(57)【要約】【課題】シェアードウォール方式のインクジェットヘッドを採用する場合に、クロストークの低減に優れたインクジェットヘッドを提供することである。【解決手段】実施形態に係るインクジェットヘッドは、インクを吐出させる圧力室を形成する隔壁に矩形波の電界パルスを印加する駆動信号発生部を備える。前記駆動信号発生部は、複数の圧力室の内のいずれかからインクを吐出させる場合に、該インクを吐出させる圧力室を形成する第１の隔壁に隣接する第２の隔壁と第２の隔壁に隣接する第３の隔壁に対して、該第１の隔壁に印加される電界パルスに対応するタイミングで、隣接する第１の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ該電界パルスに基づいて決定されるパルス幅を有する少なくとも１つの矩形波からなる電界パルスを印加する。【選択図】図８Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のインク吐出ノズルそれぞれに対応して連通する複数の圧力室間を間仕切るとともに、供給される駆動信号に応じて各圧力室の容積を変更可能な複数の隔壁と、
前記複数の圧力室それぞれに対応して設けられる複数の電極と、
インクを吐出させる圧力室に対応する電極と該圧力室に隣接する圧力室に対応する電極にインク吐出用の駆動信号を供給することにより、インクを吐出させる圧力室を形成する隔壁に矩形波の電界パルスを印加する駆動信号発生部とを備え、
前記駆動信号発生部は、前記複数の圧力室の内のいずれかからインクを吐出させる場合に、該インクを吐出させる圧力室を形成する第１の隔壁に隣接する第２の隔壁と第２の隔壁に隣接する第３の隔壁に対して、該第１の隔壁に印加される電界パルスに対応するタイミングで、隣接する第１の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ該電界パルスに基づいて決定されるパルス幅を有する少なくとも１つの矩形波からなる電界パルスを印加するインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記駆動信号発生部は、前記複数の圧力室の内の第１の圧力室からインクを吐出させる場合に、該インクを吐出させる第１の圧力室を形成する二つの隔壁のうちの一方にあたる第１の隔壁に対して隣接する第２の隔壁と第２の隔壁に対して隣接する第３の隔壁に対して、該第１の隔壁に印加される電界パルスに対応するタイミングで、隣接する第１の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ該電界パルスに基づいて決定されるパルス幅を有する少なくとも１つの矩形波からなる電界パルスを印加し、さらに、第１の圧力室を形成する二つの隔壁のうちの他方にあたる第４の隔壁に対して隣接する第５の隔壁と第５の隔壁に対して隣接する第６の隔壁に対して、該第４の隔壁に印加される電界パルスに対応するタイミングで、隣接する第４の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ該電界パルスに基づいて決定されるパルス幅を有する少なくとも１つの矩形波からなる電界パルスを印加する請求項２のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記駆動信号発生部は、第２の隔壁と第３の隔壁に対して、第１の隔壁に印加される電界パルスに対応するタイミングで、第１の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ該電界パルスのパルス幅より短いパルス幅を有する少なくとも１つの矩形波からなる電界パルスを印加し、第５の隔壁と第６の隔壁に対して、第４の隔壁に印加される電界パルスに対応するタイミングで、第４の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ該電界パルスのパルス幅より短いパルス幅を有する少なくとも１つの矩形波からなる電界パルスを印加する請求項２のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記駆動信号発生部は、第２の隔壁と第３の隔壁に対して、第１の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ該電界パルスの強度の半分の強度の電界パルスを印加し、さらに、第５の隔壁と第６の隔壁に対して、第４の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ該電界パルスの強度の半分の強度の電界パルスを印加する請求項２又は３のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記駆動信号発生部は、第２の隔壁に対して、第１の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ該電界パルスの強度より低い第１の強度の電界パルスを印加し、第３の隔壁に対して、第１の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ前記第１の強度より低い第２の強度の電界パルスを印加し、さらに、第５の隔壁に対して、第４の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ該電界パルスの強度より低い第１の強度の電界パルスを印加し、前記第６の隔壁に対して、前記第４の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ第１の強度より低い第２の強度の電界パルスを印加する請求項２又は３の何れか一つのインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、インクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、互いに隣接する圧力室の隔壁をアクチュエータとするいわゆる、「シェアードウォールヘッド」方式を採用したインクジェットヘッドが知られる。当該方式を採用するインクジェットヘッドでは、圧力室内に発生する圧力変動がアクチュエータを変形させて隣接する圧力室に伝播して「クロストーク」が発生し、画像パターンにより吐出するインク滴の速度や体積がばらつくという課題があった。
【０００３】
このような課題に対し、ダミーパルスによりアクチュエータを駆動することによってインクを吐出させない圧力室内で意図的に圧力変動を生じさせ、この圧力変動のクロストークによりインク滴の吐出速度や体積の変化を補償する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２５５０５５号公報
【特許文献２】特開２０１１−６２８５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記開示された技術は、吐出速度の変化を補償するクロストークを発生させる圧力変動が、インクがノズルから吐出されない程度に制約される。
【０００６】
また、上記開示された技術は、ダミーパルスの生成にインクを吐出するパルスと電圧が異なるパルスを選択的に個々のチャンネルに供給する必要があり、制御が複雑になる。
【０００７】
本発明の目的は、シェアードウォール方式のインクジェットヘッドを採用する場合に、クロストークの低減に優れたインクジェットヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
実施形態に係るインクジェットヘッドは、複数のインク吐出ノズルそれぞれに対応して連通する複数の圧力室間を間仕切るとともに、供給される駆動信号に応じて各圧力室の容積を変更可能な複数の隔壁と、前記複数の圧力室それぞれに対応して設けられる複数の電極と、インクを吐出させる圧力室に対応する電極と該圧力室に隣接する圧力室に対応する電極にインク吐出用の駆動信号を供給することにより、インクを吐出させる圧力室を形成する隔壁に矩形波の電界パルスを印加する駆動信号発生部とを備える。前記駆動信号発生部は、前記複数の圧力室の内のいずれかからインクを吐出させる場合に、該インクを吐出させる圧力室を形成する第１の隔壁に隣接する第２の隔壁と第２の隔壁に隣接する第３の隔壁に対して、該第１の隔壁に印加される電界パルスに対応するタイミングで、隣接する第１の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ該電界パルスに基づいて決定されるパルス幅を有する少なくとも１つの矩形波からなる電界パルスを印加する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態のインクジェットヘッドの外観図。
【図２】第１の実施形態のインク供給装置の構成図。
【図３】第１の実施形態のインクジェットヘッドの平面図。
【図４】第１の実施形態のインクジェットヘッドの縦断面図。
【図５】第１の実施形態のインクジェットヘッドの横断面図。
【図６】第１の実施形態の駆動信号図。
【図７】第１の実施形態の駆動信号の詳細図。
【図８Ａ】第１の実施形態の動作を示す横断面図。
【図８Ｂ】第１の実施形態の動作を示す横断面図。
【図９】第２の実施形態の駆動信号の詳細図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１１】
（第１の実施の形態）
まず、第１の実施の形態について説明する。
【００１２】
図１は、第１の実施の形態によるインクジェット記録装置のインクジェットヘッド１の斜視図である。
【００１３】
インクジェットヘッド１は、インクを吐出するノズル２を有するヘッド基板３と、駆動信号を発生するドライバＩＣ４と、インク供給口６とインク排出口７とを有するマニホールド５とを備えている。
【００１４】
インクジェットヘッド１は、インク供給口６から供給されたインクを、駆動回路４で発生させた駆動信号に応じてノズル２から吐出させる。インク供給口６から流入したインクのうち、ノズル２から吐出しなかったインクはインク排出口７から排出させる。
【００１５】
図２は、第１の実施の形態によるインクジェット記録装置に用いられるインク供給装置８の概略図である。インク供給装置８は、供給側インクタンク９、排出側インクタンク１０、供給側圧力調整ポンプ１１、輸送ポンプ１２、排出側圧力調整ポンプ１３とこれらを流体的に接続するチューブとから構成されている。
【００１６】
供給側圧力調整ポンプ１１と排出側圧力調整ポンプ１３は各々供給側インクタンク９の圧力と排出側インクタンク１０の圧力を調整する。供給側インクタンク９はインクジェットヘッド１のインク供給口６にインクを供給する。排出側インクタンク１０はインクジェットヘッド１のインク排出口７から排出されたインクを一時的に貯留する。輸送ポンプ１２は排出側インクタンク１０に貯留されたインクを供給側インクタンク９に還流させる。
【００１７】
続いて、インクジェットヘッド１の構成の詳細について説明する。
【００１８】
図３は、ヘッド基板３の平面図である。図４は、ヘッド基板３のＡ−Ａ縦断面図である。図５は、ヘッド基板３のＢ−Ｂ横断面図である。ヘッド基板３は、圧電部材１４、ベース基板１５、ノズルプレート１６、枠部材１７で構成されている。ベース基板１５、圧電部材１４とノズルプレート１６で囲まれた中央部の空間は、インク供給路１８を形成している。ベース基板１５、圧電部材１４、枠部材１７とノズルプレート１６で囲まれた空間は、インク排出路１９を形成している。
【００１９】
ベース基板１５には、圧力室２４の内面に形成された電極２１とドライバＩＣ４とを電気的に接続する配線電極２０が形成されている（図３を参照）。また、ベース基板１５には、インク供給路１８に連通するインク供給穴２２とインク排出路１９に連通するインク排出穴２３が形成されている。インク供給穴２２はマニホールド５によりインク供給口６に流体的に接続している。インク排出穴２３はマニホールド５によりインク排出口７に流体的に接続している。ベース基板１５は、誘電率が小さく、かつ圧電部材との熱膨張率の差が小さい材料が望ましい。ベース基板１５の材料は、例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）、炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などを用いることが可能である。本実施例では低誘電率のＰＺＴを用いている。
【００２０】
ベース基板１５の上には圧電部材１４が接合されている。圧電部材１４は、板厚方向に沿って互いに方向が反対向きに分極された圧電部材１４ａと圧電部材１４ｂを積層することにより形成されている（図５を参照）。圧電部材１４には、インク供給路１８からインク排出路１９へ繋がる複数の長溝が並列に形成され、その各長溝の内面には電極２１が形成されている。長溝と、圧電部材１４上に設けられた長溝を覆うノズルプレート１６の一面で囲まれた空間が圧力室２４となる。電極２１は配線電極２０を通してドライバＩＣ４に接続されている。隣接する圧力室２４の間の隔壁を構成する圧電部材１４は、各圧力室２４に設けられた電極２１によって挟まれ、アクチュエータ２５を形成している。ドライバＩＣ４にて生成された駆動信号によりアクチュエータ２５に電界が印加されると、アクチュエータ２５は圧電部材１４ａと圧電部材１４ｂの接合部を頂部として「く」の字型にせん断変形する。このアクチュエータ２５の変形によって、圧力室２４の容積は変化し、圧力室２４の内部にあるインクが加圧される。加圧されたインクはノズル２から吐出する。圧電部材１４は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ：Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）などである。この実施形態では、圧電定数の高いチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を用いている。
【００２１】
電極２１は、ニッケル（Ｎｉ）と金（Ａｕ）の２層構造になっている。電極２１は、例えばメッキ法によって、長溝内に均一に成膜されている。また、電極２１の形成方法として、メッキ法以外に、スパッタ法、蒸着法を用いることも可能である。圧力室２４は、深さ３００μｍ幅８０μｍの形状で、１６９μｍのピッチで平行に配列されている。
【００２２】
圧電部材１４の上にはノズルプレート１６が接着されている。ノズルプレート１６には、圧力室２４の長手方向の中央部から３周期毎にオフセットされた位置に、ノズル２が形成されている。ノズルプレート１６の材質には、ステンレスなどの金属材料や、単結晶シリコンなどの無機材料、ポリイミドフィルムなどの樹脂材料を用いることができる。なお、本実施の形態では、ポリイミドフィルムを採用した例を示している。ノズルプレート１６を圧電部材１４に接着した後に、エキシマレーザ等で孔加工を施すことにより、高精度なノズルを形成することができる。ノズル２は圧力室２４側からインク吐出側に向けて先細りの形状になっている。材質がステンレスの場合、ノズル２はプレス加工で形成できる。また、材質が単結晶シリコンの場合、ノズル２はフォトリソグラフィーによるドライエッチングやウエットエッチングなどで形成することができる。
【００２３】
以上、本実施形態の適用に好適なシェアモード（shear mode）・シェアードウォール（shared wall）型のインクジェットヘッドについて述べた。以上の説明は、圧力室２４の一端にインク供給路１８があり、他端にインク排出路１９があり、圧力室２４の中央部にノズル２がある構成の場合について述べたが、本実施形態の適用範囲はこれに限るものではなく、圧力室２４の一端にノズルがあり、他端にインク供給路があるものでも適用可能であることは言うまでもない。
【００２４】
図６は、ドライバＩＣ４がチャンネル２６ｃ１〜２６ａ４に供給する駆動信号の一例を示している。ここで、「チャンネル」とは電極２１と圧力室２４とノズル２のセットのことを示す。駆動信号の１印字周期は「Ａサイクル」，「Ｂサイクル」，「Ｃサイクル」の３つに分割され、各々のサイクルに対応するチャンネルが時分割駆動される。各々のチャンネルのサイクルは隣接するチャンネルのサイクルと同じにならないように割り当てられている。
【００２５】
１サイクル内で最大７滴のインク滴を吐出する。１画素に吐出する液滴の数を可変することによって、液滴数０〜液滴数７の８階調印字を行う。符号Ａ１〜Ａ７はＡサイクルにおいて各々第１〜第７番目のインクが吐出されるタイミングを示している。符号Ｂ１〜Ｂ７と符号Ｃ１〜Ｃ７についても同様である。だだし、本発明は階調印字に限定するものではなく、印字を行う画素に対し１滴のみの液滴を吐出する場合や、印字を行う画素に対し常に複数滴の液滴を吐出する場合にも適用できる。
【００２６】
駆動信号にはＳ１〜Ｓ４の４種類がある。駆動信号Ｓ１は、インクを吐出させるチャンネルに供給する。駆動信号Ｓ２は、インクを吐出させるチャンネルに隣接するチャンネルに供給する。駆動信号Ｓ３はインクを吐出させないチャンネルに供給する。駆動信号Ｓ４は、インクを吐出させないチャンネルに隣接するチャンネルに供給する。
【００２７】
図７（ａ）は、駆動信号Ｓ１〜Ｓ４の詳細である。
【００２８】
駆動信号Ｓ１はパルス幅Ｗ１の矩形波状のパルスで、ノズル２からインクを吐出させる。Ｗ１のパルス幅は好適には１ＡＬである。ここで、「ＡＬ」とは、圧力室２４内のインクの音響共振周期の１／２のことである。駆動信号Ｓ２は、パルス幅Ｗ２の矩形波状のパルスで、圧力室２４内の残留圧力振動を低減する。本実施の形態では、Ｗ２のパルス幅は１ＡＬであるが、残留圧力振動の減衰率に応じてパルス幅を調整しても良い。
【００２９】
駆動信号Ｓ２の時間的な中心は、駆動信号Ｓ１の時間的な中心に対して２ＡＬの遅延時間を持っている。
【００３０】
駆動信号Ｓ３ａはパルス幅がＷ３で、駆動信号Ｓ１に対して遅延時間Ｄ１を有する矩形波状のパルスで、駆動信号Ｓ１が発生する圧力振動のクロストークを補正する。駆動信号Ｓ３ｂは２つの矩形波から成り、駆動信号Ｓ２が発生する圧力振動のクロストークを補正する。１番目の矩形波は立ち下りのタイミングが駆動信号Ｓ２と同じでパルス幅がＤ２である。２番目の矩形波は立ち下がりのタイミングがＤ２＋Ｗ４で立ち上りのタイミングが駆動信号Ｓ２と同じである。Ｗ３及びＷ４の時間はインクジェットヘッドのクロストーク特性に応じて調整される。
【００３１】
駆動信号Ｓ４はハイインピーダンス制御とし、自身での駆動は行わない。駆動信号Ｓ４の電圧レベルは、駆動信号Ｓ２と駆動信号Ｓ３に挟まれた場合、駆動信号Ｓ２と駆動信号Ｓ３により変位する。また、駆動信号Ｓ２と駆動信号Ｓ３に挟まれていない場合、すなわち駆動信号Ｓ３と駆動信号Ｓ４に挟まれている場合、駆動信号Ｓ３と駆動信号Ｓ４により変位する。一般的には駆動信号Ｓ３に準じることになる。
【００３２】
駆動信号Ｓ１〜Ｓ３の電圧振幅は同じであり、駆動信号Ｓ１〜Ｓ３の生成は最小限のスイッチング素子にて行うことができる。駆動信号Ｓ４はスイッチング素子をすべてオフすることで制御することができる。
【００３３】
図７（ｂ）は、駆動信号Ｓ１〜Ｓ４によりアクチュエータ２５に生じる電界を示している。
【００３４】
電界の極性は、アクチュエータが変形する方向を示している。駆動信号Ｓ１がチャンネル２６ａ３に供給されると、圧力室２４ａ３の側壁を構成するアクチュエータ２５ｃ２とアクチュエータ２５ａ３に電界パルスＥ１が作用して圧力室２４ａ３の容積が拡張され、１ＡＬ後に元に戻る。この容積変化により内部のインクに圧力振動が生じ、ノズル２ａ３からインクが吐出する。
【００３５】
同時に圧力室２４ｃ２と圧力室２４ｂ３の容積が変化して内部のインクに圧力振動が生じ、この圧力振動はアクチュエータ２５ｂ２とアクチュエータ２５ｂ３を変形させて、圧力室２４ｂ２と圧力室２４ｃ３に圧力振動を生じさせようとする。この圧力室２４ｂ２と圧力室２４ｃ３の圧力振動がクロストークとなる。さらに圧力室２４ｂ２と圧力室２４ｃ３の容積が変化して内部のインクに圧力振動が生じ、この圧力振動はアクチュエータ２５ａ２とアクチュエータ２５ｃ３を変形させて、圧力室２４ａ２と圧力室２４ａ４に圧力振動を生じさせようとする。
【００３６】
しかしながら本実施の形態の構成によれば、アクチュエータ２５ａ２とアクチュエータ２５ｂ２とアクチュエータ２５ｂ３とアクチュエータ２５ｃ３には駆動信号Ｓ２と駆動信号Ｓ３の作用により電界パルスＥ３が作用し、チャンネル２６ａ３のインク吐出動作に伴う圧力室２４ｃ２と圧力室２４ｂ３と圧力室２４ｂ２と圧力室２４ｃ３との圧力振動によるアクチュエータ２５ｂ２とアクチュエータ２５ｂ３とアクチュエータ２５ａ２とアクチュエータ２５ｃ３の変形が相殺される。なお、図７に示すように、電界パルスＥ１の極性に対して電界パルスＥ３の極性が反対で、例えば、電界パルスＥ２の高さに対して、電界パルスＥ４（極性を反転させた電界パルスＥ３）の高さは約半分となる。つまり、電圧レベルが約半分となっている。同様に、電界パルスＥ１の極性に対して電界パルスＥ３の極性が反対で、例えば、電界パルスＥ２の高さに対して、電界パルスＥ４（極性を反転させた電界パルスＥ４）の高さは約半分となる。つまり、電圧レベルが約半分となっている。
【００３７】
図８Ａ及び図８Ｂは、図７の一連の動作を時系列的に横断面図に展開したものである。
【００３８】
従来のクロストークを補正する技術は、適切なクロストークの補正量を設定するためにクロストーク補正用の駆動信号の電圧振幅を調整していた。そのため従来のインクジェットヘッドの駆動回路はインクを吐出させるための駆動電圧だけでなくクロストークを補正するための駆動電圧を選択的に各々のチャンネルに供給しなければならず、駆動回路が複雑になる課題があった。
【００３９】
本実施形態の技術はクロストークの補正量を設定するためにクロストーク補正用の駆動信号Ｓ３の通電時間Ｗ３やＷ４を調整するようにし、駆動信号Ｓ４をハイインピーダンス制御にすることにとって、片側２つのアクチュエータに電界がかかるようにした。
【００４０】
このように、本実施の形態では、複数の圧力室の内のいずれかからインクを吐出させる場合に、該インクを吐出させる圧力室を形成する第１の隔壁に隣接する第２の隔壁と第２の隔壁に隣接する第３の隔壁に対して、該第１の隔壁に印加される電界パルス（Ｅ１やＥ２）に対応するタイミングで、隣接する第１の隔壁に印加される電界パルスとは逆方向の矩形波であり且つ該電界パルスに基づいて決定されるパルス幅を有する少なくとも１つの矩形波からなる電界パルス（Ｅ３やＥ４）を印加している。この結果、クロストーク補正用の駆動信号Ｓ３の電圧振幅をインク吐出用の駆動信号Ｓ１やＳ２と同じにすることができ、駆動回路を簡素に構成できる効果がある。
【００４１】
また、本実施形態の技術思想は、駆動チャンネルに隣接するチャンネルに発生する圧力波をキャンセルするという技術思想なため、従来の技術思想である非駆動チャンネルにインクが吐出しない程度の圧力波を発生させることとは違いがある。
【００４２】
さらに、本実施形態の技術では、クロストークを低減させる技術に留まらず、クロストークを制御して消滅させることや、マイナスに作用させることも可能である。
【００４３】
なお、上記において、アクチュエータ２５ｃ２に電界パルスＥ１が作用し、アクチュエータ２５ａ３に電界パルスＥ１が作用して圧力室２４ａ３の容積が拡張されるのに対応して、アクチュエータ２５ｂ２とアクチュエータ２５ｂ３とアクチュエータ２５ａ２とアクチュエータ２５ｃ３に電界パルスＥ３が作用し、アクチュエータ２５ｂ２とアクチュエータ２５ｂ３とアクチュエータ２５ａ２とアクチュエータ２５ｃ３の変形が相殺されることを説明した。この場合、アクチュエータ２５ｂ２への電界パルスＥ３とアクチュエータ２５ｂ３への電界パルスＥ３は極性が反対で高さ（強度）が同じ矩形波であり、また、アクチュエータ２５ａ２への電界パルスＥ３とアクチュエータ２５ｃ３への電界パルスＥ３とは極性が反対で高さが同じ矩形波である。つまり、アクチュエータ２５ｂ２とアクチュエータ２５ｂ３とアクチュエータ２５ａ２とアクチュエータ２５ｃ３に作用する電界パルスＥ３は極性の違いはあるものの、高さが同じ矩形波である。なお、極性の相違はあるものの、電界パルスＥ１、Ｅ２の矩形波の高さに対して、電界パルスＥ３、Ｅ４の矩形波の高さは約半分である。
【００４４】
また、変形例として、極性の相違はあるものの、電界パルスＥ１、Ｅ２の矩形波の強度に対して、アクチュエータ２５ｂ２とアクチュエータ２５ｂ３に作用する電界パルスＥ３、Ｅ４の矩形波の強度を変えて、さらに、アクチュエータ２５ｂ２とアクチュエータ２５ｂ３に作用する電界パルスＥ３、Ｅ４に対して、アクチュエータ２５ａ２とアクチュエータ２５ｃ３に作用する電界パルスＥ３、Ｅ４の矩形波の強度を変えるようにしてもよい。例えば、極性の相違はあるものの、電界パルスＥ１、Ｅ２の強度＞アクチュエータ２５ｂ２とアクチュエータ２５ｂ３に作用する電界パルスＥ３、Ｅ４の強度＞アクチュエータ２５ｃ２とアクチュエータ２５ａ２に作用する電界パルスＥ３、Ｅ４の強度としてもよい。或いは、極性の相違はあるものの、電界パルスＥ１、Ｅ２の強度＞アクチュエータ２５ａ２とアクチュエータ２５ｃ３に作用する電界パルスＥ３、Ｅ４の強度＞アクチュエータ２５ｂ２とアクチュエータ２５ｂ３に作用する電界パルスＥ３、Ｅ４の強度としてもよい。これにより、アクチュエータの変形を無理なく補正することができる。
【００４５】
（第２の実施の形態）
続いて、第２の実施の形態について説明する。
【００４６】
図７（ａ）（ｂ）において２段階の電圧レベルの駆動信号で制御するケースについて説明したが、図９（ａ）（ｂ）に示すように３段階の電圧レベルの駆動信号で制御するようにしてもよい。
【００４７】
以上に詳述したように、本発明によれば、簡単な駆動制御により、シェアードウォール方式のインクジェットヘッドを採用する場合に発生するクロストークを低減させる技術を提供することができる。
【００４８】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００４９】
１…インクジェットヘッド、２…ノズル、３…ヘッド基板、４…ドライバＩＣ、５…マニ
ホールド、６…インク供給口、７…インク排出口、８…インク供給装置、９…供給側イン
クタンク、１０…排出側インクタンク、１１…供給側圧力調整ポンプ、１２…輸送ポン
プ、１３…排出側圧力調整ポンプ、１４…圧電部材、１５…ベース基板、１６…ノズルプ
レート、１７…枠部材、１８…インク供給路、１９…インク排出路、２０…配線電極、
２１…電極、２２…インク供給穴、２３…インク排出穴、２４…圧力室、２５…アクチュ
エータ、２６…チャンネル、Ｓ…駆動信号。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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