(57)【要約】【課題】測定チャートと組立基準面との距離を近接しても、レンズユニットに対する撮像ユニットの位置や傾きの調整を精度よく行うことができると共に、組み立て後にやぶ睨み状態にならないようにできる撮像素子の位置調整機構を提供する。【解決手段】レンズユニット保持部は、レンズユニットの光軸に対して直交する組立基準面を有する。レンズユニット保持部の組立基準面に対する測定チャート(１)のチャート面の傾き調整とレンズユニットの光軸に直交する方向に測定チャート１の位置調整が可能な第２調整部(３１１〜３１１,３１２〜３１２,３１４〜３１４,３１３〜３１３)を備える。【選択図】図２０
2015004742.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のチャートパターンが形成された測定チャートと、
上記測定チャートに交わるＺ軸上に配置された撮影レンズが組み込まれたレンズユニットを保持するためのレンズユニット保持部と、
上記撮影レンズによって結像される上記測定チャートのチャート像を撮像するように上記Ｚ軸上に配置された撮像素子が組み込まれた撮像ユニットを保持するための撮像ユニット保持部と、
上記レンズユニット保持部または上記撮像ユニット保持部のいずれか一方を、上記Ｚ軸方向に沿って移動させるＺ軸方向移動部と
上記撮像ユニットの撮像面に被写体像を結像する上記レンズユニットに対する上記撮像ユニットの位置または傾きの少なくとも一方を調整する第１調整部と
を備え、
上記レンズユニット保持部は、上記レンズユニットの光軸に対して直交する組立基準面を有し、
上記レンズユニット保持部の組立基準面に対する上記測定チャートのチャート面の傾き調整と上記レンズユニットの光軸に直交する方向に上記測定チャートの位置調整が可能な第２調整部を備えたことを特徴とする撮像素子の位置調整機構。
【請求項２】
請求項１に記載の撮像素子の位置調整機構において、
上記レンズユニット保持部は、上記レンズユニットの光軸に対して直交する上記組立基準面を主平面とする保持板と、真空力を利用して上記レンズユニットを吸着する吸着部とを有し、
上記保持板は、上記レンズユニットの被写体側に開口する開口部が設けられ、
上記吸着部は、上記保持板の開口部近傍に上記レンズユニット保持部の光軸に対して斜め方向から設けられ、上記レンズユニットを吸着するためのバキューム孔を有することを特徴とする撮像素子の位置調整機構。
【請求項３】
請求項２に記載の撮像素子の位置調整機構において、
上記レンズユニット保持部は、上記レンズユニットの筺体側面に移動可能な位置決めピンを当てることで、上記保持板に対して上記レンズユニットの光軸に直交する方向の位置決めを行うレンズユニット位置決め部を有することを特徴とする撮像素子の位置調整機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、撮像素子の位置調整機構に関し、詳しくは、撮影レンズに対する撮像素子の位置や傾きを調整してカメラモジュールを組み立てるための撮像素子の位置調整機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、撮像素子の位置調整機構としては、レンズ保持機構にレンズユニットを保持させると共に、撮像ユニット移動部に撮像ユニットを保持させ、スライドステージで撮像ユニットをＺ軸方向に移動させながら、撮影レンズが結像したチャート像を撮像ユニット内の撮像素子で撮像し、撮像面上に設定された少なくとも５つの撮像位置の合焦座標値を取得するものがある(例えば、特開２０１０−２１９８５号公報(特許文献１)参照)。この撮像素子の位置調整機構は、撮像位置毎に得られた合焦座標値を３次元座標系に展開することにより得られる複数の評価点の相対位置から近似結像面を算出し、この近似結像面に撮像面が一致するように、第２スライドステージと２軸回転ステージで撮像ユニットの位置および傾きを調整する。
【０００３】
上記撮像素子の位置調整機構では、チャート像を撮像するために、撮像ユニットの各接点に接触する複数のプローブピンを備えた第２プローブユニットが取り付けられており、この第２プローブユニットは、撮像ユニット内の撮像素子と撮像ドライバとを電気的に接続する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２１９８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記従来の撮像素子の位置調整機構では、測定チャートに対して、組立基準面となるレンズ位置決めプレートの調整機構は無く、測定チャートに対してレンズ位置決めプレートが機械精度で決まるチルト量で取り付けられている。この測定チャートとレンズ位置決めプレートの距離が比較的遠い場合は問題とならないが、装置サイズを小さくするために、測定チャートとレンズ位置決めプレートの距離を６０ｃｍ程度と近くした場合、被写界深度が浅くなるため、測定チャートに対して、レンズ位置決めプレートが３０分程度のチルト量で取り付けられていても、片ボケが生じてしまい撮像ユニットの傾き調整をする際の合焦座標値を取得できず、撮像ユニットの傾き調整ができなくなる。
【０００６】
また、上記従来の撮像素子の位置調整機構では、測定チャートに対して、組立基準面となるレンズ位置決めプレートの光軸と直交する方向の調整機構は無く、測定チャートに対してレンズ位置決めプレートが機械精度で取り付けられている。測定チャートとレンズ位置決めプレートの距離を６０ｃｍ程度と近くした場合、測定チャート中心とレンズ位置決めプレートの開口中心ズレが１ｍｍ以上ずれていた場合、測定チャート中心とレンズ中心を結ぶ光軸上に撮像素子中心が調整されるため、カメラモジュールがやぶ睨みの状態(光軸が見当違いな方向を向いた状態)に組み立てられてしまう。このようなやぶ睨み状態のカメラモジュールは、携帯電話に組み込まれた場合、組立基準面に対して光軸中心が斜め方向になってしまい、画像も斜め方向の画像を撮ることになる。もちろん、上記ずれは１ｍｍまで許容できるが、昨今のカメラモジュールは低背化がトレンドとなっており、レンズの画角が拡がる傾向にあるため、この数字は将来的にはさらに小さくなっていく。
【０００７】
そこで、この発明の課題は、測定チャートと組立基準面との距離を近接しても、レンズユニットに対する撮像ユニットの位置や傾きの調整を精度よく行うことができると共に、組み立て後にやぶ睨み状態にならないようにできる撮像素子の位置調整機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、この発明の撮像素子の位置調整機構は、
複数のチャートパターンが形成された測定チャートと、
上記測定チャートに交わるＺ軸上に配置された撮影レンズが組み込まれたレンズユニットを保持するためのレンズユニット保持部と、
上記撮影レンズによって結像される上記測定チャートのチャート像を撮像するように上記Ｚ軸上に配置された撮像素子が組み込まれた撮像ユニットを保持するための撮像ユニット保持部と、
上記レンズユニット保持部または上記撮像ユニット保持部のいずれか一方を、上記Ｚ軸方向に沿って移動させるＺ軸方向移動部と
上記撮像ユニットの撮像面に被写体像を結像する上記レンズユニットに対する上記撮像ユニットの位置または傾きの少なくとも一方を調整する第１調整部と
を備え、
上記レンズユニット保持部は、上記レンズユニットの光軸に対して直交する組立基準面を有し、
上記レンズユニット保持部の組立基準面に対する上記測定チャートのチャート面の傾き調整と上記レンズユニットの光軸に直交する方向に上記測定チャートの位置調整が可能な第２調整部を備えたことを特徴とする。
【０００９】
また、一実施形態の撮像素子の位置調整機構では、
上記レンズユニット保持部は、上記レンズユニットの光軸に対して直交する上記組立基準面を主平面とする保持板と、真空力を利用して上記レンズユニットを吸着する吸着部とを有し、
上記保持板は、上記レンズユニットの被写体側に開口する開口部が設けられ、
上記吸着部は、上記保持板の開口部近傍に上記レンズユニット保持部の光軸に対して斜め方向から設けられ、上記レンズユニットを吸着するためのバキューム孔を有する。
【００１０】
また、一実施形態の撮像素子の位置調整機構では、
上記レンズユニット保持部は、上記レンズユニットの筺体側面に移動可能な位置決めピンを当てることで、上記保持板に対して上記レンズユニットの光軸に直交する方向の位置決めを行うレンズユニット位置決め部を有する。
【発明の効果】
【００１１】
以上より明らかなように、この発明によれば、レンズユニット保持部の組立基準面に対する測定チャートのチャート面の傾き調整とレンズユニットの光軸に直交する方向に定チャートの位置調整が可能な第２調整部を備えることによって、測定チャートとレンズユニット保持部の組立基準面とを正しい位置関係に配置することができ、測定チャートと組立基準面との距離を近接しても、レンズユニットに対する撮像ユニットの位置や傾きの調整を精度よく行うことができると共に、組み立て後にやぶ睨み状態にならないようにできる撮像素子の位置調整機構を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１はこの発明の第１実施形態の撮像素子の位置調整機構の要部の斜視図である。
【図２】図２は上記撮像素子の位置調整機構のレンズユニット保持部の要部の分解斜視図である。
【図３】図３は上記撮像素子の位置調整機構の撮像ユニットと真空チャック部と駆動部および画像処理ユニットを含む要部を示す斜視図である。
【図４】図４は上記撮像素子の位置調整機構の図３に示す構成部を制御する制御ブロック図である。
【図５】図５は上記調整ステージ上に配置された画像処理ユニットとプローブピンホルダなどの分解斜視図である。
【図６】図６は上記プローブピンホルダの斜視図である。
【図７】図７は上記撮像素子の位置調整機構の要部の斜視図である。
【図８】図８は図７に示す撮像素子の位置調整機構の要部の上面図である。
【図９】図９は上記撮像素子の位置調整機構のレンズユニット保持部の要部の下面図である。
【図１０】図１０は上記レンズユニット保持部の要部の上面図である。
【図１１】図１１は上記レンズユニット保持部の要部の縦断面図である。
【図１２】図１２は上記レンズユニット保持部の要部を斜め上方から見た斜視図である。
【図１３】図１３は上記レンズユニット保持部の制御ブロック図である
【図１４】図１４は上記レンズユニット保持部とレンズユニット供給部の要部の縦断面図である。
【図１５】図１５は上記レンズユニット保持部とレンズユニット供給部の要部の拡大断面図である。
【図１６】図１６は上記レンズユニット保持部を撮像ユニット保持部の直上に移動した状態の要部の縦断面図である。
【図１７】図１７は図１６に続いてレンズユニット保持部に対して撮像ユニット保持部を近接させた状態の要部の縦断面図である。
【図１８】図１８は図１７に続いてレンズユニット保持部から撮像ユニット保持部を離間させた状態の要部の縦断面図である。
【図１９】図１９は上記撮像素子の位置調整機構の測定チャートと第２調整部を示す斜め上方から見た斜視図である。
【図２０】図２０は上記測定チャートと第２調整部を示す斜め下方から見た斜視図である。
【図２１】図２１は上記測定チャートと組立基準面との平行度の調整について説明するための模式図である。
【図２２】図２２は上記測定チャートが組立基準面に対して傾いているときの模式図である。
【図２３】図２３は上記測定チャートが組立基準面に対して傾いているときに撮像ユニットをレンズユニットから遠ざけた状態を示す模式図である。
【図２４】図２４は上記測定チャートのチャートパターンを示す図である。
【図２５】図２５は上記測定チャートの中心と組立基準面の開口の中心が一致しているときの模式図である。
【図２６】図２６は上記測定チャートの中心と組立基準面の開口の中心が一致していないときの模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、この発明の撮像素子の位置調整機構を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００１４】
〔第１実施形態〕
図１はこの発明の第１実施形態の撮像素子の位置調整機構の要部の斜視図を示し、図２は上記撮像素子の位置調整機構のレンズユニット保持部１０の要部の分解斜視図を示している。なお、この第１実施形態の撮像素子の位置調整機構は、スマートホンやデジタルカメラなどに用いられるカメラモジュールの撮像素子の位置調整を行う。
【００１５】
この第１実施形態の撮像素子の位置調整機構は、図１に示すように、測定チャート１と、レンズユニット２を保持するレンズユニット保持部１０と、撮像ユニット３により撮像されたチャート像に基づいて、撮像素子のＺ軸回りの傾きおよびそのＺ軸に直交するＸ軸,Ｙ軸回りの傾きを調整する撮像ユニット移動部２０を備えている。レンズユニット保持部１０は、レンズユニット２の位置決めを行うレンズユニット位置決め部１１を有する。
【００１６】
上記レンズユニット２は、測定チャート１に直交するＺ軸上に配置されている。この測定チャート１は、チャート照明用の光源(反射型または透過型)を有する。また、上記撮像ユニット３(センサ基板)は、レンズユニット２によって結像されるチャート像を撮像するようにＺ軸上に配置された撮像素子が搭載されている。
【００１７】
上記レンズユニット２は、ユニット本体内に組み込まれた撮影レンズ(図示せず)と、その撮影レンズを光軸方向に沿って移動させるＶＣＭ(Voice Coil Moto:ボイス・コイル・モータ)とを有する。上記撮影レンズは、例えば３〜５枚のプラスチックレンズまたはガラスレンズで主に構成されている。
【００１８】
図２に示すように、レンズユニット保持部１０は、レンズユニット２を吸着して保持する保持板１２と、その保持板１２に対するレンズユニット２の位置決めをするピン支持部１３,１３,１４,１５を含むレンズユニット位置決め部１１とを有する。上記レンズユニット保持部１０は、レンズユニット２の天面を基準面として吸着すると共に、ピン支持部１３,１３,１４,１５を使用して、４辺方向からレンズユニット２を挟みこんで固定を行う。上記保持板１２の上側の主平面を、レンズユニット２の光軸に対して直交する組立基準面１２aとしている。
【００１９】
また、上記撮像ユニット３は、基板(図示せず)と、その基板上に搭載された撮像素子とを有する。上記撮像ユニット３の基板裏面に、外周縁に沿って設けられた裏面電極パッドがコの字状に配列されている。
【００２０】
また、上記撮像ユニット移動部２０は、図１に示すように、撮像ユニット３を吸着する撮像ユニット保持部の一例としての真空チャック部２２の下部に配置されており、Ｚ軸方向の移動と、Ｚ軸に直交するＸ軸方向の移動と、Ｚ軸かつＸ軸に直交するＹ軸方向の移動と、Ｚ軸回りの回転と、Ｘ軸回りの回転と、Ｙ軸回りの回転を行う機能を備えた６軸ステージである。
【００２１】
上記撮像ユニット移動部２０は、真空チャック部２２をＺ軸方向に沿って移動させるＺ軸方向移動部と、撮像ユニット３の傾き調整および位置調整を行う第１調整部を含む。
【００２２】
また、上記撮像素子の位置調整機構は、レンズユニット２や撮像ユニット移動部２０を制御する制御装置３０と、レンズユニット２に撮像ユニット３を固定するための接着剤を塗布する接着剤塗布装置４０と、接着剤を固めるための紫外線を照射するＵＶ(紫外線)照射装置５０とを備えている。
【００２３】
上記制御装置３０は、撮像ユニット３により撮像されたチャート像に基づいて、レンズユニット２により結像されたチャート像の結像面に対する撮像素子の撮像面のＸ軸,Ｙ軸,Ｚ軸回りの傾きを算出する。なお、制御装置３０には、ＰＬＣ(Programmable Logic Controller；プログラマブルロジックコントローラ)を用いている。
【００２４】
上記構成の撮像素子の位置調整機構は、例えば除振台等の上に配置される。
【００２５】
図１において、レンズユニット２を吸着する真空チャック部２２の吸着パッドの上面を基準面とし、その基準面から測定チャート１までの距離Ｌを６００ｍｍとしている。
【００２６】
上記レンズユニット保持部１０の吸着パッドおよび撮像ユニット保持部の一例としての真空チャック部２２の吸着パッド(図示せず)に真空ポンプ６０を接続している。この真空ポンプ６０の吸引力によって、レンズユニット保持部１０の吸着パッドにレンズユニット２が吸着して位置決めされると共に、真空チャック部２２の吸着パッドに撮像ユニット３が吸着して位置決めされる。
【００２７】
図３は上記撮像素子の位置調整機構の撮像ユニット３と真空チャック部２２と駆動部７０および画像処理ユニット３３を含む要部を示す斜視図である。
【００２８】
図３に示すように、調整ステージ２３上に取付部２４を介してプローブピンホルダ２６が取り付けられている。図３では、プローブピンホルダ２６の開口部２７a,２８a(図５,図６に示す)に真空チャック部２２の先端側が没入した状態を示している。この真空チャック部２２は、電動シリンダ７１を有する駆動部７０により上下方向に移動する(図３の状態が調整ステージ２３に対して最下点)。
【００２９】
また、取付部２４上に、平面視が矩形状の撮像ユニット３に対して対角線の延長線上に外側から撮像ユニット３に向かって紫外線を照射するように４つのＵＶ照射部(紫外線照射部)５２を配置している。このＵＶ照射部５２は、図１に示すＵＶ照射装置５０から光ファイバー５１を介して紫外線が供給される。さらに、取付部２４上に中継基板３１の一部が取り付けられている。この中継基板３１にキャプチャーボード３２が接続されている。上記中継基板３１とキャプチャーボード３２で画像処理ユニット３３を構成している。
【００３０】
図４は上記撮像素子の位置調整機構の図３に示す構成部を制御する制御ブロック図を示している。
【００３１】
図４に示すように、制御装置３０は、真空チャック部２２の吸着パッドにより撮像ユニット３を吸着するか否かを制御する真空用電磁弁３４と、図３に示す駆動部７０の電動シリンダ７１を駆動するシリンダ用ドライバ３５と、ＵＶ照射装置５０とを制御する。
【００３２】
また、画像処理ＰＣ(Personal Computer：パーソナルコンピュータ)３６は、画像処理ユニット３３からの画像信号を処理する。なお、画像処理ＰＣ３６は、パーソナルコンピュータに限らず、マイクロコンピュータと入出力回路などからなるものでよい。
【００３３】
ＵＶ照射装置５０は、レンズユニット２と撮像ユニット３を固定する際にレンズユニット２の４隅から紫外線を照射することで、レンズユニット２と撮像ユニット３の間に塗布されたＵＶ硬化接着剤を硬化させて、レンズユニット２と撮像ユニット３とを固定する。
【００３４】
また、電動シリンダ７１(図３に示す)は、真空チャック部２２をプローブピン２９に対してＺ軸方向に上下動させるためのアクチュエータであり、制御装置３０からの指令により、シリンダ用ドライバ３５を作動させることで、電動シリンダ７１を上下動させる。
【００３５】
真空チャック部２２は、真空源である真空ポンプ６０(図１に示す)からの吸入力を使用して、真空チャック部２２に撮像ユニット３を保持するものである。この真空チャック部２２の吸入力は、制御装置３０からの指令により真空用電磁弁３４をオンオフすることによりコントロールされる。
【００３６】
図５は上記調整ステージ２３上に配置された画像処理ユニット３３とプローブピンホルダ２６等の分解斜視図である。
【００３７】
図５に示すように、調整ステージ２３上に固定された取付部２４の凹部２４aに中継基板３１の接続部３１aを嵌め込んで、中継基板３１を略水平に配置している。この中継基板３１の接続部３１a上面にコの字状に配列された電極パッド８０を形成している。また、中継基板３１の接続部３１aと反対の側の下面にコネクタ８１を介してキャプチャーボード３２を接続している。上記中継基板３１の電極パッド８０は、中継基板３１に形成された信号パターン(図示せず)とコネクタ８１を介してキャプチャーボード３２の信号接続部に電気的に接続されている。ここで、電極パッド８０を設けた中継基板３１を介することで、電極パッドを持たない標準のキャプチャーボード３２を使用できる。
【００３８】
そして、中継基板３１の接続部３１a上に、プローブピンホルダ２６が取り付けられている。このプローブピンホルダ２６は、コの字状に開口する開口部２７a,２８aを有し、その開口部２７a,２８aの周縁近傍にプローブピン２９をコの字状に配置している。
【００３９】
撮像ユニット３(図３に示す)と画像処理ユニット３３(図３に示す)とを電気的に接続する場合は、プローブピンホルダ２６のコの字状の開口部２７a,２８aに真空チャック部２２が没入して、撮像ユニット３の裏面電極パッドにプローブピン２９の上端が接触する。図６において、２７は基部、２８は基部２７上に固定された凸部２８である。この基部２７と凸部２８に水平方向の一方に切り欠かれたコの字状の開口部２７a,２８aを形成している。
【００４０】
図５に示すように、プローブピン２９は、撮像ユニット３の裏面電極パッドに押し当てて使用するが、片端(または両端)にバネ性を有し、電極パッドに押し当てても座屈しない構造となっている。プローブピン２９は、プローブピンホルダ２６に組み込まれており、プローブピン２９の下端が中継基板３１に設けられた電極パッド８０に接触する。
【００４１】
図７は上記撮像素子の位置調整機構の要部の斜視図を示し、図８は図７に示す撮像素子の位置調整機構の要部の上面図を示している。この図７,図８に示す撮像素子の位置調整機構に図示しない部品供給機構が加わってカメラモジュールの組立装置となる。図７,図８において、９１,９２はガイド部、９３はレンズユニット保持部１０をガイド部９１,９２に沿ってスライドさせるアクチュエータ、９４はケーブルベア(登録商標)である。
【００４２】
図８に示すように、保持板１２およびレンズユニット位置決め部１１(図９,図１０,図１１に示す)を含めたレンズユニット保持部１０は、撮像ユニット保持部である真空チャック部２２に対して、スライド可能に形成されており、保持板１２にレンズユニット２を吸着してレンズユニット位置決め部１１によりレンズユニット２の光軸に直交する方向の位置決めを行った後、アクチュエータ９３により真空チャック部２２(図３に示す)の直上にスライドさせることで、レンズユニット部品の供給を行っている。
【００４３】
また、図９は上記撮像素子の位置調整機構のレンズユニット保持部１０の要部の下面図を示し、図１０はレンズユニット保持部１０の要部の上面図を示し、図１１はレンズユニット保持部１０の要部の縦断面図を示し、図１２は上記レンズユニット保持部１０の要部を斜め上方から見た斜視図を示している。なお、図１１において、１０２,１０３は保持板１２が取り付けられた取付部である。また、図１０〜図１２において、１２１は真空経路である。
【００４４】
図９〜図１２に示すように、レンズユニット保持部１０は、測定チャート１と平行に保たれた保持板１２に、レンズユニット２内のあるトップレンズの開口と同等以上の開口部１００を形成している。この保持板１２に対して、レンズユニット２の物体側の筺体面を接触させ、保持板１２のレンズユニット２筺体面に当たる個所に設けられたバキューム孔１２０,１２０により、レンズユニット２を光軸方向に吸着する。このようにしてレンズユニット２を保持することで、レンズユニット２の変形なく、測定チャート１に平行となるようにレンズユニット２を保持できる。保持板１２に対してレンズユニット２がチルトして当たったとしても、バキューム吸着力により保持板１２に対して、レンズユニット２の天面が保持板１２の吸着面に沿うように取りつくため、保持板１２の組立基準面１２aに対してチルトすることは無い。
【００４５】
なお、レンズユニット保持部１０の開口部１００は、レンズユニット２のレンズ開口から被写体側に向かって広がる円錐形状をしている(図１１参照)。
【００４６】
レンズユニット２の光軸に直交する方向の保持板１２に対する位置決めは、図９,図１０に示すように、レンズユニット２の筺体の４側面の内の１側面に２本の位置決めピン１１４を押し当てると共に、それと直交するどちらかの筺体側面に１本の位置決めピン１１５を押し当てることで、直交する２側面を３点で位置決めし、レンズユニット２のレンズ開口中心と、測定チャート１中心を合わせることができる。これら位置決めピンは、レンズユニット２がバキュームチャックされた後、光軸と直交する方向から所定の位置にスライドしてくる。さらに、それら２側面に対抗するそれぞれの筺体側面を、同様に光軸と直交する方向からスライドする１本の位置決めピン１１３,１１３でそれぞれ押して、レンズユニット２の筺体側面に２面が位置決め位置決めピンに確実に当たるようにする。
【００４７】
上記位置決めピン１１３,１１３,１１４,１１５をシリンダ１６によりスライドさせる。
【００４８】
上記レンズユニット２は、保持板１２に対して光軸方向に真空チャックされているが、光軸と直交方向には真空が保たれる範囲内でスライド可能であり、このようにすることで、横方向の位置決めが確実にできる。同時に、レンズユニット２を光軸方向に真空チャックするときに、邪魔になる位置決めピン１１３,１１３,１１４,１１５を予め退避させておくことができ、保持板１２に確実にレンズユニット２をコンタクトさせて、真空チャックさせることができるため、チャッキングの信頼性が高まる。
【００４９】
レンズユニット保持部１０の真空チャック部は、上記保持板１２に光軸に対して斜め方向から空けられたバキューム孔１２０,１２０である。このように構成することで、レンズの画角を避けてバキューム孔１２０,１２０をレンズユニット２に近接することができると共に、保持板１２を厚くして基準面の剛性を増すことで、より高精度な組立もできる。また、バキューム孔１２０,１２０の開口面積を広くすることができ、真空チャック力も増すことができる。
【００５０】
また、図１３は上記レンズユニット保持部１０の制御ブロック図を示している。
【００５１】
図１３に示すように、制御装置３０は、真空チャック部２２の吸着パッドにより撮像ユニット３を吸着するか否かを制御する真空用電磁弁１３４と、位置決めピン１１３,１１３,１１４,１１５を動かすシリンダ１６を駆動するシリンダ用ドライバ１３５とを制御する。
【００５２】
レンズユニット２の天面をチャックする真空チャック部は、真空源(真空ポンプ等)からの吸入力を使用して、真空チャック部にレンズユニット２を保持するものである。吸入力は、図１３に示すように、制御装置３０からの指令により真空用電磁弁１３４をオンオフすることによりコントロールする。
【００５３】
図１３に示すようにシリンダ１６は、レンズユニット２の側面に位置決めピン１１３,１１３,１１４,１１５を押し当てることで、レンズユニット２を光軸に直交する方向に、測定チャート１に対して位置決めするためのアクチュエータであり、制御装置３０からの指令により、シリンダ用ドライバ１３５を作動させることで、シリンダ１６を左右にスライドさせる。
【００５４】
上記位置決めピン１１３を有するピン支持部１３と、位置決めピン１１３を有するピン支持部１３と、位置決めピン１１４を有するピン支持部１４と、位置決めピン１１５を有するピン支持部１５と、シリンダ１６,１６,１６,１６でレンズユニット位置決め部１１を構成している。
【００５５】
図１４は上記レンズユニット保持部１０とレンズユニット供給部２００の要部の縦断面図を示し、図１５は上記レンズユニット保持部１０とレンズユニット供給部２００の要部の拡大断面図を示している。
【００５６】
図１４,図１５に示すように、レンズユニット供給部２００は、レンズユニット２をレンズユニット保持部１０に対して測定チャート１(図１に示す)と反対方向から測定チャート１方向に移動して保持板１２に供給し、レンズユニット２を保持板１２に真空チャックする。測定チャート１に対して保持板１２は平行になるように調整する必要があるが、このように構成することで、カメラモジュールの基準面をレンズユニット２の筺体のレンズ開口のある面にすることができ、このカメラモジュールを携帯電話に取り付ける際に、カメラモジュールがやぶ睨みの状態にならず、画像の解像度を維持することができる。
【００５７】
レンズユニット供給部２００は、レンズユニット２の像面側からハンド２０１,２０１を用いて、レンズユニット２を挟んで保持し、レンズユニット保持部１０にレンズユニット２を供給する。
【００５８】
ここで、ハンド２０１,２０１ではなく、レンズユニット２の像面側を吸着しても構わない。その場合、レンズユニット保持部１０に対してレンズユニット２の光軸に直交する方向の位置決めをある程度行う必要がある(例えば、レンズユニット２の筺体の対角２箇所をアームで挟んで位置を整えるなど)。
【００５９】
図１６は上記レンズユニット保持部１０を撮像ユニット保持部である真空チャック部２２直上に移動した状態の要部の縦断面図を示し、図１７は図１６に続いてレンズユニット保持部１０に対して真空チャック部２２を近接させた状態の要部の縦断面図を示し、図１８は図１７に続いてレンズユニット保持部１０から真空チャック部２２を離間させた状態の要部の縦断面図を示している。
【００６０】
保持板１２およびレンズユニット位置決め部１１を含むレンズユニット保持部１０は、撮像ユニット移動部２０に対して、スライド可能に形成されており、保持板１２にレンズユニット２を吸着および位置決めを行った後、図１６に示すように、レンズユニット保持部１０が撮像ユニット移動部２０の撮像ユニット３の直上にスライドさせることで、レンズユニット部品の供給を行っている。
【００６１】
次に、図１７に示すように、撮像ユニット３が供給された撮像ユニット移動部２０は、スライドしてきたレンズユニット保持部１０に対して、光軸方向で所定の位置まで近接する。このとき、予め撮像ユニット３に塗布されていた紫外線硬化接着剤がレンズユニット２と接触し、レンズユニット２と撮像ユニット３との隙間が紫外線硬化接着剤で満たされる。
【００６２】
その後、レンズユニット２に対して撮像ユニット３の位置および傾きを調整し、紫外線硬化接着剤に紫外線を照射してレンズユニット２と撮像素子を固定することで、カメラモジュールが組み立てられる。
【００６３】
次に、レンズユニット保持部１０のレンズユニット位置決め部１１と真空チャックをリリースして、レンズユニット２の保持を解除した後、図１８に示すように、撮像ユニット移動部２０をレンズユニット保持部１０に対して光軸方向に離間させる。その後、レンズユニット保持部１０を光軸と直交する方向にスライドさせて撮像ユニット移動部２０上から無くした後、組み立てたカメラモジュールを取り出す。
【００６４】
撮像ユニット移動部２０において、２軸回転(θＸＹ)ステージ(θＺがあっても良い)は、自動２軸ゴニオステージで、２つのモータの回転により撮像面の中心を回転中心にして、撮像ユニット３をＸ軸の回りのθＸ方向と、Ｚ軸およびＸ軸に直交するＹ軸の回りのθＹ方向で撮像ユニット３を傾ける。これにより、撮像ユニット３を各方向に傾けたときに、撮像面の中心とＺ軸との位置関係がずれないようにしている。
【００６５】
図１９は上記撮像素子の位置調整機構の測定チャート１と第２調整部を示す斜め上方から見た斜視図を示し、図２０は上記測定チャート１と第２調整部を示す斜め下方から見た斜視図を示している。図１９において、３００はバックライトである。
【００６６】
図１９,図２０に示すように、測定チャート１は、アルミフレームで形成された２段構成の上段枠３０１,下段枠３０２のうちの上段枠３０１に取り付けられている。下段枠３０２の対角４隅には、ボルトとナットを使用した光軸方向に上段枠３０１,下段枠３０２をＺ方向にスライドさせる高さ調整機構３１３〜３１３が取り付けられており、保持板１２と測定チャート１の距離を正確に調整することができる。
【００６７】
また、上段枠３０１と下段枠３０２との間には、スクリュージャッキを使用したθｘ・θｙを調整するアオリ機構３１４〜３１４が設けられており、保持板１２の組立基準面１２aに対する測定チャート１のアオリを調整できる。
【００６８】
また、レンズユニット２の光軸に直交するＸ方向には、溝付きの板４枚によるＸ方向スライド調整部３１１〜３１１が取り付けられ、Ｙ方向にはアルミフレームの溝を利用したＹ方向スライド調整部３１２〜３１２が取り付けられている。
【００６９】
上記Ｘ方向スライド調整部３１１〜３１１とＹ方向スライド調整部３１２〜３１２とアオリ機構３１４〜３１４と高さ調整機構３１３〜３１３で第２調整部を構成している。
【００７０】
上記保持板１２の開口中心に対して、それぞれＸ方向・Ｙ方向に上段枠３０１,下段枠３０２をスライドさせて、測定チャート１中心を調整できるため、レンズユニット２に対して撮像ユニット３中心がやぶ睨みの状態(カメラモジュールの光軸が見当違いな方向を向いた状態)で調整されることが無くなる。また、撮像ユニット３の画像調整のために測定チャート１に設けられた像高３割、像高６割、像高９割の位置にあたる箇所にある矩形像のみを取り込み、それ以外をマスクして取り込み量を少なくし、画像処理時間を減らすことによりタクトタイムの短縮化を図っているが、最初に設定したマスク領域通り、正確に矩形画像を取り込むことができる。
【００７１】
撮像ユニット３の光軸周りの調整を行うときにも、撮像ユニット移動部２０のステージのθｚ回転調整量を少なくして、ステージ周りの配線の捻じれ等を少なくするために、測定チャート１にθｚ回転調整機構をつけても構わない。
【００７２】
次に、図シリンダ〜図２６を用いてレンズユニット保持部１０の組立基準面１２aに対する測定チャート１のチャート面の傾き調整とレンズユニット２の光軸に直交する方向に測定チャート１の位置調整について説明する。図２１〜図２６において、１は測定チャート、２はレンズユニット、３は撮像ユニット、１２は保持板である。
【００７３】
図２１は測定チャート１のチャート面１aと組立基準面１２aとが平行な場合を示している。
【００７４】
これに対して、図２２は測定チャート１のチャート面１aが組立基準面１２aに対して傾いている状態を示しており、レンズユニット２の光軸は組立基準面１２aに直交している。この状態で、レンズユニット２に対して撮像ユニット３の位置および傾きを調整しようとすると、測定チャート１の傾きに合わせて撮像ユニット３も傾くが、領域Ａでレンズユニット２に干渉するため、傾き調整ができない。
【００７５】
また、図２２のような干渉を防ぐために、図２３に示すように、撮像ユニット３をレンズユニット２から遠ざけた状態にすると、領域Ａでは干渉しなくなるが、測定チャート１の領域Ｂに対応する撮像ユニット３の撮像面の領域Ｃで焦点が合わなくなってしまう。
【００７６】
図２４は上記測定チャート１のチャートパターンを示しており、この測定チャート１は、図２４に示すように、矩形状のチャート面の中心を通る垂線と水平線で第１〜第４象限に４分割されている。測定チャート１のチャート面の第１,第２象限上に、黒色の正方形状のチャートパターン４０１,４０１を印刷している。また、測定チャート１のチャート面の第３,第４象限上に、黒色の正方形状のチャートパターン４０２,４０２を印刷すると共に、チャート面の中央部分にチャートパターン４０５を印刷している。
【００７７】
また、測定チャート１のチャート面の中心を通る垂線に重なるように、上側にアライメントマーク４０３を印刷すると共に、下側にアライメントマーク４０４を印刷している。
【００７８】
上記チャートパターン４０１,４０２,４０５は、全て同一形状,同一サイズの黒色の正方形である。
【００７９】
図２５は上記測定チャート１の中心と組立基準面１２aの開口の中心が一致しているときの模式図を示している。
【００８０】
これに対して、図２６は上記測定チャートの中心と組立基準面１２aの開口の中心が一致していないときの状態を示しており、カメラモジュールとしての光軸がレンズユニット２の光軸に対して傾くことになる。この場合、このカメラモジュールとしての光軸に撮像ユニット３の撮像面の中心が一致するように、撮像ユニット３の位置および傾きを調整すると、組み立て後のカメラモジュールは、やぶ睨み状態になる。
【００８１】
上記第１実施形態では、測定チャート１と略平行に保持され、かつ、レンズユニット２の物体側開口と同等以上の開口部１００が開いた保持板１２に対して、レンズユニット２の物体側の筺体面を接触させ、保持板１２のレンズユニット２の筺体面に当たる個所に設けられた吸着部(１２０,１２０)により、レンズユニット２を保持板１２に吸着する。このようにしてレンズユニット２を保持することで、確実にカメラモジュールの組立基準面をレンズユニット２の物体側開口面にすることができる。なお、吸着部(１２０,１２０)として真空チャックを用いたが、吸着部は電磁誘導などによるチャックにより実現してもよい。
【００８２】
また、レンズユニット２を変形させることなくレンズユニット２を保持できるため、レンズユニット２の筺体のひずみによるセンサの位置ずれや撮像ユニット３外れが起こりにくくなり、組立歩留まりが向上する。
【００８３】
また、カメラモジュールの画角は、図１１,図１５に示すように、レンズユニット２のレンズ開口から被写体側に向かって広がる円錐形状になっているため、保持板に単一の円筒形状で開口を形成した場合、開口径がレンズユニットのフットプリントより大きくなってしまうため、保持板にレンズユニットを当てることができない。保持板にレンズユニッを当てるためには、保持板を薄くすることになるが、撮像ユニット３を調整するためのゴニオステージや並進ステージの動作時の振動の影響を受けやすくなる。
【００８４】
そこで、この第１実施形態では、保持板１２を厚くして剛性を高め、撮像ユニット３の調整時のゴニオステージや並進ステージの動作時の振動を軽減するために、保持板１２の開口部をカメラジュールの画角に合わせて円錐形状に形成している(または、複数の段付き円筒形状でもよい)。この場合、真空チャックにより吸着する場合には、バキューム孔１２０,１２０をレンズユニット２の天面に近接して設けるために、光軸に対して斜めから真空経路１２１を保持板１２に開けている。真空経路１２１を斜めから開けることで、バキューム孔１２０,１２０が円から楕円になるため、開口面積が増えて吸着力が増す。
【００８５】
測定チャート１と保持板１２の平行度を確保するため、測定チャート１にアオリ機構３１４〜３１４と高さ調整機構３１３〜３１３を設けることで、測定チャート１と保持板１２の距離を近接できるため、装置の小型化ができる。
【００８６】
また、測定チャート１中心と保持板１２の開口部１００の中心を高精度に合わせるために、保持板１２に対して測定チャート１側にレンズユニット２の光軸に直交する方向に調整するための調整機構(Ｘ方向スライド調整部３１１〜３１１,Ｙ方向スライド調整部３１２〜３１２)を設けることによって、カメラモジュールがやぶ睨みの状態で組み立てられることを防ぐことができる。
【００８７】
上記構成の撮像素子の位置調整機構によれば、測定チャート１とレンズユニット保持部１０の距離を狭くして小型化を図ると顕著になる測定チャート１とレンズユニット保持部１０の組立基準面１２aのアオリを無くすことにより、片ボケを防いで、撮像ユニット３を調整するときに、例えば、合焦座標値を取得ができずにレンズユニット２に対する撮像ユニット３の位置や傾きの調整ができなくなるのを防ぐことができる。
【００８８】
また、上記測定チャート１の中心とレンズユニット保持部１０に保持されたレンズユニット２の光軸との位置調整を行うことにより、測定チャート１中心とレンズ中心とを結ぶ光軸とレンズユニット保持部１０の組立基準面１２aが直交するようになり、その光軸上に撮像ユニット３の撮像面の中心の位置が調整されるようになるため、カメラモジュールがやぶ睨みの状態に組み立てられてしまうのを防ぐことができる。
【００８９】
また、上記保持板１２の開口部近傍にレンズユニット保持部１０の光軸に対して斜め方向からバキューム孔１２０,１２０を設けたことにより、レンズの画角を避けてバキューム孔１２０,１２０をレンズユニット２に近接することができると共に、保持板１２を厚くして組立基準面１２aの剛性を増すことで、撮像ユニット３を調整するステージの振動の影響を少なくすることができ、より高精度な組立ができる。また、光軸と同方向に開けたバキューム孔に比べて、斜めから開けたバキューム孔１２０,１２０の開口面積が広くなるため、真空による吸着力も増すことができる。
【００９０】
また、上記レンズユニット２は保持板１２に対して、レンズユニット２の光軸に方向に吸着されるが、レンズユニット２の光軸に直交する方向に位置決めが可能である。上記レンズユニット２を光軸方向に吸着するときに、邪魔になる位置決めピン１１３,１１３,１１４,１１５を予め退避させておくことで、保持板１２に確実にレンズユニット２をコンタクトさせて、吸着させることができるため、チャッキングの信頼性が高まる。
【００９１】
従来の撮像素子の位置調整機構(特許文献１)では、レンズ保持機構の中で、測定チャートと平行に設けられたレンズ位置決めプレートに、レンズユニットの側面を把持して測定チャート方向に移動させて、レンズユニット天面を押しつけることで、組立基準面としている。これは、レンズユニット筺体が成型品であるため、レンズユニット側面に把持するための溝を設けることができ、その溝に把持プレートを入れて測定チャート方向に動かすことで、レンズユニット天面をレンズ位置決めプレートに強力に押しつけることができる。
【００９２】
しかし、昨今のカメラモジュールは、コストダウンとＡＦ(Autofocus；オートフォーカス)のマグネットの漏れ磁界対策および美観のために、メッキした鉄材料でレンズユニット筺体を作ることが多く、その場合は把持用の溝を設けることが困難である。
【００９３】
また、普通にハンドでチャックした場合でも、レンズユニット筺体に傷がつかない様にするために、あまり把持力を上げることができず、結果としてレンズユニット天面をレンズ位置決めプレートに押しつける場合、レンズユニットの側面はメッキしていることもあって、ハンドが滑り、位置決めプレートに強力に押しつけることができず、レンズユニットがチルトしたりし易い。そのため、カメラモジュール組立時に歩留まりが悪くなりやすい。
【００９４】
また、レンズユニットの側面をハンドで保持した場合、レンズユニットが微小ながらも変形するため、レンズユニットが変形したまま、センサ調整を行い接着剤で固定した場合、レンズユニットの保持を解除すると、ユニットの変形が元に戻るが接着固定されているため、ひずみが生じ、調整したセンサ位置がずれたり、最悪の場合レンズユニットと撮像ユニットが外れたりする原因になり、これも組立の歩留まりを落とすことになる。
【００９５】
これに対して、この第１実施形態の撮像素子の位置調整機構は、カメラモジュールの組立基準面をレンズユニットのレンズ物体側開口のある面にする。カメラモジュールは、携帯電話の筺体保持部に対してレンズユニットのレンズ開口のある面を当てて保持されるため、カメラモジュールの基準面を、レンズユニットのレンズ開口のある面にする必要がある。
【００９６】
〔第２実施形態〕
次に、この発明の第２実施形態の撮像素子の位置調整機構は、第２調整部を除いて第１実施形態の撮像素子の位置調整機構と同一の構成をしており、図１,図２を援用する。
【００９７】
第１実施形態の撮像素子の位置調整機構では、測定チャート１の上段枠３０１と下段枠３０２との間には、スクリュージャッキを使用したθｘ・θｙを調整するアオリ機構３１４〜３１４を設けたが、この第２実施形態の撮像素子の位置調整機構では、下段枠３０２の対角４隅に配置され、ボルトとナットを使用した光軸方向に上段枠３０１,下段枠３０２をＺ方向にスライドさせる高さ調整機構３１３〜３１３を用いてθｘ・θｙを調整する。
【００９８】
これにより、第２調整部を簡略化でき、測定チャート１を装置天井に取り付ける場合にその分の軽量化につながる。
【００９９】
上記第２実施形態の撮像素子の位置調整機構においても、第１実施形態の撮像素子の位置調整機構と同様の作用効果を有する。
【０１００】
〔第３実施形態〕
次に、この発明の第３実施形態の撮像素子の位置調整機構は、第２調整部を除いて第１実施形態の撮像素子の位置調整機構と同一の構成をしており、図１,図２を援用する。
【０１０１】
第１実施形態の撮像素子の位置調整機構では、Ｘ方向スライド調整部３１１〜３１１とＹ方向スライド調整部３１２〜３１２とアオリ機構３１４〜３１４と高さ調整機構３１３〜３１３で構成された第２調整部を用いて、測定チャート１のチャート面の傾き調整とレンズユニット２の光軸に直交する方向に測定チャート１の位置調整をしたが、この第３実施形態の撮像素子の位置調整機構では、保持板にアオリ機構と高さ調整機構を設けて、保持板の傾き調整と位置調整を行う。
【０１０２】
これにより、レンズユニット保持部１０の組立基準面１２aに対する測定チャート１のチャート面の傾き調整と、レンズユニット２の光軸に直交する方向に測定チャート１の位置調整を行うことができる。
【０１０３】
上記第３実施形態の撮像素子の位置調整機構においても、第１実施形態の撮像素子の位置調整機構と同様の作用効果を有する。
【０１０４】
上記第１〜第３実施形態では、Ｚ軸方向の移動と、Ｚ軸に直交するＸ軸方向の移動と、Ｚ軸かつＸ軸に直交するＹ軸方向の移動と、Ｚ軸回りの回転と、Ｘ軸回りの回転と、Ｙ軸回りの回転を行う機能を備えた６軸ステージを撮像ユニット移動部２０として用いたが、撮像ユニット保持部により保持される撮像素子の撮像素子のＺ軸回りの傾きが許容範囲内になるように撮像ユニット保持部により撮像ユニットを保持できる場合、移動部は、Ｚ軸回りの回転を行う機能を備えなくてもよい。
【０１０５】
この発明の具体的な実施の形態について説明したが、この発明は上記第１〜第３実施形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施することができる。
【０１０６】
この発明の撮像素子の位置調整機構は、
複数のチャートパターンが形成された測定チャート１と、
上記測定チャート１に交わるＺ軸上に配置された撮影レンズが組み込まれたレンズユニット２を保持するためのレンズユニット保持部１０と、
上記撮影レンズによって結像される上記測定チャート１のチャート像を撮像するように上記Ｚ軸上に配置された撮像素子が組み込まれた撮像ユニット３を保持するための撮像ユニット保持部２２と、
上記レンズユニット保持部１０または上記撮像ユニット保持部２２のいずれか一方を、上記Ｚ軸方向に沿って移動させるＺ軸方向移動部２０と
上記撮像ユニット３の撮像面に被写体像を結像する上記レンズユニット２に対する上記撮像ユニット３の位置または傾きの少なくとも一方を調整する第１調整部２０と
を備え、
上記レンズユニット保持部１０は、上記レンズユニット２の光軸に対して直交する組立基準面を有し、
上記レンズユニット保持部１０の組立基準面に対する上記測定チャート１のチャート面の傾き調整と上記レンズユニット２の光軸に直交する方向に上記測定チャート１の位置調整が可能な第２調整部(３１１〜３１１,３１２〜３１２,３１４〜３１４,３１３〜３１３)と
を備えたことを特徴とする。
【０１０７】
上記構成によれば、撮像素子の位置調整機構を小型化した場合、測定チャート１とレンズユニット保持部１０の距離が狭くなることで顕著になる測定チャート１とレンズユニット保持部１０の組立基準面のアオリを無くすことにより、片ボケを防いで、撮像ユニット３の調整時に、例えば、合焦座標値を取得ができずにレンズユニット２に対する撮像ユニット３の位置や傾きの調整ができなくなるのを防ぐことができる。また、上記測定チャート１の中心とレンズユニット保持部１０に保持されたレンズユニット２の光軸との位置調整を行うことにより、測定チャート１中心とレンズ中心とを結ぶ光軸とレンズユニット保持部１０の組立基準面が直交するようになり、その光軸上に撮像ユニット３の撮像面の中心の位置が調整されるようになるため、カメラモジュールがやぶ睨みの状態に組み立てられてしまうのを防ぐことができる。
【０１０８】
また、一実施形態の撮像素子の位置調整機構では、
上記レンズユニット保持部１０は、上記レンズユニット２の光軸に対して直交する上記組立基準面を主平面とする保持板１２と、真空力を利用して上記レンズユニット２を吸着する吸着部とを有し、
上記保持板１２は、上記レンズユニット２の被写体側に開口する開口部が設けられ、
上記吸着部は、上記保持板１２の開口部近傍に上記レンズユニット保持部１０の光軸に対して斜め方向から設けられ、上記レンズユニット２を吸着するためのバキューム孔１２０,１２０を有する。
【０１０９】
上記実施形態によれば、保持板１２の開口部近傍にレンズユニット保持部１０の光軸に対して斜め方向からバキューム孔を設けたことにより、レンズの画角を避けてバキューム孔１２０,１２０をレンズユニット２に近接することができると共に、保持板１２を厚くして組立基準面の剛性を増すことで、撮像ユニット３を調整するステージの振動の影響を少なくすることができ、より高精度な組立ができる。また、光軸と同方向に開けたバキューム孔に比べて、斜めから開けたバキューム孔１２０,１２０の開口面積が広くなるため、真空による吸着力も増すことができる。
【０１１０】
また、一実施形態の撮像素子の位置調整機構では、
上記レンズユニット保持部１０は、上記レンズユニット２の筺体側面に移動可能な位置決めピン１１３,１１３,１１４,１１５を当てることで、上記保持板１２に対して上記レンズユニット２の光軸に直交する方向の位置決めを行うレンズユニット位置決め部１１を有する。
【０１１１】
上記実施形態によれば、レンズユニット２は、保持板１２に対してレンズユニット２の光軸に方向に吸着されるが、レンズユニット位置決め部１１によってレンズユニット２の光軸に直交する方向に位置決めが可能である。上記レンズユニット２を光軸方向に吸着するときに、邪魔になる位置決めピン１１３,１１３１１４,１１５を予め退避させておくことで、保持板１２に確実にレンズユニット２をコンタクトさせて、吸着させることができるため、チャッキングの信頼性が高まる。
【符号の説明】
【０１１２】
１…測定チャート
１a…チャート面
２…レンズユニット
３…撮像ユニット
１０…レンズユニット保持部
１１…レンズユニット位置決め部
１２…保持板
１２a…組立基準面
１３,１３,１４,１５…ピン支持部
１６…シリンダ
２０…撮像ユニット移動部
２２…真空チャック部
２３…調整ステージ
２４…取付部
２６…プローブピンホルダ
２７…基部
２７a…開口部
２８…凸部
２８a…開口部
２９…プローブピン
３０…制御装置
３１…中継基板
３２…キャプチャーボード
３３…画像処理ユニット
３４…真空用電磁弁
３５…シリンダ用ドライバ
３６…画像処理ＰＣ
４０…接着剤塗布装置
５０…ＵＶ照射装置
５１…光ファイバー
５２…ＵＶ照射部
６０…真空ポンプ
７０…駆動部
７１…電動シリンダ
８０…電極パッド
８１…コネクタ
９１,９２…ガイド部
９３…アクチュエータ
９４…ケーブルベア
１００…開口部
１０２,１０３…取付部
１１３,１１３１１４,１１５…位置決めピン
１２０…バキューム孔
１３４…真空用電磁弁
１３５…シリンダ用ドライバ
２００…レンズユニット供給部
２０１,２０２…ハンド
３００…バックライト
３０１…上段枠 
３０２…下段枠
３１１…Ｘ方向スライド調整部
３１２…Ｙ方向スライド調整部
３１３…高さ調整機構
３１４…アオリ機構
【図１】
2015004742.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2015004742.tif 000008
【図７】
2015004742.tif 000009
【図８】
2015004742.tif 000010
【図９】
2015004742.tif 000011
【図１０】
2015004742.tif 000012
【図１１】
2015004742.tif 000013
【図１２】
2015004742.tif 000014
【図１３】
2015004742.tif 000015
【図１４】
2015004742.tif 000016
【図１５】
2015004742.tif 000017
【図１６】
2015004742.tif 000018
【図１７】
2015004742.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2015004742.tif 000021
【図２０】
2015004742.tif 000022
【図２１】
2015004742.tif 000023
【図２２】
2015004742.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
2015004742.tif 000026
【図２５】
2015004742.tif 000027
【図２６】
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