(57)【要約】【課題】電動弁に改造または分解を施すことなく電動弁の故障または劣化に関する詳細な診断を短時間で行うことを可能とする弁棒荷重測定装置、弁棒荷重測定方法および弁棒荷重測定プログラムを提供する。【解決手段】弁棒荷重測定装１０は、電動弁１１の弁体１２に往復動作をさせる弁棒１３の頭頂部１４に設置されて超音波１５を送受信するセンサ１６と、往復動作中の弁棒１３の長手方向に伝搬して底部で反射する超音波１５の伝搬時間を計測する計測部１７と、伝搬時間に基づいて弁棒１３の全長を導出する導出部１８と、弁棒１３の動作中に連続して送受信された超音波１５に基づき導出された全長Ｌの変化から弁棒１３にかかる荷重変化Ωを算出する荷重変化算出部１９と、を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電動弁の弁体に往復動作をさせる弁棒の頭頂部に設置されて超音波を送受信するセンサと、
往復動作中の前記弁棒の長手方向に伝搬して底部で反射する前記超音波の伝搬時間を計測する計測部と、
前記伝搬時間に基づいて前記弁棒の全長を導出する導出部と、
前記弁棒の動作中に導出された複数の前記全長の変化から前記弁棒にかかる荷重変化を算出する荷重変化算出部と、を備えることを特徴とする弁棒荷重測定装置。
【請求項２】
前記荷重変化に付与されたマーキングポイントにおける荷重値の基準荷重に対する偏差を計算する偏差計算部と、
前記偏差が偏差閾値を超えた場合に警告信号を出力する診断部と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の弁棒荷重測定装置。
【請求項３】
前記マーキングポイントにおける荷重値を過去の測定値とともに履歴データとして保存する保存部と、
前記警告信号に基づく表示、前記履歴データおよび前記荷重変化の少なくとも１つを表示する表示部と、を備えることを特徴とする請求項２に記載の弁棒荷重測定装置。
【請求項４】
前記伝搬時間は、前記底部で反射した前記超音波が最大ピークを示す時点に基づいて計測されることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の弁棒荷重測定装置。
【請求項５】
前記伝搬時間は、前記底部で反射した前記超音波の重心を示す時点に基づいて計測されることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の弁棒荷重測定装置。
【請求項６】
前記重心を示す時点は、強度閾値を超える振幅をもつ前記超音波を抽出して導くことを特徴とする請求項５に記載の弁棒荷重測定装置。
【請求項７】
電動弁の弁体に往復動作をさせる弁棒の内部を長手方向に伝搬して底部で反射する超音波を送受信するステップと、
受信された前記超音波の伝搬時間を計測するステップと、
前記伝搬時間に基づいて前記弁棒の全長を導出するステップと、
前記弁棒の動作中に導出された複数の前記全長の変化から前記弁棒にかかる荷重変化を算出するステップと、を含むことを特徴とする弁棒荷重測定方法。
【請求項８】
コンピュータに、
電動弁の弁体に往復動作をさせる弁棒の内部を長手方向に伝搬して底部で反射する超音波を送受信するステップと、
受信された前記超音波の伝搬時間を計測するステップと、
前記伝搬時間に基づいて前記弁棒の全長を導出するステップ、
前記弁棒の動作中に導出された複数の前記全長の変化から前記弁棒にかかる荷重変化を算出するステップ、を実行させることを特徴とする弁棒荷重測定プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電動弁の非分解による弁棒荷重測定技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば発電プラントなどの各種プラントでは、プラントに用いられる電動弁を、決められた周期で点検を行う時間計画保全が行われている。この点検の主要な対象となる弁体または弁棒は、駆動部や弁箱の内部に格納され、直接的な点検には分解が必要となる。
【０００３】
しかし、原子力発電プラントなどで分解による点検をすると、点検に時間がかかり、作業員が被ばくし、望ましくない。
また、劣化が生じていない電動弁を頻繁に分解すると、組立て後の調整不良でかえって不具合が生じる。
【０００４】
このため、近年、外部からの診断で電動弁の劣化状態を定期的に監視し、必要に応じて分解し点検する状態監視保全の導入が図られている。この診断のパラメータには、弁棒にかかる荷重（以下、単に「弁棒荷重」という）、モータの電流または電圧などが用いられる。
【０００５】
特に弁棒荷重は、弁棒が駆動部からの動力で弁体に往復動作をさせるものであるため、電動弁の内部の多様な不具合を高い感度で感知するパラメータである。
なお、外部から診断をする技術は、弁棒の頭頂部から弁棒の内部に超音波を送信し、伝搬時間を解析する技術が知られている（例えば、特許文献１から特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第２８６８８６１号公報
【特許文献２】特開２０１２−２５１８３５号公報
【特許文献３】特開平４−９３６５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、従来技術の大部分は、伝搬時間の変化から、例えば弁棒の亀裂の有無または弁体の振動の有無など特定の不具合の有無を確認するものである（例えば、特許文献１または特許文献２）。
【０００８】
つまり、これらの技術は、弁棒荷重をパラメータとせず、不具合の兆候が振動などとなって物理的に表れる前からその不具合の傾向を観察することができるものではない。さらに、これらの技術は１または２の特定の不具合を検知するのみで、電動弁の包括的な診断を行うものではない。
【０００９】
また、超音波の伝搬時間から弁棒荷重を算出するものもあるが（例えば、特許文献３）、弁棒荷重を用いて弁体の一連の往復動作から包括的に診断する技術は知られていない。つまり、電動弁に改造または分解を施すことなく状態監視保全として電動弁の故障または劣化に関する詳細な診断をすることができる技術は知られていない。
【００１０】
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、電動弁に改造または分解を施すことなく電動弁の故障または劣化に関する詳細な診断を短時間で行うことを可能とする弁棒荷重測定装置、弁棒荷重測定方法および弁棒荷重測定プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本実施形態にかかる弁棒荷重測定装置は、電動弁の弁体に往復動作をさせる弁棒の頭頂部に設置されて超音波を送受信するセンサと、往復動作中の前記弁棒の長手方向に伝搬して底部で反射する前記超音波の伝搬時間を計測する計測部と、前記伝搬時間に基づいて前記弁棒の全長を導出する導出部と、前記弁棒の動作中に導出された複数の前記全長の変化から前記弁棒にかかる荷重変化を算出する荷重変化算出部と、を備えるものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明により、電動弁に改造または分解を施すことなく電動弁の故障または劣化に関する詳細な診断を短時間で行うことを可能とする弁棒荷重測定装置、弁棒荷重測定方法および弁棒荷重測定プログラムが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態にかかる弁棒荷重測定装置の構成図。
【図２】本実施形態にかかる弁棒荷重測定装置が適用される電動弁の弁棒およびこの弁棒を伝搬する超音波の様子を示す図。
【図３】本実施形態にかかる弁棒荷重測定装置の計測部に送られる超音波のデジタル信号を示す図。
【図４】本実施形態にかかる弁棒荷重測定装置の荷重変化算出部で算出する荷重変化のグラフの一例を示す図。
【図５】反射される超音波の伝搬時間τの決定方法を示す図。
【図６】弁棒の全長方向の荷重値の測定回数による変化を示した履歴データのグラフの一例を示す図。
【図７】本実施形態にかかる弁棒荷重測定方法の動作手順を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１５】
（実施形態）
図１は、弁棒荷重測定装置１０（以下、単に「測定装置１０」という）の構成図である。
また、図２は、実施形態にかかる測定装置１０が適用される電動弁１１の弁棒１３およびこの弁棒１３を伝搬する超音波１５（１５ａ，１５ｂ）の様子を示す図である。
【００１６】
さらに、図３は、実施形態にかかる測定装置１０の計測部１７に送られる超音波１５のデジタル信号を示す図である。
そして、図４は、実施形態にかかる測定装置１０の荷重変化算出部１９で算出する荷重変化Ωのグラフの一例を示す図である。
【００１７】
本実施形態にかかる測定装置１０は、図１から図４に示されるように、電動弁１１の弁体１２に往復動作をさせる弁棒１３の頭頂部１４に設置されて超音波１５（１５ａ，１５ｂ）を送受信するセンサ１６と、往復動作中の弁棒１３の長手方向に伝搬して底部で反射する超音波１５の伝搬時間τを計測する計測部１７と、伝搬時間τに基づいて弁棒１３の全長Ｌを導出する導出部１８と、弁棒１３の動作中に連続して送受信された超音波１５に基づき導出された複数の全長Ｌの変化から弁棒１３にかかる荷重変化Ωを算出する荷重変化算出部１９と、を備える。
【００１８】
さらに、測定装置１０は、荷重変化Ωに付与されたマーキングポイントＭにおける荷重値の基準荷重Ｓに対する偏差を計算する偏差計算部２３と、偏差が偏差閾値Ｙ（Ｙ１，Ｙ２）を超えた場合に警告信号を出力する診断部２９と、を備える。
【００１９】
そして、測定装置１０は、荷重値を過去の測定値とともに履歴データとして保存する保存部２２と、警告信号に基づく表示、履歴データおよび荷重変化Ωの少なくとも１つを表示する表示部２４と、を備える。
【００２０】
センサ１６は、図１および図２に示されるように、電動弁１１の弁体１２に往復動作をさせる弁棒１３の頭頂部１４に設置されて超音波１５（１５ａ，１５ｂ）を送受信する。弁箱３１に収容された弁体１２に通常運転と同様の往復動作をさせ、センサ１６から超音波１５を一定の間隔で連続的に送信する。
【００２１】
センサ１６は、弁箱３１の外部に突出した弁棒１３の頭頂部１４に設置される。なお、弁棒１３は、駆動部２６とともにカバーで被覆されている場合もある。弁棒１３が被覆されている場合であっても、弁棒１３の頭頂部１４は一般に駆動部２６から突出しているので、カバーを外し、この頭頂部１４にセンサ１６を設置すればよい。
【００２２】
このように頭頂部１４にセンサ１６を設置するため、弁棒１３の側面にセンサ１６を設置させた従来技術のように往復動作を中断してセンサ１６を再設置する必要はない。また、センサ１６は、一つのセンサ１６を使い回せるため頭頂部１４に仮設するのが好適だが、センサ１６を常設してもよい。
【００２３】
なお、センサ１６で受信した超音波１５は、超音波送受信部２７（以下、単に「送受信部２７」という）に送られる。送受信部２７はまた、センサ１６の超音波１５の送信のタイミング、波数または強度なども制御する。
【００２４】
また、送受信部２７で受信された超音波１５は、Ａ／Ｄ変換部２８に送られて、デジタル信号へと変換される。デジタル信号に変換された超音波１５（１５ｃ，１５ｄ）は、計測部１７に、時間と振幅の関係として送られる。
【００２５】
計測部１７は、図３に示されるように、往復動作中の弁棒１３の長手方向に伝搬して底部で反射する超音波１５（１５ｃ，１５ｄ）の伝搬時間τ（τ１、τ２、τ３、…）を計測する。
【００２６】
図５は、反射される超音波１５ｄ（エコー波１５ｄ）の伝搬時間τの決定方法を示す図である。エコー波１５ｄは、送信される超音波１５ａ（１５）に比べ、小さく、複数の箇所で起こる反射によって複数の波形が重なりあった形状となることがある。
【００２７】
そこで、エコー波１５ｄの受信の時点の位置決定の不統一によるばらつきを防止するため、エコー波１５ｄの重心３２を示す時点をエコー波１５ｄの受信の時点として計測する。なお、エコー波１５ｄの絶対値がエコー波１５ｄの全体の平均値Ｄを超えるピークを抽出し、抽出されたピークの重心３２における時刻とするのが望ましい。
【００２８】
このようにエコー波１５ｄの波形のピークを平均値Ｄに達するか否かでフィルタリングすることで、より正確なエコー波１５ｄの重心３２を取得することができる。
なお、エコー波１５ｄの波形が単一の正弦波に近いと認められる場合には、伝搬時間τの受信の時点を、そのピークの最大位置における時刻としてもよい。
【００２９】
導出部１８は、伝搬時間τに基づいて弁棒１３の全長Ｌを次式（１）より導出する。
Ｌ＝τ・ｃｕ／２          （１）
ここで、ｃｕは音速である。
【００３０】
超音波１５は音速で伝搬すると考えられるので、τ・ｃｕは伝搬時間τに超音波１５が伝搬した道のりを表すことになる。よって、弁棒１３の全長Ｌは、超音波１５が伝搬した道のりの半分の長さとなるので、（１）で導出することができる。
【００３１】
荷重変化算出部１９は、往復動作中に連続して送受信された超音波１５に基づき導出された複数の弁棒１３の全長Ｌの変化から、例えば、図４に示されるような弁棒１３にかかる荷重変化Ωを算出する。
弁棒１３は、駆動部２６からねじ山３４（図２）を介して付与される動力によって弁体１２とともに往復動作をする。これら駆動部２６、弁体１２および弁棒１３の動作およびこの動作に起因する荷重変化Ωの不連続点を動作イベントΓという。
【００３２】
動作イベントΓは、例えば弁棒１３の荷重変化Ωに現れるものに限定すると、開動作では、弁棒１３に連結するギア（図示せず）が回転し始める「Γ１；ハンマーブロー」時、弁棒１３のみが開動作を開始する「Γ２；弁棒開動作開始」時、弁棒１３が弁体１２とともに開動作を開始する「Γ３；弁体開動作開始」時などが挙げられる。
【００３３】
閉動作では、上述のギアが逆回転し始める「Γ４；ハンマーブロー」時、弁棒１３が弁体１２とともに閉動作を開始する「Γ５；弁体閉動作開始」時、弁体１２がシート部３３に当たる「Γ６；弁体シート接触」時、駆動部２６の内部のモータ停止により弁体１２の動作が停止する「Γ７；弁体動作停止」時などが挙げられる。
【００３４】
これらの動作イベントΓにおいて弁棒１３に弁棒荷重がかかると、弁棒１３の全長Ｌはわずかに伸縮し、この伸縮から弁棒１３にかかる荷重変化Ωを算出することができる。
なお、荷重変化Ωの算出の精度を向上させるため、弁体１２の往復動作を３回、４回と繰り返し、計測される伝搬時間τの平均から荷重変化Ωを算出してもよい。
【００３５】
偏差計算部２３は、荷重変化Ωに付与されたマーキングポイントＭにおける荷重値の基準荷重Ｓに対する偏差を計算する。
ここで、マーキングポイントＭとは、動作イベントΓに由来する荷重変化Ωの形状を特徴づける荷重変化Ωにおける数〜数十の点のことである。
【００３６】
マーキングポイントＭは、例えば、上述の「Γ１；ハンマーブロー」、「Γ２；弁棒開動作開始」、「Γ３；弁体開動作開始」、「Γ４；ハンマーブロー」、「Γ５；弁体閉動作開始」、「Γ６；弁体シート接触」、「Γ７；弁体動作停止」などの動作イベントΓの応答値となる不連続点が典型的である。
【００３７】
ただし、マーキングポイントＭは、一般にはより細かに、多くのものが定義される。定義保持部２５には、どの動作イベントΓまたは荷重変化Ωのどのような特徴点に対してマーキングをするかなど、各々のマーキングポイントＭに関する定義が保持されている。作業員は、荷重変化Ωのグラフ上で定義された各々のマーキングポイントＭの位置決定を入力部３５から行う。
【００３８】
なお、送信される超音波１５の単位時間当たりの波数が多くなると、図４で示される荷重変化Ωのグラフを構成する離散データの間隔がつまり、マーキングポイントＭの位置決定を正確に行うことができる。
【００３９】
また、基準荷重Ｓとは、着目するマーキングポイントＭにおいて、弁棒１３にかかる最適な荷重値のことである。この基準荷重Ｓは、一般的に、着目するマーキングポイントＭにおいて最初に測定された荷重値とするのが好適である。
【００４０】
弁棒１３に付加される荷重値は、弁棒１３に故障または劣化が発生しなければ、最初に測定された荷重値のまま一定であると考えられるからである。
ただし、最初に測定された荷重値でなくとも、例えば弁装置の規格などから正常な荷重値を特定することができれば、この荷重値を基準荷重Ｓとしてもよい。
【００４１】
診断部２９は、荷重値の基準荷重Ｓからの偏差が偏差閾値Ｙ（Ｙ１，Ｙ２）を超えた場合に警告信号を出力する。偏差の偏差閾値Ｙ（Ｙ１，Ｙ２）は、偏差閾値保持部２１に保持される。
例えば、図４において、「Γ７；弁体動作停止」は、弁棒１３にかかるトルクを検知して動作の停止信号を発信するトルクスイッチによって制御される荷重値である。
【００４２】
しかし、トルクスイッチが正常にトルクを検知しないと、全閉状態とならないうちに、または押え付け力Ａが過剰にかかった状態で停止信号を発信してしまう。
例えば停止信号の発信が遅れ、押え付け力Ａが過剰にかかると、図４に示されるに荷重変化Ωに突起Ｃができる。
【００４３】
よって、正常状態からの荷重値の偏差が荷重変化Ωのグラフ上に現れるので、荷重変化Ωから故障または劣化を視認することができる。
しかし、「Γ７；弁体動作停止」のマーキングポイントＭにおける荷重値の偏差を、診断部２９で偏差閾値Ｙにより解析することで、より正確に状態を把握することができる。
【００４４】
例えば、偏差が偏差閾値Ｙ１を超えると、「注意」の警告信号を、偏差閾値Ｙ２を超えた場合には、「故障」の警告信号を出力する。荷重値の状態は、さらに多くの偏差閾値Ｙにより、より詳細に規定されてもよい。
【００４５】
また、履歴データは必ずしも１つのマーキングポイントＭに一対一で対応するものでなくてもよい。
例えば、「Γ５；弁体閉動作開始」および「Γ６；弁体シート接触」の２つのマーキングポイントＭに挟まれた区間は、弁棒１３の閉動作の動作中、ほぼ一定の弁棒荷重がかかる。
【００４６】
しかし、弁棒１３を巻くように配置されたグランドパッキンが劣化すると、締付け力Ｂ（図４）が低下する。このような一定の弁棒荷重がかかる時間に幅がある場合、２つのマーキングポイントＭに挟まれたこの区間の平均の荷重値を診断する。
【００４７】
荷重値の平均をとることで、グランドパッキンによる弁棒１３の閉動作中にかかる荷重値の診断をより正確に行うことができる。
なお、荷重変化Ωのグラフにおいて締付け力Ｂによる水平な荷重値の直線が無荷重状態の０に近づくので、作業員は荷重変化Ωからもグランドパッキンの状態を把握できる。
【００４８】
また、例えば複数のマーキングポイントＭの荷重値を加重平均などし、新たなパラメータとすることもできる。
なお、各々のマーキングポイントＭによって基準荷重Ｓからの偏差の許容範囲は異なるので、偏差閾値Ｙは、マーキングポイントＭごとに規定される。
【００４９】
図６は、弁棒１３の全長方向の荷重値（絶対値）の測定回数による変化を示した履歴データのグラフの一例を示す図である。
保存部２２は、荷重値を測定時ごとに図６で示されるような履歴データとして保存する。
【００５０】
保存部２２には、履歴データのほかにも荷重変化Ωまたは診断部２９で出力される警告信号なども保存してもよい。保存された履歴データなどは、次回以降の測定で、過去のデータとして自由に診断部２９または診断部２９に接続される表示部２４に呼び出し利用することができる。
【００５１】
表示部２４は、警告信号に基づく表示、履歴データおよび荷重変化Ωの少なくとも１つを表示する。表示の方法は、警告信号が発せられたマーキングポイントＭの着色を変える方法や、文字として表示させるなど種々の方法が考えられ、特に方法は限定されない。
【００５２】
また、警告信号は、保存部２２に保存された履歴データまたは荷重変化Ωとともに表示されてもよい。
なお、履歴データをグラフとして表示することで、診断部２９の警告信号によらずとも、作業員は表示されたマーキングポイントＭの傾向の把握をすることができる。
【００５３】
履歴データには、横軸を測定回数ではなく測定時とする変更や、荷重値に測定時を合わせて表示するなど適宜工夫が施される。
【００５４】
次に実施形態にかかる弁棒荷重測定方法の動作手順を図７を用いて説明する。
図７は、実施形態にかかる弁棒荷重測定方法の動作手順を示すフローチャートである。
【００５５】
まず、弁棒１３の頭頂部１４にセンサ１６を設置する（ステップＳ１１）。
弁棒１３の頭頂部１４が駆動部２６のカバーで被覆されている場合は、カバーを外して設置する。
【００５６】
送受信部２７からセンサ１６を介して超音波１５を送信すると、超音波１５は往復動作中の弁棒１３の長手方向に伝搬する（ステップＳ１２）。弁棒１３を伝搬し、底部で反射した超音波１５はセンサ１６で受信される（ステップＳ１３）。
【００５７】
センサ１６で受信された超音波１５（１５ａ，１５ｂ）は、送受信部２７で受信されて、Ａ／Ｄ変換部２８でデジタル信号へと変換される。
デジタル信号となった超音波１５の入射波１５ｃ（１５）の送信時点からエコー波１５ｄ（１５）の受信時点までの時間を超音波１５の伝搬時間τを計測する（ステップＳ１４）。
【００５８】
この伝搬時間τに基づいて弁棒１３の全長Ｌを導出する（ステップＳ１５）。
連続的に計測され導出された弁棒１３の全長Ｌの変化から弁棒１３にかかる荷重変化Ωを算出する（ステップＳ１６）。
【００５９】
弁体１２が往復動作を終了するまで、上述の荷重変化Ωの算出までの一連のステップを繰り返す（ステップＳ１７；ＮＯ；ステップＳ１２へ）。
弁体１２の往復動作が終了すると（ステップＳ１７；ＹＥＳ）、作業員は、入力部３５から荷重変化Ωのグラフ上で、マーキングポイントＭの位置決定を行う（ステップＳ１８）。
【００６０】
作業員が位置決定を行うマーキングポイントＭは、定義保持部２５に定義され、保持されている。そして、偏差計算部２３は、入力されたマーキングポイントＭにおける荷重値および基準荷重Ｓの偏差を計算する（ステップＳ１９）。
【００６１】
ここで、各々のマーキングポイントＭにおける荷重値は、保存部２２の履歴データに追加されて保存される（ステップＳ２０）。
【００６２】
そして、診断部２９において、計算された偏差が偏差閾値Ｙを超えたか否かが診断される（ステップＳ２１）。この偏差が偏差閾値Ｙを超えた場合（ステップＳ２１；ＮＯ）、診断部２９は警告信号を出力する（ステップＳ２２）。
【００６３】
警告信号の出力は、例えば表示部２４に表示する文字またはグラフの着色を変えて表示する方法や音声または振動で知らせる方法など、その方法は限定されない。
同時に、荷重変化Ωまたは履歴データを表示部２４に表示する（ステップＳ２１）。
【００６４】
この荷重値の偏差が偏差閾値Ｙを超えていない場合（ステップＳ２１；ＹＥＳ）、荷重変化Ωまたは履歴データのみを表示し（ステップＳ２３）、動作を終了する。
なお、測定において警告信号の出力があれば、この警告信号も保存部２２に保存する。
【００６５】
以上のように、本実施形態にかかる測定装置１０、弁棒荷重測定方法および弁棒荷重測定プログラムによれば、電動弁１１の不具合に対して感度の高い弁棒荷重を電動弁１１の一連の往復動作にわたって測定することにより、電動弁１１に改造または分解を施すことなく電動弁１１の故障または劣化に関する詳細な診断が可能となる。
【００６６】
さらに、センサ１６を弁棒１３の頭頂部１４に設置することにより、センサ１６の位置の再設置を要せず、短時間で測定することが可能となる。
【００６７】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。
これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更、組み合わせを行うことができる。
これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均などの範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６８】
１０…弁棒荷重測定装置（測定装置）、１１…電動弁、１２…弁体、１３…弁棒、１４…頭頂部、１５（１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ）…超音波、１５ｄ（１５）…エコー波、１６…センサ、１７…計測部、１８…導出部、１９…荷重変化算出部、２１…偏差閾値保持部、２２…保存部、２３…偏差計算部、２４…表示部、２５…定義保持部、２６…駆動部、２７…超音波送受信部（送受信部）、２８…Ａ／Ｄ変換部、２９…診断部、３１…弁箱、３２…重心、３３…シート部、３４…ねじ山、３５…入力部、Ａ…押え付け力、Ｂ…締付け力、Ｃ…突起、Ｄ…平均値（強度閾値）、Ｌ…全長、Ｍ（Ｍ１，Ｍ２，…）…マーキングポイント、Ｓ…基準荷重、Ｙ（Ｙ１，Ｙ２）…偏差閾値、Γ（Γ１〜Γ７）…動作イベント、Ω…荷重変化、τ…伝搬時間。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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