(57)【要約】【課題】ＩＣチップの特性を把握してより正確に不良品を判定できる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１００は、ＩＣチップ７１ａと、ＩＣチップ７１ａに接続されたループアンテナ７１ｂとを備えるＩＣチップユニット７１の検査を行う検査装置であって、複数の周波数の検査信号を生成する第１の周波数発振回路１１ａ、第２の周波数発振回路１１ｂ、第３の周波数発振回路１１ｃと、生成された検査信号の周波数を切り換える周波数切換回路１２と、周波数を切り換えられた検査信号を検査対象となるＩＣチップユニット７１に対して送信する送信部１０と、送信部１０から送信されてＩＣチップユニット７１を通過した検査信号を受信する受信部３０と、受信部３０が受信した複数の周波数の検査信号に基づいてＩＣチップユニット７１の良否を判定する判定部４３とを備える。【選択図】図２
2015176403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＩＣチップと、前記ＩＣチップに接続されたアンテナと、を備える非接触通信媒体の検査を行う検査装置であって、
複数の周波数の検査信号を生成する周波数生成部と、
前記周波数生成部が生成した前記検査信号の周波数を切り換える切換部と、
前記切換部が周波数を切り換えた前記検査信号を検査対象となる前記非接触通信媒体に対して送信する送信部と、
前記送信部から送信されて前記非接触通信媒体を通過した検査信号を受信する受信部と、
前記受信部が受信した複数の周波数の前記検査信号に基づいて前記非接触通信媒体の良否を判定する判定部と、
を備える検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置において、
前記判定部は、前記受信部が受信した前記検査信号についての、前記切換部が周波数を切り換えた前記検査信号毎に前記送信部により送信されたときの信号との変化に基づいて、前記非接触通信媒体の共振周波数を推定すること、
を特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の検査装置において、
前記判定部は、推定した共振周波数と、前記アンテナのインダクタンスとを用いて、前記非接触通信媒体の容量成分を求め、前記非接触通信媒体の不良を判定すること、
を特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＲＦＩＤインレットの製造に用いるＮＦＳの検査に適した検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＲＦＩＤ（radio frequency identification）タグやＲＦＩＤラベル等は、ＲＦＩＤインレットを有している。このＲＦＩＤインレットは、フィルム基材等の上にＩＣチップとアンテナとを配置して形成される。
また、ＲＦＩＤインレットに用いられるＩＣチップには、上述のＲＦＩＤインレットに用いるアンテナの他に、あらかじめループアンテナ等が接続されているものがある。
【０００３】
このようなアンテナ付きのＩＣチップであっても、ＲＦＩＤインレットの形態であっても、ＲＦＩＤタグとして使用するためには、ＩＣチップ及びアンテナが協働して正常に機能することが必要である。
【０００４】
特許文献１には、アンテナコイルから発信させた磁束により、ＲＦＩＤタグの制御回路を動作させて検査する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−７９６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１のようにＲＦＩＤタグの制御回路を動作させる手法では、ＩＣチップの特性が悪く、本来ならば不良品と判断できるようなレベルのものであっても、検査時に動作すれば正常と判断されてしまうおそれがあった。そのようなＩＣチップを正常品として処理してしまうと、その後に不良品となる可能性があるという問題があった。
【０００７】
また、特許文献１のようにＲＦＩＤタグの制御回路を動作させる手法では、実際に通信を行うので、所定の周波数を用いて検査を行う必要があった。したがって、実際に用いられるインレットの形態とした後にしか、検査が行えないという問題があった。
【０００８】
本発明の課題は、ＩＣチップの特性を把握してより正確に不良品を判定できる検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。
【００１０】
請求項１の発明は、ＩＣチップと、前記ＩＣチップに接続されたアンテナと、を備える非接触通信媒体の検査を行う検査装置であって、複数の周波数の検査信号を生成する周波数生成部と、前記周波数生成部が生成した前記検査信号の周波数を切り換える切換部と、前記切換部が周波数を切り換えた前記検査信号を検査対象となる前記非接触通信媒体に対して送信する送信部と、前記送信部から送信されて前記非接触通信媒体を通過した検査信号を受信する受信部と、前記受信部が受信した複数の周波数の前記検査信号に基づいて前記非接触通信媒体の良否を判定する判定部と、を備える検査装置である。
【００１１】
請求項２の発明は、請求項１に記載の検査装置において、前記判定部は、前記受信部が受信した前記検査信号についての、前記切換部が周波数を切り換えた前記検査信号毎に前記送信部により送信されたときの信号との変化に基づいて、前記非接触通信媒体の共振周波数を推定すること、を特徴とする検査装置である。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項２に記載の検査装置において、前記判定部は、推定した共振周波数と、前記アンテナのインダクタンスとを用いて、前記非接触通信媒体の容量成分を求め、前記非接触通信媒体の不良を判定すること、を特徴とする検査装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ＩＣチップの特性を把握してより正確に不良品を判定できる検査装置を提供することができる。
また、ＩＣチップの特性及びチップ取り付け状態による特性変化を判定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明による検査装置１００を含むＲＦＩＤインレット製造装置１の実施形態を示す図である。
【図２】検査装置１００のより詳しい構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面等を参照して説明する。
【００１６】
（実施形態）
図１は、本発明による検査装置１００を含むＲＦＩＤインレット製造装置１の実施形態を示す図である。
なお、図１を含め、以下に示す各図は、模式的に示した図であり、各部の大きさ、形状は、理解を容易にするために、適宜誇張して示している。
また、以下の説明では、具体的な数値、形状、材料等を示して説明を行うが、これらは、適宜変更することができる。
【００１７】
ＲＦＩＤインレット製造装置１は、検査装置１００と、分別部２と、転写機構５とを備えている。
ここで、本実施形態のＲＦＩＤインレット製造装置１が製造するＲＦＩＤインレット７０は、ＩＣチップユニット７１にダイポールアンテナ７２を接続して構成されている。また、ＩＣチップユニット７１は、ＩＣチップ７１ａに小型のループアンテナ７１ｂを接続した非接触通信媒体の形態として供給されるものとする。なお、ＩＣチップユニット７１は、ＮＦＳとも呼ばれている。
【００１８】
検査装置１００は、ダイポールアンテナ７２を接続する前の状態において、ＩＣチップユニット７１が正常品であるのか、不良品であるのかを検査する装置である。検査装置１００には、ＩＣチップユニット７１が正常品であるのか、不良品であるのかを判定する判定ユニット４０が設けられており、その判定結果が分別部２へ送られる。検査装置１００の詳細については、後述する。
【００１９】
分別部２は、検査装置１００の検査結果、すなわち、判定ユニット４０の判定結果にしたがって、検査済のＩＣチップユニット７１の中から、良品と不良品とを分別する。分別部２には、例えば、良品貼付部３と、不良品回収部４とにより構成することができる。良品貼付部３は、ＩＣチップユニット７１が仮着されているセパレータから、良品のみを剥離して下流の転写機構５へ仮着させる。一方、不良品回収部４は、セパレータに不良品として仮着されたまま残されているＩＣチップユニット７１をセパレータごと巻き取って回収する。
【００２０】
転写機構５は、良品貼付部３により良品であるＩＣチップユニット７１が仮着され、これをダイポールアンテナ７２が設けられたフィルム基材７３に転写（貼り付け直し）する機構である。
【００２１】
図２は、検査装置１００のより詳しい構成を示す図である。
検査装置１００は、送信部１０と、アンテナカプラ２０と、受信部３０と、判定ユニット４０と、ロータリエンコーダ５０と、搬送部６０とを備えている。
【００２２】
送信部１０は、第１の周波数発振回路１１ａと、第２の周波数発振回路１１ｂと、第３の周波数発振回路１１ｃと、周波数切換回路１２と、減衰回路１３と、アンプ回路１４と、アンテナトリマ回路１５とを備えている。
【００２３】
第１の周波数発振回路１１ａと第２の周波数発振回路１１ｂと第３の周波数発振回路１１ｃとは、それぞれ、異なる周波数の検査信号を生成する周波数生成部である。本実施形態では、第１の周波数発振回路１１ａは、８５０ＭＨｚの検査信号を生成し、第２の周波数発振回路１１ｂは、９２０ＭＨｚの検査信号を生成し、第３の周波数発振回路１１ｃは、９５０ＭＨｚの検査信号を生成する。
【００２４】
周波数切換回路１２は、第１の周波数発振回路１１ａと第２の周波数発振回路１１ｂと第３の周波数発振回路１１ｃとのそれぞれが発生する周波数の異なる３種類の検査信号を順次切り換えて、減衰回路１３へ送る。
【００２５】
減衰回路１３は、周波数切換回路１２から送られてきた３種類の検査信号それぞれに対して、信号レベルを低減させる。この信号レベルを低減させる程度（減衰量）は、切り換えられた周波数ごとに最適なように３種類に切り換えて行われる。減衰回路１３により３種類の検査信号のレベルが略同等に調整されて、検査信号がアンプ回路１４へ送られる。
【００２６】
アンプ回路１４は、減衰回路１３によりレベルが揃えられた検査信号を必要なレベルまで増幅し、アンテナトリマ回路１５へ伝える。
【００２７】
アンテナトリマ回路１５は、アンテナカプラ２０に設けられた送信側アンテナの容量を調整し、検査信号をアンテナカプラ２０へ伝える。
【００２８】
アンテナカプラ２０は、送信側アンテナ及び受信側アンテナを含んでいる。アンテナカプラ２０は、送信側アンテナ及び受信側アンテナのインピーダンスをＩＣチップユニット７１のループアンテナ７１ｂに整合させる。
【００２９】
受信部３０は、アンテナトリマ回路３１と、減衰回路３２と、検波回路３３と、Ａ／Ｄ変換部３４とを備えている。
【００３０】
アンテナトリマ回路３１は、アンテナカプラ２０に設けられた受信側アンテナの容量を調整し、アンテナカプラ２０の受信側アンテナが受信した受信信号を減衰回路３２へ伝える。
【００３１】
減衰回路３２は、アンテナトリマ回路３１から送られてきた３種類の受信信号それぞれに対して、信号レベルを低減させる。この信号レベルを低減させる程度（減衰量）は、切り換えられた周波数ごとに最適なように３種類に切り換えて行われる。減衰回路３２により、検波回路３３による検波が可能なレベルに、３種類の検査信号のレベルが略同等に調整されて、受信信号が検波回路３３へ送られる。
【００３２】
検波回路３３は、減衰回路３２から送られてきた受信信号から、必要な波形を取り出す。
【００３３】
Ａ／Ｄ変換部３４は、検波回路３３が取り出したアナログ波形をデジタルデータに変換して、判定ユニット４０のメモリ４２へ送る。
【００３４】
判定ユニット４０は、シーケンサ４１と、メモリ４２と、判定部４３と、記録部４４と、媒体送り制御部４５とを備えている。判定ユニット４０は、例えば、パーソナルコンピュータにより構成することができる。
【００３５】
シーケンサ４１は、後述のロータリエンコーダ５０から得たＩＣチップユニット７１の搬送位置と同期して、周波数切換回路１２と、減衰回路１３と、減衰回路３２と、メモリ４２との動作を同期させる。
【００３６】
メモリ４２は、Ａ／Ｄ変換部３４がデジタル化した波形データを一時記憶する。また、メモリ４２には、後述の閾値が格納されている。
【００３７】
判定部４３は、メモリ４２に一時記憶されている波形データに基づいて、検査されたＩＣチップユニット７１が良品であるか、不良品であるのかを、メモリ４２に格納されている閾値を用いて判定する。
具体的には、まず、メモリ４２に一時記憶されている３種類の波形データについて、その吸収率を求め、ＩＣチップユニット７１の共振周波数を推定する。
次に、推定された共振周波数とループアンテナ７１ｂが有するインダクタンスとから、ＩＣチップユニット７１の容量成分を算出する。
そして、ＩＣチップユニット７１の容量成分（キャパシタンス）と、インダクタンス成分（インピーダンスの虚数成分）とを求めることにより、ＩＣチップユニット７１の特性を知得する。
得られたＩＣチップユニット７１の特性が、閾値（規格値）を満足していない場合には、そのＩＣチップユニット７１は、不良品であると判定される。
【００３８】
記録部４４は、判定部４３の判定結果に関するログデータ（履歴情報）を記録する。
【００３９】
媒体送り制御部４５は、判定部４３の判定結果に応じて搬送部６０の搬送動作を制御する。
【００４０】
ロータリエンコーダ５０は、搬送部６０による搬送状況を検出する。ロータリエンコーダ５０の検出結果は、シーケンサ４１へ送られる。また、図示しないが、ロータリエンコーダ５０の検出結果は、媒体送り制御部４５にも伝えられる。
【００４１】
搬送部６０は、セパレータに仮着されたＩＣチップユニット７１を順次搬送する搬送ローラ等により構成されている。
【００４２】
以上説明したように、本実施形態によれば、検査装置１００は、ＩＣチップユニット７１の容量成分（キャパシタンス）と、インダクタンス成分（インピーダンスの虚数成分）とを求めることにより、ＩＣチップユニット７１の特性を得ているので、ＩＣチップの特性を把握してより正確に不良品を判定できる。また、検査装置１００は、複数の周波数を切り換えてＩＣチップユニット７１の検査を行うので、複数の周波数に対応可能なＲＦＩＤインレット７０を、効率よく検査することができる。
また、ＩＣチップのマウント方法により、容量成分、抵抗成分が変動し、特性に影響する事も懸念されているが、本実施形態の検査装置１００によれば、ＩＣチップの特性及びチップ取り付け状態による特性変化を判定できる。
【００４３】
（変形形態）
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の範囲内である。
【００４４】
実施形態において、検査装置１００は、ＲＦＩＤインレット７０の製造に用いられるＩＣチップユニット７１の検査を行うものである例を挙げて説明した。これに限らず、例えば、検査される非接触通信媒体がＲＦＩＤインレットであってもよい。
【００４５】
また、実施形態において、検査装置１００は、３つの周波数を用いて検査を行う例を挙げて説明した。これに限らず、例えば、検査に用いる周波数は３つより少なくてもよいし、３つよりも多くてもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１      ＲＦＩＤインレット製造装置
２      分別部
３      良品貼付部
４      不良品回収部
５      転写機構
１０    送信部
１１ａ  第１の周波数発振回路
１１ｂ  第２の周波数発振回路
１１ｃ  第３の周波数発振回路
１２    周波数切換回路
１３    減衰回路
１４    アンプ回路
１５    アンテナトリマ回路
２０    アンテナカプラ
３０    受信部
３１    アンテナトリマ回路
３２    減衰回路
３３    検波回路
３４    Ａ／Ｄ変換部
４０    判定ユニット
４１    シーケンサ
４２    メモリ
４３    判定部
４４    記録部
４５    媒体送り制御部
５０    ロータリエンコーダ
６０    搬送部
７０    ＲＦＩＤインレット
７１    ＩＣチップユニット
７１ａ  ＩＣチップ
７１ｂ  ループアンテナ
７２    ダイポールアンテナ
７３    フィルム基材
１００  検査装置
【図１】
2015176403.tif 000003
【図２】
2015176403.tif 000004