(57)【要約】      （修正有）【課題】基板移送ロボット用駆動装置及びこれを用いた基板移送方法を提供する。【解決手段】基板を支持支持ハンド移送駆動部、支持ハンドを昇降させるための昇降アーム２２０を駆動させる昇降駆動部、昇降アームを回転させる旋回部２３０を駆動させる旋回駆動部、旋回部を走行方向駆動させる走行駆動部、設定された目標位置から蛇行補償値を導出する蛇行補償導出部、及び蛇行補償導出部から導出された蛇行補償値を垂直方向と並んでいる第１蛇行方向及び第１蛇行方向と垂直な第２蛇行方向に分配して設定された目標位置に従って移送駆動部、昇降駆動部、旋回駆動部、及び走行駆動部に対する駆動角度を生成する制御部を含み、かつ制御部は蛇行補償値を第１蛇行方向に対しては昇降駆動部、移送駆動部、及び走行駆動部のうちの少なくとも１つに分配し、第２蛇行方向に対しては旋回駆動部、移送駆動部、及び走行駆動部のうちの少なくとも１つに分配する。【選択図】図４
2015196242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持するための支持ハンドを移送するための移送駆動部と、
前記支持ハンドが位置する高さが変更されるように前記支持ハンドを垂直方向に昇降させるための昇降アームを駆動させる昇降駆動部と、
前記支持ハンドが向かう方向が変更されるように前記昇降アームを回転させる旋回部を駆動させる旋回駆動部と、
前記旋回部を走行方向に移動させるための走行部を駆動させる走行駆動部と、
設定された目標位置から蛇行補償値を導出する蛇行補償導出部と、
前記蛇行補償導出部から導出された蛇行補償値を垂直方向と並んでいる第１蛇行方向、及び前記第１蛇行方向と垂直な第２蛇行方向に分配して設定された目標位置に従って前記移送駆動部、前記昇降駆動部、前記旋回駆動部、及び前記走行駆動部に対する駆動角度を生成する制御部とを含み、
前記制御部は前記蛇行補償値を前記第１蛇行方向に対しては、前記昇降駆動部、前記移送駆動部、及び前記走行駆動部のうちの少なくとも１つに分配し、前記第２蛇行方向に対しては、前記旋回駆動部、前記移送駆動部、及び前記走行駆動部のうちの少なくとも１つに分配することを特徴とする、基板移送ロボット用駆動装置。
【請求項２】
前記制御部は、ロボットモデルを用いて設定された目標角度に従う前記駆動角度を生成し、かつ、
前記ロボットモデルは、
【数１】
2015196242.tif 000004
であることを特徴とする、請求項１に記載の基板移送ロボット用駆動装置。
【請求項３】
前記制御部は、
前記駆動角度及び設定された目標位置の差異値を演算する演算部と、
演算された差異値が予め設定された基準範囲を超過するか否かを判断する判断部とを含み、かつ、
前記駆動角度及び設定された目標位置の差異値が基準範囲を超過すれば、前記移送駆動部、前記昇降駆動部、前記旋回駆動部、及び前記走行駆動部を停止させることを特徴とする、請求項１に記載の基板移送ロボット用駆動装置。
【請求項４】
基板移送ロボットの駆動部に対する目標位置を設定するステップと、
設定された目標位置に従って蛇行補償値を導出するステップと、
設定された目標位置に従う目標角度と導出された蛇行補償値を演算して駆動角度を導出するステップと、
前記目標角度及び前記駆動角度の差異値が予め設定された基準範囲を超過するか否かを判断するステップと、
前記目標角度及び前記駆動角度の差異値が予め設定された基準範囲を超過すれば、前記基板移送ロボットを停止させるステップと、
を含むことを特徴とする、基板移送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を製造する過程で基板を移送する基板移送ロボット用駆動装置及びこれを用いた基板移送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイ装置、太陽電池、半導体素子など（以下、‘電子部品’という）はさまざまな工程を経て製造される。このような製造工程は上記電子部品を製造するための基板（Substrate）を用いてなされる。例えば、上記製造工程は基板上に導電体、半導体、誘電体などの薄膜を蒸着するための蒸着工程、蒸着された薄膜を所定パターンに形成するためのエッチング工程などを含むことができる。このような製造工程は該当工程を遂行する工程チャンバーでなされる。基板移送ロボットは、上記工程チャンバーの間に基板を移送するためのものである。
【０００３】
図１は、従来技術に係る基板移送ロボットの概略的なブロック図である。
【０００４】
図１を参考すると、従来技術に係る基板移送ロボット１は、基板を支持する移送アーム１０、上記移送アーム１０を昇降させる昇降部２０、及び上記移送アーム１０を回転させるための旋回部３０を含む。
【０００５】
上記移送アーム１０は、上記基板を支持した状態で水平方向に移動することによって上記基板を移送する。上記移送アーム１０は、上記昇降部２０に設置されるアームベース１１、上記アームベース１１に結合される第１アーム機構１２、上記第１アーム機構１２に結合される第２アーム機構１３、及び上記第２アーム機構１３に結合される支持ハンド１４を含む。
【０００６】
上記アームベース１１は上記第１アーム機構１２を支持することによって、上記第２アーム機構１３及び上記支持ハンド１４に支持された基板を支持する。
【０００７】
上記第１アーム機構１２は、上記アームベース１１に回転可能に結合される。上記第１アーム機構１２は、上記アームベース１１に結合された部分を回転軸にして回転する。
【０００８】
上記第２アーム機構１３は、上記第１アーム機構１２に回転可能に結合される。上記第２アーム機構１３は、上記第１アーム機構１２に結合された部分を回転軸にして回転する。
【０００９】
上記支持ハンド１４は、上記基板の底面を支持する。上記支持ハンド１４は、上記第２アーム機構１３に回転可能に結合される。上記支持ハンド１４は、上記第２アーム機構１３に結合された部分を回転軸にして回転する。
【００１０】
図示してはいないが、上記アームベース１１には，上記第１アーム機構１２、上記第２アーム機構１３、及び上記支持ハンド１４を移動させるための動力源（図示せず）が設置される。上記第１アーム機構１２、上記第２アーム機構１３、及び上記支持ハンド１４には各々プーリ（図示せず）が設置される。上記動力源はベルト（図示せず）を通じて上記プーリと連結される。これによって、上記動力源が上記第１アーム機構１２を回転軸を中心に回転させれば、これに連動して上記第２アーム機構１３と上記支持ハンド１４が各々の回転軸を中心に回転する。したがって、従来技術に係る基板移送ロボット１は、上記第１アーム機構１２及び上記第２アーム機構１３が互いに重なったり広がったりするように上記第１アーム機構１２及び上記第２アーム機構１３を移動させることによって、上記支持ハンド１４を移動させることができ、これを通じて上記工程チャンバーの間に上記基板を移送する工程を遂行する。
【００１１】
上記昇降部２０は、上記支持ハンド１４を上下方向に移動させる。上記昇降部２０は、上記アームベース１１を昇降させることによって上記支持ハンド１４を昇降させる。
【００１２】
上記旋回部３０は、上記昇降部２０を回転させる。上記旋回部３０は、上記昇降部２０を回転させることによって、上記支持ハンド１４に支持された上記基板を回転させる。
【００１３】
ここで、従来技術に係る基板移送ロボット１は、上記支持ハンド１４が直線軌跡に沿って移動できるように、上記第１アーム機構１２、上記第２アーム機構１３、及び上記支持ハンド１４が回転する方向及び回転する程度を調節する。しかしながら、上記第１アーム機構１２、上記第２アーム機構１３、及び上記支持ハンド１４の各々に発生する変形、上記第１アーム機構１２、上記第２アーム機構１３、及び上記支持ハンド１４の各々が回転する速度及び回転するに従う反力、ベルトの剛性など、種々の原因によって、上記支持ハンド１４は上記直線軌跡に沿って移動できず、蛇行（Meandering）するようになる。
【００１４】
したがって、従来技術に係る基板移送ロボット１は、次のような問題がある。
【００１５】
第１に、従来技術に係る基板移送ロボット１は、上記支持ハンド１４が上記直線軌跡に沿って移動できず、蛇行しながら移動するので、上記支持ハンド１４が上記工程チャンバー、カセットなどの機構物に衝突する危険がある問題がある。これによって、従来技術に係る基板移送ロボット１は、上記支持ハンド１４及び上記基板が損傷乃至破損されることによって工程費用を上昇させる問題がある。
【００１６】
第２に、従来技術に係る基板移送ロボット１において、上記第１アーム機構１２、上記第２アーム機構１３、及び上記支持ハンド１４が回転する速度を減少させることによって、上記支持ハンド１４が上記直線軌跡から蛇行する程度を減らす方案が提案された。しかしながら、このような方案によれば、従来技術に係る基板移送ロボット１は上記基板の移送にかかる時間が増加することによって、上記電子部品に対する生産性及び歩留まりを低下させる問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、前述したような問題点を解決するために案出されたものであって、支持ハンドが直線軌跡から外れて蛇行する程度を減らすことができる基板移送ロボット用駆動装置及びこれを用いた基板移送方法を提供するためのものである。
【００１８】
本発明は、電子部品を製造するために基板を移送することにかかる時間を減らすことができる基板移送ロボット用駆動装置及びこれを用いた基板移送方法を提供するためのものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
前述したような課題を解決するために、本発明は以下のような構成を含むことができる。
【００２０】
本発明に係る基板移送ロボット用駆動装置は、基板を支持するための支持ハンドを移送するための移送駆動部、上記支持ハンドが位置する高さが変更されるように上記支持ハンドを垂直方向に昇降させるための昇降アームを駆動させる昇降駆動部、上記支持ハンドが向かう方向が変更されるように上記昇降アームを回転させる旋回部を駆動させる旋回駆動部、上記旋回部を走行方向に移動させるための走行部を駆動させる走行駆動部、設定された目標位置から蛇行補償値を導出する蛇行補償導出部、及び上記蛇行補償導出部から導出された蛇行補償値を垂直方向と並んでいる第１蛇行方向、及び上記第１蛇行方向と垂直な第２蛇行方向に分配して設定された目標位置に従って上記移送駆動部、上記昇降駆動部、上記旋回駆動部、及び上記走行駆動部に対する駆動角度を生成する制御部を含むことができる。上記制御部は、蛇行補償値を上記第１蛇行方向に対しては、上記昇降駆動部、上記移送駆動部、及び上記走行駆動部のうちの少なくとも１つに分配し、上記第２蛇行方向に対しては、上記旋回駆動部、上記移送駆動部、及び上記走行駆動部のうちの少なくとも１つに分配することができる。
【００２１】
本発明に係る基板移送方法は、基板移送ロボットの駆動部に対する目標位置を設定するステップ、設定された目標位置に従って蛇行補償値を導出するステップ、設定された目標位置に従う目標角度と導出された蛇行補償値を演算して駆動角度を導出するステップ、上記目標角度及び上記駆動角度の差異値が予め設定された基準範囲を超過するか否かを判断するステップ、及び上記目標角度及び上記駆動角度の差異値が予め設定された基準範囲を超過すれば、上記基板移送ロボットを停止させるステップを含むことができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、次のような効果が得られる。
【００２３】
本発明は、支持ハンドが直線軌跡から外れて蛇行する程度を減らすことによって、支持ハンドまたは支持ハンドに支持された基板が損傷乃至破損されることによって工程費用が上昇することを防止することができ、これによって基板を用いて電子部品を製造することにかかる工程費用及び電子部品に対する製造コストを下げることに寄与することができる。
【００２４】
本発明は、支持ハンドが基板を移送する過程で蛇行される程度を減らすことができると共に、支持ハンドを移動させる速度を増大させることができるので、基板を移送することにかかる時間を減らすことによって、電子部品に対する生産性及び歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】従来技術に係る基板移送ロボットの概略的なブロック図である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置の概略的なブロック図である。
【図３】本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置が設置される基板移送ロボットを示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置及び基板移送ロボットをモデリングしたロボットモデルを示す図である。
【図５】本発明の実施形態に係る基板移送方法を説明するための工程流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明に係る基板移送ロボットの好ましい実施形態を添付した図面を参照して詳細に説明する。
【００２７】
図２は、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置の概略的なブロック図である。
【００２８】
図２を参考すると、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、支持ハンド２１３を移送するための移送駆動部２１０、上記支持ハンド２１３を垂直方向に昇降させるための昇降アーム２２０を駆動させる昇降駆動部１２０、上記昇降アーム２２０を回転させる旋回部２３０を駆動させる旋回駆動部１３０、上記旋回部２３０を移動させるための走行部２４０を駆動させる走行駆動部１４０、蛇行補償値を導出する蛇行補償導出部１５０、及び上記移送駆動部２１０、上記昇降駆動部２２０、上記旋回駆動部２３０、及び上記走行駆動部２４０に対する駆動角度を生成する制御部１６０を含むことができる。
【００２９】
説明する前に、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置が設置される基板移送ロボットについて説明する。
【００３０】
図３は、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置が設置される基板移送ロボットを示す斜視図である。
【００３１】
図３を参考すると、上記基板移送ロボット２００は基板Ｓを移動させるための移送アーム２１０、上記移送アーム２１０が位置する高さが変更されるように上記移送アームを昇降させる昇降アーム２２０、上記移送アーム２１０が向かう方向が変更されるように上記昇降アーム２２０を回転させる旋回部２３０、及び上記旋回部２３０を移動させるための走行部２４０を含む。
【００３２】
上記移送アーム２１０は、上記基板Ｓを移動させる。上記移送アーム２１０は、上記昇降アーム２２０に回転可能に結合される。上記移送アーム２１０は、上記昇降アーム２２０に結合されるアームベース２１１、上記アームベース２１１に回転可能に結合される第１アームユニット２１２、上記第１アームユニット２１２に回転可能に結合される第２アームユニット２１３、及び上記基板Ｓを支持する支持ハンド２１４を含む。
【００３３】
上記昇降アーム２２０は、上記移送アーム２１０が位置する高さが変更されるように上記移送アーム２１０を垂直方向に昇降させる。上記昇降アーム２２０が上記移送アーム２１０を昇降させることによって、上記支持ハンド２１４に支持された上記基板Ｓを上下に移動させることができる。上記昇降アーム２２０は、上記旋回部２３０に結合できる。
【００３４】
上記旋回部２３０は、上記移送アーム２１０が向かう方向が変更されるように上記昇降アーム２２０を回転させる。上記旋回部２３０が旋回軸を中心に回転することによって、上記移送アーム２１０及び上記昇降アーム２２０は共に回転することができる。
【００３５】
上記走行部２４０は、上記基板Ｓを移送するために上記移送アーム２１０を走行方向に移動させる。上記走行部２４０が上記旋回部２３０を移動させることによって、上記移送アーム２１０及び上記昇降アーム２２０を走行方向に移動させることができる。
【００３６】
ここで、上記移送アーム２１０は上記基板Ｓを移動させる過程で直線軌跡に沿って移動できず、左右及び上下方向に蛇行できる。この場合、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置２００は、蛇行補償導出部２５０から導出された蛇行補償値を第１蛇行方向及び上記第１蛇行方向と垂直な第２蛇行方向に分配して上記設定された目標位置に従って上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０に対する駆動角度を生成する。
【００３７】
これによって、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は次のような作用効果を図ることができる。
【００３８】
第１に、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、上記支持ハンド２１４が上記直線軌跡から外れて蛇行される程度を減らすことによって、上記支持ハンド２１４または上記基板Ｓの上記機構物への衝突を防止することができる。これによって、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、上記支持ハンド２１４及び上記基板Ｓが損傷乃至破損されることによる工程費用の上昇を防止することができる。
【００３９】
第２に、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、従来技術と比較すると、上記第１アームユニット２１３、上記第２アームユニット２１４、及び上記支持ハンド２１４を回転させる速度を落とさなくても、上記支持ハンド２１４を設定された目標位置に位置させることができる。これによって、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、上記基板Ｓの移送にかかる時間を減らすことによって、上記電子部品に対する生産性及び歩留まりを向上させることができる。
【００４０】
以下、上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、上記走行駆動部１４０、上記蛇行補償導出部１５０、及び上記制御部１６０に関して添付の図面を参考して具体的に説明する。
【００４１】
図２及び図３を参考すると、上記移送駆動部１１０は、上記第１アーム機構２１２、上記第２アーム機構２１３、及び上記支持ハンド２１４のうち、少なくとも１つを回転させる。これによって、上記移送駆動部１１０は上記移送アーム２１０が上記基板Ｓを上記工程チャンバーまたは上記カセットに搬入する搬入工程、及び上記基板Ｓを上記工程チャンバーまたは上記カセットから搬出する搬出工程を遂行するようにすることができる。上記移送駆動部１１０は、上記移送アーム２１０に設置できる。
【００４２】
上記昇降駆動部１２０は、上記昇降アーム２２０を垂直方向に移動させるための駆動力を提供する。この場合、上記昇降駆動部１２０は上記昇降アーム２２０が上記支持ハンド２１４が位置する高さを変更させることができるように上記昇降アーム２２０を駆動させることができる。上記昇降駆動部１２０は、上記昇降アーム２２０に設置できる。
【００４３】
上記旋回駆動部１３０は、上記旋回部２３０を回転させるための駆動力を提供する。上記旋回駆動部１３０は、上記旋回部２３０を回転させることによって、上記昇降アーム２２０及び上記移送アーム２１０が上記旋回部２３０の回転軸を基準に同一な方向に回転されるようにすることができる。上記旋回駆動部１３０は、上記旋回部２３０に設置できる。
【００４４】
上記走行駆動部１４０は、上記走行部２４０を走行方向に走行させるための駆動力を提供する。上記走行駆動部１４０は、上記走行部２４０を走行させることによって、上記旋回部２３０、上記昇降アーム２２０、及び上記移送アーム２１０が上記走行部２４０の走行方向に沿って移動するようにすることができる。上記走行駆動部１４０は、上記走行部２４０に設置できる。
【００４５】
上記蛇行補償導出部１５０は、設定された目標位置から蛇行補償値を導出する。上記蛇行補償導出部１５０は、導出された蛇行補償値を上記制御部１６０に供給することができる。ここで、設定された目標位置は上記支持ハンド２１４により上記基板Ｓが移送されるべき位置でありうる。また、上記蛇行補償値は設定された目標位置と上記支持ハンド２１４が上記基板Ｓを移送する過程で蛇行されることによって、変更された位置間の差異を補償するための値でありうる。
【００４６】
上記制御部１６０は設定された目標位置に従って、上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０に対する駆動角度を生成する。より詳しくは、上記制御部１６０は上記蛇行補償導出部１５０から導出された蛇行補償値を上記第１蛇行方向及び上記第２蛇行方向に分配して設定された目標位置に従って上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０に対する各々の駆動角度を生成することができる。例えば、上記制御部１６０は上記第１蛇行方行に対しては導出された蛇行補償値を上記昇降駆動部１２０、上記移送駆動部１１０、及び上記走行駆動部１４０のうちの少なくとも１つに分配し、上記第２蛇行方向に対しては導出された蛇行補償値を上記移送駆動部１１０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０のうちの少なくとも１つに分配することができる。
【００４７】
この場合、上記昇降駆動部１２０は上記制御部１６０により分配を受けた蛇行補償値によって上記第１蛇行方向に対して反対になる方向に上記支持ハンド２１４を移動させることによって、上記支持ハンド２１４が蛇行されることにより目標位置と駆動角度との間の差異値を補償することができる。ここで、上記第１蛇行方向に蛇行される過程で上記支持ハンド２１４が上記第２蛇行方向にも移動できる。この場合、上記制御部１６０は上記昇降駆動部１２０を用いて目標位置と駆動角度との間の差異値を補償すると共に、上記移送駆動部１１０及び上記走行駆動部１４０を用いて上記第２蛇行方向に対する目標位置と駆動角度との間の差異値を補償することもできる。
【００４８】
また、上記移送駆動部１１０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０は、上記制御部１６０により分配を受けた蛇行補償値によって上記第２蛇行方向に対して反対になる方向に上記支持ハンド２１４を移動させることによって、上記支持ハンド２１４が蛇行されることにより発生する目標位置と駆動角度との間の差異値を補償することができる。前述したように、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、上記制御部１６０が駆動角度を分配することによって、上記支持ハンド２１４が上記直線軌跡から外れて蛇行される程度を減らすことができる。したがって、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、上記支持ハンド２１４または上記基板Ｓの上記機構物への衝突を防止することができるので、上記支持ハンド２１４及び上記基板Ｓが損傷乃至破損されることによる工程費用の上昇を防止することができる。これによって、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、従来技術と比較すると、上記基板Ｓを用いて電子部品を製造することにかかる工程費用を減らすことによって、上記電子部品に対する製造コストを下げることに寄与することができる。
【００４９】
また、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、上記制御部１６０が駆動角度を分配することによって、上記移送アーム２１０、上記昇降アーム２２０、上記旋回部２３０、及び上記走行部２４０を制御して目標位置と駆動角度との間の差異値を補償できるように具現される。したがって、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、従来技術と比較すると、上記第１アームユニット２１３、上記第２アームユニット２１４、及び上記支持ハンド２１４を回転させる速度を落とさなくても、上記支持ハンド２１４を設定された目標位置に位置させることができる。これによって、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、上記基板Ｓの移送にかかる時間を減らすことによって、上記電子部品に対する生産性及び歩留まりを向上させることができる。
【００５０】
図４は、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置及び基板移送ロボットをモデリングしたロボットモデルを示す図である。
【００５１】
ロボットモデル３００は、上記移送アーム２１０、上記昇降アーム２２０、上記旋回部２３０、及び上記走行部２４０と、上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０をモデリングしたものであって、図４のように図示することができる。
【００５２】
ここで、上記制御部１６０は上記ロボットモデル３００を用いて上記駆動角度を生成する。本発明の実施形態で考慮する上記ロボットモデル３００は以下の＜数式１＞の通りである。
【００５３】
【数１】
2015196242.tif 000003
【００５４】
上記制御部１６０は、駆動角度及び設定された目標位置の差異値を演算する演算部１６１、及び差異値が予め設定された基準範囲を超過するか否かを判断する判断部１６２を含むことができる。
【００５５】
上記演算部１６１は、設定された目標位置と上記駆動角度との間の差異値を演算する。この場合、上記演算部１６１は上記蛇行補償導出部１５０で演算された蛇行補償値が演算された差異値によって変更されるようにすることができる。
【００５６】
上記判断部１６２は、修正された駆動角度及び設定された目標位置の差異値が基準範囲を超過するか否かを判断する。例えば、上記判断部１６２は差異値が基準範囲以内であれば、上記基板移送ロボット１００を作動させるように上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０を作動させる。また、上記判断部１６２は差異値が基準範囲を超過すれば、上記基板移送ロボット１００が停止するように上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０の作動を停止させる。
【００５７】
これによって、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、上記演算部１６１により演算された差異値が基準範囲を超過するか否かによって上記基板移送ロボット２００の作動を制御できるように具現されることによって、目標位置と駆動角度との間の差異を減らすことができる。したがって、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、演算誤りが発生することによって、目標位置と駆動角度との間の差異が基準範囲を超過することによる上記支持ハンド２１４及び上記基板Ｓの上記機構物との衝突をより減らすことができる。これによって、本発明の実施形態に係る基板移送ロボット用駆動装置１００は、上記支持ハンド２１４及び上記基板Ｓの破損を防止できるので、上記基板Ｓを用いて電子部品を製造することにかかる工程費用を減らすことによって、上記電子部品に対する製造コストを下げることに一層寄与することができる。
【００５８】
以下、本発明に係る基板移送方法の好ましい実施形態を添付した図面を参照して詳細に説明する。
【００５９】
図５は、本発明の実施形態に係る基板移送方法を説明するための工程流れ図である。
【００６０】
図５を参考すると、本発明の実施形態に係る基板移送方法Ｓ１００は、目標位置を設定するステップＳ１１０、蛇行補償値を導出するステップＳ１２０、駆動角度を導出するステップＳ１３０、差異値が予め設定された基準範囲を超過するか否かを判断するステップＳ１４０、及び上記基板移送ロボット２００を停止させるステップＳ１５０を含むことができる。
【００６１】
上記目標位置を設定するステップＳ１１０は、上記支持ハンド２１４が移動されるべき目標位置を設定することによりなされることができる。上記目標位置を設定するステップＳ１１０は、前述した基板移送ロボット２００及び基板移送ロボット用駆動装置１００において、上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０と同一に構成されるロボットモデル３００（図４に図示）に設定値を入力することによりなされることができる。
【００６２】
上記設定された目標位置に従って蛇行補償値を導出するステップＳ１２０は、上記ロボットモデル３００に入力された目標位置に従う上記支持ハンド２１４が蛇行されることにより目標位置から外れることによって、上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０を用いて上記支持ハンド２１４の位置を補償するための蛇行補償値を導出することによりなされることができる。
【００６３】
上記駆動角度を導出するステップＳ１３０は、設定された目標位置に従う目標角度と導出された蛇行補償値を演算して駆動角度を導出する。上記駆動角度を導出するステップＳ１３０は蛇行されることによって目標位置から外れた上記支持ハンド２１４を目標位置に移動させるために、上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０の作動値を導出することができる。上記駆動角度を導出するステップＳ１３０は、上記ロボットモデル３００を用いて上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０に駆動角度を分配することによりなされることができる。
【００６４】
これによって、本発明の実施形態に係る基板移送方法Ｓ１００は駆動角度を分配することによって、上記移送アーム２１０、上記昇降アーム２２０、上記旋回部２３０、及び上記走行部２４０を制御して目標位置と駆動角度との間の差異値を補償することができる。したがって、本発明の実施形態に係る基板移送方法Ｓ１００は従来技術と比較すると、上記第１アームユニット２１３、上記第２アームユニット２１４、及び上記支持ハンド２１４を回転させる速度を落とさなくても、上記支持ハンド２１４を設定された目標位置に位置させることができる。これによって、本発明の実施形態に係る基板移送方法Ｓ１００は上記基板Ｓの移送にかかる時間を減らすことによって、上記電子部品に対する生産性及び歩留まりを向上させることができる。
【００６５】
上記差異値が基準範囲を超過するか否かを判断するステップＳ１４０は、目標角度及び駆動角度を演算して、目標角度及び駆動角度の間の差異値が予め設定された基準範囲を超過するか否かを判断することによりなされることができる。上記差異値が基準範囲を超過するか否かを判断するステップＳ１４０は、前述した基板移送方法Ｓ１００の上記演算部１６１及び上記判断部１６２により遂行できる。
【００６６】
上記基板移送ロボット２００を停止させるステップＳ１５０は、上記目標角度及び上記駆動角度の差異値が予め設定された基準範囲を超過すれば、上記基板移送ロボット２００を停止させるために、上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０の作動を停止させることによりなされることができる。
【００６７】
したがって、本発明の実施形態に係る基板移送方法Ｓ１００は目標角度及び駆動角度の差異値が基準範囲を超過すれば、上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０の作動を停止させることによって、差異値によって上記支持ハンド２１４が上記構造物と衝突することによって、上記支持ハンド２１４及び上記基板Ｓが破損されることを防止することができる。これによって、本発明の実施形態に係る基板移送方法Ｓ１００は、上記支持ハンド２１４及び上記基板Ｓの破損を防止できるので、上記基板Ｓを用いる電子部品の製造にかかる工程費用を減らすことによって、上記電子部品に対する製造コストを下げることに一層寄与することができる。
【００６８】
また、本発明の実施形態に係る基板移送方法Ｓ１００は、上記基板移送ロボット２００を作動させるステップＳ１６０を含むこともできる。
【００６９】
上記基板移送ロボット２００を作動させるステップＳ１６０は、目標角度及び駆動角度の差異値が基準範囲以内であれば、上記支持ハンド２１４に支持された上記基板Ｓが移送されるように上記移送駆動部１１０、上記昇降駆動部１２０、上記旋回駆動部１３０、及び上記走行駆動部１４０を作動させることによりなされることができる。
【００７０】
以上、説明した本発明は前述した実施形態及び添付した図面に限定されるものでなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の置換、変形、及び変更が可能であるということが本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者にあって明白である。
【符号の説明】
【００７１】
１００  基板移送装置用駆動装置
１１０  移送駆動部
１２０  昇降駆動部
１３０  旋回駆動部
１４０  走行駆動部
２００  基板移送装置
２１０  移送アーム
２２０  昇降アーム
２３０  旋回部
２４０  走行部。
【図１】
2015196242.tif 000005
【図２】
2015196242.tif 000006
【図３】
2015196242.tif 000007
【図４】
2015196242.tif 000008
【図５】
2015196242.tif 000009