(57)【要約】【課題】コストの上昇を抑制し、煩わしさを伴うことなく蓋部材を開閉可能な蓋部材開閉機構を提供する。【解決手段】プローバ１０は、筐体状の本体１２の上部に設けられた開閉可能なヘッドプレート１５と、本体１２及びヘッドプレート１５の間に介在し、本体１２側の端部にガイド２１を有する棒状のロッド１８と、本体１２に設けられてガイド２１と係合するガイド溝２０とを備え、ガイド溝２０は、ヘッドプレート１５を開蓋状態に維持するためにロッド１８の位置を規制する規制溝２３と、ヘッドプレート１５を閉蓋状態に移行させるためにロッド１８を本体１２の内部へ収容させる収容溝２２とを有し、ガイド溝２０は上部において規制溝２３及び収容溝２２に分岐し、規制溝２３は、開蓋状態におけるロッド１８の延伸方向上に存在し、ガイド２１と当接するストッパ部２３ａを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体状の本体と、該本体の上部に設けられた開閉可能な蓋部材とを備え、前記本体の内部に基板を収容して該基板の検査を行う基板検査装置における蓋部材開閉機構において、
前記蓋部材が開蓋状態になったときに前記本体及び前記蓋部材の間に介在し、本体側の端部に突出部を有する棒状の支持部材と、
前記本体に設けられ、前記突出部と係合するガイド溝とを備え、
前記突出部が前記ガイド溝に沿って移動することにより、前記支持部材を介して前記蓋部材の位置が調整され、
前記ガイド溝は、前記蓋部材を前記開蓋状態に維持するために前記支持部材の位置を規制する規制溝と、前記蓋部材を閉蓋状態に移行させるために前記支持部材を前記本体の内部へ収容させる収容溝とを有し、
前記ガイド溝は上部において前記規制溝及び前記収容溝に分岐し、前記規制溝は前記収容溝よりも短く、
前記規制溝は、前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向上に存在し、前記突出部と当接する当接部を有することを特徴とする蓋部材開閉機構。
【請求項２】
前記規制溝及び前記収容溝は前記本体の下方へ延伸し、
前記ガイド溝は、前記規制溝及び前記収容溝をそれぞれの上部において互いに連結させる連絡溝を有することを特徴とする請求項１記載の蓋部材開閉機構。
【請求項３】
前記規制溝及び前記収容溝は前記本体の下方へ延伸し、
前記規制溝及び前記収容溝はそれぞれの上部において直接互いに連結することを特徴とする請求項１記載の蓋部材開閉機構。
【請求項４】
前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向と、前記規制溝の延伸方向とは狭角をなすことを特徴とする請求項３記載の蓋部材開閉機構。
【請求項５】
前記規制溝は、前記支持部材が前記蓋部材と連結する部分を中心に回動する際、前記突出部が円弧運動可能な幅を有することを特徴とする請求項３又は４記載の蓋部材開閉機構。
【請求項６】
前記突出部は円柱状部材からなり、前記規制溝の幅は、前記突出部の直径の２倍以上であることを特徴とする請求項５記載の蓋部材開閉機構。
【請求項７】
筐体状の本体と、該本体の上部に設けられた開閉可能な蓋部材と、前記蓋部材を開閉させる蓋部材開閉機構とを備え、前記本体の内部に基板を収容して該基板の検査を行う基板検査装置において、
前記蓋部材開閉機構は、前記蓋部材が開蓋状態になったときに前記本体及び前記蓋部材の間に介在し、本体側に突出部を有する棒状の支持部材と、前記本体に設けられ、前記突出部と係合するガイド溝とを有し、
前記突出部が前記ガイド溝に沿って移動することにより、前記支持部材を介して前記蓋部材の位置が調整され、
前記ガイド溝は、前記蓋部材を前記開蓋状態に維持するために前記支持部材の位置を規制する規制溝と、前記蓋部材を閉蓋状態に移行させるために前記支持部材を前記本体の内部へ収容させる収容溝とを有し、
前記ガイド溝は上部において前記規制溝及び前記収容溝に分岐し、前記規制溝は前記収容溝よりも短く、
前記規制溝は、前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向上に存在し、前記突出部と当接する当接部を有することを特徴とする基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、筐体状の本体を有する基板検査装置の蓋部材の状態を開状態及び閉状態のそれぞれに維持する蓋部材開閉機構及び基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）に形成された半導体デバイス、例えば、パワーデバイスやメモリの電気的特性を検査する装置としてプローバが知られている。
【０００３】
プローバは、多数のプローブ針を有する円板状のプローブカードと、ウエハを載置して上下左右に自在に移動するステージと、該ステージを内蔵する筐体状の本体とを備え、該本体の内部においてプローブカードの各プローブ針を半導体デバイスが有する電極パッドや半田バンプに接触させ、各プローブ針から電極パッドや半田バンプへ検査電流を流すことによって半導体デバイスの電気的特性を検査する（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
ステージは載置するウエハに形成された半導体デバイスの電極パッドや半田バンプへ各プローブ針を正確に正対させるために精密に移動する必要があり、精密な移動を実現するためにステージには定期的なメンテナンスを施す必要がある。
【０００５】
これに対応して、ステージをメンテナンスする際に作業者が容易にステージを取り扱いすることができるように、本体の上部には開閉可能なヘッドプレートが設けられ、ヘッドプレートが開蓋すると本体の内部のステージが暴露される。
【０００６】
通常、ヘッドプレートの一端は本体の上部に設けられたヒンジ機構に接続され、ヘッドプレートはヒンジ機構を中心に回動することによって開蓋するが、開蓋状態を維持するために、図６に示すように、ヘッドプレート６０と本体６１の間にロッド状の支持部材６２を介在させる。
【０００７】
本体６１の上部には、支持部材６２のロック機構７０が設けられ（図７（Ａ））、ヘッドプレート６０を開蓋してヘッドプレート６０と本体６１の間にロッド状の支持部材６２を介在させる際、ロック機構７０から突出した突出部７１が支持部材６２に設けられた凹部６３に嵌合することにより、支持部材６２の移動が阻止されて該支持部材６２がヘッドプレート６０の開蓋状態を維持する（図７（Ｂ））。
【０００８】
また、ヘッドプレート６０を閉蓋する際、支持部材６２が本体６１の内部へ突出しないように、折り畳み可能な構造を有する支持部材６２ａが提案されている（図８（Ａ））（例えば、特許文献２参照。）。
【０００９】
この支持部材６２ａは屈曲点６２ｂを境に上部材６２ｃ及び下部材６２ｄに分かれ、屈曲点６２ｂにおいてロック機構６２ｅが設けられる。ロック機構６２ｅは、下部材６２ｄの上端に設けられたフック６２ｆと、上部材６２ｃの下端に設けられたスライド可能なシャフト６２ｇとからなり（図８（Ｂ））、フック６２ｆをシャフト６２ｇに係合させた後にシャフト６２ｇをスライドさせてフック６２ｆへ押圧させることにより、フック６２ｆをシャフト６２ｇへ固定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平７―２９７２４２号公報
【特許文献２】特開２０１１−１６３８２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上述した支持部材６２，６２ａのいずれもロック機構７０，６２ｅを必要とするため、構造が複雑となり、コストの上昇を招く。また、ヘッドプレート６０を開閉する際、作業者は、支持部材６２，６２ａを保持するだけでなく、ロック機構７０，６２ｅを操作する必要があるため、ヘッドプレート６０の開閉に煩わしさが伴う。
【００１２】
本発明の目的は、コストの上昇を抑制し、煩わしさを伴うことなく蓋部材を開閉可能な蓋部材開閉機構及び基板検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明は、筐体状の本体と、該本体の上部に設けられた開閉可能な蓋部材とを備え、前記本体の内部に基板を収容して該基板の検査を行う基板検査装置における蓋部材開閉機構において、前記蓋部材が開蓋状態になったときに前記本体及び前記蓋部材の間に介在し、本体側に突出部を有する棒状の支持部材と、前記本体に設けられ、前記突出部と係合するガイド溝とを備え、前記突出部が前記ガイド溝に沿って移動することにより、前記支持部材を介して前記蓋部材の位置が調整され、前記ガイド溝は、前記蓋部材を前記開蓋状態に維持するために前記支持部材の位置を規制する規制溝と、前記蓋部材を閉蓋状態に移行させるために前記支持部材を前記本体の内部へ収容させる収容溝とを有し、前記ガイド溝は上部において前記規制溝及び前記収容溝に分岐し、前記規制溝は前記収容溝よりも短く、前記規制溝は、前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向上に存在し、前記突出部と当接する当接部を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ガイド溝は、蓋部材を開蓋状態に維持するために支持部材の位置を規制する規制溝と、蓋部材を閉蓋状態に移行させるために支持部材を本体の内部へ収容させる収容溝とを有し、規制溝は、開蓋状態における支持部材の延伸方向上に存在し、突出部と当接する当接部を有する。当接部は突出部と当接し、当該突出部を介して支持部材の移動を阻止することができる。すなわち、支持部材の移動を阻止するために新たな機構を設ける必要が無いので、コストの上昇を抑制することができる。また、作業者は支持部材の突出部を規制溝へ移動させるだけで蓋部材を開蓋状態に維持することができ、さらに、作業者は支持部材の突出部を収容溝へ移動させるだけで蓋部材を閉蓋状態に移行させることができるので、煩わしさを伴うことなく蓋部材を開閉することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る蓋部材開閉機構が適用される基板検査装置としてのプローバの構成を概略的に説明する斜視図である。
【図２】図１におけるヘッドプレートの開閉機構の構成を概略的に示す側面図である。
【図３】図２におけるガイド板を示す部分拡大側面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る蓋部材開閉機構の構成を概略的に示す側面図である。
【図５】図４におけるガイド板を示す部分拡大側面図である。
【図６】従来の基板検査装置における蓋部材開閉機構の構成を概略的に示す斜視図である。
【図７】従来の蓋部材開閉機構におけるロック機構の作動を説明するための工程図である。
【図８】従来の蓋部材開閉機構の変形例の構成を概略的に示す図であり、図８（Ａ）は側面図であり、図８（Ｂ）はロック機構の拡大部分斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１７】
まず、本発明の第１の実施の形態に係る蓋部材開閉機構について説明する。
【００１８】
図１は、本実施の形態に係る蓋部材開閉機構が適用される基板検査装置としてのプローバの構成を概略的に説明する斜視図である。
【００１９】
図１において、プローバ１０は、ウエハＷを載置するステージ１１を内蔵する本体１２と、該本体１２に隣接して配置されるローダ１３と、本体１２を覆うように配置されるテストヘッド１４とを備え、大口径、例えば、直径が３００ｍｍや４５０ｍｍのウエハＷに形成された半導体デバイスの電気的特性の検査を行う。
【００２０】
本体１２は内部が空洞の筐体形状を呈し、当該本体１２の上部には、テストヘッド１４を本体１２から除去した際に、開蓋することによってステージ１１を暴露するヘッドプレート１５が設けられる。ヘッドプレート１５は略矩形の平板状部材からなり、その略中心部には、ヘッドプレート１５の閉蓋時にステージ１１に載置されたウエハＷの上方で開口する開口部１５ａが設けられ、該開口部１５ａには、略円板状のプローブカードホルダを介して円板状のプローブカードが嵌合される（いずれも図示しない）。これにより、プローブカードはウエハＷと対向する。また、ウエハＷはステージ１１に対する相対位置がずれないように該ステージ１１へ吸着される。
【００２１】
テストヘッド１４は方体形状を呈し、本体１２上に設けられたヒンジ機構１６によって上方向へ回動可能に構成される。テストヘッド１４が本体１２を覆う際、該テストヘッド１４はコンタクトリング（図示しない）を介してプローブカードと電気的に接続される。また、テストヘッド１４はプローブカードから伝送される半導体デバイスの電気的特性を示す電気信号を測定データとして記憶するデータ記憶部や該測定データに基づいて検査対象のウエハＷの半導体デバイスの電気的な欠陥の有無を判定する判定部（いずれも図示しない）を有する。
【００２２】
ローダ１３は、搬送容器であるＦＯＵＰ（図示しない）に収容される、半導体デバイスが形成されたウエハＷを取り出して本体１２のステージ１１へ載置し、また、半導体デバイスの電気的特性の検査が終了したウエハＷをステージ１１から除去してＦＯＵＰへ収容する。
【００２３】
プローブカードにおけるウエハＷと対向する面にはウエハＷに形成された半導体デバイスの電極パッドや半田バンプに対応して多数のプローブ針が配置される。ステージ１１はプローブカード及びウエハＷの相対位置を調整して半導体デバイスの電極パッド等を各プローブ針へ当接させる。
【００２４】
図２は、図１におけるヘッドプレートの開閉機構の構成を概略的に示す側面図である。図２では、蓋部材開閉機構を説明するために本体１２の一部が透過して示され、さらに閉蓋状態のヘッドプレート１５が実線で示され、開蓋状態のヘッドプレート１５が破線で示される。
【００２５】
図２において、ヘッドプレート１５の一端は本体１２の上部に設けられたヒンジ機構１７に接続され、ヘッドプレート１５はヒンジ機構１７を中心に回動することによって開蓋する。
【００２６】
また、ヘッドプレート１５の一端とは反対側の他端（以下、単に「他端」という。）の近傍において、当該ヘッドプレート１５の下面側には支持部材である棒状のロッド１８の一端が回動可能に接続される。ヘッドプレート１５の開蓋状態において、ロッド１８はヘッドプレート１５及び本体１２の間に介在し、ヘッドプレート１５の開蓋状態を維持するように本体１２に対してヘッドプレート１５を支持する。
【００２７】
本体１２の内部には、閉蓋状態のヘッドプレート１５の他端に対向するように、ガイド板１９が本体１２の上下方向に沿って立設される。ガイド板１９にはガイド溝２０が設けられ、該ガイド溝２０には、ロッド１８の他端に設けられてロッド１８の側方に突出する突起状のガイド２１（突出部）が係合する。
【００２８】
ガイド板１９において、ガイド溝２０は、本体１２の上下方向に沿って形成され、ほぼガイド板１９の下端近傍まで形成される収容溝２２と、収容溝２２と略平行に形成され、収容溝２２よりも短く、例えば、収容溝２２の約１／２程度に形成される規制溝２３とを有する。また、ガイド溝２０は、収容溝２２及び規制溝２３をそれぞれの上部において互いに連結させる連絡溝２４を有する。
【００２９】
規制溝２３は収容溝２２よりもヒンジ機構１７の近くに形成され、連絡溝２４は規制溝２３の上部から収容溝２２の上部へ向けて斜め下方に延伸する。すなわち、連絡溝２４はヒンジ機構１７から離れるに従って下降するように傾斜する。
【００３０】
なお、本実施の形態ではロッド１８及びガイド溝２０が蓋部材開閉機構を構成する。
【００３１】
図３は、図２におけるガイド板を示す部分拡大側面図である。
【００３２】
図３において、規制溝２３の下端は半円状に形成され、該下端は開蓋状態におけるロッド１８のガイド２１の円柱状のシャフト部２１ａと当接する部位（以下、「ストッパ部」という。）２３ａを有する。ストッパ部２３ａはガイド２１及びロッド１８を介してヘッドプレート１５を支持する。ここで、規制溝２３は収容溝２２よりも短く、ストッパ部２３ａは本体１２に関して収容溝２２の下端よりも上方に位置するので、ストッパ部２３ａはヘッドプレート１５の開蓋状態を維持する（図中「状態Ａ」参照。）。
【００３３】
ガイド溝２０では、収容溝２２、規制溝２３及び連絡溝２４のいずれの幅もガイド２１のシャフト２１ａの直径より大きく設定されるため、作業者は比較的に軽い力でガイド２１を収容溝２２、規制溝２３及び連絡溝２４に沿って移動させることができる。
【００３４】
ヘッドプレート１５を開蓋状態から閉蓋状態へ移行させる際、作業者はロッド１８を保持しながら、ガイド２１を規制溝２３のストッパ部２３ａから離間させ、規制溝２３及び連絡溝２４の連結部まで引き上げる。
【００３５】
次いで、作業者は、ガイド２１を連絡溝２４に沿って収容溝２２へ向けて移動させる。連絡溝２４は、上述したように、斜め下方に形成されてロッド１８の延伸方向とほぼ平行であるため、ヘッドプレート１５やロッド１８の自重に起因するロッド１８からの荷重が殆ど連絡溝２４の側壁等へ作用しない（図中「状態Ｂ」参照。）。これにより、作業者は連絡溝２４においてガイド２１を円滑に移動させることができる。
【００３６】
次いで、作業者は、ガイド２１を収容溝２２へ引きこみ（図中「状態Ｃ」参照。）、さらに、ガイド２１を収容溝２２の下端まで下降させる。ここで、上述したように、収容溝２２はほぼガイド板１９の下端近傍まで形成されるため、ガイド２１が収容溝２２の下端まで下降すると、ロッド１８の全体が本体１２の内部に収容されてヘッドプレート１５を閉蓋状態へ移行させる（図中「状態Ｄ」参照。）。
【００３７】
ヘッドプレート１５を閉蓋状態から開蓋状態へ移行させる際、作業者は、ガイド２１を収容溝２２の下端から連絡溝２４を経由して規制溝２３の上部まで引き上げ、その後、規制溝２３のストッパ部２３ａまで下降させる。
【００３８】
本実施の形態に係る蓋部材開閉機構によれば、ガイド溝２０は、ヘッドプレート１５を開蓋状態に維持するためにロッド１８の位置を規制する規制溝２３と、ヘッドプレート１５を閉蓋状態に移行させるためにロッド１８を本体１２の内部へ収容させる収容溝２２とを有し、規制溝２３は、開蓋状態におけるロッド１８の延伸方向上に存在し、ガイド２１のシャフト部２１ａと当接するストッパ部２３ａを有する。ストッパ部２３ａはガイド２１のシャフト部２１ａと当接し、ガイド２１を介してロッド１８の移動を阻止することができる。すなわち、ロッド１８の移動を阻止するために新たな機構を設ける必要が無いので、コストの上昇を抑制することができる。また、作業者はロッド１８のガイド２１を収容溝２２から規制溝２３へ移動させるだけでヘッドプレート１５を開蓋状態に維持することができ、さらに、作業者はロッド１８のガイド２１を規制溝２３から収容溝２２へ移動させるだけでヘッドプレート１５を閉蓋状態に移行させることができるので、煩わしさを伴うことなくヘッドプレート１５を開閉することができる。
【００３９】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る蓋部材開閉機構について説明する。
【００４０】
本実施の形態は、その構成や作用が上述した第１の実施の形態と基本的に同じであり、ガイド板２５におけるガイド溝２６の形状のみが上述した第１の実施の形態と異なる。したがって、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
【００４１】
図４は、本実施の形態に係る蓋部材開閉機構の構成を概略的に示す側面図である。図４でも、蓋部材開閉機構を説明するために本体１２の一部が透過して示され、さらに閉蓋状態のヘッドプレート１５が実線で示され、開蓋状態のヘッドプレート１５が破線で示される。
【００４２】
図４において、ガイド板１９と同様に本体１２の内部に立設されるガイド板２５にはガイド溝２６が設けられ、該ガイド溝２６には、ロッド１８のガイド２１が係合する。ガイド板２５において、ガイド溝２６は、本体１２の上下方向に沿って形成され、ほぼガイド板２５の下端近傍まで形成される収容溝２７と、収容溝２７よりもヒンジ機構１７の近くに形成され、上部において直接収容溝２７へ連結する規制溝２８とを有する。規制溝２８は収容溝２７の上部へ向けて斜め上方に延伸する。すなわち、規制溝２８はヒンジ機構１７から離れるに従って上昇するように傾斜する。
【００４３】
なお、本実施の形態ではロッド１８及びガイド溝２６が蓋部材開閉機構を構成する。
【００４４】
図５は、図４におけるガイド板を示す部分拡大側面図である。
【００４５】
図５において、規制溝２８の下端は角部が円形処理されたコの字形状を呈し、該下端は開蓋状態におけるロッド１８のガイド２１のシャフト部２１ａと当接するストッパ部２８ａを有する。ストッパ部２８ａも、ストッパ部２３ａと同様に、ガイド２１及びロッド１８を介してヘッドプレート１５を支持し、ヘッドプレート１５の開蓋状態を維持する（図中「状態Ａ」参照。）。
【００４６】
規制溝２８の上方延伸角は、開蓋状態（図中「状態Ａ」参照。）において、ロッド１８の延伸方向と、規制溝２８の延伸方向とは狭角をなすように、例えば、互いの交差角が７０°以下になるように設定される。
【００４７】
ガイド溝２６では、収容溝２７及び規制溝２８のいずれの幅もガイド２１のシャフト２１ａの直径より大きく設定されるため、作業者は比較的に軽い力でガイド２１を収容溝２７、規制溝２８及び連絡溝２４に沿って移動させることができる。特に、規制溝２８は、当該規制溝２８の内部においてストッパ部２８ａから引き上げられたガイド２１がロッド１８の一端を中心とする回動運動（図中一点鎖線でその軌跡が示される。）可能な幅、例えば、ガイド２１のシャフト部２１ａの直径の２倍以上の幅を有する。
【００４８】
ヘッドプレート１５を開蓋状態から閉蓋状態へ移行させる際、作業者はロッド１８を保持しながら、ガイド２１を規制溝２８のストッパ部２８ａから引き上げ、ロッド１８の一端を中心とする回動運動によってガイド２１を収容溝２７の上部まで移動させる（図中「状態Ｂ」参照。）。上述したように、規制溝２８は、ガイド２１がロッド１８の一端を中心とする回動運動可能な幅を有するので、作業者はガイド２１をストッパ部２８ａから収容溝２７の上部まで円滑に移動させることができる。
【００４９】
次いで、作業者は、ガイド２１を収容溝２７へ引きこみ（図中「状態Ｃ」参照。）、さらに、ガイド２１を収容溝２７の下端まで下降させることにより、ロッド１８を本体１２の内部に収容してヘッドプレート１５を閉蓋状態へ移行させる（図中「状態Ｄ」参照。）。
【００５０】
ヘッドプレート１５を閉蓋状態から開蓋状態へ移行させる際、作業者は、ガイド２１を収容溝２７の下端から収容溝２７の上部まで引き上げ、ガイド２１を規制溝２８の内部において回動運動させ、その後、ガイド２１をストッパ部２８ａまで下降させる。
【００５１】
本実施の形態に係る蓋部材開閉機構によれば、規制溝２８及び収容溝２７はそれぞれの上部において直接互いに連結するので、作業者はロッド１８のガイド２１を規制溝２８及び収容溝２７のそれぞれへ容易に移動させることができる。
【００５２】
また、本実施の形態に係る蓋部材開閉機構によれば、開蓋状態におけるロッド１８の延伸方向と、規制溝２８の延伸方向とは狭角をなすので、ロッド１８のガイド２１がヘッドプレート１５やロッド１８の自重に起因して規制溝２８に沿って移動するのを防止することができる。
【００５３】
以上、本発明について、上記実施の形態を用いて説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００５４】
Ｗ  ウエハ
１１  ステージ
１２  本体
１５  ヘッドプレート
１８  ロッド
２０，２６  ガイド溝
２１  ガイド
２２，２７  収容溝
２３  規制溝
２３ａ  ストッパ部
２４，２８  連絡溝
【図１】
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【図２】
2015103560.tif 000004
【図３】
2015103560.tif 000005
【図４】
2015103560.tif 000006
【図５】
2015103560.tif 000007
【図６】
2015103560.tif 000008
【図７】
2015103560.tif 000009
【図８】
2015103560.tif 000010