(57)【要約】【課題】外的振動による検査対象物の振動を抑制することができる検査装置および検査方法を提供すること。【解決手段】検査装置は、透明部材と、前記透明部材とワークとの間に空間を形成するように前記ワークを支持する支持部と、前記透明部材および前記支持部が設置される設置部と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明部材と、
前記透明部材とワークとの間に空間を形成するように前記ワークを支持する支持部と、
前記透明部材および前記支持部が設置される設置部と、
を備える検査装置。
【請求項２】
前記支持部は、前記ワークの外周の全体を閉じるように前記ワークを支持する形状である、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記支持部は、前記設置部に固定された固定支持部と、前記設置部に対して可動する可動支持部を含む、
請求項１または請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記透明部材は、前記支持部により支持される前記ワークに対して重力で引かれる側に備えられた、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記透明部材は、前記支持部により支持される前記ワークに対して重力で引かれる側とは反対の側に備えられた、
を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記透明部材は、前記支持部により支持される前記ワークに対して重力で引かれる側とその反対の側との両方にそれぞれ備えられた、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項７】
前記透明部材は、ガラスパネルまたはアクリルパネルである、
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記支持部により支持される前記ワークを照明する照明部と、
前記支持部により支持される前記ワークを撮影する撮影部と、
を備える請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項９】
透明な部材とワークとの間に空間を形成するように前記ワークを支持し、支持された前記ワークを検査する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットノズルプレートなどのワークの検査では、例えば、当該ワークに設けられた微小な穴などに異物があるか否か、当該穴に欠陥があるか否かを検査する。例えば、特許文献１に記載の技術では、開口部に設置されたワークに対して透過照明を当てて、カメラにより当該ワークを撮影する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１７５４９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ワークが薄い場合には、開口部に設置されたワークが空気振動などの外的振動により振動してしまうことがある。その結果、特許文献１に記載の技術を用いても、カメラの焦点が合わず、検査対象物であるワークを正確に検査することができない場合があった。
【０００５】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、外的振動による検査対象物の振動を抑制することができる検査装置および検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、本発明の一態様は、検査装置であって、透明部材と、前記透明部材とワークとの間に空間を形成するように前記ワークを支持する支持部と、前記透明部材および前記支持部が設置される設置部と、を備える検査装置である。
この構成によれば、検査装置は、透明部材と、当該透明部材とワークとの間に空間を形成するように支持する支持部を備えることで、外的振動によるワークの振動を抑制することができる。また、透明部材とワークとが接触せずに、透明部材とワークとの間に空間が形成されるため、透明部材に付着していた粉塵がワークに付着することを防ぐことができる。
【０００７】
本発明の一態様は、前記支持部は、前記ワークの外周の全体を閉じるように前記ワークを支持する形状である、検査装置であってもよい。
この構成によれば、検査装置は、支持部によってワークの外周の全体を支持し、空気振動によるワークの振動を抑制することができる。
【０００８】
本発明の一態様は、前記支持部は、前記設置部に固定された固定支持部と、前記設置部に対して可動する可動支持部を含む、検査装置であってもよい。
この構成によれば、検査装置は、固定支持部と可動支持部によって支持されたワークに対する検査が終了して次のワークを検査する場合であっても、可動支持部によりワークを支持して移動させることで、ワークを容易に交換することができる。
【０００９】
本発明の一態様は、前記透明部材は、前記支持部により支持される前記ワークに対して重力で引かれる側に備えられた、検査装置であってもよい。
この構成によれば、検査装置は、透明部材に付着した粉塵がワークに対して落下して付着することを防ぐことができる。
【００１０】
本発明の一態様は、前記透明部材は、前記支持部により支持される前記ワークに対して重力で引かれる側とは反対の側に備えられた、検査装置であってもよい。
この構成によれば、検査装置は、透明部材をワークの重力で引かれる側とは反対の側に備えることにより、外的振動によるワークの振動を抑制することができる。
【００１１】
本発明の一態様は、記透明部材は、前記支持部により支持される前記ワークに対して重力で引かれる側とその反対の側との両方にそれぞれ備えられた、検査装置であってもよい。
この構成によれば、検査装置は、ワークの一方に透明部材を設けるときよりも外的振動によるワークの振動を抑制することができる。
【００１２】
本発明の一態様は、前記透明部材は、ガラスパネルまたはアクリルパネルである、検査装置であってもよい。
この構成によれば、検査装置は、外的振動によるワークの振動を抑制することができ、透明部材の下側および上側のうちの一方または両方から、ガラスパネルまたはアクリルパネルを通して、ワークを検査することができる。
【００１３】
本発明の一態様は、前記支持部により支持される前記ワークを照明する照明部と、前記支持部により支持される前記ワークを撮影する撮影部と、を備える検査装置であってもよい。
この構成によれば、検査装置は、外的振動によるワークの振動を抑制することができ、さらに、透明部材の下側および上側のうちの一方または両方からワークを照明しながら撮影することができる。
【００１４】
本発明の一態様は、検査方法であって、透明な部材とワークとの間に空間を形成するように前記ワークを支持し、支持された前記ワークを検査する検査方法。
この構成によれば、透明部材とワークとの間に空間を形成するように支持部により前記ワークを支持することで、外的振動によるワークの振動を抑制することができる。また、透明部材とワークとが接触せずに、透明部材とワークとの間に空間が形成されるため、透明部材に付着していた粉塵がワークに付着することを防ぐことができる。
【００１５】
以上のように、本発明によれば、透明部材とワークとの間に空間を形成するように支持部により前記ワークを支持することで、外的振動によるワークの振動を抑制することができる。また、透明部材とワークとが接触せずに、透明部材とワークとの間に空間が形成されるため、透明部材に付着していた粉塵がワークに付着することを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係る検査装置の構成の一例を示す概略図である。
【図２】本発明の実施形態に係る検査部の構成の一例を示す上面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る検査部の構成の一例を示すＰ−Ｐ矢視断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る支持部の構成の一例を示す図である。
【図５】本発明の実施形態に係る検査部の構成の他の一例を示す断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る支持部の構成の他の一例を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
（実施形態）
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳しく説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る検査装置１００の構成の一例を示す概略図である。
検査装置１００は、パーソナルコンピューター（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ：ＰＣ）２００を備え、当該パーソナルコンピューター２００によって制御される。検査装置１００は、他に、検査カメラ１０１と、アライメントカメラ１０２と、フォーカス補正用変位計１０３と、ＸステージＳＴＸと、ＹステージＳＴＹと、ＺステージＳＴＺと、検査部ＫＢを備える。検査部ＫＢは、支持部ＳＪと、透明部材ＴＢを含む。
【００１８】
検査カメラ１０１は、検査装置１００のＺ軸方向に移動するＺステージＳＴＺに配置される。ＺステージＳＴＺとアライメントカメラ１０２とフォーカス補正用変位計１０３とのそれぞれは、検査装置１００に対してＹ軸方向に移動するＹステージＳＴＹに配置される。ＹステージＳＴＹは、例えば検査装置１００の上部に配置される。
検査装置１００の下部には、検査装置１００のＸ軸方向に移動するＸステージＳＴＸが配置される。ＸステージＳＴＸには、検査部ＫＢが配置される。検査部ＫＢには、透明部材ＴＢ、支持部ＳＪなどが含まれる。検査部ＫＢには、検査対象であるワークＷが設置される。
【００１９】
ワークＷは、検査対象のことであり、例えば、ウェハーである。ウェハーには、例えば、インクジェットノズルプレートのように微小な穴があけられていることもある。ワークＷは、検査が開始されるときに、ロボットや人によって検査部ＫＢに設置され、検査が終了すると、ロボットや人によって検査部ＫＢから除去される。
【００２０】
検査カメラ１０１は、レンズの倍率がアライメントカメラ１０２よりも高いカメラである。検査カメラ１０１は、ＸステージＳＴＸに設置されたワークＷを検査対象として撮影する。
【００２１】
アライメントカメラ１０２は、レンズの倍率が検査カメラ１０１よりも低いカメラである。アライメントカメラ１０２は、ワークＷのＸステージＳＴＸにおける位置を確認するためのカメラである。アライメントカメラ１０２は、撮影した画像を表す画像信号をパーソナルコンピューター２００に出力する。
【００２２】
フォーカス補正用変位計１０３は、検査カメラ１０１に設定するフォーカス値を算出する。フォーカス補正用変位計１０３は、当該フォーカス値に基づくＺステージＳＴＺを移動させる移動量を算出する。フォーカス補正用変位計１０３は、算出した移動量をパーソナルコンピューター２００に出力する。
パーソナルコンピューター２００は、アライメントカメラ１０２から入力された画像信号に基づいてＸステージＳＴＸの位置およびＹステージＳＴＹの位置を調整する。また、パーソナルコンピューター２００は、フォーカス補正用変位計１０３から入力された移動量に基づいてＺステージＳＴＺを移動させることで、検査カメラ１０１のフォーカスを調整する。
【００２３】
次に、検査部ＫＢについて図２、図３を参照して説明する。
図２は、本発明の実施形態に係る検査部ＫＢの構成の一例を示す上面図である。また、図３は、本発明の実施形態に係る検査部ＫＢの構成の一例を示すＰ−Ｐ矢視断面図である。
検査部ＫＢは、ワークＷを支持する支持部ＳＪと、当該ワークＷの重力方向に対して下側に配置される透明部材ＴＢと、透明部材ＴＢの下側からワークＷを照明する照明部３００と、を含む。ここで、重力方向に対して下側とは、重力によって引かれる側、すなわち重力が働く向きに存在するワークＷの面側のことである。透明部材ＴＢは、例えば、ガラスパネル、アクリルパネルなどの透光性の高い透明部材である。照明部３００は、例えば、ワークＷの重力方向に対して下側、かつ透明部材ＴＢの下側からワークＷを照明し、検査カメラ１０１が当該ワークＷを撮影する。
透明部材ＴＢは、ＸステージＳＴＸに設置される。透明部材ＴＢは、ワークＷとの間に透明部材ＴＢとワークＷとの間の距離が所定の距離となる空間を形成するようにワークＷを支持する支持部ＳＪの下部に配置される。透明部材ＴＢとワークＷとの間の所定の距離は、任意であってよく、例えば２ｍｍである。
【００２４】
ＸステージＳＴＸの平面には、例えば円形の穴が開口部として設けられる。ＸステージＳＴＸの平面上には、開口部の周囲を覆うように、当該開口部よりも径が大きい中空の円形板の支持部ＳＪが設けられている。
支持部ＳＪの中空内の下端には、当該中空内の開口部を塞ぐように、透明部材ＴＢが配置されている。支持部ＳＪの中空内に配置された透明部材ＴＢの上の面と、支持部ＳＪの上の面との間には、所定の距離がある。つまり、支持部ＳＪの中空の高さは、透明部材ＴＢの高さ（厚さ）より大きい。
このような構成にすることで、ワークＷを支持部ＳＪに設置したときに、透明部材ＴＢとワークＷとの間に、所定の距離が存在し、当該距離があることによって空間が形成される。したがって、ワークＷに対する開口部からの気流を透明部材ＴＢによって遮断することができ、当該透明部材ＴＢがダンパーの役割を果たすことから、ワークＷに対する空気振動を抑制することができる。
【００２５】
次に、支持部について図４を参照して説明する。
図４は、本発明の実施形態に係る支持部の構成の一例を示す図である。
支持部ＳＪには、ＸステージＳＴＸに固定された固定支持部ＳＪ１ａ、ＳＪ１ｂと、可動する可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂとが含まれる。固定支持部ＳＪ１ａ、ＳＪ１ｂと、可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂとは、これらが合わさって、略切れ目がない状態でワークＷの外周の全体を支持する。ここで、略切れ目がない状態とは、完全に切れ目がない状態あるいは多少の隙間（例えば数ｍｍ〜数ｃｍ程度）がある状態であるが、ワークＷの重力方向に対して下側の面の外周の全体を閉じるような状態のことである。すなわち、ワークＷの外周について、可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂは、固定支持部ＳＪ１ａ、ＳＪ１ｂが支持する部分以外の部分を支持する。
【００２６】
例えば、可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂは、パーソナルコンピューター２００の制御により、上昇や下降する。可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂが下降すると、可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂは、固定支持部ＳＪ１ａ、ＳＪ１ｂと同じ高さとなり、固定支持部ＳＪ１ａ、ＳＪ１ｂと可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂとが略切れ目がない状態でワークＷの外周の全体を支持する。
このとき、支持部ＳＪにワークＷが載せられていると、可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂは、上昇時にはワークＷの外周を支持したまま上昇してワークＷを上方に移動させ、下降時にはワークＷの外周を支持したまま下降してワークＷを下方に移動させる。
【００２７】
なお、２つの可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂは、パーソナルコンピューター２００の制御により同時に上昇させてもよく、または、他の例として、一方の可動支持部ＳＪ２ａを他方の可動支持部ＳＪ２ｂよりも先に上昇させ、その後に当該他方の可動支持部ＳＪ２ｂを上昇させてもよい。
このように、可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂが可動することで、例えば、可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂが上昇した状態のときに、ロボットなどによって検査対象のワークＷを交換することができるため、検査対象のワークＷを容易に交換することができる。また、ワークＷが薄い場合には、可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂが上方に可動することで、ワークＷを交換するときに把持し易くなり、検査対象のワークＷを容易に交換することができる。
【００２８】
このように、本実施形態によれば、検査装置１００は、透明部材ＴＢと、透明部材ＴＢとワークＷとの間に空間を形成するようにワークＷを支持する支持部ＳＪと、透明部材ＴＢおよび支持部ＳＪが設置される設置部（ＸステージＳＴＸ）と、を備える。
【００２９】
これにより、検査装置１００は、透明部材ＴＢと、当該透明部材ＴＢとワークＷとの間に空間を形成するように当該ワークＷを支持する支持部ＳＪを備えることで、透明部材ＴＢがワークＷに直接、接触することがなく、透明部材ＴＢに付着した粉塵がワークＷに付着することを防ぐことができる。また、透明部材ＴＢが配置されているため、気流などの外的振動によるワークＷの振動を抑制することができる。
【００３０】
なお、上述の実施形態では、透明部材ＴＢをワークＷの重力方向に対して下側に設ける一例について説明したが、透明部材ＴＢをワークＷの重力方向に対して下側および上側の両方に設けてもよい。図５を参照して説明する。
図５は、本発明の実施形態に係る検査部ＫＢ１の構成の一例を示す断面図である。なお、この断面図は、図３に示した検査部ＫＢと同様な部位の断面図である。
検査部ＫＢ１は、ワークＷを支持する支持部ＳＪと、当該ワークＷの重力方向に対して下側に配置される透明部材ＴＢ１と、当該ワークＷの重力方向に対して上側に配置される透明部材ＴＢ２と、透明部材ＴＢ１の下側からワークＷを照明する照明部３００と、を含む。
【００３１】
ここで、重力方向に対して上側とは、重力によって引かれる向きとは反対の側、すなわち重力が働く向きと反対向きに存在するワークＷの面側のことである。透明部材ＴＢ１、ＴＢ２は、例えばガラスパネル、アクリルパネルなどの透光性の高い透明部材である。照明部３００は、例えば、ワークＷの重力方向に対して下側、かつ透明部材ＴＢ１の下側からワークＷを照明し、検査カメラ１０１が当該ワークＷを透明部材ＴＢ２の上部から撮影する。
【００３２】
図示する例の検査部ＫＢ１では、支持部ＳＪと、重力方向に対して下側に配置される透明部材ＴＢ１と、照明部３００と、ＸステージＳＴＸについては、図３に示される構成と同様な構成を有する。
また、透明部材ＴＢ２は、支持部ＳＪの上の面に配置される。透明部材ＴＢ２は、透明部材ＴＢ１やワークＷよりも径が大きい円形の面を有する。透明部材ＴＢ２の形状は、所定の高さの淵を形成するように、透明部材ＴＢ２の円形面の径の内部が凹んだ形状である。透明部材ＴＢ２は、淵部分が支持部ＳＪの上の面に接触するように設置される。このような構成にすることで、ワークＷを支持部ＳＪに設置したときに、透明部材ＴＢ２とワークＷとの間に、透明部材ＴＢ２の淵の高さによって所定の距離が存在し、当該距離があることによって空間が形成される。したがって、ワークＷの重力方向に対して上側からの気流を透明部材ＴＢ２によって遮断することができ、当該透明部材ＴＢ２がダンパーの役割を果たすことから、ワークＷに対する空気振動を抑制することができる。
【００３３】
なお、透明部材ＴＢ１および透明部材ＴＢ２のそれぞれとワークＷとの間の距離は、異なる距離であってもよいし、同じ距離であってもよい。
このように、透明部材ＴＢ１、ＴＢ２を、ワークＷの重力方向に対して下側および上側の両方に設けることで、ワークＷの重力方向に対して下側にのみ透明部材を設ける場合よりも空気振動によるワークＷの振動を抑制することができる。
なお、他の構成例として、ワークＷの重力方向に対して上側の透明部材ＴＢ２のみを設け、ワークＷの重力方向に対して下側の透明部材ＴＢ１を設けない構成が用いられてもよい。また、透明部材ＴＢ２が可動支持部とともに稼働する構成であってもよい。
【００３４】
また、上述の実施形態では、支持部の一部が可動する一例について説明したが、可動部は支持部の一部でなくてもよい。図６を参照して説明する。
図６は、本発明の実施形態に係る支持部ＳＪの構成の他の一例を示す上面図である。
ＸステージＳＴＸの平面には、例えば円形の穴が開口部として設けられる。ＸステージＳＴＸの平面上には、開口部の周囲を覆うように、当該開口部よりも径が大きい中空の円形板の支持部ＳＪが設けられている。
支持部ＳＪの中空内の下端には、当該中空内の開口部を塞ぐように、透明部材ＴＢが配置されている。支持部ＳＪの中空内に配置された透明部材ＴＢの上の面と、支持部ＳＪの上の面との間には、所定の距離がある。つまり、支持部ＳＪの中空の高さは、透明部材ＴＢの高さ（厚さ）よりも大きい。
このような構成にすることで、ワークＷを支持部ＳＪに設置したときに、透明部材ＴＢとワークＷとの間に、所定の距離が存在し、当該距離があることによって空間が形成される。したがって、ワークＷに対する開口部からの気流を透明部材ＴＢによって遮断することができ、当該透明部材ＴＢがダンパーの役割を果たすことから、ワークＷに対する空気振動を抑制することができる。
【００３５】
また、支持部ＳＪと開口部との間には、開口部の一部を囲うように、開口部の周囲の一部に可動部ＫＤ２ａ、ＫＤ２ｂが配置されて設けられている。可動部ＫＤ２ａ、ＫＤ２ｂの周囲には、開口部および可動部ＫＤ２ａ、ＫＤ２ｂを囲うように支持部ＳＪが配置される。支持部ＳＪは、例えばＸステージＳＴＸに固定される固定支持部である。支持部ＳＪは、ワークＷの外周の全体を略切れ目なく支持するように構成される。可動部ＫＤ２ａ、ＫＤ２ｂのそれぞれは、図４に示した可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂと同様に、パーソナルコンピューター２００の制御により、ワークＷを支持して上昇する。そして、パーソナルコンピューター２００の制御により、可動部ＫＤ２ａ、ＫＤ２ｂが下降すると、支持部ＳＪがワークＷの外周の全体を略切れ目なくワークＷを支持する。
【００３６】
なお、ワークＷを重力方向に対して下側の面または上側の面ではない側面から見たときの形状は、さまざまな形状であってもよく、例えば、平面状であってもよいし、凹状であってもよいし、凸状などであってもよい。また、ワークＷを重力方向に対して上側の面から見たときの形状は、さまざまな形状であってもよく、例えば、円形や楕円形であってもよいし、三角形、四角形などの多角形であってもよい。また、支持部ＳＪの配置形状は、さまざまな形状であってもよく、例えば、円形であってもよく、または、三角形や四角形などの多角形であってもよい。また、可動部ＫＤ２ａ、ＫＤ２ｂや可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂの形状は、さまざまな形状であってもよく、三角形や四角形などの多角形の形状であってもよく、または、円形、楕円形、扇形などの形状であってもよい。また、可動部ＫＤ２ａ、ＫＤ２ｂや可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂの配置位置は、検査時に支持部が略切れ目なくワークＷの外周の全体を支持可能であれば任意のところに備えられてもよい。また、可動部ＫＤ２ａ、ＫＤ２ｂや可動支持部ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂの数は、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。
【００３７】
なお、他の構成例として、検査カメラ１０１、アライメントカメラ１０２がワークＷの重力方向に対して下側に配置され、照明部３００がワークＷの重力方向に対して上側に配置されてもよい。
なお、他の構成例として、検査装置１００は、支持部として固定支持部のみを設け、可動部や可動支持部などの可動機構を備えなくてもよい。
【００３８】
なお、上述した実施形態における検査装置１００の一部、または全部をコンピューターで実現するようにしてもよい。その場合、この制御機能を実現するためのプログラムをコンピューター読み取り可能な記憶媒体に記憶して、この記憶媒体に記憶されたプログラムをコンピューターシステムに読み込ませ、実行することによって実現してもよい。
【００３９】
なお、ここでいう「コンピューターシステム」とは、検査装置１００に内蔵されたコンピューターシステムであって、ＯＳや周辺機器などのハードウェアを含むものとする。また、「コンピューター読み取り可能な記憶媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭなどの可搬媒体、コンピューターシステムに内蔵されるハードディスクなどの記憶装置のことをいう。さらに「コンピューター読み取り可能な記憶媒体」とは、インターネットなどのネットワークや電話回線などの通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバーやクライアントとなるコンピューターシステム内部の揮発性メモリーのように、一定時間プログラムを保持しているものも含んでもよい。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよく、さらに前述した機能をコンピューターシステムにすでに記憶されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。
【００４０】
また、上述した実施形態における検査装置１００の一部、または全部を、ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）などの集積回路として実現してもよい。検査装置１００の各機能ブロックは個別にプロセッサー化してもよいし、一部、または全部を集積してプロセッサー化してもよい。また、集積回路化の手法はＬＳＩに限らず専用回路、または汎用プロセッサーで実現してもよい。また、半導体技術の進歩によりＬＳＩに代替する集積回路化の技術が出現した場合、当該技術による集積回路を用いてもよい。
【００４１】
以上、図面を参照してこの発明の一実施形態について詳しく説明してきたが、具体的な構成は上述のものに限られることはなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内において様々な設計変更などをすることが可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１００・・・検査装置、１０１・・・検査カメラ（撮影部）、１０２・・・アライメントカメラ、１０３・・・フォーカス補正用変位計、ＳＴＸ・・・Ｘステージ（設置部）、ＳＴＹ・・・Ｙステージ、ＳＴＺ・・・Ｚステージ、Ｗ・・・ワーク、ＫＢ、ＫＢ１・・・検査部、ＳＪ・・・支持部、ＴＢ、ＴＢ１、ＴＢ２・・・透明部材、２００・・・パーソナルコンピューター、３００・・・照明部、ＳＪ１ａ、ＳＪ１ｂ・・・固定支持部、ＳＪ２ａ、ＳＪ２ｂ・・・可動支持部、ＫＤ２ａ、ＫＤ２ｂ・・・可動部
【図１】
2015132497.tif 000003
【図２】
2015132497.tif 000004
【図３】
2015132497.tif 000005
【図４】
2015132497.tif 000006
【図５】
2015132497.tif 000007
【図６】
2015132497.tif 000008