(57)【要約】      （修正有）【課題】保護管内の予め決められた位置に温度検出素子を精度よく固定できる温度センサを提供する。【解決手段】温度センサは、保護管と、保護管に収容された支持板3と、支持板3に実装された温度検出素子4と、保護管に収容され、温度検出素子4を保護管内の所定の位置に保持する保持体5と、を備えている。保護管は、その内面から保護管の内側に張り出す位置決め部18を有する。位置決め部18は、保護管の周方向に沿う第１の段差20と、保護管の長手方向に延びた第２の段差21と、を含む。保持体5は、保護管に挿入された筒状の本体部23と、本体部23に設けられ、支持板3を支持する支持部26と、本体部23に設けられ、第１の段差20に係合された第１の係合部30と、本体部23に設けられ、第２の段差21に係合された第２の係合部31と、を備えている。【選択図】図６
2015200513.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度を検出すべき雰囲気の中に設置される保護管と、
前記保護管の内部に収容された支持板と、
前記支持板に実装され、前記雰囲気の温度を検出する温度検出素子と、
前記保護管に収容され、前記支持板に実装された前記温度検出素子を前記保護管内の所定の位置に保持するように構成された保持体と、を備えた温度センサであって、
前記保護管は、その内面から前記保護管の内側に張り出す位置決め部を有し、当該位置決め部は、前記保護管の周方向に沿う第１の段差と、前記保護管の長手方向に延びた第２の段差と、を含み、
前記保持体は、前記保護管の内部に挿入された筒状の本体部と、前記本体部に設けられ、前記支持板を支持する支持部と、前記本体部に設けられ、前記第１の段差に係合することで前記保護管の長手方向に沿う前記温度検出素子の位置を規定する第１の係合部と、前記本体部に設けられ、前記第２の段差に係合することで前記保護管の周方向に沿う前記温度検出素子の位置を規定する第２の係合部と、を備えた温度センサ。
【請求項２】
前記保持体の前記支持部は、前記本体部の外周部を部分的に切り欠くことで構成され、当該支持部に前記支持板が嵌合された請求項１に記載の温度センサ。
【請求項３】
前記保持体の前記支持部は、前記支持板の両側部を受け止める一対の支持面を有し、前記支持板の両側部が前記支持面と前記保護管の内周面との間で挟み込まれた請求項２に記載の温度センサ。
【請求項４】
前記保持体の前記本体部は、前記第１の係合部および前記第２の係合部が設けられた第１の端部と、前記第１の端部の反対側に位置された第２の端部と、を含むとともに、前記第１の端部から前記保護管内に挿入された請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の温度センサ。
【請求項５】
前記本体部の前記第２の端部に、前記保護管内に挿入された前記本体部を前記保護管の周方向に回転させるための治具を引っ掛ける第３の係合部が設けられた請求項４に記載の温度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体ウエハを加熱処理する熱処理装置に用いられる温度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置のような熱処理装置は、半導体ウエハが収容された処理容器内の雰囲気温度を測定する温度センサを備えている。例えば特許文献１に開示された従来の温度センサは、保護管と、当該保護管内に挿入された管状の支持部材を備えている。支持部材は、複数の固定部を有している。固定部は、支持部材の外周部を部分的に切り欠くことで構成されている。固定部は、支持部材の長手方向に互いに間隔を存して配列されており、各固定部に熱電対が実装された支持板が接着等の手段により固定されている。
【０００３】
支持部材を保護管内に挿入すると、支持部材の外周面が保護管の内周面に接触し、支持部材が保護管に対し同軸状に保持される。この結果、支持部材に固定された熱電対が保護管内の所定の位置に保持されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−５３０３８号公報（第８頁、図２１、図２２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示された温度センサによると、熱電対が固定された筒状の支持部材は、単に保護管の内周面に接しているに止まっている。このため、保護管の長手方向および周方向に沿う熱電対の位置を精度よく定めることができず、熱電対の向きを測温対象物である半導体ウエハに合わせることが容易でないといった問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、保護管内の所定の位置に温度検出素子を精度よく固定できる温度センサを得ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明の一つの形態に係る温度センサは、保護管と、前記保護管の内部に収容された支持板と、前記支持板に実装された温度検出素子と、前記保護管に収容され、前記支持板に実装された前記温度検出素子を前記保護管の内部の所定の位置に保持するように構成された保持体と、を備えている。
【０００８】
前記保護管は、その内面から前記保護管の内側に張り出す位置決め部を有する。当該位置決め部は、前記保護管の周方向に沿う第１の段差と、前記保護管の長手方向に延びた第２の段差と、を含んでいる。前記保持体は、前記保護管の内部に挿入された筒状の本体部と、前記本体部に設けられ、前記支持板を支持する支持部と、前記本体部に設けられ、前記第１の段差に係合することで前記保護管の長手方向に沿う前記温度検出素子の位置を規定する第１の係合部と、前記本体部に設けられ、前記第２の段差に係合することで前記保護管の周方向に沿う前記温度検出素子の位置を規定する第２の係合部と、を備えている。
【０００９】
本発明の好ましい形態によると、前記保持体の前記支持部は、前記本体部の外周部を部分的に切り欠くことで構成され、当該支持部に前記支持板が嵌合されている。
【００１０】
本発明の好ましい形態によると、前記保持体の前記支持部は、前記支持板の両側部を受け止める一対の支持面を有し、前記支持板の両側部が前記支持面と前記保護管の内周面との間で挟み込まれている。
【００１１】
本発明の好ましい形態によると、前記保持体の前記本体部は、前記第１の係合部および前記第２の係合部が設けられた第１の端部と、前記第１の端部の反対側に位置された第２の端部と、を含むとともに、前記第１の端部から前記保護管内に挿入されている。
【００１２】
本発明の好ましい形態によると、前記本体部の前記第２の端部に、前記保護管内に挿入された前記本体部を前記保護管の周方向に回転させるための治具を引っ掛ける第３の係合部が設けられている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、保持体の本体部は、第１の係合部および第２の係合部を保護管内の第１の段差および第２の段差に係合させることで、保護管の長手方向および周方向のいずれの方向に対しても自由な移動が制限された状態に保たれる。そのため、保持体に支持された温度検出素子を保護管内の所定の位置に精度よく固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態に係る温度センサの外観を示す正面図である。
【図２】図１のＡ部の詳細を示す温度センサの断面図である。
【図３】図２の矢印Ｆ３の方向から見た温度センサの断面図である。
【図４】図２の矢印Ｆ４の方向から見た温度センサの断面図である。
【図５】図２のＦ５−Ｆ５線に沿う温度センサの断面図である。
【図６】熱電対が実装された支持板、保護管および保持体の位置関係を分解して示す温度センサの斜視図である。
【図７】熱電対が実装された支持板および保持体の位置関係を示す斜視図である。
【図８】保護管内に挿入された保持体に治具を引っ掛けた状態を示す断面図である。
【図９】保護管の開口端部に固定されたエンドキャップの構成を示す断面図である。
【図１０】センサ線がフェルールを貫通する部分でセンサ線を破断した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下本発明の実施形態を、図１ないし図１０に基づいて説明する。
【００１６】
図１は、例えば半導体製造装置のような熱処理装置に用いる温度センサ１の外観を示している。温度センサ１は、半導体ウエハを加熱する処理容器内の雰囲気温度を測定するための要素であって、図１に示す処理容器内の高温雰囲気Ｈの中に設置される。
【００１７】
温度センサ１は、保護管２、支持板３、熱電対４、保持体５およびエンドキャップ６を主要な要素として備えている。保護管２としては、例えば円筒状の石英管を用いることができる。保護管２は、石英管に限らず、例えばＳｉＣ管あるいはアルミナ管のような耐熱性に優れた他の材料で構成してもよい。
【００１８】
保護管２は、縦管８と、縦管８に連なる横管９と、を有している。縦管８は、処理容器内で垂直に起立されている。横管９は、縦管８の上端から直角に折り曲げられて処理容器内で水平に延びている。言い換えると、横管９は、測温対象物となる半導体ウエハに向けて縦管８の上端から延出されている。横管９は、円筒状であって、縦管８から離れた先端部９ａを有している。先端部９ａの突出端は、気密に封止されている。
【００１９】
支持板３は、横管９の先端部９ａに収容されている。支持板３は、例えばシリコン基板、石英、炭化ケイ素、カーボン等で構成され、高温雰囲気Ｈの熱を受けることで高温雰囲気Ｈと同等の温度に加熱される。そのため、支持板３は、受熱板と言い換えることができる。本実施形態によると、支持板３は、例えば厚さが０．７ｍｍ程度の四角い板であり、平坦な実装面３ａを有している。
【００２０】
熱電対４は、温度検出素子の一例である。熱電対４は、二本の異種の金属線１０ａ，１０ｂと、金属線１０ａ，１０ｂの先端部を接合した点状の測温部１１と、を有している。測温部１１は、支持板３の実装面３ａの中央部に実装されている。本実施形態では、測温部１１は、封止剤１２を用いて実装面３ａに接着されており、支持板３に対し熱的に接続された状態に保たれている。
【００２１】
さらに、金属線１０ａ，１０ｂは、夫々絶縁スリーブ１３で被覆されている。絶縁スリーブ１３としては、例えばアルミナ又はセラミックファイバーで構成された織布を用いている。これにより、絶縁スリーブ１３で被覆された金属線１０ａ，１０ｂは、耐熱性および柔軟性を兼ね備えた二本のセンサ線１４ａ，１４ｂを構成している。
【００２２】
保持体５は、熱電対４が実装された支持板３を横管９の先端部９ａの所定の位置に保持する要素であって、横管９の先端部９ａに収容されている。具体的には、熱電対４は、測温対象物である半導体ウエハの温度変化を精度よく検出する必要があるため、保持体５は、熱電対４が実装された支持板３が測温対象物を指向するように保護管２に対する支持板３の位置を正確に規定するように構成されている。
【００２３】
図２ないし図４は、図１のＡ部の詳細を示している。すなわち、保護管２の横管９は、第１の管部１６、第２の管部１７および位置決め部１８を有している。第１の管部１６は、保護管２の縦管８に通じている。第２の管部１７は、第１の管部１６に同軸状に連通されているとともに、横管９の先端部９ａを構成している。第１の管部１６の内径ｂ１は、第２の管部１７の内径ｂ２よりも小さく設定されている。
【００２４】
図２および図６に最もよく示されるように、位置決め部１８は、第１の管部１６と第２の管部１７との間の境界に位置されている。位置決め部１８は、第１の管部１６の内径ｂ１と第２の管部１７の内径ｂ２との相違により横管９の内周面から横管９の内側に張り出している。
【００２５】
具体的に述べると、位置決め部１８は、第１の段差２０および第２の段差２１を有している。第１の段差２０は、二つの第１の当接面２０ａ，２０ｂを含んでいる。第１の当接面２０ａ，２０ｂは、夫々横管９の周方向に沿って円弧を描くように湾曲されているとともに、その円弧の向きが互いに逆転されている。さらに、第１の当接面２０ａ，２０ｂは、横管９の長手方向に互いに離れている。
【００２６】
第２の段差２１は、横管９の長手方向に延びた二つの第２の当接面２１ａ，２１ｂを含んでいる。第２の当接面２１ａは、第１の当接面２０ａの一端と第１の当接面２０ｂの一端との間に跨っている。第２の当接面２１ｂは、第１の当接面２０ａの他端と第１の当接面２０ｂの他端との間に跨っている。そのため、第２の当接面２１ａ，２１ｂは、横管９の径方向に互いに間隔を存して平行に並んでいる。
【００２７】
図２、図５ないし図７に示すように、保持体５は、円筒状の本体部２３を有している。本体部２３は、例えば石英ガラスで構成され、横管９の第２の管部１７の内側に挿入されている。本体部２３の外周面は、第２の管部１７の内周面に摺動可能に接している。これにより、本体部２３が横管９に対し同軸状に保持されている。
【００２８】
本体部２３は、第１の端部２４ａ、第２の端部２４ｂおよび中間部２４ｃを有している。第１の端部２４ａおよび第２の端部２４ｂは、本体部２３の長手方向に互いに離れている。言い換えると、第２の端部２４ｂは、第１の端部２４ａに対し本体部２３の長手方向に沿う反対側に位置されている。中間部２４ｃは、第１の端部２４ａと第２の端部２４ｂとの間に位置されている。
【００２９】
本体部２３の中間部２４ｃに支持部２６が形成されている。支持部２６は、例えば本体部２３の外周部を略半周に亘って切り欠くことで構成されており、熱電対４が実装された支持板３が嵌り込むような大きさを有している。支持部２６は、支持板３の両側部を受け止める二つの支持面２７ａ，２７ｂと、支持板３を間に挟んで向かい合う二つの端面２８ａ，２８ｂと、を有している。
【００３０】
本実施形態では、支持板３は、熱電対４が実装された実装面３ａを本体部２３の内側に向けた姿勢で支持部２６に嵌め込まれている。これにより、支持板３の両側部が支持面２７ａ，２７ｂに突き合わされるとともに、図５に示すように、支持板３の両側部の縁が横管９の第２の管部１７の内周面に接している。
【００３１】
したがって、支持板３の両側部が本体部２３の支持面２７ａ，２７ｂと横管９の第２の管部１７の内周面との間で挟み込まれている。この結果、支持板３は、接着等の格別な固定手段を用いることなく、本体部２３の支持部２６に移動不能に保持されている。
【００３２】
図２ないし図４、図７に示すように、本体部２３の第１の端部２４ａに第１の係合部３０および第２の係合部３１が形成されている。第１の係合部３０は、二つの第１の係合面３０ａ，３０ｂを有している。第１の係合面３０ａ，３０ｂは、本体部２３の周方向に沿って円弧状に湾曲されているとともに、本体部２３の長手方向に互いに離れている。第１の係合面３０ａ，３０ｂは、第１の段差２０の第１の当接面２０ａ，２０ｂに突き当たるように係合することで、横管９の長手方向に沿う熱電対４の位置を規定している。
【００３３】
第２の係合部３１は、二つの第２の係合面３１ａ，３１ｂを有している。第２の係合面３１ａ，３１ｂは、本体部２３の長手方向に延びているとともに、本体部２３の径方向に互いに間隔を存して平行に並んでいる。第２の係合面３１ａ，３１ｂは、第２の段差２１の第２の当接面２１ａ，２１ｂに突き当たるように係合することで、横管９の周方向に沿う熱電対４の位置を規定している。
【００３４】
この結果、保持体５は、横管９の長手方向および径方向のいずれの方向に対しても自由な移動を制限された状態で横管９の内部に保持されている。
【００３５】
図７および図８に示すように、本体部２３の第２の端部２４ｂに第３の係合部３３が形成されている。第３の係合部３３は、第２の端部２４ｂを部分的に切り欠くことで構成され、当該第３の係合部３３に治具３４が引っ掛かるようになっている。治具３４は、本体部２３を横管９の内部で回動させる要素の一例である。
【００３６】
図１に示すように、熱電対４のセンサ線１４ａ，１４ｂは、本体部２３の内側から横管９を通じて縦管８に導かれている。横管９から縦管８に導かれたセンサ線１４ａ，１４ｂは、縦管８の開口端部３５から保護管２の外に引き出されている。図９では、図面が煩雑化するのを防ぐために、一本のセンサ線１４ａのみを代表して示している。
【００３７】
図９に示すように、エンドキャップ６は、縦管８の開口端部３５に固定されている。エンドキャップ６は、継手パイプ４０、継手キャップ４１およびフェルール４２を主要な要素として備えている。
【００３８】
継手パイプ４０は、例えばステンレスのような金属材料で構成されている。継手パイプ４０は、縦管８の開口端部３５に接着等の手段で同軸状に固定された本体部４３と、本体部４３の先端から同軸状に突出された円筒状の連結部４４と、を備えている。連結部４４は、本体部４３よりも径が小さいとともに、当該連結部４４の外周面に雄ねじ部４５が形成されている。
【００３９】
さらに、継手パイプ４０は、第１の中空部４７および第２の中空部４８を有している。第１の中空部４７は、縦管８の開口端部３５に通じている。第２の中空部４８は、小径部４８ａおよび大径部４８ｂを含んでいる。小径部４８ａは、第１の中空部４７の底に同軸状に開口されている。大径部４８ｂは、連結部４４の先端面に開口されている。
【００４０】
小径部４８ａと大径部４８ｂとの間の境界部分にテーパ部５０が形成されている。テーパ部５０は、小径部４８ａから大径部４８ｂに向けて拡開するように傾斜された押圧面５１を有している。
【００４１】
継手キャップ４１は、例えばステンレスのような金属材料で構成されている。継手キャップ４１は、継手パイプ４０の連結部４４が入り込む凹部５２と、凹部５２の底に開口された通孔５３と、を有している。雌ねじ部５４が凹部５２の内周面に形成されている。継手キャップ４１の雌ねじ部５４は、継手パイプ４０の雄ねじ部４５にねじ込まれている。このねじ込みにより、継手パイプ４０と継手キャップ４１とが同軸状に連結されている。
【００４２】
フェルール４２は、継手キャップ４１の第２の中空部４８に収容されている。フェルール４２は、円筒状であり、例えば弾性変形が可能なゴム状弾性体で構成されている。フェルール４２は、スペーサリング５５とテーパ部５０の押圧面５１との間に介在されている。スペーサリング５５は、継手キャップ４１の凹部５２の底に支持されて、第２の中空部４８の大径部４８ｂに入り込んでいる。
【００４３】
図９に一本のセンサ線１４ａを代表して示すように、縦管８の開口端部３５から引き出されたセンサ線１４ａ，１４ｂは、第２の中空部４８の小径部４８ａ、フェルール４２、スペーサリング５５および継手キャップ４１の通孔５３を貫通してエンドキャップ６の外に導出されている。
【００４４】
本実施形態によると、少なくともフェルール４２およびスペーサリング５５に対応した位置では、図１０に示すように、センサ線１４ａから絶縁スリーブ１３が除去されて、絶縁スリーブ１３よりも下層のポリイミド製の絶縁チューブ５６が露出されている。
【００４５】
エンドキャップ６の外に導出されたセンサ線１４ａ，１４ｂは、テフロン（登録商標）を用いた保護チューブ５８、第１の熱収縮チューブ５９および第２の熱収縮チューブ６０を用いて継手キャップ４１に封止されている。
【００４６】
このようなエンドキャップ６において、継手キャップ４１を締め付けると、継手キャップ４１が継手パイプ４０に近づく方向に移動する。これにより、スペーサリング５５がフェルール４２をテーパ部５０に向けて押し込み、フェルール４２がテーパ部５０の押圧面５１に押し付けられる。
【００４７】
この結果、フェルール４２は内径を縮小するように強制的に弾性変形され、フェルール４２の内側に挿通されたセンサ線１４ａ，１４ｂがフェルール４２によって締め付けられる。
【００４８】
特に本実施形態によると、フェルール４２に対応した位置では、センサ線１４ａ，１４ｂから絶縁スリーブ１３が除去されて、ポリイミド製の絶縁チューブ５６が露出されている。ポリイミド製の絶縁チューブ５６は、織布を用いた絶縁スリーブ１３よりもフェルール４２に馴染み易いので、フェルール４２と絶縁チューブ５６との密着性が良好となる。
【００４９】
したがって、保護管２から引き出されたセンサ線１４ａ，１４ｂをエンドキャップ６の位置で緊密に固定することができる。このため、たとえセンサ線１４ａ，１４ｂを保護管２の外に引き出そうとする張力がセンサ線１４ａ，１４ｂに加わったとしても、当該張力が熱電対４の測温部１１と支持板３との接着部分に及ぶことはない。
【００５０】
よって、熱電対４の測温部１１が支持板３から剥がれたり、測温部１１や支持板３がダメージを受けるのを防止できる。
【００５１】
次に、温度センサ１を組み立てる手順について簡単に説明する。
【００５２】
保持体５が保護管２の横管９に収容される以前の段階では、図６に示すように、横管９の先端部９ａは、封止されずに開口された状態にある。この状態で、熱電対４が接着された支持板３を保持体５の本体部２３の支持部２６に嵌め込み、支持板３の両側部を支持部２６の支持面２７ａ，２７ｂに突き当てる。熱電対４のセンサ線１４ａ，１４ｂは、本体部２３の内側を通して本体部２３の第１の端部２４ａの方向に導いておく。
【００５３】
引き続いて、支持板３が嵌め込まれた本体部２３を、第１の端部２４ａを先頭にした姿勢で横管９の開口端から第２の管部１７に挿入する。この際、第１の端部２４ａに形成された第１の係合面３０ａ，３０ｂと、横管９の位置決め部１８に形成された第１の当接面２０ａ，２０ｂとが互いに向き合うように、本体部２３および横管９の周方向に沿う向きを調整しておくことが望ましい。
【００５４】
本体部２３の第１の端部２４ａが横管９の内部の位置決め部１８に達すると、第１の係合部３０の第１の係合面３０ａ，３０ｂが第１の段差２０の第１の当接面２０ａ，２０ｂに突き当たる。それとともに、第２の係合部３１の第２の係合面３１ａ，３１ｂが第２の段差２１の第２の当接面２１ａ，２１ｂに突き合わされる。
【００５５】
言い換えると、本体部２３の第１の端部２４ａと横管９の位置決め部１８とが互いに噛み合うような形態で係合し、横管９の長手方向および周方向に対する本体部２３の自由な移動が制限される。
【００５６】
本体部２３を横管９の第２の管部１７に挿入した時に、本体部２３の第３の係合部３３は、横管９の開口端を指向している。そのため、第１の端部２４ａに形成された第１の係合面３０ａ，３０ｂと位置決め部１８に形成された第１の当接面２０ａ，２０ｂとが横管９の周方向にずれている場合は、図８に示すように治具３４を横管９の開口端から第２の管部１７に挿入し、治具３４を本体部２３の第３の係合部３３に係合させる。
【００５７】
この状態で、第１の係合面３０ａ，３０ｂと第１の当接面２０ａ，２０ｂとが合致するように、治具３４を用いて横管９に挿入された本体部２３を横管９の周方向に強制的に回動させる。この回動により、横管９の内側で第１の係合面３０ａ，３０ｂが第１の当接面２０ａ，２０ｂと向かい合い、本体部２３の第１の端部２４ａが位置決め部１８に噛み合うように、本体部２３を横管９の内部にさらに押し込むことができる。
【００５８】
この後、横管９の開口端を加熱して気密に封止するとともに、縦管８の開口端部３５にエンドキャップ６の継手パイプ４０を接着する。引き続いて、エンドキャップ６の継手キャップ４１を締め付け、フェルール４２を強制的に弾性変形させる。これにより、センサ線１４ａ，１４ｂがフェルール４２によって締め付けられ、一連の温度センサ１の組み立てが完了する。
【００５９】
本発明の実施形態によれば、熱電対４を有する支持板３が嵌合された保持体５は、その第１の端部２４ａが横管９の位置決め部１８に噛み合った状態で横管９の内部に収容され、横管９の長手方向および周方向に沿う自由な動きが制限されている。
【００６０】
このため、横管９の長手方向および周方向に沿う熱電対４の位置を精度よく規定することができ、熱電対４が高温雰囲気Ｈの中で測温対象物を指向するように、熱電対４を横管９内の所望の位置に正確に固定することができる。よって、温度センサ１は、測温対象物の温度変化に迅速に追従するように高温雰囲気Ｈの温度を測定することができる。
【００６１】
加えて、実施形態によると、保持体５の支持部２６に嵌合された支持板３は、保持体５を横管９に挿入した時に、横管９の内周面と支持部２６の支持面２７ａ，２７ｂとの間で挟み込まれる。このため、支持板３を支持部２６に接着したり、ワイヤで縛るといった格別な作業が不要となり、温度センサ１を組み立てる際の作業性を改善することができる。よって、温度センサ１の生産性が向上し、温度センサ１の製造コストを低減することができる。
【００６２】
さらに、実施形態によると、保持体５の本体部２３に形成された第３の係合部３３は、保持体５を横管９内に挿入した時に、横管９の開口端と向かい合っている。そのため、横管９の開口端から治具３４を挿入して、当該治具３４を第３の係合部３３に係合させることで、横管９内に挿入された本体部２３を横管９の外から容易に回動させることができる。
【００６３】
したがって、保持体５を横管９内に挿入した時に、本体部２３の第１の係合面３０ａ，３０ｂが位置決め部１８の第１の当接面２０ａ，２０ｂに対し横管９の周方向にずれていても、治具３４を用いて本体部２３を回動させることで、第１の係合面３０ａ，３０ｂと第１の当接面２０ａ，２０ｂとを横管９内で互いに合致させることができる。これにより、横管９内での保持体５の向きを保護管２の外から容易に調節することができる。
【００６４】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。
【００６５】
例えば、前記実施形態では、保持体を保護管内に挿入した時に、保持体の支持部に嵌合された支持板を保護管の内周面で保持するようにしたが、支持板の両側部を支持部に接着するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００６６】
１…温度センサ、２…保護管、３…支持板、４…熱電対、５…保持体、９ａ…先端部、１８…位置決め部、２０…第１の段差、２１…第２の段差、２３…本体部、２６…支持部、３０…第１の係合部、３１…第２の係合部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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