(57)【要約】【課題】ガラスシートの破損を低減できるインプリント方法を提供する。【解決手段】インプリント方法は、ガラスシート１１を平坦な状態で複数組の回転ロール４１、４２とニップロール４３、４４との間を通過させると共に、複数の回転ロール４１、４２に架け回されるエンドレスベルト状のモールド３３を輪転させる工程を有する。ガラスシート１１及びモールド３３は、一組の回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入されてから、他の一組の回転ロール４２とニップロール４４との間から引き出されるまでの間、成形材料の層１５を挟み込み、成形材料の層１５にモールド３３の凹凸パターンが転写する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスシートを平坦な状態で複数組の回転ロールとニップロールとの間を通過させると共に、複数の前記回転ロールに架け回されるエンドレスベルト状のモールドを輪転させる工程を有し、
前記ガラスシート及び前記モールドは、一組の回転ロールとニップロールとの間に挿入されてから、他の一組の回転ロールとニップロールとの間から引き出されるまでの間、成形材料の層を挟み込み、該成形材料の層に前記モールドの凹凸パターンが転写するインプリント方法。
【請求項２】
ガラスシートを平坦な状態で複数組の回転ロールとニップロールとの間を通過させると共に、複数の前記回転ロールに架け回されるエンドレスベルト状の第１のモールドを輪転させ、複数の前記ニップロールに架け回されるエンドレスベルト状の第２のモールドを輪転させる工程を有し、
前記ガラスシート及び前記第１のモールドは、一組の回転ロールとニップロールとの間に挿入されてから、他の一組の回転ロールとニップロールとの間から引き出されるまでの間、第１の成形材料の層を挟み込み、該第１の成形材料の層に前記第１のモールドの凹凸パターンが転写し、
前記ガラスシート及び前記第２のモールドは、一組の回転ロールとニップロールとの間に挿入されてから、他の一組の回転ロールとニップロールとの間から引き出されるまでの間、第２の成形材料の層を挟み込み、該第２の成形材料の層に前記第２のモールドの凹凸パターンが転写するインプリント方法。
【請求項３】
ガラスロールからガラスシートを繰り出す工程をさらに有し、
前記ガラスロールから繰り出されたガラスシートを平坦な状態で複数組の回転ロールとニップロールとの間を通過させる、請求項１又は２に記載のインプリント方法。
【請求項４】
ガラスシートを平坦な状態で通過させる回転ロール及びニップロールの組を複数組と、
複数の前記回転ロールに架け回され、輪転されるエンドレスベルト状のモールドとを備え、
前記ガラスシート及び前記モールドは、一組の回転ロールとニップロールとの間に挿入されてから、他の一組の回転ロールとニップロールとの間から引き出されるまでの間、成形材料の層を挟み込み、該成形材料の層に前記モールドの凹凸パターンが転写するインプリント装置。
【請求項５】
ガラスシートを平坦な状態で通過させる回転ロール及びニップロールの組を複数組と、
複数の前記回転ロールに架け回され、輪転されるエンドレスベルト状の第１のモールドと、
複数の前記ニップロールに架け回され、輪転されるエンドレスベルト状の第２のモールドとを備え、
前記ガラスシート及び前記第１のモールドは、一組の回転ロールとニップロールとの間に挿入されてから、他の一組の回転ロールとニップロールとの間から引き出されるまでの間、第１の成形材料の層を挟み込み、該第１の成形材料の層に前記第１のモールドの凹凸パターンが転写し、
前記ガラスシート及び前記第２のモールドは、一組の回転ロールとニップロールとの間に挿入されてから、他の一組の回転ロールとニップロールとの間から引き出されるまでの間、第２の成形材料の層を挟み込み、該第２の成形材料の層に前記第２のモールドの凹凸パターンが転写するインプリント装置。
【請求項６】
ガラスロールを装着する巻き出しロールをさらに備え、
前記ガラスロールから繰り出されるガラスシートを平坦な状態で複数組の回転ロールとニップロールとの間を通過させる、請求項４又は５に記載のインプリント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インプリント方法、及びインプリント装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
微細な凹凸構造を安価に且つ大量に製造できる技術として、インプリント法が注目されている。インプリント法では、例えば凹凸パターンを外周に有するロール状のモールド（所謂グラビアロール）を回転させながら、モールドの凹凸パターンを成形材料の層の表面に連続的に転写する（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図１１は、従来のインプリント装置の側面図である。ガラスシート１及び成形材料の層が転写ロール３とグラビアロール４とで挟んで送り出され、グラビアロール４の凹凸パターンが成形材料の層に転写する。成形材料の層は、ガラスシート１に加わる張力でグラビアロール４に抱き付き、グラビアロール４と共に回転しながら徐々に硬化し、凹凸層となる。凹凸層は、分離ロール５とグラビアロール４との間を通過することにより、グラビアロール４から分離する。そうして、ガラスシート及び凹凸層で構成される積層シートが得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１０／０９００８５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来、図１１に示すようにガラスシート１が転写ロール３や分離ロール５で曲げ変形され、ガラスシート１が破損することがあった。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、ガラスシートの破損を低減できるインプリント方法、及びインプリント装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明の一態様によるインプリント方法は、
ガラスシートを平坦な状態で複数組の回転ロールとニップロールとの間を通過させると共に、複数の前記回転ロールに架け回されるエンドレスベルト状のモールドを輪転させる工程を有し、
前記ガラスシート及び前記モールドは、一組の回転ロールとニップロールとの間に挿入されてから、他の一組の回転ロールとニップロールとの間から引き出されるまでの間、成形材料の層を挟み込み、該成形材料の層に前記モールドの凹凸パターンが転写する。
【０００８】
また、本発明の他の一態様によるインプリント装置は、
ガラスシートを平坦な状態で通過させる回転ロール及びニップロールの組を複数組と、
複数の前記回転ロールに架け回され、輪転されるエンドレスベルト状のモールドとを備え、
前記ガラスシート及び前記モールドは、一組の回転ロールとニップロールとの間に挿入されてから、他の一組の回転ロールとニップロールとの間から引き出されるまでの間、成形材料の層を挟み込み、該成形材料の層に前記モールドの凹凸パターンが転写する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ガラスシートの破損を低減できるインプリント方法、及びインプリント装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態によるインプリント装置の側面図
【図２】図１のII−II線に沿った断面図
【図３】図１のIII−III線に沿った断面図
【図４】図１のIV−IVに沿った断面図
【図５】図１のV−V線に沿った断面図
【図６】本発明の第２実施形態によるインプリント装置の側面図
【図７】図６のVII−VII線に沿った断面図
【図８】図６のVIII−VIII線に沿った断面図
【図９】図６のIX−IX線に沿った断面図
【図１０】図６のX−X線に沿った断面図
【図１１】従来のインプリント装置の側面図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。各図面において、同一の又は対応する構成には、同一の又は対応する符号を付して、説明を省略する。
【００１２】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態によるインプリント装置の側面図である。図２〜図５は本発明の第１実施形態によるインプリント方法の説明図である。図２は図１のII−II線に沿った断面図、図３は図１のIII−III線に沿った断面図、図４は図１のIV−IVに沿った断面図、図５は図１のV−V線に沿った断面図である。
【００１３】
インプリント装置１０は、帯状のガラスシート１１上に凹凸層１７（図５参照）を連続的又は間欠的に形成する。ガラスシート１１及び凹凸層１７で積層シート１９が構成される。凹凸層１７は、凸部が周期的に配列される凹凸パターンを有する。
【００１４】
ガラスシート１１のガラスとしては、例えば無アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダライムガラス、高シリカガラス、その他の酸化ケイ素を主な成分とする酸化物系ガラス等が挙げられる。
【００１５】
ガラスシート１１の厚さは、フレキシブル性の観点から、例えば０．３ｍｍ以下、好ましくは０．１ｍｍ以下、より好ましくは０．０５ｍｍ以下である。また、ガラスシート１１の厚さは、ガラス成形性の観点から、好ましくは０．００１ｍｍ以上である。
【００１６】
インプリント装置１０は、ロール・ツー・ロール方式であって、例えば巻き出しロール２１、分離ロール２２、回収ロール２３、繰り出しロール２４、重ね合わせロール２５、及び巻き取りロール２６を備える。
【００１７】
巻き出しロール２１には、ガラスシート１１及びガラス保護シート１２を重ねて渦巻き状に巻回してなるガラスロールが装着される。ガラス保護シート１２は、樹脂フィルム、紙等で構成され、ガラス面に異物（例えばホコリ）や傷が付くのを防止する。巻き出しロール２１が回転すると、ガラスロールからガラスシート１１及びガラス保護シート１２が繰り出される。
【００１８】
ガラスロールの最外層はガラス保護シート１２であることが好ましい。巻き出しロール２１が一時停止するとき、ガラスシート１１に異物や傷が付くのを防止できる。
【００１９】
ガラス保護シート１２は、粘着剤付きであってガラスシート１１と接合されていてもよいし、接合されずに単に接触するだけでもよい。
【００２０】
ガラス保護シート１２は、分離ロール２２でガラスシート１１と分離されるまで、ガラスシート１１における成形材料の層１５を形成する面を保護してよい。
【００２１】
分離ロール２２は、ガラスロールから繰り出されるガラスシート１１及びガラス保護シート１２を分離する。ガラス保護シート１２が分離ロール２２に沿って曲げ変形されることで、分離が円滑に行われる。ガラス保護シート１２が粘着層を有する場合、粘着層とガラスシートとが徐々に剥離されるので、剥離に要する力が軽減できる。
【００２２】
回収ロール２３は、ガラスシート１１から分離したガラス保護シート１２を巻き取る。
【００２３】
繰り出しロール２４には、凹凸保護シート１３を渦巻き状に巻回してなる保護シートロールが装着される。繰り出しロール２４が回転すると、保護シートロールから凹凸保護シート１３が繰り出される。凹凸保護シート１３は、樹脂フィルム、紙等で構成される。
【００２４】
重ね合わせロール２５は、保護シートロールから繰り出される凹凸保護シート１３と、積層シート１９とを重ね合わせる。凹凸保護シート１３が重ね合わせロール２５に沿って曲げ変形されることで、凹凸保護シート１３と積層シート１９とが徐々に合流するので、重ね合わせ時のしわの発生や空気の噛み込みなどが抑制できる。
【００２５】
凹凸保護シート１３は、粘着剤付きであって積層シート１９と接合されてもよいし、接合されずに単に接触するだけでもよい。
【００２６】
凹凸保護シート１３は、積層シート１９の凹凸層１７を覆い、凹凸層１７に異物（例えばホコリ）や傷が付くのを防止する。
【００２７】
巻き取りロール２６は、積層シート１９及び凹凸保護シート１３を重ねて巻き取り、製品ロールを作製する。製品ロールの最外層は、凹凸保護シート１３であることが好ましい。製品ロールの最外層がガラスシートの場合、製品ロールは保管時に、別の保護シートで覆われてよい。
【００２８】
インプリント装置１０は、例えば光インプリント装置であって、塗布器３１、エンドレスベルト状のモールド３３、光源３５、複数（例えば２本）の回転ロール４１、４２、複数（例えば２本）のニップロール４３、４４、ガイドロール４５、引き出しロール４６、及び複数（例えば２本）の補助ロール５１、５２をさらに備える。
【００２９】
塗布器３１は、ガラス保護シート１２の分離後に、ガラスシート１１上に成形材料を塗布し、図２に示すように成形材料の層１５を形成する。塗布器３１としては、ダイコータ、ロールコータ、グラビアコータ、スプレーコータ、フローコータ、ブレードコータ等が挙げられる。
【００３０】
ガラスシート１１は、ガラス面と成形材料との密着性を高めるため、予め表面処理が施されたものであってよい。表面処理としては、プライマー処理、オゾン処理、プラズマエッチング処理等が挙げられる。プライマーとしては、シランカップリング剤、シラザン等が用いられる。
【００３１】
成形材料は、光硬化性樹脂を含む。光硬化性樹脂としては、光インプリント法に用いられる一般的なものが使用できる。光硬化性樹脂は、モノマー、光重合開始剤等で構成される。モノマーとしては、ラジカル重合タイプの場合、アクリルモノマー、ビニルモノマー等があり、イオン重合タイプの場合、エポキシモノマー、ビニルエーテルモノマー等がある。光硬化性樹脂は、液状の状態で用意され、例えば図２に示すようにガラスシート１１上に塗布される。成形材料は、金属酸化物の粒子等を含んでもよい。
【００３２】
モールド３３は、成形材料の層１５の表面に転写される凹凸パターンを外周に有する。モールド３３は、モールド表面と成形材料との離型性を高めるため、離型処理が施されたものであってよい。離型処理としては、例えばフッ素コート処理、シリコーンコート処理等が挙げられる。
【００３３】
モールド３３は、複数の回転ロール４１、４２、及び複数の補助ロール５１、５２に架け回され、輪転される。モールド３３は、例えば金属（例えばニッケル、クロム）、又は樹脂（例えばポリカーボネート、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂）で構成され、フレキシブル性を有する。尚、複数の補助ロール５１、５２の全部又は一部が無くてもよい。
【００３４】
モールド３３は、マスターモールドを用いて成型される帯状シートの両端部を溶着して作製され、何度も複製可能となっている。複製方法には、例えばインプリント法、電鋳法などがある。マスターモールドは、例えばフォトリソグラフィ法又は電子線描画法で基材を加工して作製される。
【００３５】
光源３５は、ガラスシート１１とモールド３３との間に挟み込まれた成形材料の層１５に光を照射し、成形材料の層１５を固化（硬化）させる。成形材料の層１５を硬化してなる凹凸層１７は、モールド３３の凹凸パターンが略反転した凹凸パターンを有する。
【００３６】
光硬化性樹脂を硬化させる光としては、例えば紫外光、可視光、赤外光等が挙げられる。紫外光の光源としては、紫外線蛍光灯、紫外線ＬＥＤ、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノン灯、炭素アーク灯等が挙げられる。可視光の光源としては、可視光蛍光灯、可視光白熱灯、可視光ＬＥＤ等が用いられる。
【００３７】
光インプリント法では、モールド３３及びガラスシート１１の少なくとも一方が光透過性の材料で構成される。光源３５から出射した光は、例えば、透明なガラスシート１１を透過して、成形材料の層１５に入射する。尚、光源３５から出射した光は、透明なモールド３３を透過して、成形材料の層１５に入射してもよい。
【００３８】
光インプリント法では、室温での成型が可能であり、モールド３３とガラスシート１１との線膨張係数差による歪みが発生しにくく、転写精度が良い。尚、硬化反応の促進のため、成形材料の層１５は加熱されてもよい。
【００３９】
一組の回転ロール４１及びニップロール４３は、図３に示すように、ニップロール４３側から、ガラスシート１１、成形材料の層１５、及びモールド３３をこの順で挟んで送り出す。回転ロール４１及びニップロール４３は相対的に接離可能であって、いずれか一方は他方に向けて流体圧シリンダ等で押圧されてよい。回転ロール４１及びニップロール４３の少なくとも一方は金属ロールの外周をゴムで被覆したロールであってよい。ゴムが弾性変形することで、ホコリなどの異物の噛み込みによる応力集中やガラスシート１１の厚さのばらつきによる応力集中を抑制できる。回転ロール４１及びニップロール４３のいずれか一方は、回転モータ等で回転駆動される他方の回転に伴って従動的に回転してよい。回転ロール４１と、ニップロール４３との間の周速差が小さく、せん断応力が小さい。
【００４０】
ガラスシート１１及びモールド３３は、一組の回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入された後、他の一組の回転ロール４２とニップロール４４との間から引き出されるまでの間、図４に示すように、ガラスシート１１の張力及びモールド３３の張力で成形材料の層１５を挟み込み、成形材料の層１５と一体的に移動する。その間に、成形材料の層１５は光源３５からの光を受けて徐々に硬化し、凹凸層１７となる。ガラスシート１１の張力の方向はガラスシート１１の移動方向である。また、モールド３３の張力の方向は、モールド３３の移動方向（輪転方向）である。
【００４１】
他の一組の回転ロール４２及びニップロール４４は、ニップロール４４側から、ガラスシート１１、凹凸層１７、及びモールド３３をこの順で挟んで送り出す。回転ロール４２及びニップロール４４は相対的に接離可能であって、いずれか一方は他方に向けて流体圧シリンダ等で押圧されてよい。回転ロール４２及びニップロール４４の少なくとも一方は金属ロールの外周をゴムで被覆したロールであってよい。回転ロール４２及びニップロール４４のいずれか一方は、回転モータ等で回転駆動される他方の回転に伴って従動的に回転してよい。回転ロール４２と、ニップロール４４との間の周速差が小さく、せん断応力が小さい。
【００４２】
複数の回転ロール４１、４２及び複数のニップロール４３、４４は、同じ外径でも異なる外径でもよい。
【００４３】
ガイドロール４５は、ガラスロールから繰り出されるガラスシート１１をガラスロールのロール径に応じて方向転換し、ガラスシート１１を平坦な状態で回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入する。ガラスシート１１の方向転換は、ガラスシート１１をガイドロール４５に沿って曲げ変形させることで行われる。
【００４４】
引き出しロール４６は、回転ロール４２とニップロール４４との間から積層シート１９を平坦な状態で引き出し、製品ロールのロール径に応じて積層シート１９を方向転換する。積層シート１９の方向転換は、積層シート１９を引き出しロール４６に沿って曲げ変形させることで行われる。
【００４５】
次に、上記構成のインプリント装置１０の動作（インプリント方法）について説明する。インプリント装置１０の各種動作は、マイクロコンピュータ等で構成されるコントローラによる制御下で行われる。以下の説明では、便宜上、主にガラスシート１１の一部分に着目して、インプリント装置１０の各種動作を説明する。
【００４６】
先ず、巻き出しロール２１が回転し、ガラスロールからガラスシート１１及びガラス保護シート１２が連続的に繰り出される。ガラスシート１１及びガラス保護シート１２は、分離ロール２２及びガイドロール４５の間を通過することにより分離される。
【００４７】
ガイドロール４５は、ガラスロールのロール径に応じてガラスシート１１を方向転換し、ガラスシート１１を平坦な状態で一組の回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入する。ガラスシート１１の方向転換は、ガラスシート１１をガイドロール４５に沿って曲げ変形させることで行われる。
【００４８】
次いで、図２に示すように、塗布器３１がガラスシート１１上に成形材料を塗布し、成形材料の層１５を形成する。
【００４９】
次いで、図３に示すように、回転ロール４１及びニップロール４３が、ニップロール４３側から、ガラスシート１１、成形材料の層１５、及びモールド３３をこの順で挟んで送り出す。
【００５０】
図１に示すように、ガラスシート１１及び成形材料の層１５は、平坦な状態で、回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入される。一方、モールド３３は、成形材料の層１５との間に空気が噛み込まないように回転ロール４１に沿って曲げ変形されながら、回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入され、成形材料の層１５と密接する。
【００５１】
図４に示すように、ガラスシート１１及びモールド３３は、一組の回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入された後、他の一組の回転ロール４２とニップロール４４との間から引き出されるまでの間、ガラスシート１１の張力及びモールド３３の張力で成形材料の層１５を挟み込み、成形材料の層１５と一体的に移動する。その間に、成形材料の層１５は光源３５からの光を受けて徐々に硬化し、凹凸層１７となる。
【００５２】
次いで、回転ロール４２及びニップロール４４が、ニップロール４４側から、ガラスシート１１、凹凸層１７、及びモールド３３をこの順で挟んで送り出す。
【００５３】
図１に示すように、ガラスシート１１及び凹凸層１７は、平坦な状態のまま回転ロール４２とニップロール４４との間から引き出される。一方、モールド３３は、凹凸層１７と円滑に分離するように回転ロール４２に沿って曲げ変形される。
【００５４】
このようにして、図５に示すように、ガラスシート１１及び凹凸層１７を含む積層シート１９が得られる。
【００５５】
次いで、引き出しロール４６及び重ね合わせロール２５が、積層シート１９と凹凸保護シート１３とを重ね合せる。凹凸保護シート１３は、樹脂フィルム、紙等で構成される。凹凸保護シート１３は、積層シート１９の凹凸層１７と重ねられ、凹凸層１７に異物（例えばホコリ）や傷が付くのを防止する。
【００５６】
引き出しロール４６は、回転ロール４２とニップロール４４との間から積層シート１９を平坦な状態で引き出し、製品ロールのロール径に応じて積層シート１９を方向転換する。
【００５７】
次いで、巻き取りロール２６が、積層シート１９と凹凸保護シート１３とを重ねて巻き取り、製品ロールを作製する。
【００５８】
積層シート１９は、使用時に製品ロールから繰り出され、所定のサイズに切断され、例えば液晶パネルや有機ＥＬパネル等の光学パネルの製造に用いられる。凹凸保護シート１３は、光学パネルの製造工程の途中で積層シート１９から分離されてよく、光学パネルの構成部品とはならなくてよい。
【００５９】
積層シート１９は、光学パネルの製造に用いられる場合、モスアイ型の反射防止シート、偏光シート、マイクロレンズアレイシート等として使用できる。尚、積層フィルム１９は、免疫分析チップ、ＤＮＡ分析チップ、ＤＮＡ分離チップ、マイクロリアクター等の製造に用いられてもよく、積層フィルム１９の用途は特に限定されない。
【００６０】
以上説明したように、本実施形態によれば、図１に示すようにガラスシート１１が平坦な状態のまま複数組の回転ロール４１、４２とニップロール４３、４４との間を通過する。そのため、モールド３３の凹凸パターンの転写時や、モールド３３と凹凸層１７との分離時に、脆いガラスシート１１が平坦に保持されているので、ガラスシート１１の破損を抑制できる。
【００６１】
尚、本実施形態のガラスシート１１における凹凸層１７を形成する面と反対側の面には、ガラスシート１１を支持する支持シートが設けられてもよい。支持シートは、ガラスシート１１と剥離可能に接合されている。支持シートは、例えば基材及び基材上に形成される粘着層で構成され、粘着層の粘着力でガラスシート１１と接合されている。基材としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド等のホモポリマー、コポリマー等が使用できる。粘着層の粘着剤としては、例えば、酢酸ビニル系、アセタール系、アクリル系、ポリアミド系、ポリエステル系、ポリウレタン系、ゴム系等が使用できる。支持シートは、複数組の回転ロール４１、４２とニップロール４３、４４との間を通過する間、ガラスシート１１を補強し、ガラスシート１１の破損を抑制する。支持シートは、例えば巻き出しロール２１に装着されるガラスロールからガラスシート１１と共に繰り出され、ガラスシート１１と共に巻き取りロール２６で巻き取られてよい。尚、支持シートは粘着性の樹脂フィルムのみで構成されてもよく、支持シートの構成は特に限定されない。
【００６２】
[第２実施形態]
図６は、本発明の第２実施形態によるインプリント装置の側面図である。図７〜図１０は、本発明の第２実施形態によるインプリント方法の説明図である。図７は、図６のVII−VII線に沿った断面図、図８は図６のVIII−VIII線に沿った断面図、図９は図６のIX−IX線に沿った断面図、図１０は図６のX−X線に沿った断面図である。
【００６３】
インプリント装置１０Ａは、ガラスシート１１上に第１及び第２の凹凸層１７、１８（図１０参照）を連続的又は間欠的に形成する。第１及び第２の凹凸層１７、１８は、ガラスシート１１を挟んで互いに反対側に形成される。ガラスシート１１並びに第１及び第２の凹凸層１７、１８で積層シート１９Ａが構成される。第１及び第２の凹凸層１７、１８は、凸部が周期的に配列される凹凸パターンを有する。第１の凹凸層１７の凹凸パターンと、第２の凹凸層１８の凹凸パターンとは、同じパターンでも異なるパターンでもよい。
【００６４】
インプリント装置１０Ａは、ロール・ツー・ロール方式であって、例えば巻き出しロール２１、分離ロール２２、２本の回収ロール２３、２本の繰り出しロール２４、重ね合わせロール２５、及び巻き取りロール２６を備える。
【００６５】
巻き出しロール２１には、例えばガラスシート１１及び２枚のガラス保護シート１２を重ねて渦巻き状に巻回してなるガラスロールが装着される。ガラス保護シート１２は、分離ロール２２及びガイドロール４５でガラスシート１１と分離されるまで、ガラスシート１１における第１及び第２の成形材料の層１５、１６を形成する面を保護する。
【００６６】
尚、巻き出しロール２１に装着されるガラスロールは、ガラスシート１１及び１枚のガラス保護シート１２を重ねて渦巻状に巻回してなるものでもよい。
【００６７】
巻き取りロール２６は、積層シート１９Ａ及び２枚の凹凸保護シート１３を重ねて巻き取り、製品ロールを作製する。
【００６８】
インプリント装置１０Ａは、例えば光インプリント装置であって、第１及び第２の塗布器３１、３２、第１及び第２のモールド３３、３４、光源３５、複数（例えば２本）の回転ロール４１、４２、複数（例えば２本）のニップロール４３、４４、ガイドロール４５、引き出しロール４６、及び複数（例えば４本）の補助ロール５１〜５４をさらに備える。
【００６９】
第１及び第２の塗布器３１、３２は、ガラス保護シート１２の分離後に、ガラスシート１１の両側に成形材料を塗布し、図７に示すように第１及び第２の成形材料の層１５、１６を形成する。第１及び第２の成形材料の層１５、１６は、光硬化性樹脂を含む。
【００７０】
第１のモールド３３は、第１の成形材料の層１５の表面に転写される凹凸パターンを有する。同様に、第２のモールド３４は、第２の成形材料の層１６の表面に転写される凹凸パターンを有する。第１及び第２のモールド３３、３４は、モールド表面と成形材料との離型性を高めるため、離型処理が施されたものであってよい。
【００７１】
第１のモールド３３は、エンドレスベルト状であって、複数の回転ロール４１、４２、及び複数の補助ロール５１、５２に架け回され、輪転される。尚、複数の補助ロール５１、５２の全部又は一部が無くてもよい。
【００７２】
第２のモールド３４は、エンドレスベルト状であって、複数のニップロール４３、４４、及び複数の補助ロール５３、５４に架け回され、輪転される。尚、補助ロール５３、５４は、無くてもよい。
【００７３】
光源３５は、ガラスシート１１と第１のモールド３３との間に挟み込まれた第１の成形材料の層１５に光を照射し、第１の成形材料の層１５を硬化させる。また、光源３５は、ガラスシート１１と第２のモールド３４との間に挟み込まれた第２の成形材料の層１６に光を照射し、第２の成形材料の層１６を硬化させる。
【００７４】
光源３５から出射した光は、透明な第２のモールド３４、第２の成形材料の層１６、及び透明なガラスシート１１をこの順で透過して、第１の成形材料の層１５に入射する。尚、光源３５から出射した光は、透明な第１のモールド３３、第１の成形材料の層１５、及び透明なガラスシート１１をこの順で透過して、第２の成形材料の層１６に入射してもよい。また、複数の光源が用いられてもよい。
【００７５】
一組の回転ロール４１及びニップロール４３は、図８に示すように、ニップロール４３側から、第２のモールド３４、第２の成形材料の層１６、ガラスシート１１、第１の成形材料の層１５、及び第１のモールド３３をこの順で挟んで送り出す。
【００７６】
図９に示すように、ガラスシート１１及び第１のモールド３３は、一組の回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入された後、他の一組の回転ロール４２とニップロール４４との間から引き出されるまでの間、ガラスシート１１の張力及び第１のモールド３３の張力で第１の成形材料の層１５を挟み込み、第１の成形材料の層１５と一体的に移動する。その間に、第１の成形材料の層１５は光源３５からの光を受けて徐々に硬化し、第１の凹凸層１７となる。ガラスシート１１の張力の方向はガラスシート１１の移動方向である。また、第１のモールド３３の張力の方向は、第１のモールド３３の移動方向（輪転方向）である。
【００７７】
同様に、ガラスシート１１及び第２のモールド３４は、一組の回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入された後、他の一組の回転ロール４２とニップロール４４との間から引き出されるまでの間、ガラスシート１１の張力及び第２のモールド３４の張力で第２の成形材料の層１６を挟み込み、第２の成形材料の層１６と一体的に移動する。その間に、第２の成形材料の層１６は光源３５からの光を受けて徐々に硬化し、第２の凹凸層１８となる。ガラスシート１１の張力の方向はガラスシート１１の移動方向である。また、第２のモールド３４の張力の方向は、第２のモールド３４の移動方向（輪転方向）である。
【００７８】
他の一組の回転ロール４２及びニップロール４４は、ニップロール４４側から、第２のモールド３４、第２の凹凸層１８、ガラスシート１１、第１の凹凸層１７、及び第１のモールド３３を挟んで送り出す。
【００７９】
ガイドロール４５は、ガラスロールから繰り出されるガラスシート１１をガラスロールのロール径に応じて方向転換し、ガラスシート１１を平坦な状態で回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入する。ガラスシート１１の方向転換は、ガラスシート１１をガイドロール４５に沿って曲げ変形させることで行われる。
【００８０】
引き出しロール４６は、回転ロール４２とニップロール４４との間から積層シート１９Ａを平坦な状態で引き出し、製品ロールのロール径に応じて積層シート１９Ａを方向転換する。積層シート１９Ａの方向転換は、積層シート１９Ａを引き出しロール４６に沿って曲げ変形させることで行われる。
【００８１】
次に、上記構成のインプリント装置１０Ａの動作（インプリント方法）について説明する。インプリント装置１０Ａの各種動作は、マイクロコンピュータ等で構成されるコントローラによる制御下で行われる。以下の説明では、便宜上、主にガラスシート１１の一部分に着目して、インプリント装置１０Ａの各種動作を説明する。
【００８２】
先ず、巻き出しロール２１が回転し、ガラスロールからガラスシート１１及びガラス保護シート１２が連続的に繰り出される。ガラスシート１１及びガラス保護シート１２は、分離ロール２２及びガイドロール４５の間を通過することにより分離される。
【００８３】
ガイドロール４５は、ガラスロールのロール径に応じてガラスシート１１を方向転換し、ガラスシート１１を平坦な状態で一組の回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入する。ガラスシート１１の方向転換は、ガラスシート１１をガイドロール４５に沿って曲げ変形させることで行われる。
【００８４】
次いで、図７に示すように、第１及び第２の塗布器３１、３２がガラスシート１１の両側に成形材料を塗布し、第１及び第２の成形材料の層１５、１６を形成する。
【００８５】
次いで、図８に示すように、一組の回転ロール４１及びニップロール４３が、ニプロール４３側から、第２のモールド３４、第２の成形材料の層１６、ガラスシート１１、第１の成形材料の層１５、及び第１のモールド３３をこの順で挟んで送り出す。
【００８６】
図６に示すように、ガラスシート１１及び第１の成形材料の層１５は、平坦な状態で、一組の回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入される。一方、第１のモールド３３は、第１の成形材料の層１５との間に空気が噛み込まないように回転ロール４１に沿って曲げ変形されながら、回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入され、第１の成形材料の層１５と密接する。
【００８７】
図９に示すように、ガラスシート１１及び第１のモールド３３は、一組の回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入された後、他の一組の回転ロール４２とニップロール４４との間から引き出されるまでの間、ガラスシート１１の張力及び第１のモールド３３の張力で第１の成形材料の層１５を挟み込み、第１の成形材料の層１５と一体的に移動する。その間に、第１の成形材料の層１５は光源３５からの光を受けて徐々に硬化し、第１の凹凸層１７となる。
【００８８】
また、図６に示すように、ガラスシート１１及び第２の成形材料の層１６は、平坦な状態で、一組の回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入される。一方、第２のモールド３４は、第２の成形材料の層１６との間に空気が噛み込まないようにニップロール４３に沿って曲げ変形されながら、回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入され、第２の成形材料の層１６と密接する。
【００８９】
図９に示すように、ガラスシート１１及び第２のモールド３４は、一組の回転ロール４１とニップロール４３との間に挿入された後、他の一組の回転ロール４２とニップロール４４との間から引き出されるまでの間、ガラスシート１１の張力及び第２のモールド３４の張力で第２の成形材料の層１６を挟み込み、第２の成形材料の層１６と一体的に移動する。その間に、第２の成形材料の層１６は光源３５からの光を受けて徐々に硬化し、第２の凹凸層１８となる。
【００９０】
次いで、回転ロール４２及びニップロール４４は、ニップロール４４側から、第２のモールド３４、第２の凹凸層１８、ガラスシート１１、第１の凹凸層１７、及び第１のモールド３３を挟んで送り出す。
【００９１】
ガラスシート１１及び第１の凹凸層１７は、平坦な状態のまま回転ロール４２とニップロール４４との間から引き出される。一方、第１のモールド３３は、第１の凹凸層１７と円滑に分離するように回転ロール４２に沿って曲げ変形される。
【００９２】
ガラスシート１１及び第２の凹凸層１８は、平坦な状態のまま回転ロール４２とニップロール４４との間から引き出される。一方、第２のモールド３４は、第２の凹凸層１８と円滑に分離するようにニップロール４４に沿って曲げ変形される。
【００９３】
このようにして、図１０に示すように、ガラスシート１１及び第１及び第２の凹凸層１７、１８を含む積層シート１９Ａが得られる。
【００９４】
次いで、引き出しロール４６及び重ね合わせロール２５が、２つの保護シートロールから繰り出される凹凸保護シート１３と、積層シート１９Ａとを重ね合せる。凹凸保護シート１３は、樹脂フィルム、紙等で構成される。２枚の凹凸保護シート１３は、第１及び第２の凹凸層１７、１８の両方を覆い、第１及び第２の凹凸層１７、１８に異物（例えばホコリ）や傷が付くのを防止する。
【００９５】
引き出しロール４６は、回転ロール４２とニップロール４４との間から積層シート１９Ａを平坦な状態で引き出し、製品ロールのロール径に応じて積層シート１９Ａを方向転換する。
【００９６】
次いで、巻き取りロール２６が積層シート１９Ａ及び積層シート１９Ａを挟む２枚の凹凸保護シート１３を重ねて巻き取り、製品ロールを作製する。
【００９７】
尚、凹凸保護シート１３の数は１枚であってもよい。例えば、渦巻き状に巻回されるときに積層シート１９Ａにおける径方向外側層となる第１の凹凸層１７のみに凹凸保護シート１３が重ねられてよい。一枚の凹凸保護シート１３が第１及び第２の凹凸層１７、１８の両方を保護でき、製品ロールのロール径が小さくなり、製品ロールの保管が容易になる。また、渦巻き状に巻回されるときに積層シート１９Ａにおける内側層となる第２の凹凸層１８のみに凹凸保護シート１３が重ねられていてもよい。この場合、製品ロールは、専用の保護シートで覆われて保管される。
【００９８】
以上説明したように、本実施形態によれば、第１の実施形態と同様に、図６に示すようにガラスシート１１が平坦な状態のまま複数組の回転ロール４１、４２とニップロール４３、４４との間を通過する。そのため、第１及び第２のモールド３３、３４の凹凸パターンの転写時や、第１及び第２のモールド３３、３４と第１及び第２の凹凸層１７、１８との分離時に、脆いガラスシート１１が平坦に保持されているので、ガラスシート１１の破損を抑制できる。
【００９９】
また、本実施形態によれば、ガラスシート１１を挟んで互いに反対側に第１及び第２の成形材料の層１５、１６が形成されるので、成形材料の硬化時にガラスシート１１が反りにくい。また、第１の凹凸層１７と第１のモールド３３とを分離する力、及び第２の凹凸層１８と第２のモールド３４とを分離する力が互いに反対方向に作用するので、ガラスシート１１の状態が安定化する。また、第１の凹凸層１７と第２の凹凸層１８とが同時に形成されるので、別々に形成される場合と異なり、位置合わせが不要である。
【０１００】
以上、インプリント方法、及びインプリント装置を第１〜第２実施形態で説明したが、本発明は上記実施形態に制限されない。特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【０１０１】
例えば、上記実施形態のインプリント装置は、ロール・ツー・ロール方式であるが、本発明はこれに限定されない。例えば、インプリント装置は、積層シートを巻き取りロールに巻き取らずに、切断機で所定のサイズに切断してもよい。巻き取りロールで積層シートを巻き取らない場合、積層シートは引き出しロールに沿って曲げ変形されなくてもよい。また、インプリント装置は、ガラスロールから繰り出されるガラスシート上に凹凸層を形成する代わりに、ガラス成形装置（例えばフロート成形装置、フュージョン成形装置、リドロー成形装置等）から連続的に供給されるガラスシート上に凹凸層を形成してもよい。ガラスシートがガラス成形装置から供給される場合、ガラスシートはガイドロールに沿って曲げ変形されなくてもよい。
【０１０２】
また、上記実施形態のインプリント装置は、光インプリント装置であるが、熱インプリント装置であってもよい。この場合、成形材料は、光硬化性樹脂の代わりに、熱可塑性樹脂を含む。熱可塑性樹脂には、熱インプリント法に用いられる一般的なものが使用でき、例えばアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、オレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂等が挙げられる。熱可塑性樹脂は、シートの形態で用意されガラスシート上に貼り付けてもよいし、溶液の形態で用意されガラスシート上に塗布し、乾燥してもよい。また、熱可塑性樹脂は、加熱軟化したうえでガラスシート上に塗布して冷却してもよい。熱インプリント法では、熱可塑性樹脂を含む成形材料の層を加熱により軟化し、軟化した成形材料の層の表面にモールドを押し付け、成形材料の層を冷却して固化させることで、凹凸層を形成する。加熱源としては、加熱光を照射する光源（例えばハロゲンランプ、レーザ）、ヒータ等が用いられる。加熱温度は、熱可塑性樹脂のガラス転移温度以上である。モールドを押し付ける工程と、成形材料の層を加熱する工程とは、どちらの工程が先であってもよく、同時に行ってもよい。モールドを加熱することで成形材料の層を加熱してもよい。
【０１０３】
また、上記実施形態のガラスロールは、ガラスシートとガラス保護シートとを重ねて渦巻き状に巻回してなるものであるが、ガラスシートのみを渦巻き状に巻回してなるものであってもよい。この場合、分離ロール及び回収ロールは不要である。
【０１０４】
また、上記実施形態の製品ロールは、積層シートと凹凸保護シートとを重ねて渦巻き状に巻回してなるものであるが、積層シートのみを渦巻き状に巻回してなるものであってもよい。この場合、繰り出しロール及び重ね合わせロールは不要である。
【０１０５】
また、上記実施形態の塗布器は、ガラスシート上に成形材料を塗布するが、モールド上に成形材料を塗布してもよい。成形材料の層は、転写工程でガラスシートとモールドとの間に挟み込まれ、モールドの凹凸パターンが成形材料の層の表面に転写する。
【符号の説明】
【０１０６】
１０  インプリント装置
１１  ガラスシート
１５  成形材料の層（第１の成形材料の層）
１６  第２の成形材料の層
１７  凹凸層（第１の凹凸層）
１８  第２の凹凸層
３３  モールド（第１のモールド）
３４  第２のモールド
４１、４２  回転ロール
４３、４４  ニップロール
【図１】
2015167152.tif 000003
【図２】
2015167152.tif 000004
【図３】
2015167152.tif 000005
【図４】
2015167152.tif 000006
【図５】
2015167152.tif 000007
【図６】
2015167152.tif 000008
【図７】
2015167152.tif 000009
【図８】
2015167152.tif 000010
【図９】
2015167152.tif 000011
【図１０】
2015167152.tif 000012
【図１１】
2015167152.tif 000013