(57)【要約】      （修正有）【課題】測定位置における被測定物の高さが頻繁に変化する場合でも、被測定物までの距離を正確に測定するレーザ変位計及び研削装置を提供する。【解決手段】投光部３１１は、研削装置で加工されている板状ワーク２２に測定光３９１を照射し、受光部３１４は、測定光３９１が板状ワーク２２に当たり測定面で反射した反射光３９２を受光する。保護機構３４は、測定光３９１及び反射光３９２の光路の周囲を囲うカバー３４３と、カバー３４３の内部にエアーを取り入れる供給口３４１と、測定面に対向する開口３４２とを有し、供給口３４１からカバー３４３の内部に取り入れたエアーを開口３４２から噴射することにより、測定光３９１及び反射光３９２を保護する。投光部３１１や受光部３１４に浮遊している研削水などが付着するのを防ぐとともに測定面に存在する研削水などを吹き飛ばすことができ、被加工物までの距離を正確に測定することができる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置で加工されている被加工物に測定光を照射する投光部と、
該測定光が該被加工物の測定面に当たって反射した反射光を受光する受光部と、
を備え、該投光部から該測定面までの距離を測定するレーザ変位計であって、
該測定光及び該反射光の光路の周囲を囲うカバーと、該カバーの内部にエアーを供給する供給口と、該カバーに形成され該測定面側に対向する開口とを備え、該供給口から該カバーの内部に供給されたエアーを該開口から噴射することにより該測定光及び該反射光を保護する保護機構を備える、レーザ変位計。
【請求項２】
該保護機構は、該カバーの内部に供給されたエアーの旋回流を発生させて、該開口からエアーを渦状に噴射する、請求項１記載のレーザ変位計。
【請求項３】
円板状の保護部材と、該保護部材に貼着された複数の板状ワークとを有するワークセットを保持面で保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持されたワークセットの複数の板状ワークを研削砥石で研削する研削手段と、
該板状ワークの厚さを測定する測定手段と、
該測定手段が測定した該板状ワークの厚さがあらかじめ設定された目標値に達した場合に研削完了と判断する判断部と、
を備えた、研削装置であって、
該測定手段は、
該板状ワークの上面に前記測定光を照射して、該板状ワークの上面の高さを測定する請求項１又は２記載の第１のレーザ変位計と、
該保護部材の上面に前記測定光を照射して、該保護部材の上面の高さを測定する請求項１又は２記載の第２のレーザ変位計と、
該第１のレーザ変位計が測定した該板状ワークの上面の高さと、該第２のレーザ変位計が測定した該保護部材の上面の高さとに基づいて、該板状ワークの厚さを算出する算出部と、を有する、研削装置。
【請求項４】
円板状の保護部材と、該保護部材に貼着された複数の板状ワークとを有するワークセットを保持面で保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持されたワークセットの複数の板状ワークを研削砥石で研削する研削手段と、
該板状ワークの厚さを測定する測定手段と、
該測定手段が測定した該板状ワークの厚さがあらかじめ設定された目標値に達した場合に研削完了と判断する判断部と、
を備えた、研削装置であって、
該測定手段は、
該ワークセットの上面に前記測定光を照射して、該ワークセットの上面の高さを測定する請求項１又は２記載のレーザ変位計と、
該レーザ変位計が測定した該ワークセットの上面の高さが、該板状ワークの上面の高さであるか、該保護部材の上面の高さであるかを判定する判定部と、
該板状ワークの上面の高さであると該判定部が判定した該ワークセットの上面の高さと、該保護部材の上面の高さであると該判定部が判定した該ワークセットの上面の高さとに基づいて、該板状ワークの厚さを算出する算出部と、を有する、研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物までの距離を測定するレーザ変位計と、板状ワークを研削しながらレーザ変位計を用いて板状ワークの厚さを測定する研削装置とに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハなどの板状ワークを研削する研削装置には、研削前に板状ワークの厚さや板状ワークの上面の高さなどを測定しておき、それらの値を基準として板状ワークを研削する研削手段の研削送り量を制御することにより、板状ワークを所望の厚さまで薄化するものがある。しかし、そのような制御では、研削中に研削砥石が消耗するなどして、板状ワークが所望の厚さに形成されない場合がある。そこで、研削中に板状ワークの厚さや板状ワークの上面の高さなどをリアルタイムで測定して、研削完了時期を判定することにより、板状ワークの厚さの誤差を小さくした研削装置も提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載された研削装置では、板状ワークの被研削面に測定ゲージを接触させて被研削面の高さを測定している。また、特許文献２に記載された研削装置では、レーザ光を板状ワークに照射し、板状ワークの上面で反射した反射光と板状ワークの下面で反射した反射光との干渉を測定することにより、研削中の板状ワークの厚さを測定している。また、特許文献３に記載された研削装置では、レーザ光を研削砥石に照射し、レーザ光の光路長を測定することにより、研削砥石の磨耗量や位置のずれを測定している。特許文献２に記載された研削装置では、加工水の影響を受けて干渉波が不安定になるのを防止するために、レーザ光の光路を水の層で満たすこととしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許５０２５２００号
【特許文献２】特開２００９−５０９４４号公報
【特許文献３】特開平７−２３７１２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、複数の板状ワークをハードプレートなどの保護部材に貼着し、複数のワークを同時に研削する場合は、チャックテーブルで保護部材を保持して回転させると、板状ワークが貼着されている部分と貼着されていない部分とが回転により頻繁に入れ替わるので、測定位置における被測定物の高さが頻繁に変化する。
【０００６】
このように、測定位置における被測定物の高さが不連続に頻繁に変化する場合、測定ゲージなどを用いた接触式の測定方式では、測定ゲージが破損したり、被測定物に傷が付いたりする可能性があり、被測定物の高さを測定することができない。また、レーザ光の干渉を利用する測定方式は非接触式であるが、測定位置における被測定物の高さが頻繁に変化する場合、レーザ光の光路を満たす水の層を形成することが難しいため、安定した測定値を得ることが困難である。
【０００７】
本発明は、測定位置における被測定物の高さが頻繁に変化する場合でも、被測定物までの距離を正確に測定できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るレーザ変位計は、加工装置で加工されている被加工物に測定光を照射する投光部と、該測定光が該被加工物の測定面に当たって反射した反射光を受光する受光部と、を備え、該投光部から該測定面までの距離を測定するレーザ変位計であって、該測定光及び該反射光の光路の周囲を囲うカバーと、該カバーの内部にエアーを供給する供給口と、該カバーに形成され該測定面側に対向する開口とを備え、該供給口から該カバーの内部に供給されたエアーを該開口から噴射することにより該測定光及び該反射光を保護する保護機構を備える。
【０００９】
上記レーザ変位計において、保護機構は、カバーの内部に供給されたエアーの旋回流を発生させて開口からエアーを渦状に噴射することが好ましい
【００１０】
本発明に係る研削装置は、円板状の保護部材と、該保護部材に貼着された複数の板状ワークとを有するワークセットを保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたワークセットの複数の板状ワークを研削砥石で研削する研削手段と、該板状ワークの厚さを測定する測定手段と、該測定手段が測定した該板状ワークの厚さがあらかじめ設定された目標値に達した場合に研削完了と判断する判断部と、を備えた、研削装置であって、該測定手段は、該板状ワークの上面に前記測定光を照射して、該板状ワークの上面の高さを測定する上記の第１のレーザ変位計と、該保護部材の上面に前記測定光を照射して、該保護部材の上面の高さを測定する上記の第２のレーザ変位計と、該第１のレーザ変位計が測定した該板状ワークの上面の高さと、該第２のレーザ変位計が測定した該保護部材の上面の高さとに基づいて、該板状ワークの厚さを算出する算出部と、を有する。
【００１１】
本発明に係る別の研削装置は、円板状の保護部材と、該保護部材に貼着された複数の板状ワークとを有するワークセットを保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたワークセットの複数の板状ワークを研削砥石で研削する研削手段と、該板状ワークの厚さを測定する測定手段と、該測定手段が測定した該板状ワークの厚さがあらかじめ設定された目標値に達した場合に研削完了と判断する判断部と、を備えた、研削装置であって、該測定手段は、該ワークセットの上面に前記測定光を照射して、該ワークセットの上面の高さを測定する上記のレーザ変位計と、該レーザ変位計が測定した該ワークセットの上面の高さが、該板状ワークの上面の高さであるか、該保護部材の上面の高さであるかを判定する判定部と、該板状ワークの上面の高さであると該判定部が判定した該ワークセットの上面の高さと、該保護部材の上面の高さであると該判定部が判定した該ワークセットの上面の高さとに基づいて、該板状ワークの厚さを算出する算出部と、を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るレーザ変位計によれば、非接触で測定面までの距離を測定するので、測定位置における高さが不連続に頻繁に変化する場合であっても、測定面までの距離を測定することができる。また、測定光及び反射光の光路の周囲をカバーで囲み、供給口からカバーの内部にエアーを取り入れて、測定面に対向する開口から噴射するので、投光部や受光部に浮遊している研削水などが付着するのを防ぐことができるとともに、測定面に存在する研削水などを吹き飛ばすことができるので、光路を水の層で満たす必要がなく、被加工物までの距離を正確に測定することができる。
【００１３】
カバーの内部に取り入れたエアーの旋回流を発生させてエアーを渦状に噴射すれば、トルネード効果による遠心力で研削水を効率的に排除できるので、被加工物までの距離を正確に測定することができる。
【００１４】
本発明に係る研削装置によれば、第１のレーザ変位計で板状ワークの上面の高さを測定し、第２のレーザ変位計で保護部材の上面の高さを測定して、板状ワークの高さを算出するので、光路を水の層で満たすことなく板状ワークの厚さを正確に測定することができる。
【００１５】
また、本発明に係る別の研削装置によれば、１つのレーザ変位計でワークセットの上面の高さを測定し、板状ワークの上面であるか、保護部材の上面であるかを判定する構成であれば、レーザ変位計の数が１つで済むので、研削装置の部品数を削減し、コストを抑えることができるとともに、光路を水の層で満たすことなく板状ワークの厚さを正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】研削装置の一部を示す平面図。
【図２】研削装置の一部を示す側面視断面図。
【図３】レーザ変位計を示す斜視分解図。
【図４】レーザ変位計を示す側面視断面図。
【図５】研削装置の一部を示す平面図。
【図６】研削装置の一部を示す側面視断面図。
【図７】別の研削装置を示す側面視断面図。
【図８】別のレーザ変位計を示す側面視断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１に示す研削装置１０は、ウェーハなどの板状ワーク２２を加工する加工装置の一種であり、板状ワーク２２を研削してあらかじめ定められた厚さになるまで薄化する機能を有している。研削装置１０は、図２に示すワークセット２０を保持するチャックテーブル１２と、板状ワーク２２を研削する研削手段１１と、板状ワーク２２などの被加工物までの距離を測定するレーザ変位計３０とを備えている。
【００１８】
図１に示すように、ワークセット２０は、円板状のハードプレートなどの保護部材２１と、保護部材２１に貼着された複数の板状ワーク２２とから構成されている。複数の板状ワーク２２は、保護部材２１の中心から等距離の位置に円周状に配置されている。なお、保護部材２１は、テープなどであってもよいが、ハードプレートのように研削圧力で変形しにくい材質により形成されていることが好ましい。
【００１９】
チャックテーブル１２は、±Ｚ方向に平行な回転軸１２９を中心として回転することによりワークセット２０を回転させる。図１に示す研削手段１１は、チャックテーブル１２側に対面し円環状に配設された研削砥石（不図示）を備えており、±Ｚ方向に平行な回転軸１１９を中心として研削砥石を回転させ、回転している板状ワーク２２の上面に回転している研削砥石を当接させることにより、板状ワーク２２を研削する。研削中は、研削水供給手段（不図示）から板状ワーク２２に研削水を供給する。このため、研削中は、板状ワーク２２の上に研削水が存在し、板状ワーク２２の上方の空間には、飛散して霧状になった研削水が浮遊している。
【００２０】
図２に示すように、チャックテーブル１２は、載置されたワークセット２０を吸引保持する保持面１２１を有する。ワークセット２０は、保護部材２１の下側（−Ｚ側）の面が保持面１２１に吸引保持され、保護部材２１の上側（＋Ｚ側）に露出した上面に板状ワーク２２が貼着されている。板状ワーク２２は、＋Ｚ側に露出した上面が研削される。
【００２１】
また、研削装置１０は、板状ワーク２２の厚さを測定する測定手段１３と、研削完了を判断する判断部１４とを備えている。
【００２２】
測定手段１３は、上述したレーザ変位計３０と、レーザ変位計３０が測定した距離が板状ワーク２２までの距離か保護部材２１までの距離かを判定する判定部１３１と、板状ワーク２２の厚さを算出する算出部１３２とを備えている。
【００２３】
レーザ変位計３０は、板状ワーク２２の上面からわずかに離れた位置に配置され、概ね−Ｚ方向に照射し、測定光が板状ワーク２２などの被測定物に当たって反射した反射光を受光することにより、測定光が反射した測定面の高さを測定する。判定部１３１は、測定光を反射させた測定面が板状ワーク２２の上面であるか保護部材２１の上面であるかを判定する。算出部１３２は、判定部１３１による判定結果に基づいて、レーザ変位計３０が測定した板状ワーク２２の上面の高さとレーザ変位計３０が測定した保護部材２１の上面の高さとの差を算出することにより、板状ワーク２２の厚さを算出する。判断部１４は、算出部１３２が算出した板状ワーク２２の厚さが、あらかじめ定められた目標値に達した場合に、研削完了と判断する。
【００２４】
図３に示すように、レーザ変位計３０は、測定部３１を収容したケース３２と、ケース３２の下方（−Ｚ側）に配置された保護機構３４とを備えている。保護機構３４は、内部に先細り円錐台形状の空間を有するカバー３４３と、カバー３４３の上方（＋Ｚ側）に配置された保護窓３４４と、カバー３４３の内部にエアーを取り入れる供給口３４１と、供給口３４１からカバー３４３の内部に供給されたエアーを噴射する開口３４２とを有している。
【００２５】
カバー３４３は、−Ｚ側の面（下面）と板状ワーク２２の上面との間にわずかな隙間が形成される高さに配置され、レーザ変位計３０から照射される測定光やその反射光の周囲を囲って、測定光や反射光を保護する。供給口３４１は、エアー供給源（不図示）に接続され、カバー３４３の内部の空間に連通している。開口３４２は、カバー３４３の−Ｚ側の面（下面）に板状ワーク２２などの被測定物に対向して配置され、カバー３４３の内部の空間に連通している。エアー供給源から供給されるエアーは、供給口３４１からカバー３４３の内部に取り入れられ、開口３４２から被測定物に向かって噴射される。
【００２６】
図４に示すように、測定部３１は、レーザ光などの測定光３９１を放射する投光部３１１と、投光部３１１が放射した測定光３９１を平行光にするレンズ３１２と、反射光３９２を集光させるレンズ３１３と、レンズ３１３によって集光した反射光３９２を受光する受光部３１４とを備えている。受光部３１４は、例えば複数の受光素子が±Ｘ方向に並べて配置されたイメージセンサである。測定面の±Ｚ方向における位置（高さ）が変化すると、レンズ３１３によって集光した反射光３９２を受光する受光素子が変化する。レーザ変位計３０は、受光部３１４のどの受光素子が反射光３９２を受光したかに基づいて、測定面の高さを測定する。
【００２７】
保護窓３４４は、測定光３９１及び反射光３９２を透過する材料で形成され、ケース３２の内部の空間と、カバー３４３の内部の空間とを仕切っている。投光部３１１から放射された測定光３９１は、保護窓３４４を透過して、カバー３４３の内部の空間を通り、開口３４２からカバー３４３の外に出て、板状ワーク２２などの被測定物に当たる。一方、被測定物において反射した反射光３９２は、開口３４２からカバー３４３の内部の空間に入り、保護窓３４４を透過して、受光部３１４に受光される。
【００２８】
上述したように、研削装置１０は、板状ワーク２２に研削水を供給しながら、回転する研削砥石を板状ワーク２２に接触させて研削を行う。このため、板状ワーク２２の上面には研削水が存在し、また、板状ワーク２２の上方の空間には研削水が霧状化して浮遊している。
【００２９】
しかし、研削中は、供給口３４１から取り入れたエアーを開口３４２から噴射しているので、浮遊している霧状の研削水が開口３４２からカバー３４３の内部に入るのを防ぐことができる。これにより、保護窓３４４に研削水が付着して測定光３９１や反射光３９２を遮るのを防ぐことができるとともに、カバー３４３の内部において、霧状の研削水に測定光３９１や反射光３９２が遮られるのを防ぐことができる。また、開口３４２から噴射されたエアーは、板状ワーク２２の上面とカバー３４３の下との間の隙間を外側へ向かって流れる。このため、霧状の研削水が開口３４２に近づけないだけでなく、板状ワーク２２の上面に存在する研削水を開口３４２の付近から排除することができる。これにより、水面での反射や屈折など、測定光３９１や反射光３９２が研削水の影響を受けるのを防ぐことができ、測定精度を高めることができる。
【００３０】
図５に示すように、研削中は、ワークセット２０が回転しているので、レーザ変位計３０から照射される測定光が、板状ワーク２２の上面に当たらず、板状ワーク２２の間を通って、保護部材２１の上面に当たる場合がある。
【００３１】
図６に示すように、レーザ変位計３０から照射される測定光が保護部材２１の上面に当たった場合、レーザ変位計３０は、保護部材２１の上面の高さを測定する。ワークセット２０の回転により、測定光が板状ワーク２２に当たる期間と、保護部材２１に当たる期間とが交互に繰り返されるので、レーザ変位計３０は、板状ワーク２２の上面の高さと、保護部材２１の上面の高さとを交互に測定する。このため、レーザ変位計３０が測定した高さは、パルス状に変化する。測定光が板状ワーク２２に当たる期間は、レーザ変位計３０が測定する高さが比較的高い（レーザ変位計３０に近い）値で安定し、測定光が保護部材２１に当たる期間は、レーザ変位計３０が測定する高さが比較的低い（レーザ変位計３０から遠い）値で安定する。
【００３２】
判定部１３１は、レーザ変位計３０が測定した高さの変化を監視することにより、比較的高い値で安定している期間は、測定光が板状ワーク２２に当たっていると判定し、比較的低い値で安定している期間は、測定光が保護部材２１に当たっていると判定することにより、レーザ変位計３０が測定した高さが、板状ワーク２２の上面の高さであるか、保護部材２１の上面の高さであるかを判定する。そして、算出部１３２は、レーザ変位計３０が測定した高さのうち、板状ワーク２２の上面の高さであると判定部１３１が判定した値と、保護部材２１の上面の高さであると判定部１３１が判定した値との差を算出することにより、板状ワーク２２の厚さを算出する。
【００３３】
このように、ワークセット２０が回転することにより、レーザ変位計３０の測定位置に板状ワーク２２がある期間と、保護部材２１がある期間とが交互に繰り返されるので、１つのレーザ変位計３０で板状ワーク２２の上面の高さと保護部材２１の上面の高さとの両方を測定することができる。レーザ変位計３０が１つで済むので、研削装置１０の部品数を削減し、製造コストや運用コストを抑え、信頼性を向上することができる。
【００３４】
図７に示す研削装置１０Ａは、上述した研削装置１０の測定手段１３に代えて、測定手段１３Ａを備えている。それ以外の点は、研削装置１０と同様である。
【００３５】
測定手段１３Ａは、２つのレーザ変位計３０ａ，３０ｂと、レーザ変位計３０ａが測定した高さが板状ワーク２２の上面の高さであるか保護部材２１の上面の高さであるかを判定する判定部１３１と、板状ワーク２２の厚さを算出する算出部１３２Ａとを有する。レーザ変位計３０ａ，３０ｂの構成は、研削装置１０のレーザ変位計３０と同様である。
【００３６】
第１のレーザ変位計３０ａは、研削装置１０のレーザ変位計３０とほぼ同じ位置に配置され、ワークセット２０の回転により、板状ワーク２２の上面の高さの測定と、保護部材２１の上面の高さの測定とを交互に繰り返す。
【００３７】
一方、第２のレーザ変位計３０ｂは、板状ワーク２２が存在する範囲よりも回転軸１２９に近い内側に配置されている。このため、ワークセット２０が回転しても、レーザ変位計３０ｂの下に板状ワーク２２が来ることはなく、レーザ変位計３０ｂは、保護部材２１の上面の高さだけを測定する。レーザ変位計３０ｂの下に板状ワーク２２が位置することがないので、レーザ変位計３０ｂのカバー３４３は、下面と保護部材２１の上面との間にわずかな隙間が形成される高さに配置される。カバー３４３の下面と保護部材２１の上面との間の隙間が小さいので、開口から噴射されるエアーにより、保護部材２１の上面に存在する研削水を開口の付近から効率良く排除することができ、レーザ変位計３０ｂの測定精度を高めることができる。
【００３８】
判定部１３１は、レーザ変位計３０ａが測定した高さが、研削装置１０と同様の手法により、板状ワーク２２の上面の高さであるか、保護部材２１の上面の高さであるかを判定する。算出部１３２は、レーザ変位計３０ａが測定した高さのうち、板状ワーク２２の上面の高さであると判定部１３１が判定した値と、レーザ変位計３０ｂが測定した保護部材２１の上面の高さとの差を算出することにより、板状ワーク２２の厚さを算出する。
【００３９】
レーザ変位計３０ａのカバー３４３は、下面と板状ワーク２２の上面との間にわずかな隙間が形成される高さに配置されているので、開口から噴射されるエアーにより、板状ワーク２２の上面に存在する研削水を開口の付近から効率良く排除することができる。しかし、下面と保護部材２１の上面との間の隙間は、それよりも大きくなるので、保護部材２１の上面に存在する研削水を開口の付近から完全に排除できない可能性がある。このため、レーザ変位計３０ａによる保護部材２１の上面の高さの測定精度は、レーザ変位計３０ａによる板状ワーク２２の上面の高さの測定精度や、レーザ変位計３０ｂによる保護部材２１の上面の高さの測定精度よりも低くなる可能性がある。
【００４０】
そこで、レーザ変位計３０ａが測定した保護部材２１の上面の高さは使用せず、レーザ変位計３０ａが測定した板状ワーク２２の上面の高さと、レーザ変位計３０ｂが測定した保護部材２１の上面の高さとを使って板状ワーク２２の厚さを算出する。測定精度の高い値から板状ワーク２２の厚さを算出するので、板状ワーク２２の厚さの算出精度を高くすることができる。
【００４１】
なお、レーザ変位計３０ｂは、保護部材２１の上面の高さだけを測定できる位置に配置されていればよく、板状ワーク２２が存在する範囲よりも回転軸１２９に近い内側ではなく、板状ワーク２２が存在する範囲よりも回転軸１２９から遠い外側に配置されていてもよい。また、レーザ変位計３０ｂに代えて、測定ゲージによる接触式の高さ測定手段など、他の高さ測定手段を用いて保護部材２１の上面の高さを測定する構成であってもよい。
【００４２】
図８に示すレーザ変位計３０Ｂは、上述した研削装置１０のレーザ変位計３０や、研削装置１０Ａのレーザ変位計３０ａ，３０ｂに代えて用いることができるものであり、レーザ変位計３０，３０ａ，３０ｂの保護機構３４に代えて、保護機構３４Ｂを備えている。
【００４３】
保護機構３４Ｂは、内部に円柱形状の空間を有するカバー３４３Ｂと、カバー３４３Ｂの上方（＋Ｚ側）に配置された保護窓３４４と、カバー３４３Ｂの内部にエアーを取り入れる供給口３４１Ｂと、供給口３４１Ｂからカバー３４３Ｂの内部に取り入れられたエアーを噴射する開口３４２Ｂとを有している。
【００４４】
供給口３４１Ｂは、エアー供給源（不図示）に接続され、カバー３４３Ｂの内部の空間に連通している。供給口３４１Ｂから取り入れられたエアーがカバー３４３Ｂの内部の空間に噴き出す噴出口は、カバー３４３Ｂの内部の空間にエアーの旋回流が形成されるよう、カバー３４３Ｂの内周面に沿った向きに形成されている。供給口３４１Ｂからカバー３４３Ｂの内部に取り入れられたエアーは、渦を巻きながら下に向かい、開口３４２Ｂから被測定物に向かって渦状に噴射される。開口３４２Ｂから噴射されるエアーが渦を巻いているので、トルネード効果による遠心力で、開口３４２Ｂ付近の研削水を効率良く排除することができ、測定精度を高めることができる。また、カバー３４３Ｂの内部の空間が先細り円錐台形状ではなく円柱形状なので、エアーの旋回流によって逆に研削水が吸い上げられるのを防ぐことができる。
【００４５】
なお、上記実施形態におけるレーザ変位計３０，３０ａ，３０ｂ，３０Ｂは、イメージセンサ方式としたが、干渉式であってもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１０  研削装置、１１  研削手段、１１９  回転軸、
１２  チャックテーブル、１２１  保持面、１２９  回転軸、
１３，１３Ａ  測定手段、１３１  判定部、１３２，１３２Ａ  算出部、
３０，３０ａ，３０ｂ，３０Ｂ  レーザ変位計、
３１  測定部、３１１  投光部、３１２，３１３  レンズ、３１４  受光部、
３２  ケース、
３４，３４Ｂ  保護機構、３４１，３４１Ｂ  供給口、３４２，３４２Ｂ  開口、
３４３，３４３Ｂ  カバー、３４４  保護窓、
３９１  測定光、３９２  反射光、
１４  判断部、
２０  ワークセット、２１  保護部材、２２  板状ワーク
【図１】
2015205362.tif 000003
【図２】
2015205362.tif 000004
【図３】
2015205362.tif 000005
【図４】
2015205362.tif 000006
【図５】
2015205362.tif 000007
【図６】
2015205362.tif 000008
【図７】
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【図８】
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