(57)【要約】【課題】粘着フィルムを張った状態で保持する外枠と内枠を備えたキャリアを、そのままで上下に重ねても相互にずれないで固定可能とすることを目的とする。又、保管、運搬時に粘着フィルムに保持された物の確認を容易とすることを目的とする。【解決手段】外枠２と内枠８を備え、外枠２は、平板状の基部３の上面３１外周端から、側壁部４が上方に延びて設けられ、基部３の側面の下部外周端から、脚部５が下方に延びて設けられ、基部３には開口部２２が形成され、開口部２２に内枠８が嵌め込み自在に構成されているフィルム固定型キャリア。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外枠と内枠を備え、前記外枠は、平板状の基部の上面外周端から、側壁部が上方に延びて設けられ、前記基部の側面の下部外周端から、脚部が下方に延びて設けられ、前記基部には開口部が形成され、前記開口部に前記内枠が嵌め込み自在に構成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリア。
【請求項２】
前記外枠の前記開口部は平面視円形に形成され、前記内枠は平面視で外側が円形の環状体であることを特徴とする請求項１に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項３】
前記外枠の内側周面の上端に前記開口部の内方に延びる突起が形成され、前記内枠の外側部の上部には段部が形成され、前記外枠と前記内枠の嵌合時には、前記突起が前記段部に挿入されて位置することを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項４】
前記外枠の基部と平面視同一形状に形成された平板状の基部の上面外周端から、側壁部が上方に延びて設けられると共に、前記基部の側面の下部外周端から、脚部が下方に延びて設けられた蓋を、前記外枠の上段に重ねて設置したことを特徴とする請求項１から３のうちいずれか１項に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項５】
前記外枠の基部と平面視同一形状に形成された平板状の基部の上面外周端から、側壁部が上方に延びて設けられると共に、前記基部の側面の下部外周端から、脚部が下方に延びて設けられた下蓋を、前記外枠の下段に重ねて設置したことを特徴とする請求項１から４のうちいずれか１項に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項６】
前記蓋は透明又は半透明であることを特徴とする請求項４に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項７】
前記下蓋は透明又は半透明であることを特徴とする請求項５に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項８】
前記外枠の内側周面には縦断面四角形の凹部が形成され、前記内枠の外側部には、外方向に突出する縦断面円弧状の凸部が形成され、前記外枠と前記内枠の嵌合時に、前記外枠の凹部と前記内枠の凸部は嵌り合わず、保持される粘着フィルムを前記凸部と前記凹部の上端及び下端との縦断面視で２点で保持したことを特徴とする請求項１から７のうちいずれか１項に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項９】
内枠には、前記内枠の本体の下面に、前記内枠の周囲に亘って形成した縦溝と、前記内枠の外側面及び下面から前記縦溝に達する複数の横溝により形成されたばね部を備えていることを特徴とする請求項１から８のうちいずれか１項に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項１０】
請求項１又は２に記載のフィルム固定型キャリアを上下二段に重ね、上段の粘着フィルムを粘着層を下方に向けて前記内枠の下面上に張られるように設置し、下段の粘着フィルムは粘着層を上方に向けて内枠の上面上に張られるように設置し、上段の粘着フィルムと下段の粘着フィルムの双方の粘着層を対向接触させて設置したことを特徴とするフィルム固定型キャリア。
【請求項１１】
請求項１から３のうちいずれか１項に記載のフィルム固定型キャリアを固定する方法であって、平板状の縦片の上下端部から同一横方向へ延びる平板状の上横片及び下横片を備えて形成され、前記上横片の先端部下面及び前記下横片の先端部上面には、夫々係合突起が形成されたストッパーを用い、上下段に重ねた前記外枠のうち、最下段の前記外枠の前記脚部に前記下横片の係合突起を係止させると共に、最上段の前記外枠の側壁部に前記上横片の係合突起を係止させて、上下段に重ねた複数個のキャリアを相互に固定したことを特徴とするフィルム固定型キャリアの固定方法。
【請求項１２】
請求項４又は６に記載のフィルム固定型キャリアを固定する方法であって、平板状の縦片の上下端部から同一横方向へ延びる平板状の上横片及び下横片を備えて形成され、前記上横片の先端部下面及び前記下横片の先端部上面には、夫々係合突起が形成されたストッパーを用い、上下段に重ねた前記外枠と前記蓋うち、最下段の前記外枠の前記脚部に前記下横片の係合突起を係止させると共に、最上段の前記蓋の側壁部に前記上横片の係合突起を係止させて、上下段に重ねた前記外枠と前記蓋とを相互に固定したことを特徴とするフィルム固定型キャリアの固定方法。
【請求項１３】
請求項５又は７に記載のフィルム固定型キャリアを固定する方法であって、平板状の縦片の上下端部から同一横方向へ延びる平板状の上横片及び下横片を備えて形成され、前記上横片の先端部下面及び前記下横片の先端部上面には、夫々係合突起が形成されたストッパーを用い、上下段に重ねた前記外枠、前記蓋及び前記下蓋のうち、最下段の前記下蓋の前記脚部に前記下横片の係合突起を係止させると共に、最上段の前記蓋の前記側壁部に前記上横片の係合突起を係止させて、上下段に重ねた前記外枠、前記蓋及び前記下蓋を相互に固定したことを特徴とするフィルム固定型キャリアの固定方法。
【請求項１４】
請求項１又は２に記載のフィルム固定型キャリアを上下二段に重ね、上段の粘着フィルムを粘着層を下方に向けて前記内枠の下面上に張られるように設置し、下段の粘着フィルムは粘着層を上方に向けて内枠の上面上に張られるように設置し、上段の粘着フィルムと下段の粘着フィルムの粘着層で被保持物を挟み、被保持物以外の粘着フィルム部分を対向接触させたことを特徴とする被保持物の保持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外枠と内枠を備えたキャリアであって、外枠と内枠が嵌り合い、外枠と内枠間に粘着フィルムを挟みこんで、粘着フィルムを固定し、粘着フィルム上に接着したシリコンウエハ、ＩＣチップその他の物を保持するためのキャリアに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、シリコンウエハやＩＣチップの運搬、保管や製造工程において、シリコンウエハやＩＣチップを保持するために、粘着フィルムとグリップリングが用いられている（例えば、特許文献１参照。）。この粘着フィルムは、エラストマーや合成樹脂製の伸縮性を有するフィルムで、片面に粘着層を有し、粘着層上にシリコンウエハやＩＣチップを貼着し、保持することが出来るものである。
【０００３】
又、グリップリングはアウターリング及びインナーリングで構成される二重リング構造であり、アウターリング及びインナーリングは夫々縦断面形状が四角形のリング状の部材であり、アウターリングの内径とインナーリングの外径は略等しく形成されている。そして、インナーリングの外側面をアウターリングの内側面に対向させて、インナーリングをアウターリングに嵌合させ、インナーリングとアウターリング間に伸縮性のあるフィルムを挟み込むことにより、フィルムを張った状態で保持することが出来るものである。
【０００４】
そして、グリップリングで粘着フィルムを張った状態で保持させ、粘着フィルム上にシリコンウエハやＩＣチップを貼着し、シリコンウエハやＩＣチップを保持させていた。
【０００５】
このようなグリップリングは、そのまま上下段に重ねた場合に、相互に係わり合わず、不安定であり、又、相互に固定されず、一体化していないので、グリップリングのみでは運搬、保存が容易ではなかった。そこで、グリップリングは、そのまま又は平板状の保持枠に嵌め込まれて保持された状態で、上下のグリップリングが互いに干渉しないで複数段積み重ねることが出来る棚付ケースに挿入され、シリコンウエハ等の運搬、保存に用いられていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−３４４３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このように、粘着フィルムを張った状態で保持したグリップリングは、そのままでは複数個を上下段に重ねて保管、運搬することも出来ず不便であった。
【０００８】
又、棚付ケースに挿入されて保管、運搬された場合、粘着フィルムに保持された物の確認は、ケースの扉又は蓋を開けて行う必要があり、煩雑であった。
【０００９】
又、保管、運搬される場合の棚付ケースへの挿入時及び収納時にほこり及びケースやグリップリングの摩耗滓等の塵芥により粘着フィルムに保持した物を汚染してしまうことがあった。
【００１０】
又、合成樹脂製のグリップリング、即ちアウターリング及びインナーリング、及びグリップリングを保持する平板状の保持枠は、相互への着脱時、粘着フィルムの着脱時に破損しやすいという問題点があった。
【００１１】
そこで、本発明は、外枠と内枠で挟んで粘着フィルムを張った状態で保持するキャリアを、そのままで複数個を上下段に重ねても相互にずれないこと、又、相互に固定可能とすることを目的とする。
【００１２】
又、外枠と内枠で挟んで粘着フィルムを張った状態で保持するキャリアにおいて、保管、運搬時に粘着フィルムに保持された物の確認を容易とすることを目的とする。
【００１３】
又、外枠と内枠で挟んで粘着フィルムを張った状態で保持するキャリアにおいて、保管、運搬時に粘着フィルムに保持した物の破損及び汚染の防止を容易とし、クリーンな状態で保管可能とすることを目的とする。
【００１４】
又、外枠と内枠で挟んで粘着フィルムを張った状態で保持するキャリアにおいて、外枠と内枠が相互への着脱時、粘着フィルムの着脱時に破損し難く、強度が高いキャリアを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記の課題を解決するための手段としての本発明は、外枠と内枠を備え、前記外枠は、平板状の基部の上面外周端から、側壁部が上方に延びて設けられ、前記基部の側面の下部外周端から、脚部が下方に延びて設けられ、前記基部には開口部が形成され、前記開口部に前記内枠が嵌め込み自在に構成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【００１６】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記外枠の前記開口部は平面視円形に形成され、前記内枠は平面視で外側が円形の環状体であるフィルム固定型キャリアである。
【００１７】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記外枠の内側周面の上端に前記開口部の内方に延びる突起が形成され、前記内枠の外側部の上部には段部が形成され、前記外枠と前記内枠の嵌合時には、前記突起が前記段部に挿入されて位置するフィルム固定型キャリアである。
【００１８】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記外枠の基部と平面視同一形状に形成された平板状の基部の上面外周端から、側壁部が上方に延びて設けられると共に、前記基部の側面の下部外周端から、脚部が下方に延びて設けられた蓋を、前記外枠の上段に重ねて設置したフィルム固定型キャリアである。
【００１９】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記外枠の基部と平面視同一形状に形成された平板状の基部の上面外周端から、側壁部が上方に延びて設けられると共に、前記基部の側面の下部外周端から、脚部が下方に延びて設けられた下蓋を、前記外枠の下段に重ねて設置したフィルム固定型キャリアである。
【００２０】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記蓋は透明又は半透明であるフィルム固定型キャリアである。
【００２１】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記下蓋は透明又は半透明であるフィルム固定型キャリアである。
【００２２】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記外枠の内側周面には縦断面四角形の凹部が形成され、前記内枠の外側部には、外方向に突出する縦断面円弧状の凸部が形成され、前記外枠と前記内枠の嵌合時に、前記外枠の凹部と前記内枠の凸部は嵌り合わず、保持される粘着フィルムを前記凸部と前記凹部の上端及び下端との縦断面視で２点で保持したフィルム固定型キャリアである。
【００２３】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、内枠には、前記内枠の本体の下面に、前記内枠の周囲に亘って形成した縦溝と、前記内枠の外側面及び下面から前記縦溝に達する複数の横溝により形成されたばね部を備えているフィルム固定型キャリアである。
【００２４】
又、上記フィルム固定型キャリアを上下二段に重ね、上段の粘着フィルムを粘着層を下方に向けて前記内枠の下面上に張られるように設置し、下段の粘着フィルムは粘着層を上方に向けて内枠の上面上に張られるように設置し、上段の粘着フィルムと下段の粘着フィルムの双方の粘着層を対向接触させて設置したことを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【００２５】
又、上記フィルム固定型キャリアを固定する方法であって、平板状の縦片の上下端部から同一横方向へ延びる平板状の上横片及び下横片を備えて形成され、前記上横片の先端部下面及び前記下横片の先端部上面には、夫々係合突起が形成されたストッパーを用い、上下段に重ねた前記外枠のうち、最下段の前記外枠の前記脚部に前記下横片の係合突起を係止させると共に、最上段の前記外枠の側壁部に前記上横片の係合突起を係止させて、上下段に重ねた複数個のキャリアを相互に固定したことを特徴とするフィルム固定型キャリアの固定方法である。
【００２６】
又、上記フィルム固定型キャリアを固定する方法であって、平板状の縦片の上下端部から同一横方向へ延びる平板状の上横片及び下横片を備えて形成され、前記上横片の先端部下面及び前記下横片の先端部上面には、夫々係合突起が形成されたストッパーを用い、上下段に重ねた前記外枠と前記蓋うち、最下段の前記外枠の前記脚部に前記下横片の係合突起を係止させると共に、最上段の前記蓋の側壁部に前記上横片の係合突起を係止させて、上下段に重ねた前記外枠と前記蓋とを相互に固定したことを特徴とするフィルム固定型キャリアの固定方法である。
【００２７】
又、上記フィルム固定型キャリアを固定する方法であって、平板状の縦片の上下端部から同一横方向へ延びる平板状の上横片及び下横片を備えて形成され、前記上横片の先端部下面及び前記下横片の先端部上面には、夫々係合突起が形成されたストッパーを用い、上下段に重ねた前記外枠、前記蓋及び前記下蓋のうち、最下段の前記下蓋の前記脚部に前記下横片の係合突起を係止させると共に、最上段の前記蓋の前記側壁部に前記上横片の係合突起を係止させて、上下段に重ねた前記外枠、前記蓋及び前記下蓋を相互に固定したことを特徴とするフィルム固定型キャリアの固定方法である。
【００２８】
又、上記フィルム固定型キャリアを上下二段に重ね、上段の粘着フィルムを粘着層を下方に向けて前記内枠の下面上に張られるように設置し、下段の粘着フィルムは粘着層を上方に向けて内枠の上面上に張られるように設置し、上段の粘着フィルムと下段の粘着フィルムの粘着層で被保持物を挟み、被保持物以外の粘着フィルム部分を対向接触させたことを特徴とする被保持物の保持方法である。
【発明の効果】
【００２９】
以上のような本発明によれば、外枠と内枠で挟んで粘着フィルムを張った状態で保持するキャリアを、そのままで相互にずれずに複数個を上下段に重ねることが可能となった。又、クリップを用いることにより、上下段に重ねた複数個を相互に固定することが可能となった。
【００３０】
又、外枠と内枠で挟んで粘着フィルムを張った状態で保持するキャリアにおいて、上下段に重ねること或いは透明又は半透明の蓋を用いることにより、保管、運搬時に粘着フィルムに保持された物の確認を容易とすることが可能となった。
【００３１】
又、外枠と内枠で挟んで粘着フィルムを張った状態で保持するキャリアにおいて、複数個を上下段にそのままで相互にずれずに重ねること、クリップを用いて相互に固定すること或いは蓋を用いることにより、粘着フィルムに保持した物の破損及び汚染の防止を容易とし、クリーンな状態で保管、運搬することが可能となった。
【００３２】
又、外枠と内枠で挟んで粘着フィルムを張った状態で保持するキャリアにおいて、外枠又は内枠の形状により、外枠と内枠で挟んで粘着フィルムを張った状態で保持するキャリアの強度を高め、破損し難くすることが出来た。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明キャリアの一実施例の斜視図
【図２】本発明キャリアの一実施例の使用状態平面図
【図３】本発明キャリアの一実施例の分解斜視図
【図４】図３Ａ−Ａ断面図
【図５】図４の一部拡大断面図
【図６】内枠の一実施例の底面図
【図７】本発明キャリアの一実施例の重ねた状態の一部断面側面図
【図８】本発明キャリアの一実施例のストッパーでの固定状態の斜視図
【図９】本発明キャリアの一実施例のストッパーでの固定状態の一部断面側面図
【図１０】本発明キャリアの第二実施例の使用状態の一部断面側面図
【図１１】本発明キャリアの第三実施例の平面図
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下本発明の実施の形態を図を参照して説明する。本発明は、粘着フィルムを張った状態に維持し、粘着フィルム上に被保持物を貼り付けて保持するフィルム固定型のキャリア１である。図１〜図４に示すように、キャリア１は、外枠２と内枠８を備え、外枠２と内枠８間に粘着フィルム１０を挟んで、外枠２に形成された開口部２２に内枠８が嵌め込み自在に構成されている。
【００３５】
尚、このキャリア１の使用範囲は特に限定されず、ＩＣチップの製造工程、電子部品の保管や運搬、電子部品を含む各種部品の検査、生物の調査、塵芥のカウント、細菌の観察、細菌培養の観察、花粉や粉塵の評価、マイクロマシーンの保管等に用いることが出来る。従って、このキャリア１で保持する被保持物は、以下の実施の形態ではシリコンウエハを例に説明するが、特に限定されず、シリコンウエハの他、ＩＣチップ、電子部品、その他の部品、生物、その他の物が含まれる。
【００３６】
外枠２と内枠８の材質は特に限定されないが、合成樹脂が好適に用いられ、特にキャリア１がＩＣチップの製造工程に用いられる場合には、ＩＣチップの製造工程、例えば電極のハンダ付け工程において、要求される耐熱温度を備えた合成樹脂が好ましい。具体例としては、耐熱性が要求されない場合には、耐熱性が低いが、曲げ強度が高いＰＰＳ等を使用すればよく、耐熱性が要求される場合には、１５０℃以上、好ましくは２００℃以上の耐熱性を有する合成樹脂が望ましく、例えばＬＣＰ等を使用すればよい。
【００３７】
外枠２は、平面視正方形の平板状の基部３の上面３１の外周端から、外周に亘って側壁部４が上方に延びて設けられている。又、基部３の外側面３４の下部外周端から、外周に亘って脚部５が下方及び外方に延びて設けられている。又、基部３には、内枠８が嵌め込まれる平面視円形の開口部２２が基部３を貫通して形成されている。そして、開口部２２により形成される、外枠２の内側周面６の上端には、開口部２２の内方に延びる突起６１が開口部２２の周囲に亘って形成され、内側周面６の中間部には、縦断面四角形の凹部６３が開口部２２の周囲に亘って形成されている。
【００３８】
内枠８は、図１〜図６に示すように、平面視で内側及び外側が円形の環状体であり、外枠２に形成された開口部２２に嵌め込むことが可能な大きさ及び形状に形成されている。そして、内枠８の外側部８１の上部には外周に亘って段部８８が形成され、外側部８１の中間部には、外枠２の凹部６３に対応する位置に外方向に突出する縦断面円弧状の凸部８２が内枠８の周囲に亘って形成されている。又、凸部８２の高さＬが外枠２の凹部６３の高さＨ以上の長さに形成されている。そのため、外枠２と内枠８の嵌合時には、外枠２の凹部６３と内枠８の凸部８２は完全には嵌り合わず、粘着フィルム１０は、凸部８２と凹部６３の上端６３１及び下端６３２との縦断面視で２点で押さえつけられて、外枠２と内枠８間に挟まれて保持される。
【００３９】
又、内枠８は、図２及び図４〜図６に示すように、外側部８１の一部が、円周方向に複数に分割され、内枠８の内方及び外方に移動可能な複数のばね部８９を備えて構成されている。ばね部８９は、内枠８の本体８０の下面８７から上面８３方向に、内枠８の周囲に亘って形成した縦溝８４と、外側面８６及び下面８７から縦溝８４に達する複数の横溝８５により、内枠８の外側部に複数形成されている。又、凸部８２はばね部８９に形成されている。
【００４０】
そして、内枠８の外側面８６のばね部８９部分の直径は、外枠２の内側周面６の直径以上の長さ、又は、外枠２の内側周面６の直径より短い長さであって、その差が挟むフィルムの厚さの２倍未満の長さに形成され、ばね部８９は、外枠２と内枠８間に粘着フィルム１０を挟んで設置する時に、圧縮され、外枠２と内枠８間に挟んだ粘着フィルム１０を外枠２へ押し付ける作用を有している。
【００４１】
このように、ばね部８９で粘着フィルム１０を外枠２に押さえ付けて固定するので、挟み込む粘着フィルム１０の厚さの違いに対応出来、しかも粘着フィルム１０を確実に保持することが可能となっている。又、外枠２と内枠８の相互の着脱、粘着フィルム１０の着脱が容易となり、更に、キャリア１の破損を防止することが出来る。
【００４２】
又、粘着フィルム１０をキャリア１に、ばね部８９において縦断面視で２点で押さえて固定することにより、１点、３点以上又は面で固定する方法に比べて、粘着フィルム１０のずれ及び緩みを抑制し、キャリア１に強固に固定することが可能となっている。同時に外枠２の凹部６３に内枠８の凸部８２の一部が挿入されて、外枠２及び内枠８の結合強度を高めることが可能となっている。
【００４３】
尚、ばね部８９は、上述のような構成の縦溝８４に替えて内枠８の上面８３から下面８７方向に、且つ内枠８の周囲に亘って形成した縦溝（図示せず）と外側面８６及び上面８３から縦溝に達する複数の横溝８５により形成してもよい。更に、ばね部８９は、横溝を形成せずに、縦溝８４のみ、又は内枠８の上面８３に形成した縦溝（図示せず）のみ、又は縦溝は形成せずに、外側面８６からの複数の横溝８５のみで形成することとしてもよい。
【００４４】
このように、外枠２に形成された開口部２２の内径と内枠８の外径が略等しく、外枠２の内側に内枠８を粘着フィルム１０を介して嵌合させて一体的に固定され、キャリア１が構成される。外枠２が環状ではなく、且つ平板状ではなく、側壁部４や脚部５等を備えること及び内枠８にばね部８９が形成されていることから、キャリア１は外枠２への内枠８の着脱時、粘着フィルム１０の着脱時に破損し難く、強度が高くなっている。尚、外枠２の基部３の厚さと内枠８の厚さとは同一とするが、異ならせてもよい。
【００４５】
キャリア１の使用態様の一具体例としては、図２〜図４によく示すように、外枠２に内枠８を嵌め込み、外枠２と内枠８間に上面に粘着層を有すると共に伸縮性を有する粘着フィルム１０を挟み込むことにより、粘着フィルム１０を張った状態で保持し、粘着フィルム１０上に貼着した被保持物の一例としてのシリコンウエハ１１を保持するものである。
【００４６】
粘着フィルム１０は粘着層を上方に向けて内枠８の上面８３上に張られるように設置して、外枠２の上面３１と略面一とし、シリコンウエハ１１は上面３１と側壁部４で画定される収納部４９内に収納している。このような構成及び保持方式であるので、被保持物の顕微鏡等での観察がキャリア１に保持させた状態で可能であり、しかも粘着フィルム１０に貼り付けた側の観察もキャリア１に保持させた状態で可能である。尚、図示はしないが、粘着フィルム１０は粘着層を上方に向けて内枠８の下面８７上に張られるように設置して、シリコンウエハ１１は内枠８内に収納する設置方法も採用出来る。
【００４７】
図４及び図５の断面図に示すように、外枠２と内枠８の嵌合時には、外枠２の突起６１が内枠８の段部８８に挿入されて位置し、突起６１が内枠８の上方への移動を規制し、内枠８が外枠２から上方に外れることを防止している。又、粘着フィルム１０は、外枠２の突起６１と内枠８の段部８８間に挟まれることにより弛まずに張ることが出来る。
【００４８】
又、外枠２の凹部６３の上端６３１及び下端６３２の角部は面取りが施され、上端６３１及び下端６３２が内枠８の凸部８２と縦断面視で２点で接触するよう形成され、外枠２の凹部６３の上端６３１及び下端６３２と内枠８の凸部８２間の２点で粘着フィルム１０を挟んで固定している。このように粘着フィルム１０をキャリア１に縦断面視で２点で固定することにより、１点、３点以上又は面で固定する方法に比べて、粘着フィルム１０のずれ及び緩みを抑制し、キャリア１に強固に固定することが可能である。同時に外枠２の凹部６３に内枠８の凸部８２の一部が挿入されて、外枠２及び内枠８の結合強度を高めることが可能となっている。
【００４９】
そして、粘着フィルム１０をキャリア１へ設置する場合には、図２に示すように、外枠２と内枠８間に粘着フィルム１０を位置させ、内枠８を外枠２の下方から開口部２２へ挿入させて行う。
【００５０】
キャリア１は、図７に示すように、複数個を上下方向に重ねて保管、運搬等の使用をすることも可能である。上下方向に重ねる場合、下段の外枠２の側壁部４の上端４１が、上段の外枠２の下面３３に当接して上段の外枠２を支持する。同時に、下段の外枠２の側壁部４は上段の外枠２の脚部５の内側に挿入され、下段の側壁部４の外側面４２が上段の脚部５の内側面５１と対向し、下段の側壁部４と上段の脚部５が相互に横方向への移動を規制して、下段の外枠２と上段の外枠２とは相互にずれることがない。
【００５１】
キャリア１は、上下方向に重ねて使用することで、最上段以外のキャリア１が保持する粘着フィルムに保持された物の汚染を防止し、クリーンな状態で保管が可能となる。そこで、複数段のうちの最上段のキャリア１又は１個で使用するキャリア１が保持する物の汚染を防止するために、１個の場合を含む最上段のキャリア１は蓋を備えることが好ましい。
【００５２】
蓋９は、図８及び図９に示すように、外枠２と略同一形状に形成され、外枠２の基部３より薄いが平面視同一形状に形成された平板状の基部３０の上面３０１の外周端から、外周に亘って側壁部４０が上方に延びて設けられると共に、基部３０の側面３０４の下部外周端から、外周に亘って脚部５０が下方及び外方に延びて設けられている。尚、蓋９は、外枠２の開口部２２を形成しない形状のものを使用することも出来る。
【００５３】
蓋９を外枠２の上段に重ねて設置する時には、最上段の外枠２の側壁部４の上端４１が、蓋９の下面９３に当接して蓋９を支持し、外枠２の側壁部４は蓋９の脚部５０の内側に挿入され、下段の側壁部４の外側面４２が上段の蓋９の脚部５０の内側面５０１と対向し、側壁部４と蓋９の脚部５０が相互に横方向への移動を規制して、キャリア１と蓋９とは相互にずれることがない。
【００５４】
又、蓋９と同一形状の下蓋９０を、１個の場合を含む最下段のキャリア１の下段に重ねて設置することで、最下段のキャリア１の粘着フィルム１０、ひいては粘着フィルム１０に保持された被保持物の破損及び汚染を容易に防止可能となる。具体的には、下蓋９０は、図８及び図９に示すように、外枠２と略同一形状に形成され、外枠２の基部３より薄いが平面視同一形状に形成された平板状の基部３０の上面３０１の外周端から、外周に亘って側壁部４０が上方に延びて設けられると共に、基部３０の側面３０４の下部外周端から、外周に亘って脚部５０が下方及び外方に延びて設けられている。尚、下蓋９０は、外枠２の開口部２２を形成しない形状のものを使用することも出来る。
【００５５】
下蓋９０を外枠２の下段に重ねて設置する時には、下蓋９０の側壁部４０の上端４０１が、最下段の外枠２の下面３３に当接して外枠２を支持し、下蓋９０の側壁部４０は最下段の外枠２の脚部５の内側に挿入され、下蓋９０の側壁部４０の外側面４０２が最下段のキャリア１の脚部５の内側面５１と対向し、側壁部４０と外枠２の脚部５が相互に横方向への移動を規制して、キャリア１と下蓋９０とは相互にずれることがない。
【００５６】
又、蓋９及び下蓋９０は半透明又は透明とすることが好ましい。このような構成とすることで、蓋９及び下蓋９０を設置したままで、保持物の確認、識別をすることが出来る。又、蓋９及び下蓋９０を設置したままで、顕微鏡検査を行うことが出来る。
【００５７】
キャリア１は、保管、運搬時に、上下段に重ねた複数個を相互に固定することが望ましい。キャリア１の固定構造としては、図８及び図９に示すように、クリップ７を用いた固定を採用することが出来る。クリップ７は、四角形の平板状の縦片７１の上下端部から同一横方向へ延びる四角形の平板状の上横片７２及び下横片７３を備えて形成され、上横片７２の先端部下面及び下横片７３の先端部上面には、其々係合突起７２１、７３１が形成されている。上下段に重ねたキャリア１のうち、最下段のキャリア１の脚部５に下横片７３の係合突起７３１を係止させると共に、最上段のキャリア１の側壁部４に上横片７２の係合突起７２１を係止させて、上下段に重ねた複数個を相互に固定している。上横片７２には複数個の半球体の係合突起７２１を形成し、下横片７３には先端部に亘る柱状の係合突起７３１を形成しているが、その形状は特に限定されない。
【００５８】
このように、複数個のキャリア１を上下段に重ねることが出来、更に、簡易なクリップ７で固定が出来るので、複数個のキャリア１を上下段に重ねて保管、運搬することが容易となっている。
【００５９】
キャリア１は、粘着フィルム１０の粘着層上に被保持物を接着して保持して使用する他、図１０に示すように、２個のキャリア１を重ねて用いて、上下段のキャリア１の粘着フィルム１０間にシリコンウエハ１１等の被保持物を挟み込んで保持することも出来る。このような構成は、上段の粘着フィルム１０は粘着層を下方に向けて内枠８の下面８７上に張られるように設置し、下段の粘着フィルム１０は粘着層を上方に向けて内枠８の上面８３上に張られるように設置し、側壁部４の高さ、基部３の高さ、内枠８の高さ等を調整し、例えば上段と下段の内枠８同士を対向接触させ、上段の粘着フィルム１０と下段の粘着フィルム１０の双方の粘着層を対向接触させて構成する。このような構成、使用方法とすることで、被保持物を挟み、被保持物以外の粘着フィルム１０部分を接触させて被保持物を封止状態にして保持することが出来る。
【００６０】
粘着フィルム１０の粘着層を下方に向けて内枠８の下面８７上に弛みなく張るためには、内枠８を外枠２の上方から開口部２２に挿入させることが好ましい。そこで、少なくとも上段に使用するキャリア１は、開口部２２０に突起を形成しないことが望ましい。
【００６１】
外枠２及び内枠８の製造方法としては、特に限定されないが、合成樹脂で成形する場合には、射出成形やトランスファ成形等の溶融させた樹脂を流動させて成形品を成形する方法を用いればよい。
【００６２】
尚、図１〜図３に示す実施形態では、内枠８は環状体であり、内側形状及び外側形状は平面視で円形であるが、内枠８の内側形状は平面視で円形に限定されず、多角形や楕円形等の他の形状としてもよい。
【００６３】
又、外枠２及び内枠８は、互いに嵌合可能であれば、外枠２の開口部２２及び内枠８の外側形状は平面視で円形に限定されず、図１１に示すように、キャリア１００は、外枠２０の開口部２２２及び内枠８０の外側形状は平面視で正方形に形成する等、その他の多角形、楕円形等に形成してもよい。
【００６４】
又、外枠２の凹部６３及び内枠８の凸部８２は、夫々外枠２の内側周面６及び内枠８の外側面８６の全周に亘って形成してもよいが、一部にのみ形成してもよい。外枠２の凹部６３を一部にのみ形成する場合には、内枠８の凸部８２は凹部６３に対応する個所のみに形成する。又、図示はしないが、外枠２の内側周面６に凸部を形成し、内枠８の外側部８１に凹部を設けることとしてもよい。この場合、ばね部に凸部又は凹部を設けることが好ましい。更に、外枠２の内側周面６と内枠８の外側面８６が粘着フィルム１０を縦断面視で２点で固定するよう形成されていれば、双方に凸部を形成した形態でもよい。
【００６５】
又、上述のように、本発明のキャリアは、粘着フィルム１０をキャリア１に縦断面視で２点で固定する構成に限定されず、１点、３点以上又は面で固定する方法としてもよい。更に、本発明のキャリアは、ばね部を設けない構成としてもよい。
【００６６】
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されず、上記の実施の形態を適宜組み合わせて構成したものも含むものである。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
以上のような本発明は、ＩＣチップの製造工程に好適に用いることが出来、特に高耐熱性を有することにより、シリコンウエハの保管及び運搬からＩＣチップの製造工程まで一貫して同じ保持容器で保持できるので好適に用いることが出来る。又、被保持物が限定されず、電子部品のみならず生物、微生物まで保持することが出来、理化学の分野においても使用することが出来る。
【符号の説明】
【００６８】
１      キャリア
１０    粘着フィルム
１１    シリコンウエハ
２      外枠
２２    開口部
３      基部
３１    上面
３４    外側面
４      側壁部
４１    上端
４２    外側面
４９    収納部
５      脚部
５１    内側面
６      内側周面
６１    突起
６３    凹部
６３１  凹部の上端
６３２  凹部の下端
７      クリップ
８      内枠
８０    本体
８１    外側部
８２    凸部
８３    上面
８４    縦溝
８５    横溝
８６    外側面
８７    下面
８８    段部
８９    ばね部
９      蓋
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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