(57)【要約】【課題】ノズル先端位置を調節するための顕微鏡を別途用意することなく、また、ノズル先端位置を容易に調節する。【解決手段】ノズル１６を仮止めした支持部材１９を、位置調節領域３ａに設けられた調節台１７に装着して、観察光学系でノズル１６の先端２２と基準面４２（Ｋ）とを観察する。そして、ノズル１６の先端２２が調節台１７の基準面４２（Ｋ）に一致するように、移動調節部３６でノズル１６の後端４４を押して調節する。これにより、先端２２を所望の位置まで移動させて、Ｚ軸ステージに取付けられた状態での調節を容易にする。【選択図】図４
2015009176.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルの先端から基板に向かって液状物質の液滴を吐出する液滴吐出装置であって、
前記ノズルを支持する支持部材を備え、
前記支持部材には第１の基準面が形成され、前記第１の基準面から前記ノズルの先端までの距離が調節可能にされており、
さらに、前記第１の基準面を基準として前記支持部材を保持し、前記ノズルの先端と前記基板とを相対移動させて位置決めする位置決め装置と、
前記ノズルの交換時に、前記ノズルを支持した前記支持部材を保持し、前記第１の基準面から前記ノズルの先端までの距離を予め定められた距離に調節するノズル位置調節機構と、
前記ノズルの先端を観察する観察光学系とを備える、液滴吐出装置。
【請求項２】
前記ノズル位置調節機構は、前記第１の基準面が当接される当接基準面、および前記ノズルの先端の調節位置を示す第２の基準面を有し、前記支持部材を保持する調節台と、
前記支持部材に仮止めされた前記ノズルの後端を押圧して前記ノズルの延在方向に移動させ、前記第２の基準面に前記ノズルの先端を一致させる移動調節部とを含む、請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記移動調節部は、回転によりねじ穴に螺合して、先端で前記ノズルの後端を押圧する螺合部材を有する、請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記螺合部材は、マイクロメータヘッドである、請求項３記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記移動調節部は、出力軸の先端で前記ノズルの後端を押圧するリニアアクチュエータを有する、請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
さらに、前記観察光学系で撮像した画像から前記ノズルの先端の位置と、前記第２の基準面の位置とを検出する画像処理部と、
前記画像処理部によって検出された前記ノズルの先端の位置から前記第２の基準面の位置までの距離情報に基づいて、前記ノズルの先端が前記第２の基準面に一致するように前記ノズル位置調節機構を制御する制御装置とを備える、請求項２から請求項５のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記観察光学系は、
前記ノズルの先端を観察して、前記第２の基準面の近傍に前記ノズルの先端の位置を合わせるための第１の対物レンズと、
前記ノズルの先端を観察して、前記第２の基準面の位置に前記ノズルの先端の位置を一致させるための第２の対物レンズとを含み、
前記第２の対物レンズの倍率は前記第１の対物レンズの倍率よりも高い、請求項２から請求項６のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記観察光学系は、前記位置決め装置に搭載され、前記基板の表面を観察する、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項２に記載の液滴吐出装置を用いたノズル位置調節方法であって、
前記ノズルを前記支持部材に仮止めする第１のステップと、
前記調節台に前記支持部材を装着する第２のステップと、
前記移動調節部の先端を前記ノズルの後端に当接させる第３のステップと、
前記観察光学系を用いて、前記ノズルの先端および前記第２の基準面を観察する第４のステップと、
前記ノズルの先端が前記第２の基準面に一致するように、前記ノズルの後端を前記移動調節部の前記先端で押圧する第５のステップと、
前記ノズルを前記支持部材に固定する第６のステップと、
前記移動調節部の前記先端を後退させ、前記調節台から前記支持部材を取り外す第７のステップとを含む、液滴吐出装置を用いたノズル位置調節方法。
【請求項１０】
前記第４のステップでは、前記観察光学系により観察された画像に基づいて、前記ノズルの先端および前記第２の基準面の位置が検出されると、
第５のステップでは、前記第４のステップで検出された前記ノズルの前記先端の位置から前記第２の基準面の位置までの距離情報を前記ノズル位置調節機構に与えて制御を行う、請求項９に記載のノズル位置調節方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状物質を吐出しなからパターンを描画する液滴吐出装置、および液状物質を吐出するノズルの交換時に、ノズルの先端の位置を調節するノズル位置調節方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットを用いてパターンを描画する液滴吐出装置は、他の描画装置に比べて液状物質（インク）の利用効率が高く、作業工程を簡素化できる効果もあって、最近では様々な分野で利用されている。
【０００３】
液状物質の吐出方法は圧電式や加熱式、静電吸引式などが知られている。より微細なパターンを描画するには静電吸引式のインクジェットが用いられる（たとえば、特許文献１など参照）。
【０００４】
静電吸引式のインクジェットは、ノズル（塗布部）に注入した液状物質に高電圧パルスを印加すると、ノズルの先端から基板に向かって円錐状のテーラーコーンが形成される。テーラーコーンは、頂部から基板表面に達するジェット流（液柱）を生じさせて、液状物質の一部が基板の上に移動して液滴を形成する。この状態でノズルと基板とを相対移動することで描画が行われる（たとえば、特許文献１など参照）。
【０００５】
静電吸引式のインクジェットを用いて描画する場合には、ノズルの先端と基板との距離を１００μｍ以下の微小な隙間となるように調節される（たとえば、特許文献１、特許文献２など参照）。
【０００６】
また、ノズルを固定した支持部材は、上下方向に進退可能なＺ軸ステージに着脱が容易に行なえるように装着され、ノズルを交換する場合には支持部材ごと交換を行なうことが開示されている（特許文献２）。支持部材に固定されたノズルの先端は、予め治具を用いてその長さを決められた値になるように調節しておけば、装着後の隙間の調整は不用となり交換時間を短縮することができる。
【０００７】
支持部材の任意位置にノズルを固定し、液滴吐出装置に支持部材を装着した段階でノズルの先端までの距離を測定し、先端から基板までの距離を補正して使用することも想定される。しかし、特許文献２にあるように、ノズルの先端の下方にインクを捨て打ちする捨て打ち板が配置される場合には、捨て打ち板にノズルの先端が干渉して損傷することも想定される。このため、ノズル交換時には、ノズルの先端位置の調節が必須となる。
【０００８】
ノズルの先端位置の調節方法として、ノズルの先端部を拡大観察する顕微鏡の画像を見ながら調節する方法が開示されている（たとえば、特許文献２など参照）。このような方法では、ノズルが仮止めされた支持部材を治具に装着した後、ノズルを移動させながら支持部材の端面からノズルの先端までの長さを治具の長さに顕微鏡で観察しながら一致させる。
【０００９】
さらに、特許文献２には、顕微鏡に代えて装置内の観察光学系の観察画像とＸＹステージの絶対位置情報を元にノズル位置を調節することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０１０−１８８２６４号公報
【特許文献２】特開２０１１−１１５７７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献２（特開２０１１−１１５７７６号公報）に示すような従来の液滴突吐出手段では、ノズルが仮止めされた支持部材を調節用の治具に装着した後、顕微鏡下でノズルの先端位置を観察しながら、支持部材の端面からノズルの先端までの長さを治具の基準長さと一致するように調節している。
【００１２】
このような調節には、液滴吐出装置に設けられている基板の表面を観察するカメラ以外に別途顕微鏡を準備する必要がある。
【００１３】
また、ノズルの先端を治具の基準面に精度良く合わせる必要があるが、ノズルの延在方向に顕微鏡を移動させる方法については開示されていない。ノズルの液滴吐出時には、支持部材とともにＺ軸ステージに装着されたノズルの先端と基板の表面との距離が数十μｍと微小に設定される場合もある。このことを考慮すると、ノズルの先端の調節誤差は１０μｍ以下にするのが望ましい。
【００１４】
さらに、液滴吐出装置内に備えられ観察光学系を用いて、ＸＹステージの絶対位置情報を利用してノズル位置を調節する方法では、ＸＹステージの位置座標を読取って確認する必要がある。この際、読取りを間違えてしまうと正確に調節を行なうことができないといった問題もあった。
【００１５】
本願発明の主たる目的は、上記課題を鑑み、ノズルの先端位置を調節するための顕微鏡を別途用意する必要がなく、また、ノズルの先端位置を簡単に調節することが可能な液滴吐出装置、およびノズル位置調節方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
この発明の液滴吐出装置は、ノズルの先端から基板に向かって液状物質の液滴を吐出するものである。液滴吐出装置は、ノズルを支持する支持部材を備え、支持部材には第１の基準面が形成され、第１の基準面からノズルの先端までの距離が調節可能にされており、さらに、第１の基準面を基準として支持部材を保持し、ノズルの先端と基板とを相対移動させて位置決めする位置決め装置と、ノズルの交換時に、ノズルを支持した支持部材を保持し、第１の基準面から先端までの距離を予め定められた距離に調節するノズル位置調節機構と、ノズルの先端を観察する観察光学系とを備える。
【発明の効果】
【００１７】
この発明の液滴吐出装置は、予めノズルを支持部材に支持させて交換する際、支持部材の第１の基準面からノズルの先端までの距離がノズル位置調節機構によって一定となるように調節される。
【００１８】
ノズル位置調整機構による調節は、液滴吐出装置に備えられている観察光学系により観察されながら正確に行なわれる。よって、ノズル先端の位置調整のために別途、他の観察用顕微鏡を用意する必要がなく、精度の良好な先端の位置の調節を行うことができる。
【００１９】
ノズルを支持する支持部材をＺステージ上の第１の基準面を基準として装着すると、ノズルの先端と基板との間に適正な吐出距離が設定される。そして、水平方向の吐出位置を位置決め装置で位置決めすることにより、直ちに塗装を開始できる。
【００２０】
このように、ノズル交換後は、ノズルが装着される上下方向の位置の調節が必要がなくなる。したがって交換前のノズルの設定をそのまま使用でき、ノズル交換作業工程のタクトを短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】この発明の実施の形態で、液滴吐出装置の全体の構成を詳細に説明する斜視図である。
【図２】実施の形態の液滴吐出装置で、全体の構成を示す正面図である。
【図３】液滴吐出装置でノズルの先端を説明する模式的な断面図である。
【図４】実施の形態の液滴吐出装置で、支持部材を調節台に装着する様子を示す分解斜視図である。
【図５】実施の形態の液滴吐出装置で、ノズルを固定する支持部材の詳細を説明する軸方向に沿った位置での断面図である。
【図６】実施の形態の液滴吐出装置に用いる調節台の構成を説明する斜視図である。
【図７】実施の形態の液滴吐出装置で、支持部材を調節台に装着した状態を示す図４のＡ−Ａ線に沿った位置での断面図である。
【図８】実施の形態の液滴吐出装置で、ノズル位置調節の工程に沿うフローチャートである。
【図９】この発明の実施の形態の変形例の液滴吐出装置で、図７に相当する位置での断面図である。
【図１０】変形例の液滴吐出装置で、図９に示す矢視Ｂ方向から見た全体の構成図である。
【図１１】ノズル位置調節の精度を向上する位置調節方法を示し、低倍率の対物レンズを使用する様子を説明する側面図である。
【図１２】ノズル位置調節の精度を向上する位置調節方法を示し、高倍率の対物レンズを使用する様子を説明する側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明はくり返さない。
【００２３】
図１〜図１２は、本発明の実施の形態の液滴吐出装置１を示している。
図１を参照して、液滴吐出装置１は、基台１ａと、位置決め装置２と、観察光学系９と、吐出手段に該当する静電吸引型のインクジェット吐出装置１５と、先端２２から液状物質の液滴を吐出させるノズル１６と、ノズル１６を支持する支持部材１９と、ノズル１６の位置を調節する調節台１７とを主に備える。
【００２４】
基台１ａの上面部１ｂには、中央部にチャック３が設けられている。上面部１ｂには、被塗装物である基板４が水平に載置されて、チャック３により固定される。
【００２５】
基台１ａには、吐出手段または観察光学系の位置決めを行なう位置決め装置２が搭載されている。位置決め装置２は、主にガントリ型のＸＹステージ５と、Ｚ軸ステージ８とを含む。ＸＹステージ５には、Ｘ軸ステージ６と門型のＹ軸ステージ７とが含まれている。Ｘ軸ステージ６，Ｙ軸ステージ７は、チャック３を跨いで設けられていて、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に向けてＺ軸ステージ８を移動させることができる。
【００２６】
Ｚ軸ステージ８には、観察光学系９の対物レンズ１３と、対物レンズ切替器１４と、インクジェット吐出装置１５と、ノズル１６を支持する支持部材１９とが搭載されている。Ｚ軸ステージ８には、ノズル１６の先端２２を下向きとして、基板４の表面に対峙させた状態で支持部材１９が保持される。
【００２７】
このため、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に向けてノズル１６の先端２２を移動させることができると共に、上下方向（以後、Ｚ軸方向とも記す）に沿って、先端２２の位置を移動させて、先端２２から基板４までの距離を可変させることができる。
【００２８】
そして、先端２２から上面部１ｂに固定された基板４の表面までの吐出距離Ｇは、一定に保たれた状態でＸ軸方向またはＹ軸方向の所望の位置に位置決めされ、ノズル１６の先端２２から吐出された液滴が吐出されることにより、任意形状にパターンを描画することができる。
【００２９】
図２は、この実施の形態の液滴吐出装置１の正面図である。
図２を参照して、液滴吐出装置１のＺ軸ステージ８には、基板４を観察する観察光学系９と、ノズル１６から基板４に液滴を吐出するインクジェット吐出装置１５とが固定されている。そして、Ｚ軸ステージ８の移動に伴ない、ノズル１６と観察光学系９の対物レンズ１３とを同時に移動させることが出来る。
【００３０】
ＸＹステージ５のテーブル上面１８に載置された基板４は、チャック３により固定されている。
【００３１】
この基板４に隣接した位置には、位置調節領域３ａが設けられている。この位置調節領域３ａは、上面視略方形のチャック３の周縁の一部が切り欠かれた上面視長方形（図１参照）に形成されている。
【００３２】
この位置調節領域３ａは、観察光学系９をＸＹステージ５によって水平方向へ移動させる際、対物レンズ１３による観察が可能な範囲の内側に位置する。さらに、この位置調節領域３ａに固定された調節台１７では、チャック３とほぼ同じ高さ位置となるように、ノズル１６を９０度、横向き（延在方向を水平方向に沿わせた状態、以後、延在方向を水平方向に沿わせる、とも記す。）として仮止めされて調節される。
【００３３】
また、観察光学系９の対物レンズ１３で拡大しても観察可能な範囲に、調節台１７に保持された支持部材１９およびノズル１６の先端２２が入るように設定されている。このため、観察光学系９の対物レンズ１３を通して得られる画像を見ながら、仮止めされたノズル１６の先端２２の位置を調節することができる。
【００３４】
図３は、インクジェット吐出装置１５のノズル１６の先端２２を説明する模式的な断面図である。
【００３５】
図３を参照して、基本的な静電吸引式の塗装の原理を説明する。インクジェット吐出装置１５は、静電吸引型のノズル１６を含み、パルス電圧発生装置２０から高電圧が入力される。インクジェット吐出装置１５とＸＹステージ５、Ｚ軸ステージ８、およびパルス電圧発生装置２０は、制御装置２１によって移動が制御される。ノズル１６は、ガラス管を引き伸ばして先端径を微小に形成したものである。ノズル１６の内部にはインク１２（たとえば導電性インク）が注入され、パルス電圧発生装置２０から出力されるパルス電圧ＶＰをインク１２に対して印加可能としている。
【００３６】
基板４は、ＸＹステージ５の上に設けたチャック３に水平に固定されている。そして、ＸＹステージ５を水平方向に駆動させてインクジェット吐出装置１５が設けられたＺ軸ステージ８を移動させることにより、基板４の表面の所望の目標位置をノズル１６の下方に位置決めすることができる。
【００３７】
インク１２を吐出する際、ノズル１６の先端２２と基板４の表面との間には、微小な吐出距離Ｇが開けられて、上下方向に先端２２と基板４の表面とが対峙される。この状態でノズル１６に注入されたインク１２にパルス電圧発生装置２０からパルス電圧ＶＰが印加される。
【００３８】
パルス電圧ＶＰが印加されたインク１２は、ノズル１６の先端２２から基板４の表面に向かって吐出されると円錐状のテーラーコーン２３が形成される。吐出されたインク１２は、テーラーコーン２３の頂部から基板４の表面に達するジェット流（液柱）２４を生じさせて、インク１２の一部が基板４の表面上に移動されて塗布される。
【００３９】
また、パルス電圧発生装置２０からインク１２にパルス電圧ＶＰを印加しながら、ＸＹステージ５を駆動させることにより、基板４の表面上に基板４とが水平方向に相対移動されて、ノズル１６の先端２２から吐出されたインク１２により基板４の表面上に任意形状のパターンを描画させることができる。ここでは、ノズル１６をＸＹ方向に移動させて基板４との間で相対移動させているが、基板４を搭載したＸＹステージ５を駆動して、ノズル１６の先端２２と基板４との間を相対移動させてもよい。
【００４０】
描画が終了すると、Ｚ軸ステージ８の駆動によって、基板４から上方に離間した待機位置にインクジェット吐出装置１５が移動される。
【００４１】
インクジェット吐出装置１５はインク１２を吐出する際、ノズル１６の先端２２と基板４までの吐出距離Ｇが数十μｍと微小に設定される場合もあり、ノズル１６の先端２２の高さ（Ｚ軸方向の位置）を調節することが重要になる。ノズル１６の先端２２は微小なためインク１２が詰まり易く、また、先端２２を破損した場合も含めて、ノズル１６を新品に交換する必要が生じる場合がある。ノズル１６を新品に交換する場合、交換前と同じ位置に、新しいノズル１６の先端２２の位置が倣うように予め調節しておけば、吐出距離Ｇに関連する設定値を変更する必要がなくなり、液滴吐出装置１の操作性を向上させることができる。
【００４２】
また、図１に示すように基台１ａの上面部１ｂには、チャック３のＹ軸方向の一側縁の角隅部に位置調節領域３ａが形成されている。位置調節領域３ａには、ノズル位置調節機構を構成する調節台１７と、移動調節部３６とが設けられている。
【００４３】
このうち、調節台１７には、ノズル１６を交換する時に、Ｚステージ８から取り外された支持部材１９を保持する装着部３３が設けられている。装着部３３には、交換する時に取り付けられる新品のノズル１６が、支持部材１９に仮止めされた状態で、延材方向を水平に沿わせて支持されている。
【００４４】
また、この調節台１７には、ノズル１６の先端２２の位置を移動させて調節する移動調節部３６が設けられている。
【００４５】
図４は、実施の形態の液滴吐出装置１で、支持部材１９を位置調節領域３ａに固定する調節台１７の構成を示す分解斜視図である。
【００４６】
図４を参照して、まず、ノズル１６を支持部材１９に仮止めして、支持部材１９を調節台１７に装着する様子を説明する。
【００４７】
この実施の形態では、ノズル１６が貫通孔２６に挿入されて、押え板２８および固定ボルト部材２８ａが用いられて仮止めされる。また、図４中二点鎖線に示すように、先端２２の破損を防止するための破損防止カバー筒５３を先に支持部材１９の貫通孔２６に挿入してもよく、ノズル１６を破損防止カバー筒５３の内部に挿通した状態で、支持部材１９の貫通孔２６に挿入してもよい。以後、説明の容易化のため、破損防止カバー筒５３の記載は省略する。
【００４８】
支持部材１９の一側面には、貫通孔２６まで達する切欠き２７が形成されている。切欠き２７には、押え板２８が嵌着されて貫通孔２６に挿入されたノズル１６は、外側面方向から螺着される固定ボルト部材２８ａによって固定される。この実施の形態の押え板２８は、脱落を防止する複数の固定ボルト部材２８ａを挿通するボルト穴を有していて、ノズル１６を切欠き２７の内側面との間に挟持した状態で、これらの固定ボルト部材２８ａを挿通穴に挿通する。そして、切欠き２７の側面に形成されたボルト穴に固定ボルト部材２８ａを螺合させる。
【００４９】
固定ボルト部材２８ａの螺合量を変更することにより、締結または半締結された固定ボルト部材２８ａにより、支持部材１９の貫通孔２６に挿通されたノズル１６を固定状態（液滴が吐出に適した吐出距離に先端２２を位置させている場合を含み、延在方向に沿って摺動不能な状態）または仮止め状態（調節のために延在方向に沿って、貫通孔２６内で摺動可能な状態）とすることが出来る。
【００５０】
また、調節台１７には、後端壁３５に雌ねじ孔部４３が開口されている。雌ねじ孔部４３の内側面には、調節ボルト３７と螺合する雌ねじが形成されている。そして、これらの雌ねじ孔部４３および調節ボルト３７にが設けられている。
【００５１】
調節ボルト３７は、先端面４５を後端壁３５の内側面から突出させている。調節ボルト３７は、頭部３８が回転されることによりボルト軸部の周面に形成された雄ねじが、雌ねじ孔部４３の雌ねじに螺合されて先端面４５の突出寸法が変更される。
【００５２】
そして、装着されるノズル１６の後端４４に干渉しない程度に、調節ボルト３７の先端面４５が突設された状態で、調節台１７に支持部材１９を保持する準備が行われる。
【００５３】
ノズル１６を交換する時に、Ｚステージ８から取り外された支持部材１９から、図示しない古いノズルが取り外されて、図４中二点鎖線で示すように新しいノズル１６が支持部材１９に仮り止めされる。新しいノズル１６が仮り止めされた支持部材１９は、そのまま、液滴吐出装置１の位置調節領域３ａに設けられた調節台１７に保持される。
【００５４】
支持部材１９を保持させるため、装着部３３の片側側面３４に支持部材１９の内側面部３１を重ね合わせると共に、支持部材１９の基準面Ｓを調節台１７の当接基準面３９に対向させた状態で係合させる。
【００５５】
また、この実施の形態では、支持部材１９の内側面部３１には、磁石６２，６２が埋設されている。これらの磁石６２，６２と対向する片側側面３４には、磁石３２，３２が埋設されている。そして、片側側面３４に埋設された磁石３２と、内側面部３１に埋設された磁石６２とは、ノズル１６の延在方向で配置を前後にずらして設けられている。このため、磁石３２と磁石６２との間の磁着力によって、支持部材１９が調節台１７の片側側面３４に沿って摺接されながら角部４１方向へスライド移動されて、当接基準面３９と係合基準面部３０（Ｓ）とが、圧接状態で係合される。同時に支持部材１９は、調節台１７の装着部３３の底面にも圧接される。このため、装着部３３には、幅方向および上下方向で所望の位置に位置決めされて支持部材１９が保持される。
【００５６】
よって、位置調節領域３ａに設けられた調節台１７の装着部３３には、図４中実線で示すように支持部材１９によってノズル１６が支持される。ノズル１６は、延在方向を水平に沿わせて先端２２を基準面４２（Ｋ）方向に向けて仮止めされる。
【００５７】
図５は、ノズル１６を支持する支持部材１９の詳細な構造が延在方向に沿った断面図が示されている。
【００５８】
図５を参照して、支持部材１９の貫通孔２６に挿入されたノズル１６は、先端２２および後端４４が、支持部材１９からそれぞれ所定の寸法を有して突設されている。支持部材１９の一端面部１９ａからは、貫通孔２６に挿通されたノズル１６の後端４４が突設されている。後端４４の突出寸法は、支持部材１９が装着部３３に保持された状態で、調節ボルト３７の先端面４５（図４参照）と対向しつつ、かつ干渉しないように設定されている。
【００５９】
一端面部１９ａには、径方向の外側縁から所定の高さの係合突起部２９が突設されている。係合突起部２９は、ノズル１６の延在方向に対して直交する方向に係合基準面部３０（Ｓ）を有している。
【００６０】
係合基準面部３０（Ｓ）は、当接基準面３９に対向する位置（図４参照）に形成されている。そして、装着部３３に保持された支持部材１９がノズル１６の延在方向に沿ってスライド移動すると、係合基準面部３０（Ｓ）と当接基準面３９とが圧接されて、先端２２が位置決めされる際の基準となる。また、係合突起部２９の係合基準面部３０（Ｓ）から、ノズル１６の先端２２までの間の寸法Ｌ１は、移動調節部３６によって調節されて、装着前に予め定められた距離となる。
【００６１】
支持部材１９の係合基準面部３０（Ｓ）は、ノズル１６を交換する時に支持部材１９をＺ軸ステージ８に保持させた状態で、インクジェット吐出装置１５に接続されるノズル１６の先端２２のＺ軸方向の位置決めの基準となる。
【００６２】
すなわち、インクジェット吐出装置１５は、ノズル１６を接続して、Ｚ軸ステージ８に設けられた図示しない台座の上面に係合基準面部３０（Ｓ）を当接させることにより、係合基準面部３０（Ｓ）からノズル１６の先端２２までの距離が一定の寸法Ｌ１となる。
【００６３】
このように支持部材１９がＺ軸ステージ８に保持されることで、ノズル１６の先端２２と基板４の表面との間に、例えば数十μｍ程度のインクジェット吐出装置１５に適した吐出距離Ｇ（図３参照）が与えられる。
【００６４】
また、先端２２は、支持部材１９の前端面１９ｂからの突設寸法が所定値以下となるように設定されている。このため、支持部材１９が調節台１７の装着部３３に保持された状態で、支持部材１９の基準面４２（Ｋ）の近傍に先端２２が配置されて、基準面４２（Ｋ）の位置を先端２２が超えないように調節されている。このため、支持部材１９をＺ軸ステージ８に保持させても、下方に向けて支持されたノズル１６の先端２２が基板４の表面に干渉しない。
【００６５】
図６は、実施の形態の液滴吐出装置１に用いる調節台１７の詳細な構成を説明する斜視図である。
【００６６】
図６を参照して、調節台１７は、支持部材１９を着脱とする装着部３３と移動調節部３６とを有している。調節台１７の基準長さＬ２は、当接基準面３９と反対側の外側面に位置する基準面４２（第２の基準面Ｋと同じ。以下、基準面４２（Ｋ）とも記す）との間の距離が用いられて予め設定されている。
【００６７】
この基準長さＬ２は、支持部材１９の係合基準面部３０（Ｓ）からノズル１６の先端２２までの間に設定された寸法Ｌ１に対応して、ノズル交換時には、予めこの基準長さＬ２に適合する突出寸法となるように先端２２の位置が調節される。
【００６８】
調節台１７の片側側面３４には磁石３２，３２が埋設されている。調節台１７の後端壁３５には、ノズル１６を移動するための移動調節部３６が設けられている。
【００６９】
図６では、移動調節部３６に該当する調節ボルト３７が、調節台１７の後端壁３５に開けられた雌ねじ孔部４３に螺合されている。調節ボルト３７は頭部３８を回転させた螺合で、雌ねじ孔部４３から突出する軸の長さを変更可能である。すなわち、ノズル１６の後端４４に当接させた先端面４５の位置が調節されることにより後端４４を押圧して、延在方向に沿ってノズル１６を貫通孔２６内で移動させることができる。また、調節ボルト３７の代わりにマイクロメータヘッドを用いてもよい。
【００７０】
調節台１７の当接基準面３９は、支持部材１９の係合基準面部３０（Ｓ）と係合して当接する面とされる。調節ボルト３７の軸延設方向に位置する調節台１７の外側面には、第２の基準面４２（Ｋ）が形成されている。この第２の基準面４２（Ｋ）は、ノズル１６の先端２２の位置を調節して位置合わせを行なう際の基準となる。
【００７１】
このノズル１６の先端２２が配置される上下方向位置とほぼ一致する位置に水平面４０が形成されている。水平面４０と基準面４２（Ｋ）とが交差する位置には、角部４１が形成されている。
【００７２】
そして、ノズル１６の先端２２は、第２の基準面４２（Ｋ）の方向へ移動している間、対物レンズ１３で観察されて、停止位置の調節が行なわれる。先端２２は、角部４１の延長線上に到達すると停止される。
【００７３】
図７は、支持部材１９を調節台１７に装着した状態を示し、図４のＡ−Ａ線に沿った位置でノズル１６の中心線を通る箇所の水平断面図である。
【００７４】
図７を参照して、支持部材１９を調節台１７に装着した状態で構成を詳細に説明すると、支持部材１９は、調節台１７の装着部３３の所定位置に位置決めされた状態では、仮止めされているノズル１６の先端２２を基準面４２（Ｋ）よりも、延在方向で近傍位置（図７中に実線で示す位置）に留まっている。
【００７５】
ノズル１６の延在方向の位置は、移動調節部３６を回転させることにより調節される。すなわち、支持部材１９に押え板２８が用いられて仮止めされているノズル１６の後端４４には、移動調節部３６の先端面４５が当接される。頭部３８を回転させると、雌ねじ孔部４３の雌ねじ部と調節ボルト３７の雄ねじ部とが螺合して、ノズル１６方向へ前進して後端４４が押圧される。後端４４の押圧により、ノズル１６の先端２２の位置は、基準面４２（Ｋ）方向に移動される（例えば図７中に二点鎖線で示すような位置）。
【００７６】
仮止めされたノズル１６の先端２２は、予め基準面４２（Ｋ）の近傍となるように配置されている。このため、移動調節部３６の先端面４５が後端４４を押圧する方向にのみ移動させる力を加えればよく、これらを固定（クランプ）する必要がない。
【００７７】
ノズル１６の移動は、先端２２の位置が基準面４２（Ｋ）の位置に一致するまで行なわれる。
【００７８】
この実施の形態では、ノズル１６を仮止めした支持部材１９を調節台１７に装着した状態で、観察光学系９が用いられてノズル１６の先端２２と基準面Ｋ（角部４１）とが観察されるようにしてもよい。そして、ノズル１６の先端２２が調節台１７の基準面Ｋ（角部４１の延長線上）に一致するように、調節ボルト３７を回転させて、雌ねじ孔部４３に螺合させる。
【００７９】
これにより、先端面４５でノズル１６の後端４４が押圧されて、ノズル１６の位置が移動し、図７中に示す二点鎖線位置のように先端２２の位置が同じく基準面である角部４１の位置となるように調節される。角部４１の延長線上は、上下方向で、基準面４２（Ｋ）の位置よりも先端２２に近接している。したがって、ノズル１６の前後方向でも観察誤差を減少させることにより、さらに精度の良好な調節が行なえる。
【００８０】
また、この実施の形態の移動調節部３６は、調節ボルト３７を有していて調節台１７の後端壁３５に設けた雌ねじ孔部４３に螺合させることにより、雌ねじ孔部４３からノズル１６方向へ先端面４５が進退可能となるように構成されている。そして、この移動調節部３６の調節ボルト３７の頭部３８を手で回して、先端面４５をノズル１６の後端４４に当接させ、ノズル１６の先端２２を基準面Ｋ（角部４１の延長線上）の方向に押圧して移動させる。なお、角部４１の延長線上にあることを判り易くするため、図示しない観察モニタ画面上に角部４１と重なる基準線を描き、この基準線を長めに表示しておいてもよい。このような調節方法を用いれば、ノズル１６の後端４４を移動調節部３６と固定（クランプ）する必要がないため、移動調節部３６の機構を簡略化できる。
【００８１】
ノズル１６の位置調節が終了した後、押え板２８を支持部材１９に押し付けてノズル１６を固定する。そして、調節ボルト３７を後退させた状態で、調節台１７から支持部材１９を取り外す。
【００８２】
押え板２８の固定ボルト部材２８ａは増締めされることで、ノズル１６の位置の調節が完了する。この調節方法により、調節台１７に設定された基準長さＬ２と、支持部材１９の係合基準面部３０（Ｓ）からノズル１６の先端２２までの寸法Ｌ１とが同じ距離に揃えられて、ノズル１６の先端２２の位置精度を向上させることができる。
【００８３】
また、この支持部材１９の係合基準面部３０（Ｓ）を基準として、Ｚ軸ステージ８にインクジェット吐出装置１５として装着すると、ノズル１６の先端位置が液滴の吐出に最適な上下方向の吐出距離Ｇに正確に設定されて保持される。
【００８４】
このように、支持部材１９に予め位置調節されたノズル１６を支持させて、交換作業を行ない、支持部材１９をＺ軸ステージ８の取り付け基準位置に取り付けるだけで、新しく装着されたノズル１６の先端２２の位置を、基板４の表面に対して、常に同じ吐出距離Ｇとなる上下方向高さ位置とすることができる。
【００８５】
よって、ノズル１６の交換作業を行った後、ノズル１６の先端２２と基板４との間の距離調節が不要となる。このため、ノズル１６の交換後は、ＸＹステージ５によって、Ｘ方向およびＹ方向にノズル１６を移動させて水平面内で、吐出位置の位置決めをするだけで所望の吐出位置となり、交換前のノズル１６の設定をそのまま使用できる。
【００８６】
このように、液滴吐出装置１では、Ｚ軸方向のノズル１６の位置調節を行なう必要がなく、支持部材１９を用いた交換後、水平方向の吐出位置の移動を行なうだけで、ノズル１６の先端２２から直ちにインク１２の吐出を開始して塗布工程に移行できる。
【００８７】
また、先端２２と基板４との間の吐出距離Ｇは、調節台１７を用いたノズル１６の交換作業で先端２２の位置が調節されていて、良好な寸法精度で設定されている。よって、吐出距離Ｇの再現性が良いため、適量のインク１２を所望の箇所に吐出できる。
【００８８】
しかも、ノズル１６を交換した後、ノズル１６の先端２２と基板４との間の吐出距離Ｇの調節が不要となる。このため、交換前のノズル１６の設定をそのまま使用でき、交換作業性が良好であるとともに、交換工程のタクトを短縮できる。
【００８９】
さらに、ノズル１６の位置の調節を液滴吐出装置１に備えられている観察光学系９を用いて行える。このため、別途、ノズル調節用の顕微鏡などの光学機器を準備する必要がなくなり、部品点数の増大を抑制できる。
【００９０】
なお、治具を用いて、ノズル１６の位置の調節が可能なストッパ（図示せず）を予めノズル１６に接着しておいて固定する方法も考えられる。しかしながら、この場合には接着の工程数が増大して、ノズル１６の製造コストが高くなってしまうといった問題があった。これに対して、この実施の形態の液滴吐出装置１を用いたノズル位置調節方法では、交換される新品のノズル１６の位置調節を短時間で簡単に行うことが可能であり、より経済的である。
【００９１】
図８は、実施の形態の液滴吐出装置１で、ノズル１６の位置の調節の工程を含め、交換する際の順序に沿ったフローチャートである。図８を参照して、ノズル交換作業の各工程を説明する。
【００９２】
この実施の形態のノズル位置調節方法により、ノズル１６の交換作業がスタートすると、ステップＳ１では、仮止め工程が行われる。仮止め工程は、ノズル１６の延在方向に移動可能な程度にノズル１６を支持部材１９に仮止めし、ノズル１６の先端２２が調節台１７の基準面Ｋよりも突出しないように位置を合わせるために行われる。仮止め工程では、貫通孔２６内に挿通されたノズル１６を、切欠き２７に嵌着された押え板２８で挟持するとともに、さらに固定ボルト部材２８ａによって半締結して仮止めされる。
【００９３】
仮止め工程では、所望の位置に先端２２が調整された状態で、支持部材１９の貫通孔２６から先端２２と後端４４とをそれぞれ突出させた状態で半固定され、延在方向には、押圧力が加わるとノズル１６を移動させることができる程度に固定ボルト部材２８ａが半締結される。
【００９４】
ステップＳ２に処理が進むと、装着工程が行なわれる。装着工程では、液滴吐出装置１内の調節台１７に支持部材１９が装着される。
【００９５】
ステップＳ３に処理が進むと、移動調節部当接工程が行なわれる。移動調節部当接工程では、インクジェット吐出装置１５のＺ軸方向の位置決めが行えるように、支持部材１９を用いて調節台１７にノズル１６を装着させる。ここではノズル１６の後端４４に対して、移動調節部３６の出力軸の先端（調節ボルト３７の先端面４５）を当接させる。
【００９６】
ステップＳ４に処理が進むと、ノズルの先端を観察するノズル先端観察工程が行なわれる。制御装置２１は、ＸＹステージ５を駆動して観察光学系９を水平方向に移動させる。位置調節領域３ａの真上まで対物レンズ１３が移動するとノズル１６の先端２２、および調節台１７の基準面４２（Ｋ）が上方から、観察光学系９により観察可能となる。観察は、基準面４２（Ｋ）の位置まで先端２２が移動して到達したか否かなどの位置調節の様子を図示しないモニタなどに画像として表示することにより行なわれる。
【００９７】
ステップＳ５に処理が進むと、ノズル位置調節工程が行なわれる。ノズル位置調節工程では、観察光学系９の画像を表示する図示省略のモニタ画面を観察しながら、ノズル１６の先端２２が調節台１７の基準面４２（Ｋ）に一致するように、移動調節部３６の出力軸（調節ボルト３７）の先端面４５を当接させてノズル１６の後端４４を押圧する。
【００９８】
ステップＳ６に処理が進むと、ノズル固定工程が行なわれる。ノズル固定工程は、所望の位置に先端２２が調整された状態で、支持部材１９にノズル１６を固定するために行なわれる。ノズル固定工程では、押え板２８が切欠き２７の支持部材１９側に押し込まれて、嵌着されている状態から、さらに固定ボルト部材２８ａを増締めすることでノズル１６が支持部材１９の貫通孔２６内で移動不能となるように固定される。
【００９９】
ステップＳ７に処理が進むと、取り外し工程が行なわれる。取り外し工程では、移動調節部３６の出力軸（調節ボルト３７）が後退させられて、支持部材１９が調節台１７から外され、調節が完了する。
【０１００】
図９に、実施の形態の変形例の液滴吐出装置の変形例を示す。以下、実施の形態と同一ないし均等な部分については、同一符号を付して説明は繰返さない。
【０１０１】
図９に示す液滴吐出装置の変形例は、移動調節部４６に該当するリニアアクチュエータ４９が用いられている。リニアアクチュエータ４９は、制御装置からの制御指令により電動で軸延設方向に進退する出力軸５０を有している。出力軸５０は、後端壁３５の孔部５２に挿通されて、ノズル１６の延在方向に進退可能とされている。出力軸５０のうち、孔部５２から突出された先端部５１は、ノズル１６の後端４４に当接されることにより、後端４４を軸方向に沿って押圧して、ノズル１６を移動させることが出来るように配置されている。
【０１０２】
そして、実施の形態と同様に、観察光学系９（図示せず）でノズル１６の先端２２の位置を観察しながら、リニアアクチュエータ４９の出力軸５０を操作する。そして、ノズル１６の先端２２が基準面４２（Ｋ）に一致するように調節される。リニアアクチュエータ４９に代えて、たとえば、出力軸５０が回転しながら進退するリニアパルスモータを用いるようにしてもよい。他の構成、および作用効果については、実施の形態と同様であるので説明を繰返さない。
【０１０３】
図１０には、図９の変形例を示している。図１０は、図９を矢視Ｂ方向から見た図である。
【０１０４】
観察光学系９のＣＣＤカメラ６１は、撮像したカメラ画像を画像処理装置６０へ出力する。画像処理装置６０では、カメラ画像の画像処理を行なうことによりノズル１６の先端２２、および基準面４２（Ｋ）の位置を検出する。画像処理装置６０は、ノズル１６の先端２２から調節台１７の基準面Ｋ（角部４１）までの距離を求め、制御装置２１に出力する。制御装置２１は、ノズル１６の先端２２の位置から第２の基準面４２（Ｋ）の位置までの距離情報から得られる制御信号をリニアアクチュエータ４９に制御指令として与えて自動でノズル１６の先端２２の位置を調節する。なお、基準面Ｋとして、角部４１を検出、あるいは、ノズル１６の先端２２と角部４１を観察する際に、画像処理装置６０の結果を元にＺ軸ステージ８を制御して自動焦点合わせを行ってもよい。
【０１０５】
このような方式を用いれば、調節時間を短縮し、作業者の読取り間違いなどにより生じるノズル位置調節誤差を抑制することができる。なお、調節終了後のノズル１６の先端２２位置が基準面Ｋに対して許容値から外れた位置である場合には、再調節が行われる。
【０１０６】
たとえば、ノズル１６の先端２２位置が基準面Ｋに対して許容値よりも突出した場合には、ノズル１６の後端４４近傍のノズル側面を指またはピンセット等でつかみ、ノズル１６の先端２２を基準面４２（Ｋ）よりも近傍に戻してから、再調節を行う。他の構成、および作用効果については、実施の形態と同様であるので説明を繰返さない。
【０１０７】
図１１，図１２に、ノズル位置調節の精度を向上する位置調節方法を示す。
ここでは、倍率の異なる複数の対物レンズ１３を備えた対物レンズ切替器１４が用いられている。対物レンズ切替器１４は、対物レンズ１３１、対物レンズ１３２、対物レンズ１３３を切替え可能に備える。第２の対物レンズの倍率は、第１の対物レンズの倍率よりも高い。また、第３の対物レンズの倍率は、第２の対物レンズの倍率よりも高い。
【０１０８】
図１１を参照して、まず初めに低倍率の対物レンズ１３１（第１の対物レンズに相当する）を用いて、ノズル１６の先端２２を調節台１７の基準面４２（Ｋ）の近傍に調節する。
【０１０９】
図１２を参照して、その後、高倍率の対物レンズ１３３（第２の対物レンズに相当する）などに切り換えて、ノズル１６の先端２２を調節台１７の基準面４２（Ｋ）に一致させるように調節すれば、ノズル１６の先端２２の位置決め精度が向上し、１０μｍ以下の寸法誤差に収めることも可能となる。
【０１１０】
このように、倍率の異なる複数の対物レンズ１３１，１３２，１３３を備えた対物レンズ切替器１４を用意し、初めに対物レンズ１３１で、ノズルを移動させながらノズル１６の先端２２を調節台１７の基準面の手前近傍に合わせ、その後、対物レンズ１３２、または、さらに高倍率の対物レンズ１３３などに切り換えて、ノズル１６の先端２２を調節台１７の基準面４２（Ｋ）に一致させるように続けて調節する。このようにおおまかな調節後、対物レンズ１３１に比較して高倍率の対物レンズ１３３を用いて、先端２２近傍を拡大して再調節することにより、ノズル１６の先端２２の位置精度を向上させる。たとえば、ノズル１６の先端２２の調節誤差は１０μｍ以下に収まる。
【０１１１】
また、２倍の長作動距離の対物レンズ１３１を低倍率用とした場合、実視野が広いため高範囲を観察でき、また焦点深度は９０μｍ程度と深いため、ノズル１６の先端２２と基準面４２（Ｋ）を同一視野内で観察することができる。したがって、ノズル１６を支持部材１９の貫通孔２６に挿通した直後など、先端２２の位置が定まらない調節の初期段階における作業性が良好である。また、ある程度、先端２２が基準面４２（Ｋ）に近接してからは、１０倍または２０倍の高倍率の対物レンズ１３３などに変更して観察することにより、さらに細密な調節を行なうことができる。
【０１１２】
対物レンズ１３の倍率を切り替えて２段階に分けてノズル１６の先端２２の位置を調節する方法は、上述した実施の形態等の図７、図９、図１０に示した調節方法に適用することができる。また、倍率の異なる対物レンズを変更して用いるものであれば、どのような倍率でもよい。さらに倍率、対物レンズの数量や種類はどのようなものを組み合わせてもよく、例えば対物レンズ１３として、倍率の切替えを連続可変とすることが可能なズームレンズなどを用いてもよい。この場合、対物レンズ切替器１４などの機構を一部または全部省略して、構造を簡素化できる。
【０１１３】
他の構成、および作用効果については、実施の形態と同様であるので説明を繰返さない。
【０１１４】
以上説明した実施の形態について、最後に再び図面を参照しながら総括する。
図１を参照して、ノズル１６を交換する際、液滴吐出装置１の基台１ａの上面に設けられた調節台１７に、支持部材１９を着脱可能に保持して、液滴吐出装置１に備えられた基板４を観察する観察光学系９を用いて、支持部材１９に支持されるノズル１６の先端２２の位置調節を行うことができる。このため、別途、他の観察用顕微鏡を用意する必要がなく、精度の高いノズル１６の先端２２の位置の調節を行うことができる。
【０１１５】
また、図７を参照して、ノズル１６の後端４４に、螺合により前進する調節ボルト３７の先端面４５を当接させて押圧して、先端２２を調節台１７の第２の基準面４２（Ｋ）の位置まで移動させて、調節を行なう。このため、後端４４を移動調節部３６に固定（クランプ）する必要がなく、固定に必要とされる移動調節部３６の機構を簡素化できる。
【０１１６】
さらに、図９に示すように、ノズル１６の移動調節部４６として電動のリニアアクチュエータ４９を用いて、ノズル１６の先端２２の位置調節を行うこともできる。
【０１１７】
また、図１０に示すように、画像処理装置６０を用いて先端２２と調節台１７の第２の基準面４２（Ｋ）までの距離を検出することもできる。
【０１１８】
そして、検出された距離をリニアアクチュエータ４９に与え、先端２２を調節台１７の第２の基準面４２（Ｋ）に一致するように自動調整すれば、調節時間を短縮し、作業者が読取りを間違えて生じる位置誤差を抑制することができる。
【０１１９】
また、図１１に示すように、初めに低倍率の対物レンズ１３１などを用いて観察しながら、調節台１７の第２の基準面４２（Ｋ）の近傍に、先端２２の位置を調節し、その後、図１２に示すように高倍率の対物レンズ１３３などに切り換える。そして、先端２２を調節台１７の第２の基準面４２（Ｋ）に一致させるように調節すれば、高倍率の対物レンズ１３３を用いた調節を行なうことが短時間で可能となり、ノズル位置精度を向上させて、たとえば１０μｍ以下の位置精度に収めることも可能となる。
【０１２０】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１２１】
本実施の形態では、静電吸引式のインクジェットは、ノズル（塗布部）に注入した液状物質に高電圧パルスを印加するタイプの液滴吐出装置を例示して説明してきたが、たとえば、基板などの被塗布物を修正するインクなどを吐出する高さ位置の調整が必要となるものであれば、どのような塗装機に用いてもよい。そして、ノズル１６などを交換する際にノズル１６の先端２２の位置が毎回同じとなるように、調節台１７を用いて調節することができる。このため、ノズル１６の先端２２と基板４までの吐出距離Ｇの設定を、交換前の設定のまま使用することが可能となる。
【０１２２】
このように、ノズル１６をＺ軸ステージ８に取付けた後に先端２２と基板４との間の吐出距離Ｇを設定し直したり、調整する必要がなくなり、操作性が向上する。このようにノズル１６の先端２２と基板４との間の吐出距離Ｇがノズル交換の際に再度、調節されるものであれば、どのような液滴吐出装置に適用してもよい。
【符号の説明】
【０１２３】
１  液滴吐出装置、１ａ  基台、  ２  位置決め装置、３  チャック、３ａ  位置調節領域、４  基板  ＸＹステージ、６，７，８  Ｘ，Ｙ，Ｚ軸ステージ、９  観察光学系、１０  レーザ、１１  斜め観察光学系、１２  インク、１３，１３１，１３２，１３３  対物レンズ、１４  対物レンズ切替器、１５  インクジェット吐出装置、１６  ノズル、１７  調節台、１８  テーブル上面、１９  支持部材、２０  パルス電圧発生装置、２１  制御装置、２２  先端、２３  テーラーコーン、２５  液滴、２６  貫通孔、２８  押え板、２８ａ  固定ボルト部材、２９  係合突起部、３０  係合基準面部、３１  内側面部、３２，６２  磁石、３３  装着部、３４  内側面、３５  後端壁、３６，４６  移動調節部、３７  調節ボルト、３８  頭部、３９  当接基準面、４０  水平面、４１  角部、４２（Ｋ）  基準面、４３  雌ねじ孔部、４４  後端、４５  先端面、４９  リニアアクチュエータ、５０  出力軸、５１  先端部、５２  孔部、５３  破損防止カバー筒、６０  画像処理装置、６１  ＣＣＤカメラ。
【図１】
2015009176.tif 000003
【図２】
2015009176.tif 000004
【図３】
2015009176.tif 000005
【図４】
2015009176.tif 000006
【図５】
2015009176.tif 000007
【図６】
2015009176.tif 000008
【図７】
2015009176.tif 000009
【図８】
2015009176.tif 000010
【図９】
2015009176.tif 000011
【図１０】
2015009176.tif 000012
【図１１】
2015009176.tif 000013
【図１２】
2015009176.tif 000014