(57)【要約】【課題】空間フィルタが有する複数の遮光体の互いの接触を回避し、かつ効率よく遮光体の配置構成を設定可能な検査装置及び検査方法を実現する。【解決手段】指定位置入力部から入力された空間フィルタの設定すべきロッドの位置と干渉対象ロッドの位置とをメモリに記録し、ロッドの可動可能最小値、最大値を算出する（ステップ６０１、６０２）。算出した可動最小値がロッドの指定位置より小さく、ロッドの指定位置が算出した可動最大値より小か否かを判断する（ステップ６０３、６０４）。全ロッドの位置異常判定が終了し、位置異常が無い場合（ステップ６０６）は、メモリに記憶された、指定位置（座標位置）に各ロッドが移動するように指令する（ステップ６０７）。【選択図】図４
2015004642.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象に光を照射する光照射部と、
上記検査対象から反射した光を遮光する複数の遮光体を有する空間フィルタを有し、上記検査対象から反射した光のうち、上記空間フィルタを通過した光を検出する検出部と、
上記空間フィルタの複数の遮光体のそれぞれを駆動する駆動部と、
上記検出部により検出された光を画像に変換する画像処理部と、
画像表示部と、
操作指令を入力する操作部と、
上記操作部から入力された上記遮光体のそれぞれの指定位置が、隣接する遮光体と干渉するか否かを判断し、全ての遮光体が互いに干渉しないことを判断した場合は、上記操作部から入力されたそれぞれの指定位置に上記遮光体を移動するように上記駆動部を指令する動作制御部と、
上記画像処理部により変換された画像に基づいて、上記検査対象の欠陥検査を行う検査部と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置において、
上記動作制御部は、複数の遮光体のそれぞれの可動最小値及び可動最大値を算出し、上記操作部から入力された上記遮光体の指定位置が算出した上記可動最小値より大であり、かつ、上記可動最大値より小か否かを判断し、上記遮光体の指定位置が算出した上記可動最小値より大であり、かつ、上記可動最大値より小の場合に、上記操作部から入力されたそれぞれの指定位置に上記遮光ロッドを移動するように上記駆動部を指令することを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の検査装置において、
上記動作制御部は、上記操作部により選択された遮光体の可動最小値及び可動最大値を算出し、上記画像表示部に上記選択された遮光体と上記算出した可動最小値及び可動最大値とを表示し、上記選択された遮光体について、上記操作部から入力された指定位置が、算出した上記可動最小値より大であり、かつ、上記可動最大値より小か否かを判断し、上記遮光体の指定位置が算出した上記可動最小値より大であり、かつ、上記可動最大値より小の場合に、上記操作部から入力されたそれぞれの指定位置に上記遮光体を移動するように上記駆動部を指令することを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項１に記載の検査装置において、
上記複数の遮光体のそれぞれは、棒状のロッドであり、互いに平行となるように配列され、一端部から延びる一方のグループと、上記一端部に対向する他端部から延びる他方のグループとに分かれ、上記ロッドの長手方向に直交する方向に移動し、上記一方のグループのロッドは高さ位置が互いに同じであり、他方のグループのロッドも高さ位置が互いに同じであり、一方のグループのロッドと他方のグループのロッドとの高さ位置が異なることを特徴する検査装置。
【請求項５】
請求項１に記載の検査装置において、
上記複数の遮光体のそれぞれは、棒状のロッドであり、互いに平行となるように配列され、一端部から延びる一方のグループと、上記一端部に対向する他端部から延びる他方のグループとに分かれ、上記ロッドの長手方向に直交する方向に移動し、上記一方のグループのロッドの一部と上記他方のグループのロッドの一部とは高さ位置が互いに同じであり、上記一方のグループのその他のロッドの一部と上記他方のグループのその他のロッドとは高さ位置が互いに同じであり、上記一方のグループのロッドの一部と上記一方のグループのその他のロッドとは高さ位置が異なり、上記他方のグループのロッドの一部と上記他方のグループのその他のロッドとは高さ位置が異なることを特徴する検査装置。
【請求項６】
検査対象に光を照射し、
上記検査対象から反射した光のうち、上記検査対象から反射した光を遮光する複数の遮光体を有する空間フィルタを通過した光を検出部により検出し、
上記検出部により検出された光を画像に変換し、
操作指令を入力する操作部から入力された上記遮光体のそれぞれの指定位置が、隣接する遮光体と干渉するか否かを判断し、全ての遮光体が互いに干渉しないことを判断した場合は、上記操作部から入力されたそれぞれの指定位置に上記遮光体を移動し、
上記変換された画像に基づいて、上記検査対象の欠陥検査を行うことを特徴とする検査方法。
【請求項７】
請求項６に記載の検査方法において、
上記複数の遮光体のそれぞれの可動最小値及び可動最大値を算出し、上記操作部から入力された上記遮光体の指定位置が算出した上記可動最小値より大であり、かつ、上記可動最大値より小か否かを判断し、上記遮光体の指定位置が算出した上記可動最小値より大であり、かつ、上記可動最大値より小の場合に、上記操作部から入力されたそれぞれの指定位置に上記遮光ロッドを移動することを特徴とする検査方法。
【請求項８】
請求項６に記載の検査方法において、
上記操作部により選択された遮光体の可動最小値及び可動最大値を算出し、画像表示部に上記選択された遮光体と上記算出した可動最小値及び可動最大値とを表示し、上記選択された遮光体について、上記操作部から入力された指定位置が、算出した上記可動最小値より大であり、かつ、上記可動最大値より小か否かを判断し、上記遮光体の指定位置が算出した上記可動最小値より大であり、かつ、上記可動最大値より小の場合に、上記操作部から入力されたそれぞれの指定位置に上記遮光体を移動することを特徴とする検査方法。
【請求項９】
請求項６に記載の検査方法において、
上記複数の遮光体のそれぞれは、棒状のロッドであり、互いに平行となるように配列され、一端部から延びる一方のグループと、上記一端部に対向する他端部から延びる他方のグループとに分かれ、上記ロッドの長手方向に直交する方向に移動し、上記一方のグループのロッドは高さ位置が互いに同じであり、他方のグループのロッドも高さ位置が互いに同じであり、一方のグループのロッドと他方のグループのロッドとの高さ位置が異なることを特徴する検査方法。
【請求項１０】
請求項６に記載の検査方法において、
上記複数の遮光体のそれぞれは、棒状のロッドであり、互いに平行となるように配列され、一端部から延びる一方のグループと、上記一端部に対向する他端部から延びる他方のグループとに分かれ、上記ロッドの長手方向に直交する方向に移動し、上記一方のグループのロッドの一部と上記他方のグループのロッドの一部とは高さ位置が互いに同じであり、上記一方のグループのその他のロッドの一部と上記他方のグループのその他のロッドとは高さ位置が互いに同じであり、上記一方のグループのロッドの一部と上記一方のグループのその他のロッドとは高さ位置が異なり、上記他方のグループのロッドの一部と上記他方のグループのその他のロッドとは高さ位置が異なることを特徴する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料上の欠陥を検出する検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスでは、ウエハ上の傷や異物等の欠陥は、製品の歩留まりに影響を与える。よって、欠陥を検出し、欠陥を半導体製造プロセスへフィードバックすることは重要である。この欠陥の検査に使用されるのが、いわゆる検査装置である。検査装置の従来技術としては、特許文献１に記載された技術がある。
【０００３】
特許文献１には、検査基板上の存在するパターンからの回析光を遮光し、それ以外の光を通過させてセンサに照射するための空間フィルタを配置することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１６３４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
検査装置には、複数の遮光体（ロッド）を使用した空間フィルタが使用される場合がある。この場合、空間フィルタの複数のロッドのそれぞれを、別個に駆動して所望の位置に移動させ種々のロッド配置構成として、種々の検査基板上のパターンに適合させることが便利である。
【０００６】
しかしながら、複数のロッドのそれぞれが、別個に移動可能であると、ロッドとロッドが接触する可能性が生じ、ロッドが互いに接触しないようロッド移動操作を行わねばならず、長時間の操作が必要となる。
【０００７】
このため、検査装置による試料の検査時間全体が長時間となり、効率のよい検査ができない可能性がある。
【０００８】
従来技術においては、複数の遮光ロッドを個々に移動可能な場合の、ロッド配置構成設定操作についての、効率的な移動操作は考慮されていなかった。
【０００９】
本発明の目的は、空間フィルタが有する複数の遮光体の互いの接触を回避し、かつ効率よく遮光体の配置構成を設定可能な検査装置及び検査方法を実現することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明は次のように構成される。
【００１１】
本発明の検査装置は、検査対象に光を照射する光照射部と、上記検査対象から反射した光を遮光する複数の遮光体を有する空間フィルタを有し、上記検査対象から反射した光のうち、上記空間フィルタを通過した光を検出する検出部と、上記空間フィルタの複数の遮光体のそれぞれを駆動する駆動部と、上記検出部により検出された光を画像に変換する画像処理部と、画像表示部と、操作指令を入力する操作部と、動作制御部と、上記画像処理部により変換された画像に基づいて、上記検査対象の欠陥検査を行う検査部とを備える。
【００１２】
そして、動作制御部は、上記操作部から入力された上記遮光体のそれぞれの指定位置が、隣接する遮光体と干渉するか否かを判断し、全ての遮光体が互いに干渉しないことを判断した場合は、上記操作部から入力されたそれぞれの指定位置に上記遮光体を移動するように上記駆動部を指令する。
【００１３】
また、本発明の検査方法は、検査対象に光を照射し、上記検査対象から反射した光のうち、上記検査対象から反射した光を遮光する複数の遮光体を有する空間フィルタを通過した光を検出部により検出し、上記検出部により検出された光を画像に変換し、
操作指令を入力する操作部から入力された上記遮光体のそれぞれの指定位置が、隣接する遮光体と干渉するか否かを判断し、全ての遮光体が互いに干渉しないことを判断した場合は、上記操作部から入力されたそれぞれの指定位置に上記遮光体を移動し、上記変換された画像に基づいて、上記検査対象の欠陥検査を行う。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、従来よりも効率的に遮光板を所望の位置へ移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明が適用される検査装置の全体概略構成図である。
【図２】空間フィルタの一例の説明図である。
【図３】空間フィルタの他の例の説明図である。
【図４】本発明の一実施例である空間フィルタのロッド位置設定動作フローチャートである。
【図５】本発明の一実施例である空間フィルタのロッド位置調整を行うための動作制御部の機能ブロック図である。
【図６】空間フィルタのロッド位置が異常である旨を表示する画面の一例を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施例における空間フィルタのロッド間の干渉範囲を表示する表示画面の一例を示す図である。
【図８】本発明の第２の実施例における空間フィルタの調整を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。
【実施例】
【００１７】
(第１実施例)
図１は本発明の第１実施例に係るウエハ欠陥検査装置の全体概略構成図である。
【００１８】
図１において、照明光学系１０３はレーザ装置１０５と反射ミラー１０４を有する。レーザ光１０６はレーザ装置１０５から反射ミラー１０４を介して検査対象であるウエハ１０１に対して照射される。ステージ制御部１２１によりＸＹθステージ１０２を操作することでウエハ１０１全面を検査する。
【００１９】
ウエハ１０１の表面に凹凸や異物があると、レーザ光１０６は散乱する。そして、散乱した光を検出光学系１０７、１１２にて検出する。検出光学系１０７は結像レンズ１０８、空間フィルタ１３０、エリアセンサ１０９を有し、検出光学系１１２は結像レンズ１１３、エリアセンサ１１４を有する。検査対象１０１から反射した光は、空間フィルタ１３０の複数の遮光ロッド（遮光体）により遮光され、検査対象１０１から反射した光のうち、空間フィルタ１３０を通過した光がエリアセンサ１０９により検出される。
【００２０】
検出光学系１０７、１１２により散乱光が電気信号に変換され、ＡＤ変換器１１０、１１５、画像処理部１１１、１１６を介して画像データとして、動作制御部であるＣＰＵ１２０に送られる。そして、ＣＰＵ１２０内の検査部１２０ｄにより検査対象１０１の欠陥の有無が判断される。
【００２１】
検査用レシピ作成時や欠陥検査評価（検出欠陥のレビューの為に）時のために検出光学系１０７、１１２とは別に観察光学系１１７がある。モニタカメラ１１８によって取得した映像は、画像キャプチャ制御部１１９、ＣＰＵ１２０にて処理され、モニタディスプレイ１２２に表示される。
【００２２】
図２は、空間フィルタ１３０の一例を示す図である。
【００２３】
図２において、８本のロッド３０１〜３０８は、それぞれ、駆動モータ３０１ｍ〜３０８ｍにより、互いに独立して移動される。その移動方向は、矢印で示す方向である。ここで、ロッドとは棒状、又は長方形の平板であり、空間フィルタの複数のロッドは、互いに平行となるように配列され、一端部から延びる一方のグループと、上記一端部に対向する他端部から延びる他方のグループとに分かれている。そして、それぞれのロッドは、そのロッドの長手方向に直交する方向に移動が可能となっている。
【００２４】
そして、一方のグループのロッド３０１、３０２、３０３、３０４は高さ位置（紙面表面から裏面の方向の位置）が互いに同じである。また、他方のグループのロッド３０５、３０６、３０７、３０８も高さが互いに同じである。
【００２５】
そして、一方のグループのロッド３０１〜３０４と、他方のグループのロッド３０５〜３０８との高さが異なる。これらロッド３０１〜３０８は、互いに独立しているため、任意の位置に動かせるが、隣接するロッドの位置によって、動作範囲に制限がある。
【００２６】
つまり、干渉対象は、ロッド３０１の場合はロッド３０２のみであり、ロッド３０２の場合は、ロッド３０１とロッド３０３である。また、ロッド３０３の場合は、ロッド３０２とロッド３０４であり、ロッド３０４の場合はロッド３０３のみである。
【００２７】
また、干渉対象は、ロッド３０５の場合はロッド３０６のみであり、ロッド３０６の場合は、ロッド３０５とロッド３０７である。また、ロッド３０７の場合は、ロッド３０６とロッド３０８であり、ロッド３０８の場合はロッド３０７のみである。
【００２８】
このため、各ロッドのそのときの位置からの可動範囲を以下のように規定することができる。なお、ロッドの位置は共通の座標により設定される。
【００２９】
ロッド３０１の動的可動範囲最小値は、ロッド３０１の最小可動範囲とし、ロッド３０１の動的可動範囲最大値は、ロッド３０１の最大可動範囲またはロッド３０２の位置の小さい方とする。
【００３０】
ロッド３０２の動的可動範囲最小値は、ロッド３０２の最小可動範囲またはロッド３０１の位置の大きい方とし、ロッド３０２の動的可動範囲最大値は、ロッド３０２の最大可動範囲またはロッド３０３の位置の小さい方とする。
【００３１】
また、ロッド３０３の動的可動範囲最小値は、ロッド３０３の最小可動範囲またはロッド３０２の位置の大きい方とし、ロッド３０３の動的可動範囲最大値は、ロッド３０３の最大可動範囲またはロッド３０４の位置の小さい方とする。
【００３２】
ロッド３０４の動的可動範囲最小値は、ロッド３０４の最小可動範囲またはロッド３０３の位置の大きい方とし、ロッド３０４の動的可動範囲最大値は、ロッド３０４の最大可動範囲とする。
【００３３】
また、ロッド３０５の動的可動範囲最小値は、ロッド３０５の最小可動範囲とし、ロッド３０５の動的可動範囲最大値は、ロッド３０５の最大可動範囲またはロッド３０６の位置の小さい方とする。
【００３４】
また、ロッド３０６の動的可動範囲最小値は、ロッド３０６の最小可動範囲またはロッド３０５の位置の大きい方とし、ロッド３０６の動的可動範囲最大値は、ロッド３０６の最大可動範囲またはロッド３０７の位置の小さい方とする。
【００３５】
また、ロッド３０７の動的可動範囲最小値は、ロッド３０７の最小可動範囲またはロッド３０６の位置の大きい方とし、ロッド３０７の動的可動範囲最大値は、ロッド３０７の最大可動範囲またはロッド３０８の位置の小さい方とする。
【００３６】
さらに、ロッド３０８の動的可動範囲最小値は、ロッド３０８の最小可動範囲またはロッド３０７の位置の大きい方とし、ロッド３０８の動的可動範囲最大値は、ロッド３０８の最大可動範囲とする。
【００３７】
図３は、空間フィルタ１３０の他の例を示す図である。
【００３８】
図３において、８本のロッド４０１〜４０８は、それぞれ、駆動モータ４０１ｍ〜４０８ｍにより、互いに独立して移動され、移動方向は、矢印で示す方向である。
【００３９】
そして、一方のグループのロッド４０１、４０２（一部のロッド）と、他方のグループの４０７、４０８（一部のロッド）は、高さ位置（紙面表面から裏面の方向の位置）が互いに同じである。また、一方のグループのロッド４０３、４０４（その他のロッド）と、他方のグループの４０５、４０６（その他のロッド）も高さ位置が互いに同じである。
【００４０】
そして、ロッド４０１、４０２、４０７、４０８と、ロッド４０３、４０４、４０５、４０６との高さ位置が異なる。これらロッド４０１〜４０８は、互いに独立しているため、任意の位置に動かせるが、隣接するロッドの位置によって、動作範囲に制限がある。
【００４１】
つまり、干渉対象は、ロッド４０１の場合はロッド４０２のみであり、ロッド４０２の場合は、ロッド４０１とロッド４０７である。また、ロッド４０３の場合は、ロッド４０４とロッド４０６であり、ロッド４０４の場合はロッド４０３のみである。
【００４２】
また、干渉対象は、ロッド４０５の場合はロッド４０６のみであり、ロッド４０６の場合は、ロッド４０３とロッド４０５である。また、ロッド４０７の場合は、ロッド４０２とロッド４０８であり、ロッド４０８の場合はロッド４０７のみである。
【００４３】
このため、各ロッドのそのときの位置からの可動範囲を以下のように規定することができる。
【００４４】
ロッド４０１の動的可動範囲最小値は、ロッド４０１の最小可動範囲とし、ロッド４０１の動的可動範囲最大値は、ロッド４０１の最大可動範囲またはロッド４０２の位置の小さい方とする。
【００４５】
また、ロッド４０２の動的可動範囲最小値は、ロッド４０２の最小可動範囲またはロッド４０１の位置の大きい方とし、ロッド４０２の動的可動範囲最大値は、ロッド４０２の最大可動範囲またはロッド４０３の位置またはロッド４０７の位置の小さい方とする。
【００４６】
また、ロッド４０３の動的可動範囲最小値は、ロッド４０３の最小可動範囲またはロッド４０２の位置またはロッド４０６の位置の大きい方とし、ロッド４０３の動的可動範囲最大値は、ロッド４０３の最大可動範囲またはロッド４０４の位置の小さい方とする。
【００４７】
また、ロッド４０４の動的可動範囲最小値は、ロッド４０４の最小可動範囲またはロッド４０３の位置の大きい方とし、ロッド４０４の動的可動範囲最大値は、ロッド４０４の最大可動範囲とする。
【００４８】
また、ロッド４０５の動的可動範囲最小値は、ロッド４０５の最小可動範囲とし、ロッド４０５の動的可動範囲最大値は、ロッド４０５の最大可動範囲またはロッド４０６の位置の小さい方とする。
【００４９】
また、ロッド４０６の動的可動範囲最小値は、ロッド４０６の最小可動範囲またはロッド４０５の位置の大きい方とし、ロッド４０６の動的可動範囲最大値は、ロッド４０６の最大可動範囲またはロッド４０７の位置またはロッド４０３の位置の小さい方とする。
【００５０】
また、ロッド４０７の動的可動範囲最小値は、ロッド４０７の最小可動範囲または４０６の位置またはロッド４０２の位置の大きい方とし、ロッド４０７の動的可動範囲最大値は、ロッド４０７の最大可動範囲またはロッド４０８の位置の小さい方とする。
【００５１】
さらに、ロッド４０８の動的可動範囲最小値は、ロッド４０８の最小可動範囲またはロッド４０７の位置の大きい方とし、ロッド４０８の動的可動範囲最大値は、ロッド４０８の最大可動範囲とする。
【００５２】
図４は、本発明の一実施例における空間フィルタ１３０の複数のロッドの位置設定動作フローチャートである。また、図５は、本発明の一実施例である空間フィルタのロッド位置調整を行うための動作制御部１２０の機能ブロック図である。
【００５３】
図４のステップ６０１で、キーボード又は画面等である指定位置入力部１２３から入力された、空間フィルタ１３０の設定すべきロッドの位置（座標）をメモリ１２４に記録するとともに、そのロッドの干渉対象ロッドの位置（座標）をメモリ１２４に記録する。
【００５４】
次に、ステップ６０２で、設定すべきロッドの可動可能な最小値（座標位置）および最大値（座標位置）を、上述した規定により干渉対象ロッドの位置（座標位置）等に基づいて可動最小最大値算出部１２０ａにより算出する。続いて、ステップ６０３で、算出した可動最小値が設定すべきロッドの指定位置より小さいか否かを判断部１２０ｂにより判断する。判断部１２０ｂは、算出した可動最小値が設定すべきロッドの指定位置より小さくない場合は、ステップ６０５に進み、表示部１２２により位置異常警告を行う。図６は、表示部１２２のロッド位置異常表示例である。表示部１２２にロッド位置異常が発生したことと、異常ロッドの番号を表示する。
【００５５】
ステップ６０３で、算出した可動最小値が設定すべきロッドの指定位置より小さい場合は、ステップ６０４に進む。そして、ステップ６０４で、判断部１２０ｂは、設定すべきロッドの指定位置が算出した可動最大値より小か否かを判断する。判断部１２０ｂは、算出した可動最大値が設定すべきロッドの指定位置より小さくない場合は、ステップ６０５に進み、表示部１２２により位置異常警告を行う。
【００５６】
位置異常警告されたロッドについては、そのロッドの指定位置をオペレータが変更して入力し、ステップ６０１以降のステップが実行される。
【００５７】
ステップ６０４で、算出した可動最大値が設定すべきロッドの指定位置より大きい場合は、ステップ６０６に進み、全ロッドの位置異常判定が終了したか否かを判定し、終了していない場合は、他のロッドについて判定するため、ステップ６０１に戻る。
【００５８】
ステップ６０６で、全ロッドの位置異常判定が終了し、位置異常が無い場合は、ステップ６０７に進む。この状態では、メモリ１２４には、全ロッドについては位置異常を発生していない指定位置が記憶されている状態となっている。そして、ロッド移動指令部１２０ｃにより、メモリ１２４に記憶された、指定位置（座標位置）に各ロッドが移動するよう、駆動部９００に指令する。なお、駆動部９００は、図２、図３に示したモータ３０１ｍ〜３０８ｍ、又は４０１ｍ〜４０８ｍの総称である。
【００５９】
以上のように、本発明の第１の実施例によれば、空間フィルタ１３０の複数のロッド（遮光用ロッド）のそれぞれについて、実際にロッドを移動させるに先立って、オペレータが指定したロッド位置が他のロッドと干渉するか否かを判断して、干渉する場合にはそれを表示して警告し、ロッド位置の再指定を行うことができるので、複数の遮光ロッドの互いの接触を回避し、かつ効率よく遮光ロッドの配置構成を設定可能な検査装置及び検査方法を実現することができるという効果がある。
【００６０】
（第２実施例）
ここで、図７に示ように、例えば、ロッド７０１を移動させる為には、既述のように干渉対象ロッド７０２、７０３が存在する。このため、オペレータは、空間フィルタ１３０のロッド配置を設定するために、ロッド７０１を移動させようと試みて初めて干渉する位置関係が分かる。
【００６１】
そこで、ロッド７０１を移動させる前に、表示部１２２上に移動させようとするロッド７０１の可動範囲（最小値７０４、最大値７０５）を明示させ、オペレータ（作業者）へのオペレートアシストを行なうこととする。表示部１２２には位置決定ボタン７０７が設定されている。
【００６２】
図８は、本発明の第２の実施例における空間フィルタの調整を説明するフローチャートである。
【００６３】
なお、本発明の第２の実施例の他の構成については、第１の実施例と同様となっているので、詳細な説明は省略する。
【００６４】
図８のステップ８０１で、指定位置入力部１２３から入力された、空間フィルタ１３０の選択ロッドの位置（座標）をメモリ１２４に記録するとともに、そのロッドの干渉対象ロッドの指定位置（座標）をメモリ１２４に記録する。
【００６５】
次に、ステップ８０２で、選択されたロッドの可動可能な最小値（座標位置）および最大値（座標位置）を、上述した規定により干渉対象ロッドの位置（座標位置）等に基づいて可動最小最大値算出部１２０ａにより算出する。続いて、ステップ８０３で、表示部（モニター）１２２上に算出した可動範囲（最小値７０４、最大値７０５）を破線で表示する（図７）。オペレータは表示部１２２に表示された可動範囲７０４、７０５、選択ロッド７０１、干渉可能ロッド７０２、７０３を参照して、選択ロッド７０１指定位置を決定して、指定位置入力部１２３から決定した指定位置を入力し、決定ボタン７０７を押し下げる（ステップ８０４）。
【００６６】
続いて、ステップ８０５で、算出した可動最小値が設定すべきロッドの指定位置より小さいか否かを判断部１２０ｂにより判断する。判断部１２０ｂは、算出した可動最小値が設定すべきロッドの指定位置より小さくない場合は、ステップ８０７に進み、表示部１２２により位置異常警告を行う。図６に示すように、位置異常警告を表示する。
【００６７】
ステップ８０５で、算出した可動最小値が設定すべきロッドの指定位置より小さい場合は、ステップ８０６に進む。そして、ステップ８０６で、判断部１２０ｂは、設定すべきロッドの指定位置が算出した可動最大値より小か否かを判断する。判断部１２０ｂは、算出した可動最大値が設定すべきロッドの指定位置より小さくない場合は、ステップ８０７に進み、表示部１２２により位置異常警告を行う。
【００６８】
位置異常警告されたロッドについては、そのロッドの指定位置をオペレータが変更して入力し、ステップ８０１以降のステップが実行される。
【００６９】
ステップ８０６で、算出した可動最大値が設定すべきロッドの指定位置より大きい場合は、ステップ８０８に進み、全ロッドの位置異常判定が終了したか否かを判定し、終了していない場合は、他のロッドについて判定するため、ステップ８０１に戻る。
【００７０】
ステップ８０８で、全ロッドの位置異常判定が終了し、位置異常が無い場合は、ステップ８０９に進む。この状態では、メモリ１２４には、全ロッドについては位置異常を発生していない指定位置が記憶されている状態となっている。そして、ロッド移動指令部１２０ｃにより、メモリ１２４に記憶された、指定位置（座標位置）に各ロッドが移動するよう、駆動部９００に指令する。
【００７１】
本発明の第２の実施例においても、第１の実施例と同様な効果を得ることができる。さらに、本発明の第２の実施例においては、選択したロッドについて、他のロッドと干渉しない可動範囲を表示部１２２に予め表示する構成となっているので、より効率的に正確なロッド配置構成を設定することが可能である。
【符号の説明】
【００７２】
１０１・・・ウエハ、１０２・・・ＸＹθステージ、１０３・・・照明光学系、１０４・・・反射ミラー、１０５・・・レーザ装置、１０６・・・レーザ光、１０７・・・検出光学系、１０８・・・結像レンズ、１０９・・・エリアセンサ、１１０・・・ＡＤ変換器、１１１・・・画像処理部、１１２・・・検出光学系、１１３・・・結像レンズ、１１４・・・エリアセンサ、１１５・・・ＡＤ変換器、１１６・・・画像処理部、１１７・・・観察光学系、１１８・・・モニタカメラ、１１９・・・画像キャプチャ制御部、１２０・・・ＣＰＵ、１２０ａ・・・可動最小最大値算出部、１２０ｂ・・判断部、１２０ｃ・・ロッド移動指令部、１２０ｄ・・・検査部、１２１・・・ステージ制御部、１２２・・・ディスプレイ、１２３・・・指定位置入力部、１２４・・・メモリ、１３０・・・空間フィルタ、３０１〜３０８、４０１〜４０８・・・遮光ロッド、３０１ｍ〜３０８ｍ、４０１ｍ〜４０８ｍ・・・モータ（駆動部）、７０４・・・最小値、７０５・・・最大値、７０７・・・決定ボタン、９００・・・駆動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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