(57)【要約】      （修正有）【課題】光導波路を備えた配線部のフレキシブル性を確保しながら、その屈曲や捩れから光導波路を守り、光伝播損失の増加を抑制し、しかもノイズの影響を受けにくい、優れた光電気混載基板を提供する。【解決手段】帯状に延びる絶縁層１の両端部が、それぞれ、その表面に導電パターンからなる電気配線２と光素子１０とを備える光電気モジュール部Ａ、Ａ′に形成され、絶縁層１の、光電気モジュール部Ａ、Ａ′から延びる部分が、光素子１０、１０′に光結合される光導波路Ｗを備えた配線部Ｂに形成されており、金属補強層６のうち、配線部Ｂに設けられた部分の幅が、光電気モジュール部Ａ、Ａ′に設けられた部分の幅に比べて狭く設定されているとともに、その配線部に設けられた金属補強層６に、これを幅方向に横切る切れ目４０が形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状に延びる絶縁層の少なくとも片端部が、その表面側に導電パターンからなる電気配線と光素子とを備える光電気モジュール部に形成され、上記絶縁層の、光電気モジュール部から延びる部分が、その裏面側に上記光電気モジュール部の光素子に光結合される帯状の光導波路を備える配線部に形成された光電気混載基板であって、上記絶縁層裏面の、上記光電気モジュール部と配線部にまたがる部分に金属補強層が設けられており、上記金属補強層のうち、配線部に設けられた部分の幅が、光電気モジュール部に設けられた部分の幅に比べて狭く設定されているとともに、その配線部に設けられた金属補強層に、これを幅方向に横切る切れ目が形成されていることを特徴とする光電気混載基板。
【請求項２】
上記金属補強層を幅方向に横切る切れ目が、その途中に少なくとも長手方向に沿って延びる部分もしくは長手方向に対し斜めに延びる部分を有する線状の切れ目であって、その切れ目によって幅方向に分断された部分の、幅方向の寸法の合計が、切れ目が形成されていない金属補強層の幅方向の寸法を１とすると、０．８〜１．２に設定されている請求項１記載の光電気混載基板。
【請求項３】
上記配線部が、光導波路とともに電気配線を備えたものである請求項１または２記載の光電気混載基板。
【請求項４】
上記金属補強層の、幅が狭くなったところの根元角部にアールが付けられている請求項１〜３のいずれか一項に記載の光電気混載基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光電気モジュール部と配線部とを備えた光電気混載基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近の電子機器等では、伝送情報量の増加に伴い、電気配線に加えて、光配線が採用されている。そして、電子機器等の小型化に伴い、配線基板の小型化・高集積化が要求され、限られたスペースに搭載することができるものが望まれている。そのようなものとして、例えば、図７（ａ）に示すように、ポリイミド等からなる絶縁層１２の表面の両端（一端でもよい）に、導電パターンからなる電気配線１３と、パッド１３aに実装される光素子１０とを備えた光電気モジュール部Ｅが形成され、上記絶縁層１２の裏面に、アンダークラッド層２０とコア２１とオーバークラッド層２２とからなる光導波路Ｗが設けられた光電気混載基板が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記光電気混載基板では、図において一点鎖線Ｐで示すように光導波路Ｗのコア２１を通って伝送されてきた光信号を、光電気モジュール部Ｅの光素子１０において電気信号に変換して電気的な制御を行うことができる。また、電気配線１３を通じて伝送されてきた電気信号を光素子１０において光信号に変換して光導波路Ｗを通じて反対側の光電気モジュール部（図示せず）において、再び電気信号として取り出すことができる。
【０００４】
このような光電気混載基板では、絶縁層（ポリイミド等）１２と光導波路Ｗ（エポキシ樹脂等）とが接しているため、両者の線膨張係数の差から、周囲の温度により、光導波路Ｗに応力や微小な曲がりが発生し、それが原因で、光導波路Ｗの光伝播損失が大きくなるという問題がある。また、光電気モジュール部Ｅにおいて、信号を光から電気、電気から光に変換する光素子やそれを駆動するＩＣを実装する際、補強層がないと実装対象面が不安定で、うまく実装できないか、実装できたとしても充分な信頼性を確保した接合が得られないという問題もある。
【０００５】
そこで、光電気モジュール部Ｅにおいて、絶縁層１２の裏面にステンレス等の金属補強層１１を設けてこの部分に一定の剛性を与え、光導波路Ｗに発生する応力や微小な曲がりを防止して光伝播損失の増加を抑制するとともに、光電気モジュール部Ｅ以外の配線部には、このような金属補強層１１は設けないで、光導波路Ｗのフレキシブル性を確保して、狭いスペースへの搭載や複雑な位置関係の光電気結合に対応できるようにしたものが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１９４４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような、金属補強層１１で補強された光電気モジュール部Ｅとフレキシブルな光導波路Ｗを備えた配線部Ｂとが接合された光電気混載基板では、図７（ｂ）に模式的に示すように、金属補強層１１が設けられている部分（細かい斜線で示された領域）と設けられていない部分とにまたがって光導波路Ｗ(粗い斜線で示す)が形成されているため、その境界部Ｘ、Ｘ′において、光導波路Ｗが動くたびに剛性の高い金属補強層１１に引っ張られたり、この部分で捩られたりして、光導波路Ｗに破れや折れが生じやすいことが判明した。
【０００８】
また、最近では、光電気混載基板のフレキシブル性を高めるために、図７（ｃ）に示すように、配線部Ｂの幅を狭くすることが提案され、光電気モジュール部Ｅと配線部Ｂとの境界部における強度を高めるために、金属補強層１１の一部を配線部側に突出させた形状にすることが検討されている。しかし、この形状においても、前記の場合と同様、金属補強層１１が設けられている部分と設けられていない部分の境界部Ｙ、Ｙ′において光導波路Ｗに破れや折れが生じやすいだけでなく、幅を狭くした角部Ｚ、Ｚ′においても、金属補強層１１の反りや捩れによって光導波路Ｗに応力がかかり、ダメージを受けやすいことが判明した。
【０００９】
これに対し、本出願人は、配線部Ｂがフレキシブルで、しかも金属補強層１１が設けられている部分と設けられていない部分の境界部に無理な応力がかからない光電気混載基板構造について研究を重ね、すでに出願している（特願２０１３−２２７３６８、平成２５年１０月３１日出願）。
【００１０】
この光電気混載基板は、例えば図８に示すように、左右の光電気モジュール部Ｅ，Ｅ′と配線部Ｂにまたがる部分に金属補強層１１が設けられており、配線部Ｂに設けられた部分の幅が、光電気モジュール部Ｅに設けられた部分の幅に比べて狭く設定され、その狭くなった部分の根元角部にアールが付けられた構成になっている。この構成によれば、幅の狭い配線部Ｂが、金属補強層１１によって補強されているため、この部分が屈曲したり捩れたりしても配線部Ｂが破断したり無理な折り目が付いたりしないという利点を有する。
【００１１】
しかしながら、図８に示すように、左右の光電気モジュール部Ｅとその間の配線部Ｂを一続きの金属補強層１１で補強すると、上記金属補強層１１は、左右の光電気モジュール部Ａ、Ａ′においてＧＮＤ（グラウンド）としての役割も兼ねているため、これらが左右でつながっていると、左右の光電気モジュール部Ｅ、Ｅ′で生じるノイズを共有することになり、それぞれの電気回路部分において悪影響を及ぼすおそれがあることが判明した。
【００１２】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、光導波路を備えた配線部のフレキシブル性を確保しながら、その屈曲や捩れから光導波路を守り、光伝播損失の増加を抑制し、しかもノイズの影響を受けにくい、優れた光電気混載基板の提供をその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の目的を達成するため、本発明は、帯状に延びる絶縁層の少なくとも片端部が、その表面側に導電パターンからなる電気配線と光素子とを備える光電気モジュール部に形成され、上記絶縁層の、光電気モジュール部から延びる部分が、その裏面側に上記光電気モジュール部の光素子に光結合される帯状の光導波路を備える配線部に形成された光電気混載基板であって、上記絶縁層裏面の、上記光電気モジュール部と配線部にまたがる部分に金属補強層が設けられており、上記金属補強層のうち、配線部に設けられた部分の幅が、光電気モジュール部に設けられた部分の幅に比べて狭く設定されているとともに、その配線部に設けられた金属補強層に、これを幅方向に横切る切れ目が形成されている光電気混載基板を第１の要旨とする。
【００１４】
また、本発明は、そのなかでも、特に、上記金属補強層を幅方向に横切る切れ目が、その途中に少なくとも長手方向に沿って延びる部分もしくは長手方向に対し斜めに延びる部分を有する線状の切れ目であって、その切れ目によって幅方向に分断された部分の、幅方向の寸法の合計が、切れ目が形成されていない金属補強層の幅方向の寸法を１とすると、０．８〜１．２に設定されている光電気混載基板を第２の要旨とする。
【００１５】
さらに、本発明は、それらのなかでも、特に、上記配線部が、光導波路とともに電気配線を備えたものである光電気混載基板を第３の要旨とし、上記金属補強層の、幅が狭くなったところの根元角部にアールが付けられている光電気混載基板を第４の要旨とする。
【００１６】
なお、本発明において、「幅」とは、帯状に延びる絶縁層をベースとして構成された光電気混載基板の平面視形状において、その長手方向と直交する方向における長さ寸法を意味する趣旨である。また、「これ（金属補強層）を幅方向に横切る」とは、長手方向に延びる金属補強層を横切る際、横断開始点から横断終了点までが最短距離とならない、すなわち横断軌跡が長手方向と直交する一本の直線とならない、様々な迂回路を経由して横断する場合を含む趣旨である。
【発明の効果】
【００１７】
すなわち、本発明の光電気混載基板は、ベースとなる絶縁層裏面の、光電気モジュール部と配線部にまたがる部分に金属補強層を設け、その金属補強層の幅を、配線部側において狭くすることにより、配線部の柔軟性を維持しつつその部分を補強したものである。したがって、このものは、配線部が屈曲したり捩れたりしても、その部分に無理な折り目がついたり破断したりしない。しかも、上記配線部に設けられた金属補強層に、これを幅方向に横切る切れ目が設けられているため、配線部を挟んで両側に設けられる光電気モジュール部の間、あるいは片方の光電気モジュール部と、その配線部にコネクタを介して接続される他の光電気モジュール部との間が、上記切れ目によって分断され電気的に絶縁されている。したがって、各光電気モジュール部において、ＧＮＤ（グラウンド）として機能する金属補強層が、互いにつながっておらず、別々に機能するため、ノイズを両方で共有するようなことなく、各光電気モジュール部の電気回路部分が悪影響を受けにくいという利点を有している。
【００１８】
そして、本発明のなかでも、特に、上記金属補強層の切れ目が、長手方向に沿って延びる部分もしくは長手方向に対し斜めに延びる部分を有する線状の切れ目であり、その切れ目によって幅方向に分断された部分の、幅方向の寸法の合計が、切れ目が形成されていない金属補強層の幅方向の寸法を１とすると、０．８〜１．２に設定されているものは、切れ目が形成された部分と切れ目のない部分において、金属補強層が補強する領域の幅方向の寸法に殆ど差がないため、配線部が屈曲したり捩れたりした場合に、特定の切れ目部分に偏って荷重がかかって折れたり破断したりすることがなく、良好な状態で長期にわたって使用することができるという利点を有する。そして、配線部に、偏った応力がかからないため、配線部に沿って設けられる光導波路のコアに微小な曲がり等が生じず、光導波路の光伝播損失の増加をさらに抑えることができる。
【００１９】
さらに、本発明のなかでも、特に、上記配線部が、光導波路とともに電気配線を備えたものであるものは、光信号による情報と電気信号による情報とを伝送することができるため、より多くの情報をやりとりすることができ好適である。
【００２０】
そして、本発明のなかでも、特に、上記金属補強層の、幅が狭くなったところの根元角部にアールが付けられているものは、上記アール部分においてその応力が分散、緩和されるようになっているため、幅の違いによって段差のある部分に、破断が生じたり無理な折り目がついたりすることがなく、長期にわたって、より良好な状態で使用することができる。そして、この場合も、配線部に、偏った応力がかからないため、配線部に沿って設けられる光導波路のコアに微小な曲がり等が生じず、光導波路の光伝播損失の増加をさらに抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の光電気混載基板の一実施の形態を示す模式的な平面図である。
【図２】（ａ）はその要部断面を拡大して模式的に示す説明図、（ｂ）は上記実施の形態における金属補強層の形状を示す模式的な説明図である。
【図３】（ａ）〜（ｅ）は、いずれも上記光電気混載基板の製法における光電気モジュール部の作製工程を模式的に示す説明図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、いずれも上記光電気混載基板の製法における配線部の作製工程を模式的に示す説明図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、いずれも上記金属補強層の平面視形状の変形例を示す説明図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、いずれも上記金属補強層の平面視形状の他の変形例を示す説明図である。
【図７】（ａ）は従来の光電気混載基板の一例を示す模式的な縦断面図、（ｂ）はその問題点を説明するための模式的な平面図、（ｃ）は従来の光電気混載基板の他の形状における問題点を説明するための模式的な平面図である。
【図８】先願発明における金属補強層の平面視形状の一例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。
【００２３】
図１は、本発明の光電気混載基板の一実施の形態を模式的に示す平面図であり、図２（ａ）は、その要部断面を拡大して模式的に示す説明図である。
【００２４】
この光電気混載基板は、左右一対の、平面視略正方形状の光電気モジュール部Ａ、Ａ′と、その間の配線部Ｂとが一体的に設けられ、全体として帯状になっている。なお、本発明において、多少幅方向に凹凸があっても長手方向に延びているものを「帯状」という。より具体的には、この光電気混載基板は、一枚の帯状の絶縁層（この例では透明ポリイミド層）１を基板として、その左右両端部の、幅の広い部分の表面に、光素子１０、１０′と、導電パターンからなる電気配線２とが形成されて、光電気モジュール部Ａ、Ａ′になっている。なお、この例では、光電気モジュール部Ａにおける光素子１０は受光素子であり、光信号を受信して、電気信号に変換するようになっている。そして、光電気モジュール部Ａ′における光素子１０′は発光素子であり、電気信号を受信して光信号に変換するようになっている。
【００２５】
また、上記絶縁層１の、左右の光電気モジュール部Ａ、Ａ′に挟まれた、幅の狭い帯状部分には、その裏面側に光導波路Ｗが設けられており、この部分が、光信号を伝送する配線部Ｂになっている。そして、上記光電気モジュール部Ａ、Ａ′には、光素子１０、１０′を駆動するためのＩＣや能動素子等が必要に応じて実装されるが、この例では、その図示と説明を省略している。さらに、上記光電気モジュール部Ａ、Ａ′には、他の電気回路基板等と接続するためのコネクタが搭載されていてもよい。なお、光電気モジュール部Ａ′の構成は、基本的に光電気モジュール部Ａと左右対称になっており、以下、光電気モジュール部Ａについてのみ説明し、光電気モジュール部Ａ′の説明を省略する。
【００２６】
上記光電気モジュール部Ａには、所定の導電パターンからなる電気配線２が形成されており、その一部には、上記光素子１０を実装するためのパッド２ａと、アース用電極２ｂとが含まれている。そして、上記パッド２ａの表面は、導電性を高めるために、金めっき層４で被覆されている。また、上記電気配線２のうち、パッド２ａを除く部分は、カバーレイ３によって被覆され、絶縁保護されている（図１においては、カバーレイ３の図示を省略）。
【００２７】
そして、上記絶縁層１の裏面には、光電気モジュール部Ａと配線部Ｂにまたがる金属補強層（この例ではステンレス層）６が設けられており、この部分が安定した平面性を保つようになっている。なお、５は、光素子１０と光導波路Ｗとを光結合するための貫通孔である。
【００２８】
上記金属補強層６について、より詳しく説明すると、この金属補強層６は、光電気モジュール部Ａの外形と略一致する形状の幅広部６ａと、この幅広部６ａの一端から配線部Ｂ側に延設され、配線部Ｂの幅と同様幅が狭く設定された幅狭部６ｂとで構成されている。なお、この金属補強層６の下側には光導波路Ｗが設けられており、図１では、その輪郭を破線で示す。
【００２９】
上記金属補強層６の幅狭部６ｂは、配線部Ｂの長手方向の両縁部に沿って延びる２本の帯状部３０、３１からなり、その間が、金属補強層６のない、スリット部３２に形成されている（光結合用の貫通孔５の図示を省略、以下の図においても同じ）。そして、上記２本の帯状部３０、３１の、幅広部６ａに連なる根元角部と、上記スリット部３２の根元角部とに、それぞれアールが付されている。これらの部分にアールが付されていることにより、配線部Ｂが屈曲したり捩れたりしても、金属補強層６が設けられ剛性が高められた光電気モジュール部Ａに、配線部Ｂが直接引っ張られて配線部Ｂの柔軟な部分に集中して応力がかかることがなく、各アール部分において、その応力が分散、緩和されるようになっている。したがって、配線部Ｂの特定の領域に切れ目が入ったり、無理な折り目がついたり、あるいは途中に破断したりすることがなく、長期にわたって配線部Ｂを良好な状態で使用することができる。
【００３０】
しかも、上記２本の帯状部３０、３１には、それらの長手方向の中間部に、線状の細い切れ目４０、４１が形成されており、その切れ目４０、４１によって、長手方向に延びる金属補強層６が、左右に分断され電気的に絶縁されている。なお、上記切れ目４０、４１は、絶縁層１の裏面側にある金属補強層６を表側に返して拡大した図２（ｂ）に示すように、それぞれ、帯状部３０、３１の長手方向に直交する部分と、長手方向に沿って延びる部分とが一続きで形成されており、配線部Ｂの長手方向の中心線３５を対称軸として対称形になっている。このように、配線部Ｂにおける金属補強層６が、帯状部３０、３１に形成された切れ目４０、４１によって左右で絶縁され、金属補強層６のＧＮＤとしての機能が、左右で互いに独立しているため、両者の間でノイズが共有されるようなことがない。
【００３１】
そして、上記切れ目４０、４１が、それぞれごく細い線状の切れ目であり、その長手方向に沿って延びる切れ目部分によって幅方向に分断された部分の、幅方向の寸法の合計〔図２（ｂ）における（Ｑ＋Ｓ）〕が、切れ目４０、４１が形成されていない部分の幅寸法Ｔと略同じ寸法になっているため、帯状部３０、３１は、長手方向のどの部分においても、略同じ幅で配線部Ｂを補強している。したがって、上記配線部Ｂが屈曲したり捩れたりしても、切れ目４０、４１が破れや折れのきっかけになりにくいという利点を有する。
【００３２】
一方、上記絶縁層１〔図２（ａ）に戻る〕の裏面側には、配線部Ｂから光導波路Ｗが延びており、金属補強層６における貫通孔５の部分を介して、その先端部が、絶縁層１表面側の光素子１０と光結合されるようになっている。すなわち、光導波路Ｗは、絶縁層１の裏面側から下に向かって、アンダークラッド層７と、その下に複数本平行に並んだ状態で配置されるコア８と、コア８を被覆するオーバークラッド層９とを、この順で備えている。上記アンダークラッド層７は、その一部が上記金属補強層６に接して貫通孔５にも入り込んでいる。
【００３３】
したがって、上記光電気混載基板は、自在に屈曲するフレキシブル性に優れているだけでなく、光電気モジュール部Ａ、Ａ′と配線部Ｂとが相対的に大きく屈曲した配置になったり互いに引っ張り合ったり捩れたりしても、その動きに伴って生じる応力が、金属補強層６の、配線部Ｂ側に連なる部分（幅狭部６ｂの根元角部、先端角部）に付されたアールによって、均一に分散され緩和される。また、配線部Ｂにおける金属補強層６が、帯状部３０、３１に形成された切れ目４０、４１によって、左右で絶縁されており、互いに独立しているため、ＧＮＤとしての機能を果たす金属補強層６が、左右の光電気モジュール部Ａ、Ａ′において、両者の間でノイズを共有するようなことがなく、それぞれの電気回路部分がノイズによって悪影響を受けにくい。しかも、上記帯状部３０、３１に形成された切れ目４０、４１が細い線状で、金属補強層６の幅狭部６ｂにおいて、その切れ目４０、４１が破れや折れのきっかけになりにくいよう配慮されているため、上記光電気混載基板の良好なフレキシブル性と耐久性とが損なわれることがない。そして、配線部Ｂに、偏った応力がかからないため、配線部Ｂに沿って設けられた光導波路Ｗのコア８に微小な曲がり等が生じず、光導波路Ｗの光伝播損失の増加を抑えることができる。
【００３４】
上記光電気混載基板は、例えば、つぎのようにして製造することができる。
【００３５】
まず、図３（ａ）に示すように、平坦で帯状の金属補強層６を準備する。この金属補強層６の形成材料としては、ステンレス、銅、銀、アルミニウム、ニッケル、クロム、チタン、白金、金等があげられるが、強度性、屈曲性等の観点から、ステンレスが好ましい。また、上記金属補強層６の厚みは、例えば、１０〜７０μｍの範囲内に設定することが好適である。すなわち、上記の範囲よりも薄すぎると、光電気混載基板に対する補強効果が充分に得られなくなるおそれがあり、逆に、厚すぎると、剛性が高くなりすぎて、光電気混載基板全体の屈曲性が損なわれるおそれがあるとともに、全体の厚みが厚くなりすぎて嵩張り、使い勝手が悪くなるおそれがあるからである。
【００３６】
そして、上記金属補強層６の表面に、ポリイミド樹脂等からなる感光性絶縁樹脂を塗布し、フォトリソグラフィ法により、所定パターンの絶縁層１を形成する。この実施の形態では、金属補強層６に接触するアース用電極２ｂを形成するために、所定の配置で、上記金属補強層６の表面を露呈させる孔部１ａを形成する。なお、上記絶縁層１の厚みは、３〜５０μｍの範囲内に設定することが好適である。
【００３７】
つぎに、図３（ｂ）に示すように、上記光電気モジュール部Ａの電気配線２（光素子１０を実装するためのパッド２ａおよびアース用電極２ｂを含む）を、例えばセミアディティブ法により、同時に形成する。この方法によれば、まず、上記絶縁層１の表面に、スパッタリングまたは無電解めっき等により、銅等からなる金属膜（図示せず）を形成する。この金属膜は、後の電解めっきを行う際のシード層（電解めっき層形成の素地となる層）となる。そして、上記金属補強層６、絶縁層１およびシード層からなる積層体の両面に、感光性レジスト（図示せず）をラミネートした後、上記シード層が形成されている側の感光性レジストに、フォトリソグラフィ法により、上記電気配線２の導電パターンとなる孔部を形成し、その孔部の底に上記シード層の表面部分を露呈させる。
【００３８】
つぎに、電解めっきにより、上記孔部の底に露呈した上記シード層の表面部分に、銅等の導電材からなる電解めっき層を積層形成する。そして、上記感光性レジストを水酸化ナトリウム水溶液等により剥離する。その後、上記電解めっき層が形成されていないシード層の部分をソフトエッチングにより除去する。残存したシード層と電解めっき層とからなる積層部分が、上記電気配線２となる。なお、上記導電材としては、銅の他、クロム、アルミニウム、金、タンタル等、導電性および展性に優れた金属材料が好適に用いられる。また、これらの金属の少なくとも一種を用いた合金も好適に用いられる。そして、上記電気配線２の厚みは、３〜３０μｍの範囲に設定することが好適である。すなわち、上記の範囲よりも薄いと、電気配線としての性能が損なわれるおそれがあり、逆に、上記の範囲よりも厚いと、裏面側の金属補強層６の厚みと相俟って、光電気モジュール部Ａ全体の厚みが厚くなりすぎて嵩張るおそれがあるからである。
【００３９】
そして、図３（ｃ）に示すように、光電気モジュール部Ａの電気配線２の表面に、ニッケル等からなる無電解めっき層（図示せず）を形成した後、上記光素子実装用のパッド２ａを除く電気配線２の部分に、ポリイミド樹脂等からなる感光性絶縁樹脂を塗布し、フォトリソグラフィ法により、カバーレイ３を形成する。カバーレイ３の厚みは、１〜２０μｍの範囲に設定することが好適である。すなわち、上記の範囲内で、電気配線２に対し、優れた保護・補強効果を奏するからである。
【００４０】
つぎに、図３（ｄ）に示すように、上記電気配線２のうち、パッド２ａに形成された上記無電解めっき層（図示せず）をエッチングにより除去した後、その除去跡に、金やニッケル等からなる電解めっき層（この例では金めっき層）４を形成する。
【００４１】
つぎに、上記金属補強層６と絶縁層１との積層体の両面に、感光性レジスト（図示せず）をラミネートした後、上記金属補強層６の裏面側（電気配線２が設けられた面と反対側の面側）の感光性レジストのうち、金属補強層６を除去したい部分（配線部Ｂにおけるスリット部３２となる部分、切れ目４０、４１となる部分、光路用の貫通孔形成予定部に対応する部分）に、フォトリソグラフィ法により、孔部を形成して金属補強層６の裏面部分を露呈させる。
【００４２】
そして、図３（ｅ）に示すように、上記孔部から露呈した上記金属補強層６の部分を、その金属補強層６の材質に応じたエッチング用水溶液（例えば、ステンレス層の場合は、塩化第二鉄水溶液）を用いてエッチングすることにより除去し、その除去跡から絶縁層１を露呈させる。その後、上記感光性レジストを水酸化ナトリウム水溶液等により剥離する。これにより、図１に示すような、光電気モジュール部Ａ、Ａ′の各裏面と配線部Ｂの両端部とにまたがって長く延びる２本の帯状部３０、３１であって、特定の切れ目４０、４１を有する金属補強層６を得ることができる。
【００４３】
つぎに、上記絶縁層１と金属補強層６の裏面に、光導波路Ｗ〔図１（ｂ）参照〕を形成する。すなわち、まず、図４（ａ）に示すように、上記絶縁層１および金属補強層６の裏面（図では下面）に、アンダークラッド層７の形成材料である感光性樹脂を塗布した後、その塗布層を照射線により露光して硬化させ、アンダークラッド層７を形成する。アンダークラッド層７の厚み（金属補強層６の裏面からの厚み）は、３〜５０μｍの範囲内に設定することが好適である。なお、上記アンダークラッド層７は、フォトリソグラフィ法によって所定パターンにパターニングして形成してもよい。
【００４４】
つぎに、図４（ｂ）に示すように、上記アンダークラッド層７の表面（図では下面）に、フォトリソグラフィ法により、所定パターンのコア８を形成する。上記コア８の厚みは、２０〜１００μｍの範囲内に設定することが好適である。そして、コア８の幅は、１０〜１００μｍの範囲内に設定することが好適である。上記コア８の形成材料としては、例えば、上記アンダークラッド層７と同様の感光性樹脂があげられ、上記アンダークラッド層７および以下に述べるオーバークラッド層９〔図４（ｃ）参照〕の形成材料よりも屈折率が大きい材料が用いられる。この屈折率の調整は、例えば、上記アンダークラッド層７、コア８、オーバークラッド層９の各形成材料の種類の選択や組成比率を勘案して行うことができる。
【００４５】
つぎに、図４（ｃ）に示すように、上記コア８を被覆するよう、上記アンダークラッド層７の表面（図では下面）に、フォトリソグラフィ法により、オーバークラッド層９を形成する。このオーバークラッド層９の厚み（アンダークラッド層７の表面からの厚み）は、上記コア８の厚み以上であり、３００μｍ以下に設定することが好適である。上記オーバークラッド層９の形成材料としては、例えば、上記アンダークラッド層７と同様の感光性樹脂があげられる。そして、上記オーバークラッド層９を形成する場合も、フォトリソグラフィ法によって所定パターンをパターニングするようにしてもよい。
【００４６】
そして、図４（ｄ）に示すように、絶縁層１の表面に設けられたパッド２ａに対応する光導波路Ｗの部分（図２〔ａ〕参照、光導波路Ｗの両端部）を、レーザ加工や切削加工等により、コア８の長手方向に対して４５°傾斜した傾斜面に形成し、光反射面８ａとする。ついで、上記パッド２ａに光素子１０を実装して、目的とする光電気混載基板を得ることができる。
【００４７】
なお、上記の製法では、電気配線２のうち、光素子１０を実装するためのパッド２ａを、金めっき層４で被覆したが、電気配線２の材質や、要求される特性によっては、このようなめっき層による被覆は必要ではない。
【００４８】
また、上記の実施の形態では、配線部Ｂを挟んで、その左右両側に光電気モジュール部Ａ、Ａ′が一体的に設けられた構成になっているが、上記光電気モジュール部Ａ、Ａ′は、必ずしも左右一対で設けられている必要はなく、光電気モジュール部が片方だけに設けられており、配線部Ｂの先端が、他の光電気モジュール部にコネクタ等を介して接続されるようになっているものであっても差し支えない。
【００４９】
そして、上記の実施の形態において、上記金属補強層６の幅狭部６ｂを構成する２本の帯状部３０、３１に形成される切れ目４０、４１は、上記の実施の形態に限らず、各種のパターンにすることができる。それらの例を、図５（ａ）、（ｂ）に示す。なお、上記帯状部３０、３１は、通常、配線部Ｂの中心線３５〔図２（ｂ）参照〕に対して対称形に配置されるため、片方の帯状部３０について説明し、他方の帯状部３１についてはその説明を省略する。
【００５０】
図５（ａ）は、帯状部３０を左右に絶縁する切れ目４０として、帯状部３０に直交する３本の切れ目部分４０ａと、長手方向に延びる１本の切れ目部分４０ｂとを組み合わせたものである。この例においても、切れ目４０の幅をごく細く設定しておけば、幅方向のどの部分においても、概ね金属補強層６によって補強されている部分の幅が、切れ目４０のない部分における補強の幅と略同一になるため、配線部Ｂを繰り返し屈曲させても、上記切れ目４０が破れや折れのきっかけになりにくい。
【００５１】
また、図５（ｂ）は、帯状部３０を左右に絶縁する切れ目４０として、帯状部３０に直交する３本の切れ目部分４０ａと、長手方向に延びる２本の切れ目部分４０ｂとを一続きでつないで組み合わせたものである。この例においても、上記の例と同様、切れ目４０の幅をごく細く設定しておけば、幅方向のどの部分においても、概ね金属補強層６によって補強されている部分の幅が、切れ目４０のない部分における補強の幅と略同一になるため、配線部Ｂを繰り返し屈曲させても、上記切れ目４０が破れや折れのきっかけになりにくい。もちろん、上記切れ目４０を、金属補強層６の中央の１個所に設けても差し支えない。
【００５２】
さらに、上記一連の実施の形態のように、配線部Ｂの金属補強層６として、２本の帯状部３０、３１を設けるのではなく、図５（ｃ）に示すように、幅狭部６ｂを、１本の幅の狭い帯状とし、その左右両側の２個所に、切れ目４０、４０′を設けるようにしてもよい。この構成によれば、金属補強層６は、左右両側部と中央部の３領域に分けて絶縁することができる。
【００５３】
なお、上記切れ目４０、４０′は、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、帯状の金属補強層６に直交する切れ目部分と長手方向に沿って延びる切れ目部分とを組み合わせたものであってもよいし、図示のように、金属補強層６を斜めに横断するものであってもよい。
【００５４】
また、上記切れ目４０、４０′は、必ずしも長手方向に延びる部分を有したものや、斜めに横断するものである必要はない。例えば、図６（ａ）に示すように、金属補強層６の、配線部Ｂに延びる幅狭部６ｂを、２本の、途中で途切れた帯状部３６、３７で構成し、配線部Ｂの長手方向に長く延ばすとともに、その途中の２個所に、これを直角に横切る切れ目４０、４０′を設けるようにしてもよい。
【００５５】
さらに、金属補強層６の他の形状として、例えば、図６（ｂ）に示すように、配線部Ｂに延びる幅狭部６ｂを、２本の、途中で途切れた帯状部３６′、３７′で構成し、配線部Ｂの長手方向に長く延ばすとともに、配線部Ｂの中央部に、長手方向に延びる補助帯状部５０を設けたものが考えられる。また、上記の形状とは反対に、図６（ｃ）に示すように、幅狭部６ｂを、１本の、途中で途切れた帯状とし、配線部Ｂの中央部両側に、長手方向に延びる２本の補助帯状部５１を設けたものが考えられる。これらの構成によれば、丸枠Ｕで囲われた部分において、金属補強層６が、長手方向に延びる２本の切れ目４０によって左右方向に絶縁されており、左右の光電気モジュール部Ａ、Ａ′（図１参照）の電気回路部分がノイズの影響を受けにくいという効果を奏する。しかし、上記切れ目４０の入った部分において金属補強層６が幅方向に占める割合と、それ以外の部分において金属補強層６が幅方向に占める割合との差が大きすぎるため、配線部Ｂが屈曲を繰り返したりねじれたりすると、上記丸枠Ｕで囲われた部分とそれ以外の部分との境界部において、破れや折れのきっかけが生じるおそれがあり、好ましくない。
【００５６】
したがって、本発明において、金属補強層６を左右方向に絶縁するために設けられる切れ目４０等は、金属補強層の全体の幅寸法に対してごく小さい幅寸法、すなわちごく細い線状の切れ目４０であることが望ましく、しかも、その途中に少なくとも長手方向に沿って延びる部分もしくは長手方向に対し斜めに延びる部分を有する切れ目であることが望ましい。より具体的には、金属補強層６において、切れ目４０等が形成されていない部分の幅寸法Ｔ〔図２（ｂ）を参照〕を１とすると、長手方向に沿って延びる切れ目部分によって幅方向に分断された部分の、幅方向の寸法の合計（Ｑ＋Ｓ）が、０．８〜１．２となるように設定すると、切れ目４０等が形成された部分と、切れ目４０等が形成されていない部分とが、長手方向のどの部分においても、略同じ幅で配線部Ｂを補強することになり、好適である。
【００５７】
また、上記一連の実施の形態では、金属補強層６の、幅が狭くなったところの根元角部や、帯状部３０、３１等の根元角部にアールを付けて、配線部Ｂの柔軟な部分に応力が集中しないようにしているが、このようなアールは、必ずしも必要ではない。ただし、光電気混載基板の用途や取り付け形態によって、配線部Ｂに大きい負荷がかかったり繰り返し屈曲動作が加えられたりする場合には、上記のように、金属補強層６の各根元角部にアールを付けることが望ましい。
【００５８】
そして、上記一連の実施形態では、左右の光電気モジュール部Ａ、Ａ′の幅に対してその間の配線部Ｂの幅が狭い形状になっており、その形状に合わせて、金属補強層６も、その左右の光電気モジュール部Ａ、Ａ′裏面に設けられる部分が幅広部６ａになっており、幅の狭い配線部Ｂの裏面に設けられる部分が幅狭部６ｂになっているが、例えば図１において一点鎖線で示すように、光電気混載基板全体が同じ幅の帯状で、その帯状の、配線部Ｂとなる部分の裏面に設けられる金属補強層６の形状のみが、幅狭部６ｂになっている構成であっても差し支えない。この場合も、上記一連の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００５９】
さらに、上記一連の実施形態では、配線部Ｂに、光導波路Ｗのみが設けられた構造になっているが、配線部Ｂには、光導波路Ｗと電気配線の両方が設けられた構造になっていてもよい。
【実施例】
【００６０】
〔実施例１〕
図１に示す光電気混載基板を、前記の製法にしたがって作製した。ただし、配線部Ｂの長さは２０ｃｍとした。また、金属補強層６として、厚み２０μｍのステンレス層を設けた。そして、金属補強層６のうち、幅狭部６ｂの根元角部のアールの曲率半径Ｒを１．５ｍｍとし、その配線部Ｂ側に突出した先端角部のアールの曲率半径Ｒ′を０．８ｍｍとした。また、２本の帯状部３０、３１〔図２（ｂ）を参照〕の幅寸法Ｔを４００μｍ、切れ目４０、４１の幅寸法を、ともに１００μｍとした。そして、どちらの帯状部３０、３１も、（Ｑ＋Ｓ）は４００μｍであることから、Ｔ：（Ｑ＋Ｓ）＝１：１である。そして、絶縁層の厚みを５μｍ、アンダークラッド層の厚み（絶縁層の裏面からの厚み）を１０μｍ、コアの厚みを５０μｍ、コアの幅を５０μｍ、オーバークラッド層の厚み（アンダークラッド層の表面からの厚み）を７０μｍとした。そして、電気配線２の厚みを５μｍとした。
【００６１】
〔比較例１〕
金属補強層６に切れ目４０、４１を設けなかった。それ以外は、上記実施例１と同様にして、光電気混載基板を作製した。
【００６２】
〔破断強度〕
上記実施例１品と比較例１品のそれぞれを、幅方向に１周ねじった状態にして、左右方向に引っ張った。そして、その引張荷重を増加させていき、配線部Ｂが破断する際の値（破断強度）を確認した。その結果、実施例１品、比較例１品とも、破断強度は１２Ｎであり、実施例１品は金属補強層６に切れ目４０、４１が入っているものの、破断強度の低下がみられないことがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明の光電気混載基板は、フレキシブル性が要求される各種電子機器、とりわけ小型で高い情報処理性能が要求される民生用画像表示機器、通信用携帯機器、産業・医療等の検査機器等に広く利用可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１  絶縁層
２  電気配線
６  金属補強層
１０、１０′  光素子
４０、４１  切れ目
Ａ、Ａ′  光電気モジュール部
Ｂ  配線部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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