(57)【要約】【課題】発光素子のサイズが小さくなっても点灯試験における良好に位置不動を維持できる点灯試験装置を提供する。【解決手段】点灯試験装置１は、発光素子Ｗを保持する保持部２１を点灯試験ポジションに移動させる。点灯試験ポジションでは、保持部２１の貫通孔に保持部２１の下方からプローブピンを差し込み、保持部２１上の発光素子Ｗにプローブピンを接触させる。点灯試験ポジションでは、更に、クランプ部で保持部２１上の発光素子Ｗを側面から挟み込み、プローブピンの接触荷重に抗するための静止摩擦力を発光素子Ｗに与える。そして、保持部２１の上方に位置する受光装置で発光素子Ｗの発光を受光する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子の光学特性を試験する点灯試験装置であって、
発光素子を載置する測定ベースと、
前記測定ベース側に設けられるプローブと、
前記測定ベースの上方に位置する受光手段と、
前記測定ベース上の発光素子を側面から挟み込んで、発光素子と前記プローブの接触荷重に抗するための静止摩擦力を前記発光素子に与えるクランプ手段と、
を備えること、
を特徴とする点灯試験装置。
【請求項２】
前記プローブは、前記測定ベースの下方から前記測定ベースに向けて延び、
前記測定ベースは、貫通孔を有し、
前記プローブを前記貫通孔に差し込んで前記測定ベース上の発光素子に接触させるプローブ駆動手段を備えること、
を特徴とする請求項１記載の点灯試験装置。
【請求項３】
前記測定ベースに埋設されて前記測定ベースに開口を有し、前記測定ベースに載置された発光素子を吸着する吸着ノズルを更に備え、
前記吸着ノズルは、前記接触荷重に対抗する前記静止摩擦力を吸引力により補助すること、
を特徴とする請求項１又は２記載の点灯試験装置。
【請求項４】
前記クランプ手段は、前記接触荷重から前記吸引力を差し引いた前記静止摩擦力を発光素子に与えるように当該発光素子を挟み込むこと、
を特徴とする請求項３記載の点灯試験装置。
【請求項５】
前記測定ベースは、
前記点灯試験の際、前記点灯試験のポジションの下方から当該ポジションに向けて移動して、発光素子を当該ポジションに位置させ、
前記プローブ駆動手段は、前記プローブを前記測定ベースに貫通させる移動期間を前記測定ベースの移動期間と少なくとも一部重複させること、
を特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の点灯試験装置。
【請求項６】
一方の供給ユニットから発光素子を取り出して他方の収容ユニットに移載するとともに、前記点灯試験のポジションを経路上に配する搬送経路を更に備え、
前記搬送経路は、
発光素子の１面を保持し、他面と非接触の保持手段と、
前記搬送経路に沿って前記保持手段を移動させるとともに、前記点灯試験のポジションで前記保持手段を停止させる搬送手段と、
を備え、
前記保持手段は、前記プローブが貫通する前記貫通孔を有し、前記点灯試験のポジションで前記測定ベースとして発光素子の保持を維持すること、
を特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の点灯試験装置。
【請求項７】
前記吸着ノズルは、前記保持手段に埋設されて前記１面に開口し、
前記保持手段は、前記搬送経路上の移動中に前記吸着ノズルにより発光素子を吸引することで保持すること、
を特徴とする請求項６記載の点灯試験装置。
【請求項８】
前記搬送手段は、
発光素子を載置する前記１面が常に外方を向くように前記保持手段を回転軸周りに複数配置し、前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転する単数又は複数のロータリーテーブルであること、
を特徴とする請求項６又は７記載の点灯試験装置。
【請求項９】
前記点灯試験のポジションは、前記間欠回転に伴う前記保持手段の停止位置の１つに対して、前記ロータリーテーブルの半径方向外方に位置し、
前記受光手段は、前記点灯試験のポジションよりも更に半径方向外方に位置し、
発光素子を前記点灯試験のポジションに位置させるように前記保持手段を進出させる進退駆動手段を備え、
前記プローブ駆動手段は、前記保持手段よりも前記ロータリーテーブルの回転中心側に位置し、
前記プローブは、前記点灯試験のポジションに向けた軸線を有すること、
を特徴とする請求項８記載の点灯試験装置。
【請求項１０】
前記搬送経路は、複数の前記ロータリーテーブルを、互いに重ならないように、前記回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置してなり、
前記発光素子の発光面をテーブル半径方向外方に向けて搬送する前記ロータリーテーブルの一つに前記点灯試験のポジションが設定されること、
を特徴とする請求項８又は９記載の点灯試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＥＤ等の発光素子を点灯試験する点灯試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器に組み込まれる電子部品は、その製造工程中、搬送経路上の各種の試験工程を巡る。この電子部品の搬送及び試験を担っているのが試験装置である。試験装置は、電子部品を保持する吸着ノズルを搬送経路に沿って間欠移動させる。試験工程は、吸着ノズルの各停止位置に設定されている。例えば、吸着ノズルのある停止位置には電子部品の外観を検査するカメラが設置される。また例えば、吸着ノズルの他の一つの停止位置には電子部品の電気特性を検査するために電子部品の電極と接触するプローブが配置される。
【０００３】
電気特性の正確な解析結果を得るには、プローブと電極面とを確実に位置合わせして試験の最中は不動とし、プローブと電極面とが確実に接触するようにプローブに対して電子部品を一定荷重で押し付ける必要がある。試験装置は、吸着ノズルの先端で電子部品を保持させることで、電子部品を搬送経路に沿って移動させ、プローブの設置位置で吸着ノズルをプローブに向けて降下させ、吸着ノズルで電子部品をプローブに押し付けている。
【０００４】
この試験装置は、電子部品として発光素子を扱う場合もある。発光素子は、薄板状の外形を有し、対向する２平面が電極面と発光面とに分かれてなる。発光素子は製造工程中に電気特性の検査に代えて、又は電気特性の検査に加えて点灯試験を経る。点灯試験を行う試験装置は、電極面にピン状のプローブを接触させて発光素子に電力を供給し、発光面の発光を受光素子で検出し、受光結果から発光素子の光学特性を解析し、解析結果から発光素子の良品判定を行う。
【０００５】
発光素子についても光学特性の正確な解析結果を得るには、プローブと電極面とを確実に位置合わせして試験の最中は不動とし、プローブと電極面とが確実に接触するようにプローブに対して発光素子を一定荷重で押し込む必要がある。しかしながら、発光素子以外の電子部品と同様に吸着ノズルで発光素子を押し込む方式では、発光素子の一平面を吸着ノズルで隠してしまうため、通電又は発光の検出に適さず、光学特性の正確な解析に難点がある。
【０００６】
そこで、点灯試験装置では、電子部品とプローブとの位置決めをする手段を吸着ノズルに代えて別途用意し、吸着ノズルを早々に待避させた後に、位置決め手段により電子部品とプローブとの位置決めを行っていた。
【０００７】
位置決め手段は、発光素子に当接する物理的な手段である。この位置決め手段は、通電或いは発光の検出を阻害しない工夫がなされている。すなわち、位置決め手段は、電極面に配置される電極、或いは発光面に配置される発光体を塞がないように、発光素子の余白部分、通常は発光素子の平面上の縁部分を押さえ込む（例えば、特許文献１参照）。これにより、発光素子の発光体或いは電極は開放され、受光処理或いは通電処理が可能となる。
【０００８】
吸着ノズルと発光素子との間にプローブ或いは受光素子が介在可能となるまで吸着ノズルを待避させるのは、発光素子の搬送効率の点で分が悪いこともある。そこで、吸着ノズルで発光素子を保持して搬送する方式では、搬送経路外に発光素子を載置する測定ベースを用意する。そして、一度、発光素子を搬送経路から離脱させて吸着ノズルの存在しない測定ベース上に載置し、測定ベースに対向配置した位置決め手段で発光素子をベース平面側へ押し付ける。ベース平面上には、吸着ノズルが存在せず、プローブ或いは受光素子の配置の自由度が高まる。
【０００９】
また、発光素子の搬送方式として、軸回転する円盤テーブルの表面にポケットを同心円に沿って並べて形成し、発光素子をポケットに収容して回転搬送する方式もある。この搬送方式では、円盤テーブルの少なくともポケット部分を底が透明なサファイアガラス等で形成すれば、円盤テーブルの下に受光素子或いは受光素子に光を導く光路を配置し、光を検出できる。この搬送方式では点灯試験のために発光素子を搬送経路外に離脱させる必要はない（特許文献１参照。）。
【００１０】
但し、円盤テーブルによる搬送方式では、ポケットの形状及び大きさが一種類に定まってしまい、各種大きさの発光素子に対する汎用性が無くなるため、小ロット多品種の発光素子の点灯試験をする場合には適当だと言いづらい。また、透明なサファイアガラスを通して受光する場合には、サファイアガラスを通すことによる光学特性の変化を補正しなくてはならず、その補正用データの発光素子に応じた個別的な準備は容易であるとは言い難い。従って、当該方式が排除されるものではないが、発光素子の点灯試験を前提としても、吸着ノズルによる搬送方式が最良である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００５−２３３６６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、近年、発光素子の微小化が進み、例えば０６０３サイズ等の発光素子が登場しつつある。この微小な発光素子は、位置決め手段が当接する余白がかなり小さい。そのため、余白を利用して発光素子に一定荷重を掛け続けることで発光素子を押さえ込む困難性が増してきている。
【００１３】
押さえ込みの困難性は、発光素子とプローブとの位置決めに対する信頼性低下に直結し、ひいては点灯試験の信頼性を低下させてしまう。すなわち、位置ズレが発生し易くなり、通電失敗が頻発する虞が生じる。また、通電に成功しても発光素子の一部だけが浮き上がることで受光素子の受光量が変化してしまい、解析結果が示す光学特性と実際とに深刻な乖離が生じる虞もある。
【００１４】
本発明は、上記のような発光素子の押さえ込みの困難性を解決するために提案されたもので、発光素子のサイズが小さくなっても点灯試験において良好に位置不動を維持できる点灯試験装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記のような課題を解決するための点灯試験装置は、発光素子の光学特性を試験する点灯試験装置であって、発光素子を載置する測定ベースと、前記測定ベース側に設けられるプローブと、前記測定ベースの上方に位置する受光手段と、
前記測定ベース上の発光素子を側面から挟み込んで、発光素子と前記プローブの接触荷重に抗するための静止摩擦力を前記発光素子に与えるクランプ手段と、を備えること、を特徴とする。
【００１６】
前記プローブは、前記測定ベースの下方から前記測定ベースに向けて延び、前記測定ベースは、貫通孔を有し、前記プローブを前記貫通孔に差し込んで前記測定ベース上の発光素子に接触させるプローブ駆動手段を備えるようにしてもよい。
【００１７】
前記測定ベースに埋設されて前記測定ベースに開口を有し、前記測定ベースに載置された発光素子を吸着する吸着ノズルを更に備え、前記吸着ノズルは、前記接触荷重に対抗する前記静止摩擦力を吸引力により補助するようにしてもよい。
【００１８】
前記クランプ手段は、前記接触荷重から前記吸引力を差し引いた前記静止摩擦力を発光素子に与えるように当該発光素子を挟み込むようにしてもよい。
【００１９】
前記測定ベースは、前記点灯試験の際、前記点灯試験のポジションの下方から当該ポジションに向けて移動して、発光素子を当該ポジションに位置させ、前記プローブ駆動手段は、前記プローブを前記測定ベースに貫通させる移動期間を前記測定ベースの移動期間と少なくとも一部重複させるようにしてもよい。
【００２０】
一方の供給ユニットから発光素子を取り出して他方の収容ユニットに移載するとともに、前記点灯試験のポジションを経路上に配する搬送経路を更に備え、前記搬送経路は、発光素子の１面を保持し、他面と非接触の保持手段と、前記搬送経路に沿って前記保持手段を移動させるとともに、前記点灯試験のポジションで前記保持手段を停止させる搬送手段と、を備え、前記保持手段は、前記プローブが貫通する前記貫通孔を有し、前記点灯試験のポジションで前記測定ベースとして発光素子の保持を維持するようにしてもよい。
【００２１】
前記吸着ノズルは、前記保持手段に埋設されて前記１面に開口し、前記保持手段は、前記搬送経路上の移動中に前記吸着ノズルにより発光素子を吸引することで保持するようにしてもよい。
【００２２】
前記搬送手段は、発光素子を載置する前記１面が常に外方を向くように前記保持手段を回転軸周りに複数配置し、前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転する単数又は複数のロータリーテーブルであるようにしてもよい。
【００２３】
前記点灯試験のポジションは、前記間欠回転に伴う前記保持手段の停止位置の１つに対して、前記ロータリーテーブルの半径方向外方に位置し、前記受光手段は、前記点灯試験のポジションよりも更に半径方向外方に位置し、発光素子を前記点灯試験のポジションに位置させるように前記保持手段を進出させる進退駆動手段を備え、前記プローブ駆動手段は、前記保持手段よりも前記ロータリーテーブルの回転中心側に位置し、前記プローブは、前記点灯試験のポジションに向けた軸線を有するようにしてもよい。
【００２４】
前記搬送経路は、複数の前記ロータリーテーブルを、互いに重ならないように、前記回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置してなり、前記発光素子の発光面をテーブル半径方向外方に向けて搬送する前記ロータリーテーブルの一つに前記点灯試験のポジションが設定されるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、発光素子の位置を維持するためにクランプ手段で側面から発光素子に一定荷重をかけることで、微小な発光素子であっても良好に位置決めが達成でき、光学特性の精度の高い解析を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本実施形態に係る点灯試験装置の概略構成を示す正面図である。
【図２】点灯試験ポジションに配置されている構成を示し、点灯試験装置の２段目のロータリーテーブル上側の側面図である。
【図３】保持部の吸着面を示す上面図である。
【図４】クランプ装置の上面図である。
【図５】点灯試験装置の動作を示す図である。
【図６】点灯試験の第１工程の動作を示す模式図である。
【図７】点灯試験の第２工程を示す模式図である。
【図８】点灯試験の第１工程と第２工程の関係を示す模式図である。
【図９】点灯試験の第３工程を示す模式図である。
【図１０】点灯試験からの復帰工程を示す模式図である。
【００２７】
以下、本発明に係る点灯試験装置の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００２８】
（構成）
図１は、本実施形態に係る点灯試験装置１の概略構成を示す正面図である。点灯試験装置１は、発光素子Ｗの移載元となる供給ユニット７ａと、発光素子Ｗの主搬送経路１１と、発光素子Ｗの移載先となる収容ユニット７ｂとを有する。この点灯試験装置１は、供給ユニット７ａから発光素子Ｗを取り出し、発光素子Ｗを主搬送経路１１に沿って搬送し、収容ユニット７ｂに搭載する。主搬送経路１１上には発光素子Ｗの点灯試験ポジション１４が存在する。
【００２９】
点灯試験装置１は、点灯試験ポジション１４において、発光素子Ｗの点灯の有無や輝度や波長等の光学特性を解析する。点灯試験装置１は、点灯試験の解析結果に応じて、発光素子Ｗを収容ユニット７ｂに搭載し、または発光素子Ｗを排出容器へ排出する。点灯試験装置１は、主搬送経路１１から分岐する排出経路１６を有し、排出容器９は排出経路１６に設けられている。
【００３０】
発光素子Ｗは、電子機器に組み込まれるＬＥＤ等の半導体発光素子であり、電力の供給を受けて可視光又は不可視光を発光する。この発光素子Ｗは、薄板状のチップであり、対向する２平面が電極面と発光面に分かれてなる。電極面はアノード電極及びカソード電極の両電極が形成されており、発光面は光を外部へ放射する。発光素子Ｗは、大きさに限定はないが、そのサイズが０６０３（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ）サイズや０４０２（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ）サイズ及び薄さ０．１乃至０．３ｍｍ等の微小チップを含む。
【００３１】
供給ユニット７ａは、発光素子Ｗを取り出し位置に移動させる装置である。この供給ユニット７ａは、例えばＸＹステージ、パーツフィーダ、ウェハホルダである。ＸＹステージは、発光素子Ｗを２次元アレイ状に配置した平板状のトレイを有し、該トレイを平板の面が拡がる２次元方向に移動させる。パーツフィーダは、投入された個別の発光素子Ｗを整列搬送させて取り出し位置に移動させる。リングホルダは、発光素子Ｗを２次元アレイ状に貼着したウェハリングを保持し、該ウェハリングをリング面が拡がる２次元方向に移動させる。
【００３２】
収容ユニット７ｂは、発光素子Ｗの載置箇所を収容予定位置に移動させる装置である。例えば、ＸＹステージ、リングホルダ、発光素子Ｗを収容するポケットが形成されたテープを順次送り出すテーピングユニット等が挙げられる。
【００３３】
本実施形態の供給ユニット７ａ及び収容ユニット７ｂはリングホルダである。発光素子Ｗは、供給ユニット７ａにおいて、電極面側がウェハリングの表面に貼着され、発光面側が外側となり、ウェハリングの表面に並んでいる。
【００３４】
主搬送経路１１は、複数のロータリーテーブルを連接して構成される。本実施形態では、点灯試験装置１は、３連のロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃを備えている。このロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃは、点灯試験装置１の設置面に対して垂直な回転面を有し、回転面を同一垂直面に配し、回転軸が平行となり、互いに重なりはなく、全体として概略横方向に直列に連接配置されている。この３連のロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃは、供給ユニット７ａと収容ユニット７ｂに挟まれて配置される。一方の端に位置する１段目のロータリーテーブル２ａと供給ユニット７ａとが連接し、他方の端に位置する３段目のロータリーテーブル２ｃと収容ユニット７ｂとが連接する。供給ユニット７ａから始まり、ロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃの各上半円を通り、収容ユニット７ｂまでが発光素子Ｗの主搬送経路１１となる。
【００３５】
各ロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃは、それぞれテーブル中心から同一面に沿って放射状に延びる複数本のアームを有する。各アームは、円周等配位置で配置される。本実施形態において、各ロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃは８本のアームを有し、各アームは４５度の間隔を隔てて放射状に延びている。
【００３６】
これらロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃは、それぞれ、アームの放射中心を通り、アームの放射面と直交するモータ軸に軸支されており、図示しないモータにより同一方向に一定角度ずつ間欠回転する。すなわち、回転面とはアームが延びる平面をいい、回転軸はモータ軸と一致する。ロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃが間欠回転する各ピッチ角は、３６０度を倍数に含む。例えば、８本のアームを有するロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃは、それぞれ４５度ずつ間欠回転する。
【００３７】
各アームには、発光素子Ｗを先端で保持及び離脱させる保持部２１が取り付けられている。保持部２１は、ロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃの半径方向と直交する吸着面２２をテーブル半径方向外側に有するブロック体である。この保持部２１は吸着面２２で発光素子Ｗを吸着し、また吸着力の解除によって発光素子Ｗを離脱させる。
【００３８】
各ロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃは、隣接する両ロータリーテーブル２ａ、２ｂ又は２ｃと各一箇所の間欠停止角で互いの保持部２１を対向させる。すなわち、各ロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃは、隣接する両ロータリーテーブル２ａ、２ｂ又は２ｃの両中心を結ぶ線分が通る角度を間欠停止角の１つとする。以下、この保持部２１が対向する間欠停止角を受け渡し角という。
【００３９】
発光素子Ｗは、保持部２１に保持されながら、ロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃの間欠回転に伴って、ロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃの外周上半分を辿るように移動する。隣接する両ロータリーテーブル２ａ、２ｂ又は２ｃの受け渡し角では、対向する保持部２１同士が発光素子Ｗを授受する。供給ユニット７ａ側を前段側として、収容ユニット７ｂ側を後段側とすると、後段側のロータリーテーブル２ｂ又は２ｃの保持部２１が発光素子Ｗを吸着し、その前段側のロータリーテーブル２ａ又は２ｂの保持部２１が発光素子Ｗを離脱させる。
【００４０】
これにより、点灯試験装置１は、ロータリーテーブル２ａを主搬送経路１１の前段、ロータリーテーブル２ｂを主搬送経路１１の中段、ロータリーテーブル２ｃを主搬送経路１１の後段として、発光素子Ｗを供給ユット７ａから収容ユニット７ｂに移載する。
【００４１】
尚、点灯試験装置１が３連のロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃを備えるのは、供給ユニット７ａに保持されたウェハリングに対して電極面側が貼着面として発光素子Ｗが貼着されているため、電極面を保持部２１で保持し、発光面がテーブルの外側を向く状況を作出するためであり、加えて、電極面を貼着面として収容ユニット７ｂのウェハリングに発光素子Ｗを貼着させるためである。従って、供給ユニット７ａにおいて発光素子Ｗの何れの面がウェハリングに貼着しているか、収容ユニット７ｂにおいて発光素子Ｗの何れの面をウェハリングに貼着させるかにより、ロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃの数は単数又は２以上に数で可変し得る。
【００４２】
この点灯試験装置１において、主搬送経路１１の前段を担う１段目のロータリーテーブル２ａは、ロータリーテーブル２ｂとの受け渡し角の直前２つの停止角にわたって位置補正ポジション１５が設定されている。点灯試験ポジション１４は、この位置補正ポジション１５の下流側に設定されており、本実施形態では、主搬送経路１１の中段を担う２段目のロータリーテーブル２ｂの頂点位置が点灯試験ポジション１４に設定されている。すなわち、２段目のロータリーテーブル２ｂの頂点位置も間欠停止角の１つとなるように調整されている。
【００４３】
位置補正ポジション１５では、点灯試験ポジション１４における電極とプローブの接触精度向上を図る。この位置補正ポジション１５において、ロータリーテーブル２ｂとの受け渡し角の２つ手前の停止角がズレ検出ポジション１５ａであり、１つ手前の停止角がズレ修正ポジション１５ｂである。
【００４４】
ズレ検出ポジション１５ａには、撮像カメラ８１がテーブル半径外方に設置されており、撮像カメラ８１は、当該ポジション１５ａに停止する発光素子Ｗを撮像する。撮像により得られた画像から発光素子Ｗの向き角度のズレ及び縦横方向のシフト量が算出される。ズレ修正ポジション１５ｂには、発光素子Ｗを保持する吸引口が形成されたＸＹθステージ８２が配置される。このＸＹθステージ８２は、吸引口で発光素子Ｗを保持しつつ、向き角度のズレ及び縦横方向のシフト量を無くすようにＸＹ方向への移動及びθ回転を行う。
【００４５】
図２に示すように、点灯試験ポジション１４に関し、点灯試験装置１は、２段目のロータリーテーブル２ｂの頂点位置に、プローブピン３１ａ、３１ｂを移動させて発光素子Ｗに接触させる通電装置３と、発光素子Ｗとプローブピン３１ａ、３１ｂとの位置関係を不動とするクランプ装置４と、発光素子Ｗの光を受光する受光装置５を備えている。また、点灯試験装置１は、この頂点位置に、保持部２１を点灯試験ポジション１４に向けて進退させる進退駆動装置６を備えている。
【００４６】
受光装置５は、点灯試験ポジション１４を挟んでロータリーテーブル２ｂの頂点とは反対側に設置されている。この受光装置５は、例えばフォトダイオードを利用したＣＣＤやＣＭＯＳ等のセンサである。受光装置５は、受光データから光学特性を解析するコンピュータと信号線で接続され、受光の結果得られたアナログ或いはデジタルの受光データをコンピュータに出力する。
【００４７】
保持部２１は、スライドシャフト２５を介してアームの先端に取り付けられる。この保持部２１は、アームからロータリーテーブル２ｂの表側が突出した吸着側オーバーハング部２１ａと、アームからロータリーテーブル２ｂの裏側に突出した付勢側オーバーハング部２１ｂを有する。吸着側オーバーハング部２１ａには、テーブル半径外方側の面に発光素子Ｗの吸着面２２が設定され、この吸着面２２に吸着ノズル２３の開口が形成される。
【００４８】
吸着ノズル２３は、保持部２１のブロック体内部に埋設され、ノズル先端が開口した中空状の筒状部であり、ノズル内部が真空発生装置の空気圧回路とチューブを介して連通している。この保持部２１は、真空発生装置による負圧の発生によって吸着面２２で発光素子Ｗを吸着し、真空破壊又は正圧の発生によって発光素子Ｗを離脱させる。
【００４９】
アームには、アームから直角に屈曲したフランジ２０が形成されている。このフランジ２０には、ロータリーテーブル２ｂの半径方向に沿ったスリーブ孔２０ａが貫設されている。スライドシャフト２５は、スリーブ孔２０ａを貫通して摺動可能にアームに取り付けられている。すなわち、保持部２１は、スライドシャフト２５に支持されて、ロータリーテーブル２ｂの半径方向に沿って回転中心から外方へ進出し、またロータリーテーブル２ｂの半径方向に沿って外方から回転中心へ後退可能となっている。
【００５０】
進退駆動装置６は、その構成要素が進出機構と後退機構とに大別される。保持部２１が点灯試験ポジション１４に対応する停止角に停止したとき、付勢側オーバーハング部２１ｂの直下には、進退駆動装置６の進出機構を構成する回転モータ６１、カム６２及びロッド６３が設けられている。ロッド６３は、ロータリーテーブル２ｂの半径方向に沿ってテーブルの頂点位置に向けて延び、軸方向に摺動可能に軸支されている。カム６２は、中心が回転モータ６１の回転軸に軸支され、１表面の周縁が一部区間において曲面を描いて掘り下げられている。すなわち、周縁は、平坦な区間から高さが漸次減少し、最下点から高さが漸次増加して平坦に戻る。
【００５１】
ロッド６３は、カムフォロアとしてカム６２の表面周縁に当接し、周縁の高さの変化に合わせてロータリーテーブル２ｂの回転中心から外方へ進出し、またロータリーテーブル２ｂの半径方向に沿って外方から回転中心へ後退する。ロッド６３の先端、すなわちロータリーテーブル２ｂの外方側の端部は、付勢側オーバーハング部２１ｂと対向している。ロッドは、進出過程で保持部２１の付勢側オーバーハング部２１ｂに当接し、更なる進出過程で付勢側オーバーハング部２１ｂを介して保持部２１を点灯試験ポジション１４に向けて押し上げる。
【００５２】
また、スライドシャフト２５は、アームに接続された圧縮バネ６４が固定されている。保持部２１の点灯試験ポジション１４への進出に伴ってスライドシャフト２５が移動することにより圧縮バネ６４は伸び方向の付勢力を蓄勢する。この圧縮バネ６４は進退駆動装置６の後退機構である。ロッド６３のカム６２に対する当接位置が膨出区間を下り始めると、保持部２１の点灯試験ポジション１４への進出力が解除され、圧縮バネ６４の付勢力が発揮される。すなわち、スライドシャフト２５はテーブル回転中心方向に戻され、保持部２１は、点灯試験ポジション１４から後退する。
【００５３】
保持部２１には、図２及び図３に示すように、吸着ノズル２３の他に２本の貫通孔２４ａ、２４ｂが形成されている。この貫通孔２４ａ、２４ｂは、吸着ノズル２３の周囲に形成され、ブロック体をロータリーテーブル２ｂの半径方向に沿って貫通している。通電装置３は、アノード側及びカソード側の２本のプローブピン３１ａ、３１ｂを備える。プローブピン３１ａ、３１ｂは導電性且つ柔軟性を有する長細棒である。このプローブピン３１ａ、３１ｂは、互いに平行に延び、ロータリーテーブル２ｂの回転中心側から点灯試験ポジション１４側へ向かう軸線を有する。点灯試験ポジション１４において、プローブピン３１ａ、３１ｂは、保持部２１の貫通孔２４ａ、２４ｂに対して吸着面２２の裏側から差し込まれ、吸着面２２に到達する。
【００５４】
尚、プローブピン３１ａ、３１ｂの先端は、には柔軟性を持たせ、保持部２１が点灯試験ポジション１４へ到達したときに吸着面２２から若干突出する程度としておけばよい。但し、プローブピン３１ａ、３１ｂが発光素子Ｗに当接したとき、発光素子Ｗを持ち上げずに屈曲するように、一定程度の柔軟性を持たせとくのがよい。
【００５５】
この通電装置３は、プローブピン３１ａ、３１ｂをスリーブ体３２によって保持し、ガイドブロック３３によって撓みを抑制し、且つ進行方向を規制している。プローブピン３１ａ、３１ｂは、スリーブ体３２が点灯試験ポジション１４の方向へ押し上げられることにより、点灯試験ポジション１４に向けて進出する。
【００５６】
このスリーブ体３２は、下部にロータリーテーブル２ｂの回転面と直交する軸を有する円筒状のカムフォロア３２ａを有する。カムフォロア３２ａは、カム３２ｂの周面と当接している。カム３２ｂは、モータ３２ｃのモータ軸に接続され、カム軸をロータリーテーブル２ｂの回転面と直交させている。このカム３２ｂの周面はカム面となっている。カム面には広径区間を有する。
【００５７】
モータ３２ｃの回転に伴ってカムフォロア３２ａがカム３２ｂの広径区間を従動すると、スリーブ体３２は全体的に点灯試験ポジション１４側へ押し上げられ、プローブピン３１ａ、３１ｂも点灯試験ポジション１４を向かって移動する。そして、プローブピン３１ａ、３１ｂは保持部２１の貫通孔２４ａ、２４ｂに差し込まれ、プローブピン３１ａ、３１ｂを保持部２１の吸着面２２へ到達する。
【００５８】
また、スリーブ体３２の上部には、圧縮バネ３２ｄが固定されている。この圧縮バネ３２ｄは、スリーブ体３２が点灯試験ポジション１４へ押し上げられると、圧縮されて伸び方向に蓄勢する。そのため、モータ３２ｃの駆動によりカム３２ｂ及びカムフォロア３２ａを介したスリーブ体３２への移動力が解除されると、圧縮バネ３２ｄが放勢してスリーブ体３２を元に戻し、追随してプローブピン３１ａ、３１ｂを貫通孔２４ａ、２４ｂから抜き出す。
【００５９】
クランプ装置４は、図２及び図４に示すように、ロータリーテーブル２ｂの頂点を通る接線と直交する対向２方向から点灯試験ポジション１４を挟む２枚のクランプ部４１ａ、４１ｂを有する。クランプ部４１ａ、４１ｂは、発光素子Ｗよりも厚めの板であり、板側面を点灯試験ポジション１４に対峙させている。このクランプ部４１ａ、４１ｂは、点灯試験ポジション１４を中心に互いが接近及び離反するように移動する。
【００６０】
すなわち、各クランプ部４１ａ、４１ｂは、それぞれが対応の支持ブロック４２ａ、４２ｂに支持されている。支持ブロック４２ａ、４２ｂは、ロータリーテーブル２ｂの回転面と直交する方向に平行に延びている。両支持ブロック４２ａ、４２ｂは、引張りバネ４３により連結されている。引張りバネ４３は両クランプ部４１ａ、４１ｂの距離を縮める方向に付勢されている。
【００６１】
支持ブロック４２ａ、４２ｂには、それぞれカムフォロア４４ａ、４４ｂが取り付けられている。カムフォロア４４ａ、４４ｂは、モータ４６の回転軸に中心が軸支された共通のカムプレート４５に当接し、カムプレート４５の回転に従動する。カムプレート４５は、ロータリーテーブル２ｂと平行な回転面を有する円盤であり、周面がカム面となって、両方のカムフォロア４４ａ、４４ｂの間に位置する。このカムプレート４５のカム面は、２箇所の狭径区間と２箇所の広径区間を交互に形成してなる。狭径区間同士はカムプレート４５の１８０度離れた位置に形成され、広径区間はカムプレート４５の１８０度離れた位置に形成されている。
【００６２】
狭径区間は、カムプレート４５の半径が概略同じの略真円区間である。概略とは製造上の誤差を含む。広径区間は、同一形状を有し、区間の一端から漸次増加し、頂点を境に区間の他端へ向けて漸次減少するように曲面形状を有する。
【００６３】
このクランプ装置４において、カムフォロア４４ａ、４４ｂがカムプレート４５の広径区間に当接しているときは、カムプレート４５の中心からカムフォロア４４ａ、４４ｂまでの距離が拡げられる。そのため、クランプ部４１ａ、４１ｂは、カムフォロア４４ａ、４４ｂの外方への移動とともに支持ブロック４２ａ、４２ｂを介して連動し、点灯試験ポジション１４の両側から離れる。
【００６４】
一方、クランプ装置４において、カムフォロア４４ａ、４４ｂがカムプレート４５の狭径区間に当接しているときは、カムプレート４５によりクランプ部４１ａ、４１ｂを押し拡げる力は解除される。そのため、クランプ部４１ａ、４１ｂは、引張りバネ４３による付勢力により点灯試験ポジション１４に両側から近づく。
【００６５】
（動作）
点灯試験装置１の動作は次の通りである。尚、点灯試験装置１は、右端に供給ユニット７ａが配置され、左端に収容ユニット７ｂが配置されるものとする。各ロータリーテーブル２ａ、２ｂ、２ｃは反時計回りに回転し、発光素子Ｗの主搬送経路は３機の上半円を一筆書きに繋げた経路とする。排出経路１６は、ロータリーテーブル２ｂと２ｃの受け渡し角からロータリーテーブル２ｂの下半円側に設定しているものとする。そして、図５に示すように、発光素子Ｗが供給ユニット７ａから収容ユニット７ｂに移載されるまでに通る間欠的な停止角を１番から順番に名付ける。ロータリーテーブル２ｂにおいて、ロータリーテーブル２ｃとの受け渡し角に相当する９番目の停止角の次ピッチを１４番の停止角とし、この１４番の停止角に排出容器９が設置されているものとする。
【００６６】
まず、１番目の停止角では、保持部２１が供給ユニット７ａから発光素子Ｗを取り出す。ロータリーテーブル２ａは、１番目の停止角にも進退駆動装置６を備える。保持部２１は、１番目の停止角で進退駆動装置６の駆動力を受けて収容ユニット７ｂへ向けて進出する。一方、リングホルダからなる供給ユニット７ａは、突き出しピンで発光素子Ｗの１つを保持部２１側へ向けて押し出す。保持部２１は、発光素子Ｗの電極面に吸着面２２を接触させ、吸着ノズル２３で発光素子Ｗを吸引保持する。
【００６７】
保持部２１による発光素子Ｗの保持の後、１番目の停止角から２ピッチ分だけ間欠移動し、１段目のロータリーテーブル２ａの頂点である３番目の停止角に移動する。３番目の停止角は、ズレ検出ポジション１５ａであり、撮像カメラ８１が配置されている。撮像カメラ８１は、発光素子Ｗを撮影し、図示しないコンピュータに画像データを出力する。そして、コンピュータよる画像解析によって発光素子Ｗの向き角度のズレ及び縦横方向のシフト量が算出される。
【００６８】
画像解析の後、発光素子Ｗを保持した保持部２１は、３番目の停止角から１ピッチ分だけ間欠移動し、４番目の停止角に移動する。４番目の停止角には、ＸＹθステージ８２が配置されている。ＸＹθステージ８２は、発光素子Ｗを一時的に受け取って、向き角度のズレ及び縦横のシフト量を解消する方向に移動及び回転する。この位置補正処理により、点灯試験ポジション１４に到達したときに発光素子Ｗが適正位置に存在するように位置が予め補正される。
【００６９】
位置補正を経た後、発光素子Ｗを保持した保持部２１は、４番目の停止角から１ピッチ分だけ間欠移動し、５番目の停止角に移動する。５番目の停止角は、２段目のロータリーテーブル２ｂとの受け渡し角である。２段目のロータリーテーブル２ｂは、発光素子Ｗが５番目の停止角に移動するタイミングに同期して、１ピッチ分だけ間欠回転し、保持部２１の１つを５番目の停止角に移動させる。
【００７０】
２段目のロータリーテーブル２ｂは、ロータリーピックアップ２ａとの受け渡し角に進退駆動装置６を備える。２段目のロータリーテーブル２ｂの保持部２１は、進退駆動装置６により１段目のロータリーテーブル２ａが保持している発光素子Ｗに向けて進出する。１段目のロータリーテーブル２ａの保持部２１は発光素子Ｗを離脱させ、２段目のロータリーテーブル２ｂの保持部２１は、同時に吸着ノズルの吸引によって発光素子Ｗを保持する。発光素子Ｗは、２段目のロータリーテーブル２ｂの保持部２１の吸着面２２に対して電極面側が吸い付けられて載置され、発光面をテーブル半径方向外方に向ける。
【００７１】
発光素子Ｗの受け渡しの後、ロータリーテーブル２ｂが２ピッチ分回転すると、発光素子Ｗを保持した保持部２１は、７番目の停止角であるロータリーテーブル２ｂの頂点位置に移動する。７番目の停止角には、点灯試験ポジション１４が存在する。７番目の停止角では、図６に示すように、保持部２１が進退駆動装置６によって押し上げられて点灯試験ポジション１４へ向けて上昇する。保持部２１の吸着面２２に載置された発光素子Ｗは、クランプ装置４の両クランプ部４１ａ、４１ｂと対面する点灯試験ポジション１４に至る。
【００７２】
通電装置３は、図７に示すように、プローブピン３１ａ、３１ｂを押し上げ、保持部２１の貫通孔２４ａ、２４ｂにプローブピン３１ａ、３１ｂを差し込み、吸着面２２にプローブピン３１ａ、３１ｂを到達させる。プローブピン３１ａ、３１ｂの貫通孔２４ａ、２４ｂへの差し込み開始タイミングは、図８に示すように、保持部２１の上昇継続中が望ましい。すなわち、保持部２１の移動期間とプローブピン３１ａ、３１ｂの移動期間を少なくとも一部重複させる。プローブピン３１ａ、３１ｂが貫通孔２４ａ、２４ｂに差し込まれ、貫通孔２４ａ、２４ｂ内を移動する際の相対速度（図中、Ｖ２−Ｖ１）を下げるためである。但し、保持部２１の上昇が終了してからプローブピン３１ａ、３１ｂを押し上げ開始し、或いは保持部２１の上昇が終了してからプローブピン３１ａ、３１ｂが貫通孔２４ａ、２４ｂに差し掛かるようにしてもよい。
【００７３】
クランプ装置４は、図９に示すように、発光素子Ｗが点灯試験ポジション１４に到達するタイミングで発光素子Ｗの側面にクランプ部４１ａ、４１ｂを当接させるようにクランプ部４１ａ、４１ｂを移動させ、発光素子Ｗの側面に対して一定荷重を掛けた上で挟持する。電極面にプローブピン３１ａ、３１ｂが接触すると、発光素子Ｗは発光し、受光装置５が受光して解析が開始される。
【００７４】
この点灯試験の間、保持部２１は吸引ノズル２３による発光素子Ｗの吸引を維持する。保持部２１による吸引力をＦ１、クランプ部４１ａ、４１ｂが発光素子Ｗの側面を挟持することで発生する発光素子Ｗの上下方向の静止摩擦力をＦ２、プローブピン３１ａ、３１ｂが発光素子Ｗに接触することによる接触荷重をＦ３とする。このとき、クランプ部４１ａ、４１ｂの発光素子Ｗに対する荷重は、吸引力Ｆ１と静止摩擦力Ｆ２の合計と接触荷重Ｆ３とが同一か合計が若干接触荷重を上回るように予め調整されている。
【００７５】
点灯試験が終了すると、図１０に示すように、クランプ部４１ａ、４１ｂは元に拡げられ、プローブピン３１ａ、３１ｂと保持部２１は元の場所に後退する。そして、図５に戻り、ロータリーテーブル２ｂは、更に２ピッチ分だけ間欠回転する。そうすると、発光素子Ｗを保持した保持部２１は、９番目の停止角に移動する。９番目の停止角は、３段目のロータリーテーブル２ｃとの受け渡し角である。ここで、点灯試験の結果、発光素子Ｗが良品判定されると、２段目のロータリーテーブル２ｂと３段目のロータリーテーブル２ｃとの発光素子Ｗの受け渡しが行われる。
【００７６】
３段目のロータリーテーブル２ｃは、受け渡し角に進退駆動装置６を備える。３段目のロータリーテーブル２ｃの保持部２１は、進退駆動装置６により２段目のロータリーテーブル２ｂが保持している発光素子Ｗに向けて進出する。２段目のロータリーテーブル２ｂの保持部２１は発光素子Ｗを離脱させ、同時に、３段目のロータリーテーブル２ｃの保持部２１は、吸着ノズル２３の吸引によって発光素子Ｗを保持する。発光素子Ｗは、３段目のロータリーテーブル２ｂの保持部２１の吸着面２２に対して発光面側を向けて吸引され、電極面をテーブル半径方向外方に向けている。
【００７７】
受け渡しの終了の後、３段目のロータリーテーブル２ｃが４ピッチ分回転すると、良品の発光素子Ｗを保持した保持部２１は、１３番目の停止角に停止する。この１３番目の停止角は、収容ユニット７ｂとの受け渡し角である。ロータリーテーブル２ｃは、１３番目の停止角に進退駆動装置６を備えている。１３番目の停止角では、進退駆動装置６により保持部２１が収容ユニット７ｂに向けて進出し、収容ユニット７ｂに保持されているウェハリングに発光素子Ｗを貼着し、発光素子Ｗを離脱させる。発光素子Ｗは、ロータリーテーブル２ｃで搬送されている間、電極面をテーブル半径方向外方に向けていたので、収容ユニット７ｂには、電極面がウェハリングに貼着されることとなる。
【００７８】
一方、点灯試験で不良と判断されていた場合、９番目の停止角である受け渡し角では、発光素子Ｗの受け渡しは行われず、次ピッチの回転によりロータリーテーブル２ｂの１４番目の停止角に移動する。１４番目の停止角は、排出ポジションである。保持部２１は、真空破壊又は大気破壊により発光素子Ｗを離脱させ、直下に設けられた排出容器９に発光素子Ｗを収容する。
【００７９】
（作用効果）
以上のように、点灯試験装置１は、発光素子Ｗを保持する保持部２１を点灯試験ポジション１４に移動させる。点灯試験ポジション１４では、保持部２１の貫通孔に保持部２１の下方からプローブピン３１ａ、３１ｂを差し込み、保持部２１上の発光素子Ｗにプローブピン３１ａ、３１ｂを接触させる。すなわち、保持部２１は、点灯試験ポジション１４においては発光素子Ｗの測定ベースとなる。この点灯試験ポジション１４では、更に、クランプ部４１ａ、４１ｂで保持部２１上の発光素子Ｗを側面から挟み込み、プローブピン３１ａ、３１ｂの接触荷重に抗するための静止摩擦力を発光素子Ｗに与える。そして、静止摩擦力を与え続けて保持部２１を不動としながら点灯試験を行い、保持部２１の上方に位置する受光装置で発光素子Ｗの発光を受光する。
【００８０】
このように、この点灯試験装置１では、発光素子Ｗの位置を不動とするためにクランプ部４１ａ、４１ｂで側面から発光素子Ｗに一定荷重をかけている。そのため、発光素子Ｗの発光面が位置決め手段により隠されることがない。また当該位置決め手段で発光素子Ｗの少ない余白を無理矢理抑えようと試みることで位置決め精度をかえって低下させることもない。従って、この点灯試験装置１は、余白の少ない微小な発光素子Ｗであっても良好に位置不動を達成でき、光学特性の精度の高い解析を実現できる。
【００８１】
クランプ部４１ａ、４１ｂで側面から発光素子Ｗに一定荷重をかける手法は、発光素子Ｗの搬送方式に拘束されず、発光素子Ｗの側面が露出していれば、各種の搬送方式に適用可能である。例えば、主搬送経路１１外に発光素子Ｗを一度離脱させ、主搬送経路１１外で点灯試験を行ってもよい。また、円盤テーブル或いは放射状のアームを有するターレットテーブルの外周に、発光素子Ｗの１面を保持して他面には非接触の保持部２１を設置する。そして、円盤テーブル或いはターレットテーブルを間欠回転させ、保持部２１の１停止位置にクランプ装置４と受光装置３を設置しておくとよい。保持部２１を測定ベースとしない場合には、別途用意される測定ベースに予めプローブを形成しておくこともできる。
【００８２】
また、この点灯試験装置１では、保持部２１に吸着ノズル２３を備えるようにし、吸着ノズル２３を保持部２１の吸着面３３に開口させ、発光素子Ｗの点灯試験の間は発光素子Ｗを吸着ノズル２３により吸引するようにした。吸着ノズル２３の吸引力は、プローブピン３１ａ、３１ｂの発光素子Ｗに対する接触荷重に対抗するための力として作用すら。すなわち、クランプ部４１ａ、４１ｂにより発生する静止摩擦力を吸引力により補助できる。
【００８３】
静止摩擦力に吸引力を加えた合計の力がプローブピン３１ａ、３１ｂの接触荷重と同一か勝っていれば、発光素子Ｗは良好に位置不動を維持される。換言すれば、クランプ部４１ａ、４１ｂは、接触荷重から吸引力を差し引いた残り分に相当する静止摩擦力を発光素子Ｗに与えれば足りる。そうすると、吸着ノズル２３による補助があれば、クランプ部４１ａ、４１ｂは発光素子Ｗを小さい荷重で挟み込むことができる。
【００８４】
ここで、発光素子Ｗの両側面からの荷重付与は、チップ中心付近、或いは電極と筐体との境界に応力を集中させる。一方で、発光素子Ｗは、サイズの微小化に伴って薄肉化している。そのため、クランプ部４１ａ、４１ｂによる挟み込みは、発光素子Ｗにひび割れ等の破壊を生じ易くする。一方、この点灯試験装置１のように、クランプ部４１ａ、４１ｂが発光素子Ｗに与える荷重を小さくできれば、発光素子Ｗに対する応力集中を低減でき、発光素子Ｗの破壊の虞を低減できるのでよい。
【００８５】
この吸着ノズル２３は、保持部２１にて発光素子Ｗの一面を保持して搬送する方式では一般的に利用されている。この点灯試験装置１では、点灯試験の際に保持部２１を待避させるのではなく、保持部２１を測定ベースとして積極的に利用することとなる。そのため、点灯試験ポジション１４を主搬送経路１１外に設定する必要はなく、装置のコンパクト化、装置の低コスト化、及び発光素子Ｗの生産効率の向上が実現する。
【００８６】
更に、保持部２１を測定ベースとして積極的に利用することは、保持部２１が発光素子Ｗの一面のみを保持して他の面と非接触であることの利点を引き続き享受できることとなる。すなわち、各種サイズの発光素子Ｗを小ロット少量生産で連続的に製造したとしても、点灯試験装置１の機械構成の変更は不用であり、汎用性に富む。
【００８７】
但し、一般的には発光素子Ｗを保持するために保持部２１には吸着ノズル２３が形成されることを鑑みると、保持部２１をサファイアガラスのような透明部材で形成し、保持部２１の下に受光装置３を配置することは困難である。一方で、主搬送経路１１を移動する保持部２１に対してわずか０．２ｍｍ径足らずのプローブピン３１ａ、３１ｂを差し込もうとすると、プローブピン３１ａ、３１ｂが貫通孔２４ａ、２４ｂの縁や内部で接触し、接触衝撃により変形等のダメージを被る虞もある。この接触衝撃を小さくするためにプローブピン３１ａ、３１ｂの差込速度を遅くすると、発光素子Ｗの生産性は低下する。
【００８８】
そこで、この点灯試験装置１では、プローブピン３１ａ、３１ｂのダメージ対策として、プローブピン３１ａ、３１ｂを保持部２１に貫通させる移動期間と、保持部２１の移動期間とを少なくとも一部重複させた。これによると、プローブピンと保持部２１の相対速度が低下する。このため、仮にプローブピン３１ａ、３１ｂが貫通孔２４ａ、２４ｂの縁や内面に接触しても接触衝撃力を低下させることができる。従って、この点灯試験装置１においては、保持部２１を測定ベースとして積極的に利用する方式に対して、その信頼性を劇的に向上できる。
【００８９】
（他の実施形態）
以上のように本発明の実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【００９０】
例えば、各間欠停止角には、点灯試験ポジション１４や位置補正ポジション１５の他、外観検査、接着剤塗布、電気特性検査、加熱又は冷却といった温度調整、マーキング、その他各種を工程処理のためのポジションを設けることができる。
【００９１】
位置補正ポジション１５における位置補正機構に関しても、その他公知の機構に代えることができる。例えば、ズレ修正ポジション１５ｂには、深さ方向に窄まるテーパ状のポケット部を設けておき、ポケット部に発光素子Ｗを挿入する過程でポケット部のテーパ面で発光素子Ｗの位置及び向きを修正するようにしてもよい。この場合、ズレ検出ポジション１５ａを設ける必要はなく、撮像カメラ８１は排除できる。
【００９２】
保持部２１に関しては、保持の最中、発光素子Ｗの対向２側面の一つが露出すれば、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は機械的に挟持するチャック機構等、何れの方式を適用することもできる。
【００９３】
また、この点灯試験装置１で利用した駆動伝達機構に関しては他の公知の機構を適用することもでき、例えば、保持部２１を進出及び後退させる進退駆動装置６においてモータ３２ｃの設置態様によってはカム３２ａを円筒カムとすることもできる。
【００９４】
更に、本実施形態では、保持部２１は点灯試験ポジション１４に向けて移動する。クランプ部４１ａ、４１ｂが発光素子Ｗの搬送を阻害することを防止するためである。但し、保持部２１とクランプ部４１ａ、４１ｂとを相対的に移動させれば、クランプ部４１ａ、４１ｂが発光素子Ｗの搬送を阻害することはない。例えば、クランプ部４１ａ、４１ｂを保持部２１に向けて可動としてもよい。または、クランプ部４１ａ、４１ｂが点灯試験ポジション１４を挟むように進出してから両クランプ部４１ａ、４１ｂの距離を狭めるようにＬ字状に移動させるようしてもよい。これら方式では、保持部２１を進退させる必要はなくなる。
【００９５】
また、プローブピン３１ａ、３１ｂを柔軟素材で形成しておくことで接触荷重自体も小さくできるため、その分だけクランプ部４１ａ、４１ｂが掛ける荷重を緩和させることもできる。
【００９６】
また、この点灯試験装置１は、電極が側面に配置される発光素子Ｗに対しても適用可能であることはいうまでもない。
【符号の説明】
【００９７】
１  点灯試験装置
１１  主搬送経路
１２  受け渡し角
１３  受け渡し角
１４  点灯試験ポジション
１５  位置補正ポジション
１５ａ  ズレ検出ポジション
１５ｂ  ズレ修正ポジション
１６  排出経路
２ａ  ロータリーテーブル
２ｂ  ロータリーテーブル
２ｃ  ロータリーテーブル
２０  フランジ
２０ａ  スリーブ孔
２１  保持部
２１ａ  吸着側オーバーハング部
２１ｂ  付勢側オーバーハング部
２２  吸着面
２３  吸着ノズル
２４ａ  貫通孔
２４ｂ  貫通孔
２５  スライドシャフト
３  通電装置
３１ａ  プローブピン
３１ｂ  プローブピン
３２  スリーブ体
３２ａ  カム
３２ｂ  カムフォロア
３２ｃ  モータ
３２ｄ  圧縮バネ
３３  ガイドブロック
４  クランプ装置
４１ａ  クランプ部
４１ｂ  クランプ部
４２ａ  支持ブロック
４２ｂ  支持ブロック
４３  引張りバネ
４４ａ  カムフォロア
４４ｂ  カムフォロア
４５  カムプレート
４６  モータ
５  受光装置
６  進退駆動装置
６１  回転モータ
６２  カム
６３  ロッド
６４  圧縮バネ
７ａ  供給ユニット
７ｂ  収容ユニット
８１  撮像カメラ
８２  ＸＹθステージ
９  排出容器
Ｗ  発光素子
【図１】
2015121456.tif 000003
【図２】
2015121456.tif 000004
【図３】
2015121456.tif 000005
【図４】
2015121456.tif 000006
【図５】
2015121456.tif 000007
【図６】
2015121456.tif 000008
【図７】
2015121456.tif 000009
【図８】
2015121456.tif 000010
【図９】
2015121456.tif 000011
【図１０】
2015121456.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成26年9月10日(2014.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給ユニットから発光素子を取り出し、発光素子の光学特性を試験して、発光素子を収容ユニットに渡す点灯試験装置であって、
円周方向に所定角度ずつ間欠回転しつつ、前記供給ユニットから発光素子を取り出して、発光素子を半径方向外方で保持して搬送し、発光素子を収容ユニットに渡すロータリーテーブルと、
前記ロータリーテーブルの円周に複数取り付けられ、該ロータリーテーブルの平面上方又は平面下方に膨出し、前記ロータリーテーブルの半径方向外方の面で発光素子を保持する測定ベースと、
前記間欠回転に伴う前記測定ベースの停止位置の１つに対して、前記ロータリーテーブルの半径方向外方に位置する点灯試験のポジションと、
発光素子を前記点灯試験のポジションに位置させるように前記測定ベースを進出させる進退駆動手段と、
前記ロータリーテーブルから膨出した前記測定ベースに向けて、前記ロータリーテーブル中心側から半径方向に沿って延びるプローブと、
前記プローブを前記測定ベースに差し込んで前記測定ベース上の発光素子に接触させるプローブ駆動手段と、
前記測定ベース上の発光素子を側面から挟み込んで、発光素子と前記プローブの接触荷重に抗するための静止摩擦力を発光素子に与えるクランプ手段と、
前記点灯試験のポジションよりも更に半径方向外方に位置する受光手段と、
を備えること、
を特徴とする点灯試験装置。
【請求項２】
前記測定ベースに埋設されて前記測定ベースに開口を有し、前記測定ベースに載置された発光素子を吸着する吸着ノズルを更に備え、
前記吸着ノズルは、前記接触荷重に対抗する前記静止摩擦力を吸引力により補助すること、
を特徴とする請求項１記載の点灯試験装置。
【請求項３】
前記クランプ手段は、前記接触荷重から前記吸引力を差し引いた前記静止摩擦力を発光素子に与えるように当該発光素子を挟み込むこと、
を特徴とする請求項２記載の点灯試験装置。
【請求項４】
前記測定ベースは、
前記点灯試験の際、前記点灯試験のポジションの下方から当該ポジションに向けて移動して、発光素子を当該ポジションに位置させ、
前記プローブ駆動手段は、前記プローブを前記測定ベースに貫通させる移動期間を前記測定ベースの移動期間と少なくとも一部重複させること、
を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の点灯試験装置。
【請求項５】
前記ロータリーテーブルは、互いに重ならないように複数備えられ、回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置してなり、
前記発光素子の発光面をテーブル半径方向外方に向けて搬送する前記ロータリーテーブルの一つに前記点灯試験のポジションが設定されること、
を特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の点灯試験装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記のような課題を解決するための点灯試験装置は、供給ユニットから発光素子を取り出し、発光素子の光学特性を試験して、発光素子を収容ユニットに渡す点灯試験装置であって、円周方向に所定角度ずつ間欠回転しつつ、前記供給ユニットから発光素子を取り出して、発光素子を半径方向外方で保持して搬送し、発光素子を収容ユニットに渡すロータリーテーブルと、前記ロータリーテーブルの円周に複数取り付けられ、該ロータリーテーブルの平面上方又は平面下方に膨出し、前記ロータリーテーブルの半径方向外方の面で発光素子を保持する測定ベースと、前記間欠回転に伴う前記測定ベースの停止位置の１つに対して、前記ロータリーテーブルの半径方向外方に位置する点灯試験のポジションと、発光素子を前記点灯試験のポジションに位置させるように前記測定ベースを進出させる進退駆動手段と、前記ロータリーテーブルから膨出した前記測定ベースに向けて、前記ロータリーテーブル中心側から半径方向に沿って延びるプローブと、前記プローブを前記測定ベースに差し込んで前記測定ベース上の発光素子に接触させるプローブ駆動手段と、前記測定ベース上の発光素子を側面から挟み込んで、発光素子と前記プローブの接触荷重に抗するための静止摩擦力を発光素子に与えるクランプ手段と、前記点灯試験のポジションよりも更に半径方向外方に位置する受光手段と、を備えること、を特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
前記ロータリーテーブルは、互いに重ならないように複数備えられ、回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置してなり、前記発光素子の発光面をテーブル半径方向外方に向けて搬送する前記ロータリーテーブルの一つに前記点灯試験のポジションが設定されるようにしてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月19日(2015.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給ユニットから発光素子を取り出し、発光素子の光学特性を試験して、発光素子を収容ユニットに渡す点灯試験装置であって、
円周方向に所定角度ずつ間欠回転しつつ、前記供給ユニットから発光素子を取り出して、発光素子を半径方向外方で保持して搬送し、発光素子を収容ユニットに渡すロータリーテーブルと、
前記ロータリーテーブルの円周に複数取り付けられ、前記搬送中、前記ロータリーテーブルの半径方向外方の面で発光素子を保持するとともに、発光素子を保持する面が向く方向と直交する方向である、前記ロータリーテーブルの平面上方又は平面下方に膨出する測定ベースと、
前記間欠回転に伴う前記測定ベースの停止位置の１つに対して、前記ロータリーテーブルの半径方向外方に位置する点灯試験のポジションと、
発光素子を前記点灯試験のポジションに位置させるように前記測定ベースを進出させる進退駆動手段と、
前記ロータリーテーブルから膨出した前記測定ベースに向けて、前記ロータリーテーブル中心側から半径方向に沿って延びるプローブと、
前記プローブを前記測定ベースに差し込んで前記測定ベース上の発光素子に接触させるプローブ駆動手段と、
前記測定ベース上の発光素子を側面から挟み込んで、発光素子と前記プローブの接触荷重に抗するための静止摩擦力を発光素子に与えるクランプ手段と、
前記点灯試験のポジションよりも更に半径方向外方に位置する受光手段と、
を備え、
前記測定ベースは、
前記点灯試験の際、前記点灯試験のポジションの下方から当該ポジションに向けて移動して、発光素子を当該ポジションに位置させ、
前記プローブ駆動手段は、前記プローブを前記測定ベースに貫通させる移動期間を前記測定ベースの移動期間と少なくとも一部重複させ、前記測定ベースの進出中に前記プローブを前記測定ベースに差し込むこと、
を特徴とする点灯試験装置。
【請求項２】
前記測定ベースに埋設されて前記測定ベースに開口を有し、前記測定ベースに載置された発光素子を吸着する吸着ノズルを更に備え、
前記吸着ノズルは、前記接触荷重に対抗する前記静止摩擦力を吸引力により補助すること、
を特徴とする請求項１記載の点灯試験装置。
【請求項３】
前記クランプ手段は、前記接触荷重から前記吸引力を差し引いた前記静止摩擦力を発光素子に与えるように当該発光素子を挟み込むこと、
を特徴とする請求項２記載の点灯試験装置。
【請求項４】
前記ロータリーテーブルは、互いに重ならないように複数備えられ、回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置してなり、
前記発光素子の発光面をテーブル半径方向外方に向けて搬送する前記ロータリーテーブルの一つに前記点灯試験のポジションが設定されること、
を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の点灯試験装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記のような課題を解決するための点灯試験装置は、供給ユニットから発光素子を取り出し、発光素子の光学特性を試験して、発光素子を収容ユニットに渡す点灯試験装置であって、円周方向に所定角度ずつ間欠回転しつつ、前記供給ユニットから発光素子を取り出して、発光素子を半径方向外方で保持して搬送し、発光素子を収容ユニットに渡すロータリーテーブルと、前記ロータリーテーブルの円周に複数取り付けられ、前記搬送中、前記ロータリーテーブルの半径方向外方の面で発光素子を保持するとともに、発光素子を保持する面が向く方向と直交する方向である、前記ロータリーテーブルの平面上方又は平面下方に膨出する測定ベースと、前記間欠回転に伴う前記測定ベースの停止位置の１つに対して、前記ロータリーテーブルの半径方向外方に位置する点灯試験のポジションと、発光素子を前記点灯試験のポジションに位置させるように前記測定ベースを進出させる進退駆動手段と、前記ロータリーテーブルから膨出した前記測定ベースに向けて、前記ロータリーテーブル中心側から半径方向に沿って延びるプローブと、前記プローブを前記測定ベースに差し込んで前記測定ベース上の発光素子に接触させるプローブ駆動手段と、前記測定ベース上の発光素子を側面から挟み込んで、発光素子と前記プローブの接触荷重に抗するための静止摩擦力を発光素子に与えるクランプ手段と、前記点灯試験のポジションよりも更に半径方向外方に位置する受光手段と、を備え、前記測定ベースは、前記点灯試験の際、前記点灯試験のポジションの下方から当該ポジションに向けて移動して、発光素子を当該ポジションに位置させ、前記プローブ駆動手段は、前記プローブを前記測定ベースに貫通させる移動期間を前記測定ベースの移動期間と少なくとも一部重複させ、前記測定ベースの進出中に前記プローブを前記測定ベースに差し込むこと、を特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】