(57)【要約】【課題】レーザ光の照射スポットにおける照射強度が均一で、生産性が高く、取り扱いが容易な光ファイバを実現する。【解決手段】石英製のコア１ａ、及びコア１ａを被覆するように設けられ、コア１ａよりも屈折率の低いクラッド２ａを備えたファイバ本体５ａと、ファイバ本体５ａの一方端に融着接続され、横断面の外郭形状が直線部分を含み、接続界面でコア１ａの端面を覆うように設けられた石英製のロッド１０ａとを備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
石英製のコア、及び該コアを被覆するように設けられ、該コアよりも屈折率の低いクラッドを備えたファイバ本体と、
上記ファイバ本体の一方端に融着接続され、横断面の外郭形状が直線部分を含み、接続界面で上記コアの端面を覆うように設けられた石英製のロッドとを備えている、光ファイバ。
【請求項２】
請求項1に記載された光ファイバにおいて、
上記ロッドの横断面は、矩形状に形成されている、光ファイバ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載された光ファイバにおいて、
上記コアの横断面は、矩形状に形成されている、光ファイバ。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１つに記載された光ファイバにおいて、
上記コアの横断面の外郭形状と、上記ロッドの横断面の外郭形状とは、非相似形である、光ファイバ。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１つに記載された光ファイバにおいて、
上記ロッドは、上記接続界面側から先端に向けて徐々に横断面が小さく又は大きくなるように形成されている、光ファイバ。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか１つに記載された光ファイバにおいて、
上記ロッドは、上記接続界面側の側面が粗面化されている、光ファイバ。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか１つに記載された光ファイバにおいて、
上記ロッド及び上記ファイバ本体の一方端側を収容するコネクタを備え、
上記ロッドは、上記接続界面側で上記コネクタの内面に固定されている、光ファイバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバに関し、特に、レーザ光を伝送するための光ファイバに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レーザガイド（登録商標）は、エネルギー密度の高いレーザ光を伝送するための光ファイバ部品として、種々の加工装置などに広く用いられている。ここで、レーザガイド（登録商標）を介して出射されるレーザ光により、例えば、半導体などの表面剥離を行う加工では、レーザ光が照射される照射スポットにおける照射強度が均一であることが求められている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、横断面が矩形状に形成された石英製の第１コアを備えた第１ファイバ部に、横断面が非矩形状に形成された石英製の第２コアを備えた第２ファイバ部が融着接続された光ファイバが開示されている。そして、特許文献１には、第１ファイバ部では、第１コアの横断面が矩形状に形成されているので、第１ファイバ部側のファイバ端から入射して第１ファイバ部から第２ファイバ部に伝送されるレーザ光の照射強度が均一になる、と記載されている。すなわち、光ファイバのコアの横断面を矩形状に形成することにより、レーザ光の照射スポットにおける照射強度を均一化する技術が広く知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２００９／１０４３５０号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、横断面が矩形状に形成されたコアを備えた光ファイバにおいて、レーザ光の照射スポットを大きくするためには、コアの横断面における１辺の寸法を大きくすることが考えられる。しかしながら、コアの１辺の寸法が１ｍｍ程度以上になると、線引きによるファイバ化が困難になるので、生産性が低下してしまう。また、コアの１辺の寸法が大きくなると、光ファイバの屈曲性が低下するので、光ファイバの取り扱いが困難になってしまう。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、レーザ光の照射スポットにおける照射強度が均一で、生産性が高く、取り扱いが容易な光ファイバを実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、ファイバ本体の一方端に横断面の外郭形状が直線部分を含む石英製のロッドを融着接続するようにしたものである。
【０００８】
具体的に本発明に係る光ファイバは、石英製のコア、及び該コアを被覆するように設けられ、該コアよりも屈折率の低いクラッドを備えたファイバ本体と、上記ファイバ本体の一方端に融着接続され、横断面の外郭形状が直線部分を含み、接続界面で上記コアの端面を覆うように設けられた石英製のロッドとを備えている。
【０００９】
上記の構成によれば、ファイバ本体の一方端に融着接続された石英製のロッドの横断面の外郭形状が直線部分を含んでいる。そのため、ファイバ本体のコア内を伝搬した後にロッドに入射したレーザ光が、ロッドの横断面の外郭形状における直線部分を構成するロッドの側面と空気との界面、及びロッドの他の側面と空気との界面で反射を繰り返すことになる。これにより、レーザ光のモードがミキシングされるので、ロッドから出射されるレーザ光の照射スポットにおける照射強度が均一になる。また、ファイバ本体は、石英製のコアと、そのコアを被覆するように設けられたクラッドとを備えた一般的な光ファイバであり、その一方端に石英製のロッドを融着接続するだけで製造可能なので、生産性が高い。また、ファイバ本体は、一般的な光ファイバであり、屈曲性が高いので、取り扱いが容易になる。したがって、レーザ光の照射スポットにおける照射強度が均一で、生産性が高く、取り扱いが容易な光ファイバを実現することができる。
【００１０】
上記ロッドの横断面は、矩形状に形成されていてもよい。
【００１１】
上記の構成によれば、ロッドの横断面の外郭形状が直線部分を含むロッドの形状の一つとして、ロッドの横断面が矩形状に形成されているので、ロッドの４つの各側面と空気との界面で反射を繰り返すことにより、ロッドから出射されるレーザ光の照射スポットにおける照射強度が具体的に均一になる。
【００１２】
上記コアの横断面は、矩形状に形成されていてもよい。
【００１３】
上記の構成によれば、コアの横断面が矩形状に形成されているので、ファイバ本体の他方端から入射したレーザ光がファイバ本体の一方端に到達する間にも、横断面に沿う方向のレーザ光の強度分布が均一になり、ロッドから出射されるレーザ光の照射スポットにおける照射強度がより均一になる。
【００１４】
上記コアの横断面の外郭形状と、上記ロッドの横断面の外郭形状とは、非相似形であってもよい。
【００１５】
上記の構成によれば、コアの横断面の外郭形状とロッドの横断面の外郭形状とが非相似形であるので、ファイバ本体のコアの或る側面とロッドの或る側面とが非平行になり、ロッド内におけるレーザ光のモードのミキシング効果を高くすることができる。
【００１６】
上記ロッドは、上記接続界面側から先端に向けて徐々に横断面が小さく又は大きくなるように形成されていてもよい。
【００１７】
上記の構成によれば、ロッドの横断面が接続界面側から先端に向けて徐々に小さくなるように形成されている場合には、ロッドからの出射ＮＡ（Numerical Aperture：開口数）が（ロッドが融着接続されていないときの）ファイバからの出射ＮＡよりも大きくなる。また、ロッドの横断面が接続界面側から先端に向けて徐々に大きくなるように形成されている場合には、ロッドからの出射ＮＡが（ロッドが融着接続されていないときの）ファイバからの出射ＮＡよりも小さくなる。そのため、ロッドの縦断面の形状により、ロッドからの出射ＮＡを制御することができる。
【００１８】
上記ロッドは、上記接続界面側の側面が粗面化されていてもよい。
【００１９】
上記の構成によれば、ロッドの接続界面側の側面が粗面化されているので、ファイバ本体のクラッド内を伝搬してきたレーザ光（クラッドモード光）を粗面化された側面から外部に放射して、クラッドモード光を除去することができる。
【００２０】
上記ロッド及び上記ファイバ本体の一方端側を収容するコネクタを備え、上記ロッドは、上記接続界面側で上記コネクタの内面に固定されていてもよい。
【００２１】
上記の構成によれば、ロッド及びファイバ本体の一方端側を収容するコネクタの内面にロッドがその接続界面側で固定されているので、ファイバ本体のコア内を伝搬してきたレーザ光がロッドの側面と空気との界面で反射しない領域でロッドをコネクタ内に固定することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、ファイバ本体の一方端に横断面の外郭形状が直線部分を含む石英製のロッドが融着接続されているので、レーザ光の照射スポットにおける照射強度が均一で、生産性が高く、取り扱いが容易な光ファイバを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施形態1に係る光ファイバの縦断面図である。
【図２】（ａ）は、図１中のII−II線に沿った光ファイバの横断面図であり、（ｂ）は、実施形態1に係る光ファイバの変形例１の図２（ａ）相当図であり、（ｃ）は、その変形例２の図２（ａ）相当図である。
【図３】（ａ）は、実施形態1に係る光ファイバの変形例３の図２（ａ）相当図であり、（ｂ）は、その変形例４の図２（ａ）相当図であり、（ｃ）は、その変形例５の図２（ａ）相当図である。
【図４】（ａ）は、実施形態1に係る光ファイバの変形例６の図２（ａ）相当図であり、（ｂ）は、その変形例７の図２（ａ）相当図であり、（ｃ）は、その変形例８の図２（ａ）相当図であり、（ｄ）は、その変形例９の図２（ａ）相当図である。
【図５】実施形態1に係る光ファイバを構成するロッドの必要な長さを説明するための模式図である。
【図６】（ａ）は、実施形態２に係る光ファイバの縦断面図であり、（ｂ）は、実施形態２に係る他の光ファイバの縦断面図である。
【図７】実施形態３に係る光ファイバの縦断面図である。
【図８】（ａ）は、実施形態４に係る光ファイバの縦断面図であり、（ｂ）は、実施形態４に係る他の光ファイバの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。
【００２５】
《発明の実施形態１》
図１〜図５は、本発明に係る光ファイバの実施形態１を示している。ここで、図１は、本実施形態の光ファイバ２０ａの縦断面図である。また、図２（ａ）は、図１中のII−II線に沿った光ファイバ２０ａの横断面図である。また、図２（ｂ）、図２（ｃ）、図３（ａ）〜図３（ｃ）、図４（ａ）〜図４（ｄ）は、光ファイバ２０ａの変形例１〜９の図２（ａ）相当図である。また、図５は、光ファイバ２０ａを構成するロッド１０ａの必要な長さを説明するための模式図である。
【００２６】
光ファイバ２０ａは、図１及び図２（ａ）に示すように、ファイバ本体５ａと、ファイバ本体５ａの側面を被覆するように設けられたジャケット６と、ファイバ本体５ａの一方端に融着接続されたロッド１０ａとを備えている。
【００２７】
ファイバ本体５ａは、図１及び図２（ａ）に示すように、横断面が正方形の矩形状に形成されたコア１ａと、コア１ａを被覆するように設けられたクラッド２ａと、クラッド２ａを被覆するように設けられたサポート層３とを備えている。
【００２８】
コア１ａは、石英により形成され、ほぼ石英単体の屈折率（例えば、１．４５７）を有している。
【００２９】
クラッド２ａは、例えば、フッ素やホウ素などがドープされた石英に形成され、石英単体の屈折率よりも低い屈折率（例えば、１．４４３）を有している。なお、クラッド２ａは、例えば、石英単体の屈折率よりも低い屈折率を有するポリマークラッドであってもよい。
【００３０】
サポート層３は、例えば、コア１ａと実質的に同材質の石英により形成されている。
【００３１】
ジャケット６は、例えば、ナイロン樹脂などにより形成されている。
【００３２】
ロッド１０ａは、石英により形成され、ほぼ石英単体の屈折率（例えば、１．４５７）を有している。また、ロッド１０ａは、図２（ａ）に示すように、横断面が正方形の矩形状に形成され、横断面の外郭形状が４つの直線部分を含んでいる。また、ロッド１０ａは、図１及び図２（ａ）に示すように、ファイバ本体５ａとの接続界面において、コア１ａの端面を覆うように設けられている。
【００３３】
ロッド１０ａの長さは、図５に示すように、コア１ａの横断面の１辺の長さをＷａとし、ロッド１０ａの横断面の１辺の長さをＷｂとし、コア１ａに入射するＮＡをＮＡinとし、石英の屈折率をｎqとすると、長さＬs＝ｎq（Ｗｂ−Ｗａ）／２ＮＡin以上である。なお、コア及びロッドの横断面が長方形である場合には、Ｗｂをロッドの横断面の長辺の長さとし、Ｗａをコアの横断面の短辺の長さとして、長さＬsを算出すればよい。
【００３４】
上記構成の光ファイバ２０ａは、ファイバ本体５ａの他方端（図１中の左側）のコア１ａの端面から入射させたレーザ光が、コア１ａとクラッド２ａとの界面で反射を繰り返しながらコア１ａ内で伝搬し、ファイバ本体５ａに融着接続されたロッド１０ａ内において、ロッド１０ａの４つの各側面と空気との界面のエアクラッドで反射を繰り返してモードをミキシングしながら伝搬した後に、ロッド１０ａの端面（図１中の右側）から出射するように構成されている。
【００３５】
なお、本実施形態の光ファイバは、図２（ｂ）に示すように、ファイバ本体５ａと（横断面の外郭形状が５つの直線部分を含む）横断面が５角形に形成されたロッド１０ｂとを融着接続させてもよい。また、本実施形態の光ファイバは、図２（ｃ）に示すように、ファイバ本体５ａと（横断面の外郭形状が６つの直線部分を含む）横断面が６角形に形成されたロッド１０ｃとを融着接続させてもよい。
【００３６】
さらに、本実施形態の光ファイバは、図３（ａ）に示すように、コア１ｂの横断面が円形に形成され、その形状に対応するクラッド２ｂを有するファイバ本体５ｂとロッド１０ａとを融着接続させてもよい。また、本実施形態の光ファイバは、図３（ｂ）に示すように、ファイバ本体５ｂとロッド１０ｂとを融着接続させてもよい。また、本実施形態の光ファイバは、図３（ｃ）に示すように、ファイバ本体５ｂとロッド１０ｃとを融着接続させたてもよい。
【００３７】
さらに、本実施形態の光ファイバは、ファイバ本体のコアの横断面の外郭形状と、ロッドの横断面の外郭形状とが非相似形であってもよい。すなわち、図４（ａ）に示すように、ファイバ本体５ａとロッド１０ａとをファイバ周方向に傾斜した状態で融着接続させてもよい。また、図４（ｂ）に示すように、コア１ｃの横断面が長方形に形成され、その形状に対応するクラッド２ｃを有するファイバ本体５ｃとロッド１０ａとを融着接続させてもよい。また、図４（ｃ）に示すように、ファイバ本体５ｃとロッド１０ａとをファイバ周方向に傾斜した状態で融着接続させてもよい。また、図４（ｄ）に示すように、コア１ａの横断面が５角形に形成され、その形状に対応するクラッド２ｄを有するファイバ本体５ｄとロッド１０ａとを融着接続させてもよい。これらの構成によれば、ファイバ本体のコア１ａ、１ｃ及び１ｄの或る側面とロッド１０ａの或る側面とが非平行になり、ロッド１０ａ内におけるレーザ光のモードのミキシング効果を高くすることができる。
【００３８】
以上説明したように、本実施形態の光ファイバ２０ａによれば、ファイバ本体５ａの一方端に融着接続された石英製のロッド１０ａの横断面が矩形状に形成され、ロッド１０ａの横断面の外郭形状が４つの直線部分を含んでいる。そのため、ファイバ本体５ａのコア１ａ内を伝搬した後にロッド１０ａに入射したレーザ光が、ロッド１０ａの４つの各側面と空気との界面で反射を繰り返すことになる。これにより、レーザ光のモードがミキシングされるので、ロッド１０ａから出射されるレーザ光の照射スポットにおける照射強度が均一になる。また、ファイバ本体５ａは、石英製のコア１ａと、そのコア１ａを被覆するように設けられたクラッド２ａとを備えた一般的な光ファイバであり、その一方端に石英製のロッド１０ａを融着接続するだけで製造可能であるので、生産性が高い。また、ファイバ本体５ａは、一般的な光ファイバであり、屈曲性が高いので、取り扱いが容易になる。したがって、レーザ光の照射スポットにおける照射強度が均一で、生産性が高く、取り扱いが容易な光ファイバ２０ａを実現することができる。
【００３９】
また、本実施形態の光ファイバ２０ａによれば、コア１ａの横断面が矩形状に形成されているので、ファイバ本体５ａの他方端から入射したレーザ光がファイバ本体５ａの一方端に到達する間にも、横断面に沿う方向のレーザ光の強度分布が均一になり、ロッド１０ａから出射されるレーザ光の照射スポットにおける照射強度をより均一にすることができる。
【００４０】
《発明の実施形態２》
図６（ａ）は、本実施形態の光ファイバ２０ｂの縦断面図であり、図６（ｂ）は、本実施形態に係る光ファイバ２０ｃの縦断面図である。なお、以下の各実施形態において、図１〜図５と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００４１】
光ファイバ２０ｂは、図６（ａ）に示すように、ファイバ本体５ａと、ファイバ本体５ａの側面に設けられたジャケット６と、ファイバ本体５ａの一方端に融着接続されたロッド１０ｄとを備えている。
【００４２】
ロッド１０ｄは、石英により形成され、ほぼ石英単体の屈折率（例えば、１．４５７）を有している。また、ロッド１０ｄは、横断面が正方形の矩形状に形成されている。また、ロッド１０ｄは、図６（ａ）に示すように、ファイバ本体５ａとの接続界面において、コア１ａの端面を覆うように設けられている。また、ロッド１０ｄは、図６（ａ）に示すように、接続界面側から先端に向けて徐々に横断面が大きくなるように形成されている。
【００４３】
上記構成の光ファイバ２０ｂは、ファイバ本体５ａのコア１ａの端面から入射させたレーザ光が、コア１ａ内で伝搬し、ファイバ本体５ａに融着接続されたロッド１０ｄ内において、ロッド１０ｄの４つの各側面と空気との界面のエアクラッドで反射を繰り返してモードをミキシングしながら伝搬した後に、ロッド１０ｄの端面から出射するように構成されている。ここで、ロッド１０ｄは、横断面が接続界面側から先端に向けて徐々に大きくなるように形成されているので、ロッド１０ｄからの出射ＮＡが（ロッド１０ｄが融着接続されていないときの）ファイバからの出射ＮＡよりも小さくなる。
【００４４】
光ファイバ２０ｃは、図６（ｂ）に示すように、ファイバ本体５ａと、ファイバ本体５ａの側面に設けられたジャケット６と、ファイバ本体５ａの一方端に融着接続されたロッド１０ｅとを備えている。
【００４５】
ロッド１０ｅは、石英により形成され、ほぼ石英単体の屈折率（例えば、１．４５７）を有している。また、ロッド１０ｅは、横断面が正方形の矩形状に形成されている。また、ロッド１０ｅは、図６（ｂ）に示すように、ファイバ本体５ａとの接続界面において、コア１ａの端面を覆うように設けられている。また、ロッド１０ｅは、図６（ｂ）に示すように、接続界面側から先端に向けて徐々に横断面が小さくなるように形成されている。
【００４６】
上記構成の光ファイバ２０ｃは、ファイバ本体５ａのコア１ａの端面から入射させたレーザ光が、コア１ａ内で伝搬し、ファイバ本体５ａに融着接続されたロッド１０ｅ内において、ロッド１０ｅの４つの各側面と空気との界面のエアクラッドで反射を繰り返してモードをミキシングしながら伝搬した後に、ロッド１０ｅの端面から出射するように構成されている。ここで、ロッド１０ｅは、横断面が接続界面側から先端に向けて徐々に大きくなるように形成されているので、ロッド１０ｅからの出射ＮＡが（ロッド１０ｅが融着接続されていないときの）ファイバからの出射ＮＡよりも大きくなる。
【００４７】
以上説明したように、本実施形態の光ファイバ２０ｂ及び２０ｃによれば、ファイバ本体５ａの一方端に横断面が矩形状に形成された石英製のロッド１０ｄ及び１０ｅが融着接続されているので、上記実施形態１と同様に、レーザ光の照射スポットにおける照射強度が均一で、生産性が高く、取り扱いが容易な光ファイバ２０ｂ及び２０ｃを実現することができる。
【００４８】
また、本実施形態の光ファイバ２０ｂ及び２０ｃによれば、ロッド１０ｄ及び１０ｅの横断面が接続界面側から先端に向けて徐々に大きく又は小さくなるように形成されているので、ロッド１０ｄ及び１０ｅの縦断面の形状により、ロッド１０ｄ及び１０ｅからの出射ＮＡを制御することができる。
【００４９】
《発明の実施形態３》
図７は、本実施形態の光ファイバ２０ｄの縦断面図である。
【００５０】
光ファイバ２０ｄは、図７に示すように、ファイバ本体５ａと、ファイバ本体５ａの側面に設けられたジャケット６と、ファイバ本体５ａの一方端に融着接続されたロッド１０ｆとを備えている。
【００５１】
ロッド１０ｆは、石英により形成され、ほぼ石英単体の屈折率（例えば、１．４５７）を有している。また、ロッド１０ｆは、横断面が正方形の矩形状に形成されている。また、ロッド１０ｆは、図７に示すように、ファイバ本体５ａとの接続界面において、コア１ａの端面を覆うように設けられている。また、ロッド１０ｆは、図７に示すように、接続界面側の側面が粗面に形成されている。ここで、粗面に形成された側面の長さは、例えば、上記実施形態１で説明した長さＬsである。
【００５２】
上記構成の光ファイバ２０ｄは、ファイバ本体５ａのコア１ａの端面から入射させたレーザ光が、コア１ａ内で伝搬し、ファイバ本体５ａに融着接続されたロッド１０ｆ内において、ロッド１０ｆの４つの各側面と空気との界面のエアクラッドで反射を繰り返してモードをミキシングしながら伝搬した後に、ロッド１０ｆの端面から出射するように構成されている。ここで、ロッド１０ｆは、接続界面側の側面が粗面に形成されているので、ファイバ本体５ａのクラッド２ａ内を伝搬してきたレーザ光（クラッドモード光）が粗面化された側面から外部に放射される。
【００５３】
以上説明したように、本実施形態の光ファイバ２０ｄによれば、ファイバ本体５ａの一方端に横断面が矩形状に形成された石英製のロッド１０ｆが融着接続されているので、上記実施形態１及び２と同様に、レーザ光の照射スポットにおける照射強度が均一で、生産性が高く、取り扱いが容易な光ファイバ２０ｄを実現することができる。
【００５４】
また、本実施形態の光ファイバ２０ｄによれば、ロッド１０ｆの接続界面側の側面が粗面化されているので、ファイバ本体５ａのクラッド２ａ内を伝搬してきたクラッドモード光を粗面化された側面から外部に放射して、クラッドモード光を除去することができる。
【００５５】
《発明の実施形態４》
図８（ａ）は、本実施形態の光ファイバ２０ｅの縦断面図であり、図８（ｂ）は、本実施形態の光ファイバ２０ｆの縦断面図である。
【００５６】
光ファイバ２０ｅは、図８（ａ）に示すように、ファイバ本体５ａと、ファイバ本体５ａの側面に設けられたジャケット６と、ファイバ本体５ａの一方端に融着接続されたロッド１０ａと、ロッド１０ａ及びファイバ本体５ａの一方端側を収容するコネクタ１５と、コネクタ１５内でロッド１０ａを保持するロッド保持部１６と、コネクタ１５内でジャケット６を保持するジャケット保持部１７とを備えている。
【００５７】
コネクタ１５は、例えば、真鍮、銅、アルミニウム、ステンレスなどにより、円筒状に形成されている。
【００５８】
ロッド保持部１６及びジャケット保持部１７は、例えば、コネクタ１５の内面とロッド１０ａ及びジャケット６の各側面との間に設けられた接着剤、コネクタ１５に螺着されてロッド１０ａ及びジャケット６の各側面に突き当てる固定ネジなどである。ここで、ロッド保持部１６は、ロッド１０ａの接続界面側に設けられている。なお、ロッド保持部１６が設けられるロッド１０ａの領域は、例えば、上記実施形態１で説明した長さＬs以内である。
【００５９】
光ファイバ２０ｆは、図８（ｂ）に示すように、ファイバ本体５ａと、ファイバ本体５ａの側面に設けられたジャケット６と、ファイバ本体５ａの一方端に融着接続されたロッド１０ｇと、ロッド１０ｇ及びファイバ本体５ａの一方端側を収容するコネクタ１５と、コネクタ１５内でロッド１０ｇを保持するロッド保持部１６と、コネクタ１５内でジャケット６を保持するジャケット保持部１７とを備えている。ここで、ロッド１０ｇは、石英により形成され、ほぼ石英単体の屈折率（例えば、１．４５７）を有している。また、ロッド１０ｇは、横断面が正方形の矩形状に形成されている。また、ロッド１０ｇは、図８（ｂ）に示すように、ファイバ本体５ａとの接続界面において、コア１ａの端面を覆うように設けられている。また、ロッド１０ｇは、図８（ｂ）に示すように、接続界面から中間部分に向けて徐々に横断面が大きくなるように形成されている。
【００６０】
以上説明したように、本実施形態の光ファイバ２０ｅ及び２０ｆによれば、ファイバ本体５ａの一方端に横断面が矩形状に形成された石英製のロッド１０ａ及び１０ｇが融着接続されているので、上記実施形態１及び２と同様に、レーザ光の照射スポットにおける照射強度が均一で、生産性が高く、取り扱いが容易な光ファイバ２０ｅ及び２０ｆを実現することができる。
【００６１】
また、本実施形態の光ファイバ２０ｅ及び２０ｆによれば、ロッド１０ａ及び１０ｇ並びにファイバ本体５ａの一方端側を収容するコネクタ１５の内面にロッド１０ａ及び１０ｇがその接続界面側で固定されているので、ファイバ本体５ａのコア１ａ内を伝搬してきたレーザ光がロッド１０ａ及び１０ｇの各側面と空気との界面で反射しない領域でロッド１０ａ及び１０ｇをコネクタ１５内に固定することができる。
【００６２】
なお、本実施形態では、ロッド１０ａ及び１０ｇの端面がコネクタ１５から露出する光ファイバ２０ｅ及び２０ｆを例示したが、ロッド１０ａ及び１０ｇの表面に汚れが付着することを抑制するために、コネクタ１５の先端にキャップを取り付けてもよい。
【００６３】
また、上記各実施形態では、横断面の外郭形状が直線部分を含む形状として、横断面が矩形状、５角形状、６角形状に形成されたロッドを備えた光ファイバを例示したが、ロッドの横断面は、その他の多角形、横断面の外郭形状が１つの直線部分を含むＤ型などであってもよい。
【００６４】
また、上記各実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物や用途の範囲を制限することを意図するものではない。また、各実施形態に記載された技術的特徴は、互いに組合せ可能であり、組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
以上説明したように、本発明は、均一な照射強度でレーザ光が出射されるので、半導体の表面剥離加工などのレーザ加工について有用である。
【符号の説明】
【００６６】
１ａ〜１ｄ    コア
２ａ〜２ｄ    クラッド
５ａ〜５ｄ    ファイバ本体
１０ａ〜１０ｇ    ロッド
１５          コネクタ
２０ａ〜２０ｆ    光ファイバ
【図１】
2015141371.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2015141371.tif 000006
【図５】
2015141371.tif 000007
【図６】
2015141371.tif 000008
【図７】
2015141371.tif 000009
【図８】
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