(57)【要約】【課題】圧力センサ素子が搭載されたケースと、このケースに連結された圧力導入ポートとを備える圧力センサ装置において、圧力導入ポートの中空通路の断面積を最大限確保しつつ、中空通路内の排水性を向上させる。【解決手段】ケース１０と、ケース１０の一面１２に搭載された圧力センサ素子２０と、ケース１０に連結された熱可塑性樹脂よりなる部材であって、一端側開口部３１ａが圧力センサ素子２０側に位置し他端側開口部３１ｂが一端側開口部３１ａとは反対側に位置する柱状の空間形状をなす中空通路３１を内部に有する圧力導入ポート３０と、を備え、中空通路３１の内壁面は、粗化処理された粗化面３４と、粗化面３４よりも平滑な平滑面３５とが、それぞれ中空通路３１の長手方向に沿って１箇所もしくは複数箇所設けられたものとされている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケース（１０）と、
前記ケースの一面（１２）に搭載された圧力センサ素子（２０）と、
前記ケースに連結された熱可塑性樹脂よりなる部材であって、一端側開口部（３１ａ）が前記圧力センサ素子側に位置し他端側開口部（３１ｂ）が前記一端側開口部とは反対側に位置する柱状の空間形状をなす中空通路（３１）を内部に有する圧力導入ポート（３０）と、を備え、
外部の圧力媒体を前記他端側開口部より前記中空通路に導入し、前記一端側開口部から前記圧力センサ素子へ送出するようにした圧力センサ装置であって、
前記中空通路の内壁面は、粗化処理された粗化面（３４）と、前記粗化面よりも平滑な平滑面（３５）とが、それぞれ前記中空通路の長手方向に沿って１箇所もしくは複数箇所設けられたものとされていることを特徴とする圧力センサ装置。
【請求項２】
前記圧力導入ポートは、前記熱可塑性樹脂に無機材料よりなるフィラーを含有させてなるものであることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ装置。
【請求項３】
前記中空通路の前記他端側開口部において、前記粗化面は、前記他端側開口部の外部まで延出された面とされていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ装置。
【請求項４】
前記圧力導入ポートのうち前記中空通路の前記他端側開口部の開口縁部として位置する端面（１３）の一部は、前記粗化面と同等の粗化処理がなされ前記粗化面に連続した面とされていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ装置。
【請求項５】
前記粗化面および前記平滑面は、ともに前記中空通路の前記一端側開口部まで延びており、
前記一端側開口部のうち前記粗化面に対応する部位は、前記平滑面に対応する部位よりも前記ケースの一面からの距離が遠いものとされていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ装置。
【請求項６】
前記圧力導入ポートにおける前記一端側開口部よりも前記ケースの一面側に位置して前記ケースの一面に対向する内面（８１）の一部は、前記粗化面と同等の粗化処理がなされた面としての粗化パターン（３７）として構成されており、
前記粗化パターンは、前記一端側開口部のうちの前記粗化面寄りの部位へ向かって水を案内するパターン形状とされていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の圧力センサ装置。
【請求項７】
前記中空通路の径は、前記一端側開口部から他端側開口部に向かって拡径したものであることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の圧力センサ装置。
【請求項８】
ケース（１０）と、
前記ケースの一面（１２）に搭載された圧力センサ素子（２０）と、
前記ケースに連結された熱可塑性樹脂よりなる部材であって、一端側開口部（３１ａ）が前記圧力センサ素子側に位置し他端側開口部（３１ｂ）が前記一端側開口部とは反対側に位置する柱状の空間形状をなす中空通路（３１）を内部に有する圧力導入ポート（３０）と、を備え、
外部の圧力媒体を前記他端側開口部より前記中空通路に導入し、前記一端側開口部から前記圧力センサ素子へ送出するようにしたものであり、
前記中空通路の内壁面は、粗化処理された粗化面（３４）と、前記粗化面よりも平滑な平滑面（３５）とが、それぞれ長手方向に沿って１箇所もしくは複数箇所設けられたものとされている圧力センサ装置の製造方法であって、
前記中空通路の空間形状に対応した柱状の外形をなす芯部（２１１）と前記芯部の周囲に配置され前記圧力導入ポートの外形に対応した空間形状を持つ外形部（２２０、２３０）とを有する成型用の金型（２００）を用い、前記金型における前記芯部と前記外形部との間の空間に前記圧力導入ポートとなる熱可塑性樹脂（３００）を充填して当該樹脂を固化することにより、前記圧力導入ポートを射出成形するポート成形工程を備えており、
前記ポート成形工程では、前記芯部として前記粗化面に対応する部位が前記平滑面に対応する部位よりも熱伝導率が高くなっているものを用い、前記熱可塑性樹脂のうち前記粗化面となる部位を、前記熱可塑性樹脂のうち前記平滑面となる部位に比べて、速く冷却して固化させるようにしたことを特徴とする圧力センサ装置の製造方法。
【請求項９】
前記芯部として、前記平滑面に対応する部位の表面が断熱性を有する断熱膜（２１２）によりなるものとすることによって、前記平滑面に対応する部位が前記粗化面に対応する部位よりも熱伝導率が低くなるようにしたものを、用いることを特徴とする請求項８に記載の圧力センサ装置の製造方法。
【請求項１０】
前記芯部として、前記平滑面に対応する部位の内部に空洞（２１６）を設けて前記空洞による断熱がなされるようにしたことによって、前記平滑面に対応する部位が前記粗化面に対応する部位よりも熱伝導率が低くなるようにしたものを、用いることを特徴とする請求項８に記載の圧力センサ装置の製造方法。
【請求項１１】
前記芯部として、前記芯部を冷却するための冷却部材（２１３）が内部に設けられたものを用いることを特徴とする請求項８ないし１０のいずれか１つに記載の圧力センサ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力検出を行う圧力センサ素子が搭載されたケースと、このケースに連結されて圧力センサ素子へ圧力媒体を導入する圧力導入ポートとを備える圧力センサ装置、および、そのような圧力センサ装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の圧力センサ装置としては、ケースと、ケースの一面に搭載された圧力センサ素子と、ケースに連結された熱可塑性樹脂よりなる部材である圧力導入ポートとを備えたものが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、圧力導入ポートは、圧力媒体を導入するための中空通路を内部に有するものとされている。この中空通路は、一端側開口部が圧力センサ素子側に位置し、他端側開口部が一端側開口部とは反対側（つまり圧力センサ素子とは反対側）に位置する柱状の空間形状をなすものである。このような圧力導入ポートは、金型を用いて熱可塑性樹脂を射出成形することにより形成される。
【０００４】
そして、外部の圧力媒体は、他端側開口部より中空通路に導入され、一端側開口部から圧力センサ素子へ送出されるようになっている。このような圧力センサ装置は、たとえば自動車の吸気系や排気系に搭載されることにより、吸気圧や排気圧等を検出するものとして適用される。
【０００５】
ここで、このような圧力センサ装置においては、結露等により圧力導入ポートの中空通路内に水が溜まるという問題がある。この場合、たとえば、この水が氷結すると、圧力媒体からの圧力が伝達されず検出不能になったり、氷結の応力（つまり、氷結時の体積膨張）による圧力センサ素子や処理回路等の破損が生じたりする恐れがある。また排気圧を検出する場合には、排気ガス中の窒素酸化物（ＮＯｘ）や硫黄酸化物（ＳＯｘ）等が溶解した強酸性の結露水が生じ、これがセンサ装置を腐食させる恐れがある。
【０００６】
このような問題に対して、上記特許文献１では、圧力導入ポートの中空通路の内壁にリブ（つまり突起）を設け、排水性を向上させるようにしている。この場合、中空通路内壁の結露水が毛管現象で溝に沿って広がり、結露水で圧力導入ポートの中空通路が塞がるのを防止する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１２−７３０６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、結露水の排水性は、中空通路内およびケース内の空気が圧力脈動によって膨張、収縮して結露水が揺り動かされる効果も大きいのに対し、上記特許文献１の場合、一方では、リブによって、中空通路の断面積が減少する構造となっている。そのため、中空通路内における空気の体積変化の絶対値が小さくなってしまい、排水性の低下を招くことになる。
【０００９】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、圧力センサ素子が搭載されたケースと、このケースに連結された圧力導入ポートとを備える圧力センサ装置において、圧力導入ポートの中空通路の断面積を最大限確保しつつ、中空通路内の排水性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、ケース（１０）と、ケースの一面（１２）に搭載された圧力センサ素子（２０）と、ケースに連結された熱可塑性樹脂よりなる部材であって、一端側開口部（３１ａ）が圧力センサ素子側に位置し他端側開口部（３１ｂ）が一端側開口部とは反対側に位置する柱状の空間形状をなす中空通路（３１）を内部に有する圧力導入ポート（３０）と、を備え、外部の圧力媒体を他端側開口部より中空通路に導入し、一端側開口部から前記圧力センサ素子へ送出するようにした圧力センサ装置であって、
中空通路の内壁面は、粗化処理された粗化面（３４）と、粗化面よりも平滑な平滑面（３５）とが、それぞれ中空通路の長手方向に沿って１箇所もしくは複数箇所設けられたものとされていることを特徴とする。
【００１１】
この圧力センサ装置は、中空通路の一端側開口部を天側、他端側開口部を地側とする重力方向に沿って配置された状態で使用される。このとき、本発明によれば、中空通路の内壁面を、親水性となる粗化面と撥水性となる平滑面とが、それぞれ中空通路の長手方向に沿って１箇所もしくは複数箇所設けられたものとしているため、中空通路の断面積を減少させることなく、中空通路の内壁面を、水の表面張力の相違する部位が混在した状態にできる。
【００１２】
そのため、本発明によれば、中空通路内の水のメニスカス形状が乱れ、当該水の滴下が促進されて中空通路の他端側開口部から排出されやすくなる。このように本発明によれば、従来のような上記リブを中空通路の内壁面に設けることなく、当該内壁面の粗化度合を部分的に相違させた構成であるため、圧力導入ポートの中空通路の断面積を最大限確保しつつ、中空通路内の排水性を向上させることができる。
【００１３】
請求項８に記載の発明は、ケース（１０）と、ケースの一面（１２）に搭載された圧力センサ素子（２０）と、ケースに連結された熱可塑性樹脂よりなる部材であって、一端側開口部（３１ａ）が圧力センサ素子側に位置し他端側開口部（３１ｂ）が一端側開口部とは反対側に位置する柱状の空間形状をなす中空通路（３１）を内部に有する圧力導入ポート（３０）と、を備え、外部の圧力媒体を他端側開口部より中空通路に導入し、一端側開口部から圧力センサ素子へ送出するようにしたものであり、中空通路の内壁面は、粗化処理された粗化面（３４）と、粗化面よりも平滑な平滑面（３５）とが、それぞれ長手方向に沿って１箇所もしくは複数箇所設けられたものとされている圧力センサ装置の製造方法であって、さらに次のような特徴を有するものである。
【００１４】
・中空通路の空間形状に対応した柱状の外形をなす芯部（２１１）と芯部の周囲に配置され圧力導入ポートの外形に対応した空間形状を持つ外形部（２２０、２３０）とを有する成型用の金型（２００）を用い、金型における芯部と外形部との間の空間に圧力導入ポートとなる熱可塑性樹脂（３００）を充填して当該樹脂を固化することにより、圧力導入ポートを射出成形するポート成形工程を備えていること。
【００１５】
・ポート成形工程では、芯部として粗化面に対応する部位が平滑面に対応する部位よりも熱伝導率が高くなっているものを用い、熱可塑性樹脂のうち粗化面となる部位を、熱可塑性樹脂のうち平滑面となる部位に比べて、速く冷却して固化させるようにしたこと。請求項８の製造方法は、これらの点を特徴としている。
【００１６】
それによれば、ポート成形工程では、金型を用いて圧力導入ポートを型成形するが、このとき熱可塑性樹脂のうち芯部に接触する面が、中空通路の内壁面となる。ここで、芯部のうち粗化面に対応する部位が、平滑面に対応する部位よりも熱伝導率が高い。そのため、熱可塑性樹脂のうち粗化面となる部位の方が熱可塑性樹脂から芯部への熱の逃げが大きく、当該樹脂のうち平滑面となる部位の方が当該樹脂から芯部への熱の逃げが小さい。
【００１７】
これにより、金型転写性について、熱可塑性樹脂のうち粗化面となる部位の方が、平滑面となる部位よりも悪化するため、粗化面と平滑面とが形成される。こうして、本発明の製造方法によれば、粗化面と平滑面とが形成された圧力導入ポートを適切に製造することができる。
【００１８】
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる圧力センサ装置を示す概略断面図である。
【図２】図１中の一点鎖線Ａ−Ａに沿った部分の概略断面図である。
【図３】第１実施形態にかかる圧力センサ装置の作用を示す概略断面図である。
【図４】第１実施形態にかかる圧力センサ装置の製造方法におけるポート成形工程を示す概略断面図である。
【図５】図４中の一点鎖線Ｂ−Ｂに沿った部分の概略断面図である。
【図６】本発明の第２実施形態にかかる圧力センサ装置の製造方法におけるポート成形工程を示す概略断面図である。
【図７】本発明の第３実施形態にかかる圧力センサ装置の製造方法におけるポート成形工程を示す概略断面図である。
【図８】本発明の第４実施形態にかかる圧力センサ装置の要部を示す概略断面図である。
【図９】本発明の第５実施形態にかかる圧力センサ装置の要部を示す概略断面図である。
【図１０】本発明の第６実施形態にかかる圧力センサ装置の要部を示す概略平面図である。
【図１１】本発明の第７実施形態にかかる圧力センサ装置の要部を示す概略斜視図である。
【図１２】本発明の第７実施形態にかかる圧力センサ装置の要部を示す概略断面図である。
【図１３】（ａ）は第７実施形態の他の例を示す概略断面図、（ｂ）は第７実施形態のもう一つの他の例を示す概略断面図である。
【図１４】本発明の第８実施形態にかかる圧力センサ装置の要部を示す概略断面図であり、（ａ）は第１の例、（ｂ）は第２の例を示す。
【図１５】本発明の第９実施形態にかかる圧力センサ装置の要部を示す概略断面図である。
【図１６】本発明の他の実施形態にかかる圧力センサ装置の要部を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。また、以下の各図に示されている粗化面３４については、粗化された面であることを識別するために、実際にはミクロサイズである粗化による凹凸を、デフォルメして示してある。
【００２１】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態にかかる圧力センサ装置Ｓ１について、図１、図２を参照して述べる。この圧力センサ装置Ｓ１は、たとえば車両のインテークマニホールドに取り付けられ、インテークマニホールド内の圧力（たとえば吸気圧）を測定する吸気圧センサや、車両の排気系統に取り付けられて排気系統内の圧力（たとえば排気圧）を測定する排気圧センサ等に適用される。
【００２２】
本実施形態の圧力センサ装置Ｓ１は、大きくは、ケース１０と、ケース１０の一面１２に搭載された圧力センサ素子２０と、ケース１０に連結された圧力導入ポート３０と、を備えて構成されている。そして、圧力導入ポート３０には、圧力センサ素子２０へ外部の圧力媒体を導入する中空通路３１が設けられている。
【００２３】
ケース１０は、樹脂を型成形してなるものであるが、典型的には、圧力導入ポート３０と同様、たとえば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等の熱可塑性樹脂を型成形することにより製造されたものである。ケース１０の一側には凹部１１が設けられており、この凹部１１の底面が、圧力センサ素子２０等の素子を搭載する面としてのケース１０の一面１２とされている。
【００２４】
また、ケース１０には外部と接続される複数本（図１中では１本のみ図示）のターミナル１３が備えられている。各ターミナル１３はインサート成型により一体的に成形されることでケース１０内に保持されている。
【００２５】
具体的には、複数本のターミナル１３は、一端部が凹部１１内にて露出すると共に他端部が開口部１４内に突出するようにケース１０内に備えられている。そして、ターミナル１３のうち開口部１４内に突出して露出している部分は、図示しない外部機器（たとえば外部の配線部材等）に接続可能とされている。
【００２６】
なお、このようなターミナル１３は、銅等の導電性材料で構成されており、凹部１１内に露出している部分には金メッキ等が施されてボンディングパッドとして機能するように構成されている。
【００２７】
そして、ケース１０の一面１２には、圧力媒体の圧力を検出する圧力センサ素子２０、および、所定の信号処理を行う回路チップ４０が、搭載されている。これら圧力センサ素子２０および回路チップ４０は、図示しない接着剤を介してケース１０の一面１２に接着され、固定されている。
【００２８】
圧力センサ素子２０は、センサチップ２０ａおよび台座２０ｂにより構成されている。センサチップ２０ａはシリコン半導体等よりなり、台座２０ｂはガラス等よりなる。具体的には、センサチップ２０ａには、裏面から凹部が形成されることにより構成された薄肉部としてのダイアフラムが形成されており、このダイアフラムには、ブリッジ回路を構成するようにゲージ抵抗が形成されている。
【００２９】
つまり、本実施形態のセンサチップ２０ａは、ダイアフラムに圧力が印加されるとゲージ抵抗の抵抗値が変化してブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に応じたセンサ信号を出力する半導体ダイアフラム式のものである。なお、本実施形態のゲージ抵抗は、温度に応じて抵抗値が変化する温度依存性を有する抵抗とされており、例えば、Ｐ型拡散抵抗等で構成されている。
【００３０】
そして、このようなセンサチップ２０ａの裏面に台座２０ｂが陽極接合されることにより、圧力センサ素子２０が構成されている。なお、センサチップ２０ａのダイアフラムと台座２０ｂとの間には基準室が形成されるが、この基準室は真空圧とされていてもよいし、大気圧とされていてもよい。
【００３１】
回路チップ４０は、シリコン半導体等よりなるもので、圧力センサ素子２０に対する駆動信号の生成や、センサ信号の温特補正等を行う各種回路が形成されたものである。そして、このような圧力センサ素子２０と回路チップ４０とがワイヤ５１で電気的に接続されているとともに、回路チップ４０とターミナル１３とがワイヤ５２で電気的に接続されている。これらのワイヤ５１、５２としては、たとえば、金やアルミニウム等のワイヤが用いられる。
【００３２】
さらに、ケース１０の凹部１１内には、電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素ゲルやフッ素ゴム等で構成された保護部材６０が充填されている。そして、この保護部材６０により、ケース１０とターミナル１３との界面、圧力センサ素子２０、回路チップ４０、ワイヤ５１、５２が封止されて保護されている。
【００３３】
圧力導入ポート３０は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等の熱可塑性樹脂を射出成形することにより製造されたものであり、圧力センサ素子２０に圧力媒体を導くものである。
【００３４】
ここで、当該熱可塑性樹脂としては、樹脂単体のものでもよいし、無機材料よりなるフィラーを含有させてなる樹脂であってもよい。このようなフィラーとしては、ガラスやミネラル等よりなるものが挙げられ、フィラーの形状については、繊維状のものや粒状のものなどが挙げられる。
【００３５】
圧力導入ポート３０は、一端３２側をケース１０側に向けて、ケース１０の一面１２を覆うように設けられている。ここで、圧力導入ポート３０の一端３２は、ハードエポキシ樹脂等の耐薬品性に優れ且つ高弾性である接着剤７０等によって、ケース１０と連結されている。これにより、ケース１０と圧力導入ポート３０との間に圧力検出室８０が構成されている。
【００３６】
また、圧力導入ポート３０においては、一端３２とは反対側の他端３３側がケース１０とは反対側の方向へ突出しており、その内部に突出方向の他端３３側から圧力検出室８０に通じる圧力導入孔としての中空通路３１が形成されている。
【００３７】
この中空通路３１は、圧力導入ポート３０内にて圧力導入ポート３０の一端３２から他端３３に延びる柱状の空間形状をなす。ここでは、図１および図２に示されるように、中空通路３１の空間形状は、一端側開口部３１ａから他端側開口部３１ｂの間で内径が実質同一とされた円柱状をなしている。
【００３８】
ここで、中空通路３１の一端側開口部３１ａは、圧力導入ポート３０の一端３２側の開口部であり、中空通路３１の他端側開口部３１ｂは、圧力導入ポート３０の他端３３側の開口部である。
【００３９】
更に言えば、中空通路３１の一端側開口部３１ａは、圧力センサ素子２０側（つまりケース１０の一面１２側）に位置し、他端側開口部３１ｂは、一端側開口部３１ａとは反対側（つまりケース１０の一面１２と離れる側）に位置している。
【００４０】
また、圧力導入ポート３０のうち、一端側開口部３１ａよりもケース１０の一面１２側に位置し且つケース１０の一面１２に対向する内面８１は、一端側開口部３１ａからケース１０の一面１２側に向かってテーパ状に拡径している。つまり、圧力検出室８０は、このテーパ状の内面８１とケース１０との間に構成された部屋に相当する。
【００４１】
なお、図１に示されるように、圧力導入ポート３０のうち他端３３側の外周部には、ゴム材料等よりなるＯリング９０が設けられている。このＯリング９０によって、本実施形態の圧力センサ装置Ｓ１は、図示しない被取付部材と圧力導入ポート３０との間の気密性を確保することができるようになっている。
【００４２】
具体的に、本実施形態の圧力センサ装置Ｓ１は、図１中の上下方向、つまり図１中の両矢印Ｙ方向の上方を重力方向の天側、下方を重力方向の地側として車両に取り付けられるものである。
【００４３】
そして、外部の圧力媒体は、他端側開口部３１ｂより中空通路３１に導入され、一端側開口部３１ａから圧力検出室８０（つまり圧力センサ素子２０）へ送出されるようになっている。これにより、圧力センサ素子２０に圧力媒体による圧力が印加されることで、圧力検出がなされるようになっている。
【００４４】
たとえば、圧力センサ装置Ｓ１が、車両のインテークマニホールドに取り付けられて用いられる場合、中空通路３１を介して圧力検出室８０にインテークマニホールド内の混合気（圧力媒体）が導入される。すると、圧力センサ素子２０からは当該混合気の圧力に応じたセンサ信号が出力される。
【００４５】
このため、回路チップ４０は、センサ信号に対して温特補正や増幅処理等を行った演算信号を生成し、この演算信号を、ターミナル１３を介して装置外部の図示しない外部回路に出力する。これにより、当該外部回路では、演算信号に基づいて圧力媒体の圧力が測定される。
【００４６】
かかる本実施形態の圧力センサ装置Ｓ１においては、さらに、圧力導入ポート３０にて、次のような独自の構成が備えられている。
【００４７】
すなわち、図１、図２に示されるように、中空通路３１の内壁面は、粗化処理された粗化面３４と、粗化面３４よりも平滑な平滑面３５とが、それぞれ中空通路３１の長手方向に沿って１箇所もしくは複数箇所設けられたものとされている。
【００４８】
ここでは、中空通路３１の長手方向とは、中空通路３１の一端側開口部３１ａから他端側開口部３１ｂへ向かう方向であり、図１中の両矢印Ｙ方向すなわち重力方向である。つまり、粗化面３４と平滑面３５とは、中空通路３１の長手方向に沿って互いに並列に延びた配置とされている。
【００４９】
また、上述したように、圧力導入ポート３０は、熱可塑性樹脂あるいは無機材料よりなるフィラーが含有された熱可塑性樹脂が射出成形されてなる。このとき、粗化面３４とは、射出成形により発生する湯じわやフィラー浮き等の肌荒れが、平滑面３５に比して顕著な面であることを意味する。
【００５０】
さらに言えば、粗度の相違によって、粗化面３４は表面張力の大きい親水性の面とされ、それに比して、平滑面３５は表面張力の小さい撥水性の面とされている。ここで、粗化面３４において粗化による凹凸は、ミクロレベルのものであり、ランダムな島状の凹凸パターンとされたものである。
【００５１】
ここでは、図１、図２に示されるように、中空通路３１の内壁面は、粗化面３４と平滑面３５とが、それぞれ中空通路３１の長手方向に沿って１箇所ずつ設けられたものとされている。具体的には、図２に示されるように、中空通路３１の内壁面の長手方向と直交する断面方向において、中空通路３１の内壁面の片側半分の全体が粗化面３４とされ、他側半分の全体が平滑面３５とされている。
【００５２】
また、ここでは、粗化面３４および平滑面３５は、ともに中空通路３１の内壁面の長手方向の全体に渡って設けられている。つまり、粗化面３４および平滑面３５は、ともに、中空通路３１の内壁面における一端側開口部３１ａから他端側開口部３１ｂの間の全域に渡って、設けられている。
【００５３】
[作用効果等]
次に、本実施形態の圧力センサ装置Ｓ１の作用等について、図３を参照して述べる。上述のように、この種の圧力センサ装置においては、結露等により圧力導入ポート３０の中空通路３１内に水Ｗ（図３中、点ハッチングにて図示））が溜まるという問題がある。
【００５４】
ここで、上述のように、圧力センサ装置Ｓ１は、中空通路３１の一端側開口部３１ａを天側、他端側開口部３１ｂを地側とする重力方向（図３中の両矢印Ｙ方向）に沿って配置されている。
【００５５】
このとき、本実施形態によれば、中空通路３１の内壁面を、親水性となる粗化面３４と撥水性となる平滑面３５とが、それぞれ中空通路３１の長手方向に沿って１箇所もしくは複数箇所設けられたものとしている。そのため、中空通路３１の断面積を減少させることなく、中空通路３１の内壁面は、水の表面張力の相違する部位が混在した状態とされている。
【００５６】
具体的には、中空通路３１の内壁面のうち親水性の面である粗化面３４は、表面張力が大きく見かけ上の濡れ性が高い面であり、撥水性の面である平滑面３５は、表面張力が小さく見かけ上の濡れ性が低い面となる。そして、中空通路３１の長手方向と直交する断面をみたとき、上記図２に示されるように、当該内壁面には、粗化面３４と平滑面３５とが、水Ｗの滴下方向に沿って並列に混在した構成とされている。
【００５７】
そのため、本実施形態によれば、図３に示されるように、中空通路３１内の水Ｗのメニスカス形状が乱れ、水Ｗの滴下が促進される。そして、水Ｗは、親水性の粗化面３４に沿って下方に流れ、中空通路３１の他端側開口部３１ｂから排出されていく。
【００５８】
このように本実施形態によれば、従来のような上記リブを中空通路の内壁面に設けることなく、当該内壁面の粗化度合を部分的に相違させた構成を採用している。そのため、圧力導入ポート３０の中空通路３１の断面積を最大限確保しつつ、中空通路３１内の排水性を向上させることができる。
【００５９】
[製造方法等]
次に、本実施形態の圧力センサ装置Ｓ１の製造方法について述べる。まず、射出成形により成形されたケース１０および圧力導入ポート３０を用意する。ここで、この射出成形は、通常の射出成形に準じて行われるものである。なお、本実施形態では、圧力導入ポート３０を射出成形するポート成形工程では、後述する独自の工夫を施したものであり、このポート成形工程については、図４、図５を参照して、後に詳述する。
【００６０】
そして、まず、ケース１０の一面１２に対して、圧力センサ素子２０および回路チップ４０を搭載して接着、固定する。そして、ワイヤボンディング等により、各部の接続を行い、ワイヤ５１、５２を形成する。その後、ケース１０の凹部１１に保護部材６０を充填する。次に、接着剤７０を介してケース１０と圧力導入ポート３０とを接着する。こうして、本実施形態の圧力センサ装置Ｓ１ができあがる。
【００６１】
次に、上記ポート成形工程について図４、図５を参照して述べる。圧力導入ポート３０を射出成形するための樹脂成型用の金型２００は、下型２１０および上型２２０と、これら下型２１０および上型２２０の間に配置されるスライド型２３０と、を備えたものである。
【００６２】
そして、金型２００においては、これらの各型が着脱可能に合致することで、内部に圧力導入ポート３０に対応する空間（つまりキャビティ）が形成されるようになっている。このような金型２００は典型的には金属等よりなる。
【００６３】
下型２１０は、その一部が、中空通路３１および圧力検出室８０の空間形状に対応した柱状の外形をなす芯部２１１とされたものである。上型２２０およびスライド型２３０の両者は、芯部２１１の周囲に配置され圧力導入ポート３０の外形に対応した空間形状を持つ外形部に相当するものである。
【００６４】
つまり、下型２１０の突出部としての芯部２１１の先端側に上型２２０が位置し、側面側にスライド型２３０が位置するように、各型２１０〜２３０が合致される。これによって、金型２００における各型２１０〜２３０の隙間は、圧力導入ポート３０の形状に対応するキャビティとして構成される。なお、下型２１０側は圧力導入ポート３０の一端３２側に相当し、上型２２０側は圧力導入ポート３０の他端３３側に相当する。
【００６５】
そして、このキャビティに対して、すなわち金型２００における芯部２１１と外形部である上型２２０およびスライド型２３０との間の空間に対して、図示しないゲートから圧力導入ポート３０となる熱可塑性樹脂３００を充填して熱可塑性樹脂３００を固化する。これにより、圧力導入ポート３０が射出成形される。射出成形では、金型２００は熱可塑性樹脂３００の溶融温度よりも低い温度とされており、射出された熱可塑性樹脂３００は金型２００で冷却されて固化する。
【００６６】
ここにおいて、本実施形態のポート成形工程では、芯部２１１として粗化面３４に対応する部位が平滑面３５に対応する部位よりも熱伝導率が高くなっているものを用いる。ここでは、図５に示されるように、芯部２１１のうち芯部２１１の長手方向と直交する断面方向において、芯部２１１の片側半分（図５中の左半分）が粗化面３４に対応する部位とされ、他側半分（図５中の右半分）が平滑面３５に対応する部位とされている。
【００６７】
そして、ここでは、図４、図５に示されるように、芯部２１１において、平滑面３５に対応する部位の表面が断熱性を有する断熱膜２１２によりなるものとし、粗化面３４に対応する部位は断熱膜２１２が無く、金属が表面とされたものとしている。
【００６８】
これによって、芯部２１１のうち平滑面３５に対応する部位は、粗化面３４に対応する部位よりも熱伝導率が低くなるようにしている。この断熱膜２１２は、金型２００を構成する金属よりも断熱性に優れた材料であればよいが、たとえばアルミナやシリカなどのセラミックを用いて蒸着やスパッタなどにより形成した膜とされる。
【００６９】
さらに、本実施形態の金型２００について、図４、図５に示されるように、芯部２１１として、芯部２１１を冷却するための冷却部材としてのヒートパイプ２１３が、芯部２１１の内部に設けられたものを用いている。このヒートパイプ２１３は、形状的に細いことから通常は熱が溜まりやすい芯部２１１について、芯部２１１の冷却を促進するためのものである。
【００７０】
冷却部材としてのヒートパイプ２１３は、冷媒の移動により冷却を行うものである。具体的に言うと、ヒートパイプ２１３は、周知のものであるが、銅などよりなる本体を区画するパイプ内に、少量封入された水やアルコールなどの冷媒液体の蒸発および凝縮の相変化により熱を輸送するものである。
【００７１】
さらに、このヒートパイプ２１３による芯部２１１の冷却性の向上を図るために、図４に示されるように、下型２１０内には、冷却水が流れる冷却配管２１４が設けられている。この冷却配管２１４は、樹脂成形の金型の分野では一般的なものであり、図示しないポンプ等により水が流されるものである。
【００７２】
そして、この冷却配管２１４にヒートパイプ２１３の一部が入り込んでおり、冷却配管２１４内の冷却水に接触するようになっている。これにより、ヒートパイプ２１３は当該冷却水と熱交換することで冷却され、その結果、ヒートパイプ２１３を介して芯部２１１も冷却されるようになっている。
【００７３】
上述のように、芯部２１１は、下型２１０のうちの芯部２１１以外の部位に比して、細い形状とされているので、下型２１０のうちの芯部２１１以外の部位に比べて、熱の逃げ性が小さい。そのため、冷却部材としてのヒートパイプ２１３を芯部２１１に内在させることで、芯部２１１の冷却を促進するようにしている。
【００７４】
このように、本実施形態のポート成形工程では、芯部２１１として粗化面３４に対応する部位が平滑面３５に対応する部位よりも熱伝導率が高くなっているものを用いる。そのため、熱可塑性樹脂３００のうち粗化面３４となる部位は、熱可塑性樹脂３００のうち平滑面３５となる部位に比べて、速く冷却されて固化する。
【００７５】
そして、ポート成形工程では、熱可塑性樹脂３００よりなる圧力導入ポート３０が型成形されるとき、熱可塑性樹脂３００のうち芯部２１１に接触する面が中空通路３１の内壁面となる。ここで、芯部２１１のうち粗化面３４に対応する部位が平滑面３５に対応する部位よりも熱伝導率が高い。
【００７６】
そのため、熱可塑性樹脂３００のうち粗化面３４となる部位の方が、熱可塑性樹脂３００から芯部２１１への熱の逃げが大きく、それに比して、熱可塑性樹脂３００のうち平滑面３５となる部位の方が、熱可塑性樹脂３００から芯部２１１への熱の逃げが小さくなる。これにより、熱可塑性樹脂３００のうち粗化面３４となる部位の方が平滑面３５となる部位よりも金型転写性が悪化するため、最終的に、粗化面３４と平滑面３５とが形成されるのである。
【００７７】
この金型転写性に関して、より具体的に述べる。金型２００を用いた射出成形においては、金型転写性つまり金型２００の面形状の熱可塑性樹脂３００への転写度合は、金型２００に接触した熱可塑性樹脂３００が固化する前に充填圧力（つまり、樹脂３００の金型２００への押し付け圧力）が十分に掛かることが重要な前提条件となる。
【００７８】
ここで、本実施形態では、熱可塑性樹脂３００のうち平滑面３５となる部位では、これに対応する芯部２１１の部位が比較的熱伝導率が低いものであるため、充填圧力が十分な状態となった時点で熱可塑性樹脂３００の固化が始まる。
【００７９】
一方、熱可塑性樹脂３００のうち粗化面３４となる部位では、これに対応する芯部２１１の部位が比較的熱伝導率が高いものであるため、熱可塑性樹脂３００のうち平滑面３５となる部位に比して、充填圧力が不十分な状態の時点で熱可塑性樹脂３００の固化が始まる。
【００８０】
そのため、本実施形態においては、熱可塑性樹脂３００のうち粗化面３４となる部位では、熱可塑性樹脂３００のうち平滑面３５となる部位に比して金型転写性が悪いものとなり、上記した湯じわやフィラー浮きによる肌荒れが顕著な面、すなわち粗化された面となるのである。このように、本実施形態のポート成形工程によれば、粗化面３４と平滑面３５とが形成された圧力導入ポート３０が形成される。
【００８１】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について図６を参照して述べる。本実施形態は、上記第１実施形態にて上記図４、図５に示したポート成形工程の一部を変形したところが、上記第１実施形態と相違するものであり、ここでは、その相違点を中心に述べることとする。
【００８２】
図６に示されるように、本実施形態では、上記図５において、さらに、芯部２１１のうち平滑面３５に対応する部位の表面を構成する断熱膜２１２（第１の断熱膜２１２とする）と同様の第２の断熱膜２１５を、スライド型２３０の表面に設けている。
【００８３】
これは、芯部２１１がヒートパイプ２１３により強制的に冷却されることによって、熱可塑性樹脂３００の表面粗化の影響が、圧力導入ポート３０の外面側すなわちスライド型２３０側における金型転写性へ及ぶことを考慮したものである。
【００８４】
芯部２１１がヒートパイプ２１３により強制的に冷却されると、圧力導入ポート３０の外面も荒れた面となる可能性がある。そのため、第２の断熱膜２１５を設けて、スライド型２３０の熱伝導率を小さくしてやれば、スライド型２３０における金型転写性が向上し、圧力導入ポート３０の外面の粗化を抑制できる。
【００８５】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について図７を参照して述べる。本実施形態は、上記第１実施形態にて上記図４、図５に示したポート成形工程の一部を変形したところが、上記第１実施形態と相違するものであり、ここでは、その相違点を中心に述べることとする。
【００８６】
上記第１実施形態では、上記図４および図５に示したように、芯部２１１において、平滑面３５に対応する部位の表面が断熱膜２１２によりなるものとすることによって、平滑面３５に対応する部位が粗化面３４に対応する部位よりも熱伝導率が低くなるようにしていた。
【００８７】
これに対して、図７に示されるように、本実施形態では、断熱膜２１２に代えて芯部２１１の内部に空洞２１６を設けたものとしている。この空洞２１６内は、空気が存在していてもよいし、真空であってもよい。
【００８８】
つまり、本実施形態では、芯部２１１として、平滑面３５に対応する部位の内部に空洞２１６を設けて空洞２１６による断熱がなされるようにしたものを採用している。これによって、芯部２１１は、平滑面３５に対応する部位が粗化面３４に対応する部位よりも熱伝導率が低くなるものとされている。
【００８９】
なお、本実施形態は、上記第１実施形態および第２実施形態と組み合わせてもよい。つまり、図７において、さらに上記第１実施形態に示した断熱膜２１２や上記第２実施形態に示した第２の断熱膜２１５が設けられ、より断熱性を向上させるようにしたものであってもよい。
【００９０】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について図８を参照して述べる。本実施形態は、上記第１実施形態にて圧力導入ポート３０の一部を変形したところが、上記第１実施形態と相違するものであり、ここでは、その相違点を中心に述べることとする。
【００９１】
図８に示されるように、本実施形態では、圧力導入ポート３０のうち中空通路３１の他端側開口部３１ｂの開口縁部として位置する端面３６の一部３６ａを、粗化面３４と同等の粗化処理がなされ粗化面３４に連続した面としている。
【００９２】
それによれば、中空通路３１内の粗化面３４から中空通路３１の他端側開口部３１ｂの開口縁部まで、親水性である粗化された面が連続したものとなるから、中空通路３１内の水を粗化面３４に沿って圧力導入ポート３０の外部に排出しやすい。
【００９３】
なお、圧力センサ装置を、車両の吸気系や排気系に取り付けた状態では、圧力媒体の流れは、図８中の白矢印Ｙ１に示されるような方向のものとされる。この状態において、圧力導入ポート３０の端面３６のうち粗化される部位としては、当該流れの下流側に位置する部位である方が望ましい。それによれば、排出される水が中空通路３１内に入り込まずに、当該流れによって確実に吹き飛ばされやすくなる。
【００９４】
また、本実施形態は、圧力導入ポート３０の端面３６の一部を粗化した面とするものであるから、上記第１実施形態だけでなく、上記第２実施形態および上記第３実施形態とも組み合わせて適用することが可能であることは、もちろんである。
【００９５】
（第５実施形態）
本発明の第５実施形態について図９を参照して述べる。本実施形態は、上記第１実施形態にて圧力導入ポート３０の一部を変形したところが、上記第１実施形態と相違するものであり、ここでは、その相違点を中心に述べることとする。
【００９６】
図９に示されるように、本実施形態の圧力導入ポート３０においても、中空通路３１の粗化面３４および平滑面３５は、ともに中空通路３１の一端側開口部３１ａまで延びている。ここで、本実施形態では、中空通路３１の一端側開口部３１ａのうち粗化面３４に対応する部位は、中空通路３１の一端側開口部３１ａのうちの平滑面３５に対応する部位よりもケース１０の一面１２からの距離が遠いものとされている。
【００９７】
上述のように、圧力センサ装置は、中空通路３１の一端側開口部３１ａを天側、中空通路３１の他端側開口部３１ｂを地側とする重力方向に沿って配置される。この配置の場合、本実施形態では、中空通路３１の一端側開口部３１ａのうちの粗化面３４部分の受け口が平滑面３５部分の受け口に比べて重力方向の下方に位置することになる。そのため、圧力検出室８０に発生した水は粗化面３４側に集まりやすくなる。
【００９８】
ここで、上述のように、粗化面３４は、平滑面３５に比べて親水性が高く、見かけ上の濡れ性が大きいため、水が流れやすい部位である。そのため、本実施形態によれば、圧力検出室８０に発生する水を、粗化面３４側に集めやすくできるため、排水性の向上という点で望ましい。
【００９９】
なお、本実施形態は、圧力導入ポート３０の中空通路３１における一端側開口部３１ａを一部変形したものであるから、上記第１実施形態だけでなく、上記第２〜第４実施形態の各実施形態とも組み合わせて適用することが可能であることは、もちろんである。
【０１００】
（第６実施形態）
本発明の第６実施形態について図１０を参照して述べる。本実施形態は、上記第１実施形態にて圧力導入ポート３０における圧力検出室８０の一部を変形したところが、上記第１実施形態と相違するものであり、ここでは、その相違点を中心に述べることとする。
【０１０１】
図１０に示されるように、圧力導入ポート３０における中空通路３１の一端側開口部３１ａよりもケース１０の一面１２側に位置してケース１０の一面１２に対向する内面８１は、圧力検出室８０の内面８１である。そして、本実施形態では、この圧力検出室８０の内面８１の一部は、粗化面３４と同等の粗化処理がなされた面としての粗化パターン３７（図１０中、点ハッチングで図示）として構成されている。
【０１０２】
ここにおいて、この粗化パターン３７は、中空通路３１の一端側開口部３１ａのうちの粗化面３４寄りの部位へ向かって水を案内するパターン形状とされている。それによれば、圧力導入ポート３０のうちケース１０の一面１２側すなわち圧力センサ素子２０側にて、結露等により発生した水は、親水性の粗化パターン３７を通って中空通路３１の粗化面３４へ誘導されるため、排水性の向上が期待できる。
【０１０３】
ここで、この粗化パターン３７は、図１０に示されるようなもの以外にも、中空通路３１の一端側開口部３１ａのうちの粗化面３４寄りの部位へ向かって水を案内できるものであれば任意のパターンが採用可能である。
【０１０４】
なお、本実施形態は、圧力導入ポート３０における圧力検出室８０の内面８１の一部を粗化パターン３７として構成したものであるから、上記第１実施形態だけでなく、上記第２〜第５実施形態の各実施形態とも組み合わせて適用することが可能であることは、もちろんである。
【０１０５】
（第７実施形態）
本発明の第７実施形態について図１１および図１２を参照して述べる。本実施形態は、上記第１実施形態にて圧力導入ポート３０の中空通路３１の他端側開口部３１ｂの一部を変形したところが、上記第１実施形態と相違するものであり、ここでは、その相違点を中心に述べることとする。
【０１０６】
図１１、図１２に示されるように、本実施形態では、圧力導入ポート３０における中空通路３１の他端側開口部３１ｂにおいて、粗化面３４は、中空通路３１内から他端側開口部３１ｂの外部まで延出された面とされている。ここで、粗化面３４のうち他端側開口部３１ｂよりも中空通路３１の外部に延出された部位を、粗化された延出面３４ａとして、図示してある。
【０１０７】
それによれば、中空通路３１内の粗化面３４が中空通路３１の他端側開口部３１ｂから中空通路３１の外部まで延出されているから、図１２に示されるように、中空通路３１内の水Ｗを粗化面３４に沿って圧力導入ポート３０の外部に排出しやすい。ここで、図１２中、水Ｗには点ハッチングを施してある。
【０１０８】
本実施形態では、延出面３４ａは、中空通路３１の他端側開口部３１ｂから二股に分かれた２個のものより構成されている。この場合、粗化面３４に沿って流れてくる水Ｗは、２個の延出面３４ａに分岐して流れるとともに、２個の延出面３４ａの間のＶ字の隙間に膜を貼るように流れ出る。
【０１０９】
そのため、このＶ字の隙間の水Ｗは、上記した圧力媒体の流れにより吹き飛ばされることから、適切な排出が可能となる。このようなことから、上記第４実施形態（上記図８参照）と同様、本実施形態における延出面３４ａも、圧力媒体の流れの下流側に位置する部位に設けることが望ましい。つまり、粗化面３４およびこれに連続する延出面３４ａともに、圧力媒体の流れの下流側に位置させることが望ましい。
【０１１０】
ここで、本第７実施形態の他の例について、図１３を参照して述べる。図１３（ａ）、（ｂ）に示される他の例は、２個の延出面３４ａの分岐点を、中空通路３１内部に位置させたものである。この場合、粗化面３４に沿って流れてくる水Ｗは、図１１、図１２の例に比べて２個の延出面３４ａに分岐して流れやすくなるという利点がある。
【０１１１】
なお、上記図１１〜図１３に示される例では、延出面３４ａはＶ字の隙間を有する２個のものであったが、本実施形態において、この延出面３４ａは１個のものであってもよいし、３個以上のものであってもよい。
【０１１２】
また、上述のように、本実施形態は、圧力導入ポート３０の中空通路３１の他端側開口部３１ｂにおいて、粗化面３４を、他端側開口部３１ｂの外部まで延出された面として構成したものである。そのため、本実施形態は、上記第１実施形態だけでなく、上記第４実施形態以外の上記第２、第３、第５および第６実施形態の各実施形態とも組み合わせて適用することが可能であることは、もちろんである。
【０１１３】
（第８実施形態）
本発明の第８実施形態について図１４を参照して述べる。本実施形態は、上記第１実施形態にて圧力導入ポート３０の中空通路３１の他端側開口部３１ｂの一部を変形したところが、上記第１実施形態と相違するものであり、ここでは、その相違点を中心に述べることとする。
【０１１４】
図１４に示されるように、本実施形態では、圧力導入ポート３０における中空通路３１の内部において、粗化面３４を他端側開口部３１ｂに向かって二股に分岐させたものとしている。
【０１１５】
具体的には、中空通路３１の他端側開口部３１ｂ側において粗化面３４に対応する部位に、スリット３８を設けるようにすればよい。図１４（ａ）では矩形状のスリット３８、図１４（ｂ）ではＶ字状のスリット３８としている。
【０１１６】
この場合、中空通路３１内の粗化面３４に沿って中空通路３１の他端側開口部３１ｂに流れる水が、他端側開口部３１ｂにて分岐した粗化面３４の間に膜を貼るから、圧力導入ポート３０の外部に排出しやすい。
【０１１７】
なお、上述のように、本実施形態は、圧力導入ポート３０の中空通路３１の他端側開口部３１ｂを一部変形したものであるため、本実施形態は、上記第１実施形態だけでなく、上記第４、第７実施形態以外の上記第２、第３、第５および第６実施形態の各実施形態とも組み合わせて適用することが可能であることは、もちろんである。
【０１１８】
（第９実施形態）
本発明の第９実施形態について図１５を参照して述べる。本実施形態は、上記第１実施形態にて圧力導入ポート３０の中空通路３１の形状を変形したところが、上記第１実施形態と相違するものであり、ここでは、その相違点を中心に述べることとする。
【０１１９】
図１５に示されるように、本実施形態では、中空通路３１の径は、一端側開口部３１ａから他端側開口部３１ｂに向かって拡径したものとされている。これによれば、中空通路３１内の水のメニスカス形状の不安定化により粗化面３４に沿って流れ落ちる効果が、促進されるという利点がある。
【０１２０】
ここで、本実施形態は、中空通路３１の径を、一端側開口部３１ａから他端側開口部３１ｂに向かって拡径しただけのものであるから、上記第１実施形態以外の各実施形態とも、組み合わせて適用することが可能であることは言うまでもない。
【０１２１】
（他の実施形態）
なお、上記各実施形態では、上記図１等に示されるように、粗化面３４および平滑面３５は、ともに中空通路３１の内壁面の長手方向の全体に渡って設けられていた。しかしながら、これら粗化面３４および平滑面３５は、中空通路３１の一端側開口部３１ａから他端側開口部３１ｂの間の一部のみにて、中空通路３１の長手方向に沿って設けられていてもよい。
【０１２２】
また、上記各実施形態では、上記図１等に示されるように、中空通路３１の内壁面は、粗化面３４と平滑面３５とが、それぞれ中空通路３１の長手方向に沿って１箇所ずつ設けられたものとされていた。しかしながら、図１６に示されるように、粗化面３４および平滑面３５は、それぞれ中空通路３１の長手方向に沿って複数箇所ずつ設けられたものであってもよい。図１６では、両者を３箇所ずつ設けた例を示している。
【０１２３】
そして、この場合であっても、複数箇所の粗化面３４および平滑面３５に対応して断熱膜２１２を配置する等の処理を行うことにより、上記した射出成形における金型転写性を利用した圧力導入ポート３０の形成方法を適用できることは、明らかである。
【０１２４】
また、ポート成形工程において、上記図４では、下型２１０内に設けられた冷却配管２１４にヒートパイプ２１３の一部が入り込んで、冷却配管２１４内の冷却水に接触するようになっていた。
【０１２５】
しかし、ヒートパイプ２１３を介した芯部２１１の冷却が、芯部２１１から下型２１０のうちの芯部２１１以外の部位に熱を逃がすことにより十分に可能なものであるならば、ヒートパイプ２１３は冷却配管２１４の近傍まで配置されて冷却水に接触しないものであってもよい。さらには、上記図４において、ヒートパイプ２１３のみで冷却配管２１４が無い構成であってもよい。
【０１２６】
また、冷却部材としては、ヒートパイプ２１３以外にも、たとえば上記した冷却配管２１４を芯部２１１の内部まで引き回したものであってもよい。この場合、芯部２１１は、冷却配管２１４の冷却水により冷却されるものとなる。
【０１２７】
また、上記した冷却部材や冷却配管２１４を用いなくても、芯部２１１の冷却が、芯部２１１から下型２１０のうちの芯部２１１以外の部位に熱を逃がすことにより十分に可能なものであるならば、上記した冷却部材や冷却配管２１４は無いものであってもよい。つまり、具体的には、上記図４において、ヒートパイプ２１３および冷却配管２１４が省略された構成であってもよい。
【０１２８】
また、粗化面３４は、上記した射出成形により形成したが、可能ならば、射出成形後の圧力導入ポート３０に対して、中空通路３１の内壁面を部分的に、薬液等でエッチングするなどして、粗化面３４を形成するようにしてもよい。
【０１２９】
また、上記図１では、圧力導入ポート３０は、ケース１０とは別体であってケース１０に接着剤７０を介して接続されて連結されたものであった。しかしながら、圧力導入ポート３０は、ケース１０と連続して一体に樹脂成形されたものされることにより、ケース１０に連結されたものであってもよい。
【０１３０】
また、圧力導入ポート３０の中空通路３１は、柱状の空間形状を有するものであればよく、可能ならば、上記した円柱状の空間形状以外にも、たとえば多角形状の空間形状を有するものであってもよい。
【０１３１】
また、上記図１では、ケース１０は、ターミナル１３がインサート成形されて一体とされたものであったが、ケース１０としては、ターミナル１３が無いものであってもよい。この場合、圧力センサ素子２０とケース１０外部との電気的接続は、ターミナル１３以外の何らかの公知の配線手法を用いて行えばよいことは、言うまでもない。
【０１３２】
また、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能であり、また、上記各実施形態は、上記の図示例に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。
【符号の説明】
【０１３３】
１０    ケース
１２    ケースの一面
２０    圧力センサ素子
３０    圧力導入ポート
３１    中空通路
３１ａ  中空通路の一端側開口部
３１ｂ  中空通路の他端側開口部
３４    粗化面
３５    平滑面
２００  金型
２１１  芯部
２２０  外形部としての上型
２３０  外形部としてのスライド型
３００  熱可塑性樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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