(57)【要約】【課題】板状の被処理物のクランプ位置がずれたり、被処理物がクランパーから外れたりすることを抑制することができるクランパー、及びこれを備える保持具を提供する。【解決手段】クランパー１では、第１挟持部材１０は、第１基部１１と、被処理物Ｗの一方の面に接する第１接触部１２とを有する。第２挟持部材２０は、被処理物Ｗの他方の面に接する第２接触部２２を有する。第２挟持部材２０は、第２接触部２２が第１接触部１２に対して近づく方向と遠ざかる方向に相対移動可能である。挟持部材付勢手段３０は、第１接触部と第２接触部が近づく方向に第１挟持部材１０及び第２挟持部材２０の少なくとも一方を付勢する。第１接触部１２は、第１基部１１から延びる複数の板ばね部１５を有する。複数の板ばね部１５は、互いに独立して弾性変形して被処理物Ｗに接する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面処理液に板状の被処理物を浸漬するときに用いられる保持具に設けられ、前記被処理物を挟持するクランパーであって、
第１基部と、前記被処理物の一方の面に接する第１接触部とを有する第１挟持部材と、
前記被処理物の他方の面に接する第２接触部を有する第２挟持部材と、
前記第１接触部と前記第２接触部が近づく方向に前記第１挟持部材及び前記第２挟持部材の少なくとも一方を付勢する挟持部材付勢手段と、を備え、
前記第１接触部は、前記第１基部から延びる複数の板ばね部を有し、前記複数の板ばね部は、互いに独立して弾性変形して前記被処理物に接するクランパー。
【請求項２】
各板ばね部は、前記第１基部から延びる延出部と、前記延出部の端部において折れ曲がる折り返し部と、を含み、前記折り返し部は、前記被処理物に接する接触面を有する、請求項１に記載のクランパー。
【請求項３】
各板ばね部において、前記延出部に対する前記折り返し部の折れ曲がり角度は、前記接触面が前記被処理物に対して面接触するように調節されている、請求項２に記載のクランパー。
【請求項４】
前記第２挟持部材の前記第２接触部は、前記第１挟持部材の前記第１接触部と同じ構造を有する、請求項１〜３の何れか１項に記載のクランパー。
【請求項５】
板状の複数の被処理物を互いに間隔をおいた状態で保持するための保持具であって、
請求項１〜４の何れか１項に記載の複数のクランパーと、
前記被処理物の一側を挟持するクランパーが保持される複数の第１保持部材と、
前記被処理物の他側を挟持するクランパーが保持される複数の第２保持部材と、
前記第１保持部材及び前記第２保持部材によって保持された状態の前記複数の被処理物を互いに間隔をおいて配置する空間を形成する支持枠と、
前記第１保持部材と前記第２保持部材が離れる方向に前記第１保持部材及び前記第２保持部材の少なくとも一方を付勢する保持部材付勢手段と、を備える保持具。
【請求項６】
サイドクランプ式の保持具であって、
前記第１保持部材が前記支持枠の一方のサイドに設けられ、前記第１保持部材によって保持される前記クランパーが前記被処理物の一方の側縁部を挟持し、
前記第２保持部材が前記支持枠の他方のサイドに設けられ、前記第２保持部材によって保持される前記クランパーが前記被処理物の他方の側縁部を挟持する、請求項５に記載の保持具。
【請求項７】
前記支持枠に固定された固定部材を備え、
前記固定部材は、水平方向に延びるガイド部を有し、
前記第１保持部材が前記固定部材に対して前記ガイド部に沿って水平方向に相対移動可能であり、
前記保持部材付勢手段は、前記第１保持部材が前記第２保持部材に対して離れる水平方向に前記第１保持部材を付勢する、請求項６に記載の保持具。
【請求項８】
前記支持枠は、前記空間に前記被処理物が挿入される挿入口を有し、
前記被処理物が前記空間に挿入されるときには、前記支持枠は、前記挿入口が前記空間の上方に位置する姿勢で配置され、
前記空間に配置された前記複数の被処理物が前記表面処理液に浸漬されるときには、前記支持枠は、前記挿入口が前記空間の側方に位置し、且つ、前記第１保持部材が前記第２保持部材よりも下方に位置する姿勢で配置される、請求項６又は７に記載の保持具。
【請求項９】
上下クランプ式の保持具であって、
前記第１保持部材によって保持される前記クランパーが前記被処理物の上縁部を挟持し、
前記第２保持部材によって保持される前記クランパーが前記被処理物の下縁部を挟持し、
前記第１保持部材と前記第２保持部材は、前記支持枠とは別体の外枠の一部を構成している、請求項５に記載の保持具。
【請求項１０】
前記第１保持部材の両サイドから下方に延びる上縦枠部材と、
前記第２保持部材の両サイドから上方に延びる下縦枠部材と、を備え、
前記上縦枠部材及び前記下縦枠部材の一方には、上下方向に延びる外枠ガイド部が設けられており、
前記上縦枠部材及び前記下縦枠部材の他方には、前記外枠ガイド部に係合した状態で前記外枠ガイド部に対して上下方向に相対移動する第１ピンが固定されており、
前記保持部材付勢手段は、前記第１保持部材と前記第２保持部材が離れる上下方向に前記第１ピンを付勢する、請求項９に記載の保持具。
【請求項１１】
前記上縦枠部材及び前記下縦枠部材の前記他方には、前記第１ピンに対して上下方向に間隔をあけた位置に第２ピンが固定されており、前記第２ピンは、前記外枠ガイド部に係合した状態で前記外枠ガイド部に対して上下方向に相対移動する、請求項１０に記載の保持具。
【請求項１２】
前記支持枠は、
水平方向に延びる前記第１保持部材の一端部と他端部を支持するために前記第１保持部材の延びる方向に互いに間隔をあけて配置された一対の上枠支持部と、
水平方向に延びる前記第２保持部材が係止されて前記第２保持部材の横ぶれを抑制する下枠係止部と、を有する、請求項９〜１１の何れか１項に記載の保持具。
【請求項１３】
前記一方の上枠支持部は、上方に開口して前記第１保持部材の前記一端部が挿入される上溝を有し、
前記他方の上枠支持部は、上方に開口して前記第１保持部材の前記他端部が挿入される上溝を有し、
前記下枠係止部は、上方に開口して前記第２保持部材が挿入される下溝を有する、請求項１２に記載の保持具。
【請求項１４】
前記上溝に挿入された前記第１保持部材の前記一端部及び前記他端部が前記上溝の底部に接する状態のときに、前記下溝に挿入された前記第２保持部材と前記下溝の底部との間には隙間が形成されている、請求項１３に記載の保持具。
【請求項１５】
前記第１保持部材の長さは、前記一方の上枠支持部の前記上溝と前記他方の上枠支持部の前記上溝との間隔よりも大きく、前記第１保持部材の前記一端部及び前記他端部のそれぞれは、前記上溝よりも水平方向外側に突出しており、
前記第２保持部材の長さは、前記一方の上枠支持部の前記上溝と前記他方の上枠支持部の前記上溝との間隔よりも小さく、前記第２保持部材の両端部は、前記上溝よりも水平方向内側に位置している、請求項１３又は１４に記載の保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、めっき液などの表面処理液に被処理物を浸漬してめっき処理などの表面処理を行うときに板状の被処理物を挟持するクランパー、及びこのクランパーを備える保持具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント基板、ガラス基板等の板状の被処理物を等間隔に配置した状態で保持可能な保持具（バスケット）が知られている。例えば特許文献１に開示されたバスケットでは、直方体形状の支持枠によって被処理物の保持空間が形成されており、この支持枠の支柱間に架設された梁部のうち、互いに対向する梁部にそれぞれ被処理物を保持する側部保持部が設けられている。側部保持部は、梁部に等間隔に配設されており、被処理物の側部（縁部）を側部保持部間に上から挿入することにより、多数の被処理物が等間隔に保持されるようになっている。
【０００３】
また、特許文献２，３には、薄く柔軟性を有する被処理物を拡げた状態で保持可能な保持具が開示されている。具体的に、特許文献２の図１（ａ），（ｂ）に開示された保持具では、補助枠部を被処理物が伸張する方向に付勢する導電性の伸張部材を備えている。特許文献３の図６に開示された保持具では、付勢手段によって被処理物の下端部が下方に向けて引っ張られる構造を備えている。
【０００４】
また、特許文献４，５には、被処理物を挟持するクランパーが設けられた保持具が開示されている。具体的に、特許文献４の図３，４に開示されたクランパーは、第１の挟持面を有する第１のクランプレバーと、第２の挟持面を有する第２のクランプレバーとを備え、被処理物を挟持するときに、第１の挟持面と第２の挟持面とが被処理物に接する。特許文献５の図１（Ａ），（Ｂ）に開示されたクランパーは、挟持部が曲面とされた折り曲げ部材を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４９１４７８０号公報
【特許文献２】特許第３３４８０９２号公報
【特許文献３】実用新案登録第３１５３５５０号公報
【特許文献４】実用新案登録第３１５３５５１号公報
【特許文献５】実開平５−７４６７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の従来の技術では、被処理物を保持した保持具（バスケット）をめっき液中に出し入れする際や、めっき液に浸漬しているときの液流により、被処理物のクランプ位置がずれて被処理物が撓んだり、場合によっては被処理物がクランパーから外れたりすることがある。このような場合、被処理物が傷ついたり、めっき不良の原因となったりすることがある。
【０００７】
本発明の目的は、板状の被処理物のクランプ位置がずれたり、被処理物がクランパーから外れたりすることを抑制することができるクランパー、及びこれを備える保持具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明は、表面処理液に板状の被処理物を浸漬するときに用いられる保持具に設けられ、前記被処理物を挟持するクランパーである。前記クランパーは、第１挟持部材と、第２挟持部材と、挟持部材付勢手段と、を備える。前記第１挟持部材は、第１基部と、前記被処理物の一方の面に接する第１接触部とを有する。前記第２挟持部材は、前記被処理物の他方の面に接する第２接触部を有する。前記挟持部材付勢手段は、前記第１接触部と前記第２接触部が近づく方向に前記第１挟持部材及び前記第２挟持部材の少なくとも一方を付勢する。前記第１接触部は、前記第１基部から延びる複数の板ばね部を有し、前記複数の板ばね部は、互いに独立して弾性変形して前記被処理物に接する。
【０００９】
この構成では、クランパーの第１挟持部材において、第１接触部は、第１基部から延びる複数の板ばね部を有する。この構成では、第１接触部は、複数の板ばね部が第１基部から分岐した構造を備える。すなわち第１接触部は複数の部分に分割された構造を備える。そして、複数の板ばね部は、被処理物に接するときに互いに独立して弾性変形する。したがって、本発明のクランパーは、複数の板ばね部のそれぞれが被処理物に対して確実に接した状態で被処理物を挟持することができる。これにより、被処理物のクランプ位置がずれたり、被処理物がクランパーから外れたりすることを抑制できる。具体的には次の通りである。
【００１０】
クランパーがめっき処理などの表面処理に多数回用いられると、クランパーにおける被処理物に接する部分にはめっき液などの表面処理液に含まれる成分が固化した異物が付着し、堆積することが考えられる。特許文献４の図３，４に開示されたクランパーでは、被処理物に接する部位である挟持部は、本発明のように複数に分割された構造ではないので、挟持部の一部に異物が堆積すると、次のような不具合が生じる。すなわち、異物が堆積した部分は、被処理物に接するが、異物が堆積していない部分は、被処理物との間に隙間ができて被処理物と接しない。このような場合、クランパーと被処理物との接触面積が小さくなって、被処理物のクランプ位置がずれたり被処理物がクランパーから外れたりしやすくなる。また、クランパーを長期間使用すると、クランパーの第１接触部の傾きが変動したり、第１接触部が摩耗したりすることがある。このような場合にも、クランパーと被処理物との接触面積が小さくなる。
【００１１】
一方、本発明では、仮に、複数の板ばね部の一部に異物が堆積した場合であっても、複数の板ばね部は、互いに独立して弾性変形して被処理物に接するので、複数の板ばね部のそれぞれが被処理物に対して接した状態で被処理物を挟持することができる。これにより、クランパーによって被処理物を挟持する挟持力が低下するのが抑制されるので、被処理物のクランプ位置がずれたり被処理物がクランパーから外れたりすることを抑制することができる。
【００１２】
（２）前記クランパーにおいて、各板ばね部は、前記第１基部から延びる延出部と、前記延出部の端部において折れ曲がる折り返し部と、を含み、前記折り返し部は、前記被処理物に接する接触面を有しているのが好ましい。
【００１３】
この構成では、折り返し部を延出部に対して折り曲げる構造を採用することで、各板ばね部が弾性変形しやすくなる。すなわち、延出部を第１基部に対して弾性変形させるとともに、折り返し部を延出部に対して弾性変形させることができる。
【００１４】
（３）前記クランパーにおける各板ばね部において、前記延出部に対する前記折り返し部の折れ曲がり角度は、前記接触面が前記被処理物に対して面接触するように調節されているのが好ましい。
【００１５】
この構成では、上記のように面接触することにより、第１接触部と被処理物との接触面積を大きくすることができるので、被処理物を挟持するクランパーの挟持力を高めることができる。
【００１６】
（４）前記クランパーにおいて、前記第２挟持部材の前記第２接触部は、前記第１挟持部材の前記第１接触部と同じ構造を有しているのが好ましい。
【００１７】
この構成では、第２挟持部材の第２接触部が第１接触部と同じ構造を有しているので、第２挟持部材の第２接触部への異物の付着、第２接触部の傾きの変動、第２接触部の摩耗などが生じたとしても、第２接触部における複数の板ばね部が互いに独立して弾性変形して被処理物に接する。これにより、クランパーの挟持力の低下を抑制する効果をさらに高めることができる。具体的には次の通りである。
【００１８】
第２挟持部材は、第２基部と、前記第２接触部とを有し、前記第２接触部は、前記第２基部から延びる複数の板ばね部を有し、前記複数の板ばね部は、互いに独立して弾性変形して前記被処理物に接する。また、第２接触部において、各板ばね部は、前記第２基部から延びる延出部と、前記延出部の端部において折れ曲がる折り返し部と、を含み、前記折り返し部は、前記被処理物に接する接触面を有しているのが好ましい。また、第２接触部の各板ばね部において、前記延出部に対する前記折り返し部の折れ曲がり角度は、前記接触面が前記被処理物に対して面接触するように調節されているのが好ましい。
【００１９】
（５）本発明の保持具は、板状の複数の被処理物を互いに間隔をおいた状態で保持するためのものである。前記保持具は、上述した複数のクランパーと、前記被処理物の一側を挟持するクランパーが保持される複数の第１保持部材と、前記被処理物の他側を挟持するクランパーが保持される複数の第２保持部材と、前記第１保持部材及び前記第２保持部材によって保持された状態の前記複数の被処理物を互いに間隔をおいて配置する空間を形成する支持枠と、前記第１保持部材と前記第２保持部材が離れる方向に前記第１保持部材及び前記第２保持部材の少なくとも一方を付勢する保持部材付勢手段と、を備える。
【００２０】
この構成では、保持部材付勢手段によって第１保持部材と第２保持部材が離れる方向に第１保持部材及び前記第２保持部材の少なくとも一方が付勢されるので、支持枠の前記空間に配置された複数の被処理物のそれぞれが常に伸張された状態となる。これにより、各被処理物が撓むのを抑制できる。また、保持部材付勢手段によって被処理物が伸張された状態では、仮に挟持力の低い従来のクランパーを用いた場合、被処理物のクランプ位置がずれたり、被処理物がクランパーから外れたりする不具合が生じやすくなるが、この構成では、複数の板ばね部を有する上述のクランパーを採用しているので、被処理物のクランプ位置がずれたり、被処理物がクランパーから外れたりするのを抑制することができる。これにより、被処理物が伸張された状態を維持できる。
【００２１】
（６）前記保持具がサイドクランプ式の保持具である場合、前記第１保持部材が前記支持枠の一方のサイドに設けられ、前記第１保持部材によって保持される前記クランパーが前記被処理物の一方の側縁部を挟持し、前記第２保持部材が前記支持枠の他方のサイドに設けられ、前記第２保持部材によって保持される前記クランパーが前記被処理物の他方の側縁部を挟持する。
【００２２】
このサイドクランプ式の保持具では、保持部材付勢手段によって被処理物を横方向に引っ張る力を加えることができるので、支持枠の前記空間に配置された複数の被処理物のそれぞれが常に伸張された状態となる。これにより、各被処理物が撓むのを抑制できる。
【００２３】
（７）前記サイドクランプ式の保持具は、前記支持枠に固定された固定部材を備え、前記固定部材は、水平方向に延びるガイド部を有し、前記第１保持部材が前記固定部材に対して前記ガイド部に沿って水平方向に相対移動可能であり、前記保持部材付勢手段は、前記第１保持部材が前記第２保持部材に対して離れる水平方向に前記第１保持部材を付勢するのが好ましい。
【００２４】
この構成では、第１保持部材が固定部材に対してガイド部に沿って水平方向に案内されるので、例えば第１保持部材が固定部材に対して水平方向から傾斜した方向に移動して被処理物がねじれるなどの不具合が生じるのを抑制できる。
【００２５】
（８）前記サイドクランプ式の保持具において、前記支持枠は、前記空間に前記被処理物が挿入される挿入口を有し、前記被処理物が前記空間に挿入されるときには、前記支持枠は、前記挿入口が前記空間の上方に位置する姿勢で配置され、前記空間に配置された前記複数の被処理物が前記表面処理液に浸漬されるときには、前記支持枠は、前記挿入口が前記空間の側方に位置し、且つ、前記第１保持部材が前記第２保持部材よりも下方に位置する姿勢で配置されるのが好ましい。
【００２６】
この構成では、被処理物が前記空間に挿入されるときには、挿入口が前記空間の上方に位置する姿勢で支持枠が配置されるので、例えば製造ラインにおいて保持具の上方に搬送された被処理物を下方に移動させるだけで、被処理物を支持枠内に挿入することができる。そして、前記空間に配置された複数の被処理物が表面処理液に浸漬されるときには、挿入口が前記空間の側方に位置し、且つ、第１保持部材が第２保持部材よりも下方に位置する姿勢で支持枠が配置される。この姿勢では、第１保持部材と第２保持部材が上下方向に並ぶように配置されるので、第１保持部材が第２保持部材から離れる方向に第１保持部材に重力が作用する。これにより、被処理物がさらに伸張される方向に引っ張られて伸張状態が維持されやすくなる。このような伸張状態で被処理物を表面処理液に浸漬して処理することができる。
【００２７】
（９）保持具が上下クランプ式の保持具である場合、前記第１保持部材によって保持される前記クランパーが前記被処理物の上縁部を挟持し、前記第２保持部材によって保持される前記クランパーが前記被処理物の下縁部を挟持し、前記第１保持部材と前記第２保持部材は、前記支持枠とは別体の外枠の一部を構成しているのが好ましい。
【００２８】
この上下クランプ式の保持具では、保持部材付勢手段によって被処理物を上下方向に引っ張る力を加えることができるので、支持枠の前記空間に配置された複数の被処理物のそれぞれが常に伸張された状態となる。これにより、各被処理物が撓むのを抑制できる。また、上下クランプ式の保持具では、第１保持部材と第２保持部材が上下方向に並ぶように配置されるので、第１保持部材が第２保持部材から離れる方向に第１保持部材又は第２保持部材に重力が作用する。これにより、被処理物がさらに伸張される方向に引っ張られて伸張状態が維持されやすくなる。また、この構成では、予め被処理物が保持された複数の外枠を支持枠に挿入するだけで、複数の被処理物を保持具に保持することができる。
【００２９】
（１０）前記上下クランプ式の保持具は、前記第１保持部材の両サイドから下方に延びる上縦枠部材と、前記第２保持部材の両サイドから上方に延びる下縦枠部材と、を備え、前記上縦枠部材及び前記下縦枠部材の一方には、上下方向に延びる外枠ガイド部が設けられており、前記上縦枠部材及び前記下縦枠部材の他方には、前記外枠ガイド部に係合した状態で前記外枠ガイド部に対して上下方向に相対移動する第１ピンが固定されており、前記保持部材付勢手段は、前記第１保持部材と前記第２保持部材が離れる上下方向に前記第１ピンを付勢するという形態であるのが好ましい。
【００３０】
この構成では、第１ピンは、外枠ガイド部に係合した状態で上下方向に案内されるので、例えば上縦枠部材が下縦枠部材に対して上下方向から傾斜した方向に移動して被処理物がねじれるなどの不具合が生じるのを抑制できる。
【００３１】
（１１）前記上縦枠部材及び前記下縦枠部材の前記他方には、前記第１ピンに対して上下方向に間隔をあけた位置に第２ピンが固定されており、前記第２ピンは、前記外枠ガイド部に係合した状態で前記外枠ガイド部に対して上下方向に相対移動するという形態であるのが好ましい。
【００３２】
この構成では、第１ピンに対して上下方向に間隔をあけた位置に固定された第２ピンを備えており、この第２ピンが外枠ガイド部に係合して上下方向に案内される。すなわち、この構成では、第１ピンだけでなく第２ピンも外枠ガイド部に係合しているので、第１保持部材が第２保持部材に対して上下方向に相対移動するときに、第１保持部材又は第２保持部材が横方向にぶれるのが抑制され、相対移動時の動作が安定する。
【００３３】
（１２）前記上下クランプ式の保持具において、前記支持枠は、水平方向に延びる前記第１保持部材の一端部と他端部を支持するために前記第１保持部材の延びる方向に互いに間隔をあけて配置された一対の上枠支持部と、水平方向に延びる前記第２保持部材が係止されて前記第２保持部材の横ぶれを抑制する下枠係止部と、を有しているのが好ましい。
【００３４】
この構成では、一対の上枠支持部によって第１保持部材の一端部と他端部を支持することができ、下枠係止部によって第２保持部材を係止して第２保持部材の横ぶれを抑制することができる。
【００３５】
（１３）前記上下クランプ式の保持具において、前記一方の上枠支持部は、上方に開口して前記第１保持部材の前記一端部が挿入される上溝を有し、前記他方の上枠支持部は、上方に開口して前記第１保持部材の前記他端部が挿入される上溝を有し、前記下枠係止部は、上方に開口して前記第２保持部材が挿入される下溝を有しているのが好ましい。
【００３６】
この構成では、第１保持部材及び第２保持部材を支持枠の上方から下方に向かって下降させるだけで、第１保持部材の一端部及び他端部を上枠支持部の上溝の挿入し、第２保持部材を下枠係止部の下溝に挿入することができる。
【００３７】
（１４）前記上下クランプ式の保持具において、前記上溝に挿入された前記第１保持部材の前記一端部及び前記他端部が前記上溝の底部に接する状態のときに、前記下溝に挿入された前記第２保持部材と前記下溝の底部との間には隙間が形成されているのが好ましい。
【００３８】
この構成では、下溝に挿入された第２保持部材と下溝の底部との間に隙間が形成されている。仮に、第２保持部材が下溝の底部に接している場合には、第２保持部材がそれ以上下方に移動するのが規制されるが、本構成では、下溝に挿入された第２保持部材と下溝の底部との間に隙間が形成されているので、第２保持部材が第１保持部材から離れる方向に相対移動するのが妨げられない。したがって、被処理物に撓みが生じるのをさらに抑制できる。
【００３９】
（１５）前記上下クランプ式の保持具において、前記第１保持部材の長さは、前記一方の上枠支持部の前記上溝と前記他方の上枠支持部の前記上溝との間隔よりも大きく、前記第１保持部材の前記一端部及び前記他端部のそれぞれは、前記上溝よりも水平方向外側に突出しており、前記第２保持部材の長さは、前記一方の上枠支持部の前記上溝と前記他方の上枠支持部の前記上溝との間隔よりも小さく、前記第２保持部材の両端部は、前記上溝よりも水平方向内側に位置しているのが好ましい。
【００４０】
この構成では、被処理物を保持した第１保持部材及び第２保持部材を、支持枠の上方から前記空間に挿入する際に、第２保持部材の下方への移動が一対の上枠支持部によって妨げられない。また、上溝よりも水平方向外側に突出している第１保持部材を、支持枠の上方から前記空間に向かって下降させるだけで、第１保持部材の一端部と他端部を一方の上枠支持部の上溝と他方の上枠支持部の上溝に挿入することができる。
【発明の効果】
【００４１】
以上説明したように、本発明のクランパーによれば、板状の被処理物のクランプ位置がずれたり、被処理物がクランパーから外れたりすることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るクランパーの挟持部材を示す斜視図である。
【図２】（Ａ）は、前記挟持部材を示す正面図であり、（Ｂ）は、その平面図であり、（Ｃ）は、その左側面図である。
【図３】（Ａ）は、第１実施形態のクランパーを示す正面図であり、（Ｂ）は、その平面図であり、（Ｃ）は、その左側面図である。
【図４】（Ａ）は、前記クランパーの挟持部材付勢手段を示す正面図であり、（Ｂ）は、その側面図である。
【図５】（Ａ）は、前記クランパーの支持部材を示す平面図であり、（Ｂ）は、その背面図であり、（Ｃ）は、その側面図である。（Ｄ）は、前記支持部材に前記挟持部材を連結する連結軸を示す正面図である。
【図６】（Ａ）は、第２実施形態のクランパーを示す正面図であり、（Ｂ）は、その平面図であり、（Ｃ）は、その右側面図である。
【図７】本発明の一実施形態に係るサイドクランプ式の保持具を示す斜視図である。
【図８】（Ａ）は、サイドクランプ式の保持具を示す正面図であり、（Ｂ）は、その平面図であり、（Ｃ）は、その側面図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る上下クランプ式の保持具を示す斜視図である。
【図１０】（Ａ）は、上下クランプ式の保持具を示す正面図であり、（Ｂ）は、その平面図であり、（Ｃ）は、その側面図である。
【図１１】（Ａ）は、上下クランプ式の保持具における支持枠を示す正面図であり、（Ｂ）は、前記支持枠を示す平面図であり、（Ｃ）は、前記支持枠を示す側面図である。
【図１２】上下クランプ式の保持具における外枠を示す正面図である。
【図１３】前記第１保持部材と前記第２保持部材の連結部分を拡大した斜視図である。
【図１４】前記上下クランプ式の保持具において、前記支持枠に前記外枠が装着された状態を示す拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００４３】
以下、本発明の実施形態に係るクランパー１，２及びこれを備える保持具１０１，１０２について図面を参照しながら詳細に説明する。クランパー１，２は、板状の被処理物Ｗの縁部を挟持して被処理物Ｗを安定した姿勢に保持するためのものである。クランパー１，２は、表面処理液に被処理物Ｗを浸漬するときに用いられる保持具１０１，１０２に設けられる。保持具１０１，１０２は、板状の複数の被処理物Ｗを互いに間隔をおいた状態で保持するためものである。
【００４４】
前記表面処理液には、めっき液、前処理液、後処理液、デスミア液、洗浄液、触媒付与液、エッチング液、活性化液、還元液が含まれる。以下では、前記表面処理液がめっき液である場合を例に挙げて説明するが、これに限られない。前記表面処理液は、めっき液以外の上述の何れかの液であってもよい。
【００４５】
［クランパー］
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係るクランパー１の第１挟持部材１０及び第２挟持部材２０を示す斜視図である。図２（Ａ）は、第１挟持部材１０及び第２挟持部材２０を示す正面図であり、図２（Ｂ）は、その平面図であり、図２（Ｃ）は、その左側面図である。図３（Ａ）は、第１実施形態のクランパー１を示す正面図であり、図３（Ｂ）は、その平面図であり、図３（Ｃ）は、その左側面図である。図４（Ａ）は、クランパー１の挟持部材付勢手段３０を示す正面図であり、図４（Ｂ）は、その側面図である。
【００４６】
第１実施形態に係るクランパー１は、第１挟持部材１０と、第２挟持部材２０と、一対の挟持部材付勢手段３０，３０と、一対の支持部材４０，４０と、一対の連結軸４５，４５とを備える。
【００４７】
図３（Ｂ），（Ｃ）に示すように、クランパー１は、例えば保持部材５０に支持される。保持部材５０には、複数のクランパー１が取り付けられる。保持部材５０としては、例えば平板状の部材、棒状の部材などが挙げられる。複数のクランパー１を一方向に間隔をあけて配列する場合には、保持部材５０は一方向に長い形状であるのが好ましい。保持部材５０としては、例えば、後述する保持具１０１，１０２の第１保持部材５１や第２保持部材５２などが挙げられる。
【００４８】
図３（Ｂ），（Ｃ）に示す第１実施形態では、第１挟持部材１０は、平板状の保持部材５０の一方の主面５０ａ側に設けられ、第２挟持部材２０は、保持部材５０の他方の主面５０ｂ側に設けられている。本実施形態では、第１挟持部材１０は、支持部材４０及び連結軸４５によって保持部材５０の主面５０ａに支持されており、第２挟持部材２０は、支持部材４０及び連結軸４５によって保持部材５０の主面５０ｂに支持されている。
【００４９】
図５（Ａ）は、クランパー１の支持部材４０を示す平面図であり、図５（Ｂ）は、その背面図であり、図５（Ｃ）は、その側面図である。図５（Ｄ）は、支持部材４０に挟持部材１０，２０を連結する連結軸４５を示す正面図である。図５（Ａ）−（Ｃ）に示すように、支持部材４０は、平板状の主壁４１と、主壁４１の両サイドから同じ方向に起立する一対の側壁４２，４２とを有する。主壁４１の一方の主面４１ａは、第１挟持部材１０又は第２挟持部材２０と対向する対向面４１ａである。主壁４１の他方の主面４１ｂは、保持部材５０の主面５０ａ又は主面５０ｂに接合される接合面４１ｂである。主壁４１の接合面４１ｂは、例えば溶接などの接合手段を用いて保持部材５０の主面５０ａ又は主面５０ｂに接合される。一対の側壁４２，４２のそれぞれには、図５（Ｄ）に示すような連結軸４５が挿通される貫通孔４２ａが設けられている。
【００５０】
第１挟持部材１０及び第２挟持部材２０は、互いに協働して被処理物Ｗを挟む機能を有する。第１挟持部材１０と第２挟持部材２０は、被処理物Ｗの縁部を挟持する方向と被処理物Ｗから離れる方向に互いに相対移動可能に構成されている。本実施形態では、一方の挟持部材付勢手段３０が第１挟持部材１０を付勢し、他方の挟持部材付勢手段３０が第２挟持部材２０を付勢する。ただし、１つの挟持部材付勢手段３０によって第１挟持部材１０と第２挟持部材２０を付勢するような形態であってもよい。
【００５１】
図３に示すように、第１実施形態では、第２挟持部材２０は、第１挟持部材１０と同じ構造を有する。したがって、図１−３において、第１挟持部材１０及び第２挟持部材２０の細部の構造に関する符号は、同じものが付されている。なお、第２挟持部材２０は、後述する第２実施形態のように第１挟持部材１０と異なる構造を有していてもよい。
【００５２】
図１及び図２（Ａ）−（Ｃ）に示すように、第１挟持部材１０は、基部１１（第１基部１１）と、接触部１２（第１接触部１２）とを有する。同様に、第２挟持部材２０は、基部１１（第２基部１１）と、接触部１２（第２接触部１２）とを有する。
【００５３】
基部１１は、第１挟持部材１０と第２挟持部材２０とを連結するための機能を有する。また、基部１１は、挟持部材付勢手段３０による付勢力を受けることによって、第１接触部１２と第２接触部１２とを互いに近づく方向に移動させる機能を有する。また、基部１１は、接触部１２を支持する機能を有する。
【００５４】
基部１１は、平板状の主壁１３と、主壁１３の両サイドから同じ方向に起立する一対の側壁１４，１４とを有する。主壁１３の一方の主面１３ａは、支持部材４０の主壁４１の主面４１ａと対向する対向面１３ａである。一対の側壁１４，１４のそれぞれには、連結軸４５が挿通される貫通孔１４ａが設けられている。図３（Ａ）−（Ｃ）に示すように、連結軸４５は、基部１１の貫通孔１４ａと支持部材４０の貫通孔４２ａとが同一軸上に並んだ状態でこれらの貫通孔１４ａ，４２ａに挿通される。これにより、第１挟持部材１０（第２挟持部材２０）は、保持部材５０（支持部材４０）に対して連結軸４５を中心に回動可能な状態で保持部材５０（支持部材４０）に支持される。
【００５５】
基部１１と支持部材４０との間の空間には、挟持部材付勢手段３０が配置される。本実施形態では、挟持部材付勢手段３０は、図４（Ａ），（Ｂ）に示すような捩りばね（コイルばね）である。捩りばね３０は、その内側に連結軸４５が挿通されることによって連結軸４５に支持されている。
【００５６】
なお、挟持部材付勢手段３０は、第１挟持部材１０及び第２挟持部材２０を付勢することができるものであればよく、ばね以外の付勢手段であってもよい。また、第１実施形態では、挟持部材付勢手段３０は、捩りばねであるが、これに限られず、例えば板ばねなどの他の付勢手段であってもよい。
【００５７】
図４（Ａ），（Ｂ）に示す捩りばね３０は、複数のコイル３１，３２が連結された構造を有するが、これに限られない。捩りばね３０は、単一のコイル３１だけを有していてもよい。捩りばね３０の第１のコイル３１の一端部３３と第２のコイル３２の一端部３６は、例えば主面１３ａ及び主面４１ａの一方に接するように配置され、捩りばね３０の第１のコイル３１の他端部３４と第２のコイル３２の他端部３５は、例えば主面１３ａ及び主面４１ａの他方に接するように配置される。これにより、捩りばね３０は、基部１１と支持部材４０とが互いに遠ざかる方向にこれらを付勢することができる。すなわち、基部１１は、外側に広がる方向に付勢される。したがって、連結軸４５に対して基部１１の反対側に位置する接触部１２は、内側方向に付勢される。その結果、第１接触部１２と第２接触部１２が互いに近づく方向に付勢される。なお、本実施形態では、第１のコイル３１の他端部３４と第２のコイル３２の他端部３５は、連結部３７によって接続されているが、これに限られず、接続されていなくてもよい。
【００５８】
図４（Ｂ）において、実線で示された第１のコイル３１の他端部３４と第２のコイル３２の他端部３５は、図３（Ｃ）において実線で示されるように第１接触部１２と第２接触部１２が互いに近づいたとき、すなわち被処理物Ｗが挟持された後の状態を示している。図４（Ｂ）において、二点鎖線で示された第１のコイル３１の他端部３４と第２のコイル３２の他端部３５は、図３（Ｃ）において二点鎖線で示されるように第１接触部１２と第２接触部１２が互いに遠ざかったとき、すなわち被処理物Ｗが挟持される前の状態を示している。
【００５９】
第１挟持部材１０の第１接触部１２及び第２挟持部材２０の第２接触部１２は、被処理物Ｗを挟んで保持する機能を有する。図３（Ｃ）に示すように、第１接触部１２は、被処理物Ｗの一方の面Ｓ１に接して、第２接触部２２は、被処理物Ｗの他方の面Ｓ２に接する。
【００６０】
各接触部１２は、基部１１から延びる複数の板ばね部１５（本実施形態では３つの板ばね部１５）を有する。複数の板ばね部１５は、互いに同じ方向に延びている。複数の板ばね部１５は、互いに独立して弾性変形して被処理物Ｗに接する。
【００６１】
図１−図３に示すように、複数の板ばね部１５は、互いに間隔をあけて設けられている。図１−図３に示す実施形態では、両サイドの板ばね部１５，１５の幅は、これらの間に位置する板ばね部１５の幅よりも小さいが、これに限られない。
【００６２】
各板ばね部１５は、基部１１から延びる延出部１６と、延出部１６の端部において折れ曲がる折り返し部１７とを含む。折り返し部１７は、被処理物Ｗに接する接触面１７ａを有する。各板ばね部１５は、図２（Ｃ）に示す側面視において、略Ｕ字形状、略Ｖ字形状などの折曲形状を呈している。図３（Ｃ）に示すように、第１挟持部材１０の折り返し部１７と第２挟持部材２０の折り返し部１７とが対面するように第１挟持部材１０と第２挟持部材２０が配置されている。
【００６３】
延出部１６は、基部１１の主壁１３から遠ざかる方向に延びている。延出部１６は、主壁１３とのなす角度が鈍角となる方向に延びている。すなわち、延出部１６の延びる方向は、主壁１３の延びる方向に対して内側（被処理物Ｗ側）に傾斜している。
【００６４】
折り返し部１７は、延出部１６の端部から基部１１に近づく方向に延びている。延出部１６に対する折り返し部１７の折れ曲がり角度θ（図２（Ｃ）参照）は、接触面１７ａが被処理物Ｗに対して面接触するように調節されているのが好ましい。本実施形態では、折り返し部１７は、主壁１３とほぼ平行であるが、これに限られない。
【００６５】
（第２実施形態）
図６（Ａ）は、第２実施形態のクランパー１を示す正面図であり、図６（Ｂ）は、その平面図であり、図６（Ｃ）は、その右側面図である。図６（Ａ）−（Ｃ）に示すように、第２実施形態のクランパー１は、第２挟持部材２０の構造が第１実施形態と異なっている。第２実施形態では、第１挟持部材１０は、第１実施形態と同様であるので詳細な説明を省略する。
【００６６】
第２挟持部材２０は、被処理物Ｗの他方の面Ｓ２に接する第２接触部２２を有する。第１接触部１２は、第２接触部２２に対して近づく方向と遠ざかる方向に相対移動可能である。本実施形態では、第２接触部２２はほぼ静止した状態であり、第１接触部１２が第２接触部２２に対して近づく方向と遠ざかる方向に移動する。
【００６７】
第２挟持部材２０の第２接触部２２は、第１挟持部材１０の第１接触部１２のような板ばね部１５を有していない。図６（Ａ）−（Ｃ）に示す第２実施形態では、第２接触部２２は、平板形状を有する。図６（Ｃ）に示すように、第２接触部２２は、例えば保持部材５０の下端部に接続されているが、これに限られない。
【００６８】
この第２実施形態では、クランパー１において一方の挟持部材（第２挟持部材２０）を単純な形状にすることができるので、コストダウンを図ることができる。
【００６９】
［保持具］
次に、本発明の一実施形態に係る保持具１０１，１０２について説明する。保持具１０１，１０２に用いられるクランパー１としては、上述の第１実施形態のクランパー１、第２実施形態のクランパー１などを用いることができるが、これらの実施形態のクランパー１に限られず、他のクランパー１を用いることもできる。
【００７０】
（サイドクランプ式の保持具）
次に、本発明の一実施形態に係るサイドクランプ式の保持具１０１について説明する。
図７は、本発明の一実施形態に係るサイドクランプ式の保持具を示す斜視図である。図８（Ａ）は、サイドクランプ式の保持具１０１を示す正面図であり、図８（Ｂ）は、その平面図であり、図８（Ｃ）は、その側面図である。
【００７１】
図７及び図８（Ａ）−（Ｃ）に示すように、サイドクランプ式の保持具（バスケット）１０１は、板状の複数の被処理物Ｗを互いに間隔をおいた状態で保持するための保持具である。保持具１０１は、上述した複数のクランパー１と、複数の第１保持部材５１と、複数の第２保持部材５２と、複数の固定部材５３と、支持枠６０と、保持部材付勢手段７０と、を備える。
【００７２】
支持枠６０は、第１保持部材５１及び第２保持部材５２によって保持された状態の複数の被処理物Ｗを互いに間隔をおいて配置する空間Ｓを形成する。支持枠６０は、複数のフレーム部材が直方体状に組み合わされた構成のものであり、支持枠６０内には直方体形状の空間Ｓが形成されている。この空間Ｓは、プリント基板などの被処理物Ｗの大きさに対応するとともに、この被処理物Ｗを厚み方向に多数配列できるような大きさに形成されている。被処理物Ｗがプリント基板である場合、その形状は矩形状である。そして、前記空間においてプリント基板がその厚み方向に並べられる。このため、支持枠６０の前記空間は直方体形状となっている。そして、支持枠６０の上面が開放されている。支持枠６０の上面は、被処理物Ｗの挿入口６０ａとなっている。これにより、支持枠６０の挿入口６０ａを通じて、被処理物Ｗの出し入れ、具体的には自動ロード及び自動アンロードを行うことができる。
【００７３】
前記複数のフレーム部材は、矩形状に組み合わされた下部フレーム６１と、この下部フレーム６１の上方において矩形状に組み合わされた上部フレーム６２と、下部フレーム６１と上部フレーム６２の一方のサイド（例えば左サイド）を接続する一対のサイドフレーム６３，６３と、下部フレーム６１と上部フレーム６２の他方のサイド（例えば右サイド）を接続する一対のサイドフレーム６４，６４とを含む。各サイドフレームは、上下方向に延びている。
【００７４】
下部フレーム６１は、一方のサイドから他方のサイドまで延びる一対の長尺フレーム６１ａ，６１ａと、短尺フレーム６１ｂ，６１ｂとを含む。一方の短尺フレーム６１ｂは、一方のサイドにおいて長尺フレーム６１ａ，６１ａの端部同士を接続し、他方の短尺フレーム６１ｂは、他方のサイドにおいて長尺フレーム６１ａ，６１ａの端部同士を接続する。
【００７５】
上部フレーム６２は、一方のサイドから他方のサイドまで延びる一対の長尺フレーム６２ａ，６２ａと、短尺フレーム６２ｂ，６２ｂとを含む。一方の短尺フレーム６２ｂは、一方のサイドにおいて長尺フレーム６２ａ，６２ａの端部同士を接続し、他方の短尺フレーム６２ｂは、他方のサイドにおいて長尺フレーム６２ａ，６２ａの端部同士を接続する。
【００７６】
補強フレーム６５，６５は、一対のサイドフレーム６３，６３を接続しており、補強フレーム６６，６６は、一対のサイドフレーム６４，６４を接続している。また、補強フレーム６７，６７は、下部フレーム６１における対向するフレーム同士を接続している。
【００７７】
複数（本実施形態では３つ）の固定部材５３は、支持枠６０の一方のサイドに設けられている。すなわち、複数の固定部材５３は、支持枠６０において、長尺フレーム６１ａ，６２ａの延びる方向Ｄ１の一方のサイドに設けられている。具体的に、各固定部材５３は、上下方向Ｄ３に延びる平板状のフレームであり、複数の固定部材５３は、一方のサイドにおいて短尺フレーム６１ｂ，６２ｂの延びる方向Ｄ２に沿って、互いに間隔をあけて並んでいる。各固定部材５３は、一方のサイドにおいて支持枠６０に固定されている。
【００７８】
複数（本実施形態では３つ）の第１保持部材５１は、支持枠６０の一方のサイドに設けられている。具体的に、各第１保持部材５１は、上下方向Ｄ３に延びる平板状のフレームである。各第１保持部材５１は、対応する固定部材５３に隣り合う位置に配置されている。各第１保持部材５１は、固定部材５３よりも第２保持部材５２側に設けられている。
【００７９】
複数（本実施形態では３つ）の第２保持部材５２は、支持枠６０の他方のサイドに設けられている。具体的に、各第２保持部材５２は、上下方向Ｄ３に延びる平板状のフレームである。複数の第２保持部材５２は、他方のサイドにおいて短尺フレーム６１ｂ，６２ｂの延びる方向Ｄ２に沿って、互いに間隔をあけて並んでいる。各第２保持部材５２は、他方のサイドにおいて支持枠６０に固定されている。
【００８０】
各第１保持部材５１には、複数のクランパー１が保持されている。各第１保持部材５１において、複数のクランパー１は、互いに間隔をあけて上下方向に並んでいる。各第２保持部材５２には、複数のクランパー１が保持されている。各第２保持部材５２において、複数のクランパー１は、互いに間隔をあけて上下方向に並んでいる。各被処理物Ｗの一方の側縁部（例えば左側の縁部）は、第１保持部材５１に設けられた複数のクランパー１によって挟持され、被処理物Ｗの他方の側縁部（例えば右側の縁部）は、第２保持部材５２に設けられた複数のクランパー１によって挟持される。これにより、図８（Ａ）−（Ｃ）に示すように、複数の被処理物Ｗは、支持枠６０の空間Ｓにおいて安定して保持される。
【００８１】
取付方法の具体例を挙げると、次の通りである。まず、被処理物Ｗの他方の側縁部に第２保持部材５２に設けられた複数のクランパー１を取り付ける。次に、被処理物Ｗの一方の側縁部にクランパー１を取り付けるときには、保持部材付勢手段７０の付勢力に抗して、固定部材５３から第１保持部材５１を遠ざける方向（第１保持部材５１を被処理物Ｗ側に近づける方向）に第１保持部材５１を移動させた状態で、第１保持部材５１に設けられた複数のクランパー１を被処理物Ｗの一方の側縁部に取り付ける。
【００８２】
各第１保持部材５１は、少なくとも１つの保持部材付勢手段７０によって、対応する固定部材５３に近づく方向に付勢されている。言い換えると、保持部材付勢手段７０は、第１保持部材５１と第２保持部材５２が離れる水平方向に第１保持部材５１を付勢している。本実施形態では、保持部材付勢手段７０は、捩りばねであるが、これに限られない。保持部材付勢手段７０の一端部は、固定部材５３に固定されており、保持部材付勢手段７０の他端部は、第１保持部材５１に固定されている。
【００８３】
本実施形態では、固定部材５３は、水平方向に延びる１つ又は複数のガイド部５８を有する。本実施形態では、ガイド部５８は、第２保持部材５２側に水平方向に延びる溝形状を有する。第１保持部材５１は、水平方向に延び、ガイド部５８に係合する１つ又は複数の係合部５５を有する。本実施形態では、係合部５５は、固定部材５３側に水平方向に延びる棒形状（レール状）を有する。これにより、第１保持部材５１は、固定部材５３に対してガイド部５８に沿って水平方向に安定して移動できる。
【００８４】
以上の構成を備えることによって、複数の被処理物Ｗは、図８（Ａ）−（Ｃ）に示すように支持枠６０の空間Ｓにおいて伸張された状態で保持される。
【００８５】
なお、本実施形態では、支持枠６０は、被処理物Ｗが空間Ｓに挿入されるときには、支持枠６０は、図７に示すように挿入口６０ａが空間Ｓの上方に位置する姿勢で配置され、空間Ｓに配置された複数の被処理物Ｗが図略のめっき液に浸漬されるときには、支持枠６０は、９０度回転させた姿勢、すなわち挿入口６０ａが空間の側方に位置し、且つ、第１保持部材５１が第２保持部材５２よりも下方に位置する姿勢で配置されるのが好ましい。ただし、めっき液への浸漬時には、必ずしも９０度回転させる必要はなく、挿入口６０ａが空間Ｓの上方に位置する姿勢で支持枠６０がめっき液に浸漬されてもよい。
【００８６】
また、本実施形態では、保持部材付勢手段７０が支持枠６０の一方のサイドにのみ設けられているが、これに限られない。保持部材付勢手段７０は、支持枠６０の両サイドに設けられていてもよい。
【００８７】
（上下クランプ式の保持具）
次に、本発明の一実施形態に係る上下クランプ式の保持具１０２について説明する。図９は、本発明の一実施形態に係る上下クランプ式の保持具１０２を示す斜視図である。図１０（Ａ）は、上下クランプ式の保持具を１０２示す正面図であり、図１０（Ｂ）は、その平面図であり、図１０（Ｃ）は、その側面図である。図１１（Ａ）は、上下クランプ式の保持具１０２における支持枠６０を示す正面図であり、図１１（Ｂ）は、支持枠６０を示す平面図であり、図１１（Ｃ）は、支持枠６０を示す側面図である。図１２は、上下クランプ式の保持具１０２における外枠５４を示す正面図である。
【００８８】
図９及び図１０（Ａ）−（Ｃ）に示すように、上下クランプ式の保持具（バスケット）１０２は、板状の複数の被処理物Ｗを互いに間隔をおいた状態で保持するための保持具である。保持具１０１は、上述した複数のクランパー１と、複数の第１保持部材５１と、複数の第２保持部材５２と、支持枠６０と、保持部材付勢手段７０と、を備える。上下クランプ式の保持具１０２は、第１保持部材５１と第２保持部材５２が、支持枠６０とは別体の外枠５４の一部を構成している点で、サイドクランプ式の保持具１０１と異なる。
【００８９】
図１２に示すように、外枠５４は、第１保持部材５１（上枠部材５１）と、第１保持部材５１に対して下方に間隔をあけて設けられた第２保持部材５２（下枠部材５２）と、一対の上縦枠部材５６，５６と、一対の下縦枠部材５７，５７とを含む。一対の上縦枠部材５６，５６は、第１保持部材５１の両サイドに接続されており、下方に延びている。一対の下縦枠部材５７，５７は、第２保持部材５２の両サイドに接続されており、上方に延びている。本実施形態では、上縦枠部材５６の長さが下縦枠部材５７の長さよりも大きいが、これに限られない。上縦枠部材５６の長さは、下縦枠部材５７の長さより小さくてもよく、下縦枠部材５７の長さと同じであってもよい。一方のサイドの上縦枠部材５６と下縦枠部材５７とは、上下方向に相対移動可能な状態で連結されており、他方のサイドの上縦枠部材５６と下縦枠部材５７とは、上下方向に相対移動可能な状態で連結されている。具体的には、次の通りである。
【００９０】
図１３は、第１保持部材５１と第２保持部材５２の連結部分を拡大した斜視図である。図１２及び図１３に示すように、下縦枠部材５７には、上下方向に延びる外枠ガイド部としてのスリット９０が設けられている。上縦枠部材５６には、第１ピン９１と、第２ピン９２とが固定されている。第２ピン９２は、第１ピン９１に対して下方に間隔をあけて設けられている。第１ピン９１及び第２ピン９２は、スリット９０に挿入されている。第１ピン９１及び第２ピン９２のそれぞれには、抜け止め部材９４（Ｅリング９４）が取り付けられている。下縦枠部材５７は、上縦枠部材５６と抜け止め部材９４の間に配置されている。これにより、上縦枠部材５６と下縦枠部材５７との連結状態が維持される。
【００９１】
下縦枠部材５７には、スリット９０の上方でスリット９０と間隔をあけた位置に第３ピン９３が固定されている。第１ピン９１、第２ピン９２及び第３ピン９３は、同じ方向に延びている。第１ピン９１と第３ピン９３との間には、保持部材付勢手段７０が架け渡される。すなわち、保持部材付勢手段７０の一端が第１ピン９１に取り付けられ、保持部材付勢手段７０の他端が第３ピン９３に取り付けられる。これにより、保持部材付勢手段７０は、第１保持部材５１と第２保持部材５２が離れる上下方向に第１ピン９１を付勢することができる。本実施形態では、保持部材付勢手段７０は、捩りばねであるが、これに限られない。
【００９２】
支持枠６０は、複数の被処理物Ｗを互いに間隔をおいて配置する空間Ｓを形成する。各被処理物Ｗは、外枠５４に設けられた複数のクランパー１によって保持される。複数の外枠５４は、支持枠６０に支持される。
【００９３】
支持枠６０は、複数のフレーム部材が直方体状に組み合わされた構成のものであり、支持枠６０内には直方体形状の空間Ｓが形成されている。この空間Ｓは、プリント基板などの被処理物Ｗの大きさに対応するとともに、この被処理物Ｗを厚み方向に多数配列できるような大きさに形成されている。支持枠６０の上面は開放されており、被処理物Ｗの挿入口６０ａとなっている。
【００９４】
前記複数のフレーム部材は、矩形状に組み合わされた下部フレーム６１と、この下部フレーム６１の４つの角部のそれぞれから上方に延びるサイドフレーム６３，６３，６４，６４と、サイドフレーム６３とサイドフレーム６４の上端部同士を接続する上部フレーム（長尺フレーム）６２，６２とを含む。
【００９５】
下部フレーム６１は、一方のサイドから他方のサイドまで延びる一対の長尺フレーム６１ａ，６１ａと、短尺フレーム６１ｂ，６１ｂとを含む。一方の短尺フレーム６１ｂは、一方のサイドにおいて長尺フレーム６１ａ，６１ａの端部同士を接続し、他方の短尺フレーム６１ｂは、他方のサイドにおいて長尺フレーム６１ａ，６１ａの端部同士を接続する。
【００９６】
補強フレーム６５，６５は、一対のサイドフレーム６３，６３を接続しており、補強フレーム６６，６６は、一対のサイドフレーム６４，６４を接続している。
【００９７】
支持枠６０は、一対の上枠支持部８１，８１と、少なくとも１つの下枠係止部８２と有する。本実施形態では、支持枠６０は、複数の下枠係止部８２を有する。一対の上枠支持部８１，８１は、水平方向に延びる第１保持部材５１の一端部５１ａと他端部５１ｂを支持するためのものである。下枠係止部８２は、水平方向に延びる第２保持部材５２が係止されて第２保持部材５２の横ぶれを抑制する機能を有する。
【００９８】
一対の上枠支持部８１，８１は、第１保持部材５１の延びる方向に互いに間隔をあけて配置されている。一方の上枠支持部８１は、支持枠６０の一方のサイドに設けられており、他方の上枠支持部８１は、支持枠６０の他方のサイドに設けられている。一方の上枠支持部８１は、支持枠６０の一方のサイドにおいて、長尺フレームである上部フレーム６２と上部フレーム６２との間に架け渡されている。他方の上枠支持部８１は、支持枠６０の他方のサイドにおいて、長尺フレームである上部フレーム６２と上部フレーム６２との間に架け渡されている。
【００９９】
一方の上枠支持部８１は、上方に開口して第１保持部材５１の一端部５１ａが挿入される上溝８１ａが複数設けられており、他方の上枠支持部８１は、上方に開口して第１保持部材５１の他端部５１ｂが挿入される上溝８１ａが複数設けられている。
【０１００】
複数の下枠係止部８２は、第２保持部材５２の延びる方向に互いに間隔をあけて配置されている。各下枠係止部８２は、長尺フレームである下部フレーム６１の長尺フレーム６１ａと長尺フレーム６１ａとの間に架け渡されている。各下枠係止部８２は、上方に開口して第２保持部材５２が挿入される複数の下溝８２ａを有する。
【０１０１】
図１０（Ａ），（Ｂ）に示すように、第１保持部材５１の長さは、一方の上枠支持部８１の上溝８１ａと他方の上枠支持部８１の上溝８１ａとの間の間隔よりも大きい。第１保持部材５１の一端部５１ａ及び他端部５１ｂのそれぞれは、上溝８１ａよりも水平方向外側に突出している。
【０１０２】
第２保持部材５２の長さは、一方の上枠支持部８１の上溝８１ａと他方の上枠支持部８１の上溝８１ａとの間隔よりも小さい。第２保持部材５２の両端部は、上溝８１ａよりも水平方向内側に位置している。
【０１０３】
図１４は、上下クランプ式の保持具１０２において、支持枠６０に外枠が装着された状態を示す拡大図である。図１４に示すように、上枠支持部８１の各上溝８１ａは、溝下部８１ｂと、溝上部８１ｃとを含む。溝下部８１ｂは、溝幅が一定の部分であり、溝上部８１ｃは、溝下部８１ｂの上端につながっており、上方に向かうにつれて溝幅が拡大する部分である。これにより、第１保持部材５１の一端部５１ａ及び他端部５１ｂを上溝８１ａに挿入しやすくなる。
【０１０４】
また、下枠係止部８２の各下溝８２ａは、溝下部８２ｂと、溝上部８２ｃとを含む。溝下部８２ｂは、溝幅が一定の部分であり、溝上部８２ｃは、溝下部８２ｂの上端につながっており、上方に向かうにつれて溝幅が拡大する部分である。これにより、第２保持部材５２を下溝８２ａに挿入しやすくなる。
【０１０５】
また、図１４に示すように、上溝８１ａに挿入された第１保持部材５１の一端部５１ａ及び他端部５１ｂが上溝８１ａの底部８１ｄに接する状態のときに、下溝８２ａに挿入された第２保持部材５２と下溝８２ａの底部８２ｄとの間には隙間が形成されているのが好ましい。
【０１０６】
各第１保持部材５１には、複数のクランパー１が保持されている。各第１保持部材５１において、複数のクランパー１は、互いに間隔をあけて水平方向に並んでいる。各第２保持部材５２には、複数のクランパー１が保持されている。各第２保持部材５２において、複数のクランパー１は、互いに間隔をあけて水平方向に並んでいる。各被処理物Ｗの上縁部は、第１保持部材５１に設けられた複数のクランパー１によって挟持され、被処理物Ｗの下縁部は、第２保持部材５２に設けられた複数のクランパー１によって挟持される。これにより、図１０（Ａ）−（Ｃ）に示すように、複数の被処理物Ｗは、支持枠６０の空間Ｓにおいて安定して保持される。
【０１０７】
取付方法の具体例を挙げると、次の通りである。まず、被処理物Ｗの上縁部に第１保持部材５１に設けられた複数のクランパー１を取り付ける。次に、被処理物Ｗの下縁部にクランパー１を取り付けるときには、保持部材付勢手段７０の付勢力に抗して、第２保持部材５２を被処理物Ｗ側に近づける方向に第２保持部材５２を移動させた状態で、第２保持部材５２に設けられた複数のクランパー１を被処理物Ｗの一方の側縁部に取り付ける。
【０１０８】
なお、本実施形態では、保持部材付勢手段７０が外枠５４の下部に設けられているが、これに限られない。保持部材付勢手段７０は、外枠５４の上部に設けられていてもよく、上下方向の中間部に設けられていてもよい。
【０１０９】
［実施形態のまとめ］
以上説明したように、第１実施形態及び第２実施形態では、クランパー１の第１挟持部材１０において、第１接触部１２は、第１基部１１から延びる複数の板ばね部１５を有する。この構成では、第１接触部１２は、複数の板ばね部１５が第１基部１１から分岐した構造を備える。すなわち第１接触部１２は複数の部分に分割された構造を備える。そして、複数の板ばね部１５は、被処理物Ｗに接するときに互いに独立して弾性変形する。したがって、本発明のクランパー１は、複数の板ばね部１５のそれぞれが被処理物Ｗに対して確実に接した状態で被処理物Ｗを挟持することができる。これにより、被処理物Ｗのクランプ位置がずれたり、被処理物Ｗがクランパー１から外れたりすることを抑制できる。
【０１１０】
第１実施形態及び第２実施形態では、各板ばね部１５は、第１基部１１から延びる延出部１６と、延出部１６の端部において折れ曲がる折り返し部１７と、を含み、折り返し部１７は、被処理物Ｗに接する接触面１７ａを有しているのが好ましい。
【０１１１】
この構成では、折り返し部１７を延出部１６に対して折り曲げる構造を採用することで、各板ばね部１５が弾性変形しやすくなる。すなわち、延出部１６を第１基部１１に対して弾性変形させるとともに、折り返し部１７を延出部１６に対して弾性変形させることができる。
【０１１２】
第１実施形態及び第２実施形態では、各板ばね部１５において、延出部１６に対する折り返し部１７の折れ曲がり角度θは、接触面１７ａが被処理物Ｗに対して面接触するように調節されているのが好ましい。
【０１１３】
この構成では、上記のように面接触することにより、第１接触部１２と被処理物Ｗとの接触面積を大きくすることができるので、被処理物Ｗを挟持するクランパー１の挟持力を高めることができる。
【０１１４】
第１実施形態では、第２挟持部材２０の第２接触部１２は、第１挟持部材１０の第１接触部１２と同じ構造を有しているのが好ましい。
【０１１５】
この構成では、第２挟持部材２０の第２接触部１２が第１接触部１２と同じ構造を有しているので、第２挟持部材２０の第２接触部１２への異物の付着、第２接触部１２の傾きの変動、第２接触部１２の摩耗などが生じたとしても、第２接触部１２における複数の板ばね部１５が互いに独立して弾性変形して被処理物Ｗに接する。これにより、クランパー１の挟持力の低下を抑制する効果をさらに高めることができる。具体的には次の通りである。
【０１１６】
第２挟持部材２０は、第２基部１１と、第２接触部１２とを有し、第２接触部１２は、第２基部１１から延びる複数の板ばね部１５を有し、複数の板ばね部１５は、互いに独立して弾性変形して被処理物Ｗに接する。また、第２接触部１２において、各板ばね部１５は、第２基部１１から延びる延出部１６と、延出部１６の端部において折れ曲がる折り返し部１７と、を含み、折り返し部１７は、被処理物Ｗに接する接触面１７ａを有しているのが好ましい。また、第２接触部１２の各板ばね部１５において、延出部１６に対する折り返し部１７の折れ曲がり角度は、接触面１７ａが被処理物Ｗに対して面接触するように調節されているのが好ましい。
【０１１７】
保持具１０１，１０２は、板状の複数の被処理物Ｗを互いに間隔をおいた状態で保持するためのものである。保持具１０１，１０２は、上述した複数のクランパー１と、被処理物Ｗの一側を挟持するクランパー１が保持される複数の第１保持部材５１と、被処理物Ｗの他側を挟持するクランパー１が保持される複数の第２保持部材５２と、第１保持部材５１及び第２保持部材５２によって保持された状態の複数の被処理物Ｗを互いに間隔をおいて配置する空間Ｓを形成する支持枠６０と、第１保持部材５１と第２保持部材５２が離れる方向に第１保持部材５１及び第２保持部材５２の少なくとも一方を付勢する保持部材付勢手段７０と、を備える。
【０１１８】
この構成では、保持部材付勢手段７０によって第１保持部材５１と第２保持部材５２が離れる方向に第１保持部材５１及び第２保持部材５２の少なくとも一方が付勢されるので、支持枠６０の空間Ｓに配置された複数の被処理物Ｗのそれぞれが常に伸張された状態となる。これにより、各被処理物Ｗが撓むのを抑制できる。また、保持部材付勢手段７０によって被処理物Ｗが伸張された状態では、仮に挟持力の低い従来のクランパー１を用いた場合、被処理物Ｗのクランプ位置がずれたり、被処理物Ｗがクランパー１から外れたりする不具合が生じやすくなるが、この構成では、複数の板ばね部１５を有する上述のクランパー１を採用しているので、被処理物Ｗのクランプ位置がずれたり、被処理物Ｗがクランパー１から外れたりするのを抑制することができる。これにより、被処理物Ｗが伸張された状態を維持できる。
【０１１９】
保持具がサイドクランプ式の保持具１０１である場合、第１保持部材５１が支持枠６０の一方のサイドに設けられ、第１保持部材５１によって保持されるクランパー１が被処理物Ｗの一方の側縁部を挟持し、第２保持部材５２が支持枠６０の他方のサイドに設けられ、第２保持部材５２によって保持されるクランパー１が被処理物Ｗの他方の側縁部を挟持する。
【０１２０】
このサイドクランプ式の保持具１０１では、保持部材付勢手段７０によって被処理物Ｗを横方向に引っ張る力を加えることができるので、支持枠６０の空間Ｓに配置された複数の被処理物Ｗのそれぞれが常に伸張された状態となる。これにより、各被処理物Ｗが撓むのを抑制できる。
【０１２１】
サイドクランプ式の保持具１０１は、支持枠６０に固定された固定部材５３を備え、固定部材５３は、水平方向に延びるガイド部５８を有し、第１保持部材５１が固定部材５３に対してガイド部５８に沿って水平方向に相対移動可能であり、保持部材付勢手段７０は、第１保持部材５１が第２保持部材５２に対して離れる水平方向に第１保持部材５１を付勢するのが好ましい。
【０１２２】
この構成では、第１保持部材５１が固定部材５３に対してガイド部５８に沿って水平方向に案内されるので、例えば第１保持部材５１が固定部材５３に対して水平方向から傾斜した方向に移動して被処理物Ｗがねじれるなどの不具合が生じるのを抑制できる。
【０１２３】
サイドクランプ式の保持具１０１において、支持枠６０は、空間Ｓに被処理物Ｗが挿入される挿入口６０ａを有し、被処理物Ｗが空間Ｓに挿入されるときには、支持枠６０は、挿入口６０ａが空間Ｓの上方に位置する姿勢で配置され、空間Ｓに配置された複数の被処理物Ｗがめっき液に浸漬されるときには、支持枠６０は、挿入口６０ａが空間Ｓの側方に位置し、且つ、第１保持部材５１が第２保持部材５２よりも下方に位置する姿勢で配置されるのが好ましい。
【０１２４】
この構成では、被処理物Ｗが空間Ｓに挿入されるときには、挿入口６０ａが空間Ｓの上方に位置する姿勢で支持枠６０が配置されるので、例えば製造ラインにおいて保持具１０１の上方に搬送された被処理物Ｗを下方に移動させるだけで、被処理物Ｗを支持枠６０内に挿入することができる。そして、空間Ｓに配置された複数の被処理物Ｗがめっき液に浸漬されるときには、挿入口６０ａが空間Ｓの側方に位置し、且つ、第１保持部材５１が第２保持部材５２よりも下方に位置する姿勢で支持枠６０が配置される。この姿勢では、第１保持部材５１と第２保持部材５２が上下方向に並ぶように配置されるので、第１保持部材５１が第２保持部材５２から離れる方向に第１保持部材５１に重力が作用する。これにより、被処理物Ｗがさらに伸張される方向に引っ張られて伸張状態が維持されやすくなる。このような伸張状態で被処理物Ｗをめっき液に浸漬して処理することができる。
【０１２５】
保持具が上下クランプ式の保持具１０２である場合、第１保持部材５１によって保持されるクランパー１が被処理物Ｗの上縁部を挟持し、第２保持部材５２によって保持されるクランパー１が被処理物Ｗの下縁部を挟持し、第１保持部材５１と第２保持部材５２は、支持枠６０とは別体の外枠５４の一部を構成しているのが好ましい。
【０１２６】
この上下クランプ式の保持具１０２では、保持部材付勢手段７０によって被処理物Ｗを上下方向に引っ張る力を加えることができるので、支持枠６０の空間Ｓに配置された複数の被処理物Ｗのそれぞれが常に伸張された状態となる。これにより、各被処理物Ｗが撓むのを抑制できる。また、上下クランプ式の保持具１０２では、第１保持部材５１と第２保持部材５２が上下方向に並ぶように配置されるので、第１保持部材５１が第２保持部材５２から離れる方向に第１保持部材５１又は第２保持部材５２に重力が作用する。これにより、被処理物Ｗがさらに伸張される方向に引っ張られて伸張状態が維持されやすくなる。また、この構成では、予め被処理物Ｗが保持された複数の外枠５４を支持枠６０に挿入するだけで、複数の被処理物Ｗを保持具１０２に保持することができる。そして、複数の被処理物Ｗを一度に表面処理することができる。
【０１２７】
上下クランプ式の保持具１０２は、第１保持部材５１の両サイドから下方に延びる上縦枠部材５６と、第２保持部材５２の両サイドから上方に延びる下縦枠部材５７と、を備え、上縦枠部材５６及び下縦枠部材５７の一方には、上下方向に延びる外枠ガイド部９０が設けられており、上縦枠部材５６及び下縦枠部材５７の他方には、外枠ガイド部９０に係合した状態で外枠ガイド部９０に対して上下方向に相対移動する第１ピン９１が固定されており、保持部材付勢手段７０は、第１保持部材５１と第２保持部材５２が離れる上下方向に第１ピン９１を付勢するという形態であるのが好ましい。
【０１２８】
この構成では、第１ピン９１は、外枠ガイド部９０に係合した状態で上下方向に案内されるので、例えば上縦枠部材５６が下縦枠部材５７に対して上下方向から傾斜した方向に移動して被処理物Ｗがねじれるなどの不具合が生じるのを抑制できる。
【０１２９】
上縦枠部材５６及び下縦枠部材５７の他方には、第１ピン９１に対して上下方向に間隔をあけた位置に第２ピン９２が固定されており、第２ピン９２は、外枠ガイド部９０に係合した状態で外枠ガイド部９０に対して上下方向に相対移動するという形態であるのが好ましい。
【０１３０】
この構成では、第１ピン９１に対して上下方向に間隔をあけた位置に固定された第２ピン９２を備えており、この第２ピン９２が外枠ガイド部９０に係合して上下方向に案内される。すなわち、この構成では、第１ピン９１だけでなく第２ピン９２も外枠ガイド部９０に係合しているので、第１保持部材５１が第２保持部材５２に対して上下方向に相対移動するときに、第１保持部材５１又は第２保持部材５２が横方向にぶれるのが抑制され、相対移動時の動作が安定する。
【０１３１】
上下クランプ式の保持具１０２において、支持枠６０は、水平方向に延びる第１保持部材５１の一端部と他端部を支持するために第１保持部材５１の延びる方向に互いに間隔をあけて配置された一対の上枠支持部８１と、水平方向に延びる第２保持部材５２が係止されて第２保持部材５２の横ぶれを抑制する下枠係止部８２と、を有しているのが好ましい。
【０１３２】
この構成では、一対の上枠支持部８１によって第１保持部材５１の一端部と他端部を支持することができ、下枠係止部８２によって第２保持部材５２を係止して第２保持部材５２の横ぶれを抑制することができる。
【０１３３】
上下クランプ式の保持具１０２において、一方の上枠支持部８１は、上方に開口して第１保持部材５１の一端部が挿入される上溝８１ａを有し、他方の上枠支持部８１は、上方に開口して第１保持部材５１の他端部が挿入される上溝８１ａを有し、下枠係止部８２は、上方に開口して第２保持部材５２が挿入される下溝８２ａを有しているのが好ましい。
【０１３４】
この構成では、第１保持部材５１及び第２保持部材５２を支持枠６０の上方から下方に向かって下降させるだけで、第１保持部材５１の一端部及び他端部を上枠支持部８１の上溝８１ａの挿入し、第２保持部材５２を下枠係止部の下溝８２ａに挿入することができる。
【０１３５】
上下クランプ式の保持具１０２において、上溝８１ａに挿入された第１保持部材５１の一端部及び他端部が上溝８１ａの底部に接する状態のときに、下溝８２ａに挿入された第２保持部材５２と下溝８２ａの底部との間には隙間が形成されているのが好ましい。
【０１３６】
この構成では、下溝８２ａに挿入された第２保持部材５２と下溝８２ａの底部との間に隙間が形成されているので、第２保持部材５２が下溝８２ａの底部に接することによって第２保持部材５２が第１保持部材５１から離れる方向に相対移動するのが妨げられない。したがって、被処理物Ｗに撓みが生じるのを抑制できる。
【０１３７】
上下クランプ式の保持具１０２において、第１保持部材５１の長さは、一方の上枠支持部８１の上溝８１ａと他方の上枠支持部８１の上溝８１ａとの間隔よりも大きく、第１保持部材５１の一端部及び他端部のそれぞれは、上溝８１ａよりも水平方向外側に突出しており、第２保持部材５２の長さは、一方の上枠支持部８１の上溝８１ａと他方の上枠支持部８１の上溝８１ａとの間隔よりも小さく、第２保持部材５２の両端部は、上溝８１ａよりも水平方向内側に位置しているのが好ましい。
【０１３８】
この構成では、被処理物Ｗを保持した第１保持部材５１及び第２保持部材５２を、支持枠６０の上方から空間Ｓに挿入する際に、第２保持部材５２の下方への移動が一対の上枠支持部８１によって妨げられない。また、上溝８１ａよりも水平方向外側に突出している第１保持部材５１を、支持枠６０の上方から空間Ｓに向かって下降させるだけで、第１保持部材５１の一端部と他端部を一方の上枠支持部８１の上溝８１ａと他方の上枠支持部８１の上溝８１ａに挿入することができる。
【０１３９】
［変形例］
なお、本発明は、前記実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更、改良等が可能である。例えば、前記実施形態では、クランパー１において、接触部１２の板ばね部１５が延出部１６と折り返し部１７とを含む場合を例示したが、これに限られない。板ばね部１５は、例えば折り返し部１７を省略することもできる。この場合、板ばね部１５の延出部１６が被処理物Ｗと接する。
【０１４０】
前記サイドクランプ式の保持具１０１において、固定部材５３が水平方向に延びるガイド部５８を有し、第１保持部材５１（可動部材５１）が係合部５５を有する場合を例示したが、これに限られない。これらのガイド部５８及び係合部５５は省略することができる。
【０１４１】
前記上下クランプ式の保持具１０２において、第１ピン９１，第２ピン９２及びスリット９０によって上縦枠部材５６が下縦枠部材５７に対して相対的にスライド移動する場合を例示したが、スライド移動の形態は、これに限られず、他の形態を採用することもできる。
【０１４２】
前記上下クランプ式の保持具１０２において、上溝に挿入された第１保持部材５１が上溝の底部に接する状態のときに、下溝に挿入された第２保持部材５２と下溝の底部との間には隙間が形成されている場合を例示したが、これに限られない。上溝に挿入された第１保持部材５１が上溝の底部に接する状態のときに、下溝に挿入された第２保持部材５２が下溝の底部に接していてもよい。
【符号の説明】
【０１４３】
１  クランパー
１０  挟持部材
１１  基部
１２，２２  接触部
１３  主壁
１３ａ  主面
１６  延出部
１７  折り返し部
１７ａ  接触面
２０  第２挟持部材
３０  挟持部材付勢手段
５０  保持部材
５１  第１保持部材
５１ａ  一端部
５１ｂ  他端部
５２  第２保持部材
５３  固定部材
５４  外枠
５６  上縦枠部材
５７  下縦枠部材
５８  ガイド部
６０  支持枠
６０ａ  挿入口
７０  保持部材付勢手段
８１  上枠支持部
８１ａ  上溝
８１ｄ  底部
８２  下枠係止部
８２ａ  下溝
８２ｄ  底部
９０  スリット（外枠ガイド部）
９１  第１ピン
９２  第２ピン
１０１，１０２  保持具
Ｓ  空間
Ｗ  被処理物
θ  角度
【図１】
2015034579.tif 000003
【図２】
2015034579.tif 000004
【図３】
2015034579.tif 000005
【図４】
2015034579.tif 000006
【図５】
2015034579.tif 000007
【図６】
2015034579.tif 000008
【図７】
2015034579.tif 000009
【図８】
2015034579.tif 000010
【図９】
2015034579.tif 000011
【図１０】
2015034579.tif 000012
【図１１】
2015034579.tif 000013
【図１２】
2015034579.tif 000014
【図１３】
2015034579.tif 000015
【図１４】
2015034579.tif 000016