(57)【要約】【課題】シール部材によるシールを確実なものとすることで液体の吐出不良が抑制された高品質な吐出を行うことができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体噴射面２０ａからインクを噴射するヘッドチップ２と、上流流路５００が設けられた上流流路部材２１０と、ヘッドチップ２に接続されるインクの下流流路６００が設けられた下流流路部材２２０と、連通路２３２が形成されたベース部２３５、及びベース部２３５の上流流路部材２１０に対向する面に環状に形成された壁部２３６とを有するシール部材２３０とを備え、上流流路部材２１０には、壁部２３６が挿入される溝部２１９が形成され、溝部２１９に挿入された壁部２３６が上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０により挟持されている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体噴射面から液体を噴射するヘッドチップと、
液体の第１流路が設けられた第１流路部材と、
前記ヘッドチップを保持し、当該ヘッドチップに接続される液体の第２流路が設けられた第２流路部材と、
前記第１流路と前記第２流路とを接続する連通路が形成されたベース部、及び前記ベース部の前記第１流路部材又は前記第２流路部材の少なくとも一方に対向する面に環状に形成された壁部とを有するシール部材とを備え、
前記第１流路部材又は前記第２流路部材の少なくとも前記一方には、前記壁部が挿入される溝部が形成され、
当該溝部に挿入された前記壁部が前記第１流路部材及び前記第２流路部材により挟持されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記壁部が前記溝部に圧入されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記溝部の前記壁部が挿入される開口は面取りされている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記ベース部は板状に形成され、前記壁部は前記ベース部の外周に形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記第１流路部材又は前記第２流路部材の少なくとも前記一方は、前記ベース部に対向する面に、前記溝部、前記溝部よりも内側に形成されて前記ベース部に接触する第１溝形成部、及び前記溝部よりも外側に形成されて前記第１溝形成部よりも前記ベース部側に突出した第２溝形成部が形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、インク滴をノズルから吐出するヘッド本体と、ヘッド本体に固定されてインクが貯留されたインクカートリッジ等の液体貯留手段からのインクを各ヘッド本体に供給する流路部材と、を具備するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドの流路部材は、複数のヘッド本体を保持する第１流路部材と、第１流路部材のヘッド本体を固定した面とは反対面側に固定された第２流路部材と、第１流路部材及び第２流路部材の間に挟持されるシール部材とを備えている。シール部材は、シート等の環状の弾性材料からなり、第１流路部材に設けられた第１流路と第２流路部材に設けられた第２流路とを連通する連通路が設けられている。
【０００４】
シール部材は、連通路が第１流路と第２流路とを連通した状態で、第１流路部材及び第２流路部材により圧力がかけられる。このようなシール部材により、第１流路と第２流路とが密封された状態で連通される。
【０００５】
さらに、このような環状のシール部材には、外周部分に、第１流路部材又は第２流路部材側に突出した壁部が形成されている。壁部は、高さ方向に第１流路部材及び第２流路部材に押圧されて密着しているので、シール部材内側の空間が外部とは遮断された状態とされる。
【０００６】
シール部材の内側の空間を外部から遮断することで、第１流路、連通路及び第２流路の隙間に空気が侵入し、インクに気泡が生じることを抑制することができる。また、インク中の溶媒が揮発し、前記隙間からシール部材の内側の空間に排出されるとしても、シール部材の内側の空間が外部から遮断されているため、溶媒の揮発は一定量に抑えることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１１−２０７１８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、第１流路部材及び第２流路部材による壁部を押圧する圧力がより大きくなった場合や、シール部材の内側の空間に、より大きな負圧又は正圧がかかった際に、壁部が傾倒したり、変形してしまう虞がある。このような壁部の傾倒等により、シール部材の内側の空間が外部に連通してしまう現象（リーク）が生じる。
【０００９】
リークが生じると、第１流路、連通路及び第２流路の隙間に空気が侵入し、インクに気泡が生じてしまい、インク滴の吐出不良を引き起こす虞がある。また、リークが生じると、インクの溶媒の揮発物が前記隙間を介して外部に排出されるため、インクの増粘が生じ、吐出不良を引き起こす虞がある。
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドに限定されず、他の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑み、シール部材によるシールを確実なものとすることで液体の吐出不良が抑制された高品質な吐出を行うことができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体噴射面から液体を噴射するヘッドチップと、液体の第１流路が設けられた第１流路部材と、前記ヘッドチップを保持し、当該ヘッドチップに接続される液体の第２流路が設けられた第２流路部材と、前記第１流路と前記第２流路とを接続する連通路が形成されたベース部、及び前記ベース部の前記第１流路部材又は前記第２流路部材の少なくとも一方に対向する面に環状に形成された壁部とを有するシール部材とを備え、前記第１流路部材又は前記第２流路部材の少なくとも前記一方には、前記壁部が挿入される溝部が形成され、当該溝部に挿入された前記壁部が前記第１流路部材及び前記第２流路部材により挟持されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、シール部材の壁部が第１流路部材又は第２流路部材の少なくとも一方に形成された溝部に圧入されることで、壁部の傾斜や変形を原因とするシール部材によるシールの破壊が抑制される。このようにシールの破壊が抑制されるため、シール不良に起因する液体の吐出不良を抑制することができ、高品質な液体の吐出を行うことができる液体噴射ヘッドが提供される。
【００１２】
ここで、前記壁部が前記溝部に圧入されていることが好ましい。これによれば、壁部の側面を溝部の内面により確実に接触させることができ、シール部材によるシールをより確実なものとすることができる。
【００１３】
また、前記溝部の前記壁部が挿入される開口は面取りされていることが好ましい。これによれば、壁部を溝部内に誘導することができ、液体噴射ヘッドの組み立て作業を容易にすることができる。
【００１４】
また、前記ベース部は板状に形成され、前記壁部は前記ベース部の外周に形成されていることが好ましい。これによれば、シール部材がよじれることを抑制することができる。
【００１５】
また、前記第１流路部材又は前記第２流路部材の少なくとも前記一方は、前記ベース部に対向する面に、前記溝部、前記溝部よりも内側に形成されて前記ベース部に接触する第１溝形成部、及び前記溝部よりも外側に形成されて前記第１溝形成部よりも前記ベース部側に突出した第２溝形成部が形成されていることが好ましい。これによれば、壁部が内側及び外側に傾斜したり変形することがより確実に抑制される。
【００１６】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、シール部材によるシールを確実なものとすることで液体の吐出不良が抑制された高品質な吐出を行うことができる液体噴射装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態１に係るヘッドチップの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係るヘッドチップの平面図である。
【図３】実施形態１に係るヘッドチップの断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図６】図５の要部を拡大した断面図である。
【図７】実施形態１に係る記録ヘッドの壁部を拡大した断面図である。
【図８】実施形態１に係る上流流路部材のシール部材側の平面図である。
【図９】インクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
〈実施形態１〉
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単に記録ヘッドとも言う。
【００１９】
まず、本実施形態に係る記録ヘッドに設けられるヘッドチップの一例について説明する。図１は本実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図であり、図２はヘッドチップの平面図であり、図３はヘッドチップの断面図である。
【００２０】
図示するように、ヘッドチップ２は、ヘッド本体１１、ヘッド本体１１の一方面側に固定されたケース部材４０等の複数の部材を備える。また、ヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズルプレート２０と、流路形成基板１０の連通板１５とは反対側に設けられた保護基板３０と、連通板１５のノズルプレート２０が設けられた面側に設けられたコンプライアンス基板４５とを具備する。
【００２１】
ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ２あるいはＡｌ２Ｏ３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル２１が並設される方向に沿って並設されている。
【００２２】
以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２の列が複数列設された方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向を、インク滴（液滴）の吐出方向、又は第３の方向Ｚと称する。ちなみに、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０は、第３の方向Ｚに積層されている。
【００２３】
また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。
【００２４】
また、流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。すなわち、流路形成基板１０の一方面に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズル２１を有するノズルプレート２０とを具備する。
【００２５】
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけでよいので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。
【００２６】
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。
第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向（第３の方向Ｚ））に貫通して設けられている。第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。
【００２７】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。すなわち、本実施形態では、ノズル２１と第２マニホールド部１８と連通する個別流路として、供給連通路１９と、圧力発生室１２と、ノズル連通路１６と、が設けられている。
【００２８】
このような連通板１５としては、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、またはジルコニウム（Ｚｒ）などのセラミックス等を用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００２９】
ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。具体的には、ノズル２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。
【００３０】
なお、ノズル２１の列（ノズル群）は、第１の方向Ｘに直線状に並設されたものに限定されず、例えば、第１の方向Ｘに並んだノズル２１が交互に第２の方向Ｙにずれた位置に配置されたもの、いわゆる千鳥状に配置されたもので構成されていてもよい。また、ノズル群は、第１の方向Ｘに並んだノズル２１が複数個毎に第２の方向Ｙにずれて配置されたもので構成されていてもよい。すなわち、ノズル群は、液体噴射面２０ａに設けられた複数のノズル２１で構成されたものであればよく、その配置は特に限定されるものではない。
【００３１】
ただし、一般的にノズル２１を高密度に複数配置（多ノズル化）しようとすると、ノズル２１を並設した方向（第１の方向Ｘ）に長尺化してしまう。つまり、ヘッドチップ２において、第１の方向Ｘが長手方向となり、第２の方向Ｙが短手方向となるのが常である。
【００３２】
そして、ノズル２１に対応して圧力発生室１２を配置すると共に、圧力発生室１２に対応してインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段を設けるため、第１の方向Ｘに複数の圧力発生室１２及び複数の圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０が並設されることになる。詳しくは後述するが、複数の高い密度で形成された圧電アクチュエーター１３０に電気信号を供給する配線部材１２１は、基板上の圧電アクチュエーター１３０の並設方向、すなわち、第１の方向Ｘ（長手方向）のスペースを生かして圧電アクチュエーター１３０に接続される。したがって、配線部材１２１の幅は、圧電アクチュエーター１３０の並設方向に沿って配置されることになる。つまり、シート状の配線部材１２１の幅方向を圧電アクチュエーター１３０の並設方向とすることで、圧電アクチュエーター１３０を高密度に多数配置しても、圧電アクチュエーター１３０と配線部材１２１との接続を良好に行うことができる。
【００３３】
このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００３４】
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。
【００３５】
また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、積層形成されて圧電アクチュエーター１３０を構成している。ここで、圧電アクチュエーター１３０は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター１３０の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター１３０の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター１３０の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、第１電極６０が、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられているため、第１電極６０が振動板の一部として機能するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター１３０自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。ただし、流路形成基板１０上に直接第１電極６０を設ける場合には、第１電極６０とインクとが導通しないように第１電極６０を絶縁性の保護膜等で保護するのが好ましい。つまり、本実施形態では、基板（流路形成基板１０）上に振動板５０を介して第１電極６０を設けた構成を例示したが、特にこれに限定されるものではなく、振動板５０を設けずに第１電極６０を直接基板上に設けるようにしてもよい。すなわち、第１電極６０が振動板として作用するようにしてもよい。つまり、基板上とは、基板の直上も、間に他の部材が介在した状態（上方）も含むものである。
【００３６】
さらに、このような圧電アクチュエーター１３０の個別電極である各第２電極８０には、供給連通路１９とは反対側の端部近傍から引き出され、振動板５０上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０の一端部がそれぞれ接続されている。また、リード電極９０の他端部には、後述する圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０を駆動するための駆動回路１２０が設けられた配線部材１２１が接続されている。配線部材１２１は、可撓性（フレキシブル）なシート状のもの、例えば、ＣＯＦ基板等を用いることができる。なお、配線部材１２１には、駆動回路１２０を設けなくてもよい。つまり、配線部材１２１は、ＣＯＦ基板に限定されず、ＦＦＣ、ＦＰＣ等であってもよい。
【００３７】
なお、リード電極９０の配線部材１２１に接続される他端部は、第１の方向Ｘに並設されて設けられている。ちなみに、リード電極９０の他端部を、流路形成基板１０の第１の方向Ｘの一端部側まで延設し、リード電極９０の他端部を第２の方向Ｙに並設することも考えられるが、リード電極９０を引き回すスペースが必要になって記録ヘッドが大型化して高コストになってしまう。また、圧電アクチュエーター１３０を高い密度で、且つ多数設けて多ノズル化を行うと、リード電極９０の幅が狭くなり、電気抵抗が高くなる。このため、リード電極９０を引き回すことで、さらに電気抵抗が高くなって圧電アクチュエーター１３０を正常に駆動できなくなってしまう虞がある。本実施形態では、リード電極９０の他端部側を、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター１３０の２列の間に延設し、リード電極９０の他端部を第１の方向Ｘに並設することで、記録ヘッド１が大型化することなく小型化及び低コスト化を図ることができると共に、リード電極９０の電気抵抗が高くなるのを抑制して圧電アクチュエーター１３０を高い密度で且つ多数設けた多ノズル化を行うことができる。
【００３８】
また、本実施形態では、第２の方向Ｙにおいて、圧電アクチュエーター１３０の列の間にリード電極９０の他端部を設けて、圧電アクチュエーター１３０の列の間でリード電極９０と配線部材１２１とを接続するようにしたため、１つの配線部材１２１が２列の圧電アクチュエーター１３０にリード電極９０を介して接続されている。もちろん、配線部材１２１の数はこれに限定されず、圧電アクチュエーター１３０の列毎に配線部材１２１を設けるようにしてもよい。本実施形態のように、２つの圧電アクチュエーター１３０の列に１つの配線部材１２１を設けることで、配線部材１２１とリード電極９０とを接続するスペースを小さくすることができ、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。ちなみに、圧電アクチュエーター１３０の列ごとに配線部材１２１を設ける場合、リード電極９０を圧電アクチュエーター１３０の列とは反対側に延設することも考えられるものの、このような構成では、リード電極と配線部材とを接続するスペースが余計に必要になると共にケース部材等に配線部材１２１を引き出す領域も２箇所となるため、記録ヘッド１が大型化してしまう。つまり、本実施形態のように、リード電極９０を２つの圧電アクチュエーター１３０の列の間に設けることで、１つの配線部材１２１で２列の圧電アクチュエーター１３０に同時に接続することが可能である。このようにリード電極９０に接続されるシート状の配線部材１２１は、その幅方向が第１の方向Ｘに沿って配置されることになる。
【００３９】
また、流路形成基板１０の圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター１３０を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター１３０で構成される列毎に独立して設けられており、２つの保持部３１の間（第２の方向Ｙ）には、厚さ方向に貫通した貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の他端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と配線部材１２１とが貫通孔３２内で電気的に接続されている。
【００４０】
また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。すなわち、マニホールド１００は、第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２を具備する。また、本実施形態のマニホールド１００は、第２の方向Ｙにおいて、２列の圧力発生室１２の両外側に配置されており、２列の圧力発生室１２の両外側に設けられた２つのマニホールド１００は、ヘッドチップ２内では連通しないようにそれぞれ独立して設けられている。すなわち、本実施形態の圧力発生室１２の列（第１の方向Ｘに並設された列）毎に１つのマニホールド１００が連通して設けられている。言い換えると、ノズル２１群毎にマニホールド１００が設けられている。もちろん、２つのマニホールド１００は、連通していてもよい。
【００４１】
また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入口４４が設けられている。本実施形態では、ケース部材４０の上面はほぼ平坦に形成され、当該上面に導入口４４が開口している。また、インクはヘッドチップ２に供給されるのみであり、ヘッドチップ２から循環してインクが排出されないので、ヘッドチップ２には導入口４４のみが形成されている。なお、ヘッドチップ２で使用されなかったインクの出口となる排出口がケース部材４０に設けられていてもよい。
【００４２】
また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線部材１２１が挿通される接続口４３が設けられている。そして、配線部材１２１の他端部は、貫通孔３２及び接続口４３の貫通方向、すなわち、第３の方向Ｚであって、インク滴の吐出方向とは反対側に延設されている。
【００４３】
なお、このようなケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。
【００４４】
また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５は、平面視において上述した連通板１５と略同じ大きさを有し、ノズルプレート２０を露出する第１露出開口部４５ａが設けられている。そして、このコンプライアンス基板４５が第１露出開口部４５ａによってノズルプレート２０を露出した状態で、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。
【００４５】
すなわち、コンプライアンス基板４５がマニホールド１００の一部を画成している。このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有するフィルム状の薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。本実施形態では、１つのマニホールド１００に対応して１つのコンプライアンス部４９が設けられている。すなわち、本実施形態では、マニホールド１００が２つ設けられているため、ノズルプレート２０を挟んで第２の方向Ｙの両側に２つのコンプライアンス部４９が設けられている。
【００４６】
このような構成のヘッドチップでは、インクを噴射する際に、導入口４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター１３０に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター１３０と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル２１からインク滴が噴射される。
【００４７】
このようなヘッドチップ２を有する本実施形態の記録ヘッド１について詳細に説明する。図４は本実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図であり、図５は記録ヘッドの断面図であり、図６は要部を拡大した断面図である。
【００４８】
図示するように、記録ヘッド１は、ノズルからインク（液体）をインク滴（液滴）として吐出する２つのヘッドチップ２と、２つのヘッドチップ２を保持すると共にヘッドチップ２にインク（液体）を供給する流路部材２００と、流路部材２００に保持された配線基板３００と、ヘッドチップ２の液体噴射面２０ａ側に設けられた固定部材の一例であるカバーヘッド４００とを具備する。
【００４９】
流路部材２００は、第１流路部材の一例である上流流路部材２１０と、第２流路部材の一例である下流流路部材２２０と、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０との間に配置されるシール部材２３０とを具備する。
【００５０】
上流流路部材２１０は、インクの流路となる第１流路の一例である上流流路５００を有している。本実施形態では、上流流路部材２１０は、第１上流流路部材２１１と、第２上流流路部材２１２と、第３上流流路部材２１３とがインク滴を吐出する方向である第３の方向Ｚに積層されて構成されている。そして、これらの各部材には、第１上流流路５０１、第２上流流路５０２、第３上流流路５０３が設けられ、これらが連結することで上流流路５００が構成されている。
【００５１】
なお、上流流路部材２１０はこのような態様に限定されるものではなく、単一の部材であっても、２以上の複数の部材で構成されていてもよい。また、上流流路部材２１０を構成する複数の部材の積層方向も特に限定されず、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙであってもよい。
【００５２】
第１上流流路部材２１１は、下流流路部材２２０とは反対面側に、インク（液体）が保持されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体保持手段に接続される接続部２１４を有する。本実施形態では、接続部２１４として針状に突出したものとした。なお、接続部２１４には、インクカートリッジなどの液体保持部が直接接続されてもよく、また、インクタンクなどの液体保持部がチューブ等の供給管などを介して接続されてもよい。このような接続部２１４の内部には、液体保持部からのインクが供給される第１上流流路５０１が設けられている。また、第１上流流路部材２１１の接続部２１４の周囲には、液体保持部を位置決めするためのガイド壁２１５が設けられている。なお、第１上流流路５０１は、後述する第２上流流路５０２の位置に応じて、第３の方向Ｚに延びる流路や、第３の方向Ｚに直交する方向、すなわち第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面内に延びる流路等で構成されている。
【００５３】
第２上流流路部材２１２は、第１上流流路部材２１１の接続部２１４とは反対面側に固定されて、第１上流流路５０１に連通する第２上流流路５０２を有する。また、第２上流流路５０２の下流側（第３上流流路部材２１３側）には、第１上流流路５０１よりも内径が広く拡幅された第１液体溜まり部５０２ａが設けられている。
【００５４】
第３上流流路部材２１３は、第２上流流路部材２１２の第１上流流路部材２１１とは反対側に設けられている。また、第３上流流路部材２１３には、第３上流流路５０３が設けられている。第３上流流路５０３の第２上流流路５０２側の開口部分は、第１液体溜まり部５０２ａに応じて拡幅された第２液体溜まり部５０３ａとなっており、第２液体溜まり部５０３ａの開口部分（第１液体溜まり部５０２ａと第２液体溜まり部５０３ａとの間）には、インクに含まれる気泡や異物を除去するためのフィルター２１６が設けられている。これにより、第２上流流路５０２（第１液体溜まり部５０２ａ）から供給されたインクは、フィルター２１６を介して第３上流流路５０３（第２液体溜まり部５０３ａ）に供給される。
【００５５】
また、第３上流流路部材２１３の下流流路部材２２０側には、下流流路部材２２０側に向かって突出する第１突起部２１７が設けられている。第１突起部２１７は、第３上流流路５０３毎に設けられており、第１突起部２１７の先端面に排出口５０４が開口して設けられている。
【００５６】
このような上流流路５００が設けられた第１上流流路部材２１１、第２上流流路部材２１２及び第３上流流路部材２１３は、例えば、接着剤や、溶着等によって一体的に積層されている。なお、第１上流流路部材２１１、第２上流流路部材２１２及び第３上流流路部材２１３をネジやクランプ等で固定することもできるが、第１上流流路５０１から第３上流流路５０３に至るまでの接続部分からインク（液体）が漏出するのを抑制するためにも、接着剤や溶着等で接合するのが好ましい。
【００５７】
なお、本実施形態では、１つの上流流路部材２１０に４つの接続部２１４を設け、１つの上流流路部材２１０には４つの独立した上流流路５００が設けられている。そして、各上流流路５００に対応して合計４個の導入口４４が設けられている。ちなみに、本実施形態では、一つの上流流路５００からヘッドチップ２の一つの導入口４４に接続されるが、このような態様に限定されない。例えば、上流流路５００が途中で２以上に分岐し、分岐した流路がヘッドチップ２の導入口４４に接続されてもよい。
【００５８】
また、上流流路部材２１０の下流流路部材２２０側には、シール部材２３０の壁部が挿入される溝部が設けられている。この溝部についての詳細は後述する。
【００５９】
下流流路部材２２０は、上流流路部材２１０に接合され、ヘッドチップ２が収容される収容部２２６を有する部材である。下流流路部材２２０の上流流路部材２１０側を上面側、上流流路部材２１０とは反対側を下面側と称する。
【００６０】
下流流路部材２２０には、下面側、すなわち液体噴射面２０ａ側に開口してヘッドチップ２が収容される凹部として収容部２２６が形成されている。本実施形態に係る収容部２２６は、２つのヘッドチップを収容可能であり、また、収容部２２６の深さ（第３の方向Ｚの深さ）は、ヘッドチップ２の高さよりも若干深くしてある。
【００６１】
また、下流流路部材２２０は、インクの流路となる第２流路の一例である下流流路６００を有する。本実施形態に係る下流流路部材２２０は、第１下流流路部材２２２と、第２下流流路部材２２３とから構成され、これらの部材から下流流路６００が形成されている。下流流路６００としては、形状の異なる２種の下流流路６００Ａ及び下流流路６００Ｂが構成されている。
【００６２】
第１下流流路部材２２２には、第１流路６０１が形成され、第１下流流路部材２２２と第２下流流路部材２２３との間に第２流路６０２が形成されている。また、第２下流流路部材２２３には第３流路６０３が形成されている。
【００６３】
下流流路６００Ａ及び下流流路６００Ｂの双方に共通した構成として、下流流路部材２２０（第１下流流路部材２２２及び第２下流流路部材２２３のそれぞれ）には、上流流路部材２１０側に突出する第２突起部が２２１設けられている。第２突起部２２１は、上流流路５００毎、すなわち、第１突起部２１７毎にそれぞれ設けられている。また、下流流路６００の一端は第２突起部２２１の先端面に開口し、他端は上流流路部材２１０とは第３の方向Ｚにおいて反対側の面、すなわち、収容部２２６の底面部に開口して設けられている。
【００６４】
下流流路６００Ａは、第２下流流路部材２２３に第３の方向Ｚに沿って直線状に形成されている。また、下流流路６００Ｂは、上流流路５００（排出口５０４）に接続される第１流路６０１と、第１流路６０１に接続された第２流路６０２と、第２流路６０２と導入口４４とを接続する第３流路６０３とを具備する。第１流路６０１及び第３流路６０３は、第２下流流路部材２２３の第３の方向Ｚに沿う貫通孔として形成されている。第２流路６０２は、第１下流流路部材２２２の一方面に形成された溝が第２下流流路部材２２３により封止されることで形成されている。このような第１下流流路部材２２２と第２下流流路部材２２３とを接合することで、第２流路６０２を下流流路部材２２０内に容易に形成することができる。
【００６５】
また、第２流路６０２は、第２の方向Ｙに向かって延設された延設流路の一例である。ここで、第２流路６０２が第２の方向Ｙに向かって延設されているとは、第２流路６０２の延設方向に、第２の方向Ｙに向かう成分（ベクトル）が存在することをいう。ちなみに、第２流路６０２の延設方向とは、第２流路６０２内のインク（液体）が流れる方向のことである。したがって、第２流路６０２は、水平方向（第３の方向Ｚに直交する方向）に設けられているものも、第３の方向Ｚ及び水平方向（第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの面内方向）に交差して設けられているものも含む。本実施形態では、第１流路６０１及び第３流路６０３を第３の方向Ｚに沿って設け、第２流路６０２を水平方向（第２の方向Ｙ）に沿って設けるようにした。なお、第１流路６０１と第３流路６０３とは、第３の方向Ｚに交差する方向に設けられていてもよい。
【００６６】
もちろん、下流流路６００Ｂは、これに限定されず、第１流路６０１、第２流路６０２、第３流路６０３以外の流路が存在してもよく、また、第１流路６０１又は第３流路６０３が設けられていなくてもよい。また、上述した例では、第２流路６０２のみが延設流路である構成を説明したが、特にこれに限定されず、第２の方向Ｙに成分を有する複数の流路を延設流路としてもよい。さらに、下流流路６００Ｂ全体が延設流路となっていてもよい。
【００６７】
下流流路部材２２０の収容部２２６には、複数のヘッドチップ２、本実施形態では、２個のヘッドチップ２が収容されている。１つのヘッドチップ２には、ノズル列が第２の方向Ｙに並んで形成されており（図１、図２参照）、記録ヘッド１には２つのヘッドチップ２が第２の方向Ｙに並設されて設けられている。以降、ヘッドチップ２の第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚは、記録ヘッド１の第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚとそれぞれ同じ方向を示す。
【００６８】
２つのヘッドチップ２は、それぞれ導入口４４が２個設けられている。下流流路部材２２０に設けられた下流流路６００（下流流路６００Ａ及び下流流路６００Ｂ）は、各導入口４４の開口する位置に合わせて開口して設けられている。
【００６９】
ヘッドチップ２の各導入口４４は、下流流路部材２２０の収容部２２６の底面部に開口した下流流路６００に連通するように位置合わせされている。ヘッドチップ２は、各導入口４４の周囲に設けられた接着剤２２７により収容部２２６に固定されている。このようにヘッドチップ２が収容部２２６に固定されることで、下流流路６００と導入口４４とが連通し、ヘッドチップ２にインクが供給されるようになっている。
【００７０】
また、下流流路部材２２０には、第２挿通孔２２４が設けられている。第２挿通孔２２４は、下流流路部材２２０の収容部２２６及び上流流路部材２１０側に開口して設けられている。第２挿通孔２２４は、ヘッドチップ２の接続口４３に連通して、配線部材１２１をヘッドチップ２側から上流流路部材２１０側に挿通させるためのものである。第２挿通孔２２４は、ヘッドチップ２の第１の方向Ｘの幅と略同じ幅の開口で設けられている。
【００７１】
このような上流流路部材２１０と下流流路部材２２０との間には、上流流路５００と下流流路６００とを接続する（継ぐ）、継手であるシール部材２３０が設けられている。シール部材２３０の材料としては、記録ヘッド１に用いられるインク等の液体に対して耐液体性を有し、且つ弾性変形可能な材料（弾性材料）、例えば、ゴムやエラストマー等を用いることができる。
【００７２】
シール部材２３０は、ベース部２３５と、ベース部２３５に形成された壁部２３６とを有する。ベース部２３５は、板状に形成されており、連通路２３２及び第３突起部２３１が形成されている。本実施形態では、連通路２３２及び第３突起部２３１は、各上流流路５００及び下流流路６００に対応して４つ形成されている。
【００７３】
ベース部２３５の上流流路部材２１０側には、第１突起部２１７が挿入される環状の第１凹部２３３が設けられている。第１凹部２３３は、第３突起部２３１に対向する位置に設けられている。
【００７４】
第３突起部２３１は、下流流路部材２２０側に突出しており、下流流路部材２２０の第２突起部２２１に対向する位置に設けられている。第３突起部２３１の頂面（下流流路部材２２０に対向する面）には、第２突起部２２１が挿入される第２凹部２３４が設けられている。
【００７５】
連通路２３２は、ベース部２３５の厚さ方向（第３の方向Ｚ）に貫通し、一端が第１凹部２３３に開口し、他端が第２凹部２３４に開口している。そして、第１凹部２３３に挿入された第１突起部２１７の先端面と、第２凹部２３４に挿入された第２突起部２２１の先端面との間で第３突起部２３１は第３の方向Ｚに所定の圧力が印加された状態で保持されている。このように上流流路５００と連通路２３２とはシール部材２３０に第３の方向Ｚに圧力が印加された状態で接続され、連通路２３２と下流流路６００とはシール部材２３０に第３の方向Ｚに圧力が印加された状態で接続される。したがって、上流流路５００と下流流路６００とは連通路２３２を介して密封された状態で連通されている。
【００７６】
なお、連通路２３２の中に第１突起部２１７や第２突起部２２１を入れ込んでこれらを連通させてもよい。すなわち、第３突起部２３１の連通路２３２の内面と、第１突起部２１７及び第２突起部２２１の少なくとも一方の外周面とを密着させて、つまり、径方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの面方向に圧力を印加して流路を接続してもよい。
【００７７】
また、シール部材２３０には、ベース部２３５の外周を囲うように形成され、上流流路部材２１０側に突出した壁部２３６が形成されている。本実施形態では、略四角形のベース部２３５に合わせて、壁部２３６も平面視で四角形となるように形成されている。さらに、ベース部２３５の上流流路部材２１０側には、対向する壁部２３６を連結する梁部２３７が形成されている。
【００７８】
板状のベース部２３５に設けられた壁部２３６や梁部２３７は、ベース部２３５をねじる力に対する抵抗となるので、ベース部２３５のねじれを抑制することができる。このようにシール部材２３０は、板状のベース部２３５に壁部２３６及び梁部２３７が設けられることで、ベース部２３５にねじれが生じにくい構成となっている。これにより、シール部材２３０の取り扱いが容易となり、シール部材２３０を上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０との間に配置する作業を行いやすくすることができる。ちなみに、シール部材が環状であり、壁部２３６や梁部２３７に相当する部分が設けられていないと、シール部材がねじれてしまい、このシール部材の修正に手間を要してしまう。
【００７９】
また、壁部２３６は、上流流路部材２１０に形成された溝部２１９に圧入されている。図７及び図８を用いて、上流流路部材２１０に形成された溝部２１９に圧入される壁部２３６について詳細に説明する。図７は、記録ヘッドの壁部を拡大した断面図であり、図８は、上流流路部材のシール部材側の平面図である。
【００８０】
図７（ａ）及び図８に示すように、上流流路部材２１０の第３上流流路部材２１３には、シール部材２３０の表面に、壁部２３６が圧入される溝部２１９が形成されている。
具体的には、第３上流流路部材２１３には、ベース部２３５に対向する面に壁部２３６が挿入される溝部２１９、溝部２１９よりも内側に形成されて前記ベース部２３５に接触する第１溝形成部２１３ａ、及び溝部２１９よりも外側に形成されて第１溝形成部２１３ａよりもベース部２３５側に突出した第２溝形成部２１３ｂが形成されている。
【００８１】
溝部２１９は、平面視で環状に形成されている。ここでいう環状とは、溝部２１９に端部がない形状であることをいう。本実施形態に係る溝部２１９は、平面視で四角形状に溝部２１９が形成されている。溝部２１９は環状であればよく、このように四角の環状であってもよいし、円環状であってもよい。
【００８２】
なお、本実施形態では、溝部２１９は、シール部材２３０の壁部２３６に一体的に形成された梁部２３７も挿入可能なように形成されている。すなわち、四角形状の溝部２１９の対向する辺を接続するように溝が設けられている。
【００８３】
第１溝形成部２１３ａ及び第２溝形成部２１３ｂは、第３上流流路部材２１３のシール部材２３０側に突出しており、溝部２１９の内面を構成している。また、第２溝形成部２１３ｂは、第１溝形成部２１３ａよりもシール部材２３０側に突出している。
【００８４】
また、第１溝形成部２１３ａと溝部２１９との境界部分２１８ａは面取りされている。さらに、第２溝形成部２１３ｂと溝部２１９との境界部分２１８ｂも面取りされている。
このような溝部２１９には、壁部２３６が圧入されている。そして、溝部２１９に圧入された壁部２３６が上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０により挟持されている。
【００８５】
壁部２３６は、上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０に挟持されることで第３の方向Ｚの圧力を受ける。これにより、壁部２３６の上面及び下面は、上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０に隙間なく接触し、それらの間をより確実にシールすることができる。このように壁部２３６が上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０に挟持されることで、壁部２３６の内側である上流流路部材２１０とベース部２３５との境界部分が気密に保たれ、外気が流路（上流流路５００、連通路２３２、下流流路６００）に混入することを抑制することができる。また、当該流路中のインクの溶媒が揮発することも抑制され、インクの増粘を抑制することができる。
【００８６】
さらに、壁部２３６が溝部２１９に圧入されていることで、壁部２３６の側面は溝部２１９の内面に接触している。これにより、壁部２３６は、溝部２１９の内面により、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに傾斜したり変形することが規制されている。壁部２３６の傾斜等が溝部２１９により規制されるため、壁部２３６に傾斜や変形が生じることを原因として上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０との間に隙間が生じることを抑制することができる。
【００８７】
このように、溝部２１９により壁部２３６の傾斜等が規制されているため、上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０の圧力をより大きくしたとしても、壁部２３６の傾斜等が生じにくい。したがって、上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０が壁部２３６を押圧する圧力を高めることで、壁部２３６の傾斜等によるリークを生じることなく、シール部材２３０による気密性をより確実にすることができる。
【００８８】
さらに、第３上流流路部材２１３の溝部２１９の境界部分２１８ａ及び境界部分２１８ｂは面取りされている。これにより、シール部材２３０に対して第３上流流路部材２１３（上流流路部材２１０）を第３の方向Ｚの上方から接合する際に、壁部２３６を溝部２１９内に誘導することができる。
【００８９】
また、第１溝形成部２１３ａは、ベース部２３５に接触している。これにより、壁部２３６の内側の側面全体が第１溝形成部２１３ａに接触することになり、壁部２３６が内側に傾斜したり変形することをより確実に抑制することができる。また、第２溝形成部２１３ｂは、第１溝形成部２１３ａよりもシール部材２３０側に突出している。これにより、壁部２３６の外側の側面が第２溝形成部２１３ｂに接触することになり、壁部２３６が外側に傾斜したり変形することをより確実に抑制することができる。
【００９０】
なお、壁部２３６や溝部２１９の構成としては、図７（ａ）に示した態様に限定されない。図７（ａ）に示した構成では、第２溝形成部２１３ｂは下流流路部材２２０に接合されていた。すなわち、第３上流流路部材２１３の第２溝形成部２１３ｂは、下流流路部材２２０に接合されるとともに、溝部２１９の一部を構成するために兼用されていた。
【００９１】
図７（ｂ）に、第３上流流路部材２１３に溝部２１９を独立して設けた別態様を示す。具体的には、第３上流流路部材２１３の下流流路部材２２０に接合される脚部２１３ｄよりも内側に、シール部材２３０側に突出した第１溝形成部２１３ａ、溝部２１９、及び第２溝形成部２１３ｂを形成する。第２溝形成部２１３ｂは下流流路部材２２０に接触していないが、これに限らず、第２溝形成部２１３ｂを下流流路部材２２０に接触させてもよい。
【００９２】
このような構成の溝部２１９であっても、図７（ａ）と同様に、シール部材２３０の壁部２３６が傾斜等することを抑制することができ、壁部２３６の内側の空間Ａ（第３上流流路部材２１３、ベース部２３５、壁部２３６で形成される空間）を気密にすることができる。
【００９３】
さらに、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示した溝部２１９は、上流流路部材２１０に形成されていたが、下流流路部材２２０に形成されていてもよい。
図７（ｃ）に、下流流路部材２２０に溝部２１９を設けた別態様を示す。具体的には、下流流路部材２２０のシール部材２３０側の表面に、第１溝形成部２１３ａ、溝部２１９、及び第２溝形成部２１３ｂを形成する。
【００９４】
このような構成の溝部２１９であっても、図７（ａ）と同様に、シール部材２３０の壁部２３６が傾斜等することを抑制することができ、壁部２３６の内側の空間Ｂ（配線基板３００、下流流路部材２２０、ベース部２３５、壁部２３６で形成される空間）を気密にすることができる。
【００９５】
図４〜図６に示すように、シール部材２３０と下流流路部材２２０との間には、配線部材１２１が接続される配線基板３００が設けられている。配線基板３００には、配線部材１２１及び第３突起部２３１が挿通される第１挿通孔３０１が設けられている。また、配線基板３００には、シール部材２３０の第３突起部２３１のみが挿通する貫通孔３０２が設けられている。
【００９６】
すなわち、本実施形態では、４個の第３突起部２３１のうちの２個及び配線部材１２１が挿通する開口部である第１挿通孔３０１と、残り２個の第３突起部２３１のそれぞれが挿通する開口部である貫通孔３０２とが設けられている。
【００９７】
本実施形態の第１挿通孔３０１は、２つの配線部材１２１を挿通する大きさで形成されている。なお、２つの配線部材１２１の間には、２つのヘッドチップ２の下流流路６００が２個設けられているため、この下流流路６００に対応するシール部材２３０の第３突起部２３１は、配線部材１２１と共に第１挿通孔３０１に挿通される。
【００９８】
また、貫通孔３０２は、４つのうち２個の下流流路６００に対応して設けられた第３突起部２３１毎に設けられている。
なお、本実施形態では、２つのヘッドチップ２に共通する１つの配線基板３００を設けるようにした。もちろん、配線基板３００は、これに限定されず、１つのヘッドチップ２毎に分割して設けるようにしてもよい。
なお、本実施形態のように、２つのヘッドチップ２に共通する１枚の配線基板３００を用いることで、部品点数を減少させて組立作業を簡略化することができる。
【００９９】
また、配線基板３００には、上流流路部材２１０側の面であって、第１挿通孔３０１の第２の方向Ｙの両側の開口縁部に、配線部材１２１が接続される端子部３１０が設けられている。端子部３１０は、第１の方向Ｘに配線部材１２１の幅と略同じ幅に亘って形成されている。このような端子部３１０は、第３突起部２３１が挿通される貫通孔３０２を超えることなく形成されている。すなわち、端子部３１０は、第１挿通孔３０１と貫通孔３０２との間に設けられている。
【０１００】
そして、配線部材１２１の他端部は、配線基板３００の第１挿通孔３０１に下流流路部材２２０側から挿通される。このように第１挿通孔３０１に挿通された配線部材１２１の他端部は、配線基板３００の表面（上流流路部材２１０側の表面）において第２の方向Ｙに沿って屈曲され、配線基板３００の上流流路部材２１０側の表面上で端子部３１０に接続されている。つまり、配線部材１２１と配線基板３００（端子部３１０）との接続面は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの面内方向となる。
このように、配線部材１２１の他端部を屈曲することで、配線部材１２１を低背化でき、記録ヘッド１の第３の方向Ｚを小型化することができる。
【０１０１】
また、下流流路部材２２０には、配線基板３００側にかしめピン２２８が立設されている。かしめピン２２８は、加熱により変形可能な樹脂等から形成されており、本実施形態では、下流流路部材２２０と一体的に６つ形成されている。一方、配線基板３００には、かしめピン２２８が挿通されるかしめ穴３０３が６つ形成されている。
【０１０２】
かしめピン２２８は、かしめ穴３０３を挿通しており、かしめピン２２８の頂部２２８ａが熱変形により、かしめピン２２８の開口径よりも大きくなっている。これにより下流流路部材２２０上に載置された配線基板３００は、かしめピン２２８により下流流路部材２２０に固定されている。
【０１０３】
なお、配線基板３００を下流流路部材２２０に固定する構成としては、上述したような、かしめピン２２８及びかしめ穴３０３に限定されない。接着剤による接着や、ネジなどによる固定であってもよい。他にも、下流流路部材２２０に爪部を設け、該爪部を配線基板３００に係合させることで固定してもよい。
【０１０４】
ここで、上述したように、配線基板３００には、シール部材２３０に設けられた第３突起部２３１が挿通する第１挿通孔３０１及び貫通孔３０２が形成されている。
貫通孔３０２は、シール部材２３０を所定位置に位置決めするためにも用いられる。ここでいうシール部材２３０の所定位置とは、第３突起部２３１が下流流路部材２２０の第２突起部２２１に対向したときの位置である。
【０１０５】
上述したように、かしめ穴３０３及びかしめピン２２８により配線基板３００を下流流路部材２２０に固定した状態において、当該配線基板３００の貫通孔３０２に第３突起部２３１を挿入するようにシール部材２３０を移動させれば、上述したような所定位置にシール部材２３０を配置することができる。このように、第１挿通孔３０１及び貫通孔３０２は、シール部材２３０を所定位置に配置するように誘導するので、シール部材２３０を下流流路部材２２０に容易に位置決め及び固定させることができる。
【０１０６】
なお、配線基板３００には、図示しない配線や電子部品等が搭載されており、端子部３１０に接続された配線は、第２の方向Ｙの両端部側に設けられたコネクター３２０に接続されている。そして、コネクター３２０には、図示しない外部配線が接続される。なお、下流流路部材２２０には、コネクター３２０を露出するためのコネクター接続口２２５が設けられており、外部配線は、コネクター接続口２２５によって露出されたコネクター３２０に接続される。
【０１０７】
また、下流流路部材２２０の収容部２２６側には、固定部材の一例であるカバーヘッド４００が取り付けられている。
カバーヘッド４００は、ヘッドチップ２が固定され、下流流路部材２２０に固定される部材であり、ノズル２１を露出する第２露出開口部４０１が設けられている。本実施形態では、第２露出開口部４０１は、ノズルプレート２０を露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５の第１露出開口部４５ａと略同じ開口を有する。
【０１０８】
カバーヘッド４００は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接合されており、コンプライアンス部４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間を封止する。このようにコンプライアンス部４９をカバーヘッド４００で覆うことにより、コンプライアンス部４９が紙等の被記録媒体が接触しても破壊されるのを抑制することができる。また、コンプライアンス部４９にインク（液体）が付着するのを抑制して、カバーヘッド４００の表面に付着したインク（液体）を例えばワイパーブレード等で払拭することができ、被記録媒体をカバーヘッド４００に付着したインク等で汚すのを抑制することができる。なお、特に図示していないが、カバーヘッド４００とコンプライアンス部４９との間の空間は、大気開放されている。もちろん、カバーヘッド４００は、ヘッドチップ２毎に独立して設けられていてもよい。
【０１０９】
このように２つのヘッドチップ２が固定されたカバーヘッド４００は、下流流路部材２２０の下面側（液体噴射面２０ａ側）に固定されている。また、ヘッドチップ２の導入口４４の開口縁部と、収容部２２６の底面に開口した下流流路６００の開口縁部との間には若干の隙間が形成されている。この隙間には、接着剤２２７が設けられており、導入口４４と下流流路６００とは隙間なく連通されている。なお、下流流路部材２２０とヘッドチップ２との固定方法は接着剤２２７による接着に限定されず、例えば、ネジ等による固定であってもよい。
さらに、特に図示しないが、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０とはネジや接着剤など任意の固定手段により固定されている。
【０１１０】
以上に説明したように、本実施形態に係る記録ヘッド１によれば、シール部材２３０の壁部２３６が上流流路部材２１０に形成された溝部２１９に圧入されることで、壁部２３６の傾斜や変形を原因とするシール部材２３０によるシールの破壊が抑制される。このようにシールの破壊が抑制されるため、シール不良に起因するインクの吐出不良を抑制することができ、高品質なインクの吐出を行うことができる記録ヘッド１が提供される。
【０１１１】
〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、上述した実施形態１では、壁部２３６は溝部２１９に圧入されていたが、溝部２１９の幅を壁部２３６の幅よりも若干余裕を持たせて形成し、当該溝部２１９に壁部２３６を挿入させてもよい。そして、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０とで壁部２３６を押圧することで、壁部２３６を第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに膨張するように弾性変形させる。これにより、壁部２３６は溝部２１９の内面に密接するため、シール部材２３０はこれらの上流流路部材２１０と下流流路部材２２０とをシールすることができる。
【０１１２】
また、実施形態１では、溝部２１９は、上流流路部材２１０又は下流流路部材２２０の何れか一方に形成されていた（図７参照）。しかし、このような態様に限定されず、双方に溝部２１９を形成し、シール部材２３０の両面に壁部２３６を形成してもよい。
【０１１３】
また、上述した実施形態１では、ヘッドチップ２が２つ設けられた記録ヘッド１について説明したが、ヘッドチップ２の数は、特にこれに限定されず、１個のヘッドチップを有する記録ヘッド１であっても、３個以上のヘッドチップ２を有する記録ヘッド１であってもよい。
【０１１４】
また、上述した実施形態１では、第１挿通孔３０１に２つの配線部材１２１と２個の下流流路６００に対応する第３突起部２３１とを挿通するようにしたが、特にこれに限定されず、配線部材１２１を挿通する第１挿通孔と第３突起部２３１を挿通する貫通孔を独立して設けるようにしてもよい。また、第３突起部２３１毎に貫通孔を独立して設けるようにしてもよい。
【０１１５】
さらに、上述した実施形態１では、上流流路５００が設けられた上流流路部材２１０と下流流路６００が設けられた下流流路部材２２０とを有する流路部材２００を例示したが、例えば、インク（液体）を循環させる場合には、上流と下流とを逆転させればよい。すなわち、ヘッドチップ２に供給されたインクを下流流路６００から上流流路５００に流して液体保持部や排出されたインクが貯留される貯留部等に排出（循環）すればよい。
【０１１６】
また、上述した実施形態１では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター１３０を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【０１１７】
また、実施形態１の記録ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図９は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【０１１８】
図９に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数の記録ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニットＩＩ（以下、ヘッドユニットＩＩとも言う）は、液体保持部を構成するカートリッジ１Ａが着脱可能に設けられ、このヘッドユニットＩＩを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニットＩＩは、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【０１１９】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニットＩＩを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【０１２０】
また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１（ヘッドユニットＩＩ）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【０１２１】
また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、液体保持部であるカートリッジ１Ａがキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体保持部を装置本体４に固定して、液体保持部と記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体保持部がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。
【０１２２】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【符号の説明】
【０１２３】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  ＩＩ  インクジェット式記録ヘッドユニット、  １  記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２  ヘッドチップ、  ２０  ノズルプレート、  ２０ａ  液体噴射面、  ２１  ノズル、  １００  マニホールド、  １２０  駆動回路、  １２１  配線部材、  １３０  圧電アクチュエーター、  ２００  流路部材、  ２１０  上流流路部材、  ２１９  溝部、  ２２０  下流流路部材、  ２２４  第２挿通孔、  ２２６  収容部、  ２３０  シール部材、  ２３１  第３突起部（突起部）、  ２３２  連通路、  ２３５  ベース部、  ２３６  壁部、  ３００  配線基板、  ３０１  第１挿通孔、  ３０２  貫通孔、  ４００  カバーヘッド（固定部材）、  ５００  上流流路、  ６００  下流流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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