(57)【要約】【課題】安価かつ簡単な構成で静定時間を短くすることができる除振台を提供する。【解決手段】除振台１は、検査対象物を搭載する架台２と、架台２を保持する空気バネ１０ａと、架台２の高さが基準の高さより低く又は高くなった際に、空気バネ１０ａへの給気又は空気バネ１０ａからの排気を行う微調整用レベリングバルブ１１ａと、架台２の高さが第１の閾値より低くなった又は第２の閾値より高くなった際に、空気バネ１０ａへの給気又は空気バネ１０ａからの排気を行う急速給気用レベリングバルブ１２ａまたは急速排気用レベリングバルブ１３ａと、を有する。【選択図】図２
2015132337.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を搭載する架台と、
前記架台を保持する気体バネと、
前記架台の高さが基準の高さより低く又は高くなった際に、前記気体バネへの給気又は前記気体バネからの排気を行う第１の開閉弁と、
前記架台の高さが第１の閾値より低くなった又は第２の閾値より高くなった際に、前記気体バネへの給気又は前記気体バネからの排気を行う第２の開閉弁と、
を有することを特徴とする除振台。
【請求項２】
前記第１の開閉弁及び前記第２の開閉弁は、前記架台の中心から外側に、前記第１の開閉弁、前記第２の開閉弁の順に配置されることを特徴とする請求項１に記載の除振台。
【請求項３】
前記気体バネに連通し、前記気体バネ内の圧力を安定させる付加タンクを更に有し、
前記第１の開閉弁は、前記付加タンクに連通し、前記付加タンクを介して、前記気体バネへの給気又は前記気体バネからの排気を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の除振台。
【請求項４】
前記気体バネを複数有し、
前記複数の気体バネに隣接して前記第１の開閉弁及び前記第２の開閉弁が設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の除振台。
【請求項５】
基盤を検査する基盤検査装置であって、
前記基盤を検査するための可動式の検査ヘッドと、
前記基盤を搭載する架台と、
前記架台を保持する気体バネと、
前記架台の高さが基準の高さより低く又は高くなった際に、前記気体バネへの給気又は前記気体バネからの排気を行う第１の開閉弁と、
前記架台の高さが第１の閾値より低くなった又は第２の閾値より高くなった際に、前記気体バネへの給気又は前記気体バネからの排気を行う第２の開閉弁と、
を有することを特徴とする基盤検査装置。
【請求項６】
前記第１の開閉弁及び前記第２の開閉弁は、前記架台の中心から外側に、前記第１の開閉弁、前記第２の開閉弁の順に配置されることを特徴とする請求項５に記載の基盤検査装置。
【請求項７】
前記気体バネに連通し、前記気体バネ内の圧力を安定させる付加タンクを更に有し、
前記第１の開閉弁は、前記付加タンクに連通し、前記付加タンクを介して、前記気体バネへの給気又は前記気体バネからの排気を行うことを特徴とする請求項５又は６に記載の基盤検査装置。
【請求項８】
前記気体バネを複数有し、
前記複数の気体バネに隣接して前記第１の開閉弁及び前記第２の開閉弁が設けられていることを特徴とする請求項５から７のいずれか１つに記載の基盤検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除振台及び基盤検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＦＰＤ（Flat Panel Display）等の基盤を検査するために、除振台が用いられている。この除振台は、架台の上に検査対象の基盤等を配置される第１ステージと、検査ヘッドが配置される第２ステージとを有する。また、除振台は、架台を空気バネで保持し、床等からの振動を軽減するとともに、架台を水平に保つようにしている。この空気バネへの給気または排気の制御は、空気バネに隣接して設けられたレベリングバルブでよって行われている。
【０００３】
除振台は、検査を行うために、第１及び第２のステージが移動可能となっており、これらの第１及び第２のステージが移動すると、重心位置が変化することで、架台が大きく傾斜する。架台が基準高さ（水平）から傾くと、正常な検査ができないため、架台が水平になるまで検査を中断しなければならなかった。
【０００４】
従来の除振台は、除振を行うための通常のレベリングバルブだけしか設けられていないため、架台が水平になるまでの静定時間が非常に長くなっていた。
【０００５】
そのため、特許文献１には、空気バネに空気を供給する付加タンクの圧力を検出する圧力センサを設け、検出した圧力に応じて電磁弁を開閉することで付加タンクの圧力制御を行い、静定時間を短縮する除振台が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−２９６２８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、付加タンクの圧力を検出する圧力センサを設けた除振台は、圧力センサを設けることで高価となり、さらに、圧力に応じて電磁弁の開閉を制御するため構成が非常に複雑になる。
【０００８】
そこで、本発明は、安価かつ簡単な構成で静定時間を短くすることができる除振台を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様の除振台は、検査対象物を搭載する架台と、前記架台を保持する気体バネと、前記架台の高さが基準の高さより低く又は高くなった際に、前記気体バネへの給気又は前記気体バネからの排気を行う第１の開閉弁と、前記架台の高さが第１の閾値より低くなった又は第２の閾値より高くなった際に、前記気体バネへの給気又は前記気体バネからの排気を行う第２の開閉弁と、を有する。
【００１０】
また、本発明の一態様の基盤検査装置は、基盤を検査する基盤検査装置であって、前記基盤を検査するための可動式の検査ヘッドと、前記基盤を搭載する架台と、前記架台を保持する気体バネと、前記架台の高さが基準の高さより低く又は高くなった際に、前記気体バネへの給気又は前記気体バネからの排気を行う第１の開閉弁と、前記架台の高さが第１の閾値より低くなった又は第２の閾値より高くなった際に、前記気体バネへの給気又は前記気体バネからの排気を行う第２の開閉弁と、を有する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の除振台によれば、安価かつ簡単な構成で静定時間を短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態に係る除振台の全体構成の一例を示す図である。
【図２】レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの詳細な構成を説明するための図である。
【図３】架台２の高さが第１の閾値より低い場合の作用について説明するための図である。
【図４】各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの動作チャートを説明するための図である。
【図５】各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの動作を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
【００１４】
まず、図１を用いて、本実施形態の除振台の全体構成について説明する。図１は、本実施形態に係る除振台の全体構成の一例を示す図である。なお、図１（ａ）は、除振台を真上から見た図であり、図１（ｂ）は、除振台を図１（ａ）のＸ方向から見た図であり、図１（ｃ）は、除振台を図１（ａ）のＹ方向から見た図である。また、図１（ａ）では、説明を簡単にするために架台の上に配置される構造物の図示を省略している。
【００１５】
除振台１は、架台２の上に可動機構３を介して、検査対象の基盤等が配置される第１ステージ４が取り付けられている。また、架台２の上には、門型のガントリー５が配置されている。ガントリー５には、可動機構６を介して第２ステージ７が取り付けられ、この第２ステージ７に、例えばレーザ顕微鏡等の検査ヘッド８が搭載されている。これにより、第１ステージをＸ方向に可動することができ、第２ステージをＹ方向に可動することができる。この除振台１は、検査ヘッド８により基盤を検査する基盤検査装置を構成する。
【００１６】
また、架台２は、３箇所に配置された気体バネとしての空気バネ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃにより保持される。なお、空気バネ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃには、空気供給源（図２参照）から空気が供給されるようになっているが、空気以外の気体が供給されてもよい。空気バネ１０ａ〜１０ｃは、床からの振動を軽減するとともに、第１ステージ４または第２ステージ７が可動して重心が変化した際に、架台２を水平に保つ機能を有する。
【００１７】
空気バネ１０ａ〜１０ｃへの給気または空気バネ１０ａ〜１０ｃからの排気の制御は、３箇所の空気バネ１０ａ〜１０ｃにのそれぞれに隣接して配置された複数のレベリングバルブ（開閉弁）によって行われる。
【００１８】
本実施形態では、空気バネ１０ａに隣接して配置された複数のレベリングバルブは、除振を行うための通常の微調整用レベリングバルブ１１ａと、急速に給気を行うための急速給気用レベリングバルブ１２ａと、急速に排気を行うための急速排気用レベリングバルブ１３ａとにより構成される。なお、以下の説明では、微調整用レベリングバルブ１１ａ、急速給気用レベリングバルブ１２ａ、及び、急速排気用レベリングバルブ１３ａを単にレベリングバルブともいう。後述する微調整用レベリングバルブ１１ｂ、１１ｃ、急速給気用レベリングバルブ１２ｂ、１２ｃ、急速排気用レベリングバルブ１３ｂ、１３ｃについても同様である。
【００１９】
各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａは、架台２の中心から外側に、微調整用レベリングバルブ１１ａ、急速給気用レベリングバルブ１２ａ、急速排気用レベリングバルブ１３ａの順に配置される。なお、各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの配置の順番は、上記順番に限定されることはなく、他の順番であってもよい。
【００２０】
同様に、空気バネ１０ｂに隣接して配置された複数のレベリングバルブは、微調整用レベリングバルブ１１ｂと、急速給気用レベリングバルブ１２ｂと、急速排気用レベリングバルブ１３ｂとにより構成される。そして、各レベリングバルブ１１ｂ〜１３ｂは、架台２の中心から外側に、微調整用レベリングバルブ１１ｂ、急速給気用レベリングバルブ１２ｂ、急速排気用レベリングバルブ１３ｂの順に配置される。
【００２１】
同様に、空気バネ１０ｃに隣接して配置された複数のレベリングバルブは、微調整用レベリングバルブ１１ｃと、急速給気用レベリングバルブ１２ｃと、急速排気用レベリングバルブ１３ｃとにより構成される。そして、各レベリングバルブ１１ｃ〜１３ｃは、架台２の中心から外側に、微調整用レベリングバルブ１１ｃ、急速給気用レベリングバルブ１２ｃ、急速排気用レベリングバルブ１３ｃの順に配置される。
【００２２】
空気バネ１０ａの下には、空気バネ１０ａ内の圧力を安定されるための付加タンク１４ａが配置されている。付加タンク１４ａの横側の所定の位置には、各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａ、１１ｂ〜１３ｂ、１１ｃ〜１３ｃが取り付けられる取り付け用ステージ１５が設けられている。また、付加タンク１４ａの下側の所定の位置には、床等に設置される除振足１６が設けられている。なお、図示は省略しているが、空気バネ１０ｂ及び１０ｃの下にも付加タンクが配置されている。
【００２３】
なお、各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａ、１１ｂ〜１３ｂ及び１１ｃ〜１３ｃは、それぞれ空気バネ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃに隣接して３箇所に配置されているが、配置される箇所は３箇所に限定されるものではなく、少なくとも１箇所以上に配置されていればよい。
【００２４】
本実施形態の除振台１は、微調整用レベリングバルブ１１ａに加え、急速給気用レベリングバルブ１２ａ及び急速排気用レベリングバルブ１３ａを用いて、架台２が水平の状態から大きく傾いた際に、急速に給気または急速に排気を行うことで、静定時間を短縮するようにしている。
【００２５】
なお、除振台１は、急速給気用レベリングバルブ１２ａ及び急速排気用レベリングバルブ１３ａのいずれか一方のみを追加した構成であってもよい。すなわち、急速に給気または急速に排気を行うだけでも、微調整用レベリングバルブ１１ａのみの構成よりも静定時間を短縮することができる。
【００２６】
ここで、各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａ、１１ｂ〜１３ｂ、１１ｃ〜１３ｃの詳細な構成について説明する。各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａ、１１ｂ〜１３ｂ、１１ｃ〜１３ｃは同様の構成のため、代表してレベリングバルブ１１ａ〜１３ａについて説明する。
【００２７】
図２は、レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの詳細な構成を説明するための図である。
【００２８】
微調整用レベリングバルブ１１ａは、給排気管路２１を介して付加タンク１４ａに連通する。付加タンク１４ａは、給排気管路２２を介して空気バネ１０ａに連通する。給排気管路２２の途中の所定の位置には、排気量のみを制御するためのスピードコントローラ２３が設けられている。さらに、急速給気用レベリングバルブ１２ａ及び急速排気用レベリングバルブ１３ａは、給排気管路２４を介して空気バネ１０ａに連通する。なお、急速給気用レベリングバルブ１２ａ及び急速排気用レベリングバルブ１３ａは、給排気管路２４を介して空気バネ１０ａに連通しているが、付加タンク１４ａに連通するようにしてもよい。
【００２９】
微調整用レベリングバルブ１１ａは、空気供給源からの給気を行うための給気管路３０ａ及び給気管路３０ａに連通する空間３０ｂを有するシリンダー３０と、空間３０ｂ内に配置されたバルブヘッド３１ａ、シリンダー３０内を摺動するバルブ軸３１ｂ及びシリンダー３０の外部に配置されたバルブエンド３１ｃを有するバルブ３１とを備える。また、バルブ３１の略中心には、付加タンク１４ａからの排気を行うための貫通孔３１ｄが設けられている。
【００３０】
バルブヘッド３１ａには、給気管路３０ａを塞ぐためのシール部材３２が設けられている。また、シリンダー３０の上面とバルブエンド３１ｃとの間には、バネ部材３３が設けられている。
【００３１】
また、シリンダー３０の上面の所定の位置には、支持部材３４と、支持部材３４に支持されたＬ字型のシーソー３５とが設けられている。シーソー３５の架台２側の先端には、架台２の底面が押し当たる押当ピン３６が設けられている。また、シーソー３５の底面の所定の位置には、バルブ３１に設けられた貫通孔３１ｄを塞ぐためのシール部材３７が設けられている。シーソー３５は、架台２の高さの変化により押当ピン３６が押し当てられると、支持部材３４を支点にしてシーソーの作用で上下に可動する。なお、シーソー３５は、図示しない圧縮バネにより、常時シーソー３５が押上げられる方向に力が作用している。
【００３２】
微調整用レベリングバルブ１１ａは、架台２の高さが基準高さ（水平）の場合、貫通孔３１ｄとシール部材３７と密着状態となる。また、微調整用レベリングバルブ１１ａは、バルブ３１がバネ部材３３の不勢力によって予め決められた位置まで押し上げられているため、給気管路３０ａとシール部材３２とが密着状態となる。このように、微調整用レベリングバルブ１１ａは、架台２の高さが基準高さ（水平）の場合、給気管路３０ａがシール部材３２により塞がれ、貫通孔３１ｄがシール部材３７に塞がれるため、給気及び排気が行われない動作ＯＦＦの状態となる。
【００３３】
また、架台２の高さが基準高さ（水平）より高い場合、架台２が押当ピン３６を押し当てる力が小さくなり、シーソー３５が上方向に移動する。これにより、貫通孔３１ｄとシール部材３７との密着状態が解除され、貫通孔３１ｄが外部と連通する。このように、微調整用レベリングバルブ１１ａは、架台２の高さが基準高さ（水平）より高い場合、付加タンク１４ａの空気が給排気管路２１、空間３０ｂ及び貫通孔３１ｄを介して外部に放出される排気状態となる。
【００３４】
また、架台２の高さが基準高さ（水平）より低い場合、架台２が押当ピン３６を押し当てる力が大きくなり、シーソー３５が下方向に移動する。これにより、バルブ３１がバネ部材３３の不勢力に抗して下方向に移動し、給気管路３０ａとシール部材３２との密着状態が解除され、給気管路３０ａが空間３０ｂと連通する。このように、微調整用レベリングバルブ１１ａは、架台２の高さが基準高さ（水平）より低い場合、空気供給源からの空気が給気管路３０ａ、空間３０ｂ及び給排気管路２１を介して付加タンク１４ａに供給される給気状態となる。
【００３５】
微調整用レベリングバルブ１１ａは、架台２の高さが基準高さ（水平）より低く又は高くなった際に、空気バネ１０ａへの給気又は空気バネ１０ａからの排気を行う第１の開閉弁を構成する。
【００３６】
次に、急速給気用レベリングバルブ１２ａの構成について説明する。なお、急速給気用レベリングバルブ１２ａでは、微調整用レベリングバルブ１１ａと異なる構成についてのみ符号を付して説明する。なお、後述する図４で詳細な説明をするが、急速給気用レベリングバルブ１２ａは、符号４１（図４参照）の一点鎖線で示すように、架台２の高さが第１の閾値より低くなった場合のみ給気が行われる構成となっている。
【００３７】
急速給気用レベリングバルブ１２ａは、押当ピン３６ａの位置が微調整用レベリングバルブ１１ａの押当ピン３６の位置よりも低い位置となるシーソー３５ａが設けられている。また、急速給気用レベリングバルブ１２ａは、バルブ３１の貫通孔３１ｄを常に塞ぐように、バルブエンド３１ｃの上面にシール部材３８が設けられている。このような構成により、急速給気用レベリングバルブ１２ａは、排気が常に行われず、架台２の高さが基準高さよりも極端に低くなった場合のみ、本実施形態では、架台２の高さが基準高さよりも、さらには第１の閾値より低くなった場合のみ給気が行われる。
【００３８】
次に、急速排気用レベリングバルブ１３ａの構成について説明する。なお、急速排気用レベリングバルブ１３ａでは、微調整用レベリングバルブ１１ａと異なる構成についてのみ符号を付して説明する。なお、後述する図４で詳細な説明をするが、急速排気用レベリングバルブ１３ａは、符号４２（図４参照）の二点鎖線で示すように、架台２の高さが第２の閾値より高くなった場合のみ排気が行われる構成となっている。
【００３９】
急速排気用レベリングバルブ１３ａは、押当ピン３６ｂの位置が微調整用レベリングバルブ１１ａの押当ピン３６の位置よりも高い位置となるシーソー３５ｂが設けられている。また、急速排気用レベリングバルブ１３ａは、シリンダー３０の給気管路３０ａを常に塞ぐように、プラグ３９が設けられている。このような構成により、急速排気用レベリングバルブ１３ａは、給気が常に行われず、架台２の高さが基準高さよりも極端に高くなった場合のみ、本実施形態では、架台２の高さが基準高さよりも、さらには第２の閾値より高くなった場合のみ排気が行われる。
【００４０】
急速給気用レベリングバルブ１２ａまたは急速排気用レベリングバルブ１３ａは、架台２の高さが第１の閾値より低くなった又は第２の閾値より高くなった際に、空気バネ１０ａへの給気又は空気バネ１０ａからの排気を行う第２の開閉弁を構成する。
【００４１】
なお、急速給気用レベリングバルブ１２ａ及び急速排気用レベリングバルブ１３ａは、微調整用レベリングバルブ１１ａとほぼ同様の構成のものを使用しているが、微調整用レベリングバルブ１１ａよりも簡単な構成のものを使用してもよい。例えば、急速給気用レベリングバルブ１２ａは、排気を行わないため、バルブ３１の貫通孔３１ｄを設けなくてもよい。これにより、貫通孔３１ｄを塞ぐためのシール部材３８も設ける必要がなくなる。また、急速排気用レベリングバルブ１３ａは、給気を行わないため、シリンダー３０の給気管路３０ａを設けなくてもよい。これにより、給気管路３０ａを塞ぐためのプラグ３９も設ける必要がなくなる。
【００４２】
次に、このように構成された除振台１の作用について説明する。
【００４３】
まず、架台２の高さが基準高さ（水平）より極端に低い、すなわち、第１の閾値より低い場合について図３を用いて説明する。図３は、架台２の高さが第１の閾値より低い場合の作用について説明するための図である。
【００４４】
架台２の高さが第１の閾値より低くなると、架台２が微調整用レベリングバルブ１１ａの押当ピン３６を押し当てる力が大きくなり、シーソー３５が支持部材３４を支点としてシーソーの作用で下方向に可動する。これにより、バルブ３１がバネ部材３３の不勢力に抗して下方向に移動し、給気管路３０ａとシール部材３２との密着状態が解除される。この結果、給気管路３０ａと空間３０ｂとが連通し、空気供給源からの空気が給排気管路２１を介して付加タンク１４ａに供給される。付加タンク１４ａに供給された空気は、給排気管路２２を介して空気バネ１０ａに供給される。
【００４５】
急速給気用レベリングバルブ１２ａも同様に、シーソー３５ａが下方向に可動することで、バルブ３１がバネ部材３３の不勢力に抗して下方向に移動し、給気管路３０ａとシール部材３２との密着状態が解除される。この結果、給気管路３０ａと空間３０ｂとが連通し、空気供給源からの空気が給排気管路２４を介して、空気バネ１０ａに供給される。
【００４６】
このとき、急速排気用レベリングバルブ１３ａの給気管路３０ａは、プラグ３９により塞がれているため、バルブ３１がバネ部材３３の不勢力に抗して下方向に移動しても、給気は行われない。
【００４７】
微調整用レベリングバルブ１１ａ及び急速給気用レベリングバルブ１２ａによる給気により、空気バネ１０ａに空気が供給されると、架台２の高さが上がっていく。架台２の高さが第１の閾値以上かつ基準高さより低くなると、押当ピン３６ａの位置が押当ピン３６の位置よりも低いため、急速給気用レベリングバルブ１２ａのシーソー３５ａが上方向に可動する。そして、急速給気用レベリングバルブ１２ａのバネ部材３３に不勢力により、バルブ３１が上方向に移動し、シール部材３２により給気管路３０ａが塞がれる。これにより、急速給気用レベリングバルブ１２ａによる給気が停止し、動作ＯＦＦの状態となる。一方、微調整用レベリングバルブ１１ａは、給気を継続し、架台２の高さが基準高さになると給気を停止し、動作ＯＦＦの状態となる。
【００４８】
次に、架台２の高さが基準高さ（水平）より極端に高い、すなわち、第２の閾値より高い場合について上述した図２を用いて説明する。
【００４９】
架台２の高さが第２の閾値より高くなると、架台２が微調整用レベリングバルブ１１ａの押当ピン３６を押し当てる力が小さくなり、シーソー３５が支持部材３４を支点としてシーソーの作用で上方向に可動する。これにより、貫通孔３１ｄとシール部材３７との密着状態が解除される。この結果、貫通孔３１ｄと外部とが連通し、付加タンク１４ａからの空気が給排気管路２１、空間３０ｂ及び貫通孔３１ｄを介して外部に排出される。
【００５０】
急速排気用レベリングバルブ１３ａも同様に、シーソー３５ｂが上方向に可動することで貫通孔３１ｄとシール部材３７との密着状態が解除される。この結果、給気管路３０ａと空間３０ｂとが連通し、空気バネ１０ａからの空気が給排気管路２４、空間３０ｂ及び貫通孔３１ｄを介して外部に排出される。
【００５１】
このとき、急速給気用レベリングバルブ１２ａの貫通孔３１ｄは、シール部材３８により塞がれているため、シーソー３５ｂが上方向に移動しても、排気は行われない。
【００５２】
このような各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの動作チャートを図４を用いて説明する。図４は、各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの動作チャートを説明するための図である。図４において、符号４０で示す実線は、微調整用レベリングバルブ１１ａの動作チャートであり、符号４１で示す一点鎖線は、急速給気用レベリングバルブ１２ａの動作チャートであり、符号４２で示す二点鎖線は、急速排気用レベリングバルブ１３ａの動作チャートである。
【００５３】
図４に示すように、微調整用レベリングバルブ１１ａは、架台２の高さが基準高さ（水平）よりも低い場合（架台２の高さが第１の閾値よりも低い場合も含む）、給気を行う。そして、微調整用レベリングバルブ１１ａは、架台２の高さが基準高さ（水平）になると、給気も排気も行わない動作ＯＦＦとなる。さらに、微調整用レベリングバルブ１１ａは、架台２の高さが基準高さ（水平）よりも高い場合（架台２の高さが第２の閾値よりも高い場合も含む）、排気を行う。
【００５４】
また、急速給気用レベリングバルブ１２ａは、架台２の高さが第１の閾値よりも低い場合、給気を行う。そして、急速給気用レベリングバルブ１２ａは、架台２の高さが第１の閾値以上となった場合、動作ＯＦＦとなる。
【００５５】
また、急速排気用レベリングバルブ１３ａは、架台２の高さが第２の閾値よりも高い場合、排気を行う。そして、急速排気用レベリングバルブ１３ａは、架台２の高さが第２の閾値以下となった場合、動作ＯＦＦとなる。
【００５６】
このように、架台２の高さが第１の閾値よりも低い場合、微調整用レベリングバルブ１１ａ及び急速給気用レベリングバルブ１２ａによる給気により、空気バネ１０ａへの給気を急速に行う。一方、架台２の高さが第２の閾値よりも高い場合、微調整用レベリングバルブ１１ａ及び急速排気用レベリングバルブ１３ａによる排気により、空気バネ１０ａからの排気を急速に行う。そして、架台２の高さが第１の閾値以上かつ基準高さより低い場合、微調整用レベリングバルブ１１ａのみで給気を行い、架台２の高さが第２の閾値以下かつ基準高さより高い場合、微調整用レベリングバルブ１１ａのみで排気を行い、架台２の高さが基準高さになるようにする。
【００５７】
図５は、各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの動作を説明するためのフローチャートである。
【００５８】
まず、第１ステージ４または第２ステージ７による重心変化があると、架台２の高さが変化する（ステップＳ１）。この架台２の高さに応じて各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの動作が異なる。
【００５９】
架台２の高さが第１の閾値より低い場合、各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの動作は、急速排気用レベリングバルブ１３ａが動作ＯＦＦ、急速給気用レベリングバルブ１２ａが給気、及び、微調整用レベリングバルブ１１ａが給気となる（ステップＳ２）。
【００６０】
急速給気用レベリングバルブ１２ａが給気、及び、微調整用レベリングバルブ１１ａによる給気により、架台２の高さが第１の閾値以上かつ基準高さ（水平）より低くなった場合、各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの動作は、急速排気用レベリングバルブ１３ａが動作ＯＦＦ、急速給気用レベリングバルブ１２ａが動作ＯＦＦ、及び、微調整用レベリングバルブ１１ａが給気となる（ステップＳ３）。
【００６１】
微調整用レベリングバルブ１１ａの給気により、架台２の高さが基準高さ（水平）になった場合、各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの動作は、急速排気用レベリングバルブ１３ａが動作ＯＦＦ、急速給気用レベリングバルブ１２ａが動作ＯＦＦ、及び、微調整用レベリングバルブ１１ａが給気ＯＦＦ（動作ＯＦＦ）となる（ステップＳ４）。
【００６２】
一方、架台２の高さが第２の閾値より高い場合、各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの動作は、急速排気用レベリングバルブ１３ａが排気、急速給気用レベリングバルブ１２ａが動作ＯＦＦ、及び、微調整用レベリングバルブ１１ａが排気となる（ステップＳ５）。
【００６３】
急速排気用レベリングバルブ１３ａ、及び、微調整用レベリングバルブ１１ａによる排気により、架台２の高さが第２の閾値以下かつ基準高さ（水平）より高くなった場合、各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの動作は、急速排気用レベリングバルブ１３ａが動作ＯＦＦ、急速給気用レベリングバルブ１２ａが動作ＯＦＦ、及び、微調整用レベリングバルブ１１ａが排気となる（ステップＳ６）。
【００６４】
微調整用レベリングバルブ１１ａの排気により、架台２の高さが基準高さ（水平）になった場合、各レベリングバルブ１１ａ〜１３ａの動作は、急速排気用レベリングバルブ１３ａが動作ＯＦＦ、急速給気用レベリングバルブ１２ａが動作ＯＦＦ、及び、微調整用レベリングバルブ１１ａが排気ＯＦＦ（動作ＯＦＦ）となる（ステップＳ７）。
【００６５】
以上のように、除振台１は、微調整用レベリングバルブ１１ａに加え、急速給気用レベリングバルブ１２ａ及び急速排気用レベリングバルブ１３ａを設け、架台２が基準高さより極端に低い（第１の閾値より低い）場合、急速給気用レベリングバルブ１２ａによる給気、及び、微調整用レベリングバルブ１１ａによる給気を行うようにした。これにより、架台２が基準高さより極端に低い場合に、空気バネ１０ａへの急速な給気を行うようにしている。
【００６６】
一方、除振台１は、架台２が基準高さより極端に高い（第２の閾値より高い）場合、急速排気用レベリングバルブ１３ａによる排気、及び、微調整用レベリングバルブ１１ａによる排気を行うようにした。これにより、架台２が基準高さより極端に高い場合に、空気バネ１０ａからの急速な排気を行うようにしている。
【００６７】
このような構成により、除振台１は、微調整用レベリングバルブ１１ａのみを設けた構成よりも、架台２が水平になるまでの時間を短縮することができる。また、除振台１は、付加タンクの圧力を検出する圧力センサを設けておらず、検出した圧力に応じて電磁弁の開閉を制御する必要もないため、安価で簡単な構成になっている。
【００６８】
よって、本実施形態の除振台によれば、安価かつ簡単な構成で静定時間を短くすることができる。
【００６９】
なお、本明細書におけるフローチャート中の各ステップは、その性質に反しない限り、実行順序を変更し、複数同時に実行し、あるいは実行毎に異なった順序で実行してもよい。
【００７０】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変等が可能である。
【符号の説明】
【００７１】
１…除振台、２…架台、３，６…可動機構、４…第１ステージ、５…ガントリー、７…第２ステージ、８…検査ヘッド、１０ａ〜１０ｃ…空気バネ、１１ａ〜１１ｄ…微調整用レベリングバルブ、１２ａ〜１２ｃ…急速給気用レベリングバルブ、１３ａ〜１３ｃ…急速排気用レベリングバルブ、１４ａ…付加タンク、１５…取り付け用ステージ、１６…除振足、２１，２２，２４…給排気管路、２３…スピードコントローラ、３０…シリンダー、３０ａ…給気管路、３０ｂ…空間、３１…バルブ、３１ａ…バルブヘッド、３１ｂ…バルブ軸、３１ｃ…バルブエンド、３１ｄ…貫通孔、３２，３７，３８…シール部材、３３…バネ部材、３４…支持部材、３５，３５ａ，３５ｂ…シーソー、３６，３６ａ，３６ｂ…押当ピン、３９…プラグ。
【図１】
2015132337.tif 000003
【図２】
2015132337.tif 000004
【図３】
2015132337.tif 000005
【図４】
2015132337.tif 000006
【図５】
2015132337.tif 000007