(57)【要約】【課題】駆動周波数の近傍から連結部材の固有振動モードの周波数を除外し、低騒音かつ低振動で、駆動力の大きい超音波モータを提供する。【解決手段】高周波振動する振動子と、前記振動子と接触し前記振動子の高周波振動によって前記振動子に対して相対移動する摩擦部材と、前記振動子を保持し前記振動子と同期して移動する振動子ホルダと、前記振動子と前記振動子ホルダを連結する連結部材とを有する超音波モータであって、前記連結部材と前記振動子との結合部と前記連結部材と前記振動子ホルダとの結合部との間において、前記連結部材は厚さの異なる部分を有する。【選択図】図１
2015043671.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波振動する振動子と、
前記振動子と接触し前記振動子の高周波振動によって前記振動子に対して相対移動する摩擦部材と、
前記振動子を保持し前記振動子と同期して移動する振動子ホルダと、
前記振動子と前記振動子ホルダを連結する連結部材と、
を有し、
前記連結部材と前記振動子との結合部と前記連結部材と前記振動子ホルダとの結合部との間において、前記連結部材は厚さの異なる部分を有することを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記連結部材は厚肉部と前記厚肉部より薄い薄肉部を備え、前記薄肉部の両端に厚肉部が隣接していることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記連結部材の前記薄肉部の長さが、前記薄肉部の両端を固定した場合の１次固有振動モードの周波数がモータの駆動周波数と一致する長さより短いことを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項４】
前記連結部材と前記振動子との結合部と前記連結部材と前記振動子ホルダとの結合部との間において、前記連結部材は少なくとも２か所以上の前記薄肉部を有することを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項５】
前記連結部材と前記振動子との結合部と前記連結部材と前記振動子ホルダとの結合部との間において、複数の前記薄肉部の曲げ変形時の曲率中心軸が、お互いに略平行であることを特徴とする請求項３に記載の超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型軽量かつ高速駆動が求められるレンズ鏡筒、特に振動及び騒音を嫌う動画対応レンズ鏡筒に応用される超音波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子の超音波振動を利用した超音波モータは、小型で、高い駆動力が得られ、広い速度レンジに対応でき、低振動かつ低騒音であるという特徴を有している優れたアクチュエータである。図９（ａ）及び図９（ｂ）はこの超音波モータを有するリニア駆動ユニットを利用したレンズ鏡筒の説明のための図である。図９（ａ）はレンズ鏡筒の正面図であり、図９（ｂ）は一部を断面で示した側面図である。
【０００３】
図９（ａ）及び図９（ｂ）において、レンズ鏡筒は、外枠１０１と、外枠１０１内に配置されたフォーカスレンズ１０２と、フォーカスレンズ１０２を保持するフォーカスレンズホルダ１０３と、フォーカスレンズホルダ１０３を支持し光軸方向（図示Ｘ方向）に案内するガイド軸１０４及び１０５と、フォーカスレンズホルダ１０３を光軸方向に駆動するリニア駆動ユニット１０６を備えている。
【０００４】
図示されていないマイクロコンピュータからの移動命令に従い、リニア駆動ユニット１０６が所定の距離を移動することにより、フォーカスレンズ１０２とフォーカスレンズホルダ１０３を合焦位置に到達させることができる。
【０００５】
図１０（ａ）は図９（ａ）に示したリニア駆動ユニット１０６の拡大図であり、波線部は部分断面を表す。図１０（ａ）に示すリニア駆動ユニット１０６は、超音波モータ本体であり超音波振動する２つの突起を有する振動子２０１、振動子２０１を保持する振動子ホルダ２０２、リニア駆動ユニット１０６を光軸方向に案内するガイド軸２０３、振動子２０１の突起が当接し摩擦駆動する摩擦部材であるスライダ２０４、スライダ２０４の裏面に回転摺動するローラ２０５、振動子ホルダ２０２とローラ２０５を連結する枠体２０６、レンズホルダ１０３と連結される駆動伝達部位２０７を備えている。
【０００６】
スライダ２０４だけでは振動子２０１の直進性が保証できないが、ガイド軸２０３の案内作用により振動子２０１及び振動子ホルダ２０２は直線的に駆動することができる。また、ローラ２０５は駆動の際の摺動抵抗を軽減するために設けられている。
【０００７】
波線部に図示すように、リニア駆動ユニット１０６は、振動子２０１の裏面に貼り付けられた圧電素子３０１、圧電素子３０１を介して振動子２０１をスライダ２０４へ加圧するばね３０２、圧電素子３０１とばね３０２の間に設けられた加圧板３０３を備えている。図示されていない高周波給電手段により圧電素子３０１が伸縮することによって、振動子２０１が超音波振動しスライダ２０４に沿って摩擦駆動を行うことができる。
【０００８】
以上のようなリニア駆動ユニットの作用及び機能の詳細については特許文献１に開示されている。
【０００９】
図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）は、振動子２０１と振動子ホルダ２０２の連結構造を説明するための図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１０（ｃ）は図１０（ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。図１０（ｂ）において、振動子２０１と振動子ホルダ２０２を連結する連結部材４０１は振動子２０１とは２０１ａ部で溶接され、振動子ホルダ２０２とは２０２ａ部でビス締結されている。
【００１０】
カメラのフォーカスレンズは動画撮影時には、結像面において許容錯乱円の範囲でフォーカスレンズを駆動方向（図示Ｘ方向）に微小に往復移動させ、ピントのズレ方向を判定するいわゆる「ウォブリング動作」をする必要がある。
【００１１】
ここでウォブリング動作の周期は動画撮影のフレームレートの高速化にともなって高速化し、近年では６０ｆｐｓや１２０ｆｐｓのフレームレートまで対応する必要がある。従って、連結部材４０１にはフィードバック制御に対する高い周波数特性が要求されるので、振動子２０１と振動子ホルダ２０２の間から、駆動方向（図示Ｘ方向）のガタ要素や弾性変形要素を除外する必要がある。そこで、振動子２０１と振動子ホルダ２０２を連結する連結部材４０１は、少なくとも駆動方向（図示Ｘ方向）に高い剛性が保証できる板金部材が用いられる。また結合方法には溶接やビス締結が用いられる。
【００１２】
更に、連結部材４０１には以下の２つの理由から厚さが０．１ｍｍ程度の薄い板材が用いられる。（図面は板厚方向の寸法を誇張して描かれている。）
【００１３】
第一に連結部材４０１の剛性が高いと振動子２０１の超音波振動が阻害され、振動方向（図示Ｙ方向）の振幅が小さくなり、駆動力が低下するからである。２０２ａ部から２０１ａ部に至る連結部材の曲げ剛性を十分に弱くし、振動子の振動を阻害しないことによって、超音波モータに高い駆動力を発揮させることができる。
【００１４】
第二にスライダ２０４の部品寸法ばらつきと組立寸法ばらつきの範囲内で振動子２０１がスライダ２０４へ追従する必要があるからである。スライダ２０４及びスライダ２０４を固定する部品は高精度に加工されるものの、部品寸法ばらつきと組立寸法ばらつきを考慮すると振動方向（図示Ｙ方向）に０．３ｍｍ程度、または、それ以上のばらつきを許容する必要がある。連結部材４０１の厚を０．１ｍｍ程度に設定し、振動子の振動方向（図示Ｙ方向）に必要な柔軟性を確保することによって、スライダ２０４の寸法ばらつきに追従することができる。
【００１５】
以上のような連結部材については特許文献２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開２００１−２９２５８４号公報
【特許文献２】特開２０１２−１６１０７号公報
【特許文献３】特開平５−１６１３７０号公報
【特許文献４】特開２０１２―２９５２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
超音波モータを有するリニア駆動ユニットでは、振動子と振動子ホルダを連結する連結部材に対し、駆動方向には高い剛性、振動方向には柔軟性が要求される。この結果、要求を満たす連結部材として、駆動方向の寸法が数ｍｍで振動方向の寸法（板厚）が０．１ｍｍ程度の薄いプレス部材が用いられる。しかし、平板形状の連結部材は、面外の曲げ方向、面内の曲げ方向、伸縮方向、及び、ねじれ方向に非常に多くの固有振動モードを持つ梁として考えられる。このように非常に多くの固有振動モードを持つ梁を駆動ユニット内に有すると、共振により不要振動を発生し異音、特にいわゆる鳴きと呼ばれる高周波音の原因となり、従来の超音波モータの課題となっていた。
【００１８】
この課題についての詳細や従来提案されている対策については特許文献３及び４に開示されている。ただし、特許文献３に記載の対策では超音波モータの駆動特性が犠牲になるおそれがあり、又、特許文献４に記載の対策では、電気回路が複雑化するので、これらの対策には改良の余地があった。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記の課題を解決するために、本発明の超音波モータは、高周波振動する振動子と、
前記振動子と接触し前記振動子の高周波振動によって前記振動子に対して相対移動する摩擦部材と、前記振動子を保持し前記振動子と同期して移動する振動子ホルダと、
前記振動子と前記振動子ホルダを連結する連結部材と、を有し、前記連結部材と前記振動子との結合部と前記連結部材と前記振動子ホルダとの結合部との間において、前記連結部材は厚さの異なる部分を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、フィードバック制御に対する高い周波数特性、大きな駆動力、及び、摩擦部材（スライダ）への追従性を確保したまま、駆動周波数の近傍から連結部材の固有振動モードの周波数を除外することが容易となり、低騒音かつ低振動で、駆動力の大きい超音波モータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施例の超音波モータの要部を説明するための図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図２】図１に示す超音波モータの連結部材１の詳細図であり、図２（ａ）は、異なる厚さを有する連結部材を示し、図２（ｂ）及び図２（ｃ）は、異なる厚さを有する連結部材の形成方法について説明する図である。
【図３】連結部材を均一な厚さとした場合の連結部材の固有振動モードの周波数の分布を示すグラフであり、図３（ａ）に連結部材の板厚が０．１ｍｍの場合を、図３（ｂ）に０．３ｍｍの場合をそれぞれ示している。
【図４】連結部材の固有振動モードの周波数の分布を示す図である。
【図５】本発明の第１実施例の変形例を示す図であり、図５（ａ）は連結部材の平面図及び側面図であり、図５（ｂ）は連結部材において隣接する部分よりも曲げ剛性が弱い部分の両端を固定した場合の１次振動モードを表わしている。
【図６】本発明の第２実施例の超音波モータの要部を説明するための図であり、図６（ａ）は平面図及び側面図、図６（ｂ）は振動子を振動方向に変位させた場合の側面図であり、図６（ｃ）及び図６（ｄ）は、第１実施例において、図６（ａ）及び図６（ｂ）に対応する正面図及び側面図である。
【図７】本発明の第３実施例の超音波モータの要部を説明するための図であり、図７（ａ）は平面図、図７（ｂ）は振動子を振動方向に変位させた場合の側面図であり、図７（ｃ）及び図７（ｄ）は、第１実施例において、図７（ａ）及び図７（ｂ）に対応する正面図及び側面図である。
【図８】本発明の第４実施例の超音波モータの要部を説明するための正面図である。
【図９】従来の超音波モータの説明のための図であり、図９（ａ）はレンズ鏡筒の正面図、図９（ｂ）は一部を断面で示した側面図である。
【図１０】従来の超音波モータの説明のための図であり、図１０（ａ）は図９（ａ）に示したリニア駆動ユニットの拡大図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１０（ｃ）は図１０（ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
（第１実施例）
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図面において同一部分は同一符号で示してある。
【００２３】
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、本発明の第１実施例の超音波モータの要部を説明するための図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【００２４】
超音波モータを有するリニア駆動ユニットを利用したレンズ鏡筒の説明については図９（ａ）及び図９（ｂ）について説明した従来例と同様であるため説明を省略し、本発明の特徴である超音波モータの振動子と振動子ホルダの連結構造について説明する。同様に、振動子と接触し振動子の高周波振動によって振動子に対して相対移動する摩擦部材（スライダ）は、図１０（ａ）に記載の従来例と同様であるため説明を省略する。
【００２５】
図１は本発明の実施例である超音波モータの振動子２０１と、振動子２０１を保持し振動子２０１と同期して移動する振動子ホルダ２０２の連結構造の説明のための図である。図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図であって、図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）に相当する図である。図１において、連結部材１は、超音波振動する振動子２０１と振動子２０１を保持する振動子ホルダ２０２を連結している。連結部材１は振動子２０１とは部分２０１ａで溶接され、振動子ホルダ２０２とは部分２０２ａでビス締結されている。
【００２６】
図２は、図１に示す超音波モータの連結部材１の詳細図である。図２（ａ）は、異なる厚さを有する連結部材を示し、図２（ｂ）及び図２（ｃ）は、異なる厚さを有する連結部材の形成方法について説明する図である。
【００２７】
図２（a）に示す本実施例の連結部材１は、連結部材１と振動子２０１との結合部２０１ａと連結部材１と振動子ホルダ２０２との結合部２０２ａの間において、厚さの異なる部分を有する。連結部材１は十分な厚さ（図示Ｔ１）を有する厚肉部２１と、厚肉部２１より小さな厚さ（図示Ｔ２）を有する薄肉部２２によって構成されている。
【００２８】
このように部分的に異なる厚さを有する連結部材１の製作方法の例を以下に述べる。第一に、図２（ｂ）に示すように接着により上部材２１aと下部材２１ｂとの間に薄肉部２２を挟み固定する方法がある、また、第二に図２（ｃ）に示すように、アウトサート成型により薄肉部２２の周りに上部材２１ａと下部材２１ｂを成型する方法がある。ここで、厚肉部２１は、例えば厚さ０．３ｍｍの金属板、薄肉部２２は例えば厚さ０．０５ｍｍの金属板から形成されている。
【００２９】
ここで、連結部材１の全体を均一な厚さとした場合について説明する。図３は、本発明の第１実施例の効果を説明しており、連結部材を均一な厚さとした場合の連結部材の固有振動モードの周波数の分布であり、図３（ａ）に連結部材の板厚が０．１ｍｍの場合を、図３（ｂ）に０．３ｍｍの場合をそれぞれ示している。一般的に梁の全長を短く、又は、梁の断面の厚さを厚くして剛性を高くすれば梁の固有振動モードの数は減少する。このことは、図３（ａ）を見ると板厚が０．１ｍｍの場合は固有振動モードの周波数の分布が密であり、図３（ｂ）を見ると板厚が０．３ｍｍの場合は固有振動モードの周波数の分布が疎であることからも確認できる。
【００３０】
例えば超音波モータの駆動周波数が９２ｋＨｚ前後とすると、厚さが０．１ｍｍの場合は図３（ａ）に示す範囲Ａにおいて、連結部材１が駆動周波数と共振する可能性が高い。この共振が、分数調波振動により低周波領域に不要な振動を励起した場合には、振動や騒音の原因、又は、振動子の振動を阻害し駆動力を低下させる原因ともなる。
【００３１】
これに対して、厚さが０．３ｍｍの場合は固有振動モードの周波数の分布が疎になり、駆動周波数である９２ｋＨｚの近傍（図３（ｂ）に示す範囲Ｂ）から連結部材１の固有振動モードの周波数を除外できていることが解る。しかし、このように単純に連結部材の梁としての剛性を高くすると、振動方向の柔軟性が損なわれ、前述の通り、振動を阻害し駆動力が低下する、又は、スライダの寸法ばらつきが生じた時のスライダへの追従性を損なう結果となる。
【００３２】
このように、駆動力やスライダへの追従性を確保するために単純な平板状の連結部材を用いると、振動方向の柔軟性を維持しつつ駆動周波数の近傍から連結部材の固有振動モードの周波数を除外できず、連結部材の共振が誘発されてしまうことがある。その結果、振動や騒音、又は、駆動力の低下が生じる場合がある。単純な平板状の連結部材では、振動や騒音の低減と、駆動力やスライダへの追従性の両立が困難であるといえる。
【００３３】
そこで、本発明の第１実施例においては、図２に示す厚肉部２１は連結部材１の大部分を占めており、これにより当該部分の剛性を高め固有振動モードの数を減少させている。そのため超音波モータの駆動周波数の近傍から連結部材の固有振動モードの周波数を除外することが容易となる。その結果、分数調波振動等により低周波領域に不要な振動を励起することなく、振動や騒音が発生しない。
【００３４】
上記のように連結部材１において、薄肉部２２に対して厚肉部２１の割合を大きくすると固有振動モードの数が減少するが、これだけでは連結部材全体の曲げ剛性が上昇し振動方向（図１及び図３に示す矢印Ｙ方向）の柔軟性が損なわれてしまう。そこで、連結部材１の限られた一部をより薄くした薄肉部２２とすることで、曲げ剛性を低下させ振動方向の柔軟性を維持している。そのため振動子の振動を阻害せず、またスライダへの追従性を確保できる。
【００３５】
図４はその一例であって、ある寸法における連結部材１の固有振動モードの周波数の分布である。図４のように連結部材１が厚肉部２１と薄肉部２２で構成される場合と図３(ａ)のように連結部材全体が一定の厚肉である場合の固有振動モードの周波数の分布を比較すると、図４では図３（ａ）に対して固有振動モードの周波数の分布が疎になっている。また、図４では駆動周波数である９２ｋＨｚの近傍（範囲Ａ）から連結部材１の固有振動モードの周波数を除外できていることが解る。また、これらの２つの場合において振動方向の柔軟性は同等であった。
【００３６】
更に、図５では薄肉部２２の長さを短くすることによる固有振動モードの数を減少させる効果について説明する。図５は、第１実施例の変形例を示す図であり、図５（ａ）は連結部材１の平面図および側面図を表わしている。図５（ｂ）は連結部材１において隣接する部分よりも曲げ剛性が弱い部分（本実施例では薄肉部２２）の両端を固定した場合の１次固有振動モードを表わしている。また、図５（ｂ）に示す両端固定梁の１次固有振動モードが駆動周波数と一致する時の上記梁の長さをＬ２とする。
【００３７】
本実施例では連結部材１の薄肉部２２の固有振動モードの周波数を駆動周波数の近傍から除外するため、隣接する部分よりも曲げ剛性が弱い部分の長さＬ１をＬ２よりも短くしている。これにより薄肉部２２の固有振動モードの周波数は全て駆動周波数よりも高くなる。以上のように薄肉部２２の長さを決定することで、連結部材１全体の固有振動モードの周波数をより容易に駆動周波数近傍から除外することができる。ただし、Ｌ１がＬ２以上の寸法となっていても、図４のように駆動周波数近傍から連結部材の固有振動モードの周波数を除外できていれば本発明の効果は得られる。
【００３８】
（第２実施例）
図６は、本発明の第２実施例の超音波モータの要部を説明するための図であり、図６（ａ）は平面図及び側面図、図６（ｂ）は振動子を振動方向に変位させた場合の側面図であり、図６（ｃ）及び図６（ｄ）は、第１実施例において、図６（ａ）及び図６（ｂ）に対応する正面図及び側面図である。
【００３９】
第１実施例では、連結部材１の大部分を厚肉化し、限られた一部をより薄肉化することで振動方向の柔軟性を損なわずに固有振動モードの周波数の密度を疎にしている。同様の方法で振動方向の柔軟性を損なわず固有振動モードの周波数の密度を疎にした第２実施例を図６（ａ）に示す。これに対して第１実施例の連結部材１を図６（ｃ）に示す。
【００４０】
また、図６（ａ）では、連結部材１において振動子ホルダ２０２との結合部２０２aと振動子２０１との結合部２０２ｂの間に曲げ剛性が隣接する部分よりも弱い部分（本実施例では薄肉部２２）を１か所設けている。これに対して図６（ｃ）では連結部材１において振動子ホルダ２０２との結合部２０２aと振動子２０１との結合部２０２ｂの間に曲げ剛性が隣接する部分よりも弱い部分（薄肉部）を２か所設けている。
【００４１】
図６（ａ）及び図６（ｃ）の構成において振動子２０１を振動方向（Ｙ方向）に変位させた場合のそれぞれの側面図を図６（ｂ）及び図６（ｄ）に示す（変形量については誇張して描かれている）。図６（ｂ）では、振動子２０１を振動方向に変位させると振動子ホルダ２０２との結合部２０２aと振動子との結合部２０２ｂの間に関節部が１か所しかないため、厚肉部２１に振動子２０１の変位を阻害する方向の偶力が発生する。
【００４２】
これに対して、図６（ｄ）では振動子２０１を振動方向に変位させると振動子ホルダ２０２との結合部２０２aと振動子との結合部２０２ｂの間に関節部が２か所あるため、厚肉部２１に振動子２０１の変位を阻害する方向の偶力が発生しない。これにより、振動子２０１の振動方向の柔軟性を維持している。以上の説明の通り、剛性の弱い部分が２か所以上あれば振動子の振動を阻害せず、かつ振動方向の柔軟性を損なわない状態が容易に実現できる。ただし、曲げ剛性が隣接する部分よりも弱い部分が振動子ホルダ２０２との結合部２０２aと振動子２０１との結合部２０２ｂの間に１か所しかない場合であっても、振動子の振動を阻害せず振動方向の柔軟性を損なわない範囲であれば本発明の効果は得られる。
【００４３】
（第３実施例）
図７は、本発明の第３実施例の超音波モータの要部を説明するための図であり、図７（ａ）は平面図、図７（ｂ）は振動子を振動方向に変位させた場合の側面図であり、図７（ｃ）及び図７（ｄ）は、第１実施例において、図７（ａ）及び図７（ｂ）に対応する正面図及び側面図である。
【００４４】
ここで、連結部材の大部分を厚肉化し、限られた一部を薄肉化し、連結部材１において振動子ホルダ２０２との結合部２０２aと振動子２０１との結合部２０２ｂの間に曲げ剛性が隣接する部分よりも弱い部分を少なくとも２か所設けている第３実施例を図７（ａ）に示す。比較のため第１実施例を図７（ｃ）に示す。図７（ａ）及び図７（ｃ）の構成において振動子２０１を振動方向（Ｙ方向）に変位させた場合のそれぞれの側面図を図７（ｂ）及び図７（ｄ）に示す（変形量については誇張して描かれている）。
【００４５】
図７（ａ）に示すような構成の場合、これまでの説明の通り振動子２０１の振動方向の柔軟性を維持しつつ梁の曲げの固有振動モードの数を減少させることができる。しかし、連結部材１において、曲げ剛性の弱い部分の曲げ変形時の曲率中心軸Ｚが略平行ではないため、振動子２０１の振動によって例えば部分６２２ａにねじり方向の振動が発生し、部分６２２ｂに曲げ方向の振動が発生する。この結果として、曲げの振動とねじりの振動が組み合わされた複雑な振動モードが発生する。この振動は予測および除外が困難であるため、上記振動の発生を防ぐ必要がある。
【００４６】
そこで、図７（ｃ）に示す第３実施例では、連結部材１において、振動子２０１との結合部と振動子ホルダ２０２との結合部の間に曲げ剛性の弱い複数の部分（図７（ｃ）では８か所）の曲げ変形時の曲率中心軸を略平行としている。この時は部分２２ａ、部分２２ｂ共に曲げ振動が発生する。
【００４７】
これにより上記の複雑な振動を防いでおり、連結部の固有振動モードの周波数を駆動周波数の近傍から除外することをより容易としている。ただし、図７（ｂ）及び図７（ｃ）のような構成となっていてもねじれ振動が発生しない、もしくは、ねじれ振動が発生しても振動、騒音、または駆動力の低下が生じない範囲であれば本発明の効果は得られる。
【００４８】
以上の説明のように、本発明の超音波モータは、連結部材１の剛性が高いが、振動方向の柔軟性が確保でき、駆動方向（Ｘ方向）のガタ要素や弾性変形要素を除外できる構成となっている。
【００４９】
この構成により、本発明の超音波モータは、フィードバック制御に対する高い周波数特性、大きな駆動力、及び、スライダへの追従性を確保したまま、駆動周波数の近傍から連結部材１の固有振動モードの周波数を除外することが容易となる。この結果、低騒音かつ低振動で、駆動力の大きい超音波モータを提供することができる。
【００５０】
（第４実施例）
これまで説明した第１乃至第３実施例では、主に振動子２０１の振動方向の柔軟性を維持するために、連結部材１の一部の厚さを薄くし当該部分の曲げ剛性を低下させた。しかし曲げ剛性を低下させる方法には、その他として曲げ剛性を低下させたい位置にスリット部を設けるといった方法も挙げられる。
【００５１】
第４実施例では、図８に示すように曲げ剛性を低下させるためにスリット部７２２ｃを設けている。このような方法によっても、固有振動モードの数を増加させることなく曲げ剛性を低下させることができる。又、これら以外の方法であっても結果として連結部材の固有振動モードの数を減少させ駆動周波数の近傍から連結部材の固有振動モードの周波数を除外できれば、本発明の効果を得ることができる。
【００５２】
上述の各実施例では厚肉部と薄肉部の２種類の厚さの部分を有する連結部材を説明したが、連結部材は２種類以上の厚さを有する部分を備えることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、小型軽量かつ高速駆動が求められるレンズ鏡筒、特に振動、騒音を嫌う動画対応レンズ鏡筒等に利用可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１        連結部材
２１      厚肉部
２２      薄肉部
２０１    振動子
２０２    振動子ホルダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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