(57)【要約】【課題】排気路の外部へ発塵異物が流出することを防止できると共に、当該排気路の端部に隣接する第２排気路の壁面に発塵異物が付着することを効率的に防止できる排気装置、基板処理装置、及び、排気方法を提供する。【解決手段】一端部から他端部まで筒状に延びる排気路と、前記排気路の他端部の上方領域に隣接するように設けられた第２排気路と、前記第２排気路に設けられ、前記排気路の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流を前記第２排気路から吸引排気する吸引排気口と、前記第２排気路を規定する壁体に取り付けられ、当該壁体を超音波振動させる超音波振動子と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図１
2015129602.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部から他端部まで筒状に延びる排気路と、
前記排気路の他端部の上方領域に隣接するように設けられた第２排気路と、
前記第２排気路に設けられ、前記排気路の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流を前記第２排気路から吸引排気する吸引排気口と、
前記第２排気路を規定する壁体に取り付けられ、当該壁体を超音波振動させる超音波振動子と、
を備えたことを特徴とする排気装置。
【請求項２】
一端部から他端部まで筒状に延びる排気路と、
前記排気路の他端部の下方領域に隣接するように設けられた第２排気路と、
前記第２排気路に設けられ、前記排気路の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流を前記第２排気路から吸引排気する吸引排気口と、
前記第２排気路を規定する壁体に取り付けられ、当該壁体を超音波振動させる超音波振動子と、
を備えたことを特徴とする排気装置。
【請求項３】
前記超音波振動子は、前記壁体を当該壁体の固有振動数で超音波振動させるようになっている
ことを特徴とする請求項１または２に記載の排気装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の排気装置と、
前記排気装置の排気路の一端部に接続された基板投入口を有する基板処理室と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
前記基板処理室の内部は陽圧にされるようになっている
ことを特徴とする請求項４に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記基板処理室の内部において基板を加熱する基板加熱装置
を更に備えたことを特徴とする請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
請求項１乃至３のいずれかに記載の排気装置を用いた排気方法であって、
前記第２排気路の前記壁体が超音波振動されると共に、前記排気路の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流が前記第２排気路から吸引排気される
ことを特徴とする排気方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排気装置、基板処理装置、及び、排気方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、熱処理、樹脂塗布、露光等の基板処理に用いられる基板処理装置においては、基板処理室が有する基板投入口が開閉式のシャッタによって密閉されると共に、基板処理室内に清浄な空気（熱風循環式熱処理装置の場合には、加熱された空気）が循環されるようになっており、これにより、基板処理室内は陽圧の所定の雰囲気に維持されるようになっている。そのため、シャッタの開口時、基板処理室の内部と外部との圧力差によって、基板処理室内の発塵異物（例えば処理基板の表面から昇華された昇華成分）が、基板投入口から流出して、基板処理室の外部を汚染するおそれがある。
【０００３】
発塵異物の流出を防ぐための方法として、基板処理室内に循環される清浄な空気の流量が調整されて、基板処理室内が陰圧にされることにより、基板処理室の内部と外部との圧力差によって、発塵異物が基板投入口から流出することが防止される、という方法が知られている。
【０００４】
しかしながら、この方法では、基板処理室の内部と外部との圧力差によって、基板搬送ロボットやシャッタからの発塵を基板処理室内に引き込んでしまうという問題がある。また、熱処理装置の場合には、循環される空気の流量が調整されることにより、基板処理室内の温度分布が不安定になって、基板の熱処理にムラが生じてしまうという問題もある。
【０００５】
発塵異物の流出を防ぐための別の方法として、基板投入口に排気路の一端部が接続されると共に、当該排気路の他端部の上方領域に隣接するように第２排気路が設けられ、第２排気路内が減圧されることにより、基板投入口から排気路内に流出する発塵異物が、排気路内と第２排気路内との圧力差によって、第２排気路から強制的に排気される、という方法が知られている。特許文献１には、排気路の他端部の下方領域に隣接するように給気口が更に設けられ、給気口から上向きに空気流が供給されることにより、給気口と第２排気路との間にエアカーテンが形成され、基板投入口から排気路内に流出する発塵異物が、エアカーテンによって遮断される、という方法が開示されている。これらの方法によれば、基板処理室内が陰圧にされる方法で生じるような問題は起こらない。
【０００６】
しかしながら、これらの方法では、強制的な排気によって第２排気路内が排気路内に比べて低温状態となるため、発塵異物が昇華成分を含む場合、昇華成分が冷却されて析出し、第２排気路の壁面に多量の昇華物が付着して堆積してしまうという問題がある。
【０００７】
この問題を解決するために、第２排気路内の空間を高温に加熱して昇華成分の析出を抑制するという方法が考えられる。しかしながら、第２排気路内は強制的に排気されるため、加熱された空気も直ちに排気されることになり、エネルギーの利用効率が悪いという欠点がある。また、加熱を開始してから高温を達成するまでにはある程度の時間がかかるため、特に基板の搬入出を短い間隔（例えば１分毎）で繰り返す場合には、第２排気路内の排気のオン／オフに合わせて加熱をオン／オフさせることができず、すなわち排気停止時に加熱を停止させてエネルギーを節約することができないという欠点もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−２４３７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、その目的は、排気路の外部へ発塵異物が流出することを防止できると共に、当該排気路の端部に隣接する第２排気路の壁面に発塵異物が付着することを効率的に防止できる排気装置、基板処理装置、及び、排気方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、一端部から他端部まで筒状に延びる排気路と、前記排気路の他端部の上方領域に隣接するように設けられた第２排気路と、前記第２排気路に設けられ、前記排気路の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流を前記第２排気路から吸引排気する吸引排気口と、前記第２排気路を規定する壁体に取り付けられ、当該壁体を超音波振動させる超音波振動子と、を備えたことを特徴とする排気装置である。
【００１１】
本発明において、超音波振動とは、振動数が２０ｋＨｚ以上の振動をいう。
【００１２】
本発明によれば、排気路の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流が吸引排気口により第２排気路から吸引排気されることで、当該空気流に含まれる発塵異物が排気路の外部へ流出することが防止される。また、超音波振動子によって第２排気路の壁体が超音波振動されることで、第２排気路の壁面に接触する発塵異物は当該壁面から振動エネルギーを受けて弾き飛ばされ、吸引排気装置により吸引排気される。これにより、第２排気路の壁面に発塵異物が付着することが防止される。超音波振動が利用されるため、加熱が利用される方法に比べて吸引排気中であってもエネルギーが有効に利用され得る。また、吸引排気のオン／オフに合わせて超音波振動をオン／オフさせることが可能であり、すなわち吸引排気停止時に超音波振動を停止させてエネルギーを節約することが可能である。第２排気路が排気路の上方領域に隣接するように設けられているため、発塵異物が排気路内の空気より軽い場合に、より効果的である。
【００１３】
また、本発明は、一端部から他端部まで筒状に延びる排気路と、前記排気路の他端部の下方領域に隣接するように設けられた第２排気路と、前記第２排気路に設けられ、前記排気路の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流を前記第２排気路から吸引排気する吸引排気口と、前記第２排気路を規定する壁体に取り付けられ、当該壁体を超音波振動させる超音波振動子と、を備えたことを特徴とする排気装置である。
【００１４】
本発明によれば、排気路の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流が吸引排気口により第２排気路から吸引排気されることで、当該空気流に含まれる発塵異物が排気路の外部へ流出することが防止される。また、超音波振動子によって第２排気路の壁体が超音波振動されることで、第２排気路の壁面に接触する発塵異物は当該壁面から振動エネルギーを受けて弾き飛ばされ、吸引排気装置により吸引排気される。これにより、第２排気路の壁面に発塵異物が付着することが防止される。超音波振動が利用されるため、加熱が利用される方法に比べて吸引排気中であってもエネルギーが有効に利用され得る。また、吸引排気のオン／オフに合わせて超音波振動をオン／オフさせることが可能であり、すなわち吸引排気停止時に超音波振動を停止させてエネルギーを節約することが可能である。第２排気路が排気路の下方領域に隣接するように設けられているため、発塵異物が排気路内の空気より重い場合に、より効果的である。
【００１５】
好ましくは、前記超音波振動子は、前記壁体を当該壁体の固有振動数で超音波振動させるようになっている。このような態様によれば、第２排気路を規定する壁体は超音波振動子によって大きな振幅で振動される（共振される）ため、第２排気路の壁面に発塵異物が付着することがより効果的に防止される。
【００１６】
また、本発明は、前記したいずれかの特徴を有する排気装置と、前記排気装置の排気路の一端部に接続された基板投入口を有する基板処理室と、を備えたことを特徴とする基板処理装置である。
【００１７】
本発明によれば、基板投入口から供給されて排気路の他端部に流れてくる空気流が吸引排気口により第２排気路から吸引排気されることで、当該空気流に含まれる発塵異物が排気路の外部へ流出することが防止される。また、超音波振動子によって第２排気路の壁体が超音波振動されることで、第２排気路の壁面に接触する発塵異物は当該壁面から振動エネルギーを受けて弾き飛ばされ、吸引排気装置により吸引排気される。これにより、第２排気路の壁面に発塵異物が付着することが防止される。超音波振動が利用されるため、加熱が利用される方法に比べて吸引排気中であってもエネルギーが有効に利用され得る。また、吸引排気のオン／オフに合わせて超音波振動をオン／オフさせることが可能であり、すなわち吸引排気停止時に超音波振動を停止させてエネルギーを節約することが可能である。
【００１８】
具体的には、例えば、前記基板処理室の内部は陽圧にされるようになっている。この場合、例えば、前記基板処理装置は、前記基板処理室の内部において基板を加熱する基板加熱装置を更に備える。
【００１９】
また、本発明は、前記したいずれかの特徴を有する排気装置を用いた排気方法であって、前記第２排気路の前記壁体が超音波振動されると共に、前記排気路の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流が前記第２排気路から吸引排気されることを特徴とする排気方法である。
【００２０】
本発明によれば、排気路の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流が吸引排気口により第２排気路から吸引排気されることで、当該空気流に含まれる発塵異物が排気路の外部へ流出することが防止される。また、超音波振動子によって第２排気路の壁体が超音波振動されることで、第２排気路の壁面に接触する発塵異物は当該壁面から振動エネルギーを受けて弾き飛ばされ、吸引排気装置により吸引排気される。これにより、第２排気路の壁面に発塵異物が付着することが防止される。超音波振動が利用されるため、加熱が利用される方法に比べて吸引排気中であってもエネルギーが有効に利用され得る。また、吸引排気のオン／オフに合わせて超音波振動をオン／オフさせることが可能であり、すなわち吸引排気停止時に超音波振動を停止させてエネルギーを節約することが可能である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の排気装置の一態様によれば、排気路の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流が吸引排気口により第２排気路から吸引排気されることで、当該空気流に含まれる発塵異物が排気路の外部へ流出することが防止される。また、超音波振動子によって第２排気路の壁体が超音波振動されることで、第２排気路の壁面に接触する発塵異物は当該壁面から振動エネルギーを受けて弾き飛ばされ、吸引排気装置により吸引排気される。これにより、第２排気路の壁面に発塵異物が付着することが防止される。超音波振動が利用されるため、加熱が利用される方法に比べて吸引排気中であってもエネルギーが有効に利用され得る。また、吸引排気のオン／オフに合わせて超音波振動をオン／オフさせることが可能であり、すなわち吸引排気停止時に超音波振動を停止させてエネルギーを節約することが可能である。第２排気路が排気路の上方領域に隣接するように設けられているため、発塵異物が排気路内の空気より軽い場合に、より効果的である。
【００２２】
本発明の排気装置の別の態様によれば、排気路の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流が吸引排気口により第２排気路から吸引排気されることで、当該空気流に含まれる発塵異物が排気路の外部へ流出することが防止される。また、超音波振動子によって第２排気路の壁体が超音波振動されることで、第２排気路の壁面に接触する発塵異物は当該壁面から振動エネルギーを受けて弾き飛ばされ、吸引排気装置により吸引排気される。これにより、第２排気路の壁面に発塵異物が付着することが防止される。超音波振動が利用されるため、加熱が利用される方法に比べて吸引排気中であってもエネルギーが有効に利用され得る。また、吸引排気のオン／オフに合わせて超音波振動をオン／オフさせることが可能であり、すなわち吸引排気停止時に超音波振動を停止させてエネルギーを節約することが可能である。第２排気路が排気路の下方領域に隣接するように設けられているため、発塵異物が排気路内の空気より重い場合に、より効果的である。
【００２３】
本発明の基板処理装置によれば、基板投入口から供給されて排気路の他端部に流れてくる空気流が吸引排気口により第２排気路から吸引排気されることで、当該空気流に含まれる発塵異物が排気路の外部へ流出することが防止される。また、超音波振動子によって第２排気路の壁体が超音波振動されることで、第２排気路の壁面に接触する発塵異物は当該壁面から振動エネルギーを受けて弾き飛ばされ、吸引排気装置により吸引排気される。これにより、第２排気路の壁面に発塵異物が付着することが防止される。超音波振動が利用されるため、加熱が利用される方法に比べて吸引排気中であってもエネルギーが有効に利用され得る。また、吸引排気のオン／オフに合わせて超音波振動をオン／オフさせることが可能であり、すなわち吸引排気停止時に超音波振動を停止させてエネルギーを節約することが可能である。
【００２４】
本発明の排気方法によれば、排気路の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流が吸引排気口により第２排気路から吸引排気されることで、当該空気流に含まれる発塵異物が排気路の外部へ流出することが防止される。また、超音波振動子によって第２排気路の壁体が超音波振動されることで、第２排気路の壁面に接触する発塵異物は当該壁面から振動エネルギーを受けて弾き飛ばされ、吸引排気装置により吸引排気される。これにより、第２排気路の壁面に発塵異物が付着することが防止される。超音波振動が利用されるため、加熱が利用される方法に比べて吸引排気中であってもエネルギーが有効に利用され得る。また、吸引排気のオン／オフに合わせて超音波振動をオン／オフさせることが可能であり、すなわち吸引排気停止時に超音波振動を停止させてエネルギーを節約することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１の実施の形態による排気装置の概略側面図である。
【図２】図１の排気装置を備える基板処理装置の概略側面図である。
【図３】図１の排気装置を備える基板処理装置の概略平面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態による排気装置の概略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図１は、本発明の第１の実施の形態による排気装置の概略側面図である。図２は、図１の排気装置を備える基板処理装置の概略側面図である。図３は、図１の排気装置を備える基板処理装置の概略平面図である。
【００２７】
図２及び図３に示すように、本実施の形態の基板処理装置２０は、基板投入口２２を有する基板処理室２１と、基板処理室２１の基板投入口２２に接続された排気装置１０と、を備えている。本実施の形態では、処理対象の基板４１は、例えばカラーフィルタが形成されるべきガラス基板であり、基板４１の表面には硬化前の樹脂材料が予め塗布されている。
【００２８】
図３に示すように、本実施の形態の基板投入口２２は横長形状を有しており、基板処理室２１の正面側壁を貫通するように設けられている。
【００２９】
一方、基板処理室２１の背面側壁には、基板処理室２１の内部において基板４１を加熱する基板加熱装置２５が設けられている。基板加熱装置２５は、具体的にはそれ自体は公知の熱風循環装置であり、加熱された空気を基板処理室２１の内部に循環させるようになっている。
【００３０】
基板処理室２１の内部には、複数枚の基板４１を保持する基板保持棚２３が配置されている。図２に示すように、基板保持棚２３は上下方向に積み重ねられた複数の基板保持空間を有しており、各基板保持空間に基板４１が一枚ずつ水平に収容されるようになっている。
【００３１】
基板保持棚２３の底面には昇降装置２４が接続されている。昇降装置２４は、例えばモータを有しており、基板保持棚２３を基板処理室２１内で昇降移動させるようになっている。昇降装置２４によって基板保持棚２３が昇降移動されることにより、各基板保持空間の側面が基板投入口２２と順番に対向されるようになっている。
【００３２】
図１に示すように、本実施の形態による排気装置１０は、一端部から他端部まで筒状に延びる排気路１１と、排気路１１の他端部の上方領域に隣接するように設けられた第２排気路１２と、第２排気路１２に設けられ、排気路１１の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流を第２排気路１２から吸引排気する吸引排気口１６と、第２排気路１２を規定する壁体に取り付けられ、当該壁体を超音波振動させる超音波振動子１３と、を備えている。
【００３３】
本実施の形態において、排気路１１内の下方領域とは、処理対象の基板４１が通過する領域である。すなわち、処理対象の基板４１は、排気路１１内の下方領域を移動されることにより、基板投入口２２を通過されるようになっている。
【００３４】
例えば、本実施の形態では、排気路１１の内部空間の全体の高さが２００ｍｍであり、そのうち天井から１００ｍｍ下方までの領域が上方領域であり、それより下方の領域が下方領域である。排気路１１内の上方領域と下方領域との間の境界面３０を、図１内に一点鎖線で参考のために示しておく。例えば、当該境界面３０は、基板投入口２２の下端より１００ｍｍ上方に位置している。
【００３５】
図１に示すように、本実施の形態では、第２排気路１２を規定する壁体は、側面視略「コ」字形状を有しており、開口部が下方に向けられた姿勢で、排気路１１の他端部の上方領域に隣接して設けられている。より詳しくは、第２排気路１２を規定する壁体は、排気路１１の他端部に隣接する内側壁体１２ｂと、当該内側壁体１２ｂと対向する外側壁体１２ａと、内側壁体１２ｂの上端部と外側壁体１２ａの上端部とを接続する天井側壁体１２ｃと、を有している。第２排気路１２の寸法は、例えば、高さ２００ｍｍ、図１における左右方向の幅１００ｍｍ、図１における紙面に垂直な方向（図３における上下方向）の長さ１０００ｍｍである。第２排気路１２の壁体の材質としては、耐腐食性の高いものが好ましく、例えばジュラルミン、アルミ、ステンレス等が用いられる。
【００３６】
なお、第２排気路１２を規定する壁体は、図示された例では側面視略「コ」字形状を有しているが、これに限定されず、例えば側面視略「Ｕ」時形状を有していてもよい。
【００３７】
本実施の形態では、図１に示すように、排気路１１の他端部の下方領域に、開閉可能なシャッタ１８が配置されている。シャッタ１８は平板形状を有しており、基端部が排気路１１の底面にヒンジ結合されている。
【００３８】
シャッタ１８が基端部を中心に図１における左回りに回動され、先端部が第２排気路１２の内側壁体１２ｂの下端部に当接されることにより、排気路１１の他端部がシャッタ１８によって密閉されるようになっている。また、シャッタ１８が基端部を中心に図１における右回りに回動され、先端部が第２排気路１２の内側壁体１２ｂの下端部から離間されることにより、排気路１１の他端部が開放されるようになっている。
【００３９】
図３に示すように、本実施の形態では、２つの吸引排気口１６が、第２排気路１２の両端部にそれぞれ設けられている。各吸引排気口１６には、それぞれ、吸引排気装置２６が接続されている。各吸引排気装置２６により各吸引排気口１６から第２排気路１２内の空気が吸引排気されることにより、第２排気路１２内が減圧されるようになっている。
【００４０】
本実施の形態の超音波振動子１３は、図３に示すように、第２排気路１２の外側壁体１２ａの外壁面において、図３における上下方向の中央に１個だけ取り付けられている。
【００４１】
超音波振動子１３としては、例えばボルト締めランジュバン型超音波振動子が用いられる。ボルト締めランジュバン型超音波振動子の詳細は、ＪＩＳ  Ｃ６０１０に規定された内容に準じている。超音波振動子１３には、不図示の交流電源が電気的に接続されている。不図示の交流電源から超音波振動子１３に交流電圧が印加されることにより、超音波振動子１３の先端部分は、交流電圧の周波数に対応する所定の振動数で振動するようになっている。
【００４２】
超音波振動子１３の基端部分は、基板処理室２１に対して静止された不図示の支持部材に固定支持されており、超音波振動子１３の先端部分は、第２排気路１２の外側壁体の外壁面に接着剤を用いて接着固定されている。超音波振動子１３の先端部分の超音波振動は、当該先端部分と第２排気路１２の壁体との接着部分を起点として、第２排気路１２の壁体全体に伝播されるようになっている。
【００４３】
本実施の形態の超音波振動子１３は、第２排気路１２の壁体を当該壁体の固有振動数で超音波振動させるようになっている。より詳しくは、第２排気路１２の壁体の構造（形状、寸法、材質等）と、第２排気路１２の壁体に対する超音波振動子１３の先端部分の接触面積と、を考慮して、振動解析のシミュレーションにより、第２排気路１２の壁体の固有振動数が算出される。そして、算出された固有振動数で共振するように、超音波振動子１３の構造（ホーン部分の寸法等）が設計されている。
【００４４】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
図１を参照し、シャッタ１８が基端部を中心に図１における左回りに回動され、排気路１１の他端部が密閉された状態で、基板加熱装置２５によって基板処理室２１内に加熱された空気が循環され、基板処理室２１内は高温（例えば１５０℃〜３００℃）かつ陽圧に維持される。基板処理室２１内と排気路１１内とは基板投入口２２を介して連通されているため、排気路１１内も高温かつ陽圧に維持される。
【００４５】
基板保持棚２３には複数枚の基板４１が保持されている。各基板４１は基板処理室２１内に循環される空気によって熱処理され、各基板４１の表面の樹脂材料から昇華成分が昇華される。これにより、各基板４１の表面の樹脂材料が硬化される。
【００４６】
次に、熱処理済みの基板４１が基板処理室２１から搬出される工程を説明する。
まず、昇降装置２４によって基板保持棚２３が昇降移動され、搬出されるべき基板４１が収容された基板保持空間の側面が基板投入口２２と対向される。
【００４７】
吸引排気装置２６により各吸引排気口１６から第２排気路１２内の空気が吸引排気されて、第２排気路１２内が減圧されると共に、超音波振動子１３によって第２排気路１２の壁体が超音波振動される。本実施の形態では、第２排気路１２の壁体は、その固有振動数で超音波振動される（共振される）。
【００４８】
シャッタ１８が基端部を中心に図１における右回りに回動され、排気路１１の他端部が開放される。排気路１１内と第２排気路１２内との圧力差によって、排気路１１内の空気が第２排気路１２から吸引排気される。これにより、排気路１１内の圧力が低下する。
【００４９】
そして、排気路１１内と基板処理室２１内との圧力差により、基板処理室２１内の発塵異物（例えば基板４１の表面から昇華した昇華成分）が基板投入口２２を通って排気路１１内に流出する。排気路１１の一端部側と他端部側との圧力差により、排気路１１内には一端部から他端部に向かう空気流が形成されている。そのため、排気路１１内に流出する発塵異物は、当該空気流によって押し流されて、第２排気路１２から吸引排出される。符号４５は、発塵異物の流れを示している。
【００５０】
ここで、吸引排気装置１６により第２排気路１２内の空気が吸引排気されることで、第２排気路１２内は第１排気路１１内より低温状態になっている。そのため、発塵異物に含まれる昇華成分は、第２排気路１２の近傍で冷却されて析出する。
【００５１】
しかしながら、本実施の形態では、超音波振動子１３によって第２排気路１２の壁体が超音波振動されているため、第２排気路１２の壁面に接触する発塵異物は当該壁面から振動エネルギーを受けて弾き飛ばされ、吸引排気口１６により吸引排気される。これにより、第２排気路１２の壁面に発塵異物が付着することが防止される。
【００５２】
次に、排気路１１の他端部の下方領域から不図示の基板搬送ロボットのハンドが挿入され、排気路１１内を他端部から一端部に向けて水平に移動され、基板投入口２２を通って基板処理室２１内に挿入される。そして、基板保持棚２３に保持された基板４１が当該ハンドに乗せられる。次に、当該ハンドが基板４１と一緒に基板処理室２１内から基板投入口２２を通って引き出され、排気路１１内の下方領域を一端部から他端部に向けて水平に移動され、排気路１１の他端部の下方領域から外部に引き出される。
【００５３】
本実施の形態では、第２排気路１２の壁面に発塵異物が付着することが防止されているため、第２排気路１２の壁面に付着して堆積した発塵異物が当該壁面から剥離して、搬送中の基板４１上に落下する、という問題が生じない。そのため、基板４１の製品不良率が顕著に低減され得る。
【００５４】
なお、基板搬送ロボットのハンドの駆動部から排気路１１内に放出される発塵異物も、排気路１１の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流によって押し流されて、第２排気路１２から排出される。
【００５５】
次に、シャッタ１８が基端部を中心に図１における左回りに回動され、排気路１１の他端部が密閉される。そして、吸引排気口１６による第２排気路１２からの吸引排気と、超音波振動子１３による第２排気路１２の壁体の超音波振動とが停止される。
【００５６】
その後、以上のような基板処理室２１から基板４１が搬出される工程が前述とは逆の順序で行われることにより、熱処理前の別の基板４１が、基板搬送ロボットのハンドによって、排気路１１内の下方領域を他端部から一端部に向けて移動され、基板投入口２２を通って基板処理室２１内に搬入され得る。基板処理室２１からの基板４１の搬出・搬入に伴って、シャッタ１８は例えば１分毎に開閉され得る。
【００５７】
以上のような本実施の形態によれば、排気路１１の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流が吸引排気口１６により第２排気路１２から吸引排気されることで、当該空気流に含まれる発塵異物が排気路１１の外部へ流出することが防止される。また、この時、超音波振動子１３によって第２排気路１２の壁体が超音波振動されることで、第２排気路１２の壁面に接触する発塵異物は当該壁面から振動エネルギーを受けて弾き飛ばされ、吸引排気口１６により吸引排気される。これにより、第２排気路１２の壁面に発塵異物が付着することが防止される。超音波振動が利用されるため、加熱が利用される方法に比べて吸引排気中であってもエネルギーが有効に利用され得る。また、吸引排気のオン／オフに合わせて超音波振動をオン／オフさせることが可能であり、すなわち吸引排気停止時に超音波振動を停止させてエネルギーを節約することが可能である。本実施の形態では、第２排気路１２が排気路１１の上方領域に隣接するように設けられているため、発塵異物が排気路内の空気より軽い場合に、より効果的である。
【００５８】
また、本実施の形態によれば、超音波振動子１３が第２排気路１２の壁体を当該壁体の固有振動数で超音波振動させるようになっているため、当該壁体は超音波振動子によって大きな振幅で振動される（共振される）。これにより、第２排気路１２の壁面に発塵異物が付着することがより効果的に防止される。
【００５９】
なお、本実施の形態の排気装置１０では、超音波振動子１３が第２排気路１２の壁体に１つだけ取り付けられていたが、これに限定されず、超音波振動子１３が第２排気路１２の壁体に２つ以上取り付けられていてもよい。この場合、第２排気路１２の壁体の寸法が大きくても、第２排気路１２の壁体全体に超音波振動を効果的に伝播させることができるという利点があるが、各超音波振動子１３から伝播される超音波振動の波が干渉して、第２排気路１２の壁体上に振動が弱め合う点（いわゆる「節」）が生じるという欠点もあるため、これらの点が考慮されて超音波振動子１３の設置個数が決定されるべきである。
【００６０】
また、本実施の形態の排気装置１０では、超音波振動子１３が第２排気路１２の外側壁体１２ａに取り付けられていたが、これに限定されず、内側壁体１２ｂに取り付けられていてもよいし、天井側壁体１２ｃに取り付けられていてもよい。排気路１１の一端部から供給されて他端部に流れてくる空気流に押し流される発塵異物は、空気流の向きにより排気路１２の外側壁体１２ａに付着しやすいため、外側壁体１２ａをより強く振動させるように外側壁体１２ａに超音波振動子１３が取り付けられていることが、より好ましい。
【００６１】
また、更なる超音波振動子が、排気路１１を規定する壁体に取り付けられていてもよい。この場合、更なる超音波振動子により排気路１１を規定する壁体が超音波振動されることで、排気路１１の壁面に発塵異物が付着することが防止される。
【００６２】
なお、本実施の形態の排気装置１０は、基板処理室２１の正面側壁に１つだけ設けられていたが、これに限定されず、基板処理室２１の正面側壁に複数個が設けられていてもよい。
【００６３】
また、本実施の形態の排気装置１０では、シャッタ１８が排気路１１の底面にヒンジ結合されて回動されるようになっていたが、これに限定されず、例えばシャッタ１８が鉛直に立てられた状態のまま上下方向にスライドされるようになっていてもよい。
【００６４】
また、本実施の形態の排気装置１０では、シャッタ１８が排気路１１の他端部に設けられていたが、これに限定されず、例えばシャッタ１８が排気路１１の一端部に基板投入口２２に隣接して設けられていてもよい。
【００６５】
次に、図４を参照し、本発明の第２の実施の形態による排気装置について説明する。
図４において、第２の実施の形態による排気装置１０’は、第２排気路１２が排気路１１の他端部の下方領域に設けられていると共に、シャッタ１８が排気路１１の他端部の上方領域に設けられている点が異なるのみであり、その他の構成は図１に示す実施の形態と同様である。
【００６６】
図４において、図１に示す第１の実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６７】
以上のような第２の実施の形態によっても、第１の実施の形態と同様の作用効果が得られる。第２の実施の形態では、第２排気路１２が排気路１１の他端部の下方領域に隣接するように設けられているため、発塵異物が排気路１１内の空気より重い場合に、より効果的である。
【符号の説明】
【００６８】
１０    排気装置
１０’  排気装置
１１    排気路
１２    第２排気路
１２ａ  第２排気路の外側壁体
１２ｂ  第２排気路の内側壁体
１２ｃ  第２排気路の天井側壁体
１３    超音波振動子
１６    吸引排気口
１８    シャッタ
２０    基板処理装置
２１    基板処理室
２２    基板投入口
２３    基板保持棚
２４    昇降装置
２５    基板加熱装置
２６    吸引排気装置
３０    境界面
４１    基板
４５    発塵異物の流れ
【図１】
2015129602.tif 000003
【図２】
2015129602.tif 000004
【図３】
2015129602.tif 000005
【図４】
2015129602.tif 000006