(57)【要約】【課題】検査用データの作成時間を短縮化することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷装置における検査用データ作成方法を提供することを目的とする。【解決手段】制御装置４０は、マスク１３と基板２とが接触する領域を仮想した仮想領域ＫＲとしてタッチパネル４１の仮想領域表示部５１に画像表示させ、その仮想領域ＫＲ上で作業者ＯＰがタッチパネル４１のエリア指定部５２から指定したエリアＳ１〜Ｓ５を記憶する。そして、記憶したエリアＳ１〜Ｓ５と仮想領域ＫＲとの位置関係に基づいてマスク１３に対する撮像対象領域Ｒ１〜Ｒ５を設定する。撮像対象領域Ｒ１〜Ｒ５を設定したら、その撮像対象領域Ｒ１〜Ｒ５について上方撮像カメラ１６ａにマスク１３を撮像させ、これにより得られたマスク１３の画像に基づいて検査用データを作成する。【選択図】図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の電極の配置に応じたパターン開口を有するマスクと、前記マスクを前記基板に接触させた状態で前記マスク上を摺動し、前記マスク上に供給されたペーストを前記パターン開口から前記基板の前記電極に充填させるスキージとを備えたスクリーン印刷装置であって、
前記マスクと前記基板とが接触する領域を仮想した仮想領域を画像表示する仮想領域表示部と、
前記仮想領域表示部に画像表示された前記仮想領域上で作業者が任意のエリアを指定するエリア指定部と、
前記作業者が前記エリア指定部から指定した前記エリアを記憶するエリア記憶部と、
前記エリア記憶部に記憶された前記エリアと前記仮想領域との位置関係に基づいて前記マスクに対する撮像対象領域を設定する撮像対象領域設定部と、
前記撮像対象領域設定部により設定された前記撮像対象領域について前記マスクを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により得られた前記マスクの画像に基づいて検査用データを作成する検査用データ作成部とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記仮想領域表示部及び前記エリア指定部はタッチパネルの画面上に形成されることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
基板の電極の配置に応じたパターン開口を有するマスクと、前記マスクを前記基板に接触させた状態で前記マスク上を摺動し、前記マスク上に供給されたペーストを前記パターン開口から前記基板の前記電極に充填させるスキージと、前記マスクと前記基板とが接触する領域を仮想した仮想領域を画像表示する仮想領域表示部と、前記仮想領域表示部に画像表示された前記仮想領域上で作業者が任意のエリアを指定するエリア指定部と、前記マスクを撮像する撮像手段とを備えたスクリーン印刷装置における検査用データ作成方法であって、
前記仮想領域表示部に前記仮想領域を画像表示させる仮想領域表示工程と、
前記仮想領域表示部に画像表示させた前記仮想領域上で作業者が前記エリア指定部から指定したエリアを記憶するエリア記憶工程と、
前記エリア記憶工程で記憶した前記エリアと前記仮想領域との位置関係に基づいて前記マスクに対する撮像対象領域を設定する撮像対象領域設定工程と、
前記撮像対象領域設定工程で設定した前記撮像対象領域について前記撮像手段に前記マスクを撮像させる撮像工程と、
前記撮像工程で得られた前記マスクの画像に基づいて検査用データを作成する検査用データ作成工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷装置における検査用データ作成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク上でスキージを摺動させることによりマスクのパターン開口を介して基板にペーストを転写させるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷装置における検査用データ作成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷装置は、基板の電極の配置に応じたパターン開口を有するマスクを基板に接触させ、ペーストを供給したマスク上でスキージを摺動させることにより、パターン開口を介して基板の電極にペーストを転写させる。このようなスクリーン印刷装置によりスクリーン印刷がなされた後は、その下流工程側に設けられた印刷検査装置によって、基板に対するペーストの印刷が正しく行われたかどうかの印刷検査が行われるが、このような印刷検査において基準となる検査用データは、スクリーン印刷装置においてマスクと基板とが接触する領域を撮像し、これにより得られる画像に基づいて作成される（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−７４５７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来では、マスクと基板とが接触する領域の全体をカメラで撮像していたため、画像を特に必要としない領域（マスク上のパターン開口を含まない領域）について無駄な撮像が行われ、結果として検査用データの作成に多くの時間が必要となるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、検査用データの作成時間を短縮化することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷装置における検査用データ作成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のスクリーン印刷装置は、基板の電極の配置に応じたパターン開口を有するマスクと、前記マスクを前記基板に接触させた状態で前記マスク上を摺動し、前記マスク上に供給されたペーストを前記パターン開口から前記基板の前記電極に充填させるスキージとを備えたスクリーン印刷装置であって、前記マスクと前記基板とが接触する領域を仮想した仮想領域を画像表示する仮想領域表示部と、前記仮想領域表示部に画像表示された前記仮想領域上で作業者が任意のエリアを指定するエリア指定部と、前記作業者が前記エリア指定部から指定した前記エリアを記憶するエリア記憶部と、前記エリア記憶部に記憶された前記エリアと前記仮想領域との位置関係に基づいて前記マスクに対する撮像対象領域を設定する撮像対象領域設定部と、前記撮像対象領域設定部により設定された前記撮像対象領域について前記マスクを撮像する撮像手段と、前記撮像手段により得られた前記マスクの画像に基づいて検査用データを作成する検査用データ作成部とを備えた。
【０００７】
本発明のスクリーン印刷装置における検査用データ作成方法は、基板の電極の配置に応じたパターン開口を有するマスクと、前記マスクを前記基板に接触させた状態で前記マスク上を摺動し、前記マスク上に供給されたペーストを前記パターン開口から前記基板の前記電極に充填させるスキージと、前記マスクと前記基板とが接触する領域を仮想した仮想領域を画像表示する仮想領域表示部と、前記仮想領域表示部に画像表示された前記仮想領域上で作業者が任意のエリアを指定するエリア指定部と、前記マスクを撮像する撮像手段とを備えたスクリーン印刷装置における検査用データ作成方法であって、前記仮想領域表示部に前記仮想領域を画像表示させる仮想領域表示工程と、前記仮想領域表示部に画像表示させた前記仮想領域上で作業者が前記エリア指定部から指定したエリアを記憶するエリア記憶工程と、前記エリア記憶工程で記憶した前記エリアと前記仮想領域との位置関係に基づいて前記マスクに対する撮像対象領域を設定する撮像対象領域設定工程と、前記撮像対象領域設定工程で設定した前記撮像対象領域について前記撮像手段に前記マスクを撮像させる撮像工程と、前記撮像工程で得られた前記マスクの画像に基づいて検査用データを作成する検査用データ作成工程とを含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、検査用データを短時間で作成することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の要部斜視図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の要部側面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の制御系統を示すブロック図
【図４】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図
【図５】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図
【図６】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置においてスクリーン印刷の対象となる基板の平面図
【図７】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるタッチパネルの正面図
【図８】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置による検査用データ作成作業の実行手順を示すフローチャート
【図９】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置による検査用データ作成作業の実行手順を説明する図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置による検査用データ作成作業の実行手順を説明する図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置による検査用データ作成作業の実行手順を説明する図
【図１２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置による検査用データ作成作業の実行手順を説明する図
【図１３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置により設定された撮像対象領域を示すマスクの平面図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１及び図２に示すスクリーン印刷装置１は、上流工程側から搬入した基板２の電極２ａ上に半田ペースト等のペーストＰｓｔをスクリーン印刷する作業（スクリーン印刷作業）を行う装置である。また、スクリーン印刷装置１は、その下流工程側に設置されてスクリーン印刷装置１によりスクリーン印刷がなされた基板２についての印刷検査（基板２に対するペーストＰｓｔの印刷が正しく行われたかどうかを判定する検査）を行う図示しない印刷検査装置に、その判定の基準となる検査用データを作成して与える機能も有している。
【００１１】
図１及び図２において、スクリーン印刷装置１は、基台１１上に基板保持移動機構１２を備えており、基板保持移動機構１２の上方にはマスク１３が水平姿勢に設置されている。マスク１３の上方にはスキージユニット１４がスキージユニット移動機構１５によって移動自在に設けられており、マスク１３の下方にはカメラユニット１６がカメラユニット移動機構１７によって移動自在に設けられている。本実施の形態では、基板２の流れ方向はスクリーン印刷装置１の作業者ＯＰから見た左右方向（図２の紙面に垂直な方向）であり、これをＸ軸方向とする。また、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向（作業者ＯＰから見た前後方向）をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１２】
基板保持移動機構１２は、基台１１上に設けられたＸＹθロボットから成るユニット移動機構２１、ユニット移動機構２１によって水平面内方向（ＸＹ面内方向）に移動及び上下方向（Ｚ軸方向）回りに回転され、また上下方向に移動される基板保持ユニット２２から成る。基板保持ユニット２２は、ユニット移動機構２１によって移動されるベース部２３、ベース部２３に取り付けられてＸ軸方向に延び、上流工程側から送れられてきた基板２を搬送（搬入及び搬出）する一対の搬送コンベア２４、ベース部２３に設けられた下受け部材昇降シリンダ２５、下受け部材昇降シリンダ２５によって昇降され、搬送コンベア２４が搬入した基板２の下面を支持する下受け部材２６、クランプ部材駆動部２７により駆動されてＹ軸方向に開閉し、下受け部材２６により下受けされた基板２をＹ軸方向からクランプする一対のクランプ部材２８を備えて成る。
【００１３】
マスク１３は水平面内に広がって延びた平板形状のプレート部材から成り、その外周は矩形の枠部材１３ｗによって保持されている。マスク１３の中央部には、基板２の電極２ａに対応する配置でパターン開口１３ｈが設けられている。基板保持移動機構１２によって保持される基板２には２つ一組の基板側マーク２ｍが設けられており、マスク１３には２つの基板側マーク２ｍに対応した２つ一組のマスク側マーク１３ｍが設けられている。
【００１４】
スキージユニット１４は、Ｘ軸方向に延びて設けられたスキージベース３１の下方にＹ軸方向に対向配置された２つのスキージ３２を備えて成り、これら２つのスキージ３２はスキージベース３１に設けられた２つのスキージ昇降シリンダ３３によって、スキージベース３１に対して個別に昇降される。スキージユニット移動機構１５は、スキージベース３１の両端をそれぞれＹ軸方向に貫通して延びた２つのボール螺子１５ａとこれらボール螺子１５ａを同期して回転駆動する２つのボール螺子駆動モータ１５ｂから成り、ボール螺子駆動モータ１５ｂがボール螺子１５ａを正逆方向に回転させるとスキージユニット１４がＹ軸方向に往復移動する。
【００１５】
カメラユニット１６は撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１６ａと撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１６ｂを有して成る。カメラユニット移動機構１７は基台１１に設けられた直交座標ロボットから成り、カメラユニット１６を水平面内で移動させる。
【００１６】
図３において、一対の搬送コンベア２４による基板２のＸ軸方向への搬送動作、下受け部材昇降シリンダ２５による下受け部材２６の昇降動作、クランプ部材駆動部２７による一対のクランプ部材２８の開閉動作、ユニット移動機構２１による基板保持ユニット２２の移動動作の各制御は、スクリーン印刷装置１が備える制御装置４０が行う。また、スキージユニット移動機構１５によるスキージユニット１４の移動動作及びスキージ昇降シリンダ３３による各スキージ３２の昇降動作の各制御も制御装置４０が行い、カメラユニット移動機構１７によるカメラユニット１６の移動動作、カメラユニット１６が備える上方撮像カメラ１６ａの撮像動作及び下方撮像カメラ１６ｂの撮像動作の各制御も制御装置４０が行う。上方撮像カメラ１６ａが撮像した画像データと下方撮像カメラ１６ｂが撮像した画像データは制御装置４０に入力され、制御装置４０の画像認識部４０ａ（図３）において画像認識処理がなされる。
【００１７】
図３において、制御装置４０にはタッチパネル４１が接続されている。タッチパネル４１は制御装置４０のタッチパネル制御部４０ｂから制御され、スクリーン印刷装置１の入出力装置として機能する。作業者ＯＰはタッチパネル４１を通じて制御装置４０に対し、スクリーン印刷作業の開始操作や後述する検査用データの作成作業に関する入力操作等を行うことができる。
【００１８】
スクリーン印刷装置１によるスクリーン印刷作業では、はじめに作業者ＯＰがタッチパネル４１から所定の開始操作を行い、制御装置４０はその操作をトリガとして予め用意されたプログラムを実行する。これにより搬送コンベア２４がスクリーン印刷装置１の上流側工程側から基板２を搬入する動作を行い、下受け部材２６は下受け部材昇降シリンダ２５の作動によって上昇して基板２の下面を支持する（図４（ａ）中に示す矢印Ａ）。そして、一対のクランプ部材２８がクランプ部材駆動部２７の作動によって閉方向に作動し、基板２の両端部をＹ軸方向からクランプする（図４（ａ）中に示す矢印Ｂ）。
【００１９】
一対のクランプ部材２８が基板２をクランプしたら、カメラユニット１６がカメラユニット移動機構１７に駆動されてマスク１３の下方領域に移動する。そして、上方撮像カメラ１６ａがマスク１３に設けられたマスク側マーク１３ｍを下方から撮像し、下方撮像カメラ１６ｂが基板２に設けられた基板側マーク２ｍを上方から撮像する。制御装置４０は得られた基板側マーク２ｍの画像データとマスク側マーク１３ｍの画像データに基づいて画像認識部４０ａで画像認識を行い、基板２の位置とマスク１３の位置を算出する。
【００２０】
制御装置４０が基板２の位置とマスク１３の位置を算出したら、カメラユニット１６がマスク１３の下方領域から外れた待機位置に移動する。そしてユニット移動機構２１は、２つの基板側マーク２ｍと２つのマスク側マーク１３ｍが平面視において一致するように（すなわち電極２ａとパターン開口１３ｈが平面視において一致するように）基板保持ユニット２２を水平面内で移動させ、そのうえで基板保持ユニット２２を上昇させて（図４（ｂ）中に示す矢印Ｃ１）、基板２をマスク１３に接触させる。
【００２１】
基板２がマスク１３に接触したら、２つのスキージ昇降シリンダ３３の一方がスキージ３２をスキージベース３１に対して下降させ（図５（ａ）中に示す矢印Ｄ１）、そのスキージ３２の下端をマスク１３上に当接させる。そして、スキージユニット移動機構１５がスキージベース３１をＹ軸方向に移動させて（図５（ａ）中に示す矢印Ｅ）、スキージ３２をマスク１３上で摺動させる。これによりマスク１３上に予め供給しておいたペーストＰｓｔがスキージ３２によって掻き寄せられ、マスク１３のパターン開口１３ｈにペーストＰｓｔが充填される。
【００２２】
ペーストＰｓｔが基板２の電極２ａに転写されたら、スキージ昇降シリンダ３３はスキージ３２を元の位置まで上昇させ（図５（ｂ）中に示す矢印Ｄ２）、ユニット移動機構２１は基板保持ユニット２２を下降させて（図５（ｂ）中に示す矢印Ｃ２）、基板２をマスク１３から離間させる。これにより版離れがなされ、基板２はマスク１３から分離する。版離れが終わったら、クランプ部材駆動部２７が一対のクランプ部材２８を開く方向に作動させて、基板２の保持（クランプ）を解除する。基板２の保持が解除されたら搬送コンベア２４が作動して基板２をスクリーン印刷装置１の外部に搬出し、基板２の１枚当たりのスクリーン印刷作業が終了する。
【００２３】
次に、スクリーン印刷装置１による検査用データの作成作業について説明する。スクリーン印刷装置１の制御装置４０の仮想領域記憶部４０ｃ（図３）には、予め、基板２の種類（すなわちマスク１３の種類）ごとに、マスク１３と基板２とが接触する領域（「接触領域」とする）を仮想した仮想領域ＫＲのデータが記憶されている。「マスク１３と基板２とが接触する領域」の外縁の定義は自由であるが、本実施の形態では、２つの基板側マーク２ｍ（或いは２つのマスク側マーク１３ｍ）を結ぶ線を一つの対角線とする矩形領域Ｊ（図６に示す基板２において破線で囲った領域）の外縁を「マスク１３と基板２とが接触する領域」の外縁としている。
【００２４】
作業者ＯＰは、先ず、タッチパネル４１の画面上に表示された複数の操作ボタン４１ａ（図７）の操作を行って、検査用データ作成モードボタンの設定操作を行い、次いで、これから検査用データを作成しようとする基板２の種類を入力する。制御装置４０は、作業者ＯＰにより、上記基板２の種類の入力があったことを検知したら（図８のフローチャートのステップＳＴ１）、仮想領域表示制御部４０ｄ（図３）により、その基板２に対応した仮想領域ＫＲをタッチパネル４１の仮想領域表示部５１に画像表示させるとともに（ステップＳＴ２。仮想領域表示工程）、仮想領域表示部５１の近傍領域に、仮想領域ＫＲ上で作業者ＯＰが任意のエリアを指定するためのエリア指定部５２と、領域修正操作部５３を表示する（図７）。エリア指定部５２には、指定開始ボタン６１、始点ボタン６２、始点座標表示部６３、終点ボタン６４、終点座標表示部６５、決定ボタン６６及び設定ボタン６７が含まれており、領域修正操作部５３には、選択ボタン６８、変更ボタン６９及び削除ボタン７０が含まれている。
【００２５】
タッチパネル４１の仮想領域表示部５１に仮想領域ＫＲが表示されたら、作業者ＯＰはエリア指定部５２から後述の要領で操作を行い、図９〜図１１に示すように仮想領域ＫＲ上でエリアＳを指定する。ここで、作業者ＯＰが指定するエリアＳは、上記接触領域において、撮像手段（本実施の形態では上方撮像カメラ１６ａ）による撮像の対象となる領域（撮像対象領域）であり、作業者ＯＰは、仮想領域ＫＲを接触領域に見立ててエリアＳを任意に指定する。
【００２６】
撮像対象領域には、パターン開口１３ｈでない部分がなるべく含まれていないことが、撮像に要する時間や取り扱う画像データの量の面から好ましい。このため作業者ＯＰは、基板２上で電極２ａが集中して配置されている複数の電極群（或いはマスク１３上でパターン開口１３ｈが集中して配置されているパターン開口群）の分布を把握したうえで、各電極群（或いはパターン開口群）を個々に取り囲む複数の領域を基板２（或いはマスク１３）上で設定し、その設定した各領域の上記矩形領域Ｊに対する位置関係と、指定しようとする各エリアＳの仮想領域ＫＲに対する位置関係とが合致するように、各エリアＳを仮想領域表示部５１上で指定する。本実施の形態では、図６に示す基板２上の５つの領域Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４，Ｔ５に対応して５つのエリアＳを指定するものとする。
【００２７】
作業者ＯＰは、基板２上に設定した領域Ｔ１に対応するエリアＳを仮想領域ＫＲ上で指定しようとする場合には、タッチパネル４１に表示されたエリア指定部５２から指定開始ボタン６１を操作したうえで（図９（ａ））、始点ボタン６２を操作する（図９（ｂ））。そして、基板２と仮想領域ＫＲとを見比べながら、仮想領域ＫＲにおけるエリアＳの位置を想像し（この想像したエリアＳを図１０（ａ），（ｂ）及び図１１（ａ）において一点鎖線で示す）、そのエリアＳの４つの頂点のうちの一つの頂点（これを「始点Ｐ１」とする）に該当する仮想領域表示部５１上の位置を指で触れて指定する（図１０（ａ））。制御装置４０は、作業者ＯＰが指で触れた始点Ｐ１の仮想領域ＫＲに対する位置を把握し、仮想領域ＫＲを基準とした始点Ｐ１の位置（座標）を始点座標表示部６３に表示するとともに、仮想領域表示部５１上の始点Ｐ１を点滅させる（図１０（ａ））。
【００２８】
作業者ＯＰは、上記のようにして始点Ｐ１を指定したら、終点ボタン６４を操作したうえで（図１０（ｂ））、想像したエリアＳの４つの頂点のうちの始点Ｐ１とは対角の位置に位置する他の一つの頂点（これを「終点Ｐ２」とする）に該当する仮想領域表示部５１上の位置を指で触れて指定する（図１１（ａ））。制御装置４０は、作業者ＯＰが指で触れた終点Ｐ２の仮想領域ＫＲに対する位置を把握し、仮想領域ＫＲを基準とした終点Ｐ２の位置（座標）を終点座標表示部６５に表示するとともに、仮想領域表示部５１上の終点Ｐ２を点滅させる。そして、始点Ｐ１と終点Ｐ２を結ぶ線を一つの対角線とする矩形領域の外縁を、エリアＳの外縁として表示する（図１１（ａ））。
【００２９】
作業者ＯＰは、タッチパネル４１の画面上に指定したエリアＳの外縁が示されたら決定ボタン６６を操作し（図１１（ｂ））、エリアＳの指定を完了させる。そして、上記の指定開始ボタン６１の操作から決定ボタン６６の操作に至るまでの一連の動作を繰り返し行い、他の領域Ｔ２〜Ｔ５に対応するエリアＳの指定を行う。作業者ＯＰは、このような手順によって５つの領域Ｔ１〜Ｔ５に対応する５つのエリアＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５（図１２）の指定が終わったら、タッチパネル４１の画面上に表示された設定ボタン６７を操作し（図１２）、指定した内容を確定させる。
【００３０】
作業者ＯＰは、設定ボタン６７を操作する前であれば、既に指定したエリアＳについて、位置補正や削除等の修正を行ことができる。既に指定したエリアＳの位置補正を行うときは、作業者ＯＰは、タッチパネル４１の画面上に表示された領域修正操作部５３の中の選択ボタン６８を操作したうえで、位置補正をしようとするエリアＳを指で触れて選択する。そうすると、その選択したエリアＳの始点Ｐ１と終点Ｐ２の座標が始点座標表示部６３と終点座標表示部６５に表示されるので、この状態で変更ボタン６９を操作すれば、作業者ＯＰはそれらの数字の変更入力を行って、既に指定したエリアＳを仮想領域表示部５１上で移動させることができる。なお、数字の入力は、作業者ＯＰが操作ボタン４１ａから操作を行い、タッチパネル４１の画面上にテンキー（図示せず）を表示させることで実行できる。また、既に指定したエリアＳの削除を行うときは、作業者ＯＰは、選択ボタン６８を操作したうえで、削除しようとするエリアＳを指で触れて選択し、そのうえで削除ボタン７０を操作する。
【００３１】
制御装置４０は、作業者ＯＰによって設定ボタン６７が操作されることでエリアＳ１〜Ｓ５の指定が終了したことを検知したら（ステップＳＴ３。指定終了検知工程）、制御装置４０のエリア記憶部４０ｅ（図３）は、そのエリアＳ１〜Ｓ５（すなわち作業者ＯＰがエリア指定部５２から指定したエリアＳ）を仮想領域ＫＲに対する位置と関連付けて記憶する（ステップＳＴ４。エリア記憶工程）。そして、制御装置４０の撮像対象領域設定部４０ｆ（図３）は、エリア記憶部４０ｅに記憶されたエリアＳ１〜Ｓ５と仮想領域ＫＲとの位置関係に基づいて、上方撮像カメラ１６ａによるマスク１３に対する撮像対象領域Ｒ１〜Ｒ５（図１３）を設定する（ステップＳＴ５。撮像対象領域設定工程）。
【００３２】
制御装置４０は、上記のようにして上方撮像カメラ１６ａによるマスク１３に対する撮像対象領域Ｒ１〜Ｒ５を設定したら、基板保持移動機構１２の上方にセットされたマスク１３（検査用データの作成対象となっているマスク１３）に対してカメラユニット１６を移動させ、撮像対象設定工程で設定した撮像対象領域Ｒ１〜Ｒ５について上方撮像カメラ１６ａにマスク１３を撮像させる（ステップＳＴ６。撮像工程）。すなわち撮像手段としての上方撮像カメラ１６ａは、撮像対象領域設定部４０ｆにより設定された撮像対象領域Ｒ１〜Ｒ５についてマスク１３を撮像する。これにより、検査用データの作成対象となっているマスク１３の全てのパターン開口１３ｈの撮像がなされる一方、パターン開口１３ｈ以外の部分についての撮像は極力なされないので、撮像に要する時間は短く、得られる画像データの量も少ない。上記撮像工程が終了したら、制御装置４０の検査用データ作成部４０ｇ（図３）は、上記撮像工程で上方撮像カメラ１６ａにより得られたマスク１３の画像に基づいて、マスク１３が有する全てのパターン開口１３ｈの位置及び形状等の認識を行い、マスク１３についての検査用データを作成する（ステップＳＴ７。検査用データ作成工程）。
【００３３】
上記手順により、スクリーン印刷装置１による検査用データの作成作業は終了し、ここで作成された検査用データは、スクリーン印刷装置１の下流工程側に設置された図示しない印刷検査装置に送信される。そして、印刷検査装置は、スクリーン印刷装置１で作成されて送られてきた検査用データに基づいて印刷検査（基板２に対するペーストＰｓｔの印刷が正しく行われたかどうかの検査）を実行する。
【００３４】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１（スクリーン印刷装置１における検査用データ作成方法）では、作業者ＯＰは、タッチパネル４１の仮想領域表示部５１に画像表示された仮想領域ＫＲ上で基板２上の電極群（前述の例では領域Ｔ１〜Ｔ５）或いはマスク１３上のパターン開口群に基づいて設定した領域に対応する任意のエリア（前述の例ではＳ１〜Ｓ５）を指定すればよく、これにより上方撮像カメラ１６ａによるマスク１３の撮像対象領域はパターン開口１３ｈを含まない領域が除外された領域（前述の例では撮像対象領域Ｒ１〜Ｒ５）に限定され、無駄な撮像が行われないので、検査用データの作成時間を短縮化することができる。
【００３５】
なお、前述の実施の形態で示した仮想領域ＫＲ上にエリアＳを設定する手順は一例に過ぎず、特に限定されるものではない。また、上述の実施の形態では、仮想領域表示部５１及びエリア指定部５２はタッチパネル４１の画面上に形成されていたが、これは一例であり、タッチパネル４１の画面に限定されるわけではない。また、仮想領域表示部５１とエリア指定部５２は互いに物理的に分離した別々の装置に設けられているのであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
検査用データの作成時間を短縮化することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷装置における検査用データ作成方法を提供する。
【符号の説明】
【００３７】
１  スクリーン印刷装置
２  基板
２ａ  電極
１３  マスク
１３ｈ  パターン開口
１６ａ  上方撮像カメラ（撮像手段）
３２  スキージ
４０ｅ  エリア記憶部
４０ｆ  撮像対象領域設定部
４０ｇ  検査用データ作成部
４１  タッチパネル
５１  仮想領域表示部
５２  エリア指定部
ＫＲ  仮想領域
Ｓ，Ｓ１〜Ｓ５  エリア
Ｒ１〜Ｒ５  撮像対象領域
Ｐｓｔ  ペースト
ＯＰ  作業者
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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