(57)【要約】      （修正有）【課題】可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査し得る有機ＥＬデバイスの検査装置等を提供する。【解決手段】少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９の通電領域と接触しながら基材２１を掴み、有機ＥＬ素子を下流側に送るように移動し、掴んだ基材を離し、上流側の有機ＥＬ素子の通電領域と接触しながら基材を掴むことができるように上流側に移動することが可能であり、且つ、基材を掴んだ状態で通電領域に通電させて有機ＥＬ素子を発光させることが可能な通電部４３と、発光させた有機ＥＬ素子の発光状態を検査する検査部４７とを備えた有機ＥＬデバイス２０の検査装置１。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬデバイスの検査装置であって、
前記有機ＥＬデバイスは、可撓性を有する帯状の基材と、該基材上に長手方向に沿って形成された複数の有機ＥＬ素子とを有し、
前記複数の有機ＥＬ素子は、それぞれ第１の通電領域を有する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域を有する第２の電極層と、これら第１及び第２の電極層間に配された有機ＥＬ層とを有し、前記第１及び第２の通電領域に通電されることによって発光するようになっており、
通電部と、検査部とを備え、
前記通電部は、少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴み、該有機ＥＬ素子を下流側に送るように移動し、掴んだ前記基材を離し、上流側の少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴むことができるように前記上流側に移動することが可能であり、且つ、前記基材を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域に通電させて前記有機ＥＬ素子を発光させることが可能であり、
前記検査部は、前記通電部による通電によって発光させた有機ＥＬ素子の発光状態を検査する有機ＥＬデバイスの検査装置。
【請求項２】
前記通電部が前記有機ＥＬ素子を前記下流側に送った状態で停止し、該通電部が停止している状態で前記有機ＥＬ素子を発光させ、
前記検査部が、停止している前記有機ＥＬ素子の発光状態を検査する請求項１に記載の有機ＥＬデバイスの検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載された有機ＥＬデバイスの検査装置を用い、
前記通電部によって、該通電部が少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴み、該有機ＥＬ素子を前記下流側に送るように移動させ、前記基材を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域に通電させて前記有機ＥＬ素子を発光させる第１の工程と、
前記通電部による通電によって発光させた有機ＥＬ素子の発光状態を前記検査部によって検査する第２の工程と、
検査後、掴んだ前記基材を離し、前記上流側の少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴むことができるように前記通電部を前記上流側に移動させる第３の工程とを備え、
前記第１、第２及び第３の工程を繰り返して、複数の前記有機ＥＬ素子の発光状態を連続して検査する有機ＥＬデバイスの検査方法。
【請求項４】
前記有機ＥＬ素子を前記下流側に送った状態で前記通電部の移動を停止させ、
停止している前記有機ＥＬ素子の発光状態を前記検査部によって検査する請求項３に記載の有機デバイスの検査方法。
【請求項５】
可撓性を有する帯状の基材上に、第１の通電領域を有する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域を有する第２の電極層と、これら第１及び第２の電極層間に配された有機ＥＬ層とを有する有機ＥＬ素子を、長手方向に沿って複数形成する工程と、
請求項３または４に記載の有機ＥＬデバイスの検査方法を用いて、形成された有機ＥＬ素子の発光状態を検査することによって、検査済みの有機ＥＬデバイスを得る工程とを備えた有機ＥＬデバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬデバイスの検査装置、検査方法及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、次世代の低消費電力の発光表示装置に用いられるデバイスとして有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子を備えたものが注目されている。有機ＥＬ素子は、互いに反対の極性を有する第１及び第２の電極層と、これらの間に配された有機ＥＬ層とを有するように、基材上に形成されるようになっている。また、第１及び第２の電極層に、それぞれ対応した電流が供給（通電）されることによって、第１及び第２の電極層と重なり合っている有機ＥＬ層が発光するようになっている。
【０００３】
この種の有機ＥＬデバイスでは、ロール状に巻回された可撓性を有する帯状の基材を繰り出し、繰り出された基材上に、第１の電極層、有機ＥＬ層、及び、第１の電極層と反対の極性を有する第２の電極層が、この順に、所望の形状の有機ＥＬ素子となるように形成されている。また、有機ＥＬ素子が、連続して複数形成されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２８７９９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、有機ＥＬデバイスは、出荷される前に、その有機ＥＬ素子が良好に発光するか否かを検査する必要がある。
【０００６】
しかし、上記特許文献１に示されるように、可撓性を有する帯状の基材上に複数形成された有機ＥＬ素子の発光状態を検査する装置や方法は、未だ提案されていない。このため、かかる有機ＥＬデバイスを効率良く検査する装置や方法が要望されている。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑み、可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査し得る有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法、並びに、該検査方法を用いた有機ＥＬデバイスの製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る有機ＥＬデバイスの検査装置は、
有機ＥＬデバイスの検査装置であって、
前記有機ＥＬデバイスは、可撓性を有する帯状の基材と、該基材上に長手方向に沿って形成された複数の有機ＥＬ素子とを有し、
前記複数の有機ＥＬ素子は、それぞれ第１の通電領域を有する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域を有する第２の電極層と、これら第１及び第２の電極層間に配された有機ＥＬ層とを有し、前記第１及び第２の通電領域に通電されることによって発光するようになっており、
通電部と、検査部とを備え、
前記通電部は、少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴み、該有機ＥＬ素子を下流側に送るように移動し、掴んだ前記基材を離し、上流側の少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴むことができるように前記上流側に移動することが可能であり、且つ、前記基材を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域に通電させて前記有機ＥＬ素子を発光させることが可能であり、
前記検査部は、前記通電部による通電によって発光させた有機ＥＬ素子の発光状態を検査する。
【０００９】
かかる構成によれば、通電部によって少なくとも１つの有機ＥＬ素子を下流側に送り、第１及び第２の通電領域に通電させて有機ＥＬ素子を発光させ、発光させた有機ＥＬ素子の発光状態を検査部によって検査することができる。また、通電部が、掴んだ基材を離し、上流側の少なくとも１つの有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴むことができるように前記上流側に移動することによって、上流側の有機ＥＬ素子を上記と同様にして掴み、上記と同様にして、発光状態を検査することができる。これにより、基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査することが可能となる。
従って、可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査し得る。
【００１０】
また、上記構成の有機ＥＬデバイスの検査装置においては、
前記通電部が前記有機ＥＬ素子を前記下流側に送った状態で停止し、該通電部が停止している状態で前記有機ＥＬ素子を発光させ、
前記検査部が、停止している前記有機ＥＬ素子の発光状態を検査することが好ましい。
【００１１】
かかる構成によれば、精度良く発光状態の検査を行うことが可能となる。
【００１２】
本発明の有機ＥＬデバイスの検査方法は、
前記有機ＥＬデバイスの検査装置を用い、
前記通電部によって、該通電部が少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴み、該有機ＥＬ素子を前記下流側に送るように移動させ、前記基材を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域に通電させて前記有機ＥＬ素子を発光させる第１の工程と、
前記通電部による通電によって発光させた有機ＥＬ素子の発光状態を前記検査部によって検査する第２の工程と、
検査後、掴んだ前記基材を離し、前記上流側の少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴むことができるように前記通電部を前記上流側に移動させる第３の工程とを備え、
前記第１、第２及び第３の工程を繰り返して、複数の前記有機ＥＬ素子の発光状態を連続して検査する。
【００１３】
かかる構成によれば、上記と同様、可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査し得る。
【００１４】
また、上記構成の有機ＥＬデバイスの検査方法においては、
前記有機ＥＬ素子を前記下流側に送った状態で前記通電部を停止させ、
停止している前記有機ＥＬ素子の発光状態を前記検査部によって検査することが好ましい。
【００１５】
かかる構成によれば、上記と同様、精度良く発光状態の検査を行うことが可能となる。
【００１６】
本発明に係る有機ＥＬデバイスの製造方法は、
可撓性を有する帯状の基材上に、第１の通電領域を有する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域を有する第２の電極層と、これら第１及び第２の電極層間に配された有機ＥＬ層とを有する有機ＥＬ素子を、長手方向に沿って複数形成する工程と、
前記有機ＥＬデバイスの検査方法を用いて、形成された有機ＥＬ素子の発光状態を検査することによって、検査済みの有機ＥＬデバイスを得る工程とを備える。
【００１７】
かかる構成によれば、上記有機ＥＬデバイスの検査方法を用いることから、形成された有機ＥＬ素子の発光状態を効率良く検査することができるため、検査済みの有機ＥＬデバイスを効率良く得ることができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上の通り、本発明によれば、可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査し得る有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法、並びに、該検査方法を用いた有機ＥＬデバイスの製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係る有機ＥＬデバイスの検査装置で用いられる有機ＥＬデバイスを模式的に示す上面図
【図２】本実施形態で用いられる有機ＥＬデバイスを図１の左方から模式的に示す側面図
【図３】本発明の一実施形態に係る有機ＥＬデバイスの検査装置を概略的に示す側面図
【図４】本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置を図１の上方から概略的に示す上面図
【図５】本実施形態における通電部を概略的に示す上面図
【図６】本実施形態における通電部を概略的に示す側面図
【図７】本実施形態における通電部を概略的に示す正面図
【図８】本実施形態において通電部が基材を掴んでいない状態を概略的に示す側面図
【図９】本実施形態において通電部が基材を掴んだ状態を概略的に示す側面図
【図１０】本実施形態において通電部が基材を掴んで下流側に移動し、静止した状態で通電させた状態を概略的に示す側面図
【図１１】本実施形態において通電部が通電を停止し、基材を解放した状態を概略的に示す側面図
【図１２】本実施形態において通電部が上流側に移動した状態を概略的に示す側面図
【図１３】本発明の一実施形態に係る有機ＥＬデバイスの製造装置を概略的に示す側面図
【図１４】本発明の他の実施形態に係る有機ＥＬデバイスの製造装置に用いられる有機ＥＬデバイスを概略的に示す上面図
【図１５】本発明の他の実施形態に係る有機ＥＬデバイスの製造装置に用いられる有機ＥＬデバイスを概略的に示す上面図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法、並びに該検査方法を用いた有機ＥＬデバイスの製造方法の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２１】
まず、本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置について説明する。
【００２２】
図１、図２に示すように、本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置１で検査される有機ＥＬデバイス２０は、可撓性を有する帯状の基材２１と、該基材２１上に長手方向に沿って形成された複数の有機ＥＬ素子１９とを有している（図４参照）。
有機ＥＬ素子１９は、第１の通電領域２３ａを有する第１の電極層２３と、前記第１の電極層２３と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域２７ａを有する第２の電極層２７と、これら第１及び第２の電極層２３、２７間に配された有機ＥＬ層２５とを有し、前記第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されることによって発光するように構成されている。
具体的には、有機ＥＬ素子１９は、可撓性を有する帯状の基材２１上に、第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５、及び第２の電極層２７が、この順に形成されてなる。第１の電極層２３が陽極層である場合、第２の電極層２７は陰極層であり、第１の電極層２３が陰極層である場合、第２の電極層２７は陽極層である。
また、基材２１は、その主体をなす支持基材２１ａと、該支持基材２１ａ上に積層された絶縁層２１ｂとの積層体であり、基材２１の絶縁層２１ｂ上に有機ＥＬ素子１９が形成されている。
さらに、有機ＥＬ素子１９は、保護フィルム２８によって覆われており、具体的には、第１の通電領域２３ａ及び第２の通電領域２７ａの一部が露出するように、第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５及び第２の電極層２７が、保護フィルム２８によって覆っている。
【００２３】
また、有機ＥＬ素子１９は、第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５及び第２の電極層２７の重なり合う領域が、有機ＥＬ層２５が発光する発光領域Ａを構成しており、該発光領域Ａよりも外側にそれぞれ突出するように形成されて露出している第１の電極層２３及び第２の電極層２７が、それぞれ第１の通電領域２３ａ及び第２の通電領域２７ａを構成している。そして、かかる第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されることによって、発光領域Ａが発光するようになっている。
なお、有機ＥＬ素子１９は、図１、図２の構成に特に限定されるものではない。
また、第１の電極層２３、第２の電極層２７及び有機ＥＬ層２５の形成材料も、特に限定されるものではない。
【００２４】
図３、図４に示すように、本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置１は、複数の有機ＥＬ素子１９が形成された基材２１が巻回されてなる（有機ＥＬデバイス２０が巻回されてなる）ロール体３０から、有機ＥＬ素子１９と共に基材２１を繰り出して供給する第１の供給部４１と、複数の有機ＥＬ素子１９のうち少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように、供給された前記基材２１を掴み、該有機ＥＬ素子１９を下流側に送るように移動し、掴んだ前記基材２１を離し、上流側の少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように前記基材２１を掴むことができるように移動することが可能であり、且つ、前記基材２１を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて前記有機ＥＬ素子１９を発光させることが可能な通電部４３と、前記通電部４３による通電によって発光させた有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する検査部４７と、検査部４７によって検査された有機ＥＬ素子１９を基材２１と共に巻き取って回収する第１の回収部４９と、通電部４３及び検査部４７が収容される箱状部５１とを備えている。
【００２５】
第１の供給部４１は、上記ロール体３０から、有機ＥＬ素子１９と共に基材２１を繰り出して通電部４３に供給するものである。かかる第１の供給部４１は、通電部４３による基材２１の送り速度（すなわち有機ＥＬ素子１９の移動速度）に応じて、基材２１を繰り出すようになっている。
また、第１の回収部４９は、第１の供給部４１から供給され、支持部４３で支持されつつ検査部４７を通過した基材２１を、検査部４７で検査された有機ＥＬ素子１９と共に巻き取って回収するようになっている。すなわち、第１の供給部４１及び回収部４９によって、基材２１が繰り出され且つ巻き取られるようになっている。さらに換言すれば、第１の供給部４１及び回収部４９によって、有機ＥＬデバイス２０が繰り出され且つ巻き取られるようになっている。
【００２６】
通電部４３は、少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように基材２１を掴み、該有機ＥＬ素子１９を下流側に送るように移動し、掴んだ基材２１を離し、これよりも上流側の少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように基材２１を掴むことができるように移動することが可能であり、且つ、基材２１を掴んだ状態で第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて上記有機ＥＬ素子１９を発光させることが可能なものである。また、通電部４３は、基材２１を掴んだ状態で（すなわち、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａにそれぞれ接触した状態で）、これら第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａを介して第１及び第２の電極層２３、２７に通電させて有機ＥＬ素子１９（すなわち、上記発光領域Ａに位置する有機ＥＬ層２５）を発光させるものである。
より具体的には、かかる通電部４３を介して、少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに同時に通電されることによって、該少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９が発光するようになっている。
なお、本実施形態では、通電部４３が、１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように基材を掴んで移動させる態様を示すが、本発明においては、通電部４３が、２つ以上の有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように基材２１を掴んで移動させる態様を採用してもよい。すなわち、通電部４３が、複数の有機ＥＬ素子１９を１ユニットとして掴んでもよい。
【００２７】
本実施形態では、図５〜図７に示すように、通電部４３は、基材２１の長手方向（図３の左右方向）に沿って移動可能な支持部４４と、該支持部４４に支持されて、基材２１を掴むことが可能であり、且つ、第１及び第２通電領域２３ａ、２７ａに接触可能な把持部４５とを備えている。
【００２８】
具体的には、把持部４５は、基材２１に対して互いに反対側に配された第１の把持片４５ａ及び第２の把持片４５ｂを有している。
【００２９】
より具体的には、第１の把持片４５ａは、基材２１上に形成された有機ＥＬ素子１９に対向する側（図６、図７の上方）に配されており、その主体をなす矩形のフレーム状の第１の基体部４５ａａと、該第１の基体部４５ａａから基材２１側（図６、図７の下方）に向かって、且つ、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触し得るように突出している２つの導電部４５ａｂとを有している。
【００３０】
第１の基体部４５ａａがフレーム状に形成されていることによって、その開口を通して、有機ＥＬ素子１９の発光領域Ａを検査部４７に向けて露出させるようになっている。
また、導電部４５ａｂは、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触し得るように、基材２１の幅方向において離間した位置において長手方向に延びている。該導電部４５ａｂは、導電性材料によって形成されており、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに接触している状態で不図示の電流供給部からそれぞれ対応する極性を有する電流が供給されて、導電部４５ａｂを介して該第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されるようになっている。
第１の基体部４５ａａの形成材料としては、例えば、アルミニウム等の金属材料等が挙げられる。また、導電部４５ａｂの形成材料としては、例えば、導電シリコーンゴム（カーボンシリコーンゴム）等の導電性を有する弾性材料等が挙げられる。導電部４５ａｂが、弾性材料によって形成されることによって、把持部４５が、より確実に基材２１を掴むことができるようになっている。
かかる第１の基体部４５ａａの大きさや形状は、特に限定されるものではなく、また、かかる導電部４５ａｂの形状及び配置も、特に限定されるものではない。
【００３１】
第２の把持片４５ｂは、その主体をなす第２の基体部４５ｂａと、該第２の基体部４５ｂａから基材２１側（図６、図７の上方）に突出して基材２１（の有機ＥＬ素子１９が形成されていない面）と接触し得るように突出しているグリップ部４５ｂｂとを有している。
第２の基体部４５ｂａの形成材料としては、例えば、アルミニウム等の金属材料等が挙げられる。また、グリップ部４５ｂｂの形成材料としては、例えば、シリコーンゴムＡ７０等の弾性材料等が挙げられる。グリップ部４５ｂｂが、弾性材料によって形成されることによって、把持部４５が、より確実に基材２１を掴むことができるようになっている。
かかる第２の基体部４５ｂａ及びグリップ部４５ｂｂの大きさや形状は、特に限定されるものではない。また、本発明においては、第２の把持片４５ｂが、グリップ部４５ｂｂを有しない構成を採用することもできる。
【００３２】
また、第１の把持片４５ａ及び第２の把持片４５ｂは、基材２１を掴むように互いに近づき、また、掴んだ基材２１を離すように互いに遠ざかるように構成されている。これにより、把持部４５が、基材２１を掴み、掴んだ基材２１を離すようになっている。また、より具体的には、導電部４５ａｂとグリップ部４５ｂｂとで基材２１を掴むようになっている。
【００３３】
このように、通電部４３が上記支持部４４と上記把持部４５とを有していることによって、通電部４３が少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）を掴み、検査部４７によって検査される位置まで下流側に移動させ、移動させた後、通電部４３によって第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて有機ＥＬ素子１９を発光させ、発光させた有機ＥＬ素子１９を検査部４７によって検査可能な状態にすることができる。また、検査終了後、通電部４７が基材２１を離し、これよりも上流側の少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）を掴むことができる位置まで、基材２１と接触することなく移動させることができる。そして、上流側の有機ＥＬ素子１９を上記と同様にして掴み、移動させ、発光させて検査可能な状態にすることができる。
また、通電部４３の移動距離、通電部４３に電流を供給するタイミングは、有機ＥＬ素子１９の大きさ、有機ＥＬ素子１９同士の間隔、検査部４７の配置等に応じて適宜設定することができる。
また、本実施形態では、通電部４３が有機ＥＬ素子１９を下流側に送った後、該通電部４３が停止し、停止している状態で、有機ＥＬ素子１９における第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されるようになっている。
【００３４】
検査部４７は、通電部４３による通電によって発光している有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査するものである。
具体的には、かかる検査部４７は、発光している有機ＥＬ素子１９を撮影し、撮影結果を電子信号に変換して、不図示の制御部に送信するようになっている。
【００３５】
また、本実施形態では、検査部４７は、通電部４３によって移動させた有機ＥＬ素子１９が静止している状態で、有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査するようになっている。
【００３６】
また、検査部４７は、２つ配されており、有機ＥＬ素子１９の発光状態を、該有機ＥＬ素子１９に対して垂直な方向（有機ＥＬ素子１９の接線と垂直な方向）と、斜めの方向（有機ＥＬの接線と垂直な方向に対して傾斜した方向）とから検査できるようになっている。また、かかる斜めの方向としては、例えば上記垂直な方向に対して３０°傾斜した方向を採用することができる。
【００３７】
また、本実施形態では、上記の通り、通電部４３が停止している状態で第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させ、静止しながら発光している有機ＥＬ素子１９の発光状態を、検査部４７が検査するようになっている。
【００３８】
このような検査部４７として、本実施形態では、エリアセンサカメラが採用されている。エリアセンサカメラは、複数の受像素子の列が、複数配されており（複数ライン）、所定の領域を１つの画像として一度に撮影し得るものである。かかる構成を採用した場合、通電部４３を移動させて有機ＥＬ素子１９を下流側に送った後、該通電部４３を停止させつつ第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させ、静止している有機ＥＬ素子１９を発光させてその画像を撮影し、撮影結果（検査結果）を上記した制御部に電子データとして送信することになる。このような検査部４７としては、市販品を用いることができ、該市販品としては、例えば、株式会社キーエンス製のデジタル高速２１００万画素カラーカメラＸＧ−Ｈ２１００Ｃが挙げられる。
【００３９】
かかる検査部４７によって撮影された結果（検査結果）は、上記の通り、電子信号に変換されて不図示の制御部に送信され、検査部４７から送信された電子信号は、制御部に備えられた分析回路によって分析され、分析された電気信号が、所定の基準信号（閾値）と比較され、該閾値を下回ったとき、発光状態が不良であると判定されるようになっている。例えば、発光状態の指標としては、輝度や彩度等が挙げられる。
なお、本発明においては、検査部４７は、上記エリアセンサカメラに特に限定されるものではない。
【００４０】
箱状部５１は、検査部４７が有機ＥＬ素子１９の発光状態を十分に検査できるように、有機ＥＬ素子１９の発光部分及び検査部４７の周囲を暗くするためのものである。本実施形態では、該箱状部５１内に、上記支持部４３、導電部４５及び検査部４７が配された構成を採用するが、箱状部５１内に配されるものは、これらに特に限定されるものではない。
【００４１】
次に、上記検査装置１を用いた有機ＥＬデバイスの検査方法について説明する。
【００４２】
本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査方法は、
上記検査装置１を用いた有機ＥＬデバイス２０の検査方法であって、
前記通電部４３によって、該通電部４３が少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように前記基材２１を掴み、該有機ＥＬ素子１９を下流側に送るように移動させ、前記基材２１を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて前記有機ＥＬ素子１９を発光させる第１の工程と、
前記通電部４３による通電によって発光させた有機ＥＬ素子１９の発光状態を前記検査部４７によって検査する第２の工程と、
検査後、掴んだ前記基材２１を離し、上流側の少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように前記基材２１を掴むことができるように前記通電部４３を上流側に移動させる第３の工程とを備え、
前記第１、第２及び第３の工程を繰り返して、複数の前記有機ＥＬ素子１９の発光状態を連続して検査する。
【００４３】
具体的には、まず、図８に示すように、第１の供給部４１によって、ロール体３０から、有機ＥＬ素子１９が形成された基材２１を繰り出して供給する。
【００４４】
次に、図９に示すように、該通電部４３を少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触させつつ、図１０に示すように、該通電部４３によって基材２１を掴み、該有機ＥＬ素子１９を下流側に送るように移動させる。また、通電部４３が基材２１を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて前記有機ＥＬ素子１９を発光させる（第１の工程）。本実施形態では、第１の工程において、通電部４３によって基材２１を移動させて有機ＥＬ素子１９を下流側に送った後、通電部４３を停止させつつ第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させ、静止している有機ＥＬ素子１９を発光させる。
また、通電部４３による通電によって発光させた有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査部４７によって検査する（第２の工程）。本実施形態では、第２の工程において、静止している有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する。
検査後、図１１に示すように、通電部４３による通電を停止し、通電部４３に掴んだ基材２１を離させ、図１２に示すように、通電部４３を、該通電部４３が上流側の少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように前記基材２１を掴むことができる位置に移動させる（第３の工程）。
【００４５】
さらに、通電部４３によって上記と同様にして基材２１を掴んで第１の工程を実施し、上記次の有機ＥＬ素子１９を検査する第２の工程を実施し、基材２１を離した通電部４３を、さらに次の少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触しながら基材２１を掴むことができる位置まで移動させる第３の工程を実施する。さらに、第１〜第３の工程を繰り返して、有機ＥＬ素子１９の発光状態を連続して検査する。なお、第１〜第３の工程を繰り返し行う際には、いずれの工程で一連の検査を終了してもよい。
また、検査した有機ＥＬ素子１９を、第１の回収部４９によって基材２１と共に巻き取って、回収する。すなわち、検査した有機ＥＬデバイス２０を、第１の回収部４９によって回収する。
【００４６】
上記した通り、本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の検査装置１及び検査方法によれば、通電部４３によって少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）を下流側に送り、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて有機ＥＬ素子１９を発光させ、発光させた有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査部４７によって検査することができる。また、通電部４３が、掴んだ基材２１を離し、上流側の少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように前記基材２１を掴むことができるように上流側に移動することによって、次の有機ＥＬ素子１９を上記と同様にして掴み、発光状態の検査を行うことができる。これにより、基材２１上に形成された複数の有機ＥＬ素子１９の発光状態を、連続的に検査することが可能となる。
従って、可撓性を有する帯状の基材２１上に形成された複数の有機ＥＬ素子１９の発光状態を、効率良く検査し得る。
また、通電部４３が基材２１を離して上流側に移動することによって、有機ＥＬ素子１９を繰り返し送る際に、通電部４３が、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａや基材２１上を摺動する場合よりも、通電部４３と第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａ等との間に生じる摩擦が抑制されるため、有機ＥＬデバイス２０の損傷を抑制し得る。
【００４７】
また、本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の検査装置１及び検査方法においては、
前記通電部４３が前記有機ＥＬ素子１９を下流側に送った状態で停止し、停止している状態で前記有機ＥＬ素子１９を発光させ、
前記検査部４７が、停止している前記有機ＥＬ素子１９を検査することが好ましい。
【００４８】
かかる構成によれば、より精度良く発光状態の検査を行うことが可能となる。
【００４９】
次に、上記検査方法を用いた有機ＥＬデバイスの製造方法について説明する。
本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の製造方法は、可撓性を有する帯状の基材２１上に、第１の通電領域２３ａを有する第１の電極層２３と、前記第１の電極層２３と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域２７ａを有する第２の電極層２７と、これら第１及び第２の電極層２３、２７間に配された有機ＥＬ層２５とを有する有機ＥＬ素子１９を、長手方向に複数形成する工程と、
上記有機ＥＬデバイスの検査方法を用いて、形成された有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査することによって、検査済みの有機ＥＬデバイス２０を得る工程とを備えている。
【００５０】
上記有機ＥＬ素子１９を形成する工程においては、例えば、図１３に示すような製造装置６０を用い、真空チャンバー３内において、ロール状に巻回された基材２１を第２の供給部５から繰り出して供給し、供給した基材２１をキャンローラ７によって支持しつつ下流側に送り、該キャンローラ７に支持されている基材２１上に、スパッタ源や蒸着源等の層形成部９ａ、９ｂ、９ｃによってそれぞれ第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５、第２の電極層２７を順次形成して、基材２１上に有機ＥＬ素子１９を連続して複数形成し、第２の回収部６によって、形成された有機ＥＬ素子１９を基材２１と共に有機ＥＬデバイス２０として巻き取って回収して、上記ロール体３０とする。また、当該工程では、第２の供給部５及び第２の回収部６によって、基材２１が繰り出され且つ巻き取られるようになっている。
【００５１】
そして、有機ＥＬ１９の発光状態を検査する工程においては、上記した検査方法を用いて、上記工程で形成されたロール体３０から、有機ＥＬ素子１９と共に基材２１を繰り出して、上記と同様に有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査し、第１の回収部４９によって回収する。
【００５２】
本実施形態の有機ＥＬデバイスの製造方法によれば、上記有機ＥＬデバイスの検査方法を用いることから、形成された有機ＥＬ素子１９を効率良く検査して、検査済みの有機ＥＬデバイス２０を得ることができる。しかも、損傷を抑制された、検査済みの有機ＥＬデバイス２０を得ることができる。
【００５３】
本発明の有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法の実施形態は、上記の通りであるが、本発明は上記実施形態に限定されず本発明の意図する範囲内において適宜設計変更可能である。
例えば、上記実施形態の検査装置１では、有機ＥＬ素子１９が通電部４３によって送られ、停止している状態で、該有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する構成を採用したが、本発明の検査装置１及び検査方法は、上記実施形態に特に限定されるものでない。例えば、通電部４３によって有機ＥＬ素子１９を送っている間に、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａによって通電させて有機ＥＬ素子１９を発光させ、移動しながら発光している有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する構成を採用してもよい。この場合、検査部４７としては、例えばラインセンサカメラを採用することができる。ラインセンサカメラは、複数の受像素子が一列（１ライン）に配されており、移動する対象物の画像を連続的に一列ずつ撮影し、各列の撮影結果をつなぎ合わせて全体として１つの画像を撮影し得るものである。かかるラインセンサカメラとしては、市販品を用いることができ、該市販品としては、例えば、デジタルカラーラインスキャンカメラＳＵＣＬ２０２５Ｔ３（日本エレクトロセンサリデバイス株式会社製）が挙げられる。また、かかる検査部４７は、上記受像素子が基材２１の幅方向（移動方向と垂直な方向）に沿って位置するように配され、支持部４３の回転に伴って移動する１つの有機ＥＬ素子１９の画像を一列ずつ連続的に撮影し、全体として１つの画像データを得るように構成し得る。
【００５４】
また、有機ＥＬ素子１９における第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａの配置や形状等は、上記実施形態の構成に特に限定されるものではなく、また、通電部４５の形状等も、適用する有機ＥＬ素子１９における第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａの配置や形状等に応じて適宜設計すればよい。
例えば、図１４に示すように、有機ＥＬデバイス２０が、複数の有機ＥＬ素子１９に共通する第２の通電領域２７ａを有するように構成され、通電部４３が、これら複数の有機ＥＬ素子１９の通電領域と同時に接触するように、これら複数の有機ＥＬ素子１９を１ユニットとして掴むように構成されていてもよい。あるいは、図示しないが、これとは逆に、有機ＥＬデバイス２０が、複数の有機ＥＬ素子１９に共通する第１の通電領域２３ａを有し、通電部４３が、これら複数の有機ＥＬ素子１９の通電領域と同時に接触するように、これら複数の有機ＥＬ素子１９を１ユニットとして掴むように構成されていてもよい。
また、図１５に示すように、有機ＥＬデバイス２０が、複数の有機ＥＬ素子１９に共通する第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａを有するように構成され、通電部４３が、これら複数の有機ＥＬ素子１９の通電領域と同時に接触するように、これら複数の有機ＥＬ素子１９を１ユニットとして掴むように構成されていてもよい。
【００５５】
また、上記実施形態の有機ＥＬデバイスの製造方法も、上記実施形態に特に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、有機ＥＬ素子１９を形成した後、基材２１を一旦巻き取ってロール体３０とし、該ロール体３０から基材２１を供給して検査を行う態様を示したが、その他、有機ＥＬ素子１９が形成された基材２１を巻き取らず、そのまま通電部４３へ供給して検査を行う態様を採用してもよい。
【符号の説明】
【００５６】
１：有機ＥＬデバイスの検査装置、３：真空チャンバー、５：第２の供給部、６：第２の回収部、７：キャンローラ、９ａ〜９ｃ：層形成部、１９：有機ＥＬ素子、２０：有機ＥＬデバイス、２１：基材、２３：第１の電極層、２３ａ：第１の通電領域、２５：有機ＥＬ層、２７：第２の電極層、２７ａ：第２の通電領域、３０：ロール体、４１：第１の供給部、４３：通電部、４４：支持部、４５：把持部、４７：検査部、４９：第１の回収部、５１箱状部、６０：有機ＥＬデバイスの製造装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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