(57)【要約】【課題】吸着状態が安定し、積層体の形状に追従し、吸着外れがなく、撓み、シワ等の不具合の生じないようにする。【解決手段】  ガラス基板、石英基板、セラミックス基板、金属基板等からなる硬質基板２上に、素子層を含む薄膜状の可撓性積層体３が形成された構成体１６から可撓性積層体３を剥離するための剥離装置１である。剥離装置１は、主に構成体１６の矩形基板２を固定するための固定装置１０と、可撓性積層体３を吸着により上方に持ち上げ剥離するための吸着治具１１と、可撓性積層体３に直接接触して吸引し密着する円形状の吸着パッド１３と、可撓性積層体３の端部を把持するクランプ治具９とからなる。可撓性積層体の剥離状態を計測する、又は監視するためのレーザー計測器等の位置センサーを併用すると良い。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に素子層を含む薄膜状の可撓性積層体が形成された構成体から前記可撓性積層体を剥離するための剥離装置であって、
前記基板を固定するための固定治具と、
前記可撓性積層体を吸着するための複数個の吸着治具と、
前記吸着治具により剥離された前記可撓性積層体の端部を把持するためのクランプ治具と
を有し、
前記吸着治具は、前記可撓性積層体に直接接触して吸引し密着する複数個の吸着パッドを有する
ことを特徴とする薄膜状積層体の剥離装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記基板及び前記構成体は、正方形、又は長方形の矩形であることを特徴とする薄膜状積層体の剥離装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記可撓性積層体を前記構成体から剥離する剥離起点に刺し込みを入れるために、前記構成体に隣接して配置された針部材とを有することを特徴とする薄膜状積層体の剥離装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項において、
前記可撓性積層体の剥離部位に液体を供給するために、前記構成体に隣接して設けられているノズルとを有することを特徴とする薄膜状積層体の剥離装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の薄膜状積層体の剥離装置において、
前記吸着治具は、前記可撓性積層体が前記構成体から剥離を開始する初動位置、及び剥離が完了する剥離完了位置に設置されていることを特徴とする薄膜状積層体の剥離装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項において、
前記吸着パッドは、前記可撓性積層体を吸着する端部が円形状に形成されていることを特徴とする薄膜状積層体の剥離装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項において、
前記吸着治具により前記基板から離れた前記可撓性積層体の位置を検知する計測器を前記可撓性積層体の近傍に設けられていることを特徴とする薄膜状積層体の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器に使用される薄膜状積層体の剥離装置に関する。更に詳しくは、発光素子、発電素子、蓄電素子、表示素子、記憶素子、半導体素子等を含む素子層が形成された積層体から、可撓性の薄膜状積層体を剥離する薄膜状積層体の剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、可撓性を有する基板（以下、可撓性基板とも称する。）上に、半導体素子、表示素子、発光素子等の機能素子が設けられた装置（例えば、フレキシブルデバイス）は、研究開発が進められかつ実用化されている。フレキシブルデバイスの代表的な例としては、照明装置、画像表示装置の他、トランジスタ等の半導体素子を有する種々の半導体回路等が挙げられる。照明装置、画像表示装置等の機器を構成する構成要素等を、可撓性基板上に直接形成する場合、可撓性基板は耐熱性が劣るため、製造工程の上限温度を比較的低く設定しなければならない。そのため、装置の構成要素の品質が低下することがある。
【０００３】
また、製造工程中に可撓性基板が加熱によって伸縮してしまうと、位置合わせが必要な工程がある場合に歩留まりが低下することがある。従って、可撓性基板を用いた装置、モジュール等の製造工程においては、様々な加熱工程や位置合わせ工程等を無理なく行うため、ガラス基板のような硬質基板上で上記工程を進め、製造工程の終盤で、硬質基板上に形成された積層体を当該硬質基板から剥離し、可撓性基板に転置することが好ましい。このようなことから、積層体を剥離する技術も種々提案されている。例えば、剥離層に光を照射させて、ブレードにより切り込みを入れ、この切れ込みに気体を吹き込み剥離を誘発し、硬質基板を吸着部で引き上げてこの剥離を全面まで広げる技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−５０３１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述したように、剥離装置としては種々の構成が提案され、その技術は既に広く実施されている。しかしながら、現状は完全な構成ではなくなお改善の余地があるのが実態である。剥離開始点から複数の吸着部に沿って剥離を進める際、積層体の一部が、撓み、そり等で変形し、従来の吸着部では追従しにくく、吸着外れ等も生じていた。このため、積層体の剥離が正常に出来ないという問題点があった。即ち吸着状態の安定性を欠く等の問題点が生じ、必ずしも満足のいく均等な品質の剥離が行なえなかった。これは、可撓性基板への吸着状態が必ずしも完全でなかったことに起因している。
【０００６】
本発明は、このような従来の問題点を解決するために創案されたものであり、次の目的を達成した。本発明の目的は、吸着状態が安定し、積層体の形状に追従し、吸着外れがなく、撓み、シワ等の不具合の生じない薄膜状積層体の剥離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記目的を達成するために、次の手段で達成される。即ち、
本発明１の薄膜状積層体の剥離装置は、
基板上に素子層を含む薄膜状の可撓性積層体が形成された構成体から前記可撓性積層体を剥離するための剥離装置であって、
前記基板を固定するための固定治具と、
前記可撓性積層体を吸着するための複数個の吸着治具と、
前記吸着治具により剥離された前記可撓性積層体の端部を把持するためのクランプ治具とを有し、
前記吸着治具は、前記可撓性積層体に直接接触して吸引し密着する複数個の吸着パッドを有することを特徴とする。
【０００８】
本発明２の薄膜状積層体の剥離装置は、本発明１において、前記基板及び前記構成体は、正方形、又は長方形の矩形であることを特徴とする。
本発明３の薄膜状積層体の剥離装置は、本発明１又は２において、前記可撓性積層体を前記構成体から剥離する剥離起点に刺し込みを入れるために、前記構成体に隣接して配置された針部材とを有することを特徴とする。
【０００９】
本発明４の薄膜状積層体の剥離装置は、本発明１乃至３のいずれか１項において、前記可撓性積層体の剥離部位に液体を供給するために、前記構成体に隣接して設けられているノズルとを有することを特徴とする。
本発明５の薄膜状積層体の剥離装置は、本発明１乃至４のいずれか１項において、前記吸着治具は、前記可撓性積層体が前記構成体から剥離を開始する初動位置、及び剥離が完了する剥離完了位置に設置されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明６の薄膜状積層体の剥離装置は、本発明１乃至５のいずれか１項において、前記吸着パッドは、前記可撓性積層体を吸着する端部が円形状に形成されていることを特徴とする。
本発明７の薄膜状積層体の剥離装置は、本発明１乃至６のいずれか１項において、前記吸着治具により前記基板から離れた前記可撓性積層体の位置を検知する計測器を前記可撓性積層体の近傍に設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の薄膜状積層体の剥離装置は、吸着治具に複数の吸着パッドを配置したので、吸着パッドを可撓性積層体の表面に吸着させたとき、この表面状態に追従して吸着ができた。又、吸着箇所が多くなるので、吸着の信頼性が向上した。更に、クランプ治具との併用で、剥離するとき、吸着状態が安定し、可撓性積層体の形状に追従し、吸着外れがなく、撓み、シワ等の不具合の生じない構成となった。更に、剥離の進行を計測することにより、剥離状態を常に検知できるようにしているので、安定した剥離作業が出来るようになった。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の実施の形態である薄膜状積層体の剥離装置の構成を展開図で示す説明図である。
【図２】図２は、剥離対象物の剥離範囲の切込み部位を示す説明図である。
【図３】図３は、可撓性積層体の剥離装置の待機状態を展開図で示す説明図である。
【図４】図４は、可撓性積層体の剥離装置の吸着状態を展開図で示す説明図である。
【図５】図５は、可撓性積層体の剥離装置で吸着パッドを介して可撓性積層体を持ち上げた状態を展開図で示す説明図である。
【図６】図６は、可撓性積層体の剥離装置でクランプ治具に可撓性積層体を挿入し把持した状態を展開図で示す説明図である。
【図７】図７は、切り込みを入れた状態の剥離対象物の剥離開始位置を断面図で示す説明図である。
【図８】図８は、吸着パッドの構成を示す説明図である。
【図９】図９は、クランプ治具の構造を示す断面図である。
【図１０】図１０は、可撓性積層体を吸着治具とクランプ治具とで剥離する構成を示す説明図である。
【図１１】図１１は、レーザー計測器で計測するときの説明図である。
【図１２】図１２は、レーザー計測で剥離状態を検知するためのフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。なお、本発明の装置で取り扱う可撓性積層体に関わる関連装置、ユニットについては、その詳細な説明は省略する。図１は、本発明の実施の形態を示す剥離装置１の構成を示す斜視図である。この剥離装置１は、硬質基板２に形成された可撓性積層体３を剥離するための装置である。
【００１４】
この種の可撓性積層体３は、種々のものが提案されているが、本例の場合は、可撓性積層体３を素子４と接着剤５と可撓性基板６の積層体を例として説明する（図７参照）。図３等に示すように、剥離対象物１６は、この可撓性積層体３が剥離層７を介して基板２に固着された積層体である。この積層体には、本実施の形態の可撓性積層体３以外の、異なる積層構造を有する他の構成の積層体も適用できることはいうまでもない。又、硬質基板２は、例えば、ガラス基板、石英基板、セラミック基板、金属基板、半導体基板等とすることができる。
【００１５】
薄膜状積層体である可撓性積層体３を剥離する剥離装置１は、可撓性積層体３を吸着するための吸着機構８と、可撓性積層体３の一端部を把持するためのクランプ治具９とを有する。硬質基板２は、固定ステージ１０に固定されている。この固定ステージ１０への硬質基板２（又は剥離対象物１６）の固定は、その詳細を図示していないが、真空吸着又は静電吸着等の固定手段で行なえばよい。吸着機構８は、複数の吸着治具１１を有している。この吸着治具１１は、可撓性積層体３の上方位置、又は近傍に配置され、図示しない駆動装置により上下、左右、前後（直交する３軸線方向）に移動可能であり、その位置も制御可能である。吸着治具１１は、本例においては３個ずつ２列に計６個が配置されている。
【００１６】
吸着治具１１は、ブロック１２を有し、各吸着治具１１のブロック１２下部には、本例では６個の吸着パッド１３が設けられている。この吸着パッド１３は、ブロック１２を介し上部に配置された支持体１４により支持され、ブロック１２と共に上下方向に固定ステージ１０又は剥離対象物１６に対して相対移動可能になっている。又、このブロック１２には各吸着パッド１３へ連通する吸気口１５が設けられていて、真空ポンプＰ（図８参照）が配管を介して各吸着パッド１３に連通している。この真空ポンプＰが動作すると、この吸気口１５を介して各吸着パッド１３は吸着動作を行なう。
【００１７】
即ち、各吸着パッド１３が下方向に移動し可撓性積層体３に接触したとき、真空ポンプＰが動作する、又は開閉弁が作動し各吸着パッド１３が真空ポンプＰと連通すると、各吸着パッド１３は吸引動作で可撓性積層体３を吸着する。次に、固定ステージ１０に固定された剥離対象物１６から必要な可撓性積層体３のみを剥離することになるが、本例の場合は、可撓性積層体３を硬質基板２から剥離するために、一部の領域で剥離を進行させる刺し込みを行なうための針部材１７を設けている。この針部材１７は、可撓性積層体３と硬質基板２との間（例えば、その間に設けられる剥離層７）に挿入され、剥離する部位の起点位置、又は剥離範囲の周囲に刺し込みを入れるためのものである。この針部材１７は、刺し込み位置に対しては、図示していない駆動部で正確に制御し位置決めされる。
【００１８】
剥離工程の前には、剥離対象物１６は、例えば、図２に示すように、可撓性積層体３の剥離される矩形状の部位の外周に、別工程で設定深さの切り込み部１８が設けられている。図２は矩形状の周囲に切り込み部１８をカッターナイフ状のもので切り込みを入れているが、切り込みの必要のない場合は、この工程は省略する。又、この切り込み後に、可撓性積層体３を剥離すると、可撓性積層体３の周縁の残渣が切れ端２２として残る（図５参照）。
【００１９】
また、剥離操作を安定的に保持するためのクランプ治具９が、剥離対象物１６に隣接して設けられている。このクランプ治具９は剥離された可撓性積層体３の端部３ａを把持し、かつ可撓性積層体３に一定の張力を与えるものである。又、剥離対象物１６に隣接して液体（水、好ましくは純水や有機溶剤）を供給するためのノズル１９（本例では水供給ノズル）も配置されていて、剥離動作の際、剥離界面に液体を噴射して供給する。剥離の進行部に液体を存在させることで、剥離に要する力を減少させることができる。また、可撓性積層体３が電子デバイス等の場合、静電破壊を防止することができる。
【００２０】
次に、各個別の装置と剥離動作について説明する。図３は、前述した構成の配置を示しており、剥離対象物１６が固定ステージ１０に固定され、各装置が待機している初期状態を示している。図４は、吸着状態を示している。剥離対象物１６は、硬質基板２を下にして固定ステージ１０に真空吸着がなされている。この固定は静電吸着であってもよい。可撓性積層体３は上部に面していて、その上方には６個の吸着治具１１を有する吸着機構８が配置されている。
【００２１】
この図３、４等では、吸着治具１１を個別に上下方向に移動させる支持体１４が模式的に図示されているが、前述したように、この支持体１４は上下方向に加え、左右、前後方向の３軸方向に移動可能である。各吸着治具１１が有するブロック１２の下部には、６個の円形状の吸着パッド１３が設けられていて、この吸着パッド１３の端部１３ａが、可撓性積層体３の表面に接触する。この吸着パッド１３は、図８に示すように、６個が剥離起点近傍（可撓性積層体３の短辺方向）の初動位置に沿って直列に配置されている。吸着パッド１３は、比較的小さい外径の部材である。この吸着パッド１３は、ブロック１２に固定されていて、真空ポンプＰに連通している。
【００２２】
吸着パッド１３は、端部１３ａが吸引し易い平形の円形状になっていて、合成ゴム、シリコンゴム、又はポリウレタン等の合成樹脂弾性体製のものである。従って、この吸着パッド１３を可撓性積層体３の表面に接触させたとき、可撓性積層体３に可撓性があってもこれに追従するので、弾力性を有し密着することができる。このような吸着パッド形式にしたことで、可撓性積層体３に対しては、吸着箇所が多くなり、各吸着治具１１がそれぞれ複数の吸着パッド１３で吸着する構成になっている。このため可撓性積層体３の形状が変形しても、その形状に追従しやすく容易に剥離できるものとなっている。
【００２３】
その結果、吸着外れもなく均等に吸着できる構成となっている。仮に、一部が吸着外れとなっても落下等の事故が起こることはない。本例においては、剥離起点近傍の初動位置方向に沿って（可撓性積層体３の短辺方向）３個の吸着治具１１を配置しているので、合計で１８個の吸着パッド１３が設置されている。また、１個の吸着治具１１毎にそれぞれの移動制御が個別に行なえる構成になっている。ただし、吸着治具１１、吸着パッド１３の数については限定されるものではなく、図示はしていないが更に増加させることは可能である。又、個別の制御で吸着パッド１３を個別に動作させることもブロック１２の構造を変更することで可能である。
【００２４】
更に、本例は吸着治具１１が剥離起点近傍の初動位置と剥離完了位置近傍の２箇所の可撓性積層体３の辺近傍に設置されているが、より円滑に剥離するために、剥離起点近傍の初動位置と剥離完了位置近傍との間に全面に亘って複数個の吸着治具１１及び吸着パッド１３を連続的に配置することも可能である。この場合は、個別に吸着パッド等を制御する必要がある。これら吸着パッド１３の動作は制御装置２０により制御される。
【００２５】
一方、クランプ治具９は、図に示すように、剥離対象物１６近傍に２個のクランプ治具９が配置されている。同様に、針部材１７と水供給のノズル１９も、可撓性積層体３の剥離開始位置近傍に配置されている。クランプ治具９は、剥離された可撓性積層体３を把持するものであるが、その構造は把持部を平行動作で挟む形式のもの、或いは支点を介して揺動で挟む形式のものがある。例えば、本例では図９に示す構造のものを用いた。
【００２６】
このクランプ治具９は、支持体９０に支持された２つのアーム９１を支軸９２により揺動させ、可撓性積層体３の端部３ａを挟み把持するものである。アーム９１は、支持体９０に設けられたシリンダ９３のピストン動作で、ピストン９４の端部のカム９５がアーム９１の後部９６に挟まれた状態で移動し、カム動作でアーム９１を開閉させる構造になっている。アーム９１の後部９６の外側には、支持体９０との間にバネ９７を設け、ピストン９４が動作しないときにはこのアーム９１の後部９６を押圧して、常時アーム９１が開放される状態を維持するようにしている。
【００２７】
又、シリンダ９３内には、ピストン９４を開放側（アーム９１と反対側）に位置させるようにバネ９８が設けられピストン９４を付勢している。このピストン９４を動作させるときは、シリンダ９３のポート９３ａにエアーを送り、ピストン９４をバネ９８の付勢力に抗し動作させるようになっている。この動作でカム９５がアーム後部９６を押し広げて、アーム９１を閉じる。アーム９１の先端部には柔軟性を有するパッド９９が取り付けられていて、このパッド９９を介して、可撓性積層体３の端部３ａを損傷させることのないように、挟み把持するようになっている。動作部材をカム９５としたが、リンクモーション機構を適用し、ピストンの動作を直接アーム９１に連動させ強制的にアーム開閉を行なう構成にしてもよい。
【００２８】
把持力は、所定能力のシリンダ構成によって決定されてもよい。またエアーの圧力を変えることで、適切な把持力を得てもよい。このクランプ治具９は、可撓性積層体３の端部３ａを挟み把持することで、剥離される可撓性積層体３を撓むことのない一定の伸張性（張力）を確保するとともに、吸着パッド１３の吸着を逸した場合にも、可撓性積層体３を継続して保持することができる。このようにして均一に剥離するのにこのクランプ治具９は効果的に機能する。
【００２９】
針部材１７は詳細を図示していないが、例えば、金属性の先端が尖った針であり、図７に示すように、剥離対象物１６の可撓性積層体３の剥離開始位置近傍に刺し込んで、一部の領域で剥離を進行させるために用いられる。この針部材１７は、画像を確認して挿入位置が制御されるか、予め決められた剥離対象物１６の角度位置に刺し込まれる。この刺し込みと略同時に水がノズル体１９を介して切り込み部１８に供給される。この水の供給により、剥離を促進させると同時に静電破壊を防止することができる。
【００３０】
剥離対象物１６が前述したように設置固定されると、図４に示すように吸着治具１１が可撓性積層体３上の所定位置に位置決めされ、支持体１４の駆動動作で吸着パッド１３を可撓性積層体３の表面に接触させる。この剥離は、本例では剥離対象物１６の角部から開始する（図３参照）。図７に模式的に示すように、針部材１７の刺し込み位置は、硬質基板２と可撓性積層体３との間に設けられる剥離層７まで届いている。水の注入後に吸着治具１１により可撓性積層体３の角部が硬質基板２と離間し持ち上げられる。剥離される可撓性積層体３は、本例では素子４、接着剤５、可撓性基板６の積層体として構成されている（図７参照）。
【００３１】
続いて、図４に示す矢印のように、針部材１７を刺した位置の吸着治具１１側から吸着動作を始め、この起点初動部位から短辺側に配置した吸着治具１１に吸着動作を順次与えて（時間を置いて駆動）、吸着治具１１を支持体１４の動作で持ち上げる。このようにして、この部位の３個の吸着治具１１を順次持ち上げ、図５に示すように最終的には所定の同一高さに保持する。即ち、可撓性積層体３の短辺方向の３個の吸着治具１１を、予め設定された上方位置に全てを位置させるように駆動する。このとき、起点初動位置、即ち、本例では長方形状である剥離対象物１６の一辺である短辺側の可撓性積層体３の端部３ａが均等に剥離される。
【００３２】
次に、図６に示すように、吸着された状態の隣接する吸着治具１１の間、若しくは端部３ａ側に、２つのクランプ治具９を挿入する。所定位置に挿入されたらクランプ治具９のシリンダ９３を動作させクランプ治具９のアーム９１を閉じ、図６に示すように可撓性積層体３の端部３ａを把持する。続いて、可撓性積層体３の端部３ａが把持された状態で、図６の矢印に示すように、吸着治具１１とクランプ治具９を可撓性積層体３のみを剥離する方向に僅かにかつ緩慢に移動させる。なお、剥離の進行が途中で停止してしまうと、その停止位置を起点にして表示不良が生じる場合がある。そのため、剥離の進行を停止させることなく（つまり、吸着治具１１を用いて剥離を行っている間に）、クランプ治具９が可撓性積層体３の端部３ａを把持することが望ましい。また、停止させないことを意識する余り、クランプ治具９が可撓性積層体３の端部３ａを把持した瞬間に、剥離を進行させる力が大きくなり、それを起点にして表示不良が生じる場合もある。そのため、クランプ治具９の把持力や動作速度、及び／又は吸着治具１１を持ち上げる力を適切な値に調整する必要がある。
【００３３】
即ち、吸着治具１１とクランプ治具９は、上方と水平方向に相互に関連させながら移動させる。クランプ治具９は、可撓性積層体３に常に張り状態を維持するために、張力を与えながら上方に移動させる。図６は、２つのクランプ治具９が平行に移動する表示になっているが、斜め方向にも移動できる（互いに平行でない方向に移動できる）機構になっていて、剥離されつつある可撓性積層体３を常に撓み、シワ等がなく均等に張る状態に保つように制御されている。
【００３４】
この吸着治具１１とクランプ治具９とで剥離する構成は、図１０に示すようになっていて、剥離される可撓性積層体３は、吸着治具１１の持ち上げとクランプ治具９の引っ張りにより常に張った状態で、途中で折れ曲がることなく、撓むことなく安定的に剥離される。理解を容易にするために、同一の剥離位置において、図１０（ａ）は吸着治具１１のみを図示し、図１０（ｂ）はクランプ治具９のみを図示したものである。
【００３５】
吸着治具１１は、可撓性積層体３の剥離完了部位にも設置されているが、剥離途中においては、この吸着治具１１で可撓性積層体３を押さえ、剥離完了のときには初動位置で持ち上げている吸着治具１１ともども持ち上げ、剥離を完了させる。この剥離工程は、剥離に折損等が生じないように、吸着治具１１及びクランプ治具９の移動速度、移動方向、移動力等を制御装置で制御しながら剥離の進行状況に応じて施される。
【００３６】
次に、この剥離状態を確実にするための一例を説明する。図１１に示す例は、レーザー計測器等の変位計や位置センサー等の計測器を用いる例であり、正確に可撓性積層体３の端部の位置を確認しながら剥離動作を行なうことができる。この工程の概要を、図１２のフロー図で示す。前述したとおり、剥離対象物１６が設置された後、吸着治具１１、クランプ治具９等を位置決め設置し、剥離を開始することになるが、この剥離過程で可撓性積層体３の所定位置上部にレーザー計測器２１等を設置する。
【００３７】
このレーザー計測器２１により、剥離過程の可撓性積層体３の位置を測定する。計測の結果、所定の位置に対し許容を超えてずれた場合、剥離を中断させ剥離工程を止める。計測結果に問題がなければ剥離工程を続行し、剥離工程を完了する。このように、剥離位置を剥離過程で正確に把握できると、可撓性積層体３の折損等不具合を未然に防止することができる。
【００３８】
［その他の実施の形態］
以上、本発明の実施の形態を種々説明したが、本例に限定されないことは言うまでもない。例えば、吸着治具の構成は図ではブロックで矩形になっているが、他の形状でもよい。又、吸着パッドは、吸着部が円形として説明したが、他の形状でもよく、大きさもそれぞれ異なるようにしてもよい。又、クランプ治具の構成は、本例以外にも他のクランプ方法を適用してもよく、剥離の開始位置に針部材を配置したが、同様の機能であれば他の形状のものであってもよい。
【００３９】
更に、ノズルについては、水等の液体の供給として説明したが、気体の供給であってもよい。更に、基板、可撓性積層体、構成体を長方形状の矩形の形状で説明したが、例えば可撓性を有する各種装置、機器、モジュールは用途によって、楕円形、円形等もあるので、本発明ではこれらの形状も含む概念である。また、前述した実施の形態の基板、構成体は矩形であっても、可撓性積層体を剥離するとき、可撓性積層体の切り込みを楕円形、円形、異形にすれば、所望形状の装置、機器、モジュールを製造できるので、本発明でいう基板、可撓性積層体、構成体は、矩形に限るものではない。
【符号の説明】
【００４０】
１…剥離装置
２…硬質基板
３…可撓性積層体
４…素子
５…接着剤
６…可撓性基板
７…剥離層
８…吸着機構
９…クランプ治具
１０…固定ステージ
１１…吸着治具
１２…ブロック
１３…吸着パッド
１４…支持体
１５…吸気口
１６…被剥離体
１７…針部材
１８…切り込み部
１９…ノズル
２０…制御装置
２１…レーザー計測器
【図１】
2015228487.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図７】
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