(57)【要約】【課題】  良好なファイヤースルー性を有し、且つＢＳＦ層を形成することで低い電気抵抗を発現させ得る太陽電池素子のファイヤースルー用アルミニウムペースト、およびファイヤースルーによってＢＳＦ層が好適に形成された太陽電池素子を提供する。【解決手段】  裏面Alコンタクト２６を形成するためのファイヤースルー用アルミニウムペーストには、ガラス量/(硼素量＋珪素量)が0.17〜7.0の範囲内となるように、アルミニウム粉末100重量部に対して、ガラスフリットが1.3〜23.6重量部、硼素成分が0.7〜11.7重量部、珪素成分が0.7〜21.8重量部の範囲でそれぞれ含まれることから、パッシベーション膜２２が好適に浸食されて、ペーストから生成された裏面Alコンタクト２６がシリコン基板１２裏面に接続されると共に、その接続部分の近傍にＢＳＦ層が容易に形成される。【選択図】図１
2015191971.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウムを主な導体成分とする導体粉末を含み、太陽電池素子の裏面にパッシベーション膜を浸食してシリコン基板に接続された裏面コンタクトを形成するために用いられるファイヤースルー用アルミニウムペーストであって、
前記導体粉末100重量部に対して、ガラスフリットを1.3〜23.6重量部と、硼素成分を0.7〜11.7重量部と、珪素成分を0.7〜21.8重量部とを、ガラス量/(硼素量＋珪素量)が0.17〜7.0の範囲内で含むことを特徴とするファイヤースルー用アルミニウムペースト。
【請求項２】
前記ガラスフリットは、酸化物換算で35〜65(mol%)のPbO、3〜18(mol%)のB2O3、12〜50(mol%)のSiO2、0.6〜21(mol%)のLi2O、合計で22.0(mol%)以下のAl2O3、TiO2、ZrO2、ZnO、Bi2O3、Na2O、K2O、Ag2O、SO2、Ga2O3、In2O3から成り、軟化点が660(℃)以下、mol比でPb/Siが0.7〜3.0のガラスである請求項１のファイヤースルー用アルミニウムペースト。
【請求項３】
シリコン基板の裏面にパッシベーション膜を介して裏面電極が設けられた太陽電池素子であって、
前記パッシベーション膜上に前記請求項１または請求項２のファイヤースルー用アルミニウムペーストが所定パターンで塗布されて焼成処理が施されることにより、前記パッシベーション膜を浸食して貫通し前記シリコン基板に接続された裏面ポイントコンタクトを含むことを特徴とする太陽電池素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファイヤースルーによって裏面にアルミニウム電極を形成するためのペースト組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、一般的なシリコン系太陽電池素子は、例えば、ｐ型多結晶半導体であるシリコン基板の表面にｎ型不純物層(ｎ+層)を介して反射防止膜(パッシベーション膜)および受光面電極を備えると共に、裏面にｐ+層を介して裏面電極を備えた構造を有しており、受光により半導体のｐｎ接合に生じた電力を電極を通して取り出すようになっている。上記反射防止膜は、シリコンとは屈折率の異なる材料から成る絶縁体薄膜で、十分な可視光透過率を保ちつつ表面反射率を低減して受光効率を高めるためのものである。反射防止膜の構成材料としては、窒化珪素(SiNx)、二酸化チタン(TiO2)、二酸化珪素(SiO2)等が挙げられる。また、上記受光面電極は、例えば厚膜銀で格子状或いは網目状などに構成され、例えばファイヤースルーにより反射防止膜を破って基板に接続される(例えば、特許文献４を参照。)。基板厚みは例えば140〜200(μm)程度、ｎ+層厚みは例えば0.1〜0.5(μm)程度である。
【０００３】
また、上記裏面電極は、例えば、はんだ付けにより電気を取り出す部分にのみ厚膜銀電極を設け、それ以外は集電部を兼ねる厚膜アルミニウム電極を全面に設けた構成が一般に採られている。厚膜アルミニウム電極は、例えば、アルミニウム粉末、ガラス粉末、分散剤および有機ビヒクルを含むアルミニウムペースト組成物をスクリーン印刷等によって基板裏面に塗布し、焼成処理を施すことで形成される。焼成処理温度は、アルミニウムの融点660(℃)を越える温度に設定され、最高温度保持時間は例えば1分以内である。この焼成の際にアルミニウムがシリコン基板に拡散することにより、裏面電極とシリコン基板との間にAl-Si合金層が形成されると共に、アルミニウム原子の拡散により前記ｐ+層が形成される。このｐ+層の存在により、裏面側にｐ−ｐ+層間のフェルミ準位の差による電界ができ、電子とホールの裏面再結合速度を低下させて生成キャリアの収集効率を向上させるＢＳＦ(Back Surface Field)効果が得られる。
【０００４】
ところで、略全面が厚膜アルミニウムから成る上記裏面電極は、赤外光の反射率が60〜70(%)程度に留まるので、赤外光が吸収されて熱に変わってしまうロスが高効率化の妨げとなっている。そこで、裏面側にもパッシベーション膜を設けることが行われている。上記パッシベーション膜は、シリコンとは屈折率の異なる材料から成る絶縁体薄膜であって、シリコン基板に表面から入射した光を裏面で反射して素子内に閉じ込めることによって発電効率を高めるものである。パッシベーション膜を設けることにより、赤外光の反射率が95(%)以上に高められ、また、生成キャリアの再結合速度を高める原因となるSi表面のダングリングボンドが抑制されるので、発電効率が高められる。
【０００５】
上記パッシベーション膜は、例えばアルミナ(Al2O3)、酸化チタン(TiO2)、二酸化珪素(SiO2)、窒化珪素(SiNx)等で構成される。この中でもアルミナが最適とされるが、これを十分な厚さ寸法で形成することは困難であるため、通常は、薄いアルミナ膜または二酸化珪素膜の上に窒化珪素膜を積層した構造が採られる。
【０００６】
上記パッシベーション膜を備える構造では、裏面電極は、アルミニウムペースト組成物をスクリーン印刷等によって基板裏面にドット状或いはライン状等の所定パターンで塗布し、乾燥させた後、焼成処理を施し、更に、その焼成処理の前後何れかでこれに重ねて集電電極やバス電極を設けることによって形成される。このような裏面電極形成に際しては、パッシベーション膜が絶縁膜であるため、ドット状或いはライン状等のパターンに応じて、例えば、フォトリソグラフィやレーザでパッシベーション膜をパターニングにより除去することが行われており、これにより、厚膜アルミニウムとシリコン基板との接続を確保しているが、コストや工数の増大が問題となっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特表２００９−５３０８４５号公報
【特許文献２】特開２００９−１８２２９０号公報
【特許文献３】特表２０１０−５３８４６６号公報
【特許文献４】特開２０１１−０６６３５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、裏面電極をファイヤースルー法を利用して形成することが提案されている(例えば、特許文献３を参照。)。ファイヤースルー法によれば、所定の電極パターンで塗布されたアルミニウムペースト組成物によって焼成過程において電極形成と同時にパッシベーション膜が破られることにより、厚膜アルミニウム電極とシリコン基板との接続が確保されるので、予めパターニングする場合に比較して工数が減じられて製造コストも抑制される利点がある。なお、このような電極形成方法の場合にも、基板裏面に電極を直接形成した場合と同様に、AlとSiの反応によりｐ+層が形成されると共にＢＳＦ層が形成されるので、良好な電池特性が得られる。
【０００９】
ファイヤースルー法を利用した裏面電極の形成は、例えば、以下のようにして行われる。すなわち、シリコン基板の裏面全面に設けたパッシベーション膜の上に、ファイヤースルー用のアルミニウムペーストを所定パターンで塗布し、乾燥後、バス電極形成用の銀ペーストと、集電電極形成用のアルミニウムペーストとをそれぞれ所定パターンで塗布し、乾燥する。その後、ファイヤースルー用ペーストに含まれるガラスの軟化点よりも十分に高い温度で焼成処理を施す。上記電極形成方法によれば、パッシベーション膜がファイヤースルーによって破られることに加えて、ファイヤースルー電極、集電電極、バス電極が同時に焼成されることから、工程が簡単になって製造コストが低減される。
【００１０】
しかしながら、上記のようなファイヤースルー法を利用した裏面電極形成は、未だ十分なファイヤースルー性を得ることができず、しかも、基板中のシリコンと電極ペースト中のアルミニウムとの反応が十分に生じないので、ｐ+層の形成とＢＳＦ層の形成が十分に為されない問題があった。
【００１１】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、その目的は、良好なファイヤースルー性を有し、且つＢＳＦ層を形成することで低い電気抵抗を発現させ得る太陽電池素子のファイヤースルー用アルミニウムペースト、およびファイヤースルーによってＢＳＦ層が好適に形成された太陽電池素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
斯かる目的を達成するため、第１発明の太陽電池素子のファイヤースルー用アルミニウムペーストの要旨とするところは、アルミニウムを主な導体成分とする導体粉末を含み、太陽電池素子の裏面にパッシベーション膜を浸食してシリコン基板に接続された裏面コンタクトを形成するために用いられるファイヤースルー用アルミニウムペーストであって、前記導体粉末100重量部に対して、ガラスフリットを1.3〜23.6重量部と、硼素成分を0.7〜11.7重量部と、珪素成分を0.7〜21.8重量部とを、ガラス量/(硼素量＋珪素量)が0.17〜7.0の範囲内で含むことにある。
【００１３】
また、第２発明の要旨とするところは、シリコン基板の裏面にパッシベーション膜を介して裏面電極が設けられた太陽電池素子であって、(ａ)前記パッシベーション膜上に前記第１発明のファイヤースルー用アルミニウムペーストが所定パターンで塗布されて焼成処理が施されることにより、前記パッシベーション膜を浸食して貫通し前記シリコン基板に接続された裏面ポイントコンタクトを含むことにある。
【発明の効果】
【００１４】
前記第１発明によれば、ファイヤースルー用アルミニウムペーストには、ガラス量/(硼素量＋珪素量)が0.17〜7.0の範囲内となるように、導体粉末100重量部に対して、ガラスフリットが1.3〜23.6重量部、硼素成分が0.7〜11.7重量部、珪素成分が0.7〜21.8重量部の範囲でそれぞれ含まれることから、このペーストをシリコン基板の裏面に設けられたパッシベーション膜上に所定パターンで塗布して所定温度で焼成処理を施すことにより、そのパッシベーション膜が好適に浸食されて、ペーストから生成されたアルミニウム電極がシリコン基板裏面に接続されると共に、その接続部分の近傍にＢＳＦ層が形成される。このとき、ペースト中に含まれる珪素がペースト中のアルミニウムとシリコン基板との間の合金化を促進するので、ＢＳＦ層が形成されやすくなるが、更に、ペーストに含まれる硼素はアクセプタとして作用するものであることから、導体成分として含まれるアルミニウムだけがアクセプタとして作用する場合に比較して、ＢＳＦ層が容易に形成される。そのため、太陽電池素子の裏面にファイヤースルーによってアルミニウム電極が形成されると共に、ＢＳＦ層が好適に形成されて、良好な電気伝導性が得られる。
【００１５】
なお、ファイヤースルー用アルミニウムペースト中のガラス量は、良好なファイヤースルー性が得られるように十分に含まれていることが必要であるが、ガラス量が多くなるほど導電性が低下する。そのため、導体粉末100重量部に対して、ガラス量は1.3〜23.6重量部の範囲内とする必要がある。また、珪素は、普遍的に存在して十分に合金化を促進するためには、0.7重量部以上含まれていることが必要であるが、多すぎると却って導電性を低下させるので、21.8重量部以下に留める必要がある。なお、ペースト中に添加される珪素は、焼成処理の際に基板中の珪素が裏面コンタクト中に拡散するカーケンダール効果によって基板に空隙が生ずることを抑制し、裏面コンタクトと基板との良好な電気的接続を確保し、接合界面の劣化を抑制する効果もある。また、硼素はアクセプタとして十分に作用して裏面側の不純物準位を高めるためには、0.7重量部以上含まれていることが必要であるが、多すぎると却って導電性を低下させるので、11.7重量部以下に留める必要がある。また、本願発明のペーストは、ファイヤースルーと、合金化およびＢＳＦ層形成とが、共に良好に行われる必要があることから、ガラス量と硼素量および珪素量との比が重要である。硼素量および珪素量に比してガラス量が少なすぎると、ファイヤースルーを阻害し、電気的接続が困難になる。硼素量および珪素量に比してガラス量が多すぎると、ＢＳＦ形成を阻害し、電気的損失が増大するため、「ガラス量/(硼素量＋珪素量)」を0.17〜7.0の範囲内とすることが必要である。
【００１６】
なお、第１発明において、前記アルミニウムを主な導体成分とする導体粉末は、アルミニウム粉またはアルミニウムを含む複合粉である。「アルミニウムを含む複合粉」は、例えば、Al表面にSiをメカノケミカルやコーティングで固着した粉末、Al-Si化合物、或いはAl-B化合物である。また、前記硼素成分は、硼素または硼素化合物であり、前記珪素成分は、珪素または珪素化合物である。硼素化合物としては、酸化硼素や硼酸等が挙げられる。また、珪素化合物としては、酸化珪素、Tiシリサイド、Niシリサイド等の金属シリサイド等が挙げられる。これら化合物として含まれる場合には、ペースト中の含有量および「ガラス/(硼素量＋珪素量)」は、化合物中の成分量が、単体成分と等量になるように換算してペーストに含ませる必要がある。
【００１７】
因みに、前記特許文献１には、太陽電池の裏面コンタクトを形成するに際して、導体成分であるアルミニウムに加えて硼素を含むペーストを用いることが記載されている。しかしながら、このペーストは、珪素を含んでおらず、また、シリコン基板の湾曲を抑制することを目的とするものであって、ファイヤースルーによる裏面コンタクト形成を目的とするものではない。すなわち、ペースト組成が相違するだけでなく、目的も相異する。そのため、このペーストは、ファイヤースルー用には用いることができず、しかも、珪素による合金化作用が得られないため、ＢＳＦ層が形成され難い問題がある。
【００１８】
また、前記特許文献２には、シリコン基板の裏面に、ＢＳＦ層、アルミニウムとシリコンを含有する第２の電極層、アルミニウムを含有する第１の電極層を順次に積層形成することにより、電極の膨れやアルミニウムがボール状に突き出す欠陥を抑制することが記載されている。また、第２の電極層はボロン化合物を含有することが好ましいとされている。しかしながら、このペーストはファイヤースルーによる裏面電極を形成するものではなく、珪素および硼素とガラスフリット量との関係は何ら考慮されていない。そのため、これをファイヤースルーによる裏面電極形成に用いることはできず、仮に用いたとしても、パッシベーション膜を適度に浸食し且つＢＳＦ層を形成することは困難である。
【００１９】
また、前記第２発明によれば、上述したように、裏面電極がファイヤースルーによって容易に形成され、且つファイヤースルーが行われている最中にアルミニウムがシリコン基板へと拡散されるため、ＢＳＦ層が好適に形成されるので、ファイヤースルーとＢＳＦ形成が両立し、裏面側において良好な電気伝導性を有して発電効率の高い太陽電池素子が得られる。
【００２０】
ここで、好適には、前記第１発明のファイヤースルー用アルミニウムペーストは、前記導体粉末、前記ガラスフリット、前記硼素成分、前記珪素成分、およびベヒクルから成るものである。これらの他に更に有機溶剤が適宜含まれ得る。
【００２１】
また、好適には、前記第１発明のファイヤースルー用アルミニウムペーストにおいて、前記ガラスフリットは、酸化物換算で35〜65(mol%)のPbO、3〜18(mol%)のB2O3、12〜50(mol%)のSiO2、0.6〜21(mol%)のLi2O、合計で22.0(mol%)以下のAl2O3、TiO2、ZrO2、ZnO、Bi2O3、Na2O、K2O、Ag2O、SO2、Ga2O3、In2O3から成り、軟化点が660(℃)以下、mol比でPb/Siが0.7〜3.0のガラスである。このようにすれば、軟化点がアルミニウムの融点である660(℃)以下であることから、焼成時に十分に軟化して高い膜強度が得られる。
【００２２】
なお、上記ガラス組成において、アルカリ金属Li、Na、Kはガラスの軟化点を低下させる成分であって、Liを必須とし、Na、Kは任意成分である。Liは0.6(mol%)以上含まれていれば、十分に軟化点が低くなって、パッシベーション膜への浸食が容易になる。一方、21(mol%)以下に留められていれば、浸食性が強くなりすぎず、容易に浸食制御できる。なお、Liは、6.0〜12.0(mol%)の範囲が一層好ましい。
【００２３】
また、Pbは、鉛ガラスにおいて、ガラスの軟化点を低下させて低温焼成を可能とするための成分である。侵食性を高めて良好なファイヤースルー性を得るためには、35(mol%)以上含まれることが好ましい。Pbが少なくなると、軟化点が高くなってガラス化が困難になると共にパッシベーション膜へ浸食し難くなり、延いては基板との電気的接続が困難になる傾向が生ずる。一方、65(mol%)を越えると軟化点が低くなって浸食性が強くなるため、浸食量制御が困難になる。Pb量は、48〜62(mol%)の範囲が一層好ましい。
【００２４】
また、Bは、ガラス形成酸化物(すなわちガラスの骨格を作る成分)であり、ガラスの軟化点を低くすると共にアクセプタとして作用する成分で、良好なファイヤースルー性を得ると共に不純物準位を十分に高めるためには、3(mol%)以上含まれることが好ましい。B量が少なくなると、軟化点が高くなってパッシベーション膜へ浸食し難くなり、延いては基板との電気的接続が困難になる傾向が生ずると共に、耐湿性も低下し、更に、不純物準位が十分に高くならないので、BSF層が形成されにくい傾向が生ずる。一方、18(mol%)を超えると、軟化点が低くなって浸食性が強くなるため、浸食量制御が困難になる。B量は、3〜12(mol%)の範囲が一層好ましい。
【００２５】
また、Siは、ガラス形成酸化物であり、不足するとガラス形成が困難になる。また、ガラスの耐化学性を高くするための成分で、十分な耐化学性を得るためには、10(mol%)以上含まれることが好ましい。一方、50(mol%)を越えると、軟化点が高くなってパッシベーション膜へ浸食し難くなり、延いては基板との電気的接続が困難になる傾向が生ずる。Si量は、23〜37(mol%)の範囲が一層好ましい。
【００２６】
また、Pb、Siは、上記範囲をそれぞれ満たすだけでなく、Pb/Siが0.7〜3.0の範囲内にあることが好ましい。このようにすれば、ファイヤースルー性に優れ且つリーク電流が抑制された裏面電極が得られる。Liは侵食性を高める成分であるが、多くなるほどリーク電流が生じ易くなる。そのため、Pb/Si比を上記範囲に制御することで、Li量の制御が容易になり、延いては許容し得る程度のリーク電流に留めることが容易になる。
【００２７】
また、Al、Ti、Zr、Zn、Bi、Na、K、Ag、S、Ga、Inは、軟化点や粘性等を調整するために適宜添加される成分で、前記各必須成分によって得られる物性に影響が生じにくいように、合計で22.0(mol%)以下の範囲で含むことができる。これらのうち、Al、Ti、Zr、Zn、Ga、Inは、専らアクセプタを補うために添加される。また、アルカリ成分Na、Kや、S、Agは、粘性を低下させるために添加される。軟化したときの粘性が低いと表面張力が低下してガラス成分が速やかに電極とシリコン基板の界面に供給されるので、界面に均一な薄いガラス層が形成されて浸食の一様性が高められる。また、Biは、軟化点および粘性を調整するために添加される。
【００２８】
また、好適には、前記裏面コンタクトは、シリコン基板の裏面に島状またはライン状に設けられる。裏面コンタクトは、パッシベーション膜に孔を明けて形成されることになるため、パッシベーション膜の機能を可及的に損なわないように、島状またはライン状が好ましい。可及的に高いＦＦ値を得るためには、裏面コンタクトを島状に設け、個々の島の面積および中心間隔を小さくして、島の個数を多くすることが好ましい。
【００２９】
なお、前記パッシベーション膜は、Siと屈折率の異なる材料で構成される絶縁膜であり、アルミナ(Al2O3)、酸化チタン(TiO2)、二酸化珪素(SiO2)および窒化珪素(SiNx)よりなる群より選ばれた１種または２種以上の化合物を含有する層とすることが好ましい。SiO2膜は例えば5〜30(nm)の範囲内の厚みで、Al2O3膜は例えば5〜80(nm)の範囲内の厚みで、SiNx膜は例えば30〜80(nm)の範囲内の厚みで設けられる。また、例えば、SiO2薄膜を形成した後、これにAl2O3或いはSiNxの薄膜を積層したもの、或いは、Al2O3膜を形成した後、これにSiNx膜を積層したものも好適である。このような積層構造の場合には、例えば、5〜10(nm)のSiO2膜に30(nm)程度のAl2O3膜または20〜80(nm)のSiNx膜を積層したもの、10〜30(nm)のAl2O3膜に20〜80(nm)のSiNx膜を積層したもの等が挙げられる。
【００３０】
上記の中でも、Al2O3膜およびSiO2膜が好ましく、Al2O3膜が最も好ましい。Al2O3膜の形成方法としては、例えば、300〜400(℃)の温度で処理するALD(Atomic Layer Deposition：原子層堆積)法、常温で処理するオゾン使用ALD法、CVD(Chemical Vapor Deposition：化学蒸着)法、スパッタ等が挙げられる。ALD法は、製膜速度が遅いが優れた膜質が得られる利点がある。また、SiO2膜の形成方法としては、熱酸化法、CVD法が挙げられる。熱酸化法の方が緻密な膜が得られ、パッシベーション効果が高いが、1000(℃)近い高温の処理が必要となる問題がある。また、SiNx膜の形成方法としては、CVD法が主に用いられる。
【００３１】
また、好適には、前記アルミニウム粉またはアルミニウムを含む複合粉は、芋状を成す粒子を含むものである。これらの粉末は一般に球状或いはアスペクト比がそれよりも大きい芋状を成すものが用いられるが、芋状粉の方が焼成処理の際に表面の酸化膜が破られ易く、シリコン基板に拡散し易いので好ましい。したがって、導体粉末全体に対して芋状粉が10(wt%)以上の割合で含まれることが好ましく、芋状粉の割合が球状粉よりも多いことが一層好ましく、全体が芋状粉であってもよい。
【００３２】
また、好適には、前記導体粉末は、平均粒径が1〜10(μm)の範囲内にある。このような粒径範囲とすれば、裏面コンタクトおよび裏面集電電極を容易に印刷形成できる。平均粒径がこの範囲を外れると印刷性が低下する。導体粉末の平均粒径は、3〜6(μm)の範囲が一層好ましい。
【００３３】
また、前記ガラスフリットは、平均粒径が0.3〜3(μm)の範囲内であることが好ましい。平均粒径がこの範囲内にあれば、良好な印刷性が得られると共に、印刷した際に基板との界面近傍における存在確率が十分に高くなる。
【００３４】
ペースト組成物中のガラス量は、パッシベーション膜の構成材料と厚みに応じて適宜変更することが好ましく、例えば、10(nm)程度の厚さ寸法のAl2O3膜が設けられる場合には、1(wt%)で足りる。10(nm)程度の厚さ寸法のSiO2膜が設けられる場合には、3(wt%)以上が好ましい。また、80(nm)程度の厚さ寸法のSiNx膜に対しては、3〜13(wt%)のガラス範囲が最適である。
【００３５】
また、ペースト組成物中のガラスフリットは、前述した組成範囲を備えた１種類のガラスから成るものでよいが、これに加えて異なる特性を有する他のガラスフリットを含むことができる。他のガラスフリットとしては、例えば、ファイヤースルー性が低いがアルミニウム粉末の酸化皮膜を破って界面にアルミニウムを供給する目的のガラスや、耐水性を付与するためのガラス等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施例の製造方法によって製造された太陽電池素子の断面構造を模式的に示す図である。
【図２】図１の太陽電池素子の裏面を示す図であり、図１は図２におけるＩ−Ｉ視断面に相当する。
【図３】図１の太陽電池素子の裏面コンタクトパターンを説明する図である。
【図４】図１の太陽電池素子の製造方法を説明する工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施例において図は適宜簡略化或いは変形されており、各部の寸法比および形状等は必ずしも正確に描かれていない。
【００３８】
図１は、本発明の一実施例のペースト組成物を用いて裏面電極を形成したシリコン系太陽電池素子１０の断面構造を示す模式図である。図１において、太陽電池素子１０は、ｐ型多結晶半導体から成るシリコン基板１２と、その表面側に形成されたｎ+層１４と、その裏面側に形成されたｐ+層１６と、ｎ+層１４上に形成された反射防止膜１８および受光面電極２０と、基板１２の裏面上すなわちｐ+層１６上に形成されたパッシベーション膜２２、バス電極２４、裏面Alコンタクト２６、集電用Al電極２８とを備えている。なお、太陽電池素子１０は、通常は封止材で封止された状態で用いられるが、図１ではこれを省略した。
【００３９】
上記シリコン基板１２の厚さ寸法は例えば100〜200(μm)程度である。また、上記のｎ+層１４は、シリコン基板１２の上面に不純物濃度の高い層を形成することで設けられたもので、厚さ寸法は例えば70〜100(nm)程度である。ｎ+層１４は、一般的なシリコン系太陽電池では100〜200(nm)程度であるが、本実施例ではそれよりも薄くなっており、シャローエミッタと称される構造を成している。また、上記不純物は、ｎ型のドーパント、例えば燐(P)である。
【００４０】
また、前記の反射防止膜１８は、例えば、窒化珪素(SiNx)等から成る薄膜で、例えば可視光波長の１／４程度の光学的厚さ、例えば80(nm)程度で設けられることによって10(％)以下、例えば2(％)程度の極めて低い反射率に構成されている。
【００４１】
また、前記の受光面電極２０は、例えばAgを導体成分として含む一様な厚さ寸法の厚膜導体(厚膜銀)から成るもので、図示は省略するが、受光面の略全面に、多数本の細線部を有する櫛状を成す平面形状を有している。また、厚膜導体は、前記反射防止膜１８を貫通してｎ+層１４に接続して形成されている。この厚膜導体には、例えば、Ag 100重量部に対してガラスが1〜10重量部の範囲内、例えば、4.5重量部程度の割合で含まれる。このガラスは、例えば、PbO-SiO2-B2O3系の鉛ガラスであり、これら主要成分の他にS、Li、P、Al等を含むものが好ましいが、その組成は特に限定されず、一般に太陽電池の電極用とされる適宜のものが用いられ得る。
【００４２】
また、上記の厚膜導体の厚さ寸法は例えば10〜30(μm)の範囲内、例えば20(μm)程度で、細線部の各々の幅寸法は例えば40〜120(μm)の範囲内、例えば60(μm)程度で、十分に高い導電性を備えている。
【００４３】
また、前記のパッシベーション膜２２は、例えば、窒化珪素(SiNx)等から成る薄膜で、例えば30〜80(nm)の範囲内、例えば75(nm)程度の厚さ寸法で設けられている。このパッシベーション膜２２は、シリコン基板１２に屈折率の異なる層が積層されることにより形成され、受光面から入射した光(赤外光)を95(%)以上の高い反射率を以てその受光面側に反射することにより、入射光の利用効率を高め、延いては電池の効率を高めるためのものである。
【００４４】
また、前記のバス電極２４は、図２に太陽電池素子１０の裏面を示すように、パッシベーション膜２２上に一方向に沿ってライン状に複数本が設けられている。このバス電極２４は、例えば銀およびガラスを含む厚膜導体(厚膜銀)から成るもので、前記集電用Al電極２８に代えて半田リボンや導線等をはんだ付けできるように設けられている。
【００４５】
また、前記の裏面Alコンタクト２６は、例えばアルミニウムを導体成分として含む一様な厚さ寸法の厚膜導体(厚膜アルミニウム)から成るものであり、図３に示すように、個々が微小な円形を成して縦横等間隔で島状に設けられている。なお、この図３は、太陽電池素子１０の裏面を前記集電用Al電極２８を省略して示した図である。上記の微小円の個々の直径は例えば0.126(mm)程度、配列ピッチは例えば縦横両方向に0.5(mm)程度である。なお、前記バス電極２４が設けられている部分には裏面Alコンタクト２６は形成されていない。この裏面Alコンタクト２６は、例えば20〜40(μm)程度の厚さ寸法を備え、前記図１に示すように、パッシベーション膜２２を貫通して、シリコン基板１２の裏面に僅かに侵入した状態で、その裏面に形成されたｐ+層１６に接続されている。
【００４６】
上記裏面Alコンタクト２６を構成する厚膜導体には、アルミニウム100重量部に対して、ガラスが1.3〜23.6重量部の範囲内の割合で含まれる。このガラスは、例えば、PbO-B2O3-SiO2-Li2O系の鉛ガラスであり、これら必須成分の他にAl、Ti、Zr、Zn、Bi、Na、K、Ag、S、Ga等が適宜含まれ得る。
【００４７】
なお、上記鉛ガラスは、例えば、酸化物換算でPbOを35〜65(mol%)、B2O3を3〜18(mol%)、SiO2を12〜50(mol%)、Li2Oを0.6〜21(mol%)の範囲内の割合で含む組成を有している。
【００４８】
また、前記のｐ+層１６は、シリコン基板１２の裏面であって、上記裏面Alコンタクト２６との界面に形成されているが、裏面Alコンタクト２６は、シリコン基板１２の表面に僅かに侵入した状態で設けられていることから、ｐ+層１６は、シリコン基板１２の裏面において、裏面Alコンタクト２６の個々の形状に応じて島状に形成されている。
【００４９】
上記のｐ+層１６は、製造方法を後述するように、厚膜アルミニウムから成る裏面Alコンタクト２６を形成するに際して、その厚膜材料からシリコン基板１２にアルミニウムが拡散することによって、Al-Si合金が生成されると同時に形成された不純物層であり、ｐ型のドーパントであるアルミニウムがシリコン基板１２に高濃度でドーピングされることにより、アクセプタ濃度の高いｐ+層１６となったものである。このｐ+層１６の存在により、太陽電池素子１０の裏面側にはｐ−ｐ+層が積層された構造が備えられるので、ＢＳＦ効果が得られるようになっている。ｐ+層１６の厚さ寸法は例えば1〜10(μm)程度である。
【００５０】
また、前記の集電用Al電極２８は、上記複数本のAgバス電極２４に例えば一部が重なるようにそれらの相互間に、前記のパッシベーション膜２２および上記裏面Alコンタクト２６を覆って設けられている。集電用Al電極２８は、前記裏面Alコンタクト２６と同様にアルミニウムを導体成分として含む厚膜導体(厚膜アルミニウム)から成るものであり、例えば、5〜20(μm)程度の厚さ寸法を備えている。この集電用Al電極２８は発生した電力を裏面Alコンタクト２６を介して取り出すためのもので、その裏面Alコンタクト２６に電気的に接続されており、太陽電池素子１０の集電極として機能する。したがって、本実施例においては、前記裏面Alコンタクト２６、集電用Al電極２８、および上記Agバス電極２４によって裏面電極が構成されている。
【００５１】
上記の集電用Al電極２８を構成する厚膜導体には、アルミニウム100重量部に対して、ガラスが0.01〜5重量部の範囲内であって、前記裏面Alコンタクト２６を構成する厚膜アルミニウムよりも少ない割合で含まれる。このガラスは、裏面Alコンタクト２６に含まれるものよりも軟化点が低いものが好ましいが、例えば、前記組成の範囲内でその裏面Alコンタクト２６に含まれるものと同一或いは異なるガラスも用い得る。集電用Al電極２８に含まれるガラスの一例としては、B2O3 30.7(mol%)、SiO2 11.4(mol%)、Al2O3 1.0(mol%)、PbO 56.7(mol%)、ZrO2 0.2(mol%)から成る有鉛ガラス、Bi2O3 45.5(mol%)、B2O3 21.3(mol%)、SiO2 3.9(mol%)、Al2O3 1.0(mol%)、ZnO 28.3(mol%)から成る無鉛ガラス、Bi2O3 12.3(mol%)、B2O3 29.2(mol%)、Al2O3 2.0(mol%)、SiO2 12.5(mol%)、ZnO 25.0(mol%)、BaO 16.0(mol%)、Li2O 1.5(mol%)、Na2O 1.5(mol%)から成るアルカリ含有無鉛ガラス等が挙げられる。ファイヤースルー性を与えないためにはアルカリを含まないガラスが好ましいが、本実施例においてはガラス量が少ないため、上記のようなアルカリ含有無鉛ガラスでも有用である。
【００５２】
上記の太陽電池素子１０は、例えば、以下のようにして製造される。図４は、製造工程の概略を説明するための工程図である。図４において、表面テクスチャー形成工程Ｐ１においては、ｐ型のシリコン基板１２を用意し、受光面側となるその表面にテクスチャ加工を施す。このテクスチャ加工は、光の波長よりもやや大きい凹凸を形成することによって入射光を屈折させて光路長を長くして短絡電流を増大させるためのもので、例えば、エッチング処理を施すことによって凹凸が形成される。
【００５３】
次いで、表面燐拡散工程Ｐ２においては、上記のようにテクスチャ加工を施した表面側から燐を拡散して、前記ｎ+層１４を形成する。この燐拡散工程は、例えば、よく知られた熱拡散法、SOG法、イオン注入法等によって行うことができ、表面近傍における燐濃度は例えば1×1020(個/cm3)以上になる。
【００５４】
また、両面ＣＶＤ工程Ｐ３においては、前記反射防止膜１８および前記パッシベーション膜２２を形成する。これら膜形成は、例えば、ＣＶＤ法によって基板１２の表面に80(nm)程度の厚さ寸法で、裏面に30〜80(nm)程度の厚さ寸法で、それぞれSiNx膜を製膜することによって行われる。なお、本実施例においては、反射防止膜１８およびパッシベーション膜２２が何れもSiNx膜で構成されることから、両面に同時にＣＶＤで膜形成を行うが、構成材料が相違する場合、例えば、パッシベーション膜２２がSiO2膜とAl2O3膜の積層等で構成される場合には、ＣＶＤ法等の適宜の方法で順次に膜形成を行うことになる。
【００５５】
なお、パッシベーション膜２２にSiO2膜が用いられる場合には、前記表面燐拡散工程Ｐ２に先立ちドライ酸化工程が実施される。ドライ酸化工程は、SiO2膜を形成する方法で、900〜1000(℃)で実施される。良質な熱酸化膜(SiO2膜)は良好なパッシベーション効果を有するが、低品質基板を用いるとバルクライフタイムが低下し、効率が却って低下する。また、熱酸化プロセスは昇温・冷却に時間が掛かり、スループットやプロセスコストに問題がある。
【００５６】
次いで、ファイヤースルーAl印刷工程Ｐ４においては、前記のパッシベーション膜２２の上に例えば厚膜スクリーン印刷法を用いて、例えば、前記図３に示すパターンで、アルミニウムを導体成分として含む厚膜導体ペースト組成物(厚膜アルミニウムペースト)を塗布し、乾燥処理を施す。本実施例においては、この工程が裏面第１ペースト塗布工程に対応する。上記厚膜導体ペースト組成物は、通常、前記バス電極２４を形成する位置を避けて、後の工程でこれらが重なることのないように塗布される。
【００５７】
また、上記の厚膜導体ペースト組成物は、例えば、アルミニウム粉末を51〜80(wt%)の範囲内、例えば68(wt%)、ガラス粉末を1〜13(wt%)の範囲内、例えば4(wt%)、ベヒクルを10〜20(wt%)の範囲内、例えば16(wt%)、硼素粉を0.5〜7(wt%)の範囲内、例えば4(wt%)、珪素粉を0.5〜12(wt%)の範囲内、例えば3(wt%)程度、溶剤を2〜15(wt%)の範囲内、例えば5(wt%)程度の割合でそれぞれ含むものである。また、上記ガラス粉、珪素粉、硼素粉は、ガラス粉/(硼素粉＋珪素粉)の重量比が0.17〜7.0の範囲内となるように含まれている。また、上記ペーストの調合組成は、アルミニウム粉末 100重量部に対して、硼素粉を0.7〜11.7重量部の範囲内、例えば5.9重量部、珪素粉を0.7〜21.8重量部の範囲内、例えば4.4重量部、ガラス粉を1.3〜23.6重量部の範囲内、例えば5.9重量部となっている。また、上記の他に、カルボン酸系または燐酸系等の分散剤が適宜含まれる。これらの材料を攪拌機等を用いて混合して、例えば３本ロールミルで分散処理を行うことでペーストが調製される。
【００５８】
上記のアルミニウム粉末は、例えば、平均粒径(D50)が1〜10(μm)の範囲内、例えば6(μm)程度の芋状粉等が用いられる。少なくとも全体の10(wt%)以上は芋状粉であることが好ましいが、全量が芋状粉であることが最も好ましい。
【００５９】
また、ガラス粉末は、裏面Alコンタクト２６を構成する厚膜導体に含まれる前述した鉛ガラスであり、平均粒径が0.3〜3(μm)の範囲内、例えば1.5(μm)のものが用いられる。このガラスは、例えば、Li源として炭酸リチウム(Li2CO3)、Si源として二酸化珪素(SiO2)、B源として硼酸(H3BO3)、Pb源として鉛丹(Pb3O4)を用い、所望の組成となるように各原料を秤量して調合した後、坩堝に投入して組成に応じた900〜1200(℃)の範囲内の温度で溶融し、急冷することでガラス化させて得られる。これを遊星ミルやボールミル等の適宜の粉砕装置を用いて上記平均粒径となるように粉砕して用いられる。なお、上記ガラス粒径は空気透過法で求めたものである。空気透過法は、粉体層に対する流体(例えば空気)の透過性から粉体の比表面積を測定する方法であり、粉体層を構成する全粒子の濡れ表面積と、そこを透過する流体の流速および圧力降下の関係を示すコゼニー・カーマン(Kozeny-Carmann)の式を基礎とし、装置によって定められた条件で充填された粉体層に対する流速と圧力降下を測定して、試料の比表面積を求める。この測定方法は、充填された粉体粒子の間隙を細孔と見立てて、空気の流れに抵抗となる粒子群の濡れ表面積を求めるもので、通常はガス吸着法で求めた比表面積よりも小さな値を示す。
【００６０】
また、上記ベヒクルは、エチルセルロースまたはアクリル等を有機結合剤として含むもので、例えば、エチルセルロース(EC#100)とα-テルピネオールとを20：80(重量比)で混合したものや、EMB001(三菱レーヨン製  アクリル樹脂)とブチルカルビトールアセテートを40：60(重量比)で混合したもの等が用いられる。
【００６１】
次いで、集電用Al印刷工程Ｐ５においては、アルミニウムを導体成分として含む厚膜アルミニウムペーストを、例えば、厚膜スクリーン印刷法を用いて裏面側に塗布し、乾燥処理を施す。この厚膜アルミニウムペーストは、前記図２に示すように、上記バス電極２４間の所定位置に、これを形成するための厚膜銀ペースト膜に接し或いは僅かに重なるように塗布される。
【００６２】
上記の厚膜アルミニウムペーストは、例えば、アルミニウム粉末を60〜80(wt%)の範囲内、例えば74(wt%)、ガラス粉末を0.01〜5(wt%)の範囲内、例えば1(wt%)、ベヒクルを10〜20(wt%)の範囲内、例えば16(wt%)、シリコン粉を0〜14(wt%)の範囲内、例えば3(wt%)程度、溶剤を2〜15(wt%)の範囲内、例えば6(wt%)程度の割合でそれぞれ含むものである。各構成材料は、例えば、前記ファイヤースルーAl印刷工程Ｐ４に用いられる厚膜導体ペーストと同様なものでよい。なお、シリコン粉は、ペースト組成物全体に対して0〜14(wt%)の範囲、好ましくは1〜10(wt%)の範囲、より好ましくは1〜5(wt%)の範囲で含まれる。本実施例では4(wt%)含まれている。
【００６３】
次いで、表面Ag印刷工程Ｐ６においては、前記反射防止膜１８の上に、前記受光面電極２０を形成するための厚膜銀ペーストを、例えば厚膜スクリーン印刷法を用いて所定パターンで塗布し、乾燥処理を施す。
【００６４】
次いで、焼成工程Ｐ７においては、上記のようにして表面および裏面に厚膜銀ペーストや厚膜導体ペースト組成物(厚膜アルミニウムペースト)を塗布したシリコン基板１２に、それらペースト組成に応じた所定温度で焼成処理を施す。この焼成処理温度は、本実施例においては、受光面電極２０を形成するための厚膜銀ペーストの仕様、例えばガラスの軟化点等で決定されるが、少なくともアルミニウムの融点よりも高い660(℃)以上で900(℃)以下の温度、例えば、740〜880(℃)の範囲内、例えば、820(℃)程度である。また、焼成処理は、例えば連続炉で施され、送り速度は比較的遅い600(cm/min)以下、すなわち、660(℃)以上の温度範囲での昇温速度40〜50(℃/sec)に設定される。なお、本実施例において、昇温速度はφ0.5(mm)のＫ熱電対を用いて測定した値である。
【００６５】
上記の焼成過程において、裏面側においては、ペースト組成物から厚膜アルミニウムが生成され、同時に、ペースト組成物中の溶融したガラスフリットがパッシベーション膜２２を侵食するので、前記図１に示されるようにそのパッシベーション膜２２を貫通して、ファイヤースルーにより裏面Alコンタクト２６が形成され、低い接触抵抗で基板１２に接続される。また、集電用Al印刷工程Ｐ５で塗布されたアルミニウムペーストから、前記集電用Al電極２８が形成される。また、表面側においては、厚膜銀ペーストから前記受光面電極２０が形成される。これら厚膜銀ペーストに含まれるガラスフリットも、上記焼成温度で十分に軟化するように選択されており、反射防止膜１８が浸食されてファイヤースルーにより受光面電極２０がシリコン基板１２に接続される。本実施例においては、この工程が裏面ファイヤースルー工程および表面ファイヤースルー工程に対応する。
【００６６】
また、上記の裏面側の厚膜アルミニウム生成過程において、ペースト組成物中のAlがシリコン基板１２中に拡散してAl-Si合金を生成し、同時に、ｐ型不純物であるそのアルミニウムが拡散することでｐ+層１６が形成される。これにより、前述したように太陽電池素子１０の裏面側においてＢＳＦ効果が得られる。前述した組成範囲にあるガラスを含むペースト組成物が用いられることから、焼成過程においてアルミニウム粉末の酸化膜が容易に破られるので、そのアルミニウムが容易に基板１２中に拡散するのである。これにより、前記図１に示した太陽電池素子１０が得られる。
【００６７】
下記の表１は、前記裏面Alコンタクト２６を形成するために用いられる前記厚膜アルミニウムペーストに添加する硼素量、珪素量、ガラス粉量、およびガラス量/(硼素量＋珪素量)を種々変更して、接触抵抗を評価した結果をまとめたものである。評価に際しては、平均粒径6(μm)のアルミニウム粉と、平均粒径1.5(μm)のガラスフリットとを用い、印刷性を同等にするために、20(rpm)、25(℃)における粘度が150〜180(Pa・s)となるようにベヒクルを調整して、印刷製版はメッシュ(SUS325、線径23(μm)、乳剤厚20(μm))を使用し、グリッドラインの幅寸法が100(μm)になるように印刷条件を設定した。使用したシリコン基板のシート抵抗は、80±10(Ω/□)である。各試料のガラスは、PbOが48.0(mol%)、B2O3が3.0(mol%)、SiO2が37.0(mol%)、Li2Oが12.0(mol%)のガラス、すなわち、後述する表２のNo.15のガラスを用いた。表１において、「Al粉」欄にはアルミニウム量をペースト組成物全体に対する重量百分率(wt%)で示し、「B粉(Al 100比)」欄には硼素量、「Si粉(Al 100比)」欄には珪素量、「ガラス粉(Al 100比)」欄にはガラスフリット量を、それぞれAl 100重量部に対する比で示した。また、「接触抵抗」欄は、形成した電極の接触抵抗をTLM(Transmission Line Model)法を利用して四端子法で測定した結果により良否を判定したもので、「◎」は接触抵抗が1.0Ω以下、「○」は1.5Ω以下、「△」は2.0Ω以下、「×」は2.0Ω超である。この判断基準では、抵抗値が低い方が好ましいことはもちろんであるが、「△」評価のものも使用可能である。
【００６８】
【表１】
2015191971.tif 000003
【００６９】
上記の表１において、No.1〜3、5、9、21、28、33、40、41が比較例、他は実施例である。ペースト全体に対して、アルミニウム量が51〜80(wt%)の範囲、Al 100重量部比で硼素量が0〜16.7の範囲、珪素量が0〜26.8の範囲、ガラス量が1.3〜27.3の範囲、ガラス量/(硼素量＋珪素量)重量比が0〜9.0の範囲でペーストを調製し、裏面Alコンタクト２６を形成して接触抵抗を評価した。上記表１に示す通り、アルミニウム量が51〜80(wt%)の範囲、Al 100重量部比で硼素量が0.7〜11.7の範囲、珪素量が0.7〜21.8の範囲、ガラス量が1.3〜23.6の範囲、ガラス量/(硼素量＋珪素量)重量比が0.17〜7.0の範囲では、接触抵抗が2.0Ω以下、すなわち「△」評価以上の結果が得られた。更に、Al 100重量部比で硼素量が0.7〜9.8の範囲、珪素量が0.7〜17.6の範囲、ガラス量が1.3〜19.0の範囲、ガラス量/(硼素量＋珪素量)が0.17〜7.0の範囲では、接触抵抗が1.5Ω以下、すなわち「○」評価以上の結果が得られる。特に、アルミニウム量が52〜73(wt%)の範囲、Al 100重量部比で硼素量が3.6〜5.3の範囲、珪素量が3.6〜15.8の範囲、ガラス量が4.1〜15.4の範囲、ガラス量/(硼素量＋珪素量)が0.30〜1.17の範囲では、接触抵抗が1.0Ω以下、すなわち「◎」評価の結果が得られる。
【００７０】
下記の表２は、前記厚膜アルミニウムペーストに含まれるガラスフリットの組成を種々変更して前記裏面Alコンタクト２６を形成し、接触抵抗を評価した結果をまとめたものである。評価には前述したように調製したペーストを用い、何れも、ペースト調合仕様は前記表１のNo.17とした。表２において、「Pb/Si」欄はガラス中のPbとSiのmol比、「組成」欄は各ガラスの成分(mol%)である。組成欄で「他」とあるのは、ガラス中に含まれ得る前述した任意成分である。接触抵抗の評価基準は、前記表１と同様である。
【００７１】
【表２】
2015191971.tif 000004
【００７２】
上記の表２において、Pb/Siを0.67〜4.80の範囲、PbOを32.0〜68.0(mol%)の範囲、B2O3を1.0〜21.0(mol%)の範囲、SiO2を10.0〜52.0(mol%)の範囲、Li2Oを0〜24.0(mol%)の範囲、他の任意成分(Al、Ti、Zr、Zn、Bi、Na、K、Ag、S、Ga)を0〜22.0(mol%)の範囲で評価したところ、Pb/Siが0.7〜3.0の範囲、PbOが35.0〜65.0(mol%)の範囲、B2O3が3.0〜18.0(mol%)の範囲、SiO2が12.0〜50.0(mol%)の範囲、Li2Oが0.6〜21.0(mol%)の範囲、他の任意成分が0〜22.0(mol%)の範囲のNo.2、3、6、7、10、12、14〜23では、接触抵抗が2.0Ω以下、すなわち「△」評価以上の結果が得られ、更に、Pb/Siが1.25〜2.57の範囲、PbOが48.0〜65.0(mol%)の範囲、B2O3が3.0〜12.0(mol%)の範囲、SiO2が23.0〜38.8(mol%)の範囲、Li2Oが0.6〜12.4(mol%)の範囲、他の任意成分が0〜6.0(mol%)の範囲では、接触抵抗が1.5Ω以下、すなわち「○」評価以上の結果が得られる。特に、Pb/Siが1.3〜2.57の範囲、PbOが48.0〜61.5(mol%)の範囲、B2O3が3.0〜12.0(mol%)の範囲、SiO2が23.0〜37.0(mol%)の範囲、Li2Oが6.0〜12.4(mol%)の範囲、他の任意成分が0〜6.0(mol%)の範囲では、接触抵抗が1.0Ω以下、すなわち「◎」評価の結果が得られる。
【００７３】
なお、上記表２に示す評価結果は、ペースト調合仕様を一定として、ガラス組成の影響を確かめたものである。前記表１に示す評価結果からも明らかなように、ペースト中のAl、B、Si、ガラスの各量が変化すると、電極特性は著しく変化する。したがって、ガラス組成としては、上記表２で「◎」評価の範囲が最も好ましく、「○」が好ましく、「△」が一応使用可能なものと考えられるが、表２で「×」評価のNo.1、4、5、8、9、11、13についても、必ずしも排除されるものではなく、それら成分量を調整することによって接触抵抗を2.0Ω以下に低下させて、良好な結果を得ることができる。
【００７４】
上述した評価結果に示されるように、本実施例によれば、裏面Alコンタクト２６を形成するためのファイヤースルー用アルミニウムペーストには、ガラス量/(硼素量＋珪素量)が0.17〜7.0の範囲内となるように、アルミニウム粉末100重量部に対して、ガラスフリットが1.3〜23.6重量部、硼素成分が0.7〜11.7重量部、珪素成分が0.7〜21.8重量部の範囲でそれぞれ含まれることから、このペーストをシリコン基板１２の裏面に設けられたパッシベーション膜２２上に塗布して焼成処理を施すことにより、そのパッシベーション膜２２が好適に浸食されて、ペーストから生成された裏面Alコンタクト２６がシリコン基板１２裏面に接続される。また、同時に、ペースト中の珪素がアルミニウムとシリコン基板１２との間の合金化を促進し、しかも、ペースト中の硼素がアクセプタとして機能するので、その接続部分の近傍にＢＳＦ層が容易に形成される。そのため、太陽電池素子１０の裏面にファイヤースルーによって裏面Alコンタクト２６が形成されると共に、ＢＳＦ層が好適に形成されて、良好な電気伝導性が得られる。
【００７５】
以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施でき、その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。
【符号の説明】
【００７６】
１０  太陽電池素子
１２  基板
１４  ｎ＋層
１６  ｐ＋層
１８  反射防止膜
２０  受光面電極
２２  パッシベーション膜
２４  バス電極
２６  裏面Alコンタクト
２８  集電用Al電極
【図１】
2015191971.tif 000005
【図２】
2015191971.tif 000006
【図３】
2015191971.tif 000007
【図４】
2015191971.tif 000008