(57)【要約】【課題】長尺の直管状を成すバルブの外表面に、浸漬引上げ法を採用して所定膜厚の金属酸化物膜を形成しても、そのバルブの外表面に形成された金属酸化物膜に剥離を生じさせない。【解決手段】直管型ランプの成膜方法は、両端内部に電極１２，２２を備えた直管状のガラス製バルブ１１を金属化合物溶液２１に浸漬して、バルブ１１の外表面に溶液２１を塗布した後に引上げて乾燥させ、焼成してバルブ１１の外表面に金属酸化物膜を形成する方法である。そして、バルブ１１を水平又は水平に対して傾けた状態で溶液２１への浸漬及び引上げを行い、引上げ後乾燥完了前にバルブ１１に付着した溶液膜厚を均一にする液膜均一化工程を行うことを特徴とする。液膜均一化工程としては、水平又は水平に対して傾けた状態で引上げられたバルブ１１を管軸を中心に回転させる工程や、引上げられたバルブ１１を鉛直姿勢にする工程が挙げられる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端内部に電極(12,22)を備えた直管状のガラス製バルブ(11)を金属化合物溶液(21)に浸漬して、前記バルブ(11)の外表面に前記溶液(21)を塗布した後に引上げて乾燥させ、焼成して前記バルブ(11)の外表面に金属酸化物膜を形成する直管型ランプの成膜方法において、
前記バルブ(11)を水平又は水平に対して傾けた状態で前記溶液(21)への浸漬及び引上げを行い、
引上げ後乾燥完了前に前記バルブ(11)に付着した溶液膜厚を均一にする液膜均一化工程を行う
ことを特徴とする直管型ランプの成膜方法。
【請求項２】
液膜均一化工程が水平又は水平に対して傾けた状態で引上げられたバルブ(11)を管軸を中心に回転させる工程である請求項１記載の直管型ランプの成膜方法。
【請求項３】
液膜均一化工程が水平又は水平に対して傾けた状態で引上げられたバルブ(11)を鉛直姿勢にする工程である請求項１記載の直管型ランプの成膜方法。
【請求項４】
液膜均一化工程が水平又は水平に対して傾けた状態で引上げられたバルブ(11)を管軸を中心に回転させかつ鉛直姿勢にする工程である請求項１記載の直管型ランプの成膜方法。
【請求項５】
浸漬及び引上げにおけるバルブ(11)の水平に対する傾きが１０度以下である請求項１ないし４いずれか１項に記載の直管型ランプの成膜方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直管状のガラス製バルブの外表面に金属酸化物膜を形成する直管型ランプの成膜方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、直管状のガラス製バルブを用いた直管型ランプとして、主に紫外線を発して殺菌等の分野で使用される紫外線ランプが知られている。この紫外線ランプでは、１８５ｎｍの短波長紫外線によりオゾンが発生する不具合がある。そこで、殺菌効果を維持しながら、オゾン発生量を規定内に抑制し得る紫外線ランプが提案されている（例えば、引用文献４参照。）。この紫外線ランプでは、紫外線を透過し希ガスと水銀を封入した石英ガラス製バルブの両端内部に電極を備え、そのバルブ内外表面の少なくとも一方の表面に所定膜厚の酸化ジルコニウム膜を形成することによって、そのバルブを透過する光について、殺菌等に必要な２５４ｎｍの紫外線強度を弱めずに、オゾンを発生させる１８５ｎｍの紫外線を適度に吸収して、オゾン発生量を規定レベル内に抑制するとしている。
【０００３】
この酸化ジルコニウム膜のような金属酸化物膜をバルブの表面に形成する場合、真空蒸着法、イオンプレーティング法、気相成形法（ＣＶＤ）などの方法が考えられる。けれども、製造の容易性、量産性、設備の易さ、耐熱特性等の面で、浸漬引上げ法（ディップコーティング法）が最も有利である。この浸漬引上げ法は、バルブを金属化合物溶液に浸漬し、これを引上げることによりバルブの外表面に溶液を付着させて塗布する方法である。この浸漬引上げ法では、バルブを浸漬してその外表面に溶液を塗布した後に引上げて乾燥させ、その後焼成してバルブの外表面に金属酸化物膜を形成するとしており、電球にあっては、この浸漬引上げ法を用いた白熱電球の成膜方法が提案されている（例えば、引用文献１参照。）。
【０００４】
この浸漬引上げ法における金属酸化物膜の材料物質としては、金属アルコキシドや金属キレート化合物が用いられ、溶媒としては、エタノールや酢酸エチル等の揮発性の高い有機溶剤が使用される。そして、バルブ表面に形成される薄膜の膜厚は、溶液からのバルブの引上げ速度に依存して決定され、一般的に、引上げ速度が大きいほど膜厚が厚くなるとされている。また、液面に対するバルブの引上げ角と膜厚との関係も知られており、引上げ角が垂直でない場合は、引上げ速度の調整によって膜厚の均一性を確保する手法も知られている（例えば、引用文献３参照。）。
【０００５】
ところで、このような浸漬引上げ法によりバルブの表面に金属酸化物膜を形成する場合は、そのバルブが主に紫外線ランプ等に多く用いられる直管状を成すものであれば、そのバルブを液面に対して垂直に引上げるのが常套手段である（例えば、引用文献２の第４図参照。）。そして、直管状を成すバルブを液面に対して垂直に引上げる場合、そのバルブの長さがせいぜい数１０ｃｍ程度であれば、溶液に対するバルブの浸漬及び引上げ工程におけるバルブの移動距離も数１０ｃｍ以内にとどまり、コーティング装置全体の寸法も大型化しないで済むとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭５７−７４９６３号公報
【特許文献２】特開昭５８−１０２４５８号公報
【特許文献３】特開平７−２１９９７号公報
【特許文献４】特開２００６−９２８００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、紫外線ランプにあっては、全長が１ｍを超えるものもある。このため、浸漬引上げ法によって、全長１ｍ以上にも及ぶ直管状を成すバルブから成る紫外線ランプのバルブ外表面に金属酸化物膜を形成する場合に、仮に液面から垂直方向へバルブを引上げるとすると、浸漬及び引上げ工程におけるバルブの移動距離も、垂直方向に１ｍ以上に達し、コーティング装置の垂直方向の寸法も数ｍ確保する必要が生じる。このため、この浸漬引上げ法に用いるコーティング装置が大型化するため現実的でない。また、その様に比較的長いバルブを鉛直にして、全長の全てにおいて引上げるまでには所定の時間がかかり、生産効率が悪化する不具合もある。
【０００８】
このような不具合を解消するためには、直管状を成すバルブを液面に対して、水平ないし水平から若干傾斜させた姿勢でバルブを支持し、その姿勢のまま溶液に対して浸漬及び引上げを行なえば、コーティング装置の垂直方向の寸法も小さくなり、その引上げに係る時間も短縮するものと考えられる。
【０００９】
しかしながら、浸漬引上げ法では、溶液からの引上げ後に、バルブの下端部に溶液の液溜りが生じることが避けられない。このため、直管状を成すバルブを液面に対して、水平ないし水平から若干傾斜させた姿勢で浸漬及び引上げを行なうと、バルブの有効発光範囲内の下面に液溜り部が生じ、液溜り部の液膜（焼成により全体が固相の膜となる前の、溶液の薄い膜を、ここでは「液膜」という）はバルブの他の部分の表面の液膜よりも相当に厚くなる。よって、その後焼成することにより形成された金属酸化物膜は、他の部分の金属酸化物膜に比較して厚くなって結着力が低下し正常な膜にならず、剥離しやすいという未だ解決すべき課題が残存していた。
【００１０】
本発明の目的は、長尺の直管状を成すバルブの外表面に、浸漬引上げ法を採用して所定膜厚の金属酸化物膜を形成するけれども、そのバルブ外表面に形成された金属酸化物膜に剥離を生じさせない直管型ランプの成膜方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、両端内部に電極を備えた直管状のガラス製バルブを金属化合物溶液に浸漬して、バルブの外表面に溶液を塗布した後に引上げて乾燥させ、焼成してバルブの外表面に金属酸化物膜を形成する直管型ランプの成膜方法の改良である。
【００１２】
その特徴ある点は、バルブを水平又は水平に対して傾けた状態で溶液への浸漬及び引上げを行い、引上げ後乾燥完了前にバルブに付着した溶液膜厚を均一にする液膜均一化工程を行うところにある。
【００１３】
液膜均一化工程は、水平又は水平に対して傾けた状態で引上げられたバルブを管軸を中心に回転させる工程や、水平又は水平に対して傾けた状態で引上げられたバルブを鉛直姿勢にする工程が挙げられ、これらの双方を行うようにしても良い。そして、浸漬及び引上げにおけるバルブの水平に対する傾きは１０度以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の直管型ランプの成膜方法では、バルブを水平又は水平に対して傾けた状態で溶液への浸漬及び引上げを行うので、比較的長い直管状を成すバルブであっても、そのバルブの浸漬及び引上げにおけるバルブの移動距離を大きくするようなことはない。このため、本発明の方法に使用するコーティング装置の垂直方向の寸法を小さくして、その装置の大型化を抑制することができる。そして、浸漬及び引上げにおけるバルブの水平に対する傾きが１０度以下であれば、確実に装置の大型化を防止することができ、バルブの引上げに係る時間も短縮させることが可能になる。
【００１５】
また、本発明の直管型ランプの成膜方法では、引上げ後乾燥完了前にバルブに付着した溶液膜厚を均一にする液膜均一化工程を行うので、溶液からの引上げ後に、バルブの下端部に溶液の液溜りが生じることを避けることができる。そして、引上げ後のバルブ周囲の液膜の膜厚を均一にした後に焼成することになり、それにより形成された金属酸化物膜は均一な厚さを有する正常な膜になり、それがバルブから剥離する様な事態を防止できる。よって、本発明は、バルブ外表面に形成された金属酸化物膜に剥離を生じさせない浸漬引上げ法となる。
【００１６】
ここで、液膜均一化工程が引上げられたバルブを管軸を中心に回転させる工程であれば、バルブの下端部を周方向に常に変化させることにより溶液が自重により流下することを防止し、これにより周方向の一部（下面）に溶液の液溜りが発生することを防止できる。また、液膜均一化工程が引上げられたバルブを鉛直姿勢にする工程であれば、コーティング溶液の流下方向を軸方向にすることにより、周方向の一部に溶液の液溜りが発生することを防止できる。そして、これらの双方を行うようにすれば、確実に液溜まりの発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明実施形態の成膜方法を示す図である。
【図２】別の液膜均一化工程を示す図である。
【図３】その直管型の紫外線ランプを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
図３に、本発明の方法により得られた金属酸化物膜を有する直管型の紫外線ランプ１０を示す。この紫外線ランプ１０は、石英ガラスから成る直管状のバルブ１１と、そのバルブ１１の両端に対向して配置された一対の電極１２，２２を備える。バルブ１１は、紫外線透過率の高い石英ガラスによって内径が２０ｍｍの円筒状に成形され、その有効発光長は２５０ｍｍのものを例示する。そして、その両端に配置される一対の電極１２，２２から成る。
【００２０】
一対の電極１２，２２は、反対方向に伸びるタングステン芯棒１３，２３の一端に溶接され、タングステン芯棒１３，２３の他端は金属箔１４，２４の一端に更に溶着される。金属箔１４，２４の他端は、例えばタングステン製の引出し線１６，２６の一端とをかしめ等の接続手段を用いて電気的に接続される。電極１２，２２を除くタングステン芯棒１３，２３から引出し線１６，２６の一端まではバルブ１１の端部に加熱して封止される。金属箔１４，２４は、バルブ１１を形成する石英ガラスの熱膨張率に近い材料であれば何でもよいが、この条件に適ったものとしてモリブデンを使用する。バルブ１１には水銀とアルゴンガスが封入される。
【００２１】
図示しないが、バルブ１１の外表面には、膜厚１０μｍ程度で形成された２５４ｎｍの光を透過し、１８５ｎｍの光を吸収する酸化ジルコニウム膜が形成される。酸化ジルコニウム膜１３の膜厚は、薄すぎると１８５ｎｍ紫外線を透過してしまい、厚すぎると２５４ｎｍ紫外線の吸収・膜剥がれの原因となるため、０．１μｍ以上２．０μｍ以下に形成されるものとする。この酸化ジルコニウム膜は、少なくともバルブ１１の一対の電極１２，２２間における有効発光長の全面に形成される。これにより、１８５ｎｍの波長の光は透過を抑え、２５４ｎｍの波長の光は透過させるものとする。
【００２２】
酸化ジルコニウム膜の形成は、いわゆる浸漬引上げ法である本発明の成膜方法により行われる。即ち、図１に示すように、両端内部に電極１２，２２を備えた直管状のガラス製バルブ１１を金属化合物溶液２１に浸漬して、バルブ１１の外表面にその溶液２１を塗布した後に引上げて乾燥させ、その後焼成してバルブ１１の外表面に金属酸化物膜である酸化ジルコニウム膜を形成する。
【００２３】
具体的に本発明の成膜方法を説明すると、図１（ａ）に示すように、先ず金属化合物溶液２１を準備する。この実施の形態では、酸化ジルコニウム膜を形成する場合であるので、例えば、有機ジルコニウム化合物を数ｗｔ％含有する溶液２１を浸漬槽２２に貯留して準備する。ここで、溶媒としてはエタノールや酢酸エチルが挙げられる。溶液２１を貯留する槽２２にあっては、両端内部に電極１２，２２を備えた直管状のガラス製バルブ１１を水平状態にして、浸漬可能な大きさのものが用いられる。
【００２４】
次に、両端内部に電極１２，２２を備えた直管状のガラス製バルブ１１を水平又は水平に対して傾けた状態で溶液２１へ浸漬させる。この浸漬にあって、バルブ１１は治具２３により支持することが好ましい。図１では、電極１２，２２より外側のバルブ１１における両端部を支持する治具２３を示す。この治具２３は下端においてバルブ１１の端部を支持する一対のフック２３ａ，２３ｂと、そのフック２３ａ，２３ｂの上端を連結する連結片２３ｃにより構成されたものを示す。
【００２５】
そして、このような治具２３により水平又は水平に対して傾けた状態で支持されたバルブ１１は、その状態で治具２３とともに下降して、溶液２１に浸漬される。図１では、バルブ１１を水平に対して２度傾けた状態で支持する治具２３を用いているけれども、その傾きは２度に限られない。けれども、その傾きは水平に対して１０度以下に設定することが好ましい。
【００２６】
図１（ｂ）に示すように、バルブ１１を溶液２１に浸漬することにより、そのバルブ１１の外表面には溶液２１が塗布される。そして、このように溶液２１が塗布された後にそのバルブ１１を引上げて乾燥させる。バルブ１１の引上げにあっても、バルブ１１を水平又は水平に対して傾けた状態で行う。
【００２７】
このように、本発明の直管型ランプの成膜方法では、バルブ１１を水平又は水平に対して傾けた状態で溶液２１への浸漬及び引上げを行うので、比較的長い直管状を成すバルブ１１であっても、そのバルブ１１の浸漬及び引上げにおけるバルブ１１の移動距離は小さいものとなる。このため、本発明の方法に使用するコーティング装置の垂直方向の寸法を小さくして、その装置の大型化を抑制することができる。ここで、浸漬及び引上げにおけるバルブ１１が傾いていたとしても、水平に対する傾きが１０度以下であれば、確実に装置の大型化を防止することができ、バルブ１１の引上げに係る時間も短縮させることが可能になる。
【００２８】
そして、本発明の方法における特徴ある点は、このようにバルブ１１を水平又は水平に対して傾けた状態で溶液２１への浸漬及び引上げを行うとともに、その引上げ後の乾燥完了前にバルブ１１に付着した溶液膜厚を均一にする液膜均一化工程を行うところにある。
【００２９】
この具体的な液膜均一化工程としては、図１（ｃ）に示すように、水平又は水平に対して傾けた状態で引上げられたバルブ１１を管軸を中心に回転させることが挙げられる。この液膜均一化工程は、バルブ１１の外表面に付着した溶液２１の乾燥が完了する以前に行う必要があり、バルブ１１を回転させる液膜均一化工程は、バルブ１１の引上げ後、直ちにその回転を開始してその乾燥が完了するまで行うことが好ましい。
【００３０】
バルブ１１を管軸を中心に回転させる場合、電極１２，２２間の有効発光長の範囲内は避けて、電極１２，２２より外側のバルブ１１における両端部を介して行うことが好ましい。そして、溶液２１から引上げられたバルブ１１を、その乾燥前に管軸を中心に回転させれば、水平又は水平から傾いたバルブ１１の下端部は周方向に常に変化することに成り、溶液が自重により流下することは防止され、これによりバルブ１１の周方向の一部（下面）に溶液２１の液溜りが発生することを防止できる。このため、乾燥が完了するまでその回転を継続することにより、バルブ１１の周囲に均一な厚さの液膜を形成することができる。
【００３１】
また、バルブ１１の全長が比較的短くて、浸漬槽２２の上方空間に余裕があるようであれば、液膜均一化工程として、図２に示すように、水平又は水平に対して傾けた状態で引上げられたバルブ１１を鉛直姿勢にしても良い。引上げられたバルブ１１を鉛直姿勢にすれば、バルブ１１の外表面に付着した溶液２１が流下する方向が軸方向になるので、自重により溶液２１がバルブ１１の周方向の一部に集まって液溜りが発生する様な事態を防止できる。そして、引上げ後に直ちに鉛直姿勢にして乾燥を待つ様になるので、乾燥が完了するまで回転を継続させるような場合に比較して、その操作は非常に容易になる。
【００３２】
また、外表面に付着した溶液２１のより均一な厚さを必要とする場合には、液膜均一化工程が、水平又は水平に対して傾けた状態で引上げられたバルブ１１を管軸を中心に回転させかつ鉛直姿勢にする工程であっても良い。この場合、引上げ後のバルブ１１を直ちに鉛直姿勢にし、その後乾燥が完了するまでそのバルブ１１を回転させることが好ましい。けれども、バルブ１１を回転させつつ鉛直姿勢にするようにしても良い。このように、回転と鉛直姿勢の双方を行うようにすれば、バルブ１１の周囲における液溜まりの発生を確実に防止することができるものと考えられる。
【００３３】
バルブ１１の外表面に付着した溶液２１が乾燥した後は、焼成してバルブ１１の外表面に金属酸化物膜を形成する。この焼成にあっては、従来の浸漬引上げ法と同一であるので、詳細な説明は省略する。そして、本発明の成膜方法では、その焼成前に液膜均一化工程を行うので、引上げ後のバルブ１１周囲の液膜の膜厚を均一にした後に焼成することになり、それにより形成された金属酸化物膜は均一な厚さを有する結着力の高い正常な膜になり、膜厚の厚い箇所が発端となる金属酸化物膜の剥離を生じさせないものとなる。
【００３４】
図３に戻って、このように酸化ジルコニウム膜をバルブ１１の周囲に形成した後には、引出し線１６，２６の他端に被覆リード線１７，２７が接続され、その接続部は、セラミック製の口金１８，２８により覆われる。このため、このセラミック製の口金１８，２８の内部で電気的に接続された被覆リード線１７，２７を介して、陽極電極１２及び陰極電極２２を点灯回路に接続可能に構成される。こうして直管状の紫外線ランプ１０は作製される。
【００３５】
なお、上述した実施の形態では、直管型ランプが、バルブ１１の周囲に酸化ジルコニウム膜を形成した紫外線ランプである場合を説明した。けれども、バルブ１１の周囲に形成される金属酸化物膜は、酸化ジルコニウム膜に限らず、ランプの用途や要求される分光透過率特性によって、その酸化物膜材料やその厚さは適宜変更されるものとする。
【００３６】
また、形成されるバルブ１１の周囲に酸化物膜を複数回形成しても良く、さらに、複数種類の金属酸化物膜から成る２層以上の多層膜に構成しても良い。この場合、酸化物膜を生成する毎に、液膜均一化工程を行うことにより、常に剥離のない酸化物膜を形成することが可能となる。
【実施例】
【００３７】
次に、本発明の実施例を比較例とともに説明する。
【００３８】
＜実施例１＞
図３に示すように、内径が２０ｍｍの円筒形に成形された直管状を成し、両端内部に電極１２，２２を備えたガラス製バルブ１１を準備した。このバルブ１１の電極１２，２２間の有効発光長は２５０ｍｍとした。一対の電極１２，２２は、反対方向に伸びるタングステン芯棒１３，２３を介して金属箔１４，２４の一端に溶着し、金属箔１４，２４の他端は、タングステン製の引出し線１６，２６の一端とをかしめ等の接続手段を用いて電気的に接続した。そして、タングステン芯棒１３，２３から引出し線１６，２６の一端まではバルブ１１の端部に加熱して封止した。
【００３９】
一方、図１（ａ）に示すように、有機ジルコニウム化合物を数ｗｔ％含有する溶液２１を浸漬槽２２に貯留して準備した。溶媒としてはエタノールを用い、バルブ１１の表面に塗布した場合に３０秒程度で乾燥が完了する様に調整した。溶液２１を貯留する槽２２にあっては、両端内部に電極１２，２２を備えた直管状のガラス製バルブ１１を水平状態にして、浸漬可能な様に、その全長が５００ｍｍのものを用いた。
【００４０】
次に、両端内部に電極１２，２２を備えた直管状のガラス製バルブ１１の両端部を治具２３のフック２３ａ，２３ｂに支持させて、そのバルブ１１を水平に対して２度傾けた状態でその治具２３に支持させた。そして、バルブ１１を、その状態で治具２３とともに下降させ、溶液２１に浸漬させた。図１（ｂ）に示すように、この浸漬によりバルブ１１の外表面に溶液２１を塗布し、５秒後に毎秒２ｍｍの早さで溶液２１が塗布されたバルブ１１を水平に対して２度傾けた状態を維持しつつ引上げた。
【００４１】
図１（ｃ）に示すように、引上げたバルブ１１は、その引上げと同時に管軸を中心に回転させ、その溶液２１の乾燥が完了する３０秒間その回転を継続させた。回転速度はその３０秒の間に２０回転する程度の回転速度とした。バルブ１１の回転は、電極１２，２２より外側のバルブ１１における両端部を試験員が把持して回転させることにより行った。
【００４２】
溶液２１の乾燥が完了した後、このバルブ１１を２００℃において２０分仮焼成し、更に１０００℃において１時間本焼成して、そのバルブ１１の外表面に金属酸化物膜である酸化ジルコニウム膜を形成した。このようなバルブ１１を１０本製造し、この１０本のバルブ１１を実施例１とした。
【００４３】
＜実施例２＞
バルブ１１の引上げ後直ちに、図２に示すように、そのバルブ１１を鉛直姿勢とした。このことを除いて、実施例１と同一の材料及び同一の手順により、外表面に金属酸化物膜が形成されたバルブ１１を１０本得た。この１０本のバルブ１１を実施例２とした。
【００４４】
図２では、治具２３によりバルブ１１の姿勢を変更しているが、これに限らず、引上げ後直ちに手で治具２３からバルブ１１を外し、手で持ってバルブ１１の姿勢を垂直にしてもよい。
【００４５】
＜比較例１＞
バルブ１１の引上げ後、外表面に塗布された溶液２１の乾燥が完了するまで、そのバルブ１１を回転や移動をさせずに水平に対して２度傾けた状態で維持させた。このことを除いて、実施例１と同一の材料及び同一の手順により、外表面に金属酸化物膜が形成されたバルブ１１を１０本得た。この１０本のバルブ１１を比較例１とした。
【００４６】
＜比較試験及び結果＞
実施例１及び実施例２における各１０本のバルブ１１並びに比較例１における１０本のバルブ１１の各有効発光長の範囲における周囲を１０〜２０倍の拡大鏡を用いて目視により観察した。この観察は、バルブ１１の外表面に形成された酸化物膜の剥離の有無及びその範囲の確認を目的として行った。
【００４７】
その結果、比較例１のバルブ１１では、１０本の全てにおいてバルブ１１の外表面に形成された酸化物膜に剥離の事実が確認され、その範囲はバルブ１１の長手方向において有効発光長の全長において確認された。
【００４８】
一方、実施例１及び実施例２のバルブ１１にあっては、いずれにあっても、その外表面に形成された酸化物膜に剥離の事実は確認されなかった。
【００４９】
＜評価＞
比較例１において酸化物膜の剥離の事実が確認されたのは、バルブ１１を液面に対して、水平ないし水平から若干傾斜させた姿勢で浸漬及び引上げを行なったので、バルブの下面に液溜り部が生じ、その後焼成することにより形成された金属酸化物膜が、他の部分の金属酸化物膜に比較して厚くなって結着力が乏しくなり、正常な膜にならなかったためと考えられる。
【００５０】
一方、実施例１において酸化物膜の剥離の事実が確認されなかったのは、引上げられたバルブ１１を管軸を中心に回転させたので、バルブ１１の下端部が周方向に常に変化して、周方向の一部に溶液２１の液溜りが発生しなかったことによるものと考えられる。
【００５１】
また、実施例２において酸化物膜の剥離の事実が確認されなかったのは、引上げられたバルブ１１を直ちに鉛直姿勢にしたので、金属化合物溶液２１の流下方向が軸方向になって、周方向の一部に溶液２１の液溜りが発生しなかったことによるものと考えられる。
【符号の説明】
【００５２】
１０  紫外線ランプ（直管型ランプ）
１１  バルブ
１２，２２  電極
２１  金属化合物溶液
【図１】
2015118849.tif 000003
【図２】
2015118849.tif 000004
【図３】
2015118849.tif 000005