(57)【要約】【課題】有機ＥＬ表示パネルを効率良く安全に検査する。【解決手段】発光画素２１５が行列状に配置される基板２０２とを備える有機ＥＬ表示パネル２００の検査方法であって、複数の発光画素２１５が点灯するように電源装置１０１によって発光画素２１５に電圧を印加し、点灯した複数の発光画素２１５を温度計測手段の計測領域に納めて有機ＥＬ表示パネル２００の各部分の温度を検出し、計測領域内の比較的温度の高い部分である高温部２２１の温度と基準温度との差が所定の閾値以上の場合、電源装置１０１による印加電圧を安全値まで低下させる。【選択図】図１
2015130257.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬ素子を有する発光画素と、複数の前記発光画素が行列状に配置される基板とを備える有機ＥＬ表示パネルの検査方法であって、
複数の前記発光画素が点灯するように電源装置によって前記発光画素に電圧を印加し、
点灯した複数の前記発光画素を温度計測手段の計測領域に納めて前記有機ＥＬ表示パネルの各部分の温度を検出し、
前記計測領域内の比較的温度の高い部分である高温部の温度と基準温度との差が所定の閾値以上の場合、前記電源装置による印加電圧を安全値まで低下させる
有機ＥＬ表示パネルの検査方法。
【請求項２】
前記印加電圧を安全値にまで低下させることが、電圧の印加を停止することである
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの検査方法。
【請求項３】
前記基準温度は、前記計測領域内の比較的温度の低い部分である低温部の温度である
請求項１または２に記載の有機ＥＬ表示パネルの検査方法。
【請求項４】
前記電源装置は、前記発光画素に電圧を断続的に印加する
請求項１から３のいずれか１項に記載の有機ＥＬ表示パネルの検査方法。
【請求項５】
前記電源装置は、定格より高い電圧を印加する
請求項４に記載の有機ＥＬ表示パネルの検査方法。
【請求項６】
有機ＥＬ素子を有する発光画素と、複数の前記発光画素が行列状に配置される基板とを備える有機ＥＬ表示パネルの検査装置であって、
複数の前記発光画素が点灯するように前記発光画素に電圧を印加する電源装置と、
点灯した複数の前記発光画素を計測領域内に納めて前記有機ＥＬ表示パネルの各部分の温度を検出する温度計測手段と、
前記計測領域内の比較的温度の高い部分である高温部の温度と基準温度との差が所定の閾値以上の場合、前記電源装置による電圧の印加を安全値まで低下させる印加電圧制御部と
を備える検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、有機ＥＬ表示パネルの製造工程における検査方法、および、検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄型、自発光の表示装置として有機ＥＬ表示パネルを備えた表示装置が知られている。この表示装置を製造するにあたっては、有機ＥＬ表示パネルの各発光画素が正常に動作するか否かを検査する点灯検査が行われる。
【０００３】
この点灯検査工程は、全ての発光画素に対して駆動用の電圧を印加し、全発光画素が点灯するかなどの各発光画素が正常に動作することを検査するものである。この点灯検査工程において、検査対象である有機ＥＬ表示パネルの発光画素の一部に構造的な不具合などが発生している場合、不具合のある発光画素に電圧を印加することにより異常な温度上昇が認められるため、温度によって不具合のある発光画素を検出することができる場合もある。
【０００４】
例えば特許文献１には、各発光画素に対応した位置にそれぞれ配置された熱電対を表示パネルの内部に設け、高精度に発光画素からの発熱を検出することで、発光画素に不具合が発生しているか否かを判定する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２２７７４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが昨今では、有機ＥＬ表示パネルの薄型化が進んだ影響などにより、点灯検査時において発光画素を構成する回路内の一部の電源間（層間）で短絡が発生している場合、短時間に多量の熱が短絡部分から発生する場合がある。この発熱は、電源間の短絡により低抵抗となり電圧印加時に過電流（電力集中）が発生し局所的に高温となることで発生する。このような発熱により、電圧印加時に有機ＥＬ表示パネルが焼けてしまう「パネル焼け（発光素子燃焼）」が発生する。このパネル焼けを放置した場合、パネル割れや駆動回路破損に進行し、さらには火災に至ってしまう可能性も考えられる。
【０００７】
また、上記パネル焼けを回避するために、点灯検査時において発光画素に印加する電圧を徐々に高くし、各電圧における有機ＥＬ表示パネル全体の表面温度を非接触温度計で走査することが行われる。しかし、このような手法で発熱箇所を探索する方法では、作業効率が悪く有機ＥＬ表示パネルを全数検査するために多くの時間を費やすことになる。
【０００８】
本開示に係る有機ＥＬ表示パネルの検査方法、および、検査装置は、上記課題に鑑み開示するものであり、発光画素における電源間短絡による発熱を早期に検出し、パネル焼けを回避することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本開示にかかる有機ＥＬ表示パネルの検査方法は、有機ＥＬ素子を有する発光画素と、複数の前記発光画素が行列状に配置される基板とを備える有機ＥＬ表示パネルの検査方法であって、複数の前記発光画素が点灯するように電源装置によって前記発光画素に電圧を印加し、点灯した複数の前記発光画素を温度計測手段の計測領域に納めて前記有機ＥＬ表示パネルの各部分の温度を検出し、前記計測領域内の比較的温度の高い部分である高温部の温度と基準温度との差が所定の閾値以上の場合、前記電源装置による印加電圧を安全値まで低下させるあるいは電圧の印加を停止させることを特徴とする。
【００１０】
また、上記目的を達成するために、本開示にかかる検査装置は、有機ＥＬ素子を有する発光画素と、複数の前記発光画素が行列状に配置される基板とを備える有機ＥＬ表示パネルの検査装置であって、複数の前記発光画素が点灯するように前記発光画素に電圧を印加する電源装置と、点灯した複数の前記発光画素を計測領域に納めて前記有機ＥＬ表示パネルの各部分の温度を検出する温度計測手段と、前記計測領域内の比較的温度の高い部分である高温部の温度と基準温度との差が所定の閾値以上の場合、前記電源装置による印加電圧を安全値まで低下させるあるいは電圧の印加を停止させる機能を有する印加電圧制御部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、発光画素における電源間短絡による発熱を早期に検出し、パネル焼けを回避することができる有機ＥＬ表示パネルの検査方法、および、検査装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態による有機ＥＬ表示パネルの検査装置の機能構成と機構構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、有機ＥＬ表示パネルを備えた表示装置の機能構成の一例を示すブロック図である。
【図３】図３は、有機ＥＬ素子を有する発光画素の回路構成図の一例を示す図である。
【図４】図４は、発光画素の構造の一例を示す断面図である。
【図５】図５は、本発明の一実施の形態による有機ＥＬ表示パネルの検査方法の工程を示すフローチャートである。
【図６】図６は、本発明の一実施の形態による有機ＥＬ表示パネルの検査方法における電圧印加パターンの一例を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本開示にかかる有機ＥＬ表示パネルの検査方法は、有機ＥＬ素子を有する発光画素と、複数の前記発光画素が行列状に配置される基板とを備える有機ＥＬ表示パネルの検査方法であって、複数の前記発光画素が点灯するように電源装置によって前記発光画素に電圧を印加し、点灯した複数の前記発光画素を赤外線サーモグラフィなどの温度計測手段の計測領域に納めて前記有機ＥＬ表示パネルの各部分の温度を検出し、前記計測領域内の比較的温度の高い部分である高温部の温度と基準温度との差が所定の閾値以上の場合、前記電源装置による印加電圧を安全値にまで低下させるあるいは電圧の印加を停止させることを特徴とする。
【００１４】
これによれば点灯検査時の有機ＥＬ表示パネルにおける局所的な熱の発生を早期に検出することができるため、有機ＥＬ表示パネルの検査を効率よく行うことが可能となる。また、局所的な熱の発生を早期に検知することにより素早く電圧印加を安全値まで下げることができるため、パネル焼けの発生を防止することが可能となる。
【００１５】
また、前記基準温度は、前記計測領域内の比較的温度の低い部分である低温部の温度であってもよい。
【００１６】
これによれば、例えば基準温度を摂氏０度に設定する場合など発熱箇所の温度を絶対的に検出するのではなく、有機ＥＬ表示パネル内の温度差に基づき局所的な熱を検出するため、有機ＥＬ表示パネルが配置されている環境の温度などに影響されることなく正確に局所的な発熱を検出することが可能となる。
【００１７】
また、前記電源装置は、前記発光画素に電圧を断続的に印加してもよい。
【００１８】
電圧を断続的、例えばパルス的に印加することにより、最初から発光画素に高い電圧（例えば定格電圧）を印加する場合でも、デューティー比を調整することによりパネル焼けを回避しつつ局所的な発熱を早期に検出することが可能となる。
【００１９】
また、前記電源装置は、定格より高い電圧を印加してもかまわない。
【００２０】
これによれば、定格よりも高い電圧を印加することにより初めて短絡する不安定な発熱部を早期に検出することが可能となる。
【００２１】
本開示にかかる検査装置は、有機ＥＬ素子を有する発光画素と、複数の前記発光画素が行列状に配置される基板とを備える有機ＥＬ表示パネルの検査装置であって、複数の前記発光画素が点灯するように前記発光画素に電圧を印加する電源装置と、点灯した複数の前記発光画素を計測領域（視野）に納めて前記有機ＥＬ表示パネルの各部分の温度を検出する赤外線サーモグラフィなどの温度計測手段と、前記計測領域内の比較的温度の高い部分である高温部の温度と基準温度との差が所定の閾値以上の場合、前記電源装置による電圧の印加を安全値にまで低下させるあるいは電圧印加を停止させる機能を有する印加電圧制御部とを備えることを特徴とする。
【００２２】
これによれば点灯検査時の有機ＥＬ表示パネルにおける局所的な熱の発生を早期に検出し、早期に印加電圧を安全値にまで低下させるあるいは電圧印加を停止させることができるため、パネル焼けの発生やその進行によるパネル割れや電源回路破損を防止することが可能となる。
【００２３】
なお、前記有機ＥＬ表示パネルの検査方法が含む各処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを実施することも本開示の実施に該当する。無論、そのプログラムが記録された記録媒体を実施することも本開示の実施に該当する。
【００２４】
（実施の形態）
次に、本開示に係る有機ＥＬ表示パネルの検査方法、および、検査装置の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の実施の形態は、本開示に係る有機ＥＬ表示パネルの検査方法、および、検査装置の一例を示したものに過ぎない。従って本開示は、以下の実施の形態を参考に請求の範囲の文言によって範囲が画定されるものであり、以下の実施の形態のみに限定されるものではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、本発明の課題を達成するのに必ずしも必要ではないが、より好ましい形態を構成するものとして説明される。
【００２５】
図１は、本発明の一実施の形態による有機ＥＬ表示パネルの検査装置の機能構成と機構構成を示すブロック図である。
【００２６】
同図に示すように、検査装置１００は、有機ＥＬ表示パネル２００の発光画素が行列状（マトリクス状）に配置される表示領域２０１の局所的な発熱を検出することにより有機ＥＬ表示パネル２００を検査する装置であり、電源装置１０１と、赤外線サーモグラフィなどの温度計測手段１０２と、印加電圧制御部１０３とを備えている。
【００２７】
図２は、有機ＥＬ表示パネルを備えた表示装置の機能構成の一例を示すブロック図である。
【００２８】
同図に示すように、有機ＥＬ表示パネル２００は、ドライバ装置としてのデータ線駆動回路２１３、および、走査線駆動回路２１４が接続され、ドライバ装置から入力された信号（輝度信号、走査信号）に基づいてマトリクス状に配置された微小な発光画素２１５のそれぞれの発光量を制御して文字や画像（動画含む）を表示させることができる装置であり、図１に示される基板２０２と、発光画素が配置された領域である表示領域２０１とを備えている。また、有機ＥＬ表示パネル２００は、データ線駆動回路２１３、および、走査線駆動回路２１４、制御部２１１とともに、有機ＥＬ表示装置２１０を構成している。
【００２９】
制御部２１１は、外部から入力される映像信号を変換して発光画素の発光を決定する信号電圧にする処理部である。制御部２１１は、変換された信号電圧を走査順にデータ線駆動回路２１３に出力する。また、制御部２１１は、データ線駆動回路２１３から出力される信号電圧を出力するタイミング、及び、走査線駆動回路２１４から出力される走査信号の出力タイミングを制御する。
【００３０】
データ線駆動回路２１３は、各データ線へ、信号電圧を出力することにより、映像信号に対応した発光画素の発光を実現する回路装置であり、いわゆるドライバ装置の一つである。
【００３１】
走査線駆動回路２１４は、各走査線へ走査信号を出力することにより、発光画素の有する回路素子を所定の駆動タイミングで駆動する回路装置であり、いわゆるドライバ装置の一つである。
【００３２】
表示領域２０１は、発光画素２１５がマトリクス状に配置された領域であり、複数の発光画素２１５のそれぞれは、データ線駆動回路２１３からの輝度信号、及び、走査線駆動回路２１４からの走査信号に応じて発光する。
【００３３】
図３は、有機ＥＬ素子を有する発光画素の回路構成図の一例を示す図である。
【００３４】
同図に記載された発光画素２１５は、有機ＥＬ素子２１６と、駆動トランジスタ２１７と、選択トランジスタ２１８と、コンデンサ２１９とを備える。マトリクス状に配置された発光画素２１５の列ごとにデータ線２３１が配置され、発光画素２１５の行ごとに走査線２４１が配置されている。また、全ての発光画素２１５に共通して正電源線２５１及び負電源線２５２が配置されている。選択トランジスタ２１８のドレイン電極はデータ線２３１に、選択トランジスタ２１８のゲート電極は走査線２４１に、さらに、選択トランジスタ２１８のソース電極は、コンデンサ２１９及び駆動トランジスタ２１７のゲート電極に接続されている。また、駆動トランジスタ２１７のドレイン電極は正電源線２５１に接続され、ソース電極は有機ＥＬ素子２１６のアノードに接続されている。
【００３５】
図４は、発光画素の構造の一例を示す断面図である。
【００３６】
同図に記載された発光画素２１５は、基板２０２と、駆動回路層３０１と、発光層３０２と、透明封止膜３１０とを備える。
【００３７】
基板２０２は、複数の発光画素２１５が行列状に配置される板状の部材であり、例えば、ガラス基板である。なお、基板２０２は、樹脂からなるフレキシブル基板などを用いることも可能である。基板２０２は、駆動回路層３０１とともに、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）も表面に形成される。なお、図４に記載されたようなトップエミッション構造の場合には、基板２０２は透明である必要はないので、非透明の基板、例えば、シリコン基板を用いることもできる。
【００３８】
駆動回路層３０１は、同図には示されていないが、図３の構成例で説明した基板２０２の上に形成された駆動トランジスタ２１７と、コンデンサ２１９と、選択トランジスタ２１８とを備える。駆動回路層３０１は、平坦化膜により、その上面の平担性が確保されている。
【００３９】
発光層３０２は、有機ＥＬ素子２１６を構成する層であり、駆動回路層３０１の表面に絶縁層を介して陽極３６１と、正孔注入層３６２と、正孔輸送層３６３と、有機発光層３６４と、バンク層３６５と、電子注入層３６６と、透明陰極３６７とを備える。
【００４０】
本実施の形態の場合、駆動回路層３０１と発光層３０２などの層間における電源間短絡により発生する熱を検出する。
【００４１】
図４に記載された発光画素２１５は、トップエミッション構造を有している。つまり、発光層３０２に電圧を印加すると、有機発光層３６４で光が生じ、透明陰極３６７及び透明封止膜３１０を通じて光が上方に出射する。また、有機発光層３６４で生じた光のうち下方に向かったものは、陽極３６１で反射され、透明陰極３６７及び透明封止膜３１０を通じて光が上方に出射する。
【００４２】
陽極３６１は、駆動回路層３０１の平坦化膜の表面上に積層され、透明陰極３６７に対して正の電圧を発光層３０２に印加する電極である。陽極３６１を構成する陽極材料としては、例えば、反射率の高い金属であるＡｌ、Ａｇ、またはそれらの合金が好ましい。また、陽極３６１の厚さは、例えば、１００〜３００ｎｍである。
【００４３】
正孔注入層３６２は、陽極３６１の表面上に形成され、正孔を安定的に、又は正孔の生成を補助して、有機発光層３６４へ正孔を注入する機能を有する。これにより、発光層３０２の駆動電圧が低電圧化され、正孔注入の安定化により素子が長寿命化される。正孔注入層３６２の材料としては、例えばＰＥＤＯＴ（ポリエチレンジオキシチオフェン）などを用いることができる。また、正孔注入層３６２の膜厚は、例えば、１０ｎｍ〜１００ｎｍ程度にすることが好ましい。
【００４４】
正孔輸送層３６３は、正孔注入層３６２の表面上に形成され、正孔注入層３６２から注入された正孔を有機発光層３６４内へ効率良く輸送し、有機発光層３６４と正孔注入層３６２との界面での励起子の失活防止をし、さらには電子をブロックする機能を有する。正孔輸送層３６３としては、例えば、生じた正孔を分子間の電荷移動反応により伝達する性質を有する有機高分子材料であり、例えば、トリフェルアミン、ポリアニリンなどが挙げられる。また、正孔輸送層３６３の厚さは、例えば、５〜５０ｎｍ程度である。
【００４５】
なお、正孔輸送層３６３は、その隣接層である正孔注入層３６２や有機発光層３６４の材料により、省略される場合がある。
【００４６】
有機発光層３６４は、正孔輸送層３６３の表面上に形成され、正孔と電子が注入され再結合されることにより励起状態が生成され発光する機能を有する。有機発光層３６４としては、低分子有機材料だけでなく、インクジェットやスピンコートのような湿式製膜法で製膜できる発光性の高分子有機材料も適用される。高分子有機材料の特徴としては、デバイス構造が簡単であること、膜の信頼性に優れ、低電圧駆動のデバイスであることも挙げることができる。芳香環または縮合環のような共役系を持った高分子あるいはπ共役系高分子は蛍光性を有することから、有機発光層３６４を構成する高分子有機材料として用いることができる。有機発光層３６４を構成する高分子発光材料としては、例えば、ポリフェニレンビニレン（ＰＰＶ）またはその誘導体（ＰＰＶ誘導体）、ポリフルオレン（ＰＦＯ）またはその誘導体（ＰＦＯ誘導体）、ポリスピロフルオレン誘導体などを挙げることができる。また、ポリチオフェンまたはその誘導体を用いることも可能である。
【００４７】
バンク層３６５は、駆動回路層３０１または陽極３６１の表面上に形成され、湿式製膜法を用いて形成される正孔輸送層３６３及び有機発光層３６４を所定の領域に形成するバンクとしての機能を有する。バンク層３６５に用いられる材料は、無機物質および有機物質のいずれであってもよいが、有機物質の方が、一般的に、撥水性が高いので、より好ましく用いることができる。このような材料の例としては、ポリイミド、ポリアクリルなどの樹脂が挙げられる。バンク層３６５の厚さは、例えば、１００〜３０００ｎｍ程度である。
【００４８】
電子注入層３６６は、有機発光層３６４の上に形成され、有機発光層３６４への電子注入の障壁を低減し発光層３０２の駆動電圧を低電圧化すること、励起子失活を抑制する機能を有する。これにより、電子注入を安定化し素子を長寿命化すること、透明陰極３６７との密着を強化し発光面の均一性を向上させ素子欠陥を減少させることが可能となる。電子注入層３６６は、特に限定されるものではないが、好ましくはバリウム、アルミニウム、フタロシアニン、フッ化リチウム、さらに、バリウム−アルミニウム積層体などからなる。電子注入層３６６の厚さは、例えば、２〜５０ｎｍ程度である。
【００４９】
透明陰極３６７は、電子注入層３６６の表面上に積層され、陽極３６１に対して負の電圧を発光層３０２に印加し、電子を素子内（特に有機発光層３６４）に注入する機能を有する。透明陰極３６７としては、特に限定されるものではないが、透過率の高い物質および構造を用いることが好ましい。これにより、発光効率が高いトップエミッション有機ＥＬ素子を実現することができる。透明陰極３６７の構成としては、特に限定されるものではないが、金属酸化物層が用いられる。この金属酸化物層としては、特に限定されるものではないが、インジウム錫酸化物（以下、ＩＴＯと記す）、あるいはインジウム亜鉛酸化物（以下、ＩＺＯと記す）からなる層が用いられる。また、透明陰極３６７の厚さは、例えば、５〜２００ｎｍ程度である。
【００５０】
透明封止膜３１０は、透明陰極３６７の表面上に形成され、水分から素子を保護する機能を有する。また、透明封止膜３１０は、透明であることが要求される。透明封止膜３１０は、例えば、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ、または有機膜からなる。また、透明封止膜３１０の厚さは、例えば、２０〜５０００ｎｍ程度である。
【００５１】
以上説明した発光画素２１５の構造により、有機ＥＬ表示装置２１０は、アクティブマトリクス型の表示装置としての機能を有する。
【００５２】
上記構成において、走査線２４１に走査信号が入力され、選択トランジスタ２１８をオン状態にすると、データ線２３１を介して供給された信号電圧に対応した電圧がコンデンサ２１９に書き込まれる。そして、コンデンサ２１９に書き込まれた信号電圧に対応した保持電圧は、１フレーム期間を通じて保持され、この保持電圧により、駆動トランジスタ２１７のコンダクタンスがアナログ的に変化し、発光階調に対応した駆動電流が有機ＥＬ素子２１６のアノードに供給される。さらに、有機ＥＬ素子２１６のアノードに供給された駆動電流は、有機ＥＬ素子２１６のカソードへと流れる。これにより、有機ＥＬ素子２１６が発光し画像として表示される。このとき、有機ＥＬ素子２１６のアノードには、信号電圧に対応した順バイアス電圧が印加されていることになる。
【００５３】
なお、上述した発光画素の回路構成は、図３に記載された回路構成に限定されない。選択トランジスタ２１８、駆動トランジスタ２１７は、信号電圧に応じた駆動電流を有機ＥＬ素子２１６に流すために必要な回路構成要素であるが、上述した形態に限定されない。また、上述した回路構成要素に、別の回路構成要素が付加される場合も、本開示に係る有機ＥＬ表示装置の発光画素回路に含まれる。
【００５４】
電源装置１０１は、表示領域２０１に配置される複数の発光画素が点灯するように各発光画素に電圧を印加する装置である。本実施の形態の場合、電源装置１０１は、有機ＥＬ表示パネル２００に設けられている全発光画素を一度に点灯することができるものとなっている。
【００５５】
温度計測手段１０２の一つである赤外線サーモグラフィは、所定の領域の対象物から出ている放射エネルギーを各部分毎に検出し、温度分布を二次元的に非接触で取得できる装置である。赤外線サーモグラフィは、所定の領域の各部分の温度をほぼ同時、かつ、ほぼリアルタイムで計測することができる温度計測手段の一例を示すものであって、その他の手段であっても構わない。例えば、非接触でかつ高速に対象ポイントの温度測定が可能である放射温度計でも良く、放射エネルギーを測定する赤外線カメラや分光放射エネルギーを測定する分光放射計などを赤外線サーモグラフィの代わりに用いてもよい。
【００５６】
本発明の実施の形態の一例として温度計測手段１０２に赤外線サーモグラフィを用いる場合、有機ＥＬ表示パネル２００の表示領域２０１の全域における各部分の温度分布を一度に計測できる設定となっており、表示領域２０１内の点灯した複数の（または、全数の）発光画素２１５を計測領域（視野）に納めて有機ＥＬ表示パネル２００の表示領域２０１における各部分の温度分布を検出するものとなっている。
【００５７】
印加電圧制御部１０３は、赤外線サーモグラフィの視野内の比較的温度の高い部分である高温部２２１（図１参照）の温度と基準温度との差が所定の閾値以上の場合、電源装置１０１による電圧の印加を停止するまたは印加電圧を下げる機能を有する処理部である。
【００５８】
本実施の形態の場合、印加電圧制御部１０３は、コンピュータにソフトウエアを実行させることにより実現される処理部である。
【００５９】
高温部２２１とは赤外線サーモグラフィの視野内において最も温度の高い部分、または、その周辺部である。
【００６０】
基準温度とは、予め定められた温度、または、赤外線サーモグラフィの視野内の高温部２２１よりも温度の低い低温部２２２の温度などである。具体的に例えば、赤外線サーモグラフィの視野内における最も低い温度となっている部分、または、その周辺部である低温部２２２の温度を基準温度としても良い。
【００６１】
所定の閾値とは任意に設定することのできる温度であり、例えば摂氏２０度以上、摂氏８０度以下の範囲から設定される温度を例示することができる。
【００６２】
次に、有機ＥＬ表示パネル２００の検査方法を説明する。
【００６３】
図５は、本発明の一実施の形態による有機ＥＬ表示パネルの検査方法の工程を示すフローチャートである。
【００６４】
まず、有機ＥＬ表示パネル２００の表示領域２０１における複数（本実施の形態の場合は全数）の発光画素２１５が点灯するように電源装置１０１によって各発光画素２１５に電圧を印加する（Ｓ１０１：電圧印加工程）。
【００６５】
ここで、電源装置１０１による電圧の印加方法は特に制限されるものでは無い。直流電源による一定電圧を印加する場合でも問題は無いが、例えば図６に、本発明の一実施の形態による有機EL表示パネルの検査方法における電圧印加パターンを一例として示すように、定格電圧を超える電圧をパルス的（断続的）に印加してもかまわない。これによれば、有機ＥＬ表示パネル２００の発光画素２１５の一部に短絡が発生している場合は、早期に該当部分の温度が上昇し、局所的な熱の発生を早期に検出させることが可能となる。また、電圧印加のデューティー比を調整することによりパネル焼けの発生を抑制しつつ、早期に異常発熱を検出することが可能となる。また、定格電圧以上に電圧をパルス的に徐々に上げて印加することで、定格よりも高い電圧を印加することにより初めて短絡する不安定な発光画素を早期に検出することが可能となる。
【００６６】
次に、点灯した複数（本実施の形態では全て）の前記発光画素を赤外線サーモグラフィなどの温度計測手段１０２の計測領域に納めて有機ＥＬ表示パネル２００の各部分の温度を検出する（Ｓ１０２：温度検出工程）。なお、温度計測手段１０２は、得られた情報を画像に変更する必要は無く、計測領域内における最も高い温度、または、その周辺の温度、または、高温部２２１の温度を統計的に処理した結果に対応した情報を出力できるものであればよい。つまり、高い温度を示す部分の位置情報や低い温度を示す部分の位置情報を出力しなくてもかまわない。また、基準温度を低温部２２２の温度とする場合は、計測領域内における最も低い温度、または、その周辺の温度、または、低温部２２２の温度を統計的に処理した結果に対応した情報を出力できるものであればよい。
【００６７】
次に、温度計測手段１０２の計測領域内の高温部２２１の温度と基準温度との差が所定の閾値（例えば４０℃）以上であると印加電圧制御部１０３が判断した場合（Ｓ１０３，Ｙ）、印加電圧制御部１０３は、電源装置１０１に指示し、有機ＥＬ表示パネル２００に対する電圧の印加を停止または印加電圧を下げる（Ｓ１０４：印加電圧制御工程）。
【００６８】
なお、温度計測手段１０２の一つである赤外線サーモグラフィの特徴として、温度分布を画像表示として可視化することが挙げられるが、局部的な温度差を作業者が判断して電圧印加を手動で停止または印加電圧を下げることも可能となる。
【００６９】
前述の温度検出工程（Ｓ１０２）で問題ないと判断した場合（Ｓ１０３，Ｎ）には、通常行われる画質検査（Ｓ１０５：点灯検査工程）を行う。この点灯検査工程（Ｓ１０５）の途中においても発熱を検知した場合においては印加電圧制御工程（Ｓ１０３）へ移行して印加電圧を安全値にまで低下させるあるいは電圧の印加を停止させてもよい。
【００７０】
ここで、印加電圧の安全値とは、当該電圧を印加し続けてもパネル焼けが発生しない程度の熱しか発生しない電圧である。また、電圧の印加の停止とは、印加電圧を安全値まで低下することが電圧の印加を停止することである電源装置１０１を遮断（ｏｆｆに）する場合も含まれる。
【００７１】
以上の検査方法によれば、有機ＥＬ表示パネル２００に短絡が存在しているなどの不具合が発生している場合は、短時間かつ安全に当該不具合を検出することができる。従って、製造された有機ＥＬ表示パネル２００を全数検査する場合においても効率的に不良品をピックアップすることが可能となる。
【００７２】
なお、本開示は、上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、本明細書において記載した構成要素を任意に組み合わせて、また、構成要素のいくつかを除外して実現される別の実施の形態を本開示の実施の形態としてもよい。また、上記実施の形態に対して本開示の主旨、すなわち、請求の範囲に記載される文言が示す意味を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例も本開示に含まれる。
【００７３】
例えば、温度計測手段１０２として複数台の赤外線サーモグラフィを用いて、有機ＥＬ表示パネル２００の表示領域２０１全体を各赤外線サーモグラフィで分担することにより表示領域２０１の各部分の温度を検出してもかまわない。
【００７４】
また、基準温度を摂氏０度に設定すれば、高温部の絶対的な温度に基づき印加電圧を安全値にまで低下させるあるいは電圧の印加を停止させることも可能である。
【００７５】
また、電圧の印加方法は、パルス状ばかりでなく、定格電圧で一定に印加してもかまわない。また、定格電圧より低い電圧や高い電圧で一定に印加してもかまわない。さらに、電圧を徐々に高めていく印加方法を否定するものでは無い。
【００７６】
また、電源間の短絡について、層間の短絡による発熱について説明したが、電極端子間の短絡による発熱についても検出可能である。
【００７７】
また、パネル点灯検査の場合について述べてきたが、エージングや輝度補正など電圧を印加してパネル点灯を行う他のＥＬ製造工程においても適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本開示は有機ＥＬ表示パネルや、有機ＥＬ表示パネルを備えた表示装置の製品検査に用いることができる。
【符号の説明】
【００７９】
１００  検査装置
１０１  電源装置
１０２  温度計測手段
１０３  印加電圧制御部
２００  表示パネル
２０１  表示領域
２０２  基板
２１０  表示装置
２１１  制御部
２１３  データ線駆動回路
２１４  走査線駆動回路
２１５  発光画素
２１６  素子
２１７  駆動トランジスタ
２１８  選択トランジスタ
２１９  コンデンサ
２２１  高温部
２２２  低温部
２３１  データ線
２４１  走査線
２５１  正電源線
２５２  負電源線
３０１  駆動回路層
３０２  発光層
３１０  透明封止膜
３６１  陽極
３６２  正孔注入層
３６３  正孔輸送層
３６４  有機発光層
３６５  バンク層
３６６  電子注入層
３６７  透明陰極
Ｓ１０１  電圧印加工程
Ｓ１０２  温度検出工程
Ｓ１０３  Ｙ（閾値以上）
Ｓ１０３  Ｎ（問題なし）
Ｓ１０４  印加電圧制御工程
Ｓ１０５  点灯検査工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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