(57)【要約】      （修正有）【課題】接続孔形成工程のレジスト除去時に発生していた接続孔底部の下地電極の剥がれや浮きを防止でき、信頼性の高いアクチュエータ基板を製作可能なアクチュエータ基板の製造方法を提供する。【解決手段】上部電極と下部電極１０とに挟まれた圧電体と、上部電極と接続孔３０を介して接続される配線とを有するアクチュエータ基板の製造方法であって、レジストパターン４６を除去して接続孔３０を形成する際に、上部電極が露出することを防止する絶縁膜４７を一時的に残す工法とした。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部電極と下部電極とに挟まれた圧電体と、前記上部電極と接続孔を介して接続される配線とを有するアクチュエータ基板の製造方法であって、
レジストパターンを除去して前記接続孔を形成する際に、前記上部電極が露出することを防止する絶縁膜を一時的に残すことを特徴とするアクチュエータ基板の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のアクチュエータ基板の製造方法において、
前記絶縁膜が前記上部電極と前記レジストパターンとの間に設けられた層間絶縁膜によって形成され、前記レジストパターンを除去した後に前記絶縁膜を除去することを特徴とするアクチュエータ基板の製造方法。
【請求項３】
請求項１記載のアクチュエータ基板の製造方法において、
前記上部電極と前記レジストパターンとの間に層間絶縁膜を有し、前記絶縁膜が前記層間絶縁膜と前記上部電極との間に設けられエッチング速度が前記層間絶縁膜よりも遅い膜状部材によって形成され、前記レジストパターンを除去した後に前記絶縁膜を除去することを特徴とするアクチュエータ基板の製造方法。
【請求項４】
請求項３記載のアクチュエータ基板の製造方法において、
前記膜状部材がアトミックレイヤーデポジション法によって形成されていることを特徴とするアクチュエータ基板の製造方法。
【請求項５】
請求項４記載のアクチュエータ基板の製造方法において、
前記膜状部材はＡｌ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ３、ＴｉＮ、ＴｉＯ２であることを特徴とするアクチュエータ基板の製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし５の何れか一つに記載の製造方法によって製造されたことを特徴とするアクチュエータ基板。
【請求項７】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドに記録液を供給するインクタンクとを一体化した液体カートリッジにおいて、
前記液滴吐出ヘッドが請求項６記載のアクチュエータ基板を有することを特徴とする液体カートリッジ。
【請求項８】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置において、
前記液滴吐出ヘッドが請求項６記載のアクチュエータ基板を有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項９】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置において、
請求項７記載の液体カートリッジを有することを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜ＰＺＴヘッドに採用されるアクチュエータ基板ではＰＺＴを用いた圧電素子を形成するが、その電極層において融点が高く安定なＰｔを電極として使用している。また電極層は、ＰＺＴの特性劣化を防止する目的でＰｔ電極とＰＺＴ層との間に金属酸化膜（例えばＳＲＯ、ＬＮＯ）を形成している。Ｐｔは化学的には安定な物質であるが、触媒作用が大きいことで知られている。アクチュエータ基板の形成工程において、上部電極へ駆動パルスを外部から印加するためにこの上部電極上、または共通電極である下部電極上の層間絶縁膜にコンタクトホールを形成し、引き出し配線パターンとコンタクトホールを介して電気的に接触させている。このコンタクトホールはレジストパターンをマスクにエッチングして形成するが、エッチング完了後にはコンタクトホール底部に触媒作用の大きなＰｔが露出している。
【０００３】
「特許文献１」には、Ａｕからなる上部層パターニング時の密着層と上部層との異種金属間接触により発生する腐食により密着層と上部層との密着性が悪化し、上部層が剥離し易くなる問題を防止すべく、引き出し配線をチタン・タングステン合金からなる密着層とＡｕからなる上部層で構成することにより、引き出し配線の上部層をウェットエッチングによりパターニングする際に密着層と上部層との間で腐食が発生することがなく、引き出し配線の密着性を向上させる技術が開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
エッチングが完了した後にレジストパターンを除去する方法として、酸素プラズマ処理やＵＶ照射によるレジストを分解（炭化）する方法が一般的に知られている。しかしこのような手法では、プラズマ中に水素（原子、ラジカル、イオン）が発生する。この水素がコンタクトホール底部に露出しているＰｔの触媒作用により活性化され、Ｐｔを透過して下層の金属酸化膜あるいはＰＺＴを還元し、その酸素を引き抜く反応が生じる。結果的に金属酸化膜が還元されると、Ｐｔと金属酸化膜界面とで剥がれが生じ、ＰＺＴを還元することによりＰＺＴの特性劣化が生じる。従って、このようなアクチュエータ基板はその特性が十分に得られず、品質が悪くかつ駆動耐久性にも問題が生じるため、十分な特性を確保することができない。そのため、この圧電素子を備えたアクチュエータでは十分な駆動耐久性が得られず、このアクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドでは所望する液滴吐出特性が安定せず、さらに高い信頼性を確保することができないという問題点がある。
【０００５】
また「特許文献１」に開示された技術では、電極層の材料選択に制約が加わることになり、デバイスの特性を優先することができないため、デバイス特性が犠牲となるという問題点がある。
【０００６】
本発明は上述の問題点を解決し、接続孔形成工程のレジスト除去時に発生していた接続孔底部の下地電極の剥がれや浮きを防止でき、信頼性の高いアクチュエータ基板を製作可能なアクチュエータ基板の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明は、上部電極と下部電極とに挟まれた圧電体と、前記上部電極と接続孔を介して接続される配線とを有するアクチュエータ基板の製造方法であって、レジストパターンを除去して前記接続孔を形成する際に、前記上部電極が露出することを防止する絶縁膜を一時的に残すことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、従来発生していた接続孔の底部における上部電極層あるいは下部電極層の膜浮きや膜剥がれの発生を防止することができ、信頼性が高く歩留まりの高いアクチュエータ基板を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態を説明する概略図である。
【図２】本発明の第１の実施形態を適用した液滴吐出ヘッドの概略断面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態を適用した液滴吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図４】本発明の第１の実施形態を適用した液滴吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図５】本発明の第１の実施形態を適用した液滴吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図６】本発明の第１の実施形態を適用した液滴吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図７】本発明の第１の実施形態を適用した液滴吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図８】本発明の第１の実施形態を適用した液滴吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図９】本発明の第１の実施形態を適用した液滴吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態を適用した液滴吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態を適用した液滴吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態を適用した液滴吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１３】本発明の第２の実施形態を適用した液滴吐出ヘッドの製造工程を説明する概略図である。
【図１４】本発明の第３の実施形態に用いられるインクカートリッジの概略斜視図である。
【図１５】本発明の第４の実施形態に用いられるインクジェット記録装置の概略斜視図である。
【図１６】本発明の第４の実施形態に用いられるインクジェット記録装置の概略正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、本発明の第１の実施形態に用いられる圧電型アクチュエータを有する液滴吐出ヘッドの斜視図を、図２は図２における液室長手方向の断面図をそれぞれ示している。同図において液滴吐出ヘッド１は、基板の一面に設けたノズル孔から液滴を吐出させるサイドシュータタイプのものである。液滴吐出ヘッド１は、第１の基板１００に、液滴吐出エネルギを発生する圧電体素子２、振動板３を備えた加圧液室隔壁４、加圧液室隔壁４で仕切られた複数の加圧液室５、流体抵抗部７、及び共通液室８を形成している。
【００１１】
第１の基板１００には、加圧液室５の一部壁面を構成する、圧電体素子２の駆動により振動する板である振動板３が設けられており、振動板３を介して加圧液室５と対向する部位には圧電体素子２が設けられている。また、共通液室８には共通流路９が形成されており、ここを介して液滴であるインクを外部から供給可能に構成されている。圧電体素子２は、下部電極である共通電極１０、上部電極である個別電極１１、圧電体１２を有しており、圧電体１２は共通電極１０と個別電極１１とによって挟持されている。
【００１２】
第１の基板１００の上方に配設された第２の基板２００には、外部から液滴を供給する供給口６６、液流路部である共通流路９、及び振動板３の撓みを許容する凹部６７が形成されている。また、第１の基板１００の下方に配設されたノズル基板３００には、個々の加圧液室５に対応した位置にノズル孔６が形成されている。共通電極１０の上位には層間絶縁膜４５が形成され、その上位には配線４０が形成され、さらにその上位には配線４０を保護する目的でパッシベーション膜５０が形成されている。
【００１３】
上述の構成において、アクチュエータ基板２０及び第２の基板２００及びノズル基板３００を接合することによって液滴吐出ヘッド１が構成される。そして、第１の基板１００、圧電体素子２、振動板３、共通電極１０、層間絶縁膜４５、配線４０によってアクチュエータ基板２０が構成されている。また、配線４０と個別電極１１とは、層間絶縁膜４５に形成された接続孔３０を介して互いに接続されている。
【００１４】
上述のように構成された液滴吐出ヘッド１では、各加圧液室５内に液体、例えばインク等の記録液が充填された状態で図示しない制御部から画像データが送られる。そして送られた画像データに基づき、記録液の吐出を行いたいノズル孔６に対応する個別電極１１に対して、発振回路により配線４０及び層間絶縁膜４５に形成された接続孔３０を介して、例えば２０Ｖのパルス電圧を印加する。パルス電圧の印加により、電歪によって圧電体１２そのものが振動板３と平行な方向に縮み、振動板３が加圧液室５方向に撓む。これにより加圧液室５内の圧力が急激に上昇し、加圧液室５に連通するノズル孔６から記録液が吐出される。
【００１５】
パルス電圧印加後は、縮んだ圧電体１２が復元することから撓んだ振動板３が元の位置に戻るため、加圧液室５内が共通液室８内に比して負圧となる。これにより、外部から供給口６６を介して供給されるインクが共通流路９及び共通液室８から流体抵抗部７を介して加圧液室５に供給される。これを繰り返すことにより、液滴を連続的に吐出することができ、液滴吐出ヘッド１に対向して配置した被記録媒体（例えば用紙）に画像を形成することができる。
【００１６】
次に、本発明の第１の実施形態における液滴吐出ヘッド１の製造工程を順次説明する。先ず図３に示すように、第１の基板１００として面方位＜１１０＞のシリコン単結晶基板（例えば板厚４００μｍ）上に振動板３を成膜する。振動板３は、振動板としての機能と後のプロセス整合性を確保していれば単層膜であっても積層膜であってもよい。例えば振動板３の材料として、ＬＰ−ＣＶＤ法でシリコン酸化膜、ポリシリコン膜、あるいはアモルファスシリコン膜、シリコン窒化膜としてこれ等を所望の振動板剛性となるように積層に成膜する。プロセス整合性、振動板剛性、及び振動板３全体の応力を鑑み、積層数は３〜７層程度が好ましい。また、後の共通電極１０との密着性を確保するため、振動板３の最上層はＬＰ−ＣＤＶ法で形成したシリコン酸化膜とする。
【００１７】
次に図４に示すように、ＴｉＯ２とＰｔとからなる共通電極１０をスパッタリング法によりそれぞれ５０ｎｍと１００ｎｍの厚さで成膜する。次に、共通電極１０上に圧電体１２としてＰＺＴを例えばスピンコート法により複数回に分けて成膜し、最終的に２μｍの厚さで成膜する。次に、Ｐｔ上の個別電極１１をスパッタリング法で例えば１００ｎｍの厚さで成膜する。ここで圧電体１２の成膜方法は、スピンコート法に限られず例えばスパッタリング法、イオンプレーティング法、エアーゾル法、ゾルゲル法、あるいはインクジェット法等により成膜してもよい。そしてリソエッチング法により、後に形成する加圧液室５に対応する位置に圧電体素子２を形成するため、個別電極１１と圧電体１２とをパターニングする。その後、共通電極１０をリソエッチング法によりパターニングする。こととき、後に共通流路９となる箇所の共通電極１０の層もパターニングする。
【００１８】
次に図５に示すように、共通電極１０、圧電体１２、及び後に形成する配線４０を絶縁するために層間絶縁膜４５を成膜する。層間絶縁膜４５としては、例えばプラズマＣＶＤ法でＳｉＯ２膜を成膜する。層間絶縁膜４５は、圧電体１２や電極材料に影響を及ぼさずに絶縁性を有する膜であれば、プラズマＣＶＤ法のＳｉＯ２膜には限定されない。
【００１９】
次に図６に示すように、個別電極１１と配線４０とを接続する接続孔３０をリソエッチング法により形成するため、レジストパターン４６を形成する。ここで図示してはいないが、共通電極１０も配線４０と接続する場合には、同様に接続孔を形成する。次に図７に示すように、エッチング法によりレジストパターン４６をマスクとして接続孔３０部分の層間絶縁膜４５を除去するが、このときに個別電極１１が露出しないように、層間絶縁膜４５によって薄い絶縁膜４７を形成し、これを例えば５０ｎｍ程度残す。次に図８に示すように、酸素プラズマ法によってレジストパターン４６を完全に除去し、その後図９に示すように、接続孔３０に残した薄い絶縁膜４７を完全に除去する。絶縁膜４７を除去する手段としては、例えばＡｒスパッタ法、ＣＦ４プラズマ法等が挙げられる。
【００２０】
上述した工程により、従来発生していた接続孔３０の底部における個別電極１１層あるいは共通電極１０層の膜浮きや膜剥がれの発生を防止することができ、信頼性が高く歩留まりの高いアクチュエータ基板２０を形成することができる。このアクチュエータ基板２０を用いた液滴吐出ヘッド１は安定した特性を得ることができ、また信頼性も高い。さらに液滴吐出ヘッド１を一体化した液体カートリッジや、液滴吐出ヘッド１を搭載した画像形成装置にも本発明は適用可能である。この例については後述する。
【００２１】
次に、本発明の第２の実施形態における液滴吐出ヘッド１の製造工程を説明する。この第２の実施形態では、層間絶縁膜４５の下層に接続孔３０形成時のエッチングにおいて層間絶縁膜４５よりもエッチング速度が遅い膜状部材４８を形成し、接続孔３０のエッチング時に個別電極１１が露出しないように構成している。以下に図を用いて説明するが、個別電極１１、圧電体１２、共通電極１０をそれぞれリソエッチ法でパターニングする工程までは第１の実施形態と同様である。
【００２２】
先ず図１０に示すように、個別電極１１、圧電体１２、共通電極１０のパターニング後、接続孔３０形成時のエッチングにおいて、層間絶縁膜４５よりもエッチング速度が遅い膜状部材４８を例えば５０ｎｍ厚程度成膜する。ここで膜状部材４８としては、アトミックレイヤーデポジション法（ＡＬＤ法）により成膜したＡｌ２Ｏ３膜、Ｔａ２Ｏ３膜、ＴｉＮ膜、ＴｉＯ２膜等が好適である。そして、第１の実施形態と同様に層間絶縁膜４５を成膜し、配線４０と個別電極１１とを接続する接続孔３０をリソエッチング法により形成するためにレジストパターン４６を形成する。ここで図示してはいないが、共通電極１０も配線４０と接続する場合には、同様に接続孔を形成する。
【００２３】
次に図１１に示すように、エッチング法によりレジストパターン４６をマスクとして接続孔３０部分の層間絶縁膜４５を除去するが、このとき個別電極１１が露出しないように膜状部材４８をエッチングせずに残す。エッチング速度が遅い膜状部材４８の存在により実施形態１に比して確実に接続孔３０底部の個別電極１１が露出することを防止できる。
【００２４】
次に図１２に示すように、レジストパターン４６を酸素プラズマ法によって完全に除去し、その後図１３に示すように、接続孔３０に残した膜状部材４８を完全に除去する。膜状部材４８を除去する方法としては、例えばＡｒスパッタ法、材料にあったエッチング法等が挙げられる。
【００２５】
上述した工程により、実施形態１に比して接続孔３０の底部における個別電極１１層あるいは共通電極１０層の膜浮きや膜剥がれの発生をより確実に防止することができ、信頼性が高く歩留まりの高いアクチュエータ基板２０を形成することができる。また、膜状部材４８がアトミックレイヤーデポジション法によって形成されているので、緻密で均一性に優れ確実に接続孔３０形成時における個別電極１１層の露出を防止でき、安定した製造プロセスを実現することができる。また、膜状部材４８としてＡｌ２Ｏ３膜、Ｔａ２Ｏ３膜、ＴｉＮ膜、ＴｉＯ２膜を用いることにより、層間絶縁膜４５に対してエッチング速度を１０倍以上遅くすることができる。これにより膜状部材４８の膜厚は５０ｎｍ程度で十分となり、プロセスコストを低減できかつ信頼性の高い工法を構築できるため、安定して歩留まりが高く信頼性の高いアクチュエータ基板を提供することができる。
【００２６】
次に本発明の第３の実施形態として、上述した液滴吐出ヘッド１を一体化した液体カートリッジを説明する。  
図１４に示す液体カートリッジとしてのインクカートリッジ８０は、ノズル孔６等を有する液滴吐出ヘッド１と、液滴吐出ヘッド１にインクを供給するインクタンク８２とを一体化したものである。このようなインクタンク８２と液滴吐出ヘッド１とを一体的に有するインクカートリッジ８０では、アクチュエータ部６８を高精度化、高密度化及び高信頼化することで歩留まりや信頼性を向上することができる。これにより、インクカートリッジ８０の低コスト化も実現することができる。
【００２７】
次に本発明の第４の実施形態として、上述した液滴吐出ヘッド１を搭載した画像形成装置としてのインクジェット記録装置を図１５及び図１６に基づいて説明する。  
画像形成装置としてのインクジェット記録装置９０は、その装置本体内部に主走査方向に対して移動可能であり液滴吐出ヘッド１を搭載するキャリッジ９８を有している。また装置本体内部には、液滴吐出ヘッド１及び液滴吐出ヘッド１にインクを供給するインクカートリッジ９９等で構成される印字機構部９１等が収納されている。装置本体の下部には、前方側から多数枚の用紙９２を積載可能な給紙カセット（給紙トレイでもよい）９３が抜き差し自在に装着されている。さらに装置本体には、用紙９２を手差しで給紙する際に開放される手差しトレイ９４が配設されている。インクジェット記録装置９０は、給紙カセット９３または手差しトレイ９４から給紙される用紙９２を取り込み、印字機構部９１によって所望の画像を記録した後、画像形成後の用紙９２を後面側に配設された排紙トレイ９５に排出する。
【００２８】
印字機構部９１は、図示しない左右の側板に掛け渡されたガイド部材である主ガイドロッド９６と従ガイドロッド９７とキャリッジ９８とを主走査方向に摺動自在に保持している。キャリッジ９８には、イエロ（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色インク液滴を吐出する液滴吐出ヘッド１が設けられている。液滴吐出ヘッド１は、複数のノズルが主走査方向と交差する方向に並ぶ態様で、インク液滴吐出方向を下方に向けて装着されている。
【００２９】
またキャリッジ９８には、液滴吐出ヘッド１に各色インクを供給する各インクカートリッジ９９が交換可能に装着されている。インクカートリッジ９９は、上方に大気と連通する大気口を、下方に液滴吐出ヘッド１へインクを供給する供給口をそれぞれ有している。インクカートリッジ９９の内部にはインクが充填された多孔質体が設けられており、多孔質体の毛管力によって液滴吐出ヘッド１に供給されるインクを僅かな負圧に維持している。また、液滴吐出ヘッド１としては各色個別のものを用いているが、各色のインク液滴を吐出するノズルを有する単一の液滴吐出ヘッドを用いてもよい。
【００３０】
キャリッジ９８は、後方側である用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド９６に摺動自在に嵌装され、前方側である用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド９７に摺動自在に載置されている。キャリッジ９８を主走査方向に移動走査させるため、主走査モータ１０１で回転駆動される駆動プーリ１０２と従動プーリ１０３との間にタイミングベルト１０４を掛け渡し、タイミングベルト１０４をキャリッジ９８に固定している。この構成より、主走査モータ１０１の正逆回転により、キャリッジ９８が往復移動される。
【００３１】
一方、給紙カセット９３にセットした用紙９２を液滴吐出ヘッド１の下方側へと搬送するため、給紙カセット９３から用紙９２を分離給送する給紙ローラ１０５及びフリクションパッド１０６が配設されている。また、用紙９２を案内するガイド部材１０７、給紙された用紙９２を反転させて搬送する搬送ローラ１０８が配設されている。さらに、搬送ローラ１０８の周面に押し付けられる搬送コロ１０９、搬送ローラ１０８から用紙９２の送り出し角度を規定する先端コロ１１０が設けられている。搬送ローラ１０８は、図示しない副走査モータによってギヤ列を介して回転駆動される。
【００３２】
キャリッジ９８の主走査方向における移動範囲に対応し、搬送ローラ１０８から送り出された用紙９２を液滴吐出ヘッド１の下方位置で案内するため、用紙ガイド部材である印写受け部材１１１が配設されている。印写受け部材１１１の用紙搬送方向下流側には、用紙９２を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１２及び拍車１１３が設けられている。また、さらに用紙９２を排紙トレイ９５に送り出す排紙ローラ１１４及び拍車１１５と、排紙経路を形成するガイド部材１１６，１１７が配設されている。
【００３３】
上述のインクジェット記録装置９０では、記録時においてキャリッジ９８を移動させつつ画像信号に応じて液滴吐出ヘッド１を駆動する。これにより、停止している用紙９２にインクを吐出して１行分を記録し、その後に用紙９２を所定量搬送した後に次の行の記録を行う。記録終了信号または用紙９２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、インクジェット記録装置９０は記録動作を終了させて用紙９２を排紙する。
【００３４】
キャリッジ９８の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、液滴吐出ヘッド１の吐出不良を回復させるための回復装置１１８が配設されている。回復装置１１８は、キャップ手段と吸引手段とクリーニング手段とを有している。キャリッジ９８は印字待機中に回復装置１１８側に移動され、キャッピング手段で液滴吐出ヘッド１をキャッピングしてノズルを湿潤状態に保つことにより、インク乾燥による吐出不良の発生を防止している。また、記録途中等に記録とは関係のないインクを吐出することにより、全てのノズルのインク粘度を一定にさせて安定した吐出状態を維持している。
【００３５】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で液滴吐出ヘッド１のノズルを密封し、チューブを通して吸引手段によりノズルからインクと共に気泡等を吸い出す。そして、ノズル面に付着したインクやごみ等をクリーニング手段によって除去し、これにより吐出不良が回復する。また、吸引したインクは本体下部に設けられた図示しない廃インク溜まりに排出され、廃インク溜まり内部に設けられたインク吸収体に吸収保持される。
【００３６】
上述したインクジェット記録装置９０では、本発明の液滴吐出ヘッド１を搭載しているので、安定したインク吐出特性を得ることができ、画像品質を向上させることができる。上述の説明では液滴吐出ヘッド１としてインクを吐出するものを示したが、本発明が適用可能な液滴はインクには限られず、例えばパターニング用の液体レジストを吐出する装置に液滴吐出ヘッド１を適用してもよい。さらには遺伝子分析試料を吐出する装置に液滴吐出ヘッド１を適用してもよい。また、本発明が適用可能な画像形成装置はプリンタには限られず、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これ等の複合機にも本発明は適用可能である。
【符号の説明】
【００３７】
１  液滴吐出ヘッド
１０  下部電極（共通電極）
１１  上部電極（個別電極）
１２  圧電体
２０  アクチュエータ基板
３０  接続孔
４０  配線
４５  層間絶縁膜
４６  レジストパターン
４７  絶縁膜
４８  膜状部材
８０  液体カートリッジ（インクカートリッジ）
９０  画像形成装置（インクジェット記録装置）
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３８】
【特許文献１】特開２００４−４２３５７号公報
【図１】
2015118990.tif 000003
【図２】
2015118990.tif 000004
【図３】
2015118990.tif 000005
【図４】
2015118990.tif 000006
【図５】
2015118990.tif 000007
【図６】
2015118990.tif 000008
【図７】
2015118990.tif 000009
【図８】
2015118990.tif 000010
【図９】
2015118990.tif 000011
【図１０】
2015118990.tif 000012
【図１１】
2015118990.tif 000013
【図１２】
2015118990.tif 000014
【図１３】
2015118990.tif 000015
【図１４】
2015118990.tif 000016
【図１５】
2015118990.tif 000017
【図１６】
2015118990.tif 000018