(57)【要約】      （修正有）【課題】異なる光導波路素子に対して共通の接続基板を使用することを可能にし、かつ、信号電極の曲部における電気信号の伝搬特性の劣化を抑制した光導波路素子モジュールを提供する。【解決手段】基板に形成された光導波路と、光波を制御するための制御電極とを有する光導波路素子と、制御電極と電気的に接続された配線を有する接続基板とを筐体内に収容する光導波路素子モジュールにおいて、入力又は出力端部における接地電極ＧＤの間隔Ｗ１が、接続基板の光導波路素子側の接地線路ＧＤ１（ＧＤ２）の間隔Ｗ２よりも大きく、入力又は出力端部から離れた部分に、接地電極ＧＤの間隔が間隔Ｗ２よりも小さい間隔Ｗ３となる部分を有し、信号電極ＳＬは、入力又は出力端部から制御電極が光導波路に電界を印加する作用部までの間に、曲部を有し、信号電極の曲部における接地電極の局所的な電位差の発生を抑制する抑制手段（ＷＲ２０〜ＷＲ３２）を設けた。【選択図】図３
2015197448.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光導波路素子と、該光導波路素子の外部に設けられ、該制御電極と電気的に接続された配線を有する接続基板と、該光導波路素子と該接続基板とを筐体内に収容する光導波路素子モジュールにおいて、
該制御電極は、信号電極と該信号電極を挟むように配置された接地電極とから構成され、
該接続基板は、信号線路と該信号線路を挟むように配置された接地線路とが設けられ、
該信号電極と該信号線路との間、及び該接地電極と該接地線路との間は、各々、配線を用いて接続されており、
該制御電極は、該制御電極の入力端部又は出力端部における該接地電極の間隔Ｗ１が、該接続基板の該光導波路素子側の該接地線路の間隔Ｗ２よりも大きく、該入力端部又は該出力端部から離れた部分に、該接地電極の間隔が該間隔Ｗ２よりも小さい間隔Ｗ３となる部分を有し、
さらに、該制御電極の該信号電極は、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間に、曲部を有し、
該信号電極の曲部における該信号電極を挟む該接地電極の局所的な電位差の発生を抑制するための抑制手段を設けたことを特徴とする光導波路素子モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該抑制手段は、該信号電極の該曲部を挟む該接地電極間を接続する複数の配線であり、該接地電極間を接続する各配線は、該信号電極の該曲部の法線方向に合せて配置することであることを特徴とする光導波路素子モジュール。
【請求項３】
請求項１に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該抑制手段は、該接地電極と該接地線路との間を接続する配線であって、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間で該信号電極に沿った該接地電極の長さが長い方の側の接地電極に接続される配線が、当該接地電極の長さが短い側の接地電極に接続される配線より、長さを長く設定することであることを特徴とする光導波路素子モジュール。
【請求項４】
請求項１に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該抑制手段は、該接地電極と該接地線路との間を接続する配線であって、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間で該信号電極に沿った該接地電極の長さが長い方の側の接地電極に接続される配線が、当該接地電極の長さが短い側の接地電極に接続される配線より、該信号電極に近づくように配置することであることを特徴とする光導波路素子モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路素子モジュールに関し、特に、光導波路素子と接続基板とを筐体内に収容した光導波路素子モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
光計測技術分野や光通信技術分野において、光変調器や光スイッチなどの電気光学効果を有する基板に光導波路を形成した光導波路素子が多用されている。これらの光導波路素子は、通常、密閉される筐体（ケース）内に収容されて、光導波路素子モジュールを構成している。
【０００３】
特許文献１に示すように、光導波路素子モジュールの筐体内には、外部からの入力線を光導波路素子の制御電極に電気的に接続するための中継基板（接続基板）や、光導波路素子の制御電極の出力側に電気的に接続され、出力信号を吸収又はモジュール外に導出するために終端基板（接続基板）が収容されている。
【０００４】
通常は、接続部での不連続性を減らし周波数特性を向上するために、図１に示すように、光導波路素子１を構成する変調用基板と中継基板（ＣＰ１）の電極寸法や接地電極（ＧＮＤ）の間隔が等しくなるように設計されている。また、終端基板（ＣＰ２）と変調用基板との接続でも同じことが言える。このように変調用基板と接続基板との電極の寸法や間隔を合わせると、光導波路素子の種類だけ接続基板を用意する必要があり、製造コストの増加の原因となる。
【０００５】
図１には、光導波路素子１として、基板上に不図示の光導波路が形成され、該光導波路を伝搬する光波を制御するため、信号電極ＳＬと接地電極ＧＤから構成される制御電極が設けられている。光導波路素子１に、光ファイバ（ＦＢ１，ＦＢ２）が接続され、光導波路素子１に入力光を導入し、さらに出力光を導出している。
【０００６】
コネクタＣＮ１により変調信号ＩＳが入力され、コネクタＣＮ２により変調信号ＯＳを導出している。中継基板（接続基板）ＣＰ１には、信号線路ＳＬ１と接地線路ＧＤ１が形成され、終端基板（接続基板）ＣＰ２にも、信号線路ＳＬ２と接地線路ＧＤ２が設けられている。
【０００７】
コネクタと、接続基板上の信号線路や接地線路とは、金リボンや金線等の配線ＲＢを用いて、あるいは直接接続により、電気的に接続されている。接続基板の信号線路と光導波路素子の信号電極との間や、接続基板の接地線路と光導波路素子の接地電極とは、金線等の配線ＷＲで電気的に接続されている。
【０００８】
光導波路素子１や接続基板（ＣＰ１，ＣＰ２）は、金属製の筐体２内に収容されている。光ファイバ（ＦＢ１，ＦＢ２）やコネクタ（ＣＮ１，ＣＮ２）は筐体を貫通するように配置されている。
【０００９】
光導波路素子の高周波化（広帯域化）が進み、図２に示す接続基板にアルミナなど光導波路素子を構成する基板（変調用基板）と比較して低誘電率な材料が用いられるようになっている。また、基板モードなどによる周波数特性劣化を防ぐため、接続基板などの接続部の寸法も小さくなっている。このため、従来のように、接地電極の間隔と接地線路の間隔とを等しく構成すると、光導波路素子の信号電極幅が小さくなり、ＬｉＮｂＯ３のような電気光学効果を有する基板又は半導体基板と、接続基板との信号線路の幅とが異なるため、接続部の不連続性が発生し電気特性が劣化する原因となっている。また、接続基板の入力側と出力側との間で、信号線路の幅や接地線路の間隔を急激に変化させると、インピーダンス不整合が発生し易くなり、電気的特性の劣化が一層顕著なものとなる。
【００１０】
さらに、図２に示すように、筐体の外部の信号線と接続基板及び光導波路素子のインピーダンスを整合させるため、光導波路素子の信号電極ＳＬの幅Ｓ１と接続基板の信号線路ＳＬ１（ＳＬ２）の幅Ｓ２とを異ならせ、かつ、光導波路素子の接地電極ＧＤの間隔Ｗ１と接続基板の接地線路ＧＤ１（ＧＤ２）の間隔Ｗ２とを異ならせた場合には、接続基板と光導波路素子とでは信号部分と接地部分との電界強度が異なるなど、電気的接続における不連続性が発生し、電気特性の劣化を生じる。
【００１１】
特許文献２では、このような不具合を解消するため、光導波路素子の接地電極と接続基板の接地線路とを電気的に接続する配線について、その配置に工夫を施すことを提案している。
【００１２】
他方、光導波路素子に設けられた制御電極は、信号電極の取り回しの関係から多くの曲部を有している。図２に示すように、接続基板の信号線路ＧＤ１と信号線路ＳＬ１の最終端である点Ｘ１（Ｙ１）から、光導波路素子の制御電極が光導波路に電界を印加する作用部の開始点Ｘ２（Ｙ２）までの、信号電極ＳＬに沿った長さは、点線Ｘ（Ｙ）となる。図２からも分かるように、点線Ｘと点線Ｙとの長さが異なる。特に、曲部においては、信号電極を挟む各接地電極では、点Ｘ１から点線Ｘに沿った距離と、点Ｙ１から点線Ｙに沿った距離とが異なるため、マイクロ波の伝搬時間が異なり、当該接地電極間で局所的な電位差が発生する。このため、マイクロ波などの電気信号の伝搬特性が劣化する原因となる。
【００１３】
しかも、異なる光導波路素子に対して共通の接続基板を使用する場合などのように、光導波路素子の信号電極を挟む接地電極の間隔Ｗ１と接続基板の信号線路を挟む接地線路の間隔Ｗ２とが異なる場合には、上述した信号電極の曲部の影響も含め、作用部までに至る信号電極に沿った接地電極の長さがより異なり易くなる。このため、電気信号の伝搬特性の劣化が一層顕著になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００３−２３３０４３号公報
【特許文献２】特開２０１１−２０９４５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明が解決しようとする課題は、上述したような問題を解決し、異なる光導波路素子に対して共通の接続基板を使用することを可能にし、かつ、信号電極の曲部における電気信号の伝搬特性の劣化を抑制した光導波路素子モジュールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するため、本発明の光導波路素子モジュールは以下のような技術的特徴を有する。
（１）  電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光導波路素子と、該光導波路素子の外部に設けられ、該制御電極と電気的に接続された配線を有する接続基板と、該光導波路素子と該接続基板とを筐体内に収容する光導波路素子モジュールにおいて、該制御電極は、信号電極と該信号電極を挟むように配置された接地電極とから構成され、該接続基板は、信号線路と該信号線路を挟むように配置された接地線路とが設けられ、該信号電極と該信号線路との間、及び該接地電極と該接地線路との間は、各々、配線を用いて接続されており、該制御電極は、該制御電極の入力端部又は出力端部における該接地電極の間隔Ｗ１が、該接続基板の該光導波路素子側の該接地線路の間隔Ｗ２よりも大きく、該入力端部又は該出力端部から離れた部分に、該接地電極の間隔が該間隔Ｗ２よりも小さい間隔Ｗ３となる部分を有し、さらに、該制御電極の該信号電極は、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間に、曲部を有し、該信号電極の曲部における該信号電極を挟む該接地電極の局所的な電位差の発生を抑制するための抑制手段を設けたことを特徴とする。
【００１７】
（２）  上記（１）に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該抑制手段は、該信号電極の該曲部を挟む該接地電極間を接続する複数の配線であり、該接地電極間を接続する各配線は、該信号電極の該曲部の法線方向に合せて配置することであることを特徴とする。
【００１８】
（３）  上記（１）に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該抑制手段は、該接地電極と該接地線路との間を接続する配線であって、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間で該信号電極に沿った該接地電極の長さが長い方の側の接地電極に接続される配線が、当該接地電極の長さが短い側の接地電極に接続される配線より、長さを長く設定することであることを特徴とする。
【００１９】
（４）  上記（１）に記載の光導波路素子モジュールにおいて、該抑制手段は、該接地電極と該接地線路との間を接続する配線であって、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間で該信号電極に沿った該接地電極の長さが長い方の側の接地電極に接続される配線が、当該接地電極の長さが短い側の接地電極に接続される配線より、該信号電極に近づくように配置することであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明により、電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光導波路素子と、該光導波路素子の外部に設けられ、該制御電極と電気的に接続された配線を有する接続基板と、該光導波路素子と該接続基板とを筐体内に収容する光導波路素子モジュールにおいて、該制御電極は、信号電極と該信号電極を挟むように配置された接地電極とから構成され、該接続基板は、信号線路と該信号線路を挟むように配置された接地線路とが設けられ、該信号電極と該信号線路との間、及び該接地電極と該接地線路との間は、各々、配線を用いて接続されており、該制御電極は、該制御電極の入力端部又は出力端部における該接地電極の間隔Ｗ１が、該接続基板の該光導波路素子側の該接地線路の間隔Ｗ２よりも大きく、該入力端部又は該出力端部から離れた部分に、該接地電極の間隔が該間隔Ｗ２よりも小さい間隔Ｗ３となる部分を有し、さらに、該制御電極の該信号電極は、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間に、曲部を有し、該信号電極の曲部における該信号電極を挟む該接地電極の局所的な電位差の発生を抑制するための抑制手段を設けたため、該曲部における電気信号の伝搬特性の劣化を抑制でき、さらには、異なる光導波路素子に対し共通の接続基板を使用した場合でも、該曲部における電気信号の伝搬特性の劣化を抑制できる。その結果、広帯域に亘り良好な光変調を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】従来の光導波路素子モジュールを説明する図である。
【図２】光導波路素子の信号電極を挟む接地電極の間隔と接続基板の信号線路を挟む接地線路の間隔とが異なる場合の光導波路素子と接続基板との接続状態を説明する図であり、さらに、信号電極の曲部における接地電極間で局所的な電位差が発生する原因を説明する図である。
【図３】本発明の光導波路素子モジュールに利用される光導波路素子と接続基板との配線状況を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の光導波路素子モジュールについて、好適例を用いて詳細に説明する。
図２に示すように、本発明の光導波路素子モジュールは、電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光導波路素子と、該光導波路素子の外部に設けられ、該制御電極と電気的に接続された配線を有する接続基板と、該光導波路素子と該接続基板とを筐体内に収容する光導波路素子モジュールにおいて、該制御電極は、信号電極ＳＬと該信号電極を挟むように配置された接地電極ＧＤとから構成され、該接続基板は、信号線路ＳＬ１（ＳＬ２）と該信号線路を挟むように配置された接地線路ＧＤ１（ＧＤ２）とが設けられ、該信号電極と該信号線路との間、及び該接地電極と該接地線路との間は、各々、配線（ＷＲ１，ＷＲ２，ＷＲ２０〜２１)を用いて接続されており、該制御電極は、該制御電極の入力端部又は出力端部における該接地電極ＧＤの間隔Ｗ１が、該接続基板の該光導波路素子側の該接地線路ＧＤ１（ＧＤ２）の間隔Ｗ２よりも大きく、該入力端部又は該出力端部から離れた部分に、該接地電極ＧＤの間隔が該間隔Ｗ２よりも小さい間隔Ｗ３となる部分を有し、さらに、該制御電極の該信号電極ＳＬは、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間に、曲部を有し、該信号電極の曲部における該信号電極を挟む該接地電極の局所的な電位差の発生を抑制するための抑制手段を設けたことを特徴とする。
【００２３】
電気光学効果を有する基板としては、特に、ＬｉＮｂＯ３，ＬｉＴａＯ５又はＰＬＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛ランタン）のいずれかの単結晶が好適に利用可能である。特に、光変調器で多用されているＬｉＮｂＯ３，ＬｉＴａＯ５が、好ましい。また、基板に形成する光導波路は、例えば、ＬｉＮｂＯ３基板（ＬＮ基板）上にチタン（Ｔｉ）などの高屈折率物質を熱拡散することにより形成される。また、光導波路の側面に溝を形成したり、光導波路部分の厚みを他の基板部分より厚く形成して、リッジ型導波路とすることも可能である。
【００２４】
制御電極は、信号電極や接地電極から構成され、基板表面に、Ｔｉ・Ａｕの電極パターンを形成し、金メッキ方法などにより形成することが可能である。さらに、必要に応じて光導波路形成後の基板表面に誘電体ＳｉＯ２等のバッファ層を設けることも可能である。
【００２５】
本発明における「接続基板」とは、外部から電気信号が入力される入力端子と光導波路素子の信号入力部とを接続する中継基板や、光導波路素子の信号電極の出力端部に接続される、電気信号の反射を抑制するため、電気信号を抵抗器等で吸収する終端器、あるいは、光導波路素子の信号電極の出力端部と出力用端子とを接続する終端基板などを意味する。接続基板の基板材料は、光導波路素子の基板材料よりも誘電率が低い材料、例えば、アルミナや半導体材料が使用される。これは、光導波路素子の広帯域化に寄与するためである。
【００２６】
光導波路素子と接続基板とを繋ぐ配線は、金線や幅広の金リボンが利用可能であり、特に、金線をワイヤーボンディングする方法が、両者の配線方法としては好ましい。また、配線は、１本に限らず、同じ場所の近傍を複数本の金線で接続することも可能である。
【００２７】
本発明の光導波路素子モジュールは、図２に示すように、制御電極の信号電極ＳＬは、入力端部又は出力端部から制御電極が光導波路に電界を印加する作用部までの間に、曲部を有し、該信号電極の曲部における該信号電極ＳＬを挟む接地電極ＧＤの局所的な電位差の発生を抑制するための抑制手段を設けたことを特徴とする。
【００２８】
特に、接地電極ＧＤの間隔Ｗ１が、接地線路ＧＤ１（ＧＤ２）の間隔Ｗ２よりも大きく、入力端部又は出力端部から離れた部分に、接地電極ＧＤの間隔が該間隔Ｗ２よりも小さい間隔Ｗ３となる部分を有する場合のように、接地線路の間隔と接地電極の間隔とが連続的に滑らかに変化していない場合には、信号電極の曲部における接地電極の局所的な電位差の発生を抑制することが、一層難しくなる。
【００２９】
信号電極の曲部における接地電極の局所的な電位差の発生を抑制する抑制手段としては、図２に示すように、信号電極ＳＬの曲部を挟む接地電極ＧＤ間を接続する複数の配線（ＷＲ３０〜３２）であり、接地電極間を接続する各配線（ＷＲ３０〜３２）は、信号電極の曲部の法線方向に合せて配置することである。
【００３０】
配線ＷＲ３０〜３２により、信号電極の曲部において、信号電極ＳＬを伝搬するマイクロ波信号に対しては、該信号電極を挟む接地電極が常に同じ電位になるように配線されているので、マイクロ波の伝搬特性が劣化するのを抑制することができる。
【００３１】
他の抑制手段としては、接地電極ＧＤと接地線路（ＧＤ１，ＧＤ２）との間を接続する配線であって、入力端部又は出力端部から制御電極が光導波路に電界を印加する作用部までの間で該信号電極に沿った該接地電極の長さが長い方の側の接地電極（図２の左側の接地電極）に接続される配線ＷＲ２０が、当該接地電極の長さが短い側の接地電極に接続される配線ＷＲ２より、長さを長く設定することである。
【００３２】
これにより、信号電極に沿った接地電極の長さが信号電極の両側で異なる場合であっても、マイクロ波信号が信号電極の曲部に入った際の接地電極間の電位差の発生を抑制することが可能となる。
【００３３】
さらに、その他の抑制手段としては、接地電極ＧＤと該接地線路（ＧＤ１，ＧＤ２）との間を接続する配線であって、入力端部又は出力端部から制御電極が光導波路に電界を印加する作用部までの間で該信号電極に沿った該接地電極の長さが長い方の側の接地電極に接続される配線ＷＲ２１が、当該接地電極の長さが短い側の接地電極に接続される配線ＷＲ２より、該信号電極ＳＬに近づくように配置することである。
【００３４】
このような構成によっても、信号電極に沿った接地電極の長さが信号電極の両側で異なる場合であっても、マイクロ波信号が信号電極の曲部に入った際の接地電極間の電位差の発生を抑制することが可能となる。当然、上述した抑制手段を適宜組み合わせて利用できることは言うまでも無い。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
以上説明したように、本発明によれば、異なる光導波路素子に対して共通の接続基板を使用することを可能にし、かつ、信号電極の曲部における電気信号の伝搬特性の劣化を抑制した光導波路素子モジュールを提供することが可能となる。
【符号の説明】
【００３６】
１  光導波路素子
２  筐体
ＣＮ１，ＣＮ２  コネクタ
ＣＰ１，ＣＰ２  接続基板
ＧＤ  接地電極
ＧＤ１，ＧＤ２  接地線路
ＳＬ  信号電極
ＳＬ１，ＳＬ２  信号線路
ＷＲ，ＷＲ１〜３２  配線
【図１】
2015197448.tif 000003
【図２】
2015197448.tif 000004
【図３】
2015197448.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成27年5月18日(2015.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光導波路素子と、該光導波路素子の外部に設けられ、該制御電極と電気的に接続された配線を有する接続基板と、該光導波路素子と該接続基板とを筐体内に収容する光導波路素子モジュールにおいて、
該制御電極は、信号電極と該信号電極を挟むように配置された接地電極とから構成され、
該接続基板は、信号線路と該信号線路を挟むように配置された接地線路とが設けられ、
該信号電極と該信号線路との間、及び該接地電極と該接地線路との間は、各々、配線を用いて接続されており、
該制御電極は、該制御電極の入力端部又は出力端部における該接地電極の間隔Ｗ１が、該接続基板の該光導波路素子側の該接地線路の間隔Ｗ２よりも大きく、該入力端部又は該出力端部から離れた部分に、該接地電極の間隔が該間隔Ｗ２よりも小さい間隔Ｗ３となる部分を有し、
さらに、該制御電極の該信号電極は、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間に、曲部を有し、
該信号電極の曲部における該信号電極を挟む該接地電極の局所的な電位差の発生を抑制するための抑制手段を設け、かつ該抑制手段は、該接地電極と該接地線路との間を接続する配線であって、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間で該信号電極に沿った該接地電極の長さが長い方の側の接地電極に接続される配線が、当該接地電極の長さが短い側の接地電極に接続される配線より、長さを長く設定することであることを特徴とする光導波路素子モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の光導波路素子モジュールにおいて、前記接地電極の長さが長い方の側の接地電極に接続される配線の接続位置は、前記接地電極の間隔Ｗ１より狭い幅の範囲内に配置されることを特徴とする光導波路素子モジュール。
【請求項３】
電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光導波路素子と、該光導波路素子の外部に設けられ、該制御電極と電気的に接続された配線を有する接続基板と、該光導波路素子と該接続基板とを筐体内に収容する光導波路素子モジュールにおいて、
該制御電極は、信号電極と該信号電極を挟むように配置された接地電極とから構成され、
該接続基板は、信号線路と該信号線路を挟むように配置された接地線路とが設けられ、
該信号電極と該信号線路との間、及び該接地電極と該接地線路との間は、各々、配線を用いて接続されており、
該制御電極は、該制御電極の入力端部又は出力端部における該接地電極の間隔Ｗ１が、該接続基板の該光導波路素子側の該接地線路の間隔Ｗ２よりも大きく、該入力端部又は該出力端部から離れた部分に、該接地電極の間隔が該間隔Ｗ２よりも小さい間隔Ｗ３となる部分を有し、
さらに、該制御電極の該信号電極は、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間に、曲部を有し、
該信号電極の曲部における該信号電極を挟む該接地電極の局所的な電位差の発生を抑制するための抑制手段を設け、かつ該抑制手段は、該接地電極と該接地線路との間を接続する配線であって、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間で該信号電極に沿った該接地電極の長さが長い方の側の接地電極に接続される配線が、当該接地電極の長さが短い側の接地電極に接続される配線より、該信号電極に近づくように配置することであることを特徴とする光導波路素子モジュール。
【請求項４】
請求項３に記載の光導波路素子モジュールにおいて、前記接地電極の長さが長い方の側の接地電極に接続される配線の接続位置は、前記接地電極の間隔Ｗ１より狭い幅の範囲内に配置されることを特徴とする光導波路素子モジュール。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上記課題を解決するため、本発明の光導波路素子モジュールは以下のような技術的特徴を有する。
（１）  電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光導波路素子と、該光導波路素子の外部に設けられ、該制御電極と電気的に接続された配線を有する接続基板と、該光導波路素子と該接続基板とを筐体内に収容する光導波路素子モジュールにおいて、該制御電極は、信号電極と該信号電極を挟むように配置された接地電極とから構成され、該接続基板は、信号線路と該信号線路を挟むように配置された接地線路とが設けられ、該信号電極と該信号線路との間、及び該接地電極と該接地線路との間は、各々、配線を用いて接続されており、該制御電極は、該制御電極の入力端部又は出力端部における該接地電極の間隔Ｗ１が、該接続基板の該光導波路素子側の該接地線路の間隔Ｗ２よりも大きく、該入力端部又は該出力端部から離れた部分に、該接地電極の間隔が該間隔Ｗ２よりも小さい間隔Ｗ３となる部分を有し、さらに、該制御電極の該信号電極は、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間に、曲部を有し、該信号電極の曲部における該信号電極を挟む該接地電極の局所的な電位差の発生を抑制するための抑制手段を設け、かつ該抑制手段は、該接地電極と該接地線路との間を接続する配線であって、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間で該信号電極に沿った該接地電極の長さが長い方の側の接地電極に接続される配線が、当該接地電極の長さが短い側の接地電極に接続される配線より、長さを長く設定することであることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
（２）  上記（１）に記載の光導波路素子モジュールにおいて、前記接地電極の長さが長い方の側の接地電極に接続される配線の接続位置は、前記接地電極の間隔Ｗ１より狭い幅の範囲内に配置されることを特徴とする。
なお、本発明における「接地電極の間隔Ｗ１より狭い幅の範囲内に配置される」という意味は、図３の両矢印Ｗ１で示される「接地電極の間隔Ｗ１」の幅に対して、当該幅より狭い範囲に、配線（ＷＲ２０，ＷＲ２１）の接続位置が配置されることを意味している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
（３）  電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光導波路素子と、該光導波路素子の外部に設けられ、該制御電極と電気的に接続された配線を有する接続基板と、該光導波路素子と該接続基板とを筐体内に収容する光導波路素子モジュールにおいて、該制御電極は、信号電極と該信号電極を挟むように配置された接地電極とから構成され、該接続基板は、信号線路と該信号線路を挟むように配置された接地線路とが設けられ、該信号電極と該信号線路との間、及び該接地電極と該接地線路との間は、各々、配線を用いて接続されており、該制御電極は、該制御電極の入力端部又は出力端部における該接地電極の間隔Ｗ１が、該接続基板の該光導波路素子側の該接地線路の間隔Ｗ２よりも大きく、該入力端部又は該出力端部から離れた部分に、該接地電極の間隔が該間隔Ｗ２よりも小さい間隔Ｗ３となる部分を有し、さらに、該制御電極の該信号電極は、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間に、曲部を有し、該信号電極の曲部における該信号電極を挟む該接地電極の局所的な電位差の発生を抑制するための抑制手段を設け、かつ該抑制手段は、該接地電極と該接地線路との間を接続する配線であって、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間で該信号電極に沿った該接地電極の長さが長い方の側の接地電極に接続される配線が、当該接地電極の長さが短い側の接地電極に接続される配線より、該信号電極に近づくように配置することであることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
（４）  上記（３）に記載の光導波路素子モジュールにおいて、前記接地電極の長さが長い方の側の接地電極に接続される配線の接続位置は、前記接地電極の間隔Ｗ１より狭い幅の範囲内に配置されることを特徴とする。