(57)【要約】【課題】  プローブ針先端座標を測定検査し、かつ、針先端部の位置ずれ及び高さばらつきを修正する装置を提供する。【解決手段】  プローブカードを基台上に着脱自在に装着するプローブカードホルダと、基台にＸＹＺ方向に可動に支持されたステージと、前記ステージ上で任意のプローブの先端部をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向にそれぞれ微小変形させるプローブＸ方向修正ユニット、プローブＹ方向修正ユニット、及びプローブＺ方向修正ユニットと、任意のプローブ先端部を観察するプローブ先端観察装置とを含み、前記プローブカードホルダに設置されたプローブカードに対して、前記プローブ先端観察装置を対向させて任意のプローブ先端座標位置を測定検査し、前記プローブ修正ユニットのいずれかを、指定されたプローブ先端部に装着して前記プローブ先端位置を修正する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台に支持され、プローブカードが着脱自在に装着されるプローブカードホルダと、
基台にＸＹＺ方向に可動に支持されたステージと、
前記ステージ上に、
任意のプローブを選択しプローブ先端部のＸ方向に微小変形させるプローブＸ方向修正ユニットと、
任意のプローブを選択しプローブ先端部のＹ方向に微小変形させるプローブＹ方向修正ユニットと、
任意のプローブを選択しプローブ先端部のＺ方向に微小変形させるプローブＺ方向修正ユニットと、
前記ステージにＸＹＺ方向に移動自在に設けられ任意のプローブ先端部を観察するプローブ先端観察装置と、
前記プローブ先端観察装置及び前記ステージに接続された、
座標位置判定回路と、補正値制御回路と、
を含み、
前記プローブカードホルダに設置されたプローブカードに対して、
前記プローブ先端観察装置を対向させて任意のプローブ先端座標位置を測定検査し、
前記プローブＸ方向修正ユニット若しくは前記プローブＹ方向修正ユニット若しくは前記プローブＺ方向修正ユニットを、指定されたプローブ先端部に装着して前記プローブ先端位置を修正すること、
を特徴とするプローブカード検査修正装置。
【請求項２】
前記プローブＸ方向修正ユニットは、
修正対象とするプローブのバネ変形部又は前記バネ変形部と直結した垂直プローブ部の一部を少なくともＸＹ方向に拘束する保持部と、
前記垂直プローブの保持部開放端を概略中心として、
前記垂直プローブ部のプローブ先端を含む他の一部をＸＺ平面上にて回転するＸＺ平面可動部と、
を有することを特徴とする請求項１記載のプローブカード検査修正装置。
【請求項３】
前記プローブＹ方向修正ユニットは、
修正対象とするプローブのバネ変形部又は前記バネ変形部と直結した垂直プローブ部の一部を少なくともＸＹ方向に拘束する保持部と、
前記垂直プローブの保持部開放端を概略中心として、
前記垂直プローブ部のプローブ先端を含む他の一部をＹＺ平面上にて回転するＹＺ平面可動部と、
を有することを特徴とする請求項１記載のプローブカード検査修正装置。
【請求項４】
前記プローブＺ方向修正ユニットは、
修正対象とするプローブの少なくともバネ変形部の一部をＸＹＺ方向に拘束する保持部と、
前記垂直プローブの保持部開放端を基端として、
前記垂直プローブ部のプローブ先端を含む他の一部をＺ方向に変形させるＺ方向変形可動部と、
を有することを特徴とする請求項１記載のプローブカード検査修正装置。
【請求項５】
前記プローブ先端観察装置は、
光学レンズを含む測定光学系と、
画像−電気信号変換機能を有するＣＣＤカメラ等と、
を有することを特徴とする請求項１記載のプローブカード検査修正装置。
【請求項６】
前記座標位置判定回路は、
前記プローブ先端許容位置情報を予め記憶し、
前記プローブ先端の画像情報を取得し、
取得した前記プローブ先端画像の画像信号を処理して、
前記プローブ先端画像を予め記憶した前記プローブ先端許容位置情報と関連付け、
取得した前記プローブ先端画像情報と予め記憶した前記プローブ先端許容位置情報とのＸＹＺ方向の差分を出力すること、
を特徴とする請求項１記載のプローブカード検査修正装置。
【請求項７】
前記補正値制御回路は、
前記座標位置判定回路から出力された前記プローブ先端画像取得情報と予め記憶した前記プローブ先端許容位置情報とのＸＹＺ方向の差分を入力し、
前記プローブＸ方向修正ユニット若しくは前記プローブＹ方向修正ユニット若しくは前記プローブＺ方向修正ユニットにおける回転角度量又は変形量を出力すること、
を特徴とする請求項１記載のプローブカード検査修正装置。
【請求項８】
前記可動部は、当該変形部において塑性域まで変形させること、
を特徴とする請求項２乃至４記載のプローブカード検査修正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、プローブカードに設けられている複数のプローブ針先端部の座標を測定検査し、針先端部の位置ずれ及び高さばらつきを修正することのできるプローブカード検査装置及び修正装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  ウェハ上に多数形成された半導体回路の電気的な特性試験を行うために、プローバが用いられており、各半導体回路の電極パッドに対応して配置された複数のプローブ針を有するプローブカードがブローバに装着され、プローブ針先端を電極パッドに接触させることにより検査が実施される。一方、半導体ＩＣは小型化及び高機能化が要求され、それに伴い半導体回路の高密度化、検査パッドの縮小化及びパッド数の増加の傾向にある。【０００３】  従って、このようなプローブカードのプローブ先端は、被測定電極パッドと高精度に対応して配置されなければならない。また、同一のプローブカードにおける被検査ＩＣとの接触回数は通常数万回にも及び、こうした長時間の使用においてプローブ先端の位置を許容範囲内に保持しなければならない。【０００４】  従来、前記プローブカードのプローブ針先端位置を検査する装置としては、特許文献１（特開平５−１５７７９０号公報）等に例示されるように、光学レンズを含む測定光学系とＣＣＤカメラを備え、これによってプローブの針先位置を測定し、かつ、抵抗測定回路を備え電気的試験により、各プローブの抵抗測定、ピン間ショート測定、ピン間リーク測定等を行うことができる検査装置が実用化されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】  特開平５−１５７７９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  しかしながら、このような検査装置では針先位置及び抵抗値等の測定を行い、測定値の出力とそれらの合否判定結果を表示するのみであり、針先の位置が規定値外である不良ピンの修正は、検査装置から取り外しオフラインで行われている。さらに、半導体ＩＣの製造ラインに設置されたプローブカードにおいても、使用回数が増加すると共にプローブ針先端の曲りや摩耗等により検査途中での不良ピンが多数発生し、その度にオフラインでの修正と検査装置による針先位置確認作業を実施している。また、不良ピンの針先端修正は人手による精密作業が現状であり、これらによるプローブカードの保守コストの上昇が問題となっている。【０００７】  本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、狭ピッチかつ多ピンを有するプローブカードの検査において、プローブ先端位置測定機能と、プローブ先端位置修正機能を同時に備える構造とすることにより、保守コストの削減可能な、安価なプローブカードを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】  本発明は、基台に支持され、プローブカードが着脱自在に装着されるプローブカードホルダと、基台にＸＹＺ方向に可動に支持されたステージと、前記ステージ上に、任意のプローブを選択しプローブ先端部のＸ方向に微小変形させるプローブＸ方向修正ユニットと、任意のプローブを選択しプローブ先端部のＹ方向に微小変形させるプローブＹ方向修正ユニットと、任意のプローブを選択しプローブ先端部のＺ方向に微小変形させるプローブＺ方向修正ユニットと、前記ステージにＸＹＺ方向に移動自在に設けられ任意のプローブ先端部を観察するプローブ先端観察装置と、前記プローブ先端観察装置及び前記ステージに接続された座標位置判定回路と補正値制御回路とを含むプローブカード検査修正装置を要旨とする。【０００９】  上記構成により、前記プローブカードホルダに設置されたプローブカードに対して、前記プローブ先端観察装置を対向させて任意のプローブ先端座標位置を測定検査し、前記プローブＸ方向修正ユニット若しくは前記プローブＹ方向修正ユニット若しくは前記プローブＺ方向修正ユニットを、指定されたプローブ先端部に装着して前記プローブ先端位置を修正する手段を有しているため、プローブ先端位置の検査とプローブ先端位置の修正を連続して実施することが可能である。
【発明の効果】
【００１０】  本発明のプローブカードによれば、プローブ先端位置の検査とプローブ先端位置の修正を連続して実施することができるため、プローブカードの製造検査装置及び半導体製造工程におけるプローブカード保守装置として適用することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】  本発明の実施形態であるプローブカード検査修正装置の基本構成を示す図である。
【図２】  本発明の実施形態におけるプローブ先端の許容位置範囲を説明する図である。
【図３】  本発明の実施形態におけるプローブ先端の状態を説明する図である。
【図４】  本発明の実施形態であるプローブＸ方向修正ユニットの動作原理を説明する図である。
【図５】  本発明の実施形態であるプローブＹ方向修正ユニットの動作原理を説明する図である。
【図６】  本発明の実施形態であるプローブＺ方向修正ユニットの動作原理を説明する図である。
【図７】  本発明の実施形態であるプローブカード検査修正装置の基本動作フローを示す図である。
【図８】  図４乃至図６で説明したプローブ修正動作を応力−ひずみ曲線に当てはめて説明した図である。
【図９】  本発明の他の実施形態として、本発明をカンチレバー型プローブに適応した場合における、図４に示されたプローブＸ方向修正ユニットの動作原理を説明する図である。
【図１０】  本発明の他の実施形態として、本発明をカンチレバー型プローブに適応した場合における、図５に示されたプローブＹ方向修正ユニット５の動作原理を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】  次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態におけるプローブカード検査修正装置１の機能構成図を示す。図１において、基台１１上に被検査プローブカード２がプローブカードホルダ１２によって着脱自在に装着され、前記プローブカード２には、複数のプローブ２０が整列固定されている。前記基台１１に支持されたステージ１３はステージ駆動機構によってＸＹＺ方向に可動となるべく設置され、ステージ駆動回路３３によってＸＹＺ方向の駆動が制御される。
【００１３】  なおこの明細書において、「Ｘ」方向は、例えば図１及び後出の図２を参照した場合、プローブ２０のバネ変形部２１を含む垂直面内における水平方向（図１において左右方向）を表す。「Ｙ」方向は、上記プローブ２０のバネ変形部２１を含む垂直面に対して垂直な方向（図１の紙面に対して垂直の方向）を表す。「Ｚ」方向は、上記Ｘ方向、Ｙ方向のいずれに対しても直角の、図１において上下方向を表す。そして、Ｘ，Ｙ，Ｚの各方向に延びる座標軸を設定することにより、Ｘ，Ｙ，Ｚ三次元直交座標系が形成される。図１以外の図においてもＸ，Ｙ，Ｚの各方向は上記図１に対応する方向を指す。
【００１４】  前記ステージ１３上には、任意のプローブ２０を選択し前記プローブ２０先端部のＸ方向に微小変形させるプローブＸ方向修正ユニット４と、任意のプローブ２０を選択し前記プローブ２０先端部のＹ方向に微小変形させるプローブＹ方向修正ユニット５と、任意のプローブ２０を選択し前記プローブ２０先端部のＺ方向に微小変形させるプローブＺ方向修正ユニット６と、が設置されている。さらに、前記ステージ１３にＸＹＺ方向に移動自在に設けられ任意のプローブ２０先端部を観察するプローブ先端観察装置３と、前記プローブ先端観察装置３及び前記ステージ駆動回路３３に接続された座標位置判定回路３１と、補正値制御回路３２とで構成されている。
【００１５】  以上の構成による前記プローブカード検査修正装置１における基本機能は、前記プローブカードホルダ１２に設置された被検査プローブカード２に対して、前記ステージ１３に設けた開口部１４を介し、前記プローブ先端観察装置３を対向させて任意の前記プローブ２０先端座標位置を測定検査し、前記プローブＸ方向修正ユニット４若しくは前記プローブＹ方向修正ユニット５、若しくは前記プローブＺ方向修正ユニット６を、指定されたプローブ２０先端部に装着して前記プローブ２０先端位置を修正するものである。
【００１６】  図２は、プローブ先端の許容位置範囲を説明する図である。図２において、前記プローブ２０はバネ変形部２１、固定端２２、及び前記バネ変形部２１と連結した垂直プローブ部２３から構成される。これは、プローブの形状がカンチレバー型、垂直型等の種類を問わず、一般的な基本機能である。
【００１７】  前記垂直プローブ部２３の先端部２４は、半導体の検査パッドと接触する部分であり、そのＸＹＺ方向位置は厳しく管理されなければならない。２５は前記プローブ先端部２４の許容位置範囲を示すものであり、許容限界値のＸＹＺ座標を図中に示した。ＸＹ平面方向の許容限界値（＋Ｒｘ、−Ｒｘ）、（＋Ｒｙ、−Ｒｙ）は、主として被検査半導体の検査パッドの大きさ、プローブの組立精度、温度変化に伴う位置ずれ等を考慮して決定される。また、Ｚ方向の許容限界値（＋Ｒｚ、−Ｒｚ）は、主としてプローブの組立精度、プローバへの取付けによる傾き、ウェハ自体の反り等を考慮して決定される。
【００１８】  図３は、前記プローブ先端部２４がＸＹＺ座標において、ΔＴｘ、ΔＴｙ、ΔＴｚだけずれた状態を示すものである。前記プローブ先端観察装置３によりΔＴｘ、ΔＴｙ、ΔＴｚの値が測定され、前記許容位置範囲２５で決定されたＸＹＺ方向限界値の何れかを逸脱した場合に、そのプローブは不良と判定される。
【００１９】図４は前記プローブＸ方向修正ユニット４の動作原理を説明する図である。図５は前記プローブＹ方向修正ユニット５の動作原理を説明する図である。図６は前記プローブＺ方向修正ユニット６の動作原理を説明する図である。図４（ａ）に示すように、前記プローブＸ方向修正ユニット４は主として、前記バネ変形部２１又は前記垂直プローブ部２３の前記バネ変形部２１との連結部近傍の一部を少なくともＸＹ方向に拘束する保持部４１と、前記プローブ先端部２４を含む前記垂直プローブ部２３の他の一部を保持しＸＺ平面上にて回転させる可動ホルダ４２で構成される。
【００２０】  図４（ｂ）は、前記保持部４１が、前記バネ変形部２１の一部を概略ＸＹ方向に拘束し、可動ホルダ４２が前記プローブ先端部２４を含む前記垂直プローブ部２３の他の一部を保持しＸＺ平面上にて回転させる場合を示したものである。前記プローブ２０の前記プローブ先端部２４が２４ｅの位置にずれて不良と判定された場合、前記保持部４１にて前記バネ変形部２１又は前記垂直プローブ部２３を保持した後、前記可動ホルダ４２にて前記プローブ先端部２４の位置２４ｅより前記垂直プローブ部２３の一部を保持する。次に、前記可動ホルダ４２を予め算出した可動角度θｘだけ矢印方向にＸＺ平面上にて回転させる。これにより、前記垂直プローブ部２３の先端部近傍に曲げモーメントが負荷されて塑性変形が生じ、前記プローブ先端部２４がＬｘｃだけ移動し、前記プローブ先端部２４の位置２４ｅから初期の位置に近づけることが可能となる。以上の動作を、前記プローブ先端部２４の測定されたＸ座標値が少なくともＸ方向の許容限界値（＋Ｒｘ、−Ｒｘ）以内になるまで繰り返すことにより、前記プローブ２０位置のＸ方向の修正が完了する。
【００２１】  同様に、図５（ａ）に示すように、前記プローブＹ方向修正ユニット５は主として、前記垂直プローブ部２３の前記バネ変形部２１との連結部近傍の一部を少なくともＸＹ方向に拘束する保持部５１と、前記プローブ先端部２４を含む前記垂直プローブ部２３の他の一部を保持しＸＺ平面上にて回転させる可動ホルダ５２で構成される。図５（ｂ）は、前記保持部５１が、前記バネ変形部２１の一部を概略ＸＹ方向に拘束し、可動ホルダ５２が前記プローブ先端部２４を含む前記垂直プローブ部２３の他の一部を保持しＹＺ平面上にて微小回転させる場合を示したものである。前記プローブ２０の前記プローブ先端部２４が２４ｅの位置にずれて不良と判定された場合、前記保持部５１にて前記バネ変形部２１又は前記垂直プローブ部２３を保持した後、前記可動ホルダ５２にて前記プローブ先端部２４の位置２４ｅより前記垂直プローブ部２３の一部を保持する。次に、前記可動ホルダ５２を予め算出した可動角度θｙだけ矢印方向にＹＺ平面上にて回転させる。これにより、前記垂直プローブ部２３の先端部近傍に曲げモーメントが負荷されて塑性変形が生じ、前記プローブ先端部２４がＬｘｃだけ移動し、前記プローブ先端部２４を前記位置２４ｅの位置から初期の位置に近づけることが可能となる。以上の動作を、前記プローブ先端部２４の測定されたＹ座標値が少なくともＹ方向の許容限界値（＋Ｒｙ、−Ｒｙ）以内になるまで繰り返すことにより、前記プローブ２０位置のＹ方向の修正が完了する。
【００２２】  一方、図６に示すように、前記プローブＺ方向修正ユニット６は主として、前記バネ変形部２１の一部をＸＹＺ方向に拘束する保持部６１と、前記プローブ先端部２４を含む前記垂直プローブ部２３の他の一部を保持しＺ方向に変形させる可動ホルダ６２で構成される。前記プローブ２０の前記プローブ先端部２４が２４ｅの位置にずれて不良と判定された場合、前記保持部６１にて前記バネ変形部２１を保持した後、前記可動ホルダ６２により前記垂直プローブ部２３の一部を保持する。次に、前記可動ホルダ６２を予め算出した距離Ｌｘだけ矢印方向（Ｚ方向）に移動させる。これにより、前記垂直プローブ部２３の先端部近傍に応力（図では引張力）が負荷されて塑性変形が生じ、前記プローブ先端部２４がＬｘｃだけ移動し、前記プローブ先端部２４を前記２４ｅの位置から初期の位置に近づけることが可能となる。
以上の動作を、前記プローブ先端部２４の測定されたＺ座標値が少なくともＺ方向の許容限界値（＋Ｒｚ、−Ｒｚ）以内になるまで繰り返すことにより、前記プローブ２０位置のＺ方向の修正が完了する。
【００２３】  図７は、図４乃至図６で説明した動作をフローで表した図である。すなわち、ステップＳ１においては検査修正装置１にプローブカード２がセットされ、ステップＳ２においては被検査プローブ２０の座標値がプローブ先端観察装置３により測定される。次いでステップＳ３においてプローブ先端部２４が許容位置範囲２５の内にあるか否かがチェックされて許容位置範囲２５の内にあると判断された場合は（図７中ＯＫ）、検査修正処理動作が完了する（ステップＳ４）。他方、ステップＳ３において、プローブ先端部２４が許容位置範囲２５の内にないと判断された場合は（図７中ＮＧ）、プローブＸ方向修正ユニット４、プローブＹ方向修正ユニット５、またはプローブＺ方向修正ユニット６の内のいずれかの動作により修正処理動作が行われ（ステップＳ５）、その後ステップＳ２の動作に戻る。そして、ステップＳ２、Ｓ３、Ｓ５の動作が必要に応じて繰り返され、最終的にステップＳ３において、プローブ先端部２４が許容位置範囲２５の内にあると判断された場合に検査修正処理動作が完了する（ステップＳ４）。なお、プローブＸ方向修正ユニット４、プローブＹ方向修正ユニット５、またはプローブＺ方向修正ユニット６の動作は任意の複数の修正ユニット（例えば４と５）を組み合わせた組み合わせユニットの動作により実現してもよい。
【００２４】  図８は、図４乃至図６で説明した動作を応力−ひずみ曲線に当てはめて説明した図である。前記保持部４１又は５１にて少なくともＸＹ方向に拘束され、又は前記保持部６１にてＸＹＺ方向に拘束された前記プローブ先端部２４を含む前記プローブ２０は、前記保持部４１若しくは５１若しくは６１を固定端とし、かつ前記プローブ先端部２４を自由端として、移動量Ｌｘをひずみ量とした図８に示す応力−ひずみ曲線に概略従う。前記プローブ先端部２４を前記２４ｅの位置で保持した前記可動ホルダ４２若しくは５２が回転を開始し、又は前記可動ホルダ６２が引張り若しくは圧縮を開始すると、弾性域では、前記可動ホルダ４２若しくは５２若しくは６２を前記プローブ先端部２４から解除した場合に、前記プローブ先端部２４は２４ｅの位置に戻る。
【００２５】  しかしながら、前記可動ホルダ４２若しくは５２の回転、又は前記可動ホルダ６２の引張り若しくは圧縮が進行し塑性域に達した場合、前記可動ホルダ４２若しくは５２若しくは６２を前記プローブ先端部２４から解除した場合に、前記プローブ先端部２４は前記２４ｅの位置に戻らず、Ｌｘｂだけ戻った後、前記２４ｅの位置から塑性ひずみＬｘｃに相当する位置に維持される。この塑性ひずみ相当量による前記プローブ先端部２４の移動した位置が前記許容限界値内２５に収束したときに、修正が完了することになる。
【００２６】  図９は本発明をカンチレバー型プローブに適応した場合におけるプローブＸ方向修正ユニット４の動作原理を説明する図である。図１０は本発明をカンチレバー型プローブに適応した場合におけるプローブＹ方向修正ユニット５の動作原理を説明する図である。図９（ａ）に示すように、前記プローブＸ方向修正ユニット４は主として、前記垂直プローブ部２３の前記バネ変形部２１すなわちカンチレバーの梁部との連結部近傍の一部を少なくともＸＹ方向に拘束する保持部７１と、前記プローブ先端部２４を含む前記垂直プローブ部２３の他の一部を保持しＸＺ平面上にて回転させる可動ホルダ７２で構成される。図９（ｂ）は、前記保持部７１が、前記バネ変形部２１の一部を概略ＸＹ方向又はＺ方向に拘束し、可動ホルダ７２が前記プローブ先端部２４を含む前記垂直プローブ部２３の他の一部を保持しＸＺ平面上にて回転させる場合を示したものである。
【００２７】  前記プローブ２０の前記プローブ先端部２４が２４ｅの位置にずれて不良と判定された場合、前記保持部７１にて前記バネ変形部２１又は前記垂直プローブ部２３を保持した後、前記可動ホルダ７２にて前記２４ｅの位置より前記垂直プローブ部２３の一部を保持する。次に、前記可動ホルダ４２を予め算出した可動角度θｘだけ矢印方向にＸＺ平面上にて回転させる。これにより、前記垂直プローブ部２３の先端部近傍に曲げモーメントが負荷されて塑性変形が生じ、前記プローブ先端部２４がＬｘｃだけ移動し、前記プローブ先端部２４を前記２４ｅの位置から初期の位置に近づけることが可能となる。以上の動作を、前記プローブ先端部２４の測定されたＸ座標値が少なくともＸ方向の許容限界値（＋Ｒｘ、−Ｒｘ）以内になるまで繰り返すことにより、前記プローブ２０位置のＸ方向の修正が完了する。
【００２８】  同様に図１０（ａ）に示すように、前記プローブＹ方向修正ユニット５は主として、前記垂直プローブ部２３の前記バネ変形部２１との連結部近傍の一部を少なくともＸＹ方向に拘束する保持部８１と、前記プローブ先端部２４を含む前記垂直プローブ部２３の他の一部を保持しＹＺ平面上にて回転させる可動ホルダ８２で構成される。図１０（ｂ）は、前記保持部８１が、前記バネ変形部２１の一部を概略ＸＹ方向に拘束し、可動ホルダ８２が前記プローブ先端部２４を含む前記垂直プローブ部２３の他の一部を保持しＹＺ平面上にて微小回転させる場合を示したものである。
【００２９】  前記プローブ２０の前記プローブ先端部２４が２４ｅの位置にずれて不良と判定された場合、前記保持部８１にて前記バネ変形部２１又は前記垂直プローブ部２３を保持した後、前記可動ホルダ８２にて前記２４ｅの位置より前記垂直プローブ部２３の一部を保持する。次に、前記可動ホルダ５２を予め算出した可動角度θｙだけ矢印方向にＹＺ平面上にて回転させる。これにより、前記垂直プローブ部２３の先端部近傍に曲げモーメントが負荷されて塑性変形が生じ、前記プローブ先端部２４がＬｘｃだけ移動し、前記プローブ先端部２４を前記２４ｅの位置から初期の位置に近づけることが可能となる。以上の動作を、前記プローブ先端部２４の測定されたＹ座標値が少なくともＹ方向の許容限界値（＋Ｒｙ、−Ｒｙ）以内になるまで繰り返すことにより、前記プローブ２０位置のＹ方向の修正が完了する。
【００３０】  前記保持部７１又は８１にて少なくともＸＹ方向又はＺ方向に拘束された前記プローブ先端部２４を含む前記プローブ２０は、前記保持部７１若しくは８１を固定端とし、かつ前記プローブ先端部２４を自由端として、移動量Ｌｘをひずみ量とした図８に示す応力−ひずみ曲線に概略従う。本動作は、図４及び図５で示した動作と概略同一であるため詳細な動作説明は省略する。
【００３１】  なお、前記基台１１は、抵抗測定回路を備え電気的試験により各プローブの抵抗測定、ピン間ショート測定、ピン間リーク測定等を行うことができる従来のプローブカード検査装置であってもよい。
【００３２】  以上説明した実施形態により、本発明のプローブカード検査修正装置によれば、プローブ先端座標位置の検査とプローブ先端位置の修正を連続して実施することができるため、保守コストの削減可能な安価なプローブカードを提供することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】  本発明のプローブカード検査修正装置によれば、プローブカードの製造検査装置及び半導体製造工程におけるプローブカード保守装置として適用することが可能となる。
【符号の説明】
【００３４】１  プローブカード検査修正装置
２  プローブカード
３  プローブ先端観察装置
４  プローブＸ方向修正ユニット
５  プローブＹ方向修正ユニット
６  プローブＺ方向修正ユニット
１０  プローブ組立体
１１  基台
１２  プローブカードホルダ
１３  ステージ
１４  開口部
２０  プローブ
２１  バネ変形部
２２  固定部
２３  垂直プローブ部
２４  プローブ先端部
２５  許容位置範囲
３１  座標位置判定回路
３２  補正値制御回路
３３  ステージ駆動回路
４１、５１、６１  保持部
４２、５２、６２  可動部
【図１】
2015064327.tif 000003
【図２】
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【図３】
2015064327.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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