(57)【要約】【課題】低コストで簡単に組み立て可能な真空バルブを提供する。【解決手段】環状のハウジングシール要素（３ｂ）が環状の支持要素（３ａ）に対して取り付けられている。環状のハウジングシール要素（３ｂ）の径方向内側領域において環状のシートシール要素（３ｃ）が支持要素（３ａ）に対して取り付けられている。閉塞要素（９）が閉位置におい記環状のシートシール要素（３ｃ）に対して押し付けられ、環状のシートシール要素（３ｃ）がバルブハウジング（１）のシール面に当接する。【選択図】  図３
2015197221.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中間に環状のハウジングシール要素（３ｂ）が設けられる第１ハウジング要素（１ａ）および第２ハウジング要素（１ｂ）を有するバルブハウジング（１）と、
真空バルブが開放される閉位置および真空バルブが閉塞される閉位置の間で変位可能な閉塞要素（９）と、を備えている真空バルブであって、
前記環状のハウジングシール要素（３ｂ）が環状の支持要素（３ａ）に対して取り付けられ、前記環状のハウジングシール要素（３ｂ）の径方向内側領域において環状のシートシール要素（３ｃ）が前記支持要素（３ａ）に対して取り付けられ、前記閉塞要素（９）が閉位置において前記環状のシートシール要素（３ｃ）に対して押し付けられ、前記環状のシートシール要素（３ｃ）が前記バルブハウジング（１）のシール面に当接することを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
請求項１記載の真空バルブにおいて、
前記ハウジングシール要素（３ｂ）を構成する弾性材料および前記シートシール要素（３ｃ）を構成する弾性材料とは異なる材料により前記支持要素（３ａ）が構成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項３】
請求項２記載の真空バルブにおいて、
前記支持要素（３ａ）が、前記ハウジングシール要素（３ｂ）および前記シートシール要素（３ｃ）よりも高い弾性率を有することを特徴とする真空バルブ。
【請求項４】
請求項３記載の真空バルブにおいて、
前記支持要素（３ａ）の弾性率が、記ハウジングシール要素（３ｂ）および前記シートシール要素（３ｃ）のそれぞれの弾性率よりも５倍以上高いことを特徴とする真空バルブ。
【請求項５】
請求項１〜４のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
前記第２ハウジング要素（１ｂ）が、前記シートシール要素（３ｂ）が当接するシール面を備えていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項６】
請求項１〜５のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
前記第２ハウジング要素（１ｂ）が軸線（７）を有するバルブ開口部（５）を備え、前記シートシール要素（３ｃ）が当接する前記シール面が前記バルブ開口部（５）の前記軸線（７）を取り囲んでいることを特徴とする真空バルブ。
【請求項７】
請求項１〜６のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
前記支持要素（３ａ）が平坦なディスク状に形成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項８】
請求項１〜６のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
前記ハウジングシール要素（３ｂ）が、前記支持要素（３ａ）の外周部分よりも径方向外側に延在し、かつ、前記シートシール要素（３ｃ）が、前記支持要素（３ａ）の内周部分よりも径方向内側に延在し、ことを特徴とする真空バルブ。
【請求項９】
請求項１〜８のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
前記支持要素（３ａ）が、前記ハウジングシール要素（３ｂ）および前記シートシール要素（３ｃ）の中間領域において少なくとも１つの貫通孔（２４）を有することを特徴とする真空バルブ。
【請求項１０】
請求項１〜９のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
前記ハウジングシール要素（３ｂ）および前記シートシール要素（３ｃ）が前記支持要素（３ａ）に対して加硫接合されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１１】
前記ハウジングシール要素（３ｂ）および前記シートシール要素（３ｃ）が前記支持要素（３ａ）に対して拡散接合されていることを特徴とする真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空バルブのバルブハウジングが複数の構成要素によって構成され、かつ、個々のハウジング要素が「静的シール」と呼ばれる弾性シールリングによって相互に封止されていることが一般的に知られている。真空バルブの組み立ておよび修理点検を可能にするため、バルブハウジングの別個の要素として構成されている蓋体が、バルブハウジングの基体に対してシール要素を介して連結されている。
【０００３】
たとえば、アングルバルブの形態の真空バルブが知られている（特許文献１〜７参照）。もちろん、真空バルブはスライドバルブまたはＬ−バルブの形態であってもよい。スライドバルブの場合、閉塞要素が開位置から閉位置まで駆動され、あるいは、閉塞要素を支持する支持要素が始端位置から終端位置まで駆動されることにより、当該終端位置またはその近傍において、支持要素の駆動方向に対して角度をなす方向に閉塞要素をバルブシートに対して押し付ける梃子要素または開帳要素が作用する。このスライドバルブは、主に支持要素を駆動する単一のアクチュエータを備え、あるいは、手動運転装置によって作動させることができる。閉塞要素、特に平板状に形成された閉塞要素のＬ字形状の行程は、バルブロッドの縦方向および横方向に個別に作用するアクチュエータによって実現され、あるいは、最初は直線状に移動した後、閉塞要素をバルブシートに位置させるためにたとえばリンクガイドによって傾動可能なバルブロッドによって実現される。
【０００４】
バルブハウジングが「長手」に分割され、両ハウジング要素のそれぞれがバルブ開口部を備え、当該両ハウジング要素がシールリングを介して連結されている真空バルブが知られている（特許文献８参照）。
【０００５】
バルブ開口部を備えるバルブハウジングの少なくとも１つのフランジが別個の構成要素として構成され、弾性シールリングによってバルブハウジングの基体に対して連結されることが知られている（特許文献９参照）。シールリングによって基体に対して封止されているフランジが、真空バルブの閉塞状態において、閉塞要素がそこに設けられている弾性シールリング（＝真空バルブの「動的シール要素」）とともに当接するシール面を備えている。
【０００６】
従来の真空バルブにおいて、動的シール要素は、主に閉塞要素に取り付けられ、真空バルブの閉塞状態において閉塞要素がそこに設けられているシール要素とともに当接するシール面によりバルブシートが構成されている。閉塞要素が閉位置においてそのシール面が当接する弾性シール要素がシールシートに設けられることも知られている。
【０００７】
複数のＯリングが、その材料と一体的に構成されている薄いブリッジに対して連結されることが知られている（特許文献１０参照）。当該複数のＯリングが、すべてのＯリングのためのダブテール溝を構成するための十分なスペースが存在しない程度に相互に近接して配置される。
ないと一緒に閉鎖されることが可能である。この場合、ダブテール溝に収容されたＯリングは、タブテール溝に収容された少なくとも１つの他のＯリングシールを保持することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】米国特許公報  ＵＳ６６６９１７０Ｂ２
【特許文献２】米国特許公報  ＵＳ６２８９９３２Ｂ２
【特許文献３】独国特許公報  ＤＥ４０２３８４５Ｃ１
【特許文献４】米国特許公開公報  ＵＳ２００９／０１９４７２８Ａ１
【特許文献５】独国特許公開公報  ＤＥ１０  ２００５  ００４９８７Ａ１
【特許文献６】独国特許公開公報  ＤＥ１０  ２００８  ００３７２５Ａ１
【特許文献７】独国特許公開公報  ＤＥ３１２５０３４Ａ１
【特許文献８】独国特許公開公報  ＤＥ３７１７７２４Ａ１
【特許文献９】英国特許公報  ＧＢ９９０６２４
【特許文献１０】国際公開公報  ＷＯ２０１２／１６２０５１Ａ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、低コストで簡単に組み立て可能な真空バルブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、中間に環状のハウジングシール要素が設けられる第１ハウジング要素および第２ハウジング要素を有するバルブハウジングと、真空バルブが開放される閉位置および真空バルブが閉塞される閉位置の間で変位可能な閉塞要素と、を備えている真空バルブに関する。
【００１１】
本発明の真空バルブは、前記環状のハウジングシール要素が環状の支持要素に対して取り付けられ、前記環状のハウジングシール要素の径方向内側領域において環状のシートシール要素が前記支持要素に対して取り付けられ、前記閉塞要素が閉位置において前記環状のシートシール要素に対して押し付けられ、前記環状のシートシール要素が前記バルブハウジングのシール面に当接することを特徴とする。
【００１２】
本発明の真空バルブによれば、第１ハウジング要素および第２ハウジング要素の間に配置され、かつ、環状の支持要素とお互いに密接するハウジングシール要素が設けられている。ハウジングシール要素の内側領域の径方向外側において、閉塞要素が閉位置において当接する環状のシートシール要素が支持要素に設けられている。シートシール要素は、バルブハウジングのシール面に位置している。ハウジングシール要素により封止されている両ハウジング要素はシール面を備えている。閉塞要素が、その閉位置においてシートシール要素によってバルブハウジングを密封している。
【００１３】
本発明の真空バルブによれば、シールユニットとして機能する構成要素が設けられている。シールユニットは、一方側にバルブハウジングの第１ハウジング要素および第２ハウジング要素の間で静的シール要素を構成するハウジングシール要素を備え、他方側に真空バルブの閉塞状態において真空バルブにより通路を封止する動的シール要素を構成するシートシール要素を備えている。シートシール要素は、これが載置されているハウジング要素のシール面とともに、真空バルブのバルブシートを構成する。
【００１４】
ハウジングシール要素およびシートシール要素が共通の構成要素である本発明の真空バルブによれば、組立作業を簡易化することができ、これにより取り扱いが簡易化される。バルブハウジングは、シールシートの領域において非常に構成が簡素化され、特に、シートシール要素が当接する平坦なシール面を備えている。
【００１５】
本発明の他の形態によれば、ハウジングシール要素およびシートシール要素は、好ましくは金属により構成されている支持要素に対して加硫接合されている。支持要素は、ハウジングシール要素およびシートシール要素よりも高い弾性率を有している。さらに他の形態によれば、ハウジングシール要素およびシートシール要素が支持要素と一体的に構成され、支持要素は、たとえば、強化繊維等を含有し、ハウジングシール要素およびシートシール要素を構成する材料よりも高い弾性率を有する樹脂材料により構成されている。これらの他の形態において、ハウジングシール要素は、支持要素の全外周にわたり当該支持要素よりも径方向外側に突出し、かつ、シートシール要素が支持要素の全内周にわたり当該支持要素よろいも径方向内側に突出していることが好ましい。
【００１６】
本発明の一形態によれば、真空バルブがアングルバルブの形態で構成され、間にハウジングシール要素が配置されている第１ハウジング要素および第２ハウジング要素が、バルブハウジングの基体およびバルブ開口部を有するバルブハウジングの構成要素によって構成されている。当該構成要素には、チャンバまたは真空経路などのさらなる真空コンポーネントに真空バルブを連結するためのフランジが設けられている。シートシール要素が当接するシール面は、バルブ開口部を有し、かつ、当該バルブ開口部の軸線を囲む第２ハウジング要素に配置されている。
【００１７】
本発明のさらなる利点および詳細は、添付図面を用いて説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態としての真空バルブの斜視図。
【図２】図１の真空バルブの側面図。
【図３】閉塞要素が開位置にある状態での図２のＡ−Ａ線断面図。
【図４】閉塞要素が閉位置にある状態での図２のＡ−Ａ線断面図。
【図５】シールユニットの斜視図。
【図６】シールユニットの正面図。
【図７】シールユニットの側面図。
【図８】図６のＢ−Ｂ線断面図。
【図９】図６のＣ−Ｃ線断面図。
【図１０】本発明の第２実施形態としての真空バルブの斜視図。
【図１１】図１０の真空バルブの側面図。
【図１２】閉塞要素が開位置にある状態での図１１のＤ−Ｄ線断面図。
【図１３】閉塞要素が閉位置にある状態での図１１のＤ−Ｄ線断面図。
【図１４】図１０の真空バルブの上面図。
【図１５】閉塞要素が開位置にある状態での図１４のＥ−Ｅ線断面図。
【図１６】真空バルブの切欠説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１〜図９には、本発明の第１実施形態としての真空バルブが示されている。
【００２０】
真空バルブはバルブハウジング１を備えている。バルブハウジング１は、真空バルブの基体を構成する第１ハウジング要素１ａおよび第１軸線７を有する第１バルブ開口部５を備えている第２ハウジング要素１ｂを有している。第１ハウジング要素１ａおよび第２ハウジング要素１ｂは、後で詳述する環状のハウジングシール要素３ｂによって相互に遮断されている。
【００２１】
第１バルブ開口部５を有する第２ハウジング要素１ｂは結合フランジ１１を備えている。これにより、真空バルブは真空チャンバまたは真空経路等の他の真空装置に対して連結される。結合フランジ１１は第２ハウジング要素１ｂの管状部分に設けられている。第１ハウジング要素１ａに対向する端部において、第２ハウジング要素１ｂにはこれを第１ハウジング要素１ａに対して連結するための連結フランジ１２が設けられている。第２ハウジング要素１ｂはバルブ支持要素として構成されていてもよい。
【００２２】
真空バルブの基体を構成する第１ハウジング要素１ａは、バルブハウジングの基体と一体的に構成されている、または、当該基体に溶接されているバルブ支持要素が設けられている。第１ハウジング要素１ａは、第２軸線８を有する第２バルブ開口部６を備え、管状部分および当該管状部分の自由端に設けられ、真空バルブを他の真空装置に連結するための結合フランジ１３を備えている。
【００２３】
第１ハウジング要素１ａおよび第２ハウジング要素１ｂはたとえばアルミニウムまたは特殊鋼により構成されている。
【００２４】
第１ハウジング要素１ａの開放側には、空気圧式のピストンシリンダユニットのシリンダ１４が設けられている。このピストンシリンダユニットは、閉塞要素９を自動的に（機械的に）駆動するためのアクチュエータ１５を構成する。第１ハウジング要素１ａの開放側に結合しているシリンダ１４の基台１４ａは、バルブハウジング１の蓋体の形態のハウジング要素として構成されていてもよい。シリンダ１４の基台１４ａは、後で説明するように真空バルブの真空領域の外側に存在している。
【００２５】
本実施形態の真空バルブはアングルバルブとして構成されている。第１軸線７および第２軸線８は相互に角度または直角をなしている。
【００２６】
第１ハウジング要素１ａおよび第２ハウジング要素１ｂの連結のためにボルト２が用いられる。ボルト２は、第１ハウジング要素１ａの貫通孔（図１〜図４においては見えないが、第２実施形態と同様に構成されている（図１５参照））を貫通している。
【００２７】
ボルト２の頭部およびその下に延在する軸部のうち少なくとも一方が、連結フランジ１２を押さえ付け、第１ハウジング要素１ａに対して第２ハウジング要素１ｂを引き付けている。第１ハウジング要素１ａには、連結フランジ１２が収容される凹部１７が設けられている。凹部１７の基台は段差が付され、連結フランジ１２が載せられる第１の部分およびハウジングシール要素３ｄが載せられる、第１の部分よりも下側にある第２部分が設けられている。第１ハウジング要素１ａおよび第２ハウジング要素１ｂの連結状態において、連結フランジ１２の外側面は（少なくともボルト２およびその軸部に押さえ付けられている領域において）、連結フランジ１２に対して結合され、バルブハウジング１ａの外お側面においてボルト２および軸部を覆う部分と同一面を構成している。
【００２８】
ボルト２はシリンダ１４の雌ネジに螺合されている。ボルト２は、シリンダ１４の穴を貫通してシリンダ１４から突出する部分で螺合してもよい。
【００２９】
本実施形態の構成によれば、第１ハウジング要素１ａが、第２ハウジング要素１ｂに加えてシリンダ１４に対して堅固に連結される。
【００３０】
第２ハウジング要素１ｂの管状部分が省略され、結合フランジ１１が連結フランジ１２に直接的に設けられていてもよい。
【００３１】
第１ハウジング要素１ａの連結支持要素は、第１ハウジング要素１ａに対して螺着される別個の部材により構成されていてもよい。結合フランジ１３が設けられている管状部分が省略され、結合フランジ１３がバルブハウジング１の基体に直接的に設けられていてもよい。
【００３２】
バルブハウジング１の内部に平板状に構成されている閉塞要素９が配置されている。真空バルブの閉塞状態（＝密閉状態）において、閉塞要素９が閉位置にあってバルブシート４に対して押し付けられている（図４参照）。本実施形態において、第２ハウジング要素１ｂに配置されているシール面および当該シール面が載置されている環状のシートシール要素３ｃにより構成されている。閉塞要素９は、シートシール要素３ｃに対して当接する、好ましくは平坦に構成されているシール面を備えている。シートシール要素３ｃは、後で詳細に説明されるシールユニット３の構成要素である。
【００３３】
シートシール要素３ｃが当接する第２ハウジング要素１ｂのシール面は、好ましくは平坦に形成され、かつ、第２ハウジング要素１ｂの第２バルブ開口部５の第２軸線７に対して垂直な平面上にある。
【００３４】
真空バルブの全開状態において、閉塞要素９は開位置にあって、バルブシート４から離間している（図３参照）。
【００３５】
本実施形態では、気圧式のピストン−シリンダユニットの形態で構成されているアクチュエータ１５が真空バルブの開閉に用いられる。シリンダ１４の内部には閉塞要素９に対して連結されているピストン１８が配置されている。ピストン１８を閉塞要素９に対して連結するため、ピストンロッド１９がピストン１８に取り付けられ、閉塞要素９に取り付けられているバルブロッド２０の雌ネジに対して螺合する雄ネジを当該ピストンロッド１９が有している。ピストンロッド１９が雌ネジを有し、バルブロッド２０の雄ネジに対して螺合されてもよい。ピストンロッド１９およびバルブロッド２０が一体的に構成されていてもよい。閉塞要素９はバルブロッド２０に対して取り外し可能に螺合などによって連結されてもよく、あるいは、取り外しできないようにバルブロッド２０に連結されてもよい。
【００３６】
本実施形態では、バルブロッド２０は、シリンダ１４の基台１４ａに取り付けられ、たとえば一体的に構成されているガイドスリーブ２１によって案内される。
【００３７】
本実施形態では、閉塞要素９およびシリンダ１４の間に閉塞バネ２２が作用している。シリンダ１４の無押圧状態において、閉塞要素９は閉塞バネ２２によりバルブシート４に対して押し付けられ、真空バルブが閉塞される。真空バルブの開放のため、シリンダ空間２３に空気圧が作用し、ピストン１８が閉塞バネ２２の付勢力に抗して閉塞要素９をバルブシート４から離間させる。
【００３８】
代替的に、双方向に作用するピストン１８が設けられてもよく、または、たとえばピストン１８およびシリンダ１４の基台１４ａの間に作用する開放バネが、単に反対方向に作用するピストンとともに設けられてもよい。
【００３９】
本実施形態では、バルブハウジング１を通るバルブロッド２０の通路を封止するためにベローズ２５が用いられている。代替的に、たとえば、バルブロッド２０およびガイドスリーブ２１の間に弾性シールリングが配置されていてもよい。
【００４０】
ベローズ２５は、たとえば起伏があるベローズにより構成されている。当該起伏は、ベローズ２５の両端部にのみ設けられている。ベローズはダイヤフラムベローズまたはメンブレンベローズとして構成されていてもよい。
【００４１】
幌の一端は閉塞要素９に対して気密に連結され、好ましくは溶接されている。幌の他端は、たとえば溶接されたフランジリングおよびフランジリングと第１ハウジング要素１ａとの間に設けられているシールリング２６によりバルブハウジング１に対して気密に連結されている。ベローズ２５は、真空バルブが真空コンポーネントに対して取り付けられている状態で真空吸引される真空バルブの真空領域を画定するバルブハウジング１の内部空間を制限する。
【００４２】
図５〜図９に示されているシールユニット３は、前述のように、環状または円環状のハウジングシール要素３ｂおよび環状または円環状のシートシール要素３ｃを備えている。ハウジングシール要素３ｂおよびシートシール要素３ｃは共通の環状または円環状の支持要素３ａに対して取り付けられている。ハウジングシール３ｂは、シートシール部３ｃの径方向外側に好ましくは離間して配置されている。
【００４３】
支持要素３ａは、ハウジングシール要素３ｂを構成する弾性材料およびシートシール要素３ｃを構成する弾性材料とは異なる材料により構成されている。
【００４４】
ハウジングシール要素３ｂおよびシートシール要素３ｃは、好ましくは同一の弾性材料により構成されている。
【００４５】
支持要素３ａの構成材料の弾性率は、ハウジングシール要素３ｂを構成する弾性材料の弾性率よりも好ましくは５倍以上高く、シートシール要素３ｃを構成する弾性材料の弾性率よりも好ましくは５倍以上高い。
【００４６】
シールユニットは好ましくは自己支持可能に構成されている。
【００４７】
本実施形態では、ハウジングシール要素３ｂは支持要素３ａの外周全体よりも径方向外側に設けられ、シートシール要素３ｃは支持要素３ａの内周全体よりも径方向内側に設けられている（図８および図９参照）。
【００４８】
支持要素３ａおよびシートシール要素３ｃが載置されるシール面の間の空間の通気のため、支持要素３ａには貫通孔２４が設けられている。
【００４９】
図示されているように、シートシール要素３ｃは、シールユニット３の軸線３ｄの方向についてハウジングシール要素３ｂよりも厚くてもよい。
【００５０】
ハウジングシール要素３ｂおよびシートシール要素３ｃは、軸線３ｄに鑑みて、両方の軸線方向について支持要素３ａよりも突出している。支持要素３ａは、平坦な円盤の形態に構成されていてもよい。
【００５１】
シールユニット３の作製のため、一実施形態において、ハウジングシール要素３ｂおよびシートシール要素３ｃは支持要素３ａに対して加硫接合される。ハウジングシール要素３ｂおよびシートシール要素３ｃは、ＦＫＭ（フッ素ゴム）またはＦＦＫＭにより構成される。本実施形態では、支持要素３ａは、好ましくは、例えばアルミニウムまたは特殊鋼等の金属により構成されている。
【００５２】
他の実施形態では、ハウジングシール要素３ｂおよびシートシール要素３ｃが支持要素３ａと一体的に形成されている。この場合、ハウジングシール要素３ｂおよびシートシール要素３ｃは、ポリウレタンなどの射出成形可能な材料により形成される。支持要素３ａは、基材として樹脂材料、特に射出成形可能な樹脂材料を備えている。支持要素３ａは射出成形法にしたがって製造される。支持要素３ａは、たとえば繊維含有量が２０％■６０％の範囲であり、より好ましくは５０％である繊維強化ポリアリールアミド、特にガラス繊維強化ポリアリールアミドにより形成されてもよい。
【００５３】
真空バルブの組み立てのため、第１ハウジング要素１ａおよび第２ハウジング要素１ｂの間にシールユニット３が設けられる。さらに、アクチュエータ１５および閉塞要素９を備えているユニットが、ベローズ２５と同様に、中間に介挿されるシールリング２６とともに第１ハウジング要素１ａに配置される。そして、ボルト２が螺合される。
【００５４】
図１０■図１６には、本発明の第２実施形態としての真空バルブが示されている。
【００５５】
第２実施形態の真空バルブの構成は、以下に説明する相違点を除き、前述の第１実施形態と同様である。特に、シールユニット３は同様に構成され、第１ハウジング要素１ａおよび第２ハウジング要素１ｂの間におけるその配置は、第１実施形態と同様である。
【００５６】
第２実施形態の真空バルブはアングルバルブとして構成されている。開位置および閉位置の間での閉塞要素９を駆動するため、手動運転装置が設けられている。これにより、回転要素２７が回転軸線２８の回りに回転駆動される。回転要素２７は、回転要素２７に対して連結されている第１駆動要素２９および閉塞要素９に対して連結されている第２駆動要素３０を備えているネジ機構と相互作用する。２つの駆動要素のうち一方の駆動要素（ここでは第１駆動要素２９）には、他方の駆動要素（ここでは第２駆動要素３０）に設けられている雌ネジと螺合される雄ネジが設けられている。閉塞バネ２２が閉塞要素９を（開位置にある場合および閉位置にある場合の別とは無関係に）閉位置に向かう方向に付勢する。閉塞要素９の開位置において、回転要素２７はバルブハウジング１に対して固定されたストッパ３１に指示されている。ストッパ３１はたとえばバルブハウジング１の蓋体３２から突出している筒状要素に設けられている。蓋体３２は、シリンダ１４に代えて、第１ハウジング要素１ａの開口端を閉塞する。蓋体３２は、ロッド状の第２駆動要素３０を軸線方向に移動可能に案内するガイドスリーブ２１を備えている。
【００５７】
回転要素２７の回転によって真空バルブを閉塞する際、閉塞要素９はバルブシート４に接近し、回転要素２７は同じ回転方向にさらに回転駆動され、回転要素２７はストッパ３１から離間する（図１３参照）。閉塞要素９が閉位置に到達したことを示す視認可能な標識リング２３が設けられていてもよい。回転要素２７のリングバンド３４がストッパ３５に当接し、閉位置への到達をユーザにその触覚を通じて知らされる（図１５参照）。ストッパ３５は、それに作用する力が限界値を超えた場合、リングバンド３４がそれを通過して移動することができるように構成されている。この結果、手動運転装置によりシートシール要素３ｃに対して作用させることができる最大の力が制限されている。シートシール要素３ｃに過度の応力負荷は結果として回避される。
【００５８】
第２実施形態の真空バルブの組み立ては、第１実施形態に類似の方法にしたがって行われる。アクチュエータ１５を備えているユニットに代えて、ここではハウジング蓋体３２を備えているユニット、回転要素２７を有する手動運転装置、およびこれらと連結された閉塞要素９が第１ハウジング要素１ａに配置される。当該ユニットおよび第１ハウジング要素１ａの間にシールリング２６が介挿され、第１ハウジング要素１ａおよび第２ハウジング要素１ｂの間にシールユニット３のハウジングシール要素３ｂが介挿された状態で、ボルト２がここではナット３６と螺合することにより、当該ユニットおよび第１ハウジング要素１ａが連結される。
【００５９】
本発明の思想から逸脱しない範囲で前記実施形態はさまざまに変更されてもよい。閉塞要素９を作動させるため、前記実施形態とは異なる駆動装置が設けられてもよい。本発明の真空バルブは、アングルバルブのほか、スライドバルブまたはＬバルブなどの他のバルブであってもよい。前記実施形態では真空バルブの開閉のために閉塞要素９が直線的に駆動されたが、バルブロッドの移動およびこれに続く傾動を通じて、または、閉塞要素および直線変位可能な支持要素の間で作用する開帳要素によって閉塞要素がＬ字型の軌道にしたがってバルブシートに対して接近するなど、異なる形態で駆動されてもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１‥バルブハウジング、１ａ‥第１ハウジング要素、１ｂ‥第２ハウジング要素、２‥ボルト、３‥シールユニット、３ａ‥支持要素、３ｂ‥ハウジングシール要素、３ｃ‥シートシール要素、３ｄ‥軸線、４‥バルブシート、５‥第１バルブ開口部、６‥第２バルブ開口部、７‥第１軸線、８‥第２軸線、９‥閉塞要素、１０‥閉方向、１１‥結合フランジ、１２‥連結フランジ、１３‥結合フランジ、１４‥シリンダ、１４ａ‥基台、１５‥アクチュエータ、１７‥凹部、１８‥ピストン、１９‥ピストンロッド、２０‥バルブロッド、２１‥ガイドスリーブ、２２‥閉塞ばね、２３‥シリンダアーム、２４‥貫通孔、２５‥ベローズ、２６‥シールリング、２７‥回転要素、２８‥回転軸線、２９‥第１駆動要素、３０‥第２駆動要素、３１‥ストッパ、３２‥ハウジング蓋体、３３‥標識リング、３４‥リングバンド、３５‥ストッパ、３６‥ナット
【図１】
2015197221.tif 000003
【図２】
2015197221.tif 000004
【図３】
2015197221.tif 000005
【図４】
2015197221.tif 000006
【図５】
2015197221.tif 000007
【図６】
2015197221.tif 000008
【図７】
2015197221.tif 000009
【図８】
2015197221.tif 000010
【図９】
2015197221.tif 000011
【図１０】
2015197221.tif 000012
【図１１】
2015197221.tif 000013
【図１２】
2015197221.tif 000014
【図１３】
2015197221.tif 000015
【図１４】
2015197221.tif 000016
【図１５】
2015197221.tif 000017
【図１６】
2015197221.tif 000018