(57)【要約】      （修正有）【課題】基部の他端側の端面への振動腕部の振動漏れを防止することができ、振動性能に優れた圧電振動片を提供する。【解決手段】基部５の一端側に並設状態で突出された一対の振動腕部６，７を有し、基部５の他端側に電気的に分離した状態で前記並設方向に一対の金属バンプ１１ａ，１１ｂが形成された接合部８を有した音叉型圧電振動片２であって、接合部８の端面８ｃに、第１凸部３２ａと、第１凸部３２ａ上の第２凸部３２ｂとからなる振動漏れ防止用の段部３２が形成されている。【選択図】図１
2015103929.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端側に並設され該一端側から平行に突出する一対の振動腕部を具備する音叉型圧電振動片であって、
前記一端側に対向する他端側の端面の一部に、第１凸部と前記第１凸部上の第２凸部とからなる段部が形成されている、ことを特徴とする音叉型圧電振動片。
【請求項２】
前記一対の振動腕部が一端面に形成された基部と、前記基部の前記一端面と対向する他端面に形成された接合部とを含み、
前記接合部は、
前記基部の前記他端面に対して前記両振動腕部の前記並設間中央線を含む領域から突出して第１金属バンプを有する基端部と、前記基端部から前記両振動腕部の前記並設方向一方に延出して第２金属バンプを有する延出部とを備えて、平面視Ｌ字状に形成されており、
当該接合部の端面が、前記他端側とされて、当該端面に前記段部が形成されている、請求項１に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項３】
前記第１凸部が、前記両振動腕部の前記並設間中央線上を通る幅で形成されている、請求項２に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項４】
前記第１凸部は、その幅方向両端の側面が前記他端側の端面から前記突出方向に略垂直に立上がり、その表裏面が前記他端側の表裏面に連続する平坦な面になっていると共に、
前記第２凸部は、前記第１凸部の前記幅より短い幅を有し、
前記第２凸部の幅方向両側には、前記第１凸部の幅方向両端へ向けて漸次薄肉となる領域が形成されている、請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項５】
前記第２凸部は、その幅方向両端が、前記第１、第２金属バンプに対して、幅方向に垂直な方向において、離隔し、かつ、重なっていない請求項１〜４うちのいずれかに一項に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項６】
前記第２凸部は、前記一対の振動腕部の前記並設間中央に対し、前記並設方向一方に偏心した位置に形成されている、請求項１〜５のうちのいずれかに一項に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項７】
前記第２凸部の頂部及び底部が、前記接合部の表裏面に連続する平坦な面になっている、請求項１〜６のうちのいずれかに一項に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項８】
請求項１〜７のうちのいずれかに一項に記載の前記音叉型圧電振動片が、パッケージ内で支持されている、ことを特徴とする音叉型圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の振動腕部が屈曲振動モードで振動する音叉型圧電振動片、及びパッケージ内で支持された音叉型圧電振動子及びこの音叉型圧電振動片がパッケージ内に支持された圧電振動子に関わり、詳細には、前記圧電振動片において、前記一対の振動腕部の機械的な振動エネルギーの伝播漏れ、所謂振動漏れを防止することに関する。
【背景技術】
【０００２】
この音叉型圧電振動片は、時計等の基準信号の周波数発生源として従来から広く使用されている。
【０００３】
音叉型圧電振動片は、基部の一端側に平行に並設された一対の振動腕部が屈曲振動するものであり、その振動漏れは、振動効率の低下や、等価直列抵抗の悪化、振動周波数のずれなど、その振動特性の低下の要因となる。
【０００４】
そのため、従来から、振動漏れを低減する技術は、多数、提案されている(例えば、特許文献１参照。)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１５７９３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そうした振動漏れには、基部の一端側に対向する基部の他端側の端面への振動漏れがあり、該端面への振動漏れを低減するため、当該端面に凸部を設けたものがある。
【０００７】
しかしながら、圧電振動片の小型化の促進に伴い、基部の一端側と基部の他端側との距離がより近づくと、振動腕部の振動エネルギーが、基部の他端側の端面へとより大きく伝播されて漏れ易くなり、上記端面に凸部を単に設けたのみでは、その振動漏れを有効に低減することに限界が生じている。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みて為されたものであり、基部の他端側端面への振動漏れをより確実に低減できる音叉型圧電振動片を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、
本発明の音叉型圧電振動片は、一端側に並設され該一端側から平行に突出する一対の振動腕部を具備する音叉型圧電振動片であって、前記一端側に対向する他端側の端面の一部に、第１凸部と前記第１凸部上の第２凸部とからなる段部が形成されている、ことを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、前記第１凸部及び第２凸部からなる段部が、前記他端側の端面に形成されているので、前記一端側の一対の振動腕部の振動に伴い、前記一端側から前記他端側の端面に伝播されてくる振動の漏れは、前記段部の第１凸部で先ず低減され、次いで、第２凸部で更に低減されるので、前記他端側の端面が平坦な音叉型圧電振動片や、該端面に単一の凸部が設けられた音叉型圧電振動片と比較して、振動漏れをより有効に低減できる。
【００１１】
なお、前記他端側の前記端面には、前記一対の振動腕部が一端面に形成された基部を具備し、当該基部に、前記一対の振動腕部の並設方向に第１、第２金属バンプが形成されている場合では、当該基部の他端面が前記他端側の端面に対応し、また、前記基部の前記一端面に対向する他端面に接合部が形成されている場合では、前記接合部の端面が前記他端側の端面に対応し、当該接合部の端面に前記段部が形成されるものであり、本発明はこれらいずれの場合も含む。
【００１２】
本発明において、好ましい実施態様では、前記一対の振動腕部が一端面に形成された基部と、前記基部の前記一端面と対向する他端面に形成された接合部とを含み、前記接合部は、前記基部の他端面に対して前記両振動腕部の前記並設間中央線を含む領域から突出して第１金属バンプを有する基端部と、前記基端部から前記両振動腕部の前記並設方向一方に延出して第２金属バンプを有する延出部とを備えて、平面視Ｌ字状に形成されており、当該接合部の端面が、前記他端側とされて、当該端面に前記段部が形成されている。
【００１３】
この実施態様によれば、前記基部の他端側に形成した接合部の形状が平面視Ｌ字状であるので、一端側から他端側の端面までの振動漏れの距離が延び、その距離が延びた分、振動漏れが低減され、振動漏れ低減効果が向上する。
【００１４】
本発明において、別の好ましい実施態様では、前記第１凸部が、前記両振動腕部の前記並設間中央線上を通る幅で形成されている。
【００１５】
この実施態様によれば、前記基部の一端側の一対の振動腕部の振動に伴い、前記基部の一端側から前記基部の他端側の端面に伝播されてくる振動は、ほぼ、均等に伝播されてくるが、前記第１凸部が前記両振動腕部の前記並設間中央線上を通る幅で形成されているので、これら振動漏れを均等に低減でき、前記第２凸部では振動漏れをさらに低減するときに、一方の振動漏れと他方の振動漏れとの相互干渉を低減し、振動漏れを効果的に低減できる。
【００１６】
本発明において、別の好ましい実施態様では、前記第１凸部は、その幅方向両端の側面が前記基部の他端面、または前記接合部の端面から前記突出方向に略垂直に立上がり、その表裏面が前記基部の他端面、または前記接合部の表裏面に連続する平坦な面になっていると共に、前記第２凸部は、前記第１凸部の前記幅より短い幅を有し、前記第２凸部の幅方向両側には、前記第１凸部の幅方向両端へ向けて漸次薄肉となる領域が形成されている。
【００１７】
この実施態様では、前記第１凸部は、その幅方向両端の側面が前記基部の他端面、または前記接合部の端面から前記突出方向に略垂直に立上がり、その表裏面が前記基部の他端面、または前記接合部の表裏面に連続する平坦な面になっているので、前記一対の振動腕部から前記基部の他端面、または前記接合部端面への振動漏れは、当該第１凸部で大きく低減でき、さらに第１凸部の幅方向両端へ向けて漸次厚肉となる領域を介して最終的に、第２凸部により、振動漏れを充分に小さく低減でき、振動特性への影響を軽減できる。
【００１８】
本発明において、別の好ましい実施態様では、前記第２凸部は、その幅方向両端が、前記第１、第２金属バンプに対して、幅方向に垂直な方向において、離隔し、かつ、重なっていない。
【００１９】
この実施態様では、他端側の端面近傍にクラックがあっても、衝撃等の外力により、そのクラックが両金属バンプの周囲に進行することが抑制され、衝撃等の外力が加えられたときの発振周波数のずれを防止することができる。
【００２０】
本発明において、別の好ましい実施態様では、前記第２凸部は、前記一対の振動腕部の前記並設間中央に対し、前記並設方向一方に偏心した位置に形成されている。
【００２１】
この実施態様では、第２凸部が、並設方向一方寄りに偏心した位置に形成されているので、前記他端側の両側からの振動漏れの相互干渉作用を効果的に崩すことができ、より効果的に前記他端側両側からの振動漏れを防止することができる。
【００２２】
本発明において、別の好ましい実施態様では、前記第２凸部の頂部及び底部が、前記接合部の表裏面に連続する平坦な面になっている。
【００２３】
この実施態様によれば、第２凸部に伝播してくる振動の漏れをより効果的に低減できる。
【００２４】
また、本発明において、好ましい実施態様は、前記音叉型圧電振動片が、パッケージ内で支持された音叉型圧電振動子である。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、基部の他端側の端面の一部に、第１凸部と第２凸部とからなる段部が形成されているので、従来の前記基部の端面が平坦な音叉型圧電振動片や、前記基部の端面に単一の凸部を備えた音叉型圧電振動片よりも、当該他端側端面への振動漏れをより有効に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】(ａ)は、本発明の実施形態に係る水晶振動片の表面図、(ｂ)は同水晶振動片の裏面図。
【図２】図１(ｂ)の要部拡大図。
【図３】図２の更なる要部拡大図。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図。
【図５】実施形態の水晶振動片の振動漏れの特性を示す図。
【図６】実施形態の水晶振動片の製造に用いる水晶ウェハの全体平面図。
【図７】図６の一部拡大図。
【図８】図７の要部拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施形態に係る音叉型圧電振動片を説明する。なお、実施形態では、音叉型圧電振動片として、音叉型水晶振動片(以下、水晶振動片という)で説明するが、水晶振動片以外のタンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムなどの圧電材料からなる圧電振動片にも適用できるものである。
【００２８】
図１〜図４を参照して、実施形態の水晶振動片を説明する。
【００２９】
図１(ａ)は、本発明の実施形態に係る水晶振動片の表面図、図１(ｂ)は同水晶振動片の裏面図である。また、図２は、図１(ｂ)の要部拡大図、図３は、図２の更なる要部拡大図、図４は、図３のＡ−Ａ線断面図である。
【００３０】
先ず、図１を参照して、水晶振動片２は、基部５と、一対の第１、第２振動腕部６，７と、接合部８と、を有する。
【００３１】
基部５は、平面視左右対称の形状とされ、第１、第２振動腕部６，７より幅広に形成されている。
【００３２】
第１、第２振動腕部６，７は、基部５の一端面から突出して隙間部９を介して互いに平行になって並設されている。隙間部９は、基部５の一端面において、第１、第２振動腕部６，７の並設方向の中央位置上に設けられている。なお、図中のＬ０は、第１、第２振動腕部６，７の並設間の中央を下方に前記突出方向に沿い当該突出方向とは反対方向に延びる中央線を示す。
【００３３】
第１、第２振動腕部６，７の先端部は、幅広に成形されている。第１振動腕部６の表裏両主面及び両側面に、励振電極９ａ１，９ａ２、９ｂ１，９ｂ２が形成されている。第２振動腕部７の表裏両主面及び両側面に、励振電極１０ａ１，１０ａ２、１０ｂ１，１０ｂ２が形成されている。
【００３４】
第１振動腕部６の表裏両主面の励振電極９ａ１，９ａ２それぞれは共通接続され、両側面の励振電極９ｂ１，９ｂ２それぞれは共通接続されている。また、第２振動腕部７の表裏両主面の励振電極１０ａ１，１０ａ２それぞれは共通接続され、両側面の励振電極１０ｂ１，１０ｂ２それぞれは共通接続される。
【００３５】
第１振動腕部６の表裏両主面の励振電極９ａ１，９ａ２は、第２振動腕部７の両側面の励振電極１０ｂ１，１０ｂ２に共通接続されて一方の極性の電圧が印加される。第１振動腕部６の両側面の励振電極９ｂ１，９ｂ２は、第２振動腕部７の表裏両主面の励振電極１０ａ１，１０ａ２に共通接続されて他方の極性の電圧が印加されるようになっている。
【００３６】
第１、第２振動腕部６，７それぞれの励振電極の一部は基部５上に基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６で引き出される。これら基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６のうち、一対の基部引出電極２０ｃ４，２０ｃ５は、基部５裏面から接合部８裏面まで引出されて接合部引出電極２０ｃ７，２０ｃ８とされている。基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６、接合部引出電極２０ｃ７，２０ｃ８は、絶縁分離ライン１４ａ１，１４ａ２，１４ｂ１，１４ｂ２でそれぞれ電気的に絶縁分離されている。
【００３７】
引出電極２０ｃ１〜２０ｃ８において、引出電極２０ｃ１，２０ｃ３，２０ｃ５を前記励振電極の一部を共通接続する接続用基部引出電極と称し、引出電極２０ｃ２，２０ｃ４，２０ｃ６を、前記複数の励振電極の一部を外部へ引き出す一対の外部用基部引出電極として基部引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６と称し、引出電極２０ｃ４が接合部８に引出され、その引出された電極を前記した第１接合部引出電極２０ｃ７と称し、引出電極２０ｃ５が接合部８に引出され、その引出された電極を第２接合部引出電極２０ｃ８と称してもよい。
【００３８】
接合部８は、基部５の他端面における第１、第２振動腕部６，７の並設方向の中央位置から下方に若干突出された基端部８ａと、基端部８ａから第１、第２振動腕部６，７の並設方向一方に延出された延出部８ｂとにより平面視Ｌ字状に形成されている。なお、図面上、基部５に対して接合部８の基端部８ａの突出長が短いが、基端部８ａの突出長をより長くした平面視Ｌ字状にしてよい。
【００３９】
接合部８の基端部８ａの接合部引出電極２０ｃ７上に平面視楕円状の第１金属バンプ１１ａが、また、接合部８の延出部８ｂの接合部引出電極２０ｃ８上に平面視楕円状の第２金属バンプ１１ｂが、それぞれ、電解金属鍍金により形成されている。
【００４０】
なお、第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂは、平面視楕円状に限定されず平面視円状でもよい。電解金属鍍金は一例として、好ましくは、金鍍金であるが、これに限定されないことは勿論である。
【００４１】
第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂは、水晶振動片２を図示省略の水晶振動デバイスに搭載するため、当該デバイスのパッケージ内の段差上或いは底面上の一対の対向する電極パッド上のそれぞれに超音波ボンディングするためのものである。
【００４２】
第１金属バンプ１１ａは、第１、第２振動腕部６，７の並設方向の中央位置、より詳しくは、若干、前記中央位置から並設方向一方寄りの位置に形成され、第２金属バンプ１１ｂは、第１、第２振動腕部６，７の並設方向中央位置から並設方向他方にずれた位置に形成されている。
【００４３】
前記励振電極及び引出電極は、一例として、クロム層と金属層とが順次形成されてなる薄膜である。また、第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂは、一例として、電解金属鍍金で形成されている。
【００４４】
第１、第２振動腕部６，７それぞれの先端部表面側には、金属膜からなる腕先引出電極１２ａ，１２ｂが形成されている。この腕先引出電極１２ａ，１２ｂの表面には、周波数調整錘用電極が電解金属鍍金により形成される。この周波数調整錘用電極は、水晶振動片２を駆動し、その周波数が所要の周波数に到達できるように、レーザビームの照射走査やイオンエッチング等で質量削除されて、その周波数の微調整を行うため形成されたものである。
【００４５】
そして、本実施形態では、接合部８の端面８ｃに、その幅方向の一部に、第１凸部３２ａとその上の第２凸部３２ｂとからなる段部３２を設けて、第１、第２振動腕部６，７からの振動漏れを当該段部３２により低減できるようにしたことを特徴とする。
【００４６】
この段部３２について、図２〜図４を参照して詳しく説明する。ここで、図２は、図１(ｂ)の要部拡大図であり、図３は、図２の更なる要部拡大図であり、図４は図３のＡ−Ａ線断面図である。これらの図を参照して、実施形態では、前記したように、接合部８の端面８ｃに、その幅方向の一部に、段部３２が形成されており、この段部３２により、振動漏れが低減される構成としている。これらの図において、Ｘは幅方向であり、Ｙは前記幅方向に垂直な方向を示す。
【００４７】
前記段部３２は、前記したように、第１凸部３２ａと、第１凸部３２ａの上に形成された第２凸部３２ｂとの２段形状により、接合部８の両側面からのいずれの振動漏れも相互干渉せずに低減できるように構成されている。
【００４８】
第１凸部３２ａは、接合部８の他端側の端面８ｃに対して中央線Ｌ０上を通り、接合部８の基端部８ａから延出部８ｂに亘る幅Ｍ４を有している。第１凸部３２ａはまた、接合部８の表面８ｄ及び裏面８ｅそれぞれに連続した平坦な頂部３２ａ１及び底部３２ａ２を有し、接合部８の厚みｔに一致して、端面８ｃから突出して形成されている。頂部３２ａ１及び底部３２ａ２の平面視サイズ及び形状は同一である。第１凸部３２ａの幅方向の両端３２ａ３，３２ａ４は、互いに前記端面８ｃに対して斜め外向き一方と他方の直線状になって全体として略垂直に突出し、前記端面８ｃからの垂直突出量は、好ましくは、約０．０１ｍｍ程度である。
【００４９】
第２凸部３２ｂは、第１凸部３２ａの幅Ｍ４より短い幅Ｍ５を有する。第２凸部３２ｂは、接合部８の表面８ｄ，裏面８ｅに連続した平坦な頂部２３ｂ１，底部２３ｂ２を有し、接合部８の厚みｔに一致して第１凸部３２ａ上から突出している。第２凸部３２ｂの第１凸部３２ａからの突出量は、好ましくは、約０．００５ｍｍ程度である。第２凸部３２ｂの頂部３２ｂ１の幅方向両側は、エッチングにより肉厚が漸次薄肉領域となって第１凸部３２ａの両端３２ａ３，３２ａ４にまで至っている。これにより、薄肉領域の表面３３ａ，３３ｂの高さは、第２凸部３２ｂ方向へ徐々に高くなっている。第２凸部３２ｂは、第１凸部３２ａの幅方向中心に対して接合部８の延出部８ｂの延出方向に偏心している。
【００５０】
また、第２凸部３２ｂは、第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂの幅方向中心に形成されていることで、幅方向に垂直な方向において、当該第２凸部３２ｂの幅方向両端は、第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂとは離隔し、かつ、金属バンプ１１ａ，１１ｂとは重なっていない。これにより、実施形態の水晶振動片２においては、接合部８の端面近傍にクラックがあっても、衝撃等の外力により、そのクラックが両金属バンプ１１ａ，１１ｂの周囲に進行することが抑制され、衝撃等の外力が加えられることによる発振周波数のずれが防止される。
【００５１】
図中、Ｍ１は、接合部８の端面８ｃから第１、第２金属バンプのＹ方向幅中心までの距離であり、この距離Ｍ１は、好ましくは、０．０４ｍｍ〜０．０６ｍｍである。
【００５２】
Ｍ２は、第１凸部３２ａの幅方向中心Ｏ１から第１金属バンプ１１ａの幅方向中心までの距離であり、この距離Ｍ２は、好ましくは、０．０６ｍｍ〜０．０８ｍｍである。
【００５３】
Ｍ３は、第１凸部３２ａの幅方向幅中心Ｏ１から第２金属バンプ１１ｂの幅方向の中心までの距離であり、この距離Ｍ３は、好ましくは、０．１４ｍｍ〜０．１６ｍｍである。
【００５４】
また、Ｗ１，Ｗ２は第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂそれぞれのバンプ幅であり、これら幅Ｗ１，Ｗ２は、好ましくは、０．０２ｍｍ〜０．０８ｍｍである。なお、第１凸部３２ａの幅Ｍ４は、好ましくは、０．１４ｍｍ〜０．２０ｍｍである。第２凸部３２ｂの幅Ｍ５は、好ましくは、０．０２〜０．０８ｍｍである。この幅Ｍ５は、後述する第２凸部３２ｂの底部３２ｂ２のＸ方向幅であり、第１凸部３２ａのＸ方向幅Ｍ４より短い。なお、述する第２凸部３２ｂの頂部３２ｂ１のＸ方向幅は適宜決めてよい。また、第２凸部３２ｂの幅Ｍ５は、第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂへの応力の関係により、当該第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂのバンプ幅Ｗ１，Ｗ２以下が好ましい。
【００５５】
以上の構成を有する水晶振動片２の段部３２による振動漏れの低減効果を、図５を参照して、説明する。
【００５６】
なお、この低減効果は、接合部８の端面８ｃが平坦で凸部が形成されていない第１比較例の水晶振動片(以下、「０段」タイプ)と、接合部８の端面８ｃに単一の凸部が形成された第２比較例の水晶振動片(以下、「１段」タイプ)と、実施形態の水晶振動片２(以下、「２段」タイプ)とを比較して説明する。
【００５７】
図５において、横軸において、「０段」タイプは第１比較例の水晶振動片を前記「０段」タイプの第１比較例とし、「１段」タイプは第２比較例の水晶振動片を前記「１段」タイプの第２比較例とし、「２段」タイプは実施形態の水晶振動片２を前記「２段」タイプの実施形態として記載している。縦軸は、水晶振動片各部の変形量の総和[ｍｍ]であり、振動漏れの大きさを示す。
【００５８】
これら各タイプの水晶振動片に対して振動漏れのシミュレーションを実施した。このシミュレーションの結果によると、第１比較例の水晶振動片では、その振動漏れは、約４．５６Ｅ−１２であり、第２比較例の水晶振動片では、その振動漏れは、約４．４５Ｅ−１２であったのに対して、実施形態の水晶振動片の振動漏れは、約４．３６Ｅ−１２であった。
【００５９】
このことから、実施形態の水晶振動片の振動漏れは、第１及び第２比較例の水晶振動片と比較して、振動漏れが低減されていることが分かる。
【００６０】
以上の実施形態の２段タイプの水晶振動片では、接合部８の端面に、第１凸部３２ａと第２凸部３２ｂからなる段部２２を備えていることにより、第１、第２振動腕部６，７からの振動漏れを従来の「０」段タイプや、「１」段タイプのいずれの水晶振動片よりも低減できる。
【００６１】
なお、実施形態の水晶振動片では、第２凸部３２ｂが、前記したように、第１凸部３２ａに対して偏心した位置に形成されているが、第２凸部３２ｂは、第１凸部３２ａ上に形成される位置に応じて、振動漏れの低減効果に差異があるので、第２凸部３２ｂの位置を、実施形態に限定されず、適宜に、実験等により決定してよい。
(製造例)
図６〜図８を参照して、実施形態の水晶振動片２の製造の一例を説明する。図６は、実施形態の水晶振動片の製造に用いる水晶ウェハの全体平面図であり、図７は図６の一部拡大図であり、図８は図７の要部拡大図である。これらの図において、図１〜図４と対応する部分には同一の符号を付している。
【００６２】
これらの図を参照して、符号１は、水晶ウェハである。水晶ウェハ１には、例えば水晶Ｚ板(Ｘ面カット)が用いられる。水晶ウェハ１は、フォトリソグラフィ技術を利用してレジストをパターン形成し、これに対してウェットエッチングすることで、水晶振動片２と、水晶振動片２を支持する枠部３と、水晶振動片２を枠部３に連結する連結部４とを有した形状に加工されている。連結部４において、水晶振動片２の接合部８に接する境界部分に、水晶振動片２を枠部３から折り取るための折取り部１３が形成されている。
【００６３】
この水晶ウェハ１において、連結部４の端面８ｃには前記第１凸部３２ａに対応する凸部８ｄが予め形成されている。また、折取り部１３は、前記凸部８ｄに沿って、連結部４の幅方向に延び、かつ、当該連結部４両面を貫通しない溝状のスリット３１ａ、３１ｂが形成されている。これらスリット３１ａ、３１ｂ間の幅方向の一部にはスリットが形成されず、当該幅方向の一部は、その両面が水晶ウェハ１の表裏面に連続したブリッジ３１ｃとなって、水晶振動片２を連結部４に連結している。
【００６４】
なお、実施形態では、スリット３１ａ，３１ｂは連結部４表裏面を貫通しない溝状のものとしたが、貫通した溝状のスリットでもよい。
【００６５】
上記水晶ウェハ１において、枠部３に支持されている水晶振動片２を連結部４に設けた折取り部１３で折り取ると、水晶振動片２の接合部８の端面８ｃにおける折り取り端部には、前記接合部８の端面８ｃ上に形成された凸部８ｄによる第１凸部３２ａと、前記ブリッジ１３ｃによる第２凸部３２ｂとからなる段部３２が形成される。
【００６６】
なお、圧電ウェハ１から水晶振動片２を折取る際に、ブリッジ１３ｃを起点にしてクラックが発生した場合、このクラックが折取られたブリッジ１３ｃの折取り端部に及ぶことがある。そして、折取り端部にクラックがある水晶振動片２では、衝撃等の外力が加わると、そのクラックが第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂの周囲にまで進行することがある。かかるクラックの進行は、水晶振動片２の周波数ずれを来たす場合があり、当該水晶振動片２の振動特性が悪化する虞がある。
【００６７】
そのため、前記水晶ウェハ１においては、そのブリッジ１３ｃは、第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂの幅方向中央に設けられることで、その幅方向両端が、水晶振動片２の第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂに対して、幅方向に垂直な方向において離隔しかつ重ならないようになっている。
【００６８】
そして、これにより、水晶ウェハ１の枠部３から折取られた水晶振動片２は、その折取り端部等にクラックがあっても、衝撃等の外力により、そのクラックが両金属バンプ１１ａ，１１ｂの周囲に進行することが抑制でき、その周波数特性のずれを抑制することができるという効果がある。
【００６９】
以上説明したように、実施形態によれば、水晶振動片２の他端側である接合部８の端面に、第１凸部３２ａと、第１凸部３２ａ上に当該第１凸部３２ａの幅より小さい幅の第２凸部３２ｂとからなる段部３２により、接合部８の両側面からその端面８ｃへの振動漏れを低減することができる。
【００７０】
なお、本実施形態では、接合部８の端面８ｃに段部２２を設けたが、接合部８が無く、基部５の引出電極２０ｃ４，２０ｃ６上に、第１、第２振動腕部６，７の並設方向に第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂが形成されている場合では、当該基部５の他端面に、前記段部２２を形成してもよい。
【００７１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施できる。したがって、前述の実施形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、本発明の範囲は特許請求の範囲に示すものであって、明細書本文には何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲に属する変形や変更は全て本発明の範囲内のものである。
【符号の説明】
【００７２】
２  水晶振動片(圧電振動片)
５  基部
６，７  第１、第２振動腕部
８  接合部
３２  段部
３２ａ  第１凸部
３２ｂ  第２凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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