(57)【要約】【課題】基準位置の設定に有利な駆動装置を提供する。【解決手段】この駆動装置は、対象物を駆動するものであり、対象物を変位させるための駆動部と、対象物の変位量を検出するための検出部と、検出部の出力に基づいて駆動部を制御する制御部とを有する。制御部は、変位量に対する駆動部の推力特性を求め、推力特性に基づいて変位量に係る基準位置を設定する。【選択図】図４
2015130733.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を駆動する駆動装置であって、
前記対象物を変位させるための駆動部と、
前記対象物の変位量を検出するための検出部と、
前記検出部の出力に基づいて前記駆動部を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、前記変位量に対する前記駆動部の推力特性を求め、該推力特性に基づいて前記変位量に係る基準位置を設定する、
ことを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記推力特性は、推力定数またはそれに比例した値を含む、ことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記対象物の加速度または角加速度と、前記駆動部の駆動電流とに基づいて、前記推力特性を求める、ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記変位量と前記推力特性との関係が予め定められた条件を満たすように、前記基準位置を設定する、ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記基準位置で前記推力特性が極値となるように、前記基準位置を設定する、ことを特徴とする請求項１ないし請求項４のうちいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記関係と予め定められた関係との相関度が予め定められた条件を満たすように、前記基準位置を設定する、ことを特徴とする請求項５に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記相関度は、誤差の二乗の総和および相関係数のうちの少なくとも一方を含む、ことを特徴とする請求項６に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記駆動部は、モータを含む、ことを特徴とする請求項１ないし請求項７のうちいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記検出部は、インクリメンタルエンコーダおよび静電容量センサのうちの少なくとも一方を含む、ことを特徴とする請求項１ないし請求項８のうちいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のうちいずれか１項に記載の駆動装置を含むことを特徴とする物品処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、およびそれを含む物品処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばレーザ加工装置や半導体製造装置などの物品処理装置において、ガルバノモータやリニアモータが用いられている。このうち、ガルバノミラーは、回転モータの軸にミラーを取付けて回転方向に高精度な位置決めを行うことにより、レーザ光をミラーで反射させて高精度に位置決めし得る。そして、高精度な位置決めを行うために回転角度を検出する検出器としては、静電容量センサや、光学式または磁気式のエンコーダが用いられる。一方、リニアモータは、ウエハやマスクなどの加工対象物を高精度に位置決めし得る。さらに、エンコーダの方式として、アブソリュート型とインクリメンタル型とがある。このうち、インクリメンタル型のエンコーダ（以下「インクリメンタルエンコーダ」という。）は、スケールの変位に対してパルスの増減によりその変位量を検出し得る。しかしながら、インクリメンタルエンコーダでは、絶対位置を特定するのに、基準位置（原点）を検出するセンサが別途必要となる。そこで、特許文献１は、相対的な位置を示すＡ相、Ｂ相信号に加えて、基準位置を示すＺ相信号を出力するインクリメンタルエンコーダを開示している。また、静電容量センサでは、検出位置の再現性が温度、湿度等の環境条件の影響を受ける。当該影響を受けた計測値を補正するため、基準位置を検出するセンサが別途必要となる場合もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２２９７１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されたインクリメンタルエンコーダを含む駆動装置は、上記のとおり基準位置を検出するセンサを別途設ける必要があるため、そのサイズやコストの観点からは、改良の余地がある。
【０００５】
本発明は、例えば、基準位置の設定に有利な駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、対象物を駆動する駆動装置であって、対象物を変位させるための駆動部と、対象物の変位量を検出するための検出部と、検出部の出力に基づいて駆動部を制御する制御部と、を有し、制御部は、変位量に対する駆動部の推力特性を求め、推力特性に基づいて変位量に係る基準位置を設定することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、例えば、基準位置の設定に有利な駆動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施形態に係るガルバノスキャナの構成を示す図である。
【図２】第１実施形態におけるガルバノモータの構成を示す図である。
【図３】第１実施形態におけるモータ角度に対するトルク定数を示すグラフである。
【図４】第１実施形態における基準位置の検出工程を示すフローチャートである。
【図５】第１実施形態におけるエンコーダスケールの形状を示す図である。
【図６】第３実施形態における基準位置の検出工程を示すフローチャートである。
【図７】第３実施形態におけるモータ角度に対するトルク定数を示すグラフである。
【図８】一実施形態に係るレーザ加工装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。
【００１０】
（第１実施形態）
まず、本発明の第１実施形態に係る駆動装置について説明する。本実施形態でいう駆動装置は、回転モータを用いて光を高精度に走査する（光の反射位置を調整する）光走査機構、いわゆるガルバノスキャナであるものとする。図１は、本実施形態に係るガルバノスキャナ２００の構成を示す概略図である。ガルバノスキャナ２００は、回転（変位）の対象物としてのミラー２０１とモータ２０３とを含む駆動部としてのガルバノモータ１００と、ガルバノモータ１００の動作を制御する制御部２１０とを備える。
【００１１】
図２は、ガルバノモータ１００の構成を示す概略断面図である。ミラー２０１は、いわゆるガルバノミラーであり、モータ２０３の回転軸であるモータシャフト１０１の一端に直接結合され、例えばレーザ光を反射させる。磁石（可動子、この場合は回転子）１０２は、モータシャフト１０１の略中央部に固定され、周方向に４分割されている。なお、ミラー２０１は、モータシャフト１０１を介して磁石１０２に連設されているので、本実施形態では、磁石１０２の位置（回転角度）とミラー２０１の位置（回転角度）とは、同義である。以下、理解のし易さのために、一義に「モータ角度（モータ２０３の回転角度）と表現する。固定ヨーク１０４は、モータケース１０３に固定され、磁石１０２と協働して磁気回路を形成する。コイル（固定子）１０５は、固定ヨーク１０４に固定され、磁石１０２とモータシャフト１０１とを回転駆動させるものであり、周方向に４分割されている。磁石１０２とコイル１０５との相対的な位置関係により、コイル１０５に通電する電流（モータ駆動電流）に対してローレンツ力が発生し、回転トルクを得ることができる。スケール（エンコーダスケール）１０６は、モータシャフト１０１の他端に固定され、角度情報（位置情報）を得るための格子を有するプレートである。センサ１０７は、スケール１０６にある格子を検出する。本実施形態では、スケール１０６とセンサ１０７とは、検出部としてのインクリメンタル型のロータリエンコーダを構成するものとする。基板１０８は、センサ１０７を実装し、センサ１０７からの出力信号をデジタル信号に変換し、図１に示す導出部２０２に送信する。なお、図１中では、モータ２０３のコイル抵抗をＲＭ、コイルインダクタンスをＬＭ、およびモータ２０３に対する印加電圧をＶＭと表記している。
【００１２】
制御部２１０は、モータ２０３の駆動制御に加え、本実施形態における絶対位置を特定するための基準位置を求める演算などを実行する。制御部２１０は、特に、導出部２０２と、ＤＳＰ２０４と、Ｄ／Ａ変換部２０６と、電流アンプ２０５とを含む。導出部２０２は、モータ２０３内のセンサ１０７からの出力信号に基づいて、モータ２０３の角度情報としてのモータ角度（変位量）を導出する。ＤＳＰ２０４は、フィードバック制御の演算を実行し、電流指令値をＤ／Ａ変換部２０６へ出力する。電流アンプ２０５は、ブリッジ駆動のリニアアンプであり、モータ駆動電流を抵抗ＲＳにて検出してフィードバックすることにより、Ｄ／Ａ変換部２０６からの電流指令値と、モータ駆動電流とが同じになるように、印加電圧ＶＭを調整する。
【００１３】
図３は、モータ角度に対する推力特性としてのトルク定数（推力定数）を示すグラフである。本実施形態では、ガルバノモータ１００は、トルク定数が、図３に示すように、基準位置で最大とし、モータ角度θ（ｒａｄ）に対してｃｏｓ２θ倍となるように設計される。なお、図３では、トルク定数の値を、最大値を１として正規化し表示している。そして、本実施形態では、トルク定数が最大値となるモータ角度を見つけ、その位置を基準位置とする。以下、この基準位置を検出する（設定する）方法について詳説する。
【００１４】
図４は、ガルバノスキャナ２００における基準位置を検出する工程を示すフローチャートである。インクリメンタルエンコーダでは、電源投入時においてモータの絶対角度を測定できず、電源投入後に基準位置を検出するまでわからない。そこで、制御部２１０は、まず、電源投入時のモータ角度を仮の基準位置とし、その基準位置へモータ２０３の角度制御（位置制御）を実行する（ステップＳ１０１）。次に、制御部２１０は、モータ角度をＣＣＷ方向へ最大限移動させる（ステップＳ１０２）。ガルバノモータ１００は、不図示であるが、基準位置を中心に約±１０度の駆動範囲のみ可動させることができるように、機械式のストッパを設置している。そこで、制御部２１０は、機械式のストッパの一方（駆動範囲の一端）に突き当たるまで、モータ角度を移動させればよい。次に、制御部２１０は、モータ角度をＣＷ方向へ段階的に微小角度移動させる（ステップＳ１０３）。次に、制御部２１０は、モータ角度をその状態に維持し、トルク定数を測定する（ステップＳ１０４）。
【００１５】
ここで、トルク定数の測定方法としては、例えば、モータ２０３への電流指令値に一定振幅の正弦波を重畳して印加し、電流指令値に対する位置応答を測定する方法がある。モータ２０３のトルク定数をＫｔ（Ｎｍ／Ａ）とし、モータ駆動電流をｉ（Ａ）とすると、駆動トルクＴは、Ｔ＝Ｋｔ×ｉで表される。また、イナーシャをＪ（ｋｇ・ｍ２）とし、角加速度をａ（ｒａｄ／ｓ２）とすると、駆動トルクＴは、Ｔ＝Ｊ×ａで表される。したがって、トルク定数Ｋｔは、これらの式から、Ｋｔ＝Ｊ×ａ／ｉで表されるので、制御部２１０は、この式からトルク定数Ｋｔを測定（特定）することができる。ここで、イナーシャＪは既知であり、また、モータ駆動電流ｉおよび角加速度ａは、ともにＤＳＰ２０４で簡単に求めることができる。なお、イナーシャＪが既知でなくとも略一定値であれば、トルク定数Ｋｔに比例した値を求めて利用するものとしてもよい。
【００１６】
次に、制御部２１０は、モータ角度をＣＷ方向へ移動可能かどうかを判断する（ステップＳ１０５）。ここで、制御部２１０は、移動可能と判断した場合には（Ｙｅｓ）、ステップＳ１０３に戻り、ＣＷ方向への微小移動を繰り返す。一方、制御部２１０は、移動不可能、すなわちステップＳ１０２で最大限移動させた側とは反対側の回転限界（駆動範囲の他端であるストッパの位置）までモータ角度が移動したと判断した場合には（Ｎｏ）、次のステップＳ１０６に移行する。そして、制御部２１０は、ステップＳ１０５までの繰り返しで得られたモータ角度に対するトルク定数のデータから、予め定められた条件である、トルク定数が最大（極値）となるときのモータ角度を特定し、そのモータ角度を基準位置とする（ステップＳ１０６）。
【００１７】
このように、ガルバノスキャナ２００は、ガルバノモータ１００でインクリメンタルエンコーダを用いる場合であっても、絶対位置を特定するための基準位置を、従来要した専用のセンサを別途設けることなく検出することができる。したがって、ガルバノモータ１００の構成を簡略化でき、ガルバノモータ１００、ひいてはそれを用いたガルバノスキャナ２００の低コスト化を実現し得る。
【００１８】
なお、上記方法で基準位置を検出することは、基準位置を検出するセンサを要しないという利点だけでなく、モータ角度θを検出するインクリメンタルエンコーダの構成自体も簡略化することができるという利点もある。すなわち、従来、スケール上には、基準位置を検出するセンサが検出対象とする基準マークが設置されていた。これに対して、本実施形態では、基準位置を検出するセンサを要しないことに伴い、このスケール１０６上の対応する基準マークも要しない。
【００１９】
図５は、従来と本実施形態とで比較するスケールの形状例を示す概略平面図である。まず、図５（ａ）は、基準位置を検出するセンサを要する従来の場合のスケール３００の形状を示す図である。スケール３００は、インクリメンタルエンコーダのＡ相、Ｂ相信号を得るための格子パターン３０１と、基準位置を検出するための基準マーク３０２とを有する。特に、基準マーク３０２は、発光素子や受光素子などの光学部品および電気部品の配置上、図５（ａ）に示すように、格子パターン３０１とは異なる角度位置に設けられる。このように、従来のインクリメンタルエンコーダでは、スケール上に基準マーク３０２を設ける関係上、スケールの平面形状は、一般的には円である。これに対して、図５（ｂ）は、基準位置を検出するセンサを要しない本実施形態の場合のスケール１０６の形状を示す図である。スケール１０６は、上記のような基準マークを要せず、かつ、センサ１０７がＡ相、Ｂ相信号を得るための格子パターン１１０も、基準位置を中心に約±１０度の範囲で存在すればよい。したがって、スケール１０６の形状は、図５（ｂ）に示すような略長方形となり、従来と比較して形状を小さくすることができる。これにより、スケール１０６の製作コストを低減することができるのみならず、スケールイナーシャが小さくなるので、機械系の動特性の向上にもつながる。
【００２０】
以上のように、本実施形態によれば、基準位置の設定に有利な駆動装置を提供することができる。
【００２１】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る駆動装置について説明する。第１実施形態では、ガルバノモータ１００は、トルク定数が、基準位置で最大、かつモータ角度θに対してｃｏｓ２θ倍となるように設計されると説明した。この場合、基準位置付近でのトルク定数の変化は小さい。したがって、第１実施形態に示すガルバノスキャナ２００において基準位置をより正確に検出するためには、検出精度に応じてトルク定数の測定誤差を可能な限り抑えることが望ましい。そこで、本実施形態では、第１実施形態で例示したガルバノスキャナ２００に対して、基準位置をトルク定数の最大値となるモータ角度とはしない場合について例示する。
【００２２】
トルク定数は、図３に示すようにモータ角度に応じて変化するが、モータ角度θに対してｃｏｓ２θ倍となることから、例えば、モータ角度が−５度の位置と＋５度の位置とでは同じになることが期待できる。そのため、まず、制御部２１０は、第１実施形態と同様の手順で、モータ角度に対するトルク定数を測定する。ここで、トルク定数は、モータ角度が−５度および＋５度のプラスとマイナスとの位置では、トルク定数の最大値から１．６％小さいので、制御部２１０は、トルク定数の測定結果を用いて、トルク定数が最大値から１．６％小さいモータ角度を２点求める。次に、制御部２１０は、そのうちの１点をトルク定数が最大値となるモータ角度からＣＷ方向に選択し、もう１点をＣＣＷ方向に選択する。そして、制御部２１０は、２点のモータ角度の中心を基準位置と決定する。本実施形態によれば、モータ角度に対してトルク定数の変化が急峻な領域、すなわち図３に示す放物線でいう傾斜面を用いて基準位置を検出するので、トルク定数の測定誤差を可能な限り抑えることができる。
【００２３】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係る駆動装置について説明する。第１実施形態では、トルク定数の最大値のみ、一方、第２実施形態ではトルク定数が最大値から１．６％小さい２点のモータ角度に着目して、基準位置を求めた。これに対して、より多くのモータ角度で測定したトルク定数のデータを用いれば、より測定精度が高まることが期待できる。そこで、本実施形態では、モータ角度に対するトルク定数の測定データのうち、上記各実施形態よりも多くの測定データを活用する場合について例示する。
【００２４】
図６は、本実施形態におけるガルバノスキャナにおける基準位置を検出する工程を示すフローチャートである。なお、ガルバノスキャナの構成自体は、第１実施形態に示すガルバノスキャナ２００と同等として、対応する構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態における基準位置の検出工程は、図６（ａ）に示す初期化工程と、図６（ｂ）に示す使用工程との２つの工程を含む。このうち、初期化工程は、ガルバノスキャナ２００の製造段階の工程（例えば、製品出荷前の検査工程）に含まれるものである。一方、使用工程は、ガルバノスキャナ２００をユーザー側で実際に使用する稼働時の工程に含まれるものである。
【００２５】
まず、図６（ａ）を用いて初期化工程について説明する。初期化工程において、制御部２１０は、基準位置の定義を行い、基準位置を求める際のモータ角度に対するトルク定数の測定データを初期データとして保存する。まず、ステップＳ２０１からステップＳ２０６までの工程は、第１実施形態にて図４を用いて説明した基準位置の検出工程におけるステップＳ１０１からＳ１０６までの工程に、それぞれ対応している。その後、制御部２１０は、ステップＳ２０６までの工程で検出（特定）した基準位置について、その基準位置に対するモータ角度とトルク定数との関係を初期データ（初期値）として保存する（ステップＳ２０７）。図７は、この場合のモータ角度に対するトルク定数を示すグラフである。初期データとされる基準位置のモータ角度とトルク定数との関係は、一例として図７中の破線で示される。ここで、モータ角度を−１０度から＋１０度まで１度刻みとしてトルク定数を測定したと想定し、モータ角度ｐでの測定したトルク定数を、Ｋｔ（ｐ）｛ｐ＝−１０、−９、．．．、９、１０｝と表す。
【００２６】
次に、図６（ｂ）を用いて使用工程について説明する。使用工程において、制御部２１０は、モータ角度に対するトルク定数の測定データを初期化工程で保存した初期データと比較することで、基準位置を検出する。ステップＳ３０１からステップＳ３０５までの工程は、第１実施形態にて図４を用いて説明した基準位置の検出工程におけるステップＳ１０１からＳ１０５までの工程に、それぞれ対応している。その後、制御部２１０は、仮の基準位置に対するモータ角度とトルク定数との関係を測定データとして保存する（ステップＳ３０６）。仮の基準位置に対するモータ角度とトルク定数との関係は、一例として図７中の実線で示される。ここでも、モータ角度を−１０度から＋１０度まで１度刻みとしてトルク定数を測定したと想定し、モータ角度ｐでの測定したトルク定数を、Ｋｔ'（ｐ）｛ｐ＝−１０、−９、．．．、９、１０｝と表す。そして、制御部２１０は、図７に示す初期データ（破線）と測定データ（実線）とが略一致する（合う）ように、測定データの基準位置を求める（ステップＳ３０７）。図７の例でいうと、仮の基準位置を−１度ずらせば一致することがわかる。２つのデータを一致させる方法としては、例えば最小二乗法を用いる方法が考えられる。この場合、制御部２１０は、以下の式（１）から、相関度としての１１個の初期化データと仮の基準位置とをｋ個ずらした測定データの誤差の二乗の総和Ｊ（ｋ）を求める。その後、制御部２１０は、予め定められた条件であるを満たす、すなわちＪ（ｋ）が最小となるｋを求めることにより、基準位置を求めることができる。
【００２７】
【数１】
2015130733.tif 000003
【００２８】
本実施形態によれば、上記各実施形態の場合と比較して、より多くのモータ角度で測定したトルク定数のデータを用いるので、より測定精度を高めることができる。なお、上記のデータを一致させるその他の方法として、例えば相関係数を用いる方法がある。また、トルク定数は、周囲温度の影響を受ける場合がある。これは、モータ２０３に使用されている磁石１０２の熱減磁に起因する。そこで、熱減磁の影響を抑えるために、初期データおよび測定データのトルク定数を正規化させてもよい。
【００２９】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態に係る駆動装置について説明する。上記各実施形態では、ガルバノモータ１００は、トルク定数がモータ角度θに対してｃｏｓ２θ倍となるように設計され、かつ、モータ角度に対してトルク定数の増減が１回のみ、すなわち図３に示すグラフで、いわゆる波が１つの場合について説明した。本発明は、これに限定されず、モータ角度に対してトルク定数の増減が複数ある場合でも適用可能である。以下、本実施形態では、トルク定数ｋｔ（θ）が（１＋０．０１ｃｏｓ２θ＋０．１ｃｏｓ２００θ）倍となるようなガルバノモータを想定して、この場合の基準位置の検出について説明する。なお、ガルバノスキャナの構成自体は、第１実施形態に示すガルバノスキャナ２００と同等とし、対応する構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。また、本実施形態におけるガルバノモータ１００も、第１実施形態と同様に、基準位置を中心に約±１０度の範囲のみ可動させることができるものとする。
【００３０】
トルク定数は、ｃｏｓ２００θの項より、モータ角度π／１００（ｒａｄ）周期で大きく変化する。そこで、制御部２１０は、モータ角度とトルク定数との関係を、π／１００（ｒａｄ）に対して十分に小さい角度分解能で測定し求める。このとき、モータ角度とトルク定数との関係を用いて、第３実施形態の手順と同様に二乗誤差を求めていくと、π／１００（ｒａｄ）周期で二乗誤差が小さくなる。一方、０．０１ｃｏｓ２θの項より、二乗誤差は、π（ｒａｄ）ごとに最小値を持つ。したがって、このようにトルク定数のピークが複数出力される場合であっても、第１実施形態と同様に基準位置を求めることができることがわかる。
【００３１】
一般に、モータは、モータ角度によらずにトルク定数が一定となるように設計されていても、実際には、磁石の磁束密度やコイルの寸法の製作ばらつきに起因して、設計値に対してモータ角度に応じたトルクリップルを持つ。したがって、本実施形態における基準位置を求める方法は、トルク定数が一定となるように設計されているモータに対しても適用可能である。また、上記の例に限らず、例えば、モータ角度θ（ｒａｄ）に対してトルク定数ｋｔ（θ）が(２＋０．１ｃｏｓ２００θ)倍となるようなモータにおいても、モータ角度に応じたトルクリップルを持つと考えられるため、同様に適用可能である。
【００３２】
本実施形態によれば、モータ角度に対してトルク定数の増減が複数ある場合でも、第１実施形態と同様に基準位置を求めることができる。
【００３３】
（その他の実施形態）
なお、基準位置の再現性を高めるために、基準位置をインクリメンタルエンコーダのＡ相またはＢ相信号の立ち上がるモータ角度と同期させてもよい。これは、Ａ相またはＢ相信号の位置再現性が良いためである。この場合、上記の各実施形態にて例示した手順で検出した基準位置に最も近いＡ相またはＢ相信号が立ち上がるモータ角度を基準位置とすればよい。または、このＡ相またはＢ相信号が立ち下がるモータ角度それ自体を基準位置としてもよい。また、上記の各実施形態では、回転モータであるモータ２０３を用いる場合について例示したが、リニアモータにおいても適用可能である。さらに、上記各実施形態では、検出部（位置検出器）としてインクリメンタルエンコーダを用いる場合について説明したが、本発明は、静電容量センサを用いた場合においても同様に適用できる。
【００３４】
（物品処理装置）
次に、本発明の一実施形態に係る物品処理装置について説明する。ここでいう物品処理装置は、上記の各実施形態で説明した駆動装置を備える産業装置であり、例えば、レーザ加工装置やレーザ計測装置などである。本実施形態では、一例として、物品処理装置がレーザ加工装置であるものとして説明する。図８は、レーザ加工装置１０００の構成を示す概略図である。レーザ加工装置１０００は、加工対象の物体（被照射体）ＯＢにレーザ光ＬＬを照射して、物体ＯＢの切断、穴あけ、溶接などの加工処理を行う。
【００３５】
レーザ加工装置１０００は、Ｘ軸モータ１００２と、Ｙ軸モータ１００４と、光源１０１６と、主制御部１０１４とを備える。Ｘ軸モータ１００２は、回転軸に取り付けられたＸ軸ミラー１００６を回転させ、第１の位置から移動させて第２の位置に停止させる。同様に、Ｙ軸モータ１００４は、回転軸に取り付けられたＹ軸ミラー１００８を回転させ、第１の位置から移動させて第２の位置に停止させる。Ｘ軸検出部１０１０は、インクリメンタル型のロータリエンコーダで構成され、Ｘ軸ミラー１００６の回転角度（すなわちＸ軸モータ１００２の回転軸の回転角度）を検出する。同様に、Ｙ軸検出部１０１２は、インクリメンタル型のロータリエンコーダで構成され、Ｙ軸ミラー１００８の回転角度（すなわちＹ軸モータ１００４の回転軸の回転角度）を検出する。光源１０１６は、レーザ光ＬＬを照射する。主制御部１０１４は、レーザ加工装置１０００の各駆動系の動作制御や各種演算を実行するものであり、光源１０１６に対して、レーザ光ＬＬの照射（発光）を指示するＯＮ信号やレーザ光ＬＬの非照射（非発光）を指示するＯＦＦ信号を出力する。また、主制御部１０１４は、Ｘ軸モータ位置指令部１０１８およびＹ軸モータ位置指令部１０２２に、加工面上のＸ座標位置およびＹ座標位置を指令する。Ｘ軸モータ位置指令部１０１８およびＹ軸モータ位置指令部１０２２は、与えられた座標位置から各モータ１００２、１００４への指令回転角度を計算し、Ｘ軸モータ制御部１０２０およびＹ軸モータ制御部１０２４に指令する。
【００３６】
ここで、Ｘ軸モータ１００２およびＹ軸モータ１００４としては、上記実施形態でいうモータ２０３が適用される。そして、Ｘ軸ミラー１００６およびＹ軸ミラー１００８は、上記実施形態でいうミラー２０１に相当し、Ｘ軸検出部１０１０およびＹ軸検出部１０１２は、センサ１０７に相当する。また、Ｘ軸モータ制御部１０２０およびＹ軸モータ制御部１０２４は、上記実施形態でいう制御部２１０に相当する。Ｘ軸モータ制御部１０２０は、Ｘ軸検出部１０１０が検出したＸ軸ミラー１００６の回転角度に基づいて、ＤＳＰにてフィードバック制御の計算を実施し、Ｘ軸モータ１００２の駆動を制御する。同様に、Ｙ軸モータ制御部１０２４は、Ｙ軸検出部１０１２が検出したＹ軸ミラー１００８の回転角度に基づいて、ＤＳＰにてフィードバック制御の計算を実施し、Ｙ軸モータ１００４の駆動を制御する。
【００３７】
物体ＯＢの加工において、光源１０１６からのレーザ光ＬＬは、Ｙ軸ミラー１００８およびＸ軸ミラー１００６で反射され、物体ＯＢに照射される。レーザ光ＬＬは、Ｘ軸ミラー１００６が回転することによって、物体ＯＢにおいてＸ軸方向（正側および負側）に走査される。また、レーザ光ＬＬは、Ｙ軸ミラー１００８が回転することによって、物体ＯＢにおいてＹ軸方向（正側および負側）に走査される。このとき、Ｘ軸ミラー１００６およびＹ軸ミラー１００８は、それぞれＸ軸モータ１００２およびＹ軸モータ１００４によって駆動され、高速かつ高精度な位置決めを実現する。
【００３８】
レーザ加工装置１０００では、レーザ加工を物体ＯＢの正確な位置に実施することが求められるとともに、低コスト化が望まれる。そこで、レーザ加工装置１０００に上記の各実施形態で説明した駆動装置を適用することで、基準位置検出の再現性を維持し、すなわち加工精度を低下させることなく、装置全体の低コスト化に寄与し得る。
【００３９】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１００  ガルバノモータ
１０２  磁石
１０５  コイル
１０７  センサ
２００  ガルバノスキャナ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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