(57)【要約】【課題】２列以上に配列された圧力室の列間でのクロストークの影響を簡単な構成で低減でき、安定した射出特性を実現できるインクジェットヘッドを提供すること。【解決手段】２列以上配列された圧力室121と、全ての圧力室121と連通する共通インク室141とを有し、圧力室121の各々が、共通インク室141に面するインク入口131aを介して該共通インク室141から共通にインクが供給され、圧力室121内に発生した圧力変化によって該圧力室121のインク出口121aと連通するノズル111からインク滴を射出するインクジェットヘッド1において、共通インク室141の内部にダンパ部材15を備えると共に、ダンパ部材15とインク入口131aとを結ぶ最短距離Dが、隣り合う列におけるインク入口131a,131a間の距離よりも小さいことを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２列以上配列された圧力室と、全ての前記圧力室と連通する共通インク室とを有し、前記圧力室の各々が、前記共通インク室に面するインク入口を介して該共通インク室から共通にインクが供給され、前記圧力室内に発生した圧力変化によって該圧力室のインク出口と連通するノズルからインクを射出するインクジェットヘッドにおいて、
前記共通インク室の内部にダンパ部材を備えると共に、
前記ダンパ部材と前記インク入口とを結ぶ最短距離が、隣り合う列における前記インク入口間の距離よりも小さいことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記ダンパ部材と前記インク入口とを結ぶ最短距離が、全ての前記インク入口で等しいことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記共通インク室は前記ダンパ部材を１つだけ有し、該ダンパ室が全ての前記圧力室の列に跨るように配置されていることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記インク入口が存在する平面に垂直な方向から前記ダンパ部材を投影したときに、前記ダンパ部材が前記インク入口の全てを包含することを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記インク入口、前記インク出口及び前記ノズルが一直線上に配置され、且つ、該直線と前記ダンパ部材とが交差していることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
隣り合う前記圧力室間の隔壁が圧電素子を含み、該隔壁の変形によって前記圧力室内のインクに圧力を付与し、前記ノズルからインクを射出する構成であることを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記インク入口の周囲に、体積弾性率が４０ＧＰａ以上の部材が、前記ダンパ部材と平行に配置されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記ダンパ部材は、気体が封入されたダンパ室を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記ダンパ部材は、筐体の少なくとも一面が可撓性を有する膜によって形成され、前記ダンパ室が前記筐体及び前記膜によって画成されており、前記膜が前記インク入口に面するように配置されていることを特徴とする請求項８記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
前記筐体は金属を含むことを特徴とする請求項９記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
前記共通インク室のインクが使用温度に達した時の前記ダンパ部材の内部の圧力が、大気圧以下であることを特徴とする請求項８、９又は１０記載のインクジェットヘッド。
【請求項１２】
前記ダンパ部材は、少なくとも前記インク入口と面する壁面が、体積弾性率が４０ＧＰａ以下の材質によって形成された板状部材であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項１３】
前記圧力室の一壁面が、圧電素子が積層された振動板によって形成され、該振動板の振動によって前記圧力室内のインクに圧力を付与し、前記ノズルからインクを射出する構成であることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項１４】
２列以上配列された圧力室と、全ての前記圧力室と連通する共通インク室とを有し、前記圧力室の各々が、前記共通インク室に面するインク入口を介して該共通インク室から共通にインクが供給され、前記圧力室内に発生した圧力変化によって該圧力室のインク出口と連通するノズルからインクを射出するインクジェットヘッドにおいて、
前記共通インク室の内部にダンパ部材を備えると共に、
前記ダンパ部材と全ての前記圧力室の列の前記インク入口を結ぶ最短距離が、隣り合う列における前記インク入口間の距離よりも小さく、
前記圧力室をＮ個（Ｎは２以上の整数）の駆動グループに分割し、
前記駆動グループ毎に駆動タイミングを（２ｎ−１）ＡＬ（但し、０．８＜ｎ＜１．２、ＡＬは圧力室の音響的共振周期の１／２）だけずらすことを特徴とするインクジェットヘッドの駆動方法。
【請求項１５】
前記駆動グループは、前記圧力室の列を単位として分割することを特徴とする請求項１４記載のインクジェットヘッドの駆動方法。
【請求項１６】
隣り合う前記圧力室の列を、異なる前記駆動グループに分割することを特徴とする請求項１５記載のインクジェットヘッドの駆動方法。
【請求項１７】
駆動周波数が１５ｋＨｚ以上であることを特徴とする請求項１４、１５又は１６記載のインクジェットヘッドの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの駆動方法に関し、詳しくは、クロストークに起因する圧力室の列間の影響を低減することのできるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
産業用インクジェット技術において多ノズル化、多列化が進んでいる。それに伴い、従来以上にノズル毎の射出性能を整えることが難しくなってきている。
【０００３】
例えば、駆動によって発生する圧力波や温度分布が原因で射出性能が不均一になることがある。圧力室が複数列によって構成され、列間の圧力室のインク入口が共通インク室によって連通する構造を有するインクジェットヘッドの場合、１つの圧力室の列を駆動したことによって圧力室内に発生した圧力波は、共通インク室を介して他列の圧力室に伝播し、その圧力波が伝播した圧力室の射出特性に変動を生じさせるいわゆるクロストークの問題を発生させる。
【０００４】
その一方で、インクジェット技術の実用化に伴いノズル単価も減少しており、構造簡単で安価であり、生産性の高いインクジェットヘッドが要求されている。
【０００５】
従来、クロストークに起因する圧力室間の影響を低減する技術として、圧力室のインク入口とインク出口とを結ぶ直線の延長線に対して交叉する壁面部材を、体積弾性率４０ＧＰａ以下の材質によって形成したもの（特許文献１）や、共通インク室に面して弾性変形するダンパ壁を形成したもの（特許文献２）や、共通インク室内に空気が充填されたダンパ室を有するダンパ部材を配置したもの（特許文献３）等が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１６８１８５号公報
【特許文献２】特開２０１２−１０６５１３号公報
【特許文献３】特開２００７−１１８３１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
インクジェットヘッドは、圧力室の列数が増加するほど射出特性のばらつきが大きくなる。特に３列以上になると、真ん中の列の圧力室で発生した圧力波は、両隣りの２つの列の各圧力室に影響を及ぼすため、列間でのクロストークの影響が無視できない程に大きくなり、射出特性のばらつきが大きくなる。
【０００８】
特許文献１、２は、共通インク室の一壁面が圧力波の減衰機能を有するため構造簡単であるものの、圧力室の列数が多くなるほど圧力波の減衰効果が不十分となるおそれがある。これは、圧力室の列数が増加するほど圧力室へ供給されるインク量が多くなって共通インク室が大容積となり、その共通インク室が大容積になるほど圧力室のインク入口と圧力波の減衰機能を有する壁面との距離が大きくなるためである。
【０００９】
また、特許文献３は、共通インク室内にダンパ部材を別部材として配置させる構造であるため上記のような問題はないが、圧力室の列間でのクロストークの問題を解決することについての開示はない。
【００１０】
圧力室の列間のクロストークに関し、特許文献２では、共通インク室内に仕切り壁を設けることによって共通インク室内の流路断面積を狭める狭窄部を形成し、この狭窄部によって列間のクロストークを防止することを開示している。しかし、この場合、共通インク室内にダンパ部材を設ける他に、狭窄部を形成する必要があり、構造が複雑化し、コスト増となる問題がある。
【００１１】
そこで、本発明の課題は、２列以上に配列された圧力室の列間でのクロストークの影響を簡単な構成で低減でき、安定した射出特性を実現できるインクジェットヘッドを提供することにある。
【００１２】
また、共通インク室内にダンパ部材を設けたインクジェットヘッドを１５ｋＨｚ以上で高周波駆動すると、駆動によって発生する圧力波が連続的に減衰、反射することで、規則的な圧力むらを発生させることがある。このような圧力むらは軽微なものではあるが、場合によっては液量変化、濃度むらとして視認できることがある。
【００１３】
そこで、本発明の他の課題は、共通インク室内にダンパ部材を設けたインクジェットヘッドにおける高周波駆動時の圧力波むらの発生を抑制して濃度むらを低減することができるインクジェットヘッドの駆動方法を提供することにある。
【００１４】
本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００１６】
１．
２列以上配列された圧力室と、全ての前記圧力室と連通する共通インク室とを有し、前記圧力室の各々が、前記共通インク室に面するインク入口を介して該共通インク室から共通にインクが供給され、前記圧力室内に発生した圧力変化によって該圧力室のインク出口と連通するノズルからインクを射出するインクジェットヘッドにおいて、
前記共通インク室の内部にダンパ部材を備えると共に、
前記ダンパ部材と前記インク入口とを結ぶ最短距離が、隣り合う列における前記インク入口間の距離よりも小さいことを特徴とするインクジェットヘッド。
【００１７】
２．
前記ダンパ部材と前記インク入口とを結ぶ最短距離が、全ての前記インク入口で等しいことを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッド。
【００１８】
３．
前記共通インク室は前記ダンパ部材を１つだけ有し、該ダンパ室が全ての前記圧力室の列に跨るように配置されていることを特徴とする前記２記載のインクジェットヘッド。
【００１９】
４．
前記インク入口が存在する平面に垂直な方向から前記ダンパ部材を投影したときに、前記ダンパ部材が前記インク入口の全てを包含することを特徴とする前記３記載のインクジェットヘッド。
【００２０】
５．
前記インク入口、前記インク出口及び前記ノズルが一直線上に配置され、且つ、該直線と前記ダンパ部材とが交差していることを特徴とする前記１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【００２１】
６．
隣り合う前記圧力室間の隔壁が圧電素子を含み、該隔壁の変形によって前記圧力室内のインクに圧力を付与し、前記ノズルからインクを射出する構成であることを特徴とする前記５記載のインクジェットヘッド。
【００２２】
７．
前記インク入口の周囲に、体積弾性率が４０ＧＰａ以上の部材が、前記ダンパ部材と平行に配置されていることを特徴とする前記１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【００２３】
８．
前記ダンパ部材は、気体が封入されたダンパ室を有することを特徴とする前記１〜７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【００２４】
９．
前記ダンパ部材は、筐体の少なくとも一面が可撓性を有する膜によって形成され、前記ダンパ室が前記筐体及び前記膜によって画成されており、前記膜が前記インク入口に面するように配置されていることを特徴とする前記８記載のインクジェットヘッド。
【００２５】
１０．
前記筐体は金属を含むことを特徴とする前記９記載のインクジェットヘッド。
【００２６】
１１．
前記共通インク室のインクが使用温度に達した時の前記ダンパ部材の内部の圧力が、大気圧以下であることを特徴とする前記８、９又は１０記載のインクジェットヘッド。
【００２７】
１２．
前記ダンパ部材は、少なくとも前記インク入口と面する壁面が、体積弾性率が４０ＧＰａ以下の材質によって形成された板状部材であることを特徴とする前記１〜７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【００２８】
１３．
前記圧力室の一壁面が、圧電素子が積層された振動板によって形成され、該振動板の振動によって前記圧力室内のインクに圧力を付与し、前記ノズルからインクを射出する構成であることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッド。
【００２９】
１４．
２列以上配列された圧力室と、全ての前記圧力室と連通する共通インク室とを有し、前記圧力室の各々が、前記共通インク室に面するインク入口を介して該共通インク室から共通にインクが供給され、前記圧力室内に発生した圧力変化によって該圧力室のインク出口と連通するノズルからインクを射出するインクジェットヘッドにおいて、
前記共通インク室の内部にダンパ部材を備えると共に、
前記ダンパ部材と全ての前記圧力室の列の前記インク入口を結ぶ最短距離が、隣り合う列における前記インク入口間の距離よりも小さく、
前記圧力室をＮ個（Ｎは２以上の整数）の駆動グループに分割し、
前記駆動グループ毎に駆動タイミングを（２ｎ−１）ＡＬ（但し、０．８＜ｎ＜１．２、ＡＬは圧力室の音響的共振周期の１／２）だけずらすことを特徴とするインクジェットヘッドの駆動方法。
【００３０】
１５．
前記駆動グループは、前記圧力室の列を単位として分割することを特徴とする前記１４記載のインクジェットヘッドの駆動方法。
【００３１】
１６．
隣り合う前記圧力室の列を、異なる前記駆動グループに分割することを特徴とする前記１５記載のインクジェットヘッドの駆動方法。
【００３２】
１７．
駆動周波数が１５ｋＨｚ以上であることを特徴とする前記１４、１５又は１６記載のインクジェットヘッドの駆動方法。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、２列以上に配列された圧力室の列間でのクロストークの影響を簡単な構成で低減でき、安定した射出特性を実現できるインクジェットヘッドを提供することができる。
【００３４】
また、本発明によれば、共通インク室内にダンパ部材を設けたインクジェットヘッドにおける高周波駆動時の圧力むらの発生を抑制して濃度むらを低減することができるインクジェットヘッドの駆動方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に係るインクジェットヘッドの第１の実施形態を示す分解斜視図
【図２】図１に示すインクジェットヘッドの断面図
【図３】ダンパ部材の断面図
【図４】隣り合う圧力室の列におけるインク入口間の距離を説明する図
【図５】脚部を突設したダンパ部材の一態様を示す斜視図
【図６】本発明に係るインクジェットヘッドの第２の実施形態を示す断面図
【図７】２個のグループに分割された各駆動グループの駆動電極に対して駆動信号を印加する際のタイミングチャートの一例を示す図
【図８】駆動波形の一例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
【００３７】
（インクジェットヘッドの第１の実施形態）
図１は本発明に係るインクジェットヘッドの第１の実施形態を示す分解斜視図、図２はそのインクジェットヘッドの断面図、図３はダンパ部材の断面図である。
【００３８】
インクジェットヘッド１は、図中下から順に、ノズルプレート１１、ヘッドチップ１２、基板１３、インクマニホールド１４が接合され、インクマニホールド１４の内部にダンパ部材１５が配置されている。
【００３９】
ヘッドチップ１２は六面体形状をしており、本発明における圧力室として機能するチャネル１２１が複数配列されている。各チャネル１２１は、ヘッドチップ１２のノズルプレート１１側の面と基板１３側の面とに亘ってストレート状に貫通するように形成され、図１中のＸ方向に沿って複数並設されることによって１列のチャネル列を形成している。そして、このチャネル列が、Ｘ方向と交差するＹ方向に沿って複数並設されることによって複数のチャネル列を形成している。
【００４０】
ここでは７つのチャネル１２１でＸ方向に延びる１列のチャネル列を構成し、このチャネル列がＹ方向に４列並設されたものを例示しているが、本発明において１列のチャネル１２１の数は問わない。また、チャネル列の数も２列以上配列されていればよく、３列以上配列されていることが好ましい。３列以上のチャネル列を有するものは、１つのチャネル列で発生した圧力波がその両隣りの２つのチャネル列に影響を与えることから、クロストークの影響が顕著となり、本発明による効果が顕著に得られるためである。
【００４１】
このヘッドチップ１２は、各チャネル列において隣り合うチャネル１２１、１２１の間を仕切る隔壁１２２が圧電素子を含んでおり、各隔壁１２２の両面に不図示の駆動電極が形成されている。隔壁１２２は両面の駆動電極に所定電圧の駆動信号が印加されることによってせん断変形し、一対の隔壁１２２、１２２で挟まれるチャネル１２１内の容積を変化させる。これにより、チャネル１２１内に供給されているインクに吐出のための圧力変化が付与され、ノズルプレート１１にチャネル１２１のインク出口１２１ａと連通するように形成されているノズル１１１からインク滴を射出するようになっている。なお、インク出口１２１ａは、チャネル１２１における図２中の下側の開口部である。
【００４２】
基板１３は、ヘッドチップ１２よりも大きな面積を有する平板状の薄板である。この基板１３には、ヘッドチップ１２側の面に該ヘッドチップ１２の各駆動電極と電気的に接続される不図示の電極が形成されており、ヘッドチップ１２から張り出した領域が、この電極と不図示のＦＰＣ等の外部配線部材との接続部としても機能している。この基板１３においてヘッドチップ１２が接合される領域内には、ヘッドチップ１２の各チャネル１２１に１対１に対応するように個別に貫通孔１３１が形成されている。従って、各チャネル１２１の内部は、それぞれ対応する貫通孔１３１と連通している。貫通孔１３１のヘッドチップ１２側の開口部は、チャネル１２１の開口部とほぼ同等の面積を有し、該チャネル１２１の開口部と同一形状となるように形成されている。
【００４３】
インクマニホールド１４は、一面が開口する箱型に形成され、この開口を塞ぐように基板１３と接合されることにより、インクマニホールド１４内に全てのチャネル１２１に共通にインクを供給する共通インク室１４１を形成している。共通インク室１４１内には、不図示のインク流入口から供給されるインクが貯留されている。
【００４４】
基板１３の全ての貫通孔１３１は、この共通インク室１４１に面するように開口している。このため、各貫通孔１３１は、共通インク室１４１とチャネル１２１との間で、共通インク室１４１内のインクをチャネル１２１内に供給する個別のインク流路を構成している。この共通インク室１４１に面する各貫通孔１３１の開口部は、各チャネル１２１へ個別にインクを流入させるインク入口１３１ａである。すなわち、本発明においてインク入口とは、共通インク室内に面する表面に、圧力室に連通して該圧力室毎に個別に開口している開口部のことである。
【００４５】
本実施形態に示すダンパ部材１５は薄い箱型に形成されており、共通インク室１４１の内部に、基板１３に近接し、全てのチャネル列に跨るように１つだけ配置されている。このダンパ部材１５は、図３に示すように、内部にダンパ室１５２を有している。筐体１５１の少なくとも一面は薄肉状の可撓性を有する膜によって形成されたダンパ壁１５３とされており、このダンパ壁１５３と筐体１５１とによって画成される内部空間がダンパ室１５２とされ、該ダンパ室１５２に気体が封入されている。気体の種類は特に問わない。ダンパ部材１５はこのダンパ壁１５３が基板１３に面するように配置されている。ダンパ壁１５３を構成する可撓性を有する膜には合成樹脂製フィルムを用いることができる。合成樹脂製フィルムとしてはポリイミドフィルムが好ましい。
【００４６】
このダンパ部材１５は、ダンパ壁１５３によって、基板１３に形成されている全ての貫通孔１３１のインク入口１３１ａを覆うことができる大きさに形成されている。すなわち、図１に示すように、インク入口１３１ａが存在する基板１３の平面に垂直な方向からダンパ部材１５を該平面に対して投影したとき、ダンパ部材１５がインク入口１３１ａの全てを包含している。本実施形態では、平面視矩形状に形成されているが、インク入口１３１ａの全てを包含するものであれば、円形状、楕円形状等任意である。但し、ダンパ部材１５はインクマニホールド１４の開口面積よりも小さく形成されている。このため、図２に示すように、ダンパ部材１５の周囲と共通インク室１４１の内壁面との間に、インク入口１３１ａへのインク流路１４１ａが確保されている。
【００４７】
ダンパ部材１５の基板１３からの離間距離は、基板１３のインク入口１３１ａと対面するダンパ部材１５の面と、チャネル１２１に対応する貫通孔１３１のインク入口１３１ａとの最短距離によって規定される。従って、このダンパ部材１５では、ダンパ壁１５３とインク入口１３１ａとを結ぶ最短距離によって規定される。そして、この最短距離をＤ（図２参照）、隣り合うチャネル列におけるインク入口１３１ａ間の距離をそれぞれｄ１、ｄ２、ｄ３（図４参照）とするとき、Ｄ＜ｄ１、且つ、Ｄ＜ｄ２、且つ、Ｄ＜ｄ３とされている。すなわち、この最短距離Ｄは、隣り合うチャネル列のインク入口１３１ａ、１３１ａ間の距離ｄ１、ｄ２、ｄ３のいずれとの比較でも、その距離よりも小さくなるようにダンパ部材１５が配置されている。従って、各インク入口１３１ａから見た場合、隣りのチャネル列のインク入口１３１ａまでの距離よりもダンパ部材１５のダンパ壁１５３までの距離の方が近くなる。
【００４８】
このようにダンパ部材１５が基板１３に近接して配置されていることにより、ダンパ部材１５と共通インク室１４１の後部内壁面１４２との間には大きな空間が確保されている。この後部内壁面１４２は、共通インク室１４１内で基板１３と対面する内壁面である。このため、共通インク室１４１は、内部にダンパ部材１５を配置させても、後部内壁面１４２との間に確保される空間を利用して、十分なインクを貯留することができる。
【００４９】
ここで、上記最短距離Ｄは、各インク入口１３１ａからダンパ部材１５のダンパ壁１５３に対して直交するように引いた直線によって規定される距離である。ダンパ部材１５は、この最短距離Ｄが全てのインク入口１３１ａで等しくなるように、インク入口１３１ａが開口する基板１３の平面に対してダンパ壁１５３が平行となるように配置されている。
【００５０】
また、上記距離ｄ１、ｄ２、ｄ３は、一つのチャネル列内のインク入口（これをインク入口Ａとする。）と、その隣りのチャネル列内においてインク入口Ａに最も近接したインク入口（これをインク入口Ｂとする。）との間の最短距離である。この距離は、一般には、図４に示すように、隣り合うチャネル列のインク入口１３１ａ、１３１ａ間に形成される列間間隙の幅となる。距離ｄ１、ｄ２、ｄ３は同一の値でなくてもよい。
【００５１】
次に、このインクジェットヘッド１の作用について説明する。
【００５２】
インクジェットヘッド１は、所定の印画データに基づいて駆動電極に所定電圧の駆動信号を印加することにより隔壁１２２を変形させると、一対の隔壁１２２に挟まれたチャネル１２１内のインクに吐出圧力が付与され、ノズル１１１からインク滴が射出される。このときチャネル１２１内に発生した圧力波は、ノズル１１１に向かう成分のみならず基板１３の貫通孔１３１側に向かう成分を有している。この貫通孔１３１に向かう成分の一部は、基板１３の貫通孔１３１を通って共通インク室１４１内に伝播する。このとき、インク入口１３１ａからの距離は、隣りのチャネル列のインク入口１３１ａよりもダンパ部材１５の方が近いので、インク入口１３１ａから共通インク室１４１内に伝播した圧力波のうちダンパ部材１５に向けて直進する成分が直ちにダンパ部材１５に衝突し、ダンパ壁１５３の可撓性及び内部に封入されている気体の圧縮性によって該ダンパ壁１５３が撓み変形することによって吸収される。
【００５３】
これにより、共通インク室１４１内に伝播した圧力波は、隣りのチャネル列のインク入口１３１ａに到達する前に低減され、共通インク室１４１を介して連通している隣り合うチャネル列のチャネル１２１に与えるクロストークの影響を低減することができる。また、チャネル１２１内に残留する圧力波も低減させることができる。これは、チャネル１２１内で発生した圧力波を吸収する距離が近い程、早いタイミングで圧力波を低減することができるためである。これによって射出特性の変動を抑制して安定した射出特性を実現することができる。このような効果を得るためには、共通インク室１４１内のダンパ部材１５の配置を規定するだけで良い。従って、従来のように仕切り壁によって狭窄部を形成するといったダンパ部材とは別の部材を設ける必要がなく、２列以上に配列された圧力室の列間でのクロストークの影響を簡単な構成で低減できる。
【００５４】
特に本実施形態に示すように、ダンパ部材１５はダンパ壁１５３が各インク入口１３１ａと対面するように配置されているため、インク入口１３１ａからダンパ部材１５に向けて直進する圧力波はダンパ壁１５３に直接衝突するようになる。このため、圧力波の吸収効果が高く、クロストークの影響の低減効果が高い。
【００５５】
また、共通インク室１４１内のインクは、駆動時のヘッドチップ１２の発熱による熱や、不図示のヒーター等の加熱手段が設けられる場合は当該加熱手段による熱によって所定の温度を持つようになる。この場合、共通インク室１４１内に大量のインクが貯留されると、インクに温度分布が発生し易くなり、インクの粘度がばらつくことによって、チャネル列毎あるいはチャネル１２１毎に射出特性がばらついてしまうおそれがある。射出特性がばらつくと、インク滴の射出速度が不均一となって着弾位置が乱れてしまう。しかし、ダンパ部材１５は基板１３に近接するように配置されるため、ダンパ部材１５とインク入口１３１ａとの間に存在するインク量を少なくすることができ、それによっても温度分布の影響を少なくすることができる。
【００５６】
本実施形態に示すダンパ部材１５は、共通インク室１４１内に１つだけ設けられているため低コストに構成できる。また、例えばチャネル列毎に１つずつのダンパ部材を配置させたり、それぞれ２列ずつのチャネル列に対応するように２つのダンパ部材を配置させたりすることもできるが、このように複数のダンパ部材を配置した場合、ダンパ部材毎に基板１３との離間距離のばらつきが発生すると、圧力波の吸収性能がばらつき、異なるダンパ部材に対応するチャネル列間でクロストークの影響や温度分布の影響の低減効果が均一にならず、かえって射出特性がばらついてしまうことが想定される。しかし、本実施形態に示すように１つのダンパ部材１５を全てのチャネル列に跨るように設けるようにすれば、このようなことがないため、クロストークの影響や温度分布の影響の低減効果をチャネル列間で均一化できる。
【００５７】
また、本実施形態では、１つのダンパ部材１５がインク入口１３１ａの全てを包含するように配置されているため、チャネル１２１毎に圧力波の吸収性能がばらつくことを低減できる。このため、クロストークの影響や温度分布の影響の低減効果を各チャネル１２１間で均一化できる。
【００５８】
更に、本実施形態では、共通インク室１４１内に面している各インク入口１３１ａは、ダンパ部材１５のダンパ壁１５３までの距離が全て等しいため、チャネル１２１毎の圧力波の吸収性能のばらつきがより一層低減できる。また、共通インク室１４１から各インク入口１３１ａへ供給される際のインクの流路抵抗も均一化できるため、この流路抵抗のばらつきに起因する射出特性のばらつきも低減される。
【００５９】
ダンパ部材１５は、筐体１５１が金属を含むものであることが好ましい。金属は筐体１５１の一部の壁面に使用されていてもよいし、全ての壁面を形成するものでもよい。一般に、金属はインク（液体）よりも熱伝導率が高いため、共通インク室１４１内のインクの温度分布を素早く均一化することができる。このため、ダンパ部材１５がインク入口１３１ａに近接していることと相俟って、チャネル１２１付近の急激な温度変化を抑えつつ、全体として温度分布を均一化することができる。
【００６０】
金属としては熱伝導率が良好な金属を好ましく使用することができ、例えばアルミニウム、銅、ステンレス等が挙げられる。このような金属は、共通インク室１４１内のインクと直に接することができるようにするため、筐体１５１の表面に露出していることが好ましい。
【００６１】
本実施形態に示すインクジェットヘッド１は、図２中に破線で示す直線Ｌのように、インク入口１３１ａ、インク出口１２１ａ及びノズル１１１が一直線上に配置され、この直線Ｌがダンパ部材１５と交差している。この構成によれば、チャネル１２１内で発生してインク入口１３１ａに向かう圧力波の成分をダンパ部材１５で直接吸収できるため、圧力波の吸収効果が最も高く、クロストークの影響を低減する効果が顕著に得られるために好ましい。
【００６２】
インク入口１３１ａは基板１３に開口していることにより、各インク入口１３１ａの周囲には基板１３がダンパ部材１５と平行に対向するように配置されている。このため、ダンパ部材１５に衝突した圧力波の一部の成分が、該ダンパ部材１５から基板１３側に向けて反射して共通インク室１４１内に残留するおそれがある。従って、このように基板１３に向けて反射した圧力波による残留を防止できるようにするため、インク入口１３１ａの周囲には、体積弾性率が４０ＧＰａ以上の部材がダンパ部材１５と平行に配置されていることが好ましい。これによれば、ダンパ部材１５で反射した圧力波を、インク入口１３１ａの周囲でダンパ部材１５に向けて再度反射させることができ、共通インク室１４１内に残留する圧力波を低減させることができる。
【００６３】
このような部材の材質は、体積弾性率が４０ＧＰａ以上のものであれば特に問わず、ガラス、シリコン、金属、合成樹脂等を使用することができる。中でも加工が容易で安価であり、圧力波によって変形を起こしにくい点でガラスが好ましい。このような部材は、インク入口１３１ａの周囲に配置されるように、基板１３とダンパ部材１５との間に配置させることができるが、基板１３そのものをガラス製とすれば、部材を別途設ける必要がなく、構造をより簡素にできると共に低コストであるために特に好ましい。
【００６４】
ダンパ部材１５の内部の圧力（気圧）は、共通インク室１４１内のインクが使用温度に達した時に大気圧以下であることが好ましい。使用時にダンパ部材１５が膨張することが避けられるため、インクの流路抵抗の増加や貯留できるインク量の低下等の事態を招くことがない。このインクの使用温度とは、例えばＵＶインクやセラミックインク等のようにインクをヒーター等の加熱手段によって加熱して使用するものにあっては、この加熱時の温度であり、このようなインクの加熱を行わないものにあっては、一般には常温（２５℃）である。
【００６５】
このようなダンパ部材１５は、インクの使用温度よりも高い温度、例えば６０℃の雰囲気内で筐体１５１の一面にダンパ壁１５３を貼り付け、空気等の気体が封入されたダンパ室１５２を形成することによって作製することができる。このダンパ部材１５を、インクの使用温度が６０℃以下となるような共通インク室１４１内に配置させることで、使用時のダンパ室１５２は大気圧以下となり、膨張することはない。
【００６６】
ダンパ部材１５を基板１３から所定距離をおいて配置させる手段は特に問わない。例えば図５に示すように、基板１３に対面するダンパ壁１５３側に適宜数の脚部１５４を突設しておくことが挙げられる。この脚部１５４を基板１３に対して接着させれば、ダンパ部材１５のダンパ壁１５３を、基板１３から脚部１５４の突出高さによって規定される所定の離間距離となるように容易に配置させることができる。
【００６７】
また、このような脚部１５４は、ダンパ部材１５側ではなく、基板１３側に突設させるようにしてもよい。
【００６８】
その他、図示しないが、ダンパ部材１５と共通インク室１４１の内壁面との間に支柱を架け渡して、ダンパ部材１５を基板１３から所定の離間距離となるように支持するようにしてもよい。
【００６９】
（インクジェットヘッドの第２の実施形態）
図６は本発明に係るインクジェットヘッドの第２の実施形態を示す断面図である。
【００７０】
このインクジェットヘッド２は、ヘッド基板２１と配線基板２２とが接着樹脂層２３によって積層一体化されている。配線基板２２の上面には箱型形状のインクマニホールド２４が接合され、配線基板２２との間で、内部にインクが貯留される共通インク室２４１を形成している。そして、この共通インク室２４１内にダンパ部材２５が配置されている。
【００７１】
ヘッド基板２１は、図中下層側から、Ｓｉ（シリコン）基板によって形成されたノズルプレート２１１、ガラス基板によって形成された中間プレート２１２、Ｓｉ（シリコン）基板によって形成された圧力室プレート２１３、ＳｉＯ２薄膜によって形成された振動板２１４と有している。ノズルプレート２１１には下面にノズル２１１ａが開口している。
【００７２】
圧力室プレート２１３には、インクを収容する圧力室２１３ａが形成されており、その上壁が振動板２１４によって構成され、下壁が中間プレート２１２によって構成されている。中間プレート２１２には、圧力室２１３ａの内部とノズル２１１ａとを連通する連通路２１２ａが貫通形成されている。
【００７３】
振動板２１４の上面には、各圧力室２１３ａに１対１に対応してアクチュエータ２１５が積層されている。アクチュエータ２１５は、薄膜ＰＺＴ等の圧電素子からなるアクチュエータ本体が、駆動電極としての上部電極と下部電極とで挟まれた構造をしており、その下部電極側が振動板２１４の上面に配置されている。
【００７４】
配線基板２２は、各アクチュエータ２１５に対して所定電圧の駆動信号を印加するための配線が形成された基板であり、その端部にＦＰＣ等の外部配線部材２６がＡＣＦ（異方性導電フィルム）によって電気的に接続されている。
【００７５】
接着樹脂層２３は、例えば熱硬化性の感光性接着樹脂シートによって形成され、ヘッド基板２１と配線基板２２との間に介在されることによって、両基板２１、２２を積層一体化している。この接着樹脂層２３によって両基板２１、２２の間には該接着樹脂層２３の厚み分の間隔が設けられている。接着樹脂層２３は、アクチュエータ２１５及びその周囲に相当する領域が露光、現像によって除去されている。各アクチュエータ２１５は、この接着樹脂層２３が除去された空間内にそれぞれ収容されている。
【００７６】
接着樹脂層２３には、上下に貫通する貫通孔２３１が各圧力室２１３ａの数に対応して形成されている。各貫通孔２３１の一端（上端）は、配線基板２２に形成されているインク供給路２２１と連通し、他端（下端）は、振動板２１４に形成された開口部２１４ａを通して圧力室２１３ａの内部と連通している。インク供給路２２１は配線基板２２の上面に開口している。この開口部は共通インク室２４１内に面しており、共通インク室２４１内のインクを各圧力室２１３ａ内に供給するインク入口２２１ａとして機能している。
【００７７】
このインクジェットヘッド２は、共通インク室２４１からインク入口２２１ａを介して圧力室２１３ａ内にインクが供給される。そして、外部配線部材２６からアクチュエータ２１５に駆動信号が印加されると、アクチュエータ２１５の変形動作によって振動板２１４が振動し、圧力室２１３ａ内に吐出のための圧力変化が付与され、該圧力室２１３ａ内のインクが連通路２１２ａを通ってノズル２１１ａから射出される。
【００７８】
このインクジェットヘッド２は、図示しないが、複数の圧力室２１３ａが並設されることによって圧力室２１３ａの列を形成し、その圧力室２１３ａの列が複数配列されることによって複数列、好ましくは３列以上の圧力室２１３ａを備えている。このため、各列の圧力室２１３ａに対応するインク入口２２１ａが共通インク室２４１内に臨んでいる。そして、ダンパ部材２５は、第１の実施形態におけるダンパ部材１５と同様に、インク入口２２１ａとを結ぶ最短距離が、隣り合う圧力室２１３ａの列におけるインク入口２２１ａ、２２１ａ間の距離よりも小さくなるように配置されている。ダンパ部材２５は、内部に気体が封入されたダンパ室２５１を有している。
【００７９】
このインクジェットヘッド２においても、アクチュエータ２１５を動作させると圧力室２１３ａ内に圧力波が発生する。この圧力波の一部は、圧力室２１３ａから貫通孔２３１、インク供給路２２１に至る過程で流路が絞られることによって若干減衰するものの、インク入口２２１ａから共通インク室２４１内に伝播することとなる。しかし、この共通インク室２４１内に伝播した圧力波が隣りの列のインク入口２２１ａに到達する前に、ダンパ部材２５によって吸収することができるため、この圧力波が隣り合う列の圧力室２１３ａに影響を与えるクロストークの影響を低減することができ、第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００８０】
なお、このダンパ部材２５の配置及び構造に関する構成は、第１の実施形態において説明したダンパ部材１５と全く同様の構成とすることができるため、その詳細については第１の実施形態におけるダンパ部材１５の説明を援用し、ここでは省略する。
【００８１】
（インクジェットヘッドのその他の実施形態）
以上説明した実施形態では、ダンパ部材１５、２５として、筐体１５１の壁面を可撓性の膜からなるダンパ壁１５３によって形成した好ましい態様を例示したが、これに限定されず、２枚の可撓性の膜の周囲を封止して、内部に気体が封入された袋状のダンパ部材としてもよい。
【００８２】
また、気体が封入されたダンパ部材１５、２５は圧力波を吸収する効果が最も高いため、本発明において好ましく使用できるが、ダンパ部材は圧力波を吸収する効果を有するものであればよく、必ずしも内部に気体が封入されたものに限らず使用することができる。例えば、図示しないが、少なくともインク入口と面する壁面が、体積弾性率が４０ＧＰａ以下の材質によって形成された板状部材からなるダンパ部材であってもよい。このようなダンパ部材は内部が中実に形成されたものであり、気体が封入されない。このようなダンパ部材によっても、共通インク室内に伝播した圧力波がダンパ部材のインク入口と面する壁面に衝突した際、圧力波の反射を鈍らせ、その一部を吸収することができる。従って、ダンパ部材１５、２５と同様に列間のクロストークの影響を低減する効果が得られる。
【００８３】
体積弾性率が４０ＧＰａ以下の材質としては、軟質の合成樹脂が好ましく使用できる。このような用途で使用できる軟質の合成樹脂としては、例えば、ポリエーテルイミド、液晶ポリマー、ポリフェニレンエーテル、ポリアミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリイミド、不飽和ポリエステル等が挙げられる。
【００８４】
（インクジェットヘッドの駆動方法）
次に、本発明に係るインクジェットヘッドの好ましい駆動方法について説明する。
【００８５】
共通インク室内にダンパ部材を設けたインクジェットヘッドを高速で駆動した際に発生する規則的な圧力むらについて本発明者が検討したところ、圧力室の音響的共振周期に応じた一定の周期を持つことがわかった。圧力室内の圧力は、音響的共振周期に応じて正から負へ、負から正へと転じるため、この圧力むらが発生する周期に応じて、一つの駆動タイミングとこれに続く駆動タイミングとの間に所定の位相差を持たせ、これら駆動グループ間での圧力が正圧と負圧の組合せとなるようにタイミングを異ならせることにより、圧力むらを相殺することができる。
【００８６】
そこで、本発明に係るインクジェットヘッドの駆動方法は、全圧力室をＮ個の駆動グループに分割し、駆動グループ毎に駆動タイミングを（２ｎ−１）ＡＬだけずらすものである。ここで、Ｎは２以上の整数。ｎは、０．８＜ｎ＜１．２を満たす数である。また、ＡＬ（Acoustic Length）は圧力室の音響的共振周期の１／２である。これにより、異なる駆動グループ間は、ほぼ奇数ＡＬだけタイミングがずれるため、駆動グループ毎の圧力を正圧と負圧の組合せとすることができ、圧力むらを実質的に相殺することができる。これにより、濃度むらの発生を抑制することができ、濃度むらを視認し難くすることができる。また、駆動グループで駆動タイミングをずらせることにより、特に高速駆動下では駆動回路への負荷も低減できる。このため、発熱や負荷による波形鈍りも低減する効果がある。
【００８７】
なお、このＡＬは、圧力室（チャネル１２１、圧力室２１３ａ）の駆動電極に矩形波の駆動信号を印加した際に射出されるインク滴の速度を測定し、矩形波の電圧値を一定にして矩形波のパルス幅を変化させたときに、インク滴の飛翔速度が最大になるパルス幅として求められる。パルスとは一定電圧波高値の矩形波であり、０Ｖを０％、波高値電圧を１００％とした場合に、パルス幅は、電圧の０Ｖからの立ち上がり１０％と波高値電圧からの立ち下がり１０％との間の時間として定義される。また矩形波とは、電圧の１０％と９０％との間の立ち上がり時間、立ち下がり時間のいずれもがＡＬの１／２以内、好ましくは１／４以内であるような波形を指す。
【００８８】
図７は、駆動グループをＡＢの２個のグループに分割した場合に、各駆動グループの駆動電極に対して駆動信号を印加する際のタイミングチャートの一例を示している。このように分割された駆動グループＡと駆動グループＢとの間に（２ｎ−１）ＡＬの位相差を与える。ここでは駆動グループＡの各駆動周期Ｔに１つの駆動信号Ｐが印加され、駆動グループＢよりも駆動グループＡを先に駆動した例を示している。各駆動信号Ｐの具体的な波形形状は特に問わない。パルス幅ＰＷは特に限定されるものではないが、一例を挙げれば、圧力室内の圧力が負から正に転じる１ＡＬ近傍とすることができ、具体的には０．８ＡＬ以上１．２ＡＬ以下の範囲とすることができる。
【００８９】
駆動グループとは、インクジェットヘッドの駆動周期内において、駆動信号を同一タイミングで印加する圧力室のグループのことである。この駆動グループは、圧力室の列を単位として分割することが好ましい。これによれば、圧力室の列間に亘って伝播する圧力波を効率的に相殺することができる。この場合、同一列内の各圧力室は同一の駆動グループに含まれることになる。同一駆動グループ内の圧力室は全て同時に駆動する。また、同一駆動グループには複数の列が含まれていてもよい。
【００９０】
また、圧力室の列が３列以上となる場合、隣り合う圧力室の列は異なる駆動グループに属するように分割することが好ましい。これによれば、同一駆動グループに属する圧力室の列間に少なくとも１つの異なる駆動グループに属する圧力室の列が配置されることになるため、同一タイミングで駆動される同一の駆動グループ間の離間距離がそれだけ大きくなり、同一の駆動グループ間でのクロストークの影響をより低減することができる。
【００９１】
なお、分割される駆動グループが３個以上となる場合、それら駆動グループ間の位相差（２ｎ−１）ＡＬのｎの値を全て１とすることが、着弾精度の低下を避ける観点から好ましい。
【００９２】
このようなインクジェットヘッドにおける駆動周波数は、１５ｋＨｚ以上であることが好ましい。１５ｋＨｚ以上の高周波駆動になるにつれて、上述した圧力むらの問題が顕著に発生するようになり、圧力むらの発生を低減する効果が顕著となる。
【実施例】
【００９３】
（実施例１）
圧電素子を含む隔壁とストレート状のチャネルとを交互に配置したチャネル列が４列となるように配列したヘッドチップを用いて、図１、図２と同様のせん断モード型インクジェットヘッドを構成した。１列のチャネル列を構成するチャネル数は２５６であり、チャネル列間のインク入口の距離ｄ１〜ｄ３（図４参照）は、ｄ１＝０．８５ｍｍ、ｄ２＝１．１３ｍｍ、ｄ３＝０．８５ｍｍとした。
【００９４】
共通インク室内には、ダンパ室に空気を封入したダンパ部材をインク入口に近接するように配置した。ダンパ部材は、６０℃の雰囲気内でアルミニウム製の筐体の一面にポリイミドフィルムからなるダンパ壁を貼着することによって内部に空気を封入した。ダンパ部材は全てのインク入口を覆う大きさを有しており、ダンパ壁とインク入口とを結ぶ最短距離Ｄが全てのインク入口で０．３ｍｍとなるように、基板に対して平行となるように配置させた。
【００９５】
ＡＬ変動の測定
チャネル列間にクロストークの影響が発生している場合、チャネルの射出特性に変動が生じる。得られたインクジェットヘッドのチャネルのＡＬ（音響的共振周期の１／２）は本来チャネルごとに一義的に決まるが、クロストークの影響が大きいと隣接チャネルの駆動の影響によりＡＬが変動する。その為、ＡＬ変動を測定することでクロストークの影響の発生具合を調べることができる。
【００９６】
そこで、以下の通りチャネルのＡＬ変動を測定し、チャネル列間のクロストークの影響の発生具合を評価した。
【００９７】
まず、ヘッドの中央部、端部などから任意の１０チャネルを選択しておき、インクジェットヘッドを以下の（１）〜（６）の駆動パターンでそれぞれ駆動した場合について、その選択した１０チャネルのＡＬを測定し、各駆動パターンによるＡＬ変動を比較した。なお、ＡＬは、矩形波によるパルスをヘッドに印加してノズルからインク滴を射出させた際に、射出速度が最大となるパルス幅を測定することで測定した。
【００９８】
（１）１チャネルのみ駆動した場合
（２）１列のチャネルすべて（２５６チャネル）を駆動した場合
（３）隣接列と併せて２列（５１２チャネル）を駆動した場合
（４）３列（７６８チャネル）を駆動した場合
（５）４列（１０２４チャネル）を駆動した場合
（６）４列すべてを１ノズルおき（５１２チャネル）に駆動した場合
【００９９】
ＡＬ変動は、上記各駆動パターンについて１０チャネルで測定したＡＬの各値からＡＬの平均値を駆動パターン毎に求め、そのＡＬの平均値が最も小さい値をＸmin、最も大きい値をＸmaxとしたとき、（｜Ｘmin−Ｘmax｜／Ｘmin）×１００（％）で求めた。
【０１００】
評価基準は以下の通りである。
○：駆動パターンによるＡＬ変動が２％未満
△：駆動パターンによるＡＬ変動が２％以上、５％未満
×：駆動パターンによるＡＬ変動が５％以上
【０１０１】
ＡＬ変動が２％未満であれば、クロストークの影響は軽微であり、ノズルから射出されるインク滴の射出速度は各ノズルで安定し、得られる画像にも目立つ乱れは生じない。２％以上となると、クロストークによるインク滴の射出速度のばらつきが発生し出して画像中に濃度むらが出始めることにより、高精細な画像を記録する上では問題がある。また、５％以上ではクロストークによるインク滴の射出速度のばらつきが大きくなり、得られる画像の乱れも大きく目立つようになる。
【０１０２】
その結果を表１に示す。
【０１０３】
（実施例２）
実施例１において、ダンパ壁とインク入口とを結ぶ最短距離Ｄを０．５ｍｍとなるようにした以外は実施例１と同様にしてＡＬ変動を測定し、評価した。結果を表１に示す。
【０１０４】
（比較例１）
実施例１において、ダンパ壁とインク入口とを結ぶ最短距離Ｄを１．０ｍｍとなるようにした以外は実施例１と同様にしてＡＬ変動を測定し、評価した。結果を表１に示す。
【０１０５】
（比較例２）
共通インク室内にダンパ部材を設けない以外は実施例１と同様にしてＡＬ変動を測定し、評価した。結果を表１に示す。
【表１】
2015044324.tif 000003
【０１０６】
以上のように、ダンパ部材とインク入口との最短距離Ｄが、４列のチャネル列相互間のインク入口間の距離ｄ１〜ｄ３のいずれよりも小さい実施例１、２では、ＡＬ変動が小さくなり、チャネル列間のクロストークの影響が低減された。
【０１０７】
描画試験
＜描画試験１＞
実施例１、２、比較例１、２について、インクジェットヘッドをチャネル列の長さ方向と直交する方向に走査させる過程で、それぞれ駆動周波数１４ｋＨｚ、１０ｋＨｚ、６０Ｈｚで全てのチャネルを駆動して描画を行うベタ画像の描画試験を行った。
【０１０８】
ベタ画像を用いた理由は、同時に駆動するチャネル数が多いため、クロストークの影響が大きい上に着弾後の濃度むらを視認しやすいためである。
【０１０９】
駆動波形は図８に示すＤＲＲ波形を使用した。この駆動波形は、チャネルの両側の一対の隔壁を外側にくの字状に変形させてチャネルの容積を膨張させるパルスＰ１と、このパルスＰ１を一定時間維持するパルスＰ２と、このパルスＰ２の後に、膨張した隔壁の変形を元に戻すパルスＰ３と、このパルスＰ３に続けて一対の隔壁を内側にくの字状に変形させてチャネルの容積を収縮させ、チャネル内のインクをノズルから押し出すパルスＰ４と、このパルスＰ４を一定時間維持するパルスＰ５と、このパルスＰ５の後に、収縮した隔壁の変形を元に戻すパルスＰ６とを有している。パルスＰ２の維持期間ＰＷ１は５．１μｓ（＝１ＡＬ）、パルスＰ５の維持期間ＰＷ２は１０．２μｓ（＝２ＡＬ）とした。
【０１１０】
得られた画像を目視観察した結果、実施例１、２では、いずれの駆動周波数においても濃度むらのない均一なべた画像を得ることができた。これは、チャネル列毎の液滴量が均一化されていることを意味している。
【０１１１】
しかし、比較例１では、１４ｋＨｚでやや濃度むらが目立つようになった。また、比較例２では６０Ｈｚ以外の周波数において帯状の濃度むらが目立っていた。
【０１１２】
＜描画試験２＞
次に、実施例１、２において、上記と同じ駆動信号を用いて、それぞれ駆動周波数１５ｋＨｚで全てのチャネルを駆動してベタ画像を記録したところ、高周波駆動によって発生した圧力むらに起因すると思われる濃度むらが僅かに認められた。
【０１１３】
そこで、４列のチャネル列をＡＢの２つの駆動グループに分割し、各駆動グループ間の駆動タイミングを５．１μｓ（＝１ＡＬ）だけずらして同じく駆動周波数１５ｋＨｚで全てのチャネルを駆動した。駆動グループはチャネル列を単位とし、端のチャネル列から順に駆動グループＡ、Ａ、Ｂ、Ｂに分割した。
【０１１４】
その結果、実施例１、２のいずれも濃度むらが目立つようなことはなくなり、高周波駆動時に発生する圧力むらの影響は低減された。
【符号の説明】
【０１１５】
１：インクジェットヘッド
１１：ノズルプレート
１１１：ノズル
１２：ヘッドチップ
１２１：チャネル（圧力室）
１２１ａ：インク出口
１２２：隔壁
１３：基板
１３１：貫通孔
１３１ａ：インク入口
１４：インクマニホールド
１４１：共通インク室
１４１ａ：インク流路
１４２：後部内壁面
１５：ダンパ部材
１５１：筐体
１５２：ダンパ室
１５３：ダンパ壁
１５４：脚部
２：インクジェットヘッド
２１：ヘッド基板
２１１：ノズルプレート
２１１ａ：ノズル
２１２：中間プレート
２１２ａ：連通路
２１３：圧力室プレート
２１３ａ：圧力室
２１４：振動板
２１４ａ：開口部
２１５：アクチュエータ
２２：配線基板
２２１：インク供給路
２２１ａ：インク入口
２３：接着樹脂層
２３１：貫通孔
２４：インクマニホールド
２４１：共通インク室
２５：ダンパ部材
２５１：ダンパ室
２６：外部配線部材
Ｐ：駆動信号
ＰＷ：パルス幅 
【図１】
2015044324.tif 000004
【図２】
2015044324.tif 000005
【図３】
2015044324.tif 000006
【図４】
2015044324.tif 000007
【図５】
2015044324.tif 000008
【図６】
2015044324.tif 000009
【図７】
2015044324.tif 000010
【図８】
2015044324.tif 000011