(57)【要約】【課題】製造時の生産歩留まりの低下を防止し、コストアップを低減することができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供すること。【解決手段】供給口の位置と供給スリットの位置とのずれ量が所定値以上である場合に、ずれ量が所定値未満となるように前記素子基板を補正し、かつ、シートに形成される画像の、シートの搬送方向における画像形成最小画素ピッチの整数倍を、補正する際の移動距離の単位として素子基板の位置を補正する。【選択図】図５
2015150692.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定位置に配置された供給スリットを備えたベースプレートと、前記所定位置に合わせて配置された複数の供給口を備えた素子基板と、を接合する接合工程を有した、液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記素子基板と前記ベースプレートとを接合する際に、前記供給口の位置と、前記供給スリットの位置とのずれ量に関する情報を取得する取得工程を有し、
前記供給口の位置と、前記供給スリットの位置と、のずれ量に関する情報が所定値以上である場合には、ずれ量に関する情報が所定値未満となるように前記素子基板を前記所定位置から補正し、
かつ、液体吐出ヘッドから吐出される液体によってシートに形成される画像の、シートの搬送方向における画像形成最小画素ピッチの整数倍を、補正する際の移動距離の単位として前記素子基板の位置を補正することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記供給口は、前記供給スリットの長手方向の長さに応じた所定の長さを備えており、
前記素子基板の供給口の位置と、前記ベースプレートの供給スリットの位置とのずれ量は、前記供給口の長手方向に沿った中心線と、前記供給スリットの長手方向に沿った中心線とのずれ量であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記所定値は、前記供給スリットの短手方向の幅寸法の１／２であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
シートの搬送方向と交差する方向に複数個の前記素子基板を配列する工程を有したことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
シートの搬送方向に複数個の前記素子基板を配列する工程を有したことを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
搬送するシートに液体を吐出して画像を形成する液体吐出ヘッドであり、供給スリットを備えたベースプレートと、供給口を備えた素子基板と、が接合された液体吐出ヘッドにおいて、
前記素子基板の第１供給口と第２供給口との前記シートの搬送方向における距離と、前記素子基板の前記第２供給口と第３供給口との前記シートの搬送方向における距離と、の差は、シートの搬送方向における画像形成最小画素ピッチの整数倍であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体供給スリットが形成されたベースプレートに、素子基板をシート搬送方向と交差する方向に配列したラインヘッドにおける、液体供給スリットに対する液体供給口の位置を補正する液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に複数の素子基板が配列された液体吐出ヘッドでは、液体吐出ヘッドを液体吐出装置に装着した際に、素子基板が決められた位置に配置されるよう、素子基板はアルミナや樹脂などの支持部材（ベースプレート）上に位置決め固定されている。このように位置決め固定される複数の素子基板を千鳥配列して、シート幅全域に対する吐出が可能なラインヘッドが用いられている。このような素子基板を千鳥状に配置した液体吐出ヘッドの場合、それぞれの素子基板は、素子基板に液体を供給する液体供給スリットが所定位置に形成されたベースプレートに位置決め固定されている。この時、ベースプレートの２列の液体供給スリットはそれぞれの列がシート搬送方向と直交する方向に間隔をあけて直線状に形成されており、複数の素子基板はベースプレート上のあらかじめ定められた位置に配置され接着固定される。従って、素子基板に設けられる液体供給口の位置は、ベースプレートの液体供給スリットの位置に対して所定の位置にきちんと合致するように設計される。
【０００３】
しかし、ラインヘッドのように長尺の液体吐出ヘッドの場合、ベースプレートに歪が生じることがあり、素子基板に設けられる液体供給口の位置と、ベースプレートの液体供給スリットの位置とが合わなくなることがある。
【０００４】
そこで、特許文献１では、ベースプレートが歪む原因の１つである、異なる部材同士の接着に着目して、ベースプレートと接着されるインク供給部材を複数に分けることで、ベースプレートのひずみを低減させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２３４８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、ベースプレートに歪が生じるのは、異なる部材同士の接着に起因するものだけではない。Ａ４サイズのシートの幅方向全域に吐出が可能なラインヘッドの場合は、３００〜４００ｍｍ程度の長さのベースプレートが用いられる。このような長さのベースプレートをアルミナ焼成体で形成した場合、ベースプレートに弓なり状の反りが発生する。このように反りが生じたベースプレートの外形は、切削加工等によって変形分を除去できるが、ベースプレート上に形成された複数の液体供給スリットの位置は、両端から中央に向うに従い、シート搬送方向に位置ズレが大きくなる。
【０００７】
図１１は、従来の素子基板とベースプレートとを示した図である。図のようにベースプレートに複数の素子基板を一直線に並ぶように所定の位置に接着固定すると、ベースプレートが弓なり状に変形した位置では、素子基板の液体供給口とベースプレートの液体供給スリットの位置はシート搬送方向に大きくずれてしまう。従って、素子基板の液体供給口の開口幅が小さくなり、液体が十分に供給されないリフィル不良や素子基板を接着固定する接着剤が液体供給スリットの中に流れ込んだり、最悪の場合、素子基板の液体供給口がベースプレートで塞がれてしまうことがある。そのため、全体が弓なり状に変形して液体供給スリット位置が所定の寸法から外れたベースプレートは使用できず、ベースプレートの生産歩留まりの低下すなわちコストアップを招いていた。
【０００８】
よって本発明は、製造時の生産歩留まりの低下を防止し、コストアップを低減することができる液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そのため本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、所定位置に配置された複数の供給スリットを備えたベースプレートと、前記所定位置に合わせて配置された複数の供給口を備えた素子基板と、を接合する接合工程を有した、液体吐出ヘッドの製造方法において、前記素子基板と前記ベースプレートとを接合する際に、前記供給口の位置と、前記供給スリットの位置とのずれ量に関する情報を取得する取得工程を有し、前記供給口の位置と、前記供給スリットの位置と、のずれ量に関する情報が所定値以上である場合には、ずれ量に関する情報が所定値未満となるように前記素子基板を前記所定位置から補正し、かつ、液体吐出ヘッドから吐出される液体によってシートに形成される画像の、シートの搬送方向における画像形成最小画素ピッチの整数倍を、補正する際の移動距離の単位として前記素子基板の位置を補正することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、液体吐出ヘッドの製造方法は、ベースプレートの供給スリットの位置に、素子基板の供給口の位置を合わせることで、製造時の生産歩留まりの低下を防止し、コストアップを低減することができる液体吐出ヘッドの製造方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（ａ）から（ｃ）は、液体吐出ヘッドを示した図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、素子基板を示した図である。
【図３】液体吐出装置を示した図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は、ベースプレートの平面図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、素子基板を示す平面図である。
【図６】（ａ）から（ｃ）は、素子基板とベースプレートとを示した断面図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）は、ベースプレートを示した図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）は、ベースプレートを示した図である。
【図９】（ａ）から（ｅ）は、インク供給スリット群とその重心を示した図である。
【図１０】（ａ）から（ｃ）は、ベースプレートと素子基板との断面図である。
【図１１】従来の素子基板とベースプレートとを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第１の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第１の実施形態について説明する。  
図１から図３は、本発明が実施もしくは適用される好適な液体吐出ヘッド、液体吐出装置のそれぞれ及びそれぞれの関係を説明するための説明図である。以下、これらの図面を参照して各部の構成について説明をする。
【００１３】
（液体吐出ヘッドの説明）
本発明が適用される液体吐出ヘッド１０００には、使用が想定されるシートの最大幅をカバーする範囲で吐出口列が形成されており、液体吐出ヘッド１０００がスキャンすることなしに幅広の記録が可能なインクジェット方式のフルライン型液体吐出ヘッドである。図１は、本発明を適用可能な液体吐出ヘッドを説明するための図であり、図１（ａ）は、液体吐出ヘッド１０００を示す模式図、図１（ｂ）は、液体吐出ヘッド１０００の部品構成を示す分解斜視図である。液体吐出ヘッド１０００は、素子基板１１００と、素子基板を支持するためのベースプレート１２００と、素子基板と液体吐出装置との電気的接続のための電気配線基板１３００と、ベースプレート１２００に接合されるインク供給部材１５００とで構成される。複数の素子基板１１００は、ベースプレート１２００の主面１２００ａにシート搬送方向（矢印Ｘ方向）と交差する方向（矢印Ｙ方向）に精度よく配置されており、主面１２００ａの反対側の面１２００ｂにはインク供給部材１５００が配置されている。
【００１４】
次に、液体（以下、インクともいう）を吐出するための吐出口群を有する素子基板１１００について説明する。図２（ａ）、（ｂ）は、図１（ａ）に示す素子基板１１００の詳細な構成を示した図である。素子基板１１００は、例えば厚さ０．５〜１ｍｍのＳｉ基板１１０８にインク流路として長溝状の貫通口からなるインク供給口１１０１が形成されている。そして、Ｓｉ基板１１０８と後述する吐出口プレートとの接合面において、インク供給口１１０１の両側に発熱抵抗素子１１０２がそれぞれ１列ずつ千鳥状に配列され、発熱抵抗素子１１０２およびアルミ等の電気配線が成膜技術により形成されている。また、Ｓｉ基板１１０８の矢印Ｙ方向両端部には、電気配線に電力を供給するための複数の電極１１０３が設けられている。さらにＳｉ基板１１０８上には、吐出口プレート１１１０が具備され、その吐出口プレート１１１０には、発熱抵抗素子１１０２に対応したインク流路１１０４、吐出口１１０５がフォトリソ技術により形成されている。そして、吐出口１１０５は、発熱抵抗素子１１０２に対向するように設けられており、インク供給口１１０１から供給されたインクを発熱抵抗素子１１０２により気泡を発生させてインクを吐出させる。
【００１５】
図１（ｂ）に示すような素子基板１１００を支持するためのベースプレート１２００は、例えば厚さ０．５〜１ｍｍ程度のアルミナグリーンシートを積層して焼成した厚さ１０ｍｍ程度のアルミナ積層板から形成されている。そしてベースプレート１２００には、各素子基板１１００にインクを供給するためのインク供給スリット１２１０が形成されている。なお、ベースプレート１２００の素材は、アルミナに限られることなく、素子基板１１００の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有するセラミック材料や樹脂材料でもよい。
【００１６】
また、ベースプレート１２００には、各素子基板１１００が所定の位置精度で千鳥状に配列されており、各素子基板１１００は、各素子基板に設けられた吐出口群１１０６の端部１１０９が互いに吐出口配列方向で重複するように配置される。このように素子基板１１００のつなぎ目において、吐出口群の端部１１０９を重複させて配列する。これにより、長尺の液体吐出ヘッドにおいても、長手方向に関して吐出口１１０５を連続して配列させることができ、かつ配列時の位置ずれ等によって記録時に生じる画像上の影響を補正できるように構成されている。
【００１７】
（液体吐出装置の説明）
図３は、本発明の液体吐出ヘッド１０００が搭載される液体吐出装置２０００の主要部を示した斜視図である。液体吐出装置２０００は、長尺のフルラインタイプの液体吐出ヘッドを用いて、シートを搬送方向（矢印Ｘ方向）に連続搬送しながらプリントを行なうラインプリンタである。液体吐出装置２０００は、ロール状に巻かれた連続紙などのシート２２００を保持するホルダ、シート２２００を所定速度で矢印Ｘ方向に搬送する搬送機構２３００、シート２２００に対して液体吐出ヘッド１０００で記録を行なう記録部２１００を備える。なお、シートは連続したロールシートに限らず、カットシートであってもよい。さらに液体吐出装置２０００は、液体吐出ヘッド１０００に供給するためのインクを収容する不図示のサブタンクを備える。さらに、液体吐出装置２０００はインク流路を備え、サブタンクに収容されたインクが液体吐出ヘッド１０００に供給され、インク流路により液体吐出ヘッド１０００からサブタンクにインクが還流する構成となっている。
【００１８】
記録部２１００は、異なるインク色にそれぞれ対応した複数の液体吐出ヘッド１０００を備える。本実施形態ではシアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹ、ブラックＫの４色に対応した４つの液体吐出ヘッドとしているが、色数は何色であってもよい。
【００１９】
図４（ａ）、（ｂ）は、本実施形態で用いるベースプレート１２００の平面図であり、図５（ａ）、（ｂ）は、本実施形態における素子基板１１００の配置状態を示す平面図である。本発明ではベースプレ−ト１２００が反ることでインク供給スリット１２１０が弓なりに配置された場合に、インク供給スリット１２１０の位置と素子基板１１００のインク供給口１１０１とを合わせて、素子基板１１００をベースプレート１２００に接着固定する。
【００２０】
製造では先ず画像処理技術を用いてベースプレート１２００上に配置する素子基板１１００のインク供給口１１０１と、ベースプレート１２００のインク供給スリット１２１０とのシート搬送方向における位置ずれを測定する（ずれ量に関する情報を取得する）。この時、素子基板１１００のインク供給口１１０１の位置は、インク供給口１１０１のシート搬送方向と直交する方向の略中心線から測定する。また、ベースプレート１２００のインク供給スリット１２１０の位置は、インク供給スリット１２１０のシート搬送方向と直交する方向の略中心線から測定する。
【００２１】
次にインク供給口１１０１とインク供給スリット１２１０とのシート搬送方向におけるずれ量が、インク供給スリット１２１０の短手方向の幅寸法の１／２未満（所定値未満）で素子基板が配置されている場合、補正せずに所定位置に素子基板１１００を配置する。そして、インク供給口１１０１とインク供給スリット１２１０とのシート搬送方向のずれ量がインク供給スリットの短手方向の幅寸法の１／２以上（所定値以上）で素子基板が配置されている場合は、インク供給スリット１２１０の位置に合わせて補正して配置する。具体的には、インク供給口１１０１のシート搬送方向と直交する方向の略中心線と、インク供給スリット１２１０のシート搬送方向と直交する方向の略中心線とがほぼ一致するように素子基板１１００を配置する。このような方法で素子基板１１００を配置することにより、インク供給口１１０１の位置と、インク供給スリット１２１０とのシート搬送方向における位置ずれが大きなものは、位置が補正されて、インク供給スリット１２１０の略中心線上に配置される。
【００２２】
このようにして素子基板１１００を配置すると、図５（ａ）に示すような配置になり、ベースプレート１２００の両端付近の素子基板１１００は、所定位置に配置され、中央付近の素子基板１１００は補正されてンク供給スリット１２１０の中央に配置される。
【００２３】
なお、製造工程での生産タクトが許容できれば、インク供給口１１０１とインク供給スリット１２１０のずれ量がインク供給スリット１２１０の幅寸法の１／２未満で配置された場合も、位置を補正して中心線同士がほぼ一致するよう配置してもよい。その結果、素子基板１１００は、図５（ｂ）に示すような配置になり、すべてのインク供給口１１０１が、インク供給スリット１２１０の中央に配置された形態となる。
【００２４】
図６（ａ）から（ｃ）は素子基板１１００が、ベースプレート１２００に従来の方法で配置固定されている状態のシート搬送方向における断面図である。ここで、上記のような素子基板１１００の配置をする理由について図６（ａ）から（ｃ）を用いて説明する。
【００２５】
図６（ａ）は、図１１のＸＩＡ−ＸＩＡにおける断面図である。ベースプレート１２００に対する素子基板１１００のこのような配置では、素子基板１１００のインク供給口１１０１とベースプレート１２００のインク供給スリット１２１０との位置に、シート搬送方向においてほぼズレがなく素子基板１１００が配置されている。また図６（ｂ）は、図１１のＸＩＢ−ＸＩＢにおける断面図である。ベースプレート１２００に対する素子基板１１００のこのような配置では、素子基板１１００のインク供給口１１０１とベースプレート１２００のインク供給スリット１２１０との位置は、シート搬送方向においてズレはある。しかしインク供給スリット１２１０の開口幅がそれ自体の幅の１／２以上あり、インク供給性や素子基板１１００の接着信頼性の低下などプリント不良を引き起こす可能性が極めて低い。図６（ｃ）は、図１１のＸＩＣ−ＸＩＣにおける断面図である。ベースプレート１２００に対する素子基板１１００のこのような配置では、インク供給口１１０１と、インク供給スリット１２１０とのシート搬送方向の位置が大きくずれており、インク供給スリット１２１０の開口幅がそれ自体の幅の１／２未満になっている。このような配置状態においては、素子基板１１００へのインク供給量が不足したり、素子基板１１００の剥がれなどによるプリント不良を引き起こす可能性が極めて高い。
【００２６】
従って本実施形態においては、上記のようにインク供給口１１０１とインク供給スリット１２１０とのずれが大きい場合には、素子基板１１００の位置の補正を行って、素子基板１１００を配置する方法を採用した。そして、このように補正することで、インク供給スリット１２１０の位置に合わせて配置（補正）した素子基板は、補正せずに所定位置に配置された素子基板に対して、駆動タイミングを変えることで所定の画像を形成することができる。従って素子基板の位置を補正してインク供給スリット１２１０の位置に合わせて配置する場合、素子基板の所定の配置位置に対して、シート搬送方向の画像形成最小画素ピッチの整数倍ずれた位置に配置（移動距離が画像形成最小画素ピッチの整数倍に）するとよい。つまり、例えばシート搬送方向の画像が１２００ｄｐｉの場合は、画像形成最小画素ピッチは２１．２μｍであるため、各素子基板１１００を２１．２μｍ単位で配置すればよい。
【００２７】
インク供給スリット１２１０の幅寸法は、０．５〜１ｍｍ程度である。この精度であれば、素子基板１１００をインク供給スリット１２１０の位置に配置した場合でも、インク供給口１１０１とインク供給スリット１２１０とのシート搬送方向におけるずれ量をインク供給スリット１２１０の幅寸法の１／２未満にすることができる。
【００２８】
よって本発明の製造方法によれば、ベースプレートが弓なりに反ってインク供給スリットが弓なりに配置されても、インク供給スリットと素子基板とのインク供給口の位置ずれがなく確実にインク供給ができ、信頼性の高い液体吐出ヘッドを製造することができる。
【００２９】
これによって、製造時の生産歩留まりの低下を防止し、コストアップを低減することができる液体吐出ヘッドの製造方法を実現することができた。
【００３０】
（第２の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第２の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
【００３１】
図７（ａ）、（ｂ）は、本実施形態を適用可能なベースプレートを示した図であり、各素子基板１１００を一直線上に配列することで液体吐出ヘッドのシート搬送方向の寸法をコンパクトにする構成のベースプレートを示した図である。ここで用いる素子基板１１００は、各素子基板１１００同士の隣接する短辺が斜めにカットされたひし形形状とする。これによって、一列に配置する構成であっても各素子基板１１００に設けられた吐出口群１１０６の端部１１０９が互いに吐出口配列方向で重複するように配置できる。そして、第１の実施形態と同様の方法で、インク供給口１１０１とインク供給スリット１２１０のシート搬送方向の位置が合うように各素子基板１１００を配置する。そして、各素子基板１１００同士がシート搬送方向における画像形成最小画素ピッチの整数倍になるように位置を微調整した上で接着固定を完了する。つまり、本発明の製造方法を用いれば、このような配列構成でも、シート搬送方向においてはインク供給スリット１２１０の位置にならうように素子基板１１００を配列できる。そのため、素子基板１１００とインク供給スリット１２１０の位置ズレがほとんどない信頼性の高い液体吐出ヘッドを製造することができる。
【００３２】
これによって、製造時の生産歩留まりの低下を防止し、コストアップを低減することができる液体吐出ヘッドの製造方法を実現することができた。
【００３３】
（第３の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第３の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
【００３４】
図８（ａ）、（ｂ）は、本実施形態を適用可能なベースプレートを示した図であり、インク供給スリット１２１０が一つの素子基板１１００に対して複数個で形成された構成、つまり複数色にも対応できる液体吐出ヘッドの構成について説明する。なお、本実施形態では、図８（ａ）に示すように、インク供給スリット１２１０が四個並列の構成としたが、必要に応じて何個であってもよい。
【００３５】
インク供給スリット１２１０と素子基板１１００の位置決め方法については、第１の実施形態および第２の実施形態で説明した内容と同様であるため、ここでは、インク供給スリット１２１０が複数個の場合の中心線の取り方と位置ズレについて説明する。
【００３６】
図９（ａ）は、素子基板１１００をインク供給口が形成された面から見た図であり、対向する四隅間をそれぞれ結んだ２直線の交点を重心１１３０として、その重心１１３０を通ってシート搬送方向と直交する線を第一の中心線１１４０とした。また、図９（ｂ）および図９（ｃ）は、インク供給スリット１２１０をベースプレートの主面から見た図である。図９（ｂ）から（ｄ）では、１つの素子基板に対応したインク供給スリットの集まりをインク供給スリット群１２１５としている。そしてインク供給スリット群１２１５において、両端部に位置するインク供給スリットの四隅に位置する、対向した四隅間をそれぞれ結んだ２直線の交点を重心１２３０として、その重心１２３０を通ってシート搬送方向と直交する線を第二の中心線１２４０とした。
【００３７】
ここで、インク供給スリット１２１０の端部が丸くなっているような場合は、図９（ｅ）（図９（ｂ）におけるｅ部）に示すように、仮想頂点を描いてこれを隅部と定義する。また、図９（ｄ）は、インク供給スリット群１２１５が変形等により傾いた状態を示すが、重心１２３０と第二の中心線１２４０の関係は変わらないため、インク供給スリット１２１０と第二の中心線１２４０が平行にならない場合もある。
【００３８】
次に、インク供給スリット１２１０とインク供給口１１０１の、シート搬送方向における位置ズレについて説明する。
【００３９】
図１０（ａ）から（ｃ）は、本願発明の方法を用いることなく、図８（ｂ）に示したベースプレート１２００と素子基板１１００を接着固定した時のＸ−Ｘ断面図である。図１０（ａ）は、素子基板１１００の第一の中心線１１４０とインク供給スリット群１２１５の第二の中心線１２４０とが一致した最も良好な接合状態を示している。図１０（ｂ）は、素子基板１１００の第一の中心線１１４０とインク供給スリット群１２１５の第二の中心線１２４０とがインク供給スリットのシート送方向寸法の１／２未満でズレを許容した接合状態である。この状態では、インク供給口１１０１とインク供給スリット１２１０の開口面積の確保や接合時の接着剤の垂れ出し等に対する信頼性が維持できる。図１０（ｃ）は、素子基板１１００の第一の中心線１１４０とインク供給スリット群１２１５の第二の中心線１２４０とが、インク供給スリットのシート搬送方向寸法の１／２以上ずれた接合状態である。この状態では、インク供給口１１０１とインク供給スリット１２１０が大きくずれてインク流路が確保できなくなり、また接合時の接着剤の垂れ出し等に対する信頼性も維持できなくなる。
【００４０】
本発明の製造方法を用いれば、このような要求精度の高い配列構成でも、シート搬送方向において、インク供給スリット１２１０の位置にならうように素子基板１１００を配列することができる。そのため、全ての素子基板１１００について、図１０（ａ）のような素子基板１１００とインク供給スリット１２１０の位置ズレがほとんどない信頼性の高い液体吐出ヘッドを製造することができる。
【００４１】
これによって、製造時の生産歩留まりの低下を防止し、コストアップを低減することができる液体吐出ヘッドの製造方法を実現することができた。
【符号の説明】
【００４２】
１０００  液体吐出ヘッド
１１００  素子基板
１１０１  インク供給口
１１０５  吐出口
１１１０  吐出口プレート
１２００  ベースプレート
１２１０  供給スリット
２０００  液体吐出装置
２２００  シート
【図１】
2015150692.tif 000003
【図２】
2015150692.tif 000004
【図３】
2015150692.tif 000005
【図４】
2015150692.tif 000006
【図５】
2015150692.tif 000007
【図６】
2015150692.tif 000008
【図７】
2015150692.tif 000009
【図８】
2015150692.tif 000010
【図９】
2015150692.tif 000011
【図１０】
2015150692.tif 000012
【図１１】
2015150692.tif 000013