(57)【要約】【課題】磁気エンコーダ装置のコンパクト化、さらには設計自由度の向上を図る。【解決手段】磁性体である焼結金属で形成したベース部３３を金型にインサートして、熱可塑性樹脂および磁性粉を主成分とする樹脂材料で成形部３４を射出成形する。さらに、成形部３４の外周面に円周方向に配列した複数の磁極を有する磁気エンコーダトラック３０を形成し、この磁気エンコーダトラック３０を磁気センサと対向させる。ベース部３３の外周面３３ａと端面３３ｃの間にチャンファを含む肉取り部３５を設け、肉取り部３５と外周面３３ａの境界となる第一境界部Ｘと、肉取り部３５と端面３３ｃの境界となる第二境界部とを結ぶ線の、磁気センサ４のセンシング方向に対する傾斜角θを、θ＜４５°に設定する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体で形成され、回転部材に取り付けるための取り付け面を有するベース部と、ベース部をインサートして射出成形された成形部とを備え、成形部に円周方向に配列した複数の磁極を有する磁気エンコーダトラックが設けられ、磁気エンコーダトラックの各磁極を磁気センサとの対向領域で移動させることで、回転部材の角度が検出される磁気エンコーダ装置において、
ベース部の外周面および端面のうち、何れか一方を磁気センサと対向させ、ベース部の前記外周面と端面との間に肉取り部を設け、肉取り部と前記外周面の境界となる第一境界部と、肉取り部と前記端面の境界となる第二境界部とを結ぶ線の、磁気センサのセンシング方向に対する傾斜角θを、θ＜４５°にしたことを特徴とする磁気エンコーダ装置。
【請求項２】
肉取り部をチャンファで構成した請求項１記載の磁気エンコーダ装置。
【請求項３】
肉取り部がチャンファとチャンファに隣接する平坦面とを有する請求項１記載の磁気エンコーダ装置。
【請求項４】
ベース部の少なくとも取り付け面をサイジングで仕上げた請求項１記載の磁気エンコーダ装置。
【請求項５】
成形部の射出成形材料として、熱可塑性樹脂と磁性粉を主成分とするものを用いた請求項１記載の磁気エンコーダ装置。
【請求項６】
磁気エンコーダトラックに、それぞれに磁極を有する第一トラックおよび第二トラックを設けた請求項１記載の磁気エンコーダ装置。
【請求項７】
請求項１に記載した磁気エンコーダ装置と、ベース部材が取り付けられる回転部材と、磁気エンコーダトラックに対向する磁気センサとを有する回転検出装置。
【請求項８】
磁気エンコーダ装置の肉取り部を、磁気センサのセンシング領域外に配置した請求項７記載の回転検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気エンコーダ装置およびこれを有する回転検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気エンコーダ装置は、磁気センサに対面する多極磁石を回転させ、磁気センサで多極磁石の各磁極Ｎ、Ｓの通過を検出することで、回転部材の回転を検出する構成を有する。この種の磁気エンコーダ装置としては、例えば特開２０１０−２４９５３６号公報（特許文献１）に開示されているように、自動車の車輪用軸受装置に組み込まれ、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）における車輪の回転数を検出するために用いられるものが公知である。この磁気エンコーダ装置では、磁気センサに対向する多極磁石が、磁性粉と熱可塑性樹脂とを含む磁石材料を射出成形することで形成されている。
【０００３】
その一方で、例えば特開２００９−８００５８号公報（特許文献２）に開示されているように、磁気エンコーダ装置として、磁気エンコーダトラックを複列に配置し、異なるトラックで検出した磁気信号の位相差に基づき、回転軸の絶対角度（回転位相）を検出できるようにしたものも知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２４９５３６号公報
【特許文献２】特開２００９−８００５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されるような回転数を検出するための回転検出装置であれば、それほど高い分解能が要求されないので、検出精度に関する限り既存の製品精度でも実用上の不都合はない。これに対し、特許文献２に記載される回転軸の絶対角度を検出する回転検出装置では、単に回転数を検出するにすぎない場合と比べて格段に高い分解能と精度が必要とされる。
【０００６】
また、磁気エンコーダ装置は、磁気エンコーダトラックの背後に磁性体（バックヨーク）を配置した構成が一般的である。この場合において、磁気センサのセンシング領域内で磁気センサと磁性体との間の距離にばらつきがあると、磁気エンコーダトラックで生じる磁力が不均一となり、絶対角度の検出精度に悪影響を与える。磁性体の角部には機械部品の通例に倣ってチャンファ等の肉取りが設けられるが、この肉取りは上記距離のばらつきを生じる要因となるため、磁気センサのセンシング領域外に配置する必要がある。そのため、磁気エンコーダ装置の大型化、さらには設計自由度の低下を招くことになる。
【０００７】
そこで、本発明は、ベース部に設けた肉取りによる磁気エンコーダ装置の大型化や設計自由度の低下を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明では、磁性体で形成され、回転部材に取り付けるための取り付け面を有するベース部と、ベース部をインサートして射出成形された成形部とを備え、成形部に円周方向に配列した複数の磁極を有する磁気エンコーダトラックが設けられ、磁気エンコーダトラックの各磁極を磁気センサとの対向領域で移動させることで、回転部材の角度が検出される磁気エンコーダ装置において、ベース部の外周面および端面のうち、何れか一方を磁気センサと対向させ、ベース部の前記外周面と端面との間に肉取り部を設け、肉取り部と前記外周面の境界となる第一境界部と、肉取り部と前記端面の境界となる第二境界部とを結ぶ線の、磁気センサのセンシング方向に対する傾斜角θを、θ＜４５°にしたことを特徴とする。
【０００９】
上述のように、着磁後の磁気エンコーダトラックで生じる磁力を均一なものとするため、磁気センサのセンシング領域においては、磁気センサから磁性体の表面までの距離を一定にする必要がある。成形部の着磁面のうち、この距離一定となる領域が着磁する際の有効幅となる。本発明では、ベース部の外周面および端面のうち、何れか一方を磁気センサと対向させ、ベース部の外周面と端面との間に肉取り部を設け、肉取り部の磁気センサのセンシング方向に対する傾斜角をθ＜４５°としているので、着磁面の有効幅を既存品の有効幅よりも大きくできる。そのため、磁気エンコーダ装置の寸法を増大することなく磁気エンコーダトラックの磁力を強化することができ、着磁精度が向上する。また、磁気センサの検出素子の間隔に余裕を持たせることができ、磁気センサの選定自由度が向上する。加えて、磁気エンコーダ装置を軽量化して回転時の慣性モーメントを低下させることができ、検出精度のさらなる向上を図ることができる。
【００１０】
肉取り部はチャンファで構成し、あるいは肉取り部をチャンファとチャンファに隣接する平坦面とを有するもので構成することができる。
【００１１】
ベース部の少なくとも取り付け面をサイジングで仕上げることにより（サイジングで仕上げた面には切削痕や研摩痕等の機械加工痕が存在しない）、取り付け面の平面度、円筒度等の表面精度を低コストに向上させることができる。そのため、取り付け面に回転部材を取り付けた場合でも、回転部材の回転中心に対して磁気エンコーダ装置を高精度の同軸度をもって回転させることができる。これにより、成形部に設けた磁気エンコーダトラックの振れ回りを防止し、高い検出精度を得ることが可能となる。
【００１２】
成形部の射出成形材料としては、熱可塑性樹脂と磁性粉を主成分としたものを用いることができる。
【００１３】
磁気エンコーダトラックに、それぞれに磁極を有する第一トラックおよび第二トラックを設けることにより、バーニャ原理を活用して回転部材の角度を精度よく検出することが可能となる。
【００１４】
以上に述べた磁気エンコーダ装置と、ベース部が取り付けられる回転部材と、磁気エンコーダトラックに対向する磁気センサとで回転検出装置を構成することができる。この場合、磁気エンコーダ装置の肉取り部を、磁気センサのセンシング領域外に配置することにより、磁気センサのセンシング領域内において成形部の厚さを均一にすることができ、磁気エンコーダトラックで生じる磁力を均一化して磁気センサの検出精度を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、磁気エンコーダ装置のコンパクト化、さらには設計自由度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明にかかる回転検出装置（ラジアルギャップタイプ）の断面図である。
【図２】図１に示す回転検出装置を半径方向から見た平面図である。
【図３】図１に示す磁気エンコーダ装置の拡大断面図である。
【図４】本発明品と従来品とを対比して示す断面図である。
【図５】（ａ）図は成形金型の断面図、（ｂ）図は肉取り部の他の実施形態を示す断面図である。
【図６】サイジング工程を示す断面図である。
【図７】射出成形工程を示す断面図である。
【図８】着磁工程を示す断面図である。
【図９】磁気エンコーダトラックの振れ回りを説明する概略図である。
【図１０】本発明にかかる回転検出装置（アキシャルギャップタイプ）の断面図である。
【図１１】図１０に示す回転検出装置を第一プレート側から見た正面図である。
【図１２】図１０に示す磁気エンコーダ装置の拡大断面図である。
【図１３】肉取り部の他の実施形態を示す断面図である。
【図１４】（ａ）図、（ｂ）図とも磁極パターンの他の実施形態を示す平面図（展開図）である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１８】
図１は、この実施形態の回転検出装置１の概略構成を示す断面図である。図１に示すように、この回転検出装置１は、回転部材としての回転軸２と、回転軸２に取り付けられる磁気エンコーダ装置３と、ハウジング等の静止部材に取り付けられる磁気センサ４とで構成される。回転軸２は、図示しないモータ（例えばサーボモータ）等の回転駆動源により回転駆動される。
【００１９】
図１では、磁気エンコーダ装置３としてラジアルギャップタイプを例示している。この磁気エンコーダ装置３は、ベース部３３と成形部３４とで構成される。以下、ベース部３３および成形部３４の主要構成を説明する。
【００２０】
ベース部３３は、多孔質の焼結金属で円筒状に形成される。焼結金属は、磁性体として機能させるために鉄を多く含むものが使用される。焼結金属中の鉄の含有量は極力多くするのが好ましく、本実施形態では鉄１００ｗｔ％の焼結金属を使用している。鉄を主成分とする限り、銅や他の金属を含有した焼結金属を使用しても構わない。なお、ベース部３３に対する潤滑油の含浸は行われない。ベース部３３の外周面３３ａおよび内周面３３ｂのうち、外周面３３ａが成形部３４を介して磁気センサ４のセンシング面と対向し、内周面３３ｂが回転軸２に取り付けるための取り付け面を構成する。
【００２１】
ベース部３３ｂの軸方向一方側（図面左側）の端面３３ｃと内周面３３ｂの間、および軸方向他方側（図面右側）の端面３３ｄと内周面３３ｂの間には、それぞれ面取り３３ｅが形成されている。また、ベース部３３の軸方向一方側の端面３３ｃと外周面３３ａの間、および軸方向他方側の端面３３ｄと外周面３３ａの間には、それぞれ肉取り部３５が設けられている。
【００２２】
肉取り部３５は、外周面３３ａの輪郭線とベース部の端面３３ｃ，３３ｄの輪郭線をそれぞれ延長してできる交差点の角部の肉を落とした形態を有する。本実施形態の肉取り部３５は、図３に示すように、磁気センサ４のセンシング方向（本実施形態では半径方向）に対してθ＜４５°となる傾斜角θを有するチャンファで構成される。傾斜角θは１０°以上とし、４０°以下とするのが好ましい。
【００２３】
このように二つの肉取り部３５の傾斜角θを何れもθ＜４５°に設定することで、図４に示すように、二つの肉取り部３５の外径端間の軸方向距離ｂを、通常の面取り（破線で示す）に倣って傾斜角θを４５°にした場合の当該軸方向距離ａよりも大きくすることができる（ｂ＞ａ）。傾斜角θの大きさが上記の範囲内であれば、軸方向一方側と他方側の肉取り部３５の傾斜角θを異なる大きさにすることもできる。
【００２４】
成形部３４は、ベース部３３の外周面３３ａ、およびベース部３３の軸方向両端部を連続して被覆しており、平板状をなす第一プレート部３４１および第二プレート部３４２と、円筒状をなす円筒部３４３とで一体に形成される。第一プレート部３４１、第二プレート部３４２、および円筒部３４３の肉厚は実質的に同一である。図１に示す実施形態において、第一プレート部３４１はベース部３３の軸方向一方側の肉取り部３５および端面３３ｃの外径側領域を覆っている。ベース部３３の軸方向他方側の端面３３ｄは軸方向の段差を有しており、第二プレート部３４２は、この段差付き端面３３ｄのうち軸方向一方側の端面３３ｄ１および軸方向他方側の肉取り部３５を覆っている。また、円筒部３４３はベース部３３の外周面３３ａを覆っている。ベース部３３の内径側の面取り部３３ｅは、成形部３４には覆われずに露出している。
【００２５】
この実施形態において、第一プレート部３４１および第二プレート部３４２の内径寸法は何れもベース部３３の内径寸法よりも大きい。また、第二プレート部３４２の内径寸法は、第一プレート部３４１の内径寸法よりも大きい。成形部３４の第一プレート部３４１の端面とベース部３３の軸方向一方側の端面３３ｃとの間には、軸方向の段差が存在するが、成形部３４の第二プレート部３４２の端面とベース部の軸方向他方側の端面３３ｄの一部（段差付き端面３３ｄのうち軸方向他方側の端面３３ｄ２）とは、半径方向で同一平面上にある。
【００２６】
図２は回転検出装置１をセンサ４側から見た平面図である。
図１および図２に示すように、成形部３４の円筒部３４３の外周面には、異なる磁極（Ｎ極およびＳ極）を周方向交互に配置した磁気エンコーダトラック３０が形成される。磁気エンコーダトラック３０は、バーニャ原理により絶対角度を検出可能としたのもので、図２に示すように、第一トラック３１と第二トラック３２とを同心で環状に複列配置した形態をなしている。
【００２７】
第一トラック３１および第二トラック３２のそれぞれに、Ｎ極およびＳ極からなる磁極対３１ａ，３２ａが異なる磁極を周方向交互に配置して着磁されている。本実施形態では、第一トラック３１の磁極を等ピッチλ１とし、第二トラック３２の磁極も等ピッチλ２としている。第一トラック３１おける磁極対３１ａの数（例えば３２個）は、第二トラック３２における磁極対３２ａの数（例えば３１個）と異なる。例えば第一トラック３１における磁極対３１ａを任意の数ｎとした場合、第二トラック３２には、ｎ±１で表される数の磁極対３２ａを設けることができる。これにより回転軸２の１回転を０°〜３６０°の範囲の絶対角度で検出することができる。検出可能な絶対角度の範囲を３６０°ではなく１８０°とする場合には、第二トラック３２にｎ±２で表される数の磁極対３２ａを設ければよい。この場合、回転軸２の１回転に対して０°〜１８０°の範囲の検出を２回繰り返すことになる（いわゆる２ｘモード）。同様にｎ±３とした場合には絶対角度検出範囲は１２０°となり、回転軸２の１回転に対して３回繰り返して検出することになる（いわゆる３ｘモード）。
【００２８】
成形部３４は、磁性粉（強磁性体）と熱可塑性樹脂とを主成分とする樹脂材料で形成される。磁性粉としては、例えばストロンチウムフェライトやバリウムフェライトなどに代表されるフェライト系磁性粉の他、ネオジウム−鉄−ボロン、サマリウム−コバルト、サマリウム−鉄−窒素等などに代表される希土類系磁性粉等の公知の磁性粉が使用できる。これらの磁性粉は単独で、あるいは複数組み合わせて使用される。本実施形態では、コストおよび耐候性の面で優位性を示すフェライト系磁性粉を主として使用している。なお、フェライト系の磁性粉を用いる場合、フェライトの磁気特性を向上させるためにランタンやコバルト等の希土類系元素を混合することもできる。
【００２９】
また、熱可塑性樹脂としては、ポリアミド系の樹脂材料、例えばＰＡ１２を使用することができる。本実施形態のように薄肉（０．５ｍｍ程度）の成形部３４で高磁力を得るためには磁性粉を高充填する必要があるが、ポリアミド系は流動性に優れることからそのような要求にも応えることができる。また、本実施形態の磁気エンコーダ装置３を例えば自動車の車輪用軸受に使用する場合には、広い温度範囲で耐候性、耐薬品性等を満たすことが求められるが、ポリアミド系は要求される温度範囲（−４０℃〜＋１２０℃）でもこれらの特性を満足することができる。ポリアミド系として、ＰＡ１２の他にＰＡ６，ＰＡ６６，ＰＡ６１２等も使用可能であるが、特にＰＡ１２はこれらの中で吸水性が最も少ないので、吸水による磁気特性低下を防止するために最も好ましい。
【００３０】
図１および図２に示すように、磁気センサ４は、第一トラック３１および第二トラック３２のそれぞれと対面する検出素子４ａを有する。各検出素子４ａは、トラックピッチの方向に所定距離だけ離隔させた二つの磁気検出素子等からなり、半径方向に０．３ｍｍ〜４ｍｍ程度のラジアルギャップを介して第一トラック３１および第二トラック３２のそれぞれと対向している。磁気エンコーダトラック３０を回転させることで、各トラック３２の磁極が検出素子４ａの対面領域を移動するので、二つの検出素子４ａの出力波形を比較してその位相差を求めることにより、磁気エンコーダトラック３０の絶対角度を検出することが可能となる。ベース部３３の肉取り部３５は、磁気センサ４のセンシング領域４ｂ（検出素子４ａと対向する領域であって、破線で示す領域）の外にある。
【００３１】
次に、以上に述べた磁気エンコーダ装置３の製造工程を順次説明する。
【００３２】
先ず、焼結金属製のベース部３３が製作される。ベース部３３は、焼結金属の製造手法として常用される、金属粉末の圧縮成形→焼結→サイジングの各工程を経て製作される。圧縮成形工程では、鉄粉に潤滑剤を添加した原料粉末を成形金型に供給し、圧縮することで、面取り３３ｅおよび肉取り部３５を有する圧粉体が成形される。この圧粉体を焼結炉に移送して例えば１１２０℃で焼結することにより、Ｆｅ１００ｗｔ％の焼結素材が得られる。原料粉に添加された潤滑剤は、焼結工程中に燃焼あるいは揮散する。焼結後の焼結素材の密度は、６．２〜７．０ｇ／ｃｍ3程度である。
【００３３】
焼結後の焼結素材はサイジング工程に移送される。サイジングは、図６に示すように、焼結素材３３’を、その軸方向両端面３３ｃ’，３３ｄ’をパンチ１３，１４で拘束しつつダイ１１に圧入し、あるいはダイ１１に焼結素材３３’を収容してから、焼結素材３３’の軸方向両端面３３ｃ’、３３ｄ’をパンチ１３，１４で加圧することで、焼結金属素材３３’を圧迫する工程である。サイジング中は焼結金属素材３３’の内周にはコアロッド１２が挿入されている。
【００３４】
このサイジングにより、焼結素材３３’の外周面３３ａ’、内周面３３ｂ’、および両端面３３ｃ’，３３ｄ’がそれぞれダイ１１の内周面、コアロッド１２の外周面、および両パンチ１３，１４の端面に押し付けられて塑性変形により矯正され、各面が精度良く仕上げられる。その後、焼結金属素材３３’をダイ１１内から取り出すことで、ベース部３３が完成する。
【００３５】
ベース部の３３の外周面３３ａ、内周面３３ｂ、および両端面３３ｃ、３３ｄは何れもサイジングされた面となるが、サイジングに伴って表面空孔が潰れるため、サイジング後の各面３３ａ〜３３ｄの表面空孔率は、内部（芯部）の空孔率よりも小さくなる。ベース部３３の軸方向両端の内径角部および外径角部には、それぞれ面取り３３ｅおよび肉取り部３５が設けられているが、これら面取り３３ｅおよび肉取り部３５はサイジングされないため、これらの表面空孔率は上記各面３３ａ〜３３ｄの表面空孔率よりも大きい。
【００３６】
その後、ベース部３３は射出成形工程に移送される。この射出成形工程は、図７に示すように、ベース部３３を固定金型４０および可動金型４１内にインサートして位置決め保持し、両金型４０，４１間に形成したキャビティ４２に、上述した熱可塑性樹脂と磁性粉とを含む樹脂材料を、スプール４３およびゲート４４を介して射出することで成形部３４を成形（インサート成形）する工程である。成形部３４でのウェルド等の発生を防止するため、ゲート４４としては、ディスクゲート（フィルムゲート）を使用するのが好ましい。射出成形に際しては、キャビティ４２に磁場をかけながら磁性粉の磁化容易軸を揃える処理（磁場成形）も併せて行われる。
【００３７】
樹脂材料の冷却固化後、型開きを行い、図示しない押し出しピンで成形品を押し出す。成形品の押し出しと共にゲートカットが行われ、成形品が離型される。ディスクゲート４４を介して射出成形を行っているため、ゲートカットの痕跡であるゲート跡３４４（図１参照）は、成形部３４の第一プレート部３４１の内周面全周にわたって形成される。
【００３８】
その後、脱磁を行ってから、成形品に着磁を行って磁気エンコーダトラック３０を形成する。着磁中は、図７に示すように、成形品３９のベース部３３の内周面３３ｂがスピンドル５０に嵌合されると共に、図示しないチャック機構でベース部３３の端面、例えば軸方向他方側の端面３３ｄが着磁装置の位置決め面５１に押し付けられる。この時、位置決め精度の向上のため、成形部３４は位置決め面５１と接触させないのが好ましい。これにより、成形品３９が内周面３３ｂおよび一方の端面（本実施形態では３３ｄ）を基準として、着磁装置に対して軸方向および半径方向で位置決めされる。
【００３９】
この状態で磁気エンコーダトラック３０の外径側に着磁ヘッド５２を配置し、成形品をインデックス回転させながら、磁気エンコーダトラック３０の第一トラック３１と第二トラック３２のうち、どちらか一方のトラックの着磁を行う。その後、着磁ヘッド５２を軸方向にスライドさせ、同様の操作を繰り返して他方のトラックの着磁を行うことで、図１および図２に示す磁気エンコーダ装置３が完成する。なお、インデックス回転させながら複数のトラックを同時に着磁するようにしてもよく、その他、全ての磁極を同時に着磁させる方法を採用することもできる。
【００４０】
このようにして製作した磁気エンコーダ装置３のベース部３３の内周面（取り付け面）３３ｂに回転部材である回転軸２を固定し、ハウジングの所定位置に磁気センサ４を取り付けることで、図１および図２に示す回転検出装置１が完成する。ベース部３３と回転軸２との固定は、両者間での芯ずれ防止のために圧入で行うのが好ましいが、芯ずれを回避できる対策を講じれば、接着等の他の固定手段で固定することもできる。例えば自動車の車輪用軸受装置にこの磁気エンコーダ装置を使用する場合、車輪用軸受装置の内輪（回転部材）の外周面にベース部３３の取り付け面３３ｂが嵌合固定され、軸受外輪やナックル等の車体側の部材の所定位置に磁気センサ４が取り付けられる。
【００４１】
本発明の磁気エンコーダ装置３においては、ベース部３３が焼結金属で形成され、かつベース部３３の回転軸２に対する取り付け面（内周面）３３ｂがサイジングにより仕上げられている。そのため、取り付け面３３ｂは高い平面度および円筒度を有し、かつ両端面３３ｃ、３３ｄに対する直角度や回転軸心に対する同軸度も良好なものとなる。このように取り付け面３３ｂが高い表面精度を有するため、ベース部３３の取り付け面３３ｂに回転軸２を嵌合固定して回転軸２を回転させた場合でも、磁気エンコーダトラック３０の振れ回りを小さくすることができる。そのため、回転中の磁気エンコーダトラック３０の幾何学的な誤差、さらには磁気センサ４との間のギャップ変動に基づく誤差を小さくすることができ、回転軸２の角度（例えば絶対角度）の検出精度を高めることができる。
【００４２】
以下、この作用効果を図９に示すモデルを用いて説明する。同図において、磁気エンコーダトラック３０の半径Ｒに対して、磁気エンコーダトラック３０の中心が回転軸心ＯからΔＲだけ偏心した位置に固定されている場合を想定すると、磁気エンコーダトラック３０に回転角θに依存したΔＲの振れ回りが発生する。これにより、ｔａｎΔθ〜ΔＲ／Ｒの大きさで変動する角度誤差（幾何学的な誤差）が観測されることになる。
【００４３】
例えば、複列の磁気エンコーダトラック３０を用いて１回転を１２ビット（４０９６分割）以上の分解能で測定する場合、磁気エンコーダトラック３０の各トラック３１，３２のピッチ誤差を±０．５％以下に抑えることが望まれる。Ｒ＝２５ｍｍの位置に３２極対の磁気エンコーダトラック３０を形成する場合を考えると、１磁極対に相当する回転角度は３６０°／３２＝１１．２５°なので、ピッチ誤差０．５％は、１１．２５°×０．５％＝０．０５６２５°となり、その場合、許容される偏心量はΔＲ＜Ｒｔａｎ（０．０５６２５°）＝２４．５μｍとなる。従って、ピッチ誤差を０．５％以下にするためには、ベース部３３の取り付け面３３ｂにおける公差を±２０μｍ以下に設定することが望まれる。少なくともベース部３３の取り付け面３３ｂを焼結金属で形成し、これにサイジングを施せば、取り付け面３３ｂをそのような公差範囲に収めることは容易であるので、ピッチ誤差を０．５％以下に抑えた磁気エンコーダトラック３０を低コストに提供することが可能となる。
【００４４】
また、振れ回り量が小さくなることで、磁気センサ４と各磁極との間のギャップ変動を抑えることができる。既存の磁気エンコーダ装置では、磁気センサ４と各磁極との間のギャップは、機械部品の加工精度や組み付け精度によって制限され、その変動幅が大きいためにギャップを小さくするには限度がある。これに対し、本発明では、磁気エンコーダトラック３０の振れ回り量が小さいため、ギャップの変動範囲を±０．１ｍｍ以下に抑えることができる。そのため、磁気センサ４と各磁極との間のギャップを詰めることができ、磁気強度の増大を通じてノイズの少ない高品質の信号を出力することが可能となる。この点からも、回転軸２の絶対角度の検出精度を高めることができる。
【００４５】
また、図８に示すように、磁気エンコーダトラック３０に着磁する際には、ベース部３３の取り付け面３３ｂが着磁装置のスピンドル５０に嵌合すると共に、どちらか一方の端面（本実施形態では軸方向他方側の端面３３ｄ）が位置決め面５１と当接している。着磁の際には、スピンドル５０の回転角度を基準として磁気パターンを形成するため、着磁面に振れ回りがあると、正確な角度ピッチで着磁することが困難となる。これに対し、本実施形態の構成では、被位置決め面となるベース部３３の取り付け面３３ｂおよび端面３３ｄがサイジングにより高精度に成形されているので、着磁装置のスピンドル５０に対するベース部３３の取り付け姿勢を安定化することができ、磁気エンコーダ装置３の使用時と同レベルの同軸状態で着磁を行うことができる。そのため、着磁中の成形部３４の振れ回りを小さくして、振れ回りによる着磁パターンの幾何学的誤差を防止することができ、これにより回転軸２の絶対角度をさらに精度良く検出することが可能となる。
【００４６】
ところで、磁性体（本実施形態ではベース部３３）の表面に磁性粉を含む成形部３４を形成し、この成形部３４を着磁する構成では、着磁後の磁気エンコーダトラック３０で生じる磁力を均一なものとするため、磁気センサ４の検出素子４ａに対向する領域において、検出素子４ａから磁性体の表面までの距離を一定にする必要がある。着磁面のうち、この距離一定となる領域が着磁する際の有効幅となる。図４に示すように、本発明では、肉取り部３５の傾斜角θを小さくすることで、着磁面の有効幅ｂを既存品の有効幅ａよりも大きくできる。そのため、寸法を増大することなく磁気エンコーダトラック３の磁力を強化することができ、着磁精度が向上する。また、磁気センサの検出素子４ａの間隔に余裕を持たせることができ、磁気センサ４の選定自由度が向上する。加えて、磁気エンコーダ装置３を軽量化して回転時の慣性モーメントを低下させることができ、検出精度のさらなる向上を図ることができる。以上から、回転検出装置１のコンパクト化や設計自由度の向上、さらには検出精度の向上を図ることができる。
【００４７】
以下、本発明の他の実施形態を説明する。なお、以下の実施形態の説明において、図１および図２に示す実施形態と共通する構成および部材には共通の参照符号を付して重複説明を省略する。
【００４８】
図５（ｂ）に肉取り部３５の他の実施形態を示す。図３に示すように焼結金属からなるベース部３３にチャンファからなる肉取り部３５を設けると、図５（ａ）に破線で示すように、圧粉体を成形する成形型７５に鋭角のエッジＥが必要となり、成形時の成形金型７５の負荷が増大する。図５（ｂ）はこの対策を講じたもので、肉取り部３５を、チャンファ３５ａとチャンファ３５ａに対して角度を持って隣接する平坦面３５ｂとで構成した場合を例示している。この場合、図５（ａ）に実線で示すように、成形金型７５のエッジを省略することができ、成形金型７５の負荷が軽減される。
【００４９】
かかる構成においては、ベース部３３の肉取り部３５の外径端（図示例では平坦面３５ｂの外径端）と外周面３３との境界である第一境界部Ｘと、肉取り部３５の内径端（図示例ではチャンファ３５ａの内径端）と端面３３ｃの境界である第二境界部Ｙとを結ぶ線が、磁気センサ４のセンシング方向（図面上下方向）に対してなす角度を肉取り部３５の傾斜角度θとし、この傾斜角度θをθ＜４５°（１０°≦θ≦４０°が好ましい）に設定することで、上記と同様の効果を得ることができる。なお、図３に示す実施形態でも、肉取り部３５を構成するチャンファの外径端と外周面３３ａとの境界を第一境界部Ｘと考え、チャンファの内径端と端面３３ｃ、３３ｄとの境界を第二境界部Ｙと考えることができる。この場合も第一境界部Ｘと第二境界部Ｙとを結ぶ線が磁気センサ４のセンシング方向に対してなす角度（＝傾斜角度θ）がθ＜４５°に設定される。
【００５０】
図５（ａ）（ｂ）では、軸方向一方側の肉取り部３５を例示しているが、軸方向他方側の肉取り部３５も同様の構成にすることができる。この場合、軸方向両側の肉取り部３５の傾斜角θは異なる角度にすることもできる。
【００５１】
図１０および図１１は、アキシャルギャップタイプの回転検出装置１の断面図および平面図である。この実施形態においても、複列の磁気エンコーダトラック３０が成形部３４に形成されている。また、ベース部３３が焼結金属で形成されると共に、少なくとも取り付け面３３ｂ、さらに好ましくはベース部３３の全面３３ａ〜３３ｄがサイジングで仕上げられている。このアキシャルギャップタイプの磁気エンコーダ装置３において、磁気センサ４に対向する磁気エンコーダトラック３０は第一プレート部３４１に形成される。磁気エンコーダトラック３０は、半径方向に離隔した第一トラック３１と第二トラック３２とを有する。
【００５２】
図１２は、アキシャルギャップタイプの磁気エンコーダ装置３において、肉取り部３５をチャンファで構成した場合の実施形態を拡大して示すものである。この実施形態でも、肉取り部３５を構成するチャンファの磁気センサ４のセンシング方向（図面左右方向）に対する傾斜角θ、言い換えればチャンファと外周面３３ａの境界である第一境界部Ｘと、チャンファと軸方向一方側の端面３３ｃの境界である第二境界部Ｙとを結んだ線がセンシング方向に対してなす角度θをθ＜４５°（好ましくは１０＜θ＜４０°）に設定することで、上記と同様の効果を得ることができる。なお、この場合、ベース部３３のうち、磁気センサ４と対面しない軸方向他方側の外径角部に同様の肉取り部３５を設けることもできる。この場合、センシング方向と直交する方向（半径方向）に対するチャンファの傾斜角は任意であり、例えばθ≦４５°となるように設定することができる。
【００５３】
図１３は、アキシャルギャップタイプの回転検出装置１において、図５（ｂ）と同様に、肉取り部３５をチャンファ３５ａとチャンファ３５ａに隣接する平坦面３５ｂとで形成したものである。この場合も肉取り部３５の外径端（図示例では平坦面３５ｂの外径端）と外周面３３ａとの境界である第一境界部Ｘと、肉取り部３５の内径端（図示例ではチャンファ３５ａの内径端）と端面３３ｃの境界である第二境界部Ｙとを結ぶ線が、磁気センサ４のセンシング方向（図面左右方向）に対してなす角度を肉取り部３５の傾斜角度θとし、この傾斜角度θをθ＜４５°（１０°≦θ≦４０°が好ましい）に設定する。
【００５４】
以上の説明では、チャンファ３５，３５ａを平坦面状に形成した場合を例示しているが、肉取り部３５の形状は任意であり、例えばチャンファ３５，３５ａを曲面で形成し、あるいは曲面と平坦面からなる複合面で形成することもできる。この場合の傾斜角θは、上述のとおり第一境界部Ｘと第二境界部Ｙとを結ぶ線が磁気センサのセンシング方向に対してなす角度で評価する。
【００５５】
また、以上の説明では、成形部３４の射出成形材料として熱可塑性樹脂と磁性粉を主成分とするものを例示したが、射出成形材料としては着磁可能でかつ射出成形可能である限り任意の材料を使用することができる。例えばゴムと磁性粉を主成分とする射出成形材料で成形部３４を成形することもできる。
【００５６】
また、以上の説明では、成形部３４に形成する複列の磁気エンコーダトラック３０として、第一トラック３１と第二トラック３２の磁極対の数を異ならせると共に、第一トラック３１の磁極を等ピッチλ１とし、第二トラック３２の磁極を等ピッチλ２としたものを説明したが、磁気エンコーダトラック３０の磁極パターンはこれに限定されず、回転軸２の絶対角度を検出可能なあらゆる磁極パターンを採用することができる。例えば図１４（ａ）に示すように、第一トラック３１と第二トラック３２で磁極対の数を同じにすると共に、第一トラック３１および第二トラック３２のそれぞれで磁極ピッチを不等ピッチにすることもできる。この他、図１４（ｂ）に示すように、第一トラック３１を、異なる磁極を交互に等ピッチで形成した回転検出用トラックとすると共に、第二トラック３２を、回転基準位置検出用の磁極を周方向の一カ所もしくは複数個所に形成した、インデックス信号（Ｚ相）生成用トラックとしてもよい。
【００５７】
以上に述べた回転検出装置１は、回転軸２の絶対角度の検出が求められる用途に適用することができ、例示した車輪用軸受装置の他、ロボットの関節部分、精密位置決め装置をはじめ、各種産業機器に広く用いることが可能である。
【符号の説明】
【００５８】
１        回転検出装置
２        回転軸（回転部材）
３        磁気エンコーダ装置
４        磁気センサ
４ａ      検出素子
４ｂ      センシング領域
３０      磁気エンコーダトラック
３１      第一トラック
３２      第二トラック
３３      ベース部
３３ａ    外周面
３３ｂ    内周面（取り付け面）
３３ｃ    軸方向一方側の端面
３３ｄ    軸方向他方側の端面
３４      成形部
３４１    第一プレート部
３４２    第二プレート部
３４３    円筒部
３４４    ゲート跡
３５      肉取り部
３５ａ    チャンファ
３５ｂ    平坦面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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