(57)【要約】【課題】振動体の傾きにより振動モレ現象を防止することが可能な機能素子を提供する。【解決手段】ジャイロ素子５は、振動体２０と、振動体２０の一方と他方とに接続され、第１軸に沿う方向に変形可能な第１連結部３０と、第１軸と交差する第２軸に沿う方向に延出し、一端が第１連結部３０と接続され他端が第２固定部１５に接続されている第２梁部２５と、を含み、振動体２０は、第１軸に沿う方向において並設され、互いに逆相で駆動振動する第１振動部２１および第２振動部２２と、第１振動部２１および前記第２振動部２２に接続され第１軸に沿う方向に変形可能な第２連結部２６と、第２軸に沿う方向に延出し、一端が第２連結部２６に接続され他端が第１固定部１６に接続されている第１梁部２８と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体と、
前記振動体の一方部と他方部とに接続され、第１軸に沿う方向に変形可能な第１連結部と、
前記第１軸と交差する第２軸に沿う方向に延出し、一端が前記第１連結部と接続され、他端が第２固定部に接続されている第２梁部と、を含み、
前記振動体は、
前記第１軸に沿う方向において並設され、互いに逆相で駆動振動する第１振動部および第２振動部と、
前記第１振動部および前記第２振動部に接続され、前記第１軸に沿う方向に変形可能な第２連結部と、
前記第２軸に沿う方向に延出し、一端が前記第２連結部に接続され、他端が第１固定部に接続されている第１梁部と、を備えていることを特徴とする機能素子。
【請求項２】
前記第２軸に沿う方向の前記第１梁部の長さは、前記第２軸に沿う方向の前記第２梁部の長さと同じであることを特徴とする請求項１に記載の機能素子。
【請求項３】
前記第２軸に沿う方向の前記第２梁部の長さは、前記第２軸に沿う方向の前記第１梁部の長さより短いことを特徴とする請求項１に記載の機能素子。
【請求項４】
前記振動体は、
面内方向に駆動振動する駆動部と、
面外方向の振動を検出する検出部と、を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の機能素子。
【請求項５】
前記第２梁部は、前記振動体と接続された前記第１連結部の端部に接続されていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の機能素子。
【請求項６】
構成部位が一つの部材から形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の機能素子。
【請求項７】
基体と、
前記基体に接続されている請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の機能素子と、を備えていることを特徴とする電子デバイス。
【請求項８】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の機能素子を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項９】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の機能素子備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能素子、および機能素子を用いた電子デバイス、電子機器、並びに移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、振動デバイスとして、例えばシリコンＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）技術を用いた機能素子が開発されている。そして、この機能素子の一例としてのジャイロ素子を用いて角速度を検出するジャイロセンサー（静電容量型ＭＥＭＳジャイロセンサー素子）が開示されている。このようなジャイロセンサーの一例としては、振動体の両端部が、基体に設けられた第１固定部から延出されているバネ部によって支持されている構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この例では、振動体は、第１軸に沿う方向に並設され、互いに逆相で駆動振動する第１振動体および第２振動体を備え、それぞれが連結バネ部で連結されている。さらに、連結バネ部には、第１軸と交差する第２軸に沿う方向に延出し、第２固定部に固定されている弾性体を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２１７６６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述のジャイロセンサーでは、第１振動体および第２振動体を連結し、第２固定部に弾性体を介して固定された連結バネ部の硬さと、連結された第１振動体および第２振動体を含む振動体の両端部を第１固定部に支持するバネ部の硬さ（弾性）とが異なる。このように連結バネ部とバネ部との硬さが異なることにより、第１振動体および第２振動体が面外方向に傾いてしまう。第１振動体および第２振動体が面外方向に傾くと、第１振動体および第２振動体の振動が第１固定部に伝播してしまう現象、所謂機械振動モレ現象が大きくなり、検出精度の低下につながってしまう虞があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係る機能素子は、振動体と、前記振動体の一方部と他方部とに接続され、第１軸に沿う方向に変形可能な第１連結部と、前記第１軸と交差する第２軸に沿う方向に延出し、一端が前記第１連結部と接続され、他端が第２固定部に接続されている第２梁部と、を含み、前記振動体は、前記第１軸に沿う方向において並設され、互いに逆相で駆動振動する第１振動部および第２振動部と、前記第１振動部および前記第２振動部に接続され、前記第１軸に沿う方向に変形可能な第２連結部と、前記第２軸に沿う方向に延出し、一端が前記第２連結部に接続され、他端が第１固定部に接続されている第１梁部と、を備えていることを特徴とする。
【０００７】
本適用例によれば、第１軸に沿う方向において並設された第１振動部および第２振動部をつなぐ第２連結部と一端が接続され、他端が第１固定部に接続された第１梁部が第２軸に沿って設けられている。加えて、第１振動部および第２振動部を含む振動体の一方と他方とに接続された第１連結部と一端が接続され、他端が第２固定部に接続された第２梁部が第２軸に沿って設けられている。即ち、第１連結部および第２連結部が、同軸（第２軸）方向に沿って延出された第２梁部と第１梁部とを介してそれぞれ第２固定部と第１固定部に接続されている。
このような第１梁部と第２梁部を設けることにより、第１振動部と第２振動部とを支える強さ、換言すれば、第１梁部と第２梁部の硬さ（バネ定数、弾性）を、バランスよく設定することが可能となる。このように、硬さをバランスよく、同程度にした第１梁部と第２梁部を設けることにより、第１振動部および第２振動部を含む振動体の支持姿勢が安定し、第１振動部および第２振動部が面外方向に傾いてしまうことを防止することができる。従って、この第１振動部および第２振動部を含む振動体の傾きによる機械振動モレ現象を低減することが可能となり、この機械振動モレ現象によって生じる検出精度の低下を防止することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に記載の機能素子において、前記第２軸に沿う方向の前記第１梁部の長さは、前記第２軸に沿う方向の前記第２梁部の長さと同じであることが好ましい。
【０００９】
本適用例によれば、第１梁部と第２梁部との第２軸に沿う方向の長さを同じにすることで、それぞれの硬さ（弾性）を容易に合わせることが可能となる。換言すれば、容易に第１連結部および第２連結部の支持強度を同様にすることが可能となり、第１振動部および第２振動部の面外方向への傾きを防止することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例に記載の機能素子において、前記第２軸に沿う方向の前記第２梁部の長さは、前記第２軸に沿う方向の前記第１梁部の長さより短いことが好ましい。
【００１１】
本適用例によれば、第２梁部の強さを第１梁部より強くすることができる。第２梁部は、第１振動部および第２振動部を含む振動体全体を支持しており、振動体を傾けようとする力が集中するが、第２梁部の強さを強くすることにより振動体の傾きを防止することが可能となる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に記載の機能素子において、前記振動体は、面内方向に駆動振動する駆動部と、面外方向の振動を検出する検出部と、を備えていることが好ましい。
【００１３】
本適用例によれば、第１振動部および第２振動部を含む振動体の傾きによる機械振動モレ現象を低減することが可能であるので、面外方向の振動を検出する機能素子に用いることが好適である。
【００１４】
［適用例５］上記適用例に記載の機能素子において、前記第２梁部は、前記振動体と接続された前記第１連結部の端部に接続されていることが好ましい。
【００１５】
本適用例によれば、第２梁部が第１連結部の端部に接続され、第１連結部を支持していることから、第１連結部の変形性（弾性）を維持しつつ、振動体の傾きを防止することが可能となる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例に記載の機能素子において、構成部位が一つの部材から形成されていることが好ましい。
【００１７】
本適用例によれば、機能素子を構成する振動体、第１連結部、第２梁部、駆動部、および検出部などが一つの部材から形成されることにより、より効率的に機能素子を形成することが可能となる。
【００１８】
［適用例７］本適用例に係る電子デバイスは、基体と、前記基体に接続されている上記適用例のいずれか一例に記載の機能素子と、を備えていることを特徴とする。
【００１９】
本適用例によれば、第１振動部および第２振動部を含む振動体の支持姿勢が安定し、第１振動部および第２振動部が面外方向に傾いてしまうことによる機械振動モレ現象を低減すること、即ち機械振動モレ現象によって生じる検出精度の低下を防止することが可能な電子デバイスを提供することが可能となる。
【００２０】
［適用例８］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の機能素子を備えていることを特徴とする。
【００２１】
本適用例によれば、機械振動モレ現象によって生じる検出精度の低下を防止することが可能な機能素子を用いているため、安定した検出精度に基いた制御が可能な電子機器を提供することができる。
【００２２】
［適用例９］本適用例に係る移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の機能素子を備えていることを特徴とする。
【００２３】
本適用例によれば、機械振動モレ現象によって生じる検出精度の低下を防止することが可能な機能素子を用いているため、安定した検出精度に基いた制御が可能な移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す平面図。
【図２】第１実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。
【図３】第１実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。
【図４】第２実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す平面図。
【図５】本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明する平面図。
【図６】本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明する平面図。
【図７】本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明する平面図。
【図８】本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明する平面図。
【図９】変形例に係るジャイロセンサーを模式的に示す平面図。
【図１０】本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。
【図１１】本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。
【図１２】電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図。
【図１３】電子機器の一例としての携帯電話機の構成を模式的に示す斜視図。
【図１４】電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を模式的に示す斜視図。
【図１５】移動体の一例としての自動車の構成を模式的に示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２６】
１．ジャイロセンサー
１−１．第１実施形態に係るジャイロセンサーの構成
まず、本発明に係る機能素子としてのジャイロ素子を用いた電子デバイスとしてのジャイロセンサーの第１実施形態について図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す平面図である。図２は、第１実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す図１のＡ−Ａ線断面図である。図３は、第１実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す図１のＢ−Ｂ線断面図である。なお、図１〜図３では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸（第１軸）、Ｙ軸（第２軸）、Ｚ軸（第３軸）を図示している。
【００２７】
ジャイロセンサー１００は、図１および図２に示すように、基体１０と、機能素子としてのジャイロ素子５とを含んでいる。機能素子としてのジャイロ素子５は、振動体２０と、第１連結部３０と、駆動部４０と、検出部５０と、を含んでいる。ジャイロセンサー１００では、ジャイロ素子５を構成する検出部５０が、Ｚ軸回りの角速度を検出するジャイロセンサー素子（静電容量型ＭＥＭＳジャイロセンサー素子）である。なお、便宜上、図１では、基体１０および蓋体８０を透視して図示している。
【００２８】
基体１０の材質は、例えば、ガラス、シリコンである。基体１０は、図２に示すように、第１面１１と、第１面１１と反対側の第２面１２と、を有している。第１面１１には、凹部１４が設けられている。凹部１４の上方には、間隙を介して、振動体２０（第１振動部２１、第２振動部２２、および連結バネ部である第２連結部２６）、第１連結部３０が設けられている。凹部１４によって、振動体２０は、基体１０に妨害されることなく、所望の方向に可動することができる。凹部１４の平面形状（Ｚ軸方向から見たときの形状）は、特に限定されないが、図１に示す例では、長方形である。凹部１４は、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって形成される。
【００２９】
基体１０は、図２に示すように振動体２０の形態に応じて、第１面１１に適宜設けられる第１基体固定部１７および第２基体固定部１８を有する。第１基体固定部１７は、第１連結部３０、および第１連結部３０からＹ軸（第２軸）に沿って延出された第２梁部２５を介して第２固定部１５と接続され、振動体２０を支持している。第２基体固定部１８は、振動体２０の第２連結部２６からＹ軸（第２軸）に沿って延出する第１梁部２８の一端に設けられた第１固定部１６が固定（接合）され、該第１梁部２８を介して第２連結部２６を支持する部分である。図３に示すように、第２基体固定部１８は、少なくとも第１梁部２８を支持するように配置される。このように配置された第２基体固定部１８は、第１振動部２１と第２振動部２２とを連結する第２連結部２６、および第１梁部２８を介して第１固定部１６と接続され、振動体２０を支持している。
【００３０】
第１基体固定部１７や第２基体固定部１８の第１面１１（基体１０）と、後述される第１連結部３０（第２固定部１５）、第２連結部２６（第１固定部１６）、駆動用固定電極部４２、検出用固定電極部５４等と、の固定（接合）方法は、特に限定されない。この固定（接合）方法には、例えば、基体１０の材質がガラスであり、振動体２０等の材質がシリコンである場合は、陽極接合を適用することができる。
【００３１】
振動体２０は、図２に示すように、基体１０および蓋体８０によって囲まれるキャビティー８２に収容されている。振動体２０は、基体１０の上方に間隙（凹部１４）を介して設けられている。振動体２０は、基体１０の第１面１１に（基体１０上に）第１連結部３０（第２梁部２５を介した第２固定部１５）、第２連結部２６（第１梁部２８を介した第１固定部１６）を介して支持される。振動体２０は、図１に示すように、第１振動部２１および第２振動部２２と、連結バネ部としての第２連結部２６と、第１梁部２８と、第１固定部１６を有している。
【００３２】
振動体２０の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。振動体２０は、例えば、シリコン基板（図示せず）を、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって加工することにより形成される。
【００３３】
第１振動部２１および第２振動部２２は、振動体２０の一方部および他方部からそれぞれ延設された第１連結部３０を有している。第１振動部２１および第２振動部２２は、第１連結部３０と接続された第２梁部２５を介した第２固定部１５、および第２連結部２６と接続された第１梁部２８を介した第１固定部１６によって、支持されており、基体１０と離間して配置されている。より具体的には、基体１０の上方に間隙（凹部１４）を介して、第１振動部２１および第２振動部２２が設けられている。第１振動部２１および第２振動部２２は、例えば、フレーム状の形状（升形状）を有している。第１振動部２１および第２振動部２２は、図１に示すように、両者の境界線Ｂ−Ｂ線（Ｙ軸に沿った直線）に対して、対称となる形状であってもよい。第１振動部２１および第２振動部２２は、Ｘ軸に沿う方向において並設され、第２連結部２６によって連結されている。
【００３４】
第２連結部２６は、第１振動部２１および第２振動部２２をＸ軸方向において変位（変形）し得るように構成されている。より具体的には、第２連結部２６は、第１振動部２１および第２振動部２２の間においてＸ軸に沿う方向に幅細形状で延出し、Ｙ軸方向に往復しながらＸ軸方向に延出する形状を有している。これにより、第１振動部２１および第２振動部２２は、Ｘ軸方向において互いに逆相で振動することができる。
【００３５】
第１梁部２８は、第２連結部２６から、Ｙ軸に沿う方向（振動体２０が振動する方向と直交する方向）に細幅形状で延出し、第１固定部１６に接続されている。具体的には、図３に示すように、第１梁部２８の一端は、延出位置２７において、第２連結部２６に接続されている。また、第１梁部２８は、その他端側の先端部２９が第１固定部１６に接続されている。そして、第１梁部２８は、第１固定部１６において基体１０の第２基体固定部１８の第１面１１に接合（固定）されている。第１梁部２８の構成は、Ｘ軸に沿う方向（振動体２０が振動する方向）に所定のバネ定数でもって弾性変形することができる限り限定されない。第１梁部２８は、振動体２０の振動方向に弾性変形することができるため、第１振動部２１と第２振動部２２との相互間の振動エネルギー交換を阻害せずに、第２連結部２６を支持することができる。
【００３６】
ここで、第１梁部２８の、Ｘ軸に沿う方向におけるバネ定数は、第２連結部２６の、Ｘ軸に沿う方向におけるバネ定数よりも小さくなるように設定することができる。また、第１梁部２８が延出している延出位置２７の配置は、延出位置２７から第１振動部２１までの第２連結部２６ａのバネ定数（Ｋ１）と、延出位置２７から第２振動部２２までの第２連結部２６ｂのバネ定数（Ｋ２）と、が等しくなるように決定することができる。
【００３７】
第１梁部２８は、例えば、図１および図３に示すように、幅Ｗ１（Ｘ軸方向の幅）、厚みＴ（Ｚ軸方向の厚み）、長さＬ１（Ｙ軸方向の長さ）を有する板状部材（直方体）であってもよい。なお、第１梁部２８の長さＬ１は、第１固定部１６に接合され、実質的に弾性変形することができない先端部２９を除いた長さである。ここで、第１梁部２８は、高アスペクト比（Ｗ１＜Ｔ）の形状である。第１梁部２８の形状（幅Ｗ１、厚みＴ、長さＬ１）は、第１梁部２８の所望のバネ定数を得るために適宜調整される。
【００３８】
第１梁部２８をこのような形状とすることで、製造工程上、高度なアライメント精度が要求されず、簡便に第１梁部２８のバネ定数を調整することができる。また、第１梁部２８が対称性の高い形状であるために、振動体２０のＸ軸方向における対称性を容易に維持することができる。また、第１梁部２８は、振動体２０の振動方向に弾性変形することができるため、第１振動部２１と第２振動部２２との相互間の振動エネルギー交換を阻害せずに、第２連結部２６を支持することができる。
【００３９】
第１連結部３０（第２梁部２５を介した第２固定部１５）は、振動体２０のＸ軸方向の両端部にそれぞれ２つずつ設けられている。具体的には、第１連結部３０（第２梁部２５を介した第２固定部１５）は、Ｘ軸方向において中央の第２連結部２６と対向するように、第１振動部２１に２つ設けられている。また、第１連結部３０（第２梁部２５を介した第２固定部１５）は、Ｘ軸方向において中央の第２連結部２６と対向するように、第２振動部２２に２つ設けられている。これにより、振動体２０は、第１連結部３０（第２梁部２５を介した第２固定部１５）を介して４つの第１基体固定部１７に支持されている。
【００４０】
第２連結部２６（第１梁部２８を介した第１固定部１６）は、振動体２０の内側（第１振動部２１と第２振動部２２に挟まれた領域）に、２つ設けられている。第１梁部２８および第１固定部１６は、第２連結部２６から内側に延出するように配置されている。なお、それぞれの第２連結部２６（第１梁部２８を介した第１固定部１６）は、第２連結部２６から外側に延出するように配置されてもよい。
【００４１】
また、第１梁部２８および第１固定部１６と、第２梁部２５および第２固定部１５とは、Ｙ軸方向に沿って同じ方向に延出するように配置されている。このように第１梁部２８および第１固定部１６と、第２梁部２５および第２固定部１５とが配置されることにより、振動体２０の支持バランスが向上し、振動体２０（第１振動部２１および第２振動部２２）の支持が安定する。これにより、振動体２０（第１振動部２１および第２振動部２２）の傾きを減少させることが可能となる。
【００４２】
第１連結部３０は、Ｘ軸方向に振動体２０を変位し得るように構成されている。より具体的には、第２固定部１５と第２梁部２５を介して接続された第１連結部３０は、第２梁部２５との接続部から振動体２０（第１振動部２１または第２振動部２２）までＸ軸に沿う方向に細幅形状に延出し、Ｙ軸方向に往復しながらＸ軸方向に延出する形状を有している。具体的には、第１連結部３０の一端は、第２梁部２５に接続されている。また、第１連結部３０の他端は、振動体２０（第１振動部２１または第２振動部２２）に接続されている。図示の例では、第１連結部３０は、振動体２０をＸ軸方向において挟むように、４つ設けられている。
【００４３】
第２梁部２５は、第１振動部２１に接続された第２連結部２６の一端と反対側の他方端を含む端部からＹ軸に沿う方向（振動体２０が振動する方向と直交する方向）に細幅形状に延出し、第２固定部１５に接続されている。そして、第２梁部２５は、第２固定部１５において基体１０の第１基体固定部１７の第１面１１に接合（固定）されている。第２梁部２５の構成は、Ｘ軸に沿う方向（振動体２０が振動する方向）に所定のバネ定数でもって弾性変形することができる限り限定されない。
【００４４】
第２梁部２５は、例えば、図１に示すように、幅Ｗ２（Ｘ軸方向）、厚みＴ（Ｚ軸方向の寸法であり、図１では図示しないが図３の厚みＴと同じである）、長さＬ２（Ｙ軸方向）を有する板状部材（直方体）であってもよい。なお、第２梁部２５の長さＬ２は、第１連結部３０との接続部から第２固定部１５との接続部までの間の長さである。ここで、第２梁部２５は、高アスペクト比（Ｗ２＜Ｔ）の形状である。第２梁部２５の形状（幅Ｗ２、厚みＴ、長さＬ２）は、第２梁部２５の所望のバネ定数を得るために適宜調整される。
【００４５】
第１梁部２８をこのような形状とすることで、製造工程上、高度なアライメント精度が要求されず、簡便に第１梁部２８のバネ定数を調整することができる。また、第１梁部２８が対称性の高い形状であるために、振動体２０のＸ軸方向における対称性を容易に維持することができる。
【００４６】
また、第２梁部２５の長さＬ２は、第１梁部２８の長さＬ１と同じであることが好ましい。このように、第１梁部２８と第２梁部２５とのＹ軸（第２軸）方向の長さを同じにすることで、第１梁部２８と第２梁部２５の、それぞれの硬さ（バネ定数）を容易に合わせることが可能となる。換言すれば、第１梁部２８と第２梁部２５の弾性を同様にすることにより、容易に第１連結部３０および第２連結部２６の支持強度を同様にすることが可能となり、第１振動部２１および第２振動部２２の面外方向への傾きを防止することができる。
【００４７】
第１連結部３０、第２梁部２５、および第２固定部１５の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。第１連結部３０、第２梁部２５、および第２固定部１５は、例えば、シリコン基板（図示せず）を、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって振動体２０と共に一体的に加工することにより形成される。
【００４８】
駆動部４０は、振動体２０の第１振動部２１または第２振動部２２を励振することができる機構を有する。なお、駆動部４０の構成および数は、第１振動部２１または第２振動部２２を励振することができる限り、特に限定されない。
【００４９】
例えば、駆動部４０は、振動体２０に直接設けられていてもよい。駆動部４０は、図１に示すように、振動体２０の外側に接続された駆動用可動電極部４１と、該駆動用可動電極部４１と所定の距離を介して対向配置された駆動用固定電極部４２から構成されている。また、図示はされないが、駆動部４０は、振動体２０に直接接続せずに静電気力等によって振動体２０を励振する機構を有し、振動体２０の外側に配置されていてもよい。
【００５０】
駆動用可動電極部４１は、第１振動部２１および第２振動部２２に接続されて複数設けられていてもよい。図示の例では、駆動用可動電極部４１は、第１振動部２１、および第２振動部２２から＋Ｙ軸方向（または−Ｙ軸方向）に延出している幹部と、該幹部から＋Ｘ軸方向および−Ｘ軸方向に延出している複数の枝部と、を有する櫛歯状電極に設けられている。
【００５１】
駆動用固定電極部４２は、駆動用可動電極部４１の外側に配置されている。駆動用固定電極部４２は、基体１０の第１面１１に接合（固定）されている。図示の例では、駆動用固定電極部４２は複数設けられ、駆動用可動電極部４１を介して対向配置されている。駆動用可動電極部４１が櫛歯状の形状を有する場合、駆動用固定電極部４２の形状は、駆動用可動電極部４１に対応した櫛歯状電極であってもよい。
【００５２】
駆動用可動電極部４１および駆動用固定電極部４２は、図示しない電源に電気的に接続されている。駆動用可動電極部４１および駆動用固定電極部４２に電圧が印加されると、駆動用可動電極部４１と駆動用固定電極部４２との間に静電力を発生させることができる。これにより、第１連結部３０をＸ軸に沿って伸縮させることができ、振動体２０をＸ軸に沿って振動させることができる。
【００５３】
駆動部４０の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。駆動部４０は、例えば、シリコン基板（図示せず）を、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって振動体２０と共に一体的に加工することにより形成される。
【００５４】
検出部５０は、振動体２０に連結されている。図示の例では、検出部５０は、第１振動部２１および第２振動部２２の内側に、それぞれが設けられている。検出部５０は、検出用支持部５１と、検出用バネ部５２と、検出用可動電極部５３と、検出用固定電極部５４と、を有している。なお、図示はしないが、検出部５０は、振動体２０に連結されていれば、第１振動部２１および第２振動部２２の外側に配置されていてもよい。検出用支持部５１の形状は環状の形状であれば特に限定されない。検出用支持部５１は、例えば、フレーム状の形状を有している。
【００５５】
検出用バネ部５２は、検出用支持部５１の外側に配置されている。検出用バネ部５２は、検出用支持部５１と振動体２０（第１振動部２１または第２振動部２２）とを接続している。より具体的には、検出用バネ部５２の一端は、検出用支持部５１に接続されている。検出用バネ部５２の他端は、振動体２０（第１振動部２１または第２振動部２２）に接続されている。検出用バネ部５２は、Ｙ軸方向に検出用支持部５１を変位し得るように構成されている。より具体的には、検出用バネ部５２は、Ｘ軸方向に往復しながらＹ軸方向に延出する形状を有している。
【００５６】
検出用可動電極部５３は、検出用支持部５１の内側に、検出用支持部５１に接続されて配置されている。図示の例では、検出用可動電極部５３は、Ｘ軸に沿って延出している。
【００５７】
検出用固定電極部５４は、検出用支持部５１の内側に配置されている。検出用固定電極部５４は、基体１０の第１面１１に接合（固定）されている。図示の例では、検出用固定電極部５４は複数設けられ、検出用可動電極部５３を介して対向配置されている。
【００５８】
検出部５０の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。検出部５０は、例えば、シリコン基板（図示せず）を、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって振動体２０と共に一体的に加工することにより形成される。
【００５９】
蓋体８０は、基体１０上に設けられている。基体１０および蓋体８０は、図２に示すように、パッケージを構成することができる。基体１０および蓋体８０は、キャビティー８２を形成することができ、キャビティー８２に振動体２０を収容することができる。例えば、図２に示す基体１０と蓋体８０との間は、接着部材等によって埋められていてもよく、この場合、キャビティー８２は、例えば、不活性ガス（例えば窒素ガス）雰囲気、または真空雰囲気で密閉されていてもよい。
【００６０】
蓋体８０の材質は、例えば、シリコン、ガラスである。蓋体８０と基体１０との接合方法は、特に限定されないが、例えば、基体１０の材質がガラスであり、蓋体８０の材質がシリコンである場合は、基体１０と蓋体８０とは、陽極接合されることができる。
【００６１】
第１実施形態に係るジャイロセンサー１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００６２】
ジャイロ素子５を含むジャイロセンサー１００によれば、第２連結部２６から、Ｙ軸に沿う方向に延出し、第１固定部１６に接続されている第１梁部２８を有する。このように、ジャイロセンサー１００が第１梁部２８を有していることで、第２連結部２６は、第２基体固定部１８に固定（アンカー）された第１固定部１６から延出された第１梁部２８によって支持される。これにより、第２連結部２６が基体１０に付着する現象、所謂スティッキングを防止することができる。
【００６３】
また、ジャイロ素子５を含むジャイロセンサー１００は、第１梁部２８に加えて、第１振動部２１および第２振動部２２を含む振動体２０両端に接続された第１連結部３０と一端が接続され、他端が第２固定部１５に接続された第２梁部２５がＹ軸（第２軸）に沿って設けられている。即ち、第１連結部３０および第２連結部２６が、それぞれＹ軸（第２軸）方向に沿って延出された第２梁部２５および第１梁部２８を介して第２固定部１５および第１固定部１６に接続されている。
このような第１梁部２８と第２梁部２５とを設けることにより、第１振動部２１と第２振動部２２とを支える強さ（弾性）、換言すれば、第１梁部２８と第２梁部２５の硬さ（バネ定数）をバランスよく設定することが可能となる。これにより、第１振動部２１および第２振動部２２を含む振動体２０の支持姿勢が安定し、第１振動部２１および第２振動部２２が面外方向に傾いてしまうことを防止することができる。従って、この第１振動部２１および第２振動部２２を含む振動体２０の傾きによる機械振動モレ現象を低減することが可能となり、この機械振動モレ現象によって生じる検出精度の低下を防止することができる。
【００６４】
また、第２梁部２５の長さＬ２と、第１梁部２８の長さＬ１とを同じにすることにより、第１梁部２８と第２梁部２５の、それぞれの硬さ（バネ定数）を容易に合わせることが可能となる。換言すれば、第１梁部２８と第２梁部２５の弾性を同じにすることにより、容易に第１連結部３０および第２連結部２６の支持強度を同様にすることが可能となり、第１振動部２１および第２振動部２２の面外方向への傾きを防止することができる。
【００６５】
また、ジャイロセンサー１００によれば、第１梁部２８の、Ｘ軸に沿う方向におけるバネ定数は、第２連結部２６の、Ｘ軸に沿う方向におけるバネ定数よりも小さくなるように設定することができる。これによれば、第１振動部２１と第２振動部２２との相互間の振動エネルギー交換をより阻害しないジャイロセンサー１００を提供することができる。
【００６６】
１−２．第２実施形態に係るジャイロセンサーの形態
次に、第２実施形態に係るジャイロセンサーについて、図面を参照しながら説明する。図４は、第２実施形態に係るジャイロセンサー１０２を模式的に示す平面図である。なお、図４では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。また、図４では、便宜上、基体１０および蓋体８０の図示を省略している。以下、ジャイロセンサー１０２において、上述したジャイロセンサー１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００６７】
ジャイロセンサー１０２は、前述した第１実施形態のジャイロセンサー１００の形態において、２つの第１梁部２８が、共通の第１固定部１６に接続されている。図示されるように、２つの第１梁部２８は、Ｙ軸方向に対向して設けられた２つの第２連結部２６から、中央部に設けられた第１固定部１６に向かう細幅形状で延在され、その端部で第１固定部１６に接続されている。したがって、第１梁部２８の長さは、第２梁部２５より長くなる。換言すれば、第２梁部２５の長さは、第１梁部２８の長さより短い。
【００６８】
第２実施形態に係るジャイロセンサー１０２は、第１実施形態に係るジャイロセンサー１００と同様の特徴を有する。また、ジャイロセンサー１０２によれば、第１梁部２８の長さがより長くなるように設けることができるため、駆動系の振動モードにおいて、逆相モードから同相モードの駆動周波数を引き離すことができる。
【００６９】
１−３．ジャイロセンサーの動作
次に、ジャイロセンサー１００、１０２の動作について、図面を参照しながら説明する。図５、図６、図７、および図８はジャイロセンサー１００、１０２の動作を模式的に説明するための図である。ここで、図５〜図８ではジャイロセンサー１００の形態に沿ったジャイロセンサーの動作を例示する。なお、図５〜図８では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。また、便宜上、図５〜図８では、ジャイロセンサー１００の各構成を、簡略化して図示している。また、便宜上、図７および図８では、検出部５０の内の、第１振動部２１側を第１検出部５０ａとし、第２振動部２２側を第２検出部５０ｂとしている。
【００７０】
前述のように、ジャイロセンサー１００、１０２の振動モードでは、第１振動部２１と第２振動部２２は、駆動部４０により励振され、互いに逆相（逆位相）で駆動振動する。より具体的には、第１振動部２１に設けられた駆動用可動電極部４１と駆動用固定電極部４２との間に第１交番電圧を印加し、第２振動部２２の駆動用可動電極部４１と駆動用固定電極部４２との間に第１交番電圧と位相が１８０度ずれた第２交番電圧を印加する。これにより、第１振動部２１および第２振動部２２を、互いに逆相（逆位相）でかつ所定の周波数で、Ｘ軸に沿って振動させることができる。すなわち、Ｘ軸に沿って互いに連結された第１振動部２１および第２振動部２２は、Ｘ軸に沿って、互いに逆相で振動する。すなわち、第１振動部２１および第２振動部２２は、Ｘ軸に沿って、互いに反対方向に変位する。
【００７１】
図５に示す例では、第１振動部２１は、α１方向（−Ｘ軸方向）に変位し、第２振動部２２は、α１方向と反対方向のα２方向（＋Ｘ軸方向）に変位している。図６に示す例では、第１振動部２１は、α２方向に変位し、第２振動部２２は、α１方向に変位している。
【００７２】
なお、検出部５０の振動体２０（第１振動部２１、第２振動部２２）に連結されている部分は、振動体２０（第１振動部２１、第２振動部２２）の振動に伴い、Ｘ軸に沿って変位する。
【００７３】
図７および図８に示すように、第１振動部２１、第２振動部２２がＸ軸に沿って振動を行っている状態で、ジャイロセンサー１００、１０２にＺ軸回りの角速度ωが加わると、コリオリの力が働き、検出部５０は、Ｙ軸に沿って変位する。すなわち、第１振動部２１に連結された第１検出部５０ａ、および第２振動部２２に連結された第２検出部５０ｂは、Ｙ軸に沿って、互いに反対方向に変位する。図７に示す例では、第１検出部５０ａは、β１方向に変位し、第２検出部５０ｂは、β１方向と反対方向のβ２方向に変位している。図８に示す例では、第１検出部５０ａは、β２方向に変位し、第２検出部５０ｂは、β１方向に変位している。
【００７４】
第１検出部５０ａおよび第２検出部５０ｂがＹ軸に沿って変位することにより、検出用可動電極部５３と検出用固定電極部５４との間の距離Ｌは、変化する。そのため、検出用可動電極部５３と検出用固定電極部５４との間の静電容量は、変化する。ジャイロセンサー１００、１０２では、検出用可動電極部５３および検出用固定電極部５４に電圧を印加することにより、検出用可動電極部５３と検出用固定電極部５４との間の静電容量の変化量を検出し、Ｚ軸回りの角速度ωを求めることができる。
【００７５】
なお、Ｙ軸回りの角速度ωを検出するために、例えば検出部５０ａおよび検出部５０ｂにＺ軸方向に振動可能な質量部やフラップ板などを適用した構成を用いてもよい。この場合の、質量部とは、Ｚ軸方向に沿って振動可能な両持ちの板状の部材を言い、フラップ板とは、Ｚ軸方向に沿った振動を主振動とする片持ち支持の板状の部材を言う。以下に、Ｙ軸回りの角速度ωを検出するため検出部の構成の一例として、フラップ板を用いた例を変形例として説明する。
【００７６】
１−４．変形例に係るジャイロセンサーの形態
図９を用いて、本発明に係る機能素子としてのジャイロ素子を用いた電子デバイスとしてのジャイロセンサーの変形例について説明する。図９は、変形例に係るジャイロセンサーを模式的に示す平面図である。図９に示す変形例に係るジャイロセンサー１０４は、Ｙ軸回りの角速度ωを検出するための検出部として、Ｚ軸方向に沿って振動可能なフラップ板を適用した構成である。なお、本説明においては、前述の第１実施形態と同じ構成については、同じ符号を付して説明を省略する。
【００７７】
図９に示すように変形例のジャイロセンサー１０４は、検出部１５０を有している。検出部１５０は、第１振動部２１ａに、第１回転軸１５２によって接続された第１フラップ板１５１と、第２回転軸１５４によって接続された第２フラップ板１５３と、第１フラップ板１５１および第２フラップ板１５３と対向するように設けられている検出電極１５５と、を含んでいる。なお、同様に、第２振動部２２ａにも検出部１５０が設けられている。第１フラップ板１５１および第２フラップ板１５３は、第１回転軸１５２と第２回転軸１５４とが互いに近接する側であって、第１フラップ板１５１および第２フラップ板１５３の揺動側（自由端側）が、Ｙ軸方向の外側を向くように第１振動部２１ａおよび第２振動部２２ａに接続されている。このとき第１フラップ板１５１の第１回転軸１５２および第２フラップ板１５３の第２回転軸１５４の各々は、第１フラップ板１５１および第２フラップ板１５３の各々の重心からずれて設けられている。また、第１フラップ板１５１の第１回転軸１５２と第２フラップ板１５３の第２回転軸１５４とは、重心からのずれの方向が互いに反対となるように配置されている。その他の構成は第１実施形態のジャイロセンサー１００の構成と同一であるため詳細な説明を省略する。
【００７８】
このような構成の変形例に係るジャイロセンサー１０４によれば、第１振動部２１ａおよび第２振動部２２ａがＸ軸に沿って振動（面内方向の振動）を行っている状態で、ジャイロセンサー１０４にＹ軸回りの角速度ωが加わると、コリオリの力が働き、第１フラップ板１５１および第２フラップ板１５３にＺ軸方向の力が働く。このＺ軸方向の力により、第１フラップ板１５１および第２フラップ板１５３のそれぞれは、第１回転軸１５２および第２回転軸１５４を軸としてＺ軸方向に回転（面外方向の振動）する。そのため、第１フラップ板１５１および第２フラップ板１５３と検出電極１５５との間との距離が変化し、第１フラップ板１５１および第２フラップ板１５３と検出電極１５５との間の静電容量が変化する。ジャイロセンサー１０４では、例えば第１フラップ板１５１および第２フラップ板１５３に電圧を印加することにより、第１フラップ板１５１および第２フラップ板１５３と検出電極１５５との間の静電容量の変化量を検出し、Ｙ軸回りの角速度ωを求めることができる。
【００７９】
なお、変形例に係る構成は、第１振動部２１ａおよび第２振動部２２ａを含む振動体の傾きによる機械的な振動モレ現象を低減することが可能であるので、面外方向の振動を検出する機能素子（ジャイロ素子５）に用いることが好適である。
【００８０】
１−５．ジャイロセンサーの製造方法
次に、本実施形態に係るジャイロセンサーの製造方法について、図面を参照しながら説明する。図１０および図１１は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００の製造工程を模式的に示す断面図であって、図２に対応している。
【００８１】
図１０に示すように、基板である基体１０の第１面１１に、凹部１４を形成する。このとき、凹部１４の周囲に溝部（図示せず）を形成することができる。凹部１４、溝部は、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術により形成される。これにより、第１面１１に凹部１４が設けられている基体１０を用意することができる。
【００８２】
次に、図示はされないが、凹部１４内を含む基体１０上に駆動部４０や検出部５０を構成するための配線を形成する。配線は、例えば、スパッタ法やＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などによって成膜された後、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によってパターニングされることによって形成される。
【００８３】
図１１に示すように、基体１０上に振動体２０、第１連結部３０、駆動部４０、検出部５０等含む機能素子としてのジャイロ素子５を形成する。より具体的には、シリコン基板（図示せず）を基体１０の第１面１１に載置（接合）し、該シリコン基板を薄膜化させた後にパターニングすることにより形成される。パターニングは、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって行われる。シリコン基板と基体１０の接合は、例えば、陽極接合によって行われる。このように、振動体２０、第１連結部３０、駆動部４０、検出部５０等含む機能素子としてのジャイロ素子５が、一つの板部材であるシリコン基板から形成されれば、より効率的に機能素子としてのジャイロ素子５を形成することができる。
【００８４】
本工程において、第１面１１上に駆動用固定電極部４２、検出用固定電極部５４等を形成し、駆動部４０、検出部５０を形成することができる。
【００８５】
図２に示すように、基体１０および蓋体８０を接合して、基体１０および蓋体８０によって囲まれるキャビティー８２に振動体２０を収容する。基体１０と蓋体８０との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。
【００８６】
以上の工程により、ジャイロセンサー１００を製造することができる。なお、同様な工程により、第２実施形態に係るジャイロセンサー１０２および変形例に係るジャイロセンサー１０４についても製造することができる。
【００８７】
２．電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る電子機器は、本発明に係るジャイロセンサー１００，１０２，１０４のいずれかを含む。以下では、本発明に係るジャイロセンサーの一例としてのジャイロセンサー１００を含む電子機器について、説明する。
【００８８】
図１２は、本実施形態に係る電子機器として、モバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００を模式的に示す斜視図である。図１２に示すように、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を有する表示ユニット１１０６と、により構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。
【００８９】
図１３は、本実施形態に係る電子機器として、携帯電話機（ＰＨＳも含む）１２００を模式的に示す斜視図である。図１３に示すように、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。
【００９０】
図１４は、本実施形態に係る電子機器として、デジタルスチールカメラ１３００を模式的に示す斜視図である。なお、図１４には、外部機器との接続についても簡易的に示している。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００９１】
撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子１３１２には、テレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４には、パーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。
【００９２】
以上のような電子機器としてのパーソナルコンピューター１１００、携帯電話機１２００、およびデジタルスチールカメラ１３００は、２つの振動体が逆相で振動する駆動系において、相互間の振動エネルギー交換を阻害することなくスティッキングを防止し、かつ、２つの振動体の傾きによる振動モレ現象による特性劣化を抑制することができるジャイロセンサー１００を有することができる。
【００９３】
なお、上記ジャイロセンサー１００を備えた電子機器は、図１２に示すパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１３に示す携帯電話機、図１４に示すデジタルスチールカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ヘッドマウントディスプレイ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、ロケット、船舶の計器類）、ロボットや人体などの姿勢制御、フライトシミュレーターなどを挙げることができる。
【００９４】
３．移動体
図１５は、本実施形態に係る移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車５０６には本発明に係るジャイロ素子５を用いたジャイロセンサー１００が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車５０６には、ジャイロ素子５を用いたジャイロセンサー１００を内蔵してタイヤ５０９などを制御する電子制御ユニット５０８が車体５０７に搭載されている。また、ジャイロセンサー１００は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
【００９５】
上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。
【００９６】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【００９７】
５…機能素子としてのジャイロ素子、１０…基体、１１…第１面、１２…第２面、１４…凹部、１５…第２固定部、１６…第１固定部、１７…第１基体固定部、１８…第２基体固定部、２０…振動体、２１…第１振動部、２２…第２振動部、２５…第２梁部、２６…第２連結部、２７…延出位置、２８…第１梁部、２９…先端部、３０…第１連結部、４０…駆動部、４１…駆動用可動電極部、４２…駆動用固定電極部、５０…検出部、５１…検出用支持部、５２…検出用バネ部、５３…検出用可動電極部、５４…検出用固定電極部、８０…蓋体、８２…キャビティー、１００，１０２，１０４…ジャイロセンサー、５０６…移動体としての自動車、１１００…電子機器としてのパーソナルコンピューター、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのデジタルスチールカメラ。
【図１】
2015132495.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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