(57)【要約】      （修正有）【課題】移動するノズルに対して塗布液供給管により塗布液を送液する構成において、ノズルから吐出される塗布液の流量の乱れを低減した塗布装置を提供する。【解決手段】塗布ユニット５０に相対的に固定配置された配管８３３、８３４は、塗布ユニット５０の移動方向（Ｘ方向）に直交するＹＺ面内に沿って配される。このため、上記往復移動による慣性力に起因して、配管８３３、８３４の内部を流動する塗布液について流路方向の圧力変動が発生することを有効に防止できる。また、配管８３３は圧力変動吸収部として機能し、圧力変動が吸収された塗布液を、配管８３４に接続されたノズル５４から吐出する。【選択図】図４
2015150499.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された前記基板の主面に対して塗布液を吐出する少なくとも１つのノズルを保持する塗布ユニットと、
前記基板保持部に保持された前記基板の前記主面に平行な主走査方向に沿って前記塗布ユニットを変位する変位機構と、
塗布液供給源から供給される塗布液を前記少なくとも１つのノズルに送液する少なくとも１つの配管と、
前記配管の内部を流動する塗布液の圧力変動を吸収する少なくとも１つの圧力変動吸収部と、
を備え、
前記配管は、上流側の第１管路区間と、前記塗布ユニットに相対的に固定配置される下流側の第２管路区間と、を有し、
前記第２管路区間は、前記第２管路区間のうち上流側の上流側固定管路区間と、前記第２管路区間のうち下流側の下流側固定管路区間と、を有しており、
前記下流側固定管路区間は前記主走査方向と直交する面内に沿って配されており、前記圧力変動吸収部は前記下流側固定管路区間に設けられていることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布装置であって、
前記第２管路区間は、結束された複数の前記配管を分岐する分岐部を有し、
前記第２管路区間のうち前記分岐部より上流側が前記上流側固定管路区間であり、前記第２管路区間のうち前記分岐部より下流側が前記下流側固定管路区間であって、
前記第１管路区間および前記上流側固定管路区間では、複数の前記配管が結束されていることを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
塗布装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された前記基板の主面に対して塗布液を吐出する少なくとも１つのノズルを保持する塗布ユニットと、
前記基板保持部に保持された前記基板の前記主面に平行な主走査方向に沿って前記塗布ユニットを変位する変位機構と、
塗布液供給源から供給される塗布液を前記少なくとも１つのノズルに送液する少なくとも１つの配管と、
前記配管の内部を流動する塗布液の圧力変動を吸収する少なくとも１つの圧力変動吸収部と、
を備え、
前記配管は、上流側の第１管路区間と、前記塗布ユニットに相対的に固定配置される下流側の第２管路区間と、を有し、
前記第２管路区間は前記主走査方向と直交する面内に配されており、前記圧力変動吸収部は前記第２管路区間に設けられていることを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
請求項３に記載の塗布装置であって、
前記変位機構によって前記塗布ユニットが前記主走査方向に沿って変位されるのと同期して前記主走査方向に沿って変位される配管支持部材、をさらに有し、
前記配管支持部材は前記第１管路区間の途中に配され、前記第１管路区間のうち前記配管支持部材よりも上流側では複数の前記配管が結束されており、前記第１管路区間のうち前記配管支持部材よりも下流側では複数の前記配管が分岐されていることを特徴とする塗布装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記圧力変動吸収部は前記第１管路区間の配管よりも管径が大きい可撓性の第１配管を有し、前記配管の一部が前記第１配管によって構成されることを特徴とする塗布装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記圧力変動吸収部は前記第１管路区間の配管よりも管径が小さい可撓性の第２配管を有し、前記配管の一部が前記第２配管によって構成されることを特徴とする塗布装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記圧力変動吸収部は、前記配管における前記塗布液の流路方向に沿った幹路と前記幹路から前記主走査方向と直交する方向に分岐した枝路とを備えるＴ字配管を有し、
前記配管の一部が前記Ｔ字配管によって構成されることを特徴とする塗布装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記塗布ユニットは、前記変位機構によって前記主走査方向に沿って変位される可動子と、前記可動子と結合されて前記ノズルを保持するノズル保持部と、を有し、
前記配管は、ｎ本（ｎは２以上の整数）の配管をｎ−１個の配管接続部で直列に接続して構成されており、
前記可動子から見て前記ノズル保持部側には、多くとも１個の配管接続部しか配されないことを特徴とする塗布装置。
【請求項９】
請求項８に記載の塗布装置であって、
前記ノズル保持部は前記ノズルを可動に保持する部分であり、
前記ノズル保持部における前記ノズルの位置を調節するノズル移動機構をさらに備えることを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）用ガラス基板、有機ＥＬ表示パネル用ガラス基板、太陽電池用基板、磁気或は光ディスク用のガラス或はセラミック基板等の各種被処理基板に塗布液を塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、有機ＥＬ表示装置の製造時に、正孔輸送材料を含む流動性材料や有機ＥＬ材料を含む流動性材料等の塗布液を基板に塗布する塗布装置として、塗布液を連続的に吐出する複数のノズルを、基板に対して主走査方向および主走査方向と直交する副走査方向に相対移動させることにより、基板上の塗布領域に塗布液をストライプ状に塗布する装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−７２９７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の塗布装置においては、基板上に塗布された塗布液の膜厚の均一性が要求される。塗布液の膜厚を均一にするためには、ノズルから吐出される塗布液の流量を均一にする必要がある。
【０００５】
しかしながら、移動するノズルに塗布液供給管を通じて塗布液を供給する構成では、塗布液供給管内を流動する塗布液にノズル移動に伴う慣性力が付与され、この慣性力の影響によりノズルから吐出される塗布液の流量が乱れるという課題が生じていた。
【０００６】
この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、移動するノズルに対して塗布液供給管により塗布液を送液する構成において、ノズルから吐出される塗布液の流量の乱れを低減することが可能な塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様にかかる塗布装置は、塗布装置であって、基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された前記基板の主面に対して塗布液を吐出する少なくとも１つのノズルを保持する塗布ユニットと、前記基板保持部に保持された前記基板の前記主面に平行な主走査方向に沿って前記塗布ユニットを変位する変位機構と、塗布液供給源から供給される塗布液を前記少なくとも１つのノズルに送液する少なくとも１つの配管と、前記配管の内部を流動する塗布液の圧力変動を吸収する少なくとも１つの圧力変動吸収部と、を備え、前記配管は、上流側の第１管路区間と、前記塗布ユニットに相対的に固定配置される下流側の第２管路区間と、を有し、前記第２管路区間は、前記第２管路区間のうち上流側の上流側固定管路区間と、前記第２管路区間のうち下流側の下流側固定管路区間と、を有しており、前記下流側固定管路区間は前記主走査方向と直交する面内に沿って配されており、前記圧力変動吸収部は前記下流側固定管路区間に設けられていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の第２の態様にかかる塗布装置は、第１の態様に係る塗布装置であって、前記第２管路区間は、結束された複数の前記配管を分岐する分岐部を有し、前記第２管路区間のうち前記分岐部より上流側が前記上流側固定管路区間であり、前記第２管路区間のうち前記分岐部より下流側が前記下流側固定管路区間であって、前記第１管路区間および前記上流側固定管路区間では、複数の前記配管が結束されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の第３の態様にかかる塗布装置は、塗布装置であって、基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された前記基板の主面に対して塗布液を吐出する少なくとも１つのノズルを保持する塗布ユニットと、前記基板保持部に保持された前記基板の前記主面に平行な主走査方向に沿って前記塗布ユニットを変位する変位機構と、塗布液供給源から供給される塗布液を前記少なくとも１つのノズルに送液する少なくとも１つの配管と、前記配管の内部を流動する塗布液の圧力変動を吸収する少なくとも１つの圧力変動吸収部と、を備え、前記配管は、上流側の第１管路区間と、前記塗布ユニットに相対的に固定配置される下流側の第２管路区間と、を有し、前記第２管路区間は前記主走査方向と直交する面内に配されており、前記圧力変動吸収部は前記第２管路区間に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
本発明の第４の態様にかかる塗布装置は、第３の態様に係る塗布装置であって、前記変位機構によって前記塗布ユニットが前記主走査方向に沿って変位されるのと同期して前記主走査方向に沿って変位される配管支持部材、をさらに有し、前記配管支持部材は前記第１管路区間の途中に配され、前記第１管路区間のうち前記配管支持部材よりも上流側では複数の前記配管が結束されており、前記第１管路区間のうち前記配管支持部材よりも下流側では複数の前記配管が分岐されていることを特徴とする。
【００１１】
本発明の第５の態様にかかる塗布装置は、第１ないし第４のいずれかの態様に係る塗布装置であって、前記圧力変動吸収部は前記第１管路区間の配管よりも管径が大きい可撓性の第１配管を有し、前記配管の一部が前記第１配管によって構成されることを特徴とする。
【００１２】
本発明の第６の態様にかかる塗布装置は、第１ないし第５のいずれかの態様に係る塗布装置であって、前記圧力変動吸収部は前記第１管路区間の配管よりも管径が小さい可撓性の第２配管を有し、前記配管の一部が前記第２配管によって構成されることを特徴とする。
【００１３】
本発明の第７の態様にかかる塗布装置は、第１ないし第６のいずれかの態様に係る塗布装置であって、前記圧力変動吸収部は、前記配管における前記塗布液の流路方向に沿った幹路と前記幹路から前記主走査方向と直交する方向に分岐した枝路とを備えるＴ字配管を有し、前記配管の一部が前記Ｔ字配管によって構成されることを特徴とする。
【００１４】
本発明の第８の態様にかかる塗布装置は、第１ないし第７のいずれかの態様に係る塗布装置であって、前記塗布ユニットは、前記変位機構によって前記主走査方向に沿って変位される可動子と、前記可動子と結合されて前記ノズルを保持するノズル保持部と、を有し、前記配管は、ｎ本（ｎは２以上の整数）の配管をｎ−１個の配管接続部で直列に接続して構成されており、前記可動子から見て前記ノズル保持部側には、多くとも１個の配管接続部しか配されないことを特徴とする。
【００１５】
本発明の第９の態様にかかる塗布装置は、第８の態様に係る塗布装置であって、前記ノズル保持部は前記ノズルを可動に保持する部分であり、前記ノズル保持部における前記ノズルの位置を調節するノズル移動機構をさらに備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の第１の態様にかかる塗布装置は、塗布液供給源から供給される塗布液を少なくとも１つのノズルに送液する少なくとも１つの配管を有する。該配管は上流側の第１管路区間と、塗布ユニットに相対的に固定配置される下流側の第２管路区間と、を有する。このため、塗布ユニットが移動したとしてもこの移動に起因して配管の第２管路区間がしなることはなく、しなりに起因して配管内部を流動する塗布液に圧力変動が生じることを防止できる。
【００１７】
第２管路区間は、該第２管路区間のうち上流側の上流側固定管路区間と、該第２管路区間のうち下流側で塗布ユニットの走査方向と直交する面内に沿って配される下流側固定管路区間と、を有する。このため、塗布ユニットの走査により生じる慣性力（走査方向に作用する力）に起因して、配管の下流側固定管路区間の内部を流動する塗布液について流路方向の圧力変動が発生することを有効に防止できる。
【００１８】
また、配管の下流側固定管路区間には、該配管の内部を流動する塗布液の圧力変動を吸収する圧力変動吸収部が配される。このため、圧力変動が十分に吸収された塗布液をノズルに供給することができる。
【００１９】
本発明の第３の態様にかかる塗布装置は、塗布液供給源から供給される塗布液を少なくとも１つのノズルに送液する少なくとも１つの配管を有する。該配管は上流側の第１管路区間と、塗布ユニットに相対的に固定配置される下流側の第２管路区間と、を有する。このため、塗布ユニットが移動したとしてもこの移動に起因して配管の第２管路区間がしなることはなく、しなりに起因して配管内部を流動する塗布液に圧力変動が生じることを防止できる。
【００２０】
第２管路区間は、塗布ユニットの走査方向と直交する面内に沿って配される。このため、塗布ユニットの走査により生じる慣性力（走査方向に作用する力）に起因して、配管の第２管路区間の内部を流動する塗布液について流路方向の圧力変動が発生することを有効に防止できる。
【００２１】
また、配管の第２管路区間には、該配管の内部を流動する塗布液の圧力変動を吸収する圧力変動吸収部が配される。このため、圧力変動が十分に吸収された塗布液をノズルに供給することができる。
【００２２】
本発明の第８の態様にかかる塗布装置では、ｎ本（ｎは２以上の整数）の配管をｎ−１個の配管接続部で直列に接続して配管を構成する場合において、可動子から見てノズル保持部側には多くとも１個の配管接続部しか配されない。このため、ノズル保持部側に配される部材構成を十分に減らすことができ、ノズルに対して種々の処理を行う場合に、該処理を行うことが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施形態に係る塗布装置１を示す概略平面図である。
【図２】同上の塗布装置１を示す概略正面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ断面図である。
【図４】塗布ユニット５０の構成を示す斜視図である。
【図５】１本の配管８３についての部材構成を示す模式図である。
【図６】変形例に係る塗布ユニット５０Ａの構成を示す斜視図である。
【図７】変形例にかかる１本の配管８３についての部材構成を示す模式図である。
【図８】変形例に係るＴ字配管８３５を示した概略的な側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
＜１  実施形態＞
＜１．１  塗布装置１の構成＞
図１は実施形態に係る塗布装置１を示す概略上面図であり、図２は塗布装置１を示す概略正面図であり、図３は図２におけるＡ−Ａ断面図である。なお、図１および以降の各図にはそれらの方向関係を明確にするためＺ方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を適宜付している。また、理解容易の目的で、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。
【００２５】
塗布装置１は、基板１０に対して塗布液を塗布する装置である。基板１０としては、例えば、平面表示装置用のガラス基板等が想定される。また、塗布液としては、例えば、有機ＥＬ表示装置の製造を想定した場合には有機ＥＬ材料及びその溶媒等を含む液等が想定される。
【００２６】
塗布装置１は、主として、基板保持部３０、主走査機構４０、塗布ユニット５０、配管支持部材６０、および、配管部８０等を備えている。
【００２７】
＜基板保持部３０＞
基板保持部３０は、基板１０を略水平姿勢で保持可能に構成されている。ここでは、基板保持部３０は、一主面を所定高さ位置で上向き水平姿勢に配設したステージ３２を有している。このため、基板１０の下側主面をステージ３２の上側主面に当接させるように基板１０をステージ３２上に載置することで、基板１０が水平姿勢で保持される。基板保持部としては、基板の下側主面を吸着することで当該基板を保持する構成や、基板の周囲を把持することで当該基板を保持する構成など他の種々の構成を採用できる。
【００２８】
また、基板保持部３０の下方には、塗布ユニット５０に対して基板１０をＹ方向（副走査方向）に沿って相対移動させる副走査機構３４が設けられている。ここでは、副走査機構３４は、上方にステージ３２を支持する台部３６と、一対のスライド受部３７とを有している。スライド受部３７は、台部３６の下端部に設けられ、Ｙ方向に沿って延びる一対の副走査方向ガイド部３９上をスライド移動可能に構成されている。そして、リニアモータ等の基板移動駆動部（図示省略）からの駆動力を受けることで、副走査機構３４が、上記ステージ３２及び基板１０と共に、Ｙ方向に沿って移動する構成とされている。なお、基板１０をＹ方向に沿って移動させるかわりに、主走査機構４０及び塗布ユニット５０を、基板１０に対してＹ方向に沿って移動させる構成であってもよい。
【００２９】
なお、上記ステージ３２には、必要に応じて、基板１０を加熱する加熱機構が設けられていてもよい。また、上記ステージ３２は、副走査機構３４に対して鉛直軸周りに回転駆動可能に構成されていてもよい。
【００３０】
＜主走査機構４０＞
主走査機構４０は、主走査方向ガイド部４２を有している。主走査方向ガイド部４２は、基板１０の上方位置で、基板１０に対して略平行な主走査方向（Ｘ方向）に沿って延びる長尺状部材に形成されている。また、塗布ユニット５０の一部を構成するスライダ４４（可動子）は、主走査方向ガイド部４２を挿通配置可能な内部空間を有する部材であり、主走査方向ガイド部４２の外周面との間にエア層を介在させた状態で、当該主走査方向ガイド部４２によってＸ方向に沿って移動可能に支持されている。
【００３１】
より具体的には、主走査方向ガイド部４２は、略角棒状部材に形成されている。スライダ４４の外形状は略直方体状に形成され、スライダ４４内には、主走査方向ガイド部４２の外周面を、間隔を有して囲繞可能な内部空間４４Ｓが形成されている。また、スライダ４４の内周面には、エア吐出部４４ａが形成されている。そして、外部より後述する配管等を介して供給されるエアがスライダ４４に形成されるエア分岐経路を経由して当該各エア吐出部４４ａより吐出されるようになっている。そして、上記エア吐出部４４ａよりエアを吐出させることにより、スライダ４４は、主走査方向ガイド部４２の外周面との間にエア層を介在させた状態で（つまり、主走査方向ガイド部４２の外周面に対して浮いた状態で）、Ｘ方向に沿って移動可能に支持された状態となる。これにより、スライダ４４は、高速高加速移動可能かつ、耐久性に優れた態様で支持されることになる。
【００３２】
スライダ４４の上方部分には該スライダ４４を駆動するための駆動ベルト７４が取付けられている。したがって、後記する駆動機構７２が一対のプーリ体７３を正逆回転することで、駆動ベルト７４および該駆動ベルト７４に連結されたスライダ４４がＸ方向に沿って移動される。また、主走査方向ガイド部４２とスライダ４４との間にはエア層が介在しているが、このようなエア層は本実施形態のようにエアを噴出してエア圧によって介在させる態様の他、他の力（磁力の反発力等）によって介在させる態様でも構わない。
【００３３】
＜塗布ユニット５０＞
塗布ユニット５０は、主たる構成として、主走査方向ガイド部４２に沿って可動する可動子としてのスライダ４４と、スライダ４４の−Ｙ側に結合されたノズル保持部５２と、ノズル保持部５２に保持された少なくとも１つのノズル５４を有する。ノズル５４の数と配管８３の数は同数であり、各ノズル５４は各配管８３を介して塗布液供給源８８と接続されている。本実施形態では、ノズル５４の数が１０個で、配管８３の数が１０本の場合について説明する。
【００３４】
ノズル保持部５２は、スライダ４４の−Ｙ側面に取付けられる基端部５２ａと、基端部５２ａの下端より−Ｙ側に向けて延出するノズル取付板部５２ｂとを有している。そして、１０個のノズル５４が、Ｘ方向及びＹ方向に位置をずらしつつ、ノズル取付板部５２ｂに取付固定されている。また、ノズル保持部５２は各ノズル５４を可動に保持する部分である。後記するノズルピッチ調整機構１００を駆動することで、ノズル保持部５２に保持される各ノズル５４のＹ方向位置が調整される。
【００３５】
各ノズル５４は、それぞれ塗布液を吐出可能な吐出口を有しており、当該吐出口をノズル取付板部５２ｂの下向きにした姿勢で、ノズル取付板部５２ｂに固定されている。このため、上記スライダ４４をＸ方向に移動させつつ、各ノズル５４から塗布液を吐出することで、当該塗布液がステージ３２上に載置された基板１０の上側主面に塗布される。
【００３６】
＜配管支持部材６０＞
配管支持部材６０は、Ｘ方向に沿って塗布ユニット５０の移動に追従して移動可能に構成されている。ここでは、配管支持部材６０は、上記主走査機構４０とは別に設けられた配管支持用ガイド部６２によって移動可能に支持されている。
【００３７】
すなわち、配管支持用ガイド部６２は、基板１０の上方位置で、前記Ｘ方向に沿って延びる長尺状部材に形成されている。また、配管支持部材６０は、配管支持用ガイド部６２を挿通配置可能な内部空間を有する部材であり、当該配管支持用ガイド部６２の外周面との間にエア層を介在させた状態で、当該配管支持用ガイド部６２によってＸ方向に沿って移動可能に支持されている。
【００３８】
より具体的には、配管支持用ガイド部６２は、略角棒状の部材に形成されている。配管支持部材６０の外形状は略直方体状に形成され、配管支持部材６０内には、配管支持用ガイド部６２の外周面を、間隔を有して囲繞可能な内部空間６４Ｓが形成されている。また、配管支持部材６０の内周面には、エア吐出部６０ａが形成されている。そして、外部より後述する配管等を介して供給されるエアが、配管支持部材６０に形成されるエア分岐路等を経由して各エア吐出部６０ａより吐出されるようになっている。そして、上記エア吐出部６０ａよりエアを吐出させることにより、配管支持部材６０が、配管支持用ガイド部６２の外周面との間にエア層を介在させた状態で（つまり、配管支持用ガイド部６２の外周面に対して浮いた状態で）、Ｘ方向に沿って移動可能に支持された状態となる。
【００３９】
配管支持部材６０の上面には該配管支持部材６０を駆動するための駆動ベルト７８が取付けられている。なお、ここで、配管支持部材６０が配管支持用ガイド部６２に対して移動可能に支持される構成は、上記主走査機構４０に関して述べたのと同様、種々構成を採用し得る。
【００４０】
もっとも、この配管支持部材は、上記のように配管支持用ガイド部に対してエア層を介在させた状態で移動自在に支持されている必要はない。例えば、配管支持部材は、長尺状の配管支持用ガイド部に対して、他の低摩擦部材、転動体等を介して接触した状態で、移動自在に支持される構成であってもよい。
【００４１】
＜配管部８０＞
配管部８０は、配管支持部材６０にエアを供給するための配管８１（本実施形態では１本）と、スライダ４４にエアを供給するための配管８２（本実施形態では１本）と、各ノズル５４に塗布液を供給するための配管８３（本実施形態では１０本）とを有する。配管８１，８２は上流側がエア供給源８６に接続され、配管８３は上流側が塗布液供給源８８に接続されている。配管部８０の配管８１〜８３はいずれも可撓性の管によって構成されており、配管部８０は本塗布装置１の上方で吊すように支持されている。
【００４２】
配管部８０においては、配管８１〜８３がそれぞれの経路の途中まで結束されていることが好ましい。本実施形態では、配管支持部材６０よりも上流側において配管８１〜８３が結束されている。結束形態としては、例えば、配管８１，８２の周囲を複数の配管８３で囲むような形態を採用することができる。
【００４３】
配管８１は、配管８１〜８３で結束された状態で配管支持部材６０に到達し、配管支持部材６０に形成されるエア分岐路に接続される。
【００４４】
配管８２は、配管８１〜８３で結束された状態で配管支持部材６０に到達し、配管固定部６１を介して配管支持部材６０に支持固定される。また、配管８２は、配管支持部材６０よりも下流側において、配管８３と分岐し、スライダ４４に形成されるエア分岐経路に接続される。
【００４５】
配管８３は、配管８１〜８３で結束された状態で配管支持部材６０に到達し、配管固定部６１を介して配管支持部材６０に支持固定される。また、配管８３は、配管支持部材６０よりも下流側において、配管８２と分岐し、塗布ユニット５０の各ノズル５４に接続される。
【００４６】
配管固定部６１としては、挿通孔又は凹部内に配管８１及び配管８３を挿通して固定する構成、配管８１及び配管８３を配管支持部材６０に結束固定する構成、配管８１及び配管８３を挟んで配管支持部材６０に固定する構成等を採用することができる。配管８２，８３が配管固定部６１に固定される途中部分は、配管８２，８３の全長のうち比較的スライダ４４，塗布ユニット５０に近い部分であることが好ましい。
【００４７】
＜配管８３の詳細な構成＞
配管８３は、ノズル５４に塗布液を送液する配管である。このため、ノズル５４から塗布液を吐出して基板１０の上側主面に均一な塗布膜を形成するためには、配管８３の内部を流動する塗布液が圧力変動なく送液されることが望ましい。
【００４８】
図４は、塗布ユニット５０の構成を示す斜視図である。図５は、１本の配管８３についての部材構成を示す模式図である。
【００４９】
以下、主として図３〜図５を参照しつつ、配管８３の配置構成について説明する。以下の説明では、主として１本の配管８３について説明するが、その他の９本の配管８３も同様の構成である。
【００５０】
図５に示すように、本実施形態の配管８３は、種類の異なる４つの配管８３１〜配管８３４を上流側から順に直列接続して構成される。
【００５１】
配管８３１は、その上流側端部が塗布液供給源８８に接続され、その下流側端部が配管８３２の上流側端部と接続される配管である。各配管８３について配管８３１は他の９本との束としてまとめられており、その経路途中が塗布ユニット５０の＋Ｙ側に固定された固定部８４０に固定されている。以下では、配管８３１について、固定部８４０に固定される位置より上流側の部分を「配管８３１Ａ」と呼び、と、固定部８４０に固定さる位置より下流側の部分を「配管８３１Ｂ」と呼ぶことがある。
【００５２】
配管８３１および配管８３２は、塗布ユニット５０の＋Ｙ側に固定された分岐部８４１を介して接続される。分岐部８４１は、結束された１０本の配管８３１をＸ方向について所定の間隔に分岐する部分であり、かつ、分岐された１０本の配管８３１をその下流側の１０本の配管８３２とそれぞれ接続する部分でもある。
【００５３】
配管８３２（第２配管）は、その上流側端部が配管８３１の下流側端部に接続され、その下流側端部が配管８３３の上流側端部と接続される配管である。配管８３２は、配管８３１よりも管径の小さい可撓性チューブで構成することができる。配管８３２の管内には、例えば、微小のオリフィスが形成されている。
【００５４】
塗布液の流路の内径がある値から小さくなった後に元の内径に戻った場合、そこを通過する塗布液の平均的な流速はいったん速い速度になった後に元の速度に復帰する。また、塗布液と管路内壁との摩擦によって生じる塗布液の圧力損失は、その流速の２乗に比例する。このため、管路内に微小オリフィスを設けることにより、管路内を流動する塗布液に比較的大きな圧力損失を生じさせ、管路内を流動する塗布液の圧力変動を低減する（吸収する）ことができる。この結果、各ノズル５４から吐出される塗布液の流量の均一性を高めることができる。
【００５５】
配管８３２および配管８３３は、塗布ユニット５０の＋Ｙ側に固定されたコネクタ部８４２を介して接続される。
【００５６】
配管８３３（第１配管）は、その上流側端部が配管８３２の下流側端部に接続され、その下流側端部が配管８３４の上流側端部と接続される配管である。配管８３３は、配管８３１よりも管径が大きく配管８３２よりも軟質の可撓性チューブで構成することができる。
【００５７】
配管８３３は、その内部を流動する塗布液の圧力変動に伴って弾性変形する。具体的には、内部を流動する塗布液の圧力が高い箇所においては配管８３３が膨張することによりその内径が大きくなり、内部を流動する塗布液の圧力が低い箇所においては配管８３３が収縮することによりその内径が小さくなる。これにより、塗布液の圧力変動を低減する（吸収する）ことが可能となる。この結果、各ノズル５４から吐出される塗布液の流量の均一性を高めることができる。
【００５８】
以上説明したように、本実施形態では、塗布液供給源８８から供給される塗布液の圧力変動を配管８３２および配管８３３の二段階で吸収した後、該塗布液を各ノズル５４に送液する。このため、各ノズル５４から吐出される塗布液の流量を一定とし、基板１０の上側主面に均一な塗布膜を形成することが可能となる。
【００５９】
一般的に、塗布液の圧力変動を減少させる効果が大きいのは、オリフィスを流路の抵抗として利用する配管８３２であることが知られている。しかしながら、配管８３２において過度に圧力損失を与えると塗布液の吐出可能流量が小さくなるという問題がある。一方、配管８３３においては、圧力変動を抑制する効果は配管８３２より小さいが、塗布液に与える圧力損失も配管８３２より小さい。
【００６０】
このため、本実施形態においては、配管８３２および配管８３３を組み合わせて用いることで、塗布液の圧力損失を抑えつつ塗布液の圧力変動を吸収する構成を採用している。このように、配管８３２，８３３は、配管８３の内部を流動する塗布液の圧力変動を吸収する圧力変動吸収部として機能する。
【００６１】
配管８３３および配管８３４は、塗布ユニット５０の−Ｙ側に固定されたコネクタ部８４３を介して接続される。
【００６２】
配管８３４は、その上流側端部が配管８３３の下流側端部に接続され、その下流側端部がノズル５４と接続される配管である。配管８３４は、例えば、配管８３１と同じ材質で構成することができる。
【００６３】
このように、配管８３１Ｂ〜配管８３４については、塗布ユニット５０に固定された各部（具体的には、固定部８４０、分岐部８４１、コネクタ部８４２、コネクタ部８４３、およびノズル５４）の間を接続されている。また、配管８３１Ｂ〜配管８３４の全長は配管８３１Ａの全長に比べて十分に短い。また、配管８３１Ｂ〜配管８３４は、塗布ユニット５０のＸ方向移動に対応して変形可能となるよう撓み状態で設けられた配管８３１Ａとは異なり、塗布ユニット５０に固定された上記各部の間に緊張状態で設けられている。この結果、配管８３１Ｂ〜配管８３４は、塗布ユニット５０に対して相対的に固定された配置となっている。
【００６４】
本明細書では、配管８３のうち上流側の配管８３１Ａの区間を「第１管路区間ＳＥ１」と呼び、配管８３のうち塗布ユニット５０に相対的に固定配置される下流側の区間である配管８３１Ｂ〜配管８３４の区間を「第２管路区間ＳＥ２」と呼ぶ。
【００６５】
以上説明したように、第２管路区間ＳＥ２は塗布ユニット５０に相対的に固定配置されているため、後記する駆動機構７２によって塗布ユニット５０がＸ方向に沿って往復移動した場合に、第２管路区間ＳＥ２が上記移動に伴ってしなることが抑制される。これにより、第２管路区間ＳＥ２のしなりに起因して、第２管路区間ＳＥ２の内部を流動する塗布液について圧力変動が発生することを有効に防止できる。この結果、ノズル５４からより均一な流量で塗布液を吐出することが可能となる。
【００６６】
また、各配管８３について、分岐部８４１、コネクタ部８４２、コネクタ部８４３、およびノズル５４は同一のＸ方向位置（同一のＹＺ面内）に配される。そして、これら各部の間を接続される配管８３２〜配管８３４も、各配管８３について、同一のＸ方向位置（同一のＹＺ面内）に配される。本明細書中では、塗布ユニット５０に相対的に固定配置される第２管路区間ＳＥ２のうち、分岐部８４１より上流側の配管８３１Ｂを「上流側固定管路区間ＳＥ２Ａ」と呼び、分岐部８４１より下流側で主走査方向と直交する面内（ＹＺ面内）に沿って配される配管８３２〜配管８３４を「下流側固定管路区間ＳＥ２Ｂ」と呼ぶ。
【００６７】
後記する駆動機構７２によって塗布ユニット５０がＸ方向に沿って往復移動することに起因して配管８３の内部を流動する塗布液にかかる慣性力（Ｘ方向に沿う作用）は、下流側固定管路区間ＳＥ２Ｂの内部を流動する塗布液の流路方向（ＹＺ面内で規定される方向）と直交する。このため、上記往復移動による慣性力に起因して、下流側固定管路区間ＳＥ２Ｂの内部を流動する塗布液について流路方向の圧力変動が発生することを有効に防止できる。この結果、ノズル５４からより均一な流量で塗布液を吐出することが可能となる。
【００６８】
＜主走査駆動機構７０＞
また、この塗布装置１は、Ｘ方向に沿って、スライダ４４と配管支持部材６０とを同期駆動する主走査駆動機構７０を備えている。既述の通り、スライダ４４は塗布ユニット５０を構成する一部であるので、スライダ４４と配管支持部材６０とがＸ方向に沿って同期駆動されると、塗布ユニット５０と配管支持部材６０とがＸ方向に沿って同期駆動される。ここで、「塗布ユニット５０と配管支持部材６０とがＸ方向に沿って同期駆動される」とは、塗布ユニット５０と配管支持部材６０とが同一のＸ方向範囲を同一速度で駆動される場合に限らず、塗布ユニット５０と配管支持部材６０との間に配される配管８２，８３に対して大きな引張り力が作用するのを抑制し得る範囲内で塗布ユニット５０と配管支持部材６０とが略同Ｘ方向範囲を略同速度で駆動される場合を含む。
【００６９】
このように、塗布ユニット５０と配管支持部材６０とがＸ方向に沿って同期駆動されるため、配管８３１Ａのうち配管支持部材６０から塗布ユニット５０の固定部８４０までの区間が上記移動に伴ってしなることが抑制される。これにより、該区間のしなりに起因して、該区間の内部を流動する塗布液について圧力変動が発生することを有効に防止できる。この結果、ノズル５４からより均一な流量で塗布液を吐出することが可能となる。
【００７０】
主走査駆動機構７０は、スライダ４４を駆動する駆動機構７２と、配管支持部材６０を駆動する駆動機構７６とを有している。
【００７１】
駆動機構７２は、主走査方向ガイド部４２の両端部に設けられた一対のプーリ体７３と、一対のプーリ体７３に巻掛けられた駆動ベルト７４と、一方のプーリ体７３を正逆両方向に回転駆動可能なモータ７５とを有している。一対のプーリ体７３間を走行する２経路の駆動ベルト７４のうち一方側（下側）には、塗布ユニット５０のスライダ４４の上方部分が連結固定されている。このため、回転方向及び回転速度、回転量等を制御しつつモータ７５を回転駆動することで、塗布ユニット５０がＸ方向に沿って往復移動される。
【００７２】
このように、主走査機構４０および駆動機構７２によって実現される構成が、基板保持部３０に保持された基板１０の主面に平行な主走査方向に沿って塗布ユニット５０を変位する変位機構として機能する。
【００７３】
駆動機構７６は、配管支持用ガイド部６２の両端部に設けられた一対のプーリ体７７と、一対のプーリ体７７に巻掛けられた駆動ベルト７８と、一方のプーリ７７を正逆両方向に回転駆動可能なモータ７９とを有している。一対のプーリ体７７間を走行する２経路の駆動ベルト７８のうち一方側（下側）には、配管支持部材６０が連結固定されている。このため、塗布ユニット５０と配管支持部材６０とを同期駆動するように、回転方向及び回転速度、回転量等を制御しつつモータ７９を回転駆動することで、配管支持部材６０が塗布ユニット５０と同期してＸ方向に沿って往復移動される。もっとも、上記したように、塗布ユニット５０と配管支持部材６０との間を通る配管８２，８３に対して大きな引張り力が作用するのを抑制し得る範囲内では、塗布ユニット５０と配管支持部材６０とがＸ方向に沿って多少ずれてもよい。
【００７４】
なお、ここでは、塗布ユニット５０のスライダ４４と配管支持部材６０とを別々のモータ７５、７９によって駆動する例で説明したが、共通するモータからの回転駆動力を伝達機構によって２つに分けて伝達することによって駆動するようにしてもよい。また、スライダ４４と配管支持部材６０とを共通する駆動ベルトに連結することによって同期駆動するようにしてもよい。また、スライダ４４あるいは配管支持部材６０を駆動する機構は上記例に限られず種々の機構を用いることができる。
【００７５】
＜ピッチ調整機構１００＞
また、塗布ユニット５０の往復移動方向（Ｘ方向）に関して一方側（＋Ｘ側）にはノズルピッチ調整機構１００が配設されている。ノズルピッチ調整機構１００は、＋Ｘ方向に変位された塗布ユニット５０のノズル保持部５２にアクセスして、ノズル保持部５２に保持されるノズル５４の副走査方向のピッチを調整する機構である。
【００７６】
上述の通り、本実施形態の塗布ユニット５０は、配管８３を保持する構成として、固定部８４０、分岐部８４１、およびコネクタ部８４２，８４３を有しているが、これらのうち塗布ユニット５０の−Ｙ側（ノズル保持部５２側）に配される構成はコネクタ部８４３のみである。このように、ノズル保持部５２側に配される部材構成を減らすことで、ノズル保持部５２に保持される各ノズル５４の配置間隔をノズルピッチ調整機構１００によって調整することが容易となる。
【００７７】
＜制御部９０＞
また、この塗布装置１は、本装置各部の動作を制御する制御部９０を備えている。制御部９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備える一般的なマイクロコンピュータによって構成されており、予め格納されたソフトウェアプログラムに従って塗布装置１の動作制御を行う。ここでは、制御部９０は、エア供給源８６からエアを供給すると共に塗布液供給源８８からの塗布液供給を開始して各ノズル５４から塗布液を吐出させた状態で、塗布ユニット５０のスライダ４４と、配管支持部材６０と、ステージ３２との駆動制御をするように構成されている。
【００７８】
＜１．２  塗布装置１の効果＞
以上説明したように、本実施形態では、第２管路区間ＳＥ２が塗布ユニット５０に相対的に固定されていること、下流側固定管路区間ＳＥ２Ｂが主走査方向と直交するＹＺ面内に配されること、塗布ユニット５０と配管支持部材６０とが同期駆動されること、等によって、配管８３の内部を流動する塗布液に圧力変動が生じることを抑制している。
【００７９】
また、ノズル５４まで続く区間で、かつ、圧力変動の発生が抑制された区間である下流側固定管路区間ＳＥ２Ｂに、圧力変動吸収部（配管８３２，配管８３３）が設けられている。このため、圧力変動が十分に吸収された塗布液をノズル５４に供給することができる。
【００８０】
このように、圧力変動が発生することの抑制と、発生した圧力変動の吸収と、を行うことによって配管８３の内部を流動する塗布液の圧力変動を十分に小さくでき、ノズル５４からより均一な流量で塗布液を吐出することが可能となる。
【００８１】
＜２  変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。以下の説明において、上記実施形態と同じ部分については同一符号を付し、重複説明を省略する。
【００８２】
図６は、変形例にかかる塗布ユニット５０Ａの構成を示す斜視図である。図７は、変形例にかかる１本の配管８３についての部材構成を示す模式図である。
【００８３】
本変形例は、主として、配管８３１が他の９本の配管８３１と結束されていない状態で塗布ユニット５０Ａに接続される点、および、第２管路区間ＳＥ２全体が主走査方向と直交するＹＺ面内に配される点で、上記実施形態とは異なる。以下、詳述する。
【００８４】
塗布ユニット５０Ａは、塗布ユニット５０と異なり、固定部８４０を有しない。また、塗布ユニット５０Ａは、塗布ユニット５０の分岐部８４１に代えてコネクタ部８４４を有する。配管８３１および配管８３２は、塗布ユニット５０Ａの＋Ｙ側に固定されたコネクタ部８４４を介して接続される。
【００８５】
配管８３２〜配管８３４は、塗布ユニット５０Ａに固定された各部（具体的には、コネクタ部８４４、コネクタ部８４２、コネクタ部８４３、およびノズル５４）の間を接続されている。また、配管８３２〜配管８３４は、塗布ユニット５０Ａに固定された上記各部の間に緊張状態で設けられている。この結果、配管８３２〜配管８３４は、塗布ユニット５０Ａに対して相対的に固定された配置となっている。
【００８６】
このように、本変形例においては、配管８３のうち上流側の配管８３１の区間が「第１管路区間ＳＥ１」に相当し、配管８３のうち塗布ユニット５０Ａに相対的に固定配置される下流側の区間である配管８３２〜配管８３４の区間が「第２管路区間ＳＥ２」に相当する。
【００８７】
各配管８３について、コネクタ部８４４、コネクタ部８４２、コネクタ部８４３、およびノズル５４は同一のＸ方向位置（同一のＹＺ面内）に配される。そして、これら各部の間を接続される配管８３２〜配管８３４も、各配管８３について、同一のＸ方向位置（同一のＹＺ面内）に配される。このため、第２管路区間ＳＥ２が主走査方向と直交する面内に配され、圧力変動吸収部（配管８３２，８３３）がこの第２管路区間ＳＥ２に設けられる。本変形例においても、上記実施形態と同様、圧力変動が発生することの抑制と、発生した圧力変動の吸収と、を行うことによって配管８３の内部を流動する塗布液の圧力変動を十分に小さくでき、ノズル５４からより均一な流量で塗布液を吐出することが可能となる。
【００８８】
なお、本変形例においては、上記した配管支持部材６０によって１０本の配管８３１の経路途中が保持され、配管８３１（第１管路区間ＳＥ１）のうち配管支持部材６０よりも上流側で１０本の配管８３１が結束され、配管８３１のうち配管支持部材６０よりも下流側で１０本の配管８３１が分岐されることが望ましい。これにより、塗布ユニット５０および配管支持部材６０の往復移動によりしなる部分（配管支持部材６０より上流部分）が結束されてしなりの制御が容易になるという利点と、塗布ユニット５０に接続される部分（配管支持部材６０より下流部分）が分岐されており塗布ユニット５０に分岐部８４１を設ける必要がないという利点と、を得ることができる。
【００８９】
図８は、圧力変動吸収部としてのＴ字配管８３５を示した概略的な側面図である。
【００９０】
Ｔ字配管８３５は、配管８３における塗布液の流路方向ＡＲ（本変形例では、＋Ｘ方向）に沿った幹路８３５Ａと、幹路８３５Ａから主走査方向と直交する方向（本変形例では＋Ｚ方向）に分岐した岐路８３５Ｂと、岐路８３５Ｂにおける下流側端部に設けられたメンブレン８３５Ｃと、を備える。
【００９１】
Ｔ字配管８３５の内部を流動する塗布液の圧力が高い場合にはメンブレン８３５Ｃが＋Ｚ方向に変形して（図８の実線を参照）岐路８３５Ｂの内部空間が大きくなり、Ｔ字配管８３５の内部を流動する塗布液の圧力が低い場合にはメンブレン８３５Ｃが−Ｚ方向に変形して（図８の点線を参照）岐路８３５Ｂの内部空間４４Ｓが小さくなる。この結果、メンブレン８３５Ｃによって、Ｔ字配管８３５の内部を流動する塗布液の圧力変動が低減される（吸収される）。
【００９２】
既述の通り、圧力変動吸収部（本変形例ではＴ字配管８３５）はＹＺ面内に配される部分であるので、幹路８３５Ａおよび岐路８３５ＢはＹＺ面内に配される。このため、塗布ユニット５０の移動による慣性力に起因してＴ字配管８３５内を流動する塗布液に流路方向の圧力変動が生じることを抑制できる。本変形例では岐路８３５Ｂが＋Ｚ方向に設けられた場合について説明したが、岐路８３５Ｂは−Ｚ方向に設けられてもよい。また、本変形例のメンブレン８３５Ｃに代えて、塗布液の圧力に応じて変形する種々の弾性体を利用可能である。
【００９３】
上記実施形態で説明した配管８３２，８３３に代えてＴ字配管８３５を用いてもよいし、配管８３２，８３３の少なくとも一方と併せてＴ字配管８３５を用いてもよい。
【００９４】
また、圧力変動吸収部としてＴ字配管８３５を用いない場合であっても、上記実施形態の態様の他に、配管８３２のみを有する態様、配管８３３のみを有する態様、配管８３３の下流側に配管８３２を有する態様など、種々の態様を採用しうる。
【００９５】
また、上記実施形態では、塗布ユニット５０と同期駆動される配管支持部材６０を備える塗布装置１について説明したが、これに限られるものではない。配管支持部材６０がない場合、配管支持部材６０にエアを供給する配管８１、配管支持部材６０の駆動に係る機構（配管支持用ガイド部６２，駆動機構７６等）を省略できるので、装置の小型化を実現できる。他方、配管支持部材６０がある場合、上記の通り、配管８３１がしなることに起因して配管８３１の内部を流動する塗布液に圧力変動が生じることを有効に抑制できる。
【００９６】
また、上記実施形態では配管８３が１０本である場合について説明したが、これに限られるものではない。配管８３は９本以下でもよく、１１本以上でもよい。この場合、配管８３を塗布ユニット５０に相対的に固定させるための各構成（固定部８４０、分岐部８４１、コネクタ部８４２，８４３、ノズル５４）も配管８３と同数となるよう変更される。他の各部についても、上記実施形態の構成に限らず、その個数を変更することが可能である。
【００９７】
また、上記実施形態では、４本の配管８３１〜配管８３４を３個の配管接続部（分岐部８４１、コネクタ部８４２，８４３）で直列に接続する構成において、１つの配管接続部（コネクタ部８４３）が塗布ユニット５０の−Ｙ側（ノズル保持部５２側）に配される構成について説明したが、これに限られるものではない。
【００９８】
例えば、２個以上の配管接続部がノズル保持部５２側に配される態様でもよい。また、配管接続部が１つもノズル保持部５２側に配されない態様でもよい。一般に、ｎ本（ｎは２以上の整数）の配管をｎ−１個の配管接続部で直列に接続して配管８３を構成する場合、スライダ４４（可動子）から見てノズル保持部５２側に多くとも１個の配管接続部しか配されない態様であれば、ノズル保持部５２側に配される部材構成を十分に減らすことが実現される。この結果、ノズル５４に対して種々の処理を行う場合（典型的には、ノズルピッチ調整機構１００によってノズル５４のピッチ調整を行う場合）に、該処理を行うことが容易となる。
【００９９】
以上、実施形態およびその変形例に係る塗布装置について説明したが、これらは本発明に好ましい実施形態の例であって、本発明の実施の範囲を限定するものではない。本発明は、その発明の範囲内において、各実施形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施形態において任意の構成要素の省略が可能である。
【符号の説明】
【０１００】
１  塗布装置
１０  基板
３０  基板保持部
４０  主走査機構
４４  スライダ
５０  塗布ユニット
５２  ノズル保持部
５４  ノズル
６０  配管支持部材
７０  主走査駆動機構
８０  配管部
８１〜８３，８３１〜８３４，８３１Ａ，８３１Ｂ  配管
８３５  Ｔ字配管
８４０  固定部
８４１  分岐部
８４２〜８４４  コネクタ部
【図１】
2015150499.tif 000003
【図２】
2015150499.tif 000004
【図３】
2015150499.tif 000005
【図４】
2015150499.tif 000006
【図５】
2015150499.tif 000007
【図６】
2015150499.tif 000008
【図７】
2015150499.tif 000009
【図８】
2015150499.tif 000010