(57)【要約】【課題】優れた信頼性品質を有する電気泳動表示装置、電気泳動表示装置の製造方法、電子機器を提供すること。【解決手段】電気泳動表示装置の電気泳動表示パネル１５０は、第１基板としての素子基板１０１と、第２基板としての対向基板１２１との間に配置された電気泳動層１４０と、電気泳動層１４０を平面視で複数の領域に区画する隔壁部１０３と、素子基板１０１と電気泳動層１４０との間に配置された画素電極１０２と、画素電極１０２と電気泳動層１４０との間に配置され、隔壁部１０３と一体に形成された膜部１０４と、を有し、膜部１０４は、第１の膜厚を有する第１の部分１０５と、第１の膜厚よりも薄い第２の膜厚を有する第２の部分１０６とを含み、第１の膜厚が０．６μｍ〜２．０μｍの範囲にあり、第２の膜厚が０．８μｍ以下である。隔壁部１０３及び膜部１０４は、インプリント法により形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、
前記第１基板に対向して配置される第２基板と、
前記第１基板と前記第２基板との間に配置された電気泳動層と、
前記電気泳動層を平面視で複数の領域に区画する隔壁部と、
前記第１基板及び前記第２基板のいずれか一方と前記電気泳動層との間に配置された電極と、
前記電極と前記電気泳動層との間に配置され、前記隔壁部と一体に形成された膜部と、を有し、
前記膜部は、第１の膜厚を有する第１の部分と、前記第１の膜厚よりも薄い第２の膜厚を有する第２の部分とを含み、
前記第１の膜厚が０．６μｍ〜２．０μｍの範囲にあり、前記第２の膜厚が０．８μｍ以下であることを特徴とする電気泳動表示装置。
【請求項２】
前記第２の部分は、前記膜部を貫通する開口部であることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示装置。
【請求項３】
前記隔壁部によって区画された前記複数の領域のそれぞれにおいて、
平面視で大きさが異なる複数の前記第２の部分を有し、
大きさが小さい方に対して大きい方の前記第２の部分が前記隔壁部の側に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の電気泳動表示装置。
【請求項４】
前記隔壁部によって区画された前記複数の領域のそれぞれにおいて、
複数の前記第２の部分を有し、
複数の前記第２の部分の配置密度は、中央部から前記隔壁部に向うほど高くなっていることを特徴とする請求項１または２に記載の電気泳動表示装置。
【請求項５】
前記電極と前記膜部との間に配置された緩衝層をさらに有し、
前記緩衝層の電気伝導性は、前記膜部の電気伝導性よりも高いことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項６】
前記緩衝層は、導電粒子を含む樹脂層からなることを特徴とする請求項５に記載の電気泳動表示装置。
【請求項７】
前記緩衝層は、エポキシ樹脂を含むことを特徴とする請求項５または６に記載の電気泳動表示装置。
【請求項８】
前記隔壁部及び前記膜部は、エポキシ樹脂を含むことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項９】
第１基板に電極を形成する工程と、
前記第１基板の前記電極が設けられた側の表面を複数の領域に区画する隔壁部をインプリント法を用いて形成する工程と、
前記隔壁部により区画された前記複数の領域のそれぞれに、電気泳動粒子と分散媒とを含む溶液を充填する工程と、
前記第１基板と第２基板とを貼り合わせて、前記複数の領域のそれぞれに充填された前記溶液を封止して電気泳動層を形成する工程と、を備え、
前記隔壁部を形成する工程は、前記隔壁部と一体に前記電極を覆う膜部を形成し、
前記膜部は、第１の膜厚を有する第１の部分と、前記第１の膜厚よりも薄い第２の膜厚を有する第２の部分とを含むように形成され、
前記第１の膜厚が０．６μｍ〜２．０μｍの範囲にあり、前記第２の膜厚が０．８μｍ以下であることを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第２の部分の残膜を除去する工程をさらに有することを特徴とする請求項９に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記隔壁部を形成する工程は、エポキシ樹脂を用いて前記隔壁部と前記膜部とを形成することを特徴とする請求項９または１０に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記電極と前記膜部との間に、前記膜部の電気伝導性よりも高い電気伝導性を有する緩衝層を形成する工程をさらに有することを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記緩衝層を形成する工程は、導電粒子を含むエポキシ樹脂を用いて前記緩衝層を形成することを特徴とする請求項１２に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【請求項１５】
請求項９乃至１３のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置の製造方法を用いて製造された電気泳動表示装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示装置、電気泳動表示装置の製造方法、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気泳動表示装置として、一対の基板の電極間に配置された分散媒と電気泳動粒子とを含む電気泳動層を有するものが知られている。この電気泳動表示装置は、上記電極間に駆動電圧を印加することにより分散媒中の電気泳動粒子を上記電極に引き付けて表示を行わせている。
【０００３】
このような電気泳動表示装置の製造方法として、一対の基板間に隔壁で区画されたセルを形成し、該セル内に画像表示媒体（電気泳動粒子が分散媒に分散された溶液に相当）を封入する画像表示パネルの製造方法が開示されている（特許文献１）。
上記特許文献１の画像表示パネルの製造方法では、熱硬化型あるいは光硬化型の樹脂層に金型を押し付けて樹脂層を硬化させることにより基板上に隔壁を形成している。また、基板上に隔壁を形成したときに隔壁間に残った残膜をドライエッチングにより除去している。これにより、電極上に残った残膜に起因して、表示特性が劣化することを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３９１０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１のように隔壁間の残膜を除去しようとしてドライエッチングを施すと、残膜が除去される一方で隔壁が形成された基板にドライエッチングによるダメージが生じ、例えば隔壁が脆くなったり、基板に対する隔壁の密着性が低下したりするおそれがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例］本適用例に係わる電気泳動表示装置は、第１基板と、前記第１基板に対向して配置される第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に配置された電気泳動層と、前記電気泳動層を平面視で複数の領域に区画する隔壁部と、前記第１基板及び前記第２基板のいずれか一方と前記電気泳動層との間に配置された電極と、前記電極と前記電気泳動層との間に配置され、前記隔壁部と一体に形成された膜部と、を有し、前記膜部は、第１の膜厚を有する第１の部分と、前記第１の膜厚よりも薄い第２の膜厚を有する第２の部分とを含み、前記第１の膜厚が０．６μｍ〜２．０μｍの範囲にあり、前記第２の膜厚が０．８μｍ以下であることを特徴とする。
【０００８】
本適用例によれば、膜部は、第１の部分の第１の膜厚よりも膜厚が薄い第２の部分を有することにより、電極と電気泳動層との間に膜部が配置されていても、電気泳動層に対して電界効果を十分にもたらすことができる。したがって、前述した特許文献１のように膜部を除去する必要が無いので、隔壁部の耐久性や基板に対する隔壁部の密着性を確保し、優れた信頼性品質を有する電気泳動表示装置を提供することができる。
【０００９】
上記適用例に係わる電気泳動表示装置において、前記第２の部分は、前記膜部を貫通する開口部であることが好ましい。
この構成によれば、電極と電気泳動層とが膜部の第２の部分において接することになるので、電気泳動層に効果的に電界を及ぼすことができる。すなわち、第２の部分に残膜が存在する場合に比べて、低電圧駆動が可能となる。
【００１０】
上記適用例に係わる電気泳動表示装置は、前記隔壁部によって区画された前記複数の領域のそれぞれにおいて、平面視で大きさが異なる複数の前記第２の部分を有し、大きさが小さい方に対して大きい方の前記第２の部分が前記隔壁部の側に配置されていることが好ましい。
この構成によれば、隔壁部と膜部とが一体に形成されることによって、隔壁部の近傍の膜部の膜厚が複数の領域のそれぞれにおける中央部の膜部の膜厚に比べて厚くなったとしても、平面視で大きい方の第２の部分が隔壁部の側に配置されているので、電気泳動層に効果的に電界を及ぼすことができる。
【００１１】
上記適用例に係わる電気泳動表示装置は、前記隔壁部によって区画された前記複数の領域のそれぞれにおいて、複数の前記第２の部分を有し、複数の前記第２の部分の配置密度は、中央部から前記隔壁部に向うほど高くなっていることが好ましい。
この構成によれば、隔壁部と膜部とが一体に形成されることによって、隔壁部の近傍の膜部の膜厚が複数の領域のそれぞれにおける中央部の膜部の膜厚に比べて厚くなったとしても、第２の部分の配置密度が隔壁部に向かうほど高くなっているので、電気泳動層に効果的に電界を及ぼすことができる。
【００１２】
上記適用例に係わる電気泳動表示装置において、前記電極と前記膜部との間に配置された緩衝層をさらに有し、前記緩衝層の電気伝導性は、前記膜部の電気伝導性よりも高いことが好ましい。
この構成によれば、電極と膜部との間に緩衝層が配置されているので、電極を有する基板に直接に隔壁部や膜部が一体形成される場合に比べて、一体形成時の電極に対するダメージを緩衝層によって防ぐことができる。また、緩衝層の電気伝導性は膜部よりも優れているので、電極と膜部との間に緩衝層が配置されても電気泳動層に対する電界効果の低下を抑制することができる。
【００１３】
上記適用例に係わる電気泳動表示装置において、前記緩衝層は、導電粒子を含む樹脂層からなることを特徴とする。
この構成によれば、樹脂層における導電粒子の含有量を調整することで、緩衝層の電気伝導性を比較的容易に調整することができる。
【００１４】
上記適用例に係わる電気泳動表示装置において、前記緩衝層は、エポキシ樹脂を含むことが好ましい。
【００１５】
上記適用例に係わる電気泳動表示装置において、前記隔壁部及び前記膜部は、エポキシ樹脂を含むことが好ましい。
これらの適用例によれば、エポキシ樹脂は電気泳動粒子を吸着し難いので、緩衝層や隔壁部及び膜部に電気泳動粒子が付着して、表示品質が低下することを抑制することができる。言い換えれば、安定した表示品質を有する電気泳動表示装置を提供することができる。
【００１６】
［適用例］本適用例に係わる電気泳動表示装置の製造方法は、第１基板に電極を形成する工程と、前記第１基板の前記電極が設けられた側の表面を複数の領域に区画する隔壁部をインプリント法を用いて形成する工程と、前記隔壁部により区画された前記複数の領域のそれぞれに、電気泳動粒子と分散媒とを含む溶液を充填する工程と、前記第１基板と第２基板とを貼り合わせて、前記複数の領域のそれぞれに充填された前記溶液を封止して電気泳動層を形成する工程と、を備え、前記隔壁部を形成する工程は、前記隔壁部と一体に前記電極を覆う膜部を形成し、前記膜部は、第１の膜厚を有する第１の部分と、前記第１の膜厚よりも薄い第２の膜厚を有する第２の部分とを含むように形成され、前記第１の膜厚が０．６μｍ〜２．０μｍの範囲にあり、前記第２の膜厚が０．８μｍ以下であることを特徴とする。
【００１７】
本適用例によれば、膜部は、第１の部分の第１の膜厚よりも膜厚が薄い第２の部分を有することにより、電極と電気泳動層との間に膜部が形成されていても、電気泳動層に対して電界効果を十分にもたらすことができる。したがって、前述した特許文献１のように膜部を除去する工程が不要となるので、隔壁部の耐久性や基板に対する隔壁部の密着性を確保し、優れた信頼性品質を有する電気泳動表示装置を製造することができる。
【００１８】
上記適用例に係わる電気泳動表示装置の製造方法において、前記第２の部分の残膜を除去する工程をさらに有してもよい。
この方法によれば、第２の部分の残膜は第１の部分に比べて膜厚が薄いので、当該残膜を除去する工程を有していても、隔壁部や膜部にダメージを残さずに当該残膜を除去することが可能となる。そして、当該残膜を除去することで、電極と電気泳動層とが膜部の第２の部分で接することになり、電気泳動層に効果的に電界を及ぼすことができる。すなわち、第２の部分に残膜が存在する場合に比べて、低電圧駆動が可能な電気泳動表示装置を製造することができる。
【００１９】
上記適用例に係わる電気泳動表示装置の製造方法において、前記隔壁部を形成する工程は、エポキシ樹脂を用いて前記隔壁部と前記膜部とを形成することが好ましい。
この方法によれば、エポキシ樹脂は電気泳動粒子を吸着し難いので、隔壁部及び膜部に電気泳動粒子が付着することを防ぎ、優れた表示品質を有する電気泳動表示装置を製造することができる。
【００２０】
上記適用例に係わる電気泳動表示装置の製造方法において、前記電極と前記膜部との間に、前記膜部の電気伝導性よりも高い電気伝導性を有する緩衝層を形成する工程をさらに有することが好ましい。
この方法によれば、電極と膜部との間に緩衝層を形成することで、電極を有する基板に直接に隔壁部や膜部を一体形成する場合に比べて、一体形成時の電極に対するダメージを緩衝層によって防ぐことができる。また、緩衝層の電気伝導性は膜部よりも優れているので、電極と膜部との間に緩衝層が形成されても電気泳動層に対する電界効果の低下を抑制することができる。
【００２１】
上記適用例に係わる電気泳動表示装置の製造方法において、前記緩衝層を形成する工程は、導電粒子を含むエポキシ樹脂を用いて前記緩衝層を形成することが好ましい。
この方法によれば、エポキシ樹脂は電気泳動粒子を吸着し難いので、緩衝層に電気泳動粒子が付着することを防ぎ、優れた表示品質を有する電気泳動表示装置を製造することができる。また、導電粒子の含有量を調整することで緩衝層の電気伝導度を容易に調整することができる。
【００２２】
［適用例］本適用例に係わる電子機器は、上記適用例に記載の電気泳動表示装置を備えたことを特徴とする。
【００２３】
［適用例］本適用例に係わる他の電子機器は、上記適用例に記載の電気泳動表示装置の製造方法を用いて製造された電気泳動表示装置を備えたことを特徴とする。
これらの適用例によれば、表示において優れた信頼性品質を有する電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１実施形態の電気泳動表示装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は第１実施形態の電気泳動表示装置における画素の構造と表示機能を示す概略断面図。
【図３】（ａ）は画素における隔壁部と膜部の配置を示す概略平面図、（ｂ）は電気泳動層に及ぼされる電界効果を示す概略断面図。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は第１実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図５】（ｅ）〜（ｇ）は第１実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は第２実施形態の電気泳動表示装置における画素の構造と表示機能を示す概略断面図。
【図７】（ａ）〜（ｄ）は第２実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図８】（ｅ）〜（ｇ）は第２実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図９】（ａ）〜（ｃ）は本発明の電気泳動表示装置を適用した電子機器の具体例を説明する斜視図。
【図１０】（ａ）は第２の部分の平面形状と配置の変形例を示す概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ’線で切った概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
【００２６】
また、以下の実施形態において、例えば「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。
【００２７】
（第１実施形態）
＜電気泳動表示装置＞
本実施形態の電気泳動表示装置について、図１〜図３を参照して説明する。図１は第１実施形態の電気泳動表示装置の構成を示す概略斜視図、図２（ａ）及び（ｂ）は第１実施形態の電気泳動表示装置における画素の構造と表示機能を示す概略断面図、図３（ａ）は画素における隔壁部と膜部の配置を示す概略平面図、図３（ｂ）は電気泳動層に及ぼされる電界効果を示す概略断面図である。
【００２８】
図１に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置１００は、電気泳動表示パネル１５０と、電気泳動表示パネル１５０を駆動するための駆動用ＩＣ１６５が実装されたフレキシブル回路基板（ＦＰＣ）１６０とを有している。
電気泳動表示パネル１５０は、対向して配置された素子基板１０１及び対向基板１２１と、これらの基板間に挟持された電気泳動層１４０（図２参照）とを有している。電気泳動層１４０は、これらの基板間において、マトリックス状に区画された複数の領域を有しており、区画された複数の領域のそれぞれが画素Ｐとしての機能を有している。すなわち、マトリックス状に配列した複数の画素Ｐにより表示領域Ｅが構成されている。
【００２９】
素子基板１０１の基材１０１ｓ及び対向基板１２１の基材１２１ｓは、例えば、透明なガラスやプラスチックなどの基板が用いられる。なお、詳しくは後述するが、表示領域Ｅにおける表示を確認する方向により、表示の背面側に位置する基材は、不透明であってもよい。また、基材は、湾曲させることが可能な可撓性を有していることが好ましい。
【００３０】
素子基板１０１は対向基板１２１よりも大きく、素子基板１０１と対向基板１２１とを所定の位置で対向させて配置したときに、対向基板１２１からはみ出る素子基板１０１の部分が端子部１０１ａとなっている。
【００３１】
ＦＰＣ１６０には、駆動用ＩＣ１６５が平面実装されている。駆動用ＩＣ１６５は、その周囲が封着剤１６４によってモールドされてＦＰＣ１６０に固定されている。ＦＰＣ１６０は、外部回路から信号や電源などが駆動用ＩＣ１６５に供給される入力端子１６１と、駆動用ＩＣ１６５から表示用の制御信号などが出力される出力端子１６２とを有している。ＦＰＣ１６０は、出力端子１６２と素子基板１０１の端子部１０１ａに設けられた外部接続端子（図示省略）とが電気的に接続するように、例えば、異方性導電膜（図示省略）などを介して端子部１０１ａに実装されている。
【００３２】
このような電気泳動表示装置１００は、素子基板１０１側に画素Ｐをスイッチング制御するためのトランジスターやトランジスターに繋がる配線等を有している。すなわち、電気泳動表示装置１００はアクティブ駆動の受光型表示装置である。なお、アクティブ駆動に限らず、パッシブ駆動の受光型表示装置としてもよい。
【００３３】
本実施形態では、素子基板１０１が本発明の第１基板に相当し、対向基板１２１が本発明の第２基板に相当するものである。以降、表示領域Ｅにおいて、マトリックス状に配置された画素Ｐの行方向をＸ方向とし、画素Ｐの列方向をＹ方向とし、素子基板１０１から対向基板１２１に向い、Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向をＺ方向として説明する。また、Ｚ方向において、対向基板１２１側から見ることを平面視と言う。
なお、表示領域Ｅにおける画素Ｐの配置は、マトリックス状であることに限定されるものではない。例えば、三角形の各頂点の位置に画素Ｐの中心が位置するデルタ配置であってもよい。
【００３４】
図２（ａ）に示すように、素子基板１０１は、基材１０１ｓ、画素電極１０２、隔壁部１０３、膜部１０４を含むものである。なお、図２（ａ）及び図２（ｂ）では、素子基板１０１側に設けられたトランジスターやトランジスターに接続される配線等の図示を省略している。
基材１０１ｓの一方の表面には、画素Ｐごとに電気的に独立した画素電極１０２が設けられている。画素電極１０２は、Ｃｕ（銅）箔上にニッケルメッキと金メッキとをこの順で積層したものや、Ａｌ（アルミニウム）、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide；インジウム錫酸化物）などにより形成された電極である。
【００３５】
また、基材１０１ｓの一方の表面には、複数の画素電極１０２を画素Ｐごとに区画する隔壁部１０３が設けられている。さらに、画素電極１０２を覆う膜部１０４が設けられている。隔壁部１０３及び膜部１０４は、一体に形成されている。膜部１０４は、画素電極１０２上において第１の膜厚を有する第１の部分１０５と、第１の膜厚よりも薄い第２の膜厚を有する第２の部分１０６とを有している。本実施形態では、第２の部分１０６は、膜部１０４を貫通して開口する開口部である。したがって、第２の部分１０６を開口部１０６と呼ぶこととする。
【００３６】
このような、隔壁部１０３及び膜部１０４の形成方法について、詳しくは後述するが、隔壁部１０３及び膜部１０４に対応した成形面を有する成形型を用いて樹脂材料を成形することによって、隔壁部１０３及び膜部１０４が形成されている。したがって、隔壁部１０３の断面形状は、傾斜した側壁を有する台形状（テーパー形状）となっている。樹脂材料としては、例えば、熱硬化型、または紫外線硬化型のアクリル樹脂やエポキシ樹脂が挙げられる。なお、後述する電気泳動粒子１３１，１３２を吸着し難い観点で、エポキシ樹脂を用いることが好ましい。
【００３７】
対向基板１２１は、基材１２１ｓ、対向電極１２２を含むものである。基材１２１ｓの一方の表面には、対向電極１２２が設けられている。対向電極１２２は、ＭｇＡｇ、ＩＴＯ、ＩＺＯ（Indium  Zinc  Oxide）などからなる透明電極であり、素子基板１０１側の複数の画素電極１０２に対して対向する共通電極として、少なくとも表示領域Ｅ（図１参照）に亘って設けられている。
【００３８】
画素電極１０２及び隔壁部１０３が設けられた素子基板１０１と、対向電極１２２が設けられた対向基板１２１とは、接着層１２７を介して、画素電極１０２と対向電極１２２とが対向するように貼り合わされている。接着層１２７としては、熱硬化型、または紫外線硬化型のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）などのビニル樹脂、ニトリルゴム（ＮＢＲ）などを用いることができる。接着層１２７の厚みは、隔壁部１０３の頭頂部を接着層１２７に１μｍ程度押し込んで、隔壁部１０３と接着層１２７とを確実に接着させる観点で、３μｍ〜１０μｍの範囲であることが好ましく、本実施形態ではおよそ５μｍとなっている。隔壁部１０３の頭頂部を押し込み易い硬さが得られる観点では、ＮＢＲやＰＶＡを用いることが好ましく、後述する電気泳動粒子１３１，１３２を吸着し難い観点では、エポキシ樹脂を用いることが好ましい。
【００３９】
素子基板１０１の隔壁部１０３と対向基板１２１とによって密封される空間には、電気泳動粒子１３１，１３２が分散媒１３３に分散された溶液（分散液）１３０が充填され、電気泳動層１４０が構成されている。
【００４０】
電気泳動粒子１３１は、例えば、アニリンブラック、カーボンブラックなどの黒色顔料からなる粒子（高分子あるいはコロイド）であり、例えば正に帯電されて用いられる。もう一つの電気泳動粒子１３２は、例えば、二酸化チタン、亜鉛華、三酸化アンチモンなどの白色顔料からなる粒子（高分子あるいはコロイド）であり、例えば負に帯電されて用いられる。これらの顔料には、必要に応じ、電解質、界面活性剤、金属石鹸、樹脂、ゴム、油、ワニス、コンパウンドなどの粒子からなる荷電制御剤、チタン系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤、シラン系カップリング剤などの分散剤、潤滑剤、安定化剤などを添加することができる。以降、説明の都合上、電気泳動粒子１３１を黒色粒子１３１と呼び、電気泳動粒子１３２を白色粒子１３２と呼ぶ。
【００４１】
分散媒１３３としては、水、アルコール系溶媒（メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール、メチルセルソルブなど）、エステル類（酢酸エチル、酢酸ブチルなど）、ケトン類（アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなど）、脂肪族炭化水素（ぺンタン、ヘキサン、オクタンなど）、脂環式炭化水素（シクロへキサン、メチルシクロへキサンなど）、芳香族炭化水素（ベンゼン、トルエン、キシレン、長鎖アルキル基を有するベンゼン類（ヘキシルベンゼン、ヘプチルベンゼン、オクチルベンゼン、ノニルベンゼン、デシルベンゼン、ウンデシルベンゼン、ドデシルベンゼン、トリデシルベンゼン、テトラデシルベンゼンなど））、ハロゲン化炭化水素（塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、１，２−ジクロロエタンなど）などを例示することができ、その他例えばシリコンオイルなどの油類であってもよい。これらの物質は単独又は混合物として用いることができ、さらに、カルボン酸塩のような界面活性剤などを配合してもよい。
【００４２】
画素電極１０２と対向電極１２２との間に、直流の駆動電圧を印加して、対向電極１２２を相対的に低電位、画素電極１０２を相対的に高電位に保持する。そうすると、電気泳動層１４０に及ぼされた電界効果により、図２（ｂ）に示すように、正に帯電した黒色粒子１３１が対向電極１２２に引き寄せられる一方、負に帯電した白色粒子１３２が画素電極１０２に引き寄せられる。その結果、表示面側となる対向基板１２１側からこの画素Ｐを見ると黒色が認識されることとなり、電気泳動表示パネル１５０は黒色表示を行うことができる。
【００４３】
黒色表示を行う場合と反対に、対向電極１２２を相対的に高電位、画素電極１０２を相対的に低電位に保持すれば、電気泳動層１４０に及ぼされた電界効果により、正に帯電した黒色粒子１３１は画素電極１０２に引き寄せられる一方、負に帯電した白色粒子１３２は対向電極１２２に引き寄せられる。その結果、表示面側となる対向基板１２１側からこの画素Ｐを見ると白色が認識されることとなり、電気泳動表示パネル１５０は白色表示を行うことができる。
このように画素電極１０２と対向電極１２２とに与えられる電位を画素Ｐごとに制御すれば、文字や画像などの白黒表示を対向基板１２１側から見ることができる。
【００４４】
溶液（分散液）１３０は、黒色粒子１３１と、白色粒子１３２とを有する構成に限定されず、どちらか一方の電気泳動粒子を有するとしてもよい。
また、黒色粒子１３１及び白色粒子１３２に代えて、例えば赤色、緑色、青色などの顔料を用いてもよい。画素Ｐの電気泳動層１４０に含まれる電気泳動粒子の色を、赤色、緑色、青色などから選択することで、カラー表示を行うこともできる。
【００４５】
次に、図３を参照して、隔壁部１０３と膜部１０４の構成、並びに画素電極１０２と対向電極１２２の間に電圧を印加した時の電気泳動層１４０内の電気泳動粒子の挙動を説明する。
図３（ａ）に示すように、隔壁部１０３により区画された領域が画素Ｐにおける表示に寄与する領域であって、以降、画素領域Ｇと呼ぶこととする。画素領域Ｇは平面視で略正方形であって、Ｘ方向とＹ方向とにマトリックス状に設けられている。前述したように膜部１０４は、隔壁部１０３と一体に形成されており、第１の膜厚を有する第１の部分１０５と、第２の部分としての開口部１０６とを有している。開口部１０６の平面形状は円形である。画素領域Ｇには同じ大きさの開口部１０６が互いにほぼ等間隔で複数配置されている。
【００４６】
図３（ｂ）に示すように、膜部１０４の複数の開口部１０６において画素電極１０２と電気泳動層１４０とが接した状態となっている。ここで、電気泳動層１４０を挟む画素電極１０２と対向電極１２２との間に電圧を印加すると、開口部１０６から対向電極１２２に向かう電気力線が、広がるように（磁束密度が低くなるように）発生する。電気泳動層１４０内の電気泳動粒子はこの電気力線に沿って移動するので、開口部１０６付近に存在する電気泳動粒子群は広がりながら対向電極１２２に達する。即ち、開口部１０６の直径をＬ１とし、対向電極１２２側での電気泳動粒子の広がりの直径をＬ２とすると、Ｌ２＞Ｌ１となる。なお、電気泳動粒子の広がりの直径Ｌ２は明確な境界があるわけではなく、視界的な大きさである。ここで、隔壁部１０３の画素電極１０２上における高さをｈとした時に、ｔａｎθ＝（Ｌ２−Ｌ１）／（２ｈ）を満たす角度をここでは電気力線の放射角度θとする。
【００４７】
電気力線の広がり方は、隔壁部１０３の高さｈや隔壁部１０３の断面形状（隔壁部１０３の側壁の傾斜角度）の影響を受ける。また、隔壁部１０３を構成する樹脂材料の誘電率と、電気泳動層１４０の誘電率との比（隔壁部１０３を構成する樹脂材料の抵抗率と、電気泳動層１４０の抵抗率との比）の影響を受ける。また、電気泳動粒子がこの電気力線に沿って移動する際に分散媒を引きずる為に対流が発生し、この対流が電気泳動粒子の移動に影響を受けることから、上記放射角度θは単純な計算では求まらない。
【００４８】
本実施形態では、画素Ｐ（画素領域Ｇ）を１辺が２００μｍの略正方形とする。隔壁部１０３の高さｈをおよそ３０μｍとする。また、隔壁部１０３の画素電極１０２側のＸ方向及びＹ方向の幅Ｌ３（以降、隔壁部１０３の底部の幅Ｌ３と言う）を１０μｍ〜１５μｍ、隔壁部１０３の対向電極１２２側のＸ方向及びＹ方向の幅Ｌ４（以降、隔壁部１０３の頭頂部の幅Ｌ４と言う）を５μｍ〜１０μｍとし、開口部１０６の直径Ｌ１を１０μｍとする。画素電極１０２と対向電極１２２との間に駆動電圧としてＤＣ１５Ｖを印加したときに、電気泳動粒子の広がりの上記直径Ｌ２の値（開口部１０６に対応して発生した電界が及ぶ範囲）を実測すると、およそ３０μｍであった。即ち、上記放射角度θ≒１８°を得た。なお、隔壁部１０３の材料はエポキシ樹脂、分散媒はシリコンオイルでそれぞれの誘電率は、共に３前後である。
【００４９】
上述のように電界が及ぶ範囲の上記直径Ｌ２がおよそ３０μｍであることから、１辺が２００μｍの画素領域Ｇの範囲において、万遍なく電界が行き渡って、電気泳動層１４０に含まれる黒色粒子１３１、白色粒子１３２がむらなく一方の電極側に移動することが望ましい。したがって、上記直径Ｌ２の範囲が互いに接する、または一部が重なり合うように、画素領域Ｇにおいて複数の開口部１０６を配置することが好ましい。言い換えれば、本実施形態では、電気力線の上記放射角度θがおよそ１８°であることから、１辺が２００μｍの画素領域Ｇに対する複数の開口部１０６が占める面積割合は、１２．６％以上であることが好ましい。
【００５０】
＜電気泳動表示装置の製造方法＞
次に、本実施形態の電気泳動表示装置１００の製造方法について、図４及び図５を参照して説明する。図４（ａ）〜（ｄ）及び図５（ｅ）〜（ｇ）は第１実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図である。具体的には、本発明の特徴部分を含む電気泳動表示パネル１５０の製造方法を示すものである。
【００５１】
本実施形態の電気泳動表示装置１００の製造方法（電気泳動表示パネル１５０の製造方法）は、素子基板１０１側に隔壁部１０３を形成する隔壁部形成工程と、隔壁部１０３により区画された領域（画素領域Ｇ）に溶液（分散液）１３０を充填する溶液充填工程と、素子基板１０１と対向基板１２１とを貼り合わせる貼り合わせ工程とを含んでいる。
【００５２】
隔壁形成工程では、まず、図４（ａ）に示すように、隔壁部１０３の形成に用いられる金型５０を用意する。金型５０は、一方の面である成形面５０ａにおいて、隔壁部１０３に対応した位置に形成された複数の凹部５１と、凹部５１の間において開口部１０６に対応した位置に形成された複数の凸部５２とを有している。成形面５０ａには、離型処理が施されている。凹部５１及び凸部５２のそれぞれは、離型性を考慮して傾斜した側壁を有している。
【００５３】
次に、図４（ｂ）に示すように、成形面５０ａが上方を向くように金型５０を配置して、成形面５０ａに未硬化の樹脂材料１１３を塗布する。樹脂材料１１３の塗布は、吐出法、印刷法などを挙げることができる。樹脂材料１１３は金型５０の凹部５１にむら無く充填されると共に、少なくとも金型５０の凸部５２を覆う程度の厚みで塗布される。このとき、塗布に際して、樹脂材料１１３に含まれる気体あるいは気泡を脱泡しておくことが好ましい。脱泡方法としては、減圧や加熱などの方法を採用することができる。そして、塗布された樹脂材料１１３に画素電極１０２が形成された基材１０１ｓを押し付ける。基材１０１ｓを金型５０に押し付けた状態で、加熱あるいは紫外線を照射して、樹脂材料１１３を硬化させる。樹脂材料１１３を硬化させた後に、金型５０から基材１０１ｓを剥離すれば、図４（ｃ）に示すように、画素電極１０２を覆う膜部１０４と、画素電極１０２を含む画素領域Ｇを区画する隔壁部１０３とが一体に形成される。膜部１０４には、金型５０の凸部５２によって膜部１０４を貫通する開口部１０６が形成される。したがって、金型５０の凹部５１の深さと凸部５２の高さとを制御することにより隔壁部１０３の高さ及び膜部１０４の第１の部分１０５の膜厚を制御することができる。
なお、樹脂材料１１３は、前述したように、熱硬化型、または紫外線硬化型のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）などのビニル樹脂、ニトリルゴム（ＮＢＲ）などを用いることができる。本実施形態では、エポキシ樹脂を用いて隔壁部１０３及び膜部１０４を形成している。
【００５４】
隔壁部１０３と膜部１０４とを一体に形成する方法としては、上述した方法以外に、まず基材１０１ｓの画素電極１０２を覆うように所定の厚みの樹脂層を形成し、形成された樹脂層に対して上記金型５０の成形面５０ａを押し付けて成形する。そして、樹脂層に金型５０を押し付けた状態で樹脂層を硬化させる方法が挙げられる。このように、金型５０を用いて樹脂層を成形して、基材１０１ｓ上に微細な隔壁部１０３を形成する方法はインプリント法と呼ばれている。
【００５５】
なお、開口部１０６は膜部１０４を貫通していることに限定されず、開口部１０６内に樹脂材料１１３からなる膜（以降、残膜と言う）が残っていても、残膜の膜厚が０．８μｍ以下ならばそのままにしてもよい。あるいは、残膜の膜厚が０．８μｍ以下となるように、残膜を除去してもよい。残膜を除去する方法としては、隔壁部１０３が形成された基材１０１ｓに対して、例えば酸素を処理ガスとするドライエッチングを施す方法が挙げられる。一方で残膜を除去したとしても、画素電極１０２を覆う膜部１０４のうち、開口部１０６を除く第１の部分１０５の第１の膜厚が０．６μｍ〜２．０μｍの範囲にあることが、隔壁部１０３及び膜部１０４の基材１０１ｓに対する密着性を確保する点で好ましい。また、開口部１０６内の残膜の膜厚は、第１の部分１０５の第１の膜厚よりも薄いので、ドライエッチングなどの方法により、容易に残膜を除去することができる。言い換えれば、ドライエッチングによる隔壁部１０３へのダメージ（組成劣化や密着性の低下）が生ずる前に残膜を除去できる。
【００５６】
次に、溶液充填工程では、隔壁部１０３により区画された画素領域Ｇのそれぞれに、電気泳動粒子を含む溶液（分散液）１３０を充填する。溶液（分散液）１３０の充填方法としては、インクジェットヘッド６０を備えた吐出装置（図示省略）を用いる。隔壁部１０３が形成された基材１０１ｓとインクジェットヘッド６０とを対向配置して、基材１０１ｓに対してインクジェットヘッド６０を相対的に移動させる間に、インクジェットヘッド６０のノズルから所定量の溶液（分散液）１３０を液滴として画素領域Ｇに吐出する。この液滴吐出法によれば、画素領域Ｇごとに所定量の溶液（分散液）１３０を精度よく塗布（充填）することができる。塗布された溶液（分散液）１３０は界面張力により隔壁部１０３により囲まれた画素領域Ｇにおいて盛り上がる。
【００５７】
次に、貼り合わせ工程では、図５（ｅ）及び図５（ｆ）に示すように、溶液（分散液）１３０が塗布された素子基板１０１に対して、基材１２１ｓに対向電極１２２と接着層１２７とが形成された対向基板１２１の一端を押し当てる。そして、基材１２１ｓの対向電極１２２が形成された面と反対側の面（以降、背面と言う）に貼付ローラー８０を押し当てて、一端側から他端に向けて貼付ローラー８０を回転させながら移動させる。このように貼付ローラー８０を移動させることで、隔壁部１０３の頭頂部と接着層１２７とを確実に接触させて貼り付けると共に、余分な溶液（分散液）１３０や気泡を対向基板１２１の他端側に押しやって排出することができる。これにより、図５（ｇ）に示すように、隔壁部１０３により区画された画素領域Ｇごとに電気泳動層１４０を密閉して、素子基板１０１と対向基板１２１とを貼り合わせることができる。
【００５８】
このようにしてできた電気泳動表示パネル１５０に前述したようにＦＰＣ１６０を実装すれば、電気泳動表示装置１００ができあがる。なお、素子基板１０１側において、基材１０１ｓに画素電極１０２を形成する方法や、画素電極１０２に接続されるトランジスターや配線を形成する方法は、公知の方法を採用することができる。同じく、対向基板１２１側において、対向電極１２２や接着層１２７を形成する方法も公知の方法を採用することができる。
【００５９】
例えば、画素電極１０２や対向電極１２２を形成する方法としては、蒸着法やスパッタ法などの気相プロセスにより成膜された導電膜をフォトリソグラフィー法でパターニングする方法が挙げられる。
【００６０】
接着層１２７を形成する方法としては、例えばスピンコート、バーコート、ロールコート、スリットコートなどの塗布法や、スクリーンやオフセットなどの印刷法を挙げることができる。なお、対向電極１２２を覆う接着層１２７は、絶縁性の接着材料を用いて形成してもよいが、導電性を有する接着材料を用いて形成することが好ましい。例えば、接着性を有するエポキシ樹脂などに、粒径が５μｍ程度の酸化スズ、カーボンブラックなどの導電粒子を混ぜることで導電性を付与することができる。導電粒子は導電性を有する材料で構成されていてもよいし、絶縁性の粒子の表面を覆うように導電性の被膜が形成されている粒子であってもよい。
接着層１２７の電気伝導度（電気抵抗）が、１．０×１０11Ω・ｃｍ以上あれば、絶縁性の接着材料（あるいは導電粒子を含有していない接着材料）を用いた場合に比べて、表示を行わせるために必要な駆動電圧の値を下げることができる。つまり、電気泳動表示装置１００における省電力化が可能となる。
【００６１】
上記第１実施形態の効果は、以下の通りである。
（１）電気泳動表示装置１００（電気泳動表示パネル１５０）とその製造方法によれば、画素領域Ｇを画素Ｐごとに区画する隔壁部１０３を形成する隔壁部形成工程において、隔壁部１０３と画素電極１０２を覆う膜部１０４とがインプリント法で形成される。膜部１０４には、同時に第２の部分としての開口部１０６が形成される。開口部１０６において画素電極１０２と電気泳動層１４０とが接することになるので、画素電極１０２上に膜部１０４が形成されていても、電気泳動層１４０に表示に必要な電界を充分に及ぼすことができる。したがって、膜部１０４を取り除くドライエッチングなどの処理が不要となるので、隔壁部１０３の耐久性が低下することなく、高い信頼性品質を有する電気泳動表示装置１００（電気泳動表示パネル１５０）を提供または製造することができる。
（２）隔壁部１０３と一体に形成され、画素電極１０２を覆う膜部１０４の第１の部分１０５の膜厚は、０．６μｍ〜２．０μｍとなっているので、膜部１０４が無い場合に比べて、基材１０１ｓに対する隔壁部１０３の密着性を向上させることができる。
（３）隔壁部１０３及び膜部１０４をエポキシ樹脂を用いて形成することにより、隔壁部１０３及び膜部１０４への電気泳動粒子１３１，１３２の付着（吸着）を低減して、優れた表示品質を有する電気泳動表示装置１００（電気泳動表示パネル１５０）を提供または製造することができる。
【００６２】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態の電気泳動表示装置について、図６を参照して説明する。図６（ａ）及び（ｂ）は第２実施形態の電気泳動表示装置における画素の構造と表示機能を示す概略断面図である。
【００６３】
＜他の電気泳動表示装置＞
本実施形態の電気泳動表示装置は、第１実施形態の電気泳動表示装置１００に対して、隔壁部及び膜部を対向基板側に形成する点が主に異なっている。したがって、第１実施形態と同じ構成には同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６４】
図６（ａ）に示すように、電気泳動表示パネル２５０は、画素電極１０２を有する素子基板１０１と、対向電極１２２を有する対向基板１２１と、これら一対の基板間に挟持された電気泳動層１４０とを有している。電気泳動層１４０は、隔壁部１２３によって画素電極１０２を１つの単位とする複数の領域に区分されている。電気泳動層１４０は、電気泳動粒子としての黒色粒子１３１及び白色粒子１３２が分散された分散媒１３３を含む溶液（分散液）１３０からなる。
【００６５】
本実施形態では、隔壁部１２３は、インプリント法を用いて対向基板１２１側に形成されている。具体的には、隔壁部１２３は、対向基板１２１の基材１２１ｓに形成された対向電極１２２を覆う接着層１２７に接して形成されている。また、隔壁部１２３の間には、隔壁部１２３と一体に膜部１２４が形成されている。接着層１２７上における隔壁部１２３の高さはおよそ３０μｍ、底部の幅は１０μｍ〜１５μｍ、頭頂部の幅は５μ〜１０μｍであり、隔壁部１２３の断面形状は台形状（テーパー形状）となっている。膜部１２４の第１の部分１２５の膜厚は０．６μｍ〜２．０μｍであり、膜部１２４には第１の部分１２５よりも膜厚が薄い第２の部分１２６が形成されている。第２の部分１２６の膜厚は１．０μｍ以下であればよく、本実施形態では、第２の部分１２６は膜部１２４を貫通する開口となっている。したがって、以降、第２の部分を開口部１２６と呼ぶ。
【００６６】
対向基板１２１側の接着層１２７は、導電性を有するものが好ましく、例えば、粒径が５μｍ程度の酸化スズ、カーボンブラックなどの導電粒子を含む接着性のエポキシ樹脂からなる。接着層１２７の電気伝導度が１．０×１０11Ω・ｃｍ以上となるように、上記導電粒子の含有量を調整すればよい。このようにすれば、接着層１２７の電気伝導度は膜部１２４の電気伝導度よりも高くなる。本実施形態における接着層１２７は、本発明の緩衝層に相当するものである。接着層１２７は、エポキシ樹脂を用いて形成されることに限定されず、フェノール樹脂、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）などのビニル樹脂、ニトリルゴム（ＮＢＲ）などを用いて形成してもよい。
【００６７】
一方、対向基板１２１に形成された隔壁部１２３の頭頂部は、接着層１０７を介して素子基板１０１に接着されている。接着層１０７も上記接着層１２７と同様な材料を用いて形成され、導電性を有することが好ましい。本実施形態では、接着層１０７は、エポキシ樹脂を用いて形成されている。ただし、隣り合う画素電極１０２の間においてリーク電流が流れることを防止する必要があるので、接着層１０７の電気伝導度が１．０×１０8Ω・ｃｍ以上１．０×１０12Ω・ｃｍ以下となるように、エポキシ樹脂における上記導電粒子の含有量を調整することが好ましい。
【００６８】
画素電極１０２と対向電極１２２との間に、直流の駆動電圧を印加して、対向電極１２２を相対的に高電位、画素電極１０２を相対的に低電位に保持する。そうすると、電気泳動層１４０に及ぼされた電界効果により、図６（ｂ）に示すように、正に帯電した黒色粒子１３１が画素電極１０２に引き寄せられる一方、負に帯電した白色粒子１３２が対向電極１２２に引き寄せられる。その結果、表示面側となる素子基板１０１側からこの画素Ｐを見ると黒色が認識されることとなり、電気泳動表示パネル２５０は黒色表示を行うことができる。
【００６９】
黒色表示を行う場合と反対に、対向電極１２２を相対的に低電位、画素電極１０２を相対的に高電位に保持すれば、電気泳動層１４０に及ぼされた電界効果により、正に帯電した黒色粒子１３１は対向電極１２２に引き寄せられる一方、負に帯電した白色粒子１３２は画素電極１０２に引き寄せられる。その結果、表示面側となる素子基板１０１側からこの画素Ｐを見ると白色が認識されることとなり、電気泳動表示パネル２５０は白色表示を行うことができる。
このように画素電極１０２と対向電極１２２とに与えられる電位を画素Ｐごとに制御すれば、文字や画像などの白黒表示を素子基板１０１側から見ることができる。なお、素子基板１０１側から表示を確認するには、ＩＴＯやＩＺＯなどの透明導電膜を用いて画素電極１０２を形成する。
【００７０】
第１実施形態で述べたように、溶液（分散液）１３０は、黒色粒子１３１と、白色粒子１３２とを有する構成に限定されず、どちらか一方の電気泳動粒子を有するとしてもよい。
また、黒色粒子１３１及び白色粒子１３２に代えて、例えば赤色、緑色、青色などの顔料を用いてもよい。画素Ｐの電気泳動層１４０に含まれる電気泳動粒子の色を、赤色、緑色、青色などから選択することで、カラー表示を行うこともできる。
【００７１】
このような電気泳動表示パネル２５０の端子部に駆動用ＩＣ１６５を有するＦＰＣ１６０を実装することによって、電気泳動表示装置２００が構成される。
【００７２】
＜他の電気泳動表示装置の製造方法＞
次に、第２実施形態の電気泳動表示装置２００の製造方法について、図７及び図８を参照して説明する。図７（ａ）〜（ｄ）及び図８（ｅ）〜（ｇ）は第２実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図である。具体的には、本発明の特徴部分を含む電気泳動表示パネル２５０の製造方法を示すものである。
【００７３】
本実施形態の電気泳動表示装置２００の製造方法（電気泳動表示パネル２５０の製造方法）は、対向基板１２１側に隔壁部１２３を形成する隔壁部形成工程と、隔壁部１２３により区画された領域（画素領域Ｇ）に溶液（分散液）１３０を充填する溶液充填工程と、素子基板１０１と対向基板１２１とを貼り合わせる貼り合わせ工程とを含んでいる。
【００７４】
隔壁部形成工程では、まず、図７（ａ）に示すように、金型５０を用意する。金型５０の成形面５０ａには、隔壁部１２３に対応した位置にテーパー形状の凹部５１と、膜部１２４の開口部１２６に対応した位置にテーパー形状の凸部５２とが設けられている。また、金型５０の成形面５０ａには離型処理が施されている。
【００７５】
次に、図７（ｂ）に示すように、成形面５０ａが上方を向くように金型５０を配置して、成形面５０ａに未硬化の樹脂材料１１３を塗布する。樹脂材料１１３の塗布は、吐出法、印刷法などを挙げることができる。樹脂材料１１３は金型５０の凹部５１にむら無く充填されると共に、少なくとも金型５０の凸部５２を覆う程度の厚みで塗布される。このとき、塗布に際して、樹脂材料１１３に含まれる気体あるいは気泡を、減圧処理や加熱処理により脱泡しておくことが好ましい。そして、基材１２１ｓに対向電極１２２と接着層１２７とが形成された対向基板１２１を樹脂材料１１３が塗布された金型５０に押し付ける。対向基板１２１を金型５０に押し付けた状態で、加熱あるいは紫外線を照射して、樹脂材料１１３を硬化させる。樹脂材料１１３を硬化させた後に、金型５０から対向基板１２１を剥離すれば、図７（ｃ）に示すように、接着層１２７に接する第１の部分１２５を含む膜部１２４と、画素領域Ｇを区画する隔壁部１２３とが一体に形成される。膜部１２４には、金型５０の凸部５２によって膜部１２４を貫通する第２の部分としての開口部１２６が形成される。
【００７６】
次に、溶液充填工程では、図７（ｄ）に示すように、隔壁部１２３により区画された画素領域Ｇのそれぞれに、電気泳動粒子を含む溶液（分散液）１３０を充填する。溶液（分散液）１３０の充填方法としては、第１実施形態と同様に、インクジェットヘッド６０を備えた吐出装置（図示省略）を用いる。隔壁部１２３が形成された基材１２１ｓとインクジェットヘッド６０とを対向配置して、基材１２１ｓに対してインクジェットヘッド６０を相対的に移動させる間に、インクジェットヘッド６０のノズルから所定量の溶液（分散液）１３０を液滴として画素領域Ｇに吐出する。塗布された溶液（分散液）１３０は界面張力により隔壁部１２３により囲まれた画素領域Ｇにおいて盛り上がる。
【００７７】
次に、貼り合わせ工程では、図８（ｅ）及び図８（ｆ）に示すように、溶液（分散液）１３０が塗布された対向基板１２１に対して、基材１０１ｓに画素電極１０２と接着層１０７とが形成された素子基板１０１の一端を押し当てる。そして、素子基板１０１の背面に貼付ローラー８０を押し当てて、一端側から他端に向けて貼付ローラー８０を回転させながら移動させる。このように貼付ローラー８０を移動させることで、隔壁部１２３の頭頂部と接着層１０７とを確実に接触させて貼り付けると共に、余分な溶液（分散液）１３０や気泡を素子基板１０１の他端側に押しやって排出することができる。これにより、図８（ｇ）に示すように、隔壁部１２３により区画された画素領域Ｇごとに電気泳動層１４０を密閉して、素子基板１０１と対向基板１２１とを貼り合わせることができる。
【００７８】
このようにしてできた電気泳動表示パネル２５０に前述したようにＦＰＣ１６０を実装すれば、電気泳動表示装置２００ができあがる。なお、素子基板１０１側において、画素電極１０２や、画素電極１０２に接続されるトランジスター、配線を形成する方法、接着層１０７を形成する方法は、公知の方法を採用することができる。同じく、対向基板１２１側において、対向電極１２２や接着層１２７を形成する方法も公知の方法を採用することができる。
【００７９】
上記第２実施形態によれば、上記第１実施形態と同様な効果（１）〜（３）に加えて、以下の効果が得られる。
【００８０】
（４）隔壁部形成工程では、対向電極１２２を覆う接着層１２７に接するように隔壁部１２３及び膜部１２４がインプリント法で形成される。対向基板１２１を金型５０に押し付けても、接着層１２７が緩衝層として機能して金型５０が直接に対向電極１２２に触れないので、インプリント法を用いても対向電極１２２が損傷することを防ぐことができる。
また、膜部１２４の開口部１２６における残膜を除去するために、例えばドライエッチングを施したとしても、緩衝層としての接着層１２７を有しているので、ドライエッチングによって対向電極１２２が劣化することを防ぐことができる。
（５）第１実施形態のように、画素電極１０２が形成された面に直接に隔壁部１０３及び膜部１０４を形成する場合に比べて、対向基板１２１において接着層１２７上に隔壁部１２３及び膜部１２４を形成するので、対向基板１２１における隔壁部１２３及び膜部１２４の密着性を向上させることができる。
（６）接着層１２７は、膜部１２４よりも高い電気伝導度を有しているので、接着層１２７が導電性を有していない場合に比べて、電気泳動層１４０に電界を効果的に及ぼすことができるので、駆動電圧を低下させて、電気泳動表示装置２００の省電力化を図ることができる。
【００８１】
上記第１実施形態及び上記第２実施形態で説明したように、電気泳動層１４０を複数の領域（画素領域Ｇ）に区分する隔壁部は、素子基板１０１、対向基板１２１のいずれか一方に形成される。したがって、本発明における電極は、素子基板１０１の画素電極１０２でもよいし、対向基板１２１の対向電極１２２でもよい。
【００８２】
（第３実施形態）
＜電子機器＞
次に、本実施形態の電子機器について、図９を参照して説明する。図９は、本発明の電気泳動表示装置を適用した電子機器の具体例を説明する斜視図である。
図９（ａ）は、電子機器の一例である電子ブックを示す斜視図である。電子機器としての電子ブック１０００は、ブック形状のフレーム１００１と、このフレーム１００１に対して回動自在に設けられた（開閉可能な）カバー１００２と、操作部１００３と、本発明の電気泳動表示装置によって構成された表示部１００４と、を備えている。
【００８３】
図９（ｂ）は、電子機器の一例である腕時計を示す斜視図である。電子機器としての腕時計１１００は、本発明の電気泳動表示装置によって構成された表示部１１０１を備えている。
【００８４】
図９（ｃ）は、電子機器の一例である電子ペーパーを示す斜視図である。電子機器としての電子ペーパー１２００は、紙と同様の質感及び柔軟性を有するリライタブルシートで構成される本体部１２０１と、本発明の電気泳動表示装置によって構成された表示部１２０２を備えている。
【００８５】
以上の電子ブック１０００、腕時計１１００及び電子ペーパー１２００によれば、本発明に係る電気泳動表示装置が採用されているので、画素Ｐごとの電気泳動層１４０に駆動電圧を印加することで、外光を利用した眼に優しい印刷物のような表示を行うことができると共に、優れた信頼性を有する電子ブック１０００、腕時計１１００及び電子ペーパー１２００を提供することができる。
【００８６】
なお、本発明に係わる電気泳動表示装置を適用可能な電子機器は、上記電子ブック１０００、腕時計１１００及び電子ペーパー１２００に限定されるものではない。例えば、携帯電話、携帯用オーディオ機器などの電子機器の表示部や、マニュアルなどの業務用シート、教科書、問題集、情報シートなどにも、本発明に係る電気泳動表示装置は好適に用いることができる。
【００８７】
本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気泳動表示装置及び該電気泳動表示装置の製造方法ならびに該電気泳動表示装置を適用する電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【００８８】
（変形例１）膜部１０４（膜部１２４）における第２の部分としての開口部１０６（開口部１２６）は、平面形状が円形であり、画素領域Ｇにおいて互いに等間隔に配置されることに限定されない。図１０（ａ）は第２の部分の平面形状と配置の変形例を示す概略平面図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＢ−Ｂ’線で切った概略断面図である。
例えば、図１０（ａ）に示すように、変形例としての第２の部分１０６ａ，１０６ｂは、円形であるものの大きさが異なっている。そして、図１０（ｂ）に示すように、大きい方の第２の部分１０６ａが隔壁部１０３の近くに配置され、小さい方の第２の部分１０６ｂが隔壁部１０３から離れて画素領域Ｇのほぼ中央部に配置されている。インプリント法を用いて隔壁部１０３と膜部１０４とを一体に形成すると、図１０（ｂ）に示すように、隔壁部１０３に近い膜部１０４の第１の部分１０５の膜厚が、中央部に比べて厚くなる傾向がある。したがって、電気泳動層に電界を効率よく及ぼすことを考慮すると、隔壁部１０３に近い側に平面形状が大きい方の第２の部分１０６ａを配置することが好ましい。同様な考え方に基づけば、大きさが同じならば、変形例の第２の部分１０６ｈ，１０６ｉに示すように、隔壁部１０３に近い側における第２の部分１０６ｈの配置密度を、中央部側の第２の部分１０６ｉの配置密度に比べて高くしてもよい。
また、第２の部分の平面形状は円形に限定されず、例えば、変形例の第２の部分１０６ｃに示すように、Ｙ方向（またはＸ方向）に延在するスリット状であってもよい。また、長さが異なるスリット状の第２の部分１０６ｅ，１０６ｆ，１０６ｇを対角方向に配置し、コーナー部に三角形の第２の部分１０６ｄを配置するとしてもよい。
【００８９】
（変形例２）上記第２実施形態では、対向基板１２１側に隔壁部１２３を形成したが、素子基板１０１側において接着層１０７に接するように隔壁部１２３と膜部１２４とを一体に形成してもよい。すなわち、接着層１０７を本発明の緩衝層として機能させることができる。
【００９０】
（変形例３）電気泳動層１４０は、分散媒１３３に電気泳動粒子１３１，１３２が分散された溶液（分散液）１３０によって構成されることに限定されない。例えば、電気泳動粒子１３１，１３２と分散媒１３３とが封入されたマイクロカプセルを隔壁部により区画された画素領域Ｇに充填して電気泳動層１４０としてもよい。
【符号の説明】
【００９１】
１００，２００…電気泳動表示装置、１０１…第１基板としての素子基板、１０２…電極としての画素電極，１０３，１２３…隔壁部、１０４，１２４…膜部、１０５，１２５…膜部の第１の部分、１０６，１２６…膜部の第２の部分（開口部）、１２７…緩衝層としての接着層、１３０…溶液（分散液）、１３１，１３２…電気泳動粒子、１３３…分散媒、１４０…電気泳動層、１５０，２５０…電気泳動表示パネル、１０００…電子機器としての電子ブック、１１００…電子機器としての腕時計、１２００…電子機器としての電子ペーパー、Ｐ…画素、Ｇ…画素領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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