(57)【要約】【課題】マシニングセンタによるワークの加工部をインラインで精度良く採寸できるようにするとともに、その採寸精度の低下を防止する。【解決手段】治具１８のマスターリング３３を用いて、主軸１４に装着したタッチプローブ４０の接触子４２の芯出しを行なった後、接触子４２をマスターリング３３の内周面に接触させて座標位置を計測し、この座標位置と芯出しを行なったときの座標位置とに基づいて、マスターリング３３の中心から当該接触点までの距離を算出し、この距離に基づいてタッチプローブ４０による測定精度を判定し、この測定精度が所定レベル以上であるときに、タッチプローブ４０によるワークＷの加工部の採寸を行なう。【選択図】図２
2015039732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
治具に保持されて工作機械によって加工されたワークの加工部の寸法を該工作機械の主軸に装着したタッチプローブによって測定する方法であって、
上記主軸の軸心を上記治具に設けられたマスターリングの中心に位置付け、該主軸を移動させて上記タッチプローブの接触子を上記マスターリングの内周面に接触させたときの該主軸の移動距離に基づいて上記主軸の軸心に対する上記接触子の位置ずれ量を算出するステップと、
上記位置ずれ量に基づいて上記タッチプローブの接触子を上記マスターリングの中心に位置付ける芯出しステップと、
上記タッチプローブの接触子を上記マスターリングの内周面に接触させて上記主軸の座標位置を計測し、この座標位置と上記芯出しを行なったときの上記主軸の座標位置とに基づいて、上記マスターリングの中心から当該接触点までの距離を算出し、この距離に基づいて上記タッチプローブによる測定精度を判定するステップとを備え、
上記測定精度が所定レベル以上であるときに、上記タッチプローブの接触子を上記ワークの加工部に接触させて、該加工部の寸法を算出することを特徴とするワーク加工部測定方法。
【請求項２】
請求項１において、
上記位置ずれ量を算出するステップでは、上記主軸の軸心を上記マスターリングの中心に位置付け、上記接触子を上記マスターリング内周面の上記主軸方向と直交する第１方向に相対する２点各々に接触させたときの該主軸の移動距離に基づいて該第１方向における上記接触子の位置ずれ量を算出し、上記接触子を上記マスターリング内周面の上記主軸方向及び上記第１方向と直交する第２方向に相対する２点各々に接触させたときの該主軸の移動距離に基づいて該第２方向における上記接触子の位置ずれ量を算出することを特徴とするワーク加工部測定方法。
【請求項３】
先端に接触子を備えたタッチプローブ及び加工工具を選択的に装着する主軸と、
加工すべきワークを保持する治具と、
上記治具に設けられたマスターリングと、
上記主軸の軸心を上記マスターリングの中心に位置付け、該主軸を移動させて上記タッチプローブの接触子を上記マスターリングの内周面に接触させたときの該主軸の移動距離に基づいて上記主軸の軸心に対する上記接触子の位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、
上記位置ずれ量に基づいて上記タッチプローブの接触子を上記マスターリングの中心に位置付ける芯出し手段と、
上記タッチプローブの接触子を上記マスターリングの内周面に接触させて上記主軸の座標位置を計測し、この座標位置と上記芯出しを行なったときの上記主軸の座標位置とに基づいて、上記マスターリングの中心から当該接触点までの距離を算出し、この距離に基づいて上記タッチプローブによる測定精度を判定する測定精度判定手段と、
上記測定精度が所定レベル以上であるときに、上記タッチプローブの接触子を上記ワークの加工部に接触させて、該加工部の寸法を算出する加工部採寸手段とを備えていることを特徴とする工作機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は工作機械及び工作機械を用いたワーク加工部測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、エンジンのシリンダブロックは工作機械により多方向から加工される。このようなワークを加工する工作機械としては、例えば、マシニングセンタが知られている。マシニングセンタは、ワークを保持する治具を鉛直軸まわりに回転する加工テーブルと、加工工具を装着する水平に設けた主軸とを備え、所定のプログラムによって工具を自動交換しながらワークに所定の加工を行なう。ワークは、その加工のために、マシニングセンタの機械座標系における所定の加工位置に配置され、その位置から移動することがないように治具によって保持される。マシニングセンタの場合、主軸の方向がＺ軸方向、鉛直方向がＹ軸方向、Ｚ軸とＹ軸とに直交する方向がＸ軸方向となるＸＹＺ座標系を持つ。
【０００３】
マシニングセンタによるワークの加工においては、その加工精度を高めるために、治具の座標位置をタッチプローブで計測し、この計測値に応じて加工用データを補正することが行なわれている。その場合、タッチプローブによる計測値の信頼性が問題になる。例えば、タッチプローブに撓みを生じている場合は、得られる治具座標位置を精度良く計測することができないから、結果的にワークの加工精度が低くなる。
【０００４】
これに対して、特許文献１には、治具に設けられたマスターリングとテスター（ダイヤルゲージ）を利用してタッチプローブによる治具座標位置の計測精度を向上させることが記載されている。それは、主軸にテスターを装着してマスターリングの座標位置を計測し、次に主軸にタッチプローブを装着してマスターリングの座標位置を計測し、両座標位置の差をもって、タッチプローブによる治具座標位置の計測値を補正するというものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−６４１８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、工作機械によるワークの加工後、所期の精度で加工が行なわれているか否かを判定するために、タッチプローブによってその加工部の採寸をすることが行なわれている。このタッチプローブによる採寸においてもタッチプローブの計測値の信頼性が重要になる。
【０００７】
これに対して、上述のテスターによってタッチプローブの芯出しを行なう方法では、テスターを主軸に装着としたときに主軸の軸心に対するテスター軸心の位置ずれがあると、タッチプローブの計測値の補正が不正確になる。例えば、テスターを主軸にコレットチャックで装着したときの各コレット爪の移動量の違いによって上記軸心同士のずれを生ずる。また、タッチプローブの接触子は一般に球形状になっているが、ワークとの接触によって次第に摩耗していく。接触子が摩耗している場合、例えば、穴径の計測において穴径が実際よりも大きいと計測されてしまう。このように、タッチプローブの接触子に摩耗等の経年変形を生じているときは、加工部の採寸精度が低下する。
【０００８】
そこで、本発明は、ワーク加工部の寸法をインラインで精度良く測定できるようにするとともに、その採寸精度の低下を防止する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するために、治具に設けられたマスターリングを用いて、タッチプローブによる測定精度の判定を行ない、その測定精度が所定レベル以上であるときにワーク加工部の採寸を行なうようにした。以下、具体的に説明する。
【００１０】
ここに提示するワーク加工部測定方法は、治具に保持されて工作機械によって加工されたワークの加工部の寸法を該工作機械の主軸に装着したタッチプローブによって測定する方法であって、
上記主軸の軸心を上記治具に設けられたマスターリングの中心に位置付け、該主軸を移動させて上記タッチプローブの接触子を上記マスターリングの内周面に接触させたときの該主軸の移動距離に基づいて上記主軸の軸心に対する上記接触子の位置ずれ量を算出するステップと、
上記位置ずれ量に基づいて上記タッチプローブの接触子を上記マスターリングの中心に位置付ける芯出しステップと、
上記タッチプローブの接触子を上記マスターリングの内周面に接触させて上記主軸の座標位置を計測し、この座標位置と上記芯出しを行なったときの上記主軸の座標位置とに基づいて、上記マスターリングの中心から当該接触点までの距離を算出し、この距離に基づいて上記タッチプローブによる測定精度を判定するステップとを備え、
上記測定精度が所定レベル以上であるときに、上記タッチプローブの接触子を上記ワークの加工部に接触させて、該加工部の寸法を算出することを特徴とする。
【００１１】
また、ここに提示する工作機械は、上記ワーク加工部測定方法の実施に直接使用するものであって、
先端に接触子を備えたタッチプローブ及び加工工具を選択的に装着する主軸と、
加工すべきワークを保持する治具と、
上記治具に設けられたマスターリングと、
上記主軸の軸心を上記マスターリングの中心に位置付け、該主軸を移動させて上記タッチプローブの接触子を上記マスターリングの内周面に接触させたときの該主軸の移動距離に基づいて上記主軸の軸心に対する上記接触子の位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、
上記位置ずれ量に基づいて上記タッチプローブの接触子を上記マスターリングの中心に位置付ける芯出し手段と、
上記タッチプローブの接触子を上記マスターリングの内周面に接触させて上記主軸の座標位置を計測し、この座標位置と上記芯出しを行なったときの上記主軸の座標位置とに基づいて、上記マスターリングの中心から当該接触点までの距離を算出し、この距離に基づいて上記タッチプローブによる測定精度を判定する測定精度判定手段と、
上記測定精度が所定レベル以上であるときに、上記タッチプローブの接触子を上記ワークの加工部に接触させて、該加工部の寸法を算出する加工部採寸手段とを備えていることを特徴とする。
【００１２】
以下、具体的に説明すると、主軸の軸心に対するタッチプローブの接触子の位置ずれを補正すれば、それだけ、このタッチプローブによるワーク加工部の採寸精度が高くなる。しかし、タッチプローブの接触子自体に例えば摩耗等の経年変形を生じているときは、その変形量がそのまま採寸結果に反映され、採寸誤差となる。
【００１３】
そこで、本発明では、主軸の軸心に対するタッチプローブの接触子の位置ずれを補正（芯出し）した後、タッチプローブの接触子をマスターリングの内周面に接触させて、マスターリングの中心から当該接触点までの距離を算出し、この距離に基づいてタッチプローブの測定精度を判定するようにした。つまり、タッチプローブの接触子に変形を生じているときはその変形量が上記距離に反映されることを利用して、タッチプローブの劣化度を言わば自己診断するものである。
【００１４】
そうして、タッチプローブによる測定精度が所定レベル以上であるときに、当該タッチプローブによるワーク加工部の採寸を行なうから、採寸精度を高く維持することができる。
【００１５】
上記ワーク加工部測定方法において、上記位置ずれ量を算出するステップでは、上記主軸の軸心を上記マスターリングの中心に位置付け、上記接触子を上記マスターリング内周面の上記主軸方向と直交する第１方向に相対する２点各々に接触させたときの該主軸の移動距離に基づいて該第１方向における上記接触子の位置ずれ量を算出し、上記接触子を上記マスターリング内周面の上記主軸方向及び上記第１方向と直交する第２方向に相対する２点各々に接触させたときの該主軸の移動距離に基づいて該第２方向における上記接触子の位置ずれ量を算出することが好ましい。これにより、主軸の軸心に対するタッチプローブの接触子の位置ずれ量を確実に算出することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、タッチプローブの接触子をマスターリングの内周面に接触させて主軸の軸心に対する接触子の位置ずれ量を算出し、この位置ずれ量に基づいて主軸の軸心に対するタッチプローブの接触子の位置ずれを補正するとともに、タッチプローブの接触子をマスターリングの内周面に接触させてマスターリングの中心から当該接触点までの距離を算出し、この距離に基づいて上記タッチプローブによる測定精度を判定した上で、当該タッチプローブによるワーク加工部の採寸を行なうようにしたから、つまり、接触子の経年変形等による劣化度を診断した上で採寸を行なうようにしたから、ワーク加工部の寸法をインラインで精度良く測定することができ、しかも、その採寸精度の低下が防止される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】工作機械としてのマシニングセンタの概略を示す斜視図である。
【図２】タッチプローブとマスターリングとの関係を示す側面図である。
【図３】マシニングセンタの制御系を示すブロック図である。
【図４】タッチプローブの測定精度判定およびワーク加工部採寸の制御フロー図である。
【図５】主軸の軸心Ｃｓとタッチプローブの接触子の中心Ｃｔの関係を示すＸＹ平面図である。
【図６】タッチプローブの接触子のＸ軸方向の芯出しを説明するＸＹ平面図である。
【図７】タッチプローブの接触子のＹ軸方向の芯出しを説明するＸＹ平面図である。
【図８】マスターリングの中心Ｃｍからその内周面までの距離の測定を説明するＸＹ平面図である。
【図９】加工穴の内径を測定するときのタッチプローブの接触子の芯出しを説明する断面図である。
【図１０】加工穴の内径を測定するときのタッチプローブの接触子の移動を説明するＸＹ平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
【００１９】
図１は本発明に係る工作機械としてのマシニングセンタ１０を示す。マシニングセンタ１０は、機械座標系としてＸ、Ｙ、Ｚ軸からなるＸＹＺ座標系をもつ。そのＸ軸およびＺ軸は水平方向であり、Ｙ軸は鉛直方向である。
【００２０】
マシニングセンタ１０は、ドリル、エンドミル、フライスカッタなどの加工工具１２を装着しＺ軸と平行な軸心Ｃｓ周りに回転させる主軸（スピンドル）１４と、主軸１４をＸ軸およびＹ軸の各方向に移動させる駆動機構（各サーボモータ）を備えたコラム１６と、ワークＷを保持する治具１８を載せる加工テーブル２０と、加工テーブル２０をＹ軸と平行な軸心周りに回転させる回転機構２２と、回転機構２２をＺ軸方向に移動させる送り機構２４とを有する。
【００２１】
マシニングセンタ１０は、いわゆる数値制御式の工作機械であって、予め作成された加工プログラムデータ（ワーク種類、加工形状、加工中心座標、ツール選定、加工条件等を定めたＮＣプログラムデータ）に従ってワークＷに対して種々の加工を行なう。図１での図示は省略しているが、マシニングセンタ１０は図３に示すように自動工具交換装置（ＡＴＣ）５８を備えている。ＡＴＣ５８は、加工プログラムデータに従い（加工プログラムのツール番号に従い）、主軸１４に装着されている加工工具１２と、ツールマガジン（図示省略）に装着されている加工工具や後述のタッチプローブとの交換を行なう。
【００２２】
治具１８は、ベース３０に治具本体３１が直立してなるイケール治具であり、治具本体３１に開口部３２が形成されている。治具１８には、治具本体３１にワークをクランプしてその位置を保持する複数のクランプ装置（不図示）が設けられている。治具本体３１には円筒状のマスターリング３３が設けられている。このマスターリング３３の中心ＣｍがＺ軸方向と平行になるように、治具１８のベース３０が加工テーブル２０に固定されている。
【００２３】
ここに、マシニングセンタ１０においては、加工工具１２によるワークＷの加工後、その加工部の寸法を測定して所期の加工が行なわれたか否かの判定が行なわれる。
【００２４】
ワーク加工部の測定には図２に示すタッチプローブ４０が用いられる。タッチプローブ４０は、スタイラス４１の先端に球状接触子４２を備え、接触子４２がマスターリング３３やワークＷ等に接触したときのトリガー信号をマシニングセンタ１０のコントローラ５１に送信する。コントローラ５１は、トリガー信号を受信すると、主軸１４の駆動機構およびテーブル送り機構２４の各サーボモータの検出部によって計測された位置データに基づいて当該接触点の座標位置（「主軸の座標位置」。以下、同じ。）を記録する。
【００２５】
図３はマシニングセンタ１０の制御系を示す。コントローラ５１は、マイクロコンピュータによって構成され、ＣＰＵ５２の他、加工プログラム、制御プログラム等を記憶するＲＯＭ５３、各種データを一時的に記憶するＲＡＭ５４、操作パネル５６等との通信のためのインターフェイス５５を備えている。コントローラ５１は、操作パネル５６の操作に応じて発生する操作信号や、主軸移動用の駆動機構５７、加工テーブル２０の回転機構２２及び送り機構２４各々のサーボモータからの位置信号、タッチプローブ４０からのトリガー信号等を入力し、主軸駆動モータや上記各サーボモータ、ＡＴＣ５８等に駆動信号を出力する。
【００２６】
制御プログラムは、ＲＯＭ５３からＣＰＵ５２によってＲＡＭ５４に読み込まれて実行されることにより、ワーク加工部測定のための各種手段が行なうべき動作を実現するプログラムである。そして、ワーク加工部の寸法測定のための手段としては、タッチプローブ４０の接触子４２の位置ずれ量算出手段、該接触子４２の芯出し手段、タッチプローブ４０による測定精度の判定手段、ワーク加工部の採寸手段、並びにワークＷの加工良否判定手段を備えている。
【００２７】
位置ずれ量算出手段は、主軸１４の軸心Ｃｓをマスターリング中心Ｃｍに位置付けた後、主軸１４を移動させて該主軸１４に装着されたタッチプローブ４０の接触子４２をマスターリング３３の内周面３３ａに接触させたときの、主軸１４の移動距離に基づいて主軸１４の軸心に対する接触子４２の中心Ｃｔの位置ずれ量を算出する。
【００２８】
芯出し手段は、上記位置ずれ量に基づいて主軸１４を移動させることにより、タッチプローブ４０の接触子４２の中心Ｃｔをマスターリング３３の中心Ｃｍに、或いは後述の加工穴の中心Ｃｈに位置付ける。
【００２９】
測定精度判定手段は、主軸１４を移動させ、該主軸１４に装着されたタッチプローブ４０の接触子４２をマスターリング３３の内周面３３ａに接触させて、マスターリング中心Ｃｍから当該接触点までの距離を算出する。そして、この距離に基づいて、タッチプローブ４０による測定精度を判定する。
【００３０】
加工部採寸手段は、上記測定精度が所定レベル以上であるときに、タッチプローブ４０の接触子４２をワークＷの加工部に接触させて、該加工部の寸法を算出する。
【００３１】
ワークＷの加工良否判定手段は、加工部採寸手段で得られたワーク加工部の寸法が予め設定された許容値の範囲に収まっているか否かを判定する。
【００３２】
図４はワーク加工部測定のフローを示す。このフローを参照しながら上記各手段の内容を具体的に説明する。
【００３３】
加工工具１２によるワークＷの加工後、まず、ステップＳ１において、主軸１４に装着されている加工工具１２をＡＴＣ５８によってタッチプローブ４０に交換する。
【００３４】
続くステップＳ２〜Ｓ５において、加工済みワークＷを保持している治具のマスターリング３３を利用して、位置ずれ量算出手段および芯出し手段による主軸１４の軸心Ｃｓに対するタッチプローブ４０の接触子４２の位置ずれ量の算出および芯出しを行なう。
【００３５】
図５は主軸１４を正面から見た図であり、タッチプローブ４０の接触子４２の中心Ｃｔの位置が主軸１４の軸心Ｃｓからずれている状態を示す。タッチプローブ４０を主軸１４にコレットチャックで装着したときのコレット爪の移動量の違いやスタイラス４１の永久歪（撓み）によって上記位置ずれを生ずることがある。以下、位置ずれ量算出手段および芯出し手段による位置ずれ量の算出および芯出しを具体的に説明する。
【００３６】
ステップＳ２では、タッチプローブ４０の接触子４２のＸ軸方向の位置ずれ量を算出する。まず、主軸１４の軸心Ｃｓをマスターリング中心Ｃｍに位置付ける。その状態から、図６に示すように、主軸１４をＸ軸方向（主軸方向と直交する第１方向）の一方へ移動させて接触子４２をマスターリング内周面３３ａに接触させる。この接触点のＸ座標と先に主軸１４の軸心Ｃｓをマスターリング中心Ｃｍに位置付けたときのＸ座標に基づいて主軸１４の当該移動距離Ｌ１を求める。続いて、主軸１４をＸ軸方向の他方へ移動させて接触子４２をマスターリング内周面３３ａに接触させる。この接触点のＸ座標と先に主軸１４の軸心Ｃｓをマスターリング中心Ｃｍに位置付けたときのＸ座標に基づいて主軸１４の当該移動距離Ｌ２を求める。
【００３７】
得られた移動距離Ｌ１，Ｌ２に基づいて、接触子４２のＸ軸方向における位置ずれ量ａ＝（Ｌ１−Ｌ２）／２を算出する。この位置ずれ量ａは、主軸１４の軸心Ｃｓをマスターリング中心Ｃｍに位置付けたときの接触子４２の位置から、マスターリング内周面３３ａのＸ軸方向に相対する２点を結ぶ線分の中点までの距離に相当する。
【００３８】
ステップＳ３では、上記位置ずれ量ａに基づいて、タッチプローブ４０の接触子４２の中心Ｃｔがマスターリング中心Ｃｍを通る鉛直線ＡＢ上に位置付けられるように、主軸１４をＸ軸方向に移動させる（Ｘ軸方向の芯出し）。
【００３９】
続くステップＳ４では、タッチプローブ４０の接触子４２のＹ軸方向の位置ずれ量を算出する。図７に示すように、主軸１４をＹ軸方向（主軸方向及びＸ軸方向と直交する第２方向）の一方へ移動させて接触子４２を直線ＡＢ上においてマスターリング内周面３３ａに接触させる。この接触点のＹ座標と先にＸ軸方向の芯出しを行なったときのＹ座標に基づいて当該移動距離Ｌ３を求める。続いて、主軸１４をＹ軸方向の他方へ移動させて接触子４２をマスターリング内周面３３ａに接触させる。この接触点のＹ座標と先にＸ軸方向の芯出しを行なったときのＹ座標に基づいて当該移動距離Ｌ４を求める。
【００４０】
得られた移動距離Ｌ３，Ｌ４に基づいて、接触子４２のＹ軸方向における位置ずれ量ｂ＝（Ｌ３−Ｌ４）／２を算出する。この位置ずれ量ｂは、上記接触子４２のＸ軸方向の芯出し位置から、マスターリング内周面３３ａのＹ軸方向に相対する２点を結ぶ線分の中点までの距離に相当する。
【００４１】
続くステップＳ５では、上記位置ずれ量ｂに基づいて、タッチプローブ４０の接触子４２の中心Ｃｔがマスターリング中心Ｃｍを通る水平線ＣＤ上に、すなわち、マスターリング中心Ｃｍに位置付けられるように、主軸１４をＹ軸方向に移動させる（Ｙ軸方向の芯出し）。
【００４２】
なお、Ｙ軸方向の芯出しを行なった後にＸ軸方向の芯出しを行なうようにしてもよい。
【００４３】
次にステップＳ６において、タッチプローブ４０の接触子４２を用いて、マスターリング中心Ｃｍからマスターリング内周面３３ａまでの距離を算出する。
【００４４】
図８に示すように、まず、タッチプローブ４０の接触子４２の上記芯出しを行なったときの座標位置（Ｘ０，Ｙ０）を求める。続いて、接触子４２の芯出しを行なった状態から、主軸１４をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させることにより、接触子４２をマスターリング中心ＣｍからＸ軸方向およびＹ軸方向に離れたマスターリング内周面３３ａの４点にそれぞれ接触させて、各接触点の座標位置（Ｘ１，Ｙ１）〜（Ｘ４，Ｙ４）を求める。上記座標位置（Ｘ０，Ｙ０）と各接触点の座標位置（Ｘ１，Ｙ１）〜（Ｘ４，Ｙ４）と接触子４２の直径に基づいて、マスターリング中心Ｃｍから各接触点までの距離を算出する。
【００４５】
なお、上記中心Ｃｍから４点までの距離の算出は、上記Ｘ軸方向およびＹ軸方向に限らず、ＸＹ平面の他の方向であってよく、また、４点に限らず、２点であっても３点であっても、あるは５点以上であってもよい。
【００４６】
上記ステップＳ６は、主軸１４の軸心Ｃｓに対する接触子４２の位置ずれ量（ａ，ｂ）に基づいて、接触子４２の中心Ｃｔをマスターリング中心Ｃｍに補正して位置付け（芯出し）、その状態から接触子４２を移動させてマスターリング内周面３３ａに接触させて、マスターリング内側の半径を計測することに相当する。接触子４２の芯出しを行なった状態から主軸１４を移動させるため、接触子４２の中心Ｃｔはマスターリング中心Ｃｍを通る直線上を移動することになる。これにより、マスターリング中心Ｃｍからマスターリング内周面３３ａまでの距離を正確に計測することができる。
【００４７】
続くステップＳ７において、マスターリング中心Ｃｍから各接触点までの距離に基づいてタッチプローブ４０による測定精度を判定する。具体的には、マスターリング中心Ｃｍから各接触点までの距離の最大値と最小値の差が所定値以下であるか否かを判定する。この距離の差が所定値以下であるときは、タッチプローブ４０による測定精度が所定レベル以上であることになる。
【００４８】
なお、上記最大値と最小値の差ではなく、マスターリング３３の内側半径は既知であることを利用して、マスターリング中心Ｃｍから各接触点までの距離が所定範囲に収まっているか否かで上記測定精度が所定レベル以上であるか否かを判定するようにしてもよい。
【００４９】
ステップＳ７において上記測定精度が所定レベル以上であると判定されたときはステップＳ８に進み、タッチプローブ４０によってワークＷの加工部の寸法を算出する。
【００５０】
ステップＳ７で上記測定精度が所定レベルに達していないと判定されたときはステップＳ９に進んでタッチプローブ４０を交換し、交換したタッチプローブ４０について位置ずれ量の算出および芯出しを行ない、上記距離算出および測定精度の判定（ステップＳ２〜Ｓ７）を実行する。
【００５１】
ステップＳ８において、例えば、図９に示すようにワークＷの加工穴６１の内径を算出する場合は、まず、主軸の軸心を加工穴６１の中心Ｃｈに位置付ける。そして、上記位置ずれ量ａ，ｂに基づいて主軸１４を移動させることにより、タッチプローブ４０の接触子４２の芯出しを行なう。すなわち、接触子４２の中心Ｃｔを加工穴６１の中心Ｃｈに位置付ける。その状態で主軸１４をＺ軸方向において前進させてタッチプローブ４０の接触子４２を加工穴６１内に進入させる。次に主軸１４をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させることにより、図１０に示すように、タッチプローブ４０の接触子４２を加工穴６１の内面の４点Ａ〜Ｄ各々に接触させて各点の座標位置を計測する。得られた座標位置と接触子４２の直径に基づいて加工穴６１の内径ＡＢ，ＣＤを算出する。
【００５２】
接触子４２の芯出しを行なった状態から主軸１４を移動させるため、接触子４２の中心Ｃｔは加工穴６１の中心Ｃｈを通る直線上を移動することになる。これにより、加工穴６１の内径を正確に計測することができる。
【００５３】
ステップＳ８に続くステップＳ１０では、ステップＳ８で算出された加工部の寸法が許容範囲に入っているか否か、つまり加工不良の有無を判定する。加工不良があるときは、ステップＳ１１に進んで加工部の追加工、その他の加工不良処理を行なう。
【００５４】
なお、ワークＷの加工部の採寸に関しては、上記穴径の測定に限らず、ボスやリング溝など種々の凹部や凸部の内径、外径を測定するものであってもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１０    マシニングセンタ（工作機械）
１２    加工工具
１４    主軸
１８    治具
３３    マスターリング
４０    タッチプローブ
４２    接触子
６１    加工穴
Ｗ    ワーク
Ｃｓ    主軸の軸心
Ｃｍ    マスターリングの中心
Ｃｔ    接触子の中心
Ｃｈ    加工穴の中心
【図１】
2015039732.tif 000003
【図２】
2015039732.tif 000004
【図３】
2015039732.tif 000005
【図４】
2015039732.tif 000006
【図５】
2015039732.tif 000007
【図６】
2015039732.tif 000008
【図７】
2015039732.tif 000009
【図８】
2015039732.tif 000010
【図９】
2015039732.tif 000011
【図１０】
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