(57)【要約】【課題】  ガラスフィルムをレーザー割断によって割断する場合に、正確なレーザー割断の実行を可能とすると共に、切れ残り部の残存を防止すること。【解決手段】  ガラスフィルム２の端部間を横断する割断予定線４の一方端４ａに、初期クラック１２を形成する初期クラック形成工程と、ガラスフィルム２における割断予定線４を含む部位を湾曲させ、割断予定線４と直交する方向に引張応力を作用させる応力付与工程と、レーザー５の照射による加熱、及び、これに追随する冷媒７による冷却により、初期クラック１２を割断予定線４に沿って他方端４ｂに向かって進展させる割断工程とを含んだガラスフィルムの割断方法であって、初期クラック形成工程を、ガラスフィルム２における割断予定線４の一方端４ａを含む部位を平坦にした状態で実行すると共に、応力付与工程の実行により、割断工程における切れ残り部を割断するようにした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスフィルムの端部間を横断する割断予定線の一方端に、初期クラックを形成する初期クラック形成工程と、前記ガラスフィルムにおける前記割断予定線を含む部位を湾曲させ、該割断予定線と直交する方向に引張応力を作用させる応力付与工程と、レーザーの照射による加熱、及び、これに追随する冷媒による冷却により、前記初期クラックを前記割断予定線に沿って他方端に向かって進展させる割断工程とを含んだガラスフィルムの割断方法であって、
前記初期クラック形成工程を、前記ガラスフィルムにおける前記割断予定線の一方端を含む部位を平坦にした状態で実行すると共に、
前記応力付与工程の実行により、前記割断工程における切れ残り部を割断することを特徴とするガラスフィルムの割断方法。
【請求項２】
前記割断工程の開始から、前記ガラスフィルムが前記割断予定線の全長に亘って割断されるまでの間、前記応力付与工程を実行することを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの割断方法。
【請求項３】
前記切れ残り部の割断時のみ、前記応力付与工程を実行することを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの割断方法。
【請求項４】
前記割断予定線を境界とする一方側と他方側との各々に、前記ガラスフィルムを支持し、且つ前記割断予定線と平行に延びる軸を回転中心として自転可能な支持部材を設け、
一方側の前記支持部材と他方側の前記支持部材とを逆向きに自転させることで、前記応力付与工程を実行することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラスフィルムの割断方法。
【請求項５】
前記割断予定線を境界とする一方側と他方側との各々に、前記ガラスフィルムを支持する支持部材を設け、
前記割断予定線に向かってガスを噴射することで、前記応力付与工程を実行することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラスフィルムの割断方法。
【請求項６】
前記支持部材における前記ガラスフィルムを支持する支持面に複数の孔を設け、
前記応力付与工程の実行時に、前記孔を介して前記ガラスフィルムに負圧を発生させることを特徴とする請求項４又は５に記載のガラスフィルムの割断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー割断によってガラスフィルムを割断するガラスフィルムの割断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年急速に普及しているスマートフォンや、タブレット型ＰＣ等のモバイル機器は、軽量であることが要求されるため、当該機器に採用されるガラス基板においては、薄肉化が推進されているのが現状である。そして、このような要求に応えるものとして、ガラス基板をフィルム状にまで薄肉化（例えば、厚みが２００μｍ以下）したガラスフィルムが開発されるに至っている。
【０００３】
このガラスフィルムを割断するための方法の一つとして、レーザー割断がある。この方法では、まず、ガラスフィルムの端部に初期クラックが形成される。そして、レーザーの照射により加熱された加熱部と、冷媒（例えば、霧状の水）の噴射等により冷却され、且つ加熱部に追随する冷却部とを、初期クラックを始点としてガラスフィルムの端部間を横断するように順次に形成していく。これにより、加熱部と冷却部との温度差に起因して発生する熱応力によって初期クラックが進展し、ガラスフィルムが割断される。
【０００４】
ところで、レーザー割断によってガラスフィルムを割断する場合には、以下のような難点がある。すなわち、図７（ａ）に示すように、クラック１００の進展の終点となるガラスフィルム１０１の端部１０１ａの近傍においては、同図に二点鎖線で表すように、加熱部１０２と冷却部１０３との双方を形成するためのスペースを確保し難い。このため、両部１０２，１０３をガラスフィルム１０１に同時に形成することが困難となる。
【０００５】
その結果、ガラスフィルム１０１の端部１０１ａの近傍では、クラック１００を進展させるための所要の熱応力を作用させることができず、当該クラック１００の進展が端部１０１ａへと至る前に停止してしまい、図７（ｂ）に示すように、ガラスフィルム１０１に切れ残り部１０１ｂが残存してしまう不具合があった。
【０００６】
ここで、特許文献１には、ガラスのみでなく、ガラスを含む種々の脆性材料を割断の対象としたものであるが、上記の不具合を解消し得るレーザー割断装置が開示されている。
【０００７】
同装置を用いた脆性材料基板の割断では、まず、脆性材料基板を湾曲させることで、初期クラックの進展予定方向（割断の進行予定方向）と直交する方向に引張応力を作用させる。そして、この状態の下で、脆性材料基板の端部に初期クラックを形成すると共に、加熱部と冷却部とを脆性材料基板上に順次に形成していく。これにより、初期クラックを進展させて脆性材料基板を割断する。
【０００８】
このような態様によれば、初期クラックの進展の終点となる端部において、初期クラックを進展させるための熱応力が不十分となっても、湾曲させた脆性材料基板に作用する引張応力によって、初期クラックの進展を持続させることが可能となる。そのため、切れ残り部の残存を好適に防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１２−４５８３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１に開示されたレーザー割断装置によっても、下記のような未だ解決すべき問題が発生している。すなわち、同文献に開示された装置をガラスフィルムの割断に用いた場合、湾曲によって引張応力が作用した状態のガラスフィルムの端部に、初期クラックが形成されることになる。
【００１１】
そのため、引張応力によって、初期クラックが意図しない方向へと延びた状態に形成されてしまう場合がある。このような事態が発生すると、レーザー割断の実行時において、初期クラックが意図した方向とは異なる方向へと進展したり、初期クラックを進展させること自体が不可能となったりして、正確なレーザー割断の実行が阻害される問題が生じていた。
【００１２】
上記事情に鑑みなされた本発明は、ガラスフィルムをレーザー割断によって割断する場合に、正確なレーザー割断の実行を可能とすると共に、切れ残り部の残存を防止することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラスフィルムの端部間を横断する割断予定線の一方端に、初期クラックを形成する初期クラック形成工程と、ガラスフィルムにおける割断予定線を含む部位を湾曲させ、割断予定線と直交する方向に引張応力を作用させる応力付与工程と、レーザーの照射による加熱、及び、これに追随する冷媒による冷却により、初期クラックを割断予定線に沿って他方端に向かって進展させる割断工程とを含んだガラスフィルムの割断方法であって、初期クラック形成工程を、ガラスフィルムにおける割断予定線の一方端を含む部位を平坦にした状態で実行すると共に、応力付与工程の実行により、割断工程における切れ残り部を割断することに特徴付けられる。
【００１４】
このような方法によれば、初期クラック形成工程が、ガラスフィルムにおける割断予定線の一方端を含む部位（以下、初期クラック形成部位と表記する）を平坦にした状態で実行される。従って、初期クラック形成部位において、ガラスフィルムの湾曲によって作用する引張応力が略完全に排除された状態の下で、初期クラックが形成されることになる。このため、初期クラックが意図しない方向へと延びた状態に形成されるような事態の発生を回避することが可能となり、割断工程において、初期クラックを割断予定線に沿って確実に進展させることができる。また、割断工程の実行時に、割断予定線の他方端近傍において、初期クラックを進展させるための熱応力が不十分となっても、応力付与工程を実行することで、割断予定線と直交する方向に作用する引張応力により、割断工程における切れ残り部を初期クラックが進展していく。以上のことから、この方法によれば、正確なレーザー割断の実行が可能となると共に、切れ残り部の発生を防止することができる。
【００１５】
上記の方法において、割断工程の開始から、ガラスフィルムが割断予定線の全長に亘って割断されるまでの間、応力付与工程を実行してもよいし、切れ残り部の割断時のみ、応力付与工程を実行してもよい。
【００１６】
少なくとも切れ残り部の割断時に応力付与工程を実行しておけば、割断工程における切れ残り部を初期クラックが進展し、当該切れ残り部の残存を防止することが可能である。
【００１７】
上記の方法において、割断予定線を境界とする一方側と他方側との各々に、ガラスフィルムを支持し、且つ割断予定線と平行に延びる軸を回転中心として自転可能な支持部材を設け、一方側の支持部材と他方側の支持部材とを逆向きに自転させることで、応力付与工程を実行してもよい。
【００１８】
このようにすれば、一方側の支持部材と他方側の支持部材とが逆向きに自転するのに伴って、ガラスフィルムにおける割断予定線を含む部位（以下、割断予定線周辺部位と表記する）が湾曲し、応力付与工程を実行することができる。また、両支持部材が自転する際の回転角度の大小により、割断予定線周辺部位における湾曲時の曲率を変化させることが可能である。このため、割断の対象となるガラスフィルムの厚みに応じて、適切な大きさの引張応力を割断予定線周辺部位に作用させることができる。
【００１９】
上記の方法において、割断予定線を境界とする一方側と他方側との各々に、ガラスフィルムを支持する支持部材を設け、割断予定線に向かってガスを噴射することで、応力付与工程を実行してもよい。
【００２０】
このようにすれば、ガスの噴射に伴って割断予定線周辺部位が湾曲し、応力付与工程を実行することができる。また、ガスの噴射圧力の大小により、割断予定線周辺部位における湾曲時の曲率を変化させることが可能である。このため、割断の対象となるガラスフィルムの厚みに応じて、適切な大きさの引張応力を割断予定線周辺部位に作用させることができる。
【００２１】
上記の方法において、支持部材におけるガラスフィルムを支持する支持面に複数の孔を設け、応力付与工程の実行時に、孔を介してガラスフィルムに負圧を発生させることが好ましい。
【００２２】
このようにすれば、応力付与工程の実行時において、ガラスフィルムが支持部材に吸着されて固定される。そのため、より安定して応力付与工程を実行することが可能となる。また、支持部材とガラスフィルムとの摺動を防止することができ、ガラスフィルムに傷が生じるような事態の発生を回避することが可能となる。
【発明の効果】
【００２３】
以上のように、本発明によれば、ガラスフィルムをレーザー割断によって割断する場合に、正確なレーザー割断の実行が可能となると共に、切れ残り部の残存を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法に用いるレーザー割断装置を示す平面図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法に用いるレーザー割断装置を示す正面図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法を示す正面図である。
【図４】本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法を示す正面図である。
【図５】本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法を示す正面断面図である。
【図６】本発明の第二実施形態に係るガラスフィルムの割断方法を示す正面断面図である。
【図７】従来におけるガラスフィルムの割断方法を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態に係るガラスフィルムの割断方法について、添付の図面を参照して説明する。なお、以下に説明するガラスフィルムの割断方法は、厚みが２００μｍ以下のガラスフィルムの割断に適用することが好ましい。
【００２６】
まず、本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法に用いるレーザー割断装置について説明する。
【００２７】
図１、図２は、それぞれレーザー割断装置１を示す平面図、正面図である。これらの図に示すように、レーザー割断装置１は、ガラスフィルム２を支持する支持部材としての可動テーブル３と、ガラスフィルム２の端部間を横断する割断予定線４に沿って加熱を行うためのレーザー５を照射するレーザー照射器６と、レーザー５の照射に追随してガラスフィルム２を冷却するための冷媒７（例えば、霧状の水）を噴射する冷媒噴射ノズル８と、ガラスフィルム２における割断予定線４の一方端４ａ近傍を支持する支持台９とを備えている。
【００２８】
可動テーブル３は、割断予定線４を境界とする一方側と他方側との各々に一台ずつが配置されている。両可動テーブル３の各々について、ガラスフィルム２を支持する支持面３ａには複数の孔３ｂが設けられている。この孔３ｂの各々は、図示省略の負圧発生装置（例えば、真空ポンプ）と接続されており、負圧の発生に伴って、可動テーブル３が孔３ｂを介してガラスフィルム２を吸着し、固定することが可能となっている。また、両可動テーブル３は、図１に矢印で示すように、割断予定線４と平行な方向に同期して移動することが可能となっている。さらに、両可動テーブル３の各々には、割断予定線４と平行に延びる軸３ｃが内蔵されており、図２に矢印で示すように、両可動テーブル３は、軸３ｃを回転中心として相互に逆向きに自転することが可能となっている。そして、自転によって両可動テーブル３が水平姿勢（図２において、実線で表した姿勢）から傾斜姿勢（図２において、二点鎖線で表した姿勢）へと傾くことで、ガラスフィルム２における割断予定線４の近傍が、平坦な状態から上に凸となるように湾曲した状態へと弾性変形する。なお、両可動テーブル３の各々が軸３ｃの周りを回転する回転角度は、ガラスフィルム２の厚みに応じて任意の角度に調節することが可能となっている。
【００２９】
レーザー照射器６は、ガラスフィルム２の上方において、定点に固定された状態で設置されている。そして、可動テーブル３の移動に伴って、レーザー照射器６の下方を通過するガラスフィルム２に対し、割断予定線４に沿ってレーザー５を照射して加熱を行う構成とされている。冷媒噴射ノズル８は、レーザー照射器６と同様にガラスフィルム２の上方において、定点に固定された状態で設置されている。そして、割断予定線４におけるレーザー５を照射済みの箇所に対し、冷媒７を噴射して冷却を行う構成とされている。これらにより、図１に二点鎖線で表すように、レーザー５の照射によって加熱された加熱部１０と、冷媒の噴射によって冷却され、且つ加熱部１０に追随する冷却部１１とが、割断予定線４の一方端４ａ側から他方端４ｂ側に向かって順次に形成されていく。
【００３０】
支持台９は、図２に示すように、両可動テーブル３の間に位置し、ガラスフィルム２における割断予定線４の一方端４ａ近傍を支持する機能を有している。また、支持台９は、同図に矢印で示すように、上下方向に沿って昇降自在な構成とされている。これにより、一方端４ａ近傍を支持する際の支持位置（図２において、実線で表した位置）と、ガラスフィルム２から離間した離間位置（図２において、二点鎖線で表した位置）との間を移動することが可能となっている。
【００３１】
以下、上記のレーザー割断装置を用いた本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法について説明する。
【００３２】
この第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法は、ガラスフィルム２の端部間を横断する割断予定線４の一方端４ａに、初期クラック１２を形成する初期クラック形成工程と、ガラスフィルム２における割断予定線４を含む部位を湾曲させ、割断予定線４と直交する方向に引張応力を作用させる応力付与工程と、レーザー５の照射による加熱、及び、これに追随する冷媒７による冷却により、初期クラック１２を割断予定線４に沿って他方端４ｂに向かって進展させる割断工程とを含んでいる。
【００３３】
はじめに、初期クラック形成工程が実行される。この初期クラック形成工程では、まず、図３に示すように、水平姿勢の両可動テーブル３と、支持位置まで上昇した状態にある支持台９とにより、ガラスフィルム２の全体が平坦な状態で支持される。そして、この状態の下で、ホイールカッター１３を転動させ、ガラスフィルム２を押圧することで、割断予定線４の一方端４ａに初期クラック１２を形成する。
【００３４】
ここで、初期クラック形成工程の実行時において、ホイールカッター１３を転動させる方向は、割断予定線４に沿ってガラスフィルム２の内側から端部側に向かう方向とすることが好ましい。また、ホイールカッター１３が転動する距離は、５ｍｍ〜１０ｍｍの範囲内とすることが好ましい。
【００３５】
初期クラック形成工程が完了すると、図４に示すように、支持台９を離間位置まで下降させる。そして、負圧発生装置によって負圧を発生させることで、両可動テーブル３の支持面３ａにガラスフィルム２を吸着させて固定する。次いで、応力付与工程を実行する。この応力付与工程では、両可動テーブル３の相互に逆向きの自転により、両可動テーブル３を水平姿勢から傾斜姿勢へと傾ける。これにより、ガラスフィルム２における割断予定線４の近傍のみが平坦な状態から湾曲した状態へと弾性変形し、割断予定線４と直交する方向に引張応力が作用する。なお、本実施形態においては、ガラスフィルム２が割断予定線４の全長に亘って割断されるまでの間、応力付与工程を実行し続ける。
【００３６】
そして、応力付与工程の実行を開始した後、割断工程を実行する。この割断工程では、両可動テーブル３を割断予定線４と平行な方向に同期して移動させると共に、図４に示すように、初期クラック１２を始点に、割断予定線４に沿ったレーザー５の照射と、これに追随する冷媒７の噴射とを行う。これにより、加熱部１０と冷却部１１との温度差に起因して発生する熱応力で、初期クラック１２を割断予定線４に沿って他方端４ｂに向かって進展させる。
【００３７】
ここで、割断工程の実行時において、両可動テーブル３が割断予定線４と平行な方向に移動する速度は、３５ｍｍ／ｓ〜１６０ｍｍ／ｓの範囲内であることが好ましい。
【００３８】
なお、図５（図１におけるＡ−Ａ断面に初期クラック１２の進展が到達した状態を図示）に示すように、初期クラック１２が割断予定線４の他方端４ｂ近傍まで進展すると、初期クラック１２を進展させるための熱応力が不十分となる。しかしながら、応力付与工程を実行していることで、割断予定線４と直交する方向に作用する引張応力により、初期クラック１２の進展が持続し、当該初期クラック１２が割断予定線４の他方端４ｂまで到達する。これにより、ガラスフィルム２が割断予定線４の全長に亘って割断される。
【００３９】
以下、本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法の作用・効果について説明する。
【００４０】
この第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法によれば、初期クラック形成工程が、ガラスフィルム２の全体を平坦にした状態で実行される。従って、割断予定線４の一方端４ａにおいて、ガラスフィルム２の湾曲によって作用する引張応力が略完全に排除された状態の下で、初期クラック１２が形成される。このため、初期クラック１２が意図しない方向へと延びた状態に形成されるような事態の発生を回避することが可能となる。その結果、割断工程において、初期クラック１２を割断予定線４に沿って確実に進展させることができる。
【００４１】
なお、この作用・効果は、ガラスフィルム２における割断予定線４の一方端４ａ近傍が、支持台９によって支持されていることで、より高められる。
【００４２】
また、割断工程の実行時に、割断予定線４の他方端４ｂ近傍において、初期クラック１２を進展させるための熱応力が不十分となっても、応力付与工程が実行されていることで、割断予定線４と直交する方向に作用する引張応力により、初期クラック１２の進展が持続され、当該初期クラック１２が割断予定線４の他方端４ｂまで到達する。以上のことから、このガラスフィルムの割断方法によれば、正確なレーザー割断の実行が可能となると共に、切れ残り部の発生を防止することができる。
【００４３】
さらに、このガラスフィルムの割断方法によれば、以下のような作用・効果をも得ることが可能である。
【００４４】
すなわち、この方法では、両可動テーブル３が自転する際の回転角度の大小により、割断予定線４の近傍において、ガラスフィルム２における湾曲時の曲率を変化させることが可能である。このため、応力付与工程の実行時に、割断の対象となるガラスフィルム２の厚みに応じて、適切な大きさの引張応力を作用させることができる。
【００４５】
また、この方法では、応力付与工程の実行時において、ガラスフィルム２が可動テーブル３の支持面３ａに吸着されて固定される。そのため、安定して応力付与工程を実行することが可能となる。また、可動テーブル３とガラスフィルム２との摺動を防止することができ、ガラスフィルム２に傷が生じるような事態の発生を回避することが可能である。
【００４６】
さらに、この方法では、応力付与工程の実行時において、ガラスフィルム２における割断予定線４の近傍は、その全領域が上に凸となるように単一に湾曲する。このため、割断予定線４の近傍を一様な曲率で湾曲させやすくなる。これにより、応力付与工程の実行によって作用する引張応力の大きさに、バラつきが生じるような事態の発生を回避できる。
【００４７】
以下、本発明の第二実施形態に係るガラスフィルムの割断方法に用いるレーザー割断装置について説明する。
【００４８】
図６は、レーザー割断装置１を示す正面断面図である。なお、このレーザー割断装置１の各構成要素に関し、上記の第一実施形態で用いたレーザー割断装置と同一な構成要素については、第一実施形態の説明で参照した各図面で各構成要素に付した符号と同一の符号を付すことにより、重複する説明を省略する。
【００４９】
このレーザー割断装置１が、上記の第一実施形態で用いたレーザー割断装置と相違している点は、可動テーブル３から軸３ｃが除去されている点と、両可動テーブル３の間に配置され、且つ割断予定線４に向かってガス１４（例えば、空気）を噴射するガス噴射器１５を備えている点である。
【００５０】
このレーザー割断装置１においては、可動テーブル３から軸３ｃが除去されていることで、可動テーブル３は、常に水平姿勢を維持する構成となっている。
【００５１】
ガス噴射器１５は、両可動テーブル３の間に位置すると共に、割断予定線４と平行な方向に延びる構成となっている。そして、可動テーブル３の移動に伴って、ガス噴射器１５の上方を通過するガラスフィルム２に対し、割断予定線４に向かってガス１４を噴射する。これにより、ガラスフィルム２における割断予定線４の近傍を、平坦な状態から湾曲した状態へと弾性変形させる。なお、ガス１４の噴射圧力は、任意の圧力に調節することが可能となっている。
【００５２】
以下、上記のレーザー割断装置を用いた本発明の第二実施形態に係るガラスフィルムの割断方法について説明する。なお、以下の説明では、第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法と相違する点についてのみ説明する。以下に言及のない工程については、第一実施形態と同様にして実行される。
【００５３】
この第二実施形態に係るガラスフィルムの割断方法が、第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法と相違している点は、応力付与工程の実行態様である。すなわち、第二実施形態に係るガラスフィルムの割断方法においては、ガス１４の噴射により、ガラスフィルム２における割断予定線４の近傍が、平坦な状態から湾曲した状態へと弾性変形し、割断予定線４と直交する方向に引張応力が作用する。
【００５４】
以下、本発明の第二実施形態に係るガラスフィルムの割断方法の作用・効果について説明する。
【００５５】
この第二実施形態に係るガラスフィルムの割断方法によっても、第一実施形態に係るガラスフィルムの割断方法と同様の理由から、以下の（１）〜（３）の効果が得られる。（１）確実なレーザー割断の実行が可能となる。（２）切れ残り部の発生を防止することができる。（３）ガラスフィルム２における傷の発生を回避できる。
【００５６】
また、この方法では、ガス１４の噴射圧力の大小により、割断予定線４の近傍において、ガラスフィルム２における湾曲時の曲率を変化させることが可能である。このため、応力付与工程の実行時に、割断の対象となるガラスフィルム２の厚みに応じて、適切な大きさの引張応力を作用させることができる。
【００５７】
ここで、本発明に係るガラスフィルムの割断方法は、上記の実施形態で説明した態様に限定されるものではない。例えば、上記の実施形態では、初期クラック形成工程において、ガラスフィルムの全体を平坦にした状態で、初期クラックを形成している。しかしながら、初期クラック形成工程においては、少なくともガラスフィルムにおける割断予定線の一方端を含む部位が平坦であればよい。そのため、例えば、一方端の近傍のみを平坦にした状態で、初期クラック形成工程を実行してもよい。
【００５８】
また、上記の実施形態では、初期クラック形成工程の完了後、ガラスフィルムが割断予定線の全長に亘って割断されるまでの間、応力付与工程を実行し続ける態様となっているが、この限りではない。例えば、初期クラック形成工程の完了後、応力付与工程を実行せずに割断工程を実行する。そして、熱応力による初期クラックの進展が停止した際に、応力付与工程を実行してもよい。つまり、切れ残り部の割断時のみ応力付与工程を実行する態様とすることも可能である。さらには、割断工程の実行中における任意のタイミングから応力付与工程の実行を開始し、ガラスフィルムが割断予定線の全長に亘って割断されるまでの間、応力付与工程を実行し続ける態様としてもよい。
【００５９】
また、上記の実施形態では、応力付与工程の実行時に、ガラスフィルムにおける割断予定線の近傍のみを湾曲させる態様となっているが、応力付与工程においては、少なくともガラスフィルムにおける割断予定線を含む部位が湾曲した状態となっていればよい。このため、割断予定線と直交する方向において、ガラスフィルムの全体を湾曲させる態様としてもよい。さらに、応力付与工程においては、割断予定線と直交する方向に引張応力が作用してさえいればよいため、上記の実施形態とは逆に、ガラスフィルムが下に凸となるように湾曲させてもよい。加えて、上記の第一実施形態においては、可動テーブルの回転中心となる軸の位置は、可動テーブルにおける任意の位置としてよい。ただし、割断予定線から離れた位置に軸を設ける場合には、ガラスフィルムの湾曲に伴って可動テーブルが割断予定線に接近する方向にスライドできる機構を設けることが好ましい。また、応力付与工程の実行は、上記の第一実施形態における可動テーブルの回転と、第二実施形態におけるガスの噴射とを組み合わせて実行してもよい。
【００６０】
また、上記の実施形態では、可動テーブルにおける支持面に複数の孔が設けられ、応力付与工程の実行時に、可動テーブルの支持面がガラスフィルムを吸着して固定する態様となっている。しかしながら、可動テーブルへのガラスフィルムの固定は、例えば、ガラスフィルムを介して可動テーブル上に錘を載せることで行ってもよい。さらに、上記の実施形態では、初期クラック形成工程の実行時には、可動テーブルの支持面によるガラスフィルムの吸着が行われていないが、初期クラック形成工程においても、ガラスフィルムの吸着を行ってもよい。
【００６１】
また、上記の実施形態では、レーザー照射器、及び冷媒噴射ノズルを定点に固定し、可動テーブルに支持されたガラスフィルムを移動させることで、割断工程を実行している。しかしながら、この限りではなく、ガラスフィルムを固定して、レーザー照射器、及び冷媒噴射ノズルを移動させることで、割断工程を実行してもよい。さらには、レーザー照射器、及び冷媒噴射ノズルと、ガラスフィルムとが相対移動する態様である限り、任意の態様により割断工程を実行してよい。
【符号の説明】
【００６２】
２          ガラスフィルム
３          可動テーブル
３ａ        支持面
３ｂ        孔
３ｃ        軸
４          割断予定線
４ａ        割断予定線の一方端
４ｂ        割断予定線の他方端
５          レーザー
７          冷媒
１２        初期クラック
１４        ガス
【図１】
2015140279.tif 000003
【図２】
2015140279.tif 000004
【図３】
2015140279.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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