(57)【要約】【課題】コンタクトプローブを折り曲げることなくプローブカードを投入することができる基板検査装置を提供する。【解決手段】ウエハ検査装置１０は、複数のコンタクトプローブ２０が配置されるプローブカード１８を載置するミドルプレート２２と、ミドルプレート２２が配置される引き出し状のテーブル２１と、プローブカード１８が装着されるテスタ１５と、ミドルプレート２２を搬送する搬送ロボット１７とを備え、ミドルプレート２２は、ベース２３及び載置されるプローブカード１８へ向けて突出する複数のサポート２４を有し、各サポート２４の突出高さはコンタクトプローブ２０のプローブカード１８からの突出量以上であり、プローブカード１８はミドルプレート２２へ載置される際、プローブカードカバー２９に装着され、搬送ロボット１７は、ミドルプレート２２をテーブル２１からテスタ１５まで搬送する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも片面に複数のコンタクトプローブが配置されるプローブカードを載置する搬送載置台と、
前記搬送載置台が配置されるテーブルと、
前記プローブカードが装着されるテスタと、
前記搬送載置台を搬送する搬送装置とを備え、
前記搬送載置台は、基部及び該基部から前記載置されるプローブカードへ向けて突出する支持部を有し、該支持部の突出高さは前記コンタクトプローブの前記プローブカードからの突出量以上であり、
前記プローブカードは前記搬送載置台へ載置される際、保持具に装着され、
前記搬送装置は、前記プローブカードを載置する前記搬送載置台を前記テーブルから前記テスタまで搬送することを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記搬送装置は前記テーブル及び前記搬送載置台の間の空間に進入するアームを有し、
前記アームは前記プローブカードを載置する前記搬送載置台を前記テーブルから離間させ、
前記搬送載置台が前記テーブルから前記テスタまで搬送される際、前記アームは収縮して前記搬送載置台を前記搬送装置へ移動させることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記搬送載置台が前記テーブルから前記テスタまで搬送される際、前記搬送載置台は前記アームへ吸着されることを特徴とする請求項１又は２記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記搬送載置台は、前記基部から前記載置されるプローブカードへ向けて突出するピンをさらに有し、
前記ピンは前記プローブカードの位置を規制することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板検査装置。
【請求項５】
複数の前記テーブルをさらに備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記搬送載置台が前記テーブルから前記テスタまで搬送される際に前記搬送装置が到達可能な位置に配置され、前記プローブカードを収容可能な収容部をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の基板検査装置。
【請求項７】
少なくとも片面に複数のコンタクトプローブが配置されるプローブカードを載置する搬送載置台と、前記搬送載置台が配置されるテーブルと、前記プローブカードが装着されるテスタと、前記搬送載置台を搬送する搬送装置とを備え、前記搬送載置台は、基部及び該基部から前記載置されるプローブカードへ向けて突出する支持部を有し、該支持部の突出高さは前記コンタクトプローブの前記プローブカードからの突出量以上である基板検査装置におけるプローブカード搬送方法であって、
前記プローブカードは前記搬送載置台へ載置される際、保持具に装着され、
前記搬送装置は、前記プローブカードを載置する前記搬送載置台を前記テーブルから前記テスタまで搬送することを特徴とするプローブカード搬送方法。
【請求項８】
前記搬送装置は前記テーブル及び前記搬送載置台の間の空間に進入するアームを有し、前記アームは前記プローブカードを載置する前記搬送載置台を前記テーブルから離間させ、
前記搬送載置台が前記テーブルから前記テスタまで搬送される際、前記アームは収縮して前記搬送載置台を前記搬送装置へ移動させることを特徴とする請求項７記載のプローブカード搬送方法。
【請求項９】
前記搬送載置台が前記テーブルから前記テスタまで搬送される際、前記搬送載置台は前記アームへ吸着されることを特徴とする請求項７又は８記載のプローブカード搬送方法。
【請求項１０】
前記搬送載置台は、前記基部から前記載置されるプローブカードへ向けて突出するピンをさらに有し、
前記ピンは前記プローブカードの位置を規制することを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載のプローブカード搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のテスタを備え、各テスタへ装着されるプローブカードを搬送する基板検査装置及びプローブカード搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
多数の半導体デバイスが形成されたウエハの検査を行うために、検査装置としてプローバが用いられている。プローバはウエハと対向するプローブカードを備え、プローブカードは板状の基部と、基部におけるウエハとの対向面においてウエハの半導体デバイスにおける各電極パッドや各半田バンプと対向するように配置される複数の柱状接触端子であるコンタクトプローブとを備える（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
プローバでは、プローブカードの各コンタクトプローブが半導体デバイスにおける電極パッドや半田バンプと接触し、各コンタクトプローブから各電極パッドや各半田バンプに接続された半導体デバイスの電気回路へ電気を流すことによって該電気回路の導通状態等の電気的特性を検査する。
【０００４】
また、ウエハの検査効率を向上するために、検査室内に複数のプローブカードを配置し、搬送ステージによって一のプローブカードへウエハを搬送中に他のプローブカードでウエハの半導体デバイスを検査可能なウエハ検査装置が開発されている。このウエハ検査装置では、ウエハと対向可能に配置される複数のウエハ検査用インターフェースとしてのテスタが検査室内に配置され、各テスタにプローブカードが取り付けられる。
【０００５】
上述したウエハ検査装置では、プローブカードはコンタクトプローブの摩耗等によって交換する必要があり、プローブカードの交換の際には、搬送ロボットが各テスタからプローブカードを回収し、新規やメンテナンス済みのプローブカードを各テスタへ搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２２７６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述したウエハ検査装置で使用されるプローブカードは、ウエハ検査装置内での搬送を考慮して構成が簡素化されるために、作業者が保持できる部分が小さく取り扱いが困難である。特に、近年、ウエハに形成された多数の半導体デバイスを一括して同時に検査するプローブカードが開発されているが、このようなプローブカードでは多数のコンタクトプローブが設けられるため、作業者が保持できる部分が殆どなく、作業者がプローブカードをウエハ検査装置へ投入する際、誤ってコンタクトプローブへ触れ、コンタクトプローブを折り曲げ、最悪は折損させるおそれがある。
【０００８】
本発明の目的は、コンタクトプローブを折り曲げることなくプローブカードを投入することができる基板検査装置及びプローブカード搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の基板検査装置は、少なくとも片面に複数の（柱状接触端子である）コンタクトプローブが配置されるプローブカードを載置する搬送載置台と、前記搬送載置台が配置される（引き出し状の）テーブルと、前記プローブカードが装着されるテスタと、前記搬送載置台を搬送する搬送装置とを備え、前記搬送載置台は、基部及び該基部から前記載置されるプローブカードへ向けて突出する支持部を有し、該支持部の突出高さは前記コンタクトプローブの前記プローブカードからの突出量以上であり、前記プローブカードは前記搬送載置台へ載置される際、保持具に装着され、前記搬送装置は、前記プローブカードを載置する前記搬送載置台を前記テーブルから前記テスタまで搬送することを特徴とする。
【００１０】
本発明の基板検査装置は、前記搬送装置は前記テーブル及び前記搬送載置台の間の空間に進入するアームを有し、前記アームは前記プローブカードを載置する前記搬送載置台を前記テーブルから離間させ、前記搬送載置台が前記テーブルから前記テスタまで搬送される際、前記アームは収縮して前記搬送載置台を前記搬送装置へ移動させることを特徴とする。
【００１１】
本発明の基板検査装置は、前記搬送載置台が前記テーブルから前記テスタまで搬送される際、前記搬送載置台は前記アームへ吸着されることを特徴とする。
【００１２】
本発明の基板検査装置は、前記搬送載置台は、前記基部から前記載置されるプローブカードへ向けて突出するピンをさらに有し、前記ピンは前記プローブカードの位置を規制することを特徴とする。
【００１３】
本発明の基板検査装置は、複数の前記テーブルをさらに備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明の基板検査装置は、前記搬送載置台が前記テーブルから前記テスタまで搬送される際に前記搬送装置が到達可能な位置に配置され、前記プローブカードを収容可能な収容部をさらに備えることを特徴とする。
【００１５】
上記目的を達成するために、本発明のプローブカード搬送方法は、少なくとも片面に複数の（柱状接触端子である）コンタクトプローブが配置されるプローブカードを載置する搬送載置台と、前記搬送載置台が配置される（引き出し状の）テーブルと、前記プローブカードが装着されるテスタと、前記搬送載置台を搬送する搬送装置とを備え、前記搬送載置台は、基部及び該基部から前記載置されるプローブカードへ向けて突出する支持部を有し、該支持部の突出高さは前記コンタクトプローブの前記プローブカードからの突出量以上である基板検査装置におけるプローブカード搬送方法であって、前記プローブカードは前記搬送載置台へ載置される際、保持具に装着され、前記搬送装置は、前記プローブカードを載置する前記搬送載置台を前記テーブルから前記テスタまで搬送することを特徴とする。
【００１６】
本発明のプローブカード搬送方法は、前記搬送装置は前記テーブル及び前記搬送載置台の間の空間に進入するアームを有し、前記アームは前記プローブカードを載置する前記搬送載置台を前記テーブルから離間させ、前記搬送載置台が前記テーブルから前記テスタまで搬送される際、前記アームは収縮して前記搬送載置台を前記搬送装置へ移動させることを特徴とする。
【００１７】
本発明のプローブカード搬送方法は、前記搬送載置台が前記テーブルから前記テスタまで搬送される際、前記搬送載置台は前記アームへ吸着されることを特徴とする。
【００１８】
本発明のプローブカード搬送方法は、前記搬送載置台は、前記基部から前記載置されるプローブカードへ向けて突出するピンをさらに有し、前記ピンは前記プローブカードの位置を規制することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、プローブカードは搬送載置台へ載置される際、保持具に装着されるため、作業者がプローブカードを基板検査装置へ投入する場合、保持具を保持することにより、プローブカードを保持する必要を無くすことができる。また、搬送載置台が有する支持部の基部からの突出高さはコンタクトプローブのプローブカードからの突出量以上であるので、載置されているプローブカードのコンタクトプローブは搬送載置台の基部へ接触することがない。したがって、コンタクトプローブを折り曲げることなくプローブカードを基板検査装置へ投入することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態に係るプローブカード搬送方法が適用されるウエハ検査装置の構成を概略的に示す水平断面図である。
【図２】図１における線II−IIに沿う断面図である。
【図３】プローブカードの構成を概略的に示す図であり、図３（Ａ）は平面図であり、図３（Ｂ）は側面図であり、図３（Ｃ）は底面図である。
【図４】図１及び図２のウエハ検査装置におけるテーブルの配置形態を説明するための平面図である。
【図５】図１及び図２のウエハ検査装置におけるテーブルの配置形態を説明するための正面図である。
【図６】ミドルプレートの構成を概略的に示す図であり、図６（Ａ）は平面図であり、図６（Ｂ）は側面図である。
【図７】プローブカードのウエハ検査装置への投入の際に用いられるプローブカードカバーの構成を概略的に示す図であり、図７（Ａ）は平面図であり、図７（Ｂ）は図７（Ａ）における線VII−VIIに沿う断面図である。
【図８】図１のウエハ検査装置において実行されるプローブカード搬送方法を説明するための工程図である。
【図９】図１のウエハ検査装置において実行されるプローブカード搬送方法を説明するための工程図である。
【図１０】図１のウエハ検査装置において実行されるプローブカード搬送方法を説明するための工程図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係るプローブカード搬送方法が適用されるウエハ検査装置の変形例の構成を概略的に示す水平断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態に係るプローブカード搬送方法の変形例を説明するための工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２２】
まず、本実施の形態に係るプローブカード搬送方法が適用される基板検査装置としてのウエハ検査装置について説明する。
【００２３】
図１は、本実施の形態に係るプローブカード搬送方法が適用されるウエハ検査装置の構成を概略的に示す水平断面図であり、図２は、図１における線II−IIに沿う断面図である。
【００２４】
図１及び図２において、ウエハ検査装置１０は検査室１１を備え、該検査室１１は、ウエハの半導体デバイスの電気的特性の検査を行う検査領域１２と、検査室１１に対するウエハや後述するプローブカード１８の搬出入を行う搬出入領域１３と、検査領域１２及び搬出入領域１３の間に設けられた搬送領域１４とを有する。
【００２５】
検査領域１２には複数のウエハ検査用インターフェースとしてのテスタ１５が配置され、各テスタ１５は水平に配列された複数のテスタからなるテスタ列を構成し、各テスタ１５の下部にはプローブカード１８が装着される。
【００２６】
搬出入領域１３は複数の収容空間１６に区画され、各収容空間１６には複数のウエハを収容する容器、例えば、ＦＯＵＰを受け入れるポート１６ａ、プローブカード１８が搬入され且つ搬出されるローダ１６ｃやウエハ検査装置１０の各構成要素の動作を制御するコントローラ１６ｄが配置される。
【００２７】
搬送領域１４には移動自在な搬送ロボット１７（搬送装置）が配置される。搬送ロボット１７は、搬出入領域１３のポート１６ａからウエハを受け取って各テスタ１５へ搬送し、また、半導体デバイスの電気的特性の検査が終了したウエハを各テスタ１５からポート１６ａへ搬送する。さらには、搬送ロボット１７は各テスタ１５から品種の交換やメンテナンスを必要とするプローブカード１８を搬出入領域１３のローダ１６ｃへ搬送し、また、新規やメンテナンス済みのプローブカード１８をローダ１６ｃから各テスタ１５へ搬送する。
【００２８】
このウエハ検査装置１０では、各テスタ１５が搬送されたウエハの半導体デバイスの電気的特性の検査を行うが、搬送ロボット１７が一のテスタ１５へ向けてウエハを搬送している間に、他のテスタ１５は他のウエハの半導体デバイスの電気的特性の検査を行うことができるので、ウエハの検査効率を向上することができる。
【００２９】
図３は、プローブカードの構成を概略的に示す図であり、図３（Ａ）は平面図であり、図３（Ｂ）は側面図であり、図３（Ｃ）は底面図である。
【００３０】
図３（Ａ）乃至図３（Ｃ）において、プローブカード１８は、円や多角形（例えば、１６角形）からなる板状の本体１９と、該本体１９の上面における周縁部において周方向に等間隔、例えば、６０°間隔で配置されて外側へ突出する略矩形状の係合プレート１９ａ〜１９ｆと、本体１９の上面のほぼ一面に配置される多数の電極（図示しない）と、本体１９の下面において格子状、且つ下方へ突出するように配置される多数のコンタクトプローブ２０とを有する。
【００３１】
各電極は対応する各コンタクトプローブ２０と接続され、各コンタクトプローブ２０は、プローブカード１８へウエハが到着された際、該ウエハに形成された各半導体デバイスの電極パッドや半田バンプと接触する。また、係合プレート１９ａ〜１９ｆのうち、１２０°間隔で配置される係合プレート１９ｂ、１９ｄ、１９ｆは外側へ開放される平面視三角形状の切り欠き１９ｇ〜１９ｉを有する。
【００３２】
ウエハ検査装置１０では、メンテナンスを必要とするプローブカード１８の取り出しや新規やメンテナンス済みのプローブカード１８の投入を容易に行えるように、以下に詳述するテーブル２１を備える。
【００３３】
図４は、図１及び図２のウエハ検査装置におけるテーブルの配置形態を説明するための平面図であり、図５は、同正面図である。
【００３４】
図４及び図５において、ウエハ検査装置１０のローダ１６ｃは、重ねて配置される複数、例えば、３つの板状のテーブル２１を有する。各テーブル２１はウエハ検査装置１０の側面から引き出し可能に構成され、上面にはミドルプレート２２（搬送載置台）が配置される。ミドルプレート２２はプローブカード１８を載置し、各テーブル２１にはミドルプレート２２が１つずつ配置される。
【００３５】
本実施の形態では、各テーブル２１の引き出し可能量がプローブカード１８の直径よりも大きく設定されており、各テーブル２１のミドルプレート２２へプローブカード１８を載置する際、当該プローブカード１８をテーブル２１の上方から下降させるだけで済むため、作業者はプローブカード１８をミドルプレート２２へ容易に載置することができる。
【００３６】
作業者は、一のテーブル２１のミドルプレート２２へのみプローブカード１８を載置してもよく、若しくは、複数のテーブル２１のミドルプレート２２へプローブカード１８を載置してもよい。後者の場合であって、一のテーブル２１からプローブカード１８が搬送ロボット１７によって搬送される場合、他のテーブル２１はプローブカード１８を一時的に保管するストッカとして機能する。
【００３７】
図６は、ミドルプレートの構成を概略的に示す図であり、図６（Ａ）は平面図であり、図６（Ｂ）は側面図である。なお、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）では、ミドルプレート２２がプローブカード１８を載置する状態で示され、特に、図６（Ａ）では、プローブカード１８によって覆われる部分が破線で示される。
【００３８】
ミドルプレート２２は、平面視略三角形板状のベース２３（基部）と、該ベース２３から載置されるプローブカード１８へ向けて突出する複数の円柱状のサポート２４（支持部）とを有する。各サポート２４のベース２３からの突出高さは、プローブカード１８における本体１９からのコンタクトプローブ２０の突出量以上である。
【００３９】
各サポート２４は、平面視同一円周上であって、ベース２３の各頂点近傍において集中的に配置され、プローブカード１８の本体１９の下面におけるコンタクトプローブ２０が配置されていない部分と当接することにより、プローブカード１８を支持する。
【００４０】
ミドルプレート２２は、ベース２３の各頂点の下方に配置されるスペーサ２５を有し、各スペーサ２５はベース２３を支持し、ミドルプレート２２がテーブル２１へ配置される際、ベース２３及びテーブル２１の間に空間２６を形成する。
【００４１】
また、ミドルプレート２２は、ベース２３の各頂点近傍において各サポート２４よりも外側に配置されて上方へ突出する丸棒状のロケートピン２７を有し、各サポート２４がプローブカード１８を支持する際、プローブカード１８の各切り欠き１９ｇ〜１９ｉと各ロケートピン２７が係合する。
【００４２】
各切り欠き１９ｇ〜１９ｉと各ロケートピン２７が係合する際、切り欠き１９ｇ〜１９ｉはロケートピン２７の側面の全てを囲まないので、プローブカード１８をミドルプレート２２へ載置する際、各ロケートピン２７が各切り欠き１９ｇ〜１９ｉの側面と必要以上に接触することがなく、もって、各ロケートピン２７がプローブカード１８のミドルプレート２２への載置を阻害することがない。
【００４３】
さらに、ミドルプレート２２は、スペーサ２５の下面において開口し、スペーサ２５、ベース２３及びサポート２４を貫通してサポート２４の頂部において開口するバキューム路２８を有する。バキューム路２８は各サポート２４に対応して設けられ、バキューム路２８には負圧が印加可能である。
【００４４】
図７は、プローブカードのウエハ検査装置への投入の際に用いられるプローブカードカバーの構成を概略的に示す図であり、図７（Ａ）は平面図であり、図７（Ｂ）は図７（Ａ）における線VII−VIIに沿う断面図である。なお、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）では、プローブカード１８がプローブカードカバー２９に装着された状態で示され、特に、図７（Ａ）では、プローブカードカバー２９によって覆われるプローブカード１８が破線で示される。
【００４５】
プローブカードカバー２９（保持具）は、平面視においてプローブカード１８よりも大きい、透明又は半透明の蓋状部材からなり、プローブカード１８の全面を覆う。プローブカードカバー２９は、プローブカード１８の各係合プレート１９ｂ、１９ｄ、１９ｆに対応する箇所において、プローブカード１８側へ突出する係合部材、例えば、係合ボルト３０が配置され、各係合ボルト３０は各係合プレート１９ｂ、１９ｄ、１９ｆに設けられたボルト穴１９ｊ、１９ｋ、１９ｌ（図６（Ａ）参照）と螺合することにより、プローブカード１８をプローブカードカバー２９へ装着させる。
【００４６】
次に、本実施の形態に係るプローブカード搬送方法について説明する。
【００４７】
図８乃至図１０は、図１のウエハ検査装置において実行されるプローブカード搬送方法を説明するための工程図である。
【００４８】
まず、作業者は、ウエハ検査装置１０のローダ１６ｃから一のテーブル２１を引き出し、該引き出されたテーブル２１に配置されたミドルプレート２２へ、プローブカードカバー２９に装着されたプローブカード１８を載置する（図８（Ａ））。プローブカード１８をミドルプレート２２へ載置する際、各ロケートピン２７をプローブカード１８の各切り欠き１９ｇ〜１９ｉへ係合させることにより、プローブカード１８のミドルプレート２２に対する相対位置を規定する。
【００４９】
次いで、作業者は、各係合ボルト３０を緩めてプローブカードカバー２９をプローブカード１８から離間させることにより、プローブカードカバー２９をテーブル２１から取り去る（図８（Ｂ））。
【００５０】
次いで、作業者がテーブル２１をローダ１６ｃへ押し込んで収容させると、搬送ロボット１７が、プローブカード１８を載置するミドルプレート２２へ対向するように移動し、さらに、搬送ロボット１７の搬送用アーム３１が延伸してミドルプレート２２のベース２３及びテーブル２１の間に空間２６へ進入する。その後、搬送ロボット１７が微量だけ上昇し、搬送用アーム３１がベース２３へ当接してプローブカード１８を載置するミドルプレート２２をテーブル２１から離間させる（図９（Ａ））。搬送用アーム３１は負圧を印加可能な吸引口（図示しない）を有し、該吸引口はミドルプレート２２のベース２３を吸引する。これにより、搬送用アーム３１はミドルプレート２２を吸着する。
【００５１】
次いで、搬送用アーム３１が収縮してミドルプレート２２を搬送ロボット１７まで移動させ、ミドルプレート２２が搬送ロボット１７上に位置した後、搬送ロボット１７は、ミドルプレート２２が載置するプローブカード１８を取り付けるテスタ１５に対応する位置まで移動することにより、プローブカード１８を搬送する（図９（Ｂ））。搬送ロボット１７がテスタ１５に対応する位置まで移動する間に、当該搬送ロボット１７は水平に関して１８０°旋回し、テスタ１５の下方空間と搬送されるプローブカード１８を対向させる（図１０（Ａ））。
【００５２】
次いで、ウエハ検査装置１０がカメラ（図示しない）によってプローブカード１８の位置や搬送ロボット１７の位置を確認した後、搬送用アーム３１の別の吸引口（図示しない）がバキューム路２８へ負圧を印加してプローブカード１８をミドルプレート２２、さらには搬送用アーム３１へ吸着させ、その後、搬送用アーム３１が延伸してテスタ１５と、ミドルプレート２２に載置されるプローブカード１８とを対向させる。次いで、搬送ロボット１７が微量に移動してテスタ１５とプローブカード１８の位置合わせを行い、さらに、搬送ロボット１７が上昇してプローブカード１８をテスタ１５へ装着し（図１０（Ｂ））、本処理を終了する。
【００５３】
なお、プローブカード１８をテスタ１５から脱離させてテーブル２１を介してウエハ検査装置１０から取り出す際には、上述した図８（Ａ）〜図１０（Ｂ）までの工程を逆に実行する。
【００５４】
本実施の形態に係るプローブカード搬送方法によれば、プローブカード１８はミドルプレート２２へ載置される際、プローブカードカバー２９に装着されるため、作業者がプローブカード１８をウエハ検査装置１０へ投入する場合、プローブカードカバー２９を保持することにより、プローブカード１８を直接保持する必要を無くすことができ、作業者がプローブカード１８の各コンタクトプローブ２０へ触れるおそれを無くすことができる。また、ミドルプレート２２が有する各サポート２４のベース２３からの突出高さは各コンタクトプローブ２０のプローブカード１８からの突出量以上であるので、各サポート２４によってプローブカード１８を支持する際、各コンタクトプローブ２０はミドルプレート２２のベース２３へ接触することがない。したがって、各コンタクトプローブ２０を折り曲げることなくプローブカード１８をウエハ検査装置１０へ投入することができる。
【００５５】
上述した本実施の形態に係るプローブカード搬送方法では、テーブル２１及びミドルプレート２２の間の空間２６に進入する搬送用アーム３１は、プローブカード１８を載置するミドルプレート２２をテーブル２１から離間させ、ミドルプレート２２がテーブル２１からテスタ１５まで搬送される際、搬送用アーム３１は収縮してミドルプレート２２を搬送ロボット１７へ移動させるので、プローブカード１８がテーブル２１からテスタ１５まで搬送される際、各コンタクトプローブ２０はミドルプレート２２のベース２３へ接触することがなく、各コンタクトプローブ２０が折り曲げられるのを防止することができる。
【００５６】
また、上述した本実施の形態に係るプローブカード搬送方法では、ミドルプレート２２がテーブル２１からテスタ１５まで搬送される際、ミドルプレート２２は搬送用アーム３１へ吸着されるので、ミドルプレート２２が搬送用アーム３１からずれるのを防止することができる。
【００５７】
さらに、上述した本実施の形態に係るプローブカード搬送方法では、ミドルプレート２２のベース２３から載置されるプローブカード１８へ向けて突出するロケートピン２７はプローブカード１８の位置を規制するので、ミドルプレート２２がテーブル２１からテスタ１５まで搬送される際、プローブカード１８のミドルプレート２２に対する位置が大きくずれるのを防止することができる。
【００５８】
また、上述した本実施の形態に係る基板検査装置としてのウエハ検査装置１０は、複数のテーブル２１を備えるので、一部のテーブル２１へプローブカード１８を一時的に保管することができ、作業者によるプローブカード１８のウエハ検査装置１０への投入と、搬送ロボット１７によるプローブカード１８の搬送とのタイミングを合わせる必要を無くすことができる。
【００５９】
以上、本発明について、上述した実施の形態を用いて説明したが、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではない。
【００６０】
例えば、図１１に示すように、搬送領域１４において、搬送ロボット１７が到達可能な位置に複数のプローブカード１８を収容可能なストッカ３２（収容部）を配置してもよい。この場合、プローブカード１８が外部からウエハ検査装置１０へ投入されなくても、ストッカ３２に収容されたプローブカード１８を用いてテスタ１５に対するプローブカード１８の交換等を行うことができ、もって、テスタ１５へのプローブカード１８の搬送タイミング等に自由度を持たせることができる。
【００６１】
また、上述した実施の形態では、搬送ロボット１７がテスタ１５とプローブカード１８の位置合わせを行ったが、各テスタ１５の下方空間にミドルプレート２２を載置可能であって、載置したミドルプレート２２を水平方向且つ垂直方向に正確に移動可能なアライナー３３を配置し、該アライナー３３によってテスタ１５とプローブカード１８（ミドルプレート２２）の位置合わせを行ってもよい。
【００６２】
この場合、搬送ロボット１７がテスタ１５の下方空間と搬送されるプローブカード１８を対向させた後、搬送用アーム３１が延伸してプローブカード１８をミドルプレート２２ごとアライナー３３へ受け渡す（図１２（Ａ））。
【００６３】
次いで、ウエハ検査装置１０がカメラ（図示しない）によってアライナー３３に載置されたプローブカード１８の位置を確認した後、アライナー３３の吸引口（図示しない）がバキューム路２８へ負圧を印加してプローブカード１８をミドルプレート２２、さらにはアライナー３３へ吸着させ、その後、アライナー３３が移動してテスタ１５と、ミドルプレート２２に載置されるプローブカード１８とを対向させ、テスタ１５とプローブカード１８の位置合わせを行う。次いで、アライナー３３が上昇してプローブカード１８をテスタ１５へ装着する（図１２（Ｂ））。
【００６４】
また、本発明の目的は、上述した実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記録した記憶媒体を、ウエハ検査装置１０が備えるコンピュータ（例えば、コントローラ１７ｄ）に供給し、コンピュータのＣＰＵが記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出して実行することによっても達成される。
【００６５】
この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が上述した実施の形態の機能を実現することになり、プログラムコード及びそのプログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。
【００６６】
また、プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、ＲＡＭ、ＮＶ−ＲＡＭ、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ（ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ）等の光ディスク、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、他のＲＯＭ等の上記プログラムコードを記憶できるものであればよい。或いは、上記プログラムコードは、インターネット、商用ネットワーク、若しくはローカルエリアネットワーク等に接続される不図示の他のコンピュータやデータベース等からダウンロードすることによりコンピュータに供給されてもよい。
【００６７】
また、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行することにより、上記実施の形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、ＣＰＵ上で稼動しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【００６８】
更に、記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【００６９】
上記プログラムコードの形態は、オブジェクトコード、インタプリタにより実行されるプログラムコード、ＯＳに供給されるスクリプトデータ等の形態から成ってもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１０  ウエハ検査装置
１５  テスタ
１７  搬送ロボット
１８  プローブカード
２０  コンタクトプローブ
２１  テーブル
２２  ミドルプレート
２３  ベース
２４  サポート
２７  ロケートピン
２９  プローブカードカバー
３１  搬送用アーム
３２  ストッカ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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