(57)【要約】【課題】放射線管において、電子ビームの焦点位置のずれを抑制する。【解決手段】絶縁管６の一方の開口に陰極３を、他方の開口に陽極５を取り付け、陰極３に電子源２を、陽極５にターゲット４をそれぞれ接続してなる放射線管１において、ターゲット４上に照射された電子線７の焦点位置の、設計上の焦点位置からのずれを、該ずれとは逆方向の絶縁管６の外周に導体１０を配置することにより補正する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁管と、前記絶縁管の一方の開口を覆い、前記一方の開口の端面に周縁部が接合されるとともに電子源を有する陰極と、前記絶縁管の他方の開口を覆い、前記他方の開口の端面に周縁部が接合されるとともにターゲットを有する陽極と、を備え、前記電子源から電子線を放出させて前記ターゲットに照射した際のターゲット上の焦点位置が、設計上の焦点位置からずれている放射線管において、
前記焦点位置のずれる方向とは逆方向の前記絶縁管の外周に、前記ずれを補正する導体が配置されていることを特徴とする放射線管。
【請求項２】
前記導体は前記絶縁管の管軸方向において、その中央部が前記電子源の陽極側の端部より陰極側に位置するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の放射線管。
【請求項３】
前記導体の表面が絶縁物で被覆されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の放射線管。
【請求項４】
前記絶縁管がセラミックからなり、前記導体の導電率が１×１０-12Ｓ／ｍ以上であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の放射線管。
【請求項５】
前記絶縁管の管軸方向の前記導体の長さが前記絶縁管の管軸方向の長さの１０％以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の放射線管。
【請求項６】
前記絶縁管の周方向の前記導体の長さが前記絶縁管の外周の半周未満であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の放射線管。
【請求項７】
絶縁管と、前記絶縁管の一方の開口を覆い、前記一方の開口の端面に周縁部が接合されるとともに電子源を有する陰極と、前記絶縁管の他方の開口を覆い、前記他方の開口の端面に周縁部が接合されるとともにターゲットを有する陽極と、を備えた放射線管の製造方法であって、
前記絶縁管と陽極と陰極とを組み立てた後に、前記電子源から電子線を放出させて前記ターゲットに照射し、前記ターゲット上の電子線の焦点位置の、設計上の焦点位置からのずれを測定する工程と、
前記ずれに基づいて、前記焦点位置のずれる方向とは逆方向の前記絶縁管の外周に導体を配置して前記ずれを補正する工程とを有することを特徴とする放射線管の製造方法。
【請求項８】
前記導体は前記絶縁管の管軸方向において、前記電子源の陽極側の端部より陰極側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の放射線管の製造方法。
【請求項９】
前記導体の表面が絶縁物で被覆されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の放射線管の製造方法。
【請求項１０】
前記絶縁管がセラミックからなり、前記導体の導電率が１×１０-12Ｓ／ｍ以上であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の放射線管の製造方法。
【請求項１１】
前記絶縁管の管軸方向の前記導体の長さが前記絶縁管の管軸方向の長さの１０％以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の放射線管の製造方法。
【請求項１２】
前記絶縁管の周方向の前記導体の長さが前記絶縁管の外周の半周未満であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の放射線管の製造方法。
【請求項１３】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の放射線管と、
前記放射線管を収容し、前記放射線管から生じる放射線を取り出すための放射線放出窓を有する収納容器と、を備え、
前記収納容器の内部の余剰空間が絶縁性流体で満たされていることを特徴とする放射線発生装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の放射線発生装置と、
前記放射線発生管から放出され、被検体を透過した放射線を検出する放射線検出装置と
前記放射線発生装置と前記放射線検出装置とを連携制御する制御装置とを備えたことを特徴とする放射線撮影システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、医療機器及び産業機器分野における非破壊検査装置等に適用できる放射線管とこれを用いた放射線発生装置、放射線撮影システム、及び該放射線管の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
放射線管は医療用、産業用などの放射線発生装置の放射線源として用いられる。放射線管は電子ビームを発生する電子源と、電子ビームが衝突することで放射線を発生するターゲットとで構成される。電子源は陰極に、ターゲットは陽極に接続され、該陰極及び陽極は絶縁管を介して対向配置され、該絶縁管と接合される。近年、放射線を利用した検査装置は検査精度の向上が求められており、検査精度を向上する手段として高出力化が検討されている。
【０００３】
高出力化を図る上で必要な対策として、ターゲット上の焦点設計位置と実際に電子ビームが着弾する位置がずれることによる、出力低下を抑制することが挙げられる。放射線発生装置においては、放射線管からの焦点外の不要放射線を遮蔽するコリメータなどの遮蔽部材を具備しているため、電子ビームの焦点位置がずれた場合には、該遮蔽部材で本来必要な放射線の一部が遮蔽されてしまう。従って電子源とターゲットを精度良く配置し、電子ビームをターゲットの設計位置に照射することが、出力低下を抑制するために必要である。
【０００４】
特許文献１には、電子ビームを磁場で調整することにより電子ビームの焦点位置を設計位置に合わせることができるアライメントコイルを備えたＸ線管が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３４４５９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、放射線管への要求は高出力化に加えて小型化もあり、これらに応えるために組立の高精度化や電子ビームを調整するデバイスの高機能化が必要となっている。そのため放射線管の製造原価は増大する傾向にあり課題となっていた。
【０００７】
本発明の課題は、上記課題に鑑み、簡易で安価な構成により電子ビームの焦点位置のずれを補正して高出力化を図った放射線管を提供することにある。さらには、該放射線管を用いた放射線発生装置、放射線撮影システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第一は、絶縁管と、前記絶縁管の一方の開口を覆い、前記一方の開口の端面に周縁部が接合されるとともに電子源を有する陰極と、前記絶縁管の他方の開口を覆い、前記他方の開口の端面に周縁部が接合されるとともにターゲットを有する陽極と、を備え、前記電子源から電子線を放出させて前記ターゲットに照射した際のターゲット上の焦点位置が、設計上の焦点位置からずれている放射線管において、
前記焦点位置のずれる方向とは逆方向の前記絶縁管の外周に、前記ずれを補正する導体が配置されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の第二は、絶縁管と、前記絶縁管の一方の開口を覆い、前記一方の開口の端面に周縁部が接合されるとともに電子源を有する陰極と、前記絶縁管の他方の開口を覆い、前記他方の開口の端面に周縁部が接合されるとともにターゲットを有する陽極と、を備えた放射線管の製造方法であって、
前記絶縁管と陽極と陰極とを組み立てた後に、前記電子源から電子線を放出させて前記ターゲットに照射し、前記ターゲット上の電子線の焦点位置の、設計上の焦点位置からのずれを測定する工程と、
前記ずれに基づいて、前記焦点位置のずれる方向とは逆方向の前記絶縁管の外周に導体を配置して前記ずれを補正する工程とを有することを特徴とする。
【００１０】
本発明の第三は、放射線管と、
前記放射線管を収容し、前記放射線管から生じる放射線を取り出すための放射線放出窓を有する収納容器と、を備え、
前記収納容器の内部の余剰空間が絶縁性流体で満たされていることを特徴とする放射線発生装置である。
【００１１】
本発明の第四は、放射線発生装置と、
前記放射線発生管から放出され、被検体を透過した放射線を検出する放射線検出装置と
前記放射線発生装置と前記放射線検出装置とを連携制御する制御装置とを備えたことを特徴とする放射線撮影システムである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明においては、放射線管において予め測定した電子ビームの焦点位置のずれに基づいて、導体を絶縁管の外周に設置することで該ずれが容易に補正される。よって、高精度な製造装置や電子ビームの制御部品を用いることなく、高出力の放射線管を大型化することなく安価に製造することができる。さらには、該放射線管を用いて、高出力の放射線発生装置及び撮影システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の放射線管の一実施形態の構成を模式的に示す図であり、（ａ）は絶縁管の管軸に沿った断面図、（ｂ）は陽極側から見た上面図である。
【図２】電子線の焦点位置が設計上の焦点位置からずれた状態を示す図であり、（ａ）は絶縁管の管軸に沿った断面図、（ｂ）は陽極側から見た上面図である。
【図３】電子線の焦点位置が設計上の焦点位置からずれた状態を示す図であり、（ａ）は絶縁管の管軸に沿った断面図、（ｂ）は陽極側から見た上面図である。
【図４】本発明の放射線管における導体の作用を説明するための図であり、（ａ）は絶縁管の管軸に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の導体付近の拡大図である。
【図５】本発明の放射線管における導体の位置と該導体による焦点位置の移動量との関係を示す図である。
【図６】本発明の放射線管の他の実施形態の構成を模式的に示す図であり、絶縁管の管軸に沿った断面図である。
【図７】本発明の放射線発生装置の一実施形態の構成を模式的に示す断面図である。
【図８】本発明の放射線撮影システムの一実施形態の構成を模式的に示すブロック図である。
【図９】本発明の放射線管における焦点位置のずれ量を測定するための測定系の構成を示す概略図である。
【図１０】本発明の実施例１において測定された放射線の線量の強度分布の一断面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１（ａ），（ｂ）を用いて、本発明を実施形態を挙げて説明する。
【００１５】
本発明の放射線管１は、絶縁管６と、該絶縁管６の一方の開口を覆い、該開口の端面に周縁部が接合される陰極３と、上記絶縁管６の他方の開口を覆い、該開口の端面に周縁部が接合される陽極５とからなる。陰極３には電子源２が接続されており、陽極５にはターゲット４が取り付けられている。陰極３と陽極５は絶縁管６を介して対向するように配置され、絶縁管６と陰極３及び陽極５の固定は、ろう付け、溶接、接着剤等が用いられる。尚、図１には透過型のターゲット４を用いた透過型放射線管について例示しているが、本発明は反射型ターゲットを用いた反射型放射線管にも適用可能である。
【００１６】
絶縁管６は筒状で強度と絶縁性を有するガラス、セラミックスなどが用いられる。陰極３及び陽極５には絶縁管６との接着が容易な金属が用いられる。例えば銅やアルミニウム又は合金のコバールでもよい。図１に示す絶縁管６は円管であるが、本発明においてはこれに限定されない。しかしながら、後述するように、電子ビーム７の焦点位置のずれを補正するために導体１０を配置する際に、円管である方が位置を調整しやすく好ましい。
【００１７】
電子源２の電子放出機構としては、真空容器の外部から電子放出量を制御可能な電子源であれば良く、熱陰極型電子放出源、冷陰極型電子放出源等を適宜適用することが可能である。
【００１８】
放射線は陰極３と陽極５の間に高電圧を印加し、電子源２から放出した電子線７を加速しターゲット４に照射することで発生する。ここで、ターゲット４に照射された電子線７の焦点位置が、設計上の焦点位置からずれてしまう場合があった。図２、図３に具体的に示す。
【００１９】
図２は、電子源２から放出された電子線７がターゲット４に対して傾斜して放出された場合であり、図３は、電子源２の位置が放射線管１内でずれた位置に取り付けられたために電子線７がターゲット４上のずれた位置に照射された場合である。いずれの場合も、設計上の焦点位置Ａに対して、実際の電子線７の焦点位置Ｂがずれている。図中、Δｒは設計上の焦点位置Ａから実際の焦点位置Ｂまでのずれの量と向きを示している。この設計上の焦点位置Ａは焦点径と開口１１のサイズやコリメータ（不図示）の可動範囲で決定される。そして放射線管１の製造の際、焦点位置Ｂのずれはある確率で発生する。これは放射線管１の構成部材それぞれの寸法誤差、部材間の組立誤差などに起因する。このずれは放射線管１の組立後に放射線を発生させ、焦点像を撮像センサーなどで測定することで確認することができる。
【００２０】
本発明の特徴は、図２，図３のようにターゲット４上に照射された電子線７の焦点位置Ｂが、設計上の焦点位置Ａからずれているような放射線管１において、図１に示すように絶縁管６の外周に導体１０を配置することにより、係るずれを補正することにある。図１において、破線で示すΔｒが導体１０を配置することで補正されたずれである。導体１０は、該導体１０の絶縁管６の外周に接する面の周方向の中心がずれの方向と反対側に位置するように、配置する。また導体１０の寸法や絶縁管６上の管軸方向での位置は、ずれの量によって適宜選択される。
【００２１】
導体１０の作用について図４を用いて説明する。図４中、１２は等電位線である。本発明の放射線管１において、放射線発生のため陰極３と陽極５との間に電位差を発生させると、導体１０の付近では、絶縁管６の管軸に垂直な方向に電位勾配を持つ電界が形成される。そのため、電子線７は導体１０付近で管軸方向に加速しつつ管軸に対して垂直な方向へも移動する。そして電子線７は陰極側より陽極側での速度が速いため、管軸に対して垂直な方向への移動は、陰極側で大きくなる。図４（ｂ）中、ｘ１，ｘ２は管軸に対して垂直な方向への電子線７の移動量を示しており、図４（ｂ）に示すように、導体１０を配置したことにより、電子線７のターゲット上での焦点位置Ｂは、ｘ１とｘ２の差分だけｘ１の方向に移動する。よって、焦点位置Ａからの焦点位置Ｂのずれの方向とは逆方向に導体１０を配置することで、ｘ１とｘ２の差分だけずれを修正することができる。
【００２２】
次に図１，図５を用いて導体１０の位置とずれの関係について説明する。図１のＨ［ｍｍ］は電子源２の陽極５側の端部を基準とした場合に、陽極５方向を正として導体１０の中央の位置までの距離を示している。導体１０の中央の位置が、基準よりも負の位置、即ち陰極３側に来た場合には、Ｈは負の数となる。そして電子源２の陽極５側の端部とターゲット４との距離をｇ［ｍｍ］とする。上記のＨとｇを変数として静電場解析及び荷電粒子線解析を行い、焦点位置Ｂの移動量とＨとｇの関係を明らかにした。その結果を図５に示す。図５はＨ／ｇを横軸に、移動量（修正量）を縦軸にとったものである。結果はＨを小さくすると、電子の速度が小さい時に導体１０の作用を受けるため移動量が大きくなる。更にＨを小さくすると導体１０と電子の距離が長くなるため作用する力（クーロン力）が弱くなる効果が支配的となり移動量が小さくなる。従って図５に示すように、導体１０の位置に対して焦点位置Ｂの移動量が最大値を持つ特性となる。よって、焦点位置Ｂのずれ量が大きい場合には、導体１０の中央部が電子源２の陽極５側の端部よりも陰極３側に位置するように導体１０を配置してもよい。
【００２３】
導体１０としては、絶縁管６に対して十分に導電性（電気伝導性）の高いものであればよく、絶縁管６がセラミックの場合、導電率が１×１０-15Ｓ／ｍ程度であることから、導体１０は導電率が１×１０-12Ｓ／ｍ以上であればよい。具体的には、陰極３や陽極５と同様に絶縁管６との接着が容易な金属や酸化物、フッ化物などの薄膜などが用いられる。導体１０の形成方法は導体片を接着剤などで貼り付ける方法や各種薄膜プロセスで形成される。
【００２４】
また、本発明に係る導体１０の管軸方向の長さＬは長いほど電子線７を偏向する効果が得られるが、陰極３と陽極５間の絶縁距離が実効的に短くなり、絶縁破壊し易くなるため、Ｌは絶縁管６の管軸方向の長さの１０％以下とすることが好ましい。また、導体１０が絶縁管６の周方向を覆う量Ｗとしては、絶縁管６の外周の半分以上では電子線７を偏向する向きが相殺する方向に働くため、半周未満とすることが好ましい。尚、導体１０の厚さｔについては、電子線７に影響を及ぼす電界に寄与しないものの、放射線管１の小型化、軽量化の観点からは薄い方が好ましい。
【００２５】
また、本発明においては、図６に示すように、導体１０の外側を絶縁物１３で覆うことが好ましい。高出力を得る上で、管電圧を上げることが効果的であるが、一方で陰極３と陽極５とが導体１０を介して放電しやすくなる。導体１０がない場合は陰極３と陽極５の間の沿面絶縁耐圧は絶縁管６の長さで確保されているが、導体１０を配置すると該導体１０の部分が絶縁距離として機能しないためである。そのため、導体１０を絶縁物１３で覆うことで、絶縁距離は導体１０がない場合と同等となり、絶縁管６を大型化することなく沿面絶縁耐圧を確保することができる。
【００２６】
導体１０を覆う絶縁物１３としては、導体１０よりも導電率が低い材料であればよく、例えば絶縁管６と同程度の材料が好ましい。具体的には、エポキシやポリイミドなどの樹脂材料を含有したペースト材料や低融点ガラスを含有したペースト材料を用いることができる。また手塗りの他、スクリーン印刷法やディスペンサーで塗布する方法などで形成することもできる。
【００２７】
本発明の放射線管１の製造方法としては、先ず、絶縁管６と陽極５と陰極３とを組み立てた後に、電子源２から電子線７を放出させてターゲット４に照射し、ターゲット４上の電子線７の焦点位置Ｂの、設計上の焦点位置ＡからのΔｒを測定する。次いで、該Δｒに基づいて、焦点位置Ｂのずれる方向とは逆方向の絶縁管６の外周に導体１０を配置してΔｒを補正する。
【００２８】
次に、本発明の放射線発生装置について説明する。図７は本発明の放射線管１を備える放射線発生装置２０の構成の一例を示す断面模式図である。本発明の放射線発生装置２０は、図７に示すように、本発明の放射線管１と、これを収容する収納容器２２とを備え、収納容器２２の余剰空間には冷却媒体として絶縁性流体２３が満たされている。
【００２９】
収納容器２２の内部には、不図示の回路基板及び絶縁トランス等から構成される駆動回路２１を設けても良い。駆動回路２１を設けた場合、例えば放射線管１に駆動回路２１から所定の電圧信号が印加され、放射線の発生を制御することができる。
【００３０】
収納容器２２は、容器としての十分な強度を有していれば良く、金属やプラスチックス材料等から構成される。収納容器２２には、放射線を透過し収納容器２２の外部に放射線を取り出すための放射線放出窓２３が設けられている。放射線管１から放出された放射線はこの放射線放出窓２３を通して外部に放出される。放射線放出窓２３には、ガラス、アルミニウム、ベリリウム等が用いられる。
【００３１】
絶縁性流体２４は、電気絶縁性が高く、冷却能力が高く、熱による変質の少ない絶縁性液体が好ましく、例えば、シリコーン油、トランス油、フッ素系オイル等の電気絶縁油、ハイドロフルオロエーテル等のフッ素系の絶縁性液体等が使用可能である。
【００３２】
次に、図８に基づいて、本発明に係る放射線撮影システムの一実施形態を説明する。
【００３３】
図８に示すように、本発明の放射線発生装置２０は、その放射線放出窓２３部分に設けられた可動絞りユニット２５を有している。可動絞りユニット２５は、放射線発生管１から照射される放射線の照射野の広さを調整する機能を有する。また、可動絞りユニット２５として、放射線の照射野を可視光により模擬表示できる機能が付加されたものを用いることもできる。
【００３４】
システム制御装置４２は、放射線発生装置２０と放射線検出装置４１とを連携制御する。駆動回路２１は、システム制御装置４２の制御の下に、放射線発生管１に各種の制御信号を出力する。この制御信号により、放射線発生装置２０から放出された放射線２６は、被検体４４を透過して検出器４６で検出される。検出器４６は、検出した放射線を画像信号に変換して信号処理部４５に出力する。信号処理部４５は、システム制御装置４２による制御の下に、画像信号に所定の信号処理を施し、処理された画像信号をシステム制御装置４２に出力する。システム制御装置４２は、処理された画像信号に基づいて、表示装置４３に画像を表示させるための表示信号を表示装置４３に出力する。表示装置４３は、表示信号に基づく画像を、被検体４４の撮影画像としてディスプレイに表示する。放射線の代表例はＸ線であり、本発明の放射線発生管１、放射線発生装置３０及び放射線撮影システムは、Ｘ線発生管、Ｘ線発生装置及びＸ線撮影システムとして利用することができる。Ｘ線撮影システムは、工業製品の非破壊検査や人体や動物の病理診断に用いることができる。
【実施例】
【００３５】
（実施例１）
図１の構成の放射線管１を作製した。陰極３と陽極５は、直径が５０ｍｍ、厚み１０ｍｍの円柱形状で材質は合金のコバールを選択した。さらに陽極５には直径が３ｍｍで貫通した開口１１を切削加工で形成した。電子源２はタングステンフィラメントの熱電子源を選択した。電子源２は筒状で直径２０ｍｍ、長さ４０ｍｍであり、電子源２の先端からターゲット４までの距離ｇは２８ｍｍである。そして電子源２と陰極３はレーザ溶接にて接着した。またターゲット４は厚み５μｍのタングステンを厚さ２ｍｍのダイヤモンド基板上に成膜し、ダイヤモンド基板を陽極５へ銀ろう付けにより接着した。さらに絶縁管６は長さ７０ｍｍ、外径５０ｍｍ、内径４０ｍｍの円筒で表面に欠けを防止するための釉薬が塗布されたセラミックのアルミナを選択した。
【００３６】
ここで放射線管１における電子線７の焦点位置Ｂのずれを修正する効果検証のため、図３に示したように、電子源２の中心軸をターゲット４上の設計上の焦点位置Ａから１００μｍずらして対向配置した。この電子源２をずらした構成で静電界と荷電粒子線解析を行うとターゲット４上での焦点位置ＢのずれΔｒは２００μｍとなった。そして絶縁管６内には封止後の真空度維持のため、不図示のゲッターを設置した。最後に放射線管１を３００℃でベーキング処理し、陰極３に備わる排気管（不図示）により放射線管１内の気圧が１×１０-6Ｐａになるまで排気した後、封止した。
【００３７】
次に焦点位置ＢのずれΔｒの測定方法について説明する。先ず放射線発生のため本例の放射線管１を用いて図９に示した測定系を構成した。外囲器５２はＡＢＳ樹脂で形成し、放射線管１の周囲に絶縁油である鉱油を充填した。そして放射線管１と高電圧発生回路５３と駆動制御回路５４とを配線により接続した。
【００３８】
次に放射線焦点を測定するため直径７５μｍのピンホールを備えた遮蔽板５７を外囲器５２に取り付け、放射線管１の管軸とピンホールの中心軸とのずれが０．２ｍｍ以下となるよう調整した。図中のｍ、ｎはそれぞれ焦点からピンホールまでの距離、ピンホールから撮像センサー５５までの距離を示している。そして放射線管１と撮像センサー５５はｍが１０ｃｍ、ｎが４０ｃｍとなる位置に設置し測定準備を完了した。測定は陽極５を接地電位とした放射線管１に高電圧発生回路５３から−１００ｋＶの電圧を陰極３へ給電し、同時に駆動制御回路５４で電子源２から１０ｍＡの電流を１０ｍｓｅｃの間発生させ放射線を発生させた。そして撮像センサー５５で入射した積算放射線量を記録した。図１０は縦軸を線量値、横軸を設計上の焦点位置Ａからの距離とし得られた線量の強度分布の一断面を示している。得られたデータをガウシアンでフィッティングしピーク位置を求めて設計位置とのずれ量を算出したところ、Δｒは２００μｍであった。
【００３９】
次に導体１０を用いてずれの修正を行った。導体１０は、管軸方向の長さＬを５ｍｍ、絶縁管６を周方向に覆う長さＷを３９ｍｍ（１／４周）、厚みｔを０．５ｍｍとし、材質はアルミニウムを用いた。さらに導体１０は測定したずれΔｒと反対位置でＨが０ｍｍとなるように配置した。絶縁管６と導体１０の接着はエポキシ接着剤を用いた。この放射線管１を上記と同様に外囲器５２内に設置し、同じ条件で放射線を発生させた。ずれ量を算出した結果、測定分解能である５μｍ以下となり、２００μｍのずれが修正されて、焦点位置Ｂが設計上の焦点位置Ａに補正されていることが確認された。
【００４０】
（実施例２）
電子源２の中心軸とターゲット４上の焦点位置Ａとを１１０μｍずらした以外は実施例１と同様にして放射線管１を作製し、実施例１と同じ条件で放射線を発生させた。そしてずれΔｒを算出したところ２２０μｍであった。次に部材と寸法は実施例１と同様の導体１０を計測したずれΔｒと反対位置でＨが−５ｍｍの位置に配置した。上記と同様に放射線を発生させ、ずれを算出したところ測定分解能である５μｍ以下となり、２２０μｍのずれが修正され、焦点位置Ｂが設計上の焦点位置Ａに補正されていることが確認された。
【００４１】
（実施例３）
導体１０の外側表面を、エポキシ樹脂を含む熱硬化性接着剤で被覆した以外は実施例１と同様にして放射線管１を作製し、放射線を発生させた。そしてずれΔｒの測定のため陰極３に−１５０ｋＶ、陽極５に接地電位を与え、電子源２から１０ｍＡの電流を１００ｍｓｅｃの間発生させ放射線を発生させた。焦点位置ＢのずれΔｒは測定限界である５μｍ以下であり、放射線量も安定して得られた。
【符号の説明】
【００４２】
１：放射線管、２：電子源、３：陰極、４：ターゲット、５：陽極、６：絶縁管、７：電子線、１０：導体、１３：絶縁物、２０：放射線発生装置、２１：駆動回路、２２：収納容器、２３：絶縁性流体、２３：放射線放出窓、２６：放射線、４１：放射線検出装置、４２：システム制御装置、４４：被検体、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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