(57)【要約】【課題】移動体が直線の軸部にガイドされながら移動する直動機構を診断する装置において、異常を精度高く診断できる技術を提供すること。【解決手段】前記直動機構を診断する装置において、少なくとも前記移動体の加速または減速時にＡＥ波を検出するＡＥ波検出部と、前記ＡＥ波検出部による検出結果に基づいて、前記軸部における移動体の加速または減速領域の異常を診断する診断部と、を備えるように構成する。軸部の潤滑剤の潤滑性が低下するなどして異常が発生したときには、前記加速時及び減速時にＡＥ波が発生するため、このＡＥ波に基づいて診断を行うことで、当該診断の精度を高くすることができる。【選択図】図８
2015210112.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体が直線の軸部にガイドされながら移動する直動機構を診断する装置において、
少なくとも前記移動体の加速または減速時にＡＥ波を検出するＡＥ波検出部と、
前記ＡＥ波検出部による検出結果に基づいて、前記軸部における移動体の加速または減速領域の異常を診断する診断部と、を備えたことを特徴とする直動機構の診断装置。
【請求項２】
前記ＡＥ波検出部は前記移動体に設けられることを特徴とする請求項１記載の直動機構の診断装置。
【請求項３】
前記診断部は、前記移動体の位置情報とＡＥ波の検出結果とを対応付けた情報に基づいて、前記軸部における異常の位置を判断するように構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の直動機構の診断装置。
【請求項４】
前記診断部は、ＡＥ波の発生頻度、ＡＥ波のエネルギー及びＡＥ波の周波数スペクトルからなるパラメータ値群のうち少なくとも一つのパラメータ値に基づいて前記異常を診断するように構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の直動機構の診断装置。
【請求項５】
前記パラメータ値群には、更にＡＥ波の特定の周波数成分の発生頻度及びＡＥ波の特定の周波数成分のエネルギーのうちの少なくとも一方が含まれることを特徴とする請求項４記載の直動機構の診断装置。
【請求項６】
前記直線の軸部はボールねじであり、前記移動体は当該ボールねじに螺合するナットを備えることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の直動機構の診断装置。
【請求項７】
前記ＡＥ波検出部は前記ナットの表面に設けられることを特徴とする請求項６記載の直動機構の診断装置。
【請求項８】
請求項３ないし７のいずれか一項に記載の直動機構の診断装置と、前記診断装置で診断された結果に基づいて、異常位置に潤滑剤を供給する潤滑剤供給部と、を備えたことを特徴とする潤滑剤供給装置。
【請求項９】
移動体が直線の軸部にガイドされながら移動する直動機構を診断する方法において、
少なくとも前記移動体の加速または減速時にＡＥ波を検出する工程と、
前記ＡＥ波検出部による検出結果に基づいて、前記軸部における移動体の加速または減速領域の異常を診断する工程と、
を備えたことを特徴とする直動機構の診断方法。
【請求項１０】
前記診断する工程は、前記移動体の位置情報とＡＥ波の検出結果とを対応付けた情報に基づいて、前記軸部における異常の位置を判断する工程を含むことを特徴とする請求項９記載の直動機構の診断方法。
【請求項１１】
前記診断する工程は、ＡＥ波の発生頻度、ＡＥ波のエネルギー及びＡＥ波の周波数スペクトルからなるパラメータ値群のうち少なくとも一つのパラメータ値に基づいて前記異常を診断する工程を含むことを特徴とする請求項９または１０記載の直動機構の診断方法。
【請求項１２】
前記パラメータ値群には、更にＡＥ波の特定の周波数成分の発生頻度及びＡＥ波の特定の周波数成分のエネルギーのうちの少なくとも一方が含まれることを特徴とする請求項１１記載の直動機構の診断方法。
【請求項１３】
請求項１０ないし１２のいずれか一項に記載の直動機構の診断方法を含み、
前記診断方法で診断された結果に基づいて、異常位置に潤滑剤を供給する工程と、を備えたことを特徴とする潤滑剤供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動体が直線の軸部にガイドされながら移動する直動機構を診断する装置、前記直動機構に対する潤滑剤供給装置、前記直動機構の診断方法及び潤滑剤供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下「ウエハ」と言う）などの基板を処理する基板処理装置には、例えば当該基板を搬送するために、直線の軸部（直動軸）とこの直動軸の表面を当該直動軸に沿って直動する移動体とを備えた直動機構が設けられる。前記移動体をスムーズに移動させるために、前記基板処理装置のメンテナンス時においては、前記直動軸の表面に、潤滑剤としてグリスを塗布する給脂作業が行われる場合がある。
【０００３】
ところで、前記ウエハへ付着する異物の大きさや量について、許容される範囲が次第に狭くなっている。そこで前記グリスに起因する発塵、グリスの飛散、さらにはグリスから放出されるガス（アウトガス）の量を抑えることが検討され、その結果として、当該グリスを塗布した後に過剰な拭き取りが行われてしまったり、前記メンテナンス時に給脂作業が行われない場合がある。しかし、そのような場合、前記直動軸及び移動体の摩耗や破損が早く進行し、直動機構の寿命の低下が早まってしまうおそれがある。
【０００４】
このような状況から、直動機構における異常を精度高く診断すると共に、供給量が過剰にならないように、且つ適切なタイミングで前記直動軸に給脂を行うことができる技術が求められている。ところで、特許文献１には、振動ピックアップにより検出した振動の振幅値に基づいてボールねじにグリスを供給する技術について記載されている。しかし、そのような振動ピックアップは、前記直動機構を構成するモーターの振動などの外乱も検出し、この外乱が比較的大きなノイズとなってしまう。従って、前記グリスの潤滑性が低下することで前記移動体及び直動軸に微小な亀裂（マイクロクラック）が発生し、直動機構に比較的小さな振動が発生しても、この振動による検出値は、上記のノイズに紛れてしまう。即ち、直動機構において発生する異常を精度高く診断することは困難である。
【０００５】
また、特許文献２には車軸を支承する転がり軸受の摩耗や破損をアコースティックエミッションによって監視することについて記載されている。しかし、この特許文献２においては、上記の直動機構の摩耗や破損を監視することについては記載されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２１１７６１号公報
【特許文献２】特開２００９−２００９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、移動体が直線の軸部にガイドされながら移動する直動機構を診断する装置において、異常を精度高く診断できる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の直動機構の診断装置は、移動体が直線の軸部にガイドされながら移動する直動機構を診断する装置において、
少なくとも前記移動体の加速または減速時にＡＥ波を検出するＡＥ波検出部と、
前記ＡＥ波検出部による検出結果に基づいて、前記軸部における移動体の加速または減速領域の異常を診断する診断部と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、移動体の加速または減速時にＡＥ波を検出するＡＥ波検出部と、この検出部の検出結果に基づいて異常を診断する診断部とが設けられる。前記移動体の加速または減速時にＡＥ波が出力されることが、後述の実験により確認されている。このＡＥ波の検出結果に基づいて異常の診断が行われるので、当該診断の精度を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係る熱処理装置の縦断面側面図である。
【図２】前記熱処理装置のウエハ搬送領域の横断平面図である。
【図３】前記ウエハ搬送領域に設けられ、直動機構を含むウエハ移載機構の斜視図である。
【図４】前記ウエハ移載機構の側面図である。
【図５】前記ウエハ移載機構に設けられるＡＥ波検出部の概略構成図である。
【図６】前記直動機構に設けられるボールねじ及びナットの縦断側面図である。
【図７】前記直動機構に設けられるボールねじ及びナットの縦断側面図である。
【図８】前記直動機構を制御する制御部の構成図である。
【図９】前記制御部による信号処理の概要の説明図である。
【図１０】前記直動機構を制御する制御部の構成図である。
【図１１】前記直動機構の制御のフローチャートである。
【図１２】他の直動機構の斜視図である。
【図１３】前記他の直動機構を構成する移動体の横断平面図である。
【図１４】前記他の直動機構を構成する移動体の縦断側面図である。
【図１５】前記ボールねじへの給脂機構の一例を示す説明図である。
【図１６】他のボールねじへの給脂機構の一例を示す説明図である。
【図１７】評価試験における直動機構の動作を説明するグラフ図である。
【図１８】評価試験の結果を示すグラフ図である。
【図１９】評価試験の結果を示すグラフ図である。
【図２０】評価試験の結果を示すグラフ図である。
【図２１】評価試験の結果を示すグラフ図である。
【図２２】評価試験の結果を示すグラフ図である。
【図２３】評価試験の結果を示すグラフ図である。
【図２４】評価試験の結果を示すグラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の潤滑剤供給装置が適用された熱処理装置１について、概略側面図である図１を参照しながら説明する。前記熱処理装置１は、半導体基板であるウエハＷを、多数枚、一括して加熱処理する。熱処理装置１は、筐体１１を備える。図中１２は、筐体１１内を前後方向に分割して区画する区画壁である。筐体１１内の前方側、後方側は、夫々キャリア搬送領域２１、ウエハ搬送領域２２として構成される。キャリア搬送領域２１においては、例えば２５枚のウエハＷを格納するＦＯＵＰ（front open unified pod）と呼ばれるキャリア２が搬送され、図示しないガス供給部により清浄空気による下降気流が形成される。ウエハ搬送領域２２においては前記キャリア２から取り出されたウエハＷが搬送される。
【００１２】
熱処理装置１は、当該熱処理装置１の外部の搬送機構と当該熱処理装置１との間で、前記キャリア２の受け渡しを行うためのキャリア搬入出部１３を備えている。当該キャリア搬入出部１３には、キャリア２が載置されるキャリア搬入出用ステージ１４が設けられる。このキャリア搬入出用ステージ１４は、キャリア２を前記搬送機構による筐体１１の外部の受け渡し位置と、筐体１１の内部の前記キャリア搬送領域２１との間で前後方向に移動させることができる。図中１５は、そのようにステージ１４を移動させるために筐体１１に設けられる開口部１５である。
【００１３】
前記キャリア搬入出用ステージ１４は、直動機構１４１に接続されている。直動機構１４１は、ボールねじ１４２、ボールねじ１４２を軸周りに回転させるモーター１４３、ボールねじの軸受け１４４、ボールねじ１４２に螺合するナットを含む移動体１４５、及び移動体１４５をボールねじ１４２の軸方向に移動させるためのガイド１４６を備えている。前記移動体１４５に前記キャリア搬入出用ステージ１４は接続され、上記のように移動することができる。
【００１４】
キャリア搬送領域２１には、棚状に形成されたストッカ１６と、第１のキャリア搬送機構１７と、第２のキャリア搬送機構１８と、ウエハ移載用ステージ１９とが設けられている。上記のストッカ１６は、ウエハＷを払い出していないキャリア２及び既にウエハＷを払い出し済みのキャリア２を待機させる役割を有する。前記ウエハ移載用ステージ１９は、キャリア２内と前記ウエハ搬送領域２２との間でウエハＷを受け渡すために、当該キャリア２が載置されるステージである。図中２３はウエハ移載用ステージ１９に設けられるアクチュエータであり、前記ウエハ移載用ステージ１９に載置されたキャリア２を区画壁１２に押圧する。
【００１５】
前記第１のキャリア搬送機構１７は、ストッカ１６と筐体１１内に進入したキャリア搬入出用ステージ１４との間でキャリア２を受け渡し、第２のキャリア搬送機構１８は、第１のキャリア搬送機構１７とウエハ移載用ステージ１９との間でキャリア２を受け渡す。これらキャリア搬送機構１７、１８は、各々上記の直動機構１４１を備え、この直動機構１４１によってキャリア２を保持するための保持部１７Ａ、１８Ａを各々昇降できるように構成される。
【００１６】
以降、ウエハ搬送領域２２の横断平面図である図２も参照しながら説明する。図中２４は、区画壁１２に設けられたウエハＷの搬送口をなす開口部であり、昇降自在に構成された開閉ドア２５により、ウエハ搬送領域２２側から塞がれる。開閉ドア２５は、キャリア２の蓋体を着脱すると共に取り外した当該蓋体を保持する保持機構２６を備えている。前記区画壁１２に押圧された状態で前記蓋体が取り外されたキャリア２の内部は、前記開口部２４を介してウエハ搬送領域２２に連通すると共に、キャリア搬送領域２１から区画される。そのようにキャリア２内がキャリア搬送領域２１から区画された状態で、キャリア２内とウエハ搬送領域２２との間で、ウエハＷの移載が行われる。
【００１７】
図１中３１は、ウエハ搬送領域２２を上下に仕切る仕切り板である。この仕切り板３１の下方には、ウエハＷの保持具である２基のウエハボート３を載置するための移載用ボート載置台３２及び待機用ボート載置台３３が設けられる。前記ウエハボート３は、縦方向に１００〜１５０枚程度のウエハＷを上下方向に棚状に保持し、ウエハ搬送領域２２内を移動自在に構成される。また、ウエハ搬送領域２２にはウエハ移載機構４が設けられ、ウエハ移載用ステージ１９上の前記キャリア２と当該移載用ボート載置台３２上のウエハボート３との間でウエハＷの移載を行う。ウエハ移載機構４の構成は、後に詳述する。
【００１８】
前記仕切り板３１の上方側に、縦型熱処理炉である処理ユニット３４が設けられている。この処理ユニット３４は、その下端に開口部３５を有すると共に有天井になされた円筒体である処理容器３６を備えている。図中３７は、処理容器３６内を加熱するためのヒーター３７である。処理容器３６内には図示しないガス供給部や排気口が設けられる。ウエハボート３に保持された状態で、前記処理容器３６に搬入されたウエハＷは、加熱されながらガス供給され、成膜、酸化あるいはアニール処理など各種の熱処理を受ける。この例では、ＳｉＨ２Ｃｌ２（ジクロロシラン）ガスとＮＨ３（アンモニア）ガスとが交互に繰り返し供給されるＡＬＤ（Atomic Layer Deposition）処理が行われ、ウエハＷにＳｉＮ（窒化シリコン）膜が形成される。
【００１９】
図中３８はボート昇降機構であり、ウエハボート３を昇降させて処理容器３６に対する当該ウエハボート３の搬入出を行う。このボート昇降機構３８は、前記直動機構１４１と、この直動機構１４１に接続されるキャップ３９とを備える。キャップ３９は、ウエハボート３を支持して昇降し、ウエハボート３の処理容器３６への搬入時に、前記開口部３５を塞ぐ。図中６１は、ウエハボート３を前記処理容器３６から搬出後、前記開口部３５を塞ぐように移動自在なシャッタである。図中６２は、ボート載置台３２、３３とボート昇降機構３８との間でウエハボート３の移載を行うボート移載機構である。図中６３、６４はファンフィルタユニット（ＦＦＵ）であり、６５は気体吸入部である。熱処理装置１の稼働中、ＦＦＵ６３、６４は例えば不活性ガスであるＮ２ガスを水平方向へ供給し、気体給入部６５は当該Ｎ２ガスを吸引して排気することで、ウエハ搬送領域２２が清浄に保たれる。
【００２０】
続いて潤滑剤供給装置が適用されたウエハ移載機構４について、図３の斜視図及び図４の側面図を参照しながら説明する。この潤滑剤供給装置としては、直動機構の診断装置を含んでいる。ウエハ移載機構４は、後述する直動機構４１により垂直に昇降自在な昇降台４２と、昇降台４２上に垂直軸回りに回転自在に設けられた旋回台４３と、旋回台４３上に当該旋回台４３を進退自在に設けられた進退部４４と、進退部４４から当該進退部４４の前進方向に伸びる板状の５枚のフォーク４５とを備えている。各フォーク４５の上面にウエハＷが支持され、搬送される。
【００２１】
前記直動機構４１は、ボールねじ４６、モーター４７、軸受け４８、ナット４９及び直動ガイド４０を備えている。直線の軸部、即ち直動軸である前記ボールねじ４６は垂直方向に伸びており、その表面には潤滑剤としてグリスが塗布される。ボールねじ４６の上端には前記モーター４７が、下端には前記軸受け４８が夫々設けられている。モーター４７は、ボールねじ４６を軸周りに回転させる。軸受け４８は、ボールねじ４６を支持する。
【００２２】
移動体であるナット４９はボールねじ４６に螺合されており、モーター４７による当該ボールねじ４６の回転によって昇降する。つまり、ナット４９はボールねじ４６にガイドされながら移動する。前記昇降台４２はこのナット４９に接続されており、ナット４９と共に昇降する。図４中に実線、一点鎖線で、ボールねじ４６に対するナット４９及び昇降台４２の移動可能な上限位置、下限位置を夫々示している。ウエハボート３の各段に前記フォーク４５がウエハＷを受け渡すために、ナット４９はこの実線と一点鎖線とで示す位置と、これらの位置の間の領域とを含む領域Ｌをボールねじ４６の軸方向に移動し、この移動中、領域Ｌ内の各位置で加速及び減速が行われる。つまり、領域Ｌはナット４９の加速領域及び減速領域である。
【００２３】
前記モーター４７についてさらに説明すると、当該モーター４７は、後述の制御部７から出力される制御信号に基づいて、ボールねじ４６を回転させる。モーター４７は、このボールねじ４６を回転させた量に応じた信号を、当該制御部７に送信する。ボールねじ４６の回転量に応じて、当該ボールねじ４６におけるナット４９の位置が変化するため、前記モーター４７から出力される信号（位置信号）に基づいて、制御部７は、ナット４９のボールねじ４６における位置を特定することができる。
【００２４】
ナット４９の上側の表面には、ＡＥ（アコースティックエミッション）波検出センサ５１が設けられている。ボールねじ４６の表面のグリスが劣化したり、飛散することでその潤滑性が低下し、そのように潤滑性が低下した領域において上記のようにナット４９の加速または減速が行われると、ボールねじ４６及びナット４９に大きな負荷がかかる。それによって、ボールねじ４６及び／またはナット４９にマイクロクラックが発生したり微小な変形が起き、これらの各部に蓄えられていた弾性エネルギーが音波（ＡＥ波）として放出される。ＡＥ波検出センサ５１は、このＡＥ波を検出するためのセンサであり、検出したＡＥ波に応じた信号を制御部７に出力する。このＡＥ波の周波数は、数十ｋＨｚ〜数ＭＨｚである。
【００２５】
図５は、ＡＥ波検出部であるＡＥ波検出センサ５１の概略構成を示す縦断側面図である。図中５０１は底板、５０２は底板上に設けられる圧電素子、５０３は前記圧電素子５０２を覆うケース、５０４はケース５０３に外側から接続される信号ケーブル、５０５は圧電素子５０２、ケーブル５０４間を接続する配線である。上記のＡＥ波は、ボールねじ４６及びナット４９から底板５０１を介して前記圧電素子５０２に伝播し、当該圧電素子５０２が変形して電気信号を出力する。この電気信号が信号ケーブル５０４により、制御部７へと出力される。図５以外の各図では信号ケーブル５０４の図示は省略している。
【００２６】
前記昇降台４２には、潤滑剤供給部であるグリスポンプ５２が設けられる。グリスポンプ５２の内部には、潤滑剤であるグリス５０が貯留されており、制御部７から出力される制御信号（給脂信号）に従って、ナット４９に設けられる流路５３に当該グリス５０を吐出する。ナット４９の縦断側面図である図６も参照しながら説明すると、前記流路５３の下流側はボールねじ４６の外周とナット４９の内周との間隙に開口している。グリスポンプ５２から吐出されたグリス５０は、その吐出圧により、この間隙に供給される。図７は、そのようにグリス５０が供給された状態を示している。ナット４９の内周の上端及び下端には、グリス５０がナット４９の上方、下方へと夫々広がることを抑えるための堰５４、５４が設けられる。堰５４、５４は、ボールねじ４６を近接して囲むように設けられる。つまり、ボールねじ４６の表面においてグリス５０が供給される範囲は、これら堰５４、５４間に限定される。即ち、ボールねじ４６の表面において、局所的にグリス５０が供給される。
【００２７】
なお、上記の各直動機構１４１は、ナットに接続される部材が直動機構４１と異なること、既述のように水平方向に当該ナットに接続される部材を移動させるものがあること、及びＡＥ波検出センサ５１及びグリスポンプ５２が設けられていないことを除いて、上記の直動機構４１と同様に構成されている。
【００２８】
続いて、制御部７について説明する。この制御部７は例えばコンピュータからなり、プログラム、メモリ、ＣＰＵからなるデータ処理部を備えていて、前記プログラムには制御部７から熱処理装置１の各部に制御信号を送り、当該装置１によるウエハＷの搬送及びウエハＷの処理を進行させるように命令（各ステップ）が組み込まれている。具体的には、処理ユニット３４におけるガスの給断、ヒーター３７への供給電力、ボート移載機構６２によるウエハボート３の搬送、移載機構４によるウエハＷの移載、ステージ１４及びキャリア搬送機構１７、１８によるキャリア２の搬送、前記グリスの供給などの各動作が前記プログラムによって制御される。前記プログラムは、コンピュータ記憶媒体例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）等の記憶部に格納されて制御部７にインストールされる。
【００２９】
この制御部７について、図８のブロック図も参照しながらさらに詳しく説明する。なお、図８では、図示の便宜上、ナット４９上におけるＡＥ波検出センサ５１の位置を、他の図に示す位置から変更して示している。制御部７は、信号受信部７１、位置情報取得部７２、発生頻度算出部７３、時刻検出部７４、信号処理部７５及び比較部７６を備えている。位置情報取得部７２、発生頻度算出部７３、信号処理部７５及び比較部７６は、例えば上記のプログラムにより構成され、時刻検出部７４及び信号受信部７１は、例えばハードウェアにより構成される。
【００３０】
前記信号受信部７１は、前記ＡＥ波検出センサ５１からの出力信号（ＡＥ波検出信号）を受信する。信号受信部７１は、そのＡＥ波検出信号を前記信号処理部７５に送信し、前記位置情報取得部７２に位置取得指令を、前記発生頻度算出部７３に発生頻度算出指令を夫々送信する。位置情報取得部７２は、前記位置取得指令を受信すると、モーター４７から出力されるナット４９の位置信号（位置情報）を取得し、この取得した位置信号を図示しないメモリに記憶する。時刻検出部７４は，現在時刻についてのデータを発生頻度算出部７３に出力する。そして、発生頻度算出部７３は前記算出指令を受けると、その算出指令を受けた時刻を図示しないメモリに記憶し、現在時刻から遡った所定の時間内（単位時間内）に受けた前記算出指令の回数（＝ＡＥ波が発生した回数）、即ちＡＥ波の発生頻度について算出する。算出した発生頻度は、比較部７６に出力される。
【００３１】
信号処理部７５は、前記信号受信部７１からＡＥ波検出信号を受信して所定の信号処理を行う。この信号処理の一例を、図９の模式図を用いて説明する。図９の上段のグラフには、信号処理部７５に入力されるＡＥ波検出信号の波形の一例を示している。この上段のグラフの横軸は時間を示し、縦軸はエネルギーの強度を示す。信号処理部７５は、このＡＥ波検出信号に対してフーリエ変換を行う。図９の中段にはフーリエ変換が行われた信号波形のグラフの一例を示している。この中段のグラフの横軸は周波数を示し、縦軸はエネルギーを示す。そして、図９の下段に示すように、信号処理部７５はそのようにフーリエ変換して得られたグラフにおいて、波形のピークの頂点のエネルギー及び周波数を取得する。波形のピークが複数現れている場合には、各ピークの頂点のエネルギー及び周波数を取得する。このように取得したエネルギー及び周波数についてのデータを、信号処理部７５は前記比較部７６に出力する。
【００３２】
図８に戻って、前記比較部７６は、ＡＥ波のエネルギー、周波数、ＡＥ波の発生頻度について予め設定された各基準値と、信号処理部７５及び発生頻度算出部７３から出力されたＡＥ波のエネルギー、周波数、ＡＥ波の発生頻度の各値とを比較する。図８ではナット４９の昇降中においてＡＥ波が発生してから、このように比較が行われるまでの各部の信号の流れを矢印で示している。
【００３３】
前記位置情報取得部７２は、後述の給脂動作モード実行時において、上記のように取得された位置信号と、モーター４７から出力される位置信号とが一致したときに、つまりナット４９がＡＥ波の発生位置に位置するときに、グリスポンプ５２に制御信号（給脂信号）を出力する。それによって、このＡＥ発生位置にグリスの供給（給脂）が行われる。図１０は、そのように給脂動作を行うときの信号の流れを矢印で示している。給脂動作については、後にさらに詳しく説明する。なお、図１０では図示の便宜上、グリスポンプ５２の昇降台４２上の位置を、他の図とは違う位置に示している。
【００３４】
制御部７のプログラムは、上記の比較部７６の比較結果に基づき、ウエハ移載機構４について設定される２つの制御モードを互いに切り替えて実行し、当該ウエハ移載機構４の動作を制御する。前記制御モードのうちの１つは通常稼働モードであり、ウエハ移載用ステージ１９上のキャリア２と移載用ボート載置台３２に載置されたウエハボート３との間でウエハＷを移載中に、上記の給脂を行わないモードである。そして、前記動作モードのうちの他の１つは給脂動作モードであり、前記ウエハＷの移載中に上記の給脂を行うモードである。つまり、上記の比較部７６は、ボールねじ４６において異常が発生しているか否かを診断する診断部の役割を有している。また、比較部７６の比較結果に従ってボールねじ４６のＡＥ波の発生位置に給脂が行われるため、比較部７６はボールねじ４６にて異常が起きている位置を判断しているとも言える。なお、この比較部７６による前記周波数についての基準値との比較は、比較的高いエネルギーを持った周波数がどのような範囲にあるかを判定していることになるので、この周波数についての異常の診断は、周波数スペクトルに基づいた異常の診断と言える。
【００３５】
上記の熱処理装置１におけるキャリア２及びウエハＷの搬送経路について説明する。キャリア２が熱処理装置１の外部からキャリア搬入出用ステージ１４に搬入され、第１のキャリア搬送機構１７→ストッカ１６→第２のキャリア搬送機構１８→ウエハ移載用ステージ１９の順で搬送される。そして、開閉ドア２５によりキャリア２の蓋体が取り外され、当該開閉ドア２５が開き、キャリア２内がウエハ搬送領域２２に連通する。
【００３６】
ウエハ移載機構４のフォーク４５の昇降、回転及び進退動作により、キャリア２から順次ウエハＷが搬出され、移載用ボート載置台３２に載置されたウエハボート３の上段側から下段側に向けて、順にウエハＷが搭載されていく。ウエハ移載用ステージ１９上のキャリア２における全てのウエハＷが、ウエハボート３に移載されて当該キャリア２が空になると、開閉ドア２５が一旦閉じられ、当該キャリア２はストッカ１６へ移される。そして、当該ストッカ１６から後続のキャリア２がウエハ移載用ステージ１９に搬送され、開閉ドア２５が再度開き、先行のキャリア２のウエハＷの移載と同様に、この後続のキャリア２のウエハＷの移載が行われる。
【００３７】
予め設定した枚数のウエハＷをウエハボート３に搭載し終えると、開閉ドア２５が閉じられ、ウエハ移載用ステージ１９上のキャリア２がストッカ１６に移される。ウエハボート３は移載用ボート載置台３２からボート昇降機構３８に搬送され、処理ユニット３４に搬入される。そして、ウエハＷが加熱された状態で、ウエハＷに各ガスが供給されてＳｉＮ膜が形成される。
【００３８】
この熱処理後、ウエハボート３はボート昇降機構３８→待機用ボート載置台３３→移載用ボート載置台３２の順で搬送される。そして、ウエハボート３の各段のウエハＷが、ウエハ移載機構４のフォーク４５の昇降、回転及び進退動作により、順次キャリア２へ移載される。ウエハＷが移載されたキャリア２は、熱処理装置１への搬入時とは逆の経路を通って装置１から搬出される。
【００３９】
図１１のフローチャートを用いて、上記のようにウエハＷの移載が行われるときのウエハ移載機構４の動作について、さらに説明する。通常稼働モードが設定され、上記のようにキャリア２とウエハボート３との間でウエハＷの移載が行われているものとする（ステップＳ１）。この移載中において、ナット４９がボールねじ４６を軸方向に移動し、この移動中に加速または減速される。このときボールねじ４６表面において、ナット４９が位置する領域のグリスの潤滑性が低下していると、ボールねじ４６及び／またはナット４９に微小な変形が起きたり、マイクロクラックが発生する。
【００４０】
前記変形やクラックの発生によってＡＥ波が放出され、このＡＥ波がナット４９上のＡＥ波検出センサ５１に伝搬し、図８で説明したようにＡＥ波検出センサ５１から制御部７にＡＥ波検出信号が送信される。当該ＡＥ波検出信号を受信すると、制御部７はモーター４７から送信される位置信号を取得し、単位時間あたりのＡＥ波の発生頻度を算出する。さらに図９で説明したようにＡＥ波の波形について、ピークの頂点のエネルギー及び周波数を取得する。
【００４１】
制御部７は、取得した発生頻度、エネルギー、周波数について、夫々の基準値と比較する（ステップＳ２）。前記発生頻度、エネルギー及び周波数のうち、例えばいずれかが前記基準値より低ければ、通常稼働モードが継続される。前記発生頻度、エネルギー及び周波数のうち、例えば全てが前記基準値以上になっていれば、通常稼働モードを停止し、給脂動作モードに移行する（ステップＳ３）。このようにモードが変更されてもウエハＷの移載は継続して行われる。
【００４２】
そして、この移載中、ボールねじ４６における前記ＡＥ波の発生位置にナット４９が移動すると、当該ナット４９を静止させるように制御信号がモーター４７に出力される。このナット４９の静止は、図１０で説明したように、取得した位置信号に基づいて行われる。このようにナット４９が静止し、ウエハＷの移載動作が一旦停止された状態で、グリスポンプ５２に給脂信号が送信され、グリスポンプ５２から所定量のグリスが吐出される。これによって、図７で説明したように、ボールねじ４６における前記ＡＥ波の発生位置に局所的にグリスが行き渡り、給脂される（ステップＳ４）。
【００４３】
前記グリスの吐出から所定の時間経過後、ウエハＷの移載が再開される。そして、例えば次にナット４９が前記ＡＥ波の発生位置へ向かうときに、当該発生位置で静止するように、つまり当該発生位置で減速されるように制御信号が出力される。この減速及び静止時にＡＥ波検出信号が受信された場合には、ステップＳ２と同様に上記の発生頻度、エネルギー及び周波数が各々の基準値と比較される。発生頻度、エネルギー及び周波数の全てが基準値以上になっていれば、給脂動作モードが継続され、ステップＳ４の動作が繰り返し行われる。つまり、当該ＡＥ波の発生位置で静止している状態のナット４９に給脂が行われる。
【００４４】
ナット４９がＡＥ波の発生位置に向かい、減速、静止したときにＡＥ波検出信号が受信されなかった場合、及びＡＥ波が発生しても前記発生頻度、エネルギー及び周波数を各々の基準値と比較した結果、いずれかが基準値より低かった場合には給脂動作モードが解除され、通常稼働モードが再開される。
【００４５】
この熱処理装置１によれば、ウエハ移載機構４におけるボールねじ４６をナット４９が当該ボールねじ４６の軸方向に移動するにあたり、当該ナット４９が加速及び減速されるときに発生するＡＥ波を検出するＡＥ波検出センサ５１が設けられ、このＡＥ波の検出結果に基づいて、制御部７が異常の発生の有無、即ちグリスの潤滑性が低下しているか否かの診断を行う。後述の評価試験で示すように、前記加速及び減速が行われるときにボールねじ４６表面のグリスの潤滑性が低下していると、ＡＥ波が発生することが確認されている。従って、前記異常の発生の有無を精度高く診断することができる。また、異常が発生しているものとされた場合、記憶された位置信号に基づいて、前記ボールねじ４６における前記ＡＥ波発生位置（異常発生位置）にナット４９が移動し、グリスポンプ５２により当該ＡＥ波発生位置に局所的に給脂が行われるため、ボールねじ４６表面にグリスが過剰に供給されることを防ぐことができる。従って、ウエハ移載機構４の動作によりボールねじ４６に供給されたグリスが飛散してウエハＷに付着することや、前記グリスから放出されるガスがウエハＷに付着することが抑えられる。その結果として、ウエハＷから製造される半導体製品の歩留りを抑えることができる。
【００４６】
ＡＥ波検出センサ５１はＡＥ波が検出できる位置に設ければよいため、モーター４７の表面や軸受け４８の表面に設けてもよいが、ＡＥ波の発生源に近い位置に配置することでＡＥ波の検出感度を高くする観点から、上記のようにナット４９に設けることが有効である。また、ナット４９と共にボールねじに対して移動する部材、例えば前記昇降台４２に設けても、前記発生源に比較的近いため検出感度を高くすることができる。
【００４７】
上記のステップＳ２において、ＡＥ波の発生頻度、エネルギー及びピークの周波数のうち全てが基準値以上である場合に、給脂動作モードが行われるものとしているが、これらのうちの１つのみまたは２つのみが基準値以上である場合に、給脂動作モードが開始されるようにしてもよい。そのように給脂動作モードを継続するか否かを決定するステップＳ５についても、そのように１つのみまたは２つのみが基準値以上である場合に給脂動作モードが継続されるようにしてもよい。また、ステップＳ５を実行するタイミングとしては、ステップＳ４の給脂動作を行った後、上記の例のように次にナット４９がＡＥ波発生位置に移動したときであってもよいし、ステップＳ４実行後、所定の時間が経過してからナット４９がＡＥ波発生位置に移動したときであってもよい。
【００４８】
また、上記の例ではウエハＷの移載を中断して給脂動作を行っているが、このようなタイミングで給脂動作を行うことに限られない。例えば、一のウエハボート３へウエハＷの移載中にステップＳ２が行われ、ＡＥ波の発生頻度、エネルギー及びピークの周波数のうち全てが基準値以上であったとする。このような比較結果となっても、給脂動作モードへの切り替えを保留し、通常稼働モードを継続する。
【００４９】
つまり、当該一のウエハボート３へ設定枚数ウエハＷを搬送し終えるまで、ＡＥ波発生位置でナット４９を停止させず、ウエハＷの搬送を継続して行う。そして、当該一のウエハボート３へ設定枚数のウエハＷを搬送し終えると、給脂動作モードが開始され、ＡＥ波発生位置にナット４９が移動し、給脂動作が行われるようにしてもよい。この給脂動作後に、前記一のウエハボート３からキャリア２へのウエハＷの移載や、他のウエハボート３に対するウエハＷの移載が開始される。この場合、ウエハボート３への搬送が行われずにウエハ移載機構４が待機する時間を利用して給脂動作が行われることになるため、スループットの向上を図ることができる。ただし、上記のようにウエハＷの移載を中断して給脂動作を行う手法によれば、ウエハ移載機構４の破損をより確実に抑えることができる。
【００５０】
同様に、ウエハボート３からキャリア２へウエハＷの移載中にステップＳ２が行われているときに、ＡＥ波の発生頻度、エネルギー及びピークの周波数のうち全てが基準値以上であったとしても給脂動作モードへの切り替えを保留するようにしてもよい。その場合、キャリア２へ設定枚数のウエハＷを搬送し終え、次のキャリア２へウエハＷの搬送を行うまでの間に、ＡＥ波発生位置に給脂動作を行う。この場合もウエハ移載機構４が待機する時間を利用して給脂動作が行われることになるので、スループットの向上を図ることができる。
【００５１】
上記の例では、ウエハ移載機構４の直動機構４１にＡＥ波検出センサ５１及びグリスポンプ５２を設けているが、既述の直動機構１４１にこれらＡＥ波検出センサ５１及びグリスポンプ５２を設けて、給脂を行うようにしてもよい。
【００５２】
また、異常の診断方法としては上記の例に限られない。例えば周波数スペクトルに基づいて診断を行うにあたり、図９の中段に示したようなエネルギーと周波数との関係を表すグラフの波形を、制御部７のメモリに記憶させておく。ＡＥ波が発生したときに上記のフーリエ変換により得られたグラフの波形と、このメモリ内のグラフの波形とを比較し、一致ないしは略一致していれば異常があるものとして給脂動作が行われるようにしてもよい
【００５３】
さらに、特定の周波数成分についての発生頻度及び／または特定の周波数成分のエネルギーに基づいて異常の診断を行ってもよい。例えば上記のように信号処理されて得られた波形のピークの頂点の周波数が例えば９０ｋＨｚ以上である場合には、所定のメモリ内にそのＡＥ波の発生時刻を記憶するように制御部７を構成する。そして、制御部７は、そのように発生時刻を記憶する度に、その記憶した時点から所定の時間遡った期間における前記９０ｋＨｚ以上のＡＥ波の発生回数、即ち前記ＡＥ波の発生頻度を算出する。そして、その算出結果が基準値以上であれば異常が有るものとして給脂動作を実行するようにしてもよい。また、制御部７は、そのようにピークの頂点の周波数が例えば９０ｋＨｚ以上である場合にのみ、その周波数のエネルギーと基準値との比較を行い、比較した結果、基準値以上であれば異常が有るものとして、給脂動作を実行するようにしてもよい。
【００５４】
本発明は、ボールねじ４６及びナット４９を含まない直動機構４１にも適用することができる。図１２は、直動機構８１の斜視図である。直動機構８１は、直動軸である直線ガイド８２と、この直線ガイド８２の表面を、直線ガイド８２に沿って移動する移動体８３と、を備えている。図１３、図１４は、夫々移動体８３の横断平面図、縦断側面図である。移動体８３には多数のボール８４が、当該ボール８４が循環するための循環路８５に沿って多数設けられている。循環路８５の一部は、直線ガイド８２の表面に開放されるように形成されている。移動体８３が移動するときには、ボール８４が循環路８５の壁面と直線ガイド８２の表面とを転がると共に循環路８５を循環する。
【００５５】
図１２に戻って、図中８６はモーター４７により回転する主動プーリーであり、８７は従動プーリーである。８８は輪状のベルトであり、これらプーリー８６、８７に巻き掛けられている。前記移動体８３は、前記ベルト８８に係止されている。モーター４７の回転によってベルト８８が回動し、それによって移動体８２が直線ガイド８２に沿って移動する。直動機構４１と同様に、モーター４７の回転量に応じて、移動体８３の直線ガイド８２における位置が変化する。つまり、制御部７は、モーター４７からの信号に基づいて、直線ガイド８２の軸方向における移動体８３の位置を特定することができる。
【００５６】
移動体８３の表面に、前記ＡＥ波検出センサ５１及びグリスポンプ５２が設けられている。グリスポンプ５２は、図１３及び図１４に示す移動体８３に形成された流路８９へグリスを吐出する。この流路８９の下流側は、前記循環路８５における直線ガイド８２の表面に開放された箇所に接続されている。従って、グリスの吐出量を適切に設定することで、直線ガイド８２とこの直線ガイド８２の表面に位置しているボール８４との間に、局所的に給脂を行うことができる。このような直動機構８１は、上記の直動機構４１や直動機構１４１の代わりに用いることができる。
【００５７】
潤滑剤供給部としてはナットに設けることに限られない。図１５には、ウエハ移載機構４の他の構成例を示している。図１５の例では、既述のウエハ移載機構４と異なり、ナット４９にＡＥ波検出センサ５１が設けられているが（表示は省略している）、昇降台４２にグリスポンプ５２が設けられていない。このウエハ移載機構４の近傍には、図に示すように直動機構１４１が設けられており、この直動機構１４１の移動体１４５には、噴霧部９１が設けられている。この噴霧部９１は、ウエハ移載機構４のナット４９と並行に移動できるように構成されている。この噴霧部９１は液状の油を貯留しており、当該油をボールねじ４６に向けて局所的に噴霧できるように構成されている。上記のようにウエハ移載機構４のナット４９の昇降中にＡＥ波が検出されて給脂動作モードが開始されると、当該ナット４９がそのＡＥ波発生位置から退避した位置で静止する。そして、噴霧部９１が、当該ＡＥ波発生位置に局所的に噴霧を行える位置に移動し、油を噴霧する。
【００５８】
また、後述の評価試験で示すように、ナット４９がボールねじ４６を繰り返し往復移動するにあたり、移動方向を切り替えるために、当該ナット４９の軸方向についての加速及び減速が行われる領域で、グリスの潤滑性が低下しやすい。つまりナット４９の直線移動領域の両端部及びその付近でＡＥ波が発生しやすい。図１６は、既述の直動機構１４１と、当該直動機構１４１に接続されるキャリア搬入出用ステージ１４と、を示している。この直動機構１４１のナット４９を含む移動体１４５は、毎回の往復移動で、図中一点鎖線及び二点鎖線で示す位置で上記の軸方向の移動が切り替わる。つまり、これら鎖線で示す位置は、前記直線移動領域の両端部である。ボールねじ４６において、上記した移動体１４５（ナット４９）の加速及び減速が行われる領域をＬ１、Ｌ２で示している。領域Ｌ１、Ｌ２は、各鎖線で示した移動体１４５が位置する領域を含む。
【００５９】
図１６に示す直動機構１４１では、図１５で説明した噴霧部９１が前記領域Ｌ１、Ｌ２に各々油を噴霧できるように２基設けられる。各噴霧部９１は、図１５で説明したものと異なり、前記ボールねじ４６に対して固定されている。そして、例えば移動体１４５に設けたＡＥ波検出センサ５１によりＡＥ波を検出したときには、モーター１４３から取得される位置信号に基づいて、２つのうちいずれかの噴霧部９１から油が噴霧される。
【００６０】
ただし、この図１６のように直動機構１４１を構成した場合、これら２つの噴霧部９１から共に油を噴霧してもよい。つまり、モーター１４３の位置信号によらず、ＡＥ波が検出され、既述の比較部７６による基準値に対する比較の結果、給脂動作モードが実行されるように決定された場合、２つの噴霧部９１のうち噴霧する方を選択する代わりに、２つの噴霧部９１の両方から噴霧を行うようにしてもよい。また、上記のウエハ移載機構４についての実施形態をこのキャリア搬入出用ステージ１４に適用して、移動体１４５にグリスポンプ５２を設ける場合、そのように給脂動作モードを行うように決定されたら、上記領域Ｌ１、Ｌ２に夫々移動体１４５が移動して、グリスが供給されることになる。このようにしても、ボールねじ４６全体にグリスや油を供給することに比べて、その供給量を抑えられ、且つナット４９のボールねじ４６に対する潤滑性の低下を抑制することができる。
【００６１】
上記の例ではモーター４７によりＡＥ波の発生した位置を特定しているが、このような構成には限られない。例えば昇降台４２の移動方向に沿って、複数の光センサを配置する。当該光センサは水平方向に光を照射し、この光が昇降台４２に照射されると反射し、当該光センサがこの反射光を検出する。昇降台４２の位置によって異なる光センサが前記反射光を検出できるように、各光センサを配置することで、ＡＥ波が発生した位置を特定できるようにしてもよい。
【００６２】
また、給脂については自動で行うことに限られない。例えば上記の実施形態において、制御部７にはモニターが設けられ、ＡＥ波が検出されると、モーター４７からの位置信号に基づいて、当該ＡＥ波が発生した位置についての情報が表示されるようにする。この位置情報に従って、装置のユーザーが手動で給脂を行うようにしてもよい。また、移動体が時刻に応じて直動軸の異なる位置に移動する場合、ＡＥ波が検出されたときの時刻、つまり時間についての情報に基づいて、直動軸におけるＡＥ波が発生した場所を特定し、給脂を行ってもよい。
【００６３】
（評価試験）
続いて、本発明に関連して行われた評価試験について説明する。この評価試験は、上記の直動機構４１と同様の直動機構を用いて行ったが、ＡＥ波検出センサ５１を設ける位置は、昇降台４２とした。また、昇降台４２には、旋回台４３、進退部４４及びフォーク４５が設けられておらず、その代りに昇降台４２には錘が接続されている。試験開始前にボールねじ４６にはグリスを塗布した。そして、昇降台４２を繰り返し昇降させ、このときに発生するＡＥ波を取得した。昇降台４２の昇降中は、ボールねじ４６にグリスを供給していない。
【００６４】
この昇降時における昇降台４２の速度は周期的に変化するように制御した。図１７のグラフの縦軸は昇降速度、横軸は経過時間である。グラフ中において１つの周期に、時刻ｔ１〜ｔ９の符号を順番に付している。時刻ｔ１−ｔ２間、ｔ２−ｔ３間、ｔ３−ｔ４間、ｔ４−ｔ５間、ｔ５−ｔ６間、ｔ６−ｔ７間、ｔ７−ｔ８間、ｔ８−ｔ９間は夫々、０．１０秒、０．４２秒、０．１０秒、１．００秒、０．１０秒、０．４２秒、０．１０秒、１．００秒である。ｔ２−ｔ３間の速度は３０ｍ／分、ｔ６−ｔ７間の速度は−３０ｍ／分である。ｔ４−ｔ５間の速度及びｔ８−ｔ９間の速度は０ｍ／分であり、このとき、昇降台４２は移動可能な上限位置、下限位置に夫々位置している。
【００６５】
図１８は、昇降台４２のボールねじ４６における位置と、各位置で単位時間あたりにＡＥ波が発生した回数、即ち発生頻度の累積（積算）と、を対応付けて示している。グラフの縦軸は、前記発生頻度の累積を示す。グラフの横軸は、昇降台４２の前記位置に対応しており、軸の下方に昇降台４２の移動範囲を示している。ボールねじ４６における前記上限位置、下限位置の昇降台４２を夫々二点鎖線、一点鎖線で示している。なお、この図では昇降台４２は簡略して示している。また、この図１８のグラフにおいては、図９で説明したようにフーリエ変換して取得されたピークの頂点の周波数によって、上記の発生頻度を２つに区分して示している。具体的には、前記ピークの頂点の周波数が５０ｋＨｚ以上であったＡＥ波の発生頻度と、前記ピークの頂点の周波数が５０ｋＨｚより低かったＡＥ波の発生頻度と、に分けて示している。前記周波数が５０ｋＨｚ以上であったＡＥ波の発生頻度についてはグラフ線の直下に多数のドットを付して示している。
【００６６】
また、図１９には、昇降台４２のボールねじ４６における位置と、各位置におけるＡＥ波のエネルギーの積算値（単位：e．u．）とを対応付けてグラフに示している。図１９では、グラフの縦軸が前記エネルギーの積算値を示すことを除いて、図１８のグラフと同様に測定結果を示している。
【００６７】
実施形態で説明したように、これら図１８、図１９のグラフからは、昇降台４２の上限位置、下限位置及びその付近でＡＥ波が発生していることが分かる。つまり、加速及び減速が行われる領域でＡＥ波が発生しており、定速で移動する領域では殆どＡＥ波が発生していない。従って、上記の図１６に示したように、直動軸において移動体が往復移動する領域の両端部及びその付近に限定して給脂を行っても、直動軸及び移動体の摩耗や破損を抑えることができる。
【００６８】
さらに、評価試験の結果について説明する。図２０のグラフは、上記の試験を開始してからの経過時間と、単位時間あたりのＡＥ波の発生回数（発生頻度）との対応を示すグラフである。グラフ中の横軸は経過時間（単位：秒）、縦軸は前記発生回数を夫々示している。また、図２１のグラフは、前記経過時間と、ＡＥ波のエネルギーとの対応を示すグラフである。グラフ中の横軸は経過時間（単位：秒）、縦軸は前記エネルギー（単位：e.u.）を夫々示している。エネルギーについては、図９で説明した信号処理を行うことにより取得している。
【００６９】
上記のように試験中はボールねじ４６にグリスを添加していないので、経過時間が長くなるに従って、ボールねじ４６表面のグリスの潤滑性は低下する。そして、図２０、図２１の各グラフを見ると、経過時間が長くなるに従って、ＡＥ波の発生頻度、エネルギーは、各々概ね上昇することが分かる。なお、経過時間が３×１０５秒付近であるときなどの数カ所における発生頻度及びエネルギーの減少は、実験室内の温度などの影響でグリスの粘度が変化したために起こっていると考えられる。これらのグラフより、ＡＥ波の発生頻度及びエネルギーは、概ねグリスの潤滑性の低下に対応していることが分かる。従って、この発生頻度及び／またはエネルギーに基づいてグリスの潤滑性を監視することができ、実施の形態で説明したように、発生頻度が高くなったとき及び／またはエネルギーが高く検出されたときに、ボールねじ４６に給脂を行うことが有効である。
【００７０】
さらに評価試験の結果について説明する。試験中に取得されたＡＥ波の検出信号に対して、既述の信号処理を行い、ピークの頂点のエネルギー及び周波数を取得した。そして、この取得された周波数は、２０ｋＨｚ〜１１０ｋＨｚの範囲内に含まれていた。この２０ｋＨｚ〜１１０ｋＨｚの帯域を５つに区分した。２０ｋＨｚ〜３５ｋＨｚ未満を帯域Ａ、３５ｋＨｚ〜４５ｋＨｚ未満を帯域Ｂ、４５ｋＨｚ〜５８ｋＨｚ未満を帯域Ｃ、５８ｋＨｚ〜９０ｋＨｚ未満を帯域Ｄ、９０ｋＨｚ〜１１０ｋＨｚを帯域Ｅとする。
【００７１】
帯域Ａ〜Ｅの周波数が出現した経過時間と、エネルギーとの関係を、各帯域毎に図２２、図２３のグラフに示している。これら図２２、図２３のグラフの横軸は経過時間（単位：秒）を示し、縦軸は前記信号処理によって周波数と共に取得されるエネルギー（単位：e.u.）を示している。図２２のグラフ中の実線、一点鎖線、点線は、夫々帯域Ａ、Ｂ、Ｃについての測定結果を示している。図２３の点線、実線は、夫々帯域Ｄ、Ｅについての測定結果を示している。
【００７２】
この図２２、２３のグラフについて補足すると、実際の測定結果は、グラフ中の該当箇所に帯域毎に異なるプロットが付され、当該帯域と前記経過時間とエネルギーとの対応が示されたものとなっている。図２４では、帯域Ｅについての実際の測定結果を示している。このようなプロット群について、略同じ経過時間に発生したプロットに関しては、最もエネルギーが高いプロットを選択し、線で結んだものが、図２２、図２３の各グラフである。
【００７３】
これら図２２、図２３のグラフに示されるように、経過時間が０秒〜１０×１０４秒付近のおいては、周波数が比較的低い帯域Ａ〜ＤのＡＥ波だけが発生しており、帯域ＥのＡＥ波は発生していない。そして、経過時間が１０×１０４秒を超えると、帯域ＥのＡＥ波が発生し、次第にその発生頻度が大きくなる。従って、実施の形態で説明したように、ピークの頂点の周波数に基づいてグリスの潤滑性の監視、つまり異常の診断を行うことができることが分かる。さらに、この帯域Ｅ、即ち特定の周波数成分の発生頻度に基づいて異常の診断を行うことができることが分かる。また、この帯域Ｅについては経過時間が大きくなると、エネルギーが大きくなっている。従って、実施の形態で説明したように、特定の周波数成分のエネルギーに基づいて異常の診断を行うことができることが分かる。
【符号の説明】
【００７４】
Ｗ        ウエハ
１        熱処理装置
４        ウエハ移載機構
４１      直動機構
４２      昇降台
４６      ボールねじ
４７      モーター
４９      ナット
５１      ＡＥ波検出センサ
５２      グリスポンプ
７        制御部
【図１】
2015210112.tif 000003
【図２】
2015210112.tif 000004
【図３】
2015210112.tif 000005
【図４】
2015210112.tif 000006
【図５】
2015210112.tif 000007
【図６】
2015210112.tif 000008
【図７】
2015210112.tif 000009
【図８】
2015210112.tif 000010
【図９】
2015210112.tif 000011
【図１０】
2015210112.tif 000012
【図１１】
2015210112.tif 000013
【図１２】
2015210112.tif 000014
【図１３】
2015210112.tif 000015
【図１４】
2015210112.tif 000016
【図１５】
2015210112.tif 000017
【図１６】
2015210112.tif 000018
【図１７】
2015210112.tif 000019
【図１８】
2015210112.tif 000020
【図１９】
2015210112.tif 000021
【図２０】
2015210112.tif 000022
【図２１】
2015210112.tif 000023
【図２２】
2015210112.tif 000024
【図２３】
2015210112.tif 000025
【図２４】
2015210112.tif 000026