(57)【要約】【課題】弁棒に作用する荷重を測定する弁棒荷重センサを、弁棒に対して着脱可能な状態で常時装着させておくことができる弁棒の荷重測定装置及びその荷重測定方法を提供する。【解決手段】弁棒荷重センサ１０は、半円弧状の本体部２６と、本体部２６の中央部の外表面側に形成した凹部２７と、を備え、また、凹部２７によって板厚が薄くなった部位にひずみゲージ７が設けられている。本体部２６の両端縁から一対の把持ロッド２８ａ、２８ｂが延設され、把持ロッド２８ａの端部には、弁棒２を把持する把持部材２９が設けられている。凹部２７の対向する部位に設けた電磁石８によって、弁棒荷重センサ１０を弁棒２に固定したり、ガイド６に固定できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁箱内に収容された弁体と、前記弁体を作動させる弁棒と、前記弁棒を駆動する駆動部と、を有する弁装置における前記弁棒に作用する荷重を測定する弁棒の荷重測定装置であって、
ひずみゲージと電磁石を搭載し、前記電磁石の電磁力により、前記弁棒への装着及び装着状態からの解除が可能に構成された弁棒荷重センサと、
を備えたことを特徴とする弁棒の荷重測定装置。
【請求項２】
前記弁棒荷重センサは、半円弧状の本体部と、前記本体部の中央部における外表面側に形成した凹部と、を備え、
前記ひずみゲージが、前記中央部に設けられ、
前記本体部の両端縁から内径側及び外径側に延出した一対の把持ロッドが、それぞれ形成され、
前記凹部の対向する部位に一対の電磁石が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の弁棒の荷重測定装置。
【請求項３】
前記電磁石に供給する電源電圧をフィードバック制御して、前記電磁石の電磁力を適切な範囲内に調整可能とする電源電圧制御部が、備えられていることを特徴とする請求項１または２に記載の弁棒の荷重測定装置。
【請求項４】
前記弁棒荷重センサと前記弁装置のヨークとの間隔を測定する変位センサが、前記弁棒荷重センサに搭載され、
前記電源電圧制御部は、前記変位センサからの検出信号により、前記間隔が所定間隔になったとき、前記電磁石への電源電圧を遮断して、前記弁棒荷重センサを前記弁棒との装着状態から解除して、前記ヨーク側に固定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の弁棒の荷重測定装置。
【請求項５】
前記弁棒荷重センサで検出したひずみ量の時間軸波形をＡ／Ｄ変換する信号処理部と、
前記信号処理部によりデジタル値に変換されたひずみ量の時間軸波形を、前記弁棒の形状と材料係数とに基づいて、前記弁棒に作用している荷重の時間軸波形に変換する解析部と、
前記荷重の時間軸波形を表示する表示部と、
前記荷重のデータを保存して、履歴管理を行うデータベース部と、
を備えていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の弁棒の荷重測定装置。
【請求項６】
弁箱内に収容された弁体と、前記弁体を作動させる弁棒と、前記弁棒を駆動する駆動部と、を有する弁装置における前記弁棒に作用する荷重を測定する荷重測定方法であって、
ひずみゲージ及び電磁石を搭載した弁棒荷重センサを、前記電磁石の電磁力により前記弁棒との装着状態と、前記弁棒との装着状態を解除して前記弁装置のヨーク側への固定と、に切り替えること、
前記ひずみゲージにより、前記弁装置の動作中に前記弁棒のひずみ量を測定し、測定した前記ひずみ量に基づいて前記弁棒に作用している荷重を算出することを特徴とする弁棒の荷重測定方法。
【請求項７】
前記電磁力に供給する電源電圧をフィードバック制御して、前記電磁石の電磁力が適切な範囲内となるように調整することを特徴とする請求項６に記載の弁棒の荷重測定方法。
【請求項８】
前記弁棒荷重センサと前記弁装置のヨークとの間隔を、前記弁棒荷重センサに搭載した変位センサで測定すること、
前記弁棒荷重センサが前記ヨークに接触しないように、前記変位センサからの検出信号により前記間隔が所定間隔に狭まったときには、前記電磁力を制御する前記電源電圧を遮断して、前記弁棒荷重センサを前記弁棒との装着状態から解除して前記ヨーク側に固定することを特徴とする請求項６または７に記載の弁棒の荷重測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、弁装置の弁体を作動させる弁棒に作用する荷重を測定する弁棒の荷重測定装置及び荷重測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば発電プラント等における各種のプラントでは、弁装置の予防保全対策として、弁棒に作用する荷重を測定する状態監視技術が適用されている。弁棒は、駆動部と弁体とを連結しており、駆動部からの駆動力を弁体に伝達する役割を担っている。このため、弁棒に作用する荷重を測定することにより、駆動部及び弁部の異状に対する状態監視を行うことが可能となる。
【０００３】
駆動部及び弁部の異状に対する状態監視を行うものとしては、例えば、特許文献１、２に記載されたような測定技術がある。この測定技術では、弁棒の一部分にひずみゲージを搭載した弁棒荷重センサを取り付ける構成になっており、弁棒荷重センサによって弁棒に作用する荷重を測定することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第２７１６８０９号公報
【特許文献２】特許第４５４０９７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１、２に記載されているような従来技術を適用しようとしても、弁装置の構造上の問題から、弁棒に弁棒荷重センサを取り付けるためのスペースが狭くなっている弁装置が多い。そのため、弁棒荷重センサを弁棒に取り付けた状態で、弁棒をフルストローク位置まで動作させると、ストロークの途中で弁棒荷重センサがヨークに接触してしまう事態が発生する。
【０００６】
弁棒荷重センサがヨークに接触すると、弁棒に作用している荷重を測定することができなくなる。そのため、フルストローク位置までの全てのストローク範囲内において、弁棒の荷重を測定することができない領域が存在するという問題がある。
【０００７】
また、弁棒荷重センサを弁棒に常設化した状態で取り付けておくこともできず、弁棒に作用する荷重を常時測定することもできない。そのため、弁棒に作用する荷重を測定してデータを得る度ごとに、現場に赴いて、弁棒荷重センサを弁棒に取り付けて、調整を行い、測定作業を行った後で、弁棒荷重センサを弁棒から取り外す作業が必要となる。その結果、データ測定にかかる作業量が大きくなり、作業時間が長時間化するという問題がある。
【０００８】
本発明は、弁棒に作用する荷重を測定する弁棒荷重センサを、弁棒に対して着脱可能な状態で常時装着させておくことができる弁棒の荷重測定装置及びその荷重測定方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明の実施形態に係る弁棒の荷重測定装置は、弁箱内に収容された弁体と、前記弁体を作動させる弁棒と、前記弁棒を駆動する駆動部と、を有する弁装置における前記弁棒に作用する荷重を測定する弁棒の荷重測定装置であって、ひずみゲージと電磁石を搭載し、前記電磁石の電磁力により、前記弁棒への装着及び装着状態からの解除が可能に構成された弁棒荷重センサと、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の実施形態に係る弁棒の荷重測定方法は、弁箱内に収容された弁体と、前記弁体を作動させる弁棒と、前記弁棒を駆動する駆動部と、を有する弁装置における前記弁棒に作用する荷重を測定する荷重測定方法であって、ひずみゲージ及び電磁石を搭載した弁棒荷重センサを、前記電磁石の電磁力により前記弁棒との装着状態と、前記弁棒との装着状態を解除して前記弁装置のヨーク側への固定と、に切り替えること、前記ひずみゲージにより、前記弁装置の動作中に前記弁棒のひずみ量を測定し、測定した前記ひずみ量に基づいて前記弁棒に作用している荷重を算出することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の実施形態によって、弁棒に作用する荷重を測定する弁棒荷重センサを、弁棒に対して着脱可能な状態で常時装着させておくことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】電動弁の概略断面図である。
【図２】図１の点線円で囲った部分の拡大図（ａ）、図２（ａ）のＢ−Ｂ断面図（ｂ）である。
【図３】荷重測定装置の構成を示すブロック図である。
【図４】荷重測定方法の工程を示すフローチャートである。
【図５】弁棒に作用する荷重の時間軸変化を示す波形例である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に係る弁棒の荷重測定装置および荷重測定方法の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１４】
（弁棒の荷重測定装置）
図１は、状態監視の対象となる弁装置の一例として、弁装置２５の一種として電動弁の概略断面図を示しており、図２（ａ）は、図１において点線の円で囲った部分を拡大した図を示している。また、図２（ｂ）は、図２（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図を用いて荷重測定装置２０を示している。図３には、弁棒２の荷重を測定する荷重測定装置２０の構成を示すブロックを用いて示している。また、図４には、荷重測定装置２０を用いて行う荷重測定方法の工程をフローチャートとして示している。図５には、荷重測定装置２０で測定した弁棒２に作用している荷重の時間軸波形の一例を示している。
【００１５】
図１〜図３を用いて弁棒荷重測定装置の構成を説明する。弁体１は、弁装置２５を構成する弁箱３内に収容されており、弁棒２の一端部は弁体１に接続され、他端部側の端部は弁箱３の外側に導出されており、電動駆動部４に接続されている。
【００１６】
弁箱３の上部開口は、蓋３ｂによって密閉されており、弁棒２は、液密状態にシールされた状態で蓋３ｂに形成した孔から外部に突出している。弁棒２の上下方向への移動時には、蓋３ｂとの間に設けたシール部材（不図示）によって、弁箱３内を流れる流体が外部に漏れ出ないように構成されている。
【００１７】
矢印で示すように、弁箱３は、図１の左側から流入してきた流体を右側に流す流路の途中に設けられており、弁体１を弁座３ａに着座させることで、流体の左側から右側への流れを遮断することができる。そして、弁体１と弁座３ａとの間隔を調整することにより、左側から右側に流れる流体の流量を制御することができる。
【００１８】
なお、流体が左側から右側に流れる例を用いて弁箱３の構成について説明を行ったが、流体が右側から左側に流れる場合であっても、弁体１と弁座３ａとの間隔を調整することにより、弁箱３内を流れる流体の流量を制御することができる。
【００１９】
弁箱３内を流れる流体の流量を制御するため、弁体１と弁座３ａとの間隔は、弁体１を上下動させる弁棒２を上下方向に移動させるときの移動量により制御することができる。弁棒２の上下方向の移動は、電動駆動部４によって行うことができる。
【００２０】
すなわち、電動駆動部４で発生した操作力を弁棒２に伝達することで、弁体１を上下方向に移動させ、弁体１と弁座３ａとの間での隙間量を調整することにより、弁箱３内における流体の流れを遮断することや、流れる流量を調整することができる。
【００２１】
弁体１を上下方向に移動させるために必要な操作力としては、弁体１と弁座３ａとの間で生じる摩擦力や蓋３ｂに形成した孔内を弁棒２が摺動するときの抵抗力、弁箱３内の流体と弁体１及び弁棒２との間で生じる抵抗力、電動駆動部４の慣性によって弁体１が弁座３ａに圧接された状態から圧接状態を解除するのに必要な力等、これらの必要な力を考慮して設定される。
【００２２】
操作力が弁棒２に伝達されて弁棒２及び弁体１が駆動されると、弁棒２には荷重が負荷されることになる。弁棒２は、操作力を受ける電動駆動部４と、操作力を与える弁体１との間を連結している構成のため、弁棒２に作用する荷重は、電動駆動部４と弁体１に関係する異状に対して感度の高いパラメータとして機能する。
【００２３】
電動駆動部４または弁体１において異状が発生した場合には、弁棒２に作用する荷重は正常状態から変化する。このため、弁棒２に作用する荷重を定期的に測定し、荷重の変化傾向を監視することにより、電動駆動部４と弁体１に関係する異状の検知が可能となる。
【００２４】
本実施形態では、図１に示すように、弁装置２５のヨーク５の内側には、ガイド６が設けられており、弁棒荷重センサ１０の内部に搭載された電磁石８の電磁力により、弁棒荷重センサ１０は弁棒２に対して着脱可能な構成になっている。
【００２５】
すなわち、図２（ｂ）に示すように、弁棒荷重センサ１０は、半円弧状の本体部２６と、本体部２６の外表面側における中央部に形成した凹部２７と、を備えた形状に構成されている。本体部２６の両端縁からは、半円弧状の内径側及び外径側にそれぞれ延出した一対の把持ロッド２８ａ及び一対の把持ロッド２８ｂが設けられている。各把持ロッド２８ａの端部には、弁棒２を把持する把持部材２９が設けられている。
【００２６】
凹部２７の対向する部位には、それぞれ電磁石８が搭載されている。一対の電磁石８に電源電圧を供給して電磁力を発生させることにより、一対の電磁石８は互いに反発力を発生して、半円弧状の本体部２６を内側に縮径させることができる。本体部２６が内側に縮径することにより、一対の把持ロッド２８ａの端部に設けた把持部材２９は、互いに近接する方向に移動し、弁棒２に当接して弁棒２を把持することができる。これにより、弁棒荷重センサ１０を弁棒２に固定することができる。
【００２７】
逆に、一対の電磁石８に供給していた電源電圧を遮断すると、一対の電磁石８間に生じていた反発力が消滅し、内側に縮径していた本体部２６は弾性復帰する。本体部２６が弾性復帰することにより、弁棒２を把持していた一対の把持部材２９は弁棒２から離れ、逆に本体部２６から外径側に延出している一対の把持ロッド２８ｂは、拡径する方向に移動して各把持ロッド２８ｂの端部をガイド６の内面に圧接させることができる。
【００２８】
これにより、弁棒２から離れた弁棒荷重センサ１０は、下方に落下することなくガイド６に固定しておくことができる。一対の把持ロッド２８ｂの端部にも、一対の把持ロッド２８ａの端部に設けたと同様の把持部材を設けておくこともできる。
【００２９】
なお、一対の電磁石８間での反発力により、弁棒荷重センサ１０を弁棒２への把持状態から解除して、弁棒荷重センサ１０をガイド６に固定し、一対の電磁石８間の反発力を解除することで、弁棒荷重センサ１０をガイド６での固定から弁棒２への把持に変更する構成にしておくこともできる。そして、一対の電磁石８間の吸引力、互いを吸引させる方向に吸引させることで、弁棒２への把持やガイド６への固定を行わせることができる。
【００３０】
電磁石８に供給する電源電圧は、図３に示した電源電圧制御部１５によってフィードバック制御を行うことができる。そして、各電磁石８で発生する電磁力を制御することによって、把持部材２９で弁棒２を把持する把持力が、適切な範囲内に収まるように調整することができる。
【００３１】
把持部材２９による弁棒２への把持力を調整した後、弁棒荷重センサ１０における凹部２７によって上下方向の板厚が薄くなった部位にひずみゲージ７を設けて、弁棒２に作用するひずみ量を測定する。各電磁石８への電源電圧の供給を遮断すると、一対の電磁石８間での反発力がなくなり、弁棒荷重センサ１０は弁棒２から外れて、ガイド６に固定される。
【００３２】
通常時は、弁棒荷重センサ１０には電源電圧は供給されておらず、弁棒荷重センサ１０は弁棒２から外れた状態になって、ガイド６に固定された状態になっている。そのため、弁棒２の移動に対して、弁棒荷重センサ１０は弁装置２５の動作に影響を与えない。一方、データ測定を行うときには、一対の電磁石８に電源電圧が供給されて、弁棒荷重センサ１０は弁棒２に固定される。
【００３３】
図２（ｂ）、図３に示すように、弁棒荷重センサ１０には変位センサ９が搭載されており、弁棒荷重センサ１０とヨーク５との間隔を測定することができる。  
なお、図２（ｂ）では、変位センサ９が、弁棒２よりも左側の部位における本体部２６の上面に配されているが、弁棒２よりも右側の部位における本体部２６の下面にも、変位センサ９を配設しておくことができる。このように、本体部２６の両側に変位センサ９を配しておくことにより、本体部２６の水平方向のバランスを維持することができる。そして、本体部２６の上面に配した変位センサ９によって、図２（ｂ）における本体部２６の左側部位とヨーク５との間隔を測定することができ、本体部２６の下面に配した変位センサ９によって、本体部２６の右側部位とヨーク５の下部との間隔を測定することができる。
【００３４】
変位センサ９で測定した値は、電磁石８の電源電圧制御部１５に入力される。弁棒荷重センサ１０が、ヨーク５、ヨーク５の内側に設けたガイド６に接触しないように、電源電圧制御部１５は変位センサ９からの検出信号によって、弁棒荷重センサ１０とヨーク５との間隔が、予め定めた所定間隔になったときには、各電磁石８に供給している電源電圧を制御することができる。
【００３５】
各電磁石８に供給している電源電圧が遮断されると、弁棒荷重センサ１０は弁棒２への把持状態から外れて、ガイド６に固定されることになる。弁棒荷重センサ１０のひずみゲージ７で測定したひずみ量は、信号処理部１１でＡ／Ｄ変換されてデジタル値になる。このようにして得られたひずみ量のデータはネットワークを介して遠隔地、例えばプラントの中央制御室にある解析部１２に送信することができる。
【００３６】
解析部１２では、ひずみゲージ７で測定された弁動作時における弁棒２のひずみ量に関して得られた時間軸波形を、弁棒２の形状と材料係数に基づいて、弁棒２に作用する荷重の時間軸波形に変換する。弁棒２に作用する荷重の時間軸波形は、表示部１３において表示され、データベース部１４に保存されて履歴管理される。
【００３７】
（弁棒の荷重測定方法）
図４と図５を用いて本弁棒荷重測定装置を用いた弁棒荷重測定方法を説明する。弁棒２のひずみデータを測定する前に、弁装置２５が停止している状態で、弁棒荷重センサ１０に搭載された電磁石８に電源電圧を供給して、弁棒荷重センサ１０を弁棒２に固定させる（ステップ１０１）。
【００３８】
この時、電源電圧制御部１５では、各電磁石８の供給している電源電圧をフィードバック制御することによって、一対の電磁石８で発生する電磁力を調整することができ、把持ロッド２８ａに設けた把持部材２９による弁棒２に対する把持力が、適切な範囲内に収まるように調整する（ステップ１０２）。
【００３９】
一対の把持部材２９による把持力を調整した後、弁装置２５を動作させる（ステップ１０３）。  
弁装置２５の動作中に、弁棒荷重センサ１０によって弁棒２のひずみ量に関する時間軸波形を測定する（ステップ１０４）。
【００４０】
弁装置２５の動作中に、弁棒荷重センサ１０とヨーク５との間隔が予め定めた所定間隔になると、電源電圧制御部１５により、電磁石８に供給していた電源電圧が遮断され、弁棒荷重センサ１０は、弁棒２から外れて、ガイド６に固定される（ステップ１０５）。
【００４１】
ひずみゲージ７で測定された弁棒２のひずみ量についての時間軸波形は、信号処理部１１においてＡ／Ｄ変換される。デジタル変換された時間軸波形は、解析部１２において弁棒２の形状と材料係数とに基づいて、弁棒２に作用している荷重の時間軸波形に変換される。荷重の時間軸波形は、図５に示すようになり、表示部に表示される（ステップ１０６）。
表示された荷重の時間軸波形をもとにして、弁装置２５の動作イベント毎における荷重をデータベース部１４に保存する（ステップ１０７）。
【００４２】
弁装置２５の動作イベントとは、例えば図５に示すように、（１）〜（１３）の各段階として捉えることができる。全閉状態となっている弁装置２５において、（１）で示す段階は、弁体１による開動作を行うとき、電動駆動部４内で弁棒２を上下動させるモータが起動して、モータに連結するギアが回転し始める「モータ起動」時の段階である。
【００４３】
（２）で示す段階は、電動駆動部４内において、モータの回転がギアにより伝達されて、弁棒２に連結したギアが回転し始める「ハンマーブロー」時の段階である。  
（３）で示す段階は、ハンマーブロー直後にギアと弁棒２との連結状態が一瞬緩む「弁棒無負荷」時の段階である。
【００４４】
（４）で示す段階は、弁棒２のみが弁体１を開動作させるための開始が行われる「弁棒開動作開始」時の段階である。  
（５）で示す段階は、弁棒２が弁体１とともに弁装置２５での開動作を開始する「弁体開動作開始」時の段階である。
【００４５】
（６）で示す段階は、電動駆動部４内に配した開リミットスイッチが開状態となり、モータが停止する「モータ停止」時の段階である。この状態では、弁体１は弁座３ａから離間して、弁装置２５が全開状態になっている。
【００４６】
次に、全開状態の弁装置２５を閉動作するとき、（７）で示す段階は、電動駆動部４内でモータが起動して、モータに連結するギアが回転し始める「モータ起動」時の段階である。
【００４７】
（８）で示す段階は、電動駆動部４内でモータの回転がギアにより伝達され、弁棒２に連結したギアが回転し始める「ハンマーブロー」時の段階である。  
（９）で示す段階は、ハンマーブロー直後にギアと弁棒２の連結状態が一瞬緩む「弁棒無負荷」時の段階である。
【００４８】
（１０）で示す段階は、弁棒２が弁体１とともに弁装置２５での閉動作を開始する「弁体閉動作開始」時の段階である。  
（１１）で示す段階は、弁体１が弁座３ａに当接する「弁体シート」時の段階である。
【００４９】
（１２）です示す段階は、電動駆動部４内で閉トルクスイッチが開となり、モータが停止する「モータ停止」時の段階である。  
（１３）で示す段階は、モータ停止により弁体１の動作が停止する「弁体動作停止」時の段階である。  
このような各段階等が、動作イベントとして挙げられる。
【００５０】
表示部１３では、今回測定した弁棒２に作用する荷重の時間軸波形、弁装置２５の動作イベント毎に測定した荷重と、過去の測定結果で得た荷重との間での変化を確認するための傾向グラフ、過去の評価結果を表示する（ステップ１０８）。
【００５１】
上記の表示結果をもとに、今回の測定結果に対する評価結果をデータベース部１４に保存する（ステップ１０９）。  
ステップ１０１からステップ１０９までを行うことにより、弁棒２に作用した荷重の測定を行うことができる。
【００５２】
弁棒荷重センサ１０以外にも、例えば、弁装置２５が電動弁であれば、モータの電流及び電圧、リミットスイッチ及びトルクスイッチのＯＮ／ＯＦＦ時間を測定するセンサを併せて、弁装置２５に常設化しておくことができる。このように構成することにより、複数のデータを同時に測定することができ、弁装置２５に対する総合的な状態監視を行うことができる。
【００５３】
従来技術では、発明が解決しようとする課題の欄において説明したように、弁棒荷重センサを取り付けた状態で、弁棒をフルストローク位置まで動作させることができない場合が多い。そのため、弁棒荷重センサを常設化した状態で弁棒に作用する荷重を測定することは難しかった。このため、データ測定を行う度ごとに現場に赴き、弁棒荷重センサを弁棒に取り付け、調整を行い、測定を行った後に、弁棒荷重センサを弁棒から取り外す作業が必要となる。そのため、データ測定には、多大の作業量と長時間の作業時間を必要とした。
【００５４】
上述したように、本実施形態によって、データ測定ごとに従来技術では必要であった上記作業が必要なくなり、データ測定にかかる作業量の削減や作業時間の短縮が可能となる。
【００５５】
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、組み合わせ、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５６】
１…弁体、２…弁棒、３…弁箱、４…電動駆動部、５…ヨーク、６…ガイド、７…ひずみゲージ、８…電磁石、９…変位センサ、１０…弁棒荷重センサ、１１…信号処理部、１２…解析部、１３…表示部、１４…データベース部、１５…電源電圧制御部、２０…荷重測定装置、２５…弁装置、２６…本体部、２７…凹部、２８ａ、２８ｂ…把持ロッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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