(57)【要約】      （修正有）【課題】インクの塗布領域のサイズが大きくなっても、高精度の印刷を実現できるインクジェットヘッドおよびインクジェット装置を提供する。【解決手段】インクジェットヘッドは、複数のノズルヘッド４１と、複数のノズルヘッドを並列させて保持するベースプレート４２とを具備する。ベースプレートは、各々がスリット状で、且つ、複数のノズルヘッドがそれぞれ挿入される複数の第１貫通孔４２ａを有し、複数のノズルヘッドの各々は、ノズル面の反対側から鉤状に延在してベースプレートに固定される複数のフック部材５０を有し、複数のフック部材を介してベースプレートに固定されている、構成を採る。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルヘッドと、前記複数のノズルヘッドを並列させて保持するベースプレートと、を具備し、
前記ベースプレートは、各々がスリット状で、且つ、前記複数のノズルヘッドがそれぞれ挿入される複数の第１貫通孔を有し、
前記複数のノズルヘッドの各々は、
ノズル面の反対側からＬ字状に延在して前記ベースプレートに固定される複数のフック部材を有し、
前記複数のフック部材を介して前記ベースプレートに固定されている、
インクジェットヘッド。
【請求項２】
前記フック部材は、バネ性を有する、請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記フック部材と前記ベースプレートとの固定部に緩衝作用を与える緩衝部材を更に具備する、請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記第１貫通孔の短手方向の幅は、前記フック部材の前記短手方向の幅より大きい、請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記ベースプレートは、
前記複数の第１貫通孔にそれぞれ隣接した複数の第２貫通孔を有し、
前記複数のフック部材のうち少なくとも１個のフック部材が、前記第２貫通孔を通って前記ベースプレートに固定されている、
請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記ベースプレートにおける前記複数のノズルヘッドが並ぶ方向の両端は、前記第１貫通孔の長手方向に平行な面から構成されている、請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記複数の第１貫通孔のうち、前記複数のノズルヘッドが並ぶ方向の両端の第１貫通孔は、前記複数のノズルヘッドが並ぶ方向の一端側が開放されている、請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項１記載のインクジェットヘッドを有するインクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドおよびインクジェット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェット装置を電子デバイスの製造工程に使用することが注目されている。インクジェット装置を用いることで、デバイスの基板等に、機能材料を含むインクを微細なパターンで塗布することができる。
【０００３】
従来のインクジェット装置には、図１に示すようなインクジェットヘッド２０４と、インクを塗布する対象をインクジェットヘッドのノズル面に沿って搬送する搬送装置とを備えるものがある（例えば、特許文献１を参照）。
【０００４】
インクジェットヘッド２０４は、図１に示すように、複数のノズルヘッド２４１、これらを保持するベースプレート２４２、分配タンク２０６、支持母材であるフレーム２４２ｂ、コネクタ２４６ａを有する中継基板２４６、および、カプラユニット２４７等を備えている。図２は、複数のノズルヘッド２４１（図２では１つのみを示す）とベースプレート２４２とを示す。
【０００５】
図２に示すように、ベースプレート２４２には、複数のノズルヘッド２４１が並列して配置される開口部２４２ａが設けられ、開口部２４２ａは、複数のノズルヘッド２４１か並ぶ方向に広がって形成されている。各ノズルヘッド２４１には、複数のノズル２４４が配設されたノズルプレート２４３が設けられている。
【０００６】
このような構成によれば、複数のノズルヘッド２４１が並列することで、ノズル２４４の並びを長くすることができる。これにより、比較的に大きな塗布領域１４４を有する基板１０１であっても、一度の搬送でインクを塗布することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第４５０４７３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記従来の構成では、ベースプレートに大きな開口部が設けられることになるため、ベースプレートの剛性確保が困難となる。ベースプレートの剛性低下により、複数のノズルヘッドの取付精度の低下、又は、ノズルヘッド動作時におけるベースプレート振動の増大を招き、これらによって印刷精度が劣化するという課題が発生する。
【０００９】
また、このような課題は、塗布領域のサイズの増大に伴ってベースプレートを長くするほど、顕著になる。
【００１０】
本発明は、インクの塗布領域のサイズが大きくなっても、高精度の印刷を実現できるインクジェットヘッドおよびインクジェット装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様に係るインクジェットヘッドは、複数のノズルヘッドと、前記複数のノズルヘッドを並列させて保持するベースプレートと、を具備し、前記ベースプレートは、各々がスリット状で、且つ、前記複数のノズルヘッドがそれぞれ配置される複数の第１貫通孔を有し、前記複数のノズルヘッドの各々は、ノズル面の反対側からＬ字状に延在して前記ベースプレートに固定される複数のフック部材を有し、前記複数のフック部材を介して前記ベースプレートに固定されている、構成を採る。
【００１２】
本発明の一態様に係るインクジェット装置は、上記インクジェットヘッドを有する構成を採る。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ベースプレートに取り付けられるノズルヘッドの数を多くして、塗布領域のサイズを大きくしても、高精度の印刷を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】従来のインクジェットヘッドの一例を示す斜視図
【図２】従来のインクジェットヘッドにおけるノズルヘッドとベースプレートとを示す斜視図
【図３】本発明の実施の形態１のインクジェット装置を示すもので、（ａ）は印刷動作前の状態の模式図、（ｂ）は印刷動作後の状態の模式図
【図４】ノズルヘッドの構造を説明する模式図
【図５】実施の形態１におけるインクジェットヘッドを示す斜視図
【図６】実施の形態１におけるベースプレートおよびノズルヘッドを示す斜視図
【図７】実施の形態１におけるノズルヘッドの固定構造を示す断面図
【図８】実施の形態２におけるベースプレートおよびノズルヘッドを示す斜視図
【図９】実施の形態２におけるノズルヘッドの固定構造を示す断面図
【図１０】実施の形態３におけるベースプレートおよびノズルヘッドを示す斜視図
【図１１】実施の形態４におけるベースプレートおよびノズルヘッドを示す斜視図
【図１２】実施の形態４におけるインクジェットヘッドを示す斜視図
【図１３】実施の形態４における拡張したインクジェットヘッドを示す斜視図
【図１４】実施の形態４におけるベースプレートを示す斜視図
【図１５】実施の形態５におけるベースプレートの振動シミュレーション図
【図１６】実施の形態５におけるノズルヘッドの固定構造を示す断面図
【図１７】本発明の実施の形態６における動吸振器モデルを表す図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の各実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】
（実施の形態１）
図３は、本発明の実施の形態１のインクジェット装置の概観平面図である。
【００１７】
図３（ａ）に示すように、実施の形態１のインクジェット装置は、架台１４１、基板搬送ステージ１４２を有する搬送装置、門型ガントリー１４３、および、インクジェットヘッド４を備えている。
【００１８】
搬送装置は、基板１０１を載せた基板搬送ステージ１４２を、図３（ａ）の位置から、図３（ｂ）の位置まで移動させる。
【００１９】
インクジェットヘッド４は、基板搬送ステージ１４２の移動と同期してインクを吐出する。インクジェットヘッド４は、ラインヘッドとも呼ぶことができる。
【００２０】
これらの動作により、基板１０１の塗布領域１４４にインクが塗布される。
【００２１】
図４は、インクジェットヘッドのノズルヘッドの構造を説明する模式図である。
【００２２】
詳細は後述するが、インクジェットヘッド４は、複数のノズルヘッド４１を有する。
【００２３】
ノズルヘッド４１は、図４に示すように、インクを吐出する複数のノズル１００、ノズル１００に連通するインク室１１０、複数のノズル１００それぞれに対応するインク室１１０を構成する隔壁１１１、インク室１１０の一部をなすダイアフラム１１２、ダイアフラム１１２を振動させる複数の圧電素子１３０、隔壁１１１を支える圧電部材１４０、および、圧電素子１３０に電圧を印加する共通電極（図示せず）を有する。
【００２４】
圧電素子１３０とダイアフラム１１２とは、熱硬化性の樹脂により接着されている。圧電素子１３０に電圧を印加すると、圧電素子１３０は、図４に示す伸び量δだけ伸長する。圧電素子１３０が伸張すると、インク室１１０内のインクに圧力を加えることができる。インクは、この圧力によりノズル１００から吐出される。
【００２５】
ノズルヘッド４１において、複数のノズル１００は、ノズルプレート（図２の符号２４３）に、千鳥配列されている。
【００２６】
なお、ノズルヘッド４１におけるインクの吐出方式、および、ノズル１００の配列の仕方は、上記の具体例に限られず、様々なものを適用することができる。
【００２７】
図５は、本発明の実施の形態１におけるインクジェットヘッド４の全体の斜視図である。図６は、本発明の実施の形態１におけるインクジェットヘッド４のノズルヘッドとベースプレートの斜視図である。
【００２８】
インクジェットヘッド４は、複数の中継基板２４６と、カプラユニット２４７と、複数の分配タンク２０６と、これらの支持母材であるフレーム２４２ｂと、ベースプレート４２と、複数のノズルヘッド４１（図６を参照、図６では代表の１個のみを示す）とを備えている。
【００２９】
中継基板２４６は、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）を介してノズルヘッド４１に接続されている。ノズルヘッド４１の圧電アクチュエータは、中継基板２４６に設けられたコネクタ２４６ａを介して入力される信号により電気的に駆動される。
【００３０】
カプラユニット２４７は、複数のカプラ２４７ａを有している。複数のカプラ２４７ａには、インク供給用、インク供給系からのエア排出用、インク供給系へのエア供給用のカプラが含まれる。インクは、図示されていないメインタンクから、カプラ２４７ａ、カプラユニット２４７、分配タンク２０６、および配管を介して各ノズルヘッド４１に供給されることになる。
【００３１】
ベースプレート４２は、一方に長い板状の部材であり、その中央の領域に複数の貫通孔４２ａが形成されている。
【００３２】
複数の貫通孔４２ａは、各々が一方に長いスリット状であり、ベースプレート４２の長手方向に並列している。各貫通孔４２ａは、その長手方向が、複数の貫通孔４２ａの並列方向に対して斜めになるように形成されている。複数の貫通孔４２ａにはそれぞれ、１個のノズルヘッド４１が挿入される。
【００３３】
ノズルヘッド４１は、直方体形状をしており、貫通孔４２ａにそれぞれ一部が挿入されて固定される。図６では、ノズルヘッド４１を１つのみ図示しているが、ベースプレート４２にはその長手方向に沿って複数のノズルヘッド４１が並列して配置される。各ノズルヘッド４１の長手方向は、ベースプレート２４２の板面に垂直な方向から見て、ベースプレート２４２の長手方向に対して傾いて固定される。
【００３４】
図７は、本発明の実施の形態１におけるインクジェットヘッドのノズルヘッドとベースプレートとの要部断面図である。
【００３５】
図７に示すように、ノズルヘッド４１は、ヘッド本体４１Ａと、電気信号を入力する基板４１Ｂと、固定用の複数のフック部材５０とを有している。
【００３６】
ヘッド本体４１Ａは、内部に図４のインク吐出構造を有し、一方（図７の下方）に複数のノズル孔が露出されたノズル面を有する。ヘッド本体４１Ａのノズル面の反対側にはインクを導入する入力ポート４１ｂが設けられている。
【００３７】
基板４１Ｂは、コネクタ４１ａを有し、中継基板２４６を介してコネクタ４１ａから入力された信号を、ヘッド本体４１Ａの圧電素子に出力する。
【００３８】
フック部材５０は、鉤状の形状を有し、一端がヘッド本体４１Ａのノズル面の反対側に締結され（固着または一体成型による連結でもよい）、他端がベースプレート４２に固定される。フック部材５０は、少なくともノズルヘッド４１の長手方向の両側に１つずつ設けられている。フック部材５０の幅（複数のノズルヘッド４１の並列方向の幅）は、貫通孔４２ａの短手方向の幅よりも小さい。ここで、鉤状の形状とは、１例として、Ｌ字形状である。ただし、Ｌ字の曲がるところは、９０度でなくともよい。
【００３９】
上記の構成により、ノズルヘッド４１は、ベースプレート４２のスリット状の貫通孔４２ａに、一部が通されて配置され、フック部材５０を介してベースプレート４２に固定される。フック部材５０の一端は、ノズル面と反対側のベースプレート４２の背面に固定される。
【００４０】
以上のように、実施の形態１のインクジェットヘッド４によれば、複数のノズルヘッド４１が配列および設置されるベースプレート４２には、１つのノズルヘッド４１が、１つのスリット状の貫通孔４２ａに挿入されている。これにより、従来の大きな開口部２４２ａ（図２を参照）を有するベースプレートと比較して、ベースプレート４２に高い一定の剛性を確保することができる。そして、この剛性により、ヘッド駆動中におけるベースプレート４２の振動を低減することができる。さらに、ノズルヘッド４１は、フック部材５０を介して個別にベースプレート４２に固定されるので、ノズルヘッド４１の位置を個別に微調整することができ、ノズルヘッド４１の取付精度を向上できる。これらの結果、高精度の印刷が実現される。
【００４１】
（実施の形態２）
図８は、本発明の実施の形態２におけるインクジェットヘッド４のノズルヘッド４１とベースプレート４２の斜視図である。図９は、本発明の実施の形態２におけるインクジェットヘッド４のノズルヘッド４１とベースプレート４２の要部断面図である。
【００４２】
実施の形態２のインクジェットヘッド４は、ノズルヘッド４１の固定構造が異なるだけで、その他の構成要素は実施の形態１とほぼ同様である。実施の形態１と同様の構成要素については詳細な説明を省略する。
【００４３】
実施の形態２のベースプレート４２には、図８に示すように、複数の貫通孔４２ｂと、複数の貫通孔４２ｃとを有する。一方の貫通孔４２ｂは一方に長いスリット形状であり、他方の貫通孔４２ｃは貫通孔４２ｂと比較して短い。１つのノズルヘッド４１を固定するために、１つの貫通孔４２ｂと、１つの貫通孔４２ｃとを用いる。貫通孔４２ｂ，４２ｃの幅は、ノズルヘッド４１の並列方向の幅寸とほぼ同一である。１つのスリット状の貫通孔を２つに分割して、１つの貫通孔４２ｂと１つの貫通孔４２ｃとにした構成と見なすこともできる。
【００４４】
上記の構成により、ノズルヘッド４１は、主要部の一部が長い貫通孔４２ｂに挿入され、１つのフック部材５０が短い貫通孔４２ｃに通され、複数のフック部材５０を介してベースプレート４２に固定される。２つのフック部材５０の各一端は、ノズル面と反対側のベースプレート４２の背面に固定される。
【００４５】
以上のように、実施の形態２のインクジェットヘッド４によれば、ベースプレート４２に複数のノズルヘッド４１が配列および配置され、ノズルヘッド４１はそれぞれ、１組のスリット状の貫通孔４２ｂ，４２ｃによって固定される。さらに、実施の形態１の貫通孔４２ａと比較して、貫通孔４２ｂ，４２ｃの各々の長さを短くできる。これにより、ベースプレート４２の剛性を比較的高くすることができ、複数のノズルヘッド４１の取付精度を高め、かつ、ノズル駆動時におけるベースプレート４２の振動の低減を図ることができる。この結果、より高精度の印刷が実現される。
【００４６】
（実施の形態３）
図１０は、本発明の実施の形態３におけるインクジェットヘッドのノズルヘッド４１とベースプレート４２の斜視図である。
【００４７】
実施の形態３のインクジェットヘッド４は、ベースプレート４２の形状が異なるだけで、他の構成要素は、実施の形態２とほぼ同様である。実施の形態２と同様の構成要素については詳細な説明を省略する。
【００４８】
実施の形態３のベースプレート４２は、複数のノズルヘッド４１の並列方向の両方の端面４２ｆが、ノズルヘッド４１の長手方向（ベースプレート４２の板面に垂直に見たときの長手方向）とほぼ平行に構成されている。
【００４９】
つまり、ベースプレート４２の長手方向の両側の外形線（凹みが有る場合には凹みを無視した外形線）が、ノズルヘッド４１の上記長手方向と互いに平行である。
【００５０】
このような構成により、複数のノズルヘッド４１の並列方向に沿って、複数のインクジェットヘッド４を設置することで、並立した２個のインクジェットヘッド４の間で、ベースプレート４２同士が干渉しない。貫通孔４２ｂと４２ｃを、ベースプレート４２の長手方向の両端又は両端近傍にまで設けることで、複数のインクジェットヘッド４を並立させても、ノズルヘッド４１の配置間隔を均一にすることができる。これにより、インクの吐出ピッチが均一で、且つ、インクの吐出領域の長いインクジェット装置を実現することができる。
【００５１】
以上のように、実施の形態３のインクジェットヘッド４によれば、複数のインクジェットヘッド４を並立させることで、インクの塗布対象である基板、および、その塗布領域のサイズが大きくなった場合でも、インクジェットヘッド４の吐出領域を大きくすることができる。
【００５２】
また、複数の貫通孔４２ｂ，４２ｃが個別に設けられているので、ベースプレート４２の長手方向の端部にまで貫通孔４２ｂ，４２ｃを設けても、ベースプレート４２の剛性が大きく低下することがない。よって、ノズルヘッド４１の取付精度の確保、および、ベースプレート４２の振動低減を図ることができ、高精度印刷を実現できる。
【００５３】
（実施の形態４）
図１１は、本発明の実施の形態４におけるインクジェットヘッドのノズルヘッド４１とベースプレート４２の斜視図である。図１２は、本発明の実施の形態４におけるインクジェットヘッド全体の斜視図である。図１３は、本発明の実施の形態４におけるインクジェットヘッドを並立構成した斜視図である。図１４は、本発明の実施の形態４におけるインクジェットヘッドのベースプレート４２を、その長手方向に沿って並立した斜視図である。
【００５４】
実施の形態４のインクジェットヘッド４は、ベースプレート４２の形状とインクジェットヘッド４の構成要素の一部配置が異なるだけで、他の構成要素は、実施の形態３とほぼ同様である。実施の形態３と同様の構成要素については詳細な説明を省略する。
【００５５】
実施の形態４では、ベースプレート４２の長手方向の少なくとも一方の端部の貫通孔４２ｂ−２、４２ｃ−２が、端部側が開放されている。つまり、貫通孔４２ｂ−２および４２ｃ−２は、ベースプレート４２の長手方向の両端面に形成された凹みとして構成されている。貫通孔４２ｂ−２および４２ｃ−２は、ノズルヘッド４１が設置されたときに、ノズルヘッド４１がベースプレート４２の長手方向の端から少しはみ出る幅を有する。はみ出ることで、隣に設置されるベースプレート４２同士が接触しない。結果、位置精度よくベースプレート４２が配置される。ベースプレート４２同士の干渉がない。
【００５６】
図１２に示すように、実施の形態４のインクジェットヘッド４は、ベースプレート４２の長手方向に構成部材が飛び出さないように、カプラユニット２４７は前面側に配置されている。
【００５７】
図１３に示すように、実施の形態４の構成によれば、複数のインクジェットヘッド４を並立して配置することができる。インクジェットヘッド４の全ての構成要素は、並立した２つのインクジェットヘッド４同士で干渉しないように配置されている。これにより、複数のインクジェットヘッド４を並立させても、ノズルヘッド４１の取り付けピッチを均一にすることができる。
【００５８】
なお、図１４に示すように、ベースプレート４２の長手方向の端面には、一方が開放された貫通孔４２ｂ−１，４２ｃ−１が形成されており、１つのベースプレート４２の貫通孔４２ｂ−１と、他のベースプレート４２の貫通孔４２ｃ−１とで、１つのノズルヘッド４１を固定してもよい。この場合には、端部の貫通孔４２ｂ−１，４２ｃ−１の幅を、内部の貫通孔４２ｂ，４２ｃの半分以下とすることが好ましい。
【００５９】
以上のように、実施の形態４のインクジェットヘッド４によれば、実施の形態２および実施の形態３と同様にベースプレート４２の剛性を確保することができる。よって、同様に高精度の印刷が行える。
【００６０】
また、実施の形態４のインクジェットヘッド４によれば、各構成要素が、ベースプレート４２の長手方向の端からはみ出さないように配置されているので、複数のインクジェットヘッド４を隣接させて並立させることができる。これにより、ノズルピッチが均一でインクの塗布領域が長いインクジェット装置を実現できる。
【００６１】
（実施の形態５）
図１５は、本発明の実施の形態５におけるインクジェットヘッドのベースプレート４２の振動状態を示すシミュレーション図である。図１５のシミュレーション図は、ベースプレート４２の１次の固有振動モードのシミュレーション計算の結果であり、ベースプレート４２の短手方向の両端を支持する梁の1次の曲げ振動モードを示している。図１６は、本発明の実施の形態５におけるインクジェットヘッドのノズルヘッド４１とベースプレート４２の要部断面図である。
【００６２】
実施の形態５のインクジェットヘッド４は、ノズルヘッド４１とベースプレート４２との固定構造が異なり、他の構成要素については実施の形態４とほぼ同様である。実施の形態４と同様の構成要素については詳細な説明を省略する。
【００６３】
図１５に示すように、ベースプレート４２は基本的に薄板形状であり、印刷精度に最も悪影響をおよぼす周波数の一番低い振幅の大きな固有振動モードは、ベースプレート４２板面に垂直方向の振動になることを示している。本発明の実施の形態５では、印刷精度に最も悪影響をおよぼすベースプレート４２の板面に垂直方向の固有振動モードの振動を大幅に低減することを目的とする。
【００６４】
実施の形態５では、図１６に示すように、ベースプレート４２のスリット状の貫通孔４２ｂ，４２ｃ毎に、ノズル面と反対側のベースプレート４２の背面で、ノズルヘッド４１とベースプレート４２とがフック部材５０を介して固定される。この固定の態様は、実施の形態１〜４と同様である。
【００６５】
さらに、実施の形態５のインクジェットヘッド４は、図１６に示すように、フック部材５０を固定するために、固定ボルト５１と、緩衝部材５２とを有する。
【００６６】
固定ボルト５１は、フック部材５０をベースプレート４２に押圧固定する。
【００６７】
緩衝部材５２は、衝撃または振動を吸収する作用を有する材料からなり、フック部材５０とベースプレート４２との固定部に緩衝作用を及ぼす。緩衝部材５２は、例えば、固定ボルト５１の頭部首下側端面とフック部材５０との間に設置される。
【００６８】
フック部材５０は、鉤状の形状により幾分かのバネ性を有している。
【００６９】
以上のように、実施の形態５のインクジェットヘッド４によれば、ベースプレート４２には、バネ要素としてのフック部材５０と減衰要素としての緩衝部材５２を介して、質量要素のノズルヘッド４１が設置されることになる。よって、ベースプレート４２の１次曲げ固有角周波数における振動に対して、ノズルヘッド４１が反共振する構成をとることができる。これにより、ベースプレート４２の１次曲げ固有角周波数における振動ひいてはノズルヘッド４１の振動を大幅に低減でき、高精度の印刷を実現できる。
【００７０】
なお、実施の形態５の緩衝作用を与える構成は、実施の形態１〜４に対しても適用可能である。
【００７１】
（実施の形態６）
図１７は、実施の形態６のインクジェットヘッド４における動吸振器の力学モデルを表す図である。
【００７２】
実施の形態６のインクジェットヘッド４は、ノズルヘッド４１の重量ｍ２、フック部材５０のバネ特性ｋ２、および、緩衝部材５２の減衰係数ｃ２について、最適化を図った点でのみ異なり、他の構成は実施の形態５と同様である。異なる構成についてのみ詳細な説明を行う。
【００７３】
実施の形態６では、ベースプレート４２の１次曲げ固有角周波数における振動に対して、ノズルヘッド４１、フック部材５０、および、緩衝部材５２からなる振動系が、最も効果的に反共振し、より大きな振動減衰効果が得られるように最適化されている。
【００７４】
つまり、ベースプレート４２の板面に垂直な方向（以下、上下方向と呼ぶ）のフック部材５０のバネ定数およびノズルヘッド４１の質量から求められる上下方向の固有角周波数が、ベースプレート４２の１次の曲げ固有角周波数近傍に設定されている。さらに、緩衝部材５２は、減衰要素として、ベースプレート４２の１次の曲げ固有角周波数における振動を減衰させるように設定されている。以下に、その具体的な方法を説明する。
【００７５】
図１７は動吸振器の力学モデルを表す図であり、ベースプレート４２を制御対象とした場合に、ノズルヘッド４１を質量ｍ２とし、フック部材５０のバネ定数をｋ２とし、緩衝部材５２の減衰係数をｃ２とした振動系を動吸振器としたモデルを示している。
【００７６】
まず、ベースプレート４２の１次の曲げ固有角周波数ω１は、ベースプレート４２の材料や形状が決定されれば、有限要素法を用いた数値計算により求めることができる。ノズルヘッド４１を質量ｍ２とし、フック部材５０のバネ定数をｋ２とした振動系の１次固有角周波数ω２は、次式（１）で求められる。
ω２＝（ｋ２／ｍ２）１／２                    ・・・（１）
【００７７】
また、ベースプレート４２の質量をｍ１、複数のノズルヘッド４１の質量の総和をｍ２とし、
μ＝ｍ２／ｍ１                                ・・・（２）
ζａ＝ｃ２／（２ ｍ２ ω２）                  ・・・（３）
ζａ：減衰比
ｃ２：緩衝部材５２の減衰係数
とする。
【００７８】
この場合、動吸振器の定点理論から、次式（４），（５）となるように、上記振動系の１次固有角周波数ω２と緩衝部材５２の減衰比ζａとを決定することができる。
ω２／ω１＝１／（１＋μ）                  ・・・（４）
ζａ＝（３μ／（８（１＋μ）））１／２        ・・・（５）
【００７９】
実施の形態６の緩衝部材５２およびフック部材５０は、上記の関係式（４）、（５）を満たすように設定にされている。
【００８０】
以上のように、実施の形態６のインクジェットヘッド４によれば、ベースプレート４２の１次の曲げ固有角周波数に対して、ノズルヘッド４１とフック部材５０と緩衝部材５２とからなる振動系を動吸振器として機能させることができる。さらに、緩衝部材５２を介してのベースプレート４２との反共振を最も効果的に実現して、より大きな振動減衰効果を得ることができる。したがって、ベースプレート４２の１次曲げ固有角周波数における振動ひいてはノズルヘッド４１の振動を大幅に低減でき、高精度の印刷を実現できる。
【００８１】
なお、実施の形態６の力学モデルは、実施の形態１〜５のいずれのインクジェットヘッドにも適用可能である。
【００８２】
以上、本発明の各実施の形態について説明した。
【００８３】
なお、上記実施の形態では、インクジェット装置として、インクジェットヘッド４の配置が固定され、インクの塗布対象がノズル面に沿って搬送される構成を例示したが、この逆の構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
本発明は、電子デバイスの製造工程で使用されるインクジェット装置に利用できる。
【符号の説明】
【００８５】
４  インクジェットヘッド
４１  ノズルヘッド
４２  ベースプレート
４２ａ、４２ｂ  貫通孔（第１の貫通孔）
４２ｃ  貫通孔（第２の貫通孔）
４２ｂ−２，４２ｃ−２  貫通孔
４２ｆ  端面
５０  フック部材
５１  固定ボルト
５２  緩衝部材
１００  ノズル
１４２  基板搬送ステージ
１４４  塗布領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１５】
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