(57)【要約】【課題】アームの振動の発生を抑制しつつワイヤカセットに基板を移載できる移載装置の提供。【解決手段】ワイヤカセット２００に対して、基板３００を出し入れするアーム１０１を備えた移載装置１００であって、水平方向に延びて配置される長尺板状のベースプレート１１０と、ベースプレート１１０の長手方向に沿って延び、ベースプレート１１０の幅方向の端部においてベースプレート１１０の上面部に接合される中空の第一補強部材１１１と、第一補強部材１１１の上面部に接合される長尺板状の第一トッププレート１２１とを備え、ベースプレート１１０の上方であって前記第一補強部材１１１の側方に配置され、基板３００を支持する出没可能な複数の支持部材１０３を備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平方向に所定の間隔で張り渡された複数本のワイヤを備え、前記ワイヤに載置された状態で基板を保持するワイヤカセットに対して、前記ワイヤの張り渡し方向と交差する方向である移載方向に前記基板を出し入れするアームを備えた移載装置であって、
前記アームは、
水平方向に延びて配置される長尺板状のベースプレートと、
前記ベースプレートの長手方向に沿って延び、前記ベースプレートの幅よりも狭い幅を有し、前記ベースプレートの幅方向の端部において前記ベースプレートの上面部に接合される中空の補強部材である第一補強部材と、
前記ベースプレートの長手方向に沿って延び、前記ベースプレートの幅よりも狭い幅を有し、前記第一補強部材の上面部に接合される長尺板状のトッププレートである第一トッププレートとを備え、
当該移載装置は、
前記ベースプレートの上方であって前記第一補強部材の側方に配置され、前記基板を支持する支持位置と前記基板が載置される前記ワイヤの下方に位置する回避位置との間で出没する複数の支持部材
を備える移載装置。
【請求項２】
さらに、
前記ベースプレートの長手方向に沿って延び、前記ベースプレートの幅よりも狭い幅を有し、前記ベースプレートの幅方向の端部であって前記第一補強部材が接合される端部とは反対側の端部において前記ベースプレートの上面部に接合される中空の補強部材である第二補強部材と、
前記ベースプレートの長手方向に沿って延び、前記ベースプレートの幅よりも狭い幅を有し、前記第二補強部材の上面部に接合される長尺板状のトッププレートである第二トッププレートとを備え、
前記支持部材は、前記第一補強部材と前記第二補強部材の間に配置される
請求項１に記載の移載装置。
【請求項３】
前記ベースプレートは、
当該ベースプレートの長手方向に沿って延び、上下方向に沿って突出するベースリブを備える
請求項１または請求項２に記載の移載装置。
【請求項４】
前記トッププレートは、
当該トッププレートの長手方向に沿って延び、上下方向に沿って突出するトップリブを備える
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の移載装置。
【請求項５】
前記ベースプレート、または、前記トッププレートを構成する材料は、炭素繊維強化プラスチックである
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の移載装置。
【請求項６】
前記補強部材の中空部は、当該補強部材の長手方向に延びた状態で配置される
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の移載装置。
【請求項７】
前記補強部材の中空部は、当該補強部材の長手方向に交差する方向に伸びた状態で複数箇所に配置される
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の移載装置。
【請求項８】
前記ベースプレートの長手方向における線膨張率は、前記トッププレートの長手方向における線膨張率よりも高い
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の移載装置。
【請求項９】
前記ベースプレートは、
第一ベースプレートと、
前記第一ベースプレートの長手方向における線膨張率よりも線膨張率が高く、前記第一ベースプレートの下面に張り合わされる第二ベースプレートとを備え、
前記アームは、
前記ベースプレートを加熱する加熱源を備える
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ワイヤカセットから、または、ワイヤカセットへガラス基板等の基板を移載する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイなどの表示装置を製造するための基板となるガラス基板を保管する場合、できる限り接触面積を小さくするため、立設された複数のピンによりガラス基板を支持していた。しかし最近のガラス基板の大型化に伴い、ピンによる支持ではガラス基板に撓みが発生していた。また従前の保管方法では、ガラス基板を上下方向に隙間を空けた状態で重ねて保管する場合にガラス基板の間の空間を広くとる必要があるため収納効率を改善することは困難であった。そのため昨今では、ワイヤカセットを用いてガラス基板を保管することが行われる場合がある。
【０００３】
前記ワイヤカセットとは、水平面内に所定の間隔で張り渡された複数本のワイヤからなるワイヤ群と、前記ワイヤ群を上下方向に所定の間隔で複数段保持する枠体とを備える棚である。当該ワイヤカセットの水平に配置されたワイヤの上にガラス基板を載置することで、できる限り接触面積を少なくしつつ、ガラス基板の撓みを抑制することが可能となる。また、上下方向に離れて積み重なるガラス基板の間にはワイヤのみが存在するため、収納効率よくガラス基板を積み上げることが可能となる。
【０００４】
以上のようなワイヤカセットにガラス基板を移載する場合、ワイヤが張り渡される方向と交差する方向にガラス基板を出し入れする。従って、ガラス基板を下から支持する場合は、ワイヤを回避しながらガラス基板を水平方向に移動させる必要がある。
【０００５】
そこで、特許文献１には、基板を点状態で支持し出没可能な複数の支持部材であって、アームの長手方向に並べて配置された支持部材の列を１本のアームの幅方向に２列設けたフォークを備えた移載装置が開示されている。この移載装置は、支持部材の列をアームに対して交互に出没させながらアームをワイヤが張り渡される方向と交差する方向に移動させ、進出状態の支持部材の列によりガラス基板をワイヤから持ち上げて水平方向に移動させるとともに、没入状態の支持部材の列はワイヤを下方でくぐらせるという動作を交互に繰り返すことで、ガラス基板をワイヤカセットに移載することができるものとなっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１５６２３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが昨今では、ディスプレイの大型化に伴いガラス基板の大きさが増大する傾向にあり、これに対応すべく移載装置のアームの長さを長くし、アームに取り付けられる支持部材の数も増加させる傾向にある。このような移載装置では、長尺のアームの幅方向に配置される２列の支持部材を交互に出没させることにより、アームがねじられる方向に振動する可能性が高くなるため、アームの機械的強度を高める必要が生じる。アームの機械的強度を向上させるためには、アームの厚みを厚くすることで対応可能であるが、上下方向に積み上げられた基板の間にアームを挿入する必要があるため、アームの厚みには制限がある。
【０００８】
また、アームは片持ちで水平を維持する必要があるが、アームの長さが長くなるほど自重で先端が垂れ下がる方向に撓むため、この観点からもアームの機械的強度を向上させ、勝つ軽量化することが望まれている。
【０００９】
本願発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、支持部材の出没によるアームの振動を抑制し、大型の基板をワイヤカセットに移載することのできる移載装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本願発明にかかる移載装置は、水平方向に所定の間隔で張り渡された複数本のワイヤを備え、前記ワイヤに載置された状態で基板を保持するワイヤカセットに対して、前記ワイヤの張り渡し方向と交差する方向である移載方向に前記基板を出し入れするアームを備えた移載装置であって、前記アームは、水平方向に延びて配置される長尺板状のベースプレートと、前記ベースプレートの長手方向に沿って延び、前記ベースプレートの幅よりも狭い幅を有し、前記ベースプレートの幅方向の端部において前記ベースプレートの上面部に接合される中空の補強部材である第一補強部材と、前記ベースプレートの長手方向に沿って延び、前記ベースプレートの幅よりも狭い幅を有し、前記第一補強部材の上面部に接合される長尺板状のトッププレートである第一トッププレートとを備え、当該移載装置は、前記ベースプレートの上方であって前記第一補強部材の側方に配置され、前記基板を支持する支持位置と前記基板が載置される前記ワイヤの下方に位置する回避位置との間で出没する複数の支持部材を備えることを特徴とする。
【００１１】
これによれば、中空の第一補強部材の上下面を二つのプレートが挟んだ状態で接合されるため、十分な機械的強度を確保しつつ、上下方向の厚さが薄く全体として軽量化することが可能となる。従って、支持部材の出没による振動を可及的に抑制することが可能となる。
【００１２】
さらに、支持部材が第一補強部材の側方に配置されているため、ベースプレートと第一補強部材と第一トッププレートとからなるアームの重心を通る水平面の近傍で支持部材を出没させることが可能となる。従って、支持部材の出没によるアームの上下方向の振動を抑制することが可能となる。また、アームと支持部材とを含む全体の厚みを薄くすることが可能となる。
【００１３】
さらに、前記ベースプレートの長手方向に沿って延び、前記ベースプレートの幅よりも狭い幅を有し、前記ベースプレートの幅方向の端部であって前記第一補強部材が接合される端部とは反対側の端部において前記ベースプレートの上面部に接合される中空の補強部材である第二補強部材と、前記ベースプレートの長手方向に沿って延び、前記ベースプレートの幅よりも狭い幅を有し、前記第二補強部材の上面部に接合される長尺板状のトッププレートである第二トッププレートとを備え、前記支持部材は、前記第一補強部材と前記第二補強部材の間に配置されものでもよい。
【００１４】
これによれば、第一補強部材と第二補強部材との間にベースプレートが架橋状態で接合されるため、幅方向のバランスがよくなり、ねじれ方向の振動に対する強度を向上させることが可能となる。
【００１５】
また、アームの重心を通るアームの長手方向に沿う垂直面の近傍で支持部材を出没させることができる。従って、支持部材の出没によるアームのねじれ方向の振動を抑制することが可能となる。また、アームと支持部材とを含む全体の厚みを薄くすることが可能となる。
【００１６】
前記ベースプレートは、当該ベースプレートの長手方向に沿って延び、上下方向に沿って突出するベースリブを備える。
【００１７】
これによれば、ベースプレートの撓みを抑制しつつベースプレートの重量を軽減することができ、アーム全体の機械的強度の向上と軽量化に寄与することが可能となる。
【００１８】
前記トッププレートは、当該トッププレートの長手方向に沿って延び、上下方向に沿って突出するトップリブを備えてもよい。
【００１９】
これによれば、トッププレートの撓みを抑制しつつトッププレートの重量を軽減することができ、アーム全体の機械的強度の向上と軽量化に寄与することが可能となる。
【００２０】
前記ベースプレート、または、前記トッププレートを構成する材料は、炭素繊維強化プラスチックであってもよい。
【００２１】
これによれば、アームの厚みを薄く維持したままでアームの機械的強度を確保することができ、かつ、アームを軽量化することが可能となる。
【００２２】
前記補強部材の中空部は、当該補強部材の長手方向に延びた状態で配置されるものでもよい。
【００２３】
これによれば、補強部材を単純な構造で軽量化することができると共に、ベースプレートやトッププレートとの接合面積を広く確保してアームの機械的強度を向上させることができる。
【００２４】
前記補強部材の中空部は、当該補強部材の長手方向に交差する方向に伸びた状態で複数箇所に配置されるものでもよい。
【００２５】
これによれば、補強部材の機械的強度を維持しながら可及的に軽量化することができるため、アームの機械的強度向上と軽量化に寄与することが可能となる。
【００２６】
前記ベースプレートの長手方向における線膨張率は、前記トッププレートの長手方向における線膨張率よりも高いものでもよい。
【００２７】
これによれば、自重による先端が垂れ下がる方向のアームの撓みを補強部材の上下に接合された２枚のプレートの線膨張率の相違によって抑制することが可能となる。
【００２８】
前記ベースプレートは、第一ベースプレートと、前記第一ベースプレートの長手方向における線膨張率よりも線膨張率が高く、前記第一ベースプレートの下面に張り合わされる第二ベースプレートとを備え、前記アームは、前記ベースプレートを加熱する加熱源を備えてもよい。
【００２９】
これによれば、線膨張率の相違する２層構造からなるベースプレートを加熱することにより自重による先端が垂れ下がる方向のアームの撓みを積極的に抑制することが可能となる。
【発明の効果】
【００３０】
本願発明によれば、移載装置のアームの撓みを抑制し、かつ、ワイヤカセットに対して基板を搬出入する際に必要な支持部材の出没によって発生するアームの振動を可及的に抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は、移載装置とワイヤカセットの全体を模式的に示す斜視図である。
【図２】図２は、ワイヤカセットの一部のワイヤを省略して模式的に示す斜視図である。
【図３】図３は、移載装置を模式的に示す斜視図である。
【図４】図４は、アームおよびアームに取り付けられた支持部材を示す斜視図である。
【図５】図５は、アームの先端部分を示す斜視図である。
【図６】図６は、先端から見たアームおよびアームに取り付けられた支持部材を示す平面図である。
【図７】図７は、別態様のアームと支持部材とを先端から示す平面図である。
【図８】図８は、別態様のアームと支持部材とを先端から示す平面図である。
【図９】図９は、別態様のアームと支持部材とを先端から示す平面図である。
【図１０】図１０は、別態様のベースプレートを含むアームと支持部材とを先端から示す平面図である。
【図１１】図１１は、支持部材と駆動手段の一部を示す側面図である。
【図１２】図１２は、別態様の支持部材を示す側面図である。
【図１３】図１３は、駆動手段の駆動源近傍を模式的に示す平面図である。
【図１４】図１４は、支持部材の変位とアームの振動とを模式的に示すグラフである。
【図１５】図１５は、支持部材の変位とアームの振動とを模式的に示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
次に、本願発明に係る移載装置の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の実施の形態は、本願発明に係る移載装置の一例を示したものに過ぎない。従って本願発明は、以下の実施の形態を参考に請求の範囲の文言によって範囲が画定されるものであり、以下の実施の形態のみに限定されるものではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、本発明の課題を達成するのに必ずしも必要ではないが、より好ましい形態を構成するものとして説明される。
【００３３】
図１は、移載装置とワイヤカセットの全体を模式的に示す斜視図である。
【００３４】
同図に示すように、移載装置１００は、ワイヤカセット２００に対し、基板（同図中において省略）を搬出入することができる装置である。
【００３５】
図２は、ワイヤカセットの一部のワイヤを省略して模式的に示す斜視図である。
【００３６】
同図に示すように、ワイヤカセット２００は、水平方向に所定のピッチで図中のＸ軸に沿って張り渡された複数本のワイヤ２０１を備え、複数本のワイヤ２０１に架橋状に基板３００を載置して保持することができる棚である。また、ワイヤカセット２００は、ワイヤ２０１を保持する枠体２０２を備え、水平面の一面に配置された複数のワイヤ２０１であるワイヤ群を上下方向に所定の間隔で複数段保持するものとなっている。
【００３７】
これにより、基板３００を上下方向に所定の間隔で積み重ねた状態で保管することができ、基板３００を撓ませることなく、高い空間効率で保管することが可能となる。
【００３８】
図３は、移載装置を模式的に示す斜視図である。
【００３９】
移載装置１００は、ワイヤ２０１の張り渡し方向（図中Ｘ軸方向）と交差する方向である移載方向（本実施の形態の場合、図中Ｙ軸方向）に基板３００を出し入れし、ワイヤカセット２００から基板３００を搬出入することができるアーム１０１を備えた装置である。本実施の形態の場合、移載装置１００は、アーム保持手段１９１と、アーム昇降手段１９２と、アーム移動手段１９３と、軌条１９４とを備えている。
【００４０】
アーム１０１は、ワイヤカセット２００の上下方向に隣接するワイヤ群の間に挿入され、また、抜き出されることができる部材であり、支持部材１０３が取り付けられている。なお、アーム１０１、および、支持部材１０３についての詳細は後述する。
【００４１】
アーム保持手段１９１は、アーム１０１の長手方向の端部を保持し、アーム１０１を片持ち状態で水平面に沿うように配置するための装置である。本実施の形態の場合、アーム保持手段１９１は、アーム１０１を同一平面内に複数本（本実施の形態では４本）保持することができるものとなっている。なお、アーム保持手段１９１がアーム１０１を保持する保持構造は特に限定されるものではないが、例えば、アーム１０１を構成する材質が機械加工が困難なものや、溶接などが困難な場合は、アーム１０１を上下方向から剛性の高いプレートなどで挟み込んで挟持してもかまわない。
【００４２】
アーム昇降手段１９２は、アーム１０１を上下方向（図中Ｚ軸方向）に移動させるための装置である。アーム１０１を上下方向に移動させることにより、ワイヤカセット２００の所望の段にアーム１０１を挿入することができ、アーム１０１をワイヤカセット２００に挿入後、僅かにアーム１０１を上昇させることで、ワイヤ２０１に載置された基板３００をワイヤ２０１から持ち上げることが可能となる。また、逆の動作により、アーム１０１に保持された基板３００をワイヤカセット２００のワイヤ２０１に基板３００を載置することもできる。
【００４３】
アーム移動手段１９３は、アーム１０１をアーム１０１の延設方向に（図中Ｙ軸方向に）進出し、また、後退させることができる装置である。さらに本実施の形態の場合、アーム移動手段１９３は、軌条１９４に沿って、アーム１０１をアーム１０１の延設方向と交差する方向（図中Ｘ軸方向）に移動させることができるものとなっている。これにより、アーム１０１に保持される基板３００を移送することができる。
【００４４】
なお本実施の形態の場合、アーム移動手段１９３は、アーム１０１をアーム保持手段１９１、および、アーム昇降手段１９２と共にアーム移動手段１９３に対し相対的に進退させることができるものとなっているが、アーム移動手段１９３とアーム１０１とが直接的、または、間接的に固定され、アーム移動手段１９３がアーム１０１の延設方向に移動することで、アーム１０１をワイヤカセット２００などに対して進退させるものでもかまわない。また、アーム移動手段１９３は、軌条１９４に沿って移動するものばかりでなく、車輪などにより床面を自在に走行する舵を備えた装置であってもかまわない。
【００４５】
図４は、アームおよびアームに取り付けられた支持部材を示す斜視図である。
【００４６】
図５は、アームの先端部分を示す斜視図である。
【００４７】
図６は、先端から見たアームおよびアームに取り付けられた支持部材を示す平面図である。
【００４８】
これらの図に示すように、アーム１０１は、ベースプレート１１０と、第一補強部材１１１と、第一トッププレート１２１とを備えている。本実施の形態の場合、アーム１０１はさらに、第二補強部材１１２と、第二トッププレート１２２とを備えている。
【００４９】
なお、これらの図において、支持部材１０３などは省略して示される場合がある。
【００５０】
ベースプレート１１０は、水平方向に延びて配置される長尺板状の構造部材である。ベースプレート１１０は、軽量で片持ち状態でも撓みにくい材質からなるものが好ましい。具体的には、炭素繊維強化プラスチック（carbon-fiber-reinforced plastic,CFRP）からなるベースプレート１１０を例示することができる。また、ベースプレート１１０は、マグネシウム合金や、アルミニウム合金などからなるものでも良い。
【００５１】
なお図７に示すように、ベースプレート１１０は、ベースプレート１１０の長手方向（図中Ｙ軸方向）に沿って延び、上下方向に沿って突出するベースリブ１１３を備えてもかまわない。ベースリブ１１３により、軽量で撓みにくい構造のベースプレート１１０を形成することができる。
【００５２】
また、ベースプレート１１０は、図１０に示すように、第一ベースプレート１１８と、第一ベースプレート１１８の長手方向における線膨張率よりも線膨張率が高く、第一ベースプレート１１８の下面に張り合わされる第二ベースプレート１１９とを備えてもよい。さらに、ベースプレート１１０を加熱する加熱源１１７を備えてもかまわない。本実施の形態の場合、加熱源１１７は、シート状のヒーターであり、第一ベースプレート１１８と第二ベースプレート１１９との間に挟まった状態で配置されている。
【００５３】
第一補強部材１１１、および、第二補強部材１１２（これらを「補強部材」と総称する場合がある）は、ベースプレート１１０の長手方向（図中Ｙ軸方向）に沿って延び、ベースプレート１１０の幅よりも狭い幅を有し、ベースプレート１１０の幅方向（図中Ｘ軸方向）の端部においてベースプレート１１０の上面部に接合される中空の部材である。
【００５４】
本実施の形態の場合、補強部材は、金属製、例えばアルミニウム合金やステンレスの中空の角パイプであり、補強部材の中空部１１４は、補強部材の長手方向に連続的に延びた状態で配置されている。このように補強部材として角パイプを採用することで、ベースプレート１１０やトッププレートとの接触面積を広くすることができ、接着剤で補強部材とベースプレート１１０やトッププレート接合した場合の接合強度を向上させることが可能となる。
【００５５】
また、第一補強部材１１１は、ベースプレート１１０の幅方向に所定の間隔で配置される複数本（本実施の形態では２本）のパイプを備えている。これにより、第一補強部材１１１と接合される第一トッププレート１２１の幅を広くすることができ、軽量化を図りながらアーム１０１の機械的強度の向上を図ることが可能となる。第二補強部材１１２についても同様である。
【００５６】
なお、補強部材は上記に限定されるものではない。例えば、補強部材の中空部１１４は、補強部材の長手方向（図中Ｙ軸方向）に交差する方向に伸びた状態で複数箇所に配置されるものでもよい。具体的には、補強部材は、上下方向（図中Ｚ軸方向）に延びて配置される六角柱形状の中空部１１４を多数備えるハニカム構造体であってもよい。また、補強部材は、気泡状の中空部１１４を多数備える発泡樹脂からなる部材であってもかまわない。
【００５７】
また、補強部材は、角パイプに限定されるものではなく、円筒でもかまわない。さらに、図９に示すように、Ｈ型やその他の形状の部材でもかまわない。Ｈ型などの場合、補強部材に囲まれている部分は一部が開放状態であっても中空部１１４である。
【００５８】
また、補強部材は、適宜肉抜き部を設け、軽量化を図ってもかまわない。
【００５９】
また本実施の形態の場合、第一補強部材１１１と第二補強部材１１２とは、ベースプレート１１０の幅方向（図中Ｘ軸方向）の両端部のそれぞれに均等に配置されているが、これに限定されるものではない。例えば、図８に示すように、第一補強部材１１１のみを備えたものでもかまわない。
【００６０】
第一トッププレート１２１、および、第二トッププレート１２２（これらを「トッププレート」と総称する場合がある）は、ベースプレート１１０の長手方向（図中Ｙ軸方向）に沿って延び、ベースプレート１１０の幅よりも狭い幅を有し、補強部材の上面部に接合される長尺板状の構造部材である。トッププレートは、軽量で片持ち状態でも撓みにくい材質からなるものが好ましい。具体的には、炭素繊維強化プラスチック（carbon-fiber-reinforced plastic,CFRP）からなるトッププレートを例示することができる。また、トッププレートは、マグネシウム合金や、アルミニウム合金などからなるものでも良い。
【００６１】
なお図７に示すように、トッププレートは、トッププレートの長手方向（図中Ｙ軸方向）に沿って延び、上下方向に沿って突出するトップリブ１１５を備えてもかまわない。トップリブ１１５により、軽量で撓みにくい構造のトッププレートを形成することができる。
【００６２】
なお、ベースプレート１１０の長手方向（図中Ｙ軸方向）における線膨張率は、トッププレートの長手方向における線膨張率よりも高くしてもかまわない。これにより、アーム１０１の先端部か垂れ下がる方向の撓みを抑制することが可能となる。
【００６３】
また本実施の形態の場合、第一トッププレート１２１と第二トッププレート１２２とは、ベースプレート１１０の幅方向（図中Ｘ軸方向）の両端部のそれぞれに均等に配置されているが、これに限定されるものではない。例えば、図８に示すように、第一トッププレート１２１のみを備えたものでもかまわない。
【００６４】
支持部材１０３は、ベースプレート１１０の上方であって第一補強部材１１１の側方に配置され、基板３００を支持する支持位置と基板３００が載置されるワイヤカセット２００のワイヤ２０１の下方に位置する回避位置との間で出没する部材である。
【００６５】
支持部材１０３は、アーム１０１の長手方向（図中Ｙ軸方向）に一列に並んで配置され、図１１に示すように、基板３００を支持する支持位置Ｔと基板３００が載置されるワイヤ２０１の下方に位置する回避位置Ｂとの間で出没する部材である。なお、本実施の形態の場合、複数の支持部材１０３の内のいくつかを第一支持部材群１３１とグループ化し、他のいくつかを第二支持部材群１３２とグループ化している。具体的には、アーム１０１の最先端部に配置される支持部材１０３を含み、当該支持部材１０３から一つ飛ばしで配置される支持部材１０３を第一支持部材群１３１としてグループ化し、アーム１０１の最先端部に配置される支持部材１０３に隣接する支持部材１０３から一つ飛ばしで配置される支持部材１０３を第二支持部材群１３２としてグループ化している。
【００６６】
本実施の形態の場合、支持部材１０３は、板状の部材であり、基板３００と接触する部分はアールが設けられている。
【００６７】
なお、支持部材１０３は、基板３００を支持する際に基板３００と当接する位置に弾性部材１３３を備えてもかまわない。これにより、支持部材１０３が基板３００に当接する際の衝撃を緩和することが可能となる。さらに、弾性部材１３３は、支持部材１０３の本体に対して回動するように取り付けられていても良い。これにより、支持部材１０３が回動により出没する場合に、基板３００と支持部材１０３との間に発生する擦れを弾性部材１３３の回動により緩和することが可能となる。この場合、支持部材１０３の回動軸と支持部材１０３に対する弾性部材１３３の回動軸とが平行に配置されることが好ましい。
【００６８】
また、支持部材１０３は基板３００を支持する際に基板３００に対向する位置に、圧縮空気を吹き出すことにより基板３００を非接触で保持する非接触保持部材を備えていても構わない。この場合、支持部材１０３はその対向する位置において幅方向（図中Ｘ方向）に厚みを持つ形状とし、非接触保持部材として圧縮空気源からの圧縮空気の供給を必要としない、例えば株式会社村田製作所製のマイクロブロアや高砂電気工業株式会社製のピエゾマイクロポンプを、その吹き出し口を上向きになるように指示部材１０３に取り付ける。これにより、支持部材１０３と基板３００の直接の接触が制限され、磨耗粉の発生や振動の発生を緩和することが可能になる。
【００６９】
本実施の形態の場合、移載装置１００は、第一支持部材群１３１を出没させる第一駆動手段１４１と、第二支持部材群１３２を出没させる第二駆動手段１４２と、第一駆動手段１４１、および、第二駆動手段１４２（これらを「駆動手段」と総称する場合がある）を制御する制御部（図示せず）とを備えている。
【００７０】
駆動手段は、支持部材１０３をアーム１０１に対して出没されることができるものであれば、特に限定されるものではない。例えば駆動手段としては、エアーアクチュエーターや、支持部材１０３を直動させるソレノイドなどでもかまわない。
【００７１】
本実施の形態の場合、第一駆動手段１４１は、図５に示すように、第一駆動源（図示せず）と、第一駆動源の駆動力を第一支持部材群１３１に伝達する第一伝達部材１４３と、第一伝達部材１４３の動作を第一支持部材群１３１に属する支持部材１０３の出没動作に変換する第一変換手段１４４とを備えている。第二駆動手段１４２は同様に、第二駆動源（図示せず）と、第二駆動源の駆動力を第二支持部材群１３２に伝達する第二伝達部材１４５と、第二伝達部材１４５の動作を第二支持部材群１３２に属する支持部材１０３の出没動作に変換する第二変換手段１４６とを備えている。
【００７２】
図１３は、駆動手段の駆動源近傍を模式的に示す平面図である。
【００７３】
第一駆動源１５１は、第一支持部材群１３１に属する支持部材１０３をアーム１０１に対して出没させる駆動力を発生させる装置である。本実施の形態の場合、第一駆動源１５１は、アーム保持手段１９１に取り付けられた第一モータ（図示せず）を備えている。なお、同図中において第一駆動源１５１の回転駆動軌跡を一点鎖線の円で示している。
【００７４】
第二駆動源１５２は、第二支持部材群１３２に属する支持部材１０３をアーム１０１に対して出没させる駆動力を発生させる装置である。本実施の形態の場合、第二駆動源１５２は、アーム保持手段１９１に取り付けられた第二モータ（図示せず）を備えている。なお、同図中において第二駆動源１５２の回転駆動軌跡を一点鎖線の円で示している。
【００７５】
第一駆動手段１４１はさらに、第一モータの回転駆動力を、第一伝達部材１４３の延在方向（図中Ｙ軸方向）に第一伝達部材１４３が直動するように伝達する第一継手１５３と、第一伝達部材１４３の直動をガイドする第一ガイド１５５とを備えている。
【００７６】
第二駆動手段１４２はさらに、第二モータの回転駆動力を、第二伝達部材１４５の延在方向（図中Ｙ軸方向）に第二伝達部材１４５が直動するように伝達する第二継手１５４と、第二伝達部材１４５の直動をガイドする第二ガイド１５６とを備えている。
【００７７】
なお、これら第一駆動源１５１、第二駆動源１５２、第一継手１５３、第二継手１５４、第一ガイド１５５、第二ガイド１５６は、アーム１０１の基端部（アーム保持手段１９１で保持されている部分）近傍に配置されている。
【００７８】
第一伝達部材１４３、および、第二伝達部材１４５（これらを「伝達部材」と総称する場合がある）は、支持部材１０３の並びに沿って配置される長尺棒状の部材である。本実施の形態の場合、伝達部材は、アーム１０１の基端部から先端部にわたって延在する中空の金属製のパイプであり、第一伝達部材１４３は、支持部材１０３の一方の側方に配置され、第二伝達部材１４５は支持部材１０３の他方の側方に配置されている。当該伝達部材は、間接的にアーム１０１と接続されており、アーム１０１の機械的強度の向上に寄与している。
【００７９】
第一変換手段１４４、および、第二変換手段１４６（これらを「変換手段」と総称する場合がある）は、伝達部材の延在方向（図中Ｙ軸方向）の直動を第一支持部材群１３１に属するそれぞれの支持部材１０３の出没動作（図中Ｚ軸方向）に変換する機構である。
【００８０】
本実施の形態の場合、図１１に示すように、変換手段はリンク機構である。具体的には、支持部材１０３の基端部は、アーム１０１の幅方向（図中Ｘ軸方向）に延びる回動軸体１６１で回転揺動するようにアーム１０１に軸支されている。変換手段は、リンク１４７を備え、リンク１４７の一端は、支持部材１０３の中間部と関節で接続されている。一方、リンク１４７の他端は、伝達部材の中間部と関節で接続されている。
【００８１】
また、複数の第一変換手段１４４は、第一支持部材群１３１に属する複数の支持部材１０３と第一伝達部材１４３との間をそれぞれ接続し、複数の第二変換手段１４６は、第二支持部材群１３２に属する複数の支持部材１０３と第二伝達部材１４５との間をそれぞれ接続している。
【００８２】
以上により、第一変換手段１４４は、伝達部材の直動を支持部材１０３の回転揺動に変換し、第一支持部材群１３１に属する支持部材１０３をアーム１０１に対して一度に出没させることができるものとなっている。第二変換手段１４６も同様である。
【００８３】
なお、変換手段はリンク機構に限定されるわけではなく、カム機構を備えていてもかまわない。
【００８４】
以上のように、本実施の形態の場合、支持部材１０３は、アーム１０１の長手方向に沿って一列に並んでいる。また、支持部材１０３は、アーム１０１の幅方向の中央に配置されている。さらに、支持部材１０３は、アーム１０１の幅方向の中央を通過しアーム１０１の長手方向に沿って垂直に広がる垂直面に沿って回転揺動することにより出没するものとなっているため、第一支持部材群１３１と第二支持部材群１３２とを交互に出没させる場合でも、アーム１０１がねじれるような振動を抑制することが可能となる。
【００８５】
さらに、支持部材１０３は、アーム１０１の重心を通る水平面、またはその近傍の水平面を通過するように出没するため、支持部材１０３を出没させることによって発生するアーム１０１の上下方向の振動を抑制することが可能となる。
【００８６】
また、アーム１０１の長手方向に延在する伝達部材の前記長手方向の直動に基づき支持部材１０３を出没させるため、アーム１０１の振動の発生を抑制することが可能となる。
【００８７】
なお本実施の形態の場合、支持部材１０３は、ベースプレート１１０に直接軸支されているのではなく、ベースプレート１１０に貼り付けられた補助プレート１１６を介してベースプレート１１０に取り付けられている。これは、ベースプレート１１０がＣＦＲＰからなるものであり、ＣＦＲＰの加工性が悪いため、加工性の高い金属製の補助プレート１１６に支持部材１０３や、駆動手段などを取り付け、当該補助プレート１１６を接着剤によりベースプレート１１０に取り付けることで生産性を向上させている。従って、補助プレート１１６を介さず支持部材１０３や、駆動手段などを直接ベースプレート１１０に取り付けてもかまわない。
【００８８】
制御部は、第一駆動手段１４１、および、第二駆動手段１４２を制御する装置である。本実施の形態の場合のように駆動源がサーボモータを備えている場合、制御部は、サーボモータの回転を制御することにより駆動手段を制御する。これにより、支持部材１０３の出没を精密に制御することが可能となる。例えば、支持部材１０３の上下方向（図中Ｚ軸方向）の単位時間当たりの変位、特に、基板３００に当接する際の支持部材１０３の単位時間当たりの変位が、回転運動を単に直線運動に機械的に変換した場合のサインカーブよりも緩やかになるように制御して、支持部材１０３が基板に当接する際の衝撃を可及的に弱めることが可能となる。
【００８９】
また、制御部は、第一支持部材群１３１を出没動作させた際に発生するアーム１０１の振動を打ち消すように、さらに第一支持部材群１３１を動作させる制御を行ってもよい。具体的には図１４に示すように、第一支持部材群１３１を支持位置Ｔに進出させると（同図中実線）、アーム１０１は定常位置（振動していない静止位置）から下がる方向に撓む（同図中破線）。その後アーム１０１は復元力により定常位置から上昇する方向に撓もうとする。このタイミングに合わせて第一支持部材群１３１を回避位置Ｂに没入させる制御を制御部が行うことにより、アーム１０１が定常位置から上昇する方向に撓もうとする力を相殺することが可能となる。以上によりアーム１０１の振動を制御部の制御により抑制することが可能となる。
【００９０】
また制御部は、第一支持部材群１３１を出没動作させた際に発生するアーム１０１の振動を打ち消すように、第二支持部材群１３２を動作させる制御を行ってもよい。具体的には図１５に示すように、第一支持部材群１３１を支持位置Ｔに進出させると、アーム１０１は定常位置（振動していない静止位置）から下がる方向に撓む。このアーム１０１の撓みの発生タイミングに合わせて既に支持位置Ｔに進出していた第二支持部材群１３２を回避位置Ｂに没入させる制御を制御部が行うことにより、アーム１０１が定常位置から下降する方向に撓もうとする力を相殺することが可能となる。以上によりアーム１０１の振動を制御部の制御により抑制することが可能となる。
【００９１】
なお、制御部は、アーム１０１に取り付けられているセンサ（例えば変位センサや加速度センサなど）によりアーム１０１の振動状態を検出し、当該検出結果に基づいて駆動手段を制御しても良い。また、制御部は、事前にアーム１０１の振動の傾向を取得し、これに対応したデータに基づき駆動手段を制御してもかまわない。
【００９２】
なお、本願発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、本明細書において記載した構成要素を任意に組み合わせて、また、構成要素のいくつかを除外して実現される別の実施の形態を本願発明の実施の形態としてもよい。また、上記実施の形態に対して本願発明の主旨、すなわち、請求の範囲に記載される文言が示す意味を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例も本願発明に含まれる。
【００９３】
例えば、移載装置１００は、固有振動数が異なる複数本のアーム１０１を備えてもかまわない。具体的には、アーム１０１の重量、および、アーム１０１の形状の少なくとも一方を異ならせることによりアームの固有振動数を異ならせることができる。
【００９４】
これにより、複数のアーム１０１が共振して大きな振動が発生することを抑制できる。
【００９５】
また、伝達部材を支持部材１０３の両側方にそれぞれ配置したが、伝達部材を支持部材１０３の回動する面内に上下に配置してもかまわない。
【産業上の利用可能性】
【００９６】
本願発明は、ワイヤカセットに対して基板を出し入れする移載装置に利用可能である。
【符号の説明】
【００９７】
１００  移載装置
１０１  アーム
１０３  支持部材
１１０  ベースプレート
１１１  第一補強部材
１１２  第二補強部材
１１３  ベースリブ
１１４  中空部
１１５  トップリブ
１１６  補助プレート
１１７  加熱源
１１８  第一ベースプレート
１１９  第二ベースプレート
１２１  第一トッププレート
１２２  第二トッププレート
１３１  第一支持部材群
１３２  第二支持部材群
１３３  弾性部材
１４１  第一駆動手段
１４２  第二駆動手段
１４３  第一伝達部材
１４４  第一変換手段
１４５  第二伝達部材
１４６  第二変換手段
１４７  リンク
１５１  第一駆動源
１５２  第二駆動源
１５３  第一継手
１５４  第二継手
１５５  第一ガイド
１５６  第二ガイド
１６１  回動軸体
１９１  アーム保持手段
１９２  アーム昇降手段
１９３  アーム移動手段
１９４  軌条
２００  ワイヤカセット
２０１  ワイヤ
２０２  枠体
３００  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2015103534.tif 000010
【図９】
2015103534.tif 000011
【図１０】
2015103534.tif 000012
【図１１】
2015103534.tif 000013
【図１２】
2015103534.tif 000014
【図１３】
2015103534.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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