(57)【要約】【課題】ファンの回転数を上げることなく、清浄空気を、所望とする清浄化対象エリアに到達させることができ、エネルギー効率が高いファンフィルターユニットを提供する。【解決手段】本発明に係るファンフィルターユニット１０は、上方から室内の空気を吸い込んで清浄処理した空気を下方から室内に吹き出すファンフィルターユニット１０であって、ケーシング１１と、前記ケーシング１１の上方部に取り付けられ、上方から下方への気流を生成するファン１３と、前記ケーシング１１の下方部に取り付けられ、前記ファン１３で生成された気流が通過するＨＥＰＡフィルタ１７と、前記ケーシング１１の下端部から下方側に延在するように設けられると共に、前記ＨＥＰＡフィルタ１７の面積より狭い開口面積を有する吹き出し部２０と、からなることを特徴とする。【選択図】      図３
2015210053.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方から室内の空気を吸い込んで清浄処理した空気を下方から室内に吹き出すファンフィルターユニットであって、
ケーシングと、
前記ケーシングの上方部に取り付けられ、上方から下方への気流を生成するファンと、
前記ケーシングの下方部に取り付けられ、前記ファンで生成された気流が通過するフィルタと、
前記ケーシングの下端部から下方側に延在するように設けられると共に、前記フィルタの面積より狭い開口面積を有する吹き出し部と、からなることを特徴とするファンフィルターユニット。
【請求項２】
前記吹き出し部は、前記ケーシングの下端部に取り付けられる矩形枠部と、
前記矩形枠部から下方側に延在するように設けられるテーパー部と、
前記テーパー部から下方側に延在するように設けられる円筒部と、からなることを特徴とする請求項１に記載のファンフィルターユニット。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のファンフィルターユニットと、
前記ファンの羽根を回転するモータと、
前記モータの回転数を制御するインバータと、
室内の粒子濃度を測定するパーティクルセンサーと、
前記パーティクルセンサーが測定する粒子濃度を基に、前記インバータのインバータ周波数を可変制御することで、モータの回転数を制御し、前記ファンの風量を増減し前記室内の粒子濃度を目標濃度に制御する制御装置と、からなることを特徴とする空気清浄化システム。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載のファンフィルターユニットが設けられることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項５】
請求項３に記載の空気清浄化システムが設けられることを特徴とするクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、室内の空気を吸い込んで清浄処理した空気を室内に吹き出すファンフィルターユニット、及び、このようなファンフィルターユニットを用いた空気清浄化システム、このような空気清浄化システムが設けられたクリーンルームに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の製造工場などのクリーンルームにおいては、室内の空気を吸い込んで清浄処理した空気を室内に吹き出すファンフィルターユニット（ＦＦＵ；Ｆａｎ  Ｆｉｌｔｅｒ
Ｕｎｉｔ）を用いた空気清浄化システムが用いられる。
【０００３】
例えば、特開平１０−１７００４３号公報には、送風用のファンおよびフィルタを一体に備えたファンフィルターユニットにおいて、前記フィルタの下流側に、多数のベーンを均一な吹き出し気流が生じるように配列してなるガイドベーンを設けるとともに、前記ガイドベーンの吹き出し開口面を前記フィルタの吹き出し開口面より大きな面積に形成することを特徴とするファンフィルターユニットが開示されている。
【特許文献１】特開平１０−１７００４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のファンフィルターユニットにおいては、多数のベーンを利用して、エアカーテン気流を形成することにより局所清浄化を実現しているが、天井が高い工場で、ファンフィルターユニットの設置高さが高いような場合には、ファンフィルターユニットで清浄空気が、所望とする清浄化対象エリアに到達しない問題があった。
【０００５】
そこで、ファンフィルターユニットにおけるファンの回転数を上げることも考えられるが、ファンの羽根を回転させるモータの定格の関係もあり、回転数にも上限があり、清浄空気を、所望とする清浄化対象エリアに到達させることができない、という問題もある。
【０００６】
さらに、ファンフィルターユニットにおけるファンの回転数を上げることができたとしても、これは、工場における電力消費量を上げてしまうこととなり、省エネルギー化の流れに反する、という問題もあった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明は、上記のような問題を解決するものであって、請求項１に係る発明は、上方から室内の空気を吸い込んで清浄処理した空気を下方から室内に吹き出すファンフィルターユニットであって、ケーシングと、前記ケーシングの上方部に取り付けられ、上方から下方への気流を生成するファンと、前記ケーシングの下方部に取り付けられ、前記ファンで生成された気流が通過するフィルタと、前記ケーシングの下端部から下方側に延在するように設けられると共に、前記フィルタの面積より狭い開口面積を有する吹き出し部と、からなることを特徴とするファンフィルターユニットである。
【０００８】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に記載のファンフィルターユニットにおいて、前記吹き出し部は、前記ケーシングの下端部に取り付けられる矩形枠部と、前記矩形枠部から下方側に延在するように設けられるテーパー部と、前記テーパー部から下方側に延在するように設けられる円筒部と、からなることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項３に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載のファンフィルターユニッ
トと、前記ファンの羽根を回転するモータと、前記モータの回転数を制御するインバータと、室内の粒子濃度を測定するパーティクルセンサーと、前記パーティクルセンサーが測定する粒子濃度を基に、前記インバータのインバータ周波数を可変制御することで、モータの回転数を制御し、前記ファンの風量を増減し前記室内の粒子濃度を目標濃度に制御する制御装置と、からなることを特徴とする空気清浄化システムである。
【００１０】
また、請求項４に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載のファンフィルターユニットが設けられることを特徴とするクリーンルームである。
【００１１】
また、請求項５に係る発明は、請求項３に記載の空気清浄化システムが設けられることを特徴とするクリーンルームである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のファンフィルターユニットによれば、ケーシングの下端部に、フィルタの面積より狭い開口面積を有する吹き出し部が設けられているので、ファンの回転数を上げることなく、清浄空気を、所望とする清浄化対象エリアに到達させることができ、エネルギー効率が高い。
【００１３】
また、本発明の空気清浄化システムによれば、室内の粒子濃度を目標濃度にファンの風量を増減する制御装置を有するので、エネルギー効率高く、所望とする清浄化対象エリアの空気清浄化を行うことが可能となる。
【００１４】
また、本発明のクリーンルームによれば、エネルギー効率が高い製造工場を構築することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態である空気清浄化システムが適用されるクリーンルームを側面からみた模式図である。
【図２】図１に示したクリーンルームを上面からみた模式図である。
【図３】クリーンルーム室内に設けられるファンフィルターユニットの構成を示す図である。
【図４】実験Ｉ．の結果を示す図である。
【図５】実験ＩＩ．の結果を示す図である。
【図６】実験ＩＩＩ．の結果を示す図である。
【図７】インバータ付き空気清浄装置のインバータ周波数の変化に伴う風量変化と消費電力変化を示す図である。
【図８】インバータ周波数を変化させた時のクリーンルーム室内の温度変化とインバータ付き空気清浄装置の消費電力の変化を示す図である。
【図９】従来の熱処理と清浄化処理とを連結した空調システムにおいてインバータ周波数を変化させて風量を変化させた場合のクリーンルーム室内の温度変化を示す図である。
【図１０】インバータ付き空気清浄装置に対する風量制御時における粒子濃度変化と消費電力変化とを示す図である。
【図１１】発塵源をクリーンルーム内で移動させたときの、インバータ付き空気清浄装置に対する風量制御時における粒子濃度変化と消費電力変化とを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照してこの発明を実施するための形態について説明する。図１は本発明の実施形態である空気清浄化システムが適用されるクリーンルームを側面からみた模式図である。また、図２は、図１に示したクリーンルームを上面からみた模式図である。
【００１７】
なお、図２では、制御系の図示を省略している。また、図１に示すクリーンルームの態様は、一例であり、本発明の実施形態である空気清浄化システムが適用されるクリーンルームが、これに限定されるわけではない。また、本実施形態に係るクリーンルームは、床面４からのファンフィルターユニット１０の吹き出し口までの距離が８m程度と、比較的
高い天井を有することが想定されている。
【００１８】
図１及び図２に示すように、一つの例であるクリーンルーム室内１の上部には、１つの熱交換装置２と４つのインバータ付きのファンフィルターユニット１０とが配置される。熱交換装置２は、ＦＣＵ（Ｆａｎ  Ｃｏｉｌ  Ｕｎｉｔ）であり、クリーンルーム室内１の空気を吸い込んで冷暖房負荷を熱処理（熱除去）した空気をクリーンルーム室内１に吹き出す。インバータ付きファンフィルターユニット１０は、クリーンルーム室内１の空気を吸い込んで清浄処理した空気をクリーンルーム室内１に吹き出す。インバータ付きファンフィルターユニット１０の吹出口には、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ）フィルタが設けてある。また、インバータ付きファンフィルターユニット１０には、インバータが設けられ、インバータ周波数を制御することによって、ファンモータの回転数を制御して風量を増減してクリーンルーム室内１の粒子濃度を目標粒子濃度に近づける。なお、このクリーンルーム室内１は、ＩＳＯクラス６〜８の清浄度を実現するものである。
【００１９】
ファンフィルターユニット１０は、熱交換装置２から吹き出した空気を吸い込むように配置される。ファンフィルターユニット１０が吹き出した空気は、クリーンルーム室内１の下部の床面４に到達した後、クリーンルーム室内１の上部に向けて対流する。熱交換装置２は、ファンフィルターユニット１０が吹き出してクリーンルーム室内１の上部に対流した空気を吸い込んで、熱処理した空気をファンフィルターユニット１０に向けて吹き出す。
【００２０】
このように、熱交換装置２で熱処理された空気をファンフィルターユニット１０で清浄化処理し、この２つの処理が行われた空気がクリーンルーム室内１に吹き出されるとともにクリーンルーム室内１を循環する。なお、熱交換装置２が吹き出す空気の風速は、例えば、１〜２ｍ／ｓｅｃである。また、ファンフィルターユニット１０が吹き出す空気の風速は、例えば、０．３〜１．０ｍ／ｓｅｃである。
【００２１】
図１に示すように、熱交換装置２は、ファンフィルターユニット１０よりも上方に配置してある。熱交換装置２は、空気を下方または下方から吸い込み、熱処理後の空気を側方から吹き出す。一方、ファンフィルターユニット１０は、熱交換装置２が処理した空気を上方から吸い込み、清浄処理後の空気を下方に吹き出す。
【００２２】
図２に示すように、１つの熱交換装置２に対応して４つのファンフィルターユニット１０が配置される。ここで、熱交換装置２は、クリーンルーム室内１に対して斜め四方に熱処理された空気が吹き出すように配置される。そして、熱交換装置２間に配置される２つのインバータ付きファンフィルターユニット１０は、各熱交換装置２にそれぞれ重複対応して配置される。なお、半導体装置などを生産する生産装置５は、クリーンルーム室内１の中央側部に配置されたインバータ付きファンフィルターユニット１０の下部に設けられている。
【００２３】
このような熱交換装置２とファンフィルターユニット１０との配置によって、熱交換装置２の吹出気流を自由空間でダクトなしでインバータ付きファンフィルターユニット１０に受け渡される。したがって、熱交換装置２の熱処理に必要な空調機風量とファンフィルターユニット１０の清浄化処理に必要な空調機風量とに違いが発生した場合に、ダクトで
接続されているときのように、各風量を合わせるために大きい方の風量となる制御を行う必要がないため、消費電力を抑えることができる。
【００２４】
ファンフィルターユニット１０は、上方から室内の空気を吸い込んで清浄処理した空気を下方から室内に吹き出すが、このための構成として、ケーシング１１と、ケーシング１１の上方部に取り付けられ、上方から下方への気流を生成するファン１３と、ケーシング１１の下方部に取り付けられ、ファン１３で生成された気流が通過するＨＥＰＡフィルタ１７と、を有している。
【００２５】
ファンフィルターユニット１０の吸込口であるファン１３には、インバータ１３ａ、モータ１３ｂ、羽根１３ｃを有する。インバータ１３ａは、モータ１３ｂを回転駆動することによって羽根１３ｃを回転させ、風量を制御する。モータ１３ｂの回転速度は、インバータ１３ａのインバータ周波数によって決定される。
【００２６】
また、ケーシング１１の下端部から下方側に延在するように吹き出し部２０が設けられている。この吹き出し部２０は、ケーシング１１の下端部に取り付けられる矩形枠部２２と、矩形枠部２２から下方側に延在するように設けられるテーパー部２５と、テーパー部２５から下方側に延在するように設けられる円筒部２７と、からなる。吹き出し部２０の円筒部２７における開口面積は、ＨＥＰＡフィルタ１７の面積より狭い。
【００２７】
ここで、上記のような吹き出し部２０の効能について説明する。本発明に係るファンフィルターユニット１０においては、吹き出し部２０によって、吹き出し気流を縮流させ吹き出し風速を速くすることにより、清浄化対象エリアに清浄空気を供給し局所清浄化を実現するものである。
【００２８】
本発明においては、図３に示すように、ファンフィルターユニット１０のＨＥＰＡフィルタ１７の下側にノズル型の吹き出し口を設置し、吹き出し風速を速くする。これによりファンフィルターユニット１０の設置高さが床面４から８ｍであっても、周囲との間仕切り壁を必要とせずに、清浄化面を周囲濃度の１／１０以下の清浄度レベルに清浄化できる。
【００２９】
吹き出し口の面積（円筒部２７の開口）は、気流を届かせたい距離に応じて、ＨＥＰＡフィルタ１７の面積の３０〜８０％程度とする。また、縮流による圧力損失をなるべく小さくするため、乱れを小さくするため、矩形でなく斜めに滑らかに絞っていくことが有効である。垂直線から角度θは、３０°以下として、矩形枠部２２からテーパー部２５へ、さらに、テーパー部２５から円筒部２７へと、縮流させることが理想的である。さらに、テーパー部２５での縮流後にすぐに解放せず、円筒部２７をつけることにより、吹き出し口端部の誘因気流を少なくすることができ、周囲の汚染空気の巻き込みを少なくすることができるため、局所高清浄化に有効である。
【００３０】
以上のように、本発明のファンフィルターユニット１０によれば、ケーシング１１の下端部に、ＨＥＰＡフィルタ１７の面積より狭い開口面積を有する吹き出し部２０が設けられているので、ファンの回転数を上げることなく、清浄空気を、所望とする清浄化対象エリアに到達させることができ、エネルギー効率が高い。
【００３１】
以上のようなファンフィルターユニット１０に設けた吹き出し部２０の効果を実証する実験を行ったので、以下、これについて説明する。いずれの実験も、清浄化対象エリアを、図２左下のファンフィルターユニット１０の直下（ｂ）の位置としている。
（実験Ｉ．−従来例に係る実験）
図２に示す４台のファンフィルターユニット１０のいずれにも、吹き出し部２０を設けず
、従来吹き出し口として、図２左下のファンフィルターユニット１０の直下（ｂ）で８０００個／ｃｆを目標値として、ファンフィルターユニット１０の回転数制御を行った。
（実験ＩＩ．−本発明に係る実験）
図２に示す４台のファンフィルターユニット１０のうち、（ｂ）の直上のファンフィルターユニット１０のみ吹き出し部２０を設け、このファンフィルターユニット１０の直下（ｂ）で８００個／ｃｆを目標値として回転数制御を行った。
（実験ＩＩＩ．−参考例に係る実験）
図２に示す４台のファンフィルターユニット１０のいずれにも、吹き出し部２０を設けず、従来吹き出し口として、図２左下のファンフィルターユニット１０の直下（ｂ）で８００個／ｃｆを目標値として、ファンフィルターユニット１０の回転数制御を行った。
【００３２】
なお、いずれの実験においても、図２の（ｃ）の位置に発塵機を設置した。また、いずれの実験においても、実験期間中、順に、発塵機の２台稼働→発塵機の１台稼働→発塵機の２台稼働とした。また、熱交換装置２の直下（ａ）、図２左下のファンフィルターユニット１０の直下（ｂ）に設置したパーティクルセンサー６によって、粒子濃度を測定している。
【００３３】
図３に実験Ｉ．の、  図４に実験ＩＩ．の、  図５に実験ＩＩＩ．の結果を示す。図３乃至図５のいずれにも、（Ａ）には粒子濃度の推移が示され、（Ｂ）には消費電力が示されている。
【００３４】
清浄化対象エリアである測定点（ｂ）のデータをみると、実験Ｉ．及び実験ＩＩ．ともに、概ね目標濃度に維持されていることがわかる。このときの電力消費量は、目標濃度に達しているため、ファンフィルターユニット１０の回転数が最低周波数で制御され電力消費量が少なく同程度（１００Ｗ）である。つまり、本発明に係るファンフィルターユニット１０を利用した空気清浄化システムを使用することにより、粒子濃度が１／１０程度に低減されているにも関わらず、電力消費量が変わらないということである。
【００３５】
実験ＩＩＩ．の参考例では目標濃度に到達していない。このように従来のファンフィルターユニットでは、８００個／ｃｆを実現することは不可能である。ちなみに、実験ＩＩＩ．の参考例ではファンフィルターユニットは最大周波数で運転されており、電力消費量が約９６０Ｗと多い。
【００３６】
清浄化対象エリアの周囲部の粒子濃度である、測定点（ａ）のデータをみると、実験Ｉ．及び実験ＩＩ．では、１０，０００〜２０，０００個／ｃｆで発塵量の変化に応じて推移しており、実験ＩＩＩ．では、６，０００〜１０，０００個／ｃｆで発塵量に対してあまり変化がない。実験ＩＩＩ．では、清浄化対象エリアである測定点（ｂ）が目標濃度に達していないため、ファンフィルターユニットの回転数が高く、清浄化対象エリアの周囲部も清浄化している状態である。
【００３７】
なお、実験ＩＩ．の本発明に係るファンフィルターユニット１０を利用した空気清浄化システムにおいては、ファンフィルターユニットの吹き出し面積は、従来方式の約４０％である。
【００３８】
以上のように、本発明のファンフィルターユニット１０によれば、ケーシング１１の下端部に、ＨＥＰＡフィルタ１７の面積より狭い開口面積を有する吹き出し部２０が設けられているので、ファンの回転数を上げることなく、清浄空気を、所望とする清浄化対象エリアに到達させることができ、エネルギー効率が高い。
【００３９】
また、本発明のファンフィルターユニット１０を利用した、本発明の空気清浄化システ
ムによれば、室内の粒子濃度を目標濃度にファンの風量を増減する制御装置を有するので、エネルギー効率高く、所望とする清浄化対象エリアの空気清浄化を行うことが可能となる。
【００４０】
また、本発明のクリーンルームによれば、エネルギー効率が高い製造工場を構築することが可能となる。
【００４１】
ところで、図１に示すように、この実施形態では、クリーンルーム室内１に、粒子濃度を計測するパーティクルセンサー６が設けられている。一方、この実施の形態の空気清浄化システムは、インバータを内蔵したインバータ付きファンフィルターユニット１０が用いられている。各パーティクルセンサー６及び各インバータ付きファンフィルターユニット１０は、クリーンルーム室外に設けられた制御装置８に接続されている。なお、制御装置８は、クリーンルーム室内に設けてもよい。
【００４２】
制御装置８には、各パーティクルセンサー６が測定した粒子濃度が入力される。制御装置８は、これら測定した粒子濃度の平均値を求め、この平均値が目標粒子濃度となるように、各インバータ付きファンフィルターユニット１０の風量を増減する制御を行う。このインバータ付きファンフィルターユニット１０の風量制御は、インバータ周波数の増減制御を行って、羽根１３ｃを回転駆動するモータ１３ｂの回転制御を行うことによってなされる。
【００４３】
図７に示すように、インバータ付きファンフィルターユニット１０の風量は、インバータ周波数の増加に伴って比例的に増大する。また、インバータ付きファンフィルターユニット１０の消費電力は、インバータ周波数の増加に伴って指数関数的に増大する。すなわち、インバータ周波数の低周波数域では、インバータ周波数の変化に対して電力の変化が小さい。いずれにしても、粒子濃度が低い場合、風量を落とせばいいが、この場合、消費電力も小さくすることができる。
【００４４】
図８は、インバータ周波数を変化させた時のクリーンルーム室内１の温度変化とインバータ付きファンフィルターユニット１０の消費電力の変化を示す図である。この場合、熱交換装置２の目標温度は、２２．５℃である。図８に示すように、１時間毎に、インバータ周波数を、２０Ｈｚ→３０Ｈｚ→４０Ｈｚ→４５．３Ｈｚ→２０Ｈｚ→２０Ｈｚ→３０Ｈｚに変化させた場合、クリーンルーム室内１内の温度変動は、目標温度に対して±１℃に収まっている。すなわち、インバータ付きファンフィルターユニット１０のインバータ周波数を変化させて風量を増減しても、熱交換装置２の制御に大きな影響を及ぼさず、消費電力を小さくすることができることになる。
【００４５】
これに対して、図９は、従来の熱処理と清浄化処理とを連結した空調システムにおいてインバータ周波数を変化させて風量を変化させた場合のクリーンルーム室内の温度変化を示す図である。図９に示すように、従来の熱処理と清浄化処理とを連結した空調システムでは、インバータ周波数を変動させて風量を増減すると、熱処理に影響を及ぼし、目標温度から５℃以上、乖離している。
【００４６】
図１０は、インバータ付きファンフィルターユニット１０に対する風量制御（目標濃度制御）時における粒子濃度変化と消費電力変化とを示す図である。図１０では、発塵源として掃除機を用い、クリーンルーム内の掃除機の台数を変化させることによって、クリーンルーム室内１の粒子濃度を変化させている。また、比較のため、インバータ周波数制御による目標濃度制御を行った場合とインバータ周波数を固定とした場合との粒子濃度変化と消費電力変化も示している。インバータ周波数の固定は、３５Ｈｚで、換気回数は４０回／ｈである。なお、目標濃度は、ＩＳＯクラス７を維持するように、８０００個／ｃｆ
としている。
【００４７】
図１０に示すように、インバータ周波数の可変制御による目標濃度制御を行うと、粒子濃度が目標濃度以下になった場合、インバータ周波数が低くなり、消費電力を小さくすることができるが、インバータ周波数を固定にした制御の場合、粒子濃度が目標濃度以下になっても消費電力が小さくならない。この結果、インバータ周波数の可変制御の場合、インバータ周波数の固定制御に比して、約４０％の省エネルギー化を達成できた。
【００４８】
さらに、図１１は、発塵源をクリーンルーム内で移動させたときの、インバータ付きファンフィルターユニット１０に対する風量制御時における粒子濃度変化と消費電力変化とを示す図である。この場合、図１０と同様に、２台の掃除機を発塵源として用い、さらにそのうちの１台を人間が持って移動するパターンを加えている。この場合も、図１０と同様に、インバータ周波数の可変制御の場合、インバータ周波数の固定制御に比して、約４０％の省エネルギー化を達成できた。
【００４９】
以上のように、本発明のファンフィルターユニット１０によれば、ケーシング１１の下端部に、ＨＥＰＡフィルタ１７の面積より狭い開口面積を有する吹き出し部２０が設けられているので、ファンの回転数を上げることなく、清浄空気を、所望とする清浄化対象エリアに到達させることができ、エネルギー効率が高い。
【００５０】
また、前記のファンフィルターユニット１０を利用した本発明の空気清浄化システムによれば、室内の粒子濃度を目標濃度にファンの風量を増減する制御装置８を有するので、エネルギー効率高く、所望とする清浄化対象エリアの空気清浄化を行うことが可能となる。
【００５１】
また、本発明のクリーンルームによれば、エネルギー効率が高い製造工場を構築することが可能となる。
【符号の説明】
【００５２】
１・・・クリーンルーム室内
２・・・熱交換装置
４・・・床面
５・・・生産装置
６・・・パーティクルセンサー
８・・・制御装置
１０・・・ファンフィルターユニット
１１・・・ケーシング
１３・・・ファン
１３ａ・・・インバータ
１３ｂ・・・モータ
１３ｃ・・・羽根
１７・・・ＨＥＰＡフィルタ
２０・・・吹き出し部
２２・・・矩形枠部
２５・・・テーパー部
２７・・・円筒部
【図１】
2015210053.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2015210053.tif 000008
【図７】
2015210053.tif 000009
【図８】
2015210053.tif 000010
【図９】
2015210053.tif 000011
【図１０】
2015210053.tif 000012
【図１１】
2015210053.tif 000013