(57)【要約】【課題】バイト切削装置を大型化することなく大きい被加工物を切削しうるとともに、切削後の被加工物の高さ位置にばらつきが生じるのを抑えることを目的とする。【解決手段】バイト切削装置１は、回転軸Ｏから切削バイト１８までの距離Ｒ１の２倍の距離を超え第一の辺と第二の辺とによって規定される幅を有した被加工物１を保持する保持手段３０を備え、保持手段３０は、被加工物１の切削領域を保持する保持面３２ａを有する保持部３２とこれに隣接し保持面３２ａよりも低い位置にある支持面３４ａで被加工物１の非切削領域を支持する逃がし部３４とを有するため、保持手段３０にセルフカットを実施する際には、被加工物１の大きさよりも小さい保持部３２の保持面３２ａに対してのみセルフカットを行えばよく、保持部３２の保持面３２ａを高精度に平坦化でき、バイト切削後の被加工物１の表面高さにばらつきが生じるのを抑える。【選択図】図１
2015139829.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バイト切削装置であって、
ホイール基台と該ホイール基台に装着された切削バイトとを含み回転軸に連結されたバイトホイールと、該バイトホイールが装着された該回転軸を回転させる駆動源とを有したバイト切削手段と、
該回転軸から該切削バイトまでの２倍の距離を超え、第一の辺と第二の辺とによって規定される幅を有する被加工物を保持する保持手段と、
被加工物を保持した該保持手段を該切削バイトの回転軌道の面に対して水平な面で切削送り方向に移動させる移動手段と、を備え、
該保持手段は、被加工物の該第一の辺と該第二の辺とを該切削送り方向と平行に整列させた状態で被加工物を保持するとともに、該切削バイトで切削される被加工物の該第一の辺を含む切削領域を保持する保持面を有する保持部と、
該保持部に隣接し該切削領域の切削中に被加工物の該第二の辺を含む非切削領域を保持して該切削バイトに対して逃がす逃がし部とを有するバイト切削装置。
【請求項２】
前記逃がし部の上面は、前記保持面に比べて高さ位置が低いことを特徴とする請求項１に記載のバイト切削装置。
【請求項３】
被加工物は、前記回転軸から前記切削バイトまでの４倍の距離の幅を有し、
前記保持手段は、前記保持面の中心を通る保持手段回転軸を有し、該保持面は、切削送り方向と水平な方向に直交する方向に対して該保持手段回転軸上の頂点から一端に向けて下がる傾斜面となっており、
前記逃がし部の上面は、切削送り方向と水平な方向に直交する方向に対して該保持手段回転軸上の該頂点から他端に向けて下がる傾斜面となっており、
該保持手段は、縦断面が該保持手段回転軸に対して線対称である請求項１に記載のバイト切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の一方の面を切削するバイト切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被加工物の一方の面を切削する装置として用いられるバイト切削装置は、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物の表面と平行な方向に回転する切り刃を装着したバイトホイールを有する切削ユニットとを少なくとも備えている。バイト切削装置は、チャックテーブルを水平方向に移動させながら、回転するバイトホイールの切り刃を被加工物の表面に作用させることにより、被加工物の表面側全面を切り刃で切削することができる（例えば、下記の特許文献１を参照）。被加工物の表面側全面を切削するには、被加工物が切り刃の回転軌道の直径よりも小さい必要があるため、被加工物の大きさが大きくなると、それにあわせてバイトホイールも大口径化している。
【０００３】
一方、バイト切削装置においては、チャックテーブルの保持面が、平坦かつ切削バイトの回転軌道の面（加工面）と平行であることが非常に重要であるため、被加工物の切削に際しては、事前にチャックテーブルの保持面を切り刃で切削して平坦化するとともに切削バイトの加工面とチャックテーブルの保持面とを平行に形成する所謂セルフカットを実施している（例えば、下記の特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１２１０５号公報
【特許文献２】特開２０１０−０３６３２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、被加工物の大きさが大きくなるのにあわせてバイトホイールを大口径化すると、バイトホイールの回転駆動に大きなエネルギーが必要となる上に、バイト切削装置が大型化するという問題がある。
【０００６】
また、チャックテーブルの保持面が大きくなればなる程、該保持面全面を高精度に平坦化するのは難しい。そして、チャックテーブルの保持面の上面精度が低いと、当該保持面で保持される被加工物の切削後の高さ位置にばらつきが生じてしまうという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、バイト切削装置を大型化することなく、大きい被加工物を切削しうるとともに、切削後の被加工物の高さ位置にばらつきが生じるのを抑えることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、バイト切削装置であって、ホイール基台と該ホイール基台に装着された切削バイトとを含み回転軸に連結されたバイトホイールと、該バイトホイールが装着された該回転軸を回転させる駆動源とを有したバイト切削手段と、該回転軸から該切削バイトまでの２倍の距離を超え、第一の辺と第二の辺とによって規定される幅を有する被加工物を保持する保持手段と、被加工物を保持した該保持手段を該切削バイトの回転軌道の面に対して水平な面で切削送り方向に移動させる移動手段と、を備え、該保持手段は、被加工物の該第一の辺と該第二の辺とを該切削送り方向と平行に整列させた状態で被加工物を保持するとともに、該切削バイトで切削される被加工物の該第一の辺を含む切削領域を保持する保持面を有する保持部と、該保持部に隣接し該切削領域の切削中に被加工物の該第二の辺を含む非切削領域を保持して該切削バイトに対して逃がす逃がし部とを有する。
【０００９】
上記保持手段の構成として、上記逃がし部の上面は、上記保持部の上記保持面に比べて高さ位置が低いことが望ましい。
【００１０】
被加工物は、前記回転軸から前記切削バイトまでの４倍の距離の幅を有し、上記保持手段は、上記保持面の中心を通る保持手段回転軸を有し、該保持面は、切削送り方向と水平な方向に直交する方向に対して該保持手段回転軸上の頂点から一端に向けて下がる傾斜面となっており、上記逃がし部の上面は、切削送り方向と水平方向で直交する方向において該保持手段回転軸上の該頂点から他端に向けて下がる傾斜面となっており、該保持手段は、縦断面が該保持手段回転軸に対して線対称であることが望ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明にかかるバイト切削装置は、被加工物よりも小さい直径のバイトホイールを有するバイト切削手段と、回転軸から切削バイトまでの２倍の距離を超え第一の辺と第二の辺とによって規定される幅を有する被加工物を保持する保持手段とを備えており、保持手段は、被加工物の切削領域を保持する保持面を有する保持部と、これに隣接し該保持面よりも低い位置にある上面で被加工物の非切削領域を支持する逃がし部とを有するため、被加工物を切削する前に保持手段に対してあらかじめセルフカットを実施する際には、被加工物の大きさよりも小さい保持部の保持面に切削を行えばよいため、保持手段の表面全面を切削する必要はない。そのため、保持部の保持面を高精度に平坦化することが比較的容易となり、切削後の被加工物の表面高さにばらつきが生じるのを抑えることができる。
また、被加工物に対して切削を実施する際には、被加工物の切削領域を平坦化された保持部の保持面に保持させるとともに被加工物の非切削領域を逃がし部の上面に保持させ、被加工物の切削領域を切削したら、未切削である被加工物の非切削領域側を保持部の保持面に保持させバイトホイールに対面させてから切削できる。したがって、被加工物よりも小さい直径のバイトホイールで被加工物の表面全域に切削を施すことができるため、バイト切削装置が大型化することを防止できる。
【００１２】
また、回転軸から切削バイトまでの４倍の距離の幅を有した被加工物を保持する保持手段として、該保持手段の中心を通る保持手段回転軸を有し、保持部の保持面と逃がし部の上面とが、ともに保持手段回転軸上の頂点から該保持手段の外周側に向かって下方に傾斜した傾斜面で保持手段の縦断面が保持手段回転軸に対して線対称とした構成にした場合は、該保持部の該保持面と該逃がし部の該上面とにセルフカットを実施しても保持手段の表面全面を高精度に平坦化することができるため、バイト切削後の被加工物の表面高さにばらつきが生じるのを抑えることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】バイト切削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】保持手段の構成を示す断面図である。
【図３】保持手段の下方側に配設された移動手段の構成を示す斜視図である。
【図４】バイトホイール及び被加工物の構成を示す平面図である。
【図５】保持手段の保持部にセルフカットを行う状態を示す断面図である。
【図６】保持手段の保持部にセルフカットを行う状態を示す平面図である。
【図７】保持手段で被加工物を保持する状態を示す断面図である。
【図８】被加工物の切削領域に切削を行う状態を示す断面図である。
【図９】保持手段の第２例の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１に示すバイト切削装置１０は、Ｙ軸方向にのびる装置ベース１００と、装置ベース１００のＹ軸方向後部において立設されたＺ軸方向にのびるコラム１０１とを備えている。コラム１０１の前方には、被加工物に対してバイトによる切削（以下では「バイト切削」とする）を施すバイト切削手段１１と、バイト切削手段１１をＺ軸方向に昇降させる昇降手段１９とが配設されている。バイト切削手段１１は、Ｚ軸方向の軸心を有するスピンドル１２と、スピンドル１２を回転可能に囲繞するスピンドルハウジング１３と、スピンドル１２の一端に接続されたスピンドル１２の駆動源となるモータ１４と、スピンドルハウジング１３を支持するホルダ１５と、スピンドル１２の下端において着脱可能に装着されたバイトホイール１６とを備えている。
【００１５】
バイトホイール１６は、中心に回転軸を有する円盤状のホイール基台１７と、ホイール基台１７に着脱可能に装着された切削バイト１８とにより構成されている。切削バイト１８は、角柱形状に形成されたシャンク１８ａと、シャンク１８ａに固定された切り刃１８ｂとを備えている。そして、モータ１４がスピンドル１２を所定の回転速度で回転させることにより、バイトホイール１６を所定の回転速度で回転させることができる。
【００１６】
昇降手段１９は、Ｚ軸方向にのびるボールネジ２０と、ボールネジ２０の一端に接続されたモータ２１と、ボールネジ２０と平行にのびる一対のガイドレール２２と、一方の面がホルダ１５に接続された昇降部２３とを備えている。昇降部２３は、その内部に形成されたナットがボールネジ２０に螺合するとともに、側部が一対のガイドレール２２に摺接しており、モータ２１によってボールネジ２０を回動させることにより昇降部２３とともにバイト切削手段１１をＺ軸方向に昇降させることができる。
【００１７】
装置ベース２のＹ軸方向前部には、加工前の被加工物を収容するカセット２４ａと、加工後の被加工物を収容するカセット２４ｂとが対面して配設されている。対面して配設されたカセット２４ａとカセット２４ｂとの間には、カセット２４ａからの被加工物の搬出及びカセット２４ｂへの被加工物の搬入を行う搬出入手段２５が配設されている。また、搬出入手段２５の可動範囲には、加工前の被加工物を仮置きして一定の位置に位置決めする仮置き手段２６と、加工後の被加工物を洗浄する洗浄手段２７とが配設されている。
【００１８】
装置ベース１００の上面には矩形の搬送加工部１００ａが形成されており、搬送加工部１００ａには、被加工物を保持する保持手段３０が配設されている。仮置き手段２６の近傍には、仮置き手段２６から保持手段３０に加工前の被加工物を搬送する第１の搬送手段２８ａが配設されている。洗浄手段２７の近傍には、保持手段３０から洗浄手段２７に加工後の被加工物を搬送する第２の搬送手段２８ｂが配設されている。
【００１９】
図２を参照しながら保持手段３０の構成について説明する。保持手段３０は、矩形状の保持テーブル３１を備えており、保持テーブル３１において被加工物の切削領域を保持する保持部３２と、保持部３２に隣接して形成され被加工物の切削中に被加工物の非切削領域を保持して図１に示す切削バイト１８から逃がす逃がし部３４とを有している。被加工物の切削領域とは、保持部３２に保持され切削バイト１８による切削が行われる被加工物の領域を指し、被加工物の非切削領域とは、逃がし部３４に保持され切削バイト１８による切削が行われない被加工物の領域を指す。
【００２０】
保持テーブル３１の内部には、吸引路３５が形成されており、吸引路３５の一端は吸引源３６に接続され、他端が保持部３２及び逃がし部３４に連通している。また、図示の例における保持テーブル３１は回転する機構を設けていないが、回転する構成となっていてもよい。
【００２１】
図２に示す保持部３２には、保持テーブル３１の中央部３７から一端エッジ３８ａまでの間の領域に複数のピン３３が配設されており、各ピン３３の上面が、被加工物の切削領域を保持する保持面３２ａとなっている。吸引源３６が作動することにより、吸引路３５を通じて保持部３２の保持面３２ａにおいて吸引作用を発揮させ、被加工物の切削領域をピンチャックすることができる。
【００２２】
一方、逃がし部３４には、保持テーブル３１の中央部３７から他端エッジ３８ｂまでの間の領域に被加工物の非切削領域を保持する支持面３４ａが形成されている。ここで、逃がし部３４の支持面３４ａは、保持部３２の保持面３２ａに比べて高さ位置が低く形成されており、保持面３２ａと支持面３４ａとの高低差Ｈは、例えば０．２〜５ｍｍに形成されている。吸引源３６が作動することにより、吸引路３５を通じて逃がし部３４の支持面３４ａにおいて吸引作用を発揮させ、被加工物の非切削領域を吸引保持することができる。なお、逃がし部３４は、図示した構成に限定されるものではなく、吸引することなく被加工物の外周縁をクランプ固定できるようにクランプ手段を配設するようにしてもよい。
【００２３】
また、被加工物を保持手段３０で吸引保持する際、保持テーブル３１の一端エッジ３８ａ及び他端エッジ３８ｂで被加工物がそりあがるのを防止するため、保持テーブル３１は、被加工物の幅よりも例えば１〜５ｍｍ程度小さく形成されていること望ましい。
【００２４】
このように構成される保持手段３０には、図３に示すように、Ｙ軸方向に移動可能なベース３９が取り付けられている。ベース３９の下方側には、被加工物を保持した保持手段３０を図１で示した切削バイト１８の回転軌道の面（加工面）に対して水平な面で、かつ切削送り方向（Ｙ軸方向）に移動させる移動手段４０が配設されている。移動手段４０は、Ｙ軸方向にのびるボールネジ４１と、ボールネジ４１の一端に接続されたモータ４２と、ボールネジ４１と平行にのびる一対のガイドレール４３とを備えている。ベース３９は、その内部に形成されたナットがボールネジ４１に螺合するとともに、底部が一対のガイドレール４３に摺接しており、モータ４２によってボールネジ４１を回動させることによりベース３９とともに保持手段３０をＹ軸方向に往復移動させることができる。
【００２５】
次に、バイト切削装置１の動作例について説明する。図４に示す被加工物１の表面側には、パッケージ２が整列して複数形成されており、各パッケージ２の表面には、突起状の電極であるバンプ３が複数形成されている。ここで、被加工物１のＸ軸方向の幅Ｌは、ホイール基台１７の回転軸Ｏから切削バイト１８までの距離Ｒ１の２倍の距離を越えた大きさを有しており、被加工物１の中央を境にしてＸ軸方向における第一の辺１ａと第二の辺１ｂとによって規定されている。このように切削バイト１８の回転軌道の直径よりも大きい幅を有する被加工物１は、第一の辺１ａを含む第１の領域Ｓ１と第二の辺１ｂを含む第２の領域Ｓ２とに区画されており、それぞれの領域が順次切削される。
【００２６】
まず、被加工物１をバイト切削する前に、図５及び図６に示すように、保持テーブル３１の保持部３２に対しバイト切削によるセルフカットを実施する。図１で示した昇降手段１９によって、図５に示すバイト切削手段１１の切削バイト１８を所定の高さ位置に位置づけるとともに、スピンドル１２が回転し、バイトホイール１６を例えば矢印Ａ方向に回転させる。
【００２７】
図３で示した移動手段４０によって、保持手段３０をＹ軸方向に切削送りすることにより、図６に示すように、切削バイト１８の加工面に対して保持手段３０を水平に移動させつつ、保持部３２の保持面３２ａをバイトホイール１６の下方に移動させる。なお、ホイール基台１７の回転軸ＯのＸ軸方向の位置が、保持部３２の保持面３２ａのＸ軸方向の中央に位置することが望ましい。
【００２８】
バイトホイール１６の回転にともなって円運動する切り刃１８ｂは、Ｙ軸方向に移動する保持手段３０の保持部３２に配設された図２で示した各ピン３３の上端を削っていき、保持部３２の保持面３２ａの高さを揃える。こうして保持部３２の保持面３２ａ全面にバイト切削を施すことにより、保持部３２の保持面３２ａと切削バイト１８の加工面とが平行な状態となったらセルフカットが完了する。なお、保持テーブル３１の逃がし部３４に対してはセルフカットを行わない。
【００２９】
セルフカットを実施した後、図１で示したバイト切削装置１０において、搬出入手段２５は、カセット２４ａから加工前の被加工物１を１枚取り出して仮置き手段２６に搬送する。その後、仮置き手段２６において被加工物１の中心位置を位置決めした後、第１の搬送手段２８ａによって被加工物１を保持手段３０に搬送する。
【００３０】
ここで、図４で示した被加工物１の第１の領域Ｓ１を図６で示した保持部３２の保持面３２ａに合わせて載置するとともに、被加工物１の第２の領域Ｓ２を逃がし部３４の支持面３４ａに合わせて載置することにより、被加工物１の第一の辺１ａを含む第１の領域Ｓ１と第二の辺１ｂを含む第２の領域Ｓ２とを保持手段３０の切削送り方向（Ｙ軸方向）と平行に整列させる。なお、保持部３２の保持面３２ａに載置された被加工物１の第１の領域Ｓ１が切削領域となり、逃がし部３４の支持面３４ａに載置された被加工物１の第２の領域Ｓ２が非切削領域となる。
【００３１】
図７に示すように、保持テーブル３１上に被加工物１を載置したら、吸引源３６が作動し、吸引路３５を通じて保持部３２の保持面３２ａと逃がし部３４の支持面３４ａとに吸引作用を発揮させて被加工物１の下面を吸引する。
【００３２】
このとき、保持部３２では、各ピン３３の上面がセルフカットにより面一となっており、凹凸のあるポーラスチャックの上面と比べて被加工物１の切削領域を平坦に吸引保持することができる。
【００３３】
一方、逃がし部３４では、支持面３４ａが保持面３２ａよりも低い位置にあることから、被加工物１の切削領域よりも低い位置で被加工物１の非切削領域を吸引保持し、後記の切削ステップにおいて、該非切削領域を切削バイト１８に対して接触しない位置に逃がすことができる。
【００３４】
また、保持テーブル３１上で被加工物１を吸引保持すると、保持テーブル３１の一端エッジ３８ａ及び他端エッジ３８ｂから外側へ被加工物１の外周縁４が突出して当該外周縁４を保持しない非保持領域Ｃが形成される。これにより、被加工物１がそりあがるのを防止できる。
【００３５】
このように保持手段３０において被加工物１を吸引保持した後、図４及び図８に示すように、バイト切削手段１１によって、保持部３２の保持面３２ａに吸引保持された被加工物１の第１の領域Ｓ１に対してバイト切削を実施する。図１で示した昇降手段１９によって、図８に示すバイト切削手段１１の切削バイト１８を所定の高さ位置に位置づけるとともに、スピンドル１２が回転し、バイトホイール１６を例えば矢印Ａ方向に回転させる。
【００３６】
次いで、被加工物１を保持した保持手段３０を切削バイト１８の加工面に対して水平にＹ軸方向に切削送りし、バイトホイール１６の下方に向けて被加工物１を移動させる。なお、ホイール基台１７の回転軸ＯのＸ軸方向の位置が、被加工物１の第１の領域Ｓ１のＸ軸方向の中央に位置することが望ましい。
【００３７】
バイトホイール１６の回転にともなって円運動する切り刃１８ｂは、Ｙ軸方向に移動する被加工物１の第１の領域Ｓ１における複数のバンプ３の上部を削っていき、その高さを揃える。このとき、被加工物１の第１の領域Ｓ１は、保持部３２の保持面３２ａにおいて平坦に保持されているため、第１の領域Ｓ１のバンプ３の高さをばらつきなく高精度に揃えることができる。一方、逃がし部３４の支持面３４ａに保持された被加工物１の第２の領域Ｓ２は、被加工物１の第１の領域Ｓ１よりも低い位置に位置づけられており、切削バイト１８の切り刃１８ｂが接触することがないため、非切削領域を切削するのを防止できる。
【００３８】
被加工物１の第１の領域Ｓ１の全面をバイト切削したら、被加工物１の第２の領域Ｓ２に対してもバイト切削を行うため、該第２の領域Ｓ２をバイトホイール１６と対面する位置に移動させる。具体的には、作業者によって保持手段３０から被加工物１を持ち上げるとともに、保持手段３０上において被加工物１を保持部３２の保持面３２ａに平行な方向に１８０度回転させ、被加工物１の第２の領域Ｓ２を逃がし部３４の支持面３４ａから保持部３２の保持面３２ａに置き直す。このようにしてバイトホイール１６に被加工物１の第２の領域Ｓ２を対面させる。
【００３９】
その後、バイト切削手段１１によって被加工物１の第２の領域Ｓ２にバイト切削を施す。すなわち、バイトホイール１６の回転にともなって円運動する切り刃１８ｂは、Ｙ軸方向に移動する被加工物１の第２の領域Ｓ２における複数のバンプ３の上部を削っていき、その高さを揃える。このとき、上記同様、被加工物１の第２の領域Ｓ２は、保持部３２の保持面３２ａにおいて平坦に保持されているため、第２の領域Ｓ２のバンプ３の高さをばらつきなく高精度に揃えることができ、逃がし部３４の支持面３４ａに保持された被加工物１の第１の領域Ｓ１は、被加工物１の第１の領域Ｓ１よりも低い位置に位置づけられており、切削バイト１８の切り刃１８ｂが接触することがないため、切削済みの第１の領域Ｓ１を切削するのを防止できる。このようにして被加工物１の表面全域にバイト切削を施す。
【００４０】
被加工物１のバイト切削が完了した後、図１で示した第２の搬送手段２８ｂによって被加工物１を保持手段３０から洗浄手段２７に搬送する。そして、洗浄手段２７で洗浄及び乾燥が行われた後、搬出入手段２５によって洗浄済みの被加工物１をカセット２４ｂに収容する。
【００４１】
このようにバイト切削装置１において、保持手段３０に対してセルフカットを実施する際には、被加工物１の大きさよりも小さい保持部３２の保持面３２ａに対してのみセルフカットを行えばよく、保持テーブル３１の表面全面をバイト切削する必要はない。したがって、保持部３２の保持面３２ａを高精度に平坦化することが比較的容易となり、保持部３２の保持面３２ａで保持されバイト切削された後の被加工物１の表面高さにばらつきが生じるのを抑えることが可能となる。
また、被加工物１に対してバイト切削を実施する際には、被加工物１の切削領域（例えば第１の領域Ｓ１）を上記セルフカットによって平坦化された保持部３２の保持面３２ａに保持させるとともに被加工物１の非切削領域（例えば第２の領域Ｓ２）を逃がし部３４の支持面３４ａに保持させ、被加工物１の第１の領域Ｓ１にバイト切削を施したら、第２の領域Ｓ２を保持部３２の保持面３２ａに保持させバイトホイール１６に対面させてからバイト切削を施すことができる。したがって、被加工物１の大きさよりも小さいバイトホイール１６で被加工物１の表面全域にバイト切削を施すことができるため、バイト切削装置１が大型化することを防止できる。
【００４２】
図９に示す保持手段５０は、被加工物を保持する保持手段の第２例である。この保持手段５０は、図１で示したバイト切削装置１０に適用することができる。また、図４で示した被加工物１のＸ軸方向の幅Ｌが、ホイール基台１７の回転軸Ｏから切削バイト１８までの距離Ｒ１の４倍の距離の幅を有する場合、保持手段５０では、その被加工物を保持するのに好適である。
【００４３】
保持手段５０は、頂点５７の両側が降下する傾斜を有する保持テーブル５１を有しており、被加工物の切削領域を保持する保持部５２と、保持部５２に隣接し切削領域を切削中に被加工物の非切削領域を保持して切削バイト１８から逃がす逃がし部５４とを備えている。
【００４４】
保持テーブル５１の内部には、吸引路５５が形成されており、吸引路５５の一端は吸引源５６に接続され、他端が保持部５２及び逃がし部５４に連通している。また、保持手段５０は、保持テーブル５１の中心を通る保持手段回転軸５９を有しており、図示しないモータによって保持手段回転軸５９を中心に回転可能な構成となっている。
【００４５】
保持部５２には、保持テーブル５１の頂点５７から一端エッジ５８ａまでの間の領域にピン５３が複数配設されており、各ピン５３の上面が被加工物１の切削領域を保持する保持面５２ａとなっている。この保持面５２ａは、保持手段５０の切削送り方向と水平な方向に直交する方向に対して保持手段回転軸５９上の頂点５７から一端エッジ５８ａに向けて下方に傾斜した傾斜面となっている。そして、吸引源５６が作動すると、吸引路５５を通じて保持部５２の保持面５２ａに吸引作用を発揮させ、被加工物１の切削領域をピンチャックすることができる。
【００４６】
また、逃がし部５４には、保持テーブル５１の頂点５７から他端エッジ５８ｂまでの間の領域に被加工物１の非切削領域を保持する支持面５４ａが形成されている。この支持面５４ａは、保持手段５０の切削送り方向と水平な方向に直交する方向に対して保持手段回転軸５９上の頂点５７から他端エッジ５８ｂに向けて下方に傾斜した傾斜面となっている。このように構成される保持手段５０は、保持テーブル５１の中央における縦断面が保持手段回転軸５９に対して線対称となっている。
【００４７】
保持手段５０に対してセルフカットを行う場合について説明する。まず、図示しないモータにより保持テーブル５１を回転させつつ、保持部５２の保持面５２ａと逃がし部５４の支持面５４ａとの両方にバイト切削によるセルフカットを実施する。具体的には、バイト切削手段１１の切削バイト１８を所定の高さ位置に位置づけるとともに、スピンドル１２が回転し、バイトホイール１６を回転させる。次いで、図示しないモータによって保持手段回転軸５９を回転させ、保持テーブル５１を例えば矢印Ｂ方向に回転させる。
【００４８】
切削バイト１８の回転軌道の面である加工面Ｐに対して保持テーブル５１を水平に移動させつつ、保持部５２の保持面５２ａをバイトホイール１６の下方に移動させ、円運動する切り刃１８ｂによって、保持部５２に配設された各ピン５３の上端を削っていき保持面５２ａの高さを揃えるとともに、逃がし部５４の支持面５４ａを削ってその高さを揃える。こうして保持部５２の保持面５２ａと逃がし部５４の支持面５４ａとにバイト切削を施すことにより、該保持面５２ａ及び該支持面５４ａと切削バイト１８の加工面Ｐとが平行な状態となったらセルフカットが完了する。なお、図４で示したホイール基台１７の回転軸ＯのＸ軸方向の位置が、保持部５２の保持面５２ａ，逃がし部５４の支持面５４ａのＸ軸方向の中央に位置することが望ましい。
【００４９】
次に、保持手段５０において被加工物１を保持し被加工物１に対してバイト切削を実施する場合について説明する。図４で示した被加工物１の第１の領域Ｓ１を図１０の保持部５２の保持面５２ａに合わせて載置するとともに、被加工物１の第２の領域Ｓ２を逃がし部５４の支持面５４ａに合わせて載置することにより、被加工物１の第一の辺１ａを含む第１の領域Ｓ１と第二の辺１ｂを含む第２の領域Ｓ２とを保持手段５０の切削送り方向（Ｙ軸方向）と平行に整列させる。そして、保持手段５０において被加工物１を吸引保持した後、バイト切削手段１１によって、保持部５２の保持面５２ａに吸引保持された被加工物１の第１の領域Ｓ１に対してバイト切削を行う。
【００５０】
被加工物１の第１の領域Ｓ１の全面をバイト切削したら、被加工物１の第２の領域Ｓ２に対してもバイト切削を行うため、該第２の領域Ｓ２をバイトホイール１６と対面する位置に移動させる。具体的には、作業者によって保持手段５０から被加工物１を持ち上げるとともに、保持手段５０上において被加工物１を保持部５２の保持面５２ａに平行な方向に１８０度回転させ、被加工物１の第２の領域Ｓ２を逃がし部５４の支持面５４ａから保持部５２の保持面５２ａに置き直す。保持手段５０自体が１８０度回転し、バイトホイール１６に被加工物１の第２の領域Ｓ２を対面させるようにしてもよい。その後、上記同様に、バイト切削手段１１によって被加工物１の第２の領域Ｓ２にバイト切削を施す。このようにして被加工物１の表面全域にバイト切削を施す。
【００５１】
このように、保持手段５０では、縦断面が保持手段回転軸５９に対して線対称となっているため、被加工物１をバイト切削する前に保持テーブル５１の保持部５２の保持面５２ａと逃がし部５４の支持面５４ａとにバイト切削によるセルフカットを実施しても、保持テーブル５１の表面全面を高精度に平坦化することができる上、バイト切削後の被加工物１の表面高さにばらつきが生じるのを抑えることが可能となる。
【符号の説明】
【００５２】
１：被加工物  ２：パッケージ  ３：バンプ  ４：外周縁
１０：バイト切削装置  １００：装置ベース  １００ａ：搬送加工部  １０１：コラム
１１：バイト切削手段  １２：スピンドル  １３：スピンドルハウジング  １４：モータ
１５：ホルダ  １６：バイトホイール  １７：ホイール基台
１８：切削バイト  １８ａ：シャンク  １８ｂ：切り刃
１９：昇降手段  ２０：ボールネジ  ２１：モータ  ２２：ガイドレール  ２３：昇降部
２４ａ，２４ｂ：カセット  ２５：搬出入手段  ２６：仮置き手段  ２７：洗浄手段
２８ａ：第１の搬送手段  ２８ｂ：第２の搬送手段
３０：保持手段  ３１：保持テーブル  ３２：保持部  ３２ａ：保持面  ３３：ピン
３４：逃がし部  ３４ａ：支持面  ３５：吸引路  ３６：吸引源
３７：中央部  ３８ａ：一端エッジ  ３８ｂ：他端エッジ  ３９：ベース
４０：移動手段  ４１：ボールネジ  ４２：モータ  ４３：ガイドレール
５０：保持手段  ５１：保持テーブル  ５２：保持部  ５２ａ：保持面  ５３：ピン
５４：逃がし部  ５４ａ：支持面  ５５：吸引路  ５６：吸引源
５７：頂点  ５８ａ：一端エッジ  ５８ｂ：他端エッジ  ５９：保持手段回転軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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