(57)【要約】      （修正有）【課題】ノイズの大きな環境下であっても、検査対象物の異常等を正確に判定することが可能な音響評価システム及び音響評価方法を提供する。【解決手段】検査対象装置が発する音響信号を取得する音響センサと、音響センサからの音響信号をウェーブレット変換する変換装置４とを備え、変換装置４による変換により取得されたデータと、基準データ算出部８により算出された基準データとを比較して、検査対象装置の異常の有無又は異常の種類を特定する。【選択図】図３
2015175732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象装置を音響評価するための音響評価システムであって、
音響センサと、
変換装置と、
記憶装置と、
評価部と、
を備え、
前記変換装置は、前記音響センサが取得した音響信号にウェーブレット変換を適用して、経過時間と音響周波数と音圧との関係を表す三次元データを出力し、
前記記憶装置は、前記三次元データを評価するための基準データを記憶し、
前記評価部は、前記三次元データを、前記基準データと比較することにより、前記検査対象装置の状態を判定する
音響評価システム。
【請求項２】
請求項１に記載の音響評価システムにおいて、
前記基準データは、前記検査対象装置の設計データから計算により求まる理論値データであり、
前記理論値データは、経過時間データ、音響周波数データ、及び、音圧データのうちの少なくとも１つの理論値データである
音響評価システム。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の音響評価システムにおいて、
前記評価部は、単発音及び連続音を評価して、前記検査対象装置の異常の種類を特定する
音響評価システム。
【請求項４】
請求項３に記載の音響評価システムにおいて、
前記検査対象装置は、摺動する弁部材を備えた弁装置であり、
前記評価部は、前記弁部材がシール部材に当接する際の単発音及び弁部材が摺動する際の連続音を評価して、前記弁装置の異常の種類を特定する
音響評価システム。
【請求項５】
請求項４に記載の音響評価システムにおいて、
前記異常の種類は、前記弁部材と前記シール部材とのシール面圧の低下、前記弁部材と前記シール部材との衝突面積の減少、及び、前記弁部材の摺動異常のうちの少なくとも１つである
音響評価システム。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の音響評価システムにおいて、
基準データ算出部を備え、
前記基準データ算出部は、前記検査対象装置の設計データから前記基準データを算出する演算部と、前記検査対象装置又は前記検査対象装置と同一構成の他の装置について過去に取得された音響データから前記基準データを算出する演算部とを備える
音響評価システム。
【請求項７】
検査対象装置を音響評価する音響評価方法であって、
音響センサから音響信号を受信する工程と、
前記音響信号の変換を行う変換工程であって、前記音響信号にウェーブレット変換を適用して、経過時間と音響周波数と音圧との関係を表す三次元データを出力する変換工程と、
前記三次元データを、基準データと比較することにより、前記検査対象装置の状態を判定する工程と、
を備える
音響評価方法。
【請求項８】
請求項７に記載の音響評価方法において、
前記検査対象装置の設計データから前記基準データである理論値データを計算により求める工程を備え、
前記理論値データは、経過時間データ、音響周波数データ、及び、音圧データのうちの少なくとも１つの理論値データである
音響評価方法。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の音響評価方法において、
前記検査対象装置の状態を判定する工程は、単発音及び連続音を評価して、前記検査対象装置の異常の種類を特定する工程である
音響評価方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の音響評価方法において、
前記検査対象装置は、摺動する弁部材を備えた弁装置であり、
前記異常の種類を特定する工程は、前記弁部材がシール部材に当接する際の単発音及び弁部材が摺動する際の連続音を評価して、前記弁装置の異常の種類を特定する工程である
音響評価方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の音響評価方法において、
前記異常の種類は、前記弁部材と前記シール部材とのシール面圧の低下、前記弁部材と前記シール部材との衝突面積の減少、及び、前記弁部材の摺動異常のうちの少なくとも１つである
音響評価方法。
【請求項１２】
請求項７乃至１１のいずれか一項に記載の音響評価方法において、
前記検査対象装置の設計データから前記基準データを算出するか、あるいは、前記検査対象装置又は前記検査対象装置と同一構成の他の装置について過去に取得された音響データから前記基準データを算出するかを選択する工程を含む
音響評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音響評価システム及び音響評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
検査対象物が発生する音を音響センサにより取得して、取得された信号を評価する音響評価は、種々の分野で行われている。図１に、従来の音響評価システムの一例を示す。図１に示される音響評価システムは、ラッチ式電磁弁の作動確認のために用いられる。音響評価システムは、ラッチ式電磁弁の近傍に配置される音響センサ（例えば、アコースティック・エミッションセンサ、すなわち、ＡＥセンサ）と、解析装置とを備える。解析装置は、ラッチ式電磁弁が発生した音響信号を電気信号に変換して表示する。そして、音響評価に際しては、検査時に取得した音響データと、過去に取得した音響データとを比較して、全体的なトレンドの相違を把握し、検査対象物の異常等を判定していた。
【０００３】
関連する技術として、特許第４７９５８５５号公報に、プラントにおける電磁弁の検査方法および装置が開示されている。当該公報には、電流信号、電圧信号、及び、振動信号の波形特性を表示し、各信号波形の相互関係に基づいて、電磁弁の健全性を評価することが記載されている。また、特開平８−２１９９５５号公報、特開２００４−９３４８１号公報には、検査対象物を評価するために、音響信号にウェーブレット変換を適用することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４７９５８５５号公報
【特許文献２】特開平８−２１９９５５号公報
【特許文献３】特開２００４−９３４８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の音響評価システム及び音響評価方法では、全体的なトレンドの相違に基づくトレンド評価を行っていた。しかし、トレンド評価は、ノイズ環境下で用いることに適しておらず、また、微小な音の評価が困難であった。また、トレンド評価では、取得したデータが本当に異常なのか、定量的に評価を行うことができない。さらに、トレンド評価では、より正確な評価を行うためには、膨大な過去の異常データの蓄積を必要とする。しかし、膨大な過去の異常データの蓄積は、作業負担が大きく、また、コスト負担も大きい。加えて、数回〜数十回といった使用回数で寿命となる部材であって、かつ、少量生産の特注部材を検査する場合、膨大な過去の異常データの蓄積を行うこと自体が困難である。
【０００６】
したがって、本発明の目的は、ノイズの大きな環境下であっても、検査対象物の異常等を正確に判定することが可能な音響評価システム及び音響評価方法を提供することにある。また、比較用の音響データを予め取得することなく、検査時に取得した音響データのみから、検査対象物の異常等を判定することが可能な音響評価システム及び音響評価方法を提供することにある。
【０００７】
この発明のこれらの目的とそれ以外の目的と利益とは以下の説明と添付図面とによって容易に確認することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以下に、発明を実施するための形態で使用される番号・符号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの番号・符号は、特許請求の範囲の記載と発明を実施するための形態との対応関係の一例を示すために、参考として、括弧付きで付加されたものである。よって、括弧付きの記載により、特許請求の範囲は、限定的に解釈されるべきではない。
【０００９】
本発明の１つの観点において、音響評価システムは、検査対象装置（１／１’）を音響評価するための音響評価システムである。また、音響評価システムは、音響センサ（２）と、変換装置（４）と、記憶装置（６）と、評価部（５）とを備える。また、前記変換装置（４）は、前記音響センサ（２）が取得した音響信号にウェーブレット変換を適用して、経過時間と音響周波数と音圧との関係を表す三次元データを出力する。さらに、前記記憶装置（６）は、前記三次元データを評価するための基準データを記憶する。また、前記評価部（５）は、前記三次元データを、前記基準データと比較することにより、前記検査対象装置（１／１’）の状態を判定する。
【００１０】
上記音響評価システムにおいて、前記基準データは、前記検査対象装置（１／１’）の設計データから計算により求まる理論値データであってもよい。また、前記理論値データは、経過時間データ、音響周波数データ、及び、音圧データのうちの少なくとも１つの理論値データであってもよい。
【００１１】
上記音響評価システムにおいて、前記評価部（５）は、単発音及び連続音を評価して、前記検査対象装置（１／１’）の異常の種類を特定してもよい。
【００１２】
上記音響評価システムにおいて、前記検査対象装置（１／１’）は、摺動する弁部材（１２）を備えた弁装置（１’）であってもよい。また、前記評価部（５）は、前記弁部材（１２）がシール部材（１３）に当接する際の単発音及び弁部材（１２）が摺動する際の連続音を評価して、前記弁装置（１’）の異常の種類を特定してもよい。
【００１３】
上記音響評価システムにおいて、前記異常の種類は、前記弁部材（１２）と前記シール部材（１３）とのシール面圧の低下、前記弁部材（１２）と前記シール部材（１３）との衝突面積の減少、及び、前記弁部材（１２）の摺動異常のうちの少なくとも１つであってもよい。
【００１４】
上記音響評価システムにおいて、基準データ算出部（８）を備えていてもよい。また、前記基準データ算出部（８）は、前記検査対象装置（１／１’）の設計データから前記基準データを算出する演算部と、前記検査対象装置（１／１’）又は前記検査対象装置（１／１’）と同一構成の他の装置について過去に取得された音響データから前記基準データを算出する演算部とを備えていてもよい。
【００１５】
本発明の他の１つの観点において、音響評価方法は、検査対象装置（１／１’）を音響評価する音響評価方法である。また、音響評価方法は、音響センサ（２）から音響信号を受信する工程と、前記音響信号の変換を行う変換工程であって、前記音響信号にウェーブレット変換を適用して、経過時間と音響周波数と音圧との関係を表す三次元データを出力する変換工程と、前記三次元データを、基準データと比較することにより、前記検査対象装置（１／１’）の状態を判定する工程とを備える。
【００１６】
上記音響評価方法において、前記検査対象装置（１／１’）の設計データから前記基準データである理論値データを計算により求める工程を備えていてもよい。また、前記理論値データは、経過時間データ、音響周波数データ、及び、音圧データのうちの少なくとも１つの理論値データであってもよい。
【００１７】
上記音響評価方法において、前記検査対象装置（１／１’）の状態を判定する工程は、単発音及び連続音を評価して、前記検査対象装置（１／１’）の異常の種類を特定する工程であってもよい。
【００１８】
上記音響評価方法において、前記検査対象装置（１／１’）は、摺動する弁部材（１２）を備えた弁装置（１’）であってもよい。また、前記異常の種類を特定する工程は、前記弁部材（１２）がシール部材（１３）に当接する際の単発音及び弁部材（１２）が摺動する際の連続音を評価して、前記弁装置（１’）の異常の種類を特定する工程であってもよい。
【００１９】
上記音響評価方法において、前記異常の種類は、前記弁部材（１２）と前記シール部材（１３）とのシール面圧の低下、前記弁部材（１２）と前記シール部材（１３）との衝突面積の減少、及び、前記弁部材（１２）の摺動異常のうちの少なくとも１つであってもよい。
【００２０】
上記音響評価方法において、前記検査対象装置（１／１’）の設計データから前記基準データを算出するか、あるいは、前記検査対象装置（１／１’）又は前記検査対象装置（１／１’）と同一構成の他の装置について過去に取得された音響データから前記基準データを算出するかを選択する工程を含んでいてもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明により、ノイズの大きな環境下であっても、検査対象物の異常等を正確に判定することが可能な音響評価システム及び音響評価方法が提供される。また、比較用の音響データを予め取得することなく、検査時に取得した音響データのみから、検査対象物の異常等を判定することが可能な音響評価システム及び音響評価方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は、従来の音響評価システム、および、音響評価システムの解析装置による解析を模式的に表した概念図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態に係る音響評価システムのシステム構成を表した概念図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態に係る音響評価システムの解析装置３の主要構成を示す概念図である。
【図４Ａ】図４Ａは、ラッチ式電磁弁装置１’を表した概略図であって、開弁時の状態を表した概略図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、ラッチ式電磁弁装置１’を表した概略図であって、閉弁時の状態を表した概略図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態に係る音響評価システムの音響センサ２が取得した音響データを表すグラフと、当該音響データをウェーブレット変換して得られるグラフとを示す図である。
【図６】図６は、ラッチ式電磁弁装置１’の設計データから求められる三次元グラフ（経過時間と、周波数と、音圧の三次元グラフ）であって、正常なラッチ式電磁弁装置１’が示すべき三次元グラフを示す図である。
【図７】図７は、ラッチ式電磁弁装置１’の検査時に取得される音響データをウェーブレット変換することにより得られる三次元グラフ（経過時間と、周波数と、音圧の三次元グラフ）の一例を示す図である。
【図８】図８は、ラッチ式電磁弁装置１’の検査時に取得される音響データをウェーブレット変換することにより得られる三次元グラフ（経過時間と、周波数と、音圧の三次元グラフ）の一例を示す図である。
【図９】図９は、ラッチ式電磁弁装置１’の検査時に取得される音響データをウェーブレット変換することにより得られる三次元グラフ（経過時間と、周波数と、音圧の三次元グラフ）の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
添付図面を参照して、本発明の実施の形態に係る音響評価システム及び音響評価方法を説明する。
【００２４】
図２は、本発明の実施の形態に係る音響評価システムのシステム構成を表した概念図である。本発明の実施の形態に係る音響評価システムは、検査対象装置１の近傍に配置される音響センサ２と、解析装置３とを備える。解析装置３は、解析結果を表示する表示装置７を備える。
【００２５】
次に、図３を用いて、本発明の実施の形態に係る音響評価システムの解析装置３の主要構成について説明する。解析装置３は、変換装置４と、評価部５と、記憶装置６と、表示装置７と、基準データ算出部８とを備える。音響センサ２は、例えば、アコースティック・エミッションセンサである。変換装置４は、音響センサ２により取得された音響データ、すなわち、経過時間と音圧の二次元データを、ウェーブレット変換することにより、経過時間と音響周波数と音圧の三次元データに変換する装置である。ウェーブレット変換は、フーリエ変換と同様、周知の数学的手法である。ウェーブレット変換については、特開平８−２１９９５５号公報、特開２００４−９３４８１号公報にも記載されている。評価部５は、前記三次元データと基準データとを比較して、検査対象装置１の状態を判定する。検査対象装置１の状態を判定することは、当該検査対象装置１が正常であるか、異常であるかを判定することであってもよい。また、検査対象装置１の状態を判定することは、異常の種類を判定することであってもよい。記憶装置６は、前記三次元データを評価するための前記基準データを記憶する装置である。表示装置７は、解析結果を表示する装置である。基準データ算出部８は、検査対象装置１の設計データが入力されると、当該設計データに基づいて、基準データを算出する。すなわち、当該基準データは、設計データから計算により求められる理論値データである。なお、検査対象装置１が、長寿命製品等である場合には、当該検査対象装置１について過去に取得された音響データを用いて、基準データを算出してもよい。また、検査対象装置１が、汎用製品等である場合には、当該検査対象装置１と同一構成の装置について過去に取得された音響データ（同一構成の正常製品の音響データ、又は、同一構成の複数製品に対して取得された音響データの平均値等）を用いて、基準データを算出してもよい。好ましくは、基準データ算出部８は、設計データに基づいて、基準データを算出する演算部を備えるとともに、過去に取得された音響データを用いて、基準データを算出する演算部を備えるようにするとよい。この場合、設計データに基づいて基準データを算出するか、あるいは、過去に取得された音響データを用いて基準データを算出するかは、検査者が、解析装置３の入力部を介して選択できるようにするとよい。なお、本発明の実施の形態では、基準データ算出部８が、解析装置３に設けられている。しかし、基準データ算出部８を、解析装置３の外部に設け（例えば、外部のコンピュータ装置に設け）、算出された基準データを、通信手段等を介して、記憶装置６に記憶させるようにしてもよい。
【００２６】
続いて、検査対象装置１の具体例を示す。一例として、検査対象装置１が、ラッチ式電磁弁装置１’である場合について説明する。図４Ａは、ラッチ式電磁弁装置１’を表した概略図であって、開弁時の状態を表した概略図である。図４Ｂは、ラッチ式電磁弁装置１’を表した概略図であって、閉弁時の状態を表した概略図である。
【００２７】
ラッチ式電磁弁装置１’は、摺動弁部材１２（アーマチャ１２）と、シール部材１３と、摺動弁部材１２を進退動させるソレノイド部材を含む構体１４と、反転式バネ部材１５（例えば、皿バネ）と、を備える。図４Ａの開弁状態において、摺動弁部材１２は、反転式バネ部材１５の弾性力により、開弁位置に保持（ラッチ）されている。図４Ａの開弁状態において、ソレノイド部材に電流を流すと、摺動弁部材１２は、シール部材１３に向かって摺動する。そして、図４Ｂに示すように、摺動弁部材１２は、シール部材１３に衝突して停止する。摺動弁部材１２は、反転式バネ部材１５の弾性力により、閉弁位置に保持（ラッチ）される。なお、開弁位置又は閉弁位置に、摺動弁部材１２を保持（ラッチ）する部材は、反転式バネ部材１５に限らず、例えば、永久磁石等であってもよい。
【００２８】
次に、図５を用いて、ラッチ式電磁弁装置１’の作動時に発生する音について説明する。図４Ａの開弁状態において、ソレノイド部材に電流を流すと、摺動弁部材１２は、シール部材１３に向かって摺動する。この時、摺動弁部材１２と構体１４との間の間隔１６（クリアランス）が小さい場合、摺動弁部材１２と構体１４との間に摺動音が発生する。当該摺動音は、図５のパワースペクトルグラフにおいて、領域１に示されている。続いて、摺動弁部材１２は、シール部材１３に衝突（図４Ｂの衝突領域１７にて衝突）して停止する。この時、摺動弁部材１２とシール部材１３との衝突音が発生する。当該衝突音は、図５のパワースペクトルグラフにおいて、領域２に示されている。図５のパワースペクトルグラフは、ノイズのない環境下でのグラフを示している。ノイズの大きな環境下では、パワースペクトルグラフにおいて、前記摺動音又は前記衝突音と、ノイズ音とを区別することが困難となる。
【００２９】
次に、図５のパワースペクトルグラフを、ウェーブレット変換して得られるグラフについて説明する。図５のウェーブレット変換後のグラフでは、横軸が経過時間を表し、縦軸が周波数を表し、濃淡が音圧を表す。図５のウェーブレット変換後のグラフにおいて、摺動弁部材１２と構体１４との間の摺動音が領域１に示され、摺動弁部材１２とシール部材１３との衝突音が領域２に示されている。摺動音および衝突音は、弁装置の設計情報から導き出される、特定周波数領域での音圧が高くなるため、ノイズの大きな環境下であっても、ノイズ音との区別が可能である。
【００３０】
続いて、評価部５が、ラッチ式電磁弁装置１’が正常であるか、異常であるかを判定する際の具体例について説明する。
【００３１】
図６に、正常なラッチ式電磁弁装置１’が示すべきグラフであって、経過時間と、音響周波数と、音圧の三次元グラフを例示する。図６は、摺動弁部材１２の作動速度、シール面圧、シール面積（シール部材１３と摺動弁部材１２との接触面積）、摺動弁部材１２とシール部材１３の材質等から、理論的に求められるグラフである。図６から、摺動弁部材１２とシール部材１３とが衝突すると、音圧レベル３以上の部分が生じることがわかる。音圧レベル３以上の領域は、所定の経過時間範囲内で、かつ、所定の周波数範囲内である領域に存在する。このため、理論値データである基準データは、当該所定の経過時間範囲（例えば、電磁弁のＯＮ信号から、Ａミリ秒以上Ｂミリ秒以下の範囲）、当該所定の周波数範囲（例えば、Ｃヘルツ以上Ｄヘルツ以下）、音圧レベル（音圧レベル３以上）に設定される。なお、図６は、説明をわかりやすくするために便宜的に用いているものであり、理論値データを求めるために、三次元グラフを表示することは必須ではない。
【００３２】
図７に、ラッチ式電磁弁装置１’を用いて、実際に取得した音響データ（経過時間と音圧の二次元データ）をウェーブレット変換して得られる三次元データ（三次元グラフ）の第１事例を示す。第１事例では、所定の経過時間範囲（電磁弁のＯＮ信号から、Ａミリ秒以上Ｂミリ秒以下の範囲）、所定の周波数範囲（Ｃヘルツ以上Ｄヘルツ以下）に音圧のピークが存在する。しかし、当該音圧のピークは、音圧レベル３に達していない。このため、評価部５は、当該三次元データと、理論値データである基準データとを比較して、ラッチ式電磁弁装置１’は異常であると判定する。また、評価部５は、異常の種類が、ソレノイド部材又は反転式バネ部材１５の異常等によるシール面圧の低下であると判定する。
【００３３】
図８に、ラッチ式電磁弁装置１’を用いて、実際に取得した音響データ（経過時間と音圧の二次元データ）をウェーブレット変換して得られる三次元データ（三次元グラフ）の第２事例を示す。第２事例では、所定の経過時間範囲（電磁弁のＯＮ信号から、Ａミリ秒以上Ｂミリ秒以下の範囲）に、音圧レベル３以上の音圧ピークが存在する。しかし、ピークが存在する周波数範囲は、所定の周波数範囲（Ｃヘルツ以上Ｄヘルツ以下）よりも高周波の領域である。このため、評価部５は、当該三次元データと、理論値データである基準データとを比較して、ラッチ式電磁弁装置１’は異常であると判定する。また、評価部５は、異常の種類が、摺動弁部材１２とシール部材１３との間の異物噛み込み等による衝突面積の減少であると判定する。
【００３４】
図９に、ラッチ式電磁弁装置１’を用いて、実際に取得した音響データ（経過時間と音圧の二次元データ）をウェーブレット変換して得られる三次元データ（三次元グラフ）の第３事例を示す。第３事例では、所定の経過時間範囲（電磁弁のＯＮ信号から、Ａミリ秒以上Ｂミリ秒以下の範囲）よりも前の時間帯に、音圧レベル１以上の連続音が存在する。このため、評価部５は、当該三次元データと、理論値データである基準データとを比較して、ラッチ式電磁弁装置１’は異常であると判定する。また、評価部５は、異常の種類が、摺動弁部材１２と構体１４との異常接触等による摺動異常の発生であると判定する。なお、連続音であるか単発音であるかの判断は、例えば、設定された閾値以上の期間にわたって、周波数が近い範囲内において、設定された音圧レベル以上の音が断続的に存在するか否かを評価して行われる。
【００３５】
なお、本実施の形態では、理論値データとして、経過時間データ（経過時間範囲）、音響周波数データ（音響周波数範囲）、及び、音圧データ（音圧レベル）を採用している。しかし、理論値データは、経過時間データ（経過時間範囲）、音響周波数データ（音響周波数範囲）、音圧データ（音圧レベル）のうちの少なくとも１つであってもよい。例えば、音圧レベル３以上の領域が存在することを理論値データとして設定し、実際に取得した三次元データ（三次元グラフ）に音圧レベル３以上の領域が存在しない場合に、ラッチ式電磁弁装置１’は異常であると判定するようにすること等が可能である。
【００３６】
図６では、摺動弁部材１２とシール部材１３との衝突音のみを、理論値データとして用いている。衝突音は、単発音である。そして、当該衝突音の音圧ピークに対応する周波数は、設計データから、一意に決まる。当該周波数は、数１０〜数１００ｋＨｚの領域内のいずれかの周波数であることが一般的である。
【００３７】
なお、摺動音（摺動弁部材１２と構体１４との摺動音）又は流体音（ラッチ式電磁弁装置１’を通過する流体音等）を理論値データとして用いてもよい。摺動音は、連続音である。そして、当該連続音の音圧ピークに対応する周波数は、設計データ（摺動弁部材１２の摺動速度、摺動弁部材１２と構体１４とのクリアランス、摺動弁部材１２と構体１４の材質等）から、一意に決まる。当該周波数は、数１０〜１０００ｋＨｚの領域内のいずれかの周波数であることが一般的である。また、流体音は、連続音である。そして、当該流体音の音圧ピークに対応する周波数は、４０〜１００ｋＨｚであることが一般的である。
【００３８】
また、反転式バネ部材１５が、反転する際の反転音を理論値データとして用いてもよい。
【００３９】
本実施の形態によれば、次のような効果が得られる。
【００４０】
ラッチ式電磁弁装置１’の作動に伴う、摺動弁部材１２と構体１４との摺動、及び、摺動弁部材１２とシール部材１３との衝突といった詳細な動作状況を評価することができる。また、ノイズの大きな環境下においても、ノイズと評価する音との周波数帯域が重複しない限り、評価への影響はない。さらに、設計データから発生音の特性を推定することができるため、トレンド評価が不要である。加えて、異常であるか否かの判定基準が明確である。さらに、異常の種類を特定あるいは推定することも可能である。また、単発音と連続音の両者を評価することにより、異常の種類の特定あるいは推定を、より正確に行うことができる。
【００４１】
上記の実施の形態では、検査対象装置１が、ラッチ式電磁弁装置１’である場合を例にとって説明した。しかし、弁装置は、ラッチ式でないものであっても構わない。また、弁装置は、電磁駆動式のものではなく、例えば、流体駆動式のものであっても構わない。さらに、検査対象装置１は、検査対象装置１の作動に伴い、検査対象装置１が音を発するものであれば、どのような装置であっても構わない。
【００４２】
以上、本発明の実施の形態が添付の図面を参照することにより説明された。但し、本発明は、上述の実施の形態に限定されず、要旨を逸脱しない範囲で当業者により適宜変更され得る。
【符号の説明】
【００４３】
１    検査対象装置
１’  ラッチ式電磁弁装置
２    音響センサ
３    解析装置
４    変換装置
５    評価部
６    記憶装置
７    表示装置
８    基準データ算出部
１２  摺動弁部材（アーマチャ）
１３  シール部材
１４  構体
１５  反転式バネ部材
１６  間隔（クリアランス）
１７  衝突領域
【図１】
2015175732.tif 000003
【図２】
2015175732.tif 000004
【図３】
2015175732.tif 000005
【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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