(57)【要約】【課題】液体に対して所望の光エネルギーを与え、液滴を効果的に乾燥させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】インク滴を吐出する複数のノズル孔４３ａが並設されたノズルプレート４３と、液体が充填されるとともに、ノズル孔４３ａに連通する複数の吐出チャネル４５Ａが並設されたアクチュエータプレート４０と、ノズル孔４３ａから吐出されたインク滴を加熱するための光束が伝搬する光ファイバ６１と、を備え、ノズルプレート４３には、光ファイバ６１の出射側端面から出射される光束を外部に向けて導光する光学部６２が形成されていることを特徴とする。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射する複数の噴射孔が並設されるとともに、光透過性を有する噴射孔プレートと、
液体が充填されるとともに、前記噴射孔に連通する複数の噴射チャネルが並設されたアクチュエータプレートと、
前記噴射孔から噴射された液体を加熱するための光束が伝搬する光導波路と、を備え、
前記噴射孔プレートには、前記光導波路の出射側端面から出射される光束を外部に向けて導光する光学部が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記光導波路の出射側端面は、前記噴射孔プレートの内面に当接していることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記光導波路は、前記噴射チャネル内に保持されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記光学部は、前記噴射孔プレートに対して凹凸加工が施されてなることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記光学部は、前記噴射孔プレートのうち、外部に露出する外面に形成され、
前記噴射孔プレートのうち、前記光学部と前記噴射孔との間には、前記光学部及び前記噴射孔間を仕切る液体ガードが形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記光学部は、前記噴射孔プレートの内面に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被記録媒体に液滴状のインク（以下、単にインク滴という。）を吐出して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）を備えたインクジェットプリンタ（液体噴射装置）がある。
一般に、インクジェットヘッドは、複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズルプレートと、ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、各チャネルそれぞれに連通する共通インク室を有するカバープレートと、を備えている。この構成によれば、チャネル内を収縮させてチャネル内の圧力を上昇させることで、チャネル内のインクをノズル孔から吐出させ、被記録媒体上にインク滴を着弾させるようになっている。
【０００３】
近時では、インクジェットヘッドにレーザヘッドを搭載し、このレーザヘッドから出射される光束を用いてインク滴を乾燥させる技術が開発されている。レーザヘッドは、発光部、及び発光部から出射された光束を集光するレンズ等を主に備えている。
この場合、インクジェットヘッドと被記録媒体とを相対移動させながら、ノズル孔からインク滴を吐出するとともに、被記録媒体上におけるインク滴の着弾位置に向けて光束を照射する。発光部から出射される光束は、レンズで集光された後、被記録媒体上に着弾したインク滴に照射される。
これにより、インク滴を瞬時に乾燥させることができるので、被記録媒体上に着弾したインク滴が濡れ拡がるのを抑制し、微細な印字パターンを得ることができるとされている。
【０００４】
しかしながら、上述の構成にあっては、インクジェットヘッドの外側に別体のレーザヘッドを搭載するため、ノズル孔に対するレーザヘッド（レンズ）の位置決め精度が低いという問題がある。また、ノズル孔とレーザヘッドとの間の距離が長くなるため、被記録媒体上におけるレーザヘッドの照射位置が、インク滴の着弾位置まで移動するのに時間がかかる。
その結果、インク滴への光束の照射精度が低く、インク滴の乾燥に時間がかかるため、インク滴が被記録媒体上に濡れ広がるおそれがある。
【０００５】
そこで、例えば下記特許文献１には、ノズルプレートのうち、ノズル孔に隣接する部分に透過液が導入される照射ノズルと、照射ノズルの上方に配設されたレーザアレイと、を備え、照射ノズルの開口端縁に、透過液の表面張力によってノズルプレートに対して被記録媒体側に向けて突出する液体レンズを形成する構成が開示されている。
この構成によれば、ノズルプレートに液体レンズを配設できるので、ノズル孔と照射ノズル（液体レンズ）との位置精度を向上できるとともに、光束の照射位置とインク滴の着弾位置との距離を短縮できるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４２９７０６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した従来技術のように、液体レンズを用いる場合、正確で安定したレンズ形状を透過液の表面張力により形成することが困難である。この場合、光軸や焦点が不安定になるため、インク滴への光束の照射精度が依然低く、所望の光エネルギーをインク滴に与えることが難しい。
【０００８】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、液体に対して所望の光エネルギーを与え、液滴を効果的に乾燥させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
（１）本発明に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射する複数の噴射孔が並設されるとともに、光透過性を有する噴射孔プレートと、液体が充填されるとともに、前記噴射孔に連通する複数の噴射チャネルが並設されたアクチュエータプレートと、前記噴射孔から噴射された液体を加熱するための光束が伝搬する光導波路と、を備え、前記噴射孔プレートには、前記光導波路の出射側端面から出射される光束を外部に向けて導光する光学部が形成されていることを特徴としている。
【００１０】
この構成によれば、光導波路内を伝搬する光束は、噴射孔プレートを透過して外部に出射される。そして、外部に出射された光束が、噴射孔から噴射された液体、または被記録媒体における液体の着弾位置に照射されることで、液体が加熱されることになる。これにより、液体を乾燥させ、液体の粘度を上昇させることができるので、被記録媒体に着弾した液体が濡れ広がるのを抑制できる。その結果、微細な印字パターンを得ることができる。
特に、本発明の構成によれば、噴射孔プレート自体に光学部が形成されているので、噴射孔に対して光学部を高精度に位置決めできるとともに、従来のように液体レンズを設ける構成に比べて光束の光軸や焦点も安定させることができる。そして、光導波路から出射される光束を外部に向けて導光（例えば、集光や、屈折、反射等）することで、所望の光エネルギーを液体に与えることができる。その結果、液体を効率的に乾燥させ、液体が被記録媒体上に濡れ広がるのを確実に抑制できる。
また、噴射孔プレート自体に光学部を形成することで、別体の光学部を配設する構成に比べて低コスト化を図ることができる。
【００１１】
（２）上記本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記光導波路の出射側端面は、前記噴射孔プレートの内面に当接していてもよい。
この構成によれば、光導波路から出射される光束を光学部に直接供給できるので、光学部を通して光束を効率的に出射することができる。
【００１２】
（３）上記本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記光導波路は、前記噴射チャネル内に保持されていてもよい。
この構成によれば、光導波路が噴射チャネル内に保持されることで、噴射孔に対して光導波路を接近させた上で、噴射孔に対して光導波路を高精度に位置決めすることができる。これにより、光束の光軸や焦点をより安定させ、所望の光エネルギーを液体に与えることができる。
【００１３】
（４）上記本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記光学部は、前記噴射孔プレートに対して凹凸加工が施されてなっていてもよい。
この構成によれば、噴射孔プレートに凹凸加工を施すだけで光学部を形成できるので、低コスト化及び構成の簡素化を図ることができる。
【００１４】
（５）上記本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記光学部は、前記噴射孔プレートのうち、外部に露出する外面に形成され、前記噴射孔プレートのうち、前記光学部と前記噴射孔との間には、前記光学部及び前記噴射孔間を仕切る液体ガードが形成されていてもよい。
この構成によれば、噴射孔プレートの外面に付着した液体が光学部に到達するのを抑制できるので、光学部が汚れるのを抑制できる。
【００１５】
（６）上記本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記光学部は、前記噴射孔プレートの内面に形成されていてもよい。
この構成によれば、光学部が外部に曝されないので、光学部に液体等が付着するのを抑制できる。
【００１６】
（７）上記本発明に係る液体噴射装置において、上記本発明の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明の液体噴射ヘッドを備えているため、微細な印字パターンを得ることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、液体に対して所望の光エネルギーを与え、液滴を効果的に乾燥させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】インクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】インクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】ヘッドチップの斜視図である。
【図４】ヘッドチップの分解斜視図である。
【図５】アクチュエータプレートとカバープレートとを分解した状態における拡大斜視図である。
【図６】図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図７】図５のＣ矢視に相当する拡大断面図である。
【図８】図７に相当する拡大断面図であって、インクジェットヘッドの動きを説明するための説明図である。
【図９】第２実施形態におけるヘッドチップを示す図であって、図４のＤ−Ｄ線に相当する断面図である。
【図１０】位置決め溝の他の構成を示す図であって、アクチュエータプレートの拡大断面図である。
【図１１】位置決め溝の他の構成を示す図であって、（ａ）は図９に相当する拡大断面図、（ｂ）は図７に相当する断面図である。
【図１２】位置決め溝の他の構成を示す図であって、図９に相当する拡大断面図である。
【図１３】位置決め溝の他の構成を示す図であって、図９に相当する拡大断面図である。
【図１４】光学部の他の構成を示す図であって、（ａ）は図７に相当する断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＥ矢視図である。
【図１５】光学部の他の構成を示す図であって、図７に相当する断面図である。
【図１６】光学部の他の構成を示す図であって、図７に相当する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、本発明の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して記録紙等の被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。
【００２０】
［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送手段２，３と、被記録媒体Ｓに図示しないインク（液体）を吐出するインクジェットヘッド４と、インクジェットヘッド４にインクを供給するインク供給手段５と、インクジェットヘッド４を被記録媒体Ｓの搬送方向（Ｙ方向）と直交する走査方向（Ｘ方向）に走査させる走査手段６と、インクジェットヘッド４から吐出されるインク（インク滴）を加熱するインク滴加熱手段７と、を備えている。なお、被記録媒体Ｓとしては、紙や、樹脂フィルム、ガラス、セラミックス等、種々の材料を用いることができる。
【００２１】
また、本実施形態のプリンタ１には、搬送手段２，３、インクジェットヘッド４、インク供給手段５、走査手段６、及びインク滴加熱手段７等に電気的に接続されて相互に信号を送受信する制御ユニット８が設けられている。なお、図１中符号９は、プリンタ１の外観を構成する筺体９であり、この筺体９に上述した各構成品が搭載されている。また、本実施形態では、Ｙ方向及びＸ方向の２方向に直交する上下方向をＺ方向とする。
【００２２】
一対の搬送手段２，３は、Ｙ方向に間隔をあけて配置されており、一方の搬送手段２がＹ方向の上流側に位置し、他方の搬送手段３がＹ方向の下流側に位置している。これら搬送手段２，３は、Ｘ方向に延設されたグリッドローラ２ａ，３ａと、このグリッドローラ２ａ，３ａに対して平行に配置されるとともに、グリッドローラ２ａ，３ａとの間で被記録媒体Ｓを挟み込むピンチローラ２ｂ，３ｂと、グリッドローラ２ａ，３ａをその軸回りに回転させるモータ等の図示しない駆動機構と、をそれぞれ備えている。
そして、一対の搬送手段２，３のグリッドローラ２ａ，３ａを回転させることで、被記録媒体ＳをＹ方向に沿った矢印Ａ方向に搬送することが可能とされている。
【００２３】
インク供給手段５は、インクが収容されたインクタンク１０と、インクタンク１０及びインクジェットヘッド４間を接続するインク配管１１と、を備えている。
図示の例では、インクタンク１０は、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の四色のインクがそれぞれ収容されたインクタンク１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０ＢがＹ方向に並んで配置されている。インク配管１１は、例えば可撓性を有するフレキシブルホースであり、インクジェットヘッド４を支持するキャリッジ１６の動作（移動）に追従可能とされている。
【００２４】
走査手段６は、Ｘ方向に延び、Ｙ方向に間隔をあけて互いに平行に配置された一対のガイドレール１５と、これら一対のガイドレール１５に沿って移動可能に配置されたキャリッジ１６と、このキャリッジ１６をＸ方向に移動させる駆動機構１７と、を備えている。
駆動機構１７は、一対のガイドレール１５の間に配置され、Ｘ方向に間隔をあけて配置された一対のプーリ１８と、これら一対のプーリ１８の間に巻回されてＸ方向に移動する無端ベルト１９と、一方のプーリ１８を回転駆動させる駆動モータ２０と、を備えている。
【００２５】
キャリッジ１６は、無端ベルト１９に連結されており、一方のプーリ１８の回転駆動による無端ベルト１９の移動に伴ってＸ方向に移動可能とされている。また、キャリッジ１６には、複数のインクジェットヘッド４がＸ方向に並んだ状態で搭載されている。図示の例では、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の各インクをそれぞれ吐出する４つのインクジェットヘッド４、すなわちインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂがキャリッジ１６に搭載されている。なお、上述した搬送手段２，３及び走査手段６により、インクジェットヘッド４と被記録媒体Ｓとを相対的に移動させる搬送手段を構成している。
【００２６】
＜インクジェットヘッド＞
次に、上述したインクジェットヘッド４について詳述する。図２は、インクジェットヘッド４の斜視図である。なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明では、まとめてインクジェットヘッド４として説明する。
図２に示すように、インクジェットヘッド４は、キャリッジ１６に固定される固定プレート２５と、この固定プレート２５上に固定されたヘッドチップ２６と、インク供給手段５から供給されたインクを、ヘッドチップ２６の後述するインク導入孔４１ａ（図３参照）にさらに供給するインク供給部２７と、ヘッドチップ２６に駆動電圧を印加する制御手段２８と、を備えている。
【００２７】
インクジェットヘッド４は、駆動電圧が印加されることで、各色のインクを所定の吐出量で吐出する。このとき、インクジェットヘッド４が走査手段６によりＸ方向に移動することで、被記録媒体Ｓにおける所定範囲に記録を行うことができ、この走査を搬送手段２，３により被記録媒体ＳをＹ方向に搬送しながら繰り返し行うことで、被記録媒体Ｓの全体に記録を行うことが可能となる。
【００２８】
固定プレート２５には、アルミ等の金属製のベースプレート３０がＺ方向に沿って起立した状態で固定されているとともに、ヘッドチップ２６の後述するインク導入孔４１ａにインクを供給する流路部材３１が固定されている。流路部材３１の上方には、インクを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器３２がベースプレート３０に支持された状態で配置されている。そして、流路部材３１と圧力緩衝器３２とはインク連結管３３を介して連結され、圧力緩衝器３２にはインク配管１１が接続されている。
【００２９】
そして、圧力緩衝器３２は、インク配管１１を介してインクが供給されると、インクを内部の貯留室内に一旦貯留した後、所定量のインクをインク連結管３３及び流路部材３１を介してインク導入孔４１ａに供給する。
なお、これら流路部材３１、圧力緩衝器３２及びインク連結管３３により、上述したインク供給部２７を構成している。
【００３０】
また、固定プレート２５には、ヘッドチップ２６を駆動するための集積回路等の制御回路（駆動回路）３５が搭載されたＩＣ基板３６が取り付けられている。この制御回路３５と、ヘッドチップ２６の後述するコモン電極５０及びダミー電極５２と、は、図示しない配線パターンがプリント配線されたフレキシブル基板３７を介して電気接続されている。これにより、制御回路３５は、フレキシブル基板３７を介してコモン電極５０とダミー電極５２との間に駆動電圧を印加することが可能とされる。
そして、これら制御回路３５が搭載されたＩＣ基板３６、及びフレキシブル基板３７により、上述した制御手段２８を構成している。なお、ＩＣ基板３６には、上述した制御ユニット８がフレキシブル基板２１（図１参照）を介して接続される。
【００３１】
（ヘッドチップ）
続いて、ヘッドチップ２６について詳細に説明する。図３はヘッドチップ２６の斜視図であり、図４はヘッドチップ２６の分解斜視図である。
図３、図４に示すように、ヘッドチップ２６は、アクチュエータプレート４０、カバープレート４１、支持プレート４２及びノズルプレート４３を備え、後述する吐出チャネル（噴射チャネル）４５Ａの長手方向（Ｙ方向）端部に臨むノズル孔４３ａからインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプとされている。
【００３２】
図５はアクチュエータプレート４０とカバープレート４１とを分解した状態における拡大斜視図であり、図６は図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
図４〜図６に示すように、アクチュエータプレート４０は、分極方向が厚さ方向（Ｘ方向）で異なる第１アクチュエータプレート４０Ａ及び第２アクチュエータプレート４０Ｂの、２枚のプレートを積層した積層プレートとされている（いわゆる、シェブロン方式）。これら第１アクチュエータプレート４０Ａ及び第２アクチュエータプレート４０Ｂは、ともに厚さ方向（Ｘ方向）に分極処理された圧電基板、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）セラミックス基板であり、互いの分極方向を反対に向けた状態で接合されている。
【００３３】
アクチュエータプレート４０は、平面視長方形状のものであり、その長手方向をＹ方向とし、短手方向をＺ方向とする。なお、本実施形態のヘッドチップ２６はエッジシュート対応のため、Ｘ方向、すなわち厚さ方向がプリンタ１におけるインクジェットヘッド４の走査方向に一致し、Ｙ方向、すなわち長手方向が被記録媒体Ｓの搬送方向に一致し、Ｚ方向、すなわち短手方向が走査方向に一致する。
また、本実施形態では、アクチュエータプレート４０におけるＺ方向の両側に位置する側面のうち、ノズルプレート４３に対向する側面を前端面４０ａと称し、この前端面４０ａとはＺ方向の反対側に位置する側面を後端面４０ｂと称する。
【００３４】
図５、図６に示すように、アクチュエータプレート４０の一方の主面（カバープレート４１側に位置する面）４０ｃ（図５，６参照）には、Ｙ方向に所定の間隔をあけて並んだ複数のチャネル４５が形成されている。これら複数のチャネル４５は、一方の主面４０ｃ側に開口した状態でＺ方向に沿って直線状に延びる溝部であり、Ｚ方向の一方側がアクチュエータプレート４０の前端面４０ａ側に開口している。これら複数のチャネル４５の間には、断面矩形状でＺ方向に延びる駆動壁４６が形成され、この駆動壁４６によって各チャネル４５はそれぞれ区分けされている。
【００３５】
また、複数のチャネル４５は、インクが充填される吐出チャネル４５Ａ（いわゆる、コモン溝）と、インクが充填されないダミーチャネル４５Ｂ（いわゆる、アクティブ溝）と、に大別される。そして、これら吐出チャネル４５Ａとダミーチャネル４５Ｂとは、Ｙ方向に交互に並んで配置されている。
複数のチャネル４５のうち、吐出チャネル４５Ａは、アクチュエータプレート４０の後端面４０ｂ側に開口することなく、前端面４０ａ側にだけ開口した状態で形成されている。なお、図示の例において、吐出チャネル４５Ａの後端面４０ｂ側は、後端面４０ｂに向かうに従い漸次浅くなっている。一方、ダミーチャネル４５Ｂについては、アクチュエータプレート４０の前端面４０ａ側だけでなく、後端面４０ｂ側にも開口するように形成されている。
【００３６】
吐出チャネル４５Ａの内壁面、すなわちＹ方向に向かい合う一対の側壁面及び底壁面には、コモン電極５０が形成されている。このコモン電極５０は、吐出チャネル４５Ａに沿ってＺ方向に延び、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上に形成されたコモン端子５１（図５参照）に導通している。
なお、各コモン端子５１はそれぞれ電気的に独立するようにパターン形成されている。また、本実施形態のコモン電極５０は、上述したように吐出チャネル４５Ａにおける内壁面の全体に形成されているので、一対の側壁面上に形成された側面電極５０ａと、底壁面上に形成され、側面電極５０ａ同士を接続する底面電極５０ｂと、で断面Ｕ字状に形成された電極とされている。
【００３７】
一方、ダミーチャネル４５Ｂの内壁面のうち、Ｙ方向に向かい合う一対の側壁面には、その全面に亘ってダミー電極５２がそれぞれ形成されている。これらダミー電極５２は、ダミーチャネル４５Ｂに沿ってＺ方向に延び、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上に形成されたダミー端子５３（図５参照）に導通している。
【００３８】
なお、ダミー端子５３は、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上における後端面４０ｂ側に形成されており、吐出チャネル４５Ａを挟んだ両側に位置するダミー電極５２同士（異なるダミーチャネル４５Ｂ内に形成されたダミー電極５２同士）を接続するように形成されている。この際、ダミー端子５３は、一方の主面４０ｃ上において、コモン端子５１よりも後端面４０ｂ側に離間した位置でＹ方向に延びることで、ダミー電極５２同士をブリッジ状に繋いでいる。
【００３９】
なお、本実施形態のダミー電極５２は、上述したコモン電極５０と同様に、ダミーチャネル４５Ｂの内壁面全体に一旦形成された後、内壁面における底壁面上に形成された電極部分がレーザ加工やダイシング加工等によって分断されることで、ダミーチャネル４５Ｂの一対の側壁面にそれぞれ電気的に切り離された状態で形成される。
【００４０】
図３、図４に示すように、上述したカバープレート４１は、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上に重ね合されている。このカバープレート４１には、インク導入孔４１ａがＹ方向に長い平面視矩形状に形成されている。
図６に示すように、このインク導入孔４１ａには、上述した流路部材３１（図２参照）を介して供給されてきたインクを吐出チャネル４５Ａ内に導入させ、かつダミーチャネル４５Ｂ内への導入を規制する複数のスリット５５ａが形成されたインク導入板５５が形成されている。つまり、複数のスリット５５ａは、吐出チャネル４５Ａに対応する位置に形成され、各吐出チャネル４５Ａ内にのみインクを充填することが可能とされる。
【００４１】
なお、カバープレート４１は、例えばアクチュエータプレート４０と同じＰＺＴセラミックス基板で形成され、アクチュエータプレート４０と同じ熱膨張をさせることで、温度変化に対する反りや変形を抑制している。但し、この場合に限られず、アクチュエータプレート４０とは異なる材料でカバープレート４１を形成しても構わないが、熱膨張係数が近い材料を用いることが好ましい。
【００４２】
図３、図４に示すように、支持プレート４２は、重ね合されたアクチュエータプレート４０及びカバープレート４１を支持するともに、ノズルプレート４３を同時に支持している。支持プレート４２には、Ｙ方向に沿って嵌合孔４２ａが形成されており、重ね合されたアクチュエータプレート４０及びカバープレート４１を嵌合孔４２ａ内に嵌め込んだ状態で支持している。この際、支持プレート４２は、アクチュエータプレート４０の前端面４０ａと面一となるように組み合わされている。
【００４３】
ノズルプレート４３は、支持プレート４２及びアクチュエータプレート４０の前端面４０ａに、例えば接着等により固定されている。
ノズルプレート４３は、光透過性を有する材料、例えばポリイミド等の樹脂材料からなるフィルム状とされている。なお、樹脂材料の他に、ガラス等により形成してもよく、また後述するレーザ光源６０として、波長が赤外領域のものを利用する場合には、赤外光に対して透明な材料であるシリコンにより形成しても構わない。
【００４４】
また、ノズルプレート４３には、Ｙ方向に所定の間隔をあけて複数のノズル孔４３ａが一列に並んだ状態で形成されている。これらノズル孔４３ａは、複数の吐出チャネル４５Ａに対してそれぞれ対向する位置に形成されており、各吐出チャネル４５Ａ内に連通する。なお、通常時にノズル孔４３ａからインクが吐出されないように、各ノズル孔４３ａにおいて適切なメニスカスが保たれている。
【００４５】
（インク滴加熱手段）
ここで、上述したインク滴加熱手段７は、光束を出射するレーザ光源６０と、レーザ光源６０から出射される光束を伝搬させる光ファイバ（光導波路）６１と、ノズルプレート４３に形成されるとともに、光ファイバ６１内を伝搬した光束を集光する光学部６２と、を有している。
【００４６】
レーザ光源６０は、各光ファイバ６１の本数、本実施形態では各吐出チャネル４５Ａに対応して複数の発光部（不図示）がアレイ状に配列された、いわゆる半導体アレイレーザ等により構成されている。図１の例において、レーザ光源６０は、筺体９側に設置された制御ユニット８内に設けられている。
レーザ光源６０は、図示しないレーザ駆動回路に接続されており、上述した制御ユニット８から送信される画像データに基づいて制御される。レーザ駆動回路は、レーザ光源６０の発光部それぞれに対応する複数のスイッチ素子を有し、各スイッチ素子を介して発光部それぞれに対して選択的に駆動信号が送信される。各レーザ光源６０の発光部には、光ファイバ６１の入射側端部が接続されており、各発光部から出射される光束が光ファイバ６１内に供給されるようになっている。
【００４７】
図７は、図５のＣ矢視に相当する拡大断面図である。
図５〜図７に示すように、光ファイバ６１は、レーザ光源６０（発光部）から出射された光束を全反射条件で導くコア６１ａと、コア６１ａの屈折率より低い屈折率の材料からなり、コア６１ａに密着してコア６１ａを封止するクラッド６１ｂと、を有する断面視円形状のものである。なお、光ファイバ６１は、石英やプラスチック等により構成されている。
【００４８】
光ファイバ６１は、レーザ光源６０の各発光部と、各光学部６２と、との間で光束を各別に伝搬するものであって、本実施形態ではノズル数（ノズル孔４３ａ及び吐出チャネル４５Ａの数）と同数設けられている。
図１に示すように、各光ファイバ６１の入射側端部は、レーザ光源６０の各発光部から引き出された後、束ねられた状態で、ヘッドチップ２６の流路部材３１まで引き回されている。なお、光ファイバ６１は、各インクジェットヘッド４それぞれに対応して設けられている。しかし、図１においては、説明を分かり易くするため、各光ファイバ６１を代表して、一のヘッドチップ２６（インクジェットヘッド４）に接続される光ファイバ６１のみを示し、他のヘッドチップ２６（インクジェットヘッド４）に接続される光ファイバ６１の図示を省略している。
【００４９】
図２に示すように、流路部材３１まで引き回された光ファイバ６１は、流路部材３１のうち、Ｙ方向に沿う一端部に形成された貫通孔６４内を通ってカバープレート４１のインク導入孔４１ａ内のうち、Ｙ方向に沿う一端側に引き回されている。なお、貫通孔６４内には、光ファイバ６１と、貫通孔６４の内面と、の隙間を封止する樹脂材料等からなる図示しない封止剤が設けられている。
インク導入孔４１ａ内に引き回された各光ファイバ６１は、インク導入孔４１ａ内をＹ方向の他端側に向けて配索され、Ｙ方向に並んで配列された各吐出チャネル４５Ａ内に１本ずつ分配されている。
【００５０】
図５〜図７に示すように、各吐出チャネル４５Ａ内に分配された光ファイバ６１は、各吐出チャネル４５Ａ内でそれぞれ保持されている。具体的に、光ファイバ６１は、各吐出チャネル４５Ａ内を底壁面に沿ってＺ方向に配索されており、その出射端面がノズルプレート４３の内面（アクチュエータプレート４０との接着面）に突き当たっている。
【００５１】
この場合、Ｚ方向から見た平面視において、光ファイバ６１の出射側端面は、インクジェットヘッド４の走査方向（Ｘ方向）でノズル孔４３ａと重なる位置に配置されている。本実施形態では、インクジェットヘッド４の走査方向（Ｘ方向）に沿う奥側（吐出チャネル４５Ａの底壁面側）に、光ファイバ６１の出射側端面が配置されている。このように、光ファイバ６１の出射側端部は、各吐出チャネル４５Ａ内に保持されることで、アクチュエータプレート４０に対する位置決めが行われている。すなわち、本実施形態において、各吐出チャネル４５Ａは、光ファイバ６１の位置決めを行う位置決め溝として機能する。
【００５２】
また、光ファイバ６１の出射側端面は、コア６１ａと同等の屈折率を有する材料からなる接着剤により、ノズルプレート４３の内面に接着されている。これにより、光ファイバ６１の出射側端面と、ノズルプレート４３の内面と、の間にインクが入り込むことが防止されている。また、光ファイバ６１のうち、各吐出チャネル４５Ａ内に位置する部分は、各吐出チャネル４５Ａの底壁面に接着剤等により固定されている。
【００５３】
図７に示すように、光学部６２は、ノズルプレート４３の外面のうち、光ファイバ６１の出射側端面にＺ方向で重なる位置に形成されている。光学部６２は、例えばホットエンボス加工等により形成されたものであって、ノズルプレート４３の厚さ方向（Ｚ方向）に窪む凹部６２ａと、凹部６２ａ内に形成されたレンズ部６２ｂと、を有している。レンズ部６２ｂは、凹部６２ａの底面からノズルプレート４３の外面側に向けて突の半球状に形成され、光ファイバ６１（コア６１ａ）の出射側端面から出射される光束を集光した後、インクジェットヘッド４の外部に出射する。
【００５４】
なお、光学部６２は、ホットエンボス加工の他、エキシマレーザ加工や、グレースケールマスクを用いたエッチング等、種々の方法により形成しても構わない。また、エッチング等を採用した場合には、ノズル孔４３ａと光学部６２とを一括して形成することも可能である。すなわち、ノズルプレート４３のうち、ノズル孔４３ａの形成領域に対してはノズルプレート４３の両面からハーフエッチングを行い、光学部６２の形成領域に対してはノズルプレート４３の外面側からのみハーフエッチングを行うことで、ノズル孔４３ａと光学部６２とを一括して形成できる。これにより、ノズル孔４３ａに対して光学部６２を高精度に位置決めすることができる。また、ノズルプレート４３に凹凸加工を施すだけで光学部６２を形成できるので、低コスト化及び構成の簡素化を図ることができる。
【００５５】
［プリンタの動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｓに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
図１に示すように、例えば、一対の搬送手段２，３により被記録媒体ＳをＹ方向に搬送させながら、走査手段６によりキャリッジ１６を介して各インクジェットヘッド４をＸ方向に往復移動させる。そしてこの間に、各インクジェットヘッド４より４色のインクを被記録媒体Ｓに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。
【００５６】
ここで、各インクジェットヘッド４の動きについて、以下に詳細に説明する。
キャリッジ１６（図１参照）によって往復移動が開始されると、制御ユニット８は例えばヘッドチップ２６の制御回路３５、及びレーザ光源６０のレーザ駆動回路に対して画像データを送信する。
まず、ヘッドチップ２６の制御回路３５は送信された画像データに基づいて、各吐出チャネル４５Ａのコモン端子５１及びダミー端子５３のうち、駆動させる吐出チャネル４５Ａのコモン端子５１及びダミー端子５３間に電圧を印加する。すると、駆動壁４６に厚みすべり変形が生じ、駆動壁４６のうち、吐出チャネル４５Ａを画成する駆動壁４６がダミーチャネル４５Ｂ側へ突出するように変形する。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート４０は、厚さ方向（Ｘ方向）に分極処理された２枚のアクチュエータプレート４０Ａ，４０Ｂが積層されているため、駆動電圧を印加することで、駆動壁４６のＺ方向中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル４５Ａがあたかも膨らむように変形する。
【００５７】
図８は、図７に相当する断面図であって、インクジェットヘッド４の動きを説明するための説明図である。
このように、図８（ａ）に示すように、２つの駆動壁４６の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出チャネル４５Ａの容積が増大する。そして、吐出チャネル４５Ａの容積が増大したことにより、インク導入孔４１ａ内まで導かれているインクが吐出チャネル４５Ａ内に誘導される。そして、吐出チャネル４５Ａの内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル４５Ａの内部に伝搬し、この圧力波がノズル孔４３ａに到達したタイミングで、コモン端子５１とダミー端子５３に印加した駆動電圧をゼロにする。これにより、駆動壁４６の変形が元に戻り、一旦増大した吐出チャネル４５Ａの容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル４５Ａの内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、インクをノズル孔４３ａから吐出させることができる。この際、インクはノズル孔４３ａを通過する際に、液滴状のインク滴となって吐出される。
【００５８】
一方、レーザ駆動回路は、制御ユニット８から送信される画像データに基づいて、レーザ光源６０の各発光部のうち、駆動させる吐出チャネル４５Ａに対応する発光部のスイッチ素子を閉じる。そして、スイッチ素子が閉じられると、それらスイッチ素子に対応する発光部に駆動信号が送信され、この駆動信号に基いて発光部から光束が出射される。このように、制御ユニット８から入力される画像データに基いて各発光部の動作が制御されることで、複数の発光部のそれぞれに対して選択的に光エネルギーを印加して、各発光部から光束を各別に出射させることが可能とされている。
【００５９】
なお、レーザ駆動回路は、インクジェットヘッド４の制御回路３５から、実際にインクジェットヘッド４が駆動しているか否かの信号を受信し、この受信信号に基づいて、各発光部に駆動信号を送信するように構成されていてもよい。このように構成することで、制御ユニット８からレーザ駆動回路に画像データが送信されているにも関わらず、何らかの要因によりインクジェットヘッド４が駆動していない場合、光束が空出射されることを防止できる。
【００６０】
また、発光部に入力される駆動信号としては、光束の出射時間（発光部の駆動時間）や、出射タイミング等を含んでいる。本実施形態において、各発光部の出射タイミングは、ノズル孔４３ａからインク滴が吐出される吐出タイミングに対して所定時間Ｔだけ遅れるように設定されている。この場合、光ファイバ６１から出射される光束が、ノズル孔４３ａから吐出されて被記録媒体Ｓに向けて飛翔するインク滴の飛翔中に照射されるように、所定時間Ｔが設定されている。すなわち、所定時間Ｔとは、インクジェットヘッド４が走査手段６によりＸ方向に移動することで、インク滴が吐出されたノズル孔４３ａに対応する光ファイバ６１の出射側端面（光束の出射位置）が、ノズル孔４３ａから吐出されたインク滴に、インク滴の吐出方向（Ｚ方向）から見て重なるまでの時間である。
なお、所定時間Ｔは、制御ユニット８に予め記憶しておいてもよいし、インクジェットヘッド４の制御回路３５が各吐出チャネル４５Ａを駆動させた信号をレーザ駆動回路が受信し、この受信してからの時間で設定するようにしてもよい。
【００６１】
図８（ｂ）に示すように、レーザ光源６０の発光部から出射された光束は、光ファイバ６１内に供給された後、コア６１ａとクラッド６１ｂとの間で全反射を繰り返しながら光ファイバ６１内を出射側端面に向けて伝搬する。光ファイバ６１内を出射側端面まで伝搬した光束は、ノズルプレート４３を透過して、光学部６２に入射する。そして、光束は光学部６２のレンズ部６２ｂで集光された後、インクジェットヘッド４の外部に向けて出射される。本実施形態において、光束はインク滴の吐出軌跡上、すなわち被記録媒体Ｓに向けて真直ぐ出射される。出射された光束は、対応する吐出チャネル４５Ａのノズル孔４３ａから吐出された飛翔中のインク滴に照射される。これにより、インク滴が加熱され、インク滴の溶剤が乾燥することで、インク滴の粘度が上昇することになる。
【００６２】
そして、図８（ｃ）に示すように、光束が照射されたインク滴が被記録媒体Ｓ上に着弾することで、上述したように被記録媒体Ｓに文字や画像等を記録することができる。この場合、インク滴は、光束が照射されたことにより粘度が上昇しているので、被記録媒体Ｓに着弾した後、被記録媒体Ｓ上に濡れ広がるのを抑制できる。その結果、微細な印字パターンを得ることができる。
【００６３】
ここで、本実施形態では、ノズルプレート４３自体に光学部６２が形成されているので、ノズル孔４３ａに対して光学部６２を高精度に位置決めでき、インク滴への光束の照射精度を向上できるとともに、従来のように液体レンズを設ける構成に比べて光束の光軸や焦点を安定させることができる。その結果、所望の光エネルギーを液体に与えることができるので、インク滴を効率的に乾燥させ、インク滴が被記録媒体Ｓ上に濡れ広がるのを確実に抑制できる。
また、ノズルプレート４３自体に光学部６２を形成することで、別体の光学部を配設する構成に比べて低コスト化を図ることができる。
【００６４】
また、光ファイバ６１の出射側端面がノズルプレート４３の内面に突き当たっているため、光ファイバ６１から出射される光束を光学部６２に直接供給できる。これにより、光学部６２を通して光束を効率的に出射することができる。
【００６５】
また、光ファイバ６１が吐出チャネル４５Ａ内に保持されているため、ノズル孔４３ａに対して光ファイバ６１を接近させることができる。これにより、光ファイバ６１から出射される光束を速やかにインク滴に到達させることが可能になる。
しかも、ヘッドチップ２６の吐出チャネル４５Ａ内に光ファイバ６１を保持させることで、ノズル孔４３ａに対する光ファイバ６１の位置決め精度を向上させ、インク滴への光束の照射精度をより向上できることができるとともに、光束の光軸や焦点をより安定させ、所望の光エネルギーをインク滴に与えることができる。
【００６６】
そして、本実施形態では、光ファイバ６１の出射側端面が、インクジェットヘッド４の走査方向（Ｘ方向）でノズル孔４３ａと重なる位置に配置されているため、インクジェットヘッド４をＸ方向に沿って走査するだけで、光束の出射位置をインク滴の吐出軌跡上（または着弾位置）まで導くことができる。これにより、光軸を曲げたり、光ファイバ６１自体を着弾位置に向けたりする必要がないので、構成の簡素化を図った上で、光束をインク滴に照射させることができる。その結果、微細な印字パターンを得ることができる。
【００６７】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図９は、第２実施形態のヘッドチップ２６を示す図であって、図４のＤ−Ｄ線に相当する断面図である。本実施形態では、光ファイバ６１をダミーチャネル４５Ｂ内に保持させる点で上述した第１実施形態と相違している。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
図９に示すように、各ダミーチャネル４５Ｂ内には、光ファイバ６１の出射側端部が保持されている。具体的に、光ファイバ６１は、各ダミーチャネル４５Ｂ内を底壁面に沿ってＺ方向に配索されており、その出射側端面がノズルプレート４３の内面に接着剤を介して突き当たっている。また、光ファイバ６１の出射側端部のうち、各ダミーチャネル４５Ｂ内に位置する部分は、各ダミーチャネル４５Ｂの底壁面に接着剤等により固定されている。なお、光ファイバ６１の外径は、チャネル幅（Ｙ方向に沿う幅）よりも小さく設定されていることが好ましい。これにより、インク滴の吐出時（駆動壁４６の駆動時）において、駆動壁４６と光ファイバ６１との干渉を抑制して、液体吐出性能を維持できる。
【００６８】
また、本実施形態では、Ｚ方向から見た平面視において、光ファイバ６１の出射側端面と、ノズル孔４３ａと、がＸ方向及びＹ方向それぞれに交差する斜め方向で離間している。この場合、被記録媒体Ｓとインクジェットヘッド４との相対移動方向（インクジェットヘッド４の走査方向、及び被記録媒体Ｓの搬送方向のうち、少なくとも何れか一方）を、上述した斜め方向に設定することで、光ファイバ６１の出射側端面及びノズル孔４３ａを相対移動方向で重なる位置に配置することができる。
また、図９では示されないが、ノズルプレート４３のうち、各光ファイバ６１の出射側端面とＺ方向で重なる部分には、上述した光学部６２（図７参照）が形成されている。
【００６９】
また、本実施形態において、ダミーチャネル４５Ｂは、後端面４０ｂ側に開口しているため、この開口部分から光ファイバ６１をヘッドチップ２６の外部に引き出すことが可能である。ヘッドチップ２６の外部に引き出された光ファイバ６１は、その後上述した第１実施形態と同様にレーザ光源６０まで引き回されている。なお、各光ファイバ６１は、カバープレート４１のうち、インク導入孔４１ａを避けた位置を貫通して、ヘッドチップ２６の外部まで引き出しても構わない。
【００７０】
本実施形態によれば、インクが充填されないダミーチャネル４５Ｂ内に光ファイバ６１を保持させることで、ダミーチャネル４５Ｂの外部に光ファイバ６１を引き出す際に、封止等を行う必要がないので、より構成の簡素化を図ることができる。また、吐出チャネル４５Ａ内に光ファイバ６１を保持させる構成と異なり、光ファイバ６１を追加することによる吐出チャネル４５Ａ内に充填されるインク容量の変化等がないので、安定した吐出性能を維持することができる。
【００７１】
なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００７２】
例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
また、上述した実施形態では、インクジェットヘッド４が複数搭載された複数色用のプリンタ１について説明したが、これに限られない。例えば、インクジェットヘッド４が一つの単色用のプリンタ１としても構わない。
【００７３】
また、本発明の実施形態で用いられるインクとしては、水性インクや油性インク、ＵＶインク、微細金属粒子インク、炭素インク（カーボンブラック、カーボンナノチューブ、フラーレン、グラフェン）等、種々の材料を用いることができる。なお、上述したインクのうち、水性インクや油性インク、ＵＶインクは複数色用のプリンタ１に好適に用いられ、微細金属粒子インク、炭素インクは単色用のプリンタ１に好適に用いられる。
また、上述した実施形態では、半導体アレイレーザをレーザ光源６０に用いる構成について説明したが、これに限らず、ＹＡＧレーザや、炭酸ガスレーザ等を用いても構わない。
【００７４】
さらに、上述した実施形態では、レーザ光源６０とインクジェットヘッド４との間を、各発光部に対応する光ファイバ６１によってそれぞれ接続する構成について説明したが、これに限れない。例えば、各発光部から引き出された光ファイバ（合波用光ファイバ）が接続される合波器を筺体９（制御ユニット８）側に設け、各インクジェットヘッド４側に分波器を設け、これら合波器と分波器との間を１本の連結用光ファイバにより接続する構成としても構わない。
【００７５】
この場合、レーザ光源６０の各発光部は、それぞれレーザ光の波長が異なるように構成されている。また、合波器としては、いわゆるアレイ導波路回析格子（ＡＷＧ：Ａｒｒａｙｅｄ  Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ  Ｇｒａｔｉｎｇ）を用いることが可能であり、合波器に供給される異なる波長の光束を合波して、波長多重レーザ光として出力するようになっている。
一方、分波器についても、ＡＷＧを用いることが可能であり、連結用光ファイバを伝搬して合波器から供給された波長多重レーザ光を、それぞれ波長の異なる光束として出力するようになっている。分波器には、各吐出チャネル４５Ａ内に導かれる光ファイバ（分波用光ファイバ）が接続されており、これら分波用光ファイバから波長の異なる光束が出射されるようになっている。
【００７６】
この構成によれば、レーザ光源６０に複数の発光部を設けつつ、レーザ光源６０とインクジェットヘッド４との間に配索される連結用光ファイバの本数を１本とすることができる。よって、筐体９内に無駄に光ファイバが配索されてしまうことを防止し、プリンタ１を小型化できると共に、インクジェットヘッド４を走査させる走査手段６の負荷を低減できる。なお、合波器及び分波器の個数は１つに限られるものではなく、複数ずつ設けてもよい。
【００７７】
さらに、上述した実施形態では、光ファイバ６１をノズル数と同数設ける構成について説明したが、これに限られない。例えば、複数のノズル孔４３ａに対して１本の光ファイバ６１を設けてもよい
また、上述した実施形態では、各発光部に対してそれぞれスイッチ素子が接続された構成について説明したが、これに限らず、複数の発光部に対して１つのスイッチ素子を接続しても構わない。
【００７８】
さらに、上述した実施形態では、光ファイバ６１の出射側端面がノズルプレート４３に突き当たっている構成について説明したが、これに限らず、光ファイバ６１の出射側端面をノズルプレート４３から離間して配置しても構わない。例えば、上述した第２実施形態のように、ダミーチャネル４５Ｂ内に光ファイバ６１を保持し、ダミーチャネル４５Ｂ内に光束を直接出射させる等の構成を採用できる。この場合、ダミーチャネル４５Ｂ内に満たされた空気を伝搬媒質として光束を伝搬させることができる。
【００７９】
また、ダミーチャネル４５Ｂ内において、光束を反射させながら伝搬させても構わない。この場合、ダミーチャネル４５Ｂの内壁面を平滑にし、これを反射面として機能させてもよく、内壁面に反射膜を形成しても構わない。例えば、反射膜として、内壁面に金属膜を形成して、光束を金属反射させたり、空気よりも屈折率の小さい誘電体を内壁面に形成して、光束を全反射させたりしても構わない。
ここで、上述した実施形態では、ダミーチャネル４５Ｂの内壁面のうち、Ｙ方向に向かい合う一対の側壁面に、その全面に亘ってダミー電極５２がそれぞれ形成されているため、このダミー電極５２を反射膜として機能させても構わない。これにより、既存のダミー電極５２を反射膜として用いることで、コスト増を抑制した上で、ダミーチャネル４５Ｂ内において、光束を効率的に伝搬できる。
【００８０】
また、上述した実施形態では、インクジェットヘッド４から離れた場所（筺体９の制御ユニット８側）にレーザ光源６０を配置する構成について説明したが、インクジェットヘッド４自体にレーザ光源６０を搭載する構成としても構わない。
【００８１】
さらに、上述した実施形態では、各チャネル４５Ａ，４５Ｂの底壁面を平坦面とした場合について説明したが、これに限られない。具体的には、図１０に示すように、各チャネル４５Ａ，４５Ｂ（図示の例では吐出チャネル４５Ａ）のうち、光ファイバ６１が保持されるチャネル４５Ａ，４５Ｂの底壁面をＶ字状やＵ字状に形成しても構わない。すなわち、チャネル４５Ａ，４５Ｂの深さ（Ｘ方向）が、幅方向（Ｙ方向）の中央部に向かうに従い漸次深くなるように位置決め溝を形成しても構わない。
この構成によれば、各チャネル４５Ａ，４５Ｂ内に光ファイバ６１をより安定して保持させることができるとともに、インク滴の吐出時において、駆動壁４６と光ファイバ６１との干渉を抑制して、液体吐出性能を維持できる。
【００８２】
また、上述した実施形態では、吐出チャネル４５Ａまたはダミーチャネル４５Ｂを位置決め溝として機能させる構成について説明したが、これに限らず、アクチュエータプレート４０及びカバープレート４１のうち、何れか一方側に位置決め溝が形成されていれば構わない。例えば、図１１に示すように、アクチュエータプレート４０の外面のうち、吐出チャネル４５ＡとＸ方向で重なる部分にＶ字状の位置決め溝７０を設け、この位置決め溝７０内に光ファイバ６１を保持させても構わない。この場合、図１１（ｂ）に示すように、ノズルプレート４３のうち、吐出チャネル４５Ａの外側に位置する部分に、上述した光学部６２を形成しても構わない。
また、図１２に示すように、カバープレート４１の外面のうち、吐出チャネル４５ＡとＸ方向で重なる部分に位置決め溝７１を設けたり、図１３に示すように、カバープレート４１の内面（アクチュエータプレート４０側に位置する面）のうち、吐出チャネル４５Ａ内に露出する部分に位置決め溝７２を設けたりしても構わない。
【００８３】
さらに、図１４に示すように、ノズルプレート４３の外面にノズル孔４３ａと光学部６２との間を仕切るインクガード７４を形成しても構わない。具体的に、インクガード７４は、ノズルプレート４３の外面から厚さ方向に窪む溝状とされ、光学部６２の周囲を取り囲むように形成されている。
この構成によれば、ノズルプレート４３の外面に付着したインクが光学部６２に到達するのを抑制できるので、光学部６２が汚れるのを抑制できる。なお、インクガード７４は、ノズル孔４３ａと光学部６２との間を仕切る構成であれば、適宜設計変更が可能である。
【００８４】
また、上述した実施形態では、ノズルプレート４３の光学部６２をレンズ形状に形成した場合について説明したが、これに限らず、プリズム形状やミラー形状等としても構わない。
例えば、図１５に示す光学部７５は、ノズル孔４３ａに向けて傾斜する傾斜面７５ａを有するプリズム形状とされている。この構成によれば、光学部７５内に入射した光束は、傾斜面７５ａにおいて反射された後、外部に向けて出射される。この場合、例えば光学部７５の傾斜面において、光束をノズル孔４３ａ側に向けて反射させることで、インク滴の吐出軌跡と光束とを接近させることができるため、インク滴の吐出タイミングと、光ファイバ６１の出射タイミングと、のタイムラグを縮小することができる。
【００８５】
また、図１６に示すように、レンズ状の光学部７６を、ノズル孔４３ａ側に向けて傾斜するように形成しても構わない。この構成によれば、光学部７６内に入射した光束の光軸を曲げつつ、集光させることができる。すなわち、光学部は、光束を外部に向けて導光（例えば、集光や、屈折、反射等）するような構成であれば、適宜設計変更が可能である。
さらに、ノズルプレート４３の内面のうち、光ファイバ６１の出射側端面と重なる位置に、光学部（例えば、光学部６２）を形成しても構わない。この場合には、光学部６２が外部に曝されないので、光学部６２にインク滴等が付着するのを抑制できる。
【００８６】
また、上述した実施形態では、光ファイバ６１として、ＳＩ型の光ファイバ６１を用いる構成について説明したが、これに限らず、適宜設計変更が可能である。また、ＳＩ型の光ファイバ６１の出射側端面に、例えばグレーデッドインデックスファイバ（以下、ＧＩファイバ）を接続しても構わない。ＧＩファイバは、光束を伝搬するフィールド内において、その中心の屈折率が外周の屈折率より大きくなっており、中心から径方向外側に向かうに従い、連続的に屈折率が減少する光ファイバである。ＧＩファイバ内において、光束は正弦波的な光路で伝搬する。
この場合、ＧＩファイバの長さを調整することで、ＧＩファイバから出射される光束の出射角を調整することができるため、光ファイバ６１のコア６１ａから出射した光束を、ＧＩファイバにより平行光となって出射させたり、集光するような出射角で出射させたりすることができる。つまり、ＧＩファイバが光学部材として機能することになるので、このＧＩファイバを光ファイバ６１に直接接続することで、光ファイバ６１に対して光学部材（ＧＩファイバ）を高精度に位置決めできる。
【００８７】
さらに、上述した実施形態では、飛翔中のインク滴に光束を照射する構成について説明したが、これに限らず、光束の照射方法は、インクジェットヘッド４の移動速度と、インク滴の飛翔速度と、の兼ね合いで適宜選択が可能である。
例えば、被記録媒体Ｓ上に着弾したインク滴に光束を照射しても構わない。
【００８８】
また、被記録媒体Ｓに対して光束を照射して被記録媒体Ｓを加熱し、被記録媒体Ｓを介して被記録媒体Ｓ上に着弾したインク滴を加熱しても構わない。この場合、インク滴の着弾前に被記録媒体Ｓに対して光束を予め照射して被記録媒体Ｓを予熱し、その後予熱箇所に対してインク滴を着弾させてもよく、インク滴の着弾と同時または着弾後に被記録媒体Ｓに対して光束を照射しても構わない。上述した方法のうち、被記録媒体Ｓを加熱する場合には、インクジェットヘッド４の走査方向（Ｘ方向）に沿う手前側に光ファイバ６１を配置し、奥側にノズル孔４３ａを配置することが好ましい。但し、被記録媒体Ｓを加熱する場合には、必ずしも光束の出射位置がインク滴の吐出軌跡上に重ならなくても構わない。このように、光束により被記録媒体Ｓを加熱することで、被記録媒体Ｓ上に着弾したインク滴が被記録媒体Ｓを介して加熱されることになる。そのため、インク滴が被記録媒体Ｓ上に濡れ広がる前にインク滴を乾燥させることができる。
【００８９】
また、上述した実施形態では、インクジェットヘッド４の走査方向で重なる位置にノズル孔４３ａと光ファイバ６１の出射側端面とを配置する構成について説明したが、インクジェットヘッド４と被記録媒体Ｓとの相対移動方向で重なっていれば構わない。
【００９０】
さらに、上述した実施形態では、エッジシュートタイプのヘッドチップ２６を例に挙げて説明したが、この場合に限定されず、吐出チャネル４５Ａの長手方向中央に臨むノズル孔４３ａからインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプとしても構わない。
この場合には、例えばアクチュエータプレート４０の他方の主面側にノズルプレート４３を重ね合せ、吐出チャネル４５Ａの長手方向中央部分にノズル孔４３ａに連通する連通口を形成する等すれば良い。
また、インクに加わる圧力の方向と、インク滴の吐出方向と、を同一方向とした、いわゆるルーフシュートタイプのヘッドチップ２６に本発明を適用しても構わない。
【００９１】
また、上述した実施形態では、２枚のアクチュエータプレート４０Ａ，４０Ｂを積層した、いわゆるシェブロン方式のアクチュエータプレート４０を用いる場合について説明したが、これに限られない。例えば、分極方向が厚さ方向に一方向のアクチュエータプレートを用いても構わない。この場合には、駆動壁４６の高さ方向中央部までコモン電極及びダミー電極を形成することで、駆動壁４６を屈曲変形させることができる。
【００９２】
さらに、上述した実施形態では、吐出チャネル４５Ａとダミーチャネル４５Ｂとが交互に並んだ、いわゆるアイソレートタイプのヘッドチップ２６について説明したが、これに限られない。例えば、吐出チャネル４５Ａが連続的に配列された、いわゆるシェアードウォールタイプのヘッドチップ２６を採用することも可能である。
【００９３】
また、上述した実施形態では、光導波路として、光ファイバ６１を用いる構成について説明したが、これに限られない。例えば、半導体プロセスにより製造された光導波路を用いても構わない。この場合、まず光導波路を配置する基台上に、クラッドの構成材料を塗布した後、フォトリソグラフィ技術などによりパターニングする。続いて、クラッド上にコアの構成材料を塗布した後、パターニングし、再びクラッドの構成材料を塗布する。その後、パターニングすることで、光導波路を製造することが可能である。
【００９４】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。
【符号の説明】
【００９５】
１…インクジェットプリンタ（液体噴射装置）
２，３…搬送手段（移動機構）
４，４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
６…走査手段（移動機構）
４０…アクチュエータプレート
４０Ａ…第１アクチュエータプレート（アクチュエータプレート）
４０Ｂ…第２アクチュエータプレート（アクチュエータプレート）
４３…ノズルプレート（噴射孔プレート）
４３ａ…ノズル孔（噴射孔）
４５Ａ…吐出チャネル（噴射チャネル）
６０…レーザ光源（光源）
６１…光ファイバ（光導波路）
６２，７５，７６…光学部
７４…インクガード（液体ガード）
Ｓ…被記録媒体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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