(57)【要約】【課題】転がり軸受を製造するための熱処理において、過剰浸炭組織の発生を抑えるとともに、表面の炭素濃度等を良好に制御して長寿命の転がり軸受を製造する。【解決手段】軌道輪または転動体の形状に加工した鋼材を、真空浸炭処理した後、窒素を拡散させる第１の拡散処理を行い、更に浸炭ガスとアンモニアガスを用いて第２の拡散処理を行った後、焼入れ・焼き戻しを行い、表面の炭素濃度、窒素濃度、硬さ及び残留オーステナイト量、表面から転動体直径の１％に相当する深さまでの領域における炭化物、窒化物及び炭窒化物が占める合計面積率、粒径０．５μｍ以下の炭化物、窒化物及び炭窒化物が占める割合をそれぞれ特定値とする。また、そのための熱処理装置は、真空浸炭室、第１拡散室、第２拡散室、冷却処理室及び前記各処理室間にワークを搬送するためのキャリアを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
転がり軸受の軌道輪または転動体の形状に加工した鋼材を、真空浸炭処理した後、窒素を拡散させる第１の拡散処理を行い、更に浸炭ガスとアンモニアガスを用いて第２の拡散処理を行った後、焼入れ・焼き戻しを行い、
質量％で、表面炭素濃度を０．９〜１．３％、表面窒素濃度を０．０５〜０．３０％、表面炭素濃度と表面窒素濃度の合計濃度を１．０〜１．５％とし、
表面硬さをＨＶ６９７〜８００とし、
表面残留オーステナイト量を２０〜４０体積％とし、
運転時に相手面と転がり接触する面の、表面から転動体直径の１％に相当する深さまでの領域における炭化物、窒化物及び炭窒化物が占める合計面積率を１０〜３０％とし、かつ、粒径０．５μｍ以下の炭化物、窒化物及び炭窒化物が当該領域の８０％以上を占めるように分散析出させる工程を含むことを特徴とする転がり軸受の製造方法。
【請求項２】
請求項１の転がり軸受の製造方法を実施するための熱処理装置であって、
真空浸炭室、第１拡散室、第２拡散室、冷却処理室及び前記各処理室間にワークを搬送するためのキャリアを備えることを特徴とする熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転がり軸受を製造する方法、並びに前記方法を実施するための熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
転がり軸受では、高い表面硬度が求められる一方で、芯部には所定の靭性を有することが求められている。そのため、低炭素量の鋼材を部品形状に加工した後、浸炭焼入れ、浸炭窒化焼入れ等の表面硬化処理を行っている。
【０００３】
従来では、浸炭の手法として主にガス浸炭が用いられているが、浸炭処理の時間が長く生産効率が低いという問題がある。また、真空浸炭も採用されており、浸炭が施される部材の表面において、この部材を構成する鋼に対する炭素の固溶限度と同濃度の炭素濃度が維持されながら浸炭が進行する。そのため、ガス浸炭に比べて部材表面に高い炭素濃度で浸炭が進行する。更に、高処理温度で拡散が早くなるため、浸炭時間を大幅に短縮することもできる。しかし、炭化物を形成する傾向の強い元素、例えばクロムを含む鋼からなる部材に対して真空浸炭を行うと、特に部材の角部において巨大な初析炭化物からなる過剰浸炭組織が形成されることがある。過剰浸炭組織は、浸炭された部材の機械的性質を低下させるため、真空浸炭処理で製造された浸炭部材でしばしば問題となり、軸受では、耐衝撃性や耐表面疲労性等が低下するという問題がある。
【０００４】
この問題を解決するために、特許文献１では、鋼を減圧雰囲気下で浸炭ガスにより浸炭する浸炭処理と、非酸化性の炭素化合物ガスを含む脱炭ガスにより浸炭された鋼を脱炭する脱炭処理とを行うことで、表面の炭素濃度が制御された鋼材を製造することを提案している。しかしながら、浸炭処理後に脱炭処理を行う手法では、表面の脱炭と、内部への拡散とを同時に制御し、目的とする炭素濃度勾配を形成するのが困難であった。
【０００５】
また、特許文献２では、加熱室内のワークを窒素雰囲気中で所定の浸炭温度まで加熱した後、加熱室内を減圧するとともに、鎖状不飽和炭化水素ガスを継続的に供給して加熱室内の圧力を変動させながら浸炭することを提案している。しかしながら、このようなパルス式の浸炭処理を行っても、表面炭素濃度の均一化と、炭化物の析出防止とを同時に実現するのは困難であった。
【０００６】
また、特許文献３では、炭化水素系ガスが導入される密封容器内で、角部が他の部分よりも低い温度となるように鋼部品を加熱し、加熱された鋼部品に炭化水素系ガスを接触させて分解反応を起こし、この分解反応により形成した炭素を鋼部品の表層部に侵入させることにより、角部の過剰浸炭組織をコントロールすることを提案している。ここでは、鋼部品の加熱に高周波加熱またはレーザ加熱を用いて角部以外を選択的に加熱し、周辺からの伝熱により角部を加熱しているが、鋼部品内の温度勾配をコントロールするのが困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第５２３３２５８号公報
【特許文献２】特許第４１６９８８４号公報
【特許文献３】特開２００９−１１４４８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、転がり軸受を製造するための熱処理において、過剰浸炭組織の発生を抑えるとともに、表面の炭素濃度等を良好に制御して、長寿命の転がり軸受を製造することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明は下記の転がり軸受の製造方法及び熱処理装置を提供する。
（１）転がり軸受の軌道輪または転動体の形状に加工した鋼材を、真空浸炭処理した後、窒素を拡散させる第１の拡散処理を行い、更に浸炭ガスとアンモニアガスとを用いて第２の拡散処理を行った後、焼入れ・焼き戻しを行い、
質量％で、表面炭素濃度を０．９〜１．３％、表面窒素濃度を０．０５〜０．３０％、表面炭素濃度と表面窒素濃度の合計濃度を１．０〜１．５％とし、
表面硬さをＨＶ６９７〜８００とし、
表面残留オーステナイト量を２０〜４０体積％とし、
運転時に相手面と転がり接触する面の、表面から転動体直径の１％に相当する深さまで領域における炭化物、窒化物及び炭窒化物が占める合計面積率を１０〜３０％とし、かつ、粒径０．５μｍ以下の炭化物、窒化物及び炭窒化物が当該領域の８０％以上を占めるように分散析出させる工程を含むことを特徴とする転がり軸受の製造方法。
（２）請求項１の転がり軸受の製造方法を実施するための熱処理装置であって、
真空浸炭室、第１拡散室、第２拡散室、冷却処理室及び前記各処理室間にワークを搬送するためのキャリアを備えることを特徴とする熱処理装置。
【発明の効果】
【００１０】
本発明法によれば、過剰浸炭組織の発生を抑えるとともに、表面の炭素濃度等を良好に制御して耐摩耗性や耐疲労強度を向上させ、長寿命の転がり軸受を製造することができる。また、本発明の熱処理装置を用いることにより、短時間で低コストの処理が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の熱処理装置の構成を示す模式図である。
【図２】本発明の熱処理パターンを示す図である。
【図３】真空浸炭後の炭素の濃度勾配を示すグラフである。
【図４】第１拡散工程後の炭素及び窒素の各濃度勾配を示すグラフである。
【図５】第２拡散工程後の炭素及び窒素の各濃度勾配を示すグラフである。
【図６】スラスト寿命試験片を示す上面図及び側面図である。
【図７】スラスト寿命試験機を示す概略図である。
【図８】炭化物と窒化物の合計面積率と、寿命比との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に関して図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
本発明では、図１に示す構成の熱処理装置を用いる。図示されるように、真空浸炭室、第１拡散室、第２拡散室及び冷却室を備えており、各処理室はキャリアで連結されている。そして、軌道輪や転動体の形状に加工された鋼材（ワーク）は、真空浸炭室→第１拡散室→第２拡散室→冷却室へと搬送される。また、熱処理パターンを図２に示す。
【００１４】
先ず、所定の処理温度（１０００〜１１００℃）に保持した真空浸炭室にワークを送り、減圧条件で均熱した後、真空浸炭する。浸炭処理は、処理温度にて、浸炭ガスとして炭化水素系ガス（例えばメタン、プロパン、エチレン、アセチレン等）を直接炉内に供給して行う。浸炭ガスがワークの表面に接触して分解する活性な炭素によって、ワークの表面に炭化物が形成され、浸炭の進行につれて炭化物が部分的に分解し、炭素がγ鉄（オーステナイト）に固溶して内部へと拡散していく。この真空浸炭処理後のワークの炭素の濃度勾配は、図３のようになる。
【００１５】
ワークの表面に、未分解の炭化物が形成した過剰浸炭組織が存在すると、軸受の耐荷重、耐表面疲労等の特性を低下させる原因となる。そこで、真空浸炭処理の後にワークを第１拡散室に送り、窒素を拡散浸透させることにより、ワークの表層に発生した過剰浸炭組織を分解して炭素をワーク内部に拡散させる（第１の拡散処理）。
【００１６】
炭素原子と窒素原子は、共に鋼に対する侵入型の拡散原子である。炭素原子と窒素原子は、格子間位置の中でも安定なクロム原子近傍の格子間位置を占めようとするが、炭素原子よりも窒素原子の方がクロム原子との親和性が強いため、この窒化処理の進行によって鋼中の窒素量が多くなると、拡散してきた窒素原子がクロム原子近傍の炭素原子を追い出し、代わりにこの安定位置を占めてしまう。そして、追い出された炭素原子は、窒素濃度の低い、より深い領域に移動して内部に炭素の濃化領域を形成する。以上は、Push-ahead現象とも呼ばれている。
【００１７】
本発明では、真空浸炭処理後の第１の拡散処理により窒素を浸透拡散させ、ワーク表面のγ鉄中の炭素濃度を固溶限濃度よりも低くすることによって、真空浸炭処理で形成された過剰浸炭組織の分解が加速され、そこに含まれる炭素が素早くγ鉄中に溶け込むようにする。従って、この第１の拡散処理は、過剰浸炭組織の分解をより早めるために、窒素ポテンシャルを高く維持し、窒素をワークの表面に早く浸透拡散させる必要がある。そのためには、処理ガスであるアンモニアガスの流量を高めることが好ましく、（ＮＨ３流量／被処理面積）比で０．１Ｌ／ｍｉｎ・ｍ２以上、保持温度８２０〜９００℃にて窒化処理することが好ましい。尚、第１の拡散処理後のワークの炭素及び窒素の各濃度勾配は図４のようになる。
【００１８】
また、軸受により高い耐久性を付与するために、表面の炭素濃度及び窒素濃度、更には両濃度勾配を調整するために、第１の拡散処置の後に、ワークを第２拡散室へと素早く送って第２の拡散処理を行う。即ち、表面炭素濃度を０．９〜１．３質量％、好ましくは１．０〜１．３質量％、表面窒素濃度を０．０５〜０．３０質量％、好ましくは０．０５〜０．２質量％、表面炭素濃度と表面窒素濃度の合計濃度を１．０〜１．５質量％、好ましくは１．１〜１．４質量％となるように、第２拡散室を大気圧、９００〜１０５０℃にて、浸炭ガスとアンモニアガスとの流量比を調整して供給し、所定時間保持する。
【００１９】
更に、炭化物、窒化物及び炭窒化物を微細化するために、上記保持後、同温度にてアンモニアガスを（ＮＨ３／被処理面積）比で０．１Ｌ／ｍｉｎ・ｍ２以上流すことが好ましい。
【００２０】
この第２の拡散処置後のワークの炭素及び窒素の各濃度勾配は、図５のようになる。
【００２１】
その後、ワークを第２拡散室から冷却室に素早く輸送し、室温まで冷却する。
【００２２】
最後に、ワークに焼入れ・焼戻しを施して軸受として必要な硬さ、ミクロ組織、残留オーステナイト量、結晶粒径等を調整する。焼入れ温度は８２０〜８６０℃、焼戻し温度は１６０〜１８０℃が適当である。本発明では、この焼入れ・焼戻し処理により、表面硬さをＨＶ６９７〜８００、好ましくはＨＶ７２０〜８００とし、表面残留オーステナイト量を２０〜４０体積％、好ましくは２５〜４０体積％とする。更には、運転時に相手面と転がり接触する面の、表面から転動体直径の１％に相当する深さまでの領域における炭化物、窒化物及び炭窒化物が占める合計面積率を１０〜３０％、好ましくは１５〜２５％とし、粒径０．５μｍ以下の炭化物、窒化物及び炭窒化物が当該領域の８０％以上、好ましくは８５％以上を占めるようにする。
【００２３】
このような表面性状にすることにより、後述する実施例にも示すように、長寿命の転がり軸受が得られる。
【実施例】
【００２４】
以下に実施例及び比較例を挙げて本発明を更に説明するが、本発明はこれにより何ら制限されるものではない。
【００２５】
（実施例１〜６、比較例１〜９）
表１に示す鋼材を溶製し、下記のスラスト試験用の試験片形状に機械加工した後、表２及び表３に示す条件にて熱処理を施して供試体を得た。得られた供試体の品質及び寿命比を表４に示す。尚、寿命比は、比較例９の転がり寿命（Ｌ１０）に対する相対値である。
【００２６】
＜スラスト試験＞
試験片は、図６に示すように、厚みが６．３ｍｍ、外径がφ６０．３ｍｍで、中心部にφ５．５ｍｍの穴が開いたディスクを、表２及び表３に示す条件にて熱処理した後、ラッピング処理したものである。そして、図７に示すスラスト寿命機にこの試験片（図中、スラストＴＰ）を装着し、その上に保持器で保持した６個の転動体を載せ、その上に上レースを載せた。即ち、試験片と上レースとで転動体を挟んだ状態とし、その状態で試験片と転動体との間に下記接触応力が加わるように、転動体を図中上向きに押圧した。そして、硬さ８７０ＨＶで７４〜１４７μｍの大きさの鋼粉１３．５ｍｇを投入し、その状態で回転治具を高速回転させ、試験片が圧痕や表層のめくれ等により壊れるまでの寿命を測定し、全体の１０％が破壊する負荷回数Ｌ１０にて疲労強度を評価した。尚、条件は以下の通りである。
・試験片：φ６０．３（外径）−φ５．５（穴径）×６．３（厚み）ｍｍのディスクを熱処理後、ラッピング加工（鏡面加工）
・転動体：３／８インチＳＵＪ２ボール６個
・接触応力：Ｐｍａｘ＝５．５ＧＰａ
・負荷回転速度：１０００ｍｉｎ−１
・潤滑：タービン油＃６８  油槽給油
・鋼粉：硬さ８７０ＨＶ、７４〜１４７μｍ、１３．５ｍｇ
・温度：常温
・評価：Ｌ１０（１０％が破壊する負荷回数）
【００２７】
【表１】
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【００２８】
【表２】
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【００２９】
【表３】
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【００３０】
【表４】
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【００３１】
表４に示すように、真空浸炭、第１の拡散処置、第２の拡散処理及び焼入れ・焼戻しにて熱処理を行い、表面品質を満足する実施例１〜６では、微細な炭化物、窒化物及び炭窒化物が多量に生成しており、表面硬さが高く、適量の残留オーステナイトを有するため、比較例に比べて転がり寿命が大幅に向上している。
【００３２】
これに対し比較例１では、第１の拡散処理の温度が低かったため、窒素の拡散が遅くなり、初析炭化物の分解が不完全であった。その結果、転動体刑の１％に相当する深さの領域における粒径０．５μｍ以下の炭化物、窒化物及び炭窒化物の比率（以下、「０．５μｍ以下の比率」）、残留オーステナイト量が本発明の範囲を下回り、転がり寿命が短くなっている。
【００３３】
比較例２では、第１の拡散処理の温度が高すぎたため、内部に浸透拡散してきた窒素量が多くなりすぎ、その結果表面残留オーステナイト量が本発明の範囲よりも多くなり、表面硬さが低下して転がり寿命が短くなっている。
【００３４】
比較例３では、第１の拡散処理のアンモニアガス流量が少なかったため、窒素ポテンシャルが低く、表面への窒素の浸透が遅くなり、表面窒素濃度が低下して残留オーステナイト量も少なくなっている。更に巨大な初析炭化物の分解が不十分であったため、０．５μｍ以下の比率が本発明の範囲を下回り、転がり寿命が短くなっている。
【００３５】
比較例４では、第２の拡散処理の温度が低かったため、炭素及び窒素の拡散速度が遅くなり、炭化物、窒化物、炭窒化物の微細化が不十分であり、０．５μｍ以下の比率が本発明の範囲を下回り、転がり寿命が短くなっている。
【００３６】
比較例５では、第２の拡散処理の温度が高すぎたため、アンモニアガスの分解が早く、窒素ポテンシャルが低かったため、表面窒素濃度が低下し、残留オーステナイ量も少なかった。その結果、圧痕による表面はく離が発生しやすくなり、転がり寿命が低くなっている。
【００３７】
比較例６では、第２の拡散処理のアンモニアガスの流量が低く、比較例５と同様に窒素ポテンシャルが低かったため、表面窒素濃度が低下し、残留オーステナイ量も少なかった。その結果、圧痕による表面はく離が発生しやすくなり、転がり寿命が低くなっている。
【００３８】
比較例７では、第２の拡散処理後に表面炭素濃度の調整を行い、表面炭素濃度を本発明の範囲よりも高くした。その結果、試験片の表面硬さが高くなり、０．５μｍ超の大きな炭化物が増加し、０．５μｍ以下の比率が低下して転がり寿命が低くなっている。
【００３９】
比較例８では、第２の拡散処理後に表面炭素濃度を調整し、表面炭素濃度を本発明の範囲よりも低くした。その結果、試験片の表面硬さが低くなったため、圧痕寸法が大きくなり、転がり寿命が低くなっている。
【００４０】
比較例９では、真空浸炭後に第１の拡散処理と第２の拡散処理を実施せず、直接焼入れ・焼戻しを行ったため、表面に巨大な初析炭化物が形成された。その結果、早期はく離が発生し、転がり寿命が低下している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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