(57)【要約】【課題】レンズとなる液体樹脂内に異物が混入することを抑制するようにしたレンズアレイ製造装置を提供する。【解決手段】レンズアレイ製造装置の形成手段は、基板に隔壁を形成し、除去手段は、前記隔壁間における異物を除去し、吐出塗布手段は、前記除去手段によって異物が除去された後に、前記隔壁間にレンズとなる液体樹脂を吐出又は塗布する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に隔壁を形成する形成手段と、
前記隔壁間における異物を除去する除去手段と、
前記除去手段によって異物が除去された後に、前記隔壁間にレンズとなる液体樹脂を吐出又は塗布する吐出塗布手段
を具備することを特徴とするレンズアレイ製造装置。
【請求項２】
前記除去手段、前記形成手段、前記吐出塗布手段の順番に並べて配置した
ことを特徴とする請求項１に記載のレンズアレイ製造装置。
【請求項３】
前記除去手段は、風によって異物を除去し、
前記吐出塗布手段を前記除去手段による風から防ぐ防風手段
をさらに具備することを特徴とする請求項１又は２に記載のレンズアレイ製造装置。
【請求項４】
前記防風手段は、前記形成手段と前記吐出塗布手段の間に配置した
ことを特徴とする請求項３に記載のレンズアレイ製造装置。
【請求項５】
前記形成手段、前記除去手段、前記吐出塗布手段の順番に並べて配置した
ことを特徴とする請求項１に記載のレンズアレイ製造装置。
【請求項６】
前記除去手段は、風によって異物を除去し、
前記除去手段と前記吐出塗布手段の間に配置されており、該吐出塗布手段を該除去手段による風から防ぐ防風手段
をさらに具備することを特徴とする請求項５に記載のレンズアレイ製造装置。
【請求項７】
前記防風手段は、平面形状の壁又は前記吐出塗布手段を囲む形状の壁である
ことを特徴とする請求項３、４、６に記載のレンズアレイ製造装置。
【請求項８】
前記形成手段によって隔壁を形成する溝における異物を除去する第２の除去手段
をさらに具備することを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置。
【請求項９】
複数の前記形成手段、前記除去手段、前記吐出塗布手段を有する
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置。
【請求項１０】
前記除去手段は、風を吹き付ける又は風を吸引することによって、異物を除去する
ことを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置。
【請求項１１】
前記基板と前記防風手段との間の距離は、前記隔壁の高さ以上であって、レンズ高さ以下である
ことを特徴とする請求項３、４、６、７、これらの請求項に従属する請求項８から１０のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置。
【請求項１２】
基板に隔壁を形成する形成ステップと、
前記隔壁間における異物を除去する除去ステップと、
前記除去ステップによって異物が除去された後に、前記隔壁間にレンズとなる液体樹脂を吐出又は塗布する吐出塗布ステップ
を具備することを特徴とするレンズアレイ製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズアレイ製造装置及びレンズアレイ製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、予め定めた方向に異方性を有するレンズを製造することができる、レンズ製造装置を提供することを課題とし、加工対象物の表面に切り込みを入れて凹凸部を形成する凹凸形成手段と、加工対象物の表面上にレンズ用樹脂を供給する樹脂供給手段と、供給されたレンズ用樹脂を硬化させる樹脂硬化手段と、凹凸形成手段、樹脂供給手段及び樹脂硬化手段の各々を加工対象物に対して相対移動する移動手段と、予め定めた方向に延びる凹凸部を形成し、隣接する凹凸部間にレンズ用樹脂を供給し、供給されたレンズ用樹脂を硬化させるように、凹凸形成手段、樹脂供給手段、樹脂硬化手段及び移動手段を駆動制御する制御手段と、を有することが開示されている。
【０００３】
特許文献２には、異物による半田付け不良をなくすことを課題とし、チップ部品や抵抗部品がセットされる基板を搬送する搬送コンベヤと、自動半田付け装置と、搬送コンベヤの搬出端と自動半田付け装置の開口部との間に設けられたサブコンベヤとを備え、サブコンベヤの下方にエア吹出孔を有するエアノズルを配置し、エアノズルのエア吹出孔は基板のパターン面に指向していることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１２５０４４号公報
【特許文献２】特開平０５−３０８１８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、レンズとなる液体樹脂内に異物が混入することを抑制するようにしたレンズアレイ製造装置及びレンズアレイ製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる目的を達成するための本発明の要旨とするところは、次の各項の発明に存する。
請求項１の発明は、基板に隔壁を形成する形成手段と、前記隔壁間における異物を除去する除去手段と、前記除去手段によって異物が除去された後に、前記隔壁間にレンズとなる液体樹脂を吐出又は塗布する吐出塗布手段を具備することを特徴とするレンズアレイ製造装置である。
【０００７】
請求項２の発明は、前記除去手段、前記形成手段、前記吐出塗布手段の順番に並べて配置したことを特徴とする請求項１に記載のレンズアレイ製造装置である。
【０００８】
請求項３の発明は、前記除去手段は、風によって異物を除去し、前記吐出塗布手段を前記除去手段による風から防ぐ防風手段をさらに具備することを特徴とする請求項１又は２に記載のレンズアレイ製造装置である。
【０００９】
請求項４の発明は、前記防風手段は、前記形成手段と前記吐出塗布手段の間に配置したことを特徴とする請求項３に記載のレンズアレイ製造装置である。
【００１０】
請求項５の発明は、前記形成手段、前記除去手段、前記吐出塗布手段の順番に並べて配置したことを特徴とする請求項１に記載のレンズアレイ製造装置である。
【００１１】
請求項６の発明は、前記除去手段は、風によって異物を除去し、前記除去手段と前記吐出塗布手段の間に配置されており、該吐出塗布手段を該除去手段による風から防ぐ防風手段をさらに具備することを特徴とする請求項５に記載のレンズアレイ製造装置である。
【００１２】
請求項７の発明は、前記防風手段は、平面形状の壁又は前記吐出塗布手段を囲む形状の壁であることを特徴とする請求項３、４、６に記載のレンズアレイ製造装置である。
【００１３】
請求項８の発明は、前記形成手段によって隔壁を形成する溝における異物を除去する第２の除去手段をさらに具備することを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置である。
【００１４】
請求項９の発明は、複数の前記形成手段、前記除去手段、前記吐出塗布手段を有することを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置である。
【００１５】
請求項１０の発明は、前記除去手段は、風を吹き付ける又は風を吸引することによって、異物を除去することを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置である。
【００１６】
請求項１１の発明は、前記基板と前記防風手段との間の距離は、前記隔壁の高さ以上であって、レンズ高さ以下であることを特徴とする請求項３、４、６、７、これらの請求項に従属する請求項８から１０のいずれか一項に記載のレンズアレイ製造装置である。
【００１７】
請求項１２の発明は、基板に隔壁を形成する形成ステップと、前記隔壁間における異物を除去する除去ステップと、前記除去ステップによって異物が除去された後に、前記隔壁間にレンズとなる液体樹脂を吐出又は塗布する吐出塗布ステップを具備することを特徴とするレンズアレイ製造方法である。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１のレンズアレイ製造装置によれば、レンズとなる液体樹脂内に異物が混入することを抑制することができる。
【００１９】
請求項２のレンズアレイ製造装置によれば、異物を除去した後に隔壁を形成することができる。
【００２０】
請求項３のレンズアレイ製造装置によれば、吐出塗布手段を除去手段による風から防ぐことができる。
【００２１】
請求項４のレンズアレイ製造装置によれば、吐出塗布手段を除去手段による風から防ぐことができる。
【００２２】
請求項５のレンズアレイ製造装置によれば、隔壁を形成した後に異物を除去することができる。
【００２３】
請求項６のレンズアレイ製造装置によれば、異物を除去した後に液体樹脂を吐出又は塗布することができる。
【００２４】
請求項７のレンズアレイ製造装置によれば、吐出塗布手段を除去手段による風から防ぐことができる。
【００２５】
請求項８のレンズアレイ製造装置によれば、隔壁を形成する溝における異物を除去することができる。
【００２６】
請求項９のレンズアレイ製造装置によれば、複数のレンズを生成することができる。
【００２７】
請求項１０のレンズアレイ製造装置によれば、風を吹き付ける又は風を吸引することによって、異物を除去することができる。
【００２８】
請求項１１のレンズアレイ製造装置によれば、防風手段によって隔壁を破壊せずに、吐出塗布手段を除去手段による風から防ぐことができる。
【００２９】
請求項１２のレンズアレイ製造方法によれば、レンズとなる液体樹脂内に異物が混入することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】第１の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。
【図２】第２の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。
【図３】基板と風バリアとの間の距離を決定するためのレンズの例を示す説明図である。
【図４】第３の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。
【図５】第４の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。
【図６】第５の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。
【図７】第６の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。
【図８】第７の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。
【図９】第８の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。
【図１０】隔壁を形成して、レンズアレイを製造する方法の例を示す説明図である。
【図１１】曲率制御の例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
まず、本実施の形態を説明する前に、その前提となる技術について説明する。なお、この説明は、本実施の形態の理解を容易にすることを目的とするものである。
レンズアレイとは、正立像あるいは倒立像を形成する要素レンズ（レンズエレメント）を複数並列的に配列し、像を重ね合わせて全体で１個の連続像を形成する光学系であり、半円柱のレンズを並べたレンチキュラーレンズ、シリンドリカルレンズ等を含む。例えば、３次元画像（３Ｄともいう）を表現すること、視線を換えることによって複数の画像を表示すること（チェンジングともいう）ができる。
レンズアレイの作製方法として、隔壁ピン止め方法がある。図１０、図１１の例を用いて、隔壁ピン止め方法、そして、その隔壁ピン止め方法によるレンズ幅、曲率制御について説明する。
図１０は、隔壁を形成して、レンズアレイを製造する方法（隔壁ピン止め方法の原理）の一例を示す説明図である。ここでは、説明を簡単にするために、基板１００（例えば、樹脂基板）に対して１つの刃１１０で隔壁を形成し、１つの樹脂滴下装置１４４０で樹脂を滴下している。
図１０（ａ１）に例示するように、基板１００に対して刃１１０で切削させる走査を行って溝１０３２を形成し（基板１００に溝１０３２の切り込みを入れ）、溝１０３２の両端に隔壁１０３２ａ、隔壁１０３２ｂを形成する。図１０（ａ２）の例は、刃１１０が基板１００に切り込みを入れた場面の断面を示したものである。
次に、図１０（ｂ）に例示するように、刃１１０をピッチ１４３０の距離だけ移動させ、切り込みを入れ（溝１０３４、溝１０３６）、隔壁１０３４ａ、１０３４ｂ、１０３６ａ、１０３６ｂ等を形成する。ピッチ１４３０は、隔壁間の距離であり、レンズ幅となる。つまり、ピッチ１４３０を制御することによって、レンズ幅を制御する。
図１０（ｃ）に例示するように、隔壁間（例えば、隔壁１０３２ｂと隔壁１０３４ａの間）に、樹脂滴下装置１４４０によってＵＶ硬化樹脂１０６２等を吐出（Ｅｊｅｃｔｉｏｎ）する。樹脂の吐出量により曲率制御をする。液状の樹脂として、例えば、ＵＶ（ＵｌｔｒａＶｉｏｌｅｔ  ｒａｄｉａｔｉｏｎ）硬化樹脂であるＮＯＡ６５（Ｎｏｒｌａｎｄ  Ｐｒｏｄｕｃｔｓ社製）等がある。なお、ＵＶ硬化樹脂とは、紫外線の光エネルギーに反応して液体から固体に化学的に変化する合成樹脂である。また、熱溶融させた高分子（熱可塑性樹脂）であってもよい。
図１０（ｄ）に例示するように、図１０（ｃ）の例のように吐出又は塗布された液状の樹脂を硬化させることによってレンズを形成する。具体的には、ＵＶ硬化樹脂であれば、ＵＶ光源１１９０のＵＶ光照射により硬化させる。熱溶融させた熱可塑性樹脂を用いる場合は、冷却することにより硬化させる。もちろんのことながら、液状の樹脂は硬化させた状態で透明である。
図１１は、曲率制御（屈曲面によるピン止め効果）の例を示す説明図である。図１１（ａ）の例に示すように、板状の平らな表面（基板１００）にある液体（ＵＶ硬化樹脂１０６２等）の液体界面の接触角をθとする。図１１（ｂ）の例に示すように、板状の角（平面となす角の角度α）に液体がある場合は、ピッチ制御によって「接触角＞θ＋α」を満たすまで移動できない。したがって、基板１００の隔壁頂点部の役割として、接触角はθからθ＋αまでの任意の角度をとれることとなり、液滴の量により曲率制御を行うことができる（例えば、「Ｊ．Ｆ．Ｏｌｉｖｅｒ  ｅｔ  ａｌ，  Ｊ．Ｃｏｌｌｏｉｄｓ  ａｎｄ  ｉｎｔｅｒｆａｃｅ  Ｓｃｉ，５９，５６８（１９７７）」を参照）。
つまり、この隔壁ピン止め方法は、基板を鋭利な刃で引っ掻くことで隔壁を形成し、その隔壁のピン止め効果により流動性樹脂の流動を抑制する。したがって、所望のレンズピッチで隔壁を形成することで、レンズピッチを規定できる。さらに、その隔壁間に流動性樹脂を吐出することで所望の形状のレンズを形成できる。レンズの曲率（焦点距離）は吐出する流動性樹脂の体積で制御する。
【００３２】
しかしながら、このレンズ作製方法は、流動性樹脂の表面張力を利用していることから、基板面に吸着した異物（以下、ダストという）があると、レンズ形状の歪みや散乱が生じて、光学特性が劣化してしまう。また、ダストの大きさや基板面の位置によっては、流動性樹脂が隔壁を乗り越えて、ピン止め効果を阻害する可能性もある。このようなダストは、空気中の浮遊物であったり、基板やレンズアレイ製造装置から発生する可能性もある。いずれにせよ、作製するレンズアレイの信頼性を高めるには、基板へのダストの付着を避けることが望ましい。
【００３３】
以下、図面に基づき本発明を実現するにあたっての好適な各種の実施の形態の例を説明する。
以下に説明する実施の形態では、基板１００に隔壁を形成する刃１１０と、液体樹脂を吐出する樹脂吐出ノズル１３０と、ダストを除去するエアブロー１２０とを近接配置（一体化）させる。前述の隔壁ピン止め方法では、基板１００全面に隔壁を形成した後に、液体樹脂を吐出することを行っていたが、刃１１０と樹脂吐出ノズル１３０とエアブロー１２０を一体化させることによって、隔壁を形成しながら液体樹脂を吐出することを行う。
【００３４】
＜第１の実施の形態＞
第１の実施の形態のレンズアレイ製造装置は、図１の例に示すように、基板に隔壁を形成する形成部の一例である刃１１０と、その形成部によって形成された隔壁間における異物を除去する除去部の一例であるエアブロー１２０と、その除去部によって異物が除去された後に、隔壁間にレンズとなる液体樹脂を吐出又は塗布する吐出塗布部の一例である樹脂吐出ノズル１３０を具備している。また、刃１１０によって、基板１００に隔壁を形成する形成ステップが行われ、エアブロー１２０によって、隔壁間における異物を除去する除去ステップが行われ、樹脂吐出ノズル１３０によって、前記除去ステップによって異物が除去された後に、前記隔壁間にレンズとなる液体樹脂を吐出又は塗布する吐出塗布ステップが行われる。
【００３５】
刃１１０、樹脂吐出ノズル１３０は、前述した隔壁ピン止め方法におけるものと同等の処理を行う。
エアブロー１２０は、風を吹き付けるブローによりダストを基板１００（特に、レンズを形成する場所である隔壁間）から除去する。さらに、ブローで飛散したダストを集塵（付着や吸引など）する装置を付加してもよい。
図１は、第１の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。図１（ａ）の例は、基板１００、刃１１０、エアブロー１２０の位置関係を正面から見た図である。エアブロー１２０は、基板１００に形成された隔壁間にあるダストを吹き飛ばすように、刃１１０の隣（正面から見た場合の隣）に配置されている。
図１（ｂ）の例は、基板１００、樹脂吐出ノズル１３０、刃１１０、エアブロー１２０の位置関係を側面から見た図であり、移動方向１８０は基板１００を右から左に移動させるものとした場合である。したがって、隔壁は左から右方向に形成される。なお、基板１００を移動させるのではなく、一体となった樹脂吐出ノズル１３０、刃１１０、エアブロー１２０を移動方向１８０とは逆方向に移動させてもよいし、両者を互いに逆方向に移動させてもよい。つまり、エアブロー１２０によってダストを除去した後に、樹脂吐出ノズル１３０によってレンズを形成するのであれば、移動主体、移動方向は問わない。以下の実施の形態についても同様である。
側面から見た場合、エアブロー１２０、刃１１０、樹脂吐出ノズル１３０の順番に並べて配置している。樹脂吐出ノズル１３０が吐出又は塗布する液体樹脂に対する風の影響を低減させるために、エアブロー１２０（特に吹き出し口）と樹脂吐出ノズル１３０（特に樹脂出口）とが離れた状態になるように配置している。
さらに、エアブロー１２０の吹き出し方向を前方（吐出ノズルから離れる方向）に向けることが望ましい。
【００３６】
＜第２の実施の形態＞
図２は、第２の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。なお、第１の実施の形態と同種の部位には同一符号を付し重複した説明を省略する（以下、同様）。
図２（ａ）の例は、基板１００、刃１１０、エアブロー１２０、風バリア２４０の位置関係を正面から見た図である。図２（ｂ）の例は、基板１００、樹脂吐出ノズル１３０、風バリア２４０、刃１１０、エアブロー１２０の位置関係を側面から見た図である。側面から見た場合、エアブロー１２０、刃１１０、風バリア２４０、樹脂吐出ノズル１３０の順番に並べて配置している。つまり、風バリア２４０は、刃１１０と樹脂吐出ノズル１３０の間に配置されている。風バリア２４０は、樹脂吐出ノズル１３０をエアブロー１２０による風から防ぐ。つまり、エアブロー１２０による風により、樹脂吐出ノズル１３０から吐出又は塗布される液体樹脂の位置が影響を受けないように、空気の流れを遮断する風バリア２４０を具備したものである。
【００３７】
ここでの風バリア２４０は、平面形状の壁である。
基板１００と風バリア２４０との間の距離は、隔壁の高さ以上であって、レンズ高さ以下であることが望ましい。図２（ａ）の例に示す、隔壁の頂点から風バリア２４０の下辺までのギャップ２９０について説明する。図３は、基板１００と風バリア２４０との間の距離を決定するためのレンズの例を示す説明図である。刃１１０によって溝３４０、溝３４２が形成され、その両側にそれぞれ隔壁３４０ａと隔壁３４０ｂ、隔壁３４２ａと隔壁３４２ｂが形成される。そして、隔壁３４０ｂと隔壁３４２ａとの間に液体樹脂を吐出又は塗布してレンズ３００を形成する。サグ３１０は、基板１００からレンズ３００の頂点までの距離を示している。レンズサイズ３２０は、隔壁３４０ｂ（隔壁３４２ｂ）の頂点からレンズ３００の頂点までの距離である。ギャップ２９０は、レンズサイズ３２０以下が望ましい。
また、風バリア２４０の幅（図２（ａ）における幅）は、溝間隔以下の長さであることが望ましい。基板１００と風バリア２４０との間の距離をレンズ高さ以下とした場合、溝間隔よりも長いと隣接するレンズを破壊してしまう可能性があるからである。
【００３８】
＜第３の実施の形態＞
図４は、第３の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。図４に示す例は、図１に示す例における刃１１０とエアブロー１２０の前後の位置関係を逆にしたものである。
図４（ａ）の例は、基板１００、刃１１０、エアブロー１２０の位置関係を正面から見た図である。
図４（ｂ）の例は、基板１００、樹脂吐出ノズル１３０、エアブロー１２０、刃１１０の位置関係を側面から見た図であり、移動方向１８０は基板１００を右から左に移動させるものとした場合である。側面から見た場合、刃１１０、エアブロー１２０、樹脂吐出ノズル１３０の順番に並べて配置している。刃１１０によって発生するダストを除去するために、刃１１０の後ろにエアブロー１２０を配置している。
【００３９】
＜第４の実施の形態＞
図５は、第４の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。図５に示す例は、図２に示す例における刃１１０とエアブロー１２０の前後の位置関係を逆にしたものである。また、図４に示す例における樹脂吐出ノズル１３０とエアブロー１２０の間に風バリア２４０を配置したものである。
図５（ａ）の例は、基板１００、刃１１０、エアブロー１２０、風バリア２４０の位置関係を正面から見た図である。図５（ｂ）の例は、基板１００、樹脂吐出ノズル１３０、風バリア２４０、エアブロー１２０、刃１１０の位置関係を側面から見た図である。側面から見た場合、刃１１０、エアブロー１２０、風バリア２４０、樹脂吐出ノズル１３０の順番に並べて配置している。つまり、風バリア２４０は、エアブロー１２０と樹脂吐出ノズル１３０の間に配置されている。風バリア２４０は、樹脂吐出ノズル１３０をエアブロー１２０による風から防ぐ。つまり、エアブロー１２０による風により、樹脂吐出ノズル１３０から吐出又は塗布される液体樹脂の位置が影響を受けないように、空気の流れを遮断する風バリア２４０を具備したものである。
【００４０】
＜第５の実施の形態＞
図６は、第５の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。図６に示す例は、図５に示す例における風バリア２４０を風バリア６４０にしたものである。風バリア６４０は、樹脂吐出ノズル１３０を囲む形状の壁である。この形状として、例えば、矩形形状、矩形の１辺が欠けた形状（コの字形状）、筒形状、図６（ｃ）の例に示すような円弧形状等がある。平面形状よりも風の影響を低減させるものである。
図６（ａ）の例は、基板１００、刃１１０、エアブロー１２０、風バリア６４０の位置関係を正面から見た図である。図６（ｂ）の例は、基板１００、樹脂吐出ノズル１３０、風バリア６４０、エアブロー１２０、刃１１０の位置関係を側面から見た図である。側面から見た場合、刃１１０、エアブロー１２０、風バリア６４０、樹脂吐出ノズル１３０の順番に並べて配置している。つまり、風バリア６４０は、エアブロー１２０と樹脂吐出ノズル１３０の間に配置されている。風バリア６４０は、樹脂吐出ノズル１３０をエアブロー１２０による風から防ぐ。つまり、エアブロー１２０による風により、樹脂吐出ノズル１３０から吐出又は塗布される液体樹脂の位置が影響を受けないように、空気の流れを遮断する風バリア６４０を具備したものである。図６（ｃ）の例は、樹脂吐出ノズル１３０、風バリア６４０、エアブロー１２０、刃１１０の位置関係を上面から見た図である。風バリア６４０は、樹脂吐出ノズル１３０を囲むような形状であり、少なくともエアブロー１２０との間に壁を形成している。なお、エアブロー１２０は、主に隔壁間のダストを除去するために、刃１１０より上方向に配置されており、樹脂吐出ノズル１３０とエアブロー１２０は互いに隔壁間の上にあるため、直線状に配置されている。
また、もちろんのことながら、図３に示す例における風バリア２４０を風バリア６４０にしてもよい。
【００４１】
＜第６の実施の形態＞
図７は、第６の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。図７に示す例は、図６に示す例にエアブロー７２０を付加したものである。つまり、エアブロー７２０は、刃１１０によって隔壁を形成する溝における異物を除去する。隔壁間だけでなく、溝における異物についても除去対象としたものである。また、刃１１０の後ではなく、刃１１０の前にエアブロー７２０を配置してもよいし、刃１１０の前と後の両方にエアブロー７２０を２つ配置するようにしてもよい。
また、もちろんのことながら、図１から図５に示す例において、刃１１０の後、前、前と後の両方のいずれかにエアブロー７２０を配置するようにしてもよい。
【００４２】
＜第７の実施の形態＞
図８は、第７の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。図８に示す例は、図２、図５に示す例を複数（マルチヘッド、アレイ）化したものである。つまり、それぞれ複数の刃１１０（図８の例では刃８１０ａ等）、エアブロー１２０（図８の例ではエアブローノズル８２０ａ等）、樹脂吐出ノズル１３０があり、１つの風バリア８４０がある。
なお、第７の実施の形態における風バリア８４０の幅は、前述のシングルヘッドの場合と同様に、風バリア８４０の幅Ｂは１スキャンで作製可能なレンズ幅以下（Ｂ≦ＮΛ）にする。
風バリア８４０の幅Ｂは、マルチヘッドの両端の溝間隔（図８の例では、刃８１０ａと刃８１０ｄによって生成される溝間隔）と同じであることが望ましい（Ｂ＝ＮΛ）。これより大きいと、既に作成された隣接するレンズに接触してしまうからである。なお、前述の式において、溝の周期はΛであり、樹脂ノズル数はＮであり、風バリアの幅はＢである。
もちろんのことながら、図１、図４に示す例を複数化してもよい。また、図６、図７に示す例を複数化してもよい。この場合、風バリア６４０も複数化する。
【００４３】
＜第８の実施の形態＞
図９は、第８の実施の形態における各構成の配置例を示す説明図である。第８の実施の形態は、図５の例に示す第４の実施の形態のエアブロー１２０を吸引ノズル９２０にしたものである。他の実施の形態（第１〜３の実施の形態、第５〜７の実施の形態）におけるエアブロー１２０を吸引ノズル９２０にしてもよい。吸引ノズル９２０は、風を吸引することによって、基板１００（特に隔壁間）からダストを除去する。エアブロー１２０に比べてダストの飛散を低減できるため、集塵しやすい。
なお、ダストを除去する方法として、（Ａ）エアブロー１２０によるブロー、（Ｂ）吸引ノズル９２０による吸引以外に、以下の方法を採用してもよい。
（Ｃ）ブラシや粘着シート等を用いた付着除去を用いてもよい。エアブロー１２０によるブロー、吸引ノズル９２０による吸引では除去できない付着力の強いダストを除去する。例えば、ローラー状の粘着テープを用いる。また、粘着シート等は、エアブロー１２０によるブローにより飛散したダストの回収（集塵）にも利用可能である。
（Ｄ）静電除去（イオナイザー）を用いてもよい。ダストと基板１００との静電的な付着力を低減する。エアブロー１２０によるブロー、吸引ノズル９２０による吸引と併用して、ダストを除去しやすくする。
また、（Ａ）と（Ｃ）の組み合わせ、（Ａ）と（Ｄ）の組み合わせ、（Ａ）と（Ｃ）と（Ｄ）の組み合わせ、（Ｂ）と（Ｃ）の組み合わせ、（Ｂ）と（Ｄ）の組み合わせ、（Ｂ）と（Ｃ）と（Ｄ）の組み合わせ、（Ｃ）と（Ｄ）の組み合わせとしてもよい。
【００４４】
なお、前述の実施の形態では、樹脂吐出ノズル１３０、刃１１０、エアブロー１２０（吸引ノズル９２０）、又は風バリア２４０を近接配置する例を示したが、さらに、露光装置であるＵＶ光源１１９０を含めて近接配置するようにしてもよい。
【００４５】
上述した実施の形態は、本発明の実施の形態の一部である。ただし、これに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１００…基板
１１０…刃
１２０…エアブロー
１３０…樹脂吐出ノズル
１８０…移動方向
２４０…風バリア
２９０…ギャップ
３００…レンズ
３１０…サグ
３２０…レンズサイズ
３４０…溝
３４０ａ…隔壁
３４０ｂ…隔壁
６４０…風バリア
７２０…エアブロー
８１０…刃
８２０…エアブローノズル
８４０…風バリア
９２０…吸引ノズル
１１９０…ＵＶ光源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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