(57)【要約】【課題】動力伝達効率をより向上させると共に部品の摩耗によるロストモーションの増大（性能劣化）を抑制することのできる偏心揺動型の減速装置を得る。【解決手段】内歯歯車３０と、該内歯歯車に内接噛合する外歯歯車２１〜２３と、を有する偏心揺動型の減速装置Ｇ１において、摺動部位として、当該減速装置の動力伝達に直接関係する第１摺動部位と、当該減速装置の動力伝達に直接関係しない第２摺動部位とを有し、第１摺動部位には、該第１摺動部位の基材よりも摩擦係数が低く、かつ該基材よりも硬度が高い第１被膜ＷＣ／Ｃが施され、第２摺動部位には、該第２摺動部位の基材よりも摩擦係数が低く、かつ第１被膜よりも硬度が低い第２被膜ＰＴＦＥが施される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内歯歯車と、該内歯歯車に内接噛合する外歯歯車と、を有する偏心揺動型の減速装置において、
摺動部位として、当該減速装置の動力伝達に直接関係する第１摺動部位と、当該減速装置の動力伝達に直接関係しない第２摺動部位とを有し、
前記第１摺動部位には、該第１摺動部位の基材よりも摩擦係数が低く、かつ該基材よりも硬度が高い第１被膜が施され、
前記第２摺動部位には、該第２摺動部位の基材よりも摩擦係数が低く、かつ前記第１被膜よりも硬度が低い第２被膜が施される
ことを特徴とする偏心揺動型の減速装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記第２被膜は、前記第２摺動部位の基材よりも硬度が低い
ことを特徴とする偏心揺動型の減速装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記第２被膜は、前記第２摺動部位が摺動する相手側摺動部位よりも硬度が低い
ことを特徴とする偏心揺動型の減速装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかにおいて、
前記内歯歯車は、内歯歯車本体と、該内歯歯車本体に形成されたピン溝に配置されると共に該内歯歯車の内歯を構成する外ピンと、を有し、
該外ピンと前記外歯歯車の歯面との摺動部位について、該外ピンに前記第１被膜を施し、かつ前記外歯歯車の歯面には、該第１被膜を施さない
ことを特徴とする偏心揺動型の減速装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、偏心揺動型の減速装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、外歯歯車が揺動しながら内歯歯車に内接噛合する偏心揺動型の減速装置が開示されている。内歯歯車は、外歯歯車よりも歯数が僅かだけ多い。この減速装置では、外歯歯車が揺動回転することによって発生する外歯歯車と内歯歯車の相対回転を、ケーシングに対するキャリヤの回転として取り出している。
【０００３】
特許文献１においては、動力伝達効率をより向上させるために、上記偏心揺動型の減速装置の対向する２つの摺動部位のうち、少なくとも一方を所定の粗さ加工によって形成した表面粗さとし、この表面粗さとした摺動部位に硬質の炭素系被膜を形成する技術が、合わせて開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−４１７４７号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この種の偏心揺動型の減速装置においては、上記特許文献１に見られるように、従来、「動力伝達効率をより向上させたい」という要請がある一方で、同時に、「部品の摩耗によるロストモーションの増大（性能劣化）を抑制したい」という要請も存在する。
【０００６】
本発明は、このような従来の根強い要請に応えるためになされたものであって、動力伝達効率をより向上させると共に部品の摩耗によるロストモーションの増大（性能劣化）を抑制することのできる偏心揺動型の減速装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、内歯歯車と、該内歯歯車に内接噛合する外歯歯車と、を有する偏心揺動型の減速装置において、摺動部位として、当該減速装置の動力伝達に直接関係する第１摺動部位と、当該減速装置の動力伝達に直接関係しない第２摺動部位とを有し、前記第１摺動部位には、該第１摺動部位の基材よりも摩擦係数が低く、かつ該基材よりも硬度が高い第１被膜が施され、前記第２摺動部位には、該第２摺動部位の基材よりも摩擦係数が低く、かつ前記第１被膜よりも硬度が低い第２被膜が施される構成とすることにより、上記課題を解決したものである。
【０００８】
本発明では、偏心揺動型の減速装置の摺動部位は、その全てが必ずしも同じ技術的意義を有しているわけではないことに着目している。
【０００９】
すなわち、本発明では、減速装置の動力伝達に直接関係する第１摺動部位に対しては、該第１摺動部位の基材よりも摩擦係数が低く、かつ該基材よりも硬度が高い第１被膜を施す。一方、減速装置の動力伝達に直接関係しない第２摺動部位に対しては、該第２摺動部位の基材よりも摩擦係数が低く、かつ第１被膜よりも硬度が低い第２被膜を施す。
【００１０】
これにより、動力損失をより低減して動力伝達効率をより向上させ、かつ部品の摩耗によるロストモーションの増大（性能劣化）を抑制することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、動力伝達効率をより向上させると共に部品の摩耗によるロストモーションの増大（性能劣化）を抑制することのできる偏心揺動型の減速装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態の一例に係る偏心揺動型の減速装置の全体断面図
【図２】図１の入力軸近傍の部分拡大断面図
【図３】図１の内歯歯車近傍の部分拡大断面図
【図４】上記減速装置が組み込まれている産業用ロボットの概略構成を示す模式図
【図５】本発明の他の実施形態の一例に係る偏心揺動型の減速装置の全体断面図
【図６】ロストモーションを説明するためのグラフ
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態の一例に係る偏心揺動型の減速装置を詳細に説明する。
【００１４】
始めに、図４を用いて、本発明の実施形態の一例に係る偏心揺動型の減速装置が組み込まれた産業用ロボットの全体構成から説明する。図４は、当該産業用ロボットの全体概略を示す模式図である。
【００１５】
この産業用ロボットＲ１は、床面１９上に基台１０を有し、この基台１０から第１〜第６関節Ｊ１〜Ｊ６と第１〜第６アーム１１〜１６が交互に連結されている。第１〜第６アーム１１〜１６は、第１〜第６関節Ｊ１〜Ｊ６を介して駆動モータおよび減速装置（図４では図示略）によって駆動される。第６アーム１６の先端には、所定の作業を行うための溶接ツール、保持ツール、塗装ツール等のさまざまなツール１８が取付けられる。
【００１６】
ツール１８が取付けられた第６アーム１６は、６つの自由度を有し、３次元方向に自由に移動しつつ、被作業物に対して任意の位置、姿勢で接触、吸着、あるいは吹き付け等の作業をすることができる。産業用ロボットＲ１による作業は、反復作業が殆どであり、減速装置は、正回転、逆回転を繰り返すことになる。そして、特定の作業位置に戻ってきたときの位置決め精度が重要な要素となる。そのためロストモーション（後述）が小さいことが要求される。ロストモーションは、部品の摩耗により増大してゆく傾向があるため、部品の摩耗によるロストモーションの増大（性能劣化）を抑制することも重要な課題となる。本実施形態は、このような背景の下で使用される偏心揺動型の減速装置に本発明を適用している。
【００１７】
図１は、本実施形態の一例に係る偏心揺動型の減速装置Ｇ１の全体断面図、図２は、図１の入力軸近傍の部分拡大断面図、図３は、図１の内歯歯車近傍の部分拡大断面図である。この減速装置Ｇ１は、産業用ロボットＲ１の手首部分に相当する前記第４アーム１４に組み込まれている。なお、産業用ロボットＲ１の他の部位に設けられている減速装置に対しても、同様に適用することができる。
【００１８】
減速装置Ｇ１は、内歯歯車３０と該内歯歯車３０に内接噛合する外歯歯車２１〜２３とを有する偏心揺動型の減速装置である。減速装置Ｇ１は、図示せぬモータからプーリ等を介して動力を受ける入力軸４０を備える。入力軸４０には偏心体４１〜４３が一体化されている。偏心体４１〜４３の外周面は、入力軸４０の軸心Ｃ４０に対して所定の偏心量だけ偏心している。偏心体４１〜４３の外周面４１Ａ〜４３Ａには偏心体ころ５１〜５３が転動可能に組み込まれている。後述するように、この偏心体ころ５１〜５３の転動は、より正確には「摺動」を伴っている。
【００１９】
偏心体ころ５１〜５３は、３枚の外歯歯車２１〜２３の中央貫通孔２１Ａ〜２３Ａと係合している。すなわち、外歯歯車２１〜２３は、偏心体４１〜４３に偏心体ころ５１〜５３を介して組み込まれ、揺動回転しながら内歯歯車３０に内接噛合している。外歯歯車２１〜２３を３枚並列に設けているのは、容量の増大および回転バランスの向上を意図したためである。３枚の外歯歯車２１〜２３の偏心位相差は１２０度である。
【００２０】
偏心体ころ５１〜５３は、樹脂製のリテーナ６１〜６３によって軸方向および周方向の位置が規制されている。リテーナ６１〜６３、およびその近傍の構成については、後に詳述する。
【００２１】
この実施形態では、内歯歯車３０は、軸直角断面が円弧状のピン溝３１Ａを有する内歯歯車本体３１と、該円弧状のピン溝３１Ａに回転・摺動自在に配置され、内歯歯車３０の内歯を構成する外ピン３２とを有している。内歯歯車本体３１は、ケーシング６０と一体化されている。外歯歯車２１〜２３の歯数は、内歯歯車３０の歯数（外ピン３２の数）よりも僅かだけ（この例では１だけ）少ない。
【００２２】
外歯歯車２１〜２３には、該外歯歯車２１〜２３の軸心からオフセットした位置に形成されたオフセット貫通孔２１Ｂ〜２３Ｂが形成されている。オフセット貫通孔２１Ｂ〜２３Ｂは、周方向に等間隔に複数形成されている。
【００２３】
各オフセット貫通孔２１Ｂ〜２３Ｂを、内ピン７０が軸方向に貫通している。内ピン７０の外周面７０Ａには摺動促進部材として円筒状の内ローラ７４が外嵌されている。内ローラ７４とオフセット貫通孔２１Ｂ〜２３Ｂとの間には、前記偏心体４１〜４３の偏心量の２倍に相当する隙間が確保されている。内ローラ７４は、外周面７４Ａが外歯歯車２１〜２３のオフセット貫通孔２１Ｂ〜２３Ｂと摺動可能に当接すると共に、内周面７４Ｂが内ピン７０の外周面７０Ａと摺動可能に当接している。
【００２４】
外歯歯車２１〜２３の軸方向反負荷側には第１キャリヤ７１、負荷側には第２キャリヤ７２がそれぞれ配置されている。前記内ピン７０は、この実施形態では、負荷側に配置された第２キャリヤ７２から一体的に突出形成されている（圧入による結合であってもよい）。第２キャリヤ７２は、反負荷側に配置された第１キャリヤ７１とボルト７６を介して連結されている。
【００２５】
なお、この実施形態では、入力軸４０は、入力軸受８１、８２を介して第１、第２キャリヤ７１、７２に回転自在に支持されている。また、第１、第２キャリヤ７１、７２は、主軸受９１、９２を介して、ケーシング６０に回転自在に支持されている。入力軸受８１、８２、および主軸受９１、９２の構成についても後に詳述する。
【００２６】
この偏心揺動型の減速装置Ｇ１は、ケーシング６０が産業用ロボットＲ１の第４アーム１４にボルト（ボルト孔６０Ａのみ図示）を介して連結されると共に、第２キャリヤ７２が図示せぬタップを介して第５アーム１５に連結されている。第２キャリヤ７２がケーシング６０に対して相対的に回転することにより、第５アーム１５を第４アーム１４に対し、相対的に回転させることができる。
【００２７】
ここで、本実施形態の特に摺動に関係する構成および作用の理解を容易とするために、この偏心揺動型の減速装置Ｇ１の動力伝達に係る作用を説明しておく。
【００２８】
入力軸４０が回転すると該入力軸４０と一体化されている偏心体４１〜４３が回転する。偏心体４１〜４３の回転により、該偏心体４１〜４３の外周面４１Ａ〜４３Ａを偏心体ころ５１〜５３が転動（摺動）する。これにより、該偏心体ころ５１〜５３の転動（摺動）を介して、外歯歯車２１〜２３が揺動回転する。外歯歯車２１〜２３の歯面２１Ｃ〜２３Ｃは、内歯歯車３０の内歯に相当する外ピン３２の外周面３２Ａと噛合（摺動）している。この結果、内歯歯車３０（の外ピン３２）に対する外歯歯車２１〜２３の噛合位置が順次ずれてゆく現象が発生する。なお、外ピン３２は、内歯歯車本体３１のピン溝３１Ａ内において、回転（摺動）しながら外歯歯車２１〜２３の歯面と噛合（摺動）している。
【００２９】
外歯歯車２１〜２３の歯数は、内歯歯車３０の歯数よりも１だけ少ないため、外歯歯車２１〜２３は、入力軸４０が１回回転するごとに、１歯分だけ内歯歯車３０に対して位相がずれる（自転する）ことになる。この自転成分が、外歯歯車２１〜２３のオフセット貫通孔２１Ｂ〜２３Ｂと内ローラ７４の外周面７４Ａとの摺動、および内ローラ７４の内周面７４Ｂと内ピン７０の外周面７０Ａとの摺動を介して内ピン７０に伝達される。内ピン７０は第２キャリヤ７２と一体化されているため、第２キャリヤ７２がケーシング６０に対して相対的に回転する。これにより、産業用ロボットＲ１の第５アーム１５を第４アーム１４に対し、相対的に回転させることができる。なお、外歯歯車２１〜２３の揺動成分は、内ローラ７４と外歯歯車２１〜２３のオフセット貫通孔２１Ｂ〜２３Ｂとの間に確保された隙間によって吸収される。
【００３０】
次に、本実施形態の偏心揺動型の減速装置Ｇ１の構成を、各部材の「摺動」に着目してより詳細に説明する。
【００３１】
本減速装置Ｇ１には、摺動部位として、当該減速装置Ｇ１の動力伝達に直接関係する第１摺動部位と、当該減速装置Ｇ１の動力伝達に直接関係しない第２摺動部位がある。
【００３２】
ここで、「減速装置の動力伝達に直接関係する第１摺動部位」とは、「当該摺動部位での摺動によって減速装置としての動力伝達が行われる摺動部位」を指している。別言するならば、「当該摺動部位が当接していないと、減速装置としての動力伝達が成立しない摺動部位」、あるいは、「動力伝達が行われているときに、相手側摺動部位と常に接触している部位」のことである。
【００３３】
また、「減速装置の動力伝達に直接関係しない第２摺動部位」とは、「減速装置としての動力伝達には関与していない摺動部位」を指している。別言するならば、「当該摺動部位が当接していなくても、減速装置としての動力伝達が成立し得る摺動部位」、あるいは、「相手側摺動部位と接触しない瞬間があるが、動力伝達は成立する部位」のことである。
【００３４】
先ず、減速装置Ｇ１の動力伝達に直接関係する第１摺動部位について説明する。
【００３５】
本減速装置Ｇ１において、減速装置の動力伝達に直接関係する第１摺動部位に相当する摺動部位としては、例えば、以下の摺動部位がある。
【００３６】
＜偏心体４１〜４３＆偏心体ころ５１〜５３＞
本減速装置Ｇ１において動力伝達を行うには、先ず、偏心体４１〜４３の回転により偏心体ころ５１〜５３を介して外歯歯車２１〜２３が揺動回転しなければならない。偏心体ころ５１〜５３は、偏心体４１〜４３の外周面４１Ａ〜４３Ａおよび外歯歯車２１〜２３の中央貫通孔２１Ａ〜２３Ａに挟まれて「転動」しているが、前述したように、この転動は、実際には摺動を伴っている。
【００３７】
偏心体４１〜４３の外周面４１Ａ〜４３Ａと偏心体ころ５１〜５３の外周面５１Ａ〜５３Ａの摺動は、共に、偏心体４１〜４３の回転を偏心体ころ５１〜５３を介して外歯歯車２１〜２３に伝達するための摺動であり、減速装置Ｇ１の動力伝達に直接関係する摺動である。よって、「偏心体４１〜４３の外周面４１Ａ〜４３Ａ」および「偏心体ころ５１〜５３の外周面５１Ａ〜５３Ａ」は、共に第１摺動部位に相当し、相互に相手側摺動部位を構成している（つまり、偏心体４１〜４３の外周面４１Ａ〜４３Ａから見ると偏心体ころ５１〜５３の外周面５１Ａ〜５３Ａが相手側摺動部位、偏心体ころ５１〜５３の外周面５１Ａ〜５３Ａから見ると偏心体４１〜４３の外周面４１Ａ〜４３Ａが相手側摺動部位をそれぞれ構成している）。
【００３８】
＜偏心体ころ５１〜５３＆外歯歯車２１〜２３の中央貫通孔２１Ａ〜２３Ａ＞
次に、偏心体ころ５１〜５３は、外歯歯車２１〜２３の中央貫通孔２１Ａ〜２３Ａと、摺動を伴って転動している。この摺動（転動）は、偏心体ころ５１〜５３を介して偏心体４１〜４３の回転を外歯歯車２１〜２３に伝達するための摺動であり、減速装置Ｇ１の動力伝達に直接関係する摺動である。したがって、「偏心体ころ５１〜５３の外周面５１Ａ〜５３Ａ」および「外歯歯車２１〜２３の中央貫通孔２１Ａ〜２３Ａ」は、共に第１摺動部位に相当し、相互に相手側摺動部位を構成している。
【００３９】
＜外歯歯車２１〜２３＆内歯歯車３０の外ピン３２＞
外歯歯車２１〜２３の歯面２１Ｃ〜２３Ｃは、内歯歯車３０の外ピン３２の外周面（内歯歯車３０の歯面）３２Ａと、摺動を伴って噛合している。この摺動（噛合）は、外歯歯車２１〜２３が揺動する際に、該外歯歯車２１〜２３に内歯歯車３０との歯数差に相当する自転を行わせるための摺動であり、減速装置Ｇ１の動力伝達に直接関係する摺動である。したがって、「外歯歯車２１〜２３の歯面２１Ｃ〜２３Ｃ」および「内歯歯車３０の外ピン３２の外周面３２Ａ」は、共に第１摺動部位に相当し、相互に相手側摺動部位を構成している。
【００４０】
＜内歯歯車３０の外ピン３２＆内歯歯車本体３１のピン溝３１Ａ＞
内歯歯車３０の外ピン３２の外周面３２Ａは、内歯歯車本体３１のピン溝３１Ａに回転自在に配置され、該ピン溝３１Ａと摺動している。この摺動は、外歯歯車２１〜２３が内歯歯車３０との噛合によって自転するときに、外歯歯車２１〜２３に対して内歯歯車本体３１から反力を提供するための摺動であり、減速装置Ｇ１の動力伝達に直接関係する摺動である。したがって、「内歯歯車３０の外ピン３２の外周面３２Ａ」および「内歯歯車本体３１のピン溝３１Ａ」は、共に第１摺動部位に相当し、相互に相手側摺動部位を構成している。
【００４１】
＜外歯歯車２１〜２３＆内ローラ７４＞
外歯歯車２１〜２３のオフセット貫通孔２１Ｂ〜２３Ｂは、内ローラ７４の外周面７４Ａと摺動している。この摺動は、外歯歯車２１〜２３の自転成分（内歯歯車３０に対する相対回転成分）を、内ローラ７４を介して内ピン７０に伝達するための摺動であり、減速装置Ｇ１の動力伝達に直接関係する摺動である。したがって、「外歯歯車２１〜２３のオフセット貫通孔２１Ｂ〜２３Ｂ」および「内ローラ７４の外周面７４Ａ」は、共に第１摺動部位に相当し、相互に相手側摺動部位を構成している。
【００４２】
＜内ローラ７４＆内ピン７０＞
内ローラ７４の内周面７４Ｂは、内ピン７０の外周面７０Ａと摺動している。この摺動は、内ローラ７４を介して外歯歯車２１〜２３の自転成分を内ピン７０に伝達するための摺動であり、減速装置Ｇ１の動力伝達に直接関係する摺動である。したがって、「内ローラ７４の内周面７４Ｂ」および「内ピン７０の外周面７０Ａ」は、共に第１摺動部位に相当し、相互に相手側摺動部位を構成している。
【００４３】
＜入力軸受８１、８２＞
入力軸受８１、８２は、この実施形態では玉軸受によって構成され、それぞれ内輪８１Ａ、８２Ａ、外輪８１Ｂ、８２Ｂを有している。入力軸受８１、８２の転動体８１Ｃ、８２Ｃは、入力軸受８１、８２の内輪８１Ａ、８２Ａの転走面８１Ａ１、８２Ａ１と、外輪８１Ｂ、８２Ｂの転走面８１Ｂ１、８２Ｂ１との間に配置され、それぞれの転走面８１Ａ１、８２Ａ１、８１Ｂ１、８２Ｂ１と転動している。この転動は、実際には摺動を伴っている。
【００４４】
この摺動（転動）、つまり、入力軸受８１、８２の転動体８１Ｃ、８２Ｃと、各転走面８１Ａ１、８２Ａ１、８１Ｂ１、８２Ｂ１との摺動は、入力軸４０を支持するための摺動である。換言するならば、入力軸４０に設けられた偏心体４１〜４３が、偏心体ころ５１〜５３に偏心荷重を与えるときにその反力を入力軸４０が受ける際の、該入力軸４０を支持するためのものである。入力軸受８１、８２のこれらの摺動部位が摺動していないと、偏心体４１〜４３は、偏心体ころ５１〜５３に対して偏心荷重を与えることができない。すなわち、減速装置Ｇ１としての動力伝達が成立しない。
【００４５】
したがって、「入力軸受８１、８２の転動体８１Ｃ、８２Ｃ」および「入力軸受８１、８２の内輪８１Ａ、８２Ａの転走面８１Ａ１、８２Ａ１」は、共に第１摺動部位に相当し、相互に相手側摺動部位を構成している。また、「入力軸受８１、８２の転動体８１Ｃ、８２Ｃ」および「入力軸受８１、８２の外輪８１Ｂ、８２Ｂの転走面８１Ｂ１、８２Ｂ１」も、共に第１摺動部位に相当し、相互に相手側摺動部位を構成している。
【００４６】
＜主軸受９１、９２＞
主軸受９１、９２は、この実施形態では、背面合わせで組み込まれたアンギュラ玉軸受によって構成されている。主軸受９１、９２は、専用の内輪を有しておらず、第１キャリヤ７１および第２キャリヤ７２に、主軸受９１、９２の転走面７１Ａ、７２Ａが形成されている。主軸受９１、９２は、外輪９１Ｂ、９２Ｂを有している。
【００４７】
主軸受９１、９２の転動体（玉）９１Ｃ、９２Ｃは、第１、第２キャリヤ７１、７２の転走面７１Ａ、７２Ａおよび外輪９１Ｂ、９２Ｂの転走面９１Ｂ１、９２Ｂ１と転動している、この転動は、実際には摺動を伴っている。
【００４８】
この摺動（転動）、つまり、主軸受９１、９２の転動体（玉）９１Ｃ、９２Ｃと、各転走面７１Ａ、７２Ａ、９１Ｂ１、９２Ｂ１との摺動は、第１、第２キャリヤ７１、７２を支持するための摺動である。すなわち、第１、第２キャリヤ７１、７２は、減速装置Ｇ１の出力を第５アーム１５に伝達する際の反力を受ける。主軸受９１、９２の摺動は、該反力を、第１、第２キャリヤ７１、７２がケーシング６０から受けるために必須のものである。主軸受９１、９２のこれらの摺動部位が摺動していないと、第１、第２キャリヤ７１、７２は、減速装置Ｇ１の動力を出力することができない。つまり、減速装置Ｇ１としての動力伝達が成立しない。したがって、「主軸受９１、９２の転動体９１Ｃ、９２Ｃ」および「該主軸受９１、９２の（第１、第２キャリヤ７１、７２に形成した）転走面７１Ａ、７２Ａ」は、共に第１摺動部位に相当し、相互に相手側摺動部位を構成している。また、「主軸受９１、９２の転動体９１Ｃ、９２Ｃ」および「該主軸受９１、９２の外輪９１Ｂ、９２Ｂの転走面９１Ｂ１、９２Ｂ１」も、共に第１摺動部位に相当し、相互に相手側摺動部位を構成している。
【００４９】
次に、減速装置Ｇ１の動力伝達に直接関係しない第２摺動部位について説明する。
【００５０】
本減速装置Ｇ１において、減速装置Ｇ１の動力伝達に直接関係しない第２摺動部位に相当する摺動部位としては、例えば、以下の摺動部位がある。
【００５１】
＜偏心体ころ５１〜５３＆リテーナ６１〜６３＆押さえ板６５、６６＞
偏心体ころ５１〜５３は、リテーナ６１〜６３によって位置規制されている。
【００５２】
この実施形態に係るリテーナ６１〜６３は、リング部６１Ｂ〜６３Ｂ、６１Ｃ〜６３Ｃと、該一対のリング部６１Ｂ〜６３Ｂ、６１Ｃ〜６３Ｃを連結する連結部（破線で一部のみ図示）６１Ａ〜６３Ａと、を有している。
【００５３】
偏心体ころ５１〜５３の軸方向端面５１Ｂ〜５３Ｂ、５１Ｃ〜５３Ｃと、リテーナ６１〜６３のリング部６１Ｂ〜６３Ｂ、６１Ｃ〜６３Ｃの軸方向ころ側端面６１Ｂ１〜６３Ｂ１、６１Ｃ１〜６３Ｃ１と、がそれぞれ摺動している。
【００５４】
また、リング部６１Ｃとリング部６２Ｂの互いに対向する軸方向端面６１Ｃ２、６２Ｂ２同士が摺動すると共に、リング部６２Ｃとリング部６３Ｂの互いに対向する軸方向端面６２Ｃ２、６３Ｂ２同士が摺動している。
【００５５】
また、偏心体ころ５１〜５３の外周面５１Ａ〜５３Ａと、リング部６１Ｂ〜６３Ｂ、６１Ｃ〜６３Ｃを連結する連結部６１Ａ〜６３Ａが摺動している。
【００５６】
さらに、全リング部６１Ｂ〜６３Ｂ、６１Ｃ〜６３Ｃのうち、軸方向両端部に位置するリング部６１Ｂ、６３Ｃの反外歯歯車側の軸方向端面６１Ｂ２、６３Ｃ２は、押さえ板６５、６６の押さえ面６５Ａ、６６Ａと摺動している。
【００５７】
しかし、これらの摺動は、該偏心体ころ５１〜５３の軸方向あるいは周方向の位置を規制するためのものである。つまり、減速装置Ｇ１の動力伝達に直接関係する摺動ではない。これらの摺動部位が当接していなくても、減速装置Ｇ１としての動力伝達は成立し得る。
【００５８】
つまり、（ａ）「偏心体ころ５１〜５３の軸方向端面５１Ｂ〜５３Ｂ、５１Ｃ〜５３Ｃ」と「リテーナ６１〜６３のリング部６１Ｂ〜６３Ｂ、６１Ｃ〜６３Ｃの軸方向ころ側端面６１Ｂ１〜６３Ｂ１、６１Ｃ１〜６３Ｃ１」との摺動部位、（ｂ）「リング部６１Ｃとリング部６２Ｂの互いに対向する軸方向端面６１Ｃ２、６２Ｂ２同士」の摺動部位、（ｃ）「リング部６２Ｃとリング部６３Ｂの互いに対向する軸方向端面６２Ｃ２、６３Ｂ２同士」の摺動部位（ｄ）「偏心体ころ５１〜５３の外周面５１Ａ〜５３Ａ」と、「リング部６１Ｂ〜６３Ｂ、６１Ｃ〜６３Ｃを連結する連結部６１Ａ〜６３Ａ」との摺動部位、、（ｅ）「各リテーナ６１〜６３のリング部６１Ｂ〜６３Ｂ、６１Ｃ〜６３Ｃのうち、軸方向両端部に位置するリング部６１Ｂ、６３Ｃの反外歯歯車側の軸方向端面６１Ｂ２、６３Ｃ２」と「押さえ板６５、６６の押さえ面６５Ａ、６６Ａ」との摺動部位は、いずれも減速装置の動力伝達に直接関係しない第２摺動部位に相当している。
【００５９】
＜外歯歯車２１〜２３、外ピン３２、内ローラ７４、第１、第２キャリヤ７１、７２、および主軸受９１、９２の各軸方向端面＆これらの相手側摺動部位＞
主に図３を参照して、同様に、（ｆ）３枚ある外歯歯車２１〜２３のうち、「軸方向両端部に位置する外歯歯車２１、２３の主軸受側端面２１Ｄ、２３Ｅ」と「主軸受９１、９２の外輪９１Ｂ、９２Ｂの外歯歯車側端面９１Ｂ２、９２Ｂ２」との摺動部位、（ｇ）「外歯歯車２１〜２３の軸方向端面同士」の摺動部位（この例では、外歯歯車２１の軸方向端面２１Ｅと外歯歯車２２の軸方向端面２２Ｄとの摺動部位、および外歯歯車２２の軸方向端面２２Ｅと外歯歯車２３の軸方向端面２３Ｄとの摺動部位）、（ｈ）「外ピン３２の軸方向端面３２Ｂ、３２Ｃ」と「主軸受９１、９２の外輪９１Ｂ、９２Ｂの外歯歯車側端面９１Ｂ２、９２Ｂ２」との摺動部位、（ｉ）「内ローラ７４の軸方向端面７４Ｃ、７４Ｄ」と「第１、第２キャリヤ７１、７２の内ローラ対向面７１Ｅ、７１Ｆ」との摺動部位は、いずれも、外歯歯車２１〜２３、外ピン３２、あるいは内ローラ７４の軸方向の移動を規制するためのもので、減速装置Ｇ１の動力伝達には直接関係していない。すなわち、これらの摺動部位が当接していなくても、減速装置Ｇ１の動力伝達は成立している。したがって、これらの摺動部位は、いずれも、第２摺動部位に相当している。
【００６０】
＜オイルシール９５のリップ面９５Ａ＆第２キャリヤ７２のリップ当接面７２Ｂ＞
本実施形態に係る減速装置Ｇ１においては、ケーシング６０と第２キャリヤ７２との間にオイルシール９５が配置されている。オイルシール９５のリップ面９５Ａは、第２キャリヤ７２の外周に形成されたリップ当接面７２Ｂと摺動している。しかし、この摺動は、減速装置Ｇ１内の潤滑剤を封止するためのもので、減速装置Ｇ１の動力伝達には何ら関与していない。つまり、オイルシール９５のリップ面９５Ａと第２キャリヤ７２のリップ当接面７２Ｂとが当接していなくても、減速装置Ｇ１の動力伝達は成立している。
【００６１】
したがって、「オイルシール９５のリップ面９５Ａ」および「第２キャリヤ７２の外周に形成されたリップ当接面７２Ｂ」も、共に第２摺動部位に相当している。
【００６２】
このように、本減速装置Ｇ１には、減速装置Ｇ１の動力伝達に直接関係する第１摺動部位と、直接関係しない第２摺動部位が存在する。
【００６３】
本実施形態では、第１摺動部位に、該第１摺動部位の基材よりも摩擦係数が低く、かつ該基材よりも硬度が高い第１被膜ＷＣ／Ｃ（タングステン含有のＤＬＣ）を施すようにしている。また、第２摺動部位には、該第２摺動部位の基材よりも摩擦係数が低く、かつ第１被膜ＷＣ／Ｃよりも硬度が低い第２被膜ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）が施される。
【００６４】
ただし、必ずしも全ての第１摺動部位に第１被膜を施す必要はなく、また、全ての第２摺動部位に第２被膜を施す必要もない。
【００６５】
本実施形態では、具体的には、上記第１摺動部位のうち、偏心体４１〜４３の外周面４１Ａ〜４３Ａ、偏心体ころ５１〜５３の外周面５１Ａ〜５３Ａ、内歯歯車３０の外ピン３２の外周面３２Ａ、内ローラ７４の外周面７４Ａ、および内ピン７０の外周面７０Ａに、第１被膜ＷＣ／Ｃを施すようにしている。この理由は、後に触れる。
【００６６】
第１被膜としては、本実施形態で採用している硬質炭素被膜系のＷＣ／Ｃのほか、例えば、Ｃｒ系被膜として、ＣｒＮ（窒化クロム）、Ｔｉ系被膜として、ＴｉＮ（窒化チタン）などが採用できる。また、硬質炭素被膜として、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）なども採用できる。また、これらに他の金属原子を含有したものや、他の被膜との多層膜、あるいは複合膜を採用することもできる。
【００６７】
また、本実施形態では、上記第２摺動部位のうち、第２被膜ＰＴＦＥをリテーナ６１〜６３、および押さえ板６５、６６の押さえ面６５Ａ、６６Ａに施すようにしている。
【００６８】
第２被膜としては、本実施形態で採用しているフッ素樹脂被膜の一種であるＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）のほか、例えば、モリブデン被膜として、ＭｏＳ２（二硫化モリブデン）、グラファイト系被膜としてグラファイト、リン酸塩被膜としてリン酸鉄、リン酸亜鉛、リン酸マンガンなどを採用することができる。
【００６９】
第１被膜ＷＣ／Ｃの摩擦係数は、潤滑剤を塗布した状態で０．１０程度である。偏心体４１〜４３の外周面４１Ａ〜４３Ａ、偏心体ころ５１〜５３の外周面５１Ａ〜５３Ａ、内歯歯車３０の外ピン３２の外周面３２Ａ、内ローラ７４の外周面７４Ａの摩擦係数は、部品の形状により変化するが、各部品に使われている鋼材としての摩擦係数は、０．１２程度である。
【００７０】
また、本実施形態では、偏心体４１〜４３、偏心体ころ５１〜５３、内ピン７０、内歯歯車３０の外ピン３２、内ローラ７４の基材は、いずれも焼き入れ鋼であり、ビッカース硬度ＨＶは、いずれも６００〜８５０程度である。
【００７１】
これに対し、本実施形態において採用した第１被膜ＷＣ／Ｃのビッカース硬度ＨＶは、１０００〜１５００程度である。
【００７２】
要するならば、この第１被膜ＷＣ／Ｃは、該第１被膜ＷＣ／Ｃが施されている第１摺動部位の基材（偏心体４１〜４３、偏心体ころ５１〜５３、内歯歯車３０の外ピン３２、内ローラ７４、あるいは内ピン７０の各外周面）の摩擦係数よりも摩擦係数が低く、かつ当該第１摺動部位の基材よりも硬度が高い。
【００７３】
一方、第２被膜ＰＴＦＥの硬度は、ロックウェルＲスケールでＲ２０程度である（軟らかすぎてビッカース硬度では評価できない）。つまり、第２被膜ＰＴＦＥの硬度は、第１被膜ＷＣ／Ｃのビッカース硬度（ＨＶ１０００〜１５００程度）よりも低い。
【００７４】
また、本実施形態において、偏心体ころ５１〜５３のリテーナ６１〜６３は、樹脂製である。リテーナ６１〜６３の摩擦係数は、０．１１程度であり、第２被膜ＰＴＦＥの摩擦係数は、０．０６程度である。よって、第２被膜ＰＴＦＥの摩擦係数は、基材であるリテーナ６１〜６３の摩擦係数よりも低い。
【００７５】
また、リテーナ６１〜６３の硬度は、ロックウェルＲスケールでＲ１２０程度である。一方、第２被膜ＰＴＦＥの硬度は、ロックウェルＲスケールでＲ２０程度である。つまり、第２被膜ＰＴＦＥの硬度は、当該第２摺動部位の基材（リテーナ６１〜６３：樹脂）の硬度（ロックウェルＲスケールでＲ１２０程度）よりも低い。さらに、リテーナ６１〜６３の軸方向端面に施された第２被膜ＰＴＦＥの硬度は、相手側摺動部位である押さえ板６５、６６の硬度（ビッカース硬度で、１２０程度）よりも低い。なお、硬度は、鋼≫樹脂であるため、鋼と樹脂は同一の指標では比較できない。
【００７６】
次に、本実施形態の「被膜」に関係する作用を説明する。
【００７７】
第１摺動部位での摺動は、減速装置Ｇ１の動力伝達を行うための必須の摺動であり、大きな動力伝達トルクが掛かっていて、面圧も大きい。したがって、第１摺動部位は摩耗し易い。第１摺動部位が摩耗すると、各部材の「がた」が大きくなり、ロストモーションが増大する傾向となる。ロストモーションとは、ここでは、「高速軸（入力軸４０）を固定して低速軸（第２キャリヤ７２）側より定格トルクまで、ゆっくり負荷を掛けて除荷するまでの負荷と低速軸の変位（ねじれ角）を測定したときに描かれる図６に示すような剛性のヒステリシスカーブにおいて、定格トルクの±３％点におけるねじれ角」のことを指している。
【００７８】
ロストモーションは、位置決めの精度に関わる指標の一つであり、部品の摩耗によってロストモーションが大きくなるのは、産業用ロボットＲ１のように第１〜第６アーム１１〜１６の第１〜第６関節Ｊ１〜Ｊ６を駆動して、同一の位置で同一の作業を繰り返して行うような用途においては、大きなデメリットとなる。
【００７９】
本実施形態においては、第１摺動部位に、基材より硬質の（硬度の高い）第１被膜ＷＣ／Ｃが施されている。そのため、より摩耗しにくく、小さなロストモーションを長期に亘って維持することができる。
【００８０】
また、第１摺動部位では、大きな動力伝達トルクが掛かっていることと相まって、摺動抵抗が大きくなり易い。そのため、動力損失が大きくなって動力伝達効率が低くなるだけでなく、潤滑剤の温度が過度に上昇するという問題も生じ易くなる。潤滑剤の温度が上昇すると、摺動部位に油膜が形成されにくくなるため、それだけ耐久性が低下する要因となる。したがって、第１摺動部位では、摩擦係数が低いことが重要である。
【００８１】
しかし、本実施形態において第１摺動部位に施されている第１被膜ＷＣ／Ｃは、摩擦係数が（基材より）低いため、動力損失が小さい。発明者らの試験によれば、本実施形態の条件によって第１摺動部位に第１被膜ＷＣ／Ｃを施したところ、第２キャリヤ７２の回転速度が１０ｒｐｍ以上の領域で、明確な動力伝達効率の向上が認められた。特に、第２キャリヤ７２の回転速度が３０ｒｐｍ以上では、数％程度の著しい動力伝達効率の向上が認められている（第２キャリヤ７２の回転速度が８３ｒｐｍまで試験し、動力伝達効率の向上が確認できている）。
【００８２】
一方、第２摺動部位では、減速装置Ｇ１の動力伝達には直接関係しない摺動が行われているに過ぎないため、もともと大きな荷重は掛かっていない。また、多少摩耗してもロストモーションが大きくなる等の産業用ロボットＲ１本来の機能に大きな問題が生じるわけではない。逆に、硬過ぎる被膜は、「割れ」が発生して、いわゆる「欠け落ち」がより生じ易くなるという問題がある。特に、本実施形態では、リテーナ６１〜６３は、軟質な樹脂で形成されており、弾性変形し易い。基材が弾性変形すると、被膜も追随して変形することから、硬質過ぎる被膜は、割れや欠け落ちが発生し易い傾向となる。この事情は、押さえ板６５、６６についても同様である（押さえ板は、熱処理しておらず、比較的軟質である）。
【００８３】
更には、もし、被膜の割れや欠け落ちが発生すると、欠け落ちた被膜が他の摺動部位に付着して（あるいは挟み込まれて）、当該摺動部位を傷つけるという問題が発生し易くなる。そして、付着が発生したとき、付着した被膜が硬質の被膜であった場合、該摺動部位をより大きく傷つけてしまう。
【００８４】
しかし、本実施形態において第２摺動部位に施される第２被膜ＰＴＦＥは、第２摺動部位の基材よりも摩擦係数が低く、かつ第１被膜ＷＣ／Ｃよりも硬度が低い。そのため、第２被膜ＰＴＦＥが施されることで、当該第２摺動部位の摩擦係数は、確実に基材より低くなり、かつ、第１被膜ＷＣ／Ｃと比較して、割れや欠け落ちが生じるのをより抑制することができる。したがって欠け落ちた被膜が原因でロストモーションが増大したり、第１あるいは第２摺動部位が傷ついたりするのを効果的に抑制することができる。
【００８５】
特に、本実施形態では、偏心体ころ５１〜５３の位置規制をしているリテーナ６１〜６３に第２被膜ＰＴＦＥが施されるため、上記メリットを十分に享受することができる。また、リテーナ６１〜６３に施された第２被膜ＰＴＦＥの硬度は、（相手側摺動部位である）押さえ板６５、６６の硬度よりも低いため、押さえ板６５、６６の摩耗も低減できる。
【００８６】
そして、本実施形態では、特に、第１摺動部位の全てに第１被膜ＷＣ／Ｃを施すのではなく、第１摺動部位のうち、偏心体４１〜４３の外周面４１Ａ〜４３Ａ、偏心体ころ５１〜５３の外周面５１Ａ〜５３Ａ、内歯歯車３０の外ピン３２の外周面３２Ａ、内ローラ７４の外周面７４Ａ、および内ピン７０の外周面７０Ａにのみ、第１被膜ＷＣ／Ｃを施すようにしている。
【００８７】
逆に言うならば、偏心体ころ５１〜５３の外周面５１Ａ〜５３Ａには第１被膜ＷＣ／Ｃが施されているが、その相手側摺動部位である外歯歯車２１〜２３の中央貫通孔２１Ａ〜２３Ａには、該第１被膜ＷＣ／Ｃは施されていない。また、内歯歯車３０の内歯を構成している外ピン３２の外周面３２Ａの相手側摺動部位である内歯歯車３０の内歯歯車本体３１のピン溝３１Ａにも第１被膜ＷＣ／Ｃは施されていない。同様に、内ローラ７４の外周面７４Ａの相手側摺動部位である外歯歯車２１〜２３のオフセット貫通孔２１Ｂ〜２３Ｂにも、第１被膜ＷＣ／Ｃは施されていない。さらには、内ピン７０の外周面７０Ａの相手側摺動部位である内ローラ７４の内周面７４Ｂにも第１被膜ＷＣ／Ｃは施されていない。
【００８８】
要するならば、軸直角断面で「凹面」と「凸面」が摺動する第１摺動部位にあっては、凸面の側にのみ第１被膜ＷＣ／Ｃを施し、凹面の側には第１被膜ＷＣ／Ｃを施さないようにしている。「凸面の側」とは、上記例では、偏心体ころ５１〜５３の外周面５１Ａ〜５３Ａ、内歯歯車３０の内歯を構成している外ピン３２の外周面３２Ａ、内ローラ７４の外周面７４Ａ、および内ピン７０の外周面７０Ａである。「凹面の側」とは、上記例では、外歯歯車２１〜２３の中央貫通孔２１Ａ〜２３Ａ、内歯歯車本体３１のピン溝３１Ａ、外歯歯車２１〜２３のオフセット貫通孔２１Ｂ〜２３Ｂ、および内ローラ７４の内周面７４Ｂである。
【００８９】
この理由、およびこれによって得られる作用効果は以下の通りである。
【００９０】
先ず、もちろん、凹面の側に第１被膜ＷＣ／Ｃを施すこと自体が悪い訳ではない。したがって、凸面および凹面の双方に第１被膜ＷＣ／Ｃを施してもよい。  しかし、一方で、凹面の側に第１被膜ＷＣ／Ｃを施すというのは、現実には、被膜厚さを均一に形成するのが難しいという事情がある。被膜を施す部位が第１摺動部位である場合には、（被膜厚さが不均一になると）ロストモーションが増大してしまう要因となる。
【００９１】
さらに、特に第１摺動部位の被膜の厚さが不均一になると、厚く形成されてしまった部分の第１被膜ＷＣ／Ｃが、早期に摩耗して多くの摩耗粉が出たり、欠け落ちたりする状況となり易い。多量の第１被膜ＷＣ／Ｃが早期に摩耗して潤滑剤に混じると潤滑剤の潤滑性能がそれだけ早期に低下する要因となる。また、欠け落ちた被膜が別の摺動部位に付着すると該摺動部位が傷ついたり、ロストモーションが増大したりする虞が生じることは既に述べた通りである。第１摺動部位の第１被膜ＷＣ／Ｃは、硬質なため、特にこの影響を受け易い。
【００９２】
しかし、本実施形態では、凹面の側には、第１被膜ＷＣ／Ｃは施さないようにしているため、これらの不具合が発生するのを効果的に防止でき、結果として、ロストモーションの増大をより抑制できる場合がある。また、これにより、当然、その分のコストダウンも図れる。
【００９３】
さらに、本実施形態では、内歯歯車３０の内歯を構成している外ピン３２の外周面３２Ａとその相手側摺動部位である外歯歯車２１〜２３の歯面２１Ｃ〜２３Ｃとの第１摺動部位において、外ピン３２の外周面３２Ａには、第１被膜ＷＣ／Ｃを施すが、外歯歯車２１〜２３の歯面２１Ｃ〜２３Ｃの側には、該第１被膜ＷＣ／Ｃを施さないようにしている。この構成によっても、結果としてロストモーションの増大をより抑制できる場合がある。
【００９４】
すなわち、外歯歯車２１〜２３の歯面２１Ｃ〜２３Ｃには、凹面と凸面が交互にあるため、やはり被膜厚さを均一に施すことが難しい。加えて、外歯歯車２１〜２３の場合は、該外歯歯車２１〜２３の「１歯１歯」の微視的な被膜厚さの不均一が生じる場合だけでなく、外歯歯車２１〜２３の周方向において、ある特定の周方向領域（範囲）に被膜厚さのばらつきが生じる場合も考えられる。ある特定の周方向領域に被膜厚さのばらつきが生じると、ロストモーションが外歯歯車２１〜２３の回転角に依存して大きくなったり小さくなったりする現象が発生してしまう。
【００９５】
しかし、本実施形態では、外ピン３２の外周面３２Ａの側にのみ第１被膜ＷＣ／Ｃを施し、外歯歯車２１〜２３の歯面２１Ｃ〜２３Ｃの側には、第１被膜ＷＣ／Ｃを施さないようにしている。そのため、外歯歯車２１〜２３の歯面２１Ｃ〜２３Ｃの第１被膜ＷＣ／Ｃの被膜厚さの不均一や、外歯歯車２１〜２３の周方向における特定の周方向領域の被膜厚さのばらつきによる悪影響を受けることがなく、結果としてロストモーションの増大をより効果的に防止できる。また、外歯歯車２１〜２３の歯面２１Ｃ〜２３Ｃに第１被膜ＷＣ／Ｃを施さない分、当然に、よりコストダウンも図れる。
【００９６】
図５に本発明の他の実施形態の一例に係る偏心揺動型の減速装置を示す。
【００９７】
この減速装置Ｇ２は、いわゆる振り分けタイプと称される偏心揺動型の減速装置である。減速装置Ｇ２は、内歯歯車１１２と、該内歯歯車１１２に内接噛合する外歯歯車１１４、１１６と、を備えるとともに、該内歯歯車１１２の軸心Ｃ１１２からＲ１１８だけオフセットした位置に、外歯歯車１１４、１１６を揺動させるための複数（この例では３本）のクランク軸１１８（１１８Ａ〜１１８Ｃ：図５では１１８Ａのみ図示）を備えている。
【００９８】
この実施形態に係る減速装置Ｇ２では、モータ（図示略）の動力は、継軸（入力軸）１２６を介して入力される。継軸１２６の先端部には、入力歯車１３２が直切り形成されている。
【００９９】
入力歯車１３２は、複数（この例では３個）の振り分け歯車１３０（１３０Ａ〜１３０Ｃ：図５では１３０Ａのみ図示）と同時に噛合している。各振り分け歯車１３０は、それぞれクランク軸１１８に連結されている。
【０１００】
各クランク軸１１８には、それぞれの軸方向同位置に偏心体１２０、１２２が一体に形成されている。各クランク軸１１８の偏心体１２０同士および偏心体１２２同士は、偏心位相が揃えられている。偏心体１２０と偏心体１２２の偏心位相差は１８０度である（互いに離反する方向に偏心している）。
【０１０１】
各クランク軸１１８の偏心体１２０の外周には、偏心体ころ１３４、１３６を介して外歯歯車１１４、１１６が組み込まれている。これにより、３本のクランク軸１１８上の偏心体１２０が同期して回転することで外歯歯車１１４を揺動させ、同様に、３本のクランク軸１１８上の偏心体１２２が同期して回転することで外歯歯車１１６を揺動させることができる。偏心体ころ１３４、１３６は、リテーナ１７０、１７２および押さえ板１７４、１７６によって周方向および軸方向の位置規制が行われている。リテーナ１７０、１７２は、樹脂製である。
【０１０２】
外歯歯車１１４、１１６の軸方向両側には、キャリヤ１３８、１４０が配置されており、各クランク軸１１８は、一対の円錐ころ軸受（クランク軸１１８を支持する軸受）１４４、１４６を介してキャリヤ１３８、１４０に支持されている。キャリヤ１３８、１４０は、アンギュラ玉軸受で構成された一対の主軸受１４８、１５０を介してケーシング１５２に支持されている。なお、キャリヤ１３８、１４０は、負荷側のキャリヤ１３８から一体的に突出され、外歯歯車１１４、１１６を貫通するキャリヤピン１３８Ｐを介してボルト１５３等により連結・一体化されている。
【０１０３】
外歯歯車１１４、１１６は、内歯歯車１１２に内接噛合している。内歯歯車１１２は、この実施形態ではケーシング１５２と一体化され、ピン溝１１３Ａを有する内歯歯車本体１１３と、該内歯歯車本体１１３のピン溝１１３Ａに回転自在に配置され、該内歯歯車１１２の内歯を構成する外ピン１１５とで構成されている。内歯歯車１１２の歯数（外ピン１１５の本数）は、第１、第２外歯歯車１１４、１１６の歯数よりも僅かだけ（この例では１だけ）多い。
【０１０４】
本実施形態では、ケーシング１５２にはボルト（ボルト孔１５２Ａのみ図示）を介して産業用ロボット（Ｒ１）の第４アーム（１４）が連結され、キャリヤ１３８には、ボルト（図示略）を介して産業用ロボット（Ｒ１）の第５アーム（１５）がそれぞれ連結される。なお、この減速装置Ｇ２の内部には潤滑剤が封入されている。符号１６１は、オイルシールである。
【０１０５】
この偏心揺動型の減速装置Ｇ２では、図示せぬモータが回転すると、継軸１２６の先端に形成された入力歯車１３２が回転する。入力歯車１３２は、３個の振り分け歯車１３０と同時に噛合しているため、該入力歯車１３２と振り分け歯車１３０の噛合により、３本のクランク軸１１８が入力歯車１３２と振り分け歯車１３０との歯数比に減速された状態で同一の方向に同一の回転速度で回転する。
【０１０６】
各振り分け歯車１３０は、それぞれクランク軸１１８と連結されている。そのため、各クランク軸１１８の軸方向同位置にそれぞれ形成された３個の偏心体１２０が同期して回転して外歯歯車１１４を揺動させると共に、クランク軸１１８の軸方向同位置にそれぞれ形成された３個の偏心体１２２が同期して回転して外歯歯車１１６を揺動させる。
【０１０７】
外歯歯車１１４、１１６は、それぞれ内歯歯車１１２に内接噛合しているため、外歯歯車１１４、１１６が１回揺動する毎に、該外歯歯車１１４、１１６は、内歯歯車１１２に対して歯数差分（この実施形態では１歯分）円周方向の位相がずれる（自転する）。この自転成分は、各クランク軸１１８の内歯歯車１１２の軸心Ｃ１１２周りの公転としてキャリヤ１３８、１４０に伝達される。キャリヤ１３８、１４０はキャリヤ１３８と一体化されたキャリヤピン１３８Ｐおよびボルト１５３等を介して互いに連結されているため、結局、継軸１２６の回転によって、ケーシング１５２（第４アーム１４）に対して、第１キャリヤ１３８に連結された第５アーム（１５）を相対的に回転させることができる。
【０１０８】
この実施形態に係る減速装置Ｇ２においては、第１摺動部位、すなわち減速装置Ｇ２の動力伝達に直接関係する摺動部位としては、例えば、入力歯車１３２、振り分け歯車１３０の歯面、円錐ころ軸受（クランク軸１１８の軸受）１４４、１４６の内輪１４４Ａ、１４６Ａおよび外輪１４４Ｂ、１４６Ｂの転走面、円錐ころ軸受１４４、１４６の転動体（テーパころ）１４４Ｃ、１４６Ｃの外周面、クランク軸１１８の偏心体１２０、１２２の外周面、偏心体ころ１３４、１３６の外周面、外歯歯車１１４、１１６のオフセット貫通孔１１４Ｂ、１１６Ｂ、外歯歯車１１４、１１６の歯面、および内歯歯車１１２の外ピン１１５の外周面、内歯歯車本体１１３のピン溝１１３Ａがある。
【０１０９】
また、主軸受１４８、１５０のキャリヤ１３８、１４０側の転走面１３８Ａ、１４０Ａ、主軸受１４８、１５０の外輪１４８Ｂ、１５０Ｂの転走面、および主軸受１４８、１５０の転動体（玉）１４８Ｃ、１５０Ｃの外周面も、第１摺動部位を構成している。
【０１１０】
また、第２摺動部位、すなわち減速装置Ｇ２の動力伝達に直接関係しない摺動部位としては、例えば、偏心体ころ１３４、１３６の軸方向端面、偏心体ころ１３４、１３６のリテーナ１７０、１７２の軸方向側面、偏心体ころ１３４、１３６の押さえ板１７４、１７６の軸方向側面、円錐ころ軸受１４４、１４６の転動体１４４Ｃ、１４６Ｃの軸方向内部側の端面１４４Ｃ１、１４６Ｃ１がある。これらの摺動部位は、いずれも、偏心体ころ１３４、１３６の軸方向の移動を規制しているに過ぎず、減速装置Ｇ２の動力伝達には、直接関係していない。すなわち、これらの摺動部位が当接していなくても、減速装置Ｇ２としての動力伝達は成立している。
【０１１１】
したがって、偏心体ころ１３４、１３６の軸方向端面、偏心体ころ１３４、１３６のリテーナ１７０、１７２、偏心体ころ１３４、１３６の押さえ板１７４、１７６は、いずれも、第２摺動部位を構成している。
【０１１２】
また、外歯歯車１１４、１１６、内歯歯車１１２の外ピン１１５、キャリヤ１３８、１４０、および主軸受１４８、１５０の各軸方向端面、円錐ころ軸受１４４、１４６の転動体１４４Ｃ、１４６Ｃの外歯歯車側の軸方向端面（内輪１４６Ａの突部との摺動面）１４４Ｃ１、１４６Ｃ１も各部材の軸方向位置を規制するために摺動している部位であるから、いずれも第２摺動部位を構成している。
【０１１３】
更に、オイルシール１６１のリップ面１６１Ａ、該リップ面１６１Ａのリップ当接面１３８Ｃも第２摺動部位を構成している。
【０１１４】
したがって、この実施形態に係る減速装置Ｇ１についても、先の実施形態と同様に、第１摺動部位の一部または全部に、該第１摺動部位の基材よりも摩擦係数が低く、かつ基材よりも硬度が高い第１被膜を施すようにするとよい。また、第２摺動部位の一部または全部に、該第２摺動部位の基材よりも摩擦係数が低く、かつ第１被膜よりも硬度が低い第２被膜を施すようにするとよい。
【０１１５】
第１、第２被膜には、先の実施形態で既に説明した被膜と同様の組成の被膜を用いることができる。本実施形態では、第１被膜として、ＷＣ／Ｃ、第２被膜としてＰＴＦＥを採用している。
【０１１６】
そして、具体的には、この実施形態においては、第１摺動部位のうち、入力歯車１３２の歯面、偏心体１２０、１２２の外周、偏心体ころ１３４、１３６の外周面、内歯歯車１１２の外ピン１１５の外周面に、第１被膜ＷＣ／Ｃを施すようにしている。また、本実施形態では、第２摺動部位のうち、偏心体ころ１３４、１３６のリテーナ１７０、１７２の軸方向端面に第２被膜ＰＴＦＥを施している。
【０１１７】
この実施形態においても、第１被膜ＷＣ／Ｃは、基材（入力歯車１３２、偏心体１２０、１２２、偏心体ころ１３４、１３６、内歯歯車１１２の外ピン１１５）の摩擦係数よりも摩擦係数が低く、かつ基材の硬度よりも硬度が高い。また、偏心体ころ１３４、１３６のリテーナ１７０、１７２は、樹脂製であり、該リテーナ１７０、１７２の軸方向端面に施された第２被膜ＰＴＦＥは、当該第２摺動部位の基材（リテーナ１７０、１７２）の摩擦係数よりも低い。さらに、第２被膜ＰＴＦＥの硬度は、第１被膜ＷＣ／Ｃの硬度よりも低く、また基材（リテーナ１７０、１７２）の硬度よりも低い。
【０１１８】
また、第２被膜ＰＴＦＥの硬度は、相手側摺動部位である押さえ板１７４、１７６の硬度よりも低い。また、内歯歯車１１２の外ピン１１５と外歯歯車１１４、１１６の歯面との摺動部位について、該外ピン１１５に第１被膜ＷＣ／Ｃを施し、かつ、外歯歯車１１４、１１６の歯面には、該第１被膜ＷＣ／Ｃを施さないようにしている。
【０１１９】
したがって、先の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０１２０】
なお、上記実施形態においては、第１摺動部位および第２摺動部位の一部のみに対して第１被膜ＷＣ／Ｃ、あるいは第２被膜ＰＴＦＥを施すようにしていたが、本発明においては、第１摺動部位、あるいは第２摺動部位のどの部位に第１被膜、あるいは第２被膜を施すかについては、特に限定されない。例えば、全ての第１摺動部位、あるいは全ての第２摺動部位に対して第１被膜、あるいは第２被膜を施すようにしてもよい。また、第１摺動部位、あるいは第２摺動部位に対して選択的に第１被膜、あるいは第２被膜を施す場合であっても、被膜を施す対象は、上記例に限定されない（変更してもよい）。
【０１２１】
また、第１被膜および第２被膜の種類（組成）についても、要は、第１被膜が、第１摺動部位の基材よりも摩擦係数が低くて、かつ基材よりも硬度が高く、第２被膜が、第２摺動部位の基材よりも摩擦係数が低くて、かつ第１被膜よりも硬度が低いという特性が満たされる限り、特に上記例に限定されない。
【０１２２】
減速装置の具体的構成についても、偏心揺動型の減速装置であれば、上記２つの減速装置Ｇ１、Ｇ２の構造に限定されない。例えば、外歯歯車に対して内歯歯車が揺動するタイプの偏心揺動型の減速装置であってもよい。
【符号の説明】
【０１２３】
Ｇ１…減速装置
２１〜２３…外歯歯車
２１Ａ〜２３Ａ…中央貫通孔
２１Ｂ〜２３Ｂ…オフセット貫通孔
２１Ｃ〜２３Ｃ…歯面
３０…内歯歯車
３１…内歯歯車本体
３１Ａ…ピン溝
３２…外ピン
３２Ａ…外周面
３２Ｂ、３２Ｃ…軸方向端面
４０…入力軸
４１〜４３…偏心体
４１Ａ〜４３Ａ…外周面
５１〜５３…偏心体ころ
５１Ａ〜５３Ａ…外周面
５１Ｂ〜５３Ｂ、５１Ｃ〜５３Ｃ…軸方向端面
６０…ケーシング
６１〜６３…リテーナ
６１Ｂ〜６３Ｂ、６１Ｃ〜６３Ｃ…リング部
７０…内ピン
７０Ａ…外周面
７１、７２…キャリヤ
７４…内ローラ
８１、８２…入力軸受
９１、９２…主軸受
９５…オイルシール
９５Ａ…リップ面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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