクロトン酸等が例示される。なかでも、好ましいカルボキシ基含有モノマーとして、ＡＡおよびＭＡＡが挙げられる。
【００４７】
ここに開示される技術におけるアクリル系ポリマーの他の一好適例として、上記その他モノマーとして水酸基含有モノマーが共重合されたアクリル系ポリマーが挙げられる。水酸基含有モノマーの例としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート；ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート；Ｎ−ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。なかでも、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートが好ましく、２−ヒドロキシエチルアクリレート（ＨＥＡ）、４−ヒドロキシブチルアクリレート（４ＨＢＡ）がより好ましい。
【００４８】
上記「その他モノマー」は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。その他モノマーの合計含有量は特に限定されない。例えば、全モノマー成分の凡そ４０重量％以下（典型的には、０．００１〜４０重量％）とすることができ、通常は凡そ３０重量％以下（典型的には０．０１〜３０重量％、例えば０．１〜１０重量％）とすることがより好ましい。
特に限定するものではないが、上記その他モノマーとしてカルボキシ基含有モノマーを用いる場合、その含有量は、全モノマー成分の凡そ０．１〜１０重量％（例えば０．２〜８重量％、典型的には０．５〜５重量％）とすることが適当である。
特に限定するものではないが、上記その他モノマーとして水酸基含有モノマーを用いる場合、その含有量は、全モノマー成分の凡そ０．００１〜１０重量％（例えば０．０１〜８重量％、典型的には０．０２〜５重量％）とすることが適当である。
【００４９】
特に限定するものではないが、アクリル系ポリマーの共重合組成は、該アクリル系ポリマーのＴｇが例えば−２０℃以下（好ましくは−３０℃以下、好ましくは−４０℃以下、より好ましくは−５０℃以下）となるように設定することができる。アクリル系ポリマーのＴｇが高すぎないことにより、被着体表面に対する良好な密着性が発揮され、粘着剤と被着体との界面からの薬液浸入を効果的に阻止することができる。アクリル系ポリマーのＴｇの下限は特に限定されないが、通常は−７０℃以上とすることが適当である。
【００５０】
ここで、アクリル系ポリマーのＴｇとは、該ポリマーを構成する各モノマーの単独重合体（ホモポリマー）のＴｇおよび該モノマーの重量分率（重量基準の共重合割合）に基づいてフォックス（Ｆｏｘ）の式から求められる値をいう。したがって、アクリル系ポリマーのＴｇは、モノマー原料の組成（すなわち、該ポリマーの合成に使用するモノマーの種類や使用量比）を適宜変えることにより調整することができる。ホモポリマーのＴｇとしては、公知資料に記載の値を採用するものとする。
ここに開示される技術では、上記ホモポリマーのＴｇとして、具体的には以下の値を用いるものとする。
２−エチルヘキシルアクリレート      −７０℃
ｎ−ブチルアクリレート              −５５℃
エチルアクリレート                  −２２℃
メチルアクリレート                      ８℃
メチルメタクリレート                １０５℃
シクロヘキシルメタクリレート          ６６℃
酢酸ビニル                            ３２℃
２−ヒドロキシエチルアクリレート    −１５℃
スチレン                            １００℃
アクリル酸                          １０６℃
メタクリル酸                        １３０℃
上記で例示した以外のホモポリマーのＴｇについては、「Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｈａｎｄｂｏｏｋ」（第３版、Ｊｏｈｎ  Ｗｉｌｅｙ  ＆  Ｓｏｎｓ，Ｉｎｃ、１９８９年）に記載の数値を用いるものとする。
「Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｈａｎｄｂｏｏｋ」（第３版、Ｊｏｈｎ  Ｗｉｌｅｙ  ＆  Ｓｏｎｓ，Ｉｎｃ、１９８９年）にも記載されていない場合には、以下の測定方法により得られる値を用いるものとする（特開２００７−５１２７１号公報参照）。
具体的には、温度計、攪拌機、窒素導入管および還流冷却管を備えた反応器に、モノマー１００重量部、アゾビスイソブチロニトリル０．２重量部および重合溶媒として酢酸エチル２００重量部を投入し、窒素ガスを流通させながら１時間攪拌する。このようにして重合系内の酸素を除去した後、６３℃に昇温し１０時間反応させる。次いで、室温まで冷却し、固形分濃度３３重量％のホモポリマー溶液を得る。次いで、このホモポリマー溶液を剥離ライナー上に流延塗付し、乾燥して厚さ約２ｍｍの試験サンプル（シート状のホモポリマー）を作製する。この試験サンプルを直径７．９ｍｍの円盤状に打ち抜き、パラレルプレートで挟み込み、粘弾性試験機（ＡＲＥＳ、レオメトリックス社製）を用いて周波数１Ｈｚのせん断歪みを与えながら、温度領域−７０〜１５０℃、５℃／分の昇温速度でせん断モードにより粘弾性を測定し、ｔａｎδのピークトップ温度をホモポリマーのＴｇとする。
【００５１】
上記モノマーまたはその混合物（モノマー原料）を重合する方法は特に限定されず、従来公知の一般的な重合方法を採用することができる。そのような重合方法としては、例えば溶液重合、エマルション重合、塊状重合、懸濁重合が挙げられる。なかでも、耐水性および薬液浸入防止性に優れるという理由から溶液重合が好ましい。
【００５２】
アクリル系ポリマーの重合方法として溶液重合を採用する場合、重合溶媒としては、例えばトルエン、キシレン等の芳香族化合物類（典型的には芳香族炭化水素類）；酢酸エチル、酢酸ブチル等の酢酸エステル類；ヘキサン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂肪族または脂環式炭化水素類；１，２−ジクロロエタン等のハロゲン化アルカン類；メチルエチルケトン、アセチルアセトン等のケトン類；等から選択されるいずれか１種の溶媒、または２種以上の混合溶媒を用いることができる。
【００５３】
重合開始剤としては、特に限定されるものではないが、例えばアゾ系開始剤、過酸化物系開始剤、置換エタン系開始剤、過酸化物等の酸化剤と還元剤とを組み合わせたレドックス系開始剤等が例示される。例えば、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系重合開始剤の１種または２種以上を好ましく使用し得る。
【００５４】
重合開始剤の使用量は、重合開始剤の種類やモノマーの種類（モノマー混合物の組成）等に応じて適宜選択できるが、通常はモノマー原料１００重量部に対して、例えば０．００５重量部以上１重量部以下の範囲から選択することが適当である。重合開始剤の供給方法としては、使用する重合開始剤の実質的に全量をモノマー混合物の供給開始前に反応容器に入れておく一括仕込み方式、連続供給方式、分割供給方式等のいずれも採用可能である。重合操作の容易性、工程管理の容易性等の観点から、例えば一括仕込み方式を好ましく採用することができる。重合温度は、例えば２０℃〜１００℃（典型的には４０℃〜９０℃）程度とすることができる。
【００５５】
上記重合には、必要に応じて従来公知の各種連鎖移動剤（分子量調節剤あるいは重合度調節剤としても把握され得る。）を使用することができる。かかる連鎖移動剤は、例えばドデシルメルカプタン（ドデカンチオール）、グリシジルメルカプタン、２−メルカプトエタノール、メルカプト酢酸、チオグリコール酸−２−エチルヘキシル、２，３−ジメルカプト−１−プロパノール等のメルカプタン類から選択される１種または２種以上であり得る。連鎖移動剤を使用する場合、その使用量は特に限定されないが、例えばモノマー原料１００重量部に対して凡そ０．００１重量部以上１０重量部以下とすることができる。あるいは、連鎖移動剤を使用しなくてもよい。好ましい一態様として、連鎖移動剤を使用しない溶液重合によりモノマー原料を重合させる態様が挙げられる。
【００５６】
アクリル系ポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は特に限定されないが、通常は１０×１０４以上２００×１０４以下程度が適当である。重合方法として溶液重合を用いる場合には、溶液粘度や粘着性能等の観点から、アクリル系ポリマーの重量平均分子量は３０×１０４以上１５０×１０４以下程度が適当であり、４０×１０４以上１００×１０４以下程度が好ましい。アクリル系ポリマーのＭｗが上記範囲内にあると、被着体表面に対する良好な濡れ性と粘着剤層の凝集力とが両立され、粘着剤と被着体との界面からの薬液浸入を効果的に阻止することができる。ここでＭｗとは、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー）により得られた標準ポリスチレン換算の値をいう。
【００５７】
ここに開示される保護シートの粘着剤層は、上述のようなアクリル系ポリマーを含む粘着剤組成物を用いて形成されたものであり得る。上記粘着剤組成物は、例えば、モノマー原料を重合（典型的には溶液重合）させて得られた重合反応液に、必要に応じて濃度調整、ｐＨ調整等の適宜の処理を加え、あるいはアクリル系ポリマー以外の粘着剤形成成分（ポリマー、粘着付与剤等）や添加剤（例えば架橋剤）等を適宜配合して調製され得る。
【００５８】
粘着剤組成物の形態は特に限定されない。例えば、溶剤型、水性エマルション型、水溶液型、活性エネルギー線（例えば紫外線）硬化型、ホットメルト型等の種々の形態であり得る。なかでも、水性の薬液に対する耐性（薬液浸入防止性）の観点から、溶剤型の粘着剤組成物が特に好ましい。かかる溶剤型粘着剤組成物は、典型的には、上記アクリル系ポリマーを有機溶媒中に含む溶液の形態に調製される。上記有機溶媒としては、溶液重合に用いられる重合溶媒と同様のものを用いることができる。特に限定するものではないが、粘着剤組成物の乾燥効率や塗工性等の観点から、通常は、上記溶剤型粘着剤組成物を固形分（ＮＶ）１０重量％以上５５重量％以下（例えば１５重量％以上４５重量％以下）に調製することが適当である。
【００５９】
上記粘着剤組成物は、架橋剤を含むことが好ましい。架橋剤の種類は特に制限されず、粘着剤分野で通常使用される各種架橋剤のなかから、例えば上記官能基含有モノマーの有する架橋性官能基の種類等に応じて適宜選択して使用することができる。粘着剤分野で通常使用される各種架橋剤の例としては、ポリイソシアネート等のイソシアネート系架橋剤、シラン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、金属キレート系架橋剤、メラミン系架橋剤が挙げられる。このような架橋剤は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００６０】
イソシアネート系架橋剤の例としては：トリレンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート等の芳香族イソシアネート；イソホロンジイソシアネート等の脂環族イソシアネート；ヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族イソシアネート；等が挙げられる。より具体的には：ブチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の低級脂肪族ポリイソシアネート類；シクロペンチレンジイソシアネート、シクロへキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の脂環族イソシアネート類；２，４−トリレンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート類；トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＬ」）、トリメチロールプロパン／ヘキサメチレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＬ」）、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＸ」）等のイソシアネート付加物；等を例示することができる。イソシアネート系架橋剤としては、このようなイソシアネート化合物の１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００６１】
エポキシ系架橋剤の例としては、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−ｍ−キシレンジアミン（三菱ガス化学社製、商品名「ＴＥＴＲＡＤ−Ｘ」）、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン（三菱ガス化学社製、商品名「ＴＥＴＲＡＤ−Ｃ」）等が挙げられる。メラミン系架橋剤の例としては、ヘキサメチロールメラミン等が挙げられる。
【００６２】
なかでも、凝集力向上の観点から、イソシアネート系架橋剤および／またはエポキシ系架橋剤の使用が好ましい。薬液浸入防止性と剥離作業性とを高度に両立する観点からイソシアネート系架橋剤の使用がより好ましい。架橋剤の使用量は特に制限されず、例えば、ベースポリマー（好ましくはアクリル系ポリマー）１００重量部に対して凡そ１０重量部以下（例えば凡そ０．０１重量部以上１０重量部以下、好ましくは凡そ０．１重量部以上５重量部以下）の範囲から選択することができる。
【００６３】
上記粘着剤組成物は架橋促進剤をさらに含んでもよい。架橋促進剤の種類は、使用する架橋剤の種類に応じて適宜選択することができる。なお、本明細書において架橋促進剤とは、架橋剤による架橋反応の速度を高める触媒を指す。かかる架橋促進剤としては、例えばジオクチル錫ジラウレート、ジブチル錫ジラウレート、ジブチル錫ジアセテート、ジブチル錫ジアセチルアセトナート、テトラ−ｎ−ブチル錫、トリメチル錫ヒドロキシド等の錫（Ｓｎ）含有化合物；Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチルヘキサンジアミンやトリエチルアミン等のアミン類、イミダゾール類等の窒素（Ｎ）含有化合物；が例示される。なかでも、Ｓｎ含有化合物が好ましい。上記粘着剤組成物に含まれる架橋促進剤の量は、上記アクリル系ポリマー１００重量部に対し、例えば０．００１重量部以上０．５重量部以下程度（好ましくは０．００１重量部以上０．１重量部以下）とすることができる。
【００６４】
また、薬液処理時のシール性と薬液処理後の剥離性とを両立するため、保護シートを貼り付けた後、粘着剤の粘着力が放射線・熱等により事後的に低下する粘着剤組成物を用いてもよい。そのような粘着剤組成物としては、例えばアクリル系ポリマーの側鎖、主鎖中または主鎖末端に炭素−炭素二重結合を導入した内在型の放射線・熱硬化型粘着剤組成物が挙げられる。上記放射線・熱硬化型粘着剤組成物は、該組成物を用いて形成した粘着剤層を備える保護シートを被着体に貼り付け、その後、放射線照射・加熱により硬化させることで粘着力を低下させることができる。また、紫外線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合した添加型の放射線硬化型粘着剤組成物を使用することも可能である。当該放射線硬化型（典型的には紫外線硬化型）の粘着剤組成物には、光重合開始剤を含有させることが好ましい。
【００６５】
さらに、加熱により発泡または膨張する成分を含有させ、所定の温度で粘着剤を膨張させ粘着力を低下させるような粘着剤組成物も好適例として挙げられる。そのような粘着剤組成物としては、例えばイソブタン、プロパン等の加熱により容易にガス化する物質を、弾性を有する殻内に内包させた熱膨張性微小球（例えば、商品名「マイクロスフィア」、松本油脂製薬社製等）を配合したものが挙げられる。さらに、アクリル系ポリマーの主鎖を構成する主モノマーとして炭素数１２以上のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートを使用することにより、粘着剤を結晶化させて加熱により粘着力を低減するような構成を採用することも可能である。
【００６６】
上記粘着剤組成物は、必要に応じて、ロジン系樹脂等の粘着付与剤、剥離調整剤、帯電防止剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤、レベリング剤、可塑剤、充填材、着色剤（顔料、染料等）、ｐＨ調整剤、分散剤、安定剤、防腐剤、老化防止剤等の、粘着剤の分野において一般的に使用される各種添加剤を必要に応じてさらに含有してもよい。このような各種添加剤については、従来公知のものを常法により使用すればよい。
【００６７】
粘着剤層を基材上に設ける方法としては、例えば上記粘着剤組成物を基材に直接付与（典型的には塗付）して硬化処理する方法（直接法）や、適当な剥離面（例えば、剥離性を有する転写シートの表面）上に上記粘着剤組成物を塗付して硬化処理することで該剥離面上に粘着剤層を形成し、その粘着剤層を基材に貼り合わせて転写する方法（転写法）を用いることができる。上記硬化処理は、乾燥（加熱）、冷却、架橋、追加の共重合反応、エージング等から選択される１または２以上の処理であり得る。例えば溶媒を含む粘着剤組成物を単に乾燥させるだけの処理（加熱処理等）や、加熱溶融状態にある粘着剤組成物を単に冷却する（固化させる）だけの処理も、ここでいう硬化処理に含まれ得る。上記硬化処理が２以上の処理（例えば乾燥および架橋）を含む場合、これらの処理は同時に行ってもよく、多段階に亘って行ってもよい。
【００６８】
粘着剤組成物の塗付は、例えばグラビアロールコーター、リバースロールコーター、キスロールコーター、ディップロールコーター、バーコーター、ナイフコーター、スプレーコーター等の慣用のコーターを用いて行うことができる。架橋反応の促進、製造効率向上等の観点から、粘着剤組成物の乾燥は加熱下で行うことが好ましい。粘着剤組成物が塗付される支持体の種類にもよるが、例えば凡そ４０℃〜１５０℃程度の乾燥温度を採用することができる。乾燥後、架橋反応がさらに進むように４０℃〜６０℃程度で保持するエージング処理を施してもよい。エージング時間は、所望の架橋度や架橋反応の進行速度に応じて適宜選択すればよく、例えば１２時間〜１２０時間程度、典型的には１２時間〜７２時間程度とすることができる。
【００６９】
粘着剤層の厚さは特に限定されず、目的に応じて適宜調整することができる。粘着剤層の厚さは、例えば１μｍ以上１００μｍ以下であり得る。被着体表面との密着性の観点から好適な厚さは５μｍ以上であり、より好ましくは７μｍ以上（例えば１０μｍ以上、典型的には１５μｍ以上）である。また、剥離作業性の観点から、粘着剤層の厚さは７０μｍ以下が好ましく、典型的には５０μｍ以下である。粘着剤層の厚さが大きすぎないことは、粘着剤の膨潤による薬液浸入を抑制する観点からも好ましい。
【００７０】
保護シートを構成する粘着剤のゲル分率は特に限定されず、例えば２０重量％以上であり得る。剥離作業性の向上（高速剥離強度の抑制）等の観点から、通常はゲル分率が２５重量％以上であることが好ましい。粘着剤のゲル分率が高くなることにより、保護シートの外縁からの薬液浸入防止性（典型的には、主に粘着剤が薬液で膨潤することに起因する薬液浸入を防止する性能）が向上する。また、粘着剤の凝集力が高まり、保護シートを剥離する際に糊残り等の汚染が発生しにくくなる。これらの観点から、粘着剤のゲル分率が２７重量％以上（例えば３０重量％以上）であることがより好ましい。
ゲル分率の上限は特に限定されないが、典型的には９８重量％以下、好ましくは９５重量％以下、より好ましくは９３重量％未満（例えば９１重量％以下）である。ゲル分率が高すぎると、粘着剤の構成によっては被着体表面との密着性が低下しやすくなり、粘着剤と被着体との界面からの薬液浸入が起こりやすくなることがあり得る。ここに開示される技術は、上記密着性の観点から、粘着剤のゲル分率が９５重量％以下（典型的には９３重量％以下）である態様でも好ましく実施され得る。
ゲル分率は、アクリル系ポリマーの共重合組成（例えば、官能基含有モノマーや多官能性モノマーの使用）や分子量、架橋剤その他の添加剤等により調節することができる。なお、ゲル分率の測定は、後述する実施例に記載の方法に準じて行うことができる。
【００７１】
ここに開示される薬液処理用保護シートは、その使用前（被着体への貼付け前）には、粘着剤層の表面上に剥離ライナーが配置された剥離ライナー付き保護シートの形態であり得る。上記剥離ライナーは特に限定されず、例えば、プラスチックフィルムや紙等のライナー基材の表面に剥離処理層を有する剥離ライナー、フッ素系ポリマー（ポリテトラフルオロエチレン等）やポリオレフィン系樹脂（ポリエチレン、ポリプロピレン等）の低接着性材料からなる剥離ライナー等を用いることができる。上記剥離処理層は、例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、硫化モリブデン等の各種の剥離処理剤により上記ライナー基材を表面処理して形成されたものであり得る。剥離ライナーの厚さは特に限定されず、凡そ５μｍ以上５００μｍ以下（例えば凡そ１０μｍ以上２００μｍ以下、典型的には凡そ３０μｍ以上２００μｍ以下）であり得る。
【００７２】
ここに開示される好ましい一態様では、保護シートは、薬液浸入防止性評価において、封止されたｐＨ試験紙のｐＨの変化が、２０重量％フッ酸水溶液に浸漬してから１２時間後において１未満であり得る。この特性を満たす保護シートは、保護対象部分への薬液浸入を充分に防止することができる。上記評価試験において、２０重量％フッ酸水溶液に浸漬してから１２時間後におけるｐＨ試験紙の色（ｐＨ）が実質的に変化しないことがより好ましい。薬液浸入防止性評価は、具体的には後述の実施例に記載の方法で測定される。
【００７３】
ここに開示される薬液処理用保護シートは、薬液（典型的には酸性薬液）が該保護シートを透過することを効果的に抑制する性能に優れる。このことによって、薬液に曝すことを意図しない部位への薬液の浸入を確実に阻止し、その表面を保護することができる。このような特長を活かして、ここに開示される薬液処理用保護シートは、例えば、ガラスの厚さを薄くしたりガラスの切断端面に形成されたバリやマイクロクラックを除去したりするためにガラスを薬液（エッチング液）で溶解するエッチング処理、装飾や印刷性付与のために金属の表面を薬液（エッチング液）で部分的に腐食させるエッチング処理、回路基板（プリント基板、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等）の接続端子部等を薬液（めっき液）で部分的にめっきするめっき処理等において好適に利用され得る。
【００７４】
以下、本発明に関するいくつかの実施例を説明するが、本発明をかかる具体例に示すものに限定することを意図したものではない。なお、以下の説明中の「部」および「％」は、特に断りがない限り重量基準である。
【００７５】
例１〜例４に係る薬液処理用保護シートを以下のように作成した。
＜例１＞
［基材］
両面にコロナ放電処理が施されたＢＯＰＰフィルム（サントックス社製、製品名「ＰＡ３０」、厚さ６０μｍ）を用意した（基材ａ）。
【００７６】
［粘着剤組成物の調整］
冷却管、窒素導入管、温度計および撹拌装置を備えた反応容器に、重合溶媒としてトルエン、モノマー原料として２−エチルヘキシルアクリレート１００部および２−ヒドロキシエチルアクリレート４部、アゾ系重合開始剤として２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオニトリル）（和光純薬工業社製、製品名「ＡＩＢＮ」）０．２部を入れ、酢酸エチル中で重合を行ってアクリル系ポリマーの溶液を得た。このアクリル系ポリマーのＦｏｘ式より算出したＴｇは−６８℃、Ｍｗは５５万であった。このようにして得たアクリル系ポリマー溶液の固形分１００部に対し、架橋剤としてイソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業社製「コロネート（登録商標）Ｌ」、トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物の固形分７５重量％酢酸エチル溶液）２．６７部、架橋促進剤としてジオクチルスズジラウリレート（東京ファインケミカル社製、製品名「エンビライザー  ＯＬ−１」）０．０２部を配合し、さらに固形分を調整するためトルエンを加えて粘着剤組成物を得た。
【００７７】
［保護シートの作製］
基材ａの片面に上記粘着剤組成物を塗付し、８０℃で１分間乾燥させて、厚さ約２０μｍの粘着剤層を形成した。この粘着剤層に、片面がシリコーン系剥離剤で処理された厚さ３８μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（三菱化学ポリエステルフィルム社製、「ダイアホイル（登録商標）ＭＲＦ３８」）のシリコーン処理面を貼り合わせ、２５℃で４日間エージングして例１に係る薬液処理用保護シートを得た。下述する方法により測定した例１に係る粘着剤のゲル分率は、９０％であった。
【００７８】
［ゲル分率測定］
エージング後の薬液処理用保護シートから採取した粘着剤約０．１ｇを、合計重量Ｗａのテトラフルオロエチレン樹脂製多孔質シート（日東電工社製の商品名「ニトフロン（登録商標）ＮＴＦ１１２２」）と凧糸とを用いて巾着状に包み、この包みの合計重量Ｗｂを秤量した。この包みを溶媒（酢酸エチル）に浸漬して２３℃で７日間静置した後、１２０℃で２時間乾燥させ、乾燥後における包みの重量Ｗｃを測定した。上記Ｗａ，ＷｂおよびＷｃを以下の式に代入して、粘着剤のゲル分率を算出した。
ゲル分率［％］＝（Ｗｃ−Ｗａ）／（Ｗｂ−Ｗａ）×１００
【００７９】
＜例２＞
基材として両面にコロナ放電処理が施されたＢＯＰＰフィルム（フタムラ化学社製、製品名「ＦＯＳ−ＢＴ」、厚さ６０μｍ）を使用した他は例１と同様にして、例２に係る薬液処理用保護シートを作製した。
【００８０】
＜例３＞
両面にコロナ放電処理が施されたＢＯＰＰフィルム（フタムラ化学社製、製品名「ＦＯＰ−Ｋ」、厚さ５０μｍ）を２枚用意した。１枚目のＢＯＰＰフィルムの片面の上にドライラミネート法により２枚目のＢＯＰＰフィルムをラミネートすることにより厚さ１００μｍの積層基材を作製した。基材ａに代えて上記積層基材を用いた他は例１と同様にして、例３に係る薬液処理用保護シートを作製した。
【００８１】
＜例４＞
本例では、基材として、片面にコロナ放電処理が施された無延伸ポリプロピレン（ＣＰＰ）フィルム（三井化学東セロ社製、製品名「ＲＸＣ２２」、厚さ１００μｍ）を使用した。この基材のコロナ処理面に粘着剤組成物を塗付した他は例１と同様にして、例４に係る薬液処理用保護シートを作製した。
【００８２】
［アクリル系ポリマーの重量平均分子量測定］
アクリル系ポリマーの重量平均分子量は、ＧＰＣ装置（装置名：ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ、東ソー社製）を用いて測定を行った。測定条件は下記の通りであり、標準ポリスチレン換算により分子量を求めた。
・サンプル濃度：０．２ｗｔ％（テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）溶液）
・サンプル注入量：１０μｌ
・溶離液：ＴＨＦ
・流速：０．６ｍｌ／ｍｉｎ
・測定温度：４０℃
・カラム：
サンプルカラム；TSKguardcolumn SuperHZ-H（１本）＋TSKgel SuperHZM-H（２本）
リファレンスカラム；TSKgel SuperH-RC（１本）
・検出器：示差屈折計（ＲＩ）
【００８３】
［水蒸気透過度］
上記測定用サンプルの水蒸気透過速度を、ＪＩＳ  Ｚ  ０２０８に規定する透湿度試験（カップ法）に準じて測定した。すなわち、上記測定用サンプルを直径７０ｍｍに切断し、塩化カルシウムを適量入れた透湿カップ（安田製作所製のＮｏ.３１８透湿カップを使用した。）にセットした。これを４０℃、９０％ＲＨの恒温機に入れ、２４時間毎に塩化カルシウムを含む透湿カップの重量増加を測定することにより水蒸気透過度（ｇ／ｍ２・２４時間）を求めた。結果を表１に示す。
【００８４】
［薬液浸入防止性評価］
各例に係る保護シートを８０ｍｍ×３０ｍｍのサイズにカットした。また、松浪硝子工業社製のガラス基板、商品名「ＭＩＣＲＯＳＬＩＤＥ  ＧＬＡＳＳ」（縦７６ｍｍ、横２６ｍｍ、厚さ１．３ｍｍ）を用意した。上記ガラス基板の非スズ面の中央に５ｍｍ×５ｍｍのサイズにカットしたｐＨ試験紙（Ｍａｃｈｅｒｅｙ−Ｎａｇｅｌ製、製品名「Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ  ｉｎｄｉｃａｔｏｒ  ｐａｐｅｒ  ｐＨ １-１１」）を置き、その上から上記カットした保護シートを上記ｐＨ試験紙が中央になるように重ねて、ハンドローラーを一往復させて貼り合わせた。このようにしてｐＨ試験紙を保護シートで封止し、評価用サンプルを作製した。このサンプルを３０分間静置した後、プラスチック容器（縦１００ｍｍ×横１００ｍｍ×深さ３０ｍｍ）に貯留した２０重量％フッ酸水溶液１００ｍＬに浸漬した。上記浸漬から所定時間（６時間または２４時間）後におけるｐＨ試験紙の色変化（ｐＨ変化）を目視で確認し、ｐＨを記録した。上記確認は、ポリエチレン製ピンセットを用いて上記フッ酸水溶液中から評価用サンプルを取り出し、充分に水洗した後、５０℃で２時間乾燥してから行った。結果を表１に示す。
【００８５】
【表１】
2015193688.tif 000003
【００８６】
表１に示されるように、ＢＯＰＰ層を含み水蒸気透過度が５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下である基材を用いた例１〜３に係る薬液処理用保護シートは、２０重量％フッ酸水溶液に２４時間浸漬した後であっても、該保護シートの保護対象であるｐＨ試験紙の色に変化がなく、高い薬液浸入防止性を有することが明らかとなった。一方、例４に係る薬液処理用保護シートは、上記フッ酸水溶液への６時間浸漬後においてｐＨ試験紙の色がすでにｐＨ４を示す色に変化しており、さらに、２４時間浸漬後はｐＨ３を示す色に変化していた。このことから、例４に係る薬液処理用保護シートは、長時間の薬液処理に対する薬液浸入防止性が低いことがわかった。
【００８７】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【符号の説明】
【００８８】
１、２  薬液処理用保護シート（保護シート）
１０    基材
１０ａ  表面を構成する層
１０ｂ  背面を構成する層
２０    粘着剤層
【図１】
2015193688.tif 000004
【図２】
2015193688.tif 000005