(57)【要約】      （修正有）【課題】保持面に板状ワークが保持されたままの状態で、基準位置を算出する。【解決手段】第１測定工程で、研削砥石３１ａの研削面が保持テーブル１２ａの保持面に接触するときの研削手段１４ａの位置を測定し、第２測定工程で、研削面が当接部材１３ｃの上端に当接するときの研削手段１４ａの位置を測定し、補正値算出工程で、該二つの位置の差を算出して、補正値ΔＰａとし、研削工程実施後に行う第３測定工程で、研削面が、当接部材１３ｃの上端に当接するときの研削手段１４ａの位置Ｐａ３を測定し、基準位置算出工程では、位置Ｐａ３を補正値ΔＰａで補正することにより、基準位置Ｐａａを算出することで、保持テーブル１２ａ〜１２ｃに板状ワークが保持されたままの状態で、基準位置を算出する。【選択図】図５
2015039755.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを保持面に保持する複数の保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された板状ワークを研削面で研削する研削砥石が装着される研削手段と、
該保持テーブルに対して接近及び離反するＺ軸方向に該研削手段を移動させる研削送り手段と、
該研削送り手段によって移動した該研削手段のＺ軸方向の位置を測定する測定手段と、
該複数の保持テーブルが配設されたターンテーブルと、
該ターンテーブル上に配設され、上端が、該保持テーブルの保持面よりも高い位置にある当接部材と、
該ターンテーブルを回転させることにより、該保持テーブルに保持される板状ワークを該研削砥石が研削可能な研削位置に該保持テーブルを位置付け、該ターンテーブルを回転させることにより、該当接部材の上端が該研削砥石の研削面に当接可能な当接位置に該当接部材を位置付ける位置付け手段と、
を備えた研削装置において、該研削面が該保持面に接触するときの該研削手段の該Ｚ軸方向における基準位置を算出するセットアップ方法であって、
該位置付け手段が該保持テーブルを該研削位置に位置付け、該研削送り手段が該研削手段を該Ｚ軸方向に移動させて、該研削砥石の研削面を該保持テーブルの保持面に接触させた時の該研削手段の該Ｚ軸方向の位置を該測定手段が測定して第１の位置とする第１測定工程と、
該位置付け手段が該当接部材を該当接位置に位置付け、該研削送り手段が該研削手段を該Ｚ軸方向に移動させて、該研削砥石の研削面を該当接部材の上端に当接させた時の該研削手段の該Ｚ軸方向の位置を該測定手段が測定して第２の位置とする第２測定工程と、
該第１の位置と該第２の位置との差を算出して補正値とする補正値算出工程と、
該補正値算出工程の後、該位置付け手段が該当接部材を該当接位置に位置付け、該研削送り手段が該研削手段を該Ｚ軸方向に移動させて、該研削砥石の研削面を該当接部材の上端に当接させた時の該研削手段の該Ｚ軸方向の位置を該測定手段が測定して第３の位置とする第３測定工程と、
該第３の位置と該補正値との差をとることにより、該基準位置を算出する基準位置算出工程と、
を備える、セットアップ方法。
【請求項２】
前記研削装置は、前記保持面の前記Ｚ軸方向における高さを測定する高さ測定手段を備え、
前記セットアップ方法は、
該高さ測定手段が、該保持面の該Ｚ軸方向における高さを測定して第１の高さとする第１高さ測定工程と、
該第１の高さを測定した後、前記研削手段が、該保持面を研削する保持面研削工程と、
該保持面を研削した後、該高さ測定手段が、該保持面の該Ｚ軸方向における高さを測定して第２の高さとする第２高さ測定工程と、
該第１の高さと該第２の高さとの差を算出して保持面研削量とする保持面研削量算出工程と、
を備え、
前記基準位置算出工程において、前記第３の位置と、前記補正値と該保持面研削量との和との差をとることにより、前記基準位置を算出する、
請求項１記載のセットアップ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削砥石の研削面が保持テーブルの保持面に接触する基準位置を算出するセットアップ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
保持テーブルの保持面に保持されたウェーハなどの板状ワークを研削手段に装着された研削砥石で研削する研削装置においては、研削砥石の研削面が保持面に接触する位置を基準として研削手段の移動量を制御することにより、板状ワークを所定の厚さまで研削している。このような研削装置においては、保持面に滞留した研削屑を除去するなどの目的で、保持テーブルの保持面を研削する場合がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−７３７８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
研削砥石が保持面に接触する基準位置を認識する方式としては、例えば、厚みが既知の測定部を保持面に載置し、研削手段を下降させて研削面が測定部に接触したことを測定部に備えた接触式のセンサなどにより検出してそのときの研削手段の位置を測定し、測定した位置を測定部の厚みで補正することにより、基準位置を算出することが考えられる。
【０００５】
しかし、測定部を保持面に接触させることから、保持面に傷が付く可能性がある。また、測定時以外は測定部を退避させる必要があるため、研削装置の構造が複雑化する。更に、板状ワークの研削中は、研削により研削砥石が磨耗して基準位置が変化するが、保持面には板状ワークが保持されているので、研削加工の途中で必要に応じて基準位置の測定を行うことは困難である。
【０００６】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、保持面に板状ワークが保持されたままの状態においても、研削の基準位置を算出できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るセットアップ方法は、板状ワークを保持面に保持する複数の保持テーブルと、保持テーブルに保持された板状ワークを研削面で研削する研削砥石が装着される研削手段と、保持テーブルに対して接近及び離反するＺ軸方向に研削手段を移動させる研削送り手段と、研削送り手段によって移動した研削手段のＺ軸方向の位置を測定する測定手段と、複数の保持テーブルが配設されたターンテーブルと、ターンテーブル上に配設され、上端が保持テーブルの保持面よりも高い位置にある当接部材と、ターンテーブルを回転させることにより保持テーブルに保持される板状ワークを研削砥石が研削可能な研削位置に該保持テーブルを位置付け、ターンテーブルを回転させることにより当接部材の上端が研削砥石の研削面に当接可能な当接位置に当接部材を位置付ける位置付け手段と、を備えた研削装置において、研削面が保持面に接触するときの研削手段のＺ軸方向における基準位置を算出するセットアップ方法であって、位置付け手段が保持テーブルを研削位置に位置付け、研削送り手段が研削手段をＺ軸方向に移動させて、研削砥石の研削面を保持テーブルの保持面に接触させた時の研削手段のＺ軸方向の位置を測定手段が測定して第１の位置とする第１測定工程と、位置付け手段が当接部材を当接位置に位置付け、研削送り手段が研削手段をＺ軸方向に移動させて、研削砥石の研削面を当接部材の上端に当接させた時の研削手段のＺ軸方向の位置を測定手段が測定して第２の位置とする第２測定工程と、第１の位置と第２の位置との差を算出して補正値とする補正値算出工程と、補正値算出工程の後、位置付け手段が当接部材を当接位置に位置付け、研削送り手段が研削手段を移動させて、研削砥石の研削面を当接部材の上端に当接させた時の研削手段のＺ軸方向の位置を測定手段が測定して第３の位置とする第３測定工程と、第３の位置と補正値との差をとることにより基準位置を算出する基準位置算出工程と、を備える。
【０００８】
上記セットアップ方法においては、研削装置が、保持面のＺ軸方向における高さを測定する高さ測定手段を備え、セットアップ方法は、高さ測定手段が保持面のＺ軸方向における高さを測定して第１の高さとする第１高さ測定工程と、第１の高さを測定した後、研削手段が保持面を研削する保持面研削工程と、保持面を研削した後、高さ測定手段が保持面のＺ軸方向における高さを測定して第２の高さとする第２高さ測定工程と、第１の高さと第２の高さとの差を算出して保持面研削量とする保持面研削量算出工程と、を備え、基準位置算出工程において、第３の位置と、補正値と保持面研削量との和との差をとることにより、基準位置を算出することが望ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るセットアップ方法によれば、あらかじめ第１の位置と第２の位置とを測定して補正値を算出しておけば、セットアップ時には、第３の位置を測定し補正値で補正するだけで基準位置を算出することができるので、保持テーブルに板状ワークが保持されたままの状態で、基準位置を算出することができる。これにより、板状ワークの研削中に研削砥石が磨耗して研削ホイールを交換した場合でも、保持テーブルを空けることなく、すぐに基準位置を修正することができ、正確に板状ワークを所望の厚さに研削することができる。また、複数の板状ワークを連続して研削している途中であっても、保持テーブルを空ける必要がないので、所定時間内に研削できる板状ワークの枚数を減らすことなく、頻繁に基準位置を算出することができ、生産性を低下させることなく正確に板状ワークを所望の厚さに研削することができる。
【００１０】
また、保持面を研削する前の保持面の高さと保持面を研削した後の保持面の高さとを測定することにより保持面研削量を算出し、算出した保持面研削量に基づいて基準位置を算出することにより、保持面を研削した場合でも、正しく基準位置を算出することができ、正確に板状ワークを所望の厚さに研削することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】研削装置を示す斜視図。
【図２】研削処理を示すフローチャート。
【図３】第１測定工程を示す側面視展開図。
【図４】第２測定工程及び補正値算出工程を示す側面視展開図。
【図５】第３測定工程及び基準位置算出工程を示す側面視展開図。
【図６】保持面研削処理を示すフローチャート。
【図７】第１高さ測定工程を示す側面視展開図。
【図８】第２高さ測定工程、保持面研削量算出工程及び基準位置算出工程を示す側面視展開図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示す研削装置１０は、板状ワークを供給カセット６１から位置合わせテーブル１０２に搬送するとともに洗浄装置１０３から回収カセット６２に搬送する搬出入ロボット１０１と、板状ワークの位置合わせをする位置合わせテーブル１０２と、±Ｚ方向に平行な中心軸を中心として回転するターンテーブル１１と、ターンテーブル１１上に配設された３つの保持テーブル１２ａ〜１２ｃ及び３つの当接部材１３ａ〜１３ｃと、板状ワークを研削する２つの研削手段１４ａ，１４ｂと、それぞれの研削手段１４ａ，１４ｂを±Ｚ方向に移動させて保持テーブル１２ａ〜１２ｃに対して接近及び離反させる２つの研削送り手段１５ａ，１５ｂと、板状ワークを位置合わせテーブル１０２から保持テーブル１２ａ〜１２ｃに搬送する搬送手段１６ａと、板状ワークを保持テーブル１２ａ〜１２ｃから洗浄装置１０３に搬送する搬送手段１６ｂと、板状ワークを洗浄する洗浄装置１０３と、保持テーブル１２ａ〜１２ｃの高さを測定する２つの高さ測定手段１７ａ，１７ｃと、保持テーブル１２ａ〜１２ｃに保持された板状ワークの被研削面の高さを測定する２つの高さ測定手段１７ｂ，１７ｄと、各種のデータを記憶する記憶部１８１と、各種の計算をする算出部１８２と、ターンテーブル１１の回転を制御する位置付け手段１８３と、研削手段１４ａ，１４ｂの±Ｚ方向の位置を測定する測定手段１９とを備えている。
【００１３】
各保持テーブル１２ａ〜１２ｃは、搬送手段１６ａにより搬送され保持面１２１に載置された板状ワークを保持する。３つの保持テーブル１２ａ〜１２ｃは、ターンテーブル１１の中心軸から１２０度ずつの間隔を空けて等距離の位置に配置されている。
【００１４】
３つの当接部材１３ａ〜１３ｃは、ターンテーブル１１の中心軸付近で接続し、ターンテーブル１１の中心軸から１２０度ずつの間隔を空けて放射状に配置されている。当接部材１３ａは、２つの保持テーブル１２ａ，１２ｂの間を仕切る仕切板としての機能を有し、当接部材１３ｂは、２つの保持テーブル１２ｂ，１２ｃの間を仕切る仕切板としての機能を有し、当接部材１３ｃは、２つの保持テーブル１２ｃ，１２ａの間を仕切る仕切板としての機能を有する。これら当接部材１３ａ〜１３ｃは、他の保持テーブル側に研削水が飛散するのを防ぐことができる。３つの当接部材１３ａ〜１３ｃの±Ｚ方向の高さは等しく、その上端は、保持テーブル１２ａ〜１２ｃの保持面１２１の高さよりも＋Ｚ方向に高い位置にある。
【００１５】
各研削手段１４ａ，１４ｂには、−Ｚ方向の先端に研削ホイール３０ａ，３０ｂが装着される。研削手段１４ａ，１４ｂは、研削ホイール３０ａ，３０ｂを回転させながら、研削ホイール３０ａ，３０ｂの研削砥石３１ａ，３１ｂを、保持テーブル１２ａ〜１２ｃに保持された板状ワークに押し当てることにより、板状ワークを研削する。研削砥石３１ａは粗研削用の砥石であり、研削砥石３１ｂは仕上げ研削用の砥石であり、研削砥石３１ａ，３１ｂの下面が、板状ワークに接触する研削面となっている。
【００１６】
各研削送り手段１５ａ，１５ｂは、±Ｚ方向に平行なねじ軸１５１をサーボモータ１５２が回転させることにより、ねじ軸１５１に係合した移動部１５３がガイド１５４に規制されて±Ｚ方向に移動する。研削手段１４ａは、研削送り手段１５ａの移動部１５３に固定され、移動部１５３の移動に伴って±Ｚ方向に移動する。研削送り手段１５ａが研削手段１４ａを＋Ｚ方向に移動させると、研削手段１４ａは、保持テーブル１２ａ〜１２ｃから離間し、研削送り手段１５ａが研削手段１４ａを−Ｚ方向に移動させると、研削手段１４ａは、保持テーブル１２ａ〜１２ｃに接近する。研削手段１４ｂは、研削送り手段１５ｂの移動部１５３に固定され、移動部１５３の移動に伴って±Ｚ方向に移動する。研削送り手段１５ｂが研削手段１４ｂを＋Ｚ方向に移動させると、研削手段１４ｂは、保持テーブル１２ａ〜１２ｃから離間し、研削送り手段１５ｂが研削手段１４ｂを−Ｚ方向に移動させると、研削手段１４ｂは、保持テーブル１２ａ〜１２ｃに接近する。
【００１７】
測定手段１９は、例えば、±Ｚ方向に平行に配設したリニアスケール（不図示）により、各研削手段１４ａ，１４ｂの±Ｚ方向における位置を測定する。研削送り手段１５ａ，１５ｂがボールねじ機構を備える場合は、ねじ軸に連結したエンコーダによりサーボモータの回転数を計数することにより、各研削手段１４ａ，１４ｂの±Ｚ方向における位置を測定する構成であってもよい。
【００１８】
位置付け手段１８３は、ターンテーブル１１の回転を制御する。図１に示した状態において、保持テーブル１２ａは、これから研削すべき板状ワークを搬送手段１６ａが保持面１２１に載置し、また、研削が終わった板状ワークを搬送手段１６ｂが保持面１２１から搬出する搬出入位置に位置付けられている。保持テーブル１２ｂは、保持した板状ワークを研削手段１４ａが研削可能な第１の研削位置に位置付けられている。保持テーブル１２ｃは、保持した板状ワークを研削手段１４ｂが研削可能な第２の研削位置に位置付けられている。この状態から、位置付け手段１８３がターンテーブル１１を反時計回りに６０度回転させると、当接部材１３ａは、研削手段１４ａに装着された研削ホイール３０ａの研削砥石３１ａの研削面に当接する第１の当接位置に位置付けられる。また、当接部材１３ｂは、研削手段１４ｂに装着された研削ホイール３０ｂの研削砥石３１ｂの研削面に当接する第２の当接位置に位置付けられる。
【００１９】
このように、位置付け手段１８３は、ターンテーブル１１の回転を制御することにより、各保持テーブル１２ａ〜１２ｃを搬出入位置並びに第１及び第２の研削位置に位置付け、各当接部材１３ａ〜１３ｃを第１及び第２の当接位置に位置付ける。
【００２０】
高さ測定手段１７ａは、第１の研削位置に位置付けられた保持テーブルの保持面１２１の高さを測定する。高さ測定手段１７ｂは、第１の研削位置に位置付けられた保持テーブルに保持された板状ワークの被研削面（＋Ｚ方向の側の面）の高さを測定する。高さ測定手段１７ｃは、第２の研削位置に位置付けられた保持テーブルの保持面１２１の高さを測定する。高さ測定手段１７ｄは、第２の研削位置に位置付けられた保持テーブルに保持された板状ワークの被研削面の高さを測定する。
【００２１】
図２に示すように、図１に示した研削装置１０による研削処理２０は、研削開始前のセットアップをする第１セットアップ処理２１と、板状ワークを研削する研削工程２２と、研削中のセットアップをする第２セットアップ処理２４とにより構成される。ここで、セットアップとは、研削送り手段１５ａ，１５ｂにより研削送りされる研削手段１４ａ，１４ｂの±Ｚ方向の基準位置をそれぞれ設定する処理である。これらの工程の概要は、以下のとおりである。
【００２２】
第１セットアップ処理２１は、研削開始前に、研削送り手段１５ａ，１５ｂにより送られる研削手段１４ａ，１４ｂの±Ｚ方向の基準位置を設定する処理であり、実際に研削砥石の研削面を保持面１２１に接触させてそのときの研削手段１４ａ，１４ｂの位置を測定する第１測定工程２１１と、研削砥石３１ａ，３１ｂの研削面を当接部材１３ａ〜１３ｃの上端に当接させて研削面が当接部材１３ａ〜１３ｃの上端に当接するときの研削手段１４ａ，１４ｂの位置を測定する第２測定工程２１３と、第１測定工程２１１及び第２測定工程２１３で測定した値から補正値を算出する補正値算出工程２１４とを備える。各工程の詳細については後述する。
【００２３】
研削工程２２においては、位置付け手段１８３が保持テーブル１２ａ〜１２ｃのいずれかを搬出入位置に位置付け、搬出入位置に位置付けられた保持テーブルに搬送手段１６ａが板状ワークを載置し、搬出入位置に位置付けられた保持テーブルが、載置された板状ワークを保持し、板状ワークを保持した保持テーブルを位置付け手段１８３が第１の研削位置に位置付け、第１の研削位置に位置付けられた保持テーブルに保持された板状ワークを研削手段１４ａが粗研削し、粗研削された板状ワークを保持した保持テーブルを位置付け手段１８３が第２の研削位置に位置付け、第２の研削位置に位置付けられた保持テーブルに保持された板状ワークを研削手段１４ｂが仕上げ研削し、仕上げ研削された板状ワークを保持した保持テーブルを位置付け手段１８３が搬出入位置に位置付け、搬出入位置に位置付けられた保持テーブルから搬送手段１６ｂが板状ワークを搬出する。これが、３つの保持テーブル１２ａ〜１２ｃを使って、並行して実行される。研削工程２２では、板状ワークを所望の厚さに研削するため、研削砥石の研削面が保持面１２１に接触する位置を基準位置として、研削送り手段１５ａ，１５ｂが、研削手段１４ａ，１４ｂの±Ｚ方向の位置を制御する。
【００２４】
研削により研削砥石が磨耗すると、研削砥石の研削面が保持面１２１に接触するときの研削手段の基準位置が変化するので、第２セットアップ処理２４が適切な間隔で（例えば板状ワークを所定枚数研削するごとに）実行される。また、研削ホイールを交換した場合も、研削砥石の研削面が保持面１２１に接触するときの研削手段の基準位置が変化するので、第２セットアップ処理２４が実行される。第２セットアップ処理２４は、研削砥石の研削面を当接部材１３ａ〜１３ｃの上端に当接させてその時の研削手段の位置を測定する第３測定工程２４３と、新たな基準位置を算出する第２基準位置算出工程２４４とから構成される。各工程の詳細については後述する。
【００２５】
次に、第１セットアップ処理２１の各工程について説明する。なお、以下の説明では、研削手段１４ａと保持テーブル１２ａとの組み合わせについてのみ説明する。研削手段１４ａ，１４ｂと保持テーブル１２ａ〜１２ｃとの間の他の組み合わせについても同様の処理を行うが、２つの研削手段１４ａ、１４ｂの研削面の高さの差や３つの保持テーブル１２ａ〜１２ｃの保持面１２１の高さの差を差し引きする構成であってもよい。
【００２６】
（１）第１測定工程
最初に、第１測定工程２１１では、図３に示すように、まず、保持テーブル１２ａが板状ワークを保持していない状態で、位置付け手段１８３がターンテーブル１１を回転させ、保持テーブル１２ａを第１の研削位置に位置付ける。
【００２７】
そして次に、＋Ｚ方向に退避していた研削手段１４ａを、研削送り手段１５ａが−Ｚ方向に移動させ、研削手段１４ａに装着されている研削ホイール３０ａの研削砥石３１ａの研削面（−Ｚ方向の側の面）を、第１の研削位置に位置付けられた保持テーブル１２ａの保持面１２１に接触させ、その時の研削手段１４ａの±Ｚ方向における位置Ｐａ１を測定手段１９が測定する。記憶部１８１は、測定手段１９が測定した位置Ｐａ１を第一の位置として記憶するとともに、基準位置Ｐａａとして記憶する。研削送り手段１５ａは、研削手段１４ａを＋Ｚ方向に退避させる。
【００２８】
（２）第２測定工程
第２測定工程２１３では、図４に示すように、まず、位置付け手段１８３がターンテーブル１１を反時計回りに６０度回転させて、当接部材１３ｃを第１の当接位置に位置付ける。そして、研削送り手段１５ａが＋Ｚ方向に退避していた研削手段１４ａを−Ｚ方向に移動させ、研削手段１４ａに装着されている研削ホイール３０ａの研削砥石３１ａの研削面を、第１の当接位置に位置付けられた当接部材１３ｃの上端に当接させ、その時の研削手段１４ａの±Ｚ方向における位置Ｐａ２を測定手段１９が測定する。例えば、研削送り手段１５ａのねじ軸１５１を回転させるサーボモータ１５２の駆動電力を測定し、駆動電力が既定の上限値を超えたことを検出することにより、研削面が当接部材１３ｃの上端に当接したと判断する。また、当接部材１３ｃの上端に圧力センサを設け、圧力センサが検出した圧力が既定の上限値を超えたことを検出することにより、研削面が当接部材１３ｃの上端に当接したことを判定する構成であってもよい。
【００２９】
（３）補正値算出工程
次に、補正値算出工程２１４において、算出部１８２は、第２測定工程２１３で測定した第２の位置Ｐａ２から、第１測定工程２１１で測定した第１の位置Ｐａ１を差し引くことにより、補正値ΔＰａ＝Ｐａ２−Ｐａ１を算出する。記憶部１８１は、算出された補正値ΔＰａを記憶する。
【００３０】
（４）研削工程
研削工程２２では、記憶部１８１に記憶された基準位置に基づいて、研削送り手段１５ａが研削手段１４ａを移動させる。例えば、保持テーブル１２ａに保持された板状ワークを厚さｄ１まで粗研削したい場合、研削送り手段１５ａが研削手段１４ａを−Ｚ方向に移動させて研削しながら、測定手段１９が研削手段１４ａの位置を測定し、基準位置Ｐａａよりも＋Ｚ方向に厚さｄ１だけ高い位置で、研削手段１４ａの−Ｚ方向の移動を停止し、粗研削を終了する。なお、高さ測定手段１７ａ，１７ｂによる保持面１２１の高さ及び板状ワークの被研削面の高さの測定をすることにより板状ワークの厚さを監視し、板状ワークの厚さが厚さｄ１になったら、研削手段１４ａの移動を停止する構成であってもよい。
【００３１】
次に、第２セットアップ処理２４の各工程について説明する。
（５）第３測定工程
研削により研削砥石３１ａ，３１ｂが磨耗した場合は、研削ホイール３０ａ、３０ｂを交換した後に、第３測定工程２４３を実施する。第３測定工程２４３では、図５に示すように、位置付け手段１８３がターンテーブル１１を回転させ、第２測定工程２１３と同じように、当接部材１３ｃを第１の当接位置に位置付ける。この状態において、各保持テーブル１２ａ〜１２ｃには、板状ワーク５０が保持されている。保持テーブル１２ｂに保持されている板状ワーク５０は、これから粗研削をするところである。保持テーブル１２ｃに保持されている板状ワーク５０は、研削手段１４ａによる粗研削が終わり、これから仕上げ研削をするところである。保持テーブル１２ａに保持されている板状ワーク５０は、仕上げ研削が終わったところである。
【００３２】
次に、研削送り手段１５ａが＋Ｚ方向に退避していた研削手段１４ａを−Ｚ方向に移動させ、研削手段１４ａに装着されている研削ホイール３０ａの研削砥石３１ａの研削面を、第１の当接位置に位置付けられた当接部材１３ｃの上端に当接させ、測定手段１９がその時の研削手段１４ａの±Ｚ方向における位置Ｐａ３を測定する。
【００３３】
（６）第２基準位置算出工程
次に、第２基準位置算出工程２４４において、算出部１８２は、第３測定工程２４３で測定された位置Ｐａ３よりも、記憶部１８１に記憶された補正値ΔＰａの分だけ−Ｚ方向に低い位置Ｐａ０を算出する。記憶部１８１は、記憶している基準位置Ｐａａを、算出部１８２が算出した位置Ｐａ０に置き換えて記憶する。
【００３４】
このように、研削ホイール３０ａ，３０ｂを交換すると基準位置が変化するので、第２セットアップ処理２４を実行することにより、記憶部１８１が記憶した基準位置を更新する。研削砥石３１ａ，３１ｂの研削面を保持テーブル１２ａ〜１２ｃの保持面１２１に接触させる必要がないので、保持テーブル１２ａ〜１２ｃの保持面１２１に板状ワークが保持されたままの状態で、基準位置を更新することができる。第１セットアップ処理２１を実行する必要はないので、セットアップにかかる時間を短縮することができる。
【００３５】
次に、保持面を研削する場合について説明する。
研削工程２２では、研削により発生した研削屑を保持面１２１が吸ってしまうので、適切な間隔で（例えば板状ワークを所定の枚数研削するごとに）、保持面１２１を研削する。
【００３６】
図６に示すように、保持面研削処理２３は、高さ測定手段１７ａ，１７ｃで研削前の保持面１２１の高さを測定する第１高さ測定工程２３１と、保持面研削用の研削ホイールで保持面１２１を研削する保持面研削工程２３２と、高さ測定手段１７ａ，１７ｃで研削後の保持面１２１の高さを測定する第２高さ測定工程２３３と、保持面研削工程２３２で保持面１２１が研削された保持面研削量を算出する保持面研削量算出工程２３４とを備える。保持面研削処理２３は、図２に示した研削工程２２の後、第２セットアップ処理２４の前に実行される。
【００３７】
（７）第１高さ測定工程
まず、第１高さ測定工程２３１では、図７に示すように、研削送り手段１５ａが研削手段１４ａを＋Ｚ方向に退避させ、第１の研削位置に位置付けられた保持テーブル１２ａの保持面１２１の研削前の高さＨａ１を高さ測定手段１７ａが測定する。記憶部１８１は、測定された高さＨａ１を記憶する。
【００３８】
（８）保持面研削工程
次に、保持面研削工程２３２では、研削手段１４ａに装着された研削ホイール３０ａを保持面研削用のものに交換する。そして、研削砥石３１ａを回転させるとともに、研削送り手段１５ａが研削手段１４ａを−Ｚ方向に移動させ、回転する研削砥石を保持面１２１に接触させて平坦に研削する。この場合における研削量は、基準位置Ｐａａを基準位置として制御する。その後、研削手段１４ａに装着された研削ホイールを、板状ワーク研削用の研削ホイール３０ａに交換する。
【００３９】
（９）第２高さ測定工程
次に、第２高さ測定工程２３３では、図８に示すように、第１の研削位置に位置付けられた保持テーブル１２ａの研削後の保持面１２１の高さＨａ２を高さ測定手段１７ａが測定する。
【００４０】
（１０）保持面研削量算出工程
保持面研削量算出工程２３４において、算出部１８２は、記憶部１８１に記憶された保持テーブル１２ａの保持面１２１の高さＨａ１から、測定された新たな高さＨａ２を差し引くことにより、研削による保持面１２１の高さの変化量ΔＨａ＝Ｈａ１−Ｈａ２を算出する。記憶部１８１は、算出部１８２が算出した変化量ΔＨａを、保持面研削量として記憶する。
【００４１】
保持面研削処理２３を実行した後の第２セットアップ処理２４では、保持面研削量ΔＨａを使って、基準位置Ｐａａを算出する。
まず、図２に示した第３測定工程２４３では、前述したとおり、研削手段１４ａに装着された研削ホイール３０ａの研削砥石３１ａの研削面が、第１の当接位置に位置付けられた当接部材１３ｂの上端に接する位置Ｐａ３を、測定手段１９が測定する。
【００４２】
次に、第２基準位置算出工程２４４において、算出部１８２は、前述したとおり、第３測定工程２４３で測定された位置Ｐａ３よりも、記憶部１８１に記憶された補正値ΔＰａの分だけ−Ｚ方向に低い位置Ｐａ０を算出する。算出部１８２は、更に、算出された位置Ｐａ０よりも、記憶部１８１に記憶された保持面研削量ΔＨａの分だけ−Ｚ方向に低い位置Ｐａ０’を算出する。記憶部１８１は、記憶している基準位置Ｐａａを、算出部１８２が算出した位置Ｐａ０’に置き換えて記憶する。すなわち、基準位置Ｐａａは、保持面１２１が研削されて低くなった分、低くなる。
【００４３】
このように、保持面１２１を研削すると基準位置が変化するので、保持面１２１が研削された研削量を測定した上で、第２セットアップ処理２４を実行し、記憶部１８１が記憶した基準位置を更新する。いわゆるセルフグラインドによって保持面１２１の高さが変化した場合であっても、基準位置を正しく算出することができ、板状ワークを正確に所望の厚さまで研削することができる。これにより、研削装置１０の加工精度を高めることができる。第１セットアップ処理２１を実行する必要はないので、セットアップにかかる時間を短縮することができる。
【００４４】
以上説明した実施形態は、一例であり、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、当接部材は、上端が保持テーブルの保持面よりも＋Ｚ方向に位置するものであればよく、仕切板である必要はない。
また、ΔＰａは、測定手段もしくは当接部材のいずれかが交換されない限り、一度測定した値を記憶して使うことを可能としている。
【符号の説明】
【００４５】
１０  研削装置、
１０１  搬出入ロボット、１０２  位置合わせテーブル、１０３  洗浄装置、
１１  ターンテーブル、１２ａ〜１２ｃ  保持テーブル、１２１  保持面、
１３ａ〜１３ｃ  当接部材、１４ａ，１４ｂ  研削手段、
１５ａ，１５ｂ  研削送り手段、
１５１  ねじ軸、１５２  サーボモータ、１５３  移動部、
１６ａ，１６ｂ  搬送手段、１７ａ〜１７ｄ  高さ測定手段、
１８１  記憶部、１８２  算出部、１８３  位置付け手段、１９  測定手段、
２０  研削処理、
２１  第１セットアップ処理、２１１  第１測定工程、
２１３  第２測定工程、２１４  補正値算出工程、
２２  研削工程、２３  保持面研削処理、２３１  第１高さ測定工程、
２３２  保持面研削工程、２３３  第２高さ測定工程、２３４  保持面研削量算出工程、
２４  第２セットアップ処理、
２４３  第３測定工程、２４４  第２基準位置算出工程、
３０ａ，３０ｂ  研削ホイール、３１ａ，３１ｂ  研削砥石、
５０  板状ワーク、６１  供給カセット、６２  回収カセット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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