(57)【要約】    【課題】可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査し得る有機ＥＬデバイスの検査装置等を提供する。    【解決手段】有機ＥＬデバイスの基材を支持しつつ有機ＥＬ素子を長手方向に送る支持部と、該支持部に支持されている有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域にそれぞれ回転しながら順次接触することによって、該第１及び第２の電極層に通電させて前記有機ＥＬ素子を発光させるローラ状の通電部と、有機ＥＬ素子の発光状態を検査する検査部とを備えた有機ＥＬデバイスの検査装置。【選択図】  図３
2015191812.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬデバイスの検査装置であって、
前記有機ＥＬデバイスは、可撓性を有する帯状の基材と、該基材上に長手方向に沿って形成された複数の有機ＥＬ素子とを有し、
前記有機ＥＬ素子は、それぞれ第１の通電領域を有する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域を有する第２の電極層と、これら第１及び第２の電極層間に配された有機ＥＬ層とを有し、前記第１及び第２の通電領域に通電されることによって発光するようになっており、
前記基材を支持しつつ前記有機ＥＬ素子を前記基材の長手方向に順次送る支持部と、
前記有機ＥＬ素子における前記第１及び第２の通電領域にそれぞれ回転しながら順次接触することによって、前記第１及び第２の電極層に通電させて前記有機ＥＬ素子を発光させるローラ状の通電部と、
前記通電部による通電によって発光させた前記有機ＥＬ素子の発光状態を検査する検査部とを備えた有機ＥＬデバイスの検査装置。
【請求項２】
前記有機ＥＬ素子が移動している状態で、前記検査部が前記有機ＥＬ素子の発光状態を検査する請求項１に記載の有機ＥＬデバイスの検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の有機ＥＬデバイスの検査装置を用いた有機ＥＬデバイスの検査方法であって、
前記支持部によって前記基材を支持しつつ前記有機ＥＬ素子を前記基材の長手方向に順次送り、
前記有機ＥＬ素子における前記第１及び第２の通電領域に、前記通電部を回転させながら順次接触させることよって、前記第１及び第２の電極層に通電させて前記有機ＥＬ素子を発光させ、
前記通電部による通電によって発光させた前記有機ＥＬ素子の発光状態を、前記検査部によって検査する有機ＥＬデバイスの検査方法。
【請求項４】
前記有機ＥＬ素子を移動させている状態で、前記検査部によって前記有機ＥＬ素子の発光状態を検査する請求項３に記載の有機ＥＬデバイスの検査方法。
【請求項５】
可撓性を有する帯状の基材上に、第１の通電領域を有する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域を有する第２の電極層と、これら第１及び第２の電極層間に配された有機ＥＬ層とを有する有機ＥＬ素子を長手方向に沿って複数形成する工程と、
請求項３または４に記載の有機ＥＬデバイスの検査方法を用いて、形成された有機ＥＬ素子の発光状態を検査することによって、検査済みの有機ＥＬデバイスを得る工程とを備えた有機ＥＬデバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬデバイスの検査装置、検査方法及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、次世代の低消費電力の発光表示装置に用いられるデバイスとして有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子を備えたものが注目されている。有機ＥＬ素子は、互いに反対の極性を有する第１及び第２の電極層と、これらの間に配された有機ＥＬ層とを有するように、基材上に形成されるようになっている。また、第１及び第２の電極層に、それぞれ対応した電流が供給（通電）されることによって、第１及び第２の電極層と重なり合っている有機ＥＬ層が発光するようになっている。
【０００３】
この種の有機ＥＬデバイスでは、ロール状に巻回された可撓性を有する帯状の基材を繰り出し、繰り出された基材上に、第１の電極層、有機ＥＬ層、及び、第１の電極層と反対の極性を有する第２の電極層が、この順に、所望の形状の有機ＥＬ素子となるように形成されている。また、有機ＥＬ素子が、連続して複数形成されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２８７９９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、有機ＥＬデバイスは、出荷される前に、その有機ＥＬ素子が良好に発光するか否かを検査する必要がある。
【０００６】
しかし、上記特許文献１に示されるように、可撓性を有する帯状の基材上に複数形成された有機ＥＬ素子の発光状態を検査する装置や方法は、未だ提案されていない。このため、かかる有機ＥＬデバイスを効率良く検査する装置や方法が要望されている。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑み、可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査し得る有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法、並びに、該検査方法を用いた有機ＥＬデバイスの製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る有機ＥＬデバイスの検査装置は、
有機ＥＬデバイスの検査装置であって、
前記有機ＥＬデバイスは、可撓性を有する帯状の基材と、該基材上に長手方向に沿って形成された複数の有機ＥＬ素子とを有し、
前記有機ＥＬ素子は、それぞれ第１の通電領域を有する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域を有する第２の電極層と、これら第１及び第２の電極層間に配された有機ＥＬ層とを有し、前記第１及び第２の通電領域に通電されることによって発光するようになっており、
前記基材を支持しつつ前記有機ＥＬ素子を前記基材の長手方向に順次送る支持部と、
前記有機ＥＬ素子における前記第１及び第２の通電領域にそれぞれ回転しながら順次接触することによって、前記第１及び第２の電極層に通電させて前記有機ＥＬ素子を発光させるローラ状の通電部と、
前記通電部による通電によって発光させた前記有機ＥＬ素子の発光状態を検査する検査部とを備える。
【０００９】
かかる構成によれば、支持部によって有機ＥＬ素子を基材の長手方向に送りながら、ローラ状の通電部によって第１及び第２の電極層に通電させて有機ＥＬ素子を発光させ、検査部によって有機ＥＬ素子の発光状態を検査することができるため、基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、連続的に検査することが可能となる。
従って、可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査し得る。
【００１０】
また、上記構成の有機ＥＬデバイスの検査装置においては、
前記有機ＥＬ素子が移動している状態で、前記検査部が前記有機ＥＬ素子の発光状態を検査することが好ましい。
【００１１】
かかる構成によれば、有機ＥＬ素子が移動している状態で、その発光状態を検査できるため、より効率良く検査を行うことが可能となる。
【００１２】
本発明の有機ＥＬデバイスの検査方法は、
前記有機ＥＬデバイスの検査装置を用いた有機ＥＬデバイスの検査方法であって、
前記支持部によって前記基材を支持しつつ前記有機ＥＬ素子を前記基材の長手方向に順次送り、
前記有機ＥＬ素子における前記第１及び第２の通電領域に、前記通電部を回転させながら順次接触させることよって、前記第１及び第２の電極層に通電させて前記有機ＥＬ素子を発光させ、
前記通電部による通電によって発光させた前記有機ＥＬ素子の発光状態を、前記検査部によって検査する。
【００１３】
かかる構成によれば、上記と同様、可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率的に検査し得る。
【００１４】
また、上記構成の有機ＥＬデバイスの検査方法においては、
前記有機ＥＬ素子を移動させている状態で、前記検査部によって前記有機ＥＬ素子の発光状態を検査することが好ましい。
【００１５】
かかる構成によれば、上記と同様、より効率良く検査を行うことが可能となる。
【００１６】
本発明に係る有機ＥＬデバイスの製造方法は、
可撓性を有する帯状の基材上に、第１の通電領域を有する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域を有する第２の電極層と、これら第１及び第２の電極層間に配された有機ＥＬ層とを有する有機ＥＬ素子を長手方向に複数形成する工程と、
前記有機ＥＬデバイスの検査方法を用いて、形成された有機ＥＬ素子の発光状態を検査することによって、検査済みの有機ＥＬデバイスを得る工程とを備える。
【００１７】
かかる構成によれば、上記有機ＥＬデバイスの検査方法を用いることから、形成された有機ＥＬ素子の発光状態を効率良く検査することができるため、検査済みの有機ＥＬデバイスを効率良く得ることができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上の通り、本発明によれば、可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査し得る有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法、並びに、該検査方法を用いた有機ＥＬデバイスの製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係る有機ＥＬデバイスの検査装置で用いられる有機ＥＬデバイスを模式的に示す上面図
【図２】本実施形態で用いられる有機ＥＬデバイスを図１の左方から模式的に示す側面図
【図３】本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置を概略的に示す側面図
【図４】本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置を図１の上方から概略的に示す上面図
【図５】本実施形態における通電部の一例を概略的に示す斜視図
【図６】本実施形態における通電部の一例を概略的に示す斜視図
【図７】本実施形態における通電部の一例を概略的に示す斜視図
【図８】本実施形態における通電部の一例を概略的に示す斜視図
【図９】本発明の一実施形態に係る有機ＥＬデバイスの製造装置を概略的に示す側面図
【図１０】本発明の他の実施形態に係る有機ＥＬデバイスの製造装置に用いられる有機ＥＬデバイスを概略的に示す上面図
【図１１】本発明の他の実施形態に係る有機ＥＬデバイスの製造装置に用いられる有機ＥＬデバイスを概略的に示す上面図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法、並びに該検査方法を用いた有機ＥＬデバイスの製造方法の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２１】
まず、本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置について説明する。
【００２２】
図１、図２に示すように、本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置１で検査される有機ＥＬデバイス２０は、可撓性を有する帯状の基材２１と、該基材２１上に長手方向に沿って形成された複数の有機ＥＬ素子１９とを有している（図４参照）。
有機ＥＬ素子１９は、第１の通電領域２３ａを有する第１の電極層２３と、前記第１の電極層２３と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域２７ａを有する第２の電極層２７と、これら第１及び第２の電極層２３、２７間に配された有機ＥＬ層２５とを有し、前記第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されることによって発光するように構成されている。
具体的には、有機ＥＬ素子１９は、可撓性を有する帯状の基材２１上に、第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５、及び第２の電極層２７が、この順に形成されてなる。第１の電極層２３が陽極層である場合、第２の電極層２７は陰極層であり、第１の電極層２３が陰極層である場合、第２の電極層２７は陽極層である。
また、基材２１は、その主体をなす支持基材２１ａと、該支持基材２１ａ上に積層された絶縁層２１ｂとの積層体であり、基材２１の絶縁層２１ｂ上に有機ＥＬ素子１９が形成されている。
さらに、有機ＥＬ素子１９は、保護フィルム２８によって覆われており、具体的には、第１の通電領域２３ａ及び第２の通電領域２７ａの一部が露出するように、第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５及び第２の電極層２７が、保護フィルム２８によって覆っている。
【００２３】
また、有機ＥＬ素子１９は、第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５及び第２の電極層２７の重なり合う領域が、有機ＥＬ層２５が発光する発光領域Ａを構成しており、該発光領域Ａよりも外側にそれぞれ突出するように形成されて露出している第１の電極層２３及び第２の電極層２７が、それぞれ第１の通電領域２３ａ及び第２の通電領域２７ａを構成している。そして、かかる第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されることによって、発光領域Ａが発光するようになっている。
なお、有機ＥＬ素子１９は、図１、図２の構成に特に限定されるものではない。
また、第１の電極層２３、第２の電極層２７及び有機ＥＬ層２５の形成材料も、特に限定されるものではない。
【００２４】
図３、図４に示すように、本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置１は、複数の有機ＥＬ素子１９が形成された基材２１が巻回されてなる（有機ＥＬデバイス２０が巻回されてなる）ロール体３０から、有機ＥＬ素子１９と共に基材２１を繰り出して供給する第１の供給部４１と、供給された基材２１を支持する支持面４３ａを有し、該支持面４３ａによって基材２１を支持しつつ有機ＥＬ素子１９を上記長手方向に順次送る支持部４３と、該支持部４３に支持されている（支持部４３と接触している）基材２１上の有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａにそれぞれ回転しながら順次接触することによって、第１及び第２の電極層２３、２７に通電させて有機ＥＬ素子１９を発光させるローラ状の通電部４５と、該通電部４５による通電によって発光させた有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する検査部４７と、検査部４７によって検査された有機ＥＬ素子１９を基材２１と共に巻き取って回収する第１の回収部４９と、支持部４３、導電ローラ４５及び検査部４７が収容される箱状部５１とを備えている。
【００２５】
第１の供給部４１は、上記ロール体３０から、有機ＥＬ素子１９と共に基材２１を繰り出して支持部４３に供給するものである。かかる第１の供給部４１は、支持部４３の回転速度（すなわち有機ＥＬ素子１９の移動速度）に応じて、基材２１を繰り出すようになっている。
また、第１の回収部４９は、第１の供給部４１から供給され、支持部４３で支持されつつ検査部４７を通過した基材２１を、検査部４７で検査された有機ＥＬ素子１９と共に巻き取って回収するようになっている。すなわち、第１の供給部４１及び第１の回収部４９によって、基材２１が繰り出され且つ巻き取られるようになっている。さらに換言すれば、第１の供給部４１及び第１の回収部４９によって、有機ＥＬデバイス２０が繰り出され且つ巻き取られるようになっている。
【００２６】
本実施形態の支持部４３は、第１の供給部４１によって供給された基材２１を支持する支持面４３ａとして周面を有するローラ状に形成されており、該支持面４３ａによって基材２１を支持しつつ回転することによって有機ＥＬ素子１９を基材２１の長手方向に順次送るようになっている。
かかる支持部４３は、このように基材２１を支持しつつ上記長手方向に送ることが可能なものであれば、特に限定されるものではない。
例えば、支持部４３としては、金属材料から形成されたローラ部材が挙げられる。
また、例えば、支持部４３は、第１の供給部４１からの基材２１の供給と第１の回収部４９による基材２１の回収とによって奏される基材２１の移動に追従するように、自由回転可能に構成されていても、上記第１の供給部４１による供給と第１の回収部４９による回収とにタイミングを合わせてモーター等による駆動部（不図示）によって回転駆動されるように構成されていてもよい。
【００２７】
通電部４５は、支持部４３に支持されている有機ＥＬ素子１９（支持部４３と接触している基材２１上に配された有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａにそれぞれ回転しながら順次接触することによって、これら第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａを介して第１及び第２の電極層２３、２７に通電させて有機ＥＬ素子１９（すなわち、上記発光領域Ａに位置する有機ＥＬ層２５）を発光させるものである。
より具体的には、本実施形態では、かかる通電部４５を介して、一の有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに同時に通電されることによって、該一の有機ＥＬ素子１９が発光するようになっている。また、通電部４５は、支持部４３によって送られてくる有機ＥＬ素子１９と順次接触するようになっている。
【００２８】
本実施形態では、通電部４５は、第１の通電領域２３ａに通電させるための複数の通電部４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄと、第２の通電領域２７ａに通電させるための複数の通電部４５ｅ、４５ｆ、４５ｇ、４５ｈとから構成されている。これら通電部４５ａ〜４５ｈは、有機ＥＬ素子１９の幅方向両端部に位置する第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに同時に接触するように、基材２１の幅方向（上記長手方向と垂直な方向）において互いに間隔を空けて対向して配されている（４５ａと４５ｅ、４５ｂと４５ｆ、４５ｃと４５ｇ、４５ｄと４５ｈ）。また、第１の通電領域２３ａと接触する通電部４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄは、基材２１の長手方向に沿って配され、第２の通電領域２７ａと接触する通電部４５ｅ、４５ｆ、４５ｇ、４５ｈも、基材２１の長手方向に沿って複数（ここでは４つ）配されている。
【００２９】
また、通電部４５ａ〜４５ｈは、検査部４７によって検査される領域を挟んで上流側（図３の上側、４５ａ、４５ｂ、４５ｅ、４５ｆ）と下流側（図３の下側、４５ｃ、４５ｄ、４５ｇ、４５ｈ）とに配されている。
このように、通電部４５が、検査部４７によって検査される領域を挟んで上流側と下流側とに配されていることによって、検査部４７によって検査されている間、該検査部４７の上流側及び下流側から通電部４５によって第１及び第２の電極層２３ａ、２７ａに通電させることができる。これにより、検査部４７で検査されている間の有機ＥＬ素子１９の発光状態を安定させることができるため、より精度良く発光状態の検査を行うことができる。
また、通電部４５が、上記長手方向に沿って複数配されていることによって、有機ＥＬ素子１９の長さ（長手方向の長さ）に応じて、通電させる通電部４５を選択することが可能となる。例えば、比較的長い有機ＥＬ素子１９を検査する場合には、上記長手方向において最も第１の供給部４１側（最上流側、図３の最上方）に位置する通電部４５ａ、４５ｅと、最も第１の回収部４９側（最下流側、図３の最下方）に位置する通電部４５ｄ、４５ｈとによって通電させ、他の通電部４５ｂ、４５ｃ、４５ｆ、４５ｇによって通電させない構成を採用することができる。一方、比較的短い有機ＥＬ素子１９を検査する場合には、最上流から２番目（図３の上方から２番目）の通電部４５ｂ、４５ｆと、３番目（図３の上方から３番目）の通電部４５ｃ、４５ｇとによって通電させ、他の通電部４５ａ、４５ｄ、４５ｅ、４５ｈに通電させない構成を採用することができる。このように、通電部４５が、上記長手方向に沿って複数配されていることによって、有機ＥＬ素子１９の長さに応じて通電させる通電部４５を選択して切り換えることが可能となるため、無用な通電を抑制して、効率良く検査を行うことができる。
【００３０】
上記通電部４５としては、例えば、図５〜図８の構成が挙げられる。
【００３１】
図５に示す構成では、通電部４５は、鉄等の導電性材料から形成されて、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに接触する円盤状の接触部５７と、同じく鉄等の導電性材料から形成されて接触部５７の中心から突出するように配された軸部５８と有し、これら接触部５７と軸部５８とが一体となって回転するように形成されている。また、検査装置１内において軸部５８が回転自在に支持されており、これによって、通電部４５が回転自在に構成されている。また、軸部５８には、銅線等をブラシ部として有する導電ブラシ５３が接触されており、不図示の電流供給部から導電ブラシ５３に電流が供給されると、当該電流が、導電ブラシ５３を介して軸部５８に供給され、そして、接触部５７の周面５９を介して第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されるようになっている。
【００３２】
図６に示す構成では、接触部５７が鉄等の導電性材料から形成され、一方、軸部５８がポリアセタール等の絶縁性材料から形成され、これらが一体となって回転し得るように通電部４５が構成されている。また、接触部５７に導電ブラシ５３が接触されている。その他の構成は、図５に示す構成と同じであるため、説明を繰り返さない。
【００３３】
図７に示す構成では、接触部５７が軸部５８に回転自在に支持され、一方、検査装置１内において軸部５８が回転不能に固定され、固定された軸部５８に対して接触部５７が相対的に回転するように通電部４５が構成されている。この点以外は、図６に示す構成と同じであるため、説明を繰り返さない。
【００３４】
図８に示す構成では、接触部５７が、ポリアセタール等の絶縁性材料から形成された円盤状の回転部５７ａと、該回転部５７ａの周面を被覆するように配された導電ゴム等の導電性材料から形成された導電膜５７ｂとを備えており、該導電膜５７ｂの周面５９が第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに接触するようになっている。また、導電膜５７ｂに導電ブラシ５３が接触されている。この点以外は、図７に示す構成と同じであるため、説明を繰り返さない。
なお、本発明においては、通電部４５は、上記図５〜図８の構成に特に限定されるものではない。
【００３５】
検査部４７は、通電部４５による通電によって発光している有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査するものである。
具体的には、かかる検査部４７は、発光している有機ＥＬ素子１９を撮影し、撮影結果を電子信号に変換して、不図示の制御部に送信するようになっている。
【００３６】
また、本実施形態では、検査部４７は、支持部４３の回転と共に有機ＥＬ素子１９が移動している状態で、有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査するようになっている。
【００３７】
また、検査部４７が２つ配されており、有機ＥＬ素子１９の発光状態を、該有機ＥＬ素子１９に対して垂直な方向（有機ＥＬ素子１９の接線と垂直な方向）と、斜めの方向（有機ＥＬの接線と垂直な方向に対して傾斜した方向）とから検査できるようになっている。また、かかる斜めの方向としては、例えば上記垂直な方向に対して３０°傾斜した方向を採用することができる。
【００３８】
このような検査部４７として、本実施形態では、ラインセンサカメラが採用されている。
ラインセンサカメラは、複数の受像素子が一列（１ライン）に配されており、移動する対象物の画像を連続的に一列ずつ撮影し、各列の撮影結果をつなぎ合わせて全体として１つの画像を撮影し得るものである。かかるラインセンサカメラとしては、市販品を用いることができ、該市販品としては、例えば、デジタルカラーラインスキャンカメラＳＵＣＬ２０２５Ｔ３（日本エレクトロセンサリデバイス株式会社製）が挙げられる。
かかる検査部４７は、上記受像素子が基材２１の幅方向（移動方向と垂直な方向）に沿って位置するように配され、支持部４３の回転に伴って移動する１つの有機ＥＬ素子１９の画像を一列ずつ連続的に撮影し、全体として１つの画像データを得るようになっている。
【００３９】
かかる検査部４７によって撮影された結果（検査結果）は、上記の通り、電子信号に変換されて不図示の制御部に送信され、検査部４７から送信された電子信号は、制御部に備えられた分析回路によって分析され、分析された電気信号が、所定の基準信号（閾値）と比較され、該閾値を下回ったとき、発光状態が不良であると判定されるようになっている。例えば、発光状態の指標としては、輝度や彩度等が挙げられる。
なお、本発明においては、検査部４７は、上記ラインセンサカメラに特に限定されるものではない。
【００４０】
箱状部５１は、検査部４７が有機ＥＬ素子１９の発光状態を十分に検査できるように、有機ＥＬ素子１９の発光部分及び検査部４７の周囲を暗くするためのものである。本実施形態では、該箱状部５１内に、上記支持部４３、導電部４５及び検査部４７が配された構成を採用するが、箱状部５１内に配されるものは、これらに特に限定されるものではない。
【００４１】
次に、上記検査装置１を用いた有機ＥＬデバイスの検査方法について説明する。
【００４２】
本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査方法は、
上記検査装置１を用いた有機ＥＬデバイス２０の検査方法であって、
前記支持部４３によって前記基材２１を支持しつつ支持部４３によって前記有機ＥＬ素子１９を基材２１の長手方向に順次送り、
前記有機ＥＬ素子１９の前記第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに、前記通電部４５を回転させながら順次接触させることよって、前記第１及び第２の電極層２３、２７に通電させて前記有機ＥＬ素子１９を発光させ、
前記通電部４５による通電によって発光させた前記有機ＥＬ素子１９の発光状態を、前記検査部４７によって検査する。
【００４３】
具体的には、まず、第１の供給部４１によって、ロール体３０から、有機ＥＬ素子１９が形成された基材２１を繰り出して供給する。
次に、供給された基材２１をローラ状の支持部４３の周面たる支持面４３ａによって支持しつつ、支持部４３を回転させることによって、有機ＥＬ素子１９を基材２１の長手方向に順次送る。
このように有機ＥＬ素子１９を送っている間に、不図示の電流供給部から電流を通電部４５に供給させつつ、該通電部４５を、支持部４３に支持されている有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに、回転させながら順次接触させる。これにより、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａを介して第１及び第２の電極層２３、２７に通電させ、移動している有機ＥＬ素子１９を発光させる。
そして、通電部４５による通電によって発光させつつ移動させている有機ＥＬ素子１９の発光状態を、検査部４７によって検査する。また、検査した有機ＥＬ素子１９を、第１の回収部４９によって基材２１と共に巻き取って、回収する。
【００４４】
上記した通り、本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の検査装置１及び検査方法によれば、支持部４３によって有機ＥＬ素子１９を長手方向に送りながら、ローラ状の通電部４５によって第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて有機ＥＬ素子１９を発光させ、検査部４７によって有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査することができるため、基材２１上に形成された複数の有機ＥＬ素子１９の発光状態を、連続的に検査することが可能となる。
従って、可撓性を有する帯状の基材２１上に形成された複数の有機ＥＬ素子１９の発光状態を、効率良く検査し得る。
また、ローラ状の通電部４５が第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと回転しながら接触することによって、回転することなく第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触する場合よりも、通電部４５と、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａや、これらの間に位置する基材２１等との間に生じる摩擦が抑制されるため、有機ＥＬデバイス２０の損傷を抑制し得る。
【００４５】
また、本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の検査装置１及び検査方法においては、
有機ＥＬ素子１９が移動している状態で、検査部４７が有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査するように構成されている。
【００４６】
かかる構成によれば、有機ＥＬ素子１９が移動している状態で、その発光状態を検査できるため、より効率良く検査を行うことが可能となる。
【００４７】
次に、上記検査方法を用いた有機ＥＬデバイスの製造方法について説明する。
本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の製造方法は、可撓性を有する帯状の基材２１上に、第１の通電領域２３ａを有する第１の電極層２３と、前記第１の電極層２３と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域２７ａを有する第２の電極層２７と、これら第１及び第２の電極層２３、２７間に配された有機ＥＬ層２５とを有する有機ＥＬ素子１９を長手方向に複数形成する工程と、
上記有機ＥＬデバイスの検査方法を用いて、形成された有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査することによって、検査済みの有機ＥＬデバイス２０を得る工程とを備えている。
【００４８】
上記有機ＥＬ素子１９を形成する工程においては、例えば、図９に示すような製造装置６０を用い、真空チャンバー３内において、ロール状に巻回された基材２１を第２の供給部５から繰り出して供給し、供給した基材２１をキャンローラ７によって支持しつつ下流側に送り、該キャンローラ７に支持されている基材２１上に、スパッタ源や蒸着源等の層形成部９ａ、９ｂ、９ｃによってそれぞれ第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５、第２の電極層２７を順次形成して、基材２１上に有機ＥＬ素子１９を連続して複数形成し、第２の回収部６によって、形成された有機ＥＬ素子１９を基材２１と共に有機ＥＬデバイス２０として巻き取って回収して、上記ロール体３０とする。また、当該工程では、第２の供給部５及び第２の回収部６によって、基材２１が繰り出され且つ巻き取られるようになっている。
【００４９】
そして、有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する工程においては、上記した検査方法を用いて、上記工程で形成されたロール体３０から、有機ＥＬ素子１９と共に基材２１を繰り出して、上記と同様に有機ＥＬ素子１９を検査し、第１の回収部４９によって回収する。
【００５０】
本実施形態の有機ＥＬデバイスの製造方法によれば、上記有機ＥＬデバイスの検査方法を用いることから、形成された有機ＥＬ素子１９を連続的に検査して、検査済みの有機ＥＬ素子を得ることができる。しかも、損傷を抑制された、検査済みの有機ＥＬ素子を得ることができる。
【００５１】
本発明の有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法の実施形態は、上記の通りであるが、本発明は上記実施形態に限定されず本発明の意図する範囲内において適宜設計変更可能である。
例えば、上記実施形態の検査装置１では、有機ＥＬ素子１９が支持部４３の回転と共に移動している状態で、該有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する構成を採用したが、本発明の検査装置１及び検査方法は、上記実施形態に特に限定されるものでない。例えば、支持部４３を回転させ、一の有機ＥＬ素子１９が検査部４７で検査可能になった位置で該回転を停止させ、静止している有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査し、該検査の終了後、支持部４３の回転を再開して、次の有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する構成を採用してもよい。この場合、検査部４７としては、例えばエリアセンサカメラを採用することができる。エリアセンサカメラは、複数の受像素子の列が、複数配されており（複数ライン）、所定の領域を１つの画像として一度に撮影し得るものである。かかるエリアセンサカメラとしては、市販品を用いることができ、該市販品としては、例えば、株式会社キーエンス製のデジタル高速２１００万画素カラーカメラＸＧ−Ｈ２１００Ｃが挙げられる。
【００５２】
また、有機ＥＬ素子１９における第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａの配置や形状等は、上記実施形態の構成に特に限定されるものではなく、また、通電部４５の配置や形状等も、適用する有機ＥＬ素子１９における第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａの配置等に応じて適宜設計すればよい。
例えば、図１０に示すように、有機ＥＬデバイス２０が、複数の有機ＥＬ素子１９に共通する第２の通電領域２７ａを有するように構成されていてもよい。あるいは、図示しないが、これとは逆に、有機ＥＬデバイス２０が、複数の有機ＥＬ素子１９に共通する第１の通電領域２３ａを有するように構成されていてもよい。
また、図１１に示すように、有機ＥＬデバイス２０が、複数の有機ＥＬ素子１９に共通する第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａを有するように構成されていてもよい。
【００５３】
また、上記実施形態の有機ＥＬデバイスの製造方法も、上記実施形態に特に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、有機ＥＬ素子１９を形成した後、基材２１を一旦巻き取ってロール体３０とし、該ロール体３０から基材２１を供給して検査を行う態様を示したが、その他、有機ＥＬ素子１９が形成された基材２１を巻き取らず、そのまま支持部４３へ供給して検査を行う態様を採用してもよい。
【符号の説明】
【００５４】
１：有機ＥＬデバイスの検査装置、３：真空チャンバー、５：第２の供給部、６：第２の回収部、７：キャンローラ、９ａ〜９ｃ：層形成部、１９：有機ＥＬ素子、２０：有機ＥＬデバイス、２１：基材、２３：第１の電極層、２３ａ：第１の通電領域、２５：有機ＥＬ層、２７：第２の電極層、２７ａ：第２の通電領域、３０：ロール体、４１：第１の供給部、４３：支持部、４５：通電部、４７：検査部、４９：第１の回収部、５１箱状部、６０：有機ＥＬデバイスの製造装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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