(57)【要約】【課題】  印刷配線板にマトリックス状に配置されたスルーホールの電気的接続の検査において、各スルーホール単位での検査の不具合検出性能を向上させた検査方法を提供する【解決手段】  印刷配線板１００に形成された隣り合う複数のスルーホール１を、スルーホールに電気的に接続したスルーホール１の周囲の印刷配線板１００に検査ピン２を接触させて電気的不具合を調べるスルーホールの検査方法であって、印刷配線板１００の一方の面において、検査対象となる一のスルーホールに電気的に接続したスルーホール１の周縁に接触する検査ピン２を、隣り合う複数のスルーホールのうち最短距離のスルーホールの方向に配置し、さらに一のスルーホールを挟み対向する位置に別の検査ピン２を配置すると共に、印刷配線板の他方の面において、印刷配線板を基準に前記検査ピン２と面対称となる位置にそれぞれ同数の検査ピン２’を配置する。【選択図】図１
2015210236.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷配線板に形成された隣り合う複数のスルーホールを、スルーホールに電気的に接続したスルーホール周縁の印刷配線板に検査ピンを接触させて電気的不具合を調べるスルーホールの検査方法であって、
印刷配線板の一方の面において、検査対象となる一のスルーホールに電気的に接続したスルーホール周縁に接触する検査ピンを、隣り合う複数のスルーホールのうち最短距離のスルーホールの方向に配置し、さらに一のスルーホールを挟み対向する位置に別の検査ピンを配置すると共に、
印刷配線板の他方の面において、印刷配線板を基準に前記検査ピンと面対称となる位置にそれぞれ同数の検査ピンを配置することを特徴とするスルーホールの検査方法。
【請求項２】
検査対象となる一のスルーホールからの距離がすべて同じである隣り合う複数のスルーホールのそれぞれについて、各スルーホールの方向に向かって検査ピンを配置し、さらに一のスルーホールを挟み対向する位置に別の検査ピンを配置する請求項１に記載のスルーホールの検査方法。
【請求項３】
スルーホール端部から検査ピンの中心までの距離が６０μｍ以上１２０μｍ以下である請求項１または２に記載のスルーホールの検査方法。
【請求項４】
スルーホールを挟んで対向する一対の検査ピンが定電流供給用であり、他の一対の検査ピンが電圧計測用である請求項１〜３のいずれかに記載のスルーホールの検査方法。
【請求項５】
２組の一対の検査ピンは、相互に定電流供給用と電圧計測用とに変更可能である請求項４に記載のスルーホールの検査方法。
【請求項６】
２組の一対の検査ピンを相互に定電流供給用と電圧計測用とに変更して得られた計測抵抗値の検査データより標準偏差を算出し、計測抵抗値と標準偏差が共に最小となる検査ピンの役割を抽出して、設定を行う請求項４または５に記載のスルーホールの検査方法。
【請求項７】
前記検査ピンが金属ピンまたは異方性導電ゴムからなる請求項１〜６のいずれかに記載のスルーホールの検査方法。
【請求項８】
前記請求項１に記載のスルーホールの検査方法に基づいて、以下の（Ｉ）〜（Ｖ）のアルゴリズムを実現するための手段を備えることを特徴とする検査装置。
（Ｉ）印刷配線板製造時に使用する回路描画データより、検査対象のスルーホールを抽出し、印刷配線板の上下面のスルーホール端部に、４本の検査ピンを２本ずつ組合せて、スルーホールを挟んで対向するよう合計８本配置し、この４本の検査ピン単位に４端子検査指定と検査ピン番号を関連付けする。
（ＩＩ）印刷配線板の各面の４本の検査ピンの２本ずつの組合せにそれぞれ定電流供給用、電圧計測用の各役割を決め、この組合せを検査データとして生成する。
（ＩＩＩ）（ＩＩ）の検査データに基づいて、各検査ピンの役割を切り替えながら計測を行い、複数の印刷配線板サンプルについて、計測抵抗値の最小値、最大値、判定閾値および標準偏差を出力し、計測結果を（ＩＩ）の検査データに追加記述する。
（ＩＶ）（ＩＩＩ）の計測結果データにて、計測抵抗値と標準偏差が共に最小である組合せを抽出し、計測対象か否かの情報を（ＩＩ）の検査データに追加記述する。
（Ｖ）（ＩＩＩ）と（ＩＶ）のデータを追加記述した（ＩＩ）の検査データを使用し、以降の基板の連続計測検査を行う。
【請求項９】
印刷配線板に形成された隣り合う複数のスルーホールを、スルーホールに電気的に接続したスルーホール周縁の印刷配線板に接触させて電気的不具合を調べる検査ピンを備えた、スルーホールの検査に用いるための検査治具であって、
前記検査ピンは、印刷配線板の両面に定電流供給用および電圧計測用の一対の検査ピンをそれぞれ配置する２組の一対の検査ピンからなることを特徴とする、スルーホールの検査治具。
【請求項１０】
前記一対の検査ピンは、相互に定電流供給用と電圧計測用とに変更可能である請求項９に記載のスルーホールの検査治具。
【請求項１１】
前記検査ピンが金属ピンまたは異方性導電ゴムからなる請求項９または１０に記載のスルーホールの検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷配線板のスルーホールにおける電気的不具合(断線等)を検査する方法および検査装置、ならびにこの検査方法および検査装置に使用する検査治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、印刷配線板（プリント配線板）では、表裏回路及び内層回路との電気的接続を確保するため、少なくとも１つのスルーホールを設けたものが一般的である。このスルーホールの内壁面は製造工程で銅めっきすることで電気的接続を確保している。しかし製造工程において、スルーホール内に異物混入などで銅めっきが阻害され、銅めっきされない箇所が生じることがあり、その場合、印刷配線板の電気的接続不具合（断線等）の原因となるため、通常、以下の図８および図９に示すような検査方式で検査を行っている。
【０００３】
図８に示す検査方式は、電気的接続確認用の検査ピン２１が１検査単位に自在に移動しながら検査を行うフライングプローブ検査方式である。この検査の方式では、計測電源供給用の検査ピン２１，２１’と電圧計測用の検査ピン２２，２２’との２本１ユニットで構成された４端子プローブ（検査ピン）を使用し、予め登録した座標データを基に、検査対象スルーホール１の近傍に移動し、印刷配線板１００の表裏に同時に接触させることでスルーホール内の電圧を測定（抵抗値に換算）して検査を行う。
【０００４】
一方、図９に示す検査方式は、検査対象となる全てのスルーホール１に検査ピンを植立することができる円錐状の検査ピン２３を用いた検査の方式である。この検査の方式では、検査対象のスルーホールの各中心に円錐状の検査ピン２３，２３’を植立することが可能なため、電圧計測用の検査ピン２２，２２’がスルーホール端で接触して、前述した図８に示す方式のようにスルーホール１までの経路で抵抗成分が生じないため、スルーホール１内の真の電圧計測が可能となり、スルーホール１の不具合の検出性能を向上させることができる。
【０００５】
特許文献１には、被検査部（スルーホール）の両端に接続される一対のランド（検査ピン）を介して電流を供給し、前記被検査部の両端に接続される別の一対のランド間の電圧を測定する、４端子プローブを用いた印刷配線板の電気検査方法が記載されている。
また、特許文献２には、所定間隔をおいて対向配置された第１のガイドベース及び第２のガイドベース間を有するガイドプレートに支持される導電性材料で形成された基板検査用接触子であって、全長が遊嵌される圧縮コイルバネの両端にそれぞれ径や長さが異なる第１のピン体と第２のピン体を有し、第１および第２のピン体がそれぞれ第１および第２のガイドベースに形成された貫通孔に摺動可能に挿通される基板検査用接触子が記載されている。
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の検査方法では、４端子プローブの電源供給用と電圧計測用の２本の検査ピンが横並びに隣接しているためスルーホールエッジまでの経路で抵抗成分が生じ、スルーホール内の真の抵抗値に加算されるため、スルーホールの不具合の検出性能が悪化する恐れがある。
【０００７】
例えば、図１０（ａ）に示すような印刷配線板２００の一回路上にマトリックス状に配置されたスルーホール１の不具合を検査する場合、前述した図８に示す４端子プローブの検査ピン（２１，２２）では、図１０（ｂ）に示すように周囲のスルーホールへの計測電源の回り込みによる抵抗成分（Ｒ１〜Ｒ４）が影響し、各々のスルーホール単位で計測値（Ｒ０）の標準偏差がさらに大きくなってしまう。
このように、特許文献１に示す検査の方式では、上述の検査ピンとスルーホール端までの抵抗成分の加算に加え、図１０（ｂ）に示すように周囲のスルーホールへの計測電源の回り込みによる抵抗成分R1〜R4の影響を受けてしまい、計測値R0の標準偏差が更に大きくなるため検査できない。
【０００８】
さらに、厚みが薄い印刷配線板、特に基板のスルーホールのアスペクト比（板厚とスルーホール径の比）が０．８未満と小さい印刷配線板１００では、上述した円錐状の検査ピン２３では、図１１に示すように、スルーホール１の上下面からそれぞれ植立させた円錐状の検査ピン２３，２３’の先端同士が接触してしまい、検査できなくなるといった問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−２１２３７２号公報
【特許文献２】特開２００７−３０４００８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、印刷配線板の同一回路面にマトリックス状にスルーホールが配置され、そのスルーホール中心にスルーホール専用の円錐状の検査ピンが植立できない薄い印刷配線板において、各スルーホール単位で電気的不具合の検出性能を向上させることができる印刷配線板の検査方法および検査装置、さらに検査治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者は、上記課題を解決するべく鋭意検討を行った結果、以下の構成からなる解決手段を見出し、本発明を完成するに至った。
（１）印刷配線板に形成された隣り合う複数のスルーホールを、スルーホールに電気的に接続したスルーホール周縁の印刷配線板に検査ピンを接触させて電気的不具合を調べるスルーホールの検査方法であって、印刷配線板の一方の面において、検査対象となる一のスルーホールに電気的に接続したスルーホール周縁に接触する検査ピンを、隣り合う複数のスルーホールのうち最短距離のスルーホールの方向に配置し、さらに一のスルーホールを挟み対向する位置に別の検査ピンを配置すると共に、印刷配線板の他方の面において、印刷配線板を基準に前記検査ピンと面対称となる位置にそれぞれ同数の検査ピンを配置することを特徴とするスルーホールの検査方法。
（２）検査対象となる一のスルーホールからの距離がすべて同じである隣り合う複数のスルーホールのそれぞれについて、各スルーホールの方向に向かって検査ピンを配置し、さらに一のスルーホールを挟み対向する位置に別の検査ピンを配置する（１）に記載のスルーホールの検査方法。
（３）スルーホール端部から検査ピンの中心までの距離が６０μｍ以上１２０μｍ以下である（１）または（２）に記載のスルーホールの検査方法。
（４）スルーホールを挟んで対向する一対の検査ピンが定電流供給用であり、他の一対の検査ピンが電圧計測用である（１）〜（３）のいずれかに記載のスルーホールの検査方法。
（５）２組の一対の検査ピンは、相互に定電流供給用と電圧計測用とに変更可能である（４）に記載のスルーホールの検査方法。
（６）２組の一対の検査ピンを相互に定電流供給用と電圧計測用とに変更して得られた計測抵抗値の検査データより標準偏差を算出し、計測抵抗値と標準偏差が共に最小となる検査ピンの役割を抽出して、設定を行う（４）または（５）に記載のスルーホールの検査方法。
（７）前記検査ピンが金属ピンまたは異方性導電ゴムからなる（１）〜（６）のいずれかに記載のスルーホールの検査方法。
本発明の検査装置は以下の通りである。
（８）前記請求項１に記載のスルーホールの検査方法に基づいて、以下の（Ｉ）〜（Ｖ）のアルゴリズムを実現するための手段を備えることを特徴とする検査装置。
（Ｉ）印刷配線板製造時に使用する回路描画データより、検査対象のスルーホールを抽出し、印刷配線板の上下面のスルーホール端部に、４本の検査ピンを２本ずつ組合せて、スルーホールを挟んで対向するよう合計８本配置し、この４本の検査ピン単位に４端子検査指定と検査ピン番号を関連付けする。
（ＩＩ）印刷配線板の各面の４本の検査ピンの２本ずつの組合せにそれぞれ定電流供給用、電圧計測用の各役割を決め、この組合せを検査データとして生成する。
（ＩＩＩ）（ＩＩ）の検査データに基づいて、各検査ピンの役割を切り替えながら計測を行い、複数の印刷配線板サンプルについて、計測抵抗値の最小値、最大値、判定閾値および標準偏差を出力し、計測結果を（ＩＩ）の検査データに追加記述する。
（ＩＶ）（ＩＩＩ）の計測結果データにて、計測抵抗値と標準偏差が共に最小である組合せを抽出し、計測対象か否かの情報を（ＩＩ）の検査データに追加記述する。
（Ｖ）（ＩＩＩ）と（ＩＶ）のデータを追加記述した（ＩＩ）の検査データを使用し、以降の基板の連続計測検査を行う。
本発明の検査治具は以下の通りである。
（９）印刷配線板に形成された隣り合う複数のスルーホールを、スルーホールに電気的に接続したスルーホール周縁の印刷配線板に接触させて電気的不具合を調べる検査ピンを備えた、スルーホールの検査に用いるための検査治具であって、前記検査ピンは、印刷配線板の両面に定電流供給用および電圧計測用の一対の検査ピンをそれぞれ配置する２組の一対の検査ピンからなることを特徴とする、スルーホールの検査治具。
（１０）前記一対の検査ピンは、相互に定電流供給用と電圧計測用とに変更可能である（９）に記載のスルーホールの検査治具。
（１１）前記検査ピンが金属ピンまたは異方性導電ゴムからなる（９）または（１０）に記載のスルーホールの検査治具。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、スルーホールの周囲の影響が最小となる検査ピンの配置ができるため、スルーホールの不具合検出性能を向上させることができる。
さらに、検査ピンの最適な配置のデータを収集しアルゴリズム化することで、以降の連続計測検査が可能になり、効率よく印刷配線板を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（ａ）〜（ｄ）は、本発明における、それぞれ異なるスルーホールと検査ピンの配置を示す模式図である。
【図２】（ａ）は印刷配線板のスルーホールの検査における計測原理示す側面図であり、（ｂ）は計測ユニットを示す模式図である。
【図３】スルーホールとその周囲の影響を示す模式図である。
【図４】印刷配線板の表面および裏面におけるスルーホールと検査ピンの他の配置例を示す模式図である。
【図５】縦方向と横方向の測定抵抗値を示すグラフである。
【図６】縦方向の良品サンプルと不良品サンプルの測定抵抗値を示すグラフである。
【図７】横方向の良品サンプルと不良品サンプルの測定抵抗値を示すグラフである。
【図８】従来の印刷配線板の検査方法を示す説明図である。
【図９】従来の印刷配線板の別の検査方法を示す説明図である。
【図１０】従来の印刷配線板を示す説明図であり、（ｂ）は（ａ）のスルーホールと抵抗値を示す説明図である。
【図１１】従来のスルーホールの検査方法を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を用いて、本発明の印刷配線板の検査方法を詳細に説明する。
【００１５】
本発明の一実施形態に係る印刷配線板の検査方法は、印刷配線板に形成された隣り合う複数のスルーホールを、スルーホール周縁の印刷配線板に検査ピンを接触させて電気的不具合を調べるものであり、図１（ａ）〜（ｄ）に示すように、印刷配線板の一方の面 (以下、表面ということがある)１００において、検査対象となる一のスルーホール１の周縁に接触する検査ピンＰ２を、隣り合う複数のスルーホール２，３・・・のうち最短距離のスルーホールの方向に配置し、さらに一のスルーホールを挟んで対向する位置に別の検査ピンＰ１を配置すると共に、印刷配線板の他方の面(以下、裏面ということがある)において、印刷配線板を基準に前記検査ピンＰ１，Ｐ２と面対称となる位置にそれぞれ同数の検査ピンＰ３，Ｐ４を配置したものである。
【００１６】
具体的に検査ピンの配置方法を説明すると、図１（ａ）に示すように、２個のスルーホール１，２が配置されている場合、最短距離はこれらのスルーホール１，２間の距離となるため、相互に隣接するスルーホール１，２の方向に検査ピンＰ１〜Ｐ８を配置する。
【００１７】
図１（ｂ）に示すように、３個のスルーホール１、２，３が正三角形状に配置されている場合、隣り合う全てのスルーホールまでの距離が同じため、全ての方向に検査ピンＰ１〜Ｐ２４を配置する。このとき、各スルーホール１、２，３には、それぞれ表面４本、裏面４本の合計８本の検査ピンが配置される。
【００１８】
図１（ｃ）に示すように、３個のスルーホール１、２，３が二等辺三角形状に配置されている場合、スルーホール１から、隣り合うスルーホールまでの距離が短い（同じ）スルーホール２，３側に検査ピンを配置する。またスルーホール２から隣接するスルーホールまでの距離が短いスルーホール３側に検査ピンを配置する。スルーホール３も同様にする。
この時、二等辺三角形の頂点にあたるスルーホール１には、検査ピンが表面４本、裏面４本の合計８本配置され、下辺側のスルーホール２，３にはそれぞれ、表面２本、裏面２本の合計４本配置される。
【００１９】
図１（ｄ）に示すように、４個のスルーホール１〜４が正方形状に配置されている場合、隣接する全てのスルーホールまでの距離が同じため、全ての方向に検査ピンが表面４本、裏面４本の合計８本配置される。
【００２０】
なお、図１（ｂ）、（ｄ）の場合、１つのスルーホールに８本の検査ピンがあるので、４本単位に検査ピンの役割を自在に変更しながら計測を行う。すなわち、同じスルーホールを２回検査することになる。
【００２１】
検査ピンＰ１、Ｐ２・・・は、印刷配線板１００の各スルーホール１、２・・・にできる限り近づける。スルーホール１の端部と各検査ピン２の中心との距離は６０μｍ以上１２０μｍ以下であるのが好ましい。印刷配線板の検査ピン接触位置の安定化を図るため、アライメント（位置合わせ）を行い、そのアライメント精度(ＸＹΘ調整機構)及び検査治具の検査ピン位置精度により、スルーホール端部から最低６０μｍ以上の位置に検査ピンを配置が必要となる。検査ピンを６０μｍ未満に配置した場合は、検査ピンがスルーホール内に入り込み、印刷配線板に接触せず検査不能になるおそれがあるが、精度が高くなれば６０μｍ未満の位置に検査ピン配置が可能であり、計測性能も更に向上する。
【００２２】
検査ピンとしては、電気的導通を取る４端子プローブに使用される金属ピン、異方性導電ゴム等が用いられる。
【００２３】
図２（ａ）、(ｂ)にスルーホール１の検査における計測原理および計測ユニットをそれぞれ示す（他のスルーホール２，３・・・も同様である）。すなわち、この検査方法は、印刷配線板１００の各スルーホールに出来る限り近づけた位置（例えば６０μｍ）で、隣り合うスルーホール側と、スルーホールに対向する位置に検査ピンＰ１〜Ｐ４をスルーホールエッジ近傍に各1本を植立した一括専用検査治具（図示せず）と、その検査ピンＰ１〜Ｐ４、及びＰ５〜Ｐ８に対し計測のための電源供給回路（+F、-F）や電圧計測用回路（+S、-S）を自動切換えし、電圧計測及び判定する計測ユニット（図２（ｂ））の構成を有する。
【００２４】
上記したようにスルーホールに検査ピンを配置した後、図２（ａ）、(ｂ)にスルーホール１の検査における計測原理および計測ユニットを用いて、各スルーホール単位の４本の検査ピンの役割を自在に変更しながら計測を行なう。図１（ｂ）および（ｄ）の場合は、１つのスルーホールに８本の検査ピンがあるが、４本単位に検査ピンの役割を自在に変更しながら計測を行なう。すなわち、同じスルーホールを２回計測することになる。
４本の検査ピンのうち２本は定電流供給用（+F、-F）、２本は電圧計測用（+S、-S）として役割を設定する。例えば、検査ピンの番号を、表面（P1、P2）、裏面（P3、P4）とし、以下の組合せを生成し、変更しながら計測する。
【表１】
2015210236.tif 000003
これから、表２の検査データとする。
【表２】
2015210236.tif 000004
【００２５】
スルーホールに８本の検査ピンがある場合は、４本単位の計測のため、上記と同様に残り４本で組み合わせを生成し、変更しながら計測する。その際、隣接するスルーホール側と対向する位置の組合せである必要がある。これらは、同一回路に隣り合う全てのスルーホールに対して行なう。
【００２６】
図１（ａ）の配置（スルーホールが２個）の場合、組み合わせデータは以下の通りである。なお、以下の表において、ＴＨはスルーホールを意味し、例えばＴＨ−１はスルーホール１、ＴＨ-２はスルーホール２を示す。
【表３】
2015210236.tif 000005
【００２７】
図１（ｂ）の配置（スルーホールが３個の正三角形配置）の場合、組み合わせデータは以下の通りである。
【表４】
2015210236.tif 000006
【００２８】
上記の組合せで得られた抵抗値（計測電圧値より抵抗値換算後）より標準偏差（σ）を自動算出し、抵抗値が小さく、且つ標準偏差(σ)の小さい検査ピンの役割を自動抽出し、設定を行なう。すなわち、同一回路のスルーホール抵抗値は隣接するスルーホールへの計測電流の周りこみにより、真のスルーホール抵抗値に周りこみ経路の抵抗値が加算されるため、周りこみの少ない最小の抵抗値を計測するために検査ピンの役割の最適化が必要となる。
【００２９】
これらより、印刷配線板１００の同一回路のスルーホールの電気的不具合が検出可能となる。
【００３０】
このように、スルーホール単位に図１に示すような最適な検査ピンを配置することで、周囲のスルーホールや回路パターン形状の影響を電圧値（＝抵抗値換算）として計測可能となり、その計測値より周囲の影響が最小となる組合せの選択をスルーホール単位に行い、検査することで、スルーホールの不具合が検出可能になる。
スルーホールとその周囲の影響は図３のように表すことができる。スルーホール単独の抵抗値（Ｒ０’）に対し、周囲の抵抗値（縦方向の抵抗値Ｒ１’、横方向の抵抗値Ｒ２’）が大きい箇所は、スルーホール以外の周囲抵抗が直列的に加算されるため、スルーホール単独の抵抗値変化が見えなくなる。これらの考慮した検査ピン配置の最適化を行うことでスルーホールの不具合検出が実現できる。
【実施例】
【００３１】
以下、実施例を挙げて本発明のスルーホールの検査方法を説明するが、本発明は以下の実施例のみに限定されるものではない。
【００３２】
図４に示すような同一回路にスルーホール１〜１０（以下、ＴＨ-1〜１０と表示）の１０個のスルーホールが配置された印刷配線板１００に、検出性能確認のため、ＴＨ-５を予め不良のある断線状態とした。
【００３３】
このスルーホールＴＨ-５に、端部から６０μｍ離れた位置に２組の各検査ピンＰ１〜Ｐ４およびＰ５〜Ｐ８の先端を配置した電気検査治具を準備する。
前記印刷配線基板１００を図示しない電気検査治具で挟みこみ、検査ピンＰ１〜Ｐ４およびＰ５〜Ｐ８を基板に接触させる。
次に、計測ユニットの計測順序を登録するプログラムにて、計測電源供給と電圧測定端子の組合せの計測を行い、計測結果の確認を行う。すなわち、まず、印刷配線板製造時に使用する回路描画データより検査対象のスルーホールを抽出し、図４の検査ピン配置条件にて検査ピンを配置し、４つの検査ピン単位に４端子検査指定と検査ピン番号（P1〜P8）を関連付けする。その情報にて検査ピンの役割が決まり、さらに、検査ピンの役割を自動認識し、電源供給用検査ピン（+F,-F）と電圧計測用の検査ピン（+S,-S）の組合せを検査データとして自動生成する（表５）。
【表５】
2015210236.tif 000007
【００３４】
表５の検査データを基に、各検査ピンの役割を切替えながら自動計測を行う。この自動計測は、最低５枚以上の基板を用いてサンプリングを行ない、計測ユニット内に記憶し、内部演算を行い、最小値：Min、最大値：Max、Ref：判定閾値(個別入力)、σ(標準偏差)の計測結果を出力し、表５の検査データに追加記述される（表６）。
【表６】
2015210236.tif 000008
【００３５】
表６の計測結果データにて、計測抵抗値が最小で、標準偏差が最小である組合せを自動抽出し、計測対象か否かの情報（計測ＳＷ）を表６の検査データに追加記述される（表７）。
【表７】
2015210236.tif 000009
【００３６】
表７の検査データを使用し、以降の基板の連続計測検査を行うアルゴリズムが形成される。具体的には以下に示す、Ａ，Ｂの確認を行う。
【００３７】
＜Ａ：隣接するスルーホールまでの距離の影響を確認＞
図４のように、対向するスルーホール間の距離の短い縦方向（Ｙ方向）と距離の長い横方向（Ｘ方向）での検出性能を確認した。その結果を図５に示す。
図５から、Ｙ方向とＸ方向の検査ピン配置で計測された抵抗値差を見ると、Ｙ≦０．０７８ｍΩ、Ｘ≦０．１ｍΩとなっており、Ｙ方向の計測値（抵抗値）が低く計測されたため、パターン形状（スルーホール配置を含む）による抵抗値変化の影響が小さく、スルーホール抵抗値をより良く計測できた。
このようなスルーホール単独の抵抗値に対し、比較的抵抗値が大きい箇所はスルーホール以外の周囲パターン抵抗が直列的に加算された影響が出ており、隣接するスルーホールまでの距離も大きな違いが出ている。
【００３８】
＜Ｂ：スルーホール内に不良を作り込んだ箇所の計測＞
不良を作り込んだスルーホールを、Ｘ方向とＹ方向で計測した結果を表５に示す。良品サンプルと、不良サンプルのスルーホールを繰り返し３０回計測した抵抗値と標準偏差(σ)で比較したところ、図６および図７に示すように不良サンプルの抵抗値が上昇していた。 
【００３９】
Ａ、Ｂの結果から、計測値が低く、標準偏差（σ）が小さく、不良箇所の抵抗変化の大きい方向の隣接するスルーホールまでの距離の短い方向（Ｙ方向）の検査ピン配置が最適であるのがわかる。すなわち、図６および図７より、不良箇所の抵抗値がＹ方向、Ｘ方向とも高く、不具合検出が可能だが、Ａにて示すように、計測値の小さい、距離の短い方向（Ｙ方向）が、スルーホール内部抵抗をより良く計測できる。
またこの結果を踏まえ、判定閾値を０．２２５ｍΩとし、隣接するスルーホールまでの距離の短い方向（Ｙ方向）に検査ピンを配置することで、スルーホール不具合（断線）の安定検出が可能である。
【符号の説明】
【００４０】
ＴＨ-１〜ＴＨ-１０  スルーホール
Ｐ１〜Ｐ２４  検査ピン
２１，２１’  計測電源供給用の検査ピン
２２，２２’  電圧計測用の検査ピン
２３，２３’  円錐状の検査ピン
１００、２００  配線基板
【図１】
2015210236.tif 000010
【図２】
2015210236.tif 000011
【図３】
2015210236.tif 000012
【図４】
2015210236.tif 000013
【図５】
2015210236.tif 000014
【図６】
2015210236.tif 000015
【図７】
2015210236.tif 000016
【図８】
2015210236.tif 000017
【図９】
2015210236.tif 000018
【図１０】
2015210236.tif 000019
【図１１】
2015210236.tif 000020