(57)【要約】【課題】被着体にストレスを与えることなく接着シートを貼付し、しかも、接着シートの外縁を確実に被着体に貼付することができるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１０は、接着シートＡＳをウエハＷＦの被着面ＷＦ１に押圧する押圧手段３０と、ウエハＷＦと押圧手段３０とを相対移動させてウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する移動手段４０とを備え、移動手段４０は、所定の直線方向に沿ってウエハＷＦと押圧手段３０とを相対移動させる直線相対移動と、接着シートＡＳの外縁に沿ってウエハＷＦと押圧手段３０とを相対移動させる周回相対移動とが可能で、押圧手段３０は、直線方向に直交する接着シートＡＳの一端から他端までの全域を被着面ＷＦ１に押圧して直線相対移動を行う接着シートＡＳの全面押圧と、接着シートＡＳの外縁部分のみを被着面ＷＦ１に押圧して周回相対移動を行う接着シートＡＳの部分押圧とが可能である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートを被着体の被着面に押圧する押圧手段と、
前記被着体と前記押圧手段とを相対移動させて当該被着体に前記接着シートを貼付する移動手段とを備え、
前記移動手段は、所定の直線方向に沿って前記被着体と押圧手段とを相対移動させる直線相対移動と、前記接着シートの外縁に沿って前記被着体と押圧手段とを相対移動させる周回相対移動とが可能に設けられ、
前記押圧手段は、前記直線方向に直交する前記接着シートの一端から他端までの全域を前記被着面に押圧して前記直線相対移動を行う当該接着シートの全面押圧と、前記接着シートの外縁部分のみを前記被着面に押圧して前記周回相対移動を行う当該接着シートの部分押圧とが可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記押圧手段は、前記全面押圧で用いられる第１押圧領域と、少なくとも前記部分押圧で用いられる第２押圧領域とが設けられた押圧ローラを備え、
前記第１押圧領域によって付与される押圧力よりも、前記第２押圧領域によって付与される押圧力の方が大きいことを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記被着体および押圧手段は、前記被着面と直交する回転軸を中心として相対回転可能に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
押圧手段によって所定の直線方向に直交する接着シートの一端から他端までの全域を被着体の被着面に押圧し、前記直線方向に沿って前記被着体と押圧手段とを相対移動させて当該接着シートの全面押圧を行う工程と、
前記押圧手段によって前記接着シートの外縁部分のみを前記被着面に押圧し、当該接着シートの外縁に沿って前記被着体と押圧手段とを相対移動させて当該接着シートの部分押圧を行う工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、接着シートを繰り出す繰出手段と、接着シートをウエハの被着面に押圧して貼付する押圧手段と、ウエハと押圧手段とを相対移動させる移動手段とを備え、ウエハを保持するテーブルが被着面内で回転可能に設けられているとともに、ウエハと押圧手段とが互いに交差する２方向に直線相対移動するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２０９３０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、被着体全体が２度押圧されることになるので、強い押圧では被着体にストレスを与え、弱い押圧では接着シートが被着体の外縁から剥がれてしまうという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、被着体にストレスを与えることなく接着シートを貼付し、しかも、接着シートの外縁を確実に被着体に貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のシート貼付装置は、接着シートを被着体の被着面に押圧する押圧手段と、前記被着体と前記押圧手段とを相対移動させて当該被着体に前記接着シートを貼付する移動手段とを備え、前記移動手段は、所定の直線方向に沿って前記被着体と押圧手段とを相対移動させる直線相対移動と、前記接着シートの外縁に沿って前記被着体と押圧手段とを相対移動させる周回相対移動とが可能に設けられ、前記押圧手段は、前記直線方向に直交する前記接着シートの一端から他端までの全域を前記被着面に押圧して前記直線相対移動を行う当該接着シートの全面押圧と、前記接着シートの外縁部分のみを前記被着面に押圧して前記周回相対移動を行う当該接着シートの部分押圧とが可能に設けられていることを特徴とする。
【０００７】
本発明のシート貼付装置において、前記押圧手段は、前記全面押圧で用いられる第１押圧領域と、少なくとも前記部分押圧で用いられる第２押圧領域とが設けられた押圧ローラを備え、前記第１押圧領域によって付与される押圧力よりも、前記第２押圧領域によって付与される押圧力の方が大きいことが好ましい。
【０００８】
本発明のシート貼付装置において、前記被着体および押圧手段は、前記被着面と直交する回転軸を中心として相対回転可能に設けられていることが好ましい。
【０００９】
一方、本発明のシート貼付方法は、押圧手段によって所定の直線方向に直交する接着シートの一端から他端までの全域を被着体の被着面に押圧し、前記直線方向に沿って前記被着体と押圧手段とを相対移動させて当該接着シートの全面押圧を行う工程と、記押圧手段によって前記接着シートの外縁部分のみを前記被着面に押圧し、当該接着シートの外縁に沿って前記被着体と押圧手段とを相対移動させて当該接着シートの部分押圧を行う工程とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、接着シートの全面押圧と当該接着シートの部分押圧とが行えるので、被着体にストレスを与えることなく接着シートを貼付し、しかも、接着シートの外縁を確実に被着体に貼付することができる。
【００１１】
また、押圧手段が全面押圧用の第１押圧領域と、部分押圧にも用いられる第２押圧領域とを備え、第１押圧領域によって付与される押圧力よりも、第２押圧領域によって付与される押圧力の方が大きい場合には、接着シートの外縁をより確実に被着体に貼付することができる。
【００１２】
さらに、移動手段および押圧手段が被着面と直交する回転軸を中心として相対回転可能に設けられている場合、簡単な構成で被着体と押圧手段との周回相対移動を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置を示す側面図。
【図２】シート貼付装置の動作説明図。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は、第２実施形態に係るシート貼付装置の部分正面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の第１実施形態および第２実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、各実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１５】
［第１実施形態］
図１において、シート貼付装置１０は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤ＡＤ層を有する接着シートＡＳが当該接着剤ＡＤ層を介して帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、剥離された接着シートＡＳを被着体としてのウエハＷＦの被着面ＷＦ１に押圧する押圧手段３０と、ウエハＷＦと押圧手段３０とを相対移動させて当該ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する移動手段４０とを備えている。
【００１６】
繰出手段２０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ２２と、剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離板２３と、接着シートＡＳが剥離された剥離シートＲＬを駆動機器としての回動モータ２４によって駆動する駆動ローラ２５との間に挟み込むピンチローラ２６と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２７とを備え、フレーム２８に設けられている。
【００１７】
押圧手段３０は、駆動機器としてのリニアモータ３１のスライダ３１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ３２と、回転軸ＡＲ１を中心として回転可能な回動モータ３２の出力軸３２Ａに支持された駆動機器としての直動モータ３３と、直動モータ３３の出力軸３３Ａに支持された支持フレーム３４の支持軸３４Ａに支持され回転軸ＡＲ２を中心として回転可能な押圧ローラ３５とを備えている。
押圧ローラ３５は、図２に示すように、回転軸ＡＲ２に沿った領域のうち、中央から両端側へ向かう所定領域が全面押圧で用いられる第１押圧領域３５Ａとされ、第１押圧領域３５Ａの両側から押圧ローラ３５の端部までの各領域が少なくとも部分押圧で用いられる第２押圧領域３５Ｂとされ、第２押圧領域３５Ｂは、第１押圧領域３５Ａに比べて弾性率が大きくすなわち変形し難くなっている。
【００１８】
移動手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持されたベースプレート４２と、ベースプレート４２に支持された駆動機器としての回動モータ４３の出力軸４３Ａに支持されるとともに、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に連通された保持面４４Ａを有するテーブル４４とを備えている。
【００１９】
以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順について説明する。
先ず、オペレータが図１に示すように原反ＲＳをセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、繰出手段２０が回動モータ２４を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。そして、剥離板２３の上部に位置する先頭の接着シートＡＳが所定位置に達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、繰出手段２０が回動モータ２４の駆動を停止する。また、押圧手段３０が直動モータ３３を駆動し、押圧ローラ３５を昇降させて、図２中二点鎖線で示す初期位置に配置し、下方を通過するウエハＷＦによって当該押圧ローラ３５が所定量変形する位置にセットする。
【００２０】
次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が図１中実線で示す初期位置にあるテーブル４４の保持面４４Ａ上にウエハＷＦを載置すると、移動手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持する。その後、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、テーブル４４を左に移動させ、所定の直線方向（Ｘ軸方向）に沿ってウエハＷＦと押圧ローラ３５とを相対移動させる直線相対移動を行う。そして、ウエハＷＦが所定位置に到達したことを図示しない検知手段が検知すると、繰出手段２０が回動モータ２４を駆動し、原反ＲＳをテーブル４４の移動速度に合わせて繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、当該接着シートＡＳが押圧ローラ３５によってウエハＷＦの被着面ＷＦ１に押圧されて貼付される。すなわち、押圧ローラ３５がＸ軸方向に直交する接着シートＡＳの一端ＡＳＡから他端ＡＳＢまでの全域を被着面ＷＦ１に押圧して、直線相対移動を行うことで、当該接着シートＡＳの全面押圧を行う。このとき、接着シートＡＳは、押圧ローラ３５の第１押圧領域３５Ａで被着面ＷＦ１に押圧されるので、第１押圧領域３５Ａが所定量変形して当該第１押圧領域３５Ａの弾性復元力（第１押圧力）で押圧されることとなる。なお、接着シートＡＳの全面押圧を行う際、接着シートＡＳの外縁部分を第２押圧領域３５Ｂで押圧してもよい。
【００２１】
押圧手段３０による全面押圧の終了後、押圧手段３０がリニアモータ３１を駆動し、押圧ローラ３５を初期位置から、図２中実線で示す位置に移動した後、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、接着シートＡＳの中心が側面視で回動モータ３２の出力軸３２Ａの回転軸ＡＲ１と揃う位置にテーブル４４を移動する。これにより、接着シートＡＳは、押圧ローラ３５の第２押圧領域３５Ｂでその外縁部分がウエハＷＦに押圧されることとなる。このとき、押圧ローラ３５は、全面押圧時から上下方向の位置が変更されていないので、第２押圧領域３５Ｂは、全面押圧時と同じ量だけ変形するが、当該第２押圧領域３５Ｂの弾性率が第１押圧領域３５Ａのそれに比べて大きく設定されている分、接着シートＡＳの外縁部分を全面押圧時よりも大きい押圧力（第２押圧力）で押圧することとなる。このような状態で、移動手段４０が回動モータ４３を駆動し、テーブル４４を少なくとも３６０°回転させ、接着シートＡＳの外縁に沿ってウエハＷＦと押圧ローラ３５とを移動させ、接着シートＡＳの外縁に沿ってウエハＷＦと押圧ローラ３５とを相対移動させる周回相対移動を行う。すなわち、押圧ローラ３５が接着シートＡＳの外縁部分のみをウエハＷＦに押圧して、周回相対移動を行うことで、当該接着シートＡＳの部分押圧を行う。なお、接着シートＡＳの部分押圧を行うとき、第２押圧領域３５Ｂのみが回転軸ＡＲ２を中心にして回転してもよいし、押圧ローラ３５全体が回転軸ＡＲ２を中心して回転してもよい。
【００２２】
押圧手段３０による部分押圧が終了した後、押圧手段３０および移動手段４０がリニアモータ３１、４１を駆動し、押圧ローラ３５およびテーブル４４を初期位置に復帰させた後、移動手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、人手または図示しない搬送手段が保持面４４Ａ上からウエハＷＦを取り去り、以降、上記同様の動作が繰り返される。
【００２３】
なお、部分押圧を行う際、ウエハＷＦの中心が側面視で押圧ローラ３５の回転軸ＡＲ１と揃わずに、僅かにずれてしまうような場合には、押圧手段３０が回動モータ３２を駆動し、押圧ローラ３５を回転軸ＡＲ１を中心として回転させ、当該押圧ローラ３５の向きを修正してもよい。
さらに、部分押圧を行う際、接着シートＡＳが円形でない場合、移動手段４０で被着体を回転させつつ、押圧手段３０がリニアモータ３１を移動し、押圧ローラ３５を前後に移動させて接着シートＡＳの外縁を被着体に押圧してもよい。このとき、押圧手段３０が回動モータ３２を駆動し、押圧ローラ３５を回転軸ＡＲ１を中心として回転させ、当該押圧ローラ３５の向きを修正することができる。
また、押圧ローラ３５の一方の第２押圧領域３５Ｂが部分押圧により摩耗等したり、損傷したりした場合には、押圧手段３０が回動モータ３２を駆動し、押圧ローラ３５を１８０°回転させて他方の第２押圧領域３５Ｂで接着シートＡＳの外縁を被着面ＷＦ１に押圧してもよい。
【００２４】
以上のような第１実施形態によれば、接着シートＡＳの全面押圧と当該接着シートＡＳの部分押圧とが行えるので、ウエハＷＦにストレスを与えることなく接着シートＡＳを貼付し、しかも、接着シートＡＳの外縁を確実にウエハＷＦに貼付することができる。
【００２５】
［第２実施形態］
図３（Ａ）、（Ｂ）において、第２実施形態のシート貼付装置１０は、押圧手段３０の構成と、押圧ローラ３５の第２押圧領域３５Ｂの径を拡径する拡径手段５０を備えていることが第１実施形態とは異なっている。
【００２６】
第２実施形態における押圧手段３０の押圧ローラ３５は、第１押圧領域３５Ａの弾性率が第２押圧領域３５Ｂの弾性率よりも大きく、第１押圧領域３５Ａに対して第２押圧領域３５Ｂが容易に変形する。また、このような押圧手段３０では、第１実施形態で説明した回動モータ３２およびリニアモータ３１が設けられていない。
【００２７】
拡径手段５０は、直動モータ３３の出力軸３３Ａに支持された支持フレーム３４の前後両側に支持された駆動機器としての直動モータ５１と、各直動モータ５１の出力軸５１Ａに支持され、押圧ローラ３５を支持軸３６Ａを介して回転自在に支持するブラケット３６とを備えている。
【００２８】
このような第２実施形態では、第１実施形態と同様にして接着シートＡＳの全面押圧を行った後、拡径手段５０が各直動モータ５１を駆動し、図３（Ａ）中実線で示す初期位置にあるブラケット３６を相互に接近させ、図２（Ｂ）に示すように、押圧ローラ３５の第２押圧領域３５Ｂを拡径させる。変形した第２押圧領域３５Ｂの弾性率は、第１押圧領域３５Ａの弾性率よりも大きくなっている。次いで、押圧手段３０が直動モータ３３を駆動し、押圧ローラ３５を少々上昇させ、拡径した第２押圧領域３５Ｂが下方を通過するウエハＷＦによって所定量変形する位置にセットする。その後、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、接着シートＡＳの中心が側面視および正面視で押圧ローラ３５の回転軸ＡＲ１と揃う位置にテーブル４４を移動する。このとき、接着シートＡＳは、押圧ローラ３５の第２押圧領域３５Ｂでその外縁部分がウエハＷＦに押圧されることとなる。そして、移動手段４０が回動モータ４３を駆動し、テーブル４４を少なくとも１８０°回転させる。すなわち、ウエハＷＦおよび押圧ローラ３５を被着面ＷＦ１と直交する回転軸（Ｚ軸）を中心として相対回転させて接着シートＡＳの部分押圧を行う。このとき、接着シートＡＳの外縁部分は、拡径した第２押圧領域３５Ｂが所定量変形し、第１押圧領域３５Ａよりも大きい弾性率の当該第２押圧領域３５Ｂで押圧されるので、第１押圧領域３５Ａによって付与される押圧力よりも大きい第３押圧力で押圧されることとなる。なお、各第２押圧領域３５Ｂは、回転軸ＡＲ２に対して相互に反対方向に回転する。
【００２９】
押圧手段３０による部分押圧が終了した後、押圧手段３０、移動手段４０および拡径手段５０が直動モータ３３、５１およびリニアモータ４１を駆動し、押圧ローラ３５、テーブル４４および各ブラケット３６を初期位置に復帰させた後、第１実施形態と同様の動作を行う。
【００３０】
以上の第２実施形態によっても第１実施形態と同様の効果を得ることができるうえ、押圧ローラ３５の両側の第２押圧領域３５Ｂにて接着シートＡＳの外縁を押圧する構成であるから、ウエハＷＦを少なくとも１８０°回転させればよく、少なくとも３６０°回転させる必要があった第１実施形態に比して工程時間を短縮することができる。
また、第２実施形態の押圧手段３０は、押圧ローラ３５を前後方向に移動させる必要がないので、第１実施形態のシート貼付装置１０に比べて小型化できる。
【００３１】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００３２】
例えば、押圧手段は、全面押圧用の第１押圧ローラと、当該第１押圧ローラとは別の部分押圧用の第２押圧ローラとを備えた構成であってもよい。この際、第２押圧ローラに代えて、球状体をいずれの方向にでも回転可能な押圧部材によって接着シートＡＳの外縁を被着面の外縁に押圧する構成であってもよい。
【００３３】
さらに、押圧ローラ３５内に所定の振動を付与する振動付与手段を設けてもよい。
また、直線相対移動および周回相対移動は、ウエハＷＦと押圧ローラ３５との両方を直線方向および周回方向に移動させてもよいし、ウエハＷＦを固定しておき、押圧ローラ３５を直線方向および周回方向に移動させてもよい。
【００３４】
さらに、接着シートＡＳの外縁が直線状である場合には、移動方向を変えた直線相対移動を複数回実施することで周回相対移動に代えてもよい。
また、第２実施形態において、各直動モータ５１の押圧力が第１押圧領域３５Ａに及ばないように、第１、第２押圧領域３５Ａ、３５Ｂ間に敷居を設けてもよく、このような場合、第１押圧領域３５Ａおよび第２押圧領域３５Ｂに同じ弾性率を有するものを採用してもよいし、第２押圧領域３５Ｂの弾性率が第１押圧領域３５Ａの弾性率よりも大きくてもよい。
さらに、第１、第２実施形態において、押圧手段３０は、接着シートＡＳの部分押圧を行うときに、直動モータ３３を駆動し、接着シートＡＳの全面押圧を行うときよりも押圧ローラ３５の位置を下降させてもよい。この場合、押圧ローラ３５は、弾性率が異なる第１押圧領域３５Ａと第２押圧領域３５Ｂとを備えることなく、例えば第１押圧領域３５Ａだけとしてもよいし、第２押圧領域３５Ｂの方が第１押圧領域３５Ａよりも弾性率が小さくすなわち変形し易くしてもよい。
また、第１、第２実施形態において、押圧ローラ３５は、第１押圧領域３５Ａと、当該第１押圧領域３５Ａの一端側のみに設けられた第２押圧領域３５Ｂとを備えたものとしてもよい。この場合、例えば第２実施形態の拡径手段５０は、第１押圧領域３５Ａの一端側のみに設けられた第２押圧領域３５Ｂの径を拡径する構成とし、移動手段４０が回動モータ４３を駆動し、テーブル４４を少なくとも３６０°回転させればよい。
【００３５】
また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層または複層の中間層を有するものや、中間層のない単層または複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３６】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、移動手段は、所定の直線方向に沿って被着体と押圧手段とを相対移動させる直線相対移動と、接着シートの外縁に沿って被着体と押圧手段とを相対移動させる周回相対移動とが可能に設けられるものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３７】
１０…シート貼付装置
３０…押圧手段
３５…押圧ローラ
３５Ａ…第１押圧領域
３５Ｂ…第２押圧領域
４０…移動手段
ＡＲ１…回転軸
ＡＳ…接着シート
ＷＦ…ウエハ（被着体）
ＷＦ１…被着面
【図１】
2015191933.tif 000003
【図２】
2015191933.tif 000004
【図３】
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