(57)【要約】【課題】所望波長の照明光を高分解能で出射可能で、かつ照明光の光量損失を抑制可能な光源装置及び観察装置を提供する。【解決手段】光源装置は、光源部１１と、光源部１１からの光を集光する集光レンズ１１２、及び所定の径の平行光とするコリメーター１１３とを有する集光部と、一対の反射膜のギャップ寸法に応じた波長の光を出射する波長可変干渉フィルター５と、を備え、上記所定の径は、波長可変干渉フィルター５において一対の反射膜が対向する対向領域のサイズよりも小さい。【選択図】図２
2015139559.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源部と、
前記光源部からの光を集光し、かつ所定の径の平行光とする集光部と、
互いに対向する一対の反射膜を有し、前記平行光のうち前記一対の反射膜のギャップ寸法に応じた波長の光を出射する干渉フィルターと、を備え、
前記所定の径は、前記干渉フィルターにおいて前記一対の反射膜が対向する対向領域のサイズよりも小さい
ことを特徴とする光源装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光源装置において、
前記平行光は、前記干渉フィルターにおける前記対向領域のうち、出射光の波長が前記ギャップ寸法に応じた目標波長に対して所定の許容誤差範囲となる有効領域に入射される
ことを特徴とする光源装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の光源装置において、
前記所定の径は、２．５ｍｍ以下である
ことを特徴とする光源装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の光源装置において、
前記平行光の光路上から前記干渉フィルターを退避させる退避手段を備えている
ことを特徴とする光源装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の光源装置において、
前記干渉フィルターを収納し、前記干渉フィルターへの入射光を通過させる窓部を有する筐体を備え、
前記集光部は、前記平行光を出射するコリメーターを有し、当該コリメーターは、前記窓部に設けられている
ことを特徴とする光源装置。
【請求項６】
光源部、前記光源部からの光を集光し、かつ所定の径の平行光とする集光部、及び、互いに対向する一対の反射膜を有し、前記平行光のうち前記一対の反射膜のギャップ寸法に応じた波長の光を出射する干渉フィルター、を備え、前記所定の径は、前記干渉フィルターにおいて前記一対の反射膜が対向する対向領域のサイズよりも小さい光源装置と、
前記光源装置から出射された光を導光して対象を照明する照明光学系と、
前記対象からの反射光を観察する観察部と、を具備している
ことを特徴とする観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光源装置及び観察装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定波長の光を選択的に取り出して出射する光源装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１には、光源からの光のうち所定波長の光を取り出すために、ファブリーペーロー型可変干渉装置（干渉フィルター）を用いている。具体的には、特許文献１に記載の装置では、光源からの光をレンズで平行光とし、この平行光を干渉フィルターに入射させている。
【０００３】
特許文献１に記載されるような光源装置では、干渉フィルターを用いることで、例えばＡＯＴＦ（Acousto Optic Tunable Filter）やＬＣＴＦ（Liquid Crystal Tunable Filter）等の他の分光装置を用いる場合と比べて、光源装置の小型化が可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１−１０２４１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述の干渉フィルターは、通常、一対の反射膜が対向する領域に光を入射させて、所望波長の光を出射させる。このような干渉フィルターを用いた光源装置において、照明光の光量損失を抑制するためには、光源からの光が干渉フィルターの反射膜に入射するよう、当該反射膜面積を大きくすることが考えられる。
しかしながら、反射膜の面積を大きくすると、反射膜に撓みが発生し易くなり、分解能が低下するという課題がある。
【０００６】
本発明は、所望波長の照明光を高分解能で出射可能で、かつ照明光の光量損失を抑制可能な光源装置及び観察装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の光源装置は、光源部と、前記光源部からの光を集光し、かつ所定の径の平行光とする集光部と、互いに対向する一対の反射膜を有し、前記平行光のうち前記一対の反射膜のギャップ寸法に応じた波長の光を出射する干渉フィルターと、を備え、前記所定の径は、前記干渉フィルターにおいて前記一対の反射膜が対向する対向領域のサイズよりも小さいことを特徴とする。
【０００８】
本発明では、集光部によって、光源部からの光を干渉フィルターの一対の反射膜の対向領域より小さい径の平行光として、干渉フィルターに入射させる。
ここで、例えば、有効領域に重なる開口を有するアパーチャーが干渉フィルターの光入射側に設けられている場合、有効領域の径より大きい平行光を干渉フィルターに入射させると、有効領域外に入射した光はアパーチャーによって遮光される。すなわち、集光された光の一部が遮光され、光源装置の光量が低減する。
また、反射膜の膜厚方向から見た平面視において、反射膜の外周縁近傍は、反射膜の中心部に比べて、撓みが大きい部分や、厚みが不均一な部分等が存在する可能性が高い。したがって、反射膜の外周縁近傍は、中心部に比べて、出射光の波長のばらつきが大きく、分解能が悪いおそれがある。したがって、例えば、上記アパーチャーが設けられていない場合、一対の反射膜の対向領域全体に光を入射させると、干渉フィルターからの出射光の分解能が低下するおそれがある。
これに対して、本発明では、光源部からの光を一対の反射膜が対向する対向領域のサイズより小さい平行光にして入射させる。この場合、当該平行光を反射膜の中心部に入射させることで、光源部からの光の利用効率の低下を抑制でき、光量損失を抑制できる。また、平行光を、反射膜の外周縁の近傍を避けて中心部に入射させることで、干渉フィルターからの出射光の分解能の低下を抑制できる。
すなわち、光源部から出射された光から、所定波長の光を、高効率かつ高分解能で取り出し、照明光とすることができる。
【０００９】
本発明の光源装置において、前記平行光は、前記干渉フィルターにおける前記対向領域のうち、出射光の波長が前記ギャップ寸法に応じた目標波長に対して所定の許容誤差範囲となる有効領域に入射されることが好ましい。
ここで、所定の許容範囲とは、光源装置から出射される光の波長の誤差として許容される範囲であり、用途に応じて適宜設定されるものである。
【００１０】
本発明では、干渉フィルターにおける対向領域のうち、出射光の波長が目標波長に対して所定許容誤差範囲となる領域内に平行光を入射させている。このため、干渉フィルターからの出射光における分解能の低下をより確実に抑制でき、所望の目標波長の光を光源装置から出力させることができる。
【００１１】
本発明の光源装置において、前記所定の径は、２．５ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１２】
本発明では、所定の径を２．５ｍｍ以下とすることにより、干渉フィルターからの出射光の、進行方向に直交する面内における波長のばらつきを示す標準偏差の値を５ｎｍ以下に抑えることができる。これにより、干渉フィルターの反射膜間の寸法を変更する等により、干渉フィルターから複数の波長の照明光をそれぞれ出射させる際、１０ｎｍ間隔で波長を変更しても、最も近い目標波長間で照明光の波長を区別することができ、波長の変更間隔を十分に小さくすることができる。
【００１３】
本発明の光源装置において、前記平行光の光路上から前記干渉フィルターを退避させる退避手段を備えていることが好ましい。
【００１４】
本発明では、干渉フィルターを平行光の光路上に配置した配置位置から、当該光路上から退避された退避位置に、干渉フィルターを退避させる退避手段を備える。これにより、干渉フィルターを退避位置に退避させることができ、分光された光と、分光されていない光（すなわち、光源部からの光）との間で、照明光を容易に変更できる。
【００１５】
本発明の光源装置において、前記干渉フィルターを収納し、前記干渉フィルターへの入射光を通過させる窓部を有する筐体を備え、前記集光部は、前記平行光を出射するコリメーターを有し、当該コリメーターは、前記窓部に設けられていることが好ましい。
【００１６】
本発明では、集光部のコリメーターが設けられた筐体の内部に、干渉フィルターが収納されている。このため、例えば反射膜への異物の付着等を抑制でき、衝撃等から干渉フィルターを保護することができる。
【００１７】
本発明の観察装置は、光源部、前記光源部からの光を集光し、かつ所定の径の平行光とする集光部、及び、互いに対向する一対の反射膜を有し、前記平行光のうち前記一対の反射膜のギャップ寸法に応じた波長の光を出射する干渉フィルター、を備え、前記所定の径は、前記干渉フィルターにおいて前記一対の反射膜が対向する対向領域のサイズよりも小さい光源装置と、前記光源装置から出射された光を導光して対象を照明する照明光学系と、前記対象からの反射光を観察する観察部と、を具備していることを特徴とする。
【００１８】
本発明では、上記発明と同様に、集光部によって、光源部からの光を干渉フィルターの一対の反射膜の対向領域より小さい径の平行光として、干渉フィルターに入射させる。
したがって、上記発明と同様に、光源部から出射された光から、所定波長の光を、高効率かつ高分解能で取り出し、照明光とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の観察装置の第一実施形態である眼底観察装置の概略構成を示す図。
【図２】第一実施形態の光源ユニットの概略構成を示す図。
【図３】第一実施形態の波長可変干渉フィルターの概略構成を示す平面図。
【図４】第一実施形態の波長可変干渉フィルターの概略構成を示す断面図。
【図５】第一実施形態の光学フィルターデバイスの概略構成を示す断面図。
【図６】光源装置から照射された照明光の波長の面内分布の一例を模式的に示す図。
【図７】光入射領域の径別の照明光の波長の度数分布の一例を示すグラフ。
【図８】光入射領域の径と照明光の波長の標準偏差との一例を示すグラフ。
【図９】第二実施形態の光学フィルターデバイスの概略構成を示す図。
【図１０】第二実施形態の光源ユニットの概略構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
［第一実施形態］
以下、本発明に係る光源装置及び眼底観察装置の第一実施形態について、図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態の眼底観察装置１における概略構成を示す図である。
図１に示すように、本実施形態の眼底観察装置１は、光源装置１０と、光学装置２０と、入出力装置３０と、制御装置４０と、を備えている。
この眼底観察装置１は、光源装置１０からの光を眼底に照射し、眼底からの反射光である観察光を撮像して眼底像を取得する装置である。
【００２１】
［光源装置の構成］
光源装置１０は、波長可変干渉フィルター５が筐体６１０に収納され構成された光学フィルターデバイス６００を含む光源ユニット１１と、駆動制御部１２と、退避手段１３と、を備えている。波長可変干渉フィルター５は、後に詳述するが、所定の有効径を有する有効領域に入射された光から、所定波長の光を選択的に取り出す光学素子である。
また、光源ユニット１１は、後述する光源部１１１からの光を波長可変干渉フィルター５に入射させ、取り出された所定波長の光を照明光として出射する。
【００２２】
図２は、光源ユニット１１の概略構成を示す図である。
図２に示すように、光源ユニット１１は、光源部１１１と、集光レンズ１１２と、コリメーター１１３と、拡大レンズ１１４と、コリメーター１１５と、を備える。
光源部１１１は、眼底観察に用いる波長帯域の光を出射可能な光源である。光源部１１１としては、例えば、キセノンやハロゲン等が封入されたタングステンランプといった各種白熱光源や、ＬＥＤ等を用いることができる。光源部１１１は、光源以外にもリフレクター等を適宜備えていてもよい。
集光レンズ１１２は、光源部１１１から出射された光を集光する。集光レンズ１１２は、図２に示すように、複数のレンズ面を備える複レンズである。なお、図２に示す例では、光源部１１１側から６つのレンズ面Ｓ１〜Ｓ６を有する。
【００２３】
コリメーター１１３は、集光レンズ１１２によって所定の径まで集光された光を平行光とし、波長可変干渉フィルター５に入射させる。本実施形態では、コリメーター１１３は、集光レンズ１１２と同様に複数のレンズ面を備える。コリメーター１１３は、図２に示す例では、光源部１１１側から３つのレンズ面Ｓ７〜Ｓ９を有する。なお、この集光レンズ１１２及びコリメーター１１３は、本発明の集光部に相当する。
ここで、コリメーター１１３によって平行光とされた光の径は、後述する波長可変干渉フィルター５の有効領域Ｆ２（図３に示す、一対の反射膜が対向する対向領域Ｆ１よりも小さいサイズの領域）の径以下である（以下、有効領域の径を有効径とも称する）。
【００２４】
拡大レンズ１１４は、コリメーター１１３から出射され波長可変干渉フィルター５を透過した所定波長の光が入射され、この入射された光を拡大する。本実施形態では、拡大レンズ１１４は、集光レンズ１１２と同様に複数のレンズ面を備える。拡大レンズ１１４は、図２に示す例では、光源側から３つのレンズ面Ｓ１０〜Ｓ１２を有する。
コリメーター１１５は、拡大レンズ１１４によって拡大された光を平行光する。本実施形態では、コリメーター１１５は、駆動制御部１２と同様に複数のレンズ面を備える。コリメーター１１５は、図２に示す例では、光源部１１１側から３つのレンズ面Ｓ１３〜Ｓ１５を有する。
【００２５】
本実施形態では、各レンズ面Ｓ１〜Ｓ１５の曲率半径や、各レンズ面間の距離や、レンズ面間の材質を下記表１のように設定した場合について、一例として示している。
なお、表１における距離の欄には、光の進行方向において、当該欄に対応するレンズ面とその一つ前のレンズ面との間の距離が記載されている。例えば、レンズ面Ｓ２に対する距離は、レンズ面Ｓ１からレンズ面Ｓ２までの距離を記載している。なお、レンズ面Ｓ１に対する距離は光源部１１１からレンズ面Ｓ１までの距離である。
また、表１における材質の欄には、光の進行方向において、当該欄に対応するレンズ面とその一つ前のレンズ面との間の光路上の材質が記載されている。例えば、レンズ面Ｓ２に対する材質は、レンズ面Ｓ１からレンズ面Ｓ２までの間の材質を記載している。
【００２６】
【表１】
2015139559.tif 000003
【００２７】
表１に示すように、各光学素子集光レンズ１１２，コリメーター１１３，拡大レンズ１１４，コリメーター１１５を設定することにより、光源部１１１からの光の取り込み角θを約３６°とすることができる。
また、コリメーター１１３から出射された光の径を、約２．５ｍｍとすることができ、後述する波長可変干渉フィルター５の有効径と略同じとすることができる。
なお、コリメーター１１５から、すなわち光源装置１０からの出射光の径φを１８ｍｍとしている。このように、波長可変干渉フィルター５の有効径に対して、光源装置１０の出射光の径φを大きくすることができる。
【００２８】
［波長可変干渉フィルターの構成］
波長可変干渉フィルター５は、本発明の光学素子の一例である。
図３は、波長可変干渉フィルター５の概略構成を示す平面図であり、図４は、図３のIV−IV線で切断した、波長可変干渉フィルター５の概略構成を示す断面図である。
波長可変干渉フィルター５は、図３に示すように、それぞれ反射膜が設けられた固定基板５１及び可動基板５２を備えている。これらの固定基板５１及び可動基板５２は、それぞれ例えば、ソーダガラス、結晶性ガラス、石英ガラス、鉛ガラス、カリウムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス等の各種ガラスや、水晶等により形成されている。そして、これらの固定基板５１及び可動基板５２は、図４に示すように、接合膜５３（第一接合膜５３１及び第二接合膜５３２）により接合されることで、一体的に構成されている。具体的には、固定基板５１の第一接合部５１３、及び可動基板５２の第二接合部５２３が、例えばシロキサンを主成分とするプラズマ重合膜等により構成された接合膜５３により接合されている。
なお、以降の説明に当たり、固定基板５１又は可動基板５２の基板厚み方向から見た平面視、つまり、固定基板５１、接合膜５３、及び可動基板５２の積層方向から波長可変干渉フィルター５を見た平面視を、フィルター平面視と称する。
【００２９】
固定基板５１は、光入射側に配置される基板である。この固定基板５１には、図４に示すように、本発明の一対の反射膜の一方を構成する固定反射膜５４が設けられている。また、可動基板５２には、本発明の一対の反射膜の他方を構成する可動反射膜５５が設けられている。これらの固定反射膜５４及び可動反射膜５５は、反射膜間ギャップＧ１を介して対向配置（以下、各反射膜５４，５５が対向する領域を対向領域Ｆ１とも称する）されている。
そして、波長可変干渉フィルター５には、反射膜間ギャップＧ１の距離（ギャップ寸法）を調整するのに用いられる静電アクチュエーター５６が設けられている。この静電アクチュエーター５６は、固定基板５１に設けられた固定電極５６１と、可動基板５２に設けられた可動電極５６２と、を備え、各電極５６１，５６２が対向することにより構成されている。これらの固定電極５６１，可動電極５６２は、電極間ギャップを介して対向する。ここで、これらの電極５６１，５６２は、それぞれ固定基板５１及び可動基板５２の基板表面に直接設けられる構成であってもよく、他の膜部材を介して設けられる構成であってもよい。
なお、本実施形態では、反射膜間ギャップＧ１が電極間ギャップよりも小さく形成される構成を例示するが、例えば波長可変干渉フィルター５により透過させる波長域によっては、反射膜間ギャップＧ１を電極間ギャップよりも大きく形成してもよい。
また、フィルター平面視において、固定基板５１の辺Ｃ１−Ｃ２は、可動基板５２の辺Ｃ１´−Ｃ２´よりも外側に突出し、固定側電装部５１４を構成する。また、可動基板５２の辺Ｃ３´−Ｃ４´は、固定基板５１の辺Ｃ３−Ｃ４よりも外側に突出し、可動側電装部５２４を構成する。
【００３０】
（固定基板の構成）
固定基板５１には、エッチングにより電極配置溝５１１及び反射膜設置部５１２が形成されている。この固定基板５１は、可動基板５２に対して厚み寸法が大きく形成されており、固定電極５６１及び可動電極５６２間に電圧を印加した際の静電引力や、固定電極５６１の内部応力による固定基板５１の撓みはない。
【００３１】
電極配置溝５１１は、フィルター平面視で、固定基板５１の平面中心点Ｏを中心とした環状に形成されている。反射膜設置部５１２は、前記平面視において、電極配置溝５１１の中心部から可動基板５２側に突出して形成されている。この電極配置溝５１１の溝底面は、固定電極５６１が配置される電極設置面５１１Ａとなる。また、反射膜設置部５１２の突出先端面は、反射膜設置面５１２Ａとなる。
また、固定基板５１には、電極配置溝５１１から固定側電装部５１４までの領域、及び電極配置溝５１１から辺Ｃ３−Ｃ４までの領域に接続電極溝５１１Ｂが設けられている。なお、本実施形態では、電極設置面５１１Ａ、接続電極溝５１１Ｂの底部、及び固定側電装部５１４の表面は同一平面となる。
【００３２】
電極設置面５１１Ａには、静電アクチュエーター５６を構成する固定電極５６１が設けられている。より具体的には、固定電極５６１は、電極設置面５１１Ａのうち、後述する可動部５２１の可動電極５６２に対向する領域に設けられている。また、固定電極５６１上に、固定電極５６１及び可動電極５６２の間の絶縁性を確保するための絶縁膜が積層される構成としてもよい。
そして、固定基板５１には、固定電極５６１の外周縁に接続された固定接続電極５６３が設けられている。この固定接続電極５６３は、電極配置溝５１１から固定側電装部５１４に向かう接続電極溝５１１Ｂ、固定側電装部５１４に亘って設けられている。この固定接続電極５６３は、固定側電装部５１４において、後述する内側端子部に電気的に接続される固定電極パッド５６３Ｐを構成する。
なお、本実施形態では、電極設置面５１１Ａに１つの固定電極５６１が設けられる構成を示すが、例えば、平面中心点Ｏを中心とした同心円となる２つの電極が設けられる構成（二重電極構成）などとしてもよい。その他、固定反射膜５４上に透明電極を設ける構成や、導電性の固定反射膜５４を用い、当該固定反射膜５４から固定側電装部５１４に接続電極を形成してもよく、この場合、固定電極５６１として、接続電極の位置に応じて、一部が切り欠かれた構成などとしてもよい。
【００３３】
反射膜設置部５１２は、上述したように、電極配置溝５１１と同軸上で、電極配置溝５１１よりも小さい径寸法となる略円柱状に形成され、当該反射膜設置部５１２の可動基板５２に対向する反射膜設置面５１２Ａを備えている。
この反射膜設置部５１２には、図４に示すように、固定反射膜５４が設置されている。この固定反射膜５４としては、例えばＡｇ等の金属膜や、Ａｇ合金等の合金膜を用いることができる。また、例えば高屈折層をＴｉＯ２、低屈折層をＳｉＯ２とした誘電体多層膜を用いてもよい。さらに、誘電体多層膜上に金属膜（又は合金膜）を積層した反射膜や、金属膜（又は合金膜）上に誘電体多層膜を積層した反射膜、単層の屈折層（ＴｉＯ２やＳｉＯ２等）と金属膜（又は合金膜）とを積層した反射膜などを用いてもよい。
【００３４】
また、固定基板５１の光入射面（固定反射膜５４が設けられない面）には、固定反射膜５４に対応する位置に反射防止膜を形成してもよい。この反射防止膜は、低屈折率膜及び高屈折率膜を交互に積層することで形成することができ、固定基板５１の表面での可視光の反射率を低下させ、透過率を増大させる。
【００３５】
そして、固定基板５１の可動基板５２に対向する面のうち、エッチングにより、電極配置溝５１１、反射膜設置部５１２、及び接続電極溝５１１Ｂが形成されない面は、第一接合部５１３を構成する。この第一接合部５１３には、第一接合膜５３１が設けられ、この第一接合膜５３１が、可動基板５２に設けられた第二接合膜５３２に接合されることで、上述したように、固定基板５１及び可動基板５２が接合される。
【００３６】
（可動基板の構成）
可動基板５２は、平面中心点Ｏを中心とした円形状の可動部５２１と、可動部５２１と同軸であり可動部５２１を保持する保持部５２２と、を備えている。
【００３７】
可動部５２１は、保持部５２２よりも厚み寸法が大きく形成される。この可動部５２１は、フィルター平面視において、少なくとも反射膜設置面５１２Ａの外周縁の径寸法よりも大きい径寸法に形成されている。そして、この可動部５２１には、可動電極５６２及び可動反射膜５５が設けられている。
なお、固定基板５１と同様に、可動部５２１の固定基板５１とは反対側の面には、反射防止膜が形成されていてもよい。このような反射防止膜は、低屈折率膜及び高屈折率膜を交互に積層することで形成することができ、可動基板５２の表面での可視光の反射率を低下させ、透過率を増大させることができる。
【００３８】
可動電極５６２は、ギャップＧ２を介して固定電極５６１に対向し、固定電極５６１と同一形状となる環状に形成されている。この可動電極５６２は、固定電極５６１とともに静電アクチュエーター５６を構成する。また、可動基板５２には、可動電極５６２の外周縁に接続された可動接続電極５６４が設けられている。この可動接続電極５６４は、可動部５２１から、固定基板５１の辺Ｃ３−Ｃ４側に設けられた接続電極溝５１１Ｂに対向する位置、可動側電装部５２４に亘って設けられ、可動側電装部５２４において、内側端子部に電気的に接続される可動電極パッド５６４Ｐを構成する。
【００３９】
可動反射膜５５は、可動部５２１の可動面５２１Ａの中心部に、固定反射膜５４とギャップＧ１を介して対向して設けられる。この可動反射膜５５としては、上述した固定反射膜５４と同一の構成の反射膜が用いられる。
なお、本実施形態では、上述したように、ギャップＧ２がギャップＧ１の寸法よりも大きい例を示すがこれに限定されない。例えば、測定対象光として赤外線や遠赤外線を用いる場合等、測定対象光の波長域によっては、ギャップＧ１の寸法が、ギャップＧ２の寸法よりも大きくなる構成としてもよい。
【００４０】
保持部５２２は、可動部５２１の周囲を囲うダイアフラムであり、可動部５２１よりも厚み寸法が小さく形成されている。このような保持部５２２は、可動部５２１よりも撓みやすく、僅かな静電引力により、可動部５２１を固定基板５１側に変位させることが可能となる。この際、可動部５２１が保持部５２２よりも厚み寸法が大きく、剛性が大きくなるため、保持部５２２が静電引力により固定基板５１側に引っ張られた場合でも、可動部５２１の形状変化が起こらない。したがって、可動部５２１に設けられた可動反射膜５５の撓みも生じず、固定反射膜５４及び可動反射膜５５を常に平行状態に維持することが可能となる。
なお、本実施形態では、ダイアフラム状の保持部５２２を例示するが、これに限定されず、例えば、平面中心点Ｏを中心として、等角度間隔で配置された梁状の保持部が設けられる構成などとしてもよい。
【００４１】
可動基板５２において、第一接合部５１３に対向する領域は、第二接合部５２３となる。この第二接合部５２３には、第二接合膜５３２が設けられ、上述したように、第二接合膜５３２が第一接合膜５３１に接合されることで、固定基板５１及び可動基板５２が接合さる。
【００４２】
このように構成された波長可変干渉フィルター５では、固定基板５１側から光が入射され、目的波長に応じて設定されたギャップＧ１の寸法に対応する波長の光が可動基板５２側から出射される。
波長可変干渉フィルター５に対して、フィルター平面視において平面中心点Ｏを中心とした所定の径の有効領域Ｆ２が設定されている。この有効領域Ｆ２は、目的波長に対して所定の許容量以下の誤差の波長の光を出射可能な領域である。
なお、波長可変干渉フィルター５に対して、フィルター平面視において有効領域Ｆ２に重なる位置に開口を有するアパーチャーを固定基板５１の光入射側に設けてもよい。これにより、有効領域Ｆ２に光を入射させることができる。
【００４３】
［光学フィルターデバイスの概略構成］
図５は、光学フィルターデバイス６００の概略構成を示す断面図である。
図５に示すように、光学フィルターデバイス６００は、筐体６１０と、筐体６１０の内部に収納される波長可変干渉フィルター５と、を備えている。
筐体６１０は、図５に示すように、ベース６２０と、リッド６３０と、を備えている。これらのベース６２０及びリッド６３０が接合されることで、内部に収容空間が形成され、この収容空間内に波長可変干渉フィルター５が収納される。
【００４４】
（ベースの構成）
ベース６２０は、例えばセラミック等により構成されている。このベース６２０は、台座部６２１と、側壁部６２２と、を備える。
台座部６２１は、フィルター平面視において例えば矩形状の外形を有する平板状に構成されており、この台座部６２１の外周部から筒状の側壁部６２２がリッド６３０に向かって立ち上がる。
【００４５】
台座部６２１は、厚み方向に貫通する開口部６２３を備えている。この開口部６２３は、台座部６２１に波長可変干渉フィルター５を収容した状態で、台座部６２１を厚み方向から見た平面視において、反射膜５４，５５と重なる領域を含むように設けられている。
また、台座部６２１のリッド６３０とは反対側の面（ベース外側面６２１Ｂ）には、開口部６２３を覆うガラス部材６２７が接合されている。台座部６２１とガラス部材６２７との接合は、例えば、ガラス原料を高温で熔解し、急冷したガラスのかけらであるガラスフリット（低融点ガラス）を用いた低融点ガラス接合、エポキシ樹脂等による接着などを利用できる。本実施形態では、収容空間内が減圧下に維持された状態で気密に維持する。したがって、台座部６２１及びガラス部材６２７は、低融点ガラス接合を用いて接合されることが好ましい。
【００４６】
また、台座部６２１のリッド６３０に対向する内面（ベース内側面６２１Ａ）には、波長可変干渉フィルター５の各電極パッド５６３Ｐ，５６４Ｐに接続される内側端子部６２４が設けられている。内側端子部６２４と、各電極パッド５６３Ｐ，５６４Ｐとは、例えばワイヤーボンディングにより、Ａｕ等のワイヤーを用いて接続される。なお、本実施形態では、ワイヤーボンディングを例示するが、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）等を用いてもよい。
また、台座部６２１は、内側端子部６２４が設けられる位置に、貫通孔６２５が形成されている。内側端子部６２４は、貫通孔６２５を介して、台座部６２１のベース外側面６２１Ｂに設けられた外側端子部６２６に接続されている。
【００４７】
側壁部６２２は、台座部６２１の縁部から立ち上がり、ベース内側面６２１Ａに載置された波長可変干渉フィルター５の周囲を覆っている。側壁部６２２のリッド６３０に対向する面（端面６２２Ａ）は、例えばベース内側面６２１Ａに平行な平坦面となる。なお、側壁部６２２のリッド６３０側の端部は開口し、光源部１１１からの光が入射される窓部６２８を形成している。
【００４８】
そして、ベース６２０には、例えば接着剤等の固定材を用いて、波長可変干渉フィルター５が固定される。この際、波長可変干渉フィルター５は、台座部６２１に対して固定されていてもよく、側壁部６２２に対して固定されていてもよい。固定材を設ける位置としては、複数個所であってもよいが、固定材の応力が波長可変干渉フィルター５に伝達するのを抑制するべく、１か所で波長可変干渉フィルター５を固定することが好ましい。
【００４９】
（リッドの構成）
リッド６３０は、平面視において矩形状の外形を有する透明部材であり、例えばガラス等により構成される。
リッド６３０は、図５に示すように、ベース６２０の側壁部６２２の開口部である窓部６２８を覆い、側壁部６２２に接合されている。この接合方法としては、例えば、低融点ガラスを用いた接合等が例示できる。
なお、フィルター平面視において、波長可変干渉フィルター５の有効領域Ｆ２に重なる位置に開口を有するアパーチャーをリッド６３０に設けてもよい。これにより、波長可変干渉フィルター５の有効領域Ｆ２に光を入射させることができる。
【００５０】
［駆動制御部の構成］
駆動制御部１２は、制御装置４０の制御に基づいて、波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６に対して駆動電圧を印加する。これにより、静電アクチュエーター５６の固定電極５６１及び可動電極５６２間で静電引力が発生し、可動部５２１が固定基板５１側に変位する。
【００５１】
［退避手段の構成］
退避手段１３は、光学フィルターデバイス６００を光路Ｌ（図２参照）上から退避させる。退避手段１３は、例えば、光学フィルターデバイス６００を支持する支持部材を備え、この支持部材にレバーを設け、ユーザーがレバーを操作することで、手動により光学フィルターデバイス６００を退避可能に構成される。また、退避手段１３は、例えば、光学フィルターデバイス６００を支持する支持部材と、支持部材を移動させるレールと、当該支持部材をレールに沿って移動させるモーター等の駆動装置とを備え、ユーザーの退避指示に基づいて、光学フィルターデバイス６００を退避させるように構成されてもよい。
【００５２】
［光学装置の構成］
光学装置２０は、ビームスプリッター２１と、集光レンズ２２と、対物レンズ２３と、撮像素子２４と、検出信号処理部２５と、を備えている。なお、光学装置２０は、図示しないが、上記各光学素子２１〜２３を内部に収容する鏡筒や、各部材２１〜２５を収納する筐体を適宜備えている。
【００５３】
ビームスプリッター２１は、反射面２１Ａに入射した光の一部を反射し、一部を透過することで、当該反射面２１Ａに入射した光を分割する。
集光レンズ２２は、入射した光を集光する。
対物レンズ２３は、光学装置２０の光路上において最も観察対象側に配置され、観察対象である眼底に光を結像させる。本実施形態では、対物レンズ２３は、一例として、二つの集光レンズを備えている。
【００５４】
撮像素子２４は、対物レンズ２３によって眼底に集光され反射された光を受光し、眼底画像を撮像する。眼底からの反射光は、集光レンズ２２及び対物レンズ２３によって撮像素子２４の撮像面に結像される。撮像素子２４は、撮像画像、すなわち、撮像面の各画素についての受光量に応じた検出信号を検出信号処理部２５に出力する。
検出信号処理部２５は、撮像素子２４から入力された検出信号（アナログ信号）を増幅したのち、デジタル信号に変換して制御装置４０に出力する。検出信号処理部２５は、検出信号を増幅するアンプや、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器等により構成される。
【００５５】
このように構成された光学装置２０は、本発明の照明光学系として機能し、光源装置１０から出射された光の少なくとも一部はビームスプリッター２１によって反射され、集光レンズ２２及び対物レンズ２３を透過し、観察対象である眼底Ｘに結像し照明する。
また、眼底Ｘで結像した光の一部は反射して光学装置２０に入射し、ビームスプリッター２１、集光レンズ２２及び対物レンズ２３を透過して撮像素子２４に結像する。
なお、本実施形態ではビームスプリッター２１を用いたが、ビームスプリッター２１の代りに穴あきミラーを用い、眼底Ｘからの反射光を穴あきミラーの開口部を通過させるように構成してもよい。
【００５６】
［入出力装置の構成］
入出力装置３０は、画像を表示する表示部３１と、ユーザーの操作を検出する操作部３２と、を備えている。
表示部３１は、例えば、液晶パネル、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）、有機ＥＬディスプレイパネル等の各種表示パネルにより構成されている。表示部３１は、表示制御部４３の制御により眼底観察装置１による眼底観察結果等を表示する。すなわち、光学装置２０及び表示部３１は、本発明の観察部に相当する。
操作部３２は、例えば、マウス、キーボード、タッチパネル等のユーザー操作を検出可能な各種装置で構成されている。
【００５７】
［制御装置の構成］
制御装置４０は、例えばＣＰＵやメモリー等が組み合わされることで構成され、眼底観察装置１の全体動作を制御する。この制御装置４０は、図１に示すように、波長設定部４１と、光量取得部４２と、表示制御部４３と、退避制御部４４と、記憶部４５と、を備えている。
また、記憶部４５には、波長可変干渉フィルター５を透過させる光の波長と、当該波長に対応して静電アクチュエーター５６に印加する駆動電圧との関係を示すＶ−λデータが記憶されている。また、眼底観察装置１を制御するための各種プログラムやデータ等が記憶されている。
【００５８】
波長設定部４１は、波長可変干渉フィルター５により取り出す光の目的波長を設定し、Ｖ−λデータに基づいて、設定した目的波長に対応する駆動電圧を静電アクチュエーター５６に印加させる旨の指令信号を駆動制御部１２に出力する。
ここで、波長設定部４１は、観察対象や観察方法に応じた波長域に含まれる波長に設定する。一例としては、網膜深層や脈絡膜等を観察する場合、赤色波長域（例えば６６０ｎｍ〜７２０ｎｍ）に含まれる波長を目的波長に設定する。
【００５９】
光量取得部４２は、撮像素子２４により取得された光量に基づいて、波長可変干渉フィルター５を透過した目的波長の光の光量を取得する。
表示制御部４３は、光量取得部４２によって取得された光量に基づく観察画像を生成し、表示部３１に表示させる。なお、表示制御部４３は、観察画像以外の各種の画像を表示部３１に表示させる。
退避制御部４４は、操作部３２を用いて入力されたユーザーの操作指示等に応じて退避手段１３を制御し、光学フィルターデバイス６００を光源装置１０における光路Ｌ上の配置位置から光路Ｌ上から退避された退避位置に退避させる。また、退避制御部４４は、ユーザーの操作指示等に応じて退避手段１３を制御し、光学フィルターデバイス６００を退避位置から配置位置に移動させる。
【００６０】
［眼底観察装置の動作の概要］
上述のように構成された眼底観察装置１は、観察対象や観察方法に応じた波長帯域から選択された目的波長の光を波長可変干渉フィルター５から出射させ、当該光を眼底Ｘに結像させ、反射光を撮像素子２４で受光し、観察画像を撮像する。
具体的には、波長設定部４１は、記憶部４５に記憶されたＶ−λデータから、目的波長に対する駆動電圧を読み出し、当該駆動電圧を静電アクチュエーター５６に印加する旨の指令信号を駆動制御部１２に出力する。これにより、静電アクチュエーター５６に駆動電圧が印加され、ギャップＧ１が、測定波長に対応した寸法に設定される。ギャップＧ１が設定されると、波長可変干渉フィルター５から測定波長の光が透過される。なお、目的波長は、観察対象や観察方法に応じた波長帯域から複数の波長を目的波長として選択してもよいし、１つの波長を選択してもよい。
【００６１】
また、退避制御部４４は、ユーザーによる退避指示を操作部３２の操作に基づいて検出し、光学フィルターデバイス６００を光路Ｌ上から退避させる。光学フィルターデバイス６００が退避した状態では、光源ユニット１１からの光が、分光されずに眼底Ｘに結像される。
また、退避制御部４４は、同様に、ユーザーによる指示に基づいて、光路Ｌ上から退避された光学フィルターデバイス６００を光路Ｌ上に配置する。
【００６２】
［実施例］
以下、上述のように構成される眼底観察装置１を用いた一実施例について図面を用いて説明する。
本実施例では、波長可変干渉フィルター５の各反射膜５４，５５が対向する対向領域Ｆ１の径を３．０ｍｍとし、光を入射する領域（光入射領域）の径を２．７ｍｍとした。また、目的波長を４３２ｎｍとした。
そして、光源装置１０から照射された照明光について、光路の直交面内における波長を、撮像素子２４の各画素に対応する各領域のそれぞれで測定した。
【００６３】
図６は、光源装置１０から照射された照明光の波長の面内分布の一例を示す図である。なお、図６では、４１０ｎｍから４５０ｎｍまでで５ｎｍ間隔に設定された９個の波長のそれぞれを中心とする、５ｎｍの幅の各波長帯域について、照明光の波長の分布を示している。
【００６４】
図６に示すように、光入射領域の中心点Ｐから外周縁に向かうにつれて、目的波長からの誤差が大きくなる傾向にあることがわかる。また、光入射領域の外周縁の周辺では、最小値と最大値との間で４０ｎｍ程度の誤差があることがわかる。したがって、光源部１１１からの光を対向領域Ｆ１のサイズより小さい平行光にして、対向領域Ｆ１の中心部に入射させて、対向領域Ｆ１よりも小さい領域に光源部１１１からの光を入射させることで、出射光の分解能の低下を抑制できる。
【００６５】
図７は、図６の中心点Ｐを中心として、光入射領域の径を次の各値、０．１ｍｍ、０．５ｍｍ、１．０ｍｍ、１．５ｍｍ、２．０ｍｍ、及び２．７ｍｍのそれぞれに設定した場合について、出射光の波長の度数分布を径別に示すグラフである。図７に示すように、径が小さいほど、すなわち中心点Ｐに近い領域ほど、目的波長との誤差が小さかった。逆に、径が大きいほど、波長の分布がブロードになった。
【００６６】
図８は、図７に示す６つの異なる径と、計測された波長の標準偏差との関係を示すグラフである。
例えば、標準偏差の許容値を５ｎｍに設定した場合、図８に示すように、光入射領域の径を２.５ｍｍ以下とすれば、標準偏差の値を許容値の範囲とすることができる。これにより、光入射領域の径、すなわち、波長可変干渉フィルター５へ入射される平行光の径を有効領域Ｆ２の径以下とすることができる。この場合、照明光の波長を複数の波長に変更する際に、１０ｎｍ間隔で波長を変更しても、最も近い波長間で照明光の波長を区別することができる。
【００６７】
ここで、図６の破線は、径が２．５ｍｍの光入射領域の外周縁に相当する。図６に示すように、この破線の内側の領域では、４１０ｎｍの波長に相当する領域と、４５０ｎｍに相当する領域とが除外さている。したがって、光入射領域の径を２.５ｍｍ以下とすれば、波長間の最大誤差が４０ｎｍ未満とすることができ、誤差の最大値を低減することができる。
【００６８】
なお、上記実施例として、各反射膜５４，５５間の対向領域Ｆ１の径が３．０ｍｍである場合について例示したが、３．０ｍｍより大きい場合（例えば、３．５ｍｍ、４．０ｍｍ）でも、光入射領域の径を２．５ｍｍとすることで、照明光の波長の標準偏差を５ｎｍ以下とすることができた。
【００６９】
［第一実施形態の作用効果］
集光レンズ１１２によって、光源部１１１からの光を波長可変干渉フィルター５の一対の反射膜の対向領域Ｆ１より小さい径の平行光として、対向領域Ｆ１の中心に入射させる。
ここで、例えば、有効領域Ｆ２に重なる開口を有するアパーチャーが波長可変干渉フィルター５の光入射側に設けられている場合、有効領域Ｆ２の径より大きい平行光を波長可変干渉フィルター５に入射させると、有効領域Ｆ２外に入射した光はアパーチャーによって遮光される。すなわち、集光された光の一部が遮光され、光源装置１０の光量が低減する。
また、各反射膜５４．５５の膜厚方向から見た平面視において、各反射膜５４，５５の外周縁近傍は、撓みや不均一な厚み部分等が存在する可能性が高い。したがって、各反射膜５４，５５の外周縁近傍は中心部に比べて、出射光のばらつきが多く、分解能が悪い。このため、例えば、上記アパーチャーが設けられていない場合、対向領域Ｆ１全体に光を入射させると、出射光の分解能が低下するおそれがある。
これに対して、光源部１１１からの光を対向領域Ｆ１のサイズより小さい平行光にして、対向領域Ｆ１の中心部に入射させることで、光源部１１１からの光の利用効率の低下を抑制でき、光量損失を抑制できる。また、平行光を、反射膜の外周縁にかかる対向領域Ｆ１の外周縁の近傍を避けて中心部に入射させることで、出射光の分解能の低下を抑制できる。
すなわち、光源部１１１から出射された光から、所定波長の光を、高効率かつ高分解能で取り出し、照明光とすることができる。
【００７０】
また、本実施形態では、特に、対向領域Ｆ１の内側に設定され、出射光の波長が目標波長に対して所定許容誤差範囲となる有効領域Ｆ２内に平行光を入射させている。この場合、波長可変干渉フィルター５からの出射光における分解能の低下をより確実に抑制でき、所望の目標波長の光を出力させることができる。
【００７１】
また、平行光の径を２．５ｍｍ以下とすることにより、波長可変干渉フィルター５からの出射光の波長のばらつきを示す標準偏差の値を５ｎｍ以下に抑えることができる。これにより、異なる複数の波長の照明光を出射する際に、１０ｎｍ間隔で波長を変更しても、最も近い波長間で照明光の波長を区別することができ、波長の変更間隔を十分に小さくすることができる。
【００７２】
また、波長可変干渉フィルター５を配置位置から退避位置に退避させる退避手段１３を備える。これにより、波長可変干渉フィルター５を退避位置に退避させることができ、分光された光と、光源部１１１からの分光されていない光との間で、照明光を容易に変更することができる。
【００７３】
また、筐体６１０により波長可変干渉フィルター５が保護されているため、各反射膜５４，５５への異物の付着等を抑制でき、衝撃等の外的要因による波長可変干渉フィルター５を保護することができる。
また、波長可変干渉フィルター５を光源装置１０に対して、波長可変干渉フィルター５が直接設けられる構成としてもよい。なお、光源装置１０では、複雑な構成を有する等の理由により、波長可変干渉フィルター５を直接設けることが困難な場合がある。本実施形態では、そのような光源装置１０に対しても、波長可変干渉フィルター５を容易に設置可能である。
【００７４】
［第二実施形態］
第一実施形態では、光学フィルターデバイス６００と、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４とをそれぞれ個別に固定していた。これに対して、第二実施形態では、光学フィルターデバイスの筐体を構成するベース６２０にコリメーター１１３及び拡大レンズ１１４を設ける。以下の説明では、第一実施形態に対する相違点について主に説明し、第一実施形態と同様の構成については、説明を省略又は簡略化する。
【００７５】
図９は、第二実施形態の光学フィルターデバイスを模式的に示す図である。
図９に示すように、光学フィルターデバイス６００Ａは、筐体６１０Ａと、筐体６１０Ａの内部に収納される波長可変干渉フィルター５と、を備えている。そして、筐体６１０Ａには、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４が設けられている。具体的には、筐体６１０Ａの光入射側の窓部６２８にコリメーター１１３が、光出射側の開口部６２３に拡大レンズ１１４が設けられている。
【００７６】
なお、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４を筐体６１０Ａに設ける際に、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４をそれぞれ筐体に収容し、当該筐体をベース６２０に固定してもよい。また、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４を、接着剤等でベース６２０に直接固定してもよい。
【００７７】
図１０は、第二実施形態の光源ユニットを模式的に示す図である。
図１０に示すように、光源ユニット１１Ａでは、退避手段１３により光学フィルターデバイス６００Ａが光路Ｌから退避可能に配置されている。
また、光源ユニット１１Ａは、第二コリメーター１１３Ａ及び第二拡大レンズ１１４Ａを備えている。これら第二コリメーター１１３Ａ及び第二拡大レンズ１１４Ａは、保持部材１１６により一体的に保持されている。第二コリメーター１１３Ａ及び第二拡大レンズ１１４Ａは、それぞれコリメーター１１３及び拡大レンズ１１４と同一の光学特性を有する。また、第二コリメーター１１３Ａ及び第二拡大レンズ１１４Ａの相対的な位置関係も、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４と同一に設定されている。
【００７８】
本実施形態では、退避手段１３は、退避指示に応じて、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４を備える光学フィルターデバイス６００Ａを退避させる。この際、退避手段１３は、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４が配置されていた位置に、第二コリメーター１１３Ａ及び第二拡大レンズ１１４Ａが配置されるように、保持部材１１６に保持された第二コリメーター１１３Ａ及び第二拡大レンズ１１４Ａを移動させる。
【００７９】
［第二実施形態の作用効果］
本実施形態では、光学フィルターデバイス６００Ａを構成する筐体６１０Ａのベース６２０の窓部６２８にコリメーター１１３が、開口部６２３に拡大レンズ１１４が設けられている。このような構成では、退避手段１３が筐体６１０Ａごと波長可変干渉フィルター５を退避させる際に、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４も一体的に移動される。これにより、波長可変干渉フィルター５の移動に応じて、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４と波長可変干渉フィルター５との間での位置が変化することを抑制することができる。
【００８０】
また、光源ユニット１１Ａは、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４にそれぞれ対応する光学特性を有し、同一の位置関係で配置された第二コリメーター１１３Ａ及び第二拡大レンズ１１４Ａを備えている。そして、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４を退避させる場合、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４が配置されていた位置に、第二コリメーター１１３Ａ及び第二拡大レンズ１１４Ａを配置する。これにより、光学フィルターデバイス６００Ａと共にコリメーター１１３及び拡大レンズ１１４が退避されても、第二コリメーター１１３Ａ及び第二拡大レンズ１１４Ａが配置位置に配置されるので、光源部１１１からの光を眼底Ｘに結像させることができる。
【００８１】
［その他の実施形態］
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
上記各実施形態では、本発明の観察装置の一例として眼底観察装置１を例示したが本発明はこれに限定されない。例えば、顕微鏡等の所定波長の照明光を出射する光源装置を用いる各種装置に本発明を適用可能である。
【００８２】
上記各実施形態では、撮像素子２４で照明光の波長に対応する観察画像を撮像する構成を例示したが、観察対象の分光スペクトルを測定してもよい。この場合、制御装置４０は、波長可変干渉フィルター５に印加する駆動電圧を順次変化させる。これにより、観察対象に照射される照明光の波長が順次切り替わり、撮像素子２４で受光される。制御装置４０は、これらの各波長の光の光量を取得して、観察対象からの反射光の分光スペクトルを算出する。
【００８３】
上記各実施形態では、観察部として、光学装置２０及び表示部３１を備え、撮像素子２４を備え、観察画像を撮像することができる構成を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、観察部として、撮像素子２４の代りに接眼レンズ等を備え、観察対象を肉眼で観察可能な構成を採用してもよい。
【００８４】
上記第二実施形態では、光学フィルターデバイス６００Ａに対してコリメーター１１３及び拡大レンズ１１４が設けられる構成を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、波長可変干渉フィルター５（光学フィルターデバイス６００）と、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４とが、保持部材により一体的に保持されていてもよい。また、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４をそれぞれ筐体に収容し、当該筐体を光学フィルターデバイス６００に固定してもよい。また、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４を、接着剤等で光学フィルターデバイス６００に直接固定してもよい。このような構成でも、波長可変干渉フィルター５、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４を、相対的な位置関係を維持したまま、退避位置に退避させることができる。
なお、本発明は、波長可変干渉フィルター５に対して、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４の両方を一体的に固定することに限定されず、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４のいずれか一方を固定する構成を採用してもよい。
【００８５】
上記第二実施形態では、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４が退避位置に配置された際に、当該コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４に置換される第二コリメーター１１３Ａ及び第二拡大レンズ１１４Ａを備える構成を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、第二コリメーター１１３Ａ及び第二拡大レンズ１１４Ａの代りに、コリメーター１１３及び拡大レンズ１１４と等価な１つの光学素子を備える構成でもよい。
【００８６】
上記各実施形態において、ギャップ変更部として、静電アクチュエーター５６を例示したがこれに限定されない。ギャップ変更部としては、例えば圧電アクチュエーターへの印加電圧を制御することで、圧電アクチュエーターを伸縮させ、反射膜間のギャップを変化させる構成などとしてもよい。また、その他、空気圧を用いるアクチュエーターや、誘電コイルと磁石とを用いて磁力により反射膜間のギャップを変化させる構成等を例示できる。
【００８７】
上記各実施形態において、ファブリーペローエタロンとして、固定基板５１及び可動基板５２が互いに対向する状態で接合され、固定基板５１に固定反射膜５４が設けられ、可動基板５２に可動反射膜５５が設けられる波長可変干渉フィルター５を例示したが、これに限らない。
例えば、固定基板５１及び可動基板５２が接合されておらず、これらの基板間に圧電素子等の反射膜間ギャップを変更するギャップ変更部が設けられる構成などとしてもよい。
また、２つ基板により構成される構成に限られない。例えば、１つの基板上に犠牲層を介して２つの反射膜を積層し、犠牲層をエッチング等により除去してギャップを形成した波長可変干渉フィルターを用いてもよい。
【００８８】
上記各実施形態において、波長可変干渉フィルター５が筐体６１０内に収納された状態で光源装置１０に組み込まれる構成を例示したが、これに限定されず、波長可変干渉フィルター５が、光源装置１０に、直接、配置される構成としてもよい。
【００８９】
上記各実施形態では、反射膜間ギャップＧ１を変更可能に構成された波長可変干渉フィルター５を例示したが、これに限定されず、反射膜間ギャップＧ１の大きさが固定された干渉フィルターであってもよい。
なお、上記波長可変ではない干渉フィルターを複数備え、使用する干渉フィルターを変更可能に構成してもよい。
【００９０】
その他、本発明の実施の際の具体的な構造は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造等に適宜変更できる。
【符号の説明】
【００９１】
１…眼底観察装置（観察装置）、５…波長可変干渉フィルター（干渉フィルター）、１０…光源装置、１３…退避手段、２０…光学装置（照明光学系、観察部）、３１…表示部（観察部）、１１１…光源部、１１２…集光レンズ（集光部）、１１３…コリメーター（集光部）、６１０，６１０Ａ…筐体。６２８…窓部。
【図１】
2015139559.tif 000004
【図２】
2015139559.tif 000005
【図３】
2015139559.tif 000006
【図４】
2015139559.tif 000007
【図５】
2015139559.tif 000008
【図７】
2015139559.tif 000009
【図８】
2015139559.tif 000010
【図９】
2015139559.tif 000011
【図１０】
2015139559.tif 000012
【図６】
2015139559.tif 000013