(57)【要約】【課題】簡易な工程で、信頼性の高いパネルを実現することが可能なマスクおよび塗布システム、ならびに素子の製造方法を提供する。【解決手段】塗布システムは、マスクと、このマスクを被塗布基板に押し当てて固定するためのマスク固定部とを備える。マスクは、粘着層を介さずに被塗布基板に定着可能な面を有すると共に、多孔質材料から構成されているものである。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着層を介さずに被塗布基板に定着可能な面を有すると共に、多孔質材料から構成されている
マスク。
【請求項２】
前記多孔質材料は、ポリオレフィン系の樹脂材料である
請求項１に記載のマスク。
【請求項３】
前記多孔質材料は、互いに異なる複数の樹脂材料を混合して形成されたものである
請求項２に記載のマスク。
【請求項４】
積層された複数の層を有し、
前記複数の層はそれぞれ、前記多孔質材料として互いに異なる樹脂材料を含む
請求項２記載のマスク。
【請求項５】
前記多孔質材料の細孔径は、厚み方向に沿って段階的に変化している
請求項１に記載のマスク。
【請求項６】
前記多孔質材料は、一方向に延在する細長いシート形状を有する
請求項１に記載のマスク。
【請求項７】
粘着層を介さずに被塗布基板に定着可能な面を有すると共に、多孔質材料から構成されているマスクと、
前記マスクを被塗布基板に押し当てて固定するためのマスク固定部と
を備えた塗布システム。
【請求項８】
前記マスク固定部は、前記マスクが前記被塗布基板上に配置された状態において、前記マスクの端部を前記被塗布基板より下方へ向けて引っ張ることにより、前記マスクを前記被塗布基板へ押し当てる第１の固定用部材を有する
請求項７に記載の塗布システム。
【請求項９】
前記マスク固定部は、
前記マスクに引っ張り力を与える第２の固定用部材と
前記マスクの引っ張り角度を調整する調整用部材と、
を有し、
前記調整用部材は、前記マスクの端部を前記被塗布基板より下方へ向けて引っ張ることにより、前記マスクを前記被塗布基板へ押し当てる
請求項７に記載の塗布システム。
【請求項１０】
前記マスクは、一方向に延在する細長いシート形状を有し、
前記マスクを捲き出して前記被塗布基板へ供給するための供給用ロール部材を更に備えた
請求項７に記載の塗布システム。
【請求項１１】
前記マスクは、一方向に延在する細長いシート形状を有し、
前記マスクを捲き取って前記被塗布基板から回収するための回収用ロール部材を更に備えた
請求項７に記載の塗布システム。
【請求項１２】
前記マスクを回収する前に、前記調整用部材を移動させることにより前記マスクを前記被塗布基板から離脱させる
請求項９に記載の塗布システム。
【請求項１３】
前記マスクは、一方向に延在する細長いシート形状を有し、
前記マスクを捲き出して前記被塗布基板へ供給するための供給用ロール部材と、
前記マスクを捲き取って前記被塗布基板から回収するための回収用ロール部材とを更に備えた
請求項７に記載の塗布システム。
【請求項１４】
被塗布基板上にマスクを固定する工程と、
前記マスクを固定した後、前記被塗布基板上に材料を塗布する工程とを含み、
前記マスクは、粘着層を介さずに被塗布基板に定着可能な面を有すると共に、多孔質材料から構成されているものである
素子の製造方法。
【請求項１５】
前記材料は、有機電界発光材料を含み、
有機電界発光装置を製造する
請求項１４に記載の素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、材料を塗布形成する際に用いられるマスク、塗布システムおよび素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
情報通信産業の発達が加速するにつれて、高度な性能を有する表示素子が要求されている。その中で、有機電界発光（ＥＬ：Electro Luminescence）素子は、自発光型表示素子として視野角が広くてコントラストが優秀なだけでなく、応答時間が速いという長所がある。このため、次世代ディスプレイの有力候補として注目されている。
【０００３】
有機電界発光素子は複数の層が積層されたものであり、これらの層は、例えば真空蒸着法によって形成される。この場合、一般的には、開口を持った蒸着用マスクを、蒸着源と基板との間に挟むことによって所望の形状の層がパターン形成される。ところが、ディスプレイの大型化が進むと、基板の大きさに応じた、即ち大型の蒸着用マスクが必要となる。しかしながら、大型になるに従って、蒸着用マスクは撓み易くなり、マスクの位置ずれが大きくなる。上記の各層を、大型の蒸着用マスクを用いた蒸着法によりパターン形成する場合、位置ずれを考慮して画素設計を行うため、結果として開口率が低下し、素子特性の低下を招く。
【０００４】
そこで、特に大型のディスプレイ用途では、成膜手法として、各種の塗布法あるいは印刷手法が注目されている。例えば、インクジェット法では、発光材料を含むインクをノズルから吐出することで、基板上に、画素ごとに発光層を形成することができる。ところが、被塗布対象の基板（以下、被塗布基板という）には、例えば電気コンタクトを取るためのエリアなど、材料を付着させたくないエリア（以下、塗布無効エリアという）がある。そのような塗布無効エリアに材料が付着しないように、吐出液の基板への着弾精度などを制御することは困難である。
【０００５】
特許文献１〜３には、上記の塗布無効エリアにマスク（マスキングテープ）を貼る手法が提案されている。例えば、特許文献１では、マスクを、粘着剤層を介して基板と密着させることで、塗布無効エリアへの塗布液の浸入を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２６０６６５号公報
【特許文献２】特開２００８−１２６１１５号公報
【特許文献３】特開２００８−２４８５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献１等の手法では、塗布無効エリアに密着したマスクは、塗布後、剥離される。しかしながら、剥離後の基板に粘着剤の残渣が残り、パネルの信頼性低下を招く。一方、上記特許文献２，３では、そのような粘着剤の残渣を軽減するために加工上の工夫を施しているが、工程が煩雑になってしまう。
【０００８】
本開示はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、簡易な工程で、信頼性の高いパネルを実現することが可能なマスク、および塗布システム、並びに素子の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示のマスクは、粘着層を介さずに被塗布基板に定着可能な面を有すると共に、多孔質材料から構成されているものである。
【００１０】
本開示の塗布システムは、上記本開示のマスクと、このマスクを被塗布基板に押し当てて固定するためのマスク固定部とを備えたものである。
【００１１】
本開示の素子の製造方法は、被塗布基板上に上記本開示のマスクを固定する工程と、マスクを固定した後、被塗布基板上に材料を塗布する工程とを含むものである。
【００１２】
本開示のマスク、塗布システムおよび素子の製造方法では、被塗布基板に、粘着層を介さずにマスクを固定可能となる。この後、被塗布基板に材料を塗布し、多孔質材料からなるマスクと被塗布基板との間隙に材料が浸入すると、その材料は多孔質層の細孔によって、いわゆる毛細管現象により吸い上げられる。よって、塗布材料の塗布無効エリアへの浸入が抑制される。
【発明の効果】
【００１３】
本開示のマスク、塗布システムおよび素子の製造方法では、被塗布基板に、粘着層を介さずにマスクを固定可能となる。これにより、塗布材料の塗布無効エリアへの浸入を抑制することができる。また、マスクと被塗布基板との間に粘着層が介在しないことから、マスク離脱後の粘着層残渣が生じない。これらのことから、高い信頼性を確保することができる。また、粘着層を有するマスク、即ち切断、貼付および剥離等の工程が必要とされるマスクに比べ、マスクの貼付および離脱が容易となり、塗布工程の時間を短縮することができる。よって、簡易な工程で、信頼性の高いパネルを実現することが可能となる。
【００１４】
尚、上記内容は本開示の一例である。本開示の効果は、上述したものに限らず、他の異なる効果であってもよいし、更に他の効果を含んでいてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本開示の一の実施の形態に係るマスクの構成を表す斜視図である。
【図２】被塗布基板の構成を表す平面模式図である。
【図３Ａ】図１に示したマスクの構成例を表す断面図である。
【図３Ｂ】図１に示したマスクの構成例を表す断面図である。
【図４】図１に示したマスクを用いた塗布システムの構成例を表す平面図である。
【図５】図１に示したマスクを用いた塗布システムの構成例を表す側面図である。
【図６】供給用ロール部材を備えた塗布システムの構成例を表す側面図である。
【図７】回収用ロール部材を備えた塗布システムの構成例を表す側面図である。
【図８】図７に示した塗布システムのマスク離脱動作を表す側面図である。
【図９】供給用ロール部材および回収用ロール部材を備えた塗布システムの構成例を表す側面図である。
【図１０】図１に示したマスクの作用を説明するための模式図である。
【図１１】適用例に係る表示装置の構成例を表す機能ブロック図である。
【図１２】図１１に示した画素駆動回路の構成例を表す回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本開示の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。尚、説明は以下の順に行う。
１．実施の形態（多孔質層からなるマスクと、そのマスクを用いた塗布システムの例）
２．適用例（有機ＥＬ表示装置の例）
【００１７】
＜実施の形態＞
［構成］
（マスク１０の構成）
図１は、本開示の一実施の形態に係るマスク（マスク１０）の斜視図である。図２は、塗布工程において材料塗布の対象となる被塗布基板（基板１１）の構成例を表したものである。このマスク１０は、基板１１へ材料（インクなど）を塗布する際に、塗布無効エリア（塗布無効エリアＡ２）に材料が付着しないように、塗布無効エリアＡ２を被覆するための部材である。材料を塗布する手法としては、特に限定されないが、例えばインクジェットノズル等を用いたインクジェット法、あるいはスピンコート法、スリットコート法などが挙げられる。また、この他にも、例えばオフセット印刷、グラビア印刷、フレキソ印刷などの印刷技術が挙げられる。
【００１８】
基板１１は、例えば後述する表示装置２（有機ＥＬ表示装置）において画素回路等が形成されるガラス基板である。この基板１１は、例えば有効表示領域としての塗布有効エリアＡ１を有すると共に、例えば基板１１の対向する２辺に沿った領域に、塗布無効エリアＡ２を有している。この塗布無効エリアＡ２は、例えば外部との電気的なコンタクトを確保するための配線などが形成される領域である。この場合、塗布無効エリアＡ２に材料（特に有機材料）が付着すると、電気的コンタクトに不具合を生じる。ここでは、一例として、基板１１の上下２辺に沿って２つの塗布無効エリアＡ２が設けられている。
【００１９】
マスク１０は、多孔質材料から構成されている（多孔質構造を有している）。このマスク１０は、特に限定されないが、例えば一方向に沿って延在する細長いシート形状を有している。後述するように、マスク１０をロール供給する場合には、細長いシート形状であることが望ましいが、他の形状であっても構わない。例えば、マスク１０は、２軸方向に延伸させる（引っ張る）場合にも用いることができる。この場合には、形状自由度が高く、上記のようなシート形状に限定されない。
【００２０】
マスク１０の厚みｔは、例えば０．５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。厚みｔが０．５μｍよりも小さい場合は、機械的強度が不十分であり、ハンドリング性が低下する。一方、厚みｔが２００μｍよりも大きい場合は、例えば塗布装置のノズルと接触し易い。尚、マスク１０の幅Ｂは、基板１１における塗布無効エリアＡ２の寸法および形状等に応じて、適切な大きさに設定されている。
【００２１】
マスク１０の多孔質層における空隙率Ｈ（％）は、例えば５％以上５０％以下であることが好ましい。空隙率Ｈが５％よりも小さい場合、保液量（吸液量）が少なくなり過ぎ、インクなどの材料の吸い上げ量に制約が生じる。一方、空隙率Ｈが５０％よりも大きい場合、マスク１０の機械的強度が弱まり、ハンドリング性が低下する。
【００２２】
これらの厚みｔと空隙率Ｈは、塗布される材料（塗布膜）の厚みをｄ（μｍ）としたとき、以下の式（１）となるように設定されていることが好ましい。マスク１０上に吐出されたインクがマスク１０によって保液され易くなり、塗布無効エリアＡ２への付着を効果的に抑制できるためである。
ｔ×Ｈ／１００≧ｄ    ………（１）
【００２３】
マスク１０の構成材料は、特に限定されるものではないが、塗布材料に溶解せず、かつ反応しない材料であることが好ましい。例えば、ポリオレフィン系の高分子材料、ポリエステル、フッ素樹脂、ポリアミド、ポリビニルアルコール、ポリイミド、ポリイミドアミド、ポリカーボネートなどが挙げられる。中でも、ポリオレフィン系の高分子材料である、ポリエチレンおよびポリプロピレンは、コスト面および製造性の観点から好ましい材料である。
【００２４】
図３Ａおよび図３Ｂにマスク１０の断面構成例について示す。図３Ａに示したように、マスク１０は、１つの多孔質層１０ａから構成されていてもよい。この場合、多孔質層１０ａは、上述した材料のうちの、単一の樹脂材料から構成されていてもよいし、複数の樹脂材料を混合して形成されたものであってもよい。また、図３Ｂに示したように、マスク１０は、複数（ここでは一例として３つ）の多孔質層１０ａ１，１０ａ２，１０ａ３を積層したものであってもよい。多孔質層１０ａ１，１０ａ２，１０ａ３のそれぞれは、上記多孔質層１０ａと同様、単一の樹脂材料から構成されていてもよいし、複数の樹脂材料を混合して形成されたものであってもよい。
【００２５】
複数の樹脂材料を混合して（あるいは積層して）用いることにより、例えばマスク１０の厚み方向に沿って細孔径分布を調整することが可能となる。例えば、マスク１０のうち、一方の面(例えば面Ｓ１)から他方の面（例えば面Ｓ２）に向かって細孔径が段階的に大きくなるようにしてもよい。これにより、例えば基板１１に向かい合う面（例えば面Ｓ２）の側から、その反対側の面（例えば面Ｓ１）の側に向かってインクを効率的に吸い上げることが可能となる。あるいは、マスク１０の厚み方向中央部分において細孔径が最も小さく、面Ｓ１，Ｓ２に向かって段階的に細孔径が大きくなるようにしてもよい。このように、細孔径分布を形成することで、マスク１０の吸液率を調整することもできる。
【００２６】
このマスク１０の細孔径は、例えば０．１μｍ以上３０μｍ以下となっていることが好ましい。細孔径が０．１μｍよりも小さい場合、インクの吸収速度が遅くなり、塗布工程の生産性が低下する。細孔径が３０μｍよりも大きい場合には、インクがマスク１０内に保液されにくくなり、マスク離脱時にインクが飛散してしまうことがある。上記のように、マスク１０の厚み方向に沿って細孔径分布を有する場合にも、細孔径が上記範囲内で変化することが好ましい。
【００２７】
（マスク１０の形成方法）
上記のようなマスク１０は、例えば次のようにして形成することができる。即ち、以下の（Ａ）〜（Ｅ）の工程を順に行う。
（Ａ）上述したような樹脂材料（例えばポリエチレン）と、成型用の溶剤とを溶融混練して、例えば２０〜５０質量％濃度のポリエチレン樹脂溶液を調整する工程
（Ｂ）ポリエチレン樹脂溶液を押出機に流し込み、ダイ（金型）から押し出すことによりシート状に成型する工程
（Ｃ）押し出した成型体を冷却することにより、ゲル状のシートを形成する工程
（Ｄ）ゲル状のシートから溶剤を除去する工程
（Ｅ）乾燥工程
【００２８】
工程（Ａ）における成型用の溶剤としては、例えば流動パラフィンなどの炭化水素類の不揮発性の液体溶剤を用いることが好ましい。工程（Ｂ）において、樹脂材料の質量％濃度を調整することで、マスク１０の細孔径を調整可能である。例えば、互いに濃度の異なる複数種類の樹脂溶液を、同時に押出し成型することにより、マスク１０の厚み方向に細孔径分布を形成することができる。尚、複数の樹脂溶液は、互いに異なる樹脂材料を含むものであってもよいし、同一の樹脂材料を含むものであってもよい。また、工程（Ｃ）と工程（Ｄ）との間、工程（Ｄ）と工程（Ｅ）との間、または工程（Ｅ）の後に、例えば延伸工程や熱処理工程を行ってもよい。延伸工程により、マスク１０の厚みｔを調整することができる。更には、上記工程間に、表面被覆処理、親水化処理、撥液化処理などの工程を設けてもよい。ここでは、いわゆる溶融押し出し成型によりマスク１０の形成手順を説明したが、これに限定されることなく、マスク１０は他の様々な手法を用いて形成可能である。
【００２９】
本実施の形態では、材料の塗布工程において、上記のようなマスク１０が、粘着剤（粘着剤層）を介さずに基板１１に固定可能となっている。換言すると、マスク１０（多孔質層）の面Ｓ１，Ｓ２のうちの一方（例えば面Ｓ２）は、粘着剤を介さずに基板１１に定着可能な面である。このマスク１０を用いた塗布工程は、具体的には、以下に説明するような塗布システムによって好適に実現される。
【００３０】
（塗布システム）
図４〜図９は、マスク１０が適用される塗布システム（塗布システム１）の一例を表したものである。図４および図５は、マスク１０と、マスク１０を基板１１に固定するためのマスク固定部（固定用部材１２）とのレイアウトの一例を示したものであり、塗布システム１の要部を構成する。このように、塗布無効エリアＡ２を覆って、基板１１上にマスク１０が配置されている。ここでは、基板１１の上下２辺に沿って２つの塗布無効エリアＡ２を有するため、各塗布無効エリアＡ２に対してマスク１０と固定用部材１２とが設けられている。
【００３１】
固定用部材１２は、例えば基板１１よりも下方に設置されており、マスク１０のうち基板１１から張り出した部分を挟み込み、保持するものである。これにより、マスク１０の端部（図５中の端部ｅ）が斜め下方に向けて引っ張られ、その張力Ｔによって、マスク１０が基板１１へ押し当てられる。換言すると、この固定用部材１２により、マスク１０に対して、所定の力（張力Ｔ）が所定の方向（基板１１の斜め下方）へ向けて与えられる。この結果、マスク１０を、基板１１に対して粘着剤を介さずに固定可能となる。ここでは、固定用部材１２が、マスク１０の１つの端部ｅに対して２つ設置された構成を例示しているが、固定用部材１２の個数は、各端部ｅに対して１つあるいは３つ以上であってもよく、端部ｅに対して下方（斜め下方）に向かって張力を印加できる構成であればよい。なお、固定用部材１２が本開示の「マスク固定部」および「第１の固定用部材」の一具体例に相当する。
【００３２】
また、図６に示した塗布システム（塗布システム１Ａ）のように、マスク供給を行うための部材（供給用ロール部材１２Ａ）を備えていることが望ましい。例えば、塗布システム１Ａは、供給用ロール部材１２Ａと、ロール部材１２ａ１と、ロール部材１２ａ２とを備えている。供給用ロール部材１２Ａは、マスク１０を捲き出し、ロール部材１２ａ１，１２ａ２を介して、基板１１へマスク１０を供給する。ロール部材１２ａ１は、マスク１０の位置および引っ張り角度を調整するための部材であり、例えば上下方向（方向ｄ１）に沿って可動となっている。マスク１０を供給用ロール部材１２Ａから捲き出し、基板１１へ供給する際には、例えばロール部材１２ａ１を基板１１よりも上方へ移動させる。これにより、マスク１０の移動が妨げられないようになっている。尚、この例では、例えば供給用ロール部材１２Ａが、マスク１０を基板１１に固定させるための役割を兼ねている。この供給用ロール部材１２Ａによって、基板１０へ押し当てられるようにマスク１０に張力Ｔが印加されることで、マスク１０が基板１１に固定される。図６の例では、マスク１０に対して、供給用ロール部材１２Ａによって所定の力（張力Ｔ）が与えられ、その引っ張りの角度あるいは方向がロール部材１２ａ１によって決定される。ロール部材１２ａ１が上方向に移動すると、粘着層を持たないマスク１０は、自然と基板１０から離脱する。このように、供給用ロール部材１２Ａを備えることで、連続的にマスク１０を供給することができ、例えばマスク１０を塗布工程の度にマスク１０を切断，貼付，剥離する工程を省くことができる。工程数が削減され、生産性が向上する。
【００３３】
なお、図６の例では、供給用ロール部材１２Ａが、本開示の「第２の固定用部材」の一具体例に相当し、ロール部材１２ａ１が、本開示の「調整用部材」の一具体例に相当する。即ち、これらの供給用ロール部材１２Ａとロール部材１２ａ１とが、本開示の「マスク固定部」の一具体例に相当する。
【００３４】
更に、図７に示した塗布システム（塗布システム１Ｂ）のように、マスク回収を行うための部材（回収用ロール部材１２Ｂ）を備えていることが望ましい。例えば、塗布システム１Ｂは、回収用ロール部材１２Ｂと、ロール部材１２ｂ１と、ロール部材１２ｂ２とを備えている。回収用ロール部材１２Ｂは、基板１１から、マスク１０を捲き取り、ロール部材１２ｂ１，１２ｂ２を介して、基板１１からマスク１０を回収する。ロール部材１２ｂ１は、例えば上下方向（方向ｄ１）に沿って可動となっている。また、この例では、例えば回収用ロール部材１２Ｂが、マスク１０を基板１１に固定させるための役割を兼ねている。なお、図７の例では、回収用ロール部材１２Ｂが、本開示の「第２の固定用部材」の一具体例に相当し、ロール部材１２ｂ１が、本開示の「調整用部材」の一具体例に相当する。即ち、これらの回収用ロール部材１２Ｂとロール部材１２ｂ１とが、本開示の「マスク固定部」の一具体例に相当する。
【００３５】
図８は、この塗布システム１Ｂにおいて、マスク１０の離脱動作を表したものである。このように、塗布工程の後、使用済みのマスク１０を基板１１から離脱させ（取り外し）、回収する際には、例えばロール部材１２ｂ１が、基板１１よりも上方へ移動する。これにより、上記ロール部材１２ａ１の場合と同様、マスク１０を基板１１から容易に離脱させることができる。ここで、粘着層を有するマスク（マスキングテープ）を用いた場合、マスクを剥離する際には、例えばマスクの端を部分的に剥がした後、その端部を持って引っ張りながら徐々に剥がしていく手法を採るのが一般的である。また、剥がし易くするために、マスクの端を所定の形状にカットしたり、剥がす角度を調整するなどの工夫もなされている。本実施の形態では、マスク１０と基板１１との間に粘着剤層が介在しないことから、そのような剥離工程を経ることなく、例えば上記のようなロール部材１２ａ１あるいはロール部材１２ｂ１の移動によってマスク１０を容易に基板１１から離脱させることができる。また、回収用ロール部材１２Ｂ、ロール部材１２ｂ１，１２ｂ２を用いてマスク１０を回収することにより、装置の小型化に有利となる。ここで、マスクは、ディスプレイサイズに応じたサイズで形成されるが、粘着層を有するマスクを用いた場合には、そのマスクを剥離するためのスペース（剥離スペース）を別途確保しなければならない。このため、マスクサイズの倍程度のスペースを要する。本実施の形態では、上記のようにロール部材１２ｂ１の上下方向の移動によってマスク１０を容易に離脱させることができるため、粘着層を用いた場合に比べ、省スペースとなる。
【００３６】
図９は、上記の供給用ロール部材１２Ａと回収用ロール部材１２Ｂとの両方を備えた塗布システム（塗布システム１Ｃ）の構成例を表したものである。塗布システム１Ｃは、例えば供給用ロール部材１２Ａと、ロール部材１２ｃ１と、回収用ロール部材１２Ｂと、ロール部材１２ｃ２とを備えている。ロール部材１２ｃ１は、例えば上下方向（方向ｄ１）に沿って可動となっている。このロール部材１２ｃ１の移動によって、上記ロール部材１２ａ１，１２ｂ１の場合と同様、マスク１０を基板１１から容易に離脱させることができる。
【００３７】
上記塗布システム１Ａ〜１Ｃにより、いわゆるロール・トゥ・ロール（Roll-to-Roll）での塗布が可能となり、生産性を向上させることができる。また、塗布工程においては、塗布システム１Ａと塗布システム１Ｂとをそれぞれ別々のラインに設けてもよいし、塗布システム１Ｃのようにマスク１０の供給と回収とを１つのラインで行えるようにしてもよい。
【００３８】
［作用、効果］
本実施の形態では、マスク１０が多孔質材料から構成されることにより、塗布工程においてインクの浸入が抑制され、塗布無効エリアの形成が可能となる。例えば上述の塗布システム１（あるいは塗布システム１Ａ〜１Ｃ）において、固定用部材１２によってマスク１０が基板１１に押し当てられることにより、マスク１０が基板１１に粘着層を介さずに固定される。マスク１０が基板１１に押し当てられる際、基板１１への物理的ダメージが懸念されるが、マスク１０が多孔質構造を有するため変形し易く、基板１１が損傷しにくい。ここで、マスク１０と基板１１との間には粘着層が介在しないことから、実際には、図１０に示したように、マスク１０と基板１１との間には僅かな間隙（空隙）ｐが生じる。塗布工程において、基板１１に材料が塗布されると、その間隙ｐに材料の一部が浸入する（図１０中のｘ１）が、その材料は多孔質層の細孔によって（毛細管現象により）吸い上げられる。よって、塗布材料は塗布無効エリアＡ２へ拡がりにくい（塗布無効エリアＡ２への浸入が抑制される）。これにより、基板１１の塗布無効エリアＡ２への材料の付着が抑制される。また、マスク１０と被塗布基板との間に粘着層が介在しないことから、基板１１からのマスクの離脱が容易になると共に、マスク離脱後の粘着層の残渣が生じない。よって、パネル信頼性が向上する。
【００３９】
仮に粘着層を有するマスクを用いた場合には、マスクの切断、貼付および剥離等の工程が別途設けられることから、工程が煩雑となる。また、マスク剥離後には粘着層の残渣が生じ易い。これに対し、本実施の形態では、粘着層を有しないことから、上記のように残渣が発生しにくくなると共に、マスク１０の脱着が容易となる。よって、簡易な工程で、信頼性の高いパネルを実現することが可能となる。
【００４０】
ここで、上記のようなマスク１０の実施例（実施例１〜３）として、多孔質構造を有するマスク１０を基板１１に固定してインクを塗布し、その効果（塗布無効エリアＡ２へのインク付着の有無）について調べた。その結果を表１に示す。マスク１０の樹脂材料としては、実施例１ではポリエチレンを用い、実施例２ではポリプロピレンを用いた。実施例３では、樹脂材料として、ポリエチレンとポリプロピレンとの混合物を用いた。また、表１には、これらの実施例１〜３の比較例（比較例１，２）として、非孔質構造のマスクの効果についても示す。比較例１では、マスクとして非孔質のポリエチレンシートを、粘着剤を介さずに基板１１へ配置してインクを塗布した。比較例２では、粘着剤層を有する非孔質のポリエチレンシートを基板１１へ接着してインクを塗布した。
【００４１】
【表１】
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【００４２】
この結果、非孔質構造を有するマスクを用いた比較例１では、塗布無効エリアＡ２にインクが付着してしまうことがわかった。また、粘着剤層を有するマスクを用いた比較例２では、インクの付着は見られなかったものの、マスク剥離後に粘着剤の残渣が生じた。これに対し、多孔質構造を有するマスク１０を用いた実施例１〜３ではいずれも、塗布無効エリアＡ２へのインクの付着は見られなかった。また、マスク１０を離脱後に残渣も生じなかった。よって、多孔質構造を採用することにより、塗布無効エリアＡ２への材料の付着を抑制できると共に、マスク離脱後の残渣の発生を抑制できることがわかった。
【００４３】
また、本実施の形態では、マスク１０が粘着層を有さないことから、塗布工程において、上記の塗布システム１Ａ〜１Ｃのように簡易な塗布システムを採用することができる。このため、例えば生産性を向上させることが可能である。
【００４４】
（適用例）
上記実施の形態のマスク１０および塗布システム１，１Ａ〜１Ｃは、様々な素子（デバイス）の製造方法に適用することができる。例えば、マスク１０あるいは塗布システム１等は、有機ＥＬディスプレイや有機ＥＬ照明などの有機ＥＬ素子の製造工程において、例えば有機電界発光材料を、パターン形成する際に用いられる。具体的には、基板１１の所定の領域に、マスク１０を固定した後、上述したような各種のコート法あるいは印刷技術を用いて有機電界発光材料などを塗布する。以下、このような素子の一例として、有機ＥＬ表示装置（表示装置２）の構成を説明する。
【００４５】
図１１は、表示装置２の全体構成を表したものである。表示装置２では、例えば、基板１１（被塗布基板）の表示領域１１０（上記の塗布有効エリアＡ１に相当）に、複数の画素ＰＸＬＣ（有機ＥＬ素子１０Ａを含むサブピクセル）がマトリクス状に配置されている。表示領域１１０の周辺には、映像表示用のドライバである信号線駆動回路１２０および走査線駆動回路１３０が設けられている。
【００４６】
表示領域１１０には、画素ＰＸＬＣ毎に画素駆動回路１４０が設けられている。図１２は、画素駆動回路１４０の一例を表したものである。画素駆動回路１４０は、アクティブ型の駆動回路であり、駆動トランジスタＴｒ１および書き込みトランジスタＴｒ２と、キャパシタ（保持容量）Ｃｓと、有機ＥＬ素子１０Ａとを有する。有機ＥＬ素子１０Ａは、第１の電源ライン（Ｖｃｃ）と第２の電源ライン（ＧＮＤ）との間において駆動トランジスタＴｒ１に直列に接続されている。画素駆動回路１４０において、列方向には信号線１２０Ａが複数配置され、行方向には走査線１３０Ａが複数配置されている。各信号線１２０Ａと各走査線１３０Ａとの交差点が、画素ＰＸＬＣに対応している。各信号線１２０Ａは、信号線駆動回路１２０に接続されている。各走査線１３０Ａは走査線駆動回路１３０に接続されている。
【００４７】
この表示装置２は、あらゆる分野の電子機器に適用することができるが、特に大型のディスプレイに好適に用いられる。
【００４８】
以上、実施の形態および実施例を挙げて本開示を説明したが、本開示は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば、上記実施の形態の塗布システムでは、基板１１が１つのパネルを構成する場合を想定し、被塗布基板の上下２つの塗布無効エリアにマスク１０を固定したが、本開示のマスクおよび塗布システムは、いわゆるパネル多面取りの場合にも適用可能である。例えば、被塗布基板に対して例えばマスク１０の数や位置、形状などを適切に設定することにより、複数のパネルに対して一度に材料を塗布する製造ラインにも適用することができる。
【００４９】
また、上記実施の形態において説明した基板１１の形状および塗布無効エリアＡ２のレイアウトなどは一例であり、上述のものに限定されるものではない。また、マスク１０は必ずしも細長いシート形状でなくともよく、基板１１の塗布無効エリアＡ２を被覆可能な形状であればよい。但し、上記実施の形態で説明したように、一方向に延在する細長いシート形状であることにより、ロール・トゥ・ロールの製造ラインに用いることができ、生産性を高めることができる。
【００５０】
更に、上記実施の形態において説明した塗布システムにおける各種ロール部材の個数、位置などのレイアウトは一例であり、上述のものに限定されない。また、基板１１へマスク１０を固定するための固定用部材として、ロール状の部材を図示したが、本開示の固定用部材は、必ずしもロール状の部材でなくともよい。マスク１０を基板１１へ押圧できるような部材であれば、ロール状のものに限定されない。
【００５１】
加えて、上記実施の形態では、表示装置の一例としてアクティブマトリクス型の表示装置を説明したが、本開示内容はパッシブマトリクス型の表示装置への適用も可能である。更にまた、アクティブマトリクス駆動のための画素駆動回路の構成は、上記実施の形態で説明したものに限られず、必要に応じて容量素子やトランジスタを追加してもよい。その場合、画素駆動回路の変更に応じて、上述した信号線駆動回路１２０や走査線駆動回路１３０のほかに、必要な駆動回路を追加してもよい。
【００５２】
また、上記実施の形態等において説明した効果は一例であり、他の効果であってもよいし、更に他の効果を含んでいてもよい。
【００５３】
尚、本開示は、以下のような構成であってもよい。
（１）
粘着層を介さずに被塗布基板に定着可能な面を有すると共に、多孔質材料から構成されている
マスク。
（２）
前記多孔質材料は、ポリオレフィン系の樹脂材料である
上記（１）に記載のマスク。
（３）
前記多孔質材料は、互いに異なる複数の樹脂材料を混合して形成されたものである
上記（２）に記載のマスク。
（４）
積層された複数の層を有し、
前記複数の層はそれぞれ、前記多孔質材料として互いに異なる樹脂材料を含む
上記（２）に記載のマスク。
（５）
前記多孔質材料の細孔径は、厚み方向に沿って段階的に変化している
上記（１）〜（４）のいずれかに記載のマスク。
（６）
前記多孔質材料は、一方向に延在する細長いシート形状を有する
上記（１）〜（５）のいずれかに記載のマスク。
（７）
粘着層を介さずに被塗布基板に定着可能な面を有すると共に、多孔質材料から構成されているマスクと、
前記マスクを被塗布基板に押し当てて固定するためのマスク固定部と
を備えた塗布システム。
（８）
前記マスク固定部は、前記マスクが前記被塗布基板上に配置された状態において、前記マスクの端部を前記被塗布基板より下方へ向けて引っ張ることにより、前記マスクを前記被塗布基板へ押し当てる第１の固定用部材を有する
上記（７）に記載の塗布システム。
（９）
前記マスク固定部は、
前記マスクに引っ張り力を与える第２の固定用部材と
前記マスクの引っ張り角度を調整する調整用部材と、
を有し、
前記調整用部材は、前記マスクの端部を前記被塗布基板より下方へ向けて引っ張ることにより、前記マスクを前記被塗布基板へ押し当てる
上記（７）に記載の塗布システム。
（１０）
前記マスクは、一方向に延在する細長いシート形状を有し、
前記マスクを捲き出して前記被塗布基板へ供給するための供給用ロール部材を更に備えた
上記（７）〜（９）のいずれかに記載の塗布システム。
（１１）
前記マスクは、一方向に延在する細長いシート形状を有し、
前記マスクを捲き取って前記被塗布基板から回収するための回収用ロール部材を更に備えた
上記（７）〜（１０）のいずれかに記載の塗布システム。
（１２）
前記マスクを回収する前に、前記調整用部材を移動させることにより前記マスクを前記被塗布基板から離脱させる
上記（９）に記載の塗布システム。
（１３）
前記マスクは、一方向に延在する細長いシート形状を有し、
前記マスクを捲き出して前記被塗布基板へ供給するための供給用ロール部材と、
前記マスクを捲き取って前記被塗布基板から回収するための回収用ロール部材とを更に備えた
上記（７）〜（１２）のいずれかに記載の塗布システム。
（１４）
被塗布基板上にマスクを固定する工程と、
前記マスクを固定した後、前記被塗布基板上に材料を塗布する工程とを含み、
前記マスクは、粘着層を介さずに被塗布基板に定着可能な面を有すると共に、多孔質材料から構成されているものである
素子の製造方法。
（１５）
前記材料は、有機電界発光材料を含み、
有機電界発光装置を製造する
上記（１４）に記載の素子の製造方法。
【符号の説明】
【００５４】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…塗布システム、１０…マスク、１０ａ，１０ａ１，１０ａ２，１０ａ３…多孔質層、１１…基板、１２，１２ａ１，１２ｂ１，１２ｃ１…固定用ロール部材、１２Ａ…供給用ロール部材、１２Ｂ…回収用ロール部材、１２ａ２，１２ｂ２，１２ｃ２…ロール部材、Ｓ１，Ｓ２…面、Ａ１…塗布有効エリア、Ａ２…塗布無効エリア。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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