(57)【要約】      （修正有）【課題】流路板にダンパ室を形成したときにダンパ機能を損なうことなく安定した滴吐出を行うことができる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】フィルタ下共通液室２５の壁面の一部に変形可能なダンパ領域２４が設けられ、ダンパ領域２４に対応してフィルタ下共通液室２５とは反対側に凹部からなるダンパ室３５が設けられ、ダンパ室３５の底面は、中央平面部と周辺平面部を有し、中央平面部に深さよりも周辺平面部の深さを浅くし、ダンパ室３５の底壁部分の剛性を高める。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルが通じる複数の個別液室を形成する流路板と、
前記複数の個別液室の液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材と、
前記共通液室の壁面の一部に変形可能なダンパ領域を形成する壁面部材と、を備え、
前記流路板には、前記ダンパ領域に対応して前記共通液室と反対側に凹部からなるダンパ室が設けられ、
前記ダンパ室の底面は、深さの異なる２つ以上の平面部で構成され、
前記底面の少なくとも中央部に深さの深い平面部が形成され、
前記底面の周辺部の少なくとも一部に前記中央部の平面部よりも深さの浅い平面部が形成されている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記ダンパ領域には、ノズル配列方向で、ノズル配列方向と交差する方向のリブが設けられて複数の分割ダンパ領域に分割され、
前記リブに対応する前記流路板の部分は、前記凹部が形成されていないか、又は、前記凹部の深さが浅くなっている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記分割ダンパ領域に対応する前記ダンパ室の部分は互いに通じ、かつ、大気開放通路を介して大気に開放されている
ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記大気開放通路は、前記ダンパ室の最も深い部分と並ばない位置で前記ダンパ室に接続されている
ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置、例えばインクジェット記録装置が知られている。
【０００３】
液体吐出ヘッドにおいては、液滴を吐出させるために個別液室を加圧したとき、個別液室で生じた圧力変動が、圧力波となって、複数の個別液室に液体を供給する共通液室（共通流路）にも伝播する。この共通液室に伝播した圧力波が、個別液室に逆伝播すると、個別液室の圧力を変動させ、ノズルのメニスカスを制御できなくなり、所要の滴速度、滴量（滴体積）で液滴を吐出できなくなったり、滴不吐出を引き起こすことになる。また、共通液室に伝播した圧力波が隣接する個別液室に伝播して液体にも影響が及ぶ相互干渉が生じると、意図しないノズルからの液滴の漏洩や吐出、吐出状態の不安定を誘発することになる。
【０００４】
そこで、従来、共通液室の壁面を形成している壁面部材の一部を変形可能なダンパ領域（ダンパ）とし、流路板にダンパ領域（ダンパ）を介して共通液室に対向する凹状のダンパ室を設け、ダンパ室の底壁は、断面形状で曲面形状とし、あるいは、中央部を周辺部より高く（浅く）したものが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−０６１７１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、流路板に凹形状のダンパ室を形成すると、ダンパ室の部分で剛性が低下することになる。特に、ノズル板と流路板とを積層して接合するとき、ダンパ室となる凹部の底壁部分の加圧ができないことからノズル板との接合が十分でなく、滴吐出時の圧力変動によって振動することがある。この振動がノズル板を伝わってメニスカスを揺らし、滴吐出速度が変動するなどの安定した滴吐出を行うことができないという問題がある。
【０００７】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、流路板にダンパ室を形成したときにダンパ機能を損なうことなく安定した滴吐出を行うことができるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズルが通じる複数の個別液室を形成する流路板と、
前記複数の個別液室の液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材と、
前記共通液室の壁面の一部に変形可能なダンパ領域を形成する壁面部材と、を備え、
前記流路板には、前記ダンパ領域に対応して前記共通液室と反対側に凹部からなるダンパ室が設けられ、
前記ダンパ室の底面は、深さの異なる２つ以上の平面部で構成され、
前記底面の少なくとも中央部に深さの深い平面部が形成され、
前記底面の周辺部の少なくとも一部に前記中央部の平面部よりも深さの浅い平面部が形成されている
構成とした。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、流路板にダンパ室を形成したときにダンパ機能を損なうことなく安定した滴吐出を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の要部断面説明図である。
【図２】同ヘッドのノズル板の平面説明図である。
【図３】同ヘッドの流路板の平面説明図である。
【図４】同ヘッドの振動板部材の平面説明図である。
【図５】同実施形態におけるダンパ室部分の拡大断面説明図である。
【図６】比較例の説明に供するダンパ室部分の拡大断面説明図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの振動板部材の平面説明図である。
【図８】同ヘッドの流路板の平面説明図である。
【図９】本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの流路板の平面説明図である。
【図１０】本発明に係る画像形成装置の一例を示す機構部の側面説明図である。
【図１１】同機構部の要部平面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図４を参照して説明する。図１は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の要部断面説明図、図２は同ヘッドのノズル板の平面説明図、図３は同ヘッドの流路板の平面説明図、図４は同ヘッドの振動板部材の平面説明図である。
【００１２】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板２と、流路部材である流路板３と、壁面部材を兼ねる振動板部材４と、第２共通液室部材５と、フィルタ部材６と、第１共通液室部材７と積層を接合している。
【００１３】
ノズル板２には、液滴を吐出する複数のノズル２０が配列されている。このノズル板２は、例えば、ステンレス（ここでは、ＳＵＳ３１６）を用いてプレス加工でノズル２０を形成している。
【００１４】
流路板３は、ノズル２０に通じる個別液室である圧力室２１と、圧力室２１に通じる流体抵抗部２７と、流体抵抗部２７が通じる液導入部２８とを形成している。この流路板３は、例えばステンレス（ここではＳＵＳ３１６）を用いてプレス加工で形成し、プレスによる変形、バリは両面研磨によりほぼ平らとなるように後処理をした。
【００１５】
振動板部材４は、第１層４Ａと第２層４Ｂの２層構造（３層以上でもよい。）とし、第１層４Ａによって圧力室２１の一部の壁面を変位可能な振動領域４ａとして形成する。また、振動板部材４には、フィルタ下共通液室２５に臨み、フィルタ下共通液室２５と各圧力室２１の液導入部２８とを通じる液体供給路２３が形成されている。この振動板部材４は、Ｎｉ電鋳で形成している。
【００１６】
そして、振動板部材４の圧力室２１と反対側には第２共通液室部材５、フィルタ部材６、このヘッドのフレームを兼ねる第１共通液室部材７を順次積層して接着剤で接合している。
【００１７】
第１共通液室部材７と第２共通液室部材５とによって各圧力室２１に通じる共通液室１０を形成する共通液室部材を構成している。共通液室１０は、フィルタ部材６の上流側のフィルタ上共通液室２６と、下流側のフィルタ下共通液室２５とで形成されている。
【００１８】
フィルタ部材６には、多数のフィルタ孔を形成したフィルタ領域が設けられ、フィルタ上共通液室２６からフィルタ下共通液室２５に流れる液体から異物を捕集する。
【００１９】
第１共通液室部材７は、フィルタ上共通液室２６を形成し、外部から液体を供給するための図示しない液体供給口部が設けられている。液体供給口部は、フィルタ上共通液室２６の長手方向の両端にそれぞれ配置されている。
【００２０】
振動板部材４の振動領域４ａの圧力室２１とは反対側に圧電アクチュエータ８を配置している。
【００２１】
圧電アクチュエータ８は、ノズル列に合わせてベース部材３３に例えばノズルピッチの半分のピッチで柱状の圧電素子（圧電柱）を形成した圧電部材３２を接合している。圧電部材３２の各圧電柱は振動板部材４の振動領域４ａに形成された凸部４ｂと接合されて、フレキシブル配線部材３４に備えられる駆動ＩＣからフレキシブル配線部材３４を介して駆動信号が与えられる。
【００２２】
また、流路板３と共通液室部材（第２共通液室部材５）とは壁面部材である振動板部材４を挟んで積層されている。
【００２３】
そして、共通液室１０を構成するフィルタ下共通液室２５の壁面を形成する振動板部材４の部分の一部には、第１層４Ａによって形成した薄層の変形可能な領域（ダンパ：以下「ダンパ領域」という。）２４としている。つまり、本実施形態ではダンパ領域２４を設ける流路はフィルタ下共通液室２５としている。
【００２４】
流路板３には、ダンパ領域２４に対応してダンパ領域２４を挟んでフィルタ下共通液室２５と反対側に凹部（凹形状部）からなるダンパ室３５を形成している。
【００２５】
そして、ダンパ室３５は、流路板３及び振動板部材４に形成した形成した大気開放通路４１、４２を通じて大気（外部）に開放されている。
【００２６】
この液体吐出ヘッドでは、圧電アクチュエータ８を駆動することで振動板部材４の振動領域４ａが変位して、圧力室２１の液体が加圧されて、ノズル２０から液滴が吐出される。
【００２７】
次に、本実施形態におけるダンパ室の構成について図５も参照して説明する。図５は同ダンパ室部分の拡大断面説明図である。なお、図３にはダンパ室の深さに応じて同じ深さの領域には面塗りを施している。
【００２８】
ここで、図５（ａ）に示すように、ダンパ室３５の底面は、中央部の平面部（以下、「中央平面部」という。）３６ａと周辺部の平面部（以下、「周辺平面部」という。）３６ｂの２つの平面部で構成されている。そして、凹部の開口側を基準として底面までを深さ方向とすると、中央平面部３６ａの深さＨ１よりも周辺平面部３６ｂの深さＨ２を浅くしている。
【００２９】
ここで、ダンパ室３５の底面とは、ダンパ領域２４と対向しているダンパ室３５の壁面であり、図５の本実施形態ではダンパ領域２４に対して図の上下方向における下側の壁面が底面である。また、図の上下方向においてダンパ領域２４に対して上側にダンパ室３５を設ける場合には、底面はダンパ領域２４に対して上側に位置する。つまり、ダンパ室を形成する凹部の底面である。
【００３０】
また、中央部とは、流路板３の平面視（図３）におけるダンパ室３５の底面の中央部である。
【００３１】
つまり、流路板３の厚みで見た場合、中央平面部３６ａに対応する部分では薄くなるが、周辺平面部３６ｂに対応する部分では厚くなり、ダンパ室３５部分での流路板３の剛性低下を低減することができる。
【００３２】
これにより、滴吐出時にダンパ室３５に対応する部分での振動が低減して安定して滴吐出を行うことができる。
【００３３】
すなわち、図６に示す比較例のように、全体を中央平面部３６ａと同じ深さまで彫り込んだ形状とした場合、ダンパ室３５の底壁部分（図６で破線３７で囲む部分）が薄くなる。このダンパ室３５の底壁部分は、ノズル板２及び振動板部材４と接合するときに加圧できない部分であり、接合不良が発生し易く、そのために、前述したように滴吐出動作で振動して安定した滴吐出ができなくなる原因となる。
【００３４】
そこで、本実施形態のように、ダンパ室３５の底壁部分の薄い領域を少なくして剛性を高めることで、接合不良が低減し、滴吐出動作で振動することが抑制され、安定した滴吐出ができるようになる。
【００３５】
また、中央平面部３６ａに深さが深いことで、図５（ｂ）に示すように、ダンパ領域２４が変形したときにダンパ室３５の底面と干渉することなく、ダンパ機能を確保することができる。
【００３６】
また、ダンパ室３５の底面を平面部とすることでエッチングでの製作が容易になる。
【００３７】
すなわち、ＳＵＳ基板にエッチングでダンパ室３５となる凹部を形成するとき、エッチングが幅、深さ方向で同等に進行するので、幅と深さが同等（深さが幅の１／２以下）であれば、底面を曲面形状に形成することもできるが、深さが幅の１／１０〜１／１００になると曲面形状とすることは困難である。幅と深さが同等（深さが幅の１／２以下）では大きなダンパを得ることができない。
【００３８】
これに対して、ダンパ室３５の底面を平面部とすることで、深さが幅の１／１０〜１／１００となるような大きなダンパを得ることができる。
【００３９】
また、例えば流路板３を３層構造とすることによっても簡単に製作することができる。
【００４０】
次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図７及び図８を参照して説明する。図７は同ヘッドの振動板部材の平面説明図、図８は同ヘッドの流路板の平面説明図である。
【００４１】
本実施形態において、ダンパ領域２４には、ノズル配列方向でノズル配列方向と交差する方向のリブ４１が設けられ、複数の分割ダンパ領域２４Ａに分割されている。
【００４２】
この複数の分割ダンパ領域２４Ａに対応するダンパ室３５の部分、すなわち、リブ４１に対応する部分は、前記周辺平面部３６ｂと同じ深さに形成されている。
【００４３】
このように、分割ダンパ領域２４Ａ間のリブ４１の部分は変形しないので、ダンパ室３５側も浅くすることで、流路板３の剛性を高める（剛性低下を抑える）ことができる。
【００４４】
次に、本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図９を参照して説明する。図９は同ヘッドの流路板の平面説明図である。
【００４５】
本実施形態では、流路板３には、前記第２実施形態におけるリブ４１に対応する部分には凹部を形成しない構成としている。つまり、ダンパ室のリブ４１に対応する部分には、ノズル配列方向におけるダンパ室の一方の壁面から、ノズル配列方向と直交する方向におけるダンパ室の全幅に対して部分的に設けられた突起が形成されている。
【００４６】
これにより、前記第２実施形態よりも流路板３の剛性を高めることができる。 
【００４７】
なお、上記第２、第３実施形態において、分割ダンパ領域２４Ａに対応するダンパ室３５の部分は、それぞれ周辺平面部３６ｂの部分を介して通じており、端部の大気開放通路４１によって大気に開放されている。
【００４８】
また、ノズル列配列方向に垂直な方向においてダンパ室３５の最深部である中央平面部３６ａと大気開放通路４１の接続位置はずらしている。すなわち、ダンパ室を大気に開放する大気開放通路４１は、ダンパ室３５の最も深い部分と並ばない位置に設けられている構成とする。
【００４９】
これにより、剛性の弱い最深部分と大気開放通路が一列に並ばない構成とすることができ、流路板３全体の剛性を低下させないで済む。
【００５０】
また、上記の各実施形態では、平面視で周辺平面部が中央平面部の四辺すべてを取り囲むように形成されている例で説明しているが、例えば、底面の周辺部の一部に深い箇所が形成されていても良い。つまり、平面視でコの字型の周辺平面部であってもよい。
【００５１】
また、上記の各実施形態では、ダンパ室の底面が２つの平面部で構成されている例で説明したが、ダンパ室の底面を構成する平面部は２つに限られず、３つ以上の平面部で構成することもできる。例えば、周辺底面部３６ｂに段差を形成して、周辺底面部３６ｂを２つの平面部で構成し、ダンパ室の底面を３つの平面部で構成するなどこともできる。
【００５２】
次に、本発明に係る画像形成装置の一例について図１０及び図１１を参照して説明する。図１０は同装置の機構部の側面説明図、図１１は同機構部の要部平面説明図である。
【００５３】
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持している。そして、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。
【００５４】
このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４ａ、２３４ｂ（以下、区別しないときは「記録ヘッド２３４」というように言う。他の部材も同様である。）を搭載している。記録ヘッド２３４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【００５５】
記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有する。一方の記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を吐出する。他方の記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としているが、各色毎の液体吐出ヘッドを備えることもできる。
【００５６】
また、キャリッジ２３３には、記録ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのサブタンク２３５を搭載している。このサブタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニット２２４によって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。
【００５７】
一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向する分離パッド２４４を備えている。分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。
【００５８】
そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えている。そして、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。
【００５９】
この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。
【００６０】
さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。
【００６１】
また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて、再度、カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。
【００６２】
さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャッピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）を備えている。また、維持回復機構２８１は、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３を備えている。また、維持回復機構２８１は、増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。
【００６３】
また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８８を配置している。この空吐出受け２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。
【００６４】
このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド部材２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送される。更に、用紙２４２の先端が搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００６５】
そして、帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。
【００６６】
そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。
【００６７】
このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【００６８】
なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味である。被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。
【００６９】
また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。
【００７０】
また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用いる。例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。
【００７１】
また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。
【００７２】
また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。
【符号の説明】
【００７３】
２  ノズル板
３  流路板
４  振動板部材
５  第２共通液室部材
６  フィルタ部材
７  第１共通液室部材
８  圧電アクチュエータ
１０  共通液室
２０  ノズル
２１  圧力室（個別液室）
２４  ダンパ領域（ダンパ）
３２  圧電部材
３５  ダンパ室
３６ａ  中央平面部
３６ｂ  周辺平面部
４１  大気開放通路
２３３  キャリッジ
２３４ａ、２３４ｂ  記録ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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