(57)【要約】【課題】部品供給装置の構成を簡単化すると共に、部品供給装置から部品実装機に供給される部品の吸着、上下反転及び実装の各動作を能率良く行うことができるようにする。【解決手段】部品実装機１１は、２つのロータリーヘッド４１，４２を備え、各ロータリーヘッド４１，４２は、回転軸４３，４４が鉛直方向に対して４５°傾斜する傘型に形成されている。ダイ供給装置１２は、実装面を上向きにしたダイ２２を供給し、部品実装機１１の一方のロータリーヘッド４１は、所定ピッチ回転する毎に下向きとなった吸着ノズル４５にダイ２２を吸着する。他方のロータリーヘッド４２は、所定ピッチ回転する毎に水平向きとなった吸着ノズル４６の先端を一方のロータリーヘッド４１の水平向きとなっている吸着ノズル４５に吸着されたダイ２２に対向させて該ダイ２２を受け取った後、該ダイ２２をその実装面を下向きにした状態で回路基板１７に実装する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を供給する部品供給装置を部品実装機にセットし、該部品供給装置で供給される部品を該部品実装機の実装ヘッドで吸着して回路基板に実装する部品実装システムにおいて、
前記部品実装機は、前記実装ヘッドとして少なくとも２つのロータリーヘッドを備え、各ロータリーヘッドは、回転軸を斜め上下方向又は水平方向に向けて設けられていると共に、各ロータリーヘッドに所定ピッチで配列された複数の吸着ノズルの向きが各ロータリーヘッドの回転により少なくとも下向きと水平向きに移り変わるように構成され、
前記部品供給装置は、実装面を上向きにした状態で部品を供給し、
一方のロータリーヘッドは、前記所定ピッチ回転する毎に下向きとなった吸着ノズルに前記部品供給装置で供給される部品を吸着し、
他方のロータリーヘッドは、前記所定ピッチ回転する毎に水平向きとなった吸着ノズルの先端を前記一方のロータリーヘッドの水平向きとなっている吸着ノズルに吸着された部品に対向させて該部品を受け取った後、前記他方のロータリーヘッドを回路基板の上方へ移動させて、前記他方のロータリーヘッドが前記所定ピッチ回転する毎に下向きとなった吸着ノズルに吸着された部品をその実装面を下向きにした状態で回路基板に実装することを特徴とする部品実装システム。
【請求項２】
前記各ロータリーヘッドは、回転軸が鉛直方向に対して４５°傾斜し、前記各吸着ノズルが前記回転軸の径方向に対して４５°傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の部品実装システム。
【請求項３】
前記部品実装機には、前記２つのロータリーヘッドを保持する装着ヘッドと、前記装着ヘッドを移動させる装着ヘッド移動機構とが設けられ、
前記装着ヘッドには、前記２つのロータリーヘッドを個別に回転させる回転機構と、前記２つのロータリーヘッドを個別に上下動させる上下動機構と、前記２つのロータリーヘッドの間隔を調整するヘッド間隔調整機構とが設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の部品実装システム。
【請求項４】
前記装着ヘッドには、前記２つのロータリーヘッドの各吸着ノズルに吸着された部品を撮像する撮像装置が設けられ、
前記撮像装置で撮像した画像を処理して前記各吸着ノズルに吸着された部品を認識することを特徴とする請求項３に記載の部品実装システム。
【請求項５】
前記部品実装機は、実装面を下向きにした状態で部品を供給する別の部品供給装置がセットされている場合は、前記２つのロータリーヘッド間で部品の受け渡しを行わず、前記別の部品供給装置で供給される部品を前記２つのロータリーヘッドの各吸着ノズルで順番に吸着して回路基板に実装することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の部品実装システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、実装面を上向きにした状態で部品を供給する部品供給装置を部品実装機にセットし、その部品を上下反転させて回路基板に実装する部品実装システムに関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
近年、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、ダイ（部品）を供給する部品供給装置を部品実装機にセットして、該部品供給装置から供給されるダイを該部品実装機の実装ヘッドで吸着して回路基板に実装するようにしたものがある。この部品供給装置は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着されたダイシングシートを張設したウエハパレットを複数段に収容するマガジンと、ウエハパレットのダイシングシート上のダイを吸着する供給ヘッドとを備え、マガジンからウエハパレットを１枚ずつ引き出して該ウエハパレットのダイシングシート上のダイを供給ヘッドで吸着してピックアップするようにしている。
【０００３】
ところで、ダイは、ダイシングシートに貼着した１枚のウエハをダイシングして形成されているが、ダイの実装面を上向きにしてダイシングシートに貼着されている場合がある。そこで、特許文献２（特開２０１２−２３２３０号公報）では、部品供給装置の供給ヘッドを上下反転させる反転機構を設け、ダイ吸着動作後に、供給ヘッドを上下反転させて該供給ヘッド上のダイを部品実装機の実装ヘッドで吸着して回路基板に実装するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１２９９４９号公報
【特許文献２】特開２０１２−２３２３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記特許文献２の構成では、部品供給装置に、供給ヘッドを上下反転させる反転機構を設ける必要があり、部品供給装置の構成が複雑化したり、部品供給動作が複雑化してスループットが上がらないという欠点があった。
【０００６】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、部品供給装置の構成を簡単化できると共に、部品供給装置で供給される部品の吸着、上下反転及び実装の各動作を能率良く行うことができ、スループットを向上できる部品実装システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、部品を供給する部品供給装置を部品実装機にセットし、該部品供給装置で供給される部品を該部品実装機の実装ヘッドで吸着して回路基板に実装する部品実装システムにおいて、前記部品実装機は、前記実装ヘッドとして少なくとも２つのロータリーヘッドを備え、各ロータリーヘッドは、回転軸を斜め上下方向又は水平方向に向けて設けられていると共に、各ロータリーヘッドに所定ピッチで配列された複数の吸着ノズルの向きが各ロータリーヘッドの回転により少なくとも下向きと水平向きに移り変わるように構成され、前記部品供給装置は、実装面を上向きにした状態で部品を供給し、一方のロータリーヘッドは、前記所定ピッチ回転する毎に下向きとなった吸着ノズルに前記部品供給装置で供給される部品を吸着し、他方のロータリーヘッドは、前記所定ピッチ回転する毎に水平向きとなった吸着ノズルの先端を前記一方のロータリーヘッドの水平向きとなっている吸着ノズルに吸着された部品に対向させて該部品を受け取った後、前記他方のロータリーヘッドを回路基板の上方へ移動させて、前記他方のロータリーヘッドが前記所定ピッチ回転する毎に下向きとなった吸着ノズルに吸着された部品をその実装面を下向きにした状態で回路基板に実装するようにしたものである。
【０００８】
この構成では、部品実装機に設けた２つのロータリーヘッドを使用して、部品供給装置で供給される部品の吸着、上下反転及び実装までの全ての動作を行うことができるため、部品供給装置に、供給ヘッド（部品吸着機構）や反転機構を設ける必要がなく、部品供給装置の構成を簡単化でき、コストダウンすることができる。しかも、部品実装機に設けた２つのロータリーヘッドの複数の吸着ノズルを効率良く使用して、部品供給装置で供給される部品の吸着、上下反転及び実装の各動作を能率良く行うことができ、スループットを向上できる。
【０００９】
この場合、ロータリーヘッドは、例えば、回転軸を水平方向に向けた円盤状のヘッドの外周に所定ピッチで複数の吸着ノズルを放射状に設けた構成としても良いが、この構成では、吸着ノズルの旋回半径が大きくなり、ヘッド構成が大型化する。
【００１０】
そこで、請求項２のように、各ロータリーヘッドの回転軸を鉛直方向に対して４５°傾斜させ、各吸着ノズルを前記回転軸の径方向（直角方向）に対して４５°傾斜させた構成とすると良い。このように構成すれば、吸着ノズルの旋回半径を小さくできて、ヘッド構成を小型化できる。
【００１１】
本発明は、２つのロータリーヘッドを個別にＸ−Ｙ−Ｚ方向に移動させる構成としても良いが、この構成では、２つのＸ−Ｙ−Ｚ移動機構を必要として、構成の複雑化や大型化を招く。
【００１２】
そこで、請求項３のように、部品実装機に、２つのロータリーヘッドを保持する装着ヘッドと、前記装着ヘッドを移動させる装着ヘッド移動機構とを設け、前記装着ヘッドには、前記２つのロータリーヘッドを個別に回転させる回転機構と、前記２つのロータリーヘッドを個別に上下動させる上下動機構と、前記２つのロータリーヘッドの間隔を調整するヘッド間隔調整機構とを設けた構成とすると良い。このように構成すれば、１つの装着ヘッドに２つのロータリーヘッドを設けたコンパクトな構成とすることができ、構成を簡単化、小型化できる。
【００１３】
また、請求項４のように、装着ヘッドに、２つのロータリーヘッドの各吸着ノズルに吸着された部品を撮像する撮像装置を設け、この撮像装置で撮像した画像を処理して前記各吸着ノズルに吸着された部品を認識するようにしても良い。このようにすれば、部品の吸着動作や上下反転動作（部品受け渡し動作）を行いながら、並行して部品の撮像動作を行うことができ、スループットを更に向上できる。
【００１４】
また、請求項５のように、部品実装機は、実装面を下向きにした状態で部品を供給する別の部品供給装置がセットされている場合は、２つのロータリーヘッド間で部品の受け渡しを行わず、前記別の部品供給装置で供給される部品を２つのロータリーヘッドの各吸着ノズルで順番に吸着して回路基板に実装するようにすれば良い。このようにすれば、実装面を下向きにした状態で部品を供給する別の部品供給装置がセットされている場合は、２つのロータリーヘッドを個別に使用して部品の吸着と実装を能率良く実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は本発明の一実施例の部品実装システムの平面図である。
【図２】図２は部品実装機の装着ヘッドの構成を示す側面図である。
【図３】図３は部品吸着動作を説明する図である。
【図４】図４は部品受け渡し動作を説明する図（その１）である。
【図５】図５は部品受け渡し動作を説明する図（その２）である。
【図６】図６は部品受け渡し動作を説明する図（その３）である。
【図７】図７は部品撮像動作を説明する図である。
【図８】図８は部品実装動作を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を説明する。
まず、部品実装システム全体の構成を説明する。
【００１７】
図１に示すように、部品実装機１１には、部品供給装置であるダイ供給装置１２が着脱可能にセットされる。部品実装機１１には、ダイ供給装置１２のセット位置に隣接してフィーダセット台１３が設けられ、このフィーダセット台１３上に、ダイ供給装置１２とは別の部品供給装置であるテープフィーダ等のフィーダ（図示せず）が着脱可能にセットされる。フィーダセット台１３上にセットするフィーダは、テープフィーダに限定されず、トレイフィーダ、バルクフィーダ、スティックフィーダ等であっても良く、これらのフィーダの中から複数種のフィーダをフィーダセット台１３上にセットするようにしても良い。
【００１８】
部品実装機１１には、装着ヘッド１５をＸＹ方向（左右前後方向）に移動させる装着ヘッド移動機構１６が設けられている。この装着ヘッド移動機構１６は、Ｙ方向（回路基板１７の搬送方向と直角な方向）にスライド移動するＹスライド１８と、該Ｙスライド１８に、Ｘ方向（回路基板１７の搬送方向）にスライド可能に支持されたＸスライド１９とを備え、該Ｘスライド１９に装着ヘッド１５が取り付けられている。部品実装機１１には、回路基板１７を搬送するコンベア２５が２台並設されている。
【００１９】
一方、ダイ供給装置１２には、ウエハパレット２７を複数段に収容するマガジン２８が設けられている。ウエハパレット２７は、多数のダイ２２（部品）に分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシート２９を、円形の開口部を有するダイシングフレーム３０にエキスパンドした状態で装着し、該ダイシングフレーム３０をパレット本体３１にねじ止め等により取り付けた構成となっている。本実施例では、ダイシングシート２９上のダイ２２は、実装面を上向きにした状態で貼着されている。ダイ供給装置１２には、マガジン２８からウエハパレット２７を部品実装機１１のコンベア２５側へ引き出す引き出し機構３５が設けられている。
【００２０】
また、ダイ供給装置１２には、後述する部品実装機１１の吸着ノズル４５にダイシングシート２９上のダイ２２を吸着する際に、ダイシングシート２９のうちの吸着ノズル４５に吸着しようとする部分をその下方から突き上げる突き上げ機構３６（図３参照）が設けられている。
【００２１】
図２に示すように、部品実装機１１の装着ヘッド１５には、２つのロータリーヘッド４１，４２がＹ方向に並べて保持されている。各ロータリーヘッド４１，４２は、ヘッド形状が同一サイズの傘型に形成され、各ロータリーヘッド４１，４２の回転軸４３，４４が鉛直方向（Ｚ方向）に対して４５°傾斜し、両回転軸４３，４４の中心線の延長線が両ロータリーヘッド４１，４２間の中間位置の下方側で交差するように各ロータリーヘッド４１，４２が配置されている。各ロータリーヘッド４１，４２には、それぞれ複数の吸着ノズル４５，４６が所定ピッチで保持され、各吸着ノズル４５，４６が各回転軸４３，４４の径方向に対して４５°傾斜している。本実施例では、各ロータリーヘッド４１，４２には、それぞれ４つの吸着ノズル４５，４６が９０°ピッチで保持されている。
【００２２】
装着ヘッド１５には、各ロータリーヘッド４１，４２を個別に回転させる回転機構（図示せず）と、各ロータリーヘッド４１，４２を個別に上下動させる上下動機構４７，４８が設けられ、更に、少なくとも片方のロータリーヘッド４２をＹ方向に移動させて両ロータリーヘッド４１，４２の間隔を調整するヘッド間隔調整機構４９が設けられている。
【００２３】
更に、図７に示すように、装着ヘッド１５には、２つのロータリーヘッド４１，４２の各吸着ノズル４５，４６に吸着されたダイ２２をプリズム５１，５２を介して撮像する２つの撮像装置５３，５４が設けられ、各撮像装置５３，５４で撮像した画像を画像処理装置（図示せず）で処理して各吸着ノズル４５，４６に吸着されたダイ２２を認識して、ダイ２２の吸着位置のずれやダイ２２の有無（吸着ミス）等を判定するようにしている。
【００２４】
以上説明した構成により、各ロータリーヘッド４１，４２に所定ピッチで配列された複数の吸着ノズル４５，４６の向きが各ロータリーヘッド４１，４２の回転により少なくとも下向きと水平向きに移り変わるように構成され、一方のロータリーヘッド４１は、前記所定ピッチ回転する毎に下向きとなった吸着ノズル４５にダイ供給装置１２で供給されるダイ２２を吸着し、他方のロータリーヘッド４２は、前記所定ピッチ回転する毎に水平向きとなった吸着ノズル４６の先端を前記一方のロータリーヘッド４１の水平向きとなっている吸着ノズル４５に吸着されたダイ２２に対向させて該ダイ２２を受け取り、ダイ２２の吸着動作と受け渡し動作（上下反転動作）を行った後、装着ヘッド移動機構１６により装着ヘッド１５を移動させて前記他方のロータリーヘッド４２を回路基板１７の上方へ移動させて、前記他方のロータリーヘッド４２が前記所定ピッチ回転する毎に下向きとなった吸着ノズル４６に吸着されたダイ２２をその実装面を下向きにした状態で回路基板１７に実装するようにしている。更に、ダイ２２の吸着動作や受け渡し動作（上下反転動作）を行いながら、並行して２つのロータリーヘッド４１，４２の各吸着ノズル４５，４６に吸着されたダイ２２を２つの撮像装置５３，５４で撮像し、その画像を画像処理装置（図示せず）で処理して各吸着ノズル４５，４６に吸着されたダイ２２を認識して、ダイ２２の吸着位置のずれやダイ２２の有無（吸着ミス）等を判定するようにしている。
【００２５】
以下、図３乃至図８を用いて、ダイ供給装置１２で供給されるダイ２２を回路基板１７に実装する動作を説明する。
【００２６】
まず、図３に示すように、装着ヘッド移動機構１６により装着ヘッド１５をダイ吸着位置へ移動させて、一方のロータリーヘッド４１の下向きの吸着ノズル４５をダイシングシート２９上の吸着対象となるダイ２２の上方に位置させて、上下動機構４７により当該一方のロータリーヘッド４１を下降させて、下向きの吸着ノズル４５にダイシングシート２９上のダイ２２を吸着した後、装着ヘッド１５を次のダイ吸着位置へ移動させながら、当該一方のロータリーヘッド４１を所定ピッチ回転させて、下向きとなった吸着ノズル４５に次の吸着順序のダイ２２を吸着するという動作を繰り返して、一方のロータリーヘッド４１の全ての吸着ノズル４５にダイ２２を順番に吸着する。
【００２７】
この後、図４に示すように、上下動機構４７により一方のロータリーヘッド４１を元の高さまで上昇させて、一方のロータリーヘッド４１の水平向きの吸着ノズル４５に吸着されたダイ２２を他方のロータリーヘッド４２の水平向きの吸着ノズル４６の先端に対向させた状態にする。
【００２８】
この後、図５に示すように、ヘッド間隔調整機構４９により他方のロータリーヘッド４２をＹ方向に移動させて、他方のロータリーヘッド４２の水平向きの吸着ノズル４６の先端を、一方のロータリーヘッド４１の水平向きの吸着ノズル４５に吸着されたダイ２２に当接させて、そのダイ２２を他方のロータリーヘッド４２の水平向きの吸着ノズル４６に吸着させる。これにより、一方のロータリーヘッド４１の水平向きの吸着ノズル４５からダイ２２を他方のロータリーヘッド４２の水平向きの吸着ノズル４６に受け渡す。この受け渡し動作により、ダイ２２が上下反転されて他方のロータリーヘッド４２の吸着ノズル４６に吸着される。
【００２９】
この後、図６に示すように、ヘッド間隔調整機構４９により他方のロータリーヘッド４２を元の位置へ戻して、一方のロータリーヘッド４１の水平向きの吸着ノズル４５からダイ２２を引き離した後、２つのロータリーヘッド４１，４２を所定ピッチ回転させて、一方のロータリーヘッド４１の水平向きとなった吸着ノズル４５に吸着されたダイ２２を他方のロータリーヘッド４２の水平向きとなった吸着ノズル４６の先端に対向させてダイ２２を受け渡す。以後、同様の動作を繰り返して、一方のロータリーヘッド４１の全ての吸着ノズル４５から他方のロータリーヘッド４２の全ての吸着ノズル４６にダイ２２を受け渡す。
【００３０】
この際、ダイ２２の吸着動作や受け渡し動作（上下反転動作）を行いながら、図７に示すように、２つのロータリーヘッド４１，４２の各吸着ノズル４５，４６に吸着されたダイ２２を２つの撮像装置５３，５４で撮像して、その画像を処理して各吸着ノズル４５，４６に吸着されたダイ２２を認識して、ダイ２２の吸着位置のずれやダイ２２の有無（吸着ミス）等を判定する。
【００３１】
図８に示すように、ダイ２２の受け渡し動作（上下反転動作）を終了した後、装着ヘッド移動機構１６により装着ヘッド１５をダイ実装位置へ移動させて他方のロータリーヘッド４２を回路基板１７の上方に位置させて、当該他方のロータリーヘッド４２が前記所定ピッチ回転する毎に下向きとなった吸着ノズル４６に吸着されたダイ２２をその実装面を下向きにした状態で回路基板１７に実装する。
【００３２】
ダイ２２の実装終了後、装着ヘッド移動機構１６により装着ヘッド１５をダイ吸着位置へ戻して、上述したダイ２２の吸着動作と受け渡し動作（上下反転動作）を行いながら、並行してダイ２２の撮像動作を行った後、実装動作を行うという動作を繰り返す。
【００３３】
尚、部品実装機１１のフィーダのセット台１３上にセットした別の部品供給装置で供給される部品の実装面が上向きになっている場合も、２つのロータリーヘッド４１，４２を使用して、上述と同様の方法で、供給される部品の吸着動作と受け渡し動作（上下反転動作）を行いながら、並行して部品の撮像動作を行った後、実装動作を行うという動作を繰り返す。
【００３４】
一方、実装面を下向きにしたダイを貼着したウエハパレットをダイ供給装置１２にセットした場合や、別の部品供給装置で供給される部品の実装面が下向きになっている場合は、ダイ等の部品を上下反転動作を行う必要がないため、２つのロータリーヘッド４１，４２間でダイ等の部品の受け渡しを行わず、供給されるダイ等の部品を２つのロータリーヘッド４１，４２の各吸着ノズル４５，４６で順番に吸着しながら、並行してダイ等の部品の撮像動作を行った後、ダイ等の部品を回路基板１７に実装する。このようにすれば、供給されるダイ等の部品の実装面が下向きになっている場合は、２つのロータリーヘッド４１，４２を個別に使用してダイ等の部品の吸着動作と実装動作と撮像動作を能率良く実行することができる。
【００３５】
以上説明した本実施例では、部品実装機１１に設けた２つのロータリーヘッド４１，４２を使用して、ダイ供給装置１２等の部品供給装置で供給されるダイ等の部品の吸着、上下反転及び実装までの全ての動作を行うことができるため、ダイ供給装置１２等の部品供給装置に、供給ヘッド（部品吸着機構）や反転機構を設ける必要がなく、ダイ供給装置１２等の部品供給装置の構成を簡単化でき、コストダウンできる。しかも、部品実装機１１に設けた２つのロータリーヘッド４１，４２の複数の吸着ノズル４５，４６を効率良く使用して、ダイ供給装置１２等の部品供給装置で供給されるダイ等の部品の吸着、上下反転及び実装の各動作を能率良く行うことができ、スループットを向上できる。
【００３６】
本発明に使用するロータリーヘッドは、例えば、回転軸を水平方向に向けた円盤状のヘッドの外周に所定ピッチで複数の吸着ノズルを放射状に設けた構成としても良いが、この構成では、吸着ノズルの旋回半径が大きくなり、ヘッド構成が大型化する。
【００３７】
そこで、本実施例では、各ロータリーヘッド４１，４２の回転軸４３，４４を鉛直方向に対して４５°傾斜させ、各吸着ノズル４５，４６が回転軸４３，４４の径方向（直角方向）に対して４５°傾斜させているため、吸着ノズル４５，４６の旋回半径を小さくできて、ヘッド構成を小型化できる。
【００３８】
本発明は、２つのロータリーヘッド４１，４２を個別にＸ−Ｙ−Ｚ方向に移動させる構成としても良いが、この構成では、２つのＸ−Ｙ−Ｚ移動機構を必要として、構成の複雑化や大型化を招く。
【００３９】
そこで、本実施例では、部品実装機１１に、２つのロータリーヘッド４１，４２を保持する装着ヘッド１５と、この装着ヘッド１５を移動させる装着ヘッド移動機構１６とを設け、装着ヘッド１５には、２つのロータリーヘッド４１，４２を個別に回転させる回転機構と、２つのロータリーヘッド４１，４２を個別に上下動させる上下動機構４７，４８と、２つのロータリーヘッド４１，４２の間隔を調整するヘッド間隔調整機構４９とを設けた構成としているため、１つの装着ヘッド１５に２つのロータリーヘッド４１，４２を設けたコンパクトな構成とすることができ、構成を簡単化、小型化できる。
【００４０】
また、本実施例では、装着ヘッド１５に、２つのロータリーヘッド４１，４２の各吸着ノズル４５，４６に吸着されたダイ２２を撮像する２つの撮像装置５３，５４を設け、各撮像装置５３，５４で撮像した画像を処理して各吸着ノズル４５，４６に吸着されたダイ２２を認識するようにしているため、ダイ２２の吸着動作や上下反転動作（受け渡し動作）を行いながら、並行してダイ２２の撮像動作を行うことができ、スループットを更に向上することができる。
【００４１】
尚、本実施例では、一方のロータリーヘッド４１の全ての吸着ノズル４５にダイ２２を吸着した後、他方のロータリーヘッド４２の吸着ノズル４６にダイ２２を受け渡すようにしたが、一方のロータリーヘッド４１の吸着ノズル４５でダイ２２の吸着動作を行いながら、並行して他方のロータリーヘッド４２の吸着ノズル４６にダイ２２を受け渡すようにしても良い。
【００４２】
その他、本発明は、上記実施例に限定されず、各ロータリーヘッド４１，４２に保持させる吸着ノズル４５，４６の数を変更したり、各ロータリーヘッド４１，４２の回転軸４３，４４の傾斜角度を変更したり、部品実装機１１やダイ供給装置１２の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４３】
１１…部品実装機、１２…ダイ供給装置（部品供給装置）、１３…フィーダセット台、１５…装着ヘッド、１６…装着ヘッド移動機構、１７…回路基板、２２…ダイ（部品）、２７…ウエハパレット、２８…マガジン、２９…ダイシングシート、３５…引き出し機構、４１，４２…ロータリーヘッド、４３，４４…回転軸、４５，４６…吸着ノズル、４７，４８…上下動機構、４９…ヘッド間隔調整機構、５１，５２…プリズム、５３，５４…撮像装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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