(57)【要約】      （修正有）【課題】高い電気機械結合係数で、狭いフィルタ帯域幅特性を備えるフィルタデバイスを提供する。【解決手段】フィルタデバイス１００は、入力端子１１０と出力端子１４０との間に直列に接続された直列共振器１２１〜１２４と、該直列共振器と接地電圧との間に各々接続された分路共振器１３１〜１３４とを含み、該直列共振器及び該分路共振器の各々が対応する並列共振周波数Ｆｐ及び直列共振周波数Ｆｓを有する。少なくとも１つの直列共振器が、フィルタデバイスの通過帯域の範囲外にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有し、少なくとも１つの他の直列共振器が、通過帯域の範囲内にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有し、及び／又は少なくとも１つの分路共振器が、フィルタデバイスの通過帯域の範囲外にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有し、少なくとも１つの他の分路共振器が、通過帯域の範囲内にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有する。【選択図】図１
2015139217.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
通過帯域を介して信号をフィルタリングするためのフィルタデバイスであって、
入力端子と出力端子との間に直列に接続され、それぞれが対応する並列共振周波数Ｆｐ及び直列共振周波数Ｆｓを有する複数の直列共振器と、
前記直列共振器の少なくとも１つと接地電圧との間にそれぞれ接続され、それぞれが対応する並列共振周波数Ｆｐ及び直列共振周波数Ｆｓを有する複数の分路共振器とを含み、
前記複数の直列共振器の少なくとも１つの直列共振器が、前記フィルタデバイスの前記通過帯域の範囲外にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有し、前記複数の直列共振器の少なくとも１つの他の直列共振器が、前記通過帯域の範囲内にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有し、及び／又は
前記複数の分路共振器の少なくとも１つの分路共振器が、前記フィルタデバイスの前記通過帯域の範囲外にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有し、前記複数の分路共振器の少なくとも１つの他の分路共振器が、前記通過帯域の範囲内にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有する、フィルタデバイス。
【請求項２】
前記通過帯域の範囲外にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有する前記少なくとも１つの直列共振器が、帯域消去フィルタリングに寄与し、前記通過帯域の範囲内にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有する前記少なくとも１つの他の直列共振器が、帯域通過フィルタリングに寄与する、請求項１に記載のフィルタデバイス。
【請求項３】
前記通過帯域の範囲外にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有する前記少なくとも１つの分路共振器が、帯域消去フィルタリングに寄与し、前記通過帯域の範囲内にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有する前記少なくとも１つの他の分路共振器が、帯域通過フィルタリングに寄与する、請求項２に記載のフィルタデバイス。
【請求項４】
前記通過帯域が狭く、電気機械結合係数Ｋｔ２が前記通過帯域の狭さに比べて比較的高く維持されている、請求項１に記載のフィルタデバイス。
【請求項５】
前記通過帯域が、前記フィルタデバイスの前記共振器の前記並列共振周波数Ｆｐと前記直列共振周波数Ｆｓとの間の差と０．４の積によりおおよそ求められる狭い帯域幅を有し、ここで、前記直列共振器および前記分路共振器の分解能帯域幅（ＲＢＷ）が同じである、請求項１に記載のフィルタデバイス。
【請求項６】
前記複数の直列共振器の前記並列共振周波数Ｆｐが、前記通過帯域の高い周波数側に伝送ゼロ点を形成し、前記複数の分路共振器の前記直列共振周波数Ｆｓが、前記通過帯域の低い周波数側に伝送ゼロ点を形成する、請求項１に記載のフィルタデバイス。
【請求項７】
前記フィルタデバイスが受信機フィルタを構成するように、前記入力端子がアンテナに接続され、前記出力端子が受信機に接続される、請求項１に記載のフィルタデバイス。
【請求項８】
前記フィルタデバイスが送信機フィルタを構成するように、前記入力端子が送信機に接続され、前記出力端子がアンテナに接続される、請求項１に記載のフィルタデバイス。
【請求項９】
前記直列共振器のそれぞれ、及び前記分路共振器のそれぞれが、薄膜バルク音響共振器（ＦＢＡＲ）からなる、請求項１に記載のフィルタデバイス。
【請求項１０】
前記直列共振器のそれぞれ、及び前記分路共振器のそれぞれが、ソリッドマウント共振器（ＳＭＲ）からなる、請求項１に記載のフィルタデバイス。
【請求項１１】
通過帯域を介して信号をフィルタリングするためのフィルタデバイスであって、
入力端子と出力端子との間に直列に接続された、チップ上の複数の直列共振器であって、少なくとも１つの直列共振器が帯域消去フィルタリングに寄与し、少なくとも１つの直列共振器が前記フィルタデバイスの帯域通過フィルタリングに寄与する、複数の直列共振器と、
前記直列共振器の少なくとも１つと接地電圧との間にそれぞれ接続された、同じ前記チップ上の複数の分路共振器であって、少なくとも１つの分路共振器が帯域消去フィルタリングに寄与し、少なくとも１つの分路共振器が前記フィルタデバイスの帯域通過フィルタリングに寄与する、複数の分路共振器とを含む、フィルタデバイス。
【請求項１２】
前記帯域消去フィルタリングに寄与する前記少なくとも１つの直列共振器が、前記通過帯域の範囲外にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有し、前記帯域通過フィルタリングに寄与する前記少なくとも１つの直列共振器が、前記通過帯域の範囲内にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有する、請求項１１に記載のフィルタデバイス。
【請求項１３】
前記帯域消去フィルタリングに寄与する前記少なくとも１つの分路共振器が、前記通過帯域の範囲外にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有し、前記帯域通過フィルタリングに寄与する前記少なくとも１つの分路共振器が、前記通過帯域の範囲内にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有する、請求項１１に記載のフィルタデバイス。
【請求項１４】
信号をフィルタリングするためのフィルタデバイスであって、
入力端子と出力端子との間に直列に接続され、対応する異なる直列共振周波数Ｆｓを有する複数の直列共振器であって、前記直列共振器は、前記異なる直列共振周波数Ｆｓの少なくとも１つが、前記フィルタデバイスの通過帯域の範囲外に生じるように構成されている、複数の直列共振器と、
前記直列共振器の少なくとも１つと接地電圧との間にそれぞれ接続され、対応する異なる並列共振周波数Ｆｐを有する複数の分路共振器であって、前記分路共振器は、前記異なる並列共振周波数Ｆｐの少なくとも１つが、前記フィルタデバイスの前記通過帯域の範囲外に生じるように構成されている、複数の分路共振器とを含む、フィルタデバイス。
【請求項１５】
前記直列共振器は、前記異なる直列共振周波数Ｆｓの少なくとも別の１つが、前記フィルタデバイスの前記通過帯域の範囲内に生じるように構成されている、請求項１４に記載のフィルタデバイス。
【請求項１６】
前記分路共振器は、前記異なる並列共振周波数Ｆｐの少なくとも別の１つが、前記フィルタデバイスの前記通過帯域の範囲内に生じるように構成されている、請求項１４に記載のフィルタデバイス。
【請求項１７】
前記直列共振器のそれぞれ、及び前記分路共振器のそれぞれが、バルク弾性波（ＢＡＷ）共振器からなる、請求項１４に記載のフィルタデバイス。
【請求項１８】
前記直列共振器のそれぞれ、及び前記分路共振器のそれぞれが、弾性表面波（ＳＡＷ）共振器からなる、請求項１４に記載のフィルタデバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
背景
はしご形フィルタのような、従来の音響共振器フィルタは、入力端子と出力端子との間に直列に接続された直列共振器、及び当該直列共振器の少なくとも１つと接地電圧との間にそれぞれ接続された分路（Shunt：シャント、並列）共振器から形成される。直列共振器および分路共振器のそれぞれは、対応する並列共振周波数Ｆｐ及び直列共振周波数Ｆｓを有する、薄膜バルク音響共振器（Thin Film Bulk Acoustic Resonator：ＦＢＡＲ）又はソリッドマウント共振器（Solidly Mounted Resonator：ＳＭＲ）、又は弾性表面波（Surface Acoustic Wave：ＳＡＷ）共振器のような、バルク弾性波（Bulk Acoustic Wave：ＢＡＷ）共振器とすることができる。
【０００２】
音響共振器フィルタは様々な応用形態に使用されることができ、特に無線ネットワークを介して通信するように構成された携帯電話、携帯情報端末（ＰＤＡ）、コンピュータゲーム装置、ラップトップ型コンピュータなどのような、ポータブル通信デバイスに使用され得る。ポータブル通信デバイスが、無線ネットワークを介してデータ及び制御信号を送受信するために共通アンテナに一般に接続された送信機および受信機（又はトランシーバ）を含む場合、音響共振器フィルタが、異なる周波数およびフィルタの帯域幅において送信信号および受信信号をそれぞれフィルタリングするためにデュプレクサ（送受共用器）に組み込まれ得る。
【０００３】
しかしながら、音響共振器フィルタのフィルタ帯域幅のレンジは一般に、電気機械結合係数Ｋｔ２の制限された範囲、制限された材料品質係数（Limited material quality factor）（Ｑ値、Ｑファクタ）、及び製造プロセスの制限（例えば、静電放電（ＥＳＤ）の問題）のような、様々な要因により制限される。従って、直流フィルタ特性を維持しながら、より高い結合係数Ｋｔ２、及び／又はより狭い音響フィルタ帯域幅のような改善されたフィルタ特性を備える音響フィルタ帯域幅が必要とされている。
【０００４】
例示的な実施形態は、添付図面共に読まれる場合に、以下の詳細な説明から最も良く理解される。様々な特徴要素が必ずしも一律の縮尺に従わずに描かれていることが強調される。実際には、寸法は、考察の明瞭化のために任意に増減され得る。適用可能および実用的であれば、同じ参照符号は同様の要素を指す。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
【図１】代表的な実施形態による、音響共振器を用いるフィルタデバイスを例示するブロック図である。
【図２Ａ】従来のフィルタにおける信号周波数の関数として直列共振器および分路共振器のインピーダンスを示す信号図である。
【図２Ｂ】従来のフィルタにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【図３Ａ】図２Ａ及び図２Ｂに示されたものよりも狭いフィルタ帯域幅を有する従来のフィルタにおける信号周波数の関数として直列共振器および分路共振器のインピーダンスを示す信号図である。
【図３Ｂ】図２Ａ及び図２Ｂに示されたものよりも狭いフィルタ帯域幅を有する従来のフィルタにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【図４Ａ】代表的な実施形態による、フィルタデバイスにおける信号周波数の関数として直列共振器および分路共振器のインピーダンスを示す信号図である。
【図４Ｂ】代表的な実施形態による、フィルタデバイスにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【図５Ａ】代表的な実施形態による、フィルタデバイスの通過帯域を狭くするための段階的な設計プロセスにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【図５Ｂ】代表的な実施形態による、フィルタデバイスの通過帯域を狭くするための段階的な設計プロセスにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【図５Ｃ】代表的な実施形態による、フィルタデバイスの通過帯域を狭くするための段階的な設計プロセスにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【図５Ｄ】代表的な実施形態による、フィルタデバイスの通過帯域を狭くするための段階的な設計プロセスにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【図５Ｅ】代表的な実施形態による、フィルタデバイスの通過帯域を狭くするための段階的な設計プロセスにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【図５Ｆ】代表的な実施形態による、フィルタデバイスの通過帯域を狭くするための段階的な設計プロセスにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【図５Ｇ】代表的な実施形態による、フィルタデバイスの通過帯域を狭くするための段階的な設計プロセスにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【図５Ｈ】代表的な実施形態による、フィルタデバイスの通過帯域を狭くするための段階的な設計プロセスにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【図５Ｉ】代表的な実施形態による、フィルタデバイスの通過帯域を狭くするための段階的な設計プロセスにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【図５Ｊ】代表的な実施形態による、フィルタデバイスの通過帯域を狭くするための段階的な設計プロセスにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【図５Ｋ】代表的な実施形態による、フィルタデバイスの通過帯域を狭くするための段階的な設計プロセスにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【０００６】
詳細な説明
以下の詳細な説明において、説明のために及び制限しないために、特定の細部を開示する代表的な実施形態が、本教示の完全な理解を提供するために記載される。しかしながら、本開示の利益を有する当業者には明らかなように、本明細書に開示された特定の細部から逸脱する、本教示に従った他の実施形態は、依然として添付の特許請求の範囲の範囲内にある。更に、よく知られた装置および方法の説明は、代表的な実施形態の説明を曖昧にしないように省略され得る。係る方法および装置は、明らかに本教示の範囲内にある。
【０００７】
一般に、理解されるべきは、図面および図面に示された様々な要素は、一律の縮尺に従って描かれていない。更に、「〜より上に」、「〜より下に」、「上部」、「底部」、「上側」及び「下側」などのような相対的な用語は、添付図面に示されたように様々な要素の相互の関係を説明するために使用され得る。理解されるべきは、これらの相対的な用語は、図面に示された向きに加えて、デバイス及び／又は要素の異なる向きを包含するることが意図されている。例えば、デバイスが図面の表示に対して反転された場合、例えば、別の要素の「上に」と説明された要素は、今度はその要素の「下に」あることになる。
【０００８】
様々な実施形態に従って、音響フィルタデバイスは、電気機械結合係数Ｋｔ２を維持しながらより狭いフィルタ帯域幅を実現する、及び／又はフィルタ帯域幅を維持しながらより高い電気機械結合係数Ｋｔ２を実現することができる（例えば、対応する従来の音響フィルタより２〜３倍高い）。例えば、従来のはしご形音響フィルタにおいて、音響フィルタの音響共振器の全て（例えば、直列および分路共振器）は、フィルタ帯域幅を形成および最大にするために必要とされる。比較すると、様々な実施形態に従って、フィルタデバイスの幾つかの音響共振器は通過帯域を形成するために使用されるが、フィルタデバイスの他の音響共振器は、通過帯域をカットする（ストップバンド又は阻止帯域を増加させる）ために使用される。
【０００９】
例えば、約２．３ＧＨｚにおいて１５ＭＨｚのフィルタ帯域幅（通過帯域）を有する従来の音響フィルタは、約１．５パーセントの電気機械結合係数Ｋｔ２を必要とする。この場合、フィルタの挿入損失は、音響共振器の不十分な品質係数（Ｑ値）のせいで悪化する。比較すると、同じ１５ＭＨｚの帯域幅を有する様々な実施形態による音響フィルタは、約３．０パーセント以上の電気機械結合係数Ｋｔ２を具体化することができる。従って、よりはるかに高いＱ値が維持され、結果としてフィルタの挿入損失が改善される。
【００１０】
代表的な実施形態において、通過帯域を介して信号をフィルタリングするためのフィルタデバイスは、入力端子と出力端子との間に直列に接続された複数の直列共振器、及び当該直列共振器の少なくとも１つと接地電圧との間にそれぞれ接続された複数の分路共振器を含む。直列共振器のそれぞれは、対応する並列共振周波数Ｆｐ及び直列共振周波数Ｆｓを有し、分路共振器のそれぞれは、対応する並列共振周波数Ｆｐ及び直列共振周波数Ｆｓを有する。直列共振器の少なくとも１つは、フィルタデバイスの通過帯域の範囲外にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有し、直列共振器の他の少なくとも１つは、通過帯域の範囲内にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有し、及び／又は分路共振器の少なくとも１つは、フィルタデバイスの通過帯域の範囲外にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有し、分路共振器の他の少なくとも１つは、通過帯域の範囲内にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有する。
【００１１】
別の代表的な実施形態において、通過帯域を介して信号をフィルタリングするためのフィルタデバイスは、入力端子と出力端子との間に直列に接続されたチップ上の複数の直列共振器、及び当該直列共振器の少なくとも１つと接地電圧との間にそれぞれ接続された同じチップ上の複数の分路共振器を含む。少なくとも１つの直列共振器は、帯域消去（バンドストップ）フィルタリングに寄与し、少なくとも１つの直列共振器はフィルタデバイスの帯域通過（バンドパス）フィルタリングに寄与する。少なくとも１つの分路共振器は、帯域消去フィルタリングに寄与し、少なくとも１つの分路共振器はフィルタデバイスの帯域通過フィルタリングに寄与する。
【００１２】
別の代表的な実施形態において、信号をフィルタリングするためのフィルタデバイスは、入力端子と出力端子との間に直列に接続された複数の直列共振器、及び当該直列共振器の少なくとも１つと接地電圧との間にそれぞれ接続された複数の分路共振器を含む。直列共振器は、対応する異なる直列共振周波数Ｆｓを有し、この場合、直列共振器は、異なる直列共振周波数Ｆｓの少なくとも１つがフィルタデバイスの通過帯域の範囲外に生じるように構成される。分路共振器は、対応する異なる並列共振周波数Ｆｐを有し、この場合、分路共振器は、異なる並列共振周波数Ｆｐの少なくとも１つがフィルタデバイスの通過帯域の範囲外に生じるように構成される。
【００１３】
図１は、代表的な実施形態による、音響共振器を用いるフィルタデバイスを例示するブロック図である。
【００１４】
図１を参照すると、フィルタデバイス１００は、入力端子１１０（インピーダンス１１５を有する）と出力端子１４０（インピーダンス１４５を有する）との間に直列に接続された、それぞれ第１の直列共振器１２１、第２の直列共振器１２２、第３の直列共振器１２３及び第４の直列共振器１２４により示された複数の直列共振器を含む。第１から第４の直列共振器１２１〜１２４のそれぞれは、並列共振周波数Ｆｐ及び直列共振周波数Ｆｓを含む対応する共振周波数を有する。一般に、第１から第４の直列共振器１２１〜１２４の並列共振周波数Ｆｐは、通過帯域の高い周波数側に伝送ゼロ点（transmission-zeros）を形成する。
【００１５】
第１から第４の直列共振器１２１〜１２４は、例えば、薄膜バルク音響共振器（ＦＢＡＲ）又はソリッドマウント共振器（ＳＭＲ）又は弾性表面波（ＳＡＷ）共振器のような、バルク弾性波（ＢＡＷ）共振器とすることができる。各ＢＡＷ共振器は、上側電極と下側電極との間のスタック構造に形成された薄膜圧電層を含むことができる。圧電層は、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、又はチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などのような材料から形成され得る。一実施形態において、ＢＡＷ共振器は、圧電材料の共通層を用いて製造され得る。上側電極および下側電極は、モリブデン、タングステン、又はアルミニウムなどのような、任意の適合した導電性金属から形成され得る。
【００１６】
フィルタデバイス１００は、第１から第４の直列共振器１２１〜１２４の少なくとも１つと接地電圧との間に接続された、それぞれ第１の分路共振器１３１、第２の分路共振器１３２、第３の分路共振器１３３及び第４の分路共振器１３４により示された複数の分路共振器を更に含む。例えば、図示された例示的な構成において、第１の分路共振器１３１は、第１と第２の直列共振器１２１と１２２を接続するノードと接地電圧との間に接続され、第２の分路共振器１３２は、第２と第３の直列共振器１２２と１２３を接続するノードと接地電圧との間に接続され、第３の分路共振器１３３は、第３と第４の直列共振器１２３と１２４を接続するノードと接地電圧との間に接続され、第４の分路共振器１３４は、第４の直列共振器１２４と出力端子１４０を接続するノードと接地電圧との間に接続される。第１から第４の分路共振器１３１〜１３４のそれぞれは、並列共振周波数Ｆｐ及び直列共振周波数Ｆｓを含む対応する共振周波数を有する。同様に、第１から第４の分路共振器１３１〜１３４は、例えばＢＡＷ共振器またはＳＡＷ共振器とすることができる。一般に、第１から第４の分路共振器１３１〜１３４の直列共振周波数Ｆｓは、通過帯域の低い周波数側に伝送ゼロ点を形成する。
【００１７】
様々な実施形態において、例えば、フィルタデバイス１００がアンテナを介して受信されたダウンリンク無線通信信号を帯域通過フィルタリングするための受信機フィルタとして構成される場合、入力端子１１０は、アンテナ（図示せず）に接続されることができ、出力端子１４０は受信機（図示せず）に接続されることができる。代案として、フィルタデバイス１００が送信機から送信されるアップリンク無線通信信号を帯域通過フィルタリングするための送信機フィルタとして構成されるように、入力端子１１０は、送信機（図示せず）に接続されることができ、出力端子１４０はアンテナに接続されることができる。無線通信信号は、例えば様々な通信標準に準拠する無線周波数（ＲＦ）信号とすることができる。また、様々な実施形態において、フィルタデバイス１００は、アンテナ及び送信機を有するデュプレクサに含められることができ、この場合、上述したように一方のフィルタデバイス１００は受信機フィルタとして構成され、別のフィルタデバイス１００は送信機フィルタとして構成される。係るデュプレクサは、携帯電話、ＰＤＡ、コンピュータゲーム装置、ラップトップ型コンピュータなどのような、任意のタイプのポータブル通信デバイスへ組み込まれ得る。
【００１８】
一般に、ＢＡＷ共振器およびＳＡＷ共振器は、電気機械（Ｅ−Ｍ）結合共振器であり、それは３つの独立した設計パラメータ、即ち静電コンデンサのインピーダンス（Ｚｓ）、電気機械結合により生じた直列共振周波数Ｆｓおよび並列共振周波数Ｆｐを有する。実際問題として、並列共振周波数Ｆｐは、直列共振周波数Ｆｓに依存するようになり、その理由は、フィルタデバイス１００のようなフィルタ（同じウェハー上に製造された）の全ての電気機械結合共振器が、式（１）により提供されるように、同じ電気機械結合係数Ｋｔ２を実質的に共有するからである。
Ｋｔ２≒４．８×（Ｆｐ−Ｆｓ）／（Ｆｐ＋Ｆｓ）        （１）。
【００１９】
直列共振周波数Ｆｓは、並列共振周波数Ｆｐが直列共振周波数Ｆｓに依存するようになる場合に、独立したパラメータとして定義され得る。従って、３つの設計パラメータの中からインピーダンスＺｓ及び直列共振周波数Ｆｓのみが、各電気機械共振器を設計するのに利用できる。即ち、フィルタデバイス１００を形成するあらゆる電気機械結合共振器（例えば、第１から第４の直列共振器１２１〜１２４及び第１から第４の分路共振器１３１〜１３４）のインピーダンスＺｓ及び直列共振周波数Ｆｓは、フィルタデバイス１００に含まれるコンデンサ及び／又はインダクタ（図示せず）のような他の受動素子と共に調整されることができ、その結果、フィルタデバイス１００は所望の帯域幅および阻止形状を有する。代替の実施形態において、並列共振周波数Ｆｐは、本教示の範囲から逸脱せずに、独立したパラメータとして定義され得る。
【００２０】
様々な実施形態に従って、第１から第４の直列共振器１２１〜１２４の少なくとも１つは、フィルタデバイス１００の通過帯域の範囲外にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有し、第１から第４の直列共振器１２１〜１２４の他の少なくとも１つは、フィルタデバイス１００の通過帯域の範囲内にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有する。また、第１から第４の分路共振器１３１〜１３４の少なくとも１つは、フィルタデバイス１００の通過帯域の範囲外にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有し、第１から第４の分路共振器１３１〜１３４の他の少なくとも１つは、フィルタデバイス１００の通過帯域の範囲内にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有する。
【００２１】
一般に、通過帯域の範囲内にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有する第１から第４の直列共振器１２１〜１２４の何れかは、従来の帯域通過フィルタと同様に帯域通過フィルタリングに寄与し、通過帯域の範囲外にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有する第１から第４の直列共振器１２１〜１２４の何れかは、帯域消去フィルタリングの機能に寄与することができる。同様に、通過帯域の範囲内にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有する第１から第４の分路共振器１３１〜１３４の何れかは、従来の帯域通過フィルタと同様に帯域通過フィルタリングに寄与し、通過帯域の範囲外にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有する第１から第４の分路共振器１３１〜１３４の何れかは、帯域消去フィルタリングの機能に寄与することができる。また、一般に、フィルタデバイス（例えば、フィルタデバイス１００）における直列共振器の全て（例えば、直列共振器１２１〜１２４）及び分路共振器の全て（例えば、分路共振器１３１〜１３４）は共同して動作し、フィルタデバイスの信号伝達機能の極（ポール）とゼロ点を形成し、この場合、極は、通過帯域に対応し、ゼロ点はフィルタデバイスの阻止帯域に対応する。従って、フィルタデバイスにおいて通過帯域の範囲外にある直列共振周波数Ｆｓを有する直列共振器のみ、及び通過帯域の範囲外にある並列共振周波数Ｆｐを有する分路共振器のみが、帯域消去フィルタリングの機能に寄与することを厳密に規定することはできない。また、フィルタデバイスにおける他の直列および分路共振器は、有効にフィルタの帯域幅を遮断（カットオフ）することにも寄与する。しかしながら、通過帯域の範囲外にある直列共振周波数Ｆｓを有する直列共振器および通過帯域の範囲外にある並列共振周波数Ｆｐを有する分路共振器は、フィルタの帯域幅を低減するために主要な役割を果たす。
【００２２】
従って、フィルタデバイス１００の通過帯域は、比較的高い電気機械結合係数Ｋｔ２（例えば、従来のフィルタデバイスにおいて、よりはるかに広い通過帯域に対応する）を維持しながら、狭くされ得る。例えば、様々な実施形態に従って、フィルタデバイス１００の通過帯域は、フィルタデバイス１００の共振器の並列共振周波数Ｆｐと直列共振周波数Ｆｓとの間の差と０．４の積（即ち、０．４×（Ｆｐ−Ｆｓ））によりおおよそ求められる狭い帯域幅を有することができる（例示のために、全ての並列共振器と直列共振器との間の差（Ｆｐ−Ｆｓ）が同じであると仮定するが、並列共振周波数Ｆｐ及び直列共振周波数Ｆｓ自体は異なり、分解能帯域幅（Resolution Band widths：ＲＢＷｓ）が同じであると仮定する）。
【００２３】
図２Ａ及び図２Ｂは、従来のフィルタデバイスにおける電気機械結合共振器のパラメータを示す信号図である。特に、図２Ａは信号周波数の関数として直列共振器および分路共振器のインピーダンスＺを示し、図２Ｂは信号周波数の関数としてフィルタデバイスのＳ応答を示す。例示のために、図２Ａ及び図２Ｂに示されるように、従来のフィルタデバイスは、約３０ＭＨｚ（約２２９５ＭＨｚから約２３２５ＭＨｚ）の典型的な通過帯域２１０を有し、直列共振器および分路共振器のそれぞれは、約３．０パーセントの電気機械結合係数Ｋｔ２を有する。
【００２４】
図２Ａを参照すると、電気機械直列共振器のそれぞれは、通過帯域２１０の範囲内にある直列共振周波数Ｆｓ（楕円２２１により示される）、及び通過帯域２１０の範囲外にある並列共振周波数Ｆｐ（楕円２２２により示される）を有するように設計される。即ち、直列共振周波数Ｆｓにおける比較的低いインピーダンスＺにより、信号が、通過帯域２１０の範囲内でフィルタデバイスを通過することを可能にするが、並列共振周波数Ｆｐにおける比較的高いインピーダンスＺにより、信号が通過帯域の範囲外でフィルタデバイスを通過することが有効に阻止され、それにより通過帯域２１０の高い周波数側が遮断（カットオフ）される（上側ストップバンドにおいて）。一方、電気機械分路共振器のそれぞれは、通過帯域２１０の範囲内にある並列共振周波数Ｆｐ（楕円２３１により示される）、及び通過帯域２１０の範囲外にある直列共振周波数Ｆｓ（楕円２３２により示される）を有するように設計される。即ち、並列共振周波数Ｆｐにおける比較的高いインピーダンスＺにより、信号が、接地へ進まないようにされ、ひいては通過帯域２１０の範囲内でフィルタデバイスを通過するが、直列共振周波数Ｆｓにおける比較的低いインピーダンスＺが、信号を有効に接地し、ひいては信号が通過帯域の範囲外でフィルタデバイスを通過することが阻止され、それにより通過帯域２１０の低い周波数側が遮断（カットオフ）される（下側ストップバンドにおいて）。
【００２５】
図２Ｂを参照すると、トレース２５１は従来のフィルタデバイスのＳパラメータＳ２１（挿入損失）を示す。通過帯域２１０（点線）は、図２Ａの通過帯域２１０に対応する。フィルタの挿入損失は、信号がフィルタデバイスを介して伝達されることが阻止される通過帯域２１０の範囲外で、より低く維持される。
【００２６】
図３Ａ及び図３Ｂは、図２Ａ及び図２Ｂにより示されたフィルタ帯域幅よりも狭いフィルタ帯域幅が必要とされる場合の従来のフィルタデバイスにおける電気機械結合共振器のパラメータを示す信号図である。特に、図３Ａは、信号周波数の関数として直列共振器および分路共振器のインピーダンスＺを示し、図３Ｂは信号周波数の関数としてフィルタデバイスのＳパラメータのＳ２１応答を示す。例示のために、図３Ａ及び図３Ｂに示されるように、従来のフィルタデバイスは、約１５ＭＨｚ（約２３０２．５ＭＨｚから約２３１７．５ＭＨｚまで）の典型的な通過帯域３１０を有し、直列共振器および分路共振器のそれぞれは、約１．５パーセントの電気機械結合係数Ｋｔ２を有する。この手法は、従来の技術を用いて、より狭いフィルタ帯域幅を提供する。しかしながら、上述されたように、結果としてのフィルタの性能は悪化し、及び／又は望ましくないプロセスの問題が生じる可能性がある。
【００２７】
図３Ａを参照すると、電気機械直列共振器のそれぞれは、より狭い通過帯域３１０の範囲内にある直列共振周波数Ｆｓ（楕円３２１により示される）、及び通過帯域３１０の範囲外にある並列共振周波数Ｆｐ（楕円３２２により示される）を有するように設計される。一方、電気機械分路共振器のそれぞれは、より狭い通過帯域３１０の範囲内にある並列共振周波数Ｆｐ（楕円３３１により示される）、及び通過帯域３１０の範囲外にある直列共振周波数Ｆｓ（楕円３３２により示される）を有するように設計される。図３Ｂを参照すると、トレース３５１は従来のフィルタデバイスのＳパラメータＳ２１を示す。通過帯域３１０（点線）は、図３Ａの通過帯域３１０に対応する。フィルタの挿入損失は、信号がフィルタデバイスを介して伝達されることが阻止される通過帯域３１０の範囲外で、より低く維持される。
【００２８】
係る従来のフィルタデバイスとは対照的に、様々な実施形態に従って、図１に示された第１から第４の直列共振器１２１〜１２４の少なくとも１つは、フィルタデバイス１００の通過帯域の範囲外にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有するように構成され、第１から第４の直列共振器１２１〜１２４の他の少なくとも１つは、フィルタデバイス１００の通過帯域の範囲内にある対応する直列共振周波数Ｆｓを有するように構成される。同様に、第１から第４の分路共振器１３１〜１３４の少なくとも１つは、フィルタデバイス１００の通過帯域の範囲外にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有するように構成され、第１から第４の分路共振器１３１〜１３４の他の少なくとも１つは、フィルタデバイス１００の通過帯域の範囲内にある対応する並列共振周波数Ｆｐを有するように構成される。一般に、第１から第４の直列共振器１２１〜１２４の並列共振周波数、及び第１から第４の分路共振器１３１〜１３４の直列共振周波数Ｆｓは、通過帯域の範囲外に留まる。
【００２９】
図４Ａ及び図４Ｂは、代表的な実施形態による、フィルタデバイスにおける電気機械結合共振器のパラメータを示す信号図である。特に、図４Ａは、信号周波数の関数として直列共振器および分路共振器（例えば、第１から第４の直列共振器１２１〜１２４及び第１から第４の分路共振器１３１〜１３４）のインピーダンスＺを示し、図４Ｂは、信号周波数の関数としてフィルタデバイス（例えば、フィルタデバイス１００）のＳパラメータのＳ２１応答を示す。例示のために、図４Ａ及び図４Ｂに示されるように、フィルタデバイスは、約１５ＭＨｚ（約２３０２．５ＭＨｚから約２３１７．５ＭＨｚまで）の典型的な通過帯域３１０を有する。注目すべきは、やはり、第１から第４の直列共振器１２１〜１２４及び第１から第４の分路共振器１３１〜１３４のそれぞれの電気機械結合係数Ｋｔ２は、ほぼ２倍である。例えば、図示された実施形態において、電気機械結合係数Ｋｔ２は、同じサイズの通過帯域３１０及び４１０に関して、（図３Ａ及び図３Ｂに示された従来のフィルタデバイスの）約１．５パーセントから約３．０パーセントに増大する。代案として、電気機械結合係数Ｋｔ２が一定に保持される場合、例えばフィルタデバイス１００の通過帯域４１０は、通過帯域２１０から約半分だけ減少する。
【００３０】
図４Ａを参照すると、第１から第４の直列共振器１２１〜１２４は、対応する直列共振周波数Ｆｓ（楕円４２１により示される）の１つだけが通過帯域４１０の範囲内にあり、他の直列共振周波数Ｆｓ及び並列共振周波数Ｆｐ（楕円４２２により示される）の全てが通過帯域４１０の範囲外にあるように構成される。通過帯域４１０の範囲外にある直列共振周波数Ｆｓは、通過帯域４１０の高い周波数側を有効に遮断（カットオフ）することに寄与する（上側ストップバンドにおいて）。同様に、第１から第４の分路共振器１３１〜１３４は、対応する並列共振周波数Ｆｐ（楕円４３１により示される）の２つだけが通過帯域４１０の範囲内にあり、他の並列共振周波数Ｆｐ及び直列共振周波数Ｆｓ（楕円４３２により示される）の全てが通過帯域４１０の範囲外にあるように構成される。通過帯域４１０の範囲外にある並列共振周波数Ｆｐは、通過帯域４１０の低い周波数側を有効に遮断（カットオフ）することに寄与する（下側ストップバンドにおいて）。当然のことながら、通過帯域４１０内に位置する第１から第４の直列共振器１２１〜１２４の直列共振周波数Ｆｓの数および第１から第４の分路共振器１３１〜１３４の並列共振周波数Ｆｐの数は、本教示の範囲から逸脱せずに、任意の特定の状況に固有の利益をもたらす又は様々な具現化形態の適用する特定の設計要件を満たすために、変化することができる。
【００３１】
図４Ｂを参照すると、トレース４５１はフィルタデバイスのＳパラメータＳ２１を示す。トレース４５１は、図３Ｂに示されたトレース３５１よりも急峻でないロールオフを示し、これは代表的な実施形態によるフィルタデバイスが、効率が悪くて帯域外干渉に一層影響されやすい可能性があることを意味する。しかしながら、これは、同じサイズの通過帯域３１０及び４１０に関して、従来のフィルタデバイスを越えた電気機械結合係数Ｋｔ２の大幅増加（約１．５パーセントから約３．０パーセントへ）を考慮すれば、軽微なトレードオフと考えられる。
【００３２】
代表的な実施形態に従って音響フィルタデバイスを設計するために、音響フィルタデバイスのパラメータは、目標結果を達成するために徐々（漸進的）に変更される。例えば、電気機械結合係数Ｋｔ２に影響を及ぼすことなく、フィルタ帯域幅（ＦＢＷ）を低減するために、電気機械結合係数Ｋｔ２は維持されることができるが、ＦＢＷは一連のステップにおいて徐々に狭くされる。設計プロセスの各ステップにおいて、音響フィルタデバイスの電気機械結合共振器（即ち、直列共振器および分路共振器）の共振器帯域幅（ＲＢＷ）は、同じ状態のままである。
【００３３】
例えば、より狭い目標フィルタ帯域幅（ＴＦＢＷ）を達成するために、電気機械結合係数Ｋｔ２を維持しながら、音響フィルタデバイスに含まれる直列共振器および分路共振器は、音響フィルタの最初のＦＢＷと実質的に同じである対応するＲＢＷを有するように選択される。更に、電気機械結合係数Ｋｔ２は固定された状態のままであるが、音響共振器のそれぞれのインピーダンスＺｓ及び直列共振周波数Ｆｓは、必要に応じて段階的方法で最適化のために変動することができる自由パラメータである。一般に、従来のフィルタ設計の手法において、音響共振器の共振器帯域幅は、並列共振周波数Ｆｐと直列共振周波数Ｆｓとの間の差にほぼ等しい（即ち、ＲＢＷ＝Ｆｐ−Ｆｓ）。例えば、音響共振器の共振器帯域幅と音響フィルタデバイスのフィルタ帯域幅の典型的な比率は、約０．９５から約１．０５である（即ち、０．９５＜（ＲＢＷ／ＦＢＷ）＜１．０５）。従って、音響フィルタデバイスにおける音響共振器の共振器帯域幅は、利用可能なＦＢＷのレンジ（範囲）を制限する。また、音響共振器の圧電材料の特性、製造プロセスの制限、及び音響共振器の性能低下のような様々な要因が、ＲＢＷのレンジに制約を加える。電気機械結合係数Ｋｔ２がより小さくなる場合に、音響共振器のＱ値は一般に減少し、結果として音響フィルタデバイスの性能を低下させる。
【００３４】
図５Ａ〜図５Ｋは、代表的な実施形態に従って、電気機械結合係数Ｋｔ２を維持しながら、フィルタデバイスの通過帯域を狭くするための段階的な設計プロセスにおける信号周波数の関数としてＳパラメータのＳ２１応答を示す信号図である。
【００３５】
本例において、音響フィルタデバイスのＴＦＢＷは、音響フィルタを形成する各音響共振器の所与のＲＢＷよりも最終的に狭い。フィルタデバイスはそのＦＢＷを縮小するが、ＲＢＷは一定の状態を維持し、１つ又は複数の直列共振器の直列共振周波数Ｆｓはより低い周波数へ移行し、それにより対応する並列共振周波数Ｆｐもより低い周波数へ移行し、従って、通過帯域の高い周波数側の一部が遮断される。同様に、１つ又は複数の分路共振器の直列共振周波数Ｆｓはより高い周波数へ移行し、それにより対応する並列共振周波数Ｆｐもより高い周波数へ移行し、従って、通過帯域の低い周波数側の一部が遮断される。また、当業者には明らかなように、１つ又は複数の残りの直列および分路共振器の直列共振周波数Ｆｓ及びインピーダンスＺｓも、当該変化を補償するために及び音響フィルタの良好な性能を維持するために調整され得る。
【００３６】
例示のために、音響フィルタデバイスのＴＦＢＷが、図５Ｋ（最終のステップ）に示されるように１５ＭＨｚであり、音響フィルタデバイスの各音響共振器の所与のＲＢＷが３０ＭＨｚであると仮定され得る。３０ＭＨｚのＲＢＷは、図５Ａ（最初のステップ）に示されるように、３０ＭＨｚのＦＢＷに関して、従来の音響フィルタデバイスに適切な値である。従って、例えば従来の設計手法に従って、３０ＭＨｚのＦＢＷ５１０Ａを有する音響フィルタデバイスが、図５Ａに示されるように最初に設計され、その性能は当業者には明らかである。従来の設計手法に従って、例えば図２Ａに示されるように、各分路共振器の並列共振周波数Ｆｐ及び各直列共振器の直列共振周波数Ｆｓは、音響フィルタデバイスの通過帯域の範囲内にある。
【００３７】
次いで、最初の３０ＭＨｚのＦＢＷ５１０Ａは、式（２）に従って、一連のステップにおいて１５ＭＨｚ（ＦＢＷ５１０Ｋ又は第１０の調整されたフィルタ帯域幅５１０Ｋ）のＴＦＢＷへと低い方へ漸進的に調整され、ここで、Ｎは調整プロセスの漸進的ステップの総数であり、ｎは現在の漸進的ステップの番号である。即ち、
ＦＢＷｎ＝ＦＢＷ−（ＦＢＷ−ＴＦＢＷ）×ｎ／Ｎ        （２）。
【００３８】
即ち、音響フィルタデバイスは、ｎの各値について式（２）により求められるように、対応する調整されたＦＢＷをそれぞれ提供するためにＮ回再設計される。Ｎ番目の再設計は、ＴＢＷを有する音響フィルタデバイスという結果になる。各音響共振器の３０ＭＨｚのＲＢＷは、再設計ステップの全体にわたって実質的に同じ状態のままである。
【００３９】
従って、図５Ｂに示されるように本例を続けると、音響フィルタデバイスのＦＢＷは、ｎ＝１に関して、３０ＭＨｚ−（３０ＭＨｚ−１５ＭＨｚ）×１／１０に設定され、それは、２８．５ＭＨｚの第１の調整されたフィルタ帯域幅（ＦＢＷ１）５１０Ｂという結果になる。次いで、３０ＭＨｚのフィルタ帯域幅に関して最初に設計された音響フィルタデバイスは例えば、最適化プロセスの開始点として最初の設計を用いて、２８．５ＭＨｚの第１の調整されたフィルタ帯域幅５１０Ｂに関して、利用可能な設計パラメータを最適化するために再設計される。最適化プロセス中、少なくとも１つの音響共振器に対応する共振周波数は、他の音響共振器よりも大きくレンジを変更することができる。従って、並列共振周波数Ｆｐ（少なくとも１つの音響共振器が分路共振器である場合）、又は直列共振周波数Ｆｓ（少なくとも１つの音響共振器が直列共振器である場合）は、通過帯域の帯域中心から外へ移行し、それにより通過帯域がカットされて音響フィルタデバイスの周波数帯域幅が（２８．５ＭＨｚへ）低減される。例えば、共振周波数が変更することができるかもしれないレンジは、少なくとも約±２．５ＭＨｚである。
【００４０】
次に、ｎ＝２に関して図５Ｃを参照すると、音響フィルタの第２の調整されたフィルタ帯域幅（ＦＢＷ２）５１０Ｃは、３０ＭＨｚ−（３０ＭＨｚ−１５ＭＨｚ）×２／１０に設定され、それは、２７．０ＭＨｚである。次いで、２８．５ＭＨｚの第１の調整されたフィルタ帯域幅５１０Ｂに関して設計された音響フィルタデバイスは例えば、最適化プロセスの開始点として２８．５ＭＨｚの第１の調整されたフィルタ帯域幅を用いて、２７．０ＭＨｚの第２の調整されたフィルタ帯域幅５１０Ｃに関して、利用可能な設計パラメータを最適化するために再設計される。１つ又は複数の音響共振器の共振周波数が通過帯域の帯域中心から外へ（及び／又は通過帯域の範囲外に）更に移行し始める場合、それはそのようにすることを可能にする。共振周波数が変更できるレンジは、拡大される必要があるかもしれない。更に、もっと多くの音響共振器の共振周波数が、良好なフィルタ性能を維持するために帯域中心から外へ移行されることを可能にする必要があるかもしれない。一般に、フィルタ帯域幅が徐々に狭くなるにつれて、もっと多くの音響共振器の共振周波数が、通過帯域の帯域中心から外へ（及び／又は更に外へ）移行する必要がある。
【００４１】
次に、ｎ＝３に関して図５Ｄを参照すると、音響フィルタの第３の調整されたフィルタ帯域幅（ＦＢＷ３）５１０Ｄは、３０ＭＨｚ−（３０ＭＨｚ−１５ＭＨｚ）×３／１０に設定され、それは、２５．５ＭＨｚである。次いで、２７．０ＭＨｚの第２の調整されたフィルタ帯域幅５１０Ｃに関して設計された音響フィルタデバイスは例えば、最適化プロセスの開始点として２７．０ＭＨｚの第２の調整されたフィルタ帯域幅を用いて、２５．５ＭＨｚの第３の調整されたフィルタ帯域幅５１０Ｄに関して、利用可能な設計パラメータを最適化するために再設計される。やはり、音響共振器の何れかの共振周波数が通過帯域の帯域中心から更に外へ（及び／又は通過帯域の範囲外に）更に移行し始める場合、それはそのようにすることを可能にする。共振周波数が変更できるレンジは、拡大される必要があるかもしれない。更に、もっと多くの音響共振器の共振周波数が、良好なフィルタ性能を維持するために帯域中心から外へ移行されることを可能にする必要があるかもしれない。
【００４２】
このプロセスは、図５Ｅから図５Ｋに示されるように、あと７回繰り返され（全部で１０回）、この場合、第４の調整されたフィルタ帯域幅５１０Ｅ、第５の調整されたフィルタ帯域幅５１０Ｆ、第６の調整されたフィルタ帯域幅５１０Ｇ、第７の調整されたフィルタ帯域幅５１０Ｈ、第８の調整されたフィルタ帯域幅５１０Ｉ、第９の調整されたフィルタ帯域幅５１０Ｊ、及び第１０の調整されたフィルタ帯域幅５１０Ｋはそれぞれ、上述されたように、直前に調整されたフィルタ帯域幅を対応する最適化プロセスの開始点として用いて、漸進的に得られる。最後に、音響フィルタの第１０の調整されたフィルタ帯域幅（ＦＢＷ１０）５１０Ｋが得られ、それは１５ＭＨｚのＴＦＢＷと同じである。当然のことながら、総合設計プロセスのステップ数（Ｎ）は、本教示の範囲から逸脱せずに、任意の特定の状況に固有の利益をもたらす又は様々な具現化形態の適用する特定の設計要件を満たすために、１０より多い又は１０未満とすることができる。従って、結果としての音響フィルタデバイス（例えば、音響フィルタデバイス１００）は、比較的狭い通過帯域を有し、電気機械結合係数Ｋｔ２が維持されており、且つそれ故に通過帯域の狭さに比べて比較的高い。
【００４３】
上述したように、設計プロセスを複数のステップに分割することにより、各ステップにおいて実行された最適化プロセスが解を失う可能性が大幅に低減される。また、設計プロセス中に各共振器の共振周波数を維持することは、フィルタデバイスのより良い性能を達成する。例えば、１５ＭＨｚの目標フィルタ帯域幅が、上述した適切に制御された１０個のステッププロセスではなくて、全ての音響共振器が広いレンジにわたって共振周波数の値を変更できるという条件で、３０ＭＨｚのフィルタ帯域幅設計から開始して、１つのステップにおいて設計された場合には、最適化は決して収束せず、解が得られない可能性が非常に高い。
【００４４】
更に、様々な実施形態に従って、フィルタデバイスは、単一のチップ上に集積化され得る。即ち、フィルタデバイスは、入力端子と出力端子との間に直列に接続された、チップ上の複数の直列共振器（例えば、第１から第４の直列共振器１２１〜１２４）、及び当該直列共振器の少なくとも１つと接地電圧との間にそれぞれ接続された、同じチップ上の複数の分路共振器（例えば、第１から第４の分路共振器１３１〜１３４）を含む。上述されたように、直列共振器の少なくとも１つは帯域消去（バンドストップ）フィルタリングに寄与し、少なくとも別の１つの直列共振器はフィルタデバイスの帯域通過（バンドパス）フィルタリングに寄与する。同様に、少なくとも１つの分路共振器は、帯域消去フィルタリングに寄与し、少なくとも別の１つの分路共振器はフィルタデバイスの帯域通過フィルタリングに寄与する。
【００４５】
様々な構成要素、材料、構造およびパラメータは、何らかの制限の意味ではなく、単なる例証および例示のために含められている。本開示に鑑みて、当業者は、依然として添付の特許請求の範囲の範囲内にありながら、当業者自身の応用形態、及びこれら応用形態を実施するために必要とされる構成要素、材料、構造および機器を決定する際に本教示を実施することができる。
【図１】
2015139217.tif 000003
【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
2015139217.tif 000009
【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
2015139217.tif 000011
【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
2015139217.tif 000013
【図５Ｅ】
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【図５Ｆ】
2015139217.tif 000015
【図５Ｇ】
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【図５Ｈ】
2015139217.tif 000017
【図５Ｉ】
2015139217.tif 000018
【図５Ｊ】
2015139217.tif 000019
【図５Ｋ】
2015139217.tif 000020
【外国語明細書】
2015139217000001.pdf