(57)【要約】【課題】例えば、検査対象領域により安定的にあるいはより確実に光を照射することができる画像検査装置を得る。【解決手段】実施形態の画像検査装置は、例えば、対象面に対して垂直方向に離間して位置され、対象面の線状の撮像領域の画像を得るラインセンサと、対象面に沿った方向の一方側および垂直方向との間の第一の方向から対象面に光を当てて撮像領域に沿った帯状の第一の照射領域を形成する第一の光学系と、を備え、第一の光学系は、対象面が垂直方向の存在範囲のうちラインセンサに最も近い第一の位置に位置された状態での、第一の照射領域の対象面に沿った方向の他方側の端部が、撮像領域よりも他方側に位置されるとともに、対象面が垂直方向の存在範囲のうちラインセンサから最も遠い第二の位置に位置された状態での、第一の照射領域の対象面に沿った方向の一方側の端部が、撮像領域よりも一方側に位置されるよう、光を対象面に照射する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象面に対して垂直方向に離間して位置され、前記対象面の線状の撮像領域の画像を得るラインセンサと、
前記対象面に沿った方向の一方側および前記垂直方向との間の第一の方向から前記対象面に光を当てて前記撮像領域に沿った帯状の第一の照射領域を形成する第一の光学系と、
を備え、
前記第一の光学系は、前記対象面が垂直方向の存在範囲のうち前記ラインセンサに最も近い第一の位置に位置された状態での、前記第一の照射領域の前記対象面に沿った方向の他方側の端部が、前記撮像領域よりも前記他方側に位置されるとともに、前記対象面が垂直方向の存在範囲のうち前記ラインセンサから最も遠い第二の位置に位置された状態での、前記第一の照射領域の前記対象面に沿った方向の一方側の端部が、前記撮像領域よりも前記一方側に位置されるよう、光を前記対象面に照射する、画像検査装置。
【請求項２】
前記第一の光学系が照射する光と平行な光を反射して前記第一の方向とは反対側から前記対象面に光を当てて前記撮像領域に沿った帯状の第二の照射領域を形成する第二の光学系をさらに備えた、請求項１に記載の画像検査装置。
【請求項３】
前記第二の光学系は、前記対象面が前記第一の位置に位置された状態での、前記第二の照射領域の前記一方側の端部が、前記撮像領域よりも前記一方側に位置されるとともに、前記対象面が前記第二の位置に位置された状態での、前記第二の照射領域の前記他方側の端部が、前記撮像領域よりも前記他方側に位置されるよう、光を前記対象面に照射する、請求項２に記載の画像検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、検査対象面に光を照射し、検査対象面を撮像した画像から当該検査対象面の異常を検出する画像検査装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−０３８４７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の画像検査装置では、例えば、検査対象領域に、より安定的にあるいはより確実に光を照射することができれば好ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態の画像検査装置は、例えば、対象面に対して垂直方向に離間して位置され、対象面の線状の撮像領域の画像を得るラインセンサと、対象面に沿った方向の一方側および垂直方向との間の第一の方向から対象面に光を当てて撮像領域に沿った帯状の第一の照射領域を形成する第一の光学系と、を備え、第一の光学系は、対象面が垂直方向の存在範囲のうちラインセンサに最も近い第一の位置に位置された状態での、第一の照射領域の対象面に沿った方向の他方側の端部が、撮像領域よりも他方側に位置されるとともに、対象面が垂直方向の存在範囲のうちラインセンサから最も遠い第二の位置に位置された状態での、第一の照射領域の対象面に沿った方向の一方側の端部が、撮像領域よりも一方側に位置されるよう、光を対象面に照射する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】図１は、実施形態の画像検査装置の例示的な側面図である。
【図２】図２は、実施形態の画像検査装置の例示的なブロック図である。
【図３】図３は、実施形態の画像検査装置の制御部の例示的なブロック図である。
【図４】図４は、実施形態の画像検査装置が実行する処理の例示的なフローチャートである。
【図５】図５は、実施形態の画像検査装置で得られる撮像された画像の例示的な説明図である。
【図６】図６は、実施形態の画像検査装置の撮像領域と第一の照射領域との関係の例示的な説明図である。
【図７】図７は、実施形態の画像検査装置の撮像領域と第二の照射領域との関係の例示的な説明図である。
【図８】図８は、実施形態の画像検査装置の撮像領域と第一の照射領域および第二の照射領域との関係の例示的な説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、図面を参照して、実施形態について説明する。なお、以下の例示的な複数の実施形態には、同様の構成要素が含まれている。よって、以下では、同様の構成要素には共通の符号が付されるとともに、重複する説明が省略される。また、以下に示される実施形態の構成（技術的特徴）、ならびに当該構成によってもたらされる作用および結果（効果）は、一例である。
【０００８】
図１，２に示されるように、画像検査装置１は、例えば、撮像部３と、光源部２Ｕ，２Ｄと、反射部７と、搬送部４（図２参照）と、出力部５（図２参照）と、を備える。画像検査装置１は、検査対象物１００の検査対象面１０１（対象面）を撮像した画像に基づいて検査を行う。本実施形態では、例えば、検査対象物１００は、金属板であり、検査対象面１０１は、金属板の表面である。検査対象物１００としての金属板は、その厚さ方向に薄い偏平な直方体状に構成されている。なお、以下の詳細な説明では、便宜上、図１の左右方向に延びる検査対象物１００について、図１の右側を長手方向（検査対象面に沿った方向）の一方側とし、図１の左側を長手方向の他方側とする。また、図中、検査対象物１００の長手方向の一方側（図１の右側）を矢印Ｘで示し、検査対象物１００の厚さ方向（垂直方向）の検査対象面１０１側（図１の上側）を矢印Ｚで示す。なお、検査対象物１００は、例えば、図１の左側（長手方向の他方側）から図１の右側（長手方向の一方側）へ搬送される。
【０００９】
図１に示されるように、撮像部３（撮像装置）は、検査対象面１０１の垂直方向（Ｚ方向）に離間して位置され、検査対象面１０１の撮像領域Ａ（検査対象領域）の画像を取得する。撮像領域Ａは、例えば、検査対象面１０１の幅方向（Ｘ方向およびＺ方向と直交する方向、図１の紙面と垂直な方向）に沿った線状（直線状）の領域である。本実施形態では、撮像部３は、その撮像領域Ａを撮像するラインセンサによって構成されている。撮像部３は、検査対象面１０１の幅方向（図１の紙面と垂直な方向）に沿って一列に配置された複数の光電変換素子（撮像素子、図示されず）を有する。撮像部３は、検査対象面１０１の幅方向に沿った線状の一次元の画像ＩＬ（画像データ、各光電変換素子に対応した画素毎の輝度値のデータ、輝度値のデータ列、図５参照）を取得する。撮像部３は、例えば、各画素につき２５６段調の輝度値のデータを取得する。モノクロ（白黒）の撮像部３は、各撮像タイミングで一つの画像データを取得し、カラーの撮像部３は、各撮像タイミングで複数（例えば、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）の三つ）の画像データを取得する。
【００１０】
光源部２Ｕ（光学装置、光学系）は、撮像部３の、長手方向の一方側（図１の右側、反射部７とは反対側）に位置されている。図６に示されるように、光源部２Ｕは、長手方向の一方側（図６の右側）および垂直方向（Ｚ方向）との間の第一の方向から検査対象面１０１（の撮像領域Ａ）に帯状（照射幅Ｗ１）の光Ｌ１を当てて第一の照射領域Ａ１１を形成する。第一の照射領域Ａ１１は、撮像領域Ａ（図６の紙面と垂直な方向）に沿って延びるとともに、長手方向（図６の左右方向）に一定の幅を有した帯状の領域である。光源部２Ｕは、例えば、光源（図示されず）や、光源の光を集光して検査対象面１０１に光Ｌ１を照射するレンズ８（図１参照）等、によって構成されうる。光源部２Ｕは、第一の光学系の一例である。
【００１１】
なお、本実施形態では、図６に示されるように、検査対象物１００の検査対象面１０１は、垂直方向に、第一の位置Ｐ１と第二の位置Ｐ２との間で移動する。第一の位置Ｐ１は、撮像部３に最も近い位置であり、第二の位置Ｐ２は、撮像部３から最も離れた位置である。撮像領域Ａは、撮像時の位置（例えば、位置Ｐ）での検査対象面１０１と撮像部３の面状（シート状）の検出視野Ｓとの交線に沿う。
【００１２】
また、図１に示されるように、光源部２Ｄ（光学装置、光学系）は、光源部２Ｕの検査対象物１００とは反対側（上側）で、光源部２Ｕと並んで配置されている。光源部２Ｄは、光源部２Ｕの光Ｌ１（図６参照）と平行な光Ｌ２（図７，８参照）を反射部７に当てる。光源部２Ｄは、例えば、光源（図示されず）や、光源の光を集光して反射部７に光Ｌ２を照射するレンズ９等、によって構成されうる。
【００１３】
反射部７（光学装置、光学系）は、撮像部３の、長手方向の他方側（図１の左側、光源部２Ｕ，２Ｄとは反対側）に位置されている。図７に示されるように、反射部７は、光源部２Ｄから照射された光Ｌ２を反射して長手方向の他方側（図６の左側）および垂直方向（Ｚ方向）との間の第二の方向から検査対象面１０１（の撮像領域Ａ）に帯状（照射幅Ｗ２）の光Ｌ２を当てて第二の照射領域Ａ２１を形成する。第二の照射領域Ａ２１は、撮像領域Ａ（図７の紙面と垂直な方向）に沿って延びるとともに、長手方向（図７の左右方向）に一定の幅を有した帯状の領域である。反射部７は、例えば、ミラーによって構成されうる。光源部２Ｄおよび反射部７は、第二の光学系の一例である。
【００１４】
本実施形態では、第一の方向は、長手方向（検査対象面１０１に沿う方向）の一方側（図１の右側、０°）と垂直方向（Ｚ方向、９０°）との間の第一の角度θ１（例えば、４５°）をなす方向である。また、第二の方向は、長手方向の他方側（図１の左側、１８０°）と垂直方向（Ｚ方向、９０°）との間の第二の角度θ２（例えば、１３５°）をなす方向である。なお、本実施形態では、第一の方向（第一の角度θ１）と第二の方向（第二の角度θ２）とは、垂直方向（Ｚ方向、９０°）に対して対称であるが、対称でなくてもよい。
【００１５】
搬送部４（搬送装置）は、検査対象物１００を、長手方向の他方側（図１の左側）から一方側（図１の右側）に向けて、すなわちＸ方向に搬送する。よって、撮像領域Ａは、経時的に検査対象面１０１上で長手方向の他方側（図１の左側）に移動する。搬送部は、例えば、複数の回転体（例えば、ローラ）や、その複数の回転体に掛け回された無端ベルト等（いずれも図示されず）によって構成されうる。
【００１６】
図２に示されるように、画像検査装置１は、制御部２０（例えばＣＰＵ（Central  Processing  Unit）等）や、ＲＯＭ２１（Read  Only  Memory）、ＲＡＭ２２（Random  Access  Memory）、ＨＤＤ２３（Hard  Disk  Drive）、コントローラ２４（光照射コントローラ）、コントローラ２５（撮像コントローラ）、コントローラ２６（回転コントローラ、搬送コントローラ）、コントローラ２７（出力コントローラ）等を備えることができる。コントローラ２４は、制御部２０からの制御信号に基づいて、光源部２Ｕ，２Ｄの発光（オン、オフ）等を制御する。コントローラ２５は、制御部２０からの制御信号に基づいて、撮像部３による撮像を制御する。コントローラ２６は、制御部２０から受けた制御信号に基づいて、搬送部４を制御し、検査対象物１００の搬送（開始、停止、速度等）を制御する。コントローラ２７は、制御部２０からの制御信号に基づいて、出力部５を制御する。また、制御部２０は、不揮発性の記憶部としてのＲＯＭ２１やＨＤＤ２３等にインストールされたプログラム（アプリケーション）を読み出して実行する。ＲＡＭ２２は、制御部２０がプログラムを実行して種々の演算処理を実行する際に用いられる各種データを一時的に記憶する。なお、図２に示されるハードウエアの構成はあくまで一例であって、例えばチップやパッケージにする等、種々に変形して実施することが可能である。また、各種演算処理は、並列処理することが可能であり、制御部２０等は、並列処理が可能なハードウエア構成とすることが可能である。
【００１７】
また、制御部２０は、ハードウエアとソフトウエア（プログラム）との協働によって、画像検査装置１の少なくとも一部として機能（動作）する。すなわち、図３に示されるように、制御部２０は、光照射制御部２０ａや、撮像制御部２０ｂ、搬送制御部２０ｃ、画像取得部２０ｄ、異常検出部２０ｅ、出力制御部２０ｆ等として機能する。光照射制御部２０ａは、コントローラ２４、ひいては光源部２Ｕ，２Ｄを制御する。撮像制御部２０ｂは、コントローラ２５、ひいては撮像部３を制御する。搬送制御部２０ｃは、コントローラ２６、ひいては搬送部４を制御する。出力制御部２０ｆは、コントローラ２７、ひいては出力部５を制御する。なお、画像検査装置１は、出力部として、スピーカ等の音声出力部を有してもよい。
【００１８】
制御部２０は、図４に示されるような手順で画像処理ならびに異常検出を実行する。制御部２０は、例えば、撮像領域Ａが略一定速度で移動している状態で、光照射制御部２０ａおよび撮像制御部２０ｂとして機能し、光源部２Ｕ，２Ｄならびに撮像部３を制御して、一次元の画像ＩＬ（図５参照）を取得する（Ｓ１０）。なお、制御部２０は、搬送速度をモニタし、搬送速度に対応したタイミングで撮像するよう、撮像部３を制御することができる。この場合、搬送速度は一定でなくてもよい。次に、制御部２０は、画像取得部２０ｄとして機能し、図５に示されるように、複数列の一次元の画像ＩＬを並べた二次元の画像ＩＡを得る（Ｓ１１）。なお、図５では、線状の画像ＩＬ中での各画素（図示されず）のデータの配列方向（図５で左右方向）が、検査対象面１０１の幅方向（Ｘ方向およびＺ方向と直交する方向）に対応し、複数の線状の画像ＩＬが並べられた方向（図５で上下方向）が、検査対象面１０１の長手方向（図１で左右方向）に対応する。
【００１９】
図４のＳ１２では、制御部２０は、異常検出部２０ｅとして機能し、Ｓ１１で得られた画像ＩＡに基づいて異常を検出する（Ｓ１２）。このＳ１２で、異常検出部２０ｅは、例えば、画像ＩＡ（検査画像）と基準となる画像（参照画像）との比較により、異常を検出することができる。画像（参照画像）は、検査対象物１００の基準物（図示されず）について、上述したＳ１０，Ｓ１１の処理を実行して得られた画像である。Ｓ１２における比較の手法の一例としては、画像ＩＡ（検査画像）と画像（参照画像）との差分（対応する画素同士の輝度値の差）を取得する方法や、画像ＩＡ（検査画像）と画像（参照画像）とのマッチングにより、局所的に一致率が低い部分として、異常を検出する方法等がある。そして、図４のＳ１３で、制御部２０は、出力制御部２０ｆとして機能し、Ｓ１２で検出された異常が出力（表示）されるよう、出力部５を制御する（Ｓ１３）。
【００２０】
検査対象面１０１に異常による凹凸形状（凹部および凸部のうち少なくとも一方）が存在した場合、その凹凸形状で反射された反射光（拡散光）を撮像部３が撮像することによって異常が検出される。ここで、本実施形態のように、検査対象面１０１の撮像領域Ａに向けて、斜めに光Ｌ１，Ｌ２を照射する構成では、例えば、検査対象物１００の垂直方向の撓みや、検査対象物１００の厚さの変化等に伴う検査対象面１０１の上下方向の変位によって、撮像領域Ａと第一の照射領域Ａ１１とが長手方向（図１，６等の左右方向）に相対的にずれて、撮像領域Ａが第一の照射領域Ａ１１から外れてしまう虞があった。
【００２１】
そこで、本実施形態では、図６に示されるように、光Ｌ１に関し、撮像領域Ａ（検出視野Ｓ）が、第一の位置Ｐ１での第一の照射領域Ａ１１の長手方向の他方側（図６の左側）の端部Ｅ１１と、第二の位置Ｐ２での第一の照射領域Ａ１１の長手方向の一方側（図６の右側）の端部Ｅ１２との間に位置（設定）されている。第一の位置Ｐ１は、検査対象面１０１が垂直方向の存在範囲Ｍのうち撮像部３に最も近づいた位置であり、第二の位置Ｐ２は、対象面１０１が垂直方向の存在範囲Ｍのうち撮像部３から最も離れた（遠い）位置である。図６に示されるように、光Ｌ１は、撮像領域Ａに向けて長手方向の一方側（図６の右側）と垂直方向（Ｚ方向）との間の斜め方向（図６の右上側）から照射される。よって、検査対象面１０１が第一の位置Ｐ１に位置した状態では、第一の照射領域Ａ１１は、光Ｌ１が照射される側、すなわち長手方向の一方側（図６の右側）に位置され、検査対象面１０１が第二の位置Ｐ２に位置した状態では、第一の照射領域Ａ１１は、光Ｌ１が照射されるのとは反対側、すなわち長手方向の他方側（図６の左側）に位置される。そのため、本実施形態では、第一の位置Ｐ１での第一の照射領域Ａ１１の端部Ｅ１１が、撮像領域Ａよりも長手方向の他方側（図６の左側）に位置されるとともに、第二の位置Ｐ２での第一の照射領域Ａ１１の端部Ｅ１２が、撮像領域Ａよりも長手方向の一方側（図６の右側）に位置されるよう、光源部２Ｕが検査対象面１０１に光Ｌ１を照射する。本実施形態によれば、このような設定により、例えば、検査対象面１０１が第一の位置Ｐ１と第二の位置Ｐ２との間で上下方向（検査対象面１０１の垂直方向）に変位したとしても、撮像領域Ａが第一の照射領域Ａ１１から外れるのを抑制することができる。よって、本実施形態によれば、例えば、撮像領域Ａ（検査対象領域）により安定的にあるいはより確実に光Ｌ１を照射することができる。よって、例えば、異常による凹凸形状（の反射光）がより安定してあるいはより確実に検出されやすい。なお、第一の照射領域Ａ１１は、光Ｌ１が検査対象面１０１上に照らされた場合に、所要の強度（照度）が得られる範囲である。
【００２２】
また、本実施形態では、図７に示されるように、光Ｌ２についても光Ｌ１の場合と同様に、第一の位置Ｐ１での第二の照射領域Ａ２１の長手方向の一方側（図７の右側）の端部Ｅ２１が、撮像領域Ａよりも長手方向の一方側（図７の右側）に位置されるとともに、第二の位置Ｐ２での第二の照射領域Ａ２１の長手方向の他方側（図７の左側）の端部Ｅ２２が、撮像領域Ａよりも長手方向の他方側（図７の左側）に位置されるよう、光源部２Ｄおよび反射部７が検査対象面１０１に光Ｌ２を照射する。図８は、図６および図７に示した第一の照射領域Ａ１１および第二の照射領域Ａ２１と撮像領域Ａとの関係の一例が示された説明図である。図８から明らかなように、本実施形態では、撮像領域Ａ（検出視野Ｓ）が、第一の位置Ｐ１での、第一の照射領域Ａ１１の端部Ｅ１１と第二の照射領域Ａ２１の端部Ｅ２１との間に位置（設定）されているとともに、第二の位置Ｐ２での、第一の照射領域Ａ１１の端部Ｅ１２と第二の照射領域Ａ２１の端部Ｅ２２との間に位置（設定）されている。なお、第二の照射領域Ａ２１は、光Ｌ２が検査対象面１０１上に照らされた場合に、所要の強度（照度）が得られる範囲である。
【００２３】
以上のように、本実施形態では、例えば、検査対象面１０１が撮像部３（ラインセンサ）に最も近い第一の位置Ｐ１での第一の照射領域Ａ１１の長手方向（検査対象面１０１に沿った方向）の他方側（図６の左側）の端部Ｅ１１が、撮像領域Ａよりも他方側（図６の左側）に位置されるとともに、検査対象面１０１が撮像部３に最も遠い第二の位置Ｐ２での第一の照射領域Ａ１１の長手方向の一方側（図６の右側）の端部Ｅ１２が、撮像領域Ａよりも一方側（図６の右側）に位置されるよう、光源部２Ｕが検査対象面１０１に光Ｌ１を照射する。よって、本実施形態によれば、例えば、検査対象面１０１が第一の位置Ｐ１と第二の位置Ｐ２との間で垂直方向に変位したとしても、撮像領域Ａが第一の照射領域Ａ１１から外れるのを抑制することができる。よって、例えば、撮像領域Ａ（検査対象領域）により安定的にあるいはより確実に光Ｌ１が照射されやすい。
【００２４】
また、本実施形態では、例えば、光源部２Ｕが照射する光Ｌ１と平行な光を反射して第一の方向（長手方向の一方側（図７の右側）と垂直方向（Ｚ方向）との間の斜め方向）とは反対側から検査対象面１０１に光Ｌ２を当てて撮像領域Ａに沿った帯状の第二の照射領域Ａ２１を形成する光源部２Ｄおよび反射部７（第二の光学系）を備える。よって、本実施形態によれば、例えば、撮像領域Ａに異常による凹凸形状が存在した場合に、光Ｌ１および光Ｌ２によって、凹凸形状による反射光が増えやすい。よって、例えば、異常による凹凸形状がより精度よく検出されやすい。また、例えば、反射部７に置き換えて光源部２Ｄが長手方向の他方側（図１，７の左側）に設けられる構成と比べて、画像検査装置１がより小型化されやすい。
【００２５】
また、本実施形態では、例えば、第一の位置Ｐ１での第二の照射領域Ａ２１の長手方向の一方側（図７の右側）の端部Ｅ２１が、撮像領域Ａよりも一方側（図７の右側）に位置されるとともに、第二の位置Ｐ２での第二の照射領域Ａ２１の長手方向の他方側（図７の左側）の端部Ｅ２２が、撮像領域Ａよりも他方側（図７の左側）に位置されるよう、光源部２Ｄおよび反射部７が検査対象面１０１に光Ｌ２を照射する。よって、本実施形態によれば、例えば、検査対象面１０１が第一の位置Ｐ１と第二の位置Ｐ２との間で垂直方向に変位したとしても、撮像領域Ａが第一の照射領域Ａ１１および第二の照射領域Ａ２１から外れるのを抑制することができる。よって、例えば、撮像領域Ａ（検査対象領域）により一層確実に光Ｌ１、Ｌ２が照射されやすく、かつ、異常による凹凸形状がより一層精度よく検出されやすい。
【００２６】
以上、本発明の実施形態を例示したが、上記実施形態はあくまで一例であって、発明の範囲を限定することは意図していない。上記実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。上記実施形態は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。本発明は、上記実施形態に開示される構成以外によっても実現可能であるとともに、基本的な構成（技術的特徴）によって得られる種々の効果（派生的な効果も含む）を得ることが可能である。また、各構成要素のスペック（構造や、種類、方向、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。例えば、撮像部が、エリアセンサで構成されてもよい。また、検査対象物は、金属板以外の物であってもよいし、長尺物でなくてもよい。また、検査対象面の上下動は、検査対象物の撓みによるものでなくてもよく、例えば、検査対象面の凹凸によるもの等であってもよい。また、対象面に沿った方向は、搬送方向あるいは検査対象物（検査対象面）の長手方向とは異なる方向であってもよい。
【符号の説明】
【００２７】
１…画像検査装置、２Ｕ…光源部（第一の光学系）、２Ｄ…光源部（第二の光学系）、３…撮像部（ラインセンサ）、４…搬送部、７…反射部（第二の光学系）、１００…検査対象物、１０１…検査対象面（対象面）、Ａ…撮像領域、Ａ１１…第一の照射領域、Ａ２１…第二の照射領域、Ｅ１１…端部（第一の照射領域の他方側の端部）、Ｅ１２…端部（第一の照射領域の一方側の端部）、Ｅ２１…端部（第二の照射領域の一方側の端部）、Ｅ２２…端部（第二の照射領域の他方側の端部）、ＩＬ…画像、Ｍ…存在範囲、Ｐ１…第一の位置、Ｐ２…第二の位置、Ｘ…長手方向（対象面に沿った方向）、Ｚ…垂直方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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