(57)【要約】      （修正有）【課題】金属層が薄肉化されていても優れた電磁シールド性を長期にわたって発揮する電磁シールド積層体を備えた超音波診断装置用音響レンズ、及び、これを備えた超音波診断装置用プローブを提供すること。【解決手段】シリコーンゴム製の基体１０と該基体１０の内表面に設けられた電磁シールド積層体１１とを有する超音波診断装置用音響レンズ２であって、電磁シールド積層体１１が、厚さが７０〜１０００ｎｍの金属薄層１１ａと、該金属薄層の基体側に厚さが５〜１２．５μｍの基体側樹脂層１１ｂとを有する超音波診断装置用音響レンズ２、及び、この超音波診断装置用音響レンズ２を備えてなる超音波診断装置用プローブ１。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコーンゴム製の基体と、該基体の内表面に設けられた電磁シールド積層体とを有する超音波診断装置用音響レンズであって、前記電磁シールド積層体が、厚さが７０〜１０００ｎｍの金属薄層と、該金属薄層の前記基体側に厚さが５〜１２．５μｍの基体側樹脂層とを有する超音波診断装置用音響レンズ。
【請求項２】
前記金属薄層の、前記基体側と反対側に、厚さが５〜１２．５μｍの反対側樹脂層を有する請求項１に記載の超音波診断装置用音響レンズ。
【請求項３】
前記基体側樹脂層が、ポリイミドからなる請求項１又は２に記載の超音波診断装置用音響レンズ。
【請求項４】
前記反対側樹脂層が、ポリイミドからなる請求項１〜３のいずれか１項に記載の超音波診断装置用音響レンズ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の超音波診断装置用音響レンズを備えてなる超音波診断装置用プローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波診断装置用音響レンズ及び超音波診断装置用プローブに関し、さらに詳しくは、金属層が薄肉化されていても優れた電磁シールド性を長期にわたって発揮する電磁シールド積層体を備えた超音波診断装置用音響レンズ、及び、これを備えた超音波診断装置用プローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波診断装置は、被検体の画像を得るため、圧電素子を備えた超音波診断装置用プローブを備えている。
【０００３】
このような超音波診断装置用プローブは、被検体の表面、例えば人体表面に接触して被検体を介して超音波の送受信を可能にする所謂、超音波診断装置用音響レンズを備えている。この超音波診断装置用音響レンズは、良好な画像を描き出すために、好ましくは、内表面に金属層が設けられることがある。金属層は、超音波の送受信により得られたエコー信号へのノイズの混入を防止する電磁シールド性を発揮する。
【０００４】
このような金属層を有する超音波診断装置用レンズとして、例えば、特許文献１が挙げられる。
なお、上記のような金属層を有するものではないが、特許文献２には、ポリイミドフィルムを一体化した音響レンズが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−８３３７５号公報
【特許文献２】特許第４４３９８５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
超音波診断装置用プローブは、通常、被検体の表面にオリーブオイル又は流動パラフィン等の薬剤をあらかじめ塗布して、用いられる。このとき使用する薬剤が、超音波診断装置用プローブ内に侵入し、また超音波診断装置用音響レンズ内に滲入して、金属層と接触すると、金属層を腐食させる。特に、近年、超音波診断装置用プローブの耐久性が向上していることもあり、金属層にも耐久性が求められている。
【０００７】
一方、超音波診断装置用プローブの音響特性の影響を考慮すると、金属層の厚さは薄いほど好ましい。特に、近年の超音波診断装置は、デジタル化、高周波化等により、画質が向上している。このような超音波診断装置に用いられる超音波診断装置用音響レンズの金属層はさらに薄く、例えばナノメートルオーダまで薄く、形成されることが望まれている。
【０００８】
しかし、金属層の厚さを薄くすると、音響特性の大幅な低下は防止できるものの、わずかな腐食でも電磁シールド性に与える影響は大きくなる。また、電磁シールド性の低下は、腐食以外にも、人脂等の付着、酸化、損傷等が挙げられる。これらは、金属層を薄くするとハンドリング性が低下して、起こり易くなる。
【０００９】
本発明は、金属層が薄肉化されていても優れた電磁シールド性を長期にわたって発揮する電磁シールド積層体を備えた超音波診断装置用音響レンズ、及び、これを備えた超音波診断装置用プローブを提供することを、課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の課題は、以下の手段によって達成された。
（１）シリコーンゴム製の基体と、該基体の内表面に設けられた電磁シールド積層体とを有する超音波診断装置用音響レンズであって、前記電磁シールド積層体が、厚さが７０〜１０００ｎｍの金属薄層と、該金属薄層の前記基体側に厚さが５〜１２．５μｍの基体側樹脂層とを有する超音波診断装置用音響レンズ。
（２）前記金属薄層の、前記基体側と反対側に、厚さが５〜１２．５μｍの反対側樹脂層を有する（１）に記載の超音波診断装置用音響レンズ。
（３）前記基体側樹脂層が、ポリイミドからなる（１）又は（２）に記載の超音波診断装置用音響レンズ。
（４）前記反対側樹脂層が、ポリイミドからなる（１）〜（３）のいずれか１項に記載の超音波診断装置用音響レンズ。
（５）（１）〜（４）のいずれか１項に記載の超音波診断装置用音響レンズを備えてなる超音波診断装置用プローブ。
【発明の効果】
【００１１】
本発明により、金属層が例えば７０〜１０００ｎｍの厚さに薄く形成されていても優れた電磁シールド性を長期にわたって発揮する電磁シールド積層体を備えた超音波診断装置用音響レンズ、及び、これを備えた超音波診断装置用プローブを提供できる。
したがって、本発明の超音波診断装置用音響レンズ及び超音波診断装置用プローブは、電磁シールド性が優れ、超音波診断装置に適用されると、良好な画像を長期にわたって得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の超音波診断装置用プローブの好適な一態様を本発明の超音波診断装置用音響レンズの好適な一態様と共に示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の超音波診断装置用プローブは、超音波を被検体に当てて、反射した超音波を受信し、画像データとして処理する超音波診断装置に好適に適用される。このような超音波診断装置としては、特に限定されないが、例えば、電子走査型超音波診断装置等が挙げられる。
【００１４】
超音波診断装置は、医療分野で広く用いられており、診断対象物（例えば、臓器）は多岐に渡る。本発明の超音波診断装置用プローブは医療用超音波診断装置に適用されるのが好ましく、用途（診断対象物）は特に限定されない。本発明の超音波診断装置用プローブは、本発明の超音波診断装置用レンズを備え、用途等に応じて、適宜の形状及び寸法に設定される。用途としては、例えば、腹部用、心臓用、深部臓器用、表在臓器用、抹消血管用、体腔内用等が挙げられる。
【００１５】
本発明の超音波診断装置用レンズは、超音波診断装置用プローブに装着され、超音波診断装置に適用される。この超音波診断装置用レンズは、少なくとも後述する電磁シールド積層体を基体の内表面に有していればよく、本発明の超音波診断装置用プローブと同様に、上記用途に応じて適宜の形状及び寸法に設定される。
特に医療用超音波診断装置に適用される場合、本発明の超音波診断装置用レンズは、オリーブオイル又は流動パラフィン等の薬剤が塗布された被検体に押し当てられる。
【００１６】
本発明の超音波診断装置用プローブは、本発明の超音波診断装置用レンズを備えていればよく、その他の構成及び材料等は公知のものを特に限定されることなく採用できる。
このような公知の構成を有するプローブとして、例えば、ＧＥ  Ｈｅａｌｔｈｃａｒｅ社製の超音波診断装置用の各種プローブ等が挙げられる。
【００１７】
したがって、本発明の超音波診断装置用レンズに着目して、本発明の超音波診断装置用プローブの好適な一態様（以下、本発明の好適なプローブということがある）及び本発明の超音波診断装置用音響レンズ２の好適な一態様（以下、本発明の好適なレンズということがある）を、図面を参照して、具体的に説明する。
なお、本発明は、好適な一態様に限定されるものではない。
【００１８】
本発明の好適なプローブ１は、図１に示されるように、一方の端部３ａが開口した筒状のケース３と、この端部３ａから露出するようにケース３に装着された超音波診断装置用音響レンズ２と、ケース３の内部に収納された圧電素子４と、圧電素子４の両表面に設けられた電極４ａ及び４ｂと、超音波診断装置用音響レンズ２及び電極４ａの間に設けられた整合層５と、圧電素子４の、整合層５とは反対側、すなわち電極４ｂ側に設けられたバッキング層６と、ケース３の内表面に設けられたシールド膜７と、電極４ａ及び電極４ｂに接続するリード線８とを備えている。
【００１９】
すなわち、以下、本発明の好適なプローブ１において、ケース３の内部から端部３ａに向かって、バッキング層６、電極４ｂ、圧電素子４、電極４ａ、整合層５及び超音波診断装置用音響レンズ（単にレンズということがある）２がこの順で互いに接触した状態又は積み重ねた状態に設けられている。
なお、上記超音波診断装置用音響レンズ２が本発明の好適なレンズである。
【００２０】
本発明の好適なプローブ１は、図１に示されるように、被検体の表面２１にオリーブオイル又は流動パラフィン等の薬剤２２をあらかじめ塗布した後にレンズ２を被険体の表面２１に当てる等して、用いられる。
【００２１】
上記のように、ケース３、バッキング層６、電極４ｂ、圧電素子４、電極４ａ、整合層５、シールド膜７及びリード線８は、公知の材料を用いて公知の方法で、図１に示されるように、形成される。
バッキング層６、電極４ｂ、圧電素子４、電極４ａ及び整合層５は、いずれも、層状に形成され、積み重ねられている。
【００２２】
ケース３は、レンズ２を装着する開口端部３ａを有する筒状体になっているが、その外形は、特に限定されず、用途等に応じて適宜に設定される。
【００２３】
レンズ２は、一方の端部が閉塞した管状体であって、一方の端部の外表面は外側に向かって突出している。管状体は、軸線方向に垂直な断面が長方形になっている。端部の突出形状は、上記断面の対向する１組の一方の辺から他方の辺まで紙面に垂直な方向に連続した円弧状になっている。すなわち、レンズ２は、紙面に垂直な方向の断面が略Ｕ字状のコンベックス形状になっている。
レンズ２は、ケース３の形状及び寸法に応じて適宜の形状及び寸法に設定される。したがって、本発明において、レンズ２は、上記のようなコンベックス形状に限定されず、球状、楕円球状等であってもよく、一方の端部が平坦な円柱状、楕円柱状、多角柱状等であってもよい。また、例えば１枚の板を折り返してなる形状のような、断面Ｕ字型又はＶ字型等であってもよい。
【００２４】
レンズ２は、その一方の端部が、ケース３の端部３ａから突出するように、ケース３に装着されている。
【００２５】
レンズ２は、シリコーンゴム製の基体１０と、基体１０の内表面に設けられた電磁シールド積層体１１とを有している。
【００２６】
基体１０は、レンズ２を形作るレンズ基体であり、レンズ２と同じ形状を有している。基体１０は、装着されるケース３の寸法に応じて適宜の寸法に調整される。寸法は、特に限定されないが、基体１０の底部、すなわちレンズ２の底部は、超音波の送受信に影響を与えるため、厚すぎないのが好ましい。例えば、底部の厚さは０．１〜２．５ｍｍが好ましい。
【００２７】
基体１０は、音速、音響インピーダンス及び音響減衰率の音響特性等の点で、シリコーンゴムで形成される。
基体１０を形成するシリコーンゴムは、シリコーンゴムを含有していればよく、例えば、ビニル基を含むジメチルポリシロキサン構造のシリコーンゴム成分とシリカと加硫剤とを含有するシリコーンゴム組成物の硬化体等が挙げられる。
【００２８】
このようなシリコーンゴム組成物として、具体的には、例えば、特許第３４６８５３号公報に記載された、「ビニル基を含むジメチルポリシロキサン構造のシリコーンゴムと、このシリコーンゴムに対する質量比が４０質量％以上５０質量％以下の重量平均粒子径１５〜３０ｎｍのシリカ粒子と、加硫剤として２，５―ジメチル―２，５―ジターシャリーブチルパーオキシシヘキサンとを含有するシリコーンゴム組成物」が挙げられる。
シリコーンゴム及びシリカ粒子を含有するシリコーンゴム組成物として、より具体的には、例えば、商品名「ＫＥ−９８１Ｕ」（信越化学工業社製）、商品名「ＫＥ−９７１Ｕ」、商品名「ＫＥ−５２Ｕ」及び「ＫＥ−７７２」（いずれも信越化学工業社製）等が挙げられる。
【００２９】
電磁シールド積層体１１は、図１の円内に拡大して示されるように、基体側樹脂層１１ｂ、金属薄層１１ａ及び反対側樹脂層１１ｃが積層された３層構造を有している。この電磁シールド積層体１１は、基体１０の内表面及び端部３ａの端面にかけてシームレスの状態に設けられている。
基体側樹脂層１１ｂは基体１０を滲入してきた薬剤等と金属薄層１１ａとの接触を防止し、反対側樹脂層１１ｃはケース３内に侵入してきた薬剤等と金属薄層１１ａとの接触を防止する。
したがって、基体１０を滲入してきた薬剤等又はケース３内に侵入してきた薬剤等による金属薄層１１ａの腐食を防止するには基体側樹脂層１１ｂ又は反対側樹脂層１１ｃを設ければよい。好ましくは、金属薄層１１ａと基体側樹脂層１１ｂを有し、より好ましくは、金属薄層１１ａと基体側樹脂層１１ｂと反対側樹脂層１１ｃを有する３層構造である。これらにより、薬剤等による腐食を効果的に抑えることができる。
【００３０】
金属薄層１１ａは、金属又は合金からなる薄膜であり、主に電磁シールド性を発揮する。金属又は合金は、電磁シールド性を有するものであれば特に限定されず、例えば、銅、金、銀、パラジウム、アルミニウム、スズ等の金属、および、これらからなる合金などが挙げられる。なかでも、電磁シールド性、コスト面の点で、銅又は銅合金が好ましく、銅が好ましい。
【００３１】
金属薄層１１ａは、上記のように積層体とされることにより、従来、実現し得なかったナノメータオーダーまで厚さを薄くされることができる。具体的には、本発明により、金属薄層１１ａの厚さを７０〜１０００ｎｍにすることができる。金属薄層１１ａをこのように薄膜化すると、音響特性の低下を効果的に抑えることができ、しかも、電磁シールド積層体１１のハンドリング性がよく、金属薄層１１ａへの人脂等の付着、金属薄層１１ａの酸化及び損傷等を防止できる。ハンドリング性を維持しつつ音響特性の低下を十分に抑えることができる点で、金属薄層１１ａの厚さは、７０〜１０００ｎｍが好ましく、７０〜８００ｎｍがより好ましく、７０〜２００ｎｍがさらに好ましい。
【００３２】
金属薄層１１ａは、圧延、電解等により、形成することができる。金属薄層１１ａが銅薄膜である場合には、電解で形成された電解銅薄膜が、圧延銅膜と比べ表面粗さが大きく、シリコーンゴムとの密着性が高くなる点で、好ましい。
金属薄層１１ａは、表面処理されていてもよい。表面処理としては、例えば、粗面化処理、平滑化処理、表面メッキ処理、防錆処理等が挙げられる。
【００３３】
基体側樹脂層１１ｂは、金属薄層１１ａの基体側表面に設けられている。基体側樹脂層１１ｂを形成する樹脂は、薬剤等に対する耐性（薬剤耐性ということがある）を有する樹脂であればよく、さらに耐熱性を有する樹脂が好ましい。
ここで、薬剤耐性とは、上記薬剤に対して、樹脂が容易に脆化せず、薬剤を浸透しない特性をいう。
また、耐熱性とは、製造時の高温環境、例えば８０〜２００℃において、好ましくは基体１０と一体成形時の温度１５０〜１８０℃において、樹脂が溶融せず、形状を保持する特性をいう。
【００３４】
このような樹脂としては、特に限定されないが、ポリイミド、ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン、エポキシ等の各樹脂が挙げられる。なかでも、薬剤耐性、耐熱性、強度の点で、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂が好ましく、ポリイミド樹脂が特に好ましい。
【００３５】
基体側樹脂層１１ｂの厚さは、５μｍ以上であり、１２．５μｍ以下である。５μｍ未満であると、金属薄層１１ａの腐食を長期間防止できないことがあり、また電磁シールド積層体１１のハンドリング性が低下することがある。一方、１２．５μｍを超えると、音響特性が低下することがある。基体側樹脂層１１ｂの厚さは、好ましくは５〜１０μｍである。
【００３６】
反対側樹脂層１１ｃは、金属薄層１１ａの基体１０と反対側表面に、基体側樹脂層１１ｂと共に金属薄層１１ａを挟んで、設けられている。反対側樹脂層１１ｃを形成する樹脂は、基体側樹脂層１１ｂを形成する樹脂と同じであるが、両樹脂層１１ｂ及び１１ｃを形成する樹脂が同一の樹脂である必要はない。
【００３７】
反対側樹脂層１１ｃの厚さは、特に限定されないが、金属薄層１１ａの腐食防止及び電磁シールド積層体のハンドリング性の点で、５〜１２．５μｍが好ましく、５〜１０μｍがより好ましい。
反対側樹脂層１１ｃの厚さは、基体側樹脂層１１ｂの厚さと同じであっても異なっていてもよく、ハンドリング性、特に基体１０と一体成形する場合は成形性に優れる点で、同じであるのが好ましい。
【００３８】
電磁シールド積層体１１において、両樹脂層１１ｂ及び１１ｃは金属薄層１１ａの表面に直接設けてもよく、接着剤により接着されてもよい。
用いうる接着剤としては、薬剤耐性を有するものであれば特に限定されず、例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂等を含有する接着剤が挙げられる。
接着剤からなる層の厚さは、特に限定されず、適宜に設定される。
【００３９】
本発明の超音波診断装置用音響レンズは、電磁シールド積層体を基体の内表面に設けることにより、製造できる。
電磁シールド積層体は、樹脂層及び金属薄層を、公知の方法で、順次成膜して作製できる。例えば、圧延又は電解等により金属薄層を成膜し、次いで、その表面に樹脂層を成膜する。樹脂層は、シート状に成形したものを接着剤で接着し、必要により、加圧、加熱して、設けるのが好ましい。
また、電磁シールド積層体は、直接樹脂層にスパッタなどにより金属層を成膜することでも作製できる。
【００４０】
基体は、上記シリコーンゴム又はシリコーンゴム組成物を用いて、各種成形法により、作製できる。
【００４１】
本発明の超音波診断装置用音響レンズは、それぞれ作製した基体と電磁シールド積層体を用いて基体の内表面に電磁シールド積層体を設ける。
好ましくは、基体の成形と共に電磁シールド積層体を設ける。このような一体成形法として、例えば、電磁シールド積層体を載置可能な凸部を有する第１金型と、この凸部が進入可能な凹部を有する第２金型とを備えて成る成形金型を用いて、凸部と凹部との間に配置された電磁シールド積層体とシリコーンゴム又はシリコーンゴム組成物とを圧縮成形する方法が好適に挙げられる。
【００４２】
この方法においては、凸部と凹部との間に凸部側から凹部側に向けて電磁シールド積層体及びシリコーンゴム又はシリコーンゴム組成物の順で配置して、これらを圧縮成形する。
このようにして圧縮成形するのと同時又は後にシリコーンゴム又はシリコーンゴム組成物が硬化する条件でシリコーンゴム又はシリコーンゴム組成物を加熱する。例えば、上記シリコーンゴム組成物の場合には、温度１５５℃以上で３〜１０分間程度加熱するとシリコーンゴム組成物が硬化する。このようにしてシリコーンゴム又はシリコーンゴム組成物を硬化した後に所望により二次加熱してもよい。
硬化後に成形金型から圧縮成形品を取り出し、所望によりバリ取り等をして、本発明の超音波診断装置用音響レンズを製造することができる。
なお、上記一体成形法は、例えば、特開２０１１−８３３５号公報に詳細に記載されており、その記載がそのまま本願明細書に好ましく取り込まれる。
【００４３】
その後、ケースに、本発明の超音波診断装置用音響レンズ、バッキング層、圧電素子、電極、整合層、シールド膜及びリード線を、公知の材料を用いて公知の方法で、形成する。
このようにして、本発明の超音波診断装置用プローブを製造することができる。
【００４４】
本発明の超音波診断装置用音響レンズは、上記の好適な態様に限定されることはなく、本願発明の目的を達成することができる範囲において、種々の変更が可能である。
【実施例】
【００４５】
（実施例１）
以下のようにして、図１に示されるレンズ２を作製した。
銅薄膜１１ａ（厚さ２００ｎｍ）とポリイミド層１１ｂ（厚さ５μｍ）とを有する積層フィルム（商品名：ＥＭＢＲＥＬＬＡ（信越ポリマー社製）、キャリアフィルム及び保護フィルムを剥離し、さらにエポキシ系接着剤を除去した）の銅薄膜１１ａ表面に、熱硬化性接着剤を硬化後の厚さが２５μｍとなるように塗布し、熱硬化性接着剤の層上にポリイミドフィルム１１ｃ（厚さ５μｍ）を載置した。
次いで、成形圧力を３．９ＭＰａに設定し、常温から１６０℃まで昇温した。成形圧力を再度３．９ＭＰａに設定して、９０分１６０℃で加熱した。このようにして熱硬化性接着剤を硬化させて、ポリイミドからなる基体側樹脂層１１ｂ、銅薄膜１１ａ及びポリイミドからなる反対側樹脂層１１ｃを有する電磁シールド積層体１１を作製した。
【００４６】
一方、シリコーンゴム組成物として、シリコーンゴム及びシリカ（ＳｉＯ２）を含有するシリコーンゴム組成物（信越化学工業社製、商品名「ＫＥ−９８１Ｕ」）１００質量部に対して加硫剤（信越化学工業社製、商品名「Ｃ−８」）０．５質量部を混合して、シリコーンゴム組成物を調製した。
また、形断面が長方形である凸部を有する第１金型と、断面が長方形である柱状凹部及び錐状凹部からなる凹部を有する第２金型とを準備した。
【００４７】
第１金型の凸部に電磁シールド積層体１１及びシリコーンゴム組成物をこの順で配置して第２金型を重ね合わせた。第２金型を第１金型に向けて前進させ、電磁シールド積層体１１及びシリコーンゴム組成物を圧縮すると同時に成形金型ごと１８０℃に５分間加熱してシリコーンゴム組成物を加熱硬化させた。放熱後、成形金型から成形品を取り出し、余剰の電磁シールド積層体１１を切断した。このようにしてレンズ２を製造した。
【００４８】
このようにして製造したレンズ２を用いて図１に示される超音波診断装置用プローブ１を製造した。
【００４９】
（実施例２）
実施例１において、積層フィルム（商品名：ＥＭＢＲＥＬＬＡ（信越ポリマー社製）に代えて、厚さ７０ｎｍの銅薄膜１１ａと厚さ５μｍのポリイミド層１１ｂとを有する積層フィルムを作製して用いたこと以外は、実施例１と同様にして、レンズ２および超音波診断装置用プローブ１を製造した。
【００５０】
（実施例３）
実施例１において、積層フィルム（商品名：ＥＭＢＲＥＬＬＡ（信越ポリマー社製）に代えて、厚さ２００ｎｍの銅薄膜１１ａと厚さ１２．５μｍのポリイミド層１１ｂとを有する積層フィルムを作製し、積層フィルムの銅薄膜１１ａの表面に厚さ１２．５μｍのポリイミドフィルム１１ｃを接着して、電磁シールド積層体１１を作製したこと以外は実施例１と同様にして、レンズ２および超音波診断装置用プローブ１を製造した。
【００５１】
（実施例４）
実施例１において、積層フィルム（商品名：ＥＭＢＲＥＬＬＡ（信越ポリマー社製）に代えて、厚さ７０ｎｍの銅薄膜１１ａと厚さ１２．５μｍのエポキシ層１１ｂとを有する積層フィルムを作製し、積層フィルムの銅薄膜１１ａの表面に厚さ１２．５μｍのポリイミドフィルム１１ｃを接着して、電磁シールド積層体１１を作製したこと以外は実施例１と同様にして、レンズ２および超音波診断装置用プローブ１を製造した。
【００５２】
（実施例５）
実施例１において、積層フィルム（商品名：ＥＭＢＲＥＬＬＡ（信越ポリマー社製）に代えて、厚さ２００ｎｍの銅薄膜１１ａと厚さ５μｍのエポキシ層１１ｂとを有する積層フィルムを作製し、積層フィルムの銅薄膜１１ａの表面に厚さ１２．５μｍのポリイミドフィルム１１ｃを接着して、電磁シールド積層体１１を作製したこと以外は実施例１と同様にして、レンズ２および超音波診断装置用プローブ１を製造した。
【００５３】
（実施例６）
実施例１において、積層フィルム（商品名：ＥＭＢＲＥＬＬＡ（信越ポリマー社製）に代えて、厚さ８００ｎｍの銅薄膜１１ａと厚さ５μｍのエポキシ層１１ｂとを有する積層フィルムを作製し、積層フィルムの銅薄膜１１ａの表面に厚さ１２．５μｍのポリイミドフィルム１１ｃを接着して、電磁シールド積層体１１を作製したこと以外は実施例１と同様にして、レンズ２および超音波診断装置用プローブ１を製造した。
【００５４】
（比較のためのレンズＡ）
上記のようにして製造した各レンズ２の比較対象として、銅薄膜１１ａ（厚さ２００ｎｍ）を用いて実施例１と同様にして、比較のためのレンズＡを製造した。
【００５５】
（ハンドリング性）
製造したレンズ２および比較のためのレンズＡにつき、ハンドリング性（人脂等の付着、酸化及び損傷）を評価した。
ハンドリング性は、上記レンズ２および比較のためのレンズＡの製造過程において、銅薄膜１１ａと反対側樹脂層１１ｃを貼り付けた各積層フィルムの反対側樹脂層１１ｃ（実施例１〜６）、および、銅薄膜１１ａ（比較のためのレンズＡ）に、１〜２Ｎの力で指を垂直に５秒程度押し当てることで人脂を付着させた。その後、アルコールを塗布したクラレ製クリーンワイパーにて、反対側樹脂層１１ｃまたは銅薄膜１１ａに付着した人脂をふき取った。
反対側樹脂層１１ｃおよび銅薄膜１１ａの表面をキーエンス社製の「レーザー顕微鏡」を用いて倍率２００倍で観察した。
また、クリーンワイパー「ＳＦ３０Ｃ」（商品名、クラレクラフレックス株式会社製）にミックスエタノール（メタノールとエタノールとの混合比（体積比）５：９５）５ｍＬを染み込ませたもので、反対側樹脂層１１ｃまたは銅薄膜１１ａに付着した人脂をふき取った。
【００５６】
その結果、銅薄膜１１ａの厚さを薄くした実施例１〜６においては、反対側樹脂層１１ｃに人脂は付着するが、いずれも、アルコールによりふき取ることができ、反対側樹脂層１１ｃにも銅薄膜１１ａにも傷は確認できなかった。
これに対して、比較のためのレンズＡでは、銅薄膜１１ａに人脂が付着し、しかも傷も確認できた。
なお、実施例１〜６は、反対側樹脂層１１ｃを備えているが、反対側樹脂層１１ｃを備えていなくても、基体側樹脂層１１ｂを備えていれば、銅薄膜１１ａが薄肉化されていても、製造過程において、銅薄膜１１ａに触れる可能性および頻度は、比較のためのレンズＡよりも小さくなる。したがって、基体側樹脂層１１ｂのみを備えたものであっても、ハンドリング性は優れることが分かる。
【００５７】
上記のように、各実施例のレンズ２は、いずれも、銅薄膜１１ａを７０〜８００ｎｍ、特に７０〜２００ｎｍまでも、薄肉化できた。しかも、銅薄膜１１ａを７０〜８００ｎｍまで薄肉化しても、電磁シールド積層体１１のハンドリング性がよく、また、銅薄膜１１ａが樹脂層で覆われているので、薬液、大気中の酸素による自然酸化に対して酸化防止効果及び劣化防止効果を発現し、長期にわたって優れた電磁シールド性を有することが理解できる。
【符号の説明】
【００５８】
１  超音波診断装置用プローブ（プローブ）
２  超音波診断装置用レンズ（レンズ）
３  ケース
３ａ  一方の端部
４  圧電素子
４ａ、４ｂ  電極
５  整合層
６  バッキング層
７  シールド膜
８  リード線
１０  基体
１１  電磁シールド積層体
１１ａ  金属薄層（銅薄膜）
１１ｂ  基体側樹脂層
１１ｃ  反対側樹脂層
２１  被検体表面
２２  薬剤
【図１】
2015154807.tif 000003