(57)【要約】【課題】  シンプルな構造の装置であっても、生産性の低下を招くことなく、乾き残しを低減できるウェーハの乾燥装置を提供することを目的とする。【解決手段】ウェーハの第１表面側に設けられた第１エアー供給管と、ウェーハの第２表面側に設けられた第２エアー供給管とを有するエアー供給部と、ウェーハを垂直に保持するウェーハ保持部とを含み、ウェーハがエアー供給部に対して相対的に移動するように構成され、第１エアー供給管には、ウェーハ側に所定の間隔で隔てられた複数の第１エアー吹き出し口が設けられ、第２エアー供給管には、ウェーハ側に所定の間隔で隔てられた複数の第２エアー吹き出し口が設けられ、複数の第１エアー吹き出し口及び複数の第２エアー吹き出し口は、それぞれ、ウェーハの垂直方向の中心線に対して周辺部から中央部に向かってエアーを吹き付けるように、ウェーハに対して垂直方向に対して角度をつけて設けられるウェーハの乾燥装置。【選択図】図１
2015122357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハの両面を同時に乾燥させるウェーハの乾燥装置であって、
前記ウェーハの第１表面側に設けられた第１エアー供給管と、前記ウェーハの第２表面側に設けられた第２エアー供給管とを有するエアー供給部と、
前記ウェーハを垂直に保持するウェーハ保持部と
を含み、
前記ウェーハが前記エアー供給部に対して相対的に移動するように構成され、
前記第１エアー供給管には、前記ウェーハ側に所定の間隔で隔てられた複数の第１エアー吹き出し口が設けられ、
前記第２エアー供給管には、前記ウェーハ側に所定の間隔で隔てられた複数の第２エアー吹き出し口が設けられ、
前記複数の第１エアー吹き出し口、及び、前記複数の第２エアー吹き出し口は、それぞれ、前記ウェーハの垂直方向の中心線に対して周辺部から中央部に向かってエアーを吹き付けるように、前記ウェーハに対して垂直方向に対して角度をつけて設けられているものであることを特徴とするウェーハの乾燥装置。
【請求項２】
前記第１エアー供給管、及び、前記第２エアー供給管は、その中央部が端部より高くなっているものであることを特徴とする請求項１に記載のウェーハの乾燥装置。
【請求項３】
前記エアー供給部が固定され、前記ウェーハ保持部が前記ウェーハを垂直方向に移動させるものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のウェーハの乾燥装置。
【請求項４】
前記ウェーハ保持部が前記ウェーハを固定し、前記エアー供給部が垂直方向に移動するものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のウェーハの乾燥装置。
【請求項５】
前記ウェーハは、半導体ウェーハであることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のウェーハの乾燥装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のウェーハの乾燥装置を用いたウェーハの乾燥方法であって、
前記ウェーハを前記エアー供給部に対して相対的に上方向に移動させながら、前記複数の第１エアー吹き出し口、及び、前記複数の第２エアー吹き出し口からエアーを前記ウェーハに吹き付けて、前記ウェーハの表面に付着した液体を前記ウェーハの垂直方向の中心線に対して中央部に寄せながら落下させて、前記ウェーハの両面を同時に乾燥させることを特徴とするウェーハの乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハなどのウェーハに乾燥処理を行うウェーハの乾燥装置、及び、このウェーハの乾燥装置を用いたウェーハの乾燥方法に関し、特にウェーハにエアーを吹き付けて乾燥を行うウェーハの乾燥装置、及び、このウェーハの乾燥装置を用いたウェーハの乾燥方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、湿式表面処理された液晶基板等の角形基板を水平に搬送しながら、スリット状の気体噴射口からエアーを吹き付けて、該角形基板の両面を乾燥させることが行われていた（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００３】
また、シリコンウェーハの加工工程においても乾燥処理を行う工程がある。例えば、スラリーや薬液等を用いる工程では、ウェーハは濡れてしまい、この濡れたウェーハは、加工の中間工程、又は、最終工程で、様々な目的で乾燥され、又、洗浄後に乾燥される。
【０００４】
中間工程での乾燥目的としては、ウェーハの清浄度を改善、次工程への搬送を容易にする、中間品質検査に対応するため、等がある。
また、最終工程の乾燥目的としては、ウェーハ清浄度を改善、最終品質検査に対応、出荷に対応するため、等がある。
【０００５】
それぞれの工程の目的や適応された洗浄に応じて異なる乾燥方法が選択されるのが一般的であるが、代表的な乾燥方法として、エアーブロー、スピン乾燥、ＩＰＡ蒸気乾燥、ＩＰＡ直接置換、真空・減圧乾燥、マランゴニ乾燥、等の方法があげられる。
【０００６】
本発明では、厳しい清浄度が要求される最終工程では無く、中間工程に主眼を置いている。清浄度への要求が厳しくない中間工程では、設備コストの低減や生産性を向上させるため、目的に応じたできるだけ簡易的な洗浄や乾燥方法が望ましい。
【０００７】
この様な背景の中で、図５に示したようなシンプルな構造の装置で乾燥を実施してきた。
すなわち、所定の間隔で隔てられた複数のエアー吹き出し口（第１エアー吹き出し口２０８、第２エアー吹き出し口２１０）をそれぞれ有する２本のパイプ（第１エアー供給管２０４、第２エアー供給管２０６）の間を、エアー２１２を吹き出しながらウェーハ２２０を下から上へ通過させることにより、ウェーハ２２０の両面を同時に乾燥させている。
このようにして、吹き付けられたエアー２１２と重力により、ウェーハ２２０の表面上の液滴は、ウェーハ２２０の上方移動と共に下方へ移動していき、ウェーハ２２０から落下していく。
そして、ウェーハ２２０が完全に２本のパイプ（第１エアー供給管２０４、第２エアー供給管２０６）を通過したときに、ウェーハ２２０の全面の乾燥を終了する。
なお、図５（ａ）は、乾燥装置２００を側面から見た図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）の乾燥装置２００を水平方向に９０°回転させたときの乾燥装置２００を側面から見た図である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１０−２７５７９２号公報
【特許文献２】特開平０９−１５９３６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述のこれまで採用してきた方法では、下記に示すような乾き残しが発生してしまうことがあることが判明した。
【００１０】
すなわち、図６に示すように、エアー吹き出し口から吹き付けられたエアー２１２がウェーハ２２０の表面に衝突すると圧力分布が生じる。そのため、圧力の低いところ（エアー吹き出し口間の領域に相当する箇所）に乾き残しが発生しやすく、図７のように縦に乾き残し２３０が発生する。
【００１１】
上述の通り、一般に中間工程での乾燥は、清浄度への要求は厳しくない。しかしながら、中間検査を実施する場合は、乾き残しが測定結果の信頼性を低下させてしまう。ここでいう中間検査とは、例えばレーザー変位形を用いたウェーハ厚、形状測定機、接触式の厚さ測定機、静電容量を利用したウェーハ厚さ、形状測定機、ＣＣＤカメラを用いたウェーハ端面形状測定機、接触式粗さ測定機、位相干渉を利用した粗さ測定機、等が挙げられる。
【００１２】
図８に光学式ウェーハ断面形状測定機で測定した例を示す。
図８（ａ）に測定フローを示し、図８（ｂ）に測定箇所を示す。
図８（ｃ）にウェーハ外周部と中央付近に乾き残しが発生したウェーハのレーザー変位形を用いた形状測定結果（１回目測定結果）を示し、図８（ｄ）に再乾燥し乾き残しを除去したウェーハのレーザー変位形を用いた形状測定結果（２回目測定結果）を示す。
図８（ｃ）では、水滴の影響により、測定機で処理できるノイズレベルを超えたために、この部分のデータが削除され、形状が途切れてしまったり（ウェーハの中央部参照）、あるいは急峻な形状の変化があるかのような結果（ウェーハの周辺部参照）になってしまっている。
このウェーハを完全に乾燥させ、再測定した図８（ｄ）では、図８（ｃ）で見られたような不連続な形状変化は見られず、連続的な形状を示した。
【００１３】
図８から乾き残しがあるウェーハは異常形状を示すことがわかる。従って、測定の信頼性を高めるには、乾き残しが発生しないよう改善する必要がある。
上記のような再乾燥、あるいは、ウェーハの移動速度を低下させて乾燥時間を延長することでも乾き残しの低減が期待できるが、いずれも生産性の低下を招いてしまう。
【００１４】
さらに、乾き残しには主に２種類あり、ウェーハ表面上の乾き残しと、ウェーハ端面における乾き残しがある。
まず、ウェーハ表面上の乾き残しについて説明する。
図６に示したように、エアー吹き出し口は一定間隔で配置されている。この吹き出し口から吹き付けられた気体は、ウェーハ上で圧力分布を発生させる。すなわち、吹き出し口に対応する位置では圧力が高く、吹き出し口間では圧力が低くなる）
ウェーハ上に水たまりのように存在していた液体は、この圧力分布により圧力の低い方へ分散移動する。
従って、圧力が低いところに水滴が分散し残りやすくなってしまう。
【００１５】
図５の乾燥装置２００による乾燥は、ウェーハ上の液体をウェーハの下方へ落とすことによるものなので、図５（ｂ）に記したように、この下方への移動を促進させるため吹き出しを水平ではなく、斜め下方へ向ける場合が多い。
しかしながら、吹き出し方向を下に向けすぎると、吹き出し口とウェーハとの間の距離が長くなり、ウェーハ上での吹きつけ圧力が全体的に低下し、特に吹き出し口間に相当する箇所での乾き残しが助長される。
【００１６】
次に、ウェーハ端面における乾き残しについて、図９を参照しながら説明する。
図９（ａ）は、乾燥装置２００を側面から見た図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）の乾燥装置２００を水平方向に９０°回転させたときの乾燥装置２００を側面から見た図である。なお、図９（ａ）において、エアー供給管は省略されている。
ウェーハ２２０の端面においては、エアー２１２を吹き付けられた液体の一部は、ウェーハの外に飛散するが、一部は端面に付着したまま水滴２３４として残留する。
ウェーハ表面上を下方移動する液体は、ウェーハの移動速度（ウェーハ上の吹きつけ口移動速度）とある程度まとまった量で移動するため、比較的落下しやすい。
一方、ウェーハ２２０の端面に付着した水滴２３４は、重力によりウェーハ２２０の端面に沿ってゆっくり下方へ移動する。この水滴は比較的量が少なく、液体の表面張力により落下しづらい。このようにゆっくり移動するため、最下点に到達したときには既に吹き付けノズルが通過してしまい、ウェーハ２２０の最下点で吹き付けられる機会を逃しやすく、乾き残しとなりやすい。
さらに、ウェーハ２２０の最下点で吹き付けられるチャンスがあった場合でも、ウェーハ２２０の表裏の吹きつけ口高さや角度の僅かな違いで、気圧が低い方へ液滴２３６が移動してしまい、効果的に液滴を落下させることは難しい。
【００１７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、シンプルな構造の装置であっても、生産性の低下を招くことなく、乾き残しを低減できるウェーハの乾燥装置、及び、この乾燥装置を用いた乾燥方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明は、ウェーハの両面を同時に乾燥させるウェーハの乾燥装置であって、前記ウェーハの第１表面側に設けられた第１エアー供給管と、前記ウェーハの第２表面側に設けられた第２エアー供給管とを有するエアー供給部と、前記ウェーハを垂直に保持するウェーハ保持部とを含み、前記ウェーハが前記エアー供給部に対して相対的に移動するように構成され、前記第１エアー供給管には、前記ウェーハ側に所定の間隔で隔てられた複数の第１エアー吹き出し口が設けられ、前記第２エアー供給管には、前記ウェーハ側に所定の間隔で隔てられた複数の第２エアー吹き出し口が設けられ、前記複数の第１エアー吹き出し口、及び、前記複数の第２エアー吹き出し口は、それぞれ、前記ウェーハの垂直方向の中心線に対して周辺部から中央部に向かってエアーを吹き付けるように、前記ウェーハに対して垂直方向に対して角度をつけて設けられているものであることを特徴とするウェーハの乾燥装置を提供する。
【００１９】
このように、所定の間隔で隔てられた複数の第１エアー吹き出し口、及び、所定の間隔で隔てられた複数の第２エアー吹き出し口が、それぞれ、ウェーハの垂直方向の中心線に対して周辺部から中央部に向かってエアーを吹き付けるように、ウェーハに対して垂直方向に対して角度をつけて設けられていることで、ウェーハ表面上の液滴をウェーハの垂直方向の中心線に対して中央に集めながら乾燥することができるので、液滴の重量を大きくし、下方への移動とウェーハからの落下を促進することができるとともに、ウェーハの垂直方向の中心線に対して周辺部への液滴移動を減少させ、ウェーハ端面への水滴付着を防止することができ、乾き残しを低減させることができる。
【００２０】
このとき、前記第１エアー供給管、及び、前記第２エアー供給管は、その中央部が端部より高くなっているものであることが好ましい。
第１エアー供給管、及び、前記第２エアー供給管がこのような構成であれば、ウェーハ表面上の液滴を、より確実にウェーハの垂直方向の中心線に対して中央に集めながら乾燥することができる。
【００２１】
このとき、前記エアー供給部が固定され、前記ウェーハ保持部が前記ウェーハを垂直方向に移動させるようにすることができる。
上記の構成であれば、エアー供給部を移動させる必要がないので、乾燥装置をよりシンプルな構造にすることができる。
【００２２】
このとき、前記ウェーハ保持部が前記ウェーハを固定し、前記エアー供給部が垂直方向に移動するようにすることができる。
上記の構成であれば、ウェーハを移動させる必要がないので、乾燥中にウェーハ保持部からウェーハが落下することを確実に防ぐことができる。
【００２３】
このとき、前記ウェーハは、半導体ウェーハとすることができる。
ウェーハとして、半導体ウェーハを好適に乾燥することができる。
【００２４】
本発明はまた、上記のウェーハの乾燥装置を用いたウェーハの乾燥方法であって、前記ウェーハを前記エアー供給部に対して相対的に上方向に移動させながら、前記複数の第１エアー吹き出し口、及び、前記複数の第２エアー吹き出し口からエアーを前記ウェーハに吹き付けて、前記ウェーハの表面に付着した液体を前記ウェーハの垂直方向の中心線に対して中央部に寄せながら落下させて、前記ウェーハの両面を同時に乾燥させることを特徴とするウェーハの乾燥方法を提供する。
【００２５】
このようなウェーハの乾燥方法を用いれば、液滴の重量を大きくし、下方への移動とウェーハからの落下を促進することができるとともに、ウェーハの垂直方向の中心線に対して周辺部への液滴移動を減少させ、ウェーハ端面への水滴付着を防止することができ、ウェーハの乾き残しが低減できる。
【発明の効果】
【００２６】
以上のように、本発明によれば、ウェーハ表面上の液滴をウェーハの垂直方向の中心線に対して中央に集めながら乾燥することができるので、液滴の重量を大きくし、下方への移動とウェーハからの落下を促進することができるとともに、ウェーハの垂直方向の中心線に対して周辺部への液滴移動を減少させ、ウェーハ端面への水滴付着を防止することができ、ウェーハの乾き残しが低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明のウェーハの乾燥装置を示す図である。
【図２】水滴をウェーハの垂直方向の中心線に対して中央部に集める方策の概念図である。
【図３】エアー供給管の中央部が端部より高くなっている場合の概念図である。
【図４】本発明におけるウェーハの乾燥装置の問題点を解決する手段の概念図である。
【図５】従来のウェーハの乾燥装置を示す図である
【図６】従来のウェーハの乾燥装置の問題点を説明するための図である。
【図７】従来のウェーハの乾燥装置の問題点を説明するための他の図である。
【図８】乾き残りによって生ずる問題点を説明するための図である。
【図９】従来のウェーハの乾燥装置の他の問題点を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明について、実施態様の一例として、図を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
前述したように、図５の乾燥装置２００においては、乾き残しが発生してしまうことがあるという問題があり、乾き残しが発生すると、図８に示したように、中間検査で実施する測定（例えば、光学式ウェーハ断面形状測定機での測定）の測定結果の信頼性を低下させてしまうという問題があった。
【００２９】
そこで、本発明者らは、シンプルな構造の装置であっても、生産性の低下を招くことなく、乾き残しを低減できるウェーハの乾燥装置について鋭意検討を重ねた。
【００３０】
その結果、本発明者らは、所定の間隔で隔てられた複数の第１エアー吹き出し口、及び、所定の間隔で隔てられた複数の第２エアー吹き出し口が、それぞれ、ウェーハの垂直方向の中心線に対して周辺部から中央部に向かってエアーを吹き付けるように、ウェーハに対して垂直方向に対して角度をつけて設けられていることで、ウェーハ表面上の液滴をウェーハの垂直方向の中心線に対して中央に集めながら乾燥することができ、それにより、液滴の重量を大きくし、下方への移動とウェーハからの落下を促進することができるとともに、ウェーハの垂直方向の中心線に対して周辺部への液滴移動を減少させ、ウェーハ端面への水滴付着を防止することができることを見出し、本発明をなすに至った。
【００３１】
以下、図１〜図４を参照しながら、本発明のウェーハの乾燥装置を説明する。
図１（ａ）は本発明のウェーハの乾燥装置１００の上面から見た図を示しており、図１（ｂ）は本発明のウェーハの乾燥装置１００の側面から見た図を示しており、図１（ｃ）は図１（ｂ）の乾燥装置１００を水平方向に９０°回転させたときの乾燥装置１００を側面から見た図である。
【００３２】
本発明のウェーハの乾燥装置１００は、エアー供給部１０２と、ウェーハ１２０を保持するウェーハ保持部（ウェーハハンド）１１４を有している。エアー供給部１０２は、第１エアー供給管１０４と、第２エアー供給管１０６とを有し、第１エアー供給管１０４と、第２エアー供給管１０６とは連結部１１６によって連結されている。エアー供給部１０２は、エアー１１２が供給されるエアー供給口１２２を有しており、第１エアー供給管１０４には第１エアー供給口１２４が設けられ、第２エアー供給管１０６には第２エアー供給口１２６が設けられている。
第１エアー供給管１０４は、ウェーハ１２０の第１表面側に設けられ、第２エアー供給管１０６は、ウェーハ１２０の第２表面側に設けられている。第１エアー供給管１０４には、ウェーハ１２０側に所定の間隔で隔てられた複数の第１エアー吹き出し口１０８が設けられ、第２エアー供給管１０６には、ウェーハ１２０側に所定の間隔で隔てられた複数の第２エアー吹き出し口１１０が設けられている。
【００３３】
ウェーハの乾燥装置１００は、ウェーハ１２０がエアー供給部１０２に対して相対的に移動するように構成されている。
エアー供給部１０２が固定され、ウェーハ保持部１１４がウェーハ１２０を垂直方向に移動させる構成とすることができるし、ウェーハ保持部１１４がウェーハ１２０を固定し、エアー供給部１０２が垂直方向に移動する構成とすることもできる。
【００３４】
第１エアー吹き出し口１０８は、図１（ａ）の吹き出し口付近拡大図に示されるように、ウェーハ１２０の垂直方向の中心線に対して周辺部から中央部に向かってエアーを吹き付けるように、ウェーハ１２０に対して垂直方向に対して角度ｆを付けるように設けられている。
図２を参照しながら、さらに詳細に説明すると、連結部１１６側の第１エアー吹き出し口１０８は、エアー供給口１２２側の第１エアー吹き出し口１０８とは逆方向に角度が付けられていて、ウェーハ１２０の垂直方向の中心線に対して周辺部から中央部に向かってエアーを吹き付けるようになっている。
第２エアー吹き出し口１１０も第１エアー吹き出し口１０８と同様の構成になっている。
このような構成により、水滴をウェーハ１２０の垂直方向の中心線に対して中央部に集めることができる。
【００３５】
図４に示すように、水滴をウェーハ１２０の垂直方向の中心線に対して中央部に集めながら、乾燥していけば、最下点に集まる水滴１３６の重量は大きくなり、落下しやすくなり、乾き残しを低減させることができる。また水滴をウェーハ１２０の垂直方向の中心線に対して中央部に集めることにより、水滴がウェーハ端部に付着することを抑制することができ、小さな水滴がウェーハ周囲を伝わって最下点に移動してくることを防止でき、乾き残しを低減させることができる。
【００３６】
また、図１（ｂ），（ｃ）に示すように、第１エアー供給管１０４、及び、第２エアー供給管１０６は、その中央部が端部より高くなっていることが好ましい（図中、第１エアー供給管１０４は示されていないが、第２エアー供給管１０６と同様の構成になっている）。
【００３７】
ウェーハの乾燥装置１００の側面図である図３を参照しながら、さらに詳細に説明する。ウェーハ１２０の垂直方向の中央線（Ｃ線）に対する中央部に対応する箇所が高くなるように、第１エアー供給管１０４、及び、第２エアー供給管１０６を曲げることによって、以下のような効果を得ることができる。
Ａ線上では、まずウェーハの垂直方向の中央線に対する中央部にエアーが吹き付けられる。ここでエアーが吹き付けられた液滴は、その重力と吹き付け圧力差から主に下方に落下していく。側方に移動しようとしても、曲げられた吹き出し管から吹き出されるエアーに妨げられ、移動できない。
ウェーハの上方移動が進んだＢ線上では、既にウェーハ１２０の垂直方向の中央線に対する中央部では、エアー吹き出し口が通過してしまっているため、エアー吹き出し圧力が低下している。一方、ウェーハ外周部では、ちょうどエアー吹き出し口が通過しているので、エアーの吹き出し圧力が高まっている。この圧力差により、ウェーハ１２０の表面の液滴は、ウェーハの垂直方向の中央線に対する外周部から中央部へ集められる。さらに液滴が集められることにより、その重力が増加する。
最終的にウェーハ１２０の垂直方向の中央線に対する中央部の最下端に集まった液滴は、増加重力が表面張力を上回り、自然に落下しやすい状態にあり、さらに吹き付けられたエアーにより落下する。
【００３８】
上記に説明したように、第１エアー供給管１０４、及び、第２エアー供給管１０６がその中央部が端部より高くなっていることで、ウェーハ表面上の液滴を、より確実にウェーハの垂直方向の中心線に対して中央に集めながら乾燥することができる。
【００３９】
また、図１（ｃ）に示すように、第１エアー吹き出し口１０８、及び、第２エアー吹き出し口１１０は、水滴の下方への移動を促進させるために、上下方向に関して下向きに形成することができる。
【００４０】
さらに、２本のエアー供給管の間隔ｇを、端部よりも中央部を狭くすることにより、ウェーハの最下点で最後に残る液滴の乾燥を促進することができる
【００４１】
なお、ウェーハ保持部１１４は、図１では、真空吸着方式のウェハーハンドを例示したが、エッジグリップ方式のものでもよい。
また、第１エアー供給管１０４、及び、第２エアー供給管１０６は、図１では、中央部が高くなっているものを例示したが、第１エアー吹き出し口１０８、及び、第２エアー吹き出し口１１０が、図２に示すようにウェーハに対して角度をつけて設けられているものであれば、第１エアー供給管１０４、及び、第２エアー供給管１０６は、曲がっていなくても良い。
【００４２】
また、図１において、吹き出し口径ｄは直径０．３〜２ｍｍの範囲とすることができ、吹き出し口間隔ｅは１０ｍｍ以下とすることができ、吹き出し口角度（水平方向）ｆは１〜１５°の範囲とすることができ、エアー供給管の曲げ角度ｈは１７０〜９０°の範囲とすることができ、吹き出し口角度（上下方向）ｋは−１〜−１５°の範囲とすることができる。
【００４３】
次に、本発明のウェーハの乾燥方法を説明する。
上記で説明した図１のウェーハの乾燥装置１００を用いて、ウェーハ１２０をエアー供給部１０２に対して相対的に上方向に移動させながら、第１エアー供給管１０４に設けられた複数のエアー吹き出し口１０８、及び、第２エアー供給管１０６に設けられた複数のエアー吹き出し口１１０から、エアーを吹き付けて、ウェーハ１２０の表面に付着した液体をウェーハの垂直方向の中心線に対して中央部に寄せながら落下させて、ウェーハ１２０の両面を同時に乾燥させる。
【００４４】
このようなウェーハの乾燥方法を用いれば、液滴の重量を大きくし、下方への移動とウェーハからの落下を促進することができるとともに、ウェーハの垂直方向の中心線に対して周辺部への液滴移動を減少させ、ウェーハ端面への水滴付着を防止することができ、乾き残しを低減させることができる。
【実施例】
【００４５】
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例）
【００４６】
図１に示したウェーハの乾燥装置１００を用いて、上記で説明したウェーハの乾燥方法により、直径３００ｍｍのシリコンウェーハの両面乾燥を行った。なお、シリコンウェーハは、両面研磨後のもので、高分子濡れ剤を含むスラリーで覆われている。
【００４７】
また、使用したウェーハの乾燥装置１００の詳細を以下に示す。
エアー供給管の外径ａ：直径１３ｍｍ
エアー供給管の内径ｂ：直径９ｍｍ
エアー供給管の肉厚ｃ：直径２ｍｍ
吹き出し口径ｄ      ：直径１ｍｍ
吹き出し口間隔ｅ    ：５ｍｍ
吹き出し口角度（水平方向）ｆ：１５°
エアー供給管の間隔ｇ：中央部１５ｍｍ、端部１７ｍｍ
エアー供給管の曲げ角度ｈ：１６５°
エアー供給圧力      ：０．５ＭＰａ
ウェーハ移動速度ｊ  ：２５ｍｍ／ｓｅｃ
吹き出し口角度（上下方向）ｋ：−５°
【００４８】
（比較例）
実施例と同様のシリコンウェーハの両面乾燥を、以下の点を除いて実施例と同様のウェーハの乾燥装置により行った。ただし、比較例においては、エアー供給管を曲げない構成とし（すなわち、エアー供給管の曲げ角度ｈ：１８０°）、吹き出し口角度（水平方向）ｆを０°とし、吹き出し口角度（上下方向）ｋを０°とし、吹き出し口間隔ｅを１０ｍｍとし、エアー供給管の間隔ｇを１７ｍｍの平行配置とした。
【００４９】
実施例の両面乾燥後のシリコンウェーハと、比較例の両面乾燥後のシリコンウェーハについて、光学式厚み測定機でウェーハ断面形状を測定した。
その結果、比較例の両面乾燥後のシリコンウェーハでは、図８（ｃ）に示したような乾き残しによる測定異常が５％発生したが、実施例の両面乾燥後のシリコンウェーハでは、上記の測定異常を０．５％に低減することができた。
【００５０】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００５１】
１００、２００…ウェーハの乾燥装置、  １０２…エアー供給部、
１０４、２０４…第１エアー供給管、  １０６、２０６…第２エアー供給管、
１０８、２０８…第１エアー吹き出し口、  １１０、２１０…第２エアー吹き出し口、
１１２、２１２…エアー、  １１４…ウェーハ保持部（ウェーハハンド）、
１１６…連結部、  １２０、２２０…ウェーハ、  １２２…エアー供給口、
１２４…第１エアー供給口、  １２６…第２エアー供給口、  ２３０…乾き残し、
２３４…水滴、  １３６、２３６…ウェーハ最下点の水滴、
ａ…エアー供給管の外径、  ｂ…エアー供給管の内径、  ｃ…エアー供給管の肉厚、
ｄ…吹き出し口径、  ｅ…吹き出し口間隔、  ｆ…吹き出し口角度（水平方向）、
ｇ…エアー供給管の間隔、  ｈ…エアー供給管の曲げ角度、  ｉ…エアー供給圧力、
ｊ…ウェーハ移動速度、  ｋ…吹き出し口角度（上下方向）。
【図１】
2015122357.tif 000003
【図２】
2015122357.tif 000004
【図３】
2015122357.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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