(57)【要約】【課題】板状体保持部材から板状体を効率よく剥離することができる板状体の剥離装置及びその方法並びに板状体の製造方法を提供する。【解決手段】第１の剥離工程において、ノズル１４から流体１６を噴射し、吸着シート１０の保持面１２からガラス板Ｇの縁部Ｇ３を剥離する。流体１６の噴射方向は、保持面１２と縁部Ｇ３との境界部２２から離間した位置の保持面１２Ａに向けた方向であって、保持面１２に対して交差した方向に設定されている。第２の剥離工程では、まず流体１６の噴射を停止させる。次に、ノズル１８から流体２０を噴射し、保持面１２からガラス板Ｇ全体を剥離する。流体２０の噴射方向は、保持面１２とガラス板Ｇとの界面２４に向けた方向であって、保持面１２に対し平行な方向に設定される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体保持部材の保持面に保持されている板状体を、前記保持面から剥離させる板状体の剥離装置において、
前記保持面と前記板状体の縁部との境界部から離間した位置の前記保持面に向けて、前記保持面に対し交差する方向から第１の流体を噴射する第１の流体噴射手段を備えたことを特徴とする板状体の剥離装置。
【請求項２】
前記保持面と前記板状体との界面に向けて第２の流体を噴射する第２の流体噴射手段と、
前記第１の流体噴射手段から前記第１の流体を噴射させ、所定時間経過後に前記第１の流体の噴射を停止させ、前記第２の流体噴射手段から前記第２の流体を噴射させる制御手段と、
を備えた請求項１に記載の板状体の剥離装置。
【請求項３】
前記第２の流体噴射手段による前記第２の流体の噴射方向は、前記保持面に対して平行な方向に設定される請求項２に記載の板状体の剥離装置。
【請求項４】
前記第１の流体及び前記第２の流体は、液体である請求項２又は３に記載の板状体の剥離装置。
【請求項５】
前記第１の流体噴射手段及び前記第２の流体噴射手段は、前記板状体の縁部に沿って配置された流体供給管と、前記流体供給管の軸方向に沿って設けられた複数のノズルとを備える請求項２、３又は４に記載の板状体の剥離装置。
【請求項６】
前記板状体保持部材の前記保持面にはプレートが、前記板状体の周囲又は周囲の一部に沿って保持され、
前記第１の流体は、前記プレートに向けて噴射される請求項２から５のいずれか１項に記載の板状体の剥離装置。
【請求項７】
前記板状体保持部材の下方に前記第１の流体噴射手段及び前記第２の流体噴射手段が配置された請求項２から６のいずれか１項に記載の板状体の剥離装置。
【請求項８】
前記板状体保持部材の上方に前記第１の流体噴射手段及び前記第２の流体噴射手段が配置された請求項２から６のいずれか１項に記載の板状体の剥離装置。
【請求項９】
板状体保持部材の保持面に保持されている板状体を、前記保持面から剥離させる板状体の剥離方法において、
前記保持面と前記板状体の縁部との境界部から離間した位置の前記保持面に向けて、前記保持面に対し交差する方向から第１の流体を噴射して、前記保持面から前記板状体の縁部を剥離させる第１の剥離工程と、
前記第１の流体の噴射を停止させた後、前記保持面と前記板状体との界面に向けて、前記保持面に対し平行な方向から第２の流体を噴射して、前記保持面から前記板状体を剥離させる第２の剥離工程と、
を備えたことを特徴とする板状体の剥離方法。
【請求項１０】
板状体保持部材の保持面に保持されている板状体を、前記保持面から剥離させる板状体の剥離工程を有する板状体の製造方法において、
前記剥離工程は、
前記保持面と前記板状体の縁部との境界部から離間した位置の前記保持面に向けて、前記保持面に対し交差する方向から第１の流体を噴射して、前記保持面から前記板状体の縁部を剥離させる第１の剥離工程と、
前記第１の流体の噴射を停止させた後、前記保持面と前記板状体との界面に向けて、前記保持面に対し平行な方向から第２の流体を噴射して、前記保持面から前記板状体を剥離させる第２の剥離工程と、
を備えることを特徴とする板状体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状体の剥離装置及びその方法並びに板状体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、吸着シート（板状体保持部材）の保持面に裏面が吸着保持されたガラス板（板状体）を、複数の吸着パッドと高圧水とを用いて、吸着シートから剥離させる剥離装置が開示されている。この剥離装置は、研磨装置によって研磨されたガラス板を、吸着シートから剥離させ、移載機によって洗浄装置に搬送するものである。
【０００３】
前記研磨装置におけるガラス板は、ガラス板と吸着シートとの吸着性向上のために使用される液体を介して吸着シートに吸着保持された状態で研磨具により研磨される。研磨されたガラス板は、吸着シートに吸着保持された状態で研磨装置から搬出され、剥離装置によって吸着シートから剥離される。
【０００４】
特許文献１の剥離装置は、ガラス板の表面を複数の吸着パッドによって吸着保持し、その後、ガラス板と吸着シートとの界面に向けて高圧水を噴出し、ガラス板の縁部を吸着シートから離間させる。そして、離間したガラス板の縁部と吸着シートとの界面に更に前記高圧水を供給し、吸着シートに対するガラス板の吸着を漸次解除しながら、吸着パッドを剥離方向（吸着シートから離間する方向）に漸次移動させる。これによって、吸着シートからガラス板を剥離させる。
【０００５】
また、特許文献２にも同様に、研磨終了後のガラス板を、流体（水とエア又は水のみ或いはエアのみ）を用いて膜体（板状体保持部材）から剥離させる剥離装置が開示されている。特許文献２によれば、ガラス板の縁部と膜体との境界部に流体を噴射させ、その衝撃力によってガラス板を膜体から剥離させるものである。
【０００６】
特許文献１に開示された高圧水、及び特許文献２に開示された流体は、ガラス板の縁部に沿って配置された複数本のノズルから噴射される。これらのノズルは、独立して設けられ、１本毎に噴射方向が調節される。このためノズルは、複数の関節部を備えた治具に支持されており、治具の複数の関節部を利用して噴射方向が微調節される。また、ノズルの噴射方向によっては、つまり、板状体保持部材及びガラス板に対する高圧水、又は流体の衝突位置によっては、ガラス板の剥離速度、ガラス板の損傷、及び板状体保持部の損傷に大きく影響を与える。このため、前記治具によって行われるノズルの噴射方向の微調節は、非常に繊細で、かつ熟練した作業を要していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−１８５７２５号公報
【特許文献２】特開２００４−１２２３５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、特許文献１、２に開示された剥離装置は、継続使用によって前記治具の関節部が徐々に動くので、ノズルの噴射方向が正規位置からずれるという問題があった。このため、ノズルの噴射方向の調節作業を定期的に行わざるを得ず、つまり、剥離装置を定期的に停止せざるを得ないため、ガラス板の剥離を効率よく実施できないという問題があった。
【０００９】
また、特許文献１、２に開示された剥離装置は、ノズルから噴射される流体がガラス板の縁部に直接衝突する場合があるので、その流体の衝撃力によって、ガラス板の縁部が損傷する場合があった。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、流体の衝撃力によって板状体の縁部を損傷させることなく、板状体保持部材から板状体を効率よく剥離させることができる板状体の剥離装置及びその方法並びに板状体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、下記の知見に基づいてなされたものである。
【００１２】
ノズルから噴射される流体の衝撃力によって、板状体の縁部を損傷させることなく、板状体保持部材から板状体を効率よく短時間で剥離させるためには、下記の第１の条件が必要となり、また、ノズルから噴射される流体の衝撃力によって、板状体保持部材を損傷させることなく、板状体保持部材から板状体を効率よく短時間で剥離させるためには、下記の第２の条件が必要となることを見出した。
【００１３】
第１の条件を満たすためには、板状体の縁部に流体を直接衝突させることを避けて、板状体保持部材の保持面（板状体を保持する保持面）に流体を衝突させ、保持面で噴射方向が変更された流体を板状体の縁部と保持面との境界部に供給することを要する。すなわち、保持面と板状体の縁部との境界部から離間した位置の保持面に向けて、保持面に対し交差する方向から流体を噴射する。これによって、第１の条件を満たすことができる。一方で、保持面と板状体との界面に向けて、保持面に対し平行な方向から流体を噴射すれば、第２の条件を満たすことができる。
【００１４】
そこで、本発明の一態様は、前記目的を達成するために、板状体保持部材の保持面に保持されている板状体を、前記保持面から剥離させる板状体の剥離装置において、前記保持面と前記板状体の縁部との境界部から離間した位置の前記保持面に向けて、前記保持面に対し交差する方向から第１の流体を噴射する第１の流体噴射手段を備えたことを特徴とする板状体の剥離装置を提供する。
【００１５】
本発明の一態様によれば、第１の流体の衝撃力によって板状体の縁部を損傷させることなく、板状体保持部材から板状体を効率よく剥離させることができる。
【００１６】
本発明の一態様は、前記保持面と前記板状体との界面に向けて第２の流体を噴射する第２の流体噴射手段と、前記第１の流体噴射手段から前記第１の流体を噴射させ、所定時間経過後に前記第１の流体の噴射を停止させ、前記第２の流体噴射手段から前記第２の流体を噴射させる制御手段と、を備えることが好ましい。
【００１７】
本発明の一態様は、前記第２の流体噴射手段による前記第２の流体の噴射方向は、前記保持面に対して平行な方向に設定されることが好ましい。
【００１８】
また、本発明の一態様は、前記目的を達成するために、板状体保持部材の保持面に保持されている板状体を、前記保持面から剥離させる板状体の剥離方法において、前記保持面と前記板状体の縁部との境界部から離間した位置の前記保持面に向けて、前記保持面に対し交差する方向から第１の流体を噴射して、前記保持面から前記板状体の縁部を剥離させる第１の剥離工程と、前記第１の流体の噴射を停止させた後、前記保持面と前記板状体との界面に向けて、前記保持面に対し平行な方向から第２の流体を噴射して、前記保持面から前記板状体を剥離させる第２の剥離工程と、を備えたことを特徴とする板状体の剥離方法を提供する。
【００１９】
更に、本発明の一態様は、板状体保持部材の保持面に保持されている板状体を、前記保持面から剥離させる板状体の剥離工程を有する板状体の製造方法において、前記剥離工程は、前記保持面と前記板状体の縁部との境界部から離間した位置の前記保持面に向けて、前記保持面に対し交差する方向から第１の流体を噴射して、前記保持面から前記板状体の縁部を剥離させる第１の剥離工程と、前記第１の流体の噴射を停止させた後、前記保持面と前記板状体との界面に向けて、前記保持面に対し平行な方向から第２の流体を噴射して、前記保持面から前記板状体を剥離させる第２の剥離工程と、を備えることを特徴とする板状体の製造方法を提供する。
【００２０】
本発明の一態様によれば、第１の剥離工程において、第１の流体噴射手段から第１の流体を噴射し、板状体保持部材の保持面から板状体の縁部を剥離する。第１の流体の噴射方向は、保持面と板状体の縁部との境界部から離間した位置の保持面に向けた方向であって、保持面に対して交差し、更に好ましくは板状体の縁部に向けた方向に設定されている。これにより、保持面で噴射方向が変更された流体が、境界部から板状体の縁部と保持面との界面に浸入していくので、板状体の縁部を流体の衝撃力で損傷させることなく、保持面から板状体の縁部を効率よく剥離させることができる。
【００２１】
次に、第２の剥離工程では、まず第１の流体の噴射を停止させる。これにより、第１の流体が継続して保持面に衝突することに起因する、保持面の損傷を抑えることができる。次に、第２の流体噴射手段から第２の流体を噴射し、板状体保持部材の保持面から板状体全体を剥離する。第２の流体の噴射方向は、保持面と板状体との界面に向けた方向であって、保持面に対し平行な方向に設定されている。これにより、第２の流体は、保持面と板状体との界面に効率よく供給されるので、板状体を効率よく短時間で剥離させることができる。
【００２２】
第１、第２の流体の噴射及び噴射停止は、第１、第２の流体供給管に備えられた、例えば電磁バルブを開閉する制御手段によって時間制御されている。
【００２３】
上記の如く、本発明の特徴は、前記知見に基づき、板状体の縁部のみを剥離させる第１の流体噴射手段と、縁部が剥離された板状体を剥離させる第２の流体噴射手段とを備えたことにある。
【００２４】
また、第１、第２の流体の噴射方向は、画一的に定められた方向なので、１本のノズルの場合に余儀なくされる、定期的な噴射方向の微調節は不要である。これにより、剥離装置を定期的に停止させる必要が無くなるので、板状体の剥離を効率よく実施でき、かつ剥離装置の稼働率が向上する。
【００２５】
本発明の一態様は、前記第１の流体及び前記第２の流体は、液体であることが好ましい。
【００２６】
本発明の一態様によれば、板状体保持部材の保持面と板状体との界面に液体が浸入する。これにより、保持面に対する板状体の再付着が液体によって防止されるので、板状体を確実に剥離できる。また、第２の流体の噴射方向が保持面と平行な方向に設定されているので、第２の流体噴射手段から徐々に遠ざかる界面に液体を確実に供給できる。つまり、圧縮エアと液体とを混合した高圧流体を使用することなく、界面に液体を効率よく供給できる。更に、圧縮エアを使用しないので、すなわち、エアコンプレッサが不要になるので、流体供給装置が簡略化する。
【００２７】
本発明の一態様は、前記第１の流体噴射手段及び前記第２の流体噴射手段は、前記板状体の縁部に沿って配置された流体供給管と、前記流体供給管の軸方向に沿って設けられた複数のノズルとを備えたことが好ましい。
【００２８】
本発明の一態様によれば、流体として液体を使用することにより、角パイプ等の液体供給管をそのまま板状体の縁部に沿って配設し、液体供給管に複数のノズルを直接設けただけの簡単な構成の流体噴射手段を提供できる。
【００２９】
本発明の一態様は、前記板状体保持部の前記保持面にはプレートが、前記板状体の周囲又は周囲の一部に沿って保持され、前記第１の流体は、前記プレートに向けて噴射されることが好ましい。
【００３０】
本発明の一態様によれば、第１の流体がプレートに向けて噴射され、プレートで噴射方向が変更された第１の流体が、板状体保持部材の保持面と板状体の縁部との境界部に供給されて、板状体の縁部が剥離される。第１の流体の供給時において、保持面はプレートによって保護されているので、第１の流体が衝突することに起因する保持面の損傷を防止できる。
【００３１】
本発明の一態様は、前記板状体保持部材の下方に前記第１の流体噴射手段及び前記第２の流体噴射手段が配置されたことが好ましい。
【００３２】
本発明の一態様によれば、保持面が下方に向けられた板状体保持部材を対象としており、この場合、第１の流体は斜め上方に向けて噴射される。第２の流体によって剥離された板状体は、自重によって板状体保持部材から落下し、回収される。
【００３３】
本発明の一態様は、前記板状体保持部材の上方に前記第１の流体噴射手段及び前記第２の流体噴射手段が配置されたことが好ましい。
【００３４】
本発明の一態様によれば、保持面が上方に向けられた板状体保持部材を対象としており、この場合、第１の流体は斜め下方に向けて噴射される。第２の流体によって剥離された板状体は、吸着パッド等の吸着手段に吸着されて回収される。
【発明の効果】
【００３５】
以上説明したように本発明の板状体の剥離装置及びその方法並びに板状体の製造方法によれば、流体の衝撃力によって板状体の縁部を損傷させることなく、板状体保持部材から板状体を効率よく剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は本発明に係る板状体の第１の剥離方法を経時的に示した概念図
【図２】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は本発明に係る板状体の第２の剥離方法を経時的に示した概念図
【図３】（Ａ）は実施形態の剥離装置の側面図、（Ｂ）は研磨装置の側面図、（Ｃ）は剥離装置によってガラス板が剥離された状態を示した側面図
【図４】吸着シートの保持面に吸着保持されたガラス板の平面図
【図５】実施形態の剥離装置の要部構造を示した斜視図
【図６】図５の要部縦断面図
【図７】（Ａ）は剥離装置によってガラス板の縁部が吸着シートから剥離された状態を示した要部拡大断面図、（Ｂ）は剥離装置によってガラス板の非研磨面が吸着シートから剥離されていく状態を示した要部拡大断面図
【図８】流体供給装置の構成を示したブロック図
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下、添付図面に従って本発明に係る板状体の剥離装置及びその方法並びに板状体の製造方法の好ましい実施形態について説明する。
【００３８】
図１（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は、本発明に係る板状体の第１の剥離方法を経時的に示した概念図であり、図２（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明に係る板状体の第２の剥離方法を経時的に示した概念図である。
【００３９】
以下、ガラス板（板状体）Ｇの製造工程において、ガラス板研磨工程の下流側に備えられるガラス板剥離工程に、本発明の板状体の剥離方法及びその装置を適用した例について説明する。この例では、ガラス板Ｇの非研磨面Ｇ１が吸着シート（板状体保持部材）１０の平坦な保持面１２に吸着保持され、その状態でガラス板Ｇの研磨面Ｇ２（非研磨面Ｇ１の対向面）がガラス板研磨工程にて研磨される。その後、ガラス板剥離工程にてガラス板Ｇの非研磨面Ｇ１が吸着シート１０の保持面１２から剥離される。
【００４０】
図１に示した第１の剥離方法は、図１（Ａ）の如く、ガラス板Ｇの上面（非研磨面Ｇ１）が吸着シート１０の保持面１２に吸着保持された形態における剥離方法である。第１の剥離方法によれば、図１（Ｂ）の如く、まず、ノズル（第１の流体噴射手段のノズル）１４から流体（第１の流体）１６を斜め上方に向けて噴射し、ガラス板Ｇの縁部Ｇ３を、矢印ａの如く保持面１２から剥離させる（第１の剥離工程）。次に、流体１６の噴射を停止させ、図１（Ｃ）の如く、ノズル（第２の流体噴射手段のノズル）１８から流体（第２の流体）２０を噴射して、保持面１２からガラス板Ｇの上面を、矢印ｂの如く剥離させていき、上面全面を剥離させる（第２の剥離工程）。剥離されたガラス板Ｇは、自重により吸着シート１０から落下して回収部にて回収される。すなわち、第１の剥離方法が適用された図１の剥離装置は、吸着シート１０の下方にノズル１４、１８が配置された形態である。なお、図１では、ノズル１８を設けているが、ノズル１４から噴射される流体１６のみであっても、保持面１２からガラス板Ｇの上面を剥離できる。ノズル１８を設けることにより、ノズル１８から噴射される流体２０によって保持面１２からガラス板Ｇの上面を短時間で剥離できるため、ノズル１８を設けることが好ましい。
【００４１】
図２に示した第２の剥離方法は、図２（Ａ）の如く、ガラス板Ｇの下面（非研磨面Ｇ１）が吸着シート１０の保持面１２に吸着保持された形態における剥離方法である。第２の剥離方法によれば、図２（Ｂ）の如く、まず、ノズル１４から流体１６を斜め下方に噴射し、ガラス板Ｇの縁部Ｇ３を、矢印ａ（図１（Ｂ）と同符号を付す）の如く保持面１２から剥離させる。次に、流体１６の噴射を停止させ、図２（Ｃ）の如く、ノズル１８から流体２０を噴射して、保持面１２からガラス板Ｇの下面を、矢印ｂ（図１（Ｃ）と同符号を付す）の如く剥離させていき、下面全面を剥離させる。剥離されたガラス板Ｇは、その上面が吸着パッド等の吸着手段（不図示）に吸着されて回収される。すなわち、第２の剥離方法が適用された図２の剥離装置は、吸着シート１０の上方にノズル１４、１８が配置された形態である。なお、図２においても、ノズル１８を設けているが、ノズル１４から噴射される流体１６のみであっても、保持面１２からガラス板Ｇの下面を剥離できる。ノズル１８を設けることにより、ノズル１８から噴射される流体２０によって保持面１２からガラス板Ｇの下面を短時間で剥離できるため、ノズル１８を設けることが好ましい。
【００４２】
以上の如く、本発明の板状体の剥離方法は、ガラス板Ｇの上面が吸着シート１０の下面の保持面１２に吸着保持された形態（図１参照）、及びガラス板Ｇの下面が吸着シート１０の上面の保持面１２に吸着保持された形態（図２参照）であっても適用できる。
【００４３】
また、図１、図２に示した剥離方法では、流体２０の噴射前に流体１６の噴射を停止するので、流体１６が継続して保持面１２Ａに衝突することに起因する、保持面１２Ａの損傷を抑えることができる。
【００４４】
<ノズル１４、１８>
図１（Ｂ）、図２（Ｂ）の矢印ｃで示す、ノズル１４による流体１６の噴射方向は、保持面１２とガラス板Ｇの縁部Ｇ３との境界部２２から側方に離間した位置の保持面１２Ａに向けた方向であって、保持面１２に対して交差し、かつガラス板Ｇの縁部Ｇ３に向けた方向に設定されている。これにより、保持面１２Ａで噴射方向が変更された流体１６が、境界部２２からガラス板Ｇの縁部Ｇ３と保持面１２との界面２４に浸入していくので、縁部Ｇ３を流体１６の衝撃力で損傷させることなく、保持面１２から効率よく剥離させることができる。
【００４５】
なお、流体１６の噴射角度は、吸着シート１０の保持面１２に対して１５〜５５度が好ましく、２０〜３０度がより好ましい。また、流体１６の噴射方向は、ガラス板Ｇの縁部Ｇ３に向けた方向に設定する。換言すると図１（Ｄ）の如く、ノズル１４の傾斜方向をガラス板Ｇの反対側に設定し、ノズル１４と保持面１２Ａとの間に反射部材１５を設置し、反射部材１５で反射した流体１６が保持面１２Ａに衝突して、保持面１２とガラス板Ｇの縁部Ｇ３との境界部２２に供給されるように設定してもよい。
【００４６】
一方、図１（Ｃ）、図２（Ｃ）の矢印ｄで示す、ノズル１８による流体２０の噴射方向は、界面２４に向けて、保持面１２に対し所望の方向に、好ましくは平行な方向に設定されている。これにより、流体２０は、界面２４に効率よく供給されるので、ガラス板Ｇの全体を吸着シート１０から効率よく短時間で剥離させることができる。なお、保持面１２に対し平行な方向とは、保持面１２に対し角度が０度の場合に限定されず、０〜１０度が含まれる。
【００４７】
ノズル１４、１８から噴射される流体１６、２０は特に限定されず、液体と圧縮エアとを混合した高圧流体でもよいが、水等の液体であることが好ましい。剥離過程において、界面２４に液体が浸入するので、保持面１２に対するガラス板Ｇの再付着を防止できる。これにより、ガラス板Ｇを確実に剥離できる。また、流体２０の噴射方向が保持面１２と平行な方向に設定されているので、流体が液体であっても、ノズル１８から遠ざかる界面２４に液体を確実に供給できる。つまり、圧縮エアと液体とを混合した高圧流体を使用することなく、界面２４に液体を効率よく供給できる。また、圧縮エアを使用しないので、すなわち、エアコンプレッサが不要になるので、流体供給装置が簡略化する。なお、流体１６、２０が液体の場合には、ガラス板Ｇ及び保持面１２Ａの損傷を考慮して、その噴射圧力を０．５〜０．７ＭＰａに設定することが好ましい。
【００４８】
<ガラス板Ｇ>
ガラス板Ｇは、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイ等のＦＰＤ（Flat Panel Display）に使用される厚さの薄い（０．１〜２．５ｍｍ）ガラス板である。また、ガラス板Ｇは、前記ガラス板研磨工程にて研磨面Ｇ２が研磨されることにより、ＦＰＤ用ガラス板として要求される平坦度を満足したガラス板Ｇに製造される。なお、ガラス板Ｇの形状は矩形状であり、サイズとしては、第５世代（縦１０００ｍｍ×横１２００ｍｍ〜縦１１００ｍｍ×横１３００ｍｍ）から第１０世代（縦２８８０ｍｍ×横３１３０ｍｍ）のものを例示できる。
【００４９】
<吸着シート１０>
吸着シート１０は、自己吸着性のある多孔質部材であるが、グリセリン等の液体が保持面１２に塗布されて、ガラス板Ｇとの吸着性が高められている。１枚の吸着シート１０に１枚のガラス板Ｇを吸着保持させてもよく、２枚以上のガラス板Ｇを１枚の吸着シート１０に吸着保持してもよい。また、多孔質部材の材料は特に限定されないが、ポリウレタン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレンを例示できる。更に、液体としてグリセリンを例示したが、これに限定されず、水、グリセリンを含む多価アルコール（グリセリン、ポリエチレングリコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール等）、及び水と多価アルコールとの混合物を例示できる。
【００５０】
〔剥離装置３０と研磨装置３２の構成〕
図３（Ａ）は、実施形態の剥離装置３０の側面図であり、図３（Ｂ）は、剥離装置３０の前段に配置された研磨装置３２の側面図であり、図３（Ｃ）は、剥離装置３０によってガラス板Ｇが剥離された状態を示した側面図である。
【００５１】
研磨装置３２は、吸着シート１０に吸着保持されたガラス板Ｇの研磨面Ｇ２を、研磨ヘッド３４によって研磨パッド３６に押圧するとともに、回転させることにより研磨する。研磨方法は、研磨ヘッド３４のキャリア３８と吸着シート１０との間に圧力流体を供給し、この圧力流体の圧力を、吸着シート１０を介してガラス板Ｇに伝達することにより、ガラス板Ｇの研磨面Ｇ２を研磨パッド３６に面内均一な圧力で押圧する。そして、キャリア３８を回転軸４０よって回転（自転、公転を含む）させるとともに、必要に応じて研磨パッド３６を回転させてガラス板Ｇの研磨面Ｇ２を研磨する。なお、この研磨方法は一例である。
【００５２】
図４は、吸着シート１０の保持面１２に吸着保持されたガラス板Ｇの平面図である。
【００５３】
吸着シート１０には、ガラス板Ｇとともに研磨パッド３６（図３（Ｂ）参照）に押圧当接される４本のプレート４２が吸着されている。このプレート４２は、ダミープレートと称され、ガラス板Ｇの周囲を所定の隙間を介して包囲し、ガラス板Ｇの研磨面の縁部に研磨圧力が集中することを防止する。プレート４２は、ガラス板Ｇの厚さと略同厚で構成され、かつ研磨パッド３６による研磨によって摩耗しない材質で構成されており、ステンレス、鉄、アルミ、ポリエチレン、ポリウレタンを例示できる。なお、図４では、ガラス板Ｇの４辺に沿ってプレート４２を配置したが、プレート４２は少なくとも１辺に配置すればよい。
【００５４】
図３（Ｂ）の研磨装置３２によって研磨面Ｇ２が研磨されたガラス板Ｇは、研磨ヘッド３４の矢印ｅで示す移動によって剥離装置３０に搬送され、剥離装置３０によって吸着シート１０から剥離される。
【００５５】
図５は、剥離装置３０の要部構造を示した斜視図であり、図６は、図５の要部縦断面図である。
【００５６】
図５に示すように、ノズル１４は、流体１６を供給する直管の角パイプ４４の軸方向に沿って複数設けられている。また、ノズル１８は、流体２０を供給する角パイプ４６の軸方向に沿って複数設けられている。図６に示すように、角パイプ４４及び角パイプ４６は、角パイプ４４の側部に設けられたＬ字型のブラケット４８を介して、それぞれの軸が平行になるように固定されている。流体を供給する管として角パイプ４４、４６を示したが、形状は角状に限定されず、円筒であってもよい。
【００５７】
角パイプ４４、４６は図５の如く、剥離装置３０に搬送されたガラス板Ｇの対向する長辺に対向して（長辺に沿って）配置され、各々の複数のノズル１４、１８が長辺に沿って所定の間隔をもって配置される。なお、角パイプ４４、４６及びノズル１４、１８をガラス板Ｇの対向する短辺に対向して配置してもよい。また、ノズル１４と角パイプ４４とによって、本発明の第１の流体噴射手段が構成され、ノズル１８と角パイプ４６とによって、本発明の第２の流体噴射手段が構成される。
【００５８】
なお、ノズル１４、１８の配置位置は、ガラス板Ｇの対向する２辺に沿った位置に限定されるものではなく、１辺に沿った位置でもよく、４辺に沿った位置でもよい。また、ノズル１４、１８は、ガラス板Ｇの辺に対して傾いて配置されていてもよい。
【００５９】
流体１６、２０として液体を使用することにより、角パイプ４４、４６をそのままガラス板Ｇの辺部（縁部）に沿って配設できるので、角パイプ４４、４６に複数のノズル１４、１８を直接設けただけの簡単な構成の流体噴射手段を提供できる。
【００６０】
角パイプ４４は、図３（Ａ）の如く、剥離装置３０の脚部５０の上部に固定されている。剥離装置３０の下方であって一対の脚部５０と脚部５０の間には、走行自在なシャトル５２が配置される。シャトル５２の上面には、ゴム等の緩衝部材で構成されたシート５４が取り付けられており、吸着シート１０から剥離されたガラス板Ｇが自重でシート５４に落下されてシャトル５２に回収される。回収されたガラス板Ｇは、シャトル５２によって次工程の搬入部に搬送される。
【００６１】
一方、図６の如く、角パイプ４６の上面には、プレート４２が載置される受け板５６が取り付けられている。
【００６２】
ガラス板Ｇは、図６の状態でノズル１４から噴射される流体１６、及びノズル１８から噴射される流体２０によって剥離される。
【００６３】
〔剥離装置３０の作用〕
図７（Ａ）は、剥離装置３０のノズル１４から噴射される流体（液体）１６によって、ガラス板Ｇの長辺の縁部Ｇ３が、吸着シート１０の保持面１２から剥離された状態を示した要部拡大断面図、図７（Ｂ）は、剥離装置３０のノズル１８から噴射される流体（液体）２０によって、ガラス板Ｇの上面の非研磨面Ｇ１が、吸着シート１０の保持面１２から剥離されていく状態を示した要部拡大断面図である。
【００６４】
まず、図７（Ａ）の如く、ノズル１４から流体１６（図１（Ｂ）参照）を矢印ｃ方向に噴射し、吸着シート１０の保持面１２からガラス板Ｇの縁部Ｇ３を剥離する。流体１６の噴射方向は、図１（Ｂ）で述べた方向に設定されている。よって、ノズル１４から噴射された流体１６は、図７（Ａ）の如く、保持面１２Ａに吸着保持されたプレート４２に向けて噴射され、プレート４２で噴射方向が変更された流体１６が、保持面１２とガラス板Ｇの縁部Ｇ３との境界部２２に供給される。これにより、境界部２２からガラス板Ｇの縁部Ｇ３と保持面１２との界面に浸入していくので、縁部Ｇ３を流体１６の衝撃力で損傷させることなく、保持面１２から縁部Ｇ３を効率よく剥離させることができる。また、縁部Ｇ３の剥離時に、保持面１２Ａはプレート４２によって保護されているので、流体１６が衝突することに起因する保持面１２Ａの損傷を防止できる。
【００６５】
次に、縁部Ｇ３が剥離すると、流体１６の噴射を停止する。
【００６６】
ここで、流体供給装置の一例を説明する。図８は流体供給装置６０の構成を示したブロック図である。
【００６７】
流体供給装置６０は、流体であるろ過水を、増圧ポンプ６２によって増圧し、リリーフ弁６４、電磁バルブ６６、及び手動バルブ６８を介して２本の角パイプ４４に供給する供給系７０と、リリーフ弁６４、電磁バルブ７２、及び手動バルブ７４を介して２本の角パイプ４６に供給する供給系７６とを備える。また、電磁バルブ６６、７２を時間制御により開閉する制御手段７８を備えている。なお、図８では、図面の煩雑さを避けるため、ノズル１４、１８の図示を省略している。
【００６８】
流体供給装置６０によれば、流体１６の噴射及び噴射停止を、電磁バルブ６６、７２を開閉する制御手段７８によって時間制御することにより行う。また、流体供給装置６０によれば、電磁バルブ６６、７２を開放した状態で、手動バルブ６８、７４を開閉操作することもできる。
【００６９】
次に、図７（Ｂ）の如く、ノズル１８から流体２０を噴射し、吸着シート１０の保持面１２からガラス板Ｇ全体を剥離する。流体２０の噴射方向は、図１（Ｃ）で述べた方向に設定されている。これにより、流体２０は、保持面１２とガラス板Ｇとの界面に効率よく供給されるので、ガラス板Ｇを効率よく短時間で剥離させることができる。
【００７０】
剥離したガラス板Ｇは、図３（Ｃ）の如く、シート５４に落下し、その後、回収されて次工程に搬出される。また、ガラス板Ｇ全体が剥離すると、流体２０の噴射を停止する。流体２０の噴射及び噴射停止は、図８の電磁バルブ７２を開閉する制御手段７８によって時間制御することにより行う。
【００７１】
上記の如く、実施形態の剥離装置３０は、ガラス板Ｇの縁部Ｇ３のみを剥離させるノズル１４と、縁部Ｇ３が剥離されたガラス板Ｇを完全に剥離させるノズル１８とを備えたことを特徴としている。ノズル１４、１８による流体１６、２０の噴射方向は、画一的に定められた方向なので、１本のノズルの場合に余儀なくされる、定期的な噴射方向の微調節は不要になる。これにより、１本のノズルをメンテナンスするために、剥離装置３０を定期的に停止させる必要が無くなるので、ガラス板Ｇの剥離を効率よく実施でき、かつ剥離装置３０の稼働率が向上する。
【００７２】
なお、図３から図７では、図１に示した形態（吸着シート１０が上、ガラス板Ｇが下）でのガラス板Ｇの研磨方法、及びガラス板Ｇの剥離方法について説明したが、図２に示した形態（吸着シート１０が下、ガラス板Ｇが上）でのガラス板Ｇの研磨方法、及びガラス板Ｇの剥離方法であっても、本発明の剥離装置及び剥離方法を適用できる。
【００７３】
〔産業上の利用可能性〕
実施形態では、剥離対象の板状体としてガラス板Ｇを例示したが、これに限られるものではなく、金属製又は樹脂製の板状体であっても本発明の板状体の剥離方法及びその装置並びに板状体の製造方法を適用できる。
【符号の説明】
【００７４】
Ｇ…ガラス板、Ｇ１…非研磨面、Ｇ２…研磨面、Ｇ３…縁部、１０…吸着シート、１２…保持面、１２Ａ…保持面、１４…ノズル、１５…反射部材、１６…流体、１８…ノズル、２０…流体、２２…境界部、２４…界面、３０…剥離装置、３２…研磨装置、３４…研磨ヘッド、３６…研磨パッド、３８…キャリア、４０…回転軸、４２…プレート、４４…角パイプ、４６…角パイプ、４８…ブラケット、５０…脚部、５２…シャトル、５４…シート、５６…受け板、６０…流体供給装置、６２…増圧ポンプ、６４…リリーフ弁、６６…電磁バルブ、６８…手動バルブ、７０…供給系、７２…電磁バルブ、７４…手動バルブ、７６…供給系、７８…制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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