(57)【要約】【課題】流路を好適に接続することができると共に組立性を向上した液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体噴射ヘッド１０と、上流流路１０１を有する上流流路部材３０と、下流流路１０２を有する下流流路部材４０と、前記上流流路１０１と前記下流流路１０２とを接続して、内部に液体が流れる接続流路１０３が設けられた管状部分５１を有すると共に弾性材料からなるシール部材５０と、を具備し、前記管状部分５１は、前記上流流路部材３０及び前記下流流路部材４０の少なくとも一方に内壁が当接して密封し、前記管状部分５１の内壁が前記上流流路部材３０及び前記下流流路部材４０の少なくとも一方に当接する領域を囲うように前記管状部分５１の外周に沿って設けられた押さえ部６１を有する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力発生手段を駆動させてノズルから液体を吐出する液体噴射ヘッドと、
液体を保持した液体保持部から液体が供給される上流流路を有する上流流路部材と、
前記上流流路部材の前記上流流路に連通すると共に前記液体噴射ヘッドに液体を供給する下流流路を有する下流流路部材と、
前記上流流路部材の前記上流流路と前記下流流路部材の前記下流流路とを接続して、内部に液体が流れる接続流路が設けられた管状部分を有すると共に弾性材料からなるシール部材と、を具備し、
前記管状部分は、前記上流流路部材及び前記下流流路部材の少なくとも一方に内壁が当接して密封し、
前記管状部分の内壁が前記上流流路部材及び前記下流流路部材の少なくとも一方に当接する領域を囲うように前記管状部分の外周に沿って設けられた押さえ部を有することを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項２】
前記押さえ部と前記管状部分とが当接する領域は、当該接続流路内の液体が加圧されることによって前記上流流路部材と前記下流流路部材との接続部分からの液体が漏出しないように押さえられることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項３】
前記上流流路部材と前記下流流路部材とは、前記接続流路内において間隙を開けて配置されており、
前記押さえ部は、前記間隙に相対向する外周まで延設されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項４】
前記押さえ部は、前記上流流路部材と前記下流流路部材との間に設けられた押さえ部材に設けられており、
当該押さえ部材と前記下流流路部材とは、前記液体噴射ヘッドの前記ノズルが形成された平面に射影した際に前記ノズルとは異なる位置で固定されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項５】
前記管状部分は、前記上流流路部材及び前記下流流路部材の両方に内壁が当接して密封し、
前記押さえ部は、前記管状部分と前記上流流路部材とが当接する領域と、前記管状部分と前記下流流路部材とが当接する領域と、に跨って連続して設けられていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項７】
前記液体噴射ヘッドユニットに液体を圧送する圧送手段をさらに具備することを特徴とする請求項６記載の液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドユニット及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を噴射する液体噴射ヘッドユニットの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドユニットが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドユニットは、例えば、インク滴をノズルから吐出するインクジェット式記録ヘッドと、インクジェット式記録ヘッドに固定されて、インクが貯留されたインクカートリッジ等の液体貯留部からのインクを液体噴射ヘッドに供給する流路部材と、を具備するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドユニットの流路部材は、液体貯留部からインクが供給される上流流路部材と、インクジェット式記録ヘッドを保持すると共に上流流路部材からのインクをインクジェット式記録ヘッドに供給する下流流路部材と、を具備し、シート等の板状の弾性材料からなるシール部材を上流流路部材と下流流路部材との間で挟持させて、接続された流路からインクが漏れないように密封している構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−６７３０号公報
【特許文献２】特開２００３−３０５８７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上流流路部材と下流流路部材とで接続された流路を２つの部材の間で挟持されたゴムシート等の弾性材料からなるシール部材で密封しようとすると、シール部材の弾性変形による反発力によって、上流流路部材と下流流路部材とが互いに離反する方向に圧力が印加されてしまい、液体噴射ヘッドのインク滴を吐出する液体噴射面に垂直な方向に圧力が印加されて、流路部材と液体噴射ヘッドとの剥離、液体噴射ヘッドを構成する積層部材の剥離及び液体噴射ヘッドの液体噴射面の反りによるインク滴の被噴射媒体への着弾位置ずれなどの不具合が生じてしまうという問題がある。
【０００６】
これに対して、特許文献２のように、２つの流路を管状部分内に設け、両者をチューブ状のシール部材で接続する構成も提案されているが、シール部材と管状部分とが当接する圧力が低いとインクが漏出してしまうという問題がある。また、チューブ状のシール部材を管状部分に嵌合させる際にシール部材が延びることでシール力が低下し、インクが漏出してしまうという問題もある。さらに、チューブ状のシール部材の経年劣化によってもインクが漏出してしまうという問題がある。なお、このようなインクの漏出は、特にインクを加圧して供給した際にシール部材が膨張することで発生し易い。
【０００７】
さらに、板状、チューブ状の何れのシール部材を用いた場合であっても、上流流路部材と下流流路部材とを組み立てる際に、上流流路部材を下流流路部材に対して相対的に押圧する必要があり、この押圧によって上流流路部材と下流流路部材とが互いに離反する方向に圧力が印加されてしまう虞があるという問題がある。
【０００８】
一方、管状部分とチューブ状のシール部材とを高い圧力で当接させて密封させる場合、チューブを管状部分に高い圧力で嵌合させなければならず、組立性の低下、及び嵌合する際の圧力が液体噴射ヘッドに印加されて、液体噴射ヘッドの破壊や液体噴射面の反りによるインク滴の着弾位置ずれ等の不具合が生じてしまうという問題がある。
【０００９】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドユニットだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドユニットにおいても同様に存在する。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑み、流路を好適に接続することができると共に組立性を向上した液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明の態様は、圧力発生手段を駆動させてノズルから液体を吐出する液体噴射ヘッドと、液体を保持した液体保持部から液体が供給される上流流路を有する上流流路部材と、前記上流流路部材の前記上流流路に連通すると共に前記液体噴射ヘッドに液体を供給する下流流路を有する下流流路部材と、前記上流流路部材の前記上流流路と前記下流流路部材の前記下流流路とを接続して、内部に液体が流れる接続流路が設けられた管状部分を有すると共に弾性材料からなるシール部材と、を具備し、前記管状部分は、前記上流流路部材及び前記下流流路部材の少なくとも一方に内壁が当接して密封し、前記管状部分の内壁が前記上流流路部材及び前記下流流路部材の少なくとも一方に当接する領域を囲うように前記管状部分の外周に沿って設けられた押さえ部を有することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる態様では、上流流路及び下流流路内の液体が加圧された際に、シール部材の管状部分が膨張するものの、押さえ部が管状部分の膨張を抑制することで、接続流路と上流流路及び下流流路の少なくとも一方との接続部分での密着力が低下するのを抑制して、液体の漏出を抑制することができる。また、流路内の液体が加圧されることで押さえ部と管状部分とが密着するため、押さえ部を管状部分の外周に配置する際に上流流路部材と下流流路部材との積層方向に圧力が印加されるのを抑制することができる。したがって、組立性を向上することができると共に液体噴射ヘッドに応力が印加されることによる剥離や破壊を抑制することができる。流路内の液体が加圧されることで押さえ部と管状部分とが密着して、加圧された液体の漏出を抑制するため、管状部分と上流流路部材及び下流流路部材の少なくとも一方との接続部分の密着する圧力を低減させることもできる。これによってさらに組立性の向上及び組み立て時の応力の印加を抑制することができる。
【００１２】
ここで、前記押さえ部と前記管状部分とが当接する領域は、当該接続流路内の液体が加圧されることによって前記上流流路部材と前記下流流路部材との接続部分からの液体が漏出しないように押さえられることが好ましい。これによれば、上流流路及び下流流路内の液体が加圧された際に、シール部材の管状部分が膨張するものの、押さえ部が管状部分の膨張を抑制することで、接続流路と上流流路及び下流流路の少なくとも一方との接続部分での密着力が低下するのを抑制して、液体の漏出を抑制することができる。また、流路内の液体が加圧されることで押さえ部と管状部分とが密着するため、押さえ部を管状部分の外周に配置する際に上流流路部材と下流流路部材との積層方向に圧力が印加されるのを抑制することができる。
【００１３】
また、前記上流流路部材と前記下流流路部材とは、前記接続流路内において間隙を開けて配置されており、前記押さえ部は、前記間隙に相対向する外周まで延設されていることが好ましい。これによれば、上流流路部材が下流流路部材に当接して積層方向に押圧するのを抑制することができると共に、管状部分が膨張するのを押さえ部が抑制することができる。
【００１４】
また、前記押さえ部は、前記上流流路部材と前記下流流路部材との間に設けられた押さえ部材に設けられており、当該押さえ部材と前記下流流路部材とは、前記液体噴射ヘッドの前記ノズルが形成された平面に射影した際に前記ノズルとは異なる位置で固定されていることが好ましい。これによれば、押さえ部に圧力が印加された際に、押さえ部がノズル周辺を押圧するのを抑制して液体噴射ヘッドの剥離や破壊の発生を抑制することができる。
【００１５】
また、前記管状部分は、前記上流流路部材及び前記下流流路部材の両方に内壁が当接して密封し、前記押さえ部は、前記管状部分と前記上流流路部材とが当接する領域と、前記管状部分と前記下流流路部材とが当接する領域と、に跨って連続して設けられていることが好ましい。これによれば、１つの押さえ部によって上流流路と下流流路との両方を密封することができるため、部品点数を減らしてコストを低減することができる。
【００１６】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様に記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、組立性を向上して、部品の破壊を抑制して、液体の漏れを抑制した液体噴射装置を実現できる。
【００１７】
また、前記液体噴射ヘッドユニットに液体を圧送する圧送手段をさらに具備することが好ましい。これによれば、加圧された液体の漏出を抑制した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの要部断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの要部を拡大した断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの状態を示す断面図である。
【図５】本発明の実施形態２に係るヘッドユニットの要部を拡大した断面図である。
【図６】本発明の実施形態３に係るヘッドユニットの要部を拡大した断面図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略構成を表す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドユニットの断面図であり、図３は、図２の要部を拡大した断面図であり、図４は、インクジェット式記録ヘッドユニットの状態を示す断面図である。
【００２０】
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニット１（以下、単にヘッドユニットとも言う）は、ノズルからインク滴を吐出する複数のインクジェット式記録ヘッド１０（以下、単に記録ヘッド１０とも言う）と、複数の記録ヘッド１０を保持すると共に記録ヘッド１０に液体を供給する液体流路が設けられた流路部材２０と、を具備する。
【００２１】
記録ヘッド１０は、一方面に液体としてインク滴を吐出するノズルが開口する液体噴射面１２が設けられている。本実施形態の液体噴射面１２には、特に図示していないが、ノズルが並設されたノズル列が、ノズルの並設方向とは交差する方向に２列設けられている。ここで、本実施形態では、１つのノズル列においてノズルが並設された方向を第１の方向Ｘと称し、第１の方向Ｘに交差してノズル列が列設された方向を第２の方向Ｙと称する。
【００２２】
また、記録ヘッド１０の図示しない内部には、ノズルに連通すると共に流路部材２０の液体流路に連通する流路と、流路内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段等が設けられている。かかる圧力発生手段としては、例えば、電気機械変換機能を呈する圧電材料を有する圧電アクチュエーターの変形によって流路の容積を変化させて流路内のインクに圧力変化を生じさせてノズルからインク滴を吐出させるものや、流路内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルからインク滴を吐出させるものや、振動板と電極との間に静電気力を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルからインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００２３】
このような記録ヘッド１０は、液体噴射面１２とは反対面側が流路部材２０に固定され、インクカートリッジやインクタンクなどの液体保持部に保持されたインクが流路部材２０を介して供給される。なお、流路部材２０には、記録ヘッド１０が複数個、本実施形態では、ノズル列の列設方向である第２の方向Ｙに６個並設された列が、第１の方向Ｘに２列設けられている。すなわち、１つのヘッドユニット１には、合計１２列のノズル列が第２の方向Ｙに並設されている。また、本実施形態では、流路部材２０と記録ヘッド１０との固定方向を第３の方向Ｚと称する。すなわち、流路部材２０と記録ヘッド１０との固定方向とは積層方向のことであり、液体噴射面１２の面方向（第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの面内方向）に直交する方向のことである。
【００２４】
ちなみに、記録ヘッド１０と流路部材２０との固定方法は特に限定されず、例えば、接着剤による接着や、ネジ等による固定であってもよい。ただし、記録ヘッド１０は小型であり、１つの流路部材２０に対して複数取り付ける必要があるため、弾性材料からなるシール部材を介して固定するのは困難である。したがって、記録ヘッド１０と流路部材２０とは接着剤により接着するのが好ましい。
【００２５】
このような記録ヘッド１０が固定される流路部材２０は、液体保持部が接続される上流流路１０１が設けられた上流流路部材３０と、上流流路１０１に連通する下流流路１０２が設けられた下流流路部材４０と、上流流路部材３０と下流流路部材４０との間に設けられて上流流路１０１と下流流路１０２との接続部分を密封するシール部材５０と、シール部材を押さえる押さえ部６１を有する押さえ部材６０と、を具備する。すなわち、流路部材２０の液体流路は、上流流路１０１及び下流流路１０２を有する。
【００２６】
上流流路部材３０は、本実施形態では、第１上流流路部材３１と、第２上流流路部材３２と、第３上流流路部材３３とが第３の方向Ｚに積層されて構成されている。なお、上流流路部材３０は特にこれに限定されるものではなく、単一の部材であっても、２以上の複数の部材で構成されていてもよい。また、上流流路部材３０を構成する複数の部材の積層方向も特に限定されず、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙであってもよい。
【００２７】
第１上流流路部材３１は、下流流路部材４０とは反対側の面に、インク（液体）が保持された液体保持部に接続される接続部３４を具備する。本実施形態では、接続部３４として、液体保持部に接続される針状に突出したものとした。なお、接続部３４には、インクカートリッジなどの液体保持部が直接接続されてもよく、また、インクタンクなどの液体保持部がチューブ等の供給管などを介して接続されてもよい。このような接続部３４の内部には、液体保持部からのインクが供給される第１上流流路１０１ａが設けられている。この第１上流流路１０１ａの下流側には、接続部３４内の第１上流流路１０１ａよりも内径が広く拡幅された液体溜まり部１０１ｂを有する。
【００２８】
第２上流流路部材３２は、第１上流流路部材３１の接続部３４とは反対面側に固定されて、第１上流流路１０１ａに連通する第２上流流路１０１ｃを有する。第２上流流路部材３２の第２上流流路１０１ｃの開口部分には、インクに含まれる気泡や異物を除去するためのフィルター３５が設けられており、第１上流流路１０１ａ（液体溜まり部１０１ｂ）から供給されたインクは、フィルター３５を介して第２上流流路１０１ｃに供給される。なお、第２上流流路１０１ｃは、第１上流流路１０１ａと後述する第３液体供給路１０１ｄとの位置に応じて、第１上流流路部材３１及び第２上流流路部材３２の積層方向である第３の方向Ｚに延びる流路や、第３の方向Ｚに直交する方向、すなわち第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面内に延びる流路等の何れであってもよい。
【００２９】
第３上流流路部材３３は、第２上流流路部材３２の第１上流流路部材３１とは反対側に設けられている。また、第３上流流路部材３３には、第２上流流路部材３２の第２上流流路１０１ｃに連通する第３上流流路１０１ｄが設けられている。すなわち、上流流路１０１は、第１上流流路１０１ａ（液帯溜まり部１０１ｂ）、第２上流流路１０１ｃ及び第３上流流路１０１ｄを有する。この第３上流流路１０１ｄは、一端が第２上流流路部材３２側に開口して第２上流流路１０１ｃに連通する。また、第３上流流路１０１ｄは、他端が下流流路部材４０側に突出して設けられた筒状の第１突起部３６の先端面に開口して設けられている。すなわち、上流流路部材３０の下流流路部材４０側の面には、それぞれ内部に上流流路１０１が設けられた管状の第１突起部３６が複数突設されている。なお、本実施形態では、円筒形状を有する第１突起部３６を設けた。もちろん、第１突起部３６の内部形状、すなわち、上流流路１０１の断面形状や、第１突起部３６の外部形状（断面形状）等は円形に限定されず、楕円形、矩形状等であってもよい。
【００３０】
このような上流流路１０１が設けられた第１上流流路部材３１、第２上流流路部材３２及び第３上流流路部材３３は、例えば、接着剤や、溶着等によって一体的に積層されている。なお、第１上流流路部材３１、第２上流流路部材３２及び第３上流流路部材３３をネジやクランプ等で固定することもできるが、第１上流流路１０１ａから第３上流流路１０１ｄに至るまでの接続部分からインク（液体）が漏出するのを抑制するためにも、接着剤や溶着等で接合するのが好ましい。
【００３１】
また、第３上流流路部材３３には、下流流路部材４０側に開口する凹部３７が設けられており、凹部３７の底面、すなわち第１上流流路部材３１側の面には、厚さ方向に貫通する固定孔３８が設けられている。そして、詳しくは後述する押さえ部材６０に設けられて上流流路部材３０側に突出して設けられた固定部６２を凹部３７内に挿入し、固定ネジ３９を固定孔３８に挿入させて固定部６２に螺合させることで、上流流路部材３０は押さえ部材６０の一方面に固定される。
【００３２】
なお、本実施形態では、１つの上流流路部材３０に４つの接続部３４を設け、１つの上流流路部材３０には４つの独立した上流流路１０１が設けられている。なお、本実施形態では、１つの上流流路部材３０に４つの独立した上流流路１０１が設けられた構成を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、上流流路１０１は、接続部３４側からフィルター３５を通過した後、２つに分岐されるようにしてもよい。もちろん、上流流路１０１は、フィルター３５を通過した後、３つ以上に分岐されていてもよい。また、１つの上流流路部材３０には、２つの固定孔３８が設けられており、２箇所で固定ネジ３９によって押さえ部材６０に固定される。さらに、このような上流流路部材３０は、本実施形態では、１つのヘッドユニット１において３個設けられている。もちろん、上流流路部材３０を押さえ部材６０に固定する固定方法は、ネジによる締結に限定されず、例えば、接着剤等による接着であってもよい。本実施形態では、上流流路部材３０を固定ネジ３９によって押さえ部材６０に固定することで、押さえ部材６０から上流流路部材３０を容易に着脱することができる。したがって、上流流路部材３０のみを交換することができ、流路部材２０全体を交換するのに比べて歩留まりを向上することができる。また、上流流路部材３０を押さえ部材６０から容易に着脱させることができるため、上流流路部材３０の上流流路１０１に洗浄液を逆流させて上流流路１０１内やフィルター３５上の異物を洗浄する逆洗浄等を容易に行うことができる。
【００３３】
押さえ部材６０は、第３の方向Ｚの一方面に上流流路部材３０が固定されると共に他方面側に下流流路部材４０が固定されるものである。そして、押さえ部材６０と上流流路部材３０との間には、上流流路部材３０の上流流路１０１と下流流路部材４０の下流流路１０２とを接続する（継ぐ）、継手であるシール部材５０が設けられている。
【００３４】
ここで、下流流路部材４０は、押さえ部材６０の上流流路部材３０とは反対側に固定されている。また、下流流路部材４０の押さえ部材６０とは反対面側には、記録ヘッド１０が固定されている。
【００３５】
下流流路部材４０には、上流流路部材３０の上流流路１０１に連通する下流流路１０２が設けられている。下流流路１０２は、一端が記録ヘッド１０の固定される面に開口し、他端が上流流路部材３０側に突出して設けられた筒状の第２突起部４１の先端面に開口して設けられている。すなわち、下流流路部材４０の上流流路部材３０側の面には、それぞれ内部に下流流路１０２が設けられた管状の第２突起部４１が複数突設されている。なお、本実施形態では、円筒形状を有する第２突起部４１を設けるようにした。もちろん、第２突起部４１の内部形状、すなわち、下流流路１０２の断面形状や、第２突起部４１の外部形状（断面形状）等は円形に限定されず、楕円形、矩形状等であってもよい。
【００３６】
そして、上流流路部材３０の第１突起部３６に設けられた上流流路１０１と、下流流路部材４０の第２突起部４１に設けられた下流流路１０２とは、シール部材５０によって密封されて接続されている。なお、第１突起部３６と、第２突起部４１とは、相対向する先端面同士が所定の間隔となるように配置されている。ちなみに、第１突起部３６と第２突起部４１との先端面同士を直接接触させるようにすると、寸法公差等から、第１突起部３６と第２突起部４１との間に隙間が生じるか、第１突起部３６と第２突起部４１とが当接して記録ヘッド１０に第３の方向Ｚに圧力が印加されてしまう。このため、第１突起部３６の先端面と、第２突起部４１の先端面とは、予め離れた位置となるように配置することで、第１突起部３６が第２突起部４１を押圧して記録ヘッド１０に第３の方向Ｚの圧力が印加され難くしている。なお、第１突起部３６と第２突起部４１との間に隙間があると、気泡が滞留する虞がある。このため、第１突起部３６と第２突起部４１との間に充填部材を充填するようにしてもよい。このような充填部材としては、ヘッドユニット１に用いられるインク等の液体に対して耐液体性を有する多孔質弾性体で、且つシール部材５０に比べて弾性力（弾性率）が低い材料を用いることができる。例えば、多孔質弾性体としては、ポリエチレン、メラミン等の樹脂材料、ゴムなどで形成されたスポンジが挙げられる。
【００３７】
シール部材５０は、ヘッドユニット１に用いられるインク等の液体に対して耐液体性を有し、且つ弾性変形可能な材料（弾性材料）、例えば、ゴムやエラストマー等を用いることができる。
【００３８】
シール部材５０は、上流流路１０１と下流流路１０２とを接続する領域毎に管状（筒状）の管状部分５１を有する。管状部分５１には、内部に第１突起部３６及び第２突起部４１よりも若干小さな内径を有する接続流路１０３が設けられている。そして、管状部分５１の接続流路１０３を第１突起部３６及び第２突起部４１の外周に跨って嵌合させることで、第１突起部３６に設けられた上流流路と第２突起部４１に設けられた下流流路１０２とは接続流路１０３を介して連通される。すなわち、第１突起部３６と第２突起部４１との外周には、この第１突起部３６と第２突起部４１との外周に跨って設けられて、境界の周方向に亘って連続する管状部分５１が設けられている。本実施形態では、第１突起部３６及び第２突起部４１の外形の断面が円形状を有するため、管状部分５１は、第１突起部３６及び第２突起部４１の外周に嵌合するように内部が円形の断面となり、且つ肉厚が周方向に亘って略同じとなる形状、つまり円筒形状とした。このような管状部分５１は、１つの上流流路部材３０に対して複数個が一体的になるように、上流流路部材３０側で板状部分によって連結されている。なお、本実施形態では、１つの上流流路部材３０に上流流路が４個設けられているため、４個の管状部分５１が一体的に設けられたシール部材５０となっている。また、本実施形態では、１つの流路部材２０に上流流路部材３０が３個設けられているため、シール部材５０は上流流路部材３０と同じ数、すなわち、３個設けられている。
【００３９】
なお、接続流路１０３は、第１突起部３６及び第２突起部４１の外周よりも若干小さな内径を有するため、接続流路１０３の内面が第１突起部３６及び第２突起部４１の外周面に、上流流路１０１及び下流流路１０２の径方向に圧力を印加した状態で密着される。ちなみに、上流流路１０１及び下流流路１０２の径方向とは、インクの流れる方向を横断する方向であり、本実施形態では、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの面内方向のことである。ちなみに、上流流路１０１及び下流流路１０２は、本実施形態では、第３の方向Ｚに沿って設けられているが、特にこれに限定されず、例えば、上流流路１０１及び下流流路１０２の何れか一方又は両方が、第３の方向Ｚに交差する方向に設けられていてもよい。この場合には、シール部材５０は、上流流路１０１及び下流流路１０２の径方向は、流路が設けられた第３の方向Ｚに交差する方向となる。
【００４０】
このように、上流流路１０１及び下流流路１０２の径方向に圧力を印加して密封するシール部材５０によって、上流流路１０１及び下流流路１０２を連通させることで、シール部材５０がノズルの形成された液体噴射面１２の面方向に直交する方向、すなわち、第３の方向Ｚに弾性変形してその反発力が記録ヘッド１０を押圧するのを抑制することができる。これにより、流路部材２０からの記録ヘッド１０の剥離、記録ヘッド１０を構成する図示しない積層部材（第３の方向Ｚに積層された部材）の剥離及び記録ヘッド１０の液体噴射面１２に反りが発生するのを抑制して、ノズルが形成された液体噴射面１２の反りによりノズルから吐出されるインク滴の被噴射媒体への着弾位置ずれを抑制することができる。
【００４１】
ちなみに、第１突起部３６の先端面と第２突起部４１の先端面との間で弾性部材からなるシール部材５０を挟持させると、シール部材５０の弾性変形による反発力によって記録ヘッド１０に第３の方向Ｚに圧力が印加されてしまう。そして、記録ヘッド１０に第３の方向Ｚに圧力が印加されると、記録ヘッド１０が流路部材２０から剥離したり、記録ヘッド１０を構成する図示しない積層部材（第３の方向Ｚに積層された部材）が剥離したり、記録ヘッド１０の液体噴射面１２が反ることにより被噴射媒体へのインク滴の着弾位置ずれなどが発生する。
【００４２】
このような上流流路部材３０及び下流流路部材４０は、本実施形態では、押さえ部材６０の第３の方向Ｚの両面にそれぞれ固定されている。
【００４３】
押さえ部材６０は、シール部材５０の各管状部分５１に対応して設けられた筒形状を有する押さえ部６１を具備する。
【００４４】
押さえ部６１は、管状部分５１の内壁が上流流路部材３０及び下流流路部材４０の少なくとも一方に当接する領域を囲むように管状部分５１の外周に沿って設けられている。本実施形態では、押さえ部６１は、管状部分５１の内壁が下流流路部材４０に当接する領域を囲むように管状部分５１の外周に沿って設けている。このような押さえ部６１は、管状部分５１の外径と同じか、又は若干大きな内径を有する。また、押さえ部６１は、本実施形態では、管状部分５１の外周の周方向に亘って設けられており、当該押さえ部６１の内面は管状部分５１の外周に接触又は非接触の状態で配置される。ここで、押さえ部６１の内面が管状部分５１の外周に接触しているとは、本実施形態では、押さえ部６１と管状部分５１との相対向する領域において、その全ての面が当接しているのではなく、一部が当接している状態を言う。つまり、押さえ部６１の内周面と管状部分５１の外周面とは、互いに圧力をかけて密着していない状態で配置されている。
【００４５】
また、押さえ部６１は、本実施形態では、下流流路部材４０の第２突起部４１の管状部分５１が嵌合した領域の外側に設けられている。そして、押さえ部６１は、第１突起部３６と第２突起部４１との間の間隙を覆う管状部分５１の外側に相対向するように延設されている。
【００４６】
このような押さえ部６１は、上流流路１０１、接続流路１０３及び下流流路１０２内のインクが加圧されることで、管状部分５１の外周面と密着、つまり所定の圧力で互いに当接する。
【００４７】
具体的には、インクが加圧されていない状態、本実施形態では、流路部材２０にインクが供給されていない状態では、図４（ａ）に示すように、押さえ部６１は、管状部分５１の外周面に接触又は非接触している。すなわち、押さえ部６１の内周面と管状部分５１の外周面とは圧力が印加されていない状態で接触（非接触）している。
【００４８】
このような流路部材２０の流路内のインクを加圧すると、図４（ｂ）に示すように、加圧されたインクによってシール部材５０の管状部分５１が膨張する。特に、第１突起部３６と第２突起部４１との間、すなわち、第１突起部３６と第２突起部４１との先端面同士が相対向する領域を覆う管状部分５１が膨張する。これにより、管状部分５１の外径は大きくなり、押さえ部６１の内周面と管状部分５１の外周面とが密着、つまり第３の方向Ｚに直交する方向に互いに高い圧力で当接する。つまり、押さえ部６１は、インクが加圧されることで管状部分５１が膨張するのを規制して、管状部分５１の膨張を抑制する。このように押さえ部６１が管状部分５１の膨張を抑制するため、管状部分５１の内面と第２突起部４１の外面との密着する圧力が低下するのを抑制して、接続流路１０３と下流流路１０２との接続部分からインクが漏出するのを抑制することができる。また、シール部材５０の管状部分５１を第２突起部４１等に嵌合させる際に、管状部分５１が延びることでシール力（密着力）が低下したとしても、加圧されたインクによって管状部分５１と押さえ部６１とが高い圧力で密着するため、インクの収縮による管状部分５１の内面と第２突起部４１の外面との密着する圧力が低下するのを抑制して、接続流路１０３と下流流路１０２との接続部分からインクが漏出するのを抑制することができる。さらに、管状部分５１の経年劣化による収縮によって管状部分５１と第２突起部４１との密着力が低下したとしても、加圧されたインクによって管状部分５１と押さえ部６１とが高い圧力で密着するため、インクの漏出を抑制することができる。
【００４９】
このように、本実施形態では、インクの加圧によって管状部分５１と押さえ部６１とが高い圧力で密着して、押さえ部６１によって管状部分５１が締め付けられる。したがって、インクが加圧されていない状態では、管状部分５１と第２突起部４１との密着力を低くすることができる。したがって、流路部材２０の組み立て時に管状部分５１を第２突起部４１の外周に嵌合させる際の圧力を小さくすることができる。つまり、押さえ部６１を設けていない場合には、管状部分５１と第２突起部４１とが密着する圧力を高くしなければ、インクが加圧された際のインクの漏出を抑制することができないが、管状部分５１と第２突起部４１とを密着する圧力を高くすると組立性が低下すると共に、管状部分５１を第２突起部４１の外周に嵌合させる際に第３の方向Ｚに高い圧力が印加されてしまう。この第３の方向Ｚの圧力は、下流流路部材４０を介して記録ヘッド１０に伝わってしまう。本実施形態では、管状部分５１と第２突起部４１とを低い圧力で密着させるため、管状部分５１を第２突起部４１の外周に嵌合させる際に第３の方向Ｚに印加される圧力を低減することができる。これにより、組立性の向上及び組み立て時の第３の方向Ｚへの圧力による記録ヘッド１０の破壊や剥離等を抑制することができる。また、上述のように、管状部分５１と第２突起部４１とを低い圧力で密着させても、インクを加圧した際に接続部分からインクが漏出するのを抑制することができる。
【００５０】
また、本実施形態では、インクが加圧されていない状態では、押さえ部６１の内周面と管状部分５１の外周面とが密着していない。したがって、押さえ部６１を管状部分５１の外周に嵌合させる際に、第３の方向Ｚに印加される圧力を低減することができる。ちなみに、管状部分５１と第２突起部４１とを高い圧力で密着させる場合には、押さえ部６１によって管状部分５１の外周が締め付けられるように密着する圧力を高めればよいが、組み立て時、すなわち、押さえ部６１を管状部分５１の外周に嵌合させる際に第３の方向Ｚに高い圧力が印加されてしまう。本実施形態では、押さえ部６１を管状部分５１の外周に嵌合させる際に、第３の方向Ｚに印加される圧力を低減することができる。したがって、組立性を向上することができる。つまり、本実施形態では、シール部材５０には複数の管状部分５１が一体的に設けられているため、複数の管状部分５１を複数の第２突起部４１に同時に高い圧力で嵌合させるのは困難である。また、同様に、複数の押さえ部６１を複数の管状部分５１に高い圧力で同時に嵌合させるのは困難であるからである。また、押さえ部６１を管状部分５１の外周に嵌合させる際に、第３の方向Ｚに印加される圧力を低減することができるため、下流流路部材４０を介して記録ヘッド１０に印加される圧力を抑制して、記録ヘッド１０の剥離や破壊を抑制することができる。
【００５１】
ちなみに、流路内のインクの加圧は、液体保持部側に設けられた加圧ポンプによるものや、液体保持部とヘッドユニット１との水頭差等によって行われるものである。
【００５２】
このような押さえ部６１を有する押さえ部材６０と下流流路部材４０とは、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面内において、下流流路部材４０の記録ヘッド１０が保持された領域とは異なる領域、つまり、射影が重ならない領域で固定されている。そして、本実施形態では、押さえ部材の押さえ部６１と下流流路部材４０とは、第３の方向Ｚで当接しないように配置されている。
【００５３】
なお、下流流路部材４０と押さえ部材６０との固定位置は、ノズルが形成されている平面に射影した際に、ノズルとは異なる位置となっているのが好ましい。このように、下流流路部材４０と押さえ部材６０との固定領域をノズルとは異なる位置とすることで、例えば、押さえ部６１に第３の方向Ｚに圧力が印加された際に、押さえ部６１が下流流路部材４０を押圧して、記録ヘッド１０に圧力が印加されるのを抑制することができるからである。
【００５４】
なお、本実施形態では、さらに、下流流路部材４０と押さえ部材６０との間には、配線基板７０が設けられている。配線基板７０には、特に図示していないが、記録ヘッド１０に設けられた圧力発生手段等に接続された配線が設けられている。また、配線基板７０には、コネクター７１が設けられており、押さえ部材６０に設けられた配線接続孔６３を挿通した図示しない外部配線がコネクター７１に接続される。このように流路部材２０内に配線基板７０が設けられている場合、配線基板７０がインクに触れると配線が短絡してしまうため、特に上流流路１０１と下流流路１０２との接続部分からのインク（液体）の漏出を抑制する必要がある。本実施形態では、シール部材５０を用いて上流流路１０１と下流流路１０２との接続部分を封止していると共に、押さえ部６１を設けるようにしたため、記録ヘッド１０に第３の方向Ｚの圧力が印加されるのを抑制した状態で、上流流路１０１と下流流路１０２との接続部分を高い圧力で密封することができる。
【００５５】
このように、本実施形態では、上流流路１０１及び下流流路１０２の径方向に圧力を印加して密封するシール部材５０によって、上流流路１０１及び下流流路１０２を連通させることで、シール部材５０が液体噴射面１２の面方向に直交する方向、すなわち、第３の方向Ｚに弾性変形してその反発力が記録ヘッド１０を押圧するのを抑制することができる。これにより、流路部材２０からの記録ヘッド１０の剥離、記録ヘッド１０を構成する図示しない積層部材（第３の方向Ｚに積層された部材）の剥離及び記録ヘッド１０の液体噴射面１２に反りが発生するのを抑制して、液体噴射面１２の反りによりノズルから吐出されるインク滴の被噴射媒体への着弾位置ずれを抑制することができる。
【００５６】
また、シール部材５０の管状部分５１の外周に、管状部分５１の第２突起部４１に対向する外側及び第１突起部３６と第２突起部４１との間の領域の外側を押さえる押さえ部６１を設けるようにした。そして、押さえ部６１は、流路内のインクを加圧することで管状部分５１が膨張し、押さえ部６１の内周面と管状部分５１の内周面とが密着して、管状部分５１と第２突起部４１との密着力が低下するのを抑制するようにした。このため、インクが加圧された際にインクの漏出を抑制することができる。また、インクが加圧されていない状態では、管状部分５１と第２突起部４１との密着する圧力及び管状部分５１と押さえ部６１との密着する圧力を低くすることができるため、組立性を向上することができると共に、組み立て時に第３の方向Ｚに圧力が印加されるのを抑制することができる。
【００５７】
（実施形態２）
図５は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの要部を拡大した断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００５８】
図５に示すように、押さえ部材６０Ａに設けられた押さえ部６１Ａは、シール部材５０の管状部分５１の外周に、第１突起部３６に相対向する領域から第２突起部４１に相対向する領域に亘って周方向に連続して設けられている。
【００５９】
なお、押さえ部６１Ａと、管状部分５１とは、上述した実施形態１と同様に、インクが加圧されていない状態では、接触又は非接触であり、インクが加圧されることで管状部分５１の外周面と押さえ部６１Ａの内周面とが密着する。
【００６０】
このように、本実施形態では、押さえ部６１Ａを管状部分５１の外周に第１突起部３６及び第２突起部４１に相対向する領域に跨って設けたため、インクが加圧された際に、押さえ部６１Ａによって上流流路１０１と接続流路１０３との接続部分及び接続流路１０３と下流流路１０２との接続部分のインクの漏出を抑制することができる。また、上述した実施形態１と同様の押さえ部６１を上流流路１０１と接続流路１０３との接続部分にも設けた場合に比べて、１つの押さえ部６１Ａで上流流路１０１と接続流路１０３との接続部分及び接続流路１０３と下流流路１０２との接続部分のインクの漏出を抑制することができるため、部品点数を低減してコストを抑制することができる。
【００６１】
なお、本実施形態では、押さえ部材６０Ａとシール部材５０の板状部分とが当接して設けられているが、板状部分と上流流路部材３０とが当接することなく隙間が形成されていれば、上流流路部材３０を押さえ部材６０Ａに固定した際の圧力がシール部材５０を介して押さえ部材６０Ａに印加されるのを抑制することができる。
【００６２】
（実施形態３）
図６は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの要部を拡大した断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００６３】
図６に示すように、本実施形態の押さえ部６１Ｂは、下流流路部材４０Ａの上流流路部材３０側の面に一体的に設けられている。すなわち、筒形状を有する押さえ部６１Ｂは第２突起部４１の外周側に下流流路部材４０Ａに一体的に設けられている。
【００６４】
なお、押さえ部６１Ｂとシール部材５０とは、上述した実施形態１と同様に、インクが加圧されていない状態では、接触又は非接触し、インクが加圧された際に密着される。
【００６５】
このような構成であっても、上述した実施形態１と同様に、加圧されたインクの漏出を抑制することができる。
【００６６】
なお、本実施形態では、押さえ部材６０が設けられていないため、上流流路部材３０は、直接下流流路部材４０Ａに固定すればよい。ちなみに、上流流路部材３０を下流流路部材４０Ａに直接固定しても、上流流路部材３０と下流流路部材４０Ａとの間でシール部材５０を第３の方向Ｚに圧力をかけて挟持しなければ、記録ヘッド１０に第３の方向Ｚの圧力が印加されることはない。
【００６７】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【００６８】
例えば、上述した実施形態１〜３では、複数の管状部分５１が一体的に設けられたシール部材５０を例示したが、特にこれに限定されず、各上流流路１０１毎に独立した管状部分としてもよい。
【００６９】
また、上述した実施形態１〜３においては、上流流路部材３０を第１上流流路部材３１、第２上流流路部材３２、第３上流流路部材３３の３つの部材で構成したが、上流流路部材３０は単一の部材で形成されていてもよく、３つ以外の複数の部材で構成されていてもよい。同様に、上述した例では、下流流路部材４０、４０Ａを単一の部材で構成したが、特にこれに限定されず、２以上の複数の部材で構成されていてもよい。
【００７０】
また、上述した実施形態１及び２では、押さえ部６１を押さえ部材６０に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、押さえ部６１を上流流路部材３０の一部として設けるようにしてもよい。
【００７１】
さらに、上述した実施形態１〜３では、押さえ部６１〜６１Ｂは、管状部分５１の外周に周方向に亘って連続して設けるようにしたが、特にこれに限定されず、押さえ部６１〜６１Ｂは、管状部分５１の周方向に断続して形成されていてもよい。すなわち、押さえ部６１〜６１Ｂには、周方向に所定の間隔でスリットが設けられていてもよい。つまり、押さえ部６１〜６１Ｂが、管状部分５１の外周に沿って設けられているとは、管状部分５１の外周に亘って連続して設けられていることも、管状部分５１の外周に沿って断続的に設けられていることも含む。
【００７２】
また、上述した実施形態１及び３では、押さえ部６１、６１Ｂを第１突起部３６と第２突起部４１との間の間隙に相対向する領域まで延設するようにしたが、特にこれに限定されず、押さえ部６１、６１Ｂを第２突起部４１に相対向する領域のみに設けるようにしても、上述した実施形態１及び３と同じ効果を奏することができる。
【００７３】
また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドユニット１は、インクジェット式記録装置に搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００７４】
図７に示すインクジェット式記録装置Ｉでは、ヘッドユニット１は、キャリッジ３に搭載され、キャリッジ３は装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。
【００７５】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００７６】
また、インクジェット式記録装置Ｉには、装置本体４に固定されて内部にインクが貯留された液体保持部２が設けられている。この液体保持部２には、ヘッドユニット１にインクを供給する供給路が設けられたフレキシブルチューブ等の管状部分からなる供給管２ａが接続されている。
【００７７】
また、供給管２ａの途中には、液体保持部２のインクをヘッドユニット１に圧送する圧送手段である加圧ポンプ２ｂが設けられている。所定のタイミングで加圧ポンプ２ｂが駆動することにより、加圧ポンプ２ｂの圧送によって、液体保持部２のインクは、ヘッドユニット１に所定の圧力で供給される。
【００７８】
さらに、インクジェット式記録装置Ｉの非印刷領域には、ヘッドユニット１のノズルから流路内のインクや気泡等を吸引するクリーニング手段９が設けられている。
【００７９】
クリーニング手段９は、ヘッドユニット１のノズルを覆うキャップ部材９ａと、キャップ部材９ａに吸引管９ｂを介して接続された例えば真空ポンプ等の吸引手段９ｃとを具備する。
【００８０】
このような構成のクリーニング手段９は、キャップ部材９ａをヘッドユニット１の液体噴射面１２に当接させて、吸引手段９ｃに吸引動作を行わせることでキャップ部材９ａの内部を負圧として、ノズルから流路内のインクを気泡と共に吸引して吸引動作（クリーニ
ング動作）を行う。また、非印刷時には、キャップ部材９ａによってノズルを封止することによりノズルの乾燥を抑制するようにしてもよい。
【００８１】
なお、キャップ部材９ａは、所望のタイミングで、ノズルの開口する液体噴射面１２に当接して、ノズルを覆うため、キャップ部材９ａは、本実施形態では、第３の方向Ｚに移動自在に設けられている。そして、キャップ部材９ａの移動は、例えば、図示しない駆動モーターや電磁石等の移動手段によって行うことができる。
【００８２】
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、ヘッドユニット１のノズルの高密度化に伴い、吸引手段９ｃの吸引力だけでは、ヘッドユニット１の流路内のインクを確実に吸引することが困難である。このため、クリーニング手段９によってノズルから流路内のインクを吸引する際に、加圧ポンプ２ｂによって液体保持部２側から供給するインクを加圧する。このとき、上述のようにヘッドユニット１内のインクが加圧されるが、上述した実施形態１〜３のようにヘッドユニット１に押さえ部６１〜６１Ｂを設けることで、インクの加圧時にインクの漏出を抑制することができる。
【００８３】
なお、ヘッドユニット１内のインクの加圧は、クリーニング動作等だけに限定されるものではない。例えば、下流流路部材４０、４０Ａの内部に下流側の圧力が負圧になった際に上流と下流とを連通させる弁体（負圧弁）が設けられている場合には、液体保持部２からは常に加圧ポンプ２ｂによってインクが加圧された状態で供給されていてもよい。
【００８４】
また、上述した各実施形態では、上流流路１０１が設けられた上流流路部材３０と、下流流路１０２が設けられた下流流路部材４０とを有する流路部材２０を例示したが、例えば、インク（液体）を循環させる場合には、上流と下流とを逆転すればよい。すなわち、記録ヘッド１０に供給されたインクを、下流流路１０２から上流流路１０１に流して液体保持部２や排出されたインクが貯留される貯留部等に排出（循環）すればよい。
【００８５】
なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、ヘッドユニット１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッドユニット１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００８６】
また、上述した例では、液体保持部２が装置本体４に固定された例を例示したが、特にこれに限定されず、インクカートリッジ等をキャリッジ３に直接搭載してもよい。また、例えば、液体保持部が、インクジェット式記録装置Ｉに搭載されていなくてもよい。
【００８７】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッドユニット全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を有する液体噴射ヘッドユニットにも適用することができる。
【符号の説明】
【００８８】
１  インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、  ２  液体保持部、  １０  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２０  流路部材、  ３０  上流流路部材、  ４０、４０Ａ  下流流路部材、  ５０  シール部材、  ５１  管状部分、  ６０、６０Ａ  押さえ部材、  ６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ  押さえ部、  ７０  配線基板、  １０１  上流流路、  １０２  下流流路、  １０３  接続流路、  Ｘ  第１の方向、  Ｙ  第２の方向、  Ｚ  第３の方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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