(57)【要約】【課題】回転軸２を受ける軸受部材４と移動体３の間に設けられた複数のサポート６１Ｕ、６１Ｄ、７１Ｕ、７１Ｄで回転軸２を支持するアクチュエータ１において、アクチュエータ１の高速化および長尺化に適した技術を提供する。【解決手段】移動体３と軸受部材４Ｕ（４Ｄ）との間に設けられた複数のサポート６１Ｕ、７１Ｕ（６１Ｄ、７１Ｄ）が回転軸２を支持する。そして、移動体３が軸受部材４Ｕ（４Ｄ）から最も遠ざかった際に、軸方向Ｘに並ぶ複数のサポート６１Ｕ、７１Ｕ（６１Ｄ、７１Ｄ）および軸受部材４Ｕ（４Ｄ）のそれぞれの間隔Ｃ１、Ｃ２が等しくなる。その結果、一部の間隔が長いためにアクチュエータ１の高速化が困難となったり、一部の間隔が短いためにアクチュエータ１の長尺化が困難となったりすることを抑制可能である。【選択図】図７
2015154621.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に延びる回転軸と、
前記回転軸に取り付けられて前記回転軸の回転に応じて前記軸方向へ移動する移動体と、
前記回転軸を受ける軸受部材と、
前記移動体と前記軸受部材の間で前記回転軸を支持する複数のサポートと、
前記移動体が前記軸受部材から最も遠ざかった際に、隣り合う前記軸受部材と前記サポートとの前記回転軸に沿った間隔Ｃ１と、隣り合う２個の前記サポートの前記回転軸に沿った間隔Ｃ２とが等しくなるように、前記複数のサポートを位置させるサポート位置制御機構と
を備えるアクチュエータ。
【請求項２】
前記サポート位置制御機構は、前記移動体が前記軸受部材から最も遠ざかった際に、隣り合う前記移動体と前記サポートとの前記回転軸に沿った間隔Ｃ３が前記間隔Ｃ１以下となるように、前記複数のサポートを位置させる請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記間隔Ｃ３と前記間隔Ｃ１とが等しい請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記サポート位置制御機構は、前記移動体に連動して前記移動体の移動する側へ前記複数のサポートのそれぞれを移動させる請求項１ないし３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記間隔Ｃ１と前記間隔Ｃ２とは、前記移動体の位置にかかわらず常に等しい請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記サポート位置制御機構は、前記複数のサポートのそれぞれに対して設けられたストッパを有し、
前記各サポートは、対応する前記ストッパから前記軸受部材側で前記軸方向へ移動可能であり、対応する前記ストッパに対して前記軸受部材の反対側を前記移動体が移動している間は対応する前記ストッパに停止し、対応する前記ストッパから前記軸受部材側に前記移動体が進入している間は前記移動体に伴って移動する請求項１ないし３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、回転軸に取り付けられた移動体を回転軸の回転に応じて移動させつつ、回転軸を支持するサポートを移動体に連動させるアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ボールネジに螺合するナットにスライダを取り付けて、ナットおよびスライダをボールネジの回転に応じてボールネジの軸方向へ移動させるアクチュエータが広く用いられている。かかるアクチュエータでは、ボールネジの回転数（１秒あたりの回転数）がボールネジの固有振動数に一致すると、ボールネジが共振することが知られている。具体的に説明すると、ボールネジの端部を受ける軸受部材とナットを節とする振動の振動数（固有振動数）に、ボールネジの回転数が一致した場合等に、ボールネジが共振する。そして、ボールネジの共振は、騒音やボールネジの破損といった問題を引き起こすおそれがあった。
【０００３】
そこで、特許文献１では、ボールネジを支持するサポートブラケットが、ナットと軸受部材の間に配置される。このサポートブラケットは、ナットの速度の半分の速度でナットに連動するように構成されており、ナットと軸受部材の中心でボールネジを支持しながら移動する。こうして、ナットと軸受部材を節とする振動の腹をサポートブラケットで抑え込むことで、当該振動の発生が抑制されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−９８４５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、移動体（ナット、スライダ）と軸受部材の間に設けられたサポート（サポートブラケット）で回転軸（ボールネジ）を支持することで、回転軸の振動の発生を抑制できる。ただし、特許文献１の技術は、移動体と軸受部材の間に設けられた１個のサポートで回転軸を支持するものであるため、アクチュエータの高速化や長尺化に対応するのに限界があった。そこで、移動体と軸受部材の間に複数のサポートを設けることが考えられる。
【０００６】
ただし、回転軸の振動は、移動体が一方の軸受部材から最も離れた際（すなわち、移動ストロークの端に位置した際）に生じやすい。したがって、複数のサポートを設けるにあたっては、移動体が一方の軸受部材から最も離れた際における、隣り合うサポートの間隔や、サポートと軸受部材の間隔が重要となる。なぜなら、これらの間隔のうち、一部の間隔が長いと、該当間隔において回転軸の固有振動数が低くなるために振動が生じやすくなり、アクチュエータの高速化が困難となる。あるいは、一部の間隔が短いと、該当間隔における振動の発生は抑制できても、アクチュエータの長尺化が困難となる。
【０００７】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、回転軸に取り付けられた移動体を回転軸の回転に応じて移動させつつ、回転軸を受ける軸受部材と移動体の間に設けられた複数のサポートで回転軸を支持するアクチュエータにおいて、アクチュエータの高速化および長尺化に適した技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明にかかるアクチュエータは、上記目的を達成するために、軸方向に延びる回転軸と、回転軸に取り付けられて回転軸の回転に応じて軸方向へ移動する移動体と、回転軸を受ける軸受部材と、移動体と軸受部材の間で回転軸を支持する複数のサポートと、移動体が軸受部材から最も遠ざかった際に、隣り合う軸受部材とサポートとの回転軸に沿った間隔Ｃ１と、隣り合う２個のサポートの回転軸に沿った間隔Ｃ２とが等しくなるように、複数のサポートを位置させるサポート位置制御機構とを備える。
【０００９】
このように構成された本発明では、移動体と軸受部材との間に設けられた複数のサポートが回転軸を支持する。そして、移動体が軸受部材から最も遠ざかった際に、隣り合う軸受部材とサポートとの回転軸に沿った間隔Ｃ１と、隣り合う２個のサポートの回転軸に沿った間隔Ｃ２とが等しくなるように、サポート位置制御機構が複数のサポートを位置させる。かかる構成では、移動体が軸受部材から最も遠ざかった際に、軸方向に並ぶ複数のサポートおよび軸受部材のそれぞれの間隔が等しくなる。その結果、一部の間隔が長いためにアクチュエータの高速化が困難となったり、一部の間隔が短いためにアクチュエータの長尺化が困難となったりすることを抑制可能である。このように本発明は、アクチュエータの高速化および長尺化に適している。
【００１０】
また、サポート位置制御機構は、移動体が軸受部材から最も遠ざかった際に、隣り合う移動体とサポートとの回転軸に沿った間隔Ｃ３が間隔Ｃ１以下となるように、複数のサポートを位置させるように、アクチュエータを構成しても良い。このような構成では、移動体とサポートとの間隔が長いために当該間隔で振動が生じやすくなり、アクチュエータの高速化が困難となることを抑制可能である。
【００１１】
また、間隔Ｃ３と間隔Ｃ１とが等しくなるように、アクチュエータを構成しても良い。このような構成では、移動体とサポートとの間隔が長いために、アクチュエータの長尺化が困難となることを抑制可能である。
【００１２】
なお、上記のように複数のサポートを位置させるサポート位置制御機構の具体的構成としては、種々考えられる。そこで、サポート位置制御機構は、移動体に連動して移動体の移動する側へ複数のサポートのそれぞれを移動させるように、アクチュエータを構成しても良い。この際、間隔Ｃ１と間隔Ｃ２とは、移動体の位置にかかわらず常に等しくなるように、アクチュエータを構成しても良い。あるいは、サポート位置制御機構は、複数のサポートのそれぞれに対して設けられたストッパを有し、各サポートは、対応するストッパから軸受部材側で軸方向へ移動可能であり、対応するストッパに対して軸受部材の反対側を移動体が移動している間は対応するストッパに停止し、対応するストッパから軸受部材側に移動体が進入している間は移動体に伴って移動するように、アクチュエータを構成しても良い。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、移動体が軸受部材から最も遠ざかった際に、軸方向に並ぶ複数のサポートおよび軸受部材のそれぞれの間隔が等しくなる。その結果、一部の間隔が長いためにアクチュエータの高速化が困難となったり、一部の間隔が短いためにアクチュエータの長尺化が困難となったりすることを抑制可能である。このように本発明は、アクチュエータの高速化および長尺化に適している。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明を適用したアクチュエータの第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線矢視図である。
【図３】第１ユニットおよび第２ユニットの構成を示す図である。
【図４】ユニット本体の構成の一部を示す部分斜視図である。
【図５】第２ガイド機構へのユニット本体の取り付け状態を示す部分切欠図である。
【図６】第２ユニットと移動体との接続関係を示す部分斜視図である。
【図７】第１ユニット、第２ユニット、アクチュエータ本体および移動体の接続関係および動作を模式的に示す図である。
【図８】本発明を適用したアクチュエータの第２実施形態を示す斜視図である。
【図９】図８中のＢ−Ｂ線矢視図である。
【図１０】第１ユニット、第３ユニット、第２ユニット、アクチュエータ本体および移動体の接続関係を模式的に示す図である。
【図１１】本発明を適用したアクチュエータの第３実施形態を示す斜視図である。
【図１２】図１１に例示したアクチュエータの平面図である。
【図１３】サポートおよびその周辺の構成を例示する斜視図である。
【図１４】サポートおよびその周辺の構成を例示する平面図である。
【図１５】サポートおよびその周辺の構成を例示する部分断面図であり、回転軸２の中心線を通るＺＸ断面を例示する。
【図１６】移動体およびその周辺の構成を例示する斜視図である。
【図１７】移動体およびその周辺の構成を例示する部分断面図であり、回転軸２の中心線を通るＺＸ断面を例示する。
【図１８】アクチュエータの動作を模式的に例示する動作説明図である。
【図１９】連動機構の第１例を備えるアクチュエータを模式的に例示する斜視図である。
【図２０】図１９中のＡ−Ａ線矢視図である。
【図２１】連動機構の第２例を備えるアクチュエータを模式的に例示する斜視図である。
【図２２】図２１に例示したアクチュエータの平面図である。
【図２３】図２１に例示したアクチュエータの底面図である。
【図２４】図２１に例示したアクチュエータの部分拡大斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１は本発明を適用したアクチュエータの第１実施形態を示す斜視図である。図２は図１中のＡ−Ａ線矢視図である。なお、両図および以下の図では、アクチュエータの長手方向をＸ方向とし、アクチュエータの幅方向をＹ方向（Ｘ方向に直交する）とし、アクチュエータの高さ方向をＺ方向（Ｘ方向およびＹ方向に直交する）とするＸＹＺ直交座標軸を適宜示す。また、各座標軸の矢印側を正側と適宜称し、各座標軸の矢印の反対側を負側と適宜称する。
【００１６】
このアクチュエータ１は、単一の回転軸２と、回転軸２の回転に伴って移動する移動体３とを備えた単軸ロボットである。アクチュエータ１は、例えばステンレス鋼等の合金鋼あるいはアルミニウム等の金属（軽金属）で構成されたアクチュエータ本体１０を備える。アクチュエータ本体１０はＸ方向に延びる長尺プレート形状を有するベース部で構成されている。そして、アクチュエータ本体１０の上面に回転軸２やモーターＭをはじめとするアクチュエータ１の各構成部品が取り付けられている。
【００１７】
この回転軸２はＸ方向に平行な軸方向へ直線状に延びるボールネジなどの送りネジであり、アクチュエータ本体１０の上面においてＹ方向の中央に配置されている。また、アクチュエータ本体１０の上面では、軸受部材４Ｕ、４Ｄが互いにＸ方向に離間して固定され、それぞれ回転軸２のＸ方向の上流側端部および下流側端部を軸支している。このため、回転軸２はアクチュエータ本体１０の上面から高さ方向Ｚに所定距離だけ離間した状態で回転自在に保持されている。
【００１８】
この回転軸２のＸ方向の下流側端部に対し、モーターＭの回転駆動軸（図示省略）がカップリング（図示省略）を介して接続されている。このため、アクチュエータ１に与えられる駆動信号に応じてモーターＭが作動すると、モーターＭで発生する回転駆動力が回転軸２のＸ方向の下流側端部、つまり（＋Ｘ）方向側端部に与えられ、回転軸２が軸方向Ｘに延びる回転中心線の周りで回転する。
【００１９】
この回転軸２には雄ネジが形成されており、回転軸２に対して送りナット３１が螺合されるとともに、当該送りナット３１に対してスライダ３２が取り付けられている。このため、回転軸２の回転に伴って送りナット３１およびスライダ３２が移動体３として一体的に回転軸２に沿ってＸ方向へ移動する。また、この移動体３の移動を安定的に行うために、第１ガイド機構５がアクチュエータ本体１０の上面に設けられている。
【００２０】
第１ガイド機構５は、レール固定台５１１、５１２と、２本のガイドレール５２１、５２２と、移動体用スライダ５３１、５３２と、サポート用スライダ５４Ｕ、５４Ｄ、５５Ｕ、５５Ｄとを有している。回転軸２に対して幅方向Ｙの上流側、つまり（−Ｙ）方向側では、Ｘ方向に延びるレール固定台５１１がアクチュエータ本体１０の上面に固定され、さらに当該レール固定台５１１上でガイドレール５２１がＸ方向に延設されている。そして、図１に示すように、ガイドレール５２１に対してモーターＭ側からサポート用スライダ５４Ｄ、移動体用スライダ５３１およびサポート用スライダ５４ＵがＸ方向に摺動自在に取り付けられている。一方、回転軸２に対して（＋Ｙ）方向側においても、（−Ｙ）方向側と同様に、レール固定台５１２がアクチュエータ本体１０の上面に固定され、当該レール固定台５１２上でガイドレール５２２がＸ方向に延設され、さらにガイドレール５２２に対してモーターＭ側からサポート用スライダ５５Ｄ、移動体用スライダ５３２およびサポート用スライダ５５ＵがＸ方向に摺動自在に取り付けられている。
【００２１】
そして、これらのスライダのうち移動体用スライダ５３１、５３２に対して移動体３が取り付けられている。より詳しくは、図１に示すように、移動体３を構成するスライダ３２の（−Ｙ）側端部および（＋Ｙ）側端部がそれぞれ移動体用スライダ５３１、５３２の上面に固定されている。そして、いわゆる両持ち状態で第１ガイド機構５に支持されながら、移動体３は第１ガイド機構５にＸ方向に案内されて往復移動自在となっている。
【００２２】
一方、残りのスライダのうちサポート用スライダ５４Ｕ、５４Ｄに対してサポート６１Ｕ、６１Ｄがそれぞれ取り付けられている。これらのサポート６１Ｕ、６１Ｄは、移動体３に対してそれぞれ軸方向Ｘの上流側および下流側に位置している。そして、これら上流サポート６１Ｕおよび下流サポート６１Ｄは、第１ユニット６２（図３を用いて後に詳述する）に保持された状態でＸ方向に一体的に移動自在となっている。また、サポート用スライダ５５Ｕ、５５Ｄに対してサポート７１Ｕ、７１Ｄがそれぞれ取り付けられている。これらのサポート７１Ｕ、７１Ｄは、移動体３に対してそれぞれ軸方向Ｘの上流側および下流側に位置している。そして、これら上流サポート７１Ｕおよび下流サポート７１Ｄは、第２ユニット７２（図３を用いて後に詳述する）に保持された状態でＸ方向に一体的に移動自在となっている。これらのサポート６１Ｕ、６１Ｄ、７１Ｕ、７１Ｄは特許文献１に記載のサポートブラケットと同様に回転軸２の共振防止のために回転軸２を支持可能に構成されている。なお、これらのサポート６１Ｕ、６１Ｄ、７１Ｕ、７１Ｄの基本構成はいずれも同一であるため、次に図２を参照しつつサポート６１Ｄの構成について説明する一方、その他のサポートについては同一または相当符号を付して構成説明を省略する。
【００２３】
このサポート６１Ｄは、フレーム６１１および軸接触部６１２を有している。フレーム６１１は、例えばステンレス鋼等の合金鋼あるいはアルミニウム等の金属（軽金属）で構成され、上方からの平面視で略Ｌ字形状を有している。フレーム６１１では、基端部が上記したようにサポート用スライダ５４Ｄの上面に取り付けられるとともに、当該基端部からＹ方向に突設した軸対向部の下面に軸接触部６１２が取り付けられている。
【００２４】
軸接触部６１２は、Ｘ方向の両側から軸対向部にネジ止めされた２個の分割ブッシュ６１２ａ、６１２ｂにより構成されている。各分割ブッシュ６１２ａ、６１２ｂは、一対の半円部材で構成されている。各半円部材は例えば樹脂製であり、半円状に切り欠けられた接触部分を有する。こうして対を成す２個の半円部材は接触部分で回転軸２に接触しつつ、Ｚ方向の両側から回転軸２に係合する。このように、軸接触部６１２は、２個の分割ブッシュ６１２ａ、６１２ｂそれぞれの接触部分で回転軸２に接触しつつ、回転軸２に沿ってＸ方向へ移動可能となっている。ちなみに、分割ブッシュ６１２ａ、６１２ｂと回転軸２の間には若干のクリアランス（遊び）が設けられている。
【００２５】
また、サポート６１Ｄは上記したように第１ガイド機構５によってＸ方向にガイドされながら往復移動自在となっているが、サポート６１ＤのＹ方向側の下部、つまり分割ブッシュ６１２ｂが第１ユニット６２に保持されている。なお、サポート６１Ｕも、サポート６１Ｄと同様に構成され、サポート６１Ｄから（−Ｘ）方向に離間した位置でユニット６２に保持されている。このため、次に説明するように第１ユニット６２が移動体３の移動に連動してＸ方向に移動すると、サポート６１Ｕおよびサポート６１Ｄは一定の離間距離を維持したまま第１ユニット６２と一体的にＸ方向に移動する。また、サポート７１Ｄ、７１Ｕも、サポート６１Ｄ、６１Ｕと同様に構成され、第１ユニット６２に続いて説明するように第２ユニット７２に保持されるとともに、移動体３の移動に連動してＸ方向に移動する。
【００２６】
図３は第１ユニットおよび第２ユニットの構成を示す図であり、同図（ａ）は第１ユニットおよび第２ユニットが第２ガイド機構を介してアクチュエータ本体１０に取り付けられた状態を示す一方、同図（ｂ）は取り付け前の状態を示している。また、図４はユニット本体の構成の一部を示す部分斜視図であり、同図（ａ）は（＋Ｚ）方向から見た図であり、同図（ｂ）は（−Ｚ）方向から見た図である。さらに、図５は第２ガイド機構へのユニット本体の取り付け状態を示す部分切欠図である。以下、図２ないし図５を参照しつつ第１ユニット６２および第２ユニット７２の構成について、この順序で説明する。
【００２７】
第１ユニット６２は、図３に示しように、Ｘ方向に延びる長尺形状のユニット本体６２１と、Ｘ方向に互いに離間してユニット本体６２１に対して回転自在に設けられる一対のプーリ６２２、６２３と、一対のプーリ６２２、６２３間に掛架されるワイヤー６２４とを有している。ユニット本体６２１は、プーリ６２２を回転自在に軸支する第１プーリ支持部６２１ａと、プーリ６２３を回転自在に軸支する第２プーリ支持部６２１ｂと、これらのプーリ支持部６２１ａ、６２１ｂを連結する連結部６２１ｃとを有している。これらの構成部品のうち、プーリ支持部６２１ａ、６２１ｂは、図２、図４および図５に示すように、ＹＺ断面が略逆Ｕ字形状を有する長尺部材で構成されている。例えば薄板形状の金属プレートの幅方向Ｙの両端部を下方に折り曲げたものや樹脂材料を射出成形したものをプーリ支持部６２１ａ、６２１ｂとして用いることができる。一方、連結部６２１ｃは図４（ｂ）に示すようにプーリ支持部６２１ａ、６２１ｂの裏面側に形成される凹部に入り込むスラブ形状を有しており、金属材料あるいは樹脂材料で形成されている。そして、プーリ支持部６２１ａ、６２１ｂの凹部に連結部６２１ｃを嵌め込んだ状態で複数のネジで連結部６２１ｃがプーリ支持部６２１ａ、６２１ｂと締結されて一体化され、全体としてＸ方向に延設された長尺形状のユニット本体６２１が形成されている。
【００２８】
また、本実施形態では、プーリ支持部６２１ａには、締結用ネジを挿入するためのネジ穴としてＸ方向に延びた長穴６２１ｄが設けられ、連結部６２１ｃに対してプーリ支持部６２１ａをＸ方向に移動自在に取り付け可能なっている。このため、連結部６２１ｃに対するプーリ支持部６２１ａのＸ方向位置を調整した上で第１プーリ支持部６２１ａを連結部６２１ｃに取り付けることができ、当該位置調整によって第１プーリ支持部６２１ａおよび第２プーリ支持部６２１ｂの間隔を調整することができ、その結果、ワイヤー６２４の張力を調整することが可能となっている。
【００２９】
第２ユニット７２は、図３に示すように、第２プーリ支持部７２１ｂの長さが第１ユニット６２のそれに比べて短い点を除き、第１ユニット６２と同一である。つまり、第２ユニット７２では、第１プーリ支持部７２１ａと第２プーリ支持部７２１ｂとが連結部７２３によって連結されてＸ方向に延びる長尺形状のユニット本体７２１が形成されている。そして、これらのプーリ支持部７２１ａ、７２１ｂの上面に対してプーリ７２２、７２３がそれぞれ回転自在に取り付けられるとともに、これら一対のプーリ７２２、７２３間にワイヤー７２４が掛架されている。
【００３０】
このように構成された第１ユニット６２および第２ユニット７２はＹ方向に配列された状態でそれぞれ第２ガイド機構８の樹脂スライダ８１１、８１２に支持される。この第２ガイド機構８は、図２に示すように、回転軸２とアクチュエータ本体１０とに挟まれた空間に設けられている。より詳しくは、第２ガイド機構８は、Ｘ方向に延びるガイドレール８２がレール固定台５１１、５１２に挟まれるようにアクチュエータ本体１０の上面に固定されている。このガイドレール８２には、２本のガイド溝８２１、８２２が上方に開口しながらＸ方向に延設されている。これらのガイド溝８２１、８２２はＹ方向に配列して設けられており、ガイド溝８２１はサポート７１Ｄ、７１Ｕの（−Ｙ）側端部の直下に位置する一方、ガイド溝８２２はサポート６１Ｄ、６１Ｕの（＋Ｙ）側端部の直下に位置している。
【００３１】
各ガイド溝８２１、８２２は図２に示すようにＹ方向における開口寸法が溝内部寸法よりも狭い形状を有している。一方、樹脂スライダ８１１、８１２は、ＹＺ断面が略Ｔ字形状を有する長尺部材で構成されており、ガイド溝８２１、８２２のＸ方向端面側からガイド溝８２１、８２２に嵌入自在となっている。より詳しくは、樹脂スライダ８１１、８１２は、下方端部、中間部および上方端部の３つのパートを有しており、図５に示すように、各パートの寸法はＸ方向においては同一であるものの、Ｙ方向においては相互に異なっている。すなわち、樹脂スライダ８１１、８１２では、下方端部のＹ方向寸法はガイド溝８２１、８２２の溝内部寸法よりも若干狭く、かつ開口寸法よりも広くなっている。また、中間部のＹ方向寸法はガイド溝８２１、８２２の開口寸法よりも狭く、上方端部のＹ方向寸法はガイド溝８２１、８２２の開口寸法よりも広くなっている。そして、上方端部をガイド溝８２１から上方に突出させるとともに下方端部および中間部をそれぞれガイド溝８２１の溝内部および開口部に嵌入させた状態で２本の樹脂スライダ８１１がガイド溝８２１に嵌入され、当該ガイド溝８２１に沿ってＸ方向に摺動自在となっている。また、２本の樹脂スライダ８１２が、樹脂スライダ８１１と同様の状態でガイド溝８２２に嵌入され、当該ガイド溝８２２に沿ってＸ方向に摺動自在となっている。したがって、樹脂スライド８１１、８１２はそれぞれガイド溝８２１、８２２としっかりと係合した状態でガイド溝８２１、８２２に沿って移動可能となっている。このため、アクチュエータ本体１０の下面が水平面上に取り付けられる場合はもちろんのこと、垂直面や天井面に取り付けられる場合であっても、樹脂スライド８１１、８１２はそれぞれガイド溝８２１、８２２から外れることなく、ガイド溝８２１、８２２にガイドされながら摺動する。
【００３２】
そして、このように構成された２本の樹脂スライダ８１１に対してユニット本体６２１が取り付けられている。特に、一方の樹脂スライダ８１１は、図３（ｂ）に示すように、一対のプーリ６２２、６２３の間でユニット本体６２１に取り付けられ、他方の樹脂スライダ８１１はプーリ６２３の近傍位置に取り付けられている。このユニット本体６２１は回転軸２の雄ネジ形成領域、つまり移動体３の移動ストロークの約２／３程度の長さを有しており、Ｘ方向上流端部およびＸ方向下流端部の上面にサポート６１Ｕ、６１Ｄがそれぞれ固定されている。そして、２つの樹脂スライダ８１１によって第１ユニット６２およびサポート６１Ｄ、６１Ｕが一体的にＸ方向に移動自在となっている。
【００３３】
また、２本の樹脂スライダ８１２に対してユニット本体７２１が取り付けられている。これらの樹脂スライダ８１２はいずれも図３（ｂ）に示すように一対のプーリ７２２、７２３の間でユニット本体７２１に取り付けられている。このユニット本体７２１はユニット本体６２１よりも短く、移動体３の移動ストロークの約１／３程度の長さを有しており、Ｘ方向上流端部およびＸ方向下流端部の上面にサポート７１Ｕ、７１Ｄがそれぞれ固定されている。そして、樹脂スライダ８１２によって第２ユニット７２およびサポート７１Ｄ、７１Ｕが一体的にＸ方向に移動自在となっている。なお、本実施形態では、ガイドレール８２に対して２本のガイド溝８２１、８２２を設けているが、ガイドレール８２の代わりに１本のガイド溝を形成したガイドレールを２本設けてもよい。この点については、後で説明する第２実施形態においても同様である。また、本実施形態では、第１ユニット６２および第２ユニット７２のいずれについても、２本の樹脂スライダで支持されているが、樹脂スライダの本数はこれに限定されるものではなく、任意である。
【００３４】
このように第１ユニット６２および第２ユニット７２はそれぞれ独立してＸ方向に移動可能となっているが、サポート６１Ｄ、６１Ｕ、７１Ｄ、７１Ｕにより回転軸２の共振を効果的に防止するために、移動体３、第１ユニット６２、第２ユニット７２およびアクチュエータ本体１０は次のように接続されている。以下、図３、図６および図７を参照しつつ接続関係および移動体の移動に伴う各部の動作について説明する。
【００３５】
図６は第２ユニットと移動体との接続関係を示す部分斜視図である。また図７は、第１ユニット、第２ユニット、アクチュエータ本体および移動体の接続関係および動作を模式的に示す図である。なお、図７において、符号ＣＰは第２ユニット７２と移動体３との接続位置を示し、縦方向は時間経過を示し、横方向はＸ方向における位置を示しており、各点線は（−Ｘ）方向への移動体３の移動に応じた各部の動きを示している。特に、点線の傾きは移動速度に相当しており、傾きが急峻になるにしたがって移動速度が遅くなることを示している。
【００３６】
図３および図７に示すように、第１ユニット６２および第２ユニット７２は軸方向Ｘと直交する配列方向Ｙに配列されている。そして、第１ユニット６２では、一対のプーリ６２２、６２３に対して配列方向Ｙの上流側、つまり（−Ｙ）方向側でワイヤー６２４の一部が固定金具１１によってアクチュエータ本体１０に固定されている。また、第２ユニット７２では、一対のプーリ７２２、７２３に対して配列方向Ｙの下流側、つまり（＋Ｙ）方向側でワイヤー７２４の一部（符号ＣＰの位置に相当）が図６に示すように連結金具１２によって移動体３のスライダ３２と連結されている。また、第１ユニット６２および第２ユニット７２は互いに隣接しており、配列方向Ｙにおいて上流側に位置している第１ユニット６２では一対のプーリ６２２、６２３に対して配列方向Ｙの下流側、つまり（＋Ｙ）方向側でワイヤー６２４の一部が連結金具１３によって第２ユニット７２のユニット本体７２１に連結されるとともに、第２ユニット７２では一対のプーリ７２２、７２３に対して配列方向Ｙの上流側、つまり（−Ｙ）方向側でワイヤー７２４の一部が連結金具１４によって第１ユニット６２のユニット本体６２１に連結されている。
【００３７】
このように構成された第１ユニット６２および第２ユニット７２は、回転軸２の回転により移動体３が例えば（−Ｘ）方向に移動すると、図７の紙面において一対のプーリ７２２、７２３が反時計回りに回転するとともに一対のプーリ６２２、６２３がプーリ７２２、７２３よりも低回転速度で反時計回りに回転しながら、第１ユニット６２および第２ユニット７２はともに移動体３と連動して（−Ｘ）方向に移動する。ただし、上記接続関係が構築されているため、図７の点線で示すように第１ユニット６２の移動速度は移動体３の移動速度の１／３となり、第２ユニット７２の移動速度は移動体３の移動速度の２／３となる。それに伴い、第１ユニット６２に保持されたサポート６１Ｄ、６１Ｕの移動速度も移動体３の移動速度の１／３となり、第２ユニット７２に保持されたサポート７１Ｄ、７１Ｕの移動速度も移動体３の移動速度の２／３となる。したがって、図７の「サポートと移動体のスライド」の欄に示すように、移動体３の（−Ｘ）方向への移動に伴って、移動体３より上流側（同図の右手側）では回転軸２の上流端部（軸受４Ｕ）、サポート６１Ｕ、７１Ｕおよび移動体３の間隔は徐々に狭まっていく一方で、移動体３より下流側（同図の左手側）では回転軸２の下流端部（軸受４Ｄ）、サポート６１Ｄ、７１Ｄおよび移動体３の間隔は徐々に広がっていく。
【００３８】
かかるアクチュエータ１は、間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が互いに等しい状態を保ったまま、移動体３に連動してサポート６１Ｕ、６１Ｄ、７１Ｕ、７１Ｄが移動するように構成されている。ここで、間隔Ｃ１は、軸方向Ｘに隣り合う軸受部材４Ｕ（４Ｄ）とサポート６１Ｕ（６１Ｄ）との軸方向Ｘに沿った間隔であり、間隔Ｃ２は、軸方向Ｘに隣り合うサポート６１Ｕ（６１Ｄ）とサポート７１Ｕ（７１Ｄ）との軸方向Ｘに沿った間隔であり、間隔Ｃ３は、軸方向Ｘに隣り合う移動体３とサポート７１Ｕ（７１Ｄ）との軸方向Ｘに沿った間隔である。
【００３９】
したがって、図７の時刻「Ｔ１」あるいは時刻「Ｔ４」の欄に示すように、移動体３が移動ストロークの端に位置する際（換言すれば、移動体３が軸受部材４Ｕあるいは軸受部材４Ｄから最も遠ざかった際）においても、間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が互いに等しくなる。すなわち、アクチュエータ１の回転軸２の振動が生じやすい状況において、間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が互いに等しくなるように、サポート６１Ｕ、６１Ｄ、７１Ｕ、７１Ｄが位置する。
【００４０】
ちなみに、例えば、間隔Ｃ１は、軸受部材４Ｕ（４Ｄ）が回転軸２に接触する部分が設けられた範囲のサポート６１Ｕ（６１Ｄ）側の端と、サポート６１Ｕ（６１Ｄ）が回転軸２に接触する部分が設けられた範囲の軸受部材４Ｕ（４Ｄ）側の端との回転軸２に沿った距離として求めることができる。間隔Ｃ２は、サポート６１Ｕ（６１Ｄ）が回転軸２に接触する部分が設けられた範囲のサポート７１Ｕ（７１Ｄ）側の端と、サポート７１Ｕ（７１Ｄ）が回転軸２に接触する部分が設けられた範囲のサポート６１Ｕ（６１Ｄ）側の端との回転軸２に沿った距離として求めることができる。間隔Ｃ３は、サポート７１Ｕ（７１Ｄ）が回転軸２に接触する部分が設けられた範囲の移動体３側の端と、移動体３（の送りナット３１）が回転軸２に接触する部分が設けられた範囲のサポート７１Ｕ（７１Ｄ）側の端との回転軸２に沿った距離として求めることができる。
【００４１】
以上のように構成された本実施形態では、移動体３と軸受部材４Ｕ（４Ｄ）との間に設けられた複数のサポート６１Ｕ、７１Ｕ（６１Ｄ、７１Ｄ）が回転軸２を支持する。そして、移動体３が軸受部材４Ｕ（４Ｄ）から最も遠ざかった際に、軸方向Ｘに並ぶ複数のサポート６１Ｕ、７１Ｕ（６１Ｄ、７１Ｄ）および軸受部材４Ｕ（４Ｄ）のそれぞれの間隔Ｃ１、Ｃ２が等しくなる。その結果、一部の間隔が長いためにアクチュエータ１の高速化が困難となったり、一部の間隔が短いためにアクチュエータ１の長尺化が困難となったりすることを抑制可能である。このように本実施形態は、アクチュエータ１の高速化および長尺化に適している。
【００４２】
また、移動体３が軸受部材４Ｕ（４Ｄ）から最も遠ざかった際に、間隔Ｃ３が間隔Ｃ１以下となるように、複数のサポート６１Ｕ、７１Ｕ（６１Ｄ、７１Ｄ）が位置する。このような構成では、移動体３とサポート７１Ｕ（７１Ｄ）との間隔が長いために当該間隔で振動が生じやすくなり、アクチュエータ１の高速化が困難となることを抑制可能である。
【００４３】
また、移動体３が軸受部材４Ｕ（４Ｄ）から最も遠ざかった際に、間隔Ｃ３と間隔Ｃ１とが等しくなるように、複数のサポート６１Ｕ、７１Ｕ（６１Ｄ、７１Ｄ）が位置する。このような構成では、移動体３とサポート７１Ｕ（７１Ｄ）との間隔が長いために、アクチュエータ１の長尺化が困難となることを抑制可能である。
【００４４】
図８は本発明を適用したアクチュエータの第２実施形態を示す斜視図である。また、図９は図８中のＢ−Ｂ線矢視図である。また、図１０は、第１ユニット、第３ユニット、第２ユニット、アクチュエータ本体および移動体の接続関係を模式的に示す図である。この第２実施形態が第１実施形態と大きく相違する点は２点ある。まず第１点目は、一対のサポート９１Ｕ、９１Ｄと第３ユニット９２とが追加されている点である。また第２点目は、全サポート６１Ｕ、６１Ｄ、７１Ｕ、７１Ｄ、９１Ｕ、９１Ｄおよび移動体３は片持ち状態で第１ガイド機構５によりＸ方向に移動自在に支持されている。なお、その他の構成は基本的に同一であるため、以下においては相違点を中心に説明し、同一構成については同一符号を付して説明を省略する。
【００４５】
第１ガイド機構５では、回転軸２に対して幅方向Ｙの上流側、つまり（−Ｙ）方向側では、Ｘ方向に延びるレール固定台５１１がアクチュエータ本体１０の上面に固定され、さらに当該レール固定台５１１上でガイドレール５２１がＸ方向に延設されている。そして、図８に示すように、ガイドレール５２１に対してモーターＭ側からサポート用スライダ５６Ｄ、５７Ｄ、５８Ｄ、移動体用スライダ（図示省略）およびサポート用スライダ５８Ｕ、５７Ｕ、５６ＵがＸ方向に摺動自在に取り付けられている。
【００４６】
そして、図８に示すように、これらのスライダのうち移動体用スライダに対して移動体３の（−Ｙ）方向側端部が取り付けられ、移動体３は、いわゆる片持ち状態で支持されながら第１ガイド機構５にＸ方向に案内されながら往復移動自在となっている。一方、残りのスライダうちサポート用スライダ５６Ｄ、５７Ｄ、５８Ｄ、５８Ｕ、５７Ｕ、５６Ｕに対してサポート６１Ｄ、９１Ｄ、７１Ｄ、７１Ｕ、９１Ｕ、６１Ｕがそれぞれ取り付けられている。これらのうち第２実施形態で追加されたサポート９１Ｕ、９１Ｄは、移動体３に対してそれぞれ軸方向Ｘの上流側および下流側に位置している。そして、これら上流サポート９１Ｕおよび下流サポート９１Ｄは第３ユニット９２に保持された状態でＸ方向に一体的に移動自在となっている。なお、サポート９１Ｕ、９１Ｄはサポート６１Ｕ、６１Ｄ、７１Ｕ、７１Ｄと同様に回転軸２を支持可能に構成されており、その基本構成はいずれもサポート６１Ｕ、６１Ｄ、７１Ｕ、７１Ｄと同一である。
【００４７】
第３ユニット９２は、ユニット本体９２１のＸ方向の長さが第１ユニット６２のそれよりも短く、第２ユニット７２のそれよりも長い点を除き、第１ユニット６２および第２ユニット７２と基本的に同一である。すなわち、第３ユニット９２は、Ｘ方向に延びる長尺形状のユニット本体９２１と、Ｘ方向に互いに離間してユニット本体９２１に対して回転自在に設けられる一対のプーリ９２２、９２３（図１０）と、一対のプーリ９２２、９２３間に掛架されるワイヤー９２４（図１０）とを有している。
【００４８】
そして、第３ユニット９２はＹ方向において第１ユニット６２および第２ユニット７２により挟まれるように配置されており、ユニット６２、９２、７２はＹ方向に配列された状態でそれぞれ第２ガイド機構８の樹脂スライダ８１１、８１３、８１２に支持される。この第２実施形態においても、第２ガイド機構８は、図９に示すように、回転軸２とアクチュエータ本体１０とに挟まれた空間に設けられている。より詳しくは、第２ガイド機構８は、Ｘ方向に延びるガイドレール８２が回転軸２の下方でアクチュエータ本体１０の上面に固定されている。このガイドレール８２には、３本のガイド溝８２１、８２３、８２２がＸ方向に延設されている。これらのガイド溝８２１、８２３、８２２はＹ方向に配列して設けられており、ガイド溝８２１はサポート６１Ｄ、６１Ｕの（＋Ｙ）側端部の直下に位置し、ガイド溝８２２はサポート７１Ｄ、７１Ｕの（＋Ｙ）側端部の直下に位置し、ガイド溝８２３はサポート９１Ｄ、９１Ｕの（＋Ｙ）側端部の直下に位置している。なお、各ガイド溝８２１、８２３、８２２の構造および樹脂スライダ８１１、８１３、８１２との係合状態は第１実施形態のそれと同一である。
【００４９】
そして、２本の樹脂スライダ８１１に対してユニット本体６２１が取り付けられている。このユニット本体６２１は回転軸２の雄ネジ形成領域、つまり移動体３の移動ストロークの約３／４程度の長さを有しており、Ｘ方向上流端部およびＸ方向下方端部の上面にサポート６１Ｕ、６１Ｄがそれぞれ固定されている。そして、樹脂スライダ８１１によって第１ユニット６２およびサポート６１Ｄ、６１Ｕが一体的にＸ方向に移動自在となっている。また、２本の樹脂スライダ８１３に対してユニット本体９２１が取り付けられている。このユニット本体９２１はユニット本体６２１よりも短く、移動体３の移動ストロークの約２／４（＝１／２）程度の長さを有しており、Ｘ方向上流端部およびＸ方向下方端部の上面にサポート９１Ｕ、９１Ｄがそれぞれ固定されている。そして、樹脂スライダ８１３によって第３ユニット９２およびサポート９１Ｄ、９１Ｕが一体的にＸ方向に移動自在となっている。さらに、２本の樹脂スライダ８１２に対してユニット本体７２１が取り付けられている。このユニット本体７２１はユニット本体９２１よりもさらに短く、移動体３の移動ストロークの約１／４程度の長さを有しており、Ｘ方向上流端部およびＸ方向下方端部の上面にサポート７１Ｕ、７１Ｄがそれぞれ固定されている。そして、樹脂スライダ８１２によって第２ユニット７２およびサポート７１Ｄ、７１Ｕが一体的にＸ方向に移動自在となっている。
【００５０】
このように第１ユニット６２、第２ユニット７２および第３ユニット９２はそれぞれ独立してＸ方向に移動可能となっているが、サポート６１Ｄ、９１Ｄ、７１Ｄ、７１Ｕ、９１Ｕ、７１Ｕにより回転軸２の共振を効果的に防止するために、移動体３、第１ユニット６２、第３ユニット９２、第２ユニット７２およびアクチュエータ本体１０は次のように接続されている。以下、図１０を参照しつつ接続関係について説明する。
【００５１】
この第２実施形態では、Ｙ方向に配列される３つのユニット６２、９２、７２のうち最も上流側、つまり（−Ｙ）方向側に位置する第１ユニット６２では、第１実施形態と同様に、一対のプーリ６２２、６２３に対して配列方向Ｙの上流側、つまり（−Ｙ）方向側でワイヤー６２４の一部が固定金具１１によってアクチュエータ本体１０に固定されている。また、最も下流側、つまり（＋Ｙ）方向側に位置する第２ユニット７２では、第１実施形態と同様に、一対のプーリ７２２、７２３に対して配列方向Ｙの下流側、つまり（＋Ｙ）方向側でワイヤー７２４の一部が連結金具１２によって移動体３のスライダ３２と連結されている。
【００５２】
そして、配列方向Ｙにおいて互いに隣接する２組、つまり第１ユニット６２と第３ユニット９２の組み合わせおよび第３ユニット９２と第２ユニット７２の組み合わせにおいて、図１０に示すように連結されている。すなわち、第１ユニット６２および第３ユニット９２は互いに隣接しており、配列方向Ｙにおいて上流側の位置している第１ユニット６２では一対のプーリ６２２、６２３に対して配列方向Ｙの下流側、つまり（＋Ｙ）方向側でワイヤー６２４の一部が連結金具１５によって第３ユニット９２のユニット本体９２１に連結されるとともに、第３ユニット９２では一対のプーリ９２２、９２３に対して配列方向Ｙの上流側、つまり（−Ｙ）方向側でワイヤー９２４の一部が連結金具１６によって第１ユニット６２のユニット本体６２１に連結されている。
【００５３】
また、第３ユニット９２および第２ユニット７２は互いに隣接しており、配列方向Ｙにおいて上流側の位置している第３ユニット９２では一対のプーリ９２２、９２３に対して配列方向Ｙの下流側、つまり（＋Ｙ）方向側でワイヤー９２４の一部が連結金具１７によって第２ユニット７２のユニット本体７２１に連結されるとともに、第２ユニット７２では一対のプーリ７２２、７２３に対して配列方向Ｙの上流側、つまり（−Ｙ）方向側でワイヤー７２４の一部が連結金具１８によって第３ユニット９２のユニット本体９２１に連結されている。
【００５４】
このように構成された第１ユニット６２、第３ユニット９２および第２ユニット７２は、回転軸２の回転により移動体３が例えば（−Ｘ）方向に移動すると、図１０の紙面において一対のプーリ７２２、７２３が反時計回りに回転し、一対のプーリ９２２、９２３がプーリ７２２、７２３よりも低回転速度で反時計回りに回転するとともに一対のプーリ６２２、６２３がプーリ９２２、９２３よりもさらに低回転速度で反時計回りに回転しながら、第１ユニット６２、第３ユニット９２および第２ユニット７２は移動体３と連動して（−Ｘ）方向に移動する。ただし、上記接続関係が構築されているため、第１ユニット６２は移動体３の移動速度の１／４となり、第３ユニット９２の移動速度は移動体３の移動速度の２／４（＝１／２）となり、第２ユニット７２の移動速度は移動体３の移動速度の３／４となる。それに伴い、第１ユニット６２に保持されたサポート６１Ｄ、６１Ｕの移動速度も移動体３の移動速度の１／４となり、第３ユニット９２に保持されたサポート９１Ｄ、９１Ｕの移動速度も移動体３の移動速度の２／４（＝１／２）となり、第２ユニット７２に保持されたサポート７１Ｄ、７１Ｕの移動速度も移動体３の移動速度の３／４となる。したがって、移動体３の例えば（−Ｘ）方向への移動に伴って、移動体３より上流側では回転軸２の上流端部（軸受４Ｕ）、サポート６１Ｕ、９１Ｕ、７１Ｕおよび移動体３の間隔は徐々に狭まっていく一方で、移動体３より下流側では回転軸２の下流端部（軸受４Ｄ）、サポート６１Ｄ、９２Ｄ、７１Ｄおよび移動体３の間隔は徐々に広がっていく。このような６つのサポート６１Ｄ、６１Ｕ、９２Ｄ、９２Ｕ、７１Ｄ、７１Ｕの動きによって回転軸２の共振が効果的に抑制される。
【００５５】
かかるアクチュエータ１も、間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が互いに等しい状態を保ったまま、移動体３に連動してサポート６１Ｄ、６１Ｕ、９２Ｄ、９２Ｕ、７１Ｄ、７１Ｕが移動するように構成されている。したがって、移動体３が移動ストロークの端に位置する際（換言すれば、移動体３が軸受部材４Ｕあるいは軸受部材４Ｄから最も遠ざかった際）においても、間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が互いに等しくなる（Ｃ１＝Ｃ２＝Ｃ３）。すなわち、アクチュエータ１の回転軸２の振動が生じやすい状況において、間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が互いに等しくなるように、サポート６１Ｄ、６１Ｕ、９２Ｄ、９２Ｕ、７１Ｄ、７１Ｕが位置する。
【００５６】
以上のように構成された本実施形態では、移動体３と軸受部材４Ｕ（４Ｄ）との間に設けられた複数のサポート６１Ｕ、９１Ｕ、７１Ｕ（６１Ｄ、９１Ｄ、７１Ｄ）が回転軸２を支持する。そして、移動体３が軸受部材４Ｕ（４Ｄ）から最も遠ざかった際に、軸方向Ｘに並ぶ複数のサポート６１Ｕ、９１Ｕ、７１Ｕ（６１Ｄ、９１Ｄ、７１Ｄ）および軸受部材４Ｕ（４Ｄ）のそれぞれの間隔Ｃ１、Ｃ２が等しくなる。その結果、一部の間隔が長いためにアクチュエータ１の高速化が困難となったり、一部の間隔が短いためにアクチュエータ１の長尺化が困難となったりすることを抑制可能である。このように本実施形態は、アクチュエータ１の高速化および長尺化に適している。
【００５７】
また、移動体３が軸受部材４Ｕ（４Ｄ）から最も遠ざかった際に、間隔Ｃ３が間隔Ｃ１以下となるように、複数のサポート６１Ｕ、９１Ｕ、７１Ｕ（６１Ｄ、９１Ｄ、７１Ｄ）が位置する。このような構成では、移動体３とサポート７１Ｕ（７１Ｄ）との間隔が長いために当該間隔で振動が生じやすくなり、アクチュエータ１の高速化が困難となることを抑制可能である。
【００５８】
また、移動体３が軸受部材４Ｕ（４Ｄ）から最も遠ざかった際に、間隔Ｃ３と間隔Ｃ１とが等しくなるように、複数のサポート６１Ｕ、９１Ｕ、７１Ｕ（６１Ｄ、９１Ｄ、７１Ｄ）が位置する。このような構成では、移動体３とサポート７１Ｕ（７１Ｄ）との間隔が長いために、アクチュエータ１の長尺化が困難となることを抑制可能である。
【００５９】
図１１は、本発明を適用したアクチュエータの第３実施形態を示す斜視図である。図１２は、図１１に例示したアクチュエータの平面図である。このアクチュエータ１も、上記実施形態と同様に、単一の回転軸２と、回転軸２の回転に伴って移動する移動体３とを備えた単軸ロボットである。以下では、上記実施形態との差異点を中心に説明を行い、共通点については相当符号を付して説明を適宜省略する。
【００６０】
また、アクチュエータ１は、回転軸２に係合しつつ回転軸２を支持するサポート６を備える。具体的には、筐体１０内では、Ｘ方向において両端の軸受部材４それぞれと移動体３との間に、２個のサポート６が設けられている。こうして、移動体３よりもＸ方向正側およびＸ方向負側のそれぞれにおいて、２個のサポート６が回転軸２に沿って並ぶ。各サポート６は、回転軸２を支持しつつ回転軸２に沿って移動可能であり、例えば図１１および図１２の移動体３よりＸ方向正側に示すように移動体３に連結された状態で、移動体３に伴って移動する。ただし、サポート６の可動範囲は、サポート６毎に異なっている。この点について、移動体３よりＸ方向正側に設けられたサポート６と、移動体３よりＸ方向負側に設けられたサポート６とについて、それぞれ説明する。
【００６１】
まず、移動体３よりＸ方向正側に設けられた２個のサポート６について説明する。アクチュエータ１は、回転軸２のＹ方向負側においてＸ方向に並ぶ２個のストッパＳａを備える。これらストッパＳａは、Ｘ方向において互いに異なる停止位置Ｐs(1)、Ｐs(2)に各サポート６を停止させるために、停止位置Ｐs(1)、Ｐs(2)に対して配置されている。なお、停止位置Ｐs(1)はＸ方向正側に位置し、停止位置Ｐs(2)はＸ方向負側に位置する。
【００６２】
停止位置Ｐs(1)に対応するストッパＳａは、２個のサポート６のうちＸ方向正側のサポート６の可動範囲を停止位置Ｐs(1)からＸ方向正側に制限する。したがって、Ｘ方向正側のサポート６は、停止位置Ｐs(1)からＸ方向正側の可動範囲（停止位置Ｐs(1)を含む）では移動体３に伴って移動できるが、移動体３が当該可動範囲よりＸ方向負側へ出ると、移動体３から外れて停止位置Ｐs(1)に停止する。また、停止位置Ｐs(2)に対応するストッパＳａは、２個のサポート６のうちＸ方向負側のサポート６の可動範囲を停止位置Ｐs(2)からＸ方向正側に制限する。したがって、Ｘ方向負側のサポート６は、停止位置Ｐs(2)からＸ方向正側の可動範囲（停止位置Ｐs(2)を含む）では移動体３に伴って移動できるが、移動体３が当該可動範囲よりＸ方向負側へ出ると、移動体３から外れて停止位置Ｐs(2)に停止する。
【００６３】
かかる構成では、各サポート６は、停止位置Ｐs(1)、Ｐs(2)で停止して移動体３を支持できる一方、移動体３の移動の妨げとならないように、停止位置Ｐs(1)、Ｐs(2)から軸受部材４側の可動範囲でＸ方向へ移動できる。つまり、移動体３が停止位置Ｐs(1)、Ｐs(2)に対して可動範囲の反対側を移動している間は、サポート６は停止位置Ｐs(1)、Ｐs(2)に停止して回転軸２を支持する。一方、移動体３が可動範囲に進入している間は、サポート６は移動体３に伴って移動して、可動範囲における移動体３の移動を妨げない。こうして、移動体３の移動を妨げることなく、サポート６によって回転軸２を支持して回転軸２の振動を抑えることができる。
【００６４】
次に、移動体３よりＸ方向負側に設けられた２個のサポート６について説明する。アクチュエータ１は、回転軸２のＹ方向正側においてＸ方向に並ぶ２個のストッパＳａを備える。これらストッパＳａは、Ｘ方向において互いに異なる停止位置Ｐs(3)、Ｐs(4)に各サポート６を停止させるために、停止位置Ｐs(3)、Ｐs(4)に対して配置されている。なお、停止位置Ｐs(3)はＸ方向負側に位置し、停止位置Ｐs(4)はＸ方向正側に位置する。
【００６５】
停止位置Ｐs(3)に対応するストッパＳａは、２個のサポート６のうちＸ方向負側のサポート６の可動範囲を停止位置Ｐs(3)からＸ方向負側に制限する。したがって、Ｘ方向負側のサポート６は、停止位置Ｐs(3)からＸ方向負側の可動範囲（停止位置Ｐs(3)を含む）では移動体３に伴って移動できるが、移動体３が当該可動範囲よりＸ方向正側へ出ると、移動体３から外れて停止位置Ｐs(3)に停止する。また、停止位置Ｐs(4)に対応するストッパＳａは、２個のサポート６のうちＸ方向正側のサポート６の可動範囲を停止位置Ｐs(4)からＸ方向負側に制限する。したがって、Ｘ方向正側のサポート６は、停止位置Ｐs(4)からＸ方向負側の可動範囲（停止位置Ｐs(4)を含む）では移動体３に伴って移動できるが、移動体３が当該可動範囲よりＸ方向正側へ出ると、移動体３から外れて停止位置Ｐs(4)に停止する。
【００６６】
かかる構成では、各サポート６は、停止位置Ｐs(3)、Ｐs(4)で停止して移動体３を支持できる一方、移動体３の移動の妨げとならないように、停止位置Ｐs(3)、Ｐs(4)から軸受部材４側の可動範囲でＸ方向へ移動できる。こうして、移動体３の移動を妨げることなく、サポート６によって回転軸２を支持して回転軸２の振動を抑えることができる。
【００６７】
このように移動体３は、サポート６を適宜伴いつつ、回転軸２に沿って移動できる。アクチュエータ１は、このような移動体３の移動範囲を制限するためにストッパＳｂを備える。このストッパＳｂは、筐体１０のＸ方向の両端部それぞれに設けられており、軸受部材４より内側で筐体１０に固定されている。したがって、Ｘ方向の端部まで移動してきた移動体３は、ストッパＳｂに当接して停止する。
【００６８】
以上がアクチュエータ１の概要である。続いては、サポート６の詳細構成について説明する。なお、４個のサポート６は、概ね同様の構成を具備するため、ここでは、移動体３のＸ方向負側に設けられた２個のサポート６のうち、Ｘ方向負側に設けられたサポート６で代表して説明する。
【００６９】
図１３は、サポートおよびその周辺の構成を例示する斜視図である。図１４は、サポートおよびその周辺の構成を例示する平面図である。なお、図１４では、部材６３に隠れて見えない部材６７が一点鎖線で示されている。図１５は、サポートおよびその周辺の構成を例示する部分断面図であり、回転軸２の中心線を通るＺＸ断面を例示する。
【００７０】
サポート６は、フレーム６３に対して軸接触部６５およびガイド係合部６７を取り付けた概略構成を具備する。フレーム６３は、例えばステンレス鋼等の合金鋼あるいはアルミニウム等の金属（軽金属）で構成され、Ｚ方向正側およびＹ方向の両側から回転軸２を囲む軸対向部６３１と、Ｚ方向正側からガイドレール５２１に対向するガイド対向部６３２とを有する。そして、軸接触部６５は、フレーム６３の軸対向部６３１のＺ方向負側に固定され、ガイド係合部６７は、フレーム６３のガイド対向部６３２の負側に固定されている。
【００７１】
軸接触部６５は、Ｘ方向の両側から軸対向部６３１にネジ止めされた２個の分割ブッシュ６５２により構成されている。各分割ブッシュ６５２は、一対の半円部材６５４で構成されており、各半円部材６５４は、樹脂で構成されており、半円状に切り欠けられた接触部分６５４ａを有する。こうして対を成す２個の半円部材６５４は、接触部分６５４ａで回転軸２に接触しつつ、Ｚ方向の両側から回転軸２に係合する。このように、軸接触部６５は、２個の分割ブッシュ６５２それぞれの接触部分６５４ａで回転軸２に接触しつつ、回転軸２に沿ってＸ方向へ移動可能となっている。ちなみに、分割ブッシュ６５２と回転軸２の間には若干のクリアランス（遊び）が設けられている。
【００７２】
このように構成された軸接触部６５は、回転軸２に沿ってＸ方向に長さＬ1を有する。ここで、長さＬ1は、軸接触部６５が回転軸２に接触する接触部分６５４ａが設けられた範囲のＸ方向における両端間の距離として求めることができる。したがって、ここの例では、長さＬ1は、Ｘ方向正側の分割ブッシュ６５２が回転軸２に接触する接触部分６５４ａのＸ方向正側の端と、Ｘ方向負側の分割ブッシュ６５２が回転軸２に接触する接触部分６５４ａのＸ方向負側の端とのＸ方向における距離として求めることができる。
【００７３】
ガイド係合部６７は、Ｘ方向に平行に延びる溝状に切り欠けられた係合部分６７ａを有し、係合部分６７ａでガイドレール５２１に係合する。こうして、ガイド係合部６７は、係合部分６７ａでガイドレール５２１に係合しつつ、ガイドレール５２１に沿ってＸ方向へ移動可能となっている。このように構成されたガイド係合部６７は、回転軸２に沿ってＸ方向に長さＬ1より長い長さＬ2を有する（Ｌ2＞Ｌ1）。ここで、長さＬ2は、ガイド係合部６７がガイドレール５２１に係合する係合部分６７ａが設けられた範囲のＸ方向における両端間の距離として求められる。したがって、ここの例では、長さＬ2は、Ｘ方向における係合部分６７ａの両端間の距離として求められる。
【００７４】
つまり、ガイド係合部６７は、回転軸２の軸方向（Ｘ方向）に軸接触部６５よりも長く、軸接触部６５に対してＸ方向の正側に突出する突出部分６７ｂを有する。これに対応して、ガイド係合部６７が取り付けられたガイド対向部６３２は、軸接触部６５が取り付けられた軸対向部６３１よりもＸ方向に長く、軸対向部６３１に対してＸ方向の正側に突出する突出部分６３２ｂを有する。なお、ここの例では、ガイド対向部６３２は、ガイド係合部６７よりもＸ方向に若干長い。
【００７５】
このようにサポート６は、ガイド係合部６７でガイドレール５２１に係合しつつ、軸接触部６５で回転軸２を支持する。この際、ガイド係合部６７はガイドレール５２１に沿ってＸ方向へ移動可能であり、軸接触部６５は回転軸２に沿ってＸ方向へ移動可能である。したがって、サポート６は、全体としてＸ方向へ移動可能となっている。
【００７６】
さらに、サポート６は、Ｙ方向に平行な回転中心の周りで回転可能なローラ６９を、軸対向部６３１のＺ方向正側の端部に有する。かかるローラ６９は、バネ等の弾性部材によってＺ方向正側に付勢されており、サポート６を移動体３に係合するために用いられる。また、サポート６は、軸対向部６３１に対してＺ方向負側に突出した当接部６３３を有する。かかる当接部６３３は、ストッパＳａに当接することで、サポート６を移動体３から分離するために用いられる。
【００７７】
続いては、移動体３の詳細構成と併せてサポート６について説明する。図１６は、移動体およびその周辺の構成を例示する斜視図である。図１７は、移動体およびその周辺の構成を例示する部分断面図であり、回転軸２の中心線を通るＺＸ断面を例示する。図１６および図１７では、移動体３がＸ方向正側の２個のサポート６に係合した状態が例示されている。
【００７８】
移動体３は、Ｘ方向およびＹ方向に平行な平面を有する矩形状のスライダ３２と、スライダ３２のＺ方向下側に固定されて回転軸２に螺合するナット３１とを有する。ちなみに、回転軸２とナット３１とでボールネジが構成されている。さらに、移動体３は、サポート６のローラ６９に係脱自在に係合するフック３３を備える。フック３３は、スライダ３２に対してＸ方向の両側に設けられており、スライダ３２に対してＸ方向に突出しつつ回転軸２のＺ方向上側に位置している。移動体３を構成するスライダ３２、ナット３１およびフック３３は、例えばステンレス鋼等の合金鋼あるいはアルミニウム等の金属（軽金属）で構成されている。
【００７９】
そして、移動体３の各フック３３は、最大２個のサポート６に一括して係合することができる。この際、フック３３に係合する２個のサポート６は、互い違いに配置されており、Ｘ方向において部分的に重複して収まるように構成されている。移動体３よりＸ方向正側の２個のサポート６で代表して、この点について説明する。
【００８０】
２個のサポート６は、それぞれの突出部分６７ｂ、６３２ｂを互いに向けて突出させた状態でＸ方向に対向する。すなわち、一方のサポート６の突出部分６７ｂ、６３２ｂは、他方のサポート６側へ突出するとともに、他方のサポート６の突出部分６７ｂ、６３２ｂは、一方のサポート６側へ突出する。この際、２個のサポート６は、互いに異なるガイドレール５２１、５２２に係合しつつＸ方向に相互に対向しており、各サポート６の突出部分６７ｂ、６３２ｂは、Ｙ方向に相互に外れている。すなわち、一方のサポート６の突出部分６７ｂ、６３２ｂは、Ｙ方向において他方のサポート６から外れるとともに、他方のサポート６の突出部分６７ｂ、６３２ｂは、Ｙ方向において一方のサポート６から外れる。したがって、２個のサポート６が近づいた際には、一方のサポート６の突出部分６７ｂ、６３２ｂは、他方のサポート６の軸接触部６５、軸対向部６３１にＸ方向において重複するとともに、他方のサポート６の突出部分６７ｂ、６３２ｂは、一方のサポート６の軸接触部６５、軸対向部６３１にＸ方向において重複する。こうして、２個のサポート６は、Ｘ方向において互いに部分的に重複しつつフック３３へ係合することができる。
【００８１】
図１８は、アクチュエータの動作を模式的に例示する動作説明図である。ステップ１〜ステップ５を順に追って、移動体３がＸ方向負側の端部からＸ方向正側の端部まで移動する場合について説明する。ステップ１では、移動体３は、その移動ストロークのＸ方向負側に位置しており、その移動ストロークにおいてＸ方向正側の軸受部材４から最も遠ざかった位置にある。この際、移動体３よりＸ方向負側の２個のサポート６はいずれも移動体３に係合しており、移動体３よりＸ方向正側の２個のサポート６はストッパＳａに当接してそれぞれの停止位置Ｐs(1)、Ｐs(2)に停止している。
【００８２】
ステップ１に示す状態においては、軸受部材４、当該軸受部材４から最も遠ざかった移動体３、および当該軸受部材４と移動体３との間のサポート６について、それぞれの間の回転軸２に沿った間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が、回転軸２の最高回転数に対して所定の条件を満たす。ここで、最高回転数はアクチュエータ１を使用するにあたって許容される回転軸２の回転数の最高値であり、一般的にアクチュエータのカタログ、仕様書あるいは取扱説明書等に定められている。このように最高回転数が定められているため、実際の使用においては、回転軸２は最高回転数以下で回転する。したがって、回転軸２にて生じ得る振動モードにおいては、節の間の距離が、回転軸２の最高回転数の回転に共振する回転軸２の基本振動の半波長よりも長くなる。これに対して、間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３はいずれも、回転軸２の最高回転数の回転に共振する回転軸２の基本振動の半波長よりも短く設定されている（この点は上記実施形態も同様である）。したがって、軸受部材４、サポート６および移動体３によって回転軸２の振動を抑え込んで、騒音や回転軸２の破損を抑制することが可能となっている。
【００８３】
さらに、間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３の相互の関係も設定されている。具体的には、ステップ１（あるいはステップ５）に示すように、移動体３が軸受部材４から最も遠ざかった状態（すなわち、移動体３が移動ストロークの端にある状態）において、間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が互いに等しくなるように、各ストッパＳａの位置が設定されている。
【００８４】
ちなみに、間隔Ｃ１は、互いに隣り合う軸受部材４とサポート６との回転軸２に沿った間隔である。かかる間隔Ｃ１は、軸受部材４が回転軸２に接触する部分が設けられた範囲のサポート６側の端と、サポート６が回転軸２に接触する接触部分６５４ａが設けられた範囲の軸受部材４側の端（長さＬ1の軸受部材４側の端）との回転軸２に沿った距離として求めることができる。間隔Ｃ２は、互いに隣り合う２個のサポート６の回転軸２に沿った間隔である。かかる間隔Ｃ２は、一方サポート６が回転軸２に接触する接触部分６５４ａが設けられた範囲の他方サポート６側の端（長さＬ1の他方サポート６側の端）と、他方サポート６が回転軸２に接触する接触部分６５４ａが設けられた範囲の一方サポート６側の端（長さＬ1の一方サポート６側の端）との回転軸２に沿った距離として求めることができる。間隔Ｃ３は、互いに隣り合うサポート６と移動体３との回転軸２に沿った間隔である。かかる間隔Ｃ３は、サポート６が回転軸２に接触する接触部分６５４ａが設けられた範囲の移動体３側の端（長さＬ1の移動体３側の端）と、移動体３（のナット３１）が回転軸２に接触する部分が設けられた範囲のサポート６側の端との回転軸２に沿った距離として求めることができる。
【００８５】
ステップ１の状態からモーターＭの駆動を受けて回転軸２が回転を開始し、移動体３がＸ方向正側へ向けて移動を開始すると、移動体３よりＸ方向負側の２個のサポート６は移動体３に伴ってＸ方向正側へ移動する。続いて、ステップ２に示すように、移動体３が停止位置Ｐs(3)をＸ方向正側へ向けて通過する過程で、移動体３に係合する２個のサポート６のうちＸ方向負側のサポート６（の当接部６３３）が停止位置Ｐs(3)に対応するストッパＳａに当接する。なお、これらサポート６のうち、Ｘ方向負側のサポート６の当接部６３３は、Ｘ方向正側のサポート６の当接部６３３よりもストッパＳａ側に突出しており、停止位置Ｐs(3)に対応するストッパＳａに当接する一方、Ｘ方向正側のサポート６は当該ストッパＳａに当接せずに当該ストッパＳａを通過する。したがって、ステップ３に示すように、Ｘ方向負側のサポート６が移動体３から外れて停止位置Ｐs(3)に停止する一方、Ｘ方向正側のサポート６は移動体３に伴って移動する。
【００８６】
ステップ３に示すように、移動体３が停止位置Ｐs(2)に停止するサポート６に衝突すると、当該サポート６は移動体３に係合して移動体３に伴って移動する。また、ステップ４に示すように、移動体３が停止位置Ｐs(4)をＸ方向正側へ向けて通過する過程で、移動体３に係合するサポート６（の当接部６３３）が停止位置Ｐs(4)に対応するストッパＳａに当接する。したがって、ステップ５に示すように、このサポート６は、移動体３から外れて停止位置Ｐs(4)に停止する。続いて、ステップ５に示すように、移動体３が停止位置Ｐs(1)に停止するサポート６に衝突すると、当該サポート６は移動体３に係合して移動体３に伴って移動し、移動体３はストッパＳｂに当接することで停止する。なお、移動体３がストッパＳｂに当接した状態において移動体３に係合する軸受部材４と軸受部材４との間に隙間Δが開くように、ストッパＳｂは設けられている。
【００８７】
また、上記とは逆に、移動体３がＸ方向負側の端部からＸ方向正側の端部まで移動する場合には、ステップ５〜１がこの順番で実行される。この際、ステップ５に示す状態においては、軸受部材４、当該軸受部材４から最も遠ざかった移動体３、および当該軸受部材４と移動体３との間のサポート６について、上述の間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３についての条件が満たされている。そして、かかる状態から、ステップ４〜１が順に実行されつつ、移動体３がＸ方向負側へ向けて移動する。
【００８８】
以上のように構成された本実施形態では、移動体３と軸受部材４との間に設けられた複数のサポート６、６が回転軸２を支持する。そして、移動体３が軸受部材４から最も遠ざかった際に、軸方向Ｘに並ぶ複数のサポート６、６および軸受部材４のそれぞれの間隔Ｃ１、Ｃ２が等しくなる。その結果、一部の間隔が長いためにアクチュエータ１の高速化が困難となったり、一部の間隔が短いためにアクチュエータ１の長尺化が困難となったりすることを抑制可能である。このように本実施形態は、アクチュエータ１の高速化および長尺化に適している。
【００８９】
また、移動体３が軸受部材４から最も遠ざかった際に、間隔Ｃ３が間隔Ｃ１以下となるように、複数のサポート６、６が位置する。このような構成では、移動体３とこれに隣り合うサポート６との間隔が長いために当該間隔で振動が生じやすくなり、アクチュエータ１の高速化が困難となることを抑制可能である。
【００９０】
また、移動体３が軸受部材４から最も遠ざかった際に、間隔Ｃ３と間隔Ｃ１とが等しくなるように、複数のサポート６、６が位置する。このような構成では、移動体３とこれと隣り合うサポート６との間隔が長いために、アクチュエータ１の長尺化が困難となることを抑制可能である。
【００９１】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、第１実施形態では、第１ユニット６２および第２ユニット７２が協働して本発明の「サポート位置制御機構」の一例として機能し、第２実施形態では、第１ユニット６２、第３ユニット９２および第２ユニット７２が協働して本発明の「サポート位置制御機構」の一例として機能し、第３実施形態では「ストッパＳａ」が本発明の「サポート位置制御機構」の一例として機能していた。しかしながら、次に説明するように、移動体３の移動に連動してサポートを移動させる連動機構１００、２００によって本発明の「サポート位置制御機構」を構成しても良い。
【００９２】
続いては、これら連動機構１００、２００について順番に説明する。なお、以下は、連動機構１００、２００の一例を示すものであり、連動機構１００、２００以外の構成（間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が等しい点を含めて）は上記実施形態と共通する。そこで、上記実施形態との差異点を中心に説明を行い、上記実施形態との共通点は相当符号を付して説明を省略する。なお、移動体３と軸受部材４Ｕ（４Ｄ）の間に設けられた２個のサポートのうち、移動体３側のサポートに符号６ａを付するとともに、軸受部材４側のサポートに符号６ｂを付する。また、以下の説明は、連動機構１００、２００の構成例の説明を主とするものであるため、軸受部材４Ｕ（４Ｄ）の図示は省略する。
【００９３】
図１９は、連動機構の第１例を備えるアクチュエータを模式的に例示する斜視図である。図２０は、図１９中のＡ−Ａ線矢視図である。このアクチュエータ１は、移動体３に連動して各サポート６ａ、６ｂをＸ方向へ移動させる連動機構１００を備える。連動機構１００は、筐体１０のＸ方向の両端部のそれぞれに設けられた多段プーリ１１０を有する。各多段プーリ１１０は、３個のプーリ１１２、１１４、１１６と、これらに共通に設けられたプーリ軸１１８とを有する。プーリ１１２、１１４、１１６は、それぞれの回転中心線Ｃを一致させた状態でＺ方向に積層されており、プーリ軸１１８がプーリ１１２、１１４、１１６の回転中心をＺ方向に貫いて、プーリ１１２、１１４、１１６を相互に固定する。プーリ軸１１８の一端は、筐体１０の底面に設けられた軸受孔１１に嵌っており、プーリ軸１１８は、軸受孔１１によって回転自在に支持されている。そして、プーリ軸１１８が回転すると、プーリ１１２、１１４、１１６が一体的に回転する。この際、プーリ１１２の周速度Ｖ１１２、プーリ１１４の周速度Ｖ１１４、プーリ１１６の周速度Ｖ１１６の比は、プーリ１１２の径Ｄ１１２、プーリ１１４の径Ｄ１１４、プーリ１１６の径Ｄ１１６の比と等しくなる（Ｖ１１２：Ｖ１１４：Ｖ１１６＝Ｄ１１２：Ｄ１１４：Ｄ１１６）。
【００９４】
プーリ１１２の径Ｄ１１２、プーリ１１４の径Ｄ１１４、プーリ１１６の径Ｄ１１１６は、この順に大きい（Ｄ１１２＞Ｄ１１４＞Ｄ１１６）。したがって、プーリ１１２の周速度Ｖ１１２に対するプーリ１１４の周速度Ｖ１１４の比Ｒ１１（＝Ｖ１１４／Ｖ１１２＝Ｄ１１４／Ｄ１１２）は１より小さく、換言すれば、プーリ１１２の回転が減速比Ｒ１１（＜１）でプーリ１１４に伝達される。また、プーリ１１２の周速度Ｖ１１２に対するプーリ１１６の周速度の比Ｒ１２（＝Ｖ１１６／Ｖ１１２＝Ｄ１１６／Ｄ１１２）は１より小さいとともに減速比Ｒ１１よりも小さく、換言すれば、プーリ１１２の回転が減速比Ｒ１２（＜Ｒ１１＜１）でプーリ１１６に伝達される。
【００９５】
連動機構１００では、Ｘ方向の両端にそれぞれ設けられた同径の２個のプーリでプーリ対が形成され、各プーリ対にベルト１２２、１２４、１２６が架け渡されている。具体的には、２個のプーリ１１２、１１２にベルト１２２が架け渡されており、２個のプーリ１１４、１１４にベルト１２４が架け渡されており、２個のプーリ１１６、１１６にベルト１２６が架け渡されている。ちなみに、プーリ１１２、１１４、１１６はいずれも歯付プーリであり、ベルト１２２、１２４、１２６はいずれも歯付ベルトである。このように歯付プーリを用いた場合、プーリの径はピッチ円の径として求めれば良い。
【００９６】
そして、移動体３が取付具１３２によりベルト１２２に固定され、移動体３のＸ方向の両側（両外側）に設けられた２個のサポート６ａが所定のサポート間隔ＬａをＸ方向に空けてそれぞれ取付具１３４によりベルト１２４に固定され、これらサポート６ａのＸ方向の両側（両外側）に設けられた２個のサポート６ｂが所定のサポート間隔Ｌｂ（＝２×Ｌａ＞Ｌａ）を空けてそれぞれ取付具１３６によりベルト１２６に固定されている。なお、移動体３、サポート６ａ、サポート６ｂは、それぞれが対応するベルト１２２、ベルト１２４、ベルト１２６のＹ方向の同一側（負側）に固定されている。
【００９７】
かかる連動機構１００は、移動体３に連動してサポート６ａ、６ｂを移動させる。具体的には、モーターＭの駆動力を受けて移動体３が速度Ｖ３でＸ方向へ移動すると、移動体３が取り付けられたベルト１２２が回転して、プーリ１１２を速度Ｖ３に等しい周速度Ｖ１１２で回転させる。同時にプーリ１１４、１１６のそれぞれが速度Ｖ３（＝Ｖ１１２）を減速比Ｒ１１、Ｒ１２で減速した周速度Ｖ１１４、Ｖ１１６で回転して、ベルト１２４、１２６を周速度Ｖ１１４、Ｖ１１６で回転させる。その結果、各サポート６ａは、速度Ｖ３を減速比Ｒ１１で減速した速度Ｖ１１４で移動し（Ｖ１１４＝Ｖ３×Ｒ１１）、各サポート６ｂは、速度Ｖ３を減速比Ｒ１２で減速した速度Ｖ１１６で移動する（Ｖ１１６＝Ｖ３×Ｒ１２）。この際、移動体３、サポート６ａ、サポート６ｂは、それぞれが対応するベルト１２２、ベルト１２４、ベルト１２６のＹ方向の同一側に取り付けられているため、いずれもＸ方向の同じ側へ移動する。
【００９８】
このように、移動体３がＸ方向にストロークの一端から他端へ移動するのに伴って、サポート６ａ、６ｂがＸ方向の一端側から他端側へ移動する。この際、サポート６ａは、移動体３の移動速度Ｖ３よりも遅い速度Ｖ１１４で移動し、サポート６ｂは、サポート６ａよりも遅い速度Ｖ１１６で移動する。したがって、移動体３がストロークＳ３の一端から他端を移動する間、各サポート６ａは移動体３のストロークＳ３より短い移動範囲（＝Ｓ３×Ｖ１１４／Ｖ３）を移動し、各サポート６ｂはサポート６ａより短い移動範囲（＝Ｓ３×Ｖ１１６／Ｖ３）を移動する。この際、モーターＭの回転方向を切り換えることで、移動体３をＸ方向へ往復移動させることができ、サポート６ａ、６ｂのそれぞれも移動体３に連動してＸ方向に往復移動させることができる。かかる連動機構１００は、間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が互いに等しい状態を保ったまま、移動体３に連動してサポート６ａ、６ｂを移動させる。したがって、かかる連動機構１００によっても、上記実施形態と同様に、移動体３が軸受部材４Ｕ（４Ｄ）から最も遠ざかった際に間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が互いに等しくなるように、サポート６ａ、６ｂを移動させることができる。
【００９９】
図２１は、連動機構の第２例を備えるアクチュエータを模式的に例示する斜視図である。図２２は、図２１に例示したアクチュエータの平面図である。図２３は、図２１に例示したアクチュエータの底面図である。図２４は、図２１に例示したアクチュエータの部分拡大斜視図である。
【０１００】
このアクチュエータ１に設けられた連動機構２００では、それぞれＸ方向に延びる３個のベルト回転機構２１０、２２０、２３０が並列に並ぶ。ベルト回転機構２１０は、筐体１０のＸ方向の両端部のそれぞれに設けられたプーリ２１１、２１１にベルト２１３を架け渡した構成を具備している。ここで、プーリ２１１は歯付プーリであり、ベルト２１３は歯付ベルトである。各プーリ２１１は、筐体１０によって回転自在に支持されており、ベルト回転機構２１０は、各プーリ２１１の回転とベルト２１３との回転が互いに連動する構成を具備する。同様に、ベルト回転機構２２０はＸ方向に設けられたプーリ２２１、２２１、にベルト２２３を架け渡して、これらの回転が連動する構成を具備し、ベルト回転機構２３０はＸ方向に設けられたプーリ２３１、２３１にベルト２３３を架け渡して、これらの回転が連動する構成を具備する。なお、プーリ２１１、２２１、２３１は、互いに等しい径（ピッチ円の径）を有する。
【０１０１】
そして、移動体３が取付具２１４によりベルト２１３に固定され、移動体３のＸ方向の両側（両外側）に設けられた２個のサポート６ａがサポート間隔ＬａをＸ方向に空けてそれぞれ取付具２２４によりベルト２２３に固定され、これらサポート６ａのＸ方向の両側（両外側）に設けられた２個のサポート６ｂがサポート間隔Ｌｂ（＝２×Ｌａ＞Ｌａ）を空けてそれぞれ取付具２３４によりベルト２３３に固定されている。なお、移動体３、サポート６ａ、サポート６ｂは、それぞれが対応するベルト２１３、ベルト２２３、ベルト２３３のＹ方向の同一側（正側）に固定されている。
【０１０２】
Ｘ方向正側のプーリ２１１、２２１、２３１のそれぞれには、ギヤ２１５、２２５、２３５がＺ方向負側から固定されている。ギヤ２１５、２２５、２３５のそれぞれのギヤ軸２１７、２２７、２３７は、対応するプーリ２１１、２２１、２３１の回転中心線に一致しており、ギヤ２１５、２２５、２３５と対応するプーリ２１１、２２１、２３１との回転中心は一致している。また、ギヤ２１５、２２５、２３５それぞれの間には伝達ギヤ２４５、２５５が設けられており、これらのギヤ２１５、２４５、２２５、２５５、２３５がこの順番で並んでギヤ列を構成する。したがって、ギヤ２１５の回転が伝達ギヤ２４５によってギヤ２２５に伝達され、さらにギヤ２２５の回転が伝達ギヤ２５５によってギヤ２３５に伝達される。
【０１０３】
このようなギヤ列が構成されているため、ギヤ２１５が回転すると、ギヤ２２５、２３５もギヤ２１５と同じ方向に回転する。この際、ギヤ２１５の角速度Ｗ２１５とギヤ２２５の角速度Ｗ２２５の比と、ギヤ２１５の径Ｄ２１５とギヤ２２５の径Ｄ２２５の比の間には、次の関係
Ｗ２１５：Ｗ２２５＝Ｄ２２５：Ｄ２１５
が成立し、ギヤ２１５の角速度Ｗ２１５とギヤ２３５の角速度Ｗ２３５の比と、ギヤ２１５の径Ｄ２１５とギヤ２３５の径Ｄ２３５の比の間には、次の関係
Ｗ２１５：Ｗ２３５＝Ｄ２３５：Ｄ２１５
が成立する。なお、ギヤの径Ｄ２１５、Ｄ２２５、Ｄ２３５はそれぞれ、対応するギヤ２１５、２２５、２３５のピッチ円の径として求めることができる。
【０１０４】
ギヤ２１５の径Ｄ２１５、ギヤ２２５の径Ｄ２２５、ギヤ２３５の径Ｄ２３５は、この順に小さい（Ｄ２１５＜Ｄ２２５＜Ｄ２３５）。したがって、ギヤ２１５の角速度Ｗ２１５に対するギヤ２２５の角速度Ｗ２２５の比Ｒ２１（＝Ｗ２２５／Ｗ２１５＝Ｄ２１５／Ｄ２２５）は１より小さく、換言すれば、ギヤ２１５の回転が減速比Ｒ２１（＜１）でギヤ２２５に伝達される。また、ギヤ２１５の角速度Ｗ２１５に対するギヤ２３５の角速度Ｗ２３５の比Ｒ２２（＝Ｗ２３５／Ｗ２１５＝Ｄ２１５／Ｄ２３５）は１より小さいとともに減速比Ｒ２１よりも小さく、換言すれば、ギヤ２１５の回転が減速比Ｒ２２（＜Ｒ１１＜１）でギヤ２３５に伝達される。
【０１０５】
かかる連動機構２００は、移動体３に連動してサポート６ａ、６ｂを移動させる。具体的には、モーターＭの駆動力を受けて移動体３が速度Ｖ３でＸ方向へ移動すると、移動体３が取り付けられたベルト２１３が回転して、プーリ２１１を周速度Ｖ３で回転させる。その結果、プーリ２１１に取り付けられたギヤ２１５は、速度Ｖ３をプーリ２１１の半径ｒで除した角速度Ｗ２１５（＝Ｖ３／ｒ）で回転する。また、ギヤ２１５の回転と同時に、ギヤ２２５、２３５のそれぞれが角速度２１５を減速比Ｒ２１、Ｒ２２で減速した角速度Ｗ２２５、Ｗ２３５で回転して、それぞれに取り付けられたプーリ２２１、２３１を角速度Ｗ２２５、Ｗ２３５させる。その結果、ベルト２２３は、各サポート６ａを伴って、角速度Ｗ２２３（＝Ｒ２１×Ｖ３／ｒ）にプーリ２２１の半径ｒを乗じた周速度（＝Ｒ２１×Ｖ３）で回転し、ベルト２３３は、各サポート６ｂを伴って、角速度Ｗ２３５（＝Ｒ２２×Ｖ３／ｒ）にプーリ２３１の半径ｒを乗じた周速度（＝Ｒ２２×Ｖ３）で回転する。すなわち、各サポート６ａは、移動体３の速度Ｖ３を減速比Ｒ２１で減速した速度（＝Ｒ２１×Ｖ３）で移動し、各サポート６ｂは、移動体３の速度Ｖ３を減速比Ｒ２２で減速した速度（＝Ｒ２２×Ｖ３）で移動する。この際、移動体３、サポート６ａ、サポート６ｂは、それぞれが対応するベルト２１３、ベルト２２３、ベルト２３３のＹ方向の同一側に取り付けられているため、いずれもＸ方向の同じ側へ移動する。
【０１０６】
このように、移動体３がＸ方向にストロークの一端から他端へ移動するのに伴って、サポート６ａ、６ｂがＸ方向の一端側から他端側へ移動する。この際、サポート６ａは、移動体３の移動速度Ｖ３よりも遅い速度（＝Ｒ２１×Ｖ３）で移動し、サポート６ｂは、サポート６ａよりも遅い速度（＝Ｒ２２×Ｖ３）で移動する。したがって、移動体３がストロークＳ３の一端から他端を移動する間、各サポート６ａは移動体３のストロークＳ３より短い移動範囲（＝Ｓ３×Ｒ２１）を移動し、各サポート６ｂはサポート６ａより短い移動範囲（＝Ｓ３×Ｒ２２）を移動する。この際、モーターＭの回転方向を切り換えることで、移動体３をＸ方向へ往復移動させることができ、サポート６ａ、６ｂのそれぞれも移動体３に連動してＸ方向に往復移動させることができる。かかる連動機構１００は、間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が互いに等しい状態を保ったまま、移動体３に連動してサポート６ａ、６ｂを移動させる。したがって、かかる連動機構１００によっても、上記実施形態と同様に、移動体３が軸受部材４Ｕ（４Ｄ）から最も遠ざかった際に間隔Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３が互いに等しくなるように、サポート６ａ、６ｂを移動させることができる。
【０１０７】
以上が本発明の「サポート位置制御機構」の変形例としての連動機構１００、２００の詳細である。また、「サポート位置制御機構」以外の構成に対しても種々の変更が可能である。例えば、上記実施形態では、移動体３が軸受部材４Ｕ（４Ｄ、４）からもっとも遠ざかった際に間隔Ｃ３が間隔Ｃ１と等しかったが、間隔Ｃ３が間隔Ｃ１と異なっていても良く、具体的には間隔Ｃ３が間隔Ｃ１より短くても良い。
【０１０８】
また、移動体３と軸受部材４Ｕ（４Ｄ、４）との間に設けるサポートの個数も上記の例に限られず、適宜変更が可能である。
【符号の説明】
【０１０９】
１…アクチュエータ
２…回転軸
３…移動体
４Ｄ…軸受部材
４Ｕ…軸受部材
６１Ｄ…サポート
６１Ｕ…サポート
６２…第１ユニット（サポート位置制御機構）
７１Ｄ…サポート
７１Ｕ…サポート
７２…第２ユニット（サポート位置制御機構）
９１Ｄ…サポート
９１Ｕ…サポート
９２…第３ユニット（サポート位置制御機構）
【図１】
2015154621.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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