(57)【要約】【課題】計画水量に近い水量はもとより計画水量に対して大幅に少ない水量であっても薬液の注入量を適切に調整することができる薬液注入システムを提供する【解決手段】薬液注入システム１は、薬液タンク２と、薬液ポンプ３を介して薬液タンク１に接続された薬液流入管５１と、薬液流入管５１から供給された薬液を、上下水道設備を含む各種の水処理プラントで処理された薬液注入対象液に薬液を注入する薬液注入部７に接続された薬液供給管５３と、薬液タンクに戻す薬液返送管５２とに分配する薬液分配機構５０と、薬液流入管５１に供給された薬液を、薬液分配機構５０を経由することなく薬液注入部７に接続する分岐管１１と、薬液を薬液分配機構５０に供給するか分岐管１１に供給するかを切替える切替弁１２，１３と、を備えている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬液タンクと、
薬液ポンプを介して前記薬液タンクに接続された薬液流入管と、
前記薬液流入管から供給された薬液を、上下水道設備を含む各種の水処理プラントで処理された薬液注入対象液に薬液を注入する薬液注入部に接続された薬液供給管と、前記薬液タンクに戻す薬液返送管とに分配する薬液分配機構と、
前記薬液流入管に供給された薬液を、前記薬液分配機構を経由することなく前記薬液注入部に接続する分岐管と、
薬液を前記薬液分配機構に供給するか前記分岐管に供給するかを切替える切替弁と、
を備えている薬液注入システム。
【請求項２】
前記薬液供給管と前記薬液注入部との間に、前記薬液注入部から注入する薬液量を調整する微少流量調整機構をさらに備えている請求項１記載の薬液注入システム。
【請求項３】
前記微少流量調整機構は、底部に開閉弁を備えた滴下流量計と、前記滴下流量計の上部に配置された滴下量調整弁とを備えて構成されている請求項２記載の薬液注入システム。
【請求項４】
請求項１から３の何れかに記載の薬液注入システムの運転方法であって、薬液注入対象液の流量が所定流量よりも少ないときに薬液を前記薬液分配機構に供給するように前記切替弁を切り替えて薬液の注入量を調整し、薬液注入対象液の流量が前記所定流量よりも多いときに薬液を前記分岐管に供給するように前記切替弁を切り替えて前記薬液ポンプで薬液の注入量を調整する薬液注入システムの運転方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薬液注入システム及び薬液注入システムの運転方法に関し、例えば上水または下水に次亜塩素酸ナトリウムのような薬液を注入するために用いられる薬液注入システム及び薬液注入システムの運転方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、特別な動力源を必要とせず、長期間にわたって一定の滴下速度で薬液を滴下する液滴下装置として、大気開放である液体滴下部、密閉構造である液体タンク部及び大気開放である液体注入部より構成され、液体滴下部はその底部に液体滴下口を有し、液体滴下部の下部と液体タンク部の下部間は液体移送孔で通じせしめ、液体タンク部上部に液高調整管の一端を通じせしめ、他端を液体滴下部内部の任意の位置に開口させ、且つ液体注入部は下部で液体タンク部下部に通じせしめた液滴下装置が開示されている。
【０００３】
特許文献２には、ポンプの停止後にポンプを稼動させて次亜塩素酸ナトリウム水溶液を上水用配管に移送させると、ポンプ停止時に発生した凝集気泡がポンプ内に移送されて該ポンプにガスロックが生じ、所定の質量流量で次亜塩素酸ナトリウム水溶液を上水用配管に安定的に供給できなくなるという問題を解消する薬液供給装置が開示されている。
【０００４】
当該薬液供給装置は、薬液を貯留する薬液貯留槽と、該薬液貯留槽内の薬液を被供給箇所に供給する移送配管と、前記薬液を前記移送配管内にて移送させうるように前記移送配管に配されたポンプとを備え、移送配管の前記ポンプより下流側の位置から分岐した分岐配管が備えられ、移送配管が、分岐配管が設けられた分岐部と、該分岐部よりも上流側となる第１移送配管と、該分岐部よりも下流側となる第２移送配管とを備え、分岐配管が、分岐部から薬液貯留槽に薬液を返送するように構成され、第１移送配管内を流通した薬液が移送先として第２移送配管及び前記分岐配管の何れか一方に移送されるように構成されており、第２移送配管及び分岐配管の間で移送先を相互に切替可能とする切替装置が備えられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１５６１７８号公報
【特許文献２】特開２０１３−１４６６５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上下水道設備を含む各種の水処理プラントでは、適正な注入率となるように薬液の注入対象となる水量に応じて薬液の吐出量を調整する必要がある。そのために用いられる薬液注入ポンプや吐出弁等の機器類は水処理プラントの全体計画を見据えた計画水量に基づいてその容量等が設計されるため、多くの場合に計画水量に達していない水処理プラントの立上げ時点でその能力が過大になる。
【０００７】
特許文献１に記載されたような液滴下装置では、薬液の供給量をダイナミックに調整することが困難で、予め液滴量を上水の計画配水量に見合うように液滴下装置を設計すると、計画配水量に満たない少量の場合に液滴量をそれより微少流量に適正に調整できないという問題があった。
【０００８】
特許文献２に記載されたような薬液供給装置も同様に、薬液注入用のポンプの容量が予め計画水量に基づいて決定されるため、計画配水量に満たない少量の場合に液滴量をそれより微少流量に適正に調整できないという問題があった。
【０００９】
そのような場合、一般的には吐出弁の開度調整やポンプの回転数制御等によって薬液の吐出量を調整せざるを得ないが、吐出弁の開度調整では正確な流量調整が困難であり、インバータによりポンプを駆動する電動機の回転数を調整する場合には、過度に回転数を低下させると電動機の出力軸に駆動連結された冷却ファンの回転数も同時に低下して冷却不足となり、電動機の温度が異常に上昇するという問題があった。
【００１０】
このため、吐出弁の開度調整及び電動機の回転数制御による薬液の吐出量の下限域制御には限界があり、過少水量に対して調整不足による過剰薬品注入に到る虞があり、上述した特許文献１や特許文献２に記載された装置でも、このような問題に対処できず、水処理プラントの立上げ時点で薬液が過剰注入される虞があった。
【００１１】
上述の問題は、次亜塩素酸ナトリウムのような消毒用の薬液に限らず、計画水量に対して水量が大幅に少ない各種の水処理プラントに例えば鉄系及びアルミニウム系の凝集剤やメタノール等の生物処理助剤といった各種の薬液を注入する際にも発生する。
【００１２】
本発明の目的は、上述した問題点に鑑み、計画水量に近い水量はもとより計画水量に対して大幅に少ない水量であっても薬液の注入量を適切に調整することができる薬液注入システム及び薬液注入システムの運転方法を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述の目的を達成するため、本発明による薬液注入システムの第一特徴構成は、特許請求の範囲の書類の請求項１に記載した通り、薬液タンクと、薬液ポンプを介して前記薬液タンクに接続された薬液流入管と、前記薬液流入管から供給された薬液を、上下水道設備を含む各種の水処理プラントで処理された薬液注入対象液に薬液を注入する薬液注入部に接続された薬液供給管と、前記薬液タンクに戻す薬液返送管とに分配する薬液分配機構と、前記薬液流入管に供給された薬液を、前記薬液分配機構を経由することなく前記薬液注入部に接続する分岐管と、薬液を前記薬液分配機構に供給するか前記分岐管に供給するかを切替える切替弁と、を備えている点にある。
【００１４】
切替弁を操作することによって、薬液ポンプで薬液流入管に送液された薬液を薬液分配機構に送液するか分岐管に送液するかを切替えることができるようになる。注入対象に少量の薬液を適正に注入する必要がある場合には薬液分配機構に送液するように切替弁を切り替え、例えばほぼ計画水量に合致するような十分な量の注入対象に薬液を注入する場合には薬液ポンプで送液量を適正に調整できるので、分岐管に送液するように切替弁を切り替えればよい。
【００１５】
同第二の特徴構成は、同請求項２に記載した通り、上述の第一の特徴構成に加えて、前記薬液供給管と前記薬液注入部との間に、前記薬液注入部から注入する薬液量を調整する微少流量調整機構をさらに備えている点にある。
【００１６】
上述の構成によれば、薬液供給管から供給される少量の薬液が微少流量調整機構によってさらに正確に調整されて供給されるようになる。
【００１７】
同第三の特徴構成は、同請求項３に記載した通り、上述の第二の特徴構成に加えて、前記微少流量調整機構は、底部に開閉弁を備えた滴下流量計と、前記滴下流量計の上部に配置された滴下量調整弁とを備えて構成されている点にある。
【００１８】
開閉弁を閉塞した状態で滴下流量計に滴下する薬液量を計測しながら滴下量調整弁を調整することで目標とする注入量に調整し、その後開閉弁を開放することによって必要量の薬液を精度よく注入することができるようになる。
【００１９】
本発明による薬液注入システムの運転方法の特徴構成は、同請求項４に記載した通り、上述の第一から第三の何れかの特徴構成を備えた薬液注入システムの運転方法であって、薬液注入対象液の流量が所定流量よりも少ないときに薬液を前記薬液分配機構に供給するように前記切替弁を切り替えて薬液の注入量を調整し、薬液注入対象液の流量が前記所定流量よりも多いときに薬液を前記分岐管に供給するように前記切替弁を切り替えて前記薬液ポンプで薬液の注入量を調整する点にある。
【００２０】
薬液ポンプで供給量を適正に調整できないようなとき、つまり薬液注入対象液の流量が所定流量よりも少ないときには、薬液分配機構に供給するように切替弁を切り替えることによって、薬液供給管から薬液の微少な注入量を適正に調整することができる。また、薬液注入対象液の流量が所定流量よりも多いときには、分岐管に揚液するように切替弁を切り替えることによって、薬液ポンプで供給量を適正に調整することができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明した通り、本発明によれば、計画水量に近い水量はもとより計画水量に対して大幅に少ない水量であっても薬液の注入量を適切に調整することができる薬液注入システム及び薬液注入システムの運転方法を提供することができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】薬液注入システムの説明図
【図２】別実施形態を示す薬液注入システムの説明図
【図３】別実施形態を示す薬液注入システムの説明図
【図４】（ａ），（ｂ）は別実施形態を示す薬液分配装置の説明図
【図５】別実施形態を示す薬液注入システムの説明図
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明による薬液分配装置、薬液注入システム及び薬液注入システムの運転方法の実施形態を説明する。以下の実施形態では、下水を浄化処理して河川等に放流する下水処理設備に用いられ、浄化処理された処理水に消毒用の薬液である次亜塩素酸ナトリウムを注入する薬液注入システムを例に説明する。
【００２４】
下水処理設備や上水処理設備を新たに構築したり再構築したりする場合には、その時点で想定される将来的な必要水量等を加味した全体計画に基づいて計画水量が設定され、その計画水量に対応するように様々な設備の容量や配管径等が設計される。
【００２５】
例えば、河川等への放流前の下水に消毒薬を注入するための薬液注入システムも同様であり、薬液注入部から混和池内の下水に注入する薬液を薬液タンクから送液する薬液ポンプも、計画水量に見合った量の薬液を注入できるようにそのポンプ容量が決定されている。
【００２６】
しかし、計画当初は計画水量を大きく下回る水量であることが多く、そのような少水量の下水に適量の薬液を注入するために、薬液ポンプの送水量を調整するのははなはだ困難であり、結果として過剰投入される場合もあった。
【００２７】
本発明によれば、そのような場合でも適量の薬液を注入することが可能な薬液分配装置、薬液注入システムを実現できる。
【００２８】
図１に示すように、薬液注入システム１は、薬液タンク２と、揚液ポンプ３と、吐出弁４と、薬液分配装置５と、微少流量調整機構６等を備えて構成されている。揚液ポンプ３はインバータ制御装置３０によってその回転数が制御可能に構成されている。
【００２９】
薬液分配装置５は、薬液分配機構５０と、薬液流入管５１と、薬液返送管５２と、薬液供給管５３とを備えている。薬液分配機構５０は、薬液槽５４と薬液分配管５５と分配流量調整弁５６等を備えている。図中、一点鎖線は、それぞれ薬液流入管５１、薬液返送管５２、薬液供給管５３を簡略表記したもので、実際には樹脂製の可撓性透明チューブが用いられている。
【００３０】
図中、符号５７は薬液槽５４の内部で発生したガスを大気開放する通気管であり、次亜塩素酸ナトリウムが分解して発生する塩素ガス等を室外で大気開放するための通気管５７である。
【００３１】
薬液槽５４にはその底部に薬液流入管５１、薬液返送管５２、薬液供給管５３のそれぞれが一端部で上向きに開口するように挿入されている。薬液流入管５１は揚液ポンプ３と吐出弁４を介して薬液タンク２に接続され、薬液タンク２から薬液を薬液槽５４に揚液する管である。
【００３２】
薬液返送管５２は他端部が薬液タンク２に接続され、薬液槽５４内の余剰薬液を薬液タンク２に落水返送する管である。また、薬液供給管５３は他端部が薬液注入部７に接続され、薬液流入管５１で揚水された薬液を薬液注入部７から処理対象である混和槽に供給する管である。
【００３３】
薬液流入管５１で揚水された薬液は、その管端部に接続された薬液分配管５５によって水平な２方向に分岐され、薬液供給管５３の上部開口及び薬液返送管５２の上部開口に夫々注入されるように落水するように構成されている。
【００３４】
また、薬液分配管５５の一方には分配流量調整弁５６が設けられ、薬液供給管５３の上部開口に注入される薬液の流量を所定の流量に調整し、管路中へ薬液を途切れないように滴下供給するように構成されている。さらに、薬液供給管５３の開口端部が薬液返送管５２の開口端部よりも低位に配置されている。
【００３５】
薬液供給管５３に供給された薬液は、微少流量調整機構６によって定量に調整された後に薬液注入部７から混和槽１０内の下水に注入される。微少流量調整機構６によって流量調整された結果、薬液供給管５３の上部開口から溢れ出した薬液は薬液槽５４に一時貯留され、薬液槽５４の液位が薬液返送管５２の上部開口位置より上昇すると薬液返送管５２から薬液タンク２に薬液が落下返流する。
【００３６】
このような構成によれば、薬液槽５４に貯留された薬液が薬液返送管５２の開口端部よりも低位に配置された薬液供給管５３の開口端部に途切れないように流入するので、安定的に薬液の注入状態が維持されるようになる。
【００３７】
上述したように、薬液分配装置５は、薬液タンク２に接続された薬液流入管５１及び薬液返送管５２と、薬液注入部７に接続された薬液供給管５３と、薬液流入管５１から揚液された薬液の一部を途切れないように薬液供給管５３に供給するとともに薬液供給管５３に供給されなかった余剰薬液を薬液返送管５２から落液返送する薬液分配機構５０とを備えている。
【００３８】
微少流量調整機構６は、底部に開閉弁６２を備えた滴下流量計６１と、滴下流量計６１の上部に配置された滴下量調整弁６０とを備えて構成されている。開閉弁６２を閉塞した状態で滴下流量計に滴下する薬液量を計測しながら滴下量調整弁６０を調整することで目標とする注入量に調整し、その後開閉弁６２を開放することによって必要量の薬液を精度よく注入することができるようになる。
【００３９】
混和槽１０から流出する下水の流量を、流量センサを用いて計測し、その流量の下水に対して次亜塩素酸ナトリウムの濃度が所定の濃度、例えば約０．８ｍｇ／ｃｍ３になるように次亜塩素酸ナトリウムを注入する。
【００４０】
混和槽１０からの下水の流出流量が計画水量に近い水量であれば、インバータ制御装置３０による揚液ポンプ３の回転数の制御や吐出弁４の開度調整によって適正な揚水量に調整することができるが、計画水量よりも大幅に少ない場合、インバータ制御装置３０で揚液ポンプ３の回転数を制御しても適正な揚水量に調整できず、吐出弁４の開度調整によっても適正な揚水量に調整するのが困難になる。
【００４１】
そのような場合でも、必要な注入量よりも多めの薬液を揚液ポンプ３で揚水しさえすれば、薬液分配装置５によって薬液供給管５３に供給された薬液が微少流量調整機構６によって適正量に調整された後に下水に注入されるので、極めて正確に注入量を調整することができるようになる。
【００４２】
このとき、揚液ポンプ３で揚液された過剰な薬液は薬液返送管５２から薬液タンク２に返送されるので薬液の無駄使いにならず、効率的に薬液を消費できる。しかも、薬液を自然落水させて薬液タンク２に返送するので、別途の搬送エネルギーを要せず経済的でもある。
【００４３】
微少流量調整機構６の具体的な構成は特に限定されるものではなく、底部に開閉弁６２を備えた滴下流量計６１と、滴下流量計６１の上部に配置された絞り弁である滴下量調整弁６０とが一体に構成される態様であってもよい。
【００４４】
また、図２に示すように、微少流量調整機構６が絞り弁である滴下量調整弁６０のみで構成されていてもよい。この場合、絞り弁に示された目盛に従って絞り量を調整することにより滴下量がほぼ正確に調整できるように構成されている必要がある。さらに、薬液流入管５１に薬液を圧送する揚水ポンプ２の回転数を可変制御するインバータ制御装置を設けることなく一定回転数に制御してもよい。
【００４５】
図３に示すように、揚液ポンプ３で薬液流入管５１に揚液された薬液を、薬液分配機構５０を経由することなく薬液注入部７に接続する分岐管１１と、薬液を薬液分配機構５０に揚液するか分岐管１１に揚液するかを切替える切替弁１２，１３とを備えていることが好ましい。
【００４６】
切替弁１２，１３を操作することによって、揚液ポンプ２で薬液流入管５１に揚液された薬液を薬液分配機構５０に揚液するか分岐管１１に揚液するかを切替えることができるようになる。注入対象に少量の薬液を適正に注入する必要がある場合には薬液分配機構５０に揚液するように切替弁１２，１３を切り替え、例えばほぼ計画水量に合致するような十分な量の注入対象に薬液を注入する場合には揚液ポンプ２の回転数調整等で揚液量を適正に調整できるので、分岐管１１に揚液するように切替弁１２，１３を切り替えればよい。
【００４７】
つまり、本発明による薬液注入システムの運転方法は、薬液注入対象液の流量が所定流量よりも少ないときに薬液を薬液分配機構５０に揚液するように切替弁１２，１３を切り替えて微少流量調整機構６で薬液の注入量を調整し、薬液注入対象液の流量が所定流量よりも多いときに薬液を分岐管１１に揚液するように切替弁１２，１３を切り替えて揚液ポンプ３の回転数調整または吐出弁４の開度調整で薬液の注入量を調整するように構成されている。
【００４８】
混和槽１０から流出する下水の流量は変動するため、所定時間間隔で流量センサを用いて計測し、その都度揚水ポンプ２の回転数や微少流量調整機構６を手動調整するように構成してもよい。
【００４９】
また、流量センサを用いて計測した下水の流量に基づいて滴下流量計６１による滴下量を自動調整する滴下量制御装置を備えてもよい。例えば、滴下流量計６１を撮影する撮像素子を備え、撮像素子による撮影画像を画像処理することにより単位時間当たりの薬液の滴下量を算出する滴下量算出装置と、滴下量調整弁６０の開度を調整するモータを備えた開度調整機構と、流量入力部を備え、入力された下水の流量に応じて適正な薬液注入量を算出し、算出した薬液注入量となるように滴下量算出装置により算出された滴下量をフィードバックしながら滴下量調整弁６０の開度を調整するような滴下量制御装置である。
【００５０】
上述した実施形態では、薬液流入管５１の管端部に薬液分配管５５を接続し、さらに分配流量調整弁５６を備えた例を説明したが、薬液流入管５１から流入した薬液が薬液供給管５３に十分に供給できるように構成されていれば、分配流量調整弁５６は必ずしも設ける必要はない。
【００５１】
また、図４（ａ）に示すように、薬液流入管５１の管端部に設けた薬液分配管５５に替えて、揚水された薬液を薬液供給管５３の上方から落液させる案内管５８を備えていてもよい。
【００５２】
図４（ｂ）に示すように、薬液分配機構５０は、底部に薬液供給管５３及び薬液返送管５２が挿通され、薬液供給管５３から溢流した薬液を受け止める薬液槽５４を備え、薬液供給管５３の開口端部が薬液返送管５２の開口端部よりも高位に配置されていてもよい。
【００５３】
上述の構成によれば、薬液流入管５１から揚液された薬液が途切れないように薬液供給管５３に供給される。その際に薬液供給管５３から溢流した薬液は薬液槽５４で貯留され、薬液供給管５３の開口端部よりも低位に配置された薬液返送管５２の開口端部から流入して薬液タンクに落液返送されるので、薬液流入管５１からの薬液の供給量が必要量に比べて非常に多い場合でも、注入対象に適正な注入量で薬液を注入しながらも余剰薬液を確実に薬液タンクに返送することができるようになる。
【００５４】
薬液槽５４に開閉自在な蓋体５９が設けられていることが好ましく、薬液槽５４内を適切にメンテナンスすることができるようになる。そのような観点で薬液流入管、薬液返送管、薬液供給管は薬液槽５４の側壁または底部に取り付けることが好ましい。
【００５５】
以下、本発明のその他の実施形態を説明する。上述した実施形態では下水用の水処理システムに備えた混和池に殺菌剤を注入する薬液注入システムを説明したが、薬液注入システムが構築される場所は混和池に限らず、上水道設備の浄水池や配水池等に薬液注入システムを構築してもよく、さらに配水管路に沿って所定間隔で薬液注入システムを構築し、配水管を送水される上水に薬液を注入するように構成することも可能である。長距離の送水によって時間が経過すると薬液濃度が低下して衛生状態を保つことが困難になることを回避するためである。
【００５６】
上述した実施形態では、薬液として消毒薬を注入する場合を説明したが、薬液注入システムに用いられる薬液は消毒薬に限らず、他の種類の薬液を用いることも可能である。例えば、下水処理設備で生物処理後に発生する汚泥を濃縮・脱水するために用いる凝集剤や、取水された原水から浮遊物を除去するための上水道システムの薬品混和池に用いる凝集剤、例えばポリ塩化第二鉄等の鉄系の凝集剤やポリ塩化アルミニウム等のアルミニウム系の凝集剤を注入する場合に本発明による薬液注入システムを用いることも可能である。
【００５７】
さらには、有機性廃棄物の最終処分場に構築された浸出水を処理する水処理設備等にも本発明による薬液注入システムを適用することができる。埋立初期には浸出水の水量が少なく、そのような少量の浸出水を生物処理するために必要な薬液を適量注入する場合も同様に効果的である。例えば、生物処理に必要なＢＯＤ源としてのメタノールの注入、難分解性有機物の分解に必要な酸化剤の注入、カルシウム除去剤の注入、消毒剤の注入等に適用できる。
【００５８】
さらには、図５に示すように、薬液タンク２と、薬液ポンプ３を介して薬液タンク２に接続された薬液流入管５１と、薬液流入管５１から供給された薬液を薬液注入部１０に接続された薬液供給管５３と薬液タンク２に戻す薬液返送管５２とに分配する薬液分配機構５０と、薬液流入管５１に供給された薬液を、薬液分配機構５０を経由することなく薬液注入部１０に接続する分岐管１１と、薬液を薬液分配機構５０に供給するか分岐管１１に供給するかを切替える切替弁１２，１３とを備えて薬液注入システムを構成してもよい。
【００５９】
薬液分配機構５０は、薬液分配管５５と分配流量調整弁５６と流量測定機構とを備えて構成され、分配流量調整弁５６によって薬液供給管５３から薬液注入部１０へ注入される微量の薬液注入量が流量測定機構による測定結果に基づいて調整され、余剰薬液は薬液返送管５２から薬液タンク２に返送されるように構成されている。尚、流量測定機構は分配流量調整弁５６に内蔵されていることが望ましい。
【００６０】
このような薬液注入システムに対して、薬液注入対象液の流量が所定流量よりも少ないときに薬液を薬液分配機構５０に供給するように切替弁１２，１３を切り替えて薬液の注入量を微少流量に調整し、薬液注入対象液の流量が所定流量よりも多いときに薬液を分岐管１１に供給するように切替弁１２，１３を切り替えて薬液ポンプ３で薬液の注入量を調整するように運転すればよい。
【００６１】
上述した実施形態は、何れも本発明の一例であり、該記載により本発明が限定されるものではなく、各部の具体的な構成は本発明の作用効果が奏される範囲で適宜変更設計可能であることはいうまでもない。
【符号の説明】
【００６２】
１：薬液注入システム
２：薬液タンク
３：揚液ポンプ
４：吐出弁
５：薬液分配装置
６：微少流量調整機構
７：薬液注入部
５０：薬液分配機構
５１：薬液流入管
５２：薬液返送管
５３：薬液供給管
５４：薬液槽
５７：通気管
【図１】
2015139774.tif 000003
【図２】
2015139774.tif 000004
【図３】
2015139774.tif 000005
【図４】
2015139774.tif 000006
【図５】
2015139774.tif 000007