(57)【要約】【課題】マスクのクリーニング或いはマスクの目詰まり検査を行った場合でもスクリーン印刷作業の開始が遅延せず、基板の生産性の低下を防止することができるスクリーン印刷機を提供することを目的とする。【解決手段】基板２と離間した状態のマスク２１を下方から撮像するマスク撮像カメラ２９、マスク２１と離間した状態の基板２を上方から撮像する基板撮像カメラ３１、基板２と離間した状態のマスク２１の下面を摺動してマスク２１のクリーニングを行うマスククリーナ３３を備える。マスク撮像カメラ２９とマスククリーナ３３はマスク２１の下方を水平移動する第１移動ビーム２５に取り付けられ、基板撮像カメラ３１は第１移動ビーム２５よりも下方を第１移動ビーム２５とは独立して水平移動する第２移動ビーム２７に取り付けられる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上面に接触させたマスク上でスキージを摺動させてペーストを前記基板に転写させた後、前記マスクから前記基板を離間させて前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機であって、
前記基板と離間した状態の前記マスクを下方から撮像するマスク撮像カメラと、
前記マスクと離間した状態の基板を上方から撮像する基板撮像カメラと、
前記基板と離間した状態の前記マスクの下面を摺動して前記マスクのクリーニングを行うマスククリーナとを備え、
前記マスク撮像カメラと前記マスククリーナは前記マスクの下方を水平移動する第１移動体に取り付けられており、
前記基板撮像カメラは前記第１移動体よりも下方を前記第１移動体とは独立して水平移動する第２移動体に取り付けられていることを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記第１移動体と前記第２移動体を互いに独立して移動させることにより、前記基板撮像カメラによる前記基板の撮像と前記マスククリーナによる前記マスクのクリーニング又は前記基板撮像カメラによる前記基板の撮像と前記マスク撮像カメラによる前記マスクの撮像を並行して行うことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
前記基板撮像カメラによる前記基板の撮像には前記基板に印刷されたペーストの検査のための撮像が含まれることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を接触させたマスク上でスキージを摺動させて基板にペーストを転写させるスクリーン印刷機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機は、基板の上面に接触させたマスク上でスキージを摺動させてペーストを基板に転写させた後、マスクから基板を離間（版離れ）させて基板にペーストを印刷する。このようなスクリーン印刷機は、基板と離間した状態のマスクを下方から撮像するマスク撮像カメラと、マスクと離間した状態の基板を上方から撮像する基板撮像カメラを備えるほか、基板と離間した状態のマスクの下面を摺動してマスクのクリーニングを行うマスククリーナを備えている。マスク撮像カメラはマスクの最初の設置時にマスクの位置を認識するためにマスクに設けられたマーク（マスク側マーク）を撮像し、版離れの後はマスクのパターン孔のペーストの目詰まり状態を認識するためにマスクの下面全体を撮像する。基板撮像カメラは、マスクの下方に搬入された基板の位置を認識するために基板に設けられたマーク（基板側マークを）撮像し、マスククリーナは、版離れの後、マスクの下面を摺動してマスクに付着したペーストを拭き取る。
【０００３】
このようなスクリーン印刷機では、通常、マスク撮像カメラと基板撮像カメラはひとつのカメラユニットとしてマスクの下方を水平移動する移動体に取り付けられており、マスククリーナはカメラユニットを移動させる上記移動体によって移動される（例えば、特許文献１参照）。スクリーン印刷機は、基板を新しく搬入するごとに基板側マークの撮像に基づく基板の位置の認識を行い、マスクの最初の設置時に認識したマスクの位置との関係に基づいて基板をマスクに接触させる。マスククリーナによるマスクのクリーニングは数回のスクリーン印刷が終わるごとに実行されるが、ファインピッチタイプの基板についてはスクリーン印刷を１回行うごとに実行する場合もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１０２４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のようにマスククリーナをカメラユニットとともに移動させる構成では、新たに搬入した基板の位置の認識はマスクのクリーニング作業が終了するのを待って行う必要があり、その分、スクリーン印刷作業の開始が遅延してスクリーン印刷機全体としての基板の生産性が低下するおそれがあるという問題点があった。また、マスク撮像カメラによるマスクの目詰まり検査を行っている間は基板撮像カメラによる基板の位置の認識を行うことができないことから、マスクの目詰まり検査を行う場合にも同様の問題が生じていた。
【０００６】
そこで本発明は、マスクのクリーニング或いはマスクの目詰まり検査を行った場合でもスクリーン印刷作業の開始が遅延せず、基板の生産性の低下を防止することができるスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板の上面に接触させたマスク上でスキージを摺動させてペーストを前記基板に転写させた後、前記マスクから前記基板を離間させて前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機であって、前記基板と離間した状態の前記マスクを下方から撮像するマスク撮像カメラと、前記マスクと離間した状態の基板を上方から撮像する基板撮像カメラと、前記基板と離間した状態の前記マスクの下面を摺動して前記マスクのクリーニングを行うマスククリーナとを備え、前記マスク撮像カメラと前記マスククリーナは前記マスクの下方を水平移動する第１移動体に取り付けられており、前記基板撮像カメラは前記第１移動体よりも下方を前記第１移動体とは独立して水平移動する第２移動体に取り付けられている。
【０００８】
請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、前記第１移動体と前記第２移動体を互いに独立して移動させることにより、前記基板撮像カメラによる前記基板の撮像と前記マスククリーナによる前記マスクのクリーニング又は前記基板撮像カメラによる前記基板の撮像と前記マスク撮像カメラによる前記マスクの撮像を並行して行う。
【０００９】
請求項３に記載のスクリーン印刷機は、請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機であって、前記基板撮像カメラによる前記基板の撮像には前記基板に印刷されたペーストの検査のための撮像が含まれる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、マスク撮像カメラとマスククリーナはマスクの下方を水平移動する第１移動体に取り付けられる一方、基板撮像カメラは第１移動体よりも下方を第１移動体とは独立して水平移動する第２移動体に取り付けられており、第１移動体と第２移動体を互いに独立して移動させることができるので、基板撮像カメラによる基板の撮像とマスククリーナによるマスクのクリーニング（或いは基板撮像カメラによる基板の撮像とマスク撮像カメラのマスクの撮像によるマスクの目詰まり検査）とを並行して行うことが可能である。このためマスクのクリーニング（或いはマスクの目詰まり検査）を行った場合でも基板に対するスクリーン印刷作業の開始が遅延せず、基板の生産性の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーナの拡大側面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図６】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が行うスクリーン印刷作業の実行手順を示すフローチャート
【図７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が行うスクリーン印刷作業の動作説明図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が行うスクリーン印刷作業の動作説明図
【図９】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が行うスクリーン印刷作業の動作説明図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が行うスクリーン印刷作業の動作説明図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が行うスクリーン印刷作業の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１、図２及び図３に示すスクリーン印刷機１は、基板２の電極２ａ上に半田等のペーストＰｔをスクリーン印刷する装置であり、基台１１上にはオペレータＯＰから見た左右方向（Ｘ軸方向とする）の左方から右方へ向けて基板２を搬送する搬入コンベア１２、位置決めコンベア１３及び搬出コンベア１４がこの順で設けられている。
【００１３】
図２及び図３において、位置決めコンベア１３は、基台１１上にユニット移動機構１５を介して設けられた基板保持ユニット１６の構成要素であり、基板保持ユニット１６には位置決めコンベア１３のほか、下受けユニット１７と一対のクランプ部材１８が備えられている。下受けユニット１７は下受けシリンダ１７ａに駆動されて昇降し、位置決めコンベア１３により作業位置に位置決めされた基板２を下方から支持する。クランプ部材１８はクランプ部材開閉機構１８ａによってオペレータＯＰから見た前後方向（Ｙ軸方向とする）に開閉し、下受けユニット１７によって支持された基板２をＹ軸方向からクランプして保持する。ユニット移動機構１５はＸＹθロボットから成り、基板保持ユニット１６を基台１１に対して水平面内で移動させ、また基台１１に対して昇降させる。
【００１４】
図１、図２及び図３において、位置決めコンベア１３の上方にはマスク２１が水平姿勢に保持されている。マスク２１は矩形の板状部材から成り、矩形枠状のマスク枠２１ｗによって四辺が支持されている。マスク２１の中央部には基板２の電極２ａに対応する多数のパターン孔２１ｈが設けられている。
【００１５】
図１において、基板２上の一の対角位置には２つの基板側マーク２ｍが設けられており（図１には一方のみ図示）、マスク２１にはこれら２つの基板側マーク２ｍに対応して２つのマスク側マーク２１ｍが設けられている（図１には一方のみ図示）。２つの基板側マーク２ｍと２つのマスク側マーク２１ｍを上下に対向させた状態で基板２を上昇させて（基板２を保持した基板保持ユニット１６をユニット移動機構１５によって上昇させて）マスク２１に基板２を接触させると、基板２の電極２ａとマスク２１のパターン孔２１ｈとが合致した状態となる。
【００１６】
図１、図２及び図３において、マスク２１の上方にはＸ軸方向に延びたスキージベース２２が設けられている。スキージベース２２の両端には、基台１１の前後左右の四隅から上方に延びて設けられた４つの支柱１１ａに支持されてＹ軸方向に延びた２つの第１ボール螺子２２ａが貫通螺入しており、これら２つの第１ボール螺子２２ａが２つの第１ボール螺子駆動モータ２３により同期回転されると、スキージベース２２がＹ軸方向に移動する。
【００１７】
図１、図２及び図３において、スキージベース２２には２つのスキージ２４が設けられている。２つのスキージ２４はそれぞれＸ軸方向に延びた箆状の部材から成り、Ｙ軸方向に対向して配置されている。各スキージ２４はスキージベース２２に取り付けられたスキージ昇降シリンダ２４ａによって個別に昇降される。
【００１８】
マスク２１の下方にはＸ軸方向に延びた第１移動体としての第１移動ビーム２５が設けられている。第１移動ビーム２５の両端には、前述の４つの支柱１１ａに支持されてＹ軸方向に延びた２つの第２ボール螺子２５ａが貫通螺入しており、これら２つの第２ボール螺子２５ａが２つの第２ボール螺子駆動モータ２６により同期回転されると、第１移動ビーム２５がＹ軸方向に移動する（以下、第１移動ビーム２５が移動する水平面を第１水平面Ｓ１と称する）。
【００１９】
第１移動ビーム２５の下方には、Ｘ軸方向に延びた第２移動体としての第２移動ビーム２７が設けられている。第２移動ビーム２７の両端には、上記４つの支柱１１ａに支持されてＹ軸方向に延びた２つの第３ボール螺子２７ａが貫通螺入しており、これら２つの第３ボール螺子２７ａが２つの第３ボール螺子駆動モータ２８により同期回転されると、第２移動ビーム２７がＹ軸方向に移動する（以下、第２移動ビーム２７が移動する水平面を第２水平面Ｓ２と称する）。
【００２０】
図１、図２及び図３において、第１移動ビーム２５には撮像視野を上方に向けたマスク撮像カメラ２９が設けられている。マスク撮像カメラ２９の支持部２９ａには、第１移動ビーム２５に沿って設けられた第４ボール螺子２５ｂが貫通螺入しており、この第４ボール螺子２５ｂが第４ボール螺子駆動モータ３０により回転されると、マスク撮像カメラ２９がＸ軸方向に移動する。このようにマスク撮像カメラ２９は、２つの第２ボール螺子２５ａの同期回転と第４ボール螺子２５ｂの回転によって、マスク２１の下方の第１水平面Ｓ１内を移動自在であり、基板２と離間した状態のマスク２１を下方から撮像する。
【００２１】
第２移動ビーム２７には撮像視野を下方に向けた基板撮像カメラ３１が設けられている。基板撮像カメラ３１の支持部３１ａには、第２移動ビーム２７に沿って設けられた第５ボール螺子２７ｂが貫通螺入しており、この第５ボール螺子２７ｂが第５ボール螺子駆動モータ３２により回転されると、基板撮像カメラ３１がＸ軸方向に移動する。このように基板撮像カメラ３１は、２つの第３ボール螺子２７ａの同期回転と第５ボール螺子２７ｂの回転によって、マスク２１の下方(更に第１水平面Ｓ１の下方)の第２水平面Ｓ２内を移動自在であり、マスク２１と離間した状態の基板２を上方から撮像する。
【００２２】
図１、図２及び図３において、第１移動ビーム２５にはＸ軸方向に延びたマスククリーナ３３が固定して設けられている。マスククリーナ３３は２つの第２ボール螺子２５ａが２つの第２ボール螺子駆動モータ２６により同期回転されると、マスク撮像カメラ２９と一体となって第１水平面Ｓ１内をＹ軸方向に移動する。このようにマスククリーナ３３は、２つの第２ボール螺子駆動モータ２６の回転によって、マスクの下方の第１水平面Ｓ１内を移動自在であり、基板２と離間した状態のマスク２１の下面を摺動してマスク２１のクリーニングを行う。
【００２３】
図４において、マスククリーナ３３は、筐体３４内に、Ｘ軸回りに回転自在に設けられた繰り出し側の第１リール３５ａ及び巻き取り側の第２リール３５ｂ、これら第１リール３５ａと第２リール３５ｂの間に掛け渡されたペーパー部材３６及びＸ軸方向に延びて筐体３４に対する上下動が自在であり、ノズル上下動機構３７ａにより上動されたときにペーパー部材３６の一部を上方に押し上げるノズル３７を有して成る。ペーパー部材３６のノズル３７によって上方に押し上げられた部分はマスク２１の下面と接触されるマスク接触面３６ａとなる。このマスク接触面３６ａは、リール駆動モータ３５ｃによって第１リール３５ａと第２リール３５ｂを同一の方向に駆動し、ペーパー部材３６をＹ軸方向に進行させることによって、更新することが可能である。
【００２４】
図５において、基板２の搬送及び作業位置への位置決め動作はスクリーン印刷機１が備える制御装置４０が搬入コンベア１２、位置決めコンベア１３、搬出コンベア１４の作動制御を行うことによってなされ、基板２の下受け動作は制御装置４０が下受けシリンダ１７ａの作動制御を行うことによってなされる。また、一対のクランプ部材１８による基板２のクランプ動作は制御装置４０がクランプ部材開閉機構１８ａの作動制御を行うことによってなされ、基板保持ユニット１６の水平面内での移動動作と昇降動作は制御装置４０がユニット移動機構１５の作動制御を行うことによってなされる。
【００２５】
スキージベース２２のＹ軸方向への移動動作、すなわち２つのスキージ２４のＹ軸方向への移動動作は、制御装置４０が２つの第１ボール螺子駆動モータ２３の作動制御を行うことによってなされる。また、スキージベース２２に対する各スキージ２４の昇降動作は、制御装置４０がスキージ昇降シリンダ２４ａの作動制御を行うことによってなされる（図５）。
【００２６】
第１移動ビーム２５のＹ軸方向への移動動作、すなわちマスク撮像カメラ２９とマスククリーナ３３のＹ軸方向への移動動作は、制御装置４０が２つの第２ボール螺子駆動モータ２６の作動制御を行うことによってなされ、マスク撮像カメラ２９のＸ軸方向への移動動作は、制御装置４０が第４ボール螺子駆動モータ３０の作動制御を行うことによってなされる。また、第２移動ビーム２７のＹ軸方向への移動動作、すなわち基板撮像カメラ３１のＹ軸方向への移動動作は、制御装置４０が２つの第３ボール螺子駆動モータ２８の作動制御を行うことによってなされ、基板撮像カメラ３１のＸ軸方向への移動動作は、制御装置４０が第５ボール螺子駆動モータ３２の作動制御を行うことによってなされる。
【００２７】
マスク撮像カメラ２９の撮像動作及び基板撮像カメラ３１の撮像動作は制御装置４０によって制御され、マスク撮像カメラ２９の撮像動作によって得られた画像データ及び基板撮像カメラ３１の撮像動作によって得られた画像データは制御装置４０に送られ、制御装置４０の画像処理部４０ａにおいて画像処理される（図５）。
【００２８】
マスククリーナ３３のノズル３７の上下動は制御装置４０がノズル上下動機構３７ａの作動制御を行うことによってなされ、マスククリーナ３３のペーパー部材３６を進行させてノズル３７の上面に掛け渡されたペーパー部材３６のマスク接触面３６ａを更新させる動作は、制御装置４０がリール駆動モータ３５ｃの作動制御を行うことによってなされる。また、ノズル３７内に真空圧を与える負圧供給動作は、制御装置４０が負圧供給機構４１の作動制御を行うことによってなされる（図５）。
【００２９】
次に、スクリーン印刷機１によるスクリーン印刷作業の実行手順を図６のフローチャート及び図７〜図１１の動作説明図を用いて説明する。制御装置４０は、オペレータＯＰによってマスク２１が設置されたら、先ず、マスク撮像カメラ２９を第１水平面Ｓ１内で移動させ、マスク撮像カメラ２９により、基板２と離間した状態のマスク２１を下方から撮像する（図７（ａ）。図６に示すステップＳＴ１）。ここではマスク２１に設けられている２つのマスク側マーク２１ｍの撮像を行い、得られた２つのマスク側マーク２１ｍの画像の画像認識を行って、マスク２１の位置を認識する。
【００３０】
制御装置４０は、マスク撮像カメラ２９によるマスク２１の撮像を行い、マスク２１の位置を認識したら、スクリーン印刷機１の外部から送られてきた基板２を搬入コンベア１２によって搬入し、位置決めコンベア１３によって基板２を作業位置に位置決めしたうえで（ステップＳＴ２）、基板保持ユニット１６によって基板２を保持する（図７（ｂ）。ステップＳＴ３）。基板２の保持は下受けユニット１７によって下面を支持し（図７（ｂ）中に示す矢印Ａ１）、クランプ部材１８によって基板２をクランプすることによって行う（図７（ｂ）中に示す矢印Ｂ１）。
【００３１】
制御装置４０は、基板保持ユニット１６によって基板２を保持したら、基板撮像カメラ３１を第２水平面Ｓ２内で移動させ、基板撮像カメラ３１により、マスク２１と離間した状態の基板２を上方から撮像する（図８（ａ）。ステップＳＴ４）。ここでは基板２に設けられている２つの基板側マーク２ｍの撮像を行い、得られた２つ基板側マーク２ｍの画像の画像認識を行って、基板２の位置を認識する。
【００３２】
制御装置４０は、上記基板２の撮像と並行し、必要に応じて、マスククリーナ３３によるマスク２１のクリーニングを行う（図８（ｂ）。ステップＳＴ５）。このマスク２１のクリーニングは、後述するステップＳＴ６〜ステップＳＴ９において基板２にペーストＰｔを印刷した際、マスク２１の下面に付着したペーストＰｔの残り滓を次の基板２についてのスクリーン印刷を実行する前に拭き取るものである。マスク２１のクリーニングでは、制御装置４０は、マスククリーナ３３のノズル３７をノズル上下動機構３７ａによって上動させて筐体３４の上方に突出させ、ペーパー部材３６のマスク接触面３６ａをマスク２１の下面に接触させた状態で、第１移動ビーム２５をＹ軸方向に移動させる（図８（ｂ）中に示す矢印Ｃ）。この際、制御装置４０は、マスククリーナ３３によるペーストＰｔの残り滓の拭き取り効果を増大させるため、負圧供給機構４１を作動させて、ノズル３７にペーパー部材３６のマスク接触面３６ａを介したペーストＰｔの真空吸引を行わせるようにする。
【００３３】
このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、マスク撮像カメラ２９とマスククリーナ３３はマスク２１の下方を水平移動する第１移動ビーム２５に取り付けられ、基板撮像カメラ３１は第１移動ビーム２５よりも下方を第１移動ビーム２５とは独立して水平移動する第２移動ビーム２７に取り付けられていることから、第１移動ビーム２５と第２移動ビーム２７を互いに独立して移動させることができ、これにより、基板撮像カメラ３１による基板２の撮像（基板側マーク２ｍの撮像）とマスククリーナ３３によるマスク２１のクリーニングを並行して行うことが可能となっている。
【００３４】
ここで、マスク２１のクリーニングは、前述したように、スクリーン印刷の実行によってマスク２１の下面に付着したペーストＰｔの残り滓を次のスクリーン印刷を行う前に拭き取るものであるから、マスク２１を設置した後に最初に行うスクリーン印刷であって、マスク２１の下面にペーストＰｔが付着していない状況においては、ステップＳＴ５の工程を省略することができる。また、ステップＳＴ５の工程は、毎回（すなわち１回のスクリーン印刷が終わるごとに）実行するようにしてもよいし、数回のスクリーン印刷が終わるごとに実行するようにしてもよい。マスク２１のクリーニングを行わない場合には、基板保持ユニット１６による基板２の保持（ステップＳＴ３）の後、基板撮像カメラ３１による基板側マーク２ｍの撮像（ステップＳＴ４）のみが行われることになる。また、マスク２１のクリーニングに代えて、或いはマスク２１のクリーニングに続いて、マスク２１の下面全体をマスク撮像カメラ２９によって撮像することにより、マスク２１のパターン孔２１ｈ内のペーストＰｔの目詰まり状態を検査するマスク２１の目詰まり検査を行うようにしてもよい。
【００３５】
制御装置４０は、基板２の撮像を行い、また、必要に応じてマスク２１のクリーニングを基板２の撮像と並行して行ったら、基板保持ユニット１６を水平面内で移動させ、基板側マーク２ｍとマスク側マーク２１ｍとが上下に対向するように、マスク２１に対する基板２の位置合わせを行う（ステップＳＴ６）。そして、基板保持ユニット１６を基台１１に対して上昇させ（図９（ａ）中に示す矢印Ｄ１）、クランプ部材１８によりクランプして保持した基板２の上面をマスク２１の下面に接触させる（図９（ａ）。ステップＳＴ７）。これにより基板２上の電極２ａとマスク２１のパターン孔２１ｈとが合致した状態となる。
【００３６】
制御装置４０は基板２をマスク２１に接触させたら、スキージ２４によって基板２にペーストＰｔを転写する（ステップＳＴ８）。このペーストＰｔの転写は、マスク２１上に予めペーストＰｔを供給した状態で、２つのスキージ２４のうちの一方を下動させてその下端をマスク２１の上面に当接させ（図９（ｂ）中に示す矢印Ｅ１）、その当接状態を維持したままスキージベース２２をＹ軸方向に移動させることによって行う（図１０（ａ）中に示す矢印Ｆ）。これによりペーストＰｔはマスク２１上でスキージ２４によって掻き寄せられてマスク２１のパターン孔２１ｈ内に押し込まれ、各基板２の電極２ａ上に転写される。
【００３７】
制御装置４０は、基板２の電極２ａにペーストＰｔを転写させたら、マスク２１に当接させていたスキージ２４を上動させたうえで（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｅ２）、ユニット移動機構１５により基板保持ユニット１６を下降させ（図１１（ａ）中に示す矢印Ｄ２）、基板２をマスク２１から離間させて版離れを行う（ステップＳＴ９）。そして、制御装置４０は版離れを行ったら、クランプ部材１８を開いたうえで（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｂ２）、下受けユニット１７を下降させ（図１１（ｂ）中に示す矢印Ａ２）、基板２の両端を位置決めコンベア１３上に降ろすことによって、基板２の保持を解除する（図１１（ｂ）。ステップＳＴ１０）。
【００３８】
制御装置４０は基板２の保持を解除したら、ユニット移動機構１５により基板保持ユニット１６を水平面内で移動させ、位置決めコンベア１３の向きを整えたうえで位置決めコンベア１３から搬出コンベア１４に基板２を送り、基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（ステップＳＴ１１）。そして、制御装置４０は基板２を搬出したら、新たに送られてくる基板２の待ち状態に入る（ステップＳＴ１２）。そして、一定時間内に新たに送られてくる基板２があった場合にはステップＳＴ２に戻ってその基板２の搬入及び位置決めを行い、基板２の保持（ステップＳＴ３）を経て、基板撮像カメラ３１による基板２の撮像（ステップＳＴ４）と、マスククリーナ３３によるマスク２１のクリーニング（ステップＳＴ５）を行う。一方、ステップＳＴ１２において、一定時間内に新たに送られてくる基板２がなかった場合にはスクリーン印刷作業を終了する。
【００３９】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、マスク撮像カメラ２９とマスククリーナ３３はマスク２１の下方を水平移動する第１移動体としての第１移動ビーム２５に取り付けられる一方、基板撮像カメラ３１は第１移動ビーム２５よりも下方を第１移動ビーム２５とは独立して水平移動する第２移動体としての第２移動ビーム２７に取り付けられており、第１移動ビーム２５と第２移動ビーム２７を互いに独立して移動させることができるので、基板撮像カメラ３１による基板２の撮像とマスククリーナ３３によるマスク２１のクリーニング（或いは基板撮像カメラ３１による基板２の撮像とマスク撮像カメラ２９のマスク２１の撮像によるマスク２１のパターン孔２１ｈの目詰まり検査）とを並行して行うことが可能である。このためマスク２１のクリーニング（或いはマスク２１の目詰まり検査）を行った場合でも基板２に対するスクリーン印刷作業の開始が遅延せず、基板２の生産性の低下を防止することができる。この効果は、ファインピッチタイプの基板２についてスクリーン印刷を行う場合など、１回のスクリーン印刷が終わるごとにマスク２１のクリーニングを実行する必要がある場合において特に大きなものとなる。
【００４０】
なお、上述の実施の形態では、ステップＳＴ４における基板撮像カメラ３１による基板２の撮像は、基板保持ユニット１６によって保持した基板２の基板側マーク２ｍを撮像するものであったが、基板２の撮像には、基板２に印刷されたペーストＰｔの検査（ペーストＰｔが正常に印刷されているか否かの検査）のための撮像を含むことができる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
マスクのクリーニング或いはマスクの目詰まり検査を行った場合でもスクリーン印刷作業の開始が遅延せず、基板の生産性の低下を防止することができるスクリーン印刷機を提供する。
【符号の説明】
【００４２】
１  スクリーン印刷機
２  基板
２１  マスク
２４  スキージ
２５  第１移動ビーム（第１移動体）
２７  第２移動ビーム（第２移動体）
２９  マスク撮像カメラ
３１  基板撮像カメラ
３３  マスククリーナ
Ｐｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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