(57)【要約】【課題】基部上の引出電極間に放電が起きても、引出電極が静電破壊することを防止する。【解決手段】本圧電振動片２は、基部５と、この基部の一端面から突出した状態に並設された一対の振動腕部６，７とを有する。基部上には、励振電極を引き出す基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６が形成されている。基部５上の基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６は、振動腕部の表裏両主面に形成された励振電極９ａ１，９ｂ１，１０ｂ１，１０ｂ２よりも厚肉である。【選択図】図３
2015103927.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、一対の振動腕部とを有し、
前記一対の振動腕部は、前記基部の一端面から突出した状態に並設されており、
前記一対の振動腕部の表裏両主面及び両側面のそれぞれには、複数の励振電極が形成され、
前記基部上には、前記複数の励振電極の一部を共通接続する接続用基部引出電極と、前記複数の励振電極の一部を外部へ引き出す一対の外部用基部引出電極とから構成される基部引出電極が形成されている音叉型圧電振動片であって、
前記基部引出電極が、前記振動腕部の前記表裏両主面に形成された前記励振電極よりも厚肉であることを特徴とする音叉型圧電振動片。
【請求項２】
前記振動腕部の先端側に、前記複数の励振電極の一部を共通接続する腕先引出電極が形成され、前記腕先引出電極は、前記励振電極よりも厚肉に形成されており、前記基部引出電極は、前記腕先引出電極と少なくとも実質同一の肉厚を有する、請求項１に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項３】
前記基部の他端面から突出した接合部を備え、
前記接合部は、前記基部の他端面の前記一対の振動腕部の並設位置間の略中央線上を含む位置から突出した基端部と、前記基端部から前記並設方向一方側に延出した延出部とで、平面視Ｌ字状に形成されており、
前記基端部の表面には、前記一対のうちの前記外部用基部引出電極の一方が引き出された外部用接合部第1引出電極が形成され、その外部用接合部第1引出電極の上部に第１金属バンプが設けられ、
前記延出部の表面には、前記一対のうちの前記外部用基部引出電極の他方が引き出された外部用接合部第２引出電極が形成され、その外部用接合部第２引出電極の上部に第２金属バンプが設けられていると共に、
前記第１金属バンプの平面視サイズは、前記第２金属バンプの平面視サイズより大きい、請求項１、または、請求項２に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項４】
前記腕先引出電極は、その表層に鍍金金属を有しており、
前記外部用基部引出電極の上部、または前記外部用接合部引出電極の上部に金属バンプが形成されており、前記金属バンプは、その表層に、前記鍍金金属と同じ鍍金金属が形成されている請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項５】
前記基部が、一対の振動腕部の並設位置間の略中央線上に対して平面視両側部分が対称同形状であると共に、前記基部引出電極は、互いに電気的に分離された状態で前記基部の表裏面のほぼ全面に同等の肉厚で形成されている、請求項１〜４のうちのいずれか一項に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項６】
請求項１〜５のうちのいずれかに一項に記載の前記音叉型圧電振動片が、パッケージ内で支持されている、ことを特徴とする圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基部の一端面に一対の振動腕部を備えた音叉型圧電振動片及びこの圧電振動片がパッケージ内に支持された圧電振動子に係り、より詳細には、前記圧電振動片において、前記一対の振動腕部それぞれの励振電極を基部上に引き出した引出電極が、当該基部上で静電破壊することを防止することに関する。
【背景技術】
【０００２】
音叉型圧電振動片は、基部と、その一端面から突出して並設された一対の振動腕部とを備えたものである（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
かかる音叉型圧電振動片においては、振動腕部上の励振電極から基部上に引出された引出電極に電圧を印加することで、振動腕部を屈曲振動させるようになっている。
【０００４】
このような音叉型圧電振動片は、圧電振動デバイスのパッケージ内に搭載されて圧電振動子として組み込まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１５２９８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年における圧電振動デバイスの一層の小型化に伴い、それに搭載される圧電振動片の基部の面積は益々狭小化してきている。
【０００７】
基部の面積が狭小化すると、基部上に形成される引出電極は、その電極幅を細く、また、それらの対向間距離を短くして基部上に形成する必要がある。
【０００８】
しかしながら、基部上で引出電極の電極幅を細く、対向間距離を短くすると、これら電極対向間の角部等で電荷集中による放電が起き易く、その放電により引出電極が静電破壊されてしまう虞があるという課題がある。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みて為されたものであり、引出電極の対向間に発生する放電により、引出電極が静電破壊することから防止可能として、所要の振動特性を維持できる音叉型圧電振動片を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、
本発明に係る音叉型圧電振動片は、基部と、一対の振動腕部とを有し、前記一対の振動腕部は、前記基部の一端面から突出した状態に並設されており、前記一対の振動腕部の表裏両主面及び両側面のそれぞれには、複数の励振電極が形成され、前記基部上には、前記複数の励振電極の一部を共通接続する接続用基部引出電極と、前記複数の励振電極の一部を外部へ引き出す一対の外部用基部引出電極とから構成される基部引出電極が形成されている音叉型圧電振動片であって、前記基部引出電極が、前記振動腕部の前記表裏両主面に形成された前記励振電極よりも厚肉であることを特徴とする。
【００１１】
本発明によれば、基部上の前記基部引出電極の肉厚が、前記一対の振動腕部それぞれの表裏両主面の励振電極よりも厚肉であるので、前記基部引出電極の機械的強度が増大している。その結果、基部面積の狭小化により、前記基部引出電極の幅や対向間距離等を狭小にしても、前記基部引出電極が放電により静電破壊されにくくなり、圧電振動片の振動特性を長期にわたり安定に維持できるようになる。
【００１２】
好ましい実施態様は、前記振動腕部の先端側に、前記複数の励振電極の一部を共通接続する腕先引出電極が形成され、前記腕先引出電極は前記励振電極よりも厚肉に形成されており、前記基部引出電極は、前記腕先引出電極と少なくとも実質同一の肉厚を有する。
【００１３】
この実施態様では、通常、前記基部引出電極は、励振電極と同様、薄膜に形成されるが、前記腕先引出電極は、圧電振動片の周波数調整のために、その表層が金属鍍金されるので、当該腕先引出電極が金属鍍金される工程を利用して、前記基部引出電極の肉厚を前記励振電極よりも厚肉に形成できることとなり、前記基部引出電極の厚肉化コストを低減することができる。
【００１４】
好ましい実施態様は、前記基部の他端面から突出した接合部を備え、前記接合部は、前記基部の他端面の前記一対の振動腕部の並設位置間の中央線上から突出した基端部と、前記基端部から前記並設方向一方側に延出した延出部とで、平面視Ｌ字状に形成されており、前記基端部の表面には、前記一対のうちの外部用基部引出電極の一方が引き出された外部用接合部第1引出電極が形成され、その外部用接合部第1引出電極の上部に第１金属バンプが設けられ、前記延出部の表面には、前記一対のうちの外部用基部引出電極の他方が引き出された外部用接合部第２引出電極が形成され、その外部用接合部第２引出電極の上部に第２金属バンプが設けられていると共に、前記第１金属バンプは、その平面視サイズが、前記第２金属バンプの平面視サイズより大きい。
【００１５】
この実施態様では、前記両金属バンプにおいてパッケージ内に片持ち支持した状態で圧電振動片を搭載して圧電振動子とする場合、接合部が平面視Ｌ字状であっても、前記第１金属バンプの平面視サイズが前記第２金属バンプの平面視サイズよりも大きく、且つ、前記第１金属バンプは、前記基部の他端面の前記一対の振動腕部の並設位置間の中央線上から突出した前記基端部に設けられているので、基部上で基部引出電極の肉厚を励振電極よりも厚肉としても、圧電振動片全体の振動バランスが確保される。
【００１６】
好ましい実施態様は、前記腕先引出電極が、その表層に鍍金金属を有しており、前記外部用基部引出電極の上部、または前記外部用接合部引出電極の上部に金属バンプが形成されており、前記金属バンプは、その表層に、前記鍍金金属と同じ鍍金金属が形成されている。
【００１７】
この実施態様では、前記両金属バンプの表層が前記腕先引出電極の表層の鍍金金属と同じであるので、前記腕先引出電極の表層に周波数調整錘用電極を鍍金で形成する場合、その形成の工程で、同時に、前記両金属バンプの表層を金属鍍金して、その肉厚を励振電極よりも厚肉にでき、前記両金属バンプの厚肉化コストを低減することができる。
【００１８】
好ましい実施態様は、前記基部が、前記一対の振動腕部の並設位置間の中央線に対して平面視両側部分が対称同形状であると共に、前記基部引出電極は、互いに電気的に分離された状態で前記基部の表裏面のほぼ全面に同等の肉厚で形成されている。
【００１９】
この実施態様では、前記基部引出電極を厚肉にしても、圧電振動片の振動バランスを良好に維持でき、動作特性を長期に安定して維持できる圧電振動片が得られる。
【００２０】
好ましい実施態様は、前記音叉型圧電振動片が、パッケージ内で支持された圧電振動子である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、基部上の基部引出電極の肉厚が、励振電極よりも厚肉となっているので、その機械的強度が増し、これにより、基部上で基部引出電極間に前記放電が起きても、基部引出電極を静電破壊から防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態に係る音叉型圧電振動片の表面図。
【図２】同音叉型圧電振動片の裏面図。
【図３】同音叉型圧電振動片の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施形態に係る音叉型圧電振動片を説明する。なお、実施形態では水晶Ｚ板(Ｘ面カット)である水晶ウエハを用いるが、本発明は、水晶ウエハに限定されず、水晶ウエハ以外のタンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムなどの圧電材料からなる圧電ウエハを用いた場合にも適用できるものである。また、実施形態では、音叉型圧電振動片で説明するが、本発明は、音叉型以外の圧電振動片にも適用することができる。
【００２４】
図１〜図３を参照して、同実施形態を説明する。図１は、音叉型水晶振動片の表面図、図２は同音叉型水晶振動片の裏面図、図３は、同音叉型水晶振動片の側面図、である。
【００２５】
これらの図において、符号２は、実施形態の音叉型水晶振動片(以下の説明では、単に、水晶振動片という)を示す。水晶振動片２は、基部５と、基部５の一端面から平行に並設された一対の第１、第２振動腕部６，７と、基部５の他端面に設けられた接合部８と、を有する。
【００２６】
基部５は、第１、第２振動腕部６，７の並設方向中央線Ｌ０上に対して左右両側部分が、平面視対称の同形状とされ、且つ、第１、第２振動腕部６，７よりも前記並設方向に幅広に形成されている。なお、中央線Ｌ０は、第１、第２振動腕部６，７の並設間の中央を下方に前記突出方向に沿い当該突出方向とは反対側方向に延びる線を示す。
【００２７】
第１、第２振動腕部６，７は、基部５の一端面から突出して隙間部９を介して互いに平行になって並設されている。隙間部９は、基部５の一端面において、第１、第２振動腕部６，７の並設方向の中央位置上に設けられている。
【００２８】
第１、第２振動腕部６，７の先端部は、前記並設方向に幅広に成形されている。第１振動腕部６には、表裏面の励振電極９ａ１，９ａ２と両側面の励振電極９ｂ１，９ｂ２とが形成されている。第２振動腕部７には、表裏面の励振電極１０ａ１，１０ａ２と両側面の励振電極１０ｂ１，１０ｂ２とが形成されている。第１振動腕部６の表裏両主面の励振電極９ａ１，９ａ２同士、両側面の励振電極９ｂ１，９ｂ２同士は共通接続され、第２振動腕部７の表裏両主面の励振電極１０ａ１，１０ａ２同士、両側面の励振電極１０ｂ１，１０ｂ２同士は共通接続される。そして、第１振動腕部６の表裏両主面の励振電極９ａ１，９ａ２と、第２振動腕部７の両側面の励振電極１０ｂ１，１０ｂ２は、一対の電圧印加用の引出電極の一方に共通接続され、当該一方の引出電極を介して一方の極性の電圧が印加される。また、第１振動腕部６の両側面の励振電極９ｂ１，９ｂ２と、第２振動腕部７の表裏両主面の励振電極１０ａ１，１０ａ２は、引出電極の他方に共通接続され、当該他方の引出電極を介して他方の極性の電圧が印加される。
【００２９】
これら第１、第２振動腕部６，７の励振電極の一部は、基部５の表裏面上に基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６で引き出される。
【００３０】
基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６のうち、基部５表裏両主面側の基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ３，２０ｃ６は、前記複数の励振電極の一部を共通接続する接続用基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ３，２０ｃ６を構成し、基部５の裏面側の一対の引出電極２０ｃ４，２０ｃ５は、前記複数の励振電極の一部を外部に引出す外部用基部引出電極２０ｃ４，２０ｃ５を構成する。これら基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６は、絶縁分離ライン１４ａ１，１４ａ２，１４ｂ１，１４ｂ２で互いに電気的に絶縁分離されている。
【００３１】
接合部８は、基部５の他端面における第１、第２振動腕部６，７の並設方向の中央位置から下方に若干突出された基端部８ａと、基端部８ａから第１、第２振動腕部６，７の並設方向一方に延出された延出部８ｂとにより、基部５に対して平面視Ｌ字状に形成されている。
【００３２】
接合部８の基端部８ａの裏面上に外部用基部引出電極２０ｃ４が引出されて外部用接合部第１引出電極２０ｃ７が形成され、その外部用接合部第１引出電極２０ｃ７の上部に平面視楕円状の第１金属バンプ１１ａが、また、接合部８の延出部８ｂの裏面上に前記外部用基部引出電極２０ｃ５が引出されて外部用接合部第２引出電極２０ｃ８が形成され、さらに、その外部用接合部第２引出電極２０ｃ８の上部に平面視楕円状の第２金属バンプ１１ｂが、それぞれ、形成されている。なお、第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂは、平面視楕円状に限定されず平面視円状でもよい。
【００３３】
第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂは、水晶振動片２を図示省略の水晶振動デバイスに搭載するため、当該デバイスのパッケージ内の段差上或いは底面上の一対の対向する電極パッド上のそれぞれに超音波ボンディングするためのものである。
【００３４】
第１金属バンプ１１ａは、基端部８ａ上において、第１、第２振動腕部６，７の並設方向の中央位置、より詳しくは前記中央位置から、若干、並設方向他方寄りの位置に形成され、第２金属バンプ１１ｂは、延出部８ｂ上において、第１、第２振動腕部６，７の並設方向中央位置から並設方向一方にずれた位置に形成されている。そして、第１金属バンプ１１ａの平面視サイズは、第２金属バンプ１１ｂの平面視サイズよりも大きい。
【００３５】
第１金属バンプ１１ａが、基端部８ａ上の上記の位置に形成され、且つ、第２金属バンプ１１ｂよりも、その平面視サイズが大きいので、水晶振動片２全体の振動バランスを良好に維持できる。
【００３６】
第１、第２振動腕部６，７それぞれの先端側に前記複数の励振電極の一部を共通接続する腕先引出電極１２ａ，１２ｂが形成されている。
【００３７】
腕先引出電極１２ａ，１２ｂは、腕先引出下層電極部１２ａ１，１２ｂ１と、その腕先引出下層電極部１２ａ１，１２ｂ１表面の一部領域上の周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２とで形成されて、全体が前記励振電極よりも厚肉に形成されている。
【００３８】
なお、腕先引出下層電極部１２ａ１，１２ｂ１は、第１、第２振動腕部６，７の表裏面に形成され、第１、第２振動腕部６，７の表面の腕先引出下層電極部１２ａ１，１２ｂ１の一部領域上に前記周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２が形成されている。
【００３９】
そして、基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６は、腕先引出電極１２ａ，１２ｂと実質同一の肉厚を有する。周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２は、腕先引出下層電極部１２ａ１，１２ｂ１の一部領域上に、金属膜からなる鍍金により、形成されている。
【００４０】
なお、腕先引出電極１２ａ，１２ｂは、実施形態では、腕先引出下層電極部１２ａ１，１２ｂ１を薄肉にし、周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２を厚肉にしているが、腕先引出下層電極部１２ａ１，１２ｂ１を厚肉にし、周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２を薄肉にしてもよく、また、両者を同等の肉厚にしてもよく、その全体の肉厚が、基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６と実質同一の肉厚を有すればよい。また、腕先引出電極１２ａ，１２ｂは、前記励振電極と実質同一の肉厚とし、周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２のみを厚肉にしてもよい。
【００４１】
なお、実施形態では、周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２は、第１、第２振動腕部６，７の表面側に形成されているが、裏面側にも形成してよい。
【００４２】
腕先引出電極１２ａ，１２ｂの周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２は、水晶振動片２を駆動し、その周波数が所要の周波数に到達できるように、レーザビームの照射走査やイオンエッチング等で質量削除されて、その周波数の微調整を行うため形成されたものである。また、腕先引出下層電極部１２ａ１，１２ｂ１を厚肉にして、周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２を含めて前記周波数の微調整を行うようにしてもよい。
【００４３】
なお、基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６は、放電による静電破壊防止の観点からは、前記腕先引出電極１２ａ，１２ｂの肉厚以上であってもよいことは勿論である。
【００４４】
以上の構成において、本実施形態の水晶振動片２では、基部５上の基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６の肉厚が、図３に示すように、前記腕先引出電極１２ａ，１２ｂの肉厚と少なくとも実質同一の肉厚に形成されて、振動腕部６，７の表裏両主面の励振電極９ｂ１，９ｂ２，１０ｂ１，１０ｂ２よりも厚肉に形成されている。また、基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６は、絶縁分離ライン１４ａ１，１４ａ２，１４ｂ１，１４ｂ２を除いた基部５の表裏面のほぼ全面において、同等の肉厚で形成されている。
【００４５】
本実施形態では、基部５上の基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６の肉厚が、振動腕部６，７の表裏両主面の励振電極９ｂ１，９ｂ２，１０ｂ１，１０ｂ２よりも厚肉に形成されているので、その機械的強度が増強されている。
【００４６】
このため、基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６が基部５上で電極幅が細く、且つ、絶縁分離ライン１４ａ１，１４ａ２，１４ｂ１，１４ｂ２を介して対向する対向間距離が短いために、基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６間の例えば角部等で放電が起きても、それら基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６の静電破壊を有効に防止することができる。
【００４７】
本実施形態では、接合部８が平面視Ｌ字状であっても、第１金属バンプ１１ａの平面視サイズが、第２金属バンプ１１ｂの平面視サイズが大きく、且つ、第１金属バンプ１１ａは一対の第１、第２振動腕部６，７の並設位置間の略中央線上に設けられているので、水晶振動片２全体の振動バランスが確保されている。
【００４８】
本実施形態では、これに加えて、基部５が、第１、第２振動腕部６，７の並設位置間の略中央線上に対して平面視両側部分が左右対称の同形状であり、かつ、基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６は、基部５の表裏面のほぼ全面に同等の肉厚で形成されているので、基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６を静電破壊防止のために厚肉にしても、水晶振動片２の振動バランスは良好に維持され、その動作特性を長期に安定して維持できる。
【００４９】
腕先引出電極１２ａ，１２ｂにおいて、一例として、腕先引出下層電極部１２ａ１，１２ｂ１はクロム（Ｃｒ）を下地とし、その上層にフォトリソグラフィ等の技術によって金（Ａｕ）が形成された薄膜であり、周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２は、金(Ａｕ)が電解金属鍍金された厚膜になって、質量付加され、前記周波数調整に対応できるようにされている。
【００５０】
引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６の厚肉化の工程を説明する。
【００５１】
水晶振動片２は、水晶ウエハに対するフォトリソグラフィにより、外形が成形され、必要な電極が形成されたうえで、水晶ウエハから折り取られて個片化されたものである。
【００５２】
そして、この水晶振動片２の振動腕部６，７の各電極は、具体的には、Ｃｒを下地とし、その上層にＡｕが積層された薄膜構造となっている。また、腕先引出電極１２ａ，１２ｂの腕先引出下層電極部１２ａ１，１２ｂ１の一部領域上の周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２及び接合部８上の金属バンプ１１ａ，１１ｂは、電解金属(Ａｕ)鍍金で厚膜に形成されている。
【００５３】
そして、基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６は、励振電極と同じ薄膜状に形成された後、基部５上の基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６は、腕先引出電極１２ａ，１２ｂの腕先引出下層電極部１２ａ１，１２ｂ１の上部に電解金属鍍金で周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２を形成する工程で同時に、その表層に電解金属鍍金されて、その肉厚が腕先引出電極１２ａ，１２ｂと実質同一の肉厚にされている。
【００５４】
腕先引出電極１２ａは、第１振動腕部６の側面励振電極９ｂ１，９ｂ２に、腕先引出電極１２ｂは、第２振動腕部７の側面励振電極１０ｂ１，１０ｂ２に接続されている。
【００５５】
腕先引出電極１２ａ，１２ｂの周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２は、数μｍ程度、好ましくは、２〜８μｍ程度の肉厚に形成され、第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂは、数μｍ程度、好ましくは、７〜１５μｍ程度の肉厚に形成されている。
【００５６】
この場合、基部５上の基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６は、前記鍍金前は、励振電極と同程度の薄膜であるが、前記周波数調整錘用電極部１２ａ２，１２ｂ２を電解金属鍍金する工程により、腕先引出電極１２ａ，１２ｂと実質同一程度の肉厚にするとよい。
【００５７】
以上において、基部５の面積狭小化により、基部５上での基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６の電極幅や電極間距離が狭小となっても、基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６の肉厚が、励振電極よりも厚肉であるので、その機械的強度が増大している結果、基部５上の基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６間に放電が発生しても、基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６は、静電破壊から防止される。
【００５８】
なお、基部５上の基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６の肉厚が増大すると、基部５側で水晶振動片２を水晶振動子のパッケージ内で片持ち支持し、水晶振動子（圧電振動子）を構成する場合、水晶振動片２の支持強度が増大し、振動腕部６，７の振動作用が安定する効果も得られる。
【００５９】
以上説明したように、本実施形態によれば、基部５の表裏面の基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６が、基部５の表裏面の励振電極９ａ１，９ｂ１，１０ｂ１，１０ｂ２よりも厚肉であるので、その機械的強度が大きくなり、これにより、基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６の対向間に放電が発生しても、その放電により基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６が静電破壊することを防止することができる。
【００６０】
なお、実施形態では、第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂは、接合部８の外部用接合部第１及び第２引出電極２０ｃ７，２０ｃ８上に形成されたが、接合部８を無くし、基部引出電極２０ｃ４，２０ｃ５それぞれの上部に個別に第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂを形成してもよい。
【００６１】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されずその精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施できる。したがって、前述した実施形態は、単なる例示に過ぎず、本発明の範囲は特許請求の範囲に示すものであって、明細書本文には何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲に属する変形や変更は全て本発明の範囲内のものである。
【符号の説明】
【００６２】
２  水晶振動片(圧電振動片)
５  基部
６，７  振動腕部
８  接合部
９ａ１，９ａ２，１０ａ１，１０ａ２  励振電極
１１ａ，１１ｂ  金属バンプ
１２ａ，１２ｂ  腕先引出電極
１２ａ１，１２ｂ１  腕先引出下層電極部
１２ａ２，１２ｂ２  周波数調整錘用電極部
２０ｃ１〜２０ｃ６  基部引出電極
【図１】
2015103927.tif 000003
【図２】
2015103927.tif 000004
【図３】
2015103927.tif 000005