(57)【要約】【課題】粘着テープを板状ワークに貼着する際に、粘着テープに対して一方向にテンションが掛からないようにする。【解決手段】本発明の粘着テープの貼着方法は、粘着テープ１と支持テープ３とからなる２層構造テープ５を形成する２層構造テープ形成工程と、粘着テープ１の第１の粘着層２によって板状ワークＷに２層構造テープ５を貼着する貼着工程と、粘着テープ１から支持テープ３を剥離する支持テープ剥離工程と、粘着テープ１の余剰部６を切断除去する切断除去工程とを備える。２層構造テープ５を板状ワークＷに貼着する際には、支持テープ３によって粘着テープ１が支持されているため、粘着テープ１に対し一方向にテンションを掛けることなく板状ワークＷの第１の面Ｗａに粘着テープ１を貼着できる。よって、粘着テープ１に皺や筋などが発生するのを防止できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートと該基材シートの一方の面側に形成される第１の粘着層とにより構成される粘着テープを板状ワークに貼着する粘着テープの貼着方法であって、
伸縮性のない支持シートと該支持シートの一方の面側に形成される第２の粘着層とにより構成される支持テープを該第２の粘着層側から該基材シートの他方の面に貼着することにより、該粘着テープと該支持テープとからなる２層構造テープを形成する２層構造テープ形成工程と、
該２層構造テープ形成工程の後、該第１の粘着層によって板状ワークに該２層構造テープを貼着する貼着工程と、
該貼着工程の後、該粘着テープから該支持テープを剥離する支持テープ剥離工程と、
該粘着テープの余剰部分を切断除去する切断除去工程と、を備えた粘着テープの貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークに粘着性のテープを貼着する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成された板状ワークは、裏面の研削によって所定の厚みに薄化された後、分割予定ラインに沿って例えば切削ブレードにより切削することにより個々のデバイスに分割され、携帯電話機やパソコンなどの各種電気機器に組み込まれて利用される。
【０００３】
板状ワークの研削時においては、板状ワークの一方の面を保護するために、該一方の面にテープを貼着し、テープ側を保持テーブルに保持させるとともに板状ワークの他方の面を上向きに露出させ、該他方の面を研削することによりワークを薄化している。
【０００４】
また、薄化された板状ワークの分割時においては、各チップがバラバラにならないようにするために、中央に開口部を有し板状ワークの直径より大きい内径を有するリングフレームの該開口部に板状ワークを配置し、分割予定ラインが形成されるパターン面を表出させ、該パターン面と反対側の面とリングフレームとにテープを貼着することによって、テープを介してリングフレームで板状ワークを支持させる。そして、分割予定ラインに沿って切削ブレードによって切削することにより板状ワークを個々のチップに分割している。
【０００５】
板状ワークにテープを貼着するためには、例えば下記の特許文献１に示す粘着テープ貼着装置を用いることができる。この粘着テープ貼着装置では、テープがロール状に巻回されている保持ローラからテープを板状ワークの上方側に引き出すとともに、押圧ローラでテープを板状ワークに対して押圧することにより板状ワークにテープを貼着することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−２３６０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のような粘着テープ貼着装置において、保持ローラからテープを引き出す際には、テープの引き出し方向に張力（テンション）が加わるため、ある程度のテンションをかけた状態のまま、押圧ローラによってテープを押圧することで板状ワークにテープを貼着することができる。
【０００８】
ここで、テープを貼着する板状ワークのサイズが大きい場合には、テープの引き出し量も多くなるため、テープの自重による撓みを無くすためにテープの引き出し方向のテンションを強くする必要があり、テープには、該引き出し方向と平行な方向にのびる皺が発生しやすいという問題がある。
【０００９】
また、テープのうち板状ワークが貼着された部分に皺が発生しなくとも、板状ワークの外径とリングフレームの内径との間に筋が発生することがある。そのため、個々のチップのピックアップのために分割後の板状ワークに貼着されたテープを拡張するときに、該筋の影響により、テープの面方向（Ｘ方向，Ｙ方向）の拡張距離が異なってしまい、チップのピックアップに支障が生じるという問題もある。
【００１０】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、板状ワークにテープを貼着するときに、テープに対して一方向にテンションが掛からないようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、基材シートと該基材シートの一方の面側に形成される第１の粘着層とにより構成される粘着テープを板状ワークに貼着する粘着テープの貼着方法であって、伸縮性のない支持シートと該支持シートの一方の面側に形成される第２の粘着層とにより構成される支持テープを該第２の粘着層側から該基材シートの他方の面に貼着することにより、該粘着テープと該支持テープとからなる２層構造テープを形成する２層構造テープ形成工程と、該２層構造テープ形成工程の後、該第１の粘着層によって板状ワークに該２層構造テープを貼着する貼着工程と、該貼着工程の後、該粘着テープから該支持テープを剥離する支持テープ剥離工程と、該粘着テープの余剰部分を切断除去する切断除去工程と、を備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の粘着テープの貼着方法は、粘着テープと伸縮性のない支持テープとからなる２層構造テープを形成する２層構造テープ形成工程と、粘着テープの第１の粘着層によって板状ワークに２層構造テープを貼着する貼着工程と、粘着テープから支持テープを剥離する支持テープ剥離工程と、粘着テープの余剰部分を切断除去する切断除去工程とを備えているため、２層構造テープを板状ワークに貼着するときに、粘着テープに対して一方向にテンションが掛かることはない。これにより、板状ワークに貼着された２層構造テープを構成する粘着テープに皺や筋などが発生するのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】載置工程を示す断面図である。
【図２】２層構造テープ形成工程を示す断面図である。
【図３】テープ貼着工程を示す断面図である。
【図４】支持テープ剥離工程を示す断面図である。
【図５】切断除去工程を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下では、添付の図面を参照しながら、板状ワークＷに粘着性のテープを板状ワークＷに貼着する方法について説明する。
【００１５】
載置工程
図１に示すように、被加工物を保持する保持テーブル１０に板状ワークＷを搬送する。板状ワークＷは、被加工物の一例であって、第１の面Ｗａと反対側の面である第２の面Ｗｂが保持テーブル１０に保持される。保持テーブル１０は、板状ワークＷの第２の面Ｗｂを吸引保持する保持面１０ａを備えており、所定の回転方向に回転させる回転手段１１が接続されている。
【００１６】
まず、図１に示すように、中央に開口部を有する環状のフレームＦを保持テーブル１０に載置する。次いで、板状ワークＷの第２の面Ｗｂ側を、保持テーブル１０の保持面１０ａのうち該開口部から表出した位置に載置して板状ワークＷの第１の面Ｗａを上向きに露出させた後、図示しない吸引源が作動することにより、保持テーブル１０の保持面１０ａで板状ワークＷを吸引保持する。
【００１７】
２層構造テープ形成工程
次に、図２に示すように、粘着テープ１と支持テープ３とを貼りあわせ、板状ワークＷに貼着するための２層構造テープ５を形成する。粘着テープ１は、基材シート１ｃと、基材シート１ｃの一方の面１ａ側に形成された第１の粘着層２とから構成されている。一方の面１ａと反対側の他方の面１ｂ側には粘着層が形成されていない。一方、支持テープ３は、伸縮性のない支持シート３ｃと、支持シート３ｃの一方の面３ａ側に形成された第２の粘着層４とから形成されている。一方の面１ａと反対側にある他方の面３ｂ側には、粘着層が形成されていない。
【００１８】
このように構成される２層構造テープ５を引き出し手段１２によって引き出す。引き出し手段１２は、テープの一端を把持する把持部１２０を備え、テープを水平方向に引き出すことが可能となっている。引き出し手段１２は、粘着テープ１とこれに貼着される支持テープ３とを把持部１２０で把持するとともに、把持部１２０を例えばＹ１方向に移動させることで、保持テーブル１０に保持された板状ワークＷの上方側に引き出す。
【００１９】
２層構造テープ５は、板状ワークＷの上方側に引き出す直前に形成してもよいし、粘着テープ１と支持テープ３とを板状ワークＷの上方側に引き出してから両者を貼り合せるようにしてもよい。粘着テープ１と支持テープ３とを板状ワークＷの上方側に引き出してから両者を貼り合せる場合は、貼着ローラ１４を用いて粘着テープ１に支持テープ３を貼着する。貼着ローラ１４は、粘着テープ１及び支持テープ３の面方向と平行な方向にのびるガイド１３に沿って移動可能に配設されているとともに、回転軸１４ａを中心として回転可能である。
【００２０】
貼着ローラ１４を例えば矢印Ｂ方向に回転させながら支持テープ３の他方の面３ｂを下方に押圧するとともに、貼着ローラ１４を走行手段１３に沿って例えばＹ２方向に転動させる。そして、転動する貼着ローラ１４の押圧に伴い、支持テープ３の第２の粘着層４が粘着テープ１の基材シート１ｃの他方の面１ｂに接着されることで、粘着テープ１と支持テープ３とからなる２層構造テープ５を形成する。
【００２１】
（３）貼着工程
２層構造テープ形成工程を実施した後、図３に示すように、２層構造テープ５を板状ワークＷに貼着する。具体的には、２層構造テープ５のうち、粘着テープ１の第１の粘着層２側を板状ワークＷの第１の面ＷａとフレームＦに接触させるとともに、貼着ローラ１４を例えば矢印Ｂ方向に回転させながら板状ワークＷ及びフレームＦに対して押圧するとともに、貼着ローラ１４をガイド１３に沿って例えばＹ２方向に転動させる。このようにして、貼着ローラ１４の押圧により、粘着テープ１の第１の粘着層２が板状ワークＷの第１の面ＷａとフレームＦの上部とに接着され、２層構造テープ５を板状ワークＷに貼着することができる。
【００２２】
粘着テープ１は支持テープ３に貼着されており、支持テープを構成する支持シート３ｃには伸縮性がないため、支持テープ３によって支持された粘着テープ１が貼着ローラ１４の押圧に伴って伸縮したりすることはない。また、図２に示した引き出し手段１２によるテープの引き出しも行わないため、粘着テープ１に対して一方向（例えばＹ１方向）にテンションが掛かることはない。
【００２３】
（４）支持テープ剥離工程
貼着工程を実施した後、図４に示すように、粘着テープ１から支持テープ３を剥離する。粘着テープ１から支持テープ３を剥離する方法は、特に限定されるものではなく、例えば剥離テープを支持テープ３の他方の面３ｂに貼着し、剥離テープを引き上げることにより支持テープ３を粘着テープ１から剥離することができる。なお、粘着テープ１から剥離した支持テープ３は、例えばローラに巻き取らせて再利用してもよい。
【００２４】
（５）切断除去工程
粘着テープ１から支持テープ３を完全に剥離したら、板状ワークＷの第１の面Ｗａ及びフレームＦの上面に粘着テープ１のみが貼着された状態となり、板状ワークＷの外周側には、図４に示す粘着テープ１の不要な余剰部６が残存するため、図５に示すように、保持テーブル１０の上方側に配置された切断刃１５を用いて余剰部６を除去する。
【００２５】
具体的には、図４に示した粘着テープ１の余剰部６の上方側に切断刃１５を位置づける。続いて切断刃１５をＺ軸方向に下降させて粘着テープ１の余剰部６に切り込ませるとともに、回転手段１１によって保持テーブル１０を例えば矢印Ａ方向に回転させることにより、粘着テープ１の余剰部６を円弧状に切断して除去する。以上のようにして、板状ワークＷの第１の面Ｗａ及びフレームに粘着テープ１が貼着される。
【００２６】
なお、支持テープ剥離工程を実施する前に切断除去工程を実施してもよい。この場合は、板状ワークＷの外周側からはみ出している不要な粘着テープ１の余剰部を支持テープ３とともに除去する。支持テープ剥離工程と切断除去工程との順番を入れ替えて実施する場合には、粘着テープ１と支持テープ３とを同時に切断することになるため、切断時において粘着テープ１によじれが発生するのを防止できる。
【００２７】
本発明の粘着テープの貼着方法では、２層構造テープ形成工程を実施して粘着テープ１とこれに貼着される伸縮性のない支持テープ３とから構成される２層構造テープ５を形成し、その後、貼着工程を実施して２層構造テープ５を板状ワークＷの第１の面Ｗａに貼着するため、支持テープ３に支持された粘着テープ１に対して一方向にテンションが掛かることはない。これにより、粘着テープ１に皺や筋が発生するのを防止することができる。
また、貼着工程を実施した後は、支持テープ剥離工程を実施することにより、粘着テープ１から支持テープ３を剥離するため、板状ワークＷの第１の面Ｗａに皺や筋が形成されていない粘着テープ１が貼着された状態になる。よって、分割後の板状ワークＷの取り扱いを容易とすることができる。
【符号の説明】
【００２８】
１：粘着テープ  １ａ：一方の面  １ｂ：他方の面  １ｃ：基材シート
２：第１の粘着層
３：支持テープ  ３ａ：一方の面  ３ｂ：他方の面  ３ｃ：支持シート
４：第２の粘着層
５：２層構造テープ  ６：余剰部
１０：保持テーブル  １０ａ：保持面  １１：回転手段
１２：引き出し手段  １２０：把持部  １３：走行手段
１４：貼着ローラ  １５：ブレード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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