(57)【要約】      （修正有）【課題】吸着部材に対する板状体の位置ずれを防止し、かつ吸着部材から板状体を円滑に剥離させることができる板状体の剥離方法及びその装置、並びに板状体の製造方法を提供する。【解決手段】剥離装置１０は、まず、第１の剥離部１６において、搬送中のガラス板Ｇの帯状の領域Ｂを、浮上規制ローラ群２４によって吸着シート２２からの浮上を規制した状態で、領域Ｂを除く部分を流体噴射ノズル２６から噴射された流体によって吸着シート２２から剥離させる。次に、領域Ｂを吸着シート２２に吸着保持させた状態で、ガラス板Ｇを第２の剥離部１８へ搬送した後、領域Ｂを第２の剥離部１８によって吸着シート２２から剥離させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着部材に吸着保持されている板状体を、吸着部材から剥離させる板状体の剥離方法において、
前記板状体の一部に対して前記吸着部材に対する浮上を規制し、前記吸着保持の状態を維持しつつ、前記一部を除く部分を第１の剥離手段によって前記吸着部材から剥離させる第１の剥離工程と、
前記一部を前記吸着部材に吸着保持させた状態で、前記一部を第２の剥離手段によって前記吸着部材から剥離させる第２の剥離工程と、
を備えたことを特徴とする板状体の剥離方法。
【請求項２】
吸着部材に吸着保持されている板状体を第１の剥離ステージから第２の剥離ステージに搬送させながら、前記吸着部材から剥離させる板状体の剥離方法において、
前記第１の剥離ステージにおいて、搬送中の前記板状体の一部に対して前記吸着部材に対する浮上を規制し、前記吸着保持の状態を維持しつつ、前記一部を除く部分を第１の剥離手段によって前記吸着部材から剥離させる第１の剥離工程と、
前記一部を前記吸着部材に吸着保持させた状態で、前記第２の剥離ステージに前記板状体を搬送する搬送工程と、
前記第２の剥離ステージにおいて、前記一部を第２の剥離手段によって前記吸着部材から剥離させる第２の剥離工程と、
を備えたことを特徴とする板状体の剥離方法。
【請求項３】
前記板状体は矩形状であり、前記板状体の一部は、前記板状体の重心位置を含む中央部である請求項１又は２に記載の板状体の剥離方法。
【請求項４】
前記板状体の一部は、前記板状体の短辺に平行な帯状でありその幅寸法は、前記板状体の長辺方向の幅寸法の１／５０〜１／５である請求項３に記載の板状体の剥離方法。
【請求項５】
前記板状体は、液体を介して前記吸着部材に吸着保持されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の板状体の剥離方法。
【請求項６】
前記第１の剥離手段は、前記吸着部材と前記板状体との境界部に向けて流体を噴射する手段である請求項１〜５のいずれか１項に記載の板状体の剥離方法。
【請求項７】
吸着部材に吸着保持されている板状体を、吸着部材から剥離させる板状体の剥離装置において、
前記板状体の一部に対して前記吸着部材に対する浮上を規制する浮上規制手段と、
前記浮上規制手段によって前記一部の浮上が規制された前記板状体の、前記一部を除く部分を前記吸着部材から剥離させる第１の剥離手段と、
前記一部を前記吸着部材から剥離させる第２の剥離手段と、
を備えたことを特徴とする板状体の剥離装置。
【請求項８】
吸着部材に吸着保持されている板状体を第１の剥離ステージから第２の剥離ステージに搬送させながら、前記吸着部材から剥離させる板状体の剥離装置において、
前記第１の剥離ステージに設置され、搬送中の前記板状体の一部に対して前記吸着部材に対する浮上を規制する浮上規制手段と、
前記第１の剥離ステージに設置され、前記浮上規制手段によって前記一部の浮上が規制された前記板状体の、前記一部を除く部分を前記吸着部材から剥離させる第１の剥離手段と、
前記第２の剥離ステージに設置され、前記一部を前記吸着部材から剥離させる第２の剥離手段と、
を備えたことを特徴とする板状体の剥離装置。
【請求項９】
前記浮上規制手段は、前記板状体の搬送方向に対して直交する方向に回転軸を有し、かつ前記板状体の搬送方向に沿って配列された複数本のローラである請求項８に記載の板状体の剥離装置。
【請求項１０】
前記ローラの直径は３０ｍｍ以上９０ｍｍ以下、ローラ間のピッチは３５ｍｍ以上１００ｍｍ以下、ローラ間の隙間は５ｍｍ以上１０ｍｍ以下である請求項９に記載の板状体の剥離装置。
【請求項１１】
前記第１の剥離手段は、前記吸着部材と前記板状体との境界部に向けて流体を噴射する噴射手段である請求項７〜１０のいずれか１項に記載の板状体の剥離装置。
【請求項１２】
前記噴射手段の近傍には、前記吸着部材に対する前記板状体の浮上量を規制する浮上量規制手段が配置されている請求項１１に記載の板状体の剥離装置。
【請求項１３】
前記第２の剥離手段は、前記板状体を吸着保持する吸着手段と、前記吸着手段を前記吸着部材に対して進退移動させる移動手段とを備える請求項７〜１２のいずれか１項に記載の板状体の剥離装置。
【請求項１４】
前記板状体は矩形状であり、前記板状体の一部は、前記板状体の重心位置を含む中央部である請求項７〜１３のいずれか１項に記載の板状体の剥離装置。
【請求項１５】
前記板状体の一部は、前記板状体の短辺に平行な帯状でありその幅寸法は、前記板状体の長辺方向の幅寸法の１／５０〜１／５である請求項１４に記載の板状体の剥離装置。
【請求項１６】
吸着部材に吸着保持されている板状体を、吸着部材から剥離させる板状体の剥離工程を有する板状体の製造方法において、
前記剥離工程は、前記板状体の一部に対して前記吸着部材に対する浮上を規制し、前記吸着保持の状態を維持しつつ、前記一部を除く部分を第１の剥離手段によって前記吸着部材から剥離させる第１の剥離工程と、
前記一部を前記吸着部材に吸着保持させた状態で、前記一部を第２の剥離手段によって前記吸着部材から剥離させる第２の剥離工程と、
を備えたことを特徴とする板状体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状体の剥離方法及びその装置、並びに板状体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、研磨装置によって研磨されたガラス板（板状体）を連続搬送しながら、ノズルから噴射した流体によって研磨テーブルの吸着シート（吸着部材）から剥離させ、その後、移載機によって洗浄装置に搬送する剥離装置が開示されている。
【０００３】
前記研磨装置におけるガラス板は、ガラス板と吸着シートとの吸着性向上のために使用される液体を介して前記吸着シートに吸着保持された状態で研磨具により研磨される。そして、研磨されたガラス板は、前記吸着シートに吸着保持された状態で研磨装置から搬出される。
【０００４】
特許文献１の剥離装置は、連続搬送されているガラス板に対し、まず、ガラス板の搬送方向に対して直交する方向の一方側をローラによって吸着シートに押圧保持する。次に、ガラス板の他方側と吸着シートとの境界部に向けてノズルから圧縮エアを噴出し、ガラス板の他方側を吸着シートから浮上させ、浮上したガラス板の他方側と吸着シートとの間の隙間にノズルから水を供給する。これによって、ガラス板の他方側と吸着シートとの吸着を解除する。
【０００５】
この後、ガラス板の他方側をローラによって吸着シートに押圧保持する。次に、ガラス板の一方側と吸着シートとの境界部に向けてノズルから圧縮エアを噴出し、ガラス板の一方側を吸着シートから浮上させ、浮上したガラス板の一方側と吸着シートとの間の隙間にノズルから水を供給する。これによって、ガラス板の一方側と吸着シートとの吸着を解除する。以上の動作によって、ガラス板の全面を吸着シートから剥離する。
【０００６】
また、特許文献１の剥離装置は、圧縮エアを供給した時のガラス板の浮上量を規制するリフト規制ローラを備えている。浮上したガラス板がリフト規制ローラに当接され、その浮上量が規制されることによってガラス板の折れを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第４１０３１２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１の剥離装置は、ガラス板の全面を吸着シートから剥離させる装置である。このため、全面が剥離された位置から移載機に向けてのガラス板の搬送時に、ガラス板と吸着シートとの間に残存する液体及び剥離のときに使用した水によって、ガラス板が液体及び剥離のときに使用した水の液面上を滑動し、ガラス板が吸着シートに対して位置ずれするという問題があった。位置ずれが発生すると、移載機までの移動経路に設置された機器部材にガラス板が衝突してガラス板が破損する場合があった。また、ガラス板に対する移載機の吸着パッドの吸着位置がずれるため、移載機でガラス板を確実に保持できない場合もあった。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、吸着部材に対する板状体の位置ずれを防止し、かつ吸着部材から板状体を円滑に剥離させることができる板状体の剥離方法及びその装置、並びに板状体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様は、前記目的を達成するために、吸着部材に吸着保持されている板状体を、吸着部材から剥離させる板状体の剥離方法において、前記板状体の一部に対して前記吸着部材に対する浮上を規制し、前記吸着保持の状態を維持しつつ、前記一部を除く部分を第１の剥離手段によって前記吸着部材から剥離させる第１の剥離工程と、前記一部を前記吸着部材に吸着保持させた状態で、前記一部を第２の剥離手段によって前記吸着部材から剥離させる第２の剥離工程と、を備えたことを特徴とする板状体の剥離方法を提供する。
【００１１】
本発明の一態様は、前記目的を達成するために、吸着部材に吸着保持されている板状体を、吸着部材から剥離させる板状体の剥離装置において、前記板状体の一部に対して前記吸着部材に対する浮上を規制する浮上規制手段と、前記浮上規制手段によって前記一部の浮上が規制された前記板状体の、前記一部を除く部分を前記吸着部材から剥離させる第１の剥離手段と、前記一部を前記吸着部材から剥離させる第２の剥離手段と、を備えたことを特徴とする板状体の剥離装置を提供する。
【００１２】
本発明の一態様によれば、板状体の一部に対して吸着部材に対する浮上を浮上規制手段によって規制し、吸着部材に対する板状体の吸着保持を維持した状態で、その一部を除く部分の界面を第１の剥離手段によって剥離させる。この後、前記一部を第２の剥離手段によって剥離させ、板状体の全面を吸着部材から剥離させる。
【００１３】
本発明の一態様によれば、板状体の一部は浮上規制手段によって吸着部材からの浮上が規制されているので、第１の剥離手段による第１の剥離工程と、第２の剥離手段による第２の剥離工程との間で、吸着部材に対する板状体の位置ずれは発生せず、第２の剥離工程で板状体は吸着部材から円滑に剥離する。
【００１４】
本発明の一態様は、板状体を搬送することなく停止した状態で板状体を吸着部材から剥離させる態様、及び板状体を搬送しながら板状体を吸着部材から剥離させる態様を含む。また、前記浮上規制手段による浮上の規制とは、吸着部材によって吸着保持されている板状体の一部に対し、浮上規制手段を０．１〜２．０ｍｍの隙間を持って配置し、吸着部材からの板状体の一部の浮上を規制する形態、板状体の一部に浮上規制手段を接触させて吸着部材からの板状体の一部の浮上を規制する形態、及び板状体の一部に浮上規制手段を所定の押圧力を持って吸着部材に押圧し、吸着部材からの板状体の一部の浮上を規制する形態を含む。前記押圧力は、板状体の一部を傷付けない押圧力に設定することが好ましい。
【００１５】
本発明の一態様は、前記目的を達成するために、吸着部材に吸着保持されている板状体を第１の剥離ステージから第２の剥離ステージに搬送させながら、前記吸着部材から剥離させる板状体の剥離方法において、前記第１の剥離ステージにおいて、搬送中の前記板状体の一部に対して前記吸着部材に対する浮上を規制し、前記吸着保持の状態を維持しつつ、前記一部を除く部分を第１の剥離手段によって前記吸着部材から剥離させる第１の剥離工程と、前記一部を前記吸着部材に吸着保持させた状態で、前記第２の剥離ステージに前記板状体を搬送する搬送工程と、前記第２の剥離ステージにおいて、前記一部を第２の剥離手段によって前記吸着部材から剥離させる第２の剥離工程と、を備えたことを特徴とする板状体の剥離方法を提供する。
【００１６】
本発明の一態様は、前記目的を達成するために、吸着部材に吸着保持されている板状体を第１の剥離ステージから第２の剥離ステージに搬送させながら、前記吸着部材から剥離させる板状体の剥離装置において、前記第１の剥離ステージに設置され、搬送中の前記板状体の一部に対して前記吸着部材に対する浮上を規制する浮上規制手段と、前記第１の剥離ステージに設置され、前記浮上規制手段によって前記一部の浮上が規制された前記板状体の、前記一部を除く部分を前記吸着部材から剥離させる第１の剥離手段と、前記第２の剥離ステージに設置され、前記一部を前記吸着部材から剥離させる第２の剥離手段と、を備えたことを特徴とする板状体の剥離装置を提供する。
【００１７】
本発明の一態様は、吸着部材に吸着保持されている板状体を第１の剥離ステージから第２の剥離ステージに搬送しながら、板状体を吸着部材から剥離させる態様である。
【００１８】
本発明の一態様によれば、第１の剥離ステージによる第１の剥離工程において、搬送中の板状体の一部の吸着手段からの浮上を浮上規制手段によって規制し、吸着部材に対する板状体の吸着保持を維持しつつ、前記一部を除く部分を第１の剥離手段によって吸着部材から剥離させる。次に、前記一部を吸着部材に吸着保持させた状態で、第１の剥離ステージから第２の剥離ステージに板状体を搬送する。次に、第２の剥離ステージによる第２の剥離工程において、前記一部を第２の剥離手段によって吸着部材から剥離させる。
【００１９】
本発明の一態様によれば、板状体の一部は吸着部材に吸着保持されているので、第１の剥離ステージから第２の剥離ステージに向う搬送途中で、吸着部材に対する板状体の位置ずれは発生せず、第２の剥離ステージで板状体は吸着部材から円滑に剥離する。
【００２０】
また、本発明の一態様の剥離装置を、板状体の研磨装置と板状体の洗浄装置との間に組み込めば、板状体の研磨工程、剥離工程、洗浄工程を一つのラインとして構成できる。
【００２１】
本発明の一態様は、前記板状体は矩形状であり、前記板状体の一部は、前記板状体の重心位置を含む中央部であることが好ましい。
【００２２】
本発明の一態様によれば、板状体の中央部を吸着部材に吸着保持させることにより、板状体に外部から力が作用しても、吸着部材に対する板状体の位置ずれを、中央部を除く他の部分よりも最小限に抑制できる。なお、吸着部材に対する吸着保持が維持される板状体の一部は、中央部に限定されるものではなく、位置ずれを防止できる部分であればよい。
【００２３】
本発明の一態様は、前記板状体の一部は、前記板状体の短辺に平行な帯状でありその幅寸法は、前記板状体の長辺方向の幅寸法の１／５０〜１／５であることが好ましい。
【００２４】
本発明の一態様によれば、板状体の一部は中央部を含む帯状の領域である。その帯状の領域の幅寸法は、板状体の長辺方向の幅寸法に対して１／５０以上なので、吸着部材に対する板状体の位置ずれを防止できる。また、帯状の領域の幅寸法は、板状体の幅寸法に対して１／５以下なので、第２の剥離工程において、板状体を吸着部材から円滑に剥離できる。
【００２５】
本発明の一態様は、前記板状体は、液体を介して前記吸着部材に吸着保持されていることが好ましい。
【００２６】
本発明の一態様によれば、板状体は、前記液体によって吸着部材との吸着性が向上されている。
【００２７】
本発明の一態様は、前記第１の剥離手段は、前記吸着部材と前記板状体との境界部に向けて流体を噴射する手段であることが好ましい。
【００２８】
本発明の一態様によれば、吸着部材と板状体との境界部に向けて、第１の剥離手段から噴射された液体によって、板状体は、板状体の一部を除く部分が吸着部材から剥離される。
【００２９】
本発明の一態様は、前記浮上規制手段は、前記板状体の搬送方向に対して直交する方向に回転軸を有し、かつ前記板状体の搬送方向に沿って配列された複数本のローラであることが好ましい。
【００３０】
本発明の一態様によれば、吸着部材からの板状体の一部の浮上を複数本のローラによって規制することにより、前記帯状の領域を形成できる。
【００３１】
本発明の一態様は、前記ローラの直径は３０ｍｍ以上９０ｍｍ以下、ローラ間のピッチは３５ｍｍ以上１００ｍｍ以下、ローラ間の隙間は５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００３２】
複数本のローラによって前記帯状の領域を良好に形成するためには、ローラの直径、ローラ間のピッチ、及びローラ間の隙間が問題となる。すなわち、ローラの直径を大きくし過ぎると、ローラ間のピッチが大きくなり過ぎる。つまり、前記帯状の領域のうち、ローラによって浮上が規制されない非浮上規制領域の割合が、ローラによって浮上が規制されている浮上規制領域の割合よりも圧倒的に大きくなるので、帯状の領域を良好に形成できない。また、ローラの直径を小さくしても、ローラ間のピッチや隙間を大きくすれば、同様に帯状の領域を良好に形成できない。
【００３３】
本発明の一態様は、上記知見に基づいてなされたものである。そこで、ローラの直径φを３０ｍｍ≦φ≦９０ｍｍとし、ローラ間のピッチＰを３５ｍｍ≦Ｐ≦１００ｍｍとし、ローラ間の隙間Ｃを５ｍｍ≦Ｃ≦１０ｍｍとすれば、帯状の領域を良好に形成できることを実験にて突き止めた。また、ローラの製造誤差、及びローラの組立（配列）誤差を考慮しても、上記寸法であれば、複数本のローラからなる浮上規制手段を問題なく製作できる。
【００３４】
本発明の一態様は、前記第１の剥離手段は、前記吸着部材と前記板状体との境界部に向けて流体を噴射する噴射手段であることが好ましい。
【００３５】
本発明の一態様によれば、空気、液体、または空気と液体の混合流体を吸着部材と板状体との境界部に噴射することにより、吸着部材と板状体との界面を良好に剥離できる。また、流体の噴流は、浮上規制手段によって浮上が規制されている板状体の一部を除いて行き渡る。すなわち、前記噴流は前記一部を貫通しない。浮上規制手段が複数本のローラからなる本発明の態様であっても、ローラの直径、ピッチ、隙間が上記の如く設定された浮上規制手段であれば、前記噴流は前記一部を貫通しない。
【００３６】
本発明の一態様は、前記噴射手段の近傍には、前記吸着部材に対する前記板状体の浮上量を規制する浮上量規制手段が配置されていることが好ましい。
【００３７】
本発明の一態様によれば、流体を供給した時の板状体の浮上量を、浮上量規制手段によって規制したので、浮上量過大及び板状体のばたつきに起因する板状体の折れ、割れ、及び、ばたつきに起因する浮遊量の不安定さによる剥離不良を防止できる。また、板状体の浮上量が一定に抑えられるため、板状体と吸着部材との界面での流体の拡散を抑えることができる。これによって、前記界面の内部まで流体の力を効率よく伝達できる。
【００３８】
本発明の一態様は、前記第２の剥離手段は、前記板状体を吸着保持する吸着手段と、前記吸着手段を前記吸着部材に対して進退移動させる移動手段とを備えることが好ましい。
【００３９】
本発明の一態様によれば、移動手段によって吸着手段を板状体に向けて進出移動させ、吸着手段によって板状体を吸着保持した後、移動手段によって吸着手段を吸着部材に対して退避移動させる。これによって、吸着部材から板状体が円滑に剥離する。
【００４０】
本発明の一態様は、前記目的を達成するために、吸着部材に吸着保持されている板状体を、吸着部材から剥離させる板状体の剥離工程を有する板状体の製造方法において、前記剥離工程は、前記板状体の一部に対して前記吸着部材に対する浮上を規制し、前記吸着保持の状態を維持しつつ、前記一部を除く部分を第１の剥離手段によって前記吸着部材から剥離させる第１の剥離工程と、前記一部を前記吸着部材に吸着保持させた状態で、前記一部を第２の剥離手段によって前記吸着部材から剥離させる第２の剥離工程と、を備えたことを特徴とする板状体の製造方法を提供する。
【００４１】
本発明の一態様によれば、板状体の一部は浮上規制手段によって吸着部材からの浮上が規制されているので、第１の剥離手段による第１の剥離工程と、第２の剥離手段による第２の剥離工程との間で、吸着部材に対する板状体の位置ずれは発生せず、第２の剥離工程で板状体は吸着部材から円滑に剥離する。
【発明の効果】
【００４２】
以上説明したように本発明の板状体の剥離方法及びその装置、並びに板状体の製造方法によれば、吸着部材に対する板状体の位置ずれを防止し、かつ吸着部材から板状体を円滑に剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】実施形態のガラス板の剥離装置の全体構成を示した平面図
【図２】剥離装置の第１の剥離部に向けてガラス板が搬送されている状態を示した斜視図
【図３】第１の剥離部の平面図
【図４】図３に示した第１の剥離部の側面図
【図５】図１に示した第２の剥離部の側面図
【図６】図２に示した浮上規制ローラ群の要部拡大側面図
【図７】ガラス板に対する浮上規制ローラ群の配置位置を誇張して示した平面図
【図８】搬送中のガラス板に対する流体噴射ノズルの配設方向を示した平面図
【図９】浮上量規制ローラ群によってガラス板の浮上量を規制した説明図
【発明を実施するための形態】
【００４４】
以下、添付図面に従って本発明に係る板状体の剥離方法及びその装置、並びに板状体の製造方法の好ましい実施形態について説明する。
【００４５】
図１は、実施形態のガラス板の剥離装置１０の全体構成を示した平面図である。
【００４６】
剥離装置１０は、剥離装置１０に対して上流側に設置されたガラス板Ｇの研磨装置１２と、下流側に設置された洗浄装置１４とを接続させるための装置である。
【００４７】
実施形態で説明するガラス板Ｇは、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイ等のＦＰＤ（Flat Panel Display）に使用される厚さの薄い（０．１〜２．５ｍｍ）ガラス基板である。また、ガラス基板は、研磨装置１２によって研磨面が研磨されることにより、ＦＰＤ用ガラス板として要求される平坦度を満足したガラス板Ｇに製造される。なお、ガラス板Ｇの形状は矩形状であり、サイズとしては、第５世代（縦１０００ｍｍ×横１２００ｍｍ〜縦１１００ｍｍ×横１３００ｍｍ）、第６世代（縦１５００ｍｍ×横１８００ｍｍ〜縦１５００ｍｍ×横１８５０ｍｍ）、第７世代（縦１８７０ｍｍ×横２２００ｍｍ〜縦１９５０ｍｍ×横２２５０ｍｍ）、第８世代（縦２１６０ｍｍ×横２４６０ｍｍ〜縦２２００ｍｍ×横２５００ｍｍ）のものを例示できる。
【００４８】
〔剥離装置１０におけるガラス板Ｇの流れ〕
剥離装置１０は、矢印Ａで示すガラス板Ｇの搬送方向上流側の第１の剥離ステージに設置された第１の剥離部（第１の剥離手段、第１の剥離工程）１６、及び搬送方向下流側の第２の剥離ステージに設置された第２の剥離部（第２の剥離手段、第２の剥離工程）１８を備える。
【００４９】
図２は、第１の剥離部１６に向けてガラス板Ｇが搬送されている状態を示した斜視図、図３は、第１の剥離部１６の平面図、図４は、図３に示した第１の剥離部１６の側面図である。
【００５０】
図１の研磨装置１２によって研磨面が研磨されたガラス板Ｇは、研磨面に対向する非研磨面が図２の研磨テーブル２０上の吸着シート（吸着部材）２２に吸着保持された状態で、図１の研磨装置１２の出口から１枚ずつ搬出され、剥離装置１０の入口に不図示の搬送装置によって搬入される。吸着シート２２に対してガラス板Ｇは、ガラス板Ｇの対向する２つの短辺が、矢印Ａで示したガラス板Ｇの搬送方向と平行になるように、吸着シート２２に吸着保持される。
【００５１】
吸着シート２２は、自己吸着性のある多孔質部材であるが、グリセリン等の液体がその表面に塗布されて、ガラス板Ｇとの吸着性が高められている。ここで、１台の研磨テーブル２０上の吸着シート２２に１枚のガラス板Ｇが吸着保持されているが、２枚以上のガラス板Ｇを吸着保持してもよい。また、多孔質部材の材料は特に限定されず、ポリウレタン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレンが例示される。さらに、液体としてグリセリンを例示したが、これに限定されず、水、グリセリンを含む多価アルコール（グリセリン、ポリエチレングリコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコールなど）、及び水と多価アルコールとの混合物が例示される。
【００５２】
剥離装置１０の入口に搬入されたガラス板Ｇは、前記搬送装置によって連続搬送されながら、まず、第１の剥離部１６において、ガラス板Ｇの中央の帯状の領域（一部）Ｂが浮上規制ローラ群（浮上規制手段）２４によって吸着シート２２からの浮上が規制された状態で、領域Ｂを除く部分が、第１の剥離部１６によって剥離される。
【００５３】
ここで、ガラス板Ｇの領域Ｂとは、ガラス板Ｇの重心位置を含む中央部を含んだ、ガラス板Ｇの短辺に平行な帯状領域である。
【００５４】
次に、ガラス板Ｇは、領域Ｂが吸着シート２２に吸着保持された状態で第２の剥離部１８に向けて連続搬送される。
【００５５】
そして、第２の剥離部１８に例えば３枚のガラス板Ｇが搬入されると、その３枚のガラス板Ｇの領域Ｂが第２の剥離部１８によって剥離される。これによって、ガラス板Ｇの全面が吸着シート２２から剥離される。
【００５６】
この後、３枚のガラス板Ｇは、第２の剥離部１８の搬出動作によって洗浄装置１４に向けて矢印Ｃ方向に搬送される。洗浄装置１４においてガラス板Ｇは洗浄された後、図示しない次工程に搬送される。
【００５７】
なお、第２の剥離部１８に残った３台の研磨テーブル２０は、次のガラス板Ｇが第２の剥離部１８に搬送されてくるまでに図示しない回収装置によって回収される。以上が、剥離装置１０におけるガラス板Ｇの流れである。
【００５８】
〔剥離装置１０の構成〕
剥離装置１０は、前述の如く第１の剥離部１６及び第２の剥離部１８からなる。
【００５９】
第１の剥離部１６は、浮上規制ローラ群２４、複数本の流体噴射ノズル（噴射手段）２６、浮上量規制ローラ群（浮上量規制手段、図２等参照）２８から構成される。なお、浮上規制ローラ群２４、流体噴射ノズル２６、及び浮上量規制ローラ群２８は、図４の側断面図に示すケース２９によって覆われて。また、浮上規制ローラ群２４の上流側に設置されたローラ２５によって、流体噴射ノズル２６から噴射された流体がケース２９の外部に漏出するのが防止されている。更に、浮上規制ローラ群２４の上流側に設置されたローラ２５によって、流体噴射ノズル２６から噴射された流体がケース２９の外部に漏出するのが防止されている。なお、ローラ２５は、ガラス板Ｇを吸着シート２２に押圧し、ガラス板Ｇがケース２９の入口壁２９Ａに衝突するのを防止する役目を有する。ローラ２７は、ガラス板Ｇを吸着シート２２に押圧し、ガラス板Ｇがケース２９の出口壁２９Ｂに衝突するのを防止する役目を有する。
【００６０】
図５は、第２の剥離部１８の側面図である。第２の剥離部１８は、ガラス板Ｇの研磨面を吸着保持する複数の吸着パッド（吸着手段）３０と、吸着パッド３０を吸着シート２２に対して進退移動させ、かつガラス板Ｇを洗浄装置１４に向けて図１の矢印Ｃ方向に搬送する駆動装置３２とを備える。
【００６１】
《浮上規制ローラ群２４》
図２に示すように、浮上規制ローラ群２４を構成する複数本の各ローラ３４は、ガラス板Ｇの矢印Ａで示す搬送方向に対して直交する方向に回転軸３６を有し、かつガラス板Ｇの搬送方向に沿って密に配列される。なお、回転軸３６は、自身が回転するものではなく、ローラ３４を回転自在に支持する軸である。
【００６２】
図６は、ローラ３４の構成を示した浮上規制ローラ群２４の要部拡大側面図である。
【００６３】
実施形態において、ローラ３４の直径φは５０ｍｍであり、かつローラ３４と隣接するローラ３４との間のピッチＰは６０ｍｍに設定されている。つまり、ローラ３４と隣接するローラ３４との間の隙間Ｃが１０ｍｍに設定されている。なお、ローラ３４の直径φは、３０ｍｍ≦φ≦９０ｍｍであることが好ましく、ピッチＰは、３５ｍｍ≦Ｐ≦１００ｍｍであることが好ましく、隙間Ｃは、５ｍｍ≦Ｃ≦１０ｍｍであることが好ましい。
【００６４】
図７は、ガラス板Ｇに対する浮上規制ローラ群２４の配置位置を誇張して示した平面図である。つまり、ガラス板Ｇに対して浮上規制ローラ群２４を拡大して示している。
【００６５】
浮上規制ローラ群２４の各ローラ３４は、符号Ｗで示すガラス板Ｇの幅方向の略中央部に配置されている。
【００６６】
ガラス板Ｇの領域Ｂは、浮上規制ローラ群２４によって、吸着シート２２からの浮上が規制される。ここで浮上の規制とは、吸着シート２２によって吸着保持されているガラス板Ｇの領域Ｂに対し、浮上規制ローラ群２４を０．１〜２．０ｍｍ、好ましくは０．２〜１．０ｍｍの隙間を持って配置し、吸着シート２２からのガラス板Ｇの領域Ｂの浮上を規制する形態、ガラス板Ｇの領域Ｂに浮上規制ローラ群２４を接触させて吸着シート２２からのガラス板Ｇの領域Ｂの浮上を規制する形態、及びガラス板Ｇの領域Ｂに浮上規制ローラ群２４を所定の押圧力を持って吸着シート２２に押圧し、吸着シート２２からのガラス板Ｇの領域Ｂの浮上を規制する形態を含む。ガラス板Ｇに対するローラ３４の押圧力は、ガラス板Ｇが破損しない押圧力であって、例えば約０．０２ＭＰａ以下、好ましくは０．０１ＭＰａ以下に設定される。
【００６７】
また、ローラ３４の長さは、幅方向Ｗにおけるガラス板Ｇの長辺方向の幅寸法の１／５０〜１／５、好ましくは１／３０〜１／１０に設定されている。これにより、ガラス板Ｇは、浮上規制ローラ群２４によって、その幅方向の略中央部であって幅寸法の１／５０〜１／５の帯状の領域Ｂ（図１参照）が、吸着シート２２からの浮上が規制された状態で、すなわち、吸着シート２２に吸着保持された状態で、第１の剥離部１６を通過する。なお、ローラ３４は、ガラス板Ｇの搬送に追従して図６の矢印Ｄ方向に回転される。
【００６８】
《流体噴射ノズル２６》
流体噴射ノズル２６は図１、図２、図７に示すように、搬送中のガラス板Ｇのそれぞれの短辺側に所定の配設角度で、且つ、ガラス板Ｇの搬送方向（ガラス板Ｇの短辺）に沿いながら所定の間隔をもって複数本配設される。また、流体噴射ノズル２６は、吸着シート２２とガラス板Ｇとの境界部に向けて流体を噴射できる高さに配設される。流体は、気体、液体、又は気体と液体との混合物であり、所定の圧力で噴射される。ここで、気体の種類は特に限定されず、空気、窒素、及び酸素が例示される。また、液体としては水が例示される。なお、図１、図７において、流体噴射ノズル２６から噴射された流体の噴射方向が矢印Ｈで示されている。
【００６９】
図８は、搬送中のガラス板Ｇに対する流体噴射ノズル２６の配設角度θを示した平面図である。
【００７０】
流体噴射ノズル２６は、前記境界部に噴射して吸着シート２２とガラス板Ｇとの界面に浸入した流体が、領域Ｂの直前位置まで効率よく行き渡る角度に配設角度が設定されている。すなわち、前記界面に浸入した流体が破線の矢印Ｅで示すように、ガラス板Ｇの搬送方向に対して直交する方向に通過する配設角度θに設定される。配設角度θは、矢印Ｉで示すガラス板Ｇの搬送速度Ｖ１と、矢印Ｈで示す流体噴射ノズル２６からの流体噴射速度Ｖ２とによって設定される。
【００７１】
《浮上量規制ローラ群２８》
図２、図３に示すように浮上量規制ローラ群２８を構成する複数本のローラ３８は、浮上規制ローラ群２４を挟んで幅方向Ｗの両側に配置される。各ローラ３８は、ガラス板Ｇの搬送方向に対して直交する方向に回転軸４０を有し、かつガラス板Ｇの搬送方向に沿って配列され、かつ、ガラス板Ｇの研磨面に対して約５ｍｍ離間した上方位置に配置されている。なお、回転軸４０は、自身が回転するものではなく、ローラ３８を回転自在に支持する軸である。また、図２の如く回転軸４０の一端は、ガラス板Ｇの搬送方向に対して平行に配置された外側の２本の棒材４２に固定され、回転軸４０の他端は、ガラス板Ｇの搬送方向に対して平行に配置された内側の２本の棒材４４に固定される。この２本の棒材４４に回転軸３６の両端が固定されている。
【００７２】
図９は、浮上量規制ローラ群２８によって吸着シート２２からのガラス板Ｇの浮上量が規制されている状態を誇張して示した説明図である。また、図９の矢印Ｈは、流体噴射ノズル２６から噴射された流体の噴射方向である。更に、図９の符号Ｂは、浮上規制ローラ群２４によって吸着シート２２からの浮上が規制されたガラス板Ｇの帯状の領域である。この場合、ガラス板Ｇとローラ３４との間の隙間Ｉが０．２ｍｍに設定されている。
【００７３】
図９によれば、前記流体を供給した時のガラス板Ｇの幅方向Ｗの縁部の浮上量Ｆを、浮上量規制ローラ群２８の各ローラ３８によって約５ｍｍ程度に規制している。これにより、浮上量過大及びガラス板Ｇのばたつきに起因するガラス板Ｇの折れ、割れ、及び、ばたつきに起因する浮遊量の不安定さによる剥離不良が防止されている。また、各ローラ３８によってガラス板Ｇの浮上量が一定に抑えられるため、ガラス板Ｇと吸着シート２２との界面の外部での流体の拡散を抑えることができる。これによって、領域Ｂを除く前記界面の内部まで流体の力が効率よく伝達される。
【００７４】
《第２の剥離部１８》
図５に示したように第２の剥離部１８は、複数の吸着パッド（吸着手段）３０と、吸着パッド３０に吸着保持されたガラス板Ｇを洗浄装置１４に向けて搬送する駆動装置３２とを備える。
【００７５】
吸着パッド３０は、碁盤目状（check pattern）に構成されたフレーム４６に取り付けられており、フレーム４６が駆動装置３２によって駆動される。すなわち、フレーム４６は駆動装置３２によって、吸着シート２２に吸着保持されているガラス板Ｇに対し上下方向に進退移動され、かつ第２の剥離ステージと洗浄装置１４（図１参照）との間で往復移動される。
【００７６】
なお、特開２００７−１８５７２５号公報に開示されているように、複数の吸着パッド３０をフレーム４６に対しそれぞれ独立して昇降制御し、ガラス板Ｇの縁部に位置する吸着パッド３０からガラス板Ｇの中央部に位置する吸着パッド３０の順に吸着パッド３０をそれぞれ上昇させることにより、吸着シート２２からガラス板Ｇを円滑に剥離できる。すなわち、吸着シート２２に対する吸着保持が維持されているガラス板Ｇの帯状の領域Ｂが吸着シート２２から円滑に剥離される。
【００７７】
〔剥離装置１０の特徴〕
まず、第１の剥離部１６において、搬送中のガラス板Ｇの帯状の領域Ｂを浮上規制ローラ群２４によって吸着シート２２からの浮上を規制し、吸着シート２２に対するガラス板Ｇの吸着保持の状態を維持しつつ、領域Ｂを除く部分を流体噴射ノズル２６から噴射された流体によって吸着シート２２から剥離させる。
【００７８】
次に、領域Ｂを吸着シート２２に吸着保持させた状態で、ガラス板Ｇを第２の剥離部１８に搬送した後、第２の剥離部１８において、領域Ｂを第２の剥離部１８によって吸着シート２２から剥離させる。
【００７９】
実施形態の剥離装置１０によれば、ガラス板Ｇの領域Ｂは吸着シート２２に吸着保持されているので、第１の剥離ステージから第２の剥離ステージに向う搬送途中で、吸着シート２２に対するガラス板Ｇの位置ずれは発生せず、第２の剥離ステージでガラス板Ｇは吸着シート２２から円滑に剥離される。
【００８０】
また、実施形態では、領域Ｂをガラス板Ｇの長辺方向の幅方向の中央部に設定している。このため、ガラス板Ｇに外部から力が作用しても、吸着シート２２に対するガラス板Ｇの位置ずれを、中央部を除く他の部分よりも最小限に抑制できる。なお、吸着シート２２に対する吸着保持が維持されるガラス板Ｇの一部は、帯状であること、及び中央部であることに限定されるものではなく、位置ずれを防止できる部分であればよい。
【００８１】
また、実施形態では帯状の領域Ｂの幅寸法を、ガラス板Ｇの幅寸法の１／５０〜１／５、好ましくは１／３０〜１／１０に設定している。すなわち、領域Ｂの幅寸法は、ガラス板Ｇの幅寸法に対して１／５０以上なので、吸着シート２２に対するガラス板Ｇの位置ずれを防止できる。また、領域Ｂの幅寸法は、ガラス板Ｇの幅寸法に対して１／５以下なので、第２の剥離部１８において、ガラス板Ｇを吸着シート２２から円滑に剥離できる。換言すれば、領域Ｂの幅寸法が、ガラス板Ｇの幅寸法に対して１／５を超えた場合には、吸着シート２２に対するガラス板Ｇの吸着性は上がるが、吸着シート２２に対するガラス板Ｇの剥離性は低下する。また、領域Ｂの幅寸法が、ガラス板Ｇの幅寸法に対して１／５０未満の場合には、吸着シート２２に対するガラス板Ｇの剥離性は上がるが、吸着シート２２に対するガラス板Ｇの吸着性は低下する。
【００８２】
また、実施形態では浮上規制ローラ群２４のローラ３４の直径φを３０ｍｍ≦φ≦９０ｍｍ、ローラ３４間のピッチＰを３５ｍｍ≦Ｐ≦１００ｍｍ、ローラ３４間の隙間Ｃを５ｍｍ≦Ｃ≦１０ｍｍに設定している。
【００８３】
ここで、複数本のローラ３４によって帯状の領域Ｂを良好に形成するためには、ローラ３４の直径φ、ローラ３４間のピッチＰ、及びローラ３４間の隙間Ｃが問題となる。
【００８４】
そこで、ローラ３４の直径φを３０ｍｍ≦φ≦９０ｍｍとし、ローラ３４間のピッチＰを３５ｍｍ≦Ｐ≦１００ｍｍとし、ローラ３４間の隙間Ｃを５ｍｍ≦Ｃ≦１０ｍｍとすれば、流体噴射ノズル２６からの流体が浮上規制領域を通過せず、帯状の領域Ｂを良好に形成できることを実験にて突き止めた。また、ローラ３４の製造誤差、及びローラ３４の組立（配列）誤差を考慮しても、上記寸法であれば、複数本のローラ３４からなる浮上規制ローラ群２４を問題なく製作できる。
【００８５】
また、実施形態の剥離装置１０では、流体噴射ノズル２６から空気、液体、または空気と液体の混合流体を吸着シート２２とガラス板Ｇとの境界部に噴射したので、吸着シート２２とガラス板Ｇとの界面を良好に剥離できる。また、流体の噴流は、浮上規制ローラ群２４によって吸着シート２２からの浮上が規制されている領域Ｂを除いて行き渡る。すなわち、前記噴流は領域Ｂを貫通しない。浮上規制手段が複数本のローラ３４からなる浮上規制ローラ群２４であっても、ローラ３４の直径φ、ピッチＰ、隙間Ｃが上記の如く設定された浮上規制ローラ群２４であれば、前記噴流は領域Ｂを貫通しない。
【００８６】
〔産業上の利用可能性〕
実施形態では、搬送中のガラス板Ｇを吸着シート２２から剥離させる形態を説明したが、これに限定されるものではなく、停止状態の吸着シート２２からガラス板Ｇを剥離させる形態でも本発明を適用できる。その場合の浮上規制手段は、浮上規制ローラ群２４に代えて、ガラス板Ｇの一部を吸着シート２２から浮上させない部材であれば適用できる。
【００８７】
また、実施形態では、剥離対象の板状体としてガラス板Ｇを例示したが、これに限られるものではなく、金属製又は樹脂製の板状体であっても本発明の板状体の剥離方法及びその装置、並びに板状体の製造方法を適用できる。
【符号の説明】
【００８８】
１０…剥離装置、１２…研磨装置、１４…洗浄装置、１６…第１の剥離部、１８…第２の剥離部、２０…研磨テーブル、２２…吸着シート、２４…浮上規制ローラ群、２５…ローラ、２６…流体噴射ノズル、２７…ローラ、２８…浮上量規制ローラ群、２９…ケース、３０…吸着パッド、３２…駆動装置、３４…ローラ、３６…回転軸、３８…ローラ、４０…回転軸、４２、４４…棒材、４６…フレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2015000792.tif 000009
【図８】
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【図９】
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