(57)【要約】【課題】入射する波長域が限定されている光変調パネルの変調特性を確実、かつ、効率よく検査することのできる光変調パネル用検査装置、および光変調パネルの検査方法を提供すること。【解決手段】投射型表示装置に用いられる青色（Ｂ）用の光変調パネル１の面内における輝度分布を検査するにあたって、検査用光源部２１０から出射された特定波長の検査光を光路結合用光学素子２３０を経由して光変調パネル１に照射し、光変調パネル１で変調された検査光を光路結合用光学素子２３０を経由して撮像装置２２０によって受光する。検査用光源部２１０には、白色光を出射する光源２１１と青色（Ｂ）用のカラーフィルター２１２とを設ける。光路結合用光学素子２３０としては、ハーフミラー２４０や、偏光分離素子を用いる。【選択図】図３
2015200587.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射型の光変調パネルに照射する特定波長の検査光を出射する検査用光源部と、
前記光変調パネルで変調された検査光を受光する撮像装置と、
前記検査用光源部からの前記検査光の第１光路、前記光変調パネルにおける前記検査光の第２光路、および前記撮像装置への前記検査光の第３光路を結合させる光路結合用光学素子と、
を有することを特徴とする光変調パネル用検査装置。
【請求項２】
前記撮像装置での前記検査光の受光結果に基づいて、前記光変調パネルの面内における輝度分布を検査することを特徴とする請求項１に記載の光変調パネル用検査装置。
【請求項３】
前記検査用光源部は、光源と、前記第１光路に配置されたカラーフィルターと、を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の光変調パネル用検査装置。
【請求項４】
前記第３光路には第１偏光板が配置され、
前記第１光路には第２偏光板が配置されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の光変調パネル用検査装置。
【請求項５】
前記光変調パネルは、反射型液晶パネルであることを特徴とする請求項４に記載の光変調パネル用検査装置。
【請求項６】
前記光路結合用光学素子は、ハーフミラーであることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の光変調パネル用検査装置。
【請求項７】
前記光路結合用光学素子は、偏光分離素子であることを特徴とする請求項４または５に記載の光変調パネル用検査装置。
【請求項８】
検査用光源部から出射された特定波長の検査光を光路結合用光学素子を経由して光変調パネルに照射し、前記光変調パネルで変調された検査光を前記光路結合用光学素子を経由して撮像装置によって受光することを特徴とする光変調パネルの検査方法。
【請求項９】
前記撮像装置での前記検査光の受光結果に基づいて、前記光変調パネルの面内における輝度分布を検査することを特徴とする請求項８に記載の光変調パネルの検査方法。
【請求項１０】
前記光変調パネルは、反射型液晶パネルであることを特徴とする請求項８または９に記載の光変調パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射型の光変調パネルを検査するための光変調パネル用検査装置、および光変調パネルの検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
投射型表示装置等では、赤色（Ｒ）用の反射型の液晶パネル、緑色（Ｇ）用の反射型の液晶パネル、青色（Ｂ）用の反射型の液晶パネルで変調した各色の変調光を合成した後、投射光学系から投射する。ここで、青色（Ｂ）の光は、波長が短い等の影響で、青色（Ｂ）用の反射型液晶パネルでは、輝度ムラ等が発生しやすい。ここで、液晶パネルを撮像して検査する方法が提案されている（特許文献１、２、３）。しかしながら、特許文献１、２、３に記載の技術は、透過型液晶パネルに適用できても、反射型液晶パネルには適用できない。
【０００３】
一方、反射型液晶パネルに対する検査装置に関しては、光源から出射された白色光を検査光として液晶パネルに照射し、液晶パネルで変調した光を光検出器で検出する検査装置および検査方法が提案されている（特許文献４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−２２２３１５号公報
【特許文献２】特開２００５−１６５１５７号公報
【特許文献３】特開２０１１−１９６６８５号公報
【特許文献４】特開２０１２−１８１１７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、投射型表示装置等では、液晶パネルに入射する光の波長域が限定されているにもかかわらず、特許文献４に記載の技術では、白色光を検査光として液晶パネルに照射する。このため、光検出器での検出結果から、液晶パネルの青色（Ｂ）光に対する変調特性を評価するには多大な手間がかかるという問題点がある。また、光源から出射された白色光のスペクトラムが変動すると、評価結果に大きな誤差が発生するという問題点がある。
【０００６】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、入射する波長域が限定されている光変調パネルの変調特性を確実、かつ、効率よく検査することのできる光変調パネル用検査装置、および光変調パネルの検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る光変調パネル用検査装置は、反射型の光変調パネルに照射する特定波長の検査光を出射する検査用光源部と、前記光変調パネルで変調された検査光を受光する撮像装置と、前記検査用光源部からの前記検査光の第１光路、前記光変調パネルにおける前記検査光の第２光路、および前記撮像装置への前記検査光の第３光路を結合させる光路結合用光学素子と、を有することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係る光変調パネルの検査方法では、検査用光源部から出射された特定波長の検査光を光路結合用光学素子を経由して光変調パネルに照射し、前記光変調パネルで変調された検査光を前記光路結合用光学素子を経由して撮像装置によって受光することを特徴とする。
【０００９】
本発明では、光変調パネルを使用する際に入射する特定波長の検査光を光変調パネルに照射し、光変調パネルで変調された検査光を撮像装置によって受光する。このため、光変調パネルを使用する際に入射する波長の光に対する光変調パネルの変調特性を直接的に評価することができる。また、検査用光源部から出射される光の波長が固定されているので、白色光を用いた場合と違って、検査光のスペクトラムの変動に起因する誤差が発生しにくい。それ故、入射する波長域が限定されている光変調パネルの変調特性を確実、かつ、効率よく検査することができる。
【００１０】
本発明において、前記撮像装置での前記検査光の受光結果に基づいて、前記光変調パネルの面内における輝度分布を検査する構成を採用することができる。
【００１１】
本発明において、前記検査用光源部は、光源と、前記第１光路に配置されたカラーフィルターと、を備えていることが好ましい。かかる構成によれば、光変調パネルに入射する検査光の波長を安定化させることができる。
【００１２】
本発明において、前記第３光路には第１偏光板が配置され、前記第１光路には第２偏光板が配置されていることが好ましい。かかる構成によれば、前記光変調パネルが反射型液晶パネルである等、光の偏光性を利用して画像を表示する場合に適用することができる。
【００１３】
本発明において、前記光路結合用光学素子は、例えば、ハーフミラーである。
【００１４】
本発明において、前記光路結合用光学素子は、偏光分離素子であってもよい。この場合、ハーフミラーに比して、光量の損失を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明が適用される光変調パネルの説明図である。
【図２】本発明が適用された光変調パネルを用いた投射型表示装置の一例を示す説明図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る光変調パネル用検査装置の一例を模式的に示す説明図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る光変調パネル用検査装置で得られた光変調パネルの面内における輝度分布を示す説明図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る光変調パネル用検査装置の一例を模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。
【００１７】
［光変調パネルの構成例］
図１は、本発明が適用される光変調パネル１の説明図であり、図１（ａ）、（ｂ）は、光変調パネル１を各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびそのＨ−Ｈ′断面図である。なお、以下に説明する光変調パネル１の構成は、後述する赤色（Ｒ）用の光変調パネル、緑色（Ｇ）用の光変調パネル、および青色（Ｂ用）の光変調パネルで共通である。従って、以下の説明では、対応する色を示すＲ、Ｇ、Ｂの記載を省略する。また、赤色（Ｒ）光、緑色（Ｇ）光、青色（Ｂ）光の波長域は各々、６２０〜７４０ｎｍ、５００〜５７０ｎｍ、４３０〜５００ｎｍである。
【００１８】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本形態の光変調パネル１は反射型液晶パネル１００として構成されている。光変調パネル１（反射型液晶パネル１００）では、素子基板１０と対向基板２０とが所定の隙間を介してシール材１０７によって貼り合わされており、シール材１０７は対向基板２０の外縁に沿うように枠状に設けられている。シール材１０７は、光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂等からなる接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバーあるいはガラスビーズ等のギャップ材１０７ａが配合されている。反射型液晶パネル１００において、素子基板１０と対向基板２０との間のうち、シール材１０７によって囲まれた領域内には液晶層５０（電気光学物質層）が設けられている。本形態において、シール材１０７には、液晶注入口１０７ｃとして利用される途切れ部分が形成されており、かかる液晶注入口１０７ｃは、液晶材料の注入後、封止材１０７ｄによって封止されている。
【００１９】
反射型液晶パネル１００において、素子基板１０および対向基板２０はいずれも四角形であり、素子基板１０は、第１方向で対向する２つの辺１０ｅ、１０ｆ（端部）と、第２方向で対向する２つの辺１０ｇ、１０ｈ（端部）とを備えている。反射型液晶パネル１００の略中央には、表示領域１０ａが四角形の領域として設けられており、かかる形状に対応して、シール材１０７も略四角形に設けられている。表示領域１０ａの外側は、四角枠状の外周領域１０ｃになっている。
【００２０】
素子基板１０において、外周領域１０ｃでは、素子基板１０において第１方向の一方側に位置する辺１０ｅに沿ってデータ線駆動回路１０１および複数の端子１０２が形成されており、この辺１０ｅに隣接する他の辺１０ｇ、１０ｈの各々に沿って走査線駆動回路１０４が形成されている。なお、端子１０２には、フレキシブル配線基板１２０が接続されており、素子基板１０には、フレキシブル配線基板１２０を介して外部制御回路から各種電位や各種信号が入力される。
【００２１】
素子基板１０の一方面１０ｓおよび他方面１０ｔのうち、対向基板２０と対向する一方面１０ｓの側において、表示領域１０ａには、画素電極９ａや画素トランジスター（図示せず）がマトリクス状に配列されている。従って、表示領域１０ａは、画素電極９ａがマトリクス状に配列された画素電極配列領域１０ｐとして構成されている。かかる構成の素子基板１０において、画素電極９ａの液晶層５０側には配向膜１６が形成されている。素子基板１０の一方面１０ｓの側において、表示領域１０ａより外側の外周領域１０ｃのうち、表示領域１０ａとシール材１０７とに挟まれた四角枠状の周辺領域１０ｂには、画素電極９ａと同時形成されたダミー画素電極９ｂが形成されている。
【００２２】
対向基板２０の一方面２０ｓおよび他方面２０ｔのうち、素子基板１０と対向する一方面２０ｓの側には共通電極２１が形成されている。共通電極２１は、対向基板２０の略全面あるいは複数の帯状電極として複数の画素１００ａに跨って形成されている。本形態において、共通電極２１は、対向基板２０の略全面に形成されている。
【００２３】
対向基板２０の一方面２０ｓの側には、共通電極２１の液晶層５０とは反対側に遮光層２９が形成され、共通電極２１の液晶層５０側には配向膜２６が積層されている。遮光層２９は、表示領域１０ａの外周縁に沿って延在する額縁部分２９ａとして形成されており、遮光層２９の内周縁によって表示領域１０ａが規定されている。また、遮光層２９は、隣り合う画素電極９ａにより挟まれた画素間領域に重なるブラックマトリクス部２９ｂとしても形成されている。額縁部分２９ａはダミー画素電極９ｂと重なる位置に形成されており、額縁部分２９ａの外周縁は、シール材１０７の内周縁との間に隙間を隔てた位置にある。従って、額縁部分２９ａとシール材１０７とは重なっていない。
【００２４】
反射型液晶パネル１００において、シール材１０７より外側には、対向基板２０の一方面２０ｓの側の４つの角部分に基板間導通用電極２５が形成されており、素子基板１０の一方面１０ｓの側には、対向基板２０の４つの角部分（基板間導通用電極２５）と対向する位置に基板間導通用電極１９が形成されている。本形態において、基板間導通用電極２５は、共通電極２１の一部からなる。基板間導通用電極１９には、共通電位Ｖcomが印加されている。基板間導通用電極１９と基板間導通用電極２５との間には、導電粒子を含んだ基板間導通材１９ａが配置されており、対向基板２０の共通電極２１は、基板間導通用電極１９、基板間導通材１９ａおよび基板間導通用電極２５を介して、素子基板１０側に電気的に接続されている。このため、共通電極２１は、素子基板１０の側から共通電位Ｖcomが印加されている。シール材１０７は、略同一の幅寸法をもって対向基板２０の外周縁に沿って設けられているが、対向基板２０の角部分と重なる領域では基板間導通用電極１９、２５を避けて内側を通るように設けられている。
【００２５】
本形態において、光変調パネル１は反射型であるため、画素電極９ａは、アルミニウム膜等の反射性導電膜により形成され、共通電極２１は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜やＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）膜等の透光性導電膜により形成される。かかる反射型の光変調パネル１では、素子基板１０および対向基板２０のうち、対向基板２０の側から入射した光が素子基板１０で反射して出射される間に変調されて画像を表示する。
【００２６】
［投射型表示装置の構成例］
図２は、本発明が適用された光変調パネル１を用いた投射型表示装置の一例を示す説明図である。図２に示す投射型表示装置４００において、赤色（Ｒ）用の光源部１１０（Ｒ）から赤色（Ｒ）用の光変調パネル１（Ｒ）に向かう光路には、コリメートレンズ１２１、集光レンズ１２２、入射側偏光板４１１およびワイヤーグリッド偏光板４１３が配置され、ワイヤーグリッド偏光板４１３は、光変調パネル１（Ｒ）およびクロスダイクロイックプリズム１５０の入射面に斜めに配置されている。ワイヤーグリッド偏光板４１３とクロスダイクロイックプリズム１５０との間には出射側偏光板４１２が配置されている。光源部１１０（Ｒ）からは、赤色（Ｒ）のｐ偏光の光源光が出射され、光源光は、コリメートレンズ１２１、集光レンズ１２２、入射側偏光板４１１およびワイヤーグリッド偏光板４１３を透過した後、光変調パネル１（Ｒ）に入射する。光変調パネル１（Ｒ）は、ｐ偏光の光源光を画像信号に応じた変調によってｓ偏光（中間調であれば円偏光又は楕円偏光）に変換して反射し、ワイヤーグリッド偏光板４１３は、ｓ偏光の光を出射側偏光板４１２に向けて反射する。出射側偏光板４１２は、ｐ偏光を遮断してｓ偏光を透過させる。従って、光変調パネル１（Ｒ）で変調された赤色（Ｒ）の光は、クロスダイクロイックプリズム１５０で反射して投射光学系１６０に向かう。
【００２７】
なお、緑色（Ｇ）用の光変調パネル１（Ｇ）には、光変調パネル１（Ｒ）と同様に光学部材が配置されているが、かかる光学部材の大部分は、ｙ方向で重ねて配置されているため、図２には、緑色（Ｇ）用の光源部１１０（Ｇ）および出射側偏光板４２２のみを示してある。光源部１１０（Ｇ）からは、緑色（Ｇ）のｓ偏光の光源光が出射され、光源光は、コリメートレンズ、集光レンズ、入射側偏光板およびワイヤーグリッド偏光板（図示せず）を透過した後、光変調パネル１（Ｇ）に入射する。光変調パネル１（Ｇ）は、ｓ偏光の光源光を画像信号に応じた変調によってｐ偏光（中間調であれば円偏光又は楕円偏光）に変換して反射し、ワイヤーグリッド偏光板は、ｐ偏光の光を出射側偏光板４２２に向けて反射する。出射側偏光板４２２は、ｓ偏光を遮断してｐ偏光を透過させる。従って、光変調パネル１（Ｇ）で変調された緑色（Ｇ）の光は、クロスダイクロイックプリズム１５０を透過して投射光学系１６０に向かう。
【００２８】
青色（Ｂ）用の光源部１１０（Ｂ）から青色（Ｂ）用の光変調パネル１（Ｂ）に向かう光路には、コリメートレンズ１４１、集光レンズ１４２、入射側偏光板４３１およびワイヤーグリッド偏光板４３３が配置され、ワイヤーグリッド偏光板４３３は、光変調パネル１（Ｂ）およびクロスダイクロイックプリズム１５０の入射面に斜めに配置されている。ワイヤーグリッド偏光板４３３とクロスダイクロイックプリズム１５０との間には出射側偏光板４３２が配置されている。光源部１１０（Ｂ）からは、青色（Ｂ）のｐ偏光の光源光が出射され、光源光は、コリメートレンズ１４１、集光レンズ１４２、入射側偏光板４３１およびワイヤーグリッド偏光板４３３を透過した後、光変調パネル１（Ｂ）に入射する。光変調パネル１（Ｂ）は、ｐ偏光の光源光を画像信号に応じた変調によってｓ偏光（中間調であれば円偏光又は楕円偏光）に変換して反射し、ワイヤーグリッド偏光板４３３は、ｓ偏光の光を出射側偏光板４３２に向けて反射する。出射側偏光板４３２は、ｐ偏光を遮断してｓ偏光を透過させる。従って、光変調パネル１（Ｂ）で変調された青色（Ｂ）の光は、クロスダイクロイックプリズム１５０で反射して投射光学系１６０に向かう。
【００２９】
ここで、赤色（Ｒ）用の光源部１１０（Ｒ）は、赤色（Ｒ）用の複数の固体光源１１２（Ｒ）と、複数の固体光源１１２（Ｒ）が一方の基板面に設けられた基板１１１（Ｒ）と、複数の固体光源１１２（Ｒ）の各々にレンズ部が対向するフライアイ光学系１１３（Ｒ）とを有している。緑色（Ｇ）用の光源部１１０（Ｇ）も、赤色（Ｒ）用の光源部１１０（Ｒ）と同様、緑色（Ｇ）用の複数の固体光源（図示せず）と、複数の固体光源が一方の基板面に設けられた基板（図示せず）と、複数の固体光源の各々にレンズ部が対向するフライアイ光学系（図示せず）とを有している。青色（Ｂ）用の光源部１１０（Ｂ）は、青色（Ｂ）用の複数の固体光源１１２（Ｂ）と、複数の固体光源１１２（Ｂ）が一方の基板面に設けられた基板１１１（Ｂ）と、複数の固体光源１１２（Ｂ）の各々にレンズ部が対向するフライアイ光学系１１３（Ｂ）とを有している。赤色（Ｒ）用の固体光源１１２（Ｒ）、緑色（Ｇ）用の固体光源、および青色（Ｂ）用の固体光源１１２（Ｂ）は、レーザーダイオードや発光ダイオード等の発光素子である。
【００３０】
このように構成した光源部１１０（Ｒ）、１１０（Ｇ）、１１０（Ｂ）のうち、青色（Ｂ）用の光源部１１０（Ｂ）は、赤色（Ｒ）用の光源部１１０（Ｒ）や緑色（Ｇ）用の光源部１１０（Ｇ）と違って、波長幅が短いため、光変調パネル１毎の輝度ムラが発生しやすいとともに、１つの光変調パネル１内でも、面内方向の輝度ムラが発生しやすい。このため、本形態では、以下に説明する検査装置および検査方法によって、光変調パネル１を検査し、その検査結果において、良と判定された光変調パネル１を青色（Ｂ）用の光変調パネル１（Ｂ）として用いて投射型表示装置４００を製造する。
【００３１】
［実施の形態１］
図３は、本発明の実施の形態１に係る光変調パネル用検査装置の一例を模式的に示す説明図である。図４は、本発明の実施の形態１に係る光変調パネル用検査装置で得られた光変調パネル１の面内における輝度分布を示す説明図である。
【００３２】
図３に示すように、本形態の光変調パネル用検査装置２００は、反射型の光変調パネル１を支持するステージ２９０と、光変調パネル１に照射する特定波長の検査光を出射する光源部２１０と、光変調パネル１で変調された検査光を受光する撮像装置２２０とを有している。光変調パネル１は、フレキシブル配線基板１２０が接続された状態でステージ２９０に保持され、検査時には、フレキシブル配線基板を介して光変調パネル１を駆動し、光変調パネル１の全画素を同一諧調で点灯させる。
【００３３】
また、光変調パネル用検査装置２００は、光源部２１０からの検査光の第１光路Ｌ１、光変調パネル１における検査光の第２光路Ｌ２、および撮像装置２２０への検査光の第３光路Ｌ３を結合させる光路結合用光学素子２３０を有している。本形態において、第２光路Ｌ２と第３光路Ｌ３とは直線上に配置されており、第１光路Ｌ１は、第２光路Ｌ２および第３光路Ｌ３に対して直交するように配置されている。
【００３４】
本形態では、光路結合用光学素子２３０として、第１光路Ｌ１、第２光路Ｌ２および第３光路Ｌ３に対して４５°の角度でハーフミラー層２４１が配置されたプリズム状のハーフミラー２４０が用いられている。
【００３５】
光源部２１０は、白色光を出射する光源２１１と、第１光路Ｌ１に配置された青色（Ｂ）用のカラーフィルター２１２とを有しており、特定波長の検査光として中心波長が４５０ｎｍの青色光を出射する。
【００３６】
また、光変調パネル用検査装置２００は、第３光路Ｌ３に第１偏光板２６０を有しているとともに、第１光路Ｌ１に第２偏光板２７０を有している。第２偏光板２７０は、例えば、ｐ偏光の光を透過し、ｓ偏光の光を遮断する。これに対して、第１偏光板２６０は、例えば、ｓ偏光の光を透過し、ｐ偏光の光を遮断する。
【００３７】
このように構成した光変調パネル用検査装置２００では、光源部２１０から出射された特定波長の検査光を光路結合用光学素子２３０を経由して光変調パネル１に照射し、光変調パネル１で変調された検査光を光路結合用光学素子２３０を経由して撮像装置２２０によって受光する。
【００３８】
ここで、光変調パネル用検査装置２００は、光変調パネル１で変調された検査光（画像）をその位置毎の赤色（Ｒ）の輝度Ｈｒ、緑色（Ｇ）の輝度Ｈｇ、および青色（Ｂ）の輝度Ｈｂを検出し、各位置毎に以下の変換式
Ｙ＝０．２６３Ｈｒ＋０．６５５Ｈｇ＋０．０８１Ｈｂ
を用いて、Ｙ値（明るさ）を算出する。その際、輝度Ｈｒ、Ｈｇ、Ｈｂは各々、０〜２５５までの整数値である。
【００３９】
その結果、光変調パネル１で変調された検査光（画像）の位置毎の明るさ（Ｙ値）は、図４に模式的に示すように分布する。図４に示すデータにおいて、横軸は、光変調パネル１で生成された画像のＸ方向の位置に対応し、縦軸は、光変調パネル１で生成された画像のＹ方向の位置に対応し、濃淡は明るさ（Ｙ値）の値に対応する。ここで、図１を参照して説明した液晶層５０の厚さが青色（Ｂ）光の波長に適していれば、全面で明るさが高い。これに対して、液晶層５０の厚さ（セルギャップ）に面内ばらつきがあると、リタデーションがばらつくため、明るい領域Ａ１、暗い領域Ａ２および中間の領域Ａ３が発生する。
【００４０】
従って、図４に示す結果等を用いれば、光変調パネル１に青色（Ｂ）光を入射させた際に光変調パネル１で形成される画像の面内方向の輝度分布を評価することができる。従って、予め設定した基準レベルからみて、今回検査した光変調パネル１の輝度分布が良レベルであれば、かかる光変調パネル１を青色（Ｂ）として用いて、図２を参照して説明した投射型表示装置４００を製造する。
【００４１】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、光変調パネル１を投射型表示装置４００で使用する際に入射する特定波長の検査光を光変調パネル１に照射し、光変調パネル１で変調された検査光を撮像装置２２０によって受光する。このため、光変調パネル１を使用する際に入射する波長の光に対する光変調パネル１の変調特性を直接的に評価することができる。また、光源部２１０から出射される光の波長が固定されているので、白色光を用いた場合と違って、検査光のスペクトラムの変動に起因する誤差が発生しにくい。それ故、入射する波長域が限定されている光変調パネル１の変調特性を確実、かつ、効率よく検査することができる。
【００４２】
また、本形態において、光源部２１０は、光源２１１から出射された白色光を特定波長の検査光とするカラーフィルター２１２を備えている。このため、光変調パネル１に入射する検査光の波長を安定化させることができる。
【００４３】
また、第３光路Ｌ３には第１偏光板２６０が配置され、第１光路Ｌ１には第２偏光板２７０が配置されているため、光変調パネル１が反射型液晶パネル１００である等、光の偏光性を利用して画像を表示する場合に適用することができる。
【００４４】
［実施の形態２］
図５は、本発明の実施の形態２に係る光変調パネル用検査装置の一例を模式的に示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して図示し、それらの説明を省略する。
【００４５】
図５に示すように、本形態の光変調パネル用検査装置２００も、実施の形態１と同様、反射型の光変調パネル１を支持するステージ２９０と、光変調パネル１に照射する特定波長の検査光を出射する光源部２１０と、光変調パネル１で変調された検査光を受光する撮像装置２２０とを有している。また、光変調パネル用検査装置２００は、光源部２１０からの検査光の第１光路Ｌ１、光変調パネル１における検査光の第２光路Ｌ２、および撮像装置２２０への検査光の第３光路Ｌ３を結合させる光路結合用光学素子２３０を有している。また、光源部２１０は、白色光を出射する光源２１１と、第１光路Ｌ１に配置された青色（Ｂ）用のカラーフィルター２１２とを有しており、特定波長の検査光として中心波長が４５０ｎｍの青色光を出射する。また、光変調パネル用検査装置２００は、第３光路Ｌ３に第１偏光板２６０を有しているとともに、第１光路Ｌ１に第２偏光板２７０を有している。
【００４６】
本形態において、第１光路Ｌ１と第２光路Ｌ２とは直線上に配置されており、第３光路Ｌ３は、第１光路Ｌ１および第２光路Ｌ２に対して直交するように配置されている。また、本形態では、光路結合用光学素子２３０として、第１光路Ｌ１、第２光路Ｌ２および第３光路Ｌ３に対して４５°の角度で配置された偏光分離面２５１を備えた偏光ビームフィルム（ＰＢＦ）からなる偏光分離素子２５０（偏向ビームスプリッタ）が用いられている。
【００４７】
このように構成した光変調パネル用検査装置２００では、光源部２１０から出射された特定波長の検査光を光路結合用光学素子２３０を経由して光変調パネル１に照射し、光変調パネル１で変調された検査光を光路結合用光学素子２３０を経由して撮像装置２２０によって受光し、実施の形態１と同様、光変調パネル１で形成される画像の面内方向の輝度分布を算出する。
【００４８】
従って、実施の形態１と同様、予め設定した基準レベルからみて、今回検査した光変調パネル１の輝度分布が良レベルであれば、かかる光変調パネル１を青色（Ｂ）として用いて、図２を参照して説明した投射型表示装置４００を製造する。
【００４９】
このように本形態でも、実施の形態１と同様、光変調パネル１を投射型表示装置４００で使用する際に入射する特定波長の検査光を光変調パネル１に照射し、光変調パネル１で変調された検査光を撮像装置２２０によって受光する。このため、光変調パネル１を使用する際に入射する波長の光に対する光変調パネル１の変調特性を直接的に評価することができる。また、光源部２１０から出射される光の波長が固定されているので、白色光を用いた場合と違って、検査光のスペクトラムの変動に起因する誤差が発生しにくい。それ故、入射する波長域が限定されている光変調パネル１の変調特性を確実、かつ、効率よく検査することができる等、実施の形態１と同様な効果を奏する。
【００５０】
また、本形態では、光路結合用光学素子２３０として偏光分離素子２５０が用いられているため、ハーフミラー２４０を用いた場合に比して、光量の損失を抑制することができる。
【００５１】
［他の実施の形態］
上記実施の形態では、光源部２１０に、白色光を出射する光源２１１と青色（Ｂ）用のカラーフィルター２１２とを設けたが、特定波長の検査光を出射するレーザーダイオードや発光ダイオード等の発光素子を用いて、光源自身が特定波長の検査光を出射するように構成してもよい。
【００５２】
上記実施の形態では、青色（Ｂ）用に用いる光変調パネル１に本発明を適用したが、赤色（Ｒ）用や緑色（Ｇ）に用いる光変調パネル１に本発明を適用してもよい。
【００５３】
上記実施の形態では、投射型表示装置４００に赤色（Ｒ）用の光源部１１０（Ｒ）、緑色（Ｇ）用の光源部１１０（Ｇ）、および青色（Ｂ）用の光源部１１０（Ｂ）を設けたが、例えば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、および青色（Ｂ）の光成分を含む光を出射する光源部を用い、光路の途中で、赤色（Ｒ）の光成分、緑色（Ｇ）の光成分、および青色（Ｂ）の光成分に分離して光変調パネル１（Ｒ）、（Ｇ）、（Ｂ）に供給してもよい。
【００５４】
また、投射型表示装置４００において、赤色（Ｒ）の光成分および緑色（Ｇ）の光成分を含む光を出射する光源部を用い、光路の途中で、赤色（Ｒ）の光成分、および緑色（Ｇ）の光成分に分離して光変調パネル１（Ｒ）、（Ｇ）に供給してもよい。その場合、青色（Ｂ）用の光源部にレーザーダイオードや発光ダイオード等の発光素子を用い、レーザーダイオードや発光ダイオード等の発光素子から出射された青色（Ｂ）光を光変調パネル１（Ｂ）に供給することになる。
【符号の説明】
【００５５】
１・・反射型の光変調パネル、１００・・反射型液晶パネル、１１０・・光源部、１１２・・固体光源、２００・・光変調パネル用検査装置、２１０・・検査用光源部、２１１・・光源、２１２・・カラーフィルター、２２０・・撮像装置、２３０・・光路結合用光学素子、２４０・・ハーフミラー、２４１・・ハーフミラー層、２５０・・偏光分離素子、２５１・・偏光分離面、２６０・・第１偏光板、２７０・・第２偏光板、２９０・・ステージ、４００・・投射型表示装置、Ｌ１・・第１光路、Ｌ２・・第２光路、Ｌ３・・第３光路
【図１】
2015200587.tif 000003
【図２】
2015200587.tif 000004
【図３】
2015200587.tif 000005
【図４】
2015200587.tif 000006
【図５】
2015200587.tif 000007