(57)【要約】【課題】本発明は，不安定振動の発生を抑えた静圧軸受を提供することを課題とする。【解決手段】静圧軸受は，静圧軸受は，軸受剛性に異方性を有するように構成されていることを特徴とする。【選択図】図３
2015113884.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の貫通孔が周方向の異なる位置に配設され，回転軸を挿設可能な円筒状の軸受部材を備え，前記貫通孔に予め加圧された潤滑流体を供給し，前記潤滑流体の静圧により前記回転軸を回転自在に支持するように構成された静圧軸受であって，
前記静圧軸受は，軸受剛性に異方性を有するように構成されている
ことを特徴とする静圧軸受。
【請求項２】
前記貫通孔は，少なくとも一箇所のある位置における周方向で互いに隣接する前記貫通孔同士の間隔が，少なくとも一箇所の他の位置における前記間隔と異なるように配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の静圧軸受。
【請求項３】
前記貫通孔は，ある位置の少なくとも一つの貫通孔の穴径が他の位置の少なくとも一つの貫通孔の穴径と異なるように構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の静圧軸受。
【請求項４】
前記潤滑流体を所定の圧力に予め加圧する外部供給手段と，
ある位置に配置された少なくとも一つの貫通孔に供給される前記潤滑流体の供給圧力が，他の位置に配置された少なくとも一つの貫通孔に供給される前記潤滑流体の供給圧力と異なるように，前記外部供給手段によって加圧された前記潤滑流体の供給圧力を調整する調整手段と，を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の静圧軸受。
【請求項５】
前記静圧軸受は，前記回転軸の中心が高速回転時に楕円軌道を描くように軸受剛性に異方性を有するように構成されている
ことを特徴とする請求項１から前記請求項４のいずれか１項に記載の静圧軸受。
【請求項６】
複数の貫通孔が周方向の異なる位置に配設され，回転軸を挿設可能な円筒状の軸受部材を備え，前記貫通孔に予め加圧された潤滑流体を供給し，前記潤滑流体の静圧により前記回転軸を回転自在に支持するように構成された静圧軸受と，前記回転軸とを備える回転機械であって，
前記静圧軸受は，軸受剛性に異方性を有するように構成されている
ことを特徴とする回転機械。
【請求項７】
前記回転軸は，複数の前記静圧軸受によって支持され，
複数の前記静圧軸受は，複数の前記各静圧軸受の周方向の軸受剛性分布を重ね合わせた軸受剛性に異方性を有するように構成されている
ことを特徴とする請求項６に記載の回転機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，潤滑流体の静圧により回転軸を支持する静圧軸受，特に高速回転機械に適用可能な静圧軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
タービンや圧縮機などの回転機械では，回転軸を支持するために，すべり軸受，転がり軸受，磁気軸受など様々な形式の軸受が使用されている。すべり軸受は，さらに動圧型と静圧型に分類される。
【０００３】
動圧型軸受は，軸受隙間に介在している潤滑流体膜（油などの液体，空気などの気体）が回転軸と軸受の相対すべり運動によって生じるくさび状隙間に引き込まれる際，その粘性によって発生する圧力（動圧）によって荷重を支えるものである。
【０００４】
一方，静圧型軸受は，予め加圧された高圧の潤滑流体を回転軸と軸受の隙間内に導入し，その潤滑流体の静圧によって回転軸の荷重を支えるものである。静圧型軸受の代表例として，図７に示すように，回転軸４０１が挿設された筒状の軸受部材４０２を備え，該軸受部材４０２には，放射方向に延びる同じ穴径である複数の貫通孔４０３が周方向に等間隔に配置され，各貫通孔４０３へ同じ圧力の潤滑流体４０４が供給されるように構成された静圧型軸受４００が知られている。
【０００５】
ところで，ラジアル軸受に関して，動圧型軸受では，回転軸の回転数を増加させていくと，ある時点で突然，回転軸の振動が大きくなる。この振動は，軸受内を回転する潤滑膜の動圧効果に起因して回転軸が回転方向へ振れ回る自励的な不安定振動である。静圧型軸受でも，高速回転時に動圧型軸受と同様の動圧効果が現れるので，同様に不安定振動が発生することが知られている。
【０００６】
この不安定振動を抑える方法として，静圧型軸受では，放射方向から斜めに傾いた貫通孔から回転軸に対して回転方向と反対方向に向けて潤滑流体を供給することで，回転軸の回転方向への振れ回りを抑える方法が知られている。また，上方に位置する貫通孔を下方に位置する貫通孔よりも穴径を大きくし，水平方向を向いた回転軸に対して上方の貫通孔からより大きな圧力の潤滑流体を供給することで，意図的に回転軸を下方に偏心させて回転軸の振れ回りを抑える方法が知られている。
【０００７】
なお，動圧型軸受に関して，例えば特許文献１には，動圧型ティルティングパッド軸受において，荷重方向に位置するパッドの受圧面の面積を周方向両隣のパッドの受圧面の面積より大きくすることにより，荷重直角方向の軸受剛性を低下させ，軸受剛性の異方性を高めることで，不安定振動を抑制する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１２−１４９６９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところが，静圧型軸受のための前者の方法では，軸受に斜めの貫通孔を複数設けるので加工が面倒であると共に，貫通孔の傾き具合によっては，回転軸に回転方向と逆方向の振れ回り力を発生させるおそれがあった。また，後者の方法では，軸受に異なる径の貫通孔を加工するので加工が面倒になると共に，回転軸の偏心が大きすぎると，回転軸の底面と軸受の間が非常に狭くなるので，わずかな振動によって回転軸が軸受に接触するおそれがあるという問題があった。
【００１０】
そこで，本発明は，このような問題を生じさせずに，より確実に不安定振動の発生を抑制できる静圧型軸受（以降，「静圧軸受」という。）を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するために，本発明に係る静圧軸受は次のように構成したことを特徴とする。
【００１２】
まず，本願の請求項１に記載の発明は，
複数の貫通孔が周方向の異なる位置に配設され，回転軸を挿設可能な円筒状の軸受部材を備え，前記貫通孔に予め加圧された潤滑流体を供給し，前記潤滑流体の静圧により前記回転軸を回転自在に支持するように構成された静圧軸受であって，
前記静圧軸受は，軸受剛性に異方性を有するように構成されている
ことを特徴とする。
【００１３】
本願の請求項２に記載の発明は，前記請求項１に記載の発明において，
前記貫通孔は，少なくとも一箇所のある位置における周方向で互いに隣接する前記貫通孔同士の間隔が，少なくとも一箇所の他の位置における前記間隔と異なるように配置されている
ことを特徴とする。
【００１４】
本願の請求項３に記載の発明は，前記請求項１に記載の発明において，
前記貫通孔は，ある位置の少なくとも一つの貫通孔の穴径が他の位置の少なくとも一つの貫通孔の穴径と異なるように構成されている
ことを特徴とする。
【００１５】
本願の請求項４に記載の発明は，前記請求項１に記載の発明において，
前記潤滑流体を所定の圧力に予め加圧する外部供給手段と，
ある位置に配置された少なくとも一つの貫通孔に供給される前記潤滑流体の供給圧力が，他の位置に配置された少なくとも一つの貫通孔に供給される前記潤滑流体の供給圧力と異なるように，前記外部供給手段によって加圧された前記潤滑流体の供給圧力を調整する調整手段と，を備える
ことを特徴とする。
【００１６】
また，本願の請求項５に記載の発明は，前記請求項１から前記請求項４のいずれか１項に記載の発明において，
前記静圧軸受は，前記回転軸の中心が高速回転時に楕円軌道を描くように軸受剛性に異方性を有するように構成されている
ことを特徴とする。
【００１７】
また，本願の請求項６に記載の発明は，
複数の貫通孔が周方向の異なる位置に配設され，回転軸を挿設可能な円筒状の軸受部材を備え，前記貫通孔に予め加圧された潤滑流体を供給し，前記潤滑流体の静圧により前記回転軸を回転自在に支持するように構成された静圧軸受と，前記回転軸とを備える回転機械であって，
前記静圧軸受は，軸受剛性に異方性を有するように構成されている
ことを特徴とする。
【００１８】
また，本願の請求項７に記載の発明は，前記請求項６に記載の発明において，
前記回転軸は，複数の前記静圧軸受によって支持され，
複数の前記静圧軸受は，複数の前記各静圧軸受の周方向の軸受剛性分布を重ね合わせた軸受剛性に異方性を有するように構成されている
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
以上の構成により，本願各請求項に係る発明によれば，次の効果が得られる。
【００２０】
請求項１に係る発明によれば，軸受剛性に異方性があるので，回転軸の回転数を増加させても，回転軸が，回転軸の回転方向への振れ回りが助長されにくい非円軌道（例えば楕円軌道）を描くこととなり，不安定振動の発生回転数を従来よりも高めることができる。したがって，より確実に不安定振動の発生を抑制することができる。
【００２１】
請求項２に係る発明によれば，複数の貫通孔は，互いに等しい間隔で配置されていないので，軸受剛性に異方性を持たせることができる。よって，請求項１に係る発明と同様の効果を奏することができる。
【００２２】
請求項３に係る発明によれば，複数の貫通孔は，各穴径が等しくないので，軸受剛性に異方性を持たせることができる。よって，請求項１に係る発明と同様の効果を奏することができる。
【００２３】
請求項４に係る発明によれば，複数の貫通孔は，各貫通孔に潤滑流体を供給する外部圧力が等しくないので，軸受剛性に異方性を持たせることができる。よって，請求項１に係る発明と同様の効果を奏することができる。
【００２４】
請求項５に係る発明によれば，回転軸の中心が高速回転時に楕円軌道を描くように軸受剛性に異方性を有するように構成されているので，回転軸の回転数を増加させても，回転軸が，回転軸の回転方向への振れ回りが助長されにくく，不安定振動の発生回転数を従来よりも高めることができる。したがって，より確実に不安定振動の発生を抑制することができる。
【００２５】
請求項６に係る発明によれば，軸受剛性に異方性がある静圧軸受によって回転軸を支持しているので，請求項１と同様に，回転機械における不安定振動の発生を抑制することができる。
【００２６】
請求項７に係る発明によれば，回転軸を支持する複数の静圧軸受は，複数の各静圧軸受の周方向の軸受剛性分布を重ね合わせた軸受剛性に異方性を有するように構成されているので，例えば複数の静圧軸受全体の軸受剛性に着目する場合にも，１つの静圧軸受の軸受剛性に着目する場合と同様に，回転軸の回転数を増加させても，回転軸が，回転軸の回転方向への振れ回りが助長されにくい非円軌道（例えば楕円軌道）を描くこととなり，不安定振動の発生回転数を従来よりも高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１実施例に係る静圧軸受を適用した回転機械を示す一部断面斜視図である。
【図２】同静圧軸受の構成を示す側面図と長手方向断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線での断面図である。
【図４】本発明の第２実施例に係る静圧軸受に関する図３と同様の断面図である。
【図５】本発明の第３実施例に係る静圧軸受に関する図３と同様の断面図である。
【図６】従来例と第１〜３実施例に係る静圧軸受の安定性を比較する図である。
【図７】静圧軸受の従来例を概略的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下，添付図面を参照して本発明に係る静圧軸受の実施例を説明する。
【００２９】
（第１実施例）
図１は，工作機械などの回転機械１０に組み込まれた静圧軸受（静圧軸受機構）１００を示す。なお，回転機械１０としては他にもターボチャージャ，タービン膨張機，タービン式冷凍機等がある。回転機械１０は，中実円筒状の回転軸（シャフト）２を有する。回転軸２は，静圧軸受１００によって，該静圧軸受１００の中心を通る中心軸１０１を中心に回転自在に支持されている。例えば，回転機械１０が横置式の蒸気タービンの場合，回転軸２はその中心軸１４が水平に置かれ，その一端側には蒸気圧力を回転力に変換する回転翼（図示せず）が取り付けられる。なお，図１は，静圧軸受１００の中心軸１０１と回転軸２の中心軸１４が同軸上にある場合を図示しているが，回転軸２は，回転時，その中心軸１４が静圧軸受１００の中心軸１０１からわずかに偏心して振れ回ることがある。
【００３０】
静圧軸受１００は中空内筒１０２と中空外筒１０４を有し，外筒１０４の内側に内筒１０２が挿入されている。詳細に説明すると，内筒１０２は，回転軸２の外径よりもわずかに大きな内径を有し，回転軸２は中心軸１０１を中心に回転可能に支持される。外筒１０４は内筒１０２の外径と同一又はほぼ同一の内径を有し，内筒１０２は外筒１０４の内側に回転不能に支持されている。
【００３１】
内筒１０２を外筒１０４の内側に隙間なく固定するために，例えば，焼ばめ（焼かしめ）を用いることができる。この場合，外筒１０４を加熱し膨張させてその内径を広げ，その広げた外筒１０４に内筒１０２をはめ入れ，冷却状態（常温状態又は使用温度状態）で両者を固着させる。または，中心軸１０１を含む面に沿って外筒１０４を２つの分割筒に二分割し，これらの分割筒を内筒１０２の周囲に組み付けて固定してもよい。
【００３２】
内筒１０２の内周面と回転軸２の外周面との間に形成される所定厚さの隙間（潤滑空間）に潤滑流体２０（液体又は気体）を供給するために，内筒１０２と外筒１０４には複数の流路が形成される。実施例では，図１〜図３に示すように，内筒１０２の軸方向中央にあって中心軸１０１に直交する横断面１０９上には，中心軸１０１から放射方向に向けて伸びる複数の貫通孔１１０がそれぞれ形成されている。
【００３３】
図２（ａ）と図３に詳細に示すように，図示の状態で，上部領域と下部領域には，それぞれ複数の貫通孔１１０ｙが上下方向の軸Ｙに対称に，かつ，周方向に一定の間隔（角度）θをあけて形成されている。また，図示の状態で，左領域と右領域には，それぞれ複数の貫通孔１１０ｘが水平方向の軸Ｘに対称に，かつ，周方向に一定の間隔（角度）θをあけて形成されている。さらに，図示の状態で，上部領域または下部領域と，左領域または右領域との間には，貫通孔１１０が設けられていない穴無領域がある。なお，実施例では，上述の間隔θは，５〜１５度に設定されている。また，実施例では，上部領域及び下部領域の貫通孔１１０ｙと左領域と右領域の貫通孔１１０ｘの内径を等しく，また，上部領域と下部領域の貫通孔１１０ｙの数を「６」，左領域と右領域の貫通孔１１０ｘの数を「２」として，複数の貫通孔１１０ｙを介して上下方向から供給される潤滑流体２０の量が複数の貫通孔１１０ｘを介して左右領域から供給される潤滑流体２０の量よりも多くなるようにしてある。
【００３４】
図１と図２に示すように，外筒１０４には，内筒１０２と組み合わせた状態で上述した横断面１０９上に位置する場所に，中心軸１０１から放射方向に伸びる貫通孔１１０と，貫通孔１１０に連通し，内周面に沿って周方向に連続した管状溝のマニホールド１１４が形成されている。したがって，外筒１０４に内筒１０２を組み合わせた状態で，内筒貫通孔１１０はマニホールド１１４及び該マニホールド１１４を介して外筒貫通孔１１２に連通する。
【００３５】
図１に示すように，外筒貫通孔１１２は潤滑流体供給管１６が接続される。潤滑流体供給管１６は，加圧された潤滑流体２０を供給する潤滑流体供給源１８に接続される。
【００３６】
このように構成された静圧軸受１００によれば，内筒１０２の内側に回転軸２が挿通される。この状態で，回転軸２の外周面と内筒１０２の内周面との間には隙間又は潤滑空間（図示せず）が形成される。そして，潤滑流体供給源１８から供給された潤滑流体２０は，外筒貫通孔１１２を介してマニホールド１１４に供給される。マニホールド１１４に供給された潤滑流体２０は該マニホールド１１４に沿って周方向に分散し，これに連通した内筒貫通孔１１０を介して軸受空間に供給される。
【００３７】
内筒貫通孔１１０から軸受空間に供給された潤滑流体２０は，図２〜図３に表された状態で，上部領域と下部領域及び左領域と右領域において静圧軸受１００の中心軸１０１に向けて回転軸２を付勢する。上述のように，上部領域と下部領域には左領域と右領域よりも多くの貫通孔１１０が形成されており，上下方向から回転軸２に加わる力Ｆｙが左右方向から回転軸２に加わる力Ｆｘよりも大きいため，上下方向の軸受剛性が水平方向の軸受剛性よりも高い。その結果，回転軸２の中心は楕円軌跡を描くことになる。内筒と回転軸の間の隙間流れに起因する自励性の振動について，回転軸が内筒の中心に関して円運動する場合には運動が成長するのに対し，回転軸が内筒の中心に関して楕円運動する場合には円運動する場合よりも安定になる（運動が成長しない）ことが知られていることから，回転軸２の中心が楕円軌跡を描くことで，通常回転時はもとより，高速回転時の不安定振動も低減することになる。
【００３８】
（第２実施例）
図４は，第２実施例に係る静圧軸受２００の内筒２０２を示す。本実施例の内筒２０２は，中心軸１０１に直交する少なくとも一つの横断面上に，周方向に一定の間隔をあけて，放射方向に伸びる貫通孔２１０が多数形成されている。実施例では，１６個の貫通孔２１０がθ＝２２．５度の角度をあけて形成されている。以下，必要に応じて，１２時の方向にある貫通孔を符号２１０（１），この貫通孔２１０（１）から時計周り方向に２２．５度ずつ隔てた貫通孔を符号２１０（２）・・・２１０（１６）で示す。また，図示するように，上部領域の４つの貫通孔２１０（１５）〜２１０（３）と下部領域の４つの貫通孔２１０（７）〜２１０（１１）の内径は，右領域の３つの貫通孔２１０（４）〜２１０（６）と左領域の３つの貫通孔２１０（１２）〜２１０（１４）の内径よりも大きくしてある。なお，図示しないが，外筒２０４は第１実施例の外筒１０４と同じである。
【００３９】
このように構成された第２実施例の静圧軸受２００によれば，上下方向から供給される潤滑流体２０の量が左右領域から供給される潤滑流体２０の量よりも多く，回転軸２が上下方向に与圧されて，回転軸２が非円軌道（例えば楕円軌道）を描く。
【００４０】
（第３実施例）
図５は，第３実施例に係る静圧軸受３００を示す。本実施例において，内筒３０２は，中心軸１０１に直交する少なくとも一つの横断面上に，周方向に一定の間隔をあけて，放射方向に伸びる貫通孔３１０が多数形成されている。実施例では，１６個の貫通孔３１０がθ＝２２．５度の角度をあけて形成されている。以下，必要に応じて，１２時の方向にある貫通孔を符号３１０（１），この貫通孔３１０（１）から時計周り方向に２２．５度ずつ隔てた貫通孔を符号３１０（２）・・・３１０（１６）で示す。第２実施例と異なり，各貫通孔３１０（１）〜３１０（１６）は同じ内径を有する。
【００４１】
外筒３０４は，内筒貫通孔３１０に対応する横断面上において，上部領域貫通孔３１０（１５）〜３１０（３），右領域貫通孔３１０（４）〜３１０（６），下部領域貫通孔３１０（７）〜３１０（１１），左領域貫通孔３１０（１２）〜３１０（１４）にそれぞれ対向する内周面領域に，互いに連通しない，周方向に伸びる４つの溝又はマニホールド３１４（１５〜３），３１４（４〜６），３１４（７〜１１），３１４（１２〜１４）と，これら４つのマニホールドにそれぞれ連通する外筒貫通孔３１２（１５〜３），３１２（４〜６），３１２（７〜１１），３１２（１２〜１４）が形成されている。また，貫通孔３１２（１５〜３），３１２（４〜６），３１２（７〜１１），３１２（１２〜１４）は，それぞれ圧力調整機構３１６（１５〜３），３１６（４〜６），３１６（７〜１１），３１６（１２〜１４）を介して潤滑流体供給源１８に接続されている。
【００４２】
このように構成された第３実施例の静圧軸受３００によれば，動作時，潤滑流体供給源１８から供給された潤滑流体２０は，その圧力が圧力調整機構３１６（１５〜３），３１６（４〜６），３１６（７〜１１），３１６（１２〜１４）によって調整された後，対応するマニホールド３１４（１５〜３），３１４（４〜６），３１４（７〜１１），３１４（１２〜１４）を介して貫通孔３１０（１５）〜３１０（３），３１０（４）〜３１０（６），３１０（７）〜３１０（１１），３１０（１２）〜３１０（１４）から軸受空間に供給される。
【００４３】
本実施例において，調整後の圧力は，上部領域貫通孔３１０（１５）〜３１０（３），と下部領域貫通孔３１０（７）〜３１０（１１）から供給される潤滑流体２０の圧力が右領域貫通孔３１０（４）〜３１０（６）と左領域貫通孔３１０（１２）〜３１０（１４）から供給される潤滑流体２０の圧力よりも大きい。上部領域貫通孔３１０（１５）〜３１０（３）から供給される潤滑流体２０の圧力と下部領域貫通孔３１０（７）〜３１０（１１）から供給される潤滑流体２０の圧力は同じでもよいし，一方が他方よりも大きくてもよい。ただし，右領域貫通孔３１０（４）〜３１０（６）から供給される潤滑流体２０の圧力と左領域貫通孔３１０（１２）〜３１０（１４）から供給される潤滑流体２０の圧力は同じであることが好ましい。
【００４４】
したがって，第３実施例の静圧軸受３００によれば，上下方向から供給される潤滑流体２０の量が左右領域から供給される潤滑流体２０の量よりも多く，回転軸２が上下方向に与圧されて，回転軸２が非円軌跡を描く。
【００４５】
（安定性の比較）
第１〜３実施例に係る静圧軸受１００，２００，３００と，周方向に等間隔に複数の内筒貫通孔を形成するとともにこれら複数の内筒貫通孔から一定圧力の潤滑流体を軸受空間に供給するように構成された等方性静圧軸受（比較例）について，回転軸の安定性をシミュレーションを用いて検討した。検討の結果を図６に示す。図６は，横軸に回転軸回転数，縦軸に減衰比を示す。減衰比は，回転軸の振動を示す指標で，＋側が安定振動領域，−側が不安定振動領域を表す。
【００４６】
この図から明らかなように，比較例の等方性静圧軸受では，回転数の増加に応じて不安定振動が増加し，比較的低い回転数Ｎ０で，安定領域から不安定領域に陥る。これに対し，第１〜３実施例に係る異方性静圧軸受では，比較的高い回転数Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３（＞Ｎ０）まで安定領域が維持される。
【００４７】
（他の実施例）
以上，第１〜３実施例について説明したが，本発明の静圧軸受は種々改変可能である。
【００４８】
例えば，第１実施例では，一つの横断面１０９上に内筒貫通孔１１０を形成した一列給気の場合について説明したが，複数の横断面１０９上に内筒貫通孔１１０を形成した２列以上の給気としてもよい。第２，３実施例についても，一つ又は複数の横断面１０９上に内筒貫通孔１１０を形成してもよい。
【００４９】
また，第１〜３実施例について，各横断面上に形成する内筒貫通孔の数は適宜変更できる。例えば，第１〜３実施例における上部領域と下部領域，右領域と左領域に設ける内筒貫通孔の数は上述した例に限るものでない。同様に，内筒貫通孔の数の他，内筒貫通孔の大きさや内筒貫通孔毎の潤滑流体の供給圧力，およびこれらの組み合わせも適宜変更できる。要するに，軸受剛性に異方性を有するように構成されていればよい。さらに，第１実施例について，潤滑流体供給管１６を内筒１０２に直結してもよい。このようにすれば外筒１０４を省略することができる。また，第３実施例について，マニホールド３１４（１５〜３）および３１４（７〜１１）は連通されていてもよい。同様に，マニホールド３１４（４〜６）および３１４（１２〜１４）は連通されていてもよい。
【００５０】
さらに，１本の回転軸２を本発明に係る静圧軸受を複数用いて複数箇所で支持してもよい。この場合，複数の静圧軸受を，複数の各静圧軸受の周方向の軸受剛性分布を重ね合わせた（足し合わせた）軸受剛性，すなわち，複数の静圧軸受全体の軸受剛性に異方性を有するように構成することで，複数の静圧軸受全体として軸受剛性に異方性を持たせることができる。そのため，１つの静圧軸受の軸受剛性に着目する場合と同様に，回転軸２の回転数を増加させても，回転軸２が，回転軸２の回転方向への振れ回りが助長されにくい非円軌道（例えば楕円軌道）を描くこととなり，不安定振動の発生回転数を従来よりも高めることができる。
【００５１】
以上，中心軸を水平方向に向けた静圧軸受について説明したが，以上の実施例は，中心軸を鉛直方向に向けた静圧軸受にも同様に適用可能である。この場合，鉛直方向に向けられた回転軸を上方から見たときに１２時，６時，３時，９時の方向に表れる部位又は場所が，上述の実施例の上部，下部，右側，左側に表した部位又は場所に対応する。
【符号の説明】
【００５２】
１００：静圧軸受
１０２：内筒
１０４：外筒
１０９：横断面
１１０：内筒貫通孔
１１０ｙ：上部領域貫通孔，下部領域貫通孔
１１０ｘ：左領域貫通孔，右領域貫通孔
１１２：外筒貫通孔
１１４：マニホールド
２００：静圧軸受
２０２：内筒
２１０（１）〜２１０（１６）：内筒貫通孔
３００：静圧軸受
３０２：内筒
３０４：外筒
３１０（１）〜３１０（１６）：内筒貫通孔
３１２（１５〜３）〜３１２（１２〜１４）：外筒貫通孔
３１４（１５〜３）〜３１４（１２〜１４）：マニホールド
３１６（１５〜３）〜３１６（１２〜１４）：圧力調整機構
【図１】
2015113884.tif 000003
【図２】
2015113884.tif 000004
【図３】
2015113884.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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