(57)【要約】【課題】粘着フィルムを張った状態で保持する外枠と内枠を備えたキャリアにおいて、粘着フィルムのずれ及び緩みを防止して、粘着フィルムを確実に保持することを目的とする。又、被保持物をグリップリングに対する所定の位置に確実に保持すること、被保持物の粘着フィルムからの剥離、脱落を防止し、被保持物を確実に保持することことを目的とする。【解決手段】外枠２に形成された開口部２２に内枠８が嵌め込み自在に構成され、保持される粘着フィルム１０が外枠２と内枠８間に縦断面視で２点で挟まれる構成を備えているフィルム固定型キャリア。【選択図】図３
2015122462.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外枠と内枠間に粘着フィルムを挟んで保持するフィルム固定型キャリアであって、前記外枠に形成された開口部に前記内枠が嵌め込み自在に構成され、保持される粘着フィルムが前記外枠と前記内枠間に縦断面視で２点で挟まれて保持されることを特徴とするフィルム固定型キャリア。
【請求項２】
前記外枠の内側周面には凹部が形成され、前記内枠の外側面には、前記外枠の凹部に対応する位置に、前記内枠の外側面から外方向に突出する凸部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項３】
前記内枠の外側面には凹部が形成され、前記外枠の内側周面には、前記内枠の凹部に対応する位置に、前記外枠の内側周面から外方向に突出する凸部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項４】
前記凹部と前記凸部は、縦断面形状が異なり、嵌り合わないことを特徴とする請求項２又は３に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項５】
前記外枠と前記内枠の嵌合時に、保持される粘着フィルムが前記凸部と前記凹部の上端及び下端で挟まれて保持されることを特徴とする請求項２から請求項４のうちいずれか１項に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項６】
前記凸部は縦断面円弧状であり、前記凹部は縦断面四角形であることを特徴とする請求項２から請求項５のうちいずれか１項に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項７】
前記外枠の内側周面又は前記内枠の外側面には、外方向に突出する先端部分の縦断面形状が円弧状の凸部が２個形成され、前記凸部に対向する前記内枠の外側面又は前記外枠の内側周面は平坦に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項８】
前記内枠の外側部又は／及び前記外枠の内側周面部にばね部を備え、前記ばね部は、少なくとも前記外枠と前記内枠間に粘着フィルムを挟んで設置する時に圧縮され、前記凸部又は／及び前記凹部は前記ばね部に形成されていることを特徴とする請求項２から７のうちいずれか１項に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項９】
前記ばね部は、前記内枠の下面に、前記内枠の周囲に亘って形成した縦溝と、前記内枠の外側面及び下面から前記縦溝に達する複数の横溝により、前記内枠の外側部に複数形成されていることを特徴とする請求項８に記載のフィルム固定型キャリア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外枠と内枠を備えたキャリアであって、外枠と内枠が嵌り合い、外枠と内枠間に粘着フィルムを挟みこんで、粘着フィルムを固定し、粘着フィルム上に接着したシリコンウエハ、ＩＣチップその他の物を保持するためのキャリアに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、シリコンウエハやＩＣチップの運搬、保管や製造工程において、シリコンウエハやＩＣチップを保持するために、粘着フィルムとグリップリングが用いられている（例えば、特許文献１参照。）。この粘着フィルムは、エラストマーや合成樹脂製の伸縮性を有するフィルムで、片面に粘着層を有し、粘着層上にシリコンウエハやＩＣチップを貼着し、保持することが出来るものである。
【０００３】
又、グリップリングはアウターリング及びインナーリングで構成される二重リング構造であり、アウターリング及びインナーリングは夫々縦断面形状が四角形のリング状の部材であり、アウターリングの内径とインナーリングの外径は略等しく形成されている。そして、インナーリングの外側面をアウターリングの内側面に対向させて、インナーリングをアウターリングに嵌合させ、インナーリングとアウターリング間に伸縮性のあるフィルムを挟み込むことにより、フィルムを張った状態で保持することが出来るものである。
【０００４】
そして、グリップリングで粘着フィルムを張った状態で保持させ、粘着フィルム上にシリコンウエハやＩＣチップを貼着し、シリコンウエハやＩＣチップを保持させていた。又、グリップリングでシリコンウエハを保持したままＩＣチップの製造工程に使用する為、グリップリングが保持枠に嵌め込まれて用いられていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−３４４３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来のグリップリングは、インナーリング及びアウターリングの縦断面は四角形に形成され、インナーリング及びアウターリングの対向する平面同士で粘着フィルムを挟み、引っ張りながら張って保持する構造であったため、粘着フィルムのずれ及び緩みが生じ易いという問題点があった。
【０００７】
そして、このように粘着フィルムにずれや緩みが生じると、被保持物をグリップリングに対する所定の位置に確実に保持することが出来ず、被保持物の相対的な位置変化が生じるといった問題点や、被保持物の粘着フィルムからの剥離、脱落により被保持物の保持が出来なくなるといった問題点があった。
【０００８】
そこで、本発明は、外枠と内枠で挟んで粘着フィルムを張った状態で保持するキャリアにおいて、粘着フィルムのずれ及び緩みを防止して、粘着フィルムを確実に保持することを目的とする。
【０００９】
又、被保持物をグリップリングに対する所定の位置に確実に保持すること、被保持物の粘着フィルムからの剥離、脱落を防止し、被保持物を確実に保持することを目的とする。
【００１０】
更に、挟み込んで保持する粘着フィルムの厚さの変化に対応が出来、粘着フィルムの厚さが変化した場合であっても粘着フィルムの設置が容易で、且つ粘着フィルムの保持及び張りを確実に行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するための手段としての本発明は、外枠と内枠間に粘着フィルムを挟んで保持するフィルム固定型キャリアであって、前記外枠に形成された開口部に前記内枠が嵌め込み自在に構成され、保持される粘着フィルムが前記外枠と前記内枠間に縦断面視で２点で挟まれて保持されることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【００１２】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記外枠の内側周面には凹部が形成され、前記内枠の外側面には、前記外枠の凹部に対応する位置に、前記内枠の外側面から外方向に突出する凸部が形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【００１３】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記内枠の外側面には凹部が形成され、前記外枠の内側周面には、前記内枠の凹部に対応する位置に、前記外枠の内側周面から外方向に突出する凸部が形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【００１４】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記凹部と前記凸部は、縦断面形状が異なり、嵌り合わないことを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【００１５】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記外枠と前記内枠の嵌合時に、保持される粘着フィルムが前記凸部と前記凹部の上端及び下端で挟まれて保持されることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【００１６】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記凸部は縦断面円弧状であり、前記凹部は縦断面四角形であることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【００１７】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記外枠の内側周面又は前記内枠の外側面には、外方向に突出する先端部分の縦断面形状が円弧状の凸部が２個形成され、前記凸部に対向する前記内枠の外側面又は前記外枠の内側周面は平坦に形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【００１８】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記内枠の外側部又は／及び前記外枠の内側周面部にばね部を備え、前記ばね部は、少なくとも前記外枠と前記内枠間に粘着フィルムを挟んで設置する時に圧縮され、前記凸部又は／及び前記凹部は前記ばね部に形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【００１９】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記ばね部は、前記内枠の下面に、前記内枠の周囲に亘って形成した縦溝と、前記内枠の外側面及び下面から前記縦溝に達する複数の横溝により、前記内枠の外側部に複数形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【発明の効果】
【００２０】
以上のような本発明によれば、外枠と内枠で挟んで粘着フィルムを張った状態で保持するキャリアにおいて、粘着フィルムのずれ及び緩みを防止して、粘着フィルムを確実に保持することが可能となった。
【００２１】
又、被保持物をグリップリングに対する所定の位置に確実に保持すること、被保持物の粘着フィルムからの剥離、脱落を防止し、被保持物を確実に保持することが可能となった。
【００２２】
又、挟み込んで保持する粘着フィルムの厚さの変化に対応が出来、粘着フィルムの厚さが変化した場合であっても粘着フィルムの設置が容易で、且つ粘着フィルムの保持及び張りを確実に行うことが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明キャリアの一実施例の斜視図
【図２】本発明キャリアの一実施例の使用状態平面図
【図３】本発明キャリアの一実施例の分解斜視図
【図４】内枠の一実施例の底面図
【図５】図２Ａ−Ａ断面図
【図６】図５の一部拡大断面図
【図７】本発明キャリアの第二実施例一部拡大断面図
【図８】本発明キャリアの第三実施例の使用状態平面図
【図９】図８Ｂ−Ｂ断面図
【図１０】本発明キャリアの第四実施例の使用状態平面図
【図１１】図１０Ｃ−Ｃ断面図
【図１２】本発明キャリアの実施例の部分拡大断面図
【図１３】本発明キャリアの実施例の部分拡大断面図
【図１４】本発明キャリアの実施例の部分拡大断面図
【図１５】本発明キャリアの第五実施例の使用状態断面図
【図１６】本発明キャリアの第六実施例の使用状態断面図
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下本発明の実施の形態を図を参照して説明する。本発明は、粘着フィルムを張った状態に維持し、粘着フィルム上に被保持物を貼り付けて保持するフィルム固定型のキャリアであり、外枠に形成された開口部に内枠が嵌め込み自在に構成され、保持される粘着フィルムが外枠と内枠間に縦断面視で２点で挟まれる構成を備えている。
【００２５】
即ち、本発明のフィルム固定型のキャリアは、内枠の外側面又は／及び外枠の内側周面に凸部や凹部が形成され、内枠の外側面と外枠の内側周面が粘着フィルムを面で挟まない構成を有している。以下、内枠に凸部が形成された実施の形態を例に説明する。
【００２６】
図１〜図３及び図５に示すように、キャリア１は、外枠２と内枠８を備え、外枠２と内枠８間に粘着フィルム１０を挟んで、外枠２に形成された開口部２２に内枠８が嵌め込み自在に構成され、内枠８には、凸部８２が形成され、キャリア１は、粘着フィルム１０を外枠２と内枠８間において縦断面視で２点で保持する。
【００２７】
尚、このキャリア１の使用範囲は特に限定されず、ＩＣチップの製造工程、電子部品の保管や運搬、電子部品を含む各種部品の検査、生物の調査、塵芥のカウント、細菌の観察、細菌培養の観察、花粉や粉塵の評価、マイクロマシーンの保管等に用いることが出来る。従って、このキャリア１で保持する被保持物は、以下の実施の形態ではシリコンウエハを例に説明するが、特に限定されず、シリコンウエハの他、ＩＣチップ、電子部品、その他の部品、生物、その他の物が含まれる。
【００２８】
外枠２と内枠８の材質は特に限定されないが、合成樹脂が好適に用いられ、特にキャリア１がＩＣチップの製造工程に用いられる場合には、ＩＣチップの製造工程、例えば電極のハンダ付け工程において、要求される耐熱温度を備えた合成樹脂が好ましい。具体例としては、耐熱性が要求されない場合には、耐熱性が低いが、曲げ強度が高いＰＰＳ等を使用すればよく、耐熱性が要求される場合には、１５０℃以上、好ましくは２００℃以上の耐熱性を有する合成樹脂が望ましく、例えばＬＣＰ等を使用すればよい。
【００２９】
外枠２は、平面視正方形の平板状の基部３の上面３１の外周端から、外周に亘って側壁部４が上方に延びて設けられている。又、基部３の外側面３４の下部外周端から、外周に亘って脚部５が下方及び外方に延びて設けられている。又、基部３には、内枠８が嵌め込まれる平面視円形の開口部２２が基部３を貫通して形成されている。そして、開口部２２により形成される、外枠２の内側周面６の上端には、開口部２２の内方に延びる突起６１が開口部２２の周囲に亘って形成され、内側周面６の中間部には、縦断面四角形の凹部６３が開口部２２の周囲に亘って形成されている。
【００３０】
内枠８は、図１〜図５に示すように、平面視で内側及び外側が円形の環状体であり、外枠２に形成された開口部２２に嵌め込むことが可能な大きさ及び形状に形成されている。又、内枠８の外側部８１の上部には外周に亘って段部８８が形成され、外側部８１の中間部であって、後述するばね部９１上には、外枠２の凹部６３に対応する位置に、外側面８９から外方向に突出する縦断面円弧状の凸部８２が内枠８の周囲に亘って形成されている。そして、凸部８２が内枠８の最外側面となり、凸部８２の直径が内枠８の外側面８９の直径となっている。又、凸部８２の高さＬが外枠２の凹部６３の高さＨ以上の長さに形成されている。
【００３１】
このように、外枠２の凹部６３と内枠８の凸部８２は、縦断面形状が異なっており、そのため、外枠２と内枠８の嵌合時には、外枠２の凹部６３と内枠８の凸部８２は嵌り合わず、粘着フィルム１０は、凸部８２と凹部６３の上端６３１及び下端６３２で挟まれて、凸部８２と凹部６３の上端６３１及び下端６３２との縦断面視で２点で押さえつけられて、外枠２と内枠８間に挟まれて保持される。
【００３２】
図５及び図６の断面図に示すように、外枠２と内枠８の嵌合時には、外枠２の突起６１が内枠８の段部８８に挿入されて位置し、突起６１が内枠８の上方への移動を規制し、内枠８が外枠２から上方に外れることを防止している。又、粘着フィルム１０は、外枠２の突起６１と内枠８の段部８８間に挟まれることにより弛まずに張ることが出来る。
【００３３】
又、外枠２の凹部６３の上端６３１及び下端６３２が内枠８の凸部８２と粘着フィルム１０を介して縦断面視で２点で接触し、外枠２の凹部６３の上端６３１及び下端６３２と内枠８の凸部８２間の２点で粘着フィルム１０を挟んで固定している。尚、粘着フィルム１０の破損防止のため、外枠２の凹部６３の上端６３１及び下端６３２の角部には面取りを施すことが好ましい。
【００３４】
又、内枠８は、外側部８１にばね部９１を備えて構成されている。ばね部９１は、内枠８の内方及び外方に移動可能に形成され、外枠２と内枠８間に粘着フィルム１０を挟んで設置する時に、圧縮され、外枠２と内枠８間に挟んだ粘着フィルム１０を外枠２へ押し付ける作用を有している。
【００３５】
内枠８は、粘着フィルム１０を設置しないで外枠２に内枠８を嵌め込んだ平時には、外枠２の内側周面６と内枠８の外側面８９が対向し、ばね部９１上の凸部８２がばね部９１と対向する外枠２の内側周面６と接触するように、或いは、ばね部９１上の凸部８２が外枠２の内側周面６と、挟む粘着フィルム１０の厚さ未満の間隔をもって位置するように形成されている。
【００３６】
即ち、内枠８の外側面８９のばね部９１部分の直径は、外枠２の内側周面６の直径以上の長さ、又は、外枠２の内側周面６の直径より短い長さであって、その差が挟むフィルム１０の厚さの２倍未満の長さに形成されている。
【００３７】
そして、図３〜図６に示す実施の形態では、内枠８は、外側面８９の直径が、外枠２の内側周面６の直径以上の長さに形成されている。そして、内枠８の外側部８１の一部が、横溝８５により円周方向に複数に分割され、内枠８の内方及び外方に移動可能な複数のばね部９１が形成されている。詳しくは、ばね部９１は、内枠８の本体８０の下面８７から上面８３方向に、且つ内枠８の周囲に亘って形成した環状の縦溝８４と、外側面８９及び下面８７から縦溝８４に達する、内枠８の直径方向に形成する複数の横溝８５により、内枠８の外側部８１に複数形成されている。
【００３８】
横溝８５は円周方向に均等の間隔で形成することが好ましい。このような構成とすることで、内枠８は円周方向に亘って均一に収縮、拡張して、粘着フィルム１０を均一に張り、保持することが出来るからである。又、ばね部９１の形成数は特に限定されず、内枠８の大きさや材質等に応じて所定の撓みやすさ及び反発力を備えるような数を形成すればよいが、内枠８の円周上に１個の横溝８５のみを形成して１個のばね部のみ形成する構成でもよい。
【００３９】
又、縦溝８４の高さＰは特に限定されないが、ばね部が撓みやすくするために、内枠８の高さの１／２以上とすることが好ましい。又、横溝８５の高さＲ１は縦溝８４の高さＰと同一に形成するが、横溝８５の高さと縦溝８４の高さを異ならせてもよい。
【００４０】
このような構成であるので、粘着フィルム１０を挟み込んで外枠２に内枠８を嵌め込む際には、凸部８２が外枠２の内側周面６に当接し、ばね部９１は内枠８の内方に移動し一部が縦溝８４内に入り圧縮され、外枠２と内枠８の嵌合時には、ばね部９１は反発力で内枠８の外方に移動し、内枠８の凸部８２の一先端部のみが外枠２の凹部６３に挿入され、外枠２の凹部６３と内枠８の凸部８２は完全には嵌り合わず、粘着フィルム１０は、凸部８２と凹部６３の上端６３１及び下端６３２との縦断面視で２点で押さえ付けられて、外枠２と内枠８間に挟まれて保持される。
【００４１】
粘着フィルム１０をキャリア１に、縦断面視で１点又は面で固定する場合には、張力で張っている粘着フィルム１０が外枠２と内枠８間で滑り、引張に戻りが生じて粘着フィルム１０のずれ及び緩みが生じ、縦断面視で３点で固定する場合には、粘着フィルム１０に均一に圧力をかけることが出来ず粘着フィルム１０が外枠２と内枠８間で滑り、引張に戻りが生じて粘着フィルム１０のずれ及び緩みが生じてしまうが、本発明のように、粘着フィルム１０をキャリア１に、縦断面視で２点で押さえて固定することにより、１点、３点以上又は面で固定する方法に比べて、粘着フィルム１０のずれ及び緩みを抑制し、キャリア１に強固に固定することが可能となっている。同時に外枠２の凹部６３に内枠８の凸部８２の一部が挿入されて、外枠２及び内枠８の結合強度を高めることが可能となっている。
【００４２】
又、ばね部９１で粘着フィルム１０を外枠２に押さえ付けて固定するので、挟み込む粘着フィルム１０の厚さの違いに対応出来、しかも粘着フィルム１０を確実に保持することが可能となっている。又、外枠２と内枠８の相互の着脱、粘着フィルム１０の着脱が容易となり、更に、キャリア１の破損を防止することも出来る。
【００４３】
このように、外枠２に形成された開口部２２の内径と内枠８の外径が略等しく、外枠２の内側に内枠８を粘着フィルム１０を介して嵌め込ませて一体的に固定され、キャリア１が構成される。キャリア１の使用態様の一具体例としては、図２、図３及び図５によく示すように、外枠２に内枠８を嵌め込み、外枠２と内枠８間に上面に粘着層を有すると共に伸縮性を有する粘着フィルム１０を挟み込むことにより、粘着フィルム１０を張った状態で保持し、粘着フィルム１０上に貼着した被保持物の一例としてのシリコンウエハ１１を保持するものである。
【００４４】
図５及び図６の断面図に示すように、粘着フィルム１０をキャリア１へ設置する場合には、図３に示すように、外枠２と内枠８間に粘着フィルム１０を位置させ、内枠８を外枠２の開口部２２へ挿入させて行い、外枠２と内枠８の嵌合時には、外枠２の突起６１が内枠８の段部８８に挿入されて位置し、粘着フィルム１０は、外枠２の突起６１と内枠８の段部８８間に挟まれることにより弛まずに張ることが出来る。尚、内枠８を外枠２の上方から開口部２２に挿入可能な構成とするため等の理由から、外枠２の開口部２２の突起及び内枠８の段部を形成しない構成としてもよい。
【００４５】
キャリア１は、複数個を上下方向に重ねて保管、運搬等の使用をすることも可能である。上下方向に重ねる場合、下段の外枠２の側壁部４の上端４１が、上段の外枠２の下面３３に当接して上段の外枠２を支持する。同時に、下段の外枠２の側壁部４は上段の外枠２の脚部５の内側に挿入され、下段の側壁部４の外側面４２が上段の脚部５の内側面５１と対向し、下段の側壁部４と上段の脚部５が相互に横方向への移動を規制して、下段の外枠２と上段の外枠２とは相互にずれることがない。
【００４６】
外枠２及び内枠８の製造方法としては、特に限定されないが、合成樹脂で成形する場合には、射出成形やトランスファ成形等の溶融させた樹脂を流動させて成形品を成形する方法を用いればよい。
【００４７】
尚、図１〜図３に示す実施形態では、内枠８は環状体であり、内側形状及び外側形状は平面視で円形であるが、内枠８の内側形状は平面視で円形に限定されず、多角形や楕円形等の他の形状としてもよい。
【００４８】
又、図示はしないが、外枠及び内枠は、互いに嵌合可能であれば、外枠の開口部及び内枠の外側形状は平面視で円形に限定されず、キャリアは、外枠の開口部及び内枠の外側形状は平面視で正方形に形成する等、その他の多角形、楕円形等に形成してもよい。
【００４９】
又、外枠２の凹部６３及び内枠８の凸部８２は、夫々外枠２の内側周面６及び内枠８の外側面８９の全周に亘って形成してもよいが、一部にのみ形成してもよい。外枠２の凹部６３を一部にのみ形成する場合には、内枠８の凸部８２は凹部６３に対応する個所のみに形成する。尚、凸部又は凹部はばね部上に設けるが、図７に示すように、ばね部は設けずに構成することとしてもよい。
【００５０】
更に、キャリアの形状として、図８及び図９に示すように、キャリア１００はいわゆるグリップリングの形状とし、外枠１２及び内枠１８を平面視で円形の環状体とし、且つ断面が略四角形であって、外枠１２及び内枠１８を略同一幅、同一高さに形成した構成や、図１０及び図１１に示すように、外枠１０２及び内枠１０８を所定幅を備えた環状の薄板状に形成し、内枠１０８を平面視で円形の環状体且つ断面が四角形とし、外枠１０２は、内周は円形に形成する一方、外形は円形の外側一部を切欠いて直線状の端部７１を形成すると共に角部７２が略円弧状の略正方形状に形成した構成等としてもよい。
【００５１】
又、凸部８２及び凹部６３の形状は、上記形状に限定されず、粘着フィルム１０を縦断面視で２点で挟んで固定できる形状であればよく、図１２に示すように、外枠２の凹部６３及び内枠８の凸部８２の双方の縦断面形状を円弧状とし、凹部６３の円弧の径を凸部８２の円弧の径未満として凸部８２が凹部６３に嵌り込まない構成（ａ）、内枠８の凸部８２を縦断面台形状に形成し、凸部８２の上辺７１を凹部６３の高さＭより短く、底辺７２を凹部６３の高さＭより長く形成し、両側辺７３と凹部６３の上端６３１及び下端６３２との縦断面視で２点で粘着フィルム１０を挟む構成（ｂ）、外枠２に２個の縦断面形状が円弧状の突起２９を形成して、２個の突起２９間に凹部６３を形成し、両突起２９の先端部２９１、即ち凹部６３の上端縁及び下端縁と凸部８２との縦断面視で２点で粘着フィルム１０を挟む構成（ｃ）、外枠２の内側周面６は平坦に形成する一方、内枠８に２個の縦断面形状が円弧状の凸部８０２を形成した構成（ｄ）、外枠２の凹部６３を縦断面四角形に形成する一方、内枠８に２個の縦断面形状が円弧状の凸部８０２を形成し、両凸部８０２の先端部８１２と凹部６３の平坦な底面６０３との縦断面視で２点で粘着フィルム１０を挟む構成（ｅ）等としてもよい。
【００５２】
更に、図１３に示すように、外枠２に凸部、内枠８に凹部を形成する構成でもよい。即ち、内枠８の凹部８６３及び外枠２の凸部２８２の双方の縦断面形状を円弧状とし、凹部８６３の円弧の径を凸部２８２の円弧の径未満とした構成（ａ）、外枠２の凸部２８２を縦断面台形状に形成し、凸部２８２の上辺２７１を内枠８の凹部８６３の高さＧより短く、底辺２７２を凹部８６３の高さＧより長く形成し、両側辺２７３と凹部８６３の上端７７１及び下端７７２との縦断面視で２点で粘着フィルム１０を挟む構成（ｂ）、内枠８に２個の縦断面形状が円弧状の突起８２９を形成して、２個の突起８２９間に凹部８６３を形成し、両突起８２９の先端部７７３、即ち凹部８６３の上端縁及び下端縁と外枠２に形成した凸部２８２との縦断面視で２点で粘着フィルム１０を挟む構成（ｃ）、内枠８の外側面８９は平坦に形成する一方、外枠２に２個の縦断面形状が円弧状の凸部２８８を形成した構成（ｄ）、内枠８の凹部８６３を縦断面四角形に形成する一方、外枠２に２個の縦断面形状が円弧状の凸部２８８を形成し、両凸部２８８の先端部２８９と凹部８６３の平坦な底面８６７との縦断面視で２点で粘着フィルム１０を挟む構成（ｅ）等としてもよい。
【００５３】
更に、図１４に示すように、外枠２の内側周面６及び内枠８の外側面８９の双方に夫々対向しない位置に凸部７７を形成し、凸部７７に対向する内側周面６及び内枠８の部分は平坦に形成し、凸部７７の先端部７７７と該平坦部との縦断面視で２点で粘着フィルム１０を挟む構成としてもよい。
【００５４】
又、上述の図１２〜図１４の実施例においては、ばね部が図示及び説明されていないが、これらの実施例においては、凹部又は／及び凸部はばね部上に形成しなくてもよいが、ばね部上に形成することが好ましい。又、平坦面と対応する凸部の縦断面形状は、先端部分が面でなければ円弧状以外でもよいが、少なくとも先端部分の縦断面形状は円弧状が好ましい。
【００５５】
又、ばね部９１は、上述のような構成に限定されず、図示はしないが、上述のような構成の縦溝８４に替えて、内枠８の上面８３から下面８７方向に、且つ内枠８の周囲に亘って形成した縦溝と外側面８９及び上面８３から縦溝に達する複数の横溝８５により形成してもよい。
【００５６】
更に、ばね部は、横溝を形成せずに、内枠８の全周に亘って内枠８の下面８７から上面８３方向に形成した又は上面８３から下面８７方向に形成した縦溝のみにより１個のみを環状に形成してもよい。又、ばね部は、外側面８９から内枠８の直径方向に形成した複数の横溝８５のみで形成することとしてもよい。このような構成の場合、ばね部９１１は、内枠８の直径方向につぶれたり、横溝８５内に移動したりすることにより圧縮されてばねとして作用することが出来る。ばね又、この構成の横溝８５は、内枠８の下面８７及び上面８３の一方の面から他方の面に達してもよいが達しなくてもよい。
【００５７】
又、横溝は内枠８の直径方向に形成する構成に限定されず、内枠８の直径方向と交差する方向に形成することが出来る。この場合、ばね部は斜めの横溝内、即ち内枠８の内方に移動し圧縮されたりすることによりばねとして作用することが出来る。又、横溝の側面は直線状に形成するが、湾曲させると共に、対向する側面は縮径させて半三日月型に形成してもよい。
【００５８】
又、図１５に示すように、キャリア１１１は、内枠８００にはばね部を設けずに、外枠２００の内側面部２３１に、少なくとも外枠２００と内枠８００間に粘着フィルム１０を挟んで設置する時に圧縮されるばね部９００を形成した構成としてもよい。そして、外枠２００の内側面部２３１のばね部９００上には凸部８２０を形成すると共に、外枠２００の下面２７０から上面２８０方向に、且つ外枠２００の周囲に亘って形成した環状の縦溝８４０或いは更に縦溝８４０に達する、内枠８の直径方向に形成する複数の横溝（図示せず）を形成し、又、内枠８００の外側部８１０には凹部６３０を形成し、内枠８００の凹部６３０の上端６３９及び下端６３８が外枠２００の凸部８２０と粘着フィルム１０を挟んで縦断面視で２点で接触するよう形成し、外枠２００の凸部８２０と内枠８００の凹部６３０の上端６３９及び下端６３８との間の２点で粘着フィルム１０を挟んで固定する構成としてもよい。
【００５９】
又、図１６に示すように、キャリア１１２は、内枠８０７の外側部８１０にばね部９１７を設け、ばね部９１７上であって、外側面８１７、即ちばね部９１７の外側面に、凹部６３７を形成すると共に、外枠２０１の内側周面６に内枠８０７方向に突出する凸部８２７を形成し、内枠８０７の凹部６３７の上端７８１及び下端７８２が外枠２０７の凸部８２７と粘着フィルム１０を挟んで縦断面視で２点で接触するよう形成し、外枠２０７の凸部８２７と内枠８０７の凹部６３７の上端７８１及び下端７８２との間の縦断面視で２点で粘着フィルム１０を挟んで固定する構成としてもよい。
【００６０】
更に、キャリアは、図示はしないが、外枠の内側面部及び内枠の外側部の双方にばね部を形成し、ばね部には凸部又は凹部を形成した構成としてもよい。この場合、一方の枠に形成したばね部に形成した凸部は他方の枠の凹部に対向し、一方の枠に形成したばね部に形成した凹部は他方の枠の凸部に対向して形成する。そして、外枠の内側面部及び内枠の外側部の夫々に形成したばね部同士が対向してもよいがしなくてもよい。
【００６１】
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されず、上記の実施の形態を適宜組み合わせて構成したものも含むものである。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
以上のような本発明は、ＩＣチップの製造工程に好適に用いることが出来、特に高耐熱性を有することにより、シリコンウエハの保管及び運搬からＩＣチップの製造工程まで一貫して同じ保持容器で保持できるので好適に用いることが出来る。又、被保持物が限定されず、電子部品のみならず生物、微生物まで保持することが出来、理化学の分野においても使用することが出来る。
【符号の説明】
【００６３】
１      キャリア
１０    粘着フィルム
１１    シリコンウエハ
１１１  キャリア
１１２  キャリア
２      外枠
２２    開口部
３      基部
３１    上面
３４    外側面
４      側壁部
４１    上端
４２    外側面
５      脚部
５１    内側面
６      内側周面
６１    突起
６３    凹部
６３１  凹部の上端
６３２  凹部の下端
８      内枠
８０    本体
８１    外側部
８２    凸部
８３    上面
８４    縦溝
８５    横溝
８７    下面
８８    段部
８９    外側面
９１    ばね部
９００  ばね部
９１７  ばね部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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