(57)【要約】【課題】強度、靱性、加工性、耐食性、起歪体特性に優れた析出硬化型ステンレス鋼、及びこれを用いたセンサー用部品を提供すること。【解決手段】析出硬化型ステンレス鋼は、０．０２０≦Ｃ＜０．０７０ｍａｓｓ％、０．０５≦Ｓｉ＜０．５０ｍａｓｓ％、０．１≦Ｍｎ≦１．０ｍａｓｓ％、０．００３≦Ｐ≦０．０５０ｍａｓｓ％、Ｓ＜０．０２ｍａｓｓ％、２．０＜Ｃｕ≦４．０ｍａｓｓ％、２．０＜Ｎｉ＜４．０ｍａｓｓ％、１３．０≦Ｃｒ＜１７．０ｍａｓｓ％、０．０３≦Ｍｏ＜１．００ｍａｓｓ％、０．１０≦Ｎｂ≦０．４０ｍａｓｓ％、０．００１≦Ａｌ≦０．０３０ｍａｓｓ％、１．０＜Ｃｏ＜３．０ｍａｓｓ％、Ｏ≦０．０２０ｍａｓｓ％、及び、０．０２５＜Ｎ≦０．０７０ｍａｓｓ％を含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、０．０６０≦Ｃ＋Ｎ≦０．１００ｍａｓｓ％、Ｃｕ／Ｎｉ≦１．２０、α≦４７０、及びβ≦１０を満たす。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の構成を備えた析出硬化型ステンレス鋼。
（１）前記析出硬化型ステンレス鋼は、
０．０２０≦Ｃ＜０．０７０ｍａｓｓ％、
０．０５≦Ｓｉ＜０．５０ｍａｓｓ％、
０．１≦Ｍｎ≦１．０ｍａｓｓ％、
０．００３≦Ｐ≦０．０５０ｍａｓｓ％、
Ｓ＜０．０２ｍａｓｓ％、
２．０＜Ｃｕ≦４．０ｍａｓｓ％、
２．０＜Ｎｉ＜４．０ｍａｓｓ％、
１３．０≦Ｃｒ≦１７．０ｍａｓｓ％、
０．０３≦Ｍｏ＜１．００ｍａｓｓ％、
０．１０≦Ｎｂ≦０．４０ｍａｓｓ％、
０．００１≦Ａｌ≦０．０３０ｍａｓｓ％、
１．０＜Ｃｏ＜３．０ｍａｓｓ％、
Ｏ≦０．０２０ｍａｓｓ％、及び、
０．０２５＜Ｎ≦０．０７０ｍａｓｓ％
を含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなる。
（２）前記析出硬化型ステンレス鋼は、次の（１）式〜（４）式を満たす。
０．０６０≦Ｃ＋Ｎ≦０．１００ｍａｓｓ％    ・・・（１）
Ｃｕ／Ｎｉ≦１．２０    ・・・（２）
α≦４７０    ・・・（３）
β≦１０    ・・・（４）
但し、
α＝３６１([Ｃ]＋[Ｎ])＋２８[Ｓｉ]＋３９[Ｍｎ]＋１０[Ｃｕ]＋１７[Ｎｉ]＋２０[Ｃｒ]＋５[Ｍｏ]−１５[Ｃｏ]、
β＝１３８−{９９．７{([Ｎｉeq]＋３６．５)／([Ｃｒeq]＋１７．６)}}、
[Ｎｉeq]＝[Ｎｉ]＋３０([Ｃ]＋[Ｎ])＋０．５([Ｍｎ]＋[Ｃｕ])＋０．９２[Ｃｏ]、
[Ｃｒeq]＝[Ｃｒ]＋１．５[Ｍｏ]＋０．５[Ｓｉ]＋１．３７[Ｎｂ]。
【請求項２】
鋼中のオーステナイト量が２．０体積％以下である
請求項１に記載の析出硬化型ステンレス鋼。
【請求項３】
０．０５≦Ｗ≦２．０ｍａｓｓ％
をさらに含む請求項１又は２に記載の析出硬化型ステンレス鋼。
【請求項４】
０．００５≦Ｖ≦０．５０ｍａｓｓ％、
０．００５≦Ｔｉ≦０．５０ｍａｓｓ％、
０．００５≦Ｔａ≦０．５０ｍａｓｓ％、及び、
０．００５≦Ｚｒ≦０．５０ｍａｓｓ％
からなる群から選ばれるいずれか１種以上の元素をさらに含む請求項１から３までのいずれか１項に記載の析出硬化型ステンレス鋼。
【請求項５】
０．０００５≦Ｂ≦０．０１００ｍａｓｓ％、
０．０００５≦Ｍｇ≦０．０１００ｍａｓｓ％、及び、
０．０００５≦Ｃａ≦０．０１００ｍａｓｓ％
からなる群から選ばれるいずれか１種以上の元素をさらに含む請求項１から４までのいずれか１項に記載の析出硬化型ステンレス鋼。
【請求項６】
９５０〜１１００℃にて固溶化熱処理を施し、
目的の形状に加工後、４５０〜６５０℃の温度で時効熱処理すること
により得られる請求項１から５までのいずれか１項に記載の析出硬化型ステンレス鋼。
【請求項７】
請求項１から６までのいずれか１項に記載の析出硬化型ステンレス鋼を用いたセンサー用部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、析出硬化型ステンレス鋼及びセンサー用部品に関し、さらに詳しくは、起歪体特性に優れた析出硬化型ステンレス鋼、及びこれを用いたセンサー用部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力センサー、重量センサー、ロードセルといった荷重センサー用の部品として、起歪体が用いられる。起歪体とは、外力により歪みを発生させる部材をいう。起歪体に発生する歪みを歪みゲージで読み取ることにより、圧力や荷重を測定することができる。起歪体の材質として、一般に、ニッケルクロムモリブデン鋼やステンレス鋼が知られている。腐食が比較的穏やかな環境下では、ＳＵＳ４１０、ＳＵＳ４４０Ｃ、ＳＵＳ４２０Ｊ２などのマルテンサイト系ステンレス鋼が使用される。一方、腐食が比較的激しい環境下では、ＳＵＳ３０４などのオーステナイト系ステンレス鋼の冷間加工材や、ＳＵＳ６３０などの析出硬化型ステンレス鋼が使用されている（特許文献１参照）。
【０００３】
上記ステンレス鋼の内、オーステナイト系ステンレス鋼の冷間加工材は、板形状などの単純形状であり、かつ起歪体に負荷される応力が比較的小さい場合には適用可能である。しかし、複雑形状の起歪体については、要求される強度が得られない場合がある。また、溶接などが施されると、当該溶接部で強度低下が生じる。さらに、溶接後に熱処理を施すことにより、強度を向上させることもできない。そのため、複雑形状の起歪体、溶接を伴う起歪体については、所定の形状に加工した後の時効処理によって強度を得られる析出硬化型ステンレス鋼が使用されることが多い。
【０００４】
センサー用部品として使用される析出硬化型ステンレス鋼は、十分な強度、靱性、さらには腐食環境下では耐食性に優れていなくてはならない。さらに、センサー用部品には、起歪体特性を低下させないこと、すなわち経時的な寸法安定性が求められる。
【０００５】
従来より用いられてきた析出硬化型ステンレス鋼であるＳＵＳ６３０（１７Ｃｒ−４Ｎｉ−４Ｃｕ−Ｎｂ）は、固溶化熱処理時に残留オーステナイトが組織中に残存し、さらにその後の時効処理時にマルテンサイト相がオーステナイト相に逆変態する。その結果、熱処理後の組織中に、体積率にして約１０％以上のオーステナイト相を含んでいる。
このような素材を用いたセンサー用部品に繰り返しの荷重を負荷すると、軟質なオーステナイト相が微小降伏する。その結果、応力−歪み間のヒステリシスが増大して基準点が次第に変動し、正確な圧力や荷重を測定できないという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−０２６６４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、強度、靱性、加工性、及び耐食性が現行のＳＵＳ６３０と同等レベルを有し、かつ、起歪体特性に優れた析出硬化型ステンレス鋼を提供することにある。
また、本発明が解決しようとする他の課題は、このような析出硬化型ステンレス鋼を用いたセンサー用部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために本発明に係る析出硬化型ステンレスは、以下の構成を備えていることを要旨とする。
（１）前記析出硬化型ステンレス鋼は、
０．０２０≦Ｃ＜０．０７０ｍａｓｓ％、
０．０５≦Ｓｉ＜０．５０ｍａｓｓ％、
０．１≦Ｍｎ≦１．０ｍａｓｓ％、
０．００３≦Ｐ≦０．０５０ｍａｓｓ％、
Ｓ＜０．０２ｍａｓｓ％、
２．０＜Ｃｕ≦４．０ｍａｓｓ％、
２．０＜Ｎｉ＜４．０ｍａｓｓ％、
１３．０≦Ｃｒ≦１７．０ｍａｓｓ％、
０．０３≦Ｍｏ＜１．００ｍａｓｓ％、
０．１０≦Ｎｂ≦０．４０ｍａｓｓ％、
０．００１≦Ａｌ≦０．０３０ｍａｓｓ％、
１．０＜Ｃｏ＜３．０ｍａｓｓ％、
Ｏ≦０．０２０ｍａｓｓ％、及び、
０．０２５＜Ｎ≦０．０７０ｍａｓｓ％
を含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなる。
（２）前記析出硬化型ステンレス鋼は、次の（１）式〜（４）式を満たす。
０．０６０≦Ｃ＋Ｎ≦０．１００ｍａｓｓ％    ・・・（１）
Ｃｕ／Ｎｉ≦１．２０    ・・・（２）
α≦４７０    ・・・（３）
β≦１０    ・・・（４）
但し、
α＝３６１([Ｃ]＋[Ｎ])＋２８[Ｓｉ]＋３９[Ｍｎ]＋１０[Ｃｕ]＋１７[Ｎｉ]＋２０[Ｃｒ]＋５[Ｍｏ]−１５[Ｃｏ]、
β＝１３８−{９９．７{([Ｎｉeq]＋３６．５)／([Ｃｒeq]＋１７．６)}}、
[Ｎｉeq]＝[Ｎｉ]＋３０([Ｃ]＋[Ｎ])＋０．５([Ｍｎ]＋[Ｃｕ])＋０．９２[Ｃｏ]、
[Ｃｒeq]＝[Ｃｒ]＋１．５[Ｍｏ]＋０．５[Ｓｉ]＋１．３７[Ｎｂ]。
【０００９】
本発明に係るセンサー用部品は、本発明に係る析出硬化型ステンレス鋼を用いたことを要旨とする。
【発明の効果】
【００１０】
Ｃｏは、Ｍｓ点を上昇させる効果があり、また、Ｎｉと同様にオーステナイト生成元素であるが、Ｎｉに比べてＭｓ点及びＡ1変態点を低下させる作用が小さい。すなわち、所定量のＣｏ添加は、固溶化熱処理後の残留オーステナイト量、及び鋳造後に残存するδフェライト量を低減するだけでなく、高温時効処理時に生成する逆変態オーステナイト量を低減する作用がある。さらに、各添加元素の中には、軟質な残留オーステナイト相又はδフェライト相の量を増加させる作用がある元素と、減少させる作用がある元素とがある。
【００１１】
そのため、析出硬化型ステンレス鋼において、各成分元素の量（特に、Ｃｏ量）を最適化すると同時に、（１）〜（４）式の値を最適化すると、残留オーステナイト量、時効処理時の逆変態により生成する逆変態オーステナイト量、及び、鋳造後に残存するδフェライト量を同時に低減することができる。その結果、起歪体特性に優れた析出硬化型ステンレス鋼が得られる。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の一実施の形態について詳細に説明する。
［１．  析出硬化型ステンレス鋼］
［１．１．  主構成元素］
本発明に係る析出硬化型ステンレス鋼は、以下のような元素を含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなる。添加元素の種類、その成分範囲、及び、その限定理由は、以下の通りである。
【００１３】
（１）  ０．０２０≦Ｃ＜０．０７０ｍａｓｓ％：
Ｃは、δフェライト量を低下させるのに有効である。また、Ｃは、Ｎと共にＮｂと結合して炭窒化物を形成する。炭窒化物は、固溶化熱処理時の結晶粒粗大化を防止し、靱性及び延性の向上に寄与する。このような効果を得るためには、Ｃ量は、０．０２０ｍａｓｓ％以上である必要がある。Ｃ量は、さらに好ましくは、０．０２５ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．０３０ｍａｓｓ％以上である。
【００１４】
一方、Ｃの過剰添加は、Ｃｒ系炭化物の生成により母相の固溶Ｃｒを低下させ、耐食性を低下させる傾向がある。また、Ｍｓ点を低下させて残留オーステナイト量を増加させ、時効処理後の強度の低下と起歪体特性の低下を招く。従って、Ｃ量は、０．０７０ｍａｓｓ％未満である必要がある。Ｃ量は、さらに好ましくは、０．０６５ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．０６０ｍａｓｓ％以下である。
【００１５】
（２）  ０．０５≦Ｓｉ＜０．５０ｍａｓｓ％：
Ｓｉは、脱酸元素として有効である。このような効果を得るためには、Ｓｉ量は、０．０５ｍａｓｓ％以上である必要がある。Ｓｉ量は、さらに好ましくは、０．０７５ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．１０ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｓｉの過剰添加は、δフェライト量を増加させ、時効処理後の強度を低下させる。また、Ｓｉの過剰添加は、Ｍｓ点を低下させて残留オーステナイト量を増加させ、時効処理後の強度低下と起歪体特性の低下を招く。従って、Ｓｉ量は、０．５０ｍａｓｓ％未満である必要がある。Ｓｉ量は、さらに好ましくは、０．４５ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．４０ｍａｓｓ％以下である。
【００１６】
（３）  ０．１≦Ｍｎ≦１．０ｍａｓｓ％：
Ｍｎは、脱酸、脱硫元素として有効である。また、Ｍｎは、δフェライト量を低下させるのに有効である。このような効果を得るためには、Ｍｎ量は、０．１ｍａｓｓ％以上である必要がある。Ｍｎ量は、さらに好ましくは、０．１２ｍａｓｓ％、さらに好ましくは、０．１５ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｍｎの過剰添加は、Ｍｓ点を低下させて残留オーステナイト量を増加させ、時効処理後の強度低下と起歪体特性の低下を招く。従って、Ｍｎ量は、１．０ｍａｓｓ％以下である必要がある。Ｍｎ量は、さらに好ましくは、０．９０ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．８５ｍａｓｓ％以下である。
【００１７】
（４）  ０．００３≦Ｐ≦０．０５０ｍａｓｓ％：
Ｐは、固溶強化元素としてマトリックス強度の向上に有効である。このような効果を得るためには、Ｐ量は、０．００３ｍａｓｓ％以上である必要がある。
一方、Ｐは鋼材の不純物元素であり、Ｐの過剰添加は、熱間加工性及び靱性を低下させるため、できる限り低減することが好ましい。一方で、Ｐの必要以上の低減は、コストの上昇を招く。従って、Ｐ量は、０．０５０ｍａｓｓ％以下である必要がある。Ｐ量は、さらに好ましくは、０．０４５ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．０４０ｍａｓｓ％以下である。
【００１８】
（５）  Ｓ＜０．０２ｍａｓｓ％：
Ｓは、熱間加工性、靱性、及び耐食性を低下させるため、できる限り低減することが好ましい。一方で、Ｓの必要以上の低減は、コストの上昇を招く。従って、Ｓ量は、０．０２ｍａｓｓ％未満である必要がある。Ｓ量は、さらに好ましくは、０．０１５ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．０１０ｍａｓｓ％以下である。
【００１９】
（６）  ２．０＜Ｃｕ≦４．０ｍａｓｓ％：
Ｃｕは、析出硬化成分として必須の成分であり、耐食性向上にも有効である。また、δフェライト量を低下させるのにも有効である。このような効果を得るためには、Ｃｕ量は、２．０ｍａｓｓ％超である必要がある。Ｃｕ量は、さらに好ましくは、２．２ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、２．４ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｃｕの過剰添加は、Ｍｓ点を低下させて残留オーステナイト量を増加させ、時効処理後の強度の低下と起歪体特性の低下を招く。さらに、Ｃｕの過剰添加は、熱間加工性を低下させる。従って、Ｃｕ量は、４．０ｍａｓｓ％以下である必要がある。Ｃｕ量は、さらに好ましくは、３．８ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、３．６ｍａｓｓ％以下である。
【００２０】
（７）  ２．０＜Ｎｉ＜４．０ｍａｓｓ％：
Ｎｉは、δフェライト量を低下させるのに有効であり、耐食性向上にも有効である。このような効果を得るためには、Ｎｉ量は、２．０ｍａｓｓ％超である必要がある。Ｎｉ量は、さらに好ましくは、２．２ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、２．４ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｎｉの過剰添加は、Ｍｓ点を低下させて残留オーステナイト量を増加させ、時効処理後の強度の低下と起歪体特性の低下を招く。また、Ｎｉの過剰添加は、熱間加工性を低下させる。従って、Ｎｉ量は、４．０ｍａｓｓ％未満である必要がある。Ｎｉ量は、さらに好ましくは、３．９ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、３．８ｍａｓｓ％以下である。
【００２１】
（８）  １３．０≦Ｃｒ≦１７．０ｍａｓｓ％：
Ｃｒは、耐食性を向上させる元素として必須の元素である。このような効果を得るためには、Ｃｒ量は、１３．０ｍａｓｓ％以上である必要がある。Ｃｒ量は、さらに好ましくは、１３．３ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、１３．６ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｃｒの過剰添加は、δフェライト量を増加させ、時効処理後の強度を低下させる。また、Ｃｒの過剰添加は、Ｍｓ点を低下させて残留オーステナイト量を増加させ、時効処理後の強度の低下と起歪体特性の低下を招く。従って、Ｃｒ量は、１７．０ｍａｓｓ％以下である必要がある。Ｃｒ量は、さらに好ましくは、１６．７ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、１６．４ｍａｓｓ％以下である。
【００２２】
（９）  ０．０３≦Ｍｏ＜１．００ｍａｓｓ％：
Ｍｏは、耐食性の向上に有効である。このような効果を得るためには、Ｍｏ量は、０．０３ｍａｓｓ％以上である必要がある。Ｍｏ量は、さらに好ましくは、０．０５ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．０７ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｍｏの過剰添加は、δフェライト量を増加させ、時効処理後の強度を低下させる。また、Ｍｏの過剰添加は、Ｍｓ点を低下させて残留オーステナイト量を増加させ、時効処理後の強度の低下と起歪体特性の低下を招く。従って、Ｍｏ量は、１．００ｍａｓｓ％未満である必要がある。Ｍｏ量は、さらに好ましくは、０．９０ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．８０ｍａｓｓ％以下である。
【００２３】
（１０）  ０．１０≦Ｎｂ≦０．４０ｍａｓｓ％：
Ｎｂは、Ｃ及びＮと結合して炭窒化物を形成する。炭窒化物は、固溶化熱処理時の結晶粒粗大化を防止し、靱性及び延性の向上に寄与する。また、固溶Ｃ、Ｎを減少させるため、Ｍｓ点が上昇し、残留オーステナイト量を減少させるのに有効である。このような効果を得るためには、Ｎｂ量は、０．１０ｍａｓｓ％以上である必要がある。Ｎｂ量は、さらに好ましくは、０．１２ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．１４ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｎｂの過剰添加は、熱間加工性を害すると共に、δフェライト量を増加させ、時効処理後の強度を低下させる。従って、Ｎｂ量は、０．４０ｍａｓｓ％以下である必要がある。Ｎｂ量は、さらに好ましくは、０．３８ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．３６ｍａｓｓ％以下である。
【００２４】
（１１）  ０．００１≦Ａｌ≦０．０３０ｍａｓｓ％：
Ａｌは、脱酸元素として有効である。このような効果を得るためには、Ａｌ量は、０．００１ｍａｓｓ％以上である必要がある。Ａｌ量は、さらに好ましくは、０．００２ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．００３ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ａｌの過剰添加は、δフェライト量を増加させ、時効処理後の強度を低下させる。また、粗大な窒化物が形成されやすくなり、靱性の低下を招く。従って、Ａｌ量は、０．０３０ｍａｓｓ％以下である必要がある。Ａｌ量は、さらに好ましくは、０．０１０ｍａｓｓ％以下である。
【００２５】
（１２）  １．０＜Ｃｏ＜３．０ｍａｓｓ％：
Ｃｏは、耐食性向上に有効であるだけでなく、添加によりＭｓ点を上昇させる効果がある。また、Ｃｏは、δフェライトの晶出を抑制するのにも有効である。さらに、Ｃｏは、オーステナイト安定化元素であるが、Ｎｉほどの安定化作用はなく、Ｃｏを一定量添加しても、時効処理時の逆変態を促進しない。そのため、Ｃｏの添加は、起歪体特性の向上に大きく寄与する。このような効果を得るためには、Ｃｏ量は、１．０ｍａｓｓ％超である必要がある。Ｃｏ量は、さらに好ましくは、１．１０ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、１．１５ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｃｏの過剰添加は、コストの上昇を招く。従って、Ｃｏ量は、３．０ｍａｓｓ％未満である必要がある。Ｃｏ量は、さらに好ましくは、２．９ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、２．８ｍａｓｓ％以下である。
【００２６】
（１３）  Ｏ≦０．０２０ｍａｓｓ％：
Ｏの過剰添加は、熱間加工性、靱性、及び耐食性を低下させるため、できる限り低減することが好ましい。一方で、Ｏの必要以上の低減は、コストの上昇を招く。従って、Ｏ量は、０．０２０ｍａｓｓ％以下である必要がある。Ｏ量は、さらに好ましくは、０．０１５ｍａｓｓ％以下である。
【００２７】
（１４）  ０．０２５＜Ｎ≦０．０７０ｍａｓｓ％：
Ｎは、δフェライト量を低下させるのに有効である。また、Ｎは、Ｃと共にＮｂと結合して炭窒化物を形成する。炭窒化物は、固溶化熱処理時の結晶粒粗大化を防止し、靱性、及び延性の向上に寄与する。このような効果を得るためには、Ｎ量は、０．０２５ｍａｓｓ％超である必要がある。Ｎ量は、さらに好ましくは、０．０２７ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．０２９ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｎの過剰添加は、靱性を低下させる。また、Ｍｓ点を低下させて残留オーステナイト量を増加させ、時効処理後の強度の低下と起歪体特性の低下を招く。従って、Ｎ量は、０．０７０ｍａｓｓ％以下である必要がある。Ｎ量は、さらに好ましくは、０．０６５ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．０６０ｍａｓｓ％以下である。
【００２８】
［１．２．  副構成元素］
本発明に係る析出硬化型ステンレス鋼は、上述した主構成元素に加えて、以下の１種又は２種以上の副構成元素をさらに含んでいてもよい。添加元素の種類、その成分範囲、及び、その限定理由は、以下の通りである。
【００２９】
（１５）  ０．０５≦Ｗ≦２．０ｍａｓｓ％：
Ｗは、耐食性向上に有効である。このような効果を得るためには、Ｗ量は、０．０５ｍａｓｓ％以上が好ましい。Ｗ量は、さらに好ましくは、０．１０ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．１５ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｗの過剰添加は、コストの上昇を招く。また、Ｍｓ点を低下させて残留オーステナイト量を増加させ、時効処理後の強度の低下と起歪体特性の低下を招く。従って、Ｗ量は、２．０ｍａｓｓ％以下が好ましい。Ｗ量は、さらに好ましくは、１．８ｍａｓｓ％以下である。
【００３０】
（１６）  ０．００５≦Ｖ≦０．５０ｍａｓｓ％：
Ｖは、Ｎｂと同様に、Ｃ、Ｎと結合して炭窒化物を形成する。炭窒化物は、固溶化熱処理時の結晶粒の粗大化を防止し、靱性の向上に寄与する。このような効果を得るためには、Ｖ量は、０．００５ｍａｓｓ％以上が好ましい。Ｖ量は、さらに好ましくは、０．０１０ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．０１５ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｖの過剰添加は、熱間加工性を害するとともに、δフェライト量を増加させ、時効処理後の強度を低下させる。従って、Ｖ量は、０．５０ｍａｓｓ％以下が好ましい。Ｖ量は、さらに好ましくは、０．４５ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．４０ｍａｓｓ％以下である。
【００３１】
（１７）  ０．００５≦Ｔｉ≦０．５０ｍａｓｓ％：
Ｔｉは、Ｃ、Ｎと結合して炭窒化物を形成する。炭窒化物は、固溶化熱処理時の結晶粒の粗大化を防止し、靱性の向上に寄与する。このような効果を得るためには、Ｔｉ量は、０．００５ｍａｓｓ％以上が好ましい。Ｔｉ量は、さらに好ましくは、０．０１０ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．０１５ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｔｉの過剰添加は、熱間加工性を害するとともに、δフェライト量を増加させ、時効処理後の強度を低下させる。従って、Ｔｉ量は、０．５０ｍａｓｓ％以下が好ましい。Ｔｉ量は、さらに好ましくは、０．４５ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．４０ｍａｓｓ％以下である。
【００３２】
（１８）  ０．００５≦Ｔａ≦０．５０ｍａｓｓ％：
Ｔａは、Ｃ、Ｎと結合して炭窒化物を形成する。炭窒化物は、固溶化熱処理時の結晶粒の粗大化を防止し、靱性の向上に寄与する。このような効果を得るためには、Ｔａ量は、０．００５ｍａｓｓ％以上が好ましい。Ｔａ量は、さらに好ましくは、０．０１０ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．０１５ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｔａの過剰添加は、熱間加工性を害するとともに、δフェライト量を増加させ、時効処理後の強度を低下させる。従って、Ｔａ量は、０．５０ｍａｓｓ％以下が好ましい。Ｔｉ量は、さらに好ましくは、０．４５ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．４０ｍａｓｓ％以下である。
【００３３】
（１９）  ０．００５≦Ｚｒ≦０．５０ｍａｓｓ％：
Ｚｒは、Ｃ、Ｎと結合して炭窒化物を形成する。炭窒化物は、固溶化熱処理時の結晶粒の粗大化を防止し、靱性の向上に寄与する。このような効果を得るためには、Ｚｒ量は、０．００５ｍａｓｓ％以上が好ましい。Ｚｒ量は、さらに好ましくは、０．０１０ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．０１５ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｚｒの過剰添加は、熱間加工性を害するとともに、δフェライト量を増加させ、時効処理後の強度を低下させる。従って、Ｚｒ量は、０．５０ｍａｓｓ％以下が好ましい。Ｚｒ量は、さらに好ましくは、０．４５ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．４０ｍａｓｓ％以下である。
なお、Ｖ、Ｔｉ、Ｔａ及びＺｒは、いずれか１種を添加しても良く、あるいは、２種以上を添加しても良い。
【００３４】
（２０）  ０．０００５≦Ｂ≦０．０１００ｍａｓｓ％：
Ｂは、熱間加工性の向上に有効である。このような効果を得るためには、Ｂ量は、０．０００５ｍａｓｓ％以上が好ましい。Ｂ量は、さらに好ましくは、０．０００７ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．０００９ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｂの過剰添加は、清浄度を低下させ、逆に熱間加工性を害する。従って、Ｂ量は、０．０１００ｍａｓｓ％以下が好ましい。Ｂ量は、さらに好ましくは、０．００８０ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．００５０ｍａｓｓ％以下である。
【００３５】
（２１）  ０．０００５≦Ｍｇ≦０．０１００ｍａｓｓ％：
Ｍｇは、熱間加工性の向上に有効である。このような効果を得るためには、Ｍｇ量は、０．０００５ｍａｓｓ％以上が好ましい。Ｍｇ量は、さらに好ましくは、０．０００７ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．０００９ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｍｇの過剰添加は、清浄度を低下させ、逆に熱間加工性を害する。従って、Ｍｇ量は、０．０１００ｍａｓｓ％以下が好ましい。Ｍｇ量は、さらに好ましくは、０．００８０ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．００５０ｍａｓｓ％以下である。
【００３６】
（２２）  ０．０００５≦Ｃａ≦０．０１００ｍａｓｓ％：
Ｃａは、熱間加工性の向上に有効である。このような効果を得るためには、Ｃａ量は、０．０００５ｍａｓｓ％以上が好ましい。Ｃａ量は、さらに好ましくは、０．０００７ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．０００９ｍａｓｓ％以上である。
一方、Ｃａの過剰添加は、清浄度を低下させ、逆に熱間加工性を害する。従って、Ｃａ量は、０．０１００ｍａｓｓ％以下が好ましい。Ｃａ量は、さらに好ましくは、０．００８０ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．００５０ｍａｓｓ％以下である。
なお、Ｂ、Ｍｇ及びＣａは、いずれか１種を添加しても良く、あるいは、２種以上を添加しても良い。
【００３７】
［１．３．  成分バランス］
本発明に係る析出硬化型ステンレス鋼は、成分元素が上述の範囲にあることに加えて、さらに次の（１）式〜（４）式を満たしている必要がある。
０．０６０≦Ｃ＋Ｎ≦０．１００ｍａｓｓ％    ・・・（１）
Ｃｕ／Ｎｉ≦１．２０    ・・・（２）
α≦４７０    ・・・（３）
β≦１０    ・・・（４）
但し、
α＝３６１([Ｃ]＋[Ｎ])＋２８[Ｓｉ]＋３９[Ｍｎ]＋１０[Ｃｕ]＋１７[Ｎｉ]＋２０[Ｃｒ]＋５[Ｍｏ]−１５[Ｃｏ]、
β＝１３８−{９９．７{([Ｎｉeq]＋３６．５)／([Ｃｒeq]＋１７．６)}}、
[Ｎｉeq]＝[Ｎｉ]＋３０([Ｃ]＋[Ｎ])＋０．５([Ｍｎ]＋[Ｃｕ])＋０．９２[Ｃｏ]、
[Ｃｒeq]＝[Ｃｒ]＋１．５[Ｍｏ]＋０．５[Ｓｉ]＋１．３７[Ｎｂ]。
【００３８】
［１．３．１．  （１）式］
（１）式は、Ｃ量とＮ量の合計量を表す。合計量は、時効処理後の靱性に影響を与える。良好な靱性を得るためには、合計量は、０．０６０ｍａｓｓ％以上である必要がある。合計量は、さらに好ましくは、０．０６２ｍａｓｓ％以上、さらに好ましくは、０．０６４ｍａｓｓ％以上である。
一方、これらの元素の過剰添加は、Ｍｓ点を低下させて残留オーステナイト量を増加させ、時効処理後の強度の低下と起歪体特性の低下を招く。従って、合計量は、０．１００ｍａｓｓ％以下である必要がある。合計量は、さらに好ましくは、０．０９５ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．０９０ｍａｓｓ％以下である。
【００３９】
［１．３．２．  （２）式］
（２）式は、Ｎｉ量に対するＣｕ量の比を表す。一般に、Ｃｕの過剰添加は、熱間加工性を阻害する。しかし、Ｃｕ量に見合ったＮｉを添加すると、相対的に多量のＣｕを含む場合であっても十分な熱間加工性が得られる。このような効果を得るためには、Ｃｕ／Ｎｉ比は、１．２０以下である必要がある。Ｃｕ／Ｎｉ比は、さらに好ましくは、１．１０以下である。
【００４０】
［１．３．３．  （３）式］
（３）式、すなわち、α値は、固溶化熱処理時に生じる残留オーステナイトの生成傾向を表す。α値が低いほど、固溶化熱処理時のＭｓ点は上昇し、残留オーステナイト量が低減する。Ｍｓ点が高くなるほど、残留オーステナイト相の微小降伏によるヒステリシスの増大が抑制される。その結果、起歪体として使用した際に繰り返し応力が負荷された場合であっても、基準点が次第に変動し難くなる等、起歪体特性を向上させることができる。このような効果を得るためには、α値は、４７０以下である必要がある。α値は、さらに好ましくは、４６０以下、さらに好ましくは、４５０以下である。
【００４１】
［１．３．４．  （４）式］
（４）式、すなわち、β値は、鋳造時に残存するδフェライト量と相関がある。β値が低いほど、鋳造時に残存するδフェライトは減少する。δフェライトが残存すると、時効処理後の強度、及び靱性を低下させるほか、残留オーステナイトと同様に起歪体特性を悪化させる懸念がある。時効処理後において、十分な強度、靱性、及び起歪体特性を得るためには、β値は、１０以下である必要がある。β値は、さらに好ましくは、８以下、さらに好ましくは、５以下である。
【００４２】
［１．４．  オーステナイト量］
一般に、鋼中のオーステナイト量（＝残留オーステナイト量＋逆変態オーステナイト量）が少なくなるほど、オーステナイト相の微小降伏に起因する起歪体特性の低下を抑制することができる。高い起歪体特性を得るためには、オーステナイト量は、２．０体積％以下である必要がある。オーステナイト量は、さらに好ましくは、１．０体積％以下である。
成分範囲（特に、上述したα値）を最適化すると、オーステナイト量の少ない析出硬化型ステンレス鋼が得られる。
【００４３】
［２．  析出硬化型ステンレス鋼の製造方法］
本発明に係る析出硬化型ステンレス鋼は、
（１）所定の成分となるように配合された原料を溶解・鋳造し、
（２）得られた鋳塊に熱間加工を施して、所定形状の鋼材とし、
（３）熱間加工後の鋼材に対して固溶化熱処理を行い、
（４）鋼材を目的の形状に冷間加工又は切削加工し、
（５）その鋼材に対して時効処理を行う
ことにより製造することができる。
【００４４】
［２．１．  溶解・鋳造工程］
まず、所定の成分となるように配合された原料を溶解・鋳造する（溶解・鋳造工程）。溶解方法及び鋳造方法は、特に限定されるものではなく、目的とする組成を有する鋳塊が得られる方法であれば良い。溶解方法としては、例えば、真空誘導溶解法などがある。
【００４５】
［２．２．  熱間加工工程］
次に、得られた鋳塊に対して熱間加工を施して、所定形状の鋼材とする（熱間加工工程）。熱間加工方法は、特に限定されるものではなく、所定形状の鋼材が得られる方法であればよい。熱間加工方法としては、例えば、熱間鍛造、熱間圧延などがある。
【００４６】
［２．３．  固溶化熱処理工程］
次に、熱間加工後の鋼材に対して固溶化熱処理を行う。固溶化熱処理は、具体的には、鋼材の組成に応じた最適な温度に加熱し、一定時間その温度に保持し、空冷、油冷、又は水冷することにより行う。固溶化熱処理温度が所定の範囲内にあれば、良好な冷間加工性、耐食性、及び時効処理後の高強度が得られる。
【００４７】
固溶化熱処理温度が低すぎると、オーステナイト単相の組織が得られない。従って、固溶化熱処理温度は、９５０℃以上である必要がある。固溶化熱処理温度は、さらに好ましくは、１０２０℃以上である。
一方、固溶化熱処理温度が高すぎると、結晶粒が粗大化し、靱性の低下を招く。従って、固溶化熱処理温度は、１１００℃以下である必要がある。固溶化熱処理温度は、さらに好ましくは、１０５０℃以下である。
【００４８】
固溶化熱処理時間は、特に限定されるものではなく、鋼の組成及び固溶化熱処理温度に応じて最適な時間を選択する。一般に、固溶化熱処理温度が高くなるほど、短時間でオーステナイト単相の組織とすることができる。
固溶加熱処理後、冷却すると、オーステナイト相がマルテンサイト相に変態する。本発明に係る析出硬化型ステンレス鋼の場合、空冷であってもマルテンサイト変態が生じる。
【００４９】
［２．４．  加工工程］
次に、固溶化熱処理後の鋼材に対して冷間加工又は切削加工を行う（加工工程）。冷間加工及び切削加工は、鋼材を目的とする形状にするために行う。冷間加工及び切削加工の方法は、特に限定されるものではなく、目的に応じて種々の方法を用いることができる。
【００５０】
［２．５．  時効処理工程］
さらに、加工後の鋼材に対して時効処理を行う（時効処理工程）。時効処理は、具体的には、鋼材の組成に応じた最適な温度に加熱し、一定時間その温度に保持し、空冷することにより行う。時効処理により、マルテンサイト相中に金属間化合物が析出する。時効処理温度が所定の範囲内にあれば、鋼中のオーステナイト量が少なく、かつ、高い強度と良好な起歪体特性とを備えた析出硬化型ステンレス鋼が得られる。
【００５１】
時効処理温度が低すぎると、金属間化合物の析出が不十分となる。従って、時効処理温度は、４５０℃以上である必要がある。時効処理温度は、さらに好ましくは、４６０℃以上である。
一方、時効処理温度が高すぎると、マルテンサイト相がオーステナイト相に逆変態する。従って、時効処理温度は、６５０℃以下である必要がある。時効処理温度は、さらに好ましくは、６４０℃以下である。
本発明においては、成分範囲（特に、Ｃｏ量）を最適化しているので、逆変態を生じさせることなく、従来に比べて高温で時効処理することができる。
【００５２】
時効処理時間は、特に限定されるものではなく、鋼の組成及び時効処理温度に応じて最適な時間を選択する。一般に、時効処理温度が高くなるほど、靱性に優れた鋼を得ることができる。
【００５３】
［３．  センサー用部品］
本発明に係るセンサー用部品は、本発明に係る析出硬化型ステンレス鋼を用いたものからなる。センサー用部品としては、例えば、コラム型起歪体、ロバーバル型起歪体、シャー型起歪体、リング型起歪体、ダイヤフラム型起歪体などがある。
【００５４】
［４．  作用］
Ｃｏは、Ｎｉと同様にオーステナイト生成元素であるが、Ｎｉに比べてＭｓ点及びＡ1変態点を低下させる作用が小さい。すなわち、所定量のＣｏ添加は、固溶化熱処理後の残留オーステナイト量、及び鋳造後に残存するδフェライト相を低減するだけでなく、高温時効処理時に生成する逆変態オーステナイト量を低減する作用がある。さらに、各添加元素の中には、軟質な残留オーステナイト量又はδフェライト量を増加させる作用がある元素と、減少させる作用がある元素とがある。
【００５５】
そのため、析出硬化型ステンレス鋼において、各成分元素の量（特に、Ｃｏ量）を最適化すると同時に、（１）〜（４）式の値を最適化すると、残留オーステナイト量、時効処理時の逆変態により生成する逆変態オーステナイト量、及び、鋳造後に残存するδフェライト量を同時に低減することができる。その結果、起歪体特性に優れた析出硬化型ステンレス鋼が得られる。
【００５６】
本発明に係るセンサー用部品は、Ｃ及びＮの合計量を規定し（（１）式）、Ｃｕ及びＮｉの含有量をバランスさせ（（２）式）、その他の合金元素量を規定した析出硬化型ステンレス鋼を用いることによって、強度、靱性、加工性、及び耐食性の面で、従来材であるＳＵＳ６３０を用いたセンサー用部品と同等の特性を有することを特徴とする。
【００５７】
さらに、α値を４２０以下とした（（３）式）ことにより、固溶化熱処理時のＭｓ点が上昇し、焼き入れ時の残留オーステナイト量を減少させることができる。そのため、起歪体として使用した際に、繰り返し応力が負荷された場合でも、微小降伏を抑制することができる。
また、β値を１０以下とした（（４）式）ことにより、δフェライト量を制限し、熱間加工性の確保と時効処理後の強度の向上が期待できる。
従って、本発明に係る析出硬化型ステンレス鋼は、強度、靱性、加工性、耐食性に優れるだけでなく、起歪体特性にも優れる。
【実施例】
【００５８】
（実施例１〜２５、比較例１〜１５）
［１．  試料の作製］
真空誘導炉にて、表１及び表２に示す各種化学成分の鋼塊１５０ｋｇを溶製した。これを熱間鍛造した後、熱間圧延を施し、直径２２ｍｍのバーを製造した。そして、このバーを１０４０℃±２０℃の温度範囲で１時間保持し、空冷する固溶化熱処理を行った。
その後、
（ａ）４８０℃で４時間保持し、空冷する時効処理（Ｈ９００処理）、
（ｂ）５５０℃で４時間保持し、空冷する時効処理（Ｈ１０２５処理）、又は、
（ｃ）６２５℃で４時間保持し、空冷する時効処理（Ｈ１１５０処理）
を行った。
【００５９】
【表１】
2015147975.tif 000002
【００６０】
【表２】
2015147975.tif 000003
【００６１】
［２．  試験方法］
［２．１．  残留オーステナイト量の測定］
時効処理後の素材より試験片を採取し、Ｘ線回折法によりオーステナイト量を測定した。
［２．２．  δフェライト量］
時効処理後の素材より試験片を採取し、腐食液ビレラにてエッチングを施した後、光学顕微鏡による組織観察を行った。この際に観察されるδフェライトの分布量が観察面に対し、面積率にして２％未満である場合を「○」、２％以上である場合を「×」とした。
【００６２】
［２．３．  引張試験］
時効処理後の素材よりＪＩＳ４号引張試験片を採取し、これを用いて０．２％耐力、破断伸びを測定した。
［２．４．  衝撃試験］
時効処理後の素材よりＪＩＳ３号２ｍｍＵノッチ衝撃試験片を採取し、シャルピー衝撃値を測定した。
［２．５．  ビッカース硬さ］
時効処理後の素材より試験片を採取し、半径方向Ｄ／４相当箇所を、試験荷重３００ｇの条件下でビッカース硬さを測定した。
【００６３】
［２．６．  耐食性試験］
時効処理後の素材より試験片を採取し、ＪＩＳＺ２３７１に準拠し、３５℃、５％ＮａＣｌ溶液にて９６時間までの塩水噴霧試験を行い、錆の発生の有無を確認した。発銹のなかった場合を「○」、発銹した場合を「×」とした。
［２．７．  起歪体特性］
時効処理後の素材より、平行部の径が８．０ｍｍ、平行部長さ１１０ｍｍ、つかみ部の径が１８ｍｍ、全長が１８０ｍｍの棒状の引張試験片を採取した。引張試験片に、最大応力：５００ＭＰａ、応力比：０．１、周波数：５Ｈｚにて１００，０００回繰り返し荷重を負荷した後、試験前後の寸法差から、見かけの公称歪みを算出した。その値が０．０００１未満の場合を「○」、０．０００１以上の場合を「×」と評価した。
【００６４】
［３．  結果］
表３〜表５に結果を示す。表３〜表５より、以下のことがわかる。
【００６５】
【表３】
2015147975.tif 000004
【００６６】
【表４】
2015147975.tif 000005
【００６７】
【表５】
2015147975.tif 000006
【００６８】
（１）比較例１は、一般的なＳＵＳ６３０である。ＳＵＳ６３０は、Ｎｉが過剰で、Ｃｏが添加されていないため、α値が４７０を上回っており、固溶化熱処理、時効処理を行った後の組織中に１０体積％以上のオーステナイト相を含んでいる。そのため、オーステナイト相の微小降伏によるヒステリシス増大により基準点が次第に変動し、起歪体特性が低下しやすいと言える。
（２）比較例２〜３は、Ｃ＋Ｎが（１）式で規定される量を下回っている。また、比較例４は、Ｃ＋Ｎが（１）式で規定される量を上回っている。そのため、比較例２〜４は、破断伸び、衝撃値が低く、靱性に劣る。
（３）比較例５、６は、Ｃｕ／Ｎｉ比が（２）式で規定される量を上回っている。そのため、熱間加工時に割れが生じ、熱間加工性に劣る。
【００６９】
（４）比較例７は、Ｃｒが過剰であり、α値も４７０を超えている。さらに、β値も１０を超えている。そのため、時効処理後の強度及び靱性の低下や、起歪体特性の低下が見られる。
（５）比較例８は、Ｃｒが少ないため、耐食性に劣る。
（６）比較例９は、Ｃが過剰である。そのため、Ｃｒ炭化物を生じやすく、その結果、母相の固溶Ｃｒ量を低下させ、耐食性に劣る。
【００７０】
（７）比較例１０は、Ｎが過剰である。そのため、Ｃｒ窒化物を生じやすく、その結果、母相の固溶Ｃｒ量を低下させ、耐食性に劣る。
（８）比較例１１は、Ｎｉが過剰であり、α値も高い。そのため、Ｍｓ点の低下により残留オーステナイトが著しく増加しやすい。また、Ａ1変態点の低下により時効処理時に逆変態オーステナイトが生成するため、時効処理後の靱性の低下、起歪体特性の低下が見られる。
（９）比較例１２は、Ｃｕが過剰であり、α値も高い。そのため、Ｍｓ点の低下により残留オーステナイトが著しく増加しやすい。また、Ａ1変態点の低下により時効処理時に逆変態オーステナイトが生成するため、時効処理後の強度の低下、起歪体特性の低下が見られる。
【００７１】
（１０）比較例１３は、Ｃｏが少ないため、α値が高い。そのため、Ｍｓ点の低下により残留オーステナイトが増加しやすい。そのため、時効処理後の靱性の低下、起歪体特性の低下が見られる。
（１１）比較例１４は、Ｃｏが過剰である。そのため、Ａ1変態点の低下により時効処理時に逆変態オーステナイトが生成するため、時効処理後の強度の低下、起歪体特性の低下が見られる。
（１２）比較例１５は、ＳＵＳ４２０Ｊ２である。ＳＵＳ４２０Ｊ２は、発銹が生じ、耐食性が低い。
（１３）本願で規定される条件を満たしていない比較例１〜１５は、いずれも、強度、靱性、耐食性、及び起歪体特性の内、少なくとも１つ以上が劣っている。
【００７２】
（１４）本願で規定される条件を満足する実施例１〜２５は、強度、靱性、耐食性、及び起歪体特性のいずれも優れいている。そのため、これを起歪体などのセンサー用部品に適用すれば、基準点の変動が少ないセンサー等を得ることが可能となる。とりわけ、オーステナイト量が２．０体積％以下であれば、微小降伏を抑制しやすくなり、起歪体特性を向上させやすくなるので、信頼性に優れたセンサー等を提供することができる。
【００７３】
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改変が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明に係る析出硬化型ステンレス鋼は、コラム型起歪体、ロバーバル型起歪体、シャー型起歪体、リング型起歪体、ダイヤフラム型起歪体などのセンサー用部品として使用することができる。