(57)【要約】【課題】熱処理炉の炉口を蓋部により塞いだ際の密閉性に優れた縦型熱処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】下端部に炉口を備えた熱処理炉と、  前記熱処理炉の前記炉口に配置される蓋部と、  前記蓋部を前記蓋部の下面側から片持ち支持する蓋部開閉機構と、  前記蓋部を前記炉口に配置した際に前記蓋部を前記蓋部の下面側から押圧する補助手段とを有し、  前記補助手段がトグル機構を備える縦型熱処理装置を提供する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
下端部に炉口を備えた熱処理炉と、
前記熱処理炉の前記炉口に配置される蓋部と、
前記蓋部を前記蓋部の下面側から片持ち支持する蓋部開閉機構と、
前記蓋部を前記炉口に配置した際に前記蓋部を前記蓋部の下面側から押圧する補助手段とを有し、
前記補助手段がトグル機構を備える縦型熱処理装置。
【請求項２】
前記蓋部は、
前記炉口を塞ぐ炉口遮蔽部と、
前記炉口遮蔽部を複数の弾性体を介して支持する支持部材と、を有し、
前記蓋部開閉機構は前記支持部材の下面側から前記蓋部を片持ち支持し、
前記補助手段は前記支持部材の下面側から前記蓋部を押圧する、請求項１に記載の縦型熱処理装置。
【請求項３】
前記補助手段が前記支持部材を、前記支持部材の下面側から押圧する際、
前記補助手段は、前記支持部材と前記複数の弾性体との接点で囲まれた領域内を押圧する請求項２に記載の縦型熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、縦型熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造においては、被処理体、例えば半導体ウエハ等の基板（以下、単にウエハとも記載する）に、酸化、拡散、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、アニール等の処理を施すために、各種の処理装置（半導体装置）が用いられている。そして、処理装置の１つとして、一度に多数枚のウエハの熱処理が可能なバッチ処理式の縦型熱処理装置が知られている。
【０００３】
バッチ処理式の縦型熱処理装置においては、複数枚のウエハを収納した運搬容器（キャリア、ＦＯＵＰともいう）により装置外からウエハを搬送し、運搬容器を装置の搬入搬出部であるロードポート等を介して縦型熱処理装置内に供給する。そして、供給された運搬容器からウエハを取り出し、高さ方向に間隔をあけて複数枚のウエハを保持できるボート（保持具）にウエハを移載する。次いで、下端部に炉口を有する熱処理炉に、ボートごと熱処理炉の下方側から挿入して、各種処理に供される。
【０００４】
このような縦型熱処理装置においては、ボートが熱処理炉に挿入されている間はボート下部に設けた蓋体により熱処理炉の炉口は塞がれている。しかし、熱処理炉からボートを取り出した後は蓋体もボートと共に下降するため熱処理炉の炉口は解放された状態になる。
【０００５】
炉口が解放されていると、炉内の熱が熱処理炉外へ放出されるため炉内の温度が下がり次のバッチのウエハに熱処理を施す際に昇温に時間を要するため生産性が低下する恐れがあった。また、炉内から放出された熱により炉口の周辺部材に悪影響を及ぼす恐れがあった。
【０００６】
そこで、例えば特許文献１には、ほぼ垂直に設けられ、下側端部に被処理物をロード・アンロードするための開口部を有する熱処理炉と、非処理中に熱処理炉の開口部を閉塞するための開閉機構と、を具備したことを特徴とする縦型熱処理装置が開示されている。特許文献１に開示された縦型熱処理装置では、開閉機構が、熱処理炉の円形状の開口部に当接される円板状の蓋部と、この蓋部を駆動するための駆動機構部と、蓋部と駆動機構部とを接続するアーム部等から構成されていることも開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平４−１４７６１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に開示された縦型熱処理装置では、蓋部はアームのみにより片持ち支持されている。このため、アームは蓋部を水平に支持することは困難であり、熱処理炉の開口部に蓋部を当接して熱処理炉の炉口を蓋部で塞いだ際に開口周縁部と蓋部との間に隙間が生じ、開口部を密閉できない場合があった。
【０００９】
本発明は上記従来技術が有する問題に鑑み、熱処理炉の炉口を蓋部により塞いだ際の密閉性に優れた縦型熱処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため本発明は、下端部に炉口を備えた熱処理炉と、
前記熱処理炉の前記炉口に配置される蓋部と、
前記蓋部を前記蓋部の下面側から片持ち支持する蓋部開閉機構と、
前記蓋部を前記炉口に配置した際に前記蓋部を前記蓋部の下面側から押圧する補助手段とを有し、
前記補助手段がトグル機構を備える縦型熱処理装置を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、熱処理炉の炉口を蓋部により塞いだ際の密閉性に優れた縦型熱処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係る縦型熱処理装置の概略説明図。
【図２】本発明の実施形態に係る縦型熱処理装置における熱処理炉の炉口周辺の説明図。
【図３】本発明の実施形態に係る縦型熱処理装置における蓋部開閉機構により蓋部を搬送する際の動作説明図。
【図４】本発明の実施形態に係る縦型熱処理装置における補助手段のトグル機構の説明図。
【図５】本実施形態の実施形態に係る縦型熱処理装置において、補助手段が押圧する場所の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明するが、本発明は、下記の実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、下記の実施形態に種々の変形および置換を加えることができる。
【００１４】
本実施形態では縦型熱処理装置の一構成例について説明する。
【００１５】
本実施形態の縦型熱処理装置は、下端部に炉口を備えた熱処理炉と、熱処理炉の炉口に配置される蓋部と、蓋部を蓋部の下面側から片持ち支持する蓋部開閉機構と、蓋部を炉口に配置した際に蓋部を蓋部の下面側から押圧する補助手段とを有することができる。そして、補助手段がトグル機構を備えていることが好ましい。
【００１６】
以下、本実施形態の縦型熱処理装置の構成について、本実施形態の縦型熱処理装置の断面模式図を表した図１を用いて具体的に説明する。
【００１７】
図１に示すように、本実施形態の縦型熱処理装置１０は、熱処理ユニット１１を有することができる。熱処理ユニット１１の構成例について以下に説明する。
（熱処理ユニット）
熱処理ユニット１１は、熱処理炉エリア１１１と、ローディングエリア１１２とを有することができる。熱処理炉エリア１１１には熱処理炉１１１１を配置できる。また、ローディングエリア１１２は熱処理炉１１１１にウエハを供給するため、又は、熱処理炉１１１１で処理を行ったウエハを搬出するため、運搬容器１５と保持具１１２１との間でウエハを移載できる。
【００１８】
なお、運搬容器１５は被処理体であるウエハを搬送、保管する際に用いられ、その内部には複数枚、例えば２５枚のウエハを収納できる。運搬容器１５が例えば密閉型のＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）の場合、一端部に被処理体を出し入れするための取り出し口が形成され、取り出し口には着脱可能な蓋を配置できる。そして運搬容器１５内は蓋によって実質的に気密状態とされる。一般的に、運搬容器１５の内部の雰囲気は、清浄空気となっている。また、蓋には例えば２つのロック機構が設けられており、ロック機構を施錠又は開錠することにより、蓋を取り出し口から着脱することができる構成となっている。
【００１９】
熱処理炉エリア１１１は、図１に示したようにローディングエリア１１２上に配置することができる。熱処理炉１１１１は、下端部が炉口１１１１ａとして開口された縦長の処理容器である反応管１１１２と、反応管１１１２の周囲を覆うように配置されたヒータ１１１３とを有することができる。ヒータ１１１３の構成については特に限定されないが、反応管１１１２内を例えば３００〜１２００℃に加熱できることが好ましい。
【００２０】
反応管１１１２は例えば石英等から構成することができ、反応管１１１２内に処理ガスやパージ用の不活性ガスを導入する複数のガス導入管や反応管１１１２内を制御可能な真空ポンプや圧力制御弁等を有する排気管を接続できる。また、反応管１１１２の下方にはウエハを挿入するための炉口１１１１ａを設けることができる。炉口１１１１ａの水平面（図中のＺ軸と垂直な面）における断面形状は被処理体であるウエハの形状等にあわせて任意に選択することができ特に限定されないが、例えば円形状とすることができる。
【００２１】
反応管１１１２やヒータ１１１３はベースプレート１１１４上に配置することができ、ベースプレート１１１４に開口部を設けておくことにより、図中下方側からウエハを保持した保持具１１２１等の搬入搬出を行うことができる。ベースプレート１１１４は例えばステンレス鋼により構成されていることが好ましい。
【００２２】
ローディングエリア１１２には、後述する搬送保管ユニット１２の移載部１２３の載置台１２３ａに載置した運搬容器１５内のウエハを移載する保持具１１２１等を設置することができる。
【００２３】
具体的には例えば図１に示したように、移載部１２３の載置台１２３ａ上に載置した運搬容器１５と、保持具１１２１との間で、ウエハを移載する移載機構１１２２を配置できる。なお、移載機構１１２２は、熱処理炉１１１１にウエハを供給するため、運搬容器１５から保持具１１２１にウエハを移載することもできるが、熱処理後、保持具１１２１から運搬容器１５に処理済みのウエハを移載することもできる。
【００２４】
保持具１１２１はボートとも呼ばれ、多数枚のウエハを棚状に保持できる。保持具１１２１は断熱部（保温筒）１１２５を介して、蓋体１１２３上に載置されている。
【００２５】
蓋体１１２３は図示しない昇降機構上に支持されており、昇降機構によってその位置を上昇することにより熱処理炉１１１１の炉口１１１１ａを密閉することができる。また、昇降機構により蓋体１１２３上に載置された保持具１１２１を熱処理炉１１１１に対して搬入あるいは搬出することができる。
【００２６】
さらに、蓋体１１２３上に載置された保持具１１２１を回転させ、熱処理炉１１１１内でウエハを水平面内で回転できるように回転機構１１２４を設けることもできる。
【００２７】
また、ローディングエリア１１２には、保持具１１２１や蓋体１１２３を下降している時に熱処理炉１１１１の炉口１１１１ａに配置できる蓋部１１２６を設けることができる。蓋部１１２６には、蓋部１１２６を蓋部１１２６の下面側から片持ち支持する蓋部開閉機構１１２７を設けることができ、さらに、蓋部１１２６を炉口に配置した際に蓋部１１２６を蓋部１１２６の下面側から押圧する補助手段１１２８を設けることができる。そして、補助手段１１２８はトグル機構を備えていることが好ましい。
【００２８】
熱処理炉１１１１の炉口１１１１ａ周辺の構造について図２〜図４を用いて説明する。
【００２９】
図２（Ａ）、（Ｂ）は本実施形態の縦型熱処理装置１０における熱処理炉１１１１の炉口１１１１ａ周辺を拡大して示した断面図に当たる。
【００３０】
図２（Ａ）、（Ｂ）では、保持具１１２１や蓋体１１２３を下降した後、熱処理炉１１１１の炉口１１１１ａを塞ぐため、マニフォールド２１により形成された炉口１１１１ａを覆うように蓋部１１２６を配置し、マニフォールド２１に蓋部１１２６を当接させている。そして、図２（Ａ）は補助手段１１２８により蓋部１１２６を押圧していない状態を、図２（Ｂ）は補助手段１１２８により蓋部１１２６を蓋部１１２６の下面側から押圧している状態をそれぞれ示している。
【００３１】
ここで、図２（Ａ）、（Ｂ）に示した蓋部１１２６、蓋部開閉機構１１２７、補助手段１１２８について説明する。
【００３２】
蓋部１１２６は炉口１１１１ａを塞げるように構成されていればよく、具体的な構成は特に限定されないが、例えば、炉口１１１１ａを塞ぐ炉口遮蔽部２３１と、炉口遮蔽部２３１を複数の弾性体２３３を介して支持する支持部材２３２と、を有することができる。そして、蓋部開閉機構１１２７は支持部材２３２の下面側から蓋部１１２６を片持ち支持するように構成することができる。また、補助手段１１２８は支持部材２３２の下面側から蓋部１１２６を押圧することができる。
【００３３】
蓋部１１２６が炉口遮蔽部２３１と、炉口遮蔽部２３１を複数の弾性体２３３を介して支持する支持部材２３２とを有する場合、蓋部開閉機構１１２７や補助手段１１２８により、支持部材２３２に対して局所的、又は狭い範囲に加えられた力を弾性体２３３が分散させて炉口遮蔽部２３１に伝えることができる。このため、炉口遮蔽部２３１の支持部材２３２と対向する面に対して面内で略均一に力を加えることができ、炉口１１１１ａを形成するマニフォールド２１と炉口遮蔽部２３１との間に隙間が生じることを抑制できる。また、図２（Ａ）、（Ｂ）に示したように炉口遮蔽部２３１のマニフォールド２１と対向する部分にシール部材２３１ａを設けた場合、シール部材２３１ａを略均一に圧縮し、炉口遮蔽部２３１による炉口１１１１ａの密閉性を高めることができる。
【００３４】
炉口遮蔽部２３１は炉口１１１１ａを塞げるように構成されていればよく、形状は特に限定されないが、例えば炉口１１１１ａと対向する側の面を炉口１１１１ａと相似形、すなわち例えば円形状とすることができる。この場合、炉口１１１１ａを形成するマニフォールド２１の炉口遮蔽部２３１と対向する面と当接できるように炉口遮蔽部２３１は、炉口１１１１ａよりも大きいことが好ましい。そして、炉口遮蔽部２３１の外形は例えば板状形状を有していることが好ましいため、上述のように炉口１１１１ａが円形状を有する場合、炉口遮蔽部２３１は円板形状とすることが好ましい。
【００３５】
また、上述のように、炉口遮蔽部２３１の炉口１１１１ａと対向する面のうち、マニフォールド２１と当接する位置にはシール部材２３１ａを配置することが好ましい。シール部材２３１ａとしては特に限定されないが、例えばＯリングを用いることができる。さらに、炉口遮蔽部２３１には、例えば炉口遮蔽部２３１やシール部材２３１ａを冷却するための冷却機構等の各種付帯設備を任意に配置することができる。
【００３６】
弾性体２３３は、炉口遮蔽部２３１と支持部材２３２とを接続し、炉口遮蔽部２３１を支持できればよく、その構成は特に限定されないが、弾性体２３３としては例えばばねを用いることが好ましい。特に弾性体２３３は炉口１１１１ａの近傍に配置されるため、耐熱性が高いことが好ましく、弾性体２３３として金属製のばねを用いることがより好ましい。炉口遮蔽部２３１と、支持部材２３２との間に配置する弾性体２３３の数についても特に限定されないが、支持部材２３２からの力をより均一に分散できるように例えば３個以上配置することが好ましい。弾性体２３３の配置は特に限定されず、任意の位置に配置できる。ただし、蓋部開閉機構１１２７や補助手段１１２８により、支持部材２３２に対して局所的、又は狭い範囲に加えられた力を炉口遮蔽部２３１に対して炉口遮蔽部２３１の面内でより均一に伝えられるように配置することが好ましい。例えば炉口遮蔽部２３１が円板形状を有する場合、弾性体２３３は、炉口遮蔽部２３１と複数の弾性体２３３との接点が１つの円上に位置するように配置することが好ましい。特に、弾性体２３３は、炉口遮蔽部２３１と複数の弾性体２３３との接点を通る円が、炉口遮蔽部２３１の周縁の円と同心円となるように配置することがより好ましい。
【００３７】
支持部材２３２については特に限定されるものではなく、上面側、すなわち炉口遮蔽部２３１と対向する面では複数の弾性体２３３と接続される。また、下面側では蓋部開閉機構１１２７と接続することができる。支持部材２３２の形状は特に限定されるものではないが、例えば円板形状とすることができる。
【００３８】
なお、炉口遮蔽部２３１を弾性体２３３を介して支持部材２３２上に配置する際の炉口遮蔽部２３１と、支持部材２３２との位置関係は特に限定されない。例えば、支持部材２３２の中心と、炉口遮蔽部２３１の中心とを通る直線が、炉口遮蔽部２３１の炉口１１１１ａと対向する面と垂直になるように炉口遮蔽部２３１と支持部材２３２とを配置することが好ましい。
【００３９】
次に蓋部開閉機構１１２７について説明する。
【００４０】
蓋部開閉機構１１２７は、上述のように蓋部１１２６を蓋部１１２６の下面側から支持している。そして蓋部開閉機構１１２７は、蓋部１１２６を所定の位置に搬送することができる。例えば、保持具１１２１や蓋体１１２３等を上昇し、熱処理炉１１１１内に保持具１１２１を挿入している間は、蓋部開閉機構１１２７は、保持具１１２１やそれに付帯した蓋体１１２３等の設備と干渉しない退避位置に蓋部１１２６を搬送、配置できる。
【００４１】
また、保持具１１２１や蓋体１１２３が下降している間は、蓋部開閉機構１１２７は、炉口１１１１ａを塞ぐ炉口遮蔽位置に蓋部１１２６を搬送、配置できる。なお、炉口遮蔽位置には後述のように図中のＺ軸方向の位置が異なるフルクローズ用炉口遮蔽位置と、ハーフクローズ用炉口遮蔽位置との両方を含むことができる。
【００４２】
蓋部開閉機構１１２７は、上述のように所定のタイミングで退避位置と、炉口遮蔽位置との間で蓋部１１２６を搬送できる機構であればよく、構成は特に限定されるものではない。
【００４３】
例えば、図２（Ａ）、（Ｂ）に示したように蓋部開閉機構１１２７はシリンダー部２２１と、蓋部１１２６を支持するアーム部２２２と、シリンダー部２２１とアーム部２２２とを接続する軸部２２３とを有することができる。そして、蓋部開閉機構１１２７はシリンダー部２２１により軸部２２３を回転軸としてアーム部２２２を図２（Ａ）に両矢印で示したθ方向に回転（旋回）させることができる。また、蓋部開閉機構１１２７はシリンダー部２２１によりアーム部２２２をＺ軸方向に上下動させることができる。
【００４４】
蓋部開閉機構１１２７が上述のようにシリンダー部２２１、アーム部２２２、及び軸部２２３を有する場合の蓋部１１２６の炉口遮蔽位置と退避位置との間の移動、搬送について図２（Ａ）、（Ｂ）、及び図３を用いて説明する。図３は炉口１１１１ａ側から蓋部１１２６及び蓋部開閉機構１１２７を見た図を示しており、説明に必要な部材以外は記載を省略している。
【００４５】
図３では炉口１１１１ａを一点鎖線で示しており、実線で示した位置Ａにアーム部２２２及び、アーム部２２２により支持された蓋部１１２６が位置している場合、炉口１１１１ａは蓋部１１２６により塞がれており、蓋部１１２６は炉口遮蔽位置に位置している。なお、炉口遮蔽位置とは、上述のように炉口１１１１ａを塞ぐことができる蓋部１１２６の位置を示す。炉口遮蔽位置に蓋部１１２６がある時、蓋部１１２６は炉口１１１１ａの真下に位置していることが好ましく、炉口１１１１ａを形成するマニフォールド２１の真下に、蓋部１１２６の炉口遮蔽部２３１に設けたシール部材２３１ａが位置することがより好ましい。特に、炉口遮蔽位置に蓋部１１２６がある時、蓋部１１２６は炉口１１１１ａの中心と蓋部１１２６の炉口１１１１ａに対向する面の中心とが一致する場所に位置していることがさらに好ましい。
【００４６】
図３の位置Ａに蓋部１１２６を配置した際、図２（Ａ）、図２（Ｂ）に示すように蓋部１１２６をＺ軸方向に上昇させてマニフォールド２１に当接する位置（フルクローズ用炉口遮蔽位置）に蓋部１１２６を搬送して炉口１１１１ａを閉塞できる（フルクローズ）。なお、熱処理炉１１１１からの熱を遮断して、熱処理炉１１１１内の温度及び雰囲気を維持するためには上述のようにフルクローズの状態とすることが好ましい。ただし、熱処理炉１１１１からの熱を一定程度遮断するのみで良い場合には、蓋部１１２６をマニフォールド２１に当接させず、炉口１１１１ａを覆うように炉口１１１１ａと間隔を開けた位置（ハーフクローズ用炉口遮蔽位置）に配置しても良い（ハーフクローズ）。
【００４７】
そして、熱処理炉１１１１内に保持具１１２１等を挿入する場合には、軸部２２３を回転軸として、シリンダー部２２１により矢印Ｃに沿ってアーム部２２２を回転させ、点線で示した位置Ｂにアーム部２２２及び蓋部１１２６を移動させることができる。位置Ｂにアーム部２２２及び蓋部１１２６がある場合、炉口１１１１ａがローディングエリア１１２に対して露出し、炉口１１１１ａに保持具１１２１等を挿入することができ、蓋部１１２６は退避位置に位置している。
【００４８】
図３では位置Ａのアーム部２２２と、位置Ｂのアーム部２２２との間の角度が約９０度となっているが、係る形態に限定されるものではない。退避位置は上述のように熱処理炉１１１１に保持具１１２１等を挿入している際に、保持具１１２１やそれに付帯した蓋体１１２３等の設備と干渉しない蓋部１１２６の位置を示している。このため、縦型熱処理装置１０内の各部材の配置やサイズにより退避位置は異なり、炉口遮蔽位置に蓋部１１２６がある場合のアーム部２２２と、退避位置に蓋部１１２６がある場合のアーム部２２２と、の間の角度は、任意に選択できる。
【００４９】
ここまで、軸部２２３を回転軸としてアーム部２２２を回転（旋回）させ、蓋部１１２６を炉口遮蔽位置と、退避位置との間で搬送する蓋部開閉機構１１２７の構成例を示したが、係る形態に限定されるものではない。例えば蓋部開閉機構１１２７は蓋部１１２６を、炉口遮蔽位置と、退避位置との間で、直線状にスライドさせて搬送する機構であってもよい。
【００５０】
蓋部１１２６を直線状にスライドさせる場合、蓋部開閉機構は上述の構成に代えて例えば一方向（直線方向）に伸縮するアーム機構部を有することができる。そして、アーム機構部の一端部側で蓋部１１２６を支持し、アーム機構部の他端部は例えばベースプレート１１１４に固定することができる。蓋部開閉機構はアーム機構部を伸縮することにより蓋部１１２６を炉口遮蔽位置と、退避位置との間で直線状に搬送することができる。また、蓋部開閉機構はアーム機構部をＺ軸方向に移動させる上下移動機構部を有することもできる。上下移動機構部を設ける場合、アーム機構部はベースプレート１１１４に直接固定せず、上下移動機構部を介してベースプレート１１１４に固定するように構成できる。上下移動機構部を有することにより蓋部１１２６を炉口遮蔽位置（ハーフクローズ用炉口遮蔽位置）に搬送した後、蓋部１１２６をＺ軸方向に搬送して炉口１１１１ａを形成するマニフォールド２１に当接する位置（フルクローズ用炉口遮蔽位置）に搬送できる。フルクローズ用炉口遮蔽位置に蓋部１１２６を搬送することにより、炉口１１１１ａを気密に閉塞することができる。
【００５１】
次に補助手段１１２８について説明する。
【００５２】
上述のように蓋部開閉機構１１２７により蓋部１１２６を炉口１１１１ａを形成するマニフォールド２１に当接させて、炉口１１１１ａを塞ぐことができる。しかしながら、蓋部開閉機構１１２７は蓋部１１２６を下面側から片持ち支持するため、蓋部開閉機構１１２７のみでは蓋部１１２６を水平に保つことが困難である。このため、蓋部開閉機構１１２７のみで蓋部１１２６を支持し、炉口１１１１ａに押し当てるだけでは蓋部１１２６とマニフォールド２１との間に隙間が生じ、炉口１１１１ａを密閉できない恐れがある。
【００５３】
特に近年では被処理体であるウエハの直径が３００ｍｍ、４５０ｍｍと大きくなっており、これにあわせて炉口１１１１ａや、蓋部１１２６のサイズも大きくなっている。さらに、蓋部１１２６のサイズが大きくなるのに伴い蓋部１１２６の重量も増加している。このため、蓋部開閉機構１１２７のみで蓋部１１２６を水平に支持することは特に困難になっており、蓋部１１２６とマニフォールド２１との間にさらに隙間が生じやすくなっている。
【００５４】
そこで、本実施形態の縦型熱処理装置１０においては補助手段１１２８を設けることができる。補助手段１１２８は、蓋部開閉機構１１２７とあわせて蓋部１１２６を支持、押圧できるため、蓋部開閉機構１１２７のみで蓋部１１２６を片持ち支持している場合と比較して蓋部１１２６をより水平に保つことが可能になる。そして蓋部１１２６をマニフォールド２１に対して強く当接することができるため、蓋部１１２６とマニフォールド２１との間に隙間が生じることを抑制できる。このため、熱処理炉１１１１の炉口１１１１ａを蓋部１１２６により塞いだ際の熱処理炉１１１１の密閉性を高めることが可能になる。
【００５５】
なお、上述のように蓋部１１２６を片持ち支持するのみの場合、ウエハのサイズが大きくなるのに従って、蓋部１１２６とマニフォールド２１との間に隙間が生じやすくなっていた。これに対して、本実施形態の縦型熱処理装置１０ではウエハのサイズによらず蓋部１１２６とマニフォールド２１との間の隙間の発生を抑制でき、本実施形態の縦型熱処理装置１０は、処理するウエハの直径が大きいほど特に優れた効果を示す。このため、本実施形態の縦型熱処理装置１０の処理するウエハは、例えば直径が３００ｍｍ以上のウエハであることが好ましく、特に直径が４５０ｍｍ以上のウエハであることが好ましい。
【００５６】
補助手段１１２８は蓋部１１２６を下面側から押圧できればよく、その構成は特に限定されるものではないが、トグル機構を備えていることが好ましい。
【００５７】
補助手段１１２８は、図２（Ａ）、（Ｂ）に示したように伸縮機構部２４１と、リンク板２４２と、リンク板−補助手段アーム部接続板２４３と、補助手段アーム部２４４と、を有することができる。
【００５８】
リンク板２４２は三角形状を有しており、３つの頂点のうちの１つの頂点近傍に伸縮機構部２４１を、１つの頂点近傍にリンク板−補助手段アーム部接続板２４３を接続できる。なお、リンク板２４２と伸縮機構部２４１との接続点、及びリンク板２４２とリンク板−補助手段アーム部接続板２４３との接続点、においてはそれぞれ、リンク板２４２が回転可能に接続することが好ましい。リンク板２４２のさらに１つの頂点は任意の箇所にリンク板２４２が回転可能に固定できる。
【００５９】
リンク板−補助手段アーム部接続板２４３はさらに、補助手段アーム部２４４に接続でき、リンク板−補助手段アーム部接続板２４３は補助手段アーム部２４４の端部ではない任意の箇所に接続することが好ましい。リンク板−補助手段アーム部接続板２４３と、補助手段アーム部２４４とを接続する際、リンク板−補助手段アーム部接続板２４３が接続点で回転可能に接続することが好ましい。
【００６０】
補助手段アーム部２４４は一方の端部を任意の箇所に補助手段アーム部２４４が回転可能に固定できる。また、補助手段アーム部２４４の他方の端部には例えば支持部材２３２を押圧する押圧部材を設けておくことができる。
【００６１】
伸縮機構部２４１は伸縮可能なロッド部を有し、ロッド部の先端部を上述のようにリンク板２４２の１つの頂点近傍に接続することができる。伸縮機構部２４１は伸縮可能なロッド部を有していればよくその構成は特に限定されないが、例えばエアシリンダにより構成することができる。
【００６２】
ここで、補助手段１１２８のトグル機構について図４（Ａ）、（Ｂ）を用いて説明する。図４（Ａ）、（Ｂ）では、各部材の回転の中心となる点が分かり易いように補助手段１１２８を点と線で模式的に示している。図４（Ａ）は図２（Ａ）と同様に補助手段１１２８が蓋部１１２６を押圧していない状態、すなわち補助手段１１２８がクランプしていない状態に相当する。そして図４（Ｂ）は図２（Ｂ）と同様に補助手段１１２８が蓋部１１２６を押圧している状態、すなわち補助手段１１２８がクランプしている状態に相当する。
【００６３】
図４（Ａ）、（Ｂ）中、三角形ＡＢＣが図２（Ａ）、（Ｂ）のリンク板２４２に、線分ＢＥがリンク板−補助手段アーム部接続板２４３に、線分ＤＦが補助手段アーム部２４４に相当する。点Ｆが例えば支持部材２３２を押圧できる。
【００６４】
まず図４（Ａ）に示したように、伸縮機構部２４１がロッド部２４１ａを矢印４１の方向に伸展することによりリンク板２４２（三角形ＡＢＣ）が頂点Ｃを中心に矢印４２の方向に、すなわち反時計回り（左回り）に回転する。この際、補助手段アーム部２４４（線分ＤＦ）が支点Ｄを中心に矢印４３の方向に、すなわち反時計回り（左回り）に回転する。そして、伸縮機構部２４１がロッド部２４１ａを矢印４１の方向にさらに伸展することにより図４（Ｂ）の状態となる。
【００６５】
図４（Ｂ）ではリンク板−補助手段アーム部接続板２４３（線分ＢＥ）の一方の端部である点Ｅがリンク板２４２（三角形ＡＢＣ）の一辺を示す線分ＢＣ上にある場合を示しているが、以下に、点Ｅが線分ＢＣの右側にある場合と、点Ｅが線分ＢＣの左側にある場合とに分けてトグル機構の働きについて説明する。
【００６６】
なお、点Ｅが線分ＢＣの右側にある状態から、伸縮機構部２４１のロッド部２４１ａをさらに矢印４１の方向へ伸展させると、点Ｅは左側へと移動し、点Ｅは線分ＢＣの左側に移動する。そして、点Ｅが線分ＢＣの右側にある場合はトグルが効いていない状態であり、点Ｅが線分ＢＣの左側にある場合はトグルが効いている状態となる。
【００６７】
まず、図４（Ｂ）において点Ｅが線分ＢＣの右側にある状態、すなわちトグルが効いていない状態について説明する。
【００６８】
図４（Ｂ）において、点Ｅが線分ＢＣの右側に位置した状態となった後、伸縮機構部２４１による矢印４１方向への圧力を除去し、伸縮機構部２４１がリンク板２４２（三角形ＡＢＣ）に対して力を加えていない状態としたとする。そしてこの状態で、点Ｆにブロック矢印４４で示したように下向きの力がかかったとすると、リンク板−補助手段アーム部接続板２４３（線分ＢＥ）は点Ｂを支点として矢印４５の方向（右回り）に回転し、リンク板２４２（三角形ＡＢＣ）は点Ｃを中心に矢印４６の方向（左回り）に回転する。このため、補助手段アーム部２４４（線分ＤＦ）の点Ｆ側の端部は加えられた荷重の方向、すなわちブロック矢印４４の方向に下がってしまう。
【００６９】
次に図４（Ｂ）において、点Ｅが線分ＢＣの左側にある場合、すなわちトグルが効いている状態について説明する。
【００７０】
図４（Ｂ）において、点Ｅが線分ＢＣの左側に位置した状態となった後、伸縮機構部２４１による矢印４１方向への圧力を除去し、伸縮機構部２４１がリンク板２４２に対して力を加えていない状態としたとする。そしてこの状態で上述の場合と同様に、点Ｆにブロック矢印４４で示したように下向きの力がかかったとする。この場合、リンク板−補助手段アーム部接続板２４３（線分ＢＥ）は点Ｂを支点として矢印４７の方向（左回り）に回転しようとする。そして、リンク板２４２（三角形ＡＢＣ）は点Ｃを中心に矢印４８の方向（右回り）に回転しようとする。リンク板２４２（三角形ＡＢＣ）が矢印４８の方向に回転しようとするとリンク板−補助手段アーム部接続板２４３（線分ＢＥ）は上方に押し上げられる。そうすると補助手段アーム部２４４（線分ＤＦ）は点Ｄを中心にブロック矢印４４で示した荷重の向きとは反対側の方向に、すなわち矢印４９の方向に回転しようとする。このため、トグルが効いている状態では、伸縮機構部２４１からの力が加わっていなくても補助手段アーム部２４４（線分ＤＦ）は荷重に対して抵抗し、その位置を保持することができる。
【００７１】
以上に説明したように補助手段１１２８がトグル機構を備えている場合、トグルが効いた状態とすることにより、例えば伸縮機構部２４１からの出力が抜けた場合であっても補助手段１１２８は蓋部１１２６を継続して支持することができる。このため、蓋部１１２６とマニフォールド２１との間に隙間が突然生じることを防ぐことができ、蓋部１１２６により閉塞された熱処理炉１１１１内の密閉性をより確実に維持することができる。
【００７２】
なお、例えば図２（Ｂ）に示すように、補助手段１１２８により蓋部１１２６の下面側から押圧する場合であって、補助手段１１２８がトグル機構を備えている場合には、上述の理由からトグルが効いた状態まで伸縮機構部２４１を作動させることが好ましい。
【００７３】
次に、補助手段１１２８が蓋部１１２６を押圧する位置について説明する。
【００７４】
上述のように蓋部１１２６は支持部材２３２を有していることが好ましい。そして、蓋部１１２６が支持部材２３２を有している場合、補助手段１１２８は支持部材２３２の下面側から蓋部１１２６を押圧することが好ましい。なお、補助手段１１２８は支持部材２３２を支持部材２３２の下面側から直接押圧することもできるが、アーム部２２２を押圧し、アーム部２２２を介して支持部材２３２を押圧しても良い。
【００７５】
蓋部１１２６が支持部材２３２を有する場合に、補助手段１１２８が押圧する好適な位置について図５を用いて説明する。
【００７６】
図５は、炉口遮蔽位置に蓋部１１２６を配置した際のアーム部２２２及び支持部材２３２の下面側から見た図を示している。図５においては、説明に必要な部材以外は記載を省略している。また、弾性体２３３（２３３ａ〜２３３ｄ）は支持部材２３２と炉口遮蔽部２３１との間に配置されるため、本来支持部材２３２の下面側から弾性体２３３は見えないが説明の便宜上示している。なお、弾性体２３３として４本の弾性体２３３ａ〜２３３ｄを配置した例を示しているが、既述のように弾性体２３３の数は限定されるものではなく、例えば４本より多く、または４本未満配置することもできる。
【００７７】
補助手段１１２８により支持部材２３２の下面側から押圧する点である補助手段押圧点１１２８ａの位置は特に限定されるものではなく、蓋部１１２６のサイズ、重さや、アーム部２２２による支持部材２３２に対する押圧力等により任意に選択することができる。
【００７８】
ただし、支持部材２３２の下面側から補助手段１１２８により押圧する際、その押圧する力は、蓋部１１２６の全体に略均一にかかることが好ましい。このため、補助手段１１２８が支持部材２３２を、支持部材２３２の下面側から押圧する際、補助手段１１２８は、支持部材２３２と、複数の弾性体２３３（２３３ａ〜２３３ｄ）と、の接点で囲まれた領域内を押圧することが好ましい。具体的には例えば図５のように弾性体２３３ａ〜２３３ｄを配置した場合、支持部材２３２と弾性体２３３ａ〜２３３ｄとの接点で囲まれた領域５１内を補助手段１１２８により押圧することが好ましい。
【００７９】
なお、支持部材２３２と複数の弾性体２３３との接点は弾性体２３３が金属ばねの場合、略円形状となる。支持部材２３２と複数の弾性体２３３との接点が略円形状の場合、上記領域５１とは、支持部材２３２と複数の弾性体２３３との接点の中心間を結ぶ線よりも外側に位置する、隣接する支持部材２３２と複数の弾性体２３３との接点間に引いた共通接線により囲まれる領域を指す。このため図５に示すように、領域５１には、支持部材２３２と複数の弾性体２３３との接点の真下の領域も含まれる。
【００８０】
支持部材２３２と弾性体２３３（２３３ａ〜２３３ｄ）との接点で囲まれた領域５１内を補助手段１１２８により押圧することにより、補助手段１１２８によって支持部材２３２に対して局所的に加えられた力を弾性体２３３により分散できる。このため、炉口遮蔽部２３１の支持部材２３２と対向する面に対して、面内に略均一に力を加えることができる。
【００８１】
また、蓋部１１２６とマニフォールド２１との間に隙間が生じることを特に抑制するため、補助手段押圧点１１２８ａと、支持部材２３２の中心２３２ａと、アーム部２２２の支持点と、の３点が形成する角度５２が９０度以上２７０度以下であることが好ましい。なお、アーム部２２２の支持点とは、例えば上述のように蓋部開閉機構１１２７のアーム部２２２が軸部２２３により支持されている場合には、軸部２２３の中心を指す。
【００８２】
これは、蓋部１１２６のうち下面側からアーム部２２２により支持されている部分、及びアーム部２２２により支持されている部分からの距離が短い部分については蓋部１１２６、特に炉口遮蔽部２３１とマニフォールド２１との間に隙間を生じにくい。しかしながら、アーム部２２２は蓋部１１２６を片持ち支持しているため、支持部材２３２と炉口遮蔽部２３１との間に弾性体２３３を配置しても、蓋部１１２６のうちアーム部２２２からの距離が遠くなるとアーム部２２２からの押圧力が十分に伝わらない場合がある。このため、蓋部１１２６とマニフォールド２１との間に隙間を生じやすくなる。そこで、蓋部１１２６とマニフォールド２１との間で隙間が生じやすい部分を補助手段１１２８により押圧するため、上述の角度５２が９０度以上２７０度以下の範囲となるように補助手段押圧点１１２８ａの位置を選択することが好ましい。
【００８３】
特に、補助手段１１２８により支持部材２３２を押圧する補助手段押圧点１１２８ａの位置は、上述した支持部材２３２と複数の弾性体２３３との接点で囲まれた領域内であって、補助手段押圧点１１２８ａと、支持部材２３２の中心２３２ａと、アーム部２２２の支持点と、の３点が形成する角度５２が９０度以上２７０度以下であることがより好ましい。すなわち図５に示した構成の場合、補助手段１１２８は、支持部材２３２と、弾性体２３３ａ〜２３３ｃと、の接点で囲まれた領域内を押圧することが好ましい。
【００８４】
ここまで、補助手段１１２８を１つ設けた例を示したが、補助手段１１２８は１つに限定されず、複数の補助手段１１２８を設けることができる。複数の補助手段１１２８を設ける場合も、支持部材２３２の下面側から複数の補助手段１１２８が押圧する補助手段押圧点１１２８ａの位置は特に限定されるものではない。
【００８５】
ただし、複数の補助手段１１２８のいずれかが、支持部材２３２と、複数の弾性体２３３と、の接点で囲まれた領域内を押圧することが好ましい。特に、複数の補助手段１１２８全てが支持部材２３２と、複数の弾性体２３３と、の接点で囲まれた領域内を押圧することがより好ましい。
【００８６】
または、複数の補助手段１１２８のうちのいずれかの補助手段押圧点１１２８ａと、支持部材２３２の中心２３２ａと、アーム部２２２の支持点と、の３点が形成する角度５２が９０度以上２７０度以下であることが好ましい。特に複数の補助手段１１２８の全てについて、補助手段押圧点１１２８ａと、支持部材２３２の中心２３２ａと、アーム部２２２の支持点と、の３点が形成する角度５２が９０度以上２７０度以下であることがより好ましい。
【００８７】
特に、複数の補助手段１１２８のうちのいずれかが支持部材２３２を押圧する補助手段押圧点１１２８ａの位置が、支持部材２３２と複数の弾性体２３３との接点で囲まれた領域内であって、補助手段押圧点１１２８ａと、支持部材２３２の中心２３２ａと、アーム部２２２の支持点と、の３点が形成する角度５２が９０度以上２７０度以下であることが好ましい。さらに、複数の補助手段１１２８全ての支持部材２３２を押圧する補助手段押圧点１１２８ａの位置が、支持部材２３２と複数の弾性体２３３との接点で囲まれた領域内であって、補助手段押圧点１１２８ａと、支持部材２３２の中心２３２ａと、アーム部２２２の支持点と、の３点が形成する角度５２が９０度以上２７０度以下であることがより好ましい。
【００８８】
上述のように本実施形態の縦型熱処理装置１０においては、蓋部１１２６をマニフォールド２１に当接させて炉口１１１１ａを気密に閉塞することができる（フルクローズ）。また、蓋部１１２６をマニフォールド２１に当接させず、炉口１１１１ａを覆うように炉口１１１１ａと間隔を開けて配置することもできる（ハーフクローズ）。補助手段１１２８は主に熱処理炉１１１１の炉口１１１１ａを蓋部１１２６により塞いだ際に、蓋部１１２６とマニフォールド２１との間に隙間が生じることを抑制することを目的として設けたものであるから、フルクローズの場合に特に効果を発揮する。しかしながら、ハーフクローズの場合であっても蓋部１１２６をより水平に保つために、補助手段１１２８により蓋部１１２６を支持するように構成してもよい。
【００８９】
また、ここでは、蓋部１１２６により炉口１１１１ａを塞ぐ場合について説明したが、補助手段１１２８は、保持具１１２１を熱処理炉１１１１に挿入した際に炉口１１１１ａを塞ぐ蓋体１１２３についても同様に下面側から押圧することもできる。
【００９０】
以上に説明したように本実施形態の縦型熱処理装置１０は、蓋部開閉機構１１２７に加えて補助手段１１２８を有するため、熱処理炉１１１１の炉口１１１１ａを蓋部１１２６により塞いだ際に蓋部１１２６とマニフォールド２１との間に隙間が生じることを抑制できる。そして、熱処理炉１１１１の密閉性を高めることができる。
【００９１】
本実施形態の縦型熱処理装置１０は、熱処理ユニット１１以外に例えば搬送保管ユニット１２、搬入搬出ユニット１３を有することができる。搬送保管ユニット１２、搬入搬出ユニット１３の構成例について図１を用いて以下に説明する。
（搬送保管ユニット）
搬送保管ユニット１２は、複数の運搬容器１５を保管する第１保管部（第１キャリアステージ）１２１を有することができる。また、必要に応じて複数の運搬容器１５を保管する第２保管部（第２キャリアステージ）１２２を設けることもできる。
【００９２】
搬送保管ユニット１２は、運搬容器１５内のウエハを熱処理ユニット１１の保持具１１２１に移載する際に、運搬容器１５を載置する移載部１２３の載置台１２３ａを有することができる。さらに、第１保管部１２１、第２保管部１２２、移載部１２３の載置台１２３ａや、例えば後述する搬入搬出ユニット１３と、の間で運搬容器１５を搬送する搬送機構部１２４を有することができる。
【００９３】
第１保管部１２１、第２保管部１２２は運搬容器１５を載置し、保管する部材である。縦型熱処理装置１０内に運搬容器１５を載置する保管部を設けておくことにより、熱処理炉１１１１でのウエハへの処理が終わるごとに、熱処理炉１１１１内のウエハを迅速に交換することができ、縦型熱処理装置１０のスループットを高めることができる。
【００９４】
第１保管部１２１は図１に示すように複数段の載置棚１２１ａ〜１２１ｄを有し、各載置棚には紙面と垂直な方向に例えば２個ずつ運搬容器１５を配置できる。載置棚の段数は特に限定されるものではなく、縦型熱処理装置１０の高さ等に応じて任意の段数とすることができる。第１保管部１２１は、搬送保管ユニット１２の選択された一の壁面に設けることができ、例えば搬送保管ユニット１２の熱処理ユニット１１に対向する壁面に配置することが好ましい。
【００９５】
第２保管部１２２は図１に示したように、例えば搬送機構部１２４の下方に設けることができる。なお、本実施形態における下方とは、高さ方向（図１中Ｚ軸方向）で見て下方向を意味しており、水平方向（図１中でのＸ軸方向や、紙面と垂直な方向）の位置は問わない。ただし、第２保管部１２２は、搬送機構部１２４側から、高さ方向（図１中Ｚ軸方向）に沿って下方、すなわち、第２保管部１２２側を見た場合に、搬送機構部１２４と、第２保管部１２２の少なくとも一部と、が重なり合うように配置することが好ましい。特に第２保管部１２２は搬送機構部１２４の真下に配置することが好ましい。
【００９６】
第２保管部１２２は、第２保管部１２２に運搬容器１５を配置した際、運搬容器１５の上端部の高さが、移載部１２３の載置台１２３ａの高さと同じ、または、移載部１２３の載置台１２３ａの高さよりも低くなることが好ましい。ただし、搬送機構部１２４により運搬容器１５を把持できるように、搬送機構部１２４の可動域を考慮に入れて第２保管部１２２の載置台の高さを決定することが好ましい。
【００９７】
第２保管部１２２についても第１保管部１２１と同様に、図１の紙面と垂直な方向に運搬容器１５を例えば２個並べて配置することができる。
【００９８】
移載部１２３は、ＦＩＭＳポートとも呼ばれ、運搬容器１５を載置する載置台１２３ａを有している。移載部１２３の載置台１２３ａには、熱処理炉１１１１に多数枚のウエハを供給する保持具１１２１に運搬容器１５内のウエハを移載する際、または、保持具１１２１から運搬容器１５内にウエハを移載する際に、運搬容器１５を載置できる。
【００９９】
移載部１２３の載置台１２３ａは、例えば、図１に示すように、第１保管部１２１の下方に配置することが好ましい。移載部１２３の載置台１２３ａは第１保管部１２１側から図１中Ｚ軸方向（高さ方向）に沿って下方、すなわち、移載部１２３側を見た場合に、第１保管部１２１と、移載部１２３の少なくとも一部と、が重なり合うように配置することがより好ましい。特に移載部１２３の載置台１２３ａは第１保管部１２１の真下に配置することがさらに好ましい。
【０１００】
そして、移載部１２３は、熱処理ユニット１１内のローディングエリア１１２内と運搬容器１５内とを連通する開口部と、開口部をローディングエリア１１２側から密閉できる開閉可能な扉機構１２３ｂと、を有することができる。また、図示しない運搬容器１５の蓋を開閉する蓋開閉機構を有することができる。
【０１０１】
さらに、運搬容器１５を載置台１２３ａ上に配置した際に、運搬容器１５の位置合わせを行う位置決め用の凸部を載置台１２３ａ上に設けておくことができる。また、運搬容器１５を載置台１２３ａ上に配置した際に容器本体の前面周縁部を搬送保管ユニット１２の熱処理ユニット１１と対向する隔壁に当接した状態で、運搬容器１５を固定できるロック手段を載置台１２３ａ上に配置しておくこともできる。
【０１０２】
移載部１２３の載置台１２３ａについても、紙面と垂直な方向に２つの運搬容器１５を配置できるように構成されていることが好ましい。この場合、２つの運搬容器１５に対して同時にウエハの移載を行えるように、上述した開口部や扉機構１２３ｂ、蓋開閉機構等も運搬容器１５の載置位置に対応して紙面と垂直な方向に２つ配置されていることが好ましい。
【０１０３】
なお、図１では第１保管部１２１の下方に移載部１２３の載置台１２３ａを配置した例を示しているが、移載部１２３の載置台１２３ａの設置位置は係る形態に限定されるものではない。例えば第１保管部１２１の載置棚１２１ａ〜１２１ｄのうち載置棚１２１ｄを移載部１２３の載置台とし、図１で移載部１２３の載置台１２３ａとして示した棚を第１保管部１２１の載置棚の１つとしても良い。すなわち、第１保管部１２１の載置棚１２１ｄと移載部１２３の載置台１２３ａの位置を交換しても良い。
【０１０４】
また、移載部１２３に配置できる運搬容器１５の数は２つに限定されるものではなく、任意に変更することもできる。例えば移載部１２３に２つよりも多く運搬容器１５を配置する必要がある場合には、第１保管部１２１の最下段の載置棚１２１ｄについても移載部１２３の載置台１２３ａとすることもできる。この場合、載置棚１２１ｄ部分に配置される運搬容器１５に対応するように上述した開口部や扉機構１２３ｂ、蓋開閉機構等も設けることができる。
【０１０５】
また、移載部１２３についても保持具１１２１と、運搬容器１５との間でのウエハを移載する状況等に応じて、一時的に運搬容器１５を保管する保管部（第３保管部）として用いることもできる。
【０１０６】
搬送機構部１２４は運搬容器１５を搬送する機構とすることができる。
【０１０７】
搬送機構部１２４は、搬送保管ユニット１２と、搬送保管ユニット１２の外部と、の間で運搬容器１５を搬送することができる。具体的には例えば、後述する搬入搬出ユニット１３から搬入された運搬容器１５を第１保管部１２１、第２保管部１２２、移載部１２３の載置台１２３ａへ搬送できる。また、熱処理ユニット１１で処理を終えたウエハを収納した運搬容器１５を搬入搬出ユニット１３へ搬出できる。
【０１０８】
さらに、搬送機構部１２４は搬送保管ユニット１２内で、運搬容器１５を搬送することもできる。具体的には、第１保管部１２１、第２保管部１２２、移載部１２３の載置台１２３ａ間で運搬容器１５を搬送できる。
【０１０９】
搬送機構部１２４は、運搬容器１５を搬送できればよく、その具体的な構成については特に限定されるものではない。例えば、運搬容器１５を、運搬容器１５の上面側から把持して搬送する機構や、運搬容器１５の下面側から支持して搬送する機構を採用できる。運搬容器１５を運搬容器１５の上面側から把持して搬送できる搬送機構として、例えばオートメーションフランジを好適に用いることができる。
（搬入搬出ユニット）
搬入搬出ユニット１３は搬送保管ユニット１２に隣接して配置することができ、ウエハを複数枚収納した運搬容器１５を縦型熱処理装置１０に搬入搬出するユニットとすることができる。
【０１１０】
搬入搬出ユニット１３の構成は特に限定されないが、例えば図１に示すように、下段ロードポート１３１と上段ロードポート１３２の２段のロードポートを配置することができる。各ロードポートは、運搬容器１５を載置する台と、運搬容器１５を搬送保管ユニット１２内に搬入搬出するための開口部とを有することができる。
【０１１１】
具体的には、下段ロードポート１３１は、運搬容器１５を載置する第１の搬入搬出台１３１ａと、第１の開口部１３１ｂと、を有することができる。
【０１１２】
上段ロードポート１３２は、運搬容器１５を載置する第２の搬入搬出台１３２ａと、第２の開口部１３２ｂと、を有することができる。また、第１の搬入搬出台１３１ａ、第２の搬入搬出台１３２ａ共に、紙面と垂直方向に例えば２個の運搬容器１５を配置するように構成できる。
【０１１３】
第１の搬入搬出台１３１ａ、第２の搬入搬出台１３２ａに搬入された運搬容器１５は、搬送保管ユニット１２の搬送機構部１２４により搬送保管ユニット１２内の第１保管部１２１や第２保管部１２２、移載部１２３の載置台１２３ａ等に搬送できる。また、熱処理ユニット１１で処理を終えたウエハを収納した運搬容器１５は、第１の搬入搬出台１３１ａや、第２の搬入搬出台１３２ａに払い出すことができる。
【０１１４】
なお、第１の搬入搬出台１３１ａや、第２の搬入搬出台１３２ａは、運搬容器１５の搬入、搬出状況等に応じて、一時的に運搬容器１５を保管する保管部（第４保管部）として用いることもできる。
【０１１５】
なお、本実施形態の縦型熱処理装置においては、図１に示すように例えばコンピュータからなる制御部１４を設けることができる。制御部１４はプログラム、メモリ、ＣＰＵからなるデータ処理部などを備えることができる。プログラムには、制御部１４から縦型熱処理装置１０の各部に制御信号を送り、運搬容器１５の搬送や、運搬容器１５と保持具１１２１との間でのウエハの移載、熱処理炉１１１１の熱処理、蓋部１１２６の開閉等の各処理工程を進行させるように命令（各ステップ）を組みこむことができる。プログラムは、コンピュータ記憶媒体、例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）及びメモリーカード等の記憶媒体に格納されて制御部にインストールできる。
【符号の説明】
【０１１６】
１１１１    熱処理炉
１１１１ａ  炉口
１１２６    蓋部
１１２７    蓋部開閉機構
１１２８    補助手段
２３１      炉口遮蔽部
２３２      支持部材
２３３      弾性体
【図１】
2015167194.tif 000003
【図２】
2015167194.tif 000004
【図３】
2015167194.tif 000005
【図４】
2015167194.tif 000006
【図５】
2015167194.tif 000007