(57)【要約】【課題】蛇路を封止するシール部材の潰し量のバラツキを抑制し、潰し過ぎを防止した流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ベース部とカバー部とで分割可能なカバーと、前記カバー部及び前記ベース部の相対向する対向面の一方に設けられ、前記対向面内の第１方向に延設され、且つ、前記第１方向と交差する第２方向に並設される流路溝と、前記対向面の間に配置されて前記流路溝を覆って流路壁面の一部を構成する弾性を有するシール部材と、前記ベース部と前記カバー部の対向面の一方に設けられ、他方に向けて突出するとともに、前記他方と面で当接する当接部と、を備え、前記当接部は、前記流路溝の前記第１方向及び前記第２方向の何れか一方の方向の両側に設けられ、他方の方向に沿って延設されており、前記ベース部と前記カバー部は締結部材によって固定されている。【選択図】      図３
2015168064.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部とカバー部とで分割可能なカバーと、
前記カバー部及び前記ベース部の相対向する対向面の一方に設けられ、前記対向面内の第１方向に延設され、且つ、前記第１方向と交差する第２方向に並設される流路溝と、
前記対向面の間に配置されて前記流路溝を覆って流路壁面の一部を構成する弾性を有するシール部材と、
前記ベース部と前記カバー部の対向面の一方に設けられ、他方に向けて突出するとともに、前記他方と面で当接する当接部と、
を備え、
前記当接部は、前記流路溝の前記第１方向及び前記第２方向の何れか一方の方向の両側に設けられ、他方の方向に沿って延設されており、
前記ベース部と前記カバー部は締結部材によって固定されていることを特徴とする流路部材。
【請求項２】
前記流路溝は、前記第１の方向の第１の辺と、前記第２の方向の前記第１の辺の長さよりも長い第２の辺と、で囲まれた領域に設けられ、前記当接部は、前記第２の辺が延びる方向の両側に設けられていることを特徴とする請求項１記載の流路部材。
【請求項３】
前記当接部は、少なくとも前記流路溝の延設又は並設する寸法と同等の寸法を有して延設されていることを特徴とする請求項１又は２記載の流路部材。
【請求項４】
前記カバーの内方に、液体の流路が形成された積層構造を有する流路部材本体を具備し、該流路部材本体が、少なくとも１つ背圧制御部を備えることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項記載の流路部材。
【請求項５】
前記締結部材が設けられた部位に対応した前記カバー部及び前記ベース部の相対向する対向面の一方に、他方に向けて突出して前記他方と面で当接する第２当接部が設けられていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項記載の流路部材。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか一項に記載の流路部材を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項７記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドのヘッド本体に液体を供給するための流路部材、この流路部材を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【０００２】
液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドは、ノズル開口と連通する圧力発生室に圧力変化を生じさせてノズル開口からインク滴を吐出することで、紙等の媒体上にインク滴による印字等を行なうものである。この種のインクジェット式記録ヘッドには、ノズル開口を有するヘッド本体にインクを供給するための流路部材を、バルブユニット（背圧制御ユニット）に設けたものが提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
このようなバルブユニットは、カバーの内部に流路部材本体が保持されて構成されている。そして、流路部材本体には、流路が設けられており、流路の途中には、圧力調整室と、圧力調整室の圧力変化によって開閉する弁体とが設けられている。また、圧力調整室を画成するフィルム部材を保持するフィルム保持部は、大気開放路を介して大気開放されている。そして、大気開放路は、蛇路をシール部材で覆い、このシール部材を二つのカバー部材を締結する際に挟持することで、蛇路をシール部材で封止するようになっている（特許文献１参照）。また、特許文献１では、二つのカバー部材を締結して、内部の流路部材本体を適正に押圧する構造のため、第１当接部を設け、第２当接部同士が当接するまで締結できるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２０６４２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の構造では、蛇路をシールするシール部材の潰し量にバラツキが生じ、潰し過ぎにより、ゴム製のシール部材からの油分の滲み（ブリード）が発生し、また、その油分によって蛇路が塞がれてしまうなどの問題がある。
【０００６】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明は、上記従来技術に鑑み、蛇路を封止するシール部材の潰し量のバラツキを抑制し、潰し過ぎを防止した流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、ベース部とカバー部とで分割可能なカバーと、前記カバー部及び前記ベース部の相対向する対向面の一方に設けられ、前記対向面内の第１方向に延設され、且つ、前記第１方向と交差する第２方向に並設される流路溝と、前記対向面の間に配置されて前記流路溝を覆って流路壁面の一部を構成する弾性を有するシール部材と、前記ベース部と前記カバー部の対向面の一方に設けられ、他方に向けて突出するとともに、前記他方と面で当接する当接部と、を備え、前記当接部は、前記流路溝の前記第１方向及び前記第２方向の何れか一方の方向の両側に設けられ、他方の方向に沿って延設されており、前記ベース部と前記カバー部は締結部材によって固定されていることを特徴とする流路部材にある。
かかる態様では、流路溝の両側の対向面に当接部が設けられているので、締結部材による締結の度合いが均一化され、シール部材の潰し量のバラツキを低減できる。
【０００９】
ここで、前記流路溝は、前記第１の方向の第１の辺と、前記第２の方向の前記第１の辺の長さよりも長い第２の辺と、で囲まれた領域に設けられ、前記当接部は、前記第２の辺が延びる方向の両側に設けられていることが好ましい。これによれば、流路溝全体に対するシール部材の潰し量がより均一化される。
【００１０】
また、前記当接部は、少なくとも前記流路溝の延設又は並設する寸法と同等の寸法を有して延設されていることが好ましい。これによれば、流路溝全体に対するシール部材の潰し量がより均一化される。
【００１１】
また、前記カバーの内方に、液体の流路が形成された積層構造を有する流路部材本体を具備し、該流路部材本体が、少なくとも１つ背圧制御部を備えることが好ましい。これによれば、これによれば、背圧制御部の大気圧側の大気開放が前記流路溝を介して行うことができる。
【００１２】
また、前記締結部材が設けられた部位に対応した前記カバー部及び前記ベース部の相対向する対向面の一方に、他方に向けて突出して前記他方と面で当接する第２当接部が設けられていることが好ましい。これによれば、締結部材の締結量を第２当接部で制御でき、流路溝全体に対するシール部材の潰し量がより均一化される。
【００１３】
本発明の他の態様は、前記流路部材を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。かかる態様では、流路溝の両側の対向面に当接部が設けられ、締結部材による締結の度合いが均一化され、シール部材の潰し量のバラツキが低減した流路部材を備えた液体噴射ヘッドが実現できる。
【００１４】
また、本発明の他の態様は、前記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、流路溝の両側の対向面に当接部が設けられ、締結部材による締結の度合いが均一化され、シール部材の潰し量のバラツキが低減した流路部材を備えた液体噴射装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る流路部材の第１本体の分解斜視図である。
【図３】実施形態１に係る流路部材の第２本体の分解斜視図である。
【図４】実施形態１に係る流路部材の模式的断面図である。
【図５】実施形態１に係る流路部材のベース部の平面図及び背面図である。
【図６】実施形態１に係る流路部材のカバー部の平面図及び背面図である。
【図７】実施形態１に係る流路部材の分解斜視図である。
【図８】実施形態１の下流フィルター室の平面図及び断面図である。
【図９】本発明の効果を説明する図である。
【図１０】本発明の変形例を説明する図である。
【図１１】実施形態１及び変形例の当接部の位置関係を模式的に示す図である。
【図１２】図６（ｂ）の拡大図である。
【図１３】シール部の潰し量を説明する図である。
【図１４】第２当接部近傍の断面図である。
【図１５】実施形態１に係るヘッド本体の一例を示す分解斜視図である。
【図１６】実施形態１に係るヘッド本体の液体噴射面側からの平面図である。
【図１７】図１６のＡ−Ａ’線断面図である。
【図１８】本発明の一実施形態に係る液体噴射装置を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、流路部材本体の第１本体の分解斜視図であり、図３は、流路部材本体の第２本体の分解斜視図及び要部斜視図であり、図４は、流路部材の断面を模式的に示した断面図であり、図５は、ベース部の平面図及び背面図であり、図６は、カバー部の平面図及び背面図であり、図７は、流路部材の分解斜視図である。
【００１７】
図１に示すように、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１０００は、流路部材である背圧制御ユニット１０２０と、背圧制御ユニット１０２０の底面に設けられた回路基板１０７０と、回路基板１０７０の背圧制御ユニット１０２０とは反対側に設けられたヘッドケース１０８０と、ヘッドケース１０８０に固定されたヘッド本体２１０と、を具備する。
【００１８】
背圧制御ユニット１０２０は、外部のインクが貯留されたインクタンクなどの液体貯留手段からのインクをヘッド本体２１０に供給する流路部材である。
【００１９】
ここで、背圧制御ユニット１０２０について詳細に説明する。背圧制御ユニット１０２０は、中空状の箱状部材からなるカバー１０３０と、カバー１０３０の内部に設けられた流路部材本体１０４０と、を具備する。
【００２０】
カバー１０３０は、上下に分割されたベース部１０３１とカバー部１０３２とを具備する。ベース部１０３１は、カバー部１０３２側に開口する凹形状を有する第１保持部１３１１を具備する。
【００２１】
また、ベース部１０３１の第１保持部１３１１の底面には、厚さ方向に貫通してヘッド本体２１０にインクを供給する複数の供給口１３１２が設けられている。本実施形態では、ベース部１０３１の底面に８個の供給口１３１２を設けた（図５参照）。
【００２２】
カバー部１０３２は、図１、図２及び図４に示すように、ベース部１０３１の第１保持部１３１１を覆う大きさを有し、ベース部１０３１の第１保持部１３１１に相対向してベース部１０３１側に開口する凹形状を有する第２保持部１３２１を有する。
【００２３】
そして、ベース部１０３１とカバー部１０３２とが、第１保持部１３１１と第２保持部１３２１とを相対向させて固定されることで、カバー部１０３２の内部には第１保持部１３１１と第２保持部１３２１とによって画成された空間である保持部１０３３が形成される。
【００２４】
ここで、ベース部１０３１には、図４〜図６に示すように、第１保持部１３１１の側面を画成する第１壁部１３１５が設けられている。また、カバー部１０３２には、第２保持部１３２１の側面を画成する第２壁部１３２２が設けられている。そして、これらベース部１０３１とカバー部１０３２とは、第１壁部１３１５の先端面と第２壁部１３２２の先端面とを互いに第１シール部１０３４を介して当接させて固定されている。すなわち、第１壁部１３１５と第２壁部１３２２との間には、ゴムやエラストマー等からなる第１シール部１０３４が挟持される。もちろん、この第１シール部１０３４は熱溶着や接着剤を用いた接着であってもよい。なお、ベース部１０３１とカバー部１０３２とは、図１に示す、ねじ等の締結部材１０３７をカバー部１０３２側から挿入し、締結部材１０３７をベース部１０３１に螺合させることで固定される。
【００２５】
このようなカバー１０３０の保持部１０３３に保持される流路部材本体１０４０は、図１〜図７に示すように、本実施形態では、カバー１０３０側に設けられた第１流路部材１０４１と、第１流路部材１０４１のベース部１０３１側に設けられた第２流路部材１０４２と、第２流路部材１０４２のベース部１０３１側に設けられた第３流路部材１０４３と、第２流路部材１０４２のベース部１０３１側に設けられた第３流路部材１０４３と、が積層されて構成されている第１本体１０４０Ａを具備する。さらに、ベース部１０３１に取り付けられた第５流路部材１０４５と、第５流路部材１０４５とベース部１０３１との間に設けられた第６流路部材１０４６とから構成される第２本体１０４０Ｂを具備する（図３参照）。
【００２６】
これら第１流路部材１０４１、第２流路部材１０４２、第３流路部材１０４３、第４流路部材１０４４、第５流路部材１０４５及び第６流路部材１０４６のそれぞれは、樹脂材料や金属材料等からなる板状部材で形成されている。そして、これらの第５流路部材１０４５及び第６流路部材１０４６は、ベース部１０３１に取り付けられ、また、第１流路部材１０４１、第２流路部材１０４２、第３流路部材１０４３及び第４流路部材１０４４から構成される第１本体１０４０Ａは、積層された状態で、カバー１０３０の保持部１０３３内に保持される。なお、本実施形態では、第１流路部材１０４１、第２流路部材１０４２、第３流路部材１０４３及び第４流路部材１０４４は、互いに接着剤によって接着されている。
【００２７】
このような第１流路部材１０４１、第２流路部材１０４２、第３流路部材１０４３及び第４流路部材１０４４で構成される第１本体１０４０Ａと、第５流路部材１０４５及び第６流路部材１０４６で構成される第２本体１０４０Ｂとからなる流路部材本体１０４０には、外部のインクが貯留された液体貯留手段からのインクをヘッド本体２１０に供給する液体流路が設けられている。
【００２８】
具体的には、第１本体１０４０Ａは、図２に示すように、液体貯留手段に一端側が接続されたチューブ等の管状部材である供給管（図示なし）の他端部が接続される接続口１０５１を有する導入路１０５２と、導入路１０５２からの液体に含まれるゴミや気泡等の異物を除去する導入用フィルター室１０５３と、導入用フィルター室１０５３と通過した液体が供給される液体室である圧力調整室１０５４と、圧力調整室１０５４内の液体をヘッド側に流出する流出路１０５５と、流出路１０５５の液体を流出する流出口１０５６とを具備する。
【００２９】
一方、第２本体１０４０Ｂは、流出路１０５５に連通する第２導入路１０５７と、第２導入路１０５７から導入される液体をフィルタリングするフィルター室１０５８と、フィルター室１０５８からの液体をヘッド本体２１０に供給する供給路１０５９と、を具備する。
【００３０】
ここで、接続口１０５１は、第３流路部材１０４３の上面にカバー部１０３２の開口部１３２３内に開口して設けられたものである。このような接続口１０５１は、複数のインクに対応して複数個設けられている。本実施形態では、接続口１０５１を４個設けるようにした（図１及び図２参照）。
【００３１】
このような接続口１０５１を有する導入路１０５２は、第３流路部材１０４３や第４流路部材１０４４を貫通する流路や、第２流路部材１０４２と第１流路部材４１との間の流路や、第３流路部材１０４３と第４流路部材１０４４との間の流路などで構成されている。
【００３２】
ここで、接続口１０５１を有する導入路１０５２に設けられた導入用フィルター室１０５３は、第３流路部材１０４３と第４流路部材１０４４とで挟持されたフィルター部材１５３１と、上流側フィルター室１５３２と、下流側フィルター室１５３３とを備え、下流側フィルター室１５３３は、圧力調整室１０５４に連通している。
【００３３】
ちなみに、本実施形態では、図２及び図３に示すように、接続口１０５１を４個設け、この４個の接続口１０５１に対応して４個の導入路１０５２を設け、導入用フィルター室１０５３及び圧力調整室１０５４もそれぞれ４個ずつ設けるようにした。
【００３４】
圧力調整室１０５４は、板状部材である第２流路部材１０４２の第１流路部材１０４１側に開口する凹形状を有する。また、圧力調整室１０５４は、並設方向と直交する方向の一端部側の底面で導入路１０５２に連通し、他端部側の底面に設けられた流出口１０５６を介してフィルター室１０５８と連通している。
【００３５】
ここで、流出路１０５５は、第３流路部材１０４３の底面の凹部内に突設された接続部１４３１内に形成され、接続部１５６１はゴムなどの弾性部材からなるブッシュ１５６２に嵌合している。ブッシュ１５６２は、第４流路部材１０４４の開口部１５６３に保持されており、開口部１５６３の底面部には第３流路部材１０４３を貫通する貫通孔１５６４が連通している。貫通孔１５６４には、第２導入路１０５７が形成された接続部１５６５が挿通されており、接続部１５６５の先端部はブッシュ１５６２に嵌合し、ブッシュ１５６２を介して接続部１５６１と接続されている。
【００３６】
このような圧力調整室１０５４は、第２流路部材１０４２の開口面に設けられたフィルム部材１０４７によって封止されている。ここで、フィルム部材１０４７は、可撓性を有する薄膜状のフィルムであり、第２流路部材１０４２の表面に熱溶着等によって固定されている。また、フィルム部材４７は、圧力調整室１０５４内にドーム状に撓んだ状態となるように加圧成形されている。
【００３７】
さらに、第２流路部材１０４２の圧力調整室１０５４内には、フィルム部材１０４７側に配置された弾性板１０４８が設けられている。弾性板１０４８は、一端部側が第２流路部材１０４２の表面側に固定された状態で圧力調整室１０５４内に突出して設けられており、その先端は圧力調整室１０５４内で自由端となっている。本実施形態では、図２に示すように、弾性板１０４８を固定端側で複数の弾性板１０４８が共通する共通部１０４８ａと、圧力調整室１０５４内に突出するスリット１０４８ｂによって分割された弾性部１０４８ｃと、で構成された、いわゆる櫛歯形状を有するものとした。
【００３８】
このような弾性板１０４８は、共通部１０４８ａが圧力調整室１０５４の開口面側に保持されることで固定されている。なお、弾性板１０４８としては、弾性を有し、且つ耐インク性を有する板状部材であればよく、本実施形態では、ステンレス板を用いた。
【００３９】
また、図２及び図４に示すように、導入路１０５２と圧力調整室１０５４との間には、両者の連通状態を開閉する弁体１１００が設けられている。かかる弁体１１００は圧力調整室１０５４と共に背圧制御部を構成する。
【００４０】
具体的には、弁体１１００は、第３流路部材１０４３の表面に突設された筒状のケース部１１０１内に設けられ、ケース部１１０１の上面は、第２流路部材１０４２の底面に当接している。また、ケース部１１０１の内部は、下流側フィルター室１５３３と、圧力調整室１０５４とに連通している。
【００４１】
また、ケース部１１０１内に設けられた弁体１１００は、ケース部１１０１の内部と圧力調整室１０５４とを連通する挿通孔１１０３に挿通された円柱状の軸部１１０４と、ケース部１１０１内において軸部１１０４の下端部に設けられた軸部１１０４の外径よりも大きい外径を有する円盤状の鍔部１１０５と、を有する。軸部１１０４の下端は鍔部１１０５の上面における中心に連結されていると共に、軸部１１０４の上端は弾性板１０４８の下面（圧力調整室１０５４側の面）に当接している。
【００４２】
鍔部１１０５の外径は、挿通孔１１０３の内径よりも大きく、且つケース部１１０１の内径よりも僅かに小さくなっている。また、鍔部１１０５の下面（第３流路部材１０４３側の面）と第３流路部材１０４３の上面との間には付勢部材の一例であるコイルばね１１０６が介装されている。
【００４３】
このコイルばね１１０６は、弁体１１００を常に閉弁状態となる方向である上方（フィルム部材１０４７側）に向かって付勢するようになっている。そして、この弁体１１００の閉弁状態では、鍔部１１０５が第２流路部材１０４２の底面に密着して挿通孔１１０３が閉鎖された状態、すなわち非連通状態になっている。
【００４４】
そして、圧力調整室１０５４内がヘッド本体２１０へのインクの供給によって負圧になると、フィルム保持部１０６０内部の大気圧との差圧によってフィルム部材１０４７が圧力調整室１０５４側（第３流路部材１０４３側）に撓むように変位する。このフィルム部材１０４７の変位に伴って、弾性板１０４８の弾性部１０４８ｃ（図２参照）が第３流路部材１０４３側に向かって屈曲するように弾性変形する。
【００４５】
この弾性板１０４８の弾性変形により、軸部１１０４がコイルばね１１０６の付勢力に抗して弁体１１００を第３流路部材１０４３側に押し下げることで、鍔部１１０５が挿通孔１１０３の開口する壁面から離反し、圧力調整室１０５４と導入路１０５２とが連通する。
【００４６】
このように、圧力調整室１０５４と導入路１０５２とが連通すると、導入路５２のインクが圧力調整室１０５４内に流れ込む。そして、圧力調整室１０５４及び供給路１０５９内に液体が十分に充填されると、圧力調整室１０５４の負圧が解消されて、弾性板１０４８が元の状態に戻ると共に、各コイルばね１１０６の付勢力によって各弁体１１００がそれぞれ閉弁されることにより各圧力調整室１０５４内は常に一定の圧力に保たれる。
【００４７】
なお、第２流路部材１０４２に設けられた圧力調整室１０５４を封止する第１流路部材１０４１は、第２流路部材１０４２側の面に各圧力調整室１０５４に相対向してフィルム部材１０４７の変形を許容する空間である凹形状を有するフィルム保持部１０６０を具備する。また、第１流路部材１０４１は、フィルム保持部１０６０内に開口する厚さ方向に貫通した貫通孔１６１１を有し、フィルム保持部１０６０内をカバー１０３０内の雰囲気に開放している。
【００４８】
一方、第５流路部材１０４５及び第６流路部材１０４６で構成される第２本体１０４０Ｂに設けられるフィルター室１０５８は、図３に示すように、４個設けられており、それぞれ第５流路部材１０４５と第６流路部材１０４６とで挟持されたフィルター部材１５８１と、第５流路部材１０４５に設けられた上流フィルター室１５８２と、第６流路部材１０４６に設けられた下流フィルター室１５８３とを備えている。ここで、上流フィルター室１５８２を画成する第５流路部材１０４５及び下流フィルター室１５８３を画成する第６流路部材１０４６がフィルター支持部材となっている。
【００４９】
ここで、図８（ａ）、（ｂ）には下流フィルター室１５８３の平面及び断面形状を示す。図示のように、下流フィルター室１５８３の下流側は、少なくとも２つに分岐されるようになっている。本実施形態では、１つの下流フィルター室１５８３は、フィルター部材１５８１の下方に位置して互いに連通する２つの液溜まり部１５８３ａ、１５８３ｂが設けられており、各液溜まり部１５８３ａ、１５８３ｂの傾斜する底面の最も低い底には、それぞれ連通孔１６０１が設けられている。よって、各下流フィルター室１５８３には２つずつの連通孔１６０１が設けられ、４つの下流フィルター室１５８３で合計８個の連通孔１６０１が設けられている。そして、８個の連通孔１６０１は、それぞれ８個の供給路１０５９に連通しており、供給路１０５９を介して、ベース部１０３１の底面に設けられた８個の供給口１３１２のそれぞれに連通する８個の平面流路１３１３にそれぞれ連通するようになっている（図３〜図５参照）。もちろん、８個の供給口１３１２のそれぞれに対応して複数の連通孔１６０１及び供給路１０５９を設けてもよい。
【００５０】
さらに詳言すると、下流フィルター室１５８３の液溜まり部１５８３ａ、１５８３ｂは、上流フィルター室１５８２に向かって開口し、液溜まり部１５８３ａ、１５８３ｂの周囲の第６流路部材１０４６に設けられた段差部にフィルター部材１５８１の周縁部が固定されている。このフィルター部材１５８１の段差部への固定方法は特に限定されず、例えば、熱溶着、超音波溶着などの溶着や、接着剤を用いた接着などが挙げられる。本実施形態では、フィルター取付面に突出したダイレクター１５８３ｅを設け、ダイレクター１５８３ｅにフィルター部材１５８１を押しつけた状態でダイレクター１５８３ｅを熱又は超音波等で溶融させた後、ダイレクター１５８３ｅを固化させることでフィルター部材１５８１をフィルター取付面に固定するようにした。なお、ダイレクター１５８３ｅは、溶融後にはフィルター部材１５８１の微細孔内及び第６流路部材１０４６側の面に広がるため、図８では、溶融前のダイレクター１５８３ｅを点線で示している。
【００５１】
フィルター部材１５８１は、液体であるインク中に含まれるゴミや気泡などの異物を除去するためのものであり、例えば、金属や樹脂等の繊維を細かく編むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものや、金属や樹脂等の板状部材に複数の微細孔を貫通させたものなどを用いることができる。さらに、フィルター部材１５８１は、不織布等を用いてもよく、その材料は特に限定されるものではない。
【００５２】
ここで、フィルター部材１５８１は、図８（ａ）、（ｂ）に示すように、長手方向Ｌ及び短手方向Ｓを有し、液溜まり部１５８３ａ、１５８３ｂに対向する領域の形状を有する。一方、液溜まり部１５８３ａ、１５８３ｂの両者の開口部はフィルター部材１５８１の長手方向Ｌ及び短手方向Ｓより若干小さい寸法を有し、それぞれの底面は周縁部が高く、連通孔１６０１に向かって低くなるように傾斜する傾斜面で形成されている。そして、液溜まり部１５８３ａと液溜まり部１５８３ｂとの間には、尾根１５８３ｃが形成されている。尾根１５８３ｃは、液溜まり部１５８３ａ、１５８３ｂの周縁部より低く、フィルター部材１５８１には接触しないが、２つの連通孔１６０１の間でフィルター部材１５８１に向かって隆起したものである。
【００５３】
液溜まり部１５８３ａ、１５８３ｂの底面には、基端部が底面に固定されて、先端がフィルター２１６側に向かって、すなわち、第３の方向Ｚに直線状に突出して設けられた円柱形状を有するリブ１５８３ｄが設けられている。本実施形態では、左側の連通孔１６０１の左側の傾斜面に２つ、尾根１５８３ｃ上に２つ、尾根１５８３ｃと右側の連通孔１６０１との間に２つ、それぞれリブ１５８３ｄが設けられており、フィルター部材１５８１を支持している。
【００５４】
以上説明したように、１つの圧力調整室１０５４から導入される液体は、第２導入路１０５７を介して１つの上流フィルター室１５８２に入り、１枚のフィルター部材１５８１でフィルタリングされて１つの下流フィルター室１５８３に入り、底面に設けられた２つの連通孔１６０１を介して２つの供給路１０５９に分岐される。
【００５５】
また、４つの圧力調整室１０５４からの液体は、本実施形態では、ブラックＢｋ、マゼンタＭ、シアンＣ及びイエローＹの何れかに対応し、４つの連通孔１６０１は下流フィルター室１０５８を介して各色それそれ２つの供給路１０５９に分岐されることになる。
【００５６】
一方、図５に示すように、ベース部１０３１には、８個の平面流路１３１３が配置され、各平面流路１３１３は、裏面まで貫通する供給口１３１２に連通する。ここで、８個の平面流路１３１３は、ブラックＢｋに対応する２つの平面流路１３１３Ｂｋと、マゼンタＭに対応する２つの平面流路１３１３Ｍと、シアンＣに対応する２つの平面流路１３１３Ｃと、イエローＹに対応する２つの平面流路１３１３Ｙとからなり、２つの平面流路１３１３Ｂｋはそれぞれ供給路１３１２Ｂｋに連通し、２つの平面流路１３１３Ｍはぞれぞれ供給路１３１２Ｍに連通し、２つの平面流路１３１３Ｃはそれぞれ供給路１３１２Ｃに連通し、２つの平面流路１３１３Ｙはそれぞれ供給路１３１２Ｙに連通している。
【００５７】
このように、本実施形態では、４つの接続口１０５１から導入された４種の液体、すなわち、ブラックＢｋ、マゼンタＭ、シアンＣ及びイエローＹは、それぞれ４個の圧力調整室１０５４を経て４個のフィルター室１０５８に導入され、それぞれの下流フィルター室１５８３で２つに分岐され、８つの供給口１３１２からヘッド本体２１０に供給される。なお、本実施形態では、４個のヘッド本体２１０を備え、各ヘッド本体２１０は、それぞれ２列のノズル列を有しており、８つの供給口１３１２から１つのノズル列に液体が供給されるようになっている。
【００５８】
このように、本実施形態では、下流フィルター室１５８３に２つの分岐流路１５９３、１５９６を連通して２つに分岐している。これにより、１種類の液体を供給する１個の圧力調整室１０５４を２つのノズル列で共有することができ、ユニットの小型化、低コスト化を図ることができる。
【００５９】
また、１つのフィルター部材１５８１を２つのノズル列で共用することになり、これによってもユニットの小型化、低コスト化を図ることができる。
【００６０】
図８に示すように、２つの流路に対して１つのフィルター部材１５８１を設けた場合を、図９に示すように、流路毎にフィルター部材１５８１ａ、１５８１ｂを設けた場合と比較すると、フィルター部材１５８１ａ、１５８１ｂを設けた場合には、両者の間に隔壁１５８１ｃが存在し、隔壁１５８１ｃの両側には、溶着部１５８１ｄ、１５８１ｅが存在することになる。よって、１つのフィルター部材１５８１を用いた場合には、隔壁１５８１ｃの寸法Ｌ１と、溶着部１５８１ｄ、１５８１ｅの寸法Ｌ２及びＬ３との合計の寸法だけ、省スペース化を図ることができる。
【００６１】
本実施形態では、図１０（ａ）に示すように、１つのフィルター室１００１の下流に２つの分岐流路１００２を連通するようにし、上流側の流路１００３を１つとし、これに背圧制御部１００４を介装するようにしたが、フィルター室１００１の下流側に２つ以上の分岐流路１００２を設けたものであれば、これに限定されない。たとえば、図１０（ｂ）に示すように、上流側の流路１００３を２つとし、それぞれに背圧制御部１００４を介装するようにしてもよいし、図１０（ｃ）に示すように、フィルター室１００１の下流側に３つの分岐流路１００２を連通するようにしてもよい。
【００６２】
また、背圧制御ユニット１０２０には、カバー１０３０内の雰囲気を大気開放する、大気開放路１０６２が設けられている。
【００６３】
ここで、大気開放路１０６２について図３、図６及び図７、さらに図１１〜図１４を参照して詳細に説明する。なお、図１１は、実施形態１及び変形例の当接部の位置関係を模式的に示す図であり、図１２は、図６（ｂ）の拡大図であり、図１３は、シール部の潰し量を説明する図であり、図１４は、第２当接部近傍の断面図である。
【００６４】
大気開放路１０６２は、ベース部１０３１のカバー部１０３２との対向面に設けられた蛇行した溝からなる蛇路１６２１から構成される。
【００６５】
蛇路１６２１は、一端部１６２１ａがカバー１０３０内の雰囲気に連通し、他端部１６２１ｂが外部に連通しており、第１方向Ｘを往復しながら第２方向Ｙに向かって蛇行した凹形状を有する溝からなる。この蛇路１６２１をシール部材により封止することにより、外部への狭わいな連通路が形成される。
【００６６】
このように、フィルム部材１０４７の圧力調整室１０５４とは反対側のフィルム保持部１０６０を大気開放路１０６２によって大気開放することで、圧力調整室１０５４内部の圧力と大気圧との差圧でフィルム部材１０４７を変形させることができる。
【００６７】
また、大気開放路１０６２を、蛇路１６２１で構成することで、大気開放路１０６２を狭い断面積で経路を長く形成することができる。これにより、大気開放路１０６２に拡散抵抗を付与して、フィルム部材４７からの水分蒸発を抑制することができる。ちなみに、圧力調整室１０５４内に充填されたインクの水分はフィルム部材１０４７を透過するため、拡散抵抗を付与していない大気開放路を設けると、フィルム部材１０４７を透過したインクの水分は蒸発し易くなり、インクの粘度が高くなるなどの不具合が生じてしまう。本実施形態では、フィルム部材１０４７を透過するインクの水分の蒸発を抑制することができるため、インクの粘度が高くなるなどの不具合が発生するのを抑制することができる。
【００６８】
ここで、このようなカバー部１０３２には、図１２に示すように、ゴム、エラストマー等からなる第１シール部１０３４、第２シール部１０３５、第３シール部１０３６が互いに分離した状態で設けられている。
【００６９】
第１シール部１０３４は、上述したように、カバー部１０３２の第２壁部１３２２の先端面に亘って設けられて、ベース部１０３１とカバー部１０３２との外周の継ぎ目を第１シール部１０３４によって封止して、カバー１０３０の保持部１０３３内のインクが外部に流出するのを抑制するためのものである。
【００７０】
第２シール部１０３５は、カバー部１０３２の蛇路１６２１（図３参照）に相対向する位置に設けられたものであり、蛇路１６２１のカバー部１０３２側の開口を封止する。
【００７１】
第３シール部１０３６は、上述した開口部１３２３が設けられた突起部１３２４の第１流路部材１０４１側の面に、開口部１３２３の周囲に亘って設けられたものである。この第３シール部１０３６は、流路部材本体１０４０の接続口１０５１の周囲でカバー部１０３２との隙間を封止するためのものである。この第３シール部１０３６が開口部１３２３に固定されることで、接続口１０５１に接続された供給管の着脱時などに漏れたインクが保持部１０３３内に流入するのを抑制することができると共に、保持部１０３３内のインクが接続口１０５１の周囲のカバー部１０３２との隙間から漏れ出るのを抑制することができる。
【００７２】
このような第１シール部１０３４、第２シール部１０３５、第３シール部１０３６は、カバー部１０３２にそれぞれ高さの異なる位置に設けられている。詳しくは、第１シール部１０３４は、上述のようにカバー部１０３２の第２壁部１３２２の先端面に設けられている。また、第２シール部１０３５は、カバー部１０３２のベース部１０３１と対向する面に設けられている。さらに、第３シール部１０３６は、カバー部１０３２の第２壁部１３２２よりも低く突出した突起部１３２４の先端面に設けられている。
【００７３】
また、第１シール部１０３４、第２シール部１０３５及び第３シール部１０３６は、カバー部１０３２と共に２色成形によって一体的に形成されている。本実施形態では、カバー部１０３２を樹脂材料を成形することで形成した後、カバー部１０３２の所定の位置にゴム材料を成形することで、両者を一体的に形成した。
【００７４】
このように、カバー部１０３２と、第１シール部１０３４、第２シール部１０３５及び第３シール部１０３６とを２色成形によって一体的に形成することで、第１シール部１０３４、第２シール部１０３５及び第３シール部１０３６の位置決めが不要となり、背圧制御ユニット１０２０の組み立て作業を簡略化して、コストを低減することができる。特に本実施形態のように、第１シール部１０３４、第２シール部１０３５及び第３シール部１０３６をカバー部１０３２の高さが異なる位置に設けた際に、位置決め作業が不要となって、組み立て作業を簡略化することができると共に、第１シール部１０３４、第２シール部１０３５及び第３シール部１０３６の位置ずれによるインクの漏れの発生を抑制することができる。
【００７５】
また、カバー部１０３２と第１シール部１０３４、第２シール部１０３５及び第３シール部１０３６とを２色成形によって一体的に形成することで、別体となる板状のシール部材を用いた場合に比べて、部品点数を低減することができ、製造コスト及び組み立てコストを低減することができる。
【００７６】
そして、図１及び図７に示すように、ベース部１０３１とカバー部１０３２とは、カバー部１０３２の締結用貫通孔１３２５に挿通したネジ等の締結部材１０３７（図１参照）の先端を固定孔１３１６に螺合させることで一体化した状態で固定される。
【００７７】
ここで、本発明では、締結部材１０３７の締結量をコントロールして、第１シール部１０３４、第２シール部１０３５及び第３シール部１０３６の潰し量にバラツキが出ないように制御するため、ベース部１０３１及びカバー部１０３２の相対向する対向面の何れか一方側に当接部を設け、当接部の高さを精密に制御することにより、第１シール部１０３４、第２シール部１０３５及び第３シール部１０３６の潰し量の均一化を図っている。
【００７８】
まず、大気開放路１０６２を構成する蛇路１６２１を覆う第２シール部１０３５の潰し量のバラツキを低減するため、図１１（ａ）に模式的に示すように、第１方向Ｘを往復しながら第２方向Ｙに向かって蛇行した凹形状を有する溝（本発明の流路溝に対応する）からなる蛇路１６２１の第２方向Ｙの両側に、第１当接部１３２６を設けてある。第１当接部１３２６は、実際には、図１２に示すように、カバー部１０３２の第２シール部１０３５の第２方向Ｙの両側に、第１方向Ｘに沿って延設されている。第１当接部１３２６の延設方向の長さは、蛇路１６２１の第１方向Ｘの寸法Ｌ１と同等にしてある。但し、図１１において左側の第１当接部１３２６の長さは、第２シール部１０３５の耳部１０３５ａが邪魔になって蛇路１６２１の第１方向Ｘの延設された寸法Ｌ１より小さくなっているが、これも蛇路１６２１の第１方向Ｘの寸法Ｌ１と同等に含まれるものとする。なお、この場合、図１１（ｂ）に示すように、第２シール部１０３５の耳部１０３５ａの外側に第１当接部１３２６ａを設けてもよい。また、耳部１０３５ａの外側の第１当接部１３２６ａの位置に第１方向Ｘ方向に寸法Ｌ１だけ延設してもよいが、蛇路１６２１にできるだけ近い位置に設けた方がより効果的である。
【００７９】
このように第１当接部１３２６は、蛇路１６２１が設けられる領域の四方に設けてもよいが、延設方向又は並設方向の何れか一方の両側に設ければよい。当接部は、長尺に設けた方が効果的ということではなく、逆に、高さを精密に管理することが困難となり、逆にバラツキが大きくなる可能性もある。また、同じ理由で、延設方向又は並設方向の何れか一方の両側に設ける場合には、寸法が小さい方に設けるのが好ましい。高さを管理する上で好ましく、且つ効果の面では違いはないからである。なお、本実施形態では延設方向である第１方向Ｘの寸法Ｌ１が、並設方向である第２方向Ｙの寸法Ｌ２より小さいので、第２方向Ｙの両側に第１当接部１３２６を設けている。
【００８０】
一方、第１当接部１３２６は、円筒形の当接部と比較して、所定の長さだけ延設されているので、第２シール部１０３５の潰し量を精密に管理する上で効果的であり、且つ蛇路１６２１が設けられる領域に近接して設けられているので、効果はさらに向上することがわかっている。
【００８１】
なお、本実施形態では、延設方向である第１方向Ｘの寸法Ｌ１が、並設方向である第２方向Ｙの寸法Ｌ２より小さいので、第２方向Ｙの両側に第１当接部１３２６を設けているが、図１１（ｃ）のように、並設方向である第１方向Ｘの寸法Ｌ１が、並設方向である第２方向Ｙの寸法Ｌ２より小さい場合には、延設方向の両側、すなわち、第２方向Ｙの両側に第１当接部１３２６を設けることになる。
【００８２】
このような第１当接部１３２６を設けると、図１３に示すように、第２シール部１０３５の潰し量を精密に管理することができ、全体に亘って均一な潰しを行うことができる。すなわち、図１３（ａ）に示すように、第２シール部１０３５の表面が蛇路１６２１の溝の両側の壁面に当接した状態から、第１当接部１３２６の端面と対向面とはＤ１だけ離れているが、図１３（ｂ）に示すように、第１当接部１３２６の端面が対向面に当接するまで、第２シール部１０３５の潰し量となるので、この場合の潰し量はＤ１となる。よって、第１当接部１３２６の高さを制御することにより、潰し量Ｄ１を精密に制御することができる。これにより、潰しすぎによる第２シール部１０３５からの油分の浸出やこれによる蛇路１６２１のチョークなどを防止することができる。
【００８３】
また、本実施形態では、第２シール部１０３５の潰し量をより精密に制御してバラツキを低減するために、締結部材の近傍に第２当接部１３２７を設けるようにした。すなわち、図１２に示すように、カバー部１０３２の締結部材が貫通する締結用貫通孔１３２５の近傍に、円筒状の突設部である第２当接部１３２７を設けた。また、第１方向Ｘの中央部両側の締結用貫通孔１３２５の近傍には２つの第２当接部１３２７を設けた。
【００８４】
かかる第２当接部１３２７は、第１当接部１３２６を補助するものであるので、円柱状突起部であっても効果的である。また、締結部の近傍に近接して設けることにより、締結量をより精密に管理することができる。
【００８５】
締結状態の締結部材近傍の断面を図１４に示す。図示のように、第２当接部１３２７の端面が対向面に当接することにより、締結部材１０３７の締結量が規制され、第２シール部１０３５の潰し量がより精密に管理される。これにより、潰しすぎによる第２シール部１０３５からの油分の浸出やこれによる蛇路１６２１のチョークなどを防止することができる。
【００８６】
ここで、第２当接部１３２７は、円筒状の突設部としたが、締結部材１０３７に近接して設けることにより、効果を発揮する。また、第２当接部１３２７は、締結部材１０３７を囲むようなリング状の当接部としてもよいが、高さを精密に管理する上で、円筒状の突起部とするのがより好ましい。
【００８７】
また、以上の説明では、第２シール部１０３５の潰し量を制御する点について説明したが、同様に、第１シール部１０３４及び第３シール部１０３６の潰し量も精密に管理されることは言うまでもない。また、本実施形態では、第１当接部１３２６及び第２当接部１３２７をカバー部１０３２に設けたが、ベース部１０３１に設けてもよく、同様な効果を奏することは言うまでもない。
【００８８】
このような背圧制御ユニット１０２０のベース部１０３１の底面には、図１に示すように、ベース部１０３１との間で回路基板を保持するヘッドケース１０８０と、ヘッドケース１０８０の底面に設けられたヘッド本体２１０と、を具備する。
【００８９】
ヘッドケース１０８０は、ベース部１０３１の底面に固定されて、ベース部１０３１との間で図示は省略する回路基板を保持する。
【００９０】
ヘッド本体２１０は、一例を後述するが、ノズル開口が並設された列が２列以上設けられており、各背圧制御ユニット１０２０から供給された各種インクを各ノズル列から吐出可能に設けられている。本実施形態では、特に図示していないが、４つのヘッド本体２１０を設け、３つのヘッド本体２１０からは２色のインクが吐出されるようにすると共に１つのヘッド本体２１０からは１色のインクが２列のノズル列から吐出されるようにした。これにより、４色のインクを吐出可能とした。なお、ヘッド本体２１０の数や配置は特にこれに限定されず、例えば、供給路１０５９と同等の数のヘッド本体２１０を設けるようにしてもよい。
【００９１】
また、ヘッド本体２１０内には、ノズル開口に連通する圧力発生室と圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とが設けられている。かかる圧力発生手段としては、例えば、電気機械変換機能を呈する圧電材料を有する圧電アクチュエーターの変形によって圧力発生室の容積を変化させて圧力変化を生じさせて、ノズル開口からインク滴を吐出させるものや、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口からインク滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口からインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００９２】
ここで、ヘッド本体２１０の一例を、図１５〜図１７を参照して説明する。なお、図１５は、ヘッド本体の分解斜視図であり、図１６は、ヘッド本体の液体噴射面側からの平面図であり、図１７は図１６のＡ−Ａ′線断面図である。
【００９３】
図示するように、ヘッド本体２１０は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、保持部材であるケース部材４０、コンプライアンス基板９１等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されて構成されている。
【００９４】
ヘッド本体２１０を構成する流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２が複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。この方向を圧力発生室１２の並設方向とも称し、第１の方向Ｘと一致する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向は、第２の方向Ｙと一致する。なお、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された２列は、一方の圧力発生室１２の列に対して、他方の圧力発生室１２の列が第１の方向Ｘで隣り合う圧力発生室１２の間隔の半分だけ第１の方向Ｘにずれた位置に配置されている。これにより、詳しくは後述するノズル開口２１も同様に、ノズル開口２１の２列が半分の間隔だけ第１の方向Ｘにずれて配置されて、第１の方向Ｘの解像度を２倍にしている。もちろん、２列の圧力発生室１２の第１の方向Ｘの位置を同じ位置として、圧力発生室１２の列毎に異なるインクが供給されるようにしてもよい。また、本実施形態では、上述のように、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向を第３の方向Ｚと称し、第３の方向Ｚを含む面内において液体噴射方向（後述する被噴射媒体である記録シートＳ側）はＺ１側、反対側はＺ２側となる。
【００９５】
流路形成基板１０の第３の方向Ｚの一方面、すなわち、Ｚ１側の面には連通板１５が接合されている。また、連通板１５のさらに第３の方向ＺのＺ１側には、ノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０が接合されている。本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口する第３の方向ＺのＺ１側が液体噴射面２０ａとなっている。
【００９６】
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。なお、ここで言う面積とは、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを有する面内方向における面積のことである。
【００９７】
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。
【００９８】
第１マニホールド部１７は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側、すなわちＺ１側に開口して第３の方向Ｚの途中まで設けられている。
【００９９】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。
【０１００】
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側、すなわち、Ｚ２側には、振動板が形成されている。また、振動板上には、第１電極と圧電体層と第２電極とが順次積層されることで、本実施形態の圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００が構成されている。一般的には圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。
【０１０１】
また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側、すなわちＺ２側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター３００の列毎に第２の方向Ｙに２つ並んで形成されている。また、保護基板３０には、第２の方向Ｙで並設された２つの保持部３１の間に第３の方向Ｚに貫通する第１接続孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター３００の電極から引き出されたリード電極９０の端部は、この第１接続孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と駆動ＩＣ等の駆動回路１２０を実装した配線基板１２１とが、第１接続孔３２内で電気的に接続されている。本実施形態では、流路形成基板１０、連通板１５及び保護基板３０が流路部材に相当する。もちろん、流路部材は特にこれに限定されず、流路部材として連通板１５を設けずに流路形成基板１０を連通板１５に相当する大きさで形成してもよく、流路部材としてさらに他の部材を設けるようにしてもよい。
【０１０２】
また、図１５に示すように、保護基板３０及び連通板１５には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００を流路形成基板１０及び保護基板３０と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、保護基板３０に接合されると共に連通板１５に接合されている。
【０１０３】
また、ケース部材４０のＺ１側の面には、Ｚ１側の面に開口する凹形状を有する第３マニホールド部４２が形成されている。そして、ケース部材４０に形成された第３マニホールド部４２と、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８とによって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。なお、本実施形態では、流路形成基板１０の第２の方向Ｙを挟んだ両側にマニホールド１００を形成するようにした。もちろん、マニホールド１００は、特にこれに限定されず、例えば、第３マニホールド部４２のみで構成されていてもよく、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２で構成されていてもよい。ただし、本実施形態のようにマニホールド１００を第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２で構成することで、インクジェット式記録ヘッドを大型化することなく、マニホールド１００をできるだけ大きな容積で形成することができる。
【０１０４】
また、ケース部材４０には、保護基板３０の第１接続孔３２に連通してケース部材４０を第３の方向Ｚに貫通する第２接続孔４３が設けられている。この第２接続孔４３を挿通した配線基板１２１が第１接続孔３２に挿通されて、圧電アクチュエーター３００から引き出された引き出し配線であるリード電極９０と接続されている。
【０１０５】
また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板９１が設けられている。このコンプライアンス基板９１が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の開口を封止している。すなわち、本実施形態の流路形成基板１０、連通板１５及び保護基板３０で構成された流路部材の流路とは、第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８であり、コンプライアンス基板９１は、第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側であるＺ１側を封止する。
【０１０６】
このようなコンプライアンス基板９１は、本実施形態では、封止膜９２と、固定基板９３と、を具備する。封止膜９２は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成されている。また、固定基板９３は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板９３のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部９４となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜９２のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部９５となっている。
【０１０７】
なお、コンプライアンス基板９１は、ノズルプレート２０の周囲に亘って連続して設けられている。すなわち、コンプライアンス基板９１には、ノズルプレート２０が配置される領域に当該ノズルプレート２０よりも若干大きな内径を有する第１露出開口部９６が設けられている。
【０１０８】
このようなヘッド本体２１０のノズル開口２１が開口する液体噴射面２０ａ側には、ノズル開口２１を露出した状態で保護するカバーヘッド２７０が固定されている。また、カバーヘッド２７０は、コンプライアンス基板９１の固定基板９３と、ケース部材４０とに接合される。
【０１０９】
このようなカバーヘッド２７０の第２露出開口部２７１は、コンプライアンス基板９１の第１露出開口部９６と略同じ大きさの開口面積で形成されて、ノズルプレート２０の液体噴射面２０ａを露出する。
【０１１０】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【０１１１】
流路部材本体が、第１本体と第２本体とからなり、第１本体を予め積層してカバー１０３０内に収納するものとしたが、流路部材本体全体を予め積層するものとし、これをカバー内に収納して、ベース部とカバー部とで挟持する構造としてもよい。
【０１１２】
また、上述したインクジェット式記録ヘッド１０００は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図１８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【０１１３】
図１８に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数のインクジェット式記録ヘッド１０００を有するインクジェット式記録ヘッドユニットＩＩ（以下、ヘッドユニットＩＩとも言う）は、液体貯留手段であるインクカートリッジ１Ａが着脱可能に設けられ、このヘッドユニットＩＩを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニットＩＩは、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【０１１４】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニットＩＩを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。
【０１１５】
また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッド１（ヘッドユニットＩＩ）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【０１１６】
また、上述の実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて本発明を説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッドの他、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【０１１７】
また、本発明は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに搭載される圧電素子に限られず、超音波発信機等の超音波デバイス、超音波モーター、圧力センサー、焦電センサー等他の装置に搭載される圧電素子にも適用することができる。また、本発明は強誘電体メモリー等の強誘電体素子にも同様に適用することができる。
【符号の説明】
【０１１８】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  ２１０  ヘッド本体、  １０００  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  １０２０  背圧制御ユニット（流路部材）、  １０３０  カバー、  １０３１  ベース部、  １０３２  カバー部、  １０３５  第２シール部（シール部材）、  １０３７  締結部材、  １０４０  流路部材本体、  １０４１  第１流路部材、  １０４２  第２流路部材、  １０４３  第３流路部材、  １０４３  第４流路部材、  １０４５  第５流路部材、  １０４６  第６流路部材、  １０４７  フィルム部材、  １０４８  弾性板、  １０５１  接続口、  １０５２  導入路、  １０５３  導入用フィルター室、  １０５４  圧力調整室、  １０５８  フィルター室、  １０５９  供給路、  １５８１  フィルター部材、  １０６２  大気開放路、  １０８０  ヘッドケース、  １１００  弁体、１３２６  第１当接部、  １３２７  第２当接部、  １６２１  蛇路（流路溝）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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