(57)【要約】      （修正有）【課題】省スペースなコンダクタンスバルブを提供する。【解決手段】真空容器の一部に設けられた開口５の開度を調整することによってコンダクタンスを調整可能なコンダクタンスバルブであって、矩形状の弁体２３と、弁体２３を回動可能に連結するアーム部２５と、アーム部２５を回動させる駆動部２７ａと、開口５が閉じられる位置で、アーム部２５の回動に伴って回動する弁体２３の回動動作を規制する回動規制部と、回動規制部によって弁体２３の回動動作が規制されている際に、開口５が形成された面に弁体２３を接近させる回動動作変換部４１とを有する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器の一部に設けられた開口の開度を調整することによってコンダクタンスを調整可能なコンダクタンスバルブであって、
矩形状の弁体と、
前記弁体を回動可能に連結するアーム部と、
前記アーム部を回動させる駆動部と、
前記開口が閉じられる位置で、前記アーム部の回動に伴って回動する前記弁体の回動動作を規制する回動規制部と、
前記回動規制部によって前記弁体の回動動作が規制されている際に、前記開口が形成された面に前記弁体を接近させる回動動作変換部と、を有することを特徴とするコンダクタンスバルブ。
【請求項２】
前記アーム部は、
前記駆動部の回動軸に連結されたケース部と、
前記弁体を、前記接近させる方向に移動可能に支持するとともに前記ケース部の回動に伴って回動させる回動伝達部と、を備えていることを特徴とする請求項１に記載のコンダクタンスバルブ。
【請求項３】
前記回動伝達部は、
前記真空容器の一部に固定され、前記ケース部にベアリングを介して設けられた駆動側プーリと、
前記ケース部にベアリングを介して設けられ、前記弁体に回動連結部材を介して固定された弁体側プーリと、
前記駆動側プーリ及び前記弁体側プーリの間で回転力を伝達するプーリ間連結部材と、を備えていることを特徴とする請求項２に記載のコンダクタンスバルブ。
【請求項４】
前記回動動作変換部は、一端側でベアリングを介して前記弁体に連結され、他端側で昇降部材を介して前記回動軸に連結された第２ケース部を備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のコンダクタンスバルブ。
【請求項５】
前記回動動作変換部は、前記弁体を前記接近させる方向に移動可能に連結された第２弁体側プーリ部と、前記回動軸に連結された第２駆動側プーリ部と、前記第２駆動側プーリ部及び前記第２弁体側プーリ部の間で回転力を伝達する第２ベルトと、を備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のコンダクタンスバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンダクタンスバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
コンダクタンスバルブはチャンバと排気ポンプの間に配置されている。コンダクタンスバルブは、メンテナンス等でチャンバを大気開放するときに排気ポンプとチャンバの間を閉鎖する機能に加えて、排気ポンプとチャンバの間のコンダクタンスを調整する機能も有している。すなわち、バルブの開度を変化させて排気口面積(コンダクタンス)を調整してチャンバ内の圧力制御（＝排気速度制御）を行う。
【０００３】
コンダクタンスバルブとしてブリッジ式とペンデュラム式（振子式）が知られている。ブリッジ式バルブは、先端に弁体を固定した伸縮するシャフトにより弁体で排気口の開口量を調整するものである。ペンデュラム式バルブは先端に弁体を固定したシャフトを回転することにより弁体を揺動させて排気口の開口量を調整するものである（例えば、特許文献１−５参照）。
【０００４】
ペンデュラム式バルブは、弁体を揺動させることから、排気ポンプの開口範囲から弁体を退避させることが容易である。そのため、ブリッジ式バルブに比べて、最大排気速度（最大コンダクタンス）での排気が容易であるため大きな排気量の排気ポンプに取付けられることが多い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−２４７４２６号公報
【特許文献２】特開２０１０−１２７３２０号公報
【特許文献３】特開２００８−０２５８３６号公報
【特許文献４】特開２００７−２７１０８０号公報
【特許文献５】特開２００７−１７０６６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ペンデュラム式バルブは、弁体を揺動で退避させるため弁体の退避スペースが必要となるためポンプ開口径の２倍以上の寸法になるものが多い。そのため、チャンバと排気ポンプ間にバルブユニットを配置すると、弁体の格納ケースがチャンバの側方に張り出すためチャンバのメンテナンスの作業性を改善するうえで障害となる懸念があった。
【０００７】
本発明の目的は、上記の課題に鑑み、省スペースなコンダクタンスバルブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るコンダクタンスバルブは、真空容器の一部に設けられた開口の開度を調整することによってコンダクタンスを調整可能なコンダクタンスバルブであって、  矩形状の弁体と、  前記弁体を回動可能に連結するアーム部と、  前記アーム部を回動させる駆動部と、  前記開口が閉じられる位置で、前記アーム部の回動に伴って回動する前記弁体の回動動作を規制する回動規制部と、  前記回動規制部によって前記弁体の回動動作が規制されている際に、前記開口が形成された面に前記弁体を接近させる回動動作変換部と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明により省スペースなコンダクタンスバルブを提供できる。また、発明のコンダクタンスバルブを用いることにより、コンダクタンスバルブの弁体の格納ケースの張り出し部分が小さくできるためメンテナンス性が良好な真空処理装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第1実施形態に係る真空処理装置の断面概略図である。
【図２】本発明の第1実施形態に係るコンダクタンスバルブの斜視図である。
【図３】本発明の第1実施形態に係るコンダクタンスバルブの断面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】本発明の第1実施形態に係るコンダクタンスバルブの動作説明図である。
【図６】本発明の第1実施形態に係るコンダクタンスバルブの動作説明図である。
【図７】本発明の第1実施形態に係るコンダクタンスバルブの動作説明図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係るコンダクタンスバルブの斜視図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係るコンダクタンスバルブの断面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係るコンダクタンスバルブの動作説明図である。
【図１１】本発明の第２実施形態に係るコンダクタンスバルブの動作説明図である。
【図１２】本発明の第２実施形態に係るコンダクタンスバルブの動作説明図である。
【図１３】他の実施形態に係る真空処理装置の断面概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１に本発明の第１実施形態の真空処理装置の概略図を示す。本実施形態の真空処理装置１は、真空容器１１、排気装置１３、コンダクタンスバルブ２１を有している。真空容器１１は、基板Wを載置する基板ホルダ７を内部に有しており、基板Wに対して成膜や熱処理などの所定の真空処理ができるように構成されている。底部３には排気装置１３が接続される取付け部９が設けられている。真空容器１１の底部３に設けられた排気装置１３の取付け部９には排気できるように開口部（開口）５が設けられている。排気装置１３は真空排気ポンプを備えて構成されており、本実施形態においてはターボ分子ポンプ(ＴＭＰ)１６とＴＭＰ１６の背圧を減圧するドライポンプ１７を有する排気システムを備えている。真空容器１１の一部の面（底部３）の開口部の開度を調整できるようにコンダクタンスバルブ装置２１が設けられている。
【００１２】
コンダクタンスバルブ２１は、弁体２３を開口部５に接近、若しくは離間させる機能を備えており、弁体２３の外縁を開口部５の縁部に押し付けることによりコンダクタンスバルブの開口部５を閉鎖することができる。弁体２３の外周に接して気密を確保するためのＯリング５ａを開口５の周りに取り付けるとよい。もちろん、弁体２３にＯリングなどのシール部材を取付けてもよい。なお、後述するが、底部３に替えて他の部材に開口部を設けても本願発明を実施できるため、開口部が形成される部材を総称する際にはベース部と呼ぶものとする。
【００１３】
図２にコンダクタンスバルブの斜視図を示す。図２は開口部を閉鎖した状態（閉位置）での斜視図である。本実施形態のコンダクタンスバルブは、揺動アーム部２５を介して弁体２３を移動させて、開口部５の開度を調整できるように構成されている。弁体２３はステンレス若しくはアルミニウム合金などの金属からなる矩形状の板部材である。ここで、弁体の形状についての矩形とは、長手方向の寸法（縦）と短手方向の寸法（横）が異なる形状を言い、弁体２３のように角を丸めた矩形状や、楕円形状も含む形状も含むものとする。弁体２３の中心位置には軸部材（回動軸）３１が固定されている。
【００１４】
図３にコンダクタンスバルブ周辺の断面図を示す。揺動アーム部２５は、第１アーム部２６（アーム部）、第２アーム部４１（回動動作変換部）を有して構成され、駆動部２７（モータ２７ａと駆動軸２７ｂ）の動きにより弁体２３を回転動させるとともに平行及び垂直方向に移動させることができる。
【００１５】
駆動部２７は、モータ２７ａとモータ２７ａに接続された駆動軸２７ｂとを有している。モータ２７ａは真空容器１１の底部の大気側に取り付けられている。モータ２７ａはサーボモータを用いているが、回転角度を検出できるものであれば他の駆動源でもよい。駆動軸２７ｂは真空容器１１内部に一端が導入されている。本実施形態ではモータ２７ａを大気側に設けており、モータ２７ａの出力軸と駆動軸２７ｂは大気側で接続されている。駆動軸２７ｂは、回転導入部２７ｃを介して真空容器１１内に一端側を、真空容器１１の気密を維持しながら導入されている。なお、モータ２７ａとしてダイレクトドライブモータ（ＤＤモータ）を用いる場合にはＤＤモータの出力軸は真空側に配置できるので回転導入部が不要となる。
【００１６】
第１アーム部２６と第２アーム部４１はいずれも、一端側にモータ側の駆動軸２７ｂ、他端側に弁体２３の一部である軸部材３１（弁体軸）が連結されている。第１アーム部２６は、駆動軸２７ｂの回転角度（回動角度）に応じて、駆動軸２７ｂを中心として、弁体２３を回転させるとともに、弁体２３を面内に回転させながら開口部５が形成された面に平行に移動させることができる。すなわち、弁体２３は第１アーム部に対して回転するとともに、真空容器１１の開口部５の開度を調整する動きができる。第２アーム部は、後述の回動規制部６１によって第２アーム部４１の回動が規制されている間に、駆動軸２７ｂの回転角度（回動角度）に応じて、弁体２３を開口部５に対して接近若しくは離間する方向に移動させることができる。開口部５の周囲にはＯリング５ａが設けられており、Ｏリング５ａに弁体２３を密着させることで開口部５を閉じることができる。
【００１７】
図４に図３のＡ−Ａ断面図を示す。なお、図３中のコイルばね４５，４７とボールねじ（昇降部材）５７については、わかりやすくするため側面から見た状態を描いた。図３，４に基づいて第１アーム部２６の構成について詳しく説明する。第１アーム部２６は、ケース部３５、駆動軸側プーリ３７ａ（駆動側プーリ）、弁体側プーリ３７ｂ、ベルト（プーリ間連結部材）３９（３９ａ，３９ｂ）を備えている。
【００１８】
ケース部３５は、ベルト３９やプーリ３７（３７ａ，３７ｂ）を囲む形状の金属部材であり、駆動軸２７ｂにベアリングＢ１を介して支持されている。ケース部３５と駆動軸２７ｂの間には、コイルばね４５が設けられている。駆動軸２７ｂの回転に伴ってケース部３５が回動できるように、コイルばね４５のばね定数が設定されている。なお、第１アーム部２６が回動規制部６１（図２参照）に接触している状態では、駆動軸２７ｂの回動に伴ってコイルばね４５が巻かれるためケース部３５は回動しない。
【００１９】
駆動軸側プーリ３７ａは、ベルト３９の一端を固定する円筒状の部材であり、真空容器１１側に支持されている。駆動軸側プーリ３７ａは、内周側で駆動軸２７ｂとベアリングＢ２を介して接しており、外周側ではベアリングＢ３を介してケース部３５に支持されている。弁体側プーリ３７ｂはベルト３９の他端を固定する円筒状の部材である。
【００２０】
弁体側プーリ３７ｂはボールスプライン（回動連結部材）３８を介して弁体側の軸部材３１に固定されており、外周側でベアリングＢ４を介してケース部３５に支持されている。弁体側プーリ３７ｂの回動に伴って軸部材３１も回動する。なお、軸部材３１はボールスプライン３８によって弁体側プーリ３７ｂに対して上下動できる。コイルばね４５は、コイル状に巻かれた鋼線であり、所定のばね定数を有している。駆動軸２７ｂは、ケース部３５の上下方向の荷重をベアリングＢ１で受けている。そのため、ケース部３５の回動方向の動きは、コイルばね４５が駆動軸２７ｂとケース部３５の間を連結しているケース部３５の回動方向に連動している。
【００２１】
ベルト３９は、屈曲自在な薄板状の金属からなり、駆動軸側プーリ３７ａと弁体側プーリ３７ｂの間で回転力を伝達する部材である。ベルト３９は駆動軸側プーリ３７ａと弁体側プーリ３７ｂの間に滑らないように掛け渡されている。本実施形態では２本一組として使用されている。なお、駆動軸側プーリ３７ａと弁体側プーリ３７ｂはベルト３９が巻き付けられる外径の比率が所定の比率に設定されている。駆動軸側プーリ３７ａと弁体側プーリ３７ｂの外径の比率（プーリの外径比）を調整することで、駆動軸２７ｂが所定角度回転した際に弁体２３が一定角度回転するように調整されている。すなわち、ケース部３５の回動に伴って弁体２３を回動するように構成されている。具体的には、第２アーム部２６が４５°回転するごとに弁体２３が９０°回転するように設定されている。駆動軸側プーリ３７ａ、弁体側プーリ３７ｂ、ベルト３９を回動伝達部とする。なお、ケース部３５が後述の回動規制部６１に当接した後は、揺動アーム部２５の回動とともに弁体２３の回転も規制される。
【００２２】
次に、図３に基づいて第２アーム部４１の構成について詳しく説明する。
第２アーム部４１は、梁部（第２ケース部）５５、ボールねじ５７を備えている。また、図２に示したように、第２アーム部４１の回動を規制する回動規制部６１が底部３に設けられている。梁部５５は、長尺状の金属部材であり、駆動軸２７ｂにボールねじ５７を介して支持されている。梁部５５と駆動軸２７ｂの間には、コイルばね４７が設けられている。第１アーム部２６が回動規制部６１に接触していない状態では、駆動軸２７ｂの回転に伴って梁部５５が回動できるように、コイルばね４７のばね定数は設定されている。なお、第１アーム部２６が回動規制部６１に接触している状態では、駆動軸２７ｂの回動に伴ってコイルばね４７が巻かれるため梁部５５は回動しない。駆動軸２７ｂは梁部５５の上下方向の荷重をボールねじ５７で受けている。
【００２３】
そのため、駆動軸２７ｂが回動し梁部５５が回動しない状態では、駆動軸２７ｂに対して梁部５５が回動するため、駆動軸２７ｂと梁部５５の上下方向の支持位置が変化する。また、弁体側の軸部材３１はベアリングＢ５を介して回転自在に梁部５５に固定されている。ベアリングＢ５によって軸部材３１は梁部５５に対して回転できるが、上下方向の固定位置は移動できない。すなわち、駆動軸２７ｂに対して梁部５５が回動すると、軸部材３１の上下位置が変化し、弁体２３が上下動する。本実施形態のコイルばね４５，４７は、鋼製の線材から形成したねじりばねを用いているが、板状部材から形成した渦巻きばねなどを用いても良い。材質は樹脂やセラミックなどでもよい。
【００２４】
回動規制部６１は、所定角度に回動したケース部３５に当接するように底部３に設けられた突起状の部材である。しかし、本実施形態ではケース部３５と梁部５５は一体的に回動するため、回動規制部６１は梁部５５に当接するように構成しても良い。また、プーリ３７ａや駆動軸２７ｂに所定の回動角度でアーム部２５の回動を規制するようにストッパー（回動規制部）を形成しても良い。
【００２５】
図５〜図７に本実施形態のコンダクタンスバルブの動作説明図を示す。
図５から図７の各（ａ）はコンダクタンスバルブが開位置から閉位置へ移動する際にコンダクタンスバルブを上方から見た模式図である。図５から図７の各（ｂ）は、それぞれの図の（ａ）中に記載されたＢ方向から見たコンダクタンスバルブの模式図である。図５から図７の各（ｃ）は、それぞれの図の（ａ）の状態のコンダクタンスバルブのコイルばね４５をそれぞれ上方から見た模式図である。なお、コイルばね４７はコイルばね４５と同様の挙動をする。
【００２６】
図５（ａ）〜（ｃ）は、弁体２３が開口部５を塞ぐ量が最も少ない位置になっている。このときコンダクタンスバルブは開位置にあり、コンダクタンスは最大となる。コイルばね４７は自由状態であり、揺動アーム部２５の回動方向に巻かれていない（図５（ｃ）参照）。
図６（ａ）〜（ｃ）は、コンダクタンスバルブの閉動作中の状態であり、弁体２３が開口部５の上方を覆うように位置している。そのため、コンダクタンスは図５の状態と比べると小さな値となる。しかし、弁体２３と開口部５との隙間を僅かなガスが流通できる。またこのとき、揺動アーム部２５（第１アーム部２６のケース部３５）が回動規制部６１に当接するが、コイルばね４５は自由状態であり、揺動アーム部２５の回動方向に巻かれていない（図６（ｃ）参照）。
【００２７】
図７（ａ）〜（ｃ）は、真空容器１１の開口部５を塞ぐ位置に弁体２３が位置している。弁体２３は開口部５の外周に設けられたＯリング５ａに接して位置している。このときコンダクタンスバルブは閉位置でありコンダクタンスは最小となる。揺動アーム部２５（第１アーム部２６のケース部３５）が回動規制部６１に当接した後に、駆動軸２７ｂがさらに回動しており、コイルばね４５はアーム部２５の回動方向に巻かれている（図７（ｃ）参照）。すなわち、梁部５５の回動が規制された状態で駆動軸２７ｂが回転したことで、ボールねじ５７によって梁部５５と梁部５５に固定された弁体２３は下方に移動し、開口部５を塞いでいる。
【００２８】
図５〜７のそれぞれの（ａ）に示したように、本実施形態のコンダクタンスバルブは、真空容器１１を基準として初期位置からの揺動アーム部２５の回動に伴い、弁体２３が９０度回転する。全開位置での弁体２３が底面３の辺Ｓ２から張り出さない設定とされている。これは、真空容器１１の底面３が矩形状で、且つ、弁体２３は楕円形であるためである。このように、弁体２３の辺Ｓ１を底面３の辺Ｓ２に合わせることで底面３からの弁体２３の張り出しを防げる。
【００２９】
コンダクタンスバルブを上方からみる（図５〜７の（ａ）参照）と、弁体２３が閉じる際は、揺動アーム部２５は真空容器１１に対して左回りし、弁体２３は揺動アーム部２５に対して左回りしている。すなわち、駆動軸２７ｂが左回りすると、駆動軸２７ｂと同じ角度だけ揺動アーム部２５が駆動軸２７ｂの周りに回転する。このとき、駆動軸２７ｂの回転角度に応じて弁体２３も回転する。弁体２３は略矩形の形状であり、中央位置に軸部材３１が固定されていることから、矩形の弁体２３と揺動アーム部２５の移動範囲を小さくすることができる。本実施形態では図５（ｃ）のように、弁体２３が真空容器の辺Ｓ２からはみ出さないようにコンダクタンスバルブを動作させることができる。
【００３０】
また、上述したように、駆動軸２７ｂ（揺動アーム部２５）の回転角度と弁体２３の回転角度の比率（駆動軸２７ｂと弁体２３の回転比率）は、プーリ３７の外径比を調整することで決定できる。すなわち、本実施形態のコンダクタンスバルブは、弁体２３が底面の辺Ｓ２からはみ出さないように、弁体２３が回転するプーリの外径比に調整されている。なお、本実施形態では弁体２３は左回りとされているが、右回りでもかまわない。また、底部３は真空容器１１の底面の任意の一部である。本実施形態では、開位置（図５（ａ））のときに弁体２３の長手方向と開口部５の長手方向が垂直に交わる配置になっている。このような配置はコンダクタンスバルブの小型化に有利である。
【００３１】
図８，９に本発明の第２実施形態を示す。第１実施形態の構成要素と同一の構成要素については同一の参照番号を付して説明を省略する。本実施形態は上述の実施形態と比べて第２アーム部７１の構成に主な違いを有している。本実施形態の第２アーム部７１は、弁体軸４３ｂだけを上下動させる構成である。具体的には、第２アーム部７１は、弁体軸４３ｂを上下方向（第２方向）に移動可能に連結された弁体側プーリ部７１ｂ（第２弁体側プーリ部）、駆動軸２７ｂに連結された駆動軸側プーリ部７１ａ（第２駆動側プーリ部）、駆動軸側プーリ部７１ａと弁体側プーリ部７１ｂの間で回転力を伝達するベルト７１ｃ（第２ベルト）、を備えている。また、弁体軸４３ｂにはガイドピン７３が設けられており、弁体側プーリ部７１ｂにはガイド部７２が一体に形成されている。ガイド部７２にはガイドピン７３が挿入されるガイド溝７５が形成されている。ガイド溝７５は上下方向に角度を有して形成された細長い開口として形成されており、ガイドピン７３を支持するガイド溝７５の位置によってガイドピン７３の上下方向の位置を変化せることができる。ガイドピン７３は、弁体側プーリ７１ｂの回動に伴い、ガイド溝７５内での位置が相対的に変化するように構成されている。
【００３２】
本実施形態の動きを説明する。
回動規制部材６１が第１アーム部２６に当接しているときに、駆動軸２７ｂが弁体４３を閉じる方向に継続して回転すると駆動軸側プーリ部７１ａが回転する。駆動軸側プーリ部７１ａと弁体側プーリ部７１ｂの間にはベルト７１ｃが設けられているため、駆動軸側プーリ部７１ａの回転に伴って弁体側プーリ部７１ｂが回転する。ここで、弁体軸４３ｂは、スプライン３８によって弁体側プーリ３７ｂとともに回動するように構成されている。このため、ガイド部７２を有する弁体側プーリ７１ｂは、ガイドピン７３に対して相対的に回動し、回動規制部材６１が第１アーム部２６に当接した後の駆動軸２７ｂの回動角度に応じて、弁体４３の上下方向の位置を調整することができる。
【００３３】
図１０〜図１２に本実施形態のコンダクタンスバルブの動作説明図を示す。
図１０から図１２の各（ａ）はコンダクタンスバルブが開位置から閉位置へ移動する際にコンダクタンスバルブを上方から見た模式図である。図１０から図１２の各（ｂ）は、それぞれの図の（ａ）中に記載されたＢ方向から見たコンダクタンスバルブの模式図である。図１０から図１２の各（ｃ）は、それぞれの図の（ａ）の状態のコンダクタンスバルブのコイルばね４５をそれぞれ上方から見た模式図である。
【００３４】
図１０（ａ）〜（ｃ）は、弁体４３が開口部５を塞ぐ量が最も少ない位置になっている。このときコンダクタンスバルブの開位置でありコンダクタンスは最大となる。コイルばね４５は自由状態であり、揺動アーム部２５の回動方向に巻かれていない（図１０（ｃ）参照）。図１１（ａ）〜（ｃ）は、コンダクタンスバルブの閉動作中の状態であり、弁体４３が開口部５の上方を覆うように位置している。そのため、コンダクタンスは図１０の状態と比べると小さな値となる。しかし、弁体２３と開口部５との隙間を僅かなガスが流通できる。またこのとき、揺動アーム部６５（第１アーム部２６のケース部３５）が回動規制部６１に当接しているが、コイルばね４５は自由状態であり、アーム部２５の回動方向に巻かれていない（図１１（ｃ）参照）。
【００３５】
図１２（ａ）〜（ｃ）は、真空容器１１の開口部５を塞ぐ位置に弁体４３が位置している。弁体４３は開口部５の外周に設けられたＯリング５ａに接している。このときコンダクタンスバルブは閉位置でありコンダクタンスは最小となる。揺動アーム部６５（第１アーム部２６のケース部３５）が回動規制部６１に当接した後に、駆動軸２７ｂがさらに回動しており、コイルばね４５は揺動アーム部６５の回動方向に巻かれている（図１２（ｃ）参照）。すなわち、揺動アーム部６５の回動が規制された状態で駆動軸２７ｂが回転したことで、ガイド部７２のガイド溝がガイドピン７３に対して回動し、弁体４３を下方に移動させている。そして、弁体４３がＯリング５ａに押し付けられる高さまで移動したために開口部５は塞がれている。
【００３６】
図１３に本発明のコンダクタンスバルブの取り付け構造についての他の実施形態を示す。第１実施形態の構成要素と同一の構成要素については同一の参照番号を付して説明を省略する。本実施形態のコンダクタンスバルブは、図１に示すように真空容器１１内で弁体２３（４３）と揺動アーム部２５（６５）が動作するように構成されている。本実施形態ではハウジング８１に弁体２３を収納してハウジング８１を気密に真空容器１１に取付けるように構成した。
【００３７】
この場合、真空容器１１と排気装置１３の間にハウジング８１を介装する。ハウジング８１に真空容器１１の開口に連通する開口部５が設けられており、弁体２３の動作によってハウジング８１の開口部５の開度（コンダクタンス）を調整する。開口部５が設けられたハウジング８１の部材がベース板に対応する。図１３中８１ａは収納された状態の揺動アーム部２５の位置である。ハウジング８１に弁体２３、揺動アーム部２５、駆動部２７が取り付けられてコンダクタンスバルブを構成している。そのため、一般的な真空容器に本発明のコンダクタンスバルブを取り付けることができる。
【００３８】
なお、上述の実施形態においては、駆動軸側プーリ３７ａと弁体側プーリ３７ｂの間をベルトによって連動させているが、歯車機構を用いて同様の動作を実現することができる。例えば、駆動軸側プーリ３７ａと弁体側プーリ３７ｂを歯車で作製し、それらの歯車を他の歯車を介して連動させるように構成すればよい。このとき、駆動軸側の歯車と弁体側の歯車の最終的な回転比率が狙いの比率になるように歯車の寸法を決めるとよい。
【符号の説明】
【００３９】
Ｗ  基板
Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５  ベアリング
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３  辺
１  真空処理装置
３  底部
５  開口
５ａ  Ｏリング
７  基板ホルダ
９  取付け部
１１  真空容器
１３  排気装置
１６  ＴＭＰ
１７  ドライポンプ
２１  コンダクタンスバルブ装置
２３，４３  弁体
４３ｂ  弁体軸
２５，６５  揺動アーム部
２６  第１アーム部
２７  駆動部
２７ａ  モータ
２７ｂ  駆動軸
２７ｃ  回転導入部
３１，３２  軸部材
３５  ケース部
３７ａ，７１ａ  駆動軸側プーリ部
３７ｂ，７１ｂ  弁体側プーリ部
３８  ボールスプライン
３９，７１ｃ  ベルト
４１，７１  第２アーム部
４５，４７  コイルばね
５５  梁部
５７  ボールねじ
６１  回動規制部
７２  ガイド部
７５  ガイド部
８１  ハウジング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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