(57)【要約】【課題】電子部品の損傷を抑制しつつ電子部品を的確に搬送（特に、回収）することのできる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１は、ＩＣデバイス９を載置する載置レーン６２３を有する傾斜ステージ６２２と、傾斜ステージ６２２を水平な水平状態と水平に対して傾斜する傾斜状態とに移動させる移動機構６３と、を有し、水平状態のときにＩＣデバイス９を載置レーン６２３に載置し、移動機構６３によって傾斜ステージ６２２を傾斜状態とすることでＩＣデバイス９を載置レーン６２３に移動させる。【選択図】図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を載置する載置部を有する載置機構と、
前記載置機構を水平な水平状態と水平に対して傾斜する傾斜状態とに移動させる移動機構と、を有し、
前記水平状態のときに前記電子部品を前記載置部に載置し、前記移動機構によって前記載置機構を前記傾斜状態とすることで、前記電子部品が前記載置部から電子部品収容部に移動する、
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記載置機構は、前記載置部を複数含む、
請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記載置部には、前記傾斜状態での前記電子部品の移動を規制する規制部が含まれる、
請求項１または２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記載置機構は、前記載置部の前記電子部品が載置される位置よりも搬送方向の下流側の領域を覆うカバーを含む、
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記カバーには前記載置部上の前記電子部品を視認可能な窓部が設けられている、
請求項４に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記水平状態において、前記電子部品を前記搬送方向の下流側へ押圧することで、前記電子部品を前記載置部の前記カバーで覆われている領域内へ移動させる押圧部を更に含む、
請求項４または５に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記押圧部には、前記電子部品に向けて流体を噴射する噴射部が設けられている、
請求項６に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記流体は、圧縮空気である、
請求項７に記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
前記押圧部は、伸縮可能である、
請求項６ないし８のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１０】
前記押圧部は、前記電子部品を押圧する先端部と、前記先端部よりも基端側に位置する基端部と、前記基端部に対して前記先端部を先端側へ付勢する付勢部と、を含み、
前記押圧部は、前記付勢部の付勢力に抗して前記先端部が基端側へ変位可能である、
請求項６ないし９のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１１】
前記先端部には、前記電子部品を押圧する際に前記押圧部に加わる応力を検知する応力検知部を含まれる、
請求項１０に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１２】
前記移動機構は、
前記載置機構を前記鉛直方向から見た平面視で直線移動させつつ前記載置部の水平に対する傾斜を変化させることで、前記水平状態から前記傾斜状態とする、
請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１３】
前記移動機構は、
前記載置機構を水平方向に移動させる駆動部と、
前記載置機構を傾斜させるガイド部と、を含む、
請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１４】
前記載置機構は、
水平方向に移動するベース部と、
前記ベース部に対して回動可能に連結され、前記載置部が形成されている傾斜部と、を含み、
前記駆動部は、前記ベース部を水平方向に移動させ、
前記ガイド部により前記傾斜部の水平に対する傾きを変化させる、
請求項１３に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を含むことを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばＩＣデバイスなどの電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られており、この電子部品検査装置には、検査部までＩＣデバイスを搬送するための電子部品搬送装置（ハンドラー）が組み込まれている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、水平に対して傾斜し、ＩＣデバイスを自然滑走させるバッファレールと、バッファレールの下流側に位置し、回転可能に設けられている回転アームと、を有し、バッファレールを自然滑走してきたＩＣデバイスを回転アームで受け取り、回転アームを回転させることで、ＩＣデバイスを水平状態とし、水平状態としたＩＣデバイスを吸着ヘッドで吸着して検査部まで搬送するハンドラーが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開ＷＯ９７／１７６１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のハンドラーでは、検査部に搬送されたＩＣデバイスを回収する方法が記載されていない。検査部からＩＣデバイスを回収する方法が適切でないと、搬送／回収時にＩＣデバイスが損傷するおそれがある。
【０００６】
本発明の目的は、電子部品の損傷を抑制しつつ電子部品を的確に搬送（特に、回収）することのできる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を載置する載置部を有する載置機構と、
前記載置機構を水平な水平状態と水平に対して傾斜する傾斜状態とに移動させる移動機構と、を有し、
前記水平状態のときに前記電子部品を前記載置部に載置し、前記移動機構によって前記載置機構を前記傾斜状態とすることで、前記電子部品が前記載置部から電子部品収容部に移動する、
ことを特徴とする。
【０００８】
このように、電子部品を移動させることで、電子部品に不要な応力（例えば、押圧力）が加わらず、電子部品の損傷を抑制することができる。そのため、電子部品を的確に搬送することのできる電子部品搬送装置が得られる。
【０００９】
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置機構は、前記載置部を複数含む、ことが好ましい。
これにより、電子部品の搬送（回収）を効率よく行うことができる。
【００１０】
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置部には、前記傾斜状態での前記電子部品の移動を規制する規制部が含まれる、ことが好ましい。
【００１１】
これにより、電子部品を載置部に留めることができ、載置部からの電子部品の意図しない離脱を防止することができる。
【００１２】
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置機構は、前記載置部の前記電子部品が載置される位置よりも搬送方向の下流側の領域を覆うカバーを含む、ことが好ましい。
これにより、載置部からの電子部品の意図しない離脱を防止することができる。
【００１３】
本発明の電子部品搬送装置では、前記カバーには前記載置部上の前記電子部品を視認可能な窓部が設けられている、ことが好ましい。
【００１４】
これにより、載置部上の電子部品の載置状態を確認することができ、異常を発見し易くなる。
【００１５】
本発明の電子部品搬送装置では、前記水平状態において、前記電子部品を前記搬送方向の下流側へ押圧することで、前記電子部品を前記載置部の前記カバーで覆われている領域内へ移動させる押圧部を更に含む、ことが好ましい。
【００１６】
これにより、水平状態から傾斜状態に変位させる際の、載置部からの電子部品の意図しない離脱を防止することができる。
【００１７】
本発明の電子部品搬送装置では、前記押圧部には、前記電子部品に向けて流体を噴射する噴射部が設けられている、ことが好ましい。
【００１８】
傾斜状態の時に電子部品に流体を噴射することで、電子部品を付勢してより確実に自然滑走させることができる。
【００１９】
本発明の電子部品搬送装置では、前記流体は、圧縮空気である、ことが好ましい。
これにより、流体による付勢力をより高めることができる。また、比較的安全でもある。
【００２０】
本発明の電子部品搬送装置では、前記押圧部は、伸縮可能である、ことが好ましい。
これにより、押圧部で電子部品を押圧する際の衝撃を緩和することができ、電子部品の損傷をより効果的に抑制することができる。
【００２１】
本発明の電子部品搬送装置では、前記押圧部は、前記電子部品を押圧する先端部と、前記先端部よりも基端側に位置する基端部と、前記基端部に対して前記先端部を先端側へ付勢する付勢部と、を含み、
前記押圧部は、前記付勢部の付勢力に抗して前記先端部が基端側へ変位可能である、ことが好ましい。
これにより、押圧部の構成が比較的簡単なものとなる。
【００２２】
本発明の電子部品搬送装置では、前記先端部には、前記電子部品を押圧する際に前記押圧部に加わる応力を検知する応力検知部が含まれる、ことが好ましい。
【００２３】
例えば、載置部上で電子部品が異常な状態となっていると、正常な状態と比較して押圧部に加わる応力が増すため、これにより、載置部上の電子部品の状態が正常であるか異常であるかを検知することができる。
【００２４】
本発明の電子部品搬送装置では、前記移動機構は、
前記載置機構を前記鉛直方向から見た平面視で直線移動させつつ前記載置部の水平に対する傾斜を変化させることで、前記水平状態から前記傾斜状態とする、ことが好ましい。
【００２５】
このように、載置機構を直線移動させつつ傾斜させることで、下流側に位置する装置との接続が行い易くなる。
【００２６】
本発明の電子部品搬送装置では、前記移動機構は、
前記載置機構を水平方向に移動させる駆動部と、
前記載置機構を傾斜させるガイド部と、を含む、ことが好ましい。
これにより、移動機構の構成が比較的簡単なものとなる。
【００２７】
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置機構は、
水平方向に移動するベース部と、
前記ベース部に対して回動可能に連結され、前記載置部が形成されている傾斜部と、を含み、
前記駆動部は、前記ベース部を水平方向に移動させ、
前記ガイド部により前記傾斜部の水平に対する傾きを変化させる、ことが好ましい。
これにより、載置機構の構成が比較的簡単なものとなる。
【００２８】
本発明の電子部品検査装置は、本発明の電子部品搬送装置と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を含むことを特徴とする。
【００２９】
このように、電子部品を移動させることで、電子部品に不要な応力（例えば、押圧力）が加わらず、電子部品の損傷を抑制することができる。そのため、電子部品を的確に搬送することのできる電子部品検査装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の電子部品検査装置の好適な実施形態を示す概略図である。
【図２】収容チューブおよび図１に示す電子部品検査装置の供給部を示す図である。
【図３】図１に示す電子部品検査装置の供給側配列部を示す図である。
【図４】図３に示す供給側配列部の離間機構を示す図である。
【図５】図４に示す離間機構の作動を説明する図である。
【図６】図４に示す離間機構の作動を説明する図である。
【図７】図３に示す供給側配列部の振分機構を示す図である。
【図８】図３に示す供給側配列部の振分機構を示す図である。
【図９】図３に示す供給側配列部の姿勢制御機構を示す図である。
【図１０】図３に示す供給側配列部の姿勢制御機構を示す図である。
【図１１】図１に示す電子部品検査装置の搬送部および検査部を示す図である。
【図１２】図１に示す電子部品検査装置の回収側配列部を示す図である。
【図１３】図１に示す電子部品検査装置の回収側配列部を示す図である。
【図１４】図１２に示す回収側配列部が有する駆動部を示す図である。
【図１５】図１２に示す回収側配列部が有する押圧部を示す図である。
【図１６】図１に示す電子部品検査装置の回収部を示す図である。
【図１７】図１に示す電子部品検査装置の回収部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置について添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３２】
図１は、本発明の電子部品検査装置の好適な実施形態を示す概略図である。図２は、収容チューブおよび図１に示す電子部品検査装置の供給部を示す図である。図３は、図１に示す電子部品検査装置の供給側配列部を示す図である。図４は、図３に示す供給側配列部の離間機構を示す図である。図５は、図４に示す離間機構の作動を説明する図である。図６は、図４に示す離間機構の作動を説明する図である。図７は、図３に示す供給側配列部の振分機構を示す図である。図８は、図３に示す供給側配列部の振分機構を示す図である。図９は、図３に示す供給側配列部の姿勢制御機構を示す図である。図１０は、図３に示す供給側配列部の姿勢制御機構を示す図である。図１１は、図１に示す電子部品検査装置の搬送部および検査部を示す図である。図１２は、図１に示す電子部品検査装置の回収側配列部を示す図である。図１３は、図１に示す電子部品検査装置の回収側配列部を示す図である。図１４は、図１２に示す回収側配列部が有する駆動部を示す図である。図１５は、図１２に示す回収側配列部が有する押圧部を示す図である。図１６は、図１に示す電子部品検査装置の回収部を示す図である。図１７は、図１に示す電子部品検査装置の回収部を示す図である。
【００３３】
なお、以下では、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」とも言う。また、電子部品の搬送方向の上流側を単に「上流側」とも言い、下流側を単に「下流側」とも言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いていた状態も含む。
【００３４】
図１に示す検査装置（電子部品検査装置）１は、例えば、ＩＣデバイス、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＣＩＳ（CMOS Image Sensor）などの電子部品の電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）するための装置である。なお、以下では、説明の便宜上、検査を行う前記電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９」とする。
【００３５】
検査装置１は、供給部２と、供給側配列部３と、搬送部４と、検査部５と、回収側配列部６と、回収部７と、これら各部の制御を行う制御部８と、を有している。また、検査装置１は、供給部２、供給側配列部３、搬送部４、検査部５、回収側配列部６および回収部７を配置するベース１１と、供給側配列部３、搬送部４、検査部５および回収側配列部６を収容するようにベース１１に被せられているカバー１２と、を有している。なお、ベース１１の上面であるベース面１１１は、ほぼ水平となっており、このベース面１１１に供給側配列部３、搬送部４、検査部５、回収側配列部６の構成部材が配置されている。また、検査装置１は、この他、必要に応じて、ＩＣデバイス９を加熱するためのヒーターやチャンバー等を有していてもよい。
【００３６】
このような検査装置１は、供給部２が供給側配列部３にＩＣデバイス９を供給し、供給されたＩＣデバイス９を供給側配列部３が配列し、配列したＩＣデバイス９を搬送部４が検査部５に搬送し、搬送したＩＣデバイス９を検査部５が検査し、検査を終えたＩＣデバイス９を搬送部４が回収側配列部６に搬送／配列し、回収側配列部６に配列したＩＣデバイス９を回収部７が回収するように構成されている。このような検査装置１によれば、ＩＣデバイス９の供給・検査・回収を自動的に行うことができる。なお、検査装置１では検査部５を除く構成、すなわち、供給部２、供給側配列部３、搬送部４、回収側配列部６および回収部７によって、ＩＣデバイス９の搬送を行う電子部品搬送装置１’が構成されている。
【００３７】
以下、供給部２、供給側配列部３、搬送部４、検査部５、回収側配列部６および回収部７の構成について順次説明する。
【００３８】
≪供給部≫
供給部２は、供給側配列部３にＩＣデバイス９を供給するユニットである。なお、ＩＣデバイス９は、図２に示すように、複数が一列に並べられた状態で収容チューブ９０に収容されている。また、収容チューブ９０は、長尺な管状をなしており、先端に開口９０１を有している。そのため、この開口９０１から収容チューブ９０内のＩＣデバイス９を先頭側から順に送出することができる。なお、検査前は、開口９０１にキャップを被せておくことで、収容チューブ９０内にＩＣデバイス９を保管しておくことができる。また、ＩＣデバイス９は、ＩＣチップをエポキシ樹脂封止材料等で樹脂封止したパッケージ型のＩＣデバイスであり、ＩＣチップを封止している樹脂封止体９１と、樹脂封止体９１から突出している複数のリード（図示せず）と、を有している。ただし、ＩＣデバイス９の構成としては、これに限定されず、例えば、リードを省略してもよい。
【００３９】
供給部２は、図２に示すように、収容チューブ９０を載置する載置ステージ２１を有している。このような供給部２は、収容チューブ９０を載置ステージ２１に固定した状態で、載置ステージ２１を回動軸Ｊ２１回りに回動させることで、収容チューブ９０を水平に対して傾斜させることができる。これにより、ＩＣデバイス９を自然滑走によって収容チューブ９０から送出することができる。ここで、自然滑走とは、重力によってＩＣデバイス９がＩＣデバイス９と接する面に沿って移動することを意味する。
【００４０】
≪供給側配列部≫
供給側配列部３は、供給部２から供給された（収容チューブ９０から送出された）複数のＩＣデバイス９を決められた配置かつ姿勢に並び替えるユニットである。このような供給側配列部３は、図３に示すように、水平に対して傾斜し、供給部２から供給されるＩＣデバイス９を自然滑走させて搬送する搬送レーン３１と、搬送レーン３１の途中に設けられている離間機構３２と、搬送レーン３１の下流側に設けられている姿勢制御機構３４と、搬送レーン３１と姿勢制御機構３４との間に設けられている振分機構３３と、を有している。
【００４１】
−搬送レーン−
搬送レーン３１の上流側には収容チューブ９０が接続され、収容チューブ９０内のＩＣデバイス９が先頭側から順に搬送レーン３１に送出される。搬送レーン３１に送出されたＩＣデバイス９は、それぞれ、搬送レーン３１を自然滑走する。このような搬送レーン３１は、図３に示すように、上流側に位置し、ベース１１に固定されている第２搬送レーン３１２と、第２搬送レーン３１２の下流側に位置し、第２搬送レーン３１２に対してその延在方向に移動（接続／離間）可能な第１搬送レーン３１１と、を有している。なお、搬送レーン３１の水平に対する傾斜角度としては、特に限定されないが、例えば、３０°〜６０°程度とすることができる。
【００４２】
−離間機構−
離間機構３２は、図４に示すように、搬送レーン３１に並んだ複数のＩＣデバイス９のうちの、先頭に位置するＩＣデバイス９Ａを、このＩＣデバイス９Ａの１つ後方に位置するＩＣデバイス９Ｂから離間させるユニットである。このような離間機構３２は、ストッパー３２１と、第１固定部３２２と、第２固定部３２３と、を有している。
【００４３】
ストッパー３２１は、搬送レーン３１の途中に、突出／退避可能に設けられており、突出状態（図４中の鎖線で示す状態）となることで、搬送レーン３１上を自然滑走してきたＩＣデバイス９を受け止め、搬送レーン３１上に留めることができる。搬送レーン３１上にＩＣデバイス９を留めた状態では、ＩＣデバイス９Ａが第１搬送レーン３１１上に位置し、ＩＣデバイス９Ｂが第２搬送レーン３１２に位置している。
【００４４】
第１固定部３２２は、ストッパー３２１よりも上流側に位置し、第１搬送レーン３１１上のＩＣデバイス９Ａと対向して設けられている。第１固定部３２２は、突出／退避可能に設けられており、下方へ突出することでＩＣデバイス９Ａの樹脂封止体９１を上側から第１搬送レーン３１１へ押し付け、ＩＣデバイス９Ａを第１搬送レーン３１１に固定することができる。
【００４５】
第２固定部３２３は、第１固定部３２２よりも上流側に位置し、第２搬送レーン３１２上のＩＣデバイス９Ｂと対向して設けられている。第２固定部３２３は、突出／退避可能に設けられており、下方へ突出することでＩＣデバイス９Ｂを上側から第２搬送レーン３１２へ押し付け、ＩＣデバイス９Ｂの樹脂封止体９１を第２搬送レーン３１２に固定することができる。
【００４６】
このような構成の離間機構３２は、次のようにＩＣデバイス９Ａ、９Ｂを離間させる。まず、供給部２からＩＣデバイス９が供給されるのに先立って、第１搬送レーン３１１を第２搬送レーン３１２に接続すると共に、ストッパー３２１を突出状態とする。そして、図５（ａ）に示すように、搬送レーン３１を自然滑走してきた複数のＩＣデバイス９をストッパー３２１によって受け止めた後、図５（ｂ）に示すように、第１固定部３２２でＩＣデバイス９Ａを第１搬送レーン３１１に固定し、第２固定部３２３でＩＣデバイス９Ｂを第２搬送レーン３１２に固定する。次に、図６（ａ）に示すように、第１搬送レーン３１１を下流側へ移動させて、第２搬送レーン３１２から離間させる。これにより、第１搬送レーン３１１に固定されたＩＣデバイス９Ａが、第２搬送レーン３１２に固定されたＩＣデバイス９Ｂから離間する。ＩＣデバイス９Ａ、９Ｂを離間した後は、図６（ｂ）に示すように、第１固定部３２２を退避させてＩＣデバイス９Ａの固定を解除すると共に、ストッパー３２１を退避させてＩＣデバイス９Ａのみを自然滑走させ、ＩＣデバイス９Ａを振分機構３３に供給する。
【００４７】
−振分機構−
振分機構３３は、搬送レーン３１を自然滑走してきたＩＣデバイス９を複数のレーンに振り分けて、複数列に並び替えるユニットである。このような振分機構３３は、図７に示すように、振分ステージ３３１を有している。
【００４８】
振分ステージ３３１は、搬送レーン３１の下流側に位置しており、搬送レーン３１と同程度傾斜している。また、振分ステージ３３１は、直動ガイドによってＸ方向に往復移動可能となっている。このような振分ステージ３３１にはＸ方向に沿って並設されている４本の振分レーン３３２（３３２Ａ〜３３２Ｄ）が設けられている。これら４本の振分レーン３３２のうちのいずれか１つを搬送レーン３１に接続することで、その振分レーン３３２に搬送レーン３１を自然滑走してきたＩＣデバイス９を導入することができる。
【００４９】
振分レーン３３２へ導入されたＩＣデバイス９がそのまま振分レーン３３２を通過して離脱してしまわないように、図８に示すように、各振分レーン３３２には、突出／退避可能なストッパー３３３が設けられている。また、振分ステージ３３１には振分レーン３３２の上方を覆うカバー３３４が設けられており、カバー３３４には振分レーン３３２に配置されるＩＣデバイス９を視認可能とする窓部３３４ａが設けられている。
【００５０】
このような構成の振分機構３３は、次のようにしてＩＣデバイス９を振り分ける。すなわち、まず、ストッパー３３３を突出させた状態で、図８に示すように、振分レーン３３２Ａを搬送レーン３１に接続する。次に、離間機構３２によって、搬送レーン３１の先頭に位置するＩＣデバイス９を自然滑走させ、振分レーン３３２Ａに導入する。残りの振分レーン３３２Ｂ〜３３２Ｄについても、この工程を繰り返すことで、各振分レーン３３２にＩＣデバイス９を１つずつ均等に導入する。これにより、搬送レーン３１を１列で通過するＩＣデバイス９を４列に並び替えることができる。各振分レーン３３２にＩＣデバイス９を１つずつ導入し終えると、振分ステージ３３１を姿勢制御機構３４に接続し、ストッパー３３３を退避させることで、各振分レーン３３２上のＩＣデバイス９を姿勢制御機構３４へ導入する。
【００５１】
−姿勢制御機構−
姿勢制御機構３４は、振分機構３３から導入されたＩＣデバイス９を水平な状態とするユニットである。このような姿勢制御機構３４は、図９に示すように、載置ステージ３４１と、ガイド３４７と、を有している。
【００５２】
載置ステージ３４１は、振分ステージ３３１の下流側に位置している。また、載置ステージ３４１は、直動ガイドによってガイドされることでＹ方向に移動可能なベース３４２と、ベース３４２に対してＸ軸（回動軸Ｊ３４３）まわりに回動可能に連結されている傾斜ステージ３４３と、を有している。また、傾斜ステージ３４３にはＸ方向に沿って並設されている４本の載置レーン３４４が設けられている。ガイド３４７は、水平に対して傾斜しているガイド面３４７ａを有しており、このガイド面３４７ａでベース３４２と共にＹ方向に移動する傾斜ステージ３４３をガイドすることで、傾斜ステージ３４３をベース３４２に対して回動軸Ｊ３４３まわりに回動させて、傾斜ステージ３４３の傾きを変化させる。
【００５３】
このような姿勢制御機構３４によれば、図９に示すように、傾斜ステージ３４３が水平に対して振分ステージ３３１と同程度傾斜していると共に、振分ステージ３３１に接続されている傾斜状態と、図１０に示すように、傾斜ステージ３４３がほぼ水平となっている水平状態と、の間で傾斜ステージ３４３の姿勢を変化させることができる。傾斜ステージ３４３を傾斜状態とし、ストッパー３３３を解除すれば、振分レーン３３２上のＩＣデバイス９を載置レーン３４４に導入することができる。また、載置レーン３４４にはＩＣデバイス９と当接する当接部３８が設けられており、ＩＣデバイス９が当接部３８に当接することで、載置レーン３４４上の正しい位置にＩＣデバイス９が配置される。
【００５４】
このような構成の姿勢制御機構３４は、次のように作動する。すなわち、まず、傾斜ステージ３４３を傾斜状態とし、図９に示すように、載置レーン３４４を振分レーン３３２に接続する。次に、振分レーン３３２に設けられているストッパー３３３を解除して、振分レーン３３２のＩＣデバイス９を載置レーン３４４に導入する。次に、図１０に示すように、ベース３４２をＹ方向に移動させて傾斜ステージ３４３を傾斜状態から水平状態へ変位させることで、載置レーン３４４上のＩＣデバイス９が水平に配置された状態となる。なお、水平状態なったＩＣデバイス９は、搬送部４によって検査部５に搬送される。
【００５５】
≪搬送部≫
搬送部４は、図１１に示すように、傾斜ステージ３４３上に配置されている水平状態のＩＣデバイス９を検査部５まで搬送し、検査部５での検査を終えたＩＣデバイス９を回収側配列部６まで搬送するユニットである。このような搬送部４は、シャトル４１と、供給ロボット４２と、検査ロボット４３と、回収ロボット４４と、を有している。
【００５６】
−シャトル−
シャトル４１は、傾斜ステージ３４３上のＩＣデバイス９を検査部５の近傍まで搬送するため、さらには、検査部５で検査された検査済みのＩＣデバイス９を回収側配列部６の近傍まで搬送するためのシャトルである。このようなシャトル４１には、ＩＣデバイス９を収容するための４つのポケット４１１がＸ方向に並んで形成されている。また、シャトル４１は、直動ガイドによってガイドされており、リニアモーター等の駆動源によってＸ方向に往復移動可能となっている。
【００５７】
−供給ロボット−
供給ロボット４２は、水平状態の傾斜ステージ３４３上に配置されているＩＣデバイス９をシャトル４１に搬送するロボットである。このような供給ロボット４２は、ベース１１に支持された支持フレーム４２１と、支持フレーム４２１に支持され、支持フレーム４２１に対してＹ方向に往復移動可能な移動フレーム４２２と、移動フレーム４２２に支持された４つのハンドユニット（把持ロボット）４２３と、を有している。各ハンドユニット４２３は、昇降機構および吸着ノズルを備え、ＩＣデバイス９を吸着保持することができる。
【００５８】
−検査ロボット−
検査ロボット４３は、シャトル４１に収容されたＩＣデバイス９を検査部５へ搬送するとともに、検査を終えたＩＣデバイス９を検査部５からシャトル４１へ搬送するロボットである。また、検査ロボット４３は、検査の際に、ＩＣデバイス９を検査部５に押し付け、ＩＣデバイス９に所定の検査圧を印加することもできる。このような検査ロボット４３は、ベース１１に支持された支持フレーム４３１と、支持フレーム４３１に支持され、支持フレーム４３１に対してＹ方向に往復移動可能な移動フレーム４３２と、移動フレーム４３２に支持された４つのハンドユニット（把持ロボット）４３３と、を有している。各ハンドユニット４３３は、昇降機構および吸着ノズルを備え、ＩＣデバイス９を吸着保持することができる。
【００５９】
−回収ロボット−
回収ロボット４４は、検査部５での検査を終えたＩＣデバイス９を回収側配列部６に搬送するロボットである。このような回収ロボット４４は、ベース１１に支持された支持フレーム４４１と、支持フレーム４４１に支持され、支持フレーム４４１に対してＹ方向に往復移動可能な移動フレーム４４２と、移動フレーム４４２に支持された４つのハンドユニット（把持ロボット）４４３と、を有している。各ハンドユニット４４３は、昇降機構および吸着ノズルを備え、ＩＣデバイス９を吸着保持することができる。
【００６０】
このような搬送部４は、次のようにしてＩＣデバイス９を搬送する。まず、シャトル４１が図中左側に移動し、供給ロボット４２が傾斜ステージ３４３上のＩＣデバイス９をシャトル４１に搬送する（ＳＴＥＰ１）。次に、シャトル４１が中央へ移動し、検査ロボット４３がシャトル４１上のＩＣデバイス９を検査部５へ搬送する（ＳＴＥＰ２）。次に、検査ロボット４３が検査部５での検査を終えたＩＣデバイス９をシャトル４１へ搬送する（ＳＴＥＰ３）。次に、シャトル４１が図中右側へ移動し、回収ロボット４４がシャトル４１上の検査済みのＩＣデバイス９を回収側配列部６に搬送する。このようなＳＴＥＰ１〜ＳＴＥＰ３を繰り返すことで、ＩＣデバイス９を検査部５を経由して回収側配列部６へ搬送することができる。
【００６１】
以上、搬送部４の構成について説明したが、搬送部４の構成としては、傾斜ステージ３４３上のＩＣデバイス９を検査部５へ搬送し、検査を終えたＩＣデバイス９を回収側配列部６へ搬送することができれば、特に限定されない。例えば、シャトル４１を省略し、供給ロボット４２、検査ロボット４３および回収ロボット４４のいずれか１つのロボットで、傾斜ステージ３４３から検査部５への搬送、および、検査部５から回収側配列部６への搬送を行ってもよい。
【００６２】
≪検査部≫
検査部５は、ＩＣデバイス９の電気的特性を検査・試験するユニットである。検査部５は、図１１に示すように、ＩＣデバイス９を配置する４つの検査ソケット５１を有している。これら検査ソケット５１にはＩＣデバイス９の端子と電気的に接続されるプローブピン（図示せず）が設けられている。検査ソケット５１に配置されたＩＣデバイス９は、検査ロボット４３の押圧によって所定の検査圧でプローブピンに押し付けられる。これにより、ＩＣデバイス９とプローブピンとが接続され、プローブピンを介してＩＣデバイス９の検査が行われる。ＩＣデバイス９の検査は、制御部８に記憶されているプログラムに基づいて行われる。
【００６３】
≪回収側配列部≫
回収側配列部６は、検査部５で検査を終え、搬送部４によって搬送されてきたＩＣデバイス９を配列して回収部７へ送出するユニットである。このような回収側配列部６は、図１２に示すように、姿勢制御機構６１を有している。
【００６４】
姿勢制御機構６１は、ＩＣデバイス９を水平状態から水平に対して傾斜する傾斜状態とし、自然滑走させるユニットである。このような姿勢制御機構６１は、図１２に示すように、載置ステージ（載置機構）６２と、載置ステージ６２を移動させる移動機構（載置ステージ移動機構）６３と、を有している。
【００６５】
載置ステージ６２は、直動ガイドによってガイドされてＹ方向（水平方向）に移動するベース（ベース部）６２１と、ベース６２１に対してＸ軸（回動軸Ｊ６２２）まわりに回動可能に連結されている傾斜ステージ（傾斜部）６２２と、を有している。また、傾斜ステージ６２２にはＸ方向に沿って並設されている４本の載置レーン（載置部）６２３が設けられており、これら４本の載置レーン６２３に回収ロボット４４によって搬送されてきたＩＣデバイス９が１つずつ配置される。このように、複数の載置レーン６２３を設けることにより、複数のＩＣデバイス９を一括で搬送することができるため、その後のＩＣデバイス９の搬送効率が向上する。
【００６６】
また、傾斜ステージ６２２は、回動軸Ｊ６２２よりも下流側に位置し、側方へ突出している軸部６２４を有しており、この軸部６２４は、後述するガイド溝６５１に接続されている。
【００６７】
移動機構６３は、ベース６２１を直動ガイドに沿ってＹ方向に直線移動させる駆動部６４と、傾斜角度が変化するように傾斜ステージ６２２をガイドする傾斜ガイド（ガイド部）６５と、を有している。
【００６８】
傾斜ガイド６５は、水平に対して傾斜した方向に延在するガイド溝６５１を有しており、このガイド溝６５１に傾斜ステージ６２２の軸部６２４が接続されている。駆動部６４の作動によってベース６２１がＹ方向に移動すると、傾斜ステージ６２２は、ベース６２１共にＹ方向に移動しつつ、傾斜ガイド６５によってガイドされることで回動軸Ｊ６２２まわりに回動し、その傾きが変化する。
【００６９】
このような移動機構６３によれば、図１２に示すように、傾斜ステージ６２２が水平な水平状態と、図１３に示すように、傾斜ステージ６２２が水平に対して傾斜していると共に、回収部７に接続されている傾斜状態と、の間で傾斜ステージ６２２の姿勢を変化させることができる。特に、傾斜ステージ６２２をＹ方向に移動させつつ、その傾斜角を変化させることで、例えば、Ｙ方向に移動せずにその場で傾斜角を変化させる場合と比較して、回収部７との接続をスムーズに行うことができる。
【００７０】
駆動部６４は、図１４に示すように、Ｚ軸まわりに回転する回転軸６４１ａを有するモーター（駆動源）６４１と、水平方向に延在し、Ｚ軸（回動軸Ｊ６４４）まわりに回動可能な回動アーム６４４と、水平方向に延在し、基端部がモーター６４１の軸部に固定されている第１連結アーム６４２と、水平方向に延在し、第１連結アーム６４２の先端部に回動可能に連結され、先端部が回動アーム６４４の基端部に回動可能に連結されている第２連結アーム６４３と、Ｙ方向に延在し、基端部が回動アーム６４４の先端部に回動可能に連結され、先端部がベース６２１に連結されている第３連結アーム６４５と、を有している。このような駆動部６４によれば、モーター６４１の回転軸６４１ａを回転させることで、アーム６４２、６４３、６４４、６４５を介してベース６２１をＹ方向に直線移動させることができる。そして、第１連結アーム６４２の先端が−Ｙ軸方向を向くとき（図１３の状態のとき）に、傾斜ステージ６２２が水平状態となり、ここから回転軸６４１ａが１８０°回転し、第１連結アーム６４２が＋Ｙ軸方向を向くときに、傾斜ステージ６２２が傾斜状態となる。このような仕組みによれば、傾斜ステージ６２２を水平状態から傾斜状態とする際の移動速度がｓｉｎ曲線となる。すなわち、水平状態から移動を開始する際は徐々に移動速度が増加し、反対に、傾斜状態となる際は徐々に移動速度が低下する。そのため、慣性を抑えることができ、載置レーン６２３上でのＩＣデバイス９の変位を効果的に抑制することができる。
【００７１】
また、このような駆動部６４では、回動アーム６４４と第２連結アーム６４３との連結部と回動軸Ｊ６４４との離間距離Ｌ１が、回動アーム６４４と第３連結アーム６４５との連結部と回動軸Ｊ６４４との離間距離Ｌ２よりも長くなっている。そのため、「テコの原理」によって、比較的小さい力（モーター６４１の出力）でベース６２１を移動させることができる。
【００７２】
ここで、傾斜ステージ６２２を傾斜状態としたときに、載置レーン６２３上のＩＣデバイス９が自然滑走して載置レーン６２３から離脱してしまわないように、図１３に示すように、載置レーン６２３には、突出／退避可能なストッパー（規制部）６２５が設けられている。ストッパー６２５が突出することで、ＩＣデバイス９の自然滑走が規制され、傾斜状態としても各載置レーン６２３にＩＣデバイス９を留めることができる。反対に、傾斜状態のときにストッパー６２５が退避することで、各載置レーン６２３上のＩＣデバイス９を自然滑走させて、下流側に位置する回収部７へ送出することができる。
【００７３】
また、図１２に示すように、傾斜ステージ６２２には各載置レーン６２３の上方を覆うカバー６２６が設けられている。ただし、カバー６２６は、各載置レーン６２３へのＩＣデバイス９の載置を阻害しないように、回収ロボット４４で搬送されてきたＩＣデバイス９が載置される載置部Ｓ１を避けて、載置部Ｓ１よりも下流側に設けられている。このようなカバー６２６を設けることで、載置レーン６２３からのＩＣデバイス９の意図しない離脱が防止され、その後のＩＣデバイス９の搬送を的確に行うことができる。
【００７４】
また、カバー６２６には載置レーン６２３に配置されるＩＣデバイス９を視認可能とする窓部６２６ａが設けられている。これにより、載置レーン６２３上のＩＣデバイス９の状態を確認することができ、異常があった場合には、その異常を視覚的に検知することができる。また、窓部６２６ａは、載置レーン６２３のほぼ全域を視認できるように、載置レーン６２３に沿って延在して設けられている。このような窓部６２６ａは、例えば、カバー６２６を貫通する貫通孔であってもよいし、この貫通孔に透明な部材（ガラス板やプラスチック板）を嵌め込んだ構成となっていてもよい。
【００７５】
また、回収側配列部６は、各載置レーン６２３の載置部Ｓ１に載置されたＩＣデバイス９を載置レーン６２３の下流側（カバー６２６内）へ押し込む押圧機構６６を有している。傾斜ステージ６２２が水平状態のときに、押圧機構６６によってＩＣデバイス９をカバー６２６内に押し込むことで、傾斜ステージ６２２を傾斜状態に変位させる際、その勢いで、各載置レーン６２３からＩＣデバイス９が意図せずに離脱してしまうことを防止することができる。このような押圧機構６６は、各載置レーン６２３の上流側に位置している４本の押圧部６６１を有しており、押圧部６６１で載置部Ｓ１上のＩＣデバイス９を後方から押圧することにより、ＩＣデバイス９をカバー６２６内に押し込むように構成されている。
【００７６】
また、押圧部６６１は、伸縮自在に構成されている。具体的に説明すると、押圧部６６１は、図１５に示すように、基端部６６２と、基端部６６２に対してスライド自在に設けられている先端部６６３と、先端部６６３を基端部６６２に対して先端側へ付勢しているコイルバネ（付勢部）６６４と、を有している。押圧部６６１は、コイルバネ６６４の付勢力に抗して先端部６６３が基端側へ移動することで収縮し、反対に、コイルバネ６６４の付勢力により先端部６６３が先端側へ移動することで伸張する。このように、押圧部６６１を伸縮自在とすることで、押圧部６６１がＩＣデバイス９を押圧する際の衝撃を緩和することができ、ＩＣデバイス９の損傷を抑制することができる。また、仮に、押圧部６６１でＩＣデバイス９を押圧している最中に、ＩＣデバイス９がカバー６２６に引っ掛かり、それ以上移動ができない状態となってしまった場合、押圧部６６１が収縮することでＩＣデバイス９に加わる応力を低減し、ＩＣデバイス９の破損を抑制することができる。このように、伸縮自在な押圧部６６１によれば、過度な応力を加えることなくＩＣデバイス９を搬送することができる。
【００７７】
また、先端部６６３には、力覚センサー（応力検知部）６６５が設けられており、この力覚センサー６６５によってＩＣデバイス９を押圧する際に先端部６６３に加わる応力を検知することができる。例えば、ＩＣデバイス９が載置レーン６２３やカバー６２６に引っ掛かり、それ以上の移動ができない状態となってしまった場合（異常状態）では、正常にＩＣデバイス９が移動する場合（正常状態）よりも大きな応力が先端部６６３に加わる。そのため、力覚センサー６６５が検知する応力の大きさに基づいて（例えば、閾値より小さいか大きいかに基づいて）、ＩＣデバイス９の搬送が正常に行われているか否かを検知することができ、検査装置１をより安全に駆動することができる。なお、ＩＣデバイス９の搬送に異常が生じていると判断した場合は、例えば、パトランプを転倒／点滅したり、画面へ表示したりすることでこれを作業者に報知し、当該報知と共に検査装置１の駆動を一旦停止するといった処置をとることが好ましい。
【００７８】
また、先端部６６３には噴射ノズル（噴射部）６６６が設けられており、この噴射ノズル６６６からＩＣデバイス９へ向けて圧縮空気（流体）を噴射することができるようになっている。傾斜ステージ６２２を傾斜状態としたとき、通常であれば載置レーン６２３上のＩＣデバイス９が自然滑走するが、何らかの原因（摺動摩擦の増加等）によって自然滑走しなかったり、自然滑走が不十分であったりし、載置レーン６２３上にＩＣデバイス９が留まってしまうおそれがある。そこで、傾斜ステージ６２２が傾斜状態のときに噴射ノズル６６６からＩＣデバイス９に向けて圧縮空気を噴射することで、ＩＣデバイス９の自重と圧縮空気の付勢力とによってＩＣデバイス９をより確実に自然滑走させることができる。なお、本実施形態では、噴射ノズル６６６から噴射する流体として圧縮空気を用いているため、より勢いよくＩＣデバイス９を付勢することができる。また、圧縮空気を用いることで、安価で安全な構成となる。ただし、流体としては圧縮空気に限定されず、例えば、窒素、ヘリウム等のガスを用いてもよいし、ＩＣデバイス９への影響がないのであれば水、アルコール等の液体を用いてもよい。
【００７９】
以上、姿勢制御機構６１の構成について説明した。このような姿勢制御機構６１は、次のように作動する。すなわち、まず、傾斜ステージ６２２を水平状態（図１２に示す状態）とする。次に、載置レーン６２３の載置部Ｓ１にＩＣデバイス９が載置された後、押圧部６６１で各載置レーン６２３上のＩＣデバイス９を下流側へ押圧し、カバー６２６内に押し込む。次に、ベース６２１をＹ方向に移動させる。これにより、傾斜ステージ６２２がベース６２１と共にＹ方向に移動しながら傾斜角度を増していって傾斜状態（図１３に示す状態）となり、回収部７に接続される。次に、ストッパー６２５を解除するとともに、噴射ノズル６６６から圧縮空気を噴射することで、各載置レーン６２３上のＩＣデバイス９を自然滑走させて回収部７に送出する。このように、ＩＣデバイス９を自然滑走により回収部７に送出することで、ＩＣデバイス９に余計な応力を加えることなく、ＩＣデバイス９の搬送をスムーズに行うことができる。
【００８０】
≪回収部≫
回収部７は、検査済みのＩＣデバイス９をその検査結果に基づいて分別して回収するユニットである。このような回収部７は、図１６に示すように、傾斜ステージ６２２の下流側に位置し、空の収容チューブ９０が接続されている接続部７２と、接続部７２と傾斜ステージ６２２との間に位置し、傾斜ステージ６２２から供給されたＩＣデバイス９を所定の収容チューブ９０に振り分ける振分機構７１と、を有している。
【００８１】
接続部７２は、Ｘ方向に並ぶ６つの接続レーン７２１を有し、これら接続レーン７２１には、それぞれ、空の収容チューブ（電子部品収容部）９０が接続されている。接続レーン７２１は、傾斜状態の傾斜ステージ６２２と同程度傾斜しており、接続レーン７２１に接続されている収容チューブ９０も同様に傾斜している。これにより、自然滑走によってＩＣデバイス９を収容チューブ９０に導入することができる。
【００８２】
例えば、６本の接続レーン７２１のうちの４本の接続レーン７２１（７２１Ａ〜７２１Ｄ）には検査部５での検査で所定の基準を満たし「良品」として判断されたＩＣデバイス９が振り分けられ、残りの２本の接続レーン７２１（７２１Ｅ、７２１Ｆ）には検査部５での検査で所定の基準を満たすことができず「不良品」として判断されたＩＣデバイス９が振り分けられる。
【００８３】
振分機構７１は、傾斜ステージ６２２からＩＣデバイス９を受け取り、受け取ったＩＣデバイス９をそれぞれその検査結果に基づいて所定の接続レーン７２１に振り分けるユニットである。このような振分機構７１は、図１６に示すように、振分ステージ７１１を有している。振分ステージ７１１は、傾斜ステージ６２２と接続部７２との間に位置し、直動ガイドによってＸ方向に移動可能となっている。また、振分ステージ７１１は、傾斜状態となっている傾斜ステージ６２２と同程度傾斜している。また、このような振分ステージ７１１には、図１７に示すように、Ｘ方向に沿って並設されている４本の振分レーン７１２が設けられている。
【００８４】
このような振分ステージ７１１の振分レーン７１２を傾斜ステージ６２２の載置レーン６２３に接続することで、載置レーン６２３上のＩＣデバイス９を振分レーン７１２に導入することができる。ここで、振分レーン７１２に導入されたＩＣデバイス９がそのまま振分レーン７１２を通過して離脱／落下してしまわないように、図１７に示すように、各振分レーン７１２には、突出／退避可能なストッパー７１３が設けられている。なお、各ストッパー７１３は、それぞれ独立して作動する。
【００８５】
また、図１６に示すように、振分ステージ７１１には振分レーン７１２の上方を覆うカバー７１４が設けられており、このカバー７１４には振分レーン７１２に配置されるＩＣデバイス９を視認可能とする窓部７１４ａが設けられている。
【００８６】
このような構成の振分機構７１は、次のようにしてＩＣデバイス９を振り分ける。すなわち、まず、ストッパー７１３を突出状態としてから、傾斜ステージ６２２上のＩＣデバイス９を受け取る。次に、各振分レーン７１２上のＩＣデバイス９を順に、所定の接続レーン７２１を介して所定の収容チューブ９０に収容する。例えば、振分レーン７１２Ａ上に位置するＩＣデバイス９を接続レーン７２１Ｃに振り分けたい場合には、まず、振分ステージ７１１をＸ方向に移動させて、振分レーン７１２Ａと接続レーン７２１Ｃとを接続する（図１７の状態）。次に、振分レーン７１２Ａのストッパー７１３を退避させて振分レーン７１２上のＩＣデバイス９を自然滑走させることで、接続レーン７２１Ｃを介して収容チューブ９０内に導入する。このような工程を、他の振分レーン７１２についても順に行うことで、振分ステージ７１１上のＩＣデバイス９が所定の収容チューブ９０に導入する。これにより、検査結果に基づいて分類されたＩＣデバイス９を回収することができる。
【００８７】
≪制御部≫
制御部８は、例えば、検査制御部と、駆動制御部と、を有している。検査制御部は、例えば、図示しないメモリー内に記憶されたプログラムに基づいて、検査部５に配置されたＩＣデバイス９の電気的特性の検査を行う。また、駆動制御部は、例えば、供給部２、供給側配列部３、搬送部４、回収側配列部６および回収部７の各部の駆動を制御し、ＩＣデバイス９の搬送を行う。
【００８８】
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【符号の説明】
【００８９】
１……検査装置
１’……電子部品搬送装置
１１……ベース
１１１……ベース面
１２……カバー
２……供給部
２１……載置ステージ
３……供給側配列部
３１……搬送レーン
３１１……第１搬送レーン
３１２……第２搬送レーン
３２……離間機構
３２１……ストッパー
３２２……第１固定部
３２３……第２固定部
３３……振分機構
３３１……振分ステージ
３３２、３３２Ａ、３３２Ｂ、３３２Ｃ、３３２Ｄ……振分レーン
３３３……ストッパー
３３４……カバー
３３４ａ……窓部
３４……姿勢制御機構
３４１……載置ステージ
３４２……ベース
３４３……傾斜ステージ
３４４……載置レーン
３４７……ガイド
３４７ａ……ガイド面
３８……当接部
４……搬送部
４１……シャトル
４１１……ポケット
４２……供給ロボット
４２１……支持フレーム
４２２……移動フレーム
４２３……ハンドユニット
４３……検査ロボット
４３１……支持フレーム
４３２……移動フレーム
４３３……ハンドユニット
４４……回収ロボット
４４１……支持フレーム
４４２……移動フレーム
４４３……ハンドユニット
５……検査部
５１……検査ソケット
６……回収側配列部
６１……姿勢制御機構
６２……載置ステージ
６２１……ベース
６２２……傾斜ステージ
６２３……載置レーン
６２４……軸部
６２５……ストッパー
６２６……カバー
６２６ａ……窓部
６３……移動機構
６４……駆動部
６４１……モーター
６４１ａ……回転軸
６４２……アーム
６４２……第１連結アーム
６４３……第２連結アーム
６４４……回動アーム
６４５……第３連結アーム
６５……傾斜ガイド
６５１……ガイド溝
６６……押圧機構
６６１……押圧部
６６２……基端部
６６３……先端部
６６４……コイルバネ
６６５……力覚センサー
６６６……噴射ノズル
７……回収部
７１……振分機構
７１１……振分ステージ
７１２、７１２Ａ……振分レーン
７１３……ストッパー
７１４……カバー
７１４ａ……窓部
７２……接続部
７２１、７２１Ａ、７２１Ｂ、７２１Ｃ、７２１Ｄ、７２１Ｅ、７２１Ｆ……接続レーン
８……制御部
９、９Ａ、９Ｂ……ＩＣデバイス
９０……収容チューブ
９１……樹脂封止体
９０１……開口
Ｊ２１、Ｊ３４３、Ｊ６２２、Ｊ６４４……回動軸
Ｌ１、Ｌ２……離間距離
Ｓ１……載置部
【図１】
2015184165.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2015184165.tif 000016
【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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