(57)【要約】【課題】（所定の品質を維持しつつ）仕上げコストを一層低減することのできる偏心揺動型の減速装置の偏心体軸歯車を得る。【解決手段】第１、第２偏心体２０、２２を備えた偏心体軸１８と、該偏心体軸を回転させるための偏心体軸歯車３０と、を備え、該偏心体軸歯車は、径方向中央部に偏心体軸に設けられた歯車嵌合部７０に嵌合する嵌合穴３０Ｐを有している偏心揺動型の減速装置１０の偏心体軸歯車の製造方法であって、偏心体軸歯車の素材の外周に、歯部３０Ｔを形成する工程Ａと、偏心体軸歯車の素材の径方向中央に、嵌合穴を形成する工程Ｂと、歯部に高周波焼き入れを施し、歯面の硬度を嵌合穴の内周面の硬度よりも高くする工程Ｃ３と、を含む。【選択図】図３
2015113916.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏心体を備えた偏心体軸と、該偏心体軸を回転させるための偏心体軸歯車と、を備え、該偏心体軸歯車は、径方向中央部に前記偏心体軸に設けられた歯車嵌合部に嵌合する嵌合穴を有している偏心揺動型の減速装置の前記偏心体軸歯車の製造方法であって、
前記偏心体軸歯車の素材の外周に、歯部を形成する工程と、
前記偏心体軸歯車の素材の径方向中央に、前記嵌合穴を形成する工程と、
前記歯部に高周波焼き入れを施し、歯面の硬度を前記嵌合穴の内周面の硬度よりも高くする工程と、
を含むことを特徴とする偏心揺動型の減速装置の偏心体軸歯車の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記歯面の硬度を、前記嵌合穴の内周面の硬度よりも、ロックウェル硬度ＨＲＣで、１０ポイント以上高くする
ことを特徴とする偏心揺動型の減速装置の偏心体軸歯車の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記高周波焼き入れ後に、前記歯部に対して熱処理歪を除去する仕上げ加工を行うが、前記嵌合穴に対しては熱処理歪を除去する仕上げ加工は行わない
ことを特徴とする偏心揺動型の減速装置の偏心体軸歯車の製造方法。
【請求項４】
請求項１または２において、
前記嵌合穴に対して、ロックウェル硬度ＨＲＣ５０以下の素材に対して行われるブローチ仕上げを施す
ことを特徴とする偏心揺動型の減速装置の偏心体軸歯車の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかにおいて、
前記偏心体軸歯車の素材に、浸炭処理を施さない
ことを特徴とする偏心揺動型の減速装置の偏心体軸歯車の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれかにおいて、
前記偏心体軸歯車の素材に、浸炭処理を施し、当該浸炭処理を行った炉内で徐冷した後、前記歯部に前記高周波焼き入れを施す
ことを特徴とする偏心揺動型の減速装置の偏心体軸歯車の製造方法。
【請求項７】
偏心体を備えた偏心体軸と、該偏心体軸を回転させるための偏心体軸歯車と、を備え、該偏心体軸歯車は、径方向中央部に前記偏心体軸に設けられた歯車嵌合部に嵌合する嵌合穴を有している偏心揺動型の減速装置であって、
前記偏心体軸歯車は、歯面の硬度が、前記嵌合穴の内周面の硬度をよりも、ロックウェル硬度ＨＲＣで、１０ポイント以上高い
ことを特徴とする偏心揺動型の減速装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記偏心体軸の前記歯車嵌合部と、前記偏心体軸歯車の前記嵌合穴との嵌合が、締まり嵌めで行われる
ことを特徴とする偏心揺動型の減速装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、偏心揺動型の減速装置およびその偏心体軸歯車の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、偏心揺動型の減速装置が開示されている。
【０００３】
この減速装置では、外歯歯車が、揺動しながら内歯歯車に内接噛合している。そして、外歯歯車と内歯歯車との歯数差に依存して生じる相対回転を、減速出力として取り出している。
【０００４】
外歯歯車を揺動させるために、この減速装置では、偏心体を備えた３本の偏心体軸と、各偏心体軸を回転させるための偏心体軸歯車と、を備えている。各偏心体軸歯車は、径方向中央部に、それぞれ偏心体軸に設けられた歯車嵌合部に嵌合する嵌合穴を有している。
【０００５】
特許文献１においては、偏心体軸歯車の嵌合穴を、（スプラインではなく）多角形に形成するようにしている。特許文献１での開示によれば、これにより、偏心体軸歯車の嵌合穴の仕上げ加工を、高コストなハードブローチによる仕上げ加工に代え、比較的低コストなカム研削盤による仕上げ加工とすることができると謳われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−９６５５０号公報（［０００６］〜［００１０］）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、それでも、なお偏心体軸歯車の仕上げ加工は高コストであり、仕上げ加工のコストを一層低減できる偏心体軸歯車の開発が求められていた。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、（所定の品質を維持しつつ）仕上げ加工のコストを一層低減することのできる偏心揺動型の減速装置の偏心体軸歯車を得ることをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、偏心体を備えた偏心体軸と、該偏心体軸を回転させるための偏心体軸歯車と、を備え、該偏心体軸歯車は、径方向中央部に前記偏心体軸に設けられた歯車嵌合部に嵌合する嵌合穴を有している偏心揺動型の減速装置の前記偏心体軸歯車の製造方法であって、前記偏心体軸歯車の素材の外周に、歯部を形成する工程と、前記偏心体軸歯車の素材の径方向中央に、前記嵌合穴を形成する工程と、前記歯部に高周波焼き入れを施し、歯面の硬度を前記嵌合穴の内周面の硬度よりも高くする工程と、を含む構成とすることにより、上記課題を解決したものである。
【００１０】
本発明によれば、偏心体軸歯車に歯部および嵌合穴を形成する工程を経た後、歯部に高周波焼き入れを施し、歯面の硬度を嵌合穴の内周面の硬度よりも高くする（嵌合穴の内周面の硬度を、歯面の硬度よりも低くする）ようにしている。
【００１１】
これにより、（歯部の硬度を維持しつつ）嵌合穴の周辺には、熱処理歪が大きく生じないようになるため、該嵌合穴の仕上げ加工自体を省略できるか、または、仕上げ加工を行うにしても、削り代の小さな（簡易な）仕上げ加工で済むようになり、加工時間を短縮でき、仕上げ加工のコストを低減できる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、（所定の品質を維持しつつ）仕上げコストを一層低減することのできる偏心揺動型の減速装置の偏心体軸歯車を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態の一例に係る製造方法が適用される偏心揺動型の減速装置の全体断面図
【図２】上記減速装置の入力歯車および偏心体軸歯車の噛合状態、および偏心体軸歯車と偏心体軸との嵌合関係を示す模式図
【図３】上記減速装置の偏心体軸歯車の仕上げ工程での温度設定を示す線図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態の一例を詳細に説明する。
【００１５】
図１は、本発明の実施形態の一例に係る製造方法が適用される偏心揺動型の減速装置の全体断面図、図２は、該減速装置の入力歯車および偏心体軸歯車の噛合状態、および偏心体軸歯車と偏心体軸との嵌合関係を示す模式図である。先ず、この減速装置の全体構成から説明する。
【００１６】
減速装置１０は、いわゆる振り分けタイプと称される偏心揺動型の減速装置である。減速装置１０は、内歯歯車１２と、該内歯歯車１２に内接噛合する第１、第２外歯歯車１４、１６と、を備えるとともに、該内歯歯車１２の軸心Ｏ１からＲ１だけオフセットした位置に、第１、第２外歯歯車１４、１６を揺動させるための複数（この例では３本）の偏心体軸１８（１８Ａ〜１８Ｃ：図１では１８Ａのみ図示）を備えている。
【００１７】
この実施形態に係る減速装置１０では、モータ（図示略）の動力は、入力軸２６を介して入力される。入力軸２６の反モータ側の端部には、入力歯車３２が直切り形成されている。
【００１８】
入力歯車３２は、複数（この例では３個）の偏心体軸歯車３０（３０Ａ〜３０Ｃ：図２参照、図１では３０Ａのみ図示）と同時に噛合している。各偏心体軸歯車３０は、自身の嵌合穴３０Ｐ（３０Ａｐ〜３０Ｃｐ）および偏心体軸１８の歯車嵌合部７０（７０Ａ〜７０Ｃ）を介して、それぞれ偏心体軸１８に連結されている。偏心体軸歯車３０の嵌合穴３０Ｐと偏心体軸１８の歯車嵌合部７０の形状は、この実施形態においては、偏心体軸１８の軸方向と直角の断面が正六角形の多角形形状とされている。偏心体軸１８および偏心体軸歯車３０の近傍の構成については、後に詳述する。
【００１９】
３本の偏心体軸１８は、内歯歯車１２の軸心Ｏ１からＲ１だけオフセットした円周上において、それぞれ円周方向に１２０度の間隔で配置されている。各偏心体軸１８には、それぞれの軸方向同位置に第１偏心体２０が形成され、該第１偏心体２０と隣接してそれぞれの軸方向同位置に第２偏心体２２が形成されている。各偏心体軸１８の第１偏心体２０同士および第２偏心体２２同士は、偏心位相が揃えられている。第１偏心体２０と第２偏心体２２の偏心位相差は１８０度である（互いに離反する方向に偏心している）。
【００２０】
各偏心体軸１８の第１偏心体２０の外周には、ころで構成された第１偏心体軸受３４を介して第１外歯歯車１４が組み込まれている。各偏心体軸１８の第２偏心体２２の外周には、ころで構成された第２偏心体軸受３６を介して第２外歯歯車１６が組み込まれている。これにより、３本の偏心体軸１８上の第１偏心体２０が同期して回転することで第１外歯歯車１４を揺動させ、同様に、３本の偏心体軸１８上の第２偏心体２２が同期して回転することで第２外歯歯車１６を揺動させることができる。第１外歯歯車１４と第２外歯歯車１６の偏心位相差は、（第１偏心体２０と第２偏心体２２の偏心位相差を受けて）１８０度である。
【００２１】
第１、第２外歯歯車１４、１６の軸方向両側には、第１、第２キャリヤ３８、４０が配置されており、各偏心体軸１８は、第１、第２軸受配置部１９、２１において、一対の円錐ころ軸受で構成された第１、第２偏心体軸軸受４４、４６（偏心体軸１８を支持する軸受）を介して第１、第２キャリヤ３８、４０に支持されている。第１、第２キャリヤ３８、４０は、一対のアンギュラ玉軸受４８、５０を介してケーシング５２に支持されている。なお、第１、第２キャリヤ３８、４０は、第１キャリヤ３８から一体的に突出され、第１、第２外歯歯車１４、１６を貫通するキャリヤピン３８Ｐを介してボルト５３等により連結・一体化されている。
【００２２】
第１、第２外歯歯車１４、１６は、内歯歯車１２に内接噛合している。内歯歯車１２は、この実施形態ではケーシング５２と一体化された内歯歯車本体１２Ａと、該内歯歯車本体１２Ａに回転自在に組み込まれ、該内歯歯車１２の内歯を構成する外ピン１２Ｂとで構成されている。内歯歯車１２の歯数（外ピン１２Ｂの本数）は、第１、第２外歯歯車１４、１６の歯数よりも僅かだけ（この例では１だけ）多い。
【００２３】
本実施形態では、ケーシング５２にはボルト（ボルト孔５２Ａのみ図示）を介してロボットの第１アーム（図示略）が連結され、第１キャリヤ３８には、ボルト（タップ穴３８Ｂのみ図示）を介してロボットの第２アーム（図示略）がそれぞれ連結される。なお、符号６１は、オイルシールである。
【００２４】
次に、この偏心揺動型の減速装置１０の作用を説明しておく。
【００２５】
図示せぬモータが回転すると、入力軸２６の先端に形成された入力歯車３２が回転する。入力歯車３２は、３個の偏心体軸歯車３０と同時に噛合しているため、該入力歯車３２の回転により３個の偏心体軸歯車３０が同一の方向に同一の回転速度で同期して回転する。
【００２６】
各偏心体軸歯車３０は、それぞれ偏心体軸歯車３０の嵌合穴３０Ｐおよび偏心体軸１８の歯車嵌合部７０の嵌合を介して偏心体軸１８と連結されている。そのため、３本の偏心体軸１８が入力歯車３２と偏心体軸歯車３０との歯数比に減速された状態で、同一の方向に同一の回転速度で同期して回転する。その結果、各偏心体軸１８の軸方向同位置にそれぞれ形成された３個の第１偏心体２０が同期して回転して第１外歯歯車１４を揺動させると共に、各偏心体軸１８の軸方向同位置にそれぞれ形成された３個の第２偏心体２２が同期して回転して第２外歯歯車１６を揺動させる。
【００２７】
第１、第２外歯歯車１４、１６は、それぞれ内歯歯車１２に内接噛合しているため、第１、第２外歯歯車１４、１６が１回揺動する毎に、該第１、第２外歯歯車１４、１６は、内歯歯車１２に対して歯数差分（この実施形態では１歯分）円周方向の位相がずれる（自転する）。この自転成分は、各偏心体軸１８の内歯歯車１２の軸心Ｏ１周りの公転として第１、第２キャリヤ３８、４０に伝達される。第１、第２キャリヤ３８、４０は第１キャリヤ３８と一体化されたキャリヤピン３８Ｐおよびボルト５３等を介して互いに連結されているため、結局、入力軸２６の回転によって、ケーシング５２に連結された第１アームに対して、第１キャリヤ３８に連結された第２アームを相対的に回転させることができる。
【００２８】
ここで、図２、図３を合わせて参照して、偏心体軸歯車３０の周辺の構成について、該偏心体軸歯車３０の製造方法の説明と共に、詳細に説明する。
【００２９】
この種の偏心揺動型の減速装置１０にあっては、偏心体軸１８を安定して回転させるのは、第１、第２外歯歯車１４、１６を安定して揺動させるために必須の要件である。とりわけ、本実施形態のような、いわゆる振り分けタイプ（内歯歯車と、該内歯歯車に内接噛合する外歯歯車と、を備えるとともに、該内歯歯車の軸心から所定量だけオフセットした位置に、外歯歯車を揺動させるための複数の偏心体軸を備えるタイプ）の偏心揺動型の減速装置１０にあっては、さらに、各偏心体軸１８の位相特性も正確に揃っている必要がある。そのため、従来、偏心体軸１８を回転させるための偏心体軸歯車３０には、十分な硬度が必要であり、かつ、歯部３０Ｔおよび嵌合穴３０Ｐには、高精度な仕上げ加工が必要であるとされていた。
【００３０】
このため、従来は、偏心体軸歯車（３０）の素材は、該素材の外周に歯部（３０Ｔ）を形成する工程と、該素材の径方向中央に嵌合穴（３０Ｐ）を形成する工程を経た後に、偏心体軸歯車（３０）全体に、浸炭・焼き入れによる熱処理を行って、素材全体に、十分な硬度を与えるように構成していた。
【００３１】
しかし、浸炭・焼き入れによる熱処理を行うと、必然的に熱処理歪が増大してしまい、高度な寸法精度の確保が困難となってしまう。換言するならば、前述した、特許文献１における開示技術を含め、偏心体軸歯車の嵌合穴の仕上げ加工は、このような「偏心体軸歯車の素材は、十分な硬度を必要とするため浸炭・焼き入れの熱処理が必須である」という事情、および「浸炭・焼き入れの熱処理を行うと、大きな熱処理歪が発生するため、これを修正する仕上げ加工が必須である」という事情を背景として行われてきた工程と言うこともできる。
【００３２】
本実施形態では、しかし、この事情を逆に捉え、偏心体軸歯車３０の「歯部３０Ｔ」に高周波焼き入れを施し、該歯部３０Ｔ（より具体的には歯面）の硬度を嵌合穴３０Ｐの周辺（より具体的には嵌合穴３０Ｐの内周面）の硬度よりも高くする工程を含むように構成している。この構成は、逆に言うならば、本実施形態に係る偏心体軸歯車３０の嵌合穴３０Ｐの周辺は、歯部３０Ｔよりも硬度が低く（軟らかく）、また、従来のように偏心体軸歯車全体に浸炭・焼き入れ処理した場合と比較して、熱処理歪が小さいということである。
【００３３】
したがって、この製造方法を採用することにより、本実施形態に係る偏心体軸歯車３０は、条件によっては、嵌合穴３０Ｐの仕上げ加工そのものを省略することができる。また、仕上げ加工を行う場合であっても、熱処理歪が小さいため、該仕上げ加工における「削り代」が小さい。そのため、仕上げ加工自体が簡易であり、加工時間も短縮でき、結果として嵌合穴３０Ｐの仕上げ加工のコストを低減できる。
【００３４】
また、嵌合穴３０Ｐの周辺は、素材の硬度が高くないことから、加工機械として、高コストなハードブローチは、勿論不要であり、それよりも低コストなカム研削盤による加工さえ不要であり、さらに低コストな、通常のブローチ仕上げ加工（ロックウェル硬度ＨＲＣ５０以下の素材に対して行われるブローチ仕上げ加工）を採用することが可能な場面が多くなると考えられる。つまり、加工機械の更なる低コスト化が可能である。
【００３５】
さらに、歯部３０Ｔの硬度に対して嵌合穴３０Ｐの周辺の硬度が低い（一部が軟らかい）ことから、入力歯車（駆動源側の歯車）３２と偏心体軸歯車３０との噛合によって歯部３０Ｔの近傍に生じた振動や騒音の一部を良好に吸収しながら偏心体軸１８を回転させることができる（振動や騒音の低減効果）。また、硬度差があることから、偏心体軸歯車３０全体が共振する現象をより回避でき、この点で、振動や騒音の増大を抑制する効果も得られる。
【００３６】
したがって、偏心体軸歯車３０の歯部３０Ｔの硬度を高く維持しつつ、結果として、より低振動でより低騒音の偏心揺動型の減速装置１０を得ることができるようになる。これにより低振動でより低騒音という効果は、減速装置１０が、上述したような振り分けタイプの偏心揺動型の減速装置とされている場合に、特に顕著に得られる。
【００３７】
なお、本実施形態では、偏心体軸歯車３０の歯部３０Ｔと嵌合穴３０Ｐの周辺との間の硬度差を、歯部３０Ｔに対して高周波焼き入れを行うことによって得るようにしているが、歯部３０Ｔに対する高周波焼き入れの影響によって、嵌合穴３０Ｐの周辺もある程度硬くなってしまう現象は、許容される。要するに、歯部３０Ｔに対する高周波焼き入れによって、歯部３０Ｔの硬度を、嵌合穴３０Ｐの周辺の硬度よりも、ロックウェル硬度ＨＲＣで、例えば１０ポイント以上高く維持できれば足りる。つまり、歯部３０Ｔと嵌合穴３０Ｐの周辺との間で、結果として、硬度差、例えば、ロックウェル硬度ＨＲＣにおいて、１０ポイント以上の硬度差が生じていればよい。どのようにしてこの硬度差を得るかという具体的工程については、「歯部に対する高周波焼き入れ」の工程以外は、特に限定されない。
【００３８】
より分かり易い例を上げるならば、例えば、偏心体軸歯車の仕様や用途によっては、嵌合穴の周辺を含めて、偏心体軸歯車全体に浸炭処理を施すようにしてもよい。但し、この場合は、浸炭処理の後、従来当然のように行われていた「焼き入れ処理」を行うと、歯部と嵌合穴の周辺の硬度差を得ることはできなくなってしまう。換言するならば、浸炭処理の後は、「焼き入れ処理」を行うべきではなく、「炉冷（浸炭処理を行った炉内での徐冷）」とすべきである。
【００３９】
この具体的な熱処理の工程例を、図３に示す。  
【００４０】
図３に示す工程例では、偏心体軸歯車３０の素材の外周に歯部３０Ｔを形成する工程Ａと、該素材の径方向中央に嵌合穴３０Ｐを形成する工程Ｂを経た後に、偏心体軸歯車３０全体に、浸炭処理を施している（工程Ｃ１）。そして、浸炭処理を行った炉内で徐冷した後（工程Ｃ２）、前記歯部３０Ｔに前記高周波焼き入れを施すようにしている（工程Ｃ３）。その後、焼き戻し処理を行う（工程Ｃ４）。
【００４１】
工程Ａにおける歯部３０Ｔの形成方法としては、公知の形成方法を適宜採用できるが、本実施形態においては、例えばホブ加工により形成している。
【００４２】
工程Ｂにおける嵌合穴３０Ｐの形成方法としては、公知の形成方法を適宜採用できるが、本実施形態においては、例えばブローチ加工により形成している。なお、工程Ａと工程Ｂを行う順序は逆でもよい。
【００４３】
工程Ｃ１の浸炭処理では、歯部３０Ｔおよび嵌合穴３０Ｐの形成された偏心体軸歯車３０の素材を浸炭炉内に配置し、炭素を含有するガスの雰囲気中で加熱し（時刻ｔ１〜ｔ２）、高温状態を保持する（時刻ｔ２〜ｔ３）。本実施形態においては、例えば８００℃〜１０００℃程度に、１５０分〜４５０分程度保持する。この保持温度や保持時間は特に限定されるものではなく、偏心体軸歯車３０の素材の大きさや必要な浸炭深さに応じて適宜設定すればよい。本実施形態においては、その後、若干温度を下げて所定時間保持する（時刻ｔ３〜ｔ５）。ただし、時刻ｔ３〜ｔ５の部分の処理は行わなくてもよい。以上の処理により、偏心体軸歯車３０の素材の表層部に炭素を含ませる。
【００４４】
この浸炭処理により、マルテンサイト構造を作り得る炭素濃度にまで素材の表面に炭素を拡散させることができる。すなわち、ここで焼き入れすると素材の組成をマルテンサイト化することができるが、本実施形態では、浸炭処理後、炉冷（徐冷）する（工程Ｃ２：時刻ｔ５〜ｔ６）。すなわち、ここで敢えて炉冷し、偏心体軸歯車３０の組織のマルテンサイト化を避ける。
【００４５】
工程Ｃ２の炉冷においては、浸炭炉の加熱終了後も偏心体軸歯車３０の素材を炉内に留めておき、炉の冷却速度に合わせてゆっくりと冷却を行う。炉冷の冷却速度も特に限定されるものではなく、組織のマルテンサイト化を避ける冷却速度であればよく、通常、３０℃〜１００℃／時間の速度とされる。なお、本実施形態においては、浸炭処理を行った炉内において炉冷しているが、これに限定されるものではなく、組織のマルテンサイト化を避ける、あるいは１００℃／時間よりも遅い速度で冷却するのであれば、浸炭炉以外で冷却しても構わない。
【００４６】
次に、炉冷の完了した偏心体軸歯車３０の素材を浸炭炉から取り出し、工程Ｃ３において、歯部３０Ｔのみを対象として高周波焼き入れを行う。具体的には、歯部３０Ｔに高周波の電磁波による電磁誘導を起こし、表面を加熱させ（時刻ｔ１１〜ｔ１２）、その状態を保持する（時刻ｔ１２〜ｔ１３）。保持温度や保持時間は特に限定されるものでなく、偏心体軸歯車の素材の大きさ、必要な硬さ、必要な硬化深さ等に応じて適宜設定すればよい。本実施形態においては、例えば浸炭処理時よりも若干低い温度に加熱している。その後、急冷して焼き入れする（本実施形態においては、水焼き入れする：時刻ｔ１３〜ｔ１４）。以上の処理により、歯部３０Ｔの表層部組織がマルテンサイト化される。
【００４７】
次に、工程Ｃ４において焼き戻しを行う（時刻ｔ２１〜ｔ２４）。焼き戻し温度も特に限定されないが、本実施形態においては、例えば１５０℃〜３００℃程度とされる。
【００４８】
炉冷（徐冷）すると炭素が内部に拡散して炭素濃度が低くなったり、結晶が大きくなったりする傾向となるため、嵌合穴３０Ｐの周辺の硬度は高くなりにくい。一方、歯部３０Ｔの表層部組織は、高周波焼き入れによってマルテンサイト化できる。これにより、浸炭処理無しで歯部３０Ｔに高周波焼き入れを施す場合と比較して、嵌合穴３０Ｐの周辺の熱歪みを増大させることなく、歯部３０Ｔの硬度をより高めることができる。
【００４９】
なお、前述したように、この浸炭処理（工程Ｃ１）は、必ずしも行う必要はない。偏心体軸歯車３０の素材に浸炭処理を施さない場合は、図３における、偏心体軸歯車３０の素材の外周に歯部３０Ｔを形成する工程Ａと、該素材の径方向中央に嵌合穴３０Ｐを形成する工程Ｂの後に、（工程Ｃ１、Ｃ２を省略して）直接工程Ｃ３を実施することになる。用途によっては、あるいはもともと素材に含まれている炭素濃度によっては、これで十分に実用に耐えられる場合がある。
【００５０】
また、既に述べたように、嵌合穴については、仕上げ加工自体を省略してもよい。つまり、高周波焼き入れ後には、例えば、歯部のみに対して熱処理歪を除去する仕上げ加工（例えば研削加工）を行うようにしてもよい。もちろん、嵌合穴の仕上げ加工は、行っても良い。仮に仕上げ加工を行う場合であっても、嵌合穴の周辺は、熱処理歪が小さいため、該仕上げ加工における「削り代」が小さく、仕上げ加工自体が簡易で済み、加工時間も短縮できる。また、（嵌合穴の内周面の硬度が低いことから）例えばロックウェル硬度ＨＲＣ５０以下の素材に対して行われる通常の（低コストの）ブローチ仕上げ加工を行うことができることも多くなると考えられる。
【００５１】
しかし、歯部については、高周波焼き入れによる熱処理歪が発生するため、この種の偏心揺動型の減速装置の偏心体軸歯車に必要な寸法精度を確保するためには、仕上げ加工を省略しない方が好ましい。特に、上記熱処理例のように、偏心体軸歯車の素材に、浸炭処理を施し、炉内で徐冷した後、歯部に高周波焼き入れを施すような工程Ｃ１〜Ｃ４を採用した場合等にあっては、歯部での熱処理歪がより大きくなる傾向となるため、仕上げ加工を行うべきである。
【００５２】
なお、偏心体軸歯車の嵌合穴と偏心体軸の歯車嵌合部の形状は、上記実施形態においては、軸と直角の断面が正六角形の多角形形状とされていたが、本発明においては、偏心体軸歯車の嵌合穴と偏心体軸の歯車嵌合部の形状は、これに限定されるものではなく、例えばスプラインであってもよいし、Ｄカット形状であってもよい。
【００５３】
また、この偏心体軸歯車の嵌合穴と偏心体軸の歯車嵌合部の嵌合は、「締まり嵌め」とするのが好ましい。これにより、例えば以下のようなメリットが得られる。
【００５４】
ａ）偏心体軸歯車の嵌合穴の周辺は素材が軟らかいことから、締まり嵌めとすることにより、嵌合穴の形状を、（浸炭・焼き入れ、あるいは浸炭・高周波焼き入れされた）より硬い偏心体軸側の歯車嵌合部に倣わせることができる。これにより、仮に、嵌合穴の仕上げ加工を省略した場合であっても、つまり、寸法的に多少誤差が残っていても、嵌合穴の寸法上の誤差による悪影響が顕在化するのを、より防止することができる。
【００５５】
ｂ）締まり嵌めによって、嵌合穴と歯車嵌合部との「がたつき」がなくなるため、この部分でのバックラッシをほぼ零とすることができる。この種の偏心揺動型の減速装置は、例えばロボットの関節駆動のように、バックラッシを嫌う用途で用いられることも多いため、バックラッシを小さくできるというメリットは大きい。
【００５６】
ｃ）締まり嵌めによって、嵌合穴と歯車嵌合部との「がたつき」がなくなることから、該がたつきに起因する振動や騒音を低減できる。この効果は、特に、偏心揺動型の減速装置の構成が、上述したような「振り分けタイプの構成」とされている場合に顕著である。それは、振り分けタイプの偏心揺動型の減速装置の場合、偏心体軸歯車の「がたつき」が、騒音発生の大きな要因となることが多いためである。
【００５７】
なお、素材が軟らかいことから、上記ａ）〜ｃ）の効果が得られる締まり嵌めを、従来の浸炭・焼き入れがなされた偏心体軸歯車よりも、容易に実現することができる。すなわち、該締まり嵌めを、焼き嵌めや、高圧力の圧入等を行うことなく、より低圧力の圧入によって実現することができる。この締まり嵌めを簡素化できるという効果は、実際の製造工程上においては、非常に大きなメリットとなる。
【００５８】
なお、偏心揺動型の減速装置には、上述したような振り分けタイプの減速装置に適用した場合に、多くの顕著な作用効果が得られるが、偏心揺動型の減速装置には、ほかに、内歯歯車の軸心位置に１本の偏心体軸を有する、いわゆるセンタクランクタイプの減速装置も知られている。本発明は、このようなセンタクランクタイプの偏心揺動型の減速装置の偏心体軸を回転させるための偏心体軸歯車の製造にも同様に適用することができ、同様の作用効果が得られる。
【符号の説明】
【００５９】
１０…減速装置
１２…内歯歯車
１４、１６…第１、第２外歯歯車
１８…偏心体軸
２０、２２…第１、第２偏心体
３０…偏心体軸歯車
３０Ｔ…歯部
３０Ｐ…嵌合穴
７０…歯車嵌合部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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