(57)【要約】【課題】酸化物超電導線材の作製に際して、酸化物超電導層への酸素導入処理やＭＯＤ法における仮焼処理および本焼処理など、処理室内で雰囲気ガスに曝す処理を短時間で行って、酸化物超電導線材の製造効率を改善することができる技術を提供する。【解決手段】表面に酸化物超電導層を形成させて酸化物超電導線材を製造するために用いられる長尺の酸化物超電導線材用基材であって、酸化物超電導線材を重ね合わせた際、酸化物超電導層の表面との間に外気を流通させる隙間が形成される凹凸加工が裏面側に施されている酸化物超電導線材用基材。および、前記酸化物超電導線材用基材の表面に酸化物超電導層が形成されている酸化物超電導線材。【選択図】図１
2015225726.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に酸化物超電導層を形成させて酸化物超電導線材を製造するために用いられる長尺の酸化物超電導線材用基材であって、
前記酸化物超電導線材を重ね合わせた際、前記酸化物超電導層の表面との間に外気を流通させる隙間が形成される凹凸加工が裏面側に施されている
酸化物超電導線材用基材。
【請求項２】
前記凹凸加工が幅方向または長手方向の端部に両端が達する複数本の溝を設ける溝加工である請求項１に記載の酸化物超電導線材用基材。
【請求項３】
前記溝が幅方向に沿って設けられている請求項２に記載の酸化物超電導線材用基材。
【請求項４】
前記溝のピッチが５０〜１０００μｍである請求項２または請求項３に記載の酸化物超電導線材用基材。
【請求項５】
前記溝の深さが０．１〜１０μｍである請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載の酸化物超電導線材用基材。
【請求項６】
前記凹凸加工が粗面加工である請求項１に記載の酸化物超電導線材用基材。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の酸化物超電導線材用基材の表面に酸化物超電導層が形成されている酸化物超電導線材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸化物超電導線材の作製に際して用いられる酸化物超電導線材用基材および前記酸化物超電導線材用基材を備えた酸化物超電導線材に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体窒素の温度で超電導性を有する高温超電導材料の発見以来、ケーブル、限流器、マグネットなどの電力機器への応用を目指した高温超電導線材の開発が活発に行われている。中でも酸化物超電導線材用基材（以下、単に「基材」ともいう）上にレア・アース系の酸化物超電導層（以下、単に「超電導層」ともいう）を形成させた酸化物超電導線材（以下、単に「線材」ともいう）が注目されている。
【０００３】
このような酸化物超電導線材は、一般的に、長尺の基材の表面に、ＲＥＢＣＯ（ＲＥＢａ２Ｃｕ３Ｏ７−δ：ＲＥはレア・アースであり、Ｙ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｄｙ、Ｅｕ、Ｌａ、Ｔｍ、Ｇｄ等の希土類元素の一つかあるいはその混合体）で示される酸化物超電導材料などからなる酸化物超電導層を形成させることにより製造される。
【０００４】
具体的には、まず、長尺の金属基板の表面に、スパッタ法などを用いて、Ｙ２Ｏ３（酸化イットリウム）、ＹＳＺ（イットリア安定化ジルコニア）、ＣｅＯ２（酸化セリウム）などの酸化物層を中間層として形成することにより長尺の基材を作製する。
【０００５】
次に、基材上の中間層の表面に、パルスレーザ蒸着法（Ｐｕｌｓｅ  Ｌａｓｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、略称：ＰＬＤ法）や塗布熱分解法（Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、略称：ＭＯＤ法）などを用いて酸化物超電導層を形成する。
【０００６】
最後に、基材および酸化物超電導層の周囲に保護層や安定化層を形成して酸化物超電導薄膜線材とする。
【０００７】
このような酸化物超電導線材の製造工程において、線材の超電導特性の向上を図るために、従来より超電導層を形成した後に、必要に応じて超電導層に酸素を導入する酸素導入処理が行われている（例えば特許文献１）。
【０００８】
このような酸素導入処理は、所定の酸素雰囲気および温度に設定された処理室内に超電導層を所定時間保持することにより行われるが、超電導層に充分に酸素を導入させるためには、超電導層が雰囲気ガスである酸素に充分に曝されている必要がある。
【０００９】
そこで、従来はリールに密に巻かれた線材をほぐして、超電導層とその上に巻き重ねられた基材の裏面との間に隙間を形成させることにより、超電導層を酸素に曝して酸素導入を行っていた。しかし、この方法の場合、線材をほぐす工程に時間と手間が掛かり、さらに、２００ｍを超える、例えば１ｋｍという長尺の線材の場合には、線材を均一にほぐすことが困難であった。
【００１０】
このため、近年では、リールから巻き出した線材を順次搬送して、処理室を通過させた後に再びリールに巻き取る所謂リールｔｏリール方式を用いて上記の酸素導入処理を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２０１０−１２３４３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、リールｔｏリール方式の場合、線材を順次巻き出して処理室に送って処理する必要があるため、リールに巻かれた線材が長尺になるにつれて１個のリール当たりの処理時間が増大し、製造効率を大きく低下させていた。
【００１３】
そして、特に、超電導層の形成に上記したＭＯＤ法を用いる場合には、酸素導入処理だけでなく、酸化物超電導材料の前駆体層を形成する仮焼処理、および前駆体層から超電導層を形成する本焼処理においても、処理室内で雰囲気ガスに曝して雰囲気ガスと反応させる必要があり、この工程においても上記のリールｔｏリール方式が用いられているため、ＰＬＤ法などの他の方法に比べて処理時間の増大がより顕著になって製造効率がさらに低下し、ＭＯＤ法を用いた線材の量産化に対して妨げともなっていた。
【００１４】
このため、酸化物超電導線材の作製に際して、酸化物超電導層への酸素導入処理やＭＯＤ法における仮焼処理および本焼処理など、処理室内で雰囲気ガスに曝す処理を短時間で行って、酸化物超電導線材の製造効率を改善することができる技術が求められていた。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の一態様に係る酸化物超電導線材用基材は、
表面に酸化物超電導層を形成させて酸化物超電導線材を製造するために用いられる長尺の酸化物超電導線材用基材であって、
前記酸化物超電導線材を重ね合わせた際、前記酸化物超電導層の表面との間に外気を流通させる隙間が形成される凹凸加工が裏面側に施されている
酸化物超電導線材用基材である。
【００１６】
また、本発明の一態様に係る酸化物超電導線材は、
前記酸化物超電導線材用基材の表面に酸化物超電導層が形成されている酸化物超電導線材である。
【発明の効果】
【００１７】
上記によれば、酸化物超電導線材の作製に際して、酸化物超電導層への酸素導入処理やＭＯＤ法における仮焼処理および本焼処理など、処理室内で雰囲気ガスに曝す処理を短時間で行って、酸化物超電導線材の製造効率を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る酸化物超電導線材用基材を模式的に示す縦断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る酸化物超電導線材を模式的に示す斜視図である。
【図３】転写ロールを模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
［本発明の実施形態の説明］
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
【００２０】
（１）本発明の一態様に係る酸化物超電導線材用基材は、
表面に酸化物超電導層を形成させて酸化物超電導線材を製造するために用いられる長尺の酸化物超電導線材用基材であって、
前記酸化物超電導線材を重ね合わせた際、前記酸化物超電導層の表面との間に外気を流通させる隙間が形成される凹凸加工が裏面側に施されている
酸化物超電導線材用基材である。
【００２１】
本発明者は、前記した処理室内で雰囲気ガスに曝す処理において、リールに密に巻かれた状態であっても処理室内に充填された雰囲気ガスに超電導層などを充分曝すことができれば、リールｔｏリール方式に比べて処理時間を大幅に短縮することが可能なバッチ方式を採用できると考え、鋭意検討を行った結果、裏面に所定の凹凸加工、具体的には、リールに巻き重ねられても外気の流通が可能となる凹凸加工が施された基材を用いればよいことに思い至った。
【００２２】
即ち、このような基材の表面に超電導層を形成させてリールに巻き取った場合、基材の表面に形成された超電導層と、その上に巻き重ねられた基材の裏面との間に隙間が形成される。そして、このようなリールに巻き取られた線材を処理室内に保持した場合、上記した酸素導入処理において、この隙間に処理室内に充填された雰囲気ガス（酸素）を流通させることができる。このため、従来のようなリールｔｏリール方式を用いずとも、超電導層を雰囲気ガスに充分に曝して導入させることができる。
【００２３】
この結果、従来のリールｔｏリール方式に比べて、リールに巻き重ねられた線材に酸素導入処理を施す際に要する時間を大幅に短縮することができ、線材の製造効率を大幅に改善することができる。
【００２４】
そして、このような構造の基材を、ＭＯＤ法を用いた線材の作製に採用した場合、線材の製造効率を顕著に改善させることができる。
【００２５】
即ち、ＭＯＤ法を用いた線材の作製においては、前記したように、酸素導入処理だけでなく、酸化物超電導材料の前駆体層を形成する仮焼処理、および前駆体層から超電導層を形成する本焼処理においても、処理室内で雰囲気ガスに曝して雰囲気ガスと反応させる必要がある。本実施形態に係る基材は、このような場合にもバッチ方式を採用することが可能となるため、線材の製造効率を顕著に改善させて、ＭＯＤ法を用いた線材の量産化に大きく寄与することができる。
【００２６】
（２）そして、前記酸化物超電導線材用基材は、
前記凹凸加工が幅方向または長手方向の端部に両端が達する複数本の溝を設ける溝加工であることが好ましい。
【００２７】
基材の幅方向または長手方向の端部に両端が達する複数本の溝を設ける溝加工を基材の裏面に施すことにより、この溝からリールに巻き重ねられた超電導層の表面と基材の裏面との間に外気を流通させることができるため、雰囲気ガスを容易かつ確実に超電導層に導入させることができる。
【００２８】
（３）また、前記酸化物超電導線材用基材は、
前記溝が幅方向に沿って設けられていることが好ましい。
【００２９】
基材の幅方向に沿って溝を設けた場合、溝の長さを短くすることができ、また、巻き重ねられた線材の側辺から容易に外気を隙間に取り込むことができるため、リールに巻き重ねられた線材であっても、雰囲気ガスをより容易に超電導層に導入させることができる。
【００３０】
（４）また、前記酸化物超電導線材用基材は、
前記溝のピッチが５０〜１０００μｍであることが好ましい。
【００３１】
超電導層に導入された雰囲気ガスは、その後、超電導層の内部で１０００μｍ程度拡散することが分かっている。このため、超電導層に万遍なく雰囲気ガスを導入させるという観点から、溝のピッチは１０００μｍ以下とすることが好ましい。一方、５０μｍを下回ると雰囲気ガスの導入の効率が落ちるため、５０μｍ以上であることが好ましい。
【００３２】
（５）また、前記酸化物超電導線材用基材は、
前記溝の深さが０．１〜１０μｍであることが好ましい。
【００３３】
溝の深さが浅すぎると超電導層に雰囲気ガスを適切に導入することが難しくなり、深すぎると基材の厚みが不足して強度が低下する原因になる。好ましい溝の深さは、０．１〜１０μｍである。
【００３４】
（６）また、前記酸化物超電導線材用基材は、
前記凹凸加工が粗面加工であることが好ましい。
【００３５】
凹凸加工の手段としては、基材の裏面と超電導層の表面との間に外気を流通させる隙間が形成される手段であれば特に限定されず、上記した溝加工の他に、粗面加工により微細な凹凸を形成させてもよい。このような粗面加工の具体的な方法としては、ロールによる型付けの他、研削やローレットなどの機械的な方法、あるいはエッチングなどの化学的な方法などを採用することができる。
【００３６】
（７）また、本発明の一態様に係る酸化物超電導線材は、
（１）〜（６）のいずれかの酸化物超電導線材用基材の表面に酸化物超電導層が形成されている酸化物超電導線材である。
【００３７】
裏面に所定の凹凸加工が施された基材の表面に酸化物超電導層を形成させた酸化物超電導線材を用いることにより、リールに巻き重ねたまま処理室内に保持して凹凸加工により形成された隙間から雰囲気ガスを超電導層に導入させることができ、優れた超電導特性の酸化物超電導線材を提供することができる。また、処理時間を短縮することができるため酸化物超電導線材の製造効率を大幅に改善して、低コストで優れた超電導特性の酸化物超電導線材を提供することができる。
【００３８】
[本発明の実施形態の詳細]
以下、本発明を実施形態に基づき、図面を参照して説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００３９】
１．酸化物超電導線材用基材
図１は本実施形態に係る酸化物超電導線材用基材を模式的に示す縦断面図である。図１に示すように、本実施形態に係る酸化物超電導線材用基材１は、金属基板１１の表面Ｆに中間層１２が形成されて構成されている点において、従来の基材と同様の構成を有している。
【００４０】
しかし、本実施形態に係る基材１は金属基板１１側の裏面Ｒに凹凸加工として、複数の溝１３を設ける溝加工が施されている点において従来の基材と異なっている。
【００４１】
具体的には、基材１の裏面Ｒには、長尺の基材１の幅方向に沿って延びた溝１３が長手方向に所定のピッチＰで設けられており、この溝１３の両端が基材１の両側辺に達している。
【００４２】
このような複数の溝１３が裏面Ｒに設けられた基材１の表面Ｆに超電導層を形成させて線材を作製し、作製した線材をリールに巻き重ねた場合、超電導層の表面とその上に巻き重ねられた基材１の裏面Ｒとの間で、溝１３が外気を流通させる隙間を形成するため、酸素導入処理などにおいて、この隙間に雰囲気ガスを流通させ、酸化物超電導層を雰囲気ガスに適切に曝して導入することができる。
【００４３】
なお、溝１３を設けるピッチＰとしては、超電導層に万遍なく雰囲気ガスを導入させるという観点から、５０〜１０００μｍであることが好ましく、１００〜５００μｍであるとより好ましい。
【００４４】
また、それぞれの溝１３の深さＤとしては、超電導層に雰囲気ガスを適切に導入すると共に、基材の強度を維持するという観点から、０．１〜１０μｍであることが好ましく、０．５〜１μｍであるとより好ましい。
【００４５】
なお、図１において、金属基板１１は中間層１２と接する面が２軸配向している配向金属基板であり、ＳＵＳ製の基板１１ａとＣｕ製の基板１１ｂとを貼り合わせたクラッドタイプの基板を用いているが、Ｎｉ合金基板などを用いることもできる。
【００４６】
また、中間層１２は、例えば、金属基板１１側から順に金属基板の配向を引き継いでエピタキシャル成長させるためのシード層、金属基板１１の金属元素が酸化物超電導層に拡散するのを防止するためのバリア層、酸化物超電導層をエピタキシャル成長させるためのキャップ層の多層構造で形成されている。
【００４７】
なお、本実施形態では、凹凸加工として基材の裏面に溝を設ける溝加工を施しているが、このような溝加工に替えて、基材の裏面に微細な凹凸を形成する粗面加工を施してもよい。この場合でも、超電導層の表面とその上に巻き重ねられた基材の裏面との間で外気を流通させる隙間を形成させることができるため、同様の効果を得ることができる。
【００４８】
上記した溝加工や粗面加工などの凹凸加工を基材の裏面に施す具体的な方法としては、例えば、図２（ａ）〜（ｃ）に示すような各転写ロールを基材の裏面に押圧して、ロール表面の構造を基材の裏面に転写させる方法が挙げられる。図２（ａ）〜（ｃ）は、転写ロールを模式的に示す斜視図である。
【００４９】
即ち、基材の裏面に溝加工を施す場合には、図２（ａ）に示すような転写ロール２を用いる。図２（ａ）において、転写ロール２の表面にはロールの長手方向に延びる複数の凸条２２が所定の間隔で形成されており、このような転写ロール２で基材の裏面を押圧することにより、凸条２２の形状が基材の裏面に凹条として転写されて基材の幅方向に沿った複数本の溝を所定のピッチおよび深さで形成させることができる。
【００５０】
一方、基材の裏面に粗面加工を施す場合には、図２（ｂ）や図２（ｃ）に示すような転写ロール２を用いる。図２（ｂ）において転写ロール２の表面には所定の間隔で複数の凹部２３が形成されており、このような転写ロール２で基材の裏面を押圧することにより、凹部２３の形状が基材の裏面に突起として転写されて基材の裏面を粗面化させることができる。
【００５１】
また、図２（ｃ）の転写ロール２において転写ロール２の表面には所定の間隔で複数の突起２４が形成されており、このような転写ロール２で基材の裏面を押圧することにより、突起２４の形状が基材の裏面に凹部として転写されて基材の裏面を粗面化させることができる。
【００５２】
なお、上記の転写ロールを用いる方法は、基材の裏面に凹凸加工を施す方法の一例であって、これに限定されるものではない。例えば、基材の裏面に溝加工を施す場合には切削加工などを用いることができ、粗面化加工を施す場合にはエッチングやサンドブラスト、梨地処理などを用いることができる。また、ローレット加工による粗面化加工も好ましい。
【００５３】
２．酸化物超電導線材の製造
次に、凹凸加工として溝加工が施された基材を用いた酸化物超電導線材の製造工程について説明する。図３は本実施形態に係る酸化物超電導線材を説明する斜視図である。
【００５４】
図３に示すように、基材１の表面（中間層１２側の面）Ｆ上には、酸化物超電導層３１が形成されている。酸化物超電導層３１は、エピタキシャル成長によって２軸配向させた例えばレア・アース系の酸化物超電導材料、例えばＹＢＣＯ（ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７−δ）やＧｄＢＣＯ（ＧｄＢａ２Ｃｕ３Ｏ７−δ）などにより形成される。
【００５５】
酸化物超電導層３１の形成にはＰＬＤ法やＭＯＤ法などが用いられ、長尺の基材１の表面Ｆに酸化物超電導層３１が形成されることより作製された酸化物超電導線材３は、リールに巻き重ねられて次工程の酸素導入処理に搬送される。
【００５６】
本実施形態において、酸素導入処理の方式としては、リールから線材３を巻き出すリールｔｏリール方式ではなく、線材３が巻き重ねられたリールごと酸素導入処理を行うバッチ方式を用いる。
【００５７】
具体的には、室内の雰囲気を１気圧のＯ２雰囲気、室内の温度を５００℃程度に設定した処理室内に線材３が巻き重ねられたリールを入れた後、４〜２４時間保持することによりバッチ方式の酸素導入処理を実施する。
【００５８】
このとき、本実施形態に係る基材１の裏面Ｒには、溝１３が形成されているため、線材３をリールに巻き重ねたときに、酸化物超電導層３１の表面と、その上に重ねられた基材１の裏面Ｒとの間に隙間が形成される。
【００５９】
そして、処理室内に保持されている間、この隙間を流通するＯ２ガスが酸化物超電導層３１の表面から導入されるため、リールに巻き重ねられたままの状態で線材３の酸化物超電導層３１の全体に対して万遍なく酸素導入処理を行うことができる。
【００６０】
このように、本実施形態によれば、基材１の裏面に凹凸加工を施して、酸化物超電導層３１の表面とその上に巻き重ねられた基材１の裏面Ｒとの間に隙間が形成されるようにしているため、バッチ方式を採用しても充分な酸素導入処理を行うことができる。この結果、従来のリールｔｏリール方式のように、線材を巻き出して順次酸素導入処理を行う必要がなくなり、酸素導入処理の処理時間を大幅に短縮して、製造効率を向上させることができる。
【００６１】
また、ここでは、酸素導入処理を例に挙げて説明したが、本実施形態に係る基材を用いることにより可能となったバッチ方式の処理は、酸化物超電導線材の製造に際して雰囲気ガスに曝す必要があるその他の工程においても同様に適用することができる。
【００６２】
具体的には、ＭＯＤ法を用いた酸化物超電導線材の製造においては、酸化物超電導材料の前駆体層を形成する仮焼処理、および前駆体層から超電導層を形成する本焼処理においても、処理室内で雰囲気ガスに曝して雰囲気ガスと反応させているため、本実施形態に係る基材を用いたバッチ方式の処理が可能であり、仮焼処理と本焼処理の時間を大幅に短縮し、さらに、酸化物超電導層形成後の酸素導入処理の処理時間も大幅に短縮することができる。この結果、優れた特性を有する酸化物超電導層を作成できる一方で処理時間が長いため量産化が困難であったＭＯＤ法を用いた酸化物超電導線材の製造における問題点が解消されて、ＭＯＤ法を用いた酸化物超電導線材の量産化の実現に大きく貢献することができる。
【００６３】
また、このバッチ方式の処理を行う場合、処理室内にコンベア等の搬送手段を設け、複数のリールをこの搬送手段に載置して順次処理室内を通過させることにより、連続的に処理を行うこともできる。これにより、製造効率のさらなる向上を図ることができる。
【００６４】
［実験例］
１．実験例１、２
（１）実験例１
厚さ１００μｍのＳＵＳ基板と厚さ５０μｍのＣｕ基板を貼り合わせた厚さ１５０μｍのクラッド基板（長さ１ｋｍ）の表面に、Ｙ２Ｏ３、ＹＳＺ、ＣｅＯ２の３層構造の中間層（厚さ０．５μｍ）を形成することにより基材を作製した。
【００６５】
そして、図２（ａ）に示す転写ロールを用いて、図１に示すように、基材１の裏面Ｒに幅方向に沿った複数の溝１３（深さ１０μｍ）を５０μｍピッチで形成した。
【００６６】
次に、ＰＬＤ法を用いて、基材１の表面Ｆに超電導層３１（厚さ４μｍ）を形成することにより、図３に示すような線材３（長さ１ｋｍ）を作製し、リールに巻き重ねた。
【００６７】
次に、リールごとベルトコンベア上に載置して、室内の雰囲気を１気圧のＯ２雰囲気、室内の温度を５００℃に設定した処理室内を４時間かけてリールを搬送し、酸素導入処理を行った。
【００６８】
（２）実験例２
基材の裏面に溝を形成しなかったことを除いて、酸素導入処理の直前までは、上記の実験例１と同様の手順で作製した線材をリールに巻き重ねた後、上記の実験例１と同様に設定された処理室においてリールｔｏリール方式を用いて酸素導入処理を行った。
【００６９】
具体的には、リールから巻き出された線材が、実験例１と同条件に設定された処理室（炉長１０ｍ）内を４時間掛けて搬送されるように搬送速度を２．５ｍ／ｈに設定して、リールｔｏリール方式の酸素導入処理を行った。
【００７０】
２．評価
実験例１、２において、各線材への酸素導入処理に要した時間を表１に示す。
【００７１】
【表１】
2015225726.tif 000003
【００７２】
表１より、実験例１では、１ｋｍ分の線材が巻かれたリール単位で酸素導入処理を行ったため、リールから線材を巻き出して順次酸素導入処理を行うリールｔｏリール方式を用いた実験例２よりも、１／１００という非常に短い時間で酸素導入処理を行うことができた。
【００７３】
そして、それぞれの実験例により作製された各線材の超電導特性として、１ｃｍ幅あたりに規格化した臨界電流値Ｉｃを測定したところ、いずれの実験例においても７５０Ａ程度とほぼ同等のＩｃが得られていた。
【００７４】
この結果より、凹凸加工が施された基材を用いて線材を作製した場合には、バッチ方式を用いて短時間で酸素導入処理を行っても、従来のリールｔｏリール方式を用いた場合と同様に、優れた超電導特性を有する線材が得られることが確認できた。
【００７５】
さらに、今回の実験例では、対比のためにそれぞれの方式において、リールを１個ずつ処理したが、実施例のバッチ方式を採用した場合には、複数のリールをベルトコンベアに載置して順次処理室内を通過させて連続的に処理することができるため、処理対象のリール数が多くても１個のリールを処理する場合と同様の処理時間で処理することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明は、レア・アース系などの酸化物超電導層を備える酸化物超電導線材の製造において酸素導入処理やＭＯＤ法における仮焼処理および本焼処理などに要する時間を大幅に短縮することを可能にするものであり、特にＭＯＤ法による酸化物超電導線材の量産化に大きく貢献することができる。
【符号の説明】
【００７７】
１            酸化物超電導線材用基材
２            転写ロール
３            酸化物超電導線材
１１          金属基板
１１ａ        ＳＵＳ製の基板
１１ｂ        Ｃｕ製の基板
１２          中間層
１３          溝
２２          凸条
２３          凹部
２４          突起
３１          酸化物超電導層
Ｄ            溝の深さ
Ｆ            基材の表面
Ｐ            溝のピッチ
Ｒ            基材の裏面
【図１】
2015225726.tif 000004
【図２】
2015225726.tif 000005
【図３】
2015225726.tif 000006