(57)【要約】【課題】複数のブッシングについて個々に気密の健全性を評価可能としつつ、実用事には、単一の監視装置を用いてブッシングについての気密の破壊を検出可能とする。【解決手段】ターミナルヘッダベース１の側面から３つのブッシング挿通孔１１までを貫通する３つの個別検出孔１３を形成する。ブッシング挿通孔１１の軸方向両端に、中央部にブッシング２の気密状態検出用の孔が設けられたブッシング２を封着し、３つの個別検出孔１３を用いて、３つのブッシング２について、個々に気密の健全性を評価する（ａ）。その後、ターミナルヘッダベース１の側面から３つの個別検出孔１３の先端までを貫通するように検出孔１４を形成し、３つの個別検出孔１３を封止部材１５で気密に封止し、検出孔１４によって、各ブッシング２のいずれかについての気密の破壊を検出可能とする（ｂ）。【選択図】図６
2015139240.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部材と、当該ベース部材に設けられた複数のブッシング取付孔の各々に、それぞれ挿通された、軸方向中央部に気密状態検出用の貫通孔を有する複数のブッシングとを備えたフィードスルーの製造方法であって、
前記ベース部材に前記複数のブッシング取付孔と、前記複数のブッシング取付孔の各々に対応してそれぞれ設けられた、前記ヘッダ部材の表面から対応するブッシング取付孔まで貫通する複数の個別検出孔とを形成するステップと、
前記各ブッシング取付孔の各々にそれぞれ前記ブッシングを、当該ブッシング取付孔の軸方向両端の間に前記軸方向中央部が位置するように挿通し、当該ブッシングを当該ブッシング取付孔の軸方向両端の位置で当該ベース部材に気密に封着するステップと、
前記各個別検出孔を用いて、前記複数のブッシングの各々について、個々に気密の健全性を評価するステップと、
前記ベース部材に、当該ベース部材の表面から前記複数のブッシング取付孔の各々まで通じる検出孔を形成すると共に、前記複数の個別検出孔の前記ベース部材の表面側の開口を気密に封止するステップとを有することを特徴とするフィードスルーの製造方法。
【請求項２】
ベース部材と、当該ベース部材に設けられた複数のブッシング取付孔の各々に、それぞれ挿通された、軸方向中央部に気密状態検出用の貫通孔を有する複数のブッシングとを備えたフィードスルーの製造方法であって、
前記ベース部材に前記複数のブッシング取付孔と、前記複数のブッシング取付孔の各々に対応してそれぞれ設けられた、前記ヘッダ部材の表面から対応するブッシング取付孔まで貫通する複数の個別検出孔とを形成するステップと、
前記各ブッシング取付孔の各々にそれぞれ前記ブッシングを、当該ブッシング取付孔の軸方向両端の間に前記軸方向中央部が位置するように挿通し、当該ブッシングを当該ブッシング取付孔の軸方向両端の位置で当該ベース部材に気密に封着するステップと、
前記各個別検出孔を用いて、前記複数のブッシングの各々について、個々に気密の健全性を評価するステップと、
前記ベース部材に、前記複数の個別検出孔、または、前記複数のブッシング取付孔を連通する連絡路を形成すると共に、前記複数の個別検出孔のうちの一つの個別検出孔を除く各個別検出孔の前記ベース部材の表面側の開口を気密に封止するステップとを有することを特徴とするフィードスルーの製造方法。
【請求項３】
請求項２記載のフィードスルーの製造方法であって、
前記連絡路は、前記複数の個別検出孔の上方を通るように前記ベース部材に設けた溝の下面に、各個別検出孔まで貫通する孔を形成した上で、前記溝の上部を気密に封止することにより形成することを特徴とするフィードスルーの製造方法。
【請求項４】
請求項１、２または３記載のフィードスルーの製造方法によって製造されたことを特徴とするフィードスルー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液化ガスタンク内への電力供給に用いられるフィードスルーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液化ガスタンク内への電力供給に用いられるブッシング及びフィードスルーに関する技術としては、液化ガスタンク内に液化ガスの汲揚用に設置されたサブマージドポンプへの電力供給に用いられるフィードスルーが知られている（たとえば、特許文献１）。
このフィードスルーは、円盤状のターミナルヘッダベースと、ターミナルヘッダベースに設けた複数のブッシング挿通孔にそれぞれ挿通された複数ブッシングより構成されており、各ブッシングはターミナルヘッダベースのブッシング挿通孔の軸方向の両端で、ターミナルヘッダベースに気密に固着されている。
ここで、各ブッシングは、絶縁材料からなる中空管状の絶縁管と絶縁管の中空部に挿通された導体とより構成されており、導体は絶縁管の中空部の軸方向の両端で絶縁管に気密に固着されている。
【０００３】
そして、液化ガスタンク外まで延伸された液化ガス汲揚用管の液化ガスタンク外の位置に設けられている開口を気密に塞ぐようにターミナルヘッダベースを取り付けることにより、フィードスルーは液化ガス汲揚用管に気密に連結され、ブッシングの導体と、液化ガス汲揚用管内を通る給電線とを介して、液化ガスタンク及び液化ガス汲揚用管の外部からサブマージドポンプに電力が供給される。
また、ブッシングの絶縁管には、ブッシング挿通孔の軸方向の両端間に配置される位置に外周面から絶縁管の中空部まで貫通する、絶縁管の軸方向と垂直な方向を軸とする貫通孔が設けられており、ターミナルヘッダベースには、側面から一つのブッシング挿通孔の軸方向の両端間の位置までブッシング挿通孔の軸方向と垂直な方向に貫通する検出孔と、各ブッシング挿通孔の軸方向の両端間の位置同士を連通する連絡路が設けられている。
【０００４】
そして、これにより、ターミナルヘッダベースの側面の検出孔の開口は、ターミナルヘッダベースと各ブッシングの間のブッシング挿通孔の軸方向の両端間の空間と、各ブッシングの絶縁管の中空部と導体の間の空間とに連通することとなる。
よって、このような構成によれば、ターミナルヘッダベースとブッシングとの間の気密や、ブッシングの絶縁管と導体との間の気密の破壊を、ターミナルヘッダベースの側面の検出孔の開口に連結した監視機器で気圧変化などを監視するより検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２００７／１４１８５３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したフィードスルーによれば、一つの検出孔の気圧変化などを監視する監視機器を設けるだけで、複数のブッシングのいずれかについて、ターミナルヘッダベースとの間の気密や、ブッシングの絶縁管と導体気密の破壊が生じたことを検出することができる。
しかしながら、このフィードスルーによれば、ターミナルヘッダベースとの間の気密や、ブッシングの絶縁管と導体気密の破壊が生じたブッシングがいずれのブッシングであるかを特定することはできない。
ここで、実使用時には、複数のブッシングのいずれかについて気密の破壊が生じたことが検出できれば充分であるが、フィードスルーの製造過程においては、各ブッシングについて個々に気密の健全性を評価する必要がある。
一方で、各ブッシング挿通孔の軸方向の両端間の位置同士を連通する連絡路を排し、検出孔を各ブッシング挿通孔についてそれぞれ設ければ、各ブッシングについて個々に気密の破壊を検出することができるが、このようにすると、実使用時にも、複数の検出孔のそれぞれについて気圧変化などを監視することが必要となってしまう。
【０００７】
そこで、本発明は、製造過程において複数のブッシングについて個々に気密の健全性を評価可能としつつ、実用事には、単一箇所の監視によって複数のブッシングのいずれかについて気密が破壊されたことを検出可能なフィードスルーの製造方法及びフィードスルーを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題達成のために、本発明は、ベース部材と、当該ベース部材に設けられた複数のブッシング取付孔の各々に、それぞれ挿通された、軸方向中央部に気密状態検出用の貫通孔を有する複数のブッシングとを備えたフィードスルーの製造方法として、前記ベース部材に前記複数のブッシング取付孔と、前記複数のブッシング取付孔の各々に対応してそれぞれ設けられた、前記ヘッダ部材の表面から対応するブッシング取付孔まで貫通する複数の個別検出孔とを形成するステップと、前記各ブッシング取付孔の各々にそれぞれ前記ブッシングを、当該ブッシング取付孔の軸方向両端の間に前記軸方向中央部が位置するように挿通し、当該ブッシングを当該ブッシング取付孔の軸方向両端の位置で当該ベース部材に気密に封着するステップと、前記各個別検出孔を用いて、前記複数のブッシングの各々について、個々に気密の健全性を評価するステップと、前記ベース部材に、当該ベース部材の表面から前記複数のブッシング取付孔の各々まで通じる検出孔を形成すると共に、前記複数の個別検出孔の前記ベース部材の表面側の開口を気密に封止するステップとを有することを特徴とするフィードスルーの製造方法を提供する。
【０００９】
このようなフィードスルーの製造方法によれば、フィードスルーの製造過程においては、複数の個別検出孔の各々を用いて、複数のブッシングについて個々に気密の健全性を評価することができると共に、フィードスルーの完成後には、検出孔を用いて、複数のブッシングのいずれかについて気密が破壊されたことを検出することができる。
【００１０】
また、本発明は、前記課題達成のために、ベース部材と、当該ベース部材に設けられた複数のブッシング取付孔の各々に、それぞれ挿通された、軸方向中央部に気密状態検出用の貫通孔を有する複数のブッシングとを備えたフィードスルーの製造方法として、前記ベース部材に前記複数のブッシング取付孔と、前記複数のブッシング取付孔の各々に対応してそれぞれ設けられた、前記ヘッダ部材の表面から対応するブッシング取付孔まで貫通する複数の個別検出孔とを形成するステップと、前記各ブッシング取付孔の各々にそれぞれ前記ブッシングを、当該ブッシング取付孔の軸方向両端の間に前記軸方向中央部が位置するように挿通し、当該ブッシングを当該ブッシング取付孔の軸方向両端の位置で当該ベース部材に気密に封着するステップと、前記各個別検出孔を用いて、前記複数のブッシングの各々について、個々に気密の健全性を評価するステップと、前記ベース部材に、前記複数の個別検出孔、または、前記複数のブッシング取付孔を連通する連絡路を形成すると共に、前記複数の個別検出孔のうちの一つの個別検出孔を除く各個別検出孔の前記ベース部材の表面側の開口を気密に封止するステップとを有することを特徴とするフィードスルーの製造方法も提供する。
【００１１】
ここで、このようなフィードスルーの製造方法において、前記連絡路は、前記複数の個別検出孔の上方を通るように前記ベース部材に設けた溝の下面に、各個別検出孔まで貫通する孔を形成した上で、前記溝の上部を気密に封止することにより形成するようにしてもよい。
【００１２】
このようなフィードスルーの製造方法によれば、フィードスルーの製造過程においては、複数の個別検出孔の各々を用いて、複数のブッシングについて個々に気密の健全性を評価することができると共に、フィードスルーの完成後には、開口を封止しなかった個別検出孔を用いて、複数のブッシングのいずれかについて気密が破壊されたことを検出することができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、本発明によれば、製造過程において複数のブッシングについて個々に気密の健全性を評価可能としつつ、実用事には、単一箇所の監視によって複数のブッシングのいずれかについて気密が破壊されたことを検出可能なフィードスルーの製造方法及びフィードスルーを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係るフィードスルーの適用例を示す図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るフィードスルーの外観を示す図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るターミナルヘッダベースの構造を示す図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係るブッシングの構造を示す図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係るフィードスルーの構造を示す図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係るフィードスルーの製造手順を示す図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係るターミナルヘッダベースの他の例を示す図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係るフィードスルーの製造手順を示す図である。
【図９】本発明の実施形態に係るターミナルヘッダベースの他の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について説明する。
まず、第１の実施形態について説明する。
まず、本第１実施形態に係るフィードスルーの適用例を図１に示す。
図示するように、LNG、LNG、液体水素などの低温の液化ガスを貯留したタンク１００には、タンク１００の上部壁を気密に貫通した液化ガス汲揚用管１０１が設けられている。
液化ガス汲揚用管１０１の下端の開口はタンク１００の内部と連通しており、液化ガス汲揚用管１０１の下部には、サブマージドポンプ１０２が配置されている。また、当該液化ガス汲揚用管１０１の下端はタンク１００の床に固定されている。
そして、タンク１００外に配置された液化ガス汲揚用管１０１の上端の開口は、フィードスルー１０によって気密に封止されており、電源１０３から、フィードスルー１０と液化ガス汲揚用管１０１内の給電線となる絶縁電線１０５とを介して電力がサブマージドポンプ１０２に供給される。
また、液化ガス汲揚用管１０１の上部付近には排出路１０４が連結されており、サブマージドポンプ１０２で汲揚げられた液化ガスは排出路１０４から排出される。
次に、本第１実施形態に係るフィードスルー１０について説明する。
ここで、以降では、まず、製造工程終了後の完成されたフィードスルー１０について説明し、その後に、フィードスルー１０の製造手順について説明する。
以下、製造工程終了後の完成されたフィードスルー１０について説明する。
図２に、フィードスルー１０の外観を示す。
図示するように、フィードスルー１０は、円盤状のターミナルヘッダベース１と、ターミナルヘッダベース１に設けた３つのブッシング挿通孔１１に各々挿通された３つのブッシング２より構成されており、各ブッシング２はターミナルヘッダベース１のブッシング挿通孔１１の軸方向の両端で、ターミナルヘッダベース１に気密に固着されている。ここで、３つのブッシング２は、それぞれ、サブマージドポンプ１０２に給電する三相電力の各相の給電線を、液化ガス汲揚用管１０１の内外で中継するものである。
【００１６】
次に、図３に、フィードスルー１０のターミナルヘッダベース１の構造を示す。
図３中、図３ａがターミナルヘッダベース１の上面を、図３ｂ１がターミナルヘッダベース１の側面を、図３ｂ２が図３ａ中の切断線Ａ-Ａによるターミナルヘッダベース１の断面を、図３ｃがターミナルヘッダベース１の下面を表している。
図示するように、ターミナルヘッダベース１は、概略円盤状の部材であり、中央部に３つのブッシング挿通孔１１が設けられ、外縁部に複数のボルト孔１２が設けられている
ここで、ターミナルヘッダベース１には、３つのブッシング挿通孔１１のそれぞれについて設けられたターミナルヘッダベース１の側面からブッシング挿通孔１１の軸方向の両端間の位置まで貫通する３つの個別検出孔１３が設けられている。また、ターミナルヘッダベース１には、ターミナルヘッダベース１の側面から３つのブッシング挿通孔１１の軸方向の両端間の位置まで貫通する検出孔１４が設けられている。ここで、検出孔１４は、先端に３つに分岐した形状を有し、各分岐がそれぞれ一つのブッシング挿通孔１１の軸方向の両端間の位置に連結している。
【００１７】
また、３つの個別検出孔１３は、ターミナルヘッダベース１の側面側で、ストップスクリューなどの適当な封止部材１５を用いて気密に封止されている。
また、ターミナルヘッダベース１の上下面のブッシング挿通孔１１の周囲には、ブッシング固定用の円環状の溝１６が形成されている。
次に、図４に、フィードスルー１０のブッシング２の構成を示す。
ここで、図４中、図４ａがブッシング２の外観を、図４ｂがブッシング２の軸を通る切断線による断面を表している。
図示するように、ブッシング２は、セラミックスなどの絶縁材料からなる中空管状の絶縁管２１と絶縁管２１の中空部に挿通された導体２２と、導体２２の両端に連結された端子２３とを備えている。
また、絶縁管２１の中空部の一方の端において、絶縁管２１と導体２２の間は第１封着金具２４で気密に封止されている。また、絶縁管２１の中空部の他方の端において、絶縁管２１と導体２２の間は、絶縁管２１に気密に封着された第２封着金具２５と、第２封着金具２５に一方の側が溶接され、導体２２に他方の側が気密に封着されたＳ型ベロー２６とによって、気密に封止されている。
【００１８】
ここで、Ｓ型ベロー２６は可撓性を有し、撓みによって各部の線膨張率の差を吸収し、各部の熱的ストレスを緩和する。また、ブッシング２は、導体２２の周りに設けた部材群２７によって、Ｓ型ベロー２６による絶縁管２１と導体２２の間の封止の機械的強度を確保するように構成されている。
【００１９】
次に、ブッシング２の絶縁管２１には、ブッシング挿通孔１１の軸方向の両端間に配置される位置から絶縁管２１の中空部まで貫通する、絶縁管２１の軸方向と垂直な方向を軸とする貫通孔２８が設けられている。
また、ブッシング２の絶縁管２１の、絶縁管２１の軸方向について貫通孔２８の両側には、ブッシング２をターミナルヘッダベース１に封着するために用いるＣ型ベロー２９がろう付けにより気密に封着されている。
ここで、導体２２の側面の軸方向端部を除く部分の表面は、フッ素樹脂、シリコン樹脂、セラミックスコーティングなどの絶縁材による絶縁層３０で被覆されている。
したがって、導体２２から絶縁管２１の外周面の貫通孔２８の開口までの電気的沿面距離は、図４ｂ中のＤとなり、絶縁管２１の外周面から導体表面までの直線距離に比べて遙かに大きくなる。
ここで、図４ａ、ｂに示したブッシング２ではブッシング２の導体２２の側面の軸方向端部を除く部分の表面に絶縁層３０を被覆することにより、導体２２から絶縁管２１の外周面の貫通孔２８の開口までの電気的沿面距離を大きく確保したが、これは、絶縁層３０に代えて絶縁筒を用いて、導体２２から絶縁管２１の外周面の貫通孔２８の開口までの電気的沿面距離を大きく確保するようにしてもよい。
【００２０】
すなわち、図４ｃのブッシング２の軸を通る切断線による断面を示すように、導体２２には絶縁層３０を被覆せずに、導体２２をブッシング２の絶縁管２１の中空部内に、導体２２が挿通された中空の絶縁筒３１を設ける。ここで、絶縁筒３１は、セラミックスなどの絶縁材料で形成する。
【００２１】
このように、導体２２に絶縁層３０を被覆する代わりに、導体２２が挿通される絶縁筒３１を設けた場合でも、導体２２から絶縁管２１の外周面の貫通孔２８の開口までの電気的沿面距離は図４ｃ中のＤで示す距離となり、絶縁管２１の外周面から導体表面までの直線距離に比べて遙かに大きくなる。
【００２２】
次に、以上のようなターミナルヘッダベース１とブッシング２とより構成されるフィードスルー１０の詳細について説明する。
図５ａにフィードスルー１０の断面を、図５ｂにフィードスルー１０の片側断面を示す。
図示するように、各ブッシング２は、ブッシング挿通孔１１に挿通した状態で、二つのＣ型ベロー２９をターミナルヘッダベース１の上下面に形成されている円環状の溝１６にそれぞれ溶接等によって気密に封着することにより、ターミナルヘッダベース１に固定される。
【００２３】
ここで、この状態において、ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間と、ブッシング挿通孔１１とブッシング２の絶縁管２１との間の空間とは、絶縁管２１の貫通孔２８によって連通している。
また、各ブッシング挿通孔１１とブッシング２の絶縁管２１との間の空間は、ターミナルヘッダベース１の中央部分で、個別検出孔１３と検出孔１４によって連通している。
したがって、各ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間は、ターミナルヘッダベース１の検出孔１４の、ターミナルヘッダベース１の側面の開口と連通している。
よって、各ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間の気密や、ターミナルヘッダベース１とブッシング２との間の空間の気密の破壊を、ターミナルヘッダベース１の側面の検出孔１４の開口に連結した監視機器で気圧変化などを監視するより検出することができることとなる。
【００２４】
なお、図５ａに示すようにターミナルヘッダベース１の下面側は、液化ガス汲揚用管１０１の上端に設けられているフランジに、ターミナルヘッダベース１の外縁部に設けられているボルト孔１２を利用してボルトによって気密に連結される。
また、ターミナルヘッダベース１の上面側には、ターミナルヘッダベース１の外縁部に設けられているボルト孔１２を利用して、配線カバー用のチューブ１０６が連結される。
また、ブッシング２の各端子２３は、給電線となる絶縁電線１０５が連結された状態で、所定の封止材によって気密に封止される。
以上、製造工程終了後の完成されたフィードスルー１０について説明した。
以下、このようなフィードスルー１０の製造手順について説明する。
フィードスルー１０の製造においては、まず、図６ａ１に示すように、検出孔１４の形成と、各個別検出孔１３の封止部材１５による封止のみを未実施の状態のターミナルヘッダベース１を中間状態のターミナルヘッダベース１として製作する。ここで、中間状態のターミナルヘッダベース１において、３つの個別検出孔１３は、それぞれ、ターミナルヘッダベース１の側面からブッシング挿通孔１１までを貫通する孔となり、３つの個別検出孔１３は相互に連通していない。また、中間状態のターミナルヘッダベース１は、各個別検出孔１３の形成の際に、形成する孔の長さをターミナルヘッダベース１の中心方向に延伸することにより形成した、検出孔１４の先端の分岐部分のブッシング挿通孔１１側の一部１４１も備えている。
【００２５】
そして、中間状態のターミナルヘッダベース１の各ブッシング挿通孔１１に、上述のように各ブッシング２を封着し、図６ａ２に示すように、中間状態のターミナルヘッダベース１の下面側を、中間状態のターミナルヘッダベース１の外縁部に設けられているボルト孔１２を利用して適当なフィードスルー評価用管５００の上端に設けられているフランジにボルトによって気密に締結する。そして、フィードスルー評価用管５００に適当な気圧を与えながら、中間状態のターミナルヘッダベース１の側面の３つの個別検出孔１３の開口にそれぞれ、または、順次、測定器を連結し、各ブッシング２について、ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間の気密や、中間状態のターミナルヘッダベース１とブッシング２との間の空間の気密の健全性を評価する。
【００２６】
そして、全てのブッシング２について気密の健全性が確認できたならば、中間状態のフィードスルー１０をフィードスルー評価用管５００から取り外し、図６ｂ１、ｂ２に示すように、中間状態のターミナルヘッダベース１の側面からターミナルヘッダベース１の中心方向に向かう孔を、当該孔の先端が、各個別検出孔１３の形成の際に形成しておいた検出孔１４の分岐部分の一部１４１の各々につながるように形成して、検出孔１４を完成すると共に、３つの個別検出孔１３を封止部材１５で気密に封止し、フィードスルー１０を完成する。
【００２７】
以上、本発明の第１実施形態について説明した。
なお、以上の第１実施形態は、全てのブッシング２について気密の健全性が確認できた後に、検出孔１４を形成する代わりに、一つの個別検出孔１３を、他の二つの個別検出孔１３の先端と連通するように延伸して、二つの個別検出孔１３のみを封止部材１５で気密に封止するようにしてもよい。このようにしても、検出孔１４に代えて、封止しなかった一つの個別検出孔１３を用いて、各ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間の気密や、ターミナルヘッダベース１とブッシング２との間の空間の気密の破壊を検出することができる。
または、以上の第１実施形態は、全てのブッシング２について気密の健全性が確認できた後に、検出孔１４を形成し、３つの個別検出孔１３を封止部材１５で気密に封止する代わりに、検出孔１４を形成し、２つの個別検出孔１３と検出孔１４とを封止部材１５で気密に封止するようにしてもよい。このようにしても、検出孔１４に代えて、封止しなかった一つの個別検出孔１３を用いて、各ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間の気密や、ターミナルヘッダベース１とブッシング２との間の空間の気密の破壊を検出することができる。
以下、本発明の第２の実施形態について説明する。
本第２実施形態は、前記第１実施形態とターミナルヘッダベース１と、フィードスルー１０の製造手順のみが異なる。
図７に、本第２実施形態に係るフィードスルー１０の製造工程終了後の完成された状態のターミナルヘッダベース１の構造を示す。
ここで、図７ａがターミナルヘッダベース１の上面を、図７ｂ１がターミナルヘッダベース１の側面を、図７ｂ２が図３ａ中の切断線Ａ-Ａによるターミナルヘッダベース１の断面を、図７ｃがターミナルヘッダベース１の下面を表している。
図示するように、本第２実施形態に係るターミナルヘッダベース１には、第１実施形態とに係るターミナルヘッダベース１と同様に、３つのブッシング挿通孔１１、複数のボルト孔１２、３つの個別検出孔１３、ブッシング固定用の円環状の溝１６が設けられている。
【００２８】
一方、本第２実施形態に係るターミナルヘッダベース１には、第１実施形態に係るターミナルヘッダベース１と異なり、検出孔１４は設けられておらず、３つのブッシング挿通孔１１のうち、２つの個別検出孔１３のみが、ターミナルヘッダベース１の側面側で、ストップスクリューなどの適当な封止部材１５を用いて気密に封止されている。
【００２９】
また、本第２実施形態に係るターミナルヘッダベース１には、第１実施形態に係るターミナルヘッダベース１と異なり、円環状の孔である円環状連絡路７０１が３つの個別検出孔１３の上方を通るように設けられており、円環状連絡路７０１と３つの個別検出孔１３は、それぞれ円環状連絡路７０１の下面から３つの個別検出孔１３まで貫通する小孔７０２によって連通している。
【００３０】
ここで、円環状連絡路７０１は、ターミナルヘッダベース１の上面に３つの個別検出孔１３の上方を通るように形成した円環状の溝である円環溝の上部を、円環状の封止部材である円環封止材７０３で気密に封止することにより形成されている。
このような本第２実施形態に係る完成された状態のターミナルヘッダベース１によれば、ブッシング２を各ブッシング挿通孔１１に上述のように各ブッシング２を封着した状態では、封止部材１５を用いて封止しなかった一つの個別検出孔１３のターミナルヘッダベース１側面の開口は、円環状連絡路７０１、小孔７０２を介して、各ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間や、各ブッシング２のターミナルヘッダベース１との間の空間と連通し、この開口に連結した監視機器で気圧変化などを監視するより、各ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間の気密や、ターミナルヘッダベース１とブッシング２との間の空間の気密の破壊を検出することができる。
【００３１】
以下、本第２実施形態に係るフィードスルー１０の製造手順について説明する。
フィードスルー１０の製造においては、まず、図８ａ１、ａ２に示すように、各個別検出孔１３の封止部材１５による封止と、小孔７０２の形成と、円環溝７０４の円環封止材７０３による封止とを行う前の状態のターミナルヘッダベース１を中間状態のターミナルヘッダベース１として製作する。ここで、３つの個別検出孔１３は、それぞれ、中間状態のターミナルヘッダベース１の側面からブッシング挿通孔１１までを貫通する孔とする。
【００３２】
次に、中間状態のターミナルヘッダベース１の各ブッシング挿通孔１１に、上述のように各ブッシング２を封着し、中間状態のターミナルヘッダベース１を適当なフィードスルー評価用管に気密に締結する。そして、適当なフィードスルー評価用管５００に適当な気圧を与えながら、中間状態のターミナルヘッダベース１の側面の３つの個別検出孔１３の開口にそれぞれ、または、順次、測定器を連結し、各ブッシング２について、ブッシング２の絶縁管２１の中空部と導体２２の間の空間の気密や、中間状態のターミナルヘッダベース１とブッシング２との間の空間の気密の健全性を評価する。
【００３３】
そして、全てのブッシング２について気密の健全性が確認できたならば、中間状態のフィードスルー１０をフィードスルー評価用管から取り外し、図８ｂ１、ｂ２に示すように、円環溝７０４の下面から個別検出孔１３まで貫通する小孔７０２を形成する。
そして、図８ｃ１、ｃ２に示すように、３つの個別検出孔１３のうちの２つの個別検出孔１３を封止部材１５で気密に封止すると共に、円環溝７０４の上部を図８ｄに示すような円環封止材７０３によって気密に封止し、フィードスルー１０を完成する。
以上、本発明の第２実施形態について説明した。
ところで、以上の第１、第２実施形態では、ターミナルヘッダベース１として概略円盤状のターミナルヘッダベース１を用いたが、ターミナルヘッダベース１の形状は概略円盤状以外の形状としてもよい。
すなわち、たとえば、図９ａに示すような概略、上下二つのフランジを中空の円筒部で上下に連結した形状のものを用いるようにしてもよい。
ここで、図９ａ中、図９ａ１がターミナルヘッダベース１の上面を、図９ａ２がターミナルヘッダベース１の側面を、図９ａ３が図９ａ１中の切断線Ａ-Ａによるターミナルヘッダベース１の断面を、図９ａ４がターミナルヘッダベース１の下面を表している。
図示するように、ターミナルヘッダベース１は、上方フランジ部６０１と、下方フランジ部６０２と、上方フランジ部６０１と下方フランジ部６０２を上下に連結する中空円筒部６０３とを備えている。上方フランジ部６０１は、図３または図７に示した円盤状のターミナルヘッダベース１と同様の構成を備えており、下方フランジ部６０２は、外縁部にボルト孔１２が設けられた円環盤形状を有している。
【００３４】
そして、たとえば、図９ｂに示すように、ターミナルヘッダベース１の下方フランジ部６０２の下面側は、ターミナルヘッダベース１の外縁部に設けられているボルト孔１２を利用して、ターミナルヘッダベース１の液化ガス汲揚用管１０１の上端に設けられているフランジに、ボルトによって締結される。
【００３５】
また、ターミナルヘッダベース１の上部フランジ部の上面側には、ターミナルヘッダベース１の上部フランジ部の外縁部に設けられているボルト孔１２を利用して、配線カバー用のチューブ１０６が連結される。
また、ブッシング２の各端子２３は、給電線となる絶縁電線１０５が連結された状態で、所定の封止材３０２によって気密に封止される。
ここで、図９ａに示した上下二つのフランジを備えたターミナルヘッダベース１を用いたフィードスルー１０は、図９ｂに示すように、上端付近で屈曲する液化ガス汲揚用管１０１への適用に好適である。このようなターミナルヘッダベース１を用いることにより給電線の端子２３近傍の曲げ半径を大きく確保することができる。
【符号の説明】
【００３６】
１…ターミナルヘッダベース、２…ブッシング、１０…フィードスルー、１１…ブッシング挿通孔、１２…ボルト孔、１３…個別検出孔、１４…検出孔、１５…封止部材、１６…溝、２１…絶縁管、２２…導体、２３…端子、２４…第１封着金具、２５…第２封着金具、２６…Ｓ型ベロー、２７…部材群、２８…貫通孔、２９…Ｃ型ベロー、３０…絶縁層、３１…絶縁筒、１００…タンク、１０１…液化ガス汲揚用管、１０２…サブマージドポンプ、１０３…電源、１０４…排出路、１０５…絶縁電線、１０６…チューブ、３０２…封止材、５００…フィードスルー評価用管、６０１…上方フランジ部、６０２…下方フランジ部、６０３…中空円筒部、７０１…円環状連絡路、７０２…小孔、７０３…円環封止材、７０４…円環溝。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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