(57)【要約】【課題】被印刷物を有効に吸引固定することが可能な、スクリーン印刷機のテーブルユニット用の多孔質テーブルを提供する。【解決手段】スクリーン印刷機のテーブルユニットに使用される多孔質テーブルであって、上部に被印刷物が配置される第１の表面を有し、該第１の表面は、所定のパターンで配置された膜を有することを特徴とする多孔質テーブル。【選択図】図３
2015147353.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーン印刷機のテーブルユニットに使用される多孔質テーブルであって、
上部に被印刷物が配置される第１の表面を有し、
該第１の表面は、所定のパターンで配置された膜を有することを特徴とする多孔質テーブル。
【請求項２】
前記膜は、樹脂またはゴムで構成され、さらに任意で、ガラス、金属、および／またはセラミックを含むことを特徴とする請求項１に記載の多孔質テーブル。
【請求項３】
前記膜は、１０ｎｍ〜１００μｍの厚さを有することを特徴とする請求項１または２に記載の多孔質テーブル。
【請求項４】
前記膜は、平面視、額縁状の形態を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一つに記載の多孔質テーブル。
【請求項５】
前記膜は、スクリーン印刷膜であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一つに記載の多孔質テーブル。
【請求項６】
当該多孔質テーブルは、前記第１の表面を構成する多孔質部材を有し、
前記第１の表面と前記膜の間において、前記多孔質部材のポアは、前記膜で充填されていないことを特徴とする請求項５に記載の多孔質テーブル。
【請求項７】
当該多孔質テーブルは、前記第１の表面を構成する多孔質部材を有し、
前記第１の表面と前記膜の間において、前記多孔質部材のポアは、前記膜で充填されていることを特徴とする請求項５に記載の多孔質テーブル。
【請求項８】
前記多孔質部材は、セラミック、炭素、およびガラスからなる群から選定された材料を含むことを特徴とする請求項６または７に記載の多孔質テーブル。
【請求項９】
多孔質テーブルと、該多孔質テーブルの一方の側に、減圧処理が可能な空間が形成されるように構成されたハウジングとを有するテーブルユニットであって、
前記多孔質テーブルは、請求項１乃至８のいずれか一つに記載の多孔質テーブルであることを特徴とするテーブルユニット。
【請求項１０】
被印刷物が上部に置載されるテーブルユニットと、前記被印刷物の上に配置される孔版と、該孔版上に配置されたインクを前記被印刷物の方に押し付けるスキージとを有するスクリーン印刷機であって、
前記テーブルユニットは、請求項９に記載のテーブルユニットであることを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項１１】
スクリーン印刷機のテーブルユニットに使用される多孔質テーブルの製造方法であって、
第１の表面を有する多孔質部材を準備する工程と、
前記多孔質部材の前記第１の表面に、所定のパターンで膜を配置する工程と、
を有し、
前記膜は、前記第１の表面に被印刷物を配置した際に、前記第１の表面が露出しないように配置されることを特徴とする製造方法。
【請求項１２】
前記所定のパターンで膜を配置する工程は、スクリーン印刷法により、前記第１の表面に前記膜を形成する工程を有することを特徴とする請求項１１に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷機用のテーブルユニットに関し、特に、スクリーン印刷機用のテーブルユニットに含まれる多孔質テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機は、高精細な印刷を高速で行うことができるため、幅広い分野で使用されている。
【０００３】
通常、スクリーン印刷機は、被印刷物を支持する台として機能するテーブルユニットを有する。このスクリーン印刷機のテーブルユニットは、上部に被印刷物が置載されるテーブル部材と、該テーブル部材を支持するととともに該テーブル部材の下面側に空間を形成するためのハウジングとを有する。テーブル部材には、該テーブル部材を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が設けられている。従って、このような構成のテーブルユニットでは、ハウジングに接続された真空ポンプのような減圧手段を用いて、ハウジング内の空間を減圧処理することにより、被印刷物をテーブル部材の上部に吸着固定することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
テーブルユニットのテーブル部材に形成される貫通孔の最小寸法は、通常、０．８ｍｍφ〜１ｍｍφ程度である。このため、被印刷物が薄い場合など、特定の場合には、ハウジング内の空間の減圧処理中に、被印刷物の一部がテーブル部材の貫通孔に吸い込まれて、被印刷物が変形することがある。この場合、被印刷物に対して高精度の印刷を行うことが難しくなる。
【０００５】
そこでこのような問題を回避するため、しばしば、テーブル部材として、多孔質テーブルが使用される。このような多孔質テーブルでは、ポアの寸法を有意に小さくすることができるため（例えばサブミクロン程度）、前述のような被印刷物の貫通孔への吸引を回避することができる。
【０００６】
しかしながら、このような多孔質テーブルでは、多孔質テーブルの第１の表面（被印刷物と接する側の表面）の寸法を、被印刷物の第１の表面（多孔質テーブルと接する側の表面）の寸法と十分に一致させない限り、被印刷物を吸引固定することが難しいという問題がある。
【０００７】
例えば、多孔質テーブルの第１の表面の寸法が被印刷物の第１の表面の寸法よりも広い場合、多孔質テーブルの第１の表面の露出部（被印刷物に覆われていない部分）の存在のため、ハウジング内の空間の減圧処理を行っても、空間内を実質的に減圧にすることができず、被印刷物を多孔質テーブルに吸着固定することが難しくなってしまう。
【０００８】
本発明は、このような背景に鑑みなされたものであり、本発明では、被印刷物の第１の表面の寸法と多孔質テーブルの第１の表面の寸法とが異なっていても、被印刷物を有効に吸引固定することが可能な多孔質テーブルを提供することを目的とする。また、本発明では、そのような多孔質テーブルを有するテーブルユニット、該テーブルユニットを有するスクリーン印刷機、および多孔質テーブルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明では、スクリーン印刷機のテーブルユニットに使用される多孔質テーブルであって、
上部に被印刷物が配置される第１の表面を有し、
該第１の表面は、所定のパターンで配置された膜を有することを特徴とする多孔質テーブルが提供される。
【００１０】
ここで、本発明による多孔質テーブルにおいて、前記膜は、樹脂またはゴムで構成され、さらに任意で、ガラス、金属、および／またはセラミックを含んでも良い。
【００１１】
また、本発明による多孔質テーブルにおいて、前記膜は、１０ｎｍ〜１００μｍの厚さを有しても良い。
【００１２】
また、本発明による多孔質テーブルにおいて、前記膜は、平面視、額縁状の形態を有しても良い。
【００１３】
また、本発明による多孔質テーブルにおいて、前記膜は、スクリーン印刷で形成された膜（スクリーン印刷膜）であっても良い。
【００１４】
また、本発明による多孔質テーブルは、前記第１の表面を構成する多孔質部材を有し、
前記第１の表面と前記膜の間において、前記多孔質部材のポアは、前記膜で充填されていなくても良い。
【００１５】
あるいは、本発明による多孔質テーブルは、前記第１の表面を構成する多孔質部材を有し、
前記第１の表面と前記膜の間において、前記多孔質部材のポアは、前記膜で充填されていても良い。
【００１６】
また、本発明による多孔質テーブルにおいて、前記多孔質部材は、セラミック、炭素、およびガラスからなる群から選定された材料を含んでも良い。
【００１７】
さらに、本発明では、多孔質テーブルと、該多孔質テーブルの一方の側に、減圧処理が可能な空間が形成されるように構成されたハウジングとを有するテーブルユニットであって、
前記多孔質テーブルは、前述の特徴を有する多孔質テーブルであることを特徴とするテーブルユニットが提供される。
【００１８】
さらに、本発明では、被印刷物が上部に置載されるテーブルユニットと、前記被印刷物の上に配置される孔版と、該孔版上に配置されたインクを前記被印刷物の方に押し付けるスキージとを有するスクリーン印刷機であって、
前記テーブルユニットは、前述のような特徴を有するテーブルユニットであることを特徴とするスクリーン印刷機が提供される。
【００１９】
さらに、本発明では、スクリーン印刷機のテーブルユニットに使用される多孔質テーブルの製造方法であって、
第１の表面を有する多孔質部材を準備する工程と、
前記多孔質部材の前記第１の表面に、所定のパターンで膜を配置する工程と、
を有し、
前記膜は、前記第１の表面に被印刷物を配置した際に、前記第１の表面が露出しないように配置されることを特徴とする製造方法が提供される。
【００２０】
ここで、本発明による製造方法において、前記所定のパターンで膜を配置する工程は、スクリーン印刷法により、前記第１の表面に前記膜を形成する工程を有しても良い。
【発明の効果】
【００２１】
本発明では、被印刷物の第１の表面の寸法と多孔質テーブルの第１の表面の寸法とが異なっていても、被印刷物を有効に吸引固定することが可能な多孔質テーブルを提供することができる。また、本発明では、そのような多孔質テーブルを有するテーブルユニット、該テーブルユニットを有するスクリーン印刷機、および多孔質テーブルの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】従来のスクリーン印刷機の一構成例を模式的に示した図である。
【図２】本発明の一実施例によるテーブルユニットの構成を概略的に示した断面図である。
【図３】図２のテーブルユニットに使用される多孔質テーブルの模式的な平面図（ａ）、および模式的な断面図（ｂ）を示した図である。
【図４】多孔質部材と膜の間の、第１の配置関係を模式的に示した図である。
【図５】多孔質部材と膜の間の、第２の配置関係を模式的に示した図である。
【図６】本発明の一実施例によるスクリーン印刷機の構成例を概略的に示した図である。
【図７】本発明の一実施例による多孔質テーブルの製造方法の模式的なフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して、本発明の一実施例について詳しく説明する。
【００２４】
（従来のスクリーン印刷機）
まず、本発明の特徴および効果をより良く理解するため、図１を参照して、一般的なスクリーン印刷機の構成および動作について簡単に説明する。
【００２５】
図１には、従来のスクリーン印刷機１の一構成例を示す。
【００２６】
図１に示すように、従来のスクリーン印刷機１は、孔版（「スクリーン版」とも称される）１０と、スキージ２０と、テーブルユニット３０とを備える。
【００２７】
孔版１０は、被印刷物９０の上部に、被印刷物９０と接触した状態、または非接触状態で配置される。孔版１０は、多数の開口（スクリーン目）を有し、これらの開口は、所定のパターンで目封じされている。
【００２８】
スキージ２０は、孔版１０上に配置されたペーストまたはインク（以下、これらをまとめて単に「インク」と称する）９５を、被印刷物９０の方に押し付ける役割を有する。
【００２９】
テーブルユニット３０は、被印刷物９０の台としての機能を有し、すなわちこの上部に被印刷物９０が置載される。
【００３０】
テーブルユニット３０は、上部に被印刷物９０が置載されるテーブル部材３５と、ハウジング６０とを有する。テーブル部材３５は、第１の表面３６および第２の表面３７を有し、被印刷物９０は、テーブル部材３５の第１の表面３６の側に配置される。テーブル部材３５は、第１の表面３６から第２の表面３７まで貫通する複数の貫通孔３９を有する。
【００３１】
ハウジング６０は、テーブル部材３５の側面を取り囲み、テーブル部材３５の第２の表面３７の側に空間６５が形成されるように構成される。例えば、図１の例では、ハウジング６０は、側面部材７０および底面部材７５を有し、これらの部材とテーブル部材３５とによって区画された空間６５が形成されるように構成される。
【００３２】
また、ハウジング６０は、配管７６を有し、空間６５は、この配管７６によって、ハウジング６０の外部環境と気体連通することができる。この配管７６は、真空ポンプのような減圧手段（図示されていない）に接続される。
【００３３】
このようなスクリーン印刷機１を用いて被印刷物９０に印刷を行う場合、まず、テーブルユニット３０のテーブル部材３５上に、被印刷物９０が置載される。また、テーブルユニット３０のハウジング６０の配管７６に接続された減圧手段が作動し、空間６５内が減圧される。これにより、被印刷物９０は、テーブル部材３５の貫通孔３９を介した吸引により、テーブルユニット３０の方に引き寄せられ、テーブル部材３５の第１の表面３６に吸着、固定される。
【００３４】
次に、孔版１０の上に、所定量のインク９５が配置される。次に、スキージ２０が孔版１０に沿って移動すると、インク９５は、スキージ２０によって、孔版１０の開放されている開口に充填される。なおこの際には、スキージ２０によって、孔版１０は、被印刷物９０の方に押し付けられ、被印刷物９０と接触する。このため、孔版１０の開口に充填されたインクが被印刷物９０の方に転写され、被印刷物９０の表面に、所定のパターンが印刷される。
【００３５】
ここで、通常の場合、テーブルユニット３０のテーブル部材３５の貫通孔３９は、ドリル加工などの加工法により形成される。このため、貫通孔３９の寸法は、最小でも０．８ｍｍφ〜１ｍｍφ程度となっている。
【００３６】
しかしながら、このような寸法の貫通孔３９を有するテーブル部材３５では、被印刷物９０が薄い場合など、特定の場合に、ハウジング６０内の空間６５の減圧処理中に、被印刷物９０の一部がテーブル部材３５の貫通孔３９に吸い込まれて、被印刷物９０が変形するという問題が生じ得る。このような現象が生じた場合、被印刷物９０に対して高精度の印刷を行うことが難しくなる。
【００３７】
そこでこのような問題を回避するため、しばしば、テーブル部材３５として、多孔質テーブル（図１において、参照符号３５'で示されている）が使用される。
【００３８】
多孔質テーブル３５'は、例えば、無機粒子や炭素粒子などの粒子を相互に焼結させたり、結合剤を介して結着させたりすることにより、構成される。このような方法で形成された多孔質テーブル３５'では、製造の際に多数の微細なポアが生成されるため、後から貫通孔を形成する加工を行う必要がない。また、含まれるポアは、ドリルで形成される貫通孔に比べて、有意に微細な寸法（例えばサブミクロン程度）とすることができる。
【００３９】
従って、テーブル部材として、このような多孔質テーブル３５'を使用した場合、前述のような、被印刷物９０の一部がテーブル部材３５の貫通孔３９に吸引され、変形するという問題を回避することができる。
【００４０】
しかしながら、このような多孔質テーブル３５'では、第１の表面３６の寸法を、被印刷物９０の第１の表面（多孔質テーブル３５'と接する側の表面）９１の寸法と十分に一致させない限り、被印刷物９０を吸引固定することが難しいという問題がある。
【００４１】
例えば、図１に示すように、多孔質テーブル３５'の第１の表面３６の寸法が被印刷物９０の第１の表面９１の寸法よりも広い場合、多孔質テーブル３５'の第１の表面３６の露出部分（被印刷物９０に覆われていない部分）には、空間６５とテーブルユニット３０の上部の環境とを連通する部分（以下、「ポアによる貫通部分」と称する）が存在してしまう。このため、ハウジング６０内の空間６５の減圧処理を行っても、空間６５内を実質的に減圧にすることができず、被印刷物９０を多孔質テーブル３５'に吸着固定することが難しくなってしまうという問題が生じ得る。
【００４２】
これに対して、本発明の一実施例では、
スクリーン印刷機のテーブルユニットに使用される多孔質テーブルであって、
上部に被印刷物が配置される第１の表面を有し、
該第１の表面は、所定のパターンで配置された膜を有することを特徴とする多孔質テーブルが提供される。
【００４３】
このような多孔質テーブルでは、該多孔質テーブルの第１の表面３６に被印刷物９０が配置された際に、第１の表面３６の被印刷物９０で覆われない部分（すなわち露出部分）に対応するように膜を配置することにより、吸引処理の際に、第１の表面３６における「ポアによる貫通部分」をなくすことができる。
【００４４】
従って、本発明の一実施例による多孔質テーブルでは、被印刷物９０の第１の表面９１の寸法と多孔質テーブルの第１の表面３６の寸法とが異なっていても、被印刷物９０を有効に吸引固定することが可能となる。
【００４５】
（本発明の一実施例による多孔質テーブルおよびテーブルユニット）
以下、図２〜図３を参照して、本発明の一実施例による多孔質テーブルおよびそのような多孔質テーブルを有するテーブルユニットについて、詳しく説明する。
【００４６】
図２には、本発明の一実施例によるテーブルユニットの構成を概略的に示す。
【００４７】
図２に示すように、このテーブルユニット１３０は、多孔質テーブル１３５と、ハウジング１６０とを有する。多孔質テーブル１３５は、第１の表面１３６および第２の表面１３７を有する。
【００４８】
ハウジング１６０は、多孔質テーブル１３５の側面を取り囲み、多孔質テーブル１３５の第２の表面１３７の側に空間１６５が形成されるように構成される。例えば、図２の例では、ハウジング１６０は、側面部材１７０および底面部材１７５を有し、これらの部材と多孔質テーブル１３５とによって区画された空間１６５が形成されるように構成される。
【００４９】
また、ハウジング１６０は、空間１６５と気体連通された配管１７６を有する。この配管１７６は、テーブルユニット１３０の作動時には、真空ポンプのような減圧手段（図示されていない）に接続される。
【００５０】
なお、図２に示したハウジング１６０の構成は、単なる一例に過ぎず、ハウジング１６０は、別の構成を有しても良い。例えば、配管１７６は、側面部材１７０の代わりに、底面部材１７５に取り付けても良い。また、ハウジング１６０内の空間１６５の形状および寸法は、特に限られない。例えば、底面部材１７５は、多孔質テーブル１３５の第２の表面１３７と接触しても良い。この場合、図２に示したハウジング１６０内の空間１６５は、実質的に、配管１７６の内部空間によって代用される。
【００５１】
図３には、図２に示したテーブルユニット１３０に使用される多孔質テーブル１３５の模式的な平面図（ａ）、および図３（ａ）のＡ−Ａ線での模式的な断面図（ｂ）を示す。
【００５２】
図３に示すように、多孔質テーブル１３５は、多孔質部材１４０を有し、該多孔質部材１４０は、第１の表面１３６および第２の表面１３７を有する（それぞれ、多孔質テーブル１３５の第１の表面１３６および第２の表面１３７でもある）。多孔質部材１４０は、内部および表面に多数のポアを含む。多孔質部材１４０は、例えば、図３に示すような多孔質板の形態の他、多孔質膜の形態等であっても良い。
【００５３】
なお、図３（ａ）には、明確化のため、多孔質テーブル１３５の第１の表面１３６に被印刷物１９０が置載された際の、被印刷物１９０のおおまかな輪郭が破線で示されている。
【００５４】
ここで、多孔質テーブル１３５は、第１の表面１３６に膜１５０を有する。
【００５５】
膜１５０は、多孔質テーブル１３５の第１の表面１３６に被印刷物１９０が置載された際に、第１の表面１３６において、少なくとも多孔質部材１４０の露出部分が存在しなくなるように配置される。
【００５６】
例えば、図３の例では、膜１５０は、図３（ａ）において斜線で示したような形状、すなわち平面視、内周１５２および外周１５４を有する略額縁状の形状を有する。また、略額縁状の膜１５０は、多孔質テーブル１３５の第１の表面１３６において、後に配置される被印刷物１９０の外周部分を覆うように配置されている。
【００５７】
あるいは、額縁状の膜１５０は、多孔質テーブル１３５の第１の表面１３６において、後に配置される被印刷物１９０の外周部分と、膜１５０の内周１５２が実質的に一致するように配置されても良い。
【００５８】
なお、図３（ｂ）では、明確化のため、膜１９０は厚さが誇張して示されており、実際の多孔質テーブル１３５では、膜１９０が存在しても、第１の表面１３６側の凹凸は、実質的に無視できることに留意する必要がある。
【００５９】
このような多孔質テーブル１３５をテーブルユニット１３０に使用した場合、膜１５０の存在のため、被印刷物１９０の位置固定のための吸引処理の際に、多孔質テーブル１３５の第１の表面１３６から、多孔質部材１４０の露出部分、すなわち「ポアによる貫通部分」をなくすことができる。従って、テーブルユニット１３０上に、被印刷物１９０を有効に吸引固定することが可能となる。
【００６０】
また、通常、多孔質部材１４０は、その製造上の理由から、第１の表面１３６の平坦度を高めることが難しく、第１の表面１３６において、多少の凹凸は避けることができない。このような凹凸は、印刷工程において、被印刷物１９０に転写される印刷パターンの精度を低下させる要因となる可能性がある。また、加工により、多孔質部材１４０の第１の表面１３６の平坦度を高めようとすると、精密な加工が必要となり、製造コストが上昇してしまう。
【００６１】
しかしながら、本発明の一実施例による多孔質テーブル１３５は、第１の表面１３６に膜１５０を有する。この膜１５０は、比較的薄くかつ均一に配置することができる。このため、膜１５０を設置することにより、第１の表面１３６の平坦度が向上し、前述のような問題を軽減することができるという効果が得られる。
【００６２】
（本発明の一実施例によるテーブルユニットの各構成部材の詳細）
次に、本発明の一実施例によるテーブルユニットを構成する各部材について、より詳しく説明する。なお、ここでは、明確化のため、各部材を説明する際に、図２および図３に示した参照符号を使用するものとする。
【００６３】
（多孔質部材１４０）
多孔質テーブル１３５を構成する多孔質部材１４０の材質および組成は、多孔質である限り、特に限られない。
【００６４】
多孔質テーブル１３５のポロシティは、例えば、５％〜４０％の範囲であっても良い。また、多孔質テーブル１３５に含まれるポアの平均寸法は、０．１μｍ〜１００μｍの範囲であっても良い。
【００６５】
多孔質部材１４０は、例えば、セラミック、ガラス、および／または炭素を含んでも良い。セラミックとしては、例えば、アルミナ、シリカ、およびジルコニア等の酸化物、窒化ケイ素のような窒化物、ならびに炭化ケイ素のような炭化物等が挙げられる。
【００６６】
多孔質部材１４０は、例えば、複数の粒子を焼結させることにより構成されても良い。そのような粒子としては、例えば、無機粒子、ガラス粒子、および／または炭素粒子等が使用されても良い。あるいは、多孔質部材１４０は、複数の粒子を結着剤で結着させることにより構成されても良い。そのような粒子としては、例えば、無機粒子、ガラス粒子、および／または炭素粒子等が使用され、結着剤としては、有機系のバインダが使用されても良い。
【００６７】
（膜１５０）
多孔質部材１４０の第１の表面１３６に配置される膜１５０の種類および形態は、特に限られない。
【００６８】
膜１５０は、例えば、樹脂系またはゴム系の接着テープであっても良い。
【００６９】
あるいは、膜１５０は、例えば、めっき、ペーストなどを用いた塗布法、印刷法、および気相成膜法（蒸着法、物理気相成膜法（ＰＶＤ）、化学気相成膜法（ＣＶＤ））等によって形成された膜であっても良い。印刷法としては、例えば、スクリーン印刷法などが挙げられる。特に、スクリーン印刷法で形成された膜（スクリーン印刷膜）は、幅広い膜厚で成膜できる点で好ましい。
【００７０】
なお、スクリーン印刷膜の材質は、特に限られず、スクリーン印刷機で印刷できる材質である限り、いかなる材質のスクリーン印刷膜を配置しても良い。例えば、スクリーン印刷膜は、樹脂系またはゴム系の材料であっても良く、あるいは、これらをマトリクスとして、任意で、ガラス粒子、金属粒子、および／またはセラミック粒子等を含んでも良い。
【００７１】
樹脂としては、例えば、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、およびエポキシ樹脂等が使用される。
【００７２】
ここで、膜１５０がスクリーン印刷膜で構成される場合、多孔質部材１４０（の第１の表面１３６）と膜１５０の相互配置関係として、以下の２つの態様が考えられる。
【００７３】
図４には、多孔質部材１４０と膜１５０の間の、第１の配置関係を模式的に示す。
【００７４】
図４に示すように、この第１の関係では、膜１５０は、多孔質部材１４０の第１の表面１３６に、少なくともいくつかのポア１４２が残存するようにして、第１の表面１３６に配置される。
【００７５】
一方、図５には、多孔質部材１４０と膜１５０の間の、第２の配置関係を模式的に示す。
【００７６】
図５に示すように、この第２の関係では、膜１５０は、多孔質部材１４０の第１の表面１３６に、少なくともいくつかのポア１４２を充填、閉塞するようにして配置される。
【００７７】
一方、図５に示すような第２の配置関係では、膜１５０が第１の表面１３６に存在するポア１４２にまで充填されているため、膜１５０の多孔質部材１４０に対する密着性が高まるとともに、多孔質テーブル１３５自身の強度が高まるという効果が得られる。このため、第２の配置関係では、多孔質テーブル１３５、さらにはテーブルユニット１３０の耐久性が向上する。
【００７８】
ところで、膜１５０の厚さは特に限られないが、膜１５０の厚さは、１０ｎｍ〜１００μｍの範囲であり、０．１μｍ〜１０μｍの範囲であることが好ましい。膜１５０の厚さが１００μｍを超えると、多孔質テーブル１３５の第１の表面１３６に、良好な平坦度が得られにくくなる場合がある。一方、膜１５０の厚さが１０ｎｍ未満の場合、減圧処理の際に、第１の表面１３６において、十分なポア閉塞効果が得られなくなるおそれがある。
【００７９】
また、第１の表面１３６における膜１５０の配置パターン（または形状）は、多孔質部材１４０の形状、およびスクリーン印刷の際に使用される被印刷物１９０の寸法形状によって定められる。
【００８０】
例えば、多孔質部材１４０の第１の表面１３６が略矩形であって、被印刷物１９０の形状も略矩形の場合、膜１５０は、図３に示したような、相互に相似形の内周１５２および外周１５４を有する額縁状の形状であっても良い。あるいは、膜１５０は、少なくとも被印刷物１９０の輪郭を覆うように構成された、略円形の内周と略矩形の外周とを有する額縁状の形状であっても良い。
【００８１】
また、多孔質部材１４０の第１の表面１３６が略矩形であって、被印刷物１９０の形状が略円形の場合、膜１５０は、被印刷物１９０の輪郭を覆うように構成された、略円形の内周と略矩形の外周とを有する額縁状の形状であっても良い。あるいは、膜１５０は、略矩形の内周と略矩形の外周とを有する額縁状の形状であっても良い。この他にも、膜１５０の配置パターン（または形状）として、各種態様が想定され得る。
【００８２】
ここで、本願において、「額縁状（の形状）」とは、内部が取り除かれ、外側輪郭および内側輪郭を有する「枠」で構成された形態の総称を意味する。ただし、「額縁状」の形態の外側輪郭および／または内側輪郭は、必ずしも額のような略直方体の形状に限られず、例えば、略台形、略円形、または略楕円形の形状であっても良い。また、「額縁状」の形態の外側輪郭と内側輪郭は、必ずしも相似形である必要はなく、両者は、例えば、全く異なる形状であっても良い。
【００８３】
（ハウジング１６０）
ハウジング１６０の構成は、特に限られない。ハウジング１６０は、例えば、スクリーン印刷機用の従来のテーブルユニットにおいて使用されているハウジングと同様の構成であっても良い。
【００８４】
ハウジング１６０の側面部材１７０および底面部材１７５は、例えば、アルミニウムまたはステンレス鋼等の金属または合金等で構成されても良い。
【００８５】
なお、図２において、ハウジング１６０の側面部材１７０は、多孔質テーブル１３５の側面全体を覆うように構成されている。これは、空間１６５の減圧処理の際に、多孔質テーブル１３５の側面からの気体吸引（すなわちリーク）を防止するためである。
【００８６】
しかしながら、他の手段により、多孔質テーブル１３５の側面からの気体吸引を防止することができる場合、ハウジング１６０（の側面部材１７０）は、必ずしも多孔質テーブル１３５の側部全体を覆うように構成される必要はないことに留意する必要がある。
【００８７】
例えば、多孔質テーブル１３５の側面に充填材等を充填して、多孔質テーブル１３５の側面に対して予めポアの目封じを施した場合、ハウジング１６０（の側面部材１７０）によって、多孔質テーブル１３５の側部全体を覆う必要性が軽減されるため、ハウジング１６０の構成の自由度がより広くなる。
【００８８】
（本発明の一実施例によるスクリーン印刷機）
次に、図６を参照して、本発明の一実施例によるスクリーン印刷機について説明する。
【００８９】
図６には、本発明の一実施例によるスクリーン印刷機の構成例を概略的に示す。図６に示すように、本発明の一実施例によるスクリーン印刷機２００は、基本的に図１に示した従来のスクリーン印刷機１と同様の構成を有する。
【００９０】
ただし、本発明の一実施例によるスクリーン印刷機２００では、テーブルユニット２３０の構成が、図１の場合とは異なっている。すなわち、テーブルユニット２３０は、前述の図２に示したテーブルユニット１３０と同様の構成を有する。
【００９１】
より具体的には、テーブルユニット２３０は、多孔質テーブル２３５と、ハウジング２６０とを有する。また、多孔質テーブル２３５は、第１の表面２３６および第２の表面２３７を有し、前述の図３に示した多孔質テーブル１３５と同様の構成を有する。また、ハウジング２６０は、前述の図２に示したハウジング１６０と同様の構成を有し、すなわち側面部材２７０、底面部材２７５、および配管２７６を有し、内部に空間２６５が形成されるように構成される。
【００９２】
このように構成されたスクリーン印刷機２００を作動する際には、まず、テーブルユニット２３０の多孔質テーブル２３５の第１の表面２３６上に、被印刷物２９０が置載される。
【００９３】
また、テーブルユニット２３０のハウジング２６０の配管２７６に接続された減圧手段が作動し、空間２６５内が減圧される。これにより、被印刷物２９０は、多孔質テーブル２３５に含まれる多数のポアを介した吸引により、テーブルユニット２３０の方に引き寄せられ、多孔質テーブル２３５の第１の表面２３６に固定される。
【００９４】
ここで、本発明の一実施例によるスクリーン印刷機２００では、多孔質テーブル２３５の第１の表面２３６に、膜（図６には示されていない）が配置されており、この膜は、多孔質テーブル２３５の第１の表面２３６に被印刷物２９０が置載された際に、第１の表面２３６において、多孔質部材の露出部分が存在しなくなるように配置されている（図３参照）。
【００９５】
従って、スクリーン印刷機２００では、被印刷物２９０の吸引処理の際に、多孔質テーブル２３５の第１の表面２３６に「ポアによる貫通部分」が存在し、これにより十分な吸引が行えなくなるという問題は有意に軽減されることに留意する必要がある。
【００９６】
次に、孔版２１０の上に、所定量のインク２９５が配置される。次に、スキージ２２０が孔版２１０に沿って移動すると、インク２９５は、スキージ２２０によって、孔版２１０の開放されている開口に充填される。これと同時に、スキージ２２０によって、孔版２１０は、被印刷物２９０の方に押し付けられ、被印刷物２９０と接触する。このため、孔版２１０の開口に充填されたインクが被印刷物２９０の方に転写され、被印刷物２９０の表面に、所定のパターンが印刷される。なお、被印刷物２９０に多量のインクを転写させる場合、必要な回数だけ、上記操作が繰り返されても良い。
【００９７】
このように、本発明の一実施例によるスクリーン印刷機２００では、被印刷物２９０の寸法と多孔質テーブル２３５の第１の表面２３６の寸法とが異なっていても、被印刷物２９０を有効に吸引固定することができる。また、これにより、被印刷物２９０に対して、高い精度で所定のパターンの印刷を行うことが可能となる。
【００９８】
（本発明の一実施例による多孔質テーブルの製造方法）
次に、図７を参照して、本発明の一実施例による多孔質テーブルの製造方法の一例について説明する。なお、ここでは、明確化のため、各部材を説明する際に、図２〜図３に示した参照符号を使用する。
【００９９】
図７には、本発明の一実施例による多孔質テーブル１３５の製造方法の模式的なフロー図を示す。
【０１００】
図７に示すように、この方法は、
第１の表面を有する多孔質部材を準備する工程（工程Ｓ１１０）と、
前記多孔質部材の前記第１の表面に、所定のパターンで膜を配置する工程（工程Ｓ１２０）であって、前記膜は、前記第１の表面に被印刷物を配置した際に、前記第１の表面が露出しないように配置される工程（工程Ｓ１２０）と、
とを有する。
【０１０１】
以下、各工程について説明する。
【０１０２】
（工程Ｓ１１０）
まず、多孔質部材１４０が準備される。
【０１０３】
多孔質部材１４０の形態は、特に限られず、多孔質部材１４０は、板状または箔状等であっても良い。
【０１０４】
また、多孔質部材１４０の材質は特に限られず、多孔質部材１４０は、いかなる方法で調製されても良い。
【０１０５】
例えば、多孔質部材１４０は、酸化物、窒化物、炭化物等で構成されたセラミック部材であり、無機粒子の焼結によって形成されて良い。あるいは、多孔質部材１４０は、ガラス粒子の焼結によって形成されたガラス部材であっても良い。また、多孔質部材１４０は、炭素粒子またはガラス粒子等の粒子を、有機バインダのような結着剤で結着させたものであっても良い。
【０１０６】
多孔質部材１４０のポロシティは、例えば、５％〜４０％の範囲である。また、多孔質部材１４０に含まれるポアの平均寸法は、例えば、０．１μｍ〜１００μｍの範囲である。
【０１０７】
多孔質部材１４０の第１の表面１３６の最小寸法は、例えば、３０ｍｍ〜１００ｍｍの範囲であり、最大寸法は、例えば、８００ｍｍ〜１５００ｍｍの範囲であっても良い。ただし、典型的には、多孔質部材１４０の第１の表面１３６の寸法は、被印刷物１９０の寸法に基づいて定められる。
【０１０８】
（工程Ｓ１２０）
次に、多孔質部材１４０の第１の表面１３６に、所定のパターンで膜１５０が形成される。
【０１０９】
前述のように、膜１５０は、いかなる方法で形成されても良く、膜１５０は、例えば、従来の一般的な成膜方法（塗布法、印刷法、または気相成膜法など）で成膜された膜であっても良い。あるいは、膜１５０は、接着テープの形態であっても良い。
【０１１０】
ここでは、一例として、膜１５０がスクリーン印刷法により形成される場合について説明する。
【０１１１】
スクリーン印刷法により膜１５０を形成する場合、印刷用のインクが調製される。
【０１１２】
膜１５０が樹脂膜を主体とする場合、インクは、例えば、溶媒中に樹脂を溶解させてペースト状に調合される。溶媒としては、例えば、トルエン、ベンゼン、またはシンナー等が使用されても良い。また、樹脂としては、例えば、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、またはエポキシ樹脂等が使用されても良い。溶媒中には、この他、添加物として、金属粒子、ガラス粒子、および／またはセラミック粒子等を加えても良い。
【０１１３】
あるいは、膜１５０の材質は、ゴム等であっても良い。
【０１１４】
このような材料をスクリーン印刷法により成膜する方法は、当業者には良く知られているため、ここでは説明を省略する。
【０１１５】
以上の工程により、例えば、図３に示したような多孔質テーブル１３５が製造される。
【０１１６】
前述のように、このような多孔質テーブル１３５は、スクリーン印刷機のテーブルユニット１３０に使用することができる。
【符号の説明】
【０１１７】
１        従来のスクリーン印刷機
１０      孔版
２０      スキージ
３０      テーブルユニット
３５      テーブル部材
３５'    多孔質テーブル
３６      第１の表面
３７      第２の表面
３９      貫通孔
６０      ハウジング
６５      空間
７０      側面部材
７５      底面部材
７６      配管
９０      被印刷物
９１      被印刷物の第１の表面
９５      インク
１３０    テーブルユニット
１３５    多孔質テーブル
１３６    第１の表面
１３７    第２の表面
１４０    多孔質部材
１４２    ポア
１５０    膜
１５２    膜の内周
１５４    膜の外周
１６０    ハウジング
１６５    空間
１７０    側面部材
１７５    底面部材
１７６    配管
１９０    被印刷物
２００    本発明の一実施例によるスクリーン印刷機
２１０    孔版
２２０    スキージ
２３０    テーブルユニット
２３５    多孔質テーブル
２３６    第１の表面
２３７    第２の表面
２６０    ハウジング
２６５    空間
２７０    側面部材
２７５    底面部材
２７６    配管
２９０    被印刷物
２９５    インク
【図１】
2015147353.tif 000003
【図２】
2015147353.tif 000004
【図３】
2015147353.tif 000005
【図４】
2015147353.tif 000006
【図５】
2015147353.tif 000007
【図６】
2015147353.tif 000008
【図７】
2015147353.tif 000009