(57)【要約】【課題】長期間計測が可能な物理量計測システムを提供する。【解決手段】物理量計測システム１０は、第１物理量計測器１と、第２物理量計測器２と、制御部８と、を備え、一定期間毎に第１物理量計測器１と第２物理量計測器２との出力信号の差を取得しておき、制御部８は、第１物理量計測器１からの出力信号の異常を検知した場合に、計測用の物理量計測器を第１物理量計測器１から第２物理量計測器２に切り替え、その際に、切り替え前に取得した出力信号の差に基づき第２物理量計測器２を補正してから計測を開始する。【選択図】図１
2015118071.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１物理量計測器と第２物理量計測器とを含む物理量計測器と、
前記物理量計測器を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第１物理量計測器と前記第２物理量計測器との出力信号の差に基づいて、前記第１物理量計測器および前記第２物理量計測器の少なくとも一方の補正を行い、
且つ、前記第１物理量計測器からの出力信号の異常を検知した場合に、計測を前記第１物理量計測器から前記補正を行った前記第２物理量計測器に切り替えることを特徴とする物理量計測システム。
【請求項２】
請求項１に記載の物理量計測システムであって、
前記第２物理量計測器は、複数備えられ、
異常を検知して、前記第１物理量計測器から前記第２物理量計測器に計測が切り替えられた後において、
前記制御部は、切り替えられた前記第２物理量計測器と別の前記第２物理量計測器との出力信号の差に基づいて補正を行うことを特徴とする物理量計測システム。
【請求項３】
請求項２に記載の物理量計測システムであって、
計測用に切り替えられた前記第２物理量計測器からの出力信号の異常を検知した場合に、さらに別の前記第２物理量計測器に切り替えることを特徴とする物理量計測システム。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の物理量計測システムであって、
前記補正は、前記物理量計測器の切り替えの前後で、先に計測を行っていた前記物理量計測器を基準として、切り替え後の前記物理量計測器の前記出力信号を補正することを特徴とする物理量計測システム。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の物理量計測システムであって、
前記補正は、少なくとも一つの前記物理量計測器の出力信号の変化量に基づいて補正することを特徴とする物理量計測システム。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の物理量計測システムであって、
前記補正は、前記物理量計測器同士のエージングばらつき誤差を補正することを特徴とする物理量計測システム。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の物理量計測システムであって、
前記物理量計測器は、着脱可能に取り付けられていることを特徴とする物理量計測システム。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の物理量計測システムであって、
前記物理量計測器は、振動する振動部を備え、前記振動部の振動周波数の変化により物理量を計測することを特徴とする物理量計測システム。
【請求項９】
第１物理量計測器と第２物理量計測器との出力信号の差に基づいて、前記第１物理量計測器および前記第２物理量計測器の少なくとも一方の補正を行い、
且つ、前記第１物理量計測器からの出力信号の異常を検知した場合に、計測を前記第１物理量計測器から前記補正を行った前記第２物理量計測器に切り替えることを特徴とする物理量計測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量計測システムおよび物理量計測方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、特許文献１に記載されているように、双音叉型圧電振動片を備えた物理量検出器が知られていた。特許文献１に記載の物理量検出器は、２つの振動梁から構成される双音叉型圧電振動片を備えている。振動片の両端はベース部、継ぎ手部、可動部を備えた基部に固定されており、振動片の一端はベース部に固定され、もう一端は可動部に固定されている。２つの振動梁には励振電極（駆動電極）が設けられており、励振電極に電流が流れることで、２つの振動梁が一定の周波数で振動する。物理量検出器に加速度が加わると、継ぎ手部を支点にして可動部が変位する。これにより、２つの振動梁に引っ張り応力または圧縮応力が加わる。引っ張り応力が加わった時には振動周波数は高くなり、圧縮応力が加わった時には振動周波数は低くなる。この振動周波数の変化の割合に応じて、物理量検出器に加わった加速度を検出する。
このような物理量検出器は、橋やビルなどの構造物に設置され、その設置箇所における、傾斜度や振動量などの物理量を検出する。検出された物理量の値を基にして、構造物のメンテナンス時期の推定などを行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２４８２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の物理量検出器や一般的なシリコンＭＥＭＳ型の物理量検出器において、橋やビルなどの数十年用いられるような構造物を建設当初からその寿命までの期間に亘って計測し続けることは難しい。これは橋やビルなどの構造物の寿命に比べると、物理量検出器の寿命が短寿命のためである。したがって、物理量検出器の寿命が近くなった場合、作業員が物理量検出器を交換する必要があるが、構造物の計測には数多くの物理量検出器が配置されるので、交換作業に非常に手間がかかるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係る物理量計測システムは、第１物理量計測器と第２物理量計測器とを含む物理量計測器と、前記物理量計測器を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記第１物理量計測器と前記第２物理量計測器との出力信号の差に基づいて、前記第１物理量計測器および前記第２物理量計測器の少なくとも一方の補正を行い、且つ、前記第１物理量計測器からの出力信号の異常を検知した場合に、計測を前記第１物理量計測器から前記補正を行った前記第２物理量計測器に切り替えることを特徴とする。
【０００７】
本適用例によれば、物理量計測システムは、第１物理量計測器及び第２物理量計測器を備えているため、初めに計測を行う第１物理量計測器からの出力信号の異常を検知した場合、制御部は計測に使用する物理量計測器を第１物理量計測器から第２物理量計測器に切り替えて、物理量の計測を続けることができる。従って、１つしか物理量計測器が備えられていない場合よりも、長期間に亘り物理量の計測ができる。また、物理量計測器の切り替えの前に、一定期間毎に第１物理量計測器と第２物理量計測器との出力信号の差を取得しておき、物理量計測器を切り替えた際に、切り替え前に取得した第１物理量計測器と第２物理量計測器との出力信号の差に基づき、第２物理量計測器を補正してから計測を開始するため、物理量計測器を切り替えた後も、精度よく物理量の計測を続けることができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に係る物理量計測システムにおいて、前記第２物理量計測器は、複数備えられ、異常を検知して、前記第１物理量計測器から前記第２物理量計測器に計測が切り替えられた後において、前記制御部は、切り替えられた前記第２物理量計測器と別の前記第２物理量計測器との出力信号の差に基づいて補正を行うことを特徴とする。
【０００９】
本適用例によれば、第２物理量計測器は、複数備えられ、異常を検知して、前記第１物理量計測器から前記第２物理量計測器に計測が切り替えられた後において、切り替えられた第２物理量計測器と別の前記第２物理量計測器との出力信号の差の変化量に基づき、別の第２物理量計測器を補正する。従って、第２物理量計測器同士で切り替えられた場合でも、精度よく計測を続けることができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例に係る物理量計測システムにおいて、計測用に切り替えられた前記第２物理量計測器からの出力信号の異常を検知した場合に、さらに別の前記第２物理量計測器に切り替えることを特徴とする。
【００１１】
本適用例によれば、第１物理量計測器から切り替えられた第２物理量計測器からの出力信号の異常を検知した場合、計測用の物理量計測器をさらに別の第２物理量計測器に切り替える。従って、さらに多くの回数の物理量計測器の切り替えができる。これにより、さらに長期間に亘り物理量の計測ができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に係る物理量計測システムにおいて、前記補正は、前記物理量計測器の切り替えの前後で、先に計測を行っていた前記物理量計測器を基準として、切り替え後の前記物理量計測器の前記出力信号を補正することを特徴とする。
【００１３】
本適用例によれば、補正は物理量計測器の切り替えの前後で、先に計測を行っていた物理量計測器を基準として、切り替え後の物理量計測器の出力信号を補正する。従って、物理量計測器を切り替えた後も、その直前に計測を行っていた物理量計測器と同じ条件で計測できるため、精度よく物理量の計測を続けることができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例に係る物理量計測システムにおいて、前記補正は、少なくとも一つの前記物理量計測器の出力信号の変化量に基づいて補正することを特徴とする。
【００１５】
本適用例によれば、補正は少なくとも一つの前記物理量計測器の出力信号の変化量に基づいて行う。従って、物理量計測器の切り替え時における補正量を精度よく算出することができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例に係る物理量計測システムにおいて、前記補正は、前記物理量計測器同士のエージングばらつき誤差を補正することを特徴とする。
【００１７】
本適用例によれば、補正は前記物理量計測器同士のエージングばらつき誤差を補正する。従って、計測用の物理量計測器を切り替えても、物理量計測器同士のエージングのばらつきから生じる誤差を低減でき、精度よく計測を続けることができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例に係る物理量計測システムにおいて、前記物理量計測器は、着脱可能に取り付けられていることを特徴とする。
【００１９】
本適用例によれば、物理量計測器は物理量計測システムから着脱可能に取り付けられている。従って、搭載された全ての物理量計測器から出力信号の異常を検知した後も、物理量計測システムごと交換することなく物理量計測器を交換するだけでさらに計測を続けることができるため、コストの削減ができる。
【００２０】
［適用例８］上記適用例に係る物理量計測システムにおいて、前記物理量計測器は、振動する振動部を備え、前記振動部の振動周波数の変化により物理量を計測することを特徴とする。
【００２１】
本適用例によれば、物理量計測器は振動する振動部を備え、振動部の振動周波数の変化により物理量を計測する。従って、精度よく物理量の計測ができる。
【００２２】
［適用例９］本適用例に係る物理量計測方法は、第１物理量計測器と第２物理量計測器との出力信号の差に基づいて、前記第１物理量計測器および前記第２物理量計測器の少なくとも一方の補正を行い、且つ、前記第１物理量計測器からの出力信号の異常を検知した場合に、計測を前記第１物理量計測器から前記補正を行った前記第２物理量計測器に切り替えることを特徴とする。
【００２３】
本適用例によれば、第１物理量計測器及び第２物理量計測器を備えているため、初めに計測を行う第１物理量計測器からの出力信号の異常を検知した場合、計測に使用する物理量計測器を第１物理量計測器から第２物理量計測器に切り替えて、物理量の計測を続けることができる。従って、１つしか物理量計測器が備えられていない場合よりも、長期間に亘り物理量の計測ができる。また、物理量計測器の切り替えの前に、一定期間毎に第１物理量計測器と第２物理量計測器との出力信号の差を取得しておき、物理量計測器を切り替えた際に、切り替え前に取得した第１物理量計測器と第２物理量計測器との出力信号の差に基づき、第２物理量計測器を補正してから計測を開始するため、物理量計測器を切り替えた後も、精度よく物理量の計測を続けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施形態１に係る物理量計測システムの概略図。
【図２】実施形態１に係る物理量計測システムの動作フローチャート図。
【図３】物理量計測器の出力周波数のエージング特性の概略図。
【図４】物理量計測器の出力周波数と測定対象の値との関係の概略図。
【図５】実施形態２に係る物理量計測システムの概略図。
【図６】実施形態２に係る物理量計測システムの動作フローチャート図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせしめている。
【００２６】
（実施形態１）
まず、図１を参照して実施形態１に係る物理量計測システム１０の概略構成について説明する。図１は、実施形態１に係る物理量計測システム１０の概略図である。
【００２７】
物理量計測システム１０は、設置箇所における物理量を計測する第１物理量計測器１及び第２物理量計測器２と、第１物理量計測器１と第２物理量計測器２とに電気的に接続され、制御を行う制御部８などから構成されている。第１物理量計測器１と第２物理量計測器２とは、例えば双音叉型の振動部を備えた物理量計測器である。振動部は一定の振動周波数で振動させている。この時、物理量が加わることで振動部に圧縮応力または引っ張り応力が発生する。これにより振動周波数が変化し、この振動周波数の変化から物理量の大きさを計測する。第１物理量計測器１と第２物理量計測器２とは、物理量計測システム１０から着脱可能に取り付けられている。制御部８は、物理量計測器からの出力信号を基にした物理量の算出や、後述する計測用の物理量計測器の切り替えタイミングの制御、第１物理量計測器１及び第２物理量計測器２の少なくとも一方の物理量計測器の補正などを行う。さらに制御部８は内部に図示しない通信部を備えており、この通信部を介して計測した物理量や物理量計測システムの情報などを外部の機器と通信する。
【００２８】
次に、図１及び図２を参照して実施形態１に係る物理量計測システム１０の動作について説明する。図２は、実施形態１に係る物理量計測システム１０の動作フローチャート図である。
【００２９】
物理量計測システム１０は、計測箇所に設置されると、まず、ステップＳ１０１において、第１物理量計測器１によって物理量を計測する。この時、第２物理量計測器２は停止状態である。第１物理量計測器１の出力信号は制御部８に送られ、物理量に換算される。第１物理量計測器１が一定期間、例えば１週間や１ヶ月間、計測を行うと、第２物理量計測器２を一時的に計測状態とする。
次に、ステップＳ１０２において、制御部８が第１物理量計測器１と第２物理量計測器２との出力信号の差を取得し、その値を記憶する。この後、第２物理量計測器２は再び停止状態にする。
次に、ステップＳ１０３において、制御部８が第１物理量計測器１からの出力信号の異常を検知しない場合（Ｎ）、第１物理量計測器１での計測を続ける。なお、出力信号の異常とは、例えば、物理量計測器から出力信号が送られてこない場合や、出力信号の値が急激に変化した場合のことである。その後、再び一定期間が経過すると、第２物理量計測器２を一時的に計測状態とし、制御部８が第１物理量計測器１と第２物理量計測器２との出力信号の差を取得し、その値を記憶する。制御部８が第１物理量計測器１からの出力信号の異常を検知しない限り、上述した第１物理量計測器１による測定と、第１物理量計測器１と第２物理量計測器２との出力信号の差の取得を繰り返し行う。
【００３０】
長期間に亘り第１物理量計測器１が使用されることで、第１物理量計測器１が経年劣化し故障などが発生する可能性がある。故障などが発生すると、制御部８が第１物理量計測器１からの出力信号の異常を検知する。ステップＳ１０３において、制御部８が第１物理量計測器１からの出力信号の異常を検知した場合（Ｙ）、制御部８は第１物理量計測器１を停止状態にすると同時に、第２物理量計測器２を計測状態とし、計測に使用する物理量計測器を切り替える。
その際、ステップＳ１０４において、第１物理量計測器１による計測時に取得していた第１物理量計測器１と第２物理量計測器２との出力信号の差の値に基づいて第２物理量計測器２の補正を行う。
そして、ステップＳ１０５において、第２物理量計測器２での計測を開始する。
その後、ステップＳ１０６において、制御部８が第２物理量計測器２からの出力信号の異常を検知しない限り（Ｎ）、第２物理量計測器２での計測を続ける。制御部８が第２物理量計測器２からの出力信号の異常を検知した場合（Ｙ）、制御部８は通信部を介して外部機器に物理量計測システム１０が計測不能状態となったことを通知して、物理量計測システム１０の動作は終了する。
【００３１】
次に、図３及び図４を参照して物理量計測器の補正方法について説明する。図３は、物理量計測器の出力周波数のエージング特性の概略図である。なお、図３の波形図の横軸は時間ｔを表し、縦軸は出力周波数ｆを表している。また、図３の第２物理量計測器２の波形図の一点鎖線部分は予測値部分を表している。図４は、物理量計測器の出力周波数と測定対象の物理量との関係の概略図である。図４における測定対象の物理量は一例として圧力Ｐとしている。なお、図４の波形図の横軸は圧力Ｐを表し、縦軸は出力周波数ｆを表している。
【００３２】
まず、図３に示すように、第１物理量計測器１と第２物理量計測器２とは、例えば計測状態と停止状態との時間の長さの違いから、エージング特性にばらつきが生じる。これにより生じる出力周波数の差を、物理量計測器を切り替えるまでに第１物理量計測器１と第２物理量計測器２とでｎ回取得するとして、ｎ−１回目の出力周波数の差を取得する時間をｔn-1、ｎ回目の出力信号の差を取得する時間をｔn、物理量計測器を切り替える時間をｔcとする。時間ｔn-1、ｔn、ｔcにおける出力信号の差を、それぞれΔｆn-1、Δｆn、Δｆcとする。
【００３３】
制御部８は、第１物理量計測器１の計測中にｎ回、第１物理量計測器１と第２物理量計測器２との出力周波数の差を一定期間ごとに取得し、それぞれの値を記憶する。物理量計測器の補正は、物理量計測器の切り替えの前後で、先に計測を行っていた物理量計測器を基準として、切り替え後の物理量計測器の補正を行うため、第１物理量計測器１の出力周波数の値から第２物理量計測器２の出力周波数の値を引いて、出力周波数の差を求める。時間ｔcにおいて、制御部８が第１物理量計測器１からの出力信号の異常を検知すると、この時点において予測される出力周波数の差Δｆcを算出する。Δｆcの算出には、例えば、ｎ−１回目に取得した出力周波数の差とｎ回目に取得した出力周波数の差との単位時間当たりの変化量に、最後（ｎ回目）に出力周波数の差を取得した時間から物理量計測器の切り替えまでの時間（ｔc−ｔn）を乗じたものを、ｎ回目に取得した出力周波数の差に加えて算出する。出力周波数の差を取得する間隔をｔs（＝ｔn−ｔn-1）とする。以下にΔｆcの算出式を示す。
Δｆc  ＝  Δｆn＋（Δｆn−Δｆn-1）・（ｔc−ｔn）／ｔs
【００３４】
次に、図４に示すように、時間ｔcにおいて物理量計測システム１０に圧力Ｐcが加わっているとする。時間ｔcにおいて、第１物理量計測器１と第２物理量計測器２とに同じ大きさの圧力が加わっていても、エージング特性のばらつきにより、それぞれの物理量計測器の出力周波数が異なる値となる。この出力周波数の差がΔｆcとなる。第１物理量計測器１から第２物理量計測器２に計測に使用する物理量計測器が切り替えられると、Δｆcの値を第２物理量計測器２の出力周波数に加算する補正を行い、第２物理量計測器２が計測を行う。これにより、物理量計測器の切り替え時に第１物理量計測器１と第２物理量計測器２との出力周波数が異なる場合に、この物理量計測器ごとのエージング特性のばらつきから生じる誤差が補正され、制御部８は第１物理量計測器１による計測時と同じ出力周波数を第２物理量計測器２から検知できる。
【００３５】
以上述べたように、実施形態１に係る物理量計測システム１０によれば、以下の効果を得ることができる。物理量計測システム１０は、第１物理量計測器１と第２物理量計測器２とを備え、制御部８が初めに計測を行う第１物理量計測器１からの出力信号の異常を検知すると、制御部８は計測に使用する物理量計測器を第１物理量計測器１から第２物理量計測器２に切り替えて、物理量の計測を続ける。このため、１つしか物理量計測器が備えられていない場合に比べ、長期間に亘り物理量の計測ができる。また、物理量計測器の切り替えの前に、一定期間毎に第１物理量計測器１と第２物理量計測器２との出力信号の差を取得しておき、物理量計測器を切り替えた際に、切り替え前に取得した第１物理量計測器１と第２物理量計測器２との出力信号の差に基づき第２物理量計測器２を補正してから計測を行うため、物理量計測器を切り替えた後も、エージングのばらつきから生じる誤差を低減でき、精度よく物理量の計測を続けることができる。また、物理量計測器は物理量計測システム１０から着脱可能に取り付けられているため、制御部８が第２物理量計測器２からの出力信号の異常を検知した後も、物理量計測システム１０ごと交換することなく物理量計測器を交換するだけでさらに計測を続けることができるため、コストを削減することができる。
【００３６】
（実施形態２）
次に、図５を参照して実施形態２に係る物理量計測システム１０ａの概略構成について説明する。図５は、実施形態２に係る物理量計測システム１０ａの概略図である。なお、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。
【００３７】
物理量計測システム１０ａは、第１物理量計測器１と、複数の第２物理量計測器としての第２物理量計測器２及び第３物理量計測器３から第ｎ物理量計測器５と、物理量計測器に電気的に接続され、制御を行う制御部８などから構成される。物理量計測器は、最初に計測を行う第１物理量計測器１から最後に計測を行う第ｎ物理量計測器５まで、合計でｎ個（ｎ≧３）の物理量計測器を備えている。ｎ個の物理量計測器はそれぞれ物理量計測システム１０ａから着脱可能に取り付けられている。
【００３８】
次に、図５及び図６を参照して実施形態２に係る物理量計測システム１０ａの動作について説明する。図６は、実施形態２に係る物理量計測システム１０ａの動作フローチャート図である。図６内のｋは物理量計測器の番号を示す。
【００３９】
物理量計測システム１０ａは、計測箇所に設置されると、まず、ステップＳ２０１において、第１物理量計測器１（ｋ＝１）によって計測を行う。第１物理量計測器１により一定期間計測を行うと、制御部８は第１物理量計測器１の次に計測に使用される第２物理量計測器２を一時的に計測状態とする。
次に、ステップＳ２０２において、制御部８が第１物理量計測器１と第２物理量計測器２との出力信号の差を取得し、その値を記憶する。この後、第２物理量計測器２は再び停止状態とする。
その後、ステップＳ２０３において、制御部８が第１物理量計測器１からの出力信号の異常を検知しない場合（Ｎ）、第１物理量計測器１での計測を続ける。その後、再び一定期間が経過すると、第２物理量計測器２を一時的に計測状態とし、制御部８が第１物理量計測器１と第２物理量計測器２との出力信号の差を取得し、その値を記憶する。制御部８が第１物理量計測器１からの出力信号の異常を検知しない限り、上述した第１物理量計測器１による測定と第１物理量計測器１と第２物理量計測器２との出力信号の差の取得とを繰り返し行う。なお、制御部８が第１物理量計測器１からの出力信号の異常を検知した場合（Ｙ）、制御部８は第１物理量計測器１を停止する。
【００４０】
次に、ステップＳ２０４において、制御部８は第２物理量計測器２を計測状態とし、計測に使用する物理量計測器を第２物理量計測器２に切り替える。
その際、ステップＳ２０５において、第１物理量計測器１による計測時に取得していた第１物理量計測器１と第２物理量計測器２との出力信号の差の値に基づいて第２物理量計測器２の補正を行う。
そして、ステップＳ２０６において、第２物理量計測器２での計測を開始する。第２物理量計測器２により一定期間計測を行うと、制御部８は第２物理量計測器２の次に計測に使用する第３物理量計測器３も一時的に計測状態とする。
次に、ステップＳ２０７において、制御部８が第２物理量計測器２と第３物理量計測器３との出力信号の差を取得し、その値を記憶する。この後、第３物理量計測器３は再び停止状態とする。
その後、ステップＳ２０８において、制御部８が第２物理量計測器２からの出力信号の異常を検知しない場合（Ｎ）、第２物理量計測器２での計測を続ける。その後、再び一定期間が経過すると、第３物理量計測器３を一時的に計測状態とし、制御部８が第２物理量計測器２と第３物理量計測器３との出力信号の差を取得し、その値を記憶する。制御部８が第２物理量計測器２からの出力信号の異常を検知しない限り、上述した第２物理量計測器２による測定と第２物理量計測器２と第３物理量計測器３との出力信号の差の取得を繰り返し行う。
次に、ステップＳ２０９において、制御部８が第２物理量計測器２からの出力信号の異常を検知した場合（Ｙ）、まだ計測が可能な物理量計測器が２つ以上残っているため（Ｎ）、計測に使用する物理量計測器を第３物理量計測器３に切り替える。上述したステップＳ２０４からステップＳ２０９までの動作は、図示しない第（ｎ−１）物理量計測器に切り替えるまで続く。
【００４１】
その後、ステップＳ２１０において、長期間に亘り物理量計測システム１０ａで計測を行い、何度も物理量計測器を切り替えることにより、出力信号の異常が検知された物理量計測器が図示しない第（ｎ−１）物理量計測器となった場合（Ｙ）、制御部８は第ｎ物理量計測器５を計測状態とし、計測に使用する物理量計測器を第ｎ物理量計測器５に切り替える。
その際、ステップＳ２１１において、第（ｎ−１）物理量計測器による計測時に取得していた第（ｎ−１）物理量計測器と第ｎ物理量計測器５との出力信号の差の値に基づいて第ｎ物理量計測器５の補正を行う。
そして、ステップＳ２１２において、第ｎ物理量計測器５での計測を開始する。
その後、ステップＳ２１３において、制御部８が第ｎ物理量計測器５からの出力信号の異常を検知しない限り（Ｎ）、第ｎ物理量計測器５での計測を続ける。制御部８が第ｎ物理量計測器５からの出力信号の異常を検知した場合（Ｙ）、制御部８は通信部を介して外部機器に物理量計測システム１０ａが計測不能状態となったことを通知して、物理量計測システム１０ａの動作は終了する。
【００４２】
以上述べたように、実施形態２に係る物理量計測システム１０ａによれば、ｎ（ｎ≧３）個の物理量計測器が備えられているため、実施形態１に係る物理量計測システム１０よりも、さらに多くの回数の物理量計測器の切り替えができる。これにより実施形態１での効果に加えて、さらに長期間に亘り物理量の計測ができるという効果を奏する。
【００４３】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。
【００４４】
上述した実施形態では、物理量計測器は、振動部が備えられ、その振動部の振動周波数の変化から物理量の大きさを計測するものとして説明したが、物理量の変化を計測できればよく、例えば容量変化の検知により物理量を計測するものであってもよい。
【００４５】
上述した実施形態では、物理量計測システム１０，１０ａに備えられた制御部８は１つとして説明したが、複数備えられていてもよく、それぞれの制御部８で、補正の制御、物理量計測器の切り替え制御などを個別に行ってもよい。
【００４６】
上述した実施形態では、物理量計測システム１０，１０ａは物理量計測器と共に制御部８が一体に構成されているとして説明したが、制御部８は分離していてもよく、例えば制御部８は物理量計測器の計測箇所と異なる場所に有り、物理量計測器および制御部８のそれぞれに設けられた通信部を介して制御を行ってもよい。
【００４７】
上述した実施形態では、物理量計測器のエージング特性のばらつきから生じる誤差を補正するとして説明したが、物理量計測器の感度や出力信号の零点の補正を行う手段をさらに備えていてもよい。これにより、物理量計測器を切り替えた際にさらに精度よく計測を行うことができる。
【００４８】
上述した実施形態では、物理量計測システム１０，１０ａは備えられた物理量計測器を１つずつ使用して計測を行うとして説明したが、複数の物理量計測器を使用して計測を行ってもよい。
【００４９】
上述した実施形態では、出力信号の差の取得を行うときのみ、次に計測に使用する物理量計測器を計測状態にするとして説明したが、次に計測に使用する物理量計測器は常に計測状態であってもよい。
【００５０】
上述した実施形態では、補正量の算出において、ｎ−１回目に取得した出力周波数の差とｎ回目に取得した出力周波数の差との単位時間当たりの変化量からΔｆcを予測しているが、物理量計測器の出力周波数の比較を用いればよく、例えば１回目からｎ回目に取得した出力周波数の差の平均から求めた単位時間当たりの変化量を用いてもよい。また、出力周波数を取得する物理量計測器のうち、少なくとも１つの計測器の出力周波数の変化量に基づいて補正してもよい。例えば、第１物理量計測器１での計測中に、一定時間ごとに第２物理量計測器２の出力周波数を取得し、その値から算出した第２物理量計測器２の出力周波数の変化量をａ2とする。また時間ｔcにおいて第１物理量計測器１が出力する周波数をｆc1とすると、補正量Δｆcは、Δｆc＝ｆc1−ａ2・ｔcで算出される。
【００５１】
上述した実施形態では、物理量計測器同士のばらつきから生じる誤差は、エージング特性のばらつきから生じる誤差として説明したが、他のばらつきから生じる誤差であってもよく、例えば、温度特性のばらつきから生じる誤差を補正してもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１…第１物理量計測器、２…第２物理量計測器、３…第３物理量計測器、５…第ｎ物理量計測器、８…制御部、１０，１０ａ…物理量計測システム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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