(57)【要約】【課題】長尺感光性フィルムを間欠移動させながら停止時に露光するフィルム露光装置であって、フィルム平面性の確保が容易にできるフィルム露光装置を得ることを目的とする。【解決手段】供給側ロールと巻取側ロールの間で感光性フィルムを移動させるフィルム搬送機構と、このフィルム搬送機構中に設定された感光性フィルムを垂直に移動させる垂直移動区域と、この垂直移動区域における感光性フィルムのテンションを制御するテンション制御機構と、垂直移動区域のフィルムの表裏の少なくとも一方に対向させたフォトマスクと、該フォトマスクと感光性フィルムとの間隔を調整するマスク位置調整機構と、フォトマスクを介して感光性フィルムに露光する照明手段とを有する縦型フィルム露光装置。【選択図】図１
2015034846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給側ロールに巻き取られている感光性フィルムを繰り出して巻取側ロールに巻き取るフィルム搬送機構と、
このフィルム搬送機構中に設定された上記感光性フィルムを垂直に移動させる垂直移動区域と、
この垂直移動区域における上記感光性フィルムのテンションを制御するテンション制御機構と、
上記垂直移動区域の上記感光性フィルムの表裏の少なくとも一方に対向するフォトマスクと、
該フォトマスクの上記垂直移動区域における上記感光性フィルムとの間隔を調整するマスク位置調機構と、
上記フォトマスクを介して上記感光性フィルムに露光する照明手段と、
を有することを特徴とする縦型フィルム露光装置。
【請求項２】
請求項１記載の縦型フィルム露光装置において、さらに、上記垂直移動区域のフィルム表裏の少なくとも一方に対してエアカーテンを形成するエアカーテン手段を有する縦型フィルム露光装置。
【請求項３】
請求項２記載の縦型フィルム露光装置において、上記エアカーテン手段は、上記垂直移動区域の上記感光性フィルムの上方から該フィルム表裏の少なくとも一方に向けてエアを吐出するエア供給源と、該感光性フィルムの下方において該エア供給源からのエアを吸引するエア吸引源とを有する縦型フィルム露光装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項記載の縦型フィルム露光装置において、上記マスク位置調機構は、上記垂直移動区域の上記感光性フィルムの移動平面をＸＹ平面とし、ＸＹ平面と直交する方向をＺ方向、ＸＹ平面で回転する方向をθ方向としたとき、ＸＹＺの直交３方向及びＸＹ平面で回転するθ方向に位置調節可能である縦型フィルム露光装置。
【請求項５】
請求項４記載の縦型フィルム露光装置において、上記マスク位置調機構は、互いに直交するＸＹＺ軸方向及びＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸と平行な軸回りの回転方向の６軸調整可能な機構である縦型フィルム露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性フィルムに露光するフィルム露光装置に関し、特に感光性フィルムに新たに設定した垂直移動区域において露光する縦型フィルム露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばプリント配線基板は、感光性フィルム（感光体を塗布した合成樹脂製柔軟フィルム）上に回路パターンを露光し、現像して同パターンを出現させるフォトリソグラフィー技術によって形成されている。この目的で使用される露光装置は基本的に、回路パターンを有するフォトマスク（露光マスク）を感光性フィルムに密着させた状態または近接させた状態（μｍオーダーの僅かな隙間を与えた状態）で、光源装置からの光をフォトマスクを通して感光性フィルムに照射している（密着露光あるいはプロキシミティ露光）。
【０００３】
回路パターンは微細化が進行しており、線幅は従来の３００μm程度から１０μm程度に縮小しているのが現状である。回路パターンの微細化の進行には、感光性フィルムの平面性の確保、同フィルムあるいはフォトマスク上の塵埃（異物）除去が重要な技術課題となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１-４２１１８号公報
【特許文献２】特開２００７-１０２２００号公報
【特許文献３】特開２０１２-２２０６０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１ないし特許文献３は、長尺感光性フィルムを移動させながら露光する露光装置を提案しているが、移動させながら露光するため、そのフォトマスクのパターンは、繰り返しパターンに限られてしまう。また、フィルムまたはフォトマスクに付着する塵埃の除去について考慮が払われていない。
【０００６】
本発明は、長尺感光性フィルムを間欠移動させながら停止時に露光するフィルム露光装置であって、フィルム平面性の確保が容易にできるフィルム露光装置を得ることを目的とする。また本発明は、フィルムあるいはフォトマスク上に付着する塵埃の除去が容易にできるフィルム露光装置を得ることを目的とする。さらに本発明は、感光性フィルムとフォトマスクとの間の露光ギャップを容易に調整できるフィルム露光装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、長尺感光性フィルムの移動領域に垂直移動区域を設定し、この垂直移動区域においてフィルムテンションをコントロールし、フィルム停止中に露光すれば、フィルムの平面性を容易に確保できるとの着眼に基づいて完成されたものである。停止時に露光するので、フォトマスクは繰り返しパターンに限られない。また、本発明は、垂直移動区域のフィルムの表裏の少なくとも一方に、フォトマスクを位置調整可能として対向させることにより、密着露光、プロキシミティ露光のいずれにも対応可能とし、さらに、垂直移動区域のフィルム表裏の少なくとも一面に対してエアカーテンを形成することにより、フィルムあるいはフォトマスク上に付着する塵埃を除去する。
【０００８】
すなわち、本発明の縦型フィルム露光装置は、供給側ロールと巻取側ロールの間で感光性フィルムを移動させるフィルム搬送機構と、このフィルム搬送機構中に設定された感光性フィルムを垂直に移動させる垂直移動区域と、この垂直移動区域における感光性フィルムのテンションを制御するテンション制御機構と、垂直移動区域のフィルムの表裏の少なくとも一方に対向させたフォトマスクと、該フォトマスクと感光性フィルムとの間隔を調整するマスク位置調整機構と、フォトマスクを介して感光性フィルムに露光する照明手段と、を有することを特徴としている。
【０００９】
本発明の縦型フィルム露光装置はさらに、垂直移動区域のフィルム表裏の少なくとも一方に対してエアカーテンを形成するエアカーテン手段を有することが好ましい。エアカーテン手段によるエア（気体）は、環境によっては不活性ガスであってもよい。また、エアカーテンによる気流が露光に悪影響を与えるならば露光時にはエアカーテンによるエア供給を停止してもよい。
【００１０】
本発明の縦型フィルム露光装置のマスク位置調機構は、上記垂直移動区域の上記感光性フィルムの移動平面をＸＹ平面とし、ＸＹ平面と直交する方向をＺ方向、ＸＹ平面で回転する方向をθ方向としたとき、ＸＹＺの直交３方向及びＸＹ平面で回転するθ方向に位置調節可能であることが実際的である。
上記マスク位置調機構は、互いに直交するＸＹＺ軸方向及びＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸と平行な軸回りの回転方向の６軸調整可能な機構であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の縦型フィルム露光装置は、長尺感光性フィルムの移動領域に垂直移動区域を設定し、この垂直移動区域においてフィルムテンションを制御し、フィルム停止中に露光するので、フィルムの平面性を容易に確保できる。そして、垂直移動区域のフィルムの表裏の少なくとも一方に、フォトマスクを位置調整可能として対向させているので、密着露光、プロキシミティ露光のいずれにも対応可能である。さらに、垂直移動区域のフィルム表裏の少なくとも一方に対してエアカーテンを形成することにより、フィルムあるいはフォトマスク上に付着する塵埃を除去することができる。従って、微細な回路パターンの形成に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明による縦型フィルム露光装置の一実施形態を示す正面図である。
【図２】図１のII-II線に沿う断面図である。
【図３】感光性フィルムの垂直移動領域周辺の構成を示す斜視図である。
【図４】縦型フィルム露光装置の駆動制御系の一実施形態をブロックで示す図である。
【図５】同縦型フィルム露光装置のフォトマスク位置調整機構の一実施形態のより具体的な構成を示す斜視図である。
【図６】同フォトマスク位置調整機構を他の方向から見た斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図示実施形態は、感光性フィルムの両面に露光する両面露光装置に本発明を適用したものである。図１は、供給側ロール１１から巻取側ロール１２に、感光性フィルム１０を送るフィルム搬送機構２０を示している。感光性フィルム１０は、柔軟な透光性の合成樹脂フィルムの両面（表裏）に予め感光体を塗布してなっている。
【００１４】
フィルム搬送機構２０には、感光性フィルム１０を垂直に移動させる垂直（鉛直）移動区域２０Ｖが設定されている。垂直移動区域２０Ｖを移動する感光性フィルム１０を垂直移動フィルム１０Ｖとする。この垂直移動区域２０Ｖは、上部の入口側ローラ２１と下部の出口側ローラ２２との間に設定されている。入口側ローラ２１と出口側ローラ２２はそれぞれ、感光性フィルム１０を挟む一対のローラからなる。フィルム搬送機構２０には、垂直移動区域２０Ｖにおいて垂直移動フィルム１０Ｖに与えるテンションを制御するテンション制御機構２３が備えられている。テンション制御機構２３は、テンションローラ（ダンサー）、テンションセンサ等を有する周知の制御機構であり、垂直移動区域２０Ｖにおける垂直移動フィルム１０Ｖのテンションを制御することにより、その平面性を担保する。すなわち、垂直移動区域２０Ｖにおける垂直移動フィルム１０Ｖは、自重によって平面性が損なわれることがなく、テンション制御機構２３によりテンションを適切に管理することで、平面性を確保することができる。また、フィルム搬送機構２０は、そのフィルム搬送制御装置２４により、感光性フィルム１０の移動停止制御を行う。
【００１５】
回路パターンを有するフォトマスク３０は、この垂直移動区域２０Ｖにおける垂直移動フィルム１０Ｖの表裏に対向させてそれぞれ配置されている。フォトマスク３０はそれぞれ、マスクホルダ３１に固定され、マスクホルダ３１を介してマスク位置調整機構４０により支持されている（図１）。フォトマスク３０は、入口側ローラ２１及び出口側ローラ２２のローラ軸方向と平行な方向をＸ方向（Ｘ軸方向）、Ｘ方向と直交する方向をＹＺ方向（Ｙ-Ｚ軸方向）とし、垂直移動フィルム１０Ｖの移動平面（ローラ軸を通る平面と平行な平面）をＸＹ平面としたとき、マスク位置調整機構４０により、ＸＹＺの直交３方向及びＸＹ平面をＺ方向と平行な軸Ｐを中心に回転させるθ方向に位置調節可能である。マスク位置調整機構４０は、フォトマスク３０をＺ方向移動させることにより、フォトマスク３０と垂直移動フィルム１０Ｖとの距離を変化させてプロキシミティ露光の間隔を変化させることができ（あるいは密着露光を選択することができ）、ＸＹ方向に移動させることによりフォトマスク３０と垂直移動フィルム１０ＶとのＸＹ平面上での相対位置を調整することができる。また、マスク位置調整機構４０は、θ方向調整することにより、フォトマスク３０の垂直移動フィルム１０Ｖの表裏に対する相対回転位置（Ｚ軸と平行な軸回りの回転方向、回転角）を調整することができる。マスク位置調整機構４０は、マスク位置制御装置４２の制御下で、フォトマスク３０のＸＹＺの直交３方向位置調整及び軸Ｐ（Ｚ軸）を中心に回転位置調整動作をする。
【００１６】
マスク位置調整機構４０は、図３に分解斜視図を示したように、一方のマスク位置調整機構４０Ｂがマスクホルダ３２（３２Ｂ）に装着されたフォトマスク３０（３０Ｂ）を固定位置に保持し、他方のマスク位置調整機構４０Ａがマスクホルダ３２（３２Ａ）に固定されたフォトマスク３０（３０Ａ）を、Ｚ方向と平行なスライドガイド４１に沿って垂直移動フィルム１０Ｖに対して接離移動または位置調整移動可能に、さらにＸ、Ｙ方向位置及びＺ軸と平行な軸を中心として回転調整可能に保持する。一方のマスク位置調整機構４０Ｂは、他方のマスク位置調整機構４０Ａと同一の構成としてもよく、スライドガイドにより垂直移動フィルム１０Ｖに対して接離移動可能な構成にしてもよい。なお、マスク位置調整機構４０は、ＸＹＺの直交３方向位置調整及びＺ軸を中心としたθ方向（Ｚ軸と平行な軸回りの回転位置と角度）調整が可能な４軸調整機構であるが、さらにＸ軸及びＹ軸を中心とした回転方向（Ｘ軸またはＹ軸と平行な軸回りの回転位置と角度）調整が可能な６軸調整機構としてもよい。
【００１７】
照明装置（紫外線照明手段）５０は、図１、図２に示すように、垂直移動フィルム１０Ｖの両側のフォトマスク３０に対応させて一対が備えられている。一対の照明装置５０は、対称の同一構造であり、光源（ＵＶランプ）５１、第１ミラー（平面鏡）５２、第２ミラー（凹面鏡）５３及び第３ミラー（平面鏡）５４を有している。光源５１は図２の紙面に平行かつＺ方向に延びるＵＶランプ本体とその背面の楕円面鏡からなっている。光源５１の光軸５１Ｘは、図１、図２の紙面に平行なＺ方向に延びており、第１ミラー５２によりＸＺ平面内において直角に曲げられる。第１ミラー５２による反射後の光軸５２ＸはＸＹ平面内に位置しＸ方向に向く。第２ミラー５３は、ＸＹ平面を進んできた光軸５１Ｘ、光軸５２ＸをＺＹ平面に反射させて光軸５３Ｘとし、第３ミラー５４は、反射後の光軸をＺＹ平面に位置しＺ方向に向く光軸５４Ｘとする。第２ミラー５３は、Ｘ軸と平行な中心軸を有する凹面であり、入射光を光軸５３Ｘと平行になるように反射する。したがって照明装置５０は露光用光束として、光軸５４Ｘと平行な光束を射出する。第３ミラー５４の光軸５４Ｘは、フォトマスク３０（及び垂直移動フィルム１０Ｖ）と直交するように、マスク位置調整機構４０によって調整される。各照明装置５０は、照明制御装置５６により発光状態が制御される。
【００１８】
エアカーテン装置（気流形成手段）６０は、図１、図３に示すように、垂直移動フィルム１０Ｖの表裏にエアカーテンを形成するもので、上部のエア供給部６１と下部のエア吸収部６２を備えている。エア供給部６１とエア吸収部６２は、Ｘ方向に長いエア吹出口６１ａとエア吸収口６２ａを有している。エア供給部６１は、圧縮ポンプ（送風機）６３からエアの供給を受け、エア吸収部６２は吸引ポンプ６４によってエアの吸引を受ける。圧縮ポンプ６３と吸引ポンプ６４は、エアカーテン制御装置６５によって制御される。
【００１９】
エア供給部６１は、エア吹出口６１ａからエアを垂直移動フィルム１０Ｖの表面に向けて吹き出して垂直移動フィルム１０Ｖとフォトマスク３０との間にエアカーテンを形成する。エア吸収部６２はエア吸収口６２ａから、エア吹出口６１ａから吹き出されてエアカーテンを形成したエアを吸引する。循環式のエアカーテン装置６０の場合、エア吸収口６２ａから吸引されたエアがフィルタを通され、再びエア吹出口６１ａから吹き出されて、エアカーテンを形成する。エアカーテン装置６０が使用するエア（気体）は、環境によっては不活性ガスであってもよい。
【００２０】
フィルム搬送制御装置２４、マスク位置制御装置４２、照明制御装置５６及びエアカーテン制御装置６５は、フィルム露光制御装置７０により統括的に制御される。これらの制御装置２４、４２、５６、６５、７０は、個別の専用制御装置により、あるいは複数のまたは単一のコンピュータにより構成できる。
【００２１】
上記構成の本露光装置は、フィルム露光制御装置７０による統括的な制御下で、次のように作動する。供給側ロール１１と巻取側ロール１２の間にセットされた感光性フィルム１０は、フィルム搬送機構２０により移動し、入口側ローラ２１と出口側ローラ２２の間の垂直移動区域２０Ｖを移動する。フィルム搬送制御装置２４は、未露光の感光性フィルム１０（垂直移動フィルム１０Ｖ）が垂直移動区域２０Ｖの所定位置に達すると、感光性フィルム１０を停止させる。このとき、テンション制御機構２３は、垂直移動区域２０Ｖの垂直移動フィルム１０Ｖが平面を維持するように、感光性フィルム１０に与えるテンションを制御する。
【００２２】
垂直移動フィルム１０Ｖの表裏に位置するフォトマスク３０は、マスク位置調整機構４０により垂直移動フィルム１０Ｖとの相対位置及び向きが予め調整される。この際、Ｚ方向移動により、密着露光とプロキシミティ露光との別、及びプロキシミティ露光の場合の垂直移動フィルム１０Ｖとフォトマスク３０のギャップが調整される。
【００２３】
エアカーテン装置（エアカーテン手段、気流形成手段）６０は、エア供給部６１から垂直移動フィルム１０Ｖの表裏に沿って供給したエアをエア吸収部６２で吸引し、この過程で垂直移動フィルム１０Ｖまたはフォトマスク３０の表面に付着していた（付着しようとする）塵埃を除去する。
【００２４】
フィルム搬送機構２０のフィルム搬送制御装置２４は、未露光の感光性フィルム１０が垂直移動区域２０Ｖに到達したとき、感光性フィルム１０を停止させ、プロキシミティ露光の場合はその状態で、照明制御装置５６により照明装置５０が点灯され、フォトマスク３０のパターンが垂直移動フィルム１０Ｖに照射（露光）される。その結果、感光性フィルム１０の表裏には、フォトマスク３０のパターン像が潜像として形成される。エアカーテン装置６０は、垂直移動フィルム１０Ｖの平面性に悪影響を及ぼすおそれがある場合、露光の間停止させてもよい。
【００２５】
密着露光の場合は、未露光の感光性フィルム１０が垂直移動区域２０Ｖに到達したとき、感光性フィルム１０を停止させ、エアカーテン装置６０を停止させて、マスク位置調整機構４０（４０Ａ）によりフォトマスク３０を垂直移動フィルム１０Ｖの表裏面に密着させて、密着状態でフォトマスク３０のパターンを照明装置５０の照明制御装置５６により垂直移動フィルム１０Ｖに照射する。その後、マスク位置調整機構４０（４０Ａ）によりフォトマスク３０を垂直移動フィルム１０Ｖの表裏面から離反させ、エアカーテン装置６０を作動させる。
【００２６】
以上のように、フィルム搬送機構２０による感光性フィルム１０の搬送、搬送停止、マスク位置調整機構４０（４０Ａ）によるフォトマスク３０の接離移動、照明装置５０による潜像の形成が繰り返し実行される。そして、必要なコマ数の露光が終了すると、露光済みの感光性フィルム１０をフィルム搬送機構２０により巻取側ロール１２に巻き取り、感光性フィルム１０を適宜切断して、現像、定着、乾燥などの次工程に搬送する。なお、現像、定着、乾燥工程は、テンション制御機構２３と巻取側ロール１２の間に現像、定着、乾燥装置を配置して感光性フィルム１０を巻取側ロール１２に巻き取る前に実行してもよい。
【００２７】
以上の通り、本発明の実施形態は、垂直移動区域２０Ｖを移動する垂直移動フィルム１０Ｖに露光するので、プロキシミティ露光であっても、垂直移動フィルム１０Ｖの平面性を簡単に高精度に得ることができる。垂直移動フィルム１０Ｖの表裏面とフォトマスク３０の表面にエアカーテン装置６０によりエアを吹き付けるので、垂直移動フィルム１０Ｖまたはフォトマスク３０の表面に付着していた（付着しようとする）塵埃が除去され、プロキシミティ露光、密着露光にかかわらず、欠損のないパターン露光が可能になる。以上の本発明の実施形態によれば、線幅７μm以下の微細な回路パターンの露光が可能である。
【００２８】
以上の本発明の実施形態では、垂直移動フィルム１０Ｖの表裏の両側から同時に露光したが、交互に、または一方側からのみから露光してもよい。また、マスク位置調整機構４０Ａ、４０Ｂは、複数を縦方向（Ｙ方向）に並べて、複数のフォトマスク３０により垂直移動フィルム１０Ｖの異なる領域に同時に露光し、または多重露光する構成としてもよい。
【００２９】
図５及び図６は、マスク位置調整機構４０Ａ、４０Ｂのより具体的な実施形態を示している。一方のマスク位置調整機構４０Ａは、フォトマスク３０Ａを、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向並びにＸ軸と平行な軸回り、Ｙ軸と平行な軸回り及びＺ軸と平行な軸回り（θ）調整可能な６軸調整機構であり、他方のマスク位置調整機構４０Ｂは、フォトマスク３０Ｂを外部調整機構により基準位置に位置決めする構成である。つまり、基準位置に位置決めしたフォトマスク３０Ｂを基準にしてフォトマスク３０Ａを位置調整する。フォトマスク３０Ａ、３０Ｂは夫々、マスクホルダ３２Ａ、３２Ｂに固定されている。各フォトマスク３０Ａ、３０Ｂの４箇所（４個の角部の近傍、四隅）には、アライメント調整用のアライメントマーク３１Ａ、３１Ｂが設けられている。
【００３０】
マスク位置調整機構４０Ａは、マスクホルダ３２Ａに固定されたフォトマスク３０Ａを支持するチルトステージ４３Ａと、チルトステージ４３Ａを支持するＸＹθステージ４４Ａと、ＸＹθステージ４４Ａを支持するベースフレーム４５Ａを有する。チルトステージ４３Ａは、４箇所（４個の角部近傍、四隅）に配置されたアオリ軸（Ｚ軸）調整機構４６Ａを介してＸＹθステージ４４Ａに支持されている。ＸＹθステージ４４Ａは、４箇所に配置されたＸＹθ調整機構４７Ａを介してベースフレーム４５Ａに支持されている。各アオリ軸調整機構４６Ａは、ＸＹθステージ４４Ａに対してチルトステージ４３Ａの四隅をＺ軸方向に接離移動させて、垂直移動フィルム１０Ｖとフォトマスク３０Ｂに対するフォトマスク３０Ａの平行度及び間隔の調整をする。各ＸＹθ調整機構４７Ａは、ベースフレーム４５Ａに対してＸＹθステージ４４Ａの四隅を独立してＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させて、ベースフレーム４５Ａに対するＸＹθステージ４４Ａの調整（つまりフォトマスク３０Ｂ（垂直移動フィルム１０Ｖ）に対するフォトマスク３０ＡのＸ方向位置、Ｙ方向位置及びθ角（Ｚ軸回りの回転角の調整）ができる。なお、アオリ軸調整機構４６Ａ及びＸＹθ調整機構４７Ａは公知の機構により構成可能であり、電磁アクチュエータ、油圧アクチュエータなどの駆動源、または手動駆動機構を備える。
なお、ベースフレーム４５Ａに対するＸＹθ調整機構４７Ａ及びＸＹθステージ４４Ａとアオリ軸調整機構４６Ａ及びチルトステージ４３ＡのＺ軸方向の位置関係は、逆にしてもよい。つまり、ベースフレーム４５Ａ上にアオリ軸調整機構４６Ａを介してチルトステージ４３Ａを装着し、チルトステージ４３Ａ上にＸＹθ調整機構４７Ａを介してＸＹθステージ４４Ａを装着して、ＸＹθステージ４４Ａに、フォトマスク３０Ａを有するマスクホルダ３２Ａを装着してもよい。
【００３１】
マスク位置調整機構４０Ｂは、フォトマスク３０Ｂが固定されたマスクホルダ３２Ｂ、フォトマスク３０Ａと３０Ｂのアライメント調整用のアライメントカメラ３５、フォトマスク３０Ａと３０Ｂのギャップ測定用のギャップセンサ３４、及びこれらマスクホルダ３２Ｂ、ギャップセンサ３４及びアライメントカメラ３５が装着されたベースフレーム４５Ｂを備えている。
【００３２】
なお、マスク位置調整機構４０Ａと４０Ｂのマスクホルダ３２Ａと３２Ｂ、チルトステージ４３Ａ、ＸＹθステージ４４Ａ及びベースフレーム４５Ａと４５Ｂは、照明装置（紫外線照明手段）５０からの露光用光束が通り、フォトマスク３０（３０Ａ、３０Ｂ）を透過して垂直移動フィルム１０Ｖを露光する開口部を有している。
【００３３】
各ギャップセンサ３４は、詳細は図示しないが、検出光投光部と、検出光投光部から投光され、対象物で反射した検出光を受光するリニアセンサ部とを備えた、三角測量法による光学アクティブセンサである。各リニアセンサ部の出力は、図示ない検出回路に入力される。検出回路は、検出光の入力位置を検出して、対象物までの距離を演算する。この実施形態のギャップセンサ３４は、フォトマスク３０Ａ、３０Ｂのセンサとは反対側の面（マスクホルダ３２Ａ、３２Ｂの表面）で反射した検出光をリニアセンサ部で受光し、ギャップ検出回路は、フォトマスク３０Ａ、３０Ｂの４箇所の間隔を測定する。マスク位置制御装置４２は、各ギャップセンサ３４を介して測定した間隔に基づいて、各間隔が所定値となるように、対応するアオリ軸調整機構４６Ａを駆動制御する。なお、ギャップセンサ３４はフォトマスク３０Ｂと垂直移動フィルム１０Ｖの間隔も測定できる。またギャップセンサ３４は、フォトマスク３０Ａと３０Ｂの間隔、またはフォトマスク３０Ａ、３０Ｂと垂直移動フィルム１０Ｖの間隔と平行度を測定できるセンサであればよい。
【００３４】
各アライメントカメラ３５は、フォトマスク３０Ａと３０Ｂのアライメントマーク３１Ａと３１Ｂを撮影する。各アライメントカメラ３５が撮影したアライメントマーク３１Ａと３１Ｂの画像は、図示しない画像処理回路に入力される。画像処理回路は、アライメントマーク３１Ｂの画像位置を基準としてアライメントマーク３１Ａの画像位置のずれ方向、ずれ量から、フォトマスク３０Ａのずれ方向及びずれ量を検出する。マスク位置制御装置４２は、フォトマスク３０Ａのずれ方向及びずれ量に基づいて、対応するＸＹθ調整機構４７Ａを検出したずれ方向及びずれ量に対応する方向及び駆動量駆動して、フォトマスク３０Ａの位置、方向（アライメント）を調整する。なお、各アライメントマーク３１Ｂと３１Ａ及びアライメントカメラ３５は、アライメントマーク３１Ｂと３１Ａを同時に撮影できる構成であることが好ましいが、アライメントマーク３１Ｂと３１Ａの形状、態様、アライメントカメラ３５の構成、配置などは図示実施形態に限定されない。
【００３５】
この実施形態においてマスク位置調整機構４０Ａ、４０Ｂによりフォトマスク３０Ａ、３０Ｂの位置調整（アライメント調整）をする工程は、以下の通りである。
なお、マスク位置調整機構４０Ａと４０Ｂのベースフレーム４５Ａ、４５Ｂは、垂直移動フィルム１０Ｖ（ＸＹ平面）に対して正確に平行となるように設置され、さらにマスク位置調整機構４０ＡのＸＹθステージ４４Ａは、垂直移動フィルム１０Ｖ（ＸＹ平面）に対して正確に平行となるように設置されているものとする。
マスク位置調整機構４０Ｂのベースフレーム４５Ｂに対して、マスクホルダ３２Ｂに固定されたフォトマスク３０Ｂを、垂直移動フィルム１０Ｖ（ＸＹ平面）と平行に、所定位置、所定の向きに装着する。この装着は、図示しない外部調整器具と、アライメントカメラ３５を使用して行う。その際、フォトマスク３０Ｂと垂直移動フィルム１０Ｖの間隔調整も行う。
【００３６】
続いて、マスク位置調整機構４０Ａによって、フォトマスク３０Ａの位置調整（アライメント調整）を行い、フォトマスク３０Ａの位置と向きを正確に定める。マスク位置調整機構４０Ａによる調整工程は、以下の通りである。
１）４個のギャップセンサ３４により、フォトマスク３０Ａと３０Ｂの４箇所の間隔を測定する。
２）フォトマスク３０Ａと３０Ｂの４箇所の間隔が基準値（同一の値）となるように、各アオリ軸調整機構４６Ａを駆動制御してチルトステージ４３Ａの４箇所のＺ軸方向位置を調整する。この調整により、フォトマスク３０Ａのフォトマスク３０Ｂに対する間隔と平行度が調整される。
３）フォトマスク３０Ａと３０Ｂの４箇所の間隔が基準値（許容範囲内の値）になるまで、各ギャップセンサ３４による測定及び各アオリ軸調整機構４６Ａによる調整を繰り返す。
４）フォトマスク３０Ａと３０Ｂの４箇所の間隔が基準値になったら、各アライメントカメラ３５によってフォトマスク３０Ａと３０Ｂの４箇所のアライメントマーク３１Ａと３１Ｂを撮影して、フォトマスク３０Ｂに対するフォトマスク３０Ａのずれ量を測定する。
５）４箇所のアライメントマーク３１Ａのずれ量がそれぞれ所定値（許容範囲内の値）となるように、ＸＹθ調整機構４７Ａを駆動制御して、ＸＹθステージ４４ＡをＸ方向、Ｙ方向、θ方向に移動調整する。
６）４箇所のアライメントマーク３１Ａのずれ量が所定値となるまで、上記４）と５）の工程を繰り返す。
【００３７】
以上の１）乃至６）の工程により、フォトマスク３０Ａとフォトマスク３０Ｂとの正確な間隔、ＸＹ平面に対する平行度（傾き）、ＸＹ平面内における位置、向きの調整が短時間でできる。各アオリ軸調整機構４６Ａ及びＸＹθ調整機構４７Ａは、マスク位置制御装置４２によって駆動する構成が実際的であるが、作業者が手動で操作してもよい。
【００３８】
図示実施形態では、一方のマスク位置調整機構４０Ｂを外部調整装置によりマスク位置を調整する構成としたが、一方のマスク位置調整機構４０Ｂも他方のマスク位置調整機構４０Ａと同様の機構を備えてもよい。この場合、各ギャップセンサ３４と各アライメントカメラ３５は、マスク位置調整機構４０Ａのベースフレーム４５Ａまたは固定部材に装着する。
【符号の説明】
【００３９】
１０  感光性フィルム
１０Ｖ  垂直移動フィルム
１１  供給側ロール
１２  巻取側ロール
２０Ｖ  垂直（鉛直）移動区域
２０  フィルム搬送機構
２１  入口側ローラ
２２  出口側ローラ
２３  テンション制御機構
２４  フィルム搬送制御装置
３０  ３０Ａ  ３０Ｂ  フォトマスク
３１Ａ  ３１Ｂ  アライメントマーク
３２  ３２Ａ  ３２Ｂ  マスクホルダ
３４  ギャップセンサ
３５  アライメントカメラ
４０  ４０Ａ  ４０Ｂ  マスク位置調整機構
４１  スライドガイド
４２  マスク位置制御装置
４３Ａ  チルトステージ
４４Ａ  ＸＹθステージ
４５Ａ  ４５Ｂ  ベースフレーム
４６Ａ  アオリ軸（Ｚ軸）調整機構
４７Ａ  ＸＹθ調整機構
５０  照明装置（照明手段）
５１  光源
５２  第１ミラー（平面鏡）
５３  第２ミラー（凹面鏡）
５４  第３ミラー（平面鏡）
５６  照明制御装置
６０  エアカーテン装置（エアカーテン手段、気流形成手段）
６１  エア供給部
６１ａ  エア吹出口
６２  エア吸収部
６２ａ  エア吸収口
６３  圧縮ポンプ（エア供給源）
６４  吸引ポンプ（エア吸引源）
６５  エアカーテン制御装置
７０  フィルム露光制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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