(57)【要約】【課題】半導体チップにおけるクラックの発生を検出可能とする半導体製造装置及び半導体製造方法を提供すること。【解決手段】実施形態によれば、半導体製造装置は、第１のステージであるプリサイサ３、第２のステージであるダイボンディングステージ１７、移送手段であるダイボンディング機構１５及び検出器２１，２２を有する。第１のステージは、半導体チップ１０の位置を補正する。第２のステージは、半導体チップ１０を実装する対象物１６を支持する。移送手段は、第１のステージから取り上げられた半導体チップ１０を第２のステージへ移送する。検出器２１，２２は、半導体チップ１０からの弾性波を検出する。検出器２１，２２は、第１のステージ及び第２のステージの少なくとも一方に取り付けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップが載置され、前記半導体チップの位置を補正する第１のステージと、
前記半導体チップを実装する対象物を支持する第２のステージと、
前記第１のステージから取り上げられた前記半導体チップを前記第２のステージへ移送し、前記対象物に前記半導体チップを載置する移送手段と、
前記第１のステージ及び前記第２のステージの少なくとも一方に取り付けられており、前記半導体チップからの弾性波を検出する検出器と、を有することを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２】
前記検出器での前記弾性波の検出結果に応じて、前記半導体チップにおけるクラックの発生を判定する判定手段を有することを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項３】
前記第２のステージは、
前記対象物を加熱する加熱手段と、
前記加熱手段から離れた位置へ前記弾性波を伝搬する伝搬部材と、を備え、
前記検出器は、前記伝搬部材に取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体製造装置。
【請求項４】
前記判定手段は、検出された前記弾性波のエネルギーが、あらかじめ設定された閾値を超えた場合に、前記クラックが発生したものと判定することを特徴とする請求項２に記載の半導体製造装置。
【請求項５】
第１のステージに載置された半導体チップの位置を補正し、
前記第１のステージから前記半導体チップを取り上げ、前記半導体チップを実装する対象物を支持する第２のステージへ、前記半導体チップを移送し、
前記対象物に前記半導体チップを載置することを含み、
前記第１のステージ及び前記第２のステージの少なくとも一方において、前記半導体チップからの弾性波を検出し、
前記弾性波の検出結果に応じて、前記半導体チップにおけるクラックの発生を判定することを特徴とする半導体製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、半導体製造装置及び半導体製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体パッケージは、大容量化の一方で、限られたスペースに実装するための小型化、薄型化が進められている。半導体パッケージとしては、１つのパッケージに複数の半導体チップを積層した多層構造を持つものもある。このような状況において、半導体チップの厚みが非常に薄くなっているために、半導体チップにはクラックが生じやすくなっている。クラックは、例えば、異物が付着しているステージに半導体チップが載置された場合に、異物の部分に荷重が集中することによって生じることがある。
【０００３】
半導体チップに発生したクラックは、例えば、拡大観察、認識カメラによる外観検査によって検出される。例えば、ステージ上に載置された半導体チップの表面を認識カメラで撮影し、得られた画像情報を処理する手法が知られている。この手法では、半導体チップの表面に樹脂層が形成されている場合に、クラックとその周囲の部分とのコントラスト差が少ないことで、正確な検査結果を得ることが困難となる。
【０００４】
また、例えば、表面に樹脂層が形成された半導体チップに対し、裏面側から赤外線を照射し、反射光の違いからクラックを検出する手法が知られている。この手法では、半導体チップの裏面に接着層が形成されている場合に、クラックとその周囲の部分とのコントラスト差が少ないことで、正確な検査結果を得ることが困難となる。また、裏面側から赤外線を照射する設備を設けることで、半導体製造装置の構造が複雑となる。
【０００５】
半導体チップに生じたクラックがパッケージ化までに検出されず、最終製品の検査時に初めて欠陥として判定される場合、その最終製品が不良品として扱われることになる。この場合、クラックが生じている半導体チップ以外の部品と、製造コストが無駄となる。また、クラックの原因の特定が困難となるため、多くの不良品を生じさせることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平６−８２３７７号公報
【特許文献２】特開２００８−４５９６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の一つの実施形態は、半導体チップにおけるクラックの発生を検出可能とする半導体製造装置及び半導体製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一つの実施形態によれば、半導体製造装置は、第１のステージ、第２のステージ、移送手段及び検出器を有する。第１のステージは、半導体チップが載置される。第１のステージは、半導体チップの位置を補正する。第２のステージは、半導体チップを実装する対象物を支持する。移送手段は、第１のステージから取り上げられた半導体チップを第２のステージへ移送する。移送手段は、対象物に半導体チップを載置する。検出器は、半導体チップからの弾性波を検出する。検出器は、第１のステージ及び第２のステージの少なくとも一方に取り付けられている。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、第１の実施形態にかかる半導体製造装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】図２は、ピックアップ装置の動作手順を示すフローチャートである。
【図３】図３は、ダイボンディング装置の動作手順を示すフローチャートである。
【図４】図４は、第２の実施形態にかかる半導体製造装置の構成を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に添付図面を参照して、実施形態にかかる半導体製造装置及び半導体製造方法を詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。
【００１１】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態にかかる半導体製造装置の構成を模式的に示す図である。半導体製造装置は、ピックアップ装置１、ダイボンディング装置２、プリサイサ３、制御装置４及び表示装置５を備える。なお、「チップ」および「ダイ」は、一般には、ウェハから完全に分離されているものを指すが、実施形態では、便宜上、分離の前後に関わらず、「チップ」、「ダイ」および「ウェハ」の文言を包括的に使用している。例えば、チップ領域ごとへの分割がなされているものを指してウェハと表現する場合や、完全に分離される前のチップ領域を指してチップあるいはダイと表現する場合がある。
【００１２】
ピックアップ装置１は、個片化された半導体チップ１０を取り上げる。ピックアップ装置１は、ダイピックアップ機構１１、ウェハステージ１２及びダイエジェクト機構１４を備える。ピックアップ装置１は、制御装置４からの制御信号に応じて駆動する。
【００１３】
ウェハステージ１２は、ダイシングシート１３の外周部を保持する。個片化された半導体チップ１０は、ダイシングシート１３に載置されている。ダイシングシート１３は、樹脂製のシート基材と、粘着剤層とを備える。シート基材は、伸縮性を備える樹脂、例えば、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニール）、ポリオレフィン等からなる。粘着剤層は、シート基材の片面に形成されている。半導体チップ１０は、粘着剤層に貼られている。粘着剤層は、例えば、紫外線（ＵＶ）の照射等により粘着力が低下する性質の粘着剤を使用して構成されている。
【００１４】
ダイエジェクト機構１４は、垂直方向への駆動により、ダイシングシート１３の裏面側から、半導体チップ１０を上方へ突き上げる。ダイエジェクト機構１４は、水平方向へ移動しながら、各半導体チップ１０に対する突き上げ動作を行う。ダイエジェクト機構１４は、真空ポンプ（図示省略）に接続されている。ダイエジェクト機構１４は、半導体チップ１０を突き上げた際に、真空ポンプによる真空引きを利用して、ダイシングシート１３の裏面を吸着する。
【００１５】
ダイピックアップ機構１１は、垂直方向への駆動により、ダイシングシート１３から半導体チップ１０を取り上げる。ダイピックアップ機構１１は、ダイエジェクト機構１４によって突き上げられている半導体チップ１０を吸着する。ダイピックアップ機構１１は、真空ポンプ（図示省略）に接続されている。ダイピックアップ機構１１は、真空ポンプによる真空引きを利用して、半導体チップ１０を吸着する。
【００１６】
ダイピックアップ機構１１は、取り上げられた半導体チップ１０を、水平方向への移動によって、プリサイサ３へ移送する。ダイピックアップ機構１１は、プリサイサ３まで移動させた半導体チップ１０を、プリサイサ３上に載置する。
【００１７】
ダイピックアップ機構１１は、半導体チップ１０を取り上げる位置を水平方向において変化させて、各半導体チップ１０に対する取り上げ動作を行う。ダイピックアップ機構１１は、ダイシングシート１３上の各半導体チップ１０に対し、ダイシングシート１３からの取り上げ、及びプリサイサ３への移送の動作を行う。
【００１８】
第１ステージであるプリサイサ３は、ダイピックアップ機構１１によって移送された半導体チップ１０が載置される。プリサイサ３は、ピックアップ装置１とダイボンディング装置２との間における半導体チップ１０の受け渡しのための受け渡し台である。また、プリサイサ３は、載置された半導体チップ１０の位置と角度を補正するアライメントステージでもある。
【００１９】
半導体製造装置は、プリサイサ３を備えることで、ピックアップ装置１の動作とダイボンディング装置２の動作とを独立して実施できる。半導体製造装置は、半導体チップ１０のピックアップ及びダイボンディングに必要なプロセス時間を短縮することができる。
【００２０】
検出器２１は、プリサイサ３に取り付けられている。検出器２１は、プリサイサ３に載置された半導体チップ１０からの弾性波を検出する。検出器２１は、プリサイサ３のいずれの位置に取り付けられたものであっても良い。
【００２１】
ダイボンディング装置２は、対象物１６に半導体チップ１０を載置する。対象物１６は、ダイボンディング装置２にて半導体チップ１０が実装される部材、例えば、リードフレーム及び配線基板等とする。ダイボンディング装置２は、ダイボンディング機構１５及びダイボンディングステージ１７を備える。ダイボンディング装置２は、制御装置４からの制御信号に応じて駆動する。
【００２２】
第２のステージであるダイボンディングステージ１７は、対象物１６を支持する。ダイボンディングステージ１７は、加熱手段であるヒータ１８を備える。ヒータ１８は、ダイボンディングステージ１７に載置されている対象物１６を加熱する。
【００２３】
移送手段であるダイボンディング機構１５は、ダイボンディングステージ１７からプリサイサ３にまで水平方向へ移動した状態にて、垂直方向への駆動により、プリサイサ３から半導体チップ１０を取り上げる。ダイボンディング機構１５は、プリサイサ３上の半導体チップ１０を吸着する。ダイボンディング機構１５は、真空ポンプ（図示省略）に接続されている。ダイボンディング機構１５は、真空ポンプによる真空引きを利用して、半導体チップ１０を吸着する。
【００２４】
ダイボンディング機構１５は、取り上げられた半導体チップ１０を、水平方向への移動によって、ダイボンディングステージ１７へ移送する。ダイボンディング機構１５は、ダイピックアップ機構１１によってプリサイサ３に半導体チップ１０が載置されるたびに、プリサイサ３からダイボンディングステージ１７へ半導体チップ１０を移送する。ダイボンディング機構１５は、ダイボンディングステージ１７まで移動させた半導体チップ１０を、対象物１６上に載置する。
【００２５】
検出器２２は、ダイボンディングステージ１７に取り付けられている。検出器２２は、ダイボンディングステージ１７に載置された半導体チップ１０からの弾性波を検出する。検出器２２は、ダイボンディングステージ１７のいずれの位置に取り付けられたものであっても良い。
【００２６】
検出器２１，２２は、例えば、圧電素子（ＡＥ(Acoustic  Emission)センサ）である。検出器２１，２２は、半導体チップ１０の変形及び破壊のときに放出される弾性エネルギーを検出し、検出された弾性エネルギーを電気信号に変換する。弾性エネルギーは、弾性波のエネルギーである。
【００２７】
弾性エネルギーは、通常、音波となって放出される。音波は、主に、数十キロヘルツから数メガヘルツの高い周波数成分を持つ。この音波は、材料が破壊に至る前の変形や、クラックの発生に伴って発生する。半導体製造装置は、この音波を検出器２１，２２にて検出することにより、半導体チップ１０の変形及びクラックの発生を検出する。
【００２８】
検出器２１，２２は、半導体チップ１０のクラックによって発生する音波とは異なる周波数帯域の音波であるノイズを、フィルタにて除去するものであっても良い。フィルタは、ハードウェア及びソフトウェアのいずれで構成されたものであっても良い。これにより、半導体製造装置は、半導体チップ１０におけるクラックの発生を、精度良く検出することができる。
【００２９】
制御装置４は、ピックアップ装置１及びダイボンディング装置２の駆動を制御する。制御装置４は、メモリ６及び判定部７を備える。メモリ６は、ピックアップ装置１及びダイボンディング装置２の駆動を制御するための各種データを保持する。判定手段である判定部７は、検出器２１，２２での弾性波の検出結果に応じて、半導体チップ１０におけるクラックの発生を判定する。
【００３０】
半導体製造装置は、１つの制御装置４がピックアップ装置１及びダイボンディング装置２の駆動を制御するものに限られない。半導体製造装置は、ピックアップ装置１及びダイボンディング装置２に対し、それぞれ制御装置を備えるものであっても良い。この場合、検出器２１での弾性波の検出結果に応じてクラックの発生を判定する判定部７を、ピックアップ装置１を制御する制御装置に設けても良い。検出器２２での弾性波の検出結果に応じてクラックの発生を判定する判定部７を、ダイボンディング装置２を制御する制御装置に設けても良い。
【００３１】
表示装置５は、判定部７における判定結果を表示する。表示装置５は、この他、ピックアップ装置１及びダイボンディング装置２の駆動に関する各種データを表示するものであっても良い。
【００３２】
プリサイサ３には、ピックアップ装置１及びダイボンディング装置２の駆動系に由来する異物と、例えば半導体ウェハのダイシングにて生じたシリコン屑、接着材片等の、材料に由来する異物が付着あるいは堆積することがある。異物が載っているプリサイサ３にダイピックアップ機構１１が半導体チップ１０を載置したとき、半導体チップ１０の一部に荷重が集中することで、クラックが生じることがある。また、異物が載っているプリサイサ３上からダイボンディング機構１５が半導体チップ１０を取り上げたときも同様に、荷重の集中によりクラックが生じることがある。
【００３３】
プリサイサ３に取り付けられた検出器２１は、プリサイサ３へ半導体チップ１０が載置される際の弾性エネルギー、及びプリサイサ３から半導体チップ１０が取り上げられる際の弾性エネルギーを検出する。判定部７は、検出器２１における検出結果に応じて、プリサイサ３へ半導体チップ１０が載置される際、及びプリサイサ３から半導体チップ１０が取り上げられる際におけるクラックの発生を判定する。
【００３４】
プリサイサ３は、金属部材、例えば、アルミニウム材、ステンレス材等を使用して構成されている。金属部材を使用して構成されたプリサイサ３を適用することで、半導体チップ１０から検出器２１へ伝播する弾性波のうち、主な周波数成分の減衰を抑制させることができる。
【００３５】
プリサイサ３は、弾性波を伝播させる部分に、金属部材以外の部材、例えば弾性部材からなる部分や、部材同士の界面ができるだけ省かれた構造とすることで、検出器２１へ伝播する弾性波の減衰を抑制できる。検出器２１へ伝播する弾性波の減衰を抑制させることで、検出器２１は、半導体チップ１０で生じた弾性波を精度良く検出することができる。なお、プリサイサ３は、半導体チップ１０で生じた弾性波を検出器２１にて十分に検出可能であれば、いずれの部材を使用して構成されたものとしても良い。
【００３６】
ダイボンディングステージ１７には、ダイボンディング装置２の駆動系に由来する異物と、基板、接着層等を構成する材料に由来する異物が付着あるいは堆積することがある。異物が載っているダイボンディングステージ１７にて、ダイボンディング機構１５が対象物１６へ半導体チップ１０を載置したとき、半導体チップ１０の一部に荷重が集中することで、クラックが生じることがある。この他、ダイボンディングステージ１７上における平行度の確保が不十分である場合に、半導体チップ１０に偏荷重がかかることで、クラックが生じることがある。
【００３７】
ダイボンディングステージ１７に取り付けられた検出器２２は、対象物１６へ半導体チップ１０が載置される際の弾性エネルギーを検出する。判定部７は、検出器２２における検出結果に応じて、対象物１６へ半導体チップ１０が載置される際におけるクラックの発生を判定する。
【００３８】
ダイボンディングステージ１７は、金属部材、例えば、アルミニウム材、ステンレス材等を使用して構成されている。金属部材を使用して構成されたダイボンディングステージ１７を適用することで、半導体チップ１０から検出器２２へ伝播する弾性波のうち、主な周波数成分の減衰を抑制させることができる。
【００３９】
検出器２２は、例えばダイボンディングステージ１７に直接取り付けられている。半導体チップ１０が載置される位置から検出器２２までの距離をできるだけ短くすることで、半導体チップ１０から検出器２２へ伝播するまでにおける弾性波の減衰を抑制させることができる。
【００４０】
ダイボンディングステージ１７は、弾性波を伝播させる部分に、金属部材以外の部材、例えば弾性部材からなる部分や、部材同士の界面ができるだけ省かれた構造とすることで、検出器２２へ伝播する弾性波の減衰を抑制できる。検出器２２へ伝播する弾性波の減衰を抑制させることで、検出器２２は、半導体チップ１０で生じた弾性波を精度良く検出することができる。
【００４１】
なお、ダイボンディングステージ１７は、半導体チップ１０で生じた弾性波を検出器２２にて十分に検出可能であれば、いずれの部材を使用して構成されたものとしても良い。第１の実施形態では、検出器２２は、ヒータ１８からの熱の伝播を受けても正常に動作可能な耐熱性を備えるものとする。
【００４２】
図２は、ピックアップ装置の動作手順を示すフローチャートである。制御装置４は、ピックアップ装置１がピックアップの対象とする半導体チップ１０を、識別情報であるＩＤによって認識する（ステップＳ１）。メモリ６は、ステップＳ１で認識されたＩＤを記憶する。ダイピックアップ機構１１は、制御装置４からの制御信号に応じて、ダイシングシート１３から半導体チップ１０を取り上げる（ステップＳ２）。
【００４３】
ダイピックアップ機構１１は、取り上げられた半導体チップ１０を、水平方向への移動によって、プリサイサ３へ移送する。ダイピックアップ機構１１は、プリサイサ３まで移動させた半導体チップ１０を、プリサイサ３上に載置する（ステップＳ３）。
【００４４】
検出器２１は、ステップＳ３にて半導体チップ１０を載置するときの弾性エネルギーｅを検出する（ステップＳ４）。検出器２１は、弾性エネルギーｅの検出結果を、制御装置４へ出力する。メモリ６は、弾性エネルギーｅの検出結果を保持する。
【００４５】
メモリ６は、あらかじめ設定された閾値ｅ１を保持している。閾値ｅ１は、検出器２１で検出される弾性エネルギーについての、クラックの発生を判定するための閾値とする。判定部７は、ステップＳ４で検出された弾性エネルギーｅと、メモリ６から読み出された閾値ｅ１とを比較する（ステップＳ５）。
【００４６】
ステップＳ４で検出された弾性エネルギーｅが閾値ｅ１より小さい場合（ステップＳ５、Ｙｅｓ）、判定部７は、ステップＳ１で認識されたＩＤの半導体チップ１０にはクラックが発生していないと判定する。プリサイサ３は、クラックが発生していないと判定された半導体チップ１０に対し、位置補正を実施する。
【００４７】
クラックが発生していないとの判定がなされてから、制御装置４は、ダイシングシート１３上の全ての半導体チップ１０の取り上げが完了したか否かを判断する（ステップＳ６）。取り上げが完了していない半導体チップ１０がダイシングシート１３に残されている場合（ステップＳ６、Ｎｏ）、制御装置４は、ステップＳ１に戻り、ピックアップ装置１が次にピックアップの対象とする半導体チップ１０のＩＤを認識する。
【００４８】
ダイシングシート１３上の全ての半導体チップ１０の取り上げが完了した場合（ステップＳ６、Ｙｅｓ）、ピックアップ装置１は、当該ダイシングシート１３に対するピックアップ動作を終了する。
【００４９】
一方、ステップＳ４で検出された弾性エネルギーｅが閾値ｅ１以上である場合（ステップＳ５、Ｎｏ）、判定部７は、ステップＳ１で認識されたＩＤの半導体チップ１０に、プリサイサ３への載置によってクラックが発生したものと判定する。判定部７は、クラックが発生したことを、基準とする閾値ｅ１との比較によって判定する。判定部７は、かかる判定結果を表示装置５へ出力する。
【００５０】
表示装置５は、判定部７での判定結果に応じて、クラックが発生したことを表示する（ステップＳ７）。表示装置５は、例えば、クラックが発生した半導体チップ１０のＩＤと、プリサイサ３への載置によってクラックが発生した旨のメッセージとを表示する。
【００５１】
制御装置４は、判定部７での判定結果に応じて、ピックアップ装置１に対して駆動の停止を指示する。ピックアップ装置１は、制御装置４からの指示に応じて、駆動を停止する（ステップＳ８）。クラックが発生したとする判定部７の判定に応じて、ダイピックアップ機構１１は、半導体チップ１０の移送を停止する。これにより、ピックアップ装置１は、ピックアップ動作を終了する。
【００５２】
図３は、ダイボンディング装置の動作手順を示すフローチャートである。制御装置４は、ダイボンディング装置２がダイボンディングの対象とする半導体チップ１０のＩＤを認識する（ステップＳ１１）。メモリ６は、ステップＳ１１で認識されたＩＤを記憶する。ダイボンディング機構１５は、制御装置４からの制御信号に応じて、プリサイサ３から半導体チップ１０を取り上げる（ステップＳ１２）。
【００５３】
ダイボンディング機構１５は、取り上げられた半導体チップ１０を、水平方向への移動によって、ダイボンディングステージ１７へ移送する。ダイボンディング機構１５は、ダイボンディングステージ１７まで移送させた半導体チップ１０を、対象物１６、例えば配線基板上に載置する（ステップＳ１３）。
【００５４】
検出器２２は、ステップＳ１３にて半導体チップ１０を載置するときの弾性エネルギーｅを検出する（ステップＳ１４）。検出器２２は、弾性エネルギーｅの検出結果を、制御装置４へ出力する。メモリ６は、弾性エネルギーｅの検出結果を保持する。
【００５５】
メモリ６は、あらかじめ設定された閾値ｅ２を保持している。閾値ｅ２は、検出器２２で検出される弾性エネルギーについての、クラックの発生を判定するための閾値とする。判定部７は、ステップＳ１４で検出された弾性エネルギーｅと、メモリ６から読み出された閾値ｅ２とを比較する（ステップＳ１５）。
【００５６】
ステップＳ１４で検出された弾性エネルギーｅが閾値ｅ２より小さい場合（ステップＳ１５、Ｙｅｓ）、判定部７は、ステップＳ１で認識されたＩＤの半導体チップ１０にはクラックが発生していないと判定する。
【００５７】
クラックが発生していないとの判定がなされてから、制御装置４は、ピックアップ装置１からダイボンディング装置２へ受け渡される全ての半導体チップ１０のダイボンディングが完了したか否かを判断する（ステップＳ１６）。ダイボンディングが完了していない半導体チップ１０がある場合（ステップＳ１６、Ｎｏ）、制御装置４は、ステップＳ１１に戻り、ダイボンディング装置２が次にダイボンディングの対象とする半導体チップ１０のＩＤを認識する。
【００５８】
全ての半導体チップ１０のダイボンディングが完了した場合（ステップＳ１６、Ｙｅｓ）、ダイボンディング装置２は、ダイボンディング動作を終了する。
【００５９】
一方、ステップＳ１４で検出された弾性エネルギーｅが閾値ｅ２以上である場合（ステップＳ１５、Ｎｏ）、判定部７は、ステップＳ１１で認識されたＩＤの半導体チップ１０に、対象物１６への載置によってクラックが発生したものと判定する。判定部７は、クラックが発生したことを、基準とする閾値ｅ２との比較によって判定する。判定部７は、かかる判定結果を表示装置５へ出力する。
【００６０】
表示装置５は、判定部７での判定結果に応じて、クラックが発生したことを表示する（ステップＳ１７）。表示装置５は、例えば、クラックが発生した半導体チップ１０のＩＤと、対象物１６への載置によってクラックが発生した旨のメッセージとを表示する。
【００６１】
制御装置４は、判定部７での判定結果に応じて、ダイボンディング装置２に対して駆動の停止を指示する。ダイボンディング装置２は、制御装置４からの指示に応じて、駆動を停止する（ステップＳ１８）。クラックが発生したとする判定部７の判定に応じて、ダイボンディング機構１５は、半導体チップ１０の移送を停止する。これにより、ダイボンディング装置２は、ダイボンディング動作を終了する。
【００６２】
半導体製造装置は、ステップＳ１２において、ダイボンディング機構１５がプリサイサ３から半導体チップ１０を取り上げる際も、クラックの発生の判定と、判定結果に応じた制御とを行う。ステップＳ４と同様に、検出器２１は、ステップＳ１２にて半導体チップ１０を取り上げるときの弾性エネルギーｅを検出する。ステップＳ５と同様に、判定部７は、検出された弾性エネルギーｅと閾値ｅ１とを比較する。
【００６３】
弾性エネルギーｅが閾値ｅ１より小さい場合、判定部７は、ステップＳ１２にて取り上げられた半導体チップ１０にはクラックが発生していないと判定する。かかる判定を経て、ダイボンディング装置２は、ステップＳ１３以降の動作を行う。
【００６４】
一方、弾性エネルギーｅが閾値ｅ１以上である場合、判定部７は、ステップＳ１２にて取り上げられた半導体チップ１０にはクラックが発生したものと判定する。ステップＳ１７と同様に、表示装置５は、判定部７での判定結果に応じて、クラックが発生したことを表示する。制御装置４は、判定部７での判定結果に応じて、ダイボンディング装置２に対して駆動の停止を指示する。ステップＳ１８と同様に、ダイボンディング装置２は、制御装置４からの指示に応じて、駆動を停止する。
【００６５】
第１の実施形態によれば、半導体製造装置は、プリサイサ３へ半導体チップ１０が載置される際、及びプリサイサ３から半導体チップ１０が取り上げられる際におけるクラックの発生を、検出器２１での弾性波の検出によって監視する。半導体製造装置は、対象物１６へ半導体チップ１０が載置される際におけるクラックの発生を、検出器２２での弾性波の検出によって監視する。
【００６６】
これにより、半導体製造装置は、拡大観察、外観検査の手法によらず、半導体チップ１０におけるクラックの発生をリアルタイムにて検出することができる。半導体製造装置は、クラックの発生が検出されたときに、ピックアップ装置１及びダイボンディング装置２の駆動を停止させることで、クラックが発生した半導体チップ１０を、後の工程へ流さずにラインから除去できる。半導体製造装置は、不良品となる最終製品の量産を回避できる。半導体製造装置は、歩留まりを向上できる。
【００６７】
クラックが発生した半導体チップ１０を早期に除去できることで、当該半導体チップ１０を含むことによる欠陥を最終製品の検査時に判定することとした場合に比べて、最終製品の検査の負担を軽減できる。また、不良品となる最終製品を少なくできることで、クラックが生じている半導体チップ１０以外の部品と、製造コストの無駄を少なくできる。
【００６８】
クラックが実際に発生したときから最終製品の検査までには、長い時間が経過することとなる。このため、検査結果を受けて原因を究明する場合に、原因となっていた装置の入れ替え、あるいは治具の交換等によって、原因の特定が困難となる場合がある。本実施形態によると、半導体製造装置は、クラックの発生による欠陥を最終製品の検査に委ねることによるこのような不具合を回避できる。
【００６９】
ユーザは、プリサイサ３及びダイボンディングステージ１７にてクラックの発生があったことを、表示装置５の表示から把握できる。ユーザは、クラックの発生があった箇所を把握できることで、その原因を容易かつ早急に検証することが可能となる。半導体製造装置は、クラックの発生原因の追究に要する人員及び作業負担を抑制できる。
【００７０】
半導体製造装置は、プリサイサ３及びダイボンディングステージ１７の双方において、クラックの発生を検出するものに限られない。半導体製造装置は、プリサイサ３及びダイボンディングステージ１７の少なくとも一方において、クラックの発生を検出するものであれば良い。半導体製造装置は、検出器２１，２２の少なくとも一方を備えるものであれば良い。検出器２１，２２の少なくとも一方を備えることで、半導体製造装置は、半導体チップ１０におけるクラックの発生をリアルタイムにて検出することができる。
【００７１】
ピックアップ装置１及びダイボンディング装置２は、クラックの発生があるものと判定された半導体チップ１０に目印を付与するマーカを備えるものとしても良い。半導体チップ１０を目視することでクラックの発生の有無を確認できるため、利便性を向上できる。
【００７２】
（第２の実施形態）
図４は、第２の実施形態にかかる半導体製造装置の構成を模式的に示す図である。上記の第１の実施形態と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。
【００７３】
第２のステージであるダイボンディングステージ１７は、ヒータ１８及び伝搬板３０を備える。伝搬手段である伝搬板３０は、加熱手段であるヒータ１８から離れた位置へ弾性波を伝搬する。検出器２２は、伝搬板３０に取り付けられている。
【００７４】
伝搬板３０は、金属部材、例えば、アルミニウム材、ステンレス材等を使用して構成されている。伝搬板３０は、一枚の平板がＬ字型に折り曲げられた折り曲げ形状を備える。伝搬板３０の一端は、ダイボンディングステージ１７のうちヒータ１８以外の部分の側面に接続されている。
【００７５】
検出器２２は、伝搬板３０のうちダイボンディングステージ１７に接続された側とは反対側の端部近傍に配置されている。伝搬板３０は、折り曲げ形状を備えることで、検出器２２が設けられている部分とヒータ１８との間に開放部分を構成する。かかる開放部分は、ヒータ１８から検出器２２への熱の伝播を抑制させるとともに、伝搬板３０からの放熱を促す。
【００７６】
ダイボンディングステージ１７は、かかる開放部分に、セラミック等の断熱部材からなる層を設けることとしても良い。これにより、ダイボンディングステージ１７は、当該層にて、ヒータ１８から検出器２２への熱の伝播を遮断できる。
【００７７】
ダイボンディングステージ１７は、金属部材を使用して構成された伝搬板３０を適用することで、半導体チップ１０から検出器２２へ伝播する弾性波のうち、主な周波数成分の減衰を抑制させることができる。
【００７８】
ダイボンディングステージ１７は、弾性波を伝播させる部分に、金属部材以外の部材、例えば弾性部材からなる部分や、部材同士の界面ができるだけ省かれた構造とすることで、検出器２２へ伝播する弾性波の減衰を抑制できる。検出器２２へ伝播する弾性波の減衰を抑制させることで、検出器２２は、半導体チップ１０で生じた弾性波を精度良く検出することができる。
【００７９】
なお、伝搬板３０は、半導体チップ１０で生じた弾性波を検出器２２にて十分に検出可能であれば、いずれの部材を使用して構成されたものとしても良い。伝搬板３０は、ヒータ１８から離れた位置へ弾性波を伝搬可能であれば良く、形状及び配置される位置は任意とする。
【００８０】
ダイボンディングステージ１７は、伝搬板３０を設けることで、ヒータ１８から離れた位置に検出器２２を配置する。伝搬板３０は、ヒータ１８からの熱を放出する。ダイボンディングステージ１７は、伝搬板３０にて弾性波を検出器２２へ伝播させるとともに、検出器２２への熱の伝播を抑制させることができる。伝搬板３０は、検出器２２への熱の影響に応じて、開放部分の広さを適宜設定しても良い。
【００８１】
第２の実施形態によれば、半導体製造装置は、例えば１００℃以上の高温環境下での使用に耐え得るような耐熱性を備えていない検出器２２であっても適用できる。検出器２２は、耐熱性以外の条件、例えば、価格、検出感度等を重視したものを適用できる。
【００８２】
第２の実施形態でも、半導体製造装置は、第１の実施形態と同様に、半導体チップ１０におけるクラックの発生をリアルタイムにて検出することができる。
【００８３】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８４】
３  プリサイサ、７  判定部、１０  半導体チップ、１５  ダイボンディング機構、１７  ダイボンディングステージ、１８  ヒータ、２１，２２  検出器、３０  伝搬板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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