(57)【要約】【課題】上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの間で基板をブレイクすることによって生じる問題を解消する。【解決手段】ブレイク装置１は、搬送ベルト２と、第１〜第４支持部材４，５，７，８と、第１及び第２ブレイクバー３，６と、を備えている。搬送ベルト２は可撓性を有している。第１ブレイクバー３と、第１及び第２支持部材４，５とは、載置面２１の上方に配置されている。第２ブレイクバー６と、第３及び第４支持部材７，８とは、載置面２１の下方に配置されている。第３支持部材７は、搬送ベルト２を介して、第１支持部材４の下に配置されている。第４支持部材８は、搬送ベルト２を介して、第２支持部材５の下に配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクライブラインが形成された脆性材料基板を前記スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク装置であって、
前記脆性材料基板が載置される載置面を有し、前記脆性材料基板を搬送するように構成され、可撓性を有する搬送ベルトと、
前記載置面の上方において前記搬送ベルトの搬送方向に沿って配置され、昇降可能に構成された第１及び第２支持部材と、
前記載置面の上方において前記第１支持部材と前記第２支持部材との間に配置され、昇降可能に構成された第１ブレイクバーと、
前記載置面の下方において前記搬送方向に沿って配置され、昇降可能に構成された第３及び第４支持部材と、
前記載置面の下方において、前記第３支持部材と前記第４支持部材との間に配置され、昇降可能に構成された第２ブレイクバーと、
を備え、
前記第３支持部材は、前記搬送ベルトを介して、前記第１支持部材の下方に配置され、
前記第４支持部材は、前記搬送ベルトを介して、前記第２支持部材の下方に配置される、
ブレイク装置。
【請求項２】
前記脆性材料基板は、前記スクライブラインと前記基板の端縁とによって画定される端部と、前記端部を除く本体部と、を有し、
前記第２支持部材と前記第４支持部材とは、前記搬送ベルトとともに前記本体部を挟持可能に構成され、
前記第１ブレイクバーは、前記端部を下方に押圧可能に構成される、
請求項１に記載のブレイク装置。
【請求項３】
前記第１及び第２支持部材は、前記搬送方向に沿って移動可能に構成されている、
請求項１又は２に記載のブレイク装置。
【請求項４】
前記第３及び第４支持部材は、前記搬送方向に沿って移動可能に構成されている、
請求項１から３のいずれかに記載のブレイク装置。
【請求項５】
スクライブラインによって区切られた本体部と端部とを有する脆性材料基板を前記スクライブラインに沿ってブレイクする方法であって、
（ａ）可撓性を有する搬送ベルトによって前記脆性材料基板を搬送するステップと、
（ｂ）前記本体部を前記搬送ベルトごと挟持するステップと、
（ｃ）前記端部を下方に向けて押圧し、前記搬送ベルトとともに前記端部を撓ませるステップと、
を含む、ブレイク方法。
【請求項６】
前記脆性材料基板は、第１基板と第２基板とが貼り合わされた貼り合わせ基板であって、
前記スクライブラインは、第１基板に形成された第１スクライブラインと、前記第２基板に形成された第２スクライブラインとによって構成される、
請求項５に記載のブレイク方法。
【請求項７】
前記ステップ（ａ）において、前記第１基板が上側、前記第２基板が下側となるように前記脆性材料基板を配置して、前記脆性材料基板を搬送し、
前記ステップ（ｃ）において前記端部を撓ませることによって、前記第１スクライブラインに沿って前記第１基板がブレイクされる、
請求項６に記載のブレイク方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ブレイク装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、脆性材料基板をブレイクする方法は、まず、スクライブ装置によって脆性材料基板にスクライブラインを形成する。そして、ブレイク装置によって、脆性材料基板を押圧して脆性材料基板を撓ませる。この結果、脆性材料基板がスクライブラインに沿ってブレイクされる。このブレイク装置は、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの間に設置されている（特許文献１参照）。そして、ブレイク装置は、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとに亘って配置された脆性材料基板を、上述した方法でブレイクする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１２６５８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したブレイク装置のように上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの間で脆性材料基板をブレイクすると、種々の問題が発生する。例えば、ブレイク後の脆性材料基板の寸法が小さい場合、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの間に落下してしまうという問題が生じる。
【０００５】
本発明の課題は、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの間で基板をブレイクすることによって生じる問題を解消することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１側面に係るブレイク装置は、スクライブラインが形成された脆性材料基板をスクライブラインに沿ってブレイクする。このブレイク装置は、搬送ベルトと、第１及び第２支持部材と、第１ブレイクバーと、第３及び第４支持部材と、第２ブレイクバーとを備えている。搬送ベルトは、基板が載置される載置面を有している。搬送ベルトは、基板を搬送するように構成されている。搬送ベルトは可撓性を有している。第１及び第２支持部材は、載置面の上方において搬送ベルトの搬送方向に沿って配置されている。第１及び第２支持部材は、昇降可能に構成されている。第１ブレイクバーは、載置面の上方に配置されている。第１ブレイクバーは、第１支持部材と第２支持部材との間に配置されている。第１ブレイクバーは、昇降可能に構成されている。第３及び第４支持部材は、載置面の下方において搬送方向に沿って配置されている。第３及び第４支持部材は、昇降可能に構成されている。第２ブレイクバーは、載置面の下方に配置されている。第２ブレイクバーは、第３支持部材と第４支持部材との間に配置されている。第２ブレイクバーは、昇降可能に構成されている。第３支持部材は、搬送ベルトを介して、第１支持部材の下に配置されている。第４支持部材は、搬送ベルトを介して、第２支持部材の下に配置されている。
【０００７】
本発明によれば、例えば、以下のような方法で基板をブレイクすることができる。まず、搬送ベルトを下方から支持するよう、第３及び第４支持部材を上方に移動させる。次に、第１ブレイクバーが基板を下方に押圧するよう、第１ブレイクバーを下方に移動させる。搬送ベルトは可撓性を有しているため、基板は搬送ベルトとともに撓むことができる。この結果、基板はスクライブラインに沿ってブレイクされる。
【０００８】
また、本発明は、基板を以下のようにしてブレイクすることもできる。まず、基板を上方から支持するように、第１及び第２支持部材を下方に移動させる。次に、第２ブレイクバーを上方に移動させる。これによって、第２ブレイクバーは、搬送ベルトを介して、基板を上方に押圧する。この結果、基板が搬送ベルトとともに撓み、基板はスクライブラインに沿ってブレイクされる。
【０００９】
以上のように、本発明では、基板をブレイクするために、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの隙間を必要としない。このため、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの隙間で基板をブレイクすることによって生じる問題を解消することができる。
【００１０】
また、上述した本発明によれば、次のような方法によって基板をブレイクすることができる。例えば、第２支持部材と第４支持部材とによって基板を上下方向から挟む。この状態で、第１ブレイクバーを下方に移動させて、第１ブレイクバーによって基板を下方に押圧する。この結果、搬送ベルトごと基板が撓み、基板はスクライブラインに沿ってブレイクされる。以上の方法は、例えば、基板の端縁とスクライブラインとの距離が短い場合に有用である。
【００１１】
好ましくは、基板は、端部と、本体部とを有している。端部は、スクライブラインと基板の端縁とによって画定される。本体部は、端部を除く部分である。第２支持部材と第４支持部材とは、搬送ベルトとともに本体部を挟持可能に構成されている。第１ブレイクバーは、端部を下方に押圧可能に構成されている。
【００１２】
好ましくは、第１及び第２支持部材は、搬送方向に沿って移動可能に構成されている。この構成によれば第１及び第２支持部材は、適切な位置で基板を上方から支持することができる。
【００１３】
好ましくは、第３及び第４支持部材は、搬送方向に沿って移動可能に構成されている。この構成によれば、第３及び第４支持部材は、適切な位置で搬送ベルトを下方から支持することができる。
【００１４】
本発明の第２側面に係るブレイク方法は、脆性材料基板をスクライブラインに沿ってブレイクする。なお、脆性材料基板は、スクライブラインによって区切られた本体部と端部とを有する。このブレイク方法は、以下のステップ（ａ）から（ｃ）を含む。ステップ（ａ）は、可撓性を有する搬送ベルトによって基板を搬送する。ステップ（ｂ）は、本体部を搬送ベルトごと挟持する。ステップ（ｃ）は、端部を下方に向けて押圧し、搬送ベルトとともに端部を撓ませる。
【００１５】
この方法によれば、搬送ベルトとともに端部を撓ませることによって、基板をスクライブラインに沿ってブレイクすることができる。このように、本発明では、基板をブレイクするために、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの隙間を必要としない。このため、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの隙間で基板をブレイクすることによって生じる問題を解消することができる。
【００１６】
好ましくは、基板は、第１基板と第２基板とが貼り合わされた貼り合わせ基板である。スクライブラインは、第１スクライブラインと第２スクライブラインとによって構成される。第１スクライブラインは、第１基板に形成されている。第２スクライブラインは、第２基板に形成されている。
【００１７】
好ましくは、ステップ（ａ）において、第１基板が上側、第２基板が下側となるように脆性材料基板を配置して、脆性材料基板を搬送する。ステップ（ｃ）において端部を撓ませることによって、第１スクライブラインに沿って第１基板がブレイクされる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの隙間で基板をブレイクすることによって生じる問題を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】ブレイク装置の概略図。
【図２】ブレイク装置の概略図。
【図３】ブレイク装置の概略図。
【図４】ブレイク装置の概略図。
【図５】ブレイク装置の概略図。
【図６】ブレイク装置の概略図。
【図７】ブレイク装置の概略図。
【図８】ブレイク装置の概略図。
【図９】ブレイク装置の概略図。
【図１０】ブレイク装置の概略図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係るブレイク装置の実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１は、ブレイク装置の概略図である。
【００２１】
図１に示すように、ブレイク装置１は、脆性材料基板１０をスクライブライン１１に沿ってブレイクする装置である。脆性材料基板１０には、スクライブライン１１が形成されている。脆性材料基板１０は、端部１２と本体部１３とを有している。端部１２は、基板１０の端縁１４と、スクライブライン１１とによって画定されている。本体部１３は、脆性材料基板１０から端部１２を除いた部分である。なお、本体部１３は、端部１２よりも搬送方向の長さが長い。
【００２２】
本実施形態では、脆性材料基板１０は、貼り合わせ基板である。すなわち、脆性材料基板１０は、第１基板１５と第２基板１６とによって構成されている。第１基板１５には、第１スクライブライン１１ａが形成されており、第２基板１６には第２スクライブライン１１ｂが形成されている。スクライブライン１１は、第１スクライブライン１１ａと第２スクライブライン１１ｂとによって構成されている。なお、第１スクライブライン１１ａと第２スクライブライン１１ｂとは対向している。
【００２３】
第１基板１５と第２基板１６との間で例えば液晶層を構成する。また、脆性材料基板１０は、第１基板１５と第２基板１６との間に配置されたシール部材（図示省略）を有している。このシール部材によって液晶層を囲んでいる。本実施形態における脆性材料基板１０は、第１基板１５が上側、第２基板１６が下側に配置された状態で搬送される。
【００２４】
ブレイク装置１は、搬送ベルト２、第１ブレイクバー３、第１支持部材４、第２支持部材５、第２ブレイクバー６、第３支持部材７、及び第４支持部材８を備えている。
【００２５】
搬送ベルト２は、基板１０が載置される載置面２１を有している。搬送ベルト２は、基板を搬送するように構成されている。また、搬送ベルト２は可撓性を有している。例えば、搬送ベルト２は、天然ゴム、合成ゴム、布、又は合成樹脂などによって形成することができる。搬送ベルト２は、弛まない程度に張力が掛かった状態で設置されている。
【００２６】
この搬送ベルト２は、図１において、反時計周りに回転している。すなわち、本実施形態では、搬送ベルト２は、基板１０をＹ方向（図１の左方向）へと搬送する。具体的には、搬送ベルト２は、複数の搬送ローラ２２によって駆動される。各搬送ローラ２２は、モータによって駆動される。
【００２７】
第１ブレイクバー３は、搬送ベルト２の載置面２１の上方に配置されている。第１ブレイクバー３は、搬送方向において、第１支持部材４と第２支持部材５との間に配置されている。
【００２８】
第１ブレイクバー３は、載置面２１上に載置された基板１０を上方から押圧し、基板１０をスクライブライン１１に沿ってブレイクするための部材である。詳細には、第１ブレイクバー３は、先端部（下端部）で基板１０を押圧する。
【００２９】
第１ブレイクバー３の先端部は、先端に向かって徐々に厚さが薄くなるように構成されている。第１ブレイクバー３は、水平方向であって搬送方向と直交する方向に延びている。具体的には、第１ブレイクバー３は、図１の紙面垂直方向に延びている。
【００３０】
第１ブレイクバー３は、昇降可能に構成されている。すなわち、第１ブレイクバー３は上下方向に移動可能に構成されている。例えば、第１ブレイクバー３は、流体シリンダ（図示省略）によって駆動され、上方及び下方に移動可能である。詳細には、第１ブレイクバー３は、載置面２１上に載置された基板１０を上方から押圧するように、下方へ移動可能である。また、第１ブレイクバー３は、載置面２１上に載置された基板１０と接触しない程度に上方へ移動可能である。
【００３１】
第１支持部材４は、載置面２１上に載置された基板１０を支持するための部材である。詳細には、第１支持部材４の下面が基板１０の上面と接触することによって、第１支持部材４は基板１０を支持する。
【００３２】
第１支持部材４は、搬送ベルト２の載置面２１の上方に配置されている。本実施形態では、第１支持部材４は、第１ブレイクバー３に対して搬送方向上流側に配置されている。
【００３３】
第１支持部材４は、昇降可能に構成されている。すなわち、第１支持部材４は、上下方向に移動可能に構成されている。例えば、第１支持部材４は、流体シリンダ（図示省略）によって駆動され、上方及び下方に移動可能である。詳細には、第１支持部材４は、載置面２１上に載置された基板１０を支持するように、下方へ移動可能である。また、第１支持部材４は、載置面２１上に載置された基板１０と接触しない程度に上方へ移動可能である。
【００３４】
第２支持部材５は、載置面２１上に載置された基板１０を支持するための部材である。第２支持部材５は、載置面２１の上方に配置されている。本実施形態において、第２支持部材５は、第１ブレイクバー３に対して搬送方向下流側に配置されている。第２支持部材５は、昇降可能に構成されている。なお、第２支持部材５は、配置されている位置以外は上述した第１支持部材４と同様の構成であるため、詳細な説明を省略する。また、第１及び第２支持部材４，５は、搬送方向に沿って移動可能に構成されている。すなわち、第１及び第２支持部材４，５は、搬送方向上流側に移動したり、搬送方向下流側に移動したりできる。
【００３５】
以上のように、搬送ベルト２の載置面２１の上方に配置された第１支持部材４、第１ブレイクバー３、及び第２支持部材５は、この順に配置されている。搬送方向において第１支持部材４と第２支持部材５とは間隔ｓをおいて配置されている。
【００３６】
第２ブレイクバー６は、搬送ベルト２の載置面２１の下方に配置されている。第２ブレイクバー６は、搬送方向において、第３支持部材７と第４支持部材８との間に配置されている。
【００３７】
第２ブレイクバー６は、載置面２１上に載置された基板１０を下方から押圧し、基板１０をスクライブライン１１に沿ってブレイクするための部材である。詳細には、第２ブレイクバー６は、搬送ベルト２を介して基板１０を押圧する。なお、第２ブレイクバー６は、先端部（上端部）で基板１０を押圧する。
【００３８】
第２ブレイクバー６の先端部は、先端に向かって徐々に厚さが薄くなるように構成されている。第２ブレイクバー６は、水平方向であって搬送方向と直交する方向に延びている。具体的には、第２ブレイクバー６は、図１の紙面垂直方向に延びている。
【００３９】
第２ブレイクバー６は、昇降可能に構成されている。すなわち、第２ブレイクバー６は、上下方向に移動可能に構成されている。例えば、第２ブレイクバー６は、流体シリンダ（図示省略）によって駆動され、上方及び下方に移動可能である。詳細には、第２ブレイクバー６は、載置面２１上に載置された基板１０を下方から押圧するように、上方へ移動可能である。また、第２ブレイクバー６は、搬送ベルト２と接触しない程度に下方へ移動可能である。
【００４０】
第３支持部材７は、搬送ベルト２を下方から支持するための部材である。詳細には、第３支持部材７は、搬送ベルト２を支持することによって、載置面２１上に載置された基板１０を支持する。なお、第３支持部材７の上面が搬送ベルト２の載置面２１の反対側面２３と接触することによって、第３支持部材７は搬送ベルト２を支持する。
【００４１】
第３支持部材７は、載置面２１の下方に配置されている。また、第３支持部材７は、第２ブレイクバー６に対して搬送方向上流側に配置されている。
【００４２】
第３支持部材７は、昇降可能に構成されている。すなわち、第３支持部材７は、上下方向に移動可能に構成されている。例えば、第３支持部材７は、流体シリンダ（図示省略）によって駆動され、上方及び下方に移動可能である。詳細には、第３支持部材７は、搬送ベルト２を支持するように、上方へ移動可能である。また、第３支持部材７は、搬送ベルト２と接触しない程度に下方へ移動可能である。
【００４３】
第４支持部材８は、搬送ベルト２を支持するための部材である。第４支持部材８は、載置面２１の下方に配置されている。また、第４支持部材８は、第２ブレイクバー６に対して搬送方向下流側に配置されている。第４支持部材８は、昇降可能に構成されている。なお、第４支持部材８は、配置されている位置以外は上述した第３支持部材７と同様の構成であるため、詳細な説明を省略する。また、第３及び第４支持部材７，８は、搬送方向に沿って移動可能に構成されている。すなわち、第３及び第４支持部材７，８は、搬送方向上流側に移動したり、搬送方向下流側に移動したりできる。
【００４４】
以上のように、搬送ベルト２の載置面２１の下方に配置された第３支持部材７、第２ブレイクバー６、及び第４支持部材８は、この順に配置されている。
【００４５】
次に、上述したように構成されたブレイク装置を用いたブレイク方法について説明する。なお、基板１０の端縁１４とスクライブライン１１との距離は、第１支持部材４と第２支持部材５との間隔ｓの最小値の半分よりも小さい。例えば、基板１０の端縁１４とスクライブライン１１との距離は、１ｍｍ以上３ｍｍ以下程度である。なお、間隔ｓの最小値とは、第１支持部材４と第２支持部材５とによって基板１０を上方から支持して第２ブレイクバー６によって基板１０を上方に押圧してスクライブライン１１に沿って基板１０をブレイクすることができる範囲で、第１支持部材４と第２支持部材５とを最も近付けたときの間隔ｓを意味する。
【００４６】
まず、図１に示すように、搬送ベルト２の載置面２１上に脆性材料基板１０を載置する。そして、搬送ベルト２によって脆性材料基板１０を搬送する。詳細には、搬送ローラ２２によって搬送ベルト２を駆動し、脆性材料基板１０を搬送する。
【００４７】
脆性材料基板１０のスクライブライン１１が第１ブレイクバー３の真下に位置したとき、搬送ベルト２による脆性材料基板１０の搬送を停止する。そして、図２に示すように、第３及び第４支持部材７，８を上方に移動させ、第３及び第４支持部材７，８によって下方から搬送ベルト２を支持する。なお、第４支持部材８は、搬送ベルト２を介して基板１０の下に位置しているが、第３支持部材７は、搬送ベルト２を介して基板１０の下に位置していない。
【００４８】
次に、図３に示すように、第１ブレイクバー３を下方に移動させる。これによって、第１ブレイクバー３は基板１０を下方に押圧し、基板１０は搬送ベルト２とともに撓む。なお、第１ブレイクバー３は、スクライブライン１１上を押圧する。この結果、第２基板１６に形成された第２スクライブライン１１ｂに沿って第２基板１６がブレイクされる。
【００４９】
次に、搬送ベルト２による基板１０の搬送を再開する。詳細には、第３及び第４支持部材７，８を下方に移動させ、第１ブレイクバー３を上方に移動させた後、搬送ベルト２による基板１０の搬送を再開する。
【００５０】
図４に示すように、端部１２が第１ブレイクバー３の真下に位置したとき、搬送ベルト２による脆性材料基板１０の搬送を停止する。そして、図５に示すように、第２支持部材５を下方に移動させ、第４支持部材８を上方に移動させる。この結果、基板１０は、第２支持部材５と第４支持部材８とによって挟まれて支持される。具体的には、第２及び第４支持部材５，８は、基板１０の本体部１３を挟む。すなわち、基板１０の端部１２は、第２及び第４支持部材５，８によって挟まれていない。なお、第２支持部材５と第４支持部材８とは、基板１０のみではなく搬送ベルト２も挟んでいる。
【００５１】
次に、図６に示すように、第１ブレイクバー３を下方に移動させる。これによって、第１ブレイクバー３は基板１０の端部１２を下方に押圧し、端部１２が下方に撓む。この結果、第１基板１５に形成された第１スクライブライン１１ａに沿って第１基板１５がブレイクされる。
【００５２】
以上のように、ブレイク装置１は、基板１０をスクライブライン１１に沿ってブレイクすることができる。また、基板１０の端部１２の幅が狭い場合、第１支持部材４と第２支持部材５とによって基板１０を支持できないことがある。このような場合であっても、上述した方法によって、基板１０をスクライブライン１１に沿ってブレイクすることができる。
【００５３】
基板１０の端縁１４とスクライブライン１１との距離が、第１支持部材４と第２支持部材５との間隔ｓの最小値の半分よりも大きい場合は、以下のような方法によって、第１基板１５をブレイクすることができる。
【００５４】
詳細には、脆性材料基板１０のスクライブライン１１が第１ブレイクバー３の真下に位置したとき、搬送ベルト２による脆性材料基板１０の搬送を停止する。そして、図７に示すように、第３及び第４支持部材７，８を上方に移動させ、第３及び第４支持部材７，８によって下方から搬送ベルト２を支持する。ここで、第３及び第４支持部材７、８は、搬送ベルト２を介して、基板１０の下に位置していることが好ましい。
【００５５】
次に、図８に示すように、第１ブレイクバー３を下方に移動させる。これによって、第１ブレイクバー３は基板１０を下方に押圧する。なお、第１ブレイクバー３は、スクライブライン１１上を押圧する。この押圧力によって、基板１０は搬送ベルト２とともに撓む。この結果、第２スクライブライン１１ｂに沿って第２基板１６がブレイクされる。
【００５６】
次に、第３及び第４支持部材７，８を下方に移動させ、第１ブレイクバー３を上方に移動させる。そして、図９に示すように、第１及び第２支持部材４，５を下方に移動させる。これによって、第１及び第２支持部材４，５によって上方から基板１０を支持する。
【００５７】
次に、図１０に示すように、第２ブレイクバー６を上方に移動させる。これによって、第２ブレイクバー６は、搬送ベルト２を介して、基板１０を上方に押圧する。この結果、基板１０は搬送ベルト２とともに撓み、第１スクライブライン１１ａに沿って第１基板１５がブレイクされる。
【００５８】
［変形例］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
【００５９】
変形例１
上記実施形態では、第１及び第３支持部材４，７が搬送方向の上流側に位置し、第２及び第４支持部材５，８が搬送方向の下流側に位置しているが、各部材の位置関係は特にこれに限定されない。例えば、第１及び第３支持部材４，７が搬送方向の下流側に位置し、第２及び第４支持部材５，８が搬送方向の上流側に位置していてもよい。
【００６０】
変形例２
上記実施形態では、脆性材料基板１０は貼り合わせ基板であったが、脆性材料基板１０は特にこれに限定されない。
【符号の説明】
【００６１】
１    ブレイク装置
２    搬送ベルト
２１    載置面
３    第１ブレイクバー
４    第１支持部材
５    第２支持部材
６    第２ブレイクバー
７    第３支持部材
８    第４支持部材
【図１】
2015174209.tif 000003
【図２】
2015174209.tif 000004
【図３】
2015174209.tif 000005
【図４】
2015174209.tif 000006
【図５】
2015174209.tif 000007
【図６】
2015174209.tif 000008
【図７】
2015174209.tif 000009
【図８】
2015174209.tif 000010
【図９】
2015174209.tif 000011
【図１０】
2015174209.tif 000012