(57)【要約】【課題】シンセティックジェットアクチュエータの動作状態を監視する。【解決手段】振動流体駆動器は、アクチュエータ要素を有する筐体を含み、アクチュエータ要素は、筐体内のチャンバの容積が増減して、流体をチャンバに取り込み、チャンバから外に排出するように、アクチュエータ要素に印加される波形電圧に応じて振動する。制御システムは、アクチュエータ要素の動作を能動的に制御し、アクチュエータ要素に提供される電圧を生じさせるべく、アクチュエータ要素に動作可能に接続される。制御システムは、提供される目標電圧および周波数に応じて生成される、振動流体駆動器の動作パラメータの基準値を設定し、目標電圧および周波数での動作中に振動流体駆動器の動作を監視し、基準値からの動作パラメータの逸脱を特定し、動作パラメータの任意の逸脱に基づいて、アクチュエータ要素に提供される電圧および周波数を修正するようにプログラミングされる。【選択図】図１
2015221430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動流体駆動器（１２）であって、
チャンバ（２０）を画定し、前記チャンバ（２０）に形成された少なく１つのオリフィス（３０）を有する筐体（１６）と、
前記筐体（１６）に配置された少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）であり、前記チャンバ（２０）の容積が増減して、流体を前記チャンバ（２０）に取り込み、流体のジェットを前記少なくとも１つのオリフィス（３０）から外に排出するように、前記アクチュエータ要素（３４、３６）に印加される波形電圧の形状に応じて時間調和的態様で動く少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）と、
前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）の前記時間調和的動作を能動的に制御するために前記アクチュエータ要素（３４、３６）に提供される波形電圧の前記形状を生じさせるべく、前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）に動作可能に接続された制御システム（４２）と、を備え、前記制御システム（４２）が、
前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）に提供される目標電圧および周波数に応じて生成される、前記振動流体駆動器（１２）の動作パラメータの基準値を設定し、
前記目標電圧および周波数での前記振動流体駆動器（１２）の連続動作中に前記振動流体駆動器（１２）の動作を監視し、
前記目標電圧および周波数での前記振動流体駆動器（１２）の前記連続動作中に前記基準値からの前記動作パラメータの逸脱を特定し、
前記基準値からの前記動作パラメータの前記特定された逸脱に基づいて、前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）に提供される前記電圧および周波数を修正する、
ようにプログラミングされる、振動流体駆動器（１２）。
【請求項２】
前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）に提供される前記目標電圧および周波数に応じて生成される、前記振動流体駆動器（１２）の前記動作パラメータを測定し、
前記振動流体駆動器（１２）の前記監視を提供するために、前記動作パラメータの測定値に関するフィードバックを前記制御システム（４２）に提供する、
ように構成された検知回路（６４）を更に備える、請求項１に記載の振動流体駆動器（１２）。
【請求項３】
前記動作パラメータが、前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）の振動により生成される電流を含む、請求項２に記載の振動流体駆動器（１２）。
【請求項４】
前記基準値からの前記動作パラメータの前記逸脱を特定する際に、前記制御システム（４２）が、
前記検知回路（６４）により測定された電流の値を決定し、
前記検知回路（６４）により測定された前記電流の前記値を電流閾値と比較し、
前記測定された電流と前記電流閾値の前記比較に基づいて、前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）に提供される前記電圧および周波数を修正する、
ように更にプログラミングされる、請求項３に記載の振動流体駆動器（１２）。
【請求項５】
前記制御システム（４２）が、前記測定された電流が前記電流閾値未満である場合に故障フラグを生成するように更にプログラミングされ、前記故障フラグが、前記振動流体駆動器（１２）の制御されたシャットダウンの開始を提供する、請求項４に記載の振動流体駆動器（１２）。
【請求項６】
前記制御システム（４２）が、前記測定された電流が前記電流閾値を超える場合に前記振動流体駆動器（１２）のスロットルダウン動作モードを開始するように更にプログラミングされ、前記スロットルダウン動作モードが、前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）に提供される前記電圧の値を変更する、請求項４に記載の振動流体駆動器（１２）。
【請求項７】
前記制御システム（４２）が、許容可能な最大電力および差動電圧レベルにより規定される動作ボックス（９２）内で前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）を動作させるために、前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）に提供される前記電圧の前記値を変更するように更にプログラミングされる、請求項６に記載の振動流体駆動器（１２）。
【請求項８】
前記制御システム（４２）が、前記振動流体駆動器（１２）の寿命の初期における前記振動流体駆動器（１２）の動作中に前記検知回路（６４）から受信された前記動作パラメータの測定値に基づいて、前記動作パラメータの前記基準値を設定するように更にプログラミングされる、請求項２に記載の振動流体駆動器（１２）。
【請求項９】
前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）に提供される前記電圧および周波数を修正する際に、前記制御システム（４２）が、前記振動流体駆動器（１２）により所望の流量および音響ノイズレベルを実現するために、前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）に提供するための最適電圧および周波数を特定するように更にプログラミングされる、請求項２に記載の振動流体駆動器（１２）。
【請求項１０】
前記最適電圧および周波数が、前記所望の流量のための供給データ組から選択される、請求項９に記載の振動流体駆動器（１２）。
【請求項１１】
前記供給データ組が流量曲線を含む、請求項１０に記載の振動流体駆動器（１２）。
【請求項１２】
前記動作パラメータが、前記振動流体駆動器（１２）により冷却される発熱構成要素（６２）の温度を含む、請求項１に記載の振動流体駆動器（１２）。
【請求項１３】
シンセティックジェットアクチュエータ（１２）を能動制御するための制御システム（４２）であって、前記制御システム（４２）がプロセッサ（５４）を備え、
前記プロセッサ（５４）が、シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の１つ以上の動作パラメータの測定値を含む初期フィードバックを検知回路（６４）から受信するようにプログラミングされ、前記１つ以上の動作パラメータの前記測定値が、目標電圧および周波数での前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の動作から生じ、前記初期フィードバックが、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の寿命の初期に受信され、
前記プロセッサ（５４）が、前記受信された初期フィードバックに基づいて前記１つ以上の動作パラメータのそれぞれの基準値を設定するようにプログラミングされ、
前記プロセッサ（５４）が、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の前記１つ以上の動作パラメータの測定値を含む追加フィードバックを前記検知回路（６４）から受信するようにプログラミングされ、前記１つ以上の動作パラメータに関する前記追加フィードバックが、前記目標電圧および周波数での前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の動作から生じ、
前記プロセッサ（５４）が、前記追加フィードバックの前記１つ以上の動作パラメータの前記測定値と、前記初期フィードバックの前記１つ以上の動作パラメータの前記測定値との比較に基づいて更新された電圧および周波数で、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）を動作させるようにプログラミングされる、制御システム（４２）。
【請求項１４】
前記プロセッサ（５４）が、前記基準値からの前記追加フィードバックによる前記１つ以上の動作パラメータの逸脱を特定するようにプログラミングされた状態で、前記追加フィードバックの前記１つ以上の動作パラメータの前記測定値と、前記初期フィードバックの前記１つ以上の動作パラメータの前記測定値との前記比較に基づいて、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の劣化した動作性能を特定するように更にプログラミングされる、請求項１３に記載の制御システム（４２）。
【請求項１５】
前記プロセッサ（５４）が、基準電流値からの前記電流の逸脱を特定するようにプログラミングされた状態で、前記１つ以上の動作パラメータが、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の振動により生成される電流を含み、
前記プロセッサ（５４）が、
前記追加フィードバックによる前記測定された電流を故障電流閾値と比較し、
前記測定された電流が前記故障電流閾値未満である場合に、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の制御されたシャットダウンを開始させ、
前記測定された電流が前記電流閾値を超える場合に、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）のスロットルダウン動作モードを開始させるように更にプログラミングされ、
前記スロットルダウン動作モードが、許容可能な最大電力および電圧レベルにより規定される動作ボックス（９２）内で前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）を動作させるために、前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）に提供される少なくとも１つの電圧または周波数を変更する、請求項１４に記載の制御システム（４２）。
【請求項１６】
更新された電圧および周波数で前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）を動作させる際に、前記プロセッサ（５４）が、所望の流量および音響ノイズレベルの少なくとも一方を前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）により実現するために、前記少なくとも１つのアクチュエータ要素（３４、３６）に提供するための最適電圧および周波数を特定するように更にプログラミングされる、請求項１３に記載の制御システム（４２）。
【請求項１７】
前記プロセッサ（５４）が、流量曲線上の点等、前記所望の流量の供給データ組から前記最適電圧および周波数を選択するように更にプログラミングされる、請求項１６に記載の制御システム（４２）。
【請求項１８】
前記少なくとも１つの動作パラメータが、前記振動流体駆動器（１２）により冷却される発熱構成要素（６２）の温度を含む、請求項１３に記載の制御システム（４２）。
【請求項１９】
シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の動作を制御するための方法であって、
シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の１つ以上の動作パラメータの測定値を含む初期フィードバックを検知回路（６４）から受信するステップであり、前記１つ以上の動作パラメータの前記測定値が、目標電圧および周波数での前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の動作から生じ、前記初期フィードバックが、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の寿命の初期に受信される、ステップと、
前記受信された初期フィードバックに基づいて前記１つ以上の動作パラメータのそれぞれの基準値を設定するステップと、
前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の前記１つ以上の動作パラメータの測定値を含む追加フィードバックを前記検知回路（６４）から受信するステップであり、前記１つ以上の動作パラメータに関する前記追加フィードバックが、前記目標電圧および周波数での前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の動作から生じる、ステップと、
前記追加フィードバックの前記１つ以上の動作パラメータの前記測定値と、前記初期フィードバックの前記１つ以上の動作パラメータの前記測定値との比較に基づいて、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）を動作させるための動作ボックス（９２）を設定するステップであり、前記動作ボックス（９２）が、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）を動作させるための許容可能な最大電力および電圧レベルにより規定される、ステップと、
前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）を動作させるための、前記動作ボックス（９２）内に属する最適電圧および周波数を決定するステップと、
を含む方法。
【請求項２０】
前記１つ以上の動作パラメータが、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の電流を含み、前記方法が、
前記追加フィードバックによる測定された電流が基準電流値に等しい場合に、同じ目標電圧および周波数で前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）を動作させるステップと、
前記追加フィードバックによる前記測定された電流が前記基準電流値から逸脱する場合に、修正された電圧および周波数で前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）を動作させるステップと、を更に含み、
修正された電圧および周波数で前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）を動作させるステップが、
前記追加フィードバックによる前記測定された電流を故障電流閾値と比較するステップと、
前記測定された電流が前記故障電流閾値未満である場合に、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）の制御されたシャットダウンを開始させるステップと、
前記測定された電流が前記電流閾値を超える場合に、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）のスロットルダウン動作モードを開始させるステップであり、前記スロットルダウン動作モードが、前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）を前記動作ボックス（９２）内で動作させるために前記電圧を変更する、ステップと、
を更に含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記シンセティックジェットアクチュエータ（１２）を動作させるための最適電圧および周波数を決定するステップが、流量曲線上の点等、所望の流量の供給データ組から最適電圧および周波数を選択することを含む、請求項１９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、概してシンセティックジェットアクチュエータに関し、より具体的に、音響動作ノイズ、効率、動作温度およびアクチュエータの寿命の最大化に関する最適動作点でシンセティックジェットアクチュエータを動作せるために、シンセティックジェットアクチュエータの動作を制御するためのシステムおよび方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シンセティックジェットアクチュエータは、流体のシンセティックジェットを生成して、表面上のその流体の流れに影響を及ぼす、広く使用される技術である。典型的なシンセティックジェットアクチュエータは、内部チャンバを画定する筐体を備える。筐体の壁には、オリフィスが存在する。アクチュエータは、一連の流体渦が生成されて筐体のオリフィスから外部環境に突出されるように、内部チャンバ内の容積を周期的に変化させるための機構を筐体の内部または周囲に更に含む。容積変化機構の一例は、圧電アクチュエータまたは他の適当な手段により作動される状態で筐体の壁を形成する可撓性隔膜である。デュアルクールジェット（ＤＣＪ）構成において、２つの圧電アクチュエータ（または他の適したアクチュエータ）は、筐体の内部チャンバ内の容積を変化させるために、筐体の対向する可撓性隔膜壁の撓みを生じさせる。
【０００３】
典型的に、容積変化機構の時間調和的動作を形成するために制御システムが使用される。機構がチャンバ容積を減少させるときに、チャンバからオリフィスを通じて流体が排出される。流体がオリフィスを通過するときに、オリフィスの鋭い縁が流れを分離させて、渦に巻き込む渦層を形成する。これらの渦は、それら自体により誘導された速度の下でオリフィスの縁から離れるように移動する。機構がチャンバ容積を増加させるときに、周囲流体は、オリフィスからかなりの距離からチャンバに引き込まれる。渦がオリフィスの縁から離れるように既に移動しているので、渦は、チャンバに進入する周囲流体の影響を受けない。渦がオリフィスから離れるように進むときに、渦は、流体のジェットを合成し、すなわち「シンセティックジェット」にする。
【０００４】
シンセティックジェットアクチュエータは、耐久性の高い冷却装置であると一般に認識されているが、使用中に或る範囲の環境条件に晒される場合があり、このことは、シンセティックジェットアクチュエータの劣化および最終的な故障を招く場合があると認識される。シンセティックジェットアクチュエータの交換は、時間を要する場合があり、一部のケースでは、シンセティックジェットアクチュエータが冷却するように設計されるシステムまたは構成要素のシャットダウンを必要とする場合もあるので、可能であれば、そのような故障の発生を防止することが非常に望ましい。シンセティックジェットアクチュエータの動作の変更（例えば、入力電力、動作電圧、動作周波数等の低下）が、アクチュエータの寿命を延ばすことを助けることができると認識されるが、シンセティックジェットアクチュエータの動作を変更できる方法を制限する、例えば、温度要件および音響レベル要件を含む、幾つかの動作／システム要件が存在し得ることも認識される。
【発明の概要】
【０００５】
したがって、劣化に対抗し、初期故障を防止するようにシンセティックジェットアクチュエータの動作パラメータの調節を可能にすべく、シンセティックジェットアクチュエータの劣化および潜在故障を特定するために、シンセティックジェットアクチュエータの動作状態を監視するためのシステムおよび方法を提供することが望ましい。そのようなシステムおよび方法は、劣化に対抗し、早期故障を防止するためにシンセティックジェットアクチュエータの動作パラメータを調節する際に、温度要件および音響レベル要件を満たすことに関してシンセティックジェットアクチュエータの性能を最適化するような調節を実施するための方法を決定することも望ましい。
【０００６】
本発明の一態様によれば、振動流体駆動器（ｖｉｂｒａｔｉｏｎａｌ  ｆｌｕｉｄ  ｍｏｖｅｒ）は、チャンバを画定し、チャンバに形成された少なくとも１つのオリフィスを有する筐体を含む。振動流体駆動器は、筐体に配置された少なくとも１つのアクチュエータであり、チャンバの容積が増減して、流体をチャンバに取り込み、流体のジェットを少なくとも１つのオリフィスから外に排出するように、アクチュエータ要素に印加される波形電圧の形状に応じて時間調和的態様で動く少なくとも１つのアクチュエータ要素も含む。振動流体駆動器は、少なくとも１つのアクチュエータ要素の時間調和的動作を能動的に制御するためにアクチュエータ要素に提供される波形電圧の形状を生じさせるべく、少なくとも１つのアクチュエータ要素に動作可能に接続された制御システムを更に含み、制御システムは、少なくとも１つのアクチュエータ要素に提供される目標電圧および周波数に応じて生成される、振動流体駆動器の動作パラメータの基準値を設定し、目標電圧および周波数での振動流体駆動器の連続動作中に振動流体駆動器の動作を監視し、目標電圧および周波数での振動流体駆動器の連続動作中に基準値からの動作パラメータの逸脱を特定し、基準値からの動作パラメータの特定された逸脱に基づいて、少なくとも１つのアクチュエータ要素に提供される電圧および周波数を修正するようにプログラミングされる。
【０００７】
本発明の別の態様によれば、シンセティックジェットアクチュエータを能動制御するための制御システムは、シンセティックジェットアクチュエータの１つ以上の動作パラメータの測定値を含む初期フィードバックを検知回路から受信するようにプログラミングされたプロセッサを含み、１つ以上の動作パラメータの測定値は、目標電圧および周波数でのシンセティックジェットアクチュエータの動作から生じ、初期フィードバックは、シンセティックジェットアクチュエータの寿命の初期に受信される。プロセッサは、受信された初期フィードバックに基づいて１つ以上の動作パラメータのそれぞれの基準値を設定し、シンセティックジェットアクチュエータの１つ以上の動作パラメータの測定値を含む追加フィードバックを検知回路から受信するように更にプログラミングされ、１つ以上の動作パラメータに関する追加フィードバックは、目標電圧および周波数でのシンセティックジェットアクチュエータの動作から生じる。プロセッサは、追加フィードバックの１つ以上の動作パラメータの測定値と、初期フィードバックの１つ以上の動作パラメータの測定値との比較に基づいて更新された電圧および周波数で、シンセティックジェットアクチュエータを動作させるように更にプログラミングされる。
【０００８】
本発明の更に別の態様によれば、シンセティックジェットアクチュエータの動作を制御するための方法は、シンセティックジェットアクチュエータの１つ以上の動作パラメータの測定値を含む初期フィードバックを検知回路から受信するステップを含み、１つ以上の動作パラメータの測定値は、目標電圧および周波数でのシンセティックジェットアクチュエータの動作から生じ、初期フィードバックは、シンセティックジェットアクチュエータの寿命の初期に受信される。方法は、受信された初期フィードバックに基づいて１つ以上の動作パラメータのそれぞれの基準値を設定するステップと、シンセティックジェットアクチュエータの１つ以上の動作パラメータの測定値を含む追加フィードバックを検知回路から受信するステップであり、追加フィードバックは、目標電圧および周波数でのシンセティックジェットアクチュエータの動作から生じる、ステップと、追加フィードバックの１つ以上の動作パラメータの測定値と、初期フィードバックの１つ以上の動作パラメータの測定値との比較に基づいて、シンセティックジェットアクチュエータを動作させるための動作ボックス（ｏｐｅｒａｔｉｏｎａｌ  ｂｏｘ）を設定するステップであり、動作ボックスは、シンセティックジェットアクチュエータを動作させるための許容可能な最大電力および電圧レベルにより規定される、ステップも含む。方法は、シンセティックジェットアクチュエータを動作させるための、動作ボックス内に属する最適電圧および周波数を決定するステップを更に含む。
【０００９】
これらおよび他の利点および特徴は、添付図面に関連して提供される、本発明の好適な実施形態の以下の詳細な説明から、より容易に理解されるであろう。
【００１０】
図面は、本発明を実施するために現在考えられる実施形態を図示している。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に使用可能なシンセティックジェットアセンブリの図である。
【図２】本発明の実施形態に使用可能なシンセティックジェットアセンブリの図である。
【図３】図１および図２のシンセティックジェットの断面であり、制御システムが隔膜をオリフィスから離れるように外側に進めるときのジェットを描写している。
【図４】図１および図２のシンセティックジェットの断面であり、制御システムが隔膜をオリフィスに向けて内側に進めるときのジェットを描写している。
【図５】図１〜図４のシンセティックジェットおよびジェットの動作に関するフィードバックを提供するための、本発明の実施形態による手段のブロック図である。
【図６】シンセティックジェットアクチュエータの寿命を最適化するための、本発明の実施形態による手法を描写するブロック図である。
【図７】シンセティックジェットアクチュエータをその寿命を最適化するように動作させるための、電力および電圧限界により規定される動作ボックスを図示するグラフである。
【図８】シンセティックジェットアクチュエータを動作させるための、各種の流量の電圧−周波数曲線を図示するグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施形態は、シンセティックジェットアクチュエータを動作させるための能動制御スキームを提供する。制御スキームは、シンセティックジェットアクチュエータの劣化よび潜在故障を特定するために、シンセティックジェットアクチュエータから動作フィードバックを受信する。制御スキームは、動作寿命を延ばすように実施されるシンセティックジェットの任意のスロットルダウンに関連して、または独立して、流れ要件および音響レベル要件を満たすことに関してシンセティックジェットアクチュエータの性能も最適化する状態で、シンセティックジェットアクチュエータの動作寿命を延ばすためにシンセティックジェットアクチュエータの動作パラメータも調節する。
【００１３】
本発明の態様をより良く理解する目的で、本発明の実施形態に利用され得る流体駆動器およびその動作の例示的な実施形態が図１〜図４に図示されている。本発明の実施形態が特定の流体駆動器の使用に限定されることは意味されないが、例示的な実施形態において、振動式空気駆動器（例えばシンセティックジェットアクチュエータ）が、本明細書に記述される能動制御スキームにより利用されることが認識される。
【００１４】
まず図１を参照すると、シンセティックジェットアセンブリ１０の形の振動式能動冷却装置の斜視図が提供されている。シンセティックジェットアセンブリ１０は、図２に断面が図示されているシンセティックジェット１２、および装着ブラケット１４を含む。一実施形態において、装着ブラケット１４は、１つ以上の位置でシンセティックジェット１２の筐体１６に付けられるＵ字状ブラケットである。装着ブラケット１４の外部に回路ドライバ１８を配置すること、または付けることができる。代わりに、回路ドライバ１８は、シンセティックジェットアセンブリ１０から離れて配置され得る。
【００１５】
次に図１および図２を併せて参照すると、シンセティックジェット１２の筐体１６は、内部にガスまたは流体２２を有する内部チャンバまたは空洞２０を画定し、部分的に内部チャンバまたは空洞を取り囲む。議論および理解のために、本発明の各種の実施形態による筐体１６および内部チャンバ２０は、実質的に任意の幾何学的構成を取ることができるが、図２の断面図には、間に配置されたスペーサ要素２８により離間関係に維持される第１のプレート２４および第２のプレート２６を含むように、筐体１６が示されている。第１および第２のプレート２４、２６とスペーサ要素２８の側壁との間には、内部チャンバ２０を周囲の外部環境３２と流体連通させるために、１つ以上のオリフィス３０が形成される。代替的な実施形態において、スペーサ要素２８は、１つ以上のオリフィス３０が形成される前面（不図示）を含む。
【００１６】
各種の実施形態によれば、第１および第２のプレート２４、２６は、金属、プラスチック、ガラスおよび／またはセラミックから形成され得る。同様に、スペーサ要素２８は、金属、プラスチック、ガラスおよび／またはセラミックから形成され得る。適した金属は、ニッケル、アルミニウム、銅およびモリブデン等の材料、またはステンレススチール、黄銅、青銅等の合金を含む。適した高分子およびプラスチックは、ポリオレフィン、ポリカーボネート、熱硬化性プラスチック、エポキシ、ウレタン、アクリル、シリコーン、ポリイミド等の熱可塑性プラスチック、およびフォトレジスト可能な材料、および他の弾性プラスチックを含む。適したセラミックは、例えば、チタン酸塩（チタン酸ランタン、チタン酸ビスマスおよびチタン酸ジルコニア酸鉛）およびモリブデン酸塩を含む。更に、シンセティックジェット１２の他の各種の構成要素は、金属からも形成され得る。
【００１７】
シンセティックジェット１２が「ダブルクールジェット（ＤＣＪ）」として構築されるように、第１および第２の複合体構造または可撓性隔膜３８、４０を形成するために、第１および第２のプレート２４、２６のそれぞれにアクチュエータ３４、３６が結合される。可撓性隔膜３８、４０は、コントローラアセンブリまたは制御ユニットシステム４２を介してドライバ１８により制御される。図１に示されるように、一実施形態において、コントローラアセンブリ４２は、シンセティックジェット１２の装着ブラケット１４に直接結合されるドライバ１８に電子的に結合される。代替的な実施形態において、制御システム４２は、シンセティックジェット１２から離れて位置するドライバ１８に組み込まれる。例えば、各可撓性隔膜３８、４０は、電極と金属層の間に加えられる電気バイアスを介して動かされ得る。また、制御システム４２は、例えば、コンピュータ、論理プロセッサまたは信号生成器等の任意の適した装置により電気バイアスを生成するように構成され得る。
【００１８】
一実施形態において、アクチュエータ３４、３６は、圧電動装置を高速に膨張および収縮させる波形電圧（例えば、調和的交流電圧）の形状の印加により作動され得る圧電駆動（圧電動）装置である。動作中、制御システム４２は、帯電に応じて機械応力および／または歪みを経験する圧電アクチュエータ３４、３６にドライバ１８を介して電荷を伝達する。圧電動アクチュエータ３４、３６の応力／歪みは、時間調和的または周期的な動作が実現されるように、第１および第２のプレート２４、２６のそれぞれの撓みを生じさせる。内部チャンバ２０において得られる容積変化は、図３および図４に関して詳しく記述されるように、内部チャンバ２０と外部環境３２の間におけるガスまたは他の流体の相互交換を生じさせる。
【００１９】
本発明の各種の実施形態による圧電動アクチュエータ３４、３６は、モノモルフまたはバイモルフ装置であり得る。モノモルフの実施形態において、圧電動アクチュエータ３４、３６は、金属、プラスチック、ガラスまたはセラミックを含む材料から形成されたプレート２４、２６に結合され得る。バイモルフの実施形態において、圧電動アクチュエータ３４、３６の一方または両方は、圧電材料から形成されたプレート２４、２６に結合されるバイモルフアクチュエータであり得る。代替実施形態において、バイモルフは、単一のアクチュエータ３４、３６を含み得、プレート２４、２６は、第２のアクチュエータである。
【００２０】
シンセティックジェット１２の構成要素は、接着剤、ハンダ等を用いて接着され得または互いに取り付けられ得る。一実施形態において、アクチュエータ３４、３６を第１および第２のプレート２４、２６に固着させて第１および第２の複合体構造３８、４０を形成するために、熱硬化性接着剤または導電性接着剤が利用される。導電性接着剤の場合、接着剤には、リード線（不図示）をシンセティックジェット１２に取り付けるために、銀、金等の導電性充填材が充填され得る。
【００２１】
本発明の実施形態において、アクチュエータ３４、３６は、油圧、空気圧、磁気、静電気および超音波材料等、圧電駆動装置以外の装置を含み得る。よって、そのような実施形態において、制御システム４２は、対応する態様でそれぞれのアクチュエータ３４、３６を作動させるように構成される。例えば、静電気材料が使用される場合、制御システム４２は、第１および第２のプレート２４、２６のそれぞれを作動および屈曲させるために、高速な代替静電気圧をアクチュエータ３４、３６に提供するように構成され得る。
【００２２】
シンセティックジェット１２の動作は、図３および図４を参照して記述される。図３において、矢印４４で描写されるように、第１および第２のプレート２４、２６を内部チャンバ２０に対して外側に動かすようにアクチュエータ３４、３６が制御されるときのシンセティックジェット１２が図示されている。第１および第２のプレート２４、２６が外側に屈曲するとき、内部チャンバ２０の内容積が増加し、周囲ガスまたは流体４６は、矢印４８の組で描写されるように、内部チャンバ２０に入り込む。アクチュエータ３４、３６は、第１および第２のプレート２４、２６が内部チャンバ２０から外側に動くときに、渦がオリフィス３０の縁から既に除去され、よって、内部チャンバ２０に引き込まれる周囲流体４６による影響を受けないように、制御システム４２により制御される。他方、周囲流体４６のジェットは、オリフィス３０からかなり離れて導かれる周囲流体４６の強力な取り込みを形成する渦により合成される。
【００２３】
図４は、矢印５０で描写されるように、第１および第２のプレート２４、２６を内部チャンバ２０の内側に屈曲させるようにアクチュエータ３４、３６が制御されるときのシンセティックジェット１２を描写している。内部チャンバ２０の内容積が減少するので、流体２２は、矢印５２の組により表示される方向に、冷却ジェットとしてオリフィス３０を通って、例えば発熱電子構成要素等の冷却される装置に向けて排出される。流体２２がオリフィス３０を通って内部チャンバ２０から出るときに、流れは、オリフィス３０の鋭利な縁で分離し、渦に巻き込みオリフィス３０の縁から離れるように移動し始める渦層を形成する。
【００２４】
図１〜図４のシンセティックジェットが、内部に単一のオリフィスを有するように示され記述されているが、本発明の実施形態が複数のオリフィスのシンセティックジェットアクチュエータを含み得ることも考えられる。加えて、図１〜図４のシンセティックジェットが、第１および第２のプレートのそれぞれに含まれるアクチュエータ要素を有するように示され記述されているが、本発明の実施形態が、プレートの一方に配置された単一のアクチュエータ要素のみを含み得ることも考えられる。更に、シンセティックジェットのプレートが円形、長方形、または本明細書に図示されるような正方形の構成よりもむしろ代わりの形状構成で提供され得ることも考えられる。
【００２５】
次に図１〜図４を引き続き参照しながら図５を参照すると、シンセティックジェットを動作させるための能動制御スキームを紹介するために、本発明の実施形態によるシンセティックジェット１２のブロック図が提供されている。図５に示されるように、制御システム４２は、シンセティックジェット１２に収集される動作データの処理および記憶のためのプロセッサ５４およびメモリ５６を含む。ドライバ１８は、シンセティックジェット１２の圧電アクチュエータ３４、３６に印加される波状電圧の形状を生成する（コントローラユニット４２から受信される入力に基づいて）波生成器５８および増幅器６０を内部に含む。ドライバ１８から提供される電圧は、プレート２４、２６の時間調和的または周期的動作が実現されて、シンセティックジェット１２への流体の取り込みと、発熱構成要素６２に向けて導かれる状態でのシンセティックジェット１２からの流体の冷却ジェットの排出とを交互に行うように、電荷に応じた機械応力および／または歪みをアクチュエータ３４、３６に経験させる。
【００２６】
ドライバ１８が制御システム４２とは別個の構成要素として図５に示されているが、制御システムおよびドライバ１８は、制御システム４２およびドライバ１８の機能が単一の装置により実施される状態で、単一の装置／制御システムに統合され得る。
【００２７】
シンセティックジェット１２を能動制御するために、その１つ以上の動作パラメータを測定することによりシンセティックジェットの動作を監視し、測定された動作パラメータのフィードバックを制御システム４２に提供する検知回路６４が提供される。例示的な実施形態において、検知回路６４は、シンセティックジェット１２の振動により生成される電流を検知し、収集された電流データに基づくフィードバック信号を制御システム４２に出力する。以下でより詳しく説明されるように、制御システム４２は、シンセティックジェット１２の正常性を評価し、発生し得る潜在故障を予測するために、シンセティックジェット１２からその動作中に取得される電流データを比較し、それをシンセティックジェット１２から従前に取得された基準電流データと比較するようにプログラミングされる。一実施形態によれば、検知回路６４は、発熱構成要素６２の動作温度を検知するように更に構成される。
【００２８】
次に図１〜図５を引き続き参照しながら図６を参照すると、シンセティックジェットをその寿命を最適化するために能動的に制御するための、制御システム４２により実施され得る手法６６が提供される。手法６６を開始する際に、ステップ６８にてシンセティックジェットの初期基準動作データが初めに取得および記憶される（例えばメモリ５６に）。本発明の例示的な実施形態によれば、基準動作データは、ドライバ１８を介してシンセティックジェット１２に提供される目標動作電圧および周波数（すなわち、所望の周波数の波形電圧）と、シンセティックジェット１２に提供される目標動作電圧および周波数に応じて検知回路６４により検知される、シンセティックジェット１２から得られる電流値とを含む。一実施形態によれば、基準動作データは、シンセティックジェット１２に提供される目標動作電圧および周波数に基づいて維持される、発熱構成要素６２の動作温度の測定値も含む。基準動作データは、シンセティックジェット１２が「正常」状態にあり、その性能が如何なる態様でも劣化していないことを安全に推定できるように、シンセティックジェット１２の寿命の初期、例えば、設置後の最初の使用時に収集されることが認識される。シンセティックジェット１２が正常である間の基準動作データの取得は、よって、シンセティックジェット１２が劣化状態にあり得る間に追加動作データがシンセティックジェットから収集される後の比較のための基準を提供する。
【００２９】
基準動作データを取得および記憶すると、手法６６がステップ７０にて継続し、少し後またはシンセティックジェット１２の動作中に、周期的態様（例えば、毎時に成される測定）または動的／連続態様のいずれかで、シンセティックジェット１２の動作データが再び取得される。ステップ７０にて取得されるシンセティックジェット１２からの動作データは、ステップ６８にて従前に取得された動作パラメータと同じであり、よって、ドライバ１８を介してシンセティックジェット１２に提供される目標動作電圧および周波数と、シンセティックジェット１２に提供される目標動作電圧および周波数に応じて検知回路６４により検知される、シンセティックジェット１２から得られる電流値とを含む。加えて、目標動作電圧および周波数で動いているシンセティックジェット１２により生じる、発熱構成要素６２の動作温度が再び測定され得る。ステップ７０にて動作データを取得する際には、動作パラメータを正確に比較するために、ステップ６８にてシンセティックジェット１２に提供されたのと同じ目標動作電圧および周波数がステップ７０にてシンセティックジェット１２に再び提供されるべきであることが認識される。
【００３０】
次にステップ７２にて、シンセティックジェットの潜在的な早期故障の目安であり得る、シンセティックジェットの性能の時間経過による劣化を特定するために、ステップ６８にて取得された基準動作データと、ステップ７０にて取得された追加動作データとの比較が実施される。例示的な実施形態によれば、基準動作データの取得中にシンセティックジェット１２に提供される目標動作電圧および周波数に対応する、ステップ６８にて検知回路６４により検知された（シンセティックジェット１２の振動に応じて）基準電流データは、追加動作データの取得中にシンセティックジェット１２に提供される同じ目標動作電圧および周波数に対応する、ステップ７０にて検知回路６４により検知された電流データと比較される。一実施形態によれば、ステップ６８および７０にて検知回路６４により検知された温度データも比較され得る。
【００３１】
次いでステップ７４にて、ステップ６８にて取得された基準動作データと、ステップ７０にて取得された追加動作データとが同じであるかが判定される。ステップ６８および７０にて取得された動作データ、すなわち、検知回路６４によりシンセティックジェット１２から収集された電流測定値および潜在的に検知回路６４により収集された温度測定値が同じであるとステップ７４にて判定された場合、７６で示されるように、次いで、手法は、シンセティックジェット１２が劣化していない（すなわち、性能または動作効率の低下がない。）と判定する。手法は、よって、所望の音響ノイズレベルを実現し、発熱構成要素を所望の温度に維持するために、オペレータにより望まれるように目標電圧および周波数でシンセティックジェット１２が動作される状態で、制御システム４２およびドライバ１８がシンセティックジェット１２を「正常」動作モードで動作させるように機能する状態で、ステップ７８にて継続する。
【００３２】
しかし、ステップ６８および７０にて取得された動作データ、すなわち、検知回路６４によりシンセティックジェット１２から収集された電流測定値および潜在的に検知回路６４により収集された温度測定値が同じでないとステップ７４にて判定された場合、８０で示されるように、次いで、手法は、シンセティックジェット１２が劣化している（すなわち、性能または動作効率が低下している。）と判定する。実際に、このことは、ステップ７０にて検知回路６４によりシンセティックジェット１２から収集された電流測定値が、ステップ６８にて収集された電流測定値と比較して減少していること、および／またはステップ７０にて検知回路６４により測定された温度が、ステップ６８にて測定された温度と比較して増加していることを意味する。
【００３３】
ステップ６８および７０にて取得された動作データが同じでないとステップ７４にて判定された場合、手法は、次いで、ステップ７０にて取得された動作データが閾値レベルであるかに関する次の判定が成される状態で、ステップ８２にて継続する。より具体的に、ステップ７０にて検知回路６４によりシンセティックジェット１２から収集された電流測定値は、「スロットルダウン」動作モード／手順によりシンセティックジェット１２の動作が安全に継続され得るか、または、シンセティックジェットのために差し迫ったセーフシャットダウン手順を実施することが必要であるかを判定するために、シンセティックジェットの故障の目安である電流閾値と比較される。
【００３４】
ステップ７０にて検知回路６４によりシンセティックジェット１２から収集された電流測定値が電流閾値未満であるとステップ８２にて判定された場合、８４で示されるように、シンセティックジェットの故障が差し迫っていると判定される。したがって、手法６６は、シンセティックジェット１２の制御された下降傾斜（ｒａｍｐ−ｄｏｗｎ）がシャットオフのために実施される等、制御システム４２により開始／実施されるセーフシャットダウン手順を提供する「故障フラグ」が制御システム４２により生成される状態で、ステップ８６にて継続する。
【００３５】
反対に、ステップ７０にて検知回路６４によりシンセティックジェット１２から収集された電流測定値が電流閾値を超えていると、ステップ８２にて判定された場合、８６で示されるように、シンセティックジェットの寿命を延ばすために「スロットルされた」態様でシンセティックジェット１２が動作されるべきではあるが、差し迫った故障なしに動作を継続することができると判定される。したがって、手法は、ステップ９０にて継続し、そこでは、制御システム４２がシンセティックジェット１２のスロットルダウン動作を実施するように機能する状態で、シンセティックジェット１２の最適なスロットルダウン動作条件の新たな組の決定を開始／実施する「スロットルフラグ」が制御システム４２により生成される。
【００３６】
ステップ９０にてシンセティックジェット１２のスロットルダウンを実施する際に、制御システム４２は、シンセティックジェット１２が、その寿命を延ばすために安全に動作され得る「動作ボックス」を決定するように機能する。図７は、９４および９６にそれぞれ示されるように、シンセティックジェットが動作され得る最大電力（ワット数）および最大差動電圧により規定される状態で、シンセティックジェット１２が動作され得る動作ボックス９２を表示する。
【００３７】
例示的な実施形態によれば、シンセティックジェット１２が動作されるべき最大ワット数の決定に関して、コントローラ４２は、シンセティックジェットが動作ボックス内の動作を維持するように動作されるべき差動電圧を決定するのみならず、シンセティックジェットを所望の音響レベルおよび所望の流量で動作させるために（発熱構成要素を所望の／要求される温度に維持するために）、シンセティックジェット１２を動作させるための最適周波数も決定する。シンセティックジェット１２の動作に関して、図７の電圧−周波数曲線９８に示されるように、スロットル動作のために設定された最大ワット数未満でシンセティックジェット１２を動作させる電圧／周波数の各種の組合せ（例えば、１２０Ｈｚ、１５０Ｈｚおよび１７５Ｈｚ）が可能であり、所望の音響レベルおよび流量を実現するために、シンセティックジェットを動作させるための最適電圧／周波数の組合せを特定するようにコントローラ４２がプログラミングされることが認識される。
【００３８】
次に図８を参照すると、発熱構成要素に所望の／必要な冷却を提供するようにシンセティックジェットを動作させることができる多くの流量１００を描写するグラフが提供される。図８に見ることができるように、シンセティックジェット１２が動作され得る多くの異なる電圧（ピーク−ピークＶｐｐ）−周波数の組合せによって、流量１００のそれぞれを実現することができる。これらの異なる電圧−周波数の組合せは、所望の流量を実現するためにシンセティックジェット１２が動作され得る供給データ組を概ね規定する。例示的な実施形態によれば、供給データ組は、シンセティックジェット１２が動作され得る動作曲線１０２の形である。動作ボックス９２（図７）内に入る電圧条件等、理想的な動作電圧／周波数条件でシンセティックジェットアクチュエータを動作させながら、シンセティックジェット１２の周波数および電圧動作条件を特定の曲線１０２に沿って調節して同じ流量を維持することができる。加えて、図８は、音圧曲線／線１０４を示している。音圧曲線１０４は、幾つかの電圧および周波数動作条件で生成される音響ノイズのガイドを提示する。結果として、図８は、好適な音響ノイズレベルの限度内の最適なシンセティックジェットアクチュエータ流量をもたらす最適な周波数および電圧動作の組合せの視覚的決定を提示する。
【００３９】
シンセティックジェット１２を動作させるための最適周波数および差動電圧値の決定が、図５の手法６６のステップ９０にて実施されるスロットルダウンに関連して上で議論されたが、シンセティックジェット１２を動作させるためのそのような最適周波数および電圧値の決定を、シンセティックジェットの潜在故障の特定／防止から独立して実施できることが認識される。つまり、制御システム４２は、所望の／要求される流量を実現しながら音響ノイズレベルを可能な範囲で最小化することのみを目的として、シンセティックジェット１２を動作させるための最適周波数および差動電圧値を決定するように動作することができる。そうすれば、制御システム４２は、そのような最適電圧／周波数値を決定するために、図８に図示される電圧−周波数曲線を参照することができる。
【００４０】
有利に、本発明の実施形態は、よって、シンセティックジェットアクチュエータを動作させるための能動制御スキームを提供する。制御スキームは、シンセティックジェットアクチュエータの劣化および潜在故障を特定するために動作フィードバックをシンセティックジェットアクチュエータから受信し、シンセティックジェットアクチュエータの動作寿命を延ばすためにシンセティックジェットアクチュエータの動作パラメータを調節する。制御スキームは、動作寿命を延ばすために実施されるシンセティックジェットの任意のスロットルダウンに関連して、またはそれから独立して、流れ要件および音響レベル要件を満たすことに関して、シンセティックジェットアクチュエータの性能を最適化することが更に可能である。
【００４１】
開示される方法および装置の技術貢献は、シンセティックジェットアクチュエータを能動的に制御するためにコントローラにより実施される手法を提供することである。手法は、シンセティックジェットの潜在劣化を特定し、シンセティックジェットを動作させるための最適化されたパラメータ値を決定するために、シンセティックジェットから動作フィードバックを受信するコントローラにより実施される。
【００４２】
したがって、本発明の一実施形態によれば、振動流体駆動器は、チャンバを画定し、チャンバに形成された少なくとも１つのオリフィスを有する筐体を含む。振動流体駆動器は、筐体に配置された少なくとも１つのアクチュエータ要素であり、チャンバの容積が増減して、流体をチャンバに取り込み、流体のジェットを少なくとも１つのオリフィスから外に排出するように、アクチュエータ要素に印加される波形電圧の形状に応じて時間調和的態様で動く少なくとも１つのアクチュエータ要素も含む。振動流体駆動器は、少なくとも１つのアクチュエータ要素の時間調和的動作を能動的に制御するために、アクチュエータ要素に提供される波形電圧の形状を生じさせるべく、少なくとも１つのアクチュエータ要素に動作可能に接続された制御システムを更に含み、制御システムは、少なくとも１つのアクチュエータ要素に提供される目標電圧および周波数に応じて生成される、振動流体駆動器の動作パラメータの基準値を設定し、目標電圧および周波数での振動流体駆動器の連続動作中に振動流体駆動器の動作を監視し、目標電圧および周波数での振動流体駆動器の連続動作中に基準値からの動作パラメータの逸脱を特定し、基準値からの動作パラメータの特定された逸脱に基づいて、少なくとも１つのアクチュエータ要素に提供される電圧および周波数を修正するようにプログラミングされる。
【００４３】
本発明の別の実施形態によれば、シンセティックジェットアクチュエータを能動制御するための制御システムは、シンセティックジェットアクチュエータの１つ以上の動作パラメータの測定値を含む初期フィードバックを検知回路から受信するようにプログラミングされたプロセッサを含み、１つ以上の動作パラメータの測定値は、目標電圧および周波数でのシンセティックジェットアクチュエータの動作から生じ、初期フィードバックは、シンセティックジェットアクチュエータの寿命の初期に受信される。プロセッサは、受信された初期フィードバックに基づいて１つ以上の動作パラメータのそれぞれの基準値を設定し、シンセティックジェットアクチュエータの１つ以上の動作パラメータの測定値を含む追加フィードバックを検知回路から受信するように更にプログラミングされ、１つ以上の動作パラメータに関する追加フィードバックは、目標電圧および周波数でのシンセティックジェットアクチュエータの動作から生じる。プロセッサは、追加フィードバックの１つ以上の動作パラメータの測定値と、初期フィードバックの１つ以上の動作パラメータの測定値との比較に基づいて更新された電圧および周波数で、シンセティックジェットアクチュエータを動作させるように更にプログラミングされる。
【００４４】
本発明の更に別の実施形態によれば、シンセティックジェットアクチュエータの動作を制御するための方法は、シンセティックジェットアクチュエータの１つ以上の動作パラメータの測定値を含む初期フィードバックを検知回路から受信するステップを含み、１つ以上の動作パラメータの測定値は、目標電圧および周波数でのシンセティックジェットアクチュエータの動作から生じ、初期フィードバックは、シンセティックジェットアクチュエータの寿命の初期に受信される。方法は、受信された初期フィードバックに基づいて１つ以上の動作パラメータのそれぞれの基準値を設定するステップと、シンセティックジェットアクチュエータの１つ以上の動作パラメータの測定値を含む追加フィードバックを検知回路から受信するステップであり、１つ以上の動作パラメータの測定値は、目標電圧および周波数でのシンセティックジェットアクチュエータの動作から生じる、ステップと、追加フィードバックの１つ以上の動作パラメータの測定値と、初期フィードバックの１つ以上の動作パラメータの測定値との比較に基づいて、シンセティックジェットアクチュエータを動作させるための動作ボックスを設定するステップであり、動作ボックスは、シンセティックジェットアクチュエータを動作させるための許容可能な最大電力および電圧レベルにより規定される、ステップを更に含む。方法は、シンセティックジェットアクチュエータを動作させるための、動作ボックス内に属する最適電圧および周波数を決定するステップを更に含む。
【００４５】
限定された数の実施形態のみに関連して本発明が記述されてきたが、本発明がそのような開示された実施形態に限定されないことが容易に理解されるであろう。むしろ、本発明の主旨および範囲に相応するが本明細書に記述されていない任意の数の変形、変更、置換、または等価な構成を組み込むように、本発明を修正することができる。加えて、本発明の各種の実施形態が記述されてきたが、本発明の態様が記述された実施形態の一部のみを含み得ることを理解されたい。したがって、本発明は、先の記述により限定されると見做されず、添付される請求項の範囲のみにより限定される。
【符号の説明】
【００４６】
１０  シンセティックジェットアセンブリ
１２  シンセティックジェット
１４  装着ブラケット
１６  筐体
１８  回路ドライバ、ドライバ
２０  内部チャンバ、空洞
２２  ガス、流体
２４  第１のプレート
２６  第２のプレート
２８  スペーサ要素
３０  オリフィス
３２  外部環境
３４、３６  圧電アクチュエータ、圧電動アクチュエータ
３８  第１の複合体構造、可撓性隔膜
４０  第２の複合体構造、可撓性隔膜
４２  コントローラアセンブリ、制御ユニットシステム、制御システム、コントローラ、コントローラユニット
４４、４８、５０、５２  矢印
４６  周囲流体
５４  プロセッサ
５６  メモリ
５８  波生成器
６０  増幅器
６２  発熱構成要素
６４  検知回路
６６  手法
６８  ステップ
７０  ステップ
７２  ステップ
７４  ステップ
７８  ステップ
８２  ステップ
８６  ステップ
９０  ステップ
９２  動作ボックス
９４  最大電力
９６  最大差動電圧
９８  電圧−周波数曲線
１００  流量
１０２  動作曲線
１０４  音圧曲線／線
【図１】
2015221430.tif 000003
【図２】
2015221430.tif 000004
【図３】
2015221430.tif 000005
【図４】
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【図５】
2015221430.tif 000007
【図６】
2015221430.tif 000008
【図７】
2015221430.tif 000009
【図８】
2015221430.tif 000010
【外国語明細書】
2015221430000001.pdf