(57)【要約】      （修正有）【課題】接着剤の塗布厚を、複数のセンサを用いて効率良く且つ正確に検出しながら接着剤を塗布し、要求される厚さの接着層により表示装置用部材を積層する。【解決手段】塗布ノズル１０ａの上流側、下流側に配置されたセンサにより、ワークＳ１の表面までの距離又はワークＳ１に塗布された接着剤Ｒの表面までの距離を検出し、ステージ１２ａの塗布ノズル１０ａに対する相対移動による接着剤Ｒの塗布の際に、下流側に配置されるセンサにより検出されたワークＳ１の表面までの距離、上流側に配置されるセンサにより検出されたワークＳ１に塗布された接着剤Ｒの表面までの距離に基づき、接着剤Ｒの塗布厚を検出する塗布厚検出部と、ステージ１２ａと塗布ノズル１０ａの相対移動の方向を反転し、塗布厚が検出された接着剤Ｒに重ねて塗布した接着剤Ｒの厚みを、塗布厚検出部により検出し接着剤Ｒの塗布厚に基づいて調整する調整部を有する。【選択図】図２
2015205226.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに接着剤を塗布する塗布ノズルと、
前記塗布ノズルによる塗布対象となるワークを支持しながら、前記塗布ノズルと相対移動するステージと、
前記ステージに支持されたワークの接着剤を塗布する面に対向して設けられ、前記塗布ノズルと前記ステージの相対移動に応じて、前記ステージに対して相対移動し、距離を検出するセンサと、
を有し、
前記距離を検出するセンサは、前記ステージが前記塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布方向において、前記塗布ノズルにより接着剤が塗布された側となる上流側と、これから塗布される側となる下流側に、それぞれ少なくとも一つ配置され、センサからワークの表面までの距離及びワークに塗布された接着剤の表面までの距離のいずれかを検出し、
前記ステージが前記塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布の際に、前記下流側に配置されるセンサにより検出されたワークの表面までの距離と、前記上流側に配置されるセンサにより検出されたワークに塗布された接着剤の表面までの距離とに基づいて、接着剤の塗布厚を検出する塗布厚検出部を有し、
前記ステージと前記塗布ノズルの相対移動の方向を変えずに又は反転して、塗布厚が検出された接着剤に重ねて接着剤を塗布し、この重ねて塗布する接着剤の厚みを、前記塗布厚検出部により検出された接着剤の塗布厚に基づいて調整する調整部と、
を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
接着剤の塗布厚が所定の塗布厚に達していない場合には、次回の重ね塗りを行い、達している場合には、次回の重ね塗りを行わないことを特徴とする請求項１記載の塗布装置。
【請求項３】
前記塗布ノズルによる１回目の塗布においては、所定の塗布厚よりも少ない量を塗布し、２回目以降の塗布において、所定の塗布厚に達する量を塗布することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の塗布装置。
【請求項４】
前記上流側のセンサ及び前記下流側のセンサの検出位置は、前記塗布ノズルの相対移動に従って、共通の軌跡を辿ることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記接着剤に対して、仮硬化させるエネルギーを照射する照射部を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の塗布装置。
【請求項６】
前記接着剤に対して、塗布毎に仮硬化させるエネルギーを照射するか、選択された塗布時のみに仮硬化させるエネルギーを照射するか設定可能な制御装置を有することを特徴とする請求項５記載の塗布装置。
【請求項７】
前記センサに対向して設けられる校正部を有し、
前記ステージが前記塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布の際に、センサから前記校正部までの距離を検出し、
前記校正部までの距離の検出値により校正されたワークの表面までの距離及びワークに塗布された接着剤の表面までの距離に基づく塗布厚、又は前記検出値により校正された塗布厚に基づいて、前記調整部が、前記塗布ノズルが塗布する接着剤の厚みを調整することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の塗布装置。
【請求項８】
前記校正部は、前記ステージの一部であることを特徴とする請求項７記載の塗布装置。
【請求項９】
前記上流側のセンサと前記下流側のセンサは、検出対象とする校正部が共通であることを特徴とする請求項７又は請求項８記載の塗布装置。
【請求項１０】
前記校正部は、前記ステージが前記塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布方向において、前記塗布ノズルにより接着剤を塗布された側となる上流側と、これから塗布される側となる下流側に、それぞれ少なくとも一つ配置されていることを特徴とする請求項７〜９のいずれか１項に記載の塗布装置。
【請求項１１】
前記塗布ノズルによる２回目以降の塗布においては、前記センサによる前記校正部までの距離の検出を行わないことを特徴とする請求項７〜１０のいずれか１項に記載の塗布装置。
【請求項１２】
ワークに対する接着剤の所定の塗布厚を設定する工程と、
ワークと接着剤を塗布する塗布ノズルとを相対移動させながら、塗布ノズルによりワークに対して、前記所定の塗布厚よりも薄く接着剤を塗布する第１の塗布工程と、
前記第１の塗布工程において、塗布ノズルにより接着剤が塗布された側となる上流側に配置されたセンサにより、塗布された接着剤の表面までの距離を検出し、これから接着剤が塗布される側となる下流側に配置されたセンサにより、接着剤が塗布される前のワークの表面までの距離を検出し、検出された接着剤の表面までの距離とワーク表面までの距離とに基づいて、接着剤の塗布厚を検出する第１の塗布厚検出工程と、
前記第１の塗布工程とは逆方向でワークと塗布ノズルとを相対移動させて、前記所定の塗布厚と検出された前記塗布厚との差分に対応する厚さで、前記第１の塗布工程で塗布された接着剤に重ねて、接着剤を塗布する第２の塗布工程と、
を有することを特徴とする接着剤塗布ワーク製造方法。
【請求項１３】
前記第２の塗布工程において、前記上流側に配置されたセンサにより、前記第２の塗布工程で塗布された接着剤の表面までの距離を検出し、この接着剤の表面までの距離と、ワーク表面までの距離とに基づいて、接着剤の塗布厚を検出する第２の塗布厚検出工程を有することを特徴とする請求項１２記載の接着剤塗布ワーク製造方法。
【請求項１４】
表示装置を構成する一対のワークのうち、少なくとも一方に、エネルギーの照射により硬化する接着剤を塗布する請求項１〜１１のいずれか１項に記載の塗布装置を有し、
前記一対のワークを、前記塗布した接着剤によって貼り合わせる貼合装置と、
前記貼合装置において貼り合わされた前記一対のワークの前記接着剤を硬化させる硬化装置と、
前記一対のワークを、前記塗布装置、前記貼合装置及び前記硬化装置の間で搬送する搬送装置と、
を有することを特徴とする表示装置用部材の製造装置。
【請求項１５】
表示装置を構成する一対のワークのうち、少なくとも一方に、請求項１２又は請求項１３記載の接着剤塗布ワーク製造方法により接着剤を塗布し、
前記一対のワークを、前記塗布した接着剤によって貼り合わせ、
前記貼り合わされた一対のワークの接着剤を硬化させることを特徴とする表示装置用部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、表示装置を構成する一対のワークを貼り合わせるために、ワークに接着剤を塗布する技術に改良を施した塗布技術、表示装置用部材の製造技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイを代表とする平板状の表示装置（フラットパネルディスプレイ）は、表示パネルと、必要に応じて操作用のタッチパネルや表面を保護する保護パネル（カバーパネル）、バックライトやその導光板等が、フラットパネルディスプレイの筐体に組み込まれて構成されている。
【０００３】
これらの表示パネル、タッチパネル、保護パネル、バックライトやその導光板等（以下、ワークと呼ぶ）は、積層されてフラットパネルディスプレイの筐体に組み込まれる。それぞれのワークは、個別にあるいは予め積層された状態で組み込まれる。例えば、保護カバーにタッチパネルを積層した複合パネルとして構成されたものを用いることもある。
【０００４】
また、表示パネルには、タッチパネルの機能が組み込まれたものが用いられることもある。このように、ワークとしては様々な形態があるが、以下、表示装置を構成するワークを、２以上積層したものを、表示装置用部材と呼ぶ。
【０００５】
このような、表示装置用部材として積層される各ワークの間にギャップが設けられると、外光反射により、ディスプレイの表示面の視認性が低下する。これに対処するため、各ワークを、接着層を介して貼り合せて積層することによって、各ワークの間のギャップを埋めることが行われている。
【０００６】
かかるワークの積層には、接着シートを用いて貼り合わせる方法と流動性の有る液状の接着剤を用いて貼り合わせる方法がある。接着シートは、接着剤に比べて比較的高価であり、剥離紙の剥離等の工程が必要となる。このため、近年のコスト削減の要求などから、接着剤を用いた貼り合わせが増えている。
【０００７】
例えば、スリット型のノズルから、ＵＶ硬化樹脂の接着剤をワークの塗布面に塗布しながら、ノズルとワークとを相対移動させる。これにより、ワークの塗布面の全体に接着剤を塗布する。
【０００８】
また、かかる接着層は、各ワークの間の緩衝材として、ワークを保護する機能を求められる場合がある。さらに、ディスプレイの大型化などから、ワークも大面積となり、変形が生じやすい。このため、変形を吸収してワークを保護するために、接着層に要求される厚みが増える傾向にある。例えば、数１００μｍの厚みが要求されるようになってきている。
【０００９】
上記のような接着層が、要求される厚みが得られているかどうかを管理するために、塗布された接着剤の厚みを検出する必要がある。また、貼り合わせ不良を防止するために、接着剤の塗布厚を均一とすることが望ましいため、ある程度の範囲に亘って塗布厚の分布を検出する必要がある。
【００１０】
従来の塗布厚の検出は、例えば、塗布前後で一個のレーザセンサ等の変位計とワークを相対移動させることによって行っていた。つまり、変位計の検出位置を、ワークの塗布開始端から対向する塗布終了端まで移動させることによって、塗布前のワーク表面までの距離を検出する。
【００１１】
次に、ワークに接着剤を塗布後、変位計の検出位置を、ワークの塗布開始端まで戻し、再度塗布終了端まで移動させることによって、塗布後の接着剤表面までの距離を検出する。そして、先に検出したワーク表面までの距離と、後で検出した接着剤の表面までの距離の差分を求めることにより、塗布厚を決定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２０００−１９７８４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかし、かかる検出方法では、塗布厚が要求される厚さとは相違していた場合に、その相違の修正は、次のワークの塗布にしか反映できない。その結果、検出した塗布厚が要求とは異なるワークは、不良品として廃棄されることになる。また、要求される厚さとの相違の修正を、次のワークの塗布に反映させたとしても、その反映の結果は、そのワークの塗布厚を検出してみなければわからず、その結果は、さらに次のワークの塗布にしか反映できない。よって、要求される接着層を安定して作成するのに、不良な塗布を繰り返す場合があり、不良率の増大ひいては生産性の悪化を招く可能性があった。
【００１４】
また、塗布厚の検出のために、変位計を、ワークの塗布開始端と塗布終了端との間で、少なくとも２度移動させなければならない。このため、塗布厚の検出に時間がかかり、製造効率の向上を阻害する要因となる。しかも、塗布厚を確保するために、複数回の重ね塗りをする場合、移動量が倍増することになる。
【００１５】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、接着剤の塗布厚を、効率良く且つ正確に検出しながら接着剤を塗布して、要求される厚さの接着層によって表示装置用部材を積層することができる塗布装置、接着剤塗布ワーク製造方法、表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記の目的を達成するため、本発明の塗布装置は、ワークに接着剤を塗布する塗布ノズルと、前記塗布ノズルによる塗布対象となるワークを支持しながら、前記塗布ノズルと相対移動するステージと、前記ステージに支持されたワークの接着剤を塗布する面に対向して設けられ、前記塗布ノズルと前記ステージの相対移動に応じて、前記ステージに対して相対移動し、距離を検出するセンサと、を有し、前記距離を検出するセンサは、前記ステージが前記塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布方向において、前記塗布ノズルにより接着剤が塗布された側となる上流側と、これから塗布される側となる下流側に、それぞれ少なくとも一つ配置され、センサからワークの表面までの距離及びワークに塗布された接着剤の表面までの距離のいずれかを検出し、前記ステージが前記塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布の際に、前記下流側に配置されるセンサにより検出されたワークの表面までの距離と、前記上流側に配置されるセンサにより検出されたワークに塗布された接着剤の表面までの距離とに基づいて、接着剤の塗布厚を検出する塗布厚検出部を有し、前記ステージと前記塗布ノズルの相対移動の方向を変えずに又は反転して、塗布厚が検出された接着剤に重ねて接着剤を塗布し、この重ねて塗布する接着剤の厚みを、前記塗布厚検出部により検出された接着剤の塗布厚に基づいて調整する調整部と、を有することを特徴とする。
【００１７】
接着剤の塗布厚が所定の塗布厚に達していない場合には、次回の重ね塗りを行い、達している場合には、次回の重ね塗りを行わなくてもよい。
【００１８】
前記塗布ノズルによる１回目の塗布においては、所定の塗布厚よりも少ない量を塗布し、２回目以降の塗布において、所定の塗布厚に達する量を塗布してもよい。
【００１９】
前記上流側のセンサ及び前記下流側のセンサの検出位置は、前記塗布ノズルの相対移動に従って、共通の軌跡を辿ることとしてもよい。
【００２０】
前記接着剤に対して、仮硬化させるエネルギーを照射する照射部を有してもよい。
【００２１】
前記接着剤に対して、塗布毎に仮硬化させるエネルギーを照射するか、選択された塗布時のみに仮硬化させるエネルギーを照射するか設定可能な制御装置を有してもよい。
【００２２】
前記センサに対向して設けられる校正部を有し、前記ステージが前記塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布の際に、センサから前記校正部までの距離を検出し、前記校正部までの距離の検出値により校正されたワークの表面までの距離及びワークに塗布された接着剤の表面までの距離に基づく塗布厚、又は前記検出値により校正された塗布厚に基づいて、前記調整部が、前記塗布ノズルが塗布する接着剤の厚みを調整してもよい。
【００２３】
前記校正部は、前記ステージの一部であってもよい。前記上流側のセンサと前記下流側のセンサは、検出対象とする校正部が共通であってもよい。前記校正部は、前記ステージが前記塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布方向において、前記塗布ノズルにより接着剤を塗布された側となる上流側と、これから塗布される側となる下流側に、それぞれ少なくとも一つ配置されていてもよい。前記塗布ノズルによる２回目以降の塗布においては、前記センサによる前記校正部までの距離の検出を行わなくてもよい。
【００２４】
なお、上記の各態様は、接着剤塗布ワーク製造方法、ワークを積層して表示装置用部材を製造する製造装置及び製造方法の発明としても捉えることができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、接着剤の塗布厚を、複数のセンサを用いて効率良く且つ正確に検出しながら接着剤を塗布して、要求される厚さの接着層によって表示装置用部材を積層することができる塗布装置、接着剤塗布ワーク製造方法、表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態を示す簡略構成図
【図２】塗布装置の塗布方向を示す簡略構成図
【図３】図２と逆の塗布方向を示す簡略構成図
【図４】塗布装置を示す斜視図
【図５】実施形態の貼合装置を示す簡略構成図
【図６】実施形態の硬化装置を示す簡略構成図
【図７】制御装置の構成を示すブロック図
【図８】実施形態における塗布手順を示す説明図
【図９】実施形態における塗布手順を示す説明図
【図１０】実施形態における検出部の取り付け位置と測定対象との距離を示す説明図
【図１１】本発明の実施形態においてステージに傾きがある場合の例を示す説明図
【図１２】検出部の配置例を示す説明図である。
【図１３】図９の塗布手順の他の例を示す説明図である。
【図１４】重ね塗りの塗布方向を一定とした例を示す説明図である。
【図１５】仮硬化用の照射部を備えた例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
本発明の実施の形態（以下、本実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。
［構成］
まず、本実施形態の構成を、図１〜図７を参照して説明する。
【００２８】
［ワーク］
本装置は、表示装置用部材の積層体を製造する表示装置用部材の製造装置である。表示装置用部材には、表示パネルとカバーパネルを積層した部材のように表示機能を備えた部材も、カバーパネルとタッチパネルを積層した部材のようにその部材だけでは表示機能を備えていない部材も含まれる。すなわち、積層の対象となるワークは、表示パネル、タッチパネル、カバーパネル、バックライトやその導光板等の様々なものがあるが、本実施形態では、表示パネルとカバーパネルとを接着剤を介して貼り合わせることにより、表示装置用部材を構成する例を説明する。
【００２９】
［表示装置用部材の製造装置］
図１に示すように、表示装置用部材の製造装置１００は、塗布装置１、貼合装置２、硬化装置３及び搬送装置４を有する。表示装置用部材の製造装置１００は、また、制御装置７を備えている。制御装置７は、各部を構成する装置の動作の制御や、ワークＳ１、Ｓ２の搬送タイミングの制御等を行う。
【００３０】
搬送装置４は、ワークＳ１、Ｓ２を各部へ搬送する搬送部とその駆動機構から構成される。搬送部としては、たとえば、ターンテーブル、コンベア等が考えられるが、上記の各装置の間でワークＳ１、Ｓ２を搬送可能なものであれば、どのような装置であってもよい。
【００３１】
ワークＳ１、Ｓ２は、ローダ５によって表示装置用部材の製造装置１００に搬入され、搬送装置４で搬送される。搬送装置４に沿って塗布装置１、貼合装置２及び硬化装置３が配置されている。不図示のピックアップ手段によって、ワークＳ１、Ｓ２は搬送装置４からピックアップされ、各装置への搬入及び搬出がなされる。各装置での、以下に詳述する工程を経て、表示装置用部材Ｌが製造され、アンローダ６によって表示装置用部材の製造装置１００から搬出される。
【００３２】
［塗布装置］
塗布装置１の構成を、図２〜図４を参照して説明する。なお、図中、ステージ１２ａの移動により、塗布ノズル１０ａがステージ１２ａに対して相対移動する方向を、塗布方向とする。そして、ワークＳ１の一辺である塗布開始端側を上流側、これと反対側の一辺である塗布終了端側を下流側とする。図２では、左から右が塗布方向（矢印Ｆ１で示す）であり、左側が上流、右側が下流である。すなわち、最初の接着剤Ｒの塗布の開始後に、塗布ノズル１０ａの一方側、つまり上流側は、接着剤Ｒが塗布されている側となり、塗布ノズル１０ａの他方側、つまり下流側は、接着剤Ｒが塗布されておらず、これから接着剤Ｒが塗布される側となる。この上流側、下流側は、塗布開始端側と塗布終了端側が逆になると、入れ替わる。つまり、図３に示すように、右から左が塗布方向（矢印Ｆ２で示す）である場合、右側が上流、左側が下流となる。このため、２回目以降の下流側は、当該回における接着剤Ｒは塗布されておらず、これから接着剤Ｒが塗布される側となるが、既に前回の接着剤Ｒは塗布されていることになる。
【００３３】
塗布装置１は、図２に示すように、支持部１２、塗布部１０、検出部１３Ａ、１３Ｂを有する。支持部１２は、接着剤Ｒが塗布されるワークＳ１を支持する構成部である。支持部１２は、ステージ１２ａ及び駆動機構１２ｂを有する。ステージ１２ａは、上面が平坦な水平面となったプレートである。このステージ１２ａの上面に、塗布面を上に向けたワークＳ１が載置される。ステージ１２ａには、図示はしないが、バキュームチャック又は静電チャック等の吸着機構が構成され、ステージ１２ａの上面にワークＳ１を吸着保持する。
【００３４】
ステージ１２ａは、駆動機構１２ｂによって、水平方向に往復移動するように設けられている。駆動機構１２ｂとしては、例えば、駆動源によって回転するボールねじとすることができる。ただし、ワークＳ１を水平方向に往復移動可能な装置であれば、どのような装置であってもよい。駆動機構１２ｂにおけるステージ１２ａの移動の開始、停止及び速度は、制御装置７によって制御される。
【００３５】
ステージ１２ａの一部は、ワークＳ１の載置部分以外の露出部分が、校正部１１ａ、１１ｂとなっている。校正部１１ａ、１１ｂは、図２及び図４に示すように、ステージ１２ａの上面であって、塗布方向に直交する方向（幅方向）の領域である。校正部１１ａは塗布方向の一端側にあり、校正部１１ｂはその反対端側にある。
【００３６】
塗布部１０は、ワークＳ１に接着剤Ｒを塗布する構成部である。塗布部１０は、タンクＴ、流路Ｆ、塗布ノズル１０ａを有している。タンクＴは接着剤Ｒを収容する容器である。流路Ｆは、配管、バルブ、ポンプ等により、タンクＴの接着剤Ｒを送り出す手段である。
【００３７】
塗布ノズル１０ａは、流路Ｆにおいて送り出された接着剤ＲをワークＳ１に塗布するスリットを備えたスリットコータである。スリットは、ワークＳ１の塗布面に平行で、塗布方向に直交する方向に細長く延びた開口である。スリットの長手方向の長さは、ワークＳ１の幅と同等若しくは僅かに短くなっている。
【００３８】
また、塗布ノズル１０ａは、例えば、図示しない駆動機構によって、ワークＳ１の塗布面に対して直交する方向に、塗布位置と待機位置との間で昇降するように設けられている。塗布位置は、塗布ノズル１０ａのスリットから吐出された接着剤Ｒを、ワークＳ１に塗布できるように、ワークＳ１に接近する位置である。待機位置は、塗布した接着剤Ｒと塗布ノズル１０ａ先端の接着剤Ｒとを切り離し可能な位置である。
【００３９】
接着剤Ｒの塗布厚は、塗布ノズル１０ａのスリットとワークＳ１との距離、接着剤Ｒの吐出量、塗布ノズル１０ａとステージ１２ａとの相対移動速度のいずれか又はこれらの組み合わせによって調整可能である。所望の塗布厚を得るために、塗布ノズル１０ａの塗布位置は、塗布動作中に又はあらかじめ調整することができる。塗布ノズル１０ａからの接着剤Ｒの吐出量は、制御装置７のバルブ制御及びポンプ制御によって調節される。
【００４０】
なお、接着剤Ｒは、外部からエネルギーの照射により硬化する樹脂であればよい。例えば、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂や熱硬化樹脂が考えられる。本実施形態では、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂を用いて説明する。
【００４１】
検出部１３Ａ、１３Ｂは、センサにより検出対象までの距離を検出する構成部である。検出部１３Ａは、塗布方向における塗布ノズル１０ａの一方側（図２における下流側、図３における上流側）に設けられ、塗布前のワークＳ１の表面までの距離を検出する。検出部１３Ｂは、塗布方向における塗布ノズル１０ａの他方側（図２における上流側、図３における下流側）に設けられ、塗布後の接着剤Ｒの表面までの距離を検出する。
【００４２】
また、検出部１３Ａ、１３Ｂのセンサは、ステージ１２ａの校正部１１ａまでの距離を検出する。さらに、検出部１３Ａのセンサは、ステージ１２ａの校正部１１ｂまでの距離を検出する。
【００４３】
検出部１３Ａのセンサの取り付け位置と検出部１３Ｂのセンサの取り付け位置との位置関係は、固定である。これは、例えば、装置に設けられた共通の支持部に取り付け固定するか、別部材であるが互いの位置関係が変化しない支持部に取り付け固定することによって実現できる。典型的には、装置に固定されたフレーム等の支持部に取り付けることが考えられる。また、検出部１３Ａ、１３Ｂと塗布ノズル１０ａとの塗布方向における間隔は、固定されている。但し、塗布ノズル１０ａの待機位置と塗布位置との間の昇降は、検出部１３Ａ、１３Ｂから独立している。
【００４４】
検出部１３Ａが有するセンサは第１のセンサとし、検出部１３Ｂが有するセンサは第２のセンサとする。センサとしては、センサから検出対象までの距離を検出するセンサとする。より具体的には、センサからステージ１２ａに設けられた校正部１１ａ、１１ｂまでの距離、センサからワークＳ１の表面までの距離、センサからワークＳ１に塗布された接着剤Ｒの表面までの距離等を検出できるセンサとする。例えば、レーザセンサを用いる。「センサから」とは、「所定の基準位置から」を意味し、センサの距離の演算手法により異なる。例えば、センサ下面を所定の基準位置とすることができるが、これには限定されない。
【００４５】
検出部１３Ａ、１３Ｂにおけるセンサは、それぞれ複数存在する。検出部１３Ａ、１３Ｂにおける複数のセンサは、例えば、ワークＳ１の塗布面に平行であって、塗布方向に直交する方向に等間隔で複数配置されている。一方側の検出部１３Ａの複数のセンサと、他方側の検出部１３Ｂの複数のセンサとは、一対一で対応している。一方側と他方側とで対応する一対のセンサの検出位置は、ステージ１２ａの移動に従って、ステージ１２ａ上の同一の軌跡を辿る。
【００４６】
［貼合装置］
貼合装置２は、図５（Ａ）に示すように、ワークＳ１、Ｓ２を積層して貼り合せる貼合部２０を備える。貼合部２０は、チャンバ２１内に下側プレート２２と上側プレート２３を対向配置した構成となっている。チャンバ２１は上下動が可能であり、上方に移動すると下側プレート２２と上側プレート２３が外部に開放されワークＳ１、Ｓ２が搬入可能となる。下方に移動すると下側プレート２２と上側プレート２３はチャンバ内に収容され、チャンバ内部に密閉空間が形成される。チャンバ２１は不図示の排気手段によって内部圧力を調整可能となっている。つまり、ワークＳ１、Ｓ２が搬入されると、チャンバ２１が下降して内部が密閉された上で減圧され、減圧雰囲気下で貼り合せが行われるようになっている。
【００４７】
下側プレート２２は、支持部として、プレート上に載置されたワークＳ１を支持する。上側プレート２３は、保持部として、ワークＳ２を保持機構により保持する。本実施形態では、例として、下側プレート２２に、接着剤Ｒが塗布されたワークＳ１が支持され、上側プレート２３にワークＳ２が保持される場合を説明する。
【００４８】
上側プレート２３の保持機構として、たとえば、静電チャック、メカチャック、真空チャック、粘着チャック等、現在又は将来において利用可能なあらゆる保持機構が適用可能である。複数の種類のチャックを併用することも可能である。上側プレート２３には、駆動部として、昇降機構２５が備えられている。この昇降機構２５によって、上側プレート２３は下側プレート２２に接離可能に移動し、図５（Ｂ）に示すように、上側プレート２３に保持されたワークＳ２を下側プレート２２に支持されたワークＳ１に押し付けて積層する。ワークＳ１とワークＳ２は、ワークＳ１の表面に塗布された接着剤Ｒを介して貼り合わされ、積層体Ｓ１０が形成される。
【００４９】
下側プレート２２は、載置されたワークＳ１の位置がずれないように、上側プレート２３と同様の保持機構を備えていてもよい。
【００５０】
［硬化装置］
図６（Ａ）（Ｂ）に示すように、硬化装置３は、ワークＳ１とワークＳ２を接着している接着剤Ｒを硬化する硬化部３０を備える。硬化部３０は、積層体Ｓ１０が載置されるステージ３１と、ステージ３１の上方に配置された照射ユニット３３を備える。
【００５１】
照射ユニット３３は、硬化エネルギー、例えば、ＵＶを発することができる１つまたは複数のランプやＬＥＤ等から構成されている。照射ユニット３３の照射は、接着剤Ｒを硬化するのに必要な量のエネルギーを照射することができるように調節されている。このエネルギーの量は、照射の強度と時間により調整される。
【００５２】
［制御装置］
制御装置７は、表示装置用部材の製造装置１００の動作を制御する装置である。本実施形態においては、特に、上記のように、接着剤Ｒの塗布厚の検出及び調整のために、ステージ１２ａの移動、塗布ノズル１０ａの昇降及び接着剤Ｒの吐出量等を制御する。制御装置７は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって実現できる。この制御装置７の制御による各部の動作の詳細は、本実施形態の作用として後述する。
【００５３】
このような制御を実現するための制御装置７の構成を、仮想的な機能ブロック図である図７を参照して説明する。すなわち、制御装置７は、機構制御部７０、記憶部７１、塗布厚検出部７２、調整部７３、入出力制御部７４を有する。なお、オペレータが、制御装置７を操作するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力装置については、説明を省略する。
【００５４】
機構制御部７０は、検出部１３Ａ、１３Ｂからの検出値が入力され、支持部１２、塗布部１０、貼合部２０、硬化部３０等の機構部の駆動源、バルブ、スイッチ、電源等を制御する処理部である。記憶部７１は、距離、塗布厚、塗布厚分布、調整値等の各種の検出値や算出値、各部の位置、移動速度、吐出量、所定の塗布厚、塗布回数等の各種の設定値のように、本装置の処理に必要な情報を記憶する処理部である。所定の塗布厚は、オペレータが、入力装置を介して入力した所望の塗布厚を、記憶部７１が記憶することにより設定できる。この塗布厚としては、要求される塗布厚として、例えば、最終的に目標とする塗布厚を設定できる。なお、所定の塗布厚として、目標とする塗布厚とともに、複数回の塗布における中間段階の塗布厚を設定することもできる。例えば、１回毎又は複数回毎の塗布厚を設定することもできる。１回目の塗布として設定される塗布厚は、最終的に目標とする塗布厚よりも薄い塗布厚であればよい。このため、目標の塗布厚よりも薄い一定値が設定されていても、目標の塗布厚に対する割合が設定されていてもよい。
【００５５】
塗布厚検出部７２は、検出部１３Ａ、１３Ｂによる検出値に基づいて、接着剤Ｒの塗布厚を求める処理部である。調整部７３は、塗布厚が検出された接着剤Ｒに、塗布ノズル１０ａが重ねて塗布する接着剤Ｒの厚みを、塗布厚検出部７２により検出された接着剤Ｒの塗布厚に基づいて調整する処理部である。例えば、調整部７３は、１回目の塗布を、１回目として設定された塗布厚で塗布して、その１回目に実際に塗布された接着剤Ｒの塗布厚の検出値に応じて、２回目以降の塗布により、目標の塗布厚となるように調整することができる。１回目の塗布は、塗布部１０がデフォルトの塗布厚で行い、２回目以降の塗布厚のみを、調整部７３が調整してもよい。さらに、調整部７３は、検出された塗布厚分布に応じて、全体の塗布厚が均一化するように、２回目以降の塗布厚を調整することができる。入出力制御部７４は、制御対象となる各部との間での信号の変換や入出力を制御するインタフェースである。
【００５６】
なお、制御装置７には、装置の状態を確認するためのディスプレイ、ランプ、メータ等の出力装置７５が接続されている。検出部１３Ａ、１３Ｂの検出値、塗布厚検出部７２により検出された塗布厚、調整部７３による調整値、ステージ１２ａ、ワークＳ１の傾き、接着剤Ｒの塗布厚分布、これらを図で示した画像等を、出力装置７５に表示してもよい。また、図中、照射部１４Ａ、１４Ｂについては、後述の態様にて説明する。
【００５７】
［作用］
以上のような構成を有する本実施形態の作用を、図１〜図７の構成図に加えて、図８〜図１１の説明図を参照して説明する。なお、図中におけるステージ１２ａ、ワークＳ１、塗布ノズル１０ａ、検出部１３Ａ、１３Ｂの位置及び大きさ等は、説明のための便宜的な表現に過ぎない。また、接着剤Ｒの塗布は塗布ノズル１０ａとワークＳ１の少なくとも２回の相対移動による少なくとも１回の往復動作によって行われる。すなわち、１回目の塗布は、ワークＳ１の一方の端部が塗布開始端となり、他方の端部が塗布終了端となり、これに重ねた塗布を行う毎に、塗布開始端と塗布終了端は入れ替わる。
【００５８】
（１回目の塗布と検出部による検出）
以下、１回目の接着剤Ｒの塗布と、検出部１３Ａ、１３Ｂによる検出処理の手順を、図８を参照して説明する。以下の（１）〜（７）は、図中の（１）〜（７）にそれぞれ対応する。
【００５９】
（１）検出部１３Ａによる校正部１１ａの検出
まず、ステージ１２ａが移動を開始して、検出部１３Ａの直下に校正部１１ａが来た時に、検出部１３Ａの第１のセンサは、校正部１１ａの表面までの距離を検出する。検出した値は、校正のための基準値Ａ１として、制御装置７が記憶部７１に記憶する。
【００６０】
（２）検出部１３ＡによるワークＳ１の検出
ステージ１２ａの移動に従って、検出部１３Ａの第１のセンサは検出を継続し、塗布前のワークＳ１の塗布開始端に達すると、ワークＳ１の表面までの距離を検出する。この検出は、ワークＳ１の塗布開始端から塗布終了端まで、連続して行う。検出した値は、接着剤Ｒの塗布前のワークＳ１上面の高さを示す検出値Ｈ１として、制御装置７が記憶部７１に記憶する。
【００６１】
（３）塗布ノズル１０ａによる塗布の開始
検出部１３Ａが塗布前のワークＳ１までの距離を検出している途中で、待機位置にある塗布ノズル１０ａが、ワークＳ１の塗布開始端の直上に来ると、ステージ１２ａが一旦停止する。そして、待機位置にある塗布ノズル１０ａが下降を開始して、塗布位置まで達して停止し、塗布ノズル１０ａからの接着剤Ｒの吐出を開始すると、接着剤ＲがワークＳ１に塗布される。これと同時に、ステージ１２ａが移動を再開する。これにより、ワークＳ１の表面への接着剤Ｒの塗布が開始する。ここで、調整部７３による調整に従って、又はデフォルトの設定に従って、塗布ノズル１０ａは、制御装置７に設定された目標とする塗布厚よりも、薄く塗布する。この１回目の塗布厚は、重ね塗りの回数に応じて、変えてもよい。生産性を考慮して、塗布回数を２回とする場合には、例えば、目標とする塗布厚の５０〜８０％とすることが考えられる。
【００６２】
（４）検出部１３Ｂによる校正部１１ａの検出
ステージ１２ａの移動に従って、検出部１３Ｂの直下に校正部１１ａが来た時に、検出部１３Ｂの第２のセンサは、校正部１１ａの表面までの距離を検出する。検出した値は、校正のための基準値Ａ２として、制御装置７が記憶部７１に記憶する。
【００６３】
一方、検出部１３Ａの直下に校正部１１ｂが来た時に、検出部１３Ａの第１のセンサは、校正部１１ｂの表面までの距離を検出する。検出した値は、校正のための基準値Ｂ１として、制御装置７が記憶部７１に記憶する。
【００６４】
（５）検出部１３Ｂによる接着剤Ｒの検出
検出部１３Ｂの第２のセンサは、ステージ１２ａの移動に従って検出を継続し、塗布後のワークＳ１の塗布開始端に達すると、塗布済みの接着剤Ｒの表面までの距離の検出を開始する。この検出は、ワークＳ１の塗布開始端から終了端まで連続して行う。検出した値は、塗布後の接着剤Ｒ表面の高さを示す検出値Ｈ２として、制御装置７が記憶部７１に記憶する。
【００６５】
（６）塗布ノズル１０ａによる塗布の終了
検出部１３Ｂが塗布後のワークＳ１を検出している途中で、塗布ノズル１０ａがワークＳ１の塗布終了端の直上に来ると、ステージ１２ａは一旦停止する。そして、塗布ノズル１０ａは、接着剤Ｒの吐出を終了し、待機位置まで上昇する。これにより、ワークＳ１側と塗布部１０側の接着剤Ｒが切り離される。これと同時に、ステージ１２ａは塗布方向への移動を再開する。
【００６６】
（７）検出部１３Ｂによる接着剤Ｒの検出の終了
検出部１３ＢがワークＳ１の塗布終了端まで検出すると、ステージ１２ａは停止する。
【００６７】
以上のように、本実施形態では、接着剤Ｒを塗布しながら第１のセンサによるワークＳ１上面の高さの検出や第２のセンサによる接着剤Ｒ表面の高さの検出を行うことができる。つまり、接着剤Ｒの塗布工程は、接着剤Ｒの塗布を第１のセンサによるワークＳ１上面の高さの検出と同時に行う状態、接着剤Ｒの塗布を第２のセンサによる接着剤Ｒ表面の高さの検出と同時に行う状態を含んでいる。このように、「塗布しながら検出」、「検出しながら塗布」という状態が含まれるため、効率のよい塗布及び検出ができる。
【００６８】
（塗布厚の算出）
制御装置７の塗布厚検出部７２は、検出部１３Ｂが接着剤Ｒの表面までの距離を検出する都度、接着剤Ｒの塗布厚を計算し、記憶部７１に記憶していく。つまり、塗布厚検出部７２は、同じ検出点における検出値Ｈ２と検出値Ｈ１の差分をとることで、塗布された接着剤Ｒの高さ（塗布厚）を求める。
【００６９】
但し、図１０に示すように、この検出値Ｈ１と検出値Ｈ２はそれぞれ第１のセンサと第２のセンサによって検出されており、両検出値の差分には各々のセンサの検出の基準となる支持部に対する配置位置（取り付け高さ）に起因する誤差（相対ずれ）が存在する。すなわち、検出部１３Ａにおける第１のセンサと、これに対応する検出部１３Ｂの第２のセンサの検出値には、ずれが存在する。図１０では、このずれをＺで示す。
【００７０】
本実施形態では、このずれによる算出値の誤差を解消することができる。このように、２つの検出部１３Ａ、１３Ｂのセンサの検出値のずれを解消することを、校正という。校正された塗布厚の算出の手法は、以下の通りである。
【００７１】
まず、以下の(a)〜(d)のように、基準値Ａ１、検出値Ｈ１、基準値Ａ２、検出値Ｈ２を検出することは、上記の通りである。
(a)検出部１３Ａの第１のセンサは、基準位置から校正部１１ａまでの距離を基準値（Ａ１）として検出する。
(b)検出部１３Ａの第１のセンサは、基準位置からワークＳ１までの距離を検出値（Ｈ１）として検出する。
(c)検出部１３Ｂの第２のセンサは、基準位置から校正部１１ａまでの距離を基準値（Ａ２）として検出する。
(d)検出部１３Ｂの第２のセンサは、基準位置から塗布表面までの距離を検出値（Ｈ２）として検出する。
【００７２】
ここで、図１０に示すように、Ａ１，Ａ２＞Ｈ１＞Ｈ２の関係を前提として、以下の演算により、塗布厚を求める。
（基板厚さ）＝（Ａ１−Ｈ１）＝校正部１１ａから基板表面までの距離
（基板厚さ＋塗布厚さ）＝（Ａ２−Ｈ２）＝校正部１１ａから塗布表面までの距離
塗布厚α＝（基板厚さ＋塗布厚さ）−（基板厚さ）＝（Ａ２−Ｈ２）−（Ａ１−Ｈ１）
【００７３】
これは、同一センサの検出値を校正面高さで校正し、相違するセンサのそれぞれの校正値同士の差分をとっていることになる。これにより、検出部１３Ａと検出部１３Ｂの相対的な取付誤差であるＺは無関係となる。
【００７４】
また、それぞれのセンサが同じ校正部１１ａを検出した基準値Ａ１と基準値Ａ２との差分値を用いて、検出部１３Ａ又は検出部１３Ｂの検出値Ｈ１又はＨ２をオフセットすることにより、ずれを校正することもできる。例えば、以下の式(1)(2)のいずれかにより、塗布厚αを求めることもできる。
α＝｛Ｈ２−（Ａ２−Ａ１）｝−Ｈ１      …式(1)
α＝Ｈ２−｛Ｈ１−（Ａ１−Ａ２）｝      …式(2)
【００７５】
また、計算上は基準値Ａ１、基準値Ａ２の差分を用いて、検出値Ｈ１、Ｈ２の差分（すなわち補正前の塗布厚）結果を補正する（オフセットする）ことでも校正できる。つまり、以下の式(3)により、塗布厚αを求めることもできる。
α＝（Ｈ２−Ｈ１）−（Ａ１−Ａ２）      …式(3)
【００７６】
これらの式(1)〜(3)は、基準値Ａ１と基準値Ａ２との差分値となるＺを用いて、以下のいずれかによって、センサの違いによるずれ分を校正するものである。
(1)検出部１３Ｂの検出値Ｈ２をオフセットする
(2)検出部１３Ａの検出値Ｈ１をオフセットする
(3)検出部１３Ａ、検出部１３Ｂの検出値Ｈ１とＨ２の差分をオフセットする
【００７７】
このような演算を、検出部１３Ａと検出部１３Ｂにおける対応する第１のセンサと第２のセンサ同士の値に基づいて行う。塗布厚検出部７２は、このように塗布開始端から塗布終了端までの接着剤Ｒの塗布厚を求めることにより、塗布された接着剤Ｒの全面の塗布厚の分布を作成する。作成された塗布厚の分布は、記憶部７１が記憶する。
【００７８】
なお、校正部１１ａ、１１ｂは所定の面積を有する領域であるので、対応する第１のセンサと第２のセンサとが同一の軌跡を移動しても、塗布方向における検出位置にずれが生じる場合もある。このため、校正部１１ａ、１１ｂ上を相対移動中に検出された値のうち、同位置の可能性の高い特定位置又は特定時間における検出値を用いてもよいし、複数の検出値の平均値を用いてもよい。
【００７９】
さらに、ステージ１２ａに歪みや傾きが存在する場合には、これによりワークＳ１に傾きが生じる場合がある。このような歪み・傾きの存在は、塗布厚測定値の精度には、大きく影響しない。これは、塗布厚は、（Ｈ２−Ｈ１）により求めるため、歪みや傾きがあっても、それぞれの検出位置における互いの位置関係が同じとなるからである。例えば、図１１に示すように、塗布開始端をＰ１、中途部をＰ２、塗布終端をＰ３とする。Ｐ１で塗布厚ＰＨ１＝（Ｈ２Ｐ１−Ｈ１Ｐ１）、Ｐ２で塗布厚ＰＨ２＝（Ｈ２Ｐ２−Ｈ１Ｐ２）、Ｐ３で塗布厚ＰＨ３＝（Ｈ２Ｐ３−Ｈ１Ｐ３）で算出できる。仮に、Ｐ１とＰ３が直線的に５ｍｍ傾いていて、Ｐ３がＰ１より下がっているとする（−５ｍｍ）。この場合であっても、対応する各検出位置での塗布厚は、上記のように差分で求めるので、傾きの−５ｍｍの影響は顕出しない。なお、図１１は、ワークＳ１に対して塗布ノズル１０ａを移動させる相対運動での塗布として示している。
【００８０】
しかし、例えば、ステージ１２ａに歪みが存在する場合や駆動機構によるステージ１２ａの走行高さが塗布ノズル１０ａに対して平行でない場合には、塗布ノズル１０ａに対してワークＳ１の相対移動に傾きが生じる。つまり、塗布ノズル１０ａに対する塗布面の高さが変化してしまうことになる。塗布ノズル１０ａのスリットと塗布面との距離（クリアランス）が、塗布の途中で変化すると、塗布厚の均一化に影響を与える。本実施形態では、基準値Ａ１と基準値Ｂ１を用いることにより傾きを検出して、塗布ノズル１０ａのスリットと塗布面との距離（クリアランス）を補正して、塗布厚の均一化を図ることができる。
【００８１】
すなわち、仮に、ステージ１２ａが移動しても、平行、平坦であるならば、同じセンサ（図２、図３では検出部１３Ａのセンサ）で、ステージ１２ａの先端の校正部１１ａを検出した値と後端の校正部１１ｂを検出した値は、同じ検出値となるはずである。つまり、上記の基準値Ａ１と基準値Ｂ１が、同じ（差分ゼロ）となる。
【００８２】
しかしながら、前述のように装置構成上生じるであろう傾き（変化、誤差）があると、基準値Ａ１と基準値Ｂ１が同じでなくなる。例えば、校正部１１ａが検出部１３Ａの位置にある状態から、ステージ１２ａが移動して、校正部１１ｂが検出部１３Ａの位置に到達した時に、ステージ１２ａが塗布ノズル１０ａから離れる方向に傾いていたとする。すると基準値Ｂ１は基準値Ａ１より大きい値として検出される。この差分がすなわち傾き（変化、誤差）とわかる。したがって、図１１に示すように、次の塗布においては、そのステージ１２ａの傾きの状態に合わせて、塗布ノズル１０ａの高さを、相対移動中に変化させることにより、ワークＳ１の塗布面と塗布ノズル１０ａとの距離を一定にして、塗布厚を均一化できる。
【００８３】
検出部１３Ａ、１３Ｂ、塗布ノズル１０ａの塗布方向の相対位置関係にもよるが、例えばワークＳ１の端部で塗布が開始されるよりも早く、検出部１３Ａが校正部１１ｂに達するような位置関係である場合、塗布の開始前に基板の傾きが検出できるので、塗布ノズル１０ａの高さを相対移動中に変化させて、塗布面と塗布ノズル１０ａのスリットとの距離を、一定にすることができる。
【００８４】
さらに、検出部１３Ａ、１３Ｂの各検出位置（ポジション）の検出値を平均化する場合には、これに対する補正値として、傾きの値を用いることができる。平均値を求めるための塗布厚の積算値は、上記の３点のみの例では、（Ｈ２Ｐ１＋Ｈ２Ｐ２＋Ｈ２Ｐ３）−（Ｈ１Ｐ１＋Ｈ１Ｐ２＋Ｈ１Ｐ３）となる。実際には、連続したポジションの積算値となるので、Ｈ２、Ｈ１の積分値の差（ΣＨ２−ΣＨ１）として表現できる。但し、この場合は、各ポジションの傾きによる誤差が含まれる値を積分することになる。このため、全体の傾きがある場合は、その傾き分（Δ）で、各ポジションの値を補正したのちに積分する必要があるので、（Σ（Ｈ２−ΔＰｎ）−Σ（Ｈ１−ΔＰｎ））となる。
【００８５】
なお、塗布厚さの測定だけであるならば、各ポジションでの各センサの検出値を用いて、塗布しながらの計算も可能であるし、塗布が終了してから、あるいは塗布中であっても、一端記憶した各ポジションでの各センサの検出値を用いて塗布厚を計算することもできる。この場合でも、前述のように次のワークＳ１への塗布に対して、塗布厚の調整にフィードバックすることができる。
【００８６】
（調整値の算出）
次に、２回目の塗布に当たって、調整部７３が調整値を求める。つまり、１回目の塗布において検出された塗布厚に基づいて、最終的な塗布厚が目標とする厚さ（所定の厚さ）となり、且つ全体の厚みが均一化するように、あるいは目標とする厚さと均一化の少なくとも一方が達成できるように、各部の調整値を決定する。決定した調整値は、記憶部７１が記憶し、これに基づいて、機構制御部７０が各部を制御する。
【００８７】
調整値としては、塗布ノズル１０ａと塗布済の接着剤Ｒの表面までの距離、塗布ノズル１０ａからの接着剤Ｒの吐出量、塗布ノズル１０ａとステージ１２ａとの相対移動の速度等がある。調整部７３は、これらの調整値のいずれか又はその組み合わせにより、２回目の接着剤Ｒの塗布厚を調整することができる。塗布ノズル１０ａと塗布済の接着剤Ｒの表面までの距離は遠いほど厚くなり、近いほど薄くなる。塗布ノズル１０ａからの接着剤Ｒの吐出量が多いほど厚くなり、少ないほど薄くなる。塗布ノズル１０ａとステージ１２ａとの相対移動の速度が速いほど薄くなり、遅いほど厚くなる。
【００８８】
したがって、これらのいずれか又は組み合わせにより、例えば、塗布厚分布において、塗布厚が薄い箇所については、重ねて塗布する接着剤Ｒを厚く、塗布厚が厚い箇所については、重ねて塗布する接着剤Ｒを薄くするとともに、最終的に接着剤Ｒの全体が所望の厚さとなるように調整する。塗布厚の平均値に応じて、最終的に接着剤Ｒの全体が所望の厚さとなるように調整する大まかな処理でもよい。
【００８９】
また、図１１に示したように、２回目の塗布においては、そのステージ１２ａの傾きの状態に合わせて、塗布ノズル１０ａの高さを、相対移動中に変化させることにより、ワークＳ１の塗布面と塗布ノズル１０ａとの距離を一定にすることにより、塗布厚を均一化することができる。
【００９０】
（２回目の塗布と検出部による検出）
次に、２回目の接着剤Ｒの塗布と、検出部１３Ａ、１３Ｂによる検出処理の手順を、図９を参照して説明する。以下の（８）〜（１２）は、図中の（８）〜（１２）にそれぞれ対応する。
【００９１】
（８）塗布ノズル１０ａの位置決め
まず、１回目の塗布とは反対の方向に、ステージ１２ａが移動を開始して、待機位置にある塗布ノズル１０ａが、ワークＳ１の塗布開始端の直上に来ると、ステージ１２ａが一旦停止する。そして、待機位置にある塗布ノズル１０ａが下降を開始して、塗布位置まで達して停止し、塗布ノズル１０ａからの接着剤Ｒの吐出を開始すると、接着剤ＲがワークＳ１の塗布済の接着剤Ｒの上に供給される。この塗布位置は、塗布済の接着剤Ｒに対する高さが、上述のように、２回目の塗布のために調整された位置となる。
【００９２】
（９）塗布ノズル１０ａによる塗布
上記の塗布ノズル１０ａの位置決めと接着剤Ｒの吐出とともに、ステージ１２ａが移動を再開する。これにより、１回目に塗布された接着剤Ｒの表面への接着剤Ｒの塗布が開始する。
【００９３】
（１０）検出部１３Ａによる接着剤Ｒの検出
検出部１３Ａの第１のセンサは、ステージ１２ａの移動に従って、塗布後のワークＳ１の塗布開始端に達すると、２回目の塗布済みの接着剤Ｒの表面までの距離の検出を開始する。この検出は、ワークＳ１の塗布開始端から終了端まで連続して行う。検出した値は、塗布後の接着剤Ｒ表面の高さを示す検出値Ｈ２として、制御装置７が記憶部７１に記憶する。
【００９４】
（１１）塗布ノズル１０ａによる塗布の終了
検出部１３Ａが塗布後のワークＳ１を検出している途中で、塗布ノズル１０ａがワークＳ１の塗布終了端の直上に来ると、ステージ１２ａは一旦停止する。そして、塗布ノズル１０ａは、接着剤Ｒの吐出を終了し、待機位置まで上昇する。これにより、ワークＳ１側と塗布部１０側の接着剤Ｒが切り離される。これと同時に、ステージ１２ａは塗布方向への移動を再開する。
【００９５】
（１２）検出部１３Ａによる接着剤Ｒの検出の終了
検出部１３ＡがワークＳ１の塗布終了端まで検出すると、ステージ１２ａは停止する。前回の塗布で既に検出していた検出値Ｈ１、基準値Ａ１、Ａ２と、２回目の検出値Ｈ２に基づいて、接着剤Ｒの塗布厚を求めることができるのは、上記と同様である。
【００９６】
なお、塗布の回数は、２回には限定されず、３回以上であってもよい。３回目の塗布の場合、塗布厚の検出は、１回目のように、検出部１３Ｂの第２のセンサによって行うことができる。つまり、奇数回には第２のセンサ、偶数回には第１のセンサによって、塗布厚を検出することができる。さらに、検出された塗布厚が、所定の塗布厚に達していた場合には、次回の重ね塗りを行わず、所定の塗布厚に達していない場合に、次回の重ね塗りを行う設定としてもよい。例えば、制御装置７が、検出された塗布厚とあらかじめ記憶部７１に設定された最終的に目標とする塗布厚とを比較して、その塗布厚に達しているか否かを判定する判定部を有し、判定部の判定結果に応じて、さらに重ね塗りを行うか否かを決定してもよい。これにより、不要な重ね塗りを防止できる。
【００９７】
（貼合工程）
上記のように、接着剤Ｒが塗布されたワークＳ１は、不図示のピックアップ手段によって塗布装置１から搬出され、搬送装置４で搬送され、貼合装置２に搬入される。ここで、ワークＳ２も、貼合装置２に搬入される。図５（Ａ）に示すように、下側プレート２２は、プレート上に載置されたワークＳ１を支持する。上側プレート２３は、ワークＳ２を保持機構により保持する。ワークＳ１とワークＳ２の搬送タイミングは、貼合装置２で合流することができるように調整すれば良く、一つに限定されるものではない。
【００９８】
例えば、ワークＳ２をワークＳ１と同時に表示装置用部材の製造装置１００に搬入するが、塗布装置１は通過して先に貼合装置２に搬入する。そして、ワークＳ１が塗布装置１で接着剤Ｒを塗布されている間は、貼合装置２において待機していても良い。あるいは、ワークＳ２は、ワークＳ１よりも後のタイミングで表示装置用部材の製造装置１００に搬入し、塗布装置１での塗布が完了したワークＳ１と同じタイミングで貼合装置２に搬入するようにしてもよい。ワークＳ１への塗布にかかる時間とワークＳ２の貼合装置２への搬入にかかる時間との兼ね合いで、ロス時間が生じないようにすればよい。
【００９９】
ワークＳ１、Ｓ２が搬入されると、チャンバ２１が下降して内部が密閉された上で減圧され、減圧雰囲気下で、図５（Ｂ）に示すように、上側プレート２３に保持されたワークＳ２を下側プレート２２に支持されたワークＳ１に押し付けて貼り合せが行われる。ワークＳ１とワークＳ２を貼り合せて形成された積層体Ｓ１０は、不図示のピックアップ手段によって貼合装置２から搬出され、搬送装置４で搬送され、硬化装置３に搬入される。
【０１００】
（硬化工程）
図６（Ａ）に示すように、搬送装置４で搬送された積層体Ｓ１０は硬化装置３のステージ３１に載置される。そして、図６（Ｂ）に示すように、照射ユニット３３が、接着剤Ｒが完全に硬化するのに必要な量のエネルギーを照射し、接着剤Ｒの硬化が完了する。
【０１０１】
なお、表示装置用部材の製造装置１００は、塗布装置１、貼合装置２及び硬化装置３の前後又はその間に別の工程を行ってもよい。そのために、表示装置用部材の製造装置１００は、例えば、塗布装置１の前段又は貼合装置２の前段でワークＳ１、Ｓ２の外観を撮像して位置合わせを行う位置合わせ部や、完成した積層体Ｓ１０を梱包するテーピングユニット等を備えてもよい。また、貼り合せ時に生じるワークＳ１とワークＳ２のずれを修正する位置合わせ部や、貼合面に発生したボイドを大気圧で加圧して消滅させる待機時間を確保する待機部等を貼合装置２の後段に備えてもよい。
【０１０２】
また、搬送装置４、塗布装置１又は貼合装置２に、ワークＳ１を反転する機構を設け、接着剤Ｒが塗布されたワークＳ１を反転して、貼合装置２の上側プレート２３に保持させてもよい。この場合、ワークＳ２を、下側プレート２２に載置して、貼り合わせを行うことができる。もちろん、ワークＳ２を反転して、貼合装置２の上側プレート２３に保持させてもよい。
【０１０３】
［効果］
以上のような本実施形態は、ワークＳ１に接着剤Ｒを塗布する塗布ノズル１０ａと、塗布ノズル１０ａによる塗布対象となるワークＳ１を支持しながら、塗布ノズル１０ａに対して相対移動するステージ１２ａと、ステージ１２ａに支持されたワークＳ１の接着剤Ｒを塗布する面に対向して設けられ、距離を検出するセンサを有している。
【０１０４】
このセンサは、ステージ１２ａが塗布ノズル１０ａに対して相対移動することによる接着剤Ｒの塗布方向において、塗布ノズル１０ａにより接着剤Ｒが塗布された側となる上流側と、これから塗布される側となる下流側に、それぞれ少なくとも一つ配置され、センサからワークＳ１の表面までの距離及びワークＳ１に塗布された接着剤の表面までの距離のいずれかを検出する。また、ステージ１２ａが塗布ノズル１０ａに対して相対移動することによる接着剤Ｒの塗布の際に、下流側に配置されるセンサにより検出されたワークＳ１の表面までの距離と、上流側に配置されるセンサにより検出されたワークＳ１に塗布された接着剤Ｒの表面までの距離とに基づいて、接着剤Ｒの塗布厚を検出する塗布厚検出部７２を有する。
【０１０５】
そして、ステージ１２ａと塗布ノズル１０ａの相対移動の方向を反転して、塗布厚が検出された接着剤Ｒに重ねて接着剤Ｒを塗布し、この重ねて塗布する接着剤Ｒの厚みを、塗布厚検出部７２により検出された接着剤Ｒの塗布厚に基づいて調整する調整部７３を有している。
【０１０６】
このため、検出部１３Ａ、１３Ｂに対してステージ１２ａを一方向に移動させれば、接着剤Ｒの塗布とともに塗布厚を検出できる。つまり、塗布ノズル１０ａにより塗布しながら、センサによる検出を行うことができるので、効率がよい。特に１回目の塗布においては、全ての測定が終わった後で塗布厚を算出するのではなく、リアルタイムにその場所毎に塗布厚の算出処理ができる。このように算出された塗布厚に基づいて、さらに重ねて塗布する接着剤Ｒの厚みを調整することにより、所望の塗布厚を確保しつつ、均一な塗布が可能となる。塗布厚の検出のために複数回移動させる場合に比べて検出時間が短縮できる。従って、効率のよい塗布作業及び検出作業を行うことができ、生産性が向上する。特に、往復動作によって、第１のセンサと第２のセンサとでそれぞれ塗布厚を測定することができる。よって、上流下流の移動方向によらず測定できるので、機構が簡単で、効率が良い。
【０１０７】
接着剤Ｒの塗布厚が所定の塗布厚に達していない場合には、次回の重ね塗りを行い、達している場合には、次回の重ね塗りを行わないこととすれば、不要な重ね塗りを防止できる。
【０１０８】
塗布ノズル１０ａによる１回目の塗布においては、所定の塗布厚よりも少ない量を塗布し、２回目以降の塗布において、所定の塗布厚に達する量を塗布するので、２回目以降の塗布による微調整ができ、１回の塗布で所定の塗布厚を得ようとするよりも、塗布厚及びその均一性を高精度に得ることができる。
【０１０９】
塗布ノズル１０ａによる２回目以降の塗布においては、下流側のセンサによる塗布厚の検出を行わないため、検出処理を簡略化できる。
【０１１０】
検出部１３Ａ、１３Ｂにおける対応するセンサの検出位置が、共通の軌跡を辿るので、両者の検出値の差分もワークＳ１上の接着剤Ｒの塗布厚を正確に反映する。従って、高精度な塗布厚の検出ができる。
【０１１１】
なお、本実施形態においては、調整部７３による調整態様として、種々のものを適用することにより、高精度に塗布厚及び均一性を得ることができる。より具体的には、調整部７３が、塗布ノズル１０ａとワークＳ１の表面までの距離を変化させる場合には、駆動機構の制御が容易で、即応性が高い。調整部７３が、塗布ノズル１０ａからの接着剤Ｒの吐出量を変化させる場合には、単純な制御で済む。調整部７３が、塗布ノズル１０ａとステージ１２ａとの相対移動の速度を変化させる場合には、大型のワークＳ１などでも、幅方向の均一性を確保しやすい。なお、装置によっては、塗布ノズル１０ａが、吐出圧に耐える構造とするために非常に重く、大型となる場合もある。かかる場合には、塗布ノズル１０ａの昇降ではなく、吐出量の変化又はステージ１２ａの移動速度の変化により対応すればよい。また、ステージ１２ａを昇降可能に構成して、塗布ノズル１０ａとの距離を変化させてもよい。上記の実施形態において、塗布ノズル１０ａとステージ１２ａ上のワークＳ１との間隔は、ステージ１２ａ側の昇降によって変化させてもよい。
【０１１２】
さらに、単純に複数の検出部１３Ａ、１３Ｂを用いた場合には、両者の検出値にずれが生じる可能性がある。しかし、本実施形態では、校正部１１ａ、１１ｂを用いることにより、検出部１３Ａ、１３Ｂの検出値のずれを校正できる。従って、正確な塗布厚を求めることができる。しかも、校正部１１ａ、１１ｂは、ステージ１２ａの一部であるため、特別な部材を追加する必要はない。
【０１１３】
検出部１３Ａ、１３Ｂにおけるセンサが校正のために検出する校正部１１ａは、共通であるため、両者の検出値には、互いのずれを正確に反映することが出来る。
【０１１４】
検出部１３Ａ、１３Ｂは、複数のセンサを含んでいるため、検出位置が広範に亘ることになり、一方向の相対移動で接着剤Ｒの厚みを広範囲に検出することができる。このため、面状に塗布された接着剤Ｒの全体の塗布厚の分布を、高速に得られる。
【０１１５】
塗布ノズル１０ａがスリットノズルであるため、塗布開始端から終了端までの一度の相対移動でワークＳ１の全面に接着剤Ｒを塗布できる。このため、接着剤Ｒの塗布と厚みの検出を、非常に高速で行うことが可能となる。
【０１１６】
ワークＳ１の塗布開始端よりも上流側の校正部１１ａと、ワークＳ１の塗布終了端よりも下流側の校正部１１ｂによって、ステージ１２ａの傾きを検出することができる。
【０１１７】
検出部１３Ａのセンサの取り付け位置と検出部１３Ｂのセンサの取り付け位置との位置関係が、固定されているため、両センサの取り付け位置（高さ）に相違があったとしても、その差は一定となり、このような差に基づく検出値の誤差は、上記のように校正により解消できる。
【０１１８】
ステージ１２ａの傾き、ワークＳ１の歪みに応じて、塗布ノズル１０ａとワークＳ１の表面までの距離を一定となるように変化させることにより、塗布厚を均一化することができる。
【０１１９】
［他の実施形態］
なお、接着剤Ｒは、貼り合わせのために必要な面状に塗布されればよい。例えば、ワークＳ１の片面の全体に行き渡るように塗布してもよいし、一部に塗布されていない領域があってもよい。また、必ずしも、接着剤Ｒが面の縁に完全に達していなければならないわけではない。接着剤Ｒが縁に達していない部分があってもよい。
【０１２０】
貼り合せ対象となるワークＳ１、Ｓ２は、カバーパネルと表示モジュールのように、表示装置を構成するワークＳ１、Ｓ２であって、片面に接着剤Ｒを面状に塗布して貼り合わせるものであれば、その大きさ、形状、材質等は問わない。表示装置としても、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等、貼り合わされる平板状のワークＳを有し、現在又は将来において利用可能な表示装置を広く含む。
【０１２１】
接着剤Ｒが塗布されるワークＳ１は、表示装置の表示モジュールであってもよいし、カバーパネル、タッチパネル又はタッチパネルを含むカバーパネル（複合パネル）であってもよい。但し、偏光板等を含む表示パネル、駆動回路、プリント基板（タブ）等、複数の部材を備え、多層に構成された表示モジュールは、歪みも大きく、その歪みの固体差も大きい。カバーパネルのみ、タッチパネルのみ又は複合パネルのように、シンプルな構成のものの方が、歪みが少なく、接着剤Ｒを均一に塗布しやすい。
【０１２２】
なお、表示モジュールにバックライトの導光板等を貼り合わせる場合にも、導光板もワークＳ１、Ｓ２として捉えることができる。接着剤Ｒは、表示モジュール、導光板のいずれに塗布してもよいが、この場合にも、シンプルな構成の導光板側に塗布することが好ましい。
【０１２３】
また、貼り合わされるワークＳ１、Ｓ２の双方に接着剤Ｒを塗布する場合にも、本発明を適用できる。このように、ワークＳ１、Ｓ２の双方に接着剤Ｒの塗布する場合、それぞれにおいて塗布厚の誤差があると、その誤差が倍加して、不均一になり易い。ワークＳ１、Ｓ２のそれぞれにおいて、本発明により、それぞれのワークＳ１、Ｓ２において所望の塗布厚を得て、均一化を図ることにより、精密に塗布厚を制御できる。
【０１２４】
ステージ１２ａによりワークＳ１側を移動させる方が、検出部１３Ａ、１３Ｂの位置関係が安定するため、正確に検出できる。但し、塗布部１０及び検出部１３Ａ、１３Ｂ側を移動させることにより、塗布及び検出を行なってもよい。この場合には、検出部１３Ａ、１３Ｂの検出値のずれが生じやすいため、本発明による塗布厚分布の管理がより有効となる。さらに、ステージ１２ａ及び塗布ノズル１０ａを同時に逆方向に相対移動させることも可能である。これにより、実質的に塗布時間を半分とすることができる。この場合にも、検出部１３Ａ、１３Ｂの検出値のずれが生じやすいため、本発明による塗布厚分布の管理がより有効となる。
【０１２５】
上記の実施形態では、塗布方向に直交する方向に複数のセンサを並べている。しかし、複数のセンサを一直線上に並べる配置には限定されない。例えば、図１２（Ａ）に示すように、一方側と他方側に一対のセンサによる検出部１３Ａ、１３Ｂを一組のみ設けてもよい。一対のセンサによる検出箇所も、正確を期すためには、同じ軌跡を辿ることが望ましい。ただし、ステージ１２ａの上面の形状及び位置の精度が高い場合や、そもそも高い精度が要求されていない場合であれば、図１２（Ｂ）に示すように、第１のセンサによる検出部１３Ａと、第２のセンサによる検出部１３Ｂが辿る箇所が相違していてもよい。
【０１２６】
上記の実施形態では、検出部１３Ａの第１のセンサと検出部１３Ｂの第２のセンサとの間隔が、第１のセンサによる校正部１１ｂの検出と第２のセンサによる校正部１１ａの検出とを同時に行うことができる程度に設定されていた（図８（４）参照）。しかし、両者の間隔を小さくして、第１のセンサによるワークＳ１上面の高さの検出と、第２のセンサによる接着剤Ｒ表面の高さの検出とが同時に行われる状態が含まれるようにすれば、より高速な処理が実現できる。
【０１２７】
校正部１１ａ、１１ｂは、ステージ１２ａの一部に検出部１３Ａ、１３Ｂにより検出でき、ステージ１２ａとの位置関係が固定的に定まっている領域であればよい。このため、特別な部材を用いずにステージ１２ａの一部を校正部１１ａ、１１ｂとして使用しても、別部材をステージ１２ａの一部に組み込んで校正部１１ａ、１１ｂとしてもよい。一対のセンサが、互いの位置関係が固定的に決まっているが、異なる位置にある校正部を検出してもよい。互いの位置関係が固定的に決まっていれば、その位置関係により、検出値を補正すればよい。
【０１２８】
塗布厚の検出は、塗布毎に毎回行うことが好ましい。但し、各構成部の位置関係の経時変化が少ない場合には、定期的に行う等、少ない頻度で行ってもよい。つまり、偶数回毎、奇数回毎、数回おきに行ってもよい。さらに、塗布ノズル１０ａによる最上層の接着剤Ｒの塗布においては、第１のセンサ及び第２のセンサの双方のよる塗布厚の検出を行わない、又は特定の回のみ塗布厚の検出を行わない等の設定により、検出処理を簡略化して、生産性を向上させることも可能である。例えば、図９の（８）〜（１１）に対応する図１３の（８）’〜（１１）’に示すように、塗布厚の検出を省略すれば、検出部１３Ａ、１３Ｂを検出対象へ位置合わせするための移動を行う必要がなくなるので、生産性が向上する。このように、２回目に塗布厚の測定を行わず、そのまま終了する設定でもよいし、３回以上の塗布を行う場合に、次の調整のために塗布厚を検出する設定としてもよい。もちろん、最上層の塗布において塗布厚の検出を行い、そのまま終了してもよく、この場合は最終的な塗布厚を記録として残し、品質管理データとすることも出来るので、より高い品質を確保することにもなる。
【０１２９】
また、検出部１３Ａ、１３Ｂによる校正部１１ａ、１１ｂの検出についても、上記のように、２回目の塗布以降は省略することができる。これにより、検出処理を簡略化して、生産性を向上させることができる。つまり、１回目の塗布において既に校正が済んでいるため、２回目の塗布からは、必ずしも校正部１１ａ、１１ｂの検出は必要ではない。但し、センサ等の部材の位置の変更、修理、交換等を行った場合に、校正部１１ａ、１１ｂの検出による校正を再度行ってもよい。
【０１３０】
本発明による塗布厚の検出結果を、塗布にどのように反映させるかは自由である。リアルタイムでのフィードバックは、制御装置７が、検出部１３Ａにより検出されたワークＳ１の表面までの距離の変化（歪み）に応じて、塗布ノズル１０ａの高さ（ワークの塗布面とのクリアランス）を調節して、塗布厚を調節することが考えられる。例えば、ワークＳ１の塗布面の高さが高く検出された場合、これに応じて塗布ノズル１０ａを上昇させ、ワークＳ１の塗布面の高さが低く検出された場合、これに応じて塗布ノズル１０ａを下降させる。これにより、塗布ノズル１０ａの吐出口とワークＳ１の塗布面とのクリアランスを一定に保ち、塗布厚を一定に維持することができる。検出された接着剤Ｒの塗布厚については、次のワークＳ１に対しての塗布厚の調節に反映させることもできる。検出した値は、記憶部７１に蓄積しておき、装置の傾向を分析して、改善に役立てることができる。その場合、表示装置にグラフ表示させて、塗布厚の分布を視覚的に認識させることもできる。
【０１３１】
また、接着剤Ｒの塗布部１０の構成、塗布方法は、ワークＳ１の片面に面状に行き渡るように塗布できればよい。
【０１３２】
上記の態様では、往復動のそれぞれにおいて、接着剤Ｒの塗布を行うことにより、処理の高速化を図り、塗布後の時間の経過による接着剤Ｒの崩れ等を防止することができた。但し、接着剤Ｒの塗布を一方向で行なってもよい。つまり、１回の塗布を終える毎に、塗布ノズル１０ａとワークＳ１との相対位置を、初期位置に戻し、再度、同じ方向で塗布を行ってもよい。これにより、駆動機構１２ｂによるステージ１２ａの移動に一定の傾向がある場合に、常に同方向での移動において塗布を行うことにより、同じ傾向の状態で塗布を行うことができ、塗布厚の均一を確保できる場合がある。
【０１３３】
さらに、塗布ノズルの上流側に、さらに塗布ノズルを設け、一方向への相対移動によって、連続的に重ね塗りができるように校正してもよい。例えば、図１４（Ａ）に示すように、塗布ノズル１０ａ及び検出部１３Ｂの上流側に、別の塗布ノズル１０ｂを設ける。そして、１回目の塗布後、ステージ１２ａをさらに上流側に続けて移動して、図１４（Ｂ）に示すように、塗布ノズル１０ｂによって、２回目の塗布を行う。これにより、上記の態様に比べて、戻る時間の無駄がなく、生産性が向上する。この場合、塗布ノズル１０ｂの上流側にさらに検出部１３Ｃを設けて、２回目の塗布厚を検出してもよい。なお、図中、Ｈは検出部１３ＡのセンサからワークＳ１の表面までの距離、Ｈ１は、検出部１３Ｂのセンサから１回目に塗布された接着剤Ｒの表面までの距離、Ｈ２は、検出部１３Ｃのセンサから２回目に塗布された接着剤Ｒの表面までの距離である。また、ｔ１は、１回目の塗布厚、ｔ２は、１回目と２回目の塗布厚の合計である。
【０１３４】
また、接着剤Ｒを仮硬化させることにより、接着剤Ｒの厚みを確保しつつ、崩れを防止してもよい。この仮硬化は、制御装置７の設定に応じて、接着剤Ｒの１回の塗布毎に行ってもよいし、あらかじめ設定された回において、選択的に行ってもよい。例えば、１回、３回等の所定の回、奇数回毎又は偶数回毎、数回おき等の設定とすることが考えられる。この場合、仮硬化させるエネルギーを接着剤Ｒに照射する照射部として、上記の照射ユニット３３のように、制御装置７により制御され、ワークＳの接着剤Ｒの全面に照射する装置を、塗布装置１に設けてもよい。また、図７、図１５に示すように、塗布ノズル１０ａに追従して移動する照射部１４Ａ、１４Ｂを、塗布ノズル１０ａを挟んで塗布方向の一方側と他方側に設けてもよい。これにより、図１５（Ａ）（Ｂ）に示すように、往復動作により塗布をしながら、接着剤Ｒを早期に仮硬化させることができ、崩れを防止できる。照射部１４Ａ、１４Ｂは、いずれか一方のみでもよい。仮硬化のための照射部としては、複数の照射源を並べる等により、エネルギーを塗布方向とは直交する幅方向に亘って照射可能とすることにより、塗布に追従して接着剤Ｒの全面を仮硬化させるものであってもよい。また、照射部を、エネルギーを狭い範囲にスポット的に照射する装置として、この照射部により、接着剤Ｒの一部を仮硬化させるものであっても、一定の崩れ防止効果が得られる。仮硬化させる範囲としては、接着剤Ｒの縁部を仮硬化させても、接着剤Ｒの縁部の内側を散点的に多数箇所仮硬化させてもよい。
【０１３５】
塗布装置１におけるステージ１２ａ上へのワークＳの支持は、バキュームチャック、静電チャック、メカチャック、粘着チャック等、現在又は将来において利用可能なあらゆる保持機構により、安定化させることができる。複数の種類の保持機構を併用することも可能である。
【０１３６】
使用する接着剤Ｒの種類は、紫外線硬化型の樹脂には限定されない。電磁波や熱の照射により硬化する樹脂が一般的であるが、現在又は将来において利用可能なあらゆる接着剤であって、エネルギーの照射により硬化するものに適用可能である。この場合、接着剤の種類に応じて、照射ユニットや照射部を、種々の赤外線、放射線等の照射装置、加熱装置、乾燥装置等に変えることになる。
【符号の説明】
【０１３７】
１  塗布装置
２  貼合装置
３  硬化装置
４  搬送装置
５  ローダ
６  アンローダ
７  制御装置
１０  塗布部
１０ａ、１０ｂ  塗布ノズル
１１ａ、１１ｂ  校正部
１２  支持部
１２ａ  ステージ
１２ｂ  駆動機構
１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ  検出部
１４Ａ、１４Ｂ  照射部
２０  貼合部
２１  チャンバ
２２  下側プレート
２３  上側プレート
２５  昇降機構
３０  硬化部
３３  照射ユニット
７０  機構制御部
７１  記憶部
７２  塗布厚検出部
７３  調整部
７４  入出力制御部
７５  出力装置
１００  表示装置用部材の製造装置
【図１】
2015205226.tif 000003
【図２】
2015205226.tif 000004
【図３】
2015205226.tif 000005
【図４】
2015205226.tif 000006
【図５】
2015205226.tif 000007
【図６】
2015205226.tif 000008
【図７】
2015205226.tif 000009
【図８】
2015205226.tif 000010
【図９】
2015205226.tif 000011
【図１０】
2015205226.tif 000012
【図１１】
2015205226.tif 000013
【図１２】
2015205226.tif 000014
【図１３】
2015205226.tif 000015
【図１４】
2015205226.tif 000016
【図１５】
2015205226.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成27年6月10日(2015.6.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
前記センサに対向して設けられる校正部を有し、
前記ステージが前記塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布の際に、前記センサが、前記センサから前記校正部までの距離を検出し、
前記校正部までの距離の検出値により校正されたワークの表面までの距離及びワークに塗布された接着剤の表面までの距離に基づく塗布厚、又は前記検出値により校正された塗布厚に基づいて、前記調整部が、前記塗布ノズルが塗布する接着剤の厚みを調整することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の塗布装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、かかる接着層は、各ワークの間の緩衝材として、ワークを保護する機能を求められる場合がある。さらに、ディスプレイの大型化などから、ワークも大面積となり、変形が生じやすい。このため、変形を吸収してワークを保護するために、接着層に要求される厚みが増える傾向にある。例えば、数百μｍの厚みが要求されるようになってきている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
前記センサに対向して設けられる校正部を有し、前記ステージが前記塗布ノズルに対して相対移動することによる接着剤の塗布の際に、前記センサが、前記センサから前記校正部までの距離を検出し、前記校正部までの距離の検出値により校正されたワークの表面までの距離及びワークに塗布された接着剤の表面までの距離に基づく塗布厚、又は前記検出値により校正された塗布厚に基づいて、前記調整部が、前記塗布ノズルが塗布する接着剤の厚みを調整してもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
ここで、図１０に示すように、Ａ１，Ａ２＞Ｈ１＞Ｈ２の関係を前提として、以下の演算により、塗布厚を求める。
（ワーク厚さ）＝（Ａ１−Ｈ１）＝校正部１１ａからワーク表面までの距離
（ワーク厚さ＋塗布厚さ）＝（Ａ２−Ｈ２）＝校正部１１ａから塗布表面までの距離
塗布厚α＝（ワーク厚さ＋塗布厚さ）−（ワーク厚さ）＝（Ａ２−Ｈ２）−（Ａ１−Ｈ１）
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
また、それぞれのセンサが同じ校正部１１ａを検出した基準値Ａ１と基準値Ａ２との差分値を用いて、検出部１３Ａ又は検出部１３Ｂの検出値Ｈ１又はＨ２をオフセットすることにより、ずれを校正することもできる。例えば、以下の式(1)(2)のいずれかにより、塗布厚αを求めることもできる。
α＝｛Ｈ２＋（Ａ１−Ａ２）｝−Ｈ１      …式(1)
α＝Ｈ２−｛Ｈ１−（Ａ１−Ａ２）｝      …式(2)
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
また、計算上は基準値Ａ１、基準値Ａ２の差分を用いて、検出値Ｈ１、Ｈ２の差分（すなわち補正前の塗布厚）結果を補正する（オフセットする）ことでも校正できる。つまり、以下の式(3)により、塗布厚αを求めることもできる。
α＝（Ｈ１−Ｈ２）−（Ａ１−Ａ２）      …式(3)
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
さらに、ステージ１２ａに歪みや傾きが存在する場合には、これによりワークＳ１に傾きが生じる場合がある。このような歪み・傾きの存在は、塗布厚測定値の精度には、大きく影響しない。これは、塗布厚は、（Ｈ２−Ｈ１）により求めるため、歪みや傾きがあっても、それぞれの検出位置における互いの位置関係が同じとなるからである。例えば、図１１に示すように、塗布開始端をＰ１、中途部をＰ２、塗布終端をＰ３とする。Ｐ１で塗布厚ＰＨ１＝（Ｈ２Ｐ１−Ｈ１Ｐ１）、Ｐ２で塗布厚ＰＨ２＝（Ｈ２Ｐ２−Ｈ１Ｐ２）、Ｐ３で塗布厚ＰＨ３＝（Ｈ２Ｐ３−Ｈ１Ｐ３）で算出できる。仮に、Ｐ１とＰ３が直線的に５ｍｍ傾いていて、Ｐ３がＰ１より下がっているとする（−５ｍｍ）。この場合であっても、対応する各検出位置での塗布厚は、上記のように差分で求めるので、傾きの−５ｍｍの影響は顕出しない。なお、図１１は、ワークＳ１に対して塗布ノズル１０ａを移動させる相対運動での塗布として示している。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
検出部１３Ａ、１３Ｂ、塗布ノズル１０ａの塗布方向の相対位置関係にもよるが、例えばワークＳ１の端部で塗布が開始されるよりも早く、検出部１３Ａが校正部１１ｂに達するような位置関係である場合、塗布の開始前にワークの傾きが検出できるので、塗布ノズル１０ａの高さを相対移動中に変化させて、塗布面と塗布ノズル１０ａのスリットとの距離を、一定にすることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
さらに、検出部１３Ａ、１３Ｂの各検出位置（ポジション）の検出値を平均化する場合には、これに対する補正値として、傾きの値を用いることができる。平均値を求めるための塗布厚の積算値は、上記の３点のみの例では、（Ｈ２Ｐ１＋Ｈ２Ｐ２＋Ｈ２Ｐ３）−（Ｈ１Ｐ１＋Ｈ１Ｐ２＋Ｈ１Ｐ３）となる。実際には、連続したポジションの積算値となるので、Ｈ２、Ｈ１の積分値の差（ΣＨ２−ΣＨ１）として表現できる。但し、この場合は、各ポジションの傾きによる誤差が含まれる値を積分することになる。このため、全体の傾きがある場合は、その傾き分（Δ）で、各ポジションの値を補正したのちに積分する必要があるので、（Σ（Ｈ２−ΔＰｎ）−Σ（Ｈ１−ΔＰｎ））となる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
なお、塗布厚さの測定だけであるならば、各ポジションでの各センサの検出値を用いて、塗布しながらの計算も可能であるし、塗布が終了してから、あるいは塗布中であっても、一旦記憶した各ポジションでの各センサの検出値を用いて塗布厚を計算することもできる。この場合でも、前述のように次のワークＳ１への塗布に対して、塗布厚の調整にフィードバックすることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２１】
接着剤Ｒが塗布されるワークＳ１は、表示装置の表示モジュールであってもよいし、カバーパネル、タッチパネル又はタッチパネルを含むカバーパネル（複合パネル）であってもよい。但し、偏光板等を含む表示パネル、駆動回路、プリント基板（タブ）等、複数の部材を備え、多層に構成された表示モジュールは、歪みも大きく、その歪みの個体差も大きい。カバーパネルのみ、タッチパネルのみ又は複合パネルのように、シンプルな構成のものの方が、歪みが少なく、接着剤Ｒを均一に塗布しやすい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３３】
さらに、塗布ノズルの上流側に、さらに塗布ノズルを設け、一方向への相対移動によって、連続的に重ね塗りができるように校正してもよい。例えば、図１４（Ａ）に示すように、塗布ノズル１０ａ及び検出部１３Ｂの上流側に、別の塗布ノズル１０ｂを設ける。そして、１回目の塗布後、ステージ１２ａをさらに上流側に続けて移動して、図１４（Ｂ）に示すように、塗布ノズル１０ｂによって、２回目の塗布を行う。これにより、上記の態様に比べて、戻る時間の無駄がなく、生産性が向上する。この場合、塗布ノズル１０ｂの上流側にさらに検出部１３Ｃを設けて、２回目の塗布厚を検出してもよい。なお、図中、Ｈ１０は検出部１３ＡのセンサからワークＳ１の表面までの距離、Ｈ１１は、検出部１３Ｂのセンサから１回目に塗布された接着剤Ｒの表面までの距離、Ｈ１２は、検出部１３Ｃのセンサから２回目に塗布された接着剤Ｒの表面までの距離である。また、ｔ１１は、１回目の塗布厚、ｔ１２は、１回目と２回目の塗布厚の合計である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３４】
また、接着剤Ｒを仮硬化させることにより、接着剤Ｒの厚みを確保しつつ、崩れを防止してもよい。この仮硬化は、制御装置７の設定に応じて、接着剤Ｒの１回の塗布毎に行ってもよいし、あらかじめ設定された回において、選択的に行ってもよい。例えば、１回、３回等の所定の回、奇数回毎又は偶数回毎、数回おき等の設定とすることが考えられる。この場合、仮硬化させるエネルギーを接着剤Ｒに照射する照射部として、上記の照射ユニット３３のように、制御装置７により制御され、ワークＳ１の接着剤Ｒの全面に照射する装置を、塗布装置１に設けてもよい。また、図７、図１５に示すように、塗布ノズル１０ａに追従して移動する照射部１４Ａ、１４Ｂを、塗布ノズル１０ａを挟んで塗布方向の一方側と他方側に設けてもよい。これにより、図１５（Ａ）（Ｂ）に示すように、往復動作により塗布をしながら、接着剤Ｒを早期に仮硬化させることができ、崩れを防止できる。照射部１４Ａ、１４Ｂは、いずれか一方のみでもよい。仮硬化のための照射部としては、複数の照射源を並べる等により、エネルギーを塗布方向とは直交する幅方向に亘って照射可能とすることにより、塗布に追従して接着剤Ｒの全面を仮硬化させるものであってもよい。また、照射部を、エネルギーを狭い範囲にスポット的に照射する装置として、この照射部により、接着剤Ｒの一部を仮硬化させるものであっても、一定の崩れ防止効果が得られる。仮硬化させる範囲としては、接着剤Ｒの縁部を仮硬化させても、接着剤Ｒの縁部の内側を散点的に多数箇所仮硬化させてもよい。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３５】
塗布装置１におけるステージ１２ａ上へのワークＳ１の支持は、バキュームチャック、静電チャック、メカチャック、粘着チャック等、現在又は将来において利用可能なあらゆる保持機構により、安定化させることができる。複数の種類の保持機構を併用することも可能である。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４】
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