(57)【要約】【課題】基板の処理のスループットを向上させることができる基板搬送方法を提供する。【解決手段】互いに自在に移動可能な下方搬送アーム２２及び上方搬送アーム２３を備え、下方搬送アーム２２及び上方搬送アーム２３は一の軸に沿って重ねて配置され、且つ一の軸を中心に回動可能である搬送機構１６において、ウエハＷを搬送していないときの下方搬送アーム２２又は上方搬送アーム２３の移動速度を、ウエハＷを搬送しているときの下方搬送アーム２２又は上方搬送アーム２３の移動速度よりも高くする。【選択図】図３
2015076433.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
重ねて配置され、且つ互いに自在に移動可能な２つの搬送アームを備える搬送機構が行う基板搬送方法であって、
基板を搬送していないときの前記搬送アームの移動速度を、前記基板を搬送しているときの前記搬送アームの移動速度よりも高くすることを特徴とする基板搬送方法。
【請求項２】
前記２つの搬送アームは一の軸に沿って重ねて配置され、前記一の軸を中心に回動可能であることを特徴とする請求項１記載の基板搬送方法。
【請求項３】
前記搬送機構は、大気圧環境及び減圧環境を切り替えて前記基板を前記大気圧環境及び前記減圧環境の間で入れ替える入替室と、前記基板に処理を施す処理室との間で前記基板を搬送し、
一方の前記搬送アームは処理済みの前記基板を前記入替室へ渡した後、前記基板を搬送することなく前記処理室へ移動し、
他方の前記搬送アームは未処理の前記基板を前記入替室から受け取った後、前記未処理の基板を搬送しながら前記処理室へ移動し、
前記一方の搬送アームの前記入替室から前記処理室までの移動速度は、前記他方の搬送アームの前記入替室から前記処理室までの移動速度よりも高いことを特徴とする請求項１又は２記載の基板搬送方法。
【請求項４】
前記一方の搬送アームは前記処理済みの基板を前記処理室から受け取った後、前記処理済みの基板を搬送しながら前記入替室へ移動し、
前記他方の搬送アームは前記未処理の基板を前記処理室へ渡した後、前記基板を搬送することなく前記入替室へ移動し、
前記他方の搬送アームの前記処理室から前記入替室までの移動速度は、前記一方の搬送アームの前記処理室から前記入替室までの移動速度よりも高いことを特徴とする請求項３記載の基板搬送方法。
【請求項５】
前記搬送機構は、大気圧環境及び減圧環境を切り替えて前記基板を前記大気圧環境及び前記減圧環境の間で入れ替える入替室と、前記基板に処理を施す複数の処理室との間で前記基板を搬送し、
一方の前記搬送アームは処理済みの前記基板を一の前記処理室から受け取った後、前記処理済みの基板を搬送しながら前記入替室へ移動し、さらに、前記処理済みの基板を前記入替室へ渡した後、前記基板を搬送することなく他の前記処理室へ移動し、
他方の前記搬送アームは未処理の前記基板を前記入替室から受け取った後、前記未処理の基板を搬送しながら前記一の処理室へ移動し、
前記一方の搬送アームの前記入替室から前記他の処理室までの移動速度は、前記他方の搬送アームの前記入替室から前記一の処理室までの移動速度よりも高いことを特徴とする請求項１又は２記載の基板搬送方法。
【請求項６】
前記処理室は前記処理済みの基板を前記搬送アームへ渡した後、洗浄処理を実行し、
前記複数の処理室が前記洗浄処理を実行している場合、
前記他方の搬送アームは、前記未処理の基板を先に前記洗浄処理が施され始めた前記処理室へ渡すことを特徴とする請求項５記載の基板搬送方法。
【請求項７】
前記搬送機構は、前記基板へ第１の処理を施す第１の処理室と、前記基板へ第２の処理を施す第２の処理室との間で前記基板を搬送し、
前記基板には前記第１の処理及び前記第２の処理が施され、
一方の搬送アームは前記第１の処理が施された基板を前記第１の処理室から受け取った後、前記第１の処理が施された基板を搬送しながら前記第２の処理室へ移動し、
他方の搬送アームは未処理の前記基板を前記第１の処理室へ渡した後、前記基板を搬送することなく前記第２の処理室へ移動し、
前記他方の搬送アームの前記第１の処理室から前記第２の処理室までの移動速度は、前記一方の搬送アームの前記第１の処理室から前記第２の処理室までの移動速度よりも高いことを特徴とする請求項１又は２記載の基板搬送方法。
【請求項８】
前記一方の搬送アームは前記他方の搬送アームよりも上に配置され、
前記一方の搬送アームは未処理の前記基板を搬送し、前記他方の搬送アームは処理済みの前記基板を搬送することを特徴とする請求項１又は２記載の基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板搬送方法に関し、特に、重ねて配置されて互いに自在に移動可能な２つの搬送アームを備える搬送機構が行う基板搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）の処理効率を向上するために複数の処理室としてのプロセスモジュールを備える基板処理システムでは、複数のプロセスモジュールが搬送機構を内蔵する搬送室としてのトランスファモジュールに接続され、搬送機構が複数のプロセスモジュール間においてウエハを搬送する。
【０００３】
このような基板処理システムでは、ウエハの搬送効率を向上するとウエハの処理のスループットが向上するため、互いに独立して動作する２つの搬送アームを有する搬送機構が用いられる場合がある。
【０００４】
また、基板処理システムのフットプリント削減の観点から、図１３に示すように、高さ方向に重ねられた２つの搬送アーム１３０、１３１からなる搬送機構１３２が開発されている（例えば、特許文献１参照。）。この搬送機構１３２では２つの伸縮自在な搬送アーム１３０、１３１が同軸に沿って重ねて配置され、互いに軸回りに自在に回動するが、それぞれの搬送アーム１３０、１３１のウエハの搬送面の高さが異なるため、一方の搬送アーム１３０によって搬送されるウエハと、他方の搬送アーム１３１によって搬送されるウエハとの干渉、衝突が生じず、ウエハの搬送効率をより向上することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１１０７６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ウエハが各搬送アーム１３０、１３１によって搬送される際、ウエハは各搬送アーム１３０、１３１の先端に設けられたフォーク等のエンドエフェクタ１３３に自重によって載置されるだけなので、搬送効率の更なる向上を狙って搬送アーム１３０、１３１の回動速度や伸縮速度が向上されると、遠心力や慣性力に起因してウエハがエンドエフェクタからずれるおそれがある。
【０００７】
特に、近年、半導体デバイスの製造効率向上のために、ウエハの大口径化（直径の４５０ｍｍ化）の実現が試みられている。ウエハを大口径化しても、少なくとも従来のウエハと同等のスループットの実現、好ましくは、よりスループットを向上させることが求められているが、ウエハを大口径化すると当該ウエハの移動量は増加する。一方で、ウエハを載置したエンドエフェクタ１３３の移動速度には上限が設けられているため、ウエハの搬送効率をさらに向上させてウエハの処理のスループットを向上させることが困難な状況にある。
【０００８】
本発明の目的は、基板の処理のスループットを向上させることができる基板搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項１記載の基板搬送方法は、重ねて配置され、且つ互いに自在に移動可能な２つの搬送アームを備える搬送機構が行う基板搬送方法であって、基板を搬送していないときの前記搬送アームの移動速度を、前記基板を搬送しているときの前記搬送アームの移動速度よりも高くすることを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の基板搬送方法は、請求項１記載の基板搬送方法において、前記２つの搬送アームは一の軸に沿って重ねて配置され、前記一の軸を中心に回動可能であることを特徴とする。
【００１１】
請求項３記載の基板搬送方法は、請求項１又は２記載の基板搬送方法において、前記搬送機構は、大気圧環境及び減圧環境を切り替えて前記基板を前記大気圧環境及び前記減圧環境の間で入れ替える入替室と、前記基板に処理を施す処理室との間で前記基板を搬送し、一方の前記搬送アームは処理済みの前記基板を前記入替室へ渡した後、前記基板を搬送することなく前記処理室へ移動し、他方の前記搬送アームは未処理の前記基板を前記入替室から受け取った後、前記未処理の基板を搬送しながら前記処理室へ移動し、前記一方の搬送アームの前記入替室から前記処理室までの移動速度は、前記他方の搬送アームの前記入替室から前記処理室までの移動速度よりも高いことを特徴とする。
【００１２】
請求項４記載の基板搬送方法は、請求項３記載の基板搬送方法において、前記一方の搬送アームは前記処理済みの基板を前記処理室から受け取った後、前記処理済みの基板を搬送しながら前記入替室へ移動し、前記他方の搬送アームは前記未処理の基板を前記処理室へ渡した後、前記基板を搬送することなく前記入替室へ移動し、前記他方の搬送アームの前記処理室から前記入替室までの移動速度は、前記一方の搬送アームの前記処理室から前記入替室までの移動速度よりも高いことを特徴とする。
【００１３】
請求項５記載の基板搬送方法は、請求項１又は２記載の基板搬送方法において、前記搬送機構は、大気圧環境及び減圧環境を切り替えて前記基板を前記大気圧環境及び前記減圧環境の間で入れ替える入替室と、前記基板に処理を施す複数の処理室との間で前記基板を搬送し、一方の前記搬送アームは処理済みの前記基板を一の前記処理室から受け取った後、前記処理済みの基板を搬送しながら前記入替室へ移動し、さらに、前記処理済みの基板を前記入替室へ渡した後、前記基板を搬送することなく他の前記処理室へ移動し、他方の前記搬送アームは未処理の前記基板を前記入替室から受け取った後、前記未処理の基板を搬送しながら前記一の処理室へ移動し、前記一方の搬送アームの前記入替室から前記他の処理室までの移動速度は、前記他方の搬送アームの前記入替室から前記一の処理室までの移動速度よりも高いことを特徴とする。
【００１４】
請求項６記載の基板搬送方法は、請求項５記載の基板搬送方法において、前記処理室は前記処理済みの基板を前記搬送アームへ渡した後、洗浄処理を実行し、前記複数の処理室が前記洗浄処理を実行している場合、前記他方の搬送アームは、前記未処理の基板を先に前記洗浄処理が施され始めた前記処理室へ渡すことを特徴とする。
【００１５】
請求項７記載の基板搬送方法は、請求項１又は２記載の基板搬送方法において、前記搬送機構は、前記基板へ第１の処理を施す第１の処理室と、前記基板へ第２の処理を施す第２の処理室との間で前記基板を搬送し、前記基板には前記第１の処理及び前記第２の処理が施され、一方の搬送アームは前記第１の処理が施された基板を前記第１の処理室から受け取った後、前記第１の処理が施された基板を搬送しながら前記第２の処理室へ移動し、他方の搬送アームは未処理の前記基板を前記第１の処理室へ渡した後、前記基板を搬送することなく前記第２の処理室へ移動し、前記他方の搬送アームの前記第１の処理室から前記第２の処理室までの移動速度は、前記一方の搬送アームの前記第１の処理室から前記第２の処理室までの移動速度よりも高いことを特徴とする。
【００１６】
請求項８記載の基板搬送方法は、請求項１又は２記載の基板搬送方法において、前記一方の搬送アームは前記他方の搬送アームよりも上に配置され、前記一方の搬送アームは未処理の前記基板を搬送し、前記他方の搬送アームは処理済みの前記基板を搬送することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、基板を搬送していないときの搬送アームの移動速度を、基板を搬送しているときの搬送アームの移動速度よりも高くするので、基板の搬送アームに対するずれの発生を防止しつつ、搬送アームを所望位置へ早期に移動させて当該搬送アームを使用する次工程を早期に開始することができる。これにより、基板の処理のスループットを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る基板搬送方法を実行する基板処理システムの構成を概略的に示す平面図である。
【図２】図１における搬送機構の構成を概略的に示す斜視図である。
【図３】図１の基板処理システムが実行する本発明の第１の実施の形態に係る基板搬送方法を示す工程図である。
【図４】図１の基板処理システムが実行する本発明の第１の実施の形態に係る基板搬送方法を示す工程図である。
【図５】ロードロックモジュールにおける処理済みウエハと未処理のウエハの入替シーケンスを示す工程図である。
【図６】ロードロックモジュールにおける処理済みウエハと未処理のウエハの入替シーケンスの変形例を示す工程図である。
【図７】図１の基板処理システムが実行する本発明の第２の実施の形態に係る基板搬送方法を示す工程図である。
【図８】図１の基板処理システムが実行する本発明の第２の実施の形態に係る基板搬送方法を示す工程図である。
【図９】図１の基板処理システムが実行する本発明の第３の実施の形態に係る基板搬送方法を示す工程図である。
【図１０】図１の基板処理システムが実行する本発明の第３の実施の形態に係る基板搬送方法を示す工程図である。
【図１１】図１の基板処理システムが実行する本発明の第４の実施の形態に係る基板搬送方法を示す工程図である。
【図１２】図１の基板処理システムが実行する本発明の第４の実施の形態に係る基板搬送方法を示す工程図である。
【図１３】従来の搬送機構の構成を概略的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２０】
まず、本発明の第１の実施の形態に係る基板搬送方法について説明する。
【００２１】
図１は、本実施の形態に係る基板搬送方法を実行する基板処理システムの構成を概略的に示す平面図である。図１では、便宜的に内部の構成要素が透過するように示される。
【００２２】
図１において、基板処理システム１０は、平面視略７角形の減圧搬送室としてのトランスファモジュール１１と、該トランスファモジュール１１の回りに放射状に配置されてゲートバルブ１２を介してトランスファモジュール１１に接続される処理室としての６つのプロセスモジュール１３ａ〜１３ｆと、トランスファモジュール１１における各プロセスモジュール１３ａ〜１３ｆに接続されていない側面に接続される入替室としての２つのロードロックモジュール１４と、各ロードロックモジュール１４を介してトランスファモジュール１１に対向し、且つ各ロードロックモジュール１４に接続される大気圧搬送室としてのローダーモジュール１５とを備える。
【００２３】
トランスファモジュール１１は、ウエハＷを各プロセスモジュール１３ａ〜１３ｆの間やプロセスモジュール１３ａ〜１３ｆ及び各ロードロックモジュール１４の間で搬送する搬送機構１６を内蔵し、内部は所定の真空度に減圧されている。
【００２４】
各プロセスモジュール１３ａ〜１３ｆは、ウエハＷを載置する１つのステージ１７（図中破線で示す。）を有し、トランスファモジュール１１と同様に内部が所定の真空度に減圧されている。各プロセスモジュール１３ａ〜１３ｆはステージ１７に載置されたウエハＷにプラズマ処理等の所望の処理を施す。
【００２５】
ローダーモジュール１５は、複数のウエハＷを収容する容器１８及び各ロードロックモジュール１４の間でウエハＷを搬送する搬送ロボット１９を内蔵し、内部は大気圧に維持される。
【００２６】
ロードロックモジュール１４の各々は、ウエハＷを載置するステージ２０（図中破線で示す。）を有し、内部を大気圧環境及び減圧環境に切り替え可能であり、例えば、ローダーモジュール１５の搬送ロボット１９との間でウエハＷを受け渡しする際、内部を大気圧環境へ切り替えてローダーモジュール１５の内部と連通させ、トランスファモジュール１１の搬送機構１６との間でウエハＷを受け渡しする際、内部を減圧環境へ切り替えてトランスファモジュール１１の内部と連通させる。すなわち、ロードロックモジュール１４は、内部を大気圧環境又は減圧環境に切り替えてウエハＷをトランスファモジュール１１及びローダーモジュール１５の間で入れ替える。
【００２７】
図２は、図１における搬送機構の構成を概略的に示す斜視図である。
【００２８】
図２において、搬送機構１６は、基台２１の上において、図中Ｚ方向に重ねて配置される下方搬送アーム２２及び上方搬送アーム２３を有する。下方搬送アーム２２及び上方搬送アーム２３はいずれもフロッグレッグアーム構造を有し、水平方向（図中ＸＹ平面）において伸縮自在であり、Ｚ方向に沿う同一の中心軸（一の軸）を中心にして互いに自在に図中θ方向へ回動可能である。
【００２９】
下方搬送アーム２２及び上方搬送アーム２３のいずれも先端において二股状のフォーク２４を有し、該フォーク２４は搬送されるウエハＷを載置する。具体的には、ウエハＷはフォーク２４の上面に形成された複数のピン状突起であるピック２５によって支持され、下方搬送アーム２２や上方搬送アーム２３が移動してウエハＷを搬送する際、ウエハＷのフォーク２４に対する位置はウエハＷ及びピック２５の間に生じる摩擦力によって維持される。
【００３０】
搬送機構１６では、下方搬送アーム２２及び上方搬送アーム２３のＺ方向に関する位置（高さ）が異なるため、下方搬送アーム２２によって搬送されるウエハＷが描く搬送面の高さと、上方搬送アーム２３によって搬送されるウエハＷが描く搬送面の高さとが異なり、下方搬送アーム２２によって搬送されるウエハＷと、上方搬送アーム２３によって搬送されるウエハＷとの干渉や衝突が生じない。また、下方搬送アーム２２及び上方搬送アーム２３は基台２１に対してＺ方向に所定距離だけ移動可能に構成される。
【００３１】
図３及び図４は、図１の基板処理システムが実行する本実施の形態に係る基板搬送方法を示す工程図である。なお、図３及び図４において、実線の「○」はウエハＷを示し、破線の「○」はウエハＷが取り除かれたステージ１７、２０を示す。
【００３２】
まず、プロセスモジュール１３ａ〜１３ｆのいずれかにて処理が施されたウエハＷ（以下、「処理済みウエハＷ」という。）を搬送している上方搬送アーム２３及びウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２がともにロードロックモジュール１４へ向けて延伸して上方搬送アーム２３は処理済みウエハＷをロードロックモジュール１４へ渡し（図３（Ａ））、下方搬送アーム２２は処理が施されていないウエハＷ（以下、「未処理のウエハＷ」という。）をロードロックモジュール１４から受け取る（図３（Ｂ））。
【００３３】
次いで、上方搬送アーム２３が収縮するとともに、下方搬送アーム２２も収縮するが、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３ではウエハＷのずれを考慮する必要がないため、上方搬送アーム２３の収縮速度は未処理のウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２の収縮速度よりも高い（図３（Ｃ））。
【００３４】
次いで、上方搬送アーム２３及び下方搬送アーム２２のいずれも平面視において反時計回りに回動してプロセスモジュール１３ｅへ移動するが、このときも、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３ではウエハＷのずれを考慮する必要がないため、上方搬送アーム２３のロードロックモジュール１４からプロセスモジュール１３ｅまでの移動速度は、下方搬送アーム２２のロードロックモジュール１４からプロセスモジュール１３ｅまでの移動速度よりも高い（図３（Ｄ））。したがって、下方搬送アーム２２よりも上方搬送アーム２３が先にプロセスモジュール１３ｅに到達する（図３（Ｅ））。
【００３５】
次いで、下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｅへ到達する前に、上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ｅへ向けて延伸し（図３（Ｆ））、当該プロセスモジュール１３ｅから処理済みウエハＷを受け取って取り除き（図３（Ｇ））、プロセスモジュール１３ｅにおいて処理済みウエハＷが取り除かれる間に下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｅへ到達する（図３（Ｈ））。
【００３６】
次いで、処理済みウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３が平面視において時計回りにロードロックモジュール１４へ向けて回動し（図４（Ａ））、下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｅへ向けて延伸し（図４（Ｂ））、未処理のウエハＷをプロセスモジュール１３ｅへ渡す（図４（Ｃ））。このとき、上方搬送アーム２３がロードロックモジュール１４へ到達する。
【００３７】
次いで、未処理のウエハＷをプロセスモジュール１３ｅに渡したためにウエハＷを搬送しなくなった下方搬送アーム２２が収縮し、さらに、平面視において時計回りに回動するが、ウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２ではウエハＷのずれを考慮する必要がないため、下方搬送アーム２２のプロセスモジュール１３ｅからロードロックモジュール１４までの移動速度は、処理済みウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３のプロセスモジュール１３ｅからロードロックモジュール１４までの移動速度よりも高い。
【００３８】
その後、下方搬送アーム２２がロードロックモジュール１４へ到達する前に、上方搬送アーム２３が処理済みウエハＷをロードロックモジュール１４へ渡すべくロードロックモジュール１４へ向けて延伸するが（図４（Ｄ））、上述したように、下方搬送アーム２２のプロセスモジュール１３ｅからロードロックモジュール１４までの移動速度は高いので、上方搬送アーム２３が処理済みウエハＷをロードロックモジュール１４へ渡す前に、下方搬送アーム２２はロードロックモジュール１４へ到達し、さらにロードロックモジュール１４へ向けて延伸する（図４（Ｅ））。これにより、ほぼ同時に、処理済みウエハＷを上方搬送アーム２３によってロードロックモジュール１４へ渡すとともに、未処理のウエハＷを下方搬送アーム２２によってロードロックモジュール１４から受け取ることができる。
【００３９】
図３及び図４の基板搬送方法によれば、ウエハＷを搬送しないときの下方搬送アーム２２又は上方搬送アーム２３の移動速度を、ウエハＷを搬送しているときの下方搬送アーム２２又は上方搬送アーム２３の移動速度よりも高くするので、ウエハＷの下方搬送アーム２２や上方搬送アーム２３に対するずれの発生を防止しつつ、下方搬送アーム２２や上方搬送アーム２３を所望位置、例えば、ロードロックモジュール１４やプロセスモジュール１３ｅへ早期に移動させて下方搬送アーム２２や上方搬送アーム２３を使用する次工程を早期に開始することができる。これにより、ウエハＷの処理のスループットを向上させることができる。
【００４０】
例えば、図３（Ｄ）や図３（Ｅ）に示すように、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３のロードロックモジュール１４からプロセスモジュール１３ｅまでの移動速度は、未処理のウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２のロードロックモジュール１４からプロセスモジュール１３ｅまでの移動速度よりも高いので、上方搬送アーム２３が先にプロセスモジュール１３ｅへ到達し、下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｅへ到達するまでに上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ｅから処理済みウエハＷを受け取って取り除くことができ、もって、下方搬送アーム２２はプロセスモジュール１３ｅへ到達した後に未処理のウエハＷを保持したまま待機することなく未処理のウエハＷをプロセスモジュール１３ｅへ渡すことができる。これにより、ウエハＷの処理のスループットを向上させることができる。
【００４１】
また、例えば、図４（Ｄ）や図４（Ｅ）に示すように、ウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２のプロセスモジュール１３ｅからロードロックモジュール１４までの移動速度は、処理済みウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３のプロセスモジュール１３ｅからロードロックモジュール１４までの移動速度よりも高いので、上方搬送アーム２３がロードロックモジュール１４へウエハＷを渡す前に、下方搬送アーム２２がロードロックモジュール１４へ到達することができ、もって、上方搬送アーム２３がロードロックモジュール１４の前で待機することなく、ロードロックモジュール１４におけるウエハＷの入替を開始することができる。これによっても、ウエハＷの処理のスループットを向上させることができる。
【００４２】
上述した図３及び図４の基板搬送方法では、一のロードロックモジュール１４において処理済みウエハＷ及び未処理のウエハＷの交換（図３（Ａ）〜図３（Ｃ））を行った後、他のロードロックモジュール１４において処理済みウエハＷ及び未処理のウエハＷの交換（図４（Ｅ））を行う。すなわち、処理済みウエハＷ及び未処理のウエハＷの交換を交互に異なるロードロックモジュール１４において行う。なお、処理済みウエハＷ及び未処理のウエハＷの交換を連続して同じロードロックモジュール１４において行ってもよい。
【００４３】
図５は、ロードロックモジュールにおける処理済みウエハと未処理のウエハの入替シーケンスを示す工程図である。図５（Ａ）乃至図５（Ｄ）はロードロックモジュール１４の断面図であり、図５（Ｅ）乃至図５（Ｈ）は基板処理システム１０の平面図である。
【００４４】
図５の入替シーケンスは図３（Ａ）や図４（Ｅ）の工程で実行されるが、図５の入替シーケンスを実行するために、ロードロックモジュール１４は、図５（Ａ）に示すように、２つのウエハリフタ２６、２７を有する。
【００４５】
ウエハリフタ２６はウエハＷの略中心を支持するステージ状のリフタであり、図中上下方向に関して移動可能であり、且つ載置するウエハＷを水平面内において回転させることができる。これにより、ウエハリフタ２６はウエハＷの位置を確認するカメラ（図示しない）と協働してウエハＷの位置のアライメントを調整することができる。
【００４６】
また、ウエハリフタ２７はウエハＷの外縁を支持するリフタであり、上下方向に関して移動可能である。なお、ウエハリフタ２６の上下方向に関する移動軌跡とウエハリフタ２７の上下方向に関する移動軌跡は重ならないため、ウエハＷを支持していない場合、ウエハリフタ２６、２７は互いに自在に上下方向に関して移動可能である。
【００４７】
まず、図５（Ｅ）に示すように、処理済みウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３がロードロックモジュール１４へ到達する頃、ロードロックモジュール１４のウエハリフタ２６にはローダーモジュール１５の搬送ロボット１９によって未処理のウエハＷが載置される。このとき、ウエハリフタ２６は支持する未処理のウエハＷのアライメントを調整する（図５（Ａ））。
【００４８】
次いで、図５（Ｆ）に示すように、処理済みウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３及びウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２がロードロックモジュール１４へ向けて延伸し、各フォーク２４がロードロックモジュール１４の内部へ進入するが、未処理のウエハＷはウエハリフタ２６によって下方搬送アーム２２のフォーク２４よりも高い位置で支持されるので、当該フォーク２４は未処理のウエハＷの下方へ進入する。また、このとき、上方搬送アーム２３のフォーク２４はウエハリフタ２７よりも高い位置で処理済みウエハＷを載置するので、処理済みウエハＷはウエハリフタ２７と干渉、衝突することなくロードロックモジュール１４へ進入する（図５（Ｂ））。
【００４９】
次いで、図５（Ｇ）に示すように、上方搬送アーム２３及び下方搬送アーム２２がロードロックモジュール１４へ向けて延伸した状態を維持する間、ウエハリフタ２６が下降して未処理のウエハＷを下方搬送アーム２２のフォーク２４へ渡すとともに、ウエハリフタ２７が上昇して処理済みウエハＷを上方搬送アーム２３のフォーク２４から受け取る（図５（Ｃ））。
【００５０】
その後、図５（Ｈ）に示すように、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３及び未処理のウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２が収縮して各フォーク２４がロードロックモジュール１４の内部から退出し、ロードロックモジュール１４にはウエハリフタ２７によって支持される処理済みウエハＷだけが残る（図５（Ｄ））。
【００５１】
これにより、ロードロックモジュール１４において、処理済みウエハＷと未処理のウエハＷを同時に入れ替えることができる。
【００５２】
図６は、ロードロックモジュールにおける処理済みウエハと未処理のウエハの入替シーケンスの変形例を示す工程図である。図６（Ａ）乃至図６（Ｅ）はロードロックモジュール１４の断面図であり、図６（Ｆ）乃至図６（Ｉ）は基板処理システム１０の平面図である。
【００５３】
図６の入替シーケンスでは、下方搬送アーム２２が処理済みウエハＷを搬送し、上方搬送アーム２３が未処理のウエハＷを搬送する点で図５の入替シーケンスと異なる。
【００５４】
まず、図６（Ｆ）に示すように、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２がロードロックモジュール１４へ到達する頃、ロードロックモジュール１４のウエハリフタ２６にはローダーモジュール１５の搬送ロボット１９によって未処理のウエハＷが載置される。このとき、ウエハリフタ２６は支持する未処理のウエハＷのアライメントを調整する。また、ウエハリフタ２７はウエハリフタ２６よりも下方に位置する（図６（Ａ））。
【００５５】
次いで、ウエハリフタ２７が上昇して未処理のウエハＷをウエハリフタ２６から受け取り、さらに当該ウエハＷを後にロードロックモジュール１４の内部へ侵入する上方搬送アーム２３のフォーク２４よりも高い位置まで上昇させる（図６（Ｂ））。このとき、ウエハリフタ２６は下降する。
【００５６】
次いで、図６（Ｇ）に示すように、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２及びウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３がロードロックモジュール１４へ向けて延伸し、各フォーク２４がロードロックモジュール１４の内部へ進入するが、未処理のウエハＷはウエハリフタ２７によって上方搬送アーム２３のフォーク２４よりも高い位置で支持されるので、当該フォーク２４は未処理のウエハＷの下方へ進入する。また、このとき、下方搬送アーム２２のフォーク２４はウエハリフタ２６よりも高い位置で処理済みウエハＷを載置するので、処理済みウエハＷはウエハリフタ２６と干渉、衝突することなくロードロックモジュール１４へ進入する（図６（Ｃ））。
【００５７】
次いで、図６（Ｈ）に示すように、上方搬送アーム２３及び下方搬送アーム２２がロードロックモジュール１４へ向けて延伸した状態を維持する間、ウエハリフタ２７が下降して未処理のウエハＷを上方搬送アーム２３のフォーク２４へ渡すとともに、ウエハリフタ２６が上昇して処理済みウエハＷを下方搬送アーム２２のフォーク２４から受け取る（図６（Ｄ））。
【００５８】
その後、図６（Ｉ）に示すように、未処理のウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３及びウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２が収縮して各フォーク２４がロードロックモジュール１４の内部から退出し、ロードロックモジュール１４にはウエハリフタ２６によって支持される処理済みウエハＷだけが残る（図６（Ｅ））。
【００５９】
これにより、ロードロックモジュール１４において、処理済みウエハＷと未処理のウエハＷを同時に入れ替えることができる。また、下方搬送アーム２２よりも上に配置された上方搬送アーム２３が未処理のウエハＷを搬送し、下方搬送アーム２２は処理済みウエハＷを搬送するので、処理済みウエハＷから落下したパーティクル等が未処理のウエハＷを汚染するのを防止することができる。
【００６０】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る基板搬送方法について説明する。
【００６１】
本実施の形態は、その構成や作用が上述した第１の実施の形態と基本的に同じであり、各プロセスモジュール１３が、ウエハＷに処理を施した後に当該プロセスモジュール１３を洗浄するために、ドライクリーニング処理（洗浄処理）を実行する点で上述した第１の実施の形態と異なる。したがって、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
【００６２】
図７及び図８は、図１の基板処理システムが実行する本実施の形態に係る基板搬送方法を示す工程図である。なお、図７及び図８においても、実線の「○」はウエハＷを示し、破線の「○」はウエハＷが取り除かれたステージ１７、２０を示す。
【００６３】
まず、ウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２が、プロセスモジュール１３ａまで移動し（図７（Ａ））、プロセスモジュール１３ａへ向けて延伸して処理済みウエハＷを受け取り（図７（Ｂ））、さらに、収縮して処理済みウエハＷをプロセスモジュール１３ａから取り除く（図７（Ｃ））。その後、プロセスモジュール１３ａはドライクリーニング処理を開始する。
【００６４】
次いで、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２はロードロックモジュール１４へ移動し（図７（Ｄ））、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３とともにロードロックモジュール１４へ向けて延伸する。このとき、下方搬送アーム２２は処理済みウエハＷをロードロックモジュール１４へ渡し、上方搬送アーム２３は未処理のウエハＷをロードロックモジュール１４から受け取る（図７（Ｅ））。
【００６５】
次いで、上方搬送アーム２３及び下方搬送アーム２２のいずれも収縮し、さらに、平面視において時計回りに回動して下方搬送アーム２２はプロセスモジュール１３ｂ（他の処理室）まで移動し、上方搬送アーム２３はプロセスモジュール１３ａ（一の処理室）まで移動するが（図７（Ｆ））、ウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２ではウエハＷのずれを考慮する必要がないため、下方搬送アーム２２の収縮速度は未処理のウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３の収縮速度よりも高く、また、下方搬送アーム２２のロードロックモジュール１４からプロセスモジュール１３ｂまでの移動速度は、上方搬送アーム２３のロードロックモジュール１４からプロセスモジュール１３ａまでの移動速度よりも高い。本実施の形態では、上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ａに到達するよりも先に下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｂに到達する。
【００６６】
次いで、上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ａへ到達する前に、下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｂへ向けて延伸し、当該プロセスモジュール１３ｂから処理済みウエハＷを受け取って取り除き、処理済みウエハＷが取り除かれる間に上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ａへ到達する（図７（Ｇ））。
【００６７】
このとき、プロセスモジュール１３ａでは、ドライクリーニング処理が開始されてから上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ａへ到達するまでに所定の時間（図７（Ｃ）の工程から図７（Ｇ）の工程までの時間）が経過するため、ドライクリーニング処理は終了している。したがって、上方搬送アーム２３はプロセスモジュール１３ａへ到達後、直ちにプロセスモジュール１３ａへ向けて延伸し、未処理のウエハＷをプロセスモジュール１３ａへ渡すことができる。また、上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ａへ未処理のウエハＷを渡す間、下方搬送アーム２２は収縮する（図７（Ｈ））。その後、プロセスモジュール１３ｂはドライクリーニング処理を開始する。
【００６８】
次いで、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２が平面視において反時計回りに回動してロードロックモジュール１４へ移動するとともに、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３が収縮し、さらに、平面視において反時計回りに回動してロードロックモジュール１４へ移動するが、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３ではウエハＷのずれを考慮する必要がないため、上方搬送アーム２３のプロセスモジュール１３ａからロードロックモジュール１４までの移動速度は、下方搬送アーム２２のプロセスモジュール１３ｂからロードロックモジュール１４までの移動速度よりも高い（図８（Ａ））。
【００６９】
その後、下方搬送アーム２２がロードロックモジュール１４へ到達する前に、上方搬送アーム２３がロードロックモジュール１４へ到達し（図８（Ａ））、処理済みウエハＷをロードロックモジュール１４へ渡すべくロードロックモジュール１４へ向けて延伸するが、上述したように、上方搬送アーム２３のプロセスモジュール１３ａからロードロックモジュール１４までの移動速度は高いので、下方搬送アーム２２が処理済みウエハＷをロードロックモジュール１４へ渡す前に、上方搬送アーム２３はロードロックモジュール１４へ到達し、さらにロードロックモジュール１４へ向けて延伸する（図８（Ｂ））。これにより、ほぼ同時に、処理済みウエハＷを下方搬送アーム２２によってロードロックモジュール１４へ渡すとともに、未処理のウエハＷを上方搬送アーム２３によってロードロックモジュール１４から受け取ることができる。
【００７０】
図７及び図８の基板搬送方法によれば、例えば、図７（Ｆ）や図７（Ｇ）に示すように、ウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２のロードロックモジュール１４からプロセスモジュール１３ｂまでの移動速度は、未処理のウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３のロードロックモジュール１４からプロセスモジュール１３ａまでの移動速度よりも高いので、下方搬送アーム２２が先にプロセスモジュール１３ｂへ到達し、上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ａへ到達するまでに下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｂから処理済みの基板を受け取ることができる。すなわち、プロセスモジュール１３ａへ未処理のウエハＷを搬送し終えた上方搬送アーム２３が、続いてプロセスモジュール１３ｂへ未処理のウエハＷを搬送するまでには、確実に、プロセスモジュール１３ｂから処理済みのウエハＷが取り除かれているので、上方搬送アーム２３はプロセスモジュール１３ｂへ到達した後に未処理のウエハＷを保持したまま待機することなく直ちに未処理のウエハＷをプロセスモジュール１３ｂへ渡すことができる。これにより、ウエハＷの処理のスループットを向上させることができる。
【００７１】
次に、本発明の第３の実施の形態に係る基板搬送方法について説明する。
【００７２】
本実施の形態は、その構成や作用が上述した第２の実施の形態と基本的に同じであり、各プロセスモジュール１３におけるドライクリーニング処理の実行時間が第２の実施の形態におけるドライクリーニング処理の実行時間よりも長い点で第２の実施の形態と異なる。したがって、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
【００７３】
図９及び図１０は、図１の基板処理システムが実行する本実施の形態に係る基板搬送方法を示す工程図である。なお、図９及び図１０においても、実線の「○」はウエハＷを示し、破線の「○」はウエハＷが取り除かれたステージ１７、２０を示す。
【００７４】
まず、図９（Ａ）乃至図９（Ｄ）の工程は、図７（Ａ）乃至図７（Ｄ）の工程と同じであるため、説明を省略する。
【００７５】
次いで、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２のみがロードロックモジュール１４へ向けて延伸して処理済みウエハＷをロードロックモジュール１４へ渡し（図９（Ｅ））、その後、ウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２は収縮し、平面視において時計回りに回動してプロセスモジュール１３ｂへ向けて移動する（図９（Ｆ））。
【００７６】
次いで、プロセスモジュール１３ｂへ到達した下方搬送アーム２２は、当該プロセスモジュール１３ｂへ向けて延伸し（図９（Ｇ））、当該プロセスモジュール１３ｂから処理済みウエハＷを受け取って取り除き、さらに、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２は平面視において反時計回りに回動してロードロックモジュール１４へ向けて移動する（図９（Ｈ））。このとき、プロセスモジュール１３ｂはドライクリーニング処理を開始するので、この時点では、プロセスモジュール１３ａ及びプロセスモジュール１３ｂがドライクリーニング処理を実行している。
【００７７】
次いで、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２はロードロックモジュール１４へ到達した後（図１０（Ａ））、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３とともにロードロックモジュール１４へ向けて延伸する（図１０（Ｂ））。このとき、下方搬送アーム２２は処理済みウエハＷをロードロックモジュール１４へ渡し、上方搬送アーム２３は未処理のウエハＷをロードロックモジュール１４から受け取る。
【００７８】
次いで、上方搬送アーム２３及び下方搬送アーム２２のいずれも収縮し、さらに、平面視において時計回りに回動して下方搬送アーム２２はプロセスモジュール１３ｃ（他の処理室）まで移動し、上方搬送アーム２３はプロセスモジュール１３ａ（一の処理室）まで移動するが（図１０（Ｃ））、ウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２ではウエハＷのずれを考慮する必要がないため、下方搬送アーム２２の収縮速度は未処理のウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３の収縮速度よりも高く、また、下方搬送アーム２２のロードロックモジュール１４からプロセスモジュール１３ｃまでの移動速度は、上方搬送アーム２３のロードロックモジュール１４からプロセスモジュール１３ａまでの移動速度よりも高い。本実施の形態では、下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｃに到達するのとほぼ同時に、上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ａに到達する（図１０（Ｄ））。
【００７９】
次いで、下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｃへ向けて延伸し、当該プロセスモジュール１３ｃから処理済みウエハＷを受け取って取り除き（図１０（Ｅ））、その後、上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ａへ向けて延伸して未処理のウエハＷを当該プロセスモジュール１３ａへ渡す（図１０（Ｆ））。
【００８０】
このとき、プロセスモジュール１３ａでは、ドライクリーニング処理が開始されてから上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ａへ到達するまでに所定の時間（図９（Ｃ）の工程から図１０（Ｄ）の工程までの時間）が経過するため、ドライクリーニング処理は終了している。したがって、上方搬送アーム２３はプロセスモジュール１３ａへ到達後、ドライクリーニング処理の終了を待つこと無くプロセスモジュール１３ａへ向けて延伸し、未処理のウエハＷをプロセスモジュール１３ａへ渡すことができる。また、上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ａへ未処理のウエハＷを渡す間、下方搬送アーム２２は収縮する（図１０（Ｆ））。その後、プロセスモジュール１３ｃはドライクリーニング処理を開始する。
【００８１】
次いで、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２が平面視において反時計回りに回動してロードロックモジュール１４へ移動するとともに、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３が収縮し、さらに、平面視において反時計回りに回動してロードロックモジュール１４へ移動するが、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３ではウエハＷのずれを考慮する必要がないため、上方搬送アーム２３のプロセスモジュール１３ａからロードロックモジュール１４までの移動速度は、下方搬送アーム２２のプロセスモジュール１３ｃからロードロックモジュール１４までの移動速度よりも高い。したがって、下方搬送アーム２２及び上方搬送アーム２３はほぼ同時にロードロックモジュール１４へ到達する（図１０（Ｇ））。
【００８２】
次いで、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２は、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３とともにロードロックモジュール１４へ向けて延伸する。このとき、下方搬送アーム２２は処理済みウエハＷをロードロックモジュール１４へ渡し、上方搬送アーム２３は未処理のウエハＷをロードロックモジュール１４から受け取る（図１０（Ｈ））。
【００８３】
図９及び図１０の基板搬送方法によれば、例えば、図１０（Ｃ）や図１０（Ｄ）に示すように、未処理のウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３は、ドライクリーニング処理を実行しているプロセスモジュール１３ａ及びプロセスモジュール１３ｂのうち、未処理のウエハＷをプロセスモジュール１３ａへ渡すが、プロセスモジュール１３ａは先にドライクリーニング処理を実行し始めているため、上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ａへ到達するまでにプロセスモジュール１３ａのドライクリーニング処理は終了している。したがって、上方搬送アーム２３はプロセスモジュール１３ａへ到達後、ドライクリーニング処理の終了を待つこと無くプロセスモジュール１３ａへ向けて延伸することができ、もって、ウエハＷの処理のスループットを向上させることができる。
【００８４】
次に、本発明の第４の実施の形態に係る基板搬送方法について説明する。
【００８５】
本実施の形態は、その構成や作用が上述した第１の実施の形態と基本的に同じであり、１つのウエハＷに対して複数のプロセスモジュール１３による処理が施される点で第１の実施の形態と異なる。したがって、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
【００８６】
図１１及び図１２は、図１の基板処理システムが実行する本実施の形態に係る基板搬送方法を示す工程図である。なお、図１１及び図１２においても、実線の「○」はウエハＷを示し、破線の「○」はウエハＷが取り除かれたステージ１７、２０を示す。
【００８７】
まず、ウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ａ（第１の処理室）に向けて移動し、ロードロックモジュール１４と対向する上方搬送アーム２３がロードロックモジュール１４から未処理のウエハＷを受け取った後にプロセスモジュール１３ａへ向けて移動する（図１１（Ａ））。
【００８８】
次いで、プロセスモジュール１３ａへ到達した下方搬送アーム２２は、当該プロセスモジュール１３ａへ向けて延伸し、当該プロセスモジュール１３ａから処理済みウエハＷ（第１の処理が施された基板）を受け取って取り除き、また、未処理のウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ａへ到達する（図１１（Ｂ））。
【００８９】
次いで、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２は収縮し、さらに、プロセスモジュール１３ｂ（第２の処理室）へ向けて移動し、上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ａへ向けて延伸し、未処理のウエハＷをプロセスモジュール１３ａへ渡す（図１１（Ｃ））。
【００９０】
次いで、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３が収縮し、さらに、プロセスモジュール１３ｂへ向けて移動するが、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３ではウエハＷのずれを考慮する必要がないため、上方搬送アーム２３のプロセスモジュール１３ａからプロセスモジュール１３ｂまでの移動速度は、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２のプロセスモジュール１３ａからプロセスモジュール１３ｂまでの移動速度よりも高い。したがって、本実施の形態では、上方搬送アーム２３が下方搬送アーム２２よりも先にプロセスモジュール１３ｂへ到達する。
【００９１】
次いで、プロセスモジュール１３ｂへ到達した上方搬送アーム２３は、下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｂへ到達する前に、プロセスモジュール１３ｂへ向けて延伸して当該プロセスモジュール１３ｂから処理済みウエハＷ（第２の処理が施された基板）を受け取って取り除き、プロセスモジュール１３ｂにおいて処理済みウエハＷが取り除かれる間に下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｂへ到達する（図１１（Ｄ））。
【００９２】
次いで、処理済みウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３は収縮し、さらに、プロセスモジュール１３ｃへ向けて移動し、下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｂへ向けて延伸し、処理済みウエハＷをプロセスモジュール１３ｂへ渡す（図１１（Ｅ）））。
【００９３】
次いで、ウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２が収縮し、さらに、プロセスモジュール１３ｃへ向けて移動するが、ウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２ではウエハＷのずれを考慮する必要がないため、下方搬送アーム２２のプロセスモジュール１３ｂからプロセスモジュール１３ｃまでの移動速度は、処理済みウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３のプロセスモジュール１３ｂからプロセスモジュール１３ｃまでの移動速度よりも高い。したがって、本実施の形態では、下方搬送アーム２２が上方搬送アーム２３とほぼ同時にプロセスモジュール１３ｃへ到達する（図１１（Ｆ））。
【００９４】
次いで、ウエハＷを搬送しない下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｃへ向けて延伸して当該プロセスモジュール１３ｃから処理済みウエハＷを受け取って取り除き（図１１（Ｇ））、その後、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２が収縮し、さらに、ロードロックモジュール１４へ向けて移動するとともに、処理済みウエハＷを搬送する上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ｃへ向けて延伸し、処理済みウエハＷをプロセスモジュール１３ｃへ渡す（図１１（Ｈ））。
【００９５】
次いで、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３が収縮し、さらに、ロードロックモジュール１４へ向けて移動するが、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３ではウエハＷのずれを考慮する必要がないため、上方搬送アーム２３のプロセスモジュール１３ｃからロードロックモジュール１４までの移動速度は、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２のプロセスモジュール１３ｃからロードロックモジュール１４までの移動速度よりも高い。したがって、本実施の形態では、上方搬送アーム２３が下方搬送アーム２２を追い越し、上方搬送アーム２３が下方搬送アーム２２よりも先にロードロックモジュール１４へ到達する（図１２（Ａ））。
【００９６】
その後、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２がロードロックモジュール１４へ到達すると、下方搬送アーム２２及び上方搬送アーム２３はともにロードロックモジュール１４へ延伸し、下方搬送アーム２２は処理済みウエハＷをロードロックモジュール１４へ渡すとともに、上方搬送アーム２３は未処理のウエハＷをロードロックモジュール１４から受け取る（図１２（Ｂ））。
【００９７】
図１１及び図１２の基板搬送方法によれば、例えば、図１１（Ｃ）や図１１（Ｄ）に示すように、ウエハＷを搬送しない上方搬送アーム２３のプロセスモジュール１３ａからプロセスモジュール１３ｂまでの移動速度は、処理済みウエハＷを搬送する下方搬送アーム２２のプロセスモジュール１３ａからプロセスモジュール１３ｂまでの移動速度よりも高いので、上方搬送アーム２３が先にプロセスモジュール１３ｂへ到達し、下方搬送アーム２２がプロセスモジュール１３ｂへ到達するまでに上方搬送アーム２３がプロセスモジュール１３ｂから処理済みウエハＷを受け取って取り除くことができ、もって、下方搬送アーム２２はプロセスモジュール１３ｂへ到達した後に処理済みウエハＷを保持したまま待機することなく直ちに処理済みウエハＷをプロセスモジュール１３ｂへ渡すことができる。これにより、ウエハＷの処理のスループットを向上させることができる。
【００９８】
以上、本発明について、上記各実施の形態を用いて説明したが、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではない。
【００９９】
例えば、搬送機構１６では２つの搬送アーム（下方搬送アーム２２、上方搬送アーム２３）が重ねて配置されたが、３つ以上の搬送アームが重ねて配置されてもよく、この場合も、ウエハＷを搬送しない搬送アームの移動速度を、ウエハＷを搬送する搬送アームの移動速度よりも高くすることによって本発明を実現することができる。
【０１００】
また、搬送機構１６では、下方搬送アーム２２及び上方搬送アーム２３の回転中心軸は同一であるが、下方搬送アーム２２と上方搬送アーム２３が互いにオフセットされて配置され、下方搬送アーム２２の回転中心と上方搬送アーム２３の回転中心が一致しなくてもよい。
【０１０１】
さらに、搬送されるウエハＷの直径は４５０ｍｍに限られず、３００ｍｍや２００ｍｍであってもよい。
【０１０２】
また、本発明の目的は、上述した各実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記録した記憶媒体を、コンピュータ、例えば、基板処理システム１０が備えるコントローラ（図示しない）に供給し、コントローラのＣＰＵが記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出して実行することによっても達成される。
【０１０３】
この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が上述した各実施の形態の機能を実現することになり、プログラムコード及びそのプログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。
【０１０４】
また、プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、ＲＡＭ、ＮＶ−ＲＡＭ、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ（ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ）等の光ディスク、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、他のＲＯＭ等の上記プログラムコードを記憶できるものであればよい。或いは、上記プログラムコードは、インターネット、商用ネットワーク、若しくはローカルエリアネットワーク等に接続される不図示の他のコンピュータやデータベース等からダウンロードすることによりコントローラに供給されてもよい。
【０１０５】
また、コントローラが読み出したプログラムコードを実行することにより、上記各実施の形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、ＣＰＵ上で稼動しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した各実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【０１０６】
更に、記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、コントローラに挿入された機能拡張ボードやコントローラに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した各実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【０１０７】
上記プログラムコードの形態は、オブジェクトコード、インタプリタにより実行されるプログラムコード、ＯＳに供給されるスクリプトデータ等の形態から成ってもよい。
【符号の説明】
【０１０８】
Ｗ  ウエハ
１０  基板処理システム
１１  トランスファモジュール
１３ａ〜１３ｆ  プロセスモジュール
１４  ロードロックモジュール
１６  搬送機構
２２  下方搬送アーム
２３  上方搬送アーム
【図１】
2015076433.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2015076433.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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