(57)【要約】【課題】複数のフィルタを備えたクリーンブース等の設備においても、各フィルタに対して正確なリーク検査を他のフィルタを汚染させることなく行えるとともに、フォトメータによる計測にも好適なフィルタ検査治具を提供する。【解決手段】中空部１４ａを有する中空フレーム１４と連結フレーム１５によって四角形枠状に形成され、各フィルタ１の外周枠１ａに気密に装着される枠体１１と、中空フレーム１４に設けられ、中空部１４ａに検査用粒子を注入する注入部１２と、中空フレーム１４に設けられ、中空部１４ａに注入された検査用粒子を、枠体１１の内側に放出する複数の放出部１３とを備えているので、複数のフィルタを備えたクリーンブース等の設備においても、各フィルタに対して正確なリーク検査を他のフィルタを汚染させることなく行えるとともに、フォトメータによる計測も容易に行える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のフィルタを有する設備のフィルタリーク検査に使用されるフィルタ検査治具であって、
四角形枠状に形成され、かつ内部の少なくとも一部が中空部となっており、前記各フィルタの外周枠に気密に装着される枠体と、
当該枠体に設けられ、前記中空部に検査用粒子を注入する注入部と、
前記枠体に設けられ、前記中空部に注入された検査用粒子を、前記枠体の内側に放出する複数の放出部とを備えていることを特徴とするフィルタ検査治具。
【請求項２】
複数のフィルタを有する設備のフィルタリーク検査に使用されるフィルタ検査治具であって、
四角形枠状に形成され、かつ内部の少なくとも一部が中空部となっており、前記各フィルタの外周枠を含む枠体と、
当該枠体に設けられ、前記中空部に検査用粒子を注入する注入部と、
前記枠体に設けられ、前記中空部に注入された検査用粒子を、前記枠体の内側に放出する複数の放出部とを備えていることを特徴とするフィルタ検査治具。
【請求項３】
前記枠体が、断面四角形状で内部に前記中空部を有しかつ端面が閉塞され、平行離間して配置された一対の中空フレームと、当該一対の中空フレームの端部どうしを連結する一対の連結フレームとを備え、
前記一対の中空フレームの前記枠体の外側を向く側壁に前記注入部が設けられ、
前記一対の中空フレームの前記枠体の内側を向く側壁に前記放出部が前記中空フレームの長さ方向に沿って所定間隔で複数設けられていることを特徴とする請求項１に記載のリーク検査治具。
【請求項４】
前記枠体に当該枠体の内側の検査用粒子の濃度を計測するための濃度検査部が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のリーク検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム、クリーンブース等の設備に複数設けられるＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等のフィルタのリーク検査に使用されるフィルタ検査治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばクリーンルームやクリーンブースで使用するＨＥＰＡフィルタについては、損傷によるリークやピンホールによるリークがないことを確認するために、クリーンルームやクリーンブースの完成以降、定期的にリーク検査が行われる。従来は、ＨＥＰＡフィルタ上流側に、負荷粒子（ＰＡＯ、ＤＯＰ等の検査用粒子）を導入するとともに、パーティクルカウンタやフォトメータを用い、その吸引プローブによりＨＥＰＡフィルタ出側面を自動または手動で走査し、フィルタ出側面全域について清浄化気体のサンプリングを行うことによって、リークを検査していた（例えば、特許文献１参照）
【０００３】
このような従来のリーク検査では、例えば図９に示すように、複数枚のＨＥＰＡフィルタ１が装着された空気清浄装置の場合、負荷粒子発生器２からの負荷粒子（検査用粒子）を１台の送風機３に吸い込ませ、ＨＥＰＡフィルタ１の上流側、すなわちＨＥＰＡフィルタ１に対する共通の一次側チャンバ４に供給拡散し、ＨＥＰＡフィルタ１の出側面をパーティクルカウンタやフォトメータで走査している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１４５３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、従来のリーク検査では、共通の一次側チャンバ内の気流は複雑な乱流（渦流）を形成しているため、各ＨＥＰＡフィルタに対し、負荷粒子（検査用粒子）の濃度が安定せず、また１枚のフィルタに対しても濃度分布に偏りが生じ易かったため、正確なリーク検査が行い難かった。
また、共通の一次側チャンバのため、１枚のＨＥＰＡフィルタに対するリーク検査時に、対象外の他のＨＥＰＡフィルタに負荷粒子が流れ込むために、他のＨＥＰＡフィルタに対して必要以上の汚染をさせていた。
さらに、共通の一次側チャンバの容積が比較的大きくなるため、一次側チャンバ内において、フォトメータで計測可能となる負荷粒子濃度まで上げることが困難であり、フォトメータによる計測には不向きであった。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、複数のフィルタを備えたクリーンブース等の設備においても、各フィルタに対して正確なリーク検査を他のフィルタを汚染させることなく行えるとともに、フォトメータによる計測にも好適なフィルタ検査治具を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明の請求項１に係るフィルタ検査治具は、複数のフィルタを有する設備のフィルタリーク検査に使用されるフィルタ検査治具であって、
四角形枠状に形成され、かつ内部の少なくとも一部が中空部となっており、前記各フィルタの外周枠に気密に装着される枠体と、
当該枠体に設けられ、前記中空部に検査用粒子を注入する注入部と、
前記枠体に設けられ、前記中空部に注入された検査用粒子を、前記枠体の内側に放出する複数の放出部とを備えていることを特徴とする。
【０００８】
本発明においては、フィルタの外周枠に気密に装着された枠体の中空部に注入部から検査用粒子が注入され、当該検査用粒子が複数の放出部から枠体の内側に放出されるので、枠体の内側が一次側チャンバとなり、この一次側チャンバにおいて、各フィルタに対し、検査用粒子の濃度分布が極めて均一となるとともに、当該一次側チャンバは従来と異なり共通の一次側チャンバではなく、専用の一次側チャンバであるため、各フィルタに対するリーク検査時に、対象外の他のフィルタに検査用粒子が流れ込むことがない。
したがって、複数のフィルタを備えたクリーンブース等の設備においても、各フィルタに対して正確なリーク検査を他のフィルタを汚染させることなく行える。
また、一次側チャンバの容積は各フィルタに対応して比較的小さくなるため、一次側チャンバの検査用粒子濃度を極めて高濃度とすることが可能となる。したがって、フォトメーターでリーク検査が可能となる。
さらに、枠体がフィルタの外周枠に気密に装着されるので、複数のフィルタを有する既存のクリーンブース等の設備に対しても、フィルタに容易に装着して、リーク検査を行える。
加えて、リーク検査の完了後に中空部内に残存する検査用粒子を排出し清浄化するために、検査完了後には、注入部より清浄空気を圧入することでクリーニングが可能となる。
【０００９】
また、本発明の請求項２に係るフィルタ検査治具は、複数のフィルタを有する設備のフィルタリーク検査に使用されるフィルタ検査治具であって、
四角形枠状に形成され、かつ内部の少なくとも一部が中空部となっており、前記各フィルタの外周枠を含む枠体と、
当該枠体に設けられ、前記中空部に検査用粒子を注入する注入部と、
前記枠体に設けられ、前記中空部に注入された検査用粒子を、前記枠体の内側に放出する複数の放出部とを備えていることを特徴とする。
【００１０】
本発明においては、フィルタの外周枠を含む枠体の中空部に注入部から検査用粒子が注入され、当該検査用粒子が複数の放出部から枠体の内側に放出されるので、枠体の内側が一次側チャンバとなり、この一次側チャンバにおいて、各フィルタに対し、検査用粒子の濃度分布が極めて均一となるとともに、当該一次側チャンバは従来と異なり共通の一次側チャンバではなく、専用の一次側チャンバであるため、各フィルタに対するリーク検査時に、対象外の他のフィルタに検査用粒子が流れ込むことがない。
したがって、複数のフィルタを備えたクリーンブース等の設備においても、各フィルタに対して正確なリーク検査を他のフィルタを汚染させることなく行える。
また、一次側チャンバの容積は各フィルタに対応して比較的小さくなるため、一次側チャンバの検査用粒子濃度を極めて高濃度とすることが可能となる。したがって、フォトメーターでリーク検査が可能となる。
さらに、フィルタ検査治具の枠体がフィルタの外周枠を含んでおり、検査治具とフィルタとが一体的なものとなるので、請求項１のフィルタ検査治具と異なり、各フィルタの外周枠に枠体を気密に装着する必要がないので、クリーンブース等の設備への取付けが容易となるとともに、コストを抑えることもできる。
加えて、リーク検査の完了後に中空部内に残存する検査用粒子を排出し清浄化するために、検査完了後には、注入部より清浄空気を圧入することでクリーニングが可能となる。
【００１１】
本発明の前記構成において、前記枠体が、断面四角形状で内部に前記中空部を有しかつ端面が閉塞され、平行離間して配置された一対の中空フレームと、当該一対の中空フレームの端部どうしを連結する一対の連結フレームとを備え、
前記一対の中空フレームの前記枠体の外側を向く側壁に前記注入部が設けられ、
前記一対の中空フレームの前記枠体の内側を向く側壁に前記放出部が前記中空フレームの長さ方向に沿って所定間隔で複数設けられていてもよい。
【００１２】
このような構成によれば、中空フレームと連結フレームの長さを適宜調整することによって、枠体の形状・大きさをフィルタの外周枠の形状・大きさに合わせることができる。
また、放出部が前記中空フレームの長さ方向に沿って所定間隔で複数設けられているので、当該放出部から枠体の内側に放出された検査用粒子の濃度分布を容易に均一とすることができる。
【００１３】
また、本発明の前記構成において、前記枠体に当該枠体の内側の検査用粒子の濃度を計測するための濃度検査部が設けられていてもよい。
【００１４】
このような構成によれば、枠体の内側が所定の検査用粒子濃度となったことを濃度検査部によって容易に確認でき、この確認後にリーク検査を実施できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、複数のフィルタを備えたクリーンブース等の設備においても、各フィルタに対して正確なリーク検査を他のフィルタを汚染させることなく行えるとともに、フォトメーターでリーク検査が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係るフィルタ検査治具の第１の実施の形態を示すもので、その分解斜視図である。
【図２】同、フィルタ検査治具の斜視図である。
【図３】同、フィルタ検査治具の横断面図である。
【図４】同、複数のフィルタ検査治具を取り付けた状態を示す横断面図である。
【図５】本発明に係るフィルタ検査治具の第２の実施の形態を示すもので、その横断面図である。
【図６】同、フィルタ検査治具の側断面図である。
【図７】本発明に係るフィルタ検査治具の第３の実施の形態を示すもので、その斜視図である。
【図８】同、フィルタ検査治具の横断面図である。
【図９】従来のリーク検査方法を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
（第１の実施の形態）
図１〜図３は本発明に係るフィルタ検査治具１０の第１の実施の形態を示すもので、図１は分解斜視図、図２は斜視図、図３は横断面図である。
【００１８】
これらの図に示すフィルタ検査治具１は、複数のフィルタを有するクリーンブース等の設備のフィルタリーク検査に使用されるものであり、枠体１１と、注入部１２と、放出部１３とを備えている。
枠体１１は、一対の中空フレーム１４，１４と、当該一対の中空フレーム１４，１４の端部どうしを連結する一対の連結フレーム１５，１５とで構成されており、全体として矩形枠状（四角形枠状）に形成されている。
中空フレーム１４は、アルミ等の金属で形成された角パイプで構成されており、当該角パイプの両端開口は閉塞されている。このような中空フレーム１４には、図３に示すように、断面矩形の中空部１４ａが中空フレーム１４の長手方向（図３において紙面と直交する方向）に延在するようにして設けられている。
【００１９】
中空フレーム１４の枠体１１の外側を向く側壁に前記注入部１２が設けられている。この注入部１２は、中空部にＰＡＯ等の負荷粒子（検査用粒子）を注入するためのもので、注入パイプ１２ａの先端部を前記側壁に形成された孔１２ｂに挿通することによって構成されている。孔１２ｂは前記側壁の端部でかつ下部に１個形成されているが、この孔１２ｂの位置および個数はこれに限ることはなく、孔１２が複数ある場合は各孔１２にそれぞれ注入パイプ１２ａの先端部を挿通する。また、注入パイプ１２ａの基端部は、図示しない負荷粒子発生器に接続されている。
また、前記中空フレーム１４の枠体１１の内側を向く側壁に前記放出部１３が複数設けられている。この放出部１３は、中空部１４ａに注入された負荷粒子を、枠体１１の内側に放出するためのもので、円形の孔１３によって構成されている。孔１３は、前記側壁の上縁部に当該側壁の長辺方向（中空フレーム１４の長さ方向）に沿って所定間隔で複数設けられており、前記中空部１４ａに注入された負荷粒子は孔１３から枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）に向けて放出（噴霧）されるようになっている。
【００２０】
前記連結フレーム１５は一対の中空フレーム１４，１４の端部どうしを連結するものであり、その両端部の内側を向く側面に、中空フレーム１４の端面が接合されている。連結フレーム１５は、中空フレーム１４と同様に内部が中空のものであってもよいし、中実なものであってもよい。また、連結フレーム１５の上下方向の寸法は、中空フレーム１４の上下方向の寸法と等しくなっている。
また、一対の連結フレーム１５，１５のうち、一方の連結フレーム１５には、枠体１１の内側における負荷粒子の濃度を計測するための濃度検査部１６が設けられている。この濃度検査部１６は、パーティクルカウンタやフォトメータの吸引プローブ１６ａを連結フレーム１５に形成された貫通孔に挿通して、枠体１１の内側に配置することによって構成されている。
【００２１】
このような構成のフィルタ検査治具１０は、図３および図４に示すように、クリーンルームやクリーンブースの天井に縦横に設けられているフィルタ受けフレーム１８に固定される。具体的には、フィルタ受けフレーム１８の下面に、フィルタ検査治具１０の枠体１１の上面が固定され、その固定部の周囲が空気漏れの無きようにシール処理される。
また、フィルタ検査治具１０の下方に、ＨＥＰＡフィルタ１が配置され、その外周枠１ａの上面が、フィルタ検査治具１０の枠体１１の下面にパッキン材１９を介して気密に接合される。
さらに、フィルタ受けフレーム１８の上面に、多数の貫通孔を有する多孔板２０が設置されることによって、ＨＥＰＡフィルタ１の上流側（一次側）、つまり、ＨＥＰＡフィルタ１の上方でかつ枠体１１の内側に、一次側チャンバ２１が形成される。
このようにして、クリーンルームやクリーンブースの天井に設けられる全てのＨＥＰＡフィルタ１に対して、それぞれフィルタ検査治具１０が装着される（図４参照）。
【００２２】
そして、フィルタ１のリーク検査時には、各フィルタ検査治具１０の注入部１２から中空フレーム１４の中空部１４ａに負荷粒子（検査用粒子）を所定の圧力で注入する。すると、中空部１４ａに充満した負荷粒子が複数の前記放出部１３から枠体１１の内側、すなわち一次側チャンバ２１に噴霧される。
一方、前記多孔板２０の上方から一次側チャンバ２１に向けて所定の圧力で空気を送風する。この空気送風の圧力は、負荷粒子が放出部１３から放出（噴霧）される際の圧力に比して十分に大きいものとなっている。このため、一次側チャンバ２１に噴霧された負荷粒子が多孔板２０を抜けて外部に漏洩することはない。
【００２３】
一次側チャンバ２１内の負荷粒子の濃度が所定の負荷粒子濃度になったことを、前記濃度検査部１６によって計測して確認した後、リーク検査を行う。
このリーク検査は、パーティクルカウンタやフォトメータを用い、その吸引プローブによりＨＥＰＡフィルタ１の出側面等を走査することにより行う。つまり、ＨＥＰＡフィルタ１のろ材部を通過する清浄空気が性能通りの負荷粒子の捕集効率であることや、ＨＥＰＡフィルタ１とフィルタ検査治具１０とのパッキン接合部（パッキン材１９を介した接合部）における負荷粒子の漏洩の有無を検査する。
リーク検査の完了後は、中空フレーム１４の中空部１４ａ内に残存する負荷粒子（検査用粒子）を排出し清浄化するために、検査完了後には、注入部１２より清浄空気を圧入することでクリーニングを行う。
【００２４】
このように本実施の形態では、ＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａにフィルタ検査治具１０の枠体１１が気密に装着され、当該枠体１１の中空部１４ａに注入部１２から負荷粒子が注入され、当該負荷粒子が複数の放出部から枠体の内側に放出されるので、枠体１１の内側が一次側チャンバ２１となる。そして、この一次側チャンバ２１において、各ＨＥＰＡフィルタ１に対し、負荷粒子の濃度分布が極めて均一となるとともに、当該一次側チャンバ２１は従来と異なり共通の一次側チャンバではなく、専用の一次側チャンバ２１であるため、各ＨＥＰＡフィルタ１に対するリーク検査時に、対象外の他のＨＥＰＡフィルタ１に負荷粒子が流れ込むことがない。
したがって、複数のＨＥＰＡフィルタ１を備えたクリーンブース等の設備においても、各ＨＥＰＡフィルタ１に対して正確なリーク検査を他のＨＥＰＡフィルタ１を汚染させることなく行える。
また、一次側チャンバ２１の容積は各ＨＥＰＡフィルタ１に対応して比較的小さくなるため、一次側チャンバ２１の負荷粒子濃度を極めて高濃度とすることが可能となる。したがって、フォトメーターでリーク検査が可能となる。
さらに、フィルタ検査治具１０の枠体１１がＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａに気密に装着されるので、複数のＨＥＰＡフィルタ１を有する既存のクリーンブース等の設備に対しても容易に各ＨＥＰＡフィルタ１に装着して、リーク検査を行える。
【００２５】
また、枠体１１が一対の中空フレーム１４，１４と、当該一対の中空フレーム１４，１４の端部どうしを連結する一対の連結フレーム１５，１５とを備えているので、中空フレーム１４と連結フレーム１５の長さを適宜調整することによって、枠体１１の形状・大きさをＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａの形状・大きさに合わせることができる。
また、放出部１３が中空フレーム１４の長さ方向に沿って所定間隔で複数設けられているので、当該放出部１３から枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）に放出された負荷粒子の濃度分布を容易に均一とすることができる。
加えて、枠体１１の連結フレーム１５に当該枠体１１の内側の検査用粒子の濃度を計測するための濃度検査部１６が設けられているので、枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）が所定の負荷粒子濃度となったことを濃度検査部１６によって容易に確認でき、この確認後にリーク検査を実施できる。
また、リーク検査の完了後に中空部１４ａ内に残存する負荷粒子を排出し清浄化するために、検査完了後には、注入部１２より清浄空気を圧入することでクリーニングが可能となる。
【００２６】
（第２の実施の形態）
図５および図６は本発明に係るフィルタ検査治具の第２の実施の形態を示すもので、図５は横断面図、図６は側断面図である。
本実施の形態におけるフィルタ検査治具３０は、図１〜図３に示すフィルタ検査治具１０より、中空フレーム１４および連結フレーム１５が長くなって、枠体１１が大型化した場合に好適な例である。
なお、本実施の形態では、第１の実施の形態におけるフィルタ検査治具１０より枠体１１が大型化しているが、枠体１１の基本構成は同様であるので、当該枠体１１を構成する中空フレームおよび連結フレームには同一符号を付して、その説明を省略ないし簡略化する。
【００２７】
本実施の形態では、枠体１１が大型化しているために、枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）の負荷粒子の濃度分布の均一性が低下する可能性がある。これを防止するため、平行離間して配置された中空フレーム１４，１４間の中央部に、当該中空フレーム１４と平行に延びる供給パイプ２５が設けられている。
供給パイプ２５は、中空フレーム１４に設けられた放出部１３とほぼ等しい高さに配置されており、当該供給パイプ２５は一方の連結フレーム１５を貫通して、枠体１１の内側に配置され、先端部は他方の連結フレーム１５に固定されている。また、供給パイプ２５は、一方の連結フレーム１５から外部に延出され、その基端部は、図示しない負荷粒子発生器に接続されている。
供給パイプ２５には、放出孔が供給パイプ２５の長さ方向に沿って所定間隔で複数設けられており、供給パイプ２５によって負荷粒子が枠体１１の内側まで供給され、放出孔から枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）に放出（噴霧）されるようになっている。なお、供給パイプ２５にはコック２５ａが設けられており、供給パイプ２５に供給する負荷粒子の量を調整可能となっている。
【００２８】
本実施の形態によれば、前記第１の実施の形態と同様の効果を得ることができるのは勿論のこと、枠体１１の中央部に供給パイプ２５が設けられているので、当該供給パイプ２５の放出孔から負荷粒子を枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）に噴霧することができる。したがって、枠体１１が大型化した場合でも、枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）の負荷粒子の濃度分布の均一性を確保できる。
なお、本実施の形態では、供給パイプ２５を１本設けたが、枠体１１がさらに大型化した場合、供給パイプ２５を２本以上設けてもよい。
【００２９】
（第３の実施の形態）
図７および図８は本発明に係るフィルタ検査治具の第３の実施の形態を示すもので、図７は斜視図、図８は横断面図である。
本実施の形態におけるフィルタ検査治具４０が、前記第１の実施の形態におけるフィルタ検査治具１０と異なる点は、枠体の構成であり、その他の構成は第１の実施の形態と同様であるので、同一構成部分には同一符号を付してその説明を省略ないし簡略化する。
【００３０】
本実施の形態におけるフィルタ検査治具４０は、枠体４１と、注入部１２と、放出部１３とを備えている。
枠体４１は、一対の中空フレーム４４，４４と、当該一対の中空フレーム４４，４４の端部どうしを連結する一対の連結フレーム４５，４５とで構成されており、全体として矩形枠状（四角形枠状）に形成されている。中空フレーム４４および連結フレーム４５は、前記中空フレーム１４および連結フレーム１５と左右の長さおよび厚さは同一であるが、上下方向の寸法が中空フレーム１４および連結フレーム１５より長くなっている。このため、枠体４１は枠体１１に比べ高さが高くなっている。
中空フレーム４４は、アルミ等の金属で形成された角パイプで構成されており、当該角パイプの両端開口は閉塞されている。このような中空フレーム４４には、断面矩形の中空部４４ａが中空フレーム４４の長手方向に延在するようにして設けられている。
【００３１】
中空フレーム４４の枠体４１の外側を向く側壁に注入部１２が設けられている。
また、中空フレーム１４の枠体１１の内側を向く側壁の上縁部に放出部１３が、当該側壁の長辺方向（中空フレーム４４の長さ方向）に沿って所定間隔で複数設けられている。
【００３２】
前記連結フレーム４５は一対の中空フレーム４４，４４の端部どうしを連結するものであり、その両端部の内側を向く側面に、中空フレーム４４の端面が接合されている。連結フレーム４５は、中空フレーム４４と同様に内部が中空のものであってもよいし、中実なものであってもよい。
また、一方の連結フレーム４５には、枠体４１の内側の負荷粒子の濃度を計測するための濃度検査部１６が設けられている。
【００３３】
このような枠体４１は、ＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａを含んでいる。すなわち、当該枠体４１の下部が、ＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａとなっている。この外周枠１ａにＨＥＰＡフィルタ１のろ材部１ｂが取り付けられている。
【００３４】
本実施の形態のフィルタ検査治具４０は、第１の実施の形態のフィルタ検査治具１０と同様に、クリーンルームやクリーンブースの天井に縦横に設けられているフィルタ受けフレーム１８に固定される。
この場合、予めフィルタ検査治具４０の枠体４１の下部の外周枠１ａに、ＨＥＰＡフィルタ１のろ材部１ｂを取り付けておく。
また、フィルタ受けフレーム１８の上面に、多数の貫通孔を有する多孔板２０を設置することによって、ＨＥＰＡフィルタ１の上流側（一次側）に一次側チャンバ２１を形成する。
そして、クリーンルームやクリーンブースの天井において、複数のフィルタ検査治具４０を設けることによって、複数のＨＥＰＡフィルタ１を設ける。
【００３５】
ＨＥＰＡフィルタ１のリーク検査は、前記第１の実施の形態と同様にして行う。
本実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができるのは勿論のこと、フィルタ検査治具４０の枠体４１の下部がＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａとなっており、検査治具４０とＨＥＰＡフィルタ１とが一体的なものとなるので、第１の実施の形態のフィルタ検査治具１０と異なり、各ＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａに枠体を気密に装着する必要がないので、クリーンブース等の設備への取付けが容易となるとともに、コストを抑えることもできる。
【００３６】
なお、前記第１の実施の形態〜第３の実施の形態では、枠体１１，４４を一対の中空フレーム１４と一対の連結フレームとによって四角形枠状に形成したが、当該枠体１１，４４は、四角形枠状であれば、どのような構成であってもよい。例えば、１本の角パイプを四角形枠状に折曲し、端部どうしを接合することによって構成してもよい。
また、中空部は枠体の内部の少なくとも一部に存在していればよいが、注入部１２および放出部１３は中空部に面する枠体の壁部に設ける必要がある。
【符号の説明】
【００３７】
１  ＨＥＰＡフィルタ（フィルタ）
１ａ  外周枠
１０，３０，４０  フィルタ検査治具
１１，４１  枠体
１２  注入部
１３  放出部
１４，４４  中空フレーム
１４ａ，４４ａ  中空部
１５，４５  連結フレーム
１６  濃度検査部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2015034763.tif 000007
【図６】
2015034763.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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