(57)【要約】【課題】切断分離された後の基板片を効率良く取り出すことができるような基板用治具であって、基板を鉛直方向に保持した状態でも利用可能な基板用治具を提供すること。【解決手段】一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板の少なくとも一側面を粘着層を介して支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記粘着層によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の一側内枠フレームを備え、前記一側内枠フレームは、各基板片毎に対応して基板に向けて突出するように設けられた複数の接着面突出部を有していることを特徴とする基板用治具。【選択図】図１
2015043382.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板の少なくとも一側面を粘着層を介して支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記粘着層によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、
基板の周縁部を支持するための外枠フレームと、
基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の一側内枠フレームと、
を備え、
前記一側内枠フレームは、各基板片毎に対応して基板に向けて突出するように設けられた複数の接着面突出部を有しており、
各接着面突出部と各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着されるようになっている
ことを特徴とする基板用治具。
【請求項２】
各接着面突出部の突出高さは、３ｍｍ以上である
ことを特徴とする請求項１に記載の基板用治具。
【請求項３】
各接着面突出部の前記一側内枠フレームの幅方向の寸法は、当該幅方向における各基板片の寸法より小さく、
各接着面突出部の前記一側内枠フレームの長さ方向の寸法は、当該長さ方向における各基板片の寸法より小さい
ことを特徴とする請求項１または２に記載の基板用治具。
【請求項４】
各接着面突出部の突出方向に見て、各接着面突出部の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状である
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板用治具。
【請求項５】
当該基板用治具は、
前記基板の他側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の他側内枠フレーム
を更に備え、
前記他側内枠フレームは、各基板片毎に対応して基板に向けて突出するように設けられた複数の基板片押さえ部を有している
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板用治具。
【請求項６】
各基板片押さえ部の突出高さは、３ｍｍ以上である
ことを特徴とする請求項５に記載の基板用治具。
【請求項７】
各基板片押さえ部の前記他側内枠フレームの幅方向の寸法は、当該幅方向における各基板片の寸法より小さく、
各基板片押さえ部の前記他側内枠フレームの長さ方向の寸法は、当該長さ方向における各基板片の寸法より小さい
ことを特徴とする請求項５または６に記載の基板用治具。
【請求項８】
各基板片押さえ部の突出方向に見て、各基板片押さえ部の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状である
ことを特徴とする請求項５乃至７のいずれかに記載の基板用治具。
【請求項９】
一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板の少なくとも一側面を粘着層を介して支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記粘着層によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、
基板の周縁部を支持するための外枠フレームと、
基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の一側内枠フレームと、
を備え、
前記一側内枠フレームは、各基板片毎に対応して基板に向けて突出するように設けられた複数の接着面突出部を有している
ことを特徴とする基板用治具
を用いて一枚の基板から複数の基板片をエッチングによって切断分離する基板片の製造方法であって、
マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を用意する工程と、
当該基板の周縁部を外枠フレームによって支持する工程と、
当該基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びるように、且つ、当該一側内枠フレームの各接着面突出部が各基板片毎に対向するように、互いに平行な複数本の一側内枠フレームを前記外枠フレームに対して組み付ける工程と、
を備え
前記複数本の一側内枠フレームを前記外枠フレームに対して組み付ける工程において、各接着面突出部と各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着される
ことを特徴とする基板片の製造方法。
【請求項１０】
前記基板用治具は、
前記基板の他側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の他側内枠フレーム
を更に備え、
前記他側内枠フレームは、各基板片毎に対応して基板に向けて突出するように設けられた複数の基板片押さえ部を有しており、
当該基板片の製造方法は、
前記基板の他側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びるように、且つ、当該他側内枠フレームの各基板片押さえ部が各基板片毎に対向するように、互いに平行な複数本の他側内枠フレームを外枠フレームに対して組み付ける工程
を更に備えたことを特徴とする請求項９に記載の基板片の製造方法。
【請求項１１】
複数本の他側内枠フレームを外枠フレームに対して組み付ける工程において、各基板片押さえ部と各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着される
ことを特徴とする請求項１０に記載の基板片の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一枚の基板から基板片をエッチングによって切断分離する際に当該基板を保持するために用いられる基板用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイやタッチパネルにガラス基板の基板片が用いられている。このようなガラス基板片の製造方法として、大型の一枚のガラス基板から複数のガラス基板片をエッチングによって切断分離する方法がある。この方法では、通常、エッチング液としてフッ酸系の溶液が用いられている。
【０００３】
ところで、切断分離されたガラス基板片がエッチング液内に落下してしまうと、取り出すことが容易ではない。従って、一枚のガラス基板を各片面から順次半分の厚みずつエッチングするいわゆるハーフエッチングが利用されている。
【０００４】
以下、ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について、図１５乃至図１７を参照して説明する。図１５乃至図１７は、ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図である。
【０００５】
先ず、図１５に示すように、大型の一枚の矩形のガラス基板５０１の両面に、縦横２つずつ合計４つの矩形のガラス基板片の輪郭５０５が露出するように、保護膜５０３が設けられる。保護膜５０３としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン等を用いることができ、当該保護膜５０３が接着剤または粘着剤を介してガラス基板５０１に貼付けられる。
【０００６】
あるいは、例えば、ガラス基板５０１の両面に感光性レジスト液を塗布してレジスト膜を形成し、マスクを介して４つのガラス基板片の輪郭を除いて他の部分に紫外線を照射し、次に現像液を用いて前記輪郭のレジスト膜を除去することにより、保護膜５０３を設けることもできる。
【０００７】
次に、ガラス基板５０１が鉛直方向に保持された状態で、ガラス基板５０１の一方の面側からエッチング（ハーフエッチング）される。
【０００８】
続いて、ガラス基板５０１が洗浄される。そして、図１６に示すように、切断分離されるガラス基板片５０２が落下することを防止するべく、ハーフエッチングされたガラス基板５０１の一方の面側に、ガラス基板５０１と切断分離されるガラス基板片５０２とを懸架するように粘着テープ５０４が貼付けられる。
【０００９】
続いて、再びガラス基板５０１が、鉛直方向に保持された状態で、ガラス基板５０１の他方の面側からエッチング（残りのハーフエッチング）される。
【００１０】
そして、ガラス基板５０１が洗浄された後に、ガラス基板５０１から粘着テープ５０４が剥がされると、図１７に示すような４個のガラス基板片５０２が得られる。
【００１１】
なお、基板を水平方向に保持した状態で複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に用いられる基板用治具は既に知られている（特許文献１乃至３参照）。
【００１２】
また、ガラス基板片の他の製造方法として、レーザ加工によりガラス基板から複数のガラス基板片を切断分離する方法や、エンドミル等による切削加工によりガラス基板から複数のガラス基板片を切断分離する方法も知られている。しかしながら、これらの加工方法では、ガラス基板片の端面、即ち切断面、の表面粗さが粗くなってしまい、前述したようなエッチングを利用して切断分離されたガラス基板片と比較して、ガラス基板片にキズやヒビが入りやすい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２０１０−１０３３９４号公報
【特許文献２】特開平０９−２４６３６５号公報
【特許文献３】特開２００７−１３４３９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
前述したように、ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する場合、２回のガラス基板のエッチング（ハーフエッチング）と２回のガラス基板の洗浄作業を行う必要があり、効率が悪かった。
【００１５】
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、一枚の基板から基板片をエッチングによって切断分離することができると共に、切断分離された後の基板片を効率良く取り出すことができるような基板用治具であって、基板を鉛直方向に保持した状態でも利用可能な基板用治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板の少なくとも一側面を粘着層を介して支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記粘着層によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、基板の周縁部を支持するための外枠フレームと、基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の一側内枠フレームと、を備え、前記一側内枠フレームは、各基板片毎に対応して基板に向けて突出するように設けられた複数の接着面突出部を有しており、各接着面突出部と各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着されるようになっていることを特徴とする基板用治具である。
【００１７】
本発明によれば、一側内枠フレームの各接着面突出部と各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着されるため、切断分離された後の複数の基板片は当該粘着層によって確実に支持され続けられる。したがって、基板を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片を効率よく取り出すことができる。また、各基板片は粘着層によって支持されるため、各基板片を傷つけることなく保持することができる。さらに、一側内枠フレームに接着面突出部が設けられていることによって、当該接着面突出部以外の領域において一側内枠フレームと基板との間に間隙が確保される。これにより、一側内枠フレームと基板との間にエッチング液が入り込んで、基板の両側から効率よくエッチングを行うことができ、したがって、基板のエッチング及び洗浄作業を複数回行う必要が無く、基板片の製造効率が向上する。
【００１８】
好ましくは、各接着面突出部の突出高さは、３ｍｍ以上である。この場合、一側内枠フレームと基板との間隔が狭すぎてエッチング液の流動が阻害される、ということが効果的に防止される。
【００１９】
また、好ましくは、各接着面突出部の前記一側内枠フレームの幅方向の寸法は、当該幅方向における各基板片の寸法より小さく、各接着面突出部の前記一側内枠フレームの長さ方向の寸法は、当該長さ方向における各基板片の寸法より小さい。この場合、各基板片の輪郭上に接着面突出部が配置されて当該輪郭上におけるエッチング液の流動が阻害されてしまう、ということが防止され、所望の形状の基板片が切断分離されることが促進される。
【００２０】
また、好ましくは、各接着面突出部の突出方向に見て、各接着面突出部の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状である。この場合、エッチング液が各接着面突出部に対してエッチング液の流動方向の下流側領域にも回り込むことが促進される。このため、各接着面突出部が邪魔をしてエッチング液が滞留する領域が形成されてしまってエッチング効果が低下する、ということが抑制される。
【００２１】
また、好ましくは、当該基板用治具は、前記基板の他側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の他側内枠フレームを更に備え、前記他側内枠フレームは、各基板片毎に対応して基板に向けて突出するように設けられた複数の基板片押さえ部を有している。この場合、流動するエッチング液中における各基板片の波打つような動きが基板片押さえ部によって抑制されるため、エッチング中に基板片が破壊される、ということが防止される。また、他側内枠フレームに突出する部分が設けられていることによって、当該突出する部分以外の領域において他側内枠フレームと基板との間に間隙が確保される。これにより、他側内枠フレームと基板との間にエッチング液が入り込んで、基板の両側から効率よくエッチングを行うことができる。また、基板片押さえ部と各基板片の保護膜とをも粘着層によって互いに接着すれば、各基板片を両側から支持することができる。さらに、外枠フレームの強度を、一側内枠フレームが外枠フレームから取り外された状態においても所望の程度以上にすることができるため、外枠フレームの取扱いが容易である。
【００２２】
好ましくは、各基板片押さえ部の突出高さは、３ｍｍ以上である。この場合、他側内枠フレームと基板との間隔が狭すぎてエッチング液の流動が阻害される、ということが効果的に防止される。
【００２３】
また、好ましくは、各基板片押さえ部の前記他側内枠フレームの幅方向の寸法は、当該幅方向における各基板片の寸法より小さく、各基板片押さえ部の前記他側内枠フレームの長さ方向の寸法は、当該長さ方向における各基板片の寸法より小さい。この場合、各基板片の輪郭上に基板片押さえ部が配置されて当該輪郭上におけるエッチング液の流動が阻害されてしまう、ということが防止され、所望の形状の基板片が切断分離されることが促進される。
【００２４】
また、好ましくは、各基板片押さえ部の突出方向に見て、各基板片押さえ部の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状である。この場合、エッチング液が各基板片押さえ部に対してエッチング液の流動方向の下流側領域にも回り込むことが促進される。このため、各基板片押さえ部が邪魔をしてエッチング液が滞留する領域が形成されてしまってエッチング効果が低下する、ということが抑制される。
【００２５】
あるいは、本発明は、一枚の基板からマトリクス状に複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板の少なくとも一側面を粘着層を介して支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を前記粘着層によって支持し続けるために用いられる基板用治具であって、基板の周縁部を支持するための外枠フレームと、基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の一側内枠フレームと、を備え、前記一側内枠フレームは、各基板片毎に対応して基板に向けて突出するように設けられた複数の接着面突出部を有していることを特徴とする基板用治具を用いて一枚の基板から複数の基板片をエッチングによって切断分離する基板片の製造方法であって、マトリクス状に複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を用意する工程と、当該基板の周縁部を外枠フレームによって支持する工程と、当該基板の一側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びるように、且つ、当該一側内枠フレームの各接着面突出部が各基板片毎に対向するように、互いに平行な複数本の一側内枠フレームを前記外枠フレームに対して組み付ける工程と、を備え、前記複数本の一側内枠フレームを前記外枠フレームに対して組み付ける工程において、各接着面突出部と各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着されることを特徴とする基板片の製造方法である。
【００２６】
本発明によれば、一側内枠フレームの各接着面突出部と各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着されるため、切断分離された後の複数の基板片は当該粘着層によって支持され続けられる。したがって、基板を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片を効率よく取り出すことができる。また、各基板片は粘着層によって支持されるため、各基板片を傷つけることなく保持することができる。さらに、一側内枠フレームに接着面突出部が設けられていることによって、当該接着面突出部以外の領域において一側内枠フレームと基板との間に間隙が確保される。これにより、一側内枠フレームと基板との間にエッチング液が入り込んで、基板の両側から効率よくエッチングを行うことができ、したがって、基板のエッチング及び洗浄作業を複数回行う必要が無く、基板片の製造効率が向上する。
【００２７】
好ましくは、前記基板用治具は、前記基板の他側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の他側内枠フレームを更に備え、前記他側内枠フレームは、各基板片毎に対応して基板に向けて突出するように設けられた複数の基板片押さえ部を有しており、当該基板片の製造方法は、前記基板の他側面において、複数の基板片のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びるように、且つ、当該他側内枠フレームの各基板片押さえ部が各基板片毎に対向するように、互いに平行な複数本の他側内枠フレームを外枠フレームに対して組み付ける工程を更に備えている。この場合、流動するエッチング液中における各基板片の波打つような動きが基板片押さえ部によって抑制され、この結果、エッチング中に基板片が破壊される（応力破壊）、ということが防止される。また、他側内枠フレームに突出する部分が設けられていることによって他側内枠フレームと基板との間に間隙が確保されるため、両者の間にエッチング液が入り込んで、基板の両側から効率よくエッチングを行うことができる。さらに、外枠フレームの強度を、一側内枠フレームが外枠フレームから取り外された状態においても所望の程度以上にすることができるため、外枠フレームの取扱いが容易である。
【００２８】
また、好ましくは、複数本の他側内枠フレームを外枠フレームに対して組み付ける工程において、各基板片押さえ部と各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着される。この場合、各基板片を両側から保持することができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、一側内枠フレームの各接着面突出部と各基板片の保護膜とが粘着層によって互いに接着されるため、切断分離された後の複数の基板片は当該粘着層によって確実に支持され続けられる。したがって、基板を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片を効率よく取り出すことができる。また、各基板片は粘着層によって支持されるため、各基板片を傷つけることなく保持することができる。さらに、一側内枠フレームに接着面突出部が設けられていることによって、当該接着面突出部以外の領域において一側内枠フレームと基板との間に間隙が確保される。これにより、一側内枠フレームと基板との間にエッチング液が入り込んで、基板の両側から効率よくエッチングを行うことができ、したがって、基板のエッチング及び洗浄作業を複数回行う必要が無く、基板片の製造効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１の実施の形態による基板を保持した状態の基板用治具を概略的に示す一側斜視図。
【図２】図１に示す基板を保持した状態の基板用治具を概略的に示す他側斜視図。
【図３】図１に示す基板用治具の外枠フレームと一側内枠フレームとを示す他側斜視図。
【図４】図１に示す基板用治具の他側内枠フレームを示す一側斜視図。
【図５】接着面突出部及び基板片押さえ部の寸法を説明するための図。詳しくは、図５（ａ）が、各基板片の保護膜と一側内枠フレームの接着面突出部との関係を示す一側正面図であり、図５（ｂ）が、各基板片の保護膜と他側内枠フレームの基板片押さえ部との関係を示す他側正面図である。
【図６】接着面突出部及び基板片押さえ部の寸法及び突出高さを説明するための図。詳しくは、図６（ａ）が、図５（ａ）のＶＩａ−ＶＩａ線断面図であり、図６（ｂ）が、図５（ｂ）のＶＩｂ−ＶＩｂ線断面図である。
【図７】保護膜が設けられた基板を示す斜視図。
【図８】切断分離された後の基板片が粘着剤によって支持し続けられている様子を説明するための図。
【図９】本発明の第２の実施の形態による基板用治具の外枠フレームと一側内枠フレームとを示す他側斜視図。
【図１０】図９に示す実施の形態による他側内枠フレームを示す一側斜視図。
【図１１】図９に示す一側内枠フレームの接着面突出部と各基板片の保護膜との関係を示す一側正面図。
【図１２】図９に示す外枠フレームに組み付けられた図１０に示す他側内枠フレームの基板片押さえ部と各基板片の保護膜との関係を示す他側正面図。
【図１３】外側に凸の流線部を有する形状の例を示す図。詳しくは、図１３（ａ）が、円形形状を示す図であり、図１３（ｂ）が、２つの円弧部分からなる形状を示す図である。
【図１４】各基板片に対し、複数の接着面突出部ないし基板片押さえ部が配置されている様子を説明するための図。
【図１５】ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図。
【図１６】ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図。
【図１７】ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、図面を参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態による基板を保持した状態の基板用治具を概略的に示す一側斜視図である。図２は、図１に示す基板を保持した状態の基板用治具を概略的に示す他側斜視図である。図３は、図１に示す基板用治具の外枠フレームと一側内枠フレームとを示す他側斜視図である。図４は、図１に示す基板用治具の他側内枠フレームを示す一側斜視図である。図５は、接着面突出部及び基板片押さえ部の寸法を説明するための図である。詳しくは、図５（ａ）が、各基板片の保護膜と一側内枠フレームの接着面突出部との関係を示す一側正面図であり、図５（ｂ）が、各基板片の保護膜と他側内枠フレームの基板片押さえ部との関係を示す他側正面図である。また、図６は、接着面突出部及び基板片押さえ部の寸法及び突出高さを説明するための図である。詳しくは、図６（ａ）が、図５（ａ）のＶＩａ−ＶＩａ線断面図であり、図６（ｂ）が、図５（ｂ）のＶＩｂ−ＶＩｂ線断面図である。
【００３２】
本実施の形態の基板用治具１は、図１、図２及び図６に示すように、一枚の基板２からマトリクス状に複数の基板片３をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片３の輪郭５が露出するように保護膜４が両面に設けられた基板２の少なくとも一側面を粘着層６を介して支持すると共に、切断分離された後の複数の基板片３を粘着層６によって支持し続けるために用いられるものである。本実施の形態では、基板２としてガラス基板を用いており、エッチング液としてフッ酸系の溶液を用いている。
【００３３】
図１及び図３に示すように、本実施の形態の基板用治具１は、基板２の周縁部を支持するための外枠フレーム７と、基板２の一側面において、複数の基板片３のマトリクス状の配置、具体的には横方向に３つ縦方向に５つ並んだ１５枚の基板片３の３×５のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向（本実施の形態では、縦方向）に延びる互いに平行な複数本の（本実施の形態では、３本の）一側内枠フレーム１０と、を備えている。そして、図３に示すように、一側内枠フレーム１０は、各基板片３毎に対応して基板２に向けて突出するように設けられた複数の接着面突出部１０ａを有しており、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、各接着面突出部１０ａと各基板片３の保護膜４とが粘着層６によって互いに接着されるようになっている。
【００３４】
図２及び図４に示すように、本実施の形態の基板用治具１は、更に、基板２の他側面において、複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向（本実施の形態では、横方向）に延びる互いに平行な複数本の（本実施の形態では、５本の）他側内枠フレーム８を備えている。そして、他側内枠フレーム８は、各基板片３毎に対応して基板２に向けて突出するように設けられた複数の基板片押さえ部８ａを有している。
【００３５】
外枠フレーム７について、図３を参照して詳しく説明する。外枠フレーム７は、本実施の形態では、図３に示すように、全体として矩形の形状を採用している。外枠フレーム７の内周部には、基板２の周縁部の少なくとも一部を収容する溝９が形成されている。外枠フレーム７は、耐エッチング性のある材料、例えばフッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニル、からなる。もっとも、外枠フレーム７は、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。
【００３６】
本実施の形態では、図３に示すように、外枠フレーム７には、３本の一側内枠フレーム１０が、複数の基板片３の３×５のマトリクス状の配置に対応して当該マトリクス状の配置の縦方向に延びるように互いに平行に、本実施の形態の場合は着脱不能に、組み付けられている。これにより、外枠フレーム７の強度が所望の程度以上にされて、外枠フレーム７の取扱いが容易であるようになっている。もっとも、一側内枠フレーム１０は、外枠フレーム７と一体に構成されていてもよいし、例えばボルトによって外枠フレーム７に対して着脱可能に組み付けられていてもよい。
【００３７】
一側内枠フレーム１０も、耐エッチング性のある材料、例えばフッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニル、からなる。もっとも、一側内枠フレーム１０も、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。
【００３８】
一側内枠フレーム１０は、本実施の形態では、図１及び図３に示すように、全体として矩形の細長い板状部材である。そして、一側内枠フレーム１０は、一側内枠フレーム１０の一方の側に突出した複数の接着面突出部１０ａが形成されるように、本実施の形態の場合は各々５つの接着面突出部１０ａが形成されるように、屈曲されている。
【００３９】
複数の接着面突出部１０ａは、一側内枠フレーム１０が外枠フレーム７に複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して組み付けられた時に、各接着面突出部１０ａが各基板片３毎に対応して配置され得るように位置決めされている。
【００４０】
各接着面突出部１０ａは、本実施の形態では、図１に示すように、一側内枠フレーム１０が外枠フレーム７に複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して組み付けられた時に、接着面突出部１０ａの突出方向に見て、各接着面突出部１０ａが各基板片３の輪郭５の内側に配置されるように寸法決めされている。具体的には、図５（ａ）に示すように、各接着面突出部１０ａの一側内枠フレーム１０の幅方向の寸法ｆは、当該幅方向における各基板片３の寸法ｂより小さい。また、図６（ａ）に示すように、各接着面突出部１０ａの一側内枠フレーム１０の長さ方向の寸法ｇは、当該長さ方向における各基板片３の寸法ａより小さい。
【００４１】
また、各接着面突出部１０ａの突出高さｊは、本実施の形態では、３ｍｍ以上、より好ましくは５ｍｍ以上である。
【００４２】
図２に示すように、本実施の形態では、外枠フレーム７には、５本の他側内枠フレーム８が、複数の基板片３の３×５のマトリクス状の配置に対応して当該マトリクス状の配置の横方向に延びるように互いに平行に、例えばボルトによって着脱可能に、組み付けられる。
【００４３】
他側内枠フレーム８も、耐エッチング性のある材料、例えばフッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニル、からなる。もっとも、他側内枠フレーム８も、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。
【００４４】
他側内枠フレーム８は、本実施の形態では、図４に示すように、細長い矩形の板状部材である。そして、他側内枠フレーム８は、他側内枠フレーム８の一方の側に突出した複数の基板押さえ部８ａが形成されるように、本実施の形態の場合は各々３つの基板押さえ部８ａが形成されるように、屈曲されている。複数の基板押さえ部８ａは、他側内枠フレーム８が外枠フレーム７に複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して組み付けられた時に、各基板押さえ部８ａが各基板片３毎に対応して配置され得るように位置決めされている。
【００４５】
各基板片押さえ部８ａは、本実施の形態では、図２に示すように、他側内枠フレーム８が外枠フレーム７に複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して組み付けられた時に、基板片押さえ部８ａの突出方向に見て、各基板片押さえ部８ａが各基板片３の輪郭５の内側に配置されるように寸法決めされている。具体的には、図５（ｂ）に示すように、各基板片押さえ部８ａの他側内枠フレーム８の幅方向の寸法ｉは、当該幅方向における各基板片３の寸法ａより小さい。また、図６（ｂ）に示すように、各基板片押さえ部８ａの他側内枠フレーム８の長さ方向の寸法ｈは、当該長さ方向における各基板片ｂの寸法より小さい。
【００４６】
各基板片押さえ部８ａの突出高さｋは、本実施の形態では、３ｍｍ以上、より好ましくは５ｍｍ以上である。なお、図６（ｂ）に示す例においては、基板片押さえ部８ａは、基板２が支持されている外枠フレーム７に組み付けられた状態において、対向する保護膜４に接しているが、エッチング中に、流動するエッチング液による各基板片３の波打つような動きを抑制することができる程度に十分に当該保護膜４に近接していれば、当該保護膜４に接していなくてもよい。
【００４７】
粘着層６は、耐エッチング性のある材料からなり、一側内枠フレーム１０の各接着面突出部１０ａと、各基板片３の各側の保護膜４と、の間において、各接着面突出部１０ａの各基板片３に対向する面内に配置されるようになっている。具体的には、本実施の形態においては、粘着層６は、図６（ａ）に示すように、縦方向の寸法ｍが接着面突出部１０ａの一側内枠フレーム１０の長さ方向の寸法ｇよりも小さく、横方向の寸法ｎが接着面突出部１０ａの一側内枠フレーム１０の幅方向の寸法ｆよりも小さくなるように、形成されている。粘着層６としては、例えば、テープ基材の両面にアクリル系の粘着剤が塗布されてなる両面テープを採用可能である。粘着層６の粘着力は、流動するエッチング液中においても基板２を支持し続けられるように、且つ、エッチング中に切断分離される各基板片３がエッチング液内に落下してしまわないように、各基板片３の重さ等を考慮して適宜決定される。例えば、平面視において３６５ｍｍ×４５０ｍｍの寸法を有し、重さが２５０ｇ程度の基板２に対しては、３０Ｎ／２５ｍｍの粘着力を有する粘着層６であって１０ｍｍ程度の長さの粘着層６を各基板片３毎に合計１５箇所に設ければよい。さらに、粘着層６の粘着力は、エッチング後に各基板片３を接着面突出部１０ａからの取り外す時の基板片３の取り外しやすさ等を考慮して適宜決定される。
【００４８】
また、本実施の形態では、図６に示すように、粘着層６は、各接着面突出部１０ａと対向する保護膜４との間に配置されるが、各基板片３を両側から保持し得るよう、各基板片押さえ部８ａと対向する保護膜４との間にも配置されてよい。
【００４９】
次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について、図１乃至図８を参照しながら説明する。図７は、保護膜４が設けられた基板２を示す斜視図である。図８は、図１の基板用治具１において、エッチングにより切断分離された後の基板片３が粘着層６によって支持され続けている様子を説明するための図である。
【００５０】
先ず、図７に示すように、水平方向に３つ、上下方向に５つ、合計で１５個の矩形の基板片３の輪郭５が露出するように、保護膜４が一枚の基板２の両面に貼り付けられる。
【００５１】
次に、粘着層６として、テープ基材の両面にアクリル系の粘着剤が塗布されてなる両面テープが用意され、図３に示すように、一側内枠フレーム１０の各接着面突出部１０ａに、粘着層６の一側面が接着される。その後、基板２の周縁部が、外枠フレーム７によって支持される。このとき、図６に示すように、外枠フレーム７に組み付けられた一側内枠フレーム１０の各接着面突出部１０ａ上の各粘着層６の他側面と、当該接着面突出部１０ａに対向する保護膜４の一側面とが、互いに接着される。
【００５２】
次に、基板２の他側面側に、基板片３の３×５のマトリクス状の配置に対応して、５本の他側内枠フレーム８が、基板片３の配置の横方向に延びるように、且つ、各基板片押さえ部８ａが各基板片３に対向して配置されるように、外枠フレーム７に組み付けられる。
【００５３】
以上のように基板用治具１に支持された基板２が、例えば鉛直方向にエッチング液槽内に浸される。このとき、少なくとも各基板片３の輪郭５上において、保護膜４と一側内枠フレーム１０及び他側内枠フレーム８との間には十分な大きさの間隙が確保されているため、保護膜４と一側内枠フレーム１０及び他側内枠フレーム８との間の領域にもエッチング液が供給される。
【００５４】
このようなエッチング液の供給によって、基板２から複数の基板片３がエッチングによって切断分離される。切断分離された基板片３は、図８に示すように、粘着層６によって支持し続けられる。このため、切断分離された各基板片３が、他の基板片３や外枠フレーム７等と接触して損傷するおそれがない。
【００５５】
以上のように本実施の形態によれば、一側内枠フレーム１０の各接着面突出部１０ａと各基板片３の保護膜４とが粘着層６によって互いに接着されるため、切断分離された後の複数の基板片３は、当該粘着層６によって確実に支持され続けられる。したがって、基板２を鉛直方向に保持した状態でもエッチングを行うことができ、切断分離された後の基板片３を効率よく取り出すことができる。また、各基板片３は粘着層６によって支持されるため、各基板片３を傷つけることなく保持することができる。さらに、一側内枠フレーム１０に接着面突出部１０ａが設けられていることによって、当該接着面突出部１０ａ以外の領域において一側内枠フレーム１０と基板２との間に間隙が確保される。これにより、一側内枠フレーム１０と基板２との間にエッチング液が入り込んで、基板２の両側から効率よくエッチングを行うことができ、したがって、基板２のエッチング及び洗浄作業を複数回行う必要が無く、基板片３の製造効率が向上する。
【００５６】
また、各接着面突出部１０ａの突出高さｊは、３ｍｍ以上であるため、一側内枠フレーム１０と基板２との間隔が狭すぎてエッチング液の流動が阻害される、ということが効果的に防止される。
【００５７】
また、各接着面突出部１０ａの一側内枠フレーム１０の幅方向の寸法ｆは、当該幅方向における各基板片３の寸法ｂより小さく、各接着面突出部１０ａの一側内枠フレーム１０の長さ方向の寸法ｇは、当該長さ方向における各基板片の寸法ａより小さい。このため、各基板片３の輪郭５上に接着面突出部１０ａが配置されて輪郭５上におけるエッチング液の流動が阻害されてしまう、ということが防止され、所望の形状の基板片３が切断分離されることが促進される。
【００５８】
また、基板用治具１は、基板２の他側面において、複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して、当該マトリクス状の配置の横方向または縦方向に延びる互いに平行な複数本の他側内枠フレーム８を更に備え、他側内枠フレーム８は、各基板片３毎に対応して基板２に向けて突出するように設けられた複数の基板片押さえ部８ａを有している。これにより、流動するエッチング液中における各基板片３の波打つような動きが基板片押さえ部８ａによって抑制されるため、エッチング中に基板片３が破壊される、ということが防止される。また、他側内枠フレーム８に突出する部分が設けられていることによって、当該突出する部分以外の領域において他側内枠フレーム８と基板２との間に間隙が確保される。これにより、他側内枠フレーム８と基板２との間にエッチング液が入り込んで、基板２の両側から効率よくエッチングを行うことができる。また、基板片押さえ部８ａと各基板片３の保護膜４とをも粘着層６によって互いに接着すれば、各基板片３を両側から支持することができる。さらに、外枠フレーム７の強度を、一側内枠フレーム１０が外枠フレーム７から取り外された状態においても所望の程度以上にすることができるため、外枠フレーム７の取扱いが容易である。
【００５９】
また、各基板片押さえ部８ａの突出高さは、３ｍｍ以上である。このため、他側内枠フレーム８と基板２との間隔が狭すぎてエッチング液の流動が阻害される、ということが効果的に防止される。
【００６０】
また、各基板片押さえ部８ａの他側内枠フレーム８の幅方向の寸法ｉは、当該幅方向における各基板片３の寸法ａより小さく、各基板片押さえ部８ａの他側内枠フレーム８の長さ方向の寸法ｈは、当該長さ方向における各基板片の寸法ｂより小さい。このため、各基板片３の輪郭５上に基板片押さえ部８ａが配置されて輪郭５上におけるエッチング液の流動が阻害されてしまう、ということが防止され、所望の形状の基板片３が切断分離されることが促進される。
【００６１】
次に、図９乃至図１４により、本発明による基板用治具の第２の実施の形態について説明する。
【００６２】
図９は、本発明の第２の実施の形態による基板用治具の外枠フレームと一側内枠フレームとを示す他側斜視図であり、図１０は、図９に示す実施の形態による他側内枠フレームを示す一側斜視図である。また、図１１は、図９に示す一側内枠フレームの接着面突出部と各基板片の保護膜との関係を示す一側正面図であり、図１２は、図９に示す外枠フレームに組み付けられた図１０に示す他側内枠フレームの基板片押さえ部と各基板片の保護膜との関係を示す他側正面図である。
【００６３】
本実施の形態の基板用治具１'は、接着面突出部１０ａ'の外周縁の形状が、各接着面突出部１０ａ'の突出方向に見て、外側に凸の流線部を有する形状である点が異なっている。また、本実施の形態の基板用治具１'は、各基板片押さえ部８ａ'の外周縁の形状が、各基板片押さえ部の８ａ'突出方向に見て、外側に凸の流線部を有する形状である点が異なっている。本実施の形態の基板用治具１'のその他の構成は、図１乃至図８に示す第１の実施の形態の基板用治具と略同一である。図９乃至図１４に示す実施の形態において第１の実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６４】
複数の接着面突出部１０ａ'は、本実施の形態では、一側内枠フレーム１０'とは別体の板状部材であり、図９及び図１１に示すように、全体として真っ直ぐな一側内枠フレーム１０'に、ネジなどによって固定されている。接着面突出部１０ａ'は、耐エッチング性のある材料、例えばフッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニル、からなる。もっとも、接着面突出部１０ａ'は、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。
【００６５】
複数の接着面突出部１０ａ'は、一側内枠フレーム１０'が外枠フレーム７に複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して組み付けられた時に、各接着面突出部１０ａ'が各基板片３毎に対応して配置され得るように位置決めされている。
【００６６】
本実施の形態では、各接着面突出部１０ａ'の外周縁の形状は、各接着面突出部１０ａ'の突出方向に見て、図１３（ａ）に示すように全体として円形形状であるが、エッチング中にエッチング液が各接着面突出部１０ａ'に対してエッチング液の流動方向の下流側領域にも回り込み得るような形状であれば他の形状も採用可能であり、例えば図１３（ｂ）に示すような２つの円弧部分からなる形状であってもよい。
【００６７】
各接着面突出部１０ａは、本実施の形態では、図１１に示すように、一側内枠フレーム１０'が外枠フレーム７に複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して組み付けられた時に、接着面突出部１０ａ'の突出方向に見て、各接着面突出部１０ａ'が各基板片３の輪郭５の内側に配置されるように寸法決めされている。具体的には、図１１に示すように、各接着面突出部１０ａ'の一側内枠フレーム１０'の幅方向の寸法ｆは、当該幅方向における各基板片３の寸法ｂより小さい。また、各接着面突出部１０ａの一側内枠フレーム１０の長さ方向の寸法ｇは、当該長さ方向における各基板片３の寸法ａより小さい。
【００６８】
各接着面突出部１０ａ'の厚みは、図６（ａ）に示す各接着面突出部１０ａ'の突出高さｊに対応し、本実施の形態では、３ｍｍ以上、より好ましくは５ｍｍ以上である。
【００６９】
複数の基板片押さえ部８ａ'は、本実施の形態では、他側内枠フレーム８'とは別体の板状部材であり、図１０及び図１２に示すように、全体として真っ直ぐな他側内枠フレーム８'に、ネジなどによって固定されている。基板片押さえ部８ａ'も、耐エッチング性のある材料、例えばフッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニル、からなる。もっとも、基板片押さえ部８ａ'も、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。
【００７０】
複数の基板片押さえ部８ａ'は、他側内枠フレーム８'が外枠フレーム７に複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して組み付けられた時に、各基板片押さえ部８ａ'が各基板片３毎に対応して配置され得るように位置決めされている。
【００７１】
本実施の形態では、各基板片押さえ部８ａ'の外周縁の形状は、各基板片押さえ部８ａ'の突出方向に見て、図１３（ａ）に示すように全体として円形形状であるが、エッチング中にエッチング液が各基板片押さえ部８ａ'に対してエッチング液の流動方向の下流側領域にも回り込み得るような形状であれば他の形状も採用可能であり、例えば図１３（ｂ）に示すような２つの円弧部分からなる形状であってもよい。
【００７２】
各基板片押さえ部８ａ'は、本実施の形態では、図１２に示すように、他側内枠フレーム８'が外枠フレーム７に複数の基板片３のマトリクス状の配置に対応して組み付けられた時に、基板片押さえ部８ａ'の突出方向に見て、各基板片押さえ部８ａ'が各基板片３の輪郭５の内側に配置されるように寸法決めされている。具体的には、図１２に示すように、各基板片押さえ部８ａ'の他側内枠フレーム８'の幅方向の寸法ｉは、当該幅方向における各基板片３の寸法ａより小さい。また、図１２に示すように、各基板片押さえ部８ａ'の他側内枠フレーム８'の長さ方向の寸法ｈは、当該長さ方向における各基板片ｂの寸法より小さい。
【００７３】
各基板片押さえ部８ａ'の厚みは、図６（ｂ）に示す各基板片押さえ部８ａ'の突出高さｋに対応し、本実施の形態では、３ｍｍ以上、より好ましくは５ｍｍ以上である。
【００７４】
なお、接着面突出部１０ａ'及び基板片押さえ部８ａ'は、本実施の形態では、図１１及び図１２に示すように、各基板片３に対して各々１つが配置されるように一側内枠フレーム１０'または他側内枠フレーム８'に設けられているが、図１４に示すように、各基板片３の形状に応じて、複数個が並列して設けられていてもよい。この場合、１つの基板片３に対して設けられる複数の接着面突出部１０ａ'ないし複数の基板片押さえ部８ａ'は、互いから離間して配置されることが好ましく、隣り合う接着面突出部１０ａ'の間隔ｗないし隣り合う基板片押さえ部８ａ'の間隔ｗは、好ましくは１ｍｍ以上、より好ましくは３ｍｍ以上、最も好ましくは５ｍｍ以上である。また、図１４に示すように、１つの基板片３に対して設けられる複数の接着面突出部１０ａ'ないし複数の基板片押さえ部８ａ'の、一側内枠フレーム１０'または他側内枠フレーム８'の長さ方向の最も外側の２点の間隔ｇ'（ｈ'）は、当該長さ方向における各基板片ｂの寸法より小さい。
【００７５】
次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００７６】
本実施の形態においては、基板片３のエッチング中にエッチング液が各接着面突出部１０'及び各基板片押さえ部８ａ'の外周縁に沿って案内され、各接着面突出部１０'及び各基板片押さえ部８ａ'に対してエッチング液の流動方向の下流側領域にも回り込むことが促進される。その他の作用は、第１の実施の形態の作用と略同一である。
【００７７】
以上のように、本実施の形態によれば、各接着面突出部１０ａ'の突出方向に見て、各接着面突出部１０ａ'の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状である。この場合、エッチング液が各接着面突出部１０ａ'に対してエッチング液の流動方向の下流側領域にも回り込むことが促進される。このため、各接着面突出部１０ａ'が邪魔をしてエッチングが滞留する領域が形成されてしまってエッチング効果が低下する、ということが抑制される。
【００７８】
また、各基板片押さえ部８ａ'の突出方向に見て、各基板片押さえ部８ａ'の外周縁の形状は、外側に凸の流線部を有する形状である。このため、エッチング液が各基板片押さえ部８ａ'に対してエッチング液の流動方向の下流側領域にも回り込むことが促進される。このため、各基板片押さえ部８ａ'が邪魔をしてエッチングが滞留する領域が形成されてしまってエッチング効果が低下する、ということが抑制される。
【符号の説明】
【００７９】
１      基板用治具
２      基板
３      基板片
４      保護膜
５      輪郭
６      粘着層
７      外枠フレーム
８      一側内枠フレーム
９      溝
１０    他側内枠フレーム
５０１  ガラス基板
５０２  ガラス基板片
５０３  保護膜
５０４  両面テープ
５０５  輪郭
【図１】
2015043382.tif 000003
【図２】
2015043382.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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