(57)【要約】【課題】光路長を短くし、測定部液流阻害を最小限とし光の漏れ等の発生しない、正確シンプルなインライン式濃度測定プローブの構築【解決手段】反応液を透過した光を、光ファイバ１を介して受光素子に導光するプローブ５，５’において、光源１０から発する光を導光するファイバ１のコア径に対し、受光素子へ透過光を導光するファイバ１のコア径が大きく、光源から発する光を導光するファイバ１の光源とは反対側端部、および受光素子へ透過光を導光する受光素子とは反対側端部が各々露出したコア面を対向するように、且つファイバ１先端が突出して固定され、対向する露出したコア面間距離６を、反応液濃度をオフラインで測定する際の光路長をオフライン測定における希釈率で割った値又は其以下とした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インライン式の吸光度測定プローブであり、光源から発した光が光ファイバを介して反応槽に導光され、反応槽内部の反応液を透過した当該光を光ファイバを介して受光素子に導光するプローブにおいて、光源から発する光を導光するファイバのコア径に対し、受光素子へ透過光を導光するファイバのコア径が大きく、光源から発する光を導光するファイバの光源とは反対側の端部、および受光素子へ透過光を導光する受光素子とは反対側の端部が各々露出したコア面を対向するように、かつファイバ先端が突出するように固定されており、対向する露出したコア面間の距離を、当該反応液濃度をオフラインで測定する際の光路長を当該オフライン測定における希釈率で割った値あるいはそれ以下となるように設定したことを特徴とする、反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブ。
【請求項２】
上記光源から発する光を導光する光ファイバのうち、接液部が露出したコアを含む端部において、その端部が当該反応槽内の液によって侵されない材質でできたフェルールによって保護されていることを特徴とする、請求項１に記載の反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブ。
【請求項３】
上記光源から発する光を導光する光ファイバのコア径が６２．５μｍ以下、さらに言えば５０μｍ以下であり、上記受光素子へ透過光を導光する光ファイバのコア径が１００μm以上、さらに言えば２００μｍ以上であることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブ。
【請求項４】
上記光源から発する光を導光する光ファイバと、上記受光素子へ透過光を導光する光ファイバの各々露出するように対向したコア面同士の距離が１ｍｍ以下、さらに言えば２００μｍ以下であることを特徴とする、請求項１または請求項２または請求項３に記載の反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブ。
【請求項５】
上記光源から発する光を導光する光ファイバと、上記受光素子へ透過光を導光する光ファイバの各々の露出したコア面を対向するようにかつファイバ先端が突出するように固定されており、対向する露出したコア面間を上記所定の距離で固定するためのプローブが、光通信部材の組み立て方法で組み立てられたことを特徴とする、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４に記載の反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブ。
【請求項６】
請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５に記載の反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブを用いて、種々の濃度の反応液を測定して作成した検量線を制御用装置に保持し、上記濃度測定のためのプローブで上記反応液をインラインで測定した吸光度の測定結果に対し、当該制御用装置に保持した検量線を参照することによってリアルタイムで濃度に換算することを特徴とする反応槽内での反応液の濃度測定のための濃度測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インライン式薬液濃度の測定プローブと濃度測定システムに関するものであり、さらに詳細にいえば、濃厚な薬液濃度を分光学的に反応槽内で測定するためのプローブ及びそれを用いた濃度測定システムに関するものである。
【０００２】
本発明につき、発明の構成に照らして、詳しく記述すると、反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブに関するものであり、特に、光源から発した光が光ファイバを介して反応槽に導光され、反応槽内部の反応液を透過した当該光を光ファイバを介して受光素子に導光するプローブにおいて、光源から発する光を導光するファイバのコア径に対し、受光素子へ透過光を導光するファイバのコア径が大きく、光源から発する光を導光するファイバの光源とは反対側の端部、および受光素子へ透過光を導光する受光素子とは反対側の端部が各々露出したコア面を対向するように、かつファイバ先端が突出するように固定されてなる、反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブと該プローブを用いた濃度測定システムに関するものである。
【背景技術】
【０００３】
無電解銅めっきや電解銅めっきは多層プリント基板製造時の層間の接続を確保するために欠かせぬ工程であるといえる。一方、このような化学反応による加工液は定常的な濃度管理が必要であり、適正な管理範囲を逸脱すると銅めっきの異常析出や、不析出など不良の原因となる。無電解銅めっき液の管理項目には、例えば［非特許文献１］の［電気鍍金研究会編、’９４年６月日刊工業新聞社発行「無電解めっき  基礎と応用」（ｐ１２２−１２４参照）］にあるように、銅濃度、還元剤濃度、ｐＨ、錯化剤などがある。一方、電解銅めっきの場合、銅濃度、硫酸濃度、添加剤濃度などがある。これらのうち、銅濃度はめっき作業を重ねるに従い一方的に減少する。銅濃度の測定は、一般にＥＤＴＡなどを用いた、キレート滴定や、分光学的な手法が適用されている。特にこれら銅めっき液においては分光学的な手法が主流である。しかしながら、これらはいずれも銅めっき反応槽から薬液をサンプリングし、オフラインでの測定を行うことが前提となっており、分析値の即時性、分析頻度の面で、精細な管理を行うことは困難である。
【０００４】
分光学的な濃度測定は、光源から発せられた測定光を被測定物に照射し、被測定物を透過した光を受光することで行う。光源からの光強度Ｉ０、被測定物が吸収する光強度をＩａ、受光する光強度をＩｔとすると、
Ｉ０＝Ｉａ＋Ｉｔ
の関係が成り立ち、Ｉａは被測定物の種類、濃度に固有のものであることから、特定の物質の吸収する光強度が既知であれば、Ｉｔを用いてその濃度を求めることが可能となる。一般に被測定物を透過した光の強度Ｉｔは
Ａ＝−ｌｏｇ（Ｉｔ／Ｉ０）
なる式で換算した吸光度Ａで表す。
【０００５】
吸光度Ａは被測定物の濃度が低い場合は濃度に対し線形の関係を示す。ところが、被測定物が高濃度の場合はこの関係が崩れる。そして、冒頭に述べたような銅めっき液は効率的な銅析出のためにその濃度は高濃度に設定されており、めっき液そのままでは吸光度による濃度測定は困難である。
【０００６】
そこで、オフラインにおける濃度測定では、サンプリングしためっき液を希釈し、通常１０〜１００倍に希釈する。
そうすると、上述のようにオフラインでの濃度測定はサンプリング、測定操作という作業が必要となり、銅めっき液濃度測定の即時性、高頻度での分析という点において不利となる。
【０００７】
このため、例えば、［特許文献１］の［特開２００１−２２８０７９号公報］に記載の発明や、［特許文献２］の［特許第３６０９０２９号公報］に記載の発明にみられるように、被測定物への光照射と透過光の受光が行えるセルを直接反応槽に浸漬して測定する手法が開示されている。ここで、被測定物の吸光度と光路長、濃度には
Ａ＝αＬＣ
というランベルト・ベールの法則（ここでαは被測定物固有の吸光係数、Ｌは光路長、Ｃは濃度を表す）が成り立ち、高濃度の薬液に対しては光路長を短くすることで希釈と同じ効果が得られる。上述の文献では、光路長を可変とすることで高濃度の薬液をインラインで分析することが可能としている。
【０００８】
また、吸光度測定ではないが、［特許文献３］の［特開昭６３−２８４４５４号公報］に記載の発明では、被測定物への光照射、散乱光受光方法として光ファイバを、そして、［特許文献４］の［特開２０００−３０４６９３号公報］に記載の発明では、ガラスロッドを用いて、セルの簡素化を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−２２８０７９号公報
【００１０】
【特許文献２】特許第３６０９０２９号公報
【００１１】
【特許文献３】特開昭６３-２８４４５４号公報
【００１２】
【特許文献４】特開２０００-３０４６９３号公報
【００１３】
【特許文献５】特開２００８−１１６３１４号公報
【非特許文献】
【００１４】
【非特許文献１】電気鍍金研究会編、９４年６月日刊工業新聞社発行「無電解めっき基礎と応用」（ｐ１２２−１２４参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
［特許文献1］の［特開２００１−２２８０７９号公報］に記載の発明では、光路長を変更するために発光側と受光側接液面間距離をボールねじや、モータなどの可動機構をセルに持たせることで実現しているが、セル自体にこのような機構を有せしめるために、セルが複雑化する。また、これら機構を高反応性の薬液から保護するためには何らかの防水構造が必要となる。また、可動性のある部品であるため、衝撃などによって接液面間距離が動いてしまい、結果として光路長が変わり正確な濃度測定ができなくなるという虞がある。
【００１６】
また、［特許文献２］の［特許第３６０９０２９号公報］に記載の発明では、光路長についていくつかのバリエーションを持たせうるようにガラスセルを加工する必要があり、ガラスセルは複雑な形状となり、加工性に問題が生じる。とくに、高濃度の薬液では光路長を１００μｍ以下に設定する必要があり、ガラス加工の難易度が増す。
また、これら前述した２文献に記載された発明では、その形状の複雑さのゆえに、透過光測定部の液流が、槽全体に対し遅くなるため、必ずしも槽全体の薬液濃度を代表する濃度とはならないという可能性がある。
【００１７】
これらの課題に対応するため、特許文献３記載の発明では、光ファイバによって反応槽外部にある発光部から反応槽、反応槽から反応槽外部にある受光部へ導光することでセルを簡素化している。
ところが、当該文献に記載の発明は、濁度測定に関する手法であるため、反応槽内で散乱した光を必ずしもすべて受光する必要がない。一般に光ファイバの導光部となるコアの径は数十〜数百μｍであり、適正に選択しない場合、測定光が液中に漏れ、正確な測定が困難となる。
また、当該文献に記載の発明では、反応槽内部に光ファイバが突出するように固定するが、一般に工業生産における無電解銅めっきの反応槽は数メートル角と大きく、光ファイバ間の距離、すなわち光路長を上述のように１００μｍ以下に制御することは困難である。
【００１８】
また、［特許文献４］の［特開２０００−３０４６９３号公報］に記載の発明にみられるように、ガラスロッドを液中に浸漬して測定する場合、ガラスと薬液の屈折率が近い場合には、ガラスロッド内を導光した光が本来全反射すべきはずのガラスロッド側壁から漏れ出る可能性があり、その結果、正確な測定が困難となる。
【００１９】
これらに対し、［特許文献５］の［特開２００８−１１６３１４号公報］に記載の発明では、光ファイバを近接させてＶ溝に固定する方法が開示されている。これによって１００μｍ以下の光路長を実現することは可能であるが、Ｖ溝にファイバを固定するためには光ファイバの素線を用いる必要がある。素線は保護用の被覆のない光ファイバで、曲げや、衝撃に対して折れるという問題がある。薬液濃度を槽内で均一にするため、反応槽内は高速度で撹拌を行っており、ファイバ素線を浸漬した場合、折れ、クラックの発生などが考えられ、正確な測定は困難となる。
【００２０】
そこで、前述した技術上の諸不具合に鑑み、光路長を短くし、測定部の液流阻害を最小限とし、光の漏れなどの発生しない、正確でシンプルなインライン式濃度測定プローブを構築するにはどうするべきかが技術上の問題点となっており、本発明は、このような技術的課題を解決することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は、前記目的を達成するために提案されたものであり、
請求項１記載の発明は、インライン式の吸光度測定プローブであり、光源から発した光が光ファイバを介して反応槽に導光され、反応槽内部の反応液を透過した当該光を光ファイバを介して受光素子に導光するプローブにおいて、光源から発する光を導光するファイバのコア径に対し、受光素子へ透過光を導光するファイバのコア径が大きく、光源から発する光を導光するファイバの光源とは反対側の端部、および受光素子へ透過光を導光する受光素子とは反対側の端部が各々露出したコア面を対向するように、かつファイバ先端が突出するように固定されており、対向する露出したコア面間の距離を、当該反応液濃度をオフラインで測定する際の光路長を当該オフライン測定における希釈率で割った値あるいはそれ以下となるように設定した、反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブ、
及び、請求項２記載の発明は、上記光源から発する光を導光する光ファイバのうち、接液部が露出したコアを含む端部において、その端部が当該反応槽内の液によって侵されない材質でできたフェルールによって保護されている、請求項１に記載の反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブ、
及び、請求項３記載の発明は、上記光源から発する光を導光する光ファイバのコア径が６２．５μｍ以下、さらに言えば５０μｍ以下であり、上記受光素子へ透過光を導光する光ファイバのコア径が１００μm以上、さらに言えば２００μｍ以上である、請求項１または請求項２に記載の反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブ、
及び、請求項４記載の発明は、上記光源から発する光を導光する光ファイバと、上記受光素子へ透過光を導光する光ファイバの各々露出するように対向したコア面同士の距離が１ｍｍ以下、さらに言えば２００μｍ以下である、請求項１または請求項２または請求項３に記載の反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブ、
及び、請求項５記載の発明は、上記光源から発する光を導光する光ファイバと、上記受光素子へ透過光を導光する光ファイバの各々の露出したコア面を対向するようにかつファイバ先端が突出するように固定されており、対向する露出したコア面間を上記所定の距離で固定するためのプローブが、光通信部材の組み立て方法で組み立てられた、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４に記載の反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブ、
及び、請求項６記載の発明は、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５に記載の反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブを用いて、種々の濃度の反応液を測定して作成した検量線を制御用装置に保持し、上記濃度測定のためのプローブで上記反応液をインラインで測定した吸光度の測定結果に対し、当該制御用装置に保持した検量線を参照することによってリアルタイムで濃度に換算することを特徴とする反応槽内で反応液の濃度を測定する濃度測定システムを、
それぞれ、提供するものである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の構成によれば、光源から発した光および透過した光を受光素子に導光する手段として光ファイバを用いることで、反応液中への光漏れがないため、正確な濃度測定が可能であり、プローブの構造がシンプルとなり、製造コスト、液流れの点で有利である。また、光ファイバの端部が突出するように固定されていることから、さらに液流れに有利となり、反応槽全体の濃度を即時的に反映可能である。
【００２３】
また、本発明の構成によれば、ファイバの接液端部をフェルールで保護することで、液流や衝撃などによるファイバの破損を防ぐことが可能となる。この際、フェルールの材質は反応液に侵されない材質であることが望ましく、無電解銅めっき液で言えば、ジルコニアやホウケイ酸ガラスなどを用いることを通じてファイバ破損を防止し得る。
【００２４】
また、本発明の構成によれば、発光側の光ファイバに対して、受光側の光ファイバのコア径を大きくすることによって反応液中への測定光の漏れを最小限に抑えることが可能であり、正確な濃度測定が可能となる。
【００２５】
また、本発明では、反応槽における当該反応液濃度をオフラインで測定する際の光路長を当該オフライン測定における希釈率で割った値あるいはそれ以下となるように、対向するコア面間距離を設定することで、高濃度の反応液に対しても希釈の必要がなく、正確な濃度測定が可能である。
【００２６】
また、本発明によれば、種々の濃度に設定した反応液を当該プローブを用いて測定して検量線を作成し、制御用機器に入力し、当該制御用機器等やプローブがインラインで測定した吸光度の測定結果から正確な濃度を出力することが可能である。これによって、反応液濃度が即時的にモニタ可能となる。
【００２７】
以上のとおり、発明の効果を総括すると、本発明によれば、通常希釈が必要な反応液の濃度測定を希釈することなく、正確かつインラインで測定することが可能となり、反応液濃度を即時的に測定することで、反応液を常に良好な状態に管理することが可能となり、その結果、当該反応液を用いて製造する製品を安定的に製造することが可能となり、当該製品の製造コストの低減、および製造コスト低減による製品コストの低減に貢献するという多大の有用性をもたらすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】実施例１におけるファイバ支持体をなす部材の構成を模式的に示す斜視図。
【図２】実施例１におけるファイバ支持体の組立後の態様を示す模式的斜視図。
【図３】実施例１における２つのファイバ支持体の光軸を合わせる態様を示す模式的斜視図。
【図４】実施例１におけるプローブの模式的斜視図。
【図５】実施例１で組み立てたプローブによる測定システムの構成を示すブロック図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明は、インライン式の吸光度測定プローブであり、光源から発した光が光ファイバを介して反応槽に導光され、反応槽内部の反応液を透過した当該光を光ファイバを介して受光素子に導光するプローブにおいて、光源から発する光を導光するファイバのコア径に対し、受光素子へ透過光を導光するファイバのコア径が大きく、光源から発する光を導光するファイバの光源とは反対側の端部、および受光素子へ透過光を導光する受光素子とは反対側の端部が各々露出したコア面を対向するように、かつファイバ先端が突出するように固定されており、対向する露出したコア面間の距離を、当該反応液濃度をオフラインで測定する際の光路長を当該オフライン測定における希釈率で割った値あるいはそれ以下となるように設定したことを特徴とする、反応槽内で反応液の濃度を測定するためのプローブを提供することによって、実現したものである。
なお、以下、図に従って、本発明の実施例を示すが、本発明はこれに限定するものではない。
【実施例１】
【００３０】
まず、図１に示すように、一端は分光光度計に用意した光コネクタと同じコネクタであり、もう一端は、直径１．２４９ｍｍ、先端からフランジ４ａまでの距離が、４．９５ｍｍのジルコニア製フェルールで加工した被覆付き光ファイバであるフェルール（光ファイバ）１（ＮＡ＝０．２１、コア径５０μｍ、被覆径０．９ｍｍ、ＧＩマルチモードファイバ）、および、このフェルール先端を貫通できるように貫通穴２を設けた厚さ１ｍｍ、１０ｍｍ角のＳＵＳ３１６の板３を用意する。同図中、前述のとおり４ａは、前記フェルール１のフランジであり、４ｂは、フェルールの主要構成をなすファイバの本体（ウェッブ）である。
【００３１】
そして、図２に示すようにフェルール１をＳＵＳ３１６の板３にフェルールのフランジ４ａをストッパとして貫通穴２を通して貫通させたのちに両者を固定したファイバ支持体５を作製する。なお、各図ではフェルールのみを図示しており、被覆付きファイバは図示していない。
【００３２】
前記ファイバ支持体５と同様のファイバ支持体５’を、コア径１１８μｍの被覆付き光ファイバ１’とファイバ支持のための板３を用いて作製する（ファイバ支持体５’を単独では図示せず）。吸光度測定プローブの作製にはこれら２つの支持体５および５’を１組として使用するものである。
【００３３】
次いで、当該ファイバ支持体５、５’を適切な方法で調芯機に把持し、図３に示すように２つのファイバ支持体の光軸を調整する。この際、調芯終了時のファイバ端部間の間隙６の距離が１００μｍとなるようにする。光部品組み立て機構である調芯機を用いることで、高精度で光軸調整及びファイバ端部間距離の設定が可能である。ファイバ端部間距離を１００μｍとすることによって１ｃｍのセルを用いて、通常１００倍希釈で吸光度測定を行っていた反応液が、無希釈で測定可能となる。なお、ＮＡより求めたファイバからの出射角が１２°なので、５０μｍコアから出射される光の１００μｍ先のビーム径は約１００μｍとなるが、光ファイバコアの屈折率（１．４〜１．６）に比べて、無電解銅めっき液の屈折率が低い場合、受光側の光ファイバのコア径は１００μｍ以下でよい。しかし、反応液の濃度によって屈折率も変化するので、ここではコア径１１８μｍのファイバを適用した。これは液の屈折率２．３以上に相当し、通常、水溶液がこのような屈折率になることはない。
【００３４】
調芯終了後、当該ファイバ支持体５および５’を調芯機で把持した状態のまま、図４に示すように、両支持体を橋渡しするように橋渡し部材７で固定する。これらファイバ支持体５および５’、橋渡し部材７を合わせた構造体が吸光度測定プローブ８となる。橋渡し部材７には厚さ１ｍｍのＳＵＳ３１６の板を用いた。固定の方法としては接着材や、機械的固定、溶接などが適用可能であるが、ここではレーザ溶接にて固定した。接着材使用時には、反応液に侵されない材質であること、機械固定時には、固定時にファイバ支持体同士の位置関係が狂わないように配慮する必要がある。レーザ溶接を適用することで、これらの配慮が不要となる。なお、抵抗溶接も適用可能であるが、支持体や、橋渡し部材に溶接プローブを押し付ける際に支持体同士の位置関係が狂わないように配慮する必要がある。
【００３５】
固定完了後、分光光度計に吸光度測定プローブ８を取り付け、ブランクでの吸光度測定を行う。ファイバ内での伝送損失や、ファイバ端部でのフレネル反射などがあるので、ブランクにおいても、入力した光すべてが、受光可能なわけではない。
【００３６】
このブランク値はプローブの製造バラつきの影響を受けるため、プローブを、個別に測定する。
【００３７】
これ等実施例に示したプローブを用いて、反応槽内での反応液の濃度測定のための濃度測定システムを構成する。図５にその模式的ブロック図を示す。同図中、９は、反応槽であり、インライン検出する等のために、プローブ８を用いて濃度検出に供するめっき浴である。測定波長の光を発するレーザ光源１０と反応液を透過したレーザ光を検出する検出器１１、該検出器１１からの信号を増幅するアンプ１２、レーザ光源の制御と検出器の信号を受け取る制御用ＰＣ１３からなる。ＰＣ１３にはあらかじめブランクおよび２種類以上の標準濃度反応液の測定結果を入力し、検量線として保持する。これは、プローブ８が変わる都度に行う。プローブ８のファイバ間は自由空間であるため、反応液中の異物がファイバ間を通過することが考えられることから、アンプ１２からＰＣ１３へ至る信号経路にはローパスフィルタ１４を挿入し、急な信号変化をカットする機構を設ける。また、異物付着や、液劣化による吸光度の定常的な変化に対応するため、ＰＣ１３の受ける吸光度の上下限を超えた場合に、ＰＣ１３より警報を発するように構成する。また、測定結果はＰＣ１３に蓄積することを通じて、反応槽９の反応液の逐次的な濃度変化を追跡しつつ濃度検出を行うことができる。
【実施例２】
【００３８】
前記した実施例１では反応液のオフラインでの測定における希釈率１００倍を想定し、ファイバ端部間の距離６を１００μｍに設定した。オフラインでの希釈率が低く、１ｃｍの測定セルに対し１０倍希釈で測定するような、銅濃度が比較的希薄な反応液の場合、ファイバ端部間距離１００μｍのプローブを適用した場合、測定される吸光度が低くなるため、分解能の低下が影響される。
【００３９】
そこで、プローブ組立時に設定するファイバ端部間距離を希釈率１０倍にそろえて１ｍｍとする。前述したコア径５０μｍのファイバを適用した場合、受光端でのビーム径は４６０μｍとなる。このため、受光側のファイバのコア径も４６０μｍ以上、望ましくは６８０μｍ以上（反応液の屈折率２以上に相当）とする。
【００４０】
尚、本発明は、本発明の基本的精神を逸脱しない限り種々の改変をなすことが可能であり、そして、本発明が該改変されたものにも及ぶことは当然である。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、反応槽内での濃度測定、特に銅めっき液中の銅濃度測定に利用することができ、無電解銅めっき液槽における濃度測定等、斯界における、銅濃度測定に卓越した効用を及ぼすことを期待することができる。
【符号の説明】
【００４２】
１      フェルール
２      板３に設けたフェルール先端が貫通する貫通穴
３      板
４ａ    フェルールのフランジ
４ｂ    ファイバの本体部（ウェッブ）
４ａ’  フェルールのフランジ
４ｂ’  ファイバの本体部（ウェッブ）
５      ファイバ支持体
５’    ファイバ支持体
６      ファイバ端部間間隙
７      橋渡し部材
８      吸光度測定プローブ
９      反応槽
１０    光源
１１    検出器
１２    アンプ
１３    制御用ＰＣ
１４    ローパスフィルタ
【図１】
2015078930.tif 000003
【図２】
2015078930.tif 000004
【図３】
2015078930.tif 000005
【図４】
2015078930.tif 000006
【図５】
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