(57)【要約】【課題】気体流による対象物へのストレスを緩和する技術を提供する。【解決手段】支持用エアプレートは、支持面を有し、支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、支持対象物を支持面と非接触の状態で支持する支持用エアプレートであって、供給される気体流に所定の流路抵抗を加えて送出する気体流抵抗器と、複数の気体流抵抗器が取り外し可能に装着される複数の第１気体供給孔を有する第１有孔板状部と、第１有孔板状部の支持面側に隣接し、第１気体供給孔に対応する位置に、第１気体供給孔の一部と重なって第１気体供給孔と連通し、気体流を圧縮気体層に向かって噴出する第２気体供給孔を有する第２有孔板状部と、気体流抵抗器によって送出された気体流の方向を変化させ、第２気体供給孔の気体流の方向と異なる方向に誘導する、第１有孔板状部と第２の有孔板状部との境界部に位置する気体流対向面と、を有している。【選択図】図１
2015034078.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持面を有し、前記支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面と非接触の状態で支持する支持用エアプレートであって、
供給される気体流に所定の流路抵抗を加えて送出する気体流抵抗器と、
複数の前記気体流抵抗器が装着される複数の第１気体供給孔を有する第１有孔板状部と、
前記第１有孔板状部の前記支持面側に隣接し、前記第１気体供給孔に対応する位置に、前記第１気体供給孔の一部と重なって前記第１気体供給孔と連通し、前記気体流を前記圧縮気体層に向かって噴出する第２気体供給孔を有する第２有孔板状部と、
前記気体流抵抗器によって送出された気体流の方向を変化させ、前記第２気体供給孔における気体流の方向と異なる方向に誘導する、前記第１有孔板状部と前記第２の有孔板状部との境界部に位置する気体流対向面と、
を有する支持用エアプレート。
【請求項２】
前記気体流抵抗器は、前記第１気体供給孔に装着されたときに前記第１気体供給孔の内周面と対面する外周面に、軸心方向における支持面側にある第１端面から前記支持面の逆側にある第２端面まで通ずる外面溝を有する、
請求項１に記載の支持用エアプレート。
【請求項３】
前記気体流抵抗器は、前記外面溝と連通し、軸心方向と異なる方向に向かう端面溝を前記第１端面に有し、前記外面溝と前記前記第１気体供給孔の内周面とで形成される流路を通過した気体流を、前記端面溝と前記気体流対向面とで形成される流路によって、旋回するように方向付ける、請求項２に記載の支持用エアプレート。
【請求項４】
前記気体流抵抗器の前記外面溝は、少なくとも一部において軸心方向と非平行である、請求項２に記載の支持用エアプレート。
【請求項５】
前記気体流抵抗器は、軸心方向に貫通し、前記供給される気体流を絞って噴出する複数の絞り孔を板状部に有する、請求項２に記載の支持用エアプレート。
【請求項６】
前記気体流抵抗器が多孔質材料で構成されている、請求項１に記載の支持用エアプレート。
【請求項７】
前記気体流抵抗器の外面を一周して前記気体流抵抗器と前記第１有孔板状部との間を封止する環状封止部材を更に有し、
前記第１有孔板状部は、前記支持面と逆側にある前記第１気体供給孔の開口部の周囲に座ぐり部を有し、
前記環状封止部材は前記座ぐり部に配設される、
請求項６に記載の支持用エアプレート。
【請求項８】
前記気体流抵抗器は、前記気体流にそれぞれ所定の流路抵抗を加える、軸心方向に直列に配置した複数の抵抗部材を含んで構成される、請求項１に記載の支持用エアプレート。
【請求項９】
前記第１有孔板状部の前記支持面の逆側の面に密接して設置され、前記第１有孔板状部の前記第１気体供給孔のそれぞれと連通する位置に、前記気体流抵抗器を着脱するための着脱孔が設けられた板状部材と、
前記板状部材の前記着脱孔に着脱可能な蓋と、
を有する、請求項１に記載の支持用エアプレート。
【請求項１０】
前記支持用エアプレートは、前記蓋と前記気体流抵抗器の間を封止する環状封止部材を更に有し、
前記蓋は、前記環状封止部材を載置する環状溝を前記支持面側の面に有する、請求項９に記載の支持用エアプレート。
【請求項１１】
前記気体流抵抗器は、前記第２気体供給孔の内周面よりも内側の領域を含む位置に、前記第２気体供給孔側が開口した有底穴を有する、請求項１に記載の支持用エアプレート。
【請求項１２】
前記気体流抵抗器は、前記気体流を送出する送出口が、前記有底穴よりも外側に配設されている、請求項１１に記載の支持用エアプレート。
【請求項１３】
前記第２有孔板状部と前記第１有孔板状部との境界部において、前記第２有孔板状部で形成される、前記第２気体供給孔の内面が、前記第１気体供給孔の内部に伸びている、請求項１１に記載の支持用エアプレート。
【請求項１４】
気体流抵抗器は、気体流が、前記流路抵抗を加える所定の流路を通らずに前記圧縮気体層に漏れるのを防止するための封止部を更に有する、請求項１に記載の支持用エアプレート。
【請求項１５】
前記支持用エアプレートは、前記圧縮気体層から吸い込む気体流を絞るための複数の吸込用気体流抵抗器を更に有し、
前記第１有孔板状部は、前記吸引用気体流抵抗器が着脱可能に装着される複数の気体吸引孔を更に有する、
請求項１から１４のいずれか一項に記載の支持用エアプレート。
【請求項１６】
支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面と非接触状態で支持する支持用エアプレートに用いられる気体流抵抗器において、
前記支持用エアプレートに含まれる、前記支持面側が小径孔部であり、その逆側が大径後部である段付き孔である気体供給孔の前記大径孔部に着脱可能に装着され、供給される気体流に所定の流路抵抗を加えて送出し、前記小径孔部の内面よりも内側の領域を含む位置に、前記小径孔部からの侵入物を蓄積する有底穴を有することを特徴とする気体流抵抗器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮気体層により非接触で対象物を支持する支持用エアプレートに関し、特に、フラットパネルディスプレイやソーラーパネル等に用いられるガラス基板等を非接触状態で支持する支持用エアプレートに関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）やソーラーパネルの製造においては、パネル用ガラス基板の薄肉化および大型化、搬送の高速化および高精度化、ガラス基板に対するストレスフリー化が求められる。そのような要求を満たすために、ガラス板を気体層によって浮上させ、搬送する非接触搬送装置が用いられる。例えば、長辺が２４００ｍｍもあるようなガラス板を３０±５μｍの高さおよび精度で浮上させるといったことが要求される。
【０００３】
特許文献１には、気体の旋回流を発生させてガラス板を支持する技術が開示されている。特許文献１の技術では、装置基体の搬送面に形成した凹部に旋回流形成体を収容し、その旋回流形成体の外周面を凹部の周囲に突設した盛上部によってかしめ接合している。本構成により搬送面上に気体の旋回流を発生させ、ガラス基板を非接触状態で支持する。
【０００４】
特許文献２には、気体の上昇流を発生させてガラス基板を支持する技術が開示されている。上昇流形成体は、環状鍔部を、搬送用基板の上板に形成された収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合し、係合垂下部の係合突起部を収容孔部の環状肩部に係合させることで、収容孔部に装着されている。本構成により、上板上に気体の上昇流を発生させ、ガラス基板を非接触状態で支持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２００９／１１９３７７号パンフレット
【特許文献２】特開２０１２−１７６８２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の旋回流形成体はガラス基板に対向する基体の搬送面に装着される。旋回流形成体を通った気体が旋回しながらガラス基板に当たるとともに、旋回流の内側にガラス基板を基体に引き寄せる方向の気体の流れを生じるようになっている。
【０００７】
また、特許文献２の上昇流形成体もガラス基板に対向する基板の搬送面に装着される。上昇流形成体から噴出した気体は直接に、あるいは気体同士が衝突した後に、あるいは上昇流形成体の内周の側壁に衝突した後に、ガラス基板に当たるようになっている。
【０００８】
しかしながら、近年では、ＦＰＤやソーラーパネルは益々大型化、薄型化し、それに伴って搬送装置が支持すべきガラス板も大型化、薄型化している。そのため、気体流によりガラス基板に加わるストレスの緩和や、それにより圧力の均一化が従来よりも一層求められるようになっている。
【０００９】
本発明の目的は、気体流による対象物へのストレスを緩和する技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様による支持用エアプレートは、支持面を有し、前記支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面と非接触の状態で支持する支持用エアプレートであって、供給される気体流に所定の抵抗を加えて送出する気体流抵抗器と、複数の前記気体流抵抗器が取り外し可能に装着される複数の第１気体供給孔を有する第１有孔板状部と、前記第１有孔板状部の前記支持面側に隣接し、前記第１気体供給孔に対応する位置に、前記第１気体供給孔の一部と重なって前記第１気体供給孔と連通し、前記気体流を前記圧縮気体層に向かって噴出する第２気体供給孔を有する第２有孔板状部と、前記気体流抵抗器によって送出された気体流の方向を変化させ、前記第２気体供給孔の気体流の方向と異なる方向に誘導する、前記第１有孔板状部と前記第２の有孔板状部との境界部に位置する気体流対向面と、を有している。
【００１１】
本発明の一態様による気体流抵抗器は、支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面と非接触状態で支持する支持用エアプレートに用いられる気体流抵抗器において、前記支持用エアプレートに含まれる、前記支持面側が小径孔部であり、その逆側が大径後部の段付き孔である気体供給孔の前記大径孔部に脱着可能に装着され、供給される気体流に所定の流路抵抗を加えて送出し、前記小径孔部の内面よりも内側の領域を含む位置に、前記小径孔部からの侵入物を蓄積する有底穴を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、支持用エアプレートから噴出された圧縮気体流の与える対象物へのストレスを緩和することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施形態による浮上用エアプレート１０の概略的な断面図である。
【図２】気体経路プレート１２の表面の形状を示す図である。
【図３】気体経路プレート１２の裏面の形状を示す図である。
【図４】ボトムプレート１３を表面側から見た図である。
【図５】噴出ペレット１４の平面図（Ａ）と側断面図（Ｂ）とを示す図である。
【図６】第１の実施形態による浮上用エアプレート１０の概略的な分解断面図である。
【図７】噴出ペレット１４が取り付けられたトッププレート１１の噴出孔１７の内部における気体の流れを示す図である。
【図８】吸引ペレット１５が取り付けられた気体経路プレート１２およびトッププレート１１のそれぞれの噴出孔２０、吸引孔１８の内部における気体の流れを示す図である。
【図９】第２の実施形態による浮上用エアプレート３０の概略的な断面図である。
【図１０】噴出ペレット３４が取り付けられたトッププレート３１の噴出孔３７の内部における気体の流れを示す図である。
【図１１】第３の実施形態による浮上用エアプレート５０の概略的な断面図である。
【図１２】第４の実施形態による浮上用エアプレート６０の噴出ペレット６１近傍の概略的な断面図である。
【図１３Ａ】第５の実施形態による浮上用エアプレート７０の噴出ペレット７１近傍の概略的な断面図である。
【図１３Ｂ】第５の実施形態による噴出ペレット７１の表面側から見た図である。
【図１４】第６の実施形態による浮上用エアプレート８０の噴出ペレット８１近傍の概略的な断面図である。
【図１５】第７の実施形態による浮上用エアプレート９０の噴出ペレット８１近傍の概略的な断面図である。
【図１６】第８の実施形態による浮上用エアプレート１００の噴出ペレット６１近傍の概略的な断面図である。
【図１７】第９の実施形態による浮上用エアプレート１１０の概略的な断面図である。
【図１８】第１０の実施形態による浮上用エアプレート１２０の概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下の説明においては同一の部材や部分に対して同一の符号を付し、その説明を省略あるいは簡略化する場合がある。
【００１５】
（第１の実施形態）
【００１６】
図１は、第１の実施形態による浮上用エアプレート１０（支持用エアプレート）の概略的な断面図である。浮上用エアプレート１０は、支持面１１ａを有し、支持する対象物（支持対象物）であるガラス基板（不図示）と支持面１１ａとの間に圧縮気体層を形成し、ガラス基板を支持面１１ａから浮上させた非接触状態で支持するプレートである。
【００１７】
図１を参照すると、浮上用エアプレート１０は、トッププレート１１、気体経路プレート１２、ボトムプレート１３、噴出ペレット１４（気体流抵抗器）、および吸引ペレット１５（吸込み用気体流抵抗器）を有している。
【００１８】
トッププレート１１、気体経路プレート１２、およびボトムプレート１３は、共に、アルミニウム等の金属材料で製作されている板形状の部材である。バイメタル効果により温度変化で反りが生じるのを防ぐため、トッププレート１１、気体経路プレート１２、およびボトムプレート１３を同じ材質に揃えるのが好ましい。それぞれ高精度に平面研削加工し、孔や溝を設けることにより、製作される。トッププレート１１、気体経路プレート１２、およびボトムプレート１３には不図示の組み付け用孔とタップ加工が施されており、ボルトによって互いに組み付けられる。更に、アルミフレーム等に取り付けてガラス基板を搬送する不図示の搬送装置などに使用するため、浮上用エアプレート１０にはボルト取り付け用孔が設けられている。
【００１９】
一方、噴出ペレット１４および吸引ペレット１５は樹脂材料等からなる射出成型品であり、トッププレート１１や気体経路プレート１２に設けられた孔に挿入される。
【００２０】
以下、それぞれについて詳細に説明する。
【００２１】
トッププレート１１は、板厚方向に貫通する複数の噴出孔１７と複数の吸引孔１８が交互に配置された有孔板状部材である。噴出孔１７は、支持面１１ａとガラス基板との間に圧縮気体を噴出して圧縮気体層を形成させてガラス基板を浮上させる機能を果たすための孔であり、吸引孔１８は、圧縮気体層から気体を吸引してガラス基板の浮上高さを安定させる機能を果たすための孔である。
【００２２】
噴出孔１７および吸引孔１８を配置するピッチは、支持する対象物であるガラス基板の厚さに合わせて設定される。薄いガラス基板には密なピッチ、厚いガラス基板には疎なピッチを採用するのが経済的にも変形を抑える上でも好ましい。トッププレート１１の一方の面が、ガラス基板を浮上させた非接触状態で支持するための支持面１１ａを構成する。以下、トッププレート１１におけるガラス基板を支持する一方の面である支持面１１ａに対して他方の面を裏面１１ｂということにする。
【００２３】
噴出孔１７は、支持面１１ａ側と裏面１１ｂ側とで内径寸法が異なる貫通穴であり、支持面１１ａ側にあり、裏面１１ｂ側に設置された孔より内径寸法の小さな小径孔部１７ｂ（第２気体供給孔）と、裏面１１ｂ側にあり、小径孔部１７ｂに連接して小径孔部１７ｂより内径寸法の大きな大径孔部１７ａ（第１気体供給孔）とからなる段付き孔構造となっており、噴出孔１７の大径孔部１７ａに噴出ペレット１４が挿入される。一例として、大径孔部１７ａは内径φ８ｍｍであり、小径孔部１７ｂは内径φ２．５ｍｍである。
【００２４】
吸引孔１８も噴出孔１７と同様に、支持面１１ａ側が裏面１１ｂ側より内径の小さな小径孔部１８ｂと裏面１１ｂ側が小径孔１８ｂより内径の大きな大径孔部１８ａとが連接してなる段付き孔構造となっている。一例として、大径孔部１８ａは内径φ８ｍｍであり、小径孔部１８ｂは内径φ４ｍｍである。ただし、吸引孔１８にはペレットは挿入されないので段付き構造でなくてもよい。
【００２５】
気体経路プレート１２は、トッププレート１１の裏面１１ｂに密着させて設置される面である表面１２ａと、表面１２ａに対して他方の面である裏面１２ｂとを有する。
【００２６】
気体経路プレート１２の表面１２ａ部には、トッププレート１１の複数の噴出孔１７を互いに接続する給気溝２１が形成されている。更に、気体経路プレート１２には、所定の位置で、給気溝２１と連通し、裏面１２ｂまで貫通する給気孔１９が設けられている。
【００２７】
また、気体経路プレート１２には、トッププレート１１の各吸引孔１８と連通する位置で表面１２ａから裏面１２ｂまで貫通する複数の吸引孔２０が設けられている。更に、気体経路プレート１２の裏面１２ｂには、複数の吸引孔２０を互いに連通させる吸引溝２２が形成されている。吸引孔２０は、裏面１２ｂ側と表面１２ａ側とで内径寸法が異なる貫通穴であり、裏面１２ｂ側にあり、表面１２ａ側に設置された孔より内径寸法の小さくなった小径孔部２０ｂと表面１２ａ側にあり小径孔部２０ｂに連接して小径孔部２０ａより内径寸法の大きな大径孔部２０ａからなる段付き孔形状となっており、その吸引孔２０の大径孔部２０ａに吸引ペレット１５が挿入されている。
【００２８】
気体経路プレート１２の表面１２ａ部にある給気溝２１と裏面１２ｂ部にある吸引溝２２とは板厚方向において互いに干渉しない深さとなっている。一例として、給気溝２１および吸引溝２２がいずれも幅８ｍｍで、深さ３．５ｍｍであり、気体経路プレート１２の板厚は７ｍｍより大きい厚さである。
【００２９】
図２は、気体経路プレート１２の表面１２ａの形状を示す図である。
【００３０】
図２を参照すると、気体経路プレート１２の表面１２ａに、給気溝２１が網目状に形成されており、その給気溝２１の所定部位において裏面１２ｂまで貫通する給気孔１９が連通している。給気溝２１は、開口面２１ａがトッププレート１１の裏面１１ｂによって塞がれ、トッププレート１１の各噴出孔１７と連通し、給気孔１９から供給される気体をトッププレート１１の噴出孔１７へ供給する経路をなす（図１参照）。
【００３１】
また、気体経路プレート１２の表面１２ａ部には、トッププレート１１の吸引孔１８と連通する位置に、裏面１２ｂまで貫通する吸引孔２０がある。
【００３２】
図３は、気体経路プレート１２の裏面１２ｂの形状を示す図である。
【００３３】
気体経路プレート１２の裏面１２ｂには、複数の吸引孔２０を互いに連通させる吸引溝２２が網目状に設けられている。吸引溝２２は、開口面２２ａがボトムプレート１３の表面１３ａで塞がれ、各吸引孔２０を通して吸引する気体の経路をなす（図１参照）。
【００３４】
ここでは一例として吸引溝２２は３つの系統に分割されている。ガラス基板を浮上させた状態で搬送する際、吸引溝２２で連通している全ての吸引孔１８の上方にガラス基板がある状態と、一部の吸引孔１８の上方だけにガラス基板があり、残りの吸引孔１８の上方が開放されている状態とでは、圧縮気体層によりガラス基板に加わる力が異なる。本実施形態では、吸引溝２２を３つの系統に分割することで、各系統によって連通されている全ての吸引孔１８が搬送されていくガラス基板によって早期に覆われ、搬送中のガラス基板に加わる力を安定させるようにしている。気体経路プレート１２における吸引溝２２の系統間は、図３のように完全に分離されて全く連通していなくてもよく、限られた部分だけで連通していてもよい。
【００３５】
また、気体経路プレート１２の裏面１２ｂ部には、表面１２ａ部の給気溝２１と連通する貫通孔である給気孔１９がある。
【００３６】
図４は、ボトムプレート１３を表面側から見た図である。
【００３７】
ボトムプレート１３は、気体経路プレート１２の裏面１２ｂに密接させて設置される面である表面１３ａと、表面１３ａに対して他方の面である裏面１３ｂを有する（図１参照）。
【００３８】
ボトムプレート１３には、気体経路プレート１２の給気孔１９に圧縮気体を供給するための給気口２３が、給気孔１９と連通する所定位置に板厚方向に貫通した状態で形成されている。また、ボトムプレート１３には、各系統の吸引溝２２から気体を吸引するための吸引口２４が各系統の吸引溝２２と連通する所定位置に板厚方向に貫通した状態で形成されている。ボトムプレート１３の表面１３ａは気体経路プレート１２の裏面１２ｂに密接させた状態で設置しているため、吸引溝２２の開口面２２ａを塞ぐ蓋の役割を果たし、吸引口２４から各系統の全ての吸引溝２２の気体の吸引を可能にする。
【００３９】
給気口２３には不図示のポンプが接続され、ポンプから給気口２３に圧縮気体が供給される。給気口２３に供給された圧縮気体は、気体経路プレート１２の給気孔１９および給気溝２１を介してトッププレート１１の各噴出孔１７に送られ、噴出ペレット１４を通って圧縮気体層に供給される。
【００４０】
吸引口２４には不図示の真空ポンプが接続され、真空ポンプの吸気により、気体が圧縮気体層からトッププレート１１の吸引孔１８を通って気体経路プレート１２に吸引され、更に吸引ペレット１５を通ってボトムプレート１３の吸引口２４から真空ポンプに吸引される。
【００４１】
図５は、噴出ペレット１４の平面図（Ａ）と側断面図（Ｂ）であり、図６は第１の実施形態における噴出ペレット１４の挿入方向を示す浮上用エアプレートの概略的な分解断面図である。
【００４２】
図５に示すように、噴出ペレット１４は、水平方向に配置された板状、より具体的には円板状部１４ａと、円板状部１４ａの外周面と内周面で当接し、円板状部１４ａと一体的に形成された管形状、より具体的には円筒形状の円管状部１４ｃとを有している。
【００４３】
円管状部１４ｃの外周面１４ｆには、軸心方向に表面（上面）側にある上部側端面１４ｃａ（第１端面）から裏面（下面）側にある下部側端面１４ｃｂ（第２端面）まで通じる溝１４ｂ（外面溝）が複数本形成されている。噴出ペレット１４を大径孔部１７ａに挿入すると、溝１４ｂと、噴出ペレット１４の外周面１４ｆに当接する大径孔部１７ａの内周面１７ａａとで流路１４ｂａが形成される。
【００４４】
噴出ペレット１４は、図６の矢印に示されるように、トッププレート１１の噴出孔１７に裏面１１ｂ側から挿入され、噴出孔１７の大径孔部１７ａの内部に取り付けられる。噴出ペレット１４の外径１４ｅと噴出孔１７の大径孔部１７ａの内径１７ｃは同一の寸法であるか、あるいは噴出ペレット１４の外径１４ｅが噴出孔１７の大径孔部１７ａの内径１７ｃよりも僅かに大きくなっており、噴出ペレット１４を噴出孔１７の大径孔部１７ａに挿入すると圧入状態となり、流路１４ｂａ以外の部分では気体が漏れないように噴出ペレット１４の外周面１４ｆと噴出孔１７の大径孔部１７ａの内周面１７ａａの間が封止される。
【００４５】
また、各溝１４ｂに対応して、上部側端面１４ｃａには、溝１４ｂと連通し、上部側端面１４ｃａを外周面１４ｆから内周面１４ｇまで横切る溝１４ｈ（上部端面溝）が形成されている。噴出ペレット１４を大径孔部１７ａに挿入すると、溝１４ｈの開放された上面１４ｈａが、大径孔部１７ａと小径孔部１７ｂの境界部に大径孔部１７ａの上部側端面１７ａｂと小径孔部１７ｂの下部側端面１７ｂｂにより形成される円環形状の下向き面１１ｅによって閉塞され、流路１４ｂａからの気体流を誘導する誘導路１４ｊ（図７参照）を形成する。誘導路１４ｊの円管状部１４ｃの内周面１４ｇ側端部の開口する位置に、気体流を噴出する噴出口１４ｂｂが設置されている。噴出口１４ｂｂは、噴出ペレット１４の中心軸１４ｄから所定距離以上離れた位置、具体的には円環状部１４ｃの外周面１４ｆから管状部１４ｃの厚さ分だけ中心軸１４ｄに近寄った位置に設けてある。この位置は小径孔部１７ｂの内周面１７ｂａよりも外側にあるので、流路１４ｂａからの気体流は、下向き面１１ｅに沿って流れることにより、小径孔部１７ｂに到達するまでは、横方向（噴出ペレット１４の軸心の垂直方向）に誘導される。
【００４６】
また、下部側端面１４ｃｂには、溝１４ｂと連通し、下部側端面１４ｃｂを外周面１４ｆから内周面１４ｇまで横切る溝１４ｉ（下部端面溝）が形成されてもよい。ただし、噴出ペレット１４の大径孔部１７ａに挿入される前に溝１４ｉの開放された状態の下面１４ｉａは、噴出ペレット１４が大径孔部１７ａに挿入された後も閉塞されない。
【００４７】
なお、トッププレート１１の噴出孔１７の近傍に着目すると、上述したように、噴出孔１７は内径寸法の異なる２つの孔部（大径孔部１７ａ、小径孔部１７ｂ）からなる段付き孔構造となっている。すなわち、トッププレート１１は、噴出ペレット１４の外径寸法と一致するかまたは僅かに小さい大径孔部１７ａを有する裏面１１ｂ側の有孔板状部１１ｃ（第１有孔板状部）と、噴出ペレット１４の外径寸法よりも小さい小径孔部１７ｂを有する支持面１１ａ側の有孔板状部１１ｄ（第２有孔板状部）とからなっている。この噴出孔１７の段付き構成による大径孔部１７ａと小径孔部１７ｂの内径寸法の相違により、大径孔部１７ａと小径孔部１７ｂの境界に下向き面１１ｅが形成されている。下向き面１１ｅには、流路１４ｂａの真上にあり、流路１４ｂａにより絞られた気体流が衝突する気体流対向面１１ｅａが含まれている。流路１４ｂａからの気体流が気体流対向面１１ｅａにぶつかり、方向を変えられることによって、ガラス基板に対し、許容範囲内のストレスと適度な剛性を与えることが可能となっている。
【００４８】
以上の構成により、噴出孔１７の大径孔部１７ａに装着された噴出ペレット１４は、裏面側から供給される気体流を流路１４ｂａで絞り、気体流対向面１１ｅａに衝突させ、誘導路１４ｊにより、大径孔部１７ａおよび小径孔部１７ｂの軸心方向に流れる気体流の方向と９０度の角度をなす方向（水平方向）に誘導する。その後、噴出ペレット１４は、気体流を小径孔部１７ｂを通して圧縮気体層に送出する。所望の流路抵抗を有する流路１４ｂａで絞り、気体流対向面１１ｅａおよび誘導路１４ｊにより気体流に抵抗を与えて速度を緩和し、支持面１１ａ側に噴出すことにより、ガラス基板（不図示）とトッププレート１１の支持面１１ａとの間の圧縮気体層に所望の剛性を与えることを可能にしている。
【００４９】
なお、流路１４ｂａの設置数や、噴出口１４ｂｂの噴出ペレット１４の中心軸１４ｄからの距離は、流路１４ｂａで実現すべき流路抵抗の値やガラス基板が許容するストレスなどに基づいて適宜選択すればよい。本実施形態では一例として、流路１４ｂａの設置数量は２個であり、噴出口１４ｂｂは、中心軸１４ｄから２ｍｍの位置に設置している。
【００５０】
図６に戻り、吸引ペレット１５は、気体経路プレート１２の吸引孔２０に表面１２ａ側から挿入され、吸引孔２０の大径孔部２０ａの内部に取り付けられる。吸引ペレット１５は、円板状部１４ａと円管状部１４ｃを有する噴出ペレット１４と同様の形状を有している。ただし、吸引ペレット１５の外径、長さ、円板状部の位置、溝の個数、位置、大きさなど各部の寸法は噴出ペレット１４の各寸法と異なっていてもよい。
【００５１】
図７は、噴出ペレット１４が取り付けられたトッププレート１１の噴出孔１７の内部における気体の流れを示す図である。図７を参照すると、トッププレート１１の裏面１１ｂ（図中の下側の面）から噴出孔１７の大径孔部１７ａに圧縮気体が供給される。この圧縮気体は、噴出ペレット１４の円管状部１４ｃの外周面１４ｆに設けられた溝１４ｂと、噴出孔１７の大径孔部１７ａの内周面１７ａａとで形成される流路１４ｂａで絞られ、誘導路１４ｊ横方向に誘導された後、噴出口１４ｂｂから噴出する。噴出口１４ｂｂの上方には気体流対向面１１ｅａを含む下向き面１１ｅが続いているので、気体流はその下向き面１１ｅに沿って更に横方向に進む。その間に、気体流の速度は低減される。そして、気体流は噴出孔１７の小径孔部１７ｂに集約され、その中を上がって支持面１１ａの上方に噴出する。このように、流路抵抗を加えられた気体流は、通過する各部位において、速度を低減された状態で噴出する。これにより圧縮気体層からガラス基板に加わるストレスが緩和される。
【００５２】
本実施形態によれば、流路１４ｂａを通った気体流の方向を、小径孔部１７ｂから噴出する前段階で、気体流対向面１１ｅａによって、小径孔部１７ｂの気体の流れる方向と異なる方向に一旦誘導するので、小径孔部１７ｂを上昇する気体流によるガラス基板へのストレスを緩和することが可能となる。
【００５３】
また、気体流に対する流路抵抗となる部分に着脱式の樹脂材料からなる射出成型品を用いることで、大きな金属製のプレートの全面に直接多数の微細な孔を加工する必要が無くなっているため、製造が極めて容易であり、加工時間も短縮されている。
【００５４】
また、噴出ペレット１４の円管状部１４ｃの外周面１４ｆに溝１４ｂを形成しておくことで、噴出ペレット１４を噴出孔１７の大径孔部１７ａに挿入したときに、流路抵抗となる微細な流路１４ｂａ等が構成されるようにしているので、樹脂成型品である噴出ペレット１４に対しても複雑で微細な成形加工による孔加工を行う必要がなくなる。
【００５５】
また、本実施形態によれば、流路１４ｂａによって所望値の流路抵抗が与えられた気体流が気体流対向面１１ｅａによって速度を低減された後に支持面１１ａの上方の圧縮気体層に供給されるので、流路抵抗によって圧縮気体層に所望の剛性を与えるとともに、気体流対向面１１ｅａによってガラス基板へ与えるストレスを緩和することが可能となっている。
【００５６】
なお、噴出ペレット１４の位置をできるだけ支持面１１ａの近くにすることで、気体を絞って流路抵抗を加える効果を維持し、自励振動が起こるのを抑制することができる。一例として、トッププレート１１の噴出孔１７の小径孔部１７ｂの厚さは５ｍｍ以下が好ましい。
【００５７】
図８は、吸引ペレット１５が取り付けられた気体経路プレート１２およびトッププレート１１のそれぞれの吸引孔２０、吸引孔１８の内部における気体の流れを示す図である。トッププレート１１の支持面１１ａから吸引孔１８に向けて吸引された気体は、吸引孔１８を通って気体経路プレート１２に達する。気体経路プレート１２に達した気体は吸引ペレット１５の円管状部１５ｃの外周面１５ａに形成された溝１５ｂと、気体経路プレート１２の吸引孔２０の大径孔部２０ａの内周面２０ａａとで形成される流路１５ｂａを通って絞られ、所望の流路抵抗が加えられ、吸引溝２２による流路を経て、気体経路プレートの裏面１２ｂから吸引される。
【００５８】
吸引ペレット１５の流路１５ｂａは、浮上用エアプレート１０上の圧縮気体層の圧力バランスを考慮した設計が行われる。例えば噴出ペレット１４の流路１４ｂａから噴出した気体量を相殺可能な気体量を吸引できるように設計されている。流路１４ｂａを通ってすでに浮上用エアプレート１０の外部に噴出した圧縮気体層内の気体は、流路１４ｂａを通過はしたものの、まだ浮上用エアプレートの内部にある空気よりも膨張しているので、通常、吸引ペレット１５の流路１５ｂａの断面積は噴出ペレット１４の流路１４ｂａの断面積よりも大きく設定される。
【００５９】
流路１４ｂａはその全体あるいは一部（以下抵抗部と称する）によって気体流に所望の流路抵抗を加える。流路抵抗は、流路の入力側と出力側の圧力差と、気体の流量との比を表す。
【００６０】
抵抗部の流路抵抗ｒは抵抗部の断面積Ｓおよび長さｄによって、ｒ＝ａ（ｄ／Ｓ）と表すことができる。ａは所定の係数である。なお、流路１４ｂａの一部が抵抗部となる場合、それ以外の部分は断面積が抵抗部の断面積よりも十分に大きく、その部分の抵抗は無視できる非抵抗部とする。
【００６１】
また例えば同一形状の流路１４ｂａがｎ個ある場合、噴出ペレット１４全体の流路抵抗Ｒは、Ｒ＝ｒ／ｎと表すことができる。本実施形態の例では、上述のようにｎ＝２個である。噴出ペレット１４における流路１４ｂａの個数ｎ、流路１４ｂａの抵抗部の断面積Ｓおよび長さｄを適切に選択することにより、所望の流路抵抗Ｒを得ることができる。
【００６２】
なお、本実施形態の浮上用エアプレート１０は、噴出ペレット１４および吸引ペレット１５を備え、支持面１１ａから圧縮気体層に気体を噴出すとともに、圧縮気体層から気体を吸引することにより、支持された対象物の高さを安定させ、また制御ノイズや搬送等による振動に対する耐性を高めている。さらに、吸引孔にも流路抵抗を与える吸引ペレット１５を設けることで、吸引力の変化を抑える効果も得ている。しかしながら、本発明がこの構成に限定されることはない。他の例として、支持面１１ａから気体を噴出するのみの浮上用エアプレートにも本発明は適用することができる。
【００６３】
また、本実施形態では、気体経路プレート１２の吸引溝２２だけが三分割されているが、実施形態がこれに限定されることはない。例えば、給気溝２１も吸引溝２２と同様に複数に分割されていてもよく、あるいは給気溝２１だけが複数に分割されていてもよい。また、三分割ではなく、二分割あるいは四分割、またはそれ以上に分割してもよい。
【００６４】
また、本実施形態では、噴出孔１７の大径孔部１７ａと小径孔部１７ｂと同心円である例を示したが、本発明がこれに限定されることはない。小径孔部１７ｂの軸心と大径孔部１７ａの軸心をずらして連通させてもよく、気体流が衝突する気体流対向面１１ｅａが形成されていれば、どのような構成を採用してもよい。
【００６５】
また、本実施形態では、小径孔部１７ｂの内径が円管状部１４ｃの内径よりも小さい例を示したが、本発明がこれに限定されることはない。流路１４ｂａの上方に気体流が衝突する気体流対向面１１ｅａが配設されていれば、どのような構成を採用してもよい。
【００６６】
また、本実施形態では、噴出ペレット１４の円管状部１４ｃの外周面１４ｆに上部側端面１４ｃａから下部側端面１４ｃｂまで噴出ペレット１４の中心軸１４ｄと平行に溝１４ｂを形成する例を示したが、本発明がこれに限定されることはない。他の例として、溝１４ｂは、円管状部１４ｃの外周面１４ｆに上部側端面１４ｃａから下部側端面１４ｃｂまで螺旋状に形成された溝であってもよい。また、溝１４ｂは、上部側端面１４ｃａから下部側端面１４ｃｂまで蛇行して通じる溝であってもよい。溝１４ｂの長さを適切に調整することにより、流路１４ｂａの流路抵抗を適切に設定することができる。
【００６７】
すなわち、本実施形態において、前記気体流抵抗器の前記外面溝は、少なくとも一部において軸心方向と非平行であってもよい。例えば曲線状や螺旋状のように、軸心方向と非平行な部分を含む溝１４ｂを形成することにより流路抵抗を大きくすることができる。
【００６８】
また、本実施形態では、噴出ペレット１４の抵抗流路として円管状部１４ｃの外周面１４ｆに溝１４ｂを形成した形状を採用したが、本発明がこれに限定されることはない。気体流に所定の流路抵抗を与えることができる限り、どのような構成によってその抵抗流路を実現してもよい。
【００６９】
以上説明したように、本実施形態によれば、支持用エアプレートは、
支持面を有し、前記支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面と非接触の状態で支持する支持用エアプレートであって、
供給される気体流に所定の流路抵抗を加えて送出する気体流抵抗器と、
複数の前記気体流抵抗器が着脱可能に装着される複数の第１気体供給孔を有する第１有孔板状部と、
前記第１有孔板状部の前記支持面側に隣接し、前記第１気体供給孔に対応する位置に、前記第１気体供給孔の一部と重なって前記第１気体供給孔と連通し、前記気体流を前記圧縮気体層に向かって噴出する第２気体供給孔を有する第２有孔板状部と、
前記気体流抵抗器によって送出された気体流の方向を変化させ、前記第２気体供給孔における気体流の方向と異なる方向に誘導する、前記第１有孔板状部と前記第２の有孔板状部との境界部に位置する気体流対向面と、
を有するものとなっている。
【００７０】
また、本実施形態では、前記気体流抵抗器は、前記第１気体供給孔に装着されたときに前記第１気体供給孔の内周面と対面する外周面に、軸心方向における支持面側にある第１端面から前記支持面の逆側にある第２端面まで通ずる外面溝を有するものとなっている。
【００７１】
また、本実施形態では、前記支持用エアプレートは、前記圧縮気体層から吸い込む気体流を絞るための複数の吸込用気体流抵抗器を更に有し、
前記第１有孔板状部は、前記吸引用気体流抵抗器が着脱可能に装着される複数の気体吸引孔を更に有する、ものとなっている。
【００７２】
（第２の実施形態）
【００７３】
図９は、第２の実施形態による浮上用エアプレート３０の概略的な断面図である。第２の実施形態による浮上用エアプレート３０は、第１の実施形態のものと同様に、支持面３１ａを有し、ガラス基板９９と支持面３１ａとの間に圧縮気体層を形成し、ガラス基板９９を支持面３１ａから浮上させた非接触状態で支持するプレートである。
【００７４】
また、噴出ペレット３４と吸引ペレット３５が共に、第１の実施形態の噴出ペレット１４、吸引ペレット１５と同様の構造を有している。
【００７５】
ただし、第２の実施形態による浮上用エアプレート３０は、噴出ペレット３４と吸引ペレット３５の双方ともに、支持面３１ａを形成するトッププレート３１に挿入される点で、第１の実施形態のものと異なっている。
【００７６】
図９を参照すると、浮上用エアプレート３０は、トッププレート３１、気体経路プレート３２、ボトムプレート３３、噴出ペレット３４、および吸引ペレット３５を有している。
【００７７】
トッププレート３１は、第１の実施形態のトッププレート１１と同様に、複数の噴出孔３７と複数の吸引孔３８が交互に配置された有孔板状部材である。トッププレート３１の開放側表面が支持面３１ａを構成する。噴出孔３７は、支持面３１ａ側と裏面３１ｂ側とで内径寸法が異なる貫通穴であり、支持面側３１ａ側にあり、裏面３１ｂ側に設置された孔より内径寸法の小さな小径孔部３７ｂと、裏面３１ｂ側にあり、小径孔部３７ｂに連接し、小径孔部３７ｂより内径寸法の大きな大径孔部３７ａとからなる段付き孔構造となっており、その内径の大きな大径孔部３７ａに噴出ペレット３４が挿入されている。
【００７８】
すなわち、トッププレート３１は、噴出ペレット３４の外径寸法と一致するかまたは僅かに小さい内径を有する大径孔部３７ａを有する裏面３１ｂ側の有孔板状部３１ｃと、噴出ペレット３４の外径寸法よりも小さい内径を有する小径孔部３７ｂを有する支持面３１ａ側の有孔板状部３１ｄとからなっている。
【００７９】
噴出孔３７の大径孔部３７ａに噴出ペレット３４が圧入されることで、後述する溝以外の部分での噴出孔３７の内周面と噴出ペレット３４の外周面間は封止される。また、噴出ペレット３４の上部側端面３４ｃａ側から下部側端面３４ｃｂ側までの軸心方向の長さとトッププレート３１の大径孔部３７ａの厚さとは一致している。そのため、トッププレート３１に噴出ペレット３４を挿入し、トッププレート３１の裏面３１ｂに気体経路プレート３２の表面３２ａを密接させると、噴出ペレット３４の径方向の動き（厚さ方向の垂直方向）と共に、厚さ方向の動きまでが規制され、安定する。
【００８０】
また、本実施形態のトッププレート３１にある吸引孔３８は、上述した噴出孔３７と同様に、支持面３１ａ側に位置する孔とその孔の内径寸法より小さな内径寸法を有した裏面３１ｂ側にある孔とが連接した段付き孔となっている。そして第１の実施形態とは異なり、トッププレート３１にある吸引孔３８の大径孔部３８ａに吸引ペレット３５が挿入されている。吸引孔３８の大径孔部３８ａに吸引ペレット３５が圧入されることで、吸引ペット３５の溝以外の部分で吸引孔３８の大径孔部３８ａの内周面と吸引ペレット３５の外周面の間が封止される。
【００８１】
本第２の実施形態の気体経路プレート３２は、第１の実施形態の気体経路プレート１２と同様に、表面３２ａをトッププレート３１の裏面３１ｂに密接させて設置される。
【００８２】
気体経路プレート３２の表面３２ａには、トッププレート３１の複数の噴出孔３７を互いに接続する給気溝３９が網目状に形成されている。更に、気体経路プレート３２には、所定の位置で、給気溝３９と連通し、裏面３２ｂまで貫通する給気孔（不図示）が設けられている。
【００８３】
また、気体経路プレート３２には、トッププレート３１の各吸引孔３８と連通する位置で表面３２ａから裏面３２ｂまで貫通する複数の吸引孔４１が設けられている。更に、気体経路プレート３２の裏面３２ｂには、複数の吸引孔４１を互いに連通させる吸引溝４０が網目状に形成されている。
【００８４】
なお、給気溝３９または吸引溝４０のいずれか一方または両方は、第１の実施形態の吸引溝２２と同様に、複数に分割されていてもよい。
【００８５】
ボトムプレート３３は、表面３３ａを気体経路プレート３２の裏面３２ｂに密接させて設置される。ボトムプレート３３には、気体経路プレート３２の給気溝３９に気体を供給するための給気口（不図示）が給気溝３９と連通する所定位置に厚さ方向に貫通した状態で設置されている。また、ボトムプレート３３には、吸引溝４０から気体を吸引するための吸引口（不図示）が吸引溝４０と連通する所定位置に貫通した状態で設置されている。給気口にはポンプが接続され、吸引口には真空ポンプが接続される。
【００８６】
本実施形態の噴出ペレット３４は、図５に示した第１の実施形態のものと、形状、構造、および大きさが同じであるとする。
【００８７】
図１０は、噴出ペレット３４が取り付けられたトッププレート３１の噴出孔３７の内部における気体の流れを示す図である。
【００８８】
噴出ペレット３４は円板状部３４ａと円管状部３４ｃを有し、円管状部３４ｃの外周面３４ｆに上部側端面３４ｃａ側から下部側端面３４ｃｂ側まで通じる溝３４ｂが形成されている。噴出ペレット３４を大径孔部３７ａに挿入すると、噴出ペレット３４の溝３４ｂと外周面３４ｆに当接する噴出孔３７の大径孔部３７ａの内周面３７ａａとにより、気体流を絞る流路３４ｂａが形成される。
【００８９】
第１の実施形態と同じように、トッププレート３１は噴出孔３７の内径寸法が異なる小径孔部３７ｂ及び大径孔部３７ａをそれぞれ有する２つの有孔板状部３１ｄ、３１ｃで構成されているため、トッププレート３１の噴出孔３７は段付き孔となっており、その段付き孔構成により、気体流が衝突する気体流対向面３１ｅａを含み、気体流を横方向に誘導する下向き面３１ｅが構成されている。
【００９０】
トッププレート３１の裏面３１ｂ側から噴出孔３７に気体が供給されると、気体は、噴出ペレット３４の溝３４ｂと大径孔部３７ａの内周面３７ａａとで形成される流路３４ｂａで絞られる。その後、気体流は流路３４ｂａの上方にある気体流対向面３１ｅａに衝突することによって方向を変化させ、分散される。分散された気体流は噴出孔３７の小径孔部３７ｂを通って支持面３１ａの上方に噴出する。
【００９１】
本第２の実施形態によっても、第１の実施形態と同様、流路３４ｂａによって所望値の流路抵抗が与えられた気体流が気体流対向面３１ｅａを含む下向き面３１ｅによって分散された後に圧縮気体層に供給されるので、流路抵抗によって圧縮気体層に所望の剛性と与えるとともに、気体流対向面３１ｅでガラス基板９９へ与えるストレスを緩和することが可能となっている。
【００９２】
（第３の実施形態）
【００９３】
図１１は、第３の実施形態による浮上用エアプレート５０の概略的な断面図である。第３の実施形態による浮上用エアプレート５０は、第２の実施形態のものと同様に、支持面５１ａを有し、ガラス基板９９と支持面５１ａとの間に圧縮気体層を形成し、ガラス基板９９を支持面５１ａから浮上させた非接触状態で支持するプレートである。噴出ペレット３４および吸引ペレット３５が同じプレートに挿入される点も第２の実施形態と共通している。
【００９４】
ただし、第３の実施形態による浮上用エアプレート５０は、第２の実施形態におけるトッププレート３１に相当する部分が、トッププレート５１とペレット装着プレート５２という２つの部材で構成されている。つまり、第２の実施形態のトッププレート３１における、噴出孔３７の内径が噴出ペレット３４の外径と一致するかまたは僅かに小さい裏面３１ｂ側の有孔板状部３１ｃと、噴出孔３７の内径が噴出ペレット３４の外径よりも小さい支持面３１ａ側の有孔板状部３１ｄとが、第３の実施形態では、それぞれ別個の部材であるトッププレート５１とペレット装着プレート５２とからなっている。
【００９５】
トッププレート５１の裏面５１ｂとペレット装着プレート５２の表面５２ａとを密接させると、トッププレート５１の小径孔部５３とペレット装着プレート５２の大径孔部５４とが連通し、第２の実施形態の噴出孔３７に相当する段付き孔が構成される。噴出ペレット３４は、ペレット装着プレート５２の大径孔部５４に装着される。
【００９６】
吸引孔としても、トッププレート５１とペレット装着プレート５２が密接されると、第２の実施形態における吸引孔３８と同じ構成の段付き孔が形成され、そこに吸引ペレット３５が装着される。
【００９７】
なお、本実施形態では、一例として、ペレット装着プレート５２の厚さと、噴出ペレット３４の厚さと、吸引ペレット３５の厚さが全て一致する。そのため、ペレット装着プレート５２に噴出ペレット３４および吸引ペレット３５を装着し、トッププレート５１、ペレット装着プレート５２、および気体経路プレート３２を互いに固定すると、気体流による圧力が加わる方向が逆である噴出ペレット３４と吸引ペレット３５の両方を同時に厚さ方向の動きを規制でき、安定させることができる。
【００９８】
（第４の実施形態）
【００９９】
第４の実施形態による浮上用エアプレートは、第３の実施形態とペレット形状だけが異なっている。具体的には裏面側から表面側に圧縮気体を送る流路に違いがある。本実施形態のペレットは、第１〜３の実施形態と同様の外周面の溝による流路に加え、板状部を貫通するオリフィス流路（絞り孔）を有している。また、本実施形態のペレットは、ペレットとプレートの間を封止する突起を有している。
【０１００】
図１２は、第４の実施形態による浮上用エアプレート６０の噴出ペレット６１の近傍の概略的な断面図である。
【０１０１】
本実施形態による噴出ペレット６１は、円板状部６１ａおよび円管状部６１ｃを有している。円管状部６１ｃの外周面６１ｆには、ペレット装着プレート５２の表面５２ａ側にある上部側端面６１ｃａから裏面５２ｂ側にある下部側端面６１ｃｂまで通じる溝６１ｂが複数本形成されている。噴出ペレット６１を大径孔部５４に挿入すると、噴出しペレット６１の外周面６１ｆと大径孔部５４の内周面５４ａとが当接あるいは近接し、溝６１ｂと、大径孔部５４の内周面５４ａとで流路６１ｂａが形成される。噴出ペレット６１のこの構成は、第１の実施形態の噴出ペレット１４の構成と共通している。
【０１０２】
しかし、本実施形態の噴出ペレット６１は、更に、円板状部６１ａに中心軸６１ｄから所定半径で円環状に配設された複数のオリフィス流路６１ｇが板厚方向に貫通した状態で設置されている。
【０１０３】
これらにより、噴出ペレット６１は、給気溝３９から供給される気体流を、所望の流路抵抗を有する抵抗流路となる流路６１ｂａおよびオリフィス流路６１ｇで絞って圧縮気体層に噴出する。小径孔部５３と大径孔部５４との境界部にある下向き面５１ｃには、流路６１ｂａの真上にあり、流路６１ｂａからの気体流が衝突する気体流対向面５１ｃａと、オリフィス流路６１ｇの真上にあり、オリフィス流路６１ｇからの気体流が衝突する気体流対向面５１ｃｂとがある。気体流対向面５１ｃａ、５１ｃｂにより、圧縮気体層がガラス基板に与えるストレスが許容範囲内に抑えられる。また、流路６１ｂａおよびオリフィス流路６１ｇの構成を適宜選択することにより、噴出ペレット６１全体として所望の流路抵抗を得ることができ、支持面５１ａ上の圧縮気体層に所望の剛性を与えることを可能にしている。
【０１０４】
また、本実施形態の噴出ペレット６１は、円管状部６１ｃの上部側端面６１ｃａに設けられた環状の突起である封止部６１ｃａａと、下部側端面６１ｃｂに設けられた環状の突起である封止部６１ｃｂａとを有している。
【０１０５】
円管状部６１ｃの軸心方向の厚さ６１ｃｃと、封止部６１ｃａａの高さ６１ｃａｈと、封止部６１ｃｂａの高さ６１ｃｂｈとの合計は、ペレット装着プレート５２の厚さ５２ｃより僅かに大きくなっている。そのため、噴出ペレット６１をペレット装着プレート５２に挿入し、トッププレート５１の裏面５１ｂとペレット装着プレート５２の表面５２ａを密接させ、ペレット装着プレート５２の裏面５２ｂと気体経路プレート３２の表面３２ａを密接させて固定すると、封止部６１ｃａａがトッププレート５１の裏面５１ｂに当接し、封止部６１ｃｂａが気体経路プレート３２の表面３２ａと当接する。これにより、噴出ペレット６１の上部側端面６１ｃａおよび下部側端面６１ｃｂでの気体の漏れが防止される。
【０１０６】
なお、本実施形態では、噴出ペレット６１の上部側端面６１ｃａと下部側端面６１ｃｂの両方に封止部６１ｃａａ、６１ｃｂａを設ける例を示したが、本発明がこれに限定されることはない。噴出ペレット６１の上部側と下部側のいずれか一方の端面のみに封止部を設けることにしてもよい。いずれか一方だけを封止すれば、オリフィス流路６１ｇあるいは流路６１ｂａのいずれも通らずに圧縮気体層に気体が漏れるのを防止することが可能である。
【０１０７】
以上説明したように、本実施形態では、前記気体流抵抗器は、軸心方向に貫通し、前記供給される気体流を絞って噴出する複数の絞り孔を有するものとなっている。
【０１０８】
（第５の実施形態）
【０１０９】
第５の実施形態による浮上用エアプレートは、第３の実施形態とペレットの形状だけが異なっている。具体的には、流路の噴出口の水平面内での方向が中心軸からずれていることにより、気体流が旋回するように方向付けられる。
【０１１０】
図１３Ａは、第５の実施形態による浮上用エアプレート７０の噴出ペレット７１近傍の概略的な断面図である。図１３Ｂは、第５の実施形態による噴出ペレット７１の上部側端面７１ｃａ側から見た図である。
【０１１１】
本実施形態による噴出ペレット７１は、第１の実施形態による噴出ペレット１４と同様、円板状部７１ａおよび円管状部７１ｃを有し、円管状部７１ｃの外周面７１ｆにペレット装着プレート５２の表面５２ａ側にある上部側端面７１ｃａから裏面５２ｂ側にある下部側端面７１ｃｂまで通じる複数の溝７１ｂが形成されている。
【０１１２】
図１３Ａを見ると分かるように、噴出ペレット７１は、円管状部７１ｃの上部側端面７１ｃａに設けられた環状の突起である封止部７１ｃａａと、下部側端面７１ｃｂに設けられた環状の突起である封止部７１ｃｂａとを有している。封止部７１ｃａａは図１２における封止部６１ｃａａに相当し、封止部７１ｃｂａは図１２における封止部６１ｃａａに相当する。
【０１１３】
また、図１３Ｂを見ると分かるように、上部側端面７１ｃａには溝７１ｂと連通し、上部側端面７１ｃａを外周面７１ｆから内周面７１ｇまで横切る溝７１ｈが形成されている。噴出ペレット７１を大径孔部５４に挿入すると、溝７１ｈの開放された上面が、大径孔部５４と小径孔部５３の境界にある下向き面５１ｃによって閉塞され、流路７１ｂａからの気体流を誘導する誘導路７１ｊを形成する。
【０１１４】
しかし、本実施形態では、図１３Ｂを見ると分かるように、上部側端面７１ｃａに形成された溝７１ｈの外周面７１ｆから内周面７１ｇに向かう方向が中心軸７１ｄからずれている。複数の溝７１ｈの方向が中心軸７１ｄに対して同じ方向にずれているので、噴出口７１ｂｂから噴出す気体には図１３Ａに示したような中心軸７１ｄの周りを回る旋回流が発生する。
【０１１５】
そのため、噴出ペレット７１を通った気体が旋回しながらガラス基板に当たる。また、それと共に旋回流の内側にガラス基板を基体に引き寄せる方向の気体の流れを生じさせる。その結果、圧縮気体層に支持されたガラス基板の剛性を高める効果を奏する。例えば、圧縮気体層から気体を吸引する構造を用いずに所望の剛性を実現できる場合もある。
【０１１６】
以上説明したように、本実施形態によれば、前記気体流抵抗器は、前記外面溝と連通し、軸心方向と異なる方向に向かう端面溝を前記第１端面に有し、前記外面溝と前記第１気体供給孔の内面とで形成される流路を通過した気体流を、前記端面溝と前記気体流対向面とで形成される流路によって、旋回するように方向付ける。
【０１１７】
（第６の実施形態）
【０１１８】
第６の実施形態による浮上用エアプレートは、そのペレットが、第１〜５の実施形態のものと異なり、一様に無数の細孔を有する多孔質材料によって作製されている。本ペレットは、多孔質材料の細孔を気体流に対する抵抗流路とし、供給される気体流に対して所定の流路抵抗を加えて送出する。
【０１１９】
図１４は、第６の実施形態による浮上用エアプレート８０の噴出ペレット８１の近傍の概略的な断面図である。
【０１２０】
本実施形態による噴出ペレット８１は、第１の実施形態による噴出ペレット１４のような外周面の溝や、第４の実施形態による噴出ペレット６１のようなオリフィス流路を有していない。その代わり、噴出ペレット８１は無数にある細孔によって気体を通すことが可能となっている。
【０１２１】
図１４を参照すると、噴出ペレット８１は多孔質材料で製作した円柱形状の部材である。多孔質材料の細孔により気体流に所定の流路抵抗を加え、気体流対向面８４ａによって気体の流れを緩和し、ガラス基板へのストレスを緩和する。
【０１２２】
また、本実施形態では、トッププレート８２および気体経路プレート８５も第３の実施形態におけるトッププレート５１および気体経路プレート３２とは異なる構成を有している。
【０１２３】
トッププレート８２は、第３の実施形態におけるトッププレート５１の小径孔部５３に相当する小径孔部８４の裏面８４ｂ側の端部に上部座ぐり部８３を有している。上部座ぐり部８３は、ペレット装着プレート５２にある大径孔部５４よりも小径で、小径孔部８４よりも大径の扁平円柱形状の孔である。上部座ぐり部８３と小径孔部８４の境界にある下向きの面が気体流対向面８４ａとなっている。
【０１２４】
また、気体経路プレート８５は、第３の実施形態における気体経路プレート３２の給気溝３９に相当する給気溝８６の表面側の端部に下部座ぐり部８７を有している。下部座ぐり部８７は、給気溝８６よりも大径で、ペレット装着プレート５２の大径孔部５４よりも小径の扁平円柱形状の孔である。
【０１２５】
下部座ぐり部８７内にはその内周に沿って、環状の封止部材（環状封止部材）であるＯリング８８が配設される。Ｏリング８８は、噴出ペレット８１と気体経路プレート８５の間を封止し、気体が噴出ペレット８１を通らずに、噴出ペレット８１とペレット装着プレート５２の間に漏れるのを防止している。
【０１２６】
給気溝８６から供給された気体流は、下部座ぐり部８７で広がって下面８１ｂの広い領域から噴出ペレット８１に進入する。そして、噴出ペレット８１を通過した気体流は、噴出ペレット８１の上面８１ａの広い面積から上部座ぐり部８３に送出される。上部座ぐり部８３では、気体流は気体流対向面８４ａに当たって速度が緩和され、小径孔部８４から圧縮気体層に噴出す。これにより、支持対象物であるガラス基板へのストレスが緩和される。
【０１２７】
多孔質材料は、研削などの加工を施すと細孔がつぶれて流路抵抗の値が変化したり、またそれによりペレット間で値がばらついたりする恐れがあるが、本実施形態では多孔質材料の噴出ペレット８１を単純な円柱形状とすることで流路抵抗の誤差やばらつきを抑制している。
【０１２８】
以上説明したように、本実施形態による支持用エアプレートでは、
前記気体流抵抗器が多孔質材料で構成されている。
【０１２９】
また、本実施形態の支持用エアプレートは、
前記気体流抵抗器の外面を一周して前記気体流抵抗器と前記第１有孔板状部との間を封止する環状封止部材を更に有し、
前記第１有孔板状部は、前記支持面と逆側にある前記第１気体供給孔の開口部の周囲に座ぐり部を有し、
前記環状封止部材は前記座ぐり部に配設されている。
【０１３０】
（第７の実施形態）
【０１３１】
第７の実施形態による浮上用エアプレートは、第６の実施形態によるものと同様に多孔質材料で作製されたペレットを有している。ただし、本実施形態の浮上用エアプレートは、第６の実施形態のものとプレートの構成が異なっている。
【０１３２】
図１５は、第７の実施形態による浮上用エアプレート９０の噴出ペレット８１近傍の概略的な断面図である。本実施形態による噴出ペレット８１およびトッププレート８２は第６の実施形態のものと同じものである。一方、本実施形態による気体経路プレート３２は第３の実施形態によるものと同じものである。
【０１３３】
また、本実施形態によるペレット装着プレート９１は、第３の実施形態によるペレット装着プレート５２の大径孔部５４に相当する大径孔部９２の裏面９２ｂ側の端部に座ぐり部９３を有している。座ぐり部９３は、大径孔部９２よりも大径の偏平円柱形状の孔である。座ぐり部９３にはＯリング９４が配設されている。Ｏリング９４は、噴出ペレット８１とペレット装着プレート９１との間を封止し、給気溝３９から供給される気体流が、噴出ペレット８１を通らずに、噴出ペレット８１とペレット装着プレート９１の間に漏れるのを防止している。
【０１３４】
給気溝３９から供給された気体流は、噴出ペレット８１の下面８１ｂ側から噴出ペレット８１に進入する。そして噴出ペレット８１を通過した気体流は、噴出ペレット８１の上面８１ａから座ぐり部８３に送出される。座ぐり部８３では、気体流は気体流対向面８４ａに当たって速度が緩和され、小径孔部８４から圧縮気体層に噴出する。これにより、支持対象物であるガラス基板へのストレスが緩和される。
【０１３５】
（第８の実施形態）
【０１３６】
第８の実施形態による浮上用エアプレートは、気体経路プレートにペレット着脱用の蓋付き孔を有している点で第１〜７の実施形態のいずれとも異なっている。それ以外の部分の構成について、ここでは一例を示すが、その例に限定されるものではない。どのようなプレートの構成あるいはペレットの構成が採用されてもよい。
【０１３７】
図１６は、第８の実施形態による浮上用エアプレート１００の噴出ペレット６１の近傍の概略的な断面図である。本実施形態によるトッププレート５１、ペレット装着プレート５２、および噴出ペレット６１は第４の実施形態のものと同じである。
【０１３８】
本実施形態による気体経路プレート１０１（板状部材）は、噴出ペレット６１の着脱を可能にするため、噴出ペレット６１の下方に噴出ペレット６１よりもやや大きい面積を持つ、ペレット着脱孔１０１ａ（着脱孔）を有している。ペレット着脱孔１０１ａには螺着式の蓋１０２が着脱可能である。ペレット着脱孔１０１ａはこの蓋１０２によって蓋閉めされる。
【０１３９】
蓋１０２は、気体経路プレート１０１に装着されると、気体経路プレート１０１と一体となって、ひとつのプレートとして機能する。そのために、蓋１０２には、気体経路プレート１０１の給気溝（不図示）と連通する気体溝１０４を備え、そこから噴出ペレット６１に圧縮気体を供給する。また、本実施形態の蓋１０２は、噴出ペレット６１の管状部６１ｃの下部側端面６１ｃｂに対応する部分に環状溝１０２ａを有している。環状溝１０２ａにはＯリング１０３が装着されている。Ｏリング１０３は、蓋１０２と噴出ペレット６１の間を封止する。
【０１４０】
本実施形態によれば、トッププレート５１、噴出ペレット６１、ペレット装着プレート５２、気体経路プレート１０１、および蓋１０２を一旦組み付けた後にも、蓋１０２を取り外すだけで、噴出ペレット６１を着脱することができる。
【０１４１】
なお、ここでは噴出ペレット６１の近傍の構成のみを示しているが、浮上用エアプレートは更に吸引ペレットを有していてもよい。そして、気体経路プレート１０１には吸引ペレットの下側にもペレット着脱孔と着脱可能な蓋を有していてもよい。
【０１４２】
以上説明したように、本実施形態によれば、支持用エアプレートは、
前記第１有孔板状部の前記支持面の逆側の面に密接して設置され、前記第１有孔板状部の前記第１気体供給孔のそれぞれと連通する位置に、前記気体流抵抗器を着脱するための着脱孔が設けられた板状部材と、
前記板状部材の前記着脱孔に着脱可能な蓋と、
を有するものとなっている。
【０１４３】
また、本実施形態では、
前記支持用エアプレートは、前記蓋と前記気体流抵抗器の間を封止する環状封止部材を更に有し、
前記蓋は、前記環状封止部材を載置する環状溝を前記支持面側の面に有するものとなっている。
【０１４４】
（第９の実施形態）
【０１４５】
第９の実施形態による浮上用エアプレートはペレットの形状が第１〜８の実施形態のいずれとも異なり、レジスト液を蓄積するための有底の穴体を有している。浮上用エアプレートは一例としてＦＰＤやソーラーパネル等の製造設備に組み込まれ、ガラス基板の支持および搬送に用いられる。そのため浮上用エアプレートの支持面にレジスト液が垂れ落ち、圧縮気体層に気体を噴出すためのペレットの噴出孔に入り込むことがある。レジスト液が浮上用エアプレートのペレットの一部の噴出孔に溜まると、その部分の支持力が低下し、高精度でガラス基板を支持することが困難となる。本実施形態の浮上用エアプレートは、ペレット内に侵入したレジスト液が噴出孔に溜まって気体の流れを阻害することを防止するために、レジスト液が溜まっても気体の流れに影響を及ぼさない位置に穴体を形成し、その穴体に積極的にレジスト液が溜まる構造にして、支持力の低下を抑制している。
【０１４６】
図１７は、第９の実施形態による浮上用エアプレート１１０の概略的な断面図である。
【０１４７】
噴出ペレット１１１は、円板状部１１１ａと円管状部１１１ｂを有し、円板状部１１１ａを複数のオリフィス流路１１１ｃが板厚方向に貫通している。噴出ペレット１１１はトッププレート３１の大径孔部３７ａに装着される。不図示のポンプから気体経路プレート３２の給気溝３９を介して供給された気体流は、所定の流路抵抗を有するオリフィス流路１１１ｃで絞られ、気体流対向面３１ｅａでその勢いが緩和され、小径孔部３７ｂから圧縮気体層に噴出する。
【０１４８】
本実施形態では、噴出ペレット１１１の円板状部１１１ａは単なる平板ではなく、オリフィス流路１１１ｃよりも中心軸１１１ｄ側によった位置において小径孔部３７ｂの下方を包含する領域に、小径孔部３７ｂ側が開口した有底穴である穴体１１１ｅを有している。
【０１４９】
必ずしも、小径孔部３７ｂの下方全体を包含する必要はなく、少なくとも一部を包含すれば、その分だけの効果はあるが、本実施形態では好適例として全体を包含する例を示している。噴出ペレット１１１のオリフィス流路１１１ｃの噴出口１１１ｃａは穴体１１１ｅよりも外側に位置している。小径孔部３７ｂから入ったレジスト液がこの穴体１１１ｅに蓄積され、オリフィス流路１１１ｃが塞がるのが防止される。穴体１１１ｅの容量は特に限定されないが、容量が大きければそれだけ清掃あるいは交換が必要になるインターバルを長くすることができる。噴出ペレット１１１は、板状部１１１ａが気体流の方向における支持面３１ａに近い位置に配設されているので、板状部１１１ａの裏面側を突出させることにより、穴体１１１ｅの容量の拡大を図っている。
【０１５０】
また、吸引ペレット１１２も、噴出ペレット１１１と同様に、板状部１１２ａと管状部１１２ｂを有し、板状部１１２ａを複数のオリフィス流路１１２ｃが板厚方向に貫通している。吸引ペレット１１２はトッププレート３１の大径孔部３８ａに装着される。気体経路プレート３２の吸引孔４１および吸引溝４０を介して接続された不図示の真空ポンプによる吸引で、圧縮気体層の気体が小径孔部３８ｂを通り、吸引ペレット１１２が装着された大径孔部３８ａに入る。気体流は更にオリフィス流路１１２ｃを通って絞られた後、吸引孔４１に吸引される。
【０１５１】
また、本実施形態の吸引ペレット１１２の板状部１１２ａは単なる平板ではない。板状部１１２ａは、オリフィス流路１１２ｃよりも中心軸１１２ｄによった位置にあり、小径孔部３８ｂの下方を包含する領域に、小径孔部３８ｂ側が開口した有底穴である穴体１１２ｅを有している。穴体１１２ｅの容量は特に限定されないが、容量が大きければそれだけ清掃あるいは交換が必要になるインターバルを長くすることができる。吸引ペレット１１２は、板状部１１２ａが気体流の方向における気体経路プレート３２に近い位置に配設されているので、板状部１１２ａの表面側に有底穴を有する筒状の部分を載置したような形状であり、板状部１１２ａは突出する部分はない。
【０１５２】
なお、本実施形態では、オリフィス流路１１１ｃ、１１２ｃによって気体流を絞るペレット構成の例を示したが、本実施形態がこれに限定されることはなく、どのような構成によって気体流に流路抵抗を加える構成であってもよい。他の例として、円管状部１１１ｂ、１１２ｂの外周において上部側端面から下部側端面まで通じる溝による流路で気体流を絞る構成であってもよい。
【０１５３】
以上、説明したように、本実施形態によれば、前記気体流抵抗器は、前記第２気体供給孔の内面よりも内側の領域を含む位置に、前記第２気体供給孔側が開口した有底穴を有する、ものとなっている。
【０１５４】
また、本実施形態では、前記気体流抵抗器は、前記気体流を送出する噴出口が、前記有底穴よりも外側に配設されている。
【０１５５】
また、本実施形態の気体流抵抗器は、支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、前記支持対象物を前記支持面と非接触状態で支持する支持用エアプレートに用いられる気体流抵抗器において、
前記支持用エアプレートに含まれる、前記支持面側が小径孔部であり、その逆側が大径後部である段付き孔である気体供給孔の前記大径孔部に着脱可能に装着され、供給される気体流に所定の流路抵抗を加えて送出し、前記小径孔部の内面よりも内側の領域を含む位置に、前記小径孔部からの侵入物を蓄積する有底穴を有することを特徴とするものとなっている。
【０１５６】
（第１０の実施形態）
【０１５７】
第１０の実施形態による浮上用エアプレートは第９の実施形態と同様に、噴出ペレットおよび吸引ペレットにレジスト液を蓄積する有底穴を有する。本実施形態の浮上用エアプレートはトッププレートの形状だけが第９の実施形態のものと異なっている。気体を噴出する孔から侵入したレジスト液がペレットの穴体に落ちやすくなっている。
【０１５８】
図１８は、第１０の実施形態による浮上用エアプレート１２０の概略的な断面図である。
【０１５９】
本実施形態のトッププレート１２１は、支持面１２１ａにおいて圧縮気体層と連通する小径孔部１２３ｂと、支持面１２１ａと逆側で小径孔部１２３ｂと連通し、小径孔部１２３ｂよりも大径である大径孔部１２３ａとを有する噴出孔１２３が板厚方向に貫通している。大径孔部１２３ａには噴出ペレット１１１が装着されている。これらの構成は基本的に第９の実施形態のものと同様である。
【０１６０】
ただし、本実施形態では、小径孔部１２３ｂと大径孔部１２３ａの境界において小径孔部１２３ｂの内周面が大径孔部１２３ａ側に僅かに伸びている。これにより、下向き面１２２の小径孔部１２３ｂを囲む縁部１２２ａの高さが下向き面１２２の他の部分よりも低くなっている。また、小径孔部１２３ｂの内周面と下向き面１２２とが縁部１２２ａにおいてなす角が鋭角となっている。
【０１６１】
これにより、本実施形態では噴出孔１２３から侵入したレジスト液が穴体１１１ｅに落ちやすくなっている。また、下向き面１２２の小径孔部１２３ｂを囲む縁部１２２ａの高さが下向き面１２２の他の部分よりも低くなっていることで気体流の勢いを緩和する効果が高まることが期待できる。
【０１６２】
また、本実施形態のトッププレート１２１には、圧縮気体層と連通する小径孔部１２４ｂと、支持面１２１ａと逆側で小径孔部１２４ｂと連通し、小径孔部１２４ｂよりも大径である大径孔部１２４ａとを有する吸引孔１２４が板厚方向に貫通している。大径孔部１２４ａには吸引ペレット１１２が装着されている。そして、小径孔部１２４ｂと大径孔部１２４ａの境界において小径孔部１２４ｂの内周面が大径孔部１２４ａ側に僅かに伸びている。それと共に、小径孔部１２４ｂの内周面と、小径孔部１２４ｂと大径孔部１２４ａの間をつなぐ面１２５とが縁部１２５ａにおいてなす角が鋭角となっている。これにより、本実施形態では吸引孔１２４から侵入したレジスト液が穴体１１２ｅに落ちやすくなっている。
【０１６３】
以上説明したように、本実施形態では、前記第２有孔板状部と前記第１有孔板状部との境界部において、前記第２有孔板状部で形成される、前記第２気体供給孔の内面が、前記第１気体供給孔の内部に伸びている。
【０１６４】
上述した各実施形態は、１つの噴出孔に一部品で構成された１つの噴出ペレットを装着する例を示したが、本発明がこれに限定されることはない。他の例として、気体流に対してそれぞれに流路抵抗を加える複数の抵抗部材を直列に配置した構成の噴出ペレットを用いてもよい。
【０１６５】
すなわち、上述した各実施形態において、前記気体流抵抗器は、前記気体流にそれぞれ所定の流路抵抗を加える、軸心方向に直列に配置した複数の抵抗部材を含んで構成されていてもよい。それぞれの部材の流路抵抗が小さくても噴出ペレット全体としては十分な流路抵抗の値を得ることができるので、各抵抗部材に微細な加工が不要となる。
【０１６６】
また、上述した各実施形態では、ガラス基板を水平に浮上させて支持する浮上用エアプレートを例に説明を行ったが、本発明がこれらに限定されることはない。他の例として、ガラス基板を垂直に支持する支持用エアプレートや、所定の角度に保って支持する支持用エアプレートにも本発明を適用することができる。
【０１６７】
また、上述した本発明の各実施形態は、本発明の説明のための例示であり、本発明の範囲をそれらの実施形態にのみ限定する趣旨ではない。当業者は、本発明の要旨を逸脱することなしに、他の様々な態様で本発明を実施することができる。
【符号の説明】
【０１６８】
１０…浮上用エアプレート、１１…トッププレート、１１ａ…支持面、１１ｂ…裏面、１１ｃ…有孔板状部、１１ｄ…有孔板状部、１１ｅ…下向き面、１１ｅａ…気体流対向面、１２…気体経路プレート、１２ａ…表面、１２ｂ…裏面、１３…ボトムプレート、１３ａ…表面、１３ｂ…裏面、１４…噴出ペレット、１４ａ…板状部、１４ｂ…溝、１４ｂａ…流路、１４ｂｂ…噴出口、１４ｂｃ…誘導路、１４ｃ…円管状部、１４ｃａ…上部側端面、１４ｃｂ…下部側端面、１４ｄ…中心軸、１４ｅ…外径、１４ｆ…外周面、１４ｇ…内周面、１４ｈ…溝、１４ｉ…溝、１４ｉａ…下面、１４ｊ…誘導路、１５…吸引ペレット、１５ａ…外周面、１５ｂ…溝、１５ｂａ…流路、１７…噴出孔、１７ａ…大径孔部、１７ａａ…内周面、１７ａｂ…上部側端面、１７ｂ…小径孔部、１７ｂａ…内周面、１７ｂｂ…下部側端面、１７ｃ…内径、１７ｅ…小径孔部、１８…吸引孔、１８ａ…大径孔部、１８ｂ…小径孔部、１９…給気孔、２０…吸引孔、２０ａ…大径孔部、２０ａａ…内周面、２０ｂ…小径孔部、２１…給気溝、２１ａ…開口面、２２…吸引溝、２２ａ…開口面、２３…給気口、２４…吸引口、３０…浮上用エアプレート、３１…トッププレート、３１ａ…支持面、３１ｂ…裏面、３１ｃ…有孔板状部、３１ｄ…有孔板状部、３１ｅ…下向き面、３１ｅａ…気体流対向面、３２…気体経路プレート、３２ａ…表面、３２ｂ…裏面、３３…ボトムプレート、３３ａ…表面、３４…噴出ペレット、３４ａ…板状部、３４ｂ…溝、３４ｂａ…流路、３４ｃ…管状部、３４ｃａ…上部側端面、３４ｃｂ…下部側端面、３４ｆ…外周面、３５…吸引ペレット、３７…噴出孔、３７ａ…大径孔部、３７ａａ…内周面、３７ｂ…小径孔部、３８…吸引孔、３８ａ…大径孔部、３８ｂ…小径孔部、３９…給気溝、４０…吸引溝、４１…吸引孔、５０…浮上用エアプレート、５１…トッププレート、５１ａ…支持面、５１ｂ…裏面、５１ｃ…下向き面、５１ｃａ…気体流対向面、５１ｃｂ…気体流対向面、５２…ペレット装着プレート、５２ａ…表面、５２ｂ…裏面、５３…小径孔部、５４…大径孔部、６０…浮上用エアプレート、６１…噴出ペレット、６１ａ…板状部、６１ｂ…溝、６１ｂａ…流路、６１ｃ…管状部、６１ｃａ…上部側端面、６１ｃａａ…封止部、６１ｃｂ…下側端面、６１ｃｂ…下部側端面、６１ｃｂａ…封止部、６１ｄ…中心軸、６１ｆ…外周面、６１ｇ…オリフィス流路、７０…浮上用エアプレート、７１…噴出ペレット、７１ａ…板状部、７１ｂ…溝、７１ｂａ…流路、７１ｂｂ…噴出口、７１ｃ…管状部、７１ｃａ…上部側端面、７１ｄ…中心軸、７１ｆ…外周面、７１ｇ…内周面、７１ｈ…溝、７１ｊ…誘導路、８０…浮上用エアプレート、８１…噴出ペレット、８１ａ…上面、８１ｂ…下面、８２…トッププレート、８３…座ぐり部、８４…小径孔部、８４ａ…気体流対向面、８４ｂ…裏面、８５…気体経路プレート、８６…給気溝、８７…座ぐり部、８８…Ｏリング、９０…浮上用エアプレート、９１…ペレット装着プレート、９２…大径孔部、９２ｂ…裏面、９３…座ぐり部、９４…Ｏリング、９９…ガラス基板、１００…浮上用エアプレート、１０１…気体経路プレート、１０１ａ…ペレット着脱孔、１０２…蓋、１０２ａ…環状溝、１０３…Ｏリング、１０４…気体溝、１１０…浮上用エアプレート、１１１…噴出ペレット、１１１ａ…板状部、１１１ｂ…管状部、１１１ｃ…オリフィス流路、１１１ｃａ…送出口、１１１ｄ…中心軸、１１１ｅ…穴体、１１２…吸引ペレット、１１２ａ…板状部、１１２ｂ…管状部、１１２ｃ…オリフィス流路、１１２ｄ…中心軸、１１２ｅ…穴体、１２０…浮上用エアプレート、１２１…トッププレート、１２１ａ…支持面、１２２…下向き面、１２２ａ…縁部、１２３…噴出孔、１２３ａ…大径孔部、１２３ｂ…小径孔部、１２４…吸引孔、１２４ａ…大径孔部、１２４ｂ…小径孔部、１２５…面、１２５ａ…縁部
【図１】
2015034078.tif 000003
【図２】
2015034078.tif 000004
【図３】
2015034078.tif 000005
【図４】
2015034078.tif 000006
【図５】
2015034078.tif 000007
【図６】
2015034078.tif 000008
【図７】
2015034078.tif 000009
【図８】
2015034078.tif 000010
【図９】
2015034078.tif 000011
【図１０】
2015034078.tif 000012
【図１１】
2015034078.tif 000013
【図１２】
2015034078.tif 000014
【図１３Ａ】
2015034078.tif 000015
【図１３Ｂ】
2015034078.tif 000016
【図１４】
2015034078.tif 000017
【図１５】
2015034078.tif 000018
【図１６】
2015034078.tif 000019
【図１７】
2015034078.tif 000020
【図１８】
2015034078.tif 000021