(57)【要約】【課題】可動部を増やすことなく、貫通孔や反りなどが有るウエハーを搬送したい場合に対応する。【解決手段】  ウエハー２を保持するためのフィンガー部材６は、ウエハー２を載置する載置部９と、載置部９に設けられ、ウエハー２の縁部を吸着する吸着部とを有する。吸着部は、柔軟性を有する吸引用配管と、当該配管の端部の周囲を覆い、ウエハー２に当接する吸着パッド１０とからなる。ロボット７は、カセット５内に間隔をおいて積層した状態で支持されているウエハーどうしの間隙にフィンガー部材６を挿入し、吸着パッド１０でウエハー２の縁部を吸着保持してウエハー２の搬送を行う。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する基板保持機構であって、
前記基板を載置する載置部と、
前記載置部に設けられ、前記基板の縁部を吸着する吸着部と、を備え、
前記吸着部は、柔軟性を有する吸引管と、該吸引管の端部の周囲を覆い、前記基板に当接する当接部とからなることを特徴とする基板保持機構。
【請求項２】
請求項１に記載の基板保持機構において、
前記載置部の外周に設けられ、前記基板の端面に当接する壁部をさらに備える、基板保持機構。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板保持機構において、
前記載置部は平坦面を有し、前記当接部が前記平坦面より突出していることを特徴とする基板保持機構。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の基板保持機構において、
前記当接部は硬質樹脂からなることを特徴とする基板保持機構。
【請求項５】
複数の基板を間隔をおいて積層した状態に支持する支持構造部に対して基板の搬出および搬出を行う基板搬送装置であって、
請求項１から４のいずれか１項に記載の基板保持機構と、
前記基板保持機構を着脱自在に装着する装着部を有し、前記基板保持機構を移動させる移動装置と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項６】
複数の基板を間隔をおいて積層した状態に支持する支持構造部から基板を搬送する基板搬送方法であって、
搬送対象の基板を載置する載置部を有する基板保持機構を設け、前記載置部に、前記基板の縁部を吸着する吸着部であって、柔軟性を有する吸引管と、該吸引管の端部の周囲を覆い、前記基板に当接する当接部と、からなる前記吸着部を設け、前記搬送対象の基板に前記基板保持機構の前記載置部を対面させ、前記吸着部で前記基板の縁部を吸着して、当該基板の搬送を行う、基板搬送方法。
【請求項７】
請求項６に記載の基板搬送方法において、
前記搬送対象の基板に前記基板保持機構の前記載置部を対面させるのに先だって、前記載置部を前記搬送対象の基板とその隣の基板との間隙に挿入することを含み、
前記載置部の外周に、前記搬送対象の基板の端面に当接する壁部を設け、
前記載置部を前記間隙に挿入するとき、前記壁部を前記搬送対象の基板に当接させつつ該基板の端面を前記支持構造部で規制することにより、該搬送対象の基板を前記載置部に対して位置決めすることを特徴とする基板搬送方法。
【請求項８】
請求項６または７に記載の基板搬送方法において、前記基板はウエハーであり、前記支持構造部はウエハーカセットであることを特徴とする基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持構造部に支持されている基板を、該支持構造部から、該支持構造部とは異なる場所へ搬送することを含む基板搬送方法、それを実施する基板保持機構および基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板として例えば半導体ウエハーを搬送する場合、ウエハー裏面を真空吸着する方法が一般に広く使われている。しかし、ウエハーに貫通孔や反りなどが有って裏面を吸着できない場合や、吸着の際に裏面に傷（吸着痕）が付くことを嫌う場合などでは、特許文献１に開示されているエッジクランプ方式の使用が公知になっている。図７の（Ａ）にウエハーを保持したクランプ部材の上面図を、（Ｂ）にそのクランプ部材の側面図を、（Ｃ）に（Ｂ）中の一点鎖線で囲んだ部分の拡大図を示している。
【０００３】
ウエハーを保持して搬送するためのクランプ部材は、図７の（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、ウエハー１０１を保持する少なくとも３つのコマ１０２を備える。３つのコマ１０２は、保持すべきウエハー１０１の中心軸に対して回転対称で配置されている。３つのコマ１０２のうちの１つは、クランプ部材の基材１０３のガイド穴に移動可能に取り付けられた可動コマである。可動コマは、ウエハー１０１を保持するときは当該ウエハーのエッジに向かう方向に付勢され、その保持を解除するときは当該ウエハーのエッジから離れる方向に移動される。残りの２つのコマは、基材１０３から延びる２本のアーム１０４の先端にそれぞれ固定されている。
【０００４】
各コマ１０２は側面の中央部１０２ａが窪んでおり、３つのコマの中央部１０２ａをウエハー１０１のエッジに突き当てた状態にすることで、ウエハー１０１がクランプ部材により保持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３―１４２５５３号公報（図３参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、複数枚のウエハーを一定の間隔で積層した状態で支持したウエハーカセットのような支持構造部から処理ユニットや検査ユニットなどに、処理または検査対象のウエハーを搬送する場合がある。この場合、ウエハーを保持するための基板保持機構を、ウエハーカセット内に隣り合って支持されたウエハーとウエハーの隙間に挿入する工程が発生する。
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の方法では、基板保持機構としてのクランプ部材の厚さは、図７（Ｂ）に示されるようにクランプ部材の基材１０３とコマ１０２との合計の厚さｔになる。汎用のウエハーカセットはＳＥＭＩ規格に準拠して作られているため、そのような厚みになるクランプ部材では、クランプ部材をウエハーカセット内のウエハーとウエハーの隙間に挿入して、搬送対象のウエハーをウエハーカセットから直接取り出すことができないという課題が生じる。その場合、専用のウエハーカセットを用意するか、ウエハーをカセット内から引き出すための別の搬送機構との組み合わせで、カセットユニットを製作する必要がある。従って、搬送装置も大型化する虞もある。
【０００８】
また、特許文献１に記載されるエッジクランプ方式の場合、ウエハーを保持する機構としてクランプ部材のガイド穴内を移動する可動コマを要する。そのため、吸着方式と比較すると機構が複雑化し他部品と擦れあう可動部が増えている。結果、当該エッジクランプ方式では、ウエハーに付着するパーティクルが増加し、製品の歩留まり低下の要因になるという課題が生じる。更に、可動部が増え機構が複雑になると、装置全体のコストが高くなる。
【０００９】
一方、ウエハー裏面を真空吸着するのに一般に広く使用されている方式（特許文献１の図２０参照）は、ウエハー裏面を何処と無く吸着するため、ウエハー裏面に傷が付かない事を要求される場合や、貫通孔や反りなどが有るウエハーを搬送したい場合などには対応できない。
【００１０】
そこで本発明の目的は、前述したような課題を解決するための基板搬送方法、基板保持機構および基板搬送装置を提供することである。また、その目的の一例は、エッジクランプ方式のように他部品と擦れあう可動部を持った複雑な機構を使用せずに、吸着方式によって上記の課題を解決することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一の態様は、基板を保持する基板保持機構に係わる。この機構は、基板を載置する載置部と、載置部に設けられ、基板の縁部を吸着する吸着部と、を備える。そして吸着部は、柔軟性を有する吸引管と、該吸引管の端部の周囲を覆い、基板に当接する当接部とからなることを特徴とする。
【００１２】
本発明の別の態様は、複数の基板を間隔をおいて積層した状態に支持する支持構造部に対して基板の搬出および搬入を行う基板搬送装置に係わる。この装置は、上記の態様の基板保持機構と、基板保持機構を着脱自在に装着する装着部を有し基板保持機構を移動させる移動装置と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
本発明の別の態様は、基板を搬送する基板搬送方法に係わる。この方法は、複数の基板を間隔をおいて積層した状態に支持する支持構造部から基板を搬送する基板搬送方法に係わる。この方法は、上記の態様の基板保持機構を設け、搬送対象の基板に基板保持機構の載置部を対面させ、吸着部で基板の縁部を吸着して、当該基板の搬送を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、基板裏面に傷がつくことを抑制し、貫通孔や反りなどが有る基板を搬送することができ、その上、クランプ機構のように可動部を持った複雑な構造にならず、基板搬送装置が大型化しない基板保持機構を提供できる。また、基板保持時にパーティクルが発生しにくい、廉価な基板搬送装置を提供することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】一実施例による基板搬送装置を上面から見た概略図。
【図２】図１のフィンガー部材の拡大図。
【図３】吸着パッドを弾性支持する構造を示す図。
【図４】フィンガー部材に対するウエハーのセンタリング位置決めを示す上面図。
【図５（Ａ）】ウエハー搬送過程をウエハーカセットの側面から見た図。
【図５（Ｂ）】ウエハー搬送過程をウエハーカセットの後ろから見た図。
【図６】吸着パッドの配置位置を示す図。
【図７】特許文献１に開示された、ウエハーを保持して搬送するクランプ部材を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１７】
図１は本発明の一実施例による基板搬送装置を適用した基板処理装置の概略上面図を示している。本実施例で搬送される物としては半導体ウエハーを例示するが、本発明はこれに限られず、ガラス板、金属板、樹脂板などのいかなる材料の基板の搬送に使用できる。
【００１８】
図１に示される基板処理装置１は、ウエハー２の搬送を行う基板搬送装置としての搬送ユニット３と、ウエハー２の処理を行う処理ユニット４とを有する。ここでいう「処理」には、研磨や切削等の物理的処理や、エッチングやコーティング等の化学的処理のほかに、検査処理も含まれる。
【００１９】
搬送ユニット３は、複数のウエハー２を収納するカセット５と、ウエハー２を保持する基板保持機構としてのフィンガー部材６と、処理ユニット４およびカセット５に対してフィンガー部材６を移動させるロボット７と、カセット５内のウエハー２の有無を検出する検出手段としてのセンサー８と、を備える。ロボット７はフィンガー部材６を他の真空吸着フィンガーと交換することも可能である。
【００２０】
カセット５は、ウエハー２の搬入および搬出のための開口を有し、かつ内部に複数のウエハー２を一定の間隔に積層した状態で支持する支持構造部であるが、本例のカセット５はＳＥＭＩ規格に準拠して作られた汎用のウエハーカセットとする。カセット５の左右の側壁の内面それぞれに支持部５ａが凸条に設けられている。カセット５内の左右の支持部５ａにより、各ウエハー２の両端部（ウエハー周辺部のうちの一部位とこの一部位とは反対側の部位）が支持される。このような支持部５ａは、支持されるウエハー２とは垂直な方向にも一定の間隔で配置されており、その垂直な方向にて隣り合う支持部５ａとそれらの間の部分により、ウエハー２の搬入や搬出時にウエハー２を案内するガイド溝を複数有する支持構造部が構成されている（図５（Ａ），（Ｂ）参照）。
【００２１】
このガイド溝に関しては、カセット５の左右の側壁に形成されるが、ウエハー２の両端部を左右一対のガイド溝に差し込んだときに該ウエハーの端部が該ガイド溝の底部に当たってウエハー位置が規制されるように構成されている。そのため図１の例では、カセット５における左右一対の支持部５ａを設けた側壁５ｂがカセット５の入口から奥側へ延びる途中で同じ角度θでカセット中心寄りに折れ曲がっている（図４参照）。
【００２２】
またロボット７は、フィンガー部材６を着脱自在に装着する装着部（不図示）と、フィンガー部材６を装着した装着部を、ウエハー２を載置する載置部９を上に向けた状態で、上下移動および水平移動させる駆動部としてのロボットアーム部と、センサー８で検出された搬送対象のウエハー２の位置に基づいて、前記ロボットアーム部の動作制御を行う制御手段（不図示）と、を備える。このようなロボット７により、カセット５内の左右一対の支持部５ａで支持されているウエハー２を搬送するときに該ウエハーに載置部９が対面するようにフィンガー部材６を移動させることが可能である。カセット５内部には複数のウエハー２が一定の間隔で積層された状態で支持されているため、ロボット７は、カセット５内の隣り合うウエハー２どうしの間隙にフィンガー部材６を、載置部９がウエハー２に対面するように挿入することとなる。この挿入動作においてカセット５内のウエハー２が損傷しないように、フィンガー部材６の形状は、カセット５内の隣り合うウエハー２どうしの間隙よりも小さく設定されている。このため、フィンガー部材６はカセット５内の隣り合うウエハー２間の間隔よりも小さい厚みを有し、かつ、左右一対の支持部５ａの最小間隔よりも狭く構成されている。
【００２３】
図２（Ａ）は図１のロボット７に取付けられたフィンガー部材６を上から見た図を示し、図２（Ｂ）はそのフィンガー部材６を側面から見た図を示している。本実施例では短冊状（Ｉ字形）のフィンガー部材６を例示しているが、本発明はこの形状に限定されず、カセット５内の左右一対の支持部５ａの最小間隔よりも狭く構成するならばＹ字形やＵ字形であってもよい。
【００２４】
図２の（Ａ），（Ｂ）に示すように、フィンガー部材６にはウエハー２を載置する載置部９の領域が定められている。この載置部９の領域は、フィンガー部材６が有する平坦面において、載置部９に載置されたウエハー２の縁部に対応する部位６ａが当該平坦面より突出することで画定されている。なお、図２（Ａ）から分かるようにフィンガー部材６が短冊状（Ｉ字形）であるため、前記の部位６ａは２つとなっているが、フィンガー部材６の形状（Ｙ字形やＵ字形など）によっては３つ以上設けることができる。また、載置部９を画定するとき、フィンガー部材６の中心にウエハー２の重心位置が略一致するようにウエハー２を載置して載置部９の領域を定めるとよい。
【００２５】
前記の部位６ａにはウエハー２を吸着するための吸着パッド１０が配置されている。吸着パッド１０が配置された部位６ａ（吸着部）では、吸着パッド１０がウエハー２の反りに合わせて動くように構成されている（図３（Ｂ）参照）。なお、載置部９の領域では、ウエハー裏面に当接する吸着パッド１０が載置部９の平坦面より突出しているので、反りが有るウエハーの凸曲面を載置部９の平坦面に向けて置かれても、該ウエハーの縁部を吸着パッド１０に確実に当接させることができる。
【００２６】
また、フィンガー部材６における載置部９の外周に沿って位置決めガイド１２が配設されているとよい。位置決めガイド１２は、カセット５内の隣り合うウエハー２どうしの間隙にフィンガー部材６を挿入する動作に伴い、載置部９に対してウエハー２の位置決めを行うものであり、フィンガー部材６の根元側の部位６ａの外側に、ウエハー２の端面に当接する壁部として配置される。そのため位置決めガイド１２の形状は、少なくとも１対のガイド面１２ａが、フィンガー部材６の載置部９にウエハー２を載置したときの該ウエハーの外周に沿って有り、かつフィンガー部材６を間に挟んだ位置に設けられた形状を有する。なお、フィンガー部材６上に設けられた位置決めガイド１２の厚みは、上記フィンガー部材６の挿入動作時に載置部９に載置させるウエハー２の端部に位置決めガイド１２を当接させられる厚みになっている（図５（Ａ）参照）。
【００２７】
さらに、吸着パッド１０を有する吸着部の構成例について詳述する。図３の（Ａ）にフィンガー部材６の吸着パッド１０を有する部位６ａの断面の模式図を示し、図３の（Ｂ）に、図３（Ａ）に示した部位６ａの拡大図を示す。これらの図に例示されるように、フィンガー部材６の部位６ａの内部に空洞を有し、部位６ａの上面には、この空洞と連通する貫通孔が設けられている。そして、柔軟性を有する吸引用配管（吸引管）１３が前記空洞の底面から前記貫通孔を通って、その配管１３の先端が部位６ａの上面より突出しており、配管１３の先端の周囲に吸着パッド１０が形成されている。前記貫通孔の孔径は、配管１３の先端の吸着パッド１０が配管１３の根元を中心に揺動できる大きさを有する。配管１３が柔軟性を有し、かつ吸着パッド１０が硬質樹脂で作られているので、ウエハー２と吸着パッド１０が当接した際にパーティクルが発生しにくくなっている。さらに、前記空洞に設けられた板ばね１４で吸着パッド１０の下部が支持され、これにより、吸着パッド１０でウエハー２を吸着した際に当該吸着パッドが上下するのをアシストする。また、配管１３は、フィンガー部材６の内部を通って不図示の真空源に繋がる別の配管１５に接続されている。
【００２８】
このような構成で部位６ａに配置された吸着パッド１０は、反りが有るウエハー２に接すると、その吸着するウエハー面の微量の傾斜にならって動く。そのため、ウエハーを吸着した際に吸着パッド１０の吸着面の向きが決まり、当該ウエハーの反りに対応することができる。また反り量や、ウエハーの向き（特定端部の方向）が変わったとしても、この変化に対応可能である。なお、本実施例では上記のように吸着パッド１０を柔軟な配管１３と板ばね１４などで支持しているが、吸着面を揺動運動（振り子運動）および上下運動させられるのであれば、吸着部の構成はこの限りでない。
【００２９】
次に、上記基板処理装置１の搬送ユニット３によるウエハー搬送動作について説明する。
【００３０】
基板処理装置１では、該装置の中央付近にあるロボット７が、フィンガー部材６でカセット５から未処理のウエハー２を取り出して処理ユニット４に搬入し、また処理ユニット４から処理の終わったウエハー２をフィンガー部材６で受け取ってカセット５に搬入する。
【００３１】
詳細には、基板処理装置１に処理を開始させると、まず、図１に示されるカセット５に収納されているウエハー２の枚数と、カセット５における夫々のウエハー２の収納位置とを、センサー８で検出する。カセット５は、最大２５枚まで収納できる。
【００３２】
図４に、カセット５内のウエハー２をフィンガー部材６で取出して搬送するときの様子をカセットの上側から見た図を示す。さらに図５（Ａ）に、カセット５内のウエハー２をフィンガー部材６で取出して搬送するときの様子をカセット５の側面から見た図を示し、図５（Ｂ）に、図５（Ａ）の（１）〜（４）に示した状態をカセット５の後ろから見た図（Ｙ−Ｙ’矢視図）を示す。特に図４は図５の（Ａ）の（２）に示した状態をカセットの上側から見た図を示す。
【００３３】
上記センサー８でウエハー収納位置を検出すると、ウエハー２を取り出すために、ロボット７（図５（Ａ）では省略）はフィンガー部材６を、図５（Ａ）の（１）に示される状態で待機させる。そして、この状態から、図５（Ａ）の（２）に示すように、カセット５内の搬送対象のウエハー２とこの直下の隣のウエハー２との間隙にフィンガー部材６を、載置部９が搬送対象のウエハー２に対面するように挿入する。フィンガー部材６を挿入する位置および停止位置は、ロボット７の動作に関してオペレータが予めロボットティーチングを実施することで決定されている。
【００３４】
このようにウエハー２間の間隙内へフィンガー部材６が挿入されたとき、位置決めガイド１２のガイド面１２ａが搬送対象のウエハー２の一端部に当たって該ウエハーを、フィンガー部材６の載置部９の直上領域（載置部９の対面）に誘導案内する。さらに、位置決めガイド１２を用いて、載置部９に対して搬送対象のウエハー２の位置決めを行う。このとき、位置決めガイド１２は、図４に示すように、カセット５における支持部５ａを設けた側壁５ｂ（ガイド溝の底部）と協同して、搬送対象のウエハー２の位置決めを行う。より詳述すると、ロボット７は、カセット５内へのフィンガー部材６の挿入において、位置決めガイドのガイド面１２ａを搬送対象のウエハー２の一端部に当接させつつ、該一端部とは異なるウエハー端部の位置を、カセット５における支持部５ａを設けた壁５ｂで規制することで、該ウエハーを載置部９に対して位置決めする。なお、本実施例では、図４に示すように載置部９の中心に対して円盤状のウエハー２の中心が位置合わせされる（センタリング位置決め）。
【００３５】
位置決め完了後、図５（Ａ）の（３）に示すように、ロボット７がフィンガー部材６を上昇し、搬送対象のウエハー２を支持部５ａから持ち上げると、搬送対象のウエハー２がフィンガー部材６の載置部９に載置される。この状態で、載置部９における突出した部位６ａの吸着パッド１０で、搬送対象のウエハー２の縁部が吸着される（一点鎖線枠Ａ参照）。続いて、ロボット７は、搬送対象のウエハー２を載置したフィンガー部材６をカセット５の外へ、図５（Ａ）の（４）に示すように引き出す。
【００３６】
上記の説明はカセット５内のウエハー２をフィンガー部材６で取出して搬送する場合であるが、カセット５内へウエハー２を搬入する場合は図５（Ａ）の（１）〜（４）とは逆の流れとなる。但し、ウエハー２をカセット５に挿入するときは、前述の位置決めガイド１２を利用したウエハーのセンタリング位置決めは行わず、当該ウエハーを搭載したフィンガー部材６の挿入位置だけでカセット５へのウエハー挿入位置を決めている。ウエハー搬入後、吸着パッド１０の吸着が解除され、ロボット７がフィンガー部材６を下降させると、図５（Ｂ）の（２）に示されるようにウエハー２がカセット５内の左右一対の支持部５ａに支持される。そしてロボット７は、図５（Ａ）の（１）に示すようにフィンガー部材６をカセット５の外へ退出させる。
【００３７】
以上に例示したような本発明では、ウエハー２を保持するためのフィンガー部材６に関して、ウエハー２を載置する載置部９の周辺領域に該ウエハーの縁部を吸着する吸着部を備え、当該吸着部は、柔軟性を有する吸引用の配管１３と、配管１３の周囲を覆い、ウエハー２に当接する当接部としての吸着パッド１０を有している。こうした構造のフィンガー部材６ではウエハー２の縁部に対応して吸着部が配設されているので、ウエハー裏面に傷が付かない事を要求される場合や、貫通孔や反りなどが有るウエハーを搬送したい場合などに対処することができる。さらに、ウエハーに当接する吸着パッド１０が柔軟性を有する配管１３の周囲を覆ったものなので、吸着パッド１０は基板面に傾斜が有る場合でもその傾斜にならって確実に当接して吸着を行うことができる。また、吸着部の構造は、柔軟性を有する配管１３と、配管１３の周囲を覆いウエハー２に当接する吸着パッド１０とからなるので、エッジクランプ方式のように他部品と擦れあう可動部を持った複雑な構造にならない。この結果、エッジクランプ方式と比べて基板保持機構が厚くならず、汎用の標準ウエハーカセットからウエハーを取り出すことができ、また廉価な基板搬送装置となる。さらに、吸着パッド１０がクランプ機構を持たず、吸着パッド１０の材質として硬質樹脂を選択できるので、基板保持時にパーティクルが発生しにくい。
【００３８】
上記フィンガー部材６を用いてウエハー２を搬送する場合、ウエハー２の縁部を確実に吸着パッド１０で保持するために、フィンガー部材６においてウエハー２を載置する載置部９の領域が定められている。カセット５内に支持されているウエハー２の位置が正確に決まっている場合、ロボット７によってカセット５内へフィンガー部材６を挿入する位置および停止位置を予めロボットティーチング等で決めておくことで、カセット５からウエハー２を取り出すときに当該ウエハーに対してフィンガー部材６の載置部９を位置決めすることができる。また、本例のようなカセット５ではなく、例えばステージにウエハーを載置して当該ステージよりピンで当該ウエハーをリフトアップして支持する支持構造部の場合でも、当該ステージにおけるウエハーの位置を正確に決めておくとよい。しかしこれらの場合、カセット等の支持構造部にウエハー２の位置を位置決めする機構が必要であり、基板搬送装置の構成が複雑になる。そのため、本実施例ではフィンガー部材６に位置決めガイド１２を設けることにより、カセット５内へフィンガー部材６を挿入する動作に伴い、カセット５内に支持されているウエハー２がフィンガー部材６の載置部９の対面に誘導案内されるようになっている。
【００３９】
さらに、カセット５からウエハー２を取り出すときのフィンガー部材６の挿入で、位置決めガイド１２をウエハー２の一端部に当接させつつ、該一端部とは異なるウエハー端部の位置を、カセット５内のウエハー支持部５ａを設けた側壁５ｂで規制する。これにより、当該ウエハーをフィンガー部材６の載置部９に対して正確に位置決めすることができる。このような位置決め方式は、カセット５に位置決め機構が必要なくなるため、廉価な装置を提供でき、装置の省スペース化およびコンパクト化にも寄与する。
【００４０】
（他の実施例）
前述した実施例に示したフィンガー部材６がセラミックスで作られていることが好ましい。また、フィンガー部材６の部位６ａに配置する吸着パッド１０の数は、図２等の例では２個であるが、搬送する基板の大きさや重さなどにより、２個以上配置してもよい。
【００４１】
さらに、図２等に示したようにフィンガー部材６の根元側の部位６ａに吸着パッド１０が設けられているが、フィンガー部材６の先端側の部位６ａにも吸着パッド１０を配置してもよい。例えば、フィンガー部材６の根元側の部位６ａに２個の吸着パッド１０を設け、フィンガー部材６の先端側の部位６ａにも２個の吸着パッド１０を設けて、ウエハーの縁部の４点を吸着するように構成すると、搬送中のウエハーの安定性を向上させることが可能である。
【００４２】
また、ウエハーに関するチップ配置ルールによれば、製品チップはウエハーの端部からウエハー中心側へ５ｍｍ以上離れた所に配置しなければならない。したがって、吸着パッド１０の配置に関しては、図６に示すように、ウエハー２の端部からウエハー中心側へ５ｍｍ離れた所までを吸着可能領域とし、吸着パッド１０を吸着可能領域の中央、すなわちウエハー端部から２．５ｍｍの位置に吸着穴の中心が来るように配置するとよい。本実施例ではウエハーの反り量が、０μｍ〜７００μｍのものを搬送できている。
【００４３】
また、ウエハー２を吸着パッド１０で吸着保持した後フィンガー部材６をロボット７により高速で動かしてもウエハー２が載置部９の領域からずれないように、フィンガー部材６の先端側の部位６ａの外周には、ウエハーの端面に当接する壁部としてのウエハーガイド１１が配設されているとよい（図４，図５（Ａ）等参照）。但し、このウエハーガイド１１を含むフィンガー部材６の厚みは、カセット５内の隣り合うウエハー２どうしの間隙にフィンガー部材６を挿入するときにカセット５内のウエハー２が損傷しないように、カセット５内の隣り合うウエハー２どうしの間隔よりも小さくする必要がある（図５（Ｂ）参照）。例えば、ウエハーガイド１１を含むフィンガー部材６の厚みは、３ｍｍ以下にする。
【００４４】
すなわち、ＳＥＭＩ規格によれば、標準の８インチウエハーカセットを使用する場合ハイトピッチは６．３５ｍｍで、そこに０．７２５ｍｍ厚のウエハーを挿入したとき、隣り合うウエハーとウエハーの間隔は、５．６２５ｍｍとなる。更に、ウエハーの反り量が０．０ｍｍから最大０．７ｍｍあり、その反り量が一定でないことを想定すると、最小で４．９２５ｍｍまで狭くなることが考えられる。このとき、フィンガー部材６の厚さを最大３ｍｍで作ると、フィンガー部材６を隣り合うウエハー間に挿入したときの当該各々のウエハーとフィンガー部材６とのクリアランスは、１ｍｍ以下になる。そのため、フィンガー部材６の厚みが３ｍｍ以上になると、フィンガー部材６をカセット５内に挿入する際に、ウエハーと干渉する可能性が出てくる。したがって、ウエハーガイド１１を含むフィンガー部材６の厚みが３ｍｍ以下にすることが望ましい。本実施例のフィンガー部材６は、ウエハーどうしの間隙に挿入される基材の一部分に吸着部を設けるという単純な構造なので、３ｍｍ以下の厚みで作ることができる。
【００４５】
これに対して、特許文献１に記載の方法では、図７に示したクランプ部材の厚さは標準のウエハーカセットからウエハーを取り出すことができない厚さになり、汎用のウエハーカセットに替えて専用のウエハーカセットを用意するか、ウエハーをカセット内から引き出すための別の搬送機構との組み合わる必要が生じる。したがって、本実施例のフィンガー部材６は、特許文献１に記載のクランプ部材と比べて、装置の省スペース化およびコンパクト化に寄与することができる。
【００４６】
なお、本発明は、吸着部で基板の縁部を吸着することで、貫通孔や反りなどが有る基板の搬送に対処する技術を提供するものであり、ウエハー以外の基板にも適用できる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５（Ａ）】
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【図５（Ｂ）】
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【図６】
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【図７】
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