(57)【要約】【課題】光走査装置において、幅方向（径方向）の小型化をさらに進める。【解決手段】第１可動反射部材１０２及び第１固定反射部材２０２は第１基板１００の第１面に設けられており、第２可動反射部材１０４及び第２固定反射部材２０４は第２基板１０１の第２面に設けられている。第１可動反射部材１０２は第１回転軸を中心に回転可能であり、第２可動反射部材１０４は第２回転軸を中心に回転可能である。第２固定反射部材２０４、第１可動反射部材１０２、第２可動反射部材１０４、及び第１固定反射部材２０２は、図１のｘ軸方向においてこの順に配置されている。【選択図】図１
2015210280.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面を有する第１基板と、
第２面を有しており、前記第２面が前記第１面に対向している第２基板と、
前記第１基板の前記第１面に設けられており、第１回転軸を中心に回転可能である第１可動反射部と、
前記第１基板の前記第１面に設けられた第１固定反射部と、
前記第２基板の前記第２面に設けられ、第２回転軸を中心に回転可能である第２可動反射部と、
前記第２基板の前記第２面に設けられた第２固定反射部と、
を備え、
前記第１面に垂直な方向から見た場合において、
前記第１回転軸と前記第２回転軸は互いに交わる方向を向いており、
前記第２固定反射部、前記第１可動反射部、前記第２可動反射部、及び前記第１固定反射部は、第１方向においてこの順に配置されており、
前記第２固定反射部は、外部からの入射光を前記第１可動反射部に向けて反射し、
前記第１可動反射部は、前記入射光を前記第２可動反射部に向けて反射し、
前記第２可動反射部は、前記入射光を前記第２固定反射部に向けて反射し、
前記第１固定反射部は、前記入射光を外部に向けて反射する光走査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光走査装置において、
前記第１基板の前記第１面及び前記第２基板の前記第２面のそれぞれに接するスペーサ部材を備え、
前記スペーサ部材は、前記入射光を透過する材料により形成されている光走査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の光走査装置において、
前記スペーサ部材は、前記第１方向において、前記第２固定反射部を挟んで前記第１可動反射部に対向しており、
前記スペーサ部材のうち前記第２固定反射部に対向する面及び当該面とは逆側の面の少なくとも一方に設けられた反射防止膜を備える光走査装置。
【請求項４】
請求項１に記載の光走査装置において、
前記第１基板の前記第１面及び前記第２基板の前記第２面のそれぞれに接するスペーサ部材を備え、
前記スペーサ部材は、前記第１方向において、前記第２固定反射部を挟んで前記第１可動反射部に対向しており、かつ前記入射光が通過する領域に、前記第１方向に貫通している貫通孔を有する光走査装置。
【請求項５】
請求項４に記載の光走査装置において、
前記貫通孔に配置されたレンズを備える光走査装置。
【請求項６】
請求項１に記載の光走査装置において、
前記第１基板の前記第１面及び前記第２基板の前記第２面のそれぞれに接するスペーサ部材を備え、
前記スペーサ部材は、前記第１方向において、前記第２固定反射部及び前記第１固定反射部と並んでいない光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＭＥＭＳ（Micro ElectroMechanical Systems）技術の開発が進んでいる。ＭＥＭＳ技術を用いた装置の一つに、光を走査する光走査装置がある。光走査装置は、レーザプリンタ、バーコードリーダ、及び内視鏡など、様々な機器に利用されている。
【０００３】
このような光走査装置の一つに、特許文献１に記載の装置がある。この装置は、２つの可動ミラーの間に反射表面を配置したものである。第１の可動ミラーは第１の回転軸を中心に回転し、第２の可動ミラーは第２の回転軸を中心に回転する。第１の回転軸と第２の回転軸は互いに平行ではない。そして、光走査装置に入社した光は、第１の可動ミラーで反射された後、反射表面によって第２の可動ミラーに向けて反射される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００８−５１４９７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ＭＥＭＳ技術は、装置を小型化するのに有効である。しかし、本発明者は、特許文献１に記載の光走査装置では、幅方向（径方向）の小型化には限界がある、と考えた。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、光走査装置において、幅方向（径方向）の小型化をさらに進めることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、第１面を有する第１基板と、
第２面を有しており、前記第２面が前記第１面に対向している第２基板と、
前記第１基板の前記第１面に設けられており、第１回転軸を中心に回転可能である第１可動反射部と、
前記第１基板の前記第１面に設けられた第１固定反射部と、
前記第２基板の前記第２面に設けられ、第２回転軸を中心に回転可能である第２可動反射部と、
前記第２基板の前記第２面に設けられた第２固定反射部と、
を備え、
前記第１面に垂直な方向から見た場合において、
前記第１回転軸と前記第２回転軸は互いに交わる方向を向いており、
前記第２固定反射部、前記第１可動反射部、前記第２可動反射部、及び前記第１固定反射部は、第１方向においてこの順に配置されており、
前記第２固定反射部は、外部からの入射光を前記第１可動反射部に向けて反射し、
前記第１可動反射部は、前記入射光を前記第２可動反射部に向けて反射し、
前記第２可動反射部は、前記入射光を前記第２固定反射部に向けて反射し、
前記第１固定反射部は、前記入射光を外部に向けて反射する光走査装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、光走査装置を幅方向（径方向）に小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態に係る光走査装置の構成を示す断面図である。
【図２】第１可動反射部材の詳細構造の一例を示す平面図である。
【図３】スペーサ部材の一例を示す斜視図である。
【図４】第２の実施形態に係るスペーサ部材の構成を示す斜視図である。
【図５】第３の実施形態に係るスペーサ部材の構成を示す斜視図である。
【図６】（ａ）は、第４の実施形態に係るスペーサ部材の正面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図７】第５の実施形態に係る内視鏡装置の構成を示す図である。
【図８】比較例に係る光走査装置の構成を示す図である。
【図９】図８に示した光走査装置の要部を上方から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１１】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る光走査装置１０の構成を示す断面図である。本実施形態に係る光走査装置１０は、第１基板１００、第２基板１０１、第１可動反射部材１０２、第１固定反射部材２０２、第１可動反射部材１０２、及び第２固定反射部材２０４を備えている。第１基板１００は第１面を有しており、第２基板１０１は第２面を有している。第１面及び第２面は、互いに対向している。第１可動反射部材１０２及び第１固定反射部材２０２は第１基板１００の第１面に設けられており、第２可動反射部材１０４及び第２固定反射部材２０４は第２基板１０１の第２面に設けられている。第１可動反射部材１０２は第１回転軸を中心に回転可能であり、第２可動反射部材１０４は第２回転軸を中心に回転可能である。
【００１２】
第１基板１００の第１面に垂直な方向（例えば図１のｚ軸方向）から見た場合において、第１回転軸及び第２回転軸は、互いに交わる方向（好ましくは直角に交わる方向）を向いており、かつ、第２固定反射部材２０４、第１可動反射部材１０２、第２可動反射部材１０４、及び第１固定反射部材２０２は、第１方向（例えば図１のｘ軸方向）においてこの順に配置されている。第２固定反射部材２０４は、外部（例えば導光部４４０）からの入射光を第１可動反射部材１０２に向けて反射し、第１可動反射部材１０２は、入射光を第２可動反射部材１０４に向けて反射する。第２可動反射部材１０４は、入射光を第１固定反射部材２０２に向けて反射し、第１固定反射部材２０２は、入射光を外部に向けて反射する。以下、詳細に説明する。
【００１３】
第１可動反射部材１０２及び第２可動反射部材１０４は、いずれもＭＥＭＳ技術を用いて形成されている。例えば、第１可動反射部材１０２は、第１基板１００を加工することにより形成されており、第２可動反射部材１０４は、第２基板１０１を加工することにより形成されている。この場合、第１基板１００及び第２基板１０１は、いずれもＳＯＩ（Silicon ON Insulator）基板であるのが好ましい。第１可動反射部材１０２及び第２可動反射部材１０４の可動反射面は、いずれも、中立状態において互いに平行になっている。
【００１４】
第１固定反射部材２０２は第１基板１００の第１面に設けられており、第２固定反射部材２０４は第２基板１０１の第２面に設けられている。第１固定反射部材２０２のうち第２基板１０１に対向している面には第１固定反射面が形成されており、第２固定反射部材２０４のうち第１基板１００に対向する面には第２固定反射面が形成されている。これらの固定反射面には、反射膜が例えば蒸着法を用いて形成されている。反射膜は、例えばＡｌ、Ａｇ、又はＡｕなどを用いて形成されている。第１固定反射面及び第２固定反射面は、いずれも光走査装置１０の外側に向けて傾斜している。第１固定反射部材２０２は、第１基板１００とは別の部材として形成された後、第１基板１００に固定されている。第１固定反射部材２０２は、例えばガラスや樹脂などを用いて形成されている。そして第１固定反射部材２０２は第１基板１００に固定されている。第２固定反射部材２０４についても同様である。
【００１５】
第１基板１００の第１面と第２基板１０１の第２面の間には、スペーサ部材５００が設けられている。スペーサ部材５００は第１基板１００の第１面と第２基板１０１の第２面のそれぞれに接しており、第１基板１００と第２基板１０１の間隔を定めている。
【００１６】
スペーサ部材５００は、少なくとも第１基板１００のうち互いに対向する２箇所に設けられているのが好ましい。このようにすると、第１基板１００及び第２基板１０１を、互いに離間した状態で安定させることができる。本図に示す例では、スペーサ部材５００は、第１可動反射部材１０２、第２可動反射部材１０４、第１固定反射部材２０２、及び第２固定反射部材２０４よりも第１基板１００及び第２基板１０１の縁の近くに位置している。スペーサ部材５００は、第１基板１００の縁の全周にわたって連続的に設けられていても良いし、互いに異なる２つ以上の部材として設けられていても良い。スペーサ部材５００は、例えばガラスや透明な樹脂などの導光部４４０からの光を透過すある材料を用いて形成されている。
【００１７】
図２は、第１可動反射部材１０２の詳細構造の一例を示す平面図である。第２可動反射部材１０４の詳細構造は、平面視における向きが９０°異なっている点を除いて、図２に示した第１可動反射部材１０２の詳細構造と同様である。
【００１８】
本図に示す第１可動反射部材１０２は、一つの基板、例えばシリコン基板又はＳＯＩ基板を加工することにより形成されている。第１可動反射部材１０２は、可動電極１２０、支持部材１１０、支持軸１３０、及び２つの固定電極１４０を備えている。支持軸１３０は、可動電極１２０を支持部材１１０に取り付けており、かつ可動電極１２０の回転軸（すなわち第１回転軸又は第２回転軸）となる。２つの固定電極１４０は、可動電極１２０を介して互いに対向しており、可動電極１２０の回転軸と交わる方向に並んでいる。
【００１９】
可動電極１２０の平面形状は矩形であるが、固定電極１４０と対向する辺（図２においてＹ方向に伸びている辺）は、櫛歯形状となっている。支持部材１１０は、可動電極１２０の４辺のうち固定電極１４０と対向していない２つの辺（図２においてＸ方向に伸びている辺）それぞれに対向している。支持軸１３０は、可動電極１２０のうち支持部材１１０と対向している２辺それぞれに対して設けられている。詳細には、支持軸１３０は、可動電極１２０のうち支持部材１１０と対向している辺の中心に接続している。そして２つの支持軸１３０を結ぶ線が、可動電極１２０の回転軸となっている。本実施形態では、支持部材１１０、可動電極１２０、及び支持軸１３０は一体的に形成されている。
【００２０】
固定電極１４０のうち可動電極１２０と対向する辺は、櫛歯形状となっており、可動電極１２０の櫛歯部分とかみ合っている。このため、固定電極１４０と可動電極１２０は、互いに対向する部分の面積が大きくなり、その結果、可動電極１２０の駆動力は大きくなる。
【００２１】
また、固定電極１４０は、一部が可動電極１２０と支持部材１１０の間に伸びている。その伸びている部分の先端は、支持軸１３０に対向している。
【００２２】
第１可動反射部材１０２の可動電極１２０は、例えば上面が可動反射面１２２になっている。可動反射面１２２は、例えば可動電極１２０の上面に金属膜（例えばＡｌ膜）を形成することにより、形成されている。そして可動電極１２０の角度を変えることにより、可動電極１２０に入射してきた光の反射角を変える。可動電極１２０の角度は、制御部２０によって制御される。
【００２３】
上記したように、第１可動反射部材１０２の回転軸及び第２可動反射部材１０４の回転軸は、互いに交わる方向（例えば直行する方向）を向いている。このため、第１可動反射部材１０２及び第２可動反射部材１０４それぞれの可動反射面１２２の角度を調節することにより、光の射出方向を図１，２におけるｙｚ面内で制御することができる。
【００２４】
図３は、スペーサ部材５００の一例を示す斜視図である。本図に示す例において、スペーサ部材５００は、入射光の光路上に位置しており、図１におけるｘ方向において、第２固定反射部材２０４を挟んで第１可動反射部材１０２に対向している。そしてスペーサ部材５００は、入射光を透光する材料によって形成されている。
【００２５】
そしてスペーサ部材５００のうち入射光が透過する面には、反射防止膜５０４が設けられている。本図に示す例では、スペーサ部材５００は、光走査装置１０の内側の面（すなわち第１固定反射部材２０２又は第２固定反射部材２０４に対向する面）及び外側の面の双方に反射防止膜５０４が設けられている。このようにすると、スペーサ部材５００を透過する際に入射光が反射することを抑制できる。ただし反射防止膜５０４は、スペーサ部材５００の一方の面にのみ設けられていても良い。
【００２６】
次に、本実施形態に係る光走査装置１０の製造方法を説明する。まず、第１基板１００に第１可動反射部材１０２を形成し、また第２基板１０１に第２可動反射部材１０４を形成する。第１可動反射部材１０２は、たとえば第１基板１００を加工することにより形成され、第２可動反射部材１０４は、例えば第２基板１０１を加工することにより形成される。
【００２７】
また、第１固定反射部材２０２を第１基板１００に固定し、また第２固定反射部材２０４を第２基板１０１に固定する。次いで、第１可動反射部材１０２の可動反射面１２２、第２可動反射部材１０４の可動反射面１２２、第１固定反射部材２０２の固定反射面、及び第２固定反射部材２０４の固定反射面のそれぞれに、金属膜、例えばアルミニウム膜を蒸着法などを用いて成膜する。
【００２８】
次いで、スペーサ部材５００を介して第１基板１００及び第２基板１０１を対向させる。このようにして、光走査装置１０が形成される。
【００２９】
次に、本実施形態の効果について、図８及び図９に示した比較例を用いて説明する。図８は、比較例に係る光走査装置１２の構成を示す図である。図９は、図８に示した光走査装置１２の要部を上方から見た図である。この比較例に係る光走査装置１２は、以下の構成を有している。まず、第１可動反射部材１０２及び第２可動反射部材１０４は、いずれも第１基板１００に設けられている。そして、第１基板１００のうち第１可動反射部材１０２及び第２可動反射部材１０４が設けられている面と対向する位置に、一つの光学部材３００が設けられている。第１基板１００に垂直な方向から見た場合において、光学部材３００は、第１可動反射部材１０２と第２可動反射部材１０４の間に位置している。そして光学部材３００のうち第１基板１００と対抗する面は固定反射面３１０になっている。固定反射面３１０は、中立状態の可動反射面１２２に対して平行になっている。
【００３０】
導光部４４０から第１可動反射部材１０２の可動反射面１２２への入射角をθＩＮ、第１可動反射部材１０２の可動反射面１２２と第２可動反射部材１０４の可動反射面１２２の間の距離をａ、可動反射面１２２を基準にしたときの固定反射面３１０の高さをｂとすると、以下の式（１）が成立する。
【００３１】
【数１】
2015210280.tif 000003
【００３２】
式（１）から、ｂを小さくすると、ａも小さくなることが分かる。一方、２つの可動反射面１２２はある程度の大きさを有しているため、距離ａを小さくすることには限界がある。このため、ｂを小さくすること、すなわち光走査装置１０の幅（径）を小さくすることには限界がある。
【００３３】
また、第２可動反射部材１０４の可動反射面１２２の傾斜角をθＴ、第２可動反射部材１０４による走査角度θＮとすると、以下の式（２）が成立する。
【００３４】
【数２】
2015210280.tif 000004
【００３５】
この式（２）から、第２可動反射部材１０４による走査角度θＮは、第２可動反射部材１０４の可動反射面１２２の傾斜角θＴに比例することが分かる。
【００３６】
一方、第１可動反射部材１０２の可動反射面１２２の傾斜角をθＳ、第１可動反射部材１０２による走査角度θＭとすると、以下の式（３）が成立する。
【００３７】
【数３】
2015210280.tif 000005
【００３８】
この式（３）によれば、ｔａｎθＭはｔａｎ（π／２−θＩＮ）に比例する。従って、光の入射角θＩＮが大きくなると、第１可動反射部材１０２による走査角度θＭは小さくなってしまう。
【００３９】
そして、式（１）から、ｔａｎ（π／２−θＩＮ）を大きくするためには、ａを小さくするか、ｂを大きくする必要がある。ａを小さくすることには限界があり、また、ｂを大きくすると、光走査装置１０は大きくなってしまう。
【００４０】
例えば、θＳが１０度である場合、θｉｎが４５度のときはθＭは約１８．９度、θｉｎが８０度のときはθＭは約３．４５度である。なお、この条件において、ｂを１ｍｍにしたとき、ａが２ｍｍになる。
【００４１】
一方、本実施形態において、導光部４４０から光走査装置１０に入射する光が第１基板１００に対して平行であり、かつ光走査装置１０から外に射出する光も第１基板１００に対して平行である、と仮定する。この場合、第１可動反射部材１０２による走査角度θＭに関して、以下の式（４）が成立する。
【００４２】
【数４】
2015210280.tif 000006
【００４３】
ここで、入射光の進行方向における第１可動反射部材１０２と第２可動反射部材１０４の中心間距離をａ、第１基板１００の第１面と第１可動反射部材１０２の第２面の距離、すなわち第１基板１００の厚さ方向における第１可動反射部材１０２と第２可動反射部材１０４の距離をｂとする。例えば、θｉｎが４５度のとき、ｂを０．７５ｍｍとすると、ａは０．７５ｍｍとなる。ここで第１可動反射部材１０２および第２可動反射部材１０４の大きさを１ｍｍ×１ｍｍとしても、第１可動反射部材１０２と第２可動反射部材１０４は互いに異なる基板に構成されているため、第１可動反射部材１０２と第２可動反射部材１０４とが物理的に干渉することを抑制できる。
【００４４】
このように本実施形態によれば、第１基板１００と第２基板１０１の間隔ｂを小さくしても、第１可動反射部材１０２と第２可動反射部材１０４とを近づけることができる。従って、光走査装置１０の幅方向に小型化することができる。
【００４５】
（第２の実施形態）
本実施形態に係る光走査装置１０は、スペーサ部材５００の構成を除いて、第１の実施形態に係る光走査装置１０と同様の構成である。
【００４６】
図４は、本実施形態に係るスペーサ部材５００の構成を示す斜視図である。本図に示す例において、スペーサ部材５００は、入射光が通過する領域に貫通孔５０２を有している。貫通孔５０２は入射光が進行する方向、すなわち第２固定反射部材２０４、第１可動反射部材１０２、第２可動反射部材１０４、及び第１固定反射部材２０２が並んでいる方向（第１方向）にスペーサ部材５００を貫通している。そしてスペーサ部材５００には反射防止膜５０４が設けられていない。
【００４７】
本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果が得られる。また、スペーサ部材５００は、入射光が通過する領域に貫通孔５０２を有しているため、入射光が光走査装置１０の内部に入る際、及び光走査装置１０の外部に射出する際のそれぞれにおいて、入射光がスペーサ部材５００によって減衰することを抑制できる。
【００４８】
（第３の実施形態）
本実施形態に係る光走査装置１０は、スペーサ部材５００の構成を除いて、第１の実施形態に係る光走査装置１０と同様の構成である。
【００４９】
図５は、本実施形態に係るスペーサ部材５００の構成を示す斜視図である。本図に示す例において、第２固定反射部材２０４、第１可動反射部材１０２、第２可動反射部材１０４、及び第１固定反射部材２０２が並んでいる方向（第１方向）において、スペーサ部材５００は第２固定反射部材２０４及び第１固定反射部材２０２と並んでいない。すなわちスペーサ部材５００は入射光の光路上には設けられていない。
【００５０】
本実施形態によっても、第２の実施形態と同様の効果が得られる。
【００５１】
（第４の実施形態）
本実施形態に係る光走査装置１０は、スペーサ部材５００の構成を除いて、第２の実施形態に係る光走査装置１０と同様の構成である。
【００５２】
図６（ａ）は、本実施形態に係るスペーサ部材５００の正面図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）のＡ−Ａ断面図である。本図に示す例において、スペーサ部材５００の貫通孔５０２にはレンズ５２０がはめ込まれている。
【００５３】
本実施例によれば、スペーサ部材５００はレンズ５２０を保持する保持部材を兼ねている。従って、レンズ５２０を保持するための保持部材を別途設ける必要はない。従って、光走査装置１０をさらに小型化することができる。
【００５４】
（第５の実施形態）
図７は、第５の実施形態に係る内視鏡装置４０の構成を示す図である。本実施形態に係る内視鏡装置４０は、共焦点光学系の内視鏡装置であり、光走査装置１０、光源４２０、ダイクロイックミラー４３０、導光部４４０としての光ファイバー、光検出部４５０、ＡＤ変換部４６０、及び画像処理部４７０を備えている。光走査装置１０は、ケース４１０の中に収容されている。ケース４１０は、内視鏡装置４０の先端部を構成しており、その先端にレンズ４１２を有している。光源４２０は、例えばレーザ発振をする半導体などのレーザ光源である。
【００５５】
本実施形態において、光走査装置１０は、第１〜第４の実施形態のいずれかと同様である。
【００５６】
次に、内視鏡装置４０の動作について説明する。光源４２０が生成した光は、ダイクロイックミラー４３０で反射され、導光部４４０に入射する。導光部４４０は、入射した光を第２固定反射部材２０４の固定反射面に向けて出射する。この光は、第２固定反射部材２０４、第１可動反射部材１０２、第２可動反射部材１０４、及び第１固定反射部材２０２を介して、レンズ４１２から観察対象に向けて出射する。このとき、図２等に示した制御部２０が第１可動反射部材１０２及び第２可動反射部材１０４を制御することにより、観察対象に向けて出射する光の向きが制御される。
【００５７】
観察対象には、予め蛍光体の分子が含浸されている。この蛍光体の分子は、レーザ光で励起されることにより蛍光発光する。この蛍光発光した光は、レンズ４１２を介して第１固定反射部材２０２、第２可動反射部材１０４、第１可動反射部材１０２、及び第２固定反射部材２０４を介して導光部４４０に入射する。導光部４４０に入射した光は、ダイクロイックミラー４３０を透過して光検出部４５０によって電気信号に変換される。この電気信号は、ＡＤ変換部４６０によってデジタル信号に変換される。画像処理部４７０は、ＡＤ変換部４６０が生成したデジタル信号に基づいて画像データを生成する。
【００５８】
本実施形態によれば、光走査装置１０は、第１〜第４の実施形態のいずれかと同様の構造を有している。このため、内視鏡装置４０から出射される光の光軸を、内視鏡装置４０が延伸する方向（すなわちケース４１０が向いている方向）に合わせることができる。また、ケース４１０の径ｒを小さくすることができる。
【００５９】
なお、スペーサ部材５００のうち観察対象に面する側に位置する部分に貫通孔５０２及びレンズ５２０が設けられている場合、レンズ４１２は省略されても良い。この場合、さらにケース４１０の径ｒを小さくすることができる。
【００６０】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００６１】
１０ 光走査装置
２０ 制御部
１００ 第１基板
１０１ 第２基板
１０２ 第１可動反射部材
１０４ 第２可動反射部材
１１０ 支持部材
１２０ 可動電極
１２２ 可動反射面
１３０ 支持軸
１４０ 固定電極
２０２ 第１固定反射部材
２０４ 第２固定反射部材
３００ 光学部材
３１０ 固定反射面
４０ 内視鏡装置
４１０ ケース
４１２ レンズ
４２０ 光源
４３０ ダイクロイックミラー
４４０ 導光部
４５０ 光検出部
４６０ ＡＤ変換部
４７０ 画像処理部
５００ スペーサ部材
５０２ 貫通孔
５０４ 反射防止膜
５２０ レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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