(57)【要約】【課題】均一な照度及び所望波長での光照射を可能にする照射装置を提供する。【解決手段】光源１１と、この光源１１から放射される光を反射する凹面状の反射鏡１２と、光源１１及び被照射面２Ａの間に設けられた干渉膜フィルタ４とを備えた照射装置１において、干渉膜フィルタ４には、前記反射鏡１２の出射端部１２Ａ側に、反射鏡１２の光軸Ｃに対して反射鏡１２側に近づくように傾斜する傾斜面２３を設ける構成とした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、この光源から放射される光を反射する凹面状の反射鏡と、前記光源及び被照射面の間に設けられた干渉膜フィルタとを備えた照射装置において、
前記干渉膜フィルタには、前記反射鏡の出射部側に、前記反射鏡の光軸に対して前記反射鏡側に近づくように傾斜する傾斜面を設けたことを特徴とする照射装置。
【請求項２】
前記傾斜面は、前記干渉膜フィルタに平面状のフィルタを使用したときの当該フィルタに入射する光の最大入射角よりも、前記傾斜面を有する前記干渉膜フィルタに入射する光の最大入射角が小さくなるように配置したことを特徴とする請求項１に記載の照射装置。
【請求項３】
前記傾斜面を、前記干渉膜フィルタの最大入射角が３０°以内となるように設けたことを特徴とする請求項２に記載の照射装置。
【請求項４】
前記光源を線状光源とするとともに、前記反射鏡を、前記線状光源の長手方向に延びて当該線状光源を囲う樋状反射鏡とし、
前記干渉膜フィルタには、前記樋状反射鏡の幅方向両側に、前記樋状反射鏡の光軸方向に対して前記樋状反射鏡側に傾斜する傾斜面を設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の照射装置
【請求項５】
前記線状光源を複数並列に配置するとともに、前記線状光源のそれぞれに前記樋状反射鏡を設け、前記樋状反射鏡の光出射開口側のそれぞれに前記干渉膜フィルタを設けたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、干渉膜フィルタを備えた照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルの製造工程においては、液晶パネルの基板を貼り合わせる光硬化樹脂を硬化させたり、液晶パネルの液晶配向特性を付加したりするために、照射装置が用いられている。この照射装置は、光源の周囲に反射鏡を設けるとともに、光源と被照射面との間に平面状の干渉膜フィルタを設けている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１６８２７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した従来の構成のように、光源と被照射面の間に平面状の干渉膜フィルタを配置すると、当該干渉膜フィルタが有する光学特性の入射角依存性により、被照射面での照度分布が乱れ分光スペクトルがずれてしまい、均一な照度及び所望波長での光照射ができないという問題があった。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、均一な照度及び所望波長での光照射を可能にする照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した目的を達成するために、本発明は、光源と、この光源から放射される光を反射する凹面状の反射鏡と、前記光源及び被照射面の間に設けられた干渉膜フィルタとを備えた照射装置において、前記干渉膜フィルタには、前記反射鏡の出射端部側に、前記反射鏡の光軸に対して前記反射鏡側に近づくように傾斜する傾斜面を設けたことを特徴とする。
【０００６】
上述の構成において、前記傾斜面は、前記干渉膜フィルタに平面状のフィルタを使用したときの当該フィルタに入射する光の最大入射角よりも、前記傾斜面を有する前記干渉膜フィルタに入射する光の最大入射角が小さくなるように配置してもよい。
上述の構成において、前記傾斜面を、前記干渉膜フィルタの最大入射角が３０°以内となるように設けてもよい。
【０００７】
上述の構成において、前記光源を線状光源とするとともに、前記反射鏡を、前記線状光源の長手方向に延びて当該線状光源を囲う樋状反射鏡とし、前記干渉膜フィルタには、前記樋状反射鏡の幅方向両側に、前記樋状反射鏡の光軸方向に対して前記樋状反射鏡側に傾斜する傾斜面を設けてもよい。
上述の構成において、前記線状光源を複数並列に配置するとともに、前記線状光源のそれぞれに前記樋状反射鏡を設け、前記樋状反射鏡の光出射開口側のそれぞれに前記干渉膜フィルタを設けてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、干渉膜フィルタには、反射鏡の出射端部側に、反射鏡の光軸に対して反射鏡側に近づくように傾斜する傾斜面を設けたため、均一な照度及び所望波長での光照射が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る照射装置の基本構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】照射器の概略構成を示す正面図である。
【図３】干渉膜フィルタの分光透過特性をランプの発光スペクトルとともに示すグラフである。
【図４】従来の照射器の概略構成を示す正面図である。
【図５】干渉膜フィルタの形状を示す図であり、（Ａ）は干渉膜フィルタを略Ｖ字状に形成した場合、（Ｂ）は干渉膜フィルタを３分割して形成した場合、（Ｃ）干渉膜フィルタを略半円筒状に形成した場合を示す。
【図６】干渉膜フィルタの形状及び配置と照度分布との関係を示すグラフであり、（Ａ）は反射鏡の長手方向の結果、（Ｂ）は反射鏡の幅方向の結果を示す。
【図７】干渉膜フィルタの形状及び配置と受光スペクトルとの関係を示すグラフであり、（Ａ）は図１に示す測定ポイントＰ１の結果、（Ｂ）は測定ポイントＰ２の結果、（Ｃ）は測定ポイントＰ３の結果を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は本実施形態に係る照射装置の概略構成を示す斜視図であり、図２は照射器の概略構成を示す正面図である。図３は、干渉膜フィルタの分光透過特性をランプの発光スペクトルとともに示すグラフである。なお、図３では、横軸に波長（ｍｍ）、縦軸に干渉膜フィルタの透過率、又は、ランプの光強度比（％）を示す。また、図３中、線Ｑ１〜Ｑ９はそれぞれ入射角が０°〜８０°のときの干渉膜フィルタの分光透過特性を、線Ｓはランプの発光スペクトルを示す。
照射装置１は、図１及び図２に示すように、紫外線を直下のワーク２に照射する複数の照射器３と、それぞれの照射器３ごとにワーク２との間に配設された干渉膜フィルタ４とを備え、照射器３が照射する紫外線をワーク２に干渉膜フィルタ４を通して照射する。
ワーク２は、幅Ｗが約５００ｍｍ、長さＬが約５００ｍｍの被照射面２Ａを有する矩形状を成し、この被照射面２Ａに例えば液晶パネルが載置されて紫外線が照射される。
【００１１】
照射器３は、図２に示すように、底面開放型の直方体状の照射器筐体１０を有している。この照射器筐体１０には、紫外線を線状に放射する線状光源たるランプ（光源）１１と、このランプ１１を包囲する樋状の反射鏡１２とが内設され、ランプ１１から放射される紫外線を反射鏡１２で反射し、照射器筐体１０の底面から線状に紫外線を照射する。照射器筐体１０の底面にはランプ１１に沿って平面視矩形状の照射開口１０Ａが形成されており、この照射開口１０Ａには干渉膜フィルタ４が設けられている。
反射鏡１２は、半楕円筒状（シリンドリカル状）に形成され、第１焦点Ｆ１にランプ１１の軸線Ｎが位置するように設けられている。干渉膜フィルタ４は、第２焦点Ｆ２が干渉膜フィルタ４と反射鏡１２との間に位置するように配置される。また、反射鏡１２は、ワーク２側の出射端部１２Ａが第１焦点Ｆ１と第２焦点Ｆ２の略中央に位置するように形成されている。この出射端部１２Ａが反射鏡１２の光出射開口１３を構成している。反射鏡１２は、頂部に離間部１２Ｂを有し、ランプ１１の軸線Ｎを含み被照射面２Ａに垂直な面（対称面）に対して対称に形成されている。ここで、樋状の反射鏡１２の光軸Ｃを、ランプ１１の軸線Ｎに垂直な面における反射面の光軸と定義する。
【００１２】
ランプ１１が放射する波長域は、照射装置１の使用用途に応じて適宜に設定され、本実施形態では、液晶パネルの製造（液晶の配向制御や貼り合わせなど）に最適な帯域が設定されている。具体的には、本実施形態のランプ１１には、発光管内にガリウムのハロゲン化物を封入し、紫外線４００〜４５０ｎｍの波長領域を多く出力するガリウムランプが用いられている。
この照射装置１では、２つの照射器３がワーク２の幅方向に所定の間隔Ｍでワーク２の幅Ｗの方向（ランプ１１の幅方向）に並列に設けられている。
【００１３】
干渉膜フィルタ４は、誘電体多層膜から成る透過フィルタであり、図１及び図２に示すように、照射器３の底面に形成した照射開口１０Ａの全体を覆う面積を有し、照射器３の底面に取り付けられている。干渉膜フィルタ４が透過する透過波長域は、照射装置１の使用用途に応じて適宜に設定され、本実施形態では、液晶パネルの製造（液晶の配向制御や貼り合わせなど）に最適な帯域が設定されている。具体的には、本実施形態の干渉膜フィルタ４は、図３に示すように、約３９０ｎｍ付近を中心波長λｃとし、約１００ｎｍの半値幅Δλを有している。
【００１４】
この干渉膜フィルタ４は、透過特性に入射角度依存性を有しており、光の入射角度が大きくなるほど、矢印Ｘで示すように、透過波長域が短波長側にシフトする。したがって、照射器３から干渉膜フィルタ４に斜入射してワーク２に到達する光については、透過特性の角度依存により、垂直入射時よりも短波長の成分が多く含まれることとなる。
【００１５】
このため、ランプ１１等の全方位へ光が出射される放電灯の直下に、図４に示すような平面状の干渉膜フィルタ４（以下、平面状の干渉膜フィルタに符号４Ａを付す。）を配置すると、干渉膜フィルタ４Ａに入射する光に角度分布が生じるため、被照射面２Ａにおいても受光される波長に差が発生することとなる。特に、所定のエリアに所定時間照射を行う面照射の場合、以下の２点の理由からこの問題が顕著になる。
【００１６】
第１の理由としては、照射は、通常、照射される光の強さ又は量を規定して行われるため、被照射面２Ａの照度を測定する照度計等の数値により規定される。このとき、照度計で波長に対する応答感度が狭い場合、干渉膜フィルタ４の入射角による影響を受け、被照射面２Ａの照度又は光量の均一性が悪くなる。
第２の理由としては、照度計の応答感度が広く、照度又は光量として均一性が良いとしても、実際は良い結果が得られない可能性がある。例えば、波長３００〜４００ｎｍまでフラットな応答感度を持つ照度計の場合、波長３１３ｎｍにおいて照度１００ｍＷ/ｃｍ2及び波長３６５ｎｍにおいて照度０ｍＷ／ｃｍ2という条件と、波長３１３ｎｍにおいて照度０ｍＷ／ｃｍ2及び波長３６５ｎｍにおいて照度１００ｍＷ/ｃｍ2という条件において、照度計の値はどちらも同じ値を示す。しかし、ワーク２が波長３１３ｎｍにしか感度がない物質であった場合、照度計の値は共に同じ値であるが、一方の条件ではワーク２は反応しないこととなる。つまり、フィルタへの入射角分布により、被照射面２Ａへ照射される光の波長及び強度の均一性が悪化する。
【００１７】
そこで、本実施形態の照射装置１では、図２に示すように、干渉膜フィルタ４への入射角度分布が狭くなるように形状及び配置変更を行うことで、干渉膜フィルタ４のフィルタ特性の変化を防止し、被照射面２Ａに照射される光の均質性を向上させている。
干渉膜フィルタ４の形状及び配置については、例えば、図５（Ａ）に示す干渉膜フィルタ４を略Ｖ字状に形成する構成、図５（Ｂ）に示す干渉膜フィルタ４を３分割する構成、図５（Ｃ）に示す干渉膜フィルタ４を略半円筒状に形成する構成が挙げられる。なお、略Ｖ字状の干渉膜フィルタに符号４Ｂを付し、３分割の干渉膜フィルタに符号４Ｃを付し、略半円筒状の干渉膜フィルタに符号４Ｄを付す。
【００１８】
具体的には、図５（Ａ）に示す干渉膜フィルタ４Ｂは、２つの傾斜面２１を略Ｖ字状に設けて構成されるとともに、Ｖ字の頂部が反射鏡１２の光軸Ｃ上に位置するように配置されている。各傾斜面２１は、入射角が略同一となるように、光軸Ｃに対して対称に設けられている。
図５（Ｂ）に示す干渉膜フィルタ４Ｃは、ランプ１１の直下に反射鏡１２の光軸Ｃに対して垂直に配置された平面２２と、この平面２２の幅Ｗ方向両側に設けられ、反射鏡１２の光軸Ｃに対して反射鏡１２側に傾斜する傾斜面２３とを備えて構成されている。各傾斜面２３は、入射角が略同一となるように、光軸Ｃに対して対称に設けられている。
図５（Ｃ）に示す干渉膜フィルタ４は、略半円筒状の湾曲面２４を備えて構成され、湾曲面２４は、反射鏡１２の光軸Ｃ上、より詳細には、ランプ１１の軸線Ｎ上に中心軸を有する。
図３及び図５に示す異なる形状及び配置の干渉膜フィルタ４Ａ〜４Ｄについて、照射器３が２つの場合の光学シミュレーションを行った結果を図６及び図７に示す。
【００１９】
図６は干渉膜フィルタの形状及び配置と照度分布との関係を示すグラフであり、図６（Ａ）は反射鏡１２の長手方向の結果、図６（Ｂ）は反射鏡１２の幅方向の結果を示す。また、図７は、干渉膜フィルタの形状及び配置と受光スペクトルとの関係を示すグラフであり、図７（Ａ）は図１に示す測定ポイントＰ１の結果、図７（Ｂ）は測定ポイントＰ２の結果、図７（Ｃ）は測定ポイントＰ３の結果を示す。なお、図６では、横軸にワーク２の中心を０ｍｍとしたときの位置（ｍｍ）、縦軸に照度（ｍＷ/ｃｍ2）を示す。また、図７では、横軸に波長（ｍｍ）、縦軸に分光放射照度（ｍＷ/ｃｍ2）を示す。さらに、図６及び図７中、線Ｒ１は平面状の干渉膜フィルタ４Ａの結果、線Ｒ２は略Ｖ字状の干渉膜フィルタ４Ｂの結果、線Ｒ３は３分割した干渉膜フィルタ４Ｃの結果、線Ｒ４は略半円状の干渉膜フィルタ４Ｄの結果を示す。
【００２０】
照度については、図６（Ａ）に示すように、長手方向では干渉膜フィルタ４の形状による変化があまりないが、図６（Ｂ）に示すように、幅方向では干渉膜フィルタ４の形状によって大きく変化している。特に、幅方向の照度分布の中で、平面状の干渉膜フィルタ４Ａでは、ワーク２の中心、すなわち、２つの照射器３の間の照度が低下している。ワーク２の中心に照射される光は、２つの照射器３から照射される光のうち、干渉膜フィルタ４Ａへの入射角度が大きい光が多くなっている。
【００２１】
ここで、ランプ１１が図３に示すような発光スペクトルを有する場合、入射角が約６０°の光は大半がフィルタ特性により干渉膜フィルタ４でカットされ、入射角が垂直（０°）付近の光は干渉膜フィルタ４でほぼカットされないこととなる。また、入射角が３０°以上となると光強度が最も高い４２０ｍｍ付近の輝線Ｅがカットされてしまう。
このような理由から、平面状の干渉膜フィルタ４Ａの場合、ワーク２では照射器３と照射器３との間の部分で干渉膜フィルタ４Ａの入射角依存性により、照度が低下することとなる。
したがって、干渉膜フィルタ４の形状及び配置を最適化することにより、照度分布を改善することができる。
【００２２】
また、分光スペクトルについても、図７に示すように、干渉膜フィルタ４の入射角特性が影響している。
したがって、干渉膜フィルタ４の形状及び配置を最適化することにより、照度の均一性だけでなく、分光スペクトルのずれを抑制することができる。
【００２３】
性能としては、干渉膜フィルタ４を略半円筒状もしくは半楕円筒状に形成するのが最も好ましいが、湾曲した干渉膜フィルタ４は、製作が困難であることから価格も高くなる。
そこで、本実施形態では、図２に示すように、干渉膜フィルタ４を３分割することで、最大入射角を小さくし、照度分布及び波長の均一性を実現している。具体的には、干渉膜フィルタ４を、ランプ１１の直下に反射鏡１２の光軸Ｃに対して垂直に平面２２を配置し、この平面２２の幅Ｗ方向両側に、反射鏡１２の光軸Ｃに対して反射鏡１２側に傾斜する傾斜面２３を設けて構成している。
【００２４】
本実施形態では、照射開口１０Ａの幅Ｗ１が２３０ｍｍである照射器３が用いられている。図４に示すように、この照射器３の底面に平面状の干渉膜フィルタ４Ａを載置すると、ランプ１１から干渉膜フィルタ４Ａの表面までの距離Ｄ１が１４３ｍｍとなる。この場合、直射光Ｈ１の最大入射角α１が３７．７５°、反射光Ｈ２の最大入射角α２が４７．６９°となり、その結果、平面状の干渉膜フィルタ４の最大入射角α３は４７．６９°となる。
【００２５】
一方、図２に示すように、例えば、平面２２の幅Ｗ２を幅６０ｍｍとし、平面２２と傾斜面２３とのなす角θを１５０°とした３分割の干渉膜フィルタ４Ｃを照射開口１０Ａに取り付けると、ランプ１１から平面２２の表面までの距離Ｄ２が１８０ｍｍとなる。この場合、直射光Ｋ１の最大入射角β１が２０．５４°、反射光Ｋ２の最大入射角β２が２０．５８°となり、その結果、３分割した干渉膜フィルタ４の最大入射角β３は２０．５８°となる。
【００２６】
このように、３分割の干渉膜フィルタ４Ｃでは、平面状の干渉膜フィルタ４に比べ、最大入射角β３を小さくすることができ、スペクトル分布のずれを抑制することができる。また、干渉膜フィルタ４の最大入射角を３０°以内にすることができるので、ガリウムランプにおいて光強度が最も高い４２０ｍｍ付近の光がカットされることを防止して、照度の均一性を効果的に図ることができる。
この干渉膜フィルタ４は、個別に形成した平面２２と２つの傾斜面２３とを一体に連結し、連結部分に遮光部材（不図示）を配置してもよいし、一枚のフィルタを折り曲げることによって平面２２と２つの傾斜面２３を一体に形成してもよい。
【００２７】
以上説明したように、本実施形態によれば、干渉膜フィルタ４には、反射鏡１２の出射端部１２Ａ側に、反射鏡１２の光軸Ｃに対して反射鏡１２側に近づくように傾斜する傾斜面２３を設ける構成とした。具体的には、傾斜面２３は、干渉膜フィルタ４に平面状の干渉膜フィルタ４Ａを使用したときの当該干渉膜フィルタ４Ａに入射する光の最大入射角α３よりも、傾斜面２３を有する干渉膜フィルタ４Ｃに入射する光の最大入射角β３が小さくなるように配置する構成とした。この構成により、干渉膜フィルタ４への入射角度を小さくできるので、均一な照度及び所望波長での光照射が可能となる。
【００２８】
また、本実施形態によれば、傾斜面２３を、干渉膜フィルタ４の最大入射角β３が３０°以内となるように設ける構成とした。入射角が３０°以上となると、例えばガリウムランプでは光強度が最も高くなる４２０ｍｍ付近の輝線Ｅがカットされてしまうが、この３０°以内に干渉膜フィルタ４Ｃの最大入射角α３を規制することで、照度の均一性を効果的に高めることができる。
【００２９】
また、本実施形態によれば、ランプ１１を複数並列に配置するとともに、ランプ１１のそれぞれに反射鏡１２を設け、反射鏡１２の照射開口１０Ａ側のそれぞれに干渉膜フィルタ４を設ける構成とした。この構成により、各照射器３で均一な照度及び所望波長での照射が可能となるので、照射器３を複数並列に配列しても、被照射面２Ａで照度分布及び波長を均一にすることができる。
【００３０】
但し、上述の実施形態は本発明の一態様であり、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能であるのは勿論である。
例えば、上述の実施形態では、干渉膜フィルタ４を３分割していたが、２分割以上であればよく、多角形にするほど入射角度を小さくでき、略円形又は略楕円形では入射角をより小さくできる。したがって、干渉膜フィルタ４を略円形又は略楕円形に形成することで、反射鏡１２の出射端部１２Ａ側に、反射鏡１２の光軸Ｃに対して１２反射鏡側に傾斜する傾斜面を設けてもよい。
【００３１】
また、上述の実施形態では、ランプ１１にガリウムランプを用いており、干渉膜フィルタ４への入射角が３０°以上となると、光強度が最も高くなる４２０ｍｍ付近の輝線Ｅがカットされてしまうため、干渉膜フィルタ４の最大入射角を３０°以内としていた。他の種類のランプを用いる場合には、所望の波長の光に対してスペクトル分布のずれが抑制されるように最大入射角を設定すればよい。
【００３２】
また、上述の実施形態では、干渉膜フィルタ４の最大入射角を３０°以内としていたが、例えば干渉膜フィルタ４の最大入射角を１０°以内としてもよい。図３に示すように、干渉膜フィルタ４への斜入射に起因する短波長側へのシフト量は入射角が１０°以上になると大きく（例えば、５ｎｍ以上に）なっている。したがって、この１０°以内に干渉膜フィルタ４の最大入射角を規制することで、スペクトル分布のずれを抑制することができる。
また、上述の実施形態では、反射鏡１２を収める照射器筐体１０に干渉膜フィルタ４を取り付けていたが、干渉膜フィルタ４は照射器筐体１０と離間して設けてもよい。
【００３３】
また、上述の実施形態では、樋状の反射鏡１２は、対称面に関して分割されていたが、一体ものであってもよい。
また、上述の実施形態では、樋状の反射鏡１２は、ランプ１１の軸線Ｎ方向に対面する端面を開放させていたが、当該端面を平面又は曲面状の補助反射面で閉塞してもよい。この場合も、干渉膜フィルタ４の傾斜面２３は、主反射面となる樋状の反射鏡１２の光軸Ｃに対して反射鏡１２側に近づくように傾斜させればよい。
また、上述の実施形態では、反射鏡１２を半楕円筒状に形成したが、この形状に限定されるものではなく、例えば、断面を半円形状にした樋状に形成してもよい。また、反射鏡１２は、反射光が干渉膜フィルタ４に到達するまでの間で焦点を結ぶ形状が好ましいが、例えば、反射光が平行光となる、断面を放物線にした樋状に形成してもよい。
【００３４】
また、上述の実施形態では、反射鏡１２を線状光源に沿って延びる樋状に形成したが、反射鏡１２は、回転軸対称反射鏡（例えば、半球状の反射鏡、回転楕円面反射鏡、回転放物面反射鏡等）であってもよい。この場合、回転軸上に、点光源、又は光源の軸線を配置すればよい。また、回転軸上に光源を配置したこの回転軸対称反射鏡を、一直線上に複数個並列配置するように照射器筐体１０内に収めて長尺な照射器３を構成してもよく、また、この長尺な照射器３を複数並列配置してもよい。
【００３５】
また、上述の実施形態では、線状光源に紫外線を放射する紫外線ランプを用いていたが、線状光源が照射する光は紫外線に限定されるものではなく、可視光等他の波長域であってもよい。またランプに代えて、紫外線ＬＥＤ等の発光素子を直線状に配列した線状光源を用いることもできる。
また、上述の実施形態では、照射器３を２つ並列していたが、照射器３は、１つであってもよいし、２つ以上設けてもよい。
【００３６】
また、上述した実施形態では、照射装置１を光硬化装置や光配向装置に用いられるものとして説明したが、本発明は、種々の光照射装置に適用可能である。
【符号の説明】
【００３７】
１  照射装置
２  ワーク（被照射体）
２Ａ  被照射面
４  干渉膜フィルタ
１１  ランプ（光源、線状光源）
１２  反射鏡
１２Ａ  出射端部
Ｃ  光軸
α３  最大入射角
β３  最大入射角
【図１】
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【図２】
2015195141.tif 000004
【図３】
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【図４】
2015195141.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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