(57)【要約】      （修正有）【課題】利得を保ちつつ、電力付加効率を改善可能な電界効果トランジスタを提供する。【解決手段】電界効果トランジスタは、積層体１１と、フィンガーソース電極１８と、フィンガードレイン電極２０と、フィンガーゲート電極２２と、絶縁層２４と、ソースフィールドプレート２８と、を有する。フィンガーゲート電極２２は、第１側面２２ａと第２側面２２ｂと上面２２ｃとを有する。絶縁層２４は、積層体の表面と、フィンガーゲート電極２２と、を覆う。ソースフィールドプレート２８は、絶縁層２４の上に設けられ、底部２８ａと、上部２８ｂと、フィンガーソース電極１８の一部に接続された接続部２８ｃと、を有する。ソースフィールドプレートの底部２８ａの第１側面は、フィンガーゲート電極の第２側面２２ｂとフィンガードレイン電極２０との間にある。フィンガーゲート電極２２に対する垂直断面において、上部２８ｂの長さが底部２２ａの長さよりも大きい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２次元電子ガス層を生じるヘテロ接合を有し半導体からなる積層体と、
前記積層体の表面に設けられたフィンガーソース電極と、
前記積層体の前記表面に前記フィンガーソース電極と平行に設けられたフィンガードレイン電極と、
前記フィンガーソース電極の側の第１側面と、前記フィンガードレイン電極の側の第２側面と、上面と、を有し、前記積層体の前記表面に前記フィンガーソース電極に平行に設けられたフィンガーゲート電極と、
前記フィンガーゲート電極の前記第１側面と前記フィンガーソース電極との間の前記積層体の前記表面と、前記フィンガーゲート電極の前記第２側面と前記フィンガードレイン電極との間の前記積層体の前記表面と、前記フィンガーゲート電極と、を覆う絶縁層と、
前記フィンガーゲート電極に平行となるように前記絶縁層の上に設けられ、第１側面と前記第１側面とは反対の側の第２側面とを有する底部と、前記底部の上に設けられた上部と、前記フィンガーソース電極の一部に接続された接続部と、を有するソースフィールドプレートであって、前記底部の前記第１側面は、前記フィンガーゲート電極の前記第２側面と前記フィンガードレイン電極との間にあり、前記フィンガーゲート電極に対する垂直断面において、前記上部の長さが前記底部の長さよりも大きい、ソースフィールドプレートと、
を備えた電界効果トランジスタ。
【請求項２】
前記フィンガーゲート電極の前記第２側面と対向する前記底部の前記第２側面と、前記第２側面の上の前記絶縁層と、の間は、空隙である請求項１記載の電界効果トランジスタ。
【請求項３】
前記絶縁層の上面と、前記上部の下面と、の間は、空隙である請求項１または２に記載の電界効果トランジスタ。
【請求項４】
前記底部と前記上部との積層構造の前記垂直断面は、Ｙ字またはＶ字形状を有する請求項１〜３のいずれか１つに記載の電界効果トランジスタ。
【請求項５】
前記フィンガーゲート電極は、前記フィンガードレイン電極に向かって張り出したゲートフィールドプレートを有する請求項１〜４のいずれか１つに記載の電界効果トランジスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、電界効果トランジスタに関する。
【背景技術】
【０００２】
ヘテロ接合を有する電界効果トランジスタは、マイクロ波帯以上で、高電圧かつ高温動作が容易であり、移動無線基地局やレーダー装置などに応用可能である。
【０００３】
電界効果トランジスタにおいて、フィンガーゲート電極とフィンガードレイン電極との間にソースフィールドプレートを設けると、電磁シールド効果によりゲート・ドレイン間容量が低減され最大安定利得を高めることができる。
【０００４】
しかしながら、ドレイン・ソース間容量が増加するため、動作周波数が高くなるに従い
ドレイン・ソース間容量に流れる高周波電流が増加し電力付加効率が低下する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表２００７−５３７５９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
最大安定利得を保ちつつ、電力付加効率を改善可能な電界効果トランジスタを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態の電界効果トランジスタは、積層体と、フィンガーソース電極と、フィンガードレイン電極と、フィンガーゲート電極と、絶縁層と、ソースフィールドプレートと、を有する。前記積層体は、２次元電子ガス層を生じるヘテロ接合を有し半導体からなる。前記フィンガーソース電極は、前記積層体の表面に設けられる。前記フィンガードレイン電極は、前記積層体の前記表面に前記フィンガーソース電極と平行に設けられる。前記フィンガーゲート電極は、前記フィンガーソース電極の側の第１側面と、前記フィンガードレイン電極の側の第２側面と、上面と、を有し、前記積層体の前記表面に前記フィンガーソース電極に平行に設けられる。前記絶縁層は、前記フィンガーゲート電極の前記第１側面と前記フィンガーソース電極との間の前記積層体の前記表面と、前記フィンガーゲート電極の前記第２側面と前記フィンガードレイン電極との間の前記積層体の前記表面と、前記フィンガーゲート電極と、を覆う。前記ソースフィールドプレートは、前記フィンガーゲート電極に平行となるように前記絶縁層の上に設けられ、第１側面と前記第１側面とは反対の側の第２側面とを有する底部と、前記底部の上に設けられた上部と、前記フィンガーソース電極の一部に接続された接続部と、を有する。ソースフィールドプレートの前記底部の前記第１側面は、前記フィンガーゲート電極の前記第２側面と前記フィンガードレイン電極との間にある。前記フィンガーゲート電極に対する垂直断面において、前記上部の長さが前記底部の長さよりも大きい。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１（ａ）は第１の実施形態にかかる電界効果トランジスタの模式平面図、図１（ｂ）はその模式断面図、である。
【図２】図２（ａ）〜（ｅ）は、第１の実施形態にかかる電界効果トランジスタの製造方法を説明する模式断面図である。
【図３】図３（ａ）は比較例にかかる電界効果トランジスタの部分模式断面図、図３（ｂ）はその模式平面図、である。
【図４】図４（ａ）はソースフィールドプレート長に対するゲート・ソース間容量依存性、図４（ｂ）はソースフィールドプレート長に対するゲート・ドレイン間容量依存性、図４（ｃ）はソースフィールドプレート長に対するドレイン・ソース間容量依存性、を表すグラフ図である。
【図５】出力電力に対する電力付加特効率依存性を表すグラフ図、である。
【図６】図６（ａ）〜（ｄ）はソースフィールドプレートの変形例、図６（ｅ）はフィンガーゲート電極の変形例を表す模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。
図１（ａ）は第１の実施形態にかかる電界効果トランジスタの模式平面図、図１（ｂ）はその模式断面図、である。
第１の実施形態において、電界効果トランジスタはＨＥＭＴ（High  Electron  Mobility Transisitor）とする。ただし、本発明はこれに限定されず、ＭＥＳＦＥＴ（Metal Semiconductor Field Effect transistor)などであってもよい。
【００１０】
ＨＥＭＴは、基板１０と、基板１０の上に設けられ半導体からなる積層体１１と、フィンガーソース電極１８と、フィンガーゲート電極２２と、フィンガードレイン電極２０と、ソースフィールドプレート２８と、絶縁層２４と、を有している。
【００１１】
第１の実施形態では、積層体１１は、たとえば、ＩｎｘＧａｙＡｌ１−ｘ−ｙＮ（０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、ｘ＋ｙ≦１）からなる組成式で表され、ドナーやアクセプタとなる元素を含んでいても良いものとする。なお、積層体１１は、ＡｌＧａＡｓなどであってもよい。
【００１２】
積層体１１は、ＧａＮなどからなるバッファ層１２と、バッファ層１２の上に設けられＧａＮなどからなるチャネル層１４、チャネル層１４とヘテロ接合を構成しＡｌ０．２Ｇａ０．８Ｎなどからなる電子供給層１６と、を含む。バッファ層１２の厚さは、たとえば、０．１〜１μｍなどの範囲とすることができる。チャネル層１４の厚さは、たとえば、３〜２０ｎｍなどの範囲とすることができる。電子供給層１６の厚さは、たとえば、５〜１００ｎｍなどとすることができる。また、チャネル層１４と、電子供給層１６とは、ノンドープとすることができる。
【００１３】
電子供給層１６からチャネル層１４へ移動した電子は、２次元電子ガス（２ＤＥＧ：two-dimensional electron gas）層１５を形成して、高移動度、かつ高密度の電子ガスとすることができる。
【００１４】
フィンガーソース電極１８およびフィンガードレイン電極２０は、積層体１１の表面１１ａを構成する電子供給層１６の表面に設けることができる。フィンガーゲート電極２２は、フィンガーソース電極１８と、フィンガードレイン電極２０と、の間の電子供給層１６の表面に設けることができる。フィンガーゲート電極２２がＮｉ／Ａｕからなるものとすると、Ｎｉと電子供給層１６とがショットキー障壁を構成する。フィンガーゲート電極２２に制御電圧を印加すると、ドレイン電流を制御できる。
【００１５】
たとえば、ゲート長Ｌｇは０．２〜１μｍ、ソースフィールドプレート２８とフィンガードレイン電極２０との間隔ＬＦＰＤは１〜５μｍなどとすることができる。
【００１６】
絶縁層２４は、積層体１１の表面１１ａのうちフィンガーゲート電極２２とフィンガーソース電極１８との間、およびフィンガーゲート電極２２とフィンガードレイン電極２０との間に設けられる。
【００１７】
絶縁層２４をＳｉＮやＳｉＯ２とすると、積層体１１の表面１１ａを保護することができる。
【００１８】
ソースフィールドプレート２８は、底部２８ａと、上部２８ｂと、接続部２８ｃと、を有する。底部２８ａは、絶縁層２４の表面に設けられ、かつフィンガーゲート電極２２に沿って延在する。底部２８ａは、フィンガーゲート電極２２とフィンガードレイン電極２０との間でありかつフィンガーゲート電極２２の近傍に設けられる。接続部２８ｃは、底部２８ａと上部２８ｂとからなるフィンガー部をフィンガーソース電極１８の一部に接続する。接続部２８ｃは、エアーブリッジなどでもよい。
【００１９】
上部２８ｂは、２ＤＥＧ層１５から離間し、かつフィンガーゲート電極２２よりも上方にあるので、長さＷ２を大きくしても、シールド効果に対する影響は小さい。
【００２０】
第１の実施形態において、ソースフィールドプレート２８の上部２８ｂの長さＷ２は、底部２８ａの長さＷ１よりも大きい。このため、底部２８ａと上部２８ｂとからなるフィンガー部の断面積が広くなりインダクタンスが低減される。インダクタンスが低減されたフィンガー部は、接続部２８ｃを介してフィンガーソース電極１８の一部に接続される。このため、高い周波数においても、ソースフィールドプレート２８の電位は、接地電位とされるフィンガーソース電極１８に近づけることができる。なお、ソースフィールドプレート２８は、Ａｕを含む金属からなるものとすることができる。    
【００２１】
第２側面２２ｂの上方をソースフィールドプレート２８で覆うことにより、フィンガードレイン電極２０の側の第２側面２２ｂの近傍領域に生じる電界を低減できる。このため、降伏電圧を高くできるので、漏洩電流の低減や信頼性の改善が容易となる。また、大信号高周波電圧を印加することができるので、高出力化が容易となる。
【００２２】
図１（ａ）に表す模式平面図は、ＨＥＭＴチップの一部分を表す。ＨＥＭＴを構成するセルは、積層体１１の一領域と、その表面に設けられたフィンガーゲート電極２２と、フィンガーソース電極１８と、フィンガードレイン電極２０と、を含み、単位トランジスタとして動作する。図１（ｂ）に表すように、セルを並列に多数配置することにより、高出力を得ることができる。なお、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面を表す。
【００２３】
図２（ａ）〜（ｅ）は、第１の実施形態にかかるＨＥＭＴの製造方法を説明する模式断面図である。
まず、基板（図示せず）の上に、バッファ層（図示せず）、チャネル層１４、電子供給層１６を含む積層体１１を、ＭＯＣＶＤ（Metal  Organic  Chemical  Vapor  Deposition)法などを用いて形成する。続いて、フィンガーソース電極１８、フィンガードレイン電極２０を形成する。
【００２４】
続いて、図２（ｂ）に表すように、フォトレジスト５０のパターニングを行う。この場合、ＲＩＥ（Reactive  Ion  Etching）などのドライエッチング法を用いると、急峻な側面を形成することが容易となる。
【００２５】
続いて、図２（ｃ）に表すように、フォトレジスト５０の開口部５０ａに露出した積層体１１の表面１１ａのフィンガーゲート電極２２を形成する。
【００２６】
続いて、図２（ｄ）に表すように、フィンガーゲート電極２２の両側の側面２２ａ、２２ｂと第１絶縁層２４との間に、ＳｉＮなどからなる絶縁層２４を形成する。
【００２７】
続いて、図２（ｅ）のように、ソースフィールドプレート２８の底部２８ａを絶縁層２４の上面に選択的に形成する。さらに、底部２８ａの上に、上部２８ｂを形成する。ソースフィールドプレート２８の上部２８ｂは、非対称形状でもよい。フィンガーゲート電極２２の上面２２ｃを覆う絶縁体層２４の上面と、ソースフィールドプレート２８の上部２８ｂの下面との間を空隙とすると、ゲート・ソース容量Ｃｇｓを低減できる。また、フィンガーゲート電極２２のフィンガーゲート電極２０の側の両側面２２ａ、２２ｂを覆う絶縁層２４とソースフィールドプレート２８の底部２８ａとの間に空隙とすると、ゲート・ソース間容量Ｃｇｓを低減できる。
【００２８】
なお、こののち、フィンガードレイン電極２０に接続されるドレイン端子電極５０、フィンガーゲート電極２２に接続されるゲート端子電極５２、フィンガーソース電極１８をチップの裏面電極に接続するためのバイヤホール４８ｖを有するソース端子電極４８、などを設けることができる。このようにして、図１に表すＨＥＭＴが完成する。
【００２９】
図３（ａ）は比較例にかかるＨＥＭＴの部分模式断面図、図３（ｂ）はその模式平面図である。
比較例では、ＳｉＮからなる絶縁層１２６は、フィンガーソース電極１１８とフィンガーゲート電極１２２とにはさまれた領域と、フィンガードレイン電極１２０とフィンガーゲート電極１２２とにはさまれた領域と、フィンガーゲート電極１２２の上面と２つの側面１２２ａ、１２２ｂとを覆う。また、ソースフィールドプレート１２８は、フィンガーゲート電極１２２の上面の中心線からフィンガードレイン電極１２０に向かって、長さＬＦＰ張り出している。ソースフィールドプレート１２８は、フィンガーソース電極１１８と部分的に接続されているものとする。なお、図３（ａ）は、図３（ｂ）におけるＡ−Ａ線に沿った模式断面図である。
【００３０】
比較例では、ソースフィールドプレート１２８において、底部１２８ａの長さと下部１２８ｂの長さとは、略等しいものとする。また、ソースフィールドプレート１２８は、フィンガーゲート電極１２２の上面の中心線１２２ｃからフィンガードレイン電極１２０に向かって長さＬＦＰだけ張り出したフィンガー部と、フィンガーソース電極１１８と接続する接続部１２８ｂと、を有する。  
【００３１】
図４（ａ）はソースフィールドプレート長に対する比較例のゲート・ソース間容量依存性、図４（ｂ）はソースフィールドプレート長に対する比較例のゲート・ドレイン間容量依存性、図４（ｃ）はソースフィールドプレート長に対する比較例のドレイン・ソース間容量依存性、を表すグラフ図である。
縦軸は相対値、横軸はソースフィールドプレート長、である。
【００３２】
図４（ａ）に表すように、ゲート・ソース間容量Ｃｇｓ（ｐＦ）は、ソースフィールドプレート１２８を設けると、ゲート・ソース間容量Ｃｇｓは、略３４％増加した。また、
ゲート・ソース間容量Ｃｇｓは，ソースフィールドプレート長ＬＦＰが０．５〜１．５μｍの範囲でその変動が２％以下と小さかった。なお、ゲート・ソース間容量Ｃｇｓが大きくなると、利得を含む高週波特性が低下するので好ましくない。  
【００３３】
また、図４（ｂ）に表すように、ゲート・ドレイン間容量Ｃｇｄ（ｐＦ）を設けると、ゲート・ドレイン間容量Ｃｇｄは、略２９％低下した。また、ゲート・ドレイン間容量は、ソースフィールドプレート長ＬＦＰが０．５〜１．５μｍの範囲でその変動が１％以下と小さかった。このように、フィンガーソース電極１１８に接続されたソースフィールドプレート１２８を設けると、シールド効果によりゲート・ドレイン間容量Ｃｇｄを、略７１％に低減できた。このため、入力端子であるフィンガーゲート電極１２２と、出力端子であるフィンガードレイン電極１２０と、の間でＳ１２（Ｓパラメータの１つで入出力間のアイソレーションを表す）を低減できる。
【００３４】
増幅素子の安定化係数Ｋが１よりも小さい場合、ＨＥＭＴの最大安定利得ＭＳＧ（Maximum  Stable Gain）は、４端子回路のＳパラメータ（逆方向伝達係数：Ｓ１２、順方向伝達係数：Ｓ２１）を用いて、式（１）で表される。
【００３５】
【数１】
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【００３６】
逆方向伝達係数Ｓ１２を低減することにより、最大安定利得ＭＳＧを高めることができる。  
【００３７】
また、図４（ｃ）に表すように、ソースフィールドプレート長ＬＦＰが０．５μｍのとき、ドレイン・ソース間容量Ｃｄｓ（ｐＦ）の相対値は０．１３、ソースフィールドプレート長ＬＦＰが１μｍのとき、ドレイン・ソース間容量Ｃｄｓ（ｐＦ）の相対値は０．２１となった。また、ソースフィールドプレート長ＬＦＰが１．５μｍのとき、ドレイン・ソース間容量Ｃｄｓ（ｐＦ）の相対値は０．２９となり、フィンガーソース電極１１８に接続されたソースフィールドプレートを設けないときの相対値０．０６の略５倍となった。すなわち、ドレイン・ソース間容量Ｃｄｓ（ｐＦ）は、ソースフィールドプレート長ＬＦＰに略比例して増大した。
【００３８】
図５は、出力電力に対する電力付加効率依存性を表すグラフ図である。
測定周波数は１０ＧＨｚ、ドレイン・ソース間電圧Ｖｄｓは２４Ｖであった。縦軸は電力付加効率（％）、横軸は出力電力（ｄＢｍ）、である。出力電力が３２．５ｄＢｍにおいて、ソースフィールドプレート長ＬＦＰが０．５μｍのとき、電力付加効率は６０％であった。これに対して、ソースフィールドプレート長ＬＦＰが１μｍのとき、電力付加効率は５１％となり、ソースフィールドプレート長ＬＦＰが０．５μｍにおけるよりも９％低下した。
【００３９】
すなわち、ソースフィールドプレート長ＬＦＰを小さくすると、ゲート・ドレイン間容量Ｃｇｄを低く保ちつつドレイン・ソース間容量Ｃｄｓを低減することができ、かつドレイン・ソース間容量Ｃｄｓに流れる高周波電流を低減できることが判明した。この結果、ドレイン抵抗で無駄に消費される電力が低減され、電力付加効率を高めることができる。
【００４０】
他方、高周波特性を高く保つためには、ゲート・ソース間容量Ｃｇｓも低く保つため、ソースフィールドプレート２８のフィンガー部とフィンガーソース電極１８とを部分的に接続する接続部２８ｃの面積を狭くすることが必要である。比較例においてはソースフィールドプレート２８もフィンガー部のインダクタンスＬが大きくなる。このため、高い周波数ｆにおいて、ソースフィールドプレート２８の先端部の電位は、フィンガーソース電極１８（接地電位）に２πｆＬなるインピーダンスが加算される。このため、シールド効果が低下し、低いドレイン・ソース容量Ｃｄｓを得ることが困難になる。
【００４１】
第１の実施形態では、ソースフィールドプレート２８の底部２８の上に、長さＷ２が大きい上部２８ｂを設けている。これにより、ソースフィールドプレート２８のフィンガー部の先端部からフィンガーソース電極１８までの間のインダクタンスＬが低減され、高い周波数においてもシールド効果が保たれ、ドレイン・ソース間容量Ｃｄｓが低く維持される。このため、電力付加効率の低下が抑制される。
【００４２】
図６（ａ）〜（ｄ）はソースフィールドプレートの変形例、図６（ｅ）はフィンガーゲート電極の変形例、を表す模式断面図である。
図６（ａ）は、ソースフィールドプレート２８の第１変形例を表す模式断面図である。底部２８ａの一方の側面は、フィンガーゲート電極２２の第２側面２２ｂの上の絶縁層２４と接する。また、上部２８ｂの下面は、フィンガーゲート電極２２の上面２２ｃに設けられた絶縁層２４と接する。
【００４３】
図６（ｂ）はソースフィールドプレート２８の第２変形例の模式断面図である。底部２８ａの一方の側面は、フィンガーゲート電極２２の第２側面２２ｂの上の絶縁層２４と接する。また、上部２８ｂの下面は、フィンガーゲート電極２２の上面２２ｃに設けられた絶縁層２４との間に空隙を有する。このようにすると、ゲート・ソース間容量を第１変形例のゲート・ソース間容量Ｃｇｓよりも低減することができる。
【００４４】
底部２８ａの一方の側面は、フィンガーゲート電極２２の第２側面２２ｂの上の絶縁層２４との間に空隙を有する。このようにすると、ゲート・ソース間容量Ｃｇｓを第１変形例のゲート・ソース間容量Ｃｇｓよりも低減することができる。また、上部２８ｂの下面は、フィンガーゲート電極２２の上面２２ｃに設けられた絶縁層２４と接する。  
【００４５】
図６（ｃ）は、ソースフィールドプレート２８の第３変形例である。底部２８ａの側面は、フィンガーゲート電極２２の第２側面２２ｂに設けられた絶縁層２４との間に空隙を有している。また、上部２８ｂの下面は、フィンガーゲート電極２２の上面２２ｃに設けられた絶縁層２４の上面に接している。第３変形例のゲート・ソース間容量Ｃｇｓは、第１変形例のゲート・ソース間容量Ｃｇｓよりも低くできる。ただし、底部２８ａが、フィンガーゲート電極２２の第２側面２２ｂから離間するほどゲート・ドレイン間容量Ｃｇｄ低減効果は低下する。
【００４６】
図６（ｄ）は、ソースフィールドプレート２８の第４変形例である。ソースフィールドプレート２８は。Ｙ字形状を有している。または、ソースフィールドプレート２８は、Ｖ字形状でもよい。
【００４７】
図６（ｅ）は、フィンガーゲート電極２２の変形例の模式断面図である。フィンガーゲート電極２２が、フィンガードレイン電極２０に向かって張り出したゲートフィールドプレート部２２ｄを有していてもよい。ゲートフィールドプレート２２ｄにより、電界強度を低減し降伏電圧をさらに高めることができる。
【００４８】
本実施形態によれば、最大安定利得を保ちつつ、電力付加効率を改善可能な電界効果トランジスタが提供される。この電界効果トランジスタは、レーダー装置や移動無線基地局などに広く用いることができる。
【００４９】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５０】
１１  積層体、１５  二次元電子ガス（２ＤＥＧ）層、１８  フィンガーソース電極、２０  フィンガードレイン電極、２２  フィンガーゲート電極、２２ａ  第１側面、２２ｂ  第２側面、２２ｃ  上面、２２ｄ  ゲートフィールドプレート、２４  絶縁層、２８  ソースフィールドプレート、２８ａ  底部、２８ｂ  上部、２８ｃ  接続部、ＬＦＰ  ソースフィールドプレート長
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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