(57)【要約】【課題】簡易な構成により、基材に対する塗布用針の押付け圧力を正確にコントロールすることができる液滴塗布装置を提供する。【解決手段】基材の支持する基材支持部と、基材支持部に支持された基材に対向するように配置され、内部に塗布液が収容されると共に、底面に塗布液が流出しない大きさの微小孔が形成されている塗布液収容部と、塗布液収容部の微小孔に対する上方位置に配置されて先端に塗布液が付着された状態と当該微小孔を貫通した状態との間で移動可能である塗布用針と、基材支持部上の基材に対して塗布用針の先端に付着されていた塗布液を液滴として接触させるように塗布用針を移動させる塗布用針駆動部と、を備え、塗布用針は、超弾性を有する合金からなり、塗布用針駆動部は、基材支持部上の基材に対して塗布用針の先端を当接させるように当該塗布用針を移動させることを特徴とする液滴塗布装置である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の裏面を支持する基材支持部と、
前記基材支持部に支持された前記基材の表面側に対向するように配置され、内部に塗布液が収容されると共に、底面に前記塗布液の表面張力により当該塗布液が自重によっては流出しない大きさの微小孔が形成されている塗布液収容部と、
前記塗布液収容部の微小孔に対する上方位置に配置されて先端に前記塗布液が付着された状態と当該微小孔を貫通した状態との間で移動可能である塗布用針と、
前記基材支持部上の前記基材に対して前記塗布用針の先端に付着されていた塗布液を液滴として接触させるように当該塗布用針を移動させる塗布用針駆動部と、
を備え、
前記塗布用針は、超弾性を有する合金からなり、
前記塗布用針駆動部は、前記基材支持部上の前記基材に対して前記塗布用針の先端を当接させるように当該塗布用針を移動させる
ことを特徴とする液滴塗布装置。
【請求項２】
前記塗布用針の弾性率は、３０ＧＰａ〜１００ＧＰａであり、当該塗布用針の直径は、５０μｍ〜２００μｍである
ことを特徴とする請求項１に記載の液滴塗布装置。
【請求項３】
前記塗布液収容部の底面には前記微小孔が複数設けられており、
各微小孔に対する上方位置にそれぞれ対応するように前記塗布用針が複数設けられている
ことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の液滴塗布装置。
【請求項４】
前記塗布用針駆動部は、複数の前記塗布用針の基端部に共通に固定されると共に当該複数の塗布用針を共通に移動させるアクチュエータを有しており、
各塗布用針には、当該塗布用針の基端部と先端との間の所定の位置に湾曲負荷を与えて当該塗布用針を湾曲させ、前記アクチュエータによる移動時においても当該塗布用針の先端を前記基材支持部上の前記基材に対して当接させないようになっている塗布制御部が設けられている
ことを特徴とする請求項３に記載の液滴塗布装置。
【請求項５】
各塗布用針は、湾曲負荷を与えられる位置を含む領域で直線状であり、先端を含む領域で直線状であるが、湾曲負荷を与えられる位置を含む領域と先端を含む領域との間に曲線状の領域を有している
ことを特徴とする請求項４に記載の液滴塗布装置。
【請求項６】
複数の前記塗布用針は、先端の間隔が基端部の間隔より密になるように配置されている
ことを特徴とする請求項５に記載の液滴塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材の表面に塗布液を液滴として塗布する液滴塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、特に生体分子溶液等の高価な薬液を、基材上に無駄なく任意に配列させる方法が重要視されており、そのための有効な手法として、塗布用針を用いた液滴塗布方法が知られている。これは、塗布液を収容する塗布液収容部の底面に塗布液が流出しない大きさの微小孔を形成しておき、当該微小孔に対する上方位置に配置されて先端に塗布液が付着される塗布用針を、当該微小孔を貫通するように移動（降下）させ、塗布液収容部の底面に対向するように配置された基材に対して、塗布用針の先端に付着されていた塗布液を液滴として接触させる、という方法である。特許文献１（特許第４３６５９４７号公報）には、この方法を実現するための液滴塗布装置が開示されている。
【０００３】
ところで、このような塗布用針を用いた液滴塗布方法では、基材に対する塗布用針の押付け圧力を正確にコントロールすることが重要である。押付け圧力が不十分な場合、基材に塗布される塗布液の滴径が不安定になり、押付け圧力が強すぎる場合、塗布用針に回復不能な変形（折れや曲がり）が生じたり、基材に傷が生じたりする。
【０００４】
基材に対する塗布用針の押付け圧力を正確にコントロールする手法として、特許文献２（特許第３２９９２１２号）では、塗布用針の曲がりを塗布用針と塗布用針収容部との通電によって速やかに検知する方式が提案されている。また、特許文献３（特開２００８−１９０９２６号）では、塗布用針駆動部に超音波アクチュエータを採用して、塗布用針から基材に対して一定値以上の押付け圧力が発生しないようにする方式が提案されている。しかしながら、これらの方式では、いずれも、装置構成や条件設定が複雑化するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４３６５９４７号公報
【特許文献２】特許第３２９９２１２号公報
【特許文献３】特開２００８−１９０９２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、簡易な構成により、基材に対する塗布用針の押付け圧力を正確にコントロールすることができる液滴塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、基材の裏面を支持する基材支持部と、前記基材支持部に支持された前記基材の表面側に対向するように配置され、内部に塗布液が収容されると共に、底面に前記塗布液の表面張力により当該塗布液が自重によっては流出しない大きさの微小孔が形成されている塗布液収容部と、前記塗布液収容部の微小孔に対する上方位置に配置されて先端に前記塗布液が付着された状態と当該微小孔を貫通した状態との間で移動可能である塗布用針と、前記基材支持部上の前記基材に対して前記塗布用針の先端に付着されていた塗布液を液滴として接触させるように当該塗布用針を移動させる塗布用針駆動部と、を備え、前記塗布用針は、超弾性を有する合金からなり、前記塗布用針駆動部は、前記基材支持部上の前記基材に対して前記塗布用針の先端を当接させるように当該塗布用針を移動させることを特徴とする液滴塗布装置である。
【０００８】
本発明において、「超弾性」は、ＪＩＳ  Ｈ７００１の規定による。
【０００９】
本発明によれば、基材の裏面が基材支持部によって支持された状態で、塗布用針駆動部によって塗布用針が塗布液収容部の微小孔を貫通するように移動され、塗布用針の先端が基材に対して当接されることにより、塗布用針の先端に付着されていた塗布液が基材の表面に液滴として安定して塗布される。塗布用針は超弾性を有する合金からなるため、弾性率が比較的小さく、塗布用針と基材との当接時に塗布用針は容易に変形され得る。そのため、基材に対する塗布用針の押付け圧力が緩和され、基材へのダメージが効果的に低減され得る。また、塗布用針は超弾性を有する合金からなるため、基材に対して当接される際に例えば５％〜６％の比較的大きなひずみで変形されても、当接状態が解消されれば元の形状に復元する。これにより、複雑な装置構成や条件設定を採用しなくても、基材に対する塗布用針の押付け圧力が正確にコントロールされ得て、塗布用針と基材との接触による安定した液滴塗布が可能となる。
【００１０】
好ましくは、前記塗布用針の弾性率は、３０ＧＰａ〜１００ＧＰａであり、当該塗布用針の直径は、５０μｍ〜２００μｍである。本件発明者の実際の検証によれば、このような態様によって、塗布用針と基材との当接時に塗布用針が容易に変形され、基材における傷の発生を防止できることが確認された。
【００１１】
また、好ましくは、前記塗布液収容部の底面には前記微小孔が複数設けられており、各微小孔に対する上方位置にそれぞれ対応するように前記塗布用針が複数設けられている。このような態様によれば、例えば、複数の塗布用針がそれぞれ対応する微小孔を貫通するように同時に移動されることにより、基材の表面の複数の塗布位置に同時に、塗布液が液滴として塗布される。これにより、液滴塗布の効率性が大幅に向上され得る。
【００１２】
この場合、更に好ましくは、前記塗布用針駆動部は、複数の前記塗布用針の基端部に共通に固定されると共に当該複数の塗布用針を共通に移動させるアクチュエータを有しており、各塗布用針には、当該塗布用針の基端部と先端との間の所定の位置に湾曲負荷を与えて当該塗布用針を湾曲させ、前記アクチュエータによる移動時においても当該塗布用針の先端を前記基材支持部上の前記基材に対して当接させないようになっている塗布制御部が設けられている。このような態様によれば、複数の塗布用針を共通のアクチュエータによって高さ方向に移動させながら、塗布制御部の動作により、各塗布用針について別個に塗布液を塗布させる／塗布させないの選択ができるようになる。高さ方向の移動を制御するアクチュエータに比べて、湾曲させるか否かを制御する塗布制御部には、高精度の位置制御は必要とされないため、各塗布用針にそれぞれ対応してアクチュエータを複数設ける場合に比べて、装置全体を安価に作製することが可能となる。
【００１３】
この場合、更に好ましくは、各塗布用針は、湾曲負荷を与えられる位置を含む領域で直線状であり、先端を含む領域で直線状であるが、湾曲負荷を与えられる位置を含む領域と先端を含む領域との間に曲線状の領域を有している。このような態様によれば、複数の塗布用針は、基端部の間隔と先端の間隔とが異なるように配置され得て、装置設計の自由度が上がる。
【００１４】
この場合、更に好ましくは、複数の前記塗布用針は、先端の間隔が基端部の間隔より密になるように配置されている。このような態様によれば、塗布用針の先端に付着されていた塗布液を基材に対して密に塗布することが可能となる。また、複数の塗布用針は、基端部の間隔が疎になるように配置されているため、塗布制御部によって湾曲された塗布用針が隣接する他の塗布用針と接触することが容易に回避され得る。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、基材の裏面が基材支持部によって支持された状態で、塗布用針駆動部によって塗布用針が塗布液収容部の微小孔を貫通するように移動され、塗布用針の先端が基材に対して当接されることにより、塗布用針の先端に付着されていた塗布液が基材の表面に液滴として安定して塗布される。塗布用針は超弾性を有する合金からなるため、弾性率が比較的小さく、塗布用針と基材との当接時に塗布用針は容易に変形され得る。そのため、基材に対する塗布用針の押付け圧力が緩和され、基材へのダメージが効果的に低減され得る。また、塗布用針は超弾性を有する合金からなるため、基材に対して当接される際に例えば５％〜６％の比較的大きなひずみで変形されても、当接状態が解消されれば元の形状に復元する。これにより、複雑な装置構成や条件設定を採用しなくても、基材に対する塗布用針の押付け圧力が正確にコントロールされ得て、塗布用針と基材との接触による安定した液滴塗布が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態による液滴塗布装置を示す概略図である。
【図２】図２は、図１の液滴塗布装置において、塗布用針が微小孔に対する上方位置には配置された状態を説明するための概略図である。
【図３】図３は、図１の液滴塗布装置において、アクチュエータによる移動時に塗布用針の先端が基材に対して当接される状態を説明するための概略図である。
【図４】図４は、図１の液滴塗布装置において、アクチュエータによる移動時に塗布用針の先端が基材に対して当接されない状態を説明するための概略図である。
【図５】図５は、本発明の第２の実施の形態による液滴塗布装置を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００１８】
図１は、本発明の第１の実施の形態による液滴塗布装置１０を示す概略図である。
【００１９】
図１に示すように、本実施の形態による液滴塗布装置１０は、基材２１の裏面を支持する基材支持部１２と、基材支持部１２に支持された基材２１の表面側に対向するように配置され、内部に塗布液が収容されると共に、底面に塗布液の表面張力により当該塗布液が自重によっては流出しない大きさの微小孔１５が形成されている塗布液収容部１４と、塗布液収容部１４の微小孔１５に対する上方位置に配置されて先端に塗布液が付着された状態と当該微小孔１５を貫通した状態との間で移動可能である塗布用針１６と、基材支持部１２上の基材２１に対して塗布用針１６の先端に付着されていた塗布液を液滴として接触させるように当該塗布用針１６を移動させる塗布用針駆動部１７と、を備えている。
【００２０】
本実施の形態の基材支持部１２は、それ自体は公知のＸＹステージであり、エアシリンダやリニアモータ等の駆動機構により、水平面内において互いに直交するＸ方向とＹ方向とにそれぞれ直線移動可能となっている。
【００２１】
基材支持部１２に支持される基材２１は、例えば、枚葉状の樹脂フィルムである。基材２１の材質には、例えば、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリエチレン（ＰＥ）、アクリル等が用いられる。
【００２２】
図１に示すように、塗布液収容部１４と塗布用針１６と塗布用針駆動部１７との組は、基材支持部１２の上方位置に配置されている。塗布液収容部１４の底面と基材支持部１２の上面との間の間隔は、例えば５００μｍである。
【００２３】
図１に示すように、塗布液収容部１４は、水平方向（図１における左右方向）に延びる中空空間１４ａと、塗布液収容部１４の上面に形成された塗布液充填口１４ｃと、当該塗布液充填口１４ｃと中空空間１４ａとを連通する側面視Ｌ字形状の塗布液導入路１４ｂと、を有している。塗布液充填口１４ｃから導入される塗布液は、塗布液導入路１４ｂを伝って流れて、中空空間１４ａに充填されるようになっている。
【００２４】
塗布液収容部１４内に収容される塗布液は、例えば、顔料と、揮発性の溶剤と、結着剤（樹脂）と、不溶性のフィラーと、を含有する光輝性インキである。不溶性のフィラーは、具体的には、例えば、粒子径１０μｍ〜２０μｍの金属フレーク（アルミ、雲母等）である。塗布液の粘度は、例えば０．１Ｐａ・ｓである。
【００２５】
塗布液収容部１４の底面には、微小孔１５が、塗布液が収容された中空空間１４ａに連通するように形成されている。微小孔１５の直径は、例えば５００μｍである。塗布液は、当該塗布液の表面張力により、自重によっては微小孔１５から流出しないようになっている。
【００２６】
本実施の形態では、図１に示すように、微小孔１５は、塗布液収容部１４の底面において、水平方向（図１における左右方向）に間隔を空けて複数形成されており、各微小孔１５に対する上方位置にそれぞれ対応するように塗布用針１６が複数設けられている。
【００２７】
塗布用針１６は、変態温度が使用される温度（通常、室温）以下であるような、超弾性を有する合金からなる。具体的な材質としては、チタン−ニッケル合金や鉄−マンガン−ケイ素合金等が用いられる。例えば、チタン−ニッケル合金では、負荷時に５％〜６％の比較的大きな変形ひずみが生じても、除荷時に完全に回復する（変形ひずみが消失する）ようになっている。
【００２８】
好ましくは、塗布用針１６の弾性率は、３０ＧＰａ〜１００ＧＰａであり、塗布用針１６の直径は、５０μｍ〜２００μｍである。本件発明者の実際の検証によれば、このような態様によって、塗布用針１６と基材２１との当接時に、塗布用針１６が容易に変形され、基材２１における傷の発生を防止できることが確認された。
【００２９】
図１に示すように、塗布用針１６の基端部（上端部）は、塗布液収容部１４の上面に設けられた貫通孔１８を貫通して、更に上方に延伸されており、塗布用針駆動部１７に接続されている。
【００３０】
本実施の形態では、塗布用針駆動部１７は、複数の塗布用針１６の基端部に共通に固定されると共に当該複数の塗布用針１６を共通に移動させるアクチュエータ１７ａを有している。アクチュエータ１７ａは、具体的には、例えばソレノイドであり、鉛直方向に１ｍｍ程度伸縮可能となっている。
【００３１】
図１に示すように、各塗布用針１６には、当該塗布用針１６の基端部と先端との間の所定の位置に湾曲負荷を与えて当該塗布用針１６を湾曲させ、アクチュエータ１７ａによる移動時においても当該塗布用針１６の先端を基材支持部１２上の基材２１に対して当接させないようになっている塗布制御部１９が設けられている。塗布制御部１９は、具体的には、例えば、水平方向に伸縮可能なソレノイドであり、塗布液収容部１４の上方位置において、各塗布用針１６にそれぞれ対応するように複数設けられている。
【００３２】
各塗布制御部１９は、塗布用針１６に対して鉛直方向に摺動可能な状態で当接されている。そのため、アクチュエータ１７ａによって塗布用針１６が鉛直方向に移動される際にも、塗布制御部１９から塗布用針１６に湾曲負荷を与え続けることができるようになっている。
【００３３】
本実施の形態では、図１に示すように、各塗布用針１６は、湾曲負荷を与えられる位置を含む領域Ｒ１で直線状であり、先端を含む領域Ｒ３で直線状であるが、湾曲負荷を与えられる位置を含む領域Ｒ１と先端を含む領域Ｒ３との間に曲線状の領域Ｒ２を有している。
【００３４】
より詳細には、図１に示すように、塗布液収容部１４の上面に設けられた複数の貫通孔１８は、下端部の間隔が上端部の間隔より密になるような曲線状を有しており、各塗布用針１６はそれぞれ対応する貫通孔１８によって摺動可能に案内されている。これにより、複数の塗布用針１６は、先端の間隔が基端部の間隔より密になるように配置されている。
【００３５】
このように、複数の塗布用針１６は、先端の間隔が密になるように配置されているため、塗布用針１６の先端に付着されていた塗布液を基材２１に対して密に塗布することが可能となる。一方、複数の塗布用針１６は、基端部の間隔が疎になるように配置されているため、塗布制御部１９によって湾曲された塗布用針１６が隣接する他の塗布用針１６と接触することが容易に回避され得る。
【００３６】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００３７】
図１に示すように、まず、塗布液充填口１４ｃから塗布液収容部１４内に塗布液が導入される。塗布液充填口１４ｃから導入された塗布液は、塗布液導入路１４ｂを通過して、中空空間１４ａに充填される。各塗布用針１６の先端は、塗布液収容部１４の底面より５００μｍ程度上方位置に没入されており、充填された塗布液に浸漬される。
【００３８】
次に、枚葉状の基材２１が基材支持部１２上に載置され、不図示のチャック機構により、当該基材２１が基材支持部１２上に安定してセットされる。枚葉状の基材２１の表面には、塗布液を液滴として塗布すべき複数の塗布位置が予め定められている。
【００３９】
不図示の駆動機構により、基材支持部１２がＸ方向及びＹ方向にそれぞれ直線駆動され、基材支持部１２に支持された基材２１上の所定の塗布位置が、塗布用針１６に対して高精度に位置決めされる。
【００４０】
次に、各塗布用針１６に対して、塗布液を塗布させるべきであるか、あるいは、塗布させるべきでないか、が選択される。
【００４１】
塗布液を塗布させるべきでないと選択された塗布用針１６に対しては、塗布制御部１９から湾曲負荷が与えられ、基端部と先端との間の所定の位置において湾曲される。これにより、塗布液を塗布させるべきでないと選択された塗布用針１６の先端は、例えば５００μｍ程度更に上方に引き上げられる。
【００４２】
次に、アクチュエータ１７ａが鉛直方向に伸長され、アクチュエータ１７ａに固定された複数の塗布用針１６が同時に下方に例えば１ｍｍ程度移動される。
【００４３】
図３に示すように、塗布液を塗布させるべきであると選択された塗布用針１６は、塗布制御部１９により湾曲されていないため、アクチュエータ１７ａによって下方に移動されることにより、当該塗布用針１６の先端は、微小孔１５を貫通して、塗布液収容部１４の底面より例えば５００μｍ程度下方に突き出され、基材支持部１２に支持された基材２１の表面に当接される。これにより、塗布用針１６の先端に付着されていた塗布液は基材２１の表面に液滴として安定して塗布される。
【００４４】
本実施の形態では、塗布用針１６は超弾性を有する合金からなるため、ＳＵＳ等に比べて弾性率が比較的小さく、塗布用針１６と基材２１との当接時に、塗布液収容部１４の底面と基材２１の表面との間の空間において、塗布用針１６の先端を含む領域Ｒ３が容易に変形（湾曲）される。そのため、基材２１に対する塗布用針１６の押付け圧力が緩和され、基材２１へのダメージが効果的に低減され得る。
【００４５】
一方、図４に示すように、塗布液を塗布させるべきでないと選択された塗布用針１６は、塗布制御部１９から湾曲圧力を受けて予め湾曲されているため、アクチュエータ１７ａによって下方に移動されても、当該塗布用針１６の先端は、塗布液収容部１４の底面より下方には突き出されず、基材支持部１２に支持された基材２１の表面に当接されない。これにより、基材２１の表面に塗布液は液滴として塗布されない。
【００４６】
このように、本実施の形態では、複数の塗布用針１６を共通のアクチュエータ１７ａによって高さ方向に移動させながら、塗布制御部１９の動作により、各塗布用針１６について別個に塗布液を塗布させる／塗布させないの選択ができるようになっている。
【００４７】
次に、図２に示すように、アクチュエータ１７ａが鉛直方向に収縮され、当該アクチュエータ１７ａに固定された複数の塗布用針１６は、当該アクチュエータ１７ａにより上方に例えば１ｍｍ程度引き戻される。
【００４８】
この時、塗布液を塗布させるべきであると選択された塗布用針１６の先端は、基材２１の表面から離間されて、微小孔１５の内部に没入され、塗布液収容部１４内の塗布液に再び浸漬される。本実施の形態では、塗布用針１６は超弾性を有する合金からなるため、基材２１に対して当接される際に変形されていても、当接状態が解消されれば元の形状に復元する。
【００４９】
その後、塗布液を塗布させるべきでないと選択された塗布用針１６に対して、塗布制御部１９からの湾曲負荷が解消される。本実施の形態では、塗布用針１６は超弾性を有する合金からなるため、塗布制御部１９からの湾曲負荷が解消されれば元の形状に復元する。この時、塗布用針１６はアクチュエータ１７ａによって予め上方に引き戻されているため、元の形状に復元した塗布用針１６の先端が、塗布液収容部１４の底面から下方に突き出されることはなく、塗布液収容部１４内の塗布液に浸漬され続ける。
【００５０】
以上のような本実施の形態によれば、基材２１の裏面が基材支持部１２によって支持された状態で、塗布用針駆動部１７によって塗布用針１６が塗布液収容部１４の微小孔１５を貫通するように移動され、塗布用針１６の先端が基材２１に対して当接されることにより、塗布用針１６の先端に付着されていた塗布液が基材２１の表面に液滴として安定して塗布される。塗布用針１６は超弾性を有する合金からなるため、弾性率が比較的小さく、塗布用針１６と基材２１との当接時に塗布用針１６は容易に変形され得る。そのため、基材２１に対する塗布用針１６の押付け圧力が緩和され、基材２１へのダメージが効果的に低減され得る。また、塗布用針１６は超弾性を有する合金からなるため、基材２１に対して当接される際に例えば５％〜６％の比較的大きなひずみで変形されても、当接状態が解消されれば元の形状に復元する。これにより、複雑な装置構成や条件設定を採用しなくても、基材２１に対する塗布用針１６の押付け圧力が正確にコントロールされ得て、塗布用針１６と基材２１との接触による安定的な液滴塗布が可能となる。
【００５１】
また、本実施の形態によれば、塗布液収容部１４の底面には微小孔１５が複数設けられており、各微小孔１５に対する上方位置にそれぞれ対応するように塗布用針１６が複数設けられているため、例えば、複数の塗布用針１６がそれぞれ対応する微小孔１５を貫通するように同時に移動されることにより、基材２１の表面の複数の塗布位置に同時に、塗布液が液滴として塗布される。これにより、液滴塗布の効率性が大幅に向上され得る。
【００５２】
また、本実施の形態によれば、塗布用針駆動部１７は、複数の塗布用針１６の基端部に共通に固定されると共に当該複数の塗布用針１６を共通に移動させるアクチュエータ１７ａを有しており、各塗布用針１６には、当該塗布用針１６の基端部と先端との間の所定の位置に湾曲負荷を与えて当該塗布用針１６を湾曲させ、アクチュエータ１７ａによる移動時においても当該塗布用針１６の先端を基材支持部１２上の基材２１に対して当接させないようになっている塗布制御部１９が設けられているため、複数の塗布用針１６を共通のアクチュエータ１７ａによって高さ方向に移動させながら、塗布制御部１９の動作により、各塗布用針１６について別個に塗布液を塗布させる／塗布させないの選択ができるようになっている。高さ方向の移動を制御するアクチュエータ１７ａに比べて、湾曲させるか否かを制御する塗布制御部１９には、高精度の位置制御は必要とされないため、各塗布用針１６にそれぞれ対応してアクチュエータ１７ａを複数設ける場合に比べて、装置全体を安価に作製することが可能となる。
【００５３】
また、本実施の形態によれば、各塗布用針１６は、湾曲負荷を与えられる位置を含む領域Ｒ１で直線状であり、先端を含む領域Ｒ３で直線状であるが、湾曲負荷を与えられる位置を含む領域Ｒ１と先端を含む領域Ｒ３との間に曲線状の領域Ｒ２を有しているため、複数の塗布用針１６は、基端部の間隔と先端の間隔とが異なるように配置され得て、装置設計の自由度が上がる。なお、湾曲負荷を与えられる位置を含む領域Ｒ１で直線状であるため、塗布用針１６に対する塗布制御部１９の動作には支障が生じない。また、先端を含む領域Ｒ３で直線状であるため、基材２１に対する塗布用針１６の当接においても支障が生じない。
【００５４】
また、本実施の形態によれば、複数の塗布用針１６は、先端の間隔が基端部の間隔より密になるように配置されているため、塗布用針１６の先端に付着されていた塗布液を基材２１に対して密に塗布することが可能となる。また、複数の塗布用針１６は、基端部の間隔が疎になるように配置されているため、塗布制御部１９によって湾曲された塗布用針１６が隣接する他の塗布用針１６と接触することが容易に回避され得る。
【００５５】
なお、本実施の形態では、図１乃至図４に示すように、基材支持部１２は、枚葉状の基材２１の裏面を支持するＸＹステージであったが、これに限定されず、図５に示すように、基材支持部１２’は、連続するウェブ基材２１’の裏面を支持しながら当該ウェブ基材２１’を回転方向に送り出すバックアップロールであってもよい（第２の実施の形態）。この場合、連続するウェブ基材２１’に対して塗布液が液滴として塗布されるため、生産性が向上する。
【符号の説明】
【００５６】
１０    液滴塗布装置
１２    基材支持部
１２’  基材支持部
１４    塗布液収容部
１４ａ  中空空間
１４ｂ  塗布液導入路
１４ｃ  塗布液充填口
１５    微小孔
１６    塗布用針
１７    塗布用針駆動部
１７ａ  アクチュエータ
１８    貫通孔
１９    塗布制御部
２１    基材
２１’  基材
Ｒ１    湾曲負荷を与えられる位置を含む領域
Ｒ２    曲線状の領域
Ｒ３    先端を含む領域
【図１】
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【図２】
2015058422.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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