(57)【要約】【課題】ウエハの反りを抑制すること。【解決手段】アーム３２が第１ウエハ２０ａ上面を吸着し、前記第１ウエハを容器２２に収納するステップと、前記アームが前記第１ウエハ上面を吸着した状態で、部材１０ｂの開口１２ｂが前記アームに位置するように前記部材を前記第１ウエハ上に載せるステップと、前記部材が前記第１ウエハ上に載った状態で、前記アームが前記第１ウエハを離し、前記開口を通過し前記第１ウエハから離れるステップと、を含むウエハ収納方法。【選択図】図１５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アームが第１ウエハ上面を吸着し、前記第１ウエハを容器に収納するステップと、
前記アームが前記第１ウエハ上面を吸着した状態で、部材の開口が前記アームに位置するように前記部材を前記第１ウエハ上に載せるステップと、
前記部材が前記第１ウエハ上に載った状態で、前記アームが前記第１ウエハを離し、前記開口を通過し前記第１ウエハから離れるステップと、
を含むことを特徴とするウエハ収納方法。
【請求項２】
前記部材上に第２ウエハを載せることにより、前記第２ウエハを前記容器に収納するステップを含むことを特徴とする請求項１記載のウエハ収納方法。
【請求項３】
前記部材上に設けられた前記部材より軟らかいシートに対向するように前記部材上に前記第２ウエハを載せることを特徴とする請求項２記載のウエハ収納方法。
【請求項４】
前記部材は、上方に突出する突起を備え、前記第２ウエハは、前記突起上に載せられることを特徴とする請求項２項記載のウエハ収納方法。
【請求項５】
容器に収納されたウエハ上に開口を有する部材が載った状態で、アームが前記開口を通過し前記ウエハの上面を吸着するステップと、
前記アームが前記ウエハを吸着した状態で、前記部材を前記容器から取り出すステップと、
を含むことを特徴とするウエハ取り出し方法。
【請求項６】
ウエハ上面を吸着し、前記ウエハを容器に収納する第１アームと、
前記第１アームが前記ウエハ上面を吸着した状態で、部材の開口が前記第１アームに位置するように前記部材を前記ウエハ上に載せる第２アームと、
を具備し、
第１アームは、前記部材が前記ウエハ上に載った状態で、前記ウエハを離し、前記開口を通過し前記ウエハから離れることを特徴とするウエハ収納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ収納方法、ウエハ収納装置およびウエハ取り出し方法に関し、例えば、ウエハ上に載せられる部材が開口を有するウエハ収納方法、ウエハ収納装置およびウエハ取り出し方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハを積み重ねることで、半導体ウエハを容器内に収納するウエハ収納方法が知られている（例えば特許文献１および２）。このようなウエハ収納方法においては、ウエハ間にシートが介在することにより、ウエハが保護されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１２９７１９号公報
【特許文献２】特開平９−２３２４１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ウエハを容器に収納するとき、またはウエハを容器にから取り出すときに、ウエハが反ることがある。本ウエハ収納方法およびウエハ収納装置並びにウエハ取り出し方法は、ウエハの反りを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
アームが第１ウエハ上面を吸着し、前記第１ウエハを容器に収納するステップと、前記アームが前記第１ウエハ上面を吸着した状態で、部材の開口が前記アームに位置するように前記部材を前記第１ウエハ上に載せるステップと、前記部材が前記第１ウエハ上に載った状態で、前記アームが前記第１ウエハを離し、前記開口を通過し前記第１ウエハから離れるステップと、を含むことを特徴とするウエハ収納方法を用いる。
【０００６】
容器に収納されたウエハ上に開口を有する部材が載った状態で、アームが前記開口を通過し前記ウエハの上面を吸着するステップと、前記アームが前記ウエハを吸着した状態で、前記部材を前記容器から取り出すステップと、を含むことを特徴とするウエハ取り出し方法を用いる。
【０００７】
ウエハ上面を吸着し、前記ウエハを容器に収納する第１アームと、前記第１アームが前記ウエハ上面を吸着した状態で、部材の開口が前記第１アームに位置するように前記部材を前記ウエハ上に載せる第２アームと、を具備し、第１アームは、前記部材が前記ウエハ上に載った状態で、前記ウエハを離し、前記開口を通過し前記ウエハから離れることを特徴とするウエハ収納装置を用いる。
【発明の効果】
【０００８】
本ウエハ収納方法およびウエハ収納装置並びにウエハ取り出し方法によれば、ウエハの反りを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１（ａ）は、実施例１に用いる部材の斜視図、図１（ｂ）は、部材上にウエハを載せた断面図、図１（ｃ）は、図１（ｂ）の領域Ａの拡大図である。
【図２】図２は、ウエハ収納装置のブロック図である。
【図３】図３（ａ）から図３（ｄ）は、実施例１に係るウエハ収納方法を示す斜視図（その１）である。
【図４】図４（ａ）から図４（ｃ）は、実施例１に係るウエハ収納方法を示す斜視図（その２）である。
【図５】図５（ａ）から図５（ｃ）は、実施例１に係るウエハ収納方法を示す斜視図（その３）である。
【図６】図６（ａ）から図６（ｅ）は、実施例１に係るウエハ収納方法を示す斜視図（その４）である。
【図７】図７は、図６（ｅ）のＡ−Ａ断面図である。
【図８】図８（ａ）から図８（ｃ）は、実施例１に係るウエハ取り出し方法を示す斜視図（その１）である。
【図９】図９（ａ）から図９（ｃ）は、実施例１に係るウエハ取り出し方法を示す斜視図（その２）である。
【図１０】図１０（ａ）から図１０（ｃ）は、実施例１に係るウエハ取り出し方法を示す斜視図（その３）である。
【図１１】図１１（ａ）から図１１（ｄ）は、比較例１に係るウエハ収納方法を示す断面図である。
【図１２】図１２（ａ）から図１２（ｃ）は、ウエハ端の拡大断面図である。
【図１３】図１３（ａ）から図１３（ｄ）は、比較例１に係るウエハ取り出し方法を示す断面図である。
【図１４】図１４（ａ）および図１４（ｂ）は、ウエハ端の拡大断面図である。
【図１５】図１５（ａ）から図１５（ｄ）は、実施例１に係るウエハ収納方法を示す断面図である。
【図１６】図１６（ａ）から図１６（ｄ）は、実施例１に係るウエハ取り出し方法を示す断面図である。
【図１７】図１７（ａ）は、実施例２に用いる部材の斜視図、図１７（ｂ）は、部材上にウエハを載せた断面図、図１７（ｃ）は、図１７（ｂ）の領域Ａの拡大図である。
【図１８】図１８は、実施例２において容器にウエハが収納された断面図である。
【図１９】図１９（ａ）は、実施例３に用いる部材上にウエハを載せた斜視図、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）の領域Ａの拡大図である。
【図２０】図２０（ａ）は、実施例４に用いる部材上にウエハを載せた斜視図、図２０（ｂ）は、図２０（ａ）の領域Ａの拡大図である。
【図２１】図２１（ａ）から図２１（ｄ）は、実施例４に係るウエハ収納方法を示す斜視図（その１）である。
【図２２】図２２（ａ）から図２２（ｃ）は、実施例４に係るウエハ収納方法を示す斜視図（その２）である。
【図２３】図２３（ａ）から図２３（ｃ）は、実施例４に係るウエハ取り出し方法を示す斜視図（その１）である。
【図２４】図２４（ａ）から図２４（ｃ）は、実施例４に係るウエハ取り出し方法を示す斜視図（その２）である。
【図２５】図２５（ａ）は、実施例５に用いる部材の斜視図、図２５（ｂ）は、図２５（ａ）のＡ−Ａ断面図、図２５（ｃ）は部材とウエハを積層したときの断面図、図２５（ｄ）は図２５（ｃ）のＡ領域の拡大図である。
【図２６】図２６（ａ）から図２６（ｆ）は、実施例６で用いるアームの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照し実施例について説明する。
【実施例１】
【００１１】
図１（ａ）は、実施例１に用いる部材の斜視図、図１（ｂ）は、部材上にウエハを載せた断面図、図１（ｃ）は、図１（ｂ）の領域Ａの拡大図である。図１（ａ）に示すように、部材１０は、シート状であり、開口１２を有する。開口１２は、ウエハを吸着するアームの形状に対応する。部材１０の材料は、例えば樹脂である。樹脂は、例えばポリカーボネード、ポリスエチレン、ポリプロピレン、変形ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、またはアクリロニトリルブタジエンスチレンである。部材１０の厚さは例えば０．５ｍｍから３．０ｍｍである。
【００１２】
図１（ｂ）および図１（ｃ）に示すように、部材１０上に半導体ウエハ２０が重なる。ウエハ２０は、例えばシリコンウエハである。ウエハ２０の径は、例えば３００ｍｍである。ウエハ２０の下面が部材１０の上面に当接する。ウエハ２０の下面は回路が形成された面１９である。部材１０とウエハ２０は、それぞれ円状であり、径はほぼ同じである。
【００１３】
図２は、ウエハ収納装置のブロック図である。図２に示すように、ウエハ収納装置６０は、ロボット６２および６４、並びに台６５および６６を備えている。ロボット６２および６４はそれぞれロボットアーム３２および３４を備えている。アーム３２の先端はウエハ２０を吸着および離すことができる。アーム３４の先端は部材１０を吸着および離すことができる。ウエハ２０および部材の吸着方法は、例えば真空吸着法を用いる。台６５は、容器２２を支持する。容器２２はベース２４および壁２６を備えている。容器２２は、壁２６内にウエハ２０および部材１０を収納する。台６６は、複数の部材１０を重ねて支持する。台６６の上面には壁６８が設けられている。壁６８は、複数の部材１０の位置が互いに合うように部材１０の移動を規制する。容器２２にウエハ２０および部材１０を収納する際にアーム３２および３４が移動する水平方向をＸ方向、Ｘ方向に直交する水平方向をＹ方向、上下方向をＺ方向とする。
【００１４】
アーム３２および３４はそれぞれ関節６１を有している。アーム３２および３４は関節６１から折り曲げることができる。これにより、アーム３２および３４の先端は、Ｘ方向に直線状に移動させることができる。ロボット６２および６４がＹ方向に移動することにより、アーム３２および３４はＹ方向に移動する。ロボット６２および６４は、アーム３２および３４をＺ方向に移動させることができる。ロボット６２および６４は、アーム３２および３４を独立に移動させることができる。
【００１５】
次に、容器２２へのウエハの収納方法を説明する。図３（ａ）から図６（ｅ）は、実施例１に係るウエハ収納方法を示す斜視図である。図３（ａ）に示すように、ウエハを収納する容器２２は、例えばコインスタック方式の容器である。容器２２は、ベース２４および壁２６を備えている。ベース２４は、平坦な板状である。壁２６は、ベース２４上に形成され、円筒状である。壁２６には、アーム３２および３４が移動するためのスリット２３が形成されている。壁２６内がウエハを収納する収納領域２７である。壁の内径は収納するウエハの径と同じかやや大きい。アーム３４は、部材１０ａの上面を吸着し、矢印５０ａのように部材１０ａを容器２２の上方へ移動する。
【００１６】
図３（ｂ）に示すように、アーム３４は、部材１０ａを壁２６内の収納領域２７に位置合わせする。アーム３４は、矢印５２ａのように部材１０ａを下降させ、壁２６内の収納領域２７に収納する。図３（ｃ）に示すように、アーム３４は部材１０ａを離す。アーム３４は、矢印５４ａのように上昇し、矢印５６ａのように容器２２から離れる。図３（ｄ）に示すように、部材１０ａは容器２２に収納される。
【００１７】
図４（ａ）に示すように、アーム３２はウエハ２０ａの上面（例えば回路が形成されていない裏面）を吸着し、矢印５０ｂのようにウエハ２０ａを容器２２の上方へ移動する。図４（ｂ）に示すように、アーム３２は、ウエハ２０ａを収納領域２７に位置合わせする。アーム３２は、矢印５２ｂのようにウエハ２０ａを下降させ、壁２６内の収納領域２７に収納する。図４（ｃ）に示すように、ウエハ２０ａは、アーム３２に吸着された状態で、容器２２の収納領域２７に収納される。ウエハ２０ａの下面の少なくとも一部は部材１０ａの上面に当接する。
【００１８】
図５（ａ）に示すように、アーム３２がウエハ２０ａの上面を吸着している状態で、アーム３４は、部材１０ｂの上面を吸着し、矢印５０ｃのように、部材１０ｂを容器２２の上方へ移動する。図５（ｂ）に示すように、アーム３４は、部材１０ｂを収納領域２７に位置合わせする。アーム３４は、矢印５２ｃのように部材１０ｂを下降させ、壁２６内の収納領域２７に収納する。部材１０ｂにはアーム３２に相当する開口が設けられているため、部材１０ｂはアーム３２に接触しない。図５（ｃ）に示すように、アーム３４は、部材１０ｂを離し、矢印５４ｂのように上昇し、矢印５６ｂのように容器２２から離れる。
【００１９】
図６（ａ）に示すように、アーム３２は、ウエハ２０ａを離し、矢印５４ｃのように上昇し、矢印５６ｃのように容器２２から離れる。このとき、アーム３２は、部材１０ｂの開口を通過する。図６（ｂ）に示すように、部材１０ｂは、収納領域２７内でウエハ２０ａ上に重なる。部材１０ｂの下面の少なくとも一部は、ウエハ２０ａの上面に当接する。図６（ｃ）に示すように、アーム３２および３４は、同様に、ウエハ２０ｂを部材１０ｂ上に載せ、部材１０ｃをウエハ２０ｂ上に載せる。図６（ｄ）に示すように、アーム３２および３４は、所望数のウエハおよび部材を積層させる。積層したウエハおよび部材上にスペーサ２５を載せる。スペーサ２５は、ウエハおよび部材に比べ軟らかい部材であり、ウエハおよび部材に適度に応力を加え、ウエハおよび部材を保護する。スペーサ２５は設けなくてもよい。図６（ｅ）に示すように、容器２２に蓋２８を被せる。
【００２０】
図７は、図６（ｅ）のＡ−Ａ断面図である。容器２２の壁２６内に複数のウエハ２０および部材１０が交互に積層されている。スペーサ２５は、最上部のウエハ２０または部材１０上に載せられている。蓋２８は上壁２８ａと側壁２８ｂを有している。側壁２８ｂの下端が容器２２のベース２４の上面に当接する。この状態で、壁２６の上端と上壁２８ａとは離間している。
【００２１】
次に、容器からのウエハの取り出し方法を説明する。図８（ａ）から図１０（ｃ）は、実施例１に係るウエハ取り出し方法を示す斜視図である。図８（ａ）に示すように、容器２２の収納領域２７にウエハ２０ｂおよび部材１０ｃが収納されている。部材１０ｃがウエハ２０ｂ上に配置している。アーム３２は矢印５６ｄのように容器２２の上方に移動する。図８（ｂ）に示すように、アーム３２は部材１０ｃの開口に位置合わせされ、矢印５４ｄのように下降する。図８（ｃ）に示すように、アーム３２は、ウエハ２０ｂの上面を吸着する。部材１０ｃには、アーム３２に相当する開口が形成されている。このため、アーム３２は部材１０ｃに接触しない。
【００２２】
図９（ａ）に示すように、アーム３４は矢印５６ｅのように部材１０ｃの上方に移動する。図９（ｂ）に示すように、アーム３４は矢印５４ｅのように下降し、部材１０ｃの上面を吸着する。図９（ｃ）に示すように、アーム３２がウエハ２０ｂの上面に吸着した状態で、アーム３４は、矢印５２ｄのように部材１０ｃを上昇させ、矢印５０ｄのように部材１０ｃを容器２２から離す。
【００２３】
図１０（ａ）に示すように、部材１０ｃは、容器２２から取り出される。図１０（ｂ）に示すように、アーム３２は、矢印５２ｅのようにウエハ２０ｂを上昇させ、矢印５０ｅのように容器２２から離す。図１０（ｃ）に示すように、ウエハ２０ｂは、容器２２から取り出される。その後、同様に、部材１０ｂおよびウエハ２０ａを容器２２から取り出す。
【００２４】
実施例１の効果を説明するために、部材１０ａに開口が形成されていない比較例１におけるウエハ収納方法を説明する。図１１（ａ）から図１１（ｄ）は、比較例１に係るウエハ収納方法を示す断面図である。図１１（ａ）に示すように、容器２２の壁２６内に部材１０ａが収納されている。部材１０ａ上にウエハ２０ａが重ねられている。ウエハ２０ａは反っている。例えばウエハ２０ａを研磨し薄膜すると、ウエハ２０ａが反ることがある。例えば、ウエハ２０ａが３００ｍｍ径の単結晶シリコンウエハであり、厚さが１００μｍの場合、反り量Ｌは１０ｍｍ程度となることもある。
【００２５】
図１１（ｂ）に示すように、ウエハ２０ａ上に部材１０ｂを載せる。アーム３２は、ウエハ２０ｂを吸着し、部材１０ｂの上方に位置合わせする。図１１（ｃ）に示すように、アーム３２は、ウエハ２０ｂを部材１０ｂ上に載せる。図１１（ｄ）に示すように、ウエハ２０ｂの重量およびアーム３２の下降によりウエハ２０ｂはさらに下降する。
【００２６】
図１２（ａ）から図１２（ｃ）は、ウエハ端の拡大断面図である。図１２（ａ）に示すように、ウエハ２０ａの端が壁２６に当たった状態でウエハ２０ｂが矢印４５のように下降すると、ウエハ２０ａが壁２６と部材１０ａの間に挟まり、ウエハ２０ａの曲率が小さくなった箇所４０に応力が集中する。これにより、ウエハ２０ａが割れる可能性がある。
【００２７】
図１２（ｂ）に示すように、矢印４５のようにウエハ２０ｂが下降するのにともない、ウエハ２０ａの反りが改善されると、ウエハ２０ａの端と部材１０ｂとが接触する箇所４２が矢印４１のように移動する。これにより、塵が発生する。また、ウエハ２０ａに傷がつく。
【００２８】
図１２（ｃ）に示すように、矢印４５のようにウエハ２０ｂが下降するのにともない、ウエハ２０ａの端と壁２６とが接触する箇所４４が矢印４３のように移動する。これにより、塵が発生する。また、ウエハ２０ａに傷がつく。
【００２９】
図１３（ａ）から図１３（ｄ）は、比較例１に係るウエハ取り出し方法を示す断面図である。図１３（ａ）に示すように、容器２２の壁２６内に部材１０ａが収納されている。部材１０ａ上にウエハ２０ａが重ねられている。ウエハ２０ａは反っている。
【００３０】
図１３（ｂ）に示すように、アーム３２を、ウエハ２０ａの上方に位置合わせする。図１３（ｃ）に示すように、アーム３２は、ウエハ２０ａを吸着するために下降する。ウエハ２０ａが反っていると、アーム３２とウエハ２０ａとの間に隙間ができる。このため、アーム３２は、ウエハ２０ａを吸着しにくくなる。図１３（ｄ）に示すように、アーム３２は、ウエハ２０ａを吸着するため、さらに下降する。
【００３１】
図１４（ａ）および図１４（ｂ）は、ウエハ端の拡大断面図である。図１４（ａ）に示すように、ウエハ２０ａの端が壁２６に当たった状態でアーム３２が下降すると、ウエハ２０ａが壁２６と部材１０ａの間に挟まり、ウエハ２０ａの曲率が小さくなった箇所４８に応力が集中する。これにより、ウエハ２０ａが割れる可能性がある。図１４（ｂ）に示すように、ウエハ２０ａの端と壁２６とが接触する箇所４７が矢印４６のように移動する。これにより、塵が発生する。また、ウエハ２０ａに傷がつく。
【００３２】
このように、比較例１では、ウエハ２０ａが反るため、ウエハ２０ａが割れる、または傷がつく、または塵が発生する。
【００３３】
図１５（ａ）から図１５（ｄ）は、実施例１に係るウエハ収納方法を示す断面図である。図１５（ａ）に示すように、容器２２の壁２６内に開口１２ａを有する部材１０ａが収納されている。アーム３２は、ウエハ２０ａを吸着し、部材１０ａ上に重ねる。吸着面が平坦なアーム３２がウエハ２０ａを吸着すると、ウエハ２０ａの反りは比較例１の図１１（ａ）より小さくなる。例えば、アーム３２がウエハ２０ａの広い範囲を吸着することにより、ウエハ２０ａの反りが小さくなる。
【００３４】
図１５（ｂ）に示すように、アーム３２がウエハ２０ａを吸着した状態で、部材１０ｂがウエハ２０ａ上に載せられる。部材１０ｂには、アーム３２の形状に対応する開口１２ｂが形成されている。これにより、部材１０ｂはアーム３２と接触しない。
【００３５】
図１５（ｃ）に示すように、アーム３２はウエハ２０ａを離す。このとき、ウエハ２０ａには平坦な部材１０ｂの加重が加わるため、ウエハ２０ａの反りが抑制される。例えば、ウエハ２０ａが３００ｍｍ径の単結晶シリコンウエハであり、厚さが１００μｍの場合、部材１０ｂの重さを１５０ｇとすることにより、ウエハ２０ａをほぼ平坦に維持できる。
【００３６】
図１５（ｄ）に示すように、アーム３２はウエハ２０ｂを吸着し、部材１０ｂ上に重ねる。
【００３７】
図１６（ａ）から図１６（ｄ）は、実施例１に係るウエハ取り出し方法を示す断面図である。図１６（ａ）に示すように、容器２２に部材１０ａ、ウエハ２０ａおよび部材１０ｂが収納されている。ウエハ２０ａ上に部材１０ｂが載っているため、ウエハ２０ａの反りが抑制される。図１６（ｂ）に示すように、ウエハ２０ａの上方にアーム３２を位置合わせする。図１６（ｃ）に示すように、アーム３２はウエハ２０ａの上面に吸着する。このとき、開口１２ｂにより、アーム３２は部材１０ｂに接触しない。図１６（ｄ）に示すように、部材１０ｂを取り出す。部材１０ｂが取り出されても、アーム３２がウエハ２０ａを吸着しているため、ウエハ２０ａの反りは抑制される。
【００３８】
実施例１によれば、図４（ａ）から図４（ｃ）のように、アーム３２（第１アーム）がウエハ２０ａ（第１ウエハ）上面を吸着し、ウエハ２０ａを容器２２に収納する。図５（ａ）から図５（ｃ）のように、アーム３２がウエハ２０ａ上面を吸着した状態で、アーム３４（第２アーム）は部材１０ｂの開口がアーム３２に位置するように部材１０ｂをウエハ２０ａ上に載せる。図６（ａ）および図６（ｂ）のように、部材１０ｂがウエハ２０ａ上に載った状態で、アーム３２がウエハ２０ａを離し、開口を通過しウエハ２０ａから離れる。これにより、図１５（ａ）から図１５（ｄ）のように、ウエハ２０ａの反りを抑制できる。よって、ウエハ２０ａの割れ、ウエハ２０ａの傷、塵の発生を抑制できる。その後、図６（ｃ）のように、部材１０ｂ上にウエハ２０ｂ（第２ウエハ）を載せることにより、ウエハ２０ｂを容器２２に収納することができる。
【００３９】
また、図８（ａ）から図８（ｃ）のように、容器２２に収納されたウエハ２０ｂ上に開口を有する部材１０ｃが載った状態で、アーム３２（第１アーム）が開口を通過しウエハ２０ｂの上面を吸着する。図９（ａ）から図９（ｃ）のように、アーム３２がウエハ２０ｂを吸着した状態で、アーム３４（第２アーム）は部材１０ｃを容器から取り出す。これにより、図１６（ａ）から図１６（ｄ）のように、ウエハ２０ｂの反りを抑制できる。よって、ウエハ２０ｂの割れ、ウエハ２０ａの傷、塵の発生を抑制できる。その後、図１０（ａ）から図１０（ｃ）のように、アーム３２は、ウエハ２０ｂを容器２２から取り出すことができる。
【実施例２】
【００４０】
図１７（ａ）は、実施例２に用いる部材の斜視図、図１７（ｂ）は、部材上にウエハを載せた断面図、図１７（ｃ）は、図１７（ｂ）の領域Ａの拡大図である。図１７（ａ）に示すように、部材１０は、平坦部１１と突起１４を備える。突起１４は平坦部１１の周辺に設けられている。突起１４は、平坦部１１の周辺全てに連続して設けられている。突起１４は、平坦部１１の周辺の一部に設けられていてもよい。また、突起１４は、平坦部１１の周辺以外に設けられてもよい。
【００４１】
図１７（ｂ）および図１７（ｃ）に示すように、ウエハ２０の下面（回路が形成された面１９）にバンプ２１が形成されている。バンプ２１は例えば半田である。バンプ２１の高さは例えば１００μｍである。突起１４はバンプ２１より高い。バンプ２１の高さが例えば１００μｍの場合、突起の高さは例えば１１０μｍから５００μｍである。その他の構成は、実施例１の図１（ａ）から図１（ｃ）と同じであり、ウエハ収納方法およびウエハ取り出し方法は実施例１と同じであり、説明を省略する。
【００４２】
図１８は、実施例２において容器にウエハが収納された断面図である。図１８に示すように、部材１０とウエハ２０が交互に積層されている。突起１４により、ウエハ２０のバンプ２１は平坦部１１に接触していない。その他の構成は、実施例１の図７と同じであり説明を省略する。
【００４３】
実施例２によれば、部材１０は、上方に突出する突起１４を有し、ウエハ２０は、突起１４上に載せられる。これにより、ウエハ２０の下面が突起１４の上端と接したときに、バンプ２１の下端は部材１０の平坦部１１の上面には接触しない。よって、例えばウエハ２０を容器２２に収納して運搬するときに、振動等が加わっても、バンプ２１の下端に傷がつく、またバンプ２１が潰れることを抑制できる。
【００４４】
また、ウエハ２０にバンプ２１が形成されていない場合であっても、回路が形成された面１９が平坦部１１に接触しない。これにより、面１９に傷がつくことを抑制できる。
【００４５】
ウエハ２０の周辺にはバンプ２１および回路が形成されていない。よって、突起１４は平坦部１１の周辺に設けられることが好ましい。
【実施例３】
【００４６】
図１９（ａ）は、実施例３に用いる部材上にウエハを載せた斜視図、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）の領域Ａの拡大図である。図１９（ａ）および図１９（ｂ）に示すように、平坦部１１上にシート１６が設けられている。シート１６には開口１２と同じ形状の開口１７が形成されている。開口１２と１７とは連なっている。シート１６は、平坦部１１より柔らかい。シート１６の材料としては、例えば、エンボス加工を施したクリーンペーパ、エンボス加工を施した帯電防止ポリエチレン、導電性発泡ポリウレタン、導電性発砲ポリスチレン、導電性ウレタンゴム、導電性ニトリルゴム、導電性エチレン・プロピレンゴム、またはシリコーンゴムを用いることができる。シート１８は導電性であることにより、ウエハ２０に形成された回路の静電破壊を抑制できる。シート１８は導電性でなくともよい。シート１８の厚さは、例えば３００μｍから５００μｍとすることができる。
【００４７】
シート１６上にウエハ２０のバンプ２１が対向する。シート１６とバンプ２１とは接触していない。その他の構成は、実施例２と同じであり、ウエハ収納方法およびウエハ取り出し方法は実施例１と同じであり、説明を省略する。
【実施例４】
【００４８】
図２０（ａ）は、実施例４に用いる部材上にウエハを載せた斜視図、図２０（ｂ）は、図２０（ａ）の領域Ａの拡大図である。図２０（ａ）および図２０（ｂ）に示すように、平坦部１１上にシート１８が設けられている。シート１８には開口１２が形成されていない。シート１８は、平坦部１１より柔らかい。シート１８の材料は、例えば実施例３のシート１６と同じである。その他の構成は、実施例３と同じであり説明を省略する。
【００４９】
次に、シートの収納方法を説明する。図２１（ａ）から図２２（ｃ）は、実施例４に係るウエハ収納方法を示す斜視図である。実施例１の図３（ｄ）までを行なう。その後、図２１（ａ）に示すように、アーム３４は、シート１８ａの上面を吸着し、矢印５０ｆのように部材１０ａを容器２２の上方へ移動させる。図２１（ｂ）に示すように、アーム３４は、シート１８ａを壁２６内の収納領域２７に位置合わせする。アーム３４は、矢印５２ｆのようにシート１８ａを下降させ、部材１０ａ上に載せる。図２１（ｃ）に示すように、アーム３４はシート１８ａを離す。アーム３４は、矢印５４ｆのように上昇し、矢印５６ａのように容器２２から離れる。図２１（ｄ）に示すように、シート１８ａは容器２２内で部材１０ａ上に載せられる。
【００５０】
図２２（ａ）に示すように、アーム３２はウエハ２０ａの上面を吸着し、矢印５０ｇのようにウエハ２０ａを容器２２の上方へ移動させる。図２２（ｂ）に示すように、アーム３２は、ウエハ２０ａを収納領域２７に位置合わせする。アーム３２は、矢印５２ｇのようにウエハ２０ａを下降させ、壁２６内の収納領域２７に収納する。図４（ｃ）に示すように、ウエハ２０ａは、アーム３２に吸着された状態で、容器２２の収納領域２７に収納される。その後、実施例１の図５（ａ）以降を行なう。
【００５１】
次に、シートの取り出し方法を説明する。図２３（ａ）から図２４（ｃ）は、実施例４に係るウエハ取り出し方法を示す斜視図である。図２３（ａ）に示すように、アーム３２は、矢印５２ｈのようにウエハ２０ａを上昇させ、矢印５０ｈのように容器２２から離す。図２３（ｂ）に示すように、ウエハ２０ａは、容器２２から取り出される。容器２２内の最上層はシート１８ａとなる。図２３（ｃ）に示すように、アーム３４は矢印５６ｈのように容器２２の上方に移動する。図２４（ａ）に示すように、アーム３４はシート１８ａ上に位置合わせされ、矢印５４ｈのように下降する。図２４（ｂ）に示すように、アーム３４は、シート１８ａの上面に吸着する。アーム３４は、矢印５２ｉのようにシート１８ａを上昇させ、矢印５０ｉのようにシート１８ａを容器２２から離す。図２４（ｃ）に示すように、容器２からシート１８ａが取り出される。
【００５２】
実施例３および４によれば、部材１０上に設けられた部材１０より軟らかいシート１８に対向するように部材１０上にウエハ２０を載せる。シート１６が柔らかいため、バンプ２１がシート１６の上面と接触しても、バンプ２１に傷がつく、またはバンプ２１が潰れることを抑制できる。これにより、例えばウエハ２０を容器２２に収納して運搬するときに、振動等が加わっても、バンプ２１に傷がつく、またはバンプ２１が潰れることを抑制できる。
【００５３】
実施例３では、シート１６は、部材１０の開口１２と連なる開口１７を有する。これにより、部材１０にシート１６を接着することができる。
【００５４】
実施例４では、シート１８に開口が形成されていない。そこで、ウエハ２０を部材１０上に搭載する前に、シート１８を部材１０上に載せる。
【００５５】
実施例３および４においては、部材１０が突起１４を備える場合を例に説明したが、部材１０は突起１４を備えていなくてもよい。
【実施例５】
【００５６】
図２５（ａ）は、実施例５に用いる部材の斜視図、図２５（ｂ）は、図２５（ａ）のＡ−Ａ断面図、図２５（ｃ）は部材とウエハを積層したときの断面図、図２５（ｄ）は図２５（ｃ）のＢ領域の拡大図である。
【００５７】
図２５（ａ）および図２５（ｂ）に示すように、平坦部１１上に層１４ａ、層１４ａ上に層１４ｂ、層１４ｂ上に複数の凸部１５ｂが形成されている。凸部１５ｂに対応する平坦部１１の下面に凹部１５ａが形成されている。層１４ａは、平坦部１１の周辺に形成され、層１４ｂは、層１４ａ周辺に形成されている。層１４ａと１４ｂとで段差が形成される。
【００５８】
図２５（ｃ）および図２５（ｄ）に示すように、層１４ａの上面にウエハ２０の下面が当接する。層１４ａはバンプ２１とほぼ同じ高さまたはバンプ２１より高い。これにより、バンプ２１が平坦部１１の上面に接触することが抑制される。部材１０の凸部１５ｂが、上の部材１０の凹部１５ａに嵌合する。ウエハおよび部材の収納および取り出し方法は実施例１と同じであり説明を省略する。
【００５９】
実施例５によれば、凸部１５ｂと凹部１５ａとが嵌合するため、部材１０同士が自重で脱離しない。層１４ｂの高さをウエハ２０の厚さとほぼ同じかやや大きくすることで、部材１０間にウエハ２０が固定される。これにより、部材１０同士を固定した状態で袋等に入れウエハ２０を搬送することもできる。また、ウエハ２０を部材１０で挟んだ状態で、ＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）等に収納し、ウエハ２０を搬送することもできる。
【実施例６】
【００６０】
図２６（ａ）から図２６（ｆ）は、実施例６で用いるアームの平面図である。図２６（ａ）に示すように、アーム３２は、ほぼＣ字状でもよい。図２６（ｂ）に示すように、アーム３２は、Ｙ字状でもよい。図２６（ｃ）に示すように、アーム３２は、Ｘ字状でもよい。図２６（ｄ）に示すように、アーム３２は＋状でもよい。図２６（ｅ）に示すように、アーム３２はＶ字状でもよい。図２６（ｆ９に示すように、アーム３２は円状でもよい。このように、アーム３２はＵ字状以外でもよい。アーム３２が、直線状でなく、２次元の広がりをもつことで、アーム３２に吸着したウエハ２０の反りを抑制できる。
【００６１】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００６２】
なお、以上の説明に関して更に以下の付記を開示する。
（付記１）アームが第１ウエハ上面を吸着し、前記第１ウエハを容器に収納するステップと、前記アームが前記第１ウエハ上面を吸着した状態で、部材の開口が前記アームに位置するように前記部材を前記第１ウエハ上に載せるステップと、前記部材が前記第１ウエハ上に載った状態で、前記アームが前記第１ウエハを離し、前記開口を通過し前記第１ウエハから離れるステップと、を含むことを特徴とするウエハ収納方法。
（付記２）前記部材上に第２ウエハを載せることにより、前記第２ウエハを前記容器に収納するステップを含むことを特徴とする付記１記載のウエハ収納方法。
（付記３）前記部材上に設けられた前記部材より軟らかいシートに対向するように前記部材上に前記第２ウエハを載せることを特徴とする付記２記載のウエハ収納方法。
（付記４）前記部材は、上方に突出する突起を備え、前記第２ウエハは前記突起上に載せられることを特徴とする付記２または３記載のウエハ収納方法。
（付記５）前記シートは、前記部材の開口と連なる開口を有することを特徴とする付記３記載のウエハ収納方法。
（付記６）
前記シートを前記部材上に載せるステップを含むことを特徴とする付記３記載のウエハ収納方法。
（付記７）容器に収納されたウエハ上に開口を有する部材が載った状態で、アームが前記開口を通過し前記ウエハの上面を吸着するステップと、前記アームが前記ウエハを吸着した状態で、前記部材を前記容器から取り出すステップと、を含むことを特徴とするウエハ取り出し方法。
（付記８）前記アームが前記ウエハを吸着した状態で、前記ウエハを前記容器から取り出すことを特徴とする付記７記載のウエハ取り出し方法。
（付記９）前記部材は、上方に突出する突起を有することを特徴とする付記７または８記載のウエハ取り出し方法。
（付記１０）ウエハ上面を吸着し、前記ウエハを容器に収納する第１アームと、前記第１アームが前記ウエハ上面を吸着した状態で、部材の開口が前記第１アームに位置するように前記部材を前記ウエハ上に載せる第２アームと、を具備し、第１アームは、前記部材が前記ウエハ上に載った状態で、前記ウエハを離し、前記開口を通過し前記ウエハから離れることを特徴とするウエハ収納装置。
（付記１１）容器に収納されたウエハ上に開口を有する部材が載った状態で、前記開口を通過し前記ウエハの上面を吸着する第１アームと、前記第１アームが前記ウエハを吸着した状態で、前記部材を前記容器から取り出す第２アームと、を含むことを特徴とするウエハ取り出し装置。
【符号の説明】
【００６３】
１０          部材
１１          平坦部
１２          開口
１４          突起
１６、１８    シート
２０          ウエハ
２１          バンプ
２２          容器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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