(57)【要約】【課題】減圧時間の短縮や消費電力の低減といった相反する要求に柔軟に合わせることの可能な遠心機を提供する。【解決手段】第１予熱モードが選択されると、制御装置９は、直ちに油拡散ポンプ５のヒータ５ｃの動作を開始させ、ボイラ５ａを拡散油５ｂが気化しない予熱温度に加熱保持する。第２予熱モードが選択されると、制御装置９は、使用者が入力した運転開始時刻に合わせて、使用者が選択した予熱温度までボイラ５ａを加熱する。加熱開始のタイミングは、温度センサ５ｈにより検出したボイラ５ａの現在温度により制御装置９が決定する。予熱なしモードが選択されると、制御装置９は、スタートボタン又は減圧ボタンが押されてからボイラ５ａの加熱を開始する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動されるロータと、前記ロータを収容する回転室と、前記回転室を減圧する油拡散ポンプと、前記油拡散ポンプの排気側に設けられた真空補助ポンプとを備え、前記油拡散ポンプのヒータを、前記拡散油が気化しない予熱温度で加熱保持する予熱モードを有する、遠心機。
【請求項２】
前記予熱モードの選択を受け付けるモード入力部を備える請求項１に記載の遠心機。
【請求項３】
前記予熱温度を複数の異なる温度に変更可能である請求項１又は２に記載の遠心機。
【請求項４】
前記予熱温度の指定入力を受け付ける温度入力部を備える請求項３に記載の遠心機。
【請求項５】
前記拡散油を前記予熱温度に向けて加熱し始めるタイミングを変更可能である、請求項１から４のいずれか一項に記載の遠心機。
【請求項６】
前記拡散油を前記予熱温度に到達させる目標時刻の入力を受け付ける時刻入力部を備える請求項１から５のいずれか一項に記載の遠心機。
【請求項７】
前記拡散油を前記予熱温度に向けて加熱し始めるタイミングを、現在の前記油拡散ポンプのボイラ温度と前記目標時刻によって決定する、請求項６に記載の遠心機。
【請求項８】
前記予熱モードは、当該モードが選択されると直ちに前記ヒータによる前記予熱温度への加熱を開始する第１予熱モードと、当該モードが選択されてから所定のタイミングを待って前記ヒータによる前記予熱温度への加熱を開始する第２予熱モードとを含む、請求項１から７のいずれか一項に記載の遠心機。
【請求項９】
前記油拡散ポンプと前記真空補助ポンプを動作させる減圧ボタンと、前記ロータを駆動させると共に前記油拡散ポンプと前記真空補助ポンプを動作させるスタートボタンとを含む、請求項１から８のいずれか一項に記載の遠心機。
【請求項１０】
前記真空補助ポンプの動作にかかわらず、前記油拡散ポンプを前記予熱モードで制御可能であることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の遠心機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料の遠心分離や精製等を行う遠心機に関する。
【背景技術】
【０００２】
遠心機では一般に、分離対象の試料（例えば培養液や血液など）を収容した遠心チューブやボトル等の試料容器をロータに保持し、ドアにより密閉された回転室内でモータ等の駆動装置によりロータを高速回転させ、試料容器内の試料に遠心力を働かせることで試料の分離や精製等を行う。
【０００３】
ロータの回転速度が40,000rpmを超える遠心機は、高速回転するロータと回転室内の空気との摩擦熱によるロータ及び試料の温度上昇を抑制するために、回転室内を高真空まで減圧する真空ポンプ装置を備えている（下記特許文献１）。この真空ポンプ装置は、油拡散ポンプ及び真空補助ポンプを含む。真空補助ポンプは、例えば油回転ポンプであり、油拡散ポンプの補助ポンプとして動作する。すなわち、真空補助ポンプは、回転室を大気圧から油拡散ポンプの排気動作が可能となる臨界背圧以下（約２０Ｐａ以下）の中真空まで減圧する。遠心機本体の回転室に油拡散ポンプの吸入口が接続され、油拡散ポンプの排気口に真空補助ポンプの吸入口が接続され、回転室から大気中に通じる減圧用排気路が形成される。
【０００４】
油拡散ポンプは、拡散油を貯留するボイラと、ボイラを加熱するヒータと、ボイラ内の拡散油の沸騰で気化した拡散油分子（油蒸気）を一方向に噴射するジェット部と、気化した拡散油分子を冷やして液化する冷却部とによって構成され、回転室が上記臨界背圧以下という条件下でボイラ内の拡散油の気化による排気動作により、回転室を高真空まで減圧する。このような、真空補助ポンプ及び油拡散ポンプから構成された真空ポンプ装置を備える遠心機では、下記特許文献１に開示されるように、温度センサにより油拡散ポンプのボイラの拡散油を沸騰させるヒータ温度を調整して油拡散ポンプの動作を制御している。また、下記特許文献２に開示されるように、回転室の真空度を真空センサで検出することにより油拡散ポンプの動作を制御することも行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１０４８２６号公報
【特許文献２】特開２００８−２３４７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
油拡散ポンプ内の拡散油を貯留するボイラは熱容量が大きいため、ボイラ内の拡散油を気化する温度に達するまで加熱するには長い時間を要する。このため、回転室内の減圧を開始してから、高回転数でも安定して回転できる高真空状態（例えば１３Ｐａ）になるまでには、例えば十数分の減圧時間が必要であった。ここで、減圧時間を短縮するために、ヒータを常時動作させてボイラ内の拡散油を気化する前の温度に加熱保持しておくことが考えられる。しかし、油拡散ポンプのヒータの消費電力は例えば３５０Ｗ程度であり、ヒータを常時動作させると、遠心機の待機電力が大きくなるという課題があった。
【０００７】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、例えば減圧時間の短縮や消費電力の低減といった相反する要求に柔軟に合わせることの可能な遠心機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のある態様は、遠心機であり、回転駆動されるロータと、前記ロータを収容する回転室と、前記回転室を減圧する油拡散ポンプと、前記油拡散ポンプの排気側に設けられた真空補助ポンプとを備え、前記油拡散ポンプのヒータを、前記拡散油が気化しない予熱温度で加熱保持する予熱モードを有する。
【０００９】
前記予熱モードの選択を受け付けるモード入力部を備えてもよい。
【００１０】
前記予熱温度を複数の異なる温度に変更可能であってもよい。
【００１１】
前記予熱温度の指定入力を受け付ける温度入力部を備えてもよい。
【００１２】
前記拡散油を前記予熱温度に向けて加熱し始めるタイミングを変更可能であってもよい。
【００１３】
前記拡散油を前記予熱温度に到達させる目標時刻の入力を受け付ける時刻入力部を備えてもよい。
【００１４】
前記拡散油を前記予熱温度に向けて加熱し始めるタイミングを、現在の前記油拡散ポンプのボイラ温度と前記目標時刻によって決定してもよい。
【００１５】
前記予熱モードは、当該モードが選択されると直ちに前記ヒータによる前記予熱温度への加熱を開始する第１予熱モードと、当該モードが選択されてから所定のタイミングを待って前記ヒータによる前記予熱温度への加熱を開始する第２予熱モードとを含んでもよい。
【００１６】
前記油拡散ポンプと前記真空補助ポンプを動作させる減圧ボタンと、前記ロータを駆動させると共に前記油拡散ポンプと前記真空補助ポンプを動作させるスタートボタンとを含んでもよい。
【００１７】
前記真空補助ポンプの動作にかかわらず、前記油拡散ポンプを前記予熱モードで制御可能であってもよい。
【００１８】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、例えば減圧時間の短縮や消費電力の低減といった相反する要求に柔軟に合わせることの可能な遠心機を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態に係る遠心機５０の構成図。
【図２】遠心機５０の操作入力部１０ａの表示例を示す説明図。
【図３】遠心機５０の表示部１０ｂに表示される減圧制御方式の選択画面説明図。
【図４】遠心機５０の例示的な制御フローチャート。
【図５】予熱なしモードにおける遠心機５０の動作の例示的なタイムチャート。
【図６】予熱ありモードにおける遠心機５０の動作の例示的なタイムチャート。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００２２】
図１は、本発明の実施形態に係る遠心機５０の構成図である。遠心機５０は、例えば、ロータ１の回転数を40,000rpm以上に制御できる超遠心機（超遠心分離機）である。遠心機５０において、ロータ１は、ドア１１によって密閉可能な回転室３に設置される。ロータ１には、分離対象の試料（例えば培養液や血液など）を収容した遠心チューブやボトル等の試料容器（図示せず）が保持される。電動モータ２は、ロータ１を高速に回転駆動する。油拡散ポンプ５及び真空補助ポンプ４から構成された真空ポンプ装置は、回転室３を減圧するために設けられる。制御装置９は、遠心機５０の全体の動作を制御する。真空センサ８は、高真空度まで減圧される回転室３の真空度を検出する。
【００２３】
電動モータ２は、例えば３相ブラシレスモータから成り、図示されていないスター結線された固定子界磁巻線（Ｕ、Ｖ及びＷ巻線）を含んでいる。ロータ１は、電動モータ２の回転軸に脱着自在に接続されて回転力が与えられる。電動モータ２の固定子界磁巻線（図示せず）は、後述する制御装置９に設けられたインバータ回路（図示せず）などにより回転数が制御される。
【００２４】
油拡散ポンプ５は、拡散油５ｂ（オイル）を貯留するためのボイラ５ａと、ボイラ５ａを加熱するヒータ５ｃと、ボイラ５ａで気化した拡散油分子を下方向にジェット気流として噴射させるためのジェット部（図示せず）を内部に備えた円筒部５ｄと、気化した拡散油分子を冷やして液化するための放熱フィン（又は冷却パイプ）５ｅとから構成される。油拡散ポンプ５の吸気口５ｆは、真空ホース７を介して回転室３に接続される。吸気口５ｆから吸入された、ジェット部の周囲（円筒部５ｄの内周部）にある気体分子（空気）は、拡散油分子（油蒸気）に飛ばされて下の方に圧縮され、排気口５ｇから排出される。温度センサ５ｈは、拡散油５ｂを貯留するボイラ５ａの温度を検出する。
【００２５】
真空補助ポンプ４は、真空ホース６を介して油拡散ポンプ５の排気口５ｇに接続された吸気口４ａと、大気中に排気するための排気口４ｂとを有する。この真空補助ポンプ４の本体は、内部は図示されていないが、例えば周知の油回転ポンプによって構成され、油を貯留する油容器の中で偏心回転軸を有するロータを回転させ、ロータに設けられた溝内を往復動する固定翼と協働して吸気口４ａ側の空気を排気口４ｂより排気する。真空補助ポンプ４が１Ｐａ程度の減圧能力限界を持つのに対して、油拡散ポンプ５は０.１〜０.０１Ｐａの高真空領域の排気能力を持つ。このため、真空補助ポンプ４は、油拡散ポンプ５の排気動作が可能となる臨界背圧以下（約１３〜２０Ｐａ以下）の低真空に回転室３を減圧させる目的で付加される。
【００２６】
制御装置９は、ロータ１（電動モータ２）の回転駆動制御と、真空補助ポンプ４及び油拡散ポンプ５の駆動と、真空センサ８の検出等を制御する。制御装置９は、演算、制御プログラムを実行する処理装置であるＣＰＵ９ａ、ＣＰＵ９ａの制御プログラム等を格納するメモリであるＲＯＭ９ｂ（リードオンリーメモリ）、ＣＰＵ９ａの作業領域やデータの一時記憶領域等として利用されるメモリであるＲＡＭ９ｃ（ランダムアクセスメモリ）等を含むマイクロコンピュータにより構成される。
【００２７】
操作部１０は、操作入力部１０ａと、表示部１０ｂとを有し、これら例えばタッチセンサー機能を持つＬＣＤ（Liquid Crystal Display）で実現できる。なお、操作入力部１０ａ及び表示部１０ｂは、単一のタッチパネルであってもよい。操作部１０は、油拡散ポンプ５のヒータ制御のモードを入力するモード入力部、予熱温度を入力する温度入力部、並びに運転開始予定時刻（予熱完了目標時刻）を入力する時刻入力部としての機能を含む。操作入力部１０ａは、図２に示すように、スタートボタン１２、ストップボタン１３、減圧ボタン１４等を表示する。なお、ここでいう「ボタン」は、ＧＵＩ（グラフィカルユーザインタフェース）上のボタンであるが、機械的な押しボタンであってもよい。ロータ１の目標回転速度、チャンバ３内の目標温度、ロータ１の回転を継続する時間等の運転条件の設定も操作入力部１０ａによって行える。表示部１０ｂは、図３に示す減圧制御方式の選択画面を表示することができる。
【００２８】
図３において、減圧優先ボタンＬ１は、減圧時間の短縮を優先して制御する第１予熱モードを選択するボタンである。第１予熱モードは予熱ありモードの１つである。第１予熱モードが選択されると（減圧優先ボタンＬ１が押されると）、制御装置９は、直ちに油拡散ポンプ５のヒータ５ｃの動作を開始させ、ボイラ５ａを拡散油５ｂが気化しない予熱温度に加熱保持する。
【００２９】
省エネ減圧優先ボタンＬ２は、省エネルギーを図りながら減圧時間も短くするように制御する第２予熱モードを選択するボタンである。第２予熱モードは予熱ありモードの１つである。第２予熱モードが選択されると（省エネ減圧優先ボタンＬ２が選択されると）、制御装置９は、ＤＰ温度ＡボタンＬ２１及びＤＰ温度ＢボタンＬ２２を点滅し、いずれかを選ぶよう促す。ＤＰ温度ＡボタンＬ２１及びＤＰ温度ＢボタンＬ２２は、油拡散ポンプ５（ＤＰ：Diffusion Pump）のヒータ温度、すなわち予熱温度を選択するボタンである。運転開始時刻入力部Ｌ２３は、省エネ減圧優先ボタンＬ２を選択した場合に、遠心機５０の運転を開始する予定時刻、すなわち拡散油を予熱温度に到達させる目標時刻を入力する部分である。使用者が運転開始時刻入力部Ｌ２３に触れると、０から９の数字からなる数値入力画面が開き、運転開始時刻の入力が可能となる。第２予熱モードでは、制御装置９は、使用者が入力した運転開始時刻に合わせて、使用者が選択した予熱温度までボイラ５ａを加熱する。加熱開始のタイミングは、温度センサ５ｈにより検出したボイラ５ａの現在温度により制御装置９が決定する。
【００３０】
省エネ優先ボタンＬ３は、省エネルギーを優先して制御する予熱なしモードを選択するボタンである。予熱なしモードが選択されると（省エネ優先ボタンＬ３が押されると）、制御装置９は、スタートボタン１２又は減圧ボタン１４（図２）が押されてから、真空補助ポンプ４と油拡散ポンプ５に通電する、すなわち真空補助ポンプ４と油拡散ポンプ５の動作を開始する。この場合、油拡散ポンプ５のヒータ５ｃは、スタートボタン１２又は減圧ボタン１４が押されてからボイラ５ａの加熱を開始する。
【００３１】
図４は、遠心機５０の例示的な制御フローチャートである。制御装置９は、使用者による油拡散ポンプ５のヒータ制御のモード選択入力を受け付ける（Ｓ１）。図３に示す減圧優先ボタンＬ１が押されると（Ｓ２のYes）、制御装置９は、第１予熱モードでの制御を実行する。すなわち、制御装置９は、予熱温度を「高」とし（Ｓ３）、直ちにボイラ５ａの予熱を実施する（Ｓ４）。具体的には、油拡散ポンプ５のヒータ５ｃにより、ボイラ５ａ内の拡散油５ｂを気化しない予熱温度に加熱保持し、使用者によるスタートボタン１２（又は減圧ボタン１４）の操作を待つ（Ｓ５）。予熱温度「高」は、例えば約１００℃である。ヒータ５ｃの制御は、温度センサ５ｈにより検出したボイラ５ａの温度に基づいて行われる。
【００３２】
図３に示す省エネ減圧優先ボタンＬ２が押されると（Ｓ２のNoかつＳ１１のYes）、制御装置９は、第２予熱モードでの制御を実行する。すなわち、制御装置９は、ＤＰ温度ＡボタンＬ２１とＤＰ温度ＢボタンＰ２２の両方を点滅させ、いずれかを選択することを促がし、予熱温度の入力を受け付ける（Ｓ１２）。ＤＰ温度ＡボタンＬ２１が押された場合には、続く予熱温度設定処理（Ｓ１３）において制御装置９は、ボイラ５ａの予熱温度を「高」（約１００℃）に設定する。ＤＰ温度ＢボタンＬ２２が押された場合には、続く予熱温度設定処理（Ｓ１３）において制御装置９は、ボイラ５ａの予熱温度を「低」（約８０℃）に設定する。続いて、制御装置９は、図３に示す運転開始時刻画面Ｌ２３を点滅させ、運転開始時刻入力を促す。この運転開始時刻は、ロータ１の回転駆動制御を開始する予定時刻であり、また、油拡散ポンプ５の予熱完了目標時刻である。予熱完了目標時刻経過後は、予熱温度を維持するようにヒータを制御する。運転開始時刻画面Ｌ２３に触れると、０から９の数字からなる数値入力画面が開き、運転開始時刻を入力することができる。制御装置９は、運転開始時刻の入力を受け付け（Ｓ１４）、ヒータ５ｃによるボイラ５ａの加熱を開始するまでの待機時間Ｔｘを算出する（Ｓ１５）。すなわち、制御装置９は、入力された運転開始時刻までカウントして、運転開始時刻に合わせてボイラ５ａの温度が設定温度（「高」又は「低」）になるような待機時間Ｔｘを算出（特定）する。待機時間Ｔｘは、温度センサ５ｈにより検出したボイラ５ａの現在温度により変化する。現在温度が高ければ待機時間Ｔｘは短く、現在温度が低ければ待機時間Ｔｘは長くなる。待機時間Ｔｘは実験により求めることができる。制御装置９は、待機時間が経過するのを待って（Ｓ１６のYes）、予熱を実行する（Ｓ４）。具体的には、油拡散ポンプ５のヒータ５ｃにより、ボイラ５ａ内の拡散油５ｂを気化しない予熱温度に加熱保持し、使用者によるスタートボタン１２（又は減圧ボタン１４）の操作を待つ（Ｓ５）。なお、ステップ１４（Ｓ１４）にて運転開始時刻が設定されない場合には、ステップ４（Ｓ４）に進み、ヒータへの通電を開始する。
【００３３】
図３に示す省エネ優先ボタンＬ３が押されると（Ｓ２のNo、Ｓ１１のNo、かつＳ２１のYes）、制御装置９は、予熱なしモードでの制御を実行する。すなわち、制御装置９は、ボイラ５ａの予熱を行わずに、使用者によるスタートボタン１２（又は減圧ボタン１４）の操作を待つ（Ｓ５）。スタートボタン１２（又は減圧ボタン１４）が押されると（Ｓ５のYes）、制御装置９は、真空補助ポンプ４及び油拡散ポンプ５による減圧を開始するとともに、電動モータ２の駆動を開始し、ロータ１を回転駆動する（Ｓ６）。以下、スタートボタン１２が操作された後の動作を予熱なしモードと予熱ありモードの各々について説明する。
【００３４】
図５は、予熱なしモードにおける遠心機５０の動作の例示的なタイムチャートである。予熱なしモードでは、制御装置９は、スタートボタン１２がオンされてからロータ１の回転、並びに真空補助ポンプ４と油拡散ポンプ５の駆動を開始する。油拡散ポンプ５のヒータ５ｃに電圧を印加するのもスタートボタン１２がオンされてからとなる。ヒータ５ｃに電圧を印加するとボイラ５ａは加熱され、ボイラ５ａの温度は上昇を開始する。ボイラ５ａの熱容量が大きいため、ボイラ５ａの温度は徐々に変化（上昇）する。一方、ロータ１の回転数は、高真空になるまで待機する低回転数、例えば4,000rpmに制御される。回転室圧力は、真空補助ポンプ４が駆動開始すると、大気圧Ｐ１から徐々に低下する。真空補助ポンプ４の減圧限界圧力Ｐ２付近（例えば２０Ｐａ程度）になると、圧力の変化度は小さくなる。これは、拡散油５ｂの温度がまだ低いため油拡散ポンプ５による減圧が始まらないためである。その後、ボイラ５ａの温度は拡散油５ｂが気化する気化温度Ｔｅｍｐ１になると、油拡散ポンプ５の減圧効果が現れ、回転室圧力の変化度は大きくなり高真空領域Ｐ３（例えば０.１Ｐａ程度）へと変化していく。スタートボタン１２を押してから、拡散油５ｂが気化温度Ｔｅｍｐ１以上になるまでの時間Ｔ１は、例えば１２〜１３分程度と長い時間が掛かる。拡散油５ｂが気化温度Ｔｅｍｐ１以上になると、ロータ１の回転数は、4,000rpmから上昇し、最終的に設定回転数、例えば100,000rpmに制御される。予熱なしモードでは、スタートボタン１２（又は減圧ボタン１４）がオンされるまで油拡散ポンプ５のヒータ５ｃによる加熱を行わないので省エネルギーになるが、拡散油５ｂが気化温度Ｔｅｍｐ１以上になるまでの時間は長くなる（減圧時間が長くなる）。
【００３５】
図６は、予熱ありモードにおける遠心機５０の動作の例示的なタイムチャートである。ここでは、スタートボタン１２がオンされた時点でボイラ５ａの温度が予熱温度Ｔｅｍｐ２（予熱温度「高」に対応に制御されている場合を説明する。スタートボタン１２がオンされると、制御装置９は、油拡散ポンプ５のヒータ５ｃに印加する電圧を高める。すると、ボイラ５ａは予熱時より強く加熱され、ボイラ５ａの温度は予熱温度Ｔｅｍｐ２から更に上昇し始める。一方、回転室圧力は、真空補助ポンプ４が駆動開始すると、大気圧Ｐ１から徐々に低下する。ここで、本図に示す予熱ありモードの場合、真空補助ポンプ４の減圧限界圧力付近になる前に、油拡散ポンプ５のボイラ５ａの温度が、拡散油５ｂが気化する気化温度Ｔｅｍｐ１まで上昇する。このため、真空補助ポンプ４による減圧から油拡散ポンプ５による減圧への移行が少ない待ち時間（又は待ち時間なし）でスムーズに進み、回転室圧力は高真空領域Ｐ３へと変化していく。スタートボタン１２を押してから、拡散油５ｂが気化温度Ｔｅｍｐ１以上になるまでの時間Ｔ２は、例えば５〜６分程度まで短縮することができる。拡散油５ｂが気化温度Ｔｅｍｐ１以上になると、ロータ１の回転数は、4,000rpmから上昇し、最終的に設定回転数、例えば100,000rpmに制御される。なお、予熱温度を「低」にした場合、予熱温度が「高」である場合と比較して拡散油５ｂが気化温度Ｔｅｍｐ１以上になるまでの時間は長くなる（減圧時間が長くなる）が、予熱温度が低い分だけ油拡散ポンプ５の消費電力を低く抑えることができる。
【００３６】
本実施の形態によれば、油拡散ポンプ５のヒータ制御を異なる複数のモードの間で変更可能としているため、例えば減圧時間の短縮や消費電力の低減といった相反する要求にも柔軟に合わせることが可能となる。具体的には、早く遠心分離作業に着手したい場合には、第１予熱モードを選択して、油拡散ポンプ５のボイラ５ａを拡散油５ｂが気化しない予熱温度に常時保持しておくことで、スタートボタン１２（又は減圧ボタン１４）を押してからの減圧時間を短くできる。また、減圧時間の短縮と消費電力の低減をバランス良く実現したい場合には、第２予熱モードを選択して、運転開始予定時刻に合わせて予熱を完了するようにすれば、予熱完了から運転開始までの予熱継続時間を短くすることができ、減圧時間短縮のための消費電力増大を抑えることができる。このとき、予熱温度を高めに設定すれば、減圧時間の短縮を相対的に優先でき、予熱温度を低めに設定すれば消費電力の低減を相対的に優先でき、柔軟性が高い。また、消費電力の低減を最優先にする場合には、予熱なしモードを選択して、スタートボタン１２（又は減圧ボタン１４）を押してから油拡散ポンプ５のヒータを作動させるようにすればよい。
【００３７】
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。例えば、第１予熱モードにおいても、予熱温度を選択可能としてもよい。選択可能な予熱温度の種類は、２種類に限定されず、３種類以上であってもよい。また予熱温度は使用者が任意に設定可能であってもよい。
【符号の説明】
【００３８】
１  ロータ、２  電動モータ、３  回転室、４  真空補助ポンプ、５  油拡散ポンプ、６  真空ホース、７  真空ホース、８  真空センサ、９  制御装置、１０  操作部、１１  ドア、１２  スタートボタン、１３  ストップボタン、１４  減圧ボタン、５０  遠心機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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