(57)【要約】      （修正有）【課題】測定時間を短縮化するとともに測定精度を確保することが可能な液滴測定方法、及び液滴測定システムを提供する。【解決手段】ラインヘッドの少なくとも一部のノズルから複数の液滴を基板上に吐出させる吐出・塗布工程Ｓ２０と、液滴を撮像する撮像工程Ｓ４０と、液滴の少なくとも一部の液滴についての、撮像工程で得られた輝度情報に基づいて、液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きと位置に対応する輝度情報との対応関係を表す対応テーブルを作成する対応テーブル作成工程Ｓ６０と、撮像工程Ｓ４０で得られた輝度情報と対応テーブルとを用いて、液滴の体積あるいは表面形状を求める液滴評価工程Ｓ７０と、を備えた液滴測定方法。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドの少なくとも一部のノズルから複数の液滴を基板上に吐出させる吐出工程と、
前記液滴を撮像する撮像工程と、
前記液滴の少なくとも一部の液滴についての、前記撮像工程で得られた輝度情報に基づいて、前記液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きと前記位置に対応する前記輝度情報との対応関係を表す対応テーブルを作成する対応テーブル作成工程と、
前記撮像工程で得られた前記輝度情報と前記対応テーブルとを用いて、前記液滴の体積あるいは前記液滴の表面形状を求める液滴評価工程と、
を備えたことを特徴とする液滴測定方法。
【請求項２】
ヘッドの少なくとも一部のノズルから吐出された基板上の複数の液滴を撮像し、前記撮像で得られた輝度情報に基づいて、前記液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きと前記位置に対応する前記輝度情報との対応関係を表す対応テーブルを作成する対応テーブル作成工程と、
前記ヘッドの少なくとも一部のノズルから複数の液滴を基板上に吐出させる吐出工程と、
前記吐出工程で前記基板上に吐出した前記液滴を撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で得られた輝度情報と前記対応テーブルとを用いて、前記液滴の体積あるいは前記液滴の表面形状を求める液滴評価工程と、
を備えたことを特徴とする液滴測定方法。
【請求項３】
前記液滴評価工程で求める前記液滴の表面形状の内、少なくとも前記液滴の周縁部の表面形状は、前記輝度情報と前記対応テーブルとに基づいて取得したパラメータを有する近似式で表わす、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴測定方法。
【請求項４】
前記液滴評価工程で求める前記液滴の表面形状は、前記液滴の中心部を通る断面に現れる、前記液滴の高さに対応した線分を前記近似式で表わしたものであり、
前記液滴評価工程では、前記近似式で表された前記線分を前記中心部を回転軸として回転させて得られる体積を前記液滴の体積として求める、ことを特徴とする請求項３に記載の液滴測定方法。
【請求項５】
前記液滴評価工程では、前記輝度情報と前記対応テーブルとに基づいて得られた前記液滴の高さの情報を利用して前記液滴の表面形状を求めると共に、前記液滴の周縁部の表面形状については、前記近似式を用いて補完された前記液滴の高さの情報を利用する、ことを特徴とする請求項３に記載の液滴測定方法。
【請求項６】
前記液滴評価工程では、前記輝度情報と前記対応テーブルとに基づいて得られた前記液滴の高さの情報を、前記液滴の前記輝度情報に対応する各画素の位置における前記液滴の高さに変換し、前記液滴を、前記各画素の位置における前記液滴の高さに応じた立方体の集合体として表し、前記液滴の全ての立方体の体積を足し合せる事で体積を求める、事を特徴とする、請求項１、２、又は５に記載の液滴測定方法。
【請求項７】
前記液滴評価工程の後、前記ヘッドの少なくとも一部のノズルから複数の液滴を基板上に新たに吐出させる別の吐出工程と、
前記新たに吐出された前記液滴を撮像する別の撮像工程と、
前記対応テーブル作成工程で作成された前記対応テーブルを用いて、前記新たに吐出された液滴の体積あるいは前記新たに吐出された液滴の表面形状を求める別の液滴評価工程と、
を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴測定方法。
【請求項８】
前記撮像工程での、前記液滴と前記基板との接触角αが、前記撮像工程で用いるレンズの入射光の最大角度θと次式の関係を満たすことを特徴とする、請求項１又は２に記載の液滴測定方法。
１／５×θ≦α≦３×θ
但し、θ＝ｓｉｎ-1（ＮＡ／ｎ）、ＮＡは前記レンズの開口数、ｎは前記液滴と前記レンズの間の媒質の屈折率である。
【請求項９】
前記基板の表面には撥水性を有する高分子膜が形成されており、
前記吐出工程と前記撮像工程との間に、減圧雰囲気中で前記基板上の前記液滴を乾燥させる減圧乾燥工程と、を有する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴測定方法。
【請求項１０】
液滴を吐出するノズルを複数有するヘッドと、
前記ヘッドの少なくとも一部の前記ノズルから基板上に吐出された複数の前記液滴を撮像する撮像部と、
前記液滴の少なくとも一部の液滴についての、前記撮像部により得られた輝度情報に基づいて、前記液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きと前記位置に対応する前記輝度情報との対応関係を表す対応テーブルを作成する対応テーブル作成部と、
前記撮像部により得られた輝度情報と前記対応テーブル作成部により作成された前記対応テーブルとを用いて、前記液滴の体積あるいは表面形状を求める液滴評価部と、
を備えたことを特徴とする液滴測定システム。
【請求項１１】
液滴を吐出するノズルを複数有するヘッドと、
前記ヘッドの少なくとも一部のノズルから吐出された基板上の複数の液滴の輝度情報に基づいて、前記液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きと前記位置に対応する前記輝度情報との対応関係を表す対応テーブルを作成する対応テーブル作成部と、
前記ヘッドの少なくとも一部のノズルから基板上に吐出した複数の前記液滴を撮像する撮像部と、
前記撮像部により得られた輝度情報と前記対応テーブル作成部により作成された前記対応テーブルとを用いて、前記液滴の体積あるいは表面形状を求める液滴評価部と、
を備えたことを特徴とする液滴測定システム。
【請求項１２】
前記液滴評価部で求める前記液滴の表面形状の内、少なくとも前記液滴の周縁部の表面形状は、前記輝度情報と前記対応テーブルとに基づいて取得したパラメータを有する近似式で表わす、ことを特徴とする請求項１０又は１１に記載の液滴測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴測定方法、及び液滴測定システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイのカラーフィルターや、有機ＥＬディスプレイ等のデバイスを製造する方法として、例えば機能性材料を含む液状体をインクジェット法により複数のノズルから液滴として吐出し、被吐出体に機能性材料の膜を形成する方法が知られている。
【０００３】
この場合、液滴の吐出量を制御する制御装置の設定と液滴の実際の吐出量との対応関係を取得し、吐出量を一定の値に制御することが重要な工程となる。なぜなら吐出量が不均一であると機能性材料の膜厚に差が生じることでデバイスの不良へと繋がるからである。例えば、カラーフィルターや有機ＥＬディスプレイであれば、膜厚の差が色むらや輝度むらとして観察される。
【０００４】
実際の吐出量を調べるためには、高分子系の溶質を備えたインクを用いた場合には、例えばガラス基板にインクを吐出／塗布し、溶媒を乾燥させた後、例えば白色干渉や共焦点などの高さ測定器を用いて溶質の体積を測定する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、レーザ式距離測定器を用いて液滴の高さを測定し、液滴の体積を算出する方法が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２４０５０３号公報
【特許文献２】特許第４０９３１６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、白色干渉や共焦点の高さ測定器等を用いた従来の液滴測定方法では、測定原理上、測定に時間がかかるという課題があった。特に大画面ディスプレイの製造装置では、インクジェット印刷に使用するノズル数が１０万を超える為、１滴あたりの測定時間が１秒であったとしても、全ての液滴を測定するためには少なくとも２８時間程度を要する為、設備の稼働率に大きな影響を与えることになり、量産を考えるうえで大きな課題となっていた。
【０００８】
また、測定時間を短縮するために液滴体積ではなく、画像認識装置によって面積を測定する液滴測定方法もあるが、液滴の乾燥条件による高さ方向のばらつきを測定出来ない為、測定精度が確保できないという課題があった。
【０００９】
即ち、従来の液滴測定方法では、液滴の測定時間の短縮化と測定精度の確保はトレードオフの関係にあった。
【００１０】
本発明は、上記従来の液滴測定方法における課題に鑑みて、液滴の測定時間を短縮化するとともに測定精度を確保することが可能な液滴測定方法、及び液滴測定システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
第1の本発明は、
ヘッドの少なくとも一部のノズルから複数の液滴を基板上に吐出させる吐出工程と、
前記液滴を撮像する撮像工程と、
前記液滴の少なくとも一部の液滴についての、前記撮像工程で得られた輝度情報に基づいて、前記液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きと前記位置に対応する前記輝度情報との対応関係を表す対応テーブルを作成する対応テーブル作成工程と、
前記撮像工程で得られた前記輝度情報と前記対応テーブルとを用いて、前記液滴の体積あるいは前記液滴の表面形状を求める液滴評価工程と、
を備えたことを特徴とする液滴測定方法である。
【００１２】
第２の本発明は、
ヘッドの少なくとも一部のノズルから吐出された基板上の複数の液滴を撮像し、前記撮像で得られた輝度情報に基づいて、前記液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きと前記位置に対応する前記輝度情報との対応関係を表す対応テーブルを作成する対応テーブル作成工程と、
前記ヘッドの少なくとも一部のノズルから複数の液滴を基板上に吐出させる吐出工程と、
前記吐出工程で前記基板上に吐出した前記液滴を撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で得られた輝度情報と前記対応テーブルとを用いて、前記液滴の体積あるいは前記液滴の表面形状を求める液滴評価工程と、
を備えたことを特徴とする液滴測定方法である。
【００１３】
第３の本発明は、
前記液滴評価工程で求める前記液滴の表面形状の内、少なくとも前記液滴の周縁部の表面形状は、前記輝度情報と前記対応テーブルとに基づいて取得したパラメータを有する近似式で表わす、ことを特徴とする上記第１又は２の本発明の液滴測定方法である。
【００１４】
第４の本発明は、
前記液滴評価工程で求める前記液滴の表面形状は、前記液滴の中心部を通る断面に現れる、前記液滴の高さに対応した線分を前記近似式で表わしたものであり、
前記液滴評価工程では、前記近似式で表された前記線分を前記中心部を回転軸として回転させて得られる体積を前記液滴の体積として求める、ことを特徴とする上記第３の本発明の液滴測定方法である。
【００１５】
第５の本発明は、
前記液滴評価工程では、前記輝度情報と前記対応テーブルとに基づいて得られた前記液滴の高さの情報を利用して前記液滴の表面形状を求めると共に、前記液滴の周縁部の表面形状については、前記近似式を用いて補完された前記液滴の高さの情報を利用する、ことを特徴とする上記第３の本発明の液滴測定方法である。
【００１６】
第６の本発明は、
前記液滴評価工程では、前記輝度情報と前記対応テーブルとに基づいて得られた前記液滴の高さの情報を、前記液滴の前記輝度情報に対応する各画素の位置における前記液滴の高さに変換し、前記液滴を、前記各画素の位置における前記液滴の高さに応じた立方体の集合体として表し、前記液滴の全ての立方体の体積を足し合せる事で体積を求める、事を特徴とする、上記第１、２、又は５の本発明の液滴測定方法である。
【００１７】
第７の本発明は、
前記液滴評価工程の後、前記ヘッドの少なくとも一部のノズルから複数の液滴を基板上に新たに吐出させる別の吐出工程と、
前記新たに吐出された前記液滴を撮像する別の撮像工程と、
前記対応テーブル作成工程で作成された前記対応テーブルを用いて、前記新たに吐出された液滴の体積あるいは前記新たに吐出された液滴の表面形状を求める別の液滴評価工程と、
を備えたことを特徴とする上記第１又は２の本発明の液滴測定方法である。
【００１８】
第８の本発明は、
前記撮像工程での、前記液滴と前記基板との接触角αが、前記撮像工程で用いるレンズの入射光の最大角度θと次式の関係を満たすことを特徴とする、上記第１又は２の本発明の液滴測定方法である。
【００１９】
１／５×θ≦α≦３×θ
但し、θ＝ｓｉｎ-1（ＮＡ／ｎ）、ＮＡは前記レンズの開口数、ｎは前記液滴と前記レンズの間の媒質の屈折率である。
【００２０】
第９の本発明は、
前記基板の表面には撥水性を有する高分子膜が形成されており、
前記吐出工程と前記撮像工程との間に、減圧雰囲気中で前記基板上の前記液滴を乾燥させる減圧乾燥工程と、を有する、ことを特徴とする上記第１又は２の本発明の液滴測定方法である。
【００２１】
第１０の本発明は、
液滴を吐出するノズルを複数有するヘッドと、
前記ヘッドの少なくとも一部の前記ノズルから基板上に吐出された複数の前記液滴を撮像する撮像部と、
前記液滴の少なくとも一部の液滴についての、前記撮像部により得られた輝度情報に基づいて、前記液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きと前記位置に対応する前記輝度情報との対応関係を表す対応テーブルを作成する対応テーブル作成部と、
前記撮像部により得られた輝度情報と前記対応テーブル作成部により作成された前記対応テーブルとを用いて、前記液滴の体積あるいは表面形状を求める液滴評価部と、
を備えたことを特徴とする液滴測定システムである。
【００２２】
第１１の本発明は、
液滴を吐出するノズルを複数有するヘッドと、
前記ヘッドの少なくとも一部のノズルから吐出された基板上の複数の液滴の輝度情報に基づいて、前記液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きと前記位置に対応する前記輝度情報との対応関係を表す対応テーブルを作成する対応テーブル作成部と、
前記ヘッドの少なくとも一部のノズルから基板上に吐出した複数の前記液滴を撮像する撮像部と、
前記撮像部により得られた輝度情報と前記対応テーブル作成部により作成された前記対応テーブルとを用いて、前記液滴の体積あるいは表面形状を求める液滴評価部と、
を備えたことを特徴とする液滴測定システムである。
【００２３】
第１２の本発明は、
前記液滴評価部で求める前記液滴の表面形状の内、少なくとも前記液滴の周縁部の表面形状は、前記輝度情報と前記対応テーブルとに基づいて取得したパラメータを有する近似式で表わす、ことを特徴とする上記第１０又は１１の本発明の液滴測定システムである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、液滴の測定時間を短縮化するとともに測定精度を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の形態１における液滴測定システムに含まれる液滴吐出装置の概略斜視図
【図２】本実施の形態１の液滴測定方法を説明する概略のフロー図
【図３】本実施の形態１の液滴測定方法で用いる基板の構成を示す断面図
【図４】本実施の形態１の液滴測定方法における、カメラの対物レンズの開口数から計算される対物レンズに入射する最大角度と液滴の接触との関係を表した模式図
【図５】（ａ）〜（ｃ）：本実施の形態１の（式２）に示した接触角αの下限の根拠について説明するための模式図
【図６】（ａ）〜（ｃ）：本実施の形態１の（式２）に示した接触角αの上限の根拠について説明するための模式図
【図７】本実施の形態１の液滴測定方法の撮像工程及び形状測定工程において用いる体積測定用液滴サンプルの液滴塗布パターン（ダミー液滴が２周配置されたタイプ）を表す概略正面模式図
【図８】本実施の形態１の液滴測定方法の撮像工程及び形状測定工程において用いる体積測定用液滴サンプルの液滴塗布パターン（ダミー液滴が１周配置されたタイプ）を表す概略正面模式図
【図９】本実施の形態１の液滴測定方法における、液滴間を十分に離した場合の体積測定用パターンを表す概略正面模式図
【図１０】図５のＡ−Ｂ断面の液滴の頂点高さと直径の関係を表したグラフ
【図１１】（ａ）：乾燥が早い液滴の形状変化を示す模式図、ｂ）：乾燥が遅い液滴の形状変化を示す模式図
【図１２】本実施の形態１における、撮像機構の全体構成を示す模式図
【図１３】本実施の形態１における、液滴測定方法の対応テーブルの作成方法を説明するための模式図
【図１４】本実施の形態１における液滴測定方法の液滴評価工程の第１の体積導出方法を説明するためのフロー図
【図１５】本実施の形態１における液滴測定方法の液滴評価工程の第１の体積導出方法における、一つの液滴の任意断面を抽出する方法を説明するための図
【図１６】本実施の形態１における液滴測定方法の液滴評価工程の第１の体積導出方法における、一つの液滴の任意断面を数式モデルで補完する方法を説明するための模式図
【図１７】本実施の形態１における液滴測定方法の液滴評価工程の第２の体積導出方法を説明するためのフロー図
【図１８】本実施の形態１における液滴測定方法の液滴評価工程の第２の体積導出方法における、一つの液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きを、二次元座標系においてベクトル成分として変換する方法を説明する図
【図１９】本実施の形態１における液滴測定方法の液滴評価工程の第２の体積導出方法における、一つの液滴の表面の三次元座標系上の位置における高さを求める方法を説明する図
【図２０】本実施の形態１における液滴測定方法の液滴評価工程の第２の体積導出方法における、一つの液滴の液滴外周部を数式モデルで補完する方法を説明するための模式図
【図２１】本実施の形態１における液滴測定方法の液滴評価工程の第２の体積導出方法における、一つの液滴の液滴外周部を数式モデルで補完する方法の詳細を説明するための図
【図２２】本発明の実施の形態１における液滴測定方法の液滴評価工程の第２の体積導出方法の液滴の体積演算の方法を説明するための液滴の模式図
【図２３】本発明の実施の形態の第２の液滴測定方法を示す概略のフロー図
【図２４】本発明の実施の形態の第３の液滴測定方法を示す概略のフロー図
【図２５】本発明の実施の形態の第４の液滴測定方法を示す概略のフロー図
【図２６】本実施の形態１の別の液滴測定方法の構成例を示す概略のフロー図
【図２７】本実施の形態１の更に別の液滴測定方法の構成例を示す概略のフロー図
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
以下、本発明の液滴測定方法及び液滴測定システムの一実施の形態について、図面を参照しながら説明するが、本発明はこれらの実施の形態により限定されない。
（装置構成）
本実施の形態の液滴測定システムは、液滴吐出装置５０と、減圧チャンバー（図示省略）と、液滴形状測定装置（図示省略）から構成されている。
【００２７】
図１は、本実施の形態の液滴測定システムに含まれる液滴吐出装置５０の概略斜視図である。
【００２８】
尚、減圧チャンバーは、基板に塗布された液滴を乾燥させる際に用いるが、これについては後述する。また、液滴形状測定装置は、評価対象となる全てのノズルから吐出される全ての液滴の中から所定の位置の液滴を抽出してその抽出した液滴の形状を測定する装置であるが、これについては後述する。
【００２９】
図１に示すように、印刷対象物１はヘッドユニット２の鉛直下方向の位置のテーブル３上に設置されている。テーブル３は駆動系を有するステージ１１に取付けられ、Ｘ方向へ搬送される。ステージ１１上には、一対の脚部４、脚部４とその上方に取り付けられた支持部５により構成された、鳥居状のガントリー６が固定されている。
【００３０】
さらに、ガントリー６の前面には、昇降方向（図１中のＺ軸方向を参照）の昇降軸を有する支持台７が連結され、鉛直方向（図１中のＺ軸方向を参照）に移動可能となっている。この支持台７にヘッドユニット２が配設されており、ヘッドユニット２は分配タンク８やラインヘッド９を具備している。昇降方向Ｚへの移動によって、印刷対象物１とラインヘッド９間のギャップを調整している。
【００３１】
ラインヘッド９は、インクを吐出させる複数のノズル（図示省略）と各ノズルに対応した圧電アクチュエータ（図示省略）を含む液滴吐出モジュールヘッド１０を複数備えている。
【００３２】
また、液滴吐出装置５０は、図１に示すように、印刷対象物１に塗布された全ての液滴を撮像することが出来るカメラ６０１等を有する撮像機構２０をテーブル３の上方に備えている。尚、撮像機構２０については、図１２を参照しながら更に後述する。
【００３３】
また、液滴吐出装置５０は、図１に示すように、制御部１２を備えており、その制御部１２により、各液滴吐出モジュールヘッド１０に電力とヘッド毎の制御信号とを供給すると共に、上記Ｘ、Ｚの駆動軸にも制御信号を供給し、且つ、液滴を測定する際に使用する撮像機構２０にも制御信号を供給する。また、制御部１２は、後述する対応テーブル作成部１２０、及び体積算出部１３０を備える。
【００３４】
尚、本実施の形態の撮像機構２０は、本発明の撮像部の一例にあたり、体積算出部１３０は、本発明の液滴評価部の一例にあたる。
【００３５】
このように、ラインヘッド９は印刷対象物１の全幅にわたって配列された液滴吐出モジュールヘッド１０を備えている。このため、その印刷動作時には、上記印刷対象物１をＸ方向に搬送しながら、制御部１２からの制御信号により所定のタイミングでラインヘッド９から液滴を吐出することで、印刷対象物１の全幅にわたって所望の画像を形成することが可能である。
（工程の説明）
次に、本実施の形態の液滴測定システムを用いて行う液滴測定方法の一実施の形態について、図２を参照しながら説明する。
【００３６】
図２は、本実施の形態の液滴測定方法を説明する概略のフロー図である。
【００３７】
本実施の形態の液滴測定方法は、図２に示すように、基板作成工程Ｓ１０と、突出・塗布工程Ｓ２０と、乾燥工程Ｓ３０と、撮像工程Ｓ４０と、形状測定工程Ｓ５０と、対応テーブル作成工程Ｓ６０と、液滴評価工程Ｓ７０とを備えている。
【００３８】
即ち、基板作成工程Ｓ１０は、表面が撥水性を有する高分子膜を備えた基板に、ＵＶ光を照射して、液滴と撥水膜の角度が、所定の接触角となるように液水膜を形成する工程であり、吐出・塗布工程Ｓ２０は、インクを、インクジェット方式を用いて評価対象のノズルから上記高分子膜に向けて液滴を吐出し、上記高分子膜にインクを塗布する工程である。
【００３９】
また、乾燥工程Ｓ３０は、インクが塗布された基板を減圧チャンバー（図示省略）内に入れて、減圧しながら高分子膜に塗布されたインクを乾燥させる工程であり、撮像工程Ｓ４０は、乾燥されたインクの液滴をカメラにより撮像する工程である。
【００４０】
尚、減圧チャンバーは、液滴吐出装置５０上に搭載されていても良いし、若しくは、液滴吐出装置５０上に搭載せず、装置外に単体で設置されていても良い。
【００４１】
また、形状測定工程Ｓ５０は、撮像工程Ｓ４０で用いた基板上の液滴の内から複数の液滴を抽出し、その抽出された複数の液滴についてそれぞれの形状（各液滴の表面における三次元座標系上の複数の位置の座標データ）を測定する工程である。
【００４２】
また、対応テーブル作成工程Ｓ６０は、形状測定工程Ｓ５０で測定された、各液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾き情報と、その三次元座標系上の位置に対応する二次元座標系上の位置における、撮像工程Ｓ４０で得られた輝度情報から、任意の２次元座標上の位置における輝度情報を入力値とし、前記任意の２次元座標上における３次元座標上の傾きを出力値とする対応テーブルを作成する工程である。
【００４３】
また、液滴評価工程Ｓ７０は、撮像工程Ｓ４０で得られた上記評価対象のノズルから吐出された全ての液滴についての輝度情報と、対応テーブル作成工程Ｓ６０で作成された対応テーブルとを用いて、上記評価対象のノズルから吐出された全ての液滴のそれぞれの体積あるいは表面形状を求める工程である。なお、その結果に基づいて、各ノズルの圧電アクチュエータに印加すべき電圧を調整する工程を含んでも良い。
【００４４】
尚、本実施の形態の吐出・塗布工程Ｓ２０は、本発明の吐出工程の一例にあたり、乾燥工程Ｓ３０は、本発明の減圧乾燥工程の一例にあたる。
【００４５】
次に、上述した各工程について更に説明する。
（基板作成）
ここでは、図３、図４を参照しながら、基板作成工程Ｓ１０（図２参照）における基板１００の構成、及び液滴の基板１００に対する接触角αの設定条件を中心に説明する。
【００４６】
図３は、基板１００の構成を示す断面図である。基板１００は支持基板１０１と、高分子膜１０２を含んでいる。
【００４７】
また、図４は、カメラ６０１（図１参照）の対物レンズ２０１の開口数から計算される対物レンズ２０１に入射する最大角度θと液滴の接触角αとの関係を表した模式図である。
【００４８】
支持基板１０１は、例えばガラスを用いることができる。高分子膜１０２は、例えば有機ＥＬディスプレイの発光層を形成する際に使われるレジスト材料を有機溶媒に溶解させ支持基板１０１へスピンコートやダイコートなどにより塗布、乾燥させたものである。高分子層１０２となる材料は、ポリイミドやアクリル樹脂からなる感光性材料である。そしてこの中にフッ素を含んでいてもよい。フッ素を含む樹脂材料は、一般的に透明性が高く、その高分子繰返し単位のうちの少なくとも一部の繰返し単位に、フッ素原子を有するものであればよく、特に限定されない。フッ素化合物を含む樹脂の例には、フッ素化ポリオレフィン系樹脂、フッ素化ポリイミド樹脂、フッ素化ポリアクリル樹脂などが含まれる。その膜厚は、通常、０．８〜１．２μｍである。以下、高分子膜として例としてポリイミドやアクリル樹脂からなる感光性材料を用いた場合について説明を続ける。
【００４９】
高分子膜１０２は、ポリイミドやアクリル樹脂からなる感光性材料を有機溶媒に溶かし、液体にしたものを、スピンコート法等を用いて支持基板１０１に塗布／乾燥させたものである。
【００５０】
高分子膜１０２の材料にフッ素含有の高分子材料を用いることで、高分子膜１０２は撥水の機能を有することになる。
【００５１】
ここで、表面にフッ素膜が形成された状態では撥水性が高すぎる場合があり、インクを塗布／乾燥後に所望の接触角が得られない為、基板１００の高分子膜１０２に対してＵＶ光を照射してフッ素の結合を部分的に切ることで基板１００の撥水性を制御することが出来る。
【００５２】
本願発明者らは、高分子膜１０２の上に配置された液滴２０２の接触角αは、撮像工程で使用するカメラ６０１の対物レンズ２０１の開口数（ＮＡ）によって決まる対物レンズの最大角度θと、下記の関係式（式２参照）を満たすことが好ましいことを見出した。
【００５３】
以下、この関係式について説明する。
【００５４】
図４の２０１はカメラ６０１（図１参照）の対物レンズであり、２０２は乾燥後の液滴であり、１００はサンプル作成用の基板である。また、θはレンズＮＡから計算される対物レンズ２０１に入射する光の最大角度であり、次式（式１）で表される。
【００５５】
θ＝ｓｉｎ-1（ＮＡ／ｎ）  ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（式１）
ここで、ＮＡは液滴の輝度情報の測定に使用するカメラ６０１の対物レンズ２０１の開口数であり、ｎは液滴と対物レンズ２０１の間の媒質の屈折率である。
【００５６】
乾燥後の液滴と基板１００との接触角をαと定義すると、接触角αと最大角度θが等しくなる事が好ましく、この接触角αと、対物レンズ２０１の最大角度θとの関係は、最大角度θに対し大きすぎても小さすぎても、輝度情報から傾きを得て、液滴の体積或いは液滴の表面形状を求める際に誤差が生じる。
【００５７】
しかしながら、現実には液滴の接触角αを厳密に制御する事が困難である為、接触角αを次式（式２）の範囲内に収める事で所望の測定精度を得ることが出来る事が分かった。
【００５８】
１／５×θ≦α≦３×θ  ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（式２）
但し、θ＝ｓｉｎ-1（ＮＡ／ｎ）、ＮＡはレンズの開口数、ｎは液滴と対物レンズの間の媒質の屈折率である。
【００５９】
以下、上記（式２）に示した接触角αの下限、及び上限の根拠について、図５、図６を使いながら説明する。
【００６０】
まず、接触角αの下限について図５を用いて説明する。図５は、液滴最大角度がα＝θの場合と、α＝１／５×θの場合の、それぞれの場合について、液滴高さ、傾き、輝度を記述したグラフであり、図５の（ａ）は液滴高さ、（ｂ）は液滴傾き、（ｃ）は画像輝度を表している。
【００６１】
図５の（ｂ）の液滴傾きグラフにおいて、α＝θの液滴傾きグラフ８０１は、液滴最大角度が、レンズの測定可能角度θと等しい為、液滴の最大傾きまで測定可能となり、（ｃ）の画像輝度グラフ８０２の輝度幅ｉは、基板平面の輝度階調ｋのうち例えば９０％程度を使用した値となる。それに対し、α＝１／５×θのグラフでは、（ｂ）液滴傾きグラフ８１１において、最大角度が±１／５×θとなっている為、（ｃ）の液滴輝度グラフ８１２の輝度幅ｊはｋの例えば１０％程度の輝度差となる。ここで、画像認識を使用して液滴を識別するためには、一般的に画像輝度の平均値に対して１０％程度の輝度差が必要となる為、画像認識によって液滴を識別する事が困難になる。即ち、液滴のＸ軸上の半径位置での接触角αを１／５×θとなる様に設定することは、カメラ６０１が、基板１００上の液滴を認識できる最小の接触角αを設定することを意味する。
【００６２】
次に、接触角αの上限について図６を用いて説明する。図６は、液滴最大角度がα＝θの場合と、α＝３×θの場合の、それぞれの場合について、液滴高さ、傾き、輝度を記述したグラフであり、図６の（ａ）は液滴高さ、（ｂ）は液滴傾き、（ｃ）は画像輝度を表している。
【００６３】
図６の（ｂ）の液滴傾きグラフにおいて、α＝θの液滴傾きグラフ９０１は、液滴最大角度が、レンズの測定可能角度θと等しい為、液滴の最大傾きまで測定可能であるので、（ｃ）の画像輝度グラフ９０２は液滴外周部まで形状を反映した情報となっている。
【００６４】
それに対し、α＝３×θのグラフでは、（ｂ）液滴傾きグラフ９１１において、最大角度が±３θとなっているが、レンズの測定可能角度θまでしか測定できない為、（ｃ）画像輝度グラフ９１２の様に傾きがθを超えた部分の輝度情報は、液滴形状を反映した輝度情報ではなく、例えば一定の値を取ることになる。
【００６５】
この時、液滴の直径をＤ、液滴の角度がθ以内の範囲の直径をｄとおくと、接触角α＝３×θのときに、ｄ＝１／２×Ｄとなることを本願発明者らは見出した。
【００６６】
つまり、接触角αの上限３×θは、カメラ６０１が、基板１００上の液滴の半径の少なくとも半分の範囲（Ｘ−Ｙ平面上の面積では１／４の範囲）の液滴の部分を認識できれば、その少なくとも半分の範囲の液滴の部分の形状を求めることが出来るので、求められた液滴形状を後述する液滴の数式モデルでフィッティングする事により、接触角α＞θの部分の形状を補完する事で、液滴の面積を測定する従来方法に比べて、高い測定精度を維持することが出来ることを、本願発明者らが見出したものである。
【００６７】
以上説明した通り、接触角αは、上記（式２）の関係を満たすことが好ましく、接触角αを最大角度θに一致させる様に接触角αを調整すれば、より好ましい。
【００６８】
本実施の形態１では、接触角αが、θ≦α≦３×θの範囲にある場合を中心に説明する。
【００６９】
尚、対物レンズ２０１の開口数（ＮＡ）から計算される対物レンズ２０１に入射する光の最大角度θに、液滴２０２と基板１００との接触角αを一致させるように接触角αを調整した場合、接触角αは次式（式３）で与えられる。
【００７０】
α＝θ＝ｓｉｎ-1（ＮＡ／ｎ）  ・・・・・・・・・・・・・・・・・（式３）
上記の（式３）によれば、例えばＮＡ＝０．１のレンズを使用する場合は、対物レンズと液滴の間の媒質を空気（０℃、１気圧）とすると屈折率ｎは、１．０００２９２であるので、接触角は０．１ｒａｄとなる。
（体積サンプル作成）
次に、図７〜図９を参照しながら、吐出・塗布工程Ｓ２０（図２参照）における、評価対象となる全てのノズルから吐出された体積測定用液滴サンプル３０１の作成を中心に説明する。
【００７１】
図７は、本実施の形態１の液滴測定方法の撮像工程Ｓ４０及び形状測定工程Ｓ５０において用いる体積測定用液滴サンプルの液滴塗布パターンを表す概略模式図である。図７の３０１は体積測定用液滴サンプルであり、３０２は体積測定用液滴サンプルの乾燥時の雰囲気を一定に保つ為のダミー液滴であり、３０３は、サンプル作成用の基板である。尚、サンプル作成用の基板３０３は、図３で説明した基板１００と基本的に同じ構成である。
【００７２】
ダミー液滴３０２は、乾燥時に体積測定用液滴サンプル３０１の溶媒雰囲気を一定に保ち、体積測定用液滴サンプル３０１の接触角αを一定の範囲に保つ役割がある。
【００７３】
ここで、ダミー液滴３０２は複数個の体積測定用液滴サンプル３０１を取り囲むように配置しても良いし、個々の体積測定用液滴サンプル３０１を取り囲むように配置しても良い。なお、ダミー液滴３０２の個数は使用するインクの溶媒によって変わるが、例えばインクの溶媒がアニソールの場合は、１〜１０周程度のダミー液滴で体積測定用液滴サンプル３０１の外周を取り囲むのが望ましく、本実施の形態では２周のダミー液滴を配置した（図７参照）。
【００７４】
尚、インクの溶媒によって、体積測定用液滴サンプル３０１の外周を取り囲むダミー液滴を、図８に示した通り、１周分配置する構成としても良い。
【００７５】
なお、溶媒雰囲気を一定に保つために、１個のダミー液滴に使用するインクの吐出回数を増減することでも溶媒雰囲気の調整を行っても良い。
【００７６】
また、図９のように体積測定サンプル用の液滴の間隔を変動させることで、溶媒雰囲気の調整を行っても良い。この構成によれば、任意の溶媒雰囲気を狙い通りに実現することができる。
【００７７】
なお、図９は、液滴間を十分に離した場合の体積測定用パターンを表す概略正面模式図である。図９の４０１は体積測定用液滴サンプルであり、４０２は液滴４０１から揮発した溶媒雰囲気であり、４０３はサンプル作成用の基板である。尚、サンプル作成用の基板４０３は、図３で説明した基板１００と基本的に同じ構成である。
【００７８】
以上のようにして、吐出・塗布工程Ｓ２０（図２参照）で作成された、評価対象となる全てのノズルから吐出された、全ノズルと同数の全ての体積測定用液滴サンプル３０１が、撮像工程Ｓ４０で撮像対象とされるとともに、形状測定工程Ｓ５０ではその一部の体積測定用液滴サンプル３０１が測定対象とされる。
【００７９】
次に、図１０、図１１を参照しながら、乾燥工程Ｓ３０（図２参照）について説明する。
【００８０】
乾燥工程Ｓ３０では、使用するインクの溶媒の物性によるが、例えば溶媒がアニソールの場合には、インクの乾燥は、２３℃以上６０℃以下の温度範囲で、且つ減圧雰囲気で行う。
【００８１】
上記の温度範囲で、且つ減圧雰囲気で乾燥を行うことで、例えば溶媒がアニソールの場合の様に沸点が１００℃以上のインクであっても実用的な時間範囲で乾燥を行うことができる。
【００８２】
図１０に、図７のＡ−Ｂ断面の液滴の頂点高さと直径の関係を表したグラフを示す。
【００８３】
図１０の一端側領域５０１と他端側領域５０２は、基板３０３（図７参照）上に塗布された複数の体積測定用液滴サンプル３０１（図７参照）の外周部に塗布された主としてダミー液滴３０２（図７参照）の頂点高さと直径の関係を表した領域であり、中央領域５０３は基板３０３上に塗布された複数の体積測定用液滴サンプル３０１の中央部の頂点高さと直径の関係を表した領域である。
【００８４】
図１０から分かるように、外周部の一端側領域５０１と他端側領域５０２におけるダミー液滴３０２では、液滴頂点高さと直径が大きく変化しているのに対して、中央領域５０３における体積測定用液滴サンプル３０１では、液滴頂点高さと直径が、外周部のダミー液滴３０２に比べて安定していることがわかる。
【００８５】
これは、中央領域５０３の液滴は、図７に示すように周囲を液滴に囲まれている為、乾燥中の溶媒雰囲気が安定し、時間をかけて乾燥するのに対して、外周部の一端側領域５０１と他端側領域５０２におけるダミー液滴３０２は、周囲に液滴が無い為、乾燥時の溶媒雰囲気が変化しやすく急速に乾燥が進んだ為だと考えられる。
【００８６】
以上のことから、体積測定用液滴サンプル３０１の形状を安定させるためには、ダミー液滴３０２が必要となる。
【００８７】
次に、乾燥速度と液滴の形状について説明する。
【００８８】
図１１（ａ）、図１１（ｂ）に、乾燥が早い場合と乾燥が遅い場合の液滴形状の変化の模式図を示す。
【００８９】
図１１（ａ）は、乾燥が早い液滴８０１の形状変化を示す模式図であり、図１１（ｂ）は、乾燥が遅い液滴８０２の形状変化を示す模式図である。
【００９０】
乾燥が早い液滴８０１は、液滴が直径方向に縮むより早く高さ方向に縮む為、直径が大きく高さが低い液滴が形成されることとなり、乾燥後の液滴は、基板との接触角が低く（小さく）なる。
【００９１】
これに対して、乾燥が遅い液滴８０２は乾燥速度が遅い為、液滴が高さ方向に縮むより早く高さ直径に縮む為、直径が小さく高さが高い液滴が形成されることとなり、基板との接触角が高く（大きく）なる。
【００９２】
本実施の形態では、ダミー液滴３０２を体積測定用液滴サンプル３０１の周囲に形成することでサンプル全体の乾燥を抑えた状態で、且つ減圧雰囲気で乾燥することで、基板との接触角が低い液滴を作成することを可能としている。
（撮像工程）
次に、図１２を参照しながら、撮像工程Ｓ４０（図２）において用いる撮像機構２０について説明する。
【００９３】
本実施の形態の液滴吐出装置５０は、図１で説明した通り、撮像機構２０を具備する。
【００９４】
図１２は、本発明の実施の形態における、撮像機構２０の全体構成を模式的に示した図である。
【００９５】
撮像機構２０は、光源６００と、カメラ６０１とレンズ機構６０２と、カメラ６０１およびレンズ機構６０２を保持する治具６０３と、それらを走査軸６０４に沿って駆動させる駆動機構６０５と、ピント調整のためのＺ方向駆動機構６０６を有する。
【００９６】
カメラ６０１よびレンズ機構６０２は、走査軸６０４方向に沿って移動しながら、基板１００に塗布された体積測定用液滴サンプル３０１の画像を撮像する。液滴サンプルの画像データは、制御部１２に設けられた対応テーブル作成部１２０、及び体積算出部１３０に送られる。
【００９７】
なお、治具６０３に併設された高さセンサ６０７と、Ｚ方向駆動機構６０６を用いて、随時オートフォーカスで調整する構成としても良い。
【００９８】
この構成によれば、基板１００のガラス面のうねりの影響を除去することが出来る。
【００９９】
なお、動作簡略化のために、撮像開始時にＺ方向駆動機構６０６を用いてフォーカスを調整し、その後Ｚ方向は固定で撮像を行っても良い。
【０１００】
カメラ６０１は、エリアセンサを搭載したものでもラインセンサを搭載したものでも良いが、本実施の形態ではラインセンサを搭載したカメラを用いる。画素数および画素サイズは撮像対象物に合わせて選定すれば良いが、本実施の形態では、幅方向の画素数４０９６、画素サイズ２μｍとした。
【０１０１】
ラインセンサのスキャン分解能は、設備の要求タクトから逆算して求まるカメラの走行速度から求める。走行軸の速度は、本実施の形態では、１００ｍｍ／ｓとした。
【０１０２】
レンズ６０２の倍率およびＮＡは、撮像対象液滴の形状に合わせて選定する。本実施の形態では倍率５倍、ＮＡが約０．１のレンズを用いた。
【０１０３】
なお、レンズはテレセントリックレンズを用い、フォーカスの影響を相対的に小さくするのが望ましい。
【０１０４】
なお、光軸傾きの影響を避けるため、照明は同軸落射のレンズを用いるのが良い。
（対応テーブル作成工程）
次に、液滴評価工程Ｓ７０で必要となる対応テーブルを作成する、形状測定工程Ｓ５０と対応テーブル作成工程Ｓ６０について、図１３を参照しながら説明する。
【０１０５】
まず、形状測定工程Ｓ５０は、撮像工程Ｓ４０で撮像対象（評価対象）となった全ての液滴の中から所定の位置の液滴を抽出してその抽出した液滴の形状を測定する工程である（図２参照）。即ち、本実施の形態では、液滴の表面の三次元座標系（Ｘ−Ｙ−Ｚ座標系）上の位置座標データ（ｘ，ｙ，ｚ）を、公知の液滴形状測定装置（図示省略）により測定する。
【０１０６】
具体的には、基板３０３に塗布された複数の液滴のうち、一つまたは複数の液滴を抽出し、公知の液滴形状測定装置を用いて液滴のプロファイルを測定する。
【０１０７】
ここでは、抽出された液滴の各液滴について、基板３０３の表面をＸ−Ｙ二次元平面とし、平面視で液滴の頂点をＸ−Ｙ二次元平面の原点として、その原点を通るＺ軸の方向が液滴の高さを表すことになる。
【０１０８】
図１３（ａ）は、液滴について、原点を通るＸ−Ｚ平面で切断したときの当該液滴の表面の「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」と、「Ｚ軸方向の高さ」の関係を示す曲線であり、この曲線が、液滴の一つのプロファイルである。ここでは、説明を簡単にするために、図１３（ａ）に示す、液滴の一つのプロファイルに基づいて説明するが、実際には、原点とＺ軸を通る多数の平面により、一つの液滴を何度も切断することで得られる当該液滴の多数のプロファイルから、当該液滴の形状を求めることになる。尚、この曲線は、多項関数や三角関数により近似関数として表しても良い。
【０１０９】
尚、形状測定工程Ｓ５０において抽出する液滴の数は、多ければ多いほど液滴の体積測定精度は向上するが、その分、測定時間が長くなるため、例えば液滴サンプル３０１（図７、図８参照）の５〜１０００００液滴ごとに１液滴を抽出するのが望ましい。抽出の方法は、印刷対象物１に吐出された液滴の配列情報を元に抽出するか、液滴吐出モジュールヘッド１０の配列情報を元に抽出するのが良い。
【０１１０】
なお、画像情報から得られる直径等の液滴形状を参照しながら抽出する液滴を決定しても良い。この構成によれば、液滴形状に合わせて対応テーブルを使い分けることができるため、前記対応テーブル作成に用いた液滴と、評価対象の液滴の形状が異なることによる誤差の影響を抑制することができる。
【０１１１】
また、上述した公知の液滴形状測定装置は、たとえ測定に時間がかかっても正確に形状を測定できるものが望ましく、例えば光干渉原理や共焦点原理の測定機を用いるのが良い。本実施の形態では、光干渉を利用した測定機を用いた。
【０１１２】
また、液滴形状測定装置は、液滴吐出装置５０上に搭載されていても良いし、若しくは、液滴吐出装置５０上に搭載せず、装置外に単体で設置されていても良い。
【０１１３】
次に、再び図１３に戻り、対応テーブル作成工程Ｓ６０について説明する。
【０１１４】
対応テーブル作成工程Ｓ６０は、形状測定工程Ｓ５０で測定された各プロファイルに基づいた位置座標データ（ｘ，ｙ，ｚ）から、液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きを求め、その求めた傾きと、その位置に対応する二次元座標系上の位置における輝度比（この輝度比は、撮像工程Ｓ４０で得られた液滴の輝度データから求める）との対応関係を表す対応テーブルを作成する工程である（図２参照）。本実施の形態では、対応テーブルは、対応テーブル作成部１２０（図１参照）において作成する。
【０１１５】
具体的には、形状測定工程Ｓ５０で測定した、液滴の表面の「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」と、その位置における「Ｚ軸方向の高さ」の関係を示す曲線（図１３（ａ）参照）を微分することで、図１３（ｂ）に示すとおり、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」と、その位置における「傾き」の関係が求まる。
【０１１６】
次に、撮像工程Ｓ４０で得られた、評価対象の全てのノズルから吐出された全ての液滴の内、一部の液滴における各液滴の画像を構成する複数の画素（カメラ６０１のＣＣＤ素子の各画素に対応）の各画素の輝度情報（例えば、階調レベル０〜階調レベル２５５）から、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度」との対応関係を作成し（図１３（ｃ）参照）、更に、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度比」との対応関係を作成する（図１３（ｄ）参照）。
【０１１７】
即ち、図１３（ｃ）、図１３（ｄ）の対応関係を作成する際、評価対象の全てのノズルから吐出された全ての液滴の画像の内、形状測定工程Ｓ５０において抽出された液滴と同じ液滴の画像が抽出される。
【０１１８】
ここで、「輝度比」とは、各画素の輝度を、液滴ごとに切り取った「液滴毎画像」の基準位置での輝度（基準輝度）で除した値である。
【０１１９】
なお、基準輝度は液滴内輝度の最大値とするのがよく、ばらつき低減のために、平滑化処理を行ってから最大値を算出するのが望ましい。
【０１２０】
なお、ばらつき低減のため、面積の広い基板３０３の表面の輝度を平均化した輝度を基準輝度としても良い。
【０１２１】
本構成のように、輝度ではなく輝度比を用いることで、照明の変動や印刷対象物の反射率の違いなどによる輝度情報変化の影響を低減することができる。
【０１２２】
次に、図１３（ｂ）に示した、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」と、その位置における「傾き」の関係と、図１３（ｄ）に示した、「液滴中心（原点）からの距離」とその位置における「輝度比」との関係から、「輝度比―傾き」対応テーブルを作成する（図１３（ｅ）参照）。
【０１２３】
なお、抽出された全ての液滴の各液滴についても同様に「液滴中心（原点）からの距離」とその位置における「輝度比」との対応関係を作成して、それら作成された全ての対応関係を平均化して「輝度比―傾き」対応テーブルを作成しても良い。
【０１２４】
なお、図１３（ｅ）に示す曲線は、多項関数や三角関数により近似関数として表しても良い。
【０１２５】
なお、本実施の形態では、図１３を用いて、液滴の一つのプロファイルに基づいて説明したが、原点とＺ軸を通る多数の平面により、一つの液滴を何度も切断することで得られる当該液滴の多数のプロファイルを用いて「輝度比―傾き」対応テーブルを作成しても良い。
【０１２６】
また、本実施の形態の「輝度比―傾き」対応テーブルが、本発明の対応テーブルの一例にあたる。
【０１２７】
尚、上述した対応テーブル（図１３（ｅ）参照）は、光の反射モデルから、理論的に作成しても良い
しかし、液滴の物性や形状が不安定であるために光の反射率が不明瞭になる場合は、図１３（ａ）〜図１３（ｅ）を用いて説明した方法を用いて対応テーブル作成を行うのが良い。
（体積演算）
次に、撮像工程Ｓ４０で得られた液滴の画像データを用いて各液滴の体積を算出する液滴評価工程Ｓ７０について説明する。
【０１２８】
本実施の形態では、液滴評価工程Ｓ７０において実施する体積導出方法として、第１の体積導出方法を用いた第１構成例と、第２の体積導出方法を用いた第２構成例をそれぞれ説明する。
【０１２９】
最初に、第１の体積導出方法を図１４〜図１６を参照しながら説明し、その後、第２の体積導出方法を図１７〜図２２を参照しながら説明する。
【０１３０】
尚、第１の体積導出方法と第２の体積導出方法との両方の工程を備え、何れの工程を適用するかを判定する工程も備えた更に別の構成例は、図２６を用いて後述する。
【０１３１】
まず、液滴評価工程Ｓ７０の第１構成例としての第１の体積導出方法について図１４から図１６を参照しながら説明する。
【０１３２】
図１４は、液滴評価工程Ｓ７０の第１の体積導出方法を説明するためのフロー図であり、本実施の形態では、液滴評価工程Ｓ７０は、体積算出部１３０（図１参照）において行う。ここでは、第１の体積導出方法について図１４のフロー図を参照しながら説明を行っていく。
【０１３３】
まず、工程Ｓ７０１では、撮像工程Ｓ４０で撮像した、評価対象となる全てのノズルから吐出された全ての液滴についての画像から、各液滴の位置を特定し、それぞれの液滴ごとに切り取った「液滴毎画像」を作成する。尚、画像から各液滴の位置を特定する特定方法は、公知の画像処理における位置特定方法を用いた。
【０１３４】
次に、工程Ｓ７０２では、液滴直径を画像の輝度情報を用いて算出する。直径の算出方法は、輝度と液滴中心からの距離の対応関係（図１３（ｃ）参照）を作成し、輝度の最小値となるときの、液滴中心からの距離をもとに導出するのが良い。また、ノイズの影響を抑えるため、輝度と液滴中心からの距離の対応関係を示す関数または散布図を一回微分し、その関数または散布図の値が極値となるときの、液滴中心からの距離をもとに導出しても良い。なお、液滴直径の算出は、全画素の情報を用いても良いが、簡略化のため、Ｘ軸方向またはＹ軸方向もしくはその双方のみの画素情報を用いても良い。
【０１３５】
次に、工程Ｓ７０３では、液滴画像から任意の断面を抽出する。任意断面の抽出は、工程Ｓ７０１で取得した塗布位置から求められる液滴中心座標を通る断面を選ぶことが好ましい。液滴断面の抽出方法について図１５を用いて説明する。図１５の（ａ）は、液滴画像の上面図であり、図１５の（ｂ）は液滴の輝度を上方向に取った側面図である。
液滴断面の抽出は、図１５の（ａ）のＡ−Ａの様にＸ軸方向の断面を使用しても良いし、Ｂ−Ｂの様にＹ軸方向の断面を使用しても良いし、Ｃ−Ｃの様に極座標を取りＲ軸方向の断面を使用しても良い。また、輝度のバラつきを抑える為に、使用する断面の軸方向と直行する方向の画素の平均値を用いても良い。この場合、使用する断面がＸ軸であればＹ軸方向、使用する断面がＹ軸方向であればＸ軸方向、使用する断面がＲ軸であればθ軸方向の画素の平均値を液滴の断面として使用する事になる。その様にして取得した液滴の断面が図１５の（ｂ）となる。図１５の（ｂ）は、上方向が画像の輝度情報となっており、横方向が抽出した断面の軸方向（Ｘ／Ｙ／Ｒ）となっている。これより以降の記載では、この図１５の（ｂ）の情報を輝度断面と呼ぶ。
【０１３６】
次に、工程Ｓ７０４では、工程Ｓ７０３で得られた輝度断面の輝度情報から輝度比をもとめ、工程Ｓ６０で得られた「輝度比―傾き」対応テーブル（図１３（ｅ）参照）を用いて、液滴の輝度断面の半径方向の各画素の傾きを算出する。
【０１３７】
次に、工程Ｓ７０５〜工程Ｓ７０７までの数式モデルを用いた体積導出工程を、図１６を用いて概念と数式モデルによる補完の有効性について説明を行う。
【０１３８】
図１６の（Ａ）において、符号７５０を付したものは、液滴の輝度断面であり、符号７５１を付したものは、符号７５０で表わした液滴の輝度断面に対応する液滴の傾き断面であり、符号７５２を付したものは、符号７５１で表わした液滴の傾き断面に対応する液滴の高さ断面であり、それぞれ模式図で表わしている。
【０１３９】
また、図１６の（Ｂ）において、符号７６０を付したものは、図１６の（Ａ）で示した液滴と同じ液滴の輝度断面であり、符号７６１を付したものは、符号７６０で表わした液滴の輝度断面に対応する、補完後の液滴の傾き断面であり、符号７６２を付したものは、符号７６１で表わした補完後の液滴の傾き断面に対応する液滴の高さ断面であり、それぞれ模式図で表わしている。
【０１４０】
また、図１６の（Ａ）は、数式モデルを用いて液滴周縁部を補完しない状態で高さを求めた場合であり、図１６の（Ｂ）は数式モデルを用いて液滴周縁部を補完した状態で高さを求めた場合である。
【０１４１】
まず、図１６の（Ａ）の数式モデルを用いて液滴周縁部を補完しない場合について説明する。図１６（Ａ）の液滴の輝度断面７５０は、直径がｄからＤまでの範囲の輝度が一定値となっている。これは、液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θに対して、液滴のＸ−Ｚ断面における外形線上の任意の点における接線と基板（図４の基板１００参照）とのなす角度が大きい部分、即ち、液滴の外周縁部付近に関しては、輝度情報が一定の値を取ることになる（図１６の（Ａ）の符号７５０参照）。その為、図１６の（Ａ）の液滴の傾き断面７５１の様に輝度情報を傾き情報に変換した際も、直径がｄからＤまでの範囲の傾きが一定値となる。
【０１４２】
その状態で、液滴の傾きを中心から外周まで積分していくと図１６の（Ａ）の符号７５２を付した液滴の高さ断面の様になり、直径がｄからＤまでの範囲の高さ（図１６の（Ａ）では、破線で示した）は傾きが変化しない為、実際の液滴形状を反映した値ではなくなる。また、液滴頂点部の高さに関しても直径がｄからＤまでの範囲の高さ情報が実際の液滴形状を反映した値ではない為に、実際の液滴の高さとは異なる値となる。
【０１４３】
この状態で、図１６の（Ａ）の符号７５２を付したグラフを高さ方向の軸周りに回転させて体積を導出しても実際の液滴の体積とは異なる値となる。つまり、図１６の（Ａ）の様に、数式モデルを用いて液滴周縁部を補完しない場合には、直径ｄまでの範囲しか液滴の形状を反映した値を取得することが出来ない為、液滴直径の全域に対して実際の液滴の形状を反映した形状、体積を求めることが出来ない。
【０１４４】
次に、図１６の（Ｂ）の数式モデルを用いて液滴周縁部を補完する場合について説明する。
【０１４５】
図１６の（Ｂ）の液滴の輝度断面７６０は、図１６の（Ａ）の場合と同じく直径がｄからＤまでの範囲の輝度が一定値となっている。その為、後述する補完処理を実行しなければ、図１６の（Ａ）の液滴の傾き断面７５１で説明した様に輝度情報を傾き情報に変換した際も、直径がｄからＤまでの範囲の傾きが一定値となる。
【０１４６】
しかし、図１６の（Ｂ）で示す、数式モデルを用いた方式では、この液滴傾き情報（図１６の（Ｂ）の符号７６１参照）のうち、液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θの範囲内の傾き情報（液滴の傾き断面７６１の実線で示した部分に対応）を、数式モデルを用いて近似し、その近似式を用いて直径がｄからＤまでの範囲の傾き情報（液滴の傾き断面７６１の破線で示した部分に対応）を補完する事により、実際の液滴の形状を反映した情報を取得する事が可能となる。その状態で、液滴の傾きを中心から外周まで積分していくと、図１６の（Ｂ）の液滴の高さ断面７６２の様になり、直径がｄからＤまでの範囲の高さ（液滴の高さ断面７６２の破線で示した部分に対応）も傾きが変化する為、実際の液滴形状を反映した値となる。また、液滴頂点部の高さに関しても実際の液滴の高さを反映した値となる。
【０１４７】
この状態で、図１６の（Ｂ）の高さ断面７６２を示す線分を高さ方向の軸周りに回転させて体積を導出すると実際の液滴の体積を反映した値となる。
【０１４８】
このように、液滴の輝度から得られる液滴の傾き及び／又は高さの情報を、液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θの範囲内で数式モデルで近似する事により、液滴の角度が測定可能角度θを超えた部分についての液滴の傾き及び／又は高さの情報を補完して液滴形状、体積を求めることが出来る。なお、近似に使用する範囲については、ノイズ等の影響を考慮して測定可能角度θの９０％程度の範囲を使用する事が好ましい。
【０１４９】
ここで、図１４の説明に戻り、図１４を参照しながら各工程の説明を行う。
【０１５０】
図１４の工程Ｓ７０５では、工程Ｓ７０４で得られた液滴半径方向の傾き情報の内、液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θの範囲内の傾き情報を数式モデルで近似する事で、液滴毎の傾き情報の数式モデルの各パラメータを得る（図１６（Ｂ）の符号７５１参照）。
【０１５１】
なお、数式モデルのパラメータは最小二乗法等の多変量解析方法を用いて求める。
【０１５２】
今回は、図２のＳ５０の形状測定工程で測定した液滴の形状（高さ）が、（式４）の様な４次式で十分に近似可能な事から、傾きを近似する式として下記の（式５）の３次式を使用した。
【０１５３】
なお、液滴の数式モデルは、液滴の断面形状に合わせて適切な次数の数式を使用する事が望ましい。
【０１５４】
【数１】
2015200539.tif 000003
【０１５５】
ここで、（式４）のｒは液滴の半径方向の座標であり、ｈ（ｒ）は液滴の半径方向ｒの座標の高さであり、ａ、ｂ、ｃは数式のパラメータである。また、（式５）のｒは液滴の半径方向の座標であり、ｓ（ｒ）は液滴の半径方向ｒの座標の傾きであり、ａ、ｂは数式のパラメータである。
【０１５６】
次に、工程Ｓ７０６では、工程Ｓ７０５で求められたパラメータａ、ｂを（式４）に代入して液滴の高さを求める。その際、（式４）のパラメータｃは未知数となるが、パラメータｃは下記の（式６）で求まる。
【０１５７】
【数２】
2015200539.tif 000004
【０１５８】
ここで、（式６）のＲは、工程Ｓ７０２で得られた液滴の直径Ｄから求められる半径Ｒであり、ａ、ｂは工程Ｓ７０５で得られたパラメータである。
上記の様に、（式４）に対して、パラメータａ、ｂ、ｃを代入する事で液滴代表断面の任意の半径ｒに対する、液滴の高さｈ（ｒ）を求める事が可能になる（図１６の（Ｂ）の液滴の高さ断面７６２参照）。
【０１５９】
次に、工程Ｓ７０７では、図１６の（Ｂ）の液滴の高さ断面７６２を、高さ方向を回転軸として回転させることで体積を得る。（式７）に、（式４）を高さ方向を回転軸として回転させた際の体積を導出する式を示す。
【０１６０】
【数３】
2015200539.tif 000005
【０１６１】
ここで、（式７）のＲは、工程Ｓ７０２で得られた液滴の直径Ｄから求められる半径Ｒであり、ａ、ｂは工程Ｓ７０５で得られたパラメータであり、ｃは工程Ｓ７０７で得られたパラメータである。
【０１６２】
次に、工程Ｓ７０８では、全ての液滴について、上記Ｓ７０１からＳ７０７までの工程の処理が完了したか否かを判定し、完了していないと判定すれば、工程Ｓ７０１の直前に戻り、上記の工程Ｓ７０１から工程Ｓ７０７を繰り返し、完了していると判定すれば、工程Ｓ７０９へ進む。
【０１６３】
次に、工程Ｓ７０９では、工程Ｓ７０１から工程Ｓ７０７で求めた評価対象となったノズルの全ての液滴の体積を取得しデータを保存する。
【０１６４】
上述したように、第１の体積導出方法では液滴の任意断面を抽出し、その液滴任意断面の半径方向の各座標の傾きを数式モデルで近似すると共に、液滴の高さｈ（ｒ）を数式モデル（式４参照）で近似する事により、液滴のＸ−Ｚ断面における外形線上の任意の点における接線と基板（図４の基板１００参照）とのなす角度が液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θを超えた部分についても補完して体積を導出する事が可能となる。
【０１６５】
尚、本実施の形態の第１の体積導出方法で用いた（式４）が、本発明の近似式の一例にあたる。
【０１６６】
また、第１の体積導出方法では、液滴の任意断面を抽出する為、液滴形状が点対称の場合、液滴画像全ての情報を利用して体積を導出するよりも計算コストを抑える事ができ、高い精度を確保しつつ高速に体積を導出することが出来る。
【０１６７】
なお、液滴形状が点対称でない場合、液滴の任意断面を複数抽出して、（式４）のパラメータａ，ｂ，ｃを複数種類求めて、それぞれについての平均値を得て、液滴の高さｈ（ｒ）の近似式とすれば、高い精度で液滴の体積が求められる。
【０１６８】
なお、図１４では、液滴各画素の高さ情報を求める際の積分計算の計算コストを抑える為に工程Ｓ７０５において液滴の傾きに対して数式モデルを適用して形状、体積の計算を行っているが、工程Ｓ７０４の傾き情報を液滴中心から１画素毎に半径方向に積分する事で液滴各画素の高さ情報を取得後に、その各画素の高さ情報に対して数式モデルを適用してパラメータを求めることにより形状、体積の計算を行っても良い。
（第２の体積導出方法）
次に、液滴評価工程Ｓ７０の第２構成例としての第２の体積導出方法について図１７から図２２を参照しながら説明する。
【０１６９】
図１７は、液滴評価工程Ｓ７０の第２の体積導出方法を説明するためのフロー図であり、本実施の形態では、液滴評価工程Ｓ７０は、体積算出部１３０（図１参照）において行う。ここでは、第２の体積導出方法について図１７のフロー図を参照しながら説明を行っていく。
【０１７０】
工程Ｓ７０１と工程Ｓ７０２に関しては、先述した第１の体積導出方法の工程Ｓ７０１と工程Ｓ７０２と同様の処理となる為、説明を省略する（図１４のＳ７０１、Ｓ７０２参照）。
【０１７１】
次に、工程Ｓ７１３では、工程Ｓ７０１で得られた、「液滴毎画像」を用いて、画像の各画素の輝度情報から輝度比を求め、「輝度比―傾き」対応テーブル（図１３（ｅ）参照）を用いて、「液滴毎画像」の各画素の画素位置での傾きを全て算出する。
【０１７２】
次に、工程Ｓ７１４では、工程Ｓ７１３で得られた各画素位置の傾き情報を用いて、各画素の位置のＺ方向高さ（仮値）を算出する。ここでは、図１８、図１９を用いて各画素位置での傾きから各画素位置でのＺ方向高さを算出する方法を説明する。なお、説明の便宜上第４象限のみの場合について説明するが、第１〜第３象限においても同様の考えで同定を行う。
【０１７３】
図１８は、液滴の表面の各座標の傾きを、ＸＹ座標で表される２次元座標系へ、ベクトル成分として変換する方法を説明する図である。
【０１７４】
図１８に示す様に、ＸＹ座標上の位置Ｐにおける傾きｋｐを、液滴頂点に向かうベクトルのスカラー値と考える事により、Ｘ方向成分ｋｘとＹ方向成分ｋｙに分解する事が可能になる。このように、液滴の全画素の傾きをＸ方向成分とＹ方向成分に分解する事により、液滴の任意座標の高さを計算する際に、ＸＹ方向の各画素の長さと各画素のＸＹ方向の傾きをかける事で高さの変化量を求める事が可能になる。その際、高さ計算の開始点として、図１８の原点位置（０，０）の様に、液滴毎画像内の液滴頂点を含む画素座標を使用する。
【０１７５】
なお、液滴頂点を含む画素位置は、液滴毎画像内で輝度が最大となる画素位置とするのが良い。なお、液滴頂点を含む画素位置を求める際に、ノイズによる誤認識防止のため、平均化フィルタまたはメディアンフィルタまたはガウシアンフィルタ等を用いて平滑化した後の液滴毎画像内で輝度が最大となる画素位置としても良い。なお、液滴毎画像内で輝度重心を求め、輝度重心を液滴頂点と定義としても良い。
【０１７６】
図１９は、液滴の表面の三次元座標系上の位置における高さを求める方法を説明する図である。ここでは、図１９を参照しながら液滴の表面の三次元座標系上の位置における高さを求める方法を説明する。
【０１７７】
図１９では、液滴頂点（図１９の原点に対応）を含む画素位置Ａを液滴の高さを計算する開始点として使用する。その際、高さ計算の開始点Ａの初期高さとして、一旦、任意の高さ（Ｈ０）を与え、他の画素の高さはこの初期高さＨ０からの高さの変化量として算出する。以下に、液滴の任意の画素の高さを求める方法を説明する。
【０１７８】
まず、図１９のＢの様に高さ計算の対象画素が開始点Ａを通るＸ軸上にある場合には、Ｘ軸上の任意の画素位置Ｂの高さは、画素位置Ｂから見て開始点Ａに近い方の隣接する画素（今後この画素をＢの隣接画素と呼ぶ）の高さに対し、画素位置ＢとＢの隣接画素間の距離と、画素位置ＢとＢの隣接画素間の傾きをかけた値を加算する事で算出できる。なお、画素位置ＢとＢの隣接画素間の傾きは、画素位置Ｂの傾きを用いても良いし、Ｂの隣接画素の傾きを用いても良いし、画素位置ＢとＢの隣接画素間の傾きの平均値を用いても良い。
【０１７９】
同様に、図１９の画素位置Ｃの様に高さ計算の対象画素が開始点Ａを通るＹ軸上にある場合には、Ｙ軸上の任意の画素位置Ｃの高さは、画素位置Ｃから見て開始点Ａに近い方の隣接する画素（以下において、この画素をＣの隣接画素と呼ぶ）の高さに対し、画素位置ＣとＣの隣接画素間の距離と、画素位置ＣとＣの隣接画素間の傾きをかけた値を加算する事で算出できる。
【０１８０】
なお、画素位置ＣとＣの隣接画素間の傾きは、画素位置Ｃの傾きを用いても良いし、Ｃの隣接画素の傾きを用いても良いし、画素位置ＣとＣの隣接画素間の傾きの平均値を用いても良い。
【０１８１】
次に、図１９の画素位置Ｄの様に高さ計算の対象画素が開始点Ａを通るＸ軸上、Ｙ軸上以外の場合には、画素位置Ｄに対してＸ方向に開始点Ａに近い方の隣接する画素（以下において、この画素をＤのＸ方向隣接画素と呼ぶ）の高さおよび傾きを用いて上記の画素位置Ｂと同様の方法で計算しても良いし、画素位置Ｄに対してＹ方向に開始点Ａに近い方の隣接する画素（以下において、この画素をＤのＹ方向隣接画素と呼ぶ）の高さおよび傾きを用いて上記の画素位置Ｃと同様の方法で計算しても良いし、上記の画素位置Ｂの方式で求めた高さと上記の画素位置Ｃの方式で求めた高さの平均値を使用しても良い。
【０１８２】
次に、工程Ｓ７１５では、工程Ｓ７１４で求めた液滴各画素の高さ（仮値）を数式モデルで近似する事で、液滴周縁部の高さデータの補完を行う。ここでは、図２０を用いて数式モデルを用いた補完方法の概念と数式モデルによる補完の有効性について説明を行う。
【０１８３】
図２０の（Ａ）において、符号７７０を付したものは、液滴画像の上面模式図である。また図２０の（Ａ）において、符号７７１を付したものは、液滴の上面模式図７７０の任意位置の輝度断面であり、符号７７２を付したものは、任意位置の輝度断面７７１に対応する任意位置の液滴の傾き断面であり、符号７７３を付したものは、任意位置の液滴の傾き断面７７２に対応する任意位置の高さ断面であり、それぞれ模式図で表わしている。
【０１８４】
また、図２０の（Ｂ）において、符号７８０を付したものは、図２０の（Ａ）で示した液滴画像と同じ液滴画像の上面模式図である。また図２０の（Ｂ）において、符号７８１を付したものは、液滴の上面模式図７８０の任意位置の輝度断面であり、符号７８２を付したものは、任意位置の輝度断面７８１に対応する任意位置の液滴の傾き断面であり、符号７８３を付したものは、任意位置の液滴の傾き断面７８２に対応する任意位置の高さ断面であり、それぞれ模式図で表わしている。
【０１８５】
また、図２０の（Ａ）は、数式モデルを用いて液滴周縁部を補完しない状態で高さを求めた場合であり、（Ｂ）は数式モデルを用いて液滴周縁部を補完した状態で高さを求めた場合である。
【０１８６】
まず、図２０の（Ａ）の数式モデルを用いて液滴周縁部を補完しない場合について説明する。図２０（Ａ）の液滴の輝度断面７７１は、直径がｄからＤまでの範囲の輝度が一定値となっている。これは、液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θに対して、液滴のＸ−Ｚ断面における外形線上の任意の点における接線と基板（図４の基板１００参照）とのなす角度が大きい部分、即ち液滴の外周縁部付近に関しては、輝度情報が一定の値を取ることになる（図２０の（Ａ）の符号７７１参照）。その為、図２０の（Ａ）の液滴の傾き断面７７２の様に輝度情報を傾き情報に変換した際も、直径がｄからＤまでの範囲の傾きが一定値となっている。
【０１８７】
この状態では、液滴の高さは、図２０の（Ａ）の液滴の高さ断面７７３の様になり、直径がｄからＤまでの範囲の高さ（図２０の（Ａ）では、破線で示した）は傾きが変化しない為、実際の液滴形状を反映した値ではなくなる。また、液滴頂点部の高さに関しても直径がｄからＤまでの範囲の高さ情報が実際の液滴形状を反映した値ではない為に、実際の液滴の高さとは異なる値となる。つまり、図２０の（Ａ）の様に数式モデルを用いて液滴周縁部を補完しない場合には、直径ｄまでの範囲しか液滴の形状を反映した値を取得することが出来ない為、液滴直径の全域に対して実際の液滴の形状を反映した形状を求めることが出来ない。
【０１８８】
次に、図２０の（Ｂ）の数式モデルを用いて液滴周縁部を補完する場合について説明する。
【０１８９】
図２０の（Ｂ）の液滴の輝度断面７８１は、図２０の（Ａ）の場合と同じく直径がｄからＤまでの範囲の輝度が一定値となっている。その為、後述する補完処理を実行しなければ、図２０の（Ａ）の液滴の傾き断面７７２で説明した様に輝度情報を傾き情報に変換した際も、直径がｄからＤまでの範囲の傾きが一定値となる。その状態では、液滴の高さは図２０の（Ａ）の液滴の高さ断面７７３と同様になる。
【０１９０】
しかし、図２０の（Ｂ）で示す、数式モデルを用いた方式では、この液滴傾き情報（図２０の（Ｂ）の符号７８２参照）のうち、液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θの範囲内の傾き情報を、数式モデルを用いて近似し、その近似式を用いて直径がｄからＤまでの範囲の傾き情報（液滴の傾き断面７８２の破線で示した部分に対応）を補完する事により、実際の液滴の形状を反映した情報を取得する事が可能となる。その為、液滴の高さは、図２０の（Ｂ）の液滴の高さ断面７８３の様になり、直径がｄからＤまでの範囲の高さ（液滴の高さ断面７８３の破線で示した部分に対応）も傾きが変化する為、実際の液滴形状を反映した値となる。また、液滴頂点部の高さに関しても実際の液滴の高さを反映した値となる。
【０１９１】
このように、液滴の輝度から得られる液滴の傾き及び／又は高さの情報を、液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θの範囲内で数式モデルで近似する事により、液滴の角度が測定可能角度θを超えた部分についての液滴の傾き及び／又は高さの情報を補完して液滴形状を求めることが出来る。なお、近似に使用する範囲については、ノイズ等の影響を考慮して測定可能角度θの９０％程度の範囲を使用する事が好ましい。
【０１９２】
ここで、図１７の説明に戻り、図１７を参照しながら各工程の説明を行う。
【０１９３】
図１７の工程Ｓ７１５では、工程Ｓ７１４で求めた液滴各画素の高さ（仮値）に対して上述した数式モデル（（式４）参照）を用いた補完処理行う事で直径がｄからＤまでの範囲（液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θに対して、液滴の角度が大きい部分）のデータを補完後のデータに置き換える。
【０１９４】
補完処理の詳細を、図２１を用いて説明する。
【０１９５】
図２１の（ａ）は、液滴の上面図であり、各画素が高さを表している。また、図２１の（ｂ）は、図２１の（ａ）のＸ１断面を表しており、縦軸が高さ、横軸がＸ軸方向の座標を表しており、短冊状の部分が各画素の高さとＸ軸方向の画素の長さを表している。また、図２１の（ｃ）は、図２１の（ａ）のＸ２断面を表しており、縦軸が高さ、横軸がＸ軸方向の座標を表しており、短冊状の部分が各画素の高さとＸ軸方向の画素の長さを表している。また、図２１（ａ）の灰色のリング状の部分Ａは、液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θに対して、液滴のＸ−Ｚ断面における外形線上の任意の点における接線と基板（図４の基板１００参照）とのなす角度が大きい範囲であり、液滴の輝度情報が一定の値をとる範囲を示している。
【０１９６】
補完処理を行う際は、図２１の（ａ）のリング状の部分Ａを補完する為に、Ｘ方向やＹ方向に１画素ずつ移動しながら移動方向と直行する方向の各画素の座標と高さを数式モデルで近似している。
【０１９７】
ここで、図２１の（ｂ）と（ｃ）を用いて、各断面での補完方法の説明を行う。図２１の（ｂ）では、（ａ）のＸ１断面の断面形状を表しているが、Ｘ１断面では、液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θに対して、液滴の角度が大きい範囲であるリング状の部分Ａは、直径がｄからＤまでの範囲の画素になっている。そこで、直径Ｄの範囲内の高さとＸ座標を数式モデルで近似して直径がｄからＤまでの範囲の画素を補完している。次に、図２１の（ｃ）では、（ａ）のＸ２断面の断面形状を表しているが、Ｘ２断面では、液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θに対して、液滴の角度が大きい範囲であるリング状の部分Ａは、直径がｄ’からＤ’までの範囲の画素になっている。そこで、直径Ｄ’の範囲内の高さとＸ座標を数式モデルで近似して直径がｄ’からＤ’までの範囲の画素を補完している。このように、液滴のＸ方向及びＹ方向の各断面を各々の断面形状に応じて数式モデルを用いて近似することにより、図２１の（ａ）のリング状の部分Ａの形状を補完している。
【０１９８】
このように、補完処理では既存の画像認識処理によって求まる液滴直径内のリング状の部分Ａの各画素（図２１のＡに該当する液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θに対して、液滴の角度が大きい範囲）について１画素ずつ移動しながら、移動方向と直行する方向の画素の値を求めて、工程Ｓ７１４で求めた各画素の高さデータから補完後のデータに置き換える。なお、ここではＸ軸方向の補完の説明を行ったが同様の処理をＹ軸方向にも行う。また、ＸＹ両方の補完値が求まる画素についてはＸＹ両方の補完値の平均値を使用する。なお、ここでは、ＸＹ方向の直交座標系を使用して補完処理を行う例について説明したが、液滴中心を原点に極座標を取り、Ｒ、θ方向の座標を使用して各画素の補完を行っても良い。なお、液滴形状の補完に用いる数式モデルは、今回は（式４）の４次式を用いたが測定する液滴形状に合わせた数式モデルを使用する事が望ましい。
【０１９９】
次に、工程Ｓ７１６では、工程Ｓ７０２で求めた液滴直径と、工程Ｓ７１５で求めた補完後の各画素位置での高さ（仮値）を用いて、外周部での高さＨｅ（仮値）を算出する。外周部での高さＨｅは、液滴中心からの距離が、液滴直径より求められる液滴半径から一定距離ｅの範囲以内の画素位置での高さの平均で求めるのが良い。なお、外周部での高さＨｅの算出は、液滴半径から一定距離ｅの範囲以内に存在する画素の全画素位置での高さ情報を用いても良いが、簡略化のため、Ｘ軸方向またはＹ軸方向もしくはその双方のみの画素情報を用いても良い。ここで、上記のようにして求めた外周部での高さ（仮値）Ｈｅが０になるように、工程Ｓ７１５で求めた補完後の各画素位置での高さ（仮値）から外周部での高さ（仮値）Ｈｅを引くことで全画素位置での高さにオフセットを与え、各画素位置での高さ（真値）を算出する。例えば、画素位置Ａ0での高さ（仮値）がＨＡ０、外周部での高さ（仮値）ＨｅがＨｅ０だった場合、画素位置Ａ0での高さ（真値）ＨＡは以下の（式８）で求まる。
【０２００】
ＨＡ  ＝  ＨＡ０−Ｈｅ０  ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（式８）
次に、工程７１７の処理内容を、図２２を用いて説明する。ここで、図２２の７００は液滴を表しており、Ｓ０は液滴の任意座標の画素の面積を表しており、ＨＡが液滴の任意座標の画素の高さを表しており、Ｖ０は液滴の任意座標の画素の体積を表している。工程７１７では、図１２の様に、工程Ｓ７１６で求めた各画素の高さ（真値）を工程Ｓ７０２で求めた液滴直径の範囲内の全画素について画素毎の体積を計算し、それらを足し合せる事で液滴全体の体積Ｖを求めている。
【０２０１】
工程Ｓ７０８と工程Ｓ７０９に関しては、先述した第１の体積導出方法の工程Ｓ７０８と工程Ｓ７０９と同様の処理となる為、説明を省略する（図１４のＳ７０８、Ｓ７０９参照）。
【０２０２】
上述したように、第２の体積導出方法では、液滴の数式モデルを用いて、液滴のＸ−Ｚ断面における外形線上の任意の点における接線と基板（図４の基板１００参照）とのなす角度が液滴の撮像に使用するレンズの開口数から求まる測定可能角度θを超えた部分の画素情報を補完する事で液滴直径内の全画素の高さ情報を取得する事が可能になり、それによって液滴直径内の全画素情報を用いた体積を取得することが出来る。また、第２の体積導出方法では、液滴の全画素情報を使用する為、液滴形状が点対称でなくても、液滴の体積を求めることが出来る。
【０２０３】
なお、本実施の形態の液滴評価工程Ｓ７０では、上述した様に第１、第２の２つの体積導出方法の何れか一方を実行する構成について説明したが、これに限らず例えば、工程Ｓ７０２において、液滴の直径を認識する際に液滴の真円度を求め、その求めた真円度が所定の判定基準に基づいて、真円に近いか、それとも楕円に近いかを判定する真円度判定工程Ｓ７５０を備え（図２６参照）、真円に近いものは第１の体積導出方法を用いて計算する工程（図２６の第１の体積導出工程Ｓ７５１参照）と、楕円に近いものは第２の体積導出方法を用いて計算する工程（図２６の第２の体積導出工程Ｓ７５２参照）とを、液滴の真円度に応じて使い分ける、第２の液滴評価工程Ｓ７０ａを備えた構成でも良い。図２６は、第２の液滴評価工程Ｓ７０ａを備えた本実施の形態１の別の液滴測定方法の構成例を示す概略のフロー図である。
【０２０４】
なお、液滴評価工程Ｓ７０で求めた液滴の体積を、液滴の吐出体積調整に使用するには、予め定められたノズルの液滴の体積との変異量を求め、所定の範囲内に収まる様に、各ノズルに対応した圧電アクチュエータへの印加電圧を調整するのが良い。
【０２０５】
上述した様に、液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きと当該位置に対応する輝度情報との対応関係を表す対応テーブルから、ヘッドの少なくとも一部のノズルから吐出させた任意の液滴の任意箇所の輝度情報から任意の液滴の任意箇所の傾きを導出することが出来る。
【０２０６】
また、上述した構成によれば、印刷対象物に塗布された液滴の形状が大きく異ならない場合において、高速に液滴吐出量を同定することができる。
【０２０７】
またこれらの構成によれば、吐出量（液滴の体積）測定以外にも、液滴の表面形状等の測定にも用いることができる。
【０２０８】
なお、図１に示す印刷装置では、工程Ｓ７０で求めた液滴の体積を用いて、予め定められたノズルの液滴の体積との変異量を求から、所定の範囲内に収まる様に、各ノズルに対応した圧電アクチュエータへの印加電圧を調整している。
【０２０９】
なお、本構成による吐出量測定方法では、光の反射量が測定精度を決める重要な要素であるため、例えば測定対象物を設置するステージ面の反射率にムラがあった場合に測定精度の悪化を招く。
【０２１０】
そこで、測定対象物を設置するステージ面の反射率のムラを排除するために、測定対象物の撮像とは別途、測定物を置かない状態でステージ面を撮像し、測定物を置いた状態で撮像した画像輝度から、測定物を置かない状態で撮像した画像輝度を引いた画像を作成してから、上記方法により体積を測定するのが望ましい。
【０２１１】
なお、本構成による吐出量測定方法では、測定対象物とレンズの位置関係が異なる場合、対象液滴は同一であっても、レンズ歪みの影響によって、測定される体積が異なる可能性がある。また、カメラの取り付け角度の微小な違いによって、測定対象物とレンズの位置関係と、測定される体積の関係も異なる。
【０２１２】
そのため、事前にマスターサンプル等を用い、測定対象物とレンズの位置関係と、測定される体積の関係を導出しておき、実際に撮像して体積測定を行った後に上記違いをキャンセルする手法を用いるのが望ましい。
【０２１３】
次に、上記実施の形態で説明した液滴測定方法が従来の方法に比べて顕著な効果を発揮するノズル数Ｎの範囲を、次式（式９）に示す。
【０２１４】
６０≦Ｎ≦１，２００，０００  ・・・・・・・・・・・・・・・・・（式９）
以下に、（式９）の下限と上限の根拠を説明する。
【０２１５】
下限については、次の通りである。
【０２１６】
光干渉等による従来の液滴測定方式と、本実施の形態の液滴測定方法のそれぞれの測定時間を比較した際に、本実施の形態の液滴測定方法では、従来方式と同等の測定装置を用いて、評価対象となる全てのノズルから吐出される体積測定用液滴サンプル中から所定数の液滴を抽出して、形状を測定して「輝度比−傾き」対応テーブルを作る必要がある為、測定に準備が必要となる。
【０２１７】
その為、例えば１液滴を測定するだけであれば、従来の方法の方が早いが、本実施の形態の液滴測定方法は、１液滴当たりの測定時間が従来に比べて早い為、ある滴数以上で従来法より総合的な測定時間が短くなる。
【０２１８】
そこで、従来の方法による測定時間Ｆは、次式（式１０）で表すことが出来る。
【０２１９】
Ｆ＝Ａ＋Ｂ×Ｎ  ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（式１０）
ここで、Ａは従来の方法の準備時間、Ｂは従来の方法の１液滴当たりの測定時間、Ｎは測定対象（評価対象）の液滴個数、即ちノズル数を示すものとする。
【０２２０】
次に、本実施の形態の方法による測定時間Ｇは、次式（式１１）で表すことが出来る。
【０２２１】
Ｇ＝Ａ’＋Ｄ×Ｎ＋Ｂ×（Ｎ／Ｅ＋１）  ・・・・・・・・・・・（式１１）
ここで、Ａ’は本実施の形態の方法の準備時間、Ｄは本実施の形態の方法の１液滴当たりの測定時間、Ｅは従来の方法を用いて液滴の形状を測定する際の抽出される液滴間隔を示すものとする。
【０２２２】
上記変数の具体的な値としては、Ａ＝３０ｓｅｃ、Ｂ＝１ｓｅｃ、Ａ’＝６０ｓｅｃ、Ｄ＝０．００１ｓｅｃ、Ｅ＝１００滴として、これらの値を、上記（式１０）、（式１１）にそれぞれ代入すると、Ｎ＝６０個あたりで、従来の方法による測定時間Ｆと、本実施の形態による測定時間Ｇが、ともに概ね９０ｓｅｃとなり、それ以上大きな液滴数（ノズル数）になれば、本実施の形態による測定時間Ｇの方が、従来の方法による測定時間Ｆより短くなるため、下限は６０個と設定できる。
【０２２３】
一方、上限については次の通りである。
【０２２４】
仮に、測定対象を６０個より大幅に増やすと、測定時間が長くなり事実上、測定が困難となる。
【０２２５】
そこで、本実施の形態の方法を用いたとしても、１色当たりの測定時間が４時間程度になるノズル数では、例えば、ＲＧＢの３色で測定時間が１２時間となる。液滴の体積調整は、電圧変更（図１４の工程Ｓ７８参照）と、体積測定（図１４の工程Ｓ７１からＳ７６参照）の工程を２〜３回行って調整するものとすると、トータルの測定時間は、２４時間〜３６時間となり、実用上は、稼働率等を確保するためには実現困難な値の下限となる。
【０２２６】
よって、上記１色当たりの測定時間Ｇが４時間程度になるノズル数を求めると概ね１，２００，０００個となるため、これを上限とした。
【０２２７】
以上のことから、ノズル数が６０個以上で１０万個以下の範囲では、本実施の形態の液滴測定方法によれば、従来の方法より、短い測定時間で、且つ、測定精度を確保できる。
（対応テーブル作成別パターン）
尚、上記実施の形態では、本発明の液滴測定方法として、評価対象となる液滴を吐出して、その一部の液滴を、対応テーブルの作成に用いる場合について説明した（図２参照）。
【０２２８】
しかし、これに限らず例えば、本発明の他の液滴測定方法の一例として、図２３に示す工程により構成されていても良い。図２３は、第２の液滴測定方法を示す概略のフロー図である。
【０２２９】
図２３において、第１工程ＳＳ１００は、図２で示した液滴測定方法を示すフロー図であり、各工程において、図２と同じ工程には同じ符号を付した。また、図２３において、別の基板作成工程Ｓ１１０、別の吐出・塗布工程Ｓ１２０、別の乾燥工程Ｓ１３０、別の撮像工程Ｓ１４０は、図２で説明した、基板作成工程Ｓ１０、吐出・塗布工程Ｓ２０、乾燥工程Ｓ３０、撮像工程Ｓ４０と基本的に同じである。また、図２３の別の液滴評価工程Ｓ１７０は、対応テーブル作成Ｓ６０で作成された対応テーブルを用いて液滴を評価する点を除いて、図２で説明した液滴評価工程Ｓ７０と基本的に同じである。
【０２３０】
図２３に示す第２の液滴測定方法は、例えば、図１のラインヘッド９について、第１工程ＳＳ１００（Ｓ１０〜Ｓ７０を含む）を最初に実施して、その後、同じラインヘッド９について、例えば、１週間毎に簡易測定を実施する場合は、１週間前に行った最初の測定で作成された対応テーブル（Ｓ６０参照）を用いて、工程Ｓ１１０〜Ｓ１７０に従って測定を行い、更に、例えば、１ヶ月毎に実施する定期測定では、再び、第１工程ＳＳ１００（Ｓ１０〜Ｓ７０を含む）に従って測定を行う構成である。
【０２３１】
この構成によれば、測定の度に対応テーブルを作成する必要がないので、より効率良く、短時間で測定が行えて、且つ測定精度も確保出来るという効果を発揮する。
【０２３２】
また、上記実施の形態では、本発明の液滴測定方法として、評価対象となる液滴を吐出して、その一部の液滴を、対応テーブルの作成に用いる場合について説明した（図２参照）。
【０２３３】
しかし、これに限らず例えば、本発明の他の液滴測定方法の一例として、図２４に示す様に、対応テーブルを作成するだけのために液滴を吐出し、評価対象の液滴を吐出する工程を別の工程として設けた構成であっても良い。図２４は、第３の液滴測定方法を示す概略のフロー図である。図２４において、図２と同じ工程には同じ符号を付した。
【０２３４】
図２４の対応テーブル作成用吐出・塗布工程Ｓ２２０は、評価対象のノズルの内、対応テーブル作成用として設定された一部のノズルから液滴を吐出する点を除いて、図２の吐出・塗布工程Ｓ２０と基本的に同じである。ここで、一部のノズルの設定の方法は、上記実施の形態１の形状測定工程Ｓ５０における液滴の抽出について説明した「抽出の仕方」と同じである。また、図２４の形状測定工程Ｓ２５０は、対応テーブル作成用吐出・塗布工程Ｓ２２０において予め設定された一部のノズルから吐出された全ての液滴について形状を測定する点を除いて、図２の形状測定工程Ｓ５０と基本的に同じである。また、図２４の対応テーブル作成工程Ｓ２６０は、対応テーブル作成用吐出・塗布工程Ｓ２２０において予め設定された一部のノズルから吐出された液滴を全て用いて対応テーブルを作成する点を除いて、図２の対応テーブル作成工程Ｓ６０と基本的に同じである。また、液滴評価工程Ｓ３７０は、対応テーブル作成工程Ｓ２６０で作成された対応テーブルを用いて液滴を評価する点を除いて、図２で説明した液滴評価工程Ｓ７０と基本的に同じである。ここで、対応テーブル作成用吐出・塗布工程Ｓ２２０で用いた液滴と、液滴評価工程Ｓ３７０で評価対象となった液滴とは異なる液滴であるが、それらの液滴を吐出したノズルを有するラインヘッド（図１のラインヘッド９参照）は同じものである。この構成により、上記実施の形態の液滴測定方法と同様の効果を発揮する。
【０２３５】
また、図２４に示す第３の液滴測定方法は、対応テーブル作成用吐出・塗布工程Ｓ２２０において、対応テーブルを作成するだけのために、評価対象の全てのノズルの内の一部のノズルから液滴を吐出し、それとは別に、吐出・塗布工程Ｓ２０において、評価対象の全てのノズルから液滴を吐出する点で、図２の液滴測定方法と相違するが、図２４の対応テーブル作成用吐出・塗布工程Ｓ２２０は、図２の吐出・塗布工程Ｓ２０と同様に、評価対象の全てのノズルから液滴を吐出させて、対応テーブル作成工程Ｓ２６０において、全てのノズルから吐出された液滴の一部の液滴を抽出して、対応テーブル作成に用いる構成であっても良い。
【０２３６】
また、上記実施の形態（図２４参照）では、本発明の他の液滴測定方法の一例として、対応テーブルを作成するだけのために液滴を吐出し、評価対象の液滴を吐出する工程を別の工程として設けた構成について説明した。
【０２３７】
しかし、これに限らず例えば、本発明の他の液滴測定方法の一例として、図２５に示す工程により構成されていても良い。図２５は、第４の液滴測定方法を示す概略のフロー図である。
【０２３８】
図２５において、第２工程ＳＳ２００は、図２４で示した第３の液滴測定方法を示すフロー図であり、各工程において、図２４と同じ工程には同じ符号を付した。また、図２５において、別の基板作成工程Ｓ４１０、別の吐出・塗布工程Ｓ４２０、別の乾燥工程Ｓ４３０、別の撮像工程Ｓ４４０は、図２４で説明した、基板作成工程Ｓ１０、吐出・塗布工程Ｓ２０、乾燥工程Ｓ３０、撮像工程Ｓ４０と基本的に同じである。また、図２５の別の液滴評価工程Ｓ４７０は、対応テーブル作成工程Ｓ２６０で作成された対応テーブルを用いて液滴を評価する点を除いて、図２４で説明した液滴評価工程Ｓ３７０と基本的に同じである。
【０２３９】
図２５に示す第４の液滴測定方法は、例えば、図１のラインヘッド９について、第２工程ＳＳ２００を最初に実施して、その後、同じラインヘッド９について、例えば、１週間毎に簡易測定を実施する場合は、１週間前に行った最初の測定で作成された対応テーブル（Ｓ２６０参照）を用いて、工程Ｓ４１０〜Ｓ４７０に従って測定を行い、更に、例えば、１ヶ月毎に実施する定期測定では、再び、第２工程ＳＳ２００に従って測定を行う構成である。
【０２４０】
この構成によれば、測定の度に対応テーブルを作成する必要がないので、より効率良く、短時間で測定が行えて、且つ測定精度も確保出来るという効果を発揮する。
【０２４１】
また、上記実施の形態では、減圧チャンバー（図示省略）内において、減圧雰囲気中で基板上の液滴を乾燥させる乾燥工程を備えた構成について説明した。しかし、これに限らず例えば、減圧チャンバーを備えず、大気圧中において、基板上の液滴を乾燥させる乾燥工程を備えた構成であっても良いし、乾燥工程そのものが無くても良い。
【０２４２】
また、上記実施の形態では、評価対象のノズルは、ラインヘッド９の全てのノズルを対象とした場合について説明したが、これに限らず例えば、ラインヘッド９の一部のノズルを評価対象としても良い。
【０２４３】
また、上記実施の形態では、液滴評価工程では、吐出・塗布工程で吐出された液滴（但し、ダミー液滴は除く）は全て評価する場合について説明したが、これに限らず例えば、吐出・塗布工程で吐出された液滴（但し、ダミー液滴は除く）の一部の液滴についてのみ評価する構成であっても良い。
【０２４４】
また、上記実施の形態では、液滴と基板の接触角αを、対物レンズの最大角度θに一致させる様に接触角αを調整した場合（α＝θ）について説明したが、これに限らず例えば、接触角αは、対物レンズの最大角度θに一致していなくても良い。
【０２４５】
また、本実施の形態では、対応テーブル作成工程において、液滴と基板の接触角αを、対物レンズの最大角度θに一致させる様に接触角αを調整した場合（α＝θ）について説明したが、これに限らず例えば、接触角αが（式２）に示した下限に調整された場合（即ち、α＝１／５×θ）であっても、上述したα＝θの場合と同様、公知の液滴形状測定装置を用いて液滴のプロファイルを測定し（図５（ａ）のグラフ８１０参照）、その測定されたプロファイルから、対応テーブル作成部１２０により、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「傾き」との関係が求められると共に（図５（ｂ）の液滴傾きグラフ８１１参照）、カメラ６０１を用いて撮像された液滴の輝度情報から「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度」との対応関係を作成し（図５（ｃ）の液滴輝度グラフ８１２参照）、更に、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度比」との対応関係（図示省略）を作成することが出来る。そして、図５（ｂ）に示した、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「傾き」との関係（図５（ｂ）の液滴傾きグラフ８１１参照）と、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度比」との関係から、上記と同様に、「輝度比―傾き」対応テーブルを作成することが出来る。
【０２４６】
また、本実施の形態では、対応テーブル作成工程において、液滴と基板の接触角αを、対物レンズの最大角度θに一致させる様に接触角αを調整した場合（α＝θ）について説明したが、これに限らず例えば、接触角αが（式２）に示した上限に調整された場合（即ち、α＝３×θ）であっても、上述したα＝θの場合と同様、公知の液滴形状測定装置を用いて液滴のプロファイルを測定し（図６（ａ）のグラフ９１０参照）、その測定されたプロファイルから、対応テーブル作成部１２０により、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「傾き」との関係が求められると共に（図６（ｂ）の液滴傾きグラフ９１１参照）、カメラ６０１を用いて撮像された液滴の輝度情報から「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度」との対応関係を作成し（図６（ｃ）の液滴輝度グラフ９１２参照）、更に、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度比」との対応関係（図示省略）を作成することが出来る。そして、図６（ｂ）に示した、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「傾き」との関係（図６（ｂ）の液滴傾きグラフ９１１参照）と、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度比」との関係から、上記と同様に、「輝度比―傾き」対応テーブルを作成することが出来る。なお、図６（ｃ）に示す「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度」との対応関係を示す液滴輝度グラフ９１２は、上述した通り、傾きがθを超えた部分の輝度情報は、液滴形状を反映した輝度情報ではなく、例えば一定の値を取ることになる。従って、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度比」との対応関係についても、傾きがθを超えた部分の輝度比は、液滴形状を反映した輝度比ではなく、上記と同様に一定の値を取ることになるので、「輝度比―傾き」対応テーブルは、液滴中心から液滴の半径の１／２の範囲内において作成される。
【０２４７】
また、上記実施の形態では、図１７に示す様に、全ての液滴について工程Ｓ７１５で液滴の外周部の高さを数式モデルで補完する構成について説明したが、これに限らず例えば、図２７に示す様に、液滴の周縁部において液滴の傾きが変化しない範囲が存在するか否かを判定する傾き判定工程Ｓ７６０を備え、液滴の傾きが変化しない範囲が存在すると判定した場合は、工程Ｓ７１５へ進み、液滴の傾きが変化しない範囲が存在しないと判定した場合は、工程Ｓ７１６へ進む構成としても良い。図２７は、本実施の形態１の更に別の液滴測定方法の構成例を示す概略のフロー図である。
【産業上の利用可能性】
【０２４８】
本発明の液滴測定方法、及び液滴測定システムよれば、塗布した液滴の体積或いは形状を高速に測定するとともに、測定精度を確保することが可能となり、例えば、印刷対象物の色むら等を管理するための測定およびインクジェット装置の校正を高速に行うことができる。
【０２４９】
また、そのため、例えば有機ＥＬディスプレイパネルの製造における有機発光材料を塗布形成するための液滴吐出式印刷装置への利用に有用である。
【符号の説明】
【０２５０】
１    印刷対象物
２    ヘッドユニット
３    テーブル
４    脚部
５    支持部
６    ガントリー
７    支持台
８    分配タンク
９    ラインヘッド
１０  液滴吐出モジュールヘッド
１１  ステージ
１２  制御部
２０  撮像機構
５０  液滴吐出装置
１２０  対応テーブル作成部
１３０  体積算出部
【図１】
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【図２】
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【図５】
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【図６】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図３】
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【図４】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図２０】
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【図２１】
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