(57)【要約】      （修正有）【課題】Ｘ線センサのＸ線検出状態を表示することで、正しい検出状態となるように調整することができるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】Ｘ線検査装置１において、Ｘ線検出状態表示制御部４６は、ベルト面２ａ上を被検査物Ｗが通過していないときのＸ線センサ５１のＸ線の検出状態を表示器５に表示させるようになっており、検出状態として、Ｘ線センサ５１から出力される輝度データの検出素子の輝度値を、各検出素子の配置に対応させて、表示器５に表示させる。また、Ｘ線検出状態表示制御部４６は、所定の基準検出素子列と他の残りの検出素子列との間で輝度値の差分を演算し、差分の輝度値を、検出素子の配置に対応させて、表示器５に表示させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送路の搬送面上を搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線管（３１）と、
前記被検査物の搬送方向（Ｘ方向）の平面上で搬送方向に直交する主走査方向（Ｙ方向）に直線状に配置された複数の検出素子からなる検出素子列を前記搬送方向に複数段有し、前記Ｘ線の受光量に応じた輝度データを出力するＸ線センサ（５１）と、
前記Ｘ線センサにより出力される輝度データに画像処理を施す画像処理部（４４）と、
前記画像処理部により出力される画像処理済データに基づいて前記被検査物の良否判定を行う判定部（４８）と、
前記画像処理済データまたは前記判定部による良否判定結果の少なくとも一方を表示可能な表示器（５）と、
前記搬送面上を前記被検査物が通過していないときの前記Ｘ線センサのＸ線の検出状態を前記表示器に表示させるＸ線検出状態表示制御部（４６）と、を備え、
前記表示制御部は、前記Ｘ線センサから出力される輝度データの前記検出素子の輝度値を、前記検出素子の配置に対応させて、前記表示器に表示させることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記Ｘ線検出状態表示制御部は、所定の基準検出素子列の各検出素子の輝度値に対する他の残りの検出素子列の各検出素子の輝度値の差分または割合を演算し、算出された差分または割合を、前記検出素子の配置に対応させて、前記表示器に表示させることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記Ｘ線検出状態表示制御部は、互いに隣接する複数の検出素子を含む検出素子区分における、最大輝度値と最小輝度値との差分、または最大輝度値に対する最小輝度値の割合を、前記検出素子区分の代表輝度値として演算し、前記代表輝度値を、前記検出素子の配置に対応させて、前記表示器に表示させることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記Ｘ線検出状態表示制御部は、前記輝度値に応じた濃淡階調を付して、前記輝度値を前記表示器に表示させることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れかに記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記Ｘ線検出状態表示制御部は、前記輝度値に応じた色彩を付して、前記輝度値を前記表示器に表示させることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れかに記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記Ｘ線検出状態表示制御部は、前記画像処理済データと同時に、前記輝度値を前記表示器に表示させることを特徴とする請求項１〜請求項５の何れかに記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、肉、魚、加工食品、医薬品等の被検査物中に混入した異物を検出するＸ線検査装置に関し、特に、検出素子列を搬送方向に複数段備えるＸ線検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、Ｘ線検査装置は、搬送路上を所定間隔で順次搬送されてくる各品種の被検査物（例えば、肉、魚、加工食品、医薬品など）にＸ線発生器からＸ線を照射し、被検査物を透過したＸ線の透過量を検出することで、被検査物中の異物（金属、ガラス、石、骨など）の有無や欠品の有無などを検査するようになっている。
【０００３】
この種のＸ線検査装置には、ライン状に検出素子を有するＸ線センサを被検査物の搬送方向に複数本併設し、複数のＸ線センサからの検出信号を合成することにより、検査精度を向上させるようにしたものが従来知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２４２３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、従来のＸ線検査装置は、スリットの開口部をＸ線を通過させることでＸ線の照射範囲を制限しており、Ｘ線センサの周辺の近傍にのみＸ線が照射されるようにスリットの開口面積等が設定されている。
【０００６】
従来のＸ線検査装置では、当初からの装置全体の機械誤差によって、スリットにより設定されたＸ線照射領域の外部にＸ線センサの一部がはみ出てしまい、Ｘ線センサにＸ線が均一に照射されないことがあった。
【０００７】
また、Ｘ線管内部のターゲット温度ドリフトによる照射範囲の移動等によって、Ｘ線照射領域の外側にＸ線センサの一部がはみ出てしまうことがあった。特に、検出データの加算平均化処理等を行うものでは、Ｘ線センサに正しくＸ線が照射されていない場合、加算平均化処理による効果が低減してしまう。
【０００８】
このため、Ｘ線センサによるＸ線の検出状態を確認してＸ線管の位置等を調整する必要がある。
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載されたＸ線検査装置は、合成等の画像処理を施された後のＸ線画像だけを表示しているため、Ｘ線センサの検出状態を確認することができないという問題があった。
【００１０】
そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、Ｘ線センサのＸ線検出状態を表示することで、正しい検出状態となるように調整することができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係るＸ線検査装置は、搬送路の搬送面上を搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線管（３１）と、前記被検査物の搬送方向（Ｘ方向）の平面上で搬送方向に直交する主走査方向（Ｙ方向）に直線状に配置された複数の検出素子からなる検出素子列を前記搬送方向に複数段有し、前記Ｘ線の受光量に応じた輝度データを出力するＸ線センサ（５１）と、前記Ｘ線センサにより出力される輝度データに画像処理を施す画像処理部（４４）と、前記画像処理部により出力される画像処理済データに基づいて前記被検査物の良否判定を行う判定部（４８）と、前記画像処理済データまたは前記判定部による良否判定結果の少なくとも一方を表示可能な表示器（５）と、前記搬送面上を前記被検査物が通過していないときの前記Ｘ線センサのＸ線の検出状態を前記表示器に表示させるＸ線検出状態表示制御部と、を備え、前記表示制御部は、前記Ｘ線センサから出力される輝度データの前記検出素子の輝度値を、前記検出素子の配置に対応させて、前記表示器に表示させることを特徴とする。
【００１２】
このため、利用者は、検出素子の配置に対応させて検出器に表示される検出素子の輝度値を見ることにより、均等に全ての検出素子がＸ線を検出しているか否かを確認することができる。また、どの検出素子がＸ線を検出していないかを確認することができるので、Ｘ線管の位置調整の方向を把握することができる。したがって、Ｘ線センサのＸ線検出状態を表示することで、正しい検出状態となるように調整することができる。
【００１３】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記Ｘ線検出状態表示制御部は、所定の基準検出素子列の各検出素子の輝度値に対する他の残りの検出素子列の各検出素子の輝度値の差分または割合を演算し、算出された差分または割合を、前記検出素子の配置に対応させて、前記表示器に表示させることを特徴とする。
【００１４】
これにより、Ｘ線照射領域がＸ線センサに対して搬送方向にズレているような場合に、輝度値が他と異なる検出素子を容易に把握することができる。
【００１５】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記Ｘ線検出状態表示制御部は、互いに隣接する複数の検出素子を含む検出素子区分における、最大輝度値と最小輝度値との差分、または最大輝度値に対する最小輝度値の割合を、前記検出素子区分の代表輝度値として演算し、前記代表輝度値を、前記検出素子の配置に対応させて、前記表示器に表示させることを特徴とする。
【００１６】
これにより、Ｘ線照射領域がＸ線センサに対して回転方向にズレているような場合に、輝度値が他と異なる検出素子を容易に把握することができる。
【００１７】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記Ｘ線検出状態表示制御部は、前記輝度値に応じた濃淡階調を付して、前記輝度値を前記表示器に表示させることを特徴とする。
【００１８】
これにより、輝度値が他と異なる検出素子を視覚的に容易に把握することができる。
【００１９】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記Ｘ線検出状態表示制御部は、前記輝度値に応じた色彩を付して、前記輝度値を前記表示器に表示させることを特徴とする。
【００２０】
これにより、輝度値が他と異なる検出素子を視覚的に容易に把握することができる。
【００２１】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記Ｘ線検出状態表示制御部は、前記画像処理済データと同時に、前記輝度値を前記表示器に表示させることを特徴とする。
【００２２】
これにより、画像処理済データと各検出素子の輝度値を比較し易くなるので、輝度値が他と異なる検出素子が画像処理済データに与える影響度等を確認することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明は、Ｘ線センサのＸ線検出状態を表示することで、正しい検出状態となるように調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置の側面および内部構成を示す図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置のＸ線センサの構成を示す図である。
【図４】（ａ）はＸ線センサが正しくＸ線照射領域内に位置する状態を示す図であり、（ｂ）、（ｃ）はＸ線センサがＸ線照射領域からはみ出ている状態を示す図である。
【図５】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置のＸ線検出状態表示制御部により表示される各検出素子の輝度値を示す図である。
【図６】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置のＸ線検出状態表示制御部により表示される各検出素子の輝度値を示す図である。
【図７】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置のＸ線検出状態表示制御部により表示される各検出素子の輝度値を示す図である。
【図８】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置のＸ線検出状態表示制御部により表示される各検出素子の輝度値の差分を示す図である。
【図９】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置のＸ線検出状態表示制御部により表示される各検出素子の輝度値の差分を示す図である。
【図１０】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置のＸ線検出状態表示制御部が、輝度値に濃淡階調を付して表示する例を示す図である。
【図１１】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置のＸ線検出状態表示制御部が、輝度値と画像処理済データを同時に表示する例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。まず構成について説明する。図１に示すように、Ｘ線検査装置１は、搬送部２と検査部３とを筐体４の内部に備え、表示器５を筐体４の前面上部に備えている。
【００２６】
搬送部２は、被検査物Ｗを所定間隔をおいて順次搬送するものである。この搬送部２は、例えば筐体４の内部で水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。搬送部２は、図１に示す駆動モータ６の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口７から搬入された被検査物Ｗを搬出口８側（図中Ｘ方向）に向けて搬送面としてのベルト面２ａ上を搬送させるようになっている。
【００２７】
筐体４の内部においてベルト面２ａ上を搬入口７から搬出口８まで貫通する空間は搬送路２１を形成している。
【００２８】
検査部３は、順次搬送される被検査物Ｗに対し、搬送路２１の途中の検査空間２２においてＸ線を照射するとともに被検査物Ｗを透過するＸ線を検出するものであり、搬送路２１の途中の検査空間２２の上方に所定高さ離隔して配置されたＸ線発生器９と、搬送部２内にＸ線発生器９と対向して配置されたＸ線検出器１０を備えている。
【００２９】
Ｘ線発生器９は、金属製の箱体からなるＸ線ユニット３３の内部に円筒状のＸ線源としてのＸ線管３１を備えた構成となっており、Ｘ線管３１は、Ｘ線ユニット３３内で絶縁油または絶縁樹脂等により絶縁されている。Ｘ線ユニット３３は、高電圧発生部を含んだモノタンク型であってもよく、または、高電圧発生部を別ユニットとした構成であってもよい。
【００３０】
Ｘ線管３１は、その陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてＸ線を生成している。Ｘ線管３１は、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）となるよう配置されている。Ｘ線管３１により生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器１０に向けて、検査空間２２（図１、図２参照）の上面に固定されたスリット６０の開口部６２を通過することにより、略三角形状のスクリーン状となって搬送方向（Ｘ方向）を横切るように照射されるようになっている。
【００３１】
図２に示すように、搬送路２１内の天井部２１ａには、搬送方向（Ｘ方向）に沿って複数個所にＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン１６が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン１６は、Ｘ線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状（上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態）に加工したものから構成されており、検査空間２２から搬送路２１を介してＸ線が筐体４の外部に漏えいすることを防止するものである。
【００３２】
遮蔽カーテン１６は、本実施の形態では、搬入口７と検査空間２２との間、および検査空間２２と搬出口８との間にそれぞれ２枚ずつ設けられており、１つの遮蔽カーテン１６が被検査物Ｗと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン１６がＸ線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくＸ線の漏えいを防止できるようになっている。
【００３３】
なお、検査空間２２の上面にはスリット６０が配置され、検査空間２２の下面、側面は、Ｘ線の遮蔽のために筐体４等により略閉塞されている。搬送路２１における遮蔽カーテン１６、スリット６０、および筐体４等により囲まれた内側の空間が検査空間２２を構成している。
【００３４】
図３に示すように、Ｘ線検出器１０は、Ｘ線の検出部としてのＸ線センサ５１を備えている。Ｘ線センサ５１は、幅方向、すなわち搬送される被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）の平面上で搬送方向と直交するＹ方向に複数の検出素子ｓを一直線上に配置するとともに、この複数の検出素子ｓからなる検出素子列を、搬送方向（Ｘ方向）に複数段並べたものから構成されている。
【００３５】
Ｘ線センサ５１の検出素子ｓは、例えば、Ｘ線を受けて光（蛍光）を発するシンチレータと、このシンチレータからの光を光電変換して出力するフォトダイオード等の受光素子とから構成されている。
【００３６】
Ｘ線センサ５１の検出素子ｓは、他の例として、テルル化カドミウム（ＣｄＴｅ）のような半導体を用いて、Ｘ線を直接的に効率良く電気信号に変換するように構成されていてもよい。
【００３７】
Ｘ線センサ５１には、被検査物Ｗを透過したＸ線が入射するようになっている。Ｘ線センサ５１の検出素子ｓは、各検出素子ｓに入射するＸ線の強度に応じた検出データを出力するようになっている。Ｘ線センサ５１の検出素子ｓから出力される検出データは、輝度（Ｘ線検出量を示すデータ）を表すアナログデータ信号またはデジタルデータである。
【００３８】
本実施形態では、Ｘ線センサ５１は、ＴＤＩ（Ｔｉｍｅ  Ｄｅｌａｙ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ：時間遅延積分）センサとして構成されている。
【００３９】
ここで、ＴＤＩセンサは、検出素子列の段数分だけ被検査物Ｗを繰り返し露光・撮影することで時間遅延積分した合成データを１ライン分出力することができるものであり、１段の検出素子列のみを有する通常のラインセンサと比較して、高解像度かつ明るく鮮明な画像を得ることができるものである。
【００４０】
Ｘ線センサ５１は、ＴＤＩ読み出しモードとフレーム読み出しモードとの間で切り換え可能に構成されており、読み出しモードに対応した検出データ（２次元画像データ）を出力するようになっている。
【００４１】
Ｘ線センサ５１は、ＴＤＩ読み出しモード時には、複数の検出素子列の段ごとに各検出素子ｓから得た検出データを時間遅延積分により合成して合成データを１ラインＸ線画像として出力するようになっている。
【００４２】
また、Ｘ線センサ５１は、フレーム読み出しモード時には、時間遅延積分を行わずに検出素子列の検出データを検出素子列の素子数および段数に対応する大きさのフレームの２次元Ｘ線画像として出力するようになっている。
【００４３】
Ｘ線センサ５１からフレーム読み出しモード時に出力される検出データは、アナログ信号またはデジタル信号の輝度データ（検出量を示すデータ）である。
【００４４】
なお、ＴＤＩ方式のセンサとしては、例えば、検出素子列を被検査物Ｗの搬送方向に１２８段備えた仕様のものを用いることができるが、図３では、説明を容易にするため、１０個の検出素子ｓからなる検出素子列Ｌを被検査物Ｗの搬送方向に６列備えた構成を例示している。
【００４５】
Ｘ線センサ５１から出力される検出データは、後述する総合制御部４０（図２参照）に入力され、ＴＤＩ読み出しモードのときは、被検査物Ｗへの異物混入の有無の判定に用いられ、フレーム読み出しモードのときは、検出素子ｓへのＸ線の照射状態の確認や、Ｘ線管３１の位置調整等に用いられる。
【００４６】
Ｘ線検査装置１は、Ｘ線検査装置１の総合的な制御を行う総合制御部４０を備えており、この総合制御部４０は、記憶部４３と、画像処理部４４と、判定部４８とを有している。
【００４７】
記憶部４３は、データを高速に記憶および読み出しが可能なメモリから構成されており、Ｘ線センサ５１から出力された検出データを一時的に記憶するようになっている。
【００４８】
画像処理部４４は、Ｘ線センサ５１の各検出素子からの検出データ（輝度を表すデータ）に対して合成処理、フィルタ処理等の画像処理を施し、合成処理済データ、フィルタ処理済データを、画像処理済データとして出力するようになっている。更に、画像処理部４４は、Ｘ線センサ５１からの検出データに対して、被検査物Ｗに吸収されたＸ線吸収量を示すデータに対数変換等の変換を行って、吸収量が大きいほど濃度が高くなるような濃度画像データを画像処理済データとして作成して出力するようになっている。
【００４９】
判定部４８は、画像処理部４４からの画像処理済データ（例えば、濃度画像データ）に対して被検査物Ｗと異物との判別を行うことで、異物の混入の有無を判定と良否判定を行うようになっている。判定部４８による良否判定結果は表示器５に表示されるようになっている。
【００５０】
このように、判定部４８は、Ｘ線センサ５１からＴＤＩ読み出しモードで出力された検出データから生成された画像処理済データに対して異物の混入の有無を判定している。
また、総合制御部４０は、詳細は後述するが、Ｘ線検出状態表示制御部４６と、駆動制御部８２とを有している。Ｘ線検出状態表示制御部４６は、Ｘ線センサ５１のＸ線の検出状態に関する表示制御を行うようになっている。また、駆動制御部８２は、後述するＹ軸駆動モータ１１２およびＸ軸駆動モータ１１５の駆動制御を行うようになっている。
【００５１】
また、Ｘ線検査装置１は、設定操作部４９を備えており、この設定操作部４９は、筐体４の前面上部の表示器５の隣に配置されており、Ｘ線管３１のＸ線出力の設定、被検査物Ｗの搬送速度の設定、検査部３の検査パラメータの設定、動作モードの設定等が行われるようになっている。なお、設定操作部４９と表示器５は、タッチパネルのような一体型であってもよい。
【００５２】
ここで、Ｘ線センサ５１へのＸ線の照射状態は、Ｘ線ユニット３３とスリット６０とＸ線センサ５１との位置関係によって異なり、これらの３つの部材の位置関係が正しく配置されていないと、Ｘ線センサ５１の全体に均等にＸ線が照射されない。
【００５３】
このため、図４（ａ）に示すように、スリット６０を通過したＸ線のＸ線照射領域６１内にＸ線センサ５１が配置されるように、Ｘ線ユニット３３とスリット６０とＸ線センサ５１との位置関係が設定される必要がある。
【００５４】
Ｘ線ユニット３３の位置が不適切な場合は、図４（ｂ）、図４（ｃ）に示すように、全ての検出素子ｓがＸ線照射領域６１の内部に位置していないため、全ての検出素子ｓが均一にＸ線を検出することができない。
【００５５】
そこで、本実施形態では、総合制御部４０には、Ｘ線検出状態表示制御部４６が更に設けられており、このＸ線検出状態表示制御部４６は、ベルト面上を被検査物Ｗが通過していないときのＸ線センサ５１のＸ線の検出状態を表示器５に表示させるようになっている。
【００５６】
具体的には、Ｘ線検出状態表示制御部４６は、図５に示すように、Ｘ線センサ５１から出力される輝度データの検出素子の輝度値を、各検出素子ｓの配置に対応させて、表示器５に表示させるようになっている。
【００５７】
図５において、表示器５には、各検出素子ｓからの輝度値が、検出素子ｓの配置と同じ配置で、０〜２５５までの２５６段階（８ビット）で表示されている。図５は、図４（ａ）のようにＸ線照射領域６１内にＸ線センサ５１が正しく配置されている場合の検出状態を表しており、全ての検出素子からの輝度値が１５０で等しくなっている。
【００５８】
また、図６は、図４（ｂ）のようにＸ線照射領域６１の延在方向がＸ線センサ５１の延在方向に対して傾いている場合の検出状態を表しており、１列目の６番から１０番の検出素子ｓの輝度値、および６列目の１番から５番の検出素子ｓの輝度値が１５０より小さくなっており、残りの検出素子の輝度値が１５０で等しくなっている。
【００５９】
また、図７は、図４（ｃ）のようにＸ線照射領域６１がＸ線センサ５１に対してＸ方向（搬送方向下流側）にズレている場合の検出状態を表しており、１列目の全ての検出素子ｓの輝度値が５０となっており、残りの検出素子の輝度値が１５０になっている。
【００６０】
また、Ｘ線検出状態表示制御部４６は、所定の基準検出素子列の各検出素子の輝度値に対する他の残りの検出素子列の各検出素子ｓの輝度値の差分または割合を演算し、算出された差分の輝度値または割合を、検出素子ｓの配置に対応させて、表示器５に表示させるようになっている。
【００６１】
具体的には、Ｘ線の検出状態が図７のようになっているときに差分を演算して表示する場合、３列目を所定の基準検出素子列とした場合、他の残りの検出素子列との間で輝度値の差分を演算すると、差分の輝度値は、図８に示すように、一列目の全ての輝度値が−１００となって表示器５に表示される。
【００６２】
これにより、Ｘ線照射領域がＸ線センサに対して搬送方向にズレているような場合に、輝度値が他と異なる検出素子ｓを容易に把握することができる。
【００６３】
また、Ｘ線検出状態表示制御部４６は、互いに隣接する複数の検出素子ｓを含む検出素子区分における、最大輝度値と最小輝度値との差分、または最大輝度値に対する最小輝度値の割合を、その検出素子区分の代表輝度値として演算し、算出した代表輝度値を、検出素子ｓの配置に対応させて、表示器に表示させるようになっている。
【００６４】
具体的には、Ｘ線の検出状態が図６のようになっているときに差分を演算して表示する場合、各列において１番目から３番目の検出素子ｓをその列の第１区分とし、４番目から７番目の検出素子ｓをその列の第２区分とし、８番目から１０番目の検出素子ｓをその列の第３区分とする。すなわち、各列の検出素子ｓを、第１区分、第２区分、第３区分の３つの検出素子区分に分けている。この場合、例えば、１列目の検出素子列の第１区分の輝度値は、１５０、１５０、１５０で等しいため輝度値の差分は０である。また、１列目の検出素子列の第２区分の輝度値は１５０、１５０、１３０、１２０であり、最大輝度値１５０と最小輝度値１２０との差分は３０である。同様に、１列目の検出素子列の第３区分の輝度値は１００、７０、５０であり、最大輝度値１００と最小輝度値５０との差分は５０である。
【００６５】
したがって、各検出素子区分の最大輝度値と最小輝度値との差分を演算した結果は、図９に示すものとなる。なお、最大輝度値に対する最小輝度値の割合も、図９の差分の表示と同様の態様で表示される。これにより、Ｘ線照射領域がＸ線センサに対して回転方向にズレているような場合に、輝度値が他と異なる検出素子ｓを容易に把握することができる。
【００６６】
また、Ｘ線検出状態表示制御部４６は、図５〜図９のように輝度値を数値で表示したが、数値の代わりに、または数値と併用して、輝度値に応じた濃淡階調または色彩を付して表示器５に表示させることが好ましい。図１０では、図６と同様の輝度値が、各検出素子ｓの輝度値に応じて、輝度値が小さいほど濃くなるように、濃淡階調を付して表示されている。これにより、輝度値が他と異なる検出素子を視覚的に容易に把握することができる。
【００６７】
また、図１１に示すように、Ｘ線検出状態表示制御部４６は、輝度値を画像処理済データと同時に表示器５に表示させてもよい。図１１において、表示器５の表示領域上部には、図６と同様の輝度値が表示され、表示器５の表示領域下部には、画像処理済データとしての濃度画像が表示されている。この濃度画像は、Ｘ線センサ５１上に被検査物Ｗ等が載置されていないときに、Ｘ線センサ５１からＴＤＩ読み出しモードで出力される検出データを受けて画像処理部４４が出力した画像処理済データである。これにより、画像処理済データと各検出素子の輝度値を比較し易くなるので、輝度値が他と異なる検出素子ｓが画像処理済データに与える影響度等を確認することができる。
【００６８】
本実施の形態では、Ｘ線管３１を収納するＸ線ユニット３３は、後述する位置調整機構によりＸ軸上（搬送部２の搬送方向）およびＹ軸上（搬送部２の幅方向）で移動可能となっている。
【００６９】
図２に示すように、本実施の形態では、Ｘ線検査装置１は、Ｘ線ユニット３３をＸ軸、Ｙ軸上で変位可能に支持する支持機構１００を備えている。支持機構１００は、Ｘ線ユニット３３を上面で支持する第１ステージ１０１と、第１ステージ１０１を下方から支持する第２ステージ１０２と、第２ステージ１０２を下方から支持する第３ステージ１０３とを備えている。
【００７０】
第１ステージ１０１は、Ｙ軸上をスライド移動可能に第２ステージ１０２に支持されている。第２ステージ１０２は、Ｘ軸上をスライド移動可能に第３ステージ１０３に支持されている。
【００７１】
また、Ｘ線検査装置１は、第１ステージ１０１をＹ軸方向で位置調整するＹ軸駆動モータ１１２と、第２ステージ１０２をＸ軸方向で位置調整するＸ軸駆動モータ１１５を備えている。
【００７２】
Ｙ軸駆動モータ１１２、Ｘ軸駆動モータ１１５はステッピングモータから構成されている。駆動制御部８２は、Ｙ軸駆動モータ１１２、Ｘ軸駆動モータ１１５をパルス駆動するようになっている。
【００７３】
駆動制御部８２は、Ｘ線検出状態表示制御部４６からのＸ線検出状態に基づいて、Ｙ軸駆動モータ１１２、Ｘ軸駆動モータ１１５を駆動し、Ｘ線ユニット３３の位置を調整している。なお、Ｘ線ユニット３３の位置の調整は手動で行ってもよい。また、Ｘ線ユニット３３の位置を調整する代わりに、スリット６０の位置をＸ軸方向に調整してもよい。
【００７４】
なお、本実施形態では、Ｘ線センサ５１がＴＤＩラインセンサから構成されている場合を例示したが、Ｘ線センサは、１本の検出素子列を有するＸ線ラインセンサを搬送方向に複数本備えるものから構成されていてもよい。すなわち、検出素子列を搬送方向に複数段備える構成であればよい。
【００７５】
以上のように、本実施の形態に係るＸ線検査装置１において、Ｘ線検出状態表示制御部４６は、ベルト面上を被検査物Ｗが通過していないときのＸ線センサ５１のＸ線の検出状態を表示器５に表示させるようになっており、検出状態として、Ｘ線センサ５１から出力される輝度データの検出素子の輝度値を、各検出素子ｓの配置に対応させて、表示器５に表示させるようになっている。
【００７６】
この構成により、利用者は、検出素子ｓの配置に対応させて表示器５に表示される検出素子ｓの輝度値を見ることにより、均等に全ての検出素子ｓがＸ線を検出しているか否かを確認することができる。
【００７７】
また、どの検出素子ｓがＸ線を検出していないかを確認することができるので、Ｘ線管３１の位置調整の方向を把握することができる。したがって、Ｘ線センサ５１のＸ線検出状態を表示することで、正しい検出状態となるように調整することができる。
【００７８】
また、Ｘ線検出状態表示制御部４６は、所定の基準検出素子列と他の残りの検出素子列との間で輝度値の差分を演算し、差分の輝度値を、検出素子ｓの配置に対応させて、表示器５に表示させるようになっている。
【００７９】
これにより、Ｘ線照射領域がＸ線センサに対して搬送方向にズレているような場合に、輝度値が他と異なる検出素子ｓを容易に把握することができる。
【００８０】
また、Ｘ線検出状態表示制御部４６は、互いに隣接する複数の検出素子ｓを含む検出素子区分における、輝度値の差分の最大値または輝度値の割合の最大値を検出素子区分の代表輝度値として演算し、代表輝度値を、検出素子ｓの配置に対応させて、表示器に表示させるようになっている。
【００８１】
これにより、Ｘ線照射領域がＸ線センサに対して回転方向にズレているような場合に、輝度値が他と異なる検出素子ｓを容易に把握することができる。
【００８２】
また、Ｘ線検出状態表示制御部４６は、輝度値に応じた濃淡階調または色彩を付して表示器５に表示させる。これにより、輝度値が他と異なる検出素子を視覚的に容易に把握することができる。また、Ｘ線検出状態表示制御部４６は、画像処理済データと同時に、輝度値を表示器５に表示させてもよい。
【００８３】
これにより、画像処理済データを各検出素子の輝度値と比較し易くなるので、輝度値が他と異なる検出素子ｓが画像処理済データに与える影響度等を確認することができる。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
以上のように、本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線センサのＸ線検出状態を表示することで、正しい検出状態となるように調整することができるという効果を有し、検出素子列を搬送方向に複数段備えるＸ線検査装置として有用である。
【符号の説明】
【００８５】
１  Ｘ線検査装置
２ａ  ベルト面（搬送面）
５  表示器
９  Ｘ線発生器
１０  Ｘ線検出器
３１  Ｘ線管
３３  Ｘ線ユニット
４４  画像処理部
４６  Ｘ線検出状態表示制御部
４８  判定部
４９  設定操作部
５１  Ｘ線センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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