(57)【要約】【課題】蒸着領域全体において基板上での蒸着レートの制御精度に優れた蒸着装置、蒸着方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供する。【解決手段】基板上に成膜する蒸着装置であって、前記蒸着装置は、第一の膜厚モニタと、蒸着源を含む蒸着ユニットとを備え、かつ、前記第一の膜厚モニタの測定結果に基づいて、気化した材料が前記蒸着源から放出される部分と、前記基板の蒸着される表面との間の距離を制御しながら蒸着を行う蒸着装置である。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に成膜する蒸着装置であって、
前記蒸着装置は、第一の膜厚モニタと、蒸着源を含む蒸着ユニットとを備え、かつ、
前記第一の膜厚モニタの測定結果に基づいて、気化した材料が前記蒸着源から放出される部分と、前記基板の蒸着される表面との間の距離を制御しながら蒸着を行う蒸着装置。
【請求項２】
前記蒸着源を移動させて前記気化した材料が放出される前記部分の高さを変化させる蒸着源移動機構を備える請求項１記載の蒸着装置。
【請求項３】
比例制御又はＰＩＤ制御によって前記距離を制御する請求項１又は２記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記蒸着源は、加熱装置を含み、
前記蒸着装置は、第二の膜厚モニタを備え、かつ、
前記第二の膜厚モニタの測定結果に基づいて、前記加熱装置の出力を制御しながら蒸着を行う請求項１〜３のいずれかに記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記蒸着装置は、前記蒸着源を移動させて前記気化した材料が放出される前記部分の高さを変化させる蒸着源移動機構を備え、
前記第二の膜厚モニタは、前記蒸着源移動機構に固定され、
前記第一の膜厚モニタは、前記蒸着ユニットに固定されることを特徴とする請求項４記載の蒸着装置。
【請求項６】
前記蒸着源は、加熱装置を含み、
前記第一の膜厚モニタの測定結果に基づいて、前記距離及び前記加熱装置の出力を制御しながら蒸着を行う請求項１〜３のいずれかに記載の蒸着装置。
【請求項７】
前記蒸着源は、加熱装置を含み、
前記蒸着装置は、第二の膜厚モニタを備え、かつ
前記第一の膜厚モニタの測定結果に基づいて前記距離及び前記加熱装置の出力を制御するとともに、前記第二の膜厚モニタの測定結果に基づいて前記距離の制御における比例係数を制御しながら蒸着を行う請求項１〜３のいずれかに記載の蒸着装置。
【請求項８】
ＰＩＤ制御によって前記出力を制御する請求項４〜７のいずれかに記載の蒸着装置。
【請求項９】
前記蒸着源は、開口部が設けられた坩堝を備え、
前記気化した材料が放出される前記部分は、前記開口部である請求項１〜８のいずれかに記載の蒸着装置。
【請求項１０】
前記基板の法線方向に直交する方向に、前記基板及び前記蒸着源の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させる搬送機構を備える請求項１〜９のいずれかに記載の蒸着装置。
【請求項１１】
前記蒸着ユニットは、前記蒸着源、及び、マスクを含み、
前記搬送機構は、前記基板及び前記蒸着ユニットの少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させる請求項１０記載の蒸着装置。
【請求項１２】
前記蒸着装置は、マスクを備え、
前記搬送機構は、前記蒸着源と、前記マスクが貼り合わされた前記基板との少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させる請求項１０記載の蒸着装置。
【請求項１３】
前記蒸着装置は、マスクと、
前記マスクが貼り合わされた前記基板を回転させる回転機構付き基板ホルダとを備える請求項１〜９のいずれかに記載の蒸着装置。
【請求項１４】
基板上に成膜する蒸着工程を含む蒸着方法であって、
前記蒸着工程は、請求項１〜１３のいずれかに記載の蒸着装置を用いて行われる蒸着方法。
【請求項１５】
請求項１〜１３のいずれかに記載の蒸着装置を用いて成膜する蒸着工程を含む有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置、蒸着方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子とも言う。）の製造方法に関する。より詳しくは、大型基板上への有機ＥＬ素子の製造に好適な蒸着装置、蒸着方法、及び、有機ＥＬ素子の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、平面型の表示装置として、有機ＥＬ素子を発光素子とした有機エレクトロルミネッセンス表示装置（以下、有機ＥＬディスプレイとも言う。）が注目を集めている。この有機ＥＬディスプレイは、バックライトが不要な自発光型のフラットパネルディスプレイであり、自発光型に特有の視野角の広いディスプレイを実現できるという利点を有する。また、必要な画素のみを点灯させればよいため、消費電力の点で液晶ディスプレイ等のバックライト型のディスプレイに比べて有利であるとともに、今後実用化が期待されている高精細度の高速のビデオ信号に対して充分な応答性能を有すると考えられている。
【０００３】
このような有機ＥＬディスプレイに用いられる有機ＥＬ素子は、一般に、有機材料を上下から電極（陽極及び陰極）で挟み込む構造を有する。そして、有機材料からなる有機層に対して、陽極から正孔が、陰極から電子がそれぞれ注入され、その有機層にて正孔と電子が再結合して発光が生じるようになっている。このとき、有機ＥＬ素子では、１０Ｖ以下の駆動電圧で数百〜数万ｃｄ／ｍ２の輝度が得られる。また、有機材料、例えば蛍光材料を適宜選択することによって、所望の色彩の発光を得ることができる。これらのことから、有機ＥＬ素子は、マルチカラー又はフルカラーの表示装置を構成するための発光素子として、非常に有望視されている。
【０００４】
ところで、有機ＥＬ素子において有機層を形成する有機材料は、一般的に、耐水性が低く、ウエットプロセスに適さない。そのため、有機層を形成する際には、真空薄膜成膜技術を利用した真空蒸着を行うのが一般的である。したがって、有機層を形成する工程を含む有機ＥＬ素子の製造には、真空チャンバ内に蒸着源を備えた蒸着装置が広く用いられている。
【０００５】
例えば、膜厚を優れた応答性で安定して制御することのできる有機ＥＬディスプレイの製造装置として、基材搬送手段により搬送されている基材に対して蒸着源より材料が飛散されている状態において、膜厚モニタから得られた膜厚に基づいて蒸着速度を検出し、これにより基板に蒸着される膜厚を予測し、制御手段が制限手段の位置を制御して材料の飛散範囲を制御する成膜装置が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２２５０５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
蒸着装置としては、例えば、点蒸着源を用いて基板を回転させながら蒸着を行うポイントソース蒸着装置と、基板を蒸着源に対して一方向に相対的に移動させながら蒸着を行うスキャン蒸着装置とが挙げられる。
【０００８】
ポイントソース蒸着装置では、シャッターの開閉による蒸着時間の調整によって蒸着膜の膜厚の制御を行うことが可能である。それに対して、スキャン蒸着装置では、基板及び／又は蒸着源が定速で搬送されながら蒸着が行われるため、蒸着時間による蒸着膜の膜厚の制御ができない。そこで、スキャン蒸着装置においては、一般的に、蒸着時間に代えて蒸着レート（蒸着速度）による膜厚の制御が行われていた。
【０００９】
図２３は、比較形態１のスキャン蒸着装置の基本構成を示す模式図である。
図２３示すように、比較形態１のスキャン蒸着装置は、蒸着源１０１０として、有機材料を収めた坩堝１０１１と、坩堝１０１１を加熱するヒータ１０１３と、ヒータ１０１３に電極を供給する加熱電源１０１４とを備えている。そして、ヒータ１０１３が坩堝１０１１を加熱して有機材料を気化させることで、成膜対象物である有機ＥＬ素子の基板１０３０上に有機層を成膜する。また、有機材料の蒸着時には、膜厚モニタ１００１を使用して蒸着レートを検出し、その蒸着レート（測定値）に基づいて加熱温度を調整し、これにより蒸着レートが制御される。
【００１０】
しかしながら、加熱温度による蒸着レートの制御では、応答性の点で制御が容易とは言えず、そのため不安定な制御系になってしまい、膜厚制御が容易ではない。一般的に有機材料は、他の材料に比べて熱効率が悪く、また、有機材料の蒸着温度は、真空蒸着の温度としては比較的低温である。そのために、ヒータ１０１３の加熱温度を調整してから、その温度変化が有機材料に伝わって蒸着レートが変化するまでの時間差が大きくなってしまう。また、坩堝１０１１内の有機材料の量が経時的に変化すると、その影響によって制御系の時定数が変化してしまい蒸着レートも変化してしまう。そこで、比較形態１のスキャン蒸着装置では、ＰＩＤ（Ｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌ  Ｉｎｔｅｇｒａｌ  Ｄｅｒｉｖａｔｉｖｅ）制御という制御方法を採用し、蒸着レートの変動からその後の蒸着レートの動きをリアルタイムで予測し、その予測に基づいて加熱温度を制御している。しかしながら、ＰＩＤ制御を行っても充分な蒸着レートの制御精度を達成することは困難であった。
【００１１】
図２４は、比較形態１のスキャン蒸着装置におけるヒータ温度と蒸着レートの関係を示したグラフである。
本発明者らが実際に検討したところ、図２４に示すように、比較形態１のスキャン蒸着装置では、蒸着レートの制御精度は、目標レート±３％程度が限界であった。そして、比較形態１のスキャン蒸着装置では、蒸着レートのばらつきが、そのまま膜厚のばらつきにつながっていた。
【００１２】
図２５及び２６は、特許文献１に記載の成膜装置の基本構成を示す模式図である。
図２５及び２６に示すように、特許文献１に記載の成膜装置では、制限板１１７２を上下に移動させることで蒸着膜の膜厚を調整している。蒸着膜の膜厚は、（蒸着レート）×（蒸着時間）で決定される。ここで、蒸着レートは、１秒間に形成される蒸着膜の厚みを意味し、その単位は、Å／ｓで表される。スキャン蒸着装置では、蒸着流が発生している雰囲気の中を基板が搬送されるため、蒸着時間は、（飛散範囲）／（搬送速度）で決定される。ここで、搬送速度は一定で変化しない。飛散範囲は、搬送方向において、蒸着流が飛散する範囲（距離）、すなわち蒸着される領域（蒸着領域）の幅を表している。飛散範囲は、制限板１１７２を下げれば大きくなり、上げれば小さくなる。つまり、飛散範囲を制御することによって蒸着時間を調整することができるため、蒸着レートが変動した分を飛散範囲の制御で補完することができると言うのが特許文献１の技術思想である。
【００１３】
しかしながら、蒸着レートは、蒸着領域の全体で均一的に変動するのに対して、制限板１１７２を上下させたとしても蒸着領域の両端部１１４２の位置を変動することしかできない。そのため、例えば、次のような場合に課題が残る。
【００１４】
ここでは、基板の中央部における蒸着膜の膜厚について考える。基板の中央部が蒸着領域に差し掛かった時、蒸着レートは安定しており、目標とする蒸着レートと等しかったとする。この時、蒸着レートを補正する必要が無いため、制限板１１７２は、基準位置に配置されている。そして、基板の中央部が蒸着領域に進入した後、蒸着レートが急に落ち始めたとする。そうすると、蒸着レートの補正を行うため、制限板１１７２の位置が下がり、飛散範囲が大きくなる。しかし、基板の中央部は、既に蒸着領域内に存在するため、蒸着レートの下がった領域を通過して行く。その後、基板の中央部が蒸着領域を抜ける時、蒸着レートが再び安定したとする。そうすると、制限板１１７２は、基準位置に戻る。その後、基板の中央部は蒸着領域を通り抜け、成膜が完了したとする。
【００１５】
上記の場合、蒸着レートが低下しているにもかかわらず、基板の中央部の蒸着時間は、目標とする蒸着レートで理想的に蒸着が行われた場合の蒸着時間と同じ時間になる。したがって、基板の中央部においては、蒸着レートの低下分が補正されず、蒸着膜の膜厚は、目標とする膜厚よりも小さくなってしまう。
【００１６】
このような現象は、基板全体で発生し得るため、特許文献１に記載の飛散範囲の調整によっては、蒸着レートの変動を基板面内で均一に補正することはできない。そのため、基板面内において蒸着膜の膜厚ムラが生じてしまう可能性がある。つまり、蒸着レートが頻繁に変化しなければ上述のような課題を防止できる場合もあるが、蒸着レートが頻繁に変化すれば上述の課題が発生し得る。
【００１７】
また、上述のように、ポイントソース蒸着装置は、シャッターの開閉により蒸着時間を調整することはできるが、蒸着レートの制御が困難である点はポイントソース蒸着装置もスキャン蒸着装置と同じである。そのため、複数の蒸発源を用いて複数の材料を同時に蒸着する場合、すなわち共蒸着を行う場合、所望の組成の蒸着膜を形成することができないことがある。共蒸着では、複数の材料の蒸着レートの比率を高精度に制御しなければならないためである。
【００１８】
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、蒸着領域全体において基板上での蒸着レートの制御精度に優れた蒸着装置、蒸着方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の一態様は、基板上に成膜する蒸着装置であって、
前記蒸着装置は、第一の膜厚モニタと、蒸着源を含む蒸着ユニットとを備え、かつ、
前記第一の膜厚モニタの測定結果に基づいて、気化した材料が前記蒸着源から放出される部分と、前記基板の蒸着される表面との間の距離を制御しながら蒸着を行う蒸着装置であってもよい。
以下、この蒸着装置を本発明に係る蒸着装置とも言う。
【００２０】
本発明に係る蒸着装置における好ましい実施形態について以下に説明する。なお、以下の好ましい実施形態は、適宜、互いに組み合わされてもよく、以下の２以上の好ましい実施形態を互いに組み合わせた実施形態もまた、好ましい実施形態の一つである。
【００２１】
本発明に係る蒸着装置は、前記蒸着源を移動させて前記気化した材料が放出される前記部分の高さを変化させる蒸着源移動機構を備えてもよい。
【００２２】
本発明に係る蒸着装置は、比例制御又はＰＩＤ（Ｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌ  Ｉｎｔｅｇｒａｌ  Ｄｅｒｉｖａｔｉｖｅ）制御によって前記距離を制御してもよい。
【００２３】
前記蒸着源は、加熱装置を含み、
本発明に係る蒸着装置は、第二の膜厚モニタを備え、かつ、
前記第二の膜厚モニタの測定結果に基づいて、前記加熱装置の出力を制御しながら蒸着を行ってもよい。
【００２４】
本発明に係る蒸着装置は、前記蒸着源を移動させて前記気化した材料が放出される前記部分の高さを変化させる蒸着源移動機構を備え、
前記第二の膜厚モニタは、前記蒸着源移動機構に固定され、
前記第一の膜厚モニタは、前記蒸着ユニットに固定されてもよい。
【００２５】
前記蒸着源は、加熱装置を含み、
本発明に係る蒸着装置は、前記第一の膜厚モニタの測定結果に基づいて、前記距離及び前記加熱装置の出力を制御しながら蒸着を行ってもよい。
【００２６】
前記蒸着源は、加熱装置を含み、
本発明に係る蒸着装置は、第二の膜厚モニタを備え、かつ
前記第一の膜厚モニタの測定結果に基づいて前記距離及び前記加熱装置の出力を制御するとともに、前記第二の膜厚モニタの測定結果に基づいて前記距離の制御における比例係数を制御しながら蒸着を行ってもよい。
【００２７】
本発明に係る蒸着装置は、ＰＩＤ制御によって前記出力を制御してもよい。
【００２８】
前記蒸着源は、開口部が設けられた坩堝を備え、
前記気化した材料が放出される前記部分は、前記開口部であってもよい。
【００２９】
本発明に係る蒸着装置は、前記基板の法線方向に直交する方向に、前記基板及び前記蒸着源の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させる搬送機構を備えてもよい。
【００３０】
前記蒸着ユニットは、前記蒸着源、及び、マスクを含み、
前記搬送機構は、前記基板及び前記蒸着ユニットの少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させてもよい。
【００３１】
本発明に係る蒸着装置は、マスクを備え、
前記搬送機構は、前記蒸着源と、前記マスクが貼り合わされた前記基板との少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させてもよい。
【００３２】
本発明に係る蒸着装置は、マスクと、
前記マスクが貼り合わされた前記基板を回転させる回転機構付き基板ホルダとを備えてもよい。
【００３３】
本発明の他の態様は、基板上に成膜する蒸着工程を含む蒸着方法であってもよく、
前記蒸着工程は、本発明に係る蒸着装置を用いて行われてもよい。
【００３４】
本発明の更に他の態様は、本発明に係る蒸着装置を用いて成膜する蒸着工程を含む有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であってもよい。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、蒸着領域全体において基板上での蒸着レートの制御精度に優れた蒸着装置、蒸着方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】実施形態１の有機ＥＬ素子の製造方法により作製された有機ＥＬ素子を備える有機ＥＬディスプレイの断面模式図である。
【図２】図１に示した有機ＥＬディスプレイの表示領域内の構成を示す平面模式図である。
【図３】図１に示した有機ＥＬディスプレイのＴＦＴ基板の構成を示す断面模式図であり、図２中のＡ−Ｂ線における断面に相当する。
【図４】実施形態１の有機ＥＬディスプレイの製造工程を説明するためのフローチャートである。
【図５】実施形態１の蒸着装置の基本構成を示す模式図である。
【図６】実施形態１の蒸着装置の制御系を説明するための模式図である。
【図７】実施形態１における第一の蒸着レートの経時変化の一例を模式的に示した図である。
【図８】実施形態４の蒸着装置の制御系を説明するための模式図である。
【図９】実施形態４における蒸着レート及び基板蒸着源間距離の経時変化の一例を模式的に示した図である。
【図１０】実施形態４における基板蒸着源間距離の出力値と膜厚モニタの測定結果との相関関係を模式的に示した図である。
【図１１】実施例１の蒸着装置の基本構成を示す模式図である。
【図１２】実施例１の蒸着装置の平面模式図である。
【図１３】実施例１の蒸着装置の変形例の平面模式図である。
【図１４】実施例１において、Ｔｓが変化したときのパターンの変化を説明するための模式図である。
【図１５】実施例１において、Ｔｓが変化したときの蒸着領域への影響を説明するための模式図である。
【図１６】実施例１において、Ｔｓと蒸着膜の膜厚分布との関係を示すグラフである。
【図１７】実施例１において、Ｔｓ基準時に対するＴｓ調整時の膜厚の変動比率を示すグラフである。
【図１８】実施例２の蒸着装置の基本構成を示す模式図である。
【図１９】実施例３の蒸着装置の基本構成を示す模式図である。
【図２０】実施例３の蒸着装置が備える蒸着源の平面模式図である。
【図２１】実施例３において、Ｔｓと蒸着膜の膜厚分布との関係を示すグラフである。
【図２２】実施例３において、Ｔｓ基準時に対するＴｓ調整時の膜厚の変動比率を示すグラフである。
【図２３】比較形態１のスキャン蒸着装置の基本構成を示す模式図である。
【図２４】比較形態１のスキャン蒸着装置におけるヒータ温度と蒸着レートの関係を示したグラフである。
【図２５】特許文献１に記載の成膜装置の基本構成を示す模式図である。
【図２６】特許文献１に記載の成膜装置の基本構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下に実施形態を掲げ、本発明を図面に参照して更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではない。
【００３８】
（実施形態１）
本実施形態では、ＴＦＴ基板側から光を取り出すボトムエミッション型でＲＧＢフルカラー表示の有機ＥＬ素子の製造方法と、その製造方法により作製された有機ＥＬ素子を備える有機ＥＬディスプレイとについて主に説明するが、本実施形態は、他のタイプの有機ＥＬ素子の製造方法にも適用可能である。
【００３９】
まず、本実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの全体の構成について説明する。
図１は、実施形態１の有機ＥＬ素子の製造方法により作製された有機ＥＬ素子を備える有機ＥＬディスプレイの断面模式図である。図２は、図１に示した有機ＥＬディスプレイの表示領域内の構成を示す平面模式図である。図３は、図１に示した有機ＥＬディスプレイのＴＦＴ基板の構成を示す断面模式図であり、図２中のＡ−Ｂ線における断面に相当する。
【００４０】
図１に示すように、本実施形態に係る有機ＥＬディスプレイ１は、ＴＦＴ１２（図３参照）が設けられたＴＦＴ基板１０と、ＴＦＴ基板１０上に設けられ、ＴＦＴ１２に接続された有機ＥＬ素子２０と、有機ＥＬ素子２０を覆う接着層３０と、接着層３０上に配置された封止基板４０とを備えている。
【００４１】
封止基板４０と、有機ＥＬ素子２０が積層されたＴＦＴ基板１０とを接着層３０を用いて貼り合わせることで、これら一対の基板１０及び４０の間に有機ＥＬ素子２０を封止している。これにより、酸素及び水分が外部から有機ＥＬ素子２０へ浸入することを防止している。
【００４２】
図３に示すように、ＴＦＴ基板１０は、支持基板として、例えばガラス基板等の透明な絶縁基板１１を有している。図２に示すように、絶縁基板１１上には、複数の配線１４が形成されており、複数の配線１４は、水平方向に設けられた複数のゲート線と、垂直方向に設けられ、ゲート線と交差する複数の信号線とを含んでいる。ゲート線には、ゲート線を駆動するゲート線駆動回路（図示せず）が接続され、信号線には、信号線を駆動する信号線駆動回路（図示せず）が接続されている。
【００４３】
有機ＥＬディスプレイ１は、ＲＧＢフルカラー表示のアクティブマトリクス型の表示装置であり、配線１４で区画された各領域には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）又は青（Ｂ）のサブ画素（ドット）２Ｒ、２Ｇ又は２Ｂが配置されている。サブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂは、マトリクス状に配列されている。各色のサブ画素２Ｒ、２Ｇ、２Ｂには、対応する色の有機ＥＬ素子２０及び発光領域が形成されている。
【００４４】
赤、緑及び青のサブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂは、それぞれ、赤色の光、緑色の光及び青色の光で発光し、３つのサブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂから１つの画素２が構成されている。
【００４５】
サブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂには、それぞれ、開口部１５Ｒ、１５Ｇ及び１５Ｂが設けられており、開口部１５Ｒ、１５Ｇ及び１５Ｂは、それぞれ、赤、緑及び青の発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂによって覆われている。発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂは、垂直方向にストライプ状に形成されている。発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂのパターンは、各色毎に、蒸着により形成されている。なお、開口部１５Ｒ、１５Ｇ及び１５Ｂについては後述する。
【００４６】
各サブ画素２Ｒ、２Ｇ、２Ｂには、有機ＥＬ素子２０の第１電極２１に接続されたＴＦＴ１２が設けられている。各サブ画素２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの発光強度は、配線１４及びＴＦＴ１２による走査及び選択により決定される。このように、有機ＥＬディスプレイ１は、ＴＦＴ１２を用いて、各色の有機ＥＬ素子２０を選択的に所望の輝度で発光させることにより画像表示を実現している。
【００４７】
次に、ＴＦＴ基板１０及び有機ＥＬ素子２０の構成について詳述する。まず、ＴＦＴ基板１０について説明する。
【００４８】
図３に示すように、ＴＦＴ基板１０は、絶縁基板１１上に形成されたＴＦＴ１２（スイッチング素子）及び配線１４と、これらを覆う層間膜（層間絶縁膜、平坦化膜）１３と、層間膜１３上に形成された絶縁層であるエッジカバー１５とを有している。
【００４９】
ＴＦＴ１２は、各サブ画素２Ｒ、２Ｇ、２Ｂに対応して設けられている。なお、ＴＦＴ１２の構成は、一般的なものでよいので、ＴＦＴ１２における各層の図示及び説明は省略する。
【００５０】
層間膜１３は、絶縁基板１１上に、絶縁基板１１の全領域に渡って形成されている。層間膜１３上には、有機ＥＬ素子２０の第１電極２１が形成されている。また、層間膜１３には、第１電極２１をＴＦＴ１２に電気的に接続するためのコンタクトホール１３ａが設けられている。これにより、ＴＦＴ１２は、コンタクトホール１３ａを介して、有機ＥＬ素子２０に電気的に接続されている。
【００５１】
エッジカバー１５は、第１電極２１の端部で有機ＥＬ層が薄くなったり電界集中が起こったりすることによって有機ＥＬ素子２０の第１電極２１と第２電極２６とが短絡することを防止するために形成されている。そのため、エッジカバー１５は、第１電極２１の端部を部分的に被覆するように形成されている。
【００５２】
エッジカバー１５には、上述の開口部１５Ｒ、１５Ｇ及び１５Ｂが設けられている。このエッジカバー１５の各開口部１５Ｒ、１５Ｇ、１５Ｂが、サブ画素２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの発光領域となる。言い換えれば、サブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂは、絶縁性を有するエッジカバー１５によって仕切られている。エッジカバー１５は、素子分離膜としても機能する。
【００５３】
次に、有機ＥＬ素子２０について説明する。
【００５４】
有機ＥＬ素子２０は、低電圧直流駆動による高輝度発光が可能な発光素子であり、第１電極２１、有機ＥＬ層及び第２電極２６を含み、これらは、この順に積層されている。
【００５５】
第１電極２１は、有機ＥＬ層に正孔を注入（供給）する機能を有する層である。第１電極２１は、上述のようにコンタクトホール１３ａを介してＴＦＴ１２と接続されている。
【００５６】
第１電極２１と第２電極２６との間には、図３に示すように、有機ＥＬ層として、第１電極２１側から、正孔注入層兼正孔輸送層２２、発光層２３Ｒ、２３Ｇ又は２３Ｂ、電子輸送層２４、及び、電子注入層２５が、この順に積層されている。
【００５７】
なお、上記積層順は、第１電極２１を陽極とし、第２電極２６を陰極とした場合のものであり、第１電極２１を陰極とし、第２電極２６を陽極とする場合には、有機ＥＬ層の積層順は反転する。
【００５８】
正孔注入層は、各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂへの正孔注入効率を高める機能を有する層である。また、正孔輸送層は、各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂへの正孔輸送効率を高める機能を有する層である。正孔注入層兼正孔輸送層２２は、第１電極２１及びエッジカバー１５を覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に一様に形成されている。
【００５９】
なお、本実施形態では、上述のように、正孔注入層及び正孔輸送層として、正孔注入層と正孔輸送層とが一体化された正孔注入層兼正孔輸送層２２を設けた場合を例に挙げて説明する。しかしながら、本実施形態は、この場合に特に限定されない。正孔注入層と正孔輸送層とは互いに独立した層として形成されていてもよい。
【００６０】
正孔注入層兼正孔輸送層２２上には、発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂが、それぞれ、エッジカバー１５の開口部１５Ｒ、１５Ｇ及び１５Ｂを覆うように、サブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂに対応して形成されている。
【００６１】
各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂは、第１電極２１側から注入されたホール（正孔）と第２電極２６側から注入された電子とを再結合させて光を出射する機能を有する層である。各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂは、低分子蛍光色素、金属錯体等の、発光効率が高い材料から形成されている。
【００６２】
電子輸送層２４は、第２電極２６から各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂへの電子輸送効率を高める機能を有する層である。また、電子注入層２５は、第２電極２６から各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂへの電子注入効率を高める機能を有する層である。
【００６３】
電子輸送層２４は、発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂ並びに正孔注入層兼正孔輸送層２２を覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に一様に形成されている。また、電子注入層２５は、電子輸送層２４を覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に一様に形成されている。
【００６４】
なお、電子輸送層２４と電子注入層２５とは、上述のように互いに独立した層として形成されていてもよいし、互いに一体化して設けられていてもよい。すなわち、有機ＥＬディスプレイ１は、電子輸送層２４及び電子注入層２５に代えて、電子輸送層兼電子注入層を備えていてもよい。
【００６５】
第２電極２６は、有機ＥＬ層に電子を注入する機能を有する層である。第２電極２６は、電子注入層２５を覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に一様に形成されている。
【００６６】
なお、発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂ以外の有機層は、有機ＥＬ層として必須の層ではなく、要求される有機ＥＬ素子２０の特性に応じて適宜形成することができる。また、有機ＥＬ層には、必要に応じて、キャリアブロッキング層を追加することもできる。例えば、発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂと電子輸送層２４との間にキャリアブロッキング層として正孔ブロッキング層を追加してもよく、これにより、正孔が電子輸送層２４に到達することを抑制でき、発光効率を向上することができる。
【００６７】
有機ＥＬ素子２０の構成としては、例えば、下記（１）〜（８）に示すような層構成を採用することができる。
（１）第１電極／発光層／第２電極
（２）第１電極／正孔輸送層／発光層／電子輸送層／第２電極
（３）第１電極／正孔輸送層／発光層／正孔ブロッキング層／電子輸送層／第２電極
（４）第１電極／正孔輸送層／発光層／正孔ブロッキング層／電子輸送層／電子注入層／第２電極
（５）第１電極／正孔注入層／正孔輸送層／発光層／電子輸送層／電子注入層／第２電極
（６）第１電極／正孔注入層／正孔輸送層／発光層／正孔ブロッキング層／電子輸送層／第２電極
（７）第１電極／正孔注入層／正孔輸送層／発光層／正孔ブロッキング層／電子輸送層／電子注入層／第２電極
（８）第１電極／正孔注入層／正孔輸送層／電子ブロッキング層（キャリアブロッキング層）／発光層／正孔ブロッキング層／電子輸送層／電子注入層／第２電極
なお、上述のように、正孔注入層と正孔輸送層とは、一体化されていてもよい。また、電子輸送層と電子注入層とは、一体化されていてもよい。
【００６８】
また、有機ＥＬ素子２０の構成は上記（１）〜（８）の層構成に特に限定されず、要求される有機ＥＬ素子２０の特性に応じて所望の層構成を採用することができる。
【００６９】
次に、有機ＥＬディスプレイ１の製造方法について説明する。
図４は、実施形態１の有機ＥＬディスプレイの製造工程を説明するためのフローチャートである。
【００７０】
図４に示すように、本実施形態に係る有機ＥＬディスプレイの製造方法は、例えば、ＴＦＴ基板・第１電極の作製工程Ｓ１、正孔注入層・正孔輸送層蒸着工程Ｓ２、発光層蒸着工程Ｓ３、電子輸送層蒸着工程Ｓ４、電子注入層蒸着工程Ｓ５、第２電極蒸着工程Ｓ６、及び、封止工程Ｓ７を含んでいる。
【００７１】
以下に、図４に示すフローチャートに従って、図１〜図３を参照して説明した各構成要素の製造工程について説明する。ただし、本実施形態に記載されている各構成要素の寸法、材質、形状等はあくまで一例に過ぎず、これによって本発明の範囲が限定解釈されるものではない。
【００７２】
また、上述したように、本実施形態に記載の積層順は、第１電極２１を陽極、第２電極２６を陰極とした場合のものであり、反対に第１電極２１を陰極とし、第２電極２６を陽極とする場合には、有機ＥＬ層の積層順は反転する。同様に、第１電極２１及び第２電極２６を構成する材料も反転する。
【００７３】
まず、図３に示すように、一般的な方法によりＴＦＴ１２、配線１４等が形成された絶縁基板１１上に感光性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィ技術によりパターニングを行うことで、絶縁基板１１上に層間膜１３を形成する。
【００７４】
絶縁基板１１としては、例えば、厚さが０．７〜１．１ｍｍであり、Ｙ軸方向の長さ（縦長さ）が４００〜５００ｍｍであり、Ｘ軸方向の長さ（横長さ）が３００〜４００ｍｍのガラス基板又はプラスチック基板が挙げられる。
【００７５】
層間膜１３の材料としては、例えば、アクリル樹脂やポリイミド樹脂等の樹脂を用いることができる。アクリル樹脂としては、例えば、ＪＳＲ株式会社製のオプトマーシリーズが挙げられる。また、ポリイミド樹脂としては、例えば、東レ株式会社製のフォトニースシリーズが挙げられる。ただし、ポリイミド樹脂は、一般に透明ではなく、有色である。このため、図３に示すように有機ＥＬディスプレイ１としてボトムエミッション型の有機ＥＬディスプレイを製造する場合には、層間膜１３としては、アクリル樹脂等の透明性樹脂が、より好適に用いられる。
【００７６】
層間膜１３の膜厚は、ＴＦＴ１２による段差を補償することができる程度である限り、特に限定されるものではない。例えば、略２μｍとしてもよい。
【００７７】
次に、層間膜１３に、第１電極２１をＴＦＴ１２に電気的に接続するためのコンタクトホール１３ａを形成する。
【００７８】
次に、導電膜（電極膜）として、例えばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ：インジウム錫酸化物）膜を、スパッタ法等により、１００ｎｍの厚さで成膜する。
【００７９】
次いで、ＩＴＯ膜上にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングを行った後、塩化第二鉄をエッチング液として、ＩＴＯ膜をエッチングする。その後、レジスト剥離液を用いてフォトレジストを剥離し、さらに基板洗浄を行う。これにより、層間膜１３上に第１電極２１をマトリクス状に形成する。
【００８０】
なお、第１電極２１に用いられる導電膜材料としては、例えば、ＩＴＯ、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ：インジウム亜鉛酸化物）、ガリウム添加酸化亜鉛（ＧＺＯ）等の透明導電材料；金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、白金（Ｐｔ）等の金属材料；を用いることができる。
【００８１】
また、導電膜の積層方法としては、スパッタ法以外に、真空蒸着法、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、化学蒸着）法、プラズマＣＶＤ法、印刷法等を用いることができる。
【００８２】
第１電極２１の厚さは特に限定されるものではないが、上述のように、例えば、１００ｎｍとすることができる。
【００８３】
次に、層間膜１３と同様の方法により、エッジカバー１５を、例えば略１μｍの膜厚で形成する。エッジカバー１５の材料としては、層間膜１３と同様の絶縁材料を使用することができる。
【００８４】
以上の工程により、ＴＦＴ基板１０及び第１電極２１が作製される（Ｓ１）。
【００８５】
次に、上記工程を経たＴＦＴ基板１０に対し、脱水のための減圧ベークと、第１電極２１の表面洗浄のための酸素プラズマ処理とを施す。
【００８６】
次いで、後述する蒸着装置を用いて、ＴＦＴ基板１０上に、正孔注入層及び正孔輸送層（本実施形態では正孔注入層兼正孔輸送層２２）を、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に蒸着する（Ｓ２）。
【００８７】
具体的には、表示領域全面に対応して開口したオープンマスクを、ＴＦＴ基板１０に対しアライメント調整を行った後に密着して貼り合わせる。そして、ＴＦＴ基板１０とオープンマスクとを共に回転させながら、蒸着源より飛散した材料をオープンマスクの開口部を通じて表示領域全面に均一に蒸着する。
【００８８】
なお、表示領域全面への蒸着とは、隣接した色の異なるサブ画素間に渡って途切れることなく蒸着することを意味する。
【００８９】
正孔注入層及び正孔輸送層の材料としては、例えば、ベンジン、スチリルアミン、トリフェニルアミン、ポルフィリン、トリアゾール、イミダゾール、オキサジアゾール、ポリアリールアルカン、フェニレンジアミン、アリールアミン、オキザゾール、アントラセン、フルオレノン、ヒドラゾン、スチルベン、トリフェニレン、アザトリフェニレン、及び、これらの誘導体；ポリシラン系化合物；ビニルカルバゾール系化合物；チオフェン系化合物、アニリン系化合物等の、複素環式共役系のモノマー、オリゴマー、又は、ポリマー；等が挙げられる。
【００９０】
正孔注入層と正孔輸送層とは、上述のように一体化されていてもよいし、独立した層として形成されていてもよい。各々の膜厚は、例えば、１０〜１００ｎｍである。
【００９１】
正孔注入層及び正孔輸送層として、正孔注入層兼正孔輸送層２２を形成する場合、正孔注入層兼正孔輸送層２２の材料として、例えば、４，４’−ビス［Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ−フェニルアミノ］ビフェニル（α−ＮＰＤ）を使用することができる。また、正孔注入層兼正孔輸送層２２の膜厚は、例えば３０ｎｍとすることができる。
【００９２】
次に、正孔注入層兼正孔輸送層２２上に、エッジカバー１５の開口部１５Ｒ、１５Ｇ及び１５Ｂを覆うように、サブ画素２Ｒ、２Ｇ及び２Ｂに対応して発光層２３Ｒ・２３Ｇ及び２３Ｂをそれぞれ別々に形成（パターン形成）する（Ｓ３）。
【００９３】
上述したように、各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂには、低分子蛍光色素、金属錯体等の発光効率が高い材料が用いられる。
【００９４】
発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂの材料としては、例えば、アントラセン、ナフタレン、インデン、フェナントレン、ピレン、ナフタセン、トリフェニレン、アントラセン、ペリレン、ピセン、フルオランテン、アセフェナントリレン、ペンタフェン、ペンタセン、コロネン、ブタジエン、クマリン、アクリジン、スチルベン、及び、これらの誘導体；トリス（８−キノリノラト）アルミニウム錯体；ビス（ベンゾキノリノラト）ベリリウム錯体；トリ（ジベンゾイルメチル）フェナントロリンユーロピウム錯体；ジトルイルビニルビフェニル；等が挙げられる。
【００９５】
各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂの膜厚は、例えば、１０〜１００ｎｍである。
【００９６】
次に、上記正孔注入層・正孔輸送層蒸着工程Ｓ２と同様の方法により、電子輸送層２４を、正孔注入層兼正孔輸送層２２並びに発光層２３Ｒ、２３Ｇ及び２３Ｂを覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に蒸着する（Ｓ４）。
【００９７】
続いて、上記正孔注入層・正孔輸送層蒸着工程Ｓ２と同様の方法により、電子注入層２５を、電子輸送層２４を覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に蒸着する（Ｓ５）。
【００９８】
電子輸送層２４及び電子注入層２５の材料としては、例えば、キノリン、ペリレン、フェナントロリン、ビススチリル、ピラジン、トリアゾール、オキサゾール、オキサジアゾール、フルオレノン、及び、これらの誘導体や金属錯体；ＬｉＦ（フッ化リチウム）；等が挙げられる。
【００９９】
より具体的には、Ａｌｑ３（トリス（８−ヒドロキシキノリン）アルミニウム）、アントラセン、ナフタレン、フェナントレン、ピレン、アントラセン、ペリレン、ブタジエン、クマリン、アクリジン、スチルベン、１，１０−フェナントロリン、及び、これらの誘導体や金属錯体；ＬｉＦ；等が挙げられる。
【０１００】
上述したように、電子輸送層２４と電子注入層２５とは、一体化されていても独立した層として形成されていてもよい。各々の膜厚は、例えば１〜１００ｎｍであり、好ましくは１０〜１００ｎｍである。また、電子輸送層２４及び電子注入層２５の合計の膜厚は、例えば２０〜２００ｎｍである。
【０１０１】
代表的には、電子輸送層２４の材料にＡｌｑ３を使用し、電子注入層２５の材料にはＬｉＦを使用する。また、例えば、電子輸送層２４の膜厚は３０ｎｍとし、電子注入層２５の膜厚は１ｎｍとする。
【０１０２】
次に、上記正孔注入層・正孔輸送層蒸着工程Ｓ２と同様の方法により、第２電極２６を、電子注入層２５を覆うように、ＴＦＴ基板１０の表示領域全面に蒸着する（Ｓ６）。この結果、ＴＦＴ基板１０上に、有機ＥＬ層、第１電極２１及び第２電極２６を含む有機ＥＬ素子２０が形成される。
【０１０３】
第２電極２６の材料（電極材料）としては、仕事関数の小さい金属等が好適に用いられる。このような電極材料としては、例えば、マグネシウム合金（ＭｇＡｇ等）、アルミニウム合金（ＡｌＬｉ、ＡｌＣａ、ＡｌＭｇ等）、金属カルシウム等が挙げられる。第２電極２６の厚さは、例えば５０〜１００ｎｍである。
【０１０４】
代表的には、第２電極２６は、厚み５０ｎｍのアルミニウム薄膜から形成される。
【０１０５】
次いで、図１に示したように、有機ＥＬ素子２０が形成されたＴＦＴ基板１０と、封止基板４０とを、接着層３０を用いて貼り合わせ、有機ＥＬ素子２０の封入を行う。
【０１０６】
封止基板４０としては、例えば、厚さが０．４〜１．１ｍｍのガラス基板又はプラスチック基板等の絶縁基板が用いられる。
【０１０７】
なお、封止基板４０の縦長さおよび横長さは、目的とする有機ＥＬディスプレイ１のサイズにより適宜調整してもよく、ＴＦＴ基板１０の絶縁基板１１と略同一のサイズの絶縁基板を使用し、有機ＥＬ素子２０を封止した後で、目的とする有機ＥＬディスプレイ１のサイズに従って分断してもよい。
【０１０８】
また、有機ＥＬ素子２０の封止方法は、上述の方法に特に限定されず、他のあらゆる封止方法を採用することが可能である。他の封止方式としては、例えば、掘り込みガラスを封止基板４０として使用し、封止樹脂やフリットガラス等により枠状に封止を行う方法や、ＴＦＴ基板１０と封止基板４０との間に樹脂を充填する方法等が挙げられる。
【０１０９】
また、第２電極２６上には、第２電極２６を覆うように、酸素や水分が外部から有機ＥＬ素子２０内に浸入することを阻止するために、保護膜（図示せず）が設けられていてもよい。
【０１１０】
保護膜は、絶縁性又は導電性の材料で形成することができる。このような材料としては、例えば、窒化シリコンや酸化シリコン等が挙げられる。保護膜の厚さは、例えば１００〜１０００ｎｍである。
【０１１１】
上記工程の結果、有機ＥＬディスプレイ１が完成する。
【０１１２】
この有機ＥＬディスプレイ１においては、配線１４からの信号入力によりＴＦＴ１２をＯＮ（オン）させると、第１電極２１から有機ＥＬ層へホール（正孔）が注入される。一方で、第２電極２６から有機ＥＬ層に電子が注入され、正孔と電子とが各発光層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂ内で再結合する。正孔及び電子の再結合によるエネルギーにより発光材料が励起され、その励起状態が基底状態に戻る際に光が出射される。各サブ画素２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの発光輝度を制御することで、所定の画像が表示される。
【０１１３】
次に、本実施形態の有機ＥＬ素子の製造方法、なかでも蒸着工程Ｓ２〜Ｓ６に好適に用いられる実施形態１に係る蒸着装置について説明する。
【０１１４】
図５は、実施形態１の蒸着装置の基本構成を示す模式図である。
図５に示すように、本実施形態に係る蒸着装置１００は、真空チャンバ（図示せず）と、蒸着源（蒸発源）１１０を含む蒸着ユニット１７０と、膜厚モニタ（レートモニタ）１０１及び１０２と、制御装置１０３と、蒸着源移動機構１２０と、基板ホルダ１０４とを備えている。また、蒸着装置１００は、蒸着源移動機構１２０として、電動機駆動装置１２１、及び、蒸着源昇降機構１２２を備えている。
【０１１５】
本実施形態において、膜厚モニタ１０１は、本発明に係る蒸着装置の上記第二の膜厚モニタに対応し、膜厚モニタ１０２は、本発明に係る蒸着装置の上記第一の膜厚モニタに対応している。
【０１１６】
真空チャンバは、内部が真空蒸着可能な程度の真空度に保持された基板処理環境を提供する容器であり、蒸着源１１０と、膜厚モニタ１０１及び１０２と、蒸着源昇降機構１２２と、基板ホルダ１０４とが真空チャンバの内部に設けられている。
【０１１７】
基板ホルダ１０４は、蒸着装置１００によって成膜される基板（被成膜基板）１３０を保持する部材であり、真空チャンバ内の上部に設けられている。
【０１１８】
蒸着源１１０は、蒸着される材料（好適には有機材料）を加熱して気化、すなわち蒸発又は昇華させ、そして、気化した材料を真空チャンバ内に放出する部材である。より具体的には、蒸着源１１０は、材料を収容する耐熱性の容器、例えば坩堝１１１と、材料を加熱する加熱装置１１２、例えばヒータ１１３及び加熱電源１１４とを備えており、坩堝１１１の上部には開口部１１５が設けられている。そして、蒸着源１１０は、容器、例えば坩堝１１１内の材料を加熱装置１１２で加熱して気化させて、気体となった材料（以下、蒸着粒子とも言う。）を開口部１１５から上方に向かって放出する。その結果、開口部１１５からは、蒸着粒子の流れである蒸着流１４０が発生し、蒸着流１４０は、開口部１１５から等方的に広がっていく。蒸着源１１０は、真空チャンバ内の下部に設けられている。
【０１１９】
なお、蒸着源１１０の種類は、特に限定されず、例えば、点蒸着源（ポイントソース）でもよいし、線蒸着源（ラインソース）でもよいし、面蒸着源であってもよい。また、蒸着源１１０の加熱方法は、特に限定されず、例えば、抵抗加熱法、電子ビーム法、レーザ蒸着法、高周波誘導加熱法、アーク法等が挙げられる。また、蒸着流１４０の密度分布、例えば蒸着源１１０のＮ値は、特に限定されず、適宜設定することができる。更に、蒸着流１４０の分布のうち実際に蒸着に使用される範囲についても特に限定されず、適宜設定することができる。
【０１２０】
また、蒸着ユニット１７０は、所望のパターンで複数の開口が形成され、基板１３０及び蒸着源１１０の間に配置されたマスクを含んでいてもよい。
【０１２１】
膜厚モニタ１０１及び１０２は各々、蒸着レートを測定する機器であり、各膜厚モニタ１０１、１０２の少なくとも一部、例えばセンサ部は、蒸着源１１０から放出された蒸着粒子が直接飛来し得る場所、例えば、基板１３０及び蒸着源１１０の間に配置される。各膜厚モニタ１０１、１０２の種類及び構造は、特に限定されないが、各膜厚モニタ１０１、１０２は、水晶振動子を用いたセンサ部を含むことが好ましい。これにより、水晶振動子の発振周波数が水晶振動子上に形成される膜の膜厚と相関があることを利用して、発振周波数の変化量に基づいて蒸着レートを高精度に計測することが可能である。
【０１２２】
制御装置１０３には、膜厚モニタ１０２の検出結果、具体的には、膜厚モニタ１０２で計測された蒸着レートの測定値が入力される。制御装置１０３は、この検出結果に基づいて、気化した材料が蒸着源１１０から放出される部分（以下、放出部とも言う。）１４１と、基板１３０の蒸着される表面（以下、被蒸着面とも言う。）１３１との間の必要な距離を算出する。そして、この算出結果を高さ制御信号として蒸着源移動機構１２０に出力する。なお、放出部１４１は、坩堝１１１の開口部１１５であってもよい。
【０１２３】
蒸着源移動機構１２０は、蒸着源１１０を移動させて、放出部１４１の高さを変化させる機構である。蒸着源移動機構１２０は、制御装置１０３から入力された高さ制御信号に基づいて、蒸着源１１０を必要な距離だけ移動させて放出部１４１を所望の高さに調整する。なお、蒸着源移動機構１２０の具体的な構成要素は、特に限定されず、蒸着源移動機構１２０としては、物体の高さを制御信号に基づいて制御可能な一般的な機構を採用することができる。また、蒸着源移動機構１２０は、蒸着源１１０の全部を移動させてもよいし、一部のみを移動させてもよい。例えば、加熱電源１１４を移動させず、坩堝１１１及びヒータ１１３を一体的に移動させてもよい。
【０１２４】
電動機駆動装置１２１は、制御装置１０３から入力された高さ制御信号を、駆動対象である蒸着源昇降機構１２２の駆動電流に変換し、この駆動電流を蒸着源昇降機構１２２に供給する。例えば、電動機駆動装置１２１は、パルス入力により位置制御を行うサーボモータドライバである。
【０１２５】
蒸着源昇降機構１２２は、電動機駆動装置１２１から供給された駆動電流を機械的な仕事（力学的エネルギー）に変換する機構であり、蒸着源１１０に接続されており、蒸着源１１０を上下に移動、すなわち昇降させて、放出部１４１の高さを変化させる。蒸着源昇降機構１２２の具体的な機構は、特に限定されず、例えば、サーボモータ、ステッピングモータ等のモータと、ボールネジと、リニアガイドとを含む機構が挙げられる。また、蒸着源昇降機構１２２は、ピエゾ素子を含むものであってもよい。
【０１２６】
制御装置１０３にはまた、膜厚モニタ１０１の検出結果、具体的には、膜厚モニタ１０１で計測された蒸着レートの測定値が入力される。制御装置１０３は、この検出結果に基づいて、加熱装置１１２の出力（パワー）、例えば、ヒータ１１３に供給すべき電力値を算出する。そして、この算出結果を温度制御信号として加熱装置１１２に出力する。
【０１２７】
本実施形態に係る蒸着装置１００は、蒸着源１１０として点蒸着源を用いて基板１３０を回転させながら蒸着を行うポイントソース蒸着装置であってもよいし、基板１３０を蒸着源１１０に対して一方向に相対的に移動させながら蒸着を行うスキャン蒸着装置であってもよい。前者の場合、本実施形態に係る蒸着装置１００は、マスク（図示せず）と、マスクが貼り合わされた基板１３０を回転させる回転機構付き基板ホルダ（図示せず）とを備えていてもよい。後者の場合、本実施形態に係る蒸着装置１００は、基板１３０の法線方向に直交する方向（搬送方向）に、基板１３０及び蒸着源１１０の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させる搬送機構（図示せず）を備えていてもよい。
【０１２８】
次に、蒸着装置１００の動作について説明する。
まず、基板１３０が基板ホルダ１０４によって保持される。基板１３０は、被蒸着面１３１が蒸着源１１０の方を向くように保持される。また、蒸着源１１０に蒸着される材料が収容される。そして、蒸着源１１０の加熱装置１１２を発熱させることによって材料が気化（蒸発又は昇華）し、気化した材料が蒸着源１１０から放出され、蒸着粒子が真空チャンバ内を飛散する。蒸着粒子は、基板１３０に到達し、基板１３０の被蒸着面１３１上に堆積する。このようにして、所望の材料が基板１３０の被蒸着面１３１に蒸着される。
【０１２９】
図６は、実施形態１の蒸着装置の制御系を説明するための模式図である。
蒸着が行われている間、蒸着源１１０から放出された蒸着粒子の一部は、膜厚モニタ１０１又は１０２に到達する。そして、図６に示すように、膜厚モニタ１０１を含む第一の制御系と、膜厚モニタ１０２を含む第二の制御系とによって、それぞれフィードバック制御が行われ、各膜厚モニタ１０１、１０２で測定される蒸着レートが制御される。第一の制御系では、放出部１４１から飛散する蒸着流１４０の蒸着レート、すなわち、放出部１４１から放出される蒸着粒子の蒸着レート（以下、第一の蒸着レートとも言う。）が制御され、第二の制御系では、基板１３０に到達する蒸着流１４０（蒸着粒子）の実質的な蒸着レート、すなわち、基板１３０上での蒸着レート（以下、第二の蒸着レートとも言う。）が制御される。このように、第一の蒸着レートは、蒸着源１１０からどの程度の速度で蒸着粒子が放出されているかを示す指標となり、第二の蒸着レートは、基板１３０上に実際にどの程度の速度で蒸着粒子が到達（堆積）しているかを示す指標となる。第一の制御系では、第一の蒸着レートが膜厚モニタ１０１によって測定され、その測定結果が制御装置１０３に逐次出力される。第二の制御系では、第二の蒸着レートが膜厚モニタ１０２によって測定され、その測定結果が制御装置１０３に逐次出力される。
【０１３０】
第一の制御系では、膜厚モニタ１０１の測定結果に基づいて材料の加熱温度、すなわち加熱装置１１２の出力を調整することによって、蒸着源１１０から放出される蒸着粒子の量を制御する。第二の制御系では、膜厚モニタ１０２の測定結果に基づいて放出部１４１の高さを変化させ、放出部１４１と、基板１３０の被蒸着面１３１との間の距離（以下、基板蒸着源間距離とも言う。）Ｔｓを調整することによって、基板１３０に到達する蒸着粒子の量を制御する。各制御系では、蒸着が行われている間、このような制御が繰り返される。
【０１３１】
第一の制御系は、材料の加熱温度を調整するために加熱装置１１２の出力の制御を行う。ここで、材料を収容する容器、例えば坩堝１１１の温度の挙動は、その時点までの制御値、材料の物性等、種々の条件に依存して決定される。すなわち、第一の制御系は、制御操作から第一の蒸着レートの挙動が変化するまで時間的遅れの大きい動的な制御系と言える。したがって、第一の制御系では、ＰＩＤ（Ｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌ  Ｉｎｔｅｇｒａｌ  Ｄｅｒｉｖａｔｉｖｅ）制御が行われることが好ましい。
【０１３２】
これに対し、第二の制御系は、基板蒸着源間距離Ｔｓを調整するために放出部１４１の高さを制御する。放出部１４１の高さは、高さ制御信号で決定される。蒸着源移動機構１２０に高さ制御信号が入力されると、瞬時に放出部１４１の高さが変化する。放出部１４１の高さが変化すると、膜厚モニタ１０２によって測定される第二の蒸着レートの値も即座に放出部１４１の高さに応じた値へと変化する。すなわち、第二の制御系は、過去の制御の履歴に依存せず、その時々の制御値のみに第二の蒸着レートが依存する静的な制御系と言える。したがって、第二の制御系では、測定値と目標値の差分を逐一補正するような制御、例えば比例制御（Ｐ制御）が行われることが好ましい。この場合、フィードバックの１サイクルの時間が短いほど高精度な制御が期待できるが、操作量、すなわち基板蒸着源間距離Ｔｓの演算や、その他の理由により、フィードバックに必要な時間が長くなると、制御精度が低下する可能性がある。そのような場合は、第二の制御系において、ＰＩＤ制御が行われることが好ましい。
【０１３３】
従来は、時間的遅れの大きい動的な制御系のみで蒸着レートが制御されていたため、高精度に安定して蒸着レートを制御することが困難であった。それに対して、本実施形態では、時間的遅れの大きい動的な制御系に時間遅れの極めて小さい静的な制御系が組み合わされることによって、各蒸着レート、なかでも第二の蒸着レート、すなわち基板１３０上での蒸着レートを非常に高精度に制御することが可能になる。
以下、制御系毎に各蒸着レートの制御方法について更に説明する。第一の制御系ではＰＩＤ制御を行う場合を、第二の制御系では比例制御を行う場合について説明する。
【０１３４】
第一の制御系では、制御装置１０３において、膜厚モニタ１０１から入力された第一の蒸着レート（測定レート）に基づいて、将来の第一の蒸着レート（予測レート）を予測し、予め設定された目標とする第一の蒸着レート（目標レート）と比較する。そして、予測レートが目標レートよりも大きければ、その差異に基づいて、必要な大きさだけ加熱装置１１２の出力（例えばヒータ１１３に供給する電力）を減少する。加熱装置１１２の出力が減少することによって、材料の加熱温度は低下し、気化する材料の量が減少する。その結果、第一の蒸着レートは減少する。反対に、予測レートが目標レートよりも小さければ、その差異に基づいて、必要な大きさだけ加熱装置１１２の出力（例えばヒータ１１３に供給する電力）を増加する。加熱装置１１２の出力が増加することによって、材料の加熱温度は上昇し、気化する材料の量が増加する。その結果、第一の蒸着レートは増加する。
【０１３５】
一般的に、材料の加熱温度と蒸着レートの関係は、比例関係ではないため、上述のように、第一の制御系では、ＰＩＤ制御が行われ、将来の第一の蒸着レートを予測しながら材料の加熱温度、すなわち加熱装置１１２の出力が決定されることが好ましい。
【０１３６】
図７は、実施形態１における第一の蒸着レートの経時変化の一例を模式的に示した図である。
図７に示すように、例えば、第一の蒸着レートが目標レート未満であったために加熱装置１１２の出力を増加させたとすると（図７中、（１）の時点）、第一の蒸着レートは増加していく。その後、そのまま同じ条件を維持すると第一の蒸着レートが目標レート以上になることが予想された場合、目標レートまで上昇する前に加熱装置１１２の出力を減少させることが好ましい（図７中、（２）の時点）。また、第一の蒸着レートが目標レート以上であったために加熱装置１１２の出力を減少したとすると、第一の蒸着レートは減少していく。その後、そのまま同じ条件を維持すると第一の蒸着レートが目標レート未満になることが予想された場合、目標レートまで低下する前に加熱装置１１２の出力を増加させることが好ましい（図７中、（３）の時点）。
【０１３７】
第二の制御系では、制御装置１０３において、膜厚モニタ１０２から入力された第二の蒸着レート（測定レート）を予め設定された目標とする第二の蒸着レート（目標レート）と比較する。そして、測定レートが目標レートよりも大きければ、その差異に基づいて、必要な分だけ放出部１４１の高さを低くする。一般的に、蒸着粒子の密度は、点蒸着源、線蒸着源又は面蒸着源のいずれの場合も、蒸着源からの距離の二乗に反比例するため、放出部１４１の高さを低くすることによって、基板蒸着源間距離Ｔｓが大きくなり、被蒸着面１３１上における蒸着粒子の密度が減少する。その結果、第二の蒸着レートは減少する。反対に、測定レートが目標レートよりも小さければ、その差異に基づいて、必要な分だけ放出部１４１の高さを高くする。放出部１４１の高さを高くすると、基板蒸着源間距離Ｔｓが小さくなり、被蒸着面１３１上における蒸着粒子の密度が増加する。その結果、第二の蒸着レートは増加する。
【０１３８】
第二の制御系による第二の蒸着レートの制御は、熱交換等の現象を伴わないため、時定数の小さい非常に高い応答性を示すことが特徴である。したがって、膜厚モニタ１０１及び１０２により検出された各蒸着レートに基づいて、加熱装置１１２の出力及び基板蒸着源間距離Ｔｓのリアルタイム制御を行うことにより、各蒸着レート、なかでも基板１３０上での蒸着レート（第二の蒸着レート）を高精度に制御することが可能となり、基板１３０上に所望の膜厚の蒸着膜、好適には有機膜を形成することができる。
【０１３９】
また、第二の制御系による第二の蒸着レートの制御は、非常に高い応答性を示すため、第一の制御系では応答が間に合わない第一の蒸着レートの変動を第二の制御系によって補完的に制御することが可能である。例えば、従来における場合と同様に第一の制御系によって第一の蒸着レートの制御を行い、第一の制御系では調整できない第一の蒸着レートの制御範囲に対して第二の制御系による微調整（補正）を行ってもよい。より具体的には、加熱装置１１２の出力を制御する第一の制御系単独では、目標レート±３％程度まで第一の蒸着レートを制御することが可能であるため、基板蒸着源間距離Ｔｓを制御する第二の制御系によって制御可能な第二の蒸着レートの範囲を目標レート±３％程度の範囲に設定することができる。蒸着装置１００の具体的な機構によって異なるが、この程度の制御範囲は、放出部１４１の上下移動にして数ｍｍに相当する。このように上下の移動量が小さいため、基板１３０上に形成される蒸着膜の膜厚分布に与える影響をほとんど無視することが可能である。
【０１４０】
また、基板蒸着源間距離Ｔｓを変化させると、蒸着されている領域（蒸着領域）全体において基板１３０上での蒸着レートを均一に変動させることが可能である。そのため、特許文献１に記載の成膜装置とは異なり、例え本実施形態をスキャン蒸着装置に適用したとしても、基板面内において蒸着膜の膜厚ムラが発生することを抑制することができる。また、本実施形態をポイントソース蒸着装置に適用し、共蒸着を行った場合でも、複数の材料の基板１３０上での蒸着レートの比率を高精度に制御することが可能である。
【０１４１】
膜厚モニタ１０１の目的は、第一の蒸着レート、すなわち放出部１４１から放出される蒸着粒子の蒸着レートを測定することである。蒸着中、仮に膜厚モニタ１０１と放出部１４１の間の距離が変化してしまうと、その変動の影響を膜厚モニタ１０１による測定レートが受けてしまう。したがって、第一の蒸着レートを精度良く制御するためには、蒸着中、蒸着源１１０及び膜厚モニタ１０１の位置関係（一点鎖線内）は、常に一定で変化しないことが好ましい。このような観点からは、膜厚モニタ１０１は、蒸着源昇降機構１２２に固定されていることが好ましい。
【０１４２】
膜厚モニタ１０２の目的は、第二の蒸着レート、すなわち基板１３０上での蒸着レートを測定することである。蒸着中、仮に膜厚モニタ１０２と基板１３０の間の距離が変化してしまうと、基板蒸着源間距離Ｔｓの変動の影響が膜厚モニタ１０２による測定レートに正確に反映されなくなってしまう。したがって、第二の蒸着レートを精度良く制御するためには、蒸着中、基板１３０及び膜厚モニタ１０２の位置関係（破線内）は、常に一定で変化しないことが好ましい。このような観点からは、蒸着モニタ１０２は、蒸着ユニット１７０に固定されていることが好ましい。
【０１４３】
なお、基板蒸着源間距離Ｔｓは、放出部１４１と、基板１３０の被蒸着面１３１との間の最短距離であってもよい。換言すると、基板蒸着源間距離Ｔｓは、放出部１４１と、放出部１４１から被蒸着面１３１にひいた垂線の足との間の距離であってもよい。
【０１４４】
以上、説明したように、本実施形態の蒸着装置１００は、基板１３０上に成膜する蒸着装置であって、膜厚モニタ１０２と、蒸着源１１０を含む蒸着ユニット１７０とを備え、かつ、膜厚モニタ１０２の測定結果に基づいて、気化した材料が蒸着源１１０から放出される部分（放出部）１４１と、基板１３０の蒸着される表面（被蒸着面）１３１との間の距離（基板蒸着源間距離）Ｔｓを制御しながら蒸着を行う。基板蒸着源間距離Ｔｓを制御することによって、被蒸着面１３１上における蒸着粒子の密度を制御することができる。したがって、膜厚モニタ１０２の検出結果に基づいて基板蒸着源間距離Ｔｓを制御しながら蒸着を行うことによって、時定数の小さい非常に高い応答性を示すフィードバック制御を実現できるため、基板１３０上での蒸着レート（第二の蒸着レート）を高精度に制御することができる。また、基板蒸着源間距離Ｔｓを制御しながら蒸着が行われるため、蒸着領域全体において基板１３０上での蒸着レートを変動させることが可能である。
【０１４５】
基板蒸着源間距離Ｔｓの変動範囲は、特に限定されず、許容される蒸着膜の特性等の制約に応じて適宜設定することができる。なお、Ｔｓを変化させると、基板１３０上における蒸着粒子の密度分布が変化することは避けられない。しかしながら、この密度分布の変化は、局所的なものではなく、蒸着領域全体において発生する。また、本実施形態では、上述のように、蒸着領域全体において基板１３０上での蒸着レートを高精度に制御することが可能である。したがって、Ｔｓを制御する本実施形態の蒸着装置１００は、飛散範囲を調整する特許文献１に記載の成膜装置に比べて、蒸着膜の膜厚分布の変動を小さくすることが可能である。
【０１４６】
また、本実施形態の蒸着装置１００は、蒸着源１１０を移動させて気化した材料が放出される部分（放出部）１４１の高さを変化させる蒸着源移動機構１２０を備える。この構造は、本実施形態をインライン型蒸着装置に適用する場合、特に、複数の蒸着源と、これらの蒸着源の全ての上方に配置された搬送機構とを備えたインライン型蒸着装置に適用する場合に好適である。このような場合、基板１３０の搬送路の一部において基板１３０を昇降させることは容易ではなく、その部分に対応する蒸発源を昇降させた方が簡便であるためである。
【０１４７】
本実施形態は、基板１３０ではなく蒸着源１１０を搬送方向に移動させる搬送機構を備えるクラスタ型蒸着装置に適用されてもよく、この場合は、蒸着装置１００は、基板１３０の高さを変化させる基板移動機構を備えることが好ましい。そのようなクラスタ型蒸着装置において、蒸着源１１０を移動する搬送機構と、蒸着源移動機構とを蒸着源１１０付近に設置すると、設計が複雑になり蒸発源１１０の周囲に大きなスペースが必要になったり、蒸着源１１０の搬送時の振動が問題になったりするためである。
【０１４８】
また、蒸着装置１００が基板移動機構を備える場合は、膜厚モニタ１０１は、蒸着ユニット１７０に固定されていることが好ましく、基板移動機構は、電動機駆動装置及び基板昇降機構を含むことが好ましく、膜厚モニタ１０２は、基板昇降機構に固定されていることが好ましい。ここで、電動機駆動装置は、制御装置１０３から入力された高さ制御信号を、駆動対象である基板昇降機構の駆動電流に変換し、この駆動電流を基板昇降機構に供給する。基板昇降機構は、電動機駆動装置から供給された駆動電流を機械的な仕事（力学的エネルギー）に変換する機構であり、基板ホルダ１０４に接続されており、基板ホルダ１０４を上下に移動、すなわち昇降させて、基板１３０の高さを変化させる。
【０１４９】
また、蒸着源１１０は、加熱装置１１２を含み、本実施形態の蒸着装置１００は、膜厚モニタ１０１を備え、かつ、膜厚モニタ１０１の検出結果に基づいて、加熱装置１１２の出力を制御しながら蒸着を行う。これにより、基板蒸着源間距離Ｔｓの調整だけでなく、加熱装置１１２の出力の調整によっても基板１３０上での蒸着レートを制御することが可能となるので、基板蒸着源間距離Ｔｓの変動量を小さくすることができる。したがって、基板蒸着源間距離Ｔｓの変化による蒸着膜の膜厚分布への影響を非常に小さくすることができる。
【０１５０】
基板蒸着源間距離Ｔｓは、比例制御又はＰＩＤ制御によって制御されてもよい。これにより、第二の蒸着レートの制御をより高精度に行うことが可能である。
【０１５１】
また、加熱装置１１２の出力は、ＰＩＤ制御によって制御されてもよい。これにより、第一の蒸着レートの制御をより高精度に行うことが可能である。
【０１５２】
更に、蒸着源１１０は、開口部１１５が設けられた坩堝１１１を備えてもよく、気化した材料が放出される部分（放出部）１４１は、開口部１１５であってもよい。これにより、蒸着源に坩堝を使用する蒸着装置において、蒸着領域全体において基板１３０上での蒸着レートを高精度に制御することができる。
【０１５３】
（実施形態２）
本実施形態は、第一の制御系によるフィードバック制御を省略したことを除いて、実施形態１と実質的に同じである。したがって、本実施形態では、本実施形態に特有の特徴について主に説明し、実施形態１と重複する内容については説明を省略する。また、本実施形態と実施形態１とにおいて、同一又は同様の機能を有する部材には同一の符号を付する。
【０１５４】
本実施形態においては、コストを大幅に抑える観点から、第一の制御系によるフィードバック制御は、省略されており、加熱装置１２０の出力が所定の値に固定されている。この場合も、実施形態１と同様、第二の制御系によって、蒸着領域全体において基板１３０上での蒸着レートを高精度に制御できる。ただし、目標レート±３％を大きく超えるような範囲において第二の制御系のみで第二の蒸着レートの補正を行うと、蒸着膜の膜厚分布の変動が大きくなる可能性がある。したがって、蒸着膜の膜厚分布の変動を効果的に抑制する観点からは、実施形態１のように、第一及び第二の制御系は、併用されることが好ましい。
【０１５５】
（実施形態３）
本実施形態は、膜厚モニタ１０１及び１０２の一方を省略したことを除いて、実施形態１と実質的に同じである。したがって、本実施形態では、本実施形態に特有の特徴について主に説明し、実施形態１と重複する内容については説明を省略する。また、本実施形態と実施形態１とにおいて、同一又は同様の機能を有する部材には同一の符号を付する。
【０１５６】
本実施形態では、制御精度は落ちるが、コストを抑制する観点から、膜厚モニタ１０１又は１０２の測定結果に基づいて、基板蒸着源間距離Ｔｓ及び加熱装置１１２の出力を制御しながら蒸着を行う。
【０１５７】
例えば、膜厚モニタ１０１を省略し、膜厚モニタ１０２のみを用いてもよい。この場合、膜厚モニタ１０２が本発明に係る蒸着装置の上記第一の膜厚モニタに対応する。膜厚モニタ１０１を省略し、膜厚モニタ１０２のみを用いることができる理由は、放出部１４１及び膜厚モニタ１０２の間の距離が変動したときの第一の蒸着レートの変動は、計算上、ある程度推測することができ、また、この距離の情報は、制御パラメータとして既知であるためである。したがって、膜厚モニタ１０１を省略したとしても、膜厚モニタ１０２によって測定された第二の蒸着レートから第一の蒸着レートを分離（推測）でき、この分離（推測）した第一の蒸着レートに基づいて、加熱装置１１２の出力を制御することができる。より確実に第一の蒸着レートを推測する方法として、放出部１４１及び膜厚モニタ１０２の間の距離が変動したときの第一の蒸着レート及び第二の蒸着レートを実測し、この結果から検量線を作成しておき、この検量線に基づいて第一の蒸着レートを算出してもよい。
【０１５８】
反対に、膜厚モニタ１０２を省略し、膜厚モニタ１０１のみを用いてもよい。この場合、膜厚モニタ１０１が本発明に係る蒸着装置の上記第一の膜厚モニタに対応する。膜厚モニタ１０１を省略し、膜厚モニタ１０２のみを用いることができる理由は、基板蒸着源間距離Ｔｓが変動したときの第二の蒸着レートの変動は、算出することができ、また、基板蒸着源間距離Ｔｓの情報は、制御パラメータとして既知であるためである。したがって、膜厚モニタ１０２を省略したとしても、膜厚モニタ１０１によって測定された第一の蒸着レートから第二の蒸着レートを分離（算出）でき、この分離（算出）した第二の蒸着レートに基づいて、基板蒸着源間距離Ｔｓを制御することができる。より確実に第二の蒸着レートを推測する方法として、基板蒸着源間距離Ｔｓが変動したときの第二の蒸着レートの変化の挙動を実測し、この結果から検量線を作成しておき、この検量線に基づいて第二の蒸着レートを算出してもよい。
【０１５９】
（実施形態４）
本実施形態は、制御系が異なることを除いて、実施形態１と実質的に同じである。したがって、本実施形態では、本実施形態に特有の特徴について主に説明し、実施形態１と重複する内容については説明を省略する。また、本実施形態と実施形態１とにおいて、同一又は同様の機能を有する部材には同一の符号を付する。ただし、本実施形態においては、膜厚モニタ１０１が本発明に係る蒸着装置の上記第一の膜厚モニタに対応し、膜厚モニタ１０２が本発明に係る蒸着装置の上記第二の膜厚モニタに対応している。また、本実施形態では、上記第一の膜厚モニタに対応する膜厚モニタ１０１が蒸着源移動機構１２０に固定されることが好ましく、上記第二の膜厚モニタに対応する膜厚モニタ１０２が蒸着ユニット１７０に固定されることが好ましい。
【０１６０】
図８は、実施形態４の蒸着装置の制御系を説明するための模式図である。図９は、実施形態４における蒸着レート及び基板蒸着源間距離Ｔｓの経時変化の一例を模式的に示した図である。
本実施形態の蒸着装置は、図８に示すような制御系を備えている。すなわち、膜厚モニタ１０１の測定結果に基づいて、基板蒸着源間距離Ｔｓと加熱装置１１２の出力とを制御し、膜厚モニタ１０２の測定結果に基づいて、基板蒸着源間距離Ｔｓの制御における比例係数を制御している。膜厚モニタ１０１を含む制御系での制御が正しければ、膜厚モニタ１０２で測定される蒸着レートは、所望の一定の値になる。他方、基板蒸着源間距離Ｔｓと、膜厚モニタ１０２によって測定される蒸着レートとの間の相関が合っていない場合には、図９に示すように、膜厚モニタ１０２によって測定される蒸着レートは、基板蒸着源間距離Ｔｓが変化すると、それに従って変化する。つまり、目標レートをＲ０、膜厚モニタ１０２による蒸着レートの測定時の基板蒸着源間距離をＴｓ１、その時に膜厚モニタ１０２によって測定される蒸着レートをＲ１とすると、操作量、すなわち基板蒸着源間距離の出力値（Ｔｓ２とする）は、
Ｔｓ２＝Ｋ０×√（Ｒ１／Ｒ０）×Ｔｓ１＋Ｋ１
となる。そして、通常、Ｋ０＝１、Ｋ１＝０である。
【０１６１】
図１０は、実施形態４における基板蒸着源間距離の出力値と膜厚モニタの測定結果との相関関係を模式的に示した図である。
図１０に示すように、ある一定時間において、Ｔｓ２及び１／√（膜厚モニタ１０２の測定結果）のプロットをとり、第一及び第二の制御レートの制御が正しければ、膜厚モニタ１０２による蒸着レートは、Ｔｓ２に依存せずにフラットになる（図１０の破線）。しかし、実際の測定値が図１０のようにＴｓ２に依存して変化する場合、測定値と上記式とをフィッティングしてＫ０及びＫ１を求め、このＫ０及びＫ１に基づいて基板蒸着間距離Ｔｓを補正することができる。
【０１６２】
本実施形態によれば、実施形態１に比べて、蒸着装置の簡略化が可能である。膜厚モニタ１０１及び１０２としては、水晶振動子を用いた膜厚モニタが好適であるが、水晶振動子に蒸着粒子が一定量以上付着すると測定誤差が生じてくるため、水晶振動子を用いた膜厚モニタは、適宜交換を行う必要がある。したがって、実施形態１の蒸着装置では、必要に応じて水晶振動子の交換が可能なように複数の水晶振動子を装着した多連式の膜厚モニタを膜厚モニタ１０１及び１０２として用いることが好ましい。それに対して、本実施形態では、膜厚モニタ１０２は、常時、蒸着レートを測定する必要はなく、任意の期間、定期的に比例係数の確認ができる程度に蒸着レートを測定することが可能である。そのため、本実施形態では、膜厚モニタ１０２として簡便な膜厚モニタを使用することができる。
【０１６３】
なお、各実施形態の蒸着装置の構成部材の向きは、特に限定されない。例えば、上述した構成部材全てを上下反転させて配置してもよいし、基板１３０を縦にした状態で、蒸着流１４０を横（側方）から基板１３０に吹き付けてもよい。
【０１６４】
各実施形態の蒸着装置を用いて製造される有機ＥＬ表示装置は、モノクロ表示の表示装置であってもよいし、各画素は複数のサブ画素に分割されていなくてもよい。この場合、発光層蒸着工程では、１色の発光材料の蒸着だけを行い、１色の発光層のみを形成してもよい。
【０１６５】
また、発光層蒸着工程以外の蒸着工程において、発光層蒸着工程と同様にして、薄膜のパターンを形成してもよい。例えば、電子輸送層を各色のサブ画素毎に形成してもよい。
【０１６６】
更に、各実施形態では、有機ＥＬ素子の有機層を形成する場合を例に説明したが、本発明に係る蒸着装置の用途は、有機ＥＬ素子の製造に特に限定されず、種々の薄膜のパターンの形成に利用することができる。
【０１６７】
以下に、実施形態１に係る実施例１〜３について説明する。
なお、実施例１〜３では、図６に示したように、第一及び第二の制御系によって、それぞれフィードバック制御を行った。
【０１６８】
（実施例１）
本実施例では、スキャン蒸着装置を用いて、固定された塗分け用マスクに対し基板（被成膜基板）を走査（搬送）しながら蒸着を行った。
【０１６９】
図１１は、実施例１の蒸着装置の基本構成を示す模式図である。図１２は、実施例１の蒸着装置の平面模式図である。
図１１及び１２に示すように、本実施例の蒸着装置は、蒸着ユニット２７０を備えており、蒸着ユニット２７０は、２枚のマスク２５０と、坩堝２１１、ヒータ（図示せず）及び加熱電源２１４を各々含む複数の蒸着源２１０と、複数の坩堝２１１を支持する坩堝支持体２７１と、制限部材２７２とを含んでいる。蒸着源２１０は、千鳥状に配置されている。
【０１７０】
制限部材２７２は、坩堝２１１の開口部２１５に対応して複数の開口部２７３が千鳥状に設けられた板状の部材であり、坩堝２１１の開口部２１５から放出された蒸着粒子から不要な成分を排除する。各開口部２７３には、下方の対応する開口部２１５から蒸着流２４０が上昇してくることになる。蒸着流２４０に含まれる蒸着粒子のうちの一部は、開口部２７３を通過することができ、マスク２５０に到達することができる。他方、残りの蒸着粒子は、制限部材２７２に付着するため、開口部２７３を通過することができず、マスク２５０に到達することができない。このようにして、各開口部２１５から噴き出した直後では等方的に広がっていた蒸着流２４０を制限部材２７２によって制御し、指向性の悪い成分をカットして指向性の高い成分を生成する。また、制限部材２７２は、各蒸着流２４０が、その真上の開口部２７３以外の開口部２７３を通過することを防止している。
【０１７１】
また、各マスク２５０には、蒸着流２４０に対応して複数のマスク開口領域２５２が設けられており、複数のマスク開口領域２５２は、複数の蒸着源２１０（坩堝２１１の開口部２１５）及び複数の開口部２７３に対応して千鳥状に配置されている。各マスク２５０のマスク開口領域２５２は、対応する、複数の坩堝２１１及び複数の開口部２７３と同じピッチで配置されている。また、各マスク開口領域２５２には複数の開口２５１が形成されている。これらの結果、マスク２５０に到達した蒸着粒子の一部が開口２５１を通過することができ、開口２５１に対応したパターンで基板２３０上に蒸着粒子を堆積させることができる。開口２５１は全て、同じ長さの矩形状に形成されている。
【０１７２】
図１３は、実施例１の蒸着装置の変形例の平面模式図である。
図１３に示すように、各マスク開口領域２５２において、下方の蒸着源２１０からより離れた開口２５１ほど長さが長くてもよい。
【０１７３】
本実施例の蒸着装置は、基板ホルダ２０４及び搬送機構２０５を更に備えている。
【０１７４】
基板ホルダ２０４は、基板２３０を保持する部材であり、基板２３０を、その被蒸着面２３１がマスク２５０に対向するように、保持する。基板ホルダ２０４としては、静電チャックが好適である。
【０１７５】
搬送機構２０５は、基板ホルダ２０４に接続されており、基板２３０の法線方向に直交する搬送方向（図１１を示す紙面の手前から奥に向かう方向）に、基板ホルダ２０４に保持された基板２３０を定速で移動させることができる。そして、本実施例の蒸着装置では、基板２３０を走査しながら蒸着を行う。
【０１７６】
搬送機構２０５は、例えば、リニアガイドと、ボールネジと、ボールネジに接続されたモータと、モータに接続されたモータ駆動制御部とを備え、モータ駆動制御部によってモータを駆動させることで基板ホルダ２０４及び基板２３０を一体的に移動させる。
【０１７７】
なお、搬送機構２０５は、基板２３０及び蒸着ユニット２７０の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させることができればよい。したがって、基板２３０が固定され、蒸着ユニット２７０が搬送機構２０５によって移動させられてもよいし、基板２３０及び蒸着ユニット２７０の両方が搬送機構２０５によって移動させられてもよい。
【０１７８】
本実施例の蒸着装置は、膜厚モニタ２０１及び２０２と、制御装置（図示せず）と、電動機駆動装置（図示せず）と、坩堝支持体２７１に接続された駆動モータ２２２とを更に備えている。
【０１７９】
本実施例において、膜厚モニタ２０１は、本発明に係る蒸着装置の上記第二の膜厚モニタに対応し、膜厚モニタ２０２は、本発明に係る蒸着装置の上記第一の膜厚モニタに対応している。
【０１８０】
各膜厚モニタ２０１、２０２のセンサ部は、制限部材２７２及びマスク２５０の間であって一つの蒸着流２４０に接触し得る領域に配置されている。膜厚モニタ２０１、制御装置、ヒータ及び加熱電源２１４から第一の制御系が構成され、膜厚モニタ２０２、制御装置、電動機駆動装置及び駆動モータ２２２から第二の制御系が構成されている。
【０１８１】
そして、本実施例では、膜厚モニタ２０１及び２０２でそれぞれ第一及び第二の蒸着レートが測定され、第一及び第二の蒸着レートについて、それぞれ、第一及び第二の制御系によってフィードバック制御を行いながら蒸着を行った。
【０１８２】
なお、気化した材料が放出される放出部２４１の高さの調節は、坩堝支持体２７１を上下に移動させて各坩堝２１１の開口部２１５の高さを一律に変化させることによって行った。
【０１８３】
放出部２４１と、基板２３０の被蒸着面２３１との間の距離、すなわち基板蒸着源間距離（Ｔｓ）の基準距離（Ｔｓ基準）は、３００ｍｍに設定した。基板蒸発源間距離Ｔｓの変動量は、Ｔｓ基準±５ｍｍとした。基板蒸発源間距離Ｔｓの変化のピッチは、０．１ｍｍとした。一つの蒸着源２１０が受け持つ、基板２３０上での蒸着領域２４３の幅は、５０ｍｍとした。隣接する蒸着領域２４３の間の間隔も５０ｍｍとした。基板２３０とマスク２５０の間の間隔（Ｇａｐ）は、１ｍｍとした。各蒸着領域２４３に対応してマスク開口領域２５２が設けられている。各マスク開口領域２５２の幅は、下記式から４９．８３３３３ｍｍに設定した。
マスク開口領域の幅＝（（Ｌ基準／Ｔｓ基準）×（Ｔｓ基準−Ｇａｐ））×２
式中のＬ基準については、図１４を参照して後述する。
【０１８４】
なお、基板蒸発源間距離Ｔｓの変化のピッチは、特に限定されず、適宜設定することができる。また、基板蒸発源間距離Ｔｓは、上述のようにステップ状に変化されるのではなく、リニア（連続的）に変化されてもよい。
【０１８５】
（Ｔｓ変化による蒸着レートへの影響）
Ｔｓが変化した場合の蒸着粒子の密度はＴｓの二乗に反比例するため、Ｔｓ＝３０５ｍｍのときの基板蒸着源間距離をＴｓ１とし、Ｔｓ＝２９５ｍｍのときの基板蒸着源間距離をＴｓ２とすると、Ｔｓ基準のときの蒸着レート（Ｒ基準）に対するＴｓ１又はＴｓ２のときの蒸着レート（Ｒ１又はＲ２）の比率は、以下の式で求められる。
Ｒ１／Ｒ基準＝３００２／３０５２＝０．９６７
Ｒ２／Ｒ基準＝３００２／２９５２＝１．０３４
したがって、本実施例では、Ｔｓ基準±５ｍｍの範囲内でＴｓを変化させることによって、蒸着レートをおよそ目標レート±３％の範囲内で変動させることが可能である。
【０１８６】
（Ｔｓ変化によるパターンの位置ズレへの影響）
図１４は、実施例１において、Ｔｓが変化したときのパターンの変化を説明するための模式図である。
基板２３０上の所望の位置に成膜されるようにマスク２５０の開口２５１は設計されるが、坩堝２１１を昇降させると、図１４に示すように、Ｔｓが変化しマスク２５０へ入射する蒸着粒子の角度も変わり、結果として形成されるパターンの位置がずれる。特に、蒸着領域２４３の端に位置し、マスク開口領域２５２の端に位置する開口２５１によって形成されたパターン部分の位置が最も変化する。以下、この部分の位置ずれの大きさを計算した結果を示す。マスク開口領域２５２の端にある開口２５１は、坩堝２１１の開口部２１５の中心を通る中心線ＣＬから２４．９１６６７ｍｍずれた場所に位置するため、Ｔｓ基準及びＴｓ１のときに蒸着領域２４３の端に形成されるパターン部分の位置（中心線ＣＬから当該パターン部分までの距離）を、それぞれ、Ｌ基準及びＬ１とすると、Ｔｓ基準のときとＴｓ１のときの間における当該パターン部分の位置ずれ量（Ｌ１−Ｌ基準）は、以下の式で求められる。
Ｌ１−Ｌ＝（（２４．９１６６７／（３０５−１））×３０５）−（（２４．９１６６７／（３００−１））×３００）＝−０．００１３７ｍｍ
したがって、本実施例では、Ｔｓ基準に対して±５ｍｍの変動がＴｓにある場合でも、パターンの位置のずれ量の最大値は、１．４μｍ程度に収まっており、この程度のずれ量は特に問題とならない。
【０１８７】
なお、この程度のずれ量でも問題となる場合には、坩堝２１１の昇降と同時にマスク２５０を昇降させてもよく、これにより、パターンの位置のずれを補正することができる。例えば、Ｔｓ＝Ｔｓ１（＝３０５ｍｍ）のときの補正後の間隔（Ｇａｐ）をＧａｐ１とすると、Ｇａｐ１は、以下の式で求めることができる。
Ｇａｐ１＝３０５−（３０５／２５）×Ｌ１
【０１８８】
（Ｔｓ変化による蒸着領域への影響）
図１５は、実施例１において、Ｔｓが変化したときの蒸着領域への影響を説明するための模式図である。
図１５に示すように、実施例１において、放出部２４１と、制限部材２７２の上面（基板２３０側の表面）との間の距離は、３０ｍｍとし、制限部材２７２の開口部２７３の幅は、６ｍｍに設定した。Ｔｓの変動量は、Ｔｓ基準±５ｍｍであるので、Ｔｓが変化すると、マスク２５０の下面（制限部材２７２側の表面）における蒸着流２４０の幅は、５２．１１４２９ｍｍ〜７０．５６ｍｍの範囲で変化する。しかしながら、マスク開口領域２５２の幅（＝４９．８３３３３ｍｍ）に対して充分にマージンが確保できるため、Ｔｓが変化しても蒸着領域が影響を受けることはない。
【０１８９】
なお、制限部材２７２の開口部２７３の幅は、適宜設定できるが、大きくし過ぎると、蒸着粒子の散乱等の現象に起因して、マスク開口領域２５２に隣の開口部２７３から不必要な蒸着粒子が飛来する可能性がある。すなわち、蒸着粒子の回り込みが発生する可能性がある。そのため、蒸着粒子の回り込みの発生を抑制する観点からは、制限部材２７２の開口部２７３の幅は、６ｍｍ＋１ｍｍ以内に留めておくことが好ましい。
【０１９０】
また、本実施例では、制限部材２７２を固定し、坩堝支持体２７１のみを上下に動かしたが、坩堝支持体２７１の上下の動きに合わせて制限部材２７２を上下に動かしてもよい。これにより、制限部材２７２を通過した蒸着流２４０の広がる範囲（角度）を変化しないようにすることが可能であり、また、制限部材２７２の開口部２７３を小さくすることが可能である。特に、マスク２５０の下面（制限部材２７２側の表面）における蒸着流２４０の幅が変わらないように、制限部材２７２を上下に動かすことが好ましい。これにより、開口部２７３をできる限り小さくすることが可能であるため、蒸着粒子の回り込みの発生を最も少なくすることが可能である。
【０１９１】
（Ｔｓ変化による面内膜厚分布への影響）
図１６は、実施例１において、Ｔｓと蒸着膜の膜厚分布との関係を示すグラフである。なお、図１６は、Ｎ値＝２．３で試算した結果を示す。
スキャン蒸着装置では、蒸着源間の干渉が少ないため、スキャン蒸着装置の蒸着源は、膜厚の分布に関して、点蒸着源と同様の特性を持っている。しかしながら、Ｔｓ基準の３００ｍｍに対して、蒸着領域の幅が５０ｍｍと短いため、図１６に示すように、Ｔｓの変動による膜厚分布への影響は小さい。
【０１９２】
図１７は、実施例１において、Ｔｓ基準時に対するＴｓ調整時の膜厚の変動比率を示すグラフである。なお、図１７は、図１６の結果から算出した。
図１７に示すように、Ｔｓ以外は同じ条件でＴｓのみを変化させたとしても、Ｔｓ基準時に対するＴｓ調整時の膜厚分布の変化は、±０．０２％未満と非常に小さい。したがって、Ｔｓを調整することによる膜厚分布への影響は、数値的に全く問題がなく、実質的にないと言える。
【０１９３】
（Ｔｓ変化による蒸着レートの制御）
本実施例では、Ｔｓ基準での基板２３０上における蒸着レートに対しておよそ±３％の範囲内において、０．０７％のピッチで基板２３０上における蒸着レートを制御することができた。このように、本実施例では、放出部２４１の高さの調整と、材料の加熱温度の調整との組み合わせにより、±０．０７％以下の基板２３０上での蒸着レートの精度を得ることができた。
【０１９４】
また、本実施例の蒸着装置は、基板２３０の法線方向に直交する方向に、基板２３０及び蒸着源２１０の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させる搬送機構２０５を備える。したがって、本実施例によれば、スキャン蒸着装置において、基板２３０上での蒸着レートを高精度に制御することができ、また、蒸着膜の膜厚分布のムラの発生を抑制することができる。特にスキャン蒸着装置においては、基板２３０上での蒸着レートのばらつきが、そのまま膜厚のばらつきにつながることから、本実施例によれば、蒸着膜の膜厚分布のムラの発生を効果的に抑制することができる。
【０１９５】
更に、本実施例の蒸着装置は、蒸着源２１０、及び、マスク２５０を含む蒸着ユニット２７０を備え、搬送機構２０５は、基板２３０及び蒸着ユニット２７０の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させる。したがって、本実施例によれば、マスク２５０を基板２３０より小さくすることができるため、マスク２５０を容易に製造することが可能となり、また、マスク２５０自身の自重による撓みの発生を抑制することができる。
【０１９６】
（実施例２）
本実施例では、マスクが貼り合わされた基板（被成膜基板）を回転機構付きの基板ホルダより回転しながら蒸着を行った。
【０１９７】
図１８は、実施例２の蒸着装置の基本構成を示す模式図である。
図１８に示すように、本実施例の蒸着装置は、マスク３５０と、坩堝３１１、ヒータ（図示せず）及び加熱電源３１４を含む蒸着源３１０と、坩堝３１１を支持する坩堝支持体３７１と、回転機構付き基板ホルダ３０４とを備えている。
【０１９８】
基板ホルダ３０４は、基板３３０を保持する部材であり、基板３３０を、その被蒸着面３３１がマスク３５０に対向するように、保持する。基板ホルダ３０４としては、静電チャックが好適である。基板３３０及びマスク３５０は、互いに接触した状態で基板ホルダ３０４に保持されている。
【０１９９】
基板ホルダ３０４は、基板３３０及びマスク３５０を一体的に定速で回転可能な回転機構（図示せず）を備えており、本実施例の蒸着装置では、基板３３０及びマスク３５０を回転しながら蒸着を行う。
【０２００】
回転機構は、基板ホルダ３０４に接続されており、例えば、基板ホルダ３０４に接続されたモータ（図示せず）と、モータに接続されたモータ駆動制御部（図示せず）とを備え、モータ駆動制御部によってモータを駆動させることで基板ホルダ３０４、基板３３０及びマスク３５０を一体的に回転させる。
【０２０１】
マスク３５０には、複数の開口３５１が形成されているため、坩堝３１１の開口部３１５から上昇してきてマスク３５０に到達した蒸着粒子の一部が開口３５１を通過することができ、開口３５１に対応したパターンで基板３３０上に蒸着粒子を堆積させることができる。
【０２０２】
本実施例の蒸着装置は、膜厚モニタ３０１及び３０２と、制御装置（図示せず）と、電動機駆動装置（図示せず）と、坩堝支持体３７１に接続された駆動モータ３２２とを備えている。
【０２０３】
本実施例において、膜厚モニタ３０１は、本発明に係る蒸着装置の上記第二の膜厚モニタに対応し、膜厚モニタ３０２は、本発明に係る蒸着装置の上記第一の膜厚モニタに対応している。
【０２０４】
各膜厚モニタ３０１、３０２のセンサ部は、蒸着流３４０に接触し得る領域に配置されている。膜厚モニタ３０１、制御装置、ヒータ及び加熱電源３１４から第一の制御系が構成され、膜厚モニタ３０２、制御装置、電動機駆動装置及び駆動モータ３２２から第二の制御系が構成されている。
【０２０５】
そして、本実施例では、膜厚モニタ３０１及び３０２でそれぞれ第一及び第二の蒸着レートが測定され、第一及び第二の蒸着レートについて、それぞれ、第一及び第二の制御系によってフィードバック制御を行いながら蒸着を行った。
【０２０６】
なお、気化した材料が放出される放出部３４１の高さの調節は、坩堝支持体３７１を上下に移動させて坩堝３１１の開口部３１５の高さを変化させることによって行った。
【０２０７】
基板蒸発源間距離（Ｔｓ）の基準距離（Ｔｓ基準）は、４００ｍｍに設定した。基板蒸発源間距離Ｔｓの変動量は、Ｔｓ基準±６ｍｍとした。基板蒸発源間距離Ｔｓの変化のピッチは、０．１ｍｍとした。一つの蒸着源３１０が受け持つ、基板３３０上での蒸着領域３４３の幅は、３５０ｍｍとした。基板３３０とマスク３５０は互いに密着させて一緒に回転させた。
【０２０８】
なお、基板蒸発源間距離Ｔｓの変化のピッチは、特に限定されず、適宜設定することができる。また、基板蒸発源間距離Ｔｓは、上述のようにステップ状に変化されるのではなく、リニア（連続的）に変化されてもよい。
【０２０９】
（Ｔｓ変化による蒸着レートへの影響）
Ｔｓが変化した場合の蒸着粒子の密度はＴｓの二乗に反比例するため、Ｔｓ＝４０６ｍｍのときの基板蒸着源間距離をＴｓ１とし、Ｔｓ＝３９４ｍｍのときの基板蒸着源間距離をＴｓ２とすると、Ｔｓ基準のときの蒸着レート（Ｒ基準）に対するＴｓ１又はＴｓ２のときの蒸着レート（Ｒ１又はＲ２）の比率は、以下の式で求められる。
Ｒ１／Ｒ基準＝４００２／４０６２＝０．９７１
Ｒ２／Ｒ基準＝４００２／３９４２＝１．０３１
したがって、本実施例では、Ｔｓ基準±６ｍｍの範囲内でＴｓを変化させることによって、蒸着レートをおよそ目標レート±３％の範囲内で変動させることが可能である。
【０２１０】
（Ｔｓ変化によるパターンの位置ズレへの影響）
本実施例では、マスク３５０が基板３３０に密着しているため、Ｔｓが変化しても形成されるパターンの位置がずれることはない。
【０２１１】
（Ｔｓ変化による蒸着レートの制御）
本実施例では、Ｔｓ基準での基板３３０上における蒸着レートに対しておよそ±３％の範囲内において、０．０５％のピッチで基板３３０上における蒸着レートを制御することができた。このように、本実施例では、放出部３４１の高さの調整と、材料の加熱温度の調整との組み合わせにより、±０．０５％以下の基板３３０上における蒸着レートの精度を得ることができた。
【０２１２】
また、本実施例の蒸着装置は、マスク３５０と、マスク３５０が貼り合わされた基板３３０を回転させる回転機構付き基板ホルダ３０４とを備える。したがって、本実施例によれば、Ｔｓを変化させても形成されるパターンの位置がずれることを防止することができる。
【０２１３】
更に、共蒸着を行った場合でも、複数の材料の基板３３０上での蒸着レートの比率を高精度に制御することが可能である。
【０２１４】
（実施例３）
本実施例では、インライン蒸着装置を用いて、マスクが貼り合わされた基板（被成膜基板）を走査（搬送）しながら蒸着を行った。
【０２１５】
図１９は、実施例３の蒸着装置の基本構成を示す模式図である。
図１９に示すように、本実施例の蒸着装置は、マスク４５０と、坩堝４１１、ヒータ（図示せず）及び加熱電源４１４を含む蒸着源４１０と、坩堝４１１を支持する坩堝支持体４７１と、基板ホルダ４０４と、搬送機構４０５とを備えている。
【０２１６】
図２０は、実施例３の蒸着装置が備える蒸着源の平面模式図である。
蒸着源４１０は、いわゆるラインソースと呼ばれる幅が広い蒸着源であり、坩堝４１１は、材料を収容する容器部４１１ａと、容器部４１１ａを覆う蓋部４１１ｂとを含んでいる。図２０に示すように、蓋部４１１ｂは、蓋部４１１ｂ全体に分散して配置された複数のノズルを備えており、各ノズルの開口部４１５から気化した蒸材料が放出され、複数の蒸着流が合わさって一つの大きな蒸着流４４０となる。
【０２１７】
基板ホルダ４０４は、基板４３０を保持する部材であり、基板４３０を、その被蒸着面４３１がマスク４５０に対向するように、保持する。基板ホルダ４０４としては、静電チャックが好適である。基板４３０及びマスク４５０は、互いに接触した状態で基板ホルダ４０４に保持されている。
【０２１８】
搬送機構４０５は、基板ホルダ４０４に接続されており、基板４３０の法線方向に直交する搬送方向（図１９を示す紙面の手前から奥に向かう方向）に、基板ホルダ４０４に保持された基板４３０を移動させることができる。そして、本実施例の蒸着装置では、基板４３０を走査しながら蒸着を行う。
【０２１９】
搬送機構４０５は、例えば、リニアガイドと、ボールネジと、ボールネジに接続されたモータと、モータに接続されたモータ駆動制御部とを備え、モータ駆動制御部によってモータを駆動させることで基板ホルダ４０４及び基板４３０を一体的に移動させる。
【０２２０】
なお、搬送機構４０５は、基板４３０と、坩堝４１１、ヒータ及び坩堝支持体４７１を含む蒸着ユニット４７０との少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させることができればよい。したがって、基板４３０が固定され、蒸着ユニット４７０が搬送機構４０５によって移動させられてもよいし、基板４３０及び蒸着ユニット４７０の両方が搬送機構４０５によって移動させられてもよい。
【０２２１】
マスク４５０には、一つの大きな開口４５１が形成されているため、坩堝４１１の開口部４１５から上昇してきてマスク４５０に到達した蒸着粒子の一部が開口４５１を通過することができ、開口４５１に対応したパターンで基板４３０上に蒸着粒子を堆積させることができる。
【０２２２】
本実施例の蒸着装置は、膜厚モニタ４０１及び４０２と、制御装置（図示せず）と、電動機駆動装置（図示せず）と、坩堝支持体４７１に接続された駆動モータ４２２とを更に備えている。
【０２２３】
本実施例において、膜厚モニタ４０１は、本発明に係る蒸着装置の上記第二の膜厚モニタに対応し、膜厚モニタ４０２は、本発明に係る蒸着装置の上記第一の膜厚モニタに対応している。
【０２２４】
各膜厚モニタ４０１、４０２のセンサ部は、蒸着流４４０に接触し得る領域に配置されている。膜厚モニタ４０１、制御装置、ヒータ及び加熱電源４１４から第一の制御系が構成され、膜厚モニタ４０２、制御装置、電動機駆動装置及び駆動モータ４２２から第二の制御系が構成されている。
【０２２５】
そして、本実施例では、膜厚モニタ４０１及び４０２でそれぞれ第一及び第二の蒸着レートが測定され、第一及び第二の蒸着レートについて、それぞれ、第一及び第二の制御系によってフィードバック制御を行いながら蒸着を行った。
【０２２６】
なお、気化した材料が放出される放出部４４１の高さの調節は、坩堝支持体４７１を上下に移動させることによって坩堝４１１の開口部４１５の高さを変化させることによって行った。
【０２２７】
基板蒸発源間距離（Ｔｓ）の基準距離（Ｔｓ基準）は、１５０ｍｍに設定した。基板蒸発源間距離Ｔｓの変動量は、Ｔｓ基準±３ｍｍとした。基板蒸発源間距離Ｔｓのピッチは、０．１ｍｍとした。一つの蒸着源４１０が受け持つ、基板４３０上での蒸着領域４４３の幅は、９２０ｍｍとした。基板４３０とマスク４５０は互いに密着させて一緒に搬送させた。
【０２２８】
なお、基板蒸発源間距離Ｔｓの変化のピッチは、特に限定されず、適宜設定することができる。また、基板蒸発源間距離Ｔｓは、上述のようにステップ状に変化されるのではなく、リニア（連続的）に変化されてもよい。
【０２２９】
（Ｔｓ変化による蒸着レートへの影響）
Ｔｓが変化した場合の蒸着粒子の密度はＴｓの二乗に反比例するため、Ｔｓ＝１５３ｍｍのときの基板蒸着源間距離をＴｓ１とし、Ｔｓ＝１４７ｍｍのときの基板蒸着源間距離をＴｓ２とすると、Ｔｓ基準のときの蒸着レート（Ｒ基準）に対するＴｓ１又はＴｓ２のときの蒸着レート（Ｒ１又はＲ２）の比率は、以下の式で求められる。
Ｒ１／Ｒ基準＝１５０２／１５３２＝０．９６１
Ｒ２／Ｒ基準＝１５０２／１４７２＝１．０４１
したがって、本実施例では、Ｔｓ基準±３ｍｍの範囲内でＴｓを変化させることによって、基板４３０上での蒸着レートをおよそ目標レート±４％の範囲内で変動させることが可能である。
【０２３０】
（Ｔｓ変化によるパターンの位置ズレへの影響）
本実施例では、マスク４５０が基板４３０に密着しているため、Ｔｓが変化しても形成されるパターンの位置がずれることはない。
【０２３１】
（Ｔｓ変化による面内膜厚分布への影響）
本実施例では、いわゆるラインソースを利用したため、Ｔｓが変化しても基板に到達する蒸着流４４０の範囲はほとんど変化しない。
【０２３２】
図２１は、実施例３において、Ｔｓと蒸着膜の膜厚分布との関係を示すグラフである。
なお、図２１は、各ノズルのＮ値＝８で試算した結果を示す。Ｎ値＝８の場合、実際にラインソースを用いて蒸着した場合に得られる膜厚分布に近い膜厚分布のグラフが得られた。ラインソースでは、隣接するノズルから放出された蒸着流同士が干渉し合い、蒸着粒子の飛散方向が坩堝４１１の真上の方向に近づくために、各ノズルのＮ値は、上述のように比較的大きな値になったと推測できる。しかしながら、蓋部４１１ｂ全体にノズルが一様に分布しているため、図２１に示すように、Ｔｓの変動による膜厚分布への影響は小さい。
【０２３３】
図２２は、実施例３において、Ｔｓ基準時に対するＴｓ調整時の膜厚の変動比率を示すグラフである。なお、図２２は、図２１の結果から算出した。
図２２に示すように、Ｔｓ以外は同じ条件でＴｓのみを変化させたとしても、Ｔｓ基準時に対するＴｓ調整時の膜厚分布の変化は、±０．０１％未満と非常に小さい。したがって、Ｔｓを調整することによる膜厚分布への影響は、数値的に全く問題がなく、実質的にないと言える。
【０２３４】
（Ｔｓ変化による蒸着レートの制御）
本実施例では、Ｔｓ基準での基板４３０上における蒸着レートに対しておよそ±４％の範囲内において０．１３％のピッチで基板４３０上における蒸着レートを制御することができた。このように、本実施例では、放出部４４１の高さの調整と、材料の加熱温度の調整との組み合わせにより、±０．１３％以下の基板４３０上における蒸着レートの精度を得ることができた。
【０２３５】
また、本実施例の蒸着装置は、基板４３０の法線方向に直交する方向に、基板４３０及び蒸着源４１０の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させる搬送機構４０５を備える。したがって、本実施例によれば、スキャン蒸着装置において、基板４３０上における蒸着レートを高精度に制御することができ、また、蒸着膜の膜厚分布のムラの発生を抑制することができる。特にスキャン蒸着装置においては、基板４３０上における蒸着レートのばらつきが、そのまま膜厚のばらつきにつながることから、本実施例によれば、蒸着膜の膜厚分布のムラの発生を効果的に抑制することができる。
【０２３６】
更に、本実施例の蒸着装置は、マスク４５０を備え、搬送機構４０５は、蒸着源４１０と、マスク４５０が貼り合わされた基板４３０との少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させる。したがって、本実施例によれば、Ｔｓを変化させても形成されるパターンの位置がずれることを防止することができる。
【０２３７】
上述した実施形態は、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、適宜組み合わされてもよい。また、各実施形態の変形例は、他の実施形態に組み合わされてもよい。
【符号の説明】
【０２３８】
１：有機ＥＬディスプレイ
２：画素
２Ｒ、２Ｇ、２Ｂ：サブ画素
１０：ＴＦＴ基板
１１：絶縁基板
１２：ＴＦＴ
１３：層間膜
１３ａ：コンタクトホール
１４：配線
１５：エッジカバー
１５Ｒ、１５Ｇ、１５Ｂ：開口部
２０：有機ＥＬ素子
２１：第１電極
２２：正孔注入層兼正孔輸送層（有機層）
２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂ：発光層（有機層）
２４：電子輸送層（有機層）
２５：電子注入層（有機層）
２６：第２電極
３０：接着層
４０：封止基板
１００：蒸着装置
１０１、１０２、２０１、２０２、３０１、３０２、４０１、４０２：膜厚モニタ
１０３：制御装置
１０４、２０４、３０４、４０４：基板ホルダ
１１０、２１０、３１０、４１０：蒸着源（蒸発源）
１１１、２１１、３１１、４１１：坩堝
１１２：加熱装置
１１３：ヒータ
１１４、２１４、３１４、４１４：加熱電源
１１５、２１５、３１５、４１５：開口部
１２０：蒸着源移動機構
１２１：電動機駆動装置
１２２：蒸着源昇降機構
１３０、２３０、３３０、４３０：基板
１３１、２３１、３３１、４３１：被蒸着面
１４０、２４０、３４０、３４０：蒸着流
１４１、２４１、３４１、４４１：放出部
１７０、２７０、４７０：蒸着ユニット
２０５、４０５：搬送機構
２２２、３２２、４２２：駆動モータ
２４３、３４３、４４３：蒸着領域
２５０、３５０、４５０：マスク
２５１、３５１、４５１：開口
２５２：マスク開口領域
２７１、３７１、４７１：坩堝支持体
２７２：制限部材
２７３：開口部
４１１ａ：容器部
４１１ｂ：蓋部
ＣＬ：中心線
【図１】
2015140458.tif 000003
【図２】
2015140458.tif 000004
【図３】
2015140458.tif 000005
【図４】
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【図５】
2015140458.tif 000007
【図６】
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【図７】
2015140458.tif 000009
【図８】
2015140458.tif 000010
【図９】
2015140458.tif 000011
【図１０】
2015140458.tif 000012
【図１１】
2015140458.tif 000013
【図１２】
2015140458.tif 000014
【図１３】
2015140458.tif 000015
【図１４】
2015140458.tif 000016
【図１５】
2015140458.tif 000017
【図１６】
2015140458.tif 000018
【図１７】
2015140458.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2015140458.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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