(57)【要約】【課題】電力の消費量を削減することができるクロマトグラフ質量分析装置を提供する。【解決手段】真空チャンバ２１内を真空状態とするための真空ポンプ２４を用いて、カラムオーブン１３の壁面に形成された中空部１３ｃを真空状態とする。これにより、真空状態の中空部１３ｃを介してカラムオーブン１３内の熱が外部に漏れるのを防止することができるため、カラムオーブン１３内を加熱するためのヒータ１４による電力の消費量が無駄に増加するのを防止し、電力の消費量を削減することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラムで分離させた試料成分を質量分析部の真空チャンバ内に導き、試料成分をイオン化させることにより質量分析を行うクロマトグラフ質量分析装置であって、
前記カラムを内部に収容するカラムオーブンと、
前記カラムオーブン内を加熱するヒータと、
前記真空チャンバ内を真空状態とするための真空ポンプとを備え、
前記カラムオーブンの壁面には、中空部が形成されており、
前記真空ポンプを用いて、前記中空部が真空状態とされることを特徴とするクロマトグラフ質量分析装置。
【請求項２】
前記真空ポンプ及び前記真空チャンバを接続する第１接続路と、
前記真空ポンプ及び前記中空部を接続する第２接続路と、
前記第１接続路及び前記第２接続路の開閉状態を切り替えるための開閉切替部とをさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載のクロマトグラフ質量分析装置。
【請求項３】
前記開閉切替部を制御することにより、前記真空チャンバ及び前記中空部の少なくとも一方を真空状態とする真空処理部をさらに備えたことを特徴とする請求項２に記載のクロマトグラフ質量分析装置。
【請求項４】
前記カラムで分離させた試料成分を前記真空チャンバ内に導く第１流路と、
前記第１流路から分岐する第２流路と、
前記第２流路に接続され、前記カラムで分離させた試料成分を検出する検出器と、
前記カラムで分離させた試料成分を前記第１流路又は前記第２流路のいずれかに切り替えて供給可能な供給切替部と、
前記カラムを経由せずに前記真空チャンバ内に試料成分を直接供給するための直接供給部とをさらに備え、
前記真空処理部は、前記供給切替部により前記第１流路に試料成分が供給される場合には前記真空チャンバ及び前記中空部の両方を真空状態とし、前記供給切替部により前記第２流路に試料成分が供給される場合には前記中空部のみを真空状態とし、前記直接供給部により前記真空チャンバ内に試料成分が直接供給される場合には前記真空チャンバのみを真空状態とすることを特徴とする請求項３に記載のクロマトグラフ質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラムで分離させた試料成分を質量分析部の真空チャンバ内に導き、試料成分をイオン化させることにより質量分析を行うクロマトグラフ質量分析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
クロマトグラフ質量分析装置の一例であるガスクロマトグラフ質量分析装置（ＧＣ／ＭＳ）には、ガスクロマトグラフ部と質量分析部とが備えられている。キャリアガスとともにガスクロマトグラフ部のカラムに供給された各試料成分は、カラムを通過する過程で試料成分ごとに分離され、質量分析部に順次導かれてイオン化されることにより、質量分析が行われるようになっている（例えば、下記特許文献１参照）。
【０００３】
図３は、従来のガスクロマトグラフ質量分析装置の構成例を示した概略断面図である。このガスクロマトグラフ質量分析装置には、ガスクロマトグラフ部（ＧＣ部１０１）と質量分析部（ＭＳ部１０２）とが備えられている。
【０００４】
ＧＣ部１０１には、カラム１１１、試料導入部１１２、カラムオーブン１１３及びヒータ１１４などが備えられている。カラム１１１には、試料導入部１１２内の試料気化室（図示せず）から、キャリアガスとともに試料成分が供給される。カラム１１１は、カラムオーブン１１３内に設けられており、分析中は、カラムオーブン１１３内のヒータ１１４によりカラム１１１を加熱しながら、カラム１１１内に試料成分を供給することができるようになっている。
【０００５】
カラムオーブン１１３の壁面には、グラスファイバーなどの断熱材１１５が設けられている。具体的には、カラムオーブン１１３の壁面が、それぞれ箱状の外壁１１３ａと内壁１１３ｂとの二重構造により構成されており、外壁１１３ａと内壁１１３ｂとの間の空間に断熱材１１５が設けられている。
【０００６】
ＭＳ部１０２には、真空チャンバ１２１が備えられており、この真空チャンバ１２１内にイオン検出器１２２が設けられている。真空チャンバ１２１内は、真空ポンプ１２３により真空状態とすることができる。分析中は、カラム１１１で分離された試料成分を、真空状態とされた真空チャンバ１２１内に導いてイオン化し、そのイオンをイオン検出器１２２で検出することにより質量分析を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１１−２４２１７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記のような従来のガスクロマトグラフ質量分析装置では、単に断熱材１１５をカラムオーブン１１３の壁面に使用しているだけであるため、十分に断熱できているとは言い難く、カラムオーブン１１３内の熱が断熱材１１５を介して外部に漏れやすい。そのため、ヒータ１１４による電力の消費量が無駄に増加するという問題があった。
【０００９】
例えば、カラムオーブン１１３内の温度を一定に維持するようにヒータ１１４への通電を制御する恒温分析時には、断熱材１１５を介して外部に漏れるカラムオーブン１１３内の熱を補うために、ヒータ１１４に電力を供給し続ける必要があり、電力の消費量が増加してしまう。
【００１０】
また、カラムオーブン１１３内の温度を徐々に上昇させるようにヒータ１１４への通電を制御する昇温分析時にも、断熱材１１５を介して外部に漏れるカラムオーブン１１３内の熱の分だけ多くの電力をヒータ１１４に供給する必要があるため、電力の消費量が増加してしまう。
【００１１】
さらに、上記のような従来のガスクロマトグラフ質量分析装置では、カラムオーブン１１３の壁面に断熱材１１５を設けるために、外壁１１３ａと内壁１１３ｂとの間の空間を比較的大きくする必要がある。そのため、カラムオーブン１１３のサイズが大きくなり、装置が大型化してしまうという問題もある。
【００１２】
これらの問題は、ガスクロマトグラフ質量分析装置に限らず、液体クロマトグラフ質量分析装置などの他のクロマトグラフ質量分析装置においても同様に生じる問題である。
【００１３】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、電力の消費量を削減することができるクロマトグラフ質量分析装置を提供することを目的とする。また、本発明は、より小型化されたクロマトグラフ質量分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係るクロマトグラフ質量分析装置は、カラムで分離させた試料成分を質量分析部の真空チャンバ内に導き、試料成分をイオン化させることにより質量分析を行うクロマトグラフ質量分析装置であって、前記カラムを内部に収容するカラムオーブンと、前記カラムオーブン内を加熱するヒータと、前記真空チャンバ内を真空状態とするための真空ポンプとを備え、前記カラムオーブンの壁面には、中空部が形成されており、前記真空ポンプを用いて、前記中空部が真空状態とされることを特徴とする。
【００１５】
このような構成によれば、真空チャンバ内を真空状態とするための真空ポンプを用いて、カラムオーブンの壁面に形成された中空部を真空状態とすることができる。これにより、真空状態の中空部を介してカラムオーブン内の熱が外部に漏れるのを防止することができるため、カラムオーブン内を加熱するためのヒータによる電力の消費量が無駄に増加するのを防止し、電力の消費量を削減することができる。
【００１６】
また、真空チャンバ内を真空状態とするための真空ポンプを用いて中空部を真空状態とすることにより、中空部を真空状態とするための真空ポンプを別途設ける必要がない。これにより、装置の構成を簡略化することができるため、クロマトグラフ質量分析装置をより小型化することができる。
【００１７】
さらに、カラムオーブンの壁面に形成される中空部は、比較的小さい厚みであっても真空状態とすれば十分な断熱性が得られるため、中空部を形成することによりカラムオーブンが大型化するのを防止することができる。これにより、カラムオーブンの壁面に断熱材を設けるような構成と比較して、クロマトグラフ質量分析装置をより小型化することができる。
【００１８】
前記クロマトグラフ質量分析装置は、前記真空ポンプ及び前記真空チャンバを接続する第１接続路と、前記真空ポンプ及び前記中空部を接続する第２接続路と、前記第１接続路及び前記第２接続路の開閉状態を切り替えるための開閉切替部とをさらに備えていてもよい。
【００１９】
このような構成によれば、開閉切替部で第１接続路及び第２接続路の開閉状態を切り替えることにより、真空チャンバ及び中空部の少なくとも一方を真空状態とすることができる。したがって、真空チャンバ又は中空部を必要なときにだけ真空状態とすることができるため、真空ポンプが必要以上に駆動されるのを防止し、電力の消費量を削減することができる。
【００２０】
前記クロマトグラフ質量分析装置は、前記開閉切替部を制御することにより、前記真空チャンバ及び前記中空部の少なくとも一方を真空状態とする真空処理部をさらに備えていてもよい。
【００２１】
このような構成によれば、真空処理部で開閉切替部を制御することにより、真空チャンバ及び中空部の少なくとも一方を自動的に真空状態とすることができる。したがって、真空チャンバ又は中空部を必要なときにだけ確実に真空状態とすることができるため、真空ポンプの無駄な駆動をできる限り減らし、電力の消費量を効果的に削減することができる。
【００２２】
前記クロマトグラフ質量分析装置は、前記カラムで分離させた試料成分を前記真空チャンバ内に導く第１流路と、前記第１流路から分岐する第２流路と、前記第２流路に接続され、前記カラムで分離させた試料成分を検出する検出器と、前記カラムで分離させた試料成分を前記第１流路又は前記第２流路のいずれかに切り替えて供給可能な供給切替部と、前記カラムを経由せずに前記真空チャンバ内に試料成分を直接供給するための直接供給部とをさらに備えていてもよい。この場合、前記真空処理部は、前記供給切替部により前記第１流路に試料成分が供給される場合には前記真空チャンバ及び前記中空部の両方を真空状態とし、前記供給切替部により前記第２流路に試料成分が供給される場合には前記中空部のみを真空状態とし、前記直接供給部により前記真空チャンバ内に試料成分が直接供給される場合には前記真空チャンバのみを真空状態とすることが好ましい。
【００２３】
このような構成によれば、供給切替部により第１流路に試料成分が供給される場合には、カラム及び真空チャンバの両方に試料成分が流れるため、真空チャンバ及び中空部の両方が真空状態とされる。供給切替部により第２流路に試料成分が供給される場合には、真空チャンバに試料成分が流れないため、中空部のみが真空状態とされる。直接供給部により真空チャンバ内に試料成分が直接供給される場合には、カラムに試料成分が流れないため、真空チャンバのみが真空状態とされる。これにより、真空ポンプの駆動を最低限に減らすことができるため、電力の消費量をより効果的に削減することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、真空状態の中空部を介してカラムオーブン内の熱が外部に漏れるのを防止することができるため、カラムオーブン内を加熱するためのヒータによる電力の消費量が無駄に増加するのを防止し、電力の消費量を削減することができる。また、本発明によれば、中空部を真空状態とするための真空ポンプを別途設ける必要がなく、かつ、中空部が比較的小さい厚みであっても真空状態とすれば十分な断熱性が得られるため、クロマトグラフ質量分析装置をより小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態に係るガスクロマトグラフ質量分析装置の構成例を示した概略断面図である。
【図２】図１のガスクロマトグラフ質量分析装置における電気的構成の一例を示したブロック図である。
【図３】従来のガスクロマトグラフ質量分析装置の構成例を示した概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
図１は、本発明の一実施形態に係るガスクロマトグラフ質量分析装置の構成例を示した概略断面図である。このガスクロマトグラフ質量分析装置（ＧＣ／ＭＳ）には、ガスクロマトグラフ部（ＧＣ部１）と質量分析部（ＭＳ部２）とが備えられている。
【００２７】
ＧＣ部１には、カラム１１、試料導入部１２、カラムオーブン１３、ヒータ１４、ファン１５、冷却ガス供給部１６及び検出器１７などが備えられている。カラム１１は、例えばキャピラリカラムからなる。試料導入部１２内には試料気化室（図示せず）が形成されており、この試料気化室に液体試料が注入され、試料気化室内で気化された試料成分が、キャリアガスとともにカラム１１内に供給されるようになっている。
【００２８】
カラム１１は、ヒータ１４及びファン１５などとともにカラムオーブン１３内に収容されている。カラムオーブン１３の壁面は、それぞれ箱状の外壁１３ａと内壁１３ｂとの二重構造により構成されており、外壁１３ａと内壁１３ｂとの間に中空部１３ｃが形成されている。この中空部１３ｃは、密閉された空間からなり、カラム１１の外側を覆うように形成されている。
【００２９】
ヒータ１４は、カラムオーブン１３内の空気を加熱することによりカラム１１を加熱する。ファン１５は、ファンモータＭにより回転され、カラムオーブン１３内の空気を攪拌させる。分析中は、ファンモータＭを駆動させることにより、カラムオーブン１３内の温度分布を均一に保つことができる。
【００３０】
冷却ガス供給部１６は、冷却ガス供給路１６１を介してカラムオーブン１３内に連通しており、カラムオーブン１３内に液体窒素又は炭酸ガスなどの冷却ガスを供給する。分析中は、必要に応じて冷却ガス供給部１６からカラムオーブン１３内に冷却ガスを供給することができる。
【００３１】
例えば、カラムオーブン１３内の温度を一定に維持するようにヒータ１４への通電を制御する恒温分析時には、カラムオーブン１３内を比較的低い温度で維持する場合などに、冷却ガス供給部１６からカラムオーブン１３内に冷却ガスを供給することができる。また、カラムオーブン１３内の温度を徐々に上昇させるようにヒータ１４への通電を制御する昇温分析時には、初期温度を低くしてカラム１１の保持力を高める場合などに、冷却ガス供給部１６からカラムオーブン１３内に冷却ガスを供給することができる。
【００３２】
このように、分析中はヒータ１４及びファン１５が駆動されるとともに、必要に応じて冷却ガス供給部１６からカラムオーブン１３内に冷却ガスが供給される。そして、一連の分析が終了した場合には、ヒータ１４、ファン１５及び冷却ガス供給部１６の動作は停止され、排気用ファン（図示せず）の駆動によりカラムオーブン１３内の温度が室温に戻される。
【００３３】
質量分析時には、キャリアガスとともにカラム１１に供給された各試料成分が、カラム１１を通過する過程で試料成分ごとに分離され、第１流路１８１を介してＭＳ部２に導かれる。本実施形態では、第１流路１８１から第２流路１８２が分岐しており、当該第２流路１８２が検出器１７に接続されることにより、カラム１１で分離された試料成分を検出器１７に導くこともできるようになっている。
【００３４】
第１流路１８１に対する第２流路１８２の分岐部には、カラム１１で分離させた試料成分を第１流路１８１又は第２流路１８２のいずれかに切り替えて供給可能な供給切替部１９が設けられている。この供給切替部１９は、第１流路１８１又は第２流路１８２のいずれか一方にのみ選択的に試料成分を供給可能な構成であってもよいし、第１流路１８１及び第２流路１８２に供給する試料成分の割合を任意に調整できるような構成であってもよい。
【００３５】
供給切替部１９により試料成分を第１流路１８１に供給した場合には、試料成分がＭＳ部２に導かれ、当該ＭＳ部２において試料成分がイオン化されることにより質量分析が行われる。一方、供給切替部１９により試料成分を第２流路１８２に供給した場合には、試料成分が検出器１７に導かれ、当該検出器１７により試料成分が検出される。検出器１７は、例えば水素炎イオン化検出器（ＦＩＤ）などの各種検出器により構成することができる。
【００３６】
ＭＳ部２には、真空チャンバ２１、イオン検出器２２、直接供給部２３、真空ポンプ２４及び三方弁２５などが備えられている。ＧＣ部１の第１流路１８１は、ＭＳ部２の真空チャンバ２１に接続されており、カラム１１で分離させた試料成分を、第１流路１８１を介して真空チャンバ２１内に導くことができるようになっている。イオン検出器２２は、真空チャンバ２１内に設けられており、真空チャンバ２１内に導かれてイオン化された試料成分をイオン検出器２２で検出することにより、質量分析を行うことができる。
【００３７】
本実施形態では、真空チャンバ２１内に、直接供給部２３から試料成分を直接供給することができるようになっている。すなわち、ＧＣ部１のカラム１１を経由せずに、ＭＳ部２の真空チャンバ２１内に試料成分を供給し、真空チャンバ２１内でイオン化された試料成分をイオン検出器２２で検出することにより、質量分析を行うことができるようになっている。質量分析中は、真空ポンプ２４により真空チャンバ２１内を真空状態とすることができる。
【００３８】
真空ポンプ２４は、三方弁２５を介して真空チャンバ２１に接続されている。具体的には、真空ポンプ２４と三方弁２５とが接続路２６１により接続されるとともに、三方弁２５において接続路２６１から分岐する２つの分岐路（第１分岐路２６２及び第２分岐路２６３）のうち、一方の分岐路（第１分岐路２６２）が真空チャンバ２１に接続されている。
【００３９】
接続路２６１及び第１分岐路２６２は、真空ポンプ２４及び真空チャンバ２１を接続する第１接続路を構成している。三方弁２５により接続路２６１及び第１分岐路２６２を連通させた状態で真空ポンプ２４を駆動させ、真空チャンバ２１内の空気を吸引すれば、真空チャンバ２１内を真空状態とすることができる。
【００４０】
三方弁２５において接続路２６１から分岐する第２分岐路２６３は、カラムオーブン１３の中空部１３ｃに接続されている。すなわち、接続路２６１及び第２分岐路２６３は、真空ポンプ２４及び中空部１３ｃを接続する第２接続路を構成している。三方弁２５により接続路２６１及び第２分岐路２６３を連通させた状態で真空ポンプ２４を駆動させ、中空部１３ｃ内の空気を吸引すれば、中空部１３ｃ内を真空状態とすることができる。
【００４１】
また、三方弁２５により接続路２６１、第１分岐路２６２及び第２分岐路２６３を全て連通させた状態で真空ポンプ２４を駆動させれば、真空チャンバ２１内と中空部１３ｃ内との両方を真空状態とすることができる。三方弁２５は、第１接続路（接続路２６１と第１分岐路２６２）及び第２接続路（接続路２６１と第２分岐路２６３）の開閉状態を切り替えるための開閉切替部を構成している。
【００４２】
本実施形態では、真空チャンバ２１内を真空状態とするための真空ポンプ２４を用いて、カラムオーブン１３の壁面に形成された中空部１３ｃを真空状態とすることができる。これにより、真空状態の中空部１３ｃを介してカラムオーブン１３内の熱が外部に漏れるのを防止することができるため、カラムオーブン１３内を加熱するためのヒータ１４による電力の消費量が無駄に増加するのを防止し、電力の消費量を削減することができる。
【００４３】
特に、本実施形態では、三方弁２５で第１接続路（接続路２６１と第１分岐路２６２）及び第２接続路（接続路２６１と第２分岐路２６３）の開閉状態を切り替えることにより、真空チャンバ２１及び中空部１３ｃの少なくとも一方を真空状態とすることができる。したがって、真空チャンバ２１又は中空部１３ｃを必要なときにだけ真空状態とすることができるため、真空ポンプ２４が必要以上に駆動されるのを防止し、電力の消費量を削減することができる。
【００４４】
また、真空チャンバ２１内を真空状態とするための真空ポンプ２４を用いて中空部１３ｃを真空状態とすることにより、中空部１３ｃを真空状態とするための真空ポンプを別途設ける必要がない。これにより、装置の構成を簡略化することができるため、ガスクロマトグラフ質量分析装置をより小型化することができる。
【００４５】
さらに、カラムオーブン１３の壁面に形成される中空部１３ｃは、比較的小さい厚みであっても真空状態とすれば十分な断熱性が得られるため、中空部１３ｃを形成することによりカラムオーブン１３が大型化するのを防止することができる。これにより、カラムオーブン１３の壁面に断熱材を設けるような構成と比較して、ガスクロマトグラフ質量分析装置をより小型化することができる。
【００４６】
図２は、図１のガスクロマトグラフ質量分析装置における電気的構成の一例を示したブロック図である。このガスクロマトグラフ質量分析装置の動作は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を含む制御部３によって制御されるようになっている。
【００４７】
制御部３は、ＣＰＵがプログラムを実行することにより、加熱処理部３１、供給処理部３２及び真空処理部３３などとして機能する。加熱処理部３１は、ＧＣ部１のヒータ１４、ファンモータＭ及び冷却ガス供給部１６などの動作を制御して、カラムオーブン１３内の温度を調整することにより、恒温分析や昇温分析を実現する。
【００４８】
供給処理部３２は、ＧＣ部１の供給切替部１９及びＭＳ部２の直接供給部２３などの動作を制御することにより、試料成分の供給態様を切り替えるための処理を行う。例えば、カラム１１で分離させた試料成分をＭＳ部２の真空チャンバ２１内に導いて質量分析を行う場合には、供給切替部１９により第１流路１８１に試料成分が供給されるように供給処理部３２が処理を行う。
【００４９】
カラム１１で分離させた試料成分をＧＣ部１の検出器１７に導いて検出する場合には、供給切替部１９により第２流路１８２に試料成分が供給されるように供給処理部３２が処理を行う。カラム１１を経由せず、ＭＳ部２の真空チャンバ２１内に試料成分を直接供給して質量分析を行う場合には、直接供給部２３から真空チャンバ２１内に試料成分が供給されるように供給処理部３２が処理を行う。
【００５０】
真空処理部３３は、ＭＳ部２の真空ポンプ２４及び三方弁２５などの動作を制御することにより、真空チャンバ２１及び中空部１３ｃの真空状態を切り替えるための処理を行う。この真空処理部３３は、三方弁２５を制御することにより、真空チャンバ２１及び中空部１３ｃの少なくとも一方を自動的に真空状態とすることができる。したがって、真空チャンバ２１又は中空部１３ｃを必要なときにだけ確実に真空状態とすることができるため、真空ポンプ２４の無駄な駆動をできる限り減らし、電力の消費量を効果的に削減することができる。
【００５１】
真空処理部３３が三方弁２５を切り替える処理は、供給処理部３２による処理の態様、すなわち試料成分の供給態様によって異なる。例えば、供給切替部１９により第１流路１８１に試料成分が供給される場合には、三方弁２５により接続路２６１、第１分岐路２６２及び第２分岐路２６３を全て連通させた状態で真空ポンプ２４が駆動され、真空チャンバ２１及び中空部１３ｃの両方が真空状態とされる。
【００５２】
供給切替部１９により第２流路１８２に試料成分が供給される場合には、三方弁２５により接続路２６１及び第２分岐路２６３を連通させた状態で真空ポンプ２４が駆動され、中空部１３ｃのみが真空状態とされる。直接供給部２３により真空チャンバ２１内に試料成分が直接供給される場合には、三方弁２５により接続路２６１及び第１分岐路２６２を連通させた状態で真空ポンプ２４が駆動され、真空チャンバ２１のみが真空状態とされる。
【００５３】
このように、供給切替部１９により第１流路１８１に試料成分が供給される場合には、カラム１１及び真空チャンバ２１の両方に試料成分が流れるため、真空チャンバ２１及び中空部１３ｃの両方が真空状態とされる。供給切替部１９により第２流路１８２に試料成分が供給される場合には、真空チャンバ２１に試料成分が流れないため、中空部１３ｃのみが真空状態とされる。直接供給部２３により真空チャンバ２１内に試料成分が直接供給される場合には、カラム１１に試料成分が流れないため、真空チャンバ２１のみが真空状態とされる。これにより、真空ポンプ２４の駆動を最低限に減らすことができるため、電力の消費量をより効果的に削減することができる。
【００５４】
なお、一連の分析が終了した場合には、真空処理部３３が真空ポンプ２４の駆動を停止させることにより、真空チャンバ２１及び中空部１３ｃの両方の内部圧力が大気圧に戻されることとなる。
【００５５】
以上の実施形態では、真空ポンプ２４が、三方弁２５を介して真空チャンバ２１及び中空部１３ｃに接続された構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、三方弁２５以外の開閉切替部が備えられた構成であってもよいし、三方弁２５が省略された構成であってもよい。
【００５６】
三方弁２５が省略された構成の場合には、真空ポンプ２４が真空チャンバ２１及び中空部１３ｃに常に連通した状態であるため、真空ポンプ２４を駆動させれば、常に真空チャンバ２１内と中空部１３ｃ内との両方が真空状態とされる。このような構成であっても、真空チャンバ２１内を真空状態とするための真空ポンプ２４を用いて中空部１３ｃを真空状態とすることができるため、電力の消費量を削減することができるとともに、ガスクロマトグラフ質量分析装置をより小型化することができる。
【００５７】
ＧＣ部１は、検出器１７が省略された構成であってもよい。この場合、供給切替部１９も省略され、カラム１１で分離させた試料成分が常にＭＳ部２の真空チャンバ２１内に導かれるような構成であってもよい。また、ＭＳ部２は、直接供給部２３が省略された構成であってもよい。
【００５８】
以上の実施形態では、クロマトグラフ質量分析装置の一例として、ガスクロマトグラフ質量分析装置に本発明を適用した場合について説明したが、本発明は、ガスクロマトグラフ質量分析装置に限らず、液体クロマトグラフ質量分析装置などの他のクロマトグラフ質量分析装置にも適用可能である。
【符号の説明】
【００５９】
１    ＧＣ部（ガスクロマトグラフ部）
２    ＭＳ部（質量分析部）
３    制御部
１１    カラム
１２    試料導入部
１３    カラムオーブン
１３ａ  外壁
１３ｂ  内壁
１３ｃ  中空部
１４    ヒータ
１５    ファン
１６    冷却ガス供給部
１７    検出器
１９    供給切替部
２１    真空チャンバ
２２    イオン検出器
２３    直接供給部
２４    真空ポンプ
２５    三方弁
３１    加熱処理部
３２    供給処理部
３３    真空処理部
１６１    冷却ガス供給路
１８１    第１流路
１８２    第２流路
２６１    接続路
２６２    第１分岐路
２６３    第２分岐路
Ｍ    ファンモータ
【図１】
2015075355.tif 000003
【図２】
2015075355.tif 000004
【図３】
2015075355.tif 000005