(57)【要約】【課題】擦れに伴う発塵でシール部材等が汚染するおそれを抑制し、しかも、強度を向上させて保持具の破損を未然に防ぎ、シール部材を有効に保持できるシール部材用の保持具を提供する。【解決手段】基板収納容器のシールガスケット１よりも大きい一対の受板１０・１０Ａと、受板１０・１０Ａに支持されてシールガスケット１の内周面に嵌合される複数本のスリーブ柱２０とを備えたシール部材用の保持具であり、受板１０・１０Ａに、スリーブ柱２０に貫通される複数の取付孔１１を穿孔するとともに、取付孔１１を平面五角形に形成してその周縁部には複数の係止爪１３を形成し、スリーブ柱２０を屈曲可能な板材２１の折り曲げにより、取付孔１１の形に対応する断面五角形に形成してその周壁には受板１０・１０Ａの係止爪１３に嵌挿される複数の係止孔２２を穿孔し、スリーブ柱２０のシールガスケット１の内周面の隅部２に接触する斜面壁２３を湾曲形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納容器のエンドレスのシール部材よりも大きい受板と、この受板に支持されてシール部材の内周面に嵌合される複数本の被嵌合柱とを備えたシール部材用の保持具であって、
受板に、被嵌合柱に貫通される複数の取付孔を間隔をおいて設けるとともに、各取付孔を平面略多角形に形成してその周縁部には複数の係止爪を間隔をおいて形成し、各被嵌合柱を屈曲可能な板材の折り曲げにより、取付孔の形に対応する断面略多角形に形成してその周壁には受板の係止爪に嵌挿される複数の係止孔を設け、被嵌合柱のシール部材の内周面に接触する接触面の一部をシール部材の内周面に略対応する形状に形成したことを特徴とするシール部材用の保持具。
【請求項２】
受板の各取付孔を平面略五角形に形成してその外側の斜辺を受板の隅部付近に接近させ、被嵌合柱を中空の断面略五角形に形成してその外側の斜面壁を湾曲させ、この被嵌合柱の斜面壁を取付孔の斜辺とシール部材の内周面とにそれぞれ接触させるようにした請求項１記載のシール部材用の保持具。
【請求項３】
被嵌合柱を形成する板材を平面矩形に形成し、この板材に複数本の折り曲げ線を間隔をおいて配列形成することにより、板材に第一の幅広壁、複数の幅狭壁、第二の幅広壁、及び折り返し継ぎ壁をそれぞれ区画形成し、第一、第二の幅広壁の両端部に係止孔をそれぞれ穿孔するとともに、折り返し継ぎ壁を第二の幅広壁に隣接させて第一の幅広壁に内側から重なるようにし、折り返し継ぎ壁の両端部に、第一の幅広壁の係止孔との干渉を回避する切り欠きをそれぞれ形成した請求項１又は２記載のシール部材用の保持具。
【請求項４】
受板と被嵌合柱を形成する板材の少なくともいずれか一方を熱可塑性樹脂製あるいは段ボール製とした請求項１、２、又は３記載のシール部材用の保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板収納容器のシール部材の洗浄時、保管時、搬送時等に使用されるシール部材用の保持具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
φ３００ｍｍ以上の大型の半導体ウェーハを収納する基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを整列収納するフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌合される蓋体とを備え、これら容器本体と蓋体との間にエンドレスのシールガスケットが介在されている。
【０００３】
シールガスケットは、例えば所定のエラストマーやゴム等により枠形に形成され、蓋体の裏面周縁部に着脱自在に装着されて容器本体の正面の内周縁部と蓋体とに圧縮されて変形することにより、容器本体内に外部の汚れた空気が流入するのを防止し、半導体ウェーハが汚染するのを防止する。
【０００４】
ところで、基板収納容器は、洗浄水による洗浄の際、分解して洗浄されるが、蓋体にシールガスケットが装着されたままだと、シールガスケットの装着部付近の洗浄水を完全に除去することができず、その結果、シールガスケットや半導体ウェーハの汚染を招いたり、半導体ウェーハの品質低下の原因になったりすることがある。この点に鑑み、シールガスケットは、基板収納容器の洗浄の際、蓋体から取り外されて専用の保持具に保持される。また、単品で保持具により管理されたり、保持具に保持された状態で搬送されたりする。
【０００５】
この種の保持具は、様々なタイプがあるが、例えば段ボールにより八角形の筒体を形成し、段ボール板の中央部を筒体の外側形状分くり抜いたスリーブ形のタイプが知られている。また、略Ｘ字形に組み合わされてシールガスケットを嵌通保持する一対の長板と、各長板の両端部に張り出し形成されてシールガスケットの内周面に接触する複数のフィンと、この複数のフィンの両端部に架設されてシールガスケットの脱落を防止する複数の係止板とを備えたタイプが知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２‐３６２６７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来におけるシール部材用の保持具は、以上のように構成されているので、シールガスケットの内周面と擦れて発塵し、シールガスケットや半導体ウェーハの汚染を招くおそれが考えられる。また、長板とフィンとの位置が固定されておらず、これらの接合強度が必ずしも強くないので、保持具が落下して衝撃が加わると、保持具が破損し、その結果、シールガスケットの保持に支障を来すことが考えられる。
【０００８】
本発明は上記に鑑みなされたもので、擦れに伴う発塵でシール部材等が汚染するおそれを抑制し、しかも、強度を向上させて保持具の破損を未然に防ぎ、シール部材を有効に保持することのできるシール部材用の保持具を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明においては上記課題を解決するため、基板収納容器のエンドレスのシール部材よりも大きい受板と、この受板に支持されてシール部材の内周面に嵌合される複数本の被嵌合柱とを備えたものであって、
受板に、被嵌合柱に貫通される複数の取付孔を間隔をおいて設けるとともに、各取付孔を平面略多角形に形成してその周縁部には複数の係止爪を間隔をおいて形成し、各被嵌合柱を屈曲可能な板材の折り曲げにより、取付孔の形に対応する断面略多角形に形成してその周壁には受板の係止爪に嵌挿される複数の係止孔を設け、被嵌合柱のシール部材の内周面に接触する接触面の一部をシール部材の内周面に略対応する形状に形成したことを特徴としている。
【００１０】
なお、受板の各取付孔を平面略五角形に形成してその外側の斜辺を受板の隅部付近に接近させ、被嵌合柱を中空の断面略五角形に形成してその外側の斜面壁を湾曲させ、この被嵌合柱の斜面壁を取付孔の斜辺とシール部材の内周面とにそれぞれ接触させることができる。
【００１１】
また、被嵌合柱を形成する板材を平面矩形に形成し、この板材に複数本の折り曲げ線を間隔をおいて配列形成することにより、板材に第一の幅広壁、複数の幅狭壁、第二の幅広壁、及び折り返し継ぎ壁をそれぞれ区画形成し、第一、第二の幅広壁の両端部に係止孔をそれぞれ穿孔するとともに、折り返し継ぎ壁を第二の幅広壁に隣接させて第一の幅広壁に内側から重なるようにし、折り返し継ぎ壁の両端部に、第一の幅広壁の係止孔との干渉を回避する切り欠きをそれぞれ形成することもできる。
また、受板と被嵌合柱を形成する板材の少なくともいずれか一方を熱可塑性樹脂製あるいは段ボール製とすることが可能である。
【００１２】
ここで、特許請求の範囲における基板収納容器は、φ３００ｍｍや４５０ｍｍ以上の半導体ウェーハを収納するフロントオープンボックスタイプでも良いし、φ２００ｍｍ以下の半導体ウェーハを収納するトップオープンボックスタイプでも良い。エンドレスのシール部材は、平面視でリング形や略枠形等に形成することができる。
【００１３】
受板と被嵌合柱とは、透明、不透明、半透明に形成することができる。受板は、複数枚が好ましいが、単数でも良く、四隅部付近に取付孔をそれぞれ設けることができる。この受板が複数枚の場合、少なくとも一の受板に握持用の握持口を設けることができる。また、取付孔は、平面略四角形、五角形、六角形等に形成することができる。被嵌合柱は、断面略四角形、五角形、六角形等に形成することが可能である。
【００１４】
本発明によれば、シール部材用の保持具を組み立ててシール部材を保持させる場合には、受板の取付孔に被嵌合柱を挿入して取付孔の係止爪と被嵌合柱の係止孔とを嵌め合わせ、受板の取付孔に被嵌合柱を支持させる。受板の複数の取付孔に被嵌合柱をそれぞれ支持させたら、複数本の被嵌合柱にシール部材を嵌め通す。この際、受板の内方向に所定の被嵌合柱を傾け、複数本の被嵌合柱にシール部材を発塵しないよう隙間をおいて嵌め入れた後、傾けた所定の被嵌合柱を元の位置に復帰させれば、シール部材の内周面に各被嵌合柱のエッジの少ない接触面の一部を沿うよう接触させ、複数本の被嵌合柱にシール部材を保持させることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、擦れに伴う発塵でシール部材等が汚染するおそれを有効に抑制することができるという効果がある。また、強度を向上させて保持具の破損を未然に防ぎ、シール部材を有効に保持することができるという効果がある。
【００１６】
請求項２記載の発明によれば、シール部材の内周面に被嵌合柱の外側の角部を接触させるのではなく、被嵌合柱の湾曲した斜面壁を対応させ、接触させるので、シール部材の内周面が擦れて発塵するのを減少させることができる。
【００１７】
請求項３の発明によれば、板材を複数本の折り曲げ線に沿って折り畳めば、変形可能な中空の被嵌合柱を容易に組み立てることが可能になる。また、板材の折り曲げ時に第一の幅広壁に折り返し継ぎ壁を内側から重ねることにより、被嵌合柱の強度を向上させたり、被嵌合柱の形態を簡易に維持することが可能になる。また、板材の折り曲げ時に折り返し継ぎ壁の切り欠きが第一の幅広壁の係止孔との干渉を回避するので、受板の係止爪の係止孔に対する貫通が可能となる。
【００１８】
請求項４の発明によれば、受板と被嵌合柱を形成する板材の少なくともいずれか一方を熱可塑性樹脂製とすれば、軽量化、量産化、及びリサイクル化に資することができ、しかも、シール部材との接触に伴う発塵を抑制することができる。さらに、受板と被嵌合柱を形成する板材の少なくともいずれか一方を安価な段ボール製とすれば、軽量性、量産性、及び安全性を向上させ、しかも、印刷やバーコードの付与により、商品管理が実に容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係るシール部材用の保持具の実施形態を模式的に示す全体斜視図である。
【図２】本発明に係るシール部材用の保持具の実施形態における受板を模式的に示す平面説明図である。
【図３】本発明に係るシール部材用の保持具の実施形態におけるスリーブ柱の板材を模式的に示す展開図である。
【図４】本発明に係るシール部材用の保持具の実施形態におけるスリーブ柱を模式的に示す断面説明図である。
【図５】本発明に係るシール部材用の保持具の実施形態における変形したスリーブ柱を模式的に示す断面説明図である。
【図６】本発明に係るシール部材用の保持具の実施形態における受板の取付孔と変形したスリーブ柱とを模式的に示す断面説明図である。
【図７】本発明に係るシール部材用の保持具の実施形態における受板の取付孔とスリーブ柱とを模式的に示す断面説明図である。
【図８】本発明に係るシール部材用の保持具の実施形態におけるシールガスケットの保持状態を模式的に示す説明図である。
【図９】本発明に係るシール部材用の保持具の実施形態における梱包袋で包装された包装状態を模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態におけるシール部材用の保持具は、図１ないし図９に示すように、大型の基板収納容器のシールガスケット１よりも大きい上下一対の受板１０・１０Ａと、各受板１０・１０Ａに貫通支持されて複数本のシールガスケット１の内周面に嵌合される複数本のスリーブ柱２０とを備え、シールガスケット１の洗浄時、保管時、搬送時等に使用される。
【００２１】
基板収納容器（例えば、ＦＯＳＢ等）は、図示しないが、φ３００ｍｍ以上の大型の半導体ウェーハを上下方向に並べて収納するフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面内に圧入して嵌合される着脱自在の蓋体とを備え、蓋体の裏面の周縁部にエンドレスのシールガスケット１用の装着溝が凹み形成される。
【００２２】
シールガスケット１は、図１、図８、図９に示すように、例えば所定の熱可塑性エラストマー（ポリエステル系熱可塑性エラストマー、ポリスチレン系熱可塑性エラストマー、ポリオレフィン系熱可塑性エラストマー等）やゴム（フッ素ゴムやシリコーンゴム等）等により四箇所の隅部２が湾曲した弾性の略枠形に成形され、外方向に可撓性の舌片が斜めに突出しており、容器本体の正面の内周縁部と蓋体の裏面との間に圧縮変形可能に介在される。このようなシールガスケット１は、複数本のスリーブ柱２０に上方から嵌通され、複数本（例えば、２０〜６０本）がまとめて積層される。
【００２３】
上下一対の受板１０・１０Ａと複数本（本実施形態では４本）のスリーブ柱２０とは、軽量化や量産化に資する所定の熱可塑性樹脂、紙製あるいは樹脂製の段ボールにより形成され、必要に応じて帯電防止処理が施される。所定の熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン等があげられ、これらの中でも、剛性、耐衝撃性、耐熱性に優れるポリプロピレンが最適である。段ボールを使用する場合には、作業環境の汚染防止の観点から、樹脂製の段ボールが好適である。
【００２４】
一対の受板１０・１０Ａは、図１、図２、図６、図７に示すように、それぞれ四隅部が斜めに面取りされた平板からなり、同じ大きさ・形に形成される。この一対の受板１０・１０Ａのうち、上方の受板１０Ａは、特に限定されるものではないが、別の工場にシールガスケット１が輸送される場合等に選択的に使用される。各受板１０・１０Ａは、その四隅部付近に、スリーブ柱２０に貫通される取付孔１１がそれぞれ穿孔され、各取付孔１１がスリーブ柱２０を強固に固定する観点から、平面四角形以上の多角形、具体的には平面五角形に区画形成される。
【００２５】
取付孔１１の周縁部の五辺のうち、隣接する内側の一対の直線辺１２には、中心方向に指向するスリーブ柱２０用の係止爪１３がそれぞれ平面台形に突出形成され、外側の斜辺１４が受板１０・１０Ａの外側隅部付近に接近する。また、受板１０・１０Ａの中央部には、複数本のスリーブ柱２０に包囲される握持用の握持口１５が平面略矩形に穿孔され、この握持口１５の四隅部がそれぞれ斜めに面取りされる。
【００２６】
複数本のスリーブ柱２０は、図１、図３、図８、図９に示すように、屈曲可能な板材２１の折り曲げにより同じ大きさ・形に形成され、シールガスケット１の積層時の変形を防止する観点から、複数本のシールガスケット１を僅かに緊張させて内側から保持する。各スリーブ柱２０は、板材２１の折り畳みにより、取付孔１１の形に対応する中空の断面四角形以上の多角形、具体的には断面五角形に区画形成される。
【００２７】
スリーブ柱２０は、その周壁の上下両端部に、取付孔１１の係止爪１３に嵌挿される横長の係止孔２２がそれぞれ複数穿孔され、外側の斜面壁２３が取付孔１１の斜辺１４に接触する。スリーブ柱２０の斜面壁２３は、シールガスケット内周面の丸みを帯びた隅部２に対応するよう、やや外側に膨出湾曲（図４〜図７では直線で表している）し、面取り面（Ｃ面）としてシールガスケット１の内周面の隅部２に沿うよう接触し、摺接に伴う発塵を防止する。
【００２８】
スリーブ柱２０を形成する板材２１は、図３に示すように、平面矩形に形成され、長手方向に複数本の折り曲げ線２４が所定の間隔をおいて配列形成されることにより、縦長の第一の幅広壁２５、複数の幅狭壁２６、第二の幅広壁２５Ａ、及び折り返し継ぎ壁２７が横一列に区画形成される。第一、第二の幅広壁２５・２５Ａの上下両端部には係止孔２２がそれぞれ穿孔され、複数の幅狭壁２６のうち、一の幅狭壁２６が取付孔１１の斜辺１４に接触する斜面壁２３を形成する。
【００２９】
折り返し継ぎ壁２７は、図３ないし図７に示すように、第二の幅広壁２５Ａに隣接して連接され、板材２１の折り曲げ時に第一の幅広壁２５に折り返して内側から重ねられることにより、スリーブ柱２０の強度を向上させる。この折り返し継ぎ壁２７の上下両端部には矩形の切り欠き２８がそれぞれ横長に形成され、この切り欠き２８が板材２１の折り曲げ時に第一の幅広壁２５の係止孔２２との干渉を回避することにより、受板１０・１０Ａの係止爪１３の係止孔２２に対する貫通を可能とする。
【００３０】
上記構成において、シール部材用の保持具を組み立て、この保持具に複数本のシールガスケット１を保持させる場合には、先ず、スリーブ柱２０を形成する板材２１を複数枚用意し、各板材２１を折り曲げ線２４に沿って折り畳んで中空のスリーブ柱２０を組み立てる。
【００３１】
こうしてスリーブ柱２０を組み立てたら、スリーブ柱２０の幅狭壁２６を内側に押し込むことにより、スリーブ柱２０を変形（図６参照）させ、受板１０の取付孔１１にスリーブ柱２０の下端部を挿通して取付孔１１の係止爪１３とスリーブ柱２０の係止孔２２とを嵌挿し、スリーブ柱２０を元の形に復帰させることで、受板１０の取付孔１１にスリーブ柱２０を貫通支持させる（図７参照）。この受板１０にスリーブ柱２０を支持させる際、スリーブ柱２０の屈曲可能な斜面壁２３が丸みを帯びて外側にやや膨出湾曲し、取付孔１１の斜辺１４に密接するので、スリーブ柱２０を脱落しないよう強固に支持させることができる。
【００３２】
受板１０の複数の取付孔１１にスリーブ柱２０をそれぞれ貫通支持させたら、複数本のスリーブ柱２０にシールガスケット１を上方から嵌通し、このシールガスケット１を複数本積層する（図８参照）。この際、受板１０の握持口１５方向に所定のスリーブ柱２０を傾け、複数本のスリーブ柱２０にシールガスケット１を発塵しないよう隙間をおいて遊嵌した後、傾けた所定のスリーブ柱２０を元の位置に復帰させれば、各スリーブ柱２０の斜面壁２３とシールガスケット内周面の丸みを帯びた隅部２とを密接させ、複数本のスリーブ柱２０にシールガスケット１を緊張させた状態で保持させることができる。
【００３３】
次に、別の工場に保持具に保持されたシールガスケット１を輸送する場合には、スリーブ柱２０の上部の幅狭壁２６を内側に押し込むことにより、スリーブ柱２０を変形させ、スリーブ柱２０の上端部に別の受板１０Ａの取付孔１１を挿通してその係止爪１３とスリーブ柱２０の係止孔２２とを嵌挿し、スリーブ柱２０を元の形に復帰させることにより、受板１０Ａの取付孔１１と複数本のスリーブ柱２０とを位置決め固定する。
【００３４】
受板１０Ａと複数本のスリーブ柱２０とを固定し、シールガスケット１の脱落を規制したら、ポリエチレン袋等の梱包袋３０に保持具を必要数収納（図９参照）し、その後、梱包袋３０で包装された保持具を緩衝材と共に梱包箱に収容して梱包すれば、別の工場に保持具に保持されたシールガスケット１を輸送することができる。
【００３５】
上記構成によれば、シールガスケット１の内周面の隅部２にスリーブ柱２０の鋭利な角部を接触させるのではなく、スリーブ柱２０の丸みを帯びた斜面壁２３を対応させ、密接させるので、シールガスケット１の内周面が擦れて発塵することがなく、シールガスケット１や半導体ウェーハの汚染を招くおそれを有効に排除することができる。
【００３６】
また、取付孔１１の係止爪１３とスリーブ柱２０の係止孔２２とを嵌挿し、受板１０・１０Ａとスリーブ柱２０とをきわめて強固に固定するので、例え保持具が落下して衝撃が作用しても、保持具が破損することがなく、シールガスケット１の保持に何ら支障を来すことがない。また、保持具の使用により、シールガスケット１を円滑に脱着し、作業の利便性を大幅に向上させ、シールガスケット１の変形を確実に防止することができる。さらに、スリーブ柱２０の組み立てに接着剤や粘着テープ等を何ら使用しないので、化学成分に起因するシールガスケット１の汚染を招くことがない。
【００３７】
なお、上記実施形態では一対の受板１０・１０Ａを同じ大きさ・形に形成したが、何らこれに限定されるものではなく、受板１０と受板１０Ａとを異なる大きさ・形に形成しても良い。また、各受板１０・１０Ａの左右両側部や前後両端部に取付孔１１をそれぞれ穿孔しても良い。また、複数本のスリーブ柱２０を４本ではなく、２本、６本、８本等としても良い。さらに、スリーブ柱２０の板材２１を、細長い断面矩形の中空筒体を可撓性の連結部材で複数並列に連結することにより、蛇腹構造に構成しても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明に係るシール部材用の保持具は、半導体や基板収納容器の製造分野等で使用される。
【符号の説明】
【００３９】
１        シールガスケット（シール部材）
２        隅部
１０      受板
１０Ａ    受板
１１      取付孔
１２      直線辺
１３      係止爪
１４      斜辺
２０      スリーブ柱（被嵌合柱）
２１      板材
２２      係止孔
２３      斜面壁
２４      折り曲げ線
２５      第一の幅広壁（周壁）
２５Ａ    第二の幅広壁（周壁）
２６      幅狭壁
２７      折り返し継ぎ壁
２８      切り欠き
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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