(57)【要約】【課題】ガラス基板が積層されたガラス基板積層体から、ガラス基板を確実に一枚ずつ分離することが可能なガラス基板分離装置を提供すること。【解決手段】中心孔を有する円盤状のガラス基板が積層されたガラス基板積層体を、前記ガラス基板の表面と液面とが略平行になる様に液中に載置する液槽と、前記ガラス基板積層体を前記液面に向かって鉛直方向に昇降し、前記ガラス基板積層体の最上層のガラス基板を前記液中から前記液面の上に搬送する搬送手段と、前記液中で前記ガラス基板積層体を固定する固定手段と、前記最上層のガラス基板と、前記最上層のガラス基板の直下のガラス基板との間に流体を噴射する噴射手段と、前記最上層のガラス基板に吸着する吸着部及び前記最上層のガラス基板に吸着して収縮する伸縮吸着部を備え、前記最上層のガラス基板を前記ガラス基板積層体から分離する吸着分離手段とを有するガラス基板分離装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心孔を有する円盤状のガラス基板が積層されたガラス基板積層体を、前記ガラス基板の表面と液面とが略平行になる様に液中に載置する液槽と、
前記ガラス基板積層体を前記液面に向かって鉛直方向に昇降し、前記ガラス基板積層体の最上層のガラス基板を前記液中から前記液面の上に搬送する搬送手段と、
前記液中で前記ガラス基板積層体を固定する固定手段と、
前記最上層のガラス基板と、前記最上層のガラス基板の直下のガラス基板との間に流体を噴射する噴射手段と、
前記最上層のガラス基板に吸着する吸着部及び前記最上層のガラス基板に吸着して収縮する伸縮吸着部を備え、前記最上層のガラス基板を前記ガラス基板積層体から分離する吸着分離手段とを有する
ことを特徴とするガラス基板分離装置。
【請求項２】
前記吸着部は、減圧されることで前記最上層のガラス基板に吸着するパッドを有し、
前記伸縮吸着部は、減圧されることで前記最上層のガラス基板に吸着して収縮する蛇腹形状パッドを有する
ことを特徴とする請求項１に記載のガラス基板分離装置。
【請求項３】
前記ガラス基板積層体の最上層のガラス基板の直下のガラス基板が前記液中に存在するように、前記液面の高さを制御する液面制御機構を有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス基板分離装置。
【請求項４】
前記噴射手段は、前記ガラス基板の周方向において、前記伸縮吸着部が設けられる範囲内に前記流体を噴射する
ことを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のガラス基板分離装置。
【請求項５】
前記噴射手段は、前記流体として空気を噴射する
ことを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載のガラス基板分離装置。
【請求項６】
前記吸着分離手段により前記ガラス基板積層体から分離されたガラス基板を収納容器に収納するガラス基板収納手段を有する
ことを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載のガラス基板分離装置。
【請求項７】
前記吸着部は、直径が前記中心孔の半径と前記ガラス基板の半径との差の４０％以上９５％以下の円形状パッドを有する
ことを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載のガラス基板分離装置。
【請求項８】
前記吸着部は、前記円形状パッドの中心が前記ガラス基板の中心からの距離が前記ガラス基板の半径の４５％以上６５％以下となる位置に設けられている
ことを特徴とする請求項７に記載のガラス基板分離装置。
【請求項９】
中心孔を有する円盤状のガラス基板が積層されたガラス基板積層体を、前記ガラス基板の表面と液面とが略平行になる様に液中に載置する載置工程と、
前記ガラス基板積層体を前記液面に向かって鉛直方向に昇降し、前記ガラス基板積層体の最上層のガラス基板を前記液中から前記液面の上に搬送する搬送工程と、
前記液中で前記ガラス基板積層体を固定する固定工程と、
前記最上層のガラス基板と、前記最上層のガラス基板の直下のガラス基板との間に流体を噴射する噴射工程と、
前記最上層のガラス基板に吸着する吸着部及び前記最上層のガラス基板に吸着して収縮する伸縮吸着部により、前記最上層のガラス基板を前記ガラス基板積層体から分離する吸着分離工程とを有する
ことを特徴とするガラス基板分離方法。
【請求項１０】
請求項９に記載のガラス基板分離方法を用いて、前記ガラス基板積層体からガラス基板を分離するガラス基板分離工程を有する
ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板分離装置、ガラス基板分離方法及びガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブ等の磁気記録媒体用基板として、平坦性や平滑性に優れるガラス基板が広く用いられている。磁気記録媒体用基板として用いられるガラス基板は、例えば円盤形状のガラス板が面取りされた後に端面及び表面が研磨され、化学強化処理等が施されることで製造される。
【０００３】
ここで、ガラス基板の端面の研磨は、ガラス基板を一枚ずつ研磨すると生産性が低下するため、例えば複数のガラス基板を積層させ、ガラス基板の積層体として一括して行うことが好ましい。この様に積層体の状態でガラス基板を研磨する方法では、研磨後に次工程を行うためにガラス基板を積層体から一枚ずつ分離する必要がある。
【０００４】
そこで、水槽に浸漬された積層体の最上部のガラス基板を、分離手段によって傷を付けることなく容易に積層体から分離する方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−４８６８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ガラス基板の積層体は、ガラス基板間に介在する水による影響や、圧接されることで、ガラス基板同士が強固に吸着して張り付く場合がある。この様な場合には、上記した方法により積層体の最上部のガラス基板を一枚ずつ分離しようとしても、最上部のガラス基板に吸着するその下のガラス基板を含む複数のガラス基板を同時に積層体から分離してしまう可能性がある。複数のガラス基板がスペーサを介して積層された積層体であっても、同様にガラス基板とスペーサとが強固に吸着し、ガラス基板をスペーサから分離するのが難しい場合がある。
【０００７】
本発明は上記に鑑みてなされたものであって、ガラス基板が積層されたガラス基板積層体から、ガラス基板を確実に一枚ずつ分離することが可能なガラス基板分離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様によれば、中心孔を有する円盤状のガラス基板が積層されたガラス基板積層体を、前記ガラス基板の表面と液面とが略平行になる様に液中に載置する液槽と、前記ガラス基板積層体を前記液面に向かって鉛直方向に昇降し、前記ガラス基板積層体の最上層のガラス基板を前記液中から前記液面の上に搬送する搬送手段と、前記液中で前記ガラス基板積層体を固定する固定手段と、前記最上層のガラス基板と、前記最上層のガラス基板の直下のガラス基板との間に流体を噴射する噴射手段と、前記最上層のガラス基板に吸着する吸着部及び前記最上層のガラス基板に吸着して収縮する伸縮吸着部を備え、前記最上層のガラス基板を前記ガラス基板積層体から分離する吸着分離手段とを有する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の実施形態によれば、ガラス基板が積層されたガラス基板積層体から、ガラス基板を確実に一枚ずつ分離することが可能なガラス基板分離装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施形態に係るガラス基板分離装置の構成を例示する概略図である。
【図２】実施形態に係るガラス基板分離装置の構成を例示する上面概略図である。
【図３】実施形態における吸着ユニットの吸着部及び伸縮吸着部の構成を例示する図である。
【図４】実施形態に係るガラス基板分離装置の他の構成を例示する概略図である。
【図５】実施形態におけるガラス基板分離方法を例示する図（１）である。
【図６】実施形態におけるガラス基板分離方法を例示する図（２）である。
【図７】実施形態におけるガラス基板分離方法を例示する図（３）である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１２】
＜ガラス基板分離装置＞
まず、本実施形態に係るガラス基板分離装置１００の概略構成について、図１及び図２に基づいて説明する。図１はガラス基板分離装置１００の側面概略図であり、図２はガラス基板分離装置１００の上面概略図である。
【００１３】
ガラス基板分離装置１００は、図１に示す様に、水槽１０、吸着ユニット３０、搬送機構４０、固定機構５０、アシストノズル６０、液面制御機構６５を有する。
【００１４】
水槽１０は、内部に水１２を貯え、複数のガラス基板２４がスペーサ２２を介して積層されたガラス基板積層体２０が載置される。ガラス基板積層体２０は、ガラス基板２４の表面と液面１３とが略平行（ガラス基板２４の表面が水平方向に略平行）になる様に水槽１０に載置される。
【００１５】
本実施形態におけるガラス基板２４は、厚さ０．６８ｍｍ、直径６５ｍｍであり、直径２０ｍｍの中心孔を有する。また、スペーサ２２は、例えば、厚さ０．２ｍｍ、直径６１ｍｍであり、直径２４ｍｍの中心孔を有する。ガラス基板積層体２０は、それぞれ５４枚のスペーサ２２及びガラス基板２４が交互に積層され、高さが約４７．２５ｍｍである。なお、スペーサ２２及びガラス基板２４の大きさ、ガラス基板積層体２０の高さ等は、上記した例に限るものではない。
【００１６】
本実施形態における水槽１０は、内径がガラス基板２４の直径よりも大きく、深さがガラス基板積層体２０よりも大きい円筒形状を有するが、ガラス基板積層体２０を収容可能であればどの様な形状であってもよい。また、水槽１０には、例えば洗剤等の物質を含む水１２が貯えられてもよく、水以外の液体が貯えられてもよい。
【００１７】
吸着ユニット３０は、吸着分離手段の一例であり、吸着部３２、伸縮吸着部３４を有し、ガラス基板積層体２０のガラス基板２４の面方向（図１における上下方向）に移動可能に設けられている。吸着ユニット３０は、ガラス基板積層体２０の最上層のスペーサ２２に吸着した状態で上方に移動し、スペーサ２２及びガラス基板２４を１組ずつガラス基板積層体２０から分離してもよく、ガラス基板積層体２０の最上層のガラス基板２４に吸着した状態で上方に移動してもよい。
【００１８】
吸着部３２は、円形状パッドを有し、例えば真空ポンプに接続されている。吸着部３２は、ガラス基板積層体２０の最上層のスペーサ２２に当接した状態で真空ポンプに吸引されることで、円形状パッドがスペーサ２２に吸着する。
【００１９】
伸縮吸着部３４は、図１において上下方向に伸縮可能な蛇腹形状パッドを有し、吸着部３２と同様に真空ポンプに接続されている。伸縮吸着部３４は、ガラス基板積層体２０の最上層のスペーサ２２に当接した状態で真空ポンプに吸引されることで、スペーサ２２に吸着すると共に、内部が減圧されることでスペーサ２２及びガラス基板２４を持ち上げる様に蛇腹形状パッドが収縮する。これにより、強固に吸着したガラス基板とスペーサとの間、ガラス基板とガラス基板との間に隙間を形成でき、ガラス基板積層体２０からガラス基板２４を一枚ずつ分離できる。
【００２０】
吸着ユニット３０には、図２に示す様に、一つの吸着部３２と、二つの伸縮吸着部３４，３６とが設けられている。吸着ユニット３０の吸着部３２及び伸縮吸着部３４，３６の構成について、図３に基づいて説明する。
【００２１】
本実施形態に係る吸着ユニット３０では、ガラス基板２４の中心に対する周方向において、吸着部３２と伸縮吸着部３４とがなす角度θ１及び吸着部３２と伸縮吸着部３６とがなす角度θ２は、それぞれ１３５°に設けられている。また、ガラス基板２４の中心に対する周方向において、伸縮吸着部３４と伸縮吸着部３６とがなす角度θ３は９０°である。
【００２２】
また、ガラス基板２４の半径をＲ、ガラス基板２４の中心孔２５の半径をｒ１、ガラス基板２４の半径Ｒと中心孔２５の半径ｒ１との差をｒ２としたときに、吸着部３２の円形状パッドの直径Ｒｐは、ｒ２の４０％以上９５％以下であることが好ましく、４０％以上８０％以下がさらに好ましく、４０％以上７０％以下が特に好ましい。
【００２３】
本実施形態では、例えば、ガラス基板２４の半径Ｒ（３２．５ｍｍ）と中心孔２５の半径ｒ１（１０ｍｍ）との差ｒ２は２２．５ｍｍであり、吸着部３２の円形状パッドの直径Ｒｐを、ｒ２の約４４％となる１０ｍｍとしてもよく、ｒ２の約６７％となる１５ｍｍとしてもよい。
【００２４】
吸着部３２の円形状パッドの直径Ｒｐがｒ２の４０％未満の場合には、吸着部３２とスペーサ２２又はガラス基板２４との吸着力が不足し、ガラス基板２４をガラス基板積層体２０から分離するのが困難になる。また、吸着部３２の円形状パッドの直径Ｒｐがｒ２の９５％よりも大きいと、吸着部３２の円形状パッドがガラス基板２４からはみ出す場合があり、この場合には吸着部３２とスペーサ２２又はガラス基板２４との吸着力が低下するため好ましくない。また、ガラス基板２４をしならせることが難しくなり、ガラス基板２４をガラス基板積層体２０から分離するのが困難になる虞がある。
【００２５】
さらに、ガラス基板２４の中心と吸着部３２の中心との距離をＷｐとしたときに、距離Ｗｐは、ガラス基板２４の半径Ｒの４５％以上６５％以下であることが好ましい。本実施形態では、ガラス基板２４の半径Ｒ（３２．５ｍｍ）の約６１．５％である距離Ｗｐ＝２０ｍｍとなる位置に吸着部３２の中心が設けられている。
【００２６】
吸着部３２がガラス基板２４の中心に近過ぎると、伸縮吸着部３４，３６が収縮してガラス基板２４を持ち上げてガラス基板積層体２０から分離するのが困難になる。また、吸着部３２がガラス基板２４の中心から離れ過ぎると、最上層のガラス基板２４とその直下のスペーサ２２との吸着力を破壊することが困難になる。したがって、吸着部３２は上記範囲内に設けられることが好ましい。
【００２７】
なお、吸着部３２、伸縮吸着部３４，３６の数、配設位置等は、本実施形態に例示する構成に限られず、ガラス基板２４の大きさ、必要な吸着力等に応じて適宜変更されてもよい。また、伸縮吸着部３４，３６は、本実施形態において例示される様に蛇腹形状パッドに限るものではなく、スペーサ２２又はガラス基板２４に吸着して収縮可能であればよく、例えば先端に円形状パッドが取り付けられて伸縮駆動するアクチュエータ等であってもよい。
【００２８】
図１に示す搬送機構４０は、搬送手段の一例であり、水槽１０に載置されるガラス基板積層体２０を液面１３に向かって鉛直方向上方に持ち上げる様に搬送し、ガラス基板積層体２０の最上層のガラス基板２４を液面１３から浮上させる。搬送機構４０は、最上層のスペーサ２２及びガラス基板２４がガラス基板積層体２０から分離されると、分離されたガラス基板２４の直下のガラス基板２４が液面１３から浮上する様に、所定のピッチでガラス基板積層体２０を上方に搬送する。
【００２９】
搬送機構４０は、例えば１組のスペーサ２２（厚さ０．２ｍｍ）及びガラス基板２４（厚さ０．６８）の厚さに相当する０．８８ｍｍピッチでガラス基板積層体２０を液面１３に向かって搬送する。また、搬送機構４０は、最上層のガラス基板２４の厚さの半分程度が液面１３から浮上する様にガラス基板積層体２０を搬送する。
【００３０】
固定機構５０は、固定手段の一例であり、水槽１０の液面１３の下で、ガラス基板積層体２０のうち、最上層のガラス基板２４を除き、最上層のガラス基板２４の直下のガラス基板２４を含む部分を固定する。
【００３１】
固定機構５０は、図２に示す様に、一部に開口が形成された円筒形状の円筒部５１、円筒部５１の開口部分からガラス基板積層体２０とは反対側に突出し、ガラス基板２４の周方向に対向する一対の押さえ部５２を有する。固定機構５０は、押さえ部５２がそれぞれ他方に向かって（図２における白抜き矢印方向に）押圧されると、円筒部５１の内周面でガラス基板２４を締め付ける様にガラス基板積層体２０を固定する。なお、本実施形態における固定機構５０は、図１に示す様に、ガラス基板積層体２０のうち１枚から３枚のガラス基板２４を固定するが、固定するガラス基板２４の枚数は何枚であってもよい。
【００３２】
アシストノズル６０は、噴射手段の一例であり、ガラス基板積層体２０の最上層のガラス基板２４と、最上層のガラス基板２４の直下のガラス基板２４との間に流体を噴射する。本実施形態におけるアシストノズル６０は、具体的には、ガラス基板積層体２０の最上層のガラス基板２４と、最上層のガラス基板２４の直下のスペーサ２２との間に、流体として空気を噴射することが好ましい。
【００３３】
アシストノズル６０は、伸縮吸着部３４，３６が設けられている範囲内に流体を噴射可能な位置に１つ又は複数設けられる。アシストノズル６０は、例えば図２に示す様に、ガラス基板積層体２０の周囲であって、例えばガラス基板２４の周方向において実線矢印領域内に設けられ、伸縮吸着部３４，３６の下部に流体を噴射する。
【００３４】
アシストノズル６０は、例えば内径が０．２ｍｍのノズル孔から、圧力０．２４Ｍｐａ以上で空気を噴射する。また、アシストノズル６０は、図１における上下方向に、例えば２０°程度角度を調整可能に設けられている。
【００３５】
液面制御機構６５は、液面１３の位置を検知し、液面１３が基準位置よりも低下した場合には水槽１０に水を供給し、液面１３が基準位置よりも高くなった場合には水槽１０から水を排出することで、水槽１０の液面１３の高さを基準位置に保つ。ガラス基板分離装置１００では、ガラス基板積層体２０からガラス基板２４が順次分離され、ガラス基板積層体２０の体積の減少に伴って液面１３が低下するが、液面制御機構６５により、液面１３は一定の高さに維持される。
【００３６】
なお、ガラス基板積層体２０の最上層のガラス基板２４の直下のガラス基板２４が水中に位置していればよいため、液面１３は、図１において破線で示す様に、最上層のガラス基板２４と、最上層のガラス基板２４の直下のガラス基板２４との間に位置してもよい。
【００３７】
本実施形態に係るガラス基板分離装置１００は、以上で説明した構成を有し、ガラス基板積層体２０から最上層のスペーサ２２及びガラス基板２４を分離する。ガラス基板分離装置１００の水槽１０にガラス基板積層体２０が載置され、搬送機構４０により最上層のガラス基板２４が液面１３から浮上すると、固定機構５０によりガラス基板積層体２０が固定される。
【００３８】
ガラス基板積層体２０が固定されると、吸着ユニット３０が下降して吸着部３２及び伸縮吸着部３４，３６がガラス基板積層体２０の最上層のスペーサ２２に当接して吸着し、アシストノズル６０から流体が噴射される。このとき、伸縮吸着部３４，３６が収縮してスペーサ２２及びガラス基板２４を持ち上げる様に力がはたらくと共に、アシストノズル６０から流体が噴射されることで、最上層のガラス基板２４が、ガラス基板積層体２０の伸縮吸着部３４，３６側から分離される。
【００３９】
さらに、吸着ユニット３０がガラス基板積層体２０から離間する上方に移動することで、図１に破線で示される様に、最上層のスペーサ２２及びガラス基板２４がガラス基板積層体２０から分離される。最上層のスペーサ２２及びガラス基板２４が分離されると、ガラス基板積層体２０は固定機構５０から解放され、搬送機構４０により最上層のガラス基板２４が液面１３から浮上する様に搬送され、再び上記した動作により最上層のスペーサ２２及びガラス基板２４がガラス基板積層体２０から分離される。
【００４０】
以上で説明した動作を繰り返し行うことで、ガラス基板分離装置１００は、スペーサ２２と共にガラス基板２４を一枚ずつ確実にガラス基板積層体２０から分離することが可能になっている。
【００４１】
なお、本実施形態とは異なり、ガラス基板積層体２０においてスペーサ２２とガラス基板２４とが逆に配置され、ガラス基板２４がガラス基板積層体２０の最も上に位置する様に構成されてもよい。この場合には、吸着ユニット３０の吸着部３２及び伸縮吸着部３４，３６は、ガラス基板積層体２０の最も上にあるガラス基板２４に吸着して、ガラス基板２４と共にスペーサ２２をガラス基板積層体２０から分離する。
【００４２】
また、ガラス基板分離装置１００は、以上で説明した搬送機構４０及び固定機構５０に代えて、図４に例示する固定搬送ベルト７０を有してもよい。図４に例示する固定搬送ベルト７０は、少なくとも一つが回転駆動する複数のローラに掛け渡され、ガラス基板分離装置１００に複数設けられる。複数の固定搬送ベルト７０は、それぞれガラス基板２４の側面に当接する様に設けられ、ガラス基板積層体２０を挟み込む様に固定する。また、固定搬送ベルト７０は、回転駆動するローラに従動して回転することで、ガラス基板積層体２０を液面１３に向かって所定のピッチで搬送できる。
【００４３】
この様に、固定搬送ベルト７０が設けられたガラス基板分離装置１００では、固定搬送ベルト７０がガラス基板積層体２０を固定及び搬送することで、ガラス基板積層体２０からガラス基板２４を１枚ずつ分離することが可能である。
【００４４】
＜ガラス基板分離方法＞
次に、ガラス基板分離装置１００によって、ガラス基板積層体２０からガラス基板２４を分離する方法について、図５から図７に基づいて説明する。
【００４５】
まず、図５（ａ）に示す様に、スペーサ２２を介して複数のガラス基板２４が積層されたガラス基板積層体２０を、位置決めシャフト２６が着脱可能に設けられているベース２７に載置する。ガラス基板積層体２０は、スペーサ２２及びガラス基板２４の中心孔に位置決めシャフト２６が挿入されてベース２７に載置される。
【００４６】
位置決めシャフト２６が挿入されてベース２７に載置されたガラス基板積層体２０は、図５（ｂ）に示す様に、ガラス基板分離装置１００の水槽１０内に設けられているベースプレート１４に載置される。ベースプレート１４には、ガラス基板積層体２０が載置されたベース２７が嵌る溝が設けられており、ベース２７がベースプレート１４の溝に嵌る様に載置されることで、ガラス基板積層体２０が所定の位置に設けられる。
【００４７】
ガラス基板積層体２０がベースプレート１４に載置されると、図５（ｃ）に示す様に、ベース２７から位置決めシャフト２６が抜き取られる。次に、搬送機構４０が、最上層のガラス基板２４を水槽１０の液面１３から浮上させる様に、ガラス基板積層体２０を上方に向かって搬送する。
【００４８】
ガラス基板積層体２０が搬送機構４０によって所定の位置に搬送されると、図５（ｄ）に示す様に、固定機構５０の押さえ部５２が押圧され、ガラス基板積層体２０が固定される。
【００４９】
次に、図６（ａ）に示す様に、吸着ユニット３０が下降して吸着部３２、伸縮吸着部３４，３６がガラス基板積層体２０の最上層のスペーサ２２に当接し、真空ポンプに吸引されてスペーサ２２に吸着する。
【００５０】
吸着ユニット３０の吸着部３２、伸縮吸着部３４，３６が最上層のスペーサ２２に吸着した状態で、図６（ｂ）に示す様に、アシストノズル６０がガラス基板積層体２０に流体を噴射する。アシストノズル６０は、最上層のガラス基板２４と、その直下のスペーサ２２との間であって、ガラス基板２４の周方向において伸縮吸着部３４，３６が設けられている範囲内に流体を噴射する。
【００５１】
アシストノズル６０が流体を噴射すると、収縮する伸縮吸着部３４，３６によってスペーサ２２及びガラス基板２４が持ち上げられ、最上層のスペーサ２２及びガラス基板２４がガラス基板積層体２０の伸縮吸着部３４，３６側から分離される。アシストノズル６０は、吸着部３２、伸縮吸着部３４，３６がスペーサ２２に吸着した状態で、例えば３秒間流体を噴射する。
【００５２】
伸縮吸着部３４，３６によってスペーサ２２及びガラス基板２４が持ち上げられると、図６（ｃ）に示す様に、吸着ユニット３０が上方に移動して、最上層のスペーサ２２及びガラス基板２４をガラス基板積層体２０から完全に分離する。
【００５３】
吸着ユニット３０がスペーサ２２及びガラス基板２４をガラス基板積層体２０から分離すると、図７（ａ）に示す様に、分離されたスペーサ２２及びガラス基板２４は、吸着ユニット３０から搬送ユニット８０に受け渡される。
【００５４】
搬送ユニット８０は、真空ポンプに接続されて吸引されることでガラス基板２４に吸着する複数の吸着部８２を有し、図７（ａ）におけるガラス基板２４の下面側に吸着部８２が吸着する。搬送ユニット８０の吸着部８２がガラス基板２４に吸着すると、吸着ユニット３０の吸着部３２、伸縮吸着部３４，３６の吸着状態が解除され、スペーサ２２及びガラス基板２４が搬送ユニット８０に受け渡される。
【００５５】
搬送ユニット８０は、図７（ｂ）に示す様に、ガラス基板分離装置１００に設けられているディスクキャリア９０に、スペーサ２２及びガラス基板２４を搬送して収納させる。ディスクキャリア９０は、ガラス基板積層体２０から分離されるスペーサ２２及びガラス基板２４を順次収納し、次の工程に搬送される。
【００５６】
本実施形態に係るガラス基板分離方法は、ガラス基板分離装置１００を用いた上記工程により、ガラス基板積層体２０からスペーサ２２及びガラス基板２４を分離して、ディスクキャリア９０に収納する。
【００５７】
以上で説明したガラス基板分離方法によれば、ガラス基板分離装置１００を用いることで、ガラス基板２４を確実に一枚ずつガラス基板積層体２０から分離できる。
【００５８】
＜ガラス基板の製造方法＞
次に、上記したガラス基板分離装置１００を用いたガラス基板分離方法により、ガラス基板積層体２０からガラス基板２４を分離するガラス基板分離工程を有するガラス基板の製造方法について説明する。
【００５９】
本実施形態に係るガラス基板の製造方法は、以下の工程１〜６を含む。
（工程１）ガラス素基板から、中心孔を有する円盤状のガラス基板に加工する加工工程
（工程２）内周端面と外周端面を面取り加工する面取り工程
（工程３）ガラス基板の端面（内周端面及び外周端面）を研磨する端面研磨工程
（工程４）ガラス基板積層体からガラス基板を分離するガラス基板分離工程
（工程５）ガラス基板の表面を研磨する表面研磨工程
（工程６）ガラス基板を精密洗浄して乾燥する洗浄工程
また、上記各工程により得られるガラス基板２４は、例えばその上に磁性層等の薄膜を形成する薄膜形成工程等を経て、磁気ディスク（磁気記録媒体）となる。
【００６０】
（工程１）の加工工程では、例えばフロート法、フュージョン法、プレス成形法、ダウンドロー法、リドロー法等で成形されたガラス素基板が、中心孔を有する円盤状のガラス基板２４に加工される。なお、用いられるガラス素基板は、例えばアモルファスガラス、結晶化ガラス、ガラス基板の表層に強化層を有する強化ガラス等であってもよい。
【００６１】
（工程２）の面取り工程では、工程１で得られた円盤状のガラス基板２４の内周端面と外周端面が研削加工により面取りされる。
【００６２】
（工程３）の端面研磨工程では、ガラス基板２４の端面（側面部と面取り部）が研磨される。（工程３）では、ガラス基板２４がスペーサ２２を介して積層されたガラス基板積層体２０の状態で、複数のガラス基板２４の端面が一括して研磨される。
【００６３】
（工程４）のガラス基板分離工程では、上記したガラス基板分離装置１００を用いたガラス基板分離方法により、ガラス基板積層体２０からガラス基板２４が１枚ずつ分離される。
【００６４】
（工程５）の表面研磨工程では、両面研磨装置により、ガラス基板２４の表面に研磨液が供給され、ガラス基板２４の上下面が同時に研磨される。研磨工程は、１次研磨のみでもよく、１次研磨及び２次研磨を行うものでもよく、２次研磨の後に３次研磨を行うものでもよい。
【００６５】
なお、（工程５）の表面研磨工程の前に、表面のラップ（研削）を実施しても良い。ここで、表面のラップとは、広義の表面研磨である。表面のラップ（研削）とは、例えば、ガラス基板２４の表面にクーラント液を供給してガラス基板２４の上下面を固定砥粒工具で研削する固定砥粒ラップ、ガラス基板２４の表面に砥粒を含有する研削液を供給してガラス基板２４の上下面を研削する遊離砥粒ラップ等である。表面のラップ（研削）は、（工程５）の表面研磨工程の前であればどこの工程で実施してもよく、例えば、（工程１）の加工工程の前又は後、（工程２）の面取り工程の前又は後、（工程３）の端面研磨工程の前、（工程４）のガラス基板分離工程の後等に実施できる。また、各工程間にガラス基板２４の洗浄（工程間洗浄）やガラス基板２４表面のエッチング（工程間エッチング）が実施されてもよい。
【００６６】
また、磁気ディスク用のガラス基板２４として高い機械的強度が求められる場合には、（工程５）の表面研磨工程の前又は後、表面研磨工程間において、ガラス基板２４の表層に強化層を形成する強化工程（例えば、化学強化工程）が実施されてもよい。
【００６７】
（工程６）の洗浄工程では、例えばアルカリ性洗剤によるスクラブ洗浄、アルカリ性洗浄溶液に浸漬した状態での超音波洗浄、純水に浸漬した状態での超音波洗浄によるガラス基板２４の洗浄が順次行われる。洗浄されたガラス基板２４は、例えばイソプロピルアルコール蒸気にて乾燥される。
【００６８】
ガラス基板分離工程において、ガラス基板積層体２０からガラス基板２４が複数枚同時に分離されると、ガラス基板２４を１枚ずつ分離するために工程を止めて人手によりガラス基板２４を分離しなければならず、生産性が低下してしまう。しかしながら、以上で説明したガラス基板の製造方法では、複数のガラス基板２４が積層されたガラス基板積層体２０の状態でガラス基板の端面の研磨が行われた後、ガラス基板分離装置１００によりガラス基板積層体２０からガラス基板２４が確実に一枚ずつ分離される。したがって、本実施形態に係るガラス基板の製造方法によれば、ガラス基板２４の生産性が向上する。
【００６９】
以上、実施形態に係るガラス基板分離装置、ガラス基板分離方法及びガラス基板の製造方法について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。
【符号の説明】
【００７０】
１０  水槽（液槽）
２０  ガラス基板積層体
２２  スペーサ
２４  ガラス基板
３０  吸着ユニット（吸着分離手段）
３２  吸着部
３４  伸縮吸着部
４０  搬送機構（搬送手段）
５０  固定機構（固定手段）
６０  アシストノズル（噴射手段）
６５  液面制御機構
８０  搬送ユニット（ガラス基板収納手段）
９０  ディスクカセット（収納容器）
１００  ガラス基板分離装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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