(57)【要約】【課題】成膜装置の複雑化、高コスト化を招くことなく、対象物のサイズに併せて原料液の噴霧領域を変化させることができるようにする。【解決手段】噴霧機構（30）は、少なくとも１つのノズル（57）が保持される複数の噴霧ユニット（40）と、移動機構（15）の移動方向と交わる方向に配列される複数の噴霧ユニット（40）をそれぞれ着脱自在に保持するユニット保持部（32）とを備える。【選択図】図７
2015058402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物（20）に原料液を噴霧することによって該対象物（20）の表面に被膜を形成する静電噴霧型の成膜装置であって、
複数のノズル（57）を有する噴霧機構（30）と、
原料液を上記複数のノズル（57）へ搬送する搬送機構（60）と、
上記原料液が帯電した液滴となって上記噴霧器（55）から上記対象物（20）へ噴霧されるように上記噴霧器（55）と上記対象物（20）の間に電圧を印加する電圧印加部（70）と、
上記対象物（20）と上記噴霧機構（30）の一方を他方に対して相対的に移動させる移動機構（15）とを備え、
上記噴霧機構（30）は、
上記移動機構（15）の移動方向に並ぶ複数のノズル（57）がそれぞれ保持される複数の噴霧ユニット（40）と、
上記移動機構（15）の移動方向と交わる方向に配列される上記複数の噴霧ユニット（40）をそれぞれ着脱自在に保持するユニット保持部（32）と
を備えていることを特徴とする静電噴霧型の成膜装置。
【請求項２】
請求項１において、
上記各噴霧ユニット（40）では、複数のノズル（57）が上記移動機構（15）の移動方向に交わる方向に互いにずれるように配置されている
ことを特徴とする静電噴霧型の成膜装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
複数の噴霧ユニット（40）では、上記複数のノズル（57）の配列パターンが互いに同じである
ことを特徴とする静電噴霧型の成膜装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１つにおいて、
上記各噴霧ユニット（40）は、上記搬送機構（60）によって搬送された原料液が流れる液流路（62）と、該液流路（62）の原料液を分流させる分流部（64a,64b,64c）と、該分流部（64a,64b,64c）によって分流された原料液を上記噴霧ユニット（40）の各ノズル（57）へ供給する複数の分流管（65a,65b,65c）とをそれぞれ備えている
ことを特徴とする静電噴霧型の成膜装置。
【請求項５】
請求項４において、
上記各噴霧ユニット（40）の液流路（62）の圧力に基づいて、対応する噴霧ユニット（40）のノズル（57）の詰まりを検知する詰まり検知部（75）を備えている
ことを特徴とする静電噴霧型の成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電噴霧によって対象物に被膜を形成する成膜装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、いわゆる静電噴霧法を用いて原料液を霧化し、霧化した原料液を対象物に付着させることにより被膜を形成する成膜装置が知られている。特許文献１には、広い面に被膜を形成するために、一列に並んだ複数の開口から原料液を噴霧する成膜装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１３５７０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、成膜装置の対象物のサイズは、対象となる製品によって異なる。このため、成膜装置では、この対象物のサイズに合わせるように、対象物を移動させる範囲を拡大させたり、対象物の最大のサイズに合わせた成膜装置を複数種、設計したりする必要があり、成膜装置の複雑化、高コスト化を招くという問題があった。
【０００５】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、成膜装置の複雑化、高コスト化を招くことなく、対象物のサイズに併せて原料液の噴霧領域を変化させることができるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
対象物（20）に原料液を噴霧することによって該対象物（20）の表面に被膜を形成する静電噴霧型の成膜装置を対象とする。そして、この成膜装置は、複数のノズル（57）を有する噴霧機構（30）と、原料液を上記複数のノズル（57）へ搬送する搬送機構（60）と、上記原料液が帯電した液滴となって上記噴霧器（55）から上記対象物（20）へ噴霧されるように上記噴霧器（55）と上記対象物（20）の間に電圧を印加する電圧印加部（70）と、上記対象物（20）と上記噴霧機構（30）の一方を他方に対して相対的に移動させる移動機構（15）とを備え、上記移動機構（15）の移動方向に並ぶ複数のノズル（57）がそれぞれ保持される複数の噴霧ユニット（40）と、上記移動機構（15）の移動方向と交わる方向に配列される上記複数の噴霧ユニット（40）をそれぞれ着脱自在に保持するユニット保持部（32）とを備えていることを特徴とする。
【０００７】
第１の発明では、移動機構（15）が、対象物（20）と噴霧機構（30）の一方を他方に対して相対的に移動させる。この際、電圧印加部（70）がノズル（57）と対象物（20）との間に電圧を印加すると、ノズル（57）の先端から帯電した液滴が噴霧され、この液滴が対象物（20）へ付着する。この結果、対象物（20）には、原料液の付着領域が順次形成されていく。
【０００８】
本発明の噴霧機構（30）では、複数の噴霧ユニット（40）に複数のノズル（57）が保持され、これらの噴霧ユニット（40）がユニット保持部（32）に着脱自在に保持される。具体的に、ユニット保持部（32）では、各噴霧ユニット（40）が移動機構（15）の移動方向と交わる方向に配列されるように、各噴霧ユニット（40）が取り付け及び取り外し可能となる。このため、噴霧機構（30）では、移動機構（15）と移動方向と交わる方向において、原料液の全体の噴霧範囲を拡大する、または縮小できる。
【０００９】
また、本発明の各噴霧ユニット（40）には、移動機構（15）の移動方向に並ぶ複数のノズル（57）がそれぞれ保持される。噴霧ユニット（40）に１つのノズル（57）のみ保持される構成では、対象物（20）と噴霧機構（30）とが相対的に移動する際、対象物（20）の表面に１回のみしか原料液が吹き付けられない。これに対し、本発明では、対象物（20）の表面に原料液が複数回吹き付けられるため、対象物（20）の表面に付着する原料液の量が多くなり、対象物（20）の表面に密な被膜を形成できる。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明において、上記各噴霧ユニット（40）では、複数のノズル（57）が上記移動機構（15）の移動方向に交わる方向に互いにずれるように配置されていることを特徴とする。
【００１１】
第２の発明の各噴霧ユニット（40）では、複数のノズル（57）が、移動機構（15）の移動方向に交わる方向に互いにずれて配置される。噴霧機構（30）に複数の噴霧ユニット（40）を取り付けた状態では、隣接する噴霧ユニット（40）のノズル（57）の間に間隔が空いてしまう。このため、各噴霧ユニット（40）において、複数のノズル（57）を移動機構（15）の移動方向に一直線に配列した場合、対象物（20）の表面では、各噴霧ユニット（40）のノズル（57）の間に原料液が付着しない領域が形成され易い。これに対し、本発明では、各噴霧ユニット（40）において、複数のノズル（57）が互いにずれて配置されるため、対象物（20）の表面では、原料液が付着されない領域が形成されず、対象物（20）の表面の全域に亘って原料液を付着させることができる。
【００１２】
また、複数のノズル（57）を移動機構の移動方向に一直線に配列すると、この移動方向に隣り合うノズル（57）の間隔が狭くなり、各ノズル（57）から噴霧される原料液が電気的に反発し易くなる。これらの原料液が反発してしまうと、各ノズル（57）から噴霧される原料液の噴霧範囲が狭くなり、対象物（20）の表面に均一に原料液を付着させることが困難となる。これに対し、本発明では、各噴霧ユニット（40）において、複数のノズル（57）が互いにずれて配置されるため、隣り合うノズル（57）間から噴霧される原料液が互いに反発することを防止でき、対象物（20）の表面に均一に原料液を付着させることができる。
【００１３】
第３の発明は、第１又は第２の発明において、複数の噴霧ユニット（40）では、上記複数のノズル（57）の配列パターンが互いに同じであることを特徴とする。
【００１４】
第３の発明では、各噴霧ユニット（40）の複数のノズル（57）の配列パターンが同じであるため、複数の噴霧ユニット（40）を同じ構造で設計できる。
【００１５】
第４の発明は、第１乃至第３のいずれか１つの発明において、上記各噴霧ユニット（40）は、上記搬送機構（60）によって搬送された原料液が流れる液流路（62）と、該液流路（62）の原料液を分流させる分流部（64a,64b,64c）と、該分流部（64a,64b,64c）によって分流された原料液を上記噴霧ユニット（40）の各ノズル（57）へ供給する複数の分流管（65a,65b,65c）とをそれぞれ備えていることを特徴とする。
【００１６】
第４の発明では、液流路（62）と、分流部（64a,64b,64c）と、複数の分流管（65a,65b,65c）とが噴霧ユニット（40）に組み込まれる。液流路（62）に搬送された原料液は、分流部（64a,64b,64c）から複数の分流管（65a,65b,65c）にそれぞれ分流し、各ノズル（57）へ供給される。これにより、各噴霧ユニット（40）では、１つの液流路（62）から複数のノズル（57）へ原料液を送ることができ、原料液をノズル（57）へ搬送するための流路の簡素化を図ることができる。
【００１７】
第５の発明は、第４の発明において、上記各噴霧ユニット（40）の液流路（62）の圧力に基づいて、対応する噴霧ユニット（40）のノズル（57）の詰まりを検知する詰まり検知部（75）を備えていることを特徴とする。
【００１８】
第５の発明では、詰まり検知部（75）が、噴霧ユニット（40）の液流路（62）の圧力に基づいて、対応する噴霧ユニット（40）のノズル（57）の詰まりを検知する。つまり、噴霧ユニット（40）の所定のノズル（57）に異物等が混入し、このノズル（57）が詰まってしまうと、このノズル（57）に連通する液流路（62）の圧力が変化する。本発明の詰まり検知部（75）は、このような圧力の変化に基づいて、ノズル（57）が詰まったことを検知する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明では、対象物（20）のサイズに合わせて、噴霧機構（30）の噴霧範囲を移動機構（15）の移動方向と交わる方向に適宜調節することができる。従って、移動機構（15）の移動範囲を拡大したり、成膜装置を複数種設計したりせずとも、対象物（20）の表面の全域に原料液を供給できる成膜装置を提供できる。
【００２０】
また、本発明では、１つの噴霧ユニット（40）のノズル（57）が詰まったり、この噴霧ユニット（40）が故障したりした際にも、この噴霧ユニット（40）を交換するだけで成膜装置を復旧できる。従って、異常に伴う成膜装置（14）の停止時間を最小限に抑えることができる。
【００２１】
また、本発明では、対象物（20）の表面に原料液を複数回吹き付けることができ、対象物（20）に形成される被膜の厚みを十分に確保できる。この結果、対象物（20）に形成される被膜の耐久性を向上できる。
【００２２】
第２の発明では、隣り合う噴霧ユニット（40）の間において、対象物（20）の表面に原料液が付着しない領域が形成されることを防止でき、対象物（20）の表面の全域に亘って被膜を形成できる。また、移動機構（15）の移動方向に隣接するノズル（57）間において、原料液が互いに反発することを防止できる。この結果、対象物（20）の表面に均一に原料液を付着させることができる。また、隣接するノズル（57）の間隔を狭く設計でき、各噴霧ユニット（40）を移動機構（15）の移動方向に小型化できる。
【００２３】
第３の発明では、各噴霧ユニット（40）を同じ構造で設計できるため、成膜装置の製造工程の簡素化、製造コストの低減を図ることができる。
【００２４】
第４の発明では、各噴霧ユニット（40）において、原料液を搬送するための流路の簡素化を図ることができる。
【００２５】
第５の発明では、ノズル（57）に目詰まりが生じた噴霧ユニット（40）を容易に特定することができる。この結果、ノズル（57）のメンテナンスを行う、あるいは特定した噴霧ユニット（40）の交換を行うことで、ノズル（57）の目詰まりに速やかに対処でき、成膜装置の信頼性を向上できる。また、噴霧ユニット（40）の各ノズル（57）にそれぞれ目詰まりの検知部（75）を設ける必要がないため、成膜装置の簡素化、低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、実施形態に係る成膜装置の全体構成を示す概略の構成図である。
【図２】図２は、実施形態に係る噴霧機構の全体構成を示す概略の斜視図である。
【図３】図３は、実施形態に係る噴霧ユニットの全体構成を示す概略の斜視図である。
【図４】図４は、実施形態に係る噴霧ユニットの全体構成を示す概略の構成図である。
【図５】図５は、実施形態に係る複数の噴霧ユニットのノズル支持板を拡大した上面図である。
【図６】図６は、実施形態に係る１つの噴霧ユニットのノズルの配列パターンを表した上面図である。
【図７】図７は、実施形態に係る噴霧機構において、ユニット支持板に噴霧ユニットを取り付ける状態を表した組立斜視図である。
【図８】図８は、実施形態に係るユニット支持板に噴霧ユニットが取り付けられた状態を表した縦断面図である。
【図９】図９は、実施形態に係る噴霧機構の全体のノズルの配列パターンを表した概略構成図である。
【図１０】図１０は、噴霧機構の一部のノズルの配列パターンを表した上面図であり、ガラス基板及び噴霧領域の位置関係を表したものである。
【図１１】図１１は、噴霧機構の一部のノズルの配列パターンを表した上面図であり、ガラス基板に形成される付着領域の一例を表したものである。
【図１２】図１２は、隣接するノズルのピッチと、ノズルからガラス基板上に噴霧された原料液の付着領域の塗布幅との関係を示すグラフである。
【図１３】図１３は、原料液の塗り重ね回数が異なる４つのガラス基板について、擦り回数と接触角との関係を比較したグラフである。
【図１４】図１４は、変形例１に係る噴霧機構の全体のノズルの配列パターンを表した概略構成図である。
【図１５】図１５は、変形例２に係る噴霧機構の全体のノズルの配列パターンを表した概略構成図である。
【図１６】図１６は、変形例３に係る噴霧機構の全体のノズルの配列パターンを表した概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【００２８】
本実施形態の成膜装置（10）は、タッチパネルのガラス基板（20）の表面に防汚用の被膜を形成するためのものである。また、本実施形態の成膜装置（10）は、いわゆる静電噴霧法によって噴霧した原料液を対象物であるガラス基板（20）の表面に付着させて被膜を形成する静電噴霧型の成膜装置（10）である。
【００２９】
−成膜装置の全体構成−
図１に示すように、成膜装置（10）には、前処理ゾーン（11）と、噴霧ゾーン（12）と、後処理ゾーン（13）とが形成されている。また、成膜装置（10）は、コントローラ（14）を備えている。コントローラ（14）は、成膜装置（10）の運転を制御する。
【００３０】
成膜装置（10）には、ガラス基板（20）を搬送するためのベルトコンベア（15）が設けられている。ベルトコンベア（15）は、前処理ゾーン（11）と噴霧ゾーン（12）と後処理ゾーン（13）とに亘って設けられ、導電板（25）の上に載せられたガラス基板（20）を、前処理ゾーン（11）、噴霧ゾーン（12）、後処理ゾーン（13）の順に搬送する。つまり、ベルトコンベア（15）は、図１の左から右へ向かって、ガラス基板（20）を真っ直ぐに搬送する。このベルトコンベア（15）は、後述する噴霧機構（30）に対してガラス基板（20）を相対的に移動させる移動機構である。
【００３１】
前処理ゾーン（11）では、基板の表面を洗浄する工程が行われる。噴霧ゾーン（12）では、基板の表面に原料液を付着させる工程が行われる。噴霧ゾーン（12）には、噴霧機構（30）が設けられる。後処理ゾーン（13）では、ガラス基板（20）に被膜を定着される工程が行われる。具体的に、後処理ゾーン（13）では、原料液の付着したガラス基板（20）が加熱される。
【００３２】
−噴霧機構の全体構成−
図２に示すように、噴霧機構（30）は、ステー（31）と、ステー（31）の内部に支持される一対のユニット支持板（32）と、該一対のユニット支持板（32）に支持される複数の噴霧ユニット（40）とを備えている。
【００３３】
ステー（31）は、複数本のフレームが組み合わされて構成され、ベルトコンベア（15）を跨ぐように配置される。ステー（31）の内部には、ベルトコンベア（15）が移動する空間が形成される。つまり、ステー（31）の内部では、ベルトコンベア（15）に搬送されるガラス基板（20）が移動する。
【００３４】
一対のユニット支持板（32）は、互いに平行で且つ鉛直な姿勢でステー（31）の内部に支持される。これらのユニット支持板（32）は、ベルトコンベア（15）の移動方向に所定の間隔を置いて互いに対向して配置される。これらのユニット支持板（32）は、ベルトコンベア（15）の前側寄りに位置する第１ユニット支持板（32a）と、ベルトコンベア（15）の後側寄りに位置する第２ユニット支持板（32b）とで構成される。
【００３５】
本実施形態の噴霧機構（30）は、複数（本実施形態では１６つ）の噴霧ユニット（40）を備えている。噴霧ユニット（40）の数量は単なる例示であり、これに限られるものではない。噴霧ユニット（40）の数量は、ガラス基板（20）の幅（ベルトコンベア（15）の移動方向と直交する方向の長さ）に応じて決定される。複数の噴霧ユニット（40）は、ベルトコンベア（15）の移動方向と直交する方向に互いに隣接して配列される。つまり、複数の噴霧ユニット（40）は、一対のユニット支持板（32）の内壁面に沿って配列される。各噴霧ユニット（40）は、一対のユニット支持板（32）に着脱自在に支持される。つまり、ユニット支持板（32）は、複数の噴霧ユニット（40）をそれぞれ着脱自在に保持するユニット保持部を構成する。
【００３６】
同図に示すように、噴霧機構（30）は、ガラス基板（20）が載せられる導電板（25）を備えている。導電板（25）は、ベルトコンベア（15）に設置され、真っ直ぐに移動する。ガラス基板（20）及び導電板（25）は、いずれも矩形平板状に形成される。
【００３７】
−噴霧ユニットの詳細構成−
噴霧ユニット（40）の詳細構成について図３及び図４に基づき説明する。噴霧ユニット（40）は、枠部（41）と、該枠部（41）の上側に設置される収容部（50）とを備えている。
【００３８】
枠部（41）は、一対の側板（42）と、天板（43）と、ノズル支持板（44）とを備えている。これらの側板（42）は、ベルトコンベア（15）の前側寄りの第１側板（42a）と、ベルトコンベア（15）の後側寄りの第２側板（42b）とで構成される。これらの側板（42）は、上下に延びる縦長の板状に形成される。天板（43）は、一対の側板（42）の各上端に亘って形成される。天板（43）は、前後に延びる横長の板状に形成される。ノズル支持板（44）は、一対の側板（42）の各下端に亘って形成される。ノズル支持板（44）は、前後に延びる横長の板状に形成される。ノズル支持板（44）には、複数（本実施形態では８つ）の噴霧器（55）が支持される。ノズル支持板（44）及び噴霧器（55）の詳細は後述する。
【００３９】
枠部（41）の内部には、２本の支持棒（45）と、１枚の中間支持板（46）とが設けられる。２本の支持棒（45）は、枠部（41）の側板（42）に沿うように上下に延びる棒状の部材である。各支持棒（45）の上端はそれぞれ天板（43）に固定され、各支持棒（45）の下端はそれぞれノズル支持板（44）に固定される。中間支持板（46）は、各支持棒（45）に締結部材（図示省略）を介して支持される。中間支持板（46）は、各支持棒（45）に跨がるように、前後に延びる横長の板状に形成される。中間支持板（46）には、複数（本実施形態では８つ）の中継コネクタ（66）が支持される。
【００４０】
収容部（50）は、枠部（41）の天板（43）の上側に設置されている。収容部（50）は、天板（43）に沿って前後に延びた横長の箱状に形成される。図４に示すように、収容部（50）の内部には、ポンプ（60）と電圧印加部（70）とが収容される。
【００４１】
ポンプ（60）は、原料液供給ライン（61）の原料液を搬送する液搬送部を構成している。原料液は、防汚用の被膜を形成する物質を溶剤で希釈したものである。原料液供給ライン（61）には、例えば原料液が貯留された貯留タンクが接続される。
【００４２】
ポンプ（60）は、収容部（50）の内部の液流路（62）に接続されている。液流路（62）は、ポンプ（60）の流入側に接続される流入路（62a）と、ポンプ（60）の流出側に接続される流出路（62b）とで構成される。流入路（62a）の流入端は、液接続ポート（51）を介して原料液供給ライン（61）と接続している。流出路（62b）の流出端は、天板（43）に支持された上流側分流部（64a）（分流部）に接続している。
【００４３】
電圧印加部（70）には、電源供給ライン（71）及び電気接続ポート（52）を経由して電力が供給される。電圧印加部（70）は、直流式の電源（72）を備えている。電源（72）の出力電圧は５ｋＶ程度である。電源（72）の正極は、複数の噴霧器（55）の各ノズル（57）に電気的に接続している。電源（72）の負極は接地されており、導電板（25）に電気的に接続している。つまり、導電板（25）は、ゼロ電位になっている。電源（72）の出力電圧は、２ｋＶ〜７ｋＶの範囲であることが好ましい。
【００４４】
噴霧機構（30）は、液流路（62）の原料液を複数の噴霧器（55）に分配するための分流機構（63）を備えている。分流機構（63）は、天板（43）と中間支持板（46）との間に配置される。なお、図３において、分流機構（63）の図示を省略している。
【００４５】
分流機構（63）は、上流側分流部（64a）と中間分流部（64b）と下流側分流部（64c）と上流側分流管（65a）と中間分流管（65b）と下流側分流管（65c）とを備えている。上流側分流部（64a）は、天板（43）の中央部に支持されている。上流側分流部（64a）の流出端には、２本の上流側分流管（65a）が接続される。各上流側分流管（65a）の流出端には、中間分流部（64b）が１つずつ接続される。各中間分流部（64b）の流出端には、２本の中間分流管（65b）がそれぞれ接続される。各中間分流管（65b）の流出端には、下流側分流部（64c）が１つずつ接続される。各下流側分流部（64c）の流出端には、２本の下流側分流管（65c）がそれぞれ接続される。各下流側分流管（65c）の流出端は、中継コネクタ（66）の流入端にそれぞれ接続される。
【００４６】
噴霧機構（30）は、８本のキャピラリーチューブ（67）を備えている。これらのキャピラリーチューブ（67）は、中間支持板（46）とノズル支持板（44）との間に亘って配置される。これらのキャピラリーチューブ（67）は、中継コネクタ（66）の流出端と、噴霧器（55）の流入端との間に接続される。このようにして、噴霧機構（30）では、分流機構（63）の上流側分流部（64a）から各噴霧器（55）の先端までの間に８本の分流路（C）が形成される。
【００４７】
キャピラリーチューブ（67）の内部には、原料液を減圧するように流路断面が縮小された内部通路（キャピラリー通路）が形成される。つまり、各キャピラリーチューブ（67）は、対応する分流路（C）に抵抗を付与している。キャピラリーチューブ（67）によって分流路（C）に付与される流路抵抗Ｒｃは、対応する分流路（C）の全体の流路抵抗のうち９割以上を占めている。また、各キャピラリーチューブ（67）の流路抵抗Ｒｃは、概ね同じ値に設定されている。
【００４８】
また、キャピラリーチューブ（67）は、各分流路（C）における原料液の偏流を防止する（各分流路（C）における原料液の供給量を均一化する）ように、対応する分流路（C）にそれぞれ流路抵抗Ｒｃを付与している。具体的に、キャピラリーチューブ（67）は、複数の分流路（C）間での流路抵抗の比の差が小さくなるように流路抵抗Ｒｃを付与している。より詳細に、キャピラリーチューブ（67）は、各分流路（C）の流路抵抗をＲｃとし、これらの流路抵抗Ｒｃの合計をtotal-Ｒとした場合に、各分流路（C）の流路抵抗Ｒｃの合計total-Ｒに対する各分流路（C）の流路抵抗Ｒｃの比率（Ｒｃ／total-Ｒ）が互いに近づくように各分流路（C）に抵抗を付与している。
【００４９】
噴霧器（55）は、キャピラリーチューブ（67）の流出端に接続する中空円筒状の基部（56）と、該基部（56）の軸方向の下端部に接続する針状のノズル（57）とを備えている。基部（56）は、非導電性の樹脂材料で構成される。基部（56）は、その軸方向が垂直となるように枠部（41）のノズル支持板（44）に支持される。
【００５０】
ノズル（57）は、導電性の金属材料で構成され、電源（72）の正極と導通している。ノズル（57）は、外径が０.３ｍｍ程度で内径が０.１ｍｍ程度の細径管である。ノズル（57）は、基部（56）と同軸となるように該基部（56）に連結している。つまり、ノズル（57）は、ガラス基板（20）及び導電板（25）と略垂直な（約９０度をなす）姿勢となっている。ノズル（57）の先端とガラス基板（20）の間には、所定の間隔ｄが確保されている。この間隔ｄは、３０ｍｍから１００ｍｍの範囲であることが好ましい。
【００５１】
各噴霧ユニット（40）は、噴霧器（55）のノズル（57）の目詰まりを検知するための詰まり検知部（75）をそれぞれ備えている。図４に示すように、各詰まり検知部（75）は、検出流路（76）と圧力センサ（77）と判定部（78）と出力部（79）とをそれぞれ備えている。
【００５２】
検出流路（76）は、液流路（62）における流出路（62b）（即ち、ポンプ（60）の吐出側）に接続している。圧力センサ（77）は、検出流路（76）に設けられ、液流路（62）の原料液の圧力を検出する。判定部（78）は、圧力センサ（77）で検出された圧力に基づいて、ノズル（57）の目詰まりの有無を判定する。出力部（79）は、判定部（78）によってノズル（57）の目詰まりが判定されたときに、対応する噴霧ユニット（40）のノズル（57）が目詰まりしたことを示す異常信号を出力する。この異常信号が出力されると、例えば表示部（図示省略）により、対応する噴霧ユニット（40）のノズル（57）が目詰まりしたことがユーザに知らされる。
【００５３】
〈ノズル支持板の詳細構成〉
噴霧ユニット（40）のノズル支持板（44）の詳細構成について図３及び図５を参照しながら詳細に説明する。
【００５４】
各噴霧ユニット（40）の各ノズル支持板（44）は、ベルトコンベア（15）の移動方向に延びる板状に形成される。各ノズル支持板（44）は、８枚の矩形状の板部（44a,44b,44c,44d,44e,44f,44g,44h）が一体に連続して構成される。具体的に、各ノズル支持板（44）では、前側から後側に向かって、第１〜第８板部（44a,44b,44c,44d,44e,44f,44g,44h）が順に配列される。
【００５５】
第１板部（44a）及び第８板部（44h）は前後に縦長の長方形板状に形成される。第１板部（44a）は、第１側板（42a）の下端部に固定される。第８板部（44h）は、第２側板（42b）の下端部に固定される。第２〜第７板部（44b,44c,44d,44e,44f,44g）は、略正方形の板状に形成される。第２板部（44b）は第１板部（44a）よりも左側にシフトし、第３板部（44c）は第２板部（44b）よりも右側にシフトし、第４板部（44d）は第３板部（44c）よりも左側にシフトし、第５板部（44e）は第４板部（44d）よりも右側にシフトし、第６板部（44f）は、第５板部（44e）よりも右側にシフトし、第７板部（44g）は、第６板部（44f）よりも左側にシフトし、第８板部（44h）は、第７板部（44g）よりも右側にシフトしている。
【００５６】
第２板部（44b）の右側面には、左側に向かって凹んだ第１凹部（47a）が形成される。第１凹部（47a）は、右側に隣り合う噴霧ユニット（40）の第２板部（44b）の外縁に沿うように形成される。第３板部（44c）の左側面には、右側に向かって凹んだ第２凹部（47b）が形成される。第２凹部（47b）は、左側に隣り合う噴霧ユニット（40）の第３板部（44c）の外縁に沿うように形成される。第４板部（44d）の右側面には、左側に向かって凹んだ第３凹部（47c）が形成される。第３凹部（47c）は、右側に隣り合う噴霧ユニット（40）の第４板部（44d）の外縁に沿うように形成される。第６板部（44f）の左側面には、右側に向かって凹んだ第４凹部（47d）が形成される。第４凹部（47d）は、左側に隣り合う噴霧ユニット（40）の第６板部（44f）の外縁に沿うように形成される。第７板部（44g）の右側面には、左側に向かって凹んだ第５凹部（47e）が形成される。第５凹部（47e）は、右側に隣り合う噴霧ユニット（40）の第７板部（44g）の外縁に沿うように形成される。
【００５７】
〈各噴霧ユニットのノズルの配列パターン〉
各噴霧ユニット（40）における噴霧器（55）のノズル（57）の配列パターンについて、図５及び図６を参照しながら説明する。８つの噴霧器（55）は、ノズル支持板（44）の８枚の板部（44a,44b,44c,44d,44e,44f,44g,44h）に対応して１つずつ配置される。具体的に、ノズル支持板（44）には、ベルトコンベア（15）の前側から後側に向かって、第１〜第８噴霧器（55a,55b,55c,55d,55e,55f,55g,55h）が順に配列される。つまり、第１噴霧器（55a）は第１板部（44a）に、第２噴霧器（55b）は第２板部（44b）に、第３噴霧器（55c）は第３板部（44c）に、第４噴霧器（55d）は第４板部（44d）にそれぞれ支持される。第５噴霧器（55e）は第５板部（44e）に、第６噴霧器（55f）は第６板部（44f）に、第７噴霧器（55g）は第７板部（44g）に、第８噴霧器（55h）は第８板部（44h）に支持される。第１〜第８噴霧器（55a,55b,55c,55d,55e,55f,55g,55h）は、対応する第１〜第８までのノズル（n1,n2,n3,n4,n5,n6,n7,n8）を有している。
【００５８】
図６に示すように、噴霧ユニット（40）では、前後に隣接する各ノズル（57）の前後方向（縦方向）の間隔（ピッチＰ１）が互いに等しくなっている。即ち、噴霧ユニット（40）では、各ノズル（n1〜n8）の中心を通る左右方向（横方向）の仮想平面の間隔Ｐ１が互いに等しくなっている。本実施形態では、このピッチＰ１が３７ｍｍに設定される。
【００５９】
噴霧ユニット（40）では、全てのノズル（57）が横方向に所定距離（ピッチＰ２）だけずれて配置される。具体的に、噴霧ユニット（40）では、該噴霧ユニット（40）の左端から右端に向かって、第４ノズル（n4）、第７ノズル（n7）、第２ノズル（n2）、第５ノズル（n5）、第８ノズル（n8）、第３ノズル（n3）、第６ノズル（n6）、第１ノズル（n1）が順に配列される。これらのノズル（n1〜n8）のずれる距離Ｐ２は互いに等しくなっている。即ち、噴霧ユニット（40）では、各ノズル（n1〜n8）の中心を通る前後方向の仮想平面の仮想平面の間隔Ｐ２が互いに等しくなっている。
【００６０】
〈噴霧ユニットの取付構造について〉
噴霧機構（30）における複数の噴霧ユニット（40）の取付構造について図２、図３、図７、図８を参照しながら詳細に説明する。噴霧機構（30）の一対のユニット支持板（32）には、複数の縦溝（33）が形成される。具体的に、第１ユニット支持板（32a）の後側の内壁面には、複数の第１縦溝（33a）が形成される。また、第２ユニット支持板（32b）の前側の内壁面には、複数の第２縦溝（33b）が形成される。各縦溝（33）は、上下に縦長の直方体形状に形成される。各縦溝（33）は、ユニット支持板（32）の上端から該ユニット支持板（32）の下部（ユニット支持板（32）の下端よりもやや上方の部分）まで垂直方向に延びている。つまり、ユニット支持板（32）の上端面には、各縦溝（33）の上端を構成する開口部（34）が形成される。また、各縦溝（33）の下端には、矩形状の底壁部（35）が形成される。
【００６１】
各ユニット支持板（32）には、多数の縦溝（33）がそれぞれ形成される。これらの縦溝（33）は、ベルトコンベア（15）の移動方向と直交する方向（複数の噴霧ユニット（40）の配列方向）に所定の間隔を置いて等間隔に配列される。
【００６２】
各噴霧ユニット（40）の一対の側板（42）には、縦溝（33）に対応するように複数の締結部材（36）が設けられる。具体的に、第１側板（42a）には、天板（43）寄りに第１上部締結部材（36a）が取り付けられ、ノズル支持板（44）寄りに第１下部締結部材（36b）が取り付けられる。また、第２側板（42b）には、天板（43）寄りに第２上部締結部材（36c）が取り付けられ、ノズル支持板（44）寄りに第２下部締結部材（36d）が取り付けられる。
【００６３】
これらの締結部材（36）は、ボルト（38）及びナット（39）で構成される。ボルト（38）は、その頭部（38a）が側板（42）の外側に位置するように、各側板（42）の挿通孔（42c）に挿入される。ナット（39）は、側板（42）の内側に位置し、対応するボルト（38）に締結される。ボルト（38）の頭部（38a）は、側板（42）から外方へ突出しており、縦溝（33）に嵌合する凸部を構成する。ボルト（38）の頭部（38a）の外径は、縦溝（33）の左右方向の幅よりも僅かに小さい。
【００６４】
噴霧ユニット（40）を噴霧機構（30）に取り付ける際には、噴霧ユニット（40）を一対のユニット支持板（32）の内部に差し込んでいく。具体的に、ユニット支持板（32）の上方に噴霧ユニット（40）を位置させ、一対の縦溝（33）の内部に噴霧ユニット（40）の各ボルト（38）の頭部（39）を嵌合させる。より詳細には、第１ユニット支持板（32a）の開口部（34）に第１下部締結部材（36b）の頭部（39）を挿入すると同時に、第２ユニット支持板（32b）の開口部（34）に第２下部締結部材（36d）の頭部（39）を挿入する。そして、これらの下部締結部材（36b,36d）を各縦溝（33）に沿って下方にスライドさせる。次いで、第１ユニット支持板（32a）の開口部（34）に第１上部締結部材（36a）の頭部（39）を挿入すると同時に、第２ユニット支持板（32b）の開口部（34）に第２上部締結部材（36c）の頭部（39）を挿入する。噴霧ユニット（40）が更に下方へスライドすると、第１及び第２下部締結部材（36b,36d）が各縦溝（33）の底壁部（35）に当接する。この結果、２つのユニット支持板（32）の間において、噴霧ユニット（40）の位置が決定される。
【００６５】
このように、本実施形態の噴霧機構（30）では、一対のユニット支持板（32）の間に所望とする数の噴霧ユニット（40）を適宜取り付けることができる。これにより、噴霧機構（30）では、ガラス基板（20）の幅に応じて、噴霧ユニット（40）の数量（即ち、噴霧機構（30）での原料液の噴霧範囲）を適宜調整することができる。
【００６６】
〈噴霧機構の全体の噴霧器の配列パターン〉
噴霧機構（30）に複数の噴霧ユニット（40）が取り付けられた状態では、複数の噴霧器（55）が次のような配列パターンを構成する。この配列パターンについて、図６及び図９を参照しながら説明する。
【００６７】
本実施形態の噴霧機構（30）では、ベルトコンベア（15）の移動方向と直交する方向に複数（本実施形態では１６つ）の噴霧器（55）が配列される。これらの噴霧器（55）の各ノズル（57）は、横方向に一直線に並ぶノズル列（L1）を構成する。噴霧機構（30）では、これらのノズル列（L）がベルトコンベア（15）の移動方向に８列配列される。具体的に、噴霧機構（30）では、ベルトコンベア（15）の移動方向の前側から後側に向かって順に、第１〜第８までのノズル列（L1〜L8）が配列される。
【００６８】
第１ノズル列（L1）は、各噴霧ユニット（40）の第１ノズル（n1）によって構成され、第２ノズル列（L2）は、各噴霧ユニット（40）の第２ノズル（n2）によって構成され、第３ノズル列（L3）は、各噴霧ユニット（40）の第３ノズル（n3）によって構成され、第４ノズル列（L4）は、各噴霧ユニット（40）の第４ノズル（n4）によって構成される。第５ノズル列（L5）は、各噴霧ユニット（40）の第５ノズル（n5）によって構成され、第６ノズル列（L6）は、各噴霧ユニット（40）の第６ノズル（n6）によって構成され、第７ノズル列（L7）は、各噴霧ユニット（40）の第７ノズル（n7）によって構成され、第８ノズル列（L8）は、各噴霧ユニット（40）の第８ノズル（n8）によって構成される。
【００６９】
各ノズル列（L1〜L8）では、横方向に隣接する各ノズル（57）の間隔（ピッチＰ３）が等しくなっている。本実施形態では、これらのピッチＰ３が約４０ｍｍに設定される。また、噴霧機構（30）では、前後方向に隣接する各ノズル列（L）の間隔（ピッチＰ１）が等しく設定される。このピッチＰ１は、各噴霧ユニット（40）の各ノズル（57）の縦方向のピッチに相当し、上述したように３７ｍｍに設定される。
【００７０】
噴霧機構（30）では、異なるノズル列（L1〜L8）間の複数のノズル（57）が、横方向（即ち、ベルトコンベア（15）の移動方向と直交する方向）に互いにずれている。つまり、上述したように、各噴霧ユニット（40）では、第１〜第８のノズル（n1〜n8）がピッチＰ２（５ｍｍ）を介して横方向にずれている（図６を参照）。これに対応するように、噴霧機構（30）では、各ノズル列（L1〜L8）の複数のノズル（57）がピッチＰ２を介して互いにずれることになる。噴霧機構（30）のノズル列（L）の列数Ｎは、各ノズル列（L）の隣接するノズル（57）のピッチＰ３を、このピッチＰ２で除することで求められる。
【００７１】
噴霧機構（30）では、前後に隣接するノズル（57）の横方向の距離も等しく設定される。具体的に、噴霧機構（30）では、前後に隣接する２つのノズル（57）のうち短い方の横方向のピッチＰ４が１５ｍｍに設定され、前後に隣接する２のノズル（57）のうち長い方の横方向のピッチＰ５が２５ｍｍに設定される。
【００７２】
噴霧機構（30）では、所定のノズル列（L）と、該所定のノズル列（L）のノズル（57）に対して横方向にずれる距離Ｐ２が最も小さいノズル（57）を有する他のノズル列（L）との間に１列以上のノズル列（L）が配置される。
【００７３】
具体的には、例えば図６に示す第５ノズル列（L5）を基準とすると、該第５ノズル列（L5）の第５ノズル（n5）に対して横方向にずれる距離が最も小さいのは、ピッチＰ２を介して左側にずれた第２ノズル列（L2）と、ピッチＰ２を介して右側にずれた第８ノズル列（L8）となる。噴霧機構（30）では、第５ノズル列（L5）と第２ノズル列（L2）との間に２つのノズル列（第３ノズル列（L3）と第４ノズル列（L4））が介在し、第５ノズル列（L5）と第８ノズル列（L8）との間にも２つのノズル列（第６ノズル列（L6）と第７ノズル列（L7））が介在する。このように、噴霧機構（30）では、横方向にずれる距離が最も小さいノズル列（L）同士が前後に隣接しない配列パターンが形成されている。
【００７４】
噴霧機構（30）では、前後に隣接するノズル（57）の斜め方向の間隔が、ピッチＰ３と同じかそれよりも大きくなっている。具体的には、例えば図９に示すように、第１ノズル列（L1）の第１ノズル（n1-1）の後側には、２つの第２ノズル（n2-1,n2-2）が隣接する。これらの第２ノズル（n2-1,n2-2）のうち第１ノズル（n1-1）との距離が短い側の第２ノズル（n2-1）と、第１ノズル（n1）との間隔（ピッチＰ６）は、ピッチＰ３と等しい４０ｍｍに設定されている。また、これらの第２ノズル（n2-1,n2-2）のうち第１ノズル（n1）との距離が長い方の第２ノズル（n2-1）と、第１ノズル（n1）との間隔（ピッチＰ７）は、ピッチＰ３よりも長い距離（４４．７ｍｍ）に設定されている。このように本実施形態の噴霧機構（30）では、全てのノズル（57）と、該ノズル（57）の周囲に隣接する他のノズル（57）との間に４０ｍｍ以上の間隔が確保されている。
【００７５】
隣接するノズル（57）の間隔が３０ｍｍより小さくなると、隣接するノズル（57）から噴霧される原料液が電気的に互いに反発してしまうことが実験的に求められている（詳細は後述する）。これに対し、本実施形態では、隣接するノズル（57）の間隔が３０ｍｍ以上に確保されているため、隣接するノズル（57）から噴霧される原料液が互いに電気的に反発してしまうことがない。このように、噴霧機構（30）は、同じノズル列（L）間の複数のノズル（n）から噴霧される原料液が互いに電気的に互いに反発せず、且つ異なるノズル列（L）間のノズル（57）から噴霧される原料液が互いに電気的に反発しないように構成される。
【００７６】
−成膜装置の運転動作−
上述したように、成膜装置（10）は、前処理ゾーン（11）においてガラス基板（20）を洗浄する工程を、噴霧ゾーン（12）においてガラス基板（20）に原料液を付着させる工程を、後処理ゾーン（13）においてガラス基板（20）に被膜を定着させる工程を、それぞれ行う。ここでは、噴霧ゾーン（12）においてガラス基板（20）に原料液を付着させるために成膜装置（10）が行う動作について説明する。成膜装置（10）は、以下で説明するような成膜方法を実行する。
【００７７】
〈原料液を噴霧する動作〉
先ず、噴霧機構（30）から原料液を噴霧する動作について、図４を参照しながら説明する。噴霧機構（30）の運転中には、各噴霧ユニット（40）のポンプ（60）が運転されるとともに、電源（72）の正極と噴霧器（55）とが通電状態となる。
【００７８】
ポンプ（60）が作動すると、原料液供給ライン（61）の原料液が液流路（62）に流入し、ポンプ（60）を通過した後、上流側分流部（64a）へ流出する。上流側分流部（64a）の原料液は、２本の上流側分流管（65a）に分流し、各中間分流部（64b）へ流出する。各中間分流部（64b）の原料液は、それぞれ２本の中間分流管（65b）に分流し、各下流側分流部（64c）へ流出する。各下流側分流部（64c）の原料液は、それぞれ２本の下流側分流管（65c）に分流する。以上のようにして、分流機構（63）では、液流路（62）を流出した原料液が８つの分流路（C）に分配される。
【００７９】
各下流側分流管（65c）に流入した各原料液は、それぞれキャピラリーチューブ（67）を通過して減圧された後、各噴霧器（55）へ供給される。これらの噴霧器（55）の各ノズル（57）は、電源（72）の正極と導通している。また、電源（72）の負極は、接地された状態でガラス基板（20）を載せた導電板（25）と導通している。このため、噴霧器（55）のノズル（57）とガラス基板（20）との間に電圧が印加される。
【００８０】
ノズル（57）とガラス基板（20）の間に電圧が印加されると、ノズル（57）の先端付近の空間に電界が形成される。すると、ノズル（57）の先端では、原料液が電界に引っ張られていわゆるテイラーコーンが形成される。このテイラーコーンの先端から原料液が引きちぎられることによって概ね数μｍから１００μｍ程度の大きさの液滴が生成する。
【００８１】
ノズル（57）は電源（72）の正極に導通しているため、ノズル（57）から噴霧された液滴状の原料液も正の電荷に帯電している。これに対し、ガラス基板（20）は実質的にゼロ電位となっている。このため、液滴状の原料液は、クーロン力によってガラス基板（20）へ向かって（本実施形態では下へ向かって）飛んでゆき、ガラス基板（20）の表面に付着する。この結果、ガラス基板（20）の表面には、所定の領域に防汚用の被膜が形成される。
【００８２】
〈ノズルの目詰まりを検出する動作〉
上述したように、噴霧機構（30）では、各噴霧ユニット（40）から原料液を噴霧する動作が行われる。図４に示す噴霧機構（30）の運転中には、各噴霧ユニット（40）においてノズル（57）の目詰まりが検出される。具体的に、複数の噴霧ユニット（40）のうちの１つの噴霧ユニット（40）のノズル（57）に異物が侵入し、このノズル（57）が詰まったとする。この場合、原料液が搬送される液流路（62）では、ポンプ（60）の吐出側の圧力が上昇する。この結果、液流路（62）の流出路（62b）に連通する検出流路（76）の圧力も上昇し、圧力センサ（77）の検出圧力も上昇する。
【００８３】
このようにして、圧力センサ（77）の検出圧力が上昇変化すると、出力部（79）から異常信号が出力される。具体的に、判定部（78）は、圧力センサ（77）の検出圧力の上昇変化量が所定値を越えると、この圧力センサ（77）に対応する噴霧ユニット（40）のいずれかノズル（57）が詰まったと判定する。そして、この圧力センサ（77）に対応する噴霧ユニット（40）の出力部（79）から異常信号が出力される。この異常信号は、例えばコントローラ（14）に入力される。コントローラ（14）では、異常信号が出力された出力部（79）に対応する噴霧ユニット（40）のノズル（57）が詰まっていることが、表示部等により表示される。これにより、ユーザは、どの噴霧ユニット（40）のノズル（57）が詰まっているかを特定することができる。ノズル（57）の目詰まりを知ったユーザは、ノズル（57）の清掃を行う、あるいはノズル（57）の詰まりがある噴霧ユニット（40）を別の噴霧ユニット（40）と交換する。
【００８４】
〈ガラス基板の全面に被膜を形成するための動作〉
成膜装置（10）では、ガラス基板（20）を載せた導電板（25）が、ベルトコンベア（15）によって搬送される。成膜装置（10）の噴霧ゾーン（12）では、水平方向へ真っ直ぐに移動するガラス基板（20）に対して、噴霧機構（30）が原料液を噴霧する。その結果、矩形状のガラス基板（20）の表面全体に原料液が付着し、ガラス基板（20）の表面全体に防汚用の被膜が形成される。ここでは、ガラス基板（20）の全面に被膜を形成するための動作について、図１０〜図１３を参照しながら説明する。
【００８５】
ガラス基板（20）は、噴霧機構（30）から噴霧される原料液の範囲に対して、幅方向（ベルトコンベア（15）の移動方向と直交する方向）の内側寄りにオフセットして配置される。具体的には、図１０に示すように、ガラス基板（20）の幅方向の一方の側端面（例えば図１０における左端面（20a））は、噴霧機構（30）の最も左端のノズル（n2）（図１０に示す一点鎖線Ｙ１よりも内側（右側）にずれて配置される。同様に、図示しないが、ガラス基板（20）の幅方向の他方の側端面（右端面）は、噴霧機構（30）の最も右端のノズル（n1）よりも内側（左側）にずれて配置される。これにより、ガラス基板（20）の表面の左右の側端部においても、所望とする塗り重ね回数（詳細は後述する）で原料液を付着させることができる。
【００８６】
噴霧ゾーン（12）では、ガラス基板（20）を載せた導電板（25）が、ベルトコンベア（15）によって搬送されてくる。噴霧ゾーン（12）では、ガラス基板（20）の前縁が、第８ノズル列（L8）、第７ノズル列（L7）、第６ノズル列（L6）、第５ノズル列（L5）、第４ノズル列（L4）、第３ノズル列（L3）、第２ノズル列（L2）、及び第１ノズル列（L1）の順に通過する。各ノズル列（L）のノズル（57）からは、図１０のハッチングを付した範囲（噴霧領域（Ａ１））において、原料液が噴霧される。この結果、図１１に示すように、ガラス基板（20）が各ノズル列（L）を通過していくと、ガラス基板（20）の表面には、この噴霧領域（Ａ１）に左右の幅に沿うようにして帯状の付着領域（Ａ２）が形成されていく。なお、ここでいう付着領域（Ａ２）は、ガラス基板（20）の表面上において、被膜の性能を達成できる程度に原料液が実質的に均一に付着した領域を意味する。また、上記噴霧領域（Ａ１）は、この付着領域（Ａ２）を形成するために要する原料液の噴霧範囲であり、ガラス基板（20）の表面に付着する直前の原料液の垂直方向の投影面に相当する。
【００８７】
この噴霧機構（30）では、各ノズル列（L）の各ノズル（57）間の距離（ピッチＰ２、ピッチＰ６、ピッチ７）が４０ｍｍ以上に設定されている。仮にこれらのピッチが３０ｍｍよりも小さくなると、隣り合うノズル（57）から噴霧された原料液の間に斥力（反発力）が作用してしまう。この場合、各ノズル（57）の先端から放射状に拡がる原料液の噴霧領域（Ａ1）が狭くなり、ひいては各ノズル（57）に対応する付着領域（Ａ２）も狭くなってしまう。これに対し、本実施形態では、隣接するノズル（57）のピッチが４０ｍｍ以上に設定される。これにより、隣接するノズル（57）から噴霧された原料液が反発せず、付着領域（Ａ２）を拡大できる。この点について図１２を参照しながら詳細に説明する。
【００８８】
図１２は、隣接するノズル（57）のピッチと、ガラス基板（20）の付着領域（Ａ２）の塗布幅Ｄとの関係を実験的に求めたものである。ここで、この塗布幅Ｄは、ガラス基板（20）の表面で形成される帯状の付着領域（Ａ２）のうちベルトコンベア（15）の移動方向と直交する方向の距離を意味する。同図に示すように、隣接するノズル（57）のピッチが３０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲では、付着領域（Ａ２）の塗布幅Ｄは１８ｍｍと一定になる。このことは、隣接するノズル（57）のピッチが３０ｍｍ以上であれば、隣接するノズル（57）から噴霧された原料液が電気的に反発せず、最大の塗布幅Ｄが得られることを意味する。
【００８９】
一方、隣接するノズル（57）のピッチが３０ｍｍより小さくなっていくと、付着領域（Ａ２）の塗布幅Ｄも徐々に小さくなっていく。このピッチが小さくなるにつれて、原料液間の反発力が大きくなり、これに伴い噴霧領域（Ａ１）、ひいては付着領域（Ａ２）の塗布幅Ｄも小さくなっていくからである。なお、図１２に示す例では、隣接するノズル（57）のピッチが約２０ｍｍであると、付着領域（Ａ２）の塗布幅Ｄが約１３ｍｍとなり、このピッチが約１０ｍｍであると、付着領域（Ａ２）の塗布幅Ｄが約６ｍｍとなる。
【００９０】
本実施形態では、上述したように隣接するノズル（57）間のピッチが全て３０ｍｍ以上に設定されているため、隣接するノズル（57）から噴霧される原料液が電気的に互いに反発しない。このため、各ノズル（57）に対応する付着領域（Ａ２）の塗布幅Ｄが約１８ｍｍとなる。これにより、例えばピッチが１０ｍｍや２０ｍｍである場合と比較すると、比較的広い範囲の付着領域（Ａ２）に原料液を分散して付着させることができる。この結果、付着領域（Ａ２）では、原料液の分布ムラが小さくなるため、ガラス基板（20）の表面に形成される被膜の均一化を図ることができる。
【００９１】
また、このようにして広範囲に原料液を噴霧するようにすると、原料液の無駄に消費してしまうことを防止できる。ガラス基板（20）の表面においては、ガラス基板（20）に原料液が付着することで、ガラス基板（20）と原料液とが反応し、これにより原料液が有効な被膜の形成に寄与することになる。つまり、ガラス基板（20）に付着しない原料液は、例えば蒸発してガラス基板（20）上から無くなるか、あるいはガラス基板（20）上に残存したとしてもすぐに剥がれ落ちてしまうため、有効な被膜の形成に寄与しない。このため、仮にガラス基板（20）の狭い範囲に原料液が密に噴霧されると、この原料液の一部がガラス基板（20）と接触・反応しないことがあり、有効な被膜の形成に寄与しないことになる。この結果、無駄に原料液を消費してしまうことになる。
【００９２】
一方、本実施形態では、上述のように広範囲に亘って原料液が分散して噴霧されるため、ガラス基板（20）と原料液とが接触及び反応を促進できる。このため、噴霧した原料液の多くが被膜の形成に寄与することとなり、原料液の無駄な消費を抑制できる。
【００９３】
一方、各ノズル列（L）において、原料液の反発を防止するように隣接するノズル（57）のピッチＰ３を４０ｍｍに設定すると、このピッチＰ３は塗布幅Ｄ（＝１８ｍｍ）よりも大きくなってしまう。このため、噴霧機構（30）が１つのノズル列（L）だけを有する構成とした場合、各付着領域（Ａ２）の間に原料液が付着しない領域が形成されてしまい、ガラス基板（20）の全域に被膜を形成できなくなる。これに対し、本実施形態の噴霧機構（30）では、縦方向に複数のノズル列（L1〜L8）を配列し、且つ各ノズル列（L1〜L8）のノズル（57）が横方向に互いにずれる配列パターンとなる。このため、例えば図１１に示すように、各ノズル列（L1〜L8）に対応する付着領域（Ａ２）も横方向に互いにずれることとなり、ガラス基板（20）の全域に隙間なく原料液を付着させることができる。
【００９４】
また、本実施形態の噴霧機構（30）では、例えば図１１に示すように、異なるノズル列（L）のノズル（57）に対応する付着領域（Ａ２）の一部がガラス基板（20）の表面上で重なるように各ノズル（57）が配列されている（図１１では、複数の付着領域（Ａ２）が重なった領域に破線のハッチングを付している）。具体的に、噴霧機構（30）では、各ノズル列（L）のノズル（57）の横方向にずれる距離（Ｐ２＝５ｍｍ）が、付着領域（Ａ２）の塗布幅Ｄ×１／２（Ｄ＝１８ｍｍ）よりも小さくなっている。このため、ガラス基板（20）の表面では、同じ領域において原料液が複数回吹き付けられるため、付着領域（Ａ２）に原料液を密に付着させることができる。
【００９５】
つまり、例えばガラス基板（20）の表面上に１回のみ原料液を吹き付けた場合、付着領域（Ａ２）での原料液の密度が不十分となり、得られる被膜の耐久性も不十分となることがある。また、ノズル（57）から噴霧された原料液分子は、同じ電荷に帯電しているため、これらの原料液分子は互いに反発しながらガラス基板（20）に付着する。このため、１回の原料液の吹きつけで得られる付着領域（Ａ２）では、厳密には、原料液の分子同士が僅かに離れることとなり、均一且つ密な被膜を形成できない可能性がある。これに対し、本実施形態のように、ガラス基板（20）に付着領域（Ａ２）を重ねて形成することで、ガラス基板（20）の表面に十分な量の原料液を密に付着させることができる。
【００９６】
より詳細に、本実施形態の噴霧機構（30）は、ガラス基板（20）の全ての領域において、原料液が３回以上に亘って吹き付けられるように構成されている。具体的には、例えばガラス基板（20）の表面上において、複数の部分ａ〜ｆをプロットとしたとする。これらの部分は、いずれも噴霧機構（30）の噴霧領域（Ａ１）を３回以上通過することになる。従って、ガラス基板（20）の表面では、これらの部分に原料液が３回以上塗り重ねられることになる。この結果、本実施形態では、十分な耐久性を有する被膜を得ることができる。
【００９７】
図１３は、原料液の重ね塗り回数が異なる４つのガラス基板Ａ〜Ｄについて擦り試験を行い、その際のガラス基板の表面張力を接触角により検証した結果を示すものである。擦り回数が３０００回を越えると、ガラス基板Ａ（重ね塗り回数が１回）及びガラス基板Ｂ（重ね塗り回数が２回）の接触角が低下していく。そして、擦り回数が５０００回を越えると、ガラス基板Ａ及びＢの接触角が大幅に低下する。これに対し、ガラス基板Ｃ（重ね塗り回数が３回）及びガラス基板Ｄ（重ね塗り回数が４回）では、擦り回数が５０００回に至っても接触角はほとんど低下しない。このため、ガラス基板（20）の重ね塗りの回数は３回以上であることが好ましく、４回以上であることが更に好ましい。本実施形態の噴霧機構（30）で得られるガラス基板（20）は、全域に亘って３回以上の重ね塗りが行われる。このため、ガラス基板（20）の全域に亘って、十分な耐久性を有する被膜を形成することができる。
【００９８】
−実施形態の効果−
上記実施形態では、対象物（ガラス基板（20））のサイズに合わせて、噴霧機構（30）の噴霧範囲を移動機構（15）の移動方向と交わる方向に適宜調節することができる。従って、移動機構（15）の移動範囲を拡大したり、成膜装置を複数種設計したりせずとも、対象物（20）の表面の全域に原料液を供給できる成膜装置を提供できる。また、上記実施形態では、１つの噴霧ユニット（40）のノズル（57）が詰まったり、この噴霧ユニット（40）が故障したりした際にも、この噴霧ユニット（40）を交換するだけで成膜装置を復旧できる。従って、異常に伴う成膜装置（14）の停止時間を最小限に抑えることができる。
【００９９】
また、上記実施形態では、各噴霧ユニット（40）を同じ構造で設計されるため、成膜装置（10）の製造工程の簡素化、製造コストの低減を図ることができる。
【０１００】
また、上記実施形態の噴霧ユニット（40）では、液流路（62）から複数のノズル（57）へ原料液を分流させる構成としている。このため、各ノズル（57）に対応してそれぞれ液流路（62）を設ける場合と比較して、原料液の流路の簡素化を図ることができる。
【０１０１】
また、上記実施形態の噴霧ユニット（40）では、液流路（62）の圧力に基づいて、どの噴霧ユニット（40）のノズル（57）が詰まったかを速やかに検出できる。この結果、ノズル（57）のメンテナンスを行う、あるいは特定した噴霧ユニット（40）の交換を行うことで、ノズル（57）の目詰まりに速やかに対処でき、成膜装置の信頼性を向上できる。また、各噴霧ユニット（40）では、８本のノズル（57）にそれぞれ目詰まり検知部を設ける必要がないため、噴霧ユニット（40）の簡素化、低コスト化を図ることができる。
【０１０２】
また、上記実施形態では、同じノズル列（L）間において、隣接するノズル（57）から噴霧される原料液が電気的に互いに反発しないようにしたので、これらのノズル（57）から広範囲に亘って低密度の原料液を噴霧できる。この結果、これらのノズル（57）から噴霧された原料液の付着領域（Ａ２）では、原料液の分布が均一化されるため、被膜の厚みを均一化できる。また、このようにして原料液を広範囲に亘って噴霧することで、原料液のガラス基板（20）の反応を促進でき、原料液の無駄な消費を抑えることができる。
【０１０３】
また、上記実施形態によれば、異なるノズル列（L）間において、各ノズル（57）がベルトコンベア（15）の移動方向と直交する方向に互いにずれて配置される。これにより、１つのノズル列（L）に対応する原料液の付着領域（Ａ２）の隙間を、他のノズル列（L）に対応する原料液によって埋めることができる。この結果、ガラス基板（20）の全域に亘って比較的均一な膜厚の被膜を形成することができる。
【０１０４】
また、上記実施形態によれば、各ノズル列（L）のノズル（57）から噴霧される低密度且つ広範囲の原料液が、対象物（20）の表面に複数回吹き付けられる。このため、対象物（20）の表面では、原料液分子が密に付着した十分な厚みの被膜を形成でき、被膜の耐久性の向上を図ることができる。
【０１０５】
また、上記実施形態のノズル（57）の配列パターンでは、図６に示すように、ピッチＰ２（５ｍｍ）だけ互いにずれた２つのノズル列（L）の間に１つ以上の他のノズル列（L）が配置される。つまり、噴霧機構（30）では、横方向にずれる距離が最も小さいノズル列（L）同士が前後に互いに隣接しない配列パターンとなっている。このため、これらのノズル列（L）同士が互いに隣接する配列パターンと比較すると、前後に隣接するノズル（57）の距離（図９のピッチＰ６）が長くなる。これにより、このピッチＰ６を十分に確保しつつ、各ノズル列（L）の縦方向のピッチＰ１を狭でき、ひいては噴霧機構（30）を縦方向に小型化できる。
【０１０６】
−実施形態の変形例−
上述した実施形態の噴霧機構（30）では、次のような噴霧器（55）のノズル（57）を以下のような配列パターンで配置してもよい。
【０１０７】
〈変形例１〉
図１４に示す変形例１の噴霧機構（30）には、前後方向に９つのノズル列（L1〜L9）が配列される。また、噴霧機構（30）では、第１〜第９までのノズル（n1〜n9）を有する１５つの噴霧ユニット（40）が左右に隣接して配置される。
【０１０８】
噴霧機構（30）では、縦方向に隣接するノズル列（L）のピッチＰ１が４０．３ｍｍに設定される。異なるノズル列（L）が横方向にずれる距離（ピッチＰ２）は、５ｍｍに設定される。各ノズル列（L）で横方向に隣接するノズル（57）のピッチＰ３は、４５ｍｍに設定される。前後に隣接するノズル（57）の横方向の短い方のピッチＰ４は２０ｍｍに設定され、長い方のピッチＰ５は２５ｍｍに設定される。前後に隣接するノズル（57）の斜め方向の短い方のピッチＰ６は４５ｍｍに設定され、短い方のピッチＰ７は４７．４ｍｍに設定される。
【０１０９】
変形例１では、隣接するノズル（57）の間に４５ｍｍ以上の間隔が確保される。このため、変形例１においても、隣接するノズル（57）から噴霧される原料液が互いに反発しない。これにより、変形例１においても、各ノズル（57）の噴霧領域（Ａ１）の外径、ないし付着領域（Ａ２）の塗布幅Ｄが１８ｍｍとなる。これに対し、各ノズル列（L）の横方向のずれる距離Ｐ２は、５ｍｍであり、１／２×Ｄよりも小さい。このため、上述した実施形態と同様、ガラス基板（20）の表面では、原料液が複数回に亘って重ね塗りされる。
【０１１０】
また、変形例１の噴霧機構（30）の各噴霧ユニット（40）では、左側から右側に向かって、第４ノズル（n4）、第２ノズル（n2）、第７ノズル（n7）、第５ノズル（n5）、第３ノズル（n3）、第１ノズル（n1）、第８ノズル（n8）、第６ノズル（n6）の順に配列される。つまり、変形例１においても、横方向にずれる距離Ｐ２が最も小さい２つのノズル列（L）の間に１つ以上の他のノズル列（L）が配置される。この結果、前後で隣接するノズル（57）間のピッチＰ６が長くなるため、各ノズル列（L）の縦方向のピッチＰ１を短くできる。
【０１１１】
〈変形例２〉
図１５に示す変形例２の噴霧機構（30）には、前後方向に９つのノズル列（L1〜L9）が配列される。また、噴霧機構（30）では、第１〜第９までのノズル（n1〜n9）を有する１２つの噴霧ユニット（40）が左右に隣接して配置される。
【０１１２】
噴霧機構（30）では、縦方向に隣接するノズル列（L）のピッチＰ１が４７．７ｍｍに設定される。異なるノズル列（L）が横方向にずれる距離（ピッチＰ２）は、５ｍｍに設定される。各ノズル列（L）で横方向に隣接するノズル（57）のピッチＰ３は、５０ｍｍに設定される。前後に隣接するノズル（57）の横方向の短い方のピッチＰ４は１５ｍｍに設定され、長い方のピッチＰ５は３０ｍｍに設定される。前後に隣接するノズル（57）の斜め方向の短い方のピッチＰ６は５０ｍｍに設定され、短い方のピッチＰ７は５９．１ｍｍに設定される。
【０１１３】
変形例２では、隣接するノズル（57）の間に５０ｍｍ以上の間隔が確保される。このため、変形例２においても、隣接するノズル（57）から噴霧される原料液が互いに反発しない。これにより、変形例２においても、各ノズル（57）の噴霧領域（Ａ１）の外径、ないし付着領域（Ａ２）の塗布幅Ｄが１８ｍｍとなる。これに対し、各ノズル列（L）の横方向のずれる距離Ｐ２は、５ｍｍであり、１／２×Ｄよりも小さい。このため、上述した実施形態と同様、ガラス基板（20）の表面では、原料液が複数回に亘って重ね塗りされる。
【０１１４】
また、変形例２の噴霧機構（30）の各噴霧ユニット（40）では、左側から右側に向かって、第４ノズル（n4）、第１ノズル（n1）、第８ノズル（n8）、第２ノズル（n2）、第９ノズル（n9）、第６ノズル（n6）、第３ノズル（n3）、第７ノズル（n7）の順に配列される。つまり、変形例２においても、横方向にずれる距離Ｐ２が最も小さい２つのノズル列（L）の間に１つ以上の他のノズル列（L）が配置される。この結果、前後で隣接するノズル（57）間のピッチＰ６が長くなるため、各ノズル列（L）の縦方向のピッチＰ１を短くできる。
【０１１５】
〈変形例３〉
図１６に示す変形例３の噴霧機構（30）には、前後方向に７つのノズル列（L1〜L7）が配列される。また、噴霧機構（30）では、第１〜第７までのノズル（n1〜n7）を有する１６つの噴霧ユニット（40）が左右に隣接して配置される。
【０１１６】
噴霧機構（30）では、縦方向に隣接するノズル列（L）のピッチＰ１が３１．６ｍｍに設定される。異なるノズル列（L）が横方向にずれる距離（ピッチＰ２）は、５ｍｍに設定される。各ノズル列（L）で横方向に隣接するノズル（57）のピッチＰ３は、３５ｍｍに設定される。前後に隣接するノズル（57）の横方向の短い方のピッチＰ４は１５ｍｍに設定され、長い方のピッチＰ５は２０ｍｍに設定される。前後に隣接するノズル（57）の斜め方向の短い方のピッチＰ６は３５ｍｍに設定され、短い方のピッチＰ７は３７．４ｍｍに設定される。
【０１１７】
変形例３では、隣接するノズル（57）の間に３０ｍｍ以上の間隔が確保される。このため、変形例３においても、隣接するノズル（57）から噴霧される原料液が互いに反発しない。これにより、変形例３においても、各ノズル（57）の噴霧領域（Ａ１）の外径、ないし付着領域（Ａ２）の塗布幅Ｄが１８ｍｍとなる。これに対し、各ノズル列（L）の横方向のずれる距離Ｐ２は、５ｍｍであり、１／２×Ｄよりも小さい。このため、上述した実施形態と同様、ガラス基板（20）の表面では、原料液が複数回に亘って重ね塗りされる。
【０１１８】
また、変形例３の噴霧機構（30）の各噴霧ユニット（40）では、左側から右側に向かって、第４ノズル（n4）、第２ノズル（n2）、第７ノズル（n7）、第５ノズル（n5）、第１ノズル（n1）、第６ノズル（n6）の順に配列される。つまり、変形例３においても、横方向にずれる距離Ｐ２が最も小さい２つのノズル列（L）の間に１つ以上の他のノズル列（L）が配置される。この結果、前後で隣接するノズル（57）間のピッチＰ６が長くなるため、各ノズル列（L）の縦方向のピッチＰ１を短くできる。
【産業上の利用可能性】
【０１１９】
以上説明したように、本発明は、静電噴霧によって対象物に被膜を形成する成膜装置について有用である。
【符号の説明】
【０１２０】
15   ベルトコンベア（移動機構）
20   ガラス基板（対象物）
30   噴霧機構
32   ユニット支持板（ユニット保持部） 
40   噴霧ユニット
57   ノズル
60   ポンプ（搬送機構）
62   液流路
64a  上流側分流部（分流部）
64b  中間分流部（分流部）
64c  下流側分流部（分流部）
65a  上流側分流管（分流管）
65b  中間分流管（分流管）
65c  下流側分流管（分流管）
70   電圧印加部
【図１】
2015058402.tif 000003
【図２】
2015058402.tif 000004
【図３】
2015058402.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2015058402.tif 000009
【図８】
2015058402.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2015058402.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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