(57)【要約】【課題】両面接着シートと第２被着体との間に塵埃が混入するリスクを低減できるシート貼付装置および貼付方法を提供する。【解決手段】シート貼付装置１０は、仮着部ＡＰおよび折返し部ＦＰを有する第１剥離シートＲＬ１が両面接着シートＡＳの第１接着面ＳＡ１に仮着され、帯状の第２剥離シートＲＬ２が第２接着面ＳＡ２に仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、第２剥離シートＲＬ２を剥離する剥離手段２０Ａと、両面接着シートＡＳを第１剥離シートＲＬ１側から第１被着体ＷＫ１に貼付する貼付手段３０と、第１接着面ＳＡ１に仮着された仮着面ＡＰ１の反対側の面方向に折返し部ＦＰが折り返された状態の第１剥離シートＲＬ１を挟んで、両面接着シートＡＳに第２被着体ＷＫ２を押圧する押圧手段４０と、第２被着体ＷＫ２と両面接着シートＡＳとの間から第１剥離シートＲＬ１を引き抜く引抜手段５０とを備える。【選択図】図１
2015177012.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面が第１接着面とされ、他方の面が第２接着面とされた両面接着シートを介して第１被着体と第２被着体とを貼付するシート貼付装置であって、
仮着部および当該仮着部に連接した折返し部を有する第１剥離シートが前記両面接着シートの第１接着面に仮着されるとともに、帯状の第２剥離シートが前記第２接着面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反から前記第２剥離シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で前記第２剥離シートが剥離された両面接着シートを前記第１剥離シート側から前記第１被着体に押圧して貼付する貼付手段とを備え、
前記第２被着体は、前記第１接着面に仮着された仮着面の反対側の面方向に前記折返し部が折り返された状態の前記第１剥離シートを間に挟んで、前記両面接着シートに押圧され、
前記第２被着体と前記両面接着シートとの間から前記折返し部を介して前記第１剥離シートを引き抜く引抜手段を備えることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
一方の面が第１接着面とされ、他方の面が第２接着面とされた両面接着シートを介して第１被着体と第２被着体とを貼付するシート貼付装置であって、
仮着部および当該仮着部に連接した折返し部を有する第１剥離シートが前記両面接着シートの第１接着面に仮着されるとともに、帯状の第２剥離シートが前記第２接着面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反から前記第２剥離シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で前記第２剥離シートが剥離された両面接着シートを前記第１剥離シート側から前記第１被着体に押圧して貼付する貼付手段と、
前記第１接着面に仮着された仮着面の反対側の面方向に前記折返し部が折り返された状態の前記第１剥離シートを間に挟んで、前記両面接着シートに前記第２被着体を押圧する押圧手段と、
前記第２被着体と前記両面接着シートとの間から前記折返し部を介して前記第１剥離シートを引き抜く引抜手段とを備えることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
前記引抜手段は、前記第１接着面から前記第１剥離シートを部分的に剥離する部分剥離が可能に設けられ、当該部分剥離で表出した前記第１接着面の一部に前記第２被着体を押圧して貼付してから、前記第１剥離シートを引き抜く制御が可能に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記両面接着シートは、前記第１接着面における前記仮着部の仮着領域以外の領域に第３剥離シートが仮着され、
前記第１接着面から前記第３剥離シートを剥離する第２剥離手段を備えていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
一方の面が第１接着面とされ、他方の面が第２接着面とされた両面接着シートを介して第１被着体と第２被着体とを貼付するシート貼付方法であって、
仮着部および当該仮着部に連接した折返し部を有する第１剥離シートが前記両面接着シートの第１接着面に仮着されるとともに、帯状の第２剥離シートが前記第２接着面に仮着された原反を繰り出す工程と、
繰り出された原反から前記第２剥離シートを剥離する工程と、
前記第２剥離シートが剥離された両面接着シートを前記第１剥離シート側から前記第１被着体に押圧して貼付する工程と、
前記第１接着面に仮着された仮着面の反対側の面方向に前記折返し部が折り返された状態の前記第１剥離シートを間に挟んで、前記両面接着シートに前記第２被着体を押圧する工程と、
前記第２被着体と前記両面接着シートとの間から前記折返し部を介して前記第１剥離シートを引き抜く工程とを備えることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、両面接着シートを介して第１被着体と第２被着体とを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、一方の面にセパレータ（剥離シート）が仮着された両面粘着テープ（両面接着シート）をウエハ（第１被着体）に押圧して貼付する貼付けローラと、ウエハに貼付された両面粘着テープからセパレータを剥離して回収するセパレータ回収部と、両面粘着テープを挟んでウエハと対向する位置に支持基板（第２被着体）を保持可能な複数の係止爪と、支持基板をウエハに押圧する押圧部材とを備え、両面粘着テープを介してウエハと支持基板とを貼付可能に構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１７２１５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置は、第１被着体に貼付された両面接着シートから剥離シートを剥離した後に、当該両面接着シートに第２被着体を貼付するため、当該両面接着シートと第２被着体との間に塵埃が混入するリスクが大きくなるという不都合がある。
また、両面接着シートと第２被着体との間に空気が入り込まないように、第２被着体を湾曲させて接着シートに貼付するため、当該第２被着体に加わるストレスが大きくなってしまうという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、両面接着シートと第２被着体との間に塵埃が混入するリスクを低減することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
また、本発明の別の目的は、第２被着体に加わるストレスを軽減することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のシート貼付装置は、一方の面が第１接着面とされ、他方の面が第２接着面とされた両面接着シートを介して第１被着体と第２被着体とを貼付するシート貼付装置であって、仮着部および当該仮着部に連接した折返し部を有する第１剥離シートが前記両面接着シートの第１接着面に仮着されるとともに、帯状の第２剥離シートが前記第２接着面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反から前記第２剥離シートを剥離する剥離手段と、前記剥離手段で前記第２剥離シートが剥離された両面接着シートを前記第１剥離シート側から前記第１被着体に押圧して貼付する貼付手段とを備え、前記第２被着体は、前記第１接着面に仮着された仮着面の反対側の面方向に前記折返し部が折り返された状態の前記第１剥離シートを間に挟んで、前記両面接着シートに押圧され、前記第２被着体と前記両面接着シートとの間から前記折返し部を介して前記第１剥離シートを引き抜く引抜手段を備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明のシート貼付装置は、一方の面が第１接着面とされ、他方の面が第２接着面とされた両面接着シートを介して第１被着体と第２被着体とを貼付するシート貼付装置であって、仮着部および当該仮着部に連接した折返し部を有する第１剥離シートが前記両面接着シートの第１接着面に仮着されるとともに、帯状の第２剥離シートが前記第２接着面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反から前記第２剥離シートを剥離する剥離手段と、前記剥離手段で前記第２剥離シートが剥離された両面接着シートを前記第１剥離シート側から前記第１被着体に押圧して貼付する貼付手段と、前記第１接着面に仮着された仮着面の反対側の面方向に前記折返し部が折り返された状態の前記第１剥離シートを間に挟んで、前記両面接着シートに前記第２被着体を押圧する押圧手段と、前記第２被着体と前記両面接着シートとの間から前記折返し部を介して前記第１剥離シートを引き抜く引抜手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明のシート貼付装置において、前記引抜手段は、前記第１接着面から前記第１剥離シートを部分的に剥離する部分剥離が可能に設けられ、当該部分剥離で表出した前記第１接着面の一部に前記第２被着体を押圧して貼付してから、前記第１剥離シートを引き抜く制御が可能に設けられていることが好ましい。
本発明のシート貼付装置において、前記両面接着シートは、前記第１接着面における前記仮着部の仮着領域以外の領域に第３剥離シートが仮着され、前記第１接着面から前記第３剥離シートを剥離する第２剥離手段を備えていることが好ましい。
【０００９】
本発明のシート貼付方法は、一方の面が第１接着面とされ、他方の面が第２接着面とされた両面接着シートを介して第１被着体と第２被着体とを貼付するシート貼付方法であって、仮着部および当該仮着部に連接した折返し部を有する第１剥離シートが前記両面接着シートの第１接着面に仮着されるとともに、帯状の第２剥離シートが前記第２接着面に仮着された原反を繰り出す工程と、繰り出された原反から前記第２剥離シートを剥離する工程と、前記第２剥離シートが剥離された両面接着シートを前記第１剥離シート側から前記第１被着体に押圧して貼付する工程と、前記第１接着面に仮着された仮着面の反対側の面方向に前記折返し部が折り返された状態の前記第１剥離シートを間に挟んで、前記両面接着シートに前記第２被着体を押圧する工程と、前記第２被着体と前記両面接着シートとの間から前記折返し部を介して前記第１剥離シートを引き抜く工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、第１被着体に貼付した接着シートと第２被着体との間から、第１剥離シートを引き抜いて第１被着体と第２被着体とを貼付するため、両面接着シートと第２被着体との間に塵埃が混入するリスクを低減することができる。また、第２被着体が折り曲げられることを極力防止することができるので、当該第２被着体に加わるストレスを軽減することができる。
【００１１】
また、引抜手段で第１剥離シートを部分的に剥離すれば、表出した第１接着面の一部を第２被着体に貼付することができるため、第１剥離シートを引き抜く際に、第２被着体が第１被着体に対して位置ずれすることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】シート貼付装置の動作説明図。
【図３】本発明の変形例に係るシート貼付装置の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
また、本実施形態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１４】
図１において、シート貼付装置１０は、一方の面が第１接着面ＳＡ１とされ、他方の面が第２接着面ＳＡ２とされた両面接着シートＡＳを介して第１被着体ＷＫ１と第２被着体ＷＫ２とを貼付する装置であって、仮着部ＡＰおよび当該仮着部ＡＰに連接した折返し部ＦＰを有する第１剥離シートＲＬ１が両面接着シートＡＳの第１接着面ＳＡ１に仮着されるとともに、帯状の第２剥離シートＲＬ２が第２接着面ＳＡ２に仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出された原反ＲＳから第２剥離シートＲＬ２を剥離する剥離手段としての剥離板２０Ａと、剥離板２０Ａで第２剥離シートＲＬ２が剥離された両面接着シートＡＳを第１剥離シートＲＬ１側から第１被着体ＷＫ１に押圧して貼付する貼付手段としての押圧ローラ３０と、第１接着面ＳＡ１に仮着された仮着面ＡＰ１の反対側の面方向に折返し部ＦＰが折り返された状態の第１剥離シートＲＬ１を間に挟んで、両面接着シートＡＳに第２被着体ＷＫ２を押圧する押圧手段４０と、第２被着体ＷＫ２と両面接着シートＡＳとの間から折返し部ＦＰを介して第１剥離シートＲＬ１を引き抜く引抜手段５０とを備え、第１被着体ＷＫ１を支持する第１被着体支持手段６０と、第２被着体ＷＫ２を供給する第２被着体供給手段７０との近傍に配置されている。なお、折返し部ＦＰは、仮着部ＡＰに当接した状態で当該仮着部ＡＰの外縁からはみ出すはみ出し部ＰＲを備えている。
【００１５】
繰出手段２０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２４Ａによって駆動される駆動ローラ２４との間に第２剥離シートＲＬ２を挟み込むピンチローラ２５と、第２剥離シートＲＬ２を回収する回収ローラ２６とを備えている。
【００１６】
押圧手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持された直動モータ４２と、直動モータ４２の出力軸４２Ａに支持されたベースプレート４４の下面に支持されるとともに、ゴム、樹脂、またはスポンジ等の変形可能な部材で構成され、支持面４５Ａを有する支持部材４５と、クーロン力によって支持面４５Ａに両面接着シートＡＳを引き付けて保持可能な静電チャック４６とを備えている。
【００１７】
引抜手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１のスライダ５１Ａに支持され、一対の把持爪５２Ａを有する駆動機器としてのチャックシリンダ５２を備えている。
【００１８】
第１被着体支持手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１のスライダ６１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって第１被着体ＷＫ１を吸着保持可能な支持面６２Ａを有するテーブル６２とを備えている。
【００１９】
第２被着体供給手段７０は、上部開口下部閉塞型の筒状に形成され、複数の第２被着体ＷＫ２を収容可能な収容手段７１と、収容手段７１内に設けられた駆動機器としての直動モータ７２の出力軸７２Ａに支持され、第２被着体ＷＫ２を載置可能なテーブル７３と、最上部に位置する第２被着体ＷＫ２の上面を検知する光学センサや接触センサ等のセンサあるいはカメラ等の撮像手段からなる検知手段７４とを備えている。
【００２０】
以上のシート貼付装置１０において、両面接着シートＡＳを介して第１被着体ＷＫ１と第２被着体ＷＫ２とを貼付する手順を説明する。
先ず、作業者が原反ＲＳを図１中実線で示すようにセットし、複数の第２被着体ＷＫ２をテーブル７３上に重ねて収容した後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、繰出手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出す。そして、剥離板２０Ａ上に位置する両面接着シートＡＳが所定位置に到達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、繰出手段２０が回動モータ２４Ａの駆動を停止し、当該繰出手段２０がスタンバイ状態となる。次いで、第２被着体供給手段７０が直動モータ７２を駆動し、テーブル７３を昇降させ、最上部に位置する第２被着体ＷＫ２の上面が検知手段７４に検知されると、直動モータ７２の駆動を停止する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段により、図１中実線で示す初期位置にあるテーブル６２上に第１被着体ＷＫ１を載置すると、第１被着体支持手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、当該第１被着体ＷＫ１を吸着保持した後、リニアモータ６１を駆動し、テーブル６２を左方向に移動させる。
【００２１】
そして、第１被着体ＷＫ１が剥離板２０Ａの下方の所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０がテーブル６２の移動に同期して回動モータ２４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出す。これにより、剥離板２０Ａで両面接着シートＡＳから第２剥離シートＲＬ２を剥離し、図１中符号ＡＡを付した二点鎖線で示すように、当該両面接着シートＡＳを第１剥離シートＲＬ１側から押圧ローラ３０で第１被着体ＷＫ１に押圧して貼付する。そして、次の両面接着シートＡＳが剥離板２０Ａ上の所定位置で図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０が回動モータ２４Ａの駆動を停止し、当該繰出手段２０が再びスタンバイ状態となる。次いで、第２接着面ＳＡ２全面が貼付された第１被着体ＷＫ１を載置したテーブル６２が、図１符号ＢＢを付した二点鎖線で示す所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、第１被着体支持手段６０がリニアモータ６１の駆動を停止する。
【００２２】
次に、押圧手段４０が直動モータ４２および静電チャック４６を駆動し、図１中実線で示す初期位置にある支持部材４５を下降させ、支持面４５Ａで第２被着体ＷＫ２を保持した後、当該支持部材４５を初期位置に復帰させる。その後、第２被着体供給手段７０が直動モータ７２を駆動し、テーブル７３を上昇させて、最上部に位置する次の第２被着体ＷＫ２の上面が検知手段７４に検知されると、直動モータ７２の駆動を停止する。
【００２３】
次に、押圧手段４０がリニアモータ４１を駆動し、初期位置にある支持部材４５を右方向に移動させ、当該支持部材４５が図１中符号ＢＢを付した二点鎖線で示す位置で停止しているテーブル６２の上方の所定位置に到達すると、リニアモータ４１の駆動を停止する。次いで、押圧手段４０が直動モータ４２を駆動し、支持部材４５を下降させることで、第１接着面ＳＡ１に仮着された仮着面ＡＰ１の反対側の面方向に折返し部ＦＰが折り返された状態の第１剥離シートＲＬ１を間に挟んで、両面接着シートＡＳに第２被着体ＷＫ２を押圧する。次に、引抜手段５０がリニアモータ５１を駆動し、図１中テーブル６２よりも後方の初期位置にあるチャックシリンダ５２を前方に移動させて、一対の把持爪５２Ａの間にはみ出し部ＰＲを位置させた後、チャックシリンダ５２を駆動し、把持爪５２Ａではみ出し部ＰＲを把持する。そして、押圧手段４０および第１被着体支持手段６０がリニアモータ４１、６１を同期させて駆動し、支持部材４５およびテーブル６２を左方向に移動させ、図２（Ａ）に示すように、第２被着体ＷＫ２と両面接着シートＡＳとの間から折返し部ＦＰを介して第１剥離シートＲＬ１を引き抜く。次いで、支持部材４５およびテーブル６２が図１符号ＣＣを付した二点鎖線で示す所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、押圧手段４０および第１被着体支持手段６０がリニアモータ４１、６１の駆動を停止する。これにより、図２（Ｂ）に示すように、第１接着面ＳＡ１全体が第２被着体ＷＫ２に押圧されて貼付される。
【００２４】
次に、引抜手段５０がリニアモータ５１を駆動し、チャックシリンダ５２を初期位置に復帰させた後、チャックシリンダ５２を駆動し、一対の把持爪５２Ａを互いに離間させ、チャックシリンダ５２の初期位置の下方に位置する図示しない第１剥離シート回収手段内に、第１剥離シートＲＬ１を落下させて収容する。そして、押圧手段４０が静電チャック４６の駆動を停止した後、直動モータ４２およびリニアモータ４１を駆動し、支持部材４５を初期位置に復帰させる。そして、第１被着体支持手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止した後、人手または図示しない搬送手段が第２被着体ＷＫ２が貼付された第１被着体ＷＫ１を次工程に搬送し、テーブル６２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２５】
以上のような実施形態によれば、第１被着体ＷＫ１に貼付した両面接着シートＡＳと第２被着体ＷＫ２との間から、第１剥離シートＲＬ１を引き抜いて第１被着体ＷＫ１と第２被着体ＷＫ２とを貼付するため、両面接着シートＡＳと第２被着体ＷＫ２との間に塵埃が混入するリスクを低減することができる。また、第２被着体ＷＫ２が折り曲げられることを極力防止することができるので、当該第２被着体ＷＫ２に加わるストレスを軽減することができる。
【００２６】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２７】
例えば、繰出手段２０は、図３に示すように、第１接着面ＳＡ１における仮着部ＡＰの仮着領域以外の領域に第３剥離シートＲＬ３が仮着された原反ＲＳを繰り出してもよい。この場合、シート貼付装置１０は、第１接着面ＳＡ１から第３剥離シートＲＬ３を剥離する第２剥離手段８０を備え、第２剥離手段８０で第３剥離シートＲＬ３を剥離してから、繰出手段２０で原反ＲＳを繰り出せばよい。ここで、図３に示す第２剥離手段８０は、駆動機器としての直動モータ８１と、直動モータ８１の出力軸８１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に接続された吸着パッド８２とを備えている。
【００２８】
さらに、貼付手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
また、押圧手段４０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって、支持面４５Ａに第２被着体ＷＫ２を引き付けて保持するように構成してもよいし、メカチャックで第２被着体ＷＫ２を保持するように構成してもよい。
さらに、押圧手段４０は、エア噴き付けにより第２被着体ＷＫ２を両面接着シートＡＳに押圧する構成を採用してもよいし、ベースプレート４４を介さずに支持部材４５を支持してもよい。
また、押圧手段４０を設けずに、人手で第２被着体ＷＫ２を押圧するようにしてもよい。
【００２９】
さらに、引抜手段５０は、第１接着面ＳＡ１から第１剥離シートＲＬ１を部分的に剥離する部分剥離が可能に設けられ、当該部分剥離で表出した第１接着面ＳＡ１の一部に押圧手段４０または人手で第２被着体ＷＫ２を押圧して貼付してから、第１剥離シートＲＬ１を引き抜く制御が可能に構成されてもよい。この場合、押圧手段４０または人手で第２被着体ＷＫ２を両面接着シートＡＳに押圧する前の段階で、押圧手段４０および第１被着体支持手段６０がリニアモータ４１、６１を駆動し、第１接着面ＳＡ１の一部を表出させればよい。
また、引抜手段５０は、折返し部ＦＰに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを引っ張って、第１剥離シートＲＬ１を引き抜いたり、メカチャックで折返し部ＦＰを保持し、当該メカチャックを引っ張って、第１剥離シートＲＬ１を引き抜いたりする構成としてもよい。なお、折返し部ＦＰは、仮着部ＡＰに当接した状態で当該仮着部ＡＰの外縁からはみ出していなくてもよい。すなわち、はみ出し部ＰＲはなくてもよい。
さらに、前記実施形態では、押圧手段４０および第１被着体支持手段６０がリニアモータ４１、６１を駆動し、引抜手段５０と、支持部材４５およびテーブル６２とを移動させて第１剥離シートＲＬ１を引き抜いたが、支持部材４５およびテーブル６２を停止させておいたり、それらを移動させたりしながら引抜手段５０をそれらから離間するように移動させて第１剥離シートＲＬ１を引き抜いてもよい。
また、他の装置で第１被着体ＷＫ１を移動させる場合、第１被着体支持手段６０は不要である。
【００３０】
また、第３剥離シートＲＬ３は、第１剥離シートＲＬ１と同様に、仮着部および当該仮着部に連接した折返し部を有し、前記仮着部の仮着面が前記接着面に仮着されるとともに、前記折返し部が仮着面の反対側の面方向に折り返されたものでもよい。この場合、第３剥離シートＲＬ３が仮着された両面接着シートＡＳに押圧手段４０により第２被着体ＷＫ２を押圧した状態で、引抜手段５０と同様の構成の図示しない第２引抜手段により第３剥離シートＲＬ３を引き抜く構成としてもよい。
【００３１】
さらに、第１および第３剥離シートＲＬ１、ＲＬ３は、分割剥離が可能なように複数で構成してもよい。この場合、引抜手段５０や図示しない第２引抜手段は、第１および第３剥離シートＲＬ１、ＲＬ３の数と同じ数設けてもよいし、１の引抜手段５０や１の第２引抜手段で複数回に分けて第１および第３剥離シートＲＬ１、ＲＬ３を引き抜いてもよい。
【００３２】
また、仮着部ＡＰや折返し部ＦＰの外形は、両面接着シートＡＳの外形に沿う形状でもよいし、沿わない形状でもよい。
さらに、押圧手段４０によって第２被着体ＷＫ２を両面接着シートＡＳに押圧する直前に、折返し部ＦＰが仮着部ＡＰから離れてしまうことを防止する図示しない折返し維持手段を設けてもよい。このような折返し維持手段は、空気を吹き付けたり、シャフト部材で押圧したりして、折返し部ＦＰを仮着部ＡＰ方向に付勢する構成のものや、吸引やクーロン力によってはみ出し部ＰＲを仮着部ＡＰ方向に付勢する構成のものが例示できる。
また、第１剥離シートＲＬ１を間に挟んで、両面接着シートＡＳに第２被着体ＷＫ２を押圧する直前に、折返し部ＦＰが仮着面ＡＰ１の反対側の面方向に折り返された状態を形成する折り曲げ手段を設けてもよい。
【００３３】
また、本発明における両面接着シートＡＳおよび各被着体ＷＫ１、ＷＫ２の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、両面接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の両面接着シートＡＳが採用された場合は、当該両面接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような両面接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のものや、単層又は複層の中間層を有するもの、中間層のない複層のものであってよい。また、各被着体ＷＫ１、ＷＫ２としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、両面接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３４】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、仮着部および当該仮着部に連接した折返し部を有する第１剥離シートが両面接着シートの第１接着面に仮着されるとともに、帯状の第２剥離シートが第２接着面に仮着された原反を繰り出し可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３５】
１０      シート貼付装置
２０      繰出手段
２０Ａ    剥離板（剥離手段）
３０      押圧ローラ（貼付手段）
４０      押圧手段
５０      引抜手段
８０      第２剥離手段
ＡＰ      仮着部
ＡＰ１    仮着面
ＡＳ      両面接着シート
ＦＰ      折返し部
ＲＬ１    第１剥離シート
ＲＬ２    第２剥離シート
ＲＳ      原反
ＳＡ１    第１接着面
ＳＡ２    第２接着面
ＷＫ１    第１被着体
ＷＫ２    第２被着体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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