(57)【要約】      （修正有）【課題】エッチング停止層上に設けられ、且つ、互いに異なる誘電率を有し、交互に積層された第１の膜及び第２の膜を含む多層膜を多層膜を高速、且つ、選択的にエッチングする方法を提供する。【解決手段】この方法は、（ａ）水素、臭化水素、及び三フッ化窒素を含み、且つ、炭化水素、フルオロカーボン、及びフルオロハイドロカーボンの少なくとも何れか１つを含む第１のガスを処理容器内に供給し、該第１のガスを励起させて、多層膜の表面から積層方向の途中位置まで該多層膜をエッチングする工程と、（ｂ）臭化水素を実質的に含まず、水素及び三フッ化窒素を含み、且つ、炭化水素、フルオロカーボン、及びフルオロハイドロカーボンの少なくとも何れか１つを含む第２のガスを処理容器内に供給し、該第２のガスを励起させて、多層膜の途中位置からエッチング停止層の表面まで該多層膜をエッチングする工程と、を含む。【選択図】図１
2015153941.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチング停止層上に設けられ、且つ、互いに異なる誘電率を有し、交互に積層された第１の膜及び第２の膜を含む多層膜を、プラズマ処理装置の処理容器内において、マスクを介してエッチングする半導体装置の製造方法であって、
水素、臭化水素、及び三フッ化窒素を含み、且つ、炭化水素、フルオロカーボン、及びフルオロハイドロカーボンの少なくとも何れか１つを含む第１のガスを前記処理容器内に供給し、該第１のガスを励起させて、前記多層膜を該多層膜の表面から積層方向の途中位置までエッチングする工程と、
臭化水素を実質的に含まず、水素及び三フッ化窒素を含み、且つ、炭化水素、フルオロカーボン、及びフルオロハイドロカーボンの少なくとも何れか１つを含む第２のガスを前記処理容器内に供給し、該第２のガスを励起させて、前記多層膜を該多層膜の前記途中位置から前記エッチング停止層の表面までエッチングする工程と、
を含む、
半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記多層膜を該多層膜の表面から積層方向の途中位置までエッチングする工程においては、前記処理容器内の圧力を第１の圧力に設定し、
前記多層膜を該多層膜の前記途中位置から前記エッチング停止層の表面までエッチングする工程においては、前記処理容器内の圧力を前記第１の圧力よりも高い圧力である第２の圧力に設定する、
請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記エッチング停止層は、金属を含有する絶縁層である、
請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記エッチング停止層は、酸化アルミニウムを含有する、
請求項１〜３の何れか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記第１のガス及び前記第２のガスは、実質的に窒素ガスを含まない、
請求項１〜４の何れか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記多層膜を該多層膜の表面から積層方向の途中位置までエッチングする工程、及び、前記多層膜を該多層膜の前記途中位置から前記エッチング停止層の表面までエッチングする工程においては、前記多層膜を摂氏１０度以下の温度に保った状態で該多層膜をエッチングする、
請求項１〜５の何れか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記フルオロカーボンは、Ｃ３Ｆ８、Ｃ４Ｆ６、又はＣ４Ｆ８である、
請求項１〜６の何れか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記フルオロハイドロカーボンは、ＣＨ２Ｆ２、ＣＨ３Ｆ、又はＣＨＦ３である、
請求項１〜７の何れか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項９】
前記第１の膜は酸化シリコン膜であり、前記第２の膜は窒化シリコン膜である、
請求項１〜８の何れか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第１の膜は酸化シリコン膜であり、前記第２の膜はポリシリコン膜である、
請求項１〜８の何れか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
前記第１の膜と前記第２の膜は、合計２４層以上積層されている、
請求項１〜１０の何れか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
前記マスクは、アモルファスカーボン製である、
請求項１〜１１の何れか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、半導体装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の一種として、３次元構造を有するＮＡＮＤ型フラッシュメモリデバイスが知られている。３次元構造を有するＮＡＮＤ型フラッシュメモリデバイスの製造においては、誘電率の異なる二つの層が交互に設けられることによって構成される多層膜のエッチングを行って、当該多層膜に深いホールを形成する工程が行われる。このようなエッチングについては、下記の特許文献１に記載されている。
【０００３】
具体的に、特許文献１には、多層膜上にアモルファスシリコン製のマスクを有する被処理体に、ＣＨ２Ｆ２ガス、Ｎ２ガス、及びＮＦ３を含む処理ガスのプラズマに晒すメインエッチング工程と、ＣＨ２Ｆ２ガス、ＮＦ３、ＣＨ３Ｆ、及びＣＨ４を含む処理ガスのプラズマに晒すオーバーエッチング工程とを実施することにより、当該多層膜をエッチングすることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１３／００５９４５０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記のような多層膜のエッチングでは、エッチング速度が高速であることが望ましい。一方、多層膜の下方に配置される配線等を保護するために多層膜の下層にエッチング停止層が設けられる場合がある。このようなエッチング停止層が設けられた多層膜においてもエッチング速度を向上することが望ましいが、例えばエッチング速度向上に寄与するエッチングガスを添加して当該多層膜をエッチングした場合には、エッチング停止層まで大きく削れてしまう恐れがある。
【０００６】
したがって、本技術分野においては、多層膜を高速、且つ、選択的にエッチングする方法が要請されている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一側面においては、エッチング停止層上に設けられ、且つ、互いに異なる誘電率を有し、交互に積層された第１の膜及び第２の膜を含む多層膜を、プラズマ処理装置の処理容器内において、マスクを介してエッチングする半導体装置の製造方法が提供される。この方法は、（ａ）水素、臭化水素、及び三フッ化窒素を含み、且つ、炭化水素、フルオロカーボン、及びフルオロハイドロカーボンの少なくとも何れか１つを含む第１のガスを処理容器内に供給し、該第１のガスを励起させて、多層膜を該多層膜の表面から積層方向の途中位置までエッチングする工程と、（ｂ）臭化水素を実質的に含まず、水素及び三フッ化窒素を含み、且つ、炭化水素、フルオロカーボン、及びフルオロハイドロカーボンの少なくとも何れか１つを含む第２のガスを処理容器内に供給し、該第２のガスを励起させて、多層膜を該多層膜の途中位置からエッチング停止層の表面までエッチングする工程と、を含む。
【０００８】
上記方法の工程（ａ）では、第１のガスが励起されることによって、多層膜がその表面から積層方向の途中位置までエッチングされる。当該工程（ａ）では、主に臭素及びフッ素の活性種によって多層膜が高速にエッチングされる。次いで、工程（ｂ）では、第２のガスが励起されることによって、多層膜が前記途中位置からエッチング停止層の表面までエッチングされる。この第２のガスには臭化水素が実質的に含まれていないので、工程（ｂ）では、主にフッ素の活性種によって多層膜がエッチングされる。当該工程（ｂ）においてエッチング停止層までエッチングが達すると、フッ素とエッチング停止層の組成物との化合物が反応生成物として生成される。一般的に、この反応生成物の沸点は、臭素とエッチング停止層を構成する組成物との化合物の沸点よりも高い沸点を有している。このため、工程（ｂ）では、この反応生成物が揮発せずに、エッチング停止層の表面に大量に堆積し、その結果、エッチング停止層のエッチングが抑制される。このように、上記方法では、多層膜の途中位置まではエッチングガスとして臭化水素及び三フッ化窒素を用いてエッチングすることにより、多層膜のエッチング速度を向上することができる。一方、多層膜の途中位置からはエッチングガスとして三フッ化窒素を用いてエッチングすることによりエッチング停止層に対する多層膜のエッチングの選択比を確保することができる。したがって、上記方法では、多層膜を高速、且つ、選択的にエッチングすることができる。
【０００９】
一形態では、多層膜を該多層膜の表面から積層方向の途中位置までエッチングする工程においては、処理容器内の圧力を第１の圧力に設定し、多層膜を該多層膜の途中位置からエッチング停止層の表面までエッチングする工程においては、処理容器内の圧力を第１の圧力よりも高い圧力である第２の圧力に設定してもよい。高い圧力下では多層膜のエッチング速度は維持されるが、エッチング停止層のエッチング速度は相対的に低下する。本形態では、上記工程（ｂ）において、処理容器内の圧力が相対的に高い第２の圧力に設定されるので、エッチング停止層に対する多層膜のエッチングの選択比を改善することができる。即ち、本形態では、多層膜をより選択的にエッチングすることができる。
【００１０】
一形態では、エッチング停止層は、金属を含有する絶縁層であってもよい。また、一形態では、エッチング停止層は、酸化アルミニウムを含有していてもよい。
【００１１】
一形態では、第１のガス及び第２のガスには、実質的に窒素ガス（Ｎ２）が含まれないようにしてもよい。本形態によれば、被エッチング領域のエッチングが側方に進行することで発生する形状不良、いわゆるボーイングを抑制することができ、また、マスクに対する多層膜のエッチングの選択比を改善することができる。
【００１２】
一形態では、多層膜を該多層膜の表面から積層方向の途中位置までエッチングする工程、及び、多層膜を該多層膜の途中位置からエッチング停止層の表面までエッチングする工程においては、多層膜を摂氏１０度以下の温度に保った状態で該多層膜をエッチングしてもよい。多層膜の温度を低下させることにより、ガスの活性種が多層膜に対して吸着される確率を増加させることができるので、多層膜のエッチング速度を向上させることができる。また、多層膜の温度を低下させることよって反応生成物の揮発を抑制することができるので、エッチング停止層に対する多層膜のエッチングの選択比を改善することができる。したがって、本形態では、多層膜をより高速、且つ、選択的にエッチングすることができる。
【００１３】
一形態では、フルオロカーボンは、Ｃ３Ｆ８、Ｃ４Ｆ６、又はＣ４Ｆ８であってもよく、フルオロハイドロカーボンは、ＣＨ２Ｆ２、ＣＨ３Ｆ、又はＣＨＦ３であってもよい。また、一形態では、第１の膜は酸化シリコン膜であり、第２の膜は窒化シリコン膜であってもよく、第１の膜は酸化シリコン膜であり、第２の膜はポリシリコン膜であってもよい。一形態では、第１の膜と第２の膜は、合計２４層以上積層されていてもよい。一形態では、マスクは、アモルファスカーボン製であってもよい。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、本発明の種々の側面及び種々の形態によれば、多層膜を高速、且つ、選択的にエッチングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】一実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す流れ図である。
【図２】工程ＳＴ１において準備されるウエハの一例を示す図である。
【図３】プラズマ処理装置の一例を概略的に示す図である。
【図４】図３に示すバルブ群、流量制御器群、及びガスソース群を詳細に示す図である。
【図５】工程ＳＴ２においてエッチングされたウエハを示す図である。
【図６】工程ＳＴ３においてエッチングされたウエハを示す図である。
【図７】実験例１〜４によって得られた結果を示す図である。
【図８】実験例５によって得られた結果を示す図である。
【図９】実験例６によって得られた結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して種々の実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。
【００１７】
図１は、一実施形態に係る半導体装置の製造方法、特に、一実施形態に係る多層膜のエッチング方法を示す流れ図である。具体的には、図１に示す方法ＭＴ１は、例えば、３次元構造を有するＮＡＮＤフラッシュメモリの製造に用いることができるものであり、工程ＳＴ１、工程ＳＴ２、工程ＳＴ３を含んでいる。
【００１８】
工程ＳＴ１は、被処理体（以下、「ウエハ」という）Ｗを準備する工程である。図２は、工程ＳＴ１において準備されるウエハＷの一例を示す図である。図２に示すウエハＷは、エッチング停止層ＥＳＬ、多層膜ＩＬ、及び、マスクＣＭを有する。エッチング停止層ＥＳＬは、基板上に設けられた金属を含有する絶縁膜であり得る。具体的には、エッチング停止層ＥＳＬは、酸化アルミニウム（ＡｌＯ）やジルコニア（ＺｒＯ）といった金属により構成され得る。エッチング停止層ＥＳＬは、多層膜ＩＬのエッチングをその表面で停止させるために設けられている。
【００１９】
エッチング停止層ＥＳＬ上には、多層膜ＩＬが設けられている。多層膜ＩＬは、誘電率の異なる二つの誘電体膜ＩＬ１及びＩＬ２が交互に積層された構造を有している。一実施形態では、誘電体膜ＩＬ１は酸化シリコン膜であり、誘電体膜ＩＬ２は窒化シリコン膜であり得る。別の一実施形態では、誘電体膜ＩＬ１は酸化シリコン膜であり、誘電体膜ＩＬ２はポリシリコン膜であり得る。誘電体膜ＩＬ１の厚みは、例えば、５ｎｍ〜５０ｎｍであり、誘電体膜ＩＬ２の厚みは、例えば、１０ｎｍ〜７５ｎｍである。誘電体膜ＩＬ１及びＩＬ２は、合計２４層以上積層されていてもよい。多層膜ＩＬ上には、マスクＣＭが設けられている。マスクＣＭは、多層膜ＩＬにホールといった深いスペースを形成するためのパターンを有している。マスクＣＭは、例えば、アモルファスカーボン製であり得る。
【００２０】
再び図１を参照する。方法ＭＴ１の工程ＳＴ１では、ウエハＷがプラズマ処理装置の処理容器内に準備される。一例においては、プラズマ処理装置は容量結合型プラズマ処理装置であり得る。以下、方法ＭＴ１の実施に用いることが可能なプラズマ処理装置の一例について説明する。図３は、プラズマ処理装置の一例を概略的に示す図であり、当該プラズマ処理装置の縦断面における構造を示している。
【００２１】
図３に示すプラズマ処理装置１０は、容量結合型プラズマエッチング装置であり、略円筒状の処理容器１２を備えている。処理容器１２の内壁面は、陽極酸化処理されたアルミニウムから構成されている。この処理容器１２は保安接地されている。
【００２２】
処理容器１２の底部上には、絶縁材料から構成された略円筒上の支持部１４が設けられている。支持部１４は、処理容器１２内において、処理容器１２の底部から鉛直方向に延在している。支持部１４は、処理容器１２内に設けられた載置台ＰＤを支持している。具体的には、図３に示すように、支持部１４は、当該支持部１４の内壁面において載置台ＰＤを支持し得る。
【００２３】
載置台ＰＤは、その上面においてウエハＷを保持する。載置台ＰＤは、下部電極（電極部）１６及び支持部１８を含み得る。下部電極１６は、例えばアルミニウムといった金属から構成されており、略円盤形状をなしている。この下部電極１６の上面の上には、支持部１８が設けられている。
【００２４】
支持部１８は、ウエハＷを支持するものであり、ベース部１８ａ及び静電チャック１８ｂを含んでいる。ベース部１８ａは、例えばアルミニウムといった金属製から構成されており、略円盤形状をなしている。ベース部１８ａは、下部電極１６上に設置されており、下部電極１６に電気的に接続されている。静電チャック１８ｂは、ベース部１８ａの上に設けられている。静電チャック１８ｂは、導電膜である電極を一対の絶縁層又は絶縁シート間に配置した構造を有している。静電チャック１８ｂの電極には、直流電源２２が電気的に接続されている。この静電チャック１８ｂは、直流電源２２からの直流電圧により生じたクーロン力等の静電力によりウエハＷを吸着保持することができる。
【００２５】
支持部１８のベース部１８ａの周縁部上には、ウエハＷの周縁及び静電チャック１８ｂを囲むようにフォーカスリングＦＲが配置されている。フォーカスリングＦＲは、エッチングの均一性を向上させるために設けられている。フォーカスリングＦＲは、エッチング対象の膜の材料によって適宜選択される材料から構成されており、例えば、石英から構成され得る。
【００２６】
ベース部１８ａの内部には、冷媒流路２４が設けられている。冷媒流路２４は、一実施形態に係る温調機構を構成している。冷媒流路２４には、外部に設けられたチラーユニットから配管２６ａ，２６ｂを介して所定温度の冷媒が循環供給される。このように循環される冷媒の温度を制御することにより、支持部１８上によって支持されたウエハＷの温度が制御される。
【００２７】
また、プラズマ処理装置１０には、ガス供給ライン２８が設けられている。ガス供給ライン２８は、伝熱ガス供給機構からの伝熱ガス、例えばＨｅガスを、静電チャック１８ｂの上面とウエハＷの裏面との間に供給する。
【００２８】
また、プラズマ処理装置１０は、上部電極３０を備えている。上部電極３０は、載置台ＰＤの上方において、当該載置台ＰＤと対向配置されている。下部電極１６と上部電極３０とは、互いに略平行に設けられている。これら上部電極３０と下部電極１６との間には、ウエハＷにプラズマ処理を行うための処理空間Ｓが画成されている。
【００２９】
上部電極３０は、絶縁性遮蔽部材３２を介して、処理容器１２の上部に支持されている。この上部電極３０は、電極板３４及び電極支持体３６を含み得る。電極板３４は、処理空間Ｓに面しており、複数のガス吐出孔３４ａを画成している。この電極板３４は、ジュール熱の少ない低抵抗の導電体又は半導体から構成され得る。
【００３０】
電極支持体３６は、電極板３４を着脱自在に支持するものであり、例えばアルミニウムといった導電性材料から構成され得る。この電極支持体３６は、水冷構造を有し得る。電極支持体３６の内部には、ガス拡散室３６ａが設けられている。このガス拡散室３６ａからは、ガス吐出孔３４ａに連通する複数のガス通流孔３６ｂが下方に延びている。また、電極支持体３６には、ガス拡散室３６ａに処理ガスを導くガス導入口３６ｃが形成されており、このガス導入口３６ｃには、ガス供給管３８が接続されている。
【００３１】
ガス供給管３８には、バルブ群４２及び流量制御器群４４を介して、ガスソース群４０が接続されている。図４は、図３に示すバルブ群、流量制御器群、及びガスソース群を詳細に示す図である。図４に示すように、ガスソース群４０は、複数（Ｎ個）のガスソース４０１〜４０６を含んでいる。ガスソース４０１〜４０６はそれぞれ、水素ガス（Ｈ２）、臭化水素ガス（ＨＢｒ）、三フッ化窒素ガス（ＮＦ３）、炭化水素ガス、フルオロカーボンガス、及びフルオロハイドロカーボンガスのソースである。なお、炭化水素ガスとしては、メタンガス（ＣＨ４）が例示される。また、フルオロカーボンガスとしては、Ｃ３Ｆ８ガス、Ｃ４Ｆ６ガス、又はＣ４Ｆ８ガスが例示され、フルオロハイドロカーボンガスとしては、ＣＨ２Ｆ２ガス、ＣＨ３Ｆガス、又はＣＨＦ３ガスが例示される。
【００３２】
流量制御器群４４は、複数（Ｎ個）の流量制御器４４１〜４４６を含んでいる。流量制御器４４１〜４４６は、対応のガスソースから供給されるガスの流量を制御する。これら流量制御器４４１〜４４６は、マスフローコントローラ（ＭＦＣ）であってもよく、ＦＣＳであってもよい。バルブ群４２は、複数（Ｎ個）のバルブ４２１〜４２６を含んでいる。ガスソース４０１〜４０６はそれぞれ、流量制御器４４１〜４４６及びバルブ４２１〜４２６を介して、ガス供給管３８に接続されている。ガスソース４０１〜４０６のガスは、ガス供給管３８からガス拡散室３６ａに至り、ガス通流孔３６ｂ及びガス吐出孔３４ａを介して処理空間Ｓに吐出される。
【００３３】
図３に戻り、プラズマ処理装置１０は、接地導体１２ａを更に備え得る。接地導体１２ａは、略円筒状をなしており、処理容器１２の側壁から上部電極３０の高さ位置よりも上方に延びるように設けられている。
【００３４】
また、プラズマ処理装置１０では、処理容器１２の内壁に沿ってデポシールド４６が着脱自在に設けられている。デポシールド４６は、支持部１４の外周にも設けられている。デポシールド４６は、処理容器１２にエッチング副生物（デポ）が付着することを防止するものであり、アルミニウム材にＹ２Ｏ３等のセラミックスを被覆することにより構成され得る。
【００３５】
処理容器１２の底部側においては、支持部１４と処理容器１２の内壁との間に排気プレート４８が設けられている。排気プレート４８は、例えば、アルミニウム材にＹ２Ｏ３等のセラミックスを被覆することにより構成され得る。この排気プレート４８の下方において処理容器１２には、排気口１２ｅが設けられている。排気口１２ｅには、排気管５２を介して排気装置５０が接続されている。排気装置５０は、ターボ分子ポンプなどの真空ポンプを有しており、処理容器１２内を所望の真空度まで減圧することができる。また、処理容器１２の側壁にはウエハＷの搬入出口１２ｇが設けられており、この搬入出口１２ｇはゲートバルブ５４により開閉可能となっている。
【００３６】
処理容器１２の内壁には、導電性部材（ＧＮＤブロック）５６が設けられている。導電性部材５６は、高さ方向においてウエハＷと略同じ高さに位置するように、処理容器１２の内壁に取り付けられている。この導電性部材５６は、グランドにＤＣ的に接続されており、異常放電防止効果を発揮する。なお、導電性部材５６はプラズマ生成領域に設けられていればよく、その設置位置は図３に示す位置に限られるものではない。
【００３７】
また、プラズマ処理装置１０は、第１の高周波電源６２及び第２の高周波電源６４を更に備えている。第１の高周波電源６２は、プラズマ生成用の第１の高周波（ＲＦ：Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）電力を発生する電源であり、２７〜１００ＭＨｚの周波数、一例においては６０ＭＨｚの高周波電力を発生する。第１の高周波電源６２は、整合器６６を介して下部電極１６に接続されている。整合器６６は、第１の高周波電源６２の出力インピーダンスと負荷側（下部電極１６側）の入力インピーダンスを整合させるための回路である。なお、第１の高周波電源６２は、整合器６６を介して、上部電極３０に接続されていてもよい。
【００３８】
第２の高周波電源６４は、ウエハＷにイオンを引き込むための第２の高周波電力、即ち高周波バイアス電力を発生する電源であり、４００ｋＨｚ〜１３．５６ＭＨｚの範囲内の周波数、一例においては４００ｋＨｚの高周波電力を発生する。第２の高周波電源６４は、整合器６８を介して下部電極１６に接続されている。整合器６８は、第２の高周波電源６４の出力インピーダンスと負荷側（下部電極１６側）の入力インピーダンスを整合させるための回路である。
【００３９】
また、プラズマ処理装置１０は、直流電源部７０を更に備えている。直流電源部７０は、上部電極３０に接続されている。直流電源部７０は、負の直流電圧を発生し、当該直流電圧を上部電極３０に与えることが可能である。
【００４０】
また、一実施形態においては、プラズマ処理装置１０は、制御部Ｃｎｔを更に備え得る。この制御部Ｃｎｔは、プロセッサ、記憶部、入力装置、表示装置等を備えるコンピュータであり、プラズマ処理装置１０の各部を制御する。この制御部Ｃｎｔでは、入力装置を用いて、オペレータがプラズマ処理装置１０を管理するためにコマンドの入力操作等を行うことができ、また、表示装置により、プラズマ処理装置１０の稼働状況を可視化して表示すことができる。さらに、制御部Ｃｎｔの記憶部には、プラズマ処理装置１０で実行される各種処理をプロセッサにより制御するための制御プログラムや、処理条件に応じてプラズマ処理装置１０の各部に処理を実行させるためのプログラム、即ち、処理レシピが格納される。
【００４１】
具体的に、制御部Ｃｎｔは、流量制御器４４１〜４４６、バルブ４２１〜４２６、排気装置５０、チラーユニットに制御信号を送出し、工程ＳＴ２及び工程ＳＴ３のエッチング時に処理ガスが処理容器１２内に供給され、当該処理容器１２内の圧力が設定された圧力となり、且つ、ウエハＷの温度が設定された温度となるように、制御を実行する。
【００４２】
また、一実施形態において、制御部Ｃｎｔは、第１の高周波電源６２からの高周波電力が、当該高周波電力のＯＮとＯＦＦがパルス状に切り換えられて下部電極１６に供給されるよう、第１の高周波電源６２に制御信号を送出することができる。また、制御部Ｃｎｔは、高周波電力がＯＮとなっている期間よりも絶対値の大きな負の直流電圧が、高周波電力がＯＦＦになっている期間に上部電極３０に印加されるよう、直流電源部７０に制御信号を送出することができる。なお、第１の高周波電源６２の高周波電力のＯＮ及びＯＦＦの周波数は、例えば、１ｋＨｚ〜９０ｋＨｚである。ここで、高周波電力のＯＮ及びＯＦＦの周波数とは、第１の高周波電源６２の高周波電力がＯＮの期間とＯＦＦの期間とからなる期間を１周期とする周波数である。また、１周期において高周波電力がＯＮの期間が占めるデューティー比は、例えば、５０％〜９０％である。また、直流電源部の直流電圧値の切り替えは、第１の高周波電源６２の高周波電力のＯＮ及びＯＦＦの切り換えに同期され得る。
【００４３】
再び図１を参照して、方法ＭＴ１の説明を続ける。工程ＳＴ１では、載置台ＰＤ上に配置されたウエハＷが静電チャック１８ｂによって吸着保持される。次いで、方法ＭＴ１では、工程ＳＴ２が行われる。
【００４４】
工程ＳＴ２では、第１のガスが処理容器１２内で励起され、多層膜ＩＬの表面から積層方向の途中位置まで多層膜ＩＬがエッチングされる。このため、ガスソース群４０からの第１のガスが処理容器１２内に供給される。この第１のガスは、水素（Ｈ２）、臭化水素（ＨＢｒ）、及び三フッ化窒素（ＮＦ３）を含み、且つ、炭化水素、フルオロカーボン、及びフルオロハイドロカーボンの少なくとも何れか１つを含む。なお、炭化水素ガスとしては、メタンガス（ＣＨ４）を用い得る。また、フルオロカーボンガスとしては、Ｃ３Ｆ８ガス、Ｃ４Ｆ６ガス、又はＣ４Ｆ８ガスを、フルオロハイドロカーボンガスとしては、ＣＨ２Ｆ２ガス、ＣＨ３Ｆガス、又はＣＨＦ３ガスを用い得る。一例では、第１のガスは、Ｈ２ガス、ＨＢｒガス、ＮＦ３ガス、ＣＨ２Ｆ２ガス、ＣＨ４ガスを含む混合ガスである。工程ＳＴ２においては、例えばＨ２ガスの流量が１００ｓｃｃｍ〜３４０ｓｃｃｍの範囲の流量に設定され、ＨＢｒガスの流量が５０ｓｃｃｍ〜１００ｓｃｃｍの範囲に設定され、ＮＦ３ガスの流量が８０ｓｃｃｍ〜１８０ｓｃｃｍの範囲の流量に設定され、ＣＨ２Ｆ２ガスの流量が５０ｓｃｃｍ〜１２０ｓｃｃｍの範囲の流量に設定され、ＣＨ４ガスの流量が４０ｓｃｃｍ〜９０ｓｃｃｍの範囲の流量に設定されてもよい。一実施形態においては、工程ＳＴ２では処理容器１２内の圧力が第１の圧力に設定される。第１の圧力は、例えば６５ｍＴｏｒｒ（８．６７Ｐａ）とすることができる。また、工程ＳＴ２では、第１の高周波電源６２及び第２の高周波電源６４からの高周波電力が下部電極１６に与えられる。
【００４５】
この工程ＳＴ２では、処理容器１２内において第１のガスのプラズマが生成される。即ち、水素の活性種、フッ素の活性種、及び臭素の活性種等が発生する。これらの活性種によって、図５に示すように、マスクＣＭの開口部の下方において、多層膜ＩＬがエッチングされる。これにより、多層膜ＩＬにホールＨＬが形成される。多層膜ＩＬがエッチングされる際には、第１のガスに由来する堆積物がホールＨＬを画成する側壁面ＩＬａに形成される。これにより、側壁面ＩＬａが側方にエッチングされることが抑制され、側壁面ＩＬａにボーイングが発生することが抑制される。また、工程ＳＴ２では、第１のガスに含まれる臭化水素によって多層膜ＩＬのエッチングが促進されるので、多層膜ＩＬのエッチングレートが高められる。更に、第１のガスには、水素の活性種が含まれているので、誘電体膜ＩＬ２が窒化シリコン膜である場合には、当該誘電体膜ＩＬ２のエッチングレートが大きくなる。その結果、多層膜ＩＬのエッチングレートが更に高められる。
【００４６】
次いで、方法ＭＴ１では工程ＳＴ３が行われる。工程ＳＴ３では、第２のガスが処理容器１２内で励起され、工程ＳＴ２においてエッチングが終了した位置、即ち多層膜ＩＬの積層方向の途中位置からエッチング停止層ＥＳＬの表面まで多層膜ＩＬがエッチングされる。このため、ガスソース群４０から第２のガスが処理容器１２内に供給される。この第２のガスは、水素（Ｈ２）、及び三フッ化窒素（ＮＦ３）を含み、且つ、炭化水素、フルオロカーボン、及びフルオロハイドロカーボンの少なくとも何れか１つを含むが、臭化水素（ＨＢｒ）を実質的に含んでいない。ここで、ＨＢｒを含んでいないとは、ＨＢｒを一切含まないことのみならず、工程ＳＴ３のエッチングに影響を与えない程度に極めて微量のＨＢｒを含んでいることを包含する意味である。一実施形態においては、工程ＳＴ３では処理容器１２内の圧力が第２の圧力に設定される。第２の圧力は、第１の圧力よりも高い圧力であり、例えば８０ｍＴｏｒｒ（１０．６７Ｐａ）とすることができる。
【００４７】
なお、第２のガスにおいて炭化水素ガスとしては、メタンガス（ＣＨ４）を用い得る。また、フルオロカーボンガスとしては、Ｃ３Ｆ８ガス、Ｃ４Ｆ６ガス、又はＣ４Ｆ８ガスを、フルオロハイドロカーボンガスとしては、ＣＨ２Ｆ２ガス、ＣＨ３Ｆガス、又はＣＨＦ３ガスを用い得る。一例では、第２のガスは、Ｈ２ガス、ＮＦ３ガス、ＣＨ２Ｆ２ガス、ＣＨ４ガスを含む混合ガスである。工程ＳＴ３においては、例えばＨ２ガスの流量が１００ｓｃｃｍ〜３４０ｓｃｃｍの範囲の流量に設定され、ＮＦ３ガスの流量が８０ｓｃｃｍ〜１８０ｓｃｃｍの範囲の流量に設定され、ＣＨ２Ｆ２ガスの流量が５０ｓｃｃｍ〜１２０ｓｃｃｍの範囲の流量に設定され、ＣＨ４ガスの流量が４０ｓｃｃｍ〜９０ｓｃｃｍの範囲の流量に設定されてもよい。また、工程ＳＴ３では、第１の高周波電源６２及び第２の高周波電源６４からの高周波電力が下部電極１６に与えられる。
【００４８】
この工程ＳＴ３では、処理容器１２内において第２のガスのプラズマが生成される。即ち、主にフッ素の活性種、及び水素の活性種が発生する。これらの活性種によって、マスクＣＭの開口部の下方において、多層膜ＩＬがその積層方向の途中位置からエッチングされる。多層膜ＩＬがエッチングされる際には、第２のガスに由来する堆積物がホールＨＬを画成する側壁面ＩＬａに形成される。これにより、側壁面ＩＬａが側方にエッチングされることが抑制され、側壁面ＩＬａにボーイングが発生することが抑制される。この工程ＳＴ３によって、図６に示すように、多層膜ＩＬのマスクＣＭの開口部の下方に位置する部分がエッチング停止層ＥＳＬの表面までエッチングされる。
【００４９】
工程ＳＴ３において、エッチング停止層ＥＳＬまでエッチングが達すると、第２のガスに含まれるフッ素とエッチング停止層ＥＳＬに含まれる組成物との化合物が反応生成物として生成される。一般的にフッ素の化合物は、臭素の化合物よりも高い沸点を有しているので、この化合物は揮発せずにエッチング停止層ＥＳＬの表面に大量に堆積する。これにより、エッチング停止層ＥＳＬの表面には、フッ素とエッチング停止層ＥＳＬに含まれる組成物との化合物によって構成される保護膜ＰＦが形成される。エッチング停止層ＥＳＬが酸化アルミニウムによって構成されている場合には、この保護膜ＰＦはフッ化アルミニウム（ＡｌＦ）膜となる。このフッ化アルミニウムの沸点は、臭素と酸化アルミニウムとの化合物である臭化アルミニウム（ＡｌＢｒ）の沸点よりもおよそ５倍高く、揮発しにくい性質を有している。工程ＳＴ３では、エッチング停止層ＥＳＬまでエッチングが達した以降は、この保護膜ＰＦによりエッチング停止層ＥＳＬのエッチングが抑制される。その結果、エッチング停止層ＥＳＬに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比が向上する。
【００５０】
なお、第１のガス及び第２のガスには、窒素ガス（Ｎ２）が実質的に含まれないようにしてもよい。第１のガス及び第２のガスにＮ２ガスが実質的に含まれないようにすることで、側壁面ＩＬａにボーイングが発生することを抑制でき、また、マスクＣＭに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比を改善することができる。
【００５１】
また、一実施形態では、ウエハＷ、即ち多層膜ＩＬの温度を摂氏１０度以下に保った状態で工程ＳＴ２及び工程ＳＴ３におけるエッチングを行ってもよい。このようにウエハＷの温度を低温にした状態でエッチングをすることにより、多層膜ＩＬのエッチングレートを低減させることなく、エッチング停止層ＥＳＬのエッチングレートを低減することができる。その結果、エッチング停止層ＥＳＬに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比を向上することができる。
【００５２】
次に、上述した実施形態の方法を用いた実験例について説明する。
【００５３】
まず、エッチングレート及び選択比の処理ガスに対する依存性について評価した。実験例１〜４では、配合が異なるガスのプラズマを図１に示すプラズマ処理装置１０の処理容器１２内で発生させ、多層膜ＩＬ及びエッチング停止層ＥＳＬをそれぞれエッチングした。そして、これらの実験例によって得られた多層膜ＩＬ及びエッチング停止層ＥＳＬのエッチングレート、並びにエッチング停止層ＥＳＬに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比について評価した。実験例１〜４では、多層膜ＩＬの誘電体膜ＩＬ１としては酸化シリコン膜を用い、誘電体膜ＩＬ２としてはポリシリコン膜を用いた。エッチング停止層ＥＳＬとしては、ＡｌＯ膜を用いた。
【００５４】
実験例１〜４では、エッチング用の処理ガスとして、それぞれ以下のような流量で各種ガスを処理容器１２内に供給した。処理ガスの流量を除く処理条件については全て同一の条件とした。
（実験例１の処理条件）
・Ｈ２ガスの流量：１７０ｓｃｃｍ
・ＨＢｒガスの流量：８０ｓｃｃｍ
・ＮＦ３ガスの流量：１４０ｓｃｃｍ
・ＣＨ４ガスの流量：７０ｓｃｃｍ
・ＣＨ２Ｆ２ガスの流量：９０ｓｃｃｍ
・Ｎ２ガスの流量：０ｓｃｃｍ
（実験例２の処理条件）
・Ｈ２ガスの流量：１７０ｓｃｃｍ
・ＨＢｒガスの流量：０ｓｃｃｍ
・ＮＦ３ガスの流量：１４０ｓｃｃｍ
・ＣＨ４ガスの流量：７０ｓｃｃｍ
・ＣＨ２Ｆ２ガスの流量：９０ｓｃｃｍ
・Ｎ２ガスの流量：０ｓｃｃｍ
（実験例３の処理条件）
・Ｈ２ガスの流量：１７０ｓｃｃｍ
・ＨＢｒガスの流量：０ｓｃｃｍ
・ＮＦ３ガスの流量：１４０ｓｃｃｍ
・ＣＨ４ガスの流量：７０ｓｃｃｍ
・ＣＨ２Ｆ２ガスの流量：９０ｓｃｃｍ
・Ｎ２ガスの流量：１２０ｓｃｃｍ
（実験例４の処理条件）
・Ｈ２ガスの流量：２９０ｓｃｃｍ
・ＨＢｒガスの流量：０ｓｃｃｍ
・ＮＦ３ガスの流量：１４０ｓｃｃｍ
・ＣＨ４ガスの流量：７０ｓｃｃｍ
・ＣＨ２Ｆ２ガスの流量：９０ｓｃｃｍ
・Ｎ２ガスの流量：０ｓｃｃｍ
【００５５】
図７（ａ）は実験例１〜４によって得られた多層膜ＩＬ及びエッチング停止層ＥＳＬのエッチングレートを示している。図７（ｂ）は実験例１〜４によって得られたエッチング停止層ＥＳＬに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比を示している。図７（ａ）に示すように、ＨＢｒガスが添加された処理ガスを用いた実験例１では、実験例２〜４と比較して多層膜ＩＬのエッチングレートが向上したが、エッチング停止層ＥＳＬのエッチングレートも増加した。その結果、実験例１では、図７（ｂ）に示すように、エッチング停止層ＥＳＬに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比が低くなることが確認された。これに対し、ＨＢｒガスを含まない処理ガスを用いた実験例２〜４では、実験例１と比較して多層膜ＩＬのエッチングレートが若干減少したものの、エッチング停止層ＥＳＬのエッチングレートが相対的に大きく減少した。その結果、図７（ｂ）に示すように、エッチング停止層ＥＳＬに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比が向上することが確認された。特に、Ｈ２ガスが最も多く添加された処理ガスを用いた実験例４では、実験例１と比較してエッチング停止層ＥＳＬに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比をおよそ４．２倍に向上できることが確認された。
【００５６】
次に、エッチングレート及び選択比の温度依存性について評価した。実験例５では、多層膜ＩＬの温度を摂氏３０度、摂氏２０度、摂氏１０度、摂氏０度に変化させて、図１に示すプラズマ処理装置１０により多層膜ＩＬ及びエッチング停止層ＥＳＬをそれぞれエッチングした。そして、多層膜ＩＬ及びエッチング停止層ＥＳＬのエッチングレート、並びにエッチング停止層ＥＳＬに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比について評価した。なお、多層膜ＩＬの温度を除く処理条件については全て同一の条件とした。
【００５７】
図８（ａ）は、実験例５によって得られた多層膜ＩＬ及びエッチング停止層ＥＳＬのエッチングレートを示している。図８（ｂ）は、実験例５によって得られたエッチング停止層ＥＳＬに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比を示している。図８（ａ）に示すように、多層膜ＩＬの温度を低下させると、多層膜ＩＬのエッチングレートは向上するが、エッチング停止層ＥＳＬのエッチングレートは減少することが確認された。この結果から、多層膜ＩＬの温度を低下させることにより、エッチング停止層ＥＳＬに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比を向上できることが確認された。
【００５８】
次に、エッチングレート及び選択比の圧力依存性について評価した。実験例６では、処理容器１２内の圧力を４０ｍＴｏｒｒ（５．３３Ｐａ）、６５ｍＴｏｒｒ（８．６７Ｐａ）、９０ｍＴｏｒｒ（１．２０Ｐａ）に設定した状態で、プラズマ処理装置１０により多層膜ＩＬ及びエッチング停止層ＥＳＬをエッチングした。そして、多層膜ＩＬ及びエッチング停止層ＥＳＬのエッチングレート、並びにエッチング停止層ＥＳＬに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比について評価した。なお、処理容器１２内の圧力を除く処理条件については全て同一の条件とした。
【００５９】
図９（ａ）は、実験例６によって得られた多層膜ＩＬ及びエッチング停止層ＥＳＬのエッチングレートを示している。図９（ｂ）は、実験例６によって得られたエッチング停止層ＥＳＬに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比を示している。図９（ａ）に示すように、多層膜ＩＬのエッチングレートは圧力依存性が低いのに対し、エッチング停止層ＥＳＬのエッチングレートは圧力に依存し、圧力が高いほどエッチングレートが低下する傾向があることが確認された。この結果から、図９（ｂ）に示すように、処理容器１２内の圧力を高く設定することにより、エッチング停止層ＥＳＬに対する多層膜ＩＬのエッチングの選択比を向上することができることが確認された。
【００６０】
以上、実施形態について説明してきたが、上述した実施形態に限定されることなく種々の変形態様を構成可能である。例えば、プラズマ処理装置は、容量結合型プラズマ処理装置に限定されるものではなく、誘導結合型プラズマ処理装置であってもよく、或いは、マイクロ波を導波管及びアンテナを介して処理容器内に導入してプラズマを形成するプラズマ処理装置であってもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１０…プラズマ処理装置、１２…処理容器、１６…下部電極、３０…上部電極、３８…ガス供給管、４０…ガスソース群、４２…バルブ群、４４…流量制御器群、６２…第１の高周波電源、６４…第２の高周波電源、ＣＭ…マスク、Ｃｎｔ…制御部、ＥＳＬ…エッチング停止層、ＩＬ…多層膜、ＩＬ１…誘電体膜、ＩＬ２…誘電体膜、ＰＤ…載置台、ＰＦ…保護膜、Ｓ…処理空間、Ｗ…ウエハ。
【図１】
2015153941.tif 000003
【図２】
2015153941.tif 000004
【図３】
2015153941.tif 000005
【図４】
2015153941.tif 000006
【図５】
2015153941.tif 000007
【図６】
2015153941.tif 000008
【図７】
2015153941.tif 000009
【図８】
2015153941.tif 000010
【図９】
2015153941.tif 000011