(57)【要約】【課題】スリップテーブルの流体軸受構造が簡単化され、それによって低コスト化された振動発生機を得る。【解決手段】振動発生機１は、スリップテーブル５の下部に設けられるベースプレートの縦断面視において、両側面がそれぞれ別の各ベースプレート構成部の側面と互いに隣り合っている第１ベースプレート構成部１０ａと、該第１ベースプレート構成部１０ａの片側面と別のベースプレート構成部の片側面とに互いに隣り合っている第２ベースプレート構成部１０ｂとを有する領域を含む。第１ベースプレート構成部１０ａと第２ベースプレート構成部１０ｂとの間に第１流路形成エレメント２０が設けられる。第１流路形成エレメント２０は、第１ベースプレート構成部１０ａの下面及び第２ベースプレート構成部１０ｂの下面に油を供給する第１垂直流路３０と、第１ベースプレート構成部１０ａの側面及び該側面に対向している側の、第２ベースプレート構成部１０ｂの側面に油を供給する水平流路３１とを有する。【選択図】図６
2015206728.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被振動物を振動させる振動発生機であって、
前記被振動物が取り付けられるスリップテーブルと、
前記スリップテーブルの下部に設けられ、縦断面視において複数のベースプレート構成部を含むベースプレートと、を備え、
前記ベースプレートの縦断面視において、両側面がそれぞれ別の各前記ベースプレート構成部の側面と互いに隣り合っている第１ベースプレート構成部と、該第１ベースプレート構成部の片側面と別の前記ベースプレート構成部の片側面とに互いに隣り合っている第２ベースプレート構成部とを有する領域を含み、
前記第１ベースプレート構成部と前記第２ベースプレート構成部との間に設けられ、流体が流れる流路を有する第１流路形成エレメントと、をさらに備え、
前記第１流路形成エレメントの流路は、前記第１ベースプレート構成部及び前記第２ベースプレート構成部の下面に前記流体を供給する第１垂直流路と、前記第１ベースプレート構成部の側面及び該側面に対向している側の、前記第２ベースプレート構成部の側面に前記流体を供給する水平流路と、を含むことを特徴とする振動発生機。
【請求項２】
前記ベースプレートの縦断面視において、側面の片方のみが別の前記ベースプレート構成部の側面と隣り合っている第３ベースプレート構成部を有する領域を含み、
前記第３ベースプレート構成部と、前記第１ベースプレート構成部または前記第２ベースプレート構成部との間に第２流路形成エレメントを備え、
前記第２流路形成エレメントは、前記第３ベースプレート構成部の下面と、前記第１ベースプレート構成部または第２ベースプレート構成部の下面とに前記流体を供給する第２垂直流路を備える、請求項１に記載の振動発生機。
【請求項３】
前記ベースプレートは、前記スリップテーブルの下面に流体を供給する流体流路を備えた、請求項１または２に記載の振動発生機。
【請求項４】
前記ベースプレートの上面には、前記流体流路から噴出された前記流体を前記ベースプレート上に拡散させる複数の拡散溝が形成されている、請求項３に記載の振動発生機。
【請求項５】
前記ベースプレートの上面には、前記流体流路から噴出された前記流体を回収する複数の回収溝が形成されている、請求項３または４に記載の振動発生機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動試験システム等で用いられる振動発生機に関し、特にそのスリップテーブルの流体軸受構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動試験システム等に各種振動発生機が用いられている。これら振動発生機は、設計製作された製品（自動車部品、電子部品、航空機部品等）が使用される振動環境に耐えて性能を発揮できることの確認を行う振動耐久試験や、出荷される製品が輸送時に受けると予想される振動を与えて製品自体に問題がないことの確認を行う輸送梱包試験等に使用することができる。
【０００３】
振動発生機は、モータに偏芯させたマス（おもり）を付けて回転させその遠心力によって振動を発生させるアンバランスマス型、ピストンを用いた油圧型、カム機構を利用したカム型など種々開発されている。これらの他にも、磁界中にある導体に電流を流すと該導体は力を受けるという電磁効果、いわゆるフレミングの左手の法則を利用した動電型振動発生機もある。この動電型振動発生機の原理を簡単に説明すると、円筒型の磁路に空隙を設けておき、該空隙に接触しないようにバネで保持された駆動コイルを挿入しておく。上記磁路の中にある励磁コイルに直流電流を流すと磁束が発生し、空隙には直流磁界ができ、駆動コイルの線と直交する。この駆動コイルに交流電流を流すことによって、振動テーブルは振動を発生させることができる。
【０００４】
振動発生機のうち、外部から加圧した例えば油などの流体を供給してスリップテーブルを保持する流体軸受型の振動試験機が提案されている（例えば、特許文献１参照）。流体軸受型の振動試験機は非接触でスリップテーブルを支持するので、振動精度が良く、摩擦損失が小さいため長寿命化を図ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３２６０７５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１の振動試験機では、その加振テーブルの下部の構造が各部ユニット化され、それぞれのユニットは配管で繋がっている。そのため、上記構造の複雑化を避けて通れず、高コストとなる。
【０００７】
そこで、本発明は、スリップテーブルの流体軸受構造が簡単化され、それによって低コスト化された振動発生機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）  本発明の振動発生機は、被振動物を振動させるものであって、
前記被振動物が取り付けられるスリップテーブルと、
前記スリップテーブルの下部に設けられ、縦断面視において複数のベースプレート構成部を含むベースプレートと、を備え、
前記ベースプレートの縦断面視において、両側面がそれぞれ別の各前記ベースプレート構成部の側面と互いに隣り合っている第１ベースプレート構成部と、該第１ベースプレート構成部の片側面と別の前記ベースプレート構成部の片側面とに互いに隣り合っている第２ベースプレート構成部とを有する領域を含み、
前記第１ベースプレート構成部と前記第２ベースプレート構成部との間に設けられ、流体が流れる流路を有する第１流路形成エレメントと、をさらに備え、
前記第１流路形成エレメントの流路は、前記第１ベースプレート構成部及び前記第２ベースプレート構成部の下面に前記流体を供給する第１垂直流路と、前記第１ベースプレート構成部の側面及び該側面に対向している側の、前記第２ベースプレート構成部の側面に前記流体を供給する水平流路と、を含むことを特徴とする。
本発明は、動電型振動発生機や、アンバランスマス型の振動発生機、ピストンを用いた油圧型の振動発生機、並びにカム機構を利用したカム型の振動発生機など各種振動発生機に用いることができる。
【０００９】
上記（１）の構成によると、スリップテーブルの下部にベースプレートが設けられる。本発明の振動発生機は、ベースプレートの縦断面視において、第１ベースプレート構成部と第２ベースプレート構成部とを有する領域を含んでいる。第１ベースプレート構成部は、その両側面がそれぞれ別の各ベースプレート構成部の側面と互いに隣り合っているものである。また、第２ベースプレート構成部は、第１ベースプレート構成部の片側面と別のベースプレート構成部の片側面とに互いに隣り合っているものである。このような第１ベースプレート構成部と第２ベースプレート構成部との間に第１流路形成エレメントが設けられる。この第１流路形成エレメントは、例えば油などの流体が流れる流路を有している。この流路は、第１垂直流路及び水平流路を含んで構成される。第１垂直流路は、第１ベースプレート構成部の下面及び第２ベースプレート構成部の下面に流体を供給する。また、水平流路は、第１ベースプレート構成部の側面及び該側面に対向している側の、第２ベースプレート構成部の側面に流体を供給する。このような構成において、第１垂直流路からの流体が第１ベースプレート構成部の下面及び第２ベースプレート構成部の下面に供給されることによって、第１ベースプレート構成部及び第２ベースプレート構成部がその高さ方向に安定して支持される。また、水平流路からの流体が第１ベースプレート構成部の側面及び第２ベースプレート構成部の上記側面に供給されることによって、第１ベースプレート構成部及び第２ベースプレート構成部がその幅方向に安定して支持される。これにより、第１ベースプレート構成部及び第２ベースプレート構成部の上下振動及び水平振動が抑制される。したがって、ベースプレートからの流体の供給によりスリップテーブルを支持する場合、該スリップテーブルに対する第１ベースプレート構成部及び第２ベースプレート構成部の相対位置が安定するので、第１ベースプレート構成部及び第２ベースプレート構成部によるスリップテーブルの支持精度が向上する。また、第１垂直流路と水平流路とを有する第１流路形成エレメントを、一枚ものであるベースプレートにマニホールドしてこれらを単体化させることで、ユニット化された複数のベースプレートを備える従来の振動発生機に比して、スリップテーブルの流体軸受構造を著しく簡単化することができる。それによって、振動発生機を低コスト化することができる。
【００１０】
（２）  上記（１）の振動発生機においては、前記ベースプレートの縦断面視において、側面の片方が別の前記ベースプレート構成部の側面と隣り合っている第３ベースプレート構成部を有する領域を含み、前記第３ベースプレート構成部と、前記第１ベースプレート構成部または前記第２ベースプレート構成部との間に第２流路形成エレメントを備え、前記第２流路形成エレメントは、前記第３ベースプレート構成部の下面と、前記第１ベースプレート構成部または第２ベースプレート構成部の下面とに流体を供給する第２垂直流路を備えることが好ましい。
【００１１】
上記（２）の構成によると、本発明の振動発生機は、ベースプレートの縦断面視において、第３ベースプレート構成部を有している領域を含む。この第３ベースプレート構成部は、その側面の片方のみが、別のベースプレート構成部の側面と隣り合っているものである。また、第２流路形成エレメントは、第３ベースプレート構成部と、第１ベースプレート構成部または第２ベースプレート構成部との間に設けられる。第２流路形成エレメントは、第３ベースプレート構成部の下面と、第１ベースプレート構成部または第２ベースプレート構成部の下面とに流体を供給する第２垂直流路を備える。加振方向（スリップテーブルの上面視において垂直方向）に比して水平方向には加振による力がほとんど作用しない。このことに鑑みて、第３ベースプレート構成部を水平流路からの流体によって支持することを省略することができ、その結果、第２流路形成エレメントと各ベースプレート構成部との間に該第２流路形成エレメントの挿入のための若干の隙間のみを設ければ済む。これにより、流体軸受構造を簡単化することができると共に水平流路を設けた場合の高精度な位置決めが不要となるので、低コスト化をより図ることができる。
【００１２】
（３）  上記（１）または（２）の振動発生機においては、前記ベースプレートは、前記スリップテーブルの下面に流体を供給する流体流路を備えることが好ましい。
【００１３】
上記（３）の構成によると、流体流路からの流体がスリップテーブルの下面に供給されるので、該スリップテーブルを油膜によって安定して支持することができる。これにより、スリップテーブルの上下振動が抑制される。
【００１４】
（４）  上記（３）の振動発生機においては、前記ベースプレートの上面には、前記流体流路から噴出された前記流体を前記ベースプレート上に拡散させる複数の拡散溝が形成されていることが好ましい。
【００１５】
上記（４）の構成によると、流体流路からの流体が複数の拡散溝によってベースプレート上に拡散されるので、スリップテーブルの下面に広い油膜を形成することができる。それにより、スリップテーブルを安定して支持することができる。
【００１６】
（５）  上記（３）または（４）の振動発生機においては、前記ベースプレートの上面には、前記流体流路から噴出された前記流体を回収する複数の回収溝が形成されていることが好ましい。
【００１７】
上記（５）の構成によると、流体流路から噴出された後の流体を回収溝によって回収することができる。それにより、回収された流体を再利用することができ、ランニングコストを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態に係る振動発生機の全体構成を示す正面図である。
【図２】図１のスリップテーブルの下方に設けられるベースプレートの構成を示す上面図である。
【図３】（ａ）は図２のＡ−Ａ線断面図であり、（ｂ）は図２のＢ−Ｂ線断面図であり、（ｃ）は図２のＣ−Ｃ線断面図である。
【図４】（ａ）は図２のＤ−Ｄ線断面図であり、（ｂ）は図２のＥ−Ｅ線断面図である。
【図５】ベースプレートが油リサイクル部の上部に保持された状態を示す一部縦断面図である。
【図６】ベースプレートが油リサイクル部の上部に保持された状態を示す他の一部縦断面図である。
【図７】図６の要部拡大図である。
【図８】油リサイクル部の構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態に係る振動発生機について、図１〜図８に基づいて説明する。なお、以下では一例として、本発明の振動発生機が動電型振動発生機である場合について説明を行う。
【００２０】
本実施形態に係る振動発生機１は、垂直方向に加振できるとともに水平方向にも加振できるものである。図１では、水平方向に加振できるように振動発生機１がセッティングされている状態が示されている。なお、後記のヨークを時計回りに９０°回転させることで、垂直加振を実現できるようになっている。
【００２１】
図１に示すように、振動発生機１は、ヨーク２と、振動台３と、ヨーク２を保持する土台４と、スリップテーブル５と、スリップテーブル５と振動台３とを連結する連結部６と、スリップテーブル５の下部に設けられる油リサイクル部７とを主として備える。ヨーク２の材料としては、高透磁率で高強度の磁性材料、例えばＳＳ４００等の低炭素鋼を好適に用いることができる。振動台３の材料としては、非磁性体で高強度の金属、例えばアルミニウム合金、あるいは合成樹脂、例えばカーボンファイバを好適に用いることができる。なお、同図中の矢印Ｘは加振方向を示している。
【００２２】
ヨーク２には、該ヨーク２に静磁場を生成するための図示しない励磁コイルと、振動発生用の図示しないドライブコイルとが設けられている。このドライブコイルは磁気ギャップ内に配され、振動台３と一体的に構成されている。励磁コイルに直流電流を流すことにより、該励磁コイルを取り巻くヨーク２内に磁気回路（静磁場）が生成される。ドライブコイルに所定周波数の交流電流を流すことにより、上記磁気ギャップに生成される静磁場とドライブコイルに流れる交流電流との間に力が働く。この力により、ドライブコイルは磁束の方向と直交する方向に振動する。それにより、振動台３はドライブコイルに流される交流電流の周波数で振動し、これに伴って、スリップテーブル５に取り付けられた被振動物も振動する仕組みになっている。
【００２３】
図２は図１のスリップテーブル５の下方に設けられるベースプレートの構成を示す上面図である。図３（ａ）は図２のＡ−Ａ線断面図であり、図３（ｂ）は図２のＢ−Ｂ線断面図であり、図３（ｃ）は図２のＣ−Ｃ線断面図である。図４（ａ）は図２のＤ−Ｄ線断面図であり、図４（ｂ）は図２のＥ−Ｅ線断面図である。
【００２４】
本発明では、スリップテーブル５の下面にベースプレート１０からの流体（例えば油など。以下、油として説明）が供給されることによって、該スリップテーブル５とベースプレート１０との間に油膜が形成され、該油膜によってスリップテーブル５が支持されるようになっている。いわゆる流体軸受方式を採用している。
【００２５】
図２に示すように、ベースプレート１０には、油を拡散する拡散溝１１が該ベースプレート１０の垂直方向及び水平方向にそれぞれ例えば２本ずつ設けられている。なお、水平方向に設けられた２本の拡散溝１１はそれぞれ中央部で分割されている。このような４本の拡散溝１１によってベースプレート１０を平面的に区画して出来た９つの領域を、以下便宜的にＲ１〜Ｒ９とする。なお、区画領域の数は、ベースプレート１０の大きさに応じて拡散溝１１の数を増減させることにより任意に設定することができる。
【００２６】
ベースプレート１０の領域Ｒ１〜Ｒ９において、複数のポケット１２と該ポケット１２の内側に設けられ油を噴出する噴出孔１３がそれぞれ設けられている。また、ベースプレート１０の領域Ｒ１〜Ｒ３及び領域Ｒ７〜Ｒ９においては、ベースプレート１０の垂直方向に隣り合う各ポケット１２の間には、後で詳述する流路形成エレメントが挿入されるエレメント孔１４が設けられている。図３（ａ）に示すように、噴出孔１３及びポケット１２には、流体流路１８から油が供給されるようになっている。この流体流路１８は、図２の水平方向に沿って形成されている。図４（ａ）に示すように、流体流路１８の始端には油の導入口１８ａが設けられ、その終端には油の止め栓１９が設けられている。
【００２７】
また、ベースプレート１０の領域Ｒ１〜Ｒ３及び領域Ｒ７〜Ｒ９において、始端と終端との両方がベースプレート１０の外縁部に通じるように回収溝１５がそれぞれ設けられている。これに対して、領域Ｒ４〜Ｒ６においては、始端と終端との両方がベースプレート１０の外縁部に通じるように且つこれらの領域に亘って回収溝１６が設けられている。回収溝１５，１６は、油を回収して油リサイクル部７（図１）に流すものである。なお、ベースプレート１０の外縁部及び垂直方向の中央部には、複数の締結孔１７が設けられている。
【００２８】
図５及び図６はベースプレート１０が油リサイクル部７の上部に保持された状態を示す一部縦断面図であり、図７は図６の要部拡大図である。なお、図５は図２のベースプレート１０を領域Ｒ２，Ｒ５，Ｒ８において水平方向に切断した場合の縦断面図を示し、図６は図２のベースプレート１０を領域Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３において垂直方向に切断した場合の縦断面図を示している。
【００２９】
図５に示すように、エレメント孔１４には第１流路形成エレメント２０が挿入される。第１流路形成エレメント２０の上部はスリップテーブル５に固定されている。第１流路形成エレメント２０内には、噴出孔３１ｂに連通する流体流路２５がそれぞれ形成されている。また、噴出孔３１ｂはポケット３１ａに連通している。詳細は後述する。同図中、左側の第１流路形成エレメント２０の流体流路２５には、油リサイクル部７から油を導入するための導入部２６が接続されている。左側の第１流路形成エレメント２０の流体流路２５と右側の第１流路形成エレメント２０の流体流路２５とは流体流路２７で繋がっている。
【００３０】
図６に示すように、ベースプレート１０は、その縦断面視において第１ベースプレート構成部１０ａと第２ベースプレート構成部１０ｂと２つの第３ベースプレート構成部１０ｃ，１０ｃとを含む。第１ベースプレート構成部１０ａとは、その両側面がそれぞれ別の各ベースプレート構成部（同図では第２ベースプレート構成部１０ｂ及び第３ベースプレート構成部１０ｃ）の側面と互いに隣り合っているものである。第２ベースプレート構成部１０ｂとは、第１ベースプレート構成部１０ａの片側面と別のベースプレート構成部（同図では第３ベースプレート構成部１０ｃ）の片側面とに互いに隣り合っているものである。
【００３１】
上記のような第１ベースプレート構成部１０ａと第２ベースプレート構成部１０ｂとの間に第１流路形成エレメント２０が設けられる。第１流路形成エレメント２０は、図７に示すように、第１ベースプレート構成部１０ａの下面及び第２ベースプレート構成部１０ｂの下面に油を供給する第１垂直流路３０と、第１ベースプレート構成部１０ａの側面及び該側面に対向している側の、第２ベースプレート構成部１０ｂの側面に油を供給する水平流路３１とを有する。また、第１垂直流路３０の先端に噴出孔３０ｂが連通しており、噴出孔３０ｂはポケット３０ａに連通している。さらに、水平流路３１の先端に噴出孔３１ｂが連通しており、噴出孔３１ｂはポケット３１ａに連通している。このような構成において、第１垂直流路３０からの油が噴出孔３０ｂより垂直方向に噴出されることによって、ポケット３０ａに油膜がそれぞれ生成され、この油膜により第１ベースプレート構成部１０ａ及び第２ベースプレート構成部１０ｂがその高さ方向に安定して支持される。また、水平流路３１からの油が噴出孔３１ｂより水平方向に噴出されることによって、ポケット３１ａに油膜がそれぞれ生成され、この油膜により第１ベースプレート構成部１０ａ及び第２ベースプレート構成部１０ｂがその幅方向に安定して支持される。これにより、第１ベースプレート構成部１０ａ及び第２ベースプレート構成部１０ｂの上下振動及び水平振動が抑制される。よって、スリップテーブル５に対する第１ベースプレート構成部１０ａ及び第２ベースプレート構成部１０ｂの相対位置が安定するので、第１ベースプレート構成部１０ａ及び第２ベースプレート構成部１０ｂによるスリップテーブル５の支持精度が向上する。第１垂直流路３０及び水平流路３１からの油の噴出圧は例えば６ＭＰａ〜７ＭＰａである。なお、図６の左側と右側の第２流路形成エレメント２１の垂直方向における油の噴出の効果については、上述の第１流路形成エレメント２０の垂直方向における油の噴出の効果と同様である。
【００３２】
また、第１垂直流路３０と水平流路３１とを有する第１流路形成エレメント２０を、一枚ものであるベースプレート１０にマニホールドしてこれらを単体化させることで、ユニット化された複数のベースプレートを備える従来の振動発生機に比して、流体軸受構造を著しく簡単化することができる。それによって、振動発生機を低コスト化することができる。
【００３３】
図６に戻り、一方、第３ベースプレート構成部１０ｃと、第１ベースプレート構成部１０ａまたは第２ベースプレート構成部１０ｂとの間に第２流路形成エレメント２１が設けられる。第２流路形成エレメント２１は、第３ベースプレート構成部１０ｃの下面と、第１ベースプレート構成部１０ａまたは第２ベースプレート構成部１０ｂの下面とに油を供給する第２垂直流路３２を備える。第２垂直流路３２からの流体が第３ベースプレート構成部１０ｃの下面、第１ベースプレート構成部１０ａの下面及び第２ベースプレート構成部１０ｂの下面に供給されることによって油膜が生成され、この油膜により第１ベースプレート構成部１０ａ、第２ベースプレート構成部１０ｂ及び第３ベースプレート構成部１０ｃがその高さ方向に安定して支持される。また、加振方向Ｘ（スリップテーブル５の上面視において垂直方向）に比して水平方向には加振による力がほとんど作用しない。このことに鑑みて、第２流路形成エレメント２１の水平部は、各ベースプレート構成部１０ａ、１０ｂ、１０ｃから支持されることを省略することができ、その結果、第２流路形成エレメント２１と各ベースプレート構成部との間に該第２流路形成エレメント２１の挿入のための若干の隙間のみを設ければ済む。これにより、流体軸受構造を簡単化することができると共に水平流路を設けた場合の高精度な位置決めが不要となるので、低コスト化をより図ることができる。
【００３４】
図８は油リサイクル部７の構成を示す模式図である。本発明では、流体軸受機能を達成するのに用いた油を再利用することができる。詳しくは、油リサイクル部７は、図８に示すように、サクションフィルタ４０と、ポンプ４１と、リリーフ弁４２と、切替弁４３と、導入部２６やベースプレート１０の油の導入口１８ａに接続された管路４４と、ベースプレート１０から落ちてくる油を溜める図示しないオイルタンクを備える。このような構成において、オイルタンクに貯溜された油は、サクションフィルタ４０で清浄化された後、ポンプ４１により吸い上げられてリリーフ弁４２及び切替弁４３を介して管路４４を通じて導入部２６に導入される。
【００３５】
以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。したがって、本発明は、上記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
【００３６】
上記実施形態では、ベースプレート１０の区画領域を９つの領域Ｒ１〜Ｒ９としたが、これに限定されるものではなく、８以下あるいは１０以上とすることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明の振動発生機は、車載機器やその他の機器の振動試験に好適に利用することができる。
【符号の説明】
【００３８】
１  振動発生機
５  スリップテーブル
１０  ベースプレート
１０ａ  第１ベースプレート構成部
１０ｂ  第２ベースプレート構成部
１０ｃ  第３ベースプレート構成部
１１  拡散溝
１５  回収溝
１８  流体流路
２０  第１流路形成エレメント
２１  第２流路形成エレメント
３０  第１垂直流路
３１  水平流路
３２  第２垂直流路
Ｒ１〜Ｒ９  領域
【図１】
2015206728.tif 000003
【図２】
2015206728.tif 000004
【図３】
2015206728.tif 000005
【図４】
2015206728.tif 000006
【図５】
2015206728.tif 000007
【図６】
2015206728.tif 000008
【図７】
2015206728.tif 000009
【図８】
2015206728.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月1日(2014.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被振動物を振動させる振動発生機であって、
前記被振動物が取り付けられるスリップテーブルと、
前記スリップテーブルの下部に設けられ、縦断面視において第１ベースプレート構成部と、当該第１ベースプレート構成部と互いに隣り合う第２ベースプレート構成部と、を含むベースプレートと、
前記第１ベースプレート構成部と前記第２ベースプレート構成部との間に設けられ、流体が流れる流路を有する流路形成エレメントと、を備え、
前記流路形成エレメントの流路は、前記第１ベースプレート構成部及び前記第２ベースプレート構成部の各下面に前記流体を供給する垂直流路と、前記第１ベースプレート構成部の側面及び当該側面に対向している側の、前記第２ベースプレート構成部の側面に前記流体を供給する水平流路と、で構成されていることを特徴とする振動発生機。
【請求項２】
被振動物を振動させる振動発生機であって、
前記被振動物が取り付けられるスリップテーブルと、
前記スリップテーブルの下部に設けられ、縦断面視において複数のベースプレート構成部を含むベースプレートと、を備え、
前記ベースプレートの縦断面視において、両側面がそれぞれ別の各前記ベースプレート構成部の側面と互いに隣り合っている第１ベースプレート構成部と、該第１ベースプレート構成部の片側面と別の前記ベースプレート構成部の片側面とに互いに隣り合っている第２ベースプレート構成部とを有する領域を含み、
前記第１ベースプレート構成部と前記第２ベースプレート構成部との間に設けられ、流体が流れる流路を有する第１流路形成エレメントと、をさらに備え、
前記第１流路形成エレメントの流路は、前記第１ベースプレート構成部及び前記第２ベースプレート構成部の下面に前記流体を供給する第１垂直流路と、前記第１ベースプレート構成部の側面及び該側面に対向している側の、前記第２ベースプレート構成部の側面に前記流体を供給する水平流路と、を含むことを特徴とする振動発生機。
【請求項３】
前記ベースプレートの縦断面視において、側面の片方のみが別の前記ベースプレート構成部の側面と隣り合っている第３ベースプレート構成部を有する領域を含み、
前記第３ベースプレート構成部と、前記第１ベースプレート構成部または前記第２ベースプレート構成部との間に第２流路形成エレメントを備え、
前記第２流路形成エレメントは、前記第３ベースプレート構成部の下面と、前記第１ベースプレート構成部または第２ベースプレート構成部の下面とに前記流体を供給する第２垂直流路を備える、請求項２に記載の振動発生機。
【請求項４】
前記ベースプレートは、前記スリップテーブルの下面に流体を供給する流体流路を備えた、請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動発生機。
【請求項５】
前記ベースプレートの上面には、前記流体流路から噴出された前記流体を前記ベースプレート上に拡散させる複数の拡散溝が形成されている、請求項４に記載の振動発生機。
【請求項６】
前記ベースプレートの上面には、前記流体流路から噴出された前記流体を回収する複数の回収溝が形成されている、請求項４または５に記載の振動発生機。