(57)【要約】【課題】本発明は、所定の間隔で交互に配置された各ガラス基板と各スぺーサとが簡単な操作で積層できることを目的とする。【解決手段】内部に軸線方向に延在形成された空間部と外周側に空間部に連通され軸線方向に延在するスリットとを有するガラス基板及びスぺーサの中央孔に挿入される治具本体と、治具本体のスリットに挿入され、軸線方向の所定間隔毎に複数の掛止爪が設けられた位置合わせ部材と、治具本体の挿入部を複数のガラス基板及び複数のスぺーサの中央孔に挿入する際、複数の掛止爪が中央孔に挿入できるように位置合わせ部材を治具本体の内部側に変位させる縮小機構と、治具本体が前記各ガラス基板及び各スぺーサの中央孔に挿通された後、各ガラス基板の中央孔を保持する位置合わせ部材を治具本体の内部側から外周側の方向に変位させる拡大機構と、を備えた積層用治具が提供される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の中央孔を有するガラス基板及び前記各ガラス基板間に介在される中央孔を有するスぺーサを積層するガラス基板の積層用治具であって、
内部に軸線方向に延在形成された空間部と、外周側に前記空間部に連通され軸線方向に延在するスリットとを有する前記ガラス基板及び前記スぺーサの中央孔に挿入される治具本体と、
前記治具本体のスリットに挿入され、軸線方向の所定間隔毎に複数の掛止爪が設けられた位置合わせ部材と、
前記治具本体の挿入部を前記複数のガラス基板及び前記複数のスぺーサの中央孔に挿入する際、前記複数の掛止爪が前記中央孔に挿入できるように前記位置合わせ部材を治具本体の内部側に変位させる縮小機構と、
前記治具本体が前記各ガラス基板及び前記各スぺーサの中央孔に挿通された後、前記各ガラス基板の中央孔を保持する前記位置合わせ部材を治具本体の内部側から外周側の方向に変位させる拡大機構と、
とを備えたことを特徴とするガラス基板の積層用治具。
【請求項２】
前記位置合わせ部材は、前記治具本体の外周の周方向の３個所以上設けられる請求項１に記載のガラス基板の積層用治具。
【請求項３】
前記拡大機構は、前記各位置合わせ部材を前記複数の掛止爪が前記治具本体の内部側から外周側の方向に突出するように駆動する駆動部を有する請求項１に記載のガラス基板の積層用治具。
【請求項４】
前記駆動部は、前記空間部に設けられ、圧縮気体の供給により治具本体の内部側から外周側の方向に膨出する気体袋であり、前記治具本体が前記各ガラス基板及び前記各スぺーサの中央孔に挿通された後に気体圧により前記複数の掛止爪を前記治具本体の外周側に突出させる請求項３に記載のガラス基板の積層用治具。
【請求項５】
前記複数の掛止爪は、
前記治具本体の外周側に突出することにより前記ガラス基板の中央孔を保持するガラス基板保持部と、
前記治具本体の外周側に突出することにより前記ガラス基板の中央孔に対する前記スぺーサの中央孔の相対位置を合せるスぺーサ位置決め部と、
を有する請求項１〜４の何れかに記載のガラス基板の積層用治具。
【請求項６】
前記ガラス基板保持部は、前記治具本体の外周に対して形成した段差部であり、前記段差部は前記治具本体の軸線からの半径方向の位置が規定される請求項５に記載のガラス基板の積層用治具。
【請求項７】
前記スぺーサ位置決め部は、前記ガラス基板保持部より前記治具本体の外周側に向けて傾斜する傾斜部の最外径端である請求項５に記載のガラス基板の積層用治具。
【請求項８】
前記ガラス基板保持部は、前記複数の掛止爪が前記治具本体の外周側に突出して前記各ガラス基板の中央孔を保持する位置に変位した際の外径が、前記ガラス基板の中央孔より２００μｍ〜１０００μｍ小さい請求項５又は６に記載のガラス基板の積層用治具。
【請求項９】
前記スぺーサ位置決め部は、前記複数の掛止爪が前記治具本体の外周側に突出して前記各ガラス基板の中央孔を保持する位置に変位した際の外径が、前記スぺーサの中央孔より５００μｍ〜２５００μｍ小さい請求項５又は７に記載のガラス基板の積層用治具。
【請求項１０】
前記治具本体は、前記複数のガラス基板及び前記複数のスぺーサが交互に収納された収納容器に対する軸線方向の挿入位置を規定するためのストッパー部を設けてなる請求項１〜９の何れかに記載のガラス基板の積層用治具。
【請求項１１】
請求項１〜１０の何れか記載の積層用治具を用いたガラス基板の積層方法であって、
前記積層用治具を交互に配置された複数のガラス基板及び複数のスぺーサの中央孔に挿入する工程と、
前記積層用治具に設けられた位置合わせ部材を前記治具本体の外周側に変位させて前記複数のガラス基板の中央孔を保持する工程と、
前記複数のガラス基板及び前記複数のスぺーサに液体を吹き付ける工程と、
前記各ガラス基板の主平面に各スぺーサを密着させる工程と、
を有する積層用治具を用いたガラス基板の積層方法。
【請求項１２】
請求項１〜１０の何れか記載の積層用治具を用いて複数の中央孔を有するガラス基板及び前記各ガラス基板間に介在される中央孔を有するスぺーサを積層してガラス基板積層体を形成する工程と、
前記ガラス基板積層体の内周端面を研磨する工程と、
前記ガラス基板積層体の外周端面を研磨する工程と
を有する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の積層用治具及び積層用治具を用いたガラス基板の積層方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
円盤形状のガラス基板を製造する工程においては、複数のガラス基板と複数のスぺーサとを交互に積層して積層体を形成し、複数のガラス基板の内周端面又は外周端面をまとめて研磨する研磨方法が行われている。ガラス基板の外周端面を研磨する工程では、各ガラス基板の中心部分を貫通する中央孔に円柱形状のシャフトを挿通して複数のガラス基板の各中心を一致させている。また、ガラス基板の内周端面を研磨する工程では、各ガラス基板の外周端面を覆う円筒形状のケース内に収納し、外周端面の位置を規制することで複数のガラス基板の各中心を一致させている。
【０００３】
このように、ガラス基板の内周端面、外周端面を研磨する場合、各ガラス基板の主平面間に樹脂製のスぺーサを介在させることで、研磨時に各ガラス基板同士が直接接触しないようにしている。また、スぺーサとしては、樹脂製のものが使用されるが、研磨ブラシが接触しないように、ガラス基板の外周端面を研磨する場合に使用される外径が小径とされた外周研磨用スぺーサと、ガラス基板の内周端面を研磨する場合に使用される内径が大径とされた内周研磨用スぺーサとがある。
【０００４】
従って、積層体を形成する場合、外周研磨工程・内周研磨工程の各工程に応じて外周研磨用スぺーサ又は内周研磨用スぺーサの一方を各ガラス基板間に介在させる作業と、外周又は内周研磨後にスぺーサを入れ替えるために各ガラス基板を一旦ばらして外周研磨用スぺーサ又は内周研磨用スぺーサの他方を各ガラス基板間に介在させる作業を行うことになる。
【０００５】
このように外周研磨工程・内周研磨工程を行う際は、その前段階として外周研磨用スぺーサ又は内周研磨用スぺーサを各ガラス基板間に介在させた積層体を形成するのに多くの手間を要していた。また、上記のような外周研磨用スぺーサ又は内周研磨用スぺーサを一枚ずつ各ガラス基板間に介在させる作業を自動的に行うことで積層体を形成する装置の開発も進められている（例えば、特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２３８２９２号公報
【特許文献２】特開２０１０−２３８２９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１、２に記載された積層体形成装置においては、ガラス基板を搬送して積層体の載置部にガラス基板を載置するガラスチャック及びガラスチャックを駆動する第１アクチュエータと、スぺーサチャック及びスぺーサチャックを駆動する第２アクチュエータとを設け、ガラスチャックとスぺーサチャックとを交互に駆動させて積層体を形成するように構成されており、装置の製造及び設置にコストがかかり、ガラス基板の製造コストが上昇といった課題がある。
【０００８】
そこで、本発明は上記事情に鑑み、上記課題を解決したガラス基板の積層用治具及び積層用治具を用いたガラス基板の積層方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
一つの案では、複数の中央孔を有するガラス基板及び前記各ガラス基板間に介在される中央孔を有するスぺーサを積層するガラス基板の積層用治具であって、
内部に軸線方向に延在形成された空間部と外周側に前記空間部に連通され軸線方向に延在するスリットとを有する前記ガラス基板及び前記スぺーサの中央孔に挿入される治具本体と、
前記治具本体のスリットに挿入され、軸線方向の所定間隔毎に複数の掛止爪が設けられた位置合わせ部材と、
前記治具本体の挿入部を前記複数のガラス基板及び前記複数のスぺーサの中央孔に挿入する際、前記複数の掛止爪が前記中央孔に挿入できるように前記位置合わせ部材を治具本体の内部側に変位させる縮小機構と、
前記治具本体が前記各ガラス基板及び前記各スぺーサの中央孔に挿通された後、前記各ガラス基板の中央孔を保持する前記位置合わせ部材を治具本体の内部側から外周側の方向に変位させる拡大機構と、
とを備えたことを特徴とするガラス基板の積層用治具が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
一態様によれば、治具本体が各ガラス基板及び各スぺーサの中央孔に挿通された後に位置合わせ部材の複数の掛止爪が治具本体より外周側に突出して各ガラス基板及び各スぺーサを所定の間隔毎に保持するため、所定の間隔で交互に配置された各ガラス基板と各スぺーサとが簡単な操作で積層でき、ガラス基板を研磨する際のコストを安価に押さえることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】ガラス基板の積層工程及び各工程を示す工程図である。
【図２】本発明によるガラス基板の積層用治具の一実施形態を示す断面図である。
【図３】本発明によるガラス基板の積層用治具を駆動する空圧システムの一実施形態を示す図である。
【図４】積層用治具の位置合わせ部材を半径方向に外側に駆動させた保持状態を示す断面図である。
【図５】ガラス基板及びスぺーサを収納する収納容器の一実施形態を示す斜視図である。
【図６】ガラス基板及びスぺーサを収納した収納容器の一実施形態を示す平面図である。
【図７】収納容器内に挿入されたガラス基板とスぺーサとの相対位置を示す縦断面図である。
【図８】ガラス基板及びスぺーサの中央孔に積層用治具を挿入した状態を示す平面図である。
【図９】積層用治具の挿通によるガラス基板とスぺーサとの位置合わせ状態を示す縦断面図である。
【図１０】ガラス基板及びスぺーサの中央孔に挿通された積層用治具を垂直にした状態を示す縦断面図である。
【図１１】積層用治具の位置合わせ部材によりガラス基板及びスぺーサの中央孔が調芯された位置合わせ状態を示す縦断面図である。
【図１２】ガラス基板及びスぺーサを積層する積層工程の手順を示す図である。
【図１３】積層工程で積層されたガラス基板を研磨する工程の手順を示す図である。
【図１４】積層用治具の変形例１を示す縦断面図である。
【図１５】積層用治具の変形例２を示す縦断面図である。
【図１６】積層用治具の変形例３を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【００１３】
〔実施形態１〕
［磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法の概略］
まず、本実施形態の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法の概略について説明する。
【００１４】
本発明において、磁気記録媒体用ガラス基板は、アモルファスガラスでもよく、結晶化ガラスでもよく、ガラス基板の表層に強化層を有する強化ガラス（例えば、化学強化ガラス）でもよい。
【００１５】
具体的には、例えば、磁気記録媒体用ガラス基板に高い機械的強度が求められる場合、ガラス基板の表層に強化層を形成する強化工程（例えば、化学強化工程）を実施することが好ましい。強化工程は、最初の研磨工程前、最後の研磨工程後、または各研磨工程間のいずれで実施してもよい。
【００１６】
本発明の磁気記録媒体用ガラス基板のガラス素基板は、フロート法、フュージョン法、プレス成形法、ダウンドロー法またはリドロー法等の方法により成形されるが、本発明はこの点で限定されない。
【００１７】
磁気記録媒体用ガラス基板は、上述の方法で成形されたガラス素基板に、
（工程１）ガラス素基板を、中央部に円形孔を有する円盤形状に加工した後、内周側面と外周側面を面取り加工する形状付与工程
（工程２）ガラス基板の端面（内周端面および外周端面）を研磨する端面研磨工程
（工程３）ガラス基板の上下両主平面を研磨する主表面研磨工程
（工程４）ガラス基板を精密洗浄して乾燥する洗浄工程
を含む各工程を施すことによって製造される。
【００１８】
そして、上述の各工程を含む製造方法によって得られたガラス基板は、その後さらにその表面に磁性層、保護層または潤滑膜等を形成することによって磁気記録媒体（磁気ディスク）とすることができる。
【００１９】
主表面研磨工程の前において、主平面のラップ（例えば、遊離砥粒ラップ、固定砥粒ラップなど）を実施してもよく、また、各工程間にガラス基板の洗浄（工程間洗浄）またはガラス基板表面のエッチング（工程間エッチング）を実施してもよい。
【００２０】
なお、ここで言う主平面のラップは、広義の主平面の研磨である。また、研磨工程は、１次研磨のみでもよく、１次研磨と２次研磨を行ってもよく、２次研磨の後に３次研磨を行ってもよい。
【００２１】
次に、各々の工程について、説明する。
【００２２】
（工程１の形状付与工程について）
形状付与工程では、ガラス素基板を、中央部に円形孔を有する円盤形状に加工した後、内周側面と外周側面を面取り加工する。形状付与工程における、内周および外周側面部の面取り加工は、一般にダイヤモンド砥粒を固定した砥石を用いて行う。
【００２３】
（工程２の端面研磨工程について）
端面研磨工程では、ガラス基板の内周端面および外周端面を端面研磨する。外周端面および内周端面の研磨は、どちらを先に実施してもよい。
【００２４】
（工程３の主表面研磨工程について）
主表面研磨工程では、両面研磨装置を用いて、ガラス基板の主平面に研磨液を供給しながらガラス基板の上下主平面を研磨する。なお、両面研磨装置としては、特に限定されないが、例えば、１６Ｂ型両面研磨装置、２０Ｂ型両面研磨装置および２２Ｂ型両面研磨装置等）が挙げられる。
【００２５】
研磨工程は、１次研磨（仕上げ研磨）のみの１段研磨でもよいし、１次研磨と２次研磨（仕上げ研磨）を行う２段研磨でもよいし、１次研磨、２次研磨を経て３次研磨（仕上げ研磨）を行う３段研磨でもよい。通常、各々の研磨工程の間には、洗浄工程（工程間洗浄）を設ける。
【００２６】
なお、主表面研磨工程の前において、主平面のラップ（例えば、遊離砥粒ラップおよび固定砥粒ラップなど）を実施してもよい。ここで言う主平面のラップは、広義の主平面の研磨である。
【００２７】
同時に研磨できるガラス基板の枚数は、研磨用キャリア、両面研磨装置の大きさによって異なる。具体的には、例えば、直径１６インチの研磨用キャリアを使用する１６Ｂ型両面研磨装置においては、１バッチ当たり８０〜１１０枚のガラス基板を同時に研磨でき、直径２２インチの研磨用キャリアを使用する２２Ｂ型両面研磨装置においては、１バッチ当たり１１５〜２２２枚のガラス基板を同時に研磨できる。なお、研磨を行う際、研磨用キャリアの全てのガラス基板保持孔にガラス基板をセットする必要はない。
【００２８】
（工程４の洗浄工程について）
洗浄工程では、仕上げ研磨後のガラス基板を、例えば、洗剤を用いたスクラブ洗浄、洗剤溶液へ浸漬した状態での超音波洗浄および純水へ浸漬した状態での超音波洗浄等を順次行い、イソプロピルアルコール等の蒸気により乾燥する。
【００２９】
次に、上述した端面研磨工程、及び端面研磨工程の前段階における複数のガラス基板の積層体を形成する際の各工程について詳細に説明する。尚、本実施形態では、本発明の積層用治具を用いて複数のガラス基板を積層した積層体を形成し、当該積層体の状態において、内周端面、外周端面の研磨を行う場合の各工程について説明する。
【００３０】
図１はガラス基板の積層工程及び各工程を示す工程図である。図１に示されるように、ガラス基板を製造する工程としては、Ｓ１１〜Ｓ１８の各工程がある。尚、ガラス基板の製造工程には、外周端面、内周端面の研磨工程以外にも、ガラス基板の主平面のラッピング工程や外周端面、内周端面の面取り加工などが行われる。しかしながら、これらのラッピング工程及び面取り工程は、各ガラス基板を一枚ずつ加工する工程であるので、本実施形態では、複数のガラス基板を積層して外周端面、内周端面を研磨する工程について以下説明する。
【００３１】
Ｓ１１の工程は、フロート法、プレス成形法、リドロー法、またはフュージョン法などにより板状に成形されたガラス板から中央孔を有する円盤状のガラス基板を製造する工程である。
【００３２】
Ｓ１２の工程は、ガラス基板の主平面に樹脂製のスぺーサを積層する積層工程である。
【００３３】
Ｓ１３の工程は、ガラス基板とスぺーサとが交互に積層された積層体の中央孔の研磨用シャフトを挿通させて積層体を当該研磨用シャフトに固定し、各ガラス基板の外周端面を研磨ブラシにより研磨する外周研磨工程である。
【００３４】
Ｓ１４の工程は、積層された各ガラス基板の外周端面を研磨した後の汚れや洗浄液を洗浄する洗浄工程である。
【００３５】
Ｓ１５の工程は、ガラス基板とスぺーサとが交互に積層された積層体の外周を基準に位置決めする円筒帰形状のケースに収納し、当該積層体の中央孔に研磨ブラシを挿入して回転させ、各ガラス基板の内周端面を研磨ブラシの回転により研磨する内周研磨工程である。
【００３６】
Ｓ１６の工程は、積層された各ガラス基板の内周端面を研磨した後の汚れや洗浄液を洗浄する洗浄工程である。
【００３７】
Ｓ１７の工程では、洗浄液を乾燥させる乾燥工程である。
【００３８】
Ｓ１８の工程は、外周端面、内周端面の研磨が終了した各ガラス基板の検査を行う検査工程である。
【００３９】
本実施形態において、円盤状のガラス基板Ｇは、磁気記録媒体の基材として使用される磁気記録媒体用円盤状ガラス基板であり、例えば、（１）外径６５ｍｍ、内径２０ｍｍ、板厚０．６３５ｍｍの磁気記録媒体用円盤状ガラス基板、（２）外径６５ｍｍ、内径２０ｍｍ、板厚０．８ｍｍの磁気記録媒体用円盤状ガラス基板、（３）外径９５ｍｍ、内径２５ｍｍ、板厚１．２７ｍｍの磁気記録媒体用円盤状ガラス基板、（４）外径９５ｍｍ、内径２５ｍｍ、板厚１ｍｍの磁気記録媒体用円盤状ガラス基板、（５）外径９５ｍｍ、内径２５ｍｍ、板厚０．８ｍｍの磁気記録媒体用円盤状ガラス基板の何れかが得られるように加工される。
【００４０】
図２は本発明によるガラス基板の積層用治具の一実施形態を示す断面図である。図２（Ａ）に示されるように、ガラス基板Ｇの積層用治具１０は、円筒形状の治具本体２０と、当該治具本体２０の先端に結合された挿入部３０と、治具本体２０の基端に結合された把持部４０とを有する。さらに、積層用治具１０は、治具本体２０の中空部に設けられた位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃと、当該位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃを半径方向の外側に駆動する拡大機構６０と、位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃを半径方向の内側に駆動する縮小機構７０と、を有する。
【００４１】
図２（Ｂ）に示されるように、治具本体２０は、円筒形状の断面を有し、円周方向には、軸線Ｊの延在方向に延在するスリット２１〜２３が３個所に設けられている。各スリット２１〜２３は、周方向の１２０度間隔で設けられており、外周面２４と治具本体２０の内部とを連通している。
【００４２】
さらに、各スリット２１〜２３には、樹脂材により形成された位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃが半径方向に移動可能に設けられている。位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃは、外周側に三角形状の掛止爪５２が複数個連続して設けられ、内部側に拡大機構６０が収納される空間部２５を形成するための逃げ部５４が軸線Ｊの延在方向に延在形成されている。また、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの先端には、縮小機構７０の第１付勢部材７２により半径方向の小径側に付勢される先端部５６を有する。各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの基端には、縮小機構７０の第２付勢部材７４により半径方向の小径側に付勢される基端部５８を有する。第１付勢部材７２及び第２付勢部材７４は、例えば弾性復元力を発生するゴム製のＯリングが用いられる。
【００４３】
従って、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃは、ガラス基板の中央孔に挿入される前段階においては、先端部５６及び基端部５８が縮小機構７０の第１付勢部材７２及び第２付勢部材７４により軸線Ｊ側（半径方向の小径側）に付勢されており、各掛止爪５２が各治具本体２０の内部側に変位している。各掛止爪５２は、三角形状の最外径端に形成されたスぺーサ位置決め部５２ａと、スぺーサ位置決め部５２ａの最外径端（山）と最小径端（谷）との間に形成された段差部により形成されたガラス基板保持部５２ｂとを有する。
【００４４】
尚、治具本体２０の先端に結合された挿入部３０の外径、及び治具本体２０の外径は、ガラス基板Ｇ及びスぺーサＳの中央孔の内径よりも小径に形成されている。本実施形態においては、例えばガラス基板Ｇの中央孔の内径が２０ｍｍに対し、挿入部３０の外径が１７．３ｍｍであり、掛止爪５２の山部分となるスぺーサ位置決め部５２ａの最大直径が１８ｍｍとなるようにしている。すなわち、積層用治具１０をガラス基板Ｇ及びスぺーサＳの各中央孔に挿入する際は、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃがガラス基板Ｇ及びスぺーサＳの各中央孔に接触しないように軸線Ｊ側に退避している。
【００４５】
また、各掛止爪５２は、軸線Ｊに対して所定角度で傾斜するのこ歯形状に形成されている。傾斜部の傾斜角度は、特に決められた角度ではなく、傾斜部の軸線方向長さ（各ガラス基板間の軸線Ｊの延在方向のピッチ（間隔）に相当する）と、谷部分の最小外径と、山部分の最大外径とによって決まるものである。
【００４６】
各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの逃げ部５４により形成されて軸線Ｊの空間部２５には、拡大機構６０を形成する一対の駆動部６２、６４が設けられている。一対の駆動部６２、６４は、それぞれ伸縮可能な材質（樹脂又はゴム）により袋状に形成された気体袋であり、配管（図３参照）により供給された圧縮気体の圧力によって拡径されることで半径方向の外側への駆動力を発生する。
【００４７】
図３は本発明によるガラス基板の積層用治具１０を駆動する空圧システムの一実施形態を示す図である。図３に示されるように、空圧システム１００は、空気などの圧縮気体を生成する気体圧力源１１０と、当該気体圧力源１１０からの圧縮気体を所定圧力に制御する圧力制御弁１２０と、切替弁１３０とを有する。気体圧力源１１０は、例えば圧縮機あるいは、圧縮気体が貯留されたボンベなどにより形成されている。また、圧力制御弁１２０は、高圧の圧縮気体を予め設定された圧力に減圧して駆動部６２、６４の急激な膨張を抑制する。切替弁１３０は、三方電磁弁であり、圧力制御弁１２０により制御された圧力の気体が供給されるａポートと、配管１４０を介して第１、第２駆動部６２，６４に連通されたｂポートと、大気開放されたｃポートとを有する。
【００４８】
また、切替弁１３０は、積層用治具１０がガラス基板Ｇ及びスぺーサＳの中央孔に挿入される前段階において、ｂポートとｃポートとが連通されており、第１、第２駆動部６２，６４を大気圧に維持している。そして、積層作業を行う作業員が切替スイッチ１５０をオンに操作すると、切替スイッチ１５０からの切替信号が切替弁１３０に入力され、切替弁１３０はａポートとｂポートとを連通するように切り替わる。これにより、気体圧力源１１０からの圧縮気体が配管１４０を介して第１、第２駆動部６２，６４に同時に供給される。
【００４９】
尚、本実施形態においては、切替スイッチ１５０は、例えば作業員が手を使わず済むように、フット式ペダルを踏むことによりオンに操作可能なものであることが望ましい。この場合、作業員は、足で切替スイッチ１５０を操作できるので、ガラス基板Ｇを扱う際の作業効率が高められる。
【００５０】
図４は積層用治具の位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃを半径方向に外側に駆動させた保持状態を示す断面図である。図４に示されるように、上記積層用治具１０をガラス基板Ｇ及びスぺーサＳの各中央孔に挿入し、且つ軸線Ｊの延在方向の挿入位置を位置合わせたした状態で、上記切替スイッチ１５０をオンに操作すると、気体圧力源１１０からの圧縮気体が配管１４０を介して第１、第２駆動部６２，６４に同時に供給されて第１、第２駆動部６２，６４が外側に膨張する。
【００５１】
よって、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃは、先端側に配置された第１駆動部６２と、基端側に配置された第２駆動部６４とが圧縮気体の供給と共にほぼ同時に膨張するため、外側に向けた駆動力を受け、軸線Ｊの延在方向（Ｙ方向）と直交する半径方向の外周側に平行移動する。その結果、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの外側に設けられた複数の掛止爪５２が治具本体２０の各スリット２１〜２３から外周側に突出する保持位置に変位する。
【００５２】
さらに、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの軸線Ｊの延在方向の両端部は、挿入部３０の端部内周面３２及び把持部４０の端部内周面４２に当接して半径方向の変位位置を規制される。これにより、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃは、各スリット２１〜２３から外周側に突出する各掛止爪５２の突出量が所定値になる。
【００５３】
このように各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃが外周側の保持位置（図４に示す位置）に変位すると、掛止爪５２のガラス基板保持部５２ｂの最小直径が１９．３ｍｍとなり、掛止爪５２のスぺーサ位置決め部５２ａの最大直径が２３ｍｍとなる。また、ガラス基板Ｇの中央孔は、内径が２０ｍｍであるので、傾斜部の段差部分に形成されたガラス基板保持部５２ｂに保持される。その際、ガラス基板Ｇの中央孔が掛止爪５２が接触するが、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃが樹脂材により形成されているので、ガラス基板Ｇの損傷が抑制される。
【００５４】
一方、スぺーサＳは、中央孔の内径が２５ｍｍに形成されているので、スぺーサ位置決め部５２ａの頂部を通過することが可能である。そのため、スぺーサＳがガラス基板Ｇの軸線Ｊに対して偏芯している場合には、スぺーサＳの中央孔が掛止爪５２の傾斜途中部分に接触することになる。
【００５５】
このように、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃは、ガラス基板ＧとスぺーサＳとを積層する積層工程においては、拡大機構６０により外側に駆動され、各スリット２１〜２３の外周側に突出してガラス基板Ｇの中央孔を保持するとともに、スぺーサＳの中央孔に掛止爪５２のスぺーサ位置決め部５２ａが接触することになる。
【００５６】
また、第１、第２駆動部６２，６４は、圧縮気体の供給により外側に膨張する構造であるので、設置スペースが小さくて済み、比較的小径とされた治具本体２０の内部にも容易に取り付けることが可能である。さらには、切替弁１３０の切替動作により一対の駆動部６２，６４を同時に駆動させることが可能であり、且つ３個に分割された各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃを半径方向の外周側に平行移動させることが可能である。よって、拡大機構６０は、部品点数が少なくて済むので、制作コストを安価に抑えることが可能になると共に、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃを安定的に駆動することができ、ガラス基板ＧとスぺーサＳとを積層する積層工程を効率よく行うことができる。
【００５７】
図５はガラス基板及びスぺーサを収納する収納容器２００の一実施形態を示す斜視図である。図５に示されるように、積層工程においては、収納容器２００にガラス基板Ｇ及びスぺーサＳを挿入して積層作業を効率良く行う。収納容器２００は、樹脂製の収納ケースであり、内部にガラス基板Ｇ及びスぺーサＳが収納される収納室２１０が形成されている。収納室２１０の長手方向の両端には、Ｕ字状に形成された凹部２２０が設けられている。
【００５８】
また、収納室２１０の内壁２１２には、ガラス基板Ｇの外周端部が嵌合する複数の保持溝２１４が所定の間隔で設けられている。そして、各保持溝２１４の間には、スぺーサＳが載置される突出部２１６が形成されている。
【００５９】
図６はガラス基板及びスぺーサを収納した収納容器２００の一実施形態を示す平面図である。図６に示されるように、複数のガラス基板Ｇを収納容器２００の収納室２１０に挿入し、各ガラス基板Ｇの外周端部を各保持溝２１４に嵌合させる。これにより、複数のガラス基板Ｇは、各保持溝２１４の間隔により一定の間隔（ピッチ）で載置される。
【００６０】
次に、各保持溝２１４に隣接された各突出部２１６にスぺーサＳを載置する。これにより、各ガラス基板Ｇの間にスぺーサＳが一枚ずつ配置され、且つ各ガラス基板ＧとスぺーサＳの主平面同士が対向する。
【００６１】
図７は収納容器内に挿入されたガラス基板とスぺーサとの相対位置を示す縦断面図である。図７に示されるように、収納容器２００内における収納状態では、一点鎖線で示すガラス基板Ｇの中心と二点鎖線で示すスぺーサＳの中心とは、高さ方向にずれた位置にある。そのため、ガラス基板Ｇの中央孔ＧａとスぺーサＳの中央孔Ｓａも高さ方向（Ｚ方向）にずれている。そこで、前述した積層用治具１０を用いてガラス基板Ｇの中央孔ＧａとスぺーサＳの中央孔Ｓａとを同芯状態に調整してガラス基板Ｇの中心とスぺーサＳの中心とを一致させる調芯作業を行いながら積層作業を進める。
【００６２】
図８はガラス基板Ｇ及びスぺーサＳの中央孔に積層用治具１０を挿入した状態を示す平面図である。図８に示されるように、収納容器２００の側方（Ｙ方向）から凹部２２０を通して収納容器２００の収納室２１０に収納されたガラス基板Ｇ及びスぺーサＳの中央孔Ｇａ，Ｓａに積層用治具１０の挿入部３０を挿入する。積層用治具１０の把持部４０には、挿入部３０の挿入位置を規制するためのストッパ部材１６０が設けられている。ストッパ部材１６０は、把持部４０より挿入方向（Ｙ方向）と直交する半径方向（Ｘ方向）に延在する板状部材である。また、ストッパ部材１６０は、両端１６２が収納容器２００の側面に形成された凹部２２０の縁部に当接する位置に延在しており、Ｙ方向の挿入位置を位置決めするものである。
【００６３】
このストッパ部材１６０によって決まる積層用治具１０の挿入位置は、収納容器２００の側面（Ｙ方向の端面）を基準とする位置であり、且つ当該積層用治具１０の各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃに設けられた各掛止爪５２の段差部に形成されたガラス基板保持部５２ｂの位置が上記収納容器２００内のガラス基板Ｇ及びスぺーサＳの載置位置（各保持溝２１４、突出部２１６の位置）と一致するように位置決めされる。尚、ストッパ部材１６０の形状としては、板状部材に限らず、それ以外の形状、例えば円盤状のものでも良いし、十字形状のものでも良い。
【００６４】
図９は積層用治具の挿通によるガラス基板とスぺーサとの位置合わせ状態を示す縦断面図である。図９に示されるように、積層用治具１０が各ガラス基板Ｇ及び各スぺーサＳの各中央孔Ｇａ、Ｓａに挿入され、且つ軸線方向（Ｙ方向）の挿入位置を位置合わせたした状態で、上記切替スイッチ１５０がオンに操作されると、気体圧力源１１０からの圧縮気体が配管１４０を介して第１、第２駆動部６２，６４に同時に供給されて各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃが第１、第２駆動部６２，６４により外側に駆動される。
【００６５】
その結果、収納容器２００に収納された各ガラス基板Ｇ及び各スぺーサＳの各中央孔Ｇａ、Ｓａは、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの掛止爪５２に対して軸線方向（Ｙ方向）の相対位置が位置決めされる。これにより、Ｙ方向に形成された複数の掛止爪５２のそれぞれが収納容器２００に収納された各ガラス基板Ｇ及び各スぺーサＳの各中央孔Ｇａ、Ｓａに対する軸線方向（Ｙ方向）の保持位置を位置決めされる。すなわち、各ガラス基板Ｇの中央孔Ｇａは、掛止爪５２のガラス基板保持部５２ｂに保持され、スぺーサＳの中央孔Ｓａは掛止爪５２の傾斜部の中間位置に保持される（図４参照）。
【００６６】
図１０はガラス基板Ｇ及びスぺーサＳの中央孔に挿通された積層用治具１０を垂直にした状態を示す縦断面図である。図１０に示されるように、各ガラス基板Ｇ及び各スぺーサＳの各中央孔Ｇａ、Ｓａに挿入された積層用治具１０を水平状態から垂直状態に延在方向を変更することにより、各ガラス基板Ｇが各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの掛止爪５２の谷部分に保持される。一方、各ガラス基板Ｇ間に位置するスぺーサＳは、中央孔Ｓａが掛止爪５２の傾斜中間部分に位置する。
【００６７】
図１１は積層用治具１０の位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃによりガラス基板Ｇ及びスぺーサＳの中央孔が調芯された位置合わせ状態を示す縦断面図である。図１１に示されるように、スぺーサＳは、中央孔Ｓａが掛止爪５２の傾斜部にガイドされながら自重により落下する。一方、ガラス基板Ｇは中央孔Ｇａが掛止爪５２のガラス基板保持部５２ｂに保持されているため、落下せず、上方から落下するスぺーサＳを受け止める。これにより、スぺーサＳが掛止爪５２の傾斜部に接触しながら軸線Ｊ側に移動するように調芯される。
【００６８】
この状態において、水などの液体を霧状にして各ガラス基板Ｇ及び各スぺーサＳの表面に吹き付ける。この吹き付け工程では、各ガラス基板Ｇと各スぺーサＳとが積層された状態で密着させることができる。
【００６９】
このように１組のガラス基板ＧとスぺーサＳとが互いに主平面同士を密着させた積層状態になり、且つガラス基板Ｇの半径方向の中心とスぺーサＳの半径方向の中心とが一致した状態に調芯される。
【００７０】
尚、円盤状のガラス基板Ｇの外径が６０ｍｍ、内径が２０ｍｍであるのに対し、スぺーサＳの外径が５５ｍｍ、内径が２５ｍｍに形成されている。そのため、スぺーサＳは、外径がガラス基板Ｇより小さく、内径がガラス基板Ｇより大きいので、外周研磨工程及び内周研磨工程でも使用することができる。
【００７１】
また、ガラス基板Ｇを保持するガラス基板保持部５２ｂは、複数の掛止爪５２が各スリット２１〜２３より外周側に突出して各ガラス基板Ｇ及び各スぺーサＳを所定の間隔毎に保持する位置に変位した際の外径が、ガラス基板Ｇの中央孔Ｇａより２００μｍ〜１０００μｍ小さい寸法に形成されている。このように、拡大機構６０の駆動力により各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃが外周側となる拡径方向に動作してもガラス基板保持部５２ｂとガラス基板Ｇの中央孔Ｇａとの間に２００μｍ〜１０００μｍの隙間があるため、ガラス基板Ｇの中央孔Ｇａが損傷することがない。
【００７２】
さらに、スぺーサＳを保持するスぺーサ位置決め部５２ａは、複数の掛止爪５２がスリット２１〜２３より外周側に突出して各ガラス基板Ｇ及び各スぺーサＳを所定の間隔毎に保持する位置に変位した際の外径が、スぺーサＳの中央孔Ｓａより５００μｍ〜２５００μｍ小さい寸法に形成されている。このように、拡大機構６０の駆動力により各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃが外周側となる拡径方向に動作してもスぺーサ位置決め部５２ａとスぺーサＳの中央孔Ｓａとの間に５００μｍ〜２５００μｍの隙間があるため、ガラス基板Ｇの中央孔Ｇａが損傷することがない。
【００７３】
〔積層工程の手順〕
ここで、上記積層用治具１０を用いた積層工程の手順について説明する。図１２はガラス基板及びスぺーサを積層する積層工程の手順を示す図である。図１２に示されるように、手順１では、図６に示すように、複数のガラス基板Ｇを収納容器２００の収納室２１０に所定間隔で挿入する。各ガラス基板Ｇは、外周端部が収納容器２００の保持溝２１４によりＹ方向の間隔が所定値（積層用治具１０の掛止爪５２のピッチに相当する）に規定される。
【００７４】
手順２では、収納容器２００に収納された各ガラス基板Ｇの間にスぺーサＳを一枚ずつ挿入する。各スぺーサＳは、収納容器２００内の突出部２１６に載置される。
【００７５】
手順３では、図８に示すように、収納容器２００に収納されたガラス基板Ｇ及びスぺーサＳの中央孔Ｇａ、Ｓａに積層用治具１０の挿入部３０及び治具本体２０を挿通する。
【００７６】
手順４では、積層用治具１０の把持部４０に設けられたストッパ部材１６０を収納容器２００の側面（Ｙ方向の端面）に当接させて挿入部３０及び治具本体２０のＹ方向における挿入位置を位置決めする。
【００７７】
手順５では、図３に示す、切替スイッチ１５０をオンに操作して切替信号を切替弁１３０に入力する。これにより、切替弁１３０は、気体圧力源１１０からの圧縮気体を拡大機構６０の駆動部６２，６４に供給する。そのため、先端側に配置された第１駆動部６２と、基端側に配置された第２駆動部６４とが圧縮気体の供給と共に、ほぼ同時に膨張して外側に向けた駆動力を発生する。これにより、積層用治具１０の各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃは、図４に示すように半径方向の外側に平行移動する。その結果、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの外側に設けられた複数の掛止爪５２が治具本体２０の各スリット２１〜２３から外周側に突出する保持位置に変位する。
【００７８】
手順６では、図１１に示すように各ガラス基板Ｇ及び各スぺーサＳの各中央孔Ｇａ、Ｓａに挿入された積層用治具１０を水平状態から垂直状態に延在方向を変更する。この状態では、ガラス基板Ｇは中央孔Ｇａが掛止爪５２のガラス基板保持部５２ｂに保持されている。一方、スぺーサＳは、中央孔Ｓａが掛止爪５２の傾斜部にガイドされながら自重により落下する。そのため、スぺーサＳが掛止爪５２の傾斜部に接触しながら軸線Ｊ側に移動するように調芯される。そして、各ガラス基板Ｇ及び各スぺーサＳは、一対の隣接されたもの同士が積層される。
【００７９】
手順７では、各ガラス基板Ｇ及びスぺーサＳの表面、主に主平面に水などの液体を吹き付ける。各主平面同士が吹き付けられた水滴で密着される。これで、ガラス基板Ｇの主平面に一枚のスぺーサＳが積層される。
【００８０】
手順８では、図３に示す、切替スイッチ１５０をオフに操作して切替信号をオフにする。これにより、切替弁１３０は、気体圧力源１１０からの圧縮気体の供給を停止すると共に、ｂポートとｃポートとを連通して駆動部６２，６４に供給された圧縮気体を大気中に排出する。そのため、図２に示すように第１駆動部６２及び第２駆動部６４は、大気圧に減圧されて縮小する。これとと共に、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃは、縮小機構７０の第１、第２付勢部材７２、７４により縮小方向（軸線Ｊ方向）に縮小動作して掛止爪５２を各スリット２１〜２３内に収容する。
【００８１】
手順９では、積層用治具１０を積層されたガラス基板Ｇ及びスぺーサＳから軸線方向に引き抜く。
【００８２】
手順１０では、積層用治具１０から取り出されたガラス基板ＧとスぺーサＳとの積層体を専用収納容器に収納する。そして、専用収納容器を研磨工程に移動させる。
【００８３】
〔研磨工程の手順〕
図１３は積層工程で積層されたガラス基板を研磨する工程の手順を示す図である。図１３に示されるように、手順１１では、上記のように積層されたガラス基板ＧとスぺーサＳの中央孔に外周研磨用シャフトを挿通する。
【００８４】
手順１２では、各ガラス基板の間にスぺーサＳが介在させた複数枚の積層状態のものを外周研磨用シャフトに固定する。
【００８５】
手順１３では、外周研磨用シャフトに支持された積層体（ガラス基板ＧとスぺーサＳとが交互に積層されたもの）の外周端面に研磨材を供給しながら回転する研磨ブラシにより積層されたガラス基板Ｇの外周端面を研磨する。尚、スぺーサＳは、外径がガラス基板Ｇの外径よりも５ｍｍ小さいので外周端面を研磨する際に研磨ブラシに接触することが回避される。
【００８６】
手順１４では、外周研磨用シャフトに支持された積層体の外周端面の研磨が終了すると、外周研磨により生じた汚れや研磨剤を洗浄する。
【００８７】
手順１５では、上記積層体を円筒形状に形成された内周研磨用治具の内部に挿入する。さらに、積層体を内周研磨用治具に固定した後、外周研磨用シャフトを抜きとる。
【００８８】
手順１６では、当該内周研磨用治具に研磨材を供給するとともに回転する内周研磨用ブラシを挿入して積層体の内周端面を研磨する。尚、スぺーサＳは、内径がガラス基板Ｇの内径よりも５ｍｍ大きいので内周端面を研磨する際に研磨ブラシに接触することが回避される。
【００８９】
手順１８では、内周端面の研磨が終了すると、内周研磨により生じた汚れや研磨剤を洗浄する。この洗浄工程では、例えば洗浄液が貯留された洗浄用浴槽に積層体を投入して各ガラス基板からスぺーサＳを分離させた後、各ガラス基板の表面を洗浄する。
【００９０】
手順１９では、洗浄された各ガラス基板を専用収納容器に収納させる。
【００９１】
手順２０では、当該専用収納容器に収納された各ガラス基板に付着した洗浄液を乾燥させる。この後、各ガラス基板は、専用収納容器に収納された状態で、各ガラス基板を検査する検査工程に搬送される。
【００９２】
〔変形例１〕
図１４は積層用治具の変形例１を示す縦断面図である。図１４に示されるように、変形例１の積層用治具３００は、拡大機構３１０が上記実施形態と異なる。拡大機構３１０は、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの内部側先端に形成された第１傾斜部３２０と、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの内部側基端に形成された第２傾斜部３３０と、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの内部側の空間部２５に挿入される駆動ロッド３４０とを有する。
【００９３】
駆動ロッド３４０は、第１傾斜部３２０に対向する傾斜面が形成された第１テーパ部３４２と、第２傾斜部３３０に対向する傾斜面が形成された第２テーパ部３４４とを有する。尚、第１傾斜部３２０、第２傾斜部３３０、第１テーパ部３４２、第２テーパ部３４４は、それぞれ軸線Ｊに対して同じ傾斜角度を有する。
【００９４】
また、駆動ロッド３４０は、把持部４０の貫通孔４４から軸線Ｊの延在方向に挿入されて挿入方向（Ｙ１方向）に押圧されると、第１テーパ部３４２が各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの第１傾斜部３２０を軸線Ｊの延在方向と直交する拡径方向（外周側方向）に押圧し、ほぼ同時に第２テーパ部３４４が各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの第２傾斜部３３０を軸線Ｊの延在方向と直交する拡径方向（外周側方向）に押圧する。
【００９５】
これにより、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃは、軸線Ｊの延在方向と直交する半径方向の外周側に平行移動する。その結果、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの外側に設けられた複数の掛止爪５２が治具本体２０の各スリット２１〜２３から外周側に突出する保持位置に変位する。
【００９６】
また、駆動ロッド３４０が引き抜き方向（Ｙ２方向）に引き抜かれると、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃは、縮小機構７０の第１付勢部材７２及び第２付勢部材７４により軸線Ｊ側（半径方向の内側）に付勢されているので、付勢部材７２、７４の付勢力により軸線Ｊ側に変位する。
【００９７】
尚、駆動ロッド３４０は、手動操作によりＹ１、Ｙ２方向に駆動させても良いし、あるいはシリンダ装置のような直動型アクチュエータにより駆動させても良い。
【００９８】
〔変形例２〕
図１５は積層用治具の変形例２を示す縦断面図である。図１５に示されるように、変形例２の積層用治具４００は、拡大機構４１０が上記実施形態及び変形例１と異なる。拡大機構４１０は、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの内部側先端に形成された傾斜部４２０と、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの内部側の空間部２５に挿入される駆動ロッド４４０とを有する。
【００９９】
傾斜部４２０は、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの軸線Ｊの延在方向（Ｙ方向）の全長に亘って形成されている。
【０１００】
駆動ロッド４４０は、外周に傾斜部４２０に対向する傾斜角度を有するテーパ部４４２が設けられている。また、駆動ロッド４４０は、把持部４０の貫通孔４４から軸線方向に挿入されて挿入方向（Ｙ１方向）に押圧されると、テーパ部４４２が各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの傾斜部４２０を軸線Ｊの延在方向と直交する拡径方向（外周方向）に押圧する。
【０１０１】
これにより、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃは、軸線Ｊの延在方向と直交する半径方向の外周側に平行移動する。その結果、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの外側に設けられた複数の掛止爪５２が治具本体２０の各スリット２１〜２３から外周側に突出する保持位置に変位する。
【０１０２】
また、駆動ロッド４４０が引き抜き方向（Ｙ２方向）に引き抜かれると、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃは、縮小機構７０の第１付勢部材７２及び第２付勢部材７４により軸線側（半径方向の内側）に付勢されているので、付勢部材７２、７４の付勢力により軸線側に変位する。
【０１０３】
尚、駆動ロッド４４０は、手動操作によりＹ１、Ｙ２方向に駆動させても良いし、あるいはシリンダ装置のような直動型アクチュエータにより駆動させても良い。
【０１０４】
〔変形例３〕
図１６は積層用治具の変形例３を示す縦断面図である。図１６に示されるように、変形例３の積層用治具５００は、拡大機構５１０が上記実施形態及び変形例１、２と異なる。拡大機構５１０は、複数のリンク５２０を軸線Ｊ上の第１回動支点５３０と外周側の第２回動支点５４０により回動可能に連結し、各リンク５２０が軸線Ｊに対して所定の傾斜角度を有する菱形形状のパンタグラフ５５０を形成したものである。
【０１０５】
また、拡大機構５１０は、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの内部側に形成された空間部２５に挿入されており、積層用治具５００の軸方向の全長に合わせて複数のパンタグラフ５５０を連結することが可能である。そして、把持部４０の貫通孔４４よりＹ２方向に突出する操作部５６０を外側（軸線Ｊから離間する半径方向）に回動操作すると、各リンク５２０が回動して軸線Ｊに対する傾斜角度が変化する。すなわち、菱形形状のパンタグラフ５５０が軸線Ｊの延在方向（Ｙ１、Ｙ２方向）に縮むと共に、第２回動支点５４０が外周方向に変位して各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃを軸線Ｊの延在方向と直交する半径方向の外周側に平行移動する。その結果、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの外周側に設けられた複数の掛止爪５２が治具本体２０の各スリット２１〜２３から外周側に突出する保持位置に変位する。
【０１０６】
また、操作部５６０を内側（軸線Ｊに近接する半径方向）に回動操作すると、各リンク５２０が回動して軸線Ｊに対する傾斜角度が変化する。すなわち、菱形形状のパンタグラフ５５０が軸線方向（Ｙ１，Ｙ２方向）に伸びると共に、第２回動支点５４０が内周方向に変位して各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃを軸線Ｊの延在方向と直交する半径方向の内部側に平行移動する。その結果、各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃは、縮小機構７０の第１付勢部材７２及び第２付勢部材７４により軸線Ｊ側（半径方向の内側）に付勢されているので、付勢部材７２、７４の付勢力により軸線Ｊ側に変位する。
【０１０７】
尚、操作部５６０は、モータにより駆動しても良いし、手動操作により駆動しても良い。また、本変形例３においては、パンタグラフ５５０の第２回動支点５４０が各位置合わせ部材５０Ａ〜５０Ｃの内壁に接触する構成であるので、操作部５６０が半径方向の外側又は内側に操作された際の動きをスムーズに行うには、各位置合わせ部材５０の配置数が偶数であることが望ましい。
【符号の説明】
【０１０８】
１０、３００、４００、５００  積層用治具
２０  治具本体
２１〜２３  スリット
２５  空間部
３０  挿入部
４０  把持部
５０Ａ〜５０Ｃ  位置合わせ部材
５２ａ  スぺーサ位置決め部
５２ｂ  ガラス基板保持部
５２  掛止爪
６０、３１０、４１０、５１０  拡大機構
６２、６４  駆動部
７０  縮小機構
７２  第１付勢部材
７４  第２付勢部材
１００  空圧システム
１１０  気体圧力源
１２０  圧力制御弁
１３０  切替弁
１４０  配管
１５０  切替スイッチ
１６０  ストッパ部材
２００  収納容器
２１０  収納室
３２０  第１傾斜部
３３０  第２傾斜部
３４０、４４０  駆動ロッド
３４２  第１テーパ部
３４４  第２テーパ部
４２０  傾斜部
４４２  テーパ部
５２０  リンク
５３０  第１回動支点
５４０  第２回動支点
５５０  パンタグラフ
【図１】
2015172988.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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