(57)【要約】【課題】 １つのラインごとベース部材に取り付けることができ、しかも、各ラインを構成する部品数を少なくして、各ラインを組み立てるための手間がかからない流体制御装置およびこのような流体制御装置での使用に適した継手部材を提供する。【解決手段】  ライン支持部材3を構成するレール4に、長手方向にのびる係合部34が設けられている。継手部材21,22に、係合部34に係合するレール長手方向にのびる溝44が設けられている。継手部材21,22の溝44が対応する係合部34に係合することによって、継手部材21,22がレール4に支持されている。【選択図】    図１
2015175502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上段に配された流体制御機器と、下段に配された継手部材と、継手部材を支持するライン支持部材とを備えている流体制御装置において、
ライン支持部材として、レールが使用されており、レールに、長手方向にのびる係合部が設けられ、継手部材に、係合部に係合するレール長手方向にのびる被係合部が設けられ、継手部材の被係合部が対応する係合部に係合することによって、継手部材がレールに支持されていることを特徴とする流体制御装置。
【請求項２】
継手部材の被係合部が溝であり、レールの係合部が凸部であることを特徴とする請求項1に記載の流体制御装置。
【請求項３】
レールは、互いに平行にのびる１対の側壁と、継手部材の位置決めを行う位置決め部と、レールを支持するベース部材に固定される取付部とを有しており、各側壁に、前記係合部としての凸部が設けられていることを特徴とする請求項２の流体制御装置。
【請求項４】
継手部材の被係合部が凸部であり、レールの係合部が溝であることを特徴とする請求項1に記載の流体制御装置。
【請求項５】
レールは、互いに平行にのびる１対の側壁と、継手部材の位置決めを行う位置決め部と、レールを支持するベース部材に固定される取付部とを有しており、各側壁に前記係合部としての溝が設けられていることを特徴とする請求項４の流体制御装置。
【請求項６】
ライン支持部材は、レールの端部に配置された継手部材に当接した状態でベース部材に固定されて、配置された継手部材がレールから長手方向に脱落することを防止するストッパをさらに有していることを特徴とする請求項１から５までのいずれかに記載の流体制御装置。
【請求項７】
直方体ブロック状の本体に、流体制御機器の流体通路に連通する連通通路が形成されており、流体制御装置において下段に配される継手部材であって、
本体側面に、レールに設けられた凸部または溝に摺動可能に係合させるための溝または凸部が形成されていることを特徴とする流体制御装置用継手部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、流体制御装置および流体制御装置用継手部材に関し、特に、「集積化流体制御装置」と称されている流体制御装置およびこの流体制御装置での使用に適した継手部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置などで使用される流体制御装置においては、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数のブロック状継手部材とによって形成されており、複数のラインが、その入口および出口を同じ方向に向けて並列状に配置されることにより、パイプや管継手を介さずに流体制御装置を構成する集積化が進んでいる。
【０００３】
特許文献１には、各ラインごとに、継手部材を支持するレールが設けられて、レールに沿って摺動する摺動部材に継手部材がボルトによって固定されている流体制御装置が開示されている。
【０００４】
特許文献１で使用されている継手部材(50)は、図１４に示すように、直方体ブロック状の本体(51)に、流体制御機器の流体通路に連通する連通通路(52)が形成されているもので、本体(51)には、連通通路(52)の他、流体制御機器を継手部材(50)に取り付けるためのボルトがねじ合わされるめねじ部(53)と、継手部材(51)を摺動部材に取り付けるためのボルトが挿通されるボルト挿通孔(54)とが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２０６７００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１の流体制御装置によると、必要な流体制御機器および継手部材を予めレールに組み込んで１つのラインを作成し、１つのラインごとベース部材に取り付けることができるため、流体制御装置の製作が容易に出来るという利点を有している。
【０００７】
しかしながら、レールに沿って摺動する摺動部材に継手部材をボルトで固定する必要があり、各ラインを構成する部品数が多くなるとともに、各ラインを組み立てるための手間がかかるという問題があった。
【０００８】
この発明の目的は、１つのラインごとベース部材に取り付けることができ、しかも、各ラインを構成する部品数を少なくして、各ラインを組み立てるための手間がかからない流体制御装置およびこのような流体制御装置での使用に適した継手部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明による流体制御装置は、上段に配された流体制御機器と、下段に配された継手部材と、継手部材を支持するライン支持部材とを備えている流体制御装置において、ライン支持部材として、レールが使用されており、レールに、長手方向にのびる係合部が設けられ、継手部材に、係合部に係合するレール長手方向にのびる被係合部が設けられ、継手部材の被係合部が対応する係合部に係合することによって、継手部材がレールに支持されていることを特徴とするものである。
【００１０】
継手部材の被係合部が溝であり、レールの係合部が凸部であることがあり、また、継手部材の被係合部が凸部であり、レールの係合部が溝であることがある。
【００１１】
上段に配された流体制御機器と、下段に配された継手部材と、複数の継手部材を支持するレールとによって、１つのラインが形成され、複数のラインの各レールがベース部材に取り付けられることで、流体制御装置全体が構成される。
【００１２】
各ラインにおいて、レールに嵌め合わせられた複数の継手部材のうちの隣り合う継手部材にまたがって配置された流体制御機器が上方からのおねじ部材によって継手部材に取り付けられる。
【００１３】
複数の継手部材を支持するライン支持部材としてレールを使用する流体制御装置では、従来、レールに嵌め合わせられて摺動する摺動部材が使用されて、摺動部材に継手部材を固定する必要があったが、この発明の流体制御装置では、各継手部材を摺動可能にレールに支持させることができるので、摺動部材が不要となり、摺動部材に継手部材をボルトで固定する作業も不要となる。したがって、各ラインを構成する部品数を少なくすることができ、また、各ラインを組み立てるための手間も少なくすることができる。
【００１４】
レールは、互いに平行にのびる１対の側壁と、継手部材の位置決めを行う位置決め部と、レールを支持するベース部材に固定される取付部とを有しており、各側壁に、前記係合部としての凸部が設けられているものとされることがある。
【００１５】
また、レールは、互いに平行にのびる１対の側壁と、継手部材の位置決めを行う位置決めと、レールを支持するベース部材に固定される取付部とを有しており、各側壁に前記係合部としての溝が設けられているものとされることがある。
【００１６】
継手部材の被係合部が溝であり、レールの係合部が凸部である場合、第１の形態として、レールは、互いに平行にのびる１対の側壁と、各側壁の上端部から他方の側壁に向かって垂直にのびて所定の間隔をおいて対向する１対の上壁と、１対の側壁および１対の上壁の一端部同士を結合し一端側に配置された継手部材の位置決めを行う位置決め部としての端壁とを有しており、上壁の内側縁部が前記凸部として使用されており、端壁に、レールを支持するベース部材に固定される取付部が設けられていることがある。
【００１７】
継手部材の被係合部が溝であり、レールの係合部が凸部である場合、第２の形態として、レールは、互いに平行にのびる１対の側壁と、各側壁の上端部から他方の側壁に向かって垂直にのびて所定の間隔をおいて対向する１対の上壁と、１対の側壁の下端部同士を結合する下壁とを有し、上壁の内側縁部が前記凸部として使用されており、各上壁の一端部に、継手部材の位置決めを行う位置決め部としての突出部が設けられ、下壁の一端部に、上壁よりも一端側に突出させられてレールを支持するベース部材に固定される取付部が設けられていることがある。
【００１８】
継手部材の被係合部が溝であり、レールの係合部が凸部である場合、第３の形態として、レールは、互いに平行にのびる１対の側壁と、１対の側壁の下端部同士を結合する下壁とを有し、各側壁に前記被係合部としての凸部が設けられ、各側壁の一端部に、継手部材の位置決めを行う位置決め部としての突出部が設けられ、下壁の一端部に、上壁よりも一端側に突出させられてレールを支持するベース部材に固定される取付部が設けられていることがある。
【００１９】
上記第３の形態では、前記被係合部としての凸部の上下の中間に、溝が形成され、継手部材の溝底の上下の中間に、該溝に嵌まり込む凸部が設けられていることがある。
【００２０】
継手部材の被係合部が凸部であり、レールの係合部が溝である場合、レールは、互いに平行にのびる１対の側壁と、１対の側壁の下端部同士を結合する下壁とを有し、各側壁に前記被係合部としての溝が設けられ、各側壁の一端部に、継手部材の位置決めを行う位置決め部としての突出部が設けられ、下壁の一端部に、上壁よりも一端側に突出させられてレールを支持するベース部材に固定される取付部が設けられていることがある。
【００２１】
複数の継手部材は、レールの他端（取付部が設けられている端部とは反対の端部）側から、順次レールに嵌め合わせられ、最初に嵌め合わせられる継手部材は、位置決め部（端壁または突出部など）で位置決めされる。継手部材をレールに沿って摺動させることで、隣り合う継手部材の間隔が調整され、継手部材の上に流体制御機器が載せられて、ボルトによって固定される。こうして、複数の継手部材および複数の流体制御機器が一体化された状態でレールに支持され、１つのラインが形成される。各継手部材は、ベース部材に直接に固定はされないが、被係合部が対応する係合部に係合していることで、継手部材がレールから上方に外れることが防止される。
【００２２】
ライン支持部材は、レールの端部に配置された継手部材に当接した状態でベース部材に固定されて、配置された継手部材がレールから長手方向に脱落することを防止するストッパをさらに有していることが好ましい。
【００２３】
ストッパは、レールとは別部材とされ、全ての流体制御機器を対応する継手部材にボルトで固定した後に、ベース部材に取り付けられる。これにより、一体化された複数の継手部材および複数の流体制御機器は、レールの端壁とストッパとによって挟まれ、その長手方向の移動が阻止される。
【００２４】
各ラインの長さは、使用される流体制御機器の数によって変化するので、これに対応して、レールの長さを変更するようにしてももちろんよいが、レールの長さを一定にして（ラインの長さが短いものに合わせて）、ストッパのベース部材への取付け位置を変更するだけで、ラインの長さ違いに対応するようにしてもよい。
【００２５】
この発明による流体制御装置用継手部材は、直方体ブロック状の本体に、流体制御機器の流体通路に連通する連通通路が形成されており、流体制御装置において下段に配される継手部材であって、本体側面に、レールに設けられた凸部または溝に摺動可能に係合させるための溝または凸部が形成されていることを特徴とするものである。
【００２６】
本体には、連通通路の他に、例えば、上面に開口して流体制御機器を取り付けるために使用されるねじ孔が設けられる。
【００２７】
この発明による流体制御装置用継手部材は、従来のものと比べると、ボルト挿通孔が省略された点と、溝または凸部が追加された点とで相違している。従来の継手部材のボルト挿通孔は、段付き状として、連通通路に干渉しないように設ける必要があり、これが省略されることで、継手部材の製作が容易なものとなる。
【００２８】
継手部材としては、例えば、隣り合う２つの流体制御機器を接続する中間継手部材と、端部に配置される管継手付き端部継手部材との２種類が使用される。中間継手部材の連通通路は、Ｖ字状通路またはＵ字状とされ、端部継手部材の連通通路は、Ｌ字状とされる。
【００２９】
なお、この明細書において、上下については、流体制御機器側を上、継手部材側を下としているが、この上下は便宜的なもので、上下が逆になったり、上下が左右になったりして使用されることもある。
【発明の効果】
【００３０】
この発明によると、ライン支持部材として、レールが使用されており、レールに、長手方向にのびる係合部が設けられ、継手部材に、係合部に係合するレール長手方向にのびる被係合部が設けられ、継手部材の被係合部が対応する係合部に係合することによって、継手部材がレールに支持されているので、構成する部品数を少なくすることができ、また、組み立てるための手間も少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は、この発明による流体制御装置および流体制御装置用継手部材の第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図２は、この発明による流体制御装置および流体制御装置用継手部材の第１実施形態の変形例を示す斜視図である。
【図３】図３は、流体制御装置のライン支持部材を示す斜視図である。
【図４】図４は、この発明による流体制御装置用継手部材の１例を示す斜視図である。
【図５】図５は、この発明による流体制御装置用継手部材の他の例を示す斜視図である。
【図６】図６は、この発明による流体制御装置および流体制御装置用継手部材の第２実施形態を示す斜視図である。
【図７】図７は、第２実施形態の流体制御装置のライン支持部材を示す斜視図である。
【図８】図８は、この発明による流体制御装置および流体制御装置用継手部材の第３実施形態を示す斜視図である。
【図９】図９は、第３実施形態の流体制御装置のライン支持部材を示す斜視図である。
【図１０】図１０は、第３実施形態の流体制御装置用継手部材の１例を示す斜視図である。
【図１１】図１１は、この発明による流体制御装置および流体制御装置用継手部材の第４実施形態を示す斜視図である。
【図１２】図１２は、第４実施形態の流体制御装置のライン支持部材を示す斜視図である。
【図１３】図１３は、第４実施形態の流体制御装置用継手部材の１例を示す斜視図である。
【図１４】図１４は、従来の流体制御装置用継手部材を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【００３３】
図１および図２は、この発明による流体制御装置および流体制御装置用継手部材の第１実施形態として、複数のラインを備えた流体制御装置のうちの１つのライン(1)(2)をそれぞれ示している。
【００３４】
各ライン(1)(2)において、上段には、マスフローコントローラ（流量調整器）(11)と、その入口側に配された複数の流体制御機器(12)(13)(14)(15)(18)と、その出口側にそれぞれ配された複数の流体制御機器(16)(17)とが設けられている。下段には、流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)の流体通路に連通する連通通路が形成されたブロック状継手部材(21)(22)が配されている。
【００３５】
図２に示すライン(2)は、図１に示すライン(1)に１つの流体制御機器(18)が追加されたもので、ライン(2)の長さが長くなっている。
【００３６】
各流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)は、上方から締め付けられるおねじ部材(20)によって、対応する継手部材(21)(22)に上方に取り出し可能に取り付けられている。
【００３７】
継手部材(21)(22)として、隣り合う流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)同士を接続するように配された中間継手部材(21)と、各ラインの入口側端部および出口側端部にそれぞれ配された管継手(22a)付きの端部継手部材(22)とが使用されている。中間継手部材(21)の連通通路は、Ｖ字状またはＵ字状とされており、端部継手部材(22)の連通通路は、Ｌ字状とされている。
【００３８】
各流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)と各継手部材(21)(22)との突き合わせ面には、連通部分をシールするシール部材（図示略）が設けられている。隣り合う継手部材(21)(22)間には、連通部分はなく、シール部材は使用されていない。
【００３９】
各ライン(1)(2)は、ライン支持部材(3)を介してベース部材（図示略）に取り付けられるようになされており、ライン支持部材(3)としては、図１のライン(1)と図２のライン(2)とで共通のものが使用されている。
【００４０】
図１および図２に示すライン(1)(2)およびこれに類似のラインがベース部材の面に並列に配置されることで、半導体製造装置などで使用される流体制御装置の全体が形成される。
【００４１】
ライン支持部材(3)は、各継手部材(21)(22)を支持するレール(4)と、入口側端部に配置された端部継手部材(22)がレール(4)から脱落することを防止するストッパ(5)とからなる。
【００４２】
各継手部材(21)(22)は、レール(4)に摺動可能に嵌め合わせられて、所定位置に配されている。
【００４３】
図３にも示すように、レール(4)は、ベース部材の面に垂直で互いに平行にのびる１対の側壁(31)と、各側壁(31)の上端部から他方の側壁(31)に向かって垂直（ベース部材の面に平行）にのびて所定の間隔をおいて対向する１対の上壁(32)と、１対の側壁(31)および１対の上壁(32)の出口側端部同士を結合する端壁（位置決め部）(33)とを有している。
【００４４】
出口側に配置される端部継手部材(22)の出口側端面は、端壁(33)によって位置決めされる。端壁(33)には、端部継手部材(22)の管継手(22a)を突出させることができるように、切欠き(33a)が設けられている。
【００４５】
レール(4)の端壁(33)の下端部には、ベース部材に固定される取付部(35)が一体に形成されており、これにより、端壁(33)は、側面（レール長手方向に直交する方向）から見てＬ字状に形成されている。取付部(35)には、貫通孔(35a)が設けられており、ベース部材に設けられたねじ孔にこの貫通孔(35a)を合わせて、ボルトをねじ孔にねじ合わせることにより、レール(4)をベース部材に固定することができる。
【００４６】
ストッパ(5)は、正面（レール長手方向）から見て逆Ｕ字状かつ側面（レール長手方向に直交する方向）から見てＬ字状に形成されており、レール(4)の端壁(33)に平行に対向し入口側の端部継手部材(22)の入口側端面に当接する当接部(36)と、当接部(36)に対して直角に連なりベース部材に固定される取付部(37)とからなる。取付部(37)には、貫通孔(37a)が設けられており、ベース部材に設けられたねじ孔にこの貫通孔(37a)を合わせて、ボルトをねじ孔にねじ合わせることにより、ストッパ(5)をベース部材に固定することができる。
【００４７】
中間継手部材(21)は、図４に示すように、直方体ブロック状の本体(41)に流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)の流体通路同士を連通するためのＶ字状連通通路(42)が形成されているもので、本体(41)には、さらに、上面に開口して流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)を取り付けるために使用されるねじ孔(43)が設けられており、ボルト挿通孔として使用される貫通孔は設けられていないものとされている。
【００４８】
本体(41)の両側面には、レール(4)の上壁(32)の内側縁部に係合するレール長手方向にのびる溝（被係合部）(44)が形成されている。この溝(44)は、中間継手部材(21)をレール(4)に摺動可能に係合させるために使用されるもので、溝(44)が対応するレール(4)の上壁(32)の内側縁部に係合することによって、中間継手部材(21)がレール(4)に支持される。
【００４９】
端部継手部材(22)は、図５に示すように、直方体ブロック状の本体(46)に流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)の流体通路同士を連通するためのＬ字状連通通路(47)が形成されているもので、本体(46)には、さらに、上面に開口して流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)を取り付けるために使用されるねじ孔(48)が設けられており、ボルト挿通孔として使用される貫通孔は設けられていないものとされている。
【００５０】
本体(46)の両側面には、レール(4)の上壁(32)の内側縁部に係合するレール長手方向にのびる溝（被係合部）(49)が形成されている。この溝(49)は、端部継手部材(22)をレール(4)に摺動可能に係合させるために使用されるもので、溝(49)が対応するレール(4)の上壁(32)の内側縁部に係合することによって、端部継手部材(22)がレール(4)に支持される。
【００５１】
図１および図２において、レール(4)の上壁(32)の内側縁部は、係合部としての凸部(34)を形成しており、各継手部材(21)(22)は、溝(44)(49)より下側の部分がレール(4)の１対の側壁(31)間に収容された状態で、凸部(34)と溝(44)(49)との係合によって、その配置高さが変化することなく、レール長手方向の適切な位置まで移動可能とされている。
【００５２】
図示省略するが、ベース部材には、適宜な位置に複数のねじ孔が設けられ、図１に示すライン(1)であっても、図２に示すライン(2)であっても、同じストッパ(5)を使用することができる。
【００５３】
各ライン(1)(2)は、流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)が対応する継手部材(21)(22)にボルト(20)で固定されることで一体化され、出口側端部および入口側端部に配置された端部継手部材(22)がレール(4)の端壁(33)とストッパ(5)の当接部(36)とによって挟まれることで、流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)が固定されている継手部材(21)(22)のレール長手方向の移動が阻止される。各継手部材(21)(22)は、両側面の溝(44)(49)がレール(4)の凸部(34)に係合していることで、レール(4)から上方に外れることが防止される。したがって、各継手部材(21)(22)をベース部材に直接固定することなく、各ライン(1)(2)を設置することができる。こうして、部品数を増加させることなく、各ライン(1)(2)を組み立てるための手間がかからないものとできる。
【００５４】
なお、上記第１実施形態において、レール(4)に上壁(32)が設けられて、その内側縁部が係合部としての凸部(34)とされるとともに、継手部材(21)(22)に、凸部(34)に係合する被係合部としての溝(44)(49)が形成されているが、これらの係合部および被係合部の構成は、各継手部材(21)(22)がレール(4)に摺動可能に支持されるものであればよく、適宜変更することができる。
【００５５】
以下に、他の実施形態をいくつか示す。なお、以下では、流体制御装置の１つのライン(1)の端部だけを示し、ライン(1)の詳細説明を省略する。
【００５６】
図６および図７は、継手部材(21)(22)が上記と同じで、被係合部としての溝(44)(49)を有しており、これを支持するレール(6)が異なるものとされたこの発明による流体制御装置および流体制御装置用継手部材の第２実施形態を示している。
【００５７】
図６および図７に示すように、第２実施形態のレール(6)は、ベース部材の面に垂直で互いに平行にのびる１対の側壁(61)と、各側壁(61)の上端部から他方の側壁(61)に向かって垂直（ベース部材の面に平行）にのびて所定の間隔をおいて対向する１対の上壁(62)と、１対の側壁(61)の下端部同士を連結する下壁(63)とを有している。側壁(61)、上壁(62)および下壁(63)は、互いに同じ厚さとされている。
【００５８】
継手部材(21)(22)は、図４および図５に示したのと同じもので、継手部材(21)(22)に、被係合部としての溝(44)(49)が形成されている。そして、第１実施形態と同様に、レール(6)の上壁(62)の内側縁部が継手部材(21)(22)の溝(44)(49)に摺動可能に係合する係合部としての凸部(64)として使用されている。レール(6)と図３に示すストッパ(5)とによって、ライン支持部材(3)が形成される。
【００５９】
端壁は省略されており、各上壁(62)の出口側端部に、出口側に配置される端部継手部材(22)の出口側端面の位置決めを行う突出部（位置決め部）(65)が設けられている。また、下壁(63)の出口側端部は、上壁(62)よりも長さ方向外側に突出させられており、この部分が、ベース部材に固定される取付部(66)とされている。
【００６０】
取付部(66)には、貫通孔(66a)が設けられており、ベース部材に設けられたねじ孔にこの貫通孔(66a)を合わせて、ボルトをねじ孔にねじ合わせることにより、レール(6)をベース部材に固定することができる。
【００６１】
第２実施形態において、各継手部材(21)(22)の溝(44)(49)が対応するレール(6)の上壁(62)の凸部(64)に係合することによって、各継手部材(21)(22)がレール(6)に支持される。各継手部材(21)(22)は、溝(44)(49)より下側の部分がレール(6)の１対の側壁(61)間に収容された状態で、凸部(64)と溝(44)(49)との係合によって、その配置高さが変化することなく、レール長手方向の適切な位置まで移動可能とされている。各継手部材(21)(22)は、両側面の溝(44)(49)がレール(6)の凸部(64)に係合していることで、レール(6)から上方に外れることが防止される。こうして、部品数を増加させることなく、各ライン(1)を組み立てるための手間がかからないものとできる。
【００６２】
図８から図１０までは、継手部材(23)(24)の被係合部が溝(77)(79)であり、レール(7)の係合部が凸部(73)である場合のこの発明による流体制御装置および流体制御装置用継手部材の第３実施形態を示している。
【００６３】
図８に示すように、１つのライン(1)は、複数の流体制御機器(12)(13)と、複数の中間継手部材(23)および２つの管継手(24a)付き端部継手部材(24)と、継手部材(23)(24)を支持するレール(7)とを有している。
【００６４】
図８および図９に示すように、第３実施形態のレール(7)は、ベース部材の面に垂直で互いに平行にのびる１対の側壁(71)と、１対の側壁(71)の下端部同士を連結する下壁(72)と、各側壁(71)の内側面の上端部から他方の側壁に向かって垂直にのびて所定の間隔をおいて対向する１対の横断面方形の凸部(73)とを有している。
【００６５】
各側壁(71)は、下壁(72)および第２実施形態の側壁(61)に比べて、厚肉とされている。凸部(73)の厚み（上下方向寸法）は、側壁(71)の厚みとほぼ等しく、第２実施形態の上壁(62)の厚みの３倍程度となされている。
【００６６】
レール(7)と図３に示すストッパ(5)とによって、ライン支持部材(3)が形成される。
【００６７】
凸部(73)の上下の中間には、横断面方形の溝(73a)が全長にわたって形成されている。溝(73a)は、側壁(71)の内側面に達している。
【００６８】
中間継手部材(23)は、図１０に示すように、基本の構成として、第１実施形態の中間継手部材(21)と同様に、直方体ブロック状の本体(76)に流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)の流体通路同士を連通するためのＶ字状連通通路(42)が形成されており、本体(76)には、さらに、上面に開口して流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)を取り付けるために使用されるねじ孔(43)が設けられており、ボルト挿通孔として使用される貫通孔は設けられていないものとされている。
【００６９】
中間継手部材(23)の本体(76)には、さらに、レール(7)の凸部(73)に摺動可能に係合させるための構成として、レール(7)の凸部(73)に対応する溝(77)が形成されるとともに、溝底の上下の中間に、レール(7)の溝(73a)に嵌まり合う凸部(77a)が設けられている。
【００７０】
端部継手部材(24)は、図示省略するが、基本の構成として、第１実施形態の端部継手部材(22)と同様に、直方体ブロック状の本体(78)に流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)の流体通路同士を連通するためのＬ字状連通通路(47)が形成されており、本体(78)には、さらに、上面に開口して流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)を取り付けるために使用されるねじ孔(48)が設けられており、ボルト挿通孔として使用される貫通孔は設けられていないものとされている。
【００７１】
端部継手部材(24)の本体(78)には、さらに、レール(7)の凸部(73)に摺動可能に係合させるための構成として、レール(7)の凸部(73)に対応する溝(79)が形成されるとともに、溝底の上下の中間に、レール(7)の凸部(73)の溝(73a)に嵌まり合う凸部(79a)が設けられている。
【００７２】
レール(7)の端壁は省略されており、レール(7)の各側壁(71)の上面の出口側端部に、出口側に配置される端部継手部材(24)の出口側端面の位置決めを行う突出部（位置決め部）(74)が設けられている。また、下壁(72)の出口側端部は、側壁(71)よりも外側に突出させられており、この部分が、ベース部材に固定される取付部(75)とされている。
【００７３】
取付部(75)には、貫通孔(75a)が設けられており、ベース部材に設けられたねじ孔にこの貫通孔(75a)を合わせて、ボルトをねじ孔にねじ合わせることにより、レール(7)をベース部材に固定することができる。
【００７４】
第３実施形態において、各継手部材(23)(24)の溝(77)(79)が対応するレール(7)の凸部(73)に係合することによって、各継手部材(23)(24)がレール(7)に支持される。各継手部材(23)(24)は、溝(77)(79)より下側の部分がレール(7)の１対の側壁(71)間に収容された状態で、凸部(73)と溝(77)(79)との係合によって、その配置高さが変化することなく、レール長手方向の適切な位置まで移動可能とされている。各継手部材(23)(24)は、両側面の溝(77)(79)がレール(7)の凸部(73)に係合していることで、レール(7)から上方に外れることが防止される。こうして、部品数を増加させることなく、各ライン(1)を組み立てるための手間がかからないものとできる。
【００７５】
なお、レール(7)の凸部(73)に設けられている溝(73a)およびこれに対応する継手部材(23)(24)の溝(77)(79)の凸部(77a)(79a)は、省略してもよい。また、上記において、レール(7)の凸部(73)に設けられている溝(73a)は、側壁(71)の内側面に達しており、凸部(73)が上下１対の横断面方形の凸条からなるものとされているが、溝(73a)の深さは、図示したものに比べて、浅くしてもよく、また、深くしてもよい。
【００７６】
図１１から図１３までは、継手部材(25)(26)の被係合部が溝に代えて凸部(87)(89)とされ、レール(8)の係合部が凸部に代えて溝(83)とされた場合のこの発明による流体制御装置および流体制御装置用継手部材の第４実施形態を示している。
【００７７】
図１１に示すように、１つのライン(1)は、複数の流体制御機器(12)(13)と、複数の中間継手部材(25)および２つの管継手(26a)付き端部継手部材(26)と、継手部材(25)(26)を支持するレール(8)とを有している。
【００７８】
図１１および図１２に示すように、第４実施形態のレール(8)は、ベース部材の面に垂直で互いに平行にのびる１対の側壁(81)と、１対の側壁(81)の下端部同士を連結する下壁(82)とを有している。
【００７９】
各側壁(81)は、下壁(82)に比べて、厚肉とされており、各側壁(81)の内側面の上端部に、横断面方形の溝(83)がそれぞれ各側壁(81)の全長にわたって設けられている。
【００８０】
レール(8)と図３に示すストッパ(5)とによって、ライン支持部材(3)が形成される。
【００８１】
中間継手部材(25)は、図１３に示すように、基本の構成として、第１実施形態の中間継手部材(21)と同様に、直方体ブロック状の本体(86)に流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)の流体通路同士を連通するためのＶ字状連通通路(42)が形成されており、本体(86)には、さらに、上面に開口して流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)を取り付けるために使用されるねじ孔(43)が設けられており、ボルト挿通孔として使用される貫通孔は設けられていないものとされている。
【００８２】
中間継手部材(25)の本体(86)には、さらに、レール(8)の溝(83)に摺動可能に係合させるための構成として、レール(8)の溝(83)に対応する凸部(87)が形成されている。凸部(87)は、本体(86)の下寄りの部分に設けられている。
【００８３】
端部継手部材(26)は、図示省略するが、基本の構成として、第１実施形態の端部継手部材(22)と同様に、直方体ブロック状の本体(88)に流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)の流体通路同士を連通するためのＬ字状連通通路(47)が形成されており、本体(88)には、さらに、上面に開口して流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)を取り付けるために使用されるねじ孔(48)が設けられており、ボルト挿通孔として使用される貫通孔は設けられていないものとされている。
【００８４】
端部継手部材(26)の本体(88)には、さらに、レール(8)の溝(83)に摺動可能に係合させるための構成として、レール(8)の溝(83)に対応する凸部(89)が形成されている。凸部(89)は、本体(86)の下寄りの部分に設けられている。
【００８５】
レール(8)の端壁は省略されており、レール(8)の各側壁(81)の上面の出口側端部に、出口側に配置される端部継手部材(26)の出口側端面の位置決めを行う突出部（位置決め部）(84)が設けられている。また、下壁(82)の出口側端部は、側壁(81)よりも外側に突出させられており、この部分が、ベース部材に固定される取付部(85)とされている。
【００８６】
取付部(85)には、貫通孔(85a)が設けられており、ベース部材に設けられたねじ孔にこの貫通孔(85a)を合わせて、ボルトをねじ孔にねじ合わせることにより、レール(8)をベース部材に固定することができる。
【００８７】
第４実施形態において、各継手部材(25)(26)の凸部(87)(89)が対応するレール(8)の溝(83)に係合することによって、各継手部材(25)(26)がレール(8)に支持される。各継手部材(25)(26)は、凸部(87)(89)を含む下側の部分がレール(8)の１対の側壁(81)間に収容された状態で、溝(83)と凸部(87)(89)との係合によって、その配置高さが変化することなく、レール長手方向の適切な位置まで移動可能とされている。各継手部材(25)(26)は、両側面の凸部(87)(89)がレール(8)の溝(83)に係合していることで、レール(8)から上方に外れることが防止される。こうして、部品数を増加させることなく、各ライン(1)を組み立てるための手間がかからないものとできる。
【符号の説明】
【００８８】
(1)(2)：ライン、(3)：ライン支持部材、(4)(6)(7)(8)：レール、(5)：ストッパ、(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)：流体制御機器、(21)(22)(23)(24)(25)(26)：継手部材、(31)(61)：側壁、(33)：端壁（位置決め部）、(34)(64)(73)：凸部（係合部）、(35)：取付部、(41)(46)(76)(78)(86)(88)：本体、(42)(47)：連通通路、(44)(49)(77)(79)：溝、(65)(74)(84)突出部（位置決め部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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