(57)【要約】【課題】より高強度な強化ガラス板について、その製造方法を提供する。【解決手段】ガラス板を化学強化する化学強化工程と、該化学強化工程後に、ガラス板の表面を研磨する強化後研磨工程と、を備える強化ガラス板の製造方法であって、強化後研磨工程では、発砲樹脂層を有するスエードパッドが用いられる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板を化学強化する化学強化工程と、
該化学強化工程後に、前記ガラス板の表面を研磨する強化後研磨工程と、を備える強化ガラス板の製造方法であって、
前記強化後研磨工程では、スエードパッドが用いられることを特徴とする強化ガラス板の製造方法。
【請求項２】
両面研磨装置のサンギヤとリングギヤとの間で遊星歯車運動を行うガラス板用キャリアに強化ガラス板を保持させ、前記ガラス板用キャリアに保持された強化ガラス板を上定盤と下定盤に取り付けた研磨パッドの間に挟み、砥粒を含有する研磨液を供給しながら研磨することで強化ガラス板を製造する、強化ガラス板の製造方法であって、
前記研磨パッドは、スエードパッドであることを特徴とする強化ガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記スエードパッドは、バフ処理されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の強化ガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記スエードパッドは、不織布上に積層されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の強化ガラス板の製造方法。
【請求項５】
砥粒は、平均粒子直径が０．２〜１．５μｍの酸化セリウムを５０％以上含む砥粒であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の強化ガラス板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、強化ガラス板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
スマートフォンなどの携帯電話やＰＤＡなどの携帯機器において、ディスプレイを保護するため、カバーガラスが用いられる。近年、携帯機器の薄型化・軽量化への技術が要求され、カバーガラスの軽量化及び薄板化が進行している。一般的に、ガラス板が薄くなると強度が低下するため、従来よりも強度の高いカバーガラスが求められる。また、カバーガラス以外でも、より高強度のガラス板が求められている。ガラス板の強度不足を補う方法として、ガラス板をイオン交換法などにより化学強化する技術が開発されている。化学強化により、ガラス板の表面に圧縮応力層を形成することで、撓みを抑え、また破損しにくいガラス板を提供出来る。
【０００３】
特許文献１には、化学強化後に平均粒径が８０ｎｍ以下のコロイダルシリカを含むスラリーを用いて研磨する強化後研磨工程を行うことで、より高強度でかつ軽量である強化ガラス板を提供する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２１８９９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、カバーガラス等に用いられるガラス板においては、その主表面に外部より大きい応力をうけるため、より高強度であることが要求される。
【０００６】
そこで、本発明では、より高強度な強化ガラス板について、その製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、以下の態様を提供するものである。
（１）  ガラス板を化学強化する化学強化工程と、
該化学強化工程後に、前記ガラス板の表面を研磨する強化後研磨工程と、を備える強化ガラス板の製造方法であって、
前記強化後研磨工程では、スエードパッドが用いられることを特徴とする強化ガラス板の製造方法。
（２）  両面研磨装置のサンギヤとリングギヤとの間で遊星歯車運動を行うガラス板用キャリアに強化ガラス板を保持させ、前記ガラス板用キャリアに保持された強化ガラス板を上定盤と下定盤に取り付けた研磨パッドの間に挟み、砥粒を含有する研磨液を供給しながら研磨することで強化ガラス板を製造する、強化ガラス板の製造方法であって、
前記研磨パッドは、スエードパッドであることを特徴とする強化ガラス板の製造方法。
（３）  前記スエードパッドは、バフ処理されていることを特徴とする（１）又は（２）に記載の強化ガラス板の製造方法。
（４）  前記スエードパッドは、不織布上に積層されていることを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の強化ガラス板の製造方法。
（５）  砥粒は、平均粒子直径が０．２〜１．５μｍの酸化セリウムを５０％以上含む砥粒であることを特徴とする（１）〜（４）のいずれかに記載の強化ガラス板の製造方法。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の強化ガラス板の製造方法によれば、高強度の強化ガラス板を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】両面研磨装置の概略構成図である。
【図２】両面研磨装置において研磨パッド間に挟持された強化ガラス板の模式図である。
【図３】カバーガラスの製造方法のフローを説明するフロー図である。
【図４】研磨パッドの断面の写真を示す図であり、（ａ）はスエードパッドであり、（ｂ）は不織布パッドであり、（ｃ）は硬質ウレタンパッドである。
【図５】研磨パッドの表面の写真を示す図であり、（ａ）はスエードパッドであり、（ｂ）は不織布パッドであり、（ｃ）は硬質ウレタンパッドである。
【図６】強度試験の方法を説明するための概略図である。
【図７】強化後研磨された強化ガラス板の原子力間顕微鏡写真を示す図であり、（ａ）はスエードパッドと不織布パッドの二層構造のパッドで研磨された強化ガラス板であり、（ｂ）はスエードパッドで研磨された強化ガラス板であり、（ｃ）は不織布パッドで研磨された強化ガラス板であり、（ｄ）は硬質ウレタンパッドで研磨された強化ガラス板である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の強化ガラス板の製造方法の一実施形態について図面を参照して説明する。
本発明の強化ガラス板の製造方法は、ガラス板を化学強化する化学強化工程と、該化学強化工程後に、前記ガラス板の表面を研磨する強化後研磨工程と、を備える。
【００１１】
［化学強化工程］
化学強化工程では、ガラスの表面をイオン交換し、圧縮応力が残留する表面層を形成させる。具体的には、ガラスの表面をイオン交換することにより、ガラスに含まれる小さなイオン半径のイオン（例えば、Ｌｉイオン、Ｎａイオン）が、大きなイオン半径のイオン（例えば、Ｋイオン）に置換される。これにより、ガラスの表面に圧縮応力が残留し、ガラスの強度が向上する。
【００１２】
化学強化用のガラス板の組成は、化学強化をすることができれば、特に限定されない。好ましいガラス板の組成としては、例えば、酸化物基準のモル％表示で、ＳｉＯ２：５０〜８０％、Ａｌ２Ｏ３：２〜２５％、Ｌｉ２Ｏ：０〜１０％、Ｎａ２Ｏ：０〜１８％、Ｋ２Ｏ：０〜１０％、ＭｇＯ：０〜１５％、ＣａＯ：０〜５％及びＺｒＯ２：０〜５％を含むガラスである。
【００１３】
他にも、酸化物基準のモル％表示で、ＳｉＯ２：５０〜７４％、Ａｌ２Ｏ３：１〜１０％、Ｎａ２Ｏ：６〜１４％、Ｋ２Ｏ：３〜１１％、ＭｇＯ：２〜１５％、ＣａＯ：０〜６％及びＺｒＯ２：０〜５％を含み、ＳｉＯ２及びＡｌ２Ｏ３の含有量の合計が７５％以下、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏの含有量の合計が１２〜２５％、ＭｇＯ及びＣａＯの含有量の合計が７〜１５％であるガラス、ＳｉＯ２：６８〜８０％、Ａｌ２Ｏ３：４〜１０％、Ｎａ２Ｏ：５〜１５％、Ｋ２Ｏ：０〜１％、ＭｇＯ：４〜１５％及びＺｒＯ２：０〜１％を含むガラス、ＳｉＯ２：６７〜７５％、Ａｌ２Ｏ３：０〜４％、Ｎａ２Ｏ：７〜１５％、Ｋ２Ｏ：１〜９％、ＭｇＯ：６〜１４％及びＺｒＯ２：０〜１．５％を含み、ＳｉＯ２及びＡｌ２Ｏ３の含有量の合計が７１〜７５％、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏの含有量の合計が１２〜２０％であり、ＣａＯを含有する場合、その含有量が１％未満であるガラスを使用することが好ましい。
【００１４】
ガラス板は、フロート法、フュージョンダウンドロー法、スリットダウンドロー法、リドロー法などの方法により作製される。
【００１５】
また、ガラス板の厚みは、用途によって異なるが、携帯電話などのカバーガラス用途の場合、通常、０．２ｍｍ〜２．５ｍｍ程度であり、好ましくは、０．３ｍｍ〜０．７ｍｍである。
【００１６】
イオン交換による化学強化を施した強化ガラス板は、その表面に欠陥が発生する。また、最大で１μｍ程度の微細な凹凸が残留することがある。ガラスに力が作用する場合、前述の欠陥や微細な凹凸が存在する箇所に応力が集中し、理論強度よりも小さな力でも割れることがある。そのため、本発明では、化学強化後のガラス板の表面に存在する、欠陥及び微細な凹凸を有する層（欠陥層と呼ぶ）を除去する。なお、欠陥が存在する欠陥層の厚さは、化学強化の条件にもよるが、通常、０．０１〜０．５μｍである。
【００１７】
［強化後研磨工程］
欠陥及び微細な凹凸を含む欠陥層を除去する方法としては、図１及び図２に示す両面研磨装置１２により研磨を行う方法が挙げられる。
【００１８】
両面研磨装置１２には、図１に示すように、ガラス板３０（図２参照）を設置可能なガラス板用キャリア１０がサンギヤ１３、リングギヤ１４間にセットされる。サンギヤ１３、リングギヤ１４及びガラス板用キャリア１０の外周面に形成されたギヤ部は、遊星歯車機構を構成し、サンギヤ１３、リングギヤ１４を所定の回転比率で回転駆動することにより、ガラス板用キャリア１０が自転しながらサンギヤ１３の周りを公転する遊星歯車運動を行う。
【００１９】
このとき、ガラス板用キャリア１０は、ギヤ部１０ａの内側のガラス板保持部１０ｂに形成されたガラス板保持孔１１にガラス板３０を保持した状態で、図２に示すように、ガラス板３０と対向する面に研磨パッド１６、１８が装着された上定盤１５と下定盤（図示せず）との間に狭持され、ガラス板３０が所定の研磨荷重で押圧されている。そして、研磨パッド１６、１８とガラス板用キャリア１０、ガラス板３０との間には砥粒を含有する研磨液（研磨スラリー）が供給され、上定盤１５と下定盤とが相対回転することでガラス板用キャリア１０に保持されたガラス板の両主平面が同時に研磨される。
【００２０】
研磨パッド１６、１８は、スエードパッドである。スエードパッドは、発砲樹脂層をＰＥＴ等の基材に貼り付けたものであり、４．５ｍｍ厚に積層した硬度がショアＡ硬度で４５〜９５である。発砲樹脂層は典型的には（軟質）ポリウレタンである。スエードパッドは、発砲樹脂層の表面がバフ（バフィング）処理されることで発砲樹脂層が開口したバフ処理スエードパッドであってもよく、発砲樹脂層の表面がバフ処理されずに発砲樹脂層が開口していないバフ未処理スエードパッドであってもよい。図４（ａ）にはバフ未処理スエードパッドの断面の写真、図５（ａ）にはバフ処理スエードパッドの表面の写真が示されている。
【００２１】
また、基材上に軟質下地層を取り付け、さらにその上にバフ処理スエードパッド又はバフ未処理スエードパッドを取り付けることで２層構造を有する２層スエードパッドとしてもよい。軟質下地層は、不職布パッド、織布パッド等が挙げられ、不織布パッドが好ましい。スエードパッドとしては、バフ処理スエードパッドが好ましく、２層スエードパッドがさらに好ましい。
【００２２】
スエードパッドは、硬質ウレタンパッドの厚さ（典型的には１．５ｍｍ〜２．０ｍｍ）に比べて薄く、典型的には０．３ｍｍ〜０．９ｍｍ程度の厚さを有する。また、パッド表面に形成される溝深さについても、硬質ウレタンパッドの溝深さ（典型的には１．２ｍｍ〜１．７ｍｍ）に比べて浅く、典型的には０．２ｍｍ〜０．８ｍｍ程度の厚さを有する。
【００２３】
ガラス板用キャリア１０はプリプレグを複数枚積層することで製作される。プリプレグの材質については特に限定されるものではなく、目的とするガラス板用キャリア１０の変形量等によって選択することができる。例えば、基材としてはガラス繊維布、ガラス繊維不織布、アラミド繊維不織布、ポリエステル繊維布等を用い、これにエポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂等の樹脂を含浸させた物を用いることができる。
【００２４】
また、用いるプリプレグは一種類に限定されず異なる材料のプリプレグを積層してもよい。積層したプリプレグを、プレス機で加圧、加熱することにより、ガラス板用キャリア１０が作製される。
【００２５】
研磨液（研磨スラリー）は、例えば、コロイダルシリカ、酸化セリウムなどの希土類酸化物、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ケイ素、炭化ケイ素、酸化マンガン、酸化鉄、ダイヤモンド、窒化ホウ素及びジルコンなどの、公知の砥粒を含むスラリーが用いられる。砥粒は、１種類を単独で使用しても良く、２種類以上を併用して使用してもよく、平均粒子直径が０．２〜１．５μｍの酸化セリウムを５０％以上含むことが好ましい。
【００２６】
［その他の工程］
本発明の強化ガラス板の製造方法は、化学強化する工程の前に、ガラス板の表面に存在する傷（クラック）やガラス板の撓みや凹みを除去する、その他の工程を含んでも良い。化学強化処理の前に、ガラス板の表面のクラックを除去する方法としては、前述の欠陥層を除去する工程と同様に、ガラス板の表面を研磨する方法が挙げられる。
【００２７】
次に、本発明の強化ガラス板の製造方法の一例としてカバーガラスの製造方法について図３を参照しながら説明する。
カバーガラスの製造方法は、先ず、フロート法等により製造されたガラス板を切断し所定のガラス素板を採板する（Ｓ１）。続いて、所望のカバーガラスのサイズにあうように切断処理され、端面の面取り処理が行われる（Ｓ２）。続いて、両面研磨装置１２を用いてガラス板の表面を研磨（強化前研磨）してクラックを除去する（Ｓ３）。
【００２８】
続いて、化学強化が行われる（Ｓ４）。例えば、４００℃〜４５０℃のＫＮＯ３溶融塩に１時間〜１０時間浸漬することにより化学強化が施される。また、化学強化後に、ガラス板に付着する溶融塩などの付着物などを除去する目的で、水で洗浄することが好ましい。
【００２９】
続いて、両面研磨装置１２を用いてガラス板の表面を研磨（強化後研磨）して化学強化によりガラス板の表面に形成された欠陥層を除去する（Ｓ５）。最後に、ガラス板の周縁部に遮光性を有する黒色層等が印刷され（Ｓ６）、カバーガラスが製造される。
【００３０】
本発明の特徴である、スエードパッドは、強化後研磨（Ｓ５）に適用する限り、強化前研磨（Ｓ３）に適用してもよい。
【実施例】
【００３１】
以下に、実施例などにより本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの例によって限定されるものではない。
【００３２】
全ての実施例及び比較例において、フロート法により成形した後に切断して得た縦３００ｍｍ×横２２５ｍｍ×厚さ０．５６ｍｍの平板ガラスを用いた。使用した平板ガラスの組成は、酸化物基準のモル％表示で、ＳｉＯ２：６４％、Ａｌ２Ｏ３：８％、ＭｇＯ：１１％、Ｎａ２Ｏ：１２．５％、ＺｒＯ２：０．５％であった。
【００３３】
以下の実施例および比較例では、次の各工程を適宜組み合わせて行った。
【００３４】
（化学強化）
平板ガラスを、ＫＮＯ３溶融塩に浸漬し、イオン交換処理した後、室温付近まで冷却することにより化学強化する。このとき、ＫＮＯ３溶融塩の温度は４３５℃とし、浸漬時間は４時間とする。得られた化学強化ガラス（以下、強化ガラスと呼ぶ。）は水洗いし、次の酸化セリウム研磨又はコロイダルシリカ研磨工程に供する。強化後の強化ガラスは、表面圧縮応力（ＣＳ）が７００±５０ＭＰａ、圧縮応力層深さ（ＤＯＬ）が１８±２μｍであった。
【００３５】
（酸化セリウム研磨）
研磨スラリーとして、平均粒子直径（ｄ５０）が１μｍの酸化セリウムを水に分散させてスラリーを作製し、得られたスラリーを用いて、強化ガラスを約２．０μｍ研磨する。この平均粒子直径（ｄ５０）が１μｍの酸化セリウムを水に分散させたスラリーには、最大で１０μｍ程度の酸化セリウムの粒子が存在している。
【００３６】
（コロイダルシリカ研磨）
研磨スラリーとして、平均粒子直径（ｄ５０）が８０ｎｍのコロイダルシリカ（コンポール８０；フジミインコーポレーテッド社製）を水に分散させてスラリーを作製し、得られたスラリーを用いて、強化ガラスを約２．０μｍ研磨する。
【００３７】
［実施例１］
前記化学強化工程により平板ガラスを強化した後、強化ガラスにコロイダルシリカ研磨を行った。研磨パッドとして、不織布パッドをＰＥＴ基材に貼り付け、さらに不織布パッド上に発砲樹脂層の表面がバフ処理されたバフ処理スエードパッドを貼り付け、不織布パッドとバフ処理スエードパッドの２層構造を有する２層スエードパッドを用いた。
【００３８】
［実施例２］
前記化学強化工程により平板ガラスを強化した後、強化ガラスに酸化セリウム研磨を行った。研磨パッドとして、不織布パッドをＰＥＴ基材に貼り付け、さらに不織布パッド上に発砲樹脂層の表面がバフ処理されたバフ処理スエードパッドを貼り付け、不織布パッドとバフ処理スエードパッドの２層構造を有する２層スエードパッドを用いた。
【００３９】
［実施例３］
前記化学強化工程により平板ガラスを強化した後、強化ガラスに酸化セリウム研磨を行った。研磨パッドとして、表面がバフ処理された発砲樹脂層をＰＥＴ基材に貼り付けたバフ処理スエードパッドを用いた。
【００４０】
［実施例４］
前記化学強化工程により平板ガラスを強化した後、強化ガラスに酸化セリウム研磨を行った。研磨パッドとして、表面がバフ処理されていない発砲樹脂層をＰＥＴ基材に貼り付けたバフ未処理スエードパッドを用いた。
【００４１】
［比較例１］
前記化学強化工程により平板ガラスを強化した後、強化ガラスに酸化セリウム研磨を行った。研磨パッドとして、不織布をＰＥＴ基材に貼り付けた不織布パッドを用いた。
【００４２】
［比較例２］
前記化学強化工程により平板ガラスを強化した後、強化ガラスに酸化セリウム研磨を行った。研磨パッドとして、硬質ウレタンをＰＥＴ基材に貼り付けた硬質ウレタンパッドを用いた。
【００４３】
実施例及び比較例における各研磨処理の条件を、表１に示す。
【００４４】
【表１】
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【００４５】
［評価方法］
以下、評価方法を説明する。各実施例と比較例に関し、研磨処理後に下記のＢａｌｌ ｏｎ Ｒｉｎｇ試験を行った。図６に、本発明で用いた強度試験を説明するための概略図を示す。
【００４６】
《Ｂａｌｌ ｏｎ Ｒｉｎｇ試験》
Ｂａｌｌ ｏｎ Ｒｉｎｇ（ＢＯＲ）試験では、強化ガラス板１を水平に載置した状態で、ＳＵＳ３０４製の加圧治具２を用いて強化ガラス板１を加圧し、強化ガラス板１の強度を測定した。図６において、ＳＵＳ３０４製の受け治具３の上に、サンプルとなる強化ガラス板１が水平に設置されている。強化ガラス板１の上方には、強化ガラス板１を加圧するための、加圧治具２が設置されている。
【００４７】
本実施の形態においては、実施例及び比較例の研磨処理後に得られた強化ガラスを５０ｍｍ角に切断後、上方から、強化ガラス板１の中央領域を加圧した。なお、試験条件は下記の通りである。
サンプルの厚み：０．５６（ｍｍ）
加圧治具２の下降速度：１．０（ｍｍ／ｍｉｎ）
この時、ガラスが破壊された際の、破壊荷重（単位Ｎ）をＢＯＲ強度とし、２０回の測定値の範囲を表１に示した。なお、実施例１については、２０回の測定の平均値である。
【００４８】
ＢＯＲ強度の結果から、同じ研磨パッドである２層スエードパッドを用いた実施例１、２を比較すると、砥粒の平均粒子直径（ｄ５０）が顕著に小さい実施例１において、ＢＯＲ強度が高い結果となった。これは、平均粒子直径（ｄ５０）が大きく異なる砥粒で研磨した場合、強化ガラス板の表面粗さが大きく異なるためと考えられる。ただし、砥粒の平均粒子直径（ｄ５０）が小さいと、同じ研磨量を研磨しようとすると、その分、研磨時間が長くなってしまう。
【００４９】
次に、同じ研磨砥粒（酸化セリウム）を用いた実施例２〜４及び比較例１、２において、ＢＯＲ強度を比較すると、比較例１（不織布パッド）、２（硬質ウレタンパッド）に比べて、スエードパッドを用いた実施例２〜４が高い結果となった。
【００５０】
この結果について図４の断面写真と図５の表面写真を参照しながら考察すると、硬質ウレタンパッドでは、砥粒に含有される酸化セリウムの粒子（最大で１０μｍ程度）よりも大きなポア（空孔）が存在するものの、硬質ウレタンパッド自体が硬いため、ポア以外の表面に、砥粒の逃げ場がなく、砥粒とガラス表面の接触がハードとなり、微小な傷が発生しやすいものと考えられる。そのため、ＢＯＲ強度が低くなるものと考えられる。
【００５１】
これに対し、スエードパッドでは、発砲樹脂層自体柔らかく弾性的に変形することができるため、砥粒とガラス表面の接触が極めてマイルドとなり、微小な傷が発生しづらいものと考えられる。特に、バフ処理スエードパッドにおいては、砥粒に含有される酸化セリウムの粒子（最大で１０μｍ程度）よりも大きなポアが形成されるとともに、発砲樹脂層自体にも酸化セリウムの粒子の平均粒子直径（ｄ５０）と同程度の微小なポアが形成されるため、砥粒とガラス表面の接触が極めてマイルドとなり、微小な傷が発生しづらいものと考えられる。そのため、硬質ウレタンパッドに比べてＢＯＲ強度が高くなるものと考えられる。
【００５２】
また、不織布パッドでは、酸化セリウムの粒子の平均粒子直径（ｄ５０）と同程度の微小なポアが形成されるものの、繊維の向きによっては砥粒に含有される酸化セリウムの粒子（最大で１０μｍ程度）よりも繊維間距離が小さくなるため、繊維の向きでガラス表面との接触が変わる。砥粒とガラス表面の接触は、基本的にマイルドな接触となり、微小な傷が発生しづらいものと考えられる。そのため、硬質ウレタンパッドに比べてＢＯＲ強度が高くなるものと考えられる。
【００５３】
そこで、ガラス表面の状態がよければＢＯＲ強度が高くなるかどうかを検証するため、さらに実施例２、３及び比較例１、２について原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を用いて表面粗さ（Ｒａ）の測定をした。表面粗さ（Ｒａ）の結果について表２に示し、実施例１、３及び比較例１、２におけるＢＯＲ強度と表面粗さ（Ｒａ）の結果について順位付けしたものを表３に示した。
【００５４】
【表２】
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【００５５】
【表３】
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【００５６】
表３の結果から、実施例３（バフ処理スエードパッド）と比較例１（不織布パッド）を比較すると、比較例１（不織布パッド）の方が実施例３（バフ処理スエードパッド）に比べて表面粗さ（Ｒａ）が小さいにもかかわらず、ＢＯＲ強度では、実施例３（バフ処理スエードパッド）の方が比較例１（不織布パッド）よりもよい結果、即ち強度が高い結果となった。従って、必ずしも強化ガラスのＢＯＲ強度と表面粗さ（Ｒａ）は一致せず、強化ガラスに対し、スエードパッドを用いることが、ＢＯＲ強度を高めるために有効であることが実証された。これは、スエードパッドの穴を構成する壁の厚みが薄く、変形しやすい為、傷が入るような研磨の状態になりにくいからだと考えられる。
【００５７】
また、実施例２〜４の中では、ＢＯＲ強度が高い順に、実施例２（不織布パッドとバフ処理スエードパッドの２層構造を有する２層スエードパッド）、実施例３（バフ処理スエードパッド）、実施例４（バフ未処理スエードパッド）となった。これについては、２層スエードパッドは、基板とスエードパッドとの間に不織布が介在するため、不織布の弾性により砥粒とガラス表面との接触がよりマイルドになるものと考えられる。また、上記したように、バフ処理スエードパッドは、バフ未処理スエードパッドに比較して、パッド表面にポアが存在するため、砥粒とガラス表面との接触がよりマイルドになるものと考えられる。
【００５８】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施し得るものである。
例えば、上記実施形態では、強化ガラス板の製造方法の一例としてカバーガラスの製造方法を例示したが、これに限らず、色々な用途のガラスに適用可能である。
【符号の説明】
【００５９】
１０      ガラス板用キャリア
１０ａ    ギヤ部
１０ｂ    ガラス板保持部
１１      ガラス板保持孔
１２      両面研磨装置
１３      サンギヤ
１４      リングギヤ
１５      上定盤
１６      研磨パッド
１８      研磨パッド
【図１】
2015137224.tif 000006
【図２】
2015137224.tif 000007
【図３】
2015137224.tif 000008
【図６】
2015137224.tif 000009
【図４】
2015137224.tif 000010
【図５】
2015137224.tif 000011
【図７】
2015137224.tif 000012