(57)【要約】【課題】乾燥粒子などを除去し得るようにする。【解決手段】表面側に薄膜２を形成させるための基板３と、この基板３に対向配置されて、薄膜２の原料となる溶液４の液滴５を基板３へ向けて噴出可能な液滴噴出部６と、この液滴噴出部６と上記基板３との間に電圧を印加して、上記溶液４を帯電させる電圧発生部７と、を備えた静電塗布装置１に関する。  上記基板３と液滴噴出部６との間の位置に、上記基板３の表面側に着弾する前に乾燥して乾燥粒子９となる液滴５、および、既に乾燥した乾燥粒子９、並びに、成膜に悪影響を及ぼす液滴５を排除可能な導電性の乾燥粒子排除部材１１を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面側に薄膜を形成させるための基板と、
該基板に対向配置されて、薄膜の原料となる溶液の液滴を基板へ向けて噴出可能な液滴噴出部と、
該液滴噴出部と前記基板との間に電圧を印加して、前記溶液を帯電させる電圧発生部と、を備えた静電塗布装置において、
前記基板と液滴噴出部との間の位置に、前記基板の表面側に着弾する前に乾燥して乾燥粒子となる液滴、および、既に乾燥した乾燥粒子、並びに、成膜に悪影響を及ぼす液滴を排除可能な導電性の乾燥粒子排除部材を設けたことを特徴とする静電塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の静電塗布装置であって、
前記導電性の乾燥粒子排除部材に対して、排除する液滴の大きさを設定・調整するための電圧を印加可能な排除粒径調整用電源を接続したことを特徴とする静電塗布装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の静電塗布装置であって、
前記導電性の乾燥粒子排除部材が、網状部材とされたことを特徴とする静電塗布装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の静電塗布装置であって、
前記導電性の乾燥粒子排除部材が、リング状部材とされたことを特徴とする静電塗布装置。
【請求項５】
電圧が印加された液滴噴出部の内部で薄膜の原料となる溶液を帯電させると共に、帯電された溶液を、前記液滴噴出部との間で電圧が印加されている基板へ向けて噴出させることにより、基板の表面側に薄膜を形成する静電塗布方法であって、
前記基板と液滴噴出部との間の位置に設けた導電性の乾燥粒子排除部材によって、前記基板の表面側に着弾する前に乾燥して乾燥粒子となる液滴、および、既に乾燥した乾燥粒子、並びに、成膜に悪影響を及ぼす液滴を排除させることを特徴とする静電塗布方法。
【請求項６】
請求項５の静電塗布方法で形成された薄膜が、電圧を印加することによって発光可能な有機ＥＬ用薄膜であることを特徴とする静電塗布薄膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、静電塗布装置および静電塗布方法ならびに静電塗布薄膜に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄膜を形成するために、静電塗布装置が開発されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この静電塗布装置は、被塗布物と、被塗布物へ向けて塗布液を放出するノズルと、ノズルおよび被塗布物の間に電圧を印加する電源と、を備えたものとされる。
【０００４】
そして、電源によって、被塗布物とノズルとの間に電圧を印加すると、ノズルの内部で塗布液が帯電される。そして、塗布液の電荷どうしの反発力が塗布液の表面張力よりも大きくなると、塗布液がノズルから液滴として噴出される。これによって、被塗布物の表面に薄膜が形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−０４１９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記した静電塗布装置には、以下のような問題があった。
即ち、ノズルから噴出された塗布液が、分裂して霧状となる際に、液滴の粒径に大きなばらつきが発生すると、空間中で粒径が大きい液滴と粒径が小さい液滴とが混在するようになる。そして、粒径が小さい液滴は、粒径が大きい液滴と比べて、乾燥までに要する時間が短くなるため、被塗布物に着弾するまでに、溶媒が完全に乾燥しきって、空間中で固体（乾燥粒子）になってしまう。
そのため、溶媒を含んでいる液滴が被塗布物に着弾する場合、液状のままの液滴は被塗布物の表面で広がって薄膜を形成するのに対し、溶媒が乾燥して固体となった液滴は、薄膜形成に寄与せずに固体状態で上記した薄膜上に着弾して異物となる。この異物によって薄膜の表面が粗くなるため、良好な高品質の薄膜を成膜することができなかった。
【０００７】
そこで、本発明は、上記した問題点を解決し、乾燥粒子などを除去し得るようにすることを、主な目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は、
表面側に薄膜を形成させるための基板と、
該基板に対向配置されて、薄膜の原料となる溶液の液滴を基板へ向けて噴出可能な液滴噴出部と、
該液滴噴出部と前記基板との間に電圧を印加して、前記溶液を帯電させる電圧発生部と、を備えた静電塗布装置において、
前記基板と液滴噴出部との間の位置に、前記基板の表面側に着弾する前に乾燥して乾燥粒子となる液滴、および、既に乾燥した乾燥粒子、並びに、成膜に悪影響を及ぼす液滴を排除可能な導電性の乾燥粒子排除部材を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、上記構成によって、基板の表面側に着弾する前に乾燥して乾燥粒子となる液滴、および、既に乾燥した乾燥粒子、並びに、成膜に悪影響を及ぼす液滴を、導電性の乾燥粒子排除部材によって有効に排除することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施例１にかかる静電塗布装置の全体図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
【図３】液滴の粒径にばらつきが発生する状態を示す説明図である。
【図４】薄膜に乾燥粒子が付着する状態を示す説明図である。このうち、（ａ）は着弾前の状態、（ｂ）は着弾後の状態である。
【図５】導電性の乾燥粒子排除部材によって乾燥粒子を排除する状態を示す説明図である。
【図６】乾燥粒子排除部材の効果を示す図である。このうち、（ａ）は乾燥粒子排除部材が有る場合、（ｂ）は乾燥粒子排除部材が無い場合である。
【図７】実施例２にかかる静電塗布装置の全体図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本実施の形態を、図面を用いて詳細に説明する。
図１〜図７は、この実施の形態および実施例を説明するためのものである。
【００１２】
［静電塗布装置の基本的な構成について］
図１の全体図、および、図２の部分拡大図に示すように、この静電塗布装置１は、表面側に薄膜２を形成させるための基板３と、この基板３に対向配置されて、薄膜２の原料となる溶液４の液滴５を基板３へ向けて噴出可能な液滴噴出部６と、この液滴噴出部６と上記基板３との間に電圧を印加して、上記溶液４を帯電させる電圧発生部７と、を備えたものとされる。
【００１３】
ここで、「基板３」は、薄膜２を直接形成するようにした塗布対象物であっても良いし、表面側に配置された別の塗布対象物に間接的に薄膜２を形成させるためのものであっても良い。この基板３には、表面に直接薄膜２を形成させるようにしたＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）などによる透明導電膜などが用いられることが多い。「溶液４」は、主に、蒸発による乾燥速度を制御し易い有機溶媒などの溶媒を含むものとされる。有機溶媒などの溶媒には、例えば、ジメチルスルホキシドや、メタノールや、エタノールや、ホルムアミドや、水や、アセトニトリルや、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドや、アセトンや、その他のもの、若しくは、これらの混合物などを使用することができる。「液滴噴出部６」は、表面張力によって溶液４を保持できるようにした、ガラスやセラミックなどの絶縁体や金属製などのキャピラリーチューブ（細管）やノズルなどとされている。液滴噴出部６には、必要に応じて、溶液供給部８が接続される。基板３と液滴噴出部６との間の間隔は、例えば、１０ｍｍ〜１００ｍｍなどとされる。「電圧発生部７」は、例えば、ほぼ３ｋＶ〜１５ｋＶ程度の高い電圧を発生可能な直流または交流の高圧電源装置などとされる。
【００１４】
［静電塗布装置の基本的な作用について］
上記した静電塗布装置１は、基板３と、液滴噴出部６と、電圧発生部７と、を備えている。そのため、電圧発生部７によって、基板３と液滴噴出部６との間に高電圧を印加すると、図２に示すように、液滴噴出部６の内部の溶液４が帯電される。そして、溶液４の電荷どうしの反発力が溶液４の表面張力よりも大きくなると、溶液４が液滴噴出部６から液滴５として噴出される。そして、噴出された液滴５は、乾燥が進行して電荷密度が上昇されるが、この乾燥による電荷密度の上昇によって、電荷どうしの反発力が溶液４の表面張力よりも大きくなると、液滴５に分裂が発生される（レーリー分裂）。以後、液滴５は、上記した乾燥と分裂との過程を繰り返しながら、霧状になって拡散し、基板３の表面側にスプレーされる。これにより、基板３の表面側に、比較的早い速度で、面内均一性が高く、しかも、極めて薄い高品質な薄膜２が形成される。
【００１５】
また、液滴噴出部６から噴出された溶液４が分裂して霧状となる際に、図３に示すように、液滴５の粒径に大きなばらつきが発生すると、空間中で粒径が大きい液滴５（ｘ）と粒径が小さい液滴５（ｙ）とが混在するようになる。そして、粒径が小さい液滴５（ｙ）は、粒径が大きい液滴５（ｘ）と比べて、乾燥までに要する時間が短くなるため、図４（ａ）（ｂ）に示すように、基板３の表面側に着弾するまでに、溶媒が完全に乾燥しきってしまい、空間中で固体（乾燥粒子９）になる。そのため、溶媒を含んでいる液滴５が基板３の表面側に着弾する場合、液状のままの液滴５は基板３の表面側で広がって薄膜２を形成するのに対し、溶媒が乾燥して固体となった液滴５（乾燥粒子）は、薄膜２の形成に寄与せずに、固体状態で上記した薄膜２上に着弾して異物となる。この異物によって薄膜２の表面が粗くなり、良好な高品質の薄膜２を成膜することができなくなる。また、着弾時に完全に乾燥していなくても、成膜に悪影響を及ぼす液滴５も存在する。例えば、溶質の濃度が高くなっていることで、塗布ムラを生じるような小さめの液滴５などである。なお、小さい液滴５（ｙ）は、例えば、粒径が０．３μｍ程度以下のものなどである。また、大きい液滴５（ｘ）は、粒径が０．３μｍ程度以上のもの、例えば、１０μｍ〜３０μｍ程度のものなどである。また、上記した基板３と液滴噴出部６との間の間隔は、液滴噴出部６からの溶液４の噴射速度や、溶媒の乾燥時間などを総合的に考慮して、上記したような異物の付着が最小化されるように最適に設定されるのは勿論である。
【００１６】
そこで、上記した静電塗布装置１を、以下の実施例のようにする。
【実施例１】
【００１７】
＜構成＞以下、この実施例の構成について説明する。
［静電塗布装置について］
（１）図１に示すように、上記基板３と液滴噴出部６との間の位置に、上記基板３の表面側に着弾する前に乾燥して乾燥粒子９となる液滴５、および、既に乾燥した乾燥粒子９、並びに、成膜に悪影響を及ぼす液滴５を排除可能な導電性の乾燥粒子排除部材１１を設ける。
【００１８】
ここで、「乾燥粒子排除部材１１」は、上記した小さい液滴５（ｙ）や乾燥粒子９や成膜に悪影響を及ぼす小さめの液滴５（着弾時に溶質の濃度が高くなっていることで塗布ムラを生じる液滴５）を捕集することができるのであればどのようなものであっても良い。乾燥粒子排除部材１１には、主に、金属製のものなどが用いられる。また、乾燥粒子排除部材１１には、上記したＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）などによるものなども用いることができる。乾燥粒子排除部材１１は、後述するように、基板３と液滴噴出部６との間の中間位置よりも、基板３寄りに設置される。
【００１９】
なお、乾燥粒子排除部材１１を樹脂製の部材で構成しようとしても、樹脂製の上記部材は、液滴５と反発し合う電荷を帯びてしまうため、乾燥粒子排除部材１１には適さない。
【００２０】
（２）そして、好ましくは、上記導電性の乾燥粒子排除部材１１に対して、排除する液滴５の大きさを設定・調整するための電圧を印加可能な排除粒径調整用電源２１を接続する。
【００２１】
ここで、「排除粒径調整用電源２１」は、直流電源などとされる。この排除粒径調整用電源２１の電圧は、電圧発生部７の電圧よりも低いものとされる。排除粒径調整用電源２１の電圧は、例えば、０Ｖ〜±１ｋＶ程度などとされる。排除粒径調整用電源２１に印加する電圧は、目的や状況に応じて、液滴５が持つ電荷と逆符号または同符号にすることができる。
【００２２】
（３）図１、図５に示すように、上記した導電性の乾燥粒子排除部材１１は、網状部材３１とすることができる。
【００２３】
ここで、「網状部材３１」は、上記基板３に未乾燥状態で着弾されて、上記基板３の表面側で広がって成膜される液滴５（成膜に悪影響を及ぼさない大きな液滴５）が余裕を以って通過可能な目の粗さを有するものとされる。網状部材３１は、例えば、１ｍｍ角程度の目の粗さを有する金網などを使用することができる。網状部材３１は、基板３に近接した位置、即ち、基板３に対する着弾の直前位置に設置するのが好ましい。例えば、液滴噴出部６と基板３との間の距離を１００ｍｍなどとした場合、網状部材３１は、基板３から５ｍｍ〜１０ｍｍ程度離れた位置などに設置される。
【００２４】
また、網状部材３１は、好ましくは、絶縁部材３２によって液滴噴出部６と一体に連結しておくようにする（絶縁性連結部材）。これにより、液滴噴出部６に対して基板３を相対的に移動させた場合であっても、網状部材３１を液滴噴出部６と一緒に変位させることができるので、薄膜２の連続的な形成が可能となる。
【００２５】
（４）または、図７に示すように、上記した導電性の乾燥粒子排除部材１１は、リング状部材４１とすることができる。
【００２６】
ここで、「リング状部材４１」は、金属リングやＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）などによるリングとされる。リング状部材４１は、上記した網状部材３１と同様に、基板３に近接した位置、即ち、基板３に対する着弾の直前位置に設置される。リング状部材４１は、その径寸法に対して軸線方向の長さが短いものとされる。そして、リング状部材４１は、上記した設置位置における液滴５の広がり径とほぼ同じかそれよりも、若干大きい径のものとされる。また、リング状部材４１の軸線方向の長さ（或いは、液滴５の移動方向の高さ）は、上記した横方向の力によって引き付けられた小さい液滴５（ｙ）などを捕集するのに最適な寸法にする。この最適な寸法は、トライアンドエラーなどによって設定することができる。例えば、液滴噴出部６と基板３との間の距離を１００ｍｍなどとし、網状部材３１を基板３から５ｍｍ〜１０ｍｍ程度離れた位置などに設置した場合、リング状部材４１の高さを１０ｍｍ程度にする。これは、リング状部材４１の高さを余り低くし過ぎると、リング状部材４１に引き寄せられた小さい液滴５（ｙ）がリング状部材４１に捕集されずに通り過ぎて基板３に着弾してしまうと共に、リング状部材４１の高さを余り高くし過ぎると、大きい液滴５（ｘ）までリング状部材４１に引き寄せられて捕集されてしまうおそれがあることによる。
【００２７】
（５）［静電塗布方法について］
上記静電塗布装置を用いた静電塗布方法は、電圧が印加された液滴噴出部６の内部で薄膜２の原料となる溶液４を帯電させると共に、帯電された溶液４を、上記液滴噴出部６との間で電圧が印加されている基板３へ向けて噴出させることにより、基板３の表面側に薄膜２を形成するものである。
そして、上記基板３と液滴噴出部６との間の位置に設けた導電性の乾燥粒子排除部材１１によって、上記基板３の表面側に着弾する前に乾燥して乾燥粒子９となる液滴５、および、既に乾燥した乾燥粒子９、並びに、成膜に悪影響を及ぼす液滴を排除させるようにする。
【００２８】
（６）［塗膜について］
上記した静電塗布方法で形成された薄膜２が、電圧を印加することによって発光可能な有機ＥＬ用薄膜とされる。
【００２９】
有機ＥＬ薄膜２としては、例えば、ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳやＰＦＯ（poly(9,9-dioctylfluorene)）やフルロレンやカルバゾールなどの高分子材料や、金属錯体や、デンドリマーや芳香族分子などの低分子材料などが挙げられる。但し、有機ＥＬ薄膜２は、これに限るものではない。
【００３０】
また、上記した静電塗布方法によれば、有機ＥＬ用薄膜以外にも、例えば、太陽電池やトランジスタメモリ用の薄膜なども形成することができる。更に、レジスト膜や絶縁膜などの、各種の被覆材料などにも適用可能である。
【００３１】
＜作用効果＞以下、この実施例の作用効果について説明する。
（１）基板３と液滴噴出部６との間の位置に、導電性の乾燥粒子排除部材１１を設けた。これにより、基板３の表面側に着弾する前に乾燥して乾燥粒子９となる液滴５、および、既に乾燥した乾燥粒子９、並びに、成膜に悪影響を及ぼす液滴５を、図５に示すように、導電性の乾燥粒子排除部材１１によって有効に排除することができる。
【００３２】
即ち、液滴噴出部６から噴出された液滴５は、導電性の乾燥粒子排除部材１１を通過する時に、基板３への移動方向の力となる基板３からの引力や重力と（以下、移動力と言う）、移動方向に対する横方向への力となる鏡像力（金属と荷電粒子間に働く引力）とを受ける。そのため、液滴５が導電性の乾燥粒子排除部材１１を通過すると、小さい液滴５（ｙ）など（微小液滴）や、小さい液滴５（ｙ）が乾燥して成る乾燥粒子９（即ち、不具合の原因となる有害な液滴５など）は、移動力が小さいため、移動力に比べて鏡像力の方が相対的に大きくなることから、横方向に大きく加速されて、導電性の乾燥粒子排除部材１１に捕捉される。一方、大きい液滴５（ｘ）（即ち、不具合の原因にはならない無害な液滴５）は、鏡像力に比べて移動力が相対的に大きくなるため、導電性の乾燥粒子排除部材１１に捕捉される前に乾燥粒子排除部材１１を通過することができる。
よって、大きい液滴５（ｘ）は乾燥粒子排除部材１１を通過するが、小さい液滴５（ｙ）など（微小液滴、乾燥粒子９）は乾燥粒子排除部材１１に捕捉されることになり、この乾燥粒子排除部材１１の作用を利用することによって、基板３の表面側に着弾する前に乾燥して乾燥粒子９となる小さい液滴５、および、既に乾燥した乾燥粒子９、並びに、成膜に悪影響を及ぼす小さめの液滴５を排除することが可能となる。
【００３３】
これにより、液滴５の分裂の過程で発生した小さい液滴５（ｙ）や、乾燥粒子９や、成膜に悪影響を及ぼす小さめの液滴５などを除去することが可能となり、基板３の表面側に着弾される液滴５の径を均一化することができる。そして、小さい液滴５（ｙ）など（微小液滴、乾燥粒子９）が乾燥状態で基板３の表面側に着弾されることで、基板３の表面側に形成される薄膜２に異物（乾燥粒子９による塊状の微小固形物）が発生するような不具合や、塗布ムラが発生するような不具合が抑えられるため、表面側粗さが良好で、異物の付着がなく塗布ムラのない、高品質な薄膜２を簡単に成膜することが可能となる（図６（ａ）参照）。
これに対し、導電性の乾燥粒子排除部材１１を設けない場合には、図６（ｂ）に示すように、異物を多く含み塗布ムラがある薄膜２となる。そして、上記した乾燥粒子排除部材１１を設けることにより、液滴５の塗布条件の設定も容易になる（即ち、条件範囲を広げることができる）。
【００３４】
（２）また、導電性の乾燥粒子排除部材１１に、排除粒径調整用電源２１を接続した。これにより、導電性の乾燥粒子排除部材１１に印加する電圧によって、排除する液滴５の大きさを設定・調整することができる。即ち、導電性の乾燥粒子排除部材１１に液滴５が持つ電荷と逆符号または同符号の電圧を印加すると、液滴５に作用する横方向の力は、鏡像力とクーロン力（液滴５の持つ電荷と網の持つ電荷による引力または斥力）との合力となる。そのため、乾燥粒子排除部材１１への印加電圧によって横方向の力の大きさを変化させることが可能となり、捕捉可能な液滴５の大きさを調整することができる。
よって、排除する液滴５の大きさを最適に設定・調整すると共に、排除しない液滴５の大きさを揃えたり均一化したりすることで、ムダなく効率的に薄膜２を形成することができ、ムラがなく品質の良い薄膜２を形成することができる。なお、液滴５が持つ電荷と逆符号の電圧を印加すると、捕捉可能な液滴５が大きくなり、同符号の電圧を印加すると、捕捉可能な液滴５が小さくなる。
【００３５】
（３）そして、導電性の乾燥粒子排除部材１１を網状部材３１（金網）にする。これにより、基板３の表面側に着弾する前に乾燥して乾燥粒子９となる液滴５、および、既に乾燥した乾燥粒子９、並びに、成膜に悪影響を及ぼす液滴５は、網状部材３１で捕集されると共に、網状部材３１の目を通過した液滴５は、基板３に未乾燥状態で着弾され、基板３の表面側で広がって成膜されることになる。よって、乾燥粒子９の付着がなく、しかも、ムラなく品質の良い薄膜２を形成することができる。
【００３６】
そして、網状部材３１は、霧状に拡散した液滴５の全域に亘って網の目が縦横に張り廻らされることになるので、霧状の液滴５内に分散されている小さい液滴５（ｙ）などを漏れ無く捕集して除去することができると共に、網状部材３１に捕集されるまでの小さい液滴５（ｙ）などの横方向への移動距離を短くして素早く確実に捕集することができる。よって、液滴５の塗布条件の設定がより容易となる（即ち、条件範囲をより広げることができる）。しかも、網状部材３１は、入手が容易でしかも比較的安価であるため、設備のコストダウンを図ることができる。
【００３７】
（４）または、導電性の乾燥粒子排除部材１１をリング状部材４１にする。これにより、基板３の表面側に着弾する前に乾燥して乾燥粒子９となる液滴５、および、既に乾燥した乾燥粒子９、並びに、成膜に悪影響を及ぼす液滴５は、リング状部材４１で捕集されると共に、リング状部材４１を通過した液滴５は基板３に未乾燥状態で着弾され、基板３の表面側で広がって成膜されることになる。よって、乾燥粒子９の付着がなく、しかも、ムラなく品質の良い薄膜２を形成することができる。
【００３８】
即ち、図３に示すように、粒径が大きい液滴５（ｘ）と粒径が小さい液滴５（ｙ）とがあるとする。これらの液滴５には横方向の斥力が生じるが、その大きさは共に同じである。しかし、移動方向の力は液滴５の粒径が大きいほど大きくなる。よって、液滴５の粒径が大きいと、相対的に移動方向の力が大きくなるため、あまり噴霧の角度が広がらずに速く拡散する。また、液滴５の粒径が小さいと相対的に横方向の力が大きくなるため、横方向へ広がる。このため、基板３に到達する直前の段階においては、噴霧の中心部分は液滴５の粒径が大きくなり、噴霧の外側は液滴５の粒径が小さくなる。そのため、基板３に到達する直前では、粒径の大きい液滴５（ｘ）が中心部に集まり、粒径が小さい液滴５（ｙ）は外側に押し出され易い傾向がある（図４など参照)。
【００３９】
よって、基板３に到達する直前の位置に、小さい液滴５（ｙ）などが集中する外側部分を包囲するようにリング状部材４１を配置すれば、小さい液滴５（ｙ）などを効率良く捕集して除去することができる。また、大きい液滴５（ｘ）は、主にリング状部材４１の中央部分を通るため、リング状部材４１に干渉することなく通過でき、その分、効率良く大きい液滴５（ｘ）を基板３の表面側へ着弾させることができる。
【００４０】
（５）そして、上記した「静電塗布方法」によれば、上記と同様の作用効果を得ることができる。
【００４１】
（６）更に、上記した「塗膜」によれば、上記と同様の作用効果を有する有機ＥＬ用薄膜を得ることができる。また、電圧を印加することで発光される有機ＥＬ薄膜２を、容易且つ高品位に作成することができる。
【００４２】
以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、実施例はこの発明の例示にしか過ぎないものである。よって、この発明は実施例の構成にのみ限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれることは勿論である。また、例えば、各実施例に複数の構成が含まれている場合には、特に記載がなくとも、これらの構成の可能な組合せが含まれることは勿論である。また、複数の実施例や変形例がこの発明のものとして開示されている場合には、特に記載がなくとも、これらに跨がった構成の組合せのうちの可能なものが含まれることは勿論である。また、図面に描かれている構成については、特に記載がなくとも、含まれることは勿論である。更に、「等」の用語がある場合には、同等のものを含むという意味で用いられている。また、「ほぼ」「約」「程度」などの用語がある場合には、常識的に認められる範囲や精度のものを含むという意味で用いられている。
【符号の説明】
【００４３】
１    静電塗布装置
２    薄膜
３    基板
４    溶液
５    液滴（ｘ：大きい液滴、ｙ：小さい液滴）
６    液滴噴出部
７    電圧発生部
９    乾燥粒子
１１  乾燥粒子排除部材
２１  排除粒径調整用電源
３１  網状部材
４１  リング状部材
【図１】
2015139746.tif 000003
【図２】
2015139746.tif 000004
【図３】
2015139746.tif 000005
【図４】
2015139746.tif 000006
【図５】
2015139746.tif 000007
【図６】
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【図７】
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