(57)【要約】【課題】液晶表示パネルの検査方法及び検査装置において、反射光及び透過光により、ラビング筋などの欠陥を容易に検出できるものを提供する。【解決手段】バックライトユニット２と、この出射面に配置される第１の偏光板３と、この前方に離間して配置され、液晶表示パネル５を保持する基板受けステージ１と、この基板受けステージ１及び液晶表示パネル５のさらに前方に離間して可動に保持される第２の偏光板４と、反射照明用のランプ７２とからなる検査装置１０を用いる。そして、基板受けステージ１の傾斜角度を変化させつつ、反射照明用のランプ７２からの照明を行い、液晶表示パネル５から反射されて出てくる反射光に基づき欠陥についての検査を行う（第１検査工程）。この後、バックライトユニットから液晶表示パネル及び第１及び第２の偏光板を経て前方へと出て来る透過光に基づき欠陥についての検査を行う（第２検査工程）。【選択図】図１
2015007575.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バックライトユニットと、この出射面に配置される第１の偏光板と、この前方に離間して配置され、液晶表示パネルを保持する基板受けステージと、この基板受けステージ及び液晶表示パネルのさらに前方に離間して可動に保持される第２の偏光板と、反射照明用のランプとを用いる検査方法であって、前記基板受けステージの傾斜角度を変化させつつ、反射照明用のランプからの照明を行い、液晶表示パネルから反射されて出てくる反射光に基づき欠陥についての検査を行う第１検査工程と、この後、バックライトユニットから液晶表示パネル及び第１及び第２の偏光板を経て前方へと出て来る透過光に基づき欠陥についての検査を行う第２検査工程とからなることを特徴とする液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２】
基板受けステージが、矩形状の枠部と、基板受けステージの厚み方向に延びる板状の桟と、この桟に取り付けられた吸着部及び吸引管とからなり、これら桟、吸着部及び吸引管における、前方側に露出する部分が、全て黒色に着色されるとともに、艶消しが施されていることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項３】
前記第1の偏光板は複数の偏光板から成り、複数の偏光板同士の継ぎ目は遮光材によりバックライトから遮光されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項４】
バックライトユニットと、この出射面に配置される第１の偏光板と、この前方に離間して配置されて液晶表示パネルを保持する基板受けステージと、この基板受けステージ及び液晶表示パネルのさらに前方に離間して可動に保持される第２の偏光板と、反射照明用のランプとからなり、基板受けステージは、矩形状の枠部と、基板受けステージの厚み方向に延びる板状の桟と、この桟に取り付けられた吸着部及び吸引管と、枠部を支持するとともに基板受けステージの傾斜角を適宜に変化させる支持・駆動機構とからなることを特徴とすることを特徴とする液晶表示パネルの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルの検査方法及び検査装置に関する。特には、偏光板が両面に貼り付けられる透過型の液晶表示パネルを得るのに用いる大型の基板について、液晶駆動電圧や駆動信号などを入力しない状態で、表示領域内のムラやキズを検出するための検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
最も代表的な平面表示装置であるアクティブマトリクス型の液晶表示装置は、一般に、液晶表示パネルと、その駆動系統とからなる。液晶表示パネルは、互いに対向する一対の基板と、この一対の基板間に挟持された液晶層とよりなり、液晶表示パネルの表示領域内には、画素ドット（サブピクセル）がマトリクス状に配置されている。上記の一対の基板のうちの一方がアレイ基板であり、画素ドットごとにスイッチング素子（通常はＴＦＴ）が備えられ、画素ドットが配列されるマトリクスの行に沿って配置された走査線と、マトリクスの列に沿って配置された信号線とを備えている。液晶層に含まれる液晶分子は、液晶層に印加される電界によって、その配向状態が制御される。
【０００３】
液晶表示装置を製造するにあたり、一般に、異物の存在や各種の欠陥を検出する検査を、アレイ基板の製造後や、液晶表示パネルの製造後などに行っている。このような検査としては、配線間の短絡などを検査する導通検査、液晶表示パネルに液晶駆動電圧や駆動信号などを入力して行う点灯検査の他、液晶駆動電圧などを印加せずに、照明光を照射した状態で、キズなどを検査する「外観検査」も行われている。
【０００４】
特許文献１においては、アレイ基板（ＴＦＴ形成基板）の異物や欠陥等の不良の有無を目視検査するにあたり、アレイ基板を保持する枠状のステージについて、目視作業員の操作に応じて、傾斜角を可動させることのできる「揺動ステージ」とするとともに、この裏面側に透過照明用の照明装置を取り付けることが提案されている。このようにして、様々な視野角での、反射光及び透過光を目視観察することで、効率的に異物や欠陥などを検知できるとしている。
【０００５】
特許文献２においては、液晶表示パネルの点灯検査を行うにあたり、バックライトユニット上にセットされる光拡散板の上に、マスクを装着することが記載されている。マスクを装着した光拡散板上には、直接、複数の液晶表示パネル製品に対応する長尺状のマザー基板（「液晶基板」）を載せられる。そして、切り出し後の各液晶表示パネル製品に相当する領域中の周縁接続部にプローブを接触させて、点灯検査が行われる。このマスクは、周縁非表示領域（額縁領域）などに対応する領域で光を遮蔽して表示領域内での輝度ムラや色ムラの検出に役立つものである。このように光拡散板にマスクを装着する方式であるため、マスクのみを変更することにより液晶表示パネルの寸法の変更などに容易に対処できるとしている。
【０００６】
特許文献３においては、ガラス基板についたキズなどを検出すべく、基板の上下に偏光板を配置して、下方の光源から白色光を照射し、上方から透過光を観察することが記載されている。下方の偏光板を経て平面偏光となった光が、キズなどで散乱されたことを利用して検出を行うものである。このような検査は、アレイ基板と対向基板とを組み合わせてシール材を硬化させた後、研磨工程後に、研磨の際に生じたキズなどを検出するために行われ、特には、後で問題となるようなキズであるかどうかを判定するために行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−０６６１６４
【特許文献２】特開２００２−１０７６８９
【特許文献３】特開２００７−２６３９２８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年、製造及び検査の効率を向上させるべく、個々の液晶表示パネル製品に相当する領域が、マトリクス状に配列された大判の基板（マザー基板）の状態にて、製造のための複数の工程や、検査工程を行うことも多い。
【０００９】
このような大判の基板の状態で、駆動信号や液晶駆動電圧などを入力せずに外観検査を行うことが考えられ、そのためには、クリーンルーム中などで大判の基板を保持しつつ、目視または画像解析により、欠陥を検出しておくことが考えられる。そして、このような検査工程を、より効率的に行うことのできる方法及び装置が求められる。
【００１０】
本発明は、液晶表示パネルの検査方法及び検査装置において、反射光及び透過光により、ラビング筋などの欠陥を容易に検出できるものを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の液晶表示パネルの検査方法は、バックライトユニットと、この出射面に配置される第１の偏光板と、この前方に離間して配置され、液晶表示パネルを保持する基板受けステージと、この基板受けステージ及び液晶表示パネルのさらに前方に離間して可動に保持される第２の偏光板と、反射照明用のランプとを用いる検査方法であって、前記基板受けステージの傾斜角度を変化させつつ、反射照明用のランプからの照明を行い、液晶表示パネルから反射されて出てくる反射光に基づき欠陥についての検査を行う第１検査工程と、この後、バックライトユニットから液晶表示パネル及び第１及び第２の偏光板を経て前方へと出て来る透過光に基づき欠陥についての検査を行う第２検査工程とからなることを特徴とする。
【００１２】
本発明の液晶表示パネルの検査装置は、バックライトユニットと、この出射面に配置される第１の偏光板と、この前方に離間して配置されて液晶表示パネルを保持する基板受けステージと、この基板受けステージ及び液晶表示パネルのさらに前方に離間して可動に保持される第２の偏光板と、反射照明用のランプとからなり、基板受けステージは、矩形状の枠部と、基板受けステージの厚み方向に延びる板状の桟と、この桟に取り付けられた吸着部、及び吸着用の管と、枠部を支持するとともに基板受けステージの傾斜角を適宜に変化させる支持・駆動機構とからなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
ラビング筋などの欠陥について、検出が、より容易になり、所定作業時間内では、検出効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一の実施形態になる検査装置の基本構成を説明するための模式図である。
【図２】本発明の一の実施形態になる検査装置における検査ステージの構造について説明するための模式的な斜視図である。
【図３】バックライトユニットの出射面上にて、偏光板の継ぎ目に遮光テープを貼り付けた様子を示す模式的な平面図である。
【図４】本発明の一の実施形態になる検査装置の詳細な構成を示す模式的な斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の一の実施形態になる液晶表示パネルの検査方法及び検査装置について、図１〜４を用いて説明する。ここで、検査対象の液晶表示パネル５は、ＴＦＴ素子及び画素電極などが配列されたアレイ基板と、カラーフィルタ基板などの対向基板とを、シール材を介して貼り付けて、シール材を硬化させることにより得られるものである。すなわち、駆動ＩＣやフレキシブル基板（ＦＰＣ）を実装する前のパネル本体部をなすものであり、特には、個々の液晶表示パネル製品のパネル本体部を切り出すための、複数の製品部分がマトリクス状に配列された大判のパネル（マザー基板）である。このようなマザー基板としての液晶表示パネル５は、矩形状であって、その一辺が少なくとも400mmである。典型的には、携帯電話、スマートホン、その他の携帯端末やタブレットパソコンといった高精細な表示を行う液晶表示パネル製品を効率的に製造するためのものである。例えば、300dpi以上、または400dpi以上といった高精細な液晶表示パネル製品を製造するための、一辺が600mm以上、特には800mm以上、例えば1000mm以上のマザー基板である。なお、検査対象の液晶表示パネル５は、好ましくは、液晶材料を封入した後のものである。
【００１６】
図１の模式的な垂直方向断面図には、検査装置１０の基本構成を示す。
【００１７】
検査装置１０は、液晶表示パネル５を吸着保持する傾斜角可変の基板受けステージ１と、垂直状態に配置されるバックライトユニット２と、この出射面２１に保護ガラス板２２を介して装着される第１の偏光板３と、作業員８が持って適宜に動かすことのできる第２の偏光板４とからなる。ここで、基板受けステージ１と、バックライトユニット２及び第１の偏光板３とは、クリーンルーム（遮光ブース）７内に配置される。ここでのクリーンルーム７は、外形や筐体がクリーンチャンバーなどと同様であるが、要求される清浄度レベルが、あまり高くなく、実際上、不所望の外光などを遮断する「遮光ブース」としての役割を果たす。作業員８は、クリーンルーム７の前方の透明板からなる窓部７１を通して、基板受けステージ１に吸着保持された液晶表示パネル５を観察する。
【００１８】
クリーンルーム７の上部には、基板受けステージ１上の液晶表示パネル５へと向かって、上方から照明を行うための落射照明ランプ７２が備えられる。落射照明ランプ７２は、例えば単色光ランプであり、特には、ナトリウムランプなどのオレンジ色のランプである。一方、基板受けステージ１には、基板受けステージ１の位置・姿勢を可変に支持するステージ支持・駆動機構６が備えられる。ステージ支持・駆動機構６の駆動部は、例えば、ステッピングモーターやリニアモーター、ハーモニックドライブ、ローラーねじなどからなる。
【００１９】
また、クリーンルーム７の前面には、ステージ支持・駆動機構６を駆動して、基板受けステージ１の位置・姿勢をコントロールするための、操作スティック・スイッチ部６１が備えられる。この操作スティック・スイッチ部６１は、例えば、操作スティックと、複数の操作スイッチとからなる。
【００２０】
検査対象の液晶表示パネル５は、検査装置またはセルカセットに備え付けられるロボットアームにより、基板受けステージ１へと移送されて来て、この基板受けステージ１に吸着保持される。
【００２１】
この後、まず、反射光による第１の検査工程が行われる。すなわち、落射照明ランプ７２を点灯させて、作業員８が、液晶表示パネル５を目視観察することにより行う。この際、ステージ支持・駆動機構６により、基板受けステージ１の傾斜角を、バックライトユニットの出射面２１に平行な水平軸（左右方向軸；Ｘ軸）まわりに、例えば０度（垂直状態）から６０度まで、逐次または連続的に回転（θＸ駆動）させつつ、反射光に基づき目視により欠陥の検出を行う。また、干渉縞を確認するため、ステージ支持・駆動機構６により微妙に角度を変化させ、縞の変化具合から判断する。さらに、適宜、出射面２１に垂直な水平軸（前後方向軸；Ｙ軸）の方向への移動（Ｙ駆動）や、前後方向軸（Ｙ軸）まわりの回転（θＹ駆動）も行う。
【００２２】
この第１の検査工程は、いわば、全体的に観察することで、すばやく欠陥を検出するものである。
【００２３】
反射光に基づく第１の検査工程に続いて、透過光に基づく第２の検査工程を行う。第２の検査工程では、基板受けステージ１を、バックライトユニットの出射面２１にほぼ平行な状態（垂直状態）、または、例えば１５度以内の少し傾斜させた状態に保ったまま検査を行う。すなわち、液晶表示パネル５及び一対の偏光板３，４を通って出てくる透過光に基づいて、作業員８が目視により検査を行う。この際、作業員８は、第２の偏光板４を、順次、上下左右（Ｙ軸方向及びＸ軸方向）にスライドさせつつ観察を行う。また、必要に応じて、前後方向軸（Ｙ軸）まわりにも回転させる。このようにして、大判の液晶表示パネル５について、所定の広さの領域ごとに、順次、欠陥の有無を検査する。
【００２４】
この第２の検査工程において、特には、ラビング筋などの配向の乱れにより生じる明線や明点などを検出したり、アレイ基板と対向基板との間の異物などの存在による局部的な基板間間隔（セルギャップ）の乱れによって生じる表示ムラ（例えば同心円状の縞模様など）を検出する。
【００２５】
次に、図２を用いて、基板受けステージ１の構造について説明する。図２に示すように、基板受けステージ１は、矩形状の枠部１５と、基板受けステージの厚み方向に延び、かつステージの縦方向及び横方向にそれぞれ延びる板状の桟１６，１７と、これら桟１６，１７が交差する箇所１４の前端面（液晶表示パネル側の端面）に取り付けられる吸着カップ１１と、横方向の桟１７の前端面に取り付けられて、この桟１７に沿って延びる吸着用ホース１２とからなる。吸着用ホース１２は、一方の端部が、枠部１５内の減圧配管に接続するとともに、複数の吸着カップ１１の根元部に接続されている。吸着用ホース１２の外径は、桟１６，１７の板状の厚み（前端面の幅）とほぼ同じか、これらより、わずかに小さく若しくは大きく設定することができる。なお、吸着用ホース１２は、柔軟なチューブの他、樹脂性または金属性の剛直な配管であっても良い。また、必ずしも、カップ状の吸着部を有する吸着カップでなくても良く、例えば、エラストマー材料からなる円柱形の部材の下面に複数の吸引孔が配列されたものであっても良い。
【００２６】
一具体例において、桟１６，１７の厚みを0.5〜4mm、例えば1〜2mmとし、吸着用ホース１２の外径を3〜6mm、例えば4〜5mmとし、桟１６，１７の前端面から、保持される液晶表示パネル５までの間隔を、吸着用ホース１２の外径より30〜150mm大きい値、特には50〜120mm大きい値とすることができる。このように、板状の桟１６，１７として厚みの小さいものを用いるとともに、径の小さい吸着用ホース１２を用い、さらには、この桟１６，１７の前端面と、液晶表示パネル５との間隔を、ある程度確保する。このように設定するならば、バックライトユニット２から出射されて第１の偏光板３を通過した光は、液晶表示パネル５における桟１６，１７と重なる領域にも、透過光による検査に充分な程度の量が到達する。
【００２７】
そのため、吸着カップ１１が吸着により接して覆う領域を除き、液晶表示パネル５の全表示領域について、検査が可能となっている。ここで、吸着カップ１１の径は、例えば20〜50mmであり、一具体例において30〜40mmである。そのため、大判の基板としての液晶表示パネル５中、表示領域が吸着カップ１１と重なることによって透過光による検査が難しくなっている領域の面積割合は、かなり小さい。
【００２８】
また、図２のような基板受けステージ１であると、樹脂材料などからなる可撓性の吸着カップ１１のみが大判の液晶表示パネル５に突き当てられて支持を行う。また、基板受けステージ１を構成する枠部１５及び桟１６，１７は、ステージ１の厚み方向の寸法が比較的大きいため、ステージ１の厚み方向に撓むおそれは、かなり小さい。そのため、液晶表示パネル５に局部的な応力を加えることなく、安定に支持を行うことができる。一具体例において、ステージ１の厚み方向における枠部１５の寸法が20〜80mmであり、同方向における桟１６，１７の寸法は、これより、15〜40mm小さい。
【００２９】
一方、基板受けステージ１の枠部１５の前端面には、万一、吸着保持が不充分な場合にも液晶表示パネル５が脱落するのを防止するための、複数の脱落防止用タブ１８が取り付けられている。特には、枠部１５の矩形の各辺に複数個、取り付けられている。各脱落防止用タブ１８は、矩形などの板状であり、枠部１５の前端面に埋め込まれた固定ピン１９のまわりに、回転自在となっている。脱落防止用タブ１８は、液晶表示パネル５をセットした後に、図示のように内側に向けられる。なお、これら脱落防止用タブ１８は、液晶表示パネル５の表示領域にまで達しない寸法に設けられる。また、脱落防止用タブ１８は、樹脂製または金属製であって、基板受けステージ１の厚み方向に、ある程度の可撓性を持たせることができる。
【００３０】
本実施形態において、基板受けステージ１は、第２の検査工程の際に前方へと露出する部分が、全て、黒色などの暗色に着色または塗装されるか、または黒色などの暗色の材料により被覆されている。また、同時に、艶（つや）消し塗装または艶消し加工がなされている。すなわち、桟１６，１７の前端面及び側面、並びに、枠部１５の前端面及び内側面が艶消し塗装などにより黒色に着色されているだけでなく、吸着カップ１１及び吸着用ホース１２も、黒色に着色され、また表面に艶消し加工がされている。したがって、第１及び第２の検査工程の際に、反射光や透過光により悪影響が生じるのが防止されている。なお、黒色の着色は、シリコーン樹脂などの樹脂材料への黒色顔料の練り込みや、黒色塗料による塗装、または、黒色の着色フィルムによる被覆などにより行うことができる。また、艶消しは、塗料や樹脂材料中へのシリカ微粒子の添加などにより行うことができる。
【００３１】
特には、第２の検査工程の際に、バックライトユニット２から第１の偏光板３を通って入射する偏光が、吸着用ホース１２や吸着カップ１１を透過して、偏光の乱れた光となるのを防止することができる。このように偏光の乱れた光は、検査の際に、輝線や輝点などの輝部を生じさせて、欠陥の検出を困難にする。第１の偏光板３の偏光方向と、第２の偏光板４の偏光方向との関係、または、これらの偏光方向と、液晶表示パネル５中の液晶材料の配向などとの関係で、正常な場合に黒色となる場面において、偏光の乱れから、虹（にじ）色に光る部分といった輝部が生じるのである。
【００３２】
次に、図３を用いて、偏光板の継ぎ目の遮光について説明する。バックライトユニット２の出射面２１は、大判のマザー基板としての液晶表示パネル５に対応して、寸法が大きい。例えば、液晶表示パネル５の寸法が、1300mm×1500mmとなっている。ところが、市販されている偏光板の寸法は、これよりも、かなり小さい。そのため、複数の偏光板が貼り付けられる。図示の例では、6枚の偏光板３-1〜３-6が貼り付けられる。これら偏光板同士の継ぎ目では、隙間がなくても偏光が乱れることとなる。そこで、この継ぎ目の箇所に、幅の狭い遮光テープ３１を貼り付ける。遮光テープ３１は、黒色など暗色の樹脂テープの片面に粘着層が備えられた粘着テープであり、幅は、例えば２〜５mmに設定することができる。
【００３３】
図３中には、液晶表示パネル５も、破断部分として、模式的に示している。この部分の中に、すじ状の欠陥５１が描かれており、偏光板同士の継ぎ目に近接した位置にある。しかし、遮光テープ３１で継ぎ目が遮光されているので、偏光した透過光による検査時に、継ぎ目からの、偏光の乱れた光による輝部が現れないので、このような輝部による妨害を受けず、効率的に欠陥の検出作業を行うことができる。
【００３４】
図４には、検査装置１０の具体的な構成例を示す。図示の一具体例においては、クリーンルーム７の左方の壁に、搬入・搬出口７４が設けられ、液晶表示パネル５の搬入及び搬出時に、搬入・搬出口７４の扉が開放される。図示の例で、液晶表示パネル５は、複数枚がセルカセット９に収納されて、搬入・搬出口７４の箇所にまで運び込まれ、検査装置１０に備えられた不図示のロボットアームにより、基板受けステージ１との間の受け渡しが行われる。セルカセット９は、多数の液晶表示パネル５を水平に保持して、多層に収納可能な容器であり、通常、側面を部分的に開閉可能となっている。また、図示の例で、キャスターが備えられている。
【００３５】
クリーンルーム７内部における、搬入・搬出口７４に近接した箇所の上方には、イオナイザー（静電気除去装置）７３が備えられ、液晶表示パネル５の搬入時、及び搬出時に、雰囲気空気をイオン化させることで、静電気の除去を行う。図示の例で、イオナイザー７３は、水平棒状であり、この下面の複数の吹き出し口から、イオン化された空気が吹き出される。
【００３６】
図４に示す例において、検査装置１０の前面左方部には、検査装置１０の作動条件などについて、種々に変更・設定を行うことを可能にする装置制御端末６２が備えられる。この端末は、図示の例でタッチパネルとなっている。一方、検査装置１０の前面右方部には、検査結果を入力するための結果入力端末６３が備えられる。この結果入力端末６３は、例えば、キーボード及びディスプレイを備えるノートパソコンであり、液晶表示パネル製品の製造工程を管轄するコンピューターネットワークを通じてサーバーに接続されている。
【００３７】
また、図４に示す例において、検査装置１０の前面下部には、踏み台７５が備えられ、窓部７１の下端の中央部付近、及び、窓部７１の中央より左にずれた箇所に、アーチ状の支え用取っ手７６が備えられる。これら支え用取っ手７６は、作業員８が、検査対象の箇所に顔を近づけて見たい場合に、体を支えるためのものである。一方、図４に示す例において、第２の偏光板４は、矩形状の枠４１の中に保持されており、この枠４１の一辺の中央からは、外側へと棒状の取っ手４２が突き出している。
【００３８】
以下に、図４の検査装置１０を用いた検査の工程及び操作について、一具体例を簡単に説明する。
【００３９】
まず、検査対象の新たな液晶表示パネル５が基板受けステージ１にセットされ吸着保持される。この動作は、例えば、作業員８が装置制御端末６２にて、検査開始などのタッチボタンを操作した際に行われる。そして、吸着保持された時点で、落射照明ランプ７３が点灯される。図示の例で、落射照明ランプ７３は、窓部７１の上端の箇所に、左右一対が設けられ、手前上方から奥側下方へと少し斜めに照明光の照射が行われる。
【００４０】
作業員８は、全体的な目視検査を行うにあたり、踏み台７５上から、左右いずれかの操作スティック・スイッチ部６１のステージ駆動スティックを操作することにより、基板受けステージ１及び液晶表示パネル５について、左右方向軸（Ｘ軸）まわりの傾斜角、及び、前後方向軸（Ｙ軸）まわりの傾斜角を適宜変化させる。この際、必要に応じて前後方向位置も適宜変化させる。そして、欠陥が発見されたならば、欠陥の位置、大きさ、種類などについて、結果入力端末６３からの入力を行う。
【００４１】
この後、操作スティック・スイッチ部６１のステージ駆動スティックを操作することにより、基板受けステージ１及び液晶表示パネル５をほぼ垂直に立てる。そして、操作スティック・スイッチ部６１の照明切換スイッチを操作して、落射照明ランプ７２による照明から、バックライトユニット２による照明へと切り換える。照明が切り換えられたならば、作業員８は、第２の偏光板４をかざしつつ、例えば、第２の偏光板４と同程度の大きさの領域ごとに、欠陥を検出するための目視検査を行う。この第２の偏光板４は、例えば、Ａ５サイズ〜Ａ３サイズの寸法である。このように、第２の偏光板４を作業員８が手で持つ方式であるため、偏光板４を適宜に、作業員から見て時計回りまたは反時計まわりに回転させて、偏光板３，４同士のクロスの程度を調整することができる。
【００４２】
欠陥が発見されたならば、落射照明による検査の場合と同様に、欠陥の位置、大きさ、種類などについて、結果入力端末６３からの入力を行う。製造工程を管轄するコンピューターまたはネットワークにより、欠陥が発見された箇所に相当する個々の液晶表示パネル本体部は、切り出しの後に、製造フローから除去されて廃棄される。
【００４３】
検査が終了したならば、例えば、装置制御端末６２のタッチスイッチの操作により、ロボットアームを駆動して、大判の液晶表示パネル５を、セルカセット９の所定箇所に戻す。
【００４４】
上記の実施形態によると、非点灯状態で、一対の偏光板及びバックライト装置を用いて透過光による外観検査を行うにあたり、各偏光板と、液晶表示パネルとの距離が、通常30mm以上、特には100mm以上、典型的には150mm以上、例えば200mm以上である。
【００４５】
まず、裏面側の偏光板及びバックライトと、検査対象の液晶表示パネルとが充分に離間されるので、この間の支持構造物による遮光の影響を最小限とすることができる。特には、液晶表示パネル５を支持するための入射方向に延びる板状の桟１６，１７とが、液晶表示パネル、及び裏面側の偏光板３などのいずれとも離間されるため、フレーム構造物によるバックライト光の遮光が問題とならないレベルであり、吸着カップの箇所でのみ遮光される。桟などのフレーム構造物からの、液晶表示パネル５までの間隔、及びバックライト上の偏光板までの間隔は、いずれも、例えば50mm以上、特には100mm以上とすることができる。
【００４６】
また、作業者側の第２の偏光板４について、液晶表示パネル５から離間させることによって、作業者は、液晶表示パネル５より小さい寸法の偏光板４をかざして、液晶表示パネル５の全領域について目視検査を行うことができる。この際、偏光板４を移動させずとも、偏光板４より広い領域について検査を行うことができる。しかも、偏光板４が小さく、かつ、液晶表示パネル５などに接していないため、左右上下への移動だけでなく、作業者から見た時計回り及び反時計まわりに少し回転させるといった操作を、迅速かつ簡便に行うことができる。
【００４７】
上記のように離間されている点において、本実施形態の検査方法及び検査装置は、上述の特許文献１〜３のいずれの検査方法及び検査装置とも大きく異なると考えられる。
【００４８】
上記の実施形態の説明においては、非点灯の外観検査のみを行うものとして説明したが、場合によっては、液晶駆動電圧や駆動信号を入力して点灯検査を行うのであっても良い。例えば、液晶表示パネル製品に対応するいずれの領域もマザー基板の外周と接しているのであれば、この外周部から駆動入力を行って点灯検査を行うことができると考えられる。
【００４９】
上記の実施形態の説明においては、検査が全て作業員の目視により行われるとして説明したが、一部または全部について、撮像カメラ及び画像解析装置を用いて検査を行うのであっても良い。この場合、検査結果は、自動的に、ネットワークを通じて送信される。
【００５０】
また、第２の偏光板４について、取っ手付きの枠４１に保持されて作業員８が、うちわのように持って動かすものとして説明したが、クリーンルーム内に配置されて、操作スティックの操作により、位置、及び、前後方向軸まわりの姿勢をシフト・調整可能であっても良い。
【符号の説明】
【００５１】
１…基板受けステージ；  １０…検査装置；    １１…吸着カップ；  
１２…吸着用ホース；    １５…ステージ枠部；  １６…縦桟（たてさん）；  
１７…横桟（よこさん）；  １８…脱落防止用タブ；  ２…バックライトユニット；  
２１…出射面；            ２２…保護ガラス板；  ３…第１の偏光板；  
３１…遮光テープ；        ４…第２の偏光板；    ４１…偏光板の枠；  
４２…偏光板の枠の取っ手；  ５…液晶表示パネル；  ６…ステージ支持・駆動機構；  
６１…操作スティック・スイッチ部；  ６２…装置制御端末；  ６３…結果入力端末；  
７…クリーンルーム（遮光ブース）；          ７１…窓部；        
７２…落射照明ランプ；    ７３…イオナイザー；    ７４…搬入・搬出口；  
７５…踏み台；            ７６…支え用取っ手；    ７７…Ｘ軸方向；  
７８…Ｙ軸方向；          ８…作業員；            ９…セルカセット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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