(57)【要約】【課題】所定の透光性耐熱フィルムと透明接着層を用い、かつ所定の製造工程によりタッチパネルと太陽電池を貼り合せて、タッチパネル付き太陽電池フィルム製造する方法を提供するものとする。【解決手段】本発明のタッチパネル付き太陽電池フィルムの製造方法は、支持基板の一主面上に透光性耐熱フィルムと薄膜太陽電池をこの順に形成する工程と、薄膜太陽電池をストライプ状にエッチングすることにより、薄膜太陽電池の一主面側表上に凹部を形成するエッチング工程と、薄膜太陽電池の一主面上に、透明接着層を介してタッチパネルを形成する工程と、支持基板と透光性耐熱フィルムを剥離させてタッチパネル付き太陽電池フィルムを形成する工程と、をこの順に有することが好ましい。薄膜太陽電池フィルムは、厚みが６〜１５５μｍであることが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性耐熱フィルムの一主面上に薄膜太陽電池を有する薄膜太陽電池フィルムと、透明接着層と、タッチパネルと、をこの順に有するタッチパネル付き太陽電池フィルムの製造方法であって、
前記薄膜太陽電池フィルムは、厚みが６〜１５５μｍであり、
支持基板の一主面上に透光性耐熱フィルムと薄膜太陽電池をこの順に形成する工程と、
前記薄膜太陽電池をストライプ状にエッチングすることにより、前記薄膜太陽電池の一主面側表面上に凹部を形成するエッチング工程と、
前記薄膜太陽電池の一主面上に、透明接着層を介してタッチパネルを形成する工程と、
前記支持基板と前記透光性耐熱フィルムを剥離させて前記タッチパネル付き太陽電池フィルムを形成する工程と、
をこの順に有する、タッチパネル付き太陽電池フィルムの製造方法。
【請求項２】
前記透明接着層が、前記薄膜太陽電池に形成された凹部を埋め込む形で形成されている請求項１に記載のタッチパネル付き太陽電池フィルムの製造方法。
【請求項３】
前記透光性耐熱フィルムは、屈折率ｎ１が１．５５〜２．００を満たす、請求項１または２に記載のタッチパネル付き太陽電池フィルムの製造方法。
【請求項４】
前記透明接着層の波長５５０ｎｍにおける屈折率ｎ２と、前記透光性耐熱フィルムの屈折率ｎ１が、０≦ｎ１−ｎ２≦０．１０を満たす、請求項１〜３のいずれか１項に記載のタッチパネル付き太陽電池フィルムの製造方法。
【請求項５】
前記透光性耐熱フィルムは、透明なポリイミドフィルムである、請求項１〜４のいずれか１項に記載のタッチパネル付き太陽電池フィルムの製造方法。
【請求項６】
前記透明接着層は、屈折率ｎ２が１．５５〜１．９０を満たす、請求項１〜５のいずれか１項に記載のタッチパネル付き太陽電池フィルムの製造方法。
【請求項７】
前記透明接着層が、前記薄膜太陽電池の一主面上に接着された後、前記透明接着層上に前記タッチパネルが形成される、請求項１〜６のいずれか１項に記載のタッチパネル付き太陽電池フィルムの製造方法。
【請求項８】
前記透明接着層は、前記タッチパネル上に接着された後、前記薄膜太陽電池の一主面上に、前記タッチパネルの前記透明接着層が形成された面を接着させる請求項１〜６のいずれか１項に記載のタッチパネル付き太陽電池フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はタッチパネル付き太陽電池フィルムの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話やスマートフォンやノートパソコンなどバッテリー駆動のモバイル表示機器の高性能化が進むに伴い、バッテリー寿命の問題が顕著になっている。これに伴い、ＣＰＵやディスプレイの低消費電力化、バッテリーの高性能化が進んでいるものの、十分な性能が得られているわけではない。そこで解決策の一つとして太陽電池とこれらの機器を組み合わせて室内灯や屋外での太陽光により充電を可能とする事が提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１においては、視認性を阻害する事無く表示機器と太陽電池を同一面内に組み合せる事が提案されており、この技術によれば発電しながら表示機器としての使用が可能であり、タッチパネルと組み合わせれば、スマートフォン内に組み込む事も可能である。この場合、ディスプレイ内に形成されるため、太陽電池部分は基体を含めて非常に薄く形成することが重要である。
【０００４】
一方、特許文献２には、フィルム上への太陽電池の形成方法が記載されており、ガラス上にポリイミド（ＰＩ）などの樹脂のワニスを形成し、透明電極／アモルファス太陽電池／金属電極を製膜して太陽電池を形成した後に、エチレン酢酸ビニル共重合樹脂（ＥＶＡ）からなる樹脂層を形成し、その後、ポリイミドをガラス基板から剥離することにより、フレキシブルな太陽電池フィルムを形成することが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】ＷＯ２０１２／１０４５０３国際公開パンフレット
【特許文献２】特開平１−１０５５８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述のような太陽電池フィルムを用いてタッチパネル付き太陽電池フィルムを作製する場合、タッチパネルと太陽電池を接着させる必要があるが、このようなタッチパネル付き太陽電池フィルムがスマートフォンなどに使用される場合、さらに液晶パネル（ＬＣＤ）やＥＬなどの表示機器と組み合わされるため、ＥＶＡのような透過率の低い樹脂層を接着層として用いると視認性が阻害される。またＥＶＡを挟んで太陽電池とタッチパネルを接着する場合、ラミネート時の熱によりタッチパネルデバイスが破壊されるという問題や、貼り合せの位置あわせ精度が出にくいという問題がある。特に、スマートフォン等に使用される場合には、位置あわせ精度が重要であるため、大きな問題と考えられる。
【０００７】
また本発明者らの検討によれば、太陽電池とタッチパネルの間の接着層として、ＥＶＡの替わりに粘着層などを使用する場合、特にスマートフォンなどの薄型のデバイスに使用される太陽電池は膜厚が非常に薄いため、粘着層を保護シート等で保護した後で支持基板とフィルムを剥離させても、剥離の際の応力により粘着層表面の形状が変化し、視認性が悪化する問題や、太陽電池部分にも機械的なストレスがかかるため特性が低下する問題が生じた。
【０００８】
さらに、スマートフォン等に使用される場合、ＬＣＤなどの表示機器の画像に対する視認性を阻害しないために太陽電池をストライプ状に形成する必要があるが、この場合、太陽電池が形成された太陽電池形成領域と、太陽電池が形成されていない太陽電池非形成領域（凹部、開口部ともいう）における接着層の界面において、空乏や反射が生じうるという問題が生じた。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、所定の透光性耐熱フィルムと透明接着層を用い、かつ所定の製造工程によりタッチパネルと太陽電池を貼り合せて、タッチパネル付き太陽電池フィルム製造する方法を提供するものとする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は以下に関する。
【００１１】
透光性耐熱フィルムの一主面上に薄膜太陽電池を有する薄膜太陽電池フィルムと、透明接着層と、タッチパネルと、をこの順に有するタッチパネル付き太陽電池フィルムの製造方法であって、前記薄膜太陽電池フィルムは、厚みが６〜１５５μｍであり、支持基板の一主面上に透光性耐熱フィルムと薄膜太陽電池をこの順に形成する工程と、前記薄膜太陽電池をストライプ状にエッチングすることにより、前記薄膜太陽電池の一主面側表面上に凹部を形成するエッチング工程と、前記薄膜太陽電池の一主面上に、透明接着層を介してタッチパネルを形成する工程と、前記支持基板と前記透光性耐熱フィルムを剥離させて前記タッチパネル付き太陽電池フィルムを形成する工程と、をこの順に有する。
【００１２】
前記透明接着層が、前記薄膜太陽電池に形成された凹部を埋め込む形で形成されていることが好ましい。
【００１３】
前記透光性耐熱フィルムは、屈折率ｎ１が１．５５〜２．００を満たすことが好ましい。
【００１４】
前記透明接着層の波長５５０ｎｍにおける屈折率ｎ２と、前記透光性耐熱フィルムの屈折率ｎ１が、０≦ｎ１−ｎ２≦０．１０を満たすことが好ましい。
【００１５】
前記透光性耐熱フィルムは、透明なポリイミドフィルムであることが好ましい。
【００１６】
前記透明接着層は、屈折率ｎ２が１．５５〜１．９０を満たすことが好ましい。
【００１７】
前記透明接着層が、前記薄膜太陽電池の一主面上に接着された後、前記透明接着層上に前記タッチパネルが形成されることが好ましい。
【００１８】
前記透明接着層は、前記タッチパネル上に接着された後、前記薄膜太陽電池の一主面上に、前記タッチパネルの前記透明接着層が形成された面を接着させることが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、太陽電池とタッチパネルが一体となったタッチパネル付き太陽電池フィルムが作製された後で、支持基体から剥離されるため、太陽電池単独で剥離を行った時に生じるフィルム自体のカールに伴う膜の破壊などを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一態様のタッチパネル付き太陽電池フィルムの概略断面図
【図２】本発明の製造方法を工程別に示す断面図
【図３】本発明の一態様の製造方法を工程別に示す断面図
【図４】本発明の一態様の製造方法を工程別に示す断面図
【図５】本発明の一態様の製造方法を工程別に示す断面図
【図６】本発明の一態様の製造方法を工程別に示す断面図
【図７】本発明の一態様の製造方法を工程別に示す断面図
【図８】本発明の一態様の表示機器と組み合わせたタッチパネル付き太陽電池フィルムを示す模式的断面図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に、本発明の好ましい実施の形態に係る複合入力装置について図面を用いて説明する。なお、本発明においては、以下の実施形態に限定されるものではない。
【００２２】
図１は、本実施の形態にタッチパネル付き太陽電池フィルム９の断面構造を示す概略断面図である。このタッチパネル付き太陽電池フィルム９は、太陽電池１とタッチパネル２から構成される。太陽電池１とタッチパネル２は、透明接着層８により接着されている。本実施形態においては、太陽電池１としては、透光性耐熱フィルム４、透明電極層５、発電層６、裏面電極層７から構成されている。
【００２３】
図２〜７は、本製造方法を工程別に示したものである。まず図２に示すように、ガラス、金属、耐熱性の樹脂等からなる支持基板３の上に、透明な透光性耐熱フィルム４を形成する。支持基板としては、この上に製膜する透光性耐熱フィルムや太陽電池の製膜温度よりも耐熱性が高い材料であれば特に制限されない。
【００２４】
透光性耐熱フィルムとしては、太陽電池を構成する各層を製膜する際の製膜温度に対し、耐熱性を有するものであればよい。耐熱性を有するとは、例えば、透光性耐熱フィルムに機械的な変化（例えば変形）が生じない状態や、物理的な変化（光学的特性や電気的特性の変化）が生じない状態をいう。
【００２５】
例えば、耐熱性の指標となるガラス転移温度（Ｔｇ）が１２０℃度以上４２０℃以下の材料を用いることが好ましい。例えば、薄膜太陽電池として、アモルファスシリコンを製膜する際の温度が２００℃程度であり、ＣＩＧＳなどの化合物半導体などを製膜する場合の温度が４００度程度である事から。透光性耐熱フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）が、１２０℃以上が好ましく、１５０℃以上がより好ましい。ガラス転移温度（Ｔｇ）は、ＤＳＣ（示差走査熱量測定）により求めることができる。
【００２６】
なお「透光性」とは、全光線透過率が８０％以上のものを意味する。中でも、全光線透過率が８５％以上が好ましく、９０％以上がより好ましい。上記範囲の場合、より光を取り込む効果が向上できるためである。全光線透過率は、分光光度計により求めることができる。
【００２７】
透光性耐熱フィルムは、ＬＣＤや有機ＥＬ等のディスプレイと共に用いることから、波長５５０ｎｍにおける屈折率ｎ１が１．５５〜２．００が好ましく、１．５５〜１.８０がより好ましく、１．６０〜１．７５が特に好ましい。屈折率は、分光エリプソメトリにより求めることができる。
【００２８】
中でも、耐熱性が高く、透明性が高いため、透明なポリイミド（ＰＩ）フィルム、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）フィルムなどを用いることが好ましく、透明なポリイミドフィルムが特に好ましい。何故なら、透明ＰＩフィルムは線膨張係数がガラスに近く、ガラス上で実績のある薄膜系の太陽電池を形成する場合には、条件が適合しやすい。また支持基板から剥離する場合には水に浸漬する事で容易に剥離するからである。また透明ＰＩフィルムは、全光線透過率が８９％以上と透明性も高く、光を効率よく入射することができる。なお、本明細書においては、特に断りの無い限り、「透明」とは、全光線透過率が８０％以上のものを意味する。
【００２９】
透光性耐熱フィルムは、厚さが５〜１５０μｍが好ましい。このような厚みの透光性耐熱フィルムは、薄膜化・軽量化が望まれるスマートフォンなどに好適に用いられる。中でも、５〜１００μｍが好ましく、５〜５０μｍがより好ましい。
【００３０】
透光性耐熱フィルムの形成方法は、樹脂材料をコーティングして硬化させても良いし、フィルムを粘着剤で貼り付けたものを透光性耐熱フィルムとして用いても良い。例えば、透光性耐熱フィルムとしてポリイミドフィルムを用いる場合は、支持基板上に透明なポリイミドワニスをコーティングし、加熱することでイミド化を促進しポリイミドフィルムを形成することが好ましい。
【００３１】
図３の工程においては、透光性耐熱フィルム上に薄膜太陽電池を形成する。薄膜太陽電池の膜厚は、後述のように、使用する発電層の材料等により適宜設定すればよいが、１．０μｍ〜５．０μｍが好ましい。このような薄膜太陽電池を用いることにより、スマートフォン等に用いる場合にも好適である。中でも、１．０μｍ〜３．０μｍがより好ましく、１．０μｍ〜２．０μｍが特に好ましい。
【００３２】
薄膜太陽電池として、まず透明電極５を形成する。透明電極としては、酸化錫ＳｎＯ２、酸化亜鉛ＺｎＯ、酸化インジウム錫ＩＴＯなどを単層もしくはこれらの材料の積層された形態で形成される。透明電極は、膜厚が１００ｎｍ〜１５００ｎｍの範囲で形成することが好ましい。例えば、ＩＴＯとＺｎＯの積層体を膜厚１００ｎｍ／１００ｎｍで形成することができる。
【００３３】
次に発電層４を形成する。発電層６としては、例えば、アモルファスシリコン（a-Si）、アモルファスシリコンゲルマニウム（a-SiGe）などのアモルファス系シリコン材料、微結晶シリコン（μc-Si）、微結晶シリコンゲルマニウムなどの微結晶系シリコン材料もしくはこれらの材料の積層体、あるいはＣＩＧＳ（Copper indium gallium selenide）などの化合物系の薄膜太陽電池などでも構成されることが好ましい。
【００３４】
膜厚はそれぞれの材料に適した膜厚で形成されるが、例えばアモルファス系では５０ｎｍ〜７００ｎｍ、微結晶シリコン系であれば、１０００〜４０００ｎｍが好ましい。またＣＩＧＳ系では、１０００〜４０００ｎｍが好ましい。発電層の製造方法は、例えばプラズマＣＶＤ法や光ＣＶＤ、蒸着等の公知の手法により形成される。
【００３５】
更に裏面電極層７が発電層上の全面に形成される。裏面電極層７としては、例えば、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、アルミ（Ａｌ）や銀（Ａｇ）などが使用できる。裏面電極層は、厚みが１００ｎｍ〜６００ｎｍが好ましい。裏面電極層７としては、例えば、厚さ４０ｎｍ〜１００ｎｍの透明電極７ａが形成され、さらに厚さ１００ｎｍ〜５００ｎｍの金属層７ｂの二層構造のものなどが好ましく用いられる。
【００３６】
図４は、薄膜太陽電池部分をストライプ状に加工するエッチング工程を説明するためのものである。その目的は、薄膜太陽電池がＬＣＤ等の表示部分の前面（すなわち光入射面側）に配置されるため、その視認性を阻害しないように凹部（開口部）を設けるためのものである。
【００３７】
例えば薄膜太陽電池として、透光性耐熱フィルムと接するように透明電極が形成される場合、透明電極上に形成される透明電極以外の薄膜太陽電池の層をエッチングにより除去し、該透明電極は全面に残すようにして凹部を形成することが好ましい。透明電極を残すことにより、絶縁部分の形成を防止できるため、デバイスとして機能できるためである。なお、上述のように、薄膜太陽電池を構成する層として透明電極を有し、該透明電極以外の層をエッチングした場合も、該領域を「太陽電池非形成領域」とする。エッチングの手法は、ケミカルエッチングやレーザーによるエッチングなどの公知の手法が使用される。
【００３８】
以上のようにして、支持基板３上に、薄膜太陽電池フィルム１０を形成することができる。薄膜太陽電池フィルム１０としては、厚みが６〜１５５μｍのものを用いることができる。中でも６〜１０５μｍが好ましく、６〜５５μｍがより好ましい。この範囲の薄膜太陽電池フィルムを用いることにより、より薄膜化・軽量化および低コスト化が可能になる。
【００３９】
図５は、ストライプ状に加工された太陽電池上に透明接着層を形成する工程である。この透明接着層はＯＣＡ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｌｅａｒ Ａｄｈｅｓｉｖｅ）とも呼ばれる。透明接着層としては、全光線透過率は９９％以上、ヘイズは１％以下のものを用いることが好ましい。なお、上述のように、全光線透過率は分光光度計により求めることができ、ヘイズは、「ヘイズ率［％］＝（拡散透過率／全光線透過率）×１００」により求められる値であり、ヘイズメーターにより求めることができる。
【００４０】
透明接着層としては、厚さは２０μｍ〜２００μｍが好ましい。これにより、太陽電池の凹部だけではなく、太陽電池が存在する部分の上（太陽電池形成領域ともいう。本実施形態においては裏面電極層５上）にも透明接着層を形成できるため、その上に接着させるタッチパネルとの密着性をより向上させることができる。
【００４１】
また、タッチパネルの透明電極層への耐腐食性を有する事が必要である。このため透明接着層を形成する粘着剤としてはアクリル系、ポリエーテル系、シリコーン系が用いられることが好ましい。中でも、ポリエーテル系やシリコーン系がより好ましく、ポリエーテル系が特に好ましい。またこれらの材料は、ある程度の流動性を有しており、微細な凹部を形成した場合にも容易に凹部を充填する事が出来る。従って、凹部の空乏により生じうる界面反射等を抑制でき、より多くの光を閉じ込めることができる。さらに、後述のように、透光性フィルムとの屈折率差をより小さくすることができるため、界面反射をより防止することができる。
【００４２】
図８に示すように、太陽電池はストライプ状に加工されているが、透明接着層はその凹部を埋める状態で形成することが必要である。凹部に空乏が存在する場合、透光性耐熱フィルムと透明接着層の界面で界面反射が生じ、表示機器、例えば液晶パネル（ＬＣＤ）からのバックライト光の光量が低下して視認性が低下する問題が生じる。
【００４３】
また従来では、ガラス基板（屈折率１．５０程度）上に太陽電池を形成したものが好ましく用いられていたため、透明接着層としては、屈折率ｎ２≒１．５０のものが好ましく用いられてきた。
【００４４】
しかしながら、本発明者らの検討によれば、透光性耐熱フィルムとして好ましく用いられる透明ＰＩフィルムや透明ＰＥＮフィルムの屈折率ｎ１が１．６０〜１．７０程度と高いため、このような屈折率の透明接着層を用いた場合、太陽電池の凹部における透明接着層と、その下に存在する透光性耐熱フィルムとの屈折率差が０．１０よりも大きくなる。従って、界面反射をより低減して光閉じ込め効果をより向上させるためには、屈折率差を小さくすることがより望まれていた。
【００４５】
本発明においては、所定の透明接着層を用いることにより、透光性フィルムと透明接着層との屈折率差を、容易に０．１０以下とすることができる。本発明においては、透明接着層として、屈折率ｎ２が通常よりも高い１．５５〜１．９０のものが好ましい。中でも、１．５５〜１．７５がより好ましく、１．６０〜１．７０が特に好ましい。
【００４６】
これにより、比較的屈折率が高い透光性耐熱フィルムとの屈折率差が小さくなり界面反射の抑制が期待できる。特に、透光性耐熱フィルムとして、ＰＩなどの屈折率が１．６〜１．７程度のものが好ましく使用されているために、透明接着層の屈折率と透光性耐熱フィルムの屈折率差を小さくすることにより、ＬＣＤからの輝度が低下し視認性を阻害することを抑制することができる。
【００４７】
また、透光性耐熱フィルムの屈折率は、透明接着層の屈折率よりも大きいものが好ましく用いられる。従って、透光性耐熱フィルムと透明接着層の屈折率差（ｎ１−ｎ２）は、０≦ｎ１−ｎ２≦０．１０が好ましく、ｎ１−ｎ２≦０．０５がより好ましく、０（すなわち屈折率が同じ）である事が望ましい。
【００４８】
透明接着層の形成方法は、２枚の保護フィルム間に挟まれた透明接着層の片面の保護フィルムを剥がして太陽電池に貼り合わせ、後述のようにタッチパネルを接着させる際に他方の保護フィルムを引きはがす方法、或いは粘着材料をコーター等の公知の方法で塗布して太陽電池上に形成も良い。なお、透明接着層は、薄膜太陽電池とタッチパネルの密着性をより向上できる点から、粘着層などの粘着性を有するものを好ましく用いることができる。
【００４９】
透明接着層を薄膜太陽電池と接着させる際の圧力は、使用される薄膜太陽電池やタッチパネルなどに応じて適宜設定すればよい。例えば、薄膜太陽電池上に、保護フィルム付きの透明接着層を貼り付ける場合、また予めタッチパネルに、保護フィルム付きの透明接着層を貼り付けた後、保護フィルムを剥がして太陽電池と貼り付ける場合に、破太陽電池はタッチパネルが破損等のダメージが生じず、かつ太陽電池の凹部に生じうる空乏等が生じない程度の圧力により加圧して接着させることが好ましい。
【００５０】
上述のように、ポリエーテル系の材料は、透過率が９０％以上と透明性が高いだけでなく、取り扱い等も容易であり、凹部への空乏をより防止でき、また接着時のダメージも低減できるため、より好ましい。
【００５１】
図６は、薄膜太陽電池とタッチパネルを貼り合わせる工程である。タッチパネル２は、マトリクス・スイッチ方式、抵抗膜方式、静電容量方式等のいずれの方式によるタッチパネルも使用できる。薄膜太陽電池とタッチパネルの貼付は、薄膜太陽電池の受光面（セル部分）とタッチパネルの入力面の位置ズレがないよう貼り合わせする必要がある。貼り合わせの方法としては、真空下プレスするのが良い。気泡や空乏を発生することなく精度良く貼り合わせる事が出来るからである。
【００５２】
また本実施形態においては、薄膜太陽電池に透明接着層を形成した後にタッチパネル部を貼り合わせたが、タッチパネル部に透明接着層を形成した後に薄膜太陽電池を貼り合わせても良い。
【００５３】
図７は、支持基板上からタッチパネル付き太陽電池フィルムを剥離する工程を示したものである。ここで、特許文献２のように、従来では支持基板上に太陽電池フィルムを作製しＥＶＡ等で封止後に基板とフィルムを剥離しても、剥離時のストレスにより膜へのダメージや、応力により太陽電池がカールし、その上にタッチパネルを貼り付けても、視認性が悪化するという問題が生じた。特に、スマートフォンなどに使用される場合、太陽電池自体の膜厚も薄く、また正確な位置あわせ精度が必要なために、視認性悪化への影響は顕著であった。
【００５４】
薄膜太陽電池上に、支持部材となる保護フィルム付きの透明接着層を形成した後で、支持基板とフィルムを剥離させても、その後、タッチパネルと貼り付けるために保護シートを剥離させた場合、カールが生じ、視認性が悪化するという問題が生じた。
【００５５】
本発明においては、薄膜太陽電池フィルムとタッチパネルを貼り付けた後に、支持基板とフィルムを剥離させるため、薄膜化に伴うカール等を抑制できるため、視認性の低下を抑制できる。剥離方法は、特に限定されず、レーザー等により端部を切断した時に生じる剥離界面を基点にタッチパネル付き太陽電池フィルムを剥離する方法、水に浸漬する方法などがあるが、簡便性の点から、水に浸漬する事により剥離することが好ましい。
【００５６】
以上のようにして、本発明におけるタッチパネル付き太陽電池フィルムを作製できる。
なおタッチパネル付き太陽電池フィルムは、太陽電池側を光入射側としても良いし、タッチパネル側を光入射側としてもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１    薄膜太陽電池  
２    タッチパネル
３    支持基板
４    透光性耐熱フィルム    
５    透明電極
６    発電層
７    裏面電極層
７a   透明電極
７b   金属層
８    透明接着層
９    タッチパネル付き太陽電池フィルム
１０  薄膜太陽電池フィルム
１１  表示機器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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