(57)【要約】【課題】微細回路パターンを形成することができるとともに、回路パターンが脱落するなどの不良の発生を減少させるだけでなく、コア基板の厚さのばらつきやコア基板の反りを減少させることができるコア基板及びコア基板の製造方法を提供する。【解決手段】本発明のコア基板１００は、柔軟性（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ）を有するガラス基板１１０と、ガラス基板１１０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に形成された感光性絶縁層１３０と、を含むものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
柔軟性（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ）を有するガラス基板と、
前記ガラス基板の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に形成された感光性絶縁層と、を含むコア基板。
【請求項２】
前記ガラス基板は光が透過されない、請求項１に記載のコア基板。
【請求項３】
前記感光性絶縁層の一面または他面に形成された保護層をさらに含む、請求項１に記載のコア基板。
【請求項４】
前記ガラス基板と前記感光性絶縁層との間に形成されたプライマー（Ｐｒｉｍｅｒ）層をさらに含む、請求項１に記載のコア基板。
【請求項５】
第１供給ローラーにより、柔軟性を有するガラス基板を供給する段階と、
第２供給ローラーにより、前記ガラス基板の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に感光性絶縁層を供給する段階と、
第１圧着ローラーにより、前記感光性絶縁層を前記ガラス基板に圧着させる段階と、を含むコア基板の製造方法。
【請求項６】
前記ガラス基板を供給する段階で、前記ガラス基板は光が透過されない、請求項５に記載のコア基板の製造方法。
【請求項７】
前記感光性絶縁層を供給する段階で、前記感光性絶縁層は、その一面または他面に形成された保護層を含む、請求項５に記載のコア基板の製造方法。
【請求項８】
前記感光性絶縁層は、前記保護層にキャスト法により形成される、請求項７に記載のコア基板の製造方法。
【請求項９】
前記感光性絶縁層を前記ガラス基板に圧着させる段階の後に、
第３供給ローラーにより、前記感光性絶縁層の一面または他面に保護層を供給する段階をさらに含む、請求項５に記載のコア基板の製造方法。
【請求項１０】
前記感光性絶縁層の一面または他面に保護層を供給する段階の後に、
第２圧着ローラーにより、前記保護層を前記感光性絶縁層に圧着させる段階をさらに含む、請求項９に記載のコア基板の製造方法。
【請求項１１】
前記ガラス基板を供給する段階の後に、
第４供給ローラーにより、前記ガラス基板の一面または他面にプライマー層を供給する段階をさらに含む、請求項５に記載のコア基板の製造方法。
【請求項１２】
前記プライマー層を供給する段階の後に、
第３圧着ローラーにより、前記プライマー層を前記ガラス基板に圧着させる段階をさらに含む、請求項１１に記載のコア基板の製造方法。
【請求項１３】
柔軟性を有するガラス基板と、
前記ガラス基板の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に形成されたプライマー層と、を含むコア基板。
【請求項１４】
前記ガラス基板は光が透過されない、請求項１３に記載のコア基板。
【請求項１５】
前記プライマー層の一面または他面に形成された保護層をさらに含む、請求項１３に記載のコア基板。
【請求項１６】
前記プライマー層の一面または他面に形成された感光性絶縁層をさらに含む、請求項１３に記載のコア基板。
【請求項１７】
前記感光性絶縁層の一面または他面に形成された保護層をさらに含む、請求項１６に記載のコア基板。
【請求項１８】
第１供給ローラーにより、柔軟性を有するガラス基板を供給する段階と、
第２供給ローラーにより、前記ガラス基板の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面にプライマー層を供給する段階と、
第１圧着ローラーにより、前記プライマー層を前記ガラス基板に圧着させる段階と、を含む、コア基板の製造方法。
【請求項１９】
前記ガラス基板を供給する段階で、前記ガラス基板は光が透過されない、請求項１８に記載のコア基板の製造方法。
【請求項２０】
前記プライマー層を供給する段階で、前記プライマー層は、その一面または他面に形成された保護層を含む、請求項１８に記載のコア基板の製造方法。
【請求項２１】
前記プライマー層は、前記保護層にキャスト法により形成される、請求項２０に記載のコア基板の製造方法。
【請求項２２】
前記プライマー層を前記ガラス基板に圧着させる段階の後に、
第３供給ローラーにより、前記プライマー層の一面または他面に保護層を供給する段階をさらに含む、請求項１８に記載のコア基板の製造方法。
【請求項２３】
前記プライマー層の一面または他面に保護層を供給する段階の後に、
第２圧着ローラーにより、前記保護層を前記プライマー層に圧着させる段階をさらに含む、請求項２２に記載のコア基板の製造方法。
【請求項２４】
前記プライマー層を前記ガラス基板に圧着させる段階の後に、
第４供給ローラーにより、前記プライマー層の一面または他面に感光性絶縁層を供給する段階をさらに含む、請求項１８に記載のコア基板の製造方法。
【請求項２５】
前記感光性絶縁層を供給する段階の後に、
第３圧着ローラーにより、前記感光性絶縁層を前記プライマー層に圧着させる段階をさらに含む、請求項２４に記載のコア基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コア基板及びコア基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器の発展に伴い、印刷回路基板の低重量化、薄板化、小型化が益々進んでいる。このような要求を満たすために、印刷回路の配線がより複雑化、高密度化している。また、このように基板において要求される電気的、熱的、機械的特性はさらに重要な要素として作用している。
【０００３】
印刷回路基板は、通常、回路配線の役割をする銅などの電気伝導性金属と、層間絶縁の役割をする高分子と、からなる。銅に比べ、絶縁層を構成する高分子には、熱膨張係数、ガラス転移温度、厚さの不均一性、薄い厚さなどの様々な特性が要求されている。
【０００４】
回路基板を薄型化するほど、基板の厚さ品質が不安定となるため、熱膨張係数、誘電率、誘電損失などの特性が低下し、部品を実装する際に反り現像及び高周波領域における信号送信不良が発生する恐れがある。回路基板の反り現象を防止するために、回路基板上に厚い厚さの銅張積層板を導入してビルドアップ層を積層する方法が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
従来の銅張積層板は、回路パターンとの密着力が劣るため、回路形成の安定性が低い。また、基板の高密度化及び薄型化により、ナノメートル（ｎａｎｏｍｅｔｅｒ）〜マイクロメートル（ｍｉｃｒｏｍｅｔｅｒ）程度の微細ピッチを有する回路パターンを形成することが困難となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００６／０１９１７０９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の一つの目的は、微細回路パターンを形成することができるコア基板及びコア基板の製造方法を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、回路パターンが脱落するなどの不良の発生を減少させることができるコア基板及びコア基板の製造方法を提供することにある。
【０００９】
本発明のさらに他の目的は、厚さのばらつきを減少させることができるコア基板及びコア基板の製造方法を提供することにある。
【００１０】
本発明のさらに他の目的は、反りを減少させることができるコア基板及びコア基板の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の実施例によれば、柔軟性（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ）を有するガラス基板と、ガラス基板の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に形成された感光性絶縁層と、を含むコア基板が提供される。
【００１２】
ガラス基板は、光が透過されないことができる。
【００１３】
本発明の実施例によるコア基板は、感光性絶縁層の一面または他面に形成された保護層をさらに含むことができる。
【００１４】
本発明の実施例によるコア基板は、ガラス基板と感光性絶縁層との間に形成されたプライマー（Ｐｒｉｍｅｒ）層をさらに含むことができる。
【００１５】
本発明の他の実施例によれば、第１供給ローラーにより、柔軟性を有するガラス基板を供給する段階と、第２供給ローラーにより、ガラス基板の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に感光性絶縁層を供給する段階と、第１圧着ローラーにより、感光性絶縁層をガラス基板に圧着させる段階と、を含むコア基板の製造方法が提供される。
【００１６】
ガラス基板を供給する段階で、ガラス基板は光が透過されないことができる。
【００１７】
感光性絶縁層を供給する段階で、感光性絶縁層は、その一面または他面に形成された保護層を含むことができる。
【００１８】
感光性絶縁層は、保護層にキャスト法（Ｃａｓｔｉｎｇ）により形成されることができる。
【００１９】
本発明の他の実施例によるコア基板の製造方法は、感光性絶縁層をガラス基板に圧着させる段階の後に、第３供給ローラーにより、感光性絶縁層の一面または他面に保護層を供給する段階をさらに含むことができる。
【００２０】
本発明の他の実施例によるコア基板の製造方法は、感光性絶縁層の一面または他面に保護層を供給する段階の後に、第２圧着ローラーにより、保護層を感光性絶縁層に圧着させる段階をさらに含むことができる。
【００２１】
本発明の他の実施例によるコア基板の製造方法は、ガラス基板を供給する段階の後に、第４供給ローラーにより、ガラス基板の一面または他面にプライマー層を供給する段階をさらに含むことができる。
【００２２】
本発明の他の実施例によるコア基板の製造方法は、プライマー層を供給する段階の後に、第３圧着ローラーにより、プライマー層をガラス基板に圧着させる段階をさらに含むことができる。
【００２３】
本発明のさらに他の実施例によれば、柔軟性を有するガラス基板と、ガラス基板の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に形成されたプライマー層と、を含むコア基板が提供される。
【００２４】
ガラス基板は、光が透過されないことができる。
【００２５】
本発明のさらに他の実施例によるコア基板は、プライマー層の一面または他面に形成された保護層をさらに含むことができる。
【００２６】
本発明のさらに他の実施例によるコア基板は、プライマー層の一面または他面に形成された感光性絶縁層をさらに含むことができる。
【００２７】
本発明のさらに他の実施例によるコア基板は、感光性絶縁層の一面または他面に形成された保護層をさらに含むことができる。
【００２８】
本発明のさらに他の実施例によれば、第１供給ローラーにより、柔軟性を有するガラス基板を供給する段階と、第２供給ローラーにより、ガラス基板の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面にプライマー層を供給する段階と、第１圧着ローラーにより、プライマー層をガラス基板に圧着させる段階と、を含むコア基板の製造方法が提供される。
【００２９】
ガラス基板を供給する段階で、ガラス基板は、光が透過されないことができる。
【００３０】
プライマー層を供給する段階で、プライマー層は、その一面または他面に形成された保護層を含むことができる。
【００３１】
プライマー層は、保護層にキャスト法により形成されることができる。
【００３２】
本発明のさらに他の実施例によるコア基板の製造方法は、プライマー層をガラス基板に圧着させる段階の後に、第３供給ローラーにより、プライマー層の一面または他面に保護層を供給する段階をさらに含むことができる。
【００３３】
本発明のさらに他の実施例によるコア基板の製造方法は、プライマー層の一面または他面に保護層を供給する段階の後に、第２圧着ローラーにより、保護層をプライマー層に圧着させる段階をさらに含むことができる。
【００３４】
本発明のさらに他の実施例によるコア基板の製造方法は、プライマー層をガラス基板に圧着させる段階の後に、第４供給ローラーにより、プライマー層の一面または他面に感光性絶縁層を供給する段階をさらに含むことができる。
【００３５】
本発明のさらに他の実施例によるコア基板の製造方法は、感光性絶縁層を供給する段階の後に、第３圧着ローラーにより、感光性絶縁層をプライマー層に圧着させる段階をさらに含むことができる。
【発明の効果】
【００３６】
本発明の実施例によるコア基板及びコア基板の製造方法によれば、微細回路パターンを形成することができる。
【００３７】
本発明の実施例によるコア基板及びコア基板の製造方法によれば、回路パターンが脱落するなどの不良の発生を減少させることができる。
【００３８】
本発明の実施例によるコア基板及びコア基板の製造方法によれば、コア基板の厚さのばらつきを減少させることができる。
【００３９】
本発明の実施例によるコア基板及びコア基板の製造方法によれば、コア基板の反りを減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１実施例によるコア基板を示した例示図である。
【図２】本発明の第１実施例によるコア基板の製造方法を示した例示図である。
【図３】本発明の第２実施例によるコア基板を示した例示図である。
【図４】本発明の第２実施例によるコア基板の製造方法を示した例示図である。
【図５】本発明の第２実施例によるコア基板の他の製造方法を示した例示図である。
【図６】本発明の第３実施例によるコア基板を示した例示図である。
【図７】本発明の第３実施例によるコア基板の製造方法を示した例示図である。
【図８】本発明の第４実施例によるコア基板を示した例示図である。
【図９】本発明の第４実施例によるコア基板の製造方法を示した例示図である。
【図１０】本発明の第４実施例によるコア基板の他の製造方法を示した例示図である。
【図１１】本発明の第５実施例によるコア基板を示した例示図である。
【図１２】本発明の第５実施例によるコア基板の製造方法を示した例示図である。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
本発明の目的、特定の長所及び新規の特徴は、添付図面に係る以下の詳細な説明及び好ましい実施例によってさらに明らかになるであろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるに際し、同一の構成要素に限っては、たとえ異なる図面に示されても、できるだけ同一の番号を付けるようにしていることに留意しなければならない。また、「一面」、「他面」、「第１」、「第２」などの用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別するために用いられるものであり、構成要素が前記用語によって限定されるものではない。以下、本発明を説明するにあたり、本発明の要旨を不明瞭にする可能性がある係る公知技術についての詳細な説明は省略する。
【００４２】
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。
【００４３】
（第１実施例）
図１は、本発明の第１実施例によるコア基板を示した例示図である。
【００４４】
図１を参照すれば、コア基板１００は、ガラス基板１１０と、感光性絶縁層１３０と、を含むものである。
【００４５】
ガラス基板１１０は、柔軟性（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ）を有することができる。ガラス基板１１０が柔軟性を有することにより、ガラス基板１１０に感光性絶縁層１３０を形成する際にロールツーロール（Ｒｏｌｌ  Ｔｏ  Ｒｏｌｌ）法を適用することができる。また、ガラス基板１１０は、光が透過されないガラス板であることができる。即ち、ガラス基板１１０は、後で感光性絶縁層１３０をパターニングするための露光工程を行う際に、光が通過できない程度の透明度を有することができる。ガラス基板１１０は、後で形成される回路パターン（不図示）の間を絶縁させる役割を果たすことができる。また、ガラス基板１１０は、剛性が大きく、温度及び湿度の変化による変形程度が小さい。したがって、このガラス基板１１０により、コア基板１００及びコア基板１００にビルドアップ層が形成された印刷回路基板の反りを減少させることができる。また、ガラス基板１１０が柔軟性を有することにより、脆性が低いため、外部の衝撃によって割れ難い。また、柔軟性を有するガラス基板１１０は、曲面を有する印刷回路基板に適用することができる。
【００４６】
感光性絶縁層１３０は、ガラス基板１１０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に形成されることができる。本発明の実施例では、感光性絶縁層１３０がガラス基板１１０の両面に形成されていることが図示されているが、これに限定されるものではない。即ち、感光性絶縁層１３０は、ガラス基板１１０の一面及び他面の何れか一方の面にのみ形成されてもよい。
【００４７】
感光性絶縁層１３０は、ポジ型であることができる。ポジ型感光性絶縁層１３０において、露光工程で光を受けた領域の光重合体の結合が切れる。露光工程の後に現像工程を行うと、光重合体の結合が切れた部分を除去することにより、ポジ型感光性絶縁層１３０をパターニング（Ｐａｔｔｅｒｎｉｎｇ）することができる。
【００４８】
また、感光性絶縁層１３０は、ネガ型であることができる。ネガ型感光性絶縁層１３０において、露光工程で光を受けた部分で光重合反応が起こり、単一構造から鎖構造の３次元網状構造が形成され、前記光を受けた部分が硬化される。露光工程の後に現像工程を行うと、硬化されていない部分を除去することにより、ネガ型感光性絶縁層１３０をパターニングすることができる。
【００４９】
本発明の第１実施例によるコア基板１００は、後で回路パターンが感光性絶縁層１３０に埋め込まれた形態に形成されることにより、アンダーカット（Ｕｎｄｅｒ  Ｃｕｔ）、回路パターンの脱落などの不良を減少させることができる。
【００５０】
図２は、本発明の第１実施例によるコア基板の製造方法を示した例示図である。
【００５１】
図２を参照すれば、ロールツーロール装置を用いて、第１実施例によるコア基板１００を形成することができる。
【００５２】
本発明の実施例によるロールツーロール装置は、第１供給ローラー６１１と、第２供給ローラー６１２と、第１圧着ローラー７１１と、を含むものである。
【００５３】
まず、第１供給ローラー６１１により、ガラス基板１１０を供給することができる。ガラス基板１１０は、柔軟性を有するガラス板である。また、ガラス基板１１０は、光が透過されないガラス板であることができる。即ち、ガラス基板１１０は、後で感光性絶縁層１３０をパターニングするための露光工程を行う際に、光が通過できない程度の透明度を有することができる。
【００５４】
第１供給ローラー６１１により、ガラス基板１１０をロールツーロール装置内に連続的に供給することができる。本発明の実施例によれば、ガラス基板１１０は、柔軟性を有するため、ロールツーロール工程に好適である。
【００５５】
第１供給ローラー６１１によりガラス基板１１０を供給した後、第２供給ローラー６１２により感光性絶縁層１３０を供給することができる。この際、ガラス基板１１０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に感光性絶縁層１３０を供給することができる。本発明の実施例によれば、第２供給ローラー６１２は、ガラス基板１１０の両面に感光性絶縁層１３０を供給することができる。感光性絶縁層１３０は、露光が行われた領域が分解されるポジ型であってもよく、露光が行われた領域が硬化されるネガ型であってもよい。
【００５６】
ガラス基板１１０に感光性絶縁層１３０を供給した後、感光性絶縁層１３０をガラス基板１１０に圧着させることができる。感光性絶縁層１３０とガラス基板１１０との圧着は、第１圧着ローラー７１１により行うことができる。第１圧着ローラー７１１により感光性絶縁層１３０をガラス基板１１０に圧着させることで、第１実施例によるコア基板１００を形成することができる。
【００５７】
上記のように、ロールツーロール装置及びロールツーロール法を用いることにより、微細な回路パターンを容易に形成することができ、且つ厚さのばらつきが小さい第１実施例によるコア基板１００を製作することができる。
【００５８】
（第２実施例）
図３は、本発明の第２実施例によるコア基板を示した例示図である。
【００５９】
図３を参照すれば、コア基板２００は、ガラス基板２１０と、感光性絶縁層２３０と、保護層２４０と、を含むものである。
【００６０】
本発明の第２実施例によるコア基板２００は、絶縁層及び回路層が形成される基部となる。
【００６１】
ガラス基板２１０は、柔軟性を有することができる。ガラス基板２１０が柔軟性を有することにより、ガラス基板２１０に感光性絶縁層２３０を形成する際に、ロールツーロール法を適用することができる。また、ガラス基板２１０は、光が透過されないガラス板であることができる。即ち、ガラス基板２１０は、後で感光性絶縁層２３０をパターニングするための露光工程を行う際に、光が通過できない程度の透明度を有することができる。ガラス基板２１０は、後で形成される回路パターン（不図示）の間を絶縁させる役割を果たすことができる。
【００６２】
感光性絶縁層２３０は、ガラス基板２１０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に形成されることができる。本発明の実施例では、感光性絶縁層２３０がガラス基板２１０の両面に形成されていることが図示されているが、これに限定されるものではない。即ち、感光性絶縁層２３０は、ガラス基板２１０の一面及び他面の何れか一方の面にのみ形成されてもよい。
【００６３】
感光性絶縁層２３０は、露光が行われた領域が分解されるポジ型であってもよく、露光が行われた領域が硬化されるネガ型であってもよい。
【００６４】
保護層２４０は、感光性絶縁層２３０の一面または他面に形成されることができる。保護層２４０は、後で行われる工程によるデントや異物から感光性絶縁層２３０を保護することができる。本発明の実施例によれば、保護層２４０は、感光性絶縁層２３０と接着される面が、感光性絶縁層２３０より小さい表面粗さを有することができる。保護層２４０が小さい表面粗さを有することにより、感光性絶縁層２３０の表面粗さを減少させることができる。したがって、感光性絶縁層２３０の小さい表面粗さにより、後で保護層２４０を除去して回路パターンを形成する際に、微細な回路パターンを具現することが可能である。例えば、保護層２４０は、ポリイミド（Ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）フィルムまたはＰＥＴ（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）フィルムで形成することができる。しかし、保護層２４０の材質は、これに限定されず、感光性絶縁層２３０を保護することができるものであれば、当業者によって容易に変更及び適用することができる。
【００６５】
図４は、本発明の第２実施例によるコア基板の製造方法を示した例示図である。
【００６６】
図４を参照すれば、ロールツーロール装置を用いて、図３のコア基板２００を形成することができる。
【００６７】
コア基板２００は、ロールツーロール装置により製造することができる。本発明の実施例によるロールツーロール装置は、第１供給ローラー６２１と、第２供給ローラー６２２と、第１圧着ローラー７２１と、を含むものである。
【００６８】
まず、第１供給ローラー６２１により、ガラス基板２１０を供給することができる。ガラス基板２１０は、柔軟性を有するガラス板である。また、ガラス基板２１０は、光が透過されないガラス板であることができる。即ち、ガラス基板２１０は、後で感光性絶縁層２３０をパターニングするための露光工程を行う際に、光が通過できない程度の透明度を有することができる。
【００６９】
第１供給ローラー６２１により、ガラス基板２１０をロールツーロール装置内に連続的に供給することができる。本発明の実施例によれば、ガラス基板２１０は、柔軟性を有するためロールツーロール工程に好適である。
【００７０】
第１供給ローラー６２１によりガラス基板２１０を供給した後、第２供給ローラー６２２により感光性絶縁層２３０を供給することができる。この際、ガラス基板２１０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に感光性絶縁層２３０を供給することができる。本発明の実施例によれば、第２供給ローラー６２２は、ガラス基板２１０の両面に感光性絶縁層２３０を供給することができる。感光性絶縁層２３０は、露光が行われた領域が分解されるポジ型であってもよく、露光が行われた領域が硬化されるネガ型であってもよい。
【００７１】
ガラス基板２１０に感光性絶縁層２３０を供給した後、感光性絶縁層２３０をガラス基板２１０に圧着させることができる。感光性絶縁層２３０とガラス基板２１０との圧着は、第１圧着ローラー７２１により行うことができる。
【００７２】
本発明の実施例によると、感光性絶縁層２３０の一面または他面には保護層２４０を備えることができる。この保護層２４０により、後で行われる工程または異物によって感光性絶縁層２３０が損傷することが防止される。本発明の実施例による保護層２４０は、感光性絶縁層２３０より小さい表面粗さを有することができる。小さい表面粗さを有する保護層２４０を感光性絶縁層２３０に付着させることにより、感光性絶縁層２３０も小さい表面粗さを有することができる。したがって、感光性絶縁層２３０の小さい表面粗さにより、後で回路パターンを形成する際に、微細な回路パターンを具現することが可能である。本発明の第２実施例による感光性絶縁層２３０は、キャスト法により保護層２４０の下に形成することができる。
【００７３】
例えば、保護層２４０は、ポリイミドフィルムまたはＰＥＴフィルムで形成することができる。しかし、保護層２４０の材質は、これに限定されるものではない。即ち、保護層２４０の材質は、感光性絶縁層２３０を保護することができるものであれば、当業者によって容易に変更及び適用することができる。保護層２４０は、感光性絶縁層２３０において、ガラス基板２１０と接触される面の反対面に形成することができる。
【００７４】
ガラス基板２１０に保護層２４０を備えた感光性絶縁層２３０を供給した後、感光性絶縁層２３０をガラス基板２１０に圧着させることができる。保護層２４０及び感光性絶縁層２３０とガラス基板２１０との圧着は、第１圧着ローラー７２１により行うことができる。
【００７５】
上記のように、ロールツーロール装置及びロールツーロール法を用いることにより、微細な回路パターンを容易に形成することができ、且つ厚さのばらつきが小さい第２実施例によるコア基板２００を製作することができる。
【００７６】
図５は、本発明の第２実施例によるコア基板の他の製造方法を示した例示図である。
【００７７】
図５を参照すれば、ロールツーロール装置を用いて、図３のコア基板２００を形成することができる。
【００７８】
本発明の実施例によるロールツーロール装置は、第１供給ローラー６３１と、第２供給ローラー６３２と、第３供給ローラー６３３と、第１圧着ローラー７３１と、第２圧着ローラー７３２と、を含むものである。
【００７９】
まず、第１供給ローラー６３１により、ガラス基板２１０を供給することができる。ガラス基板２１０は、柔軟性を有するガラス板である。また、ガラス基板２１０は、光が透過されないガラス板であることができる。即ち、ガラス基板２１０は、後で感光性絶縁層２３０をパターニングするための露光工程を行う際に、光が通過できない程度の透明度を有することができる。
【００８０】
第１供給ローラー６３１によりガラス基板２１０を供給した後、第２供給ローラー６３２により感光性絶縁層２３０を供給することができる。この際、ガラス基板２１０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に感光性絶縁層２３０を供給することができる。本発明の実施例によれば、第２供給ローラー６３２は、ガラス基板２１０の両面に感光性絶縁層２３０を供給することができる。感光性絶縁層２３０は、露光が行われた領域が分解されるポジ型であってもよく、露光が行われた領域が硬化されるネガ型であってもよい。
【００８１】
ガラス基板２１０に感光性絶縁層２３０を供給した後、感光性絶縁層２３０をガラス基板２１０に圧着させることができる。感光性絶縁層２３０とガラス基板２１０との圧着は、第１圧着ローラー７３１により行うことができる。
【００８２】
ガラス基板２１０に感光性絶縁層２３０を圧着させた後、感光性絶縁層２３０の一面または他面に保護層２４０を供給することができる。この際、第３供給ローラー６３３により保護層２４０を供給することができる。この保護層２４０により、後で行われる工程または異物によって感光性絶縁層２３０が損傷することが防止される。本発明の実施例による保護層２４０は、感光性絶縁層２３０より小さい表面粗さを有することができる。小さい表面粗さを有する保護層２４０を感光性絶縁層２３０に付着させることにより、感光性絶縁層２３０も小さい表面粗さを有することができる。例えば、保護層２４０は、ポリイミドフィルムまたはＰＥＴフィルムで形成することができる。しかし、保護層２４０の材質は、これに限定されず、感光性絶縁層２３０を保護することができるものであれば、当業者によって容易に変更及び適用することができる。
【００８３】
感光性絶縁層２３０の一面または他面に保護層２４０を供給した後、第２圧着ローラー７３２により保護層２４０を感光性絶縁層２３０に圧着させることができる。
【００８４】
上記のように、ロールツーロール装置及びロールツーロール法を用いることにより、微細な回路パターンを容易に形成することができ、且つ厚さのばらつきが小さい第２実施例によるコア基板２００を製作することができる。
【００８５】
（第３実施例）
図６は、本発明の第３実施例によるコア基板を示した例示図である。
【００８６】
図６を参照すれば、コア基板３００は、ガラス基板３１０と、プライマー層３２０と、を含むものである。
【００８７】
ガラス基板３１０は、柔軟性を有することができる。ガラス基板３１０が柔軟性を有することにより、ガラス基板３１０に感光性絶縁層３３０を形成する際に、ロールツーロール法を適用することができる。ガラス基板３１０は、後で形成される回路パターン（不図示）の間を絶縁させる役割を果たすことができる。また、ガラス基板３１０は、剛性が大きく、温度及び湿度の変化による変形程度が小さい。したがって、ガラス基板３１０により、コア基板３００及びコア基板３００にビルドアップ層が形成された印刷回路基板の反りを減少させることができる。また、ガラス基板３１０が柔軟性を有することにより、脆性が低いため、外部の衝撃によって割れ難い。また、柔軟性を有するガラス基板３１０は、曲面を有する印刷回路基板に適用することができる。
【００８８】
プライマー層３２０は、ガラス基板３１０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に形成されることができる。本発明の実施例では、プライマー層３２０がガラス基板３１０の両面に形成されていることが図示されているが、これに限定されるものではない。即ち、プライマー層３２０は、ガラス基板３１０の一面及び他面の何れか一方の面にのみ形成されてもよい。
【００８９】
プライマー層３２０は、優れた接着力を有するため、後で回路パターンをコア基板３００に形成する際に、コア基板３００と回路パターン（不図示）との接着力を向上させることができる。
【００９０】
図７は、本発明の第３実施例によるコア基板の製造方法を示した例示図である。
【００９１】
図７を参照すれば、ロールツーロール装置を用いて、第３実施例によるコア基板３００を形成することができる。
【００９２】
本発明の実施例によるロールツーロール装置は、第１供給ローラー６４１と、第２供給ローラー６４２と、第１圧着ローラー７４１と、を含むものである。
【００９３】
まず、第１供給ローラー６４１により、ガラス基板３１０を供給することができる。ガラス基板３１０は、柔軟性を有するガラス板である。
【００９４】
第１供給ローラー６４１により、ガラス基板３１０をロールツーロール装置内に連続的に供給することができる。
【００９５】
第１供給ローラー６４１によりガラス基板３１０を供給した後、第２供給ローラー６４２によりプライマー層３２０を供給することができる。この際、ガラス基板３１０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面にプライマー層３２０を供給することができる。本発明の実施例によれば、第２供給ローラー６４２は、ガラス基板３１０の両面にプライマー層３２０を供給することができる。
【００９６】
ガラス基板３１０にプライマー層３２０を供給した後、プライマー層３２０をガラス基板３１０に圧着させることができる。プライマー層３２０とガラス基板３１０との圧着は、第１圧着ローラー７４１により行うことができる。第１圧着ローラー７４１により、ガラス基板３１０にプライマー層３２０を付着させたコア基板３００を形成することができる。
【００９７】
上記のようなロールツーロール装置及びロールツーロール法により、ガラス基板３１０及びプライマー層３２０を含む第３実施例によるコア基板３００を形成することができる。
【００９８】
上記のように、ロールツーロール装置及びロールツーロール法を用いることにより、コア基板と回路パターンとの接着力が向上され、且つ厚さのばらつきが小さい第３実施例によるコア基板３００を製作することができる。
【００９９】
（第４実施例）
図８は、本発明の第４実施例によるコア基板を示した例示図である。
【０１００】
図８を参照すれば、コア基板４００は、ガラス基板４１０と、プライマー層４２０と、保護層４４０と、を含むものである。
【０１０１】
本発明の実施例によるガラス基板４１０は、柔軟性を有することができる。ガラス基板４１０が柔軟性を有することにより、ガラス基板４１０にプライマー層４２０を形成する際に、ロールツーロール法を適用することができる。ガラス基板４１０は、後で形成される回路パターン（不図示）の間を絶縁させる役割を果たすことができる。また、ガラス基板４１０は、剛性が大きく、温度及び湿度の変化による変形程度が小さい。したがって、ガラス基板４１０により、コア基板４００及びコア基板４００にビルドアップ層が形成された印刷回路基板の反りを減少させることができる。また、ガラス基板４１０が柔軟性を有することにより、脆性が低いため、外部の衝撃によって割れ難い。また、柔軟性を有するガラス基板４１０は、曲面を有する印刷回路基板に適用することができる。
【０１０２】
プライマー層４２０は、ガラス基板４１０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に形成されることができる。本発明の実施例では、プライマー層４２０がガラス基板４１０の両面に形成されていることが図示されているが、これに限定されるものではない。即ち、プライマー層４２０は、ガラス基板４１０の一面及び他面の何れか一方の面にのみ形成されてもよい。プライマー層４２０は、優れた接着力を有するため、後でコア基板４００に回路パターンを形成する際に、コア基板４００と回路パターン（不図示）との接着力を向上させることができる。
【０１０３】
保護層４４０は、ガラス基板４１０に形成されたプライマー層４２０の一面または他面に形成されることができる。本発明の実施例によれば、保護層４４０は、プライマー層４２０より小さい表面粗さを有することができる。このように保護層４４０が小さい表面粗さを有することにより、プライマー層４２０の表面粗さを減少させることができる。したがって、保護層４４０の小さい表面粗さにより、後で保護層４４０を除去してプライマー層４２０に回路パターン（不図示）を形成する際に、微細な回路パターンを具現することが可能である。例えば、保護層４４０は、ポリイミドフィルムまたはＰＥＴフィルムで形成することができる。しかし、保護層４４０の材質は、これに限定されず、プライマー層４２０を保護することができるものであれば、当業者によって容易に変更及び適用することができる。本発明の実施例によれば、保護層４４０により、後で行われる工程または異物によって、コア基板４００が損傷することが防止される。
【０１０４】
図９は、本発明の第４実施例によるコア基板の製造方法を示した例示図である。
【０１０５】
図９を参照すれば、ロールツーロール装置を用いて、第４実施例によるコア基板４００を形成することができる。
【０１０６】
本発明の実施例によるロールツーロール装置は、第１供給ローラー６５１と、第２供給ローラー６５２と、第１圧着ローラー７５１と、を含むものである。
【０１０７】
まず、第１供給ローラー６５１により、ガラス基板４１０を供給することができる。ガラス基板４１０は、柔軟性を有するガラス板である。
【０１０８】
第１供給ローラー６５１により、ガラス基板４１０をロールツーロール装置内で連続的に供給することができる。
【０１０９】
第１供給ローラー６５１によりガラス基板４１０を供給した後、第２供給ローラー６５２によりプライマー層４２０を供給することができる。この際、ガラス基板４１０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面にプライマー層４２０を供給することができる。本発明の実施例によれば、第２供給ローラー６５２は、ガラス基板４１０の両面に位置してプライマー層４２０を供給することができる。
【０１１０】
本発明の実施例によると、プライマー層４２０の一面または他面には、保護層４４０を備えることができる。この保護層４４０により、後で行われる工程または異物によってプライマー層４２０が損傷することが防止される。本発明の実施例による保護層４４０は、プライマー層４２０より小さい表面粗さを有することができる。小さい表面粗さを有する保護層４４０をプライマー層４２０に付着させることにより、プライマー層４２０も小さい表面粗さを有することができる。したがって、プライマー層４２０の小さい表面粗さにより、後で回路パターンを形成する際に、微細な回路パターンを具現することが可能である。本発明の実施例によるプライマー層４２０は、保護層４４０の下にキャスト法により形成することができる。
【０１１１】
例えば、保護層４４０は、ポリイミドフィルムまたはＰＥＴフィルムで形成することができる。しかし、保護層の材質は、これに限定されず、プライマー層４２０を保護することができるものであれば、当業者によって容易に変更及び適用することができる。保護層４４０は、プライマー層４２０においてガラス基板４１０と接触される面の反対面に形成することができる。
【０１１２】
ガラス基板４１０に保護層４４０を備えたプライマー層４２０を供給した後、保護層４４０及びプライマー層４２０をガラス基板４１０に圧着させることができる。保護層４４０及びプライマー層４２０とガラス基板４１０との圧着は、第１圧着ローラー７５１により行うことができる。
【０１１３】
上記のように、ロールツーロール装置及びロールツーロール法を用いることにより、コア基板と回路パターンとの接着力が向上され、且つ厚さのばらつきが小さい第４実施例によるコア基板４００を製作することができる。
【０１１４】
図１０は、本発明の第４実施例によるコア基板の他の製造方法を示した例示図である。
【０１１５】
図１０を参照すれば、ロールツーロール装置を用いて、第４実施例によるコア基板４００を形成することができる。
【０１１６】
本発明の実施例によるロールツーロール装置は、第１供給ローラー６６１と、第２供給ローラー６６２と、第３供給ローラー６６３と、第１圧着ローラー７６１と、第２圧着ローラー７６２と、を含むものである。
【０１１７】
まず、第１供給ローラー６６１により、ガラス基板４１０を供給することができる。ガラス基板４１０は、柔軟性を有するガラス板である。
【０１１８】
第１供給ローラー６６１により、ガラス基板４１０をロールツーロール装置内で連続的に供給することができる。
【０１１９】
第１供給ローラー６６１によりガラス基板４１０を供給した後、第２供給ローラー６６２によりプライマー層４２０を供給することができる。この際、ガラス基板４１０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面にプライマー層４２０を供給することができる。本発明の実施例によれば、第２供給ローラー６６２は、ガラス基板４１０の両面に位置してプライマー層４２０を供給することができる。
【０１２０】
プライマー層４２０をガラス基板４１０に供給した後、プライマー層４２０をガラス基板４１０に圧着させることができる。プライマー層４２０とガラス基板４１０との圧着は、第１圧着ローラー７６１により行うことができる。
【０１２１】
ガラス基板４１０にプライマー層４２０を圧着させた後、プライマー層４２０の一面または他面に保護層４４０を形成することができる。この際、第３供給ローラー６６３により保護層４４０を供給することができる。この保護層４４０により、後で行われる工程または異物によって、プライマー層４２０が損傷することが防止される。本発明の実施例による保護層４４０は、プライマー層４２０より小さい表面粗さを有することができる。小さい表面粗さを有する保護層４４０をプライマー層４２０に付着させることにより、プライマー層４２０も小さい表面粗さを有することができる。したがって、プライマー層４２０の小さい表面粗さにより、後で回路パターンを形成する際に、微細な回路パターンを具現することが可能である。例えば、保護層４４０は、ポリイミドフィルムまたはＰＥＴフィルムで形成することができる。しかし、保護層４４０の材質は、これに限定されず、プライマー層４２０を保護することができるものであれば、当業者によって容易に変更及び適用することができる。
【０１２２】
プライマー層４２０の一面または他面に保護層４４０を供給した後、第２圧着ローラー７６２により保護層４４０をプライマー層４２０に圧着させることができる。
【０１２３】
上記のように、ロールツーロール装置及びロールツーロール法を用いることにより、コア基板と回路パターンとの接着力が向上され、且つ厚さのばらつきが小さい第４実施例によるコア基板４００を製作することができる。
【０１２４】
（第５実施例）
図１１は、本発明の第５実施例によるコア基板を示した例示図である。
【０１２５】
図１１を参照すれば、コア基板５００は、ガラス基板５１０と、プライマー層５２０と、感光性絶縁層５３０と、保護層５４０と、を含むものである。
【０１２６】
ガラス基板５１０は、柔軟性を有することができる。ガラス基板５１０が柔軟性を有することにより、ガラス基板５１０に感光性絶縁層５３０を形成する際に、ロールツーロール法を適用することができる。また、ガラス基板５１０は、光が透過されないガラス板であることができる。即ち、ガラス基板５１０は、後で感光性絶縁層５３０をパターニングするための露光工程を行う際に、光がガラス基板５１０を通過できない程度の透明度を有することができる。ガラス基板５１０は、後で形成される回路パターン（不図示）の間を絶縁させる役割を果たすことができる。また、ガラス基板５１０は、剛性が大きく、温度及び湿度の変化による変形程度が小さい。したがって、ガラス基板５１０により、コア基板５００及びコア基板５００にビルドアップ層が形成された印刷回路基板の反りを減少させることができる。また、ガラス基板５１０が柔軟性を有することにより、脆性が低いため、外部の衝撃によって割れ難い。また、柔軟性を有するガラス基板５１０は、曲面を有する印刷回路基板に適用することができる。
【０１２７】
プライマー層５２０は、ガラス基板５１０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に形成されることができる。本発明の実施例では、プライマー層５２０がガラス基板５１０の両面に形成されていることが図示されているが、これに限定されるものではない。即ち、プライマー層５２０は、ガラス基板５１０の一面及び他面の何れか一方の面にのみ形成されてもよい。
【０１２８】
プライマー層５２０は、優れた接着力を有するため、後で回路パターンをコア基板５００に形成する際に、コア基板５００と回路パターン（不図示）との接着力を向上させることができる。
【０１２９】
感光性絶縁層５３０は、プライマー層５２０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面に形成されることができる。感光性絶縁層５３０は、露光が行われた領域が分解されるポジ型であってもよく、露光が行われた領域が硬化されるネガ型であってもよい。本発明の実施例によるコア基板５００は、後で回路パターンが感光性絶縁層５３０に埋め込まれた形態に形成されることにより、アンダーカット、回路パターンの脱落などの不良を減少させることができる。
【０１３０】
保護層５４０は、感光性絶縁層５３０の一面または他面に形成されることができる。この保護層５４０は、後で行われる工程によるデントや異物から感光性絶縁層５３０を保護することができる。本発明の実施例によれば、保護層５４０は、感光性絶縁層５３０と接着される面が感光性絶縁層５３０より小さい表面粗さを有することができる。保護層５４０が小さい表面粗さを有することにより、感光性絶縁層５３０の表面粗さを減少させることができる。したがって、感光性絶縁層５３０の小さい表面粗さにより、後で保護層５４０を除去して回路パターンを形成する際に、微細な回路パターンを具現することが可能である。例えば、保護層５４０は、ポリイミドフィルムまたはＰＥＴフィルムで形成することができる。しかし、保護層５４０の材質は、これに限定されず、感光性絶縁層５３０を保護することができるものであれば、当業者によって容易に変更及び適用することができる。
【０１３１】
図１２は、本発明の第５実施例によるコア基板の製造方法を示した例示図である。
【０１３２】
図１２を参照すれば、ロールツーロール装置を用いて、第５実施例によるコア基板５００を形成することができる。
【０１３３】
本発明の実施例によるロールツーロール装置は、第１供給ローラー６７１と、第２供給ローラー６７２と、第３供給ローラー６７３と、第４供給ローラー６７４と、第１圧着ローラー７７１と、第２圧着ローラー７７２と、第３圧着ローラー７７３と、を含むものである。
【０１３４】
まず、第１供給ローラー６７１により、ガラス基板５１０を供給することができる。ガラス基板５１０は、柔軟性を有するガラス板である。また、ガラス基板５１０は、透明度が低いガラス板であることができる。即ち、ガラス基板５１０は、後で感光性絶縁層５３０をパターニングするための露光工程を行う際に、光がガラス基板５１０を通過できない程度の透明度を有することができる。
【０１３５】
第１供給ローラー６７１により、ガラス基板５１０をロールツーロール装置内で連続的に供給することができる。本発明の実施例によれば、ガラス基板５１０は、柔軟性を有するため、ロールツーロール工程に好適である。
【０１３６】
第１供給ローラー６７１によりガラス基板５１０を供給した後、第２供給ローラー６７２によりプライマー層５２０を供給することができる。この際、ガラス基板５１０の一面及び他面の少なくとも何れか一方の面にプライマー層５２０を供給することができる。本発明の実施例によれば、第２供給ローラー６７２は、ガラス基板５１０の両面にプライマー層５２０を供給することができる。
【０１３７】
ガラス基板５１０にプライマー層５２０を供給した後、プライマー層５２０をガラス基板５１０に圧着させることができる。プライマー層５２０とガラス基板５１０との圧着は、第１圧着ローラー７７１により行うことができる。
【０１３８】
ガラス基板５１０にプライマー層５２０を圧着させた後、プライマー層５２０の一面または他面に感光性絶縁層５３０を供給することができる。この際、第４供給ローラー６７４により感光性絶縁層５３０をプライマー層５２０に供給することができる。
【０１３９】
第４供給ローラー６７４により感光性絶縁層５３０を供給した後、感光性絶縁層５３０をプライマー層５２０に圧着させることができる。プライマー層５２０と感光性絶縁層５３０との圧着は、第３圧着ローラー７７３により行うことができる。
【０１４０】
プライマー層５２０に感光性絶縁層５３０を圧着させた後、感光性絶縁層５３０の一面または他面に保護層５４０を供給することができる。この際、第３供給ローラー６７３により保護層５４０を供給することができる。この保護層５４０により、後で行われる工程または異物によって感光性絶縁層５３０が損傷することが防止される。本発明の実施例による保護層５４０は、感光性絶縁層５３０より小さい表面粗さを有することができる。小さい表面粗さを有する保護層５４０を感光性絶縁層５３０に付着させることにより、感光性絶縁層５３０も小さい表面粗さを有することができる。例えば、保護層５４０は、ポリイミドフィルムまたはＰＥＴフィルムで形成することができる。しかし、保護層５４０の材質は、これに限定されず、感光性絶縁層５３０を保護することができるものであれば、当業者によって容易に変更及び適用することができる。
【０１４１】
感光性絶縁層５３０の一面または他面に保護層５４０を供給した後、第２圧着ローラー７７２により、保護層５４０を感光性絶縁層５３０に圧着させることができる。
【０１４２】
本発明の実施例では、第３供給ローラー６７３及び第２圧着ローラー７７２により保護層５４０を感光性絶縁層５３０上に形成することを説明したが、これに限定されるものではない。
【０１４３】
例えば、感光性絶縁層５３０に予め保護層５４０を形成することができる。この際、感光性絶縁層５３０を保護層５４０の下にキャスト法により形成することができる。
【０１４４】
上記のように保護層５４０が形成された感光性絶縁層５３０を、第４供給ローラー６７４及び第３圧着ローラー７７３により、プライマー層５２０に供給及び圧着させることができる。即ち、感光性絶縁層５３０に予め保護層５４０を形成することで、プライマー層５２０に感光性絶縁層５３０及び保護層５４０を同時に形成することができる。
【０１４５】
上記のように、ロールツーロール装置及びロールツーロール法を用いることにより、微細な回路パターンを容易に形成することができあり、コア基板と回路パターンとの接着力が向上され、且つ厚さのばらつきが小さい第５実施例によるコア基板５００を製作することができる。
【０１４６】
本発明の実施例によるコア基板及びコア基板の製造方法によれば、ガラス基板が柔軟性を有することにより、コア基板またはコア基板上にビルドアップ層が形成された印刷回路基板の反りを減少させることができる。また、本発明の実施例によるコア基板及びコア基板の製造方法によれば、ガラス基板が柔軟性を有することにより、コア基板が外部の衝撃によって割れ難く、曲面を有する印刷回路基板に適用することができる。また、本発明の実施例によるコア基板及びコア基板の製造方法によれば、プライマー層によってコア基板と回路パターンとの接着力が向上され、感光性絶縁層によって回路パターンのアンダーカット及び回路パターンの脱落などを減少させることができる。
【０１４７】
以上、本発明を具体的な実施例に基づいて詳細に説明したが、これは本発明を具体的に説明するためのものであり、本発明はこれに限定されず、該当分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想内にての変形や改良が可能であることは明白であろう。
【０１４８】
本発明の単純な変形乃至変更はいずれも本発明の領域に属するものであり、本発明の具体的な保護範囲は添付の特許請求の範囲により明確になるであろう。
【産業上の利用可能性】
【０１４９】
本発明は、コア基板及びコア基板の製造方法に適用可能である。
【符号の説明】
【０１５０】
１００、２００、３００、４００、５００  コア基板
１１０、２１０、３１０、４１０、５１０  ガラス基板
１３０、２３０、５３０  感光性絶縁層
２４０、４４０、５４０  保護層
３２０、４２０、５２０  プライマー層
６１１、６２１、６３１、６４１、６５１、６６１、６７１  第１供給ローラー
６１２、６２２、６３２、６４２、６５２、６６２、６７２  第２供給ローラー
６３３、６６３、６７３  第３供給ローラー
６７４  第４供給ローラー
７１１、７２１、７３１、７４１、７５１、７６１、７７１  第１圧着ローラー
７３２、７６２、７７２  第２圧着ローラー
７７３  第３圧着ローラー
【図１】
2015037184.tif 000003
【図２】
2015037184.tif 000004
【図３】
2015037184.tif 000005
【図４】
2015037184.tif 000006
【図５】
2015037184.tif 000007
【図６】
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【図７】
2015037184.tif 000009
【図８】
2015037184.tif 000010
【図９】
2015037184.tif 000011
【図１０】
2015037184.tif 000012
【図１１】
2015037184.tif 000013
【図１２】
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