(57)【要約】【課題】チップを高い精度で整列させることのできるチップ整列用テーブルを提供する。【解決手段】複数のチップ（１１）を整列させるためのチップ整列用テーブル（２）であって、チップを保持する保持面を有したテーブル本体（４）と、保持面側において互いに所定の間隔で形成されたチップと略同じサイズを有した複数のポーラス部（６）と、一端がポーラス部に連通するとともに他端が液体供給源（８）に接続される液体供給路と、一端がポーラス部に連通するとともに他端が吸引源（１４）に接続される液体排出路と、を備える構成とした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のチップを整列させるためのチップ整列用テーブルであって、
チップを保持する保持面を有したテーブル本体と、
該保持面側において互いに所定の間隔で形成された該チップと略同じサイズを有した複数のポーラス部と、
一端が該ポーラス部に連通するとともに他端が液体供給源に接続される液体供給路と、
一端が該ポーラス部に連通するとともに他端が吸引源に接続される液体排出路と、を備えたことを特徴とするチップ整列用テーブル。
【請求項２】
請求項１に記載のチップ整列用テーブルを用いて複数のチップを整列させるチップ整列方法であって、
該チップ整列用テーブル上に複数のチップを載置するチップ載置ステップと、
該チップ載置ステップを実施する前または後に、該液体供給源を作動させ、該ポーラス部から該保持面に液体を流出させることで、該液体の表面張力で各チップをそれぞれ該ポーラス部に位置付ける液体供給ステップと、
該液体供給ステップを実施した後、該吸引源を作動させ、該保持面上から該液体を除去することで複数のチップを該保持面上に整列させる液体除去ステップと、を備えたことを特徴とするチップ整列方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のチップを整列させるためのチップ整列用テーブル及びチップ整列方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ウェーハレベルの再配線技術を用いてデバイスチップ（チップ）外に再配線層を形成したＦＯＷＬＰ（Fan-Out Wafer Level Package）と呼ばれるパッケージの製造が開始されている（例えば、特許文献１参照）。ＦＯＷＬＰは、チップとパッケージ基板との接続を薄膜の配線層で行うので、ワイヤボンディング等を用いる従来のパッケージと比較して小型化に有利である。
【０００３】
ＦＯＷＬＰの製造には、例えば、チップファースト（Chip-first）法と呼ばれるプロセスが採用される。チップファースト法では、まず、任意の間隔で配列したチップを樹脂封止して疑似ウェーハを形成し、この疑似ウェーハに配線層を設ける。その後、チップ間の分割予定ラインに沿って疑似ウェーハを分割することで、複数のパッケージを得ることができる。
【０００４】
また、配線層を設けた支持ウェーハにチップを配列して樹脂封止し、その後、支持ウェーハを除去して複数のパッケージに分割するＲＤＬファースト（Redistribution Layer-first）法と呼ばれるプロセスが採用されることもある。このＲＤＬファースト法では、例えば、配線層の不良部分を避けてチップを配列できるので、チップファースト法と比較して歩留まりの向上に有利である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−５８５２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述したチップファースト法やＲＤＬファースト法では、高密度に形成される配線層との接続を確実に行うためにチップを高い精度で配列させる必要がある。しかしながら、チップを移載して再配列する移載装置は、例えば、各チップの移載前のポジションに基づいて移載後のポジションを決定するので、移載前のチップが十分に整列されていないと移載後の各チップの配列にずれが生じてしまう。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、チップを高い精度で整列させることのできるチップ整列用テーブル及びチップ整列方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、チップを保持する保持面を有したテーブル本体と、該保持面側において互いに所定の間隔で形成された該チップと略同じサイズを有した複数のポーラス部と、一端が該ポーラス部に連通するとともに他端が液体供給源に接続される液体供給路と、一端が該ポーラス部に連通するとともに他端が吸引源に接続される液体排出路と、を備えたことを特徴とするチップ整列用テーブルが提供される。
【０００９】
また、本発明によれば、前記チップ整列用テーブルを用いて複数のチップを整列させるチップ整列方法であって、該チップ整列用テーブル上に複数のチップを載置するチップ載置ステップと、該チップ載置ステップを実施する前または後に、該液体供給源を作動させ、該ポーラス部から該保持面に液体を流出させることで、該液体の表面張力で各チップをそれぞれ該ポーラス部に位置付ける液体供給ステップと、該液体供給ステップを実施した後、該吸引源を作動させ、該保持面上から該液体を除去することで複数のチップを該保持面上に整列させる液体除去ステップと、を備えたことを特徴とするチップ整列方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るチップ整列用テーブルは、チップを保持するテーブル本体の保持面側にチップと略同じサイズの複数のポーラス部を備え、各ポーラス部は、液体供給路を通じて液体供給源に接続されるとともに、液体排出路を通じて吸引源に接続されている。
【００１１】
そのため、ポーラス部から液体を流出させて、液体の表面張力でチップをポーラス部に位置付けることができる。また、ポーラス部から流出させた液体を、吸引源で除去できる。このように、本発明に係るチップ整列用テーブル及びチップ整列方法によれば、チップを高い精度で整列させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施の形態に係るチップ整列用テーブルの外観を模式的に示す斜視図である。
【図２】本実施の形態に係るチップ整列用テーブルの断面等を模式的に示す図である。
【図３】本実施の形態に係るチップ載置ステップを模式的に示す図である。
【図４】本実施の形態に係る液体供給ステップを模式的に示す図である。
【図５】本実施の形態に係る液体除去ステップを模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係るチップ整列用テーブルの外観を模式的に示す斜視図であり、図２は、本実施の形態に係るチップ整列用テーブルの断面等を模式的に示す図である。
【００１４】
図１及び図２に示すように、本実施の形態のチップ整列用テーブル２は、ステンレス等の材料で形成された円盤状のテーブル本体４を備えている。テーブル本体４の上面４ａには、整列対象のチップ１１（図３等参照）の形状及び大きさに応じた複数の凹部４ｃが設けられている。テーブル本体４の上面４ａは、凹部４ｃを除いて略平坦になっている。
【００１５】
複数の凹部４ｃは、チップ１１の整列態様に対応した任意の間隔で配列されている。例えば、図１及び図２では、チップ１１を等間隔に整列させるために複数の凹部４ｃを等間隔に配置している。一方、チップ１１を異なる間隔で整列させる場合には、複数の凹部４ｃを異なる間隔で配置すれば良い。
【００１６】
平面視における凹部４ｃの形状は、代表的には、矩形である。ただし、平面視における凹部４ｃの形状は、平面視におけるチップ１１の形状に応じて適切に変更される。例えば、チップ１１の平面視が多角形であれば、凹部４ｃの平面視も多角形となり、チップ１１の平面視が円形であれば、凹部４ｃの平面視も円形となる。
【００１７】
平面視における凹部４ｃの大きさ（面積）は、平面視におけるチップ１１の大きさ（面積）と同程度である。ただし、平面視における凹部４ｃの大きさは、チップ１１を適切に整列できる範囲で任意に変更できる。例えば、平面視における凹部４ｃの大きさを、平面視におけるチップ１１の大きさより僅かに小さくしても良いし、平面視におけるチップ１１の大きさより僅かに大きくしても良い。
【００１８】
なお、図１及び図２では、形状及び大きさが同じ複数の凹部４ｃをテーブル本体４に設けているが、凹部４ｃの形状及び大きさは１種類でなくても良い。例えば、異なる種類のチップ１１を整列させる場合には、チップ１１の種類に応じて、形状及び大きさが異なる複数の凹部４ｃを設けても良い。
【００１９】
この凹部４ｃには、凹部４ｃの形状に合致するポーラス部材（ポーラス部）６が嵌合されている。具体的には、ポーラス部材６の上面６ａの形状及び大きさは、チップ１１の形状及び大きさに対応している。また、ポーラス部材６の上面６ａは、テーブル本体４の上面４ａと同じ高さに位置付けられおり、テーブル本体４の上面４ａとともに、チップ１１を保持する保持面として機能する。
【００２０】
ポーラス部材６は、例えば、多孔質材料で形成されており、水等の液体を通過させる。そのため、例えば、ポーラス部材６の下面６ｂ側に液体を供給すると、ポーラス部材６の内部を通じて上面６ａ側に液体が流れ出る。
【００２１】
図２に示すように、テーブル本体４の外部には、テーブル本体４に水等の液体を供給する液体供給源８が設けられている。この液体供給源８は、供給管１０等を通じてテーブル本体４と接続されている。供給管１０には、液体の供給を制御するための供給側バルブ１２が配置されている。
【００２２】
また、テーブル本体４の外部には、テーブル本体４から液体を除去する吸引源１４が設けられている。この吸引源１４は、排出管１６等を通じてテーブル本体４と接続されている。排出管１６には、液体の除去を制御するための排出側バルブ１８が設けられている。
【００２３】
供給管１０は、テーブル本体４の下面４ｂ側に形成された供給口４ｄと連結されている。一方、排出管１６は、テーブル本体４の下面４ｂ側に形成された排出口４ｅと連結されている。供給口４ｄ及び排出口４ｅは、水平方向に伸びる網目状の流路４ｆと連通している。
【００２４】
各凹部４ｃに対応する位置では、網目状の流路４ｆから細い流路４ｇが上向きに分岐している。この流路４ｇの先端は、各凹部４ｃの底面において開口されている。これにより、液体供給源８からの液体は、供給管１０、供給口４ｄ、流路４ｆ、流路４ｇを通じて凹部４ｃに供給される。また、凹部４ｃの液体は、流路４ｇ、流路４ｆ、排出口４ｅ、排出管１６を通じて吸引源１４に吸引される。
【００２５】
上述のように、凹部４ｃには、ポーラス部材６が嵌合されている。そのため、液体供給源８から供給された液体は、ポーラス部材６の上面６ａ側に流れ出る。また、ポーラス部材６の上面６ａ側に流れ出た液体を、吸引源１４で除去できる。
【００２６】
すなわち、供給管１０、供給口４ｄ、流路４ｆ、流路４ｇは、ポーラス部材６と液体供給源８とを連結する液体供給路として機能し、流路４ｇ、流路４ｆ、排出口４ｅ、排出管１６は、ポーラス部材６と吸引源１４とを連結する液体排出路として機能する。
【００２７】
次に、上述したチップ整列用テーブル２を用いて行われるチップ整列方法を説明する。本実施の形態に係るチップ整列方法では、まず、整列対象の複数のチップをチップ整列用テーブル２に載置するチップ載置ステップを実施する。図３は、チップ載置ステップを模式的に示す図である。
【００２８】
図３に示すように、チップ載置ステップでは、保持面として機能するテーブル本体４の上面４ａ及びポーラス部材６の上面６ａに、複数のチップ１１を載置する。具体的には、少なくとも各チップ１１の一部が対応するポーラス部材６と重なるように複数のチップ１１を載置する。なお、このチップ載置ステップにおいて、供給側バルブ１２及び排出側バルブ１８は閉じておく。
【００２９】
チップ載置ステップの後には、ポーラス部材６に液体を供給する液体供給ステップを実施する。図４は、液体供給ステップを模式的に示す図である。図４に示すように、液体供給ステップでは、まず、供給管１０に設けられた供給側バルブ１２を開く。
【００３０】
これにより、液体供給源８から、液体供給路（すなわち、供給管１０、供給口４ｄ、流路４ｆ、及び流路４ｇ）を通じて、ポーラス部材６に液体が供給される。この液体としては、水（純水）を用いることができる。なお、供給側バルブ１２は、ポーラス部材６の上面６ａから液体１３が僅かに流れ出た後に閉じられる。
【００３１】
すなわち、液体供給源８から供給される液体の量は、ポーラス部材６の上面６ａから液体１３が僅かに流れ出る程度とする。上述のように、各チップ１１は、その一部が対応するポーラス部材６と重なるように載置されているので、ポーラス部材６の上面６ａから流れ出た液体１３はチップ１１と接触する。
【００３２】
その結果、液体１３の表面張力（及び浮力）の作用でチップ１１は移動し、図４に示すように、ポーラス部材６と略重なる位置に位置付けられる。ポーラス部材６は、任意の間隔で配列された凹部４ｃに嵌合されている。そのため、チップ１１は凹部４ｃの配列に対応する態様で整列される。
【００３３】
液体供給ステップの後には、ポーラス部材６の上面６ａに流れ出た液体１３を除去する液体除去ステップを実施する。図５は、本実施の形態に係る液体除去ステップを模式的に示す図である。図５に示すように、液体除去ステップでは、まず、排出管１６に設けられた排出側バルブ１８を開く。
【００３４】
これにより、上面６ａの液体１３は、液体排出路（すなわち、流路４ｇ、流路４ｆ、排出口４ｅ、排出管１６）を通じて吸引源１４に吸引される。図５に示すように、ポーラス部材６の上面６ａから液体１３が完全に除去されると、排出側バルブ１８は閉じられる。
【００３５】
以上のように、本実施の形態に係るチップ整列用テーブルは、チップ１１を保持するテーブル本体４の保持面側にチップ１１と略同じサイズの複数のポーラス部材（ポーラス部）６を備え、各ポーラス部材６は、液体供給路を通じて液体供給源８に接続されるとともに、液体排出路を通じて吸引源１４に接続されている。
【００３６】
そのため、ポーラス部材６から液体１３を流出させて、液体１３の表面張力でチップ１１をポーラス部材６と重なる位置に位置付けることができる。また、ポーラス部材６から流出させた液体１３を、吸引源１４で除去できる。このように、本実施の形態に係るチップ整列用テーブル及びチップ整列方法によれば、チップ１１を高い精度で整列させることができる。
【００３７】
なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、液体として水（純水）を用いているが、ある程度の表面張力が得られる別の液体を用いても良い。
【００３８】
また、テーブル本体４の上面４ａをフッ素樹脂等で加工（撥水加工）しても良い。この場合、上面４ａの上方に液体１３が拡がり難くなるので、チップ１１をより高精度に整列できる。
【００３９】
また、上記実施の形態では、チップ載置ステップの後に液体供給ステップを実施しているが、液体供給ステップを実施した後にチップ載置ステップを実施しても良い。この場合には、まず、液体供給ステップを実施して、ポーラス部材６の上面６ａに液体１３を流出させる。
【００４０】
次に、チップ載置ステップを実施して、各チップ１１をポーラス部材６と重なるように載置する。これにより、液体１３の表面張力（及び浮力）の作用でチップ１１を自己整列させることができる。
【００４１】
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００４２】
２  チップ整列用テーブル
４  テーブル本体
４ａ  上面
４ｂ  下面
４ｃ  凹部
４ｄ  供給口
４ｅ  排出口
４ｆ  流路
４ｇ  流路
６  ポーラス部材（ポーラス部）
６ａ  上面
６ｂ  下面
８  液体供給源
１０  供給管
１２  供給側バルブ
１４  吸引源
１６  排出管
１８  排出側バルブ
１１  チップ
１３  液体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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