(57)【要約】      （修正有）【課題】先端のアーム上に載置された被搬送物を移載場所へ搬送する際に、簡単な構成によって先端のアームの位置決め精度を向上させ、振動を抑制することのできる搬送装置を提供する。【解決手段】第１アーム１２、第２アーム１３及び先端のアームであるピック１４からなるアーム機構１０と、アーム機構１０に駆動力を生じさせる駆動手段１９と、ピック１４を移載場所Ｐへ搬送する制御手段１１と、を具備し、ピック１４は第１の位置決め部２１を備え、移載場所Ｐには第２の位置決め部２４が備えられており、第１の位置決め部２１が永久磁石２１ａ〜２１ａから構成され、第２の位置決め部２４が永久磁石２４ａ〜２４ａから構成されて、ピック１４が制御手段１１の制御によって移載場所Ｐに近接すると、第１の位置決め部２１と第２の位置決め部２４との間に働く磁気吸引力によってピック１４が移載場所Ｐに誘導されるように構成した。【選択図】図２
2015122348.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２以上のアームからなるアーム機構と、前記アーム機構に駆動力を生じさせる駆動手段と、当該駆動手段を駆動させて先端のアームを移載場所へ搬送する制御手段と、を具備する搬送装置において、
前記先端のアームは第１の位置決め部を備え、前記移載場所には第２の位置決め部が備えられており、前記第１の位置決め部と前記第２の位置決め部の一方が磁石から構成され、他方が磁石又は磁性体から構成されて、
前記先端のアームが前記制御手段の制御によって前記移載場所に近接すると、前記第１の位置決め部と前記第２の位置決め部との間に働く磁気吸引力又は磁気反発力によって前記先端側のアームが前記移載場所に誘導されることを特徴する搬送装置。
【請求項２】
前記２以上のアームはそれぞれ関節部を介して回動可能に接続され、前記駆動手段は前記関節部に設けられるとともに、前記第１の位置決め部は前記先端のアームにおいて前記関節部よりも先端側に設けられており、
前記制御手段が前記関節部の接続角度を変更することで前記先端のアームの位置を制御することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記先端のアームが移載場所に接近すると前記駆動手段に生じさせる駆動力を減少させる制御を行うように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記第２の位置決め部が電磁石から構成されており、前記制御手段が、前記先端のアームを前記移載場所に位置決めする時に前記電磁石を励磁し、前記先端のアームを前記移載場所から移動させる時に前記電磁石を励磁しない制御を行うように構成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の搬送装置。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかに記載の搬送装置を備えることを特徴とする半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、先端のアームの位置決め精度を向上させ、振動を抑制することのできる搬送装置及び半導体製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
アームの先端に被搬送物を載置し、アームを駆動手段によって駆動させることで、被搬送物を所望の位置へ搬送し、被搬送物を目標位置に移載させることのできる搬送装置が広く一般に使用されている。このような搬送装置は、例えば、半導体ウェーハなどの被搬送物をＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）などの収容器より取り出し、ＥＦＥＭ（搬送室）やロードロック室、半導体処理室の間を搬送させる場合に用いられている。
【０００３】
このような搬送装置として、図１０に示す従来の搬送装置７０１は、水平多関節ロボットとして構成され、ウェーハ等の図示しない被搬送物を載置する先端のアーム７１０と、先端のアーム７１０の基端側と接続され、これを水平面内で回動可能に支持する中間アーム７１１と、中間アーム７１１の基端側に接続され、これを水平面内で回動可能に支持する基端アーム７１２と、基端アーム７１２の基端側を水平面内で回動可能に支持するベース部７１３とを有する。そして、ベース部７１３内に設置されたモータ（図示せず）の回転をタイミングベルト（図示せず）によってアーム７１０〜７１２に伝達することによって先端のアーム７１０が直線Ｌ上を動作することができるようになっており、この動作と、ベース部７１３内に設けられた昇降手段（図示せず）によってアーム７１０〜７１２を昇降させる動作とによって、被搬送物を搬送している。
【０００４】
また、特許文献１に示す搬送装置は、ベース部上部の回転円盤上に設けられた永久磁石とアームに設けられた永久磁石が磁気結合することによってアームを駆動している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１３０７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図１０に示す搬送装置７０１において先端のアーム７１０を位置決めする際には、アーム７１０〜７１２を駆動させるモータの回転角度をエンコーダ（図示せず）によって検知し、所定の角度まで回転することでアーム７１０〜７１２の角度を定め、先端のアーム７１０の位置決めを行っている。すなわち、基端アーム７１２の基端側にあるモータによって先端のアーム７１０の位置決めを行っていることとなるため、タイミングベルトなどのばね成分や、アーム７１０〜７１２の間の関節の摩擦、さらに、アーム７１０〜７１２などの慣性モーメント等によって、基端側のモータから先端のアーム７１０へ駆動力が伝達される間に遊びや揺れが生じ、被搬送物を載置する先端のアーム７１０決め位置決め精度が低下してしまう。特に、搬送速度の高速化を図る場合には、先端のアーム７１０が瞬時に静止せず、先端のアーム７１０に生じる振動も問題となる。
【０００７】
これらの問題を防止するためには装置の剛性を高めることが考えられるが、装置の剛性を高めようとすると装置が重厚となり、製造コストが増加し、動作に要するエネルギーも余分に必要となる。
【０００８】
一方、特許文献１に示す搬送装置は、ベース部内に設けられたモータによる駆動の際に、基端側のアームを磁石によってベースに吸引することでアーム同士を同期させる構成となっている。しかし、この場合も、被搬送物を載置する先端のアームまでに距離があるため、先端位置の精度・振動の問題は生じている。
【０００９】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、装置を重厚なものとすることなく簡単な構成によって先端のアームの位置決め精度を向上させ、また、先端のアームの振動を抑制することのできる搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、係る目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
【００１１】
すなわち、本発明の搬送装置は、少なくとも２以上のアームからなるアーム機構と、前記アーム機構に駆動力を生じさせる駆動手段と、当該駆動手段を駆動させて先端のアームを移載場所へ搬送する制御手段と、を具備する搬送装置において、前記先端のアームは第１の位置決め部を備え、前記移載場所には第２の位置決め部が備えられており、前記第１の位置決め部と前記第２の位置決め部の一方が磁石から構成され、他方が磁石又は磁性体から構成されて、前記先端のアームが前記制御手段の制御によって前記移載場所に近接すると、前記第１の位置決め部と前記第２の位置決め部との間に働く磁気吸引力又は磁気反発力によって前記先端側のアームが前記移載場所に誘導されることを特徴する。
【００１２】
このように構成すると、先端のアームに設けた第１の位置決め部と、移載場所に設けた第２の位置決め部の一方が磁石から構成され、他方が磁石又は磁性体から構成されているため、移載場所近傍において先端のアームに磁気吸引力又は磁気反発力による位置決めの力が働く。そして、この力は位置決めを行う先端のアームに直接作用するため、制御手段が駆動手段を制御することによって行う先端のアームの位置決めで生じるずれを補正することが可能となり、より精度よく位置決めを行うことが可能となる。また、先端のアームに対して位置決めの力を作用させるため、効果的に揺れや振動を抑制することが可能となる。さらに、磁石のみを導入するだけで、簡単に位置決めの精度を向上させることが可能となり、位置決め場所の微調整も磁石の位置をずらすのみで容易となる。
【００１３】
先端のアームをより精度よく位置決めし、振動の抑制も一層効果的とする態様としては、前記２以上のアームはそれぞれ関節部を介して回動可能に接続され、前記駆動手段は前記関節部に設けられるとともに、前記第１の位置決め部は前記先端のアームにおいて前記関節部よりも先端側に設けられており、前記制御手段が前記関節部の接続角度を変更することで前記先端のアームの位置を制御する構成のものに本発明を適用することが特に好ましい。
【００１４】
さらに、位置決めを次第に磁力に委ね、装置に振動及び余計な力が生じることを有効に防止して位置決めを早期に収束させるためには、前記制御手段は、前記先端のアームが移載場所に接近すると前記駆動手段に生じさせる駆動力を減少させる制御を行うように構成することが効果的である。
【００１５】
また、先端のアームの位置決めの精度を向上させ、早期の振動抑制を行いつつ、先端のアームが離れる際に余分な駆動力を低減するためには、前記第２の位置決め部が電磁石から構成されており、前記制御手段が、前記先端のアームを前記移載場所に位置決めする時に前記電磁石を励磁し、前記先端のアームを前記移載場所から移動させる時に前記電磁石を励磁しない制御を行うように構成することが好適である。
【００１６】
そして、上述した搬送装置を半導体製造装置に適用すると、半導体製造装置内におけるウェーハＷの搬送を、位置ずれ及び振動を生じさせることなく適切に行うことができ、ひいては装置全体の処理速度を有効に向上させることが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明した本発明によれば、装置を重厚なものとすることなく、磁石を導入するだけの簡単な構成によって、先端のアームの位置決め精度を向上させ、また、先端のアームの振動を抑制することのできる搬送装置及び半導体製造装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る半導体製造装置を示す平面図。
【図２】本発明の第１実施形態に係る搬送装置及びウェーハの移載場所を模式的に示す側面図。
【図３】同搬送装置のピックが位置決めされた状態を示す拡大図。
【図４】同ピックを拡大して示す平面図。
【図５】同搬送装置がウェーハを移載場所に載置する時の手順を示すフローチャート。
【図６】本発明の第２実施形態に係る搬送装置のピックが位置決めされた状態を示す拡大図。
【図７】図６の搬送装置がウェーハを移載場所に載置する時の手順を示すフローチャート。
【図８】本発明の搬送装置を変形した例を示す斜視図。
【図９】同搬送装置の位置決め部の構成及び配置場所を変形した例を示す模式図。
【図１０】従来の搬送装置を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態に係る搬送装置を、図面を参照しつつ説明する。
【００２０】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態に係る搬送装置１は、図１に示すように、ロードポート２とロードロック３との間のウェーハ搬送室を構成するＥＦＥＭ５内に配置され、ロードポート２、ロードロック３及びＥＦＥＭ５とともに半導体製造装置６を構成している。そして、搬送装置１は、ロードポート２に載置されたＦＯＵＰ４内に格納されている被搬送物であるウェーハＷを取り出してロードロック３に搬送し、また、ロードロック３と接続する半導体処理室（図示せず）において種々の処理が施されたウェーハＷを、ロードロック３からロードポート２に載置されたＦＯＵＰ４内に収容するために用いられる。図示例ではロードポート２とロードロック３が対向位置にあり、搬送装置１はその位置で水平旋回してウェーハＷの出し入れを行うが、対向位置にないときには後述するベース部１５がレールに沿って対向位置まで移動する。この搬送装置１は、２組のアーム機構１０，１０を備える水平多関節ロボットとして構成されており、これらのアーム機構１０，１０を動作させるための制御手段１１（図２参照）を備えている。
【００２１】
なお、２組のアーム機構１０，１０は対称形でほぼ同一の構成をしているため、以下においては一方のアーム機構１０を例に採ってその具体的な構成について説明する。
【００２２】
アーム機構１０は、図１及び図２に示すように、第１アーム１２と、第２アーム１３と、先端に配置されたアームであるピック１４とから構成され、ピック１４はウェーハＷを載置することができるようになっている。そして、第１アーム１２の基端部１２ａはベース部１５と関節部１６を介して水平面内を回動可能に接続され、第１アーム１２の先端部１２ｂは第２アーム１３の基端部１３ａと関節部１７を介して水平面内を回動可能に接続され、第２アーム１３の先端部１３ｂはピック１４の基端部１４ａと関節部１８を介して水平面内を回動可能に接続されており、ピック１４の先端は自由端となっている。また、各アーム１２〜１４は、ベース部１５の内部に設けられたモータ及び各アーム１２〜１４の内部に設けられたタイミングベルトやプーリ等からなる駆動手段１９によって、各関節部１６〜１８における互いの角度を変更可能になっており、制御手段１１が駆動手段１９を制御することによって、ピック１４を所望の位置に移動させて、ウェーハＷを搬送することが可能となっている。
【００２３】
また、ベース部１５の内部にはアーム機構１０を昇降させるための昇降機構（図示せず）が組み込まれており、制御手段１１の指令を基に昇降機構がピック１４を昇降させることによって、ウェーハＷの移載を行うことが可能となっている。
【００２４】
制御手段１１は、ＣＰＵ、ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリ、各種インターフェイス等を備えた通常のマイクロコンピュータにより構成されるもので、ベース部１５及び各アーム１２〜１４の間の関節部１６〜１８に設けられたエンコーダ２０が計測した角度をもとに、ＣＰＵが駆動手段１９に対する指令値を計算し、当該指令値によって駆動手段１９を駆動する。なお、駆動手段１９に用いるモータをサーボモータとし、各関節部１６〜１８の角度をサーボモータが直接検出するように構成してもよい。
【００２５】
先端のアームであるピック１４は、アルミ等の非磁性体材料によって形成され、図１〜図４に示すように、平面視Ｕ字状の先端部１４ｂと、第２アーム１３と接続する基端部１４ａとを備えており、先端部１４ｂの上面にウェーハＷを載置することができるようになっている。また、図４に示すように、先端部１４ｂの左右両側にある直線部分の先端側下面及び基端側下面の４か所にはそれぞれ永久磁石２１ａ〜２１ａが設けられており、これらによって、第１の位置決め部２１が構成されている。第１の位置決め部２１の詳細については後述する。
【００２６】
次に、図２及び図３を参照して、搬送場所であるロードロック３の構成を説明する。ロードロック３は、ロードポート２より大気中を搬送されてきたウェーハＷを搬入し、大気圧から真空への圧力調整を行って、真空状態を保ったまま各処理が行われるプロセスユニット（図示せず）へ搬出する部屋であり、ロードポート２側の側面にはウェーハＷの搬入を行う搬入口２２及び搬入口２２を開閉するシャッタ（図示せず）が設けられている。また、ロードロック３内の底面にはウェーハＷを載置する載置台２３と、ピック１４の先端部１４ｂに設けられた４つの永久磁石２１ａ〜２１ａの配置と対応するように配された４つの永久磁石２４ａ〜２４ａからなる第２の位置決め部２４とが設けられている。
【００２７】
なお、搬送装置１はこの位置決め部２４を含んで構成されていることとする。
【００２８】
ここで、図３を用いてピック１４に設けられた第１の位置決め部２１とロードロック３に設けられた第２の位置決め部２４によるピック１４の位置決め動作を説明する。
【００２９】
第１の位置決め部２１の４つの永久磁石２１ａ〜２１ａと、第２の位置決め部２４の４つの永久磁石２４ａ〜２４ａとは、ピック１４がウェーハＷを載置台２３に移載する移載場所Ｐに位置すると、各々上下方向に対向するようになっている。そして、第１の位置決め部２１側の永久磁石２１ａ〜２１ａは下方がＮ極となるように設けられ、第２の位置決め部２４側の永久磁石２４ａ〜２４ａは上方がＳ極となるよう設けられているため、当該移載場所Ｐにおいて第１の位置決め部２１と第２の位置決め部２４とが引き合う磁気吸引力が最大となるようになっている。すなわち、ピック１４が移載場所Ｐに接近するにつれて第２の位置決め部２４が第１の位置決め部２１を吸引する磁気吸引力が増大するようになっているため、ピック１４は当該磁気吸引力によって移載場所Ｐに誘導されるようになっている。このように構成されていることによって、ピック１４を移載場所Ｐに精度よく位置決めすることができる。
【００３０】
なお、ピック１４が移載場所Ｐに位置している場合も、第１の位置決め部２１の永久磁石２１ａ〜２１ａと第２の位置決め部２４ａ〜２４ａの間にはわずかな空隙を有しており、磁石同士が完全に吸着することはない。また、永久磁石２１ａ〜２１ａ及び永久磁石２４ａ〜２４ａの磁極の向きは、対向する面において互いに異なっていればよく、永久磁石２１ａ〜２１ａの下方がＳ極、永久磁石２４ａ〜２４ａの上方がＮ極となるように設けてもよい。また、第１の位置決め部２１と第２の位置決め部２４の対向する４つの永久磁石の組（２１ａ，２４ａ）〜（２１ａ，２４ａ）がそれぞれ引き合っていれば、それぞれの組ごとに異なる向きに設けてもよい。
【００３１】
次に、上記の様に構成された搬送装置１がウェーハＷを搬送先であるロードロック３に移載する際の動作を、図５のフローチャートを用いて説明する。
【００３２】
まず、ステップＳ１において、制御手段１１は駆動手段１９に駆動指令を出力することでピック１４をＦＯＵＰ４内へ搬送し、ステップＳ２において、ベース部１５に設けられた昇降手段（図示せず）によってピック１４を上昇させることによってピック１４にＦＯＵＰ４内に載置されたウェーハＷを取得させる。ＦＯＵＰ４は多段棚構造になっていて、ピック１４は指定された棚に配置されているウェーハＷを取得するためにも事前に昇降動作を行う。
【００３３】
次に、ステップＳ３において、ロードロック３はシャッタ（図示せず）を動作させて搬入口２２を開放し、ウェーハＷをロードロック３内へ搬入可能状態にする。なお、ステップＳ３の搬入口２２の開放は、ウェーハＷの搬入前であればいつ行ってもよい。
【００３４】
次に、ステップＳ４において、制御手段１１は駆動手段１９を駆動させることによって、ピック１４上に載置されたウェーハＷを搬送先であるロードロック３内の移載場所Ｐへ向けて搬送する（図２参照）。この際、ピック１４は直動動作を行って、ロードロック３の内部へ搬入口２２を介して進入するようになっている。ステップＳ３とＳ４の間には、制御手段１１がピック１４の位置をＦＯＵＰ４に対向する位置からロードロック３に対向する位置に移動させる制御が行われている。
【００３５】
次に、ステップＳ５において、制御手段１１は、関節部１６〜１８のエンコーダ２０からの信号によってピック１４が移載場所Ｐ付近に近接したと判断すると、駆動手段１９の駆動力を低下させる。すると、移載場所Ｐに近接した位置においてはロードロック３に設けられた第２の位置決め部２４がピック１４の第１の位置決め部２１を磁気吸引する力が生じているため、ピック１４は移載場所Ｐに誘導（誘引）される。そして、この誘導によって、駆動手段１９を構成するタイミングベルトなどのばね成分や、関節部１６〜１８に生じる摩擦、さらにピック１４及び第１アーム１２、第２アーム１３などの慣性モーメント等によって基端側のモータから先端のピック１４へ駆動力が伝達される間に生じる遊びや揺れによる位置の誤差が、その遊びや揺れの範囲で修正され、その結果ピック１４は移載場所Ｐに精度よく位置決めされることとなる（図３参照）。また、自由端であるピック１４に対して位置決めの力である磁気吸引力を作用させるため、効果的に振動を抑制することが可能となる。
【００３６】
なお、このように、ピック１４が移載場所Ｐ付近に位置する間、駆動手段１９に生じさせる駆動力を減少させることで、位置決めを次第に磁力に委ねることとなり、装置に振動及び余計な力が生じることを有効に防止して、位置決めを早期に収束させることが可能となっている。このような目的であるため、駆動手段１９の駆動力はゼロにしてもよく、ピック１４を含むアーム機構１０が自由に動くような状態としてもよい。
【００３７】
そして、上述の様にピック１４が移載場所Ｐに位置決めされると、次にステップＳ６において、載置台２３が上昇し、ピック１４に載置されたウェーハＷを持ち上げることによって、ウェーハＷをピック１４から載置台２３へ移載する。この際、ピック１４がＵ字形状となっており、載置台２３はそのＵ字の間を通過するように配置されていることから、載置台２３とピック１４とは干渉しないようになっている。
【００３８】
次に、ステップＳ７において、制御手段１１は駆動手段１９に駆動力を生じさせて、ウェーハＷを移載した後のピック１４を、第１の位置決め部２１と第２の位置決め部２４との間に働く磁気吸引力に抗してロードロック３の外部へ搬出する。
【００３９】
そして最後に、ステップＳ８において、ロードロック３は搬入口２２を閉鎖し、ウェーハＷの移載動作を終了する。
【００４０】
以上のように、本第１実施形態の搬送装置１は、第１アーム１２、第２アーム１３及び先端のアームであるピック１４からなるアーム機構１０と、アーム機構１０に駆動力を生じさせる駆動手段１９と、駆動手段１９を駆動させて先端のアームであるピック１４を移載場所Ｐへ搬送する制御手段１１と、を具備し、ピック１４は第１の位置決め部２１を備え、移載場所Ｐには第２の位置決め部２４が備えられており、第１の位置決め部２１が永久磁石２１ａ〜２１ａから構成され、第２の位置決め部２４が永久磁石２４ａ〜２４ａから構成されて、ピック１４が制御手段１１の制御によって移載場所Ｐに近接すると、第１の位置決め部２１と第２の位置決め部２４との間に働く磁気吸引力によってピック１４が移載場所Ｐに誘導されるように構成したものである。
【００４１】
このように構成しているため、移載場所Ｐ近傍においてピック１４に磁気吸引力による位置決めの力が働き、この力は位置決めを行うピック１４に直接作用するため、制御手段１１が駆動手段１９を制御することによって行うピック１４の位置決めで生じるずれを補正することが可能となり、より精度よく位置決めを行うことが可能となる。また、ピック１４に対して位置決めの力を作用させるため、効果的に揺れや振動を抑制することが可能となる。さらに、永久磁石２１ａ〜２１ａ及び永久磁石２４ａ〜２４ａのみを導入するだけで、簡単に位置決めの精度を向上させることが可能となり、位置決め場所の微調整も永久磁石２１ａ〜２１ａ又は永久磁石２４ａ〜２４ａの位置をずらすのみで容易である。
【００４２】
特に、本実施形態において、第１アーム１２、第２アーム１３及び先端のアームであるピック１４はそれぞれ関節部１６〜１８を介して回動可能に接続され、駆動手段１９は関節部１６〜１８に設けられるとともに、第１の位置決め部２１はピック１４において関節部１８よりも先端側に設けられており、制御手段１１が関節部１６〜１８の接続角度を変更することでピック１４の位置を制御するよう構成され、ピック１４に位置ずれや揺れ等が生じ易い構造であるため、上記のように磁力による誘導機能を導入することは、ピック１４をより精度よく位置決めし、振動の抑制を一層効果的に行う上で有効なものである。
【００４３】
その際、制御手段１１が、ピック１４が移載場所Ｐに接近すると駆動手段１９に生じさせる駆動力を減少させる制御を行うように構成しているため、位置決めを次第に磁力に委ね、装置に振動及び余計な力が生じることを有効に防止して位置決めを早期に収束させることが可能である。
【００４４】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る搬送装置１０１を、図６及び図７を用いて説明する。本実施形態において、第１実施形態と共通する部分には基本的に同じ符号を付してあり、これらの部分の説明を省略する。具体的には、第１実施形態に対して第２実施形態では、ロードロック１０３に設けられた第２の位置決め部１２４として、載置台２３の周囲４か所に電磁石１２４ａ〜１２４ａを用いている点が異なっている。そして、電磁石１２４ａは電源部１２５及び切替手段１２６と接続されて励磁回路を構成しており、制御手段１１１が切替手段１２６に対してＯＮ信号とＯＦＦ信号を出力することで、磁力の発生と停止を切り替えることができるようになっている。
【００４５】
次に、上記の様に構成された搬送装置１０１が、ロードロック１０３においてピック１４の位置決めを行う際の動作を、図７のフローチャートを用いて説明する。なお、本フローチャートのＳＳ１〜ＳＳ４までの動作、すなわちピック１４がウェーハＷをロードロック１０３内へ搬入するまでの動作は、第１実施形態と同様（図５のＳ１〜Ｓ４に対応）であるため、説明を省略する。
【００４６】
ＳＳ１〜ＳＳ４までのステップによってピック１４がロードロック１０３内へ搬入されると、ステップＳＳ５において、制御手段１１１は切替手段１２６にＯＮ信号を出力し、第２の位置決め部１２４の４つの電磁石１２４ａ〜１２４ａに磁力を生じさせる。なお、本第２実施形態においては、電磁石１２４ａ〜１２４ａは上方がＳ極となるように接続されており、下方がＮ極となるように設けられた第１の位置決め部２１との間で磁気吸引力が働くようになっている（図６参照）。
【００４７】
次に、ステップＳＳ６において、制御手段１１１は、関節部１６〜１８のエンコーダ２０からの信号によってピック１４が移載場所Ｐ付近に近接したと判断すると、駆動手段１９の駆動力を低下させる。すると、移載場所Ｐに近接した位置においてはロードロック１０３に設けられた第２の位置決め部１２４がピック１４の第１の位置決め部２１を磁気吸引する力が生じているため、ピック１４は移載場所Ｐに誘導される。そして、この誘導によって上述したピック１４の遊びや揺れによる位置の誤差が修正され、その結果ピック１４は移載場所Ｐに精度よく位置決めされることとなる（図６参照）。また、自由端であるピック１４に対して位置決めの力である磁気吸引力を作用させるため、効果的に振動を抑制することが可能となる。
【００４８】
なお、このように、ピック１４が移載場所Ｐ付近に位置する間、駆動手段１９の駆動力を低下させることで、磁力と駆動力が互いにピック１４に作用し、ピック１４に余計な外力が加わることで位置決めが適切に行われなくなることと、このような外力によってピック１４に振動が生じてしまうことを防止している。
【００４９】
そして、上述の様にピック１４が移載場所Ｐに位置決めされると、次のステップＳＳ７において、前記実施形態におけるステップＳ７と同様の動作が行われる。
【００５０】
このようにして、ウェーハＷがピック１４から載置台２３へ移載されると、ステップＳＳ８において、制御手段１１１は切替手段１２６にＯＦＦ信号を出力し、第２の位置決め部１２４の４つの電磁石１２４ａ〜１２４ａの磁力を停止させる。そして、ステップＳＳ９において、制御手段１１１は駆動手段１９に駆動力を生じさせて、ウェーハＷを移載した後のピック１４をロードロック１０３の外部へ搬出する。この際、ステップＳＳ８において電磁石１２４ａ〜１２４ａの磁力を停止させていることから、第１の位置決め部２１と第２の位置決め部１２４との間には磁気吸引力が生じていない。そのため、駆動手段１９はピック１４を磁気吸引力が作用する範囲の外まで移動させるための、磁気吸引力に打ち勝つ大きな駆動力を発生させる必要がなく、ピック１４を容易にロードロック１０３の外部へ搬出することができる。
【００５１】
そして最後に、ステップＳＳ１０において、ロードロック１０３は搬入口２２を閉鎖し、ウェーハＷの移載動作を終了する。
【００５２】
以上のようなステップを実行することで、本第２実施形態の搬送装置１０１においても、第１実施形態に準じた作用効果を得ることが可能である。
【００５３】
さらに、第２の位置決め部１２４が電磁石１２４ａ〜１２４ａから構成されており、制御手段１１１が、ピック１４を移載場所Ｐに位置決めする時に電磁石１２４ａ〜１２４ａを励磁し、ピック１４を移載場所Ｐから移動させる時に電磁石１２４ａ〜１２４ａを励磁しない制御を行うように構成しているため、ピック１４の位置決めの精度を向上させ、早期の振動抑制を行いつつ、ピック１４が離れる際に、余分なモータの駆動力を低減することも可能となっている。
【００５４】
そして、上述した搬送装置１又は搬送装置１０１を半導体製造装置６に適用しているため、半導体製造装置６内におけるウェーハＷの搬送を、位置ずれ及び振動を生じさせることなく適切に行うことができ、ひいては装置全体の処理速度を有効に向上させることが可能となっている。
【００５５】
なお、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。
【００５６】
例えば、上述の実施形態における搬送装置１（１０１）は水平多関節ロボットとして構成されていたが、搬送装置として図８に示すような直動型のものを用いることも可能である。具体的には、図８に示す直動型の搬送装置２０１は、ベース部２１５と第１アーム２１２が接続され、第１アーム２１２と第２アーム２１３、第２アーム２１３と被搬送物を載置する先端のアームたるピック２１４とがそれぞれ接続されている。そして、第１アーム２１２と第２アーム２１３との間には駆動機構としてガイドレール２１７ａ及びボールねじ２１７ｂが設けられ、第２アーム２１３とピック２１４との間には駆動機構としてガイドレール２１８ａ及びボールねじ２１８ｂが設けられており、ボールねじ２１７ｂ及び２１８ｂの端部にそれぞれ設けられたモータ２１７ｃ、２１８ｃの駆動により第２アーム２１３、ピック２１４がそれぞれ第１アーム２１２、第２アーム２１３に対して直動動作を行うことで、被搬送物を搬送することが可能となっている。そして、ピック２１４の下部４か所には永久磁石２２１ａ〜２２１ａが設けられており、これらによって第１の位置決め部２２１が構成され、上記実施形態における第２の位置決め部２４、１２４と同様に搬送先の磁石と対応する位置関係下に配置される。
【００５７】
この直動型の搬送装置２０１の動作については説明を省略するが、上述した実施形態に準じた効果を得ることが可能である。また、搬送装置２０１が直動動作を行う際には、ボールねじ２１７ｂ，２１８ｂを用いず、ラックピニオン等、他の方法を適用することも可能である。
【００５８】
また、第１の位置決め部及び第２の位置決め部の構成及び配置場所についても、上述の実施形態で示したものに限定されるものではなく、ピック１４の位置決めが適切に行われることを目的に、適宜変更することが可能である。ここで、図９（ａ）〜（ｄ）を参照しつつ、以下にその例を示す。なお、図９（ａ）〜（ｄ）はいずれもピックが移載場所Ｐに位置する場面を模式的に表したものであり、図９（ａ）〜（ｃ）は平面図、図９（ｄ）は側面図となっている。
【００５９】
図９（ａ）は、第１の位置決め部３２１がＵ字型のピック３１４の２つの先端下部にそれぞれ設けられた永久磁石３２１ａと永久磁石３２１ｂとから構成され、第２の位置決め部３２４が永久磁石３２１ａ及び永久磁石３２１ｂに対し平面視において９０度異なる方向から対向するようにロードロック３０３の側面及び奥面に配置された２つの永久磁石３２４ａと永久磁石３２４ｂとから構成されており、永久磁石３２１ａと永久磁石３２４ａ、永久磁石３２１ｂと永久磁石３２４ｂとの間にそれぞれ磁気吸引力を作用させることで位置決めを行っている例を示す。
【００６０】
このように構成することで、永久磁石３２１ａと永久磁石３２４ａとが対向する第１の方向と、永久磁石３２１ｂと永久磁石３２４ｂとが対向する第１の方向と９０度異なる第２の方向とに位置決めを行うことが可能となるため、２つの磁石のみによってもピック３１４の位置および姿勢を水平面内で正確に位置決めすることが可能となっている。
【００６１】
図９（ｂ）は、第１の位置決め部４２１がＵ字型のピック４１４の２つの先端面にそれぞれ設けられた磁性体４２１ａ、４２１ａから構成され、第２の位置決め部４２４が２つの磁性体４２１ａ、４２１ａに対向するようにロードロック４０３の奥面側に配置された２つの永久磁石４２４ａ，４２４ａから構成されており、磁性体４２１ａ，４２１ａと永久磁石４２４ａ，４２４ａとの間に磁気吸引力を作用させることで位置決めを行っている例を示す。このように、第１の位置決め部と第２の位置決め部のいずれか一方を鉄などの磁性体で構成することも可能である。
【００６２】
図９（ｃ）は、第１の位置決め部５２１がピック５１４の先端部５１４ｂの左右両側にある直線部分の先端側及び基端側の４か所に設けられた４つの永久磁石５２１ａ〜５２１ａから構成され、第２の位置決め部５２４が４つの永久磁石５２１ａ〜５２１ａの中心、すなわち４つの永久磁石５２１ａ〜５２１ａそれぞれとの距離が等しくなるようロードロック５０３の底面に配置された永久磁石５２４ａから構成されており、第１の位置決め部５２１と第２の位置決め部５２４との間の対向する磁極の向きが同一となるよう構成した例を示す。この場合、第１の位置決め部５２１の４つの永久磁石５２１ａ〜５２１ａと第２の位置決め部５２４の永久磁石５２４ａとのお互いが対向する面を同一磁極にすることで、４つの永久磁石５２１ａ〜５２１ａは磁石５２４ａから磁気反発力を受け、これらの力が釣り合うことによってピック５１４の位置決めを行うことが可能となる。
【００６３】
図９（ｄ）は、第１の位置決め部６２１がＵ字型のピック６１４の上面に設けられた永久磁石６２１ａから構成され、第２の位置決め部６２４が第１の位置決め部６２１の永久磁石６２１ａの上部で対向するようにロードロック６０３の天井面に設けられた永久磁石６２４ａから構成されており、永久磁石６２１ａと永久磁石６２１ａとの間に磁気吸引力が作用する例を示す。このように、第１の位置決め部６２１の永久磁石６２１ａをピック６１４の上面に配置しても、ロードロック６０３の天井面に設けられた永久磁石６２４ａとの間の磁気吸引力によって位置決めを行うことが可能である。
【００６４】
なお、第１の位置決め部と第２の位置決め部とが磁気吸引力によって位置決めされる場合には、このようにピックの載置場所Ｐより上方に第２の位置決め部を設けるよう構成することで、自由端であるピックの前垂れ（図９（ｄ）に２点鎖線で示したピック６１４ｘ参照）を有効に防止することができ、ウェーハＷを移載する際の上下方向のずれを防止して適切に載置することが可能となる。なお、第１の位置決め部と第２の位置決め部とが磁気反発力によって位置決めされる場合には、ピック６１４の載置場所Ｐより下方に第２の位置決め部を設けるよう構成すれば同様にピックの前垂れを防止することが可能である。
【００６５】
以上の例から示されるように、本発明においては、第１の位置決め部と第２の位置決め部のいずれか一方を磁性体として構成することが可能である。また、第１の位置決め部はピックの下面、先端面、上面のいずれに設置してもよい。あるいは、ピックの内部に設けることも可能である。同様に、第２の位置決め部は底面、側面、奥面、天井面のいずれに設置してもよい。さらに、第２の位置決め部と第２の位置決め部とは磁気吸引力、磁気反発力のいずれによって位置決めを行う構成としてもよい。加えて、第１の位置決め部と第２の位置決め部を構成する磁石あるいは磁性体の数も限定されるものではない。
【００６６】
また、上述の実施形態においては、被搬送物として略正円状のウェーハＷを示したが、他の形状をしたものを搬送することも可能であり、ウェーハ以外に、液晶など他の搬送物を搬送することも可能である。
【００６７】
さらに、上述の実施形態においては、ロードロック３内において載置台２３が上昇することによってウェーハＷの授受が行われる構成となっていたが、ベース部１５に設けられた昇降手段を昇降させることによってウェーハＷの授受を行う構成としてもよい。
【００６８】
また、上述の実施形態においては、第２の位置決め部２４（１２４）は搬送先のロードロック３に設けたものであったが、搬送元であるロードポート２側（ＦＯＵＰ４）に設けてもよい。この場合、ＦＯＵＰ４内のウェーハＷを取り出す際又はＦＯＵＰ４内へウェーハＷを収容する際にピック１４の位置決め精度を向上させることで、ＦＯＵＰ４内に狭い間隔で収容されているウェーハＷを適切に搬送することが可能となる。さらに、上述の実施形態において、搬送装置１（１０１）はロードポート２とロードロック３の間に配置され、ロードポート２とロードロック３の間においてウェーハＷの搬送を行うものであったが、ウェーハＷに対して種々の処理を行う半導体処理室内に配置して、ロードロック３とプロセスユニット（図示せず）の間におけるウェーハＷの搬送に用いる搬送装置として用いることも可能である。
【００６９】
さらにまた、以上に併せて磁界解析を行えば、磁石の数や強度（磁石の種類や大きさ）を有効に低減することもできる。
【００７０】
その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００７１】
１，１０１…搬送装置
６…半導体製造装置
１０…アーム機構
１１，１１１…制御手段
１２…第１アーム
１３…第２アーム
１４…ピック（先端のアーム）
１６〜１８…関節部
１９…駆動手段
２１…第１の位置決め部
２１ａ〜２１ａ…永久磁石
２４，１２４…第２の位置決め部
２４ａ〜２４ａ…永久磁石
１２４ａ〜１２４ａ…電磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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