(57)【要約】【課題】金層により耐湿性および信頼性を高めることのできる電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供すること。【解決手段】電気光学装置１００において、電気光学パネル１００ｐでは、シール材６０より外側に樹脂バリア層７０が形成され、さらに、樹脂バリア層７０の外側の面が金層７５で覆われている。樹脂バリア層７０は、外側の面７０ａに硫黄含有官能基を有しているため、樹脂バリア層７０と金層７５との間では、硫黄と金とが強く結合している。樹脂バリア層７０を形成するにあたっては、例えば、シール材６０より外側で第１基板１０と第２基板２０との間を封止する樹脂層７１を形成した後、硫黄含有官能基を含むシランカップリング剤によって樹脂層７１の外側の面７１ａを処理し、硫黄含有官能基を含むシラン重合体層７２を樹脂層７１の外側の面７１ａに形成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板、前記第１基板と対向配置された第２基板、前記第１基板と前記第２基板との間に設けられた電気光学物質、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせて前記第１基板と前記第２基板との間を封止するシール材を備えた電気光学パネルを形成するパネル形成工程と、
前記シール材より外側で前記第１基板と前記第２基板との間を封止し、少なくとも外側の面に硫黄含有官能基を有する樹脂バリア層を形成する樹脂バリア層形成工程と、
前記樹脂バリアの外側の面を金層で覆う金層形成工程と、
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項２】
前記樹脂バリア層形成工程では、前記シール材より外側で前記第１基板と前記第２基板との間を封止する樹脂層を形成する樹脂層形成工程と、硫黄含有官能基を含むシランカップリング剤によって前記樹脂層の外側の面を処理し、硫黄含有官能基を含むシラン重合体層を前記樹脂層の外側の面に形成する表面処理工程と、を行うことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項３】
前記樹脂バリア層形成工程では、前記樹脂層形成工程と前記表面処理工程との間に、前記樹脂層の外側の面に酸素プラズマを照射するプラズマ処理工程を行うことを特徴とする請求項２に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項４】
前記表面処理工程では、少なくとも前記電気光学パネルの端子の表面を覆った状態で前記シランカップリング剤による表面処理を行うことを特徴とする請求項２または３に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項５】
前記表面処理工程の途中、あるいは前記表面処理工程を行った後、少なくとも前記電気光学パネルの端子の表面から前記シランカップリング剤または前記シラン重合体層を除去することを特徴とする請求項２または３に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
前記樹脂バリア層形成工程では、硫黄含有官能基を含む樹脂材料によって前記樹脂バリア層を形成することを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
第１基板、前記第１基板と対向配置された第２基板、前記第１基板と前記第２基板との間に設けられた電気光学物質、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせて前記第１基板と前記第２基板との間を封止するシール材を備えた電気光学パネルと、
前記シール材より外側で前記第１基板と前記第２基板との間を封止し、少なくとも外側の面に硫黄含有官能基を有する樹脂バリア層と、
前記樹脂バリア層の外側の面を覆う金層と、
を有することを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
前記樹脂バリア層は、前記シール材より外側で前記第１基板と前記第２基板との間を封止する樹脂層と、硫黄含有官能基を含み、前記樹脂層の外側の面を覆うシラン重合体層と、を有することを特徴とする請求項７に記載の電気光学装置。
【請求項９】
前記樹脂バリア層は、硫黄含有官能基を含む樹脂材料によって形成されていることを特徴とする請求項７に記載の電気光学装置。
【請求項１０】
請求項７乃至９の何れか一項に記載の電気光学装置を備えていることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１基板と第２基板との間に電気光学物質が保持された電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶装置等の電気光学装置は、シール材によって貼り合わされた第１基板と第２基板との間に液晶等の電気光学物質が設けられた電気光学パネルを有している。このように構成した電気光学装置において、外部からシール材を介して水分が侵入すると、電気光学物質が劣化してしまう。そこで、シール材より外側でエポキシ系の樹脂層によって第１基板と第２基板とを封止するとともに、樹脂層の外側の面をシリコン窒化膜等の無機膜によって覆った構成が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２６３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一方、無機膜としては、シリコン窒化膜より金層が耐湿性や信頼性に優れている。しかしながら、金層の場合、エポキシ系の樹脂層との密着性が悪いため、電気光学パネルに対する封止用に用いた際、金層の特性を十分に発揮させることができないという問題点がある。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、金層により耐湿性および信頼性を高めることのできる電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、第１基板、前記第１基板と対向配置された第２基板、前記第１基板と前記第２基板との間に設けられた電気光学物質、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせて前記第１基板と前記第２基板との間を封止するシール材を備えた電気光学パネルを形成するパネル形成工程と、前記シール材より外側で前記第１基板と前記第２基板との間を封止し、少なくとも外側の面に硫黄含有官能基を有する樹脂バリア層を形成する樹脂バリア層形成工程と、前記樹脂バリアの外側の面を金層で覆う金層形成工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
また、本発明に係る電気光学装置は、第１基板、前記第１基板と対向配置された第２基板、前記第１基板と前記第２基板との間に設けられた電気光学物質、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせて前記第１基板と前記第２基板との間を封止するシール材を備えた電気光学パネルと、前記シール材より外側で前記第１基板と前記第２基板との間を封止し、少なくとも外側の面に硫黄含有官能基を有する樹脂バリア層と、前記樹脂バリア層の外側の面を覆う金層と、を有することを特徴とする。
【０００８】
本発明では、シール材より外側に樹脂バリア層が形成され、さらに、樹脂バリア層の外側の面が金層で覆われている。このため、電気光学パネル内への水分の侵入が抑制される。また、樹脂バリア層は、外側の面に硫黄含有官能基を有しているため、樹脂バリア層と金層との間では、硫黄と金とが強く結合している。従って、金層と樹脂バリア層との密着性が高いので、封止性および信頼性を向上することができる。それ故、電気光学物質の水分による劣化を確実に抑制することができる。
【０００９】
本発明に係る電気光学装置の製造方法において、前記樹脂バリア層形成工程では、前記シール材より外側で前記第１基板と前記第２基板との間を封止する樹脂層を形成する樹脂層形成工程と、硫黄含有官能基を含むシランカップリング剤によって前記樹脂層の外側の面を処理し、硫黄含有官能基を含むシラン重合体層を前記樹脂層の外側の面に形成する表面処理工程と、を行うことが好ましい。また、本発明に係る電気光学装置において、前記樹脂バリア層は、前記シール材より外側で前記第１基板と前記第２基板との間を封止する樹脂層と、硫黄含有官能基を含み、前記樹脂層の外側の面を覆うシラン重合体層と、を有することが好ましい。かかる構成によれば、樹脂層自身が硫黄含有官能基を有していない場合でも、シランカップリング剤（シラン重合体層）の硫黄含有官能基によって金層の密着性を高めることができる。
【００１０】
本発明に係る電気光学装置の製造方法において、前記樹脂バリア層形成工程では、前記樹脂層形成工程と前記表面処理工程との間に、前記樹脂層の外側の面に酸素プラズマを照射するプラズマ処理工程を行うことが好ましい。かかる構成によれば、樹脂層がシランカップリング剤（シラン重合体層）と結合する水酸基を有していない場合でも、酸素プラズマによる酸化によって、樹脂層の表面に水酸基を生成することができる。
【００１１】
本発明に係る電気光学装置の製造方法において、前記表面処理工程では、少なくとも前記電気光学パネルの端子の表面を覆った状態で前記シランカップリング剤による表面処理を行うことが好ましい。
【００１２】
本発明に係る電気光学装置の製造方法において、前記表面処理工程の途中、あるいは前記表面処理工程を行った後、少なくとも前記電気光学パネルの端子の表面から前記シランカップリング剤または前記シラン重合体層を除去してもよい。
【００１３】
本発明に係る電気光学装置の製造方法において、前記樹脂バリア層形成工程では、硫黄含有官能基を含む樹脂材料によって前記樹脂バリア層を形成してもよい。また、本発明に係る電気光学装置において、前記樹脂バリア層は、硫黄含有官能基を含む樹脂材料によって形成されていてもよい。かかる構成によれば、硫黄含有官能基を含むシランカップリング剤による表面処理を行わなくても、樹脂バリア層と金層との密着性を高めることができる。
【００１４】
本発明に係る電気光学装置は、携帯電話機やモバイルコンピューター、投射型表示装置等の電子機器に用いることができる。これらの電子機器のうち、投射型表示装置は、電気光学装置に光を供給するための光源部と、前記電気光学装置によって光変調された光を投射する投射光学系とを備えている。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態１に係る電気光学装置の電気光学パネルの説明図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る電気光学装置に設けた樹脂バリア層等を模式的に示す説明図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る電気光学装置の製造方法を示す説明図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る電気光学装置の製造方法においてシランカップリング剤がシラン重合体層となる過程を示す説明図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る電気光学装置の説明図である。
【図６】本発明の実施の形態３に係る電気光学装置の説明図である。
【図７】本発明の実施の形態４に係る電気光学装置の平面構成を示す説明図である。
【図８】本発明を適用した電気光学装置（液晶装置）を用いた投射型表示装置（電子機器）の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態として、代表的な電気光学装置である液晶装置を説明する。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。
【００１７】
［実施の形態１］
（全体構成）
図１は、本発明の実施の形態１に係る電気光学装置の電気光学パネルの説明図であり、図１（ａ）、（ｂ）は各々、電気光学パネルを各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびそのＨ−Ｈ′断面図である。
【００１８】
図１（ａ）、（ｂ）に示す電気光学装置１００は液晶装置であり、液晶パネルからなる電気光学パネル１００ｐを有している。電気光学パネル１００ｐでは、第１基板１０（素子基板）と第２基板２０（対向基板）とが所定の隙間を介してシール材６０によって貼り合わされており、シール材６０は第２基板２０の外縁に沿うように枠状に設けられている。シール材６０は、光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂等からなる接着剤６０ｒを含んでおり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバーあるいはガラスビーズ等のスペーサー６０ａが分散されている。
【００１９】
電気光学パネル１００ｐにおいて、第１基板１０と第２基板２０との間のうち、シール材６０によって囲まれた領域内には、各種液晶材料を含む電気光学物質５０の層が設けられており、シール材６０は、第１基板１０と第２基板２０とを貼り合わせるとともに、第１基板１０と第２基板２０との間を封止している。本形態において、シール材６０には、液晶注入口６０ｃとして利用される途切れ部分が形成されており、かかる液晶注入口６０ｃは、液晶材料の注入後、封止材６０ｄによって封止されている。なお、本形態の電気光学装置１００では、シール材６０の周囲に樹脂バリア層７０および金層７５が形成されている。かかる樹脂バリア層７０および金層７５の構成は、図２を参照して後述する。
【００２０】
電気光学パネル１００ｐにおいて、第１基板１０および第２基板２０はいずれも四角形である。このため、第１基板１０は、Ｙ方向で対向する２つの側面１０ｅ、１０ｆと、Ｘ方向で対向する２つの側面１０ｇ、１０ｈとを備えている。また、第２基板２０は、Ｙ方向で対向する２つの側面２０ｅ、２０ｆと、Ｘ方向で対向する２つの側面２０ｇ、２０ｈとを備えている。電気光学パネル１００ｐの略中央には、表示領域１０ａが四角形の領域として設けられており、かかる形状に対応して、シール材６０も略四角形に設けられている。
【００２１】
本形態の電気光学装置１００において、第２基板２０のサイズは、第１基板１０より小さい。このため、平面視で、第２基板２０の４つの側面２０ｅ、２０ｆ、２０ｇ、２０ｈは各々、第１基板１０の４つの側面１０ｅ、１０ｆ、１０ｇ、１０ｈの内側に位置する。また、第１基板１０の側面１０ｅは、第２基板２０の側面２０ｅより他の側面と比較して大きく外側に位置し、第１基板１０は、第２基板２０の側面２０ｅから他の側面の張り出しと比較すると大きく張り出した張出領域１０５を有している。
【００２２】
第１基板１０において、表示領域１０ａの外側領域では、第１基板１０においてＹ軸方向の一方側に位置する側面１０ｅに沿ってデータ線駆動回路１０１および複数の端子１０２が形成されており、この側面１０ｅに隣接する他の側面１０ｇ、１０ｈの各々に沿って走査線駆動回路１０４が形成されている。端子１０２には、フレキシブル配線基板（図示せず）が接続されており、第１基板１０には、フレキシブル配線基板を介して外部制御回路から各種電位や各種信号が入力される。第１基板１０の一方面１０ｓおよび他方面１０ｔのうち、第２基板２０と対向する一方面１０ｓの側には、表示領域１０ａに画素電極９ａや画素トランジスター（図示せず）等がマトリクス状に配列されている。従って、表示領域１０ａは、画素電極９ａがマトリクス状に配列された画素電極配列領域として構成されている。第１基板１０において、画素電極９ａの上層側には配向膜１６が形成されている。
【００２３】
第１基板１０の一方面１０ｓの側において、表示領域１０ａより外側の領域のうち、表示領域１０ａとシール材６０とに挟まれた四角枠状の周辺領域１０ｂには、画素電極９ａと同時形成されたダミー画素電極９ｂが形成されている。ダミー画素電極９ｂは、例えば、共通電位Ｖcomが印加されており、表示領域１０ａの外周側端部での液晶分子の配向の乱れを防止する。
【００２４】
第２基板２０の一方面２０ｓおよび他方面２０ｔのうち、第１基板１０と対向する一方面２０ｓの側には共通電極２１が形成されている。共通電極２１は、第２基板２０の略全面形成されている。第２基板２０の一方面２０ｓの側には、共通電極２１の下層側に遮光層２９が形成され、共通電極２１の表面には配向膜２６が積層されている。遮光層２９は、表示領域１０ａの外周縁に沿って延在する額縁部分２９ａとして形成されており、遮光層２９の内周縁によって表示領域１０ａが規定されている。また、遮光層２９は、隣り合う画素電極９ａにより挟まれた画素間領域に重なるブラックマトリクス部２９ｂとしても形成されている。額縁部分２９ａはダミー画素電極９ｂと重なる位置に形成されており、額縁部分２９ａの外周縁は、シール材６０の内周縁との間に隙間を隔てた位置にある。従って、額縁部分２９ａとシール材６０とは重なっていない。
【００２５】
電気光学パネル１００ｐにおいて、シール材６０より外側には、第２基板２０の一方面２０ｓの側の４つの角部分に基板間導通用電極２５が形成されており、第１基板１０の一方面１０ｓの側には、第２基板２０の４つの角部分（基板間導通用電極２５）と対向する位置に基板間導通用電極１９が形成されている。本形態において、基板間導通用電極２５は、共通電極２１の一部からなる。基板間導通用電極１９には、共通電位Ｖcomが印加される。基板間導通用電極１９と基板間導通用電極２５との間には、導電粒子を含んだ基板間導通材１９ａが配置されており、第２基板２０の共通電極２１は、基板間導通用電極１９、基板間導通材１９ａおよび基板間導通用電極２５を介して、第１基板１０側と電気的に接続されている。このため、共通電極２１は、第１基板１０の側から共通電位Ｖcomが印加される。シール材６０は、略同一の幅寸法をもって第２基板２０の外周縁に沿って設けられているが、第２基板２０の角部分と重なる領域では基板間導通用電極１９、２５を避けて内側（基板間導通材１９ａより表示領域側）を通るように設けられている。
【００２６】
本形態において、電気光学装置１００は透過型の液晶装置であり、画素電極９ａおよび共通電極２１は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜やＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）膜等の透光性導電膜により形成されている。かかる透過型の液晶装置（電気光学装置１００）では、例えば、第２基板２０の側から入射した光が第１基板１０の側から出射される間に変調される。また、電気光学装置１００が反射型の液晶装置である場合、共通電極２１は、ＩＴＯ膜やＩＺＯ膜等の透光性導電膜により形成され、画素電極９ａは、アルミニウム膜等の反射性導電膜により形成される。かかる反射型の液晶装置（電気光学装置１００）では、第２基板２０の側から入射した光が第１基板１０で反射して出射される間に変調されて画像を表示する。
【００２７】
電気光学装置１００は、モバイルコンピューター、携帯電話機等といった電子機器のカラー表示装置として用いることができ、この場合、第２基板２０には、カラーフィルター（図示せず）が形成される。また、電気光学装置１００は、電子ペーパーとして用いることができる。また、電気光学装置１００では、使用する電気光学物質５０（液晶）の種類や、ノーマリホワイトモード／ノーマリブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フィルム、偏光板等が電気光学パネル１００ｐに対して所定の向きに配置される。さらに、電気光学装置１００は、後述する投射型表示装置（液晶プロジェクター）において、ＲＧＢ用のライトバルブとして用いることができる。この場合、ＲＧＢ用の各電気光学装置１００の各々には、ＲＧＢ色分解用のダイクロイックミラーを介して分解された各色の光が投射光として各々入射されることになるので、カラーフィルターは形成されない。
【００２８】
（樹脂バリア層７０および金層７５の構成）
図２は、本発明の実施の形態１に係る電気光学装置１００に設けた樹脂バリア層７０等を模式的に示す説明図である。
【００２９】
図１および図２に示すように、本形態の電気光学装置１００において、シール材６０は、第１基板１０と第２基板２０とを貼り合わせるとともに、電気光学物質５０を封止している。また、シール材６０の外側には、第１基板１０と第２基板２０との間を封止する樹脂バリア層７０が形成されている。本形態においては、樹脂バリア層７０がシール材６０の外側の面に接するように形成されている。また、本形態においては、全周にわたって、樹脂バリア層７０の外側の面７０ａに金層７５が形成されており、樹脂バリア層７０の外側の面７０ａは金層７５で覆われている。
【００３０】
本形態では、平面視において、第２基板２０は、第１基板１０より小さく、第２基板２０の４つの側面２０ｅ、２０ｆ、２０ｇ、２０ｈは各々、第１基板１０の４つの側面１０ｅ、１０ｆ、１０ｇ、１０ｈの内側に位置する。このため、樹脂バリア層７０は、第２基板２０の側面２０ｅ、２０ｆ、２０ｇ、２０ｈと、第１基板１０の第２基板２０と対向する一方面１０ｓとに跨るように設けられている。すなわち、樹脂バリア層７０は、シール材６０より外側の領域で、第２基板２０の側面２０ｅ、２０ｆ、２０ｇ、２０ｈの第１基板１０側の領域から、シール材６０の外側の面を介して、第１基板１０の第２基板２０と対向する一方面１０ｓにかけて連続して形成されている。
【００３１】
また、本形態では、第２基板２０の４つの側面２０ｅ、２０ｆ、２０ｇ、２０ｈのうち、側面２０ｆ、２０ｇ、２０ｈの側では、シール材６０が側面２０ｆ、２０ｇ、２０ｈより内側に位置する。このため、第２基板２０の側面２０ｆ、２０ｇ、２０ｈの側では、シール材６０より外側に第１基板１０と第２基板２０との隙間１０７があり、樹脂バリア層７０は、第１基板１０と第２基板２０との隙間１０７内にも設けられている。なお、第２基板２０の側面２０ｅの側では、液晶注入口６０ｃを開口させる必要があるため、シール材６０の外縁は、平面視で側面２０ｅと重なる位置にあるか、側面２０ｅからわずかに内側に位置する。平面視でシール材６０の外縁が側面２０ｅより内側に位置する場合、側面２０ｅの側でも、第１基板１０と第２基板２０との間に隙間１０７が発生するため、樹脂バリア層７０は、第１基板１０と第２基板２０との隙間１０７内にも設けられる。これに対して、平面視でシール材６０の外縁が側面２０ｅと重なる位置にある場合、側面２０ｅの側には、第１基板１０と第２基板２０との隙間１０７が存在せず、樹脂バリア層７０は、平面視で側面２０ｅより側面１０ｅの側のみに設けられる。また、側面２０ｅの側には封止材６０ｄが設けられているため、封止材６０ｄが設けられている領域では、樹脂バリア層７０は、封止材６０ｄを覆うように設けられる。
【００３２】
このように構成された樹脂バリア層７０の外側の面７０ａの全体にわたって金層７５が形成されており、金層７５の一部は、第１基板１０および第２基板２０にも接している。
【００３３】
本形態において、樹脂バリア層７０は、シール材６０の外側に樹脂層７１を形成した後、樹脂層７１の外側の面をシランカップリング剤によって処理した層である。このため、図２に示すように、樹脂バリア層７０は、シール材６０の外側に形成されたエポキシ系樹脂等からなる樹脂層７１と、樹脂層７１の外側の面７１ａを覆うシラン重合体層７２とを備えており、シラン重合体層７２の外側の面７２ａによって、樹脂バリア層７０の外側の面７０ａが構成されている。本形態において、シラン重合体層７２は、単分子層程度の薄い層である。
【００３４】
本形態で用いたシランカップリング剤は、例えば、以下の化学式
Ｒ1−Ｓｉ−（ＯＲ2）3-n
Ｒ1＝硫黄含有官能基
ＯＲ2＝エトキシ基、メトキシ基等の加水分解性基
ｎ＝０、１または２
で示されるように、硫黄含有官能基を有している。かかるシランカップリング剤としては、以下の化学式
３−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン
（ＣＨ3Ｏ）2（ＣＨ3）ＳｉＣ3Ｈ6ＳＨ
３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン
（ＣＨ3Ｏ）3ＳｉＣ3Ｈ6ＳＨ
で示される３−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等を例示することができ、硫黄含有官能基として、メルカプト基（−ＳＨ）を有している。従って、シラン重合体層７２は、硫黄含有官能基を有しており、樹脂バリア層７０は、外側の面７０ａに硫黄含有官能基を有している。それ故、樹脂バリア層７０と金層７５との間では、硫黄原子と金原子とが強く結合しているため、樹脂バリア層７０と金層７５との密着性が高い。硫黄原子と金原子との強い結合は、強い配位結合として理解される。
【００３５】
（電気光学装置１００の製造方法）
図３は、本発明の実施の形態１に係る電気光学装置１００の製造方法を示す説明図である。図４は、本発明の実施の形態１に係る電気光学装置１００の製造方法においてシランカップリング剤がシラン重合体層７２となる過程を示す説明図である。なお、以下の説明では、単品サイズの電気光学パネル１００ｐを製造した後、樹脂バリア層７０および金層７５を形成する方法を説明する。但し、第１基板１０が切断前の大型のマザー基板の状態にあって、かかるマザー基板上に第２基板２０や電気光学物質５０を設けた状態で樹脂バリア層７０および金層７５を形成した後、マザー基板を切断する方法を採用することもできる。
【００３６】
本形態の電気光学装置１００を製造するには、パネル形成工程において、第１基板１０、第２基板２０、電気光学物質５０、およびシール材６０を備えた電気光学パネルを形成した後、樹脂バリア形成工程において、シール材６０より外側に、外側の面７０ａに硫黄含有官能基を有する樹脂バリア層７０を形成する。
【００３７】
本形態では、樹脂バリア層形成工程では、まず、図３（ａ）に示す樹脂層形成工程において、シール材６０より外側で第１基板１０と第２基板２０との間を封止するエポキシ系樹脂等からなる樹脂層７１を形成する。例えば、ノズルによって、熱硬化性や光硬化性等の液状樹脂材料をシール材６０の外側に塗布した際、液状樹脂材料を硬化させて、樹脂層７１を形成する。なお、樹脂層７１としては熱可塑性の樹脂を用いてもよい。
【００３８】
次に、図３（ｂ）に示す表面処理工程において、硫黄含有官能基を含むシランカップリング剤によって樹脂層７１の外側の面７１ａを処理し、硫黄含有官能基を含むシラン重合体層７２を樹脂層７１の外側の面７１ａに形成する。その結果、樹脂層７１とシラン重合体層７２とを備えた樹脂バリア層７０が形成され、かかる樹脂バリア層７０は、外側の面７０ａに硫黄含有官能基を有している。
【００３９】
ここで、シランカップリング剤として３−メルカプトプロピルトリメトキシシランを用いた場合を、図４に示す。図４に示すように、シランカップリング剤は、加水分解性基を有しているため、加水分解によってシラノール（Ｓｉ−ＯＨ）を生成する。従って、シラノール同士が徐々に縮合してシロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ）を生成するので、シラン重合体層７２が形成される。また、シランカップリング剤は、樹脂層７１の表面の水酸基によって類似のメカニズムで反応するので、シラン重合体層７２は、樹脂層７１の表面と強固な共有結合を生成する。かかるシラン重合体層７２は、単分子層程度の薄い層である。
【００４０】
かかる樹脂バリア層形成工程において、樹脂層７１が水酸基を有していない場合、あるいは樹脂層７１が十分な水酸基を有していない場合、樹脂層７１の表面に酸素プラズマを照射し、樹脂層７１の表面７１ａを酸化して水酸基を生成する。従って、樹脂層７１に用いる樹脂材料に対する制約を緩和することができる。
【００４１】
また、シラン重合体層７２が、図１に示す端子１０２の表面に形成されると、端子１０２に対する電気的な接続に支障が発生する。従って、表面処理工程では、シランカップリング剤を樹脂層７１の表面７１ａに選択的に設ける。
【００４２】
例えば、浸漬等の方法によって、シランカップリング剤を電気光学パネル１００ｐの全体に塗布する場合、少なくとも端子１０２の表面をテープ等で覆った状態でシランカップリング剤による表面処理を行う。また、浸漬等の方法によって、シランカップリング剤を電気光学パネル１００ｐの全体に塗布する場合、表面処理工程の途中、あるいは表面処理工程を行った後、Ｏ2プラズマ処理やＵＶ照射によってＳｉ−Ｃ結合を切断する等の処理によって、少なくとも端子１０２の表面からシランカップリング剤またはシラン重合体層７２を除去する。なお、シラン重合体層７２は、透光性を有しているとともに、単分子層程度の厚さであるため、表示領域１０ａでは、シラン重合体層７２が形成されていてもよい。但し、端子１０２の表面と同様、シラン重合体層７２が表示領域１０ａに形成されないようにしてもよい。
【００４３】
次に、図４に示すように、金層形成工程において、マスク蒸着等の方法によって、樹脂バリア層７０の外側の面７０ａを覆うように、金層７５を選択的に形成する。かかる成膜では、真空蒸着法やスパッタリング法等を用いる。その結果、電気光学パネル１００ｐに樹脂バリア層７０および金層７５が形成された電気光学装置１００が形成される。
【００４４】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、シール材６０より外側に樹脂バリア層７０が形成され、さらに、樹脂バリア層７０の外側の面が金層７５で覆われている。このため、電気光学パネル１００ｐ内への水分の侵入が抑制される。特に金層７５は他の無機封止膜に比して耐湿性や信頼性に優れている。また、樹脂バリア層７０は、外側の面７０ａに硫黄含有官能基を有しているため、樹脂バリア層７０と金層７５との間では、硫黄と金とが強く結合している。従って、金層７５と樹脂バリア層７０との密着性が高いので、封止性能を向上することができる。それ故、電気光学物質５０の水分による劣化を確実に抑制することができる。
【００４５】
また、本形態では、樹脂バリア層７０を形成するにあたって、シール材６０より外側で第１基板１０と第２基板２０との間を封止する樹脂層７１を形成した後、硫黄含有官能基を含むシランカップリング剤によって樹脂層７１の外側の面を処理し、硫黄含有官能基を含むシラン重合体層７２を樹脂層７１の外側の面７１ａに形成する。このため、樹脂層７１自身が硫黄含有官能基を有していない場合でも、シランカップリング剤（シラン重合体層７２）の硫黄含有官能基によって、金層７５の密着性を高めることができる。
【００４６】
［実施の形態２］
図５は、本発明の実施の形態２に係る電気光学装置１００の説明図であり、図５（ａ）、（ｂ）は、樹脂バリア層７０を形成した後の説明図、および金層７５を形成した後の説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
【００４７】
実施の形態１では、樹脂バリア層７０を形成するにあたって、樹脂層７１を形成した後、硫黄含有官能基を含むシランカップリング剤によって樹脂層７１の外側の面を処理した。これに対して、本形態では、図５（ａ）に示す樹脂バリア層形成工程において、硫黄含有官能基を含む樹脂材料７３によって樹脂バリア層７０を形成した後、図５（ｂ）に示す金層形成工程において、樹脂バリア層７０の外側の面７０ａを覆うように金層を形成する。かかる樹脂材料７３としては、例えば、チオール基、チオエーテル基、ジスルフィド基等の硫黄含有官能基を導入したフェノール誘導体をエポキシ系樹脂に混合した樹脂材料等を用いる。
【００４８】
本形態によれば、実施の形態１と同様な効果を奏するとともに、硫黄含有官能基を含むシランカップリング剤による表面処理を行わなくても樹脂バリア層７０と金層７５との密着性を高めることができるという利点がある。
【００４９】
［実施の形態３］
図６は、本発明の実施の形態３に係る電気光学装置１００の説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
【００５０】
上記の実施の形態１、２では、平面視において、第２基板２０の側面２０ｇ、２０ｅ、２０ｆ、２０ｇ、２０ｈが各々、第１基板１０の４つの側面１０ｅ、１０ｆ、１０ｇ、１０ｈの内側に位置していた。これに対して、本形態では、図６に示すように、平面視において、第２基板２０の側面２０ｇが第１基板１０の側面１０ｇと重なっている。このような構成の場合、第２基板２０の側面２０ｇおよび第１基板１０の側面１０ｇから外側に張り出すように樹脂バリア層７０を形成し、樹脂バリア層７０の外側の面７０ａを覆うように金層７５を形成する。
【００５１】
［実施の形態４］
図７は、本発明の実施の形態４に係る電気光学装置１００の平面構成を示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
【００５２】
上記の実施の形態１では、シール材６０には、液晶注入口６０ｃとして利用される途切れ部分が形成されていた。これに対して、本形態では、図７に示すように、シール材６０が全周において繋がっており、液晶注入口６０ｃが形成されていない。かかる構成の電気光学パネル１００ｐを製造するには、第１基板１０にシール材６０を形成した後、シール材６０で囲まれた領域内に液状の電気光学物質５０を配置する。次に、第２基板２０をシール材６０を挟んで第１基板１０に重ね、その後、シール材６０を硬化させる。
【００５３】
かかる構成の電気光学パネル１００ｐを用いた場合も、樹脂バリア層７０および金層７５を形成することにより、電気光学装置１００の耐湿性および信頼性を向上させてもよい。
【００５４】
［他の電気光学装置］
上記実施の形態では、電気光学装置として液晶装置を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマディスプレイ、ＦＥＤ（Field Emission Display）、ＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置等の電気光学装置に本発明を適用してもよい。
【００５５】
［電子機器への搭載例］
図８は、本発明を適用した電気光学装置１００（液晶装置）を用いた投射型表示装置（電子機器）の概略構成図である。なお、以下の説明では、互いに異なる波長域の光が供給される複数の電気光学装置１００が用いられているが、いずれの電気光学装置１００にも、本発明を適用した電気光学装置１００が用いられている。
【００５６】
図８に示す投射型表示装置１１０は、透過型の電気光学装置１００を用いた液晶プロジェクタであり、スクリーン等からなる被投射部材１１１に光を照射し、画像を表示する。投射型表示装置１１０は、装置光軸Ｌに沿って、照明装置１６０と、照明装置１６０から出射された光が供給される複数の電気光学装置１００（液晶ライトバルブ１１５〜１１７）と、複数の電気光学装置１００から出射された光を合成して出射するクロスダイクロイックプリズム１１９（光合成光学系）と、クロスダイクロイックプリズム１１９により合成された光を投射する投射光学系１１８とを有している。また、投射型表示装置１１０は、ダイクロイックミラー１１３、１１４、およびリレー系１２０を備えている。投射型表示装置１１０において、電気光学装置１００およびクロスダイクロイックプリズム１１９は、光学ユニット２００を構成している。
【００５７】
照明装置１６０では、装置光軸Ｌに沿って、光源部１６１、フライアイレンズ等のレンズアレイからなる第１インテグレーターレンズ１６２、フライアイレンズ等のレンズアレイからなる第２インテグレーターレンズ１６３、偏光変換素子１６４、およびコンデンサーレンズ１６５が順に配置されている。光源部１６１は、赤色光Ｒ、緑色光Ｇおよび青色光Ｂを含む白色光を出射する光源１６８と、リフレクター１６９とを備えている。光源１６８は超高圧水銀ランプ等により構成されており、リフレクター１６９は、放物線状の断面を有している。第１インテグレーターレンズ１６２および第２インテグレーターレンズ１６３は、光源部１６１から出射された光の照度分布を均一化する。偏光変換素子１６４は、光源部１６１から出射された光を、例えばｓ偏光のような特定の振動方向を有する偏光にする。
【００５８】
ダイクロイックミラー１１３は、照明装置１６０から出射された光に含まれる赤色光Ｒを透過させるとともに、緑色光Ｇおよび青色光Ｂを反射する。ダイクロイックミラー１１４は、ダイクロイックミラー１１３で反射された緑色光Ｇおよび青色光Ｂのうち、青色光Ｂを透過させるとともに緑色光Ｇを反射する。このように、ダイクロイックミラー１１３、１１４は、照明装置１６０から出射された光を赤色光Ｒ、緑色光Ｇおよび青色光Ｂに分離する色分離光学系を構成している。
【００５９】
液晶ライトバルブ１１５は、ダイクロイックミラー１１３を透過して反射ミラー１２３で反射した赤色光Ｒを画像信号に応じて変調する透過型の液晶装置である。液晶ライトバルブ１１５は、λ／２位相差板１１５ａ、第１偏光板１１５ｂ、電気光学装置１００（赤色用電気光学装置１００Ｒ）、および第２偏光板１１５ｄを備えている。ここで、液晶ライトバルブ１１５に入射する赤色光Ｒは、ダイクロイックミラー１１３を透過しても光の偏光は変化しないことから、ｓ偏光のままである。
【００６０】
λ／２位相差板１１５ａは、液晶ライトバルブ１１５に入射したｓ偏光をｐ偏光に変換する光学素子である。第１偏光板１１５ｂは、ｓ偏光を遮断してｐ偏光を透過させる偏光板である。電気光学装置１００（赤色用電気光学装置１００Ｒ）は、ｐ偏光を画像信号に応じた変調によってｓ偏光（中間調であれば円偏光又は楕円偏光）に変換する構成となっている。第２偏光板１１５ｄは、ｐ偏光を遮断してｓ偏光を透過させる偏光板である。従って、液晶ライトバルブ１１５は、画像信号に応じて赤色光Ｒを変調し、変調した赤色光Ｒをクロスダイクロイックプリズム１１９に向けて出射する。λ／２位相差板１１５ａおよび第１偏光板１１５ｂは、偏光を変換させない透光性のガラス板１１５ｅに接した状態で配置されており、λ／２位相差板１１５ａおよび第１偏光板１１５ｂが発熱によって歪むのを回避することができる。
【００６１】
液晶ライトバルブ１１６は、ダイクロイックミラー１１３で反射した後にダイクロイックミラー１１４で反射した緑色光Ｇを画像信号に応じて変調する透過型の液晶装置である。液晶ライトバルブ１１６は、液晶ライトバルブ１１５と同様に、第１偏光板１１６ｂ、電気光学装置１００（緑色用電気光学装置１００Ｇ）、および第２偏光板１１６ｄを備えている。液晶ライトバルブ１１６に入射する緑色光Ｇは、ダイクロイックミラー１１３、１１４で反射されて入射するｓ偏光である。第１偏光板１１６ｂは、ｐ偏光を遮断してｓ偏光を透過させる偏光板である。電気光学装置１００（緑色用電気光学装置１００Ｇ）は、ｓ偏光を画像信号に応じた変調によってｐ偏光（中間調であれば円偏光又は楕円偏光）に変換する構成となっている。第２偏光板１１６ｄは、ｓ偏光を遮断してｐ偏光を透過させる偏光板である。従って、液晶ライトバルブ１１６は、画像信号に応じて緑色光Ｇを変調し、変調した緑色光Ｇをクロスダイクロイックプリズム１１９に向けて出射する。
【００６２】
液晶ライトバルブ１１７は、ダイクロイックミラー１１３で反射し、ダイクロイックミラー１１４を透過した後でリレー系１２０を経た青色光Ｂを画像信号に応じて変調する透過型の液晶装置である。液晶ライトバルブ１１７は、液晶ライトバルブ１１５、１１６と同様に、λ／２位相差板１１７ａ、第１偏光板１１７ｂ、電気光学装置１００（青色用電気光学装置１００Ｂ）、および第２偏光板１１７ｄを備えている。液晶ライトバルブ１１７に入射する青色光Ｂは、ダイクロイックミラー１１３で反射してダイクロイックミラー１１４を透過した後にリレー系１２０の２つの反射ミラー１２５ａ、１２５ｂで反射することから、ｓ偏光となっている。
【００６３】
λ／２位相差板１１７ａは、液晶ライトバルブ１１７に入射したｓ偏光をｐ偏光に変換する光学素子である。第１偏光板１１７ｂは、ｓ偏光を遮断してｐ偏光を透過させる偏光板である。電気光学装置１００（青色用電気光学装置１００Ｂ）は、ｐ偏光を画像信号に応じた変調によってｓ偏光（中間調であれば円偏光又は楕円偏光）に変換する構成となっている。第２偏光板１１７ｄは、ｐ偏光を遮断してｓ偏光を透過させる偏光板である。従って、液晶ライトバルブ１１７は、画像信号に応じて青色光Ｂを変調し、変調した青色光Ｂをクロスダイクロイックプリズム１１９に向けて出射する。なお、λ／２位相差板１１７ａ、および第１偏光板１１７ｂは、ガラス板１１７ｅに接した状態で配置されている。
【００６４】
リレー系１２０は、リレーレンズ１２４ａ、１２４ｂと反射ミラー１２５ａ、１２５ｂとを備えている。リレーレンズ１２４ａ、１２４ｂは、青色光Ｂの光路が長いことによる光損失を防止するために設けられている。リレーレンズ１２４ａは、ダイクロイックミラー１１４と反射ミラー１２５ａとの間に配置されている。リレーレンズ１２４ｂは、反射ミラー１２５ａ、１２５ｂの間に配置されている。反射ミラー１２５ａは、ダイクロイックミラー１１４を透過してリレーレンズ１２４ａから出射した青色光Ｂをリレーレンズ１２４ｂに向けて反射する。反射ミラー１２５ｂは、リレーレンズ１２４ｂから出射した青色光Ｂを液晶ライトバルブ１１７に向けて反射する。
【００６５】
クロスダイクロイックプリズム１１９は、２つのダイクロイック膜１１９ａ、１１９ｂをＸ字型に直交配置した色合成光学系である。ダイクロイック膜１１９ａは青色光Ｂを反射して緑色光Ｇを透過する膜であり、ダイクロイック膜１１９ｂは赤色光Ｒを反射して緑色光Ｇを透過する膜である。従って、クロスダイクロイックプリズム１１９は、液晶ライトバルブ１１５〜１１７のそれぞれで変調された赤色光Ｒと緑色光Ｇと青色光Ｂとを合成し、投射光学系１１８に向けて出射する。
【００６６】
なお、液晶ライトバルブ１１５、１１７からクロスダイクロイックプリズム１１９に入射する光はｓ偏光であり、液晶ライトバルブ１１６からクロスダイクロイックプリズム１１９に入射する光はｐ偏光である。このようにクロスダイクロイックプリズム１１９に入射する光を異なる種類の偏光としていることにより、クロスダイクロイックプリズム１１９において各液晶ライトバルブ１１５〜１１７から入射する光を合成できる。ここで、一般に、ダイクロイック膜１１９ａ、１１９ｂはｓ偏光の反射特性に優れている。このため、ダイクロイック膜１１９ａ、１１９ｂで反射される赤色光Ｒ、および青色光Ｂをｓ偏光とし、ダイクロイック膜１１９ａ、１１９ｂを透過する緑色光Ｇをｐ偏光としている。投射光学系１１８は、投影レンズ（図示略）を有しており、クロスダイクロイックプリズム１１９で合成された光をスクリーン等の被投射部材１１１に投射する。
【００６７】
（他の投射型表示装置）
上記投射型表示装置においては、透過型の電気光学装置１００を用いたが、反射型の電気光学装置１００を用いて投射型表示装置を構成してもよい。また、投射型表示装置においては、光源部として、各色の光を出射するＬＥＤ光源等を用い、かかるＬＥＤ光源から出射された色光を各々、別の液晶装置に供給するように構成してもよい。
【００６８】
（他の電子機器）
本発明を適用した電気光学装置１００については、上記の電子機器の他にも、携帯電話機、情報携帯端末（ＰＤＡ：Personal Digital Assistants）、デジタルカメラ、液晶テレビ、カーナビゲーション装置、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器等の電子機器において直視型表示装置として用いてもよい。
【符号の説明】
【００６９】
１０・・第１基板、１０ｅ、１０ｆ、１０ｇ、１０ｈ・・第１基板の側面、２０・・第２基板、２０ｅ、２０ｆ、２０ｇ、２０ｈ・・第２基板の側面、５０・・電気光学物質、６０・・シール材、７０・・樹脂バリア層、７０ａ・・樹脂バリア層の外側の面、７１・・樹脂層、７１ａ・・樹脂層の外側の面、７２・・シラン重合体層、７２ａ・・シラン重合体層の外側の面、７５・・金層、１００・・電気光学装置、１００ｐ・・電気光学パネル
【図１】
2015138219.tif 000003
【図２】
2015138219.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2015138219.tif 000007
【図６】
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【図７】
2015138219.tif 000009
【図８】
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