(57)【要約】【課題】半導体チップと接続するボンディングワイヤの接合部での応力を緩和し、はんだ広がりを抑制し、モールド樹脂との密着性を向上できる半導体装置用リードフレームおよびその製造方法とそのリードフレームを用いたモールド型半導体装置を提供する。【解決手段】半導体チップ４に隣接して帯状の凸部６を形成し、その凸部６の高さＨ１を半導体チップ４に接合するボンディングワイヤ７の接合部８の表面高さＨ２以上とする。これにより、モールド樹脂１０の膨張、収縮によって、半導体チップ４とボンディングワイヤ７の接合部８にかかる応力Ｆを緩和することができる。さらに凸部６を設けることで、はんだ５の広がりを抑制し、またモールド樹脂１０の密着性を向上させることができる。【選択図】        図１４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイパッドを有するリードフレームと、
前記ダイパッドに配置され、はんだで固着される半導体チップと、
前記半導体チップ上に固着されるボンディングワイヤと、
前記リードフレームの一部を露出させて封止するモールド樹脂と、
を備え、
前記ダイパッドの前記半導体チップが配置される箇所の近傍に帯状の凸部が配置され、
前記凸部の高さが、前記半導体チップに固着される前記ボンディングワイヤの接合部の表面高さ以上であることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記凸部の高さが、０．３ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記凸部が、前記半導体チップを取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記凸部の材質が、前記ダイパッドと同一であることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記リードフレームの前記半導体チップが固着された前記ダイパッド以外の箇所に、前記半導体チップを制御するＩＣチップ及び電子部品が固着されて、イグナイタが構成されることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記凸部を形成するための凹部を配置した上部金型と、平坦な表面の下部金型の間に金属板を挟んで第１プレス加工で前記金属板を圧縮し、該圧縮した金属板に前記凸部を形成する工程と、
前記凸部が形成された前記圧縮された金属板を打ち抜きパターンが形成された上部金型と、打ち抜きパターンが形成された下部金型の間に挟み第２のプレス加工で前記リードと前記凸部が配置されたダイパットを形成する工程と、
を含んだ工程により前記リードフレームを準備することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記凸部を形成するための凹部を配置し打ち抜きパターンが形成された上部金型と、平坦な表面で打ち抜きパターンが形成された下部金型の間に金属板を挟んで、１回のプレス加工で前記リードと前記凸部が配置されたダイパットを形成することにより、前記リードフレームを準備することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項８】
回転方向に第１凹部の溝が形成された上部圧延ロールと、表面が平坦な下部圧延ロールの間に金属板を挟んで圧延し、直線状の凸部を形成する工程と、
前記凸部を有する圧延された金属板を打ち抜きパターンが形成された上部金型と打ち抜きパターンが形成された下部金型の間に挟みプレス加工で前記リードと前記凸部が配置されたダイパットを形成する工程と、
を含んだ工程により前記リードフレームを準備することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体装置に関し、特にモールド型の半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車部品として使われるイグナイタは、リードフレームの表面や裏面にベアチップ（パワー半導体チップ）、ＩＣチップおよび抵抗やコンデンサなどの電子部品（ＳＭＤ：表面実装部品）を搭載し接合して、アルミワイヤにてそれぞれを接続されたものをトランスファモールドして形成される複合型のモールド型半導体装置である。
【０００３】
図１６は、従来のイグナイタ８００の構成図であり、同図（ａ）は要部平面図、同図（ｂ）は要部側断面図である。
このイグナイタ８００は、リードフレーム７１と、このリードフレーム７１のダイパッド７２上にはんだ７３により固着されたパワー半導体チップ７４と、前記のリードフレーム７１のその他の箇所にはんだ付けされるＩＣチップ７５および電子部品７６（コンデンサや抵抗）と、パワー半導体チップ７４、ＩＣチップ７５、電子部品７６（ＳＭＤ：抵抗やコンデンサなどの表面実装デバイス）およびリードフレーム７１などに接合されるボンディングワイヤ７７と、これらをトランスファモールドで封止するモールド樹脂７８を備える。
【０００４】
図１７〜図２１は、工程順に示したイグナイタ８００の組立工程図である。この組立工程は、（１）リードフレーム７１の表側へのはんだ７３印刷工程、但し、はんだ７３はパワー半導体チップ７４およびＩＣチップ７５を固着する箇所のみ示したが、図示しないが表側の電子部品７６が固着する箇所もはんだ印刷工程はある。はんだ７３の印刷する面積を小さくすることで、はんだ７３の厚みを調節する（図１７）、（２）パワー半導体チップ７４、ＩＣチップ７５、電子部品７６の搭載・接合（リフロー、硬化）工程、この工程の後に裏面の電子部品７６をはんだ７３の溶融温度より低い接合材で接合する（図１８）、（３）ボンディングワイヤ７７にて各部品を接合する工程（図１９）、（４）全体をトランスファーモールドによりモールド樹脂７８で封止する工程（図２０）、（５）不要のリードフレーム７１を切断・除去する工程（図２１）などである。以上の工程によりイグナイタ８００は製作される。
【０００５】
このイグナイタ８００は、自動車のエンジンルームに搭載されるため、冷熱変化に対して高信頼性が要求される。特に自己発熱が大きいパワー半導体チップ７４を接合するはんだ７３の厚さを増やしたり、リードフレーム７１と密着性が良いモールド樹脂を用いて、イグナイタ８００の耐久性を向上させる必要がある。
【０００６】
また各種特許文献には、リードフレームに凸部や溝の加工を施して、はんだ広がりを抑制したり、モールド樹脂との密着性を向上させることや、リードフレームの形成方法について開示されている。
【０００７】
特許文献１では、チップ載置部上に溝または突起部を設けて、はんだ広がりを抑制することが記載されている。
また、特許文献２では、リードフレームの裏面に精度の高い凹凸をつけたい場合、曲げ加工やプレス加工では精度が得られないため、予め圧延加工でフレーム材料に精度の高い凹凸をつけておくことが記載されている。
【０００８】
また、特許文献３では、リードフレームのダイパッドに溝と突堤を設けることにより、はんだ広がり（流れ）防止効果が向上するとともに、リードフレームと封止材の接触面積を増やして耐湿性を向上させ、熱膨張の違いによる封止材にかかる応力の緩和を図ることが記載されている。また、突堤はリードフレームと異種金属で形成することが記載されている。
【０００９】
また、特許文献４では、金属板にストライプ状の溝を設け、この溝に半導体チップを固着し、この溝に挟まれた凸部の表面に網目状の凹凸を設けることで、モールド材と接触する金属板の表面での気密性を向上させることが記載されている。
【００１０】
また、特許文献５では、半導体チップの周りに溝と突堤を設けて、はんだ広がりを抑制することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開平３−２６６４５９号公報
【特許文献２】特開２００６−１４７６２２号公報
【特許文献３】特開平８−２０４０８３号公報
【特許文献４】特開平１０−１８９８５８号公報
【特許文献５】特開昭６３−７９６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかし、前記したように、はんだの厚さを増やしたり、密着性の良いモールド樹脂を用いりした場合にはつぎのような問題点がある。
（１）図１６において、はんだ７３の厚さを厚くすると、はんだ７３が広範囲に広がる。はんだ７３が広がるとき、パワー半導体チップ７４が移動することが起こる。そのため、リフロー時にパワー半導体チップ７４が正規の位置からずれると、ワイヤボンディング装置がパワー半導体チップ７４の位置を認識出来ず、ワイヤボンディングができないことがある。
（２）リードフレーム７１との密着性の良い樹脂は高価であり、製造コストが増加する。
【００１３】
また、リードフレーム７１にはんだ流れを抑制する溝を形成する場合にはつぎのような問題点がある。
リードフレーム７１の厚さが薄い場合には、溝の深さを深くすることができないため、はんだ７３広がりを抑制するためには、はんだ７３の厚さを十分に増やすことはできない。
【００１４】
また、前記の特許文献１では、単独の半導体チップに隣接して突出部を配置することについては記載されていない。
また、前記の特許文献２では、リードフレームに突出部や溝については記載されていない。
【００１５】
また、特許文献３では、リードフレームと同一材料でプレス加工や圧延ロール加工で形成することについては記載されていない。
また、特許文献４では、前記の凸部の高さについて具体的な限定は記載されていない。
【００１６】
また、特許文献５では、前記の突堤の高さについて具体的な限定は記載されていない。
前記した特許文献には、凸部の高さについての具体的に限定する記載やボンディングワイヤの接合部における応力と凸部の高さの関係についての記載されていない。
【００１７】
この発明の目的は、前記の課題を解決して、半導体チップと接続するボンディングワイヤの接合部での応力を緩和し、はんだ広がりを抑制し、モールド樹脂との密着性を向上できるモールド型の半導体装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
前記の目的を達成するために、特許請求の範囲の請求項１に記載の発明によれば、ダイパッドを有するリードフレームと、前記ダイパッドに配置され、はんだで固着される半導体チップと、前記半導体チップ上に固着されるボンディングワイヤと、前記リードフレームの一部を露出させて封止するモールド樹脂とを備え、前記ダイパッドの前記半導体チップが配置される箇所の近傍に帯状の凸部が配置され、前記凸部の高さが、前記半導体チップに固着される前記ボンディングワイヤの接合部の表面高さ以上とする構成にする。
【００１９】
また、特許請求の範囲の請求項２記載の発明によれば、請求項１に記載の発明において、前記凸部の高さが、０．３ｍｍ以上であるとよい。好ましくは、０．５ｍｍ以上にするとよい。
【００２０】
また、特許請求の範囲の請求項３記載の発明によれば、請求項１に記載の発明において、前記凸部が、前記半導体チップを取り囲むように配置されるとよい。
また、特許請求の範囲の請求項４に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明において、前記凸部の材質が、前記ダイパッドと同一であるとよい。
【００２１】
また、特許請求の範囲の請求項５に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明において、前記リードフレームの前記半導体チップが固着された前記ダイパッド以外の箇所に、前記半導体チップを制御するＩＣチップ及び電子部品が固着されて、イグナイタを構成するとよい。
【００２２】
また、特許請求の範囲の請求項６に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明において、前記凸部を形成するための凹部を配置した上部金型と、平坦な表面の下部金型の間に金属板を挟んで第１プレス加工で前記金属板を圧縮し、該圧縮した金属板に前記凸部を形成する工程と、前記凸部が形成された前記圧縮された金属板を打ち抜きパターンが形成された上部金型と、打ち抜きパターンが形成された下部金型の間に挟み第２のプレス加工で前記リードと前記凸部が配置されたダイパットを形成する工程と、が含まれる工程により前記リードフレームを準備するとよい。
【００２３】
また、特許請求の範囲の請求項７に記載の発明によれば、前記請求項１に記載の発明において、前記凸部を形成するための凹部を配置し打ち抜きパターンが形成された上部金型と、平坦な表面で打ち抜きパターンが形成された下部金型の間に金属板を挟んで、１回のプレス加工で前記リードと前記凸部が配置されたダイパットを形成する工程を、により前記リードフレームを準備するとよい。
【００２４】
また、特許請求の範囲の請求項８に記載の発明によれば、前記請求項１に記載の発明において、回転方向に一周する第１凹部の溝が形成された上部圧延ロールと、表面が平坦な下部圧延ロールの間に金属板を挟んで圧延し、直線状の凸部を形成する工程と、前記凸部を有する圧延された金属板を打ち抜きパターンが形成された上部金型と打ち抜きパターンが形成された下部金型の間に挟みプレス加工で前記リードと前記凸部が配置されたダイパットを形成する工程と、が含まれる工程により前記リードフレームを準備すると良い。
【発明の効果】
【００２５】
この発明によれば、半導体チップの隣接して帯状の凸部を形成し、その凸部の高さを半導体チップに接合するボンディングワイヤの接合部の表面高さ以上とする。これにより、モールド樹脂の膨張、収縮によって、半導体チップとボンディングワイヤの接合部にかかる応力を緩和することができる。さらに凸部を設けることで、はんだ広がりを抑制し、モールド樹脂の密着性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】この発明に係る第１実施例の半導体装置に用いるリードフレーム１００の構成図であり、（ａ）は要部平面図、（ｂ）は要部側断面図である。
【図２】凸部６の高さＨ１とボンディングワイヤ７の接合部８にかかる応力Ｆの関係を説明する図である。
【図３】ボンディングワイヤ７の接合部８にかかる応力Ｆの凸部６の高さＨ１依存性を示す図である。
【図４】この発明に係る第２実施例の半導体装置に用いるリードフレーム２００の構成図であり、（ａ）は要部平面図、（ｂ）は要部側断面図である。
【図５】この発明に係る第３実施例の半導体装置に用いるリードフレーム３００の構成図であり、（ａ）は要部平面図、（ｂ）は要部側断面図である。
【図６】この発明に係る第４実施例の半導体装置に用いるリードフレーム４００の構成図であり、（ａ）は要部平面図、（ｂ）は要部側断面図、（ｃ）は（ｂ）のＡ部拡大図である。
【図７】この発明に係る第５実施例の半導体装置に用いるリードフレーム５００の構成図であり、（ａ）は要部平面図、（ｂ）は要部側断面図である。
【図８】この発明に係る第６実施例の半導体装置に用いるリードフレーム１００の要部形成工程断面図である。
【図９】図８に続く、この発明に係る第６実施例の半導体装置に用いるリードフレーム１００の要部形成工程断面図である。
【図１０】この発明に係る第７実施例の半導体装置に用いるリードフレーム１００の要部形成工程断面図である。
【図１１】この発明に係る第８実施例の半導体装置に用いるリードフレーム３００の要部形成工程断面図である。
【図１２】図１１に続く、この発明に係る第８実施例の半導体装置に用いるリードフレーム３００の要部形成工程断面図である。
【図１３】上部圧延ロール３５と下部圧延ロール３６の斜視図である。
【図１４】この発明に係る第９実施例のモールド型半導体装置６００の構成図であり、（ａ）は要部平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した要部断面図である。
【図１５】この発明に係る第１０実施例のモールド型半導体装置７００の構成図であり、（ａ）は要部平面図、（ｂ）は要部側断面図である。
【図１６】従来のイグナイタ８００の構成図であり、（ａ）は要部平面図、（ｂ）は要部側断面図である。
【図１７】イグナイタ８００の組立工程図である。
【図１８】図１７に続く、イグナイタ８００の組立工程図である。
【図１９】図１８に続く、イグナイタ８００の組立工程図である。
【図２０】図１９に続く、イグナイタ８００の組立工程図である。
【図２１】図２０に続く、イグナイタ８００の組立工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
実施の形態を以下の実施例で説明する。
＜実施例１＞
図１は、この発明に係る第１実施例の半導体装置に用いるリードフレーム１００の構成図であり、同図（ａ）は要部平面図、同図（ｂ）は要部側断面図である。
【００２８】
図１で示す半導体装置用リードフレーム１００は、工程途中の半導体装置用リードフレームであり、リード１と半導体チップ４（この半導体チップ４はパワー半導体チップである）が固着されるダイパッド２および最終工程で点線９の箇所で切断除去される不要のリードフレーム部分３で構成される。図１４で示すモールド半導体装置６００になった場合の半導体装置用リードフレーム１００は、リード１と半導体チップ４がはんだ５を介して固着されるダイパッド２で構成され、不要のリードフレーム部分３は切断除去されるので含まれない。ここでは、両者の半導体装置用リードフレーム１００に同一の符号を付すことにした。また、リード１とダイパッド２の境目は２点鎖線１１で示した。
【００２９】
また、前記のダイパッド２には、帯状の凸部６が半導体チップ４を取り囲んで、半導体チップ４の側面に平行するように配置される。この凸部６の高さＨ１を半導体チップ４に接続するボンディングワイヤ７の接合部８の表面高さＨ２以上の高さにする。前記のボンディングワイヤ７の接合部８の表面高さＨ２は、はんだ５の厚さＷ１、半導体チップ４の厚さＷ２、ボンディングワイヤ７の接合部８の厚さＷ３の合計になる。また、図１にはモールド樹脂１０も示した。
【００３０】
図２は、凸部６の高さＨ１とボンディングワイヤ７の接合部８にかかる応力Ｆの関係を説明する図である。
ボンディングワイヤ７の接合部８にかかる応力Ｆは、周囲による温度変化や半導体チップ４の冷熱変化により、モールド樹脂１０が膨張、収縮することによって生じる。凸部６で囲まれた箇所に半導体チップ４は配置され、その上にボンディングワイヤ７の接合部８がある。この凸部６に囲まれた箇所のモールド樹脂１０ａは、凸部６がモールド樹脂１０の膨張・収縮に対してストッパの働きをする（モールド樹脂１０に凸部６が食い込むことで凸部６がストッパーとなる）。そのため、凸部６を設けることで、ボンディングワイヤ７の接合部８にかかる応力Ｆが抑制される。この凸部６の高さＨ１がボンディングワイヤ７の接合部８の表面高さＨ２以上になると、接合部８にかかる応力Ｆを抑制する効果は顕著になる。凸部６の高さＨ１とは、ダイパッド２表面から凸部６の頂点までの高さをいう。また、ボンディングワイヤ７の接合部８の表面高さＨ２とは、ダイパッド２表面から接合部８の表面の最大高さをいう。また、ボンディングワイヤ７の接合部８の表面とは、半導体チップ４に固着され、ボンディングで潰れたボンディングワイヤ７の表面をいう。
【００３１】
凸部６の高さＨ１をボンディングワイヤ７の接合部８の表面高さＨ２以上に高くすることで、ボンディングワイヤ７の接合部８にかかる応力Ｆを大幅に緩和することができるため、接合部８の信頼性を高めることができる。
【００３２】
この凸部６の高さＨ１はボンディングワイヤ７の接合部８の表面高さＨ２を超えて高くなるほど応力緩和効果は大きくなるが、凸部６上にボンディングワイヤ７が横切って配線されている場合は、凸部６とボンディングワイヤ７を電気的に絶縁する必要から、凸部６の頂点をボンディングワイヤ７より低くする必要がある。また、凸部６上をボンディングワイヤ７が横切らない場合には、凸部６をモールド樹脂１０で被覆する必要から、凸部６の頂点がモールド樹脂１０の表面に露出しないようにする必要がある。
【００３３】
つぎに、凸部６の高さＨ１について具体的に説明する。例えば、はんだ厚みＷ１が１５０μｍ、半導体チップの厚さＷ２が３５０μｍ、ボンディングワイヤ７の接合部８での厚さＷ３が２００μｍである場合には、ボンディングワイヤ７の接合部８の表面高さＨ２は７００μｍになるので、凸部６の高さＨ１を７００μｍ以上にするとよい。
【００３４】
また、近年の半導体チップの厚さＷ２は８０μｍ〜１００μｍと薄くなっている。また、はんだ厚みＷ１を１００μｍ、ボンディングワイヤ７の接合部８での厚さＥ３を１００μｍとすると、ボンディングワイヤ７の接合部８の表面高さＨ２は０．３ｍｍとなり、凸部６の高さＨ１を０．３ｍｍ以上とするとよい。さらに、この凸部６の高さＨ１を０．５ｍｍ以上にするとさらに好ましい。
【００３５】
図１では、凸部６が１本の場合を示したが、複数本設けることで、凸部６の間に入り込んだモールド樹脂１０はアンカー作用をする。そのため、モールド樹脂１０の膨張と収縮を抑える働きが強まり、ボンディングワイヤ７の接合部８での応力Ｆがさらに緩和される。
【００３６】
図３は、ボンディングワイヤ７の接合部８にかかる応力Ｆの凸部６の高さＨ１依存性（推定）を示す図である。接合部８の表面高さＨ２より凸部６の高さＨ１が高くなると接合部８にかかる応力Ｆは徐々に小さくなる。
【００３７】
この凸部６は半導体チップ４を囲むように配置することで、はんだ５の広がりを抑制する効果がある。さらに、半導体装置用リードフレーム１００とモールド樹脂１０との接触面積が増加して、モールド樹脂１０の密着性を向上させる効果もある。
＜実施例２＞
図４は、この発明に係る第２実施例の半導体装置に用いるリードフレーム２００の構成図であり、同図（ａ）は要部平面図、同図（ｂ）は要部側断面図である。
【００３８】
図１の半導体装置用リードフレーム１００との違いは、凸部６が半導体チップ４を取り囲まず、例えば、隅１２で帯状の凸部６が切れている点である。切れている箇所は四隅ではなく他の箇所（例えば、４辺のうち1辺が欠落など）の場合もある。この場合も図１で説明する効果が得られる。
＜実施例３＞
図５は、この発明に係る第３実施例の半導体装置に用いるリードフレーム３００の構成図であり、同図（ａ）は要部平面図、同図（ｂ）は要部側断面図である。
【００３９】
図１の半導体装置用リードフレーム１００との違いは、凸部６が半導体チップ４を挟むように対向して２箇所に配置されている点である。この場合も、この場合も図１で説明した効果が得られる。
＜実施例４＞
図６は、この発明に係る第４実施例の半導体装置用リードフレーム４００の構成図であり、同図（ａ）は要部平面図、同図（ｂ）は要部側断面図、同図（ｃ）は同図（ｂ）のＡ部拡大図である。
【００４０】
図１の半導体装置用リードフレーム１００との違いは、凸部６の頂点６ａを細かく荒らした点である。この場合も、図１で説明した効果が得られる。これは図４、図５にも適用できる。
＜実施例５＞
図７は、この発明に係る第５実施例の半導体装置用リードフレーム５００の構成図であり、同図（ａ）は要部平面図、同図（ｂ）は要部側断面図である。
【００４１】
図１の半導体装置用リードフレーム１００との違いは、凸部６に隣接する溝１３を設けた点である。図１より効果を高めることができる。
尚、図４、図５、図６に示す半導体装置用リードフレーム２００、３００、４００に、図７に示すように、凸部６に隣接する溝１３を設けることで、さらに、前記した効果を高めることができる。
【００４２】
尚、図１、図４、図５、図６、図７に示す半導体装置用リードフレーム１００，２００，
３００，４００，５００の凸部６の側壁を垂直でなくテーパー状にする場合もある。
＜実施例６＞
図８および図９は、この発明に係る第６実施例の半導体装置用リードフレーム１００の形成工程であり、工程順に示した要部形成工程断面図である。この工程断面図は図１のＹ−Ｙ線で切断した断面図に相当する。
【００４３】
図８（ａ）において、上部金型１５と下部金型１６の間に金属板１７を挟む。上部金型１５には深さＴの凹部１８が形成され、さらにこの凹部１８には凸部６を形成する凹部１９のパターンが形成されている。一方、下部金型１６の表面は平坦である。
【００４４】
図８（ｂ）において、金属板１７を第１プレス加工で圧縮して、金属板１７を凹部１８の深さＴに等しい厚さの金属板２０にする。このとき、半導体チップ４を囲む帯状の凸部６が形成される。
【００４５】
図９（ｃ）において、別の上部金型２１と下部金型２２の間に金属板２０を挟む。上部金型２１には圧縮された金属板２０が嵌合する凹部２３が形成され、さらに打ち抜きパターンの凸部２５と前記の凸部６を逃がす凹部２４が形成されている。一方、下部金型２２にはこの凸部２５が嵌合する凹部２６のパターンが形成されている。
【００４６】
図９（ｄ）において、上部金型２１と下部金型２２を用いて金属板２０を第２プレス加工により打ち抜き、半導体装置用リードフレーム１００を形成する。この形成方法は図４、図５、図６，図７の半導体装置用リードフレーム２００〜５００の形成方法にも適用できる。
＜実施例７＞
図１０は、この発明に係る第７実施例の半導体装置用リードフレーム１００の要部形成工程断面図である。この工程断面図は図１のＹ−Ｙ線で切断した断面図に相当する。
【００４７】
図８、図９の形成方法との違いは、２段階の工程を１回の工程で半導体装置用リードフレーム１００を形成している点である。
また、上部金型２７に凸部６を形成する凹部２８と打ち抜きするための凸部２９が形成されている。この凸部２９の平面パターンは打ち抜きパターンになっている。一方、下部金型３０には凸部２９が嵌合する凹部３１が形成され、凹部３１に凸部２９が接触することで、半導体装置用リードフレーム１００の厚さが決められる。
【００４８】
同図（ａ）において、上部金型２７と下部金型３０の間に金属板３２を挟む。
同図（ｂ）において、上部金型２７と下部金型３０で金属板３２を圧縮のためのプレス加工と打ち抜きのためのプレス加工を同時に行なう。
【００４９】
このように、１回のプレス工程で半導体装置用リードフレーム１００を形成するため、金属板３２は薄く、形成される半導体装置用リードフレーム１００〜５００の厚さが薄く凸部６の高さが低い場合に適する。この形成方法は図４、図５、図６，図７の半導体装置用リードフレーム２００〜５００の形成方法にも適用できる。
＜実施例８＞
図１１および図１２は、この発明に係る第８実施例の半導体装置用リードフレーム３００の形成工程であり、工程順に示した要部形成工程断面図である。この工程断面図は図５のＸ−Ｘ線で切断した断面図に相当する。
【００５０】
図１１（ａ）において、ロールの一周に溝３７が形成された上部圧延ロール３５と平坦な下部圧延ロール３６の間に金属板３８を挿入する。
図１１（ｂ）において、上下圧延ロール３５，３６を互いに逆回転させて金属板３８を圧延する。このとき溝３７により筋状の凸部６が形成される。
【００５１】
図１１（ｃ）において、圧延された金属板を切断して所定の大きさの凸部６が形成された金属板３９にする。
図１２（ｄ）において、打ち抜きパターンが形成された上部金型４０と下部金型４１の間に金属板３９を挟む。上部金型４０には打ち抜きパターンの凸部４２と凸部６を逃がす凹部４３が形成されている。下部金型４１には凸部４２が嵌合する凹部４４が形成されている。
【００５２】
図１２（ｅ）において、上部金型４０と下部金型４１を用いて、金属板３９に打ち抜き加工を施して図５に示す半導体装置用リードフレーム３００を形成する。凸部４２の頂点と凹部４４の底部が接することで所定の厚さにすることができる（厚さ＝凸部４２の高さ−凹部４３の底部の深さ）。
【００５３】
上下圧延ロール３５，３６による圧延では圧縮する力が大きく、凸部６のコーナーの形状を精密に加工できる。
図１３は上部圧延ロール３５と下部圧延ロール３６の斜視図である。複数本の筋状の溝３７がロール一周に亘って形成されている。また図１１は、図１３のＢ部の箇所である。
＜実施例９＞
図１４は、この発明に係る第９実施例のモールド型半導体装置６００の構成図であり、同図（ａ）は要部平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した要部断面図である。
【００５４】
このモールド半導体装置６００は、リード１とダイパッド２を有し、ダイパッド２に環状の凸部６が配置された半導体装置用リードフレーム１００と、この凸部６で囲まれた箇所にはんだ５付けされた半導体チップ４と、半導体チップ４に接合されるボンディングワイヤ７と、これらを、封止（例えば、トランスファモールド）するモールド樹脂１０を備える。
【００５５】
前記の凸部６の高さＨ１は半導体チップ４とボンディングワイヤ７の接合部８の表面高さＨ２以上にする。
また、凸部６をボンディングワイヤ７が横切る場合には、凸部６の高さＨ１は横切る箇所でのボンディングワイヤ７の高さより低くする。横切らない場合には凸部６の高さＨ１はモールド樹脂１０から露出しない高さにする。
【００５６】
また、図示しないが、複数の半導体チップ４を半導体装置用リードフレームにはんだ５付けした場合には、半導体チップ４を囲む凸部６毎に、その半導体チップ４に接合するボンディングワイヤ７の接合部８の表面高さＨ２以上に高くするとよい。
【００５７】
前記のモールド型半導体装置６００において、凸部６の高さＨ１をボンディングワイヤ７の接合部８の表面高さＨ２以上にすることで、下記に示す効果が得られる。
（１）モールド樹脂１０の膨張、収縮によってボンディングワイヤ７の接合部８にかかる応力Ｆを大幅に緩和することができて、ボンディングワイヤ７の接合部８の信頼性を高め、モールド型半導体装置６００の信頼性が高めることができる。
（２）半導体チップ４の周りに凸部６を配置することで、はんだ５の広がりを抑制でき、はんだ付け面積を縮小できる。その結果、部品の集積度を高めたモールド型半導体装置６００にすることができる。
（３）はんだ５の広がりを抑制できるので、必要なはんだ厚みを確保するはんだ量を減らすことができる。
（４）はんだ５の広がりを抑制できるので、半導体装置用リードフレーム１００に半導体チップ４をはんだ付けする場合に、半導体チップ４の位置決めが良好に行なわれる。
（５）この凸部６を複数本形成することで、凸部６に挟まれた凹部の箇所にモールド樹脂が入り込む。これによって、アンカー効果が発揮され、前記のボンディングワイヤ７の接合部８にかかる応力Ｆを減らし、さらにモールド樹脂１０の半導体装置用リードフレーム１００への密着性を高めることができる。この凸部６の本数が増加するほど、アンカー効果は大きくなり、接合部８にかかる応力Ｆの低減と密着性の向上を図ることができる。その結果、高信頼性のモールド型半導体装置６００にすることができる。
（６）前記したように、凸部６があることで密着性の高い高価なモールド樹脂を用いる必要がなく、モールド型半導体装置６００の製造コストを低減することができる。
＜実施例１０＞
図１５は、この発明に係る第１０実施例のモールド型半導体装置７００の構成図であり、同図（ａ）は要部平面図、同図（ｂ）は要部側断面図である。このモールド型半導体装置７００は、半導体チップ４の他に抵抗５４ａやコンデンサ５４ｂなどの電子部品５４を備えた複合型の半導体装置であり、ここでは、イグナイタを例に挙げた。尚、このモールド型半導体装置７００の製造工程は、図１７〜図２１に示す従来の製造工程と類似であるので、ここでは説明を省略する。
【００５８】
このモールド型半導体装置７００は、半導体チップ４が固着する箇所の周囲に凸部６が配置された半導体装置用リードフレーム５１と、この半導体装置用リードフレーム５１（ダイパッド５２）の凸部６で囲まれた箇所にはんだ付けされた半導体チップ４と、前記の半導体装置用リードフレーム５１のその他の箇所にはんだ付けされるＩＣチップ５３および電子部品５４（抵抗５４ａやコンデンサ５４ｂ）と、電子部品５４および半導体装置用リードフレーム５１などに接合されるボンディングワイヤ７と、これらを、封止（例えば、トランスファモールド）するモールド樹脂１０を備える。
【００５９】
前記の凸部６の高さＨ１は半導体チップ４とボンディングワイヤ７の接合部８の表面高さＨ２以上にする。図１５では、４本のボンディングワイヤ７が半導体チップ４に接続しているため、接合部８は４箇所ある。その４箇所の接合部８のうち最も高い表面高さ以上に凸部６の高さＨ１を高くする。つまり、接合部８が複数個の場合には最も高い表面高さ以上に凸部６の高さＨ１を設定するとよい。
【００６０】
このモールド型半導体装置７００の場合も前記のモールド型半導体装置６００の場合と同様に（１）〜（６）の効果が得られる。
【符号の説明】
【００６１】
１    リード
２，５２  ダイパッド
３    不要のリードフレーム部分
４    半導体チップ
５    はんだ
６、２４，２９，４２  凸部
７    ボンディングワイヤ
８    接合部
９    点線
１０    モールド樹脂
１０ａ  凸部に囲まれた箇所のモールド樹脂
１１    ２点鎖線
１２    隅
１３    溝
１５、２１，２７，４０  上部金型
１６、２２，３０，４１  下部金型
１７，２０，３２，３８，３９  金属板
１８，１９，２５，２６，２８，３１，３７，４３，４４  凹部
３５    上部圧延ロール
３６    下部圧延ロール
５１，１００〜５００  半導体装置用リードフレーム
５３    ＩＣチップ
５４    電子部品
５４ａ    抵抗
５４ｂ    コンデンサ
６００，７００  モールド型半導体装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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