(57)【要約】【課題】ヒータのリードにかかる応力の低減、接合部分における強度の向上、および、接合部分における信頼性の向上を図ることができる電子銃構体を提供することである。【解決手段】実施形態に係る電子銃構体は、電子を放出するカソードと、前記カソードの電子放射面側に設けられたアノードと、前記カソードと、前記アノードと、の間に設けられたグリッドと、前記カソードの前記電子放射面側とは反対側に設けられ、第１のリードを有するヒータと、前記第１のリードと電気的に接続される第１の端子と、前記第１のリードと、前記第１の端子と、を弾性力により保持する第１の保持部と、を備えている。【選択図】図１
2015225818.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子を放出するカソードと、
前記カソードの電子放射面側に設けられたアノードと、
前記カソードと、前記アノードと、の間に設けられたグリッドと、
前記カソードの前記電子放射面側とは反対側に設けられ、第１のリードを有するヒータと、
前記第１のリードと電気的に接続される第１の端子と、
前記第１のリードと、前記第１の端子と、を弾性力により保持する第１の保持部と、
を備えた電子銃構体。
【請求項２】
前記ヒータは、第２のリードをさらに有し、
前記第２のリードと電気的に接続される第２の端子と、
前記第２のリードと、前記第２の端子と、を弾性力により保持する第２の保持部と、
をさらに備えた請求項１記載の電子銃構体。
【請求項３】
前記第１の保持部は、線材が螺旋状に巻かれた形態を有する請求項１または２に記載の電子銃構体。
【請求項４】
前記第２の保持部は、線材が螺旋状に巻かれた形態を有する請求項２または３に記載の電子銃構体。
【請求項５】
前記第１の保持部、および前記第２の保持部は、ステンレス、鉄、白金、タンタル、ニオブ、レ二ウム、タングステン、モリブデン、レ二ウム−モリブデン合金、およびレ二ウム−タングステン合金からなる群より選ばれた少なくとも１種を含む請求項１〜４のいずれか１つに記載の電子銃構体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、電子銃構体に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子銃構体は、クライストロンや進行波管などの直線ビームを利用する電子管に用いられている。  
電子銃構体には、電子を放出するカソードと、カソードに対向させて設けられたグリッドと、グリッドのカソード側とは反対側に設けられたアノードと、カソードを加熱するヒータとが設けられている。  
ここで、カソードは、９００℃〜１１００℃の範囲で動作させる。  
そのため、カソードを加熱するヒータは、１２００℃〜１５００℃とさらに高温となる。
ヒータの温度が高温になると、ヒータのリードの膨張量が大きくなり、ヒータのリードと、ヒータのリードが通るリード管との間や、ヒータのリードと反射板との接合部において大きな熱応力が発生するおそれがある。  
さらに、ヒータのオン・オフ動作が繰り返し行われると、リード管の端部や絶縁部材を起点としてヒータのリードが破断したり、ヒータのリードと反射板との接合が外れたりするおそれがある。  
また、ヒータ端子のヒータ側とは反対側の端部と、端子とを白金リボンを介して接続する技術も提案されている。  
しかしながら、この技術では、ヒータのリードにおける破断や接合の外れを抑制することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平２−１０６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、ヒータのリードにかかる応力の低減、接合部分における強度の向上、および、接合部分における信頼性の向上を図ることができる電子銃構体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態に係る電子銃構体は、電子を放出するカソードと、前記カソードの電子放射面側に設けられたアノードと、前記カソードと、前記アノードと、の間に設けられたグリッドと、前記カソードの前記電子放射面側とは反対側に設けられ、第１のリードを有するヒータと、前記第１のリードと電気的に接続される第１の端子と、前記第１のリードと、前記第１の端子と、を弾性力により保持する第１の保持部と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本実施の形態に係る電子銃構体１を例示するための模式断面図である。
【図２】保持部２２ａを例示するための模式断面図である。
【図３】保持部２２ｂおよび端子２３を例示するための模式断面図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は、保持部２２ａを例示するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
図１は、本実施の形態に係る電子銃構体１を例示するための模式断面図である。  
電子銃構体１は、例えば、ＩＯＴ（誘導出力増幅管）などの直線ビームを用いる電子管に用いることができる。  
ただし、電子銃構体１の用途は、ＩＯＴに限定されるわけではない。  
図１に示すように、電子銃構体１には、カソード１１、グリッド１２、アノード１３、ウェーネルト電極１４、ヒータ１５、カソードスリーブ１６、フランジ部１７、支持筒１８、反射板１９、ヒータ端子２０（第１または第２の端子の一例に相当する）、絶縁部２１、保持部２２ａ（第１または第２の保持部の一例に相当する）、保持部２２ｂ（第１または第２の保持部の一例に相当する）、絶縁筒２４、カソード支持体２５、および端子２３（第１または第２の端子の一例に相当する）が設けられている。
【０００８】
カソード１１は、電子（熱電子）を放出する。  
カソード１１は、板状を呈し、グリッド１２側とは反対側に突出するように湾曲している。  
カソード１１の平面形状は、例えば、円形とすることができる。  
この場合、カソード１１の直径寸法は、例えば、４０ｍｍ程度とすることができる。  
カソード１１のグリッド１２側の面は、電子放射面１１ａとなっている。電子放射面１１ａは、所定の曲率を有する凹状の曲面となっている。
【０００９】
また、カソード１１は、例えば、含浸型カソードとすることができる。  
カソード１１が含浸型カソードである場合には、カソード１１は、例えば、ポーラスタングステンからなる基体に電子放射物質を含浸することで形成されたものとすることができる。  
この場合、ポーラスタングステンの気孔率は、例えば、２０％程度とすることができる。
電子放射物質としては、例えば、酸化バリウム、酸化カルシウム、および酸化アルミニウムからなる金属酸化物を用いることができる。
【００１０】
電子放射面１１ａには、イリジウム金属薄膜、あるいはオスミウム−ルテニウム合金薄膜が設けられている。イリジウム金属薄膜、あるいはオスミウム−ルテニウム合金薄膜は、例えば、スパッタリング法を用いて形成することができる。イリジウム金属薄膜、あるいはオスミウム−ルテニウム合金薄膜を設けるようにすれば、電子放射面１１ａの仕事関数を低減させることができる。
【００１１】
グリッド１２は、カソード１１とアノード１３との間に設けられている。  
グリッド１２は、カソード１１とアノード１３の相互作用領域に設けられている。  
グリッド１２の平面形状は、例えば、円形とすることができる。  
グリッド１２と電子放射面１１ａとの間には、数十μｍないし数百μｍの隙間が設けられている。  
グリッド１２は、内周部と外周部を有する。  
グリッド１２の内周部は、例えば、編み目状を呈し、電子を通過させる複数の開口部を有している。  
グリッド１２の内周部は、電子放射面１１ａに沿うように湾曲している。
【００１２】
グリッド１２の外周部は、内周部を囲むように設けられ、ビームを通過させる開口部を有していない。  
グリッド１２は、耐熱性と導電性を有する材料から形成されている。グリッド１２は、例えば、パイロリティック・グラファイト（ＰＧ；Pyrolytic Graphite）などから形成することができる。  
なお、グリッド１２は、モリブデン、レニウム−モリブデン合金、タンタル、ニオブ、タングステンなどの高融点金属およびこれらの合金から形成することもできる。  
グリッド１２は、ウェーネルト電極１４に電気的に接続されている。  
また、カソード１１とグリッド１２は互いに接合され、グリッド・カソード一体型構造体が形成されている。
【００１３】
アノード１３は、カソード１１と対峙させて設けられている。  
アノード１３は、カソード１１の電子放射面１１ａ側に設けられている。  
アノード１３は、中央部分を貫通する孔部を有している。  
例えば、電子銃構体１、図示しないドリフト管、および図示しないコレクタを有するＩＯＴの場合には、アノード１３は、図示しないドリフト管に設けることができる。
【００１４】
ウェーネルト電極１４は、円筒状を呈している。  
ウェーネルト電極１４は、例えば、非磁性のステンレスやモリブデンなどから形成することができる。  
ウェーネルト電極１４の一方の端部の近傍には、カソード１１とグリッド１２が設けられている。
【００１５】
ヒータ１５は、カソード１１の電子放射面１１ａ側とは反対側に設けられている。  
ヒータ１５は、ジュール熱を発生させる。ヒータ１５は、発生させた熱によりカソード１１を加熱する。  
ヒータ１５は、例えば、モリブデン線、タングステン線、レニウム−タングステン合金線などから形成することができる。  
ヒータ１５は、例えば、直径寸法が１ｍｍ程度のタングステン線から形成することができる。  
ヒータ１５は、リード１５ａ（第１または第２のリードの一例に相当する）、リード１５ｂ（第１または第２のリードの一例に相当する）、および発熱部１５ｃを有する。  
リード１５ａは、発熱部１５ｃと一体に形成されている。リード１５ａは、ヒータ端子２０に電気的に接続される。  
リード１５ｂは、発熱部１５ｃと一体に形成されている。リード１５ｂは、反射板１９に電気的に接続される。
【００１６】
カソードスリーブ１６は、円筒状を呈している。  
カソードスリーブ１６の一方の端部の内面には、カソード１１の外周端面が接続されている。  
カソードスリーブ１６とカソード１１は、例えば、高融点ロウ材を用いて接続されている。高融点ロウ材は、例えば、モリブデン−ルテニウム合金などである。  
カソードスリーブ１６は、例えば、モリブデンや、レニウム−モリブデン合金などから形成することができる。
【００１７】
フランジ部１７は、筒部と鍔部を有している。  
筒部は、円筒状を呈している。  
筒部は、カソードスリーブ１６の他方の端部の内面に接続されている。  
鍔部は、円板状を呈している。  
鍔部は、筒部の一方の端部から外部に向けて突出している。  
鍔部は、反射板１９に接続されている。  
筒部とカソードスリーブ１６の接続は、例えば、前述した高融点ロウ材を用いて行うことができる。鍔部と反射板１９の接続は、例えば、溶接により行うことができる。  
カソードスリーブ１６の一方の端部はカソード１１により塞がれ、カソードスリーブ１６の他方の端部は反射板１９により塞がれる。  
フランジ部１７は、カソードスリーブ１６と同じ材料から形成することができる。
【００１８】
支持筒１８は、円筒状を呈している。  
支持筒１８の一端は、フランジ部１７が接続される側とは反対側において、反射板１９の面に溶接されている。  
支持筒１８の他端の近傍は、カソード支持体２５に溶接されている。  
支持筒１８は、例えば、モリブデンなどから形成することができる。
【００１９】
反射板１９は、板状を呈している。  
反射板１９は、例えば、モリブデンなどから形成することができる。  
カソードスリーブ１６、カソード１１、および反射板１９により画された空間には、ヒータ１５が設けられている。  
そのため、ヒータ１５から反射板１９に向けて放射された熱は、反射板１９により反射されてカソード１１に向かう。  
また、画された空間にヒータ１５が設けられているので、無駄な放熱を抑制することができる。  
そのため、加熱の効率を向上させることができる。
【００２０】
ヒータ端子２０は、線状を呈している。  
ヒータ端子２０は、支持筒１８の内部を軸方向に伸びている。  
ヒータ端子２０の先端部２０ａは、断面積が小さくなっている（図２を参照）。  
この場合、ヒータ端子２０の先端部２０ａの断面寸法（例えば、直径寸法）は、リード１５ａの断面寸法（例えば、直径寸法）と同じとすることができる。  
ヒータ端子２０は、例えば、モリブデン線、タングステン線、レニウム−タングステン合金線などから形成することができる。
【００２１】
絶縁部２１は、筒部および鍔部を有している。  
筒部は、円筒状を呈している。  
筒部は、反射板１９に設けられた孔に嵌められている。  
筒部の中心を軸方向に貫通する孔には、ヒータ端子２０の先端部２０ａが通っている。
【００２２】
鍔部は、円板状を呈している。  
鍔部は、筒部の一方の端部から外部に向けて突出している。  
鍔部は、フランジ部１７が接続される側において、反射板１９の面に接している。  
絶縁部２１は、耐熱性と、絶縁性を有する材料から形成されている。  
絶縁部２１は、例えば、セラミックスなどから形成することができる。
【００２３】
保持部２２ａは、リード１５ａと、ヒータ端子２０（先端部２０ａ）を弾性力により保持する。  
保持部２２ｂは、リード１５ｂと、反射板１９に接続された端子２３を弾性力により保持する。  
なお、保持部２２ａおよび保持部２２ｂに関する詳細は後述する。
【００２４】
端子２３は、接続部２３ａおよび鍔部２３ｂを有している（図３を参照）。  
接続部２３ａは、例えば、ピン状を呈するものとすることができる。  
鍔部２３ｂは、板状を呈している。  
接続部２３ａは、鍔部２３ｂの一方の端面から突出している。  
接続部２３ａは、反射板１９に設けられた孔を通り、反射板１９から突出している。  
鍔部２３ｂは、反射板１９に電気的に接続されている。  
そのため、端子２３、および端子２３に電気的に接続される部材は、カソード１１と同電位となる。  
端子２３は、例えば、モリブデンやタングステンなどから形成することができる。
【００２５】
絶縁筒２４は、外観が円錐台状の筒体とすることができる。  
絶縁筒２４の一端はウェーネルト電極１４に接続されている。  
絶縁筒２４の他端は、カソード支持体２５に接続されている。  
絶縁筒２４は、耐熱性と、絶縁性を有する材料から形成されている。  
絶縁筒２４は、例えば、セラミックスなどから形成することができる。
【００２６】
カソード支持体２５は、円筒状を呈している。  
カソード支持体２５は、金属などの導電性材料から形成されている。
【００２７】
カソード１１には、カソード支持体２５、支持筒１８、反射板１９、およびカソードスリーブ１６を介して、図示しない電源から所定の負の直流電圧が印加される。  
アノード１３には、図示しない電源から所定の正の直流電圧が印加される。  
グリッド１２には、ウェーネルト電極１４を介して、図示しないバイアス電源から直流の負のバイアス電圧が印加される。
【００２８】
ヒータ１５には、図示しない加熱電源から所定の電力が印加される。  
図示しない加熱電源には、ヒータ端子２０、保持部２２ａ、およびリード１５ａを介して発熱部１５ｃの一端が電気的に接続されている。  
また、図示しない加熱電源には、カソード支持体２５、支持筒１８、反射板１９、端子２３、保持部２２ｂおよびリード１５ｂを介して発熱部１５ｃの他端が電気的に接続されている。
【００２９】
発熱部１５ｃに印加された電力により、発熱部１５ｃにおいてジュール熱が生じる。  
発生したジュール熱によりカソード１１が加熱される。  
真空中において、カソード１１が加熱されると、カソード１１から電子が放出される。  カソード１１から放出された電子は、グリッド１２によりグリッド１２を通過する量が制御される。  
グリッド１２を通過した電子は、アノード１３により加速される。
【００３０】
次に、保持部２２ａおよび保持部２２ｂについてさらに説明する。  
図２は、保持部２２ａを例示するための模式断面図である。  
図２は、図１におけるＡ部の模式拡大図である。  
図２に示すように、保持部２２ａは、リード１５ａと、ヒータ端子２０（先端部２０ａ）を弾性力により保持する。  
保持部２２ａは、例えば、線材を螺旋状に巻いたものとすることができる。  
保持部２２ａは、図２に例示をしたもののように線材を密着させて巻いたものとすることもできるし、線材と線材との間に隙間をあけて巻いたものとすることもできる。
【００３１】
保持部２２ａの一方の端部からは、リード１５ａが挿入される。保持部２２ａの他方の端部からは、ヒータ端子２０の先端部２０ａが挿入される。  
保持部２２ａの内径寸法は、リード１５ａの外径寸法よりも僅かに短くなっている。  
保持部２２ａの内径寸法は、ヒータ端子２０の先端部２０ａの外径寸法よりも僅かに短くなっている。  
そのため、保持部２２ａに、リード１５ａを挿入することで、弾性力を発生させることができる。
保持部２２ａに、ヒータ端子２０の先端部２０ａを挿入することで、弾性力を発生させることができる。  
保持部２２ａは、発生させた弾性力により、リード１５ａとヒータ端子２０（先端部２０ａ）を保持する。
【００３２】
また、保持部２２ａの一方の端部の近傍において、保持部２２ａとリード１５ａとを接合することができる。  
例えば、抵抗溶接、レーザ溶接、および高融点金属を用いたロー付けなどにより、保持部２２ａとリード１５ａとを接合することができる。  
保持部２２ａの他方の端部の近傍において、保持部２２ａとヒータ端子２０の先端部２０ａとを接合することができる。  
例えば、抵抗溶接、レーザ溶接、および高融点金属を用いたロー付けなどにより、保持部２２ａとヒータ端子２０の先端部２０ａとを接合することができる。  
保持部２２ａの端部の近傍において、保持部２２ａとリード１５ａ、あるいは、保持部２２ａとヒータ端子２０の先端部２０ａを接合すれば、接合部分の強度や信頼性を向上させることができるとともに、弾性力に与える影響を抑制することができる。
【００３３】
なお、リード１５ａの端面と、ヒータ端子２０の先端部２０ａの端面とを接触させても良いし、リード１５ａの端面と、ヒータ端子２０の先端部２０ａの端面との間に僅かな隙間を設けても良い。  
この場合、リード１５ａの端面と、ヒータ端子２０の先端部２０ａの端面との間に隙間を設けるようにすれば、熱応力を緩和させる効果を向上させることができる。
【００３４】
図３は、保持部２２ｂおよび端子２３を例示するための模式断面図である。  
図３は、図１におけるＢ部の模式拡大図である。  
図３に示すように、保持部２２ｂは、リード１５ｂと、端子２３（接続部２３ａ）を弾性力により保持する。  
保持部２２ｂは、例えば、線材を螺旋状に巻いたものとすることができる。  
保持部２２ｂは、図３に例示をしたもののように線材を密着させて巻いたものとすることもできるし、線材と線材との間に隙間をあけて巻いたものとすることもできる。
【００３５】
保持部２２ｂの一方の端部からは、リード１５ｂが挿入される。保持部２２ｂの他方の端部からは、端子２３の接続部２３ａが挿入される。  
保持部２２ｂの内径寸法は、リード１５ｂの外径寸法よりも僅かに短くなっている。  
保持部２２ｂの内径寸法は、端子２３の接続部２３ａの外径寸法よりも僅かに短くなっている。  
そのため、保持部２２ｂに、リード１５ｂを挿入することで、弾性力を発生させることができる。  
保持部２２ｂに、端子２３の接続部２３ａを挿入することで、弾性力を発生させることができる。
保持部２２ｂは、発生させた弾性力により、リード１５ｂと端子２３（接続部２３ａ）を保持する。
【００３６】
また、保持部２２ｂの一方の端部の近傍において、保持部２２ｂとリード１５ｂとを接合することができる。  
例えば、抵抗溶接、レーザ溶接、および高融点金属を用いたロー付けなどにより、保持部２２ｂとリード１５ｂとを接合することができる。  
保持部２２ｂの他方の端部の近傍において、保持部２２ｂと端子２３の接続部２３ａとを接合することができる。  
例えば、抵抗溶接、レーザ溶接、および高融点金属を用いたロー付けなどを行うことにより、保持部２２ｂと端子２３の接続部２３ａとを接合することができる。  
保持部２２ｂの端部の近傍において、保持部２２ｂとリード１５ｂ、あるいは、保持部２２ｂと端子２３の接続部２３ａを接合すれば、接合部分の強度や信頼性を向上させることができるとともに、弾性力に与える影響を抑制することができる。
【００３７】
なお、リード１５ｂの端面と、端子２３の接続部２３ａの端面とを接触させても良いし、リード１５ｂの端面と、端子２３の接続部２３ａの端面との間に僅かな隙間を設けても良い。  
この場合、リード１５ｂの端面と、端子２３の接続部２３ａの端面との間に隙間を設けるようにすれば、熱応力を緩和させる効果を向上させることができる。
【００３８】
保持部２２ａおよび保持部２２ｂは、例えば、耐熱性および導電性を有する材料から形成することができる。  
保持部２２ａおよび保持部２２ｂは、例えば、ステンレス、鉄、白金、タンタル、ニオブ、レ二ウム、タングステン、モリブデン、レ二ウム−モリブデン合金、レ二ウム−タングステン合金などから形成することができる。  
この場合、ヒータ１５が高温となることを考慮すると、１５００℃程度の熱に耐えうる材料を用いて保持部２２ａおよび保持部２２ｂを形成するのが好ましい。  
例えば、保持部２２ａおよび保持部２２ｂは、白金、タンタル、ニオブ、レ二ウム、タングステン、モリブデン、レ二ウム−モリブデン合金、レ二ウム−タングステン合金などから形成することが好ましい。
【００３９】
ヒータ端子２０の先端部２０ａおよび端子２３の接続部２３ａは、例えば、直径寸法が１．０ｍｍ、材料がモリブデンからなるものとすることができる。  
また、リード１５ａおよびリード１５ｂは、例えば、直径寸法が１．０ｍｍ、材料がタングステンからなるものとすることができる。  
また、保持部２２ａおよび保持部２２ｂは、例えば、直径寸法が０．５ｍｍ、材料が白金からなるものとすることができる。  
ただし、寸法や材料は例示をしたものに限定されるわけではない。
【００４０】
ここで、ヒータ１５の発熱部１５ｃが発熱することでリード１５ａおよびリード１５ｂが加熱される。  
リード１５ａの熱膨張係数とヒータ端子２０の熱膨張係数とには差がある。  
リード１５ｂの熱膨張係数と端子２３の熱膨張係数とには差がある。  
そのため、熱膨張係数の差に起因する熱応力が発生する。  
また、電子銃構体１の設置環境や搬送環境などによっては、リード１５ａ、リード１５ｂ、ヒータ端子２０、および端子２３に振動が加わる場合もある。
【００４１】
本実施の形態においては、保持部２２ａは、リード１５ａとヒータ端子２０を弾性力により保持している。  
そのため、保持部２２ａにより、熱応力や振動などを緩和することができる。  
また、保持部２２ｂは、リード１５ｂと、端子２３を弾性力により保持している。  
そのため、保持部２２ｂにより、熱応力や振動などを緩和することができる。
【００４２】
また、保持部２２ａの一方の端部の近傍において、リード１５ａと保持部２２ａが接合されている。  
保持部２２ａの他方の端部の近傍において、ヒータ端子２０と保持部２２ａが接合されている。  
保持部２２ｂの一方の端部の近傍において、リード１５ｂと保持部２２ｂが接合されている。  
保持部２２ｂの他方の端部の近傍において、端子２３と保持部２２ｂが接合されている。
そのため、リード１５ａとヒータ端子２０の接合強度を高めることができる。  
リード１５ｂと端子２３の接合強度を高めることができる。  
本実施の形態によれば、ヒータ１５のオン・オフ動作を繰り返しても、ヒータのリードが破断したり、ヒータのリードと相手部材との接合が外れたりするのを抑制することができる。  
また、ヒータ１５に電力を安定して供給できる。  
また、保持部２２ａおよび保持部２２ｂは、クーリングコイルの役割をも果たし、接合部分の温度上昇を低減できる。
【００４３】
なお、保持部２２ａおよび保持部２２ｂのいずれかを設けるようにしても良い。  
すなわち、保持部２２ａおよび保持部２２ｂの少なくともいずれかが設けられるようにすればよい。  
ただし、保持部２２ａおよび保持部２２ｂの両方を設けるようにすることが好ましい。  本実施の形態によれば、ヒータのリードにかかる応力の低減、接合部分における強度の向上、および、接合部分における信頼性の向上を図ることができる。
【００４４】
図４（ａ）、（ｂ）は、保持部２２ａを例示するための模式図である。  
なお、図４（ａ）は、保持部２２ａを例示するための模式断面図である。  
図４（ｂ）は、図４（ａ）におけるＣ−Ｃ線断面図である。  
図２に例示をしたものは、リード１５ａの端面と、ヒータ端子２０の先端部２０ａの端面とを対峙させるようにしている。  
図４（ａ）、（ｂ）に例示をしたものは、リード１５ａの側面と、ヒータ端子２０の先端部２０ａの側面とを対峙させるようにしている。  
例えば、リード１５ａの側面と、ヒータ端子２０の先端部２０ａの側面とを接触させるようにすることができる。
【００４５】
保持部２２ａの内径寸法は、リード１５ａの外径寸法とヒータ端子２０の先端部２０ａの外径寸法との和よりも僅かに短くなっている。  
そのため、保持部２２ａに、リード１５ａおよびヒータ端子２０の先端部２０ａを挿入することで、弾性力を発生させることができる。そして、保持部２２ａは、発生させた弾性力により、リード１５ａとヒータ端子２０（先端部２０ａ）を保持する。
【００４６】
また、保持部２２ａの両端部の近傍において、保持部２２ａと、リード１５ａおよびヒータ端子２０の先端部２０ａとをそれぞれ接合することができる。  
例えば、抵抗溶接、レーザ溶接、および高融点金属を用いたロー付けなどにより、保持部２２ａと、リード１５ａおよびヒータ端子２０の先端部２０ａとを接合することができる。  
保持部２２ａの両端部の近傍において、保持部２２ａと、リード１５ａおよびヒータ端子２０の先端部２０ａとをそれぞれ接合すれば、接合部分の強度や信頼性を向上させることができるとともに、弾性力に与える影響を抑制することができる。
【００４７】
本実施の形態によっても、前述した熱応力や振動などの緩和効果、クーリング効果などを享受することができる。  
この場合、リード１５ａの側面と、ヒータ端子２０の先端部２０ａの側面とを対峙させるようにしているので、リード１５ａとヒータ端子２０とが相互に束縛されるのを抑制することができる。  
そのため、熱応力や振動などの緩和効果をさらに向上させることができる。
【００４８】
また、保持部２２ｂに関しても同様とすることができる。  
この場合は、リード１５ｂの側面と、端子２３の接続部２３ａの側面とを接触させるようにすればよい。
【００４９】
また、以上においては、保持部２２ａおよび保持部２２ｂが、線材が螺旋状に巻かれた形態を有する場合を例示したが、弾性力を用いてリードと相手部材を保持するものであれば良い。  
例えば、保持部２２ａおよび保持部２２ｂは、スリットを有する円筒とし、板バネによる弾性力を用いるものであってもよい。  
ただし、保持部２２ａおよび保持部２２ｂが、線材が螺旋状に巻かれた形態を有するものとすれば、前述した熱応力や振動などの緩和効果をさらに高めることができる。
【００５０】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１  電子銃構体、１１  カソード、１１ａ  電子放射面、１２  グリッド、１３  アノード、１４  ウェーネルト電極、１５  ヒータ、１５ａ  リード、１５ｂ  リード、１５ｃ  発熱部、１９  反射板、２０  ヒータ端子、２０ａ  先端部、２２ａ  保持部、２２ｂ  保持部、２３  端子、２３ａ  接続部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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