(57)【要約】【課題】本発明は、外形寸法の異なる板状対象物に対する液切り乾燥処理を行う場合に、液剤残留を防止することができるエアーナイフおよびそれを備えた乾燥処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、板状対象物（Ｗ）に対して一方向に相対移動することにより、板状対象物（Ｗ）の表面全体に気体を吹き付ける主乾燥部（３０）と、主乾燥部（３０）に対して移動可能であり、かつ、板状対象物（Ｗ）表面の特定箇所（１）に選択的に気体を吹き付ける補助乾燥部（３１）とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液が付着した板状対象物表面に気体を吹き付けることで、前記処理液を吹き飛ばし前記板状対象物表面を乾燥させる乾燥用エアーナイフであって、
前記板状対象物に対して一方向に相対移動することにより、前記板状対象物の表面全体に気体を吹き付ける主乾燥部と、
前記主乾燥部に対して移動可能であり、かつ、前記板状対象物表面の特定箇所に選択的に気体を吹き付ける補助乾燥部とを備える、
乾燥用エアーナイフ。
【請求項２】
前記補助乾燥部が、前記主乾燥部に取り付けられ、かつ、前記主乾燥部に沿って移動可能である、
請求項１に記載の乾燥用エアーナイフ。
【請求項３】
前記補助乾燥部が、平行移動および回転移動の少なくとも一方の移動が可能である、
請求項１または２に記載の乾燥用エアーナイフ。
【請求項４】
前記特定箇所が、前記板状対象物表面において段差形状を有する箇所である、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の乾燥用エアーナイフ。
【請求項５】
前記板状対象物が、複数の基板が貼り合わされて構成される液晶パネルであり、
前記特定箇所が、複数の前記基板が互いに重ね合わせられて形成された前記段差形状を有する箇所である、
請求項４に記載の乾燥用エアーナイフ。
【請求項６】
前記補助乾燥部が、前記特定箇所における前記段差形状が延在する方向に沿って移動可能である、
請求項４または５に記載の乾燥用エアーナイフ。
【請求項７】
前記特定箇所における前記段差形状が、第１方向と、前記第１方向と交差する方向である第２方向とに延在している、
請求項４〜６のいずれか１項に記載の乾燥用エアーナイフ。
【請求項８】
前記主乾燥部が、前記板状対象物に対して相対移動する方向と交差する方向に沿って延設されている、
請求項１〜７のいずれか１項に記載の乾燥用エアーナイフ。
【請求項９】
前記補助乾燥部が、前記板状対象物の形状に関連してあらかじめ用意された設定に基づいて移動可能である、
請求項１〜８のいずれか１項に記載の乾燥用エアーナイフ。
【請求項１０】
前記板状対象物の位置を検知し、前記板状対象物の位置に関する検知情報を出力する検知センサをさらに備え、
前記補助乾燥部が、前記検知情報に基づいて移動可能である、
請求項１〜９のいずれか１項に記載の乾燥用エアーナイフ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の乾燥用エアーナイフを備える、
乾燥処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル（以下、パネルとも称する）等の板状対象物における湿式処理後の乾燥処理に使用する、乾燥用エアーナイフ（以下、エアーナイフとも称する）およびそれを備えた乾燥処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来からパネル洗浄処理工程では、純水または薬液等の液剤を用いた湿式洗浄処理が行われている。パネル洗浄後には、次工程処理（偏光板貼付等）のためパネル表面に付着した液剤を乾燥させる必要があり、主に、エアーナイフを用いた液切り乾燥処理が行われている（特許文献１および特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１３１４８５号公報
【特許文献２】特開平１１−１１１６６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
エアーナイフを用いて液切り乾燥処理を行う場合、単板パネルであればその表面が平坦形状であるため、エアーナイフから吹き付けられたエアーがパネルに対して均等に当たり、比較的容易に液切り乾燥が可能である。
【０００５】
しかし、液晶注入封止後の複板パネルでは、パネル同士を重ね合わせることによって形成される段差部等のエアーが均等に当たり難い箇所があり、当該箇所における液剤残留が発生しやすい。
【０００６】
特に、段差部等の近傍に配置された回路基板実装用端子またはアライメントマーク上に水分を含む液剤が残留すると、パネル端子の腐食、または、ウォーターマークと呼ばれる乾燥シミが生じることによるアライメントマーク認識不良等が発生し、品質不良または生産阻害の要因となる。
【０００７】
また、より一般化すれば、液晶パネルのみならず、電子部品を含む工業製品を構成する部品として用いられる板状対象物については、単純な平板状であるとは限らず、板状対象物の表面または端面に局所的な凹凸形状を有するものも多い。これらについても同様に、湿式処理を経た後のエアーナイフを用いた液切り乾燥処理の際に、エアーが均等に当たり難い箇所があることで液剤残留を発生しやすくなる。これらの液剤残留は、やはり様々な品質不良または生産阻害の要因となる。
【０００８】
特許文献１では、パネル搬送方向に対して交差する方向において、パネル表面へその幅方向全体に亘ってエアーを吹き付けるエアーナイフ（以下、メインエアーナイフとも称する）を配置し、メインエアーナイフよりパネル搬送方向における後方側において、パネルの周縁領域に対しパネル搬送方向後方かつパネル外側に向けてエアーを吹き付ける補助気体ノズル（以下、サブエアーナイフとも称する）を配置する。このように配置することにより、パネルの周縁領域に滞留した液剤の除去が可能となり、周縁領域に液剤が滞留することを防止することができる。
【０００９】
しかしこの場合、外形寸法の異なる多種多様なパネルに対して当該液切り乾燥処理を行おうとすると、サブエアーナイフの配置位置とパネル周縁領域との相対位置がズレてしまう場合があり、サブエアーナイフにより吹き付けられるエアーがパネル周縁領域に適切に当たらず液剤が残留してしまう問題がある。
【００１０】
特許文献２では、パネル表面全体に渡ってエアーを吹き付けるメインエアーナイフを配置し、パネル表面全体にエアーが吹き付けられた後に、パネル搬送方向上流側の後部に対してエアーを吹き付けるサブエアーナイフを配置する。このように配置することによって、パネル後部の液剤の除去を行うことができる。
【００１１】
しかしこの場合、外形寸法の異なる多種多様なパネルに対して当該液切り乾燥処理を行おうとすると、サブエアーナイフの配置位置とパネルの搬送方向上流側の後部との相対位置がズレてしまう場合があり、サブエアーナイフにより吹き付けられるエアーがパネルの搬送方向上流側の後部に適切に当たらず液剤が残留してしまう問題がある。
【００１２】
本発明は、上記のような問題を解決するためになされたものであり、外形寸法の異なる板状対象物に対する液切り乾燥処理を行う場合に、液剤残留を防止することができるエアーナイフおよびそれを備えた乾燥処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の一態様に関する乾燥用エアーナイフは、処理液が付着した板状対象物表面に気体を吹き付けることで、前記処理液を吹き飛ばし前記板状対象物表面を乾燥させる乾燥用エアーナイフであって、前記板状対象物に対して一方向に相対移動することにより、前記板状対象物の表面全体に気体を吹き付ける主乾燥部と、前記主乾燥部に対して移動可能であり、かつ、前記板状対象物表面の特定箇所に選択的に気体を吹き付ける補助乾燥部とを備える。
【００１４】
本発明の一態様に関する乾燥処理装置は、上記の乾燥用エアーナイフを備える。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の上記態様によれば、外形寸法の異なる板状対象物に対する液切り乾燥処理を行う場合にも、補助乾燥部が主乾燥部に対して移動可能であることによって適切に特定箇所に対しエアーを吹き付けることにできるため、液剤残留を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態に関する乾燥用エアーナイフの平面図である。
【図２】実施形態に関する乾燥用エアーナイフの平面図である。
【図３】実施形態に関する乾燥用エアーナイフの平面図である。
【図４】実施形態に関する乾燥用エアーナイフの平面図である。
【図５】実施形態に関する乾燥用エアーナイフの平面図である。
【図６】実施形態に関する乾燥用エアーナイフの平面図である。
【図７】実施形態に関する乾燥用エアーナイフの平面図である。
【図８】前提技術に関する乾燥用エアーナイフの平面図である。
【図９】前提技術に関する乾燥用エアーナイフの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付の図面を参照しながら実施形態について説明する。
【００１８】
図８および図９は、本発明の前提技術に関する乾燥用エアーナイフのパネル乾燥処理について説明するための図である。図８は、パネル乾燥処理における乾燥用エアーナイフの構造を模式的に示した平面図であり、図９は、図８に示された乾燥用エアーナイフの構造を模式的に示した側面図である。
【００１９】
図８および図９において、乾燥用エアーナイフは、パネルＷに対して一方向に相対移動することにより、パネルＷの表面全体に気体を吹き付けるメインエアーナイフ３０を備えている。そして、乾燥用エアーナイフと、パネルＷを搬送するパネル搬送機構とから、乾燥処理装置が構成される。
【００２０】
パネルＷは、パネル搬送機構によって搬送され、メインエアーナイフ３０に対して相対移動する。図８における図面左方向への矢印は、パネルＷの搬送方向を示している。なお、以降の図においても、パネルＷの搬送方向は同様に矢印で示されている。
【００２１】
パネル搬送機構は、パネルＷを水平方向に搬送するための機構であり、パネル搬送シャフト２０、パネル搬送シャフト２１、パネル搬送シャフト２２およびパネル搬送シャフト２３と、パネル搬送コロ２０ａ、パネル搬送コロ２１ａ、パネル搬送コロ２２ａおよびパネル搬送コロ２３ａとから構成される。
【００２２】
パネル搬送シャフト２０、パネル搬送シャフト２１、パネル搬送シャフト２２およびパネル搬送シャフト２３は、水平な状態でパネルＷの搬送方向と直交する方向に延びて配置されており、その両端が図示していない軸受を介してフレーム１０に支持されている。
【００２３】
また、パネル搬送シャフト２０、パネル搬送シャフト２１、パネル搬送シャフト２２およびパネル搬送シャフト２３は、図示していないプーリまたはタイミングベルト等の動力伝達部品を介して、図示していないモータと連結されている。そしてこれらのシャフトがモータの回転力によって回転し、パネル搬送に必要な推進力を得る構造となっている。
【００２４】
パネル搬送コロ２０ａ、パネル搬送コロ２１ａ、パネル搬送コロ２２ａおよびパネル搬送コロ２３ａは、円筒形状をしており、パネル搬送シャフト２０、パネル搬送シャフト２１、パネル搬送シャフト２２およびパネル搬送シャフト２３の回転中心と同芯円になるように、パネル搬送シャフト２０、パネル搬送シャフト２１、パネル搬送シャフト２２およびパネル搬送シャフト２３にそれぞれ挿入連結され、パネル搬送コロ２０ａ、パネル搬送コロ２１ａ、パネル搬送コロ２２ａおよびパネル搬送コロ２３ａの円筒外周部でパネルＷを支持する構造となっている。
【００２５】
メインエアーナイフ３０は、図示していないエアー供給源から供給された高圧エアーを帯状にして噴出するためのものであって、内部にエアーを通すための通路を有し、エアー噴射口をスリット状に形成することにより帯状の噴射エアーを得る構造となっている。
【００２６】
また、メインエアーナイフ３０は、パネル幅より長く延びて形成されている。すなわち、パネル搬送方向とは交差する方向（パネルに対して相対移動する方向と交差する方向）に延びて形成されている。そして、パネル搬送方向と直交する方向から傾斜させた姿勢、例えば０〜４５°に傾斜させた姿勢で支持されている。そしてメインエアーナイフ３０は、パネル搬送面と対向する側にエアー噴射口が設けられ、パネル幅方向全体に渡ってほぼ均一にエアーを吹き付ける。図８および図９においては、メインエアーナイフ３０から延び出て記載された矢印が、メインエアーナイフ３０によって吹き付けられるエアーの方向を示している。図において示されているエアーは、パネルＷの搬送方向の上流側に吹き付ける方向に示されている。なお、以降の図においても、エアーは同様の方向に吹き付けられているものとする。
【００２７】
パネルＷは、図示していないパネル洗浄処理工程で液剤洗浄を経た後、搬送下流側に位置するメインエアーナイフ３０が配備されたパネル乾燥処理工程へ、液剤が付着したままの状態で水平方向に搬送される。
【００２８】
パネル乾燥処理工程へ搬入されたパネルＷは、パネルＷの搬送に従って、パネルＷの表面に付着していた液剤がパネルＷの搬送方向上流側に押し流され、主としてパネルＷの搬送方向上流側の後端から後方へ吹き飛ばされる。そして、パネルＷの搬送方向上流側の後端がメインエアーナイフ３０によるエアー吹き付け領域を通り過ぎると、パネルＷ表面の液剤はほぼ除去され乾燥した状態となる。
【００２９】
ここで、パネルＷ表面の特定箇所において、複数の基板が貼り合わされたパネル重ね合わせ段差部１が形成されている場合を考える。
【００３０】
パネルＷ表面におけるパネル重ね合わせ段差部１は平坦な形状ではないため、メインエアーナイフ３０から吹き付けられるエアーが均一に当たらず、若干の液滴が残留する場合がある。この場合、パネル重ね合わせ段差部１の近傍に配置された基板実装用端子上に、水分を含有した液滴が残留すると、パネル端子の腐食の要因となる。また、パネル重ね合わせ段差部１の近傍に配置されたアライメントマーク上に液滴が残留し乾燥すると、ウォーターマークと呼ばれる乾燥シミが発生し、アライメントマーク認識不良の要因となる。これらのように、品質不良または生産阻害の要因となる問題がある。
【００３１】
以下に説明する実施形態は、上記のような問題を解決する乾燥用エアーナイフおよびそれを備えた乾燥処理装置に関するものである。なお、前述の説明と重複する内容については適宜説明を省略する。
【００３２】
＜第１実施形態＞
＜構成＞
図１は、本実施形態に関する乾燥用エアーナイフを模式的に示した平面図である。
【００３３】
図１において、乾燥用エアーナイフは、メインエアーナイフ３０と、サブエアーナイフ３１とを備える。
【００３４】
メインエアーナイフ３０は、パネルＷに対して一方向に相対移動することにより、パネルＷの表面全体に気体を吹き付ける。
【００３５】
サブエアーナイフ３１は、メインエアーナイフ３０に対して移動可能であり、かつ、パネルＷ表面の特定箇所に選択的に気体を吹き付ける。図１においては、特定箇所として、パネル搬送方向に沿って延びて形成されたパネル重ね合わせ段差部１が示されている。このパネル重ね合わせ段差部１は、例えば、複数の基板が貼り合わされて構成される液晶パネル（パネルＷ）において、複数の基板が互いに重ね合わせられて形成された段差形状である。
【００３６】
サブエアーナイフ３１は、図示していないエアー供給源から供給された高圧エアーを帯状にして噴出するためのものであって、内部にエアーを通すための通路を有し、エアー噴射口をスリット状に形成することにより帯状の噴射エアーを得る構造となっている。
【００３７】
＜効果＞
前提技術では、パネル重ね合わせ段差部１に液剤が残留する場合がある。この問題を解決するためには、図１に示されるように、メインエアーナイフ３０に対して移動可能であり、パネル重ね合わせ段差部１に特化してエアーを吹き付けるサブエアーナイフ３１を設けることにより、液切り乾燥力を増強させればよい。
【００３８】
また、サブエアーナイフ３１をメインエアーナイフ３０と併設し、かつ、パネル重ね合わせ段差部１の領域をカバーする必要最小限のサイズに小型化することで、省スペース化または省エネルギー化となり、装置コストまたはランニングコストを抑えつつ、パネル乾燥処理をより確実に行うことができる。
【００３９】
本実施形態によれば、乾燥用エアーナイフが、主乾燥部としてのメインエアーナイフ３０と、補助乾燥部としてのサブエアーナイフ３１とを備える。
【００４０】
メインエアーナイフ３０は、板状対象物としてのパネルＷに対して一方向に相対移動することにより、パネルＷの表面全体に気体を吹き付ける。
【００４１】
サブエアーナイフ３１は、メインエアーナイフ３０に対して移動可能であり、かつ、パネルＷ表面の特定箇所（パネル重ね合わせ段差部１）に選択的に気体を吹き付ける。
【００４２】
このような構成によれば、外形寸法の異なるパネルＷに対する液切り乾燥処理を行う場合にも、サブエアーナイフ３１がメインエアーナイフ３０に対して移動可能であることによって適切にパネル重ね合わせ段差部１に対しエアーを吹き付けることにできるため、液剤残留を防止することができる。
【００４３】
＜第２実施形態＞
＜構成＞
図２は、本実施形態に関する乾燥用エアーナイフを模式的に示した平面図である。図２においては、図１に示された構成に加えて手動スライド機構４０が備えられている。
【００４４】
手動スライド機構４０は、図示していないＬＭガイドブロックまたはＬＭレール等で構成されており（ＬＭガイドブロックおよびＬＭレールはＴＨＫ（株）製であり、ＬＭガイドはＴＨＫ（株）の登録商標）、手動スライド機構４０に連結された部品を手動で直線平行移動できる機能を有している。また、図示していないスライド部固定ネジ等を用いて、直線平行移動させた連結部品を所定の位置に固定できるものとする。
【００４５】
図２におけるサブエアーナイフ３１は、手動スライド機構４０を介してメインエアーナイフ３０に取り付けられ、かつ、メインエアーナイフ３０に沿って移動可能である。
【００４６】
＜効果＞
前提技術では、パネル重ね合わせ段差部１に液剤が残留する場合がある。この場合、パネル重ね合わせ段差部１の近傍に配置された基板実装用端子上に、水分を含有した液滴が残留すると、端子部の腐食の要因となる。また、パネル重ね合わせ段差部１の近傍に配置されたアライメントマーク上に液滴が残留し乾燥すると、ウォーターマークと呼ばれる乾燥シミが発生し、アライメントマーク認識不良の要因になる。これらのように、品質不良または生産阻害の要因となる問題がある。
【００４７】
この問題を解決するためには、図２に示されるように、手動スライド機構４０を設け、サブエアーナイフ３１を手動スライド機構４０と連結し、パネル重ね合わせ段差部１に沿ってサブエアーナイフ３１の位置を自由に位置調整できるようにすれば、パネル乾燥処理をより確実に行うことができる。また、手動スライド機構４０とメインエアーナイフ３０とを併設して連結することにより、手動スライド機構４０を取り付けるための支持部としてメインエアーナイフ３０の筐体を利用できる。この場合、省スペース化が可能となり、装置コストを抑えつつ、サイズの異なる多種多様なパネルにおいて、条件個別にサブエアーナイフ３１の位置を設定することが可能となる。
【００４８】
＜第３実施形態＞
＜構成＞
図３は、本実施形態に関する乾燥用エアーナイフを模式的に示した平面図である。図３においては、図１に示された構成に加えてモータ５０および直動アクチュエータ５１が備えられている。
【００４９】
モータ５０は、図示していないカップリング等の動力伝達部品を介して直動アクチュエータ５１の駆動部と連結されている。
【００５０】
直動アクチュエータ５１は、図示していないボールネジ、軸受、ＬＭガイドブロック、ＬＭレール、筐体フレームおよび動作マウント等で構成されており、モータ５０から伝達される回転動力を、ボールネジを介して動作マウントの直線平行移動動作に変換する機能を有する。
【００５１】
また、モータ５０は、図示していないシーケンサ等のＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）に接続されており、ＰＬＣにおける設定レシピデータに従い、所定の位置へ直動アクチュエータ５１の動作マウントを直線平行移動させるものとする。
【００５２】
＜効果＞
第２実施形態では、サイズの異なる多種多様なパネルにおいて、条件個別にサブエアーナイフ３１の位置をパネル重ね合わせ段差部１に合わせて設定することにより、液切り乾燥処理をより確実に行うことができる。しかし、サブエアーナイフ３１の位置合わせにおいては、手動作業で行う必要があり、ジョブチェンジ時間を要する等生産ロスが発生する。また、サブエアーナイフ３１の位置合わせにおいて、設定位置を間違えた場合は、パネル重ね合わせ段差部１に適切にエアーが吹き付けられず、パネル重ね合わせ段差部１に液剤が残留する可能性がある。パネル重ね合わせ段差部１の近傍に配置された基板実装用端子上に、水分を含有した液滴が残留すると、端子部の腐食の要因となる。また、パネル重ね合わせ段差部１の近傍に配置されたアライメントマーク上に液滴が残留し乾燥すると、ウォーターマークと呼ばれる乾燥シミが発生し、アライメントマーク認識不良の要因になる。これらのように、品質不良または生産阻害の要因となる問題がある。
【００５３】
この問題を解決するためには、図３に示されるように、モータ５０で駆動される直動アクチュエータ５１を設け、サブエアーナイフ３１を直動アクチュエータ５１の図示していない動作マウントと連結し、ＰＬＣにおける設定レシピデータに従い、自動でサブエアーナイフ３１を所定の位置へ動作させれば、パネル乾燥処理をより確実に行うことができる。ここでＰＬＣにおける設定レシピデータは、パネルＷの形状に関連してあらかじめ用意された設定データであるものとする。また、直動アクチュエータ５１とメインエアーナイフ３０を併設して連結することにより、直動アクチュエータ５１を取り付けるための支持部としてメインエアーナイフ３０の筐体を利用できる。この場合、省スペース化が可能となり、装置コストを抑えつつ、サイズの異なる多種多様なパネルにおいて、条件個別にサブエアーナイフ３１の位置を設定することが可能となる。
【００５４】
＜第４実施形態＞
＜構成＞
図４は、本実施形態に関する乾燥用エアーナイフを模式的に示した平面図である。図４においては、図３に示された構成に加えてパネル位置検知センサ６０が備えられている。
【００５５】
パネル位置検知センサ６０は、パネル搬送方向と直交する方向のパネル外形端部位置を検知する機能を有するものであって、サブエアーナイフ３１よりもパネル搬送上流側に設置されている。また、パネル位置検知センサ６０は、パネル幅よりも長く延びて配置されており、水平面に対しパネル搬送方向と直交する方向で支持されている。
【００５６】
さらにパネル位置検知センサ６０は、図示していないシーケンサ等のＰＬＣと接続されており、パネル位置検知センサ６０で認識された検知情報はＰＬＣに送信され、ＰＬＣにおける内部演算処理によりパネル外形端部位置とともに、パネル重ね合わせ段差部１の位置が特定されるものとする。
【００５７】
＜効果＞
第３実施形態では、サイズの異なる多種多様なパネルにおいて、ＰＬＣにおける設定レシピデータで予め設定された位置に自動でサブエアーナイフ３１を移動させることにより、ジョブチェンジ作業時間ロス、および、ジョブチェンジ作業ミスを無くしつつ、パネル重ね合わせ段差部１における液切り乾燥処理をより確実に行うことができる。しかし、図示していないパネル搬送上流からパネル乾燥処理工程に設置されているサブエアーナイフ３１に向けパネルＷが搬送されてくる際、パネル搬送コロ２０ａ、パネル搬送コロ２１ａ、パネル搬送コロ２２ａおよびパネル搬送コロ２３ａとパネル搬送シャフト２０、パネル搬送シャフト２１、パネル搬送シャフト２２およびパネル搬送シャフト２３で構成されるパネル搬送機構における機械部品の経年劣化等による磨耗または変形に起因するパネル搬送の蛇行および搬送ズレ、または、パネルＷ自体の変形等に起因するパネル搬送の蛇行および搬送ズレが発生した場合、パネル重ね合わせ段差部１とサブエアーナイフ３１との相対位置がズレてしまい、パネル重ね合わせ段差部１に液剤が残留する可能性がある。
【００５８】
この場合、パネル重ね合わせ段差部１の近傍に配置された基板実装用端子上に、水分を含有した液滴が残留すると、端子部の腐食の要因となる。また、パネル重ね合わせ段差部１の近傍に配置されたアライメントマーク上に液滴が残留し乾燥すると、ウォーターマークと呼ばれる乾燥シミが発生し、アライメントマーク認識不良の要因となる。これらのように、品質不良または生産阻害の要因となる問題がある。
【００５９】
この問題を解決するためには、図４に示されるように、パネル位置検知センサ６０を設け、パネル位置検知センサ６０で認識された情報を図示していないＰＬＣに送信し、内部演算することによりパネル重ね合わせ段差部１の位置を特定し、得られた情報に基づき、自動でサブエアーナイフ３１を所定の位置へ補正動作させれば、パネル乾燥処理をより確実に行うことができる。また、パネル搬送位置ズレ等の特異条件に左右されずに、サブエアーナイフ３１の位置を的確に設定することが可能となる。
【００６０】
＜第５実施形態＞
＜構成＞
図５および図６は、本実施形態に関する乾燥用エアーナイフを模式的に示した平面図である。図５は、パネル重ね合わせ段差部１が、モータ５０が配置される側とは反対側（図５における上側）に位置する場合を示した図であり、図６は、パネル重ね合わせ段差部１が、モータ５０が配置される側（図６における下側）に位置する場合を示した図である。図５および図６においては、図４に示された構成に加えて手動回転機構７０が備えられている。
【００６１】
手動回転機構７０は、図示していない回転軸、軸受、ベース板および動作マウント等で構成されており、手動回転機構７０の図示していない動作マウント部に連結された部品を、パネルＷ平面と平行な方向に手動で回転できる機能を有している。また手動回転機構７０は、図示していない回転部固定ネジ等を用いて、回転させた連結部品を所定の位置に固定できるものとする。
【００６２】
＜効果＞
第４実施形態では、パネル搬送位置ズレ等の特異条件に左右されずに、サブエアーナイフ３１の位置を的確に設定することが可能となり、パネル乾燥処理をより確実に行うことができる。しかし、サブエアーナイフ３１によるエアー吹き付け方向は、メインエアーナイフ３０によるエアー吹き付け方向と常に同方向であり、液剤が残留し易いパネル重ね合わせ段差部１に対し、必ずしも最適な条件でエアーが吹き付けられるとは限らない。よって、パネル重ね合わせ段差部１に液剤が残留する可能性がある。
【００６３】
パネル重ね合わせ段差部１の近傍に配置された基板実装用端子上に、水分を含有した液滴が残留すると、端子部の腐食の要因となる。また、パネル重ね合わせ段差部１の近傍に配置されたアライメントマーク上に液滴が残留し乾燥すると、ウォーターマークと呼ばれる乾燥シミが発生し、アライメントマーク認識不良の要因となる。これらのように、品質不良または生産阻害の要因となる問題がある。
【００６４】
この問題を解決するためには、図５および図６に示されるように、手動回転機構７０を設け、直動アクチュエータ５１の図示していない動作マウント部と連結し、さらに、手動回転機構７０の図示していない動作マウント部とサブエアーナイフ３１を連結し、サブエアーナイフ３１のエアー吹き付け方向を自由に回転移動させ位置調整できるようにすれば、パネル乾燥処理をより確実に行うことができる。また、パネル重ね合わせ段差部１に付着している液剤が最も効率よく乾燥する位置に吹き付けエアーの照準を合わせることができる。
【００６５】
＜第６実施形態＞
＜構成＞
図７は、本実施形態に関する乾燥用エアーナイフを模式的に示した平面図である。図７においては、図５および図６に示された構成のうち、手動回転機構７０に代えて回転アクチュエータ７１が備えられている。
【００６６】
回転アクチュエータ７１は、図示していない回転軸、軸受、ベース板および動作マウント等で構成されており、図示していないモータ等の回転動力機器と、図示していないカップリングまたはギア等の動力伝達部品を介して連結されており、図示していないモータ等の回転動力機器からの回転動力を、図示してない動作マウント部の回転動作に変換する機能を有する。
【００６７】
また、図示していないモータ等の回転動力機器は、図示していないシーケンサ等のＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）に接続されており、ＰＬＣからの動作指令に基づき回転動作を行い、回転アクチュエータ７１の図示していない動作マウントを回転動作させるものとする。
【００６８】
＜効果＞
第５実施形態では、条件個別にサブエアーナイフ３１のエアー吹き付け方向を自由に回転位置調整することが可能で、パネル重ね合わせ段差部１に付着している液剤が最も効率よく乾燥する位置に吹き付けエアーの照準を合わせることにより、パネル乾燥処理をより確実に行うことができる。しかし、サブエアーナイフ３１の回転位置合わせにおいては、手動作業で行う必要があり、ジョブチェンジ時間を要する等の生産ロスが発生する。
【００６９】
また、サブエアーナイフ３１の回転位置合わせにおいて、設定位置を間違えた場合は、パネル重ね合わせ段差部１に適切にエアーが吹き付けられず、パネル重ね合わせ段差部１に液剤が残留する可能性がある。さらに、パネル重ね合わせ段差部１がパネルＷの長短辺の二辺に配置されている場合、パネル搬送方向と直角に交わる辺のパネル重ね合わせ段差部１においては、サブエアーナイフ３１によるエアーが吹き付けられず液剤が残留する可能性がある。
【００７０】
この場合、パネル重ね合わせ段差部１の近傍に配置された基板実装用端子上に、水分を含有した液滴が残留すると、端子部の腐食の要因となる。また、パネル重ね合わせ段差部１の近傍に配置されたアライメントマーク上に液滴が残留し乾燥すると、ウォーターマークと呼ばれる乾燥シミが発生し、アライメントマーク認識不良の要因となる。これらのように、品質不良または生産阻害の要因となる問題がある。
【００７１】
この問題を解決するためには、図７に示されるように、図示していないモータ等の回転動力機器で駆動される回転アクチュエータ７１を設け、回転アクチュエータ７１を直動アクチュエータ５１の図示していない動作マウント部と連結し、さらに、サブエアーナイフ３１を回転アクチュエータ７１の図示していない動作マウントと連結し、パネル位置検知センサ６０で認識された情報を図示していないＰＬＣに送信し、さらに内部演算することにより、パネル重ね合わせ段差部１の位置を特定する。そして得られた情報に基づき、自動でサブエアーナイフ３１を所定の位置へ回転動作させるか、パネル重ね合わせ段差部１の配置位置に合わせ自動で回転追従動作させればよい。
【００７２】
このようにすれば、例えば図７に示されるように、パネル重ね合わせ段差部１の段差形状が、パネル搬送方向と、パネル搬送方向と交差する方向とに延びて形成されている場合であっても、サブエアーナイフ３１の位置を的確に設定することができる。すなわち、パネル重ね合わせ段差部１の配置等個別条件に左右されずに、自動でサブエアーナイフ３１の位置を的確に設定することが可能となり、パネル乾燥処理をより確実に行うことができる。
【００７３】
なお、上記実施形態においては、液晶パネルを乾燥処理した場合を例にとって説明を行ったが、特定箇所に段差部等を有する板状対象物において付着した処理液を除去する乾燥処理であれば、本発明は共通して適用することができる。上記実施形態では、サブエアーナイフによる吹き付け位置、移動動作およびエアー吹き付け方向等は、液晶パネルの段差部の配置に応じて適当な条件を選択しているが、液晶パネル以外の板状対象物に適用する際には、その板状対象物が有した段差部の配置、形状、特に段差面の配置または延在方向等に応じて、本発明のサブエアーナイフによる吹き付け位置、移動動作、エアー吹き付け方向、自動化またはレシピ設定等、液晶パネルの場合に採用した際と同様の乾燥するために適当な条件等に設定するとよい。
【００７４】
また、上記実施形態で説明を行ったエアーナイフは、これら局所的に段差部を有した板状対象物を処理する乾燥処理装置、または同様の板状対象物を処理する湿式処理装置に付帯の乾燥処理ユニット（乾燥処理機構）等に適用することができ、それぞれの装置において、上記実施形態で説明を行った特有の乾燥処理効果を得ることができる。特に、これら装置において上記エアーナイフを用いた場合、エアーナイフはサブエアーナイフを備えた複数のエアーナイフとしての機能を有しながらも、別途、サブエアーナイフの取り付けスペースを設ける必要がなく、また、別途、サブエアーナイフを可動とするための移動機構の取り付けスペースを設ける必要もない。すなわち、乾燥処理装置において、概ね１本のエアーナイフを取り付けるスペースがあれば上記エアーナイフを取り付けることができる。このような乾燥処理装置であれば、乾燥作用に優れ、かつ、様々な形状の処理物に対応して乾燥処理を行うことができる。さらに、小型化、および、自動処理等の多機能化が可能である。
【００７５】
上記実施形態では、各構成要素の材質、材料、実施の条件等についても記載しているが、これらは例示であって記載したものに限られるものではない。
【００７６】
なお本発明は、その発明の範囲内において、各実施形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施形態において任意の構成要素の省略が可能である。
【符号の説明】
【００７７】
１  パネル重ね合わせ段差部、１０  フレーム、２０，２１，２２，２３  パネル搬送シャフト、２０ａ，２１ａ，２２ａ，２３ａ  パネル搬送コロ、３０  メインエアーナイフ、３１  サブエアーナイフ、４０  手動スライド機構、５０  モータ、５１  直動アクチュエータ、６０  パネル位置検知センサ、７０  手動回転機構、７１  回転アクチュエータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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