(57)【要約】【課題】基材の幅方向について供給気体の風速分布を変更可能な乾燥処理を行う乾燥装置および処理膜形成処理システムを提供する。【解決手段】中央側抑制ノズル４４２、中間抑制ノズル４４３、および端側抑制ノズル４４４は、それぞれ異なる風速分布で熱風を噴出する。また、中央側抑制ノズル４４２、中間抑制ノズル４４３、および端側抑制ノズル４４４のそれぞれには、熱風の流量を調節する流量調整弁が設けられている。このため、１つのノズル群４４１を構成する各ノズル（中央側抑制ノズル４４２、中間抑制ノズル４４３、端側抑制ノズル４４４）から噴出される熱風流量をそれぞれ調節することで、該ノズル群４４１に対向する位置を搬送される基材上の処理剤付近に対して種々の風速分布で熱風を供給することが可能となる。【選択図】図３
2015172450.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方側の主面に処理剤を塗工された基材を搬送方向に沿って搬送する搬送機構と、
搬送される前記基材の前記主面に向けて開口する第１の給気口を有し、前記搬送方向に沿って配される複数の第１給気ノズルと、
給気源から供給される気体を前記複数の第１給気ノズルのそれぞれに送給する複数の給気経路と、
前記複数の給気経路のそれぞれに設けられ、前記複数の第１給気ノズルに送給される前記気体の流量を調節する複数の調節部と、
を備え、
前記複数の第１給気ノズルには、
前記第１の給気口の開口パターンとして基材の幅方向について両端側での開口面積が中央側での開口面積に比べて相対的に小さい端側抑制パターンを有する端側抑制ノズルと、
前記第１の給気口の開口パターンとして前記幅方向について中央側での開口面積が両端側での開口面積に比べて相対的に小さい中央側抑制パターンを有する中央側抑制ノズルと、が含まれており、
前記調節部によって前記複数の給気経路のそれぞれについて送給される前記気体の流量を調節した状態で、前記搬送方向に沿って搬送される前記基材の前記主面に塗工された前記処理剤に対して前記複数の第１給気ノズルから気体を供給することを特徴とする乾燥装置。
【請求項２】
請求項１に記載の乾燥装置であって、
前記複数の第１給気ノズルにおける前記開口パターンは、前記幅方向について中央側から一端側へのパターンと前記中央側から他端側へのパターンとが同一であることを特徴とする乾燥装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の乾燥装置であって、
前記複数の第１給気ノズルには、前記搬送方向に沿って連続して配置された複数のノズルの組み合わせによって構成されたノズル群が少なくとも１つ含まれており、
前記ノズル群は、
前記ノズル群の中で、前記搬送方向の上流側に配された前記端側抑制ノズルと、
前記ノズル群の中で、前記搬送方向の下流側に配された前記中央側抑制ノズルと、
前記ノズル群の中で、前記端側抑制ノズルと前記中央側抑制ノズルとの間に配された少なくとも１つの中間抑制ノズルと、
を有しており、
前記ノズル群を構成する各ノズルの前記開口パターンが、前記搬送方向に沿って、前記端側抑制パターンから前記中央側抑制パターンへと順次に変化することを特徴とする乾燥装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の乾燥装置であって、
前記複数の第１給気ノズルには、前記搬送方向に沿って連続して配置された複数のノズルの組み合わせによって構成されたノズル群が少なくとも１つ含まれており、
前記ノズル群は、
前記ノズル群の中で、前記搬送方向の上流側に配された前記中央側抑制ノズルと、
前記ノズル群の中で、前記搬送方向の下流側に配された前記端側抑制ノズルと、
前記ノズル群の中で、前記端側抑制ノズルと前記中央側抑制ノズルとの間に配された少なくとも１つの中間抑制ノズルと、
を有しており、
前記ノズル群を構成する各ノズルの前記開口パターンが、前記搬送方向に沿って、前記端側抑制パターンから前記中央側抑制パターンへと順次に変化することを特徴とする乾燥装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の乾燥装置であって、
前記ノズル群を構成する各ノズルの開口パターンは、前記搬送方向に沿ってノズル相互間では順次に変化する一方で、前記搬送方向に沿って個々のノズル内部では一定となっていることにより、
前記ノズル群を構成する各ノズルの前記開口パターンが前記搬送方向に沿って段階的に変化することを特徴とする乾燥装置。
【請求項６】
請求項３または請求項４に記載の乾燥装置であって、
前記ノズル群を構成する各ノズルの開口パターンは、前記搬送方向に沿ってノズル相互間で順次に変化するとともに、前記搬送方向に沿って個々のノズル内部においても連続的に変化していることにより、
前記ノズル群を構成する各ノズルの前記開口パターンが前記搬送方向に沿って連続的に変化することを特徴とする乾燥装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の乾燥装置であって、
搬送される前記基材の前記主面に向けて開口する第２の給気口を有し、前記搬送方向に沿って配される少なくとも１つの第２給気ノズルと、
前記給気源から供給される前記気体を前記少なくとも１つの第２給気ノズルに送給する少なくとも１つの給気経路と、
前記少なくとも１つの給気経路に設けられ、前記少なくとも１つの第２給気ノズルに送給される前記気体の流量を調節する少なくとも１つの調節部と、
をさらに有し、
前記第２の給気口の開口パターンは前記少なくとも１つの第２給気ノズルのいずれにおいても同一であり、
前記複数の第１給気ノズルが前記少なくとも１つの第２給気ノズルよりも前記搬送方向に沿って上流側に配されることを特徴とする乾燥装置。
【請求項８】
前記基材の前記搬送方向に沿って上流側から順に、
前記基材の前記主面に前記処理剤を塗工する塗工装置と、
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の乾燥装置と、
を備えることを特徴とする処理膜形成システム。
【請求項９】
前記基材の前記搬送方向に沿って上流側から順に、
前記基材の前記主面に前記処理剤を塗工する塗工装置と、
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の乾燥装置と、
搬送される前記基材の前記主面に向けて開口する第２の給気口を有し前記搬送方向に沿って配される複数の第２給気ノズルと、給気源から供給される気体を前記複数の第２給気ノズルに送給する複数の給気経路と、前記複数の給気経路に設けられ前記複数の第２給気ノズルに送給される前記気体の流量を調節する複数の調節部と、有し、前記第２の給気口の開口パターンが前記複数の第２給気ノズルのいずれにおいても同一である同一パターン乾燥装置と、
を備えることを特徴とする処理膜形成システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、乾燥装置および処理膜形成システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、リチウムイオン電池などの化学電池の電極や磁気記録媒体の製造工程においては、基材（典型的には金属箔）の主面にスラリー状の処理剤（塗工剤ともいう）を塗工した後、当該基材の乾燥処理を行うことで、基材主面に処理膜を形成する。
【０００３】
このような乾燥処理を行う装置として、特許文献１には、チャンバー内において、基材の下方より上方に向けてエアを噴出しつつ基材の下面に当接する複数のローラを回転することで基材を浮上搬送し、搬送される基材の上方より下方に向けて気体を吹き付けて、基材の上面（上側の主面）に塗工された処理剤を乾燥する乾燥装置が記載されている。
【０００４】
この種の分野では、基材の主面に均一な塗工膜を形成するという観点から、基材の主面に塗工された処理剤の全面において均一な乾燥速度で乾燥処理が施されることが望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１７２９６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、通常、基材の上面に塗工された処理剤に対して幅方向（基材に沿う面内のうち搬送方向と垂直な方向）に均一な風速分布で気体を供給した場合、基材の上面に塗工された処理剤の乾燥速度は基材の幅方向両端側で幅方向中央側よりも速くなる。これは、基材に吹き付けられた気体のうち、基材の幅方向中央側に吹き付けられた気体は基材の上方に滞留しやすい一方で、基材の幅方向両端側に吹き付けられた気体は基材の側方の空気と置換しやすいことに起因する。
【０００７】
この場合、基材の幅方向について乾燥速度を均一にするには、基材の上面に塗工された処理剤に供給される気体の風速分布が、基材の幅方向両端側で幅方向中央側よりも風速が小さい分布になることが望ましい。
【０００８】
また、上記とは別の態様として、処理剤の成分、処理剤の塗工態様、および装置設計など種々の処理条件を考慮した際に、基材の上面に塗工された処理剤に供給される気体の風速分布が、基材の幅方向両端側で幅方向中央側よりも風速が大きい分布になることが望ましい場合もある。
【０００９】
したがって、基材の幅方向について供給気体の風速分布を変更不能な乾燥装置においては、各種処理条件に基づいて適切な乾燥処理を実行することが困難であった。
【００１０】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、基材の幅方向について供給気体の風速分布を変更可能な乾燥処理を行う乾燥装置および処理膜形成処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第１の態様にかかる乾燥装置は、一方側の主面に処理剤を塗工された基材を搬送方向に沿って搬送する搬送機構と、搬送される前記基材の前記主面に向けて開口する第１の給気口を有し、前記搬送方向に沿って配される複数の第１給気ノズルと、給気源から供給される気体を前記複数の第１給気ノズルのそれぞれに送給する複数の給気経路と、前記複数の給気経路のそれぞれに設けられ、前記複数の第１給気ノズルに送給される前記気体の流量を調節する複数の調節部と、を備え、前記複数の第１給気ノズルには、前記第１の給気口の開口パターンとして前記幅方向について両端側での開口面積が中央側での開口面積に比べて相対的に小さい端側抑制パターンを有する端側抑制ノズルと、前記第１の給気口の開口パターンとして前記幅方向について中央側での開口面積が両端側での開口面積に比べて相対的に小さい中央側抑制パターンを有する中央側抑制ノズルと、が含まれており、前記調節部によって前記複数の給気経路のそれぞれについて送給される前記気体の流量を調節した状態で、前記搬送方向に沿って搬送される前記基材の前記主面に塗工された前記処理剤に対して前記複数の第１給気ノズルから気体を供給することを特徴とする。
【００１２】
本発明の第２の態様にかかる乾燥装置は、第１の態様にかかる乾燥装置であって、前記複数の第１給気ノズルにおける前記開口パターンは、前記幅方向について中央側から一端側へのパターンと前記中央側から他端側へのパターンとが同一であることを特徴とする。
【００１３】
本発明の第３の態様にかかる乾燥装置は、第１の態様または第２の態様にかかる乾燥装置であって、前記複数の第１給気ノズルには、前記搬送方向に沿って連続して配置された複数のノズルの組み合わせによって構成されたノズル群が少なくとも１つ含まれており、前記ノズル群は、前記ノズル群の中で、前記搬送方向の上流側に配された前記端側抑制ノズルと、前記ノズル群の中で、前記搬送方向の下流側に配された前記中央側抑制ノズルと、前記ノズル群の中で、前記端側抑制ノズルと前記中央側抑制ノズルとの間に配された少なくとも１つの中間抑制ノズルと、を有しており、前記ノズル群を構成する各ノズルの前記開口パターンが、前記搬送方向に沿って、前記端側抑制パターンから前記中央側抑制パターンへと順次に変化することを特徴とする。
【００１４】
本発明の第４の態様にかかる乾燥装置は、第１の態様または第２の態様にかかる乾燥装置であって、前記複数の第１給気ノズルには、前記搬送方向に沿って連続して配置された複数のノズルの組み合わせによって構成されたノズル群が少なくとも１つ含まれており、前記ノズル群は、前記ノズル群の中で、前記搬送方向の上流側に配された前記中央側抑制ノズルと、前記ノズル群の中で、前記搬送方向の下流側に配された前記端側抑制ノズルと、前記ノズル群の中で、前記端側抑制ノズルと前記中央側抑制ノズルとの間に配された少なくとも１つの中間抑制ノズルと、を有しており、前記ノズル群を構成する各ノズルの前記開口パターンが、前記搬送方向に沿って、前記端側抑制パターンから前記中央側抑制パターンへと順次に変化することを特徴とする。
【００１５】
本発明の第５の態様にかかる乾燥装置は、第３の態様または第４の態様にかかる乾燥装置であって、前記ノズル群を構成する各ノズルの開口パターンは、前記搬送方向に沿ってノズル相互間では順次に変化する一方で、前記搬送方向に沿って個々のノズル内部では一定となっていることにより、前記ノズル群を構成する各ノズルの前記開口パターンが前記搬送方向に沿って段階的に変化することを特徴とする。
【００１６】
本発明の第６の態様にかかる乾燥装置は、第３の態様または第４の態様にかかる乾燥装置であって、前記ノズル群を構成する各ノズルの開口パターンは、前記搬送方向に沿ってノズル相互間で順次に変化するとともに、前記搬送方向に沿って個々のノズル内部においても連続的に変化していることにより、前記ノズル群を構成する各ノズルの前記開口パターンが前記搬送方向に沿って連続的に変化することを特徴とする。
【００１７】
本発明の第７の態様にかかる乾燥装置は、第１の態様ないし第６の態様のいずれかにかかる乾燥装置であって、搬送される前記基材の前記主面に向けて開口する第２の給気口を有し、前記搬送方向に沿って配される少なくとも１つの第２給気ノズルと、前記給気源から供給される前記気体を前記少なくとも１つの第２給気ノズルに送給する少なくとも１つの給気経路と、前記少なくとも１つの給気経路に設けられ、前記少なくとも１つの第２給気ノズルに送給される前記気体の流量を調節する少なくとも１つの調節部と、をさらに有し、前記第２の給気口の開口パターンは前記少なくとも１つの第２給気ノズルのいずれにおいても同一であり、前記複数の第１給気ノズルが前記少なくとも１つの第２給気ノズルよりも前記搬送方向に沿って上流側に配されることを特徴とする。
【００１８】
本発明の第８の態様にかかる処理膜形成システムは、前記基材の前記搬送方向に沿って上流側から順に、前記基材の前記主面に前記処理剤を塗工する塗工装置と、第１の態様ないし第７の態様のいずれかにかかる乾燥装置と、を備えることを特徴とする。
【００１９】
本発明の第９の態様にかかる処理膜形成システムは、前記基材の前記搬送方向に沿って上流側から順に、前記基材の前記主面に前記処理剤を塗工する塗工装置と、第１の態様ないし第７の態様のいずれかにかかる乾燥装置と、搬送される前記基材の前記主面に向けて開口する第２の給気口を有し前記搬送方向に沿って配される複数の第２給気ノズルと、給気源から供給される気体を前記複数の第２給気ノズルに送給する複数の給気経路と、前記複数の給気経路に設けられ前記複数の第２給気ノズルに送給される前記気体の流量を調節する複数の調節部と、有し、前記第２の給気口の開口パターンが前記複数の第２給気ノズルのいずれにおいても同一である同一パターン乾燥装置と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の第１の態様では、複数の第１給気ノズルに、第１の給気口の開口パターンとして基材の幅方向について両端側での開口面積が中央側での開口面積に比べて相対的に小さい端側抑制パターンを有する端側抑制ノズルと、第１の給気口の開口パターンとして基材の幅方向について中央側での開口面積が両端側での開口面積に比べて相対的に小さい中央側抑制パターンを有する中央側抑制ノズルと、が含まれる。そして、調節部によって複数の給気経路のそれぞれについて送給される気体の流量を調節した状態で、搬送方向に沿って搬送される基材の主面に塗工された処理剤に対して複数の第１給気ノズルから気体を供給する。このため、複数の第１給気ノズルに対向する位置を搬送される基材上に塗工された処理剤に対して種々の風速分布で気体を供給することが可能となる。
【００２１】
本発明の第３の態様では、搬送方向に沿って連続して配置された複数のノズルの組み合わせによってノズル群が構成されている。このため、該ノズル群に対向する位置を搬送される基材上に塗工された処理剤に対して種々の風速分布で気体を供給することが可能となる。また、該ノズル群を構成する各ノズルの開口パターンが、搬送方向に沿って、端側抑制パターンから中央側抑制パターンへと順次に変化する。このため、第３の態様では、各ノズルが開口パターンの変化に対応せず配置される態様に比べて、基材の主面に塗工された処理剤付近での気流がより安定し、より高精度に乾燥処理を実行できる。
【００２２】
本発明の第４の態様では、搬送方向に沿って連続して配置された複数のノズルの組み合わせによってノズル群が構成されている。このため、該ノズル群に対向する位置を搬送される基材上に塗工された処理剤に対して種々の風速分布で気体を供給することが可能となる。また、該ノズル群を構成する各ノズルの開口パターンが、搬送方向に沿って、中央側抑制パターンから端側抑制パターンへと順次に変化する。このため、第４の態様では、各ノズルが開口パターンの変化に対応せず配置される態様に比べて、基材の主面に塗工された処理剤付近での気流がより安定し、より高精度に乾燥処理を実行できる。
【００２３】
本発明の第６の態様では、ノズル群を構成する各ノズルの開口パターンが搬送方向に沿ってノズル相互間で順次に変化するとともに搬送方向に沿って個々のノズル内部においても連続的に変化していることにより、該ノズル群を構成する各ノズルの開口パターンが搬送方向に沿って連続的に変化する。したがって、第６の態様では、開口パターンが搬送方向に沿って連続的に変化しない態様に比べ、基材の主面に塗工された処理剤付近での気流がより安定し、より高精度に乾燥処理を実行できる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】処理膜形成システム１の全体構成を示す図である。
【図２】乾燥装置４０ａの概略構成を示すＸＺ側面図である。
【図３】９つの第１給気ノズル４４の下面図である。
【図４】中央側抑制パターンＰａ、中間抑制パターンＰｂ、および、端側抑制パターンＰｃを示す概念図である。
【図５】中央側抑制ノズル４４２から噴出された熱風の処理剤Ｐ付近における風速分布を示す図である。
【図６】中間抑制ノズル４４３から噴出された熱風の処理剤Ｐ付近における風速分布を示す図である。
【図７】端側抑制ノズル４４４から噴出された熱風の処理剤Ｐ付近における風速分布を示す図である。
【図８】ノズル群４４１から噴出された熱風の処理剤Ｐ付近における風速分布を示す図である。
【図９】９つの第２給気ノズル４４Ａの下面図である。
【図１０】第２給気ノズル４４Ａから噴出された熱風の処理剤Ｐ付近における風速分布を示す図である。
【図１１】中央側抑制パターンＰａ１、中間抑制パターンＰｂ１、および、端側抑制パターンＰｃ１を示す概念図である。
【図１２】中央側抑制パターンＰａ２、中間抑制パターンＰｂ２、および、端側抑制パターンＰｃ２を示す概念図である。
【図１３】６つの第１給気ノズル４４および３つの第２給気ノズル４４Ａの下面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００２６】
＜１  実施形態＞
＜１．１  処理膜形成システム１の全体構成＞
図１は、乾燥装置４０ａ〜４０ｃを組み込んだ処理膜形成システム１の全体構成を示す図である。なお、図１および以降の各図にはそれらの方向関係を明確にするためＺ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を適宜付している。また、図１および以降の各図においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。
【００２７】
この処理膜形成システム１は、基材としての金属箔の上面に電極材料である活物質を含む処理剤を塗工し、該処理剤の乾燥処理を行って基材上に処理膜を形成しリチウムイオン二次電池の電極製造を行う装置である。処理膜形成システム１は、主として、塗工装置１０、乾燥装置４０ａ〜４０ｃ、搬送機構８０、および制御部９０を備える。
【００２８】
基材５は、リチウムイオン二次電池の集電体として機能する金属箔である。処理膜形成システム１にてリチウムイオン二次電池の正極を製造する場合には、基材５として例えばアルミニウム箔（Ａｌ）を用いることができる。また、処理膜形成システム１にて負極を製造する場合には、基材５として例えば銅箔（Ｃｕ）を用いることができる。基材５は長尺のシート状（帯状）の金属箔であり、その幅および厚さについては特に限定されるものではないが、例えば幅６００ｍｍ〜７００ｍｍ、厚さ１０μｍ〜２０μｍとすることができる。
【００２９】
長尺の基材５は、巻き出しローラ８１から送り出されて巻き取りローラ８２によって巻き取られる過程で、塗工装置１０、乾燥装置４０ａ〜４０ｃの順に搬送される。搬送機構８０は、これら巻き出しローラ８１および巻き取りローラ８２と複数の補助ローラ８３ａ〜８３ｄとを備えて構成される。なお、補助ローラ８３ａ〜８３ｄの個数および配置については、図１の例に限定されるものではなく、必要に応じて適宜に増減することができる。
【００３０】
塗工装置１０は、塗工ノズル１１およびバックアップローラ１２を備える。バックアップローラ１２に押圧支持された状態で走行する基材５の表側主面（上面Ｓ１）に塗工ノズル１１から電極材料である活物質を含む処理剤を塗工する。処理膜形成システム１にて正極を製造する場合には、塗工ノズル１１から正極材料として、例えば正極活物質であるコバルト酸リチウム（ＬｉＣｏＯ2）、導電助剤であるカーボン（Ｃ）、結着剤であるポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、有機溶剤であるＮ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）の混合液を基材５に塗工する。なお、コバルト酸リチウムに代えて、正極活物質としてニッケル酸リチウム（ＬｉＮｉＯ2）、マンガン酸リチウム（ＬｉＭｎ2Ｏ4）、燐酸鉄リチウム（ＬｉＦｅＰＯ4）などを用いることもできるが、これらに限定されるものではない。
【００３１】
一方、処理膜形成システム１にて負極を製造する場合には、塗工ノズル１１から負極材料として、例えば負極活物質である黒鉛（グラファイト）、結着剤であるＰＶＤＦ、有機溶剤であるＮＭＰの混合液を基材５に塗工する。黒鉛に代えて、負極活物質としてハードカーボン、チタン酸リチウム（Ｌｉ4Ｔｉ5Ｏ12）、シリコン合金、スズ合金などを用いることもできる。なお、正極材料および負極材料の双方において、結着剤としてＰＶＤＦに代えてスチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）などを使用することができる。
【００３２】
塗工ノズル１１としては、基材５の幅方向（図示Ｙ方向）に沿ってスリット状の吐出口を設けたスリットノズルを用いることができる。塗工ノズル１１は、ポンプユニット１５から送給された電極材料の処理剤を吐出口から吐出して、走行する基材５の上面Ｓ１に電極材料の処理剤Ｐを塗工する。塗工装置１０にて処理剤Ｐが塗工された基材５は、搬送機構８０によって乾燥装置４０ａ〜４０ｃに順に搬送されて、該処理剤Ｐの乾燥処理が施される。
【００３３】
そして、乾燥装置４０ａ〜４０ｃで乾燥処理を施された基材５は、搬送下流の補助ローラ８３ｄを介して搬送され、巻き取りローラ８２によって回収される。回収された基材５は、処理膜形成システム１の外部の加工処理部（図示せず）に搬送され、当該加工処理部で所望の大きさに切断された後、電極板として加工される。
【００３４】
制御部９０は、処理膜形成システム１に設けられた各部の機構を制御しており、そのハードウェア構成は一般的なコンピュータと同様である。すなわち、制御部９０は、各種演算処理を行うＣＰＵ、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭおよび制御用ソフトウェアやデータなどを記憶しておく磁気ディスクを備えて構成される。制御部９０のＣＰＵが所定の処理プログラムを実行することによって処理膜形成システム１における処理が進行する。
【００３５】
＜１．２  乾燥装置４０ａ〜４０ｃ＞
以下、乾燥装置４０ａ〜４０ｃの詳細について説明する。乾燥装置４０ａ〜４０ｃは、その順に搬送上流側から下流側に向けて直列で配される。基材５が該乾燥装置４０ａ〜４０ｃの内部を通じて搬送され各乾燥装置４０ａ〜４０ｃで乾燥処理を施されることによって、基材５の上面Ｓ１に塗工された処理剤Ｐが乾燥する。
【００３６】
一般に、乾燥処理の序盤においては、処理剤Ｐの溶剤成分は蒸発しやすく、処理剤Ｐの固形成分は該処理剤Ｐの中で流動しやすい。このため、乾燥処理の序盤においては、処理剤Ｐが空間的に均一に乾燥されれば上記固形成分が処理剤Ｐ中で均一に存在して最終製品の性能（本実施形態では、リチウムイオン電池の電池性能）が高くなるが、処理剤Ｐが空間的に非均一に乾燥されれば上記固形成分が処理剤Ｐ中で偏在して最終製品の性能が低下する。
【００３７】
他方、乾燥処理の終盤においては、乾燥処理の序盤の場合に比べて、処理剤Ｐの溶剤成分が蒸発し難く、処理剤Ｐの固形成分も該処理剤Ｐの中で流動し難い。このため、乾燥処理の終盤では、処理剤Ｐが空間的に非均一に乾燥された場合であっても、最終製品の性能が低下し難い。
【００３８】
したがって、処理剤Ｐを乾燥する際には、終盤よりも序盤において精密な乾燥処理を行われることが望ましい。この観点から、本実施形態では、乾燥処理の序盤に相当する搬送方向の上流側に、種々の風速分布で熱風を供給可能な乾燥装置４０ａおよび乾燥装置４０ｂを配する。また、乾燥処理の終盤に相当する搬送方向の下流側に、一定の風速分布で熱風を供給可能な乾燥装置４０ｃを配する。なお、本実施形態においては乾燥装置４０ａ〜４０ｃにおいて基材５に熱風を供給する態様について説明するが、熱風に代えて常温のエアや不活性ガスを供給してもよい。
【００３９】
本実施形態では、乾燥装置４０ａと乾燥装置４０ｂとが同一構成である。このため、以下ではこれらの代表として乾燥装置４０ａについてのみ詳述し、乾燥装置４０ｂについての説明は省略する。また、乾燥装置４０ｃについては別途説明する。
【００４０】
＜１．２．１  乾燥装置４０ａ＞
図２は、乾燥装置４０ａの概略的な内部構成を示すＸＺ側面図である。
【００４１】
乾燥装置４０ａは、両端に開口が形成されたチャンバー４１の内側に上側熱風噴出部４５、下側熱風噴出部５１、上側排気ボックス５６および下側排気ボックス５５を備えて構成される。
【００４２】
チャンバー４１は、搬送機構８０によって搬送される基材５の搬送経路を囲むように設けられている。チャンバー４１の両端には、基材５が搬入される搬入口４１ａおよび搬出される搬出口４１ｂが形成されている。チャンバー４１の長さは特に限定されるものではないが、本実施形態では約３０００ｍｍとしている。また、搬入口４１ａおよび搬出口４１ｂの大きさも特に限定されるものではないが、本実施形態では搬送経路の上方および下方のそれぞれに約５ｍｍの間隔を確保できる程度（つまり、鉛直方向の大きさが約１０ｍｍ）としている。
【００４３】
チャンバー４１の内側において、搬送経路の上側には、複数の上側熱風噴出部４５（本実施形態では９個）と複数の上側排気ボックス５６（本実施形態では１０個）とが搬送経路（Ｘ方向）に沿って交互に配置されている。なお、図２では、図示が煩雑になるのを防ぐ目的で、上側熱風噴出部４５および上側排気ボックス５６に係る構成の一部を省略して描いている。
【００４４】
搬送経路の上側に設けられた９個の上側熱風噴出部４５（気体供給部）の下方には、それぞれ整流板４３が配設されている。
【００４５】
整流板４３は、搬送経路と平行になるように設けられた板状部材である。整流板４３には、基材５の幅方向（Ｙ方向）に沿って延びるスリット状の給気口４３１（図３）が設けられており、該給気口（第１の給気口）は搬送される基材５の上面Ｓ１に向けて開口している。本明細書中では、１つの上側熱風噴出部４５とその直下に配される１つの整流板４３との組み合わせを「第１給気ノズル４４」と呼ぶ。第１給気ノズル４４の構成の詳細については図３を参照しつつ後述する。
【００４６】
上側熱風噴出部４５は、導風管３５に連結されており、導風管３５（給気経路）から送給された熱風を整流板４３の給気口から搬送経路の基材５に向けて噴出する。導風管３５の基端側は熱風供給部３４（給気源）に接続されるとともに、先端側は９つに分岐されてそれぞれが上側熱風噴出部４５に連通接続されている。９つに分岐された導風管３５のそれぞれには流量調整弁３６（調節部）が介挿され、該流量調整弁３６によって９つの第１給気ノズル４４に送給される熱風の流量が調節される。
【００４７】
熱風供給部３４は、ヒータおよび送風機を備えており、加熱した空気を熱風として上側熱風噴出部４５に送給する。９個の上側熱風噴出部４５のそれぞれに送給される熱風の流量は対応する流量調整弁３６によって個別に調整される。そして、導風管３５を通じて上側熱風噴出部４５に送給された熱風は、整流板４３の給気口から基材５上の処理剤Ｐに向けて噴出される。
【００４８】
また、９個の上側熱風噴出部４５に対して１０個の上側排気ボックス５６が設けられ、Ｘ方向について、隣り合って配置された上側排気ボックス５６の間に上側熱風噴出部４５が設けられている。各上側排気ボックス５６は、基材５の幅方向に沿って延びる吸引口を下端に備えている。各上側排気ボックス５６は、排気管５７を介して排気部５８と連通接続されている。すなわち、排気管５７の基端側が排気部５８に接続されるとともに、先端側は１０本に分岐されてそれぞれが上側排気ボックス５６に接続される。１０本に分岐された排気管５７のそれぞれには流量調整弁９１が介挿されている。
【００４９】
排気部５８は、吸引用のブロワーを備えており、排気管５７を介して上側排気ボックス５６に負圧を付与する。これにより、上側排気ボックス５６は、下端の吸引口周辺の雰囲気を吸引して排気管５７へと排出する。１０個の上側排気ボックス５６のそれぞれが吸引する気体の排気流量は対応する流量調整弁９１によって個別に調整される。
【００５０】
一方、チャンバー４１の内側において、搬送経路の下側には複数の下側熱風噴出部５１（本実施形態では９個）と複数の下側排気ボックス５５（本実施形態では２個）とが配置されている。なお、図２では、図示が煩雑になるのを防ぐ目的で、下側熱風噴出部５１に係る構成の一部を省略して描いている。
【００５１】
搬送経路の下側に設けられた９個の下側熱風噴出部５１のそれぞれは、図示を省略する複数の噴出孔を上側に向けて備えている。下側熱風噴出部５１は、配管５２を介して熱風供給部５３と連通接続されている。すなわち、配管５２の基端側が熱風供給部５３に接続されるとともに、先端側は９つに分岐されてそれぞれが下側熱風噴出部５１に接続される。９つに分岐された配管５２のそれぞれには流量調整弁５４が介挿されている。
【００５２】
熱風供給部５３は、ヒータおよび送風機を備えており、加熱した空気を熱風として下側熱風噴出部５１に送給する。９個の下側熱風噴出部５１のそれぞれに送給される熱風の流量は対応する流量調整弁５４によって個別に調整される。９個の下側熱風噴出部５１は、熱風供給部５３から送給された熱風を噴出孔から上側の搬送経路に向けて噴出する。
【００５３】
搬送経路の下方においては、９個の下側熱風噴出部５１に対して２個の下側排気ボックス５５が設けられている。各下側排気ボックス５５は、基材５の幅方向に沿って延びる吸引口を上端に備えている。下側排気ボックス５５は、排気管９２を介して排気部９３と連通接続されている。すなわち、排気管９２の基端側が排気部９３に接続されるとともに、先端側は２つに分岐されてそれぞれが下側排気ボックス５５に接続される。２つに分岐された排気管９２のそれぞれには流量調整弁９４が介挿されている。排気部９３は、吸引用のブロワーを備えており、排気管９２を介して下側排気ボックス５５に負圧を付与する。これにより、下側排気ボックス５５は、上端の吸引口周辺の雰囲気を吸引して排気管９２へと排出する。２個の下側排気ボックス５５のそれぞれが吸引する気体の排気流量は対応する流量調整弁９４によって個別に調整される。
【００５４】
また、９個の上側熱風噴出部４５と９個の下側熱風噴出部５１とは搬送経路を挟んで相対向して配置されている。すなわち、各上側熱風噴出部４５に１対１で対応して各下側熱風噴出部５１が設けられており、各上側熱風噴出部４５の直下に下側熱風噴出部５１が配置される。これにより、基材５の上下面の同じ位置に下側熱風噴出部５１および上側熱風噴出部４５から熱風が吹き付けられることとなる。
【００５５】
下側熱風噴出部５１が基材５の下方より熱風を吹き付けることによって、直接的には基材５が加熱され、その基材５からの熱伝導によって処理剤Ｐが加熱される。下側熱風噴出部５１から基材５の下面に吹き付けられた熱風は、下側排気ボックス５５によって回収される。
【００５６】
また、上側熱風噴出部４５が基材５の上方より熱風を吹き付けることによって、基材５の上面Ｓ１に塗工された処理剤Ｐが直接的に加熱される。図２に示すように、上側熱風噴出部４５から基材５の上面に吹き付けられた熱風は、搬送経路と平行に設けられた整流板４３と基材５との間をＸ方向に沿って流れ、上側熱風噴出部４５の両隣に設けられた上側排気ボックス５６に回収される。整流板４３と基材５との間を熱風が流れるため、基材５の上に塗工された処理剤Ｐは湿度の少ない熱風と接触し続けることとなり、効率良く処理剤Ｐを加熱乾燥することができる。
【００５７】
このように、処理剤Ｐが基材５の上下から加熱されることにより、処理剤Ｐから有機溶剤（本実施形態ではＮＭＰ）が蒸発して乾燥処理が進行する。
【００５８】
また、９個の下側熱風噴出部５１が基材５の下方より上方に向けて熱風を吹き付けることは、上記した処理剤Ｐを間接加熱する働きの他に、熱風の風圧によって基材５に上向きに浮上させる働きがある。これにより、乾燥装置４０ａに固有のローラを設けなくとも、補助ローラ８３ａと補助ローラ８３ｂとの間で基材５が大きく撓むことなく、搬送経路に沿って搬送される。すなわち、下側熱風噴出部５１は、基材５を浮上搬送させるという搬送機構８０の補助的役割も果たすこととなる。
【００５９】
さらに、９個の上側熱風噴出部４５と９個の下側熱風噴出部５１とが搬送経路を挟んで相対向して配置されているため、下側熱風噴出部５１から基材５の下面に熱風が吹き付けられる位置の反対面側（上面側）に上側熱風噴出部４５から熱風が吹き付けられる。このため、基材５の上下面の同じ位置に上下から熱風が吹き付けられ、基材５の波うちを防止することができる。
【００６０】
以下、第１給気ノズル４４について詳細に説明する。
【００６１】
図３は、乾燥装置４０ａ内に配される各構成のうち９つの第１給気ノズル４４についての下面図である。
【００６２】
本実施形態では、搬送方向（Ｘ方向）に沿って連続して配置された３つの第１給気ノズル４４の組み合わせによってノズル群４４１が構成される。このため、９つの第１給気ノズル４４によって３つのノズル群４４１が構成される。
【００６３】
各ノズル群４４１は、搬送方向の上流側から順に、給気口４３１の開口パターンとして中央側抑制パターンを有する中央側抑制ノズル４４２と、給気口４３１の開口パターンとして中間抑制パターンを有する中間抑制ノズル４４３と、給気口４３１の開口パターンとして端側抑制パターンを有する端側抑制ノズル４４４と、を備える。このように、本実施形態では、第１給気ノズル４４に、中央側抑制ノズル４４２、中間抑制ノズル４４３、および端側抑制ノズル４４４の３種類のノズルが含まれる態様について説明する。
【００６４】
図４は、中央側抑制パターンＰａ、中間抑制パターンＰｂ、端側抑制パターンＰｃを示す概念図である。図４中の網掛け部は、後記する封止部材４３２によってスリット状の開口が封止される箇所を意味する。
【００６５】
図５は、中央側抑制ノズル４４２から噴出された熱風の処理剤Ｐ付近における風速分布を示す。図６は、中間抑制ノズル４４３から噴出された熱風の処理剤Ｐ付近における風速分布を示す。図７は、端側抑制ノズル４４４から噴出された熱風の処理剤Ｐ付近における風速分布を示す。図５〜図７では、縦軸が処理剤Ｐ付近における熱風の風速を示し、横軸がＹ方向位置を示す。各ノズルにおける開口パターンはいずれもＹ方向について中央側から一端側へのパターンと該中央側から他端側へのパターンとが同一であるので（図４）、図５〜図７に示すように風速分布もＹ方向に関して左右対称となる。
【００６６】
中央側抑制ノズル４４２では、整流板４３の下面のうちＹ方向中央側に封止部材４３２が配設され、整流板４３に設けられたスリット状の給気口４３１のうちＹ方向中央側が封止部材４３２によって封止される（図３）。このため、中央側抑制ノズル４４２の開口パターンは、Ｙ方向について中央側での開口面積が両端側での開口面積に比べて相対的に小さい中央側抑制パターンＰａとなる（図４）。その結果、中央側抑制ノズル４４２から噴出された熱風は、基材５上の処理剤Ｐ付近において、Ｙ方向中央側で風速が小さく、Ｙ方向両端側で風速が大きくなる（図５）。なお、封止部材４３２が整流板４３の下面に配設される態様としては、ネジ等の部材で固定される態様や接着剤等で固着される態様など種々の態様を採用することができる。この点は、中間抑制ノズル４４３および端側抑制ノズル４４４においても同様である。
【００６７】
中間抑制ノズル４４３では、整流板４３の下面のうちＹ方向中央側とＹ方向両端側との区間にそれぞれ封止部材４３２が配設され、整流板４３に設けられたスリット状の給気口４３１のうち上記区間が封止部材４３２によって封止される（図３）。このため、中間抑制ノズル４４３の開口パターンは、Ｙ方向について上記区間での開口面積が中央側および両端側での開口面積に比べて相対的に小さい中間抑制パターンＰｂとなる（図４）。その結果、中間抑制ノズル４４３から噴出された熱風は、基材５上の処理剤Ｐ付近において、Ｙ方向の上記区間で風速が小さく、Ｙ方向中央側およびＹ方向両端側で風速が大きくなる（図６）。
【００６８】
端側抑制ノズル４４４では、整流板４３の下面のうちＹ方向両端側にそれぞれ封止部材４３２が配設され、整流板４３に設けられたスリット状の給気口４３１のうちＹ方向両端側が封止部材４３２によって封止される（図３）。このため、端側抑制ノズル４４４の開口パターンは、Ｙ方向について両端側での開口面積が中央側での開口面積に比べて相対的に小さい端側抑制パターンＰｃとなる（図４）。その結果、端側抑制ノズル４４４から噴出された熱風は、基材５上の処理剤Ｐ付近において、Ｙ方向両端側で風速が小さく、Ｙ方向中央側で風速が大きくなる（図７）。
【００６９】
このように、中央側抑制ノズル４４２、中間抑制ノズル４４３、および端側抑制ノズル４４４は、それぞれ異なる風速分布で熱風を噴出する。また、既述の通り、中央側抑制ノズル４４２、中間抑制ノズル４４３、および端側抑制ノズル４４４のそれぞれには、熱風の流量を調節する流量調整弁３６が設けられている。
【００７０】
このため、１つのノズル群４４１を構成する各ノズル（中央側抑制ノズル４４２、中間抑制ノズル４４３、端側抑制ノズル４４４）から噴出される熱風流量をそれぞれ調節することで、該ノズル群４４１に対向する位置を搬送される基材５上の処理剤Ｐ付近に対して種々の風速分布で熱風を供給することが可能となる。
【００７１】
例えば、中央側抑制ノズル４４２から噴出される熱風流量、中間抑制ノズル４４３から噴出される熱風流量、および、端側抑制ノズル４４４から噴出される熱風流量がそれぞれ０．８：０．８：１．４となるよう各流量調整弁３６の開度を調節した場合、該ノズル群４４１から噴出された熱風は基材５上の処理剤Ｐ付近においてＹ方向両端側での風速が若干小さくなる（図８）。また、上記のように、各ノズル４４２〜４４４から噴出される熱風流量がそれぞれ０．８：０．８：１．４である場合には該ノズル群４４１から噴出される熱風流量の平均が１となるので、各ノズル４４２〜４４４から噴出される熱風流量がそれぞれ１：１：１である場合と比べてノズル群４４１全体として見れば同一の熱風供給量となる。
【００７２】
通常、基材５の上面Ｓ１に塗工された処理剤Ｐに対して幅方向に均一な風速分布で熱風を供給した場合、基材５の上面Ｓ１に塗工された処理剤Ｐの乾燥速度は基材５の幅方向両端側で幅方向中央側よりも速くなる。これは、基材５に吹き付けられた熱風のうち、基材５の幅方向中央側に吹き付けられた熱風は基材５の上方に滞留しやすい一方で、基材５の幅方向両端側に吹き付けられた熱風は基材５の側方の空気と置換しやすいことに起因する。
【００７３】
本実施形態の乾燥装置４０ａでは、基材５上の処理剤Ｐ付近においてＹ方向両端側での風速が若干小さくなるよう各ノズル群４４１から熱風を噴出することで（図８）、通常状態で乾燥速度が相対的に遅いＹ方向中央側での乾燥を促しつつ、通常状態で乾燥速度が相対的に速いＹ方向両端側での乾燥を抑制することができる。この結果、本実施形態では、基材５上の処理剤Ｐについて幅方向（Ｙ方向）の全域でより均一な乾燥速度で乾燥処理を実行することができ、より高精度な最終製品を得ることができる。
【００７４】
なお、ノズル群４４１から噴出される熱風の風速分布は図８に示したものには限られない。処理剤Ｐの成分や乾燥処理の段階に応じて該ノズル群４４１から噴出される熱風の風速分布を種々変更することが可能である。
【００７５】
本実施形態では、乾燥装置４０ｂが上記した乾燥装置４０ａと同様の構成であるため、乾燥装置４０ｂについての説明は省略する。
【００７６】
＜１．２．２  乾燥装置４０ｃ＞
乾燥装置４０ｃは、乾燥装置４０ａおよび乾燥装置４０ｂの第１給気ノズル４４に代えて、第２給気ノズル４４Ａ（図９）を有する。乾燥装置４０ｃの他の構成は乾燥装置４０ａおよび乾燥装置４０ｂと同様である。したがって、以下では、主として第２給気ノズル４４Ａの構成について説明する。なお、乾燥装置４０ａの構成と同じ部分については同一符号を付し重複説明を省略する。
【００７７】
図９は、乾燥装置４０ｃ内に配される各構成のうち９つの第２給気ノズル４４Ａについての下面図である。
【００７８】
第２給気ノズル４４Ａは、第１給気ノズル４４と同様、１つの上側熱風噴出部４５とその直下に配される１つの整流板４３とを組み合わせて構成される。また、９つの第２給気ノズル４４Ａ（９つの上側熱風噴出部４５）のそれぞれには、熱風供給部３４から供給される熱風を該上側熱風噴出部４５に送給する導風管３５が連結されている。また、９つに分岐された導風管３５のそれぞれには流量調整弁３６（調節部）が介挿され、該流量調整弁３６によって９つの第２給気ノズル４４Ａに送給される熱風の流量が調節される。
【００７９】
図９に示すように、第２給気ノズル４４Ａでは、整流板４３に封止部材４３２（図３）が配設されておらず、この点で第１給気ノズル４４とは異なる。したがって、乾燥装置４０ｃ（同一パターン乾燥装置）では、９つの第２給気ノズル４４Ａの開口パターンがいずれも同一のスリット形状（長尺状）となる。スリット状の給気口４３１（第２の給気口）から噴出された熱風は、Ｙ方向について均一な風速分布で基材５上の処理剤Ｐに供給される（図１０）。その結果、上述したように、基材５の上面Ｓ１に塗工された処理剤Ｐの乾燥速度は基材５のＹ方向両端側でより速くなる。
【００８０】
しかしながら、乾燥装置４０ｃは乾燥処理の終盤に相当する搬送方向下流側に配されるので、処理剤Ｐが空間的に非均一に乾燥された場合（具体的には、Ｙ方向両端側でより速く乾燥された場合）であっても、最終製品の性能は低下し難い。
【００８１】
また、乾燥装置４０ｃでは、各第２給気ノズル４４Ａから同一量の熱風が噴出される。このため、乾燥装置４０ｃでの乾燥処理は、上述した乾燥装置４０ａでの乾燥処理に比べて、制御部９０による動作制御が容易である。
【００８２】
＜２  変形例＞
以上、本発明の実施形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。
【００８３】
図１１は、変形例に係る中央側抑制パターンＰａ１、中間抑制パターンＰｂ１、端側抑制パターンＰｃ１を示す概念図である。図１１中の網掛け部は、封止部材によってスリット状の給気口４３１が封止される箇所を意味する。
【００８４】
上記実施形態では、ノズル群４４１を構成する各ノズルの開口パターンが搬送方向に沿ってノズル相互間では順次に変化する一方で搬送方向に沿って個々のノズル内部では一定となっていることにより、ノズル群４４１を構成する各ノズルの開口パターンが搬送方向に沿って段階的に変化する態様（図３、図４）について説明したが、これに限られるものではない。例えば、ノズル群を構成する各ノズルの開口パターン（中央側抑制パターンＰａ１、中間抑制パターンＰｂ１、および端側抑制パターンＰｃ１）が搬送方向に沿ってノズル相互間で順次に変化するとともに搬送方向に沿って個々のノズル内部においても連続的に変化していることにより、ノズル群を構成する各ノズルの開口パターンが搬送方向に沿って連続的に変化する態様（図１１）でも構わない。本変形例のように開口パターンが搬送方向に沿って連続的に変化する態様では、上記実施形態のように開口パターンが搬送方向に沿って段階的に変化する態様に比べ、ノズル内部において幅方向の風速分布が滑らかになるとともに、隣り合うノズルでの風速分布の差も小さくなる。この結果、基材５の上面Ｓ１に塗工された処理剤Ｐ付近での気流がより安定し、より高精度に乾燥処理を実行できる。なお、本変形例のように開口パターンがノズル内部においても連続的に変化する態様を実現するためには、例えば、ノズルの幅方向において傾斜を設けた封止部材４３２によって給気口を封止すればよい。
【００８５】
図１２は、変形例に係る中央側抑制パターンＰａ２、中間抑制パターンＰｂ２、端側抑制パターンＰｃ２を示す概念図である。図１２中の網掛け部は、封止部材によってスリット状の開口が封止される箇所を意味する。
【００８６】
上記実施形態では、封止部材４３２が中央側抑制ノズル４４２の給気口４３１のＹ方向中央側の区間を完全に封止する態様、封止部材４３２が中間抑制ノズル４４３の給気口４３１のＹ方向中央側とＹ方向両端側との区間を完全に封止する態様、および、封止部材４３２が端側抑制ノズル４４４の給気口４３１のＹ方向両端側の区間を完全に封止する態様（図３、図４）について説明したが、これに限られるものではない。例えば、図１２に示すように、各ノズルの給気口４３１のうちＹ方向の所定区間が部分的に封止部材によって封止される態様であっても構わない。
【００８７】
また、上記実施形態のように第１給気ノズル４４におけるスリット状の給気口４３１を封止部材で封止して特定の開口パターンを形成する態様の他、そもそも特定の開口パターン形状の給気口を有する第１給気ノズル４４を利用し封止部材は用いない態様であっても構わない。また、給気口の形状も種々採用ししうる。例えば、給気口が複数の孔によって構成されてもよい。
【００８８】
図１３は、変形例にかかる乾燥装置内に配される各構成のうち６つの第１給気ノズル４４（２つのノズル群４４１）および３つの第２給気ノズル４４Ａについての下面図である。
【００８９】
上記実施形態では、９つの第１給気ノズル４４を備える乾燥装置４０ａ，４０ｂと、９つの第２給気ノズル４４Ａを備える乾燥装置４０ｃと、について説明したが、これに限られるものではない。例えば、図１３に示すように、一の乾燥装置内に第１給気ノズル４４および第２給気ノズル４４Ａの両方が配される構成であっても良い。この場合、該変形例のように、搬送方向（Ｘ方向）に沿って上流側に複数の第１給気ノズル４４によって構成されるノズル群４４１が配され、搬送方向（Ｘ方向）に沿って下流側に第２給気ノズル４４Ａが配される構成であれば、特に望ましい。既述の通りノズル群４４１は種々の風速分布で熱風を噴出することが可能であり、乾燥の序盤でより精密な乾燥処理を実行できるからである。
【００９０】
また、上記実施形態では９つの第２給気ノズル４４Ａを備える乾燥装置４０ｃを有する処理膜形成システム１について説明したが、これに限られるものではない。搬送経路に沿って配される全ての乾燥装置において、熱風供給ノズルが第１給気ノズル４４で構成される処理膜形成システムでも良い。
【００９１】
また、上記実施形態では、中央側抑制ノズル４４２、中間抑制ノズル４４３、および端側抑制ノズル４４４の３種類のノズルでノズル群４４１が構成される態様について説明したが、これに限られるものではない。少なくとも中央側抑制ノズル４４２および端側抑制ノズル４４４の２種類のノズルがあればノズル群を構成することができる。また、４種類以上のノズルでノズル群が構成されてもよい。
【００９２】
また、上記実施形態では、中央側抑制ノズル４４２、中間抑制ノズル４４３、および端側抑制ノズル４４４が搬送方向に沿ってこの順番で配され、ノズル群４４１を構成する各ノズルの開口パターンが搬送方向に沿って端側抑制パターンＰｃから中央側抑制パターンＰａへと順次に変化する態様について説明したが、これに限られるものではない。各ノズルが搬送方向に沿って逆の順番で配され、ノズル群を構成する各ノズルの開口パターンが搬送方向に沿って中央側抑制パターンＰａから端側抑制パターンＰｃへと順次に変化する態様であっても構わない。また、ノズル群の中で各ノズルが開口パターンの変化に対応せず配置される態様であっても構わない。いずれの態様においても、１つのノズル群を構成する各ノズルから噴出される熱風流量をそれぞれ調節することで種々の風速分布で熱風を噴出することが可能となる。なお、上記実施形態のようにノズル群を構成する各ノズルの開口パターンが順次に変化する態様であれば、各ノズルが開口パターンの変化に対応せず配置される態様態様に比べて、基材５の上面Ｓ１に塗工された処理剤Ｐ付近での気流がより安定し、より高精度に乾燥処理を実行できる。
【００９３】
また、本発明に係る技術を用いて乾燥処理を行う対象となる処理剤Ｐは上記実施形態で説明したリチウムイオン二次電池の電極材料膜に限定されるものではなく、例えば太陽電池材料（電極材、封止材）の処理剤または電子材料の絶縁膜や保護膜であっても良い。比較的粘度の高い材料を厚く塗工した処理剤を乾燥させるのに本発明に係る技術を好適に適用することができる。よって、顔料や接着剤の処理剤を乾燥させるのに、本発明に係る技術を用いるようにしても良い。
【００９４】
以上、実施形態およびその変形例に係る乾燥装置および処理膜形成システムについて説明したが、これらは本発明に好ましい実施形態の例であって、本発明の実施の範囲を限定するものではない。本発明は、その発明の範囲内において、各実施形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施形態において任意の構成要素の省略が可能である。
【符号の説明】
【００９５】
１  処理膜形成システム
５  基材
１０  塗工装置
４０ａ〜４０ｃ  乾燥装置
４４  第１給気ノズル
４４Ａ  第２給気ノズル
４５  上側熱風噴出部
８０  搬送機構
９０  制御部
４３１  給気口
４３２  封止部材
４４１  ノズル群
４４２  中央側抑制ノズル
４４３  中間抑制ノズル
４４４  端側抑制ノズル
Ｐ  処理剤
Ｐａ，Ｐａ１，Ｐａ２  中央側抑制パターン
Ｐｂ，Ｐｂ１，Ｐｂ２  中間抑制パターン
Ｐｃ，Ｐｃ１，Ｐｃ２  端側抑制パターン
【図１】
2015172450.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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