(57)【要約】      （修正有）【課題】被検体に収納された流体中に沈殿する異物を、高解像度で把握し、精度良く検出できる検出装置を提供する。【解決手段】放射線発生管１Ａを、鉛直方向に所定の放射角をもって放射線を放出するように配置すると共に、放射線検出器２を、放射線検出素子２１の列を縦方向に向けて配置する。下端に位置する放射線検出素子２１１の中心と放射線発生管１Ａの焦点中心とを結ぶ直線５１と、焦点中心を通るターゲットの電子照射面の法線５とがなす角度をθ1、上端に位置する放射線検出素子２１２の中心と放射線発生管１Ａの焦点中心とを結ぶ直線５２と、前記法線５とがなす角度をθ2とした時に、θ1＞θ2となる配置とする。【選択図】図１
2015075358.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子の照射により放射線を発生させるターゲットを備えた放射線発生管と、
前記放射線発生管からの放射線の照射を受ける複数の放射線検出素子の列を有する放射線検出器と、
前記放射線発生管と前記放射線検出器との間に被検体を位置させることができる被検体配置部とを備えた放射線検査装置において、
前記放射線発生管は、鉛直方向に所定の放射角をもって前記放射線を放出するように配置されていると共に、
前記放射線検出器は、前記放射線検出素子の列を縦方向に向けて配置されており、
下端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記焦点中心を通る前記ターゲットの電子照射面の法線とがなす角度をθ1、上端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記法線とがなす角度をθ2とした時に、θ1＞θ2であることを特徴とする放射線検査装置。
【請求項２】
被検体が流体を収納した容器で、検出対象が、前記容器の中に混入した、前記流体より高比重な異物であることを特徴とする請求項１に記載の放射線検査装置。
【請求項３】
θ2＜θ1＜θ2×１０（ただし、θ1＜９０°）であることを特徴とする請求項１又は２に記載の放射線検査装置。
【請求項４】
θ2×２＜θ1＜θ2×５（ただし、θ1＜９０°）であることを特徴とする請求項１又は２に記載の放射線検査装置。
【請求項５】
前記法線と、前記放射線検出素子の表面とが放射線検出素子の列方向に成す角度で、下端の放射線検出素子の側の角度をφ1、上端の放射線検出素子の側の角度をφ2とした時に、φ1≦９０°で、しかも４５°≦φ1≦９０°であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の放射線検査装置。
【請求項６】
電子の照射により放射線を発生させるターゲットを備えた放射線発生管と、
前記放射線発生管からの放射線の照射を受ける複数の放射線検出素子の列を有する放射線検出器と、
前記放射線発生管と前記放射線検出器との間に被検体を位置させることができる被検体配置部とを備えた放射線検査装置において、
前記放射線発生管は、鉛直方向に所定の放射角をもって前記放射線を放出するように配置されていると共に、
前記放射線検出器は、前記放射線検出素子の列を縦方向に向けて配置されており、
下端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記焦点中心を通る前記ターゲットの電子照射面の法線とがなす角度をθ1、上端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記法線とがなす角度をθ2とした時に、θ2＞θ1であることを特徴とする放射線検査装置。
【請求項７】
被検体が流体を収納した容器で、検出対象が、前記容器の中に混入した、前記流体より低比重な異物であることを特徴とする請求項３に記載の放射線検査装置。
【請求項８】
θ1＜θ2＜θ1×１０（ただし、θ2＜９０°）であることを特徴とする請求項６又は７に記載の放射線検査装置。
【請求項９】
θ1×２＜θ2＜θ1×５（ただし、θ2＜９０°）であることを特徴とする請求項６又は７に記載の放射線検査装置。
【請求項１０】
前記所定の放射角は、前記放射線発生管と前記放射線検出器との間に位置した前記被検体の高さ方向全体が前記放射線発生管による放射線照射領域の内側に含まれる角度であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の放射線検査装置。
【請求項１１】
前記被検体配置部は、前記放射線発生管と前記放射線検出器との間を横切って前記被検体を搬送可能であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の放射線検査装置。
【請求項１２】
放射線発生管が、透過型の放射線発生管であることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の放射線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検体にＸ線等の放射線を照射することによって、被検体中の異物の検出を行う放射線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種製品中への異物の混入の有無を検査する手段として、放射線検査装置が用いられている。放射線検査装置は、Ｘ線等の放射線を被検体に照射し、被検体を透過した放射線を放射線検出器で検出するものであり、被検体を透過した放射線量の違いから、被検体中の異物の有無を検出するものである。
【０００３】
近年、特に食品分野においては食品の安全性に関する要求が高まっており、異物の混入を防止することが求められている。そのため放射線検査装置においても、異物の検出精度を上げるための様々な工夫がされている。
【０００４】
従来、例えば特許文献１には、被検体の底面付近に放射線を水平面に対して斜めに照射する放射線検査装置が開示されている。特許文献１には、このような放射線検査装置によると、底面付近の異物を拡大して検出できるため、異物が沈殿しやすい飲料品中の異物検出の精度を向上させることができることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−６８１２６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、飲料品等の流体中に混入する異物の場合、流体の種類や製造工程によって、被検体の流体よりも比重が大きく沈殿しやすい異物が混入する場合と、被検体の流体よりも比重が小さく浮上しやすい異物が混入する場合がある。
【０００７】
しかしながら、前記特許文献１に開示されている放射線検査装置においては、流体中に浮上する異物の検出に関しては特に改善はされていない。また、特許文献１は、異物を拡大して検出することを開示しているだけで、微小な異物を高解像度で検出することについての特段の開示はしていない。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するものであり、本発明の目的は、比重の違い等により流体中に偏在する異物を、高解像度で把握できるようにすることで、精度良く検出することができる放射線検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的のために、本発明の第１は、電子の照射により放射線を発生させるターゲットを備えた放射線発生管と、
前記放射線発生管からの放射線の照射を受ける複数の放射線検出素子の列を有する放射線検出器と、
前記放射線発生管と前記放射線検出器との間に被検体を位置させることができる被検体配置部とを備えた放射線検査装置において、
前記放射線発生管は、鉛直方向に所定の放射角をもって前記放射線を放出するように配置されていると共に、
前記放射線検出器は、前記放射線検出素子の列が縦方向となるように配置されており、
下端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記焦点中心を通る前記ターゲットの電子照射面の法線とがなす角度をθ1、上端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記法線とがなす角度をθ2とした時に、θ1＞θ2であることを特徴とする放射線検査装置を提供するものである。
【００１０】
また、本発明の第２は、電子線束の照射により放射線を発生させるターゲットを備えた放射線発生管と、
前記放射線発生管からの放射線の照射を受ける複数の放射線検出素子の列を有する放射線検出器と、
前記放射線発生管と前記放射線検出器との間に被検体を位置させることができる被検体配置部とを備えた放射線検査装置において、
前記放射線発生管は、鉛直方向に所定の放射角をもって前記放射線を放出するように配置されていると共に、
前記放射線検出器は、前記放射線検出素子の列を縦方向に向けて配置されており、
下端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記焦点中心を通る前記ターゲットの電子照射面の法線とがなす角度をθ1、上端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記法線とがなす角度をθ2とした時に、θ2＞θ1であることを特徴とする放射線検査装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の第１によると、被検体配置部に設けられた被検体の下部側における見かけの焦点長が、上部側における見かけの焦点長及びターゲット上の焦点長よりも小さくなる。これによって被検体の下部側の解像度を上げることができるので、被検体の下部において精度の高い検出を行うことができる。従って、本発明の第１に係る放射線検査装置は、流体を収納した容器を被検体とし、この中に混入した、流体より高比重な異物を検出対象とすると、流体中に沈殿した異物を精度よく検出することができる。
【００１２】
本発明の第２によると、被検体配置部に設けられた被検体の上部側における見かけの焦点長が、下部側における見かけの焦点長及びターゲット上の焦点長よりも小さくなる。これによって被検体の上部側の解像度を上げることができるので、被検体の上部において精度の高い検出を行うことができる。従って、本発明の第２に係る放射線検査装置は、流体を収納した容器を被検体とし、この中に混入した、流体より低比重な異物を検出対象とすると、流体上に浮揚した異物を精度よく検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の放射線検査装置の第１の例を示す模式図である。
【図２】本発明の放射線検査装置における放射角度と焦点長に関する説明図である。
【図３】本発明の放射線検査装置に用いられる放射線発生管の模式図である。
【図４】本発明の放射線検査装置のシステム構成図である。
【図５】本発明の放射線検査装置の第２の例を示す模式図である。
【図６】本発明の放射線検査装置の第３の例を示す模式図である。
【図７】本発明の放射線検査装置の第４の例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を用いて本発明の実施形態を説明する。なお、以下に参照する図面において、同じ符号は同様の構成要素を示す。また、図１、５、６および７において、上下方向は鉛直方向である。
【００１５】
〔第１の例〕
まず、図１から図４を用いて本発明の第１の例について説明する。本例は、被検体４が流体４１を収納した容器４２であり、容器４２の中に混入した、収納されている流体４１よりも高比重な異物を検出対象とするのに適した放射線検査装置の例である。また、被検体４の斜め上方から放射線を照射する場合の例を示している。
【００１６】
図１に示すように、本例の放射線検査装置は、放射線発生管１Ａと、放射線検出器２と、被検体配置部３とを備えている。
【００１７】
放射線検出器２は、放射線発生管１Ａからの放射線の照射を受ける複数の放射線検出素子２１の列を有している。本例においては、複数の放射線検出素子２１が１列に配列されたラインセンサが用いられている。放射線検出器２は、放射線検出素子２１の列を縦方向に向けて配置されている。縦方向に向けた配置とは、一端を鉛直方向上方、他端を下方に位置させた配置で、鉛直配置と斜め配置のいずれをも含む。ここで、鉛直方向下端に位置する放射線検出素子を２１１とし、鉛直方向上端に位置する放射線検出素子を２１２とする。被検体４は、流体４１を収納した容器４２である。被検体４は、被検体配置部３によって、放射線発生管１と放射線検出器２との間に位置されている。被検体４は、被検体配置部３上に立設されている。放射線発生管１と被検体４の間には、不要な放射線の照射を抑制するために、不図示のコリメータ等を配置することもできる。
【００１８】
放射線検出器２が、縦横に複数の放射線検出素子２１を配列した矩形の放射線検出面を有する場合、放射線発生管１Ａからこの放射線検出面に対応する領域へ放射線を照射する。この場合、被検体４を射線発生管１Ａと放射線検出器２との間で移動させながら検査することもできるが、被検体配置部３に立設した被検体４を静止状態で検査することもできる。また、放射線検出器２が放射線検出素子２１を一列に並べたラインセンサである場合、通常、一列の放射線検出素子２１に対応するライン状に放射線を照射する。この場合、通常、放射線発生管１Ａと放射線検出器２との間を横切って被検体４を搬送可能な被検体配置部３が用いられる。被検体４を射線発生管１Ａと放射線検出器２との間で移動させながらラインセンサで放射線を検出することで、被検体４の全体を検査することができる。図１の例においては、被検体配置部３は回転板で、その回転によって、被検体４を射線発生管１Ａと放射線検出器２との間で移動させることができるようになっている。
【００１９】
放射線発生管１Ａは、鉛直方向に所定の放射角をもって放射線を放出するように配置されている。放射線発生管１Ａの放射角は、放射線発生管１Ａと放射線検出器２との間に位置した被検体４の高さ方向全体が放射線発生管１Ａによる放射線照射領域の内側に含まれる角度であることが好ましい。このような角度とすることにより、被検体４の高さ方向全体を一度に検査することが可能となる。
【００２０】
図３は、本発明の放射線検査装置に用いることができる放射線発生管１Ａ，１Ｂの模式図である。本発明の放射線検査装置には、図３（ａ）に示す透過型の放射線発生管１Ａと、図３（ｂ）に示す反射型の放射線発生管１Ｂのいずれをも用いることができる。なお、図１は、一例として透過型の放射線発生管１Ａを用いた例を示している。
【００２１】
図３（ａ）を用いて、透過型の放射線発生管１Ａについて説明する。図３（ａ）に示すように、放射線発生管１Ａは、電子線束を放出する電子放出源１１と、電子の照射により放射線を発生する透過型のターゲット１２Ａを備えている。
【００２２】
ターゲット１２Ａは、ターゲット層１２ａと支持基板１２ｂから構成されている。電子放出源１１とターゲット層１２ａとの間に高電圧が印加されると、電子放出源１１より電子が放出され、ターゲット層１２ａに入射し放射線が発生する。ターゲット層１２ａで発生した放射線は支持基板１２ｂを透過した後、放射線発生管１の外部に放出される。なお、ターゲット層１２ａへの電子線束の照射領域（放射線が発生する領域）を焦点１３といい、焦点１３の中心を焦点中心１３ａ（図２参照）という。焦点中心１３ａの位置は、上記焦点１３と同じ形状と大きさで厚さが均一な板材を想定した場合のこの板材の重心位置に対応する位置である。
【００２３】
ターゲット１２Ａの周囲には陽極部材１５が配置され、ターゲット層１２ａと電気的に接続している。また、支持基板１２ｂは陽極部材１５と機械的に接続されており、放射線発生管１の外囲器の一部を構成している。電子放出源１１は陰極部材１６と電気的に接続している。陽極部材１５と陰極部材１６の間には絶縁管１７が機械的に接続されている。
【００２４】
ターゲット層１２ａは、支持基板１２ｂの電子放出源１１側（電子照射面側）の面に設置されている。ターゲット層１２ａを構成する材料は、融点が高く、放射線発生効率の高いものが好ましく、例えばタングステン、タンタル、モリブデンおよびそれらの合金等を用いることができる。支持基板１２ｂを構成する材料は、ターゲット層１２ａを支持できる強度を有し、ターゲット層１２ａで発生した放射線の吸収が少なく、かつターゲット層１２ａで発生した熱をすばやく放熱できるよう熱伝導率の高いものが好ましい。例えばダイアモンド、炭化シリコン、窒化アルミニウム等を用いることができる。
【００２５】
電子放出源１１には、タングステンフィラメントや、含浸型カソードのような熱陰極、またはカーボンナノチューブ等の冷陰極を用いることができる。電子放出部１１の近傍には、不図示の引出し電極および収束電極を設けても良い。これらを設けた場合、引出し電極によって形成される電界によって電子放出部から電子が放出され、放出された電子は収束電極で収束され、ターゲット層１２ａに入射して放射線が発生する。
【００２６】
次に、図３（ｂ）を用いて反射型の放射線発生管１Ｂについて説明する。図３（ｂ）において、図３（ａ）と同じ構成物については同じ符号で示している。図３（ｂ）に示すように、放射線発生管１Ｂは、電子放出源１１と、反射型のターゲット１２Ｂを備えている。ターゲット１２Ｂは陽極部材１５と電気的に接続している。ターゲット１２Ｂを構成する材料には、タングステン、タンタル、モリブデンおよびそれらの合金等を用いることができる。
【００２７】
電子放出源１１より放出された電子がターゲット１２Ｂに入射すると、ターゲット１２Ｂの電子照射面側で放射線が発生する。反射型の放射線発生管１Ｂでは、ターゲット１２Ｂで発生した放射線のうち、ターゲット１２Ｂで反射されて電子放出源１１側に放出される放射線が、絶縁管１７に設けられた不図示の透過窓を透過して放射線発生管１Ｂの外部に放出される。
【００２８】
次に、図１および図２を用いて、放射線発生管１のターゲット１２Ａ，１２Ｂ、被検体４および放射線検出器２の位置関係および角度関係について説明する。図２は、焦点１３を放射角度θの方向から見た時の、見かけの焦点１４とその焦点長について示したものである。図２（ａ）は透過型のターゲット１２Ａ（透過型の放射線発生管１Ａ）の場合であり、図２（ｂ）は反射型のターゲット１２Ｂ（反射型の放射線発生管１Ｂ）の場合である。なお、図２（ａ），（ｂ）においては、電子線束と電子放出源の表示は省略されているが、焦点１３のサイズは、電子放出源から照射された電子線束のビーム径により規定されるものである。焦点１３のサイズは、検出分解能の点では微小化が望まれるが、放射線強度と、ターゲット１２Ａ，１２Ｂの耐熱性との観点から、工業的には所定の焦点の大きさが選択される。
【００２９】
まず、図１および図２（ａ）で、透過型の放射線発生管１Ａを用いた場合のターゲット１２Ａ、被検体４および放射線検出器２の位置関係および角度関係について説明する。
【００３０】
放射線検出器２は、被検体４の底面側を透過した放射線が、下端の放射線検出素子２１１側の放射線検出素子に入射し、被検体４の上面側を透過した放射線が、上端の放射線検出素子２１２側の放射線検出素子に入射するように配置される。
【００３１】
ここで、焦点中心１３ａを通るターゲット１２Ａの電子照射面の法線５（ターゲット１２Ａの電子照射面に対する垂線）と、焦点中心１３ａと下端の放射線検出素子２１１の中心とを結ぶ直線５１とが成す角度をθ1とする。また、上記法線５と、焦点中心１３ａと上端の放射線検出素子２１２の中心とを結ぶ直線５２とが成す角度をθ2とする。図１の例においては、ターゲット１２Ａはθ1＞θ2を満たすように配置されている。図２（ａ）に示すように、ターゲット１２Ａ上の焦点長をＬ0とし、ターゲット１２Ａの法線５と任意の方向の放射線とが成す角度をθとした時、角度θ方向から見た焦点長Ｌ1は、Ｌ0×ｃｏｓθで表される。従ってθが０°≦θ≦９０°の範囲においては、θが大きいほど見かけの焦点長Ｌ1は小さくなる。本例においては、ターゲット１２Ａを、θ1＞θ2を満たすように配置しているために、被検体４の底面側から見た焦点長Ｌ1をより小さくすることができる。従って、被検体４の底面側に存在する異物をより高分解能で検出することができる。
【００３２】
被検体４の底面側をより高分解能で検出するためには、θ1がθ2よりもなるべく大きくなるように配置するのが好ましい。しかしθ1とθ2の差が大きすぎると、被検体４の底面側と上面側において照射される放射線量の差が大きくなり、異物の検出のための画像処理が困難になる場合がある。従って、θ2＜θ1＜θ2×１０（ただし、θ1＜９０°）であるのが好ましく、θ2×２＜θ1＜θ2×５（ただし、θ1＜９０°）であるのがより好ましい。
【００３３】
また、ターゲット１２Ａの法線５と放射線検出素子２１の表面（放射線検出器２の表面）とが放射線検出素子２１の列方向に成す角度で、下端の放射線検出素子２１１側の角度をφ1、上端の放射線検出素子２１２側の角度をφ2とする。この時、φ１≦９０°となるように放射線検出器２を配置するのが好ましい。φ1≦９０°とすることで、下端の放射線検出素子２１１側における、放射線検出素子２１上に投影される画像のボケを小さくし、解像度を高くすることができる。角度φ1は小さいほど、被検体４の底面側の解像度が高くなるが、角度φ1を小さくするほど、被検体４の上面側の解像度が低下し、必要な放射線検出器２の長さが長くなる。従って、角度φ1は４５°≦φ1≦９０°の範囲が好ましい。
【００３４】
図２（ｂ）に反射型のターゲット１２Ｂを用いた場合（反射型の放射線発生管１Ｂを用いた場合）を示す。放射角度θと、見かけの焦点長Ｌ1との関係は、図２（ａ）に示す透過型のターゲット１２Ａを用いた場合（透過型の放射線発生管１Ａを用いた場合）と同じである。従って、反射型の放射線発生管１Ｂを用いた場合も、上記θ1とθ2の関係は同様である。本発明においては、透過型の放射線発生管１Ａと反射型の放射線発生管１Ｂのいずれをも用いることができるが、透過型の放射線発生管１Ａの方が放射線の照射角度を広く取りやすいため、より好ましく用いることができる。
【００３５】
次に、図４を用いて、本発明の放射線検査装置のシステム構成について説明する。システム制御装置６２は、放射線発生管１Ａ（１Ｂ）と放射線検出装置６１と搬送駆動装置６８を連携制御する。放射線発生管制御部６５は、システム制御装置６２による制御の下に、放射線発生管１Ａ（１Ｂ）に各種の制御信号を出力する。制御信号により、放射線発生管１Ａ（１Ｂ）から放出される放射線の放出状態が制御される。搬送駆動装置６８は、放射線発生管１Ａ（１Ｂ）と放射線検出器２との間を横切って被検体４を通過させるように、被検体配置部３を駆動する。放射線発生管１Ａ（１Ｂ）から放出された放射線は、被検体４を透過して放射線検出器２で検出される。放射線検出器２は、検出した放射線を画像信号に変換して信号処理部６７に出力する。信号処理部６７は、システム制御装置６２による制御の下に、画像信号に所定の信号処理を施し、処理された画像信号をシステム制御装置６２に出力する。システム制御装置６２は、処理された画像信号に基づいて異物の有無を判定する。判定結果は表示装置６３に出力される。検査が終了した被検体４は、判定結果に応じて、搬送駆動装置６８によって駆動される被検体配置部３によって所定の場所に搬送される。
【００３６】
以上、本実施形態によれば、被検体４の底面側における解像度が向上するため、被検体４に収納されている流体よりも高比重な異物を精度よく検出できる放射線検査装置を提供することができる。
【００３７】
〔第２の例〕
次に、図５を用いて本発明の第２の例について説明する。本例の被検体４は流体４１を収納した容器４２であり、容器４２内に混入した、第１の例と同様に収納されている流体４１よりも高比重な異物を検出対象とするのに適した放射線検査装置の例である。本例は、被検体４の側面方向から放射線を照射する場合の例であり、それ以外については第１の例と同様である。
【００３８】
本例においても、放射線発生管１Ａのターゲット１２Ａはθ1＞θ2を満たすように配置されている。ここで、θ1およびθ2の定義は第１の例における説明と同じである。これにより、被検体４の底面側における解像度を高くすることができる。また、本例においては、被検体４の側面方向から放射線を照射しているため、放射線は被検体４の底面側において低角度で入射することになる。そのため、被検体４の底面側の異物をより拡大して検出することができ、異物の検出精度をより高くすることができる。
【００３９】
以上、本例によれば、被検体４に収納されている流体４１よりも高比重な異物を精度よく検出できる放射線検査装置を提供することができる。なお、本例は透過型の放射線発生管１Ａを用いた場合の例であるが、反射型の放射線発生管１Ｂを用いても同様である。
【００４０】
〔第３の例〕
次に、図６を用いて本発明の第３の例について説明する。本例の被検体４は流体４１を収納した容器４２であり、容器４２内に混入した、収納されている流体４１よりも低比重な異物を検出対象とするのに適した放射線検査装置の例で、それ以外については第１の例と同様である。本例は、第１の例と同様に、被検体４斜め上方から放射線を照射する場合の例である。
【００４１】
本例において、放射線発生管１Ａのターゲット１２Ａは、第１の例とは逆に、θ2＞θ1を満たすように配置されている。ここで、θ1およびθ2の定義は第１の例での説明と同じである。これにより被検体４の上面側における見かけの焦点長Ｌ1をより小さくすることができ、被検体の４上面側に存在する異物をより高分解能で検出することができる。
【００４２】
本例におけるθ1とθ2およびφ1とφ2の関係は第１の例とは逆であり、θ2の好ましい範囲は、θ1＜θ2＜θ1×１０（ただし、θ2＜９０°）であり、より好ましい範囲は、θ1×２＜θ2＜θ1×５（ただし、θ2＜９０°）である。また、φ2≦９０°となるように放射線検出器２を配置するのが好ましい。φ2≦９０°とすることで、上端の放射線検出素子２１２側における、放射線検出素子２１上に投影される画像のボケを小さくし、解像度を高くすることができる。角度φ2は小さいほど、被検体４の上端側の解像度が高くなるが、角度φ2を小さくするほど、被検体４の下面側の解像度が低下し、必要な放射線検出器２の長さが長くなる。従って、角度φ2は４５°≦φ2≦９０°の範囲が好ましい。なお、φ1とφ2の定義は第１の例での説明と同じである。
【００４３】
以上、本例によれば、被検体の流体よりも低比重な異物を精度良く検出できる放射線検査装置を提供することができる。また、本例は、焦点中心１３ａの位置を第１の例同じとし、ターゲット１２Ａ（放射線発生管１Ａ）の傾きを変えた場合の例である。すなわち、放射線発生管１Ａの傾きを変えることで、第１の例に係る放射線検査装置と、本例の放射線検査装置とを切り替えることが可能である。なお、本例は透過型の放射線発生管１Ａを用いた場合の例であるが、反射型の放射線発生管１Ｂを用いても同様である。
【００４４】
〔第４の例〕
次に、図７を用いて本発明の第４の例について説明する。本例は第３の実施形態と同様に、被検体４が流体４１を収納した容器４２であり、被検体４が収納している流体４１よりも低比重な異物を検出対象とする放射線検査装置の例である。本例は、被検体４の側面方向から放射線を照射する場合の例であり、それ以外については第３の例と同様である。
【００４５】
本例において、放射線発生管１Ａのターゲット１２Ａはθ2＞θ1を満たすように配置されている。θ1およびθ2の定義は第１の例における説明と同じである。これにより、被検体４の上面側における解像度を高くすることができる。
【００４６】
本例によれば、被検体４が収納している流体４１よりも低比重な異物を精度良く検出できる放射線検査装置を提供することができる。また、本例は、焦点中心１３ａの位置を第２の例と同じとし、ターゲット１２Ａ（放射線発生管１Ａ）の傾きを変えた場合の例である。すなわち、放射線発生管１Ａの傾きを変えることで、第２の例の放射線検査装置と、本例の放射線検査装置とを切り替えることが可能である。なお、本例は透過型の放射線発生管１Ａを用いた場合の例であるが、反射型の放射線発生管１Ｂを用いても同様である。
【符号の説明】
【００４７】
１Ａ，１Ｂ：放射線発生管、２：放射線検出器、３：被検体配置部、４：被検体、５：焦点中心を通るターゲットの法線、１１：電子放出源、１２Ａ，１２Ｂ：ターゲット、１２ａ：ターゲット層、１２ｂ：支持基板、１３：焦点、１３ａ：焦点中心、１４：見かけの焦点、１５：陽極部材、１６：陰極部材、１７：絶縁管、２１：放射線検出素子、４１：流体、４２：容器、５１：焦点中心と下端の放射線検出素子の中心とを結ぶ直線、５２：焦点中心と上端の放射線検出素子の中心とを結ぶ直線、６１：放射線検出装置、６２：システム制御装置、６３：表示装置、６５：放射線発生管制御部、６７：信号処理部、６８：搬送駆動装置、２１１：下端の放射線検出素子、２１２：上端の放射線検出素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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