(57)【要約】【課題】微小突起付ウエハの微小突起を損傷させることなく、かつ微小突起付ウエハに接する多孔質シートを容易かつ確実に交換可能とした微小突起付ウエハ吸着装置用保護具およびこのような保護具を備えた微小突起付ウエハ吸着装置を提供することを目的とすること。【解決手段】本発明によれば、微小突起付ウエハ吸着装置用保護具１であって、吸着装置２の吸着ステージ１６の外径より大きな寸法の内径を有する枠状部材４と、枠状部材の中央空間を覆って張られた多孔質シート６とを備えていることを特徴とする微小突起付ウエハ吸着装置用保護具が提供される。【選択図】図１
2015191901.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小突起付ウエハ吸着装置用保護具であって、
吸着装置の吸着ステージの外径より大きな寸法の内径を有する枠状部材と、
前記枠状部材の中央空間を覆って張られた多孔質シートと、を備えている、
ことを特徴とする微小突起付ウエハ吸着装置用保護具。
【請求項２】
前記多孔質シートが、メッシュシートである、
請求項１に記載の微小突起付ウエハ吸着装置用保護具。
【請求項３】
前記枠状部材が、略同一形状を有し分離結合可能な上側枠部材と下側枠部材とを備え、
前記多孔質シートは、周縁部が、連結状態にある前記上側枠部材と下側枠部材との間に挟持されることによって、前記枠状部材の中央空間を覆って張られている、
請求項１または２に記載の微小突起付ウエハ吸着装置用保護具。
【請求項４】
前記多孔質シートの前記吸着ステージ側に配置された第２多孔質シートを、更に、備えている、
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の微小突起付ウエハ吸着装置用保護具。
【請求項５】
微小突起付ウエハ吸着装置であって、
ホルダ部材と、
多孔質材料で形成され前記ホルダ部材に収容された吸着ステージと、
前記吸着ステージの外径より大きな寸法の内径を有する枠状部材と、
前記枠状部材の中央空間を覆って張られた多孔質シートと、を備えている、
微小突起付ウエハ吸着装置。
【請求項６】
前記多孔質シートが、メッシュシートである、
請求項５に記載の微小突起付ウエハ吸着装置。
【請求項７】
前記枠状部材が、略同一形状を有し分離結合可能な上側枠部材と下側枠部材とを備え、
前記多孔質シートは、周縁部が、連結状態にある前記上側枠部材と下側枠部材との間に挟持されることによって、前記枠状部材の中央空間を覆って張られている、
請求項５または６に記載の微小突起付ウエハ吸着装置。
【請求項８】
前記多孔質シートの前記吸着ステージ側に配置された第２多孔質シートを、更に、備えている、
請求項５ないし７のいずれか１項に記載の微小突起付ウエハ吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小突起付ウエハ吸着装置用保護具および微小突起付ウエハ吸着装置に関し、詳細には、表面に電極等の微小な突起が形成されているウエハを吸着する吸着装置に取付けて微小突起を保護する保護具およびそのような保護具を備えた微小突起付ウエハ吸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子等の製造工程において、ウエハ等のワークを所定位置に保持するために、多孔質カーボン等の多孔質材料で形成された吸引ステージを有する吸着装置が使用されている。このような吸着装置では、多孔質材料で形成された吸引ステージに真空ポンプ等の吸引装置を連結し、吸引ステージの表面から空気を吸引することによって、吸引ステージ上にウエハ等のワークを吸着している。
【０００３】
このような吸着装置では、吸着ステージとウエハ等のワークとの摩擦によって、ウエハ等のワークに傷が付く場合にある。このような傷の発生を防止すべく、吸着ステージ上に多孔質シートを貼り付けた吸着装置が知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３５０２９５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような接着剤を使用して多孔質シートを貼り付けた吸着装置では、多孔質シートを接着剤で吸着ステージに貼り付けているため、多孔質シートの交換作業が容易に行うことができないという問題があった。また、古い多孔質シートを剥がしたとき、古い多孔質シートの接着に使用していた接着剤が吸着ステージに残り、新しい多孔質シートの貼り付けに支障がでる場合があった。
【０００６】
さらにまた、表面から電極が突出しているＴＳＶウエハのような表面に微小突起を有するウエハが登場しているが、このような微小突起付ウエハを、多孔質カーボン等の硬質材料の吸着ステージ上、または、上記のような多孔質シート上に吸着すると微小突起が損傷されるという問題があった。
【０００７】
本発明はこのような問題を解決するためになされたものであり、微小突起付ウエハの微小突起を損傷させることなく、かつ微小突起付ウエハに接する多孔質シートを容易かつ確実に交換可能とした微小突起付ウエハ吸着装置用保護具およびこのような保護具を備えた微小突起付ウエハ吸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の好ましい態様によれば、
微小突起付ウエハ吸着装置用保護具であって、
吸着装置の吸着ステージの外径より大きな寸法の内径を有する枠状部材と、
前記枠状部材の中央空間を覆って張られた多孔質シートと、を備えている、
ことを特徴とする微小突起付ウエハ吸着装置用保護具が提供される。
【０００９】
このような構成によれば、吸着ステージが多孔質シートで覆われることになるので、ウエハ表面の微小突起が損傷されることが抑制され、かつ枠状部材を吸着ステージに被せるだけで吸着ステージを多孔質シートで覆うことができるので、容易且つ確実に多孔質シートの配置、排除（交換）を行うことができる。
【００１０】
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記多孔質シートが、メッシュシートである。
【００１１】
このような構成によれば、吸着ステージの表面がメッシュシートで覆われることになるので、微小突起付ウエハが吸着ステージに吸着される際、ウエハ表面に形成された微小突起が、メッシュシートの空隙部に配置され、損傷を受けにくくなる。
【００１２】
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記枠状部材が、略同一形状を有し分離結合可能な上側枠部材と下側枠部材とを備え、
前記多孔質シートは、周縁部が、連結状態にある前記上側枠部材と下側枠部材との間に挟持されることによって、前記枠状部材の中央空間を覆って張られている。
【００１３】
このような構成によれば、枠状部材に対する多孔質シートの着脱が容易となり、多孔質シートの交換に要する手間が減少する。
【００１４】
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記多孔質シートの前記吸着ステージ側に配置された第２多孔質シートを、更に、備えている。
【００１５】
本発明の他の態様によれば、
微小突起付ウエハ吸着装置であって、
ホルダ部材と、
多孔質材料で形成され前記ホルダ部材に収容された吸着ステージと、
前記吸着ステージの外径より大きな寸法の内径を有する枠状部材と、
前記枠状部材の中央空間を覆って張られた多孔質シートと、を備えている、
微小突起付ウエハ吸着装置が提供される。
【００１６】
このような構成によれば、吸着ステージが多孔質シートで覆われることになるので、ウエハ表面の微小突起が損傷されることが抑制され、かつ枠状部材を吸着ステージに被せるだけで吸着ステージを多孔質シートで覆うことができるので、容易且つ確実に多孔質シートの配置、排除（交換）を行うことができる。
【００１７】
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記多孔質シートが、メッシュシートである。
【００１８】
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記枠状部材が、略同一形状を有し分離結合可能な上側枠部材と下側枠部材とを備え、
前記多孔質シートは、周縁部が、連結状態にある前記上側枠部材と下側枠部材との間に挟持されることによって、前記枠状部材の中央空間を覆って張られている。
【００１９】
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記多孔質シートの前記吸着ステージ側に配置された第２多孔質シートを、更に、備えている。
【００２０】
本発明によれば、微小突起付ウエハの微小突起を損傷させることなく、かつ微小突起付ウエハに接する多孔質シートを容易かつ確実に交換可能とした微小突起付ウエハ吸着装置用保護具およびこのような保護具を備えた微小突起付ウエハ吸着装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の好ましい実施形態の微小突起付ウエハ吸着装置用保護具が取付けられた微小突起付ウエハ吸着装置２の分解斜視図である。
【図２】図１のその微小突起付ウエハ吸着装置の組み立て状態での縦断面図である。
【図３】図１および図２の微小突起付ウエハ吸着装置用保護具の組み立て状態での斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の好ましい実施形態の微小突起付ウエハ吸着装置用保護具を備えた微小突起付ウエハ吸着装置を図面に沿って説明する。図１は、本発明の好ましい実施形態の微小突起付ウエハ吸着装置用保護具１が取付けられた微小突起付ウエハ吸着装置２の分解斜視図であり、図２は、その微小突起付ウエハ吸着装置の組み立て状態での縦断面図である。
【００２３】
図１に示されているように、本発明の好ましい実施形態の微小突起付ウエハ吸着装置用保護具１は、環状の枠状部材４と、枠状部材４の中央空間を覆って張られた多孔質シート６とを備えている。
【００２４】
枠状部材４は、略同一形状を有し分離結合可能な環状の上側枠部材８と下側枠部材１０とを備えている。上側枠部材８と下側枠部材１０は、設置対象となる円形吸着パッドの経より若干大きな内径を有している。上側枠部材４ａと下側枠部材４ｂは、ＳＵＳ等の金属で形成され、厚さ方向に貫通して延びる貫通孔１２を有している。貫通孔１２は、上側枠部材８と下側枠部材１０のそれぞれに、３０度の角度間隔で合計１２個づつ形成され、上側枠部材８と下側枠部材１０とを厚さ方向に重ねたとき、対応する貫通孔１２が厚さ方向に整列してのび、ボルトを挿通可能に構成されている。
【００２５】
多孔質シート６は、枠状部材４の径より大きな径の円形形状を有している。本実施形態では、多孔質シート６は、テトロン（登録商標）または物性がテトロンと類似する合成樹脂のメッシュシートによって形成され５０μｍ程度の厚さを有している。メッシュとしては、例えば、ポリエステル製の２００メッシュ／インチ、線径５５μｍ、目開き（オープニング）７５μｍのメッシュが使用できる。
【００２６】
図３の示されているように、円形の多孔質シート６は、外周縁部が、貫通孔１２に挿通されたボルトとナット（図示せず）で連結された上側枠部材８と下側枠部材１０との間に挟持されることによって、枠状部材４の中央空間を覆って張られている。
【００２７】
したがって、本実施形態の微小突起付ウエハ吸着装置用保護具１では、貫通孔１２に挿通されたボルトとナットを解放して上側枠部材８と下側枠部材１０を分離することによって、多孔質シート６を枠状部材４から容易に取り外し、交換することができる。
【００２８】
本実施形態の微小突起付ウエハ吸着装置用保護具１は、円板状ホルダ１４に収容された多孔質カーボンからなる吸着パッド（吸着ステージ）１６に被せられる。本実施形態では、メッシュシート製の多孔質シート６と吸着パッド１６との間に、第２の多孔質シート１８が配置されている。
【００２９】
この第２の多孔質シート１８は、多孔質ポリウレタン、多孔質ポリエチレン等の軟質な多孔質材料で形成され、厚さ１ｍｍ程度の円形シートであり、枠状部材４の内径を略等しい外径を有している。
【００３０】
このような構成を有する本実施形態の微小突起付ウエハ吸着装置用保護具１は、上述したように、吸着パッド１６に被せられる（図１）。本実施形態では、微小突起付ウエハ吸着装置用保護具１の環状の枠状部材４の内径が、吸着パッド１６を収容するホルダ１４の環状突起１４ａの外径より若干大きく設定されている。
【００３１】
したがって、多孔質シート６が張られた枠状部材４を環状突起１４ａと同心状に配置して、吸着パッド１６上に載置することによって、多孔質シート６で吸着パッド１６の表面を覆うことができる。そして、枠状部材４が、比重が大きな(密度が高い)ＳＵＳで構成されているので、枠状部材４の自重で、吸着パッド１６の表面を覆う多孔質シート(メッシュシート)６な径方向外方に向けてテンションがかけられ、しわ等を形成することなく、吸着パッド１６の表面を覆うこと事になる。尚、ＳＵＳ以外の比重が大きな(密度が高い)材料で、枠状部材を形成してもよい。
【００３２】
本実施形態の微小突起付ウエハ吸着装置では、このように微小突起付ウエハ吸着装置用保護具が取付けられた状態で、ホルダ１４の下部に形成された吸引孔１４ｂに接続された真空吸引装置等によって、吸引を行い、吸着パッド１６上にシリコンウエハ等を吸着固定する。
【００３３】
本発明の前記実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範囲内で種々の変更、変形が可能である。
【００３４】
上記実施形態では、多孔質パッド６の下方に第２の多孔質パッド１８が配置された構成であったが、第２の多孔質パッド１８を省略した構成でもよい。この場合、第１の多孔質パッドをメッシュシートに代えて、第２の多孔質パッド１８を構成するような材料で形成してもよい。
【００３５】
上記実施形態では、円形の吸着パッドを前提とし、枠状部材が環状であったが、吸着パッドが矩形の場合等には、枠状部材が矩形の枠状部材となる。
【符号の説明】
【００３６】
１：微小突起付ウエハ吸着装置用保護具
２：微小突起付ウエハ吸着装置
４：枠状部材
６：多孔質シート
８：上側枠部材
１０：下側枠部材
１２：貫通孔
１４：ホルダ
１６：吸着パッド（吸着ステージ）
１８：第２の多孔質シート
【図１】
2015191901.tif 000003
【図２】
2015191901.tif 000004
【図３】
2015191901.tif 000005