(57)【要約】【課題】封止具で封止された二次側流路内に残留する残留ガスを確実に除去することができるバルブユニット、及び当該バルブユニットを用いたパージ方法を提供することを目的とする。【解決手段】ボンベ容器１００に対して取り付けられるとともに、ハウジング３１から突出するアウトレット４０と、腐食性ガスＧの通過を許容する流路６０とを備えた容器バルブ３０、容器バルブ３０の不使用時にアウトレット４０を封止するとともに、二次側流路６３との導通と非導通とを切り替える弁体２４を備えたアウトレットキャップ２０、並びに、プッシャー１１と、プッシャー１１とアウトレットキャップ２０との接続箇所をシールする平板リング状シール１２ｃと、平板リング状シール１２ｃによってシールされたシール状態において、弁体２４を導通状態に切り替えるハンドルピン１１ｃとを有するアタッチメント１０でバルブユニット１を構成した。【選択図】図１
2015014310.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貯蔵容器に対して取り付けられる容器取付け部と、バルブ本体から突出するアウトレットと、前記容器取付け部から前記アウトレットまで連通するとともに、両端部が開放され、流体の通過を許容する流路と、該流路の中間部分において開閉を切り替える開閉弁とを備え、前記流路を、容器取付け部側端部から前記開閉弁までの一次側流路と、前記開閉弁からアウトレット側端部までの二次側流路に設定した容器バルブ、
該容器バルブの不使用時に前記アウトレット側端部において前記二次側流路を封止するとともに、前記二次側流路との導通と非導通とを切り替える仕切り弁を備えた封止具、並びに、
導通状態の前記封止具に対して連通可能に接続できる接続管と、連通状態で接続される前記接続管と前記封止具との接続箇所をシールするシール部と、該シール部によってシールされたシール状態において、前記仕切り弁を導通状態に切り替える切替操作部とを有する装着治具で構成する
バルブユニット。
【請求項２】
前記仕切り弁を、前記二次側流路の流路方向に沿って移動して、導通と非導通とを切り替える構成とし、
前記装着治具において、
前記シール部を、前記流路方向に移動させて、前記接続箇所をシールする構成とするとともに、
前記切替操作部の前記流路方向の移動に伴って、前記流路方向に移動する前記接続管が、前記仕切り弁を前記二次側流路の流路方向に沿って移動させて、導通と非導通とを切り替える
請求項１に記載のバルブユニット。
【請求項３】
前記シール部を、装着治具本体に対する螺入出によって前記流路方向に移動させて、接続箇所をシールする構成とした
請求項２に記載のバルブユニット。
【請求項４】
前記仕切り弁を、逆止弁で構成するとともに、
前記封止具を、前記アウトレットの端部に対して装着する袋ナットで構成した
請求項１乃至３のうちいずれかひとつに記載のバルブユニット。
【請求項５】
前記容器バルブに、
前記アウトレットの端部に対して装着された前記封止具内に配置される仕切りプラグと、
前記仕切りプラグに設けられたガスケット用凹部に配置されるガスケットと、
前記アウトレットに前記封止具を取り付ける際に、前記仕切りプラグに設けられた側面突出部を前記アウトレットに設けられた切欠部に嵌合して前記仕切りプラグの供回りを防ぐ供回防止機構とを備えた
請求項１乃至４のうちいずれかひとつに記載のバルブユニット。
【請求項６】
前記流路を通過する前記流体を、
大気における酸素及び水分の少なくとも一方と反応して腐食生成物を生成する腐食性ガスとした
請求項１乃至５のうちいずれかひとつに記載のバルブユニット。
【請求項７】
容器取付け部によって貯蔵容器に対して取り付けられ、バルブ本体から突出するアウトレットにおける、バルブ本体に形成した流路に流体を導通した後、該流路の中間部分において開閉を切り替える開閉弁を閉状態とし、
容器取付け部側端部から前記開閉弁までの一次側流路と、前記開閉弁からアウトレット側端部までの二次側流路とで構成する前記流路のうち前記二次側流路を封止するように、仕切り弁が前記二次側流路と非導通な状態である封止具を前記アウトレット側端部に装着し、
導通状態の前記封止具に対して連通可能に接続できる接続管と、連通状態で接続される前記接続管と前記封止具との接続箇所をシールするシール部と、該シール部によってシールされたシール状態において、前記仕切り弁を導通状態に切り替える切替操作部とを有する装着治具を前記アウトレット側端部に装着するとともに、前記接続箇所をシール部でシールし、
シール部でシールしたシール状態において、前記切替操作部によって前記仕切り弁を非導通状態から導通状態に切り替えるとともに、導通状態の前記封止具に対して連通可能に接続管を接続し、
該接続管を介して、前記二次側流路内部に対して、流体の置換及び抜き出しの少なくとも一方を行い、
前記切替操作部によって前記仕切り弁を導通状態から非導通状態に切り替えるとともに、
前記シール部による前記接続箇所のシール状態を解除する
パージ方法。
【請求項８】
前記流路を通過する前記流体を、
大気における酸素及び水分の少なくとも一方と反応して腐食生成物を生成する腐食性ガスとした
請求項７に記載のパージ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、ガスボンベのようなガス貯蔵容器等に取り付け、開閉弁を開閉し、ガスの出し入れを規制する容器バルブに対してパージするバルブユニット、及びパージ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ガスボンベのようなガス貯蔵容器等に取り付け、開閉弁を開閉して気体や液体等の流動体の出し入れを規制する容器バルブが多用されている（特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の容器バルブは、ダイヤフラム式構造であり、高圧用容器の開閉バルブとして用いることができ、容器内部に充填されたガスの取り出しやガスの充填等のガスの出し入れを規制することができる。
【０００４】
このような容器バルブでは、例えば、容器内部に充填されたガスの取り出しが完了した際、ガスの取り出し口であるアウトレットを、例えば、袋ナット等の封止具で封止して、容器バルブごとボンベを交換し、運搬することがある。
【０００５】
このように、アウトレットを封止具で封止する場合であっても、容器バルブにおける開閉弁よりアウトレット側の二次側流路には、取り出したガスが残留しており（以下において残留ガスという）、封止具で封止する前に、つまり、ガスを取り出した後やガスを充填した後に、二次側流路に残留する残留ガスを、抜き出す、あるいは、窒素ガスなどの不活性ガスで置換するなどの残留ガスを除去する所定のパージを行って残留ガスの大部分を除去してから封止具で封止するが、残留ガスの一部が除去できずに二次側流路に残留するとともに、ガスの取り出しや充填のために接続したコネクタを取り外して封止具で封止する際に二次側流路内に大気が浸入する。
【０００６】
仮に、容器内部に充填されたガス、つまり所定のパージによって除去できずに二次側流路内に残留する残留ガスが腐食性ガスである場合、二次側流路内に大気が浸入すると、大気中の酸素や水分と腐食性ガスとが反応し、腐食生成物が発生するおそれがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−１４４９５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明は、封止具で封止された二次側流路内に残留する残留ガスを確実に除去することができるバルブユニット、及び当該バルブユニットを用いたパージ方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、貯蔵容器に対して取り付けられる容器取付け部と、バルブ本体から突出するアウトレットと、前記容器取付け部から前記アウトレットまで連通するとともに、両端部が開放され、流体の通過を許容する流路と、該流路の中間部分において開閉を切り替える開閉弁とを備え、前記流路を、容器取付け部側端部から前記開閉弁までの一次側流路と、前記開閉弁からアウトレット側端部までの二次側流路に設定した容器バルブ、該容器バルブの不使用時に前記アウトレット側端部において前記二次側流路を封止するとともに、前記二次側流路との導通と非導通とを切り替える仕切り弁を備えた封止具、並びに、導通状態の前記封止具に対して連通可能に接続できる接続管と、連通状態で接続される前記接続管と前記封止具との接続箇所をシールするシール部と、該シール部によってシールされたシール状態において、前記仕切り弁を導通状態に切り替える切替操作部とを有する装着治具で構成するバルブユニットであることを特徴とする。
【００１０】
前記流体は、貯蔵容器に貯蔵した、あるいは貯蔵容器に充填する気体、または液体とすることができる。  
この発明により、封止具で封止された二次側流路内に残留する残留ガスを確実に除去することができる。
【００１１】
詳述すると、貯蔵容器に対して取り付けられる容器取付け部と、バルブ本体から突出するアウトレットと、前記容器取付け部から前記アウトレットまで連通するとともに、両端部が開放され、流体の通過を許容する流路と、該流路の中間部分において開閉を切り替える開閉弁とを備え、前記流路を、容器取付け部側端部から前記開閉弁までの一次側流路と、前記開閉弁からアウトレット側端部までの二次側流路に設定した容器バルブにおいて、開閉弁が閉鎖された容器バルブの不使用時に、前記アウトレット側端部を封止具で封止することで、閉鎖状態の開閉弁と封止具とで二次側流路は密閉状態となる。
【００１２】
そして、容器バルブとでバルブユニットを構成する装着治具が、導通状態の前記封止具に対して連通可能に接続できる接続管と、連通状態で接続される前記接続管と前記封止具との接続箇所をシールするシール部と、該シール部によってシールされたシール状態において、前記仕切り弁を導通状態に切り替える切替操作部とを有するため、切替操作部の操作により封止具の前記仕切り弁を導通状態に切り替えることで、接続管が導通状態の前記封止具と連通することができる。
【００１３】
したがって、導通状態の封止具を介して、密閉状態である二次側流路と接続管とを連通させることができ、真空引き装置や窒素ガスなどの不活性ガスの圧入装置を接続管に接続することで、二次側流路に残留する残留ガスを抜き出す、あるいは不活性ガスで置換して、二次側流路から残留ガスを除去することができる。
【００１４】
なお、連通状態で接続される前記接続管と前記封止具との接続箇所をシール部によってシールするシール状態において、切替操作部で封止具の前記仕切り弁を導通状態に切り替えて、接続管が導通状態の前記封止具と連通するため、前記接続管と前記封止具との接続箇所から不活性ガスや真空状態がリークすることなく、確実に、二次側流路から残留ガスを除去することができる。
【００１５】
この発明の態様として、前記仕切り弁を、前記二次側流路の流路方向に沿って移動して、導通と非導通とを切り替える構成とし、前記装着治具において、前記シール部を、前記流路方向に移動させて、前記接続箇所をシールする構成とするとともに、前記切替操作部の前記流路方向の移動に伴って、前記流路方向に移動する前記接続管が、前記仕切り弁を前記二次側流路の流路方向に沿って移動させて、導通と非導通とを切り替えることができる。
【００１６】
この発明により、前記流路方向に移動する前記切替操作部の操作によって、前記接続管を流路方向に移動することができ、この前記接続管の流路方向の移動によって前記仕切り弁を前記二次側流路の流路方向に沿って移動させて、封止具の導通と非導通とを切り替えることができる。
【００１７】
詳しくは、前記仕切り弁における導通と非導通とを切り替えるための移動方向、前記シール部によって前記接続箇所をシールするための移動方向、前記切替操作部の操作のための移動方向、及び前記切替操作部の操作による接続管の移動方向がすべて流路方向に一致するため、簡単な構成でありながら、確実にシール部で接続箇所をシールするとともに、前記切替操作部の操作によって流路方向に移動する前記接続管が前記仕切り弁を前記二次側流路の流路方向に沿って移動させて、確実に、封止具の導通と非導通とを切り替えることができる。
【００１８】
またこの発明の態様として、前記シール部を、装着治具本体に対する螺入出によって前記流路方向に移動させて、接続箇所をシールする構成とすることができる。  
この発明により、装着治具本体に対して前記シール部を螺入出するという螺入出方向の回転操作によって、前記シール部を流路方向に移動させて接続箇所のシールと解放とを確実に行うことができる。なお、螺入出方向の回転操作を、シール部の流路方向の移動に変化させているため、シール部に対して直接流路方向に操作し、シール部を流路方向に圧着させてシールする場合に比べて、小さな力で確実なシール性能を実現することができる。
【００１９】
またこの発明の態様として、前記仕切り弁を、逆止弁で構成するとともに、前記封止具を、前記アウトレットの端部に対して装着する袋ナットで構成することができる。  
この発明により、例えば、アウトレット端部における二次側流路に挿入する態様の封止具に比べて容易に締め付け操作できるとともに、アウトレット端部における二次側流路に挿入する態様の封止具に比べて袋ナットは構成が大きく、容易に逆止弁を装備できるため、アウトレット端部において二次側流路を容易に封止できるとともに、確実に、導通と非導通とを切り替えることができる。
【００２０】
またこの発明の態様として、前記アウトレットの端部に対して装着された前記封止具内に配置される仕切りプラグと、前記仕切りプラグに設けられたガスケット用凹部に配置されるガスケットと、前記アウトレットに前記封止具を取り付ける際に、前記仕切りプラグに設けられた側面突出部を前記アウトレットに設けられた切欠部に嵌合して前記仕切りプラグの供回りを防ぐ供回防止機構とを備えることができる。
【００２１】
この発明により、前記アウトレットの端部に対して装着された前記封止具内に配置される仕切りプラグと、前記仕切りプラグに設けられたガスケット用凹部に配置されるガスケットと、前記アウトレットに前記封止具を取り付ける際に、前記仕切りプラグに設けられた側面突出部を前記アウトレットに設けられた切欠部に嵌合して前記仕切りプラグの供回りを防ぐ供回防止機構とを備えた米国のＣＧＡ（Compressed Gas Association）規格で定められたＤＩＳＳ（Diameter Index Safety System）構造を有するバルブ（以下、「ＤＩＳＳバルブ」という。）であっても、封止具で封止されるとともに、仕切りプラグよりも開閉弁側の二次側流路内に残留する残留ガスを確実に除去することができる。
【００２２】
またこの発明の態様として、前記流路を通過する前記流体を、大気における酸素及び水分の少なくとも一方と反応して腐食生成物を生成する腐食性ガスとすることができる。  
この発明により、例えば、半導体デバイス、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイス、液晶用ＴＦＴ（Thin Film Transistor）パネルおよび太陽電池パネル等の製造工程において、基板のエッチングプロセス用のガス、ＣＶＤ装置等の薄膜形成装置のクリーニングプロセス用のガス、または、成膜プロセス用のガスとして用いられるフッ素、塩素、臭素等のハロゲン元素を含み、大気中の酸素や水分と反応して腐食生成物を発生する腐食性ガスが二次側流路に残留していても、上述のバルブユニットによって、大気と接触することなく、確実に、二次側流路から除去することができる。
【００２３】
またこの発明は、容器取付け部によって貯蔵容器に対して取り付けられ、バルブ本体から突出するアウトレットにおける、バルブ本体に形成した流路に流体を導通した後、該流路の中間部分において開閉を切り替える開閉弁を閉状態とし、容器取付け部側端部から前記開閉弁までの一次側流路と、前記開閉弁からアウトレット側端部までの二次側流路とで構成する前記流路のうち前記二次側流路を封止するように、仕切り弁が前記二次側流路と非導通な状態である封止具を前記アウトレット側端部に装着し、導通状態の前記封止具に対して連通可能に接続できる接続管と、連通状態で接続される前記接続管と前記封止具との接続箇所をシールするシール部と、該シール部によってシールされたシール状態において、前記仕切り弁を導通状態に切り替える切替操作部とを有する装着治具を前記アウトレット側端部に装着するとともに、前記接続箇所をシール部でシールし、シール部でシールしたシール状態において、前記切替操作部によって前記仕切り弁を非導通状態から導通状態に切り替えるとともに、導通状態の前記封止具に対して連通可能に接続管を接続し、該接続管を介して、前記二次側流路内部に対して、流体の置換及び抜き出しの少なくとも一方を行い、前記切替操作部によって前記仕切り弁を導通状態から非導通状態に切り替えるとともに、前記シール部による前記接続箇所のシール状態を解除するパージ方法であることを特徴とする。
【００２４】
この発明により、封止具で封止された二次側流路内に残留する残留ガスを確実に除去することができる。  
詳述すると、容器取付け部によって貯蔵容器に対して取り付けられ、バルブ本体から突出するアウトレットにおける、バルブ本体に形成した流路に流体を導通した後、該流路の中間部分において開閉を切り替える開閉弁を閉状態とし、容器取付け部側端部から前記開閉弁までの一次側流路と、前記開閉弁からアウトレット側端部までの二次側流路とで構成する前記流路のうち前記二次側流路を封止するように、仕切り弁が前記二次側流路と非導通な状態である封止具を前記アウトレット側端部に装着するため、閉鎖状態の開閉弁と封止具とで二次側流路は密閉状態となる。
【００２５】
そして、前記アウトレット側端部に装着した装着治具により、前記切替操作部によって前記仕切り弁を非導通状態から導通状態に切り替えるため、非導通状態の封止具によって密閉状態であった二次側流路は、封止具の仕切り弁を介して、接続管と連通することとなる。
【００２６】
なお、前記接続箇所をシール部でシールしたシール状態において、前記切替操作部によって前記仕切り弁を非導通状態から導通状態に切り替えるため、つまり、シール部で接続箇所をシールする工程と、前記仕切り弁を非導通状態から導通状態に切り替えるとともに、封止具を介して接続管と二次側流路とを連通させる工程との二工程で、封止具の仕切り弁を介して、二次側流路と接続管とを連通させることができる。
【００２７】
したがって、二次側流路と連通する接続管に、真空引き装置や窒素ガスなどの不活性ガスの圧入装置を接続することで、前記接続管と前記封止具との接続箇所から不活性ガスや真空状態がリークすることなく、二次側流路に残留する残留ガスを抜き出す、あるいは不活性ガスで置換して、二次側流路から残留ガスを除去することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明により、封止具で封止された二次側流路内に残留する残留ガスを確実に除去することができるバルブユニット、及び当該バルブユニットを用いたパージ方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】バルブユニットの概略断面図。
【図２】アタッチメントとアウトレットキャップの概略拡大断面図。
【図３】アタッチメントとアウトレットキャップの概略斜視図。
【図４】アタッチメントとアウトレットキャップの分解斜視図。
【図５】パージ方法のフローチャート。
【図６】腐食性ガスの供給あるいは充填状態の説明図。
【図７】アウトレットキャップ装着状態の説明図。
【図８】アタッチメントを装着した状態の説明図。
【図９】シール状態の説明図。
【図１０】開栓状態の説明図。
【図１１】閉栓状態の説明図。
【図１２】シール開放状態の説明図。
【図１３】ＤＩＳＳ式バルブにおけるアウトレットキャップの断面図。
【図１４】挿入式アウトレットキャップの説明図。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
この発明の一実施形態を、図１乃至図１２とともに説明する。  
なお、図１はバルブユニット１の概略断面図を示し、図２はアタッチメント１０とアウトレットキャップ２０の概略拡大断面図を示し、図３はアタッチメント１０とアウトレットキャップ２０の概略斜視図を示し、図４はアタッチメント１０とアウトレットキャップ２０の分解斜視図を示している。
【００３１】
図５はパージ方法のフローチャートを示し、図６乃至図１２はパージ方法における各状態のバルブユニット１の正面図及び断面図による説明図を示しており、具体的には、図６は腐食性ガスＧの供給あるいは充填状態、図７はアウトレットキャップ２０を装着した状態、図８はアタッチメント１０を装着した状態、図９はシール状態、図１０は開栓状態、図１１は閉栓状態、図１２はシール開放状態の説明図を示している。
【００３２】
図１に示すように、バルブユニット１は、容器バルブ３０と、容器バルブ３０におけるアウトレット４０を封止する封止具として機能するアウトレットキャップ２０と、装着治具として機能するアタッチメント１０とで構成している。
【００３３】
容器バルブ３０は、ボンベ容器１００（図６）に取り付けられ、腐食性ガスＧの供給や充填のために、腐食性ガスＧの導通を規制するダイヤフラム式の容器バルブであり、縦長のハウジング３１と、ハウジング３１の下部において、ボンベ容器１００の上部の装着部１０１に螺合して取り付けられるボンベ取付け部３２と、ハウジング３１の中段付近において側方に突出する態様のアウトレット４０と、ハウジング３１の上部において装着される閉止弁機構５０とで構成している。
【００３４】
なお、閉止弁機構５０における各構成要素同士の対向部分、あるいは閉止弁機構５０とハウジング３１との対向部分における適宜の箇所にはＯリングを設置するが、Ｏリングの図示や詳しい説明については適宜省略する。
【００３５】
ハウジング３１の内部には、上部において閉止弁機構５０の装着を許容する閉止弁装着凹部６１、閉止弁装着凹部６１の下端とボンベ取付け部３２の下端まで連通する一次側流路６２、閉止弁装着凹部６１の下端からアウトレット４０の先端まで連通する二次側流路６３を備えている。  
閉止弁装着凹部６１は、上方が開放された略円筒形の凹部である作動室６１ａと、該作動室６１ａの下方においてひとまわり径の小さな閉止弁室６１ｂとで構成している。
【００３６】
そして、ハウジング３１には、閉止弁室６１ｂ、一次側流路６２及び二次側流路６３によって、ボンベ取付け部３２の下端からアウトレット４０の先端まで連通する流路６０が形成されている。  
また、二次側流路６３におけるアウトレット４０部分には、後述するアウトレットキャップ２０の逆止弁キャップ２６の挿入を許容する拡大部６３ａを有している。
【００３７】
閉止弁装着凹部６１に装着する閉止弁機構５０は、回転ハンドル５１、グランドナット５２、スリーブ５５ａ、スピンドル５３、中間伝動具５４、環状の押圧スリーブ５５ｂ、ダイヤフラム５６、閉止部材５７、閉止リング５８及び開弁バネ５９とで構成している。
【００３８】
回転ハンドル５１は、８箇所突出する波形の外周縁を有する平面視略円形雲形に形成され、スピンドル５３の上部の被嵌合部５３ａの嵌合を許容する嵌合部５１ａを備えている。
【００３９】
グランドナット５２は、頭部ナット部５２ａと、閉止弁装着凹部６１の内面に形成した雌ネジと螺合する雄ネジ部５２ｂとで構成する中空の略円筒形である。  
スリーブ５５ａは相対回転自在にグランドナット５２が装着されるとともに、後述する押圧スリーブ５５ｂを上方から押圧するように、下端が拡径された略円筒状であり、上部内面には、後述するスピンドル５３の雄ネジ部５３ｂの螺合を許容する雌ネジ５５ａａを有している。
【００４０】
スピンドル５３は、上から順に、回転ハンドル５１の嵌合部５１ａに嵌合する被嵌合部５３ａ、上述のスリーブ５５ａの内面に形成された雌ネジ５５ａａに螺合する雄ネジ部５３ｂ、底面で後述する中間伝動具５４と回転摺動しながら押圧する押圧底部５３ｃとで構成している。
【００４１】
中間伝動具５４は、スピンドル５３の押圧底部５３ｃの嵌合を許容する断面視凹状かつ平面視略六角形であり、さらに中間伝動具５４の底面は下方へ突出した湾曲面に形成している。
【００４２】
押圧スリーブ５５ｂは、平面視略六角形の中間伝動具５４に外嵌するとともに、上面側をスリーブ５５ａの下端で下向きに押し付けられることで、後述するダイヤフラム５６の周縁部を、作動室６１ａの底面とで挟み込むこととなる。
【００４３】
ダイヤフラム５６は、薄板状円形板であり、作動室６１ａの底面において、閉止弁室６１ｂの上部を覆うように配置されている。なお、ダイヤフラム５６は、複数の金属製薄板を互いに重ね合わせて構成し、金属製薄板同士の対向面において、対向面の一方にコーティング層を形成する場合もある。
【００４４】
閉止部材５７は、略円柱状の本体部５７ａと、本体部５７ａの上面において、径方向に突出するとともに、上面が上方へ突出した湾曲面に形成している上フランジ部５７ｂと、本体部５７ａの下部において、後述する閉止リング５８の嵌め込みを許容する嵌め込み部５７ｃを有している。
【００４５】
閉止リング５８は、上述の嵌め込み部５７ｃにおいて嵌め込み可能なリング状であり、詳しくは、閉止弁室６１ｂの概略底面に開口する一次側流路６２の上端開口部６２ａより大きな内径を有するリング状である。
【００４６】
開弁バネ５９は、閉止部材５７の本体部５７ａに外嵌するとともに、上フランジ部５７ｂの底面と閉止弁室６１ｂの底面との間に配置され、閉止弁室６１ｂを反力として、上フランジ部５７ｂを上方に付勢するバネである。
【００４７】
このように、回転ハンドル５１、グランドナット５２、スリーブ５５ａ、スピンドル５３、中間伝動具５４、押圧スリーブ５５ｂ、ダイヤフラム５６、閉止部材５７、閉止リング５８及び開弁バネ５９で構成する閉止弁機構５０は、グランドナット５２の雄ネジ部５２ｂと閉止弁装着凹部６１の雌ネジと螺合させて、閉止弁装着凹部６１に挿入される。
【００４８】
詳しくは、閉止リング５８が嵌め込み部５７ｃに嵌め込まれるとともに、開弁バネ５９を本体部５７ａに外嵌させた閉止部材５７を閉止弁室６１ｂに装着する。そして、開弁バネ５９によって上方に付勢された閉止部材５７の上フランジ部５７ｂに当接させたダイヤフラム５６を、閉止弁室６１ｂを覆うように作動室６１ａの底面に配置し、その上から抑え付けるよう中間伝動具５４及び押圧スリーブ５５ｂを配置する。
【００４９】
また、スピンドル５３が螺合したスリーブ５５ａをグランドナット５２と共に、作動室６１ａに装着する。さらに、嵌合部５１ａにスピンドル５３の被嵌合部５３ａを嵌合させて、閉止弁装着凹部６１に対する閉止弁機構５０は装着される。
【００５０】
このように構成された閉止弁機構５０が閉止弁装着凹部６１に装着された容器バルブ３０では、回転ハンドル５１を操作して、スピンドル５３が締め付け方向に螺入されると、中間伝動具５４及びダイヤフラム５６を介して閉止部材５７が、開弁バネ５９の付勢力に抗して下方に押し下げられ、閉止部材５７の嵌め込み部５７ｃ及び閉止リング５８によって、閉止弁室６１ｂにおいて開口する一次側流路６２の上端開口部６２ａはふさがれ、閉止弁室６１ｂを介して連通し、流路６０を構成する一次側流路６２と二次側流路６３とが分断される。
【００５１】
逆に、回転ハンドル５１を緩み方向に操作してスピンドル５３を螺出させると、中間伝動具５４及びダイヤフラム５６を介した閉止部材５７の押し下げが開放され、開弁バネ５９の付勢力によって閉止部材５７の嵌め込み部５７ｃ及び閉止リング５８は上方に移動し、上端開口部６２ａは開放され、閉止弁室６１ｂを介して一次側流路６２と二次側流路６３とが連通して構成する流路６０は導通状態となる。
【００５２】
このように構成された容器バルブ３０のアウトレット４０に装着し、二次側流路６３の開口端部を封止する封止部として機能するアウトレットキャップ２０は、図２乃至４に示すように、逆止弁ホルダ２１、袋状キャップ本体２２、リングパッキン２３、弁体２４、スプリング２５及び逆止弁キャップ２６で構成している。
【００５３】
なお、図４において、アウトレットキャップ２０を構成する逆止弁ホルダ２１、袋状キャップ本体２２、リングパッキン２３、弁体２４、及び逆止弁キャップ２６、並びに後述するアタッチメント１０のプッシャー１１及びプッシャーホルダ１２について、内部構造の理解を容易にするため前方側の一部を切欠いて図示している。
【００５４】
逆止弁ホルダ２１は、後述する袋状キャップ本体２２の貫通孔２２ａに挿入される円筒状の円筒本体部２１ａと、円筒本体部２１ａの前方側で径外方向に突出するフランジ部２１ｂとで構成するとともに、逆止弁ホルダ２１を軸方向Ｘに貫通し、後述する弁体２４の挿入を許容する弁体挿入孔２１ｃを形成している。なお、弁体挿入孔２１ｃは、前方側において、弁体２４の小径部２４ｂの挿入を許容する小径挿入孔２１ｃａと、弁本体２４ａの挿入を許容する本体挿入孔２１ｃｂとで構成している。また、円筒本体部２１ａの外周面には、後述する逆止弁キャップ２６の内周面に形成したネジ溝と螺合するネジ山を構成している。
【００５５】
なお、軸方向Ｘは、図１に示すように、二次側流路６３の長手方向、すなわち流路方向に一致している。  
また、軸方向Ｘにおける前方や手前は図１及び図２において左側を示し、逆に軸方向Ｘにおける後方や背面は図１及び図２において右側を示している。
【００５６】
袋状キャップ本体２２は、正面視六角形状であり、背面側つまり後方側に、アウトレット４０の先端に螺合する螺合空間２２ｂを備えるとともに、正面視中央に、螺合空間２２ｂと連通して、軸方向Ｘに貫通する貫通孔２２ａを形成している。
【００５７】
リングパッキン２３は、適宜の弾性を有する樹脂製のリング状体であり、逆止弁ホルダ２１の円筒本体部２１ａに外嵌する内径と、袋状キャップ本体２２における螺合空間２２ｂに嵌め込める外径とで構成している。
【００５８】
弁体２４は、軸方向Ｘに沿った円柱状の弁本体２４ａと、弁本体２４ａの前方側で小径かつ、前方側に突出するドーム状の小径部２４ｂとで構成するとともに、弁本体２４ａ及び小径部２４ｂの間にＯリング（図示省略）を嵌め込むＯリング溝２４ｃを形成している。また、弁本体２４ａの内部には、後述するスプリング２５の前方側一部の装着を許容するバネ装着穴２４ｄを形成するとともに、バネ装着穴２４ｄと弁本体２４ａの外側とを径方向に貫通する貫通穴２４ｅを形成している。
【００５９】
スプリング２５は、弁体２４のバネ装着穴２４ｄに装着可能なコイルスプリングであり、バネ装着穴２４ｄより長い自然長で構成している。  
逆止弁キャップ２６は、逆止弁ホルダ２１の円筒本体部２１ａを、奥側から被せるようにして外嵌する有底円筒状に形成するとともに、底部を軸方向Ｘに貫通する貫通孔２６ａを備え、円筒本体部２１ａの外周面に形成したネジ山に螺合するネジ溝を内周面に形成している。
【００６０】
各構成要素を上述のように構成したアウトレットキャップ２０は、袋状キャップ本体２２の貫通孔２２ａに対して、円筒本体部２１ａを挿入するように逆止弁ホルダ２１を前方側からセットする。袋状キャップ本体２２の後方から、貫通孔２２ａを貫通した円筒本体部２１ａに外嵌するようにリングパッキン２３をセットするとともに、Ｏリング溝２４ｃにＯリング（図示省略）を嵌め付けた弁体２４を、弁体挿入孔２１ｃにセットする。このとき、Ｏリング溝２４ｃに嵌め付けたＯリングが小径挿入孔２１ｃａの内周面に着座するように小径部２４ｂは小径挿入孔２１ｃａに挿入され、弁本体２４ａは本体挿入孔２１ｃｂに挿入される。
【００６１】
また、バネ装着穴２４ｄにスプリング２５を挿入するとともに、その後方から逆止弁キャップ２６を円筒本体部２１ａに螺合させて、アウトレットキャップ２０の組み付けを完了する。
【００６２】
このように構成するとともに、組み付けたアウトレットキャップ２０は、アウトレット４０を封止する封止具として機能するとともに、逆止弁としても機能する。  
詳述すると、円筒本体部２１ａに螺合した逆止弁キャップ２６を反力として、スプリング２５が弁体２４を前方側に付勢しているため、Ｏリング溝２４ｃに嵌め付けたＯリングが小径挿入孔２１ｃａの内周面に着座するように小径部２４ｂが小径挿入孔２１ｃａに挿入されており、アウトレットキャップ２０は非導通状態となっている。
【００６３】
逆に、スプリング２５の付勢力に抗して、小径部２４ｂに装着されたＯリングが小径挿入孔２１ｃａから離れるように、軸方向Ｘ後方に弁体２４を移動すると、小径挿入孔２１ｃａ、本体挿入孔２１ｃｂ、弁体２４の貫通穴２４ｅ、バネ装着穴２４ｄ及び逆止弁キャップ２６の貫通孔２６ａが連通し、アウトレットキャップ２０は導通状態となる。この状態において、スプリング２５の付勢に抗する力を解除すると、スプリング２５の付勢力によって、弁体２４が軸方向Ｘ前方に移動して、上述の非導通状態となる。
【００６４】
次に、装着治具として機能するアタッチメント１０について説明する。アタッチメント１０は、プッシャー１１、プッシャーホルダ１２、フロントプレート１３、４本のコネクトシャフト１４、バックプレート１５及び抜け止めＥリング１６で構成している。
【００６５】
プッシャー１１は、後述する接続コネクタパイプ９１の前方からの装着を許容する正面視略六角形のプッシャー本体１１ａ、プッシャー本体１１ａから後方に延びる円筒状のプッシングシャフト１１ｂ、及びプッシャー本体１１ａの対角状の位置において径外方向に突出するように配置されるハンドルピン１１ｃで構成している。
【００６６】
また、プッシャー１１の内部には、軸方向Ｘに貫通する貫通孔１１ｄを形成している。さらに、プッシングシャフト１１ｂの軸方向Ｘの中間部分には、図示省略するＯリングの嵌め付けを許容する嵌め付け溝１１ｂａを形成している。なお、プッシングシャフト１１ｂは、後述するプッシャーホルダ１２の螺合部１２ｂより軸方向Ｘの長さを長く形成している。
【００６７】
ハンドルピン１１ｃは、軸部１１ｃａと、軸部１１ｃａの一端部に配置したフランジ部１１ｃｂとで構成し、プッシャー本体１１ａの外周面における対角部分には、軸部１１ｃａの挿入を許容する挿入穴１１ａａを形成している。  
プッシャーホルダ１２は、前方から順に、円筒状のフード部１２ａ、及び外周面にネジ山が形成された螺合部１２ｂと、螺合部１２ｂの後端側に嵌め込まれる平板リング状シール１２ｃで構成している。
【００６８】
フード部１２ａは、プッシャー１１のプッシャー本体１１ａの挿入が許容される中空状であり、ハンドルピン１１ｃの軸部１１ｃａの挿通を許容する、軸方向Ｘの貫通部分と周方向の貫通部分とで構成する平面視Ｌ型のＬ型案内溝１２ａａを対角位置に有している。
【００６９】
螺合部１２ｂは、上述したように、外周面にネジ山が形成されるとともに、内部に、プッシャー１１のプッシングシャフト１１ｂの挿通を許容する軸方向Ｘの貫通孔１２ｂａを形成している。また、螺合部１２ｂの後端には、後述する抜け止めＥリング１６の嵌合を許容する嵌合溝１２ｂｂを形成している。
【００７０】
フロントプレート１３は、正面視円形の底部がフラットになった形状、かつ所定の厚みを有するプレートであり、正面視円形の中心に、プッシャーホルダ１２の螺合部１２ｂが螺合する、内周面にネジ溝が形成された螺合孔１３ａと、後述するコネクトシャフト１４の挿入部１４ａが貫通するシャフト貫通孔１３ｂとを備えている。なお、シャフト貫通孔１３ｂは、所定間隔を隔てて、外周縁に沿って４か所備えている。
【００７１】
コネクトシャフト１４は、前端側からフロントプレート１３のシャフト貫通孔１３ｂに挿入される挿入部１４ａ、挿入部１４ａの挿入を規制する径大部１４ｂ、シャフト本体１４ｃ、後述する螺挿部１４ｅの挿入を規制する径大部１４ｄ、及び後述するバックプレート１５のシャフト螺入穴１５ａに螺挿する螺挿部１４ｅで構成している。なお、径大部１４ｂ，１４ｄの軸方向Ｘの外側の長さは、上述のアウトレットキャップ２０の軸方向Ｘの長さよりひとまわり長く形成している。
【００７２】
バックプレート１５は、正面視円形リング状の底部がフラットになった形状、かつ所定の厚みを有するプレートであり、コネクトシャフト１４の螺挿部１４ｅの螺入を許容するシャフト螺入穴１５ａを備えている。なお、シャフト螺入穴１５ａは、シャフト貫通孔１３ｂに対応する箇所であり、所定間隔を隔てて、外周縁に沿って４か所備えている。また、正面視リング状の内径は、上述のアウトレット４０の径よりひとまわり大きな径で形成している。
【００７３】
抜け止めＥリング１６は、内周側の中央と両端部の３か所に径内側向きに突出する係止凸部１６ａを備え、プッシャーホルダ１２より一回り大きな正面視Ｅ型のリングプレートである。なお、３つの係止凸部１６ａの内周側の凸部先端は、プッシャーホルダ１２の螺合部１２ｂの後端に形成した嵌合溝１２ｂｂと略同径に形成している。
【００７４】
各構成要素を上述のように構成したアタッチメント１０は、プッシャーホルダ１２の前方より、プッシングシャフト１１ｂを貫通孔１２ｂａに挿入するように、プッシャー１１をプッシャーホルダ１２にセットする。このときプッシャーホルダ１２のＬ型案内溝１２ａａに貫通させた軸部１１ｃａを、フード部１２ａ内部に配置されたプッシャー本体１１ａの挿入穴１１ａａに挿入してハンドルピン１１ｃを装着する。このとき、螺合部１２ｂより長く形成したプッシングシャフト１１ｂが螺合部１２ｂの背面に嵌め込んだ平板リング状シール１２ｃを貫通して、プッシャーホルダ１２の後方まで延出される態様で、プッシャーホルダ１２に対してプッシャー１１をセットする。
【００７５】
また、バックプレート１５のシャフト螺入穴１５ａに螺挿部１４ｅを螺入するとともに、フロントプレート１３のシャフト貫通孔１３ｂに挿入部１４ａを挿入、貫通させてナット（図示省略）で固定し、フロントプレート１３とバックプレート１５とを軸方向Ｘにおいて所定の間隔を隔てた状態で、フロントプレート１３、コネクトシャフト１４及びバックプレート１５を組付ける。
【００７６】
このように、コネクトシャフト１４及びバックプレート１５と組み付けられたフロントプレート１３の螺合孔１３ａに、プッシャー１１をセットしたプッシャーホルダ１２の螺合部１２ｂを螺合させるとともに、螺合部１２ｂの後端の嵌合溝１２ｂｂに抜け止めＥリング１６を嵌合して、アタッチメント１０の組み付けを完了する。
【００７７】
このように組み付けられたアタッチメント１０は、フロントプレート１３の螺合孔１３ａに対してプッシャーホルダ１２の螺合部１２ｂを締め付け方向に螺入することで、プッシャー１１がセットされたプッシャーホルダ１２は、フロントプレート１３に対して軸方向Ｘに沿って後方に移動することができる。逆に、プッシャーホルダ１２を緩み方向に螺出することで、プッシャーホルダ１２を軸方向Ｘに沿って前方に移動することができる。なお、プッシャーホルダ１２の螺合部１２ｂの後端の嵌合溝１２ｂｂに抜け止めＥリング１６を嵌合しているため、フロントプレート１３に対して螺出させたプッシャーホルダ１２が螺合孔１３ａから抜け落ちることはない。
【００７８】
さらに、プッシャー１１のハンドルピン１１ｃをＬ型案内溝１２ａａの軸方向Ｘの貫通部分に沿って移動させることによって、プッシャーホルダ１２に対して、プッシャー１１を軸方向Ｘに移動することができる。詳しくは、Ｌ型案内溝１２ａａの軸方向Ｘの貫通部分の後方までハンドルピン１１ｃを移動させた後、Ｌ型案内溝１２ａａの周方向の貫通部分に沿って周方向に移動させると、プッシャーホルダ１２に対して軸方向Ｘの後方に移動したプッシャー１１の軸方向Ｘの位置を固定することができる。
【００７９】
このように構成したアタッチメント１０とアウトレットキャップ２０とは、図３（ａ）,（ｂ）に示すように、アウトレット４０に装着されたアウトレットキャップ２０に対して、フロントプレート１３とバックプレート１５とでアウトレットキャップ２０を挟むような態様で、上方または側方から装着する。
【００８０】
このとき、アタッチメント１０におけるプッシャー１１の貫通孔１１ｄの方向、並びにアウトレットキャップ２０における逆止弁ホルダ２１の弁体挿入孔２１ｃ、弁体２４の移動方向、さらに逆止弁キャップ２６の貫通孔２６ａの方向が軸方向Ｘに沿った一直線上となる。
【００８１】
したがって、アウトレット４０に装着したアウトレットキャップ２０に対してアタッチメント１０を装着した状態で、プッシャーホルダ１２を螺入し、フロントプレート１３に対してプッシャーホルダ１２を軸方向Ｘ後方に移動させることで、図９に示すように、プッシャーホルダ１２の背面に嵌め込んだ平板リング状シール１２ｃより後方に延出するプッシングシャフト１１ｂがアウトレットキャップ２０における袋状キャップ本体２２の前面に露出する逆止弁ホルダ２１の弁体挿入孔２１ｃに挿入されて、貫通孔１１ｄと弁体挿入孔２１ｃとが接続される。
【００８２】
さらに、プッシャーホルダ１２の背面に嵌め込んだ平板リング状シール１２ｃが逆止弁ホルダ２１のフランジ部２１ｂの前面に密着し、プッシングシャフト１１ｂが挿入された弁体挿入孔２１ｃと、プッシングシャフト１１ｂとの接続箇所、つまりプッシングシャフト１１ｂが弁体挿入孔２１ｃに挿入された箇所の周囲をシールすることができる。
【００８３】
さらにまた、平板リング状シール１２ｃによるシール状態で、ハンドルピン１１ｃを操作して、プッシャーホルダ１２に対してプッシャー１１を軸方向Ｘ後方に移動させることで、図１０に示すように、逆止弁ホルダ２１の小径挿入孔２１ｃａ内で、弁体挿入孔２１ｃに挿入されたプッシングシャフト１１ｂが弁体２４を、スプリング２５の付勢力に抗して、軸方向Ｘ後方に移動させて、アウトレットキャップ２０を導通状態に切り替えることができる。
【００８４】
このように、プッシングシャフト１１ｂで弁体２４を後方に移動させてアウトレットキャップ２０を導通状態に切り替えると、アタッチメント１０における貫通孔１１ｄ、アウトレットキャップ２０における弁体挿入孔２１ｃ、貫通穴２４ｅ及び貫通孔２６ａが連通し、アタッチメント１０とアウトレットキャップ２０とは導通可能な状態で接続されたこととなる。なお、ハンドルピン１１ｃを、プッシャーホルダ１２のＬ型案内溝１２ａａにおける周方向部分に沿って周方向に移動させると、このアタッチメント１０とアウトレットキャップ２０との導通状態を維持することができる。
【００８５】
このようにして、アタッチメント１０とアウトレットキャップ２０とが作用する機構を用いた容器バルブ３０、つまりバルブユニット１のパージ方法について、図５乃至図１２とともに説明する。なお、図８乃至１２では、アタッチメント１０のプッシャー１１に接続コネクタパイプ９１を装着した状態で図示している。
【００８６】
通常、図６に示すように、ボンベ容器１００に取り付けた容器バルブ３０のアウトレット４０に対して、機器のコネクタ９０を装着して使用する。なお、ボンベ容器１００には、例えば、半導体デバイス、ＭＥＭＳデバイス、液晶用ＴＦＴパネルおよび太陽電池パネル等の製造工程において、基板のエッチングプロセス用のガス、ＣＶＤ装置等の薄膜形成装置のクリーニングプロセス用のガス、または、成膜プロセス用のガスとして、フッ素、塩素、臭素等のハロゲン元素を含む腐食性ガスＧを貯蔵しているとする。
【００８７】
このようにボンベ容器１００に貯蔵した腐食性ガスＧを使用するためには、エッチング装置やクリーニング装置に接続されたコネクタ９０をアウトレット４０に装着し、回転ハンドル５１を緩み方向に回転操作して、閉止部材５７を上方移動させ、一次側流路６２、閉止弁装着凹部６１の閉止弁室６１ｂ及び二次側流路６３を連通させて構成する流路６０を介して、腐食性ガスＧを、コネクタ９０を介して機器に供給する。
【００８８】
逆に、ボンベ容器１００に腐食性ガスＧを充填する場合は、充填する腐食性ガスＧを供給する供給装置に接続されたコネクタ９０をアウトレット４０に装着する。このときも、回転ハンドル５１を緩み方向に回転操作して、閉止部材５７を上方移動させて、一次側流路６２、閉止弁装着凹部６１の閉止弁室６１ｂ及び二次側流路６３を連通させて構成する流路６０を介して、腐食性ガスＧをコネクタ９０から容器バルブ３０を介してボンベ容器１００に供給し、充填する。
【００８９】
このようにして、開弁状態の容器バルブ３０で、腐食性ガスＧの供給あるいは充填を完了すると、回転ハンドル５１を締め付け方向に回転操作して、閉止部材５７を下方移動させて、一次側流路６２及び二次側流路６３を分断して、つまり流路６０を非導通な閉弁状態とする（ステップｓ１）。
【００９０】
このとき、図６に示すように、閉止部材５７によって二次側流路６３と分断された一次側流路６２は、ボンベ容器１００内部と連通しているため、腐食性ガスＧが充満しており、また、アウトレット４０の先端から閉止部材５７までの二次側流路６３は密閉状態となるとともに、腐食性ガスＧが残留している（以下において残留ガスＧｚとする）。
【００９１】
この状態で、コネクタ９０より装置側あるいはコネクタ９０に配置した枝管（図示省略）にパージ装置（図示省略）を接続し、所定のパージを行い（ステップｓ２）、残留ガスＧｚの大部分を除去してから、コネクタ９０を取り外すとともに、アウトレット４０にアウトレットキャップ２０を装着する（ステップｓ３，図７参照）。なお、この状態では、非導通状態のアウトレットキャップ２０で封止された密閉状態の二次側流路６３には、上記所定のパージによって除去できなかった残留ガスＧｚが残留している。
【００９２】
次に、アウトレットキャップ２０が装着されたアウトレット４０に対して、アタッチメント１０を装着する（ステップｓ４，図８参照）。このとき、二次側流路６３の軸方向Ｘと、アウトレットキャップ２０の弁体２４の移動方向と、アタッチメント１０におけるプッシャーホルダ１２、及びプッシャーホルダ１２に対するプッシャー１１の移動方向が一致することとなる。
【００９３】
この状態で、プッシャーホルダ１２の背面側に嵌め込んだ平板リング状シール１２ｃがアウトレットキャップ２０の逆止弁ホルダ２１のフランジ部２１ｂの前面に密着するまで、フロントプレート１３に対して、プッシャー１１ごとプッシャーホルダ１２を螺入してシールする（ステップｓ５，図９参照）。
【００９４】
このとき、図９に示すように、平板リング状シール１２ｃを貫通するプッシャー１１のプッシングシャフト１１ｂの先端は、弁体挿入孔２１ｃの小径挿入孔２１ｃａに前端側から挿入され、平板リング状シール１２ｃによるシールは、プッシャー１１とプッシャーホルダ１２との接続箇所、つまり、プッシングシャフト１１ｂが弁体挿入孔２１ｃに挿入された箇所の周囲をシールすることとなる。
【００９５】
このシール状態で、プッシャーホルダ１２のＬ型案内溝１２ａａに沿ってプッシャー１１のハンドルピン１１ｃを操作し、フロントプレート１３に対して後方移動したプッシャーホルダ１２に対してプッシャー１１をさらに後方移動させて、プッシングシャフト１１ｂの先端で弁体２４を後方移動させて、アウトレットキャップ２０を導通状態となるように開栓する（ステップｓ６，図１０参照）。
【００９６】
詳しくは、スプリング２５の付勢力に抗して、小径部２４ｂに装着されたＯリングが小径挿入孔２１ｃａから離れるように、プッシャー１１の先端で弁体２４を軸方向Ｘ後方に移動させると、小径挿入孔２１ｃａ、本体挿入孔２１ｃｂ、弁体２４の貫通穴２４ｅ、バネ装着穴２４ｄ及び逆止弁キャップ２６の貫通孔２６ａが連通し、アウトレットキャップ２０は導通状態となる。
【００９７】
この状態で、アタッチメント１０のプッシャー１１に装着した接続コネクタパイプ９１に、パージ装置（図示省略）を接続し、閉止部材５７とアウトレットキャップ２０によって封止された二次側流路６３に残留する残留ガスＧｚを、窒素ガスなどの不活性ガスを加圧注入して、残留ガスＧｚを置換する、あるいは、真空引きして残留ガスＧｚを抜き出す、さらにまた真空引きしてから不活性ガスで置換するなどの方法によって、二次側流路６３内部をパージする（ステップｓ７）。
【００９８】
このパージによって、二次側流路６３から残留ガスＧｚが除去された後、プッシャーホルダ１２に対してプッシャー１１を軸方向Ｘ前方に移動させて、アウトレットキャップ２０を閉栓する（ステップｓ８，図１１参照）。詳しくは、プッシャーホルダ１２が後方移動して平板リング状シール１２ｃによってシールされた状態において、ハンドルピン１１ｃを操作して、プッシャーホルダ１２に対してプッシャー１１を前方移動させることで、スプリング２５の付勢力によって、弁体２４が軸方向Ｘ前方に移動して、アウトレットキャップ２０が非導通状態となって、閉栓させる。
【００９９】
そして、プッシャー１１ごとプッシャーホルダ１２をフロントプレート１３に対して螺出して、プッシャーホルダ１２を前方移動させて、平板リング状シール１２ｃによるシール状態を開放するとともに（ステップｓ９，図１２参照）、アタッチメント１０を取り外して（ステップｓ１０）、バルブユニット１によるパージを終了する。
【０１００】
このように、バルブユニット１では、ボンベ容器１００に対して取り付けられるボンベ取付け部３２と、ハウジング３１から突出するアウトレット４０と、ボンベ取付け部３２からアウトレット４０まで連通するとともに、両端部が開放された、腐食性ガスＧの通過を許容する流路６０と、流路６０の中間部分において開閉を切り替える閉止部材５７とを備えた容器バルブ３０、容器バルブ３０の不使用時にアウトレット４０の端部において二次側流路６３を封止するとともに、二次側流路６３との導通と非導通とを切り替える弁体２４を備えたアウトレットキャップ２０、並びに、導通状態のアウトレットキャップ２０に対して連通可能に接続できるプッシャー１１と、連通状態で接続されるプッシャー１１とアウトレットキャップ２０との接続箇所をシールする平板リング状シール１２ｃと、平板リング状シール１２ｃによってシールされたシール状態において、弁体２４を導通状態に切り替えるハンドルピン１１ｃとを有するアタッチメント１０で構成したため、アウトレットキャップ２０で封止された二次側流路６３内に残留する残留ガスＧｚを確実に除去することができる。
【０１０１】
詳述すると、ボンベ容器１００に対して取り付けられるボンベ取付け部３２と、ハウジング３１から突出するアウトレット４０と、ボンベ取付け部３２からアウトレット４０まで連通するとともに、両端部が開放された、腐食性ガスＧの通過を許容する流路６０と、流路６０の中間部分において開閉を切り替える閉止部材５７とを備え、流路６０を、ボンベ取付け部３２側端部から閉止部材５７までの閉止弁装着凹部６１と、閉止部材５７からアウトレット４０の端部までの二次側流路６３に設定した容器バルブ３０において、閉止部材５７が閉鎖された不使用時に、アウトレット４０の端部をアウトレットキャップ２０で封止することで、閉鎖状態の閉止部材５７とアウトレットキャップ２０とで二次側流路６３は密閉状態となる。
【０１０２】
そして、容器バルブ３０とでバルブユニット１を構成するアタッチメント１０が、導通状態のアウトレットキャップ２０に対して連通可能に接続できるプッシャー１１と、連通状態で接続されるプッシャー１１とアウトレットキャップ２０との接続箇所をシールする平板リング状シール１２ｃと、平板リング状シール１２ｃによってシールされたシール状態において、弁体２４を導通状態に切り替えるハンドルピン１１ｃとを有するため、ハンドルピン１１ｃの操作によりアウトレットキャップ２０の弁体２４を導通状態に切り替えることで、プッシャー１１が導通状態のアウトレットキャップ２０と連通することができる。
【０１０３】
したがって、導通状態のアウトレットキャップ２０を介して、閉鎖状態の閉止部材５７とアウトレットキャップ２０とで密閉状態となった二次側流路６３とプッシャー１１とを連通させることができ、真空引き装置や窒素ガスなどの不活性ガスの圧入装置をプッシャー１１の接続コネクタパイプ９１に接続することで、アウトレット４０の装着前に行った所定のパージで除去できず、二次側流路６３に残留する残留ガスＧｚを抜き出す、あるいは不活性ガスで置換して、二次側流路６３から残留ガスＧｚを除去することができる。
【０１０４】
なお、連通状態で接続されるプッシャー１１とアウトレットキャップ２０との接続箇所を平板リング状シール１２ｃによってシールするシール状態において、ハンドルピン１１ｃでアウトレットキャップ２０の弁体２４を導通状態に切り替えて、プッシャー１１が導通状態のアウトレットキャップ２０と連通するため、プッシャー１１とアウトレットキャップ２０との接続箇所から不活性ガスや真空状態がリークすることなく、確実に、二次側流路６３から残留ガスＧｚを除去することができる。
【０１０５】
また、流路６０を通過する腐食性ガスＧは、大気における酸素及び水分の少なくとも一方と反応して腐食生成物を生成するが、バルブユニット１では一旦装着したアウトレットキャップ２０を取り外すことがないため、大気と接触せず、腐食生成物を生成することなく、確実に、二次側流路６３から腐食性ガスＧを除去することができる。
【０１０６】
また、弁体２４が軸方向Ｘに沿って移動して、アウトレットキャップ２０の導通と非導通とを切り替える構成とし、アタッチメント１０において、平板リング状シール１２ｃを有するプッシャーホルダ１２を、軸方向Ｘに移動させて、接続箇所をシールする構成とするとともに、ハンドルピン１１ｃの軸方向Ｘの移動に伴って、軸方向Ｘに移動するプッシャー１１が、弁体２４を二次側流路６３の軸方向Ｘに沿って移動させて、導通と非導通とを切り替えることにより、弁体２４における導通と非導通とを切り替えるための移動方向、プッシャーホルダ１２の平板リング状シール１２ｃによって接続箇所をシールするための移動方向、操作のためのハンドルピン１１ｃの移動方向、及びハンドルピン１１ｃの操作によるプッシャー１１の移動方向がすべて軸方向Ｘに一致するため、簡単な構成でありながら、確実に平板リング状シール１２ｃで接続箇所をシールするとともに、ハンドルピン１１ｃの操作によって軸方向Ｘに移動するプッシャー１１が弁体２４を二次側流路６３の軸方向Ｘに沿って移動させて、確実に、アウトレットキャップ２０の導通と非導通とを切り替えることができる。
【０１０７】
さらに、平板リング状シール１２ｃを有するプッシャーホルダ１２を、フロントプレート１３に対する螺入出によって軸方向Ｘに移動させて、プッシャー１１とプッシャーホルダ１２との接続箇所、つまり、プッシングシャフト１１ｂが弁体挿入孔２１ｃに挿入された箇所の周囲をシールする構成であるため、つまり、フロントプレート１３に対してプッシャーホルダ１２を螺入出するという螺入出方向の回転操作によって、プッシャーホルダ１２を軸方向Ｘに移動させて、プッシャー１１とプッシャーホルダ１２との接続箇所のシールと解放とを確実に行うことができる。
【０１０８】
なお、フロントプレート１３に対するプッシャーホルダ１２の螺入出方向の回転操作を、プッシャーホルダ１２の軸方向Ｘの移動に変化させているため、平板リング状シール１２ｃを有するプッシャーホルダ１２を直接、軸方向Ｘに操作し、平板リング状シール１２ｃを逆止弁ホルダ２１のフランジ部２１ｂの前面に圧着させてシールする場合に比べて、小さな力で確実なシール性能を実現することができる。
【０１０９】
また、アウトレットキャップ２０を、アウトレット４０の端部に対して装着する袋ナットタイプで構成したため、後述するアウトレットキャップ８０に比べて、容易に締め付け操作できる。
【０１１０】
また、バルブユニット１を用いたパージ方法では、ボンベ取付け部３２によってボンベ容器１００に対して取り付けられた容器バルブ３０における、ハウジング３１に形成した流路６０に腐食性ガスＧを導通した後、閉止部材５７を閉状態とし（ステップｓ１）、この状態で、コネクタ９０より装置側あるいはコネクタ９０に配置した枝管（図示省略）にパージ装置（図示省略）を接続し、所定のパージを行い（ステップｓ２）、残留ガスＧｚの大部分を除去してから、流路６０のうち二次側流路６３を封止するように、非導通状態のアウトレットキャップ２０をアウトレット４０に装着する（ステップｓ３）。  
そして、アタッチメント１０をアウトレット４０の端部に装着するとともに（ステップｓ４）、接続箇所を平板リング状シール１２ｃでシールし（ステップｓ５）、平板リング状シール１２ｃでシールしたシール状態において、アウトレットキャップ２０を導通状態に切り替えるとともに、導通状態のアウトレットキャップ２０に対して連通可能にプッシャー１１を接続し（ステップｓ６）、プッシャー１１を介して、二次側流路６３内部に対して、腐食性ガスＧの置換および／または抜き出しを行い（ステップｓ７）、ハンドルピン１１ｃによってアウトレットキャップ２０を非導通状態に切り替えるとともに（ステップｓ８）、平板リング状シール１２ｃによる接続箇所のシール状態を解除するため（ステップｓ９）、アウトレットキャップ２０で封止された二次側流路６３内に残留する残留ガスＧｚを確実に除去することができる。
【０１１１】
詳述すると、接続箇所を平板リング状シール１２ｃでシールしたシール状態において、ハンドルピン１１ｃによって弁体２４を軸方向Ｘ後方に移動させてアウトレットキャップ２０を非導通状態から導通状態に切り替えるため、つまり、平板リング状シール１２ｃで接続箇所をシールする工程（ステップｓ５）と、弁体２４を非導通状態から導通状態に切り替えるとともに、アウトレットキャップ２０を介してプッシャー１１と二次側流路６３とを連通させる工程（ステップｓ６）との二工程で、アウトレットキャップ２０の弁体２４を介して、二次側流路６３とプッシャー１１とを連通させることができる。
【０１１２】
したがって、二次側流路６３と連通するプッシャー１１に、接続コネクタパイプ９１を介して真空引き装置や窒素ガスなどの不活性ガスの圧入装置を接続することで、プッシャー１１とアウトレットキャップ２０との接続箇所から不活性ガスや真空状態がリークすることなく、二次側流路６３に残留する残留ガスＧｚを抜き出す、あるいは不活性ガスで置換して、二次側流路６３から残留ガスＧｚを除去することができる。
【０１１３】
なお、上述の説明では、通常の容器バルブ３０に対して上述のようなアウトレットキャップ２０を用いたが、例えば、出願人による特開２００９−２８７７５３号に開示するＤＩＳＳ構造を有するバＤＩＳＳバルブ（図示省略）に装着するアウトレットキャップ７０でバルブユニット１を構成してもよい。
【０１１４】
アウトレット４０ａの端部に対して装着されるアウトレットキャップ７０は、アウトレットキャップ７０内に配置される仕切りプラグ７１と、仕切りプラグ７１に設けられたガスケット用凹部７１ａに配置されるガスケット７２と、仕切りプラグ７１に設けられ、側面突出部に対応する回り留めピン７３とで構成している。
【０１１５】
アウトレットキャップ２０における逆止弁ホルダ２１に対応する仕切りプラグ７１には、弁体挿入孔２１ｃに対応する弁体挿入穴７１ｃが形成され、弁体挿入穴７１ｃには、弁体７４、スプリング７５、及び逆止弁キャップ７６が挿入されている。なお、逆止弁キャップ７６には、逆止弁キャップ２６における貫通孔２６ａと同様に貫通孔７６ａが形成されている。
【０１１６】
このように構成したアウトレットキャップ７０は、アウトレット４０に設けられた切欠部（図示省略）に回り留めピン７３を嵌合させながら、アウトレット４０に装着することで、仕切りプラグ７１の供回りを防止する供回防止機構として機能している。さらに、アウトレットキャップ７０を用いたＤＩＳＳバルブで構成するバルブユニット１も、上述のアウトレットキャップ２０を用いたバルブユニット１と同様の動作によって、二次側流路６３内部に残留する残留ガスＧｚを確実に除去することができる。
【０１１７】
さらに、アウトレットキャップ２０やアウトレットキャップ７０は、アウトレット４０に対して覆い被せるようにして装着して封止する態様であるが、図１４に示すように、アウトレット４０ａに対して、螺入して封止するタイプのアウトレットキャップ８０であってもよい。
【０１１８】
アウトレットキャップ８０の螺入を許容するアウトレット４０ａは、二次側流路６３の端部にアウトレットキャップ８０の螺入を許容する螺入空間４１を有している。  
アウトレット４０ａの螺入空間４１に挿入して封入するアウトレットキャップ８０は、上述のアウトレットキャップ２０の逆止弁ホルダ２１に対応する逆止弁ホルダ８１で構成し、逆止弁ホルダ８１には、弁体挿入孔２１ｃに対応する弁体挿入穴８１ｃが形成され、弁体挿入穴８１ｃには、弁体８４、スプリング８５、及び逆止弁キャップ８６が挿入されている。
【０１１９】
このように構成したアウトレットキャップ８０を、アウトレット４０ａに設けられた螺入空間４１に螺入して装着することで、アウトレットキャップ８０を用いたバルブユニット１も、上述のアウトレットキャップ２０を用いたバルブユニット１と同様の動作によって、二次側流路６３内部に残留する残留ガスＧｚを確実に除去することができる。
【０１２０】
この発明の構成と、上述の実施形態との対応において、この発明の貯蔵容器は、ボンベ容器１００に対応し、
以下同様に、
容器取付け部は、ボンベ取付け部３２に対応し、
バルブ本体は、ハウジング３１に対応し、
開閉弁は、閉止部材５７に対応し、
仕切り弁及び逆止弁は、弁体２４，７４，８４に対応し、
封止具は、アウトレットキャップ２０，７０，８０に対応し、
接続管は、プッシャー１１に対応し、
シール部は、平板リング状シール１２ｃに対応し、
切替操作部は、ハンドルピン１１ｃに対応し、
装着治具は、アタッチメント１０に対応し、
流路方向は、軸方向Ｘに対応し、
流体及び腐食性ガスは、腐食性ガスＧに対応するが、
この発明は、上述の実施形態の構成のみに限定されるものではなく、多くの実施の形態を得ることができる。
【０１２１】
例えば、上述の説明では、腐食性ガスＧとして、腐食性ガスを用いたが、通常の非腐食性ガスをボンベ容器１００に貯蔵する、あるいはボンベ容器１００に充填する際に、バルブユニット１を用いてもよい。さらには、ガスではなく、液体窒素などの液体をボンベ容器１００に貯蔵する、あるいはボンベ容器１００に充填する際に、バルブユニット１を用いてもよい。
【０１２２】
また、逆止弁として機能する弁体２４を仕切弁として用いたが、ゲートバルブ、ボールバルブあるいはロータリーバルブなど適宜の仕切り構造の弁を用いてもよい。  
さらには、上述の説明ではダイヤフラム式の容器バルブ３０について説明したが、これに限定されず、パッキン式バルブを用いてもよい。
【符号の説明】
【０１２３】
１…バルブユニット
１０…アタッチメント
１１…プッシャー
１１ｃ…ハンドルピン
１２ｃ…平板リング状シール
２０，７０，８０…アウトレットキャップ
２４，７４，８４…弁体
３０…容器バルブ
３１…ハウジング
３２…ボンベ取付け部
４０，４０ａ…アウトレット
５７…閉止部材
６０…流路
６１…閉止弁装着凹部
６３…二次側流路
７０…アウトレットキャップ
７１…仕切りプラグ
７１ａ…ガスケット用凹部
７２…ガスケット
７３…回り留ピン
１００…ボンベ容器
Ｇ…腐食性ガス
Ｘ…軸方向 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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