(57)【要約】【課題】ＥＣＵ筐体に圧力センサを取り付ける工程を簡略化し、吸気管を流れる圧力媒体の圧力応答性を改善し、ＥＣＵ筐体の容器の体積を減少させることができる圧力センサおよびその製造方法を提供する。【解決手段】圧力センサ本体５００を構成するキャップ６に軟質樹脂（シリコーン樹脂１３）のシール材を塗布し硬化させてキャップ６に固定し、このシリコーン樹脂１３にＯ−リングやガスケットのような働きをさせることで、ＥＣＵ筐体８に圧力センサ１００を取り付ける工程を簡略化でき、吸気管３０を流れる圧力媒体４０の圧力応答性を改善でき、ＥＣＵ筐体８の容器８ａの体積を減らすことができる【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体の圧力を測定する圧力センサにおいて、該圧力センサのパッケージに形成された導圧孔を取り囲み該パッケージに固着された軟質樹脂を有することを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記軟質樹脂が、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂もしくはウレタン系樹脂のいずれかであることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記パッケージが表面実装型であることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧力センサの製造方法において、前記パッケージ上に該パッケージに形成された導圧孔の周りに液状の軟質樹脂を塗布する工程と、
該液状の軟質樹脂を硬化させて、固化した軟質樹脂を前記パッケージに固着させる工程と、
を含むことを特徴とする圧力センサの製造方法。
【請求項５】
前記パッケージの表面に前記導圧孔の周りと前記パッケージ表面の外周部に前記液状の軟質樹脂の横方向の広がりを停止させるリング状の治具を前記パッケージの表面に配置した後、前記パッケージ上の前記リング状の治具で囲まれる箇所に前記液状の軟質樹脂を塗布することを特徴とする請求項４に記載の圧力センサの製造方法。
【請求項６】
前記液状の軟質樹脂を、加熱、常温もしくは紫外線で硬化させることを特徴とする請求項４または５に記載の圧力センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、圧力センサおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、自動車や二輪車のエンジンの燃費向上や、排ガスの正常化を目的としたエンジン制御の電子化において、吸気圧、排気圧、燃料圧、大気圧などの測定に圧力センサが用いられるようになってきた。加えて、制御機器類の軽量・小型化が求められ、圧力センサの搭載についても省スペース化が図られる。
【０００３】
図９は、従来の圧力センサ５０１の構成図であり、同図（ａ）は圧力センサ本体５００の要部斜視図、同図（ｂ）は圧力センサ本体５００に導圧パイプ付キャップ７を付加した従来の圧力センサ５０１の要部断面図である。この導圧パイプ付キャップ７は吸気管３０を流れる圧力媒体４０を圧力センサ５０１に導入するするために必要となるチューブ用の取り付け部材である。尚、圧力センサ本体５００は非特許文献１に記載されている。また、圧力媒体４０は圧力を測定する対象の気体や液体のことである。
【０００４】
この圧力センサ５０１は、圧力センサ本体５００と、圧力センサ本体５００上に固定する導圧パイプ付キャップ７で構成される。
圧力センサ本体５００は、ＳＭＤ（表面実装型）パッケージ１と圧力センサチップ２で構成される。ＳＭＤパッケージ１は、樹脂ケース１ａ、樹脂ケース１ａに貫通固定する外部導出端子４（基板実装フレーム）、樹脂ケース１ａの上部開口部を塞ぐ蓋であるキャップ６で構成される。キャップ６の中央には圧力媒体４０を導く導圧孔５が形成され、この導圧孔５の中心軸に導圧パイプ７ａの中心軸が合うように導圧パイプ付キャップ７はキャップ６に固定される。
【０００５】
また、樹脂ケース１ａの内壁とキャップ６で圧力センサチップ２を取り付ける部屋１ｂ（圧力室）が形成されている。前記の導圧パイプ付キャップ７の導圧パイプ７ａは、例えば、樹脂や金属で形成されている。
【０００６】
前記の部屋１ｂに固定された圧力センサチップ２は、ボンディングワイヤ３を介して外部導出端子４に電気的に接続される。
図１０は、図９とは異なる従来の圧力センサ５０２の構成図であり、同図（ａ）は圧力センサ５０２の要部断面図、同図（ｂ）はＯ−リング１２の要部平面図である。この圧力センサ５０２は、前記の圧力センサ本体５００のキャップ６上に取り付け部材としてＯ−リング１２（シール材）が付加されている。
【０００７】
前記のシール材としてのＯ−リング１２は、圧力センサ本体５００とＥＣＵ（Ｅｎｇｉｎｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｕｎｉｔ）筐体８の蓋８ｂとの間の気密を保持するためにキャップ６上に配置されている。このＯ−リング１２はキャップ６の表面に溝６ｄを形成して取り付けられる場合もある。
【０００８】
図１１は、図１０とは異なる従来の圧力センサ５０３の構成図であり、同図（ａ）は圧力センサ５０３の要部断面図、同図（ｂ）はガスケット１２ａの要部斜視図である。図１１は、Ｏ−リング１２の代わりにガスケット１２ａが取り付け部材としてキャップ６上の平坦面に配置されている。ガスケット１２ａは、幅広のドーナッツ状した平板樹脂であり、内周の直径は前記のキャップ６の導圧孔５より大きく、この導入孔５を取り囲むように配置される。
【０００９】
図１２は、ＥＣＵ筐体８に圧力センサ５０１，５０２，５０３を取り付けた要部断面図であり、同図（ａ）はチューブ方式（圧力センサ５０１）の図、同図（ｂ）はＯ−リング方式（圧力センサ５０２）の図、同図（ｃ）はガスケット方式（圧力センサ５０３）の図である。
【００１０】
同図（ａ）において、ＥＣＵ筐体８の蓋８ｂと圧力センサ５０１の導圧パイプ付キャップ７の台座７ｂの間には隙間Ｎを設けて、ＥＣＵ筐体８の蓋８ｂから圧力センサ５０１に直接応力が伝播しないようにしている。
【００１１】
同図（ｂ）において、圧力センサ本体５００とＥＣＵ筐体８の蓋８ｂの間にＯ−リング１２を挟み互いに密着してネジ（２５）止めなどで固定する。このとき、キャップ６の導圧孔５とＯ−リング１２と蓋８ｂの導圧孔８ｃのそれぞれの中心軸を合わせる。
【００１２】
同図（ｃ）において、圧力センサ本体５００とＥＣＵ筐体８の蓋８ｂの間にガスケット１２ａを挟み互いに密着してネジ（２５）止めなどで固定する。このとき、キャップ６の導圧孔５とガスケット１２ａと蓋８ｂの導圧孔８ｃのそれぞれの中心軸を合わせる。
【００１３】
図１３は、吸気管３０に圧力センサ５０１，５０２，５０３を内蔵したＥＣＵ筐体８を取り付けた図であり、同図（ａ）はチューブ方式（圧力センサ５０１）の図、同図（ｂ）はＯ−リング方式（圧力センサ５０２）の図、同図（ｃ）はガスケット方式（圧力センサ５０３）の図である。尚、圧力媒体４０を流す吸気管３０は流体管の一つである。この流体管は気体や液体を流す管のことである。
【００１４】
同図（ａ）において、吸気管３０とＥＣＵ筐体８の間が密着せずに離れている場合に、ＥＣＵ筐体８はエンジンなどの外部筐体３５に固定され、吸気管３０の導圧バイプ３０ａ、圧力センサ５０１の導圧パイプ７ａはチューブ９で接続される。吸気管３０の圧力媒体４０は、吸気管３０の内壁３０ｂ、導圧パイプ３０ａ、チューブ９、圧力センサ５０１の導圧パイプ７ａ、圧力センサ本体５００のキャップ６の導圧孔５からなる圧力導入経路２１ａを通して、圧力センサチップ２が固定した部屋１ｂへ導入される。チューブ９の長さが長いため、圧力導入経路２１ａは長くなる。図では導圧パイプ３０ａと導圧孔５が対向した場合を示したが、通常は対向していないのでチューブ９の長さは長くなり圧力導入経路２１ａの内容積は大きくなる。
【００１５】
同図（ｂ）において、吸気管３０とＥＣＵ筐体８の間にＯ−リング３１を挟んで吸気管３０とＥＣＵ筐体８を密着固定し、Ｏ−リング３１で気密を確保する。Ｏ−リング３１は吸気管３０に凹部３０ｄを形成しその中に固定される。吸気管３０とＥＣＵ筐体８をネジ（２５）止めしたとき、Ｏ−リング３１が圧縮されて、吸気管３０の表面とＥＣＵ筐体８の蓋８ｂの表面は密着して固定する。吸気管３１の圧力媒体４０は、吸気管３０の内壁３０ｂ、吸気管３０の導圧孔３０ｃ、ＥＣＵ筐体８の蓋８ｂの導圧孔８ｃ、圧力センサ５０２を構成するＯ−リング１２、圧力センサ本体５００のキャップ６の導圧孔５からなる圧力導入経路２１ｂを通して圧力センサチップ２が固定した部屋１ｂへ導入される。この圧力導入経路２１ｂの長さはチューブ方式の長さに比べて大幅に短縮される。
【００１６】
同図（ｃ）において、吸気管３０とＥＣＵ筐体８の間にＯ−リング３１を挟んで吸気管３０とＥＣＵ筐体８を密着固定する。吸気管３０の圧力媒体４０は、吸気管３０の導圧パイプ３０ａ、ＥＣＵ筐体８の蓋８ｂの導圧孔８ｃ、圧力センサ５０３を構成するガスケット１２ａ、圧力センサ本体５００のキャップ６の導圧孔５からなる圧力導入経路２１ｃを通して圧力センサチップ２が固定している部屋１ｂへ導入される。この圧力導入経路２１ｃは、Ｏ−リング１２の断面径に比べガスケット１２ａの厚さが多少小さいので、Ｏ−リング１２に比べて多少短くなる。
【００１７】
また、特許文献１，２には、流路に設けられた溝にＯ−リングなどの環状弾性部材を配置するものについて記載されている。
また、特許文献３には、流路に設置される圧力センサに溝を形成し、その溝にＯ−リングを配置するものについて記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特開平８−３５８９６号公報
【特許文献２】特開２００７−２１２１９９号公報
【特許文献３】特開２００５−１５６３０７号公報
【非特許文献】
【００１９】
【非特許文献１】富士時報、２００８年、第８１巻、第６号、ｐ．４３５−４３７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
前記のチューブ方式（圧力センサ５０１）では、吸気管３０からチューブ９を経由して圧力センサ本体５００のキャップ６の導圧孔５までの圧力導入経路２１ａの長さが長くなり、圧力導入経路２１ａの内容積が大きくなる。この内容積が大きくなると、圧力媒体４０の圧力応答性が遅くなり、エンジン制御上の問題が生じる。また、チューブ方式ではチューブ９の材料費とチューブの取り付け工数により製造コストが増大する。
【００２１】
また、圧力センサ５０１の導圧パイプ７ａの先端７ｂから圧力センサ本体５００の外部導出端子４の先端部４ａ（Ｌ字の底部）までの距離Ｍが大きくなり、圧力センサ５０１の外形寸法が大きくなる。
【００２２】
また、ＥＣＵ筐体８の蓋８ｂと圧力センサ５０１の導圧パイプ付キャップ７の台座７ａの間には隙間Ｎを設けて、ＥＣＵ筐体８の蓋８ｂに加わった応力が圧力センサ５０１に直接伝播しないようにしている。そのため、ＥＣＵ筐体８の蓋８ｂから圧力センサ本体５００の外部導出端子４の先端部４ａまでの距離Ｐが大きくなり、ＥＣＵ筐体８の容器８ａの内容積Ｑが大きくなる。
【００２３】
また、Ｏ−リング１２またはガスケット１２ａを圧力センサ本体５００とＥＣＵ筐体８の蓋８ｂとで挟み込んで互いにＯ−リングに密着させて固定する場合は、キャップ６の導圧孔５とＯ−リング１２（またはガスケット１２ａ）と蓋８ｂの導圧孔８ｃのそれぞれの中心軸（３つの中心軸）を合わせる必要があり、ＥＣＵ筐体８に圧力センサ５０２（５０３）を組み込む場合の組立工程が複雑になる。
【００２４】
また、キャップ６の導圧孔５の寸法が変わった場合には，それに応じてＯ−リング１２（またはガスケット１２ａ）の内径を変える必要がある。そのため、取り付け時にはＯ−リング（またはガスケット１２ａ）の選定が必要になり、取り付け工程が煩雑になる。
【００２５】
また、圧力センサ５０２（５０３）を直接管状の吸気管３０に取り付ける場合は、Ｏ−リング１２（またはガスケット１２ａ）が直接接触する吸気管３０の面を平坦にする必要があり、平坦加工が必要になる。
【００２６】
また、前記の特許文献１〜３では、圧力センサのパッケージに軟質樹脂を固着し、Ｏ−リングのようなシール材の役割をさせる記載はない。
この発明の目的は、前記の課題を解決して、ＥＣＵ筐体に圧力センサを取り付ける工程を簡略化し、吸気管を流れる圧力媒体の圧力応答性を改善し、ＥＣＵ筐体の容器の体積を減少させることができる圧力センサおよびその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
前記の目的を達成するために、特許請求の範囲の請求項１に記載の発明によれば、媒体の圧力を測定する圧力センサにおいて、該圧力センサのパッケージに形成された導圧孔を取り囲み該パッケージに固着された軟質樹脂を有する構成とする。
【００２８】
また、特許請求の範囲の請求項２記載の発明によれば、請求項１に記載の発明において、前記軟質樹脂が、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂もしくはウレタン系樹脂のいずれかであるとよい。
【００２９】
また、特許請求の範囲の請求項３記載の発明によれば、請求項１に記載の発明において、前記パッケージが表面実装型であるとよい。
また、特許請求の範囲の請求項４に記載の発明によれば、前記請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧力センサの製造方法において、前記パッケージ上に該パッケージに形成された導圧孔の周りに液状の軟質樹脂を塗布する工程と、該液状の軟質樹脂を硬化させて、固化した軟質樹脂を前記パッケージに固着させる工程と、を含む製造方法とする。
【００３０】
また、特許請求の範囲の請求項５に記載の発明によれば、請求項４に記載の発明において、前記パッケージの表面に前記導圧孔の周りと前記パッケージ表面の外周部に前記液状の軟質樹脂の横方向の広がりを停止させるリング状の治具を前記パッケージの表面に配置した後、前記パッケージ上の前記リング状の治具で囲まれる箇所に前記液状の軟質樹脂を塗布するとよい。
【００３１】
また、特許請求の範囲の請求項６に記載の発明によれば、請求項４または５に記載の発明において、前記液状の軟質樹脂を、加熱、常温もしくは紫外線で硬化させるとよい。
【発明の効果】
【００３２】
この発明によれば、圧力センサ本体を構成するキャップに軟質樹脂のシール材を塗布し硬化させてキャップに固定し、この軟質樹脂にＯ−リングやガスケットのような働きをさせることで、ＥＣＵ筐体に圧力センサを取り付ける工程を簡略化でき、吸気管を流れる圧力媒体の圧力応答性を改善でき、ＥＣＵ筐体の容器の体積を減らすことができる圧力センサおよびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】この発明の第１実施例に係る圧力センサ１００の構成図であり、（ａ）は要部平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した要部断面図である。
【図２】ＥＣＵ筐体８の容器８ａの底部に圧力センサ１００を取り付けた要部断面図である。
【図３】吸気管３０に圧力センサ１００が内蔵されたＥＣＵ筐体８を密着固定した図である。
【図４】本発明品と従来品の実装高さを比較した図であり、（ａ）はチューブ方式（従来品）の図、（ｂ）はＯ−リング方式（従来品）の図、（ｃ）は軟質樹脂方式（本発明品）の図である。
【図５】圧力導入経路２１の内容積と圧力応答性の関係を示した図である。
【図６】この発明の第２実施例に係る圧力センサ１００の製造方法であり、（ａ）〜（ｄ）は工程順に示した要部製造工程断面図である。
【図７】圧力センサ１００をＥＣＵ筐体８に取り付ける方法について説明した図であり、（ａ）〜（ｄ）は取り付け工程順に示した要部工程断面図である。
【図８】ＥＣＵ筐体８を吸気管３０に取り付ける方法を説明した図である。
【図９】従来の圧力センサ５０１の構成図であり、（ａ）は圧力センサ本体５００の要部斜視図、（ｂ）は圧力センサ本体５００に導圧パイプ付キャップ７を付加した従来の圧力センサ５０１の要部断面図である。
【図１０】図９とは異なる従来の圧力センサ５０２の構成図であり、（ａ）は圧力センサ５０２の要部断面図、（ｂ）はＯ−リング１２の要部平面図である。
【図１１】図１０とは異なる従来の圧力センサ５０３の構成図であり、（ａ）は圧力センサ５０３の要部断面図、（ｂ）はガスケット１２ａの要部斜視図である。
【図１２】ＥＣＵ筐体８に圧力センサ５０１，５０２，５０３を取り付けた要部断面図であり、（ａ）はチューブ方式（圧力センサ５０１）の図、（ｂ）はＯ−リング方式（圧力センサ５０２）の図、（ｃ）はガスケット方式（圧力センサ５０３）の図である。
【図１３】吸気管３０に圧力センサ５０１，５０２，５０３を内蔵したＥＣＵ筐体８を取り付けた図であり、（ａ）はチューブ方式（圧力センサ５０１）の図、（ｂ）はＯ−リング方式（圧力センサ５０２）の図、（ｃ）はガスケット方式（圧力センサ５０３）の図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
実施の形態を以下の実施例で説明する。従来と同一部位には同一符号を付した。
＜実施例１＞
図１は、この発明の第１実施例に係る圧力センサ１００の構成図であり、同図（ａ）は要部平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した要部断面図である。同図（ｂ）において、圧力センサ本体５００の内部は点線で概略を示した。尚、圧力センサ本体５００は非特許文献１に大気圧用の圧力センサとして記載されている。しかし、本発明はこれに限るものではなく、どのような圧力センサにも適用可能である。
【００３５】
圧力センサ１００は、圧力センサ本体５００とこの圧力センサ本体５００に固着して付加される軟質樹脂であるシリコーン樹脂１３で構成される。このシリコーン樹脂１３はシールド材として用いられ、圧力センサ本体５００のキャップ６上に固着される取り付け部材である。
【００３６】
図９（ａ）で説明したように、圧力センサ本体５００はＳＭＤパッケージ１と圧力センサチップ２で構成される。このＳＭＤパッケージ１は、樹脂ケース１ａ、外部導出端子４およびキャップ６で構成される。ＳＭＤパッケージ１にを用いることで圧力センサの外形寸法を小さくできる。
【００３７】
また、キャップ６には導圧孔５の周りと外周部に図示しない凸部を設ける場合もある。この凸部には液状のシリコーン樹脂１３が横に広がるの防止するストッパの働きをさせる。この場合は、この凸部に囲まれた箇所に固化した前記のシリコーン樹脂１３が固着して配置される。また、この凸部の代わりに凹部の溝をストッパー（液溜）とする場合もある。
【００３８】
前記の軟質樹脂としては、シリコーン系樹脂（前記のシリコーン樹脂１３）の他にフッ素系樹脂やウレタン系樹脂などがあり、ゴムのように弾力性に優れた樹脂である。この軟質樹脂の弾力性の指標として硬さで表した場合、日本工業会規格  ＪＩＳ  Ｋ６２５３  （ＴｙｐｅＡ  デューロメーター）を適用して、例えば、２０〜７０程度がよい。また、前記のシリコーン樹脂１３は従来のＯ−リング１２やガスケット１２ａと同様の働きをする。
【００３９】
図２は、ＥＣＵ筐体８の容器８ａの底部に圧力センサ１００を取り付けた要部断面図である。
ＥＣＵ筐体８は、容器８ａと蓋８ｂからなり、蓋８ｂの中央には導圧孔８ｃが形成されている。ＥＣＵ筐体８の容器８ａには電子部品と圧力センサ１００が搭載されたＥＣＵ基板１０（例えば、プリント基板）がネジ２５で固定されている。圧力センサ１００の外部導出端子４の先端部４ａはＥＣＵ基板１０に、例えば、半田で固定される。圧力センサ１００の上から蓋８ｂを被せて、この蓋８ｂと容器８ａを、例えば、ネジ（２５）止めして、キャップ６上に固着したシリコーン樹脂１３に圧縮力を加える。これにより、蓋８ｂをシリコーン樹脂１３に密着させ気密性を確保し、蓋８ｂと容器８ａを固定する。このとき、蓋８ｂに形成された導圧孔８ｃとキャップ６に形成された導圧孔５のそれぞれの中心軸を合わせる。
【００４０】
図３は、吸気管３０に圧力センサ１００が内蔵されたＥＣＵ筐体８を密着固定した図である。吸気管３０とＥＣＵ筐体８の蓋８ｂの間にＯ−リング３１を挟んで、それぞれを、例えば、ネジ２５で密着固定する。吸気管３０の圧力媒体４０は、吸気管３０の導圧孔３０ｂ、ＥＣＵ筐体８の蓋８ｂの導圧孔８ｃ、シリコーン樹脂１３の開口部１３ａおよびキャップ６の導圧孔５からなる圧力導入経路２１を経て圧力センサチップ２が固定している部屋１ｂへ導入される。
【００４１】
図４は、本発明品と従来品の実装高さを比較した図であり、同図（ａ）はチューブ方式（従来品）の図、同図（ｂ）はＯ−リング方式（従来品）の図、同図（ｃ）は軟質樹脂方式（本発明品）の図である。チューブ方式の実装高さｈ１、Ｏ−リング方式の実装高さをｈ２、軟質樹脂方式の実装高さをｈ３とした場合、ｈ３＜ｈ２＜ｈ１となる。ここで、実装高さｈ１〜ｈ３とは、ＥＣＵ基板１０の表面１０ａから蓋８の裏面８ｅまでの高さを示す。具体的な一例を示すと、ｈ３＝４．５ｍｍ程度、ｈ２＝５．０ｍｍ程度、ｈ１＝６．５ｍｍ程度である。
【００４２】
本発明の軟質樹脂方式の場合の実装高さｈ３は、従来品の実効高さｈ１、ｈ２よりも低くなり、そのため、ＥＣＵ筐体８の容器８ａの体積が縮小され、ＥＣＵ筐体８の小型軽量化に寄与できる。
【００４３】
また、Ｏ−リング方式の場合、キャップ６に凹状の溝を形成しこの溝でＯ−リングを固定したときは、実装高さは前記のｈ２より多少低くなる。しかし、キャップ６の厚みが薄く溝を深くできないため、ｈ２はｈ３よりは高くなる。
【００４４】
また、本発明品の軟質樹脂方式では、吸気管３０と圧力センサ５００のキャップ６の導圧孔５との距離をチューブ方式に比べて大幅に短くできるため、圧力導入経路２１の内容積をチューブ方式より大幅に小さくすることができる。
【００４５】
図５は、圧力導入経路２１の内容積と圧力応答性の関係を示した図である。この図には従来のものも参考に示した。
圧力導入経路２１とはキャップ６の表面から吸気管３０の内壁までの経路である。吸気管３０は圧力媒体４０が流れている配管などであり、その壁厚は通常数ｍｍから１ｃｍ程度である。チューブ方式に対して、軟質樹脂方式は圧力導入経路２１の内容積を大幅に小さくできるので、圧力応答性は大幅に改善される。
【００４６】
また、本発明の圧力センサ１００は圧力センサ本体５００にシール材であるシリコーン樹脂１３が固着しているため、ＥＣＵ筐体８の蓋８ａの導圧孔８ｂとキャップ６の導圧孔５の位置合わせがＯ−リング方式やガスケット方式に比べて容易になり、組み立てが簡略化される。
【００４７】
また、液状のシリコーン樹脂１３ａを硬化させたシリコーン樹脂１３をシール材として利用するため、キャップ６の導圧孔５の任意の平面形状に容易に対応できる。
また、管状の吸気管３０（配管）に直接圧力センサ１００を取り付ける場合は、予め、管状の曲率に合うようにシリコーン樹脂１３の表面に曲率を持たせるとよい。これは液状のシリコーン樹脂１３ａを硬化させるときに、曲率を有する金型を用いると容易に実現できる。このようにシリコーン樹脂１３の表面に曲率をつけることで、吸気管３０の平坦加工は不要となる。
＜実施例２＞
図６は、この発明の第２実施例に係る圧力センサ１００の製造方法であり、同図（ａ）〜同図（ｄ）は工程順に示した要部製造工程断面図である。ここではシール材としてシリコーン樹脂１３を例に挙げたが、フッ素系樹脂やウレタン系樹脂の場合もある。
【００４８】
まず、同図（ａ）において、圧力センサ本体５００を支持台４１に載置し、圧力センサ本体５００のキャップ６上に液状のシリコーン樹脂１３ａが導圧孔５やキャップ６の外周に広がらないようにリング状の治具４２を載置する。この治具は導圧孔５の周り配置される第１のリング４２ａと、外周部に配置される第２のリング４２ｂで構成される。リング４２を位置決めするための溝をキャップ６に形成してもよい。
【００４９】
つぎに、同図（ｂ）において、第１のリング４２ａと第２のリング４２ｂに挟まれたキャップ６上にデスペンサー４３を用いて軟質樹脂１２である液状のシリコーン樹脂１３ａを塗布する。
【００５０】
つぎに、同図（ｃ）において、液状のシリコーン樹脂１３ａが塗布された圧力センサ本体５００を恒温槽４４（熱板の場合もあり）に入れ、処理条件が、例えば、温度が１２０℃程度、時間が１時間程度で、液状のシリコーン樹脂１３ａを硬化させて、固化したシリコーン樹脂１３をキャップ６に固着させる。硬化した固化したシリコーン樹脂１３の高さは０．５ｍｍ程度にする。
【００５１】
つぎに、同図（ｄ）において、恒温槽４４から固化したシリコーン樹脂１３が固着した圧力センサ本体５００を取り出し、リング状の治具４２を取り外して、本発明の圧力センサ１００が完成する。
【００５２】
本実施例では、キャップ６上に軟質樹脂を固着する方法として、液状の樹脂を用いる場合について説明したが、半液状（粘度１５［Ｐａ・Ｓ］以上）の樹脂を用いることもできる。この場合、リング状の治具４２を設けなくてもよい。
【００５３】
尚、液状のシリコーン樹脂１３ａを硬化させる手段として、ここでは熱硬化を用いたが、常温硬化やＵＶ硬化（紫外線硬化）の場合もある。ＵＶ硬化の場合は、液状のシリコーン樹脂１３ａをＵＶ硬化型シリコーン樹脂に替えて紫外線を照射して硬化させる。この場合の硬化時間（紫外線照射時間）は数秒と極めて短いので、製造工数の低減により低コスト化が図れる。
【００５４】
図７は、圧力センサ１００をＥＣＵ筐体８に取り付ける方法について説明した図であり、同図（ａ）〜同図（ｄ）は取り付け工程順に示した要部工程断面図である。
同図（ａ）において、圧力センサ１００の外部導出端子４の先端部４ａをＥＣＵ基板１０に半田付けにより固着する。
【００５５】
つぎに、同図（ｂ）において、圧力センサ１００が搭載されたＥＣＵ基板１０をＥＣＵ筐体８の容器８ａの底部にネジ２５で固定する。
つぎに、同図（ｃ）において、ＥＣＵ筐体８の容器８ａの開口部に蓋８ｂを被せる。このとき、圧力センサ本体５００のキャップ６の導圧孔５の中心軸と蓋８ｂの導圧孔８ｃの中心軸をそれぞれ合わせる。
【００５６】
つぎに、同図（ｄ）において、容器８ａと蓋８ｂをネジ２５で固定する。このときシリコーン樹脂１３に圧縮力が働いて、キャップ６の導圧孔５と蓋８の導圧孔８ｃはシリコーン樹脂１３で囲まれて気密性が確保される。
【００５７】
図８は、ＥＣＵ筐体８を吸気管３０に取り付ける方法を説明した図である。ＥＣＵ筐体８の蓋８ａと吸気管３０の間にＯ−リング３１を挟んで蓋８と吸気管３０を固定する。
これにより、吸気管３０の導圧孔３０ｂとシリコーン樹脂１３の開口部１３ａと圧力センサ本体５００のキャップ６の導圧孔５からなる圧力導入経路２１が開通する。この圧力導入経路２１はチューブ方式に比べて大幅に短縮され、その内容積が大幅に小さくなる。そのため、圧力応答性が大幅に改善される。
【００５８】
尚、前記の吸気管３０には、測定したい圧力媒体４０、例えばエンジンに取り込まれる空気などが流れている。
キャップ６に予め軟質樹脂を塗布して硬化させた後に、樹脂ケース１ａに、キャップ６を取り付けても構わない。ただし、その場合、キャップ６を吸着してピックアップする際に、軟質樹脂があると、うまく吸着できなかったり、軟質樹脂部分にキズや圧痕をつけて気密性に影響がでる場合があるため、キャップ６を樹脂ケース１ａに取り付けた後に軟質樹脂１３を設けることが望ましい。
【符号の説明】
【００５９】
１    ＳＭＤパッケージ
１ａ  樹脂ケース
１ｂ  部屋
２    圧力センサチップ
３    ボンディングワイヤ
４    外部導出端子
４ａ  先端部
５    導圧孔（キャップ６）
６    キャップ
７    導圧パイプ付キャップ
７ａ  導圧パイプ
７ｂ  台座
８    ＥＣＵ筐体
８ａ  容器
８ｂ  蓋
８ｃ  導圧孔（蓋８ｂ）
９    チューブ
１０    ＥＣＵ基板
１２    Ｏ−リング（圧力センサ）
１３    固化したシリコーン樹脂
１３ａ  液状のシリコーン樹脂
２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｃ  圧力導入経路
２５    ネジ
３０    吸気管
３０ａ  導圧パイプ（吸気管３０）
３０ｂ  導圧孔（吸気管３０）
３０ｃ  導圧孔（吸気管３０）
３０ｄ  凹部（吸気管３０）
３１    Ｏ−リング（吸気管３０）
４０    圧力媒体
４１    支持台
４２    リング状の治具
４２ａ  第１のリング
４２ｂ  第２のリング
４３    デスペンサー
４４    恒温槽
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図９】
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