(57)【要約】【課題】インピーダンスの不整合を抑えることの可能なプラズマ処理用整合器、および、プラズマ処理装置を提供する。【解決手段】高周波電力を入力する１つの入力端２３と、高周波電力を負荷に出力する複数の出力端２１，２２と、前記出力端ごとに１つずつ接続する分配コンデンサ２５，２６であって、前記出力端２１，２２と前記入力端２３とを接続する複数の分配コンデンサ２５，２６と、前記複数の分配コンデンサ２５，２６からなる並列回路と前記入力端２３との間に位置する接続点と接地電位とを接続する第２可変コンデンサ２８と、高周波電源の出力インピーダンスと負荷インピーダンスとが整合するように、前記第１可変コンデンサの駆動と前記第２可変コンデンサの駆動とを制御する制御部３３と、を備える。【選択図】図３
2015138602.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波電力を入力する１つの入力端と、
高周波電力を負荷に出力する複数の出力端と、
前記出力端ごとに１つずつ前記出力端に接続する第１可変コンデンサであって、前記入力端に対して並列に接続する複数の第１可変コンデンサからなる並列回路と、
前記並列回路と前記入力端との間に位置する接続点と接地電位とを接続する第２可変コンデンサと、
前記第１可変コンデンサと前記第２可変コンデンサとを駆動する駆動部と、を備える
プラズマ処理用整合器。
【請求項２】
前記駆動部における駆動を制御する制御部と、
複数の前記第１可変コンデンサのうち少なくとも１以上の前記第１可変コンデンサの容量値の固定値が入力される入力部と、
をさらに備え、
前記制御部は、高周波電源の出力インピーダンスと負荷インピーダンスとが整合するように、複数の前記第１可変コンデンサの中の一部の前記第１可変コンデンサの容量値を前記一部に対応する前記固定値に固定し、かつ、複数の前記第１可変コンデンサの中の残部の前記第１可変コンデンサの容量値、および、前記第２可変コンデンサの容量値を変える状態を有する
請求項１に記載のプラズマ処理用整合器。
【請求項３】
前記制御部は、
前記出力インピーダンスと前記負荷インピーダンスとが整合するように、
前記第１可変コンデンサの容量値、および、前記第２可変コンデンサの容量値を変える状態である第１整合モードと、
複数の前記第１可変コンデンサの中の一部の前記第１可変コンデンサの容量値を前記固定値に固定し、かつ、複数の前記第１可変コンデンサの中の残部の前記第１可変コンデンサの容量値、および、前記第２可変コンデンサの容量値を変える状態である第２整合モードと、
を切り替えできる状態で有する
請求項２に記載のプラズマ処理用整合器。
【請求項４】
プラズマを生成するための複数の電極と、
１つの高周波電源に接続する入力端と、前記電極ごとに１つずつ前記電極に接続する出力端とを有して、前記出力端から高周波電力を出力するプラズマ処理用整合器と、
を備え、
前記プラズマ処理用整合器が請求項１から請求項３のいずれか１つに記載のプラズマ処理用整合器である
プラズマ処理装置。
【請求項５】
前記複数の電極の各々は、誘導コイルである
請求項４に記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
プラズマ処理用整合器の駆動方法であって、
前記プラズマ処理用整合器は、
高周波電力を入力する１つの入力端と、
高周波電力を負荷に出力する複数の出力端と、
前記出力端ごとに１つずつ前記出力端に接続する第１可変コンデンサであって、前記入力端に対して並列に接続する複数の第１可変コンデンサからなる並列回路と、
前記並列回路と前記入力端との間に位置する接続点と接地電位とを接続する第２可変コンデンサと、を備え、
高周波電源の出力インピーダンスと負荷インピーダンスとが整合するように、前記第１可変コンデンサと前記第２可変コンデンサとを駆動する
ことを特徴とするプラズマ処理用整合器の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の技術は、プラズマの生成に用いられるプラズマ処理用整合器、プラズマ処理用整合器を備えるプラズマ処理装置、および、プラズマ処理用整合器の駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や表示装置などの製造には、処理対象にプラズマを供給するプラズマ処理装置が用いられている。プラズマ処理装置におけるプラズマの生成には、高周波電源の出力インピーダンスに負荷インピーダンスを整合させるプラズマ処理用整合器が用いられている（例えば、特許文献１を参照）。図６は、１つの高周波電源が２つの誘導コイルに高周波電力を供給するプラズマ処理装置の電気的構成を示す回路図であって、プラズマ処理用整合器を含む回路図である。
【０００３】
図６が示すように、プラズマ処理用整合器５０は、プラズマ処理用整合器５０の入力端５１と、プラズマ処理用整合器５０の出力端５２とを接続する１つの第１可変コンデンサ５３を備えている。また、プラズマ処理用整合器５０は、第１可変コンデンサ５３の入力端と接地電位とを接続する第２可変コンデンサ５４を備えている。こうしたプラズマ処理用整合器５０の出力先に２つの誘導コイル５５が用いられるとき、プラズマ処理用整合器５０と誘導コイル５５との間にはスプリッター６０が設けられる。
【０００４】
スプリッター６０は、プラズマ処理用整合器５０の出力端５２から出力される高周波電力を、２つの誘導コイル５５の各々に分配する。例えば、スプリッター６０は、プラズマ処理用整合器５０の１つの出力端５２に、誘導コイル５５ごとの可変コンデンサ６１が並列に接続する回路であり、２つの可変コンデンサ６１における容量比に従って、２つの誘導コイル５５における高周波電力の分配比を変える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−０５７５１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、プラズマ処理用整合器５０の第１可変コンデンサ５３と、スプリッターにおける可変コンデンサ６１とは直列接続している。可変コンデンサの直列回路において１つの可変コンデンサの容量値が変わるとき、直列回路の合成容量値は１つの可変コンデンサの容量値よりも大きく変わる。結果として、上述したプラズマ処理用整合器では、１つの高周波電源から２つの誘導コイルの各々に高周波電力を供給できるとはいえ、可変コンデンサの容量の変更によって負荷インピーダンスが過剰に変わってしまい、結局のところ、インピーダンスの不整合を生じてしまう。
【０００７】
なお、インピーダンスの不整合を抑えるという課題は、プラズマ処理用整合器の出力端が２つである構成に限らず、出力端が３つ以上である場合においても同様である。
本開示の技術は、インピーダンスの不整合を抑えつつ高周波電力を分配して供給できることの可能なプラズマ処理用整合器、プラズマ処理装置、および、プラズマ処理用整合器の駆動方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の技術におけるプラズマ処理用整合器の一態様は、高周波電力を入力する１つの入力端と、高周波電力を負荷に出力する複数の出力端とを備える。また、前記出力端ごとに１つずつ前記出力端に接続する第１可変コンデンサであって、前記入力端に対して並列に接続する複数の第１可変コンデンサからなる並列回路と、前記並列回路と前記入力端との間に位置する接続点と接地電位とを接続する第２可変コンデンサとを備える。そして、前記第１可変コンデンサと前記第２可変コンデンサとを駆動する駆動部を備える。
【０００９】
本開示の技術におけるプラズマ処理用整合器の一態様によれば、入力端に入力される高周波電力が複数の出力端の各々に分配される。この際に、入力端と１つの出力端との間では、直列の容量器が１つの第１可変コンデンサのみであるから、入力端と１つの出力端との間に直列に接続した複数の容量器が含まれる構成と比べて、第１可変コンデンサの容量値の変更によって負荷インピーダンスが大きく変わることが抑えられる。結果として、可変コンデンサによって高周波電力の分配比を変更するときにインピーダンスの不整合が生じることが抑えられる。
【００１０】
本開示の技術におけるプラズマ処理用整合器の他の態様は、前記駆動部における駆動を制御する制御部と、複数の前記第１可変コンデンサのうち少なくとも１以上の前記第１可変コンデンサの容量値の固定値が入力される入力部とをさらに備える。そして、前記制御部は、高周波電源の出力インピーダンスと負荷インピーダンスとが整合するように、複数の前記第１可変コンデンサの中の一部の前記第１可変コンデンサの容量値を前記一部に対応する前記固定値に固定し、かつ、複数の前記第１可変コンデンサの中の残部の前記第１可変コンデンサの容量値、および、前記第２可変コンデンサの容量値を変える状態を有してもよい。
【００１１】
本開示の技術におけるプラズマ処理用整合器の他の態様によれば、複数の第１可変コンデンサの一部の第１可変コンデンサの容量値が固定値に固定されるため、高周波電力を分配して供給するときのインピーダンスの整合に際して、第１可変コンデンサ、および、第２可変コンデンサを駆動する駆動部、および、制御部の負荷が軽減される。
【００１２】
本開示の技術におけるプラズマ処理用整合器の他の態様において、前記制御部は、前記出力インピーダンスと前記負荷インピーダンスとが整合するように、前記第１可変コンデンサの容量値、および、前記第２可変コンデンサの容量値を変える状態である第１整合モードと、複数の前記第１可変コンデンサの中の一部の前記第１可変コンデンサの容量値を前記固定値に固定し、かつ、複数の前記第１可変コンデンサの中の残部の前記第１可変コンデンサの容量値、および、前記第２可変コンデンサの容量値を変える状態である第２整合モードと、を切り替えできる状態で有することが好ましい。
【００１３】
本開示の技術におけるプラズマ処理用整合器の他の態様によれば、第１整合モードと第２整合モードとが切り替えられるため、第１可変コンデンサの容量値の変更を高周波電力の分配比に応じて適宜切り替えることが可能である。その際に、負荷インピーダンスが過剰に変わることがないから、インピーダンスの整合が容易に得られる。
【００１４】
本開示の技術におけるプラズマ処理装置の一態様は、プラズマを生成するための複数の電極と、１つの高周波電源に接続する入力端と、前記電極ごとに１つずつ前記電極に接続する出力端とを有して、前記出力端から高周波電力を出力するプラズマ処理用整合器と、を備える。そして、前記プラズマ処理用整合器が上述のプラズマ処理用整合器である。
【００１５】
本開示の技術におけるプラズマ処理装置の一態様によれば、プラズマ処理用整合器によって複数の電極へ供給する高周波電力を任意に分配できることから、プラズマ処理の処理結果における均一性や再現性が高まる。
【００１６】
本開示の技術におけるプラズマ処理装置の他の態様において、前記複数の電極の各々は誘導コイルであってもよい。
本開示の技術におけるプラズマ処理装置によれば、１つの高周波電源から複数の誘導コイルの各々に高周波電力を分配してプラズマを生成することが可能であって、この際に、インピーダンスの不整合を抑えることが可能である。
【００１７】
本開示の技術におけるプラズマ処理用整合器の駆動方法の一態様は、プラズマ処理用整合器の駆動方法であって、前記プラズマ処理用整合器が、高周波電力を入力する１つの入力端と、高周波電力を負荷に出力する複数の出力端と、前記出力端ごとに１つずつ前記出力端に接続する第１可変コンデンサであって、前記入力端に対して並列に接続する複数の第１可変コンデンサからなる並列回路と、前記並列回路と前記入力端との間に位置する接続点と接地電位とを接続する第２可変コンデンサと、を備える。そして、高周波電源の出力インピーダンスと負荷インピーダンスとが整合するように、前記第１可変コンデンサと前記第２可変コンデンサとを駆動する。
【００１８】
本開示の技術におけるプラズマ処理用整合器の一態様によれば、可変コンデンサによって高周波電力を分配するときに、インピーダンスの不整合が生じることが抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本開示の技術におけるプラズマ処理装置を具体化した一実施形態のプラズマ処理装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、プラズマ処理用整合器における第１可変コンデンサと第２可変コンデンサとの接続の形態を示す回路図である。
【図３】図３は、プラズマ処理用整合器における可変コンデンサの駆動を制御する制御系の構成を示すブロック図である。
【図４】図４は、変形例のプラズマ処理用整合器における第１可変コンデンサと第２可変コンデンサとの接続の形態を示す回路図である。
【図５】図５は、変形例のプラズマ処理用整合器における第１可変コンデンサと第２可変コンデンサとの接続の形態を示す回路図である。
【図６】図６は、従来例におけるプラズマ処理装置の電気的な構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１から図３を参照して本開示の技術におけるプラズマ処理用整合器、プラズマ処理装置、および、プラズマ処理用整合器の駆動方法の一実施形態を説明する。
［プラズマ処理装置の構成］
図１が示すように、プラズマ処理装置の備えるチャンバー１１は、チャンバー１１の内部を排気する排気部１２と、チャンバー１１の内部にガスを供給するガス供給部１３とに接続している。排気部１２とガス供給部１３とが駆動するとき、チャンバー１１の内部には、プラズマを生成するためのガスからなる減圧雰囲気が形成される。
【００２１】
チャンバー１１の上部には、第１誘導コイル１５が位置し、チャンバー１１の周囲には、第２誘導コイル１６が位置している。第１誘導コイル１５の入力端は、プラズマ処理用整合器２０の第１出力端２１に接続し、第１誘導コイル１５の出力端は、接地電位に接続している。第２誘導コイル１６の入力端は、プラズマ処理用整合器２０の第２出力端２２に接続し、第２誘導コイル１６の出力端は、接地電位に接続している。
【００２２】
第１誘導コイル１５、および、第２誘導コイル１６は、プラズマ処理用整合器２０に対して並列に接続している。チャンバー１１の内部に減圧雰囲気が形成されるとき、第１誘導コイル１５に高周波電力が供給されてプラズマがイグニッションされてもよいし、第２誘導コイル１６に高周波電力が供給されてプラズマがイグニッションされてもよいし、第１誘導コイル１５と第２誘導コイル１６とに高周波電力が供給されてプラズマがイグニッションされてもよい。プラズマの状態を保つために第１誘導コイル１５に高周波電力が供給されるとき、第２誘導コイル１６に高周波電力が供給されてもよいし、第２誘導コイル１６に高周波電力が供給されなくともよい。プラズマの状態を保つために第２誘導コイル１６に高周波電力が供給されるとき、第１誘導コイル１５に高周波電力が供給されてもよいし、第１誘導コイル１５に高周波電力が供給されなくともよい。
【００２３】
プラズマ処理用整合器２０は、１つの入力端２３と、２つの出力端である第１出力端２１と第２出力端２２とを有している。プラズマ処理用整合器２０の入力端２３は、同軸ケーブルを通して１つの高周波電源３０に接続している。高周波電源３０は、所定の周波数の高周波電力をプラズマ処理用整合器２０に供給する。
【００２４】
図２が示すように、プラズマ処理用整合器２０において、２つの第１可変コンデンサからなる並列回路ＰＣは、１つの入力端２３に接続している。２つの第１可変コンデンサは、プラズマ処理用整合器２０の出力端ごとに１つずつ出力端に接続して、プラズマ処理用整合器２０の出力端と入力端２３とを接続している。
【００２５】
第１分配コンデンサ２５は、入力端２３と第１出力端２１とを接続している。第２分配コンデンサ２６は、入力端２３と第２出力端２２とを接続している。第１分配コンデンサ２５と第２分配コンデンサ２６とから構成される並列回路ＰＣと入力端２３との間の接続端２７には、接続端２７と接地電位とを１つの第２可変コンデンサ２８が接続している。
【００２６】
図３が示すように、第１分配コンデンサ２５は、第１分配用モーターＭ１の回転位置に対応する容量値を有して、第１出力端２１から出力される高周波電力の絶対値と位相とを調整する。第２分配コンデンサ２６は、第２分配用モーターＭ２の回転位置に対応する容量値を有して、第２出力端２２から出力される高周波電力の絶対値と位相とを調整する。第２可変コンデンサ２８は、第２可変用モーターＭ３の回転位置に対応する容量値を有して、接続端２７から並列回路に出力される高周波電力の絶対値と位相とを調整する。
【００２７】
プラズマ処理用整合器２０は、入力部３１、インピーダンス測定部３２、制御部３３、および、モーター駆動部３４を備えている。
入力部３１は、外部と制御部３３との間のインターフェースとしての機能を有している。入力部３１は、インピーダンスの整合を開始するための開始信号や、インピーダンスの整合を終了するための終了信号などの制御信号ＳＩＧを外部から制御部３３に入力する。入力部３１は、インピーダンスの整合に用いられるデータＤＡＴを外部から制御部３３に入力する。
【００２８】
入力部３１は、各モーターＭ１，Ｍ２，Ｍ３の初期位置を制御部３３に入力する。各モーターＭ１，Ｍ２，Ｍ３の初期位置は、チャンバー１１の内部にプラズマをイグニッションすることの可能な回転位置であって、予め実施された試験などによって定められている。各モーターＭ１，Ｍ２，Ｍ３の初期位置は、プラズマ処理装置の備える制御装置から入力部３１に入力されてもよいし、プラズマ処理装置以外の外部装置から入力部３１に入力されてもよいし、入力部３１に予め記憶されていてもよい。
【００２９】
入力部３１は、各モーターＭ１，Ｍ２，Ｍ３の固定位置を制御部３３に入力する。各モーターＭ１，Ｍ２，Ｍ３の固定位置は、チャンバー１１の内部にプラズマを維持しやすい回転位置であって、予め実施された試験などによって定められる。各モーターＭ１，Ｍ２，Ｍ３の固定位置は、例えば、回転位置の取りえる範囲の中で中心位置に設定される。各モーターＭ１，Ｍ２，Ｍ３の固定位置は、プラズマ処理装置の備える制御装置から入力部３１に入力されてもよいし、プラズマ処理装置以外の外部装置から入力部３１に入力されてもよいし、入力部３１に予め記憶されていてもよい。
【００３０】
入力部３１は、プラズマ処理用整合器２０におけるインピーダンスの整合方式として、２つの整合モードのいずれか１つを制御部３３に切り替えできる状態で入力する。２つの整合モードは、プラズマ処理装置の備える制御装置から入力部３１に入力されてもよいし、プラズマ処理装置以外の外部装置から入力部３１に入力されてもよいし、入力部３１に予め記憶されていてもよい。
【００３１】
第１整合モードは、第１分配コンデンサ２５の容量値の変更、第２分配コンデンサ２６の容量値の変更、および、第２可変コンデンサ２８の容量値の変更によってインピーダンスを整合する方式である。
【００３２】
第２整合モードは、第２分配コンデンサ２６の容量値を固定値に設定し、第１分配コンデンサ２５の容量値の変更、および、第２可変コンデンサ２８の容量値の変更によってインピーダンスを整合する方式である。
【００３３】
インピーダンス測定部３２は、プラズマ処理用整合器２０に入力される反射波などを用いて負荷インピーダンスを測定する。インピーダンス測定部３２は、負荷インピーダンスの測定結果を制御部３３にフィードバックする。なお、インピーダンス測定部３２は、負荷インピーダンスに関する情報を制御部３３にフィードバックする機能を有していればよく、フィードバックする情報は、反射波の振幅や位相であってもよいし、負荷インピーダンスそのものであってもよい。
【００３４】
制御部３３は、入力部３１の入力する制御信号ＳＩＧや、入力部３１の入力するデータＤＡＴを用いて、各モーターＭ１，Ｍ２，Ｍ３の駆動を制御する。インピーダンス測定部３２の測定結果が、高周波電源３０の出力インピーダンスと整合するように、制御部３３は、各モーターＭ１，Ｍ２，Ｍ３の目標位置を演算し、その演算の結果をモーター駆動部３４に出力する。入力部３１が入力する整合モードは、インピーダンスの整合の開始からインピーダンスの整合の終了までの期間で共通していてもよいし、インピーダンスの整合の開始からインピーダンスの整合の終了までの期間に、外部からの切り替え指令に応じて切り替わってもよい。
【００３５】
入力部３１が第１整合モードを入力するとき、制御部３３は、第１整合モードに従って、負荷インピーダンスが出力インピーダンスに整合するように、２つの分配用モーターＭ１，Ｍ２の目標位置と、第２可変用モーターＭ３の目標位置とを演算する。
【００３６】
入力部３１が第２整合モードを設定するとき、制御部３３は、第２整合モードに従って、負荷インピーダンスが出力インピーダンスに整合するように、分配用モーターＭ２の固定位置をそれの目標位置として取り扱い、分配用モーターＭ１、および、第２可変用モーターＭ３の目標位置を演算する。
【００３７】
モーター駆動部３４は、各モーターＭ１，Ｍ２，Ｍ３の駆動信号を生成して、各モーターＭ１，Ｍ２，Ｍ３を駆動する。各モーターＭ１，Ｍ２，Ｍ３の回転位置が、制御部３３の入力する目標位置に到達するように、モーター駆動部３４は駆動信号を生成する。
【００３８】
［プラズマ処理装置の作用］
プラズマ処理用整合器の駆動方法をプラズマ処理装置の駆動方法と共に説明する。
プラズマ処理装置がプラズマ処理を実行するとき、まず、排気部１２とガス供給部１３とが駆動されて、プラズマを生成するためのガスによる減圧雰囲気がチャンバー１１の内部に形成される。この際に、プラズマ処理用整合器２０の制御部３３は、第１分配用モーターＭ１、第２分配用モーターＭ２、および、第２可変用モーターＭ３の回転位置を初期位置に設定する。
【００３９】
この状態から、高周波電源３０が高周波電力を出力すると、プラズマ処理用整合器２０、および、誘導コイル１５，１６を通じて、チャンバー１１の内部に高周波電力が供給されてチャンバー１１の内部にプラズマが生成される。そして、プラズマの生成に伴って負荷インピーダンスが変わると、入力部３１の設定した整合モードに従って、プラズマ処理用整合器２０はインピーダンスの整合を開始する。
【００４０】
入力部３１が第１整合モードを入力するとき、高周波電源３０の出力インピーダンスと負荷インピーダンスとが整合するように、２つの分配用モーターＭ１，Ｍ２の回転位置と、第２可変用モーターＭ３の回転位置とが変わる。
【００４１】
この際に、入力端２３と出力端２１との間では、直列の容量器が１つの第１分配コンデンサ２５のみであり、入力端２３と出力端２２との間でもまた、直列の容量器が１つの第２分配コンデンサ２６のみである。そのため、入力端２３と出力端２１との間に複数の容量器が含まれる構成と比べて、第１分配コンデンサ２５の容量値の変更によって負荷インピーダンスが大きく変わることが抑えられる。また、入力端２３と出力端２２との間に複数の容量器が含まれる構成と比べて、第２分配コンデンサ２６の容量値の変更によって負荷インピーダンスが大きく変わることが抑えられる。結果として、各分配コンデンサ２５，２６の容量値の変更に伴ってインピーダンス不整合の生じる機会の頻度が抑えられる。
【００４２】
入力部３１が第２整合モードを入力するとき、分配用モーターＭ２の回転位置はそれの固定位置に変わり、高周波電源３０の出力インピーダンスと負荷インピーダンスとが整合するように、分配用モーターＭ１、および、第２可変用モーターＭ３の回転位置が変わる。
【００４３】
この際にも、各分配コンデンサ２５，２６の容量値の変更によって負荷インピーダンスが大きく変わることが抑えられる。さらに、第２分配コンデンサ２６の容量値が予め設定された固定値に固定されるため、負荷インピーダンスに応じた高周波電力の分配が行われる。
【００４４】
以上、上記実施形態によれば以下の効果が得られる。
（１）各分配コンデンサ２５，２６の容量値の変更によって負荷インピーダンスが大きく変わることが抑えられる。結果として、チャンバー１１の内部でインピーダンスが変わるとき、各分配コンデンサ２５，２６の容量値の変更に伴ってインピーダンス不整合の生じる機会の頻度が抑えられる。
【００４５】
（２）また、各分配コンデンサ２５，２６の容量値の変更によって負荷インピーダンスが大きく変わることが抑えられるため、各分配コンデンサ２５，２６や第２可変コンデンサ２８の整合ポイントへの到達が速くなる。
【００４６】
（３）第２整合モードでは、第２分配コンデンサ２６の容量値が予め設定された固定値に固定されても負荷インピーダンスが過剰に変わることがないから、容易にインピーダンスの整合が可能である。
【００４７】
（４）１つの高周波電源３０から２つの誘導コイル１５，１６の各々に高周波電力を分配してプラズマを生成することが可能であって、この際にインピーダンスの不整合を抑えることが可能であるからプラズマ処理の処理結果における均一性や再現性が高まる。
【００４８】
なお、上記実施形態は以下のように変更できる。
［プラズマ処理用整合器の整合モード］
・インピーダンスの整合の開始からインピーダンスの整合の終了までの期間において、第１可変コンデンサの容量値が初期値から単調増加するように、制御部３３は目標位置を演算してもよい。反対に、インピーダンスの整合の開始からインピーダンスの整合の終了までの期間において、第１可変コンデンサの容量値が初期値から単調減少するように、制御部３３は目標位置を演算してもよい。こうした整合の態様であれば、容量値の増加と容量値の減少とが繰り返される構成に比べて、第１可変コンデンサの整合ポイントへの到達が速くなる。
【００４９】
・インピーダンスの整合の開始からインピーダンスの整合の終了までの期間において、第２可変コンデンサの容量値が初期値から単調増加するように、制御部３３は目標位置を演算してもよい。反対に、インピーダンスの整合の開始からインピーダンスの整合の終了までの期間において、第２可変コンデンサの容量値が初期値から単調減少するように、制御部３３は目標位置を演算してもよい。こうした整合の態様であれば、容量値の増加と容量値の減少とが繰り返される構成に比べて、第２可変コンデンサの整合ポイントへの到達が速くなる。
【００５０】
・プラズマ処理用整合器２０は、第１整合モード、および、第２整合モードの少なくとも１つを有していればよい。例えば、プラズマ処理用整合器２０は、第１整合モードのみを整合の方式として有する構成であってもよいし、第２整合モードのみを整合の方式として有する構成であってもよい。こうした構成であっても、上記（１）（２）（４）に準じた効果は得られる。
【００５１】
・プラズマ処理用整合器２０は、第１分配コンデンサ２５の容量値、第２分配コンデンサ２６の容量値、および、第２可変コンデンサ２８の容量値の各々を手動によって変更する構成であってもよい。
【００５２】
［プラズマ処理用整合器の可変コンデンサ］
・プラズマ処理用整合器２０は、２以上の第２可変コンデンサを有してもよく、この際に、２以上の第２可変コンデンサの各々が、入力端２３と並列回路ＰＣとの間に位置する相互に異なる接続端と、接地電位とを接続すればよい。
【００５３】
・図４が示すように、プラズマ処理用整合器２０は、第３出力端２１Ａを有し、第３出力端２１Ａと入力端２３とを接続する第１可変コンデンサとして第３分配コンデンサ２５Ａを有してもよい。すなわち、プラズマ処理用整合器２０の有する出力端は、３つ以上であってもよい。この際に、プラズマ処理用整合器２０は、出力端ごとに１つずつ出力端に接続する第１可変コンデンサであって、出力端と入力端とを接続する第１可変コンデンサと、第１可変コンデンサからなる並列回路ＰＣと入力端との間に位置する接続点と接地電位とを接続する第２可変コンデンサとを有する構成であればよい。
【００５４】
・なお、プラズマ処理用整合器２０の出力端が３つ以上であるとき、出力端の各々にプラズマを生成するための電極が接続してもよいし、３つ以上の出力端の少なくとも１つが接地電位に接続してもよい。
【００５５】
・図５が示すように、並列回路ＰＣは、第１分配コンデンサ２５の入力端と接地電位とを接続する第１シャントコンデンサ２５Ｓを有してもよい。また、並列回路ＰＣは、第２分配コンデンサ２６の入力端と接地電位とを接続する第２シャントコンデンサ２６Ｓを有してもよい。こうした構成であれば、上記（１）から（４）に準じた効果が得られ、かつ、インピーダンスの整合の精度も高められる。すなわち、並列回路ＰＣは、入力端２３に対して並列に接続する複数の第１可変コンデンサから構成される回路であって、入力端２３と１つの出力端との間を１つの第１可変コンデンサが接続する構成であればよい。
【００５６】
［プラズマ処理用整合器の出力端］
・プラズマ処理用整合器２０の出力端が３つ以上であるとき、２つの出力端が１つの電極に接続してもよく、３つ以上の出力端が、相互に異なる２つ以上の接続先に接続する構成であればよい。
【００５７】
・プラズマ処理用整合器２０の出力端の接続する先は、誘導コイルに限らず、容量電極であってもよいし、誘導コイルと容量電極との組み合わせであってもよい。すなわち、プラズマを生成するための電極は、プラズマをイグニッションするための誘導電極や容量電極であってもよいし、プラズマを維持するための誘導電極や容量電極であってもよいし、プラズマの状態を変更するための誘導電極や容量電極であってもよい。
【００５８】
・また、プラズマ処理用整合器２０の出力端の接続する先は、電極と接地電位との組み合わせであってもよく、この際に、１つの電極に接続する１つの出力端と、接地電位に接続する１以上の出力端との組み合わせであってもよい。
【００５９】
［他の変形例］
・入力部３１、インピーダンス測定部３２、および、制御部３３は、プラズマ処理用整合器２０以外に備えられてもよい。例えば、プラズマ処理装置は、排気部１２の駆動、ガス供給部１３の駆動、および、高周波電源３０の出力を制御する制御装置を備え、プラズマ処理装置の制御装置が、入力部３１、インピーダンス測定部３２、および、制御部３３を兼ねてもよい。要するに、プラズマ処理用整合器２０は、複数の第１可変コンデンサから構成される並列回路ＰＣ、第２可変コンデンサ２８、および、モーター駆動部３４を備える構成であればよい。
【符号の説明】
【００６０】
Ｍ１…第１分配用モーター、Ｍ２…第２分配用モーター、Ｍ３…第２可変用モーター、ＰＣ…並列回路、１０…プラズマ処理装置、１１…チャンバー、１２…排気部、１３…ガス供給部、１５…第１誘導コイル、１６…第２誘導コイル、２０…プラズマ処理用整合器、２１…第１出力端、２２…第２出力端、２３…入力端、２５…第１分配コンデンサ、２６…第２分配コンデンサ、２７…接続端、２８…第２可変コンデンサ、３０…高周波電源、３１…入力部、３２…インピーダンス測定部、３３…制御部、３４…駆動部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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