(57)【要約】【課題】ウォータハンマ現象を緩和することができるベローズポンプを提供する。【解決手段】ベローズポンプは、吸入流路６及び吐出流路７を有するポンプボディ４と、流体を前記吸入流路から吸入し且つ前記吐出流路へ吐出するために伸縮可能に構成されたベローズ１０と、前記ベローズの伸縮方向一端部１３に連結され、前記ベローズを伸縮させるために前記ポンプボディの内面１７に近接又は離間する方向に移動可能に構成された可動体２６と、前記可動体を移動させる得る駆動装置と、前記吸入流路から前記ベローズ内に向かう流体の流れのみを許容する吸入側逆止弁２３と、前記ベローズ内から前記吐出流路に向かう流体の流れのみを許容する吐出側逆止弁２４とを備える。そして、前記ベローズポンプは、前記可動体と前記ポンプケーシングの内面との間に、当該ベローズの伸長速度を減少させるためのクッション部材３８を備える。【選択図】図１
2015113785.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を吸入するための吸入流路、及び、流体を吐出するための吐出流路を有するポンプボディと、前記ポンプボディ内に設けられて、流体を前記吸入流路から吸入し且つ前記吐出流路へ吐出するために伸縮可能に構成されたベローズと、前記ベローズの伸縮方向一端部に連結されて、前記ベローズを伸縮させるために前記ポンプボディの内面に近接又は離間する方向に移動可能に構成された可動体と、前記可動体を移動させるための駆動装置と、前記吸入流路から前記ベローズ内に向かう流体の流れのみを許容する吸入側逆止弁と、前記ベローズ内から前記吐出流路に向かう流体の流れのみを許容する吐出側逆止弁とを備えるベローズポンプにおいて、
前記可動体と前記ポンプボディの内面との間に、前記ベローズの伸長速度を減少させるためのクッション部材を備えることを特徴とするベローズポンプ。
【請求項２】
前記クッション部材は、前記ベローズの伸長過程の途中から当該ベローズの伸長速度を減少させるように設けられていることを特徴とする請求項１に記載のベローズポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ベローズポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体または液晶の製造設備等においては、超純水または薬液等の流体を流すためにベローズポンプが用いられている。この種のベローズポンプは、一般的に、ポンプボディと、ベローズと、可動体と、駆動装置と、吸入側逆止弁と、吐出側逆止弁とを備えている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
前記ポンプボディは、流体を吸入するための吸入流路、及び、流体を吐出するための吐出流路を有している。前記ベローズは、前記ポンプボディ内に設けられて、流体を前記吸入流路から吸入し且つ前記吐出流路へ吐出するために伸縮可能に構成されている。
【０００４】
前記可動体は、前記ベローズの伸縮方向一端部に連結されて、前記ベローズを伸縮させるために前記ポンプボディの内面に近接又は離間する方向に移動可能に構成されている。前記駆動装置は、前記可動体を移動させることができるように構成されている。
【０００５】
前記吸入側逆止弁は、前記吸入流路から前記ベローズ内に向かう流体の流れのみを許容するものである。前記吐出側逆止弁は、前記ベローズ内から前記吐出流路に向かう流体の流れのみを許容するものである。
【０００６】
このようなベローズポンプにおいては、吸入行程から吐出行程に切り替わるとき、即ち前記ベローズが伸長状態から収縮状態に切り替わるとき、前記ベローズの内部圧力が負圧から正圧に変化し、その過程で前記ベローズの内部圧力が瞬間的に急激に上昇して、前記吸入側逆止弁が開状態から閉状態になって流体の吸入を急速に遮断する。
【０００７】
しかしながら、前記吸入流路から前記ベローズ内に向かう流体の流れは慣性により即座には止まらないので、前記吸入流路の流体が閉塞状態の前記吸入側逆止弁（弁座に当接した弁体）に強く衝突し（この現象が所謂「ウォータハンマ（水撃）現象」である。）、このウォータハンマ現象によって前記ベローズポンプが大きく振動してしまう。
【０００８】
また、この際には、前記ベローズポンプの大きな振動が、当該ベローズポンプからこれに接続された配管等へ伝播する。その結果、前記ベローズポンプのベローズ、及び／又は、前記ベローズポンプと前記配管等との接続箇所に、前記ベローズポンプを用いて流体を正常に流すことができなくなるような不具合（例えば、前記ベローズの損傷、及び、前記ベローズと前記配管等との接続箇所の損傷）が発生するおそれがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−１９６５２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ウォータハンマ現象を緩和することができるベローズポンプの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に係る発明は、流体を吸入するための吸入流路、及び、流体を吐出するための吐出流路を有するポンプボディと、前記ポンプボディ内に設けられて、流体を前記吸入流路から吸入し且つ前記吐出流路へ吐出するために伸縮可能に構成されたベローズと、前記ベローズの伸縮方向一端部に連結されて、前記ベローズを伸縮させるために前記ポンプボディの内面に近接又は離間する方向に移動可能に構成された可動体と、前記可動体を移動させるための駆動装置と、前記吸入流路から前記ベローズ内に向かう流体の流れのみを許容する吸入側逆止弁と、前記ベローズ内から前記吐出流路に向かう流体の流れのみを許容する吐出側逆止弁とを備えるベローズポンプにおいて、前記可動体と前記ポンプボディの内面との間に、前記ベローズの伸長速度を減少させるためのクッション部材を備えるものである。
【００１２】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載のベローズポンプにおいて、前記クッション部材が、前記ベローズの伸長過程の途中から当該ベローズの伸長速度を減少させるように設けられているものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ウォータハンマ現象を緩和することができるベローズポンプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係るベローズポンプの側面断面図である。
【図２】図１のベローズポンプの一部拡大断面図である。
【図３】図１のベローズポンプの一部拡大断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係るバルブ及びこのバルブを備えたベローズポンプの側面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
［第１実施形態］
まず、本発明の第１実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１６】
図１、図２に示すように、本実施形態において、ベローズポンプ１は、ポンプ部２と、このポンプ部２に併設された脈動抑制部３とを備えている。前記ポンプ部２及び前記脈動抑制部３は、共用の仕切壁５を有し、互いに同軸上に配置されている。前記仕切壁５には、流体を吸入するための吸入流路６、流体を吐出するための吐出流路７、及び、中間流路８が形成されている。
【００１７】
前記ポンプ部２は、ベローズ１０を備えている。前記ベローズ１０は、ポンプボディ４内に設けられて、流体を前記吸入流路６から吸入し且つ前記吐出流路７へ（本実施形態においては、前記中間流路８を介して前記吐出流路７へ）吐出するために軸心方向（図１の左右方向）に伸縮可能に構成されている。
【００１８】
本実施形態において、前記ポンプボディ４は、前記仕切壁５と、前記仕切壁５の軸心方向一側（図１の右側）の側壁部に取り付けられた有底円筒状のポンプケーシング１１と、前記仕切壁５の軸心方向他側（図１の左側）の側壁部に取り付けられた有底円筒状のケーシング４１とによって構成されている。
【００１９】
前記ポンプボディ４において、前記ベローズ１０は、前記仕切壁５と前記ポンプケーシング１１とにより囲まれて形成される前記ポンプケーシング１１の内部空間に配置されている。前記ベローズ１０は、軸心方向他側に開口周縁部１２を有し、この開口周縁部１２が前記仕切壁５と前記ポンプケーシング１１との間に接合されることで前記ポンプボディ４に固定されている。
【００２０】
前記ベローズ１０は、軸心方向一側に閉塞端部１３を有し、前記仕切壁５から前記ポンプケーシング１１の底壁部１６側へ突出するように設けられている。これにより、前記ベローズ１０を用いて、前記ポンプケーシング１１の内部空間が、前記ベローズ１０内に位置するポンプ作用室１４と、前記ベローズ１０外に位置するポンプ作動室１５とに密閉状に区画されている。
【００２１】
そして、前記ベローズ１０は、筒状の蛇腹部１８を前記開口周縁部１２と前記閉塞端部１３との間に有し、前記ポンプケーシング１１の内部空間で前記閉塞端部１３を移動させるように、前記ポンプケーシング１１の軸心方向を伸縮方向として伸縮可能とされている。ここで、前記ベローズ１０は、ポリテトラフルオロエチレン(ＰＴＦＥ)等のフッ素樹脂から構成されている。
【００２２】
また、前記ポンプ部２においては、前記ポンプ作用室１４に、流体の吸入口２１と吐出口２２とが連通されている。前記吸入口２１は前記吸入流路６に連通され、前記吐出口２２は前記中間流路８に連通されている。前記吸入流路６と前記中間流路８との途中には、前記ベローズ１０の伸縮動作に伴って交互に開・閉動作し得る吸入側逆止弁２３及び吐出側逆止弁２４が設けられている。
【００２３】
前記吸入側逆止弁２３は、前記吸入流路６から前記ベローズ１０内に向かう流体の流れのみを許容するように構成されている。即ち、前記吸入側逆止弁２３は、前記吸入流路６から前記ポンプ作用室１４に向かう流体の吸引を許容し、且つ、前記ポンプ作用室１４から前記吸入流路６に向かう流体の逆流を阻止し得るように構成されている。
【００２４】
前記吐出側逆止弁２４は、前記ベローズ１０内から吐出流路となる前記中間流路８に向かう流体の流れのみを許容するように構成されている。即ち、前記吐出側逆止弁２４は、前記ポンプ作用室１４から前記中間流路８に向かう流体の吐出を許容し、且つ、前記中間流路８から前記ポンプ作用室１４に向かう流体の逆流を阻止し得るように構成されている。
【００２５】
また、前記ポンプケーシング１１内には、前記ベローズ１０の伸縮方向一端部（前記閉塞端部１３）に連結された可動体２６が設けられている。前記可動体２６は、前記ベローズ１０を伸縮動作させるために、対向する前記ポンプケーシング１１の内面（前記底壁部１６の底面１７）に近接又は離間する方向（前記ポンプケーシング１１の軸心方向）に移動可能に構成されている。
【００２６】
前記可動体２６は、本実施形態においては、前記ベローズ１０の閉塞端部１３の端面に沿って広がる円板形状に形成され、この閉塞端部１３の端面を前記底壁部１６の底面１７側から覆うように、前記閉塞端部１３に固定されている。そして、前記ベローズポンプ１においては、前記可動体２６を移動させるための駆動装置が設けられている。
【００２７】
前記駆動装置は、本実施形態においては、エアシリンダ３１及び図示しないコンプレッサ等の空気供給装置を備えている。前記エアシリンダ３１においては、前記可動体２６に軸部材２７が連結されている。この軸部材２７は、前記ポンプ作動室１５から前記ポンプケーシング１１の底壁部１６の略中央を貫通して当該ポンプケーシング１１の外側に突出するように設けられている。
【００２８】
前記軸部材２７の突出部分には、ピストン２８が固定されている。前記ピストン２８は、前記ポンプケーシング１１の底壁部１６に設けられたシリンダ２９内に配置され、このシリンダ２９に前記ベローズ１０の軸心（伸縮）方向に摺動可能に嵌合されている。前記ポンプケーシング１１の底壁部１６及び前記シリンダ２９には、それぞれに空気孔３２・３３が形成されている。
【００２９】
そして、前記空気供給装置が、前記空気孔３２又は前記空気孔３３を通じて、加圧空気を前記ポンプ作動室１５と、前記シリンダ２９及び前記ピストン２８で囲まれた内部空間とに交互に供給することができるように構成されている。この加圧空気の供給によって、前記可動体２６を移動させるように前記エアシリンダ３１のピストン２８を前記ベローズ１０の軸心方向の往復動させて、前記ベローズ１０を伸縮動作させることができるようになっている。
【００３０】
ここで、前記エアシリンダ３１には近接センサ３５・３６が取り付けられ、前記ピストン２８にはセンサ感知板３７が取り付けられている。そして、前記ピストン２８の往復動に伴って前記センサ感知板３７が前記近接センサ５５・５６に交互に近接することで、前記空気供給装置から送給される加圧空気の供給先が、前記ポンプ作動室１５内と前記シリンダ２９の内部空間との間で自動的に切り替えられるように構成されている。
【００３１】
また、図１、図２に示すように、前記ポンプ部２においては、前記可動体２６と、この可動体２６に対向する前記ポンプボディ４（前記ポンプケーシング１１）の内面（前記底壁部１６の底面１７）との間に、前記ベローズ１０の伸長速度を減少させるためのクッション部材３８が備えられている。
【００３２】
ここで、前記クッション部材３８は、前記ベローズポンプ１のポンプ性能の低下を抑制するという観点から、本実施形態のように、前記ベローズ１０の伸長過程の途中から前記ベローズ１０の伸長速度を減少させるように設けられることが好ましい。
【００３３】
本実施形態において、前記クッション部材３８は、弾性を有する弾性体（具体的には、ゴム）から構成されており、環状に形成されている。前記クッション部材３８は、前記ベローズ１０の閉塞端部１３及び前記可動体２６よりも小径とされ、前記ポンプケーシング１１の内部空間で前記ベローズ１０及び前記可動体２６と同軸的に配置されている。
【００３４】
前記クッション部材３８は、本実施形態においては前記ポンプケーシング１１における前記底壁部１６に弾性変形可能に取り付けられている。前記クッション部材３８は、前記ベローズ１０が最収縮状態又はこの状態から所定量まで伸長した状態にあるときは、前記可動体２６に対して接触しないように所定距離隔てた位置に配置される。
【００３５】
そして、前記クッション部材３８は、前記ベローズ１０の伸長時にその伸長量が前記所定量を超えると、前記可動体２６に接触して前記底壁部１６の底面１７側に向かって押される。前記クッション部材３８は、前記ベローズ１０の伸長に伴う前記可動体２６による押圧により弾性変形して圧縮され、前記ベローズ１０が予め設定されている最大伸長状態になることを許容する（図３参照）。
【００３６】
また、図１に示すように、前記脈動抑制部３は、ベローズ４０を備えている。前記ベローズ４０は、流体を吸入流路（本実施形態においては、吸入流路として機能する前記中間流路８）から吸入し、且つ、前記吐出流路７へ吐出するために軸心方向（図１の左右方向）に伸縮可能に構成されている。
【００３７】
本実施形態において、前記ベローズ４０は、前記仕切壁５と前記ケーシング４１とにより囲まれて形成される前記ケーシング４１の内部空間に配置されている。前記ベローズ４０は、軸心方向一側に開口周縁部４２有し、この開口周縁部４２が前記仕切壁５と前記ケーシング４１との間に接合されることで前記ポンプボディ４に固定されている。
【００３８】
前記ベローズ４０は、軸心方向他側に閉塞端部４３を有し、前記仕切壁５から前記ケーシング４１の底壁部側へ突出するように設けられている。これにより、前記ベローズ４０を用いて、前記ケーシング４１の内部空間が、前記ベローズ４０内に位置する液室４４と、前記ベローズ４０外に位置する気室４５とに密閉状に区画されている。
【００３９】
そして、前記ベローズ４０は、筒状の蛇腹部４８を前記開口周縁部４２と前記閉塞端部４３との間に有し、前記ケーシング４１の内部空間で前記閉塞端部４３を移動させるように、前記ケーシング４１の軸心方向を伸縮方向として伸縮可能とされている。ここで、前記ベローズ４０は、ＰＴＦＥ等のフッ素樹脂から構成されている。
【００４０】
また、前記脈動抑制部３においては、前記液室４４に、前記中間流路８と前記吐出流路７とが連通されている。前記ベローズ４０の閉塞端部４３に対向する位置には、前記ベローズ４０の不測の事態により生じ得る過度の伸長を規制するためのストッパ壁５１が、前記閉塞端部４３に対して所定の間隔を隔てて配置されている。
【００４１】
そして、前記ケーシング４１に、自動給排気調整装置５２が設けられている。前記自動給排気調整装置５２は、前記ベローズ４０に過度の伸縮変形が起きないようにするために、前記液室４４の液圧と前記気室４５の気圧（封入圧）とをバランスさせ得るように構成されている。
【００４２】
具体的には、前記自動給排気調整装置５２は、前記液室４４の容量が所定範囲を越えて増大すると、前記気室４５へ吸気して当該気室４５の気圧を上昇させ、前記液室４４の容量が所定範囲を越えて減少すると、前記気室４５内から排気を行って封入圧を下降させるようになっている。
【００４３】
次に、前記ベローズポンプ１の動作について説明する。
【００４４】
前記ポンプ部２においては、前記空気供給装置からの加圧空気が前記空気孔３３を通じて前記エアシリンダ３１のシリンダ２９及びピストン２８で囲まれた内部空間に供給されると、前記ベローズ１０が図１の右方向に伸長する。これにより、前記ポンプ作用室１４が負圧となって、前記吐出側逆止弁２４が閉じる一方、前記吸入側逆止弁２３が開いて、前記吸入流路６からの流体が開位置にある前記吸入側逆止弁２３を経て前記ポンプ作用室１４内に吸入されることになる（吸入工程）。
【００４５】
その後、前記空気供給装置からの加圧空気が前記空気孔３２を介して前記ポンプ作動室１５に供給されると、伸長状態にある前記ベローズ１０が図１の左方向に収縮する。これにより、前記吸入側逆止弁２３が閉じる一方、前記吐出側逆止弁２４が開いて、前記ポンプ作用室１４に吸入されて貯溜されていた流体が開位置にある前記吐出側逆止弁２４を経て前記中間流路８（前記吐出通路７）に向かって吐出されることになる（吐出工程）。
【００４６】
前記ベローズポンプ１の駆動時、前記ポンプ部２においては、このような吸入工程と吐出工程とが反復される。これにより、前記ポンプ部２の所定のポンプ動作が実行される。
【００４７】
また、本実施形態においては、前記ポンプ部２の吐出口２２から吐出された流体は、前記ポンプ部２の伸縮動作のために脈動流となって、前記中間流路８を介して前記脈動抑制部３のベローズ４０内に形成された前記液室４４内に送られる。そして、その流体が前記液室４４内で一時的に貯留された後、前記吐出流路７から前記脈動抑制部３（前記ベローズポンプ１）の外部に移送される。
【００４８】
この際、前記ポンプ部２からの流体の吐出圧が増加傾向にあるときには、前記脈動抑制部３において、前記ベローズ４０が伸長して、前記液室４４の容量を増大させ、当該吐出圧を吸収する。そのため、前記液室４４から前記脈動抑制部３の外部に移送される流体の液量は、前記ポンプ部２から前記脈動抑制部３に向かって吐出される液量よりも少なくなる。
【００４９】
この状態で流体の吐出圧が減少傾向に転じると、前記ベローズ４０の伸長により圧縮された前記気室４５内の封入圧よりも流体の圧力が低くなるので、前記ベローズ４０が収縮して、前記液室４４の容量を減少させる。そのため、前記液室４４から前記脈動抑制部３の外部に移送される流体の液量は、前記ポンプ部２から前記脈動抑制部３に向かって吐出される液量よりも多くなる。
【００５０】
このような前記ベローズ４０の伸縮動作に伴う前記液室４４の容量変化の繰り返し動作によって、流体は、その脈動を減衰されつつ、前記脈動抑制部３から外部に移送されることとなる。これにより、前記ベローズポンプ１においては、流体が当該ベローズポンプ１から外部に向かって連続して円滑に吐出されるようになっている。
【００５１】
そのうえ、前記ベローズポンプ１の吸入行程においては、図２に示すような状態の前記ベローズ１０が最収縮状態から伸長したとき、詳しくは、その伸長過程で前記所定量を超えて伸長したとき、その伸長により前記クッション部材３８（前記底壁部１６の底面１７）に近接する方向へ移動する前記可動体２６が前記クッション部材３８に接触して、前記ベローズ１０のさらなる伸長に伴ってその接触開始位置から最伸長状態に至るまでの間、前記クッション部材３８を前記ポンプケーシング１１の底壁部１６の底面１７側に向かって押す。この間、前記クッション部材３８は、前記ベローズ１０の伸長を阻止しないように弾性変形して圧縮される。そして、前記ベローズ１０は、図３に示すように、前記クッション部材３８を押しつつ最伸長状態に達する。
【００５２】
このような前記ベローズ１０の伸長過程においては、前記ベローズ１０が最大まで伸長する途中（前記クッション部材３８に接触した時点）から前記クッション部材３８が前記ベローズ１０に対する抵抗となるため、それ以後には前記ベローズ１０の伸長速度が減少する。そのため、前記ベローズ１０が最伸長状態となる前段階で、前記吸入流路６から前記ベローズ１０内への流体の吸入速度が減少する。したがって、吸入行程から吐出行程に切り替わったとき、即ち前記ベローズ１０が伸長状態から収縮状態に切り替わったとき、閉塞状態になった前記吸入側逆止弁２３（弁体）に、前記吸入流路６の流体が比較的穏やかに衝突することとなる。
【００５３】
よって、前記ベローズポンプ１の吸入行程から吐出行程への切り替わりの際にウォータハンマ現象を緩和することができ、このウォータハンマ現象に起因して発生する前記ベローズポンプ１の振動を低減することができる。その結果、前記ベローズポンプ１から当該ベローズポンプ１に接続された図示しない配管等へ伝播される振動も低減することができる。そのため、このような振動に起因する不具合（例えば、前記ベローズ１０の損傷、及び、前記ベローズ１０と前記配管等との接続箇所の損傷）の発生を極力回避することができる。
【００５４】
そして、前記ベローズポンプ１の吐出工程の開始後には、前記ベローズ１０の収縮に伴って前記可動体２６が前記クッション部材３８（前記底壁部１６の底面１７）から離間する方向（前記仕切壁５側）へ移動するため、前記可動体２６による前記クッション部材３８の押圧が解除される。これにより、前記クッション部材３８は、圧縮状態（図３に示すような状態）から弾性復帰して元の状態（図２に示すような状態）に戻る。
【００５５】
なお、本発明に係るクッション部材は、本実施形態においてはポンプケーシング１１に取り付けた前記クッション部材３８としているが、これに限定するものではなく、可動体に取り付けられたクッション部材としてもよい。
【００５６】
なお、本発明に係るクッション部材は、本実施形態においては環状の単体の前記クッション部材３８としているが、これに限定するものではなく、複数のクッション部材としてもよい。この場合、複数のクッション部材が同一形状のものであれば、これらのクッション部材を可動体の軸心まわりに回りに均等に間隔を隔てて配置することが好ましい。
【００５７】
また、本発明に係るクッション部材は、本実施形態においてはゴムから構成された前記クッション部材としているが、これに限定されるものではなく、例えば、複数のスプリングから構成されたクッション部材としてもよい。
【００５８】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
【００５９】
図４に示すように、本実施形態に係るベローズポンプ８１は、第１実施形態に係る前記ベローズポンプ１が単胴型のベローズポンプであるのに対し、複胴型のベローズポンプである点で、第１実施形態に係る前記ベローズポンプ１と相違している。
【００６０】
本実施形態において、前記ベローズポンプ８１は、左右一対のポンプ部を対称に配置したものであって、各ポンプ部が相補的に動作することで大きな移送量が得られるようになっている。
【００６１】
即ち、前記ベローズポンプ８１は、仕切壁８４とポンプケーシング８５とによって構成されたポンプボディ８３を備えている。前記ポンプケーシング８５は、円筒状の周壁部材８７と、この周壁部材８７の左右端にそれぞれに固設された側壁部材８８・８９を有している。このポンプケーシング８５内には、前記仕切壁８４を挟んで左右対称形に一対のベローズ９１・９２が設けられている。
【００６２】
前記各ベローズ９１・９２は、図１に示した前記ベローズポンプ１で使用されている前記ベローズ１０と実質的に同じ構成を有している。そして、前記ベローズ９１・９２では、それぞれの開口周縁部が環状固定板９３・９４により前記仕切壁８４の側壁部に気密状に固定される一方、それぞれの閉塞端部が可動体９７・９８と連結されている。前記可動体９７・９８は、前記仕切壁８４を貫通する複数の連結棒９９を介して連結されている。
【００６３】
また、前記仕切壁８４には、流体を吸入するための吸入流路１０１と、流体を吐出するための吐出流路１０２とが形成されている。これらの吸入流路１０１と吐出流路１０２との間には、前記ベローズ９１の伸縮動作に伴って交互に開・閉動作し得る吸入側逆止弁１０３及び吐出側逆止弁１０４が設けられるとともに、前記ベローズ９２の伸縮動作に伴って交互に開・閉動作し得る吸入側逆止弁１０５及び吐出側逆止弁１０６が設けられている。
【００６４】
そして、前記ポンプケーシング８５の内面（前記側壁部材８８・８９の内面）と前記各可動体９７・９８との間に、クッション部材１０８・１０９が設けられている。前記各クッション部材１０８・１０９は、前記ベローズ９１・９２の伸長過程の途中から当該ベローズ９１・９２の伸長速度を減少させるためのものであり、図１に示した前記ベローズポンプ１で使用されている前記クッション部材３８と実質的に同じ構成を有している。
【００６５】
さらに、前記ポンプケーシング８５の側壁部材８８・８９には、それぞれ、図示しないコンプレッサ等の空気供給装置（駆動装置）から供給される加圧空気を前記ポンプケーシング８５内に供給するため、及び、前記ポンプケーシング８５内の空気を外部に排出するための空気孔１１１・１１２が形成されている。また、前記側壁部材８８・８９には、それぞれ、前記可動体９７・９８の位置を検出するための近接センサを取り付ける取付孔１１３・１１４が形成されている。
【００６６】
前記ベローズポンプ８１においては、前記空気供給装置からの加圧空気が前記空気孔１１１・１１２から交互に供給されて、左右の前記ベローズ９１・９２が交互に伸長・収縮動作した場合、図４の右側のポンプ部において前記ベローズ９２により前記吸入流路１０１から前記吸入側逆止弁１０５を経て流体が吸入されるときには（吸入工程）、図４の左側のポンプ部において前記ベローズ９１によりその内部に貯留されている流体が前記吐出側逆止弁１０４を経て前記吐出流路１０２から吐出されることになる（吐出工程）。
【００６７】
一方、この場合に、図４の左側のポンプ部において前記ベローズ９１により前記吸入流路１０１から前記吸入側逆止弁１０３を経て流体が吸入されるときには（吸入工程）、図４の右側のポンプ部において前記ベローズ９２によりその内部に貯留されている流体が前記吐出側逆止弁１０６を経て前記吐出流路１０２から吐出されることになる（吐出工程）。
【００６８】
以上のような構成により、前記ベローズポンプ１の駆動時、前記左右一対のポンプ部において、このような吸入工程と吐出工程とが反復される。これにより、前記ベローズポンプ８１の所定のポンプ動作が実行される。
【００６９】
そのうえ、前記左右一対のポンプ部に、それぞれ、前記クッション部材１０８・１０９が備えられているので、第１実施形態と同様に、前記ベローズポンプ８１の吸入行程から吐出行程への切り替わりの際にウォータハンマ現象を緩和することができ、このウォータハンマ現象に起因して発生する起因する前記ベローズポンプ８１の振動を低減できる。
【符号の説明】
【００７０】
１      ベローズポンプ
４      ポンプボディ
６      吸入流路
７      吐出流路
８      中間流路
１０    ベローズ
１１    ポンプケーシング
１３    ベローズの閉塞端部（ベローズの伸縮方向一端部）
１６    底壁部
１７    底壁部の底面（ポンプボディの内面）
２３    吸入側逆止弁
２４    吐出側逆止弁
２６    可動体
３１    エアシリンダ
３８    クッション部材
８１    ベローズポンプ
８３    ポンプボディ
９１    ベローズ
９２    ベローズ
９７    可動体
９８    可動体
１０１  吸入流路
１０２  吐出流路
１０３  吸入側逆止弁
１０４  吐出側逆止弁
１０５  吸入側逆止弁
１０６  吐出側逆止弁
１０８  クッション部材
１０９  クッション部材
【図１】
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【図２】
2015113785.tif 000004
【図３】
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【図４】
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