(57)【要約】【課題】非接触型のパワー半導体モジュールにおいて、更なる低インダクタンス化を達成することができるパワー半導体モジュールを提供する。【解決手段】パワー半導体モジュール１は、金属ベース２と、金属ベース２に導通して固定された半導体チップ３と、金属ベース２に固定され、一方の表面に回路板を有する絶縁基板４を備えている。また、半導体チップ３及び絶縁基板４に対向して設けられ、半導体チップ３の電極と絶縁基板４の回路板とを電気的に接続する金属膜を有する回路基板８を備えている。更に、半導体チップ３の電極及び絶縁基板４の回路板の少なくとも一方に電気的に接続して設けられ、かつ、回路基板８の金属膜と電気的に接続する導電ポスト９を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属ベースと、
両主面に第１電極および第２電極が設けられ、該第１電極が該金属ベースに電気的に接続して固定された半導体素子と、
回路板、絶縁板、金属板が積層して構成され、該金属板が該金属ベースに固定された絶縁基板と、
該半導体素子及び該絶縁基板に対向して設けられ、該半導体素子の第２電極と該絶縁基板の回路板とを電気的に接続する金属膜を有する回路基板と、
一端が該半導体素子の第２電極に電気的に接続して固定され、他端が該回路基板の金属膜と電気的に接続して固定される導電ポストと、
を備えるパワー半導体モジュール。
【請求項２】
金属ベースと、
両主面に第１電極および第２電極が設けられ、該第１電極が該金属ベースに電気的に接続して固定された半導体素子と、
回路板、絶縁板、金属板が積層して構成され、該金属板が該金属ベースに固定された絶縁基板と、
該半導体素子及び該絶縁基板に対向して設けられ、該半導体素子の第２電極と該絶縁基板の回路板とを電気的に接続する金属膜を有する回路基板と、
一端が該絶縁基板の回路板に電気的に接続して固定され、他端が該回路基板の金属膜と電気的に接続して固定される導電ポストと、
を備えるパワー半導体モジュール。
【請求項３】
前記絶縁基板の回路板と前記回路基板の金属膜とが、金属ブロックを介して接続される請求項１記載のパワー半導体モジュール。
【請求項４】
前記金属ベースと前記半導体素子の第１電極とが、金属ブロックを介して接続される請求項２記載のパワー半導体モジュール。
【請求項５】
前記半導体素子が炭化ケイ素からなる半導体素子である請求項１または２記載のパワー半導体モジュール。
【請求項６】
前記半導体素子及び前記絶縁基板を収容するケースを備え、該ケース内の半導体素子及び前記絶縁基板が熱硬化性樹脂により封止された請求項１または２記載のパワー半導体モジュール。
【請求項７】
前記半導体素子及び前記絶縁基板を収容するケースを備え、前記絶縁基板の回路板と電気的に接続して接合され、かつ該ケースから外方に突出する金属端子を備える請求項１または２記載のパワー半導体モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パワー半導体モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置としてのパワー半導体モジュールは、大別して絶縁型のパワー半導体モジュールと非絶縁型のパワー半導体モジュールとがある。非絶縁型のパワー半導体モジュールは、パワー半導体モジュールそれ自体が絶縁機能を有していないパワー半導体モジュールである。そして、当該パワー半導体モジュールが取り付けられる装置が絶縁機能を備え、当該パワー半導体モジュールの絶縁機能を担っている。非絶縁型のパワー半導体モジュールは、特に低いインダクタンスが必要とされる装置に用いられる。非絶縁型のパワー半導体モジュールは、特許文献１、特許文献２、特許文献３に記載されている。
【０００３】
非絶縁型のパワー半導体モジュールの一例を図４に平面図で、図５に断面図で示す。
図４及び図５に示すパワー半導体モジュール１０１は、導電板としての金属ベース２を備えている。
この金属ベース２上には、半導体素子としての半導体チップ３が電気的に接続して固定されている。図示した例では、半導体チップ３が金属ベース２上に複数個が設けられている。半導体チップ３の下面に形成されたドレイン電極と金属ベース２とが、図示しない接合材、例えばはんだにより接合されている。
【０００４】
この金属ベース２上には、半導体チップ３とは別に、絶縁基板４が接合されている。絶縁基板４は、絶縁板４１と、絶縁板４１の一方の面に設けられ、絶縁基板と図示しない接合材、例えばはんだにより接合される金属板４２と、絶縁板４１のもう一方の面に設けられ、所定の回路を形成する回路板４３（４３ａおよび４３ｂ）とからなる。
【０００５】
また、絶縁基板４の回路板４３ａに、金属端子５の一方の端部が電気的に接続され、固定される。金属端子５の他方の端部は、半導体チップ３及び絶縁基板が収容されるケース６よりも外方に突出するようになっている。ケース６内で半導体チップ３及び絶縁基板４は、絶縁材７、例えば熱硬化性樹脂により封止される。
【０００６】
半導体チップ３と絶縁基板４とを電気的に接続するために、半導体チップ３の上面に形成されたソース電極と絶縁基板４の回路板４３ａとが、ボンディングワイヤ１０８により接続されている。また、半導体チップ３の上面に形成されたゲート電極と絶縁基板４の回路板４３ｂとが、ボンディングワイヤ１０８により接続されている。
【０００７】
図４及び図５に示したパワー半導体モジュール１０１は、半導体チップ３が金属ベース２に電気的に接続して固定されているため非絶縁型であり、さらにインダクタンスが低いモジュールである。また、複数のパワー半導体モジュール１０１を上下に重ねて加圧することにより、直列で用いることが可能である。なぜなら、下側に位置するパワー半導体モジュール１０１の金属端子５の先端と、上側に位置するパワー半導体モジュール１０１の金属ベース２とが接触して導通可能だからである。さらに、パワー半導体モジュール１０１は、複数のモジュールを上下に重ねて押圧したときに、半導体チップ３には荷重が加わらない構造となっているからである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１−１２２１４６号公報
【特許文献２】特開平６−２９５９６５号公報
【特許文献３】特開平７−３１２４１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
高周波でスイッチングが必要とされる装置に用いられるパワー半導体モジュールは、低いインダクタンス特性を有することが求められる。上記の非接触型のパワー半導体モジュール１０１は、インダクタンスが低いために、かかる高周波でスイッチングが必要とされる装置に用いられて好適である。しかしながら、各種の装置における高速スイッチングの要請は止むことがなく、よってパワー半導体モジュールについても、さらなる低インダクタンス化が求められる。
【００１０】
そこで、本発明は、上記の問題を有利に解決するものであり、非接触型のパワー半導体モジュールにおいて、更なる低インダクタンス化を達成することができるパワー半導体モモジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のパワー半導体モジュールは、金属ベースと、両主面に第１電極および第２電極が設けられ、該第１電極が該金属ベースに電気的に接続して固定された半導体素子と、回路板、絶縁板、金属板が積層して構成され、該金属板が該金属ベースに固定された絶縁基板と、該半導体素子及び該絶縁基板に対向して設けられ、該半導体素子の第２電極と該絶縁基板の回路板とを電気的に接続する金属膜を有する回路基板と、一端が該半導体素子の第２電極に電気的に接続して固定され、他端が該回路基板の金属膜と電気的に接続して固定される導電ポストを備えている。
また本発明のその他のパワー半導体モジュールは、金属ベースと、両主面に第１電極および第２電極が設けられ、該第１電極が該金属ベースに電気的に接続して固定された半導体素子と、回路板、絶縁板、金属板が積層して構成され、該金属板が該金属ベースに固定された絶縁基板と、該半導体素子及び該絶縁基板に対向して設けられ、該半導体素子の第２電極と該絶縁基板の回路板とを電気的に接続する金属膜を有する回路基板と、一端が該絶縁基板の回路板に電気的に接続して固定され、他端が該回路基板の金属膜と電気的に接続して固定される導電ポストを備えている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のパワー半導体モジュールによれば、回路基板及び導電ポストを備え、半導体素子と絶縁基板とが、当該回路基板及び導電ポストによって電気的に接続されるから、ボンディングワイヤを用いた従来のパワー半導体モジュールに比べてインダクタンスを下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態のパワー半導体モジュールの説明図である。
【図２】実施形態２のパワー半導体モジュールの断面図である。
【図３】実施形態３のパワー半導体モジュールの断面図である。
【図４】従来のパワー半導体モジュールの一例の平面図である。
【図５】従来のパワー半導体モジュールの一例の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明のパワー半導体モジュールの実施形態について、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【００１５】
（実施形態１）
図１は、本発明の一実施形態のパワー半導体モジュールの断面図（同図（ａ））及び拡大断面図（同図（ｂ））である。図１（ａ）は、図５に示す従来のパワー半導体モジュールの断面図に対応する図面である。
【００１６】
図１（ａ）に示した本実施形態のパワー半導体モジュール１は、導電板としての金属ベース２を備えている。また両主面に第１電極および第２電極が設けられた、半導体素子としての半導体チップ３を備えている。そして金属ベース２上には、半導体チップ３が固定されている。半導体チップ３は、具体的には、例えばＩＧＢＴ（絶縁ゲートバイポーラトランジスタ）やパワーＭＯＳＦＥＴである。以下はパワーＭＯＳＦＥＴの例であって、下面に形成された第１電極がドレイン電極であり、上面に形成された第２電極がソース電極及びゲート電極である場合について説明する。半導体チップ３が炭化ケイ素（ＳｉＣ）からなるパワーＭＯＳＦＥＴである場合は、シリコンからなる半導体チップに比べて高周波でのスイッチングが可能であるために、本実施形態のパワー半導体モジュールの半導体チップ３として最適である。
【００１７】
もっとも、本発明において半導体素子は、ＩＧＢＴやパワーＭＯＳＦＥＴに限定されず、スイッチングの動作が可能な半導体素子であればよい。図示した例において、半導体チップ３は、紙面左右方向に合計２個が設けられているとともに、紙面奥行方向に複数個が設けられている。これらの半導体チップ３は、各半導体チップ３の下面に形成された第１電極（ドレイン電極）と金属ベース２とが、図示しない導電性の接合材、例えばはんだや金属焼結材により接合されている。これにより半導体チップ３の第１電極と金属ベース２の電気的な接続も確保されている。
【００１８】
この金属ベース２上には、半導体チップ３とは別に、絶縁基板４が接合されている。絶縁基板４は図１（ａ）で示す通り、回路板４３と、絶縁板４１と、金属板４２が積層して構成されている。回路板４３および金属板４２は、絶縁基板と図示しない接合材、例えばはんだにより接合されている。そして回路板４３は、所定の回路を形成する回路板４３ａ、４３ｂで構成されている。絶縁板４１は例えば窒化アルミニウム、酸化アルミニウム等の絶縁性セラミックス絶縁板よりなり、金属板４２、回路板４３は、例えば銅よりなる。絶縁基板４は、これらの絶縁板４１と金属板４２、回路板４３とを直接接合したＤＣＢ（Direct Copper Bond）基板等を用いることができる。
【００１９】
また、絶縁基板４の回路板４３ａに、金属端子５の一方の端部が電気的に接続され、固定される。金属端子５の他方の端部は、半導体チップ３及び絶縁基板４が収容されるケース６よりも外方に突出するようになっている。ケース６内で半導体チップ３及び絶縁基板４は、絶縁材７としての絶縁性ゲルや絶縁性硬質樹脂により封止される。絶縁材７は、高温使用に耐えられるという観点から絶縁性硬質樹脂、なかでもエポキシ樹脂が好ましい。本実施形態のパワー半導体モジュール１における、金属ベース２、半導体チップ３、絶縁基板４、金属端子５、ケース６及び絶縁材７は、図４に示した従来のパワー半導体モジュール１０１と同様の構成とすることができる。したがって、以下の説明では、金属ベース２、半導体チップ３、絶縁基板４、金属端子５、ケース６及び絶縁材７の説明に関して図４を参照できる。
【００２０】
本実施形態のパワー半導体モジュール１は、半導体チップ３及び絶縁基板４に対向して回路基板８が設けられている。これは、半導体チップ３の上面に形成された第２電極のうちのソース電極と、絶縁基板４の回路板４３ａとを電気的に接続するためである。また、半導体チップ３の上面に形成された第２電極のうちのゲート電極と、絶縁基板４の回路板４３ｂとを電気的に接続するためである。この回路基板８は、図１（ｂ）に拡大断面図を示すように絶縁板８１の少なくとも一方の表面に、銅やアルミニウム等の導電性金属により形成された金属層８２が形成されているものである。低インダクタンスのためには、金属層８２は銅配線が好ましい。回路基板８には、少なくとも２種類の金属層を有する。一つは、半導体チップ３の上面に形成されたソース電極と、絶縁基板４の回路板４３ａとを電気的に接続するための金属層である。もう一つは、半導体チップ３の上面に形成されたゲート電極と、絶縁基板４の回路板４３ｂとを電気的に接続するための金属層である。
【００２１】
そして、この回路基板８の金属層８２に電気的に接続したスルーホール８ａに導電ポスト９の一端が挿入され、はんだ等の導電性の接合材（図示せず）により接合されている。この導電ポスト９の他端は、半導体チップ３の上面に形成された第２電極（ソース電極又はゲート電極）と、はんだ等の導電性の接合材１０により接合されている。
また、回路基板８の金属層８２と絶縁基板４の回路板４３ａ、４３ｂとは、接合パッド８３を介してはんだ等の接合材１０により接合されている。
【００２２】
上記の構成により、絶縁基板４の回路板４３ａと半導体チップ３のソース電極とが、回路基板８と導電ポスト９と接合材１０とを介して電気的に接合される。また、絶縁基板４の回路板４３ｂと半導体チップ３のゲート電極とが、回路基板８と導電ポスト９と接合材１０とを介して電気的に接合される。本実施形態のパワー半導体モジュール１は、図５に示した従来のパワー半導体モジュール１０１におけるボンディングワイヤ１０８の代わりに、回路基板８と導電ポスト９とを用いた構成になる。
【００２３】
本実施形態のパワー半導体モジュール１における回路基板８と導電ポスト９を用いた電気的接続は、図５に示した従来のパワー半導体モジュール１０１におけるボンディングワイヤ１０８と比べて、配線の断面積を太くすることができる。また、配線長を短くすることができる。更に、回路基板８において隣接する金属層、又は隣接する複数の導電ポスト９について、ソース電極から流れる電流と、ゲート電極に流れる電流との方向を逆向きにして、インダクタンスをさらに低減することができる。これらのことから、本実施形態のパワー半導体モジュール１は、従来のパワー半導体モジュール１０１よりも低インダクタンスとすることができる。従来のパワー半導体モジュール１０１のインダクタンス全体に占める、ボンディングワイヤ１０８によるインダクタンスの割合は大きいことから、ボンディングワイヤ１０８を用いない本実施形態のパワー半導体モジュール１のインダクタンス低減効果は大きい。
また、半導体チップ３のゲートに接続する配線において、従来例のボンディングワイヤ１０８では困難である等長配線が、回路基板８では可能である。なぜならボンディングワイヤ１０８は図４に示す通り直線状でのみ配線が可能であるのに対し、回路基板８を用いればいかなる形状の配線も可能だからである。このゲートの等長配線により、複数の半導体チップ３を同期させてスイッチングすることが可能となるため、パワー半導体モジュール１のスイッチング特性を向上させることができる。
【００２４】
また、近年の半導体チップの小型化、半導体チップに流す電流の大電流化、電流密度の増大化の要請があった。しかし、従来のパワー半導体モジュール１０１においてそれを実現することは、ボンディングワイヤ１０８の細線化の限界、通電電流の限界、ボンディング装置の制限等によって難しくなりつつあった。これに対して、本実施形態のパワー半導体モジュール１は、回路基板８と導電ポスト９とを用いて半導体チップ３と絶縁基板４とを電気的に接続している。このため、上述した半導体チップの小型化、半導体チップに流す電流の大電流化、電流密度の増大化を図ることができ、また、容易に組み立てることができる。
【００２５】
また従来のパワー半導体モジュール１０１は、ボンディングワイヤ１０８と半導体チップ３との接合部に、半導体チップ３の温度変化の繰り返しによってクラックが入り易い。また、場合によっては半導体チップ３からボンディングワイヤ１０８が剥がれることもあった。それに対して、本実施形態のパワー半導体モジュール１は、半導体チップ３と回路基板８とを、導電ポスト９および接合材１０により信頼性高く接合することができるので、パワー半導体モジュール１の信頼性を高めることができる。
【００２６】
また更に、本実施形態のパワー半導体モジュール１は、従来のパワー半導体モジュール１０１と比べて、ボンディングワイヤ１０８を用いない分だけパッケージ高さを低くすることができる。このため、ケース６内に充填される絶縁材７の充填高さ又は充填量を小さくすることができる。これによりパワー半導体モジュール１のコストを下げることができ、また、信頼性を高めることができる。
【００２７】
本実施形態のパワー半導体モジュール１において、回路基板８は、絶縁板８１がガラスエポキシ材などからなるリジッド基板でもよく、また、絶縁板８１がポリイミド材などからなるフレキシブル基板でよく、更に、セラミックス基板でもよい。回路基板８の金属層８２は、絶縁板８１の一方の面（上面又は下面）に形成されていてもよいし、または両面に形成されていてもよい。また回路基板８は、絶縁基板４との接合部に、図１（ｂ）に示したような接合パッド８３を備えている。この接合パッド８３は、回路基板８と絶縁基板４との接合面積を拡大して接合の信頼性を高めるのに役立つが、必須の構成要素ではない。
【００２８】
導電ポスト９は、導電性のよい銅などの金属材料からなる。また、必要に応じて金属めっきを表面に施すことができる。導電ポスト９の外形は、円柱形状、直方体形状等の形状とすることができるが特に限定されない。もっとも、導電ポスト９の底面は、半導体チップ３上面に形成された第２電極より小さくしなければならない。また、導電ポスト９の高さが高ければケース６内での絶縁材７の流動の容易になり、低ければパワー半導体モジュールのパッケージの高さを低くすることができる。このため導電ポスト９の高さはこれらの要件を勘案して適宜決めればよい。
更に、一つの半導体チップ３に対する導電ポスト９の設置数は任意であり、一つの電極に複数個の導電ポスト９を接合することも可能である。
【００２９】
パワー半導体モジュール１では、回路基板８と導電ポスト９とを接合して一体化した、導電ポスト付き回路基板を用いているので、その製造工程を簡素化することができる。
【００３０】
本実施形態のパワー半導体モジュール１は、金属ベース２の表面から半導体チップ３の上面電極までの高さよりも、金属ベース２の表面から絶縁基板４の表面までの高さの方が高い。したがって、回路基板８が金属ベース２や絶縁基板４とほぼ平行に位置されるようにするため、回路基板８と絶縁基板４との接合には導電ポストは用いず、接合パッド８３を介して接合材１０により接合されている。しかし、長さが異なる導電ポスト９を用いることにより、回路基板８の平行を保ちつつ、導電ポスト９を回路基板８と半導体チップ３との接合ばかりでなく、回路基板８と絶縁基板４との接合にも用いることもできる。
【００３１】
（実施形態２）
図２に、本発明の実施形態２のパワー半導体モジュールの断面図を示す。図２に示した本実施形態のパワー半導体モジュール２１は、図１に示した実施形態１のパワー半導体モジュール１と同一の部材について同一の符号を付した。したがって、以下に述べる実施形態２のパワー半導体モジュールの説明では、図１に示した実施形態１のパワー半導体モジュール１と同一の部材についての重複する説明は省略する。
【００３２】
図２に示した実施形態２のパワー半導体モジュール２１の、図１に示した実施形態１のパワー半導体モジュール１との大きな相違点は、金属ベース２と、半導体チップ３との間に、金属ブロック１１が設けられ、半導体チップ３は、金属ブロック１１を介して金属ベース２と導通している点である。この金属ブロック１１は、図示しない導電性の接合材により金属ベース２及び半導体チップ３とそれぞれ接合されている。
【００３３】
金属ブロック１１は、金属ベース２の線膨張係数と、半導体チップ３の線膨張係数との中間の線膨張係数を有する金属材料、例えばモリブデンからなる。このような金属ブロック１１が設けられることにより、半導体チップ３が発熱したときの熱膨張差に起因して、金属ベース２と半導体チップ３との間の接合材でクラック等の不具合が生じるのを効果的に抑制することができる。
【００３４】
パワー半導体モジュール２１は、金属ベース２の表面から半導体チップ３の上面電極までの高さよりも、金属ベース２の表面から絶縁基板４の表面までの高さが低い。したがって、回路基板８が金属ベース２や絶縁基板４とほぼ平行に配置されるように、導電ポスト９は、回路基板８と絶縁基板４との接合に用いられている。そして、回路基板８と半導体チップ３との接合には導電ポストではなく、接合パッド８３を介して接合材１０により接合されている。
【００３５】
また本発明の実施形態２の変形例として、金属ブロック１１の高さを図２よりも低くして、金属ベース２の表面から半導体チップ３の上面電極までの高さよりも、金属ベース２の表面から絶縁基板４の表面までの高さを高くすることもできる。この場合には実施形態１と同様に、導電ポストは、回路基板８と半導体チップ３との接合に用いられ、回路基板８と絶縁基板との接合には接合パッドを介して接合されるようにすればよい。要するに、金属ベース２の表面から半導体チップの上面電極までの高さと、金属ベース２の表面から絶縁基板４の表面までの高さとを比較して、低い方に導電ポスト９を用いればよい。
【００３６】
（実施形態３）
図３に、本発明の実施形態３のパワー半導体モジュールの断面図を示す。図３に示した本実施形態のパワー半導体モジュール３１は、図１に示した実施形態１のパワー半導体モジュール１と同一の部材について同一の符号を付した。したがって、以下に述べる実施形態３のパワー半導体モジュールの説明では、図１に示した実施形態１のパワー半導体モジュール１と同一の部材についての重複する説明は省略する。
【００３７】
絶縁基板４と回路基板８との間隔が狭い場合、本発明のパワー半導体モジュールを製造する際に、用いる絶縁材７の粘性によっては絶縁基板４と回路基板８との間に絶縁材７が十分に充填されない可能性がある。これを解消するために実施形態３のパワー半導体モジュール３１は、図１に示したパワー半導体モジュール１よりも回路基板８が絶縁基板４から離れて設けられている。このようにも回路基板８が絶縁基板４から離れて設けられていることにより、絶縁材７の充填性をさらに向上させることができる。
【００３８】
図３に示したパワー半導体モジュール３１は、パワー半導体モジュール１と比べて回路基板８が、導電ポスト９の、より長手方向端部寄りで接合されている。もしくは図１に示した導電ポストよりも長い導電ポスト９が用いられ、その導電ポスト９の一端部に回路基板８が接合されている。さらに、絶縁基板４の回路板４３と回路基板８との間に、金属ブロック１２が設けられ、絶縁基板の回路板４３は、金属ブロック１２及び接合材１０を介して回路基板８と導通している。金属ブロック１２は、図示しない導電性の接合材により回路基板８と接合されている。
【００３９】
金属ブロック１２は、導電性のよい銅などからなる。金属ブロック１２が設けられることにより、回路基板８を金属ベース２や絶縁基板４とほぼ平行に配置することができる。
【００４０】
以上、本発明のパワー半導体モジュールを図面及び実施形態を用いて具体的に説明したが、本発明のパワー半導体モジュールは、実施形態及び図面の記載に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で幾多の変形が可能である。
【符号の説明】
【００４１】
１  パワー半導体モジュール
２  金属ベース
３  半導体チップ
４  絶縁基板
５  金属端子
６  ケース
７  絶縁材
８  回路基板
９  導電ポスト
１０  接合材
１１、１２  金属ブロック
【図１】
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【図２】
2015198171.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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