(57)【要約】【課題】一枚の基板から基板片をエッチングによって切断分離することができると共に、切断分離された後の基板片を効率良く取り出すことができるような基板用治具の製造方法を提供すること。【解決手段】マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた少なくとも１枚の基板を用意する工程と、前記基板を用意する工程で用意される第１の基板の複数の基板片が各一側磁石毎に対応して配置されるように、当該第１の基板の一側面を前記複数本の一側内枠フレームに対向して配置する工程と、前記第１の基板の各基板片が対応する一側磁石に向けて押し付けられるように、当該第１の基板の他側面において各一側磁石毎に対応して複数の第１の他側磁石または第１の他側磁性体を配置する工程と、を備えたことを特徴とする基板片の製造方法。【選択図】図１
2015043384.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を磁石の磁力によって支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記磁石の磁力によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、
一側外枠フレームと、
複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に互いに平行に延びるように、前記一側外枠フレームに組み付けられた複数本の一側内枠フレームであって、各基板片毎に対応して配置された複数の一側磁石が設けられている複数本の一側内枠フレームと、
を備えたことを特徴とする基板用治具
を用いて一枚の基板から複数の基板片をエッチングによって切断分離する基板片の製造方法であって、
マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた少なくとも１枚の基板を用意する工程と、
前記基板を用意する工程で用意される第１の基板の複数の基板片が各一側磁石毎に対応して配置されるように、当該第１の基板の一側面を前記複数本の一側内枠フレームに対向して配置する工程と、
前記第１の基板の各基板片が対応する一側磁石に向けて押し付けられるように、当該第１の基板の他側面において各一側磁石毎に対応して複数の第１の他側磁石または第１の他側磁性体を配置する工程と、
を備えたことを特徴とする基板片の製造方法。
【請求項２】
前記第１の他側磁石または前記第１の他側磁性体を配置する工程の後に実施され、前記基板を用意する工程で用意される第２の基板の一側面を、当該第２の基板の複数の基板片が各第１の他側磁石毎または各第１の他側磁性体毎に対応して配置されるように、前記第１の基板の他側面に対向して配置する工程と、
前記第２の基板の各基板片が対応する第１の他側磁石または第１の他側磁性体に向けて押し付けられるように、当該第２の基板の他側面において各第１の他側磁石毎または各第１の他側磁性体毎に対応して複数の第２の他側磁石または第２の他側磁性体を配置する工程と、
を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板片の製造方法。
【請求項３】
一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を磁石の磁力によって支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記磁石の磁力によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、
一側外枠フレームと、
複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に互いに平行に延びるように、前記一側外枠フレームに組み付けられた複数本の一側内枠フレームであって、各基板片毎に対応して配置された複数の一側磁性体が設けられている複数本の一側内枠フレームと、
を備えたことを特徴とする基板用治具
を用いて一枚の基板から複数の基板片をエッチングによって切断分離する基板片の製造方法であって、
マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた少なくとも１枚の基板を用意する工程と、
前記基板を用意する工程で用意される第１の基板の複数の基板片が各一側磁性体毎に対応して配置されるように、当該第１の基板の一側面を前記複数本の一側内枠フレームに対向して配置する工程と、
前記第１の基板の各基板片が対応する一側磁性体に向けて押し付けられるように、当該第１の基板の他側面において各一側磁性体毎に対応して複数の第１の他側磁石を配置する工程と、
を備えたことを特徴とする基板片の製造方法。
【請求項４】
一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を磁石の磁力によって支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記磁石の磁力によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、
一側外枠フレームと、
複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に互いに平行に延びるように、前記一側外枠フレームに組み付けられた複数本の一側内枠フレームであって、各基板片毎に対応して配置された複数の一側磁石が設けられている複数本の一側内枠フレームと、
を備えたことを特徴とする基板用治具。
【請求項５】
前記複数の一側内枠フレームは、各基板片毎に対応して基板に向けて突出するように設けられた複数の一側フレーム突出部を有している
ことを特徴とする請求項４に記載の基板用治具。
【請求項６】
各一側フレーム突出部の突出高さは、３ｍｍ以上である
ことを特徴とする請求項５に記載の基板用治具。
【請求項７】
各一側フレーム突出部の前記一側内枠フレームの幅方向の寸法は、当該幅方向における各基板片の寸法より小さく、
各一側フレーム突出部の前記一側内枠フレームの長さ方向の寸法は、当該長さ方向における各基板片の寸法より小さい
ことを特徴とする請求項５または６に記載の基板用治具。
【請求項８】
各一側フレーム突出部の突出方向に見て、各一側フレーム突出部の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状である
ことを特徴とする請求項５乃至７のいずれかに記載の基板用治具。
【請求項９】
前記複数の一側内枠フレームの表面には、前記複数の一側磁石に対応して、緩衝材が設けられている
ことを特徴とする請求項４乃至８のいずれかに記載の基板用治具。
【請求項１０】
前記基板用治具は、少なくとも１つの他側フレームを更に備え、
前記他側フレームには、各基板片毎に対応して配置された複数の他側磁石または複数の他側磁性体が設けられている
ことを特徴とする請求項４乃至９のいずれかに記載の基板用治具。
【請求項１１】
前記他側フレームは、各基板片毎に対応して当該他側フレームの少なくとも一側に突出するように設けられた、複数の他側フレーム突出部を有している
ことを特徴とする請求項１０に記載の基板用治具。
【請求項１２】
各他側フレーム突出部の突出高さは、３ｍｍ以上である
ことを特徴とする請求項１１に記載の基板用治具。
【請求項１３】
各他側フレーム突出部の前記他側フレームの幅方向の寸法は、複数の基板片のマトリクス状の配置の横方向または縦方向における各基板片の寸法より小さく、
各他側フレーム突出部の前記他側フレームの長さ方向の寸法は、複数の基板片のマトリクス状の配置の縦方向または横方向における各基板片の寸法より小さい
ことを特徴とする請求項１１または１２に記載の基板用治具。
【請求項１４】
各他側フレーム突出部の突出方向に見て、各他側フレーム突出部の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状である
ことを特徴とする請求項１１乃至１３のいずれかに記載の基板用治具。
【請求項１５】
前記他側フレームの表面には、各基板片毎に対応して、緩衝材が設けられている
ことを特徴とする請求項１０乃至１４のいずれかに記載の基板用治具。
【請求項１６】
請求項４に記載の基板用治具と、
マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた第１の基板であって、複数の基板片が各一側磁石毎に対応して配置されるように当該第１の基板の一側面が前記複数本の一側内枠フレームに対向して配置された第１の基板と、
前記第１の基板の各基板片が対応する一側磁石に向けて押し付けられるように、当該第１の基板の他側面において各一側磁石毎に対応して配置された複数の第１の他側磁石または複数の第１の他側磁性体と、
を備えたことを特徴とする基板治具セット。
【請求項１７】
マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた第２の基板であって、当該第２の基板の一側面が前記複数の第１の他側磁石または第１の他側磁性体が配置された前記第１の基板の他側面に対向するように、且つ、当該第２の基板の複数の基板片が各第１の他側磁石毎または各第１の他側磁性体毎に対応して配置されるように配置された第２の基板と、
前記第２の基板の各基板が対応する第１の他側磁石または第１の他側磁性体に向けて押し付けられるように、当該第２の基板の他側面において各第１の磁石毎または各第１の磁性体毎に対応して配置された複数の第２の他側磁石または複数の第２の他側磁性体と、
を更に備えたことを特徴とする請求項１６に記載の基板治具セット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一枚の基板から基板片をエッチングによって切断分離する基板片の製造方法、並びに、当該基板片の製造方法に用いられる基板用治具、及び、基板治具セットに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイやタッチパネルにガラス基板の基板片が用いられている。このようなガラス基板片の製造方法として、大型の一枚のガラス基板から複数のガラス基板片をエッチングによって切断分離する方法がある。この方法では、通常、エッチング液としてフッ酸系の溶液が用いられている。
【０００３】
ところで、切断分離されたガラス基板片がエッチング液内に落下してしまうと、取り出すことが容易ではない。従って、一枚のガラス基板を各片面から順次半分の厚みずつエッチングするいわゆるハーフエッチングが利用されている。
【０００４】
以下、ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について、図１１乃至図１３を参照して説明する。図１１乃至図１３は、ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図である。
【０００５】
先ず、図１１に示すように、大型の一枚の矩形のガラス基板５０１の両面に、縦横２つずつ合計４つの矩形のガラス基板片の輪郭５０５が露出するように、保護膜５０３が設けられる。保護膜５０３としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン等を用いることができ、当該保護膜５０３が接着剤または粘着剤を介してガラス基板５０１に貼付けられる。
【０００６】
あるいは、例えば、ガラス基板５０１の両面に感光性レジスト液を塗布してレジスト膜を形成し、マスクを介して４つのガラス基板片の輪郭を除いて他の部分に紫外線を照射し、次に現像液を用いて前記輪郭のレジスト膜を除去することにより、保護膜５０３を設けることもできる。
【０００７】
次に、ガラス基板５０１が鉛直方向に保持された状態で、ガラス基板５０１の一方の面側からエッチング（ハーフエッチング）される。
【０００８】
続いて、ガラス基板５０１が洗浄される。そして、図１２に示すように、切断分離されるガラス基板片５０２が落下することを防止するべく、ハーフエッチングされたガラス基板５０１の一方の面側に、ガラス基板５０１と切断分離されるガラス基板片５０２とを懸架するように粘着テープ５０４が貼付けられる。
【０００９】
続いて、再びガラス基板５０１が、鉛直方向に保持された状態で、ガラス基板５０１の他方の面側からエッチング（残りのハーフエッチング）される。
【００１０】
そして、ガラス基板５０１が洗浄された後に、ガラス基板５０１から粘着テープ５０４が剥がされると、図１３に示すような４個のガラス基板片５０２が得られる。
【００１１】
なお、基板を水平方向に保持した状態で複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に用いられる基板用治具は既に知られている（特許文献１乃至３参照）。
【００１２】
また、ガラス基板片の他の製造方法として、レーザ加工によりガラス基板から複数のガラス基板片を切断分離する方法や、エンドミル等による切削加工によりガラス基板から複数のガラス基板片を切断分離する方法も知られている。しかしながら、これらの加工方法では、ガラス基板片の端面、即ち切断面、の表面粗さが粗くなってしまい、前述したようなエッチングを利用して切断分離されたガラス基板片と比較して、ガラス基板片にキズやヒビが入りやすい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２０１０−１０３３９４号公報
【特許文献２】特開平０９−２４６３６５号公報
【特許文献３】特開２００７−１３４３９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
前述したように、ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する場合、２回のガラス基板のエッチング（ハーフエッチング）と２回のガラス基板の洗浄作業を行う必要があり、効率が悪かった。
【００１５】
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、一枚の基板から基板片をエッチングによって切断分離することができると共に、切断分離された後の基板片を効率良く取り出すことができるような基板用治具の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を磁石の磁力によって支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記磁石の磁力によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、一側外枠フレームと、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に互いに平行に延びるように、前記一側外枠フレームに組み付けられた複数本の一側内枠フレームであって、各基板片毎に対応して配置された複数の一側磁石が設けられている複数本の一側内枠フレームと、を備えたことを特徴とする基板用治具を用いて一枚の基板から複数の基板片をエッチングによって切断分離する基板片の製造方法であって、マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた少なくとも１枚の基板を用意する工程と、前記基板を用意する工程で用意される第１の基板の複数の基板片が各一側磁石毎に対応して配置されるように、当該第１の基板の一側面を前記複数本の一側内枠フレームに対向して配置する工程と、前記第１の基板の各基板片が対応する一側磁石に向けて押し付けられるように、当該第１の基板の他側面において各一側磁石毎に対応して複数の第１の他側磁石または第１の他側磁性体を配置する工程と、を備えたことを特徴とする基板片の製造方法である。
【００１７】
本発明によれば、第１の基板の各基板片が一側磁石と第１の他側磁石または第１の他側磁性体とによって一側磁石に向けて押し付けられるため、エッチングにより切断された後の第１の基板の複数の基板片は当該一側磁石と当該第１の他側磁石または第１の他側磁性体とによって確実に支持され続けられる。したがって、第１の基板を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片を効率よく取り出すことができる。また、第１の基板の各基板片が一側磁石と第１の他側磁石または第１の他側磁性体とによって挟まれているため、流動するエッチング液中における第１の基板の各基板片の波打つような動きが抑制される。この結果、エッチング中に第１の基板の基板片が破壊される、ということが防止される。
【００１８】
好ましくは、前記基板片の製造方法は、前記第１の他側磁石または前記第１の他側磁性体を配置する工程の後に実施され、前記基板を用意する工程で用意される第２の基板の一側面を、当該第２の基板の複数の基板片が各第１の他側磁石毎または各第１の他側磁性体毎に対応して配置されるように、前記第１の基板の他側面に対向して配置する工程と、  前記第２の基板の各基板片が対応する第１の他側磁石または第１の他側磁性体に向けて押し付けられるように、当該第２の基板の他側面において各第１の他側磁石毎または各第１の他側磁性体毎に対応して複数の第２の他側磁石または第２の他側磁性体を配置する工程と、を更に備えている。この場合、第２の基板の各基板片も第１の他側磁石または第１の他側磁性体と第２の他側磁石または第２の他側磁性体とによって第１の他側磁石または第１の他側磁性体に向けて押し付けられているため、エッチングにより切断された後の第２の基板の複数の基板片も、第１の他側磁石または第１の他側磁性体と第２の他側磁石または第２の他側磁性体とによって確実に支持され続けられる。したがって、第１の基板と第２の基板とを鉛直方向に保持した状態で同時にエッチングを行うことができ、切断分離された後の第１の基板及び第２の基板の基板片を効率よく取り出すことができる。また、各基板毎に一側外枠フレームを用いる必要が無いため、省スペースで複数の基板のエッチングを行い得る。また、第１の基板と第２の基板との間に第１の他側磁石または第１の他側磁性体が配置されるため、第１の基板と第２の基板との間に間隙が確保され、両者の間にエッチング液が入り込んで、効率よくエッチングを行うことができる。さらに、第２の基板の各基板片も第１の他側磁石または第１の他側磁性体と第２の他側磁石または第２の他側磁性体とによって挟まれているため、流動するエッチング液中における第２の基板の各基板片の波打つような動きが抑制される。この結果、エッチング中に第２の基板の基板片が破壊される、ということが防止される。
【００１９】
あるいは、本発明は、一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を磁石の磁力によって支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記磁石の磁力によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、一側外枠フレームと、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に互いに平行に延びるように、前記一側外枠フレームに組み付けられた複数本の一側内枠フレームであって、各基板片毎に対応して配置された複数の一側磁性体が設けられている複数本の一側内枠フレームと、を備えたことを特徴とする基板用治具を用いて一枚の基板から複数の基板片をエッチングによって切断分離する基板片の製造方法であって、マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた少なくとも１枚の基板を用意する工程と、前記基板を用意する工程で用意される第１の基板の複数の基板片が各一側磁性体毎に対応して配置されるように、当該第１の基板の一側面を前記複数本の一側内枠フレームに対向して配置する工程と、前記第１の基板の各基板片が対応する一側磁性体に向けて押し付けられるように、当該第１の基板の他側面において各一側磁性体毎に対応して複数の第１の他側磁石を配置する工程と、を備えたことを特徴とする基板片の製造方法である。
【００２０】
本発明によれば、第１の基板の各基板片が一側磁性体と第１の他側磁石とによって一側磁性体に向けて押し付けられるため、エッチングにより切断された後の第１の基板の複数の基板片は当該一側磁性体と当該第１の他側磁石とによって確実に支持され続けられる。したがって、第１の基板を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片を効率よく取り出すことができる。また、第１の基板の各基板片が一側磁性体と第１の他側磁石とによって挟まれているため、流動するエッチング液中における第１の基板の各基板片の波打つような動きが抑制される。この結果、エッチング中に第１の基板の基板片が破壊される、ということが防止される。
【００２１】
あるいは、本発明は、一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を磁石の磁力によって支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記磁石の磁力によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、一側外枠フレームと、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に互いに平行に延びるように、前記一側外枠フレームに組み付けられた複数本の一側内枠フレームであって、各基板片毎に対応して配置された複数の一側磁石が設けられている複数本の一側内枠フレームと、を備えたことを特徴とする基板用治具である。
【００２２】
本発明によれば、マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を、当該基板の複数の基板片が各一側磁石毎に対応して配置されるように、当該基板の一側面を複数本の一側内枠フレームに対向して配置し、各基板片が対応する一側磁石に向けて押し付けられるように、当該基板の他側面において各一側磁石毎に対応して複数の他側磁石または他側磁性体を配置することにより、エッチングにより切断された後の複数の基板片を一側磁石と他側磁石または他側磁性体とによって確実に支持し続けることが可能である。したがって、基板を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片を効率よく取り出すことができる。また、複数の一側内枠フレームに対向するように、基板の配置と、他側磁石または他側磁性体の配置と、を繰り返すことにより、基板用治具を用いて複数の基板を保持することができる。この場合、基板毎に基板用治具を必要としないため、複数の基板のエッチングを省スペースで行うことができる。
【００２３】
好ましくは、前記複数の一側内枠フレームは、各基板片毎に対応して基板に向けて突出するように設けられた複数の一側フレーム突出部を有している。この場合、一側内枠フレームと基板との間に間隙が確保されるため、一側内枠フレームと基板との間にエッチング液が入り込んで、基板の両側から効率よくエッチングを行い得る。したがって、基板のエッチング及び洗浄作業を複数回行う必要が無く、基板片の製造効率が向上する。
【００２４】
好ましくは、各一側フレーム突出部の突出高さは、３ｍｍ以上である。この場合、一側内枠フレームと基板との間隔が狭すぎてエッチング液の流動が阻害される、ということが効果的に防止される。
【００２５】
好ましくは、各一側フレーム突出部の前記一側内枠フレームの幅方向の寸法は、当該幅方向における各基板片の寸法より小さく、各一側フレーム突出部の前記一側内枠フレームの長さ方向の寸法は、当該長さ方向における各基板片の寸法より小さい。この場合、各基板片の輪郭上に一側フレーム突出部が配置されて当該輪郭上におけるエッチング液の流動が阻害されてしまう、ということが防止され得る。これにより、所望の形状の基板片が切断分離されることが促進される。
【００２６】
好ましくは、各一側フレーム突出部の突出方向に見て、各一側フレーム突出部の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状である。この場合、エッチング液が各一側フレーム突出部に対してエッチング液の流動方向の下流側領域にも回り込むことが促進される。このため、各一側フレーム突出部が邪魔をしてエッチング液が滞留する領域が形成されてしまってエッチング効果が低下する、ということが抑制される。
【００２７】
好ましくは、前記複数の一側内枠フレームの表面には、前記複数の一側磁石に対応して、緩衝材が設けられている。この場合、各基板片を傷つけることなく保持し得る。
【００２８】
好ましくは、前記基板用治具は、少なくとも１つの他側フレームを更に備え、前記他側フレームには、各基板片毎に対応して配置された複数の他側磁石または複数の他側磁性体が設けられている。この場合、各基板片毎に対応して配置される複数の他側磁石または他側磁性体を、複数の基板片に同時に配置可能であり、また複数の基板片から同時に除去可能である。
【００２９】
好ましくは、前記他側フレームは、各基板片毎に対応して当該他側フレームの少なくとも一側に突出するように設けられた、複数の他側フレーム突出部を有している。この場合、他側フレーム突出部以外の領域において他側フレームと基板との間に間隙が確保される。これにより、他側フレームと基板との間にエッチング液が入り込んで、効率よくエッチングを行い得る。
【００３０】
好ましくは、各他側フレーム突出部の突出高さは、３ｍｍ以上である。この場合、他側フレームと基板との間隔が狭すぎてエッチング液の流動が阻害される、ということが効果的に防止される。
【００３１】
好ましくは、各他側フレーム突出部の前記他側フレームの幅方向の寸法は、複数の基板片のマトリクス状の配置の横方向または縦方向における各基板片の寸法より小さく、各他側フレーム突出部の前記他側フレームの長さ方向の寸法は、複数の基板片のマトリクス状の配置の縦方向または横方向における各基板片の寸法より小さい。この場合、他側フレームを複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に配置すれば、他側フレーム突出部を対応する基板片の輪郭の内側に配置し得る。これにより、各基板片の輪郭上に他側フレーム突出部が配置されて当該輪郭上におけるエッチング液の流動が阻害されてしまう、ということが防止され得る。この結果、所望の形状の基板片が切断分離されることが促進される。
【００３２】
好ましくは、各他側フレーム突出部の突出方向に見て、各他側フレーム突出部の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状である。この場合、エッチング液が各他側フレーム突出部に対してエッチング液の流動方向の下流側領域にも回り込むことが促進される。このため、各他側フレーム突出部が邪魔をしてエッチング液が滞留する領域が形成されてしまってエッチング効果が低下する、ということが抑制される。
【００３３】
好ましくは、前記他側フレームの表面には、各基板片毎に対応して、緩衝材が設けられている。この場合、各基板片を傷つけることなく保持し得る。
【００３４】
あるいは、本発明は、請求項４に記載の基板用治具と、マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた第１の基板であって、複数の基板片が各一側磁石毎に対応して配置されるように当該第１の基板の一側面が前記複数本の一側内枠フレームに対向して配置された第１の基板と、前記第１の基板の各基板片が対応する一側磁石に向けて押し付けられるように、当該第１の基板の他側面において各一側磁石毎に対応して配置された複数の第１の他側磁石または複数の第１の他側磁性体と、を備えたことを特徴とする基板治具セットである。
【００３５】
本発明によれば、第１の基板の各基板片が一側磁石と第１の他側磁石または第１の他側磁性体とによって一側磁石に向けて押し付けられるため、エッチングにより切断された後の第１の基板の複数の基板片は当該一側磁石と当該第１の他側磁石または第１の他側磁性体とによって確実に支持され続けられる。したがって、第１の基板を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片を効率よく取り出すことができる。また、第１の基板の各基板片が一側磁石と第１の他側磁石または第１の他側磁性体とによって挟まれているため、流動するエッチング液中における第１の基板の各基板片の波打つような動きが抑制される。この結果、エッチング中に第１の基板の基板片が破壊される、ということが防止される。
【００３６】
好ましくは、前記基板治具セットは、マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた第２の基板であって、当該第２の基板の一側面が前記複数の第１の他側磁石または第１の他側磁性体が配置された前記第１の基板の他側面に対向するように、且つ、当該第２の基板の複数の基板片が各第１の他側磁石毎または各第１の他側磁性体毎に対応して配置されるように配置された第２の基板と、前記第２の基板の各基板が対応する第１の他側磁石または第１の他側磁性体に向けて押し付けられるように、当該第２の基板の他側面において各第１の磁石毎または各第１の磁性体毎に対応して配置された複数の第２の他側磁石または複数の第２の他側磁性体と、を更に備えている。この場合、第２の基板の各基板片も第１の他側磁石または第１の他側磁性体と第２の他側磁石または第２の他側磁性体とによって第１の他側磁石または第１の他側磁性体に向けて押し付けられているため、エッチングにより切断された後の第２の基板の複数の基板片も、第１の他側磁石または第１の他側磁性体と第２の他側磁石または第２の他側磁性体とによって確実に支持され続けられる。したがって、第１の基板と第２の基板とを鉛直方向に保持した状態で同時にエッチングを行うことができ、切断分離された後の第１の基板及び第２の基板の基板片を効率よく取り出すことができる。また、各基板毎に一側外枠フレームを用いる必要が無いため、省スペースで複数の基板のエッチングを行い得る。また、第１の基板と第２の基板との間に第１の他側磁石または第１の他側磁性体が配置されているため、第１の基板と第２の基板との間に間隙が確保されるため、両者の間にエッチング液が入り込んで、効率よくエッチングを行うことができる。さらに、第２の基板の各基板片は第１の他側磁石または第１の他側磁性体と第２の他側磁石または第２の他側磁性体とによって挟まれているため、流動するエッチング液中における第２の基板の各基板片の波打つような動きも抑制される。この結果、エッチング中に第２の基板の基板片が破壊される、ということが防止される。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、第１の基板の各基板片が一側磁石と第１の他側磁石または第１の他側磁性体とによって一側磁石に向けて押し付けられるため、エッチングにより切断された後の第１の基板の複数の基板片は当該一側磁石と当該第１の他側磁石または第１の他側磁性体とによって確実に支持され続けられる。したがって、第１の基板を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片を効率よく取り出すことができる。また、第１の基板の各基板片が一側磁石と第１の他側磁石または第１の他側磁性体とによって挟まれているため、流動するエッチング液中における第１の基板の各基板片の波打つような動きが抑制される。この結果、エッチング中に第１の基板の基板片が破壊される、ということが防止される。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の第１の実施の形態による基板用治具と、第１の基板と、複数の第１の他側磁石と、第２の基板と、複数の第２の他側磁石と、を示す概略斜視図。
【図２】図１に示す基板用治具と、第１の基板と、を示す一側正面図。
【図３】図１に示す第１または第２の基板と、複数の第１または第２の他側磁石と、を示す他側正面図。
【図４】図１に示す基板用治具の一側磁石並びに第１及び第２の他側磁石の構成を示す概略分解図。
【図５】外側に凸の流線部を有する形状の例を示す図。詳しくは、図５（ａ）が、円形形状を示す図であり、図５（ｂ）が、２つの円弧部分からなる形状を示す図である。
【図６】各基板片に対し、複数の一側フレーム突出部が配置されている様子を説明するための図。
【図７】図２及び図３のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図であって、一側フレーム突出部の突出高さと第１及び第２の他側磁石の厚みとを示す図である。
【図８】切断分離された後の基板片が磁石の磁力によって支持し続けられている様子を説明するための図。
【図９】本発明の第２の実施の形態による基板用治具と、第１の基板と、複数の第１の他側フレームに設けられた複数の第１の他側磁石と、第２の基板と、複数の第２の他側フレームに設けられた複数の第２の他側磁石と、を示す概略斜視図。
【図１０】図９に示す第１または第２の基板と、複数の第１または第２の他側フレームと、複数の第１または第２の他側磁石と、を示す他側正面図。なお、理解を容易にするため、図１０においては、緩衝材は省略されている。
【図１１】ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図。
【図１２】ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図。
【図１３】ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、図面を参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態による基板用治具と、第１の基板と、複数の第１の他側磁石と、第２の基板と、複数の第２の他側磁石と、を示す概略斜視図である。図２は、図１に示す基板用治具と、第１の基板と、を示す一側正面図であり、図３は、図１に示す第１または第２の基板と、複数の第１または第２の他側磁石と、を示す他側正面図である。図４は、図１に示す基板用治具の一側磁石並びに第１及び第２の他側磁石の構成を示す概略分解図である。図５は、外側に凸の流線部を有する形状の例を示す図である。詳しくは、図５（ａ）が、円形形状を示す図であり、図５（ｂ）が、２つの円弧部分からなる形状を示す図である。図６は、各基板片に対し、複数の一側フレーム突出部が配置されている様子を説明するための図である。図７は、図２及び図３のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図であって、一側フレーム突出部の突出高さと他側磁石の厚みとを示す図である。
【００４０】
本実施の形態の基板用治具１は、図１及び図２に示すように、一枚の基板２からマトリクス状に複数の基板片３をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片３の輪郭５が露出するように保護膜４が両面に設けられた基板２を磁石１０ａ及び／または８ａの磁力によって支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片３を磁石１０ａ及び／または８ａの磁力によって支持し続けるために用いられるものである。本実施の形態では、基板２としてガラス基板を用いており、エッチング液としてフッ酸系の溶液を用いている。
【００４１】
図１及び図２に示すように、本実施の形態の基板用治具１は、一側外枠フレーム７と、  複数の基板片３のマトリクス状の配置、具体的には横方向に３つ縦方向に５つ並んだ１５枚の基板片３の３×５のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向（本実施の形態では、横方向）に互いに平行に延びるように、一側外枠フレーム７に組み付けられた複数本の（本実施の形態では、５本の）一側内枠フレーム１０であって、各基板片３毎に対応して配置された複数の（本実施の形態では、１５個の）一側磁石１０ａが設けられている複数本の一側内枠フレーム１０と、を備えている。そして、図１及び図７に示すように、複数の一側内枠フレーム１０は、各基板片３毎に対応して基板２に向けて突出するように設けられた複数の一側フレーム突出部１２を有している。
【００４２】
一側外枠フレーム７について、図１及び図２を参照して詳しく説明する。一側外枠フレーム７は、本実施の形態では、図１及び図２に示すように、全体として矩形の形状を採用している。一側外枠フレーム７は、耐エッチング性のある材料、例えばフッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニル、からなる。もっとも、一側外枠フレーム７は、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。
【００４３】
本実施の形態では、図２に示すように、一側外枠フレーム７には、５本の一側内枠フレーム１０が、複数の基板片３の３×５のマトリクス状の配置に対応して当該マトリクス状の配置の横方向に延びるように互いに平行に、本実施の形態の場合は着脱不能に、組み付けられている。これにより、一側外枠フレーム７の強度が所望の程度以上にされて、一側外枠フレーム７の取扱いが容易であるようになっている。もっとも、一側内枠フレーム１０は、一側外枠フレーム７と一体に構成されていてもよいし、例えばボルトによって一側外枠フレーム７に対して着脱可能に組み付けられていてもよい。
【００４４】
一側内枠フレーム１０も、耐エッチング性のある材料、例えばフッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニル、からなる。もっとも、一側内枠フレーム１０も、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。
【００４５】
一側内枠フレーム１０は、本実施の形態では、図１及び図２に示すように、全体として矩形の細長い板状部材を有している。各一側内枠フレーム１０には、各基板片３毎に対応して配置された複数の（本実施の形態では、３つの）一側磁石１０ａが設けられている。また、各一側内枠フレーム１０は、各基板片３毎に対応して基板２に向けて突出するように設けられた複数の（本実施の形態では、３つの）一側フレーム突出部１２を有している。
【００４６】
複数の一側フレーム突出部１２は、本実施の形態では、一側内枠フレーム１０に各基板片３毎に対応して基板２に向けて突出するように設けられた複数の一側磁石１０ａによって構成されている。もっとも、複数の一側磁石１０ａと複数の一側フレーム突出部１２とは、別個の要素であってよく、例えば、複数の一側磁石１０ａは、一側内枠フレーム１０の矩形の板状部材の内部に配置されていてもよい。
【００４７】
各一側フレーム突出部１２の突出高さｊ、すなわち一側磁石１０ａの厚みは、好ましくは３ｍｍ以上、より好ましくは５ｍｍ以上である。
【００４８】
各一側フレーム突出部１２は、本実施の形態では、図２に示すように、第１の基板２が複数の一側内枠フレーム１０に対向して配置されたときに、各一側フレーム突出部１２が各基板片３の輪郭５の内側に配置されるように寸法決めされている。具体的には、各一側フレーム突出部１２の一側内枠フレーム１０の幅方向の寸法ｉは、当該幅方向における各基板片３の寸法ａより小さく、各一側フレーム突出部１２の一側内枠フレーム１０の長さ方向の寸法ｈは、当該長さ方向における各基板片３の寸法ｂより小さい。
【００４９】
また、本実施の形態では、各一側フレーム突出部１２の突出方向に見て、各一側フレーム突出部１２の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状であり、具体的には図５（ａ）に示す円形形状である。外側に凸の流線部を有する形状としては、円形形状の他に、例えば、図５（ｂ）に示すような２つの円弧部分からなる形状が挙げられる。
【００５０】
図３に示すように、本実施の形態では、複数の一側内枠フレーム１０の表面には、複数の一側磁石１０ａに対応して、緩衝材１４が設けられている。より具体的には、緩衝材１４は、各一側フレーム突出部１２の基板２に対向する面に設けられている。緩衝材１４は、一側フレーム突出部１２に当接される基板片３の損傷を防ぐことができるように、ポリプロピレン等の柔軟且つフッ酸などにも耐性のある材料で作られている。
【００５１】
なお、一側フレーム突出部１２は、本実施の形態では、図２に示すように、各基板片３に対して各々１つが配置されるように一側内枠フレーム１０の板状部材に設けられているが、図６に示すように、各基板片３の形状や寸法等に応じて、複数個が並列して設けられていてもよい。この場合、１つの基板片３に対して設けられる複数の一側フレーム突出部１２は、互いから離間して配置されることが好ましく、隣り合う一側フレーム突出部１２の間隔ｗは、好ましくは１ｍｍ以上である。また、図６に示すように、１つの基板片３に対して設けられる複数の一側フレーム突出部１２の、一側内枠フレーム１０の長さ方向の最も外側の２点の間隔ｈ'は、当該長さ方向における各基板片ｂの寸法より小さい。
【００５２】
ここで、図４を参照して、本実施の形態の一側フレーム突出部１２を構成する一側磁石１０ａの構成について説明する。本実施の形態の一側磁石１０ａは、磁石１３と、エッチング中に磁石１３がエッチング液に曝されることを防ぐように磁石１３を覆うカバー部材１１と、カバー部材１１の基板片３に対向する面に設けられた緩衝材１４と、を有している。
【００５３】
磁石１３としては様々な磁石が採用可能であるが、本実施の形態ではネオジム磁石が採用される。磁石１３の磁力は、流動するエッチング液中においても基板２を支持し続けられるように、且つ、エッチング中に切断分離される各基板片３がエッチング液内に落下してしまわないように、基板２及び各基板片３の重さ、並びに、磁石１３の吸着力と、磁石１３がカバー部材１１によって覆われてなる一側磁石１０ａの吸着力と、の関係（カバー部材１１の厚みや材質、磁石１３と当該磁石１３を覆うカバー部材１１との間隙の大きさ等）等を考慮して、一側磁石１０ａの吸着力が適当な大きさとなるように決定される。例えば、磁石１３がカバー部材１１で覆われることによって一側磁石１０ａの吸着力が磁石１３の吸着力の半分程度となる場合、平面視において３６５ｍｍ×４５０ｍｍの寸法を有し、厚みが０．５５ｍｍ、重さが２５０ｇ程度のガラス基板２を１５個の一側磁石１０ａを用いて支持するためには、各一側磁石１０ａの吸着力が１ｋｇ程度となるように、例えば吸着力が１９．３Ｎ程度のネオジム磁石が採用され得る。さらに好ましくは、磁石１３の磁力は、エッチング後に各基板片３を一側フレーム突出部１２から取り外す時の基板片３の取り外しやすさ等を考慮して適宜決定される。
【００５４】
カバー部材１１は、耐エッチング性のある材料、例えばフッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニル、からなる。もっとも、カバー部材１１も、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。カバー部材１１は、磁石１３を収容する円筒状の容器部１１ａと、磁石１３を容器部１１ａ内に密閉するための円板状の蓋部１１ｂとからなる。本実施の形態では、容器部１１ａと蓋部１１ｂとは、耐エッチング性のある接着剤で接着されているが、溶着されて一体のものとされていてもよい。
【００５５】
また、カバー部材１１の容器部１１ａの深さ方向の寸法、すなわち一側磁石１０ａの厚みは、一側フレーム突出部の突出高さｊに対応する。このため、当該寸法は、３ｍｍ以上であることが好ましく、さらに好ましくは５ｍｍ以上である。
【００５６】
また、カバー部材１１の容器部１１ａの外側底面には、前述の緩衝材１４が耐エッチング性を有する接着剤によって貼着されている。
【００５７】
本実施の形態では、このように構成された複数の一側磁石１０ａが、一側内枠フレーム１０の矩形の板状部材に基板２の各基板片３毎に対応して配置されて当該板状部材にボルト等によって固定されており、一側フレーム突出部１２を構成している。
【００５８】
図４を参照して、本実施の形態の基板用治具１と共に用いられる他側磁石８ａについて説明する。他側磁石８ａも、本実施の形態では、図４に示す一側磁石１０ａと同様に構成されている。もっとも、他側磁石８ａには、カバー部材１１の蓋部１１ａの天面にも緩衝材１４が貼着されている。
【００５９】
他側磁石８ａの厚み方向の寸法は、好ましくは３ｍｍ以上、より好ましくは５ｍｍ以上である。また、他側磁石８ａの厚み方向に見て、他側磁石８ａの外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状であり、具体的には図５（ａ）に示す円形形状である。外側に凸の流線部を有する形状としては、円形形状の他に、例えば、図５（ｂ）に示すような２つの円弧部分からなる形状が挙げられる。また、他側磁石８ａの外周縁の寸法は、図３に示すように、他側磁石８ａが基板片３の輪郭５の内側に配置しうるように決定されている。
【００６０】
次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について、図１乃至図８を参照しながら説明する。図８は、図１の基板用治具１において、エッチングにより切断分離された後の基板片３が粘着層６によって支持され続けている様子を説明するための図である。
【００６１】
先ず、複数の基板２が用意され、各基板２の両面に、図１に示すように、水平方向に３つ、上下方向に５つ、合計で１５個の矩形の基板片３の輪郭５が露出するように、保護膜４が貼り付けられる。
【００６２】
次に、保護膜４が貼り付けられた第１の基板２の複数の基板片３が各一側磁石１０ａ毎に対応して配置されるように（本実施の形態では、各一側フレーム突出部１２毎に対応して配置されるように）、当該第１の基板２の一側面を複数本の一側内枠フレーム１０に対向して配置する。
【００６３】
そして、第１の基板２の他側面において、複数の第１の他側磁石８ａが、各一側磁石１０ａ毎に対応して、当該一側磁石１０ａに対応する基板片３の輪郭５の内側に位置するように配置される。各第１の他側磁石８ａは、対応する一側磁石１０ａの第１基板２側の極性と異なる極性が一側磁石１０ａに対向するように、すなわち第１の他側磁石８ａが第１の基板２を挟んで対応する一側磁石１０ａに吸着されるように配置される。これにより、第１の基板２の各基板片３が対応する一側磁石１０ａに向けて押し付けられる。
【００６４】
次に、第２の基板２が、その一側面が第１の基板２の他側面に対向するように、且つ、第２の基板２の複数の基板片３が各第１の他側磁石８ａ毎に対応して配置されるように、配置される。
【００６５】
そして、第２の基板２の他側面において、複数の第２の他側磁石８ａが、各第１の他側磁石８ａ毎に対応して、当該第１の他側磁石８ａに対応する基板片３の輪郭５の内側に位置するように配置される。各第２の他側磁石８ａは、対応する第１の他側磁石８ａの第２基板２側の極性と異なる極性が第１の他側磁石８ａに対向するように、すなわち第２の他側磁石８ａが第２の基板２を挟んで対応する第１の他側磁石８ａに吸着されるように配置される。これにより、第２の基板２の各基板片３が対応する第１の他側磁石８ａに向けて押し付けられる。
【００６６】
以上のような基板２及び他側磁石８ａの配置が、所望の回数だけ繰り返され、所望の枚数の基板２が基板用治具１に支持された基板治具セットが製造される。
【００６７】
以上のように基板用治具１に支持された複数枚の（例えば３枚の）基板２が、例えば鉛直方向にエッチング液槽内に浸される。このとき、少なくとも各基板片３の輪郭５上において、保護膜４と一側内枠フレーム１０の板状部材との間、及び、対向する基板２間には十分な大きさの間隙が確保されているため、保護膜４と一側内枠フレーム１０との間及び対向する基板２間にもエッチング液が供給される。そして、エッチング液は、一側フレーム突出部１２及び他側磁石８ａの周囲において、一側フレーム突出部１２及び他側磁石８ａの外周縁に沿って案内され、一側フレーム突出部１２及び他側磁石８ａに対してエッチング液の流動方向の下流側領域にも回り込む。
【００６８】
このようなエッチング液の供給によって、基板２から複数の基板片３がエッチングによって切断分離される。切断分離された基板片３は、図８に示すように、磁石１０ａ及び８ａの磁力によって支持し続けられる。このため、切断分離された各基板片３が、他の基板片３や一側外枠フレーム７等と接触して損傷する虞がない。
【００６９】
以上のように本実施の形態によれば、第１の基板２の各基板片３が一側磁石１０ａと第１の他側磁石８ａとによって一側磁石１０ａに向けて押し付けられるため、エッチングにより切断された後の第１の基板２の複数の基板片３は当該一側磁石１０ａと当該第１の他側磁石８ａとによって確実に支持され続けられる。したがって、第１の基板２を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片３を効率よく取り出すことができる。また、第１の基板２の各基板片３が一側磁石１０ａと第１の他側磁石８ａとによって挟まれているため、流動するエッチング液中における第１の基板２の各基板片３の波打つような動きが抑制される。この結果、エッチング中に第１の基板２の基板片３が破壊される、ということが防止される。
【００７０】
また、第２の基板２の各基板片３も第１の他側磁石８ａと第２の他側磁石８ａとによって第１の他側磁石８ａに向けて押し付けられているため、エッチングにより切断された後の第２の基板２の複数の基板片３も、第１の他側磁石８ａと第２の他側磁石８ａとによって確実に支持され続けられる。したがって、第１の基板２と第２の基板２とを鉛直方向に保持した状態で同時にエッチングを行うことができ、切断分離された後の第１の基板２及び第２の基板２の基板片３を効率よく取り出すことができる。また、各基板２毎に一側外枠フレーム７を用いる必要が無いため、省スペースで複数の基板２のエッチングを行い得る。また、第１の基板２と第２の基板２との間に第１の他側磁石８ａが配置されるため、第１の基板２と第２の基板２との間に間隙が確保され、両者の間にエッチング液が入り込んで、効率よくエッチングを行うことができる。さらに、第２の基板２の各基板片３は第１の他側磁石８ａと第２の他側磁石８ａとによって挟まれているため、流動するエッチング液中における第２の基板２の各基板片３の波打つような動きも抑制される。この結果、エッチング中に第２の基板２の基板片３が破壊される、ということが防止される。
【００７１】
また、複数の一側内枠フレーム１０は、各基板片３毎に対応して基板２に向けて突出するように設けられた複数の一側フレーム突出部１２を有している。これにより、一側内枠フレーム１０と第１の基板２との間に間隙が確保され、一側内枠フレーム１０と基板２との間にエッチング液が入り込んで、第１の基板２の両側から効率よくエッチングを行い得る。したがって、第１の基板２のエッチング及び洗浄作業を複数回行う必要が無く、基板片３の製造効率が向上する。
【００７２】
また、各一側フレーム突出部１２の突出高さｊは、３ｍｍ以上である。このため、一側内枠フレーム１２と第１の基板２との間隔が狭すぎてエッチング液の流動が阻害される、ということが効果的に防止される。
【００７３】
また、各一側フレーム突出部１２の一側内枠フレーム１０の幅方向の寸法ｉは、当該幅方向における各基板片３の寸法ａより小さく、各一側フレーム突出部１２の一側内枠フレーム１０の長さ方向の寸法ｈは、当該長さ方向における各基板片３の寸法ｂより小さい。このため、各基板片３の輪郭５上に一側フレーム突出部１２が配置されて当該輪郭５上におけるエッチング液の流動が阻害されてしまう、ということが防止され得る。これにより、所望の形状の基板片３が切断分離されることが促進される。
【００７４】
各一側フレーム突出部１２の突出方向に見て、各一側フレーム突出部１２の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状である。このため、エッチング液が各一側フレーム突出部１２に対してエッチング液の流動方向の下流側領域にも回り込むことが促進される。この結果、各一側フレーム突出部１２が邪魔をしてエッチング液が滞留する領域が形成されてしまってエッチング効果が低下する、ということが抑制される。
【００７５】
また、複数の一側内枠フレーム１０の表面には、複数の一側磁石１０ａに対応して、緩衝材１４が設けられている。これにより、各基板片３を傷つけることなく保持し得る。
【００７６】
次に、図９及び図１０により、本発明による基板用治具の第２の実施の形態について説明する。
【００７７】
図９は、本発明の第２の実施の形態による基板用治具１'と、第１の基板２と、複数の第１の他側フレーム８に設けられた複数の第１の他側磁石８ａ'と、第２の基板２と、複数の第２の他側フレーム８に設けられた複数の第２の他側磁石８ａ'と、を示す概略斜視図である。図１０は、図９に示す第１または第２の基板２と、複数の第１または第２の他側フレーム８と、複数の第１または第２の他側磁石８ａ'と、を示す他側正面図である。なお、図１０においては、理解を容易にするため、緩衝材１４は省略されている。
【００７８】
本実施の形態の基板用治具１'は、少なくとも１つの他側フレーム８（本実施の形態では、３つの第１の他側フレーム８及び３つの第２の他側フレーム８）を更に備えており、各他側フレーム８には、各基板片３毎に対応して配置された複数の他側磁石８ａ'が設けられている。本実施の形態の基板用治具１'のその他の構成は、図１乃至図８に示す第１の実施の形態の基板用治具と略同一である。図９乃至図１０に示す実施の形態において第１の実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００７９】
第１及び第２の他側フレーム８は、本実施の形態では、耐エッチング性のある材料、例えばフッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニル、からなる。もっとも、他側フレーム８は、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。
【００８０】
第１及び第２の他側フレーム８は、本実施の形態では、図９及び図１０に示すように、全体として矩形の細長い板状部材と、各基板片３毎に対応して当該他側フレーム８ａ'の少なくとも一側に（本実施の形態では、両側に）突出するように設けられた、複数の（本実施の形態では、各側に５つの）他側フレーム突出部８１を有している。
【００８１】
複数の他側フレーム突出部８１は、本実施の形態では、他側内枠フレーム８の両側に各基板片３毎に対応して基板２に向けて突出するように設けられた複数の他側磁石８ａ'によって構成されている。もっとも、複数の他側磁石８ａ'と複数の他側フレーム突出部８１とは、別個の要素であってよく、例えば、複数の他側磁石８ａは、他側フレーム８の矩形の板状部材の内部に配置されていてもよい。
【００８２】
各他側フレーム突出部８１の突出高さは、好ましくは３ｍｍ以上、より好ましくは５ｍｍ以上である。
【００８３】
また、図１０に示すように、本実施の形態では、各他側フレーム突出部８１の他側フレーム８の幅方向の寸法ｆは、複数の基板片３のマトリクス状の配置の横方向または縦方向（本実施の形態では、横方向）における各基板片３の寸法ｂまたはａ（本実施の形態では寸法ｂ）より小さく、各他側フレーム突出部８１の他側フレーム８の長さ方向の寸法ｇは、複数の基板片３のマトリクス状の配置の縦方向または横方向（本実施の形態では、縦方向）における各基板片３の寸法ａまたはｂ（本実施の形態では、寸法ａ）より小さい。
【００８４】
また、本実施の形態では、各他側フレーム突出部８１の突出方向に見て、各他側フレーム突出部８１の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状であり、具体的には図５（ａ）に示す円形形状である。
【００８５】
また、他側フレーム８の表面には、各基板片３毎に対応して、緩衝材１４が設けられている。より具体的には、緩衝材１４は、各他側フレーム突出部８１の基板２に対向する面に設けられている。緩衝材１４は、他側フレーム突出部８１に当接される基板片３の損傷を防ぐことができるように、ポリプロピレン等の柔軟な材料で作られている。
【００８６】
なお、他側フレーム突出部８１は、本実施の形態では、図１０に示すように、各基板片３に対して各々１つが配置されるように他側内枠フレーム８の板状部材に設けられているが、図６に示された一側フレーム突出部１２と同様に、各基板片３の形状や寸法等に応じて、複数個が並列して設けられていてもよい。
【００８７】
本実施の形態の他側フレーム突出部８１を構成する他側磁石８ａ'の構成は、図４に示す一側磁石１０ａの構成と略同一である。本実施の形態では、このように構成された複数の他側磁石８ａ'が他側内枠フレーム８の矩形の板状部材の両側に基板２の各基板片３毎に対応して配置されて当該板状部材にボルト等によって固定されており、他側フレーム突出部８１を構成している。
【００８８】
次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について、図９及び図１０を参照しながら説明する。
【００８９】
先ず、複数の基板２が用意され、各基板２の両面に、図９に示すように、水平方向に３つ、上下方向に５つ、合計で１５個の矩形の基板片３の輪郭５が露出するように、保護膜４が貼り付けられる。
【００９０】
次に、保護膜４が貼り付けられた第１の基板２の複数の基板片３が各一側磁石１０ａ毎に対応して配置されるように（本実施の形態では、各一側フレーム突出部１２毎に対応して配置されるように）、当該第１の基板２の一側面を複数本の一側内枠フレーム１０に対向して配置する。
【００９１】
そして、第１の基板２の他側面において、複数の第１の他側磁石８ａ'が設けられた複数の第１の他側フレーム８が、第１の基板２の複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の縦方向に互いに平行に延びるように配置される。この時、複数の第１の他側フレーム８は、複数の第１の他側磁石８ａ'が各一側磁石１０ａ毎に対応して配置されるように、且つ、各第１の他側磁石８ａ'が対応する基板片３の輪郭５の内側に位置するように配置される。また、複数の第１の他側フレーム８は、各第１の他側磁石８ａ'が、対応する一側磁石１０ａの第１基板２側の極性と異なる極性が一側磁石１０ａに対向するように、すなわち第１の他側磁石８ａ'が第１の基板２を挟んで対応する一側磁石１０ａに吸着されるように配置される。これにより、第１の基板２の各基板片３が対応する一側磁石１０ａに向けて押し付けられる。
【００９２】
次に、第２の基板２が、その一側面が第１の基板２の他側面に対向するように、かつ、第２の基板２の複数の基板片３が各第１の他側磁石８ａ'毎に対応して配置されるように、配置される。
【００９３】
そして、第２の基板２の他側面において、複数の第２の他側磁石８ａ'が設けられた複数の第２の他側フレーム８が、第２の基板２の複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の縦方向に互いに平行に延びるように配置される。この時、複数の第２の他側フレーム８は、複数の第２の他側磁石８ａ'が各第１の他側磁石８ａ'毎に対応して配置されるように、且つ、各第２の他側磁石８ａ'が対応する基板片３の輪郭５の内側に位置するように配置される。また、複数の第２の他側フレーム８は、各第２の他側磁石８ａ'が、対応する第１の他側磁石８ａ'の第２基板２側の極性と異なる極性が第１の他側磁石８ａ'に対向するように、すなわち第２の他側磁石８ａ'が第２の基板２を挟んで対応する第１の他側磁石８ａ'に吸着されるように配置される。これにより、第１の基板２の各基板片３が対応する第１の他側磁石８ａ'に向けて押し付けられる。
【００９４】
以上のような基板２及び他側フレーム８の配置が、所望の回数だけ繰り返され、所望の枚数の基板２が基板用治具１に支持された基板治具セットが製造される。
【００９５】
以上のように基板用治具１に支持された複数枚の（例えば３枚の）基板２が、例えば鉛直方向にエッチング液槽内に浸される。このとき、少なくとも各基板片３の輪郭５上において、保護膜４と一側内枠フレーム１０の板状部材との間、及び、他側フレーム８と当該他側フレーム８に対向する基板２との間には十分な大きさの間隙が確保されているため、保護膜４と一側内枠フレーム１０との間及び他側フレーム８と当該他側フレーム８に対向する基板２との間にもエッチング液が供給される。そして、エッチング液は、一側フレーム突出部１２及び他側磁石８ａ'の周囲において、一側フレーム突出部１２及び他側磁石８ａ'の外周縁に沿って案内され、一側フレーム突出部１２及び他側磁石８ａ'に対してエッチング液の流動方向の下流側領域にも回り込む。
【００９６】
このようなエッチング液の供給によって、基板２から複数の基板片３がエッチングによって切断分離される。切断分離された基板片３は、磁石１０ａ及び８ａ'の磁力によって支持し続けられる。
【００９７】
そして、エッチング終了後、基板片３から他側フレーム８が除去され、これにより複数の他側磁石８ａ'が、各基板片３から同時に除去される。
【００９８】
以上のように、本実施の形態によれば、基板用治具１'は、少なくとも１つの他側フレーム８を更に備え、他側フレーム８には、各基板片３毎に対応して配置された複数の他側磁石８ａ'が設けられている。この場合、各基板片３毎に対応して配置される複数の他側磁石８ａ'を、複数の基板片３に同時に配置可能であり、また複数の基板片３から同時に除去可能である。
【００９９】
また、他側フレーム８は、各基板片３毎に対応して当該他側フレーム８の少なくとも一側に突出するように設けられた、複数の他側フレーム突出部８１を有している。この場合、他側フレーム突出部８１以外の領域において他側フレーム８と基板２との間に間隙が確保される。これにより、他側フレーム８と基板２との間にエッチング液が入り込んで、効率よくエッチングを行い得る。
【０１００】
また、各他側フレーム突出部８１の突出高さは、３ｍｍ以上である。これにより、他側フレーム８と基板２との間隔が狭すぎてエッチング液の流動が阻害される、ということが効果的に防止される。
【０１０１】
また、各他側フレーム突出部８１の他側フレーム８の幅方向の寸法ｆは、複数の基板片３のマトリクス状の配置の横方向における各基板片の寸法ｂより小さく、各他側フレーム突出部８１の他側フレーム８の長さ方向の寸法ｇは、複数の基板片３のマトリクス状の配置の縦方向における各基板片３の寸法ａより小さい。このため、他側フレーム８を複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に配置すれば、他側フレーム突出部８１を対応する基板片３の輪郭５の内側に配置し得る。これにより、各基板片３の輪郭５上に他側フレーム突出部８１が配置されて当該輪郭５上におけるエッチング液の流動が阻害されてしまう、ということが防止され得る。この結果、所望の形状の基板片３が切断分離されることが促進される。
【０１０２】
また、各他側フレーム突出部８１の突出方向に見て、各他側フレーム突出部８１の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状である。これにより、エッチング液が各他側フレーム突出部８１に対してエッチング液の流動方向の下流側領域にも回り込むことが促進される。このため、各他側フレーム突出部８１が邪魔をしてエッチング液が滞留する領域が形成されてしまってエッチング効果が低下する、ということが抑制される。
【０１０３】
また、他側フレーム８の表面には、各基板片３毎に対応して、緩衝材１４が設けられている。この場合、各基板片３を傷つけることなく保持し得る。
【０１０４】
なお、図１及び図９に示す実施の形態において、複数の一側フレーム１０に設けられた複数の一側磁石１０ａの代わりに、複数の一側磁性体が設けられてもよい。一側磁性体は、当該一側磁性体に対応して配置される他側磁石８ａによって磁性を帯びることが可能な材料、例えば鉄、で形成されていればよい。
【０１０５】
また、他側磁石８ａ、８ａ'の代わりに、複数の他側磁性体が用いられてもよい。他側磁性体は、当該他側磁性体に対応する一側磁石１０ａによって磁性を帯びることが可能な材料、例えば鉄、で形成されていればよい。
【符号の説明】
【０１０６】
１      基板用治具
２      基板
３      基板片
４      保護膜
５      輪郭
６      粘着層
７      一側外枠フレーム
８      他側内枠フレーム
８ａ    他側磁石
９      溝
１０    一側内枠フレーム
１０ａ  一側磁石
１２    一側フレーム突出部
８１    他側フレーム突出部
５０１  ガラス基板
５０２  ガラス基板片
５０３  保護膜
５０４  両面テープ
５０５  輪郭
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１】
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【図８】
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【図９】
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