(57)【要約】【課題】  リニアスケールに対してエンコーダを正確に位置合わせすること、及びエンコーダを用いる設備の製造生産性及び作業効率を改善すること。【解決手段】  エンコーダ位置合わせ装置１００を、可動ユニットに結合された第１の支持部材２００と、弾性部材によって第１の支持部材２００に結合され、リニアスケールＬＳに面するエンコーダＥＨを備えた第２の支持部材３００と、エンコーダＥＨをリニアスケールＬＳに対して正確に位置合わせするよう第１の支持部材２００と第２の支持部材３００の間の距離及び角度を調整するために第２の支持部材３００に接触するよう第１の支持部材２００を貫通する調整部材４００，４００’４００”とを含んで構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースに沿って移動する可動ユニットに結合された第１の支持部材と、
弾性部材によって前記第１の支持部材に結合され、前記ベースに取り付けられたリニアスケールに面するエンコーダを備えた第２の支持部材と、
前記エンコーダを前記リニアスケールに対して正確に位置合わせするよう前記第１の支持部材と前記第２の支持部材の間の距離及び角度を調整するために前記第２の支持部材に接触するよう前記第１の支持部材を貫通する調整部材と
を含むことを特徴とするエンコーダ位置合わせ装置。
【請求項２】
前記調整部材及び前記弾性部材が複数設けられていることを特徴とする請求項１記載のエンコーダ位置合わせ装置。
【請求項３】
前記調整部材が少なくとも３つ設けられていることを特徴とする請求項２記載のエンコーダ位置合わせ装置。
【請求項４】
前記弾性部材が前記各調整部材の間に配置されていることを特徴とする請求項３記載のエンコーダ位置合わせ装置。
【請求項５】
前記調整部材のうち少なくともいくつかが、互いに直角を形成するよう配置されていることを特徴とする請求項３記載のエンコーダ位置合わせ装置。
【請求項６】
前記調整部材に接触する、前記第２の支持部材のうち少なくとも２つの点が、接触溝を有するよう形成されていることを特徴とする請求項３記載のエンコーダ位置合わせ装置。
【請求項７】
前記接触溝のうち１つが逆コーン型状に形成され、前記接触溝のうち他方が逆四辺形の角すい状（ｉｎｖｅｒｔｅｄ  ｑｕａｄｒａｎｇｕｌａｒ  ｐｙｒａｍｉｄ）に形成されていることを特徴とする請求項６記載のエンコーダ位置合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンコーダ位置合わせ装置に関するものであり、より詳細には、エンコーダをリニアスケールに対して容易かつ正確に位置合わせするためのエンコーダ位置合わせ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
エンコーダは、ステージのベースに沿って移動する搬送ユニットの移動位置又は距離を測定するために用いられるよう、オートメーションシステム、半導体製造装置、ディスプレイ装置製造などのステージに設けられる。
【０００３】
エンコーダは、搬送ユニットに沿って移動するよう搬送ユニットに結合されている。エンコーダは、リニアスケールを電磁式に読み取るために、当該ベースに設けられたリニアスケールを有するベースに接触することなく移動する。したがって、エンコーダは、搬送ユニットの移動位置及び距離を測定する。
【０００４】
一方、エンコーダがリニアスケールに対して正確に位置合わせされていれば、エンコーダによる移動位置又は移動距離の測定は誤りがない。なぜなら、エンコーダがリニアスケールを正確に読み取ることができるためである。
【０００５】
しかしながら、エンコーダがリニアスケールに対して正確に位置合わせされていなければ、エンコーダによる移動位置又は移動距離の測定は誤りである。なぜなら、エンコーダがリニアスケールを正確に読み取ることができないためである。
【０００６】
従来、エンコーダをリニアスケールに対して正確に位置合わせする構造は存在しなかった。それゆえ、リニアスケールに対してエンコーダを正確に位置合わせすることが困難であり、動作中にリニアスケールに対するエンコーダの位置ずれに気づいても、これを修正することも困難であった。
【０００７】
したがって、オートメーションシステム、半導体製造装置又はディスプレイ製造のようなエンコーダを用いる設備による作業時に生産性が低下していた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上述の従来の問題のうち少なくとも１つを解決するためになされたものである。
【０００９】
本発明の１つの課題は、リニアスケールに対してエンコーダを正確に位置合わせすることにある。
【００１０】
本発明のもう１つの課題は、エンコーダを用いる設備の製造生産性及び作業効率を改善することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の１つの実施例によるエンコーダ位置合わせ装置は、上記課題のうち少なくとも１つを解決するために以下の特徴を含んでいる。
【００１２】
本発明の一実施例によるエンコーダ位置合わせ装置は、ベースに沿って移動する可動ユニットに結合された第１の支持部材と、弾性部材によって前記第１の支持部材に結合され、前記ベースに取り付けられたリニアスケールに面するエンコーダを備えた第２の支持部材と、前記エンコーダを前記リニアスケールに対して正確に位置合わせするよう前記第１の支持部材と前記第２の支持部材の間の距離及び角度を調整するために前記第２の支持部材に接触するよう前記第１の支持部材を貫通する調整部材とを含んでいる。
【００１３】
この場合、前記調整部材及び前記弾性部材を複数設けることができる。
【００１４】
加えて、前記調整部材を少なくとも３つ設けることが可能である。
【００１５】
また、前記弾性部材を前記各調整部材の間に配置することが可能である。
【００１６】
加えて、前記調整部材のうち少なくともいくつかを、互いに直角を形成するよう配置することができる。
【００１７】
また、前記調整部材に接触する、前記第２の支持部材のうち少なくとも２つの点を、接触溝を有するよう形成することが可能である。
【００１８】
加えて、前記接触溝のうち１つを逆コーン（逆円すい）型状（ｉｎｖｅｒｔｅｄ  ｃｏｎｅ）に形成し、前記接触溝のうち他方を逆四辺形の角すい状（ｉｎｖｅｒｔｅｄ  ｑｕａｄｒａｎｇｕｌａｒ  ｐｙｒａｍｉｄ）に形成することができる。
【発明の効果】
【００１９】
上述のように、本発明の一実施例は、可動ユニットに結合された第１の支持部材と、エンコーダを備え、前記第１の支持部材に結合された第２の支持部材と、前記エンコーダを前記リニアスケールに対して正確に位置合わせするよう前記第１の支持部材と前記第２の支持部材の間の距離及び角度を調整するために前記第２の支持部材に接触するよう前記第１の支持部材を貫通する調整部材とを含んでいる。
【００２０】
加えて、本発明の一実施例は、エンコーダを用いる設備の製造生産性及び作業効率を改善するものである。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施例によるエンコーダ位置合わせ装置の斜視図である。
【図２】本発明の一実施例によるエンコーダ位置合わせ装置の分解図である。
【図３】図１のＡ−Ａ’線に沿った断面図である。
【図４】図１のＢ−Ｂ’線に沿った断面図である。
【図５】本発明の一実施例によるエンコーダ位置合わせ装置の動作を示す斜視図である。
【図６】本発明の一実施例によるエンコーダ位置合わせ装置の動作を示す斜視図である。
【図７】本発明の一実施例によるエンコーダ位置合わせ装置の動作を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下では、本発明の実施の形態によるエンコーダ位置合わせ装置の詳細な説明から本発明の特徴がより明確に理解される。
【００２３】
以下では、本発明の技術的な特徴が本発明の理解に最も適した実施例に関して記述される、記述される実施例は、本発明の技術的な特徴を制限するものではなく、単に本発明の例示のためのものである。それゆえ、本発明の技術的な範囲内において本発明が実施例を通して様々に修正されることが可能であることに留意すべきである。加えて、実施例の理解の補助となる添付図面では、各実施例において同一の機能を備えた部材には同一の参照番号が付されている。
【００２４】
図１は本発明の一実施例によるエンコーダ位置合わせ装置の斜視図であり、図２は本発明の一実施例によるエンコーダ位置合わせ装置の分解図である。図３は図１のＡ−Ａ’線に沿った断面図であり、図４は図１のＢ−Ｂ’線に沿った断面図である。図５〜図７は、本発明の一実施例によるエンコーダ位置合わせ装置の動作を示す斜視図である。
【００２５】
本発明の一実施例によるエンコーダ位置合わせ装置の１００は、図１及び図２に示すように、第１の支持部材２００と、第２の支持部材３００と、調整部材４００，４００’，４００”とを備えている。
【００２６】
第１の支持部材２００は、ベース（不図示）に沿って移動する可動ユニット（不図示）に結合されている。したがって、第１の支持部材２００は可動ユニットに沿って移動する。
【００２７】
このために、図１及び図２に示されているように、第１の支持部材２００がほぼ逆Ｌ字型の断面を有している。後述のように、第１の支持部材２００の垂直部分は、弾力部材５００によって第２の支持部材３００に結合されている。また、第１の支持部材２００の水平部分は、可動ユニットに結合されている。
【００２８】
しかし、第１の支持部材２００の形状は、特に規定されているのではなく、第２の支持部材３００に結合され得る部分と可動ユニットに結合され得る他の部分が提供されるようないかなる形状を有していてもよい。
【００２９】
第１の支持部材２００に結合される可動ユニットと、可動ユニットが沿って移動するベースとは、例えばＸＹステージ内に包含され得る。しかし、可動ユニット及びベースは、特に規定されておらず、可動ユニットがベースに沿って移動可能なものであればどのような従来のものでもよい。
【００３０】
図１〜図３に示すように、第１の支持部材２００は、貫通孔２１０を備えている。後述のように、調整部材４００，４００’，４００”は、第１の支持部材２００の貫通孔２１０に挿入されている。
【００３１】
後述のように、本発明の一実施例によるエンコーダ位置合わせ装置１００は３つの調整部材４００，４００’，４００”を備えており、これに対応して、３つの貫通孔２１０が第１の支持部材２００に形成されている。
【００３２】
しかし、第１の支持部材２００に形成される貫通孔２００の数は、特に規定されておらず、調整部材４００，４００’，４００”の数に従って規定される。
【００３３】
また、図１〜図３に示すように、第１の支持部材２００は、結合孔２２０を備えている。この結合孔２００は、第２の支持部材３００を第１の支持部材２００へ結合するための弾性部材５００の一端を受けるものとなっている。
【００３４】
本発明の一実施例によるエンコーダ位置合わせ装置１００は、第２の支持部材３００を第１の支持部材２００へ結合するために４つの弾性部材５００を含んでおり、したがって、図３に示すように、第１の支持部材２００は４つの結合孔２２０を備えている。
【００３５】
しかし、支持部材２００に形成される結合孔２２０の数は、特に規定されておらず、弾性部材５００の数に従って規定される。
【００３６】
また、弾性部材５００の数も、特に規定されておらず、例えば上述のように４つなど、いくつでもよい。
【００３７】
図３に示すように、結合孔２２０は、各貫通孔２１０の間に形成され得る。これは、後述のように、エンコーダ位置合わせ装置（１００）の本実施例における各調整部材４００，４００’，４００”の間に弾性部材５００が配置されるためである。
【００３８】
弾性部材５００の一端を受ける第１の支持部材２００の結合孔２２０が、隣接する各調整部材４００，４００’，４００”間で弾性部材５００を位置決めするために調整部材４００，４００’，４００”を通すための第１の支持部材２００の各貫通孔２１０の間に形成されている。
【００３９】
しかし、第１の支持部材２００の結合孔２２０の位置は、特に規定されておらず、第２の支持部材３００を第１の支持部材２００に結合するために弾性部材５００の一方側が挿入され位置であればよい。
【００４０】
図３に示し、後述するように、第１の支持部材２００の結合孔２２０に挿入された弾性部材５００の一方側に固定部材５１０が挿入されている。加えて、固定部材５１０は、第１の支持部材２００に固定して設けられている。固定部材５１０を第１の支持部材２００に固定して設けるための構造は、特に規定されておらず、逆コ字状の部材（不図示）のような固定部材を第１の支持部材２００に固定して設けることが可能な構造であればよい。
【００４１】
したがって、第１の支持部材２００の結合孔２２０内に挿入された弾性部材５００の一端が結合孔２２０からの脱落が回避されるようになっている。
【００４２】
第２の支持部材３００は、ベースに設けられたリニアスケールＬＳに面するようエンコーダＥＨを備えている。
【００４３】
第２の支持部材３００にエンコーダＥＨを設けるための構造は、特に規定されておらず、第２の支持部材３００にエンコーダＥＨを設けることが可能な、第２の支持部材３００へのエンコーダＥＨの結合のための結合ブラケット（不図示）のような従来のいかなる構造でもよい。
【００４４】
また、エンコーダＥＨの構造は、特に規定されておらず、第２の支持部材３００にエンコーダＥＨを設けられ得る従来のいかなる構造でもよい。加えて、リニアスケールＬＳは、特に規定されていないが、第２の支持部材３００に設けられたエンコーダＥＨが当該リニアスケールＬＳを電磁式に読み取ることができる従来のいかなるものでもよい。
【００４５】
第２の支持部材３００は、弾性部材５００によって第１の支持要素２００に結合されている。このために、第２の支持部材３００は、第１の支持部材２００のような結合孔３３０を備えている。
【００４６】
第２の支持部材３００の結合孔３３０は、第１の支持部材２００の結合孔２２０へ挿入された一方側を有する弾性部材５００の他方側を受けるものとなっている。本発明の本実施例では、エンコーダ位置合わせ装置１００は、第１の支持部材２００への第２の支持部材３００の結合のために４つの弾性部材５００を含んでおり、したがって、４つの結合孔３３０が第２の支持部材３００に形成されている。
【００４７】
しかし、第２の結合部材３００に形成された結合孔３３０の数は、特に規定されておらず、弾性部材５００の数に対応する数であればどのような数でもよい。
【００４８】
第２の支持部材３００の結合孔３３０は、第１の支持部材２００の結合孔２２０に面するように形成されている。本実施例のエンコーダ位置合わせ装置１００では、第１の支持部材２００の結合孔２２０が第１の支持部材２００の各貫通孔２１０間に形成されているため、第２の支持部材３００の結合孔３３０も、第１の支持部材２００の各貫通孔２１０間の位置に対応して位置決めされている。
【００４９】
しかし、第２の支持部材３００の結合孔３３０の位置は、特に規定されておらず、第２の支持部材３００が第１の支持部材２００へ結合されるように弾性部材５００の他方側が挿入される位置であればよい。
【００５０】
固定部材５１０も、第１の支持部材２００の結合孔２２０に弾性部材５００の一方側が挿入されるように、第２の支持部材３００の結合孔３３０に挿入された弾性部材５００の他端側へ挿入されることができる。
【００５１】
したがって、第２の支持部材３００の結合孔３３０に挿入された弾性部材５００の他端側は、結合孔３３０から外側へ離脱することができない。
【００５２】
それゆえ、弾性部材５００の一方側は第１の支持部材２００の結合孔２２０に挿入され、弾性部材５００の他方側は第２の支持部材３００の結合孔３３０に挿入される。その結果、第２の支持部材３００が、弾性部材５００の両端を固定する固定部材５１０によって第１の支持部材２００に結合される。
【００５３】
すなわち、第２の支持部材３００は、弾性部材５００によって弾性的に結合され得る。
【００５４】
一方、第２の支持部材３００も、接触溝３１０，３２０を備えることができる。これら接触溝３１０，３２０は、後述のように、調整部材４００，４００’，４００”と接触する第２の支持部材３００の点のうち少なくとも２つにおいて形成され得る。
【００５５】
本実施例においては、エンコーダ位置合わせ装置１００は、３つの調整部材４００，４００’，４００”を含んでいる。すなわち、このエンコーダ位置合わせ装置は、第１の調整部材４００と、第２の調整部材４００’と、第３の調整部材４００”とを含んでいる。加えて、第２の支持部材３００は、２つの接触溝３１０，３２０を備えることができる。すなわち、図４に示すように、第２の支持部材は、第１の接触溝３１０と、第２の接触溝３２０とを有している。
【００５６】
第２の支持部材３００の２つの接触溝３１０，３２０において、第１の接触溝３１０は、第１の調整部材４００の位置に応じて位置決めされ得る。すなわち、第１の調整部材４００が３つの調整部材４００，４００’，４００”の中心に位置決めされているため、図４に示すように、第１の接触溝３１０が第２の支持部材３００における対応する位置に形成されている。
【００５７】
第１の調整部材４００は、第２の支持部材３００の第１の接触溝３１０と接触するために、第１の支持部材２００の貫通孔２１０を貫通している。
【００５８】
接触溝３１０は、ほぼ逆コーン（逆円すい）型に形成され得る。これにより、第１の調整部材４００が第１の接触溝３１０に接触すれば、図１に示すように、第２の支持部材３００は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向には移動できないもののＸ軸方向には移動可能である。また、第２の支持部材３００は、Ｘ軸周りに回転することはできないものの、Ｙ軸周り及びＺ軸周りには回転可能である。
【００５９】
第２の接触溝３２０は、第２の調整部材４００’の位置に合わせて位置決めされ得る。すなわち、第２の調整部材４００’が垂直方向に第１の調整部材４００から所定の距離において位置決めされているため、第２の接触溝３２０は第２の支持部材３００における対応する位置に形成されている。
【００６０】
また、第２の調整部材４００’は、第２の支持部材３００の第２の接触溝３２０と接触するために、第１の支持部材２００の対応する貫通孔２１０を貫通している。
【００６１】
第２の接触溝３２０は、ほぼ逆四辺形の角すい状（ｉｎｔｅｒｔｅｄ  ｑｕａｄｒａｎｇｕｌａｒ  ｐｙｒａｍｉｄ）に形成され得る。加えて、第２の接触溝３２０は、図４に示すように、Ｚ軸と平行である。したがって、第２の調整部材４００’が第２の接触溝３２０に接触すれば、図１に示すように、第２の支持部材３００は、Ｙ軸方向へは移動できないものの、Ｘ軸方向及びＺ軸方向には移動可能である。また、第２の支持部材３００は、Ｘ軸周りには回転できないものの、Ｙ軸周り及びＺ軸周りには回転可能である。
【００６２】
したがって、第１の調整部材４００及び第２の調整部材４００’がそれぞれ第１の接触溝３１０及び第２の接触溝３２０に接触すれば、第２の支持部材３００はＹ軸方向及びＺ軸方向には移動できないものの、Ｘ軸方向には移動可能である。また、第２の支持部材３００は、Ｘ軸周りには回転できないものの、Ｙ軸周り及びＺ軸周りには回転可能である。
【００６３】
調整部材４００，４００’，４００”は、第１の支持部材２００を貫通し、すなわち第２の支持部材３００に結合するための第１の支持部材２００の貫通孔２１０を貫通する。これにより、弾性部材５００によって結合された第１の支持部材２００と第２の支持部材３００の間の距離及び角度を所定の値に保持することが可能である。
【００６４】
また、図５〜図７に示すように、調整要素４００，４００’，４００”により、第１の支持部材２００と第２の支持部材３００の間の距離及び角度を調整することが可能である。
【００６５】
それゆえ、第２の支持部材３００に設けられたエンコーダＥＨをリニアスケールＬＳに対して正確かつ容易に位置合わせすることが可能である。また、これにより、本発明の一実施例に基づくエンコーダ位置合わせ装置１００を用いる、オートメーションシステム、半導体製造装置又はディスプレイ製造装置のような設備の製造生産性及び作業効率が改善される。
【００６６】
調整部材４００，４００’，４００”はネジであってよい。つまり、調整部材４００，４００’，４００”は、時計回りに回転して前進するか、反時計回りに回転して後進するネジであってよい。
【００６７】
しかし、調整部材４００，４００’，４００”は、特に規定されておらず、第１の支持部材２００と第２の支持部材３００の間の距離及び角度を調整するよう第２の支持部材３００に接触するために第１の支持部材２００を貫通することが可能な従来のいかなるものでもよい。
【００６８】
調整部材４００，４００’，４００”は複数であってもよい。また、調整部材４００，４００’，４００”の数は、少なくとも３つであり得る。それゆえ、調整部材４００，４００’，４００”が直線において位置合わせされていない限り、調整部材４００，４００’，４００”の端部を結ぶ仮想の線が１つの表面を形成している。調整部材４００，４００’，４００”が貫通する第１の支持部材２００と、調整部材４００，４００’，４００”が接触する第２の支持部材３００とは、調整部材４００，４００’，４００”によってこれらの間の所定の距離及び所定の角度が保持される。
【００６９】
互いに直角を形成するよう、調整部材４００，４００’，４００”のうち少なくともいくつかが配置されている。例えば、図３及び図４に示すように、調整部材４００，４００’，４００”は、第１の調整部材４００、第２の調整部材４００’及び第３の調整部材４００”の３つである。加えて、第１の調整部材４００は、第２の調整部材４００’及び第３の調整部材４００”によって直角を形成するために、第２の調整部材４００’と第３の調整部材４００”の間に配置されている。
【００７０】
しかし、調整部材４００，４００’，４００”の数及び配置は、特に規定されておらず、数が３つ以上であり、これらのうち少なくともいくつかが互いに直角を形成するよう配置されていれば、どのような数及び配置でもよい。
【００７１】
図３及び図４に示すように、調整部材４００，４００’，４００”が第１の調整部材４００、第２の調整部材４００’及び第３の調整部材４００”の３つであれば、第１の調整部材４００が、第２の支持部材３００の第１の接触溝３１０と接触するために、第１の支持部材２００の対応する貫通孔２１０を貫通する。
【００７２】
また、第２の調整部材４００’は、第２の支持部材３００の第２の接触溝３２０と接触するために、第２の支持部材２００の対応する貫通孔２１０を貫通する。
【００７３】
また、第３の調整部材４００”は、第２の支持部材３００の表面に接触するために、第１の支持部材２００の対応する貫通孔２１０を貫通する。
【００７４】
それゆえ、上述のように、弾性部材５００によって結合された第１の支持部材２００と第２の支持部材３００の間の距離及び角度が所定の値に保持され得る。
【００７５】
この状態で、図５に示すように、第１の調整部材４００、第２の調整部材４００’及び第３の調整部材４００”全てが同方向へ回転することで（例えば時計回り又は反時計回り）、第１の調整部材４００、第２の調整部材４００’及び第３の調整部材４００”が同方向へ移動する。
【００７６】
したがって、第２の支持部材３００は、Ｘ軸方向へ移動することが可能である。
【００７７】
それゆえ、第１の支持部材２００と第２の支持部材３００の間の距離は、第２の支持部材３００に設けられたエンコーダＥＨとリニアスケールＬＳの間の距離を調整するよう調整され得る。
【００７８】
また、図６に示すように、第１の調整部材４００及び第２の調整部材４００’が一方向へ回転し、第３の調整部材４００”が他の方向へ回転すれば、第１の調整部材４００及び第２の調整部材４００’は同方向へ移動し、第３の調整部材４００”は逆方向へ移動する。
【００７９】
したがって、第１の支持部材２００と第２の支持部材３００の間の角度は、第２の支持部材３００に設けられたエンコーダＥＨとリニアスケールＬＳの間の角度を調整するよう調整され得る。
【００８０】
また、図７に示すように、第１の調整部材４００及び第３の調整部材４００”が一方向へ回転し、第２の調整部材４００’が他の方向へ回転すれば、第１の調整部材４００及び第３の調整部材４００”は同方向へ移動し、第２の調整部材４００’は逆方向へ移動する。
【００８１】
その結果、第２の支持部材３００は、図７に示すように、Ｙ軸周りに回転することができる。
【００８２】
したがって、第１の支持部材２００と第２の支持部材３００の間の角度は、第２の支持部材３００に設けられたエンコーダＥＨとリニアスケールＬＳの間の角度を調整するよう調整され得る。
【００８３】
したがって、第１の調整部材４００、第２の調整部材４００’及び第３の調整部材４００”によって、第２の支持部材３００に設けられたエンコーダＥＨをリニアスケールＬＳに対して正確かつ容易に調整するよう、第１の支持部材２００と第２の支持部材３００の間の距離及び角度を調整することが可能である。
【００８４】
また、エンコーダＥＨは、エラーなしにリニアスケールＬＳを電磁式に読み取ることが可能である。
【００８５】
上述のように、本発明によるエンコーダ位置合わせ装置により、リニアスケールに対してエンコーダを正確に位置合わせすることが可能であり、それゆえ、エンコーダを用いる設備の製造生産性及び作業効率が向上する。
【００８６】
上述のエンコーダ位置合わせ装置は前述の実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない組合せによって様々な修正を行えるよう、実施例は全て又は部分的に選択し得る。
【符号の説明】
【００８７】
１００            エンコーダ位置合わせ装置
２００            第１の支持部材
２１０            貫通孔
２２０，３３０    結合孔
３００            第２の支持部材
３１０            第１の接触溝
３２０            第２の接触溝
４００            第１の調整部材
４００’          第２の調整部材
４００”          第３の調整部材
５００            弾性部材
５１０            固定部材
ＬＳ              リニアスケール
ＥＨ              エンコーダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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