(57)【要約】      （修正有）【課題】ガラス基板面の研削加工に使用する固定砥粒パッドの表面形状を所望の形状にドレス処理できる固定砥粒パッドのドレス処理方法を提供する。【解決手段】両面研磨装置の、軸を中心に公転する上下定盤１０に固定された円環状の固定砥粒パッド表面を、前記固定砥粒パッドの幅以上の直径を有し、ドレッサを前記固定砥粒パッド表面に押し当てた状態で前記固定砥粒パッドの円環に沿って一定の速度で公転するとともに一定の速度で自転する円形のキャリア２０によりドレス処理する方法であって、前記ドレス処理前の前記固定砥粒パッドの幅方向に沿った表面形状である第１のプロファイルと、前記第１のプロファイルとは異なる、ドレス処理後の前記固定砥粒パッドの幅方向に沿った表面形状である第２のプロファイルとの差異情報に基づき前記キャリア上での前記ドレッサの配置を決めることにより、前記第２のプロファイルになるようドレス処理を行う。【選択図】図１
2015009293.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板面を研削加工するための円環状の固定砥粒パッド表面を、ドレッサによってドレス処理する方法であって、
前記固定砥粒パッドは、両面研磨装置の上下定盤に固定されており、
前記ドレッサは、前記円環状の固定砥粒パッドの幅以上の直径を有する円形のキャリアに固定され、
前記上下定盤は、軸を中心として一定の速度で公転する動作をし、
前記キャリアは、ドレス処理の実施時に、前記ドレッサを前記固定砥粒パッド表面に押し当てた状態で、前記固定砥粒パッドの円環に沿って一定の速度で公転するとともに、前記キャリアの中心を軸に一定の速度で自転する動作をし、
ドレス処理前の前記固定砥粒パッドの幅方向に沿った表面形状である第１のプロファイルを取得し、前記第１のプロファイルとは異なる、ドレス処理後の前記固定砥粒パッドの幅方向に沿った表面形状である第２のプロファイルを設定することで、前記第１のプロファイルから前記第２のプロファイルを差し引いた、差異情報を取得し、
前記差異情報に基づき、前記キャリア上での前記ドレッサの配置を決めて、前記第２のプロファイルになるよう、前記固定砥粒パッド表面をドレス処理するドレス処理方法。
【請求項２】
前記円環状の固定砥粒パッドの内径をＲi、外径をＲoとし、前記固定砥粒パッドの半径方向における位置として、ＲiからＲoの範囲の任意のＲを与え、前記ドレッサによるドレッシング速度をαとし、任意の時刻をｔとし、ドレス加工時間Ｔを与えたときの、前記ドレッサによる前記固定砥粒パッドのドレス量Ｐを下式で与えた際、
【数１】
2015009293.tif 000005
上式において、ＲiからＲoの間で前記ドレス量Ｐが最も大きい位置におけるドレス量をＰmax、前記ドレス量Ｐが最も小さい位置におけるドレス量をＰminとするとき、Ｐmax／Ｐmin≧１．２となるように、前記ドレッサの配置を決める、請求項１に記載のドレス処理方法。
【請求項３】
前記差異情報において前記固定砥粒パッドにおける、ＲiとＲoとの距離が前記幅に相当し、前記Ｒiを基点として前記幅に沿って前記幅の１／１０の距離をＲaとし、前記Ｒoを基点として前記幅に沿って前記幅の１／１０の距離をＲbとし、前記幅の中心をＲcとしたとき、前記差異情報が、ＲiからＲaの範囲における最高点、および、ＲoからＲbの範囲における最高点がいずれもＲcより高い凹形状の場合に、Ｒ＝Ｒa、Ｒ＝Ｒb、Ｒ＝ＲcにおけるＰをそれぞれ、Ｐa、Ｐb、Ｐcとして、Ｐa＞Ｐc、Ｐb＞Ｐcとなるように前記ドレッサの配置を設定する、請求項２に記載のドレス処理方法。
【請求項４】
前記キャリアの半径をｒ1、前記キャリアの中心を基準とした任意の距離をｒとし、前記キャリアのうち、２πｒの円周上に前記ドレッサが含まれる割合をη（ｒ）で与えるとき、η（０．３ｒ1)／η(０．８ｒ1)＜１となるように前記ドレッサの配置を決める、請求項３に記載のドレス処理方法。
【請求項５】
前記差異情報において前記固定砥粒パッドにおける、ＲiとＲoとの距離が前記幅に相当し、前記Ｒiを基点として前記幅に沿って前記幅の１／１０の距離をＲaとし、前記Ｒoを基点として前記幅に沿って前記幅の１／１０の距離をＲbとし、前記幅の中心をＲcとしたとき、前記差異情報が、ＲiからＲaの範囲における最低点、および、ＲoからＲbの範囲における最低点ＲbがいずれもＲcより低い凸形状の場合に、Ｒ＝Ｒa、Ｒ＝Ｒb、Ｒ＝ＲcにおけるＰをそれぞれ、Ｐa、Ｐb、ＰcとしてＰa＜Ｐc、Ｐb＜Ｐcとなるように前記ドレッサの配置を設定する、請求項２に記載のドレス処理方法。
【請求項６】
前記キャリアの半径をｒ1、前記キャリアの中心を基準とした任意の距離をｒとし、前記キャリアのうち、２πｒの円周上に前記ドレッサが含まれる割合をη（ｒ）で与えるとき、η（０．３ｒ1)／η(０．８ｒ1)＞１となるように前記ドレッサの配置を決める、請求項５に記載のドレス処理方法。
【請求項７】
前記キャリアの半径をｒ1、前記キャリアの中心を基準とした任意の距離をｒとし、前記キャリアのうち、２πｒの円周上に前記ドレッサが含まれる割合をη（ｒ）で与え、
０≦ｒ≦ｒ1の範囲におけるη（ｒ）の最大値をηmax、最小値をηminとするとき、
ηmax−ηmin≧０．２となるように前記ドレッサの配置を決める、請求項３〜６のいずれかに記載のドレス処理方法。
【請求項８】
前記ドレッサの平面形状がいずれも同じ円形である、請求項１〜７のいずれかに記載のドレス処理方法。
【請求項９】
前記キャリアの中心を基準とした任意の距離をｒとし、２πｒの円周上に前記ドレッサが等間隔で配置される、請求項１〜８のいずれかに記載のドレス処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の研削加工に使用する固定砥粒パッドのドレス処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ガラス基板の製造工程は、ガラス基板の形状を形成する形状付与工程と、ガラス基板の板厚を所定の厚みに揃え、主平面の平坦度を所定の値にする研削工程と、ガラス基板の両主平面を平滑な鏡面に仕上げる研磨工程と、ガラス基板の表面に付着した異物を除去する洗浄工程と、を有している（特許文献１参照）。
【０００３】
上記の研削工程には、鋳鉄製の定盤を用いて炭化ケイ素やアルミナ等の遊離砥粒を含む研削液をガラス基板と定盤との間に供給しながらガラス基板を研削加工する遊離砥粒研削方法や、ダイヤモンド砥粒を金属や樹脂等で結合して成形した固定砥粒パッドを定盤の表面に固定し、該固定砥粒パッドを用いてガラス基板を研削加工する固定砥粒研削方法が知られている。両者のうち、加工スピード、研削後に残るダメージの深さが浅いなどの理由から後者が好ましい。
【０００４】
固定砥粒研削方法を採用する場合、研削加工の実施前には、目立ての目的で固定砥粒パッドの表面をドレス処理する（特許文献２〜５参照）。
固定砥粒パッド表面のドレス処理は、一般に以下の手順で実施される。
ドレス処理を実施する固定砥粒パッドを両面研磨装置の上下定盤に固定し、研磨装置のキャリアにドレッサを設置し、該ドレッサを上下定盤に固定された固定砥粒パッドの間に挟みつつ、上下定盤を公転させ、かつ、キャリアを公転及び自転させることにより、上下両定盤に固定された固定砥粒パッドと、ドレッサと、を相対移動させて、固定砥粒パッド表面をドレス処理する。
【０００５】
一方、研削加工後のガラス基板の表面形状は、研削面の形状に影響される。固定砥粒研削方法を採用する場合、固定砥粒パッドの表面形状に影響される。
そのため、研削加工の実施前には、固定砥粒パッドの表面形状が所定の形状になっていることが好ましい。
【０００６】
上述したように、従来実施されるドレス処理は、固定砥粒パッドの目立てを目的とするものであり、固定砥粒パッドの表面形状を加工するものではなかった。
しかしながら、ドレス処理により、固定砥粒パッドの表面形状を所定の形状に加工することができれば、研削後のガラス基板の表面形状を所望の形状に仕上げることができたり、最終製品の表面形状（品質）の向上や後工程であるガラス基板の研磨工程において、表面形状の変化をもたらしやすい柔らかい研磨パッドを使用できるように後工程での平坦度の変化に合わせた表面形状を与えることで、欠点品質と良好な表面形状を両立できたりする等の利点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１１−１５６６２７号公報
【特許文献２】特許第４９８２０３７号明細書
【特許文献３】特開２００４−９８２６４号公報
【特許文献４】特開平４−８７７６８号公報
【特許文献５】特開平１０−２８６７５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明では、上記の問題を解決するため、ガラス基板面の研削加工に使用する固定砥粒パッドの表面形状を所望の形状にドレス処理できる、固定砥粒パッドのドレス処理方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記の目的を達成するため、ガラス基板面を研削加工するための円環状の固定砥粒パッド表面を、ドレッサによってドレス処理する方法であって、
前記固定砥粒パッドは、両面研磨装置の上下定盤に固定されており、
前記ドレッサは、前記円環状の固定砥粒パッドの幅以上の直径を有する円形のキャリアに固定され、
前記上下定盤は、軸を中心として一定の速度で公転する動作をし、
前記キャリアは、ドレス処理の実施時に、前記ドレッサを前記固定砥粒パッド表面に押し当てた状態で、前記固定砥粒パッドの円環に沿って一定の速度で公転するとともに、前記キャリアの中心を軸に一定の速度で自転する動作をし、
ドレス処理前の前記固定砥粒パッドの幅方向に沿った表面形状である第１のプロファイルを取得し、前記第１のプロファイルとは異なる、ドレス処理後の前記固定砥粒パッドの幅方向に沿った表面形状である第２のプロファイルを設定することで、前記第１のプロファイルから前記第２のプロファイルを差し引いた、差異情報を取得し、
前記差異情報に基づき、前記キャリア上での前記ドレッサの配置を決めて、前記第２のプロファイルになるよう、前記固定砥粒パッド表面をドレス処理するドレス処理方法を提供する。
【００１０】
本発明のドレス処理方法において、前記円環状の固定砥粒パッドの内径をＲi、外径をＲoとし、前記固定砥粒パッドの半径方向における位置として、ＲiからＲoの範囲の任意のＲを与え、前記ドレッサによるドレッシング速度をαとし、任意の時刻をｔとし、ドレス加工時間Ｔを与えたときの、前記ドレッサによる前記固定砥粒パッドのドレス量Ｐを下式で与えた際、
【数１】
2015009293.tif 000003
上式において、ＲiからＲoの間で前記ドレス量Ｐが最も大きい位置におけるドレス量をＰmax、前記ドレス量Ｐが最も小さい位置におけるドレス量をＰminとするとき、Ｐmax／Ｐmin≧１．２となるように、前記ドレッサの配置を決めることが好ましい。
【００１１】
本発明のドレス処理方法において、前記差異情報において前記固定砥粒パッドにおける、ＲiとＲoとの距離が前記幅に相当し、前記Ｒiを基点として前記幅に沿って前記幅の１／１０の距離をＲaとし、前記Ｒoを基点として前記幅に沿って前記幅の１／１０の距離をＲbとし、前記幅の中心をＲcとしたとき、前記差異情報が、ＲiからＲaの範囲における最高点、および、ＲoからＲbの範囲における最高点がいずれもＲcより高い凹形状の場合に、Ｒ＝Ｒa、Ｒ＝Ｒb、Ｒ＝ＲcにおけるＰをそれぞれ、Ｐa、Ｐb、Ｐcとして、Ｐa＞Ｐc、Ｐb＞Ｐcとなるように前記ドレッサの配置を設定することが好ましい。
【００１２】
また、本発明のドレス処理方法において、第１のプロファイルが、ＲiからＲaの範囲における最高点、および、ＲoからＲbの範囲における最高点がいずれもＲcより高い凹形状の場合に、前記キャリアの半径をｒ1、前記キャリアの中心を基準とした任意の距離をｒとし、前記キャリアのうち、２πｒの円周上に前記ドレッサが含まれる割合をη（ｒ）で与えるとき、η（０．３ｒ1)／η(０．８ｒ1)＜１となるように前記ドレッサの配置を決めてもよい。
【００１３】
また、本発明のドレス処理方法において、前記差異情報において前記固定砥粒パッドにおける、ＲiとＲoとの距離が前記幅に相当し、前記Ｒiを基点として前記幅に沿って前記幅の１／１０の距離をＲaとし、前記Ｒoを基点として前記幅に沿って前記幅の１／１０の距離をＲbとし、前記幅の中心をＲcとしたとき、前記差異情報が、ＲiからＲaの範囲における最低点、および、ＲoからＲbの範囲における最低点がいずれもＲcより低い凸形状の場合に、Ｒ＝Ｒa、Ｒ＝Ｒb、Ｒ＝Ｒcの時におけるＰをそれぞれ、Ｐa、Ｐb、ＰcとしてＰa＜Ｐc、Ｐb＜Ｐcとなるように前記ドレッサの配置を設定することが好ましい。
【００１４】
また、本発明のドレス処理方法において、第１のプロファイルが、ＲiからＲaの範囲における最低点、および、ＲoからＲbの範囲における最低点がいずれもＲcより低い凸形状の場合に、前記キャリアの半径をｒ1、前記キャリアの中心を基準とした任意の距離をｒとし、前記キャリアのうち、２πｒの円周上に前記ドレッサが含まれる割合をη（ｒ）で与えるとき、η（０．３ｒ1)／η(０．８ｒ1)＞１となるように前記ドレッサの配置を決めてもよい。
【００１５】
また、本発明のドレス処理方法において、前記キャリアの半径をｒ1、前記キャリアの中心を基準とした任意の距離をｒとし、前記キャリアのうち、２πｒの円周上に前記ドレッサが含まれる割合をη（ｒ）で与え、
０≦ｒ≦ｒ1の範囲におけるη（ｒ）の最大値をηmax、最小値をηminとするとき、
ηmax−ηmin≧０．２となるように前記ドレッサの配置を決めることが好ましい。
【００１６】
また、本発明のドレス処理方法において、前記ドレッサの平面形状がいずれも同じ円形であることが好ましい。
【００１７】
また、本発明のドレス処理方法において、前記キャリアの中心を基準とした任意の距離をｒとし、２πｒの円周上に前記ドレッサが等間隔で配置されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のドレス処理方法によれば、ガラス基板面の研削加工に使用する固定砥粒パッドの表面形状を所望の形状にドレス処理できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、定盤、キャリア、および、ドレッサの配置の一構成例を示した模式図である。
【図２】図２（ａ）は、ＲiからＲoまでの範囲における、第１のプロファイルと、第２のプロファイルと、の差異情報の一構成例を示した図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示す差異情報に基づくドレス量のプロファイルを示した図である。
【図３】図３（ａ）〜（ｄ）は、参考例でのキャリア上のドレッサの配置を示した模式図である。
【図４】図４は、参考例でのｒとη（ｒ）との関係を示したグラフである。
【図５】図５は、参考例における、固定砥石研磨パッドの内径Ｒiから外径Ｒoまでの範囲におけるドレス量のプロファイルを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明のドレス方法について、図面を参照して説明する。
【００２１】
本発明は、ガラス基板面を研削加工するための円環状の固定砥粒パッド表面を、ドレッサによってドレス処理する方法である。
固定砥粒パッドは、ダイヤモンド砥粒を、ポリエステル等の樹脂で結合して、円環状に成形したものである。
ダイヤモンド砥粒に相当するダイヤモンド微粒子をパッドに埋め込む方法としては、直接ダイヤモンドを樹脂中に含ませる方法の他に、ビトリファイドなどのボンドでダイヤモンド微粒子を集結させた後、そのボンドごと樹脂に含ませる方法などがある。このうち、後者、即ち、ダイヤモンド微粒子を他のボンドで集結させた後樹脂中に含ませる方法の場合、ダイヤモンドの脱離が抑えられ、脱離ダイヤモンドによりガラス基板の被研削面に引っ掻きキズを発生させることが少ない点で好ましい。ダイヤモンド微粒子のサイズは限定されないが、研削加工時の作業性と所望の被研削ガラス基板の表面粗さ、ダメージ深さが得られるように平均粒子径は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましい。
また、固定砥粒パッドのサイズは、とくに限定されないが、該固定砥粒パッドが固定される両面研磨装置の上下定盤に対応して適宜決めるとよい。例えば、３０〜７００ｍｍの範囲を目安に径の長さを決めることができる。
【００２２】
また、ドレス処理の実施時、固定砥粒パッドは両面研磨装置の上下定盤に固定される。
図１は、両面研磨装置の定盤、キャリア、および、ドレッサの配置の一構成例を示した模式図である。図示していないが、図１の定盤１０上には、固定砥粒パッドが固定される。以下、本明細書において、定盤１０上に固定された固定砥粒パッドは、該定盤１０と同一寸法と仮定し、図中の寸法（位置関係）は固定砥粒パッドの寸法（位置関係）を示すものとする。
【００２３】
図１において、定盤１０は、外形が円形であり、その中心には、円形の空洞が設けられている。これにより、定盤１０は円環状をなしている。両面研磨装置への設置時には、この空洞内に、両面研磨装置のサンギア１００が位置する。
円環形状の定盤１０の外側には、両面研磨装置のインターナルギア２００が位置する。
サンギア１００と、インターナルギア２００と、をそれぞれ所定の回転比で回転駆動することで、キャリア２０は、その中心を軸に一定の速度で自転するとともに、サンギア１００の周りを一定の速度で、例えば、矢印方向に公転移動する。定盤１０に固定された固定砥粒パッド（図示せず）との関係でみた場合、キャリア２０は固定砥粒パッドの円環に沿って一定の速度で公転する。
ドレス処理の実施には、定盤１０もその軸を中心として一定の速度で公転することで、定盤１０に固定された固定砥粒パッドと、キャリア２０に固定されたドレッサ３０と、が相対移動することにより、固定砥粒パッド表面がドレス処理される。
【００２４】
図１において、円形のキャリア２０に、８個のドレッサ３０がそれの円周に沿って互いに略等間隔に固定されている。但し、キャリア２０上に固定されるドレッサ３０の数、および、キャリア２０上におけるドレッサ３０の位置は、これに限定されず、後述するドレッサ３０の配置の決め方に基づいて適宜選択される。
円形のキャリア２０は、サンギア１００とインターナルギア２００との間で固定して回転させるため、その直径が、インターナルギア２００の内径とサンギア１００の外径との差として定義される。また、キャリア２０の直径は、固定砥粒パッドの表面全体をドレス処理するため、円環状の固定砥粒パッドの幅以上である。
【００２５】
キャリア２０には、例えばポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ガラス繊維を含むエポキシ樹脂、ステンレス材等を使用でき、ドレッサ３０を嵌めこんで固定するための開口部が設けられている。
ドレッサ３０には、例えばアルミナ、シリコンカーバイト等を使用できる。なお、図示したドレッサ３０の平面形状は、円形であるがこれに限定されず、楕円や矩形等の多角形、任意の外縁を有する領域からなる形状であってもよいが、ドレッサ３０の平面形状が円形であると、ドレッサそのものの欠けを抑制できるので、それによる固定砥粒パッド表面の損傷を少なくできる。また、ドレッサ３０は、キャリア２０内に等間隔で配置される位置関係に限らないが、特定の円（図１の場合、半径ｒ2の円）の円周に沿うように等間隔で配置すると、ドレス時に定盤の回転がスムーズになるので、安定して所望のドレスができる点で好ましい。
【００２６】
本発明の方法では、キャリア２０上でのドレッサ３０の配置を以下の手順で決める。
（１）ドレス処理前の固定砥粒パッドの幅方向に沿った表面形状である第１のプロファイルを取得する。ここで、固定砥粒パッドの幅方向に沿った表面形状とは、固定砥粒パッドの表面がなす形状で、円環状の定盤の半径方向における、固定砥粒パッドの断面プロファイルであり、たとえば日立造船株式会社製の真直度測定器（型式：ＨＳＳ２６２０）などを用い測定子を固定砥粒パッド表面上に沿わせるようにして測定できる。
（２）次に、ドレス処理後の固定砥粒パッドの幅方向に沿った表面形状である第２のプロファイルを設定する。第２のプロファイルは、別の言い方をすると、ドレス処理後の固定砥粒パッド表面の目標形状であり、第１のプロファイルとは異なる。
（３）上記（１），（２）で得られた第１のプロファイルと、第２のプロファイルと、の差異情報を、両者の差分により取得する。
（４）上記（３）で取得した差異情報に基づき、第２のプロファイルになるように、キャリア２０上でのドレッサ３０の配置を決めて、固定砥粒パッド表面をドレス処理する。
上述したように、第２のプロファイルは、ドレス処理後の固定砥粒パッド表面の目標形状である。実際のドレス処理後の固定砥粒パッド表面形状は、第２のプロファイルに近づくようにドレス処理されていればよく、第２のプロファイルと必ずしも完全に一致しなくてもよい。
上記（４）におけるドレッサ３０の配置では、キャリア２０上に配置するドレッサ３０の数や寸法、キャリア２０の半径方向におけるドレッサ３０の位置を決める。
なお、キャリア２０上に配置するドレッサ３０の数は２以上である。その理由は、固定砥粒研磨パッド表面形状の修正に要する時間を短縮できるとともに、定盤を安定に回転させることができ、さらに、固定砥粒研磨パッドの表面形状を高い精度で所望のプロファイル（第２のプロファイル）に近づけるよう仕上げられるからである。
なお、キャリア２０上に配置するドレッサ３０の寸法は、キャリア２０上に配置するドレッサ３０の数や、キャリア２０上における位置に応じて適宜選択できる。
【００２７】
上記（４）におけるドレッサ３０の配置の決め方の一例は以下のとおり。
固定砥粒パッドの内径をＲi、外径をＲoとし、固定砥粒パッドの半径方向における位置として、ＲiからＲoの範囲の任意のＲを与え、ドレッサによるドレッシング速度をαとし、任意の時刻をｔとし、ドレス加工時間Ｔを与えたときの、ドレッサによる固定砥粒パッドのドレス量Ｐは下式となる。
【数２】
2015009293.tif 000004
上式において、ＲiからＲoの間の任意の位置のドレス量をＰとし、該Ｐが最も大きい位置におけるドレス量をＰmax、ドレス量Ｐが最も小さい位置におけるドレス量をＰminとするとき、Ｐmax／Ｐmin≧１．２となるように、ドレッサの配置を決めてドレス処理することで、第１のプロファイルとは異なる、第２のプロファイルに近づけることができる。なお、Ｐmax／Ｐmin＜１．２でも第２のプロファイルに近づけることはできるが、Ｐmax／Ｐmin≧１．２であると、ドレス加工時間を短くでき、ドレス処理による固定砥粒パッドの消耗を抑制できるので好ましい。
なお、本発明におけるドレッシング速度αは、ドレス処理全体を通じたトータルでのドレッシング速度ではなく、対象とする地点にドレッサが存在する時のドレッシング速度である。
【００２８】
Ｐmax／Ｐmin≧１．２となるようにドレッサ３０を配置するには、以下の方法でドレッサの配置を設定すればよい。
キャリア２０の半径をｒ1とし、キャリア２０の中心を基準とした任意の距離をｒとし、キャリア２０のうち、２πｒの円周上にドレッサ２０が含まれる割合をη（ｒ）とし、０≦ｒ≦ｒ1の範囲におけるη（ｒ）の最大値をηmax、最小値をηminとするとき、ηmax−ηmin≧０．２となるようにドレッサの配置を設定する。
ここで、η（ｒ）は、以下の方法で求めることができる。
キャリア内でのドレッサの平面形状、配置位置により幾何学的に計算できる。例えば、キャリア内に、特定の平面形状のドレッサを複数個配置したときの幾何学的な平面状態に基づき、キャリアの中心を原点としてη（ｒ）を計算できる。
【００２９】
本発明のドレス処理では、Ｐmax／Ｐmin≧１．５となるようにドレッサの配置を決めることがより好ましい。この場合、ηmax−ηmin≧０．２となるようにドレッサの配置を設定すればよい。
また、本発明のドレス処理では、Ｐmax／Ｐmin≧１．８となるようにドレッサの配置を決めることがさらに好ましい。この場合、ηmax−ηmin≧０．３となるようにドレッサの配置を設定すればよい。
【００３０】
固定砥粒パッドの内径Ｒiと外径Ｒoとの距離は、該固定砥粒パッドの幅に相当する。
内径Ｒiを基点としてこの幅に沿ってこの幅の１／１０の距離をＲaとし、外径Ｒoを基点としてこの幅に沿ってこの幅の１／１０の距離をＲbとし、幅の中心をＲcとする。このとき、固定砥粒パッドの第１のプロファイルとして、ＲiからＲaの範囲における最高点、および、ＲoからＲbの範囲における最高点、がいずれもＲcより高い凹形状であって、該凹形状に対して相対的に平坦化した形状を得る場合には、Ｒ＝Ｒa、Ｒ＝Ｒb、Ｒ＝Ｒcにおけるドレス量Ｐがそれぞれ、Ｐa、Ｐb、Ｐcとして、Ｐa＞Ｐc、Ｐb＞Ｐcとなるようにドレッサの配置を設定することが好ましい。
図２（ａ）は、固定砥粒パッドの第１のプロファイルの一構成例を示した図であり、横軸は固定砥粒パッドの幅方向における位置、縦軸は固定砥粒パッドの表面形状における高さを示したものである。
そして、図２（ａ）は、ＲiからＲaの位置であるａ点の範囲における最高点、および、ＲoからＲbの位置であるｂ点の範囲における最高点が、いずれもＲcの位置であるｃ点より高い凹形状である。
固定砥粒パッドの表面が平坦になるようにドレス処理すると仮定した場合、固定砥粒パッドの第２のプロファイルは、ＲiからＲoまでの全ての範囲で数値が略同一であるので、図２（ａ）に示す、第１のプロファイルは、第１のプロファイルと第２のプロファイルと、の差異情報と略一致する。
図２（ｂ）は、図２（ａ）に示す差異情報に基づくドレス量のプロファイルを示した図である。横軸は固定砥粒パッドの幅方向における位置、縦軸はドレス量を示している。
図２（ａ）は、Ｒiからａ点の範囲における最高点、および、Ｒoからｂ点の範囲における最高点、がいずれもｃ点よりも高い凹形状であるため、図２（ｂ）に示すように、ドレス量のプロファイルを、Ｐa＞Ｐc、Ｐb＞Ｐc（Ｐa、Ｐb、Ｐcはそれぞれａ点、ｂ点、ｃ点におけるドレス量）とすることで、第２のプロファイルに近づけることができる。
【００３１】
図２（ｂ）に示すように、ドレス量のプロファイルをＰa＞Ｐc、Ｐb＞Ｐcとするには、上述したη（ｒ）について、η（０．３ｒ1)／η(０．８ｒ1)＜１となるように前記ドレッサの配置を決めればよい。
ここで、ηmax−ηminについても、上述した関係を満たすことが好ましい。
また、図２（ｂ）に示すような、複雑な形状のドレス量のプロファイルを達成する場合、η（０．３ｒ1)、η(０．８ｒ1)に加えて、η（０．４ｒ1)やη(０．６ｒ1)についても所定の関係（例えば、η（０．２ｒ1)／η(０．４ｒ1)、η（０．４ｒ1)／η(０．６ｒ1)、η（０．６ｒ1)／η(０．８ｒ1)）を設定してもよい。
【００３２】
一方、固定砥粒パッドの第１のプロファイルが、ＲiからＲaの範囲における最低点、および、ＲoからＲbの範囲における最低点、がいずれもＲcより低い凸形状であって、第２のプロファイルとして、平坦化された形状とする場合、ドレス量のプロファイルが、Ｐa＜Ｐc、Ｐb＜Ｐcとなるように、ドレッサの配置を設定することで、第２のプロファイルに近づけることができる。
【００３３】
ドレス量のプロファイルをＰa＜Ｐc、Ｐb＜Ｐcとするには、上述したη（ｒ）について、η（０．３ｒ1)／η(０．８ｒ1)＞１となるようにドレッサの配置を決めればよい。
【実施例】
【００３４】
以下に示す参考例では、キャリア２０上でのドレッサ３０の配置を図３（ａ）〜（ｄ）に示す配置として、ドレス量のプロファイルを評価した。両面研磨装置における定盤（および該定盤に固定された固定砥粒パッド）、キャリア、および、ドレッサの配置は図１に示したとおりである。
定盤１０（および固定砥石パッド）の内径Ｒiは５００ｍｍ、外径Ｒoは１３６８ｍｍである。
図３（ａ）〜（ｄ）において、キャリア２０の径ｒ1は全て２６２ｍｍである。
図３（ａ）において、ドレッサ３０の配置中心半径ｒ2は１５０ｍｍであり、ドレッサ３０の半径ｒ3は１００ｍｍであって、半径ｒ2の円周に沿って、３つのドレッサ３０が等間隔に並ぶように配置される。
図３（ｂ）において、ドレッサ３０の配置中心半径ｒ2は１７５ｍｍであり、ドレッサ３０の半径ｒ3は７５ｍｍであって、半径ｒ2の円周に沿って、４つのドレッサ３０が等間隔に並ぶように配置される。
図３（ｃ）において、ドレッサ３０の配置中心半径ｒ2は２００ｍｍであり、ドレッサ３０の半径ｒ3は５０ｍｍであって、半径ｒ2の円周に沿って、８つのドレッサ３０が等間隔に並ぶように配置される。
図３（ｄ）において、ドレッサ３０の配置中心半径ｒ2は２１５ｍｍであり、ドレッサ３０の半径ｒ3は３５ｍｍであって、半径ｒ2の円周に沿って、８つのドレッサ３０が等間隔に並ぶように配置される。
図４は、図３（ａ）〜（ｄ）に示すドレッサ３０の配置における、ｒ（キャリア２０の中心を基準とした任意の距離）と、η（ｒ）（２πｒの円周上にドレッサ３０が含まれる割合）と、の関係を示したグラフである。
固定砥粒パッドの第１のプロファイルが、図２（ａ）に示すような凹形状の場合、ドレッサ３０の配置がη（０．３ｒ1)／η(０．８ｒ1)＜１の関係を満たすことで、図２（ｂ）に示すような、所定のドレス量に調整できる。
ドレス量のプロファイルを図５に示す。図中、横軸は固定砥粒パッドの幅方向における位置であり、縦軸はドレス量である。但し、得られたドレス量の最大値を１とした相対比で示している。
図から明らかなように、キャリア２０上でのドレッサ３０の配置を変えることで、ドレス量のプロファイルを変化させることができた。このように、第１のプロファイルから第２のプロファイルを差し引いた差異情報に基づくドレス量に近づけるように、ドレッサ３０の配置等を調整できるため、固定砥粒パッドの表面形状を様々な形状にドレス処理できる。
【符号の説明】
【００３５】
１０  定盤
２０  キャリア
３０  ドレッサ
１００  サンギア
２００  インターナルギア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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