(57)【要約】【課題】シート状の被検査物に含まれる異常個所の検出と異常の種類の判別を可能にする技術を提供する。【解決手段】被検査物の上面に対し可視光を照射する第１の光源と、被検査物の上面に対し不可視光を照射する第２の光源と、被検査物の下面に対し可視光を照射する第３の光源と、第１の光源から照射され被検査物で反射した可視光、及び、第３の光源から照射され被検査物を透過した可視光により被検査物を撮像できるように配置された第１の撮像センサと、第２の光源から照射され被検査物で反射した不可視光により被検査物を撮像できるように配置された第２の撮像センサと、第１の撮像センサにより得られた第１の画像と第２の撮像センサにより得られた第２の画像に基づいて異常個所の検出と異常の種類判別を行う処理部と、を有する。【選択図】図１
2015172519.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状の被検査物を検査するシート検査装置であって、
被検査物の第１の面に対し可視光を照射する第１の光源と、
前記被検査物の前記第１の面に対し不可視光を照射する第２の光源と、
前記被検査物の前記第１の面の反対側の第２の面に対し可視光を照射する第３の光源と、
前記第１の光源から照射され前記被検査物で反射した可視光、及び、前記第３の光源から照射され前記被検査物を透過した可視光により前記被検査物を撮像できるように配置された第１の撮像センサと、
前記第２の光源から照射され前記被検査物で反射した不可視光により前記被検査物を撮像できるように配置された第２の撮像センサと、
前記第１の撮像センサにより得られた前記被検査物の第１の画像と前記第２の撮像センサにより得られた前記被検査物の第２の画像とに基づいて、前記被検査物に含まれる異常個所を検出すると共に、前記検出した異常個所で発生している異常の種類を判別する処理部と、
前記処理部により判別された異常の種類を示す情報を少なくとも含む、異常個所に関する情報を出力する出力部と、を有する
ことを特徴とするシート検査装置。
【請求項２】
前記出力部は、異常個所に関する情報として、当該異常個所を含む領域の前記第１の画像、当該異常個所を含む領域の前記第２の画像、当該異常個所での前記第１の画像の画素値の変化を示すグラフ、当該異常個所での前記第２の画像の画素値の変化を示すグラフ、のうち少なくともいずれかの情報をさらに出力する
ことを特徴とする請求項１に記載のシート検査装置。
【請求項３】
前記第１の光源から照射される可視光と前記第３の光源から照射される可視光は、複数の色成分を含む同じ分光分布を有する光であり、
前記第１の撮像センサは、前記第１の光源から照射され前記被検査物で反射した可視光を受光可能であって、かつ、前記第３の光源から照射され前記被検査物を直進透過した可視光を受光可能な位置に配置されており、
前記第１の画像の画素は、複数の色成分ごとの画素値を有し、
前記処理部は、
前記被検査物上の任意に選ばれた注目位置に対応する前記第１の画像の画素における前記複数の色成分ごとの画素値を総合する値が、被検査物に異常の無い状態である通常状態のときに比べて大きい場合において、
前記注目位置に対応する前記第２の画像の画素値が通常状態のときに比べて小さく、かつ、前記注目位置に対応する前記第１の画像の画素における前記複数の色成分のバランスが前記通常状態におけるバランスと同じである場合に、前記注目位置で発生している異常の種類がピンホール欠陥であると判別する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のシート検査装置。
【請求項４】
前記第１の光源から照射される可視光と前記第３の光源から照射される可視光は、複数の色成分を含む同じ分光分布を有する光であり、
前記第１の撮像センサは、前記第１の光源から照射され前記被検査物で反射した可視光を受光可能であって、かつ、前記第３の光源から照射され前記被検査物を直進透過した可視光を受光可能な位置に配置されており、
前記第１の画像の画素は、複数の色成分ごとの画素値を有し、
前記処理部は、
前記被検査物上の任意に選ばれた注目位置に対応する前記第１の画像の画素における前
記複数の色成分ごとの画素値を総合する値が、前記通常状態のときに比べて大きい場合において、
前記注目位置に対応する前記第２の画像の画素値が通常状態のときに比べて小さく、かつ、前記注目位置に対応する前記第１の画像の画素における前記複数の色成分のバランスが前記通常状態におけるバランスと同じでない場合と、
前記注目位置に対応する前記第２の画像の画素値が通常状態のときに比べて大きい場合とを、
ピンホール欠陥とは異なる種類の異常と判別する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のシート検査装置。
【請求項５】
前記第１の光源から照射される可視光と前記第３の光源から照射される可視光は、複数の色成分を含む同じ分光分布を有する光であり、
前記第１の撮像センサは、前記第１の光源から照射され前記被検査物で反射した可視光を受光可能であって、かつ、前記第３の光源から照射され前記被検査物を直進透過した可視光を受光可能な位置に配置されており、
前記第１の画像の画素は、複数の色成分ごとの画素値を有し、
前記処理部は、
前記被検査物上の任意に選ばれた注目位置に対応する前記第１の画像の画素における前記複数の色成分ごとの画素値を総合する値が、前記通常状態のときに比べて小さい場合において、
前記注目位置に対応する前記第１の画像の画素における前記複数の色成分ごとの画素値と前記第２の画像の画素値とのあいだで、前記通常状態に対する低下の割合が同じである場合に、前記注目位置で発生している異常の種類が金属欠陥であると判別する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のシート検査装置。
【請求項６】
一つの撮像装置内に、前記不可視光を受光しないようにされた前記第１の撮像センサ及び可視光を受光しないようにされた前記第２の撮像センサが設けられている
ことを特徴とする請求項１〜５のうちいずれか１項に記載のシート検査装置。
【請求項７】
前記撮像装置が、一つの光路を分割して、前記第１の撮像センサと前記第２の撮像センサのそれぞれに光を導く分光素子を有する
ことを特徴とする請求項６に記載のシート検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状の被検査物の異常個所を検出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
シート状物品を製造又は加工するための生産ラインでは、可視光や紫外光をシートに照射しその透過光又は反射光をカメラで撮像することにより得られる画像を用いて、シート上の異常個所（異物混入、汚れ、シワなど）を検出する検査装置が利用されている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
従来の検査装置では、シート上の異常個所の検出はできるものの、検出したものがどのような種類の異常であるかを細かく判別することはできなかった。そのため、従来は、異常個所が検出されたシートは破棄するか、ランク落ち品とするか、目視による詳細検査にまわすという取扱いをせざるを得ない。しかしながら、実際には、シートに発生し得る異常には様々なものが存在し、製品の種類、用途、材質などによっては、不良（欠陥）としなくてもよいものもある。
【０００４】
例えば、リチウムイオン二次電池のセパレータには微多孔性ポリオレフィンフィルムが一般的に用いられるが、セパレータ自体は人目に触れるものではないため、多少の汚れ等があっても機能性に問題なければ不良品にする必要はない。その一方で、金属の混入又は付着やピンホール（穴）は、短絡のおそれがあるため、絶対に見過ごしてはならない種類の異常といえる。逆に、紙材の場合でいうと、小さなピンホールは許容できるが、見た目に影響のある汚れやシワは不良として検出したいというケースもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−８１７４号公報（特許第４９５０９５１号公報）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記実情に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、シート状の被検査物に含まれる異常個所の検出と異常の種類の判別を可能にする技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第一態様は、シート状の被検査物を検査するシート検査装置であって、被検査物の第１の面に対し可視光を照射する第１の光源と、前記被検査物の前記第１の面に対し不可視光を照射する第２の光源と、前記被検査物の前記第１の面の反対側の第２の面に対し可視光を照射する第３の光源と、前記第１の光源から照射され前記被検査物で反射した可視光、及び、前記第３の光源から照射され前記被検査物を透過した可視光により前記被検査物を撮像できるように配置された第１の撮像センサと、前記第２の光源から照射され前記被検査物で反射した不可視光により前記被検査物を撮像できるように配置された第２の撮像センサと、前記第１の撮像センサにより得られた前記被検査物の第１の画像と前記第２の撮像センサにより得られた前記被検査物の第２の画像とに基づいて、前記被検査物に含まれる異常個所を検出すると共に、前記検出した異常個所で発生している異常の種類を判別する処理部と、前記処理部により判別された異常の種類を示す情報を少なくとも含む、異常個所に関する情報を出力する出力部と、を有することを特徴とするシート検査装置である。
【０００８】
ここで、第１の光源及び第３の光源から照射される「可視光」は、少なくとも可視光領域の波長を含んでいる光であればよく、必ずしも可視光領域全域の波長を含む光（白色光）でなくてもよいし、逆に可視光領域から外れた波長の光を含んでいても構わない。また、第２の光源から照射される「不可視光」は、少なくとも可視光領域から外れた波長を含んでいる光であればよく、可視光領域の波長を含んでいることを除外しない。
【０００９】
被検査物上に何らかの異常があると、その異常個所では他の個所（つまり異常の無い個所）に比べて、光の吸収率、反射率、透過率などの特性が変わり得る。しかも、その変化の仕方は光の波長及び異常の種類に依存する。したがって、被検査物上にどのような種類の異常が生じたかによって、第１の撮像センサで得られる第１の画像と第２の撮像センサで得られる第２の画像それぞれの画素値の変化の仕方に特徴が現れる。特に上記構成では、第１の光源と第３の光源を用いて被検査物の両側（両面）から可視光を照射し、それらの反射光ないし透過光を同じ第１の撮像センサで撮像するようにしているため、第１の画像の画素値は、第１の光源からの光の反射光のみの場合、第１の光源からの光の反射光と第３の光源からの光の透過光の両方の場合、第３の光源からの光の透過光のみの場合とで異なり得るし、異常の発生により受光量が増加する場合と減少する場合があること、さらに、第３の光源からの光が異常個所を透過するときに波長ごとの吸収率の違いにより透過光の色バランスが変化する場合があること、などを考慮すると、第１の画像の画素値の変化の仕方には多くのバリエーションがある。よって、本発明の光源及び撮像センサの構成によれば、第１の撮像センサで得られる第１の画像と第２の撮像センサで得られる第２の画像に基づいて、様々な異常の検出及び種類判別を行うことが可能となる。
【００１０】
異常が生じた場合に第１の画像と第２の画像のそれぞれの画素値が、被検査物に異常が無い状態である通常状態に対してどのように増加又は減少するかを、異常の種類ごとに予め類型化することができる。したがって、例えば、前記処理部は、前記被検査物上の同じ位置に対応する第１の画像の画素値と第２の画像の画素値それぞれの通常状態に対する変化がいずれの類型に該当するか判断することにより、当該位置で発生している異常の種類を判別することができる。なお、第１の画像の画素値と第２の画像の画素値の変化（増加又は減少）の類型と異常の種類との対応付けは、ルックアップテーブルで定義してもよいし、プログラム内の判定ロジックとして実装してもよい。
【００１１】
前記出力部は、当該異常個所を含む領域の前記第１の画像、当該異常個所を含む領域の前記第２の画像、当該異常個所での前記第１の画像の画素値の変化を示すグラフ、当該異常個所での前記第２の画像の画素値の変化を示すグラフ、のうち少なくともいずれかの情報をさらに出力することも好ましい。このような異常個所に関する情報を出力することにより、ユーザ（検査者）は発生した異常の内容を具体的に把握することができ、不良（欠陥）とすべき異常かどうかの判断や、生産設備の運転条件へのフィードバックなどに役立てることができる。
【００１２】
前記第１の光源から照射される可視光と前記第３の光源から照射される可視光は、複数の色成分を含む同じ分光分布を有する光であり、前記第１の撮像センサは、前記第１の光源から照射され前記被検査物で反射した可視光を受光可能であって、かつ、前記第３の光源から照射され前記被検査物を直進透過した可視光を受光可能な位置に配置されており、前記第１の画像の画素は、複数の色成分ごとの画素値を有し、前記処理部は、前記被検査物上の任意に選ばれた注目位置に対応する前記第１の画像の画素における前記複数の色成分ごとの画素値を総合する値が、被検査物に異常の無い状態である通常状態のときに比べて大きい場合において、前記注目位置に対応する前記第２の画像の画素値が通常状態のときに比べて小さく、かつ、前記注目位置に対応する前記第１の画像の画素における前記複数の色成分のバランスが前記通常状態におけるバランスと同じである場合に、前記注目位
置で発生している異常の種類がピンホール欠陥であると判別するとよい。本発明の光源及び撮像センサの配置とそれによる判定条件により、ピンホール欠陥を精度よく判別できる。この機能は、二次電池のセパレータのように、ピンホールが重大欠陥の一つである製品の場合に特に有用である。
【００１３】
前記第１の光源から照射される可視光と前記第３の光源から照射される可視光は、複数の色成分を含む同じ分光分布を有する光であり、前記第１の撮像センサは、前記第１の光源から照射され前記被検査物で反射した可視光を受光可能であって、かつ、前記第３の光源から照射され前記被検査物を直進透過した可視光を受光可能な位置に配置されており、前記第１の画像の画素は、複数の色成分ごとの画素値を有し、前記処理部は、前記被検査物上の任意に選ばれた注目位置に対応する前記第１の画像の画素における前記複数の色成分ごとの画素値を総合する値が、前記通常状態のときに比べて大きい場合において、前記注目位置に対応する前記第２の画像の画素値が通常状態のときに比べて小さく、かつ、前記注目位置に対応する前記第１の画像の画素における前記複数の色成分のバランスが前記通常状態におけるバランスと同じでない場合と、前記注目位置に対応する前記第２の画像の画素値が通常状態のときに比べて大きい場合とを、ピンホール欠陥とは異なる種類の異常と判別するとよい。これにより、異常の種類をより細かく分類できる。
【００１４】
前記第１の光源から照射される可視光と前記第３の光源から照射される可視光は、複数の色成分を含む同じ分光分布を有する光であり、前記第１の撮像センサは、前記第１の光源から照射され前記被検査物で反射した可視光を受光可能であって、かつ、前記第３の光源から照射され前記被検査物を直進透過した可視光を受光可能な位置に配置されており、前記第１の画像の画素は、複数の色成分ごとの画素値を有し、前記処理部は、前記被検査物上の任意に選ばれた注目位置に対応する前記第１の画像の画素における前記複数の色成分ごとの画素値を総合する値が、前記通常状態のときに比べて小さい場合において、前記注目位置に対応する前記第１の画像の画素における前記複数の色成分ごとの画素値と前記第２の画像の画素値とのあいだで、前記通常状態に対する低下の割合が同じである場合に、前記注目位置で発生している異常の種類が金属欠陥であると判別するとよい。本発明の光源及び撮像センサの配置とそれによる判定条件により、金属欠陥を精度よく判別できる。この機能は、二次電池のセパレータのように、金属の混入ないし付着が重大欠陥の一つである製品の場合に特に有用である。
【００１５】
画素値の変化を評価する際には、通常状態（被検査物に異常の無い状態）に対する画素値の低下度合又は増加度合のように、通常状態の値を基準とした相対的な値、言い換えると、通常状態の値で規格化した値（規格化画素値）で評価することが好ましい。規格化画素値の典型的な例としては、撮像センサの出力信号に基づく画素値を通常状態の画素値で割った値（比）を用いることができる。このような規格化画素値で評価することにより、光源の光量の変動、異常個所ごとの透過率や反射率や吸収率の違い、被検査物の透過率や反射率や吸収率の違いなどによるばらつきをキャンセルできる。よって、外乱の影響や、異常又は被検査物のばらつきの影響を受けにくくすることができ、異常個所の検出及び異常の種類判別の精度を安定することができる。
【００１６】
前記不可視光は、赤外光又は紫外光であるとよい。これらの波長の光を用いれば、異常の種類によってはセンサの出力信号が顕著に変動するので、可視光だけでは種類を特定できない異常も判別可能となる。
【００１７】
一つの撮像装置内に、前記不可視光を受光しないようにされた前記第１の撮像センサ及び可視光を受光しないようにされた前記第２の撮像センサが設けられていることが好ましい。これにより、装置の小型化が可能となり、設置の自由度が向上する。
【００１８】
前記撮像装置が、一つの光路を分割して、前記第１の撮像センサと前記第２の撮像センサのそれぞれに光を導く分光素子を有するとよい。これにより、第１の撮像センサの測定位置と第２の撮像センサの測定位置のずれを修正するための位置合わせが不要となるので、装置構成及び処理の簡易化を図ることができる。
【００１９】
なお、本発明は、上記構成の少なくとも一部を有するシート検査装置として捉えることもできるし、上記処理の少なくとも一部を有するシート検査装置の制御方法、シート検査方法、又は、シートの異常種類判別方法として捉えることもできる。また、本発明は、かかる方法をコンピュータに実行させるためのプログラムや、そのようなプログラムを非一時的に記憶したコンピュータ読取可能な記憶媒体として捉えることもできる。上記構成および処理の各々は技術的な矛盾が生じない限り互いに組み合わせて本発明を構成することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、シート状の被検査物に含まれる異常個所の検出と異常の種類の判別が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施例１に係るシート検査装置のブロック図。
【図２】各信号処理部で得られた規格化画素値の一例を示す図。
【図３】出力部が出力する結果出力画面の一例。
【図４】「汚れ」の場合の光の反射及び透過の様子と、各出力値の変化を示す図。
【図５】「金属欠陥」の場合の光の反射及び透過の様子と、各出力値の変化を示す図。
【図６】「ピンホール欠陥」の場合の光の反射及び透過の様子と、各出力値の変化を示す図。
【図７】「異常Ａ」の場合の光の反射及び透過の様子と、各出力値の変化を示す図。
【図８】「異常Ｂ」の場合の光の反射及び透過の様子と、各出力値の変化を示す図。
【図９】シート検査装置による異常検出及び種類判別のフローチャート。
【図１０】異常の種類判別の詳細フローチャート。
【図１１】実施例２に係るシート検査装置のブロック図。
【図１２】実施例２に係るセンサの配置を示す図。
【図１３】実施例３に係るシート検査装置のブロック図。
【図１４】実施例３に係る撮像装置の内部構造を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００２３】
＜実施例１＞
図１は、本実施例に係るシート検査装置１のブロック図である。シート検査装置１は、照明系として、被検査物２の上面（第１の面）に可視光を照射する可視光源３１（第１の光源）と、被検査物２の上面に紫外光または赤外光の少なくとも一方を照射するＩＲ／ＵＶ光源３２（第２の光源）と、被検査物２の下面（第２の面）に可視光を照射する透過用可視光源３３（第３の光源）とを有する。また、シート検査装置１は、測定系として、可視光カメラ４１（第１の撮像センサ）と、ＩＲ／ＵＶ光カメラ４２（第２の撮像センサ）とを有する。可視光源３１と透過用可視光源３３は被検査物２の同じ位置（ただし、光の当たる面は異なる）に光を照射するように設置され、かつ、可視光カメラ４１は、可視光
源３１から照射され被検査物２の上面で反射した光と、透過用可視光源３３から照射され被検査物２を直進透過した光により、被検査物２を撮像できるように配置されている。一方、ＩＲ／ＵＶ光カメラ４２は、ＩＲ／ＵＶ光源３２から照射され被検査物２の上面で反射した光により、被検査物２を撮像できるように配置される。さらにシート検査装置１は、可視光カメラ４１の出力信号とＩＲ／ＵＶ光カメラ４２の出力信号とに基づいて、被検査物２に含まれる異常個所の検出と異常の種類判別を行う処理装置５を有している。
【００２４】
被検査物２は、例えばシート状に形成されており、図１の矢印方向に搬送されている。被検査物２には、紙、フィルム、樹脂、セルロース等を例示できる。また、被検査物２は、二次電池に使用するセパレータ、液晶に使用される光学シート等であってもよい。なお、本実施例においては、照明系及び測定系を固定し、被検査物２を移動させているが、これに代えて、被検査物２を固定し、照明系及び測定系を移動させてもよい。
【００２５】
シート検査装置１は、可視光カメラ４１により得られる第１の画像及びＩＲ／ＵＶ光カメラ４２により得られる第２の画像に基づいて被検査物２に含まれる異常個所を検出し、検出した異常の種類を判別し、その結果を出力する機能を有する。本実施例では、二次電池のセパレータなどに使用されるオレフィン系樹脂からなる多孔質フィルムを被検査物２とし、「汚れ」、「金属欠陥」、「ピンホール欠陥」、「異常Ａ」、「異常Ｂ」の５種類の異常を検出及び判別する。「汚れ」は、フィルム表面に付着した汚れ又は異物である。「金属欠陥」は例えば製造装置や搬送装置から発生又は剥離した金属粉等がフィルムに混入ないし付着した不良であり、「ピンホール欠陥」はフィルムに空いた穴である。「異常Ａ」は、多孔質フィルムの加工時に生じたムラ（多孔質が粗になっている部分）又は油が付着・浸透した部分であり、正常な状態のフィルムに比べて光の透過率が増した状態になっている異常である。「異常Ｂ」は、多孔質フィルムの加工時に生じたムラ（多孔質が密になっている部分）であり、正常な状態のフィルムに比べて光の反射率が増した状態になっている異常である。「金属欠陥」と「ピンホール欠陥」は、二次電池のセパレータでは見落としてはならない重大欠陥であるのに対し、「汚れ」、「異常Ａ」、「異常Ｂ」は、異常個所の面積が小さい場合などは不良（欠陥）としなくてもよい異常である。
【００２６】
照明系には、ＬＥＤ等の波長領域が制限されたものを用いるか、または、波長フィルタを用いて波長領域を制限したものを用いることができる。可視光源３１と透過用可視光源３３は被検査物２に対して、複数の色成分を含む同じ分光分布をもつ光を照射できるようにするとよい。本実施例では、同じ種類の白色光源を用いて可視光源３１と透過用可視光源３３とを作製する。
測定系には、例えば４０９６個の受光素子を直列に配置したＣＣＤイメージセンサを備えた撮像装置を用いることができる。夫々の受光素子では、受光量に応じて光が電荷に変換される。なお、本実施例では、可視光カメラ４１は、Ｒ，Ｇ，Ｂの各成分用の３つのＣＣＤイメージセンサを備えている。また、ＩＲ／ＵＶ光カメラ４２は、赤外光または紫外光の少なくとも一方を検出するＣＣＤイメージセンサを備えている。各受光素子から出力される電荷は、出力信号（撮像データ）として処理装置５に入力される。
【００２７】
なお、本実施例では、被検査物２の幅全体をカメラで撮像可能なように、被検査物２の幅に合わせて、被検査物２の幅方向に複数のカメラを備えることができる。また、可視光カメラ４１とＩＲ／ＵＶ光カメラ４２とは、搬送方向にずれて配置されている。
【００２８】
処理装置５は、可視光カメラ４１から出力される撮像データをＲＧＢの成分毎に夫々処理する、Ｒ信号処理部５１、Ｇ信号処理部５２、Ｂ信号処理部５３と、ＩＲ／ＵＶ光カメラ４２から出力される撮像データを処理するＩＲ／ＵＶ信号処理部５４と、を有する。Ｒ信号処理部５１は、可視光カメラ４１から出力された１ライン分（４０９６画素）のＲ成分の信号（Ｒ信号）に対しホワイトシェーディング処理を施し、受光素子ごとの出力レベ
ルのばらつきを補正する。同様に、Ｇ信号処理部５２はＧ成分の信号（Ｇ信号）、Ｂ信号処理部５３はＢ成分の信号（Ｂ信号）に対し、それぞれホワイトシェーディング処理を施す。また、ＩＲ／ＵＶ信号処理部５４は、ＩＲ／ＵＶ光カメラ４２から出力された１ライン分の赤外光または紫外光の信号（ＩＲ／ＵＶ光信号）に対しホワイトシェーディング処理を施す。以後、各信号処理部５１、５２、５３、５４から出力されるＲ，Ｇ，Ｂ，ＩＲ／ＵＶ各々のホワイトシェーディング後の値を、出力画素値ＩＲ，ＩＧ，ＩＢ，ＩＩＲ／ＵＶと記す。
【００２９】
さらに、各信号処理部５１、５２、５３、５４は、Ｒ，Ｇ，Ｂ，ＩＲ／ＵＶ各々の規格化画素値を計算する。ここで、規格化画素値とは、ホワイトシェーディング後の出力画素値ＩＲ，ＩＧ，ＩＢ，ＩＩＲ／ＵＶを、被検査物２に異常が無い状態での出力画素値（通常値）ＮＲ，ＮＧ，ＮＢ，ＮＩＲ／ＵＶで除算した値である。本実施例では、規格化画素値が０〜２５５の値域をもち、通常値が値域の中央値である１２８になるように規格化する。「異常が無い状態での出力画素値（通常値）」は、撮像を複数回行ったときの出力画素値の平均値としてもよい。規格化画素値は、出力画素値（カメラの受光量）の減少度合いが大きいほど小さな値となり、出力画素値（カメラの受光量）の増加度合いが大きいほど大きな値となり、出力画素値が変動した度合いと相関関係にある。そして、被検査物２に異常が無い部分（地合とも呼ぶ）では、規格化画素値は１２８に近い値となる。なお、以後の説明において、出力画素値と規格化画素値を特に区別する必要がない場合には単に画素値と記す。
【００３０】
図２は、各信号処理部５１、５２、５３、５４で得られた規格化画素値の一例を示した図である。横軸は画素（受光素子）であり、縦軸は規格化画素値である。異常が無い部分（地合）では規格化画素値は約１２８となるが、異常個所に対応する画素では、規格化画素値が増加又は減少する。規格化画素値の変化の方向（増加か減少か）及びその変化度合は、波長ごと、異常の種類ごとに異なり得る。なお、地合部分であっても、被検査物２の表面の凹凸等の影響により、規格化画素値は画素ごとに若干ばらつきがある。
【００３１】
処理装置５は、可視光カメラ４１から得られる画像と、ＩＲ／ＵＶ光カメラ４２から得られる画像と、の位置合わせを行う位置合わせ処理部５５を備えている。ここで、可視光カメラ４１と、ＩＲ／ＵＶ光カメラ４２とは、被検査物２の搬送方向にずれて配置されているため、可視光カメラ４１で撮像された箇所が、ＩＲ／ＵＶ光カメラ４２で撮像される位置に到達するまでには一定の時間がかかる。可視光カメラ４１とＩＲ／ＵＶ光カメラ４２とから得られる同じ個所の画素値を比較するために、位置合わせ処理部５５は、可視光カメラ４１から得られる１ライン分の画像データと、ＩＲ／ＵＶ光カメラ４２から得られる１ライン分の画像データとの位置合わせ（時間合わせ）を行う。
【００３２】
ここで、被検査物２の搬送速度と、可視光カメラ４１からＩＲ／ＵＶ光カメラ４２までの距離と、は予め設定されているため、これらの値に基づいて、可視光カメラ４１で撮像された箇所が、ＩＲ／ＵＶ光カメラ４２で撮像されるまでの時間遅れを算出することができる。すなわち、この時間遅れ分だけデータをずらすことにより、位置合わせを行うことができる。同様に、Ｒ信号、Ｇ信号、Ｂ信号で夫々別の箇所を撮像している場合や、紫外光及び赤外光で夫々別の箇所を撮像している場合には、これらの位置合わせを行う。
【００３３】
また、処理装置５は、被検査物２に含まれる異常個所を検出する異常検出部５６と、異常判定に用いる閾値を記憶する検出閾値記憶部５６Ａと、を備えている。本実施例では、後述するように、可視光カメラ４１から得られる画像の画素値の変化度合がある程度大きい場合に異常と判定する。そこで、異常と判定すべき画素値の変化度合の閾値を検出閾値記憶部５６Ａに保持しておく。この閾値は、被検査物２の種類やユーザが設定した検査基準等によって決まる。
【００３４】
また、処理装置５は、異常個所が検出されたときにその異常の種類を判別する判定部５７と、異常の種類を判別する処理に用いる複数の閾値を記憶する判定閾値記憶部５７Ａを備えている。判定部５７は、可視光カメラ４１から得られる画像とＩＲ／ＵＶ光カメラ４２から得られる画像それぞれの画素値の変化（増加又は減少）の類型と、前述した５種類の異常との対応関係を予め規定しており、画素値の変化の仕方がいずれの類型に該当するか判断することにより、異常の種類を判別する。詳しい処理は後述する。
【００３５】
出力部５８は、異常個所に関する情報を出力する機能である。情報の出力先は、典型的には表示装置であるが、印刷装置に対して情報を出力したり、スピーカからメッセージや警報を出力したり、ユーザの端末に電子メール等でメッセージを送信したり、外部のコンピュータに対して情報を送信したりしてもよい。図３は、出力部５８が表示装置に出力する結果出力画面の一例である。この画面では、検出及び判定された異常の種類を示す情報５８０（図３の例では「ピンホール欠陥」）、可視光カメラ４１で撮像された異常個所の画像５８１、ＩＲ／ＵＶ光カメラ４２で撮像された異常個所の画像５８２、異常個所を通るライン５８３における可視光カメラ４１及びＩＲ／ＵＶ光カメラ４２それぞれの出力信号（出力画素値又は規格化画素値）の変化を示すグラフ５８４、５８５、５８６、５８７などが表示される。このような異常個所に関する情報を出力することにより、ユーザ（検査者）は発生した異常の内容を具体的に把握することができ、不良（欠陥）とすべき異常かどうかの判断や、生産設備の製造条件や運転条件へのフィードバックなどに役立てることができる。
【００３６】
図４〜図８に、各信号処理部５１〜５４から得られる規格化画素値の変化（増加又は減少）の類型と、異常の種類との対応関係を示す。このような対応関係は、実際に発生し得る異常の種類ごとに実験を実施することで求めることができる。なお、図４〜図８は二次電池用セパレータなどに利用される多孔質フィルムにおける例を示すものである。規格化画素値の変化の仕方、類型の分け方、発生し得る異常の種類などは被検査物の材料や物性などに応じて変わるので、図４〜図８のような対応関係は想定される被検査物ごとに予め用意し、ルックアップテーブル又は判定ロジックとして処理装置５のプログラムに実装しておくとよい。
【００３７】
図４〜図８はそれぞれ、「汚れ」、「金属欠陥」、「ピンホール欠陥」、「異常Ａ」、「異常Ｂ」が発生したときの、可視光と不可視光の出力信号（規格化画素値）の変化を模式的に示している。各図において、（ａ）は異常個所における光の反射及び透過の様子を示す模式図であり、（ｂ）はＲ信号の規格化画素値の変化、（ｃ）はＧ信号の規格化画素値の変化、（ｄ）はＢ信号の規格化画素値の変化、（ｅ）ＩＲ信号の規格化画素値の変化を示す模式図である。
【００３８】
図４に示すように、「汚れ」６１がフィルム６０に付着した場合、その汚れ６１に可視光６２が吸収されるため、可視光カメラ４１の出力信号であるＲ信号、Ｇ信号、Ｂ信号（以下まとめてＲＧＢ信号と記す）は通常状態に比べて有意に小さくなる。一方、不可視光６３（この例では赤外光）の吸収は小さいため、ＩＲ信号の低下度合はＲＧＢ信号に比べて有意に小さくなる。なおフィルム６０の下面から照射される可視光６４はフィルム６０をほとんど透過せず可視光カメラ４１には受光されない。
【００３９】
「金属欠陥」の場合は、図５に示すように、可視光６２と不可視光６３がともに金属６５に吸収されるため、可視光カメラ４１の出力信号であるＲＧＢ信号、及びＩＲ／ＵＶ光カメラ４２の出力信号であるＩＲ信号はいずれも通常状態に比べて有意に小さくなる。しかも、Ｒ信号、Ｇ信号、Ｂ信号、ＩＲ信号の低下の割合は略同程度である。この場合も、可視光６４はすべて反射され可視光カメラ４１には受光されない。
【００４０】
「ピンホール欠陥」の場合、図６に示すように、上面からの可視光６２と不可視光６３はともにピンホール６６を通して下面側に透過し、カメラには受光されない。ただし、下面からの可視光６４がピンホール６６を通して上面側に直進透過し、可視光カメラ４１に入射する。したがって、ＲＧＢ信号は通常状態に比べて有意に大きくなるが、ＩＲ信号は通常状態に比べて有意に小さくなる。なお、可視光カメラ４１には可視光６４が直接入射するので、可視光カメラ４１の出力信号における色バランスは元の可視光６４のものと変わらない。
【００４１】
「異常Ａ」は、多孔質フィルムの加工時に生じたムラ（多孔質が粗になっている部分）又は油が付着・浸透した状態である。この場合、ムラ又は油が付着・浸透した部分はやや色味を帯びた透明なスポット６７となる。そうすると、図７に示すように、上面からの可視光６２と不可視光６３はスポット６７を通じてほとんど下面側に透過する。一方、下面からの可視光６４はスポット６７を通じて上面側に透過し、可視光カメラ４１によって受光される。ただし、図６のピンホール欠陥とは異なり、スポット６７を透過する際に一部の波長の光が吸収され減衰するために、透過光の色のバランスが崩れる。図７の例では、Ｒ信号、Ｇ信号、Ｂ信号のいずれも通常状態に比べて有意に増加しているものの、Ｇ信号とＢ信号がＲ信号に比べて有意に小さく、色のバランスが変化していることが分かる。ＩＲ信号は、ピンホール欠陥の場合と同じく、通常状態に比べて低下する。
【００４２】
「異常Ｂ」は、多孔質フィルムの加工時に生じたムラ（多孔質が密になっている部分）であり、正常な状態のフィルムに比べて光の反射率が増した状態である。この場合は、図８に示すように、ムラが生じたスポット６８において、上面からの可視光６２と不可視光６３がともに反射されるので、Ｒ信号、Ｇ信号、Ｂ信号、ＩＲ信号のいずれもが通常状態に比べて有意に増加する。なおフィルム６０の下面から照射される可視光６４はフィルム６０をほとんど透過せず可視光カメラ４１には受光されない。
【００４３】
以上のような各信号の変化の類型と異常の種類の対応関係を予め明らかにしておくことで、異常の種類の判別を容易に且つ精度よく行うことができる。本実施例では、各信号の出力値を通常状態の値で規格化した規格化画素値を用いて、各信号の変化度合を評価している。これにより、光源の光量の変動、異常個所ごとの透過率や反射率や吸収率の違い、被検査物の透過率や反射率や吸収率の違いなどによるばらつきをキャンセルできる。よって、外乱の影響や、異常又は被検査物のばらつきの影響を受けにくくすることができ、異常個所の検出及び異常の種類判別の精度を安定することができる。
【００４４】
また、可視光は、Ｒ成分，Ｇ成分，Ｂ成分の中の何れか１つまたは２つだけを用いて欠陥の種類を判別してもよい。また、Ｒ，Ｇ，Ｂとは異なる波長の成分光（例えば、シアン、マゼンタ、イエローなど）を用いてもよい。また、赤外光または紫外光の一方または両方を用いて欠陥の種類を判別してもよい。また、Ｒ成分，Ｇ成分，Ｂ成分の中の何れか１つと、赤外光または紫外光の一方と、を選択するときに、波長の差が大きくなるような組み合わせを選択するとよい。例えば、波長の短い紫外光と組み合わせるのは、可視光の中でも波長の長いＲ成分とし、波長の長い赤外光と組み合わせるのは、可視光の中でも波長の短いＢ成分とする。これにより、欠陥の反射比の差がより顕著に表れるので、判定精度を高めることができる。
【００４５】
また、カメラの受光素子には、Ｓｉ（シリコン）系の半導体を用いるとよい。Ｓｉ系の半導体受光素子を用いれば、紫外光、可視光、赤外光を何れも検出することができる。また、多画素化が可能であり、広範囲又は高速な計測が可能となり、コストも低く抑えることもできる。
【００４６】
次に、図９を参照して、シート検査装置１の処理の流れを説明する。図９は、処理装置５によって実行される処理のフローチャートである。
ステップＳ１０１では、可視光源３１、ＩＲ／ＵＶ光源３２、透過用可視光源３３をそれぞれ点灯させた状態で、可視光カメラ４１及びＩＲ／ＵＶ光カメラ４２により被検査物２の撮影が行われ、その出力信号が処理装置５に取り込まれる。
【００４７】
ステップＳ１０２では、可視光カメラ４１から出力されるＲ信号、Ｇ信号、Ｂ信号、ＩＲ／ＵＶ光カメラ４２から出力されるＩＲ／ＵＶ信号に対し、Ｒ信号処理部５１、Ｇ信号処理部５２、Ｂ信号処理部５３、ＩＲ／ＵＶ信号処理部５４のそれぞれにおいてホワイトシェーディング処理が施され、出力画素値ＩＲ，ＩＧ，ＩＢ，ＩＩＲ／ＵＶが生成される。また、各信号処理部５１〜５４は、出力画素値ＩＲ，ＩＧ，ＩＢ，ＩＩＲ／ＵＶからそれぞれＲ，Ｇ，Ｂ，ＩＲ／ＵＶの規格化画素値を生成する。出力画素値及び規格化画素値のデータは位置合わせ処理部５５に出力される。以降、Ｒ信号、Ｇ信号、Ｂ信号、ＩＲ／ＵＶ信号それぞれの規格化画素値を、Ｒ値、Ｇ値、Ｂ値、ＩＲ値とも記す。
【００４８】
ステップＳ１０３では、位置合わせ処理部５５が、被検査物２の搬送速度、カメラ４１と４２の距離に基づいて、ＲＧＢの画像とＩＲ／ＵＶの画像の位置合わせを行う。
【００４９】
ステップＳ１０４では、異常検出部５６による異常の検出が行われる。例えば、異常検出部５６は、下記のカラー／グレー変換式を用いて、ＲＧＢの画像からグレー画像を生成する。
【数１】
2015172519.tif 000003
ここで、ＩＲ，ＩＧ，ＩＢはＲ，Ｇ，Ｂの出力画素値であり、ＮＲ，ＮＧ，ＮＢはＲ，Ｇ，Ｂの通常状態の出力画素値（地合の出力画素値）である。また、Ｉｇｒａｙは輝度値（グレー値）であり、ＲＧＢの色成分ごとの画素値（ＩＲ，ＩＧ，ＩＢ）を総合する値である。ＣｏｅｆｆＲ，ＣｏｅｆｆＧ，ＣｏｅｆｆＢは重み係数であり、Ｃｏｅｆｆｄｉｖは除算係数であり、ｓは１又は−１の値をとる符号係数である。本実施例では、（ＩＲ−ＮＲ）、（ＩＧ−ＮＧ）、（ＩＢ−ＮＢ）のなかで最大値をとるものの符号を、符号係数ｓとして用いる。
そして、異常検出部５６は、グレー画像において、輝度値Ｉｇｒａｙが１２８×０．９より小さい画素からなる領域（画素群）、又は、グレー値Ｉｇｒａｙが１２８×１．１より大きい画素からなる領域（画素群）を検出し、当該領域の面積が所定値を超えていた場合に当該領域を「異常個所」と判定する。なお、本実施例では、異常か否かの判別閾値を通常値（１２８）の±１０％の値に設定したが、これは一例にすぎず、被検査物やカメラの特性などに応じて閾値は適宜設定すればよい。また、本実施例では上記式で計算した輝度値により異常判定を行ったが、単純に、Ｒ、Ｇ、Ｂのいずれか（例えばＧ）の画素値をそのまま輝度値として用いてもよいし、Ｒ、Ｇ、Ｂの画素値の平均値や最大値を輝度値として用いてもよい。
【００５０】
ステップＳ１０５では、ステップＳ１０４において異常個所が検出されたか否か判定される。ステップＳ１０５で肯定判定がなされた場合には、ステップＳ１０６へ進む。一方、ステップＳ１０５で否定判定がなされた場合には、異常がないものとして本ルーチンを終了する。
【００５１】
ステップＳ１０６では、判定部５７により異常の種類が判別される。
図１０に、異常の種類判別の詳細フローを示す。まずステップＳ２０１において、判定部５７は、検出された異常個所の輝度値と通常状態の輝度値（地合の輝度値）とを比較し、当該異常が暗欠陥（輝度値が通常状態よりも小さくなる（つまり、Ｉｇｒａｙ＜１２８））か明欠陥（輝度値が通常状態よりも大きくなる（つまり、Ｉｇｒａｙ＞１２８））かを判断する。暗欠陥の場合は、汚れ（図４）／金属欠陥（図５）の判別ルーチンに入り、明欠陥の場合は、ピンホール欠陥（図６）／異常Ａ（図７）／異常Ｂ（図８）の判別ルーチンに入る。
【００５２】
ステップＳ２０２では、判定部５７は、可視光と不可視光の低下の割合の差を評価する。具体的には、Ｒ値とＩＲ値の差の絶対値（｜Ｒ−ＩＲ｜と表記する）、Ｇ値とＩＲ値の差の絶対値（｜Ｇ−ＩＲ｜と表記する）、Ｂ値とＩＲ値の差の絶対値（｜Ｂ−ＩＲ｜と表記する）を求め、それらのうちの最小値であるｍｉｎ｜Ｖ−ＩＲ｜（ただし、Ｖ＝Ｒ，Ｇ，Ｂ）が閾値ＴＨ１よりも大きいか否かを調べる。ｍｉｎ｜Ｖ−ＩＲ｜≧ＴＨ１の場合、すなわち、可視光と不可視光の低下の割合が有意に異なる場合には、図４の類型に該当し、「汚れ」と判定する（ステップＳ２０３）。一方、ｍｉｎ｜Ｖ−ＩＲ｜＜ＴＨ１の場合、すなわち、可視光と不可視光の低下の割合が略同じである場合には、図５の類型に該当し、「金属欠陥」と判定する（ステップＳ２０４）。
【００５３】
ステップＳ２０５では、判定部５７は、ＩＲ値が閾値ＴＨ２よりも大きいか否かを調べる。ＴＨ２は、例えば、通常状態（地合）の値である１２８と同程度に設定するとよい。ＩＲ＞ＴＨ２の場合は、図８の類型に該当し、「異常Ｂ」と判定する（ステップＳ２０６）。一方、ＩＲ≦ＴＨ２の場合には、ステップＳ２０７に進む。
【００５４】
ステップＳ２０７では、判定部５７は、Ｒ値とＧ値とＢ値の中の最大値ｍａｘＶと最小値ｍｉｎＶの差ｍａｘＶ−ｍｉｎＶが閾値ＴＨ３よりも大きいか否かを調べる。これは可視光カメラ４１で得られた画像の画素における色成分ごとの画素値のバランスを評価する処理に該当する。ｍａｘＶ−ｍｉｎＶ＜ＴＨ３の場合、すなわち、色バランスが通常状態のバランスと略同じである場合には、図６の類型に該当し、「ピンホール欠陥」と判定する（ステップＳ２０８）。一方、ｍａｘＶ−ｍｉｎＶ≧ＴＨ３の場合、すなわち、色バランスが通常状態のバランスと有意に異なる場合には、図７の類型に該当し、「異常Ａ」と判定する（ステップＳ２０９）。なお、色バランスを評価する方法は他の方法でもよい。閾値ＴＨ３は、例えば、Ｒ値、Ｇ値、Ｂ値の中の最大値ｍａｘＶの１０％程度に設定すればよい。なお、色バランスの評価方法は本実施例で述べた方法以外の方法を用いてもよい。例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂの画素値から当該画素の彩度を計算し、彩度が閾値よりも小さい場合に（つまり、無彩色に近い場合に）色バランスが通常状態のバランスと略同じであると判定してもよい。
【００５５】
以上の判定ロジックにより異常の種類が特定されたら、図９のステップＳ１０７の処理に進む。ステップＳ１０７では、出力部５８が、異常個所に関する情報を出力する（図３参照）。このとき、重大欠陥である「金属欠陥」と「ピンホール欠陥」の場合にのみ情報出力を行い、それ以外の異常の場合は情報出力を行わないか、異常個所の面積がある程度大きい場合にのみ不良（欠陥）として扱い情報出力を行ってもよい。また、「金属欠陥」、「ピンホール欠陥」、面積の大きな他の異常の場合などに、警告や警報を出力したり、フィルムの製造装置を停止する制御を行ってもよい。
【００５６】
以上述べた本実施例によれば、シート状の被検査物２の異常を検出し、かつ、検出した異常の種類を細かく判別することができる。これにより、製品の品質に影響を与え得る異常か、不良（欠陥）としなくてもよい異常かを峻別できるようになるので、いわゆる検査の見過ぎ（過検出）を抑え、製品の歩留まりを上げることができる。
【００５７】
＜実施例２＞
図１１は、実施例２に係るシート検査装置１のブロック図である。本実施例では、撮像装置４が１台のみ備わる。この１台の撮像装置４で、実施例１に係る可視光カメラ４１と、ＩＲ／ＵＶ光カメラ４２とを兼ねている。すなわち、本実施例に係る撮像装置４は、Ｒ，Ｇ，Ｂの少なくとも１成分を計測する受光素子及び赤外光または紫外光の少なくとも一方を計測する受光素子を備えている。そして、可視光源３１、ＩＲ／ＵＶ光源３２、透過用可視光源３３は、同じ個所に光を照射する（ただし、透過用可視光源３３は下面を照射する）。その他の装置等は実施例１と同じため、説明を省略する。
【００５８】
ここで、図１２は、撮像装置４に備わる受光素子の配置を示した図である。Ｒは、可視光の中のＲ成分を検出し、Ｇは、可視光の中のＧ成分を検出し、Ｂは、可視光の中のＢ成分を検出し、ＩＲ／ＵＶは、赤外光または紫外光を検出するラインセンサである。Ｒ，Ｇ，Ｂ，ＩＲ／ＵＶの各センサは、搬送方向にずれて配置される。このため、実施例１と同様に、各センサの出力信号の位置合わせが必要となる。このような撮像装置４を使用することにより、装置の小型化が可能となる。
【００５９】
＜実施例３＞
図１３は、実施例３に係るシート検査装置１のブロック図である。また、図１４は、撮像装置４の内部構造を示した図である。Ｒは、可視光の中のＲ成分を検出し、Ｇは、可視光の中のＧ成分を検出し、Ｂは、可視光の中のＢ成分を検出し、ＩＲ／ＵＶは、赤外光または紫外光を検出するセンサである。本実施例は、撮像装置４が１台備わる点で実施例２と同じであるが、光路を分割する分光素子４３を用いて撮像装置４に入射した光をＢ光、Ｇ光、Ｒ光、ＩＲ／ＵＶ光に分光し、それぞれを対応する受光素子で計測する点で実施例２と相違する。
【００６０】
すなわち、本実施例では、分光素子４３で分光して各センサで受光させるため、被検査物２の同じ位置から入射する可視光及びＩＲ／ＵＶ光を１台の撮像装置４で撮像することができる。そして、同じ位置のデータを同時に得ることができるので、位置合わせが必要ない。このため、前記実施例１、２で必要とされる位置合わせ処理部５５が必要ない。その他の装置等は実施例２と同じため、説明を省略する。
このような撮像装置４を使用することにより、位置合わせの必要がなくなるので、処理の簡略化が可能となる。また、位置合わせの精度の影響を受けることがないので、異常検出の精度を向上することができる。
【００６１】
＜その他＞
上記実施例は、本発明を例示的に説明するものに過ぎず、本発明は上記の具体的な形態には限定されない。本発明は、その技術的思想の範囲内で種々の変形が可能である。例えば、上記実施例では、可視光としてＲ、Ｇ、Ｂの３つの信号を出力したが、２つ以上の信号であればどのような波長の信号を用いてもよい。例えば、Ｂ成分とＧ成分を含む光を一つのセンサで受光してシアン信号を得て、可視光の信号としてＲ信号とシアン信号の２つを用いてもよい。
また上記実施例（図９）では、最初に異常個所の検出処理を実施し、検出された異常個所に対してのみ異常の種類判別処理を適用したが、異常の種類判別処理を画像全体に対し適用してもよい。例えば、異常個所の検出処理（ステップＳ１０４）と異常の種類判別処理（ステップS１０６）を並列に実行した後、両処理の結果を合わせても、上記実施例と
同様の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００６２】
１：シート検査装置、２：被検査物、４：撮像装置、５：処理装置
３１：可視光源、３２：ＩＲ／ＵＶ光源、３３：透過用可視光源
４１：可視光カメラ、４２：ＩＲ／ＵＶ光カメラ、４３：分光素子
５１：Ｒ信号処理部、５２：Ｇ信号処理部、５３：Ｂ信号処理部、５４：ＩＲ／ＵＶ信号処理部、５５：位置合わせ処理部、５６：異常検出部、５６Ａ：検出閾値記憶部、５７：判定部、５７Ａ：判定閾値記憶部、５８：出力部
６０：フィルム、６１：汚れ、６２：可視光、６３：不可視光、６４：可視光、６５：金属、６６：ピンホール、６７：スポット、６８：スポット
【図１】
2015172519.tif 000004
【図２】
2015172519.tif 000005
【図３】
2015172519.tif 000006
【図４】
2015172519.tif 000007
【図５】
2015172519.tif 000008
【図６】
2015172519.tif 000009
【図７】
2015172519.tif 000010
【図８】
2015172519.tif 000011
【図９】
2015172519.tif 000012
【図１０】
2015172519.tif 000013
【図１１】
2015172519.tif 000014
【図１２】
2015172519.tif 000015
【図１３】
2015172519.tif 000016
【図１４】
2015172519.tif 000017