(57)【要約】【課題】波長可変干渉フィルターの反射膜間ギャップの寸法を適切に設定可能な光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの制御方法を提供する。【解決手段】光学モジュール１０は、互いに対向する一対の反射膜５４,５５、及び反射膜間のギャップＧ１の寸法を変更する静電アクチュエーター５６（ギャップ変更部）を備える波長可変干渉フィルター５と、静電アクチュエーター５６を制御して、波長可変干渉フィルター５から所定の波長帯域の光を出射させる前に、ギャップＧ１の寸法を、第一寸法から、第一寸法よりも小さく、かつ、所定の波長帯域に対応する寸法よりも小さい第二寸法に変更させる電圧制御部１５（駆動制御部）と、を具備している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップの寸法を変更するギャップ変更部を備える波長可変干渉フィルターと、
前記ギャップ変更部を制御して、前記波長可変干渉フィルターから所定の波長帯域の光を出射させる前に、前記ギャップの寸法を、第一寸法から、前記第一寸法よりも小さく、かつ、前記所定の波長帯域に対応する寸法よりも小さい第二寸法に変更させる駆動制御部と、を具備した
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の光学モジュールにおいて、
前記駆動制御部は、前記ギャップの寸法を前記第二寸法へ複数回変更させる
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項３】
請求項２に記載の光学モジュールにおいて、
前記駆動制御部は、前記ギャップの寸法の変動量を検出する検出部、及び前記検出部により検出された前記変動量の検出値に応じて、前記ギャップ変更部の駆動をフィードバック制御するフィードバック制御部を備え、
前記フィードバック制御部により前記ギャップ変更部の駆動を発振駆動させて、前記ギャップの寸法を前記第二寸法へ複数回変更させる
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項４】
請求項３に記載の光学モジュールにおいて、
前記駆動制御部は、前記フィードバック制御部とは独立して前記ギャップ変更部を駆動するフィルター駆動部を備え、
前記フィルター駆動部により前記ギャップの寸法を前記第二寸法に変更させた後、前記フィードバック制御部により前記ギャップ変更部の駆動を発振駆動させる
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の光学モジュールにおいて、
前記駆動制御部は、前記一対の反射膜を接触させる
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の光学モジュールにおいて、
前記波長可変干渉フィルターは、前記一対の反射膜の一方が設けられた第一基板と、前記一対の反射膜の他方が設けられ、前記第一基板に対向した第二基板とを備え、
前記第一基板及び前記第二基板の少なくとも一方の基板は、他方の基板に向かって延出し、前記ギャップの寸法が前記第二寸法となった際に、前記他方の基板に当接するピラー部を備えた
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項７】
互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップの寸法を変更するギャップ変更部を備える波長可変干渉フィルターと、
前記ギャップ変更部を制御して、前記波長可変干渉フィルターから所定の波長帯域の光を出射させる前に、前記ギャップの寸法を、第一寸法から、前記第一寸法よりも小さく、かつ、前記所定の波長帯域に対応する寸法よりも小さい第二寸法に変更させる駆動制御部と、
前記波長可変干渉フィルターの駆動に応じた処理を実施する処理部と、を具備した
ことを特徴とする電子機器。
【請求項８】
互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップの寸法を変更するギャップ変更部を備える波長可変干渉フィルターの制御方法であって、
前記波長可変干渉フィルターから所定の波長帯域の光を出射させる前に、前記ギャップの寸法を、第一寸法から、前記第一寸法よりも小さく、かつ、前記所定の波長帯域に対応した寸法よりも小さい第二寸法に変更する
ことを特徴とする波長可変干渉フィルターの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、互いに対向する一対の基板と、各基板にそれぞれ配置されて互いに対向する反射膜と、各基板にそれぞれ配置されて互いに対向する電極と、を備えた波長可変干渉フィルターが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の波長可変干渉フィルターでは、各基板に、それぞれ、互いに対向する静電容量モニタ用電極と、互いに対向する静電力印加用電極（静電アクチュエーター）とを配置している。このような波長可変干渉フィルターでは、制御回路により静電アクチュエーターに電圧を印加させることで、反射膜間のギャップ量（間隔寸法）が変化する。また、静電容量モニタ用電極の電位を静電容量検出回路で検出し、検出された静電容量に基づいて、制御回路から静電アクチュエーターに印加する電圧を微調整（フィードバック制御）することで、反射膜間ギャップの寸法を所望の目的値に設定することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１−９４３１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記特許文献１に記載のような波長可変干渉フィルターと、当該波長可変干渉フィルターの反射膜間ギャップの寸法を制御する駆動制御部とを備えた光学モジュールでは、製造時において反射膜間に残存したり、事後的に反射膜間に入り込んだりした異物が存在する場合がある。
そして、反射膜の移動方向における異物の寸法が反射膜間ギャップの寸法の目的値よりも大きい場合、反射膜が当該異物に接触してしまう。このため、反射膜間ギャップの寸法変更が阻害され、当該寸法を適切に設定できないおそれがある。
【０００６】
本発明は、波長可変干渉フィルターの反射膜間ギャップの寸法を適切に設定可能な光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の光学モジュールは、互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップの寸法を変更するギャップ変更部を備える波長可変干渉フィルターと、前記ギャップ変更部を制御して、前記波長可変干渉フィルターから所定の波長帯域の光を出射させる前に、前記ギャップの寸法を、第一寸法から、前記第一寸法よりも小さく、かつ、前記所定の波長帯域に対応する寸法よりも小さい第二寸法に変更させる駆動制御部と、を具備したことを特徴とする。
【０００８】
本発明では、駆動制御部は、波長可変干渉フィルターから所定の波長帯域の光を出射させる（以降、本駆動と称する）前に、ギャップ寸法を第一寸法から第二寸法に変更する初期駆動を実施する。ここで、第一寸法とは、第二寸法よりも大きい寸法であり、例えば反射膜間の初期ギャップ寸法等であってもよい。
このような構成では、本駆動の前に初期駆動を実施することにより、反射膜間に存在し、本駆動におけるギャップ変更部の駆動を阻害する駆動阻害物を除去することができる。
つまり、反射膜間のギャップ寸法の変動方向（すなわち一対の反射膜の互いに対向する面に対する法線方向）における駆動阻害物の寸法が、本駆動における所定の波長帯域に対応した反射膜間のギャップ寸法範囲（以下、本駆動ギャップ範囲とも称する）に達する場合、本駆動において駆動阻害物が反射膜に接触してしまう。この場合、ギャップ寸法を所望値に適切に設定することができないおそれがある。
これに対して、本発明では、初期駆動において、反射膜間のギャップを本駆動ギャップ範囲よりも小さい第二寸法とする。これにより、反射膜で駆動阻害物を押圧して、駆動阻害物を本駆動ギャップ範囲の最小値よりも小さい寸法まで変形させたり、反射膜間から除去することができる。したがって、本駆動時において反射膜に当該駆動阻害物が接触することを抑制でき、反射膜間ギャップの寸法を適切に制御することができる。
【０００９】
本発明の光学モジュールにおいて、前記駆動制御部は、前記ギャップの寸法を前記第二寸法へ複数回変更させることが好ましい。
本発明では、初期駆動時において、第二寸法への変更を複数回行うことにより、駆動阻害物を押圧する回数を増大させることができる。これにより、より確実に、駆動阻害物を本駆動ギャップ範囲の最小値よりも小さい寸法まで変形させたり、反射膜間から除去することができる。したがって、反射膜に当該駆動阻害物が接触することをより確実に抑制できる。
【００１０】
本発明の光学モジュールにおいて、前記駆動制御部は、前記ギャップの寸法の変動量を検出する検出部、及び前記検出部により検出された前記変動量の検出値に応じて、前記ギャップ変更部の駆動をフィードバック制御するフィードバック制御部を備え、前記フィードバック制御部により前記ギャップ変更部の駆動を発振駆動させて、前記ギャップの寸法を前記第二寸法へ複数回変更させることが好ましい。
本発明では、ギャップ変更部の駆動を発振駆動させることにより、ギャップ寸法を第二寸法に複数回変更させる。このような構成では、発振駆動させた際のギャップ変動範囲内に第二寸法が含まれるように、フィードバック制御部における駆動パラメーターを設定することで、上記発振駆動を容易に実現できる。また、発振駆動させることにより、駆動電圧の印加及び停止を繰り返す制御を実施する場合と比べて、ギャップ寸法の第二寸法への変更を高速かつ容易に実施することができる。したがって、初期駆動を短時間でかつ容易に実施することができる。
【００１１】
本発明の光学モジュールにおいて、前記駆動制御部は、前記フィードバック制御部とは独立して前記ギャップ変更部を駆動するフィルター駆動部を備え、前記フィルター駆動部により前記ギャップの寸法を前記第二寸法に変更させた後、前記フィードバック制御部により前記ギャップ変更部の駆動を発振駆動させることが好ましい。
ここで、駆動阻害物のサイズによっては、フィードバック制御部によりギャップ変更部を発振駆動させる際に、駆動阻害物が反射膜に当接してしまい、適切な発振駆動が実施できない場合がある。このような場合、適切に駆動阻害物を除去することができない。
これに対して、本発明では、フィルター駆動部でギャップの寸法を第二寸法に変更する第一初期駆動を実施した後、ギャップ変更部を発振駆動させる第二初期駆動を実施する。これにより、第一初期駆動で、駆動阻害物を反射膜により押圧することで、第二初期駆動によるギャップ変更部の発振駆動が可能な程度に、駆動阻害物を変形又は除去することができる。したがって、第二初期駆動において、ギャップ変更部の発振駆動が駆動阻害物により阻害されることがなく、より確実に駆動阻害物の除去を実施できる。
【００１２】
本発明の光学モジュールにおいて、前記駆動制御部は、前記一対の反射膜を接触させることが好ましい。
本発明では、一対の反射膜を接触させる、すなわち第二寸法を０とするようにギャップ変更部を駆動する。このような構成では、初期駆動時に反射膜が接触しないように反射膜間ギャップの寸法を変更する場合と比べて、反射膜の移動方向における駆動阻害物の変形量を増大させることができる。したがって、本駆動時において、反射膜に当該駆動阻害物が接触することをより確実に抑制できる。
【００１３】
本発明の光学モジュールにおいて、前記波長可変干渉フィルターは、前記一対の反射膜の一方が設けられた第一基板と、前記一対の反射膜の他方が設けられ、前記第一基板に対向した第二基板とを備え、前記第一基板及び前記第二基板の少なくとも一方の基板は、他方の基板に向かって延出し、前記ギャップの寸法が前記第二寸法となった際に、前記他方の基板に当接するピラー部を備えたことが好ましい。
本発明では、反射膜間のギャップ寸法が第二寸法となった際にピラー部が他方の基板に当接する。このような構成では、ギャップ変更部の駆動量を所定値以上（例えば最大駆動量）に設定することで、容易に反射膜間のギャップ寸法を第二寸法に設定できる。
また、第二寸法を０よりも大きい値とすることで、反射膜同士の接触を防止でき、反射膜同士の接触による反射膜の剥がれや、当該剥がれが駆動阻害物となる不都合を回避できる。
【００１４】
本発明の電子機器は、互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップの寸法を変更するギャップ変更部を備える波長可変干渉フィルターと、前記ギャップ変更部を制御して、前記波長可変干渉フィルターから所定の波長帯域の光を出射させる前に、前記ギャップの寸法を、第一寸法から、前記第一寸法よりも小さく、かつ、前記所定の波長帯域に対応する寸法よりも小さい第二寸法に変更させる駆動制御部と、前記波長可変干渉フィルターの駆動に応じた処理を実施する処理部と、を具備したことを特徴とする。
本発明では、上記光学モジュールの発明と同様に、本駆動前に初期駆動を実施することにより、本駆動時において反射膜に当該駆動阻害物が接触することを抑制でき、反射膜間ギャップの寸法を適切に制御することができる。したがって、本発明の電子機器では、波長可変干渉フィルターの出射光に基づいて、例えば分光測定処理等の各種処理の精度を所望の精度に維持できる。
【００１５】
本発明の波長可変干渉フィルターの制御方法は、互いに対向する一対の反射膜、及び前記一対の反射膜間のギャップの寸法を変更するギャップ変更部を備える波長可変干渉フィルターの制御方法であって、前記波長可変干渉フィルターから所定の波長帯域の光を出射させる前に、前記ギャップの寸法を、第一寸法から、前記第一寸法よりも小さく、かつ、前記所定の波長帯域に対応した寸法よりも小さい第二寸法に変更することを特徴とする。
本発明では、上記光学モジュールの発明と同様に、本駆動前に初期駆動を実施することにより、本駆動時において反射膜に当該駆動阻害物が接触することを抑制でき、反射膜間ギャップの寸法を適切に制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る第一実施形態の分光測定装置の概略構成を示すブロック図。
【図２】第一実施形態の光学モジュールの概略構成を示す図。
【図３】第一実施形態の波長可変干渉フィルターの平面図。
【図４】第一実施形態の電圧制御部におけるクローズドループシステムの概念図。
【図５】第一実施形態の波長可変干渉フィルターの駆動方法（アクチュエーター制御方法）を示すフローチャート。
【図６】第一実施形態の波長可変干渉フィルターを駆動状態を説明するための図。
【図７】第一実施形態の波長可変干渉フィルターを駆動状態を説明するための図。
【図８】第二実施形態の波長可変干渉フィルターを駆動状態を説明するための図。
【図９】本発明の電子機器の一例である測色装置を示す概略図。
【図１０】本発明の電子機器の一例であるガス検出装置を示す概略図。
【図１１】図１０のガス検出装置の制御系の構成を示すブロック図。
【図１２】本発明の電子機器の一例である食物分析装置の概略構成を示す図。
【図１３】本発明の電子機器の一例である分光カメラの概略構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
［第一実施形態］
以下、本発明に係る第一実施形態の分光測定装置について、図面に基づいて説明する。
［分光測定装置の構成］
図１は、本発明に係る一実施形態の分光測定装置の概略構成を示すブロック図である。
分光測定装置１は、本発明の電子機器であり、測定対象Ｘで反射された測定対象光における所定波長の光強度を分析し、分光スペクトルを測定する装置である。なお、本実施形態では、測定対象Ｘで反射した測定対象光を測定する例を示すが、測定対象Ｘとして、例えば液晶ディスプレイ等の発光体を用いる場合、当該発光体から発光された光を測定対象光としてもよい。
この分光測定装置１は、図１に示すように、光学モジュール１０と、ディテクター１１（検出部）と、Ｉ−Ｖ変換器１２と、アンプ１３と、Ａ／Ｄ変換器１４と、制御部２０と、を備えている。また、光学モジュール１０は、波長可変干渉フィルター５と、本発明の駆動制御部に相当する電圧制御部１５とを備えて構成されている。
【００１８】
ディテクター１１は、光学モジュール１０の波長可変干渉フィルター５を透過した光を受光し、受光した光の光強度に応じた検出信号（電流）を出力する。
Ｉ−Ｖ変換器１２は、ディテクター１１から入力された検出信号を電圧値に変換し、アンプ１３に出力する。
アンプ１３は、Ｉ−Ｖ変換器１２から入力された検出信号に応じた電圧（検出電圧）を増幅する。
Ａ／Ｄ変換器１４は、アンプ１３から入力された検出電圧（アナログ信号）をデジタル信号に変換し、制御部２０に出力する。
電圧制御部１５は、制御部２０の制御に基づいて、波長可変干渉フィルター５を駆動させ、波長可変干渉フィルター５から所定の目的波長の光を透過させる。
【００１９】
［光学モジュールの構成］
次に、光学モジュール１０の構成について、以下に説明する。
図２は、光学モジュール１０の概略構成を示すブロック図である。
光学モジュール１０は、上記のように、波長可変干渉フィルター５と、電圧制御部１５とを備えて構成される。
【００２０】
［波長可変干渉フィルターの構成］
光学モジュール１０の波長可変干渉フィルター５について、以下説明する。図３は、波長可変干渉フィルター５の概略構成を示す平面図である。
波長可変干渉フィルター５は、図２及び図３に示すように、例えば矩形板状の光学部材であり、固定基板５１（第一部材）及び可動基板５２（第二部材）を備えている。これらの固定基板５１及び可動基板５２は、例えば各種ガラスや水晶等の絶縁性素材により形成され、例えばシロキサンを主成分とするプラズマ重合膜などにより構成された接合膜５３（図２参照）により接合されることで、一体的に構成されている。
【００２１】
固定基板５１には、本発明の一対の反射膜の一方を構成する固定反射膜５４が設けられ、可動基板５２には、本発明の一対の反射膜の他方を構成する可動反射膜５５が設けられている。これらの固定反射膜５４及び可動反射膜５５は、ギャップＧ１（図２参照）を介して対向配置されている。
また、固定基板５１には、固定電極５６１が設けられ、可動基板５２には、可動電極５６２が設けられている。これらの固定電極５６１及び可動電極５６２は、所定のギャップを介して対向配置されている。これらの固定電極５６１及び可動電極５６２は、本発明のギャップ変更部である静電アクチュエーター５６を構成する。
なお、以降の説明に当たり、固定基板５１又は可動基板５２の基板厚み方向から見た平面視、つまり、固定基板５１、接合膜５３、及び可動基板５２の積層方向から波長可変干渉フィルター５を見た平面視をフィルター平面視と称する。また、本実施形態では、フィルター平面視において、固定反射膜５４の中心点及び可動反射膜５５の中心点は、一致し、平面視におけるこれらの反射膜の中心点をフィルター中心点Ｏと称し、これらの反射膜の中心点を通る直線を中心軸と称する。
【００２２】
（固定基板の構成）
固定基板５１は、図２に示すように、例えばエッチング等により形成された電極配置溝５１１及び反射膜設置部５１２を備える。また、固定基板５１の一端側（図３における辺Ｃ１−Ｃ２）は、可動基板５２の基板端縁（図３における辺Ｃ５−Ｃ６）よりも外側に突出しており、第一端子取出部５１４を構成している。
【００２３】
電極配置溝５１１は、フィルター平面視で、固定基板５１のフィルター中心点Ｏを中心とした環状に形成されている。反射膜設置部５１２は、フィルター平面視において、電極配置溝５１１の中心部から可動基板５２側に突出して形成されている。この電極配置溝５１１の溝底面には、静電アクチュエーター５６の固定電極５６１が設けられている。また、反射膜設置部５１２の突出先端面は、固定反射膜５４が設けられている。
また、固定基板５１には、電極配置溝５１１から、固定基板５１の外周縁に向かって延出する電極引出溝（図示略）が設けられている。
【００２４】
固定電極５６１は、例えば円弧状（略Ｃ字状）に形成されており、図３に示すように、辺Ｃ１−Ｃ２に近接する一部にＣ字開口部が設けられる。また、固定電極５６１上に、可動電極５６２との間の絶縁性を確保するための絶縁膜が積層される構成としてもよい。
そして、固定電極５６１は、電極引出溝に沿って第一端子取出部５１４まで延出する固定引出電極５６３を備えている。この固定引出電極５６３の延出先端部は、例えばリード線やＦＰＣ（Flexible printed circuits）等により電圧制御部１５に接続されている。
【００２５】
反射膜設置部５１２の突出先端面に設けられる固定反射膜５４は、例えばＡｇ等の金属膜や、Ａｇ合金等、導電性を有する反射膜素材により構成される。なお、固定反射膜５４として、例えば高屈折層をＴｉＯ２、低屈折層をＳｉＯ２とした誘電体多層膜を用いてもよい。固定反射膜５４として誘電体多層膜を用いる場合では、当該誘電体多層膜の最下層又は最上層（表層）に導電性膜を積層することで導電性を持たせる。この導電性膜として広波長域に対して高反射率特性を有する、例えばＡｇ合金等の反射膜を用いてもよい。この場合、導電性膜により、波長可変干渉フィルター５の測定対象波長域を広げることができ、広い波長帯域に対して所望の目的波長を取り出すことが可能となり、かつ、誘電体多層膜により、高分解能で目的波長の光を取り出すことが可能となる。また、導電性膜と反射膜設置部５１２との間や、導電性膜と誘電体多層膜との間に、密着性を向上させるために透明接着層を更に介在させてもよい。
【００２６】
そして、固定基板５１には、図３に示すように、固定反射膜５４の外周縁に接続され、固定電極５６１のＣ字開口部を通り、第一端子取出部５１４に向かって延出する第一ミラー電極５４１が設けられている。この第一ミラー電極５４１は、固定反射膜５４の形成時に、同時に成膜されることで形成されている。
そして、第一ミラー電極５４１は、第一端子取出部５１４上で電圧制御部１５に接続される。
【００２７】
固定基板５１のうち、電極配置溝５１１、反射膜設置部５１２、及び電極引出溝が形成されない領域は、接合膜５３により、可動基板５２に接合される。
【００２８】
（可動基板の構成）
可動基板５２は、図３に示すようなフィルター平面視において、フィルター中心点Ｏを中心とした円形状の可動部５２１と、可動部５２１と同軸であり可動部５２１を保持する保持部５２２と、保持部５２２の外側に設けられた基板外周部５２５と、を備えている。
また、可動基板５２には、図３に示すように、一端側（図３における辺Ｃ７−Ｃ８）は、固定基板５１の基板端縁（図３における辺Ｃ３−Ｃ４）よりも外側に突出しており、第二端子取出部５２４を構成している。
【００２９】
可動部５２１は、保持部５２２よりも厚み寸法が大きく形成され、例えば、本実施形態では、可動基板５２の厚み寸法と同一寸法に形成されている。この可動部５２１は、フィルター平面視において、少なくとも反射膜設置部５１２の外周縁の径寸法よりも大きい径寸法に形成されている。そして、この可動部５２１の固定基板５１に対向する可動面には、可動反射膜５５、及び可動電極５６２が設けられている。
【００３０】
可動電極５６２は、フィルター平面視において、可動反射膜５５の外周側に設けられ、固定電極５６１に対してギャップを介して対向配置されている。この可動電極５６２は、円弧状（略Ｃ字状）に形成されており、図３に示すように、辺Ｃ７−Ｃ８に近接する一部にＣ字開口部が設けられている。また、固定電極５６１と同様に、可動電極５６２上に絶縁膜が積層される構成としてもよい。
ここで、図３に示すように、フィルター平面視において、可動電極５６２と固定電極５６１とが重なる円弧領域（図３において右上がり斜線部で示される領域）により、静電アクチュエーター５６が構成されている。この静電アクチュエーター５６は、図３に示すように、フィルター平面視において、フィルター中心点Ｏに対して互いに点対称となる形状及び配置となる。したがって、静電アクチュエーター５６に電圧を印加した際に発生する静電引力も、フィルター中心点Ｏに対して点対称となる位置に作用し、バランスよく可動部５２１を固定基板５１側に変位させることが可能となる。
【００３１】
また、図３に示すように、可動電極５６２は、第二端子取出部５２４に向かって延出する可動引出電極５６４が設けられている。この可動引出電極５６４は、固定基板５１に設けられた電極引出溝に対向する位置に沿って配置される。また、可動引出電極５６４の延出先端部は、例えばＦＰＣやリード線等により電圧制御部１５に接続されている。
【００３２】
可動反射膜５５は、可動部５２１の可動面の中心部に、固定反射膜５４とギャップＧ１を介して対向して設けられる。この可動反射膜５５としては、上述した固定反射膜５４と同一の構成の反射膜が用いられる。なお、本実施形態では、反射膜５４，５５間のギャップＧ１は、電極５６１，５６２間のギャップよりも小さくなる。
また、可動基板５２には、図３に示すように、可動反射膜５５の外周縁に接続され、可動電極５６２のＣ字開口部を通り、第二端子取出部５２４に向かって延出する第二ミラー電極５５１が設けられている。
また、可動反射膜５５として、誘電体多層膜及び導電性膜の積層体により構成される場合では、第二ミラー電極５５１は、導電性膜と同時に形成され、この導電性膜に接続される。
そして、この第二ミラー電極５５１は、第二端子取出部５２４上において例えばＦＰＣやリード線等により電圧制御部１５に接続されている。
【００３３】
なお、本実施形態では、図３に示すように、電極５６１，５６２間のギャップＧ２がギャップＧ１よりも大きい例を示すが、これに限定されない。例えば、測定対象光として赤外光を対象とする場合等、測定対象波長域によっては、ギャップＧ１が、電極５６１，５６２間のギャップＧ２よりも大きくなる構成としてもよい。
【００３４】
保持部５２２は、可動部５２１の周囲を囲うダイヤフラムであり、可動部５２１よりも厚み寸法が小さく形成されている。このような保持部５２２は、可動部５２１よりも撓みやすく、僅かな静電引力により、可動部５２１を固定基板５１側に変位させることが可能となる。この際、可動部５２１が保持部５２２よりも厚み寸法が大きく、剛性が大きくなるため、保持部５２２が静電引力により固定基板５１側に引っ張られた場合でも、可動部５２１の形状変化が抑制される。したがって、可動部５２１に設けられた可動反射膜５５の撓みも発生しにくく、固定反射膜５４及び可動反射膜５５を常に平行状態に維持することが可能となる。
なお、本実施形態では、ダイヤフラム状の保持部５２２を例示するが、これに限定されず、例えば、フィルター中心点Ｏを中心として、等角度間隔で配置された梁状の保持部が設けられる構成などとしてもよい。
【００３５】
基板外周部５２５は、上述したように、フィルター平面視において保持部５２２の外側に設けられる。基板外周部５２５の固定基板５１に対向する面は、接合膜５３を介して固定基板５１に接合される。
【００３６】
［電圧制御部の構成］
電圧制御部１５は、図２に示すように、ギャップ検出器１５１（本発明における検出部）と、フィードバック制御部１５２と、フィルター駆動部１５３と、マイコン（マイクロコントローラー）１６とを備えて構成されている。電圧制御部１５は、制御部２０からの制御信号に応じて静電アクチュエーター５６に駆動電圧を印加し、反射膜間のギャップＧ１の寸法を所望の値に設定する。
以下、電圧制御部１５の構成について、詳細に説明する。
【００３７】
図４は、電圧制御部１５を用いたフィードバックループの概念図である。
電圧制御部１５は、図４に示すように、波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６、ギャップ検出器１５１、及びフィードバック制御部１５２により、クローズドループシステム１５Ｌ（フィードバックループ）を構成する。そして、本実施形態では、マイコン１６は、静電アクチュエーター５６の駆動特性に基づいて、このクローズドループシステム１５Ｌのゲインを設定することで、フィードバック制御時の制御状態を好適に維持する。
【００３８】
ギャップ検出器１５１は、波長可変干渉フィルター５の第一ミラー電極５４１及び第二ミラー電極５５１に接続されている。このギャップ検出器１５１は、静電アクチュエーター５６の駆動により変動する、反射膜５４，５５間のギャップＧ１の寸法を検出し、検出信号を出力する。このギャップＧ１のギャップ寸法を検出することで、静電アクチュエーター５６の駆動量も容易に算出できる。
このギャップ検出器１５１は、例えば、図示略のＣ−Ｖ変換回路を有し、反射膜５４，５５間の静電容量を電圧値（検出信号）に変換する。このようなＣ−Ｖ変換回路としては、例えば、スイッチト・キャパシタ回路等が挙げられる。そして、ギャップ検出器１５１は、検出信号をフィードバック制御部１５２及びマイコン１６に出力する。
なお、ギャップ検出器１５１は、検出信号としては、アナログ信号を出力してもよく、デジタル信号を出力してもよい。デジタル信号を出力する場合、Ｃ−Ｖ変換回路からの検出信号（アナログ信号）をＡＤＣ（Analog to Digital Converter）に入力し、デジタル値に変換する。
【００３９】
フィードバック制御部１５２は、波長可変干渉フィルター５の固定引出電極５６３及び可動引出電極５６４に接続されている。そして、フィードバック制御部１５２は、マイコンから入力されたギャップＧ１を所定の目標値に設定する旨の目標信号に基づき、静電アクチュエーター５６に対して駆動電圧を印加する。この際、フィードバック制御部１５２は、ギャップ検出器１５１からの検出信号と、マイコン１６から入力された目標信号との偏差が所定閾値以下となるように、静電アクチュエーター５６に対する駆動電圧を増減して制御する。すなわち、フィードバック制御部１５２は、検出信号及び目標信号に基づいて、フィードバック制御を実施する。
【００４０】
また、フィードバック制御部１５２は、マイコン１６の制御によりゲインを変更することが可能となる。フィードバック制御部１５２のゲインを変更することで、クローズドループシステム全体のゲインが調整される。
具体的には、フィードバック制御部１５２として、アナログ方式の制御器が用いられる場合、制御器に複数のゲインのうちのいずれかを設定可能なゲイン設定回路を設ける。そして、マイコン１６からの目標信号により、ゲイン設定回路のゲインを所定のゲインに設定する。
また、フィードバック制御部１５２として、デジタル方式の制御器が用いられる場合、マイコン１６の目標信号に基づき、制御ゲインのパラメーター（レジスタ値）を書き換えることで、所定のゲインに設定することが可能となる。
【００４１】
図２に戻り、フィルター駆動部１５３は、波長可変干渉フィルター５の固定引出電極５６３及び可動引出電極５６４に接続されている。このフィルター駆動部１５３は、上述のクローズドループシステム１５Ｌとは独立して駆動し、マイコン１６から入力された制御信号に基づいて、静電アクチュエーター５６に対して駆動電圧を印加する。
【００４２】
マイコン１６は、メモリー１６１を備え、例えばギャップ検出器１５１で検出される検出信号（電圧信号）とギャップＧ１の寸法との関係（ギャップ相関データ）が記憶されている。なお、ギャップ相関データとして、検出信号に対するギャップＧ２の寸法が記録されていてもよい。また、メモリー１６１には、静電アクチュエーター５６に印加する駆動電圧に対する、ギャップＧ２（アクチュエーターギャップ）の寸法を示す静電アクチュエーター５６の駆動特性データが記録されている。
【００４３】
また、マイコン１６は、図２に示すように、本駆動手段１６２及び初期駆動手段１６３として機能する。
本駆動手段１６２は、所定の波長帯域を測定対象とする駆動（以下、本駆動とも称する）を実施する。具体的には、本駆動手段１６２は、制御部２０から目的波長に関する波長設定指令が制御信号として入力されると、目的波長に対応するギャップＧ１の寸法（目標値）を算出し、フィードバック制御部１５２に目標信号を出力する。そして、ギャップＧ１の寸法（目標値）と、ギャップ検出器１５１の検出値とに基づいて、例えば、フィードバック制御部１５２において、静電アクチュエーター５６の駆動が振動発散せず、かつ、フィードバック制御の感度が一定となるように、当該フィードバック制御部１５２のゲインを変更する。
【００４４】
初期駆動手段１６３は、本駆動手段１６２による本駆動の前に、ギャップＧ１の寸法を、例えば初期寸法（本発明の第一寸法に相当）から、当該本駆動における目的波長の範囲（以下、目的波長帯域とも称する）に対応するギャップＧ１の寸法の範囲（以下、本駆動ギャップ範囲とも称する）の最小値よりも小さい第二寸法に変更させる（以下、初期駆動とも称する）。具体的には、初期駆動手段１６３は、制御部２０からの制御信号に基づいて、フィルター駆動部１５３による静電アクチュエーター５６の駆動電圧を、ギャップＧ１の寸法が第二寸法となるように調整する。また、初期駆動手段１６３は、クローズドループシステム１５Ｌの制御下において、ギャップＧ１の寸法が例えば第二寸法を中心として発振するように、フィードバック制御部１５２のゲインを設定する（ゲインを大きくする）。このような初期駆動手段１６３による初期駆動については後に詳述する。
【００４５】
［制御部の構成］
図１に戻り、分光測定装置１の制御部２０について、説明する。
制御部２０は、本発明の処理部に相当し、例えばＣＰＵやメモリー等が組み合わされることで構成され、分光測定装置１の全体動作を制御する。この制御部２０は、図１に示すように、フィルター制御部２１と、光量取得部２２と、分光測定部２３と、記憶部３０を備えている。
記憶部３０には、分光測定装置１を制御するための各種プログラムや、各種データ（例えば目的波長に対する駆動電圧を示したＶ−λデータ等）が記録されている。
【００４６】
フィルター制御部２１は、本駆動を実施する場合に、波長可変干渉フィルター５により取り出す光の目的波長を設定し、設定した目的波長に対応するギャップＧ１の寸法に設定させるための制御信号をマイコン１６に出力する。
また、フィルター制御部２１は、本駆動に先立ち、ギャップＧ１の寸法を第二寸法に変更する初期駆動を実施する場合に、当該初期駆動を実施する旨の制御信号を電圧制御部１５に出力する。なお、フィルター制御部２１は、今回の初期駆動に続いて実施される本駆動の目的波長帯域を取得し、当該目的波長帯域（又は目的波長帯域に応じた第二寸法の設定値）を含む制御信号を出力する。
【００４７】
光量取得部２２は、ディテクター１１により取得された光量に基づいて、波長可変干渉フィルター５を透過した目的波長の光の光量を取得する。
分光測定部２３は、光量取得部２２により取得された光量に基づいて、測定対象光のスペクトル特性を測定する。
【００４８】
［波長可変干渉フィルターの駆動方法］
分光測定装置１は、分光測定処理（本駆動）を実施する前に、本駆動ギャップ範囲の最小値よりも小さい第二寸法に設定する初期駆動を実施する。本実施形態では、分光測定装置１は、初期駆動としてクローズドループシステム１５Ｌを用いず、静電アクチュエーター５６に駆動電圧を印加する第一初期駆動と、クローズドループシステム１５Ｌを用いて波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６を発振駆動させる第二初期駆動とを実施する。
以下、分光測定装置１による分光測定処理の詳細を説明する。
【００４９】
図５は、分光測定装置１の分光測定処理における波長可変干渉フィルター５の駆動方法を示すフローチャートである。
分光測定装置１のフィルター制御部２１は、本駆動の前に初期駆動を実施するか否かを判定し、初期駆動を実施すると判定した場合に、図５に示すように、当該初期駆動に続いて実施される本駆動の目的波長帯域を取得する（ステップＳ１）。
なお、フィルター制御部２１による初期駆動実施の要否判定は、例えば、初回起動時や所定期間経過毎といった予め設定されたタイミングや、目的波長帯域が変更された場合や、ユーザーによる初期駆動実施の指示を検出した場合等、予め設定された判定条件に基づいて行われる。
また、目的波長帯域は、本駆動実施の指示に併せて設定される。この目的波長帯域の設定は、例えば、波長範囲（最小値及び最大値）の入力や、予め設定された範囲（可視光域や赤外域等）からの選択によって行われる。
【００５０】
次に、マイコン１６の初期駆動手段１６３は、フィルター制御部２１からの制御信号に基づいて、ギャップＧ１の寸法を初期寸法から第二寸法に変更するために、フィルター駆動部１５３に、第二寸法に対応する電圧を静電アクチュエーター５６に印加させる第一初期駆動を実施する（ステップＳ２）。
初期駆動手段１６３は、フィルター制御部２１からの制御信号に基づいて、第二寸法に対応する駆動電圧を静電アクチュエーター５６に所定時間印加させる指令信号をフィルター駆動部１５３に出力する。フィルター駆動部１５３は、初期駆動手段１６３からの指令信号に基づいて、駆動電圧を静電アクチュエーター５６に印加して、ギャップＧ１の寸法を初期寸法から第二寸法に変更する。このフィルター駆動部１５３は、ギャップＧ１の寸法を第二寸法に所定時間維持した後、電圧の印加を停止する。
【００５１】
図６は、初期駆動時における波長可変干渉フィルター５を模式的に示す図である。
図６（Ａ）は、ギャップＧ１の寸法が変更される前の波長可変干渉フィルター５示し、図６（Ｂ）は、ギャップＧ１の寸法が第二寸法に設定された波長可変干渉フィルター５を示す図である。なお、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）には、本駆動ギャップ範囲の最小値をＧａとして、図６（Ｂ）には、第二寸法をＧｂとして図示している。
ここで、図６（Ａ）では、固定反射膜５４上には物体Ａが存在する状態を示している。この物体Ａは、例えば、製造時に反射膜間に残存した異物であり、固定反射膜５４から可動反射膜５５に向かう方向の寸法Ｇｃが、最小値Ｇａよりも大きい。このため、本駆動時にギャップＧ１を最小値Ｇａから寸法Ｇｃの間に設定した場合に、物体Ａと可動反射膜５５とが接触してしまう。このため、可動反射膜５５の移動が阻害され、ギャップＧ１の寸法を適切に設定できないおそれがある。F
特に、本実施形態の分光測定装置１は、各反射膜５４，５５を一対の対向電極として用い、ギャップ検出器１５１で反射膜間の静電容量値を検出し、検出された静電容量値に基づいてフィードバック制御を実施している。このため、物体Ａが導電性を有する場合では、各反射膜５４，５５間の静電容量値を検出することができずに、フィードバック制御を実施できないおそれがある。
【００５２】
上述のような課題に対して、本実施形態の分光測定装置１は、図６（Ｂ）に示すように、第一初期駆動を実施してギャップＧ１の寸法を第二寸法Ｇｂに変更する。これにより、物体Ａを変形させて、当該物体Ａの寸法を最小値Ｇａよりも小さい寸法（例えば第二寸法Ｇｂ）とすることができる。なお、物体Ａが変形される以外にも、各反射膜５４，５５の間で押圧された物体Ａが反射膜間から除去される場合もある。
本実施形態では、クローズドループシステム１５Ｌから独立したフィルター駆動部１５３によって、静電アクチュエーター５６に第二寸法に対応する駆動電圧が印加され、第一初期駆動が実施される。したがって、物体Ａが導電性を有する場合でも、ギャップＧ１の寸法を第二寸法Ｇｂに設定することができる。
【００５３】
図７は、初期駆動時の波長可変干渉フィルター５の他の例を示す図である。
図６（Ｂ）では、第二寸法Ｇｂを０より大きい値に設定し、各反射膜５４，５５が離間していたが、図７に示すように、各反射膜５４，５５が接触するように静電アクチュエーター５６を駆動させてもよい。この場合、第二寸法Ｇｂが０となるように、静電アクチュエーター５６に、波長可変干渉フィルター５におけるプルイン電圧以上の駆動電圧を印加する。
【００５４】
図５に戻り、ステップＳ２において、ギャップＧ１の寸法が第二寸法Ｇｂに変更される第一初期駆動が実施された後、初期駆動手段１６３は、第一初期駆動を終了させるか否かを判定する（ステップＳ３）。第一初期駆動を終了させるか否かの判定は、例えば、第一初期駆動を所定回数実施した場合に終了すると判定することで行う。
初期駆動手段１６３は、フィルター制御部２１からの制御信号に基づいて、第一初期駆動を終了させるか又は再度実施するかを判定し、再度実施すると判定した場合（ステップＳ３；ＮＯ）、ステップＳ２に戻り、第一初期駆動を実施する。
なお、第一初期駆動の実施回数や、第一初期駆動における第二寸法Ｇｂが維持される所定時間は、物体Ａを変形させたり、除去することができる範囲で適宜設定される。
【００５５】
一方、初期駆動手段１６３は、第一初期駆動を終了させると判定した場合（ステップＳ３；ＹＥＳ）、フィルター制御部２１からの制御信号に基づいて、ギャップＧ１の寸法を第二寸法Ｇｂの周囲で振動させる、すなわちクローズドループシステム１５Ｌを用いて、静電アクチュエーター５６を発振駆動させる第二初期駆動を実施する（ステップＳ４）
初期駆動手段１６３は、フィルター制御部２１からの制御信号に基づいて、静電アクチュエーター５６を発振駆動させるための指令信号を、フィードバック制御部１５２に出力する。フィードバック制御部１５２は、当該指令信号に基づいてクローズドループシステム１５Ｌにおけるゲインを設定し、静電アクチュエーター５６を発振駆動させる。例えば、ゲインを所定量大きくし、静電アクチュエーター５６のフィードバック制御時の感度を高くする。発振駆動された波長可変干渉フィルター５では、ギャップＧ１の寸法が、例えば第二寸法Ｇｂを中心とした所定範囲で変動する。すなわち、ギャップＧ１の寸法が、第二寸法Ｇｂよりも大きい寸法（すなわち本発明の第一寸法）から、第二寸法Ｇｂに変更される寸法変更が複数回実施されることとなる。
この第二初期駆動により、図６（Ｂ）に示すように第一初期駆動によって、一端、第二寸法Ｇｂ程度になるまで押圧された物体Ａを、更に複数回押圧することができ、これにより、例えば、物体Ａを第二寸法Ｇｂ以下の寸法となるまで変形させることができる。
【００５６】
次に、初期駆動手段１６３は、第二初期駆動を終了させるか否かを判定する（ステップＳ５）。初期駆動手段１６３は、例えば、第二初期駆動を開始してから所定時間が経過するまで第二初期駆動を終了させずに同判定を繰り返す（ステップＳ５；ＮＯ）。
一方、初期駆動手段１６３は、第二初期駆動を開始してから所定時間が経過したら、第二初期駆動の終了タイミングと判定し（ステップＳ５；ＹＥＳ）、フィードバック制御部１５２に駆動電圧の印加を停止させ、第二初期駆動を停止させる。そして、分光測定装置１は、本駆動手段１６２による本駆動を含む分光測定処理を実施する（ステップＳ６）。
【００５７】
ステップＳ６の分光測定処理では、まず、フィルター制御部２１が、ギャップＧ１を目的波長に対応する寸法に設定する旨の制御信号をマイコン１６に出力し、マイコン１６の本駆動手段１６２が、静電アクチュエーター５６のギャップＧ１の目標値を示す目標信号をフィードバック制御部１５２に出力する。また、本駆動手段１６２は、静電アクチュエーター５６が発振駆動せず、かつ、フィードバック制御時において、一定の感度となるように、フィードバック制御部１５２のゲインを設定し、当該ゲインを設定するための指令信号をフィードバック制御部１５２に出力する。これによりフィードバック制御部１５２のゲインが、フィードバック制御に適した最適値に設定される。
そして、フィードバック制御部１５２は、ギャップ検出器１５１による検出値（ギャップＧ１の寸法に対応）と目標信号との偏差が０に近づくように、静電アクチュエーター５６に印加する駆動電圧をフィードバック制御する。このような本駆動手段１６２による本駆動により、ギャップＧ１の寸法が目標値に設定される。ギャップＧ１の寸法が目標値に設定された後、波長可変干渉フィルター５から出射された目的波長の光をディテクター１１で受光し、制御部２０の光量取得部２２が、ディテクター１１から入力された光量検出信号に基づいて、目的波長の光の光量を取得する。この分光測定処理は、測定対象となる波長の全波長について実施される。
【００５８】
［第一実施形態の作用効果］
本実施形態では、分光測定装置１は、本駆動前に、ギャップＧ１の寸法を本駆動ギャップ範囲の最小値Ｇａよりも小さい第二寸法Ｇｂに変更させる初期駆動を実施する。
このような分光測定装置１では、本駆動の前に初期駆動を実施することにより、各反射膜５４，５５間に存在し、本駆動における静電アクチュエーター５６の駆動、すなわち可動反射膜５５の移動を阻害する駆動阻害物である物体Ａを除去することができる。
つまり、各反射膜５４，５５間のギャップ寸法の変動方向における物体Ａの寸法が、本駆動ギャップ範囲に達する場合、本駆動において物体Ａが可動反射膜５５に接触してしまう。この場合、ギャップＧ１の寸法を所望値に適切に設定することができないおそれがある。
これに対して、本実施形態では、初期駆動において、ギャップＧ１の寸法を本駆動ギャップ範囲よりも小さい第二寸法Ｇｂとする。これにより、反射膜５４，５５間で物体Ａを押圧して、当該物体Ａを本駆動ギャップ範囲の最小値Ｇａよりも小さい寸法まで変形させたり、反射膜５４，５５間から除去することができる。したがって、本駆動時において可動反射膜，５５に物体Ａが接触することを抑制でき、ギャップＧ１の寸法を適切に制御することができる。
したがって、本実施形態の分光測定装置１では、波長可変干渉フィルター５の出射光に基づいて、分光測定処理の精度を所望の精度に維持できる。
【００５９】
なお、上記実施形態では、物体Ａとして反射膜５４，５５間に存在する異物を例示したが、反射膜５４，５５の縁部に、当該反射膜５４，５５の一部が基板５１,５２から剥離した剥離部分が存在する場合でも、当該剥離部を押圧することにより、上述と同様の作用効果を得ることができる。
【００６０】
本実施形態では、初期駆動時において、第二寸法Ｇｂへの変更を複数回行うことにより、物体Ａを押圧する回数を増大させることができる。これにより、より確実に、物体Ａを本駆動ギャップ範囲の最小値Ｇａよりも小さい寸法まで変形させたり、反射膜５４，５５間から除去することができる。したがって、反射膜５４，５５に物体Ａが接触することをより確実に抑制できる。
【００６１】
本実施形態では、クローズドループシステム１５Ｌを用いて静電アクチュエーター５６を発振駆動させることにより、ギャップＧ１の寸法を第二寸法Ｇｂに複数回変更する。
このような構成では、発振駆動させた際のギャップＧ１の寸法の変動範囲内に第二寸法が含まれるように、フィードバック制御部１５２における駆動パラメーター（例えばゲイン）を設定することで、上記発振駆動を容易に実現できる。また、発振駆動させることにより、駆動電圧の印加と停止を繰り返す制御を実施する場合と比べて、ギャップＧ１の寸法を第二寸法Ｇｂに変更する寸法変更を、高速かつ容易に実施することができる。したがって、初期駆動を短時間でかつ容易に実施することができる。
【００６２】
ここで、駆動阻害物のサイズによっては、フィードバック駆動部によりギャップ変更部を発振駆動させる際に、駆動阻害物が反射膜に当接してしまい、適切な発振駆動が実施できない場合がある。このような場合、適切に駆動阻害物を除去することができない。
また、本実施形態では、一対の反射膜５４，５５を一対の対向電極として用い、反射膜５４，５５間の静電容量値の検出値に基づいてフィードバック制御を実施する構成を採用している。このため、物体Ａが導電性を有する場合では、各反射膜５４，５５間の静電容量値を検出することができずに、フィードバック制御を実施できないおそれがある。
これに対して、本実施形態では、フィルター駆動部１５３でギャップＧ１の寸法を第二寸法Ｇｂに変更する第一初期駆動を実施した後、静電アクチュエーター５６を発振駆動させる第二初期駆動を実施する。これにより、第一初期駆動で、物体Ａを反射膜５４，５５間で押圧することにより、第二初期駆動における発振駆動が可能な程度に、物体Ａを変形又は除去することができる。したがって、第二初期駆動における発振駆動が物体Ａにより阻害されることがなく、より確実に物体Ａの除去を実施できる。また、物体Ａが導電性を有する場合でも、第二初期駆動における発振駆動を実施することができる。
【００６３】
本実施形態において、初期駆動時に、一対の反射膜５４，５５を接触させてもよい。
このような構成では、初期駆動時に各反射膜５４，５５が接触しないようにギャップＧ１の寸法を変更する場合と比べて、反射膜５４，５５の移動方向において物体Ａをより大きく変形させることができる。したがって、本駆動時において、可動反射膜５５に物体Ａが接触することをより確実に抑制できる。
【００６４】
［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態について図面に基づいて説明する。
第一実施形態では、波長可変干渉フィルター５は、各反射膜５４，５５が接触するまで可動反射膜５５を移動可能に構成されていた。
これに対して第二実施形態では、反射膜５４の移動範囲、すなわち、ギャップＧ１の最小寸法を規定する部材を備える点で、上記第一実施形態と相違する。
なお、以降の説明に当たり、既に説明した構成については同一の符号を付し、その説明を省略、又は簡略化する。
【００６５】
図８は、第二実施形態の波長可変干渉フィルター５Ａの概略構成を示す図である。図８（Ａ）は、ギャップＧ１の寸法が変更される前の波長可変干渉フィルター５Ａを示し、図８（Ｂ）は、初期駆動によってギャップＧ１の寸法が第二寸法に設定された波長可変干渉フィルター５Ａを示す図である。
波長可変干渉フィルター５Ａは、図８（Ａ）に示すように、ギャップＧ１の最小寸法を規定するピラー部５７を有する。ピラー部５７は、フィルター平面視において、固定基板５１における可動部５２１と重なる位置に設けられ、固定基板５１から可動基板５２に向かって起立している。
【００６６】
ピラー部５７は、図８（Ｂ）に示すように、可動部５２１が固定基板５１側に移動した際に、当該ピラー部５７の可動基板５２側の端面５７Ａが、可動部５２１の固定基板５１側の面（以下、対向面５２１Ａとも称する）に当接する。これにより、可動部５２１と固定基板５１との最小距離、すなわちギャップＧ１の最小値が規定される。本実施形態では、この最小値を第二寸法Ｇｂとしている。このような２つのピラー部５７が、フィルター中心点Ｏを中心として回転対称となる位置に配置されている。
【００６７】
［第二実施形態の作用効果］
本実施形態では、ギャップＧ１の寸法を小さくする方向に可動部５２１が移動した際に、可動部５２１の最大移動量、すなわち、ギャップＧ１の寸法の最小値がピラー部５７の寸法に応じた値に設定される。
ここで、一対の反射膜５４，５５で物体Ａを押圧するためにギャップＧ１の寸法を第二寸法Ｇｂに変更する際に、反射膜の移動速度を大きくすることで、駆動阻害物をより確実に変形させたり、除去することができる。その一方で、反射膜５４，５５が接触した際に、許容範囲を超えた応力が加わるおそれがある。
このような構成では、各反射膜５４，５５が互いに接触することがないため、ピラー部５７を設けない場合では反射膜５４，５５が接触して許容範囲を超える応力が加わるような速度で、反射膜５４，５５を移動させることができ、物体Ａをより確実に変形させたり、除去することができる。
【００６８】
なお、第二実施形態では、図８に示すように、フィルター中心点Ｏを中心として回転対称となる位置に、２つのピラー部５７を配置した構成を例示しているが、３つ以上のピラー部５７を配置してもよい。また、１つのピラー部５７を配置する構成としてもよい。なお、複数のピラー部５７を配置する場合、各ピラー部５７が回転対称となる位置に配置することにより、ピラー部５７の端面５７Ａが対向面５２１Ａに当接した際に、反射膜５４，５５間の平行度をより確実に維持することができる。
【００６９】
［その他の実施形態］
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、上記各実施形態では、初期駆動実施の要否判定は、予め設定された所定のタイミングや、目的波長帯域が変更された場合や、ユーザーによる初期駆動実施の指示を検出した場合等、予め設定された判定条件に基づいて行われることを例示した。
本発明では、特に、本駆動ギャップ範囲の最小値Ｇａがより小さい値に変更された際に、初期駆動を実施することが好ましい。これにより、反射膜の移動方向において、変更前の最小値Ｇａよりも小さく、かつ、変更後の最小値Ｇａよりも大きな物体Ａが存在する場合に、目的波長帯域の変更後でも、ギャップＧ１の寸法を適切に設定することができる。
【００７０】
上記各実施形態では、第二初期駆動の一例として、第二寸法Ｇｂを中心とした所定範囲でギャップＧ１の寸法を変動させる構成を例示したが、本発明はこれに限定されない。
例えば、第二寸法Ｇｂが、第二初期駆動時の変動範囲の下限値でもよい。この場合でも、駆動阻害物の寸法を第二寸法Ｇｂとなるまで、変形させることができる。なお、上記各実施形態のように、第二寸法Ｇｂを中心とした所定範囲でギャップＧ１の寸法を変動させることにより、駆動阻害物の寸法を第二寸法Ｇｂよりも小さくなるまで変形させることができる。
また、上記各実施形態では、第二寸法Ｇｂを１つの値として説明したが、本発明はこれに限定されず、本駆動ギャップ範囲よりも小さいギャップ寸法であれば、第二寸法Ｇｂを変更してもよい。また、第二初期駆動におけるギャップ寸法の変動範囲も所定範囲であることに限定されず、任意の範囲で変動させてもよい。
すなわち、第二初期駆動では、ギャップＧ１の寸法の変動範囲の下限値が、本駆動ギャップ範囲の最小値よりも小さくなるように、静電アクチュエーター５６を発振駆動させて、ギャップＧ１の寸法を変動させればよい。
【００７１】
上記各実施形態において、ファブリーペローエタロンとして、固定基板５１及び可動基板５２が互いに対向する状態で接合され、固定基板５１に固定反射膜５４が設けられ、可動基板５２に可動反射膜５５が設けられる波長可変干渉フィルター５，５Ａを例示したが、これに限らない。
例えば、固定基板５１及び可動基板５２が接合されておらず、これらの基板間に圧電素子等の反射膜間ギャップを変更するギャップ変更部が設けられる構成などとしてもよい。
また、２つ基板により構成される構成に限られない。例えば、１つの基板上に犠牲層を介して２つの反射膜を積層し、犠牲層をエッチング等により除去してギャップを形成した波長可変干渉フィルターを用いてもよい。なお、このような構成を第二実施形態の波長可変干渉フィルター５Ａに採用する場合、ピラー部５７の先端は可動反射膜に当接することで、ギャップＧ１の寸法の最小値を規定するように構成すればよい。
【００７２】
上記各実施形態において、波長可変干渉フィルター５は、電圧印加により反射膜５４，５５間のギャップ寸法を変動させる静電アクチュエーター５６を備える構成としたが、これに限定されない。
例えば、固定電極５６１の代わりに、第一誘電コイルを配置し、可動電極５６２の代わりに第二誘電コイル又は永久磁石を配置した誘電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。
また、静電アクチュエーター５６の代わりに圧電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。この場合、例えば保持部５２２に下部電極層、圧電膜、及び上部電極層を積層配置させ、下部電極層及び上部電極層の間に印加する電圧を入力値として可変させることで、圧電膜を伸縮させて保持部５２２を撓ませることができる。
【００７３】
上記各実施形態では、反射膜５４，５５を容量検出量の電極として利用したが、これに限定されない。例えば、反射膜５４，５５とは別に固定基板５１及び可動基板５２に、互いに対向する容量検出用電極を設けてもよい。この場合、反射膜５４，５５が駆動阻害物によって導通している場合でも、フィードバック制御による発振駆動を実施することができる。
【００７４】
上記各実施形態では、駆動量を検出する検出部として、上述のような静電容量検出電極を用いる構成を例示したが、本発明はこれに限定されない。
例えば、歪ゲージ等により、可動基板５２（保持部５２２）の湾曲状態を検出して、ギャップＧ１のギャップ量を検出する構成としてもよく、外部にギャップ量を検出するための光センサーを設ける構成などとしてもよい。
【００７５】
上記第二実施形態では、ピラー部５７を固定基板５１側に設けた構成を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ピラー部５７を可動基板５２側に設けた構成や、固定基板５１及び可動基板５２の両方に設けた構成を採用してもよい。
【００７６】
上記各実施形態では、初期駆動を、波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６を駆動させることで実施する構成を例示したが、本発明はこれに限定されない。
例えば、可動基板５２の固定基板５１と対向する面とは反対側の面から、可動部５２１を押圧機構によって押圧し、ギャップＧ１の寸法を第二寸法に変更させることにより、上記初期駆動を実施してもよい。この押圧機構としては、アクチュエーターによって、反射膜５４，５５が互いに対向する面における法線方向に、可動部に当接する当接部材を移動させる構成が例示できる。
【００７７】
上記各実施形態では、波長可変干渉フィルターを筐体内に収納した構成を採用してもよい。この場合、筐体内を真空密閉することで、波長可変干渉フィルターの静電アクチュエーター５６に電圧を印加した際の駆動応答性を向上させることができる。
【００７８】
また、本発明の電子機器として、上記各実施形態では、分光測定装置１を例示したが、その他、様々な分野により本発明の波長可変干渉フィルターの駆動方法、光学モジュール、及び電子機器を適用することができる。
【００７９】
例えば、図９に示すように、本発明の電子機器を、色を測定するための測色装置に適用することもできる。
図９は、波長可変干渉フィルターを備えた測色装置４００の一例を示すブロック図である。
この測色装置４００は、図９に示すように、検査対象Ｘに光を射出する光源装置４１０と、測色センサー４２０（光学モジュール）と、測色装置４００の全体動作を制御する制御装置４３０（処理部）とを備える。そして、この測色装置４００は、光源装置４１０から射出される光を検査対象Ｘにて反射させ、反射された検査対象光を測色センサー４２０にて受光し、測色センサー４２０から出力される検出信号に基づいて、検査対象光の色度、すなわち検査対象Ｘの色を分析して測定する装置である。
【００８０】
光源装置４１０、光源４１１、複数のレンズ４１２（図９には１つのみ記載）を備え、検査対象Ｘに対して例えば基準光（例えば、白色光）を射出する。また、複数のレンズ４１２には、コリメーターレンズが含まれてもよく、この場合、光源装置４１０は、光源４１１から射出された基準光をコリメーターレンズにより平行光とし、図示しない投射レンズから検査対象Ｘに向かって射出する。なお、本実施形態では、光源装置４１０を備える測色装置４００を例示するが、例えば検査対象Ｘが液晶パネルなどの発光部材である場合、光源装置４１０が設けられない構成としてもよい。
【００８１】
測色センサー４２０は、図９に示すように、波長可変干渉フィルター５と、波長可変干渉フィルター５を透過する光を受光するディテクター１１と、波長可変干渉フィルター５で透過させる光の波長を可変する電圧制御部１５とを備える。また、測色センサー４２０は、波長可変干渉フィルター５に対向する位置に、検査対象Ｘで反射された反射光（検査対象光）を、内部に導光する図示しない入射光学レンズを備えている。そして、この測色センサー４２０は、波長可変干渉フィルター５により、入射光学レンズから入射した検査対象光のうち、所定波長の光を分光し、分光した光をディテクター１１にて受光する。なお、波長可変干渉フィルター５に代えて、波長可変干渉フィルター５Ａが配置されてもよい。
【００８２】
制御装置４３０は、測色装置４００の全体動作を制御する。
この制御装置４３０としては、例えば汎用パーソナルコンピューターや、携帯情報端末、その他、測色専用コンピューターなどを用いることができる。そして、制御装置４３０は、図９に示すように、光源制御部４３１、測色センサー制御部４３２、及び測色処理部４３３などを備えて構成されている。
光源制御部４３１は、光源装置４１０に接続され、例えば利用者の設定入力に基づいて、光源装置４１０に所定の制御信号を出力して、所定の明るさの白色光を射出させる。
測色センサー制御部４３２は、測色センサー４２０に接続され、例えば利用者の設定入力に基づいて、測色センサー４２０にて受光させる光の波長を設定し、この波長の光の受光量を検出する旨の制御信号を測色センサー４２０に出力する。これにより、測色センサー４２０の電圧制御部１５は、制御信号に基づいて、静電アクチュエーター５６に電圧を印加し、波長可変干渉フィルター５を駆動させる。
測色処理部４３３は、ディテクター１１により検出された受光量から、検査対象Ｘの色度を分析する。
【００８３】
また、本発明の電子機器の他の例として、特定物質の存在を検出するための光ベースのシステムが挙げられる。このようなシステムとしては、例えば、本発明の波長可変干渉フィルターを用いた分光計測方式を採用して特定ガスを高感度検出する車載用ガス漏れ検出器や、呼気検査用の光音響希ガス検出器等のガス検出装置を例示できる。
このようなガス検出装置の一例を以下に図面に基づいて説明する。
【００８４】
図１０は、波長可変干渉フィルターを備えたガス検出装置の一例を示す概略図である。
図１１は、図１０のガス検出装置の制御系の構成を示すブロック図である。
このガス検出装置１００は、図１０に示すように、センサーチップ１１０と、吸引口１２０Ａ、吸引流路１２０Ｂ、排出流路１２０Ｃ、及び排出口１２０Ｄを備えた流路１２０と、本体部１３０と、を備えて構成されている。
本体部１３０は、流路１２０を着脱可能な開口を有するセンサー部カバー１３１、排出手段１３３、筐体１３４、光学部１３５、フィルター１３６、波長可変干渉フィルター５、及び受光素子１３７（検出部）等を含む検出装置（光学モジュール）と、検出された信号を処理し、検出部を制御する制御部１３８（処理部）、電力を供給する電力供給部１３９等から構成されている。また、光学部１３５は、光を射出する光源１３５Ａと、光源１３５Ａから入射された光をセンサーチップ１１０側に反射し、センサーチップ側から入射された光を受光素子１３７側に透過するビームスプリッター１３５Ｂと、レンズ１３５Ｃ，１３５Ｄ，１３５Ｅと、により構成されている。
また、図１１に示すように、ガス検出装置１００の表面には、操作パネル１４０、表示部１４１、外部とのインターフェイスのための接続部１４２、電力供給部１３９が設けられている。電力供給部１３９が二次電池の場合には、充電のための接続部１４３を備えてもよい。
更に、ガス検出装置１００の制御部１３８は、図１１に示すように、ＣＰＵ等により構成された信号処理部１４４、光源１３５Ａを制御するための光源ドライバー回路１４５、波長可変干渉フィルター５を制御するための電圧制御部１５、受光素子１３７からの信号を受信する受光回路１４７、センサーチップ１１０のコードを読み取り、センサーチップ１１０の有無を検出するセンサーチップ検出器１４８からの信号を受信するセンサーチップ検出回路１４９、及び排出手段１３３を制御する排出ドライバー回路１５０などを備えている。
【００８５】
次に、上記のようなガス検出装置１００の動作について、以下に説明する。
本体部１３０の上部のセンサー部カバー１３１の内部には、センサーチップ検出器１４８が設けられており、このセンサーチップ検出器１４８でセンサーチップ１１０の有無が検出される。信号処理部１４４は、センサーチップ検出器１４８からの検出信号を検出すると、センサーチップ１１０が装着された状態であると判断し、表示部１４１へ検出動作を実施可能な旨を表示させる表示信号を出す。
【００８６】
そして、例えば利用者により操作パネル１４０が操作され、操作パネル１４０から検出処理を開始する旨の指示信号が信号処理部１４４へ出力されると、まず、信号処理部１４４は、光源ドライバー回路１４５に光源作動の信号を出力して光源１３５Ａを作動させる。光源１３５Ａが駆動されると、光源１３５Ａから単一波長で直線偏光の安定したレーザー光が射出される。また、光源１３５Ａには、温度センサーや光量センサーが内蔵されており、その情報が信号処理部１４４へ出力される。そして、信号処理部１４４は、光源１３５Ａから入力された温度や光量に基づいて、光源１３５Ａが安定動作していると判断すると、排出ドライバー回路１５０を制御して排出手段１３３を作動させる。これにより、検出すべき標的物質（ガス分子）を含んだ気体試料が、吸引口１２０Ａから、吸引流路１２０Ｂ、センサーチップ１１０内、排出流路１２０Ｃ、排出口１２０Ｄへと誘導される。なお、吸引口１２０Ａには、除塵フィルター１２０Ａ１が設けられ、比較的大きい粉塵や一部の水蒸気などが除去される。
【００８７】
また、センサーチップ１１０は、金属ナノ構造体が複数組み込まれ、局在表面プラズモン共鳴を利用したセンサーである。このようなセンサーチップ１１０では、レーザー光により金属ナノ構造体間で増強電場が形成され、この増強電場内にガス分子が入り込むと、分子振動の情報を含んだラマン散乱光、及びレイリー散乱光が発生する。
これらのレイリー散乱光やラマン散乱光は、光学部１３５を通ってフィルター１３６に入射し、フィルター１３６によりレイリー散乱光が分離され、ラマン散乱光が波長可変干渉フィルター５に入射する。そして、信号処理部１４４は、電圧制御部１５に対して制御信号を出力する。これにより、電圧制御部１５は、上記第一実施形態に示すように、ギャップ検出器１５１、フィードバック制御部１５２、及びマイコン１６により構成され、第一実施形態と同様の駆動方法により、波長可変干渉フィルター５を駆動させ、検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光を波長可変干渉フィルター５で分光させる。
この後、分光した光が受光素子１３７で受光されると、受光量に応じた受光信号が受光回路１４７を介して信号処理部１４４に出力される。この場合、波長可変干渉フィルター５から目的とするラマン散乱光を精度よく取り出すことができる。
信号処理部１４４は、上記のようにして得られた検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光のスペクトルデータと、ＲＯＭに格納されているデータとを比較し、目的のガス分子か否かを判定し、物質の特定をする。また、信号処理部１４４は、表示部１４１にその結果情報を表示させたり、接続部１４２から外部へ出力したりする。
【００８８】
なお、上記図１０及び図１１において、ラマン散乱光を波長可変干渉フィルター５により分光して分光されたラマン散乱光からガス検出を行うガス検出装置１００を例示したが、ガス検出装置として、ガス固有の吸光度を検出することでガス種別を特定するガス検出装置として用いてもよい。この場合、センサー内部にガスを流入させ、入射光のうちガスにて吸収された光を検出するガスセンサーを本発明の光学モジュールとして用いる。そして、このようなガスセンサーによりセンサー内に流入されたガスを分析、判別するガス検出装置を本発明の電子機器とする。このような構成でも、波長可変干渉フィルターを用いてガスの成分を検出することができる。
【００８９】
また、特定物質の存在を検出するためのシステムとして、上記のようなガスの検出に限られず、近赤外線分光による糖類の非侵襲的測定装置や、食物や生体、鉱物等の情報の非侵襲的測定装置等の、物質成分分析装置を例示できる。
以下に、上記物質成分分析装置の一例として、食物分析装置を説明する。
【００９０】
図１２は、波長可変干渉フィルター５を利用した電子機器の一例である食物分析装置の概略構成を示す図である。
この食物分析装置２００は、図１２に示すように、検出器２１０（光学モジュール）と、制御部２２０と、表示部２３０と、を備えている。検出器２１０は、光を射出する光源２１１と、測定対象物からの光が導入される撮像レンズ２１２と、撮像レンズ２１２から導入された光を分光する波長可変干渉フィルター５と、分光された光を検出する撮像部２１３（検出部）と、を備えている。
また、制御部２２０は、光源２１１の点灯・消灯制御、点灯時の明るさ制御を実施する光源制御部２２１と、波長可変干渉フィルター５を制御する電圧制御部１５と、撮像部２１３を制御し、撮像部２１３で撮像された分光画像を取得する検出制御部２２３と、信号処理部２２４（分析部）と、記憶部２２５と、を備えている。
【００９１】
この食物分析装置２００は、システムを駆動させると、光源制御部２２１により光源２１１が制御されて、光源２１１から測定対象物に光が照射される。そして、測定対象物で反射された光は、撮像レンズ２１２を通って波長可変干渉フィルター５に入射する。波長可変干渉フィルター５は電圧制御部１５の制御により、波長可変干渉フィルター５は、上記第一実施形態に示すような駆動方法で駆動される。これにより、波長可変干渉フィルター５から精度よく目的波長の光を取り出すことができる。そして、取り出された光は、例えばＣＣＤカメラ等により構成される撮像部２１３で撮像される。また、撮像された光は分光画像として、記憶部２２５に蓄積される。また、信号処理部２２４は、電圧制御部１５を制御して波長可変干渉フィルター５に印加する電圧値を変化させ、各波長に対する分光画像を取得する。
【００９２】
そして、信号処理部２２４は、記憶部２２５に蓄積された各画像における各画素のデータを演算処理し、各画素におけるスペクトルを求める。また、記憶部２２５には、例えばスペクトルに対する食物の成分に関する情報が記憶されており、信号処理部２２４は、求めたスペクトルのデータを、記憶部２２５に記憶された食物に関する情報を基に分析し、検出対象に含まれる食物成分、及びその含有量を求める。また、得られた食物成分及び含有量から、食物カロリーや鮮度等をも算出することができる。更に、画像内のスペクトル分布を分析することで、検査対象の食物の中で鮮度が低下している部分の抽出等をも実施することができ、更には、食物内に含まれる異物等の検出をも実施することができる。
そして、信号処理部２２４は、上述のようにして得られた検査対象の食物の成分や含有量、カロリーや鮮度等の情報を表示部２３０に表示させる処理をする。
【００９３】
また、図１２において、食物分析装置２００の例を示すが、略同様の構成により、上述したようなその他の情報の非侵襲的測定装置としても利用することができる。例えば、血液等の体液成分の測定、分析等、生体成分を分析する生体分析装置として用いることができる。このような生体分析装置としては、例えば血液等の体液成分を測定する装置として、エチルアルコールを検知する装置とすれば、運転者の飲酒状態を検出する酒気帯び運転防止装置として用いることができる。また、このような生体分析装置を備えた電子内視鏡システムとしても用いることができる。
更には、鉱物の成分分析を実施する鉱物分析装置としても用いることができる。
【００９４】
更には、本発明の波長可変干渉フィルター、光学モジュール、電子機器としては、以下のような装置に適用することができる。
例えば、各波長の光の強度を経時的に変化させることで、各波長の光でデータを伝送させることも可能であり、この場合、光学モジュールに設けられた波長可変干渉フィルターにより特定波長の光を分光し、受光部で受光させることで、特定波長の光により伝送されるデータを抽出することができ、このようなデータ抽出用光学モジュールを備えた電子機器により、各波長の光のデータを処理することで、光通信を実施することもできる。
【００９５】
また、電子機器としては、本発明の波長可変干渉フィルターにより光を分光することで、分光画像を撮像する分光カメラ、分光分析機などにも適用できる。このような分光カメラの一例として、波長可変干渉フィルターを内蔵した赤外線カメラが挙げられる。
図１３は、分光カメラの概略構成を示す模式図である。分光カメラ３００は、図１３に示すように、カメラ本体３１０と、撮像レンズユニット３２０と、撮像部３３０（検出部）とを備えている。
カメラ本体３１０は、利用者により把持、操作される部分である。
撮像レンズユニット３２０は、カメラ本体３１０に設けられ、入射した画像光を撮像部３３０に導光する。また、この撮像レンズユニット３２０は、図１３に示すように、対物レンズ３２１、結像レンズ３２２、及びこれらのレンズ間に設けられた波長可変干渉フィルター５を備えて構成されている。
撮像部３３０は、受光素子により構成され、撮像レンズユニット３２０により導光された画像光を撮像する。
このような分光カメラ３００では、波長可変干渉フィルター５により撮像対象となる波長の光を透過させることで、所望波長の光の分光画像を撮像することができる。この時、各波長に対して、電圧制御部（図示略）が上記第一実施形態に示すような本発明の駆動方法により波長可変干渉フィルター５を駆動させることで、精度よく目的波長の分光画像の画像光を取り出すことができる。
【００９６】
更には、本発明の波長可変干渉フィルターをバンドパスフィルターとして用いてもよく、例えば、発光素子が射出する所定波長域の光のうち、所定の波長を中心とした狭帯域の光のみを波長可変干渉フィルターで分光して透過させる光学式レーザー装置としても用いることができる。
また、本発明の波長可変干渉フィルターを生体認証装置として用いてもよく、例えば、近赤外領域や可視領域の光を用いた、血管や指紋、網膜、虹彩などの認証装置にも適用できる。
【００９７】
更には、光学モジュール及び電子機器を、濃度検出装置として用いることができる。この場合、波長可変干渉フィルターにより、物質から射出された赤外エネルギー（赤外光）を分光して分析し、サンプル中の被検体濃度を測定する。
【００９８】
上記に示すように、本発明の光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの制御方法は、入射光から所定の光を分光するいかなる装置にも適用することができる。そして、本発明の波長可変干渉フィルターは、上述のように、１デバイスで複数の波長を分光させることができるため、複数の波長のスペクトルの測定、複数の成分に対する検出を精度よく実施することができる。したがって、複数デバイスにより所望の波長を取り出す従来の装置に比べて、光学モジュールや電子機器の小型化を促進でき、例えば、携帯用や車載用の光学デバイスとして好適に用いることができる。
【００９９】
その他、本発明の実施の際の具体的な構造は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造等に適宜変更できる。
【符号の説明】
【０１００】
５…波長可変干渉フィルター、１０…光学モジュール、１５…電圧制御部（駆動制御部）、１６…マイコン（駆動制御部）、５４…固定反射膜（一対の反射膜）、５５…可動反射膜（一対の反射膜）、５６…静電アクチュエーター（ギャップ変更部）、１５１…ギャップ検出器（検出部）、１５２…フィードバック制御部、１５３…フィルター駆動部、１６２…本駆動手段（駆動制御部）、１６３…初期駆動手段（駆動制御部）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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