(57)【要約】      （修正有）【課題】各種インゴットの切断に用いるダイヤモンド電着ワイヤーに関して、製造速度の高速化が容易であり、装置の小型化を可能とする高速電着ワイヤー製造方法及びその製造装置の提供。【解決手段】微粒子を分散させためっき液中において、ワイヤー１６０を陰極、対極１４０を陽極として、めっき液中の金属イオンを還元し、ワイヤー１６０にめっき被膜を成長させ、前記微粒子をワイヤー１６０に電着して形成される電着めっき層を有する電着ワイヤー製造方法であって、対極１４０に対して、ワイヤー１６０の周方向の一部を遮蔽部により電流を遮蔽し、ワイヤー１６０の露出した部分に電流を集中させ、前記電着めっき層を成長させる行程を有し、ワイヤー１６０をその軸に対して回転させることにより、ワイヤー１６０の露出した部分を回転させ、前記電着めっき層をワイヤー１６０全周に成長させるダイヤモンド電着ワイヤーの製造方法。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
微粒子を分散させためっき液中において、ワイヤーを陰極、対極を陽極として、めっき液中の金属イオンを還元し、前記ワイヤーにめっき被膜を成長させ、前記微粒子を前記ワイヤーに電着して形成される電着めっき層を有する電着ワイヤー製造方法であって、前記対極に対して、前記ワイヤーの周方向の一部を遮蔽部により電流を遮蔽し、前記ワイヤーの露出した部分に電流を集中させ、前記電着めっき層を成長させる行程を有し、前記ワイヤーをその軸に対して回転させることにより、前記ワイヤーの露出した部分を回転させ、前記電着めっき層を前記ワイヤー全周に成長させることを特徴とする高速電着ワイヤー製造方法。
【請求項２】
前記遮蔽部としてガイド溝を用い、前記ワイヤーと前記ガイド溝の壁とが、ワイヤー走行方向と並行な少なくとも２つの線で接触することによって、前記対極に対して、前記ワイヤーの背面部が遮蔽されることを特徴とする請求項１に記載の高速電着ワイヤー製造方法。
【請求項３】
ロール状のワイヤーのガイドロールであって、その周方向に形成された複数のガイド溝が、ロールの軸方向に対して一定ピッチで設けられ、少なくともその表面が非導電性である２つの前記ガイドロールを、ガイドロール軸を平行に、かつガイド溝を半ピッチずらして配置し、２つのガイドロールに交互に、そのガイド溝に沿って、半ピッチずつずらしながらワイヤーを螺旋状に巻きつけ、前記２つのガイドロールを回転させることによりワイヤーを走行させて、電着ワイヤーを製造する方法であって、ガイドロールとワイヤーが接触している区間で、対極とワイヤーとの間にめっき液が接し、前記対極に対して、少なくとも前記ワイヤーの背面部が遮蔽された区間で電着が行われ，かつワイヤーが螺旋状に走行することで発生するワイヤーの軸回転によって、ガイド溝にワイヤーが収まるごとに、前記ワイヤーの露出した部分を変化させることができることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の高速電着ワイヤー製造方法。
【請求項４】
前記２つのガイドロールの間で直線的に走行するワイヤーに接触するように、かつガイドロールの軸と平行に給電ロールを配置し、前記ワイヤーとガイド溝のピッチごとに接触し、接触箇所が給電点として作用することを特徴とする請求項３に記載の高速電着ワイヤー製造方法。
【請求項５】
ワイヤーのガイドロールの周方向に形成された複数のガイド溝が、ロールの軸方向に対して一定ピッチで設けられ、少なくともその表面が非導電性である２つの前記ガイドロールを、ガイドロール軸を平行に、かつガイド溝を半ピッチずらして配置し、２つのガイドロールに交互に、そのガイド溝に沿って、半ピッチずつずらしながらワイヤーを螺旋状に巻きつけ、前記２つのガイドロールを回転させることによりワイヤーを走行させて、ガイドロールとワイヤーが接触している区間で、対極とワイヤーとの間にめっき液が接し、前記ワイヤーと前記ガイド溝の壁とが、ワイヤー走行方向と並行な少なくとも２つの線で接触することによって、前記対極に対して、少なくとも前記ワイヤーの背面部が遮蔽された区間で電着が行われ、かつワイヤーが螺旋状に走行することで発生するワイヤーの軸回転によって、ガイド溝にワイヤーが収まるごとに、前記ワイヤーの露出した部分を変化させることができることを特徴とする高速電着ワイヤー製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、高速電着ワイヤー製造方法およびその製造装置に係り、より詳しくは、線径２００μｍ以下のピアノ線等のワイヤーに対して、微粒子を含む複合めっき被膜を形成するプロセスにおいて、投入電流を増加させ、高速に電着ワイヤーを製造できる製造方法、およびそれを用いた小型化が容易な製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種インゴットの切断には、加工能率の向上、難加工材への対応の点から、近年、固定砥粒ワイヤー、特にダイヤモンド電着ワイヤーが用いられるようになっている。しかし、電着ワイヤーは、レジンボンドワイヤーなどに比べて、製造速度が遅く、価格が高いことが問題となっている。一般に、電着ワイヤーは、線径１００乃至２００μｍのピアノ線に、粒径数十μｍのコーティングダイヤモンド砥粒を電着して製造する。一般的な製造方法においては、製造速度は毎秒数十ｍｍである。めっき液濃度も高くできないため、めっき槽が長くなり数十メートルと製造装置も大型である。この方式において製造速度を上げるためには、めっき浴を長く大きくするほかない。
【０００３】
特許文献１、特許文献２、非特許文献１および非特許文献２においては、それぞれ回転ドラム式めっき装置、液流式めっき法が提案されており、ピアノ線と砥粒の速度差をなくす手法を取り、装置の小型化とノンコート砥粒への対応を実現しているが、その製造速度は毎秒数十ｍｍであり，従来の製造方法とそれほど変わらない。
【０００４】
特許文献３および非特許文献３においては、ブラシやフィンを用いてピアノ線の近傍を強力に撹拌し、高電流密度での高速めっきによる高速製造（毎秒３００ｍｍ）を実現しているが、さらなる高速化のためには、やはり装置の大型化および複雑化が避けられない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１１０７０３号公報
【特許文献２】特開２０１０−２７４３５５号公報
【特許文献３】特開２０１１−０３８１７１号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】諏訪部  仁，秋  充，石川  憲一，「回転ドラム式メッキ装置によるダイヤモンドワイヤ工具の高速作製法の開発に関する研究」，砥粒加工学会誌，Ｖｏｌ．５６，Ｎｏ．１０，２０１２年１０月発行，第７０３頁乃至第７０８頁
【非特許文献２】諏訪部  仁，大口敦史，中村義弘，石川憲一，「液流式電着メッキ法を用いたダイヤモンドワイヤ工具の高速作製法の開発とその加工特性に関する研究」，砥粒加工学会誌，Ｖｏｌ．５４，Ｎｏ．５，２０１０年５月発行，第２９８頁乃至第３０３頁
【非特許文献３】谷泰弘，桐野宙治，「電着ダイヤモンドワイヤの高速製造技術の開発」，砥粒加工学会誌，Ｖｏｌ．５７，Ｎｏ．８，２０１３年８月発行、第４９８頁乃至第５０１頁
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上述した問題点を解決するために提案されたものであり、本発明の目的は、電着ワイヤー製造において、製造速度の高速化が容易であり、毎秒数百ｍｍ以上の製造速度と装置の小型化を可能とする高速電着ワイヤー製造方法およびその製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の実施形態による高速電着ワイヤー製造方法は、微粒子を分散させためっき液中において、ワイヤーを陰極、対極を陽極として、めっき液中の金属イオンを還元し、前記ワイヤーにめっき被膜を成長させ、前記微粒子を前記ワイヤーに電着して形成される電着めっき層を有する電着ワイヤー製造方法であって、前記対極に対して、前記ワイヤーの周方向の一部を遮蔽部により電流を遮蔽し、前記ワイヤーの露出した部分に電流を集中させ、前記電着めっき層を成長させる行程を有し、前記ワイヤーをその軸に対して回転させることにより、前記ワイヤーの露出した部分を回転させ、前記電着めっき層を前記ワイヤー全周に成長させることを特徴とする。
【０００９】
本発明の実施形態による高速電着ワイヤー製造方法は、前記遮蔽部としてガイド溝を用い、前記ワイヤーと前記ガイド溝の壁とが、ワイヤー走行方向と並行な少なくとも２つの線で接触することによって、前記対極に対して、前記ワイヤーの背面部が遮蔽されることを特徴とする。
【００１０】
本発明の実施形態による高速電着ワイヤー製造方法において、ロール状のワイヤーのガイドロールであって、その周方向に形成された複数のガイド溝が、ロールの軸方向に対して一定ピッチで設けられ、少なくともその表面が非導電性である２つの前記ガイドロールを、ガイドロール軸を平行に、かつガイド溝を半ピッチずらして配置し、２つのガイドロールに交互に、そのガイド溝に沿って、半ピッチずつずらしながらワイヤーを螺旋状に巻きつけ、前記２つのガイドロールを回転させることによりワイヤーを走行させて、電着ワイヤーを製造する方法であって、ガイドロールとワイヤーが接触している区間で、対極とワイヤーとの間にめっき液が接し、前記対極に対して、少なくとも前記ワイヤーの背面部が遮蔽された区間で電着が行われ，かつワイヤーが螺旋状に走行することで発生するワイヤーの軸回転によって、ガイド溝にワイヤーが収まるごとに、前記ワイヤーの露出した部分を変化させることができることを特徴とする。
【００１１】
本発明の実施形態による高速電着ワイヤー製造装置は、前記２つのガイドロールの間で直線的に走行するワイヤーに接触するように、かつガイドロールの軸と平行に給電ロールを配置し、前記ワイヤーとガイド溝のピッチごとに接触し、接触箇所が給電点として作用することを特徴とする。
【００１２】
本発明の実施形態による高速電着ワイヤー製造装置は、ワイヤーのガイドロールの周方向に形成された複数のガイド溝が、ロールの軸方向に対して一定ピッチで設けられ、少なくともその表面が非導電性である２つの前記ガイドロールを、ガイドロール軸を平行に、かつガイド溝を半ピッチずらして配置し、２つのガイドロールに交互に、そのガイド溝に沿って、半ピッチずつずらしながらワイヤーを螺旋状に巻きつけ、前記２つのガイドロールを回転させることによりワイヤーを走行させて、ガイドロールとワイヤーが接触している区間で、対極とワイヤーとの間にめっき液が接し、前記ワイヤーと前記ガイド溝の壁とが、ワイヤー走行方向と並行な少なくとも２つの線で接触することによって、前記対極に対して、少なくとも前記ワイヤーの背面部が遮蔽された区間で電着が行われ、かつワイヤーが螺旋状に走行することで発生するワイヤーの軸回転によって、ガイド溝にワイヤーが収まるごとに、前記ワイヤーの露出した部分を変化させることができることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の実施形態によれば、ワイヤーの側面の一部を対極に対して遮蔽し、露出部分にめっきを成長させることにより、同じ投入電流、同じワイヤー長さであっても、電流密度を高くし、短い区間において、砥粒を固着できる。
【００１４】
本発明の実施形態によれば、上記ガイド溝を利用する際、ワイヤーをその軸に対して回転させることにより、電着めっき部を回転させ、ワイヤーの側面全周に電着めっき層を形成できる。
【００１５】
本発明の実施形態によれば、狭ピッチで並べたワイヤーを螺旋状に走行させ、螺旋の１ループごとに給電点を取ることにより、給電点を複数取れる。１ループごとに投入できる最大電流が決まるため、螺旋のループ数を多くすることにより、大電流を投入できる。
【００１６】
本発明の実施形態によれば、狭ピッチで並べたワイヤーを螺旋状に走行させることにより、電着部の構造を小型化できる効果がある。
【００１７】
本発明の実施形態によれば、電着ワイヤー製造において、製造速度の高速化が容易であり、毎秒数百ｍｍ以上の製造速度と装置の小型化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一つの実施形態による電着ワイヤー製造装置の概要を示す図である。
【図２】本発明の一つの実施形態によるめっき槽の中のワイヤー供給部を示す概念図である。
【図３】図２を上から見た平面図である。
【図４】本発明の一つの実施形態による電着ワイヤー製造装置の電着部を示す詳細図である。
【図５】本発明の一つの実施形態による電着めっき層の形成過程を示す断面図である。
【図６】従来技術による電着めっき層の形成過程を示す断面図である。
【図７】（ａ）は、本発明の実施形態による電着ワイヤーへの電流経路を示す概念図であり、（ｂ）は、従来例による電着ワイヤーへの電流経路を示す概念図である。
【図８】実験により製造した電着ワイヤーの拡大図である。
【図９】（ａ）は電流値５Ａにより製造した電着ワイヤーのシリコンインゴット切断前の状態を示す図であり、（ｂ）は電流値５Ａにより製造した電着ワイヤーのシリコンインゴット切断後の状態を示す図である。
【図１０】（ａ）は電流値８Ａにより製造した電着ワイヤーのシリコンインゴット切断前の状態を示す図であり、（ｂ）は電流値８Ａにより製造した電着ワイヤーのシリコンインゴット切断後の状態を示す図である。
【図１１】電流値８Ａにより製造した電着ワイヤーにより切断されたシリコンインゴットの状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の実施形態を、添付した図面を参照して、該当技術分野に通常の技術を有する者（以下、当業者）に容易に理解できるように詳細に説明する。本発明の技術的な思想はここに開示する実施形態に限定されず、多様な形態に応用され得る。広く公知の部分に対する詳細な説明は、簡単にするために省略する。
【００２０】
図１は、本発明の実施形態による電着ワイヤー製造装置の概要を示す図である。
【００２１】
電着ワイヤー製造装置１０は前洗浄槽・前処理槽２０、めっき槽３０、めっき電源４０、モータＭ、ポンプＰ、最終洗浄槽５０からなる。
【００２２】
前洗浄槽・前処理槽２０においてめっき前のワイヤーの洗浄及び前処理を行う。
【００２３】
めっき槽３０においてめっき液中の金属イオンを還元し，前記ワイヤーにめっき被膜を成長させる。
【００２４】
めっき電源４０は、めっきのための電力を供給する。
【００２５】
モータＭは、ワイヤーの送り出しのため、後述する少なくともその表面が非導電性であるガイドロールに回転を与える。
【００２６】
ポンプＰはめっき槽のめっき液を循環させる。
【００２７】
最終洗浄槽５０はめっき後の電着ワイヤーの洗浄を行う。
【００２８】
図２は、本発明の実施形態によるめっき槽の中のワイヤー供給部を示す概念図である。
図３は、図２を上から見た平面図である。
図４は、本発明の実施形態による電着ワイヤー製造装置の電着部を示す詳細図である。
図２乃至４を参照すると、めっき槽３０内のワイヤー供給部１００は、少なくともその表面が非導電性である２つのガイドロール１２０と１つの給電ロール１３０および陽極である対極１４０からなる。
【００２９】
ガイドロール１２０は、その側面の円周上に設けられた狭ピッチのガイド溝１５０を有する。ガイドロール１２０の表面は非導電性であるため、ガイド溝１５０もワイヤーに対して非導電性である。ガイドロール１２０が回転することにより、ガイド溝１５０に沿って巻きつけられたワイヤー１６０を走行させる。ここで、「狭ピッチ」とは、隣接するワイヤーが接触せずに走行できる間隔を有するピッチを言い、少なくともワイヤー径の１．５倍である。
【００３０】
給電ロール１３０は、ワイヤー１６０に接触し、接触ポイントを給電点として作用し、ワイヤーを陰極とする。
【００３１】
ここで、線径２００μｍ以下のピアノ線等のワイヤー１６０に大電流を流すためには、複数箇所において給電点をとる必要がある。しかし、給電点はせっかく固着した砥粒を脱落させてしまうため、十分な電着状態においてワイヤー１６０を接点通過させる必要がある。給電点間距離を短くし、短時間で十分な電着状態を得るためには高い電流によるめっきが必須である。
【００３２】
図２乃至４に示す構成においては、ガイドロールの周方向に形成された複数のガイド溝が、ロールの軸方向に対して一定ピッチで設けられ、少なくともその表面が非導電性である２つの前記ガイドロールを、ガイドロール軸を平行に、かつガイド溝を半ピッチずらして配置し、２つのガイドロールに交互に、そのガイド溝に沿って、半ピッチずつずらしながらワイヤーを螺旋状に巻きつけ、前記２つのガイドロールを回転させることによりワイヤーを走行させて、前記２つのガイドロールの間で直線的に走行するワイヤーに接触するように、かつガイドロールの軸と平行に給電ロールを配置し、前記ワイヤーとガイド溝のピッチごとに接触し、接触箇所が給電点として作用することにより、給電点を複数取ることができる。又、１ループごとに投入できる最大電流が決まるため、螺旋のループ数を多くすることにより、大電流を投入できることになる。
【００３３】
また、図２乃至４に示す構成によれば、狭ピッチで並べたワイヤー１６０を螺旋状に走行させることにより、電着部の構造を小型化できる。
【００３４】
更に、ワイヤー１６０間のピッチを狭くすることにより、より多くのワイヤーを一度に処理できるため、装置の小型化が可能となる。
【００３５】
ワイヤー１６０の側面の周方向の一部を遮蔽部により電流を遮蔽し、残りの部分にめっきを成長させることにより、同じ投入電流、同じワイヤー長さであっても、電流密度を高くし、短い区間で、砥粒をより厚く固着できる。
短い電着区間を実現するため、給電点を多く取ることは、図２乃至４を参照して説明した。
以下では、図５乃至７を参照して、ワイヤー１６０の側面の一部をガイド溝１５０により遮蔽する方法を説明する。
【００３６】
図５は、本発明の実施形態による電着めっき層の形成過程を示す断面図である。
図６は、従来技術による電着めっき層の形成過程を示す断面図である。
図７（ａ）は、本発明の実施形態による電着ワイヤーへの電流経路を示す概念図であり、（ｂ）は、従来例による電着ワイヤーへの電流経路を示す概念図である。
【００３７】
図５を参照すると、ワイヤー１６０とガイド溝１５０の壁が少なくとも２つの線（断面図では２つの点）で接触することにより、対極１４０に対して、ワイヤー１６０の背面部をガイド溝１５０により遮蔽し、前記対極に対して、少なくとも前記ワイヤーの背面部が遮蔽された区間で電着が行われ，かつワイヤーが螺旋状に走行することで発生するワイヤーの軸回転によって、ガイド溝にワイヤーが収まるごとに、前記ワイヤーの露出した部分を変化させ複数の螺旋のループを走行する間に、ワイヤー１６０の全周に電着めっき層１７０を形成する。
【００３８】
これに対して、図６、図７（ｂ）に示す従来方法においては、ワイヤー１６０全周に同時に電着めっき層１７０を形成するため、図７（ｂ）に示すように、本発明に比べて電流密度Ｄが低くなる。
【００３９】
電着めっき層１７０の形成速度Ｔは、電流密度Ｄ、めっき液に浸漬し、めっき被膜が形成される状態にあるワイヤーの長さＬ、螺旋のループ回数Ｎに比例し、ワイヤー速度Vに反比例し、次式により与えられる。
Ｔ∝Ｄ・Ｌ・Ｎ／V
【００４０】
つまり、同じ電流密度においても、螺旋のループ回数ＮをＡ倍にすれば、ワイヤー速度をＡ倍にできることになる。たとえば，電流密度２００Ａ／ｄｍ２、ワイヤー速度１００ｍｍ／ｓｅｃにおいて螺旋のループ回数１０回を、２倍の２０回とすれば、２倍のワイヤー速度２００ｍｍ／ｓｅｃにより同等の電着ワイヤーが製造でき、４倍の４０回とすれば、４倍のワイヤー速度４００ｍｍ／ｓｅｃにより同等の電着ワイヤーが製造できる。さらに、電流密度を２倍の４００Ａ／ｄｍ２とすれば、さらに２倍のワイヤー速度８００ｍｍ／ｓｅｃにより同等の電着ワイヤーが製造できる。
【００４１】
一方、ワイヤーの螺旋のループ数を増やすことで、ガイドロール１２０の厚みは多少厚くなるが、狭ピッチでガイド溝１５０を作製すれば、その高さＨの増加は微々たるものである。たとえば、φ２００μｍのワイヤー径の２倍のピッチにより溝を作製したとしても、その溝ピッチは、４００μｍであり、螺旋のループ回数１０回で４ｍｍ、螺旋のループ回数４０回で１６ｍｍと、電着めっき層１７０を形成する大きさはほとんど変化がなく、小型化、高速化に優れるめっき手法であることがわかる。
【００４２】
ワイヤー１６０の側面の一部をガイド溝１５０により遮蔽する方法の場合、ワイヤー１６０の側面全面に電着めっき層１７０を形成するためには、ワイヤー１６０をワイヤーの軸に対して回転させなければならない。回転は、ワイヤー１６０を巻きつける２つのガイドロール１２０の側面に形成されたガイド溝１５０のピッチを互いにガイドロール１２０の軸方向にずらす配置により、ワイヤーの軸にガイド溝に対し角度を持たせ、ワイヤーを走行させることにより、ワイヤー１６０に回転を発生させることにより、電着めっき部を回転させ、全周に電着めっき層１７０を形成できる。
【００４３】
良好な電着ワイヤーが得られる電流密度を調べるために、φ１００ｍｍの表面が非導電性であるガイドロールを２つ用いて、図２、３に示す構成により、φ０．１ｍｍのワイヤーに、粒径１０乃至２０μｍのニッケルコーティング砥粒を電着し、電着ワイヤーを製造した。めっき浴はスルファミン酸ニッケルめっき浴を用いた。前記２つのガイドロール中心間距離１５０ｍｍ、ガイドロール径１００ｍｍ、ガイド溝のピッチ５ｍｍ、螺旋のループ回数は１０回、ワイヤー速度１００ｍｍ／ｓｅｃとし、電流値５乃至１０Ａの条件で実験を行った。このとき、ワイヤーが対極と対向している距離から計算した電流密度は、１５０乃至３００Ａ／ｄｍ２となる。
【００４４】
図８に、実験により製造した電着ワイヤーの拡大図を示す。
図８に示すように、ワイヤー全周に電着めっき層を形成できた。砥粒集中度は、電流値、めっき時間の増加に伴って増加した。
【００４５】
電流値５Ａ、８Ａにより製造した電着ワイヤーを用い、切断のためのワイヤー送り速度２００ｍｍ／ｓｅｃ、切断時間２０分、深さ方向送り速度１０μｍ／ｓｅｃ、深さ方向総送り量１２ｍｍの条件でシリコンインゴットの切断試験を行った。
【００４６】
図９（ａ）は電流値５Ａにより製造した電着ワイヤーのシリコンインゴット切断前の状態を示す図であり、（ｂ）は電流値５Ａにより製造した電着ワイヤーのシリコンインゴット切断後の状態を示す図である。
図１０（ａ）は電流値８Ａにより製造した電着ワイヤーのシリコンインゴット切断前の状態を示す図であり、（ｂ）は電流値８Ａにより製造した電着ワイヤーのシリコンインゴット切断後の状態を示す図である。
電流値５Ａにより製造した電着ワイヤーは電着強度が十分でなく電着めっき層が脱落したが、電流値８Ａにより製造した電着ワイヤーは十分な電着強度が得られた。
【００４７】
図１１は電流値８Ａにより製造した電着ワイヤーにより切断されたシリコンインゴットの状態を示す。
切り込み深さは、深さ方向総送り量と同じ１２ｍｍであり十分な切断性能を有していることが分かる。
結果として、電流密度２００Ａ／ｄｍ２以上の領域において良好な電着ワイヤーが得られた。
【００４８】
ここで、実験は電着ワイヤー製造時、ワイヤー速度１００ｍｍ／ｓｅｃにより行ったが、上述したように、螺旋のループ回数を増加させることにより、ワイヤー速度を速めることが可能である。
【００４９】
以上の説明において、ガイドロール１２０、給電ロール１３０、対極１４０の長さ方向は、鉛直方向に向いている例を示したが、本願はこれに限定されず、ガイドロール１２０、給電ロール１３０、対極１４０の長さ方向は水平方向に向いている場合、あるいは水平から傾いた方向に向いている場合も含む。
【符号の説明】
【００５０】
１０  電着ワイヤー製造装置
２０  前洗浄槽・前処理槽
３０  めっき槽
４０  めっき電源
５０  最終洗浄槽
１００  めっき槽内のワイヤー供給部
１２０  ガイドロール
１３０  給電ロール
１４０  対極
１５０  ガイド溝
１６０  ワイヤー
１７０  電着めっき層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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