(57)【要約】      （修正有）【課題】追従ずれを低減可能なレンズ駆動装置を提供する。【解決手段】レンズ駆動装置１は、ベース部材２と、ベース部材２に配置され、光軸Ｃに対して直交する平面内で移動する可動部材１２と、ベース部材２と可動部材１２とに配置され、光軸Ｃに対して直交する方向に可動部材１２を移動させる可動部材用駆動手段１４と、ベース部材２に対して可動部材１２を平面内で移動可能に支持する支持手段１６と、を備える。支持手段１６は、可動部材１２を支持する球状体２４と、球状体２４を挟み込むように、ベース部材２に配置されたベース部材側滑り板２６Ａ，２７Ａと可動部材１２に配置された可動部材側滑り板２６Ｂ，２７Ｂとを有し、ベース部材側滑り板２６Ａ，２７Ａと可動部材側滑り板２６Ｂ，２７Ｂとは、球状体２４に接触する球状体接触面の算術平均粗さが０．１５未満である。【選択図】図１
2015007731.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠体と、
前記枠体に配置され、光軸に対して直交する平面内で移動する可動部材と、
前記枠体と前記可動部材とに配置され、前記光軸に対して直交する方向に前記可動部材を移動させる可動部材用駆動手段と、
前記枠体に対して前記可動部材を前記平面内で移動可能に支持する支持手段と、
を備え、
前記支持手段は、
前記可動部材を支持する球状体と、
前記球状体を挟み込むように、一方が前記枠体に配置され、他方が前記可動部材に配置された一対の滑り板と、を有し、
前記滑り板は、前記球状体に接触する球状体接触面の算術平均粗さが０．１５未満であることを特徴とするレンズ駆動装置。
【請求項２】
前記球状体の表面の算術平均粗さは、前記球状体接触面の算術平均粗さよりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のレンズ駆動装置。
【請求項３】
前記球状体接触面には、フッ素を含む潤滑めっき層が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のレンズ駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光軸に対して直交する方向に撮像光学系を移動させて像振れを補正するレンズ駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、このような分野の技術として特許文献１がある。特許文献１には、コンパクトデジタルスチルカメラといったレンズ一体型の撮像装置などに適用可能な光学防振装置が開示されている。この光学防振装置は、防振レンズを保持するレンズ保持枠と、レンズ保持枠を光軸に直交する方向へ移動可能に支持するベース部材と、を備えている。レンズ保持枠とベース部材との間には、レンズ保持枠の移動に伴ってそれぞれ転動する複数のボールが配置されている。各ボールは、レンズ保持枠とベース部材とにそれぞれ設けられたボール受け部に配置され、ボール受け部の底面部にはボール受け板が配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１７５７８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、特許文献１のように、レンズ保持枠とベース部材とでボールを挟み込んだレンズ枠の支持構造では、外部振動などによるボールの初期位置ずれを防止するために、ボールが接触するボール接触面を粗くすることがある。
【０００５】
ところで、近年、このような光学防振装置は携帯通信端末のカメラなどにも適用されつつあり、一層の小型化が求められている。しかしながら、光学防振装置を小型化すると、レンズ駆動力の減少を招く傾向がある。また、ボール接触面が粗いとボールの表面とボール接触面との摩擦力が大きくなるため、レンズ駆動力が小さいと摩擦力に打ち勝ってレンズを滑らかに動かし難い。この場合には、目標移動量に対して実際の移動量が相違する追従ずれが生じるおそれがある。さらに、摩擦力が大きくなると摩耗粉が発生しやすく、摩耗粉の発生により表面粗さが更に増加して摩擦力が増加し、追従ずれがより大きくなるおそれもある。
【０００６】
本発明は、追従ずれを低減可能なレンズ駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るレンズ駆動装置は、枠体と、枠体に配置され、光軸に対して直交する平面内で移動する可動部材と、枠体と可動部材とに配置され、光軸に対して直交する方向に可動部材を移動させる可動部材用駆動手段と、枠体に対して可動部材を平面内で移動可能に支持する支持手段と、を備え、支持手段は、可動部材を支持する球状体と、球状体を挟み込むように、一方が枠体に配置され、他方が可動部材に配置された一対の滑り板と、を有し、滑り板は、球状体に接触する球状体接触面の算術平均粗さが０．１５未満である。
【０００８】
本発明に係るレンズ駆動装置は、可動部材を支持する球状体が、０．１５未満の算術平均粗さである球状体接触面を有する一対の滑り板に挟み込まれている。この構成によれば、球状体と滑り板との間において滑り摩擦抵抗及び転がり摩擦抵抗に起因する摩擦力が低減されるため、枠体に対して可動部材を滑らかに移動させることができる。そして、球状体と滑り板との間における摩擦力が低減されると、摩擦力に起因する摩耗粉の発生が抑制されるため、球状体と滑り板との間において平滑な状態が維持される。従って、可動部材用駆動手段の駆動力が小さい場合であっても、可動部材を滑らかに移動させることが可能になるため、球状体接触面の表面粗さに起因する追従ずれを低減することができる。
【０００９】
また、球状体の表面の算術平均粗さは、球状体接触面の算術平均粗さよりも小さい。例えば、球状体が移動規制用の凹部に配置されたとき、球状体が凹部の壁面と接触しない状態で可動部材を移動させる場合と、球状体が凹部の壁面と接触した状態で可動部材を移動させる場合とでは、摩擦力に差異が生じる場合がある。摩擦力に差異が生じると駆動力が一定であれば、球状体と壁とが接触した場合と非接触の場合とで可動部材の移動量に差異が生じるおそれがある。この構成によれば、球状体が凹部の壁面と接触して可動部材が移動する場合の摩擦力を、球状体が凹部の壁面と接触せずに可動部材が移動する場合の摩擦力に近づけることができる。従って、球状体が凹部の壁面に接触しない状態と、球状体が凹部の壁面に接触した状態との間における摩擦力の差異に起因する追従ずれを低減することができる。
【００１０】
また、球状体接触面には、フッ素を含む潤滑めっき層が形成されている。フッ素を含む潤滑めっき層によれば、球状体押圧面の摩擦係数が低減するため、摩耗粉の発生をより好適に抑制することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、追従ずれを低減可能なレンズ駆動装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係るレンズ駆動装置の分解斜視図である。
【図２】図１に示されたベース部材及び支持手段の分解斜視図である。
【図３】図１に示された可動部材及び支持手段の分解斜視図である。
【図４】図１に示されたレンズ駆動装置の平面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿った要部断面図である。
【図６】図６（ａ）〜図６（ｃ）は、球状体が初期位置にある場合における可動部材の移動を説明するための断面図である。
【図７】図４のＶ−Ｖ線に沿った要部断面図である。
【図８】図８（ａ）及び図８（ｂ）は、球状体が壁面に接触した状態にある場合における可動部材の移動を説明するための断面図である。
【図９】図９（ａ）〜図９（ｄ）は、滑り板の表面粗さと追従ずれとの関係を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に係るレンズ駆動装置の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】
図１に示されるレンズ駆動装置１は、デジタルスチルカメラや携帯電話機或いはスマートフォン等に適用される装置であり、レンズを有する撮像光学系と光が結像される撮像素子との間の相対位置を変化させて手振れを補正する。以下の説明では、固定された撮像素子に対して撮像光学系を移動させる方式を採用したレンズ駆動装置を例に説明する。
【００１５】
レンズ駆動装置１は、撮像素子（不図示）であるＣＣＤ［Charge  Coupled  Device］イメージセンサやＣＭＯＳ［Complementary  Metal  Oxide  Semiconductor］イメージセンサの前方に配置されて利用される。手振れ補正機能を有するレンズ駆動装置１は、枠体をなすボックス状のベース部材２と、レンズ（不図示）の焦点調整を行う撮像光学系３と、撮像光学系３を収容したベース部材２を閉鎖させる蓋部材４と、を備えている。
【００１６】
ベース部材２は、直方体箱状の部材であり、レンズの光軸Ｃを中心とする矩形の開口部２ａと、光軸Ｃに直交して延在する支持面２ｂとを有している。この支持面２ｂには、レンズを透過した光が通過する開口部２ｃが光軸Ｃを中心にして設けられている。
【００１７】
撮像光学系３は、レンズを光軸Ｃの方向に移動させる焦点調整機構６と、焦点調整機構６を光軸Ｃと直交する平面内で移動させる手振れ補正機構７とを有している。焦点調整機構６は、単一又は複数のレンズ群（不図示）を保持するためのレンズ保持枠８と、レンズ保持枠８を光軸Ｃの方向に付勢する板バネ９と、レンズ保持枠８を光軸Ｃの方向に駆動する４個のレンズ枠用駆動手段１１とを有している。焦点調整機構６は、レンズ枠用駆動手段１１によりレンズ保持枠８を光軸Ｃの方向に移動させて、レンズの焦点を調整する。なお、焦点調整機構６は、画角を決定するズーム機構とすることもできる。
【００１８】
手振れ補正機構７は、焦点調整機構６を保持して光軸Ｃに対して直交する平面内で移動する可動部材１２と、ベース部材２内における可動部材１２の移動を規制する規制手段１３と、可動部材１２を移動させる可動部材用駆動手段１４と、ベース部材２に対して可動部材１２を移動可能に支持する支持手段１６と、を有している。手振れ補正機構７は、可動部材用駆動手段１４により焦点調整機構６を光軸Ｃと直交する平面内で移動させて手振れを補正する。
【００１９】
可動部材１２は、焦点調整機構６を保持するものであり、支持手段１６により支持された状態（図５参照）でベース部材２の内部に収容されている（図４参照）。可動部材１２は、光軸Ｃを中心とする円形の開口部１２ａを有する直方体状の部材であり、ベース部材２の支持面２ｂと対面する底面１２ｂを有している（図３参照）。
【００２０】
規制手段１３は、光軸Ｃに対して直交する平面内で可動部材１２の移動を規制するものであり、光軸Ｃに対して直交する方向に移動する直線移動軌跡Ｔ１と、直線移動軌跡Ｔ１上の点を回転中心ＲＣとして回転する回転移動軌跡Ｔ２との２個の移動軌跡により可動部材１２の移動を規制する。
【００２１】
規制手段１３は、ベース部材２に固定されたピン１７と、可動部材１２に設けられた長溝１８（図３参照）とを有している。ピン１７は、光軸Ｃの方向に延びる円柱状の部材である。ピン１７の基端は、支持面２ｂの隅部に取り付けられている。
【００２２】
図３に示されるように、可動部材１２の底面１２ｂに形成された長溝１８は、直線移動軌跡Ｔ１の方向を設定するものであり、対角線Ｌ１に沿って延びた断面矩形状をなす凹部である。長溝１８は、ピン１７（図１参照）が取り付けられた位置に対応するように形成されている。このような位置に長溝１８が形成されることにより、長溝１８にはピン１７が挿入される。長溝１８の長手方向と直交する方向の幅Ｈは、ピン１７が長溝１８の側面に対して摺動可能な幅に設定されている。長溝１８は、ピン１７が摺動可能な幅Ｈを画定するための互いに対面する一対の側壁１８ａを有している。また、長溝１８は、長溝１８の底面にピン１７の上端面が接触しない深さになっている。
【００２３】
規制手段１３によれば、可動部材１２は、直線移動軌跡Ｔ１の方向へ案内されて直線移動できると共に、直線移動軌跡Ｔ１上に配置されるピン１７を回転中心ＲＣとする回転移動軌跡Ｔ２に沿って回転できる。つまり、可動部材１２の位置は、１個の動径と１個の偏角とに基づく円座標系で表現されていることに相当する。この直線移動と回転との組み合わせによれば、支持面２ｂ上の意図しない点を回転中心ＲＣとした不要な回転の発生を抑制できるので、精度のよい手振れ補正を行うことができる。更に、規制手段１３によれば、不要な回転による可動部材１２の移動を補正するためのアクチュエータなどが不要であるため、レンズ駆動装置１の部品点数を増やすことなく小型化に寄与する。
【００２４】
なお、規制手段１３の長溝１８の断面は矩形状であるが、Ｖ字状であってもよい。また、ピン１７が挿入される部分は溝に限定されず、断面矩形状をなす貫通穴であってもよい。さらに、ピン１７は、ベース部材２と一体に成形されてもよく、ピン１７に代えてベース部材２の支持面２ｂに設けられた断面半球状の凸部であってもよい。
【００２５】
可動部材用駆動手段１４は、光軸Ｃと直交する方向に可動部材１２を駆動するための第１〜第３のアクチュエータ１９Ａ〜１９Ｃを有している。第１のアクチュエータ１９Ａは、対角線Ｌ１上において、長溝１８に対して光軸Ｃを挟んで対向するように配置されている。第１のアクチュエータ１９Ａは、対角線Ｌ１に沿った方向成分を有する駆動力を可動部材１２に印加している。
【００２６】
第２のアクチュエータ１９Ｂと第３のアクチュエータ１９Ｃとは、対角線Ｌ１と直交する別の対角線Ｌ２上に配置されている。第２のアクチュエータ１９Ｂと第３のアクチュエータ１９Ｃとは、光軸Ｃを挟んで互いに対向して配置されている。第２のアクチュエータ１９Ｂと第３のアクチュエータ１９Ｃとは、対角線Ｌ２に沿った方向成分を有する駆動力を可動部材１２に印加している。
【００２７】
第１〜第３のアクチュエータ１９Ａ〜１９Ｃは、それぞれ同様の構成を有するため、以下、第１のアクチュエータ１９Ａの構成を例に説明する。第１のアクチュエータ１９Ａは、可動部材１２の底面１２ｂに配置されたマグネット２１と、ベース部材２の支持面２ｂに配置されたコイル２２（図２参照）とを有している。マグネット２１とコイル２２とは、互いに対面するように配置されている。
【００２８】
また、第１のアクチュエータ１９Ａは、一方がマグネット２１側に配置され、他方がコイル２２側に配置された一対のヨーク板（不図示）を有していてもよい。このような構成によれば、マグネット２１及びコイル２２の磁路が確保される。また、コイル２２が無通電状態であっても、マグネット２１とヨーク板との間で磁気的引力が作用するため、可動部材１２の位置が定位置に維持される。
【００２９】
図２及び図３に示されるように、支持手段１６は、光軸Ｃと直交する方向に可動部材１２を移動可能に支持するための第１〜第３の支持部２３Ａ〜２３Ｃを有している。
【００３０】
第１の支持部２３Ａは、対角線Ｌ１上において、開口部１２ａと規制手段１３との間に配置されている。第１の支持部２３Ａは、可動部材１２を支持する球状体２４と、球状体２４を挟み込むベース部材側滑り板２６Ａ（図２参照）と、可動部材側滑り板２６Ｂとを有している。
【００３１】
球状体２４とベース部材側滑り板２６Ａは、球状体２４の移動範囲を規制するためにベース部材２の支持面２ｂに形成された長溝Ｄ１に配置されている。また、可動部材側滑り板２６Ｂ（図３参照）は、可動部材１２の底面１２ｂにおいて長溝Ｄ１に対応する位置に形成された長溝Ｄ２に配置されている。
【００３２】
なお、第１の支持部２３Ａは、規制手段１３の近傍に配置され回転移動軌跡Ｔ２の回転中心ＲＣに近いため、回転移動軌跡Ｔ２に沿った移動距離が短くなる。従って、長溝Ｄ１は、対角線Ｌ１に直交する方向への球状体２４の移動範囲を広く確保する必要がないため、対角線Ｌ１の方向に延びた形状となっている。
【００３３】
球状体２４は、タングステンといった非磁性の金属製の球体である。球状体２４は、ＪＩＳ  Ｂ  １５０１に規定されている等級Ｇ２０に対応し、真球度が０．５μｍである。球状体２４の表面粗さは、算術平均粗さで０．１μｍ以下であり、より好ましくは０．０１μｍ以下である。
【００３４】
ベース部材側滑り板２６Ａ及び可動部材側滑り板２６Ｂは、対角線Ｌ１の方向に延びたオーステナイト系ステンレス鋼といった非磁性の金属製の板形状からなる。ベース部材側滑り板２６Ａは、長溝Ｄ１の溝形状と同形状である。また、ベース部材側滑り板２６Ａの板厚は、長溝Ｄ１の深さよりも小さいため、球状体２４が長溝Ｄ１内に配置される。可動部材側滑り板２６Ｂは、長溝Ｄ１の溝形状と同形状である。また、可動部材側滑り板２６Ｂの板厚は、長溝Ｄ１の深さと略同等である。
【００３５】
ベース部材側滑り板２６Ａ及び可動部材側滑り板２６Ｂは、球状体２４と接触する球状体接触面ＣＳをそれぞれ有している。そして、この球状体接触面ＣＳには、摩擦係数を低減するためのフッ素系潤滑メッキ層が形成されている。球状体接触面ＣＳの表面粗さは、算術平均粗さで０．１５μｍ未満である。一般的な表面粗さが算術平均粗さで０．１５μｍ〜０．２μｍであることから、球状体接触面ＣＳの表面粗さは一般的な表面粗さよりも小さくなっている。この球状体接触面ＣＳの表面粗さと球状体２４の表面粗さとを比較すると、球状体２４の表面粗さが球状体接触面ＣＳの表面粗さよりも小さくなっている。
【００３６】
第２の支持部２３Ｂと第３の支持部２３Ｃとは、対角線Ｌ１を挟んで略対称となる位置にそれぞれ配置されている。より詳細には、第２の支持部２３Ｂは、第１のアクチュエータ１９Ａと第２のアクチュエータ１９Ｂとの間に配置されている。第３の支持部２３Ｃは、第１のアクチュエータ１９Ａと第３のアクチュエータ１９Ｃとの間に配置されている。第２の支持部２３Ｂと第３の支持部２３Ｃとは、それぞれ同様の構成を有するため、以下、第２の支持部２３Ｂの構成を例に説明する。
【００３７】
第２の支持部２３Ｂは、球状体２４と、球状体２４を挟み込むベース部材側滑り板２７Ａと可動部材側滑り板２７Ｂとを有している。図２に示されるように、球状体２４とベース側滑り板２７Ａは、球状体２４の移動範囲を規制するためにベース部材２の支持面２ｂに形成された凹部Ｅ１に配置されている。凹部Ｅ１の内径は、球状体２４の直径よりも大きい。また、可動部材側滑り板２７Ｂは、可動部材１２の底面１２ｂにおいて凹部Ｅ１に対応する位置に形成された凹部Ｅ２に配置されている。
【００３８】
なお、第２の支持部２３Ｂは、規制手段１３からの距離が第１の支持部２３Ａよりも遠くなる位置に配置されている。従って、凹部Ｅ１は、球状体２４が直線移動軌跡Ｔ１及び回転移動軌跡Ｔ２のそれぞれに移動可能とするために円形となっている。
【００３９】
ベース部材側滑り板２７Ａ及び可動部材側滑り板２７Ｂは、非磁性のオーステナイト系ステンレス鋼といった金属製の円板である。ベース部材側滑り板２７Ａは、凹部Ｅ１の形状と同形状である。また、ベース部材側滑り板２７Ａの板厚は、凹部Ｅ１の深さよりも小さいため、球状体２４が凹部Ｅ１内に配置される（図５参照）。可動部材側滑り板２７Ｂは、凹部Ｅ２の形状と同形状である。また、可動部材側滑り板２７Ｂの板厚は、凹部Ｅ２の深さと略同等である。
【００４０】
また、ベース部材側滑り板２７Ａ及び可動部材側滑り板２７Ｂは、球状体２４と接触する球状体接触面ＣＳをそれぞれ有している。
【００４１】
この第２の支持部２３Ｂ及び第３の支持部２３Ｃでは、球状体２４がベース部材２に形成された円形の凹部Ｅ１に配置され、凹部Ｅ１の内径が球状体２４の直径よりも大きい。従って、球状体２４が凹部Ｅ１の略中央に配置されたとき、球状体２４と凹部Ｅ１の壁面Ｅ１ａとの間には０．２ｍｍ〜０．３ｍｍ程度の隙間Ａが形成され（図５参照）、凹部Ｅ１内において球状体２４は直線移動軌跡Ｔ１及び回転移動軌跡Ｔ２の方向に移動可能である。
【００４２】
図１に示されるように、蓋部材４は、ベース部材２の開口側の縁部に固定され、光軸Ｃを中心とする円形の開口部を有する板状の部材である。蓋部材４には、磁場検出素子であるホール素子（不図示）が配置されている。ホール素子は、可動部材１２に配置されたレンズ枠用駆動手段のマグネットの磁界を検知する。これらのホール素子は互いに９０度間隔で配置されているので、光軸Ｃと直交する平面内における可動部材１２の位置を検出できる。
【００４３】
次に、レンズ駆動装置１の動作について説明する。レンズ駆動装置１が組み込まれた機器（例えば携帯電話機のカメラ）で撮影しているときに手振れが発生すると、光軸Ｃの位置が変化することがある。
【００４４】
この場合、ジャイロセンサなどのセンサが手振れを検知し、制御手段（不図示）は、撮像素子上における光軸Ｃの位置が所定の位置に維持されるように手振れ補正機構７を駆動させるための制御信号を第１〜第３のアクチュエータ１９Ａ〜１９Ｃに出力する。この場合、第１のアクチュエータ１９Ａは、制御信号を受信すると駆動力を発生させ、可動部材１２を直線移動軌跡Ｔ１の方向に直線移動させる。第２のアクチュエータ１９Ｂと第３のアクチュエータ１９Ｃは、制御信号を受信すると駆動力を発生させ、可動部材１２を回転移動軌跡Ｔ２の方向に回転させる。
【００４５】
この直線移動及び回転により、光軸Ｃの位置が所定の位置に移動する。このとき、可動部材１２は、規制手段１３により移動が規制され、直線移動による１個の自由度と、回転による１個の自由度とを合計した２個の自由度を有している。このため、可動部材１２は、光軸Ｃの位置を所定範囲内の所望の位置に移動させることができる。この移動により、撮像素子（例えばＣＭＯＳ）上における光軸Ｃの位置が所定の位置に維持され、手振れが補正される。
【００４６】
手振れ補正中における支持手段１６の動作について、支持部２３Ｂを例に説明する。図５に示されるように、初期状態において球状体２４は、凹部Ｅ１の略中央に配置され、球状体２４と凹部Ｅ１の壁面Ｅ１ａとの間には所定の隙間Ａが形成されている。
【００４７】
図６では、説明の便宜上、可動部材１２の図示を省略し、ベース部材側滑り板２７Ａと可動部材側滑り板２７Ｂと球状体２４とベース部材２とを図示している。図６（ａ）〜図６（ｃ）のそれぞれは、可動部材側滑り板２７Ｂが矢印ＡＲの方向に移動したときにおける、ベース部材側滑り板２７Ａと可動部材側滑り板２７Ｂと球状体２４との想定される位置関係を示している。
【００４８】
図６（ａ）に示されるように、可動部材側滑り板２７Ｂが矢印ＡＲに移動した場合には、可動部材側滑り板２７Ｂの移動に伴って球状体２４が転動する状態が想定される。この状態における摩擦力は、ベース部材側滑り板２７Ａに対する球状体２４の転がり抵抗と、可動部材側滑り板２７Ｂに対する球状体２４の転がり抵抗とによる。
【００４９】
図６（ｂ）に示されるように、可動部材側滑り板２７Ｂが矢印ＡＲに移動した場合に、球状体２４は移動せず、球状体２４上を可動部材側滑り板２７Ｂが滑る状態が想定される。この状態における摩擦力は、球状体２４に対する可動部材側滑り板２７Ｂの滑り抵抗による。
【００５０】
図６（ｃ）に示されるように、可動部材側滑り板２７Ｂが矢印ＡＲに移動した場合に、球状体２４がベース部材側滑り板２７Ａ上を滑る状態が想定される。この状態における摩擦力は、球状体２４に対するベース部材側滑り板２７Ａの滑り抵抗による。
【００５１】
球状体２４が凹部Ｅ１の壁面Ｅ１ａに接触していない場合には、図６（ａ）〜図６（ｃ）の３個の状態が想定される。実際には、これらの状態が単独又は複合されて可動部材１２が移動していると考えられる。
【００５２】
一方、図７に示されるように、レンズ駆動装置１の外部から振動や衝撃が印加された場合等に、球状体２４が凹部Ｅ１の中央からずれた位置にあり、壁面Ｅ１ａに接触していることがある。
【００５３】
図８（ａ）に示されるように、球状体２４が壁面Ｅ１ａに接触した状態からさらに可動部材１２が矢印ＡＲに移動した場合、球状体２４は矢印ＡＲの方向には移動できないため、可動部材側滑り板２７Ｂは球状体２４上を滑って移動する状態が想定される。この状態における摩擦力は、球状体２４に対する可動部材側滑り板２７Ｂの滑り抵抗による。
【００５４】
図８（ｂ）に示されるように、球状体２４が壁面Ｅ１ａに接触した状態からさらに可動部材１２が矢印ＡＲに移動した場合、球状体２４は矢印ＡＲの方向には移動できないが、可動部材側滑り板２７Ｂの移動に伴って、球状体２４が壁面Ｅ１ａ及びベース部材側滑り板２７Ａと可動部材側滑り板２７Ｂとを滑りつつ回転する状態が想定される。この状態における摩擦力は、球状体２４に対する可動部材側滑り板２７Ｂの転がり抵抗と、ベース部材側滑り板２７Ａ及び壁面Ｅ１ａに対する球状体２４の滑り抵抗とによる。
【００５５】
上述のレンズ駆動装置１では、可動部材１２を支持する球状体２４が、ベース部材側滑り板２６Ａ，２７Ａと可動部材側滑り板２６Ｂ，２７Ｂとに挟み込まれている。ベース部材側滑り板２６Ａ，２７Ａと可動部材側滑り板２６Ｂ，２７Ｂとは、０．１５未満の算術平均粗さである球状体接触面ＣＳを有している。この構成によれば、球状体２４と滑り板２６Ａ，２６Ｂ，２７Ａ，２７Ｂとの間において滑り摩擦抵抗及び転がり摩擦抵抗に起因する摩擦力が低減されるため、ベース部材２に対して可動部材１２を滑らかに移動させることができる。従って、滑り板２６Ａ，２６Ｂ，２７Ａ，２７Ｂの表面の凹凸が球状体２４の転がり駆動に及ぼす影響が小さくなる。
【００５６】
そして、球状体２４と、ベース部材側滑り板２６Ａ，２７Ａ及び可動部材側滑り板２６Ｂ，２７Ｂとの間における摩擦力が低減されると、摩擦力に起因する摩耗粉の発生が抑制されるため、球状体２４と、ベース部材側滑り板２６Ａ，２７Ａ及び可動部材側滑り板２６Ｂ，２７Ｂとの間において平滑な状態が維持される。従って、可動部材用駆動手段１４の駆動力が小さい場合であっても、可動部材１２を滑らかに移動させることが可能になるため、球状体接触面ＣＳの表面粗さに起因する追従ずれを低減することができ、さらに手振れ補正機構７の補正動作精度の低下を抑制することができる。
【００５７】
また、球状体２４が長溝Ｄ１及び凹部Ｅ１に配置されたとき、球状体２４が長溝Ｄ１の壁面又は凹部Ｅ１の壁面Ｅ１ａと接触しない状態（図５参照）で可動部材１２を移動させる場合と、球状体２４が長溝Ｄ１の壁面又は凹部Ｅ１の壁面Ｅ１ａと接触した状態（図６参照）で可動部材１２を移動させる場合とでは、摩擦力に差異が生じる場合がある。
【００５８】
具体的には、可動部材１２が中立位置にあるときには、球状体２４と壁面及び壁面Ｅ１ａとの間に隙間があるが、可動部材１２の移動に伴い球状体２４も移動し（図６（ａ）参照）、壁面Ｅ１ａに接触する場合（図８（ａ）又は図８（ｂ）参照）が想定される。
【００５９】
図６（ａ）の状態の摩擦力と、図８（ａ）又は図８（ｂ）の状態の摩擦力は、一般に図８（ａ）又は図８（ｂ）の状態の方が大きいと考えられる。可動部材１２の駆動力が一定である状態において、可動部材１２に作用する摩擦力が変化すると、変化の前後で可動部材１２の移動量に差異が生じるおそれがある。この摩擦力の相違は、入力信号に対する可動部材の追従ずれの原因となり得る。
【００６０】
レンズ駆動装置１によれば、球状体２４の表面粗さが球状体接触面ＣＳの表面粗さよりも小さいため、球状体２４が長溝Ｄ１及び凹部Ｅ１の壁面に当たった状態において、可動部材１２が球状体２４に対して滑りやすくなっている。また、球状体２４が長溝Ｄ１の壁面及び凹部Ｅ１の壁面Ｅ１ａに対しても滑りやすくなっている。
【００６１】
このため、球状体２４が長溝Ｄ１及び凹部Ｅ１の壁面と接触しつつ可動部材１２が移動する場合（図８（ａ）及び図８（ｂ）参照）の摩擦力を、球状体２４が長溝Ｄ１及び凹部Ｅ１の壁面と接触せずに可動部材１２が移動する場合（図６（ａ）〜図６（ｃ）参照）の摩擦力に近づけることができる。従って、球状体２４が長溝Ｄ１及び凹部Ｅ１の壁面に接触しない状態と、球状体２４が長溝Ｄ１及び凹部Ｅ１の壁面に接触した状態との間における摩擦力の差異に起因する追従ずれを低減し、手振れ補正精度の劣化を抑制することができる。
【００６２】
また、球状体接触面ＣＳには、フッ素を含む潤滑めっき層が形成されている。フッ素を含む潤滑めっき層によれば、球状体接触面ＣＳの摩擦係数が低減するため、摩耗粉の発生をより好適に抑制することができる。
【００６３】
また、表面粗さが制御された球状体接触面ＣＳは、ベース部材２や可動部材１２とは別部材であるベース部材側滑り板２６Ａ，２７Ａと可動部材側滑り板２６Ｂ，２７Ｂとが有している。このような構成によれば、支持手段１６の耐久性が向上し、ベース部材２や可動部材１２の材質の選択の自由度が高まると共に、球状体接触面ＣＳの表面粗さを容易に制御することができる。
【００６４】
＜実施例＞
本実施例では、ベース部材側滑り板２６Ａ，２７Ａと可動部材側滑り板２６Ｂ，２７Ｂとの表面粗さと可動部材１２の追従ずれとの関係を確認した。所定の振幅及び周期を有する交流電流である制御信号を可動部材用駆動手段１４に入力し、可動部材１２を駆動した。続いて、蓋部材４に配置されたセンサ（不図示）により可動部材１２の変位を検知し、センサから出力される電流値を出力信号として取得した。そして、出力信号と制御信号との差を追従ずれとして算出した。
【００６５】
図９（ａ）〜図９（ｄ）には、出力信号と制御信号との差を示すグラフＧ１〜Ｇ４が示され、グラフＧ１〜グラフＧ４の変動幅は追従ずれ量Ｒ１〜追従ずれ量Ｒ４を示す。図９（ａ）は球状体接触面ＣＳの表面粗さが算術平均あらさで０．０５μｍである場合の追従ずれを示し、追従ずれ量Ｒ１は１．９μｍであった。図９（ｂ）は球状体接触面ＣＳの表面粗さが算術平均あらさで０．１μｍである場合の追従ずれを示し、追従ずれ量Ｒ２は２．５μｍであった。図９（ｃ）は球状体接触面ＣＳの表面粗さが算術平均あらさで０．１５μｍである場合の追従ずれを示し、追従ずれ量Ｒ３は３．３μｍであった。図９（ｄ）は球状体接触面ＣＳの表面粗さが算術平均あらさで０．２μｍである場合の追従ずれを示し、追従ずれ量Ｒ４は４．１μｍであった。
【００６６】
図９（ａ）〜図９（ｄ）のグラフＧ１〜グラフＧ４を確認すると、球状体接触面ＣＳの表面粗さが小さい場合には追従ずれ量Ｒ１〜追従ずれ量Ｒ４が小さくなり、表面粗さが大きくなるに従って追従ずれ量Ｒ１〜追従ずれ量Ｒ４が大きくなることがわかった。従って、球状体接触面ＣＳの表面粗さを小さくすることは、追従ずれの抑制に寄与し得ることが確認できた。また、球状体接触面ＣＳの表面粗さが０．１５未満の場合（図９（ａ）、及び図９（ｂ）参照）には、追従ずれ量が２．５μｍ以下に抑制されていることがわかった。
【００６７】
本発明は、前述した実施形態に限定されるものではない。
【００６８】
ベース部材側滑り板２６Ａ、可動部材側滑り板２６Ｂ、長溝Ｄ１、長溝Ｄ２は、ベース部材側滑り板２７Ａ、可動部材側滑り板２７Ｂ、長溝Ｅ１、長溝Ｅ２と異なる形状であったが、同じ形状にしてもよい。
【００６９】
また、支持手段１６は、支持部２３Ａ〜支持部２３Ｃが３箇所に配置されていたが、支持部が４箇所以上に配置されていてもよい。
【００７０】
また、手振れ補正機構７の可動部材１２は、ベース部材２に支持されてベース部材２に対して移動するようになっていたが、この構成に限定されることはない。図示しないが、レンズ駆動装置１では、ベース部材２に焦点調整機構６を介して光軸Ｃ方向に移動する枠体が保持されていてもよい。この枠体には、支持手段１６を介して、可動部材１２が光軸Ｃに対して直交する平面内で移動可能に配置されている。可動部材１２には、レンズが取り付けられている。
【００７１】
また、可動部材用駆動手段１４は、ベース部材２にコイル２２を配置し、可動部材１２にマグネット２１を配置していたが、ベース部材２にマグネット２１を配置し、可動部材１２にコイル２２を配置してもよい。
【００７２】
また、可動部材１２は規制手段１３によって移動を規制されていたが、規制手段１３による特定の移動軌跡を有することに限定されない。
【符号の説明】
【００７３】
１…レンズ駆動装置、２…ベース部材（枠体）、３…撮像光学系、４…蓋部材、６…焦点調整機構、７…手振れ補正機構、８…レンズ保持枠、９…板バネ、１１…レンズ枠用駆動手段、１２…可動部材、１３…規制手段、１４…可動部材用駆動手段、１６…支持手段、１９Ａ〜１９Ｃ…アクチュエータ、２１…マグネット、２２…コイル、２３Ａ〜２３Ｃ…支持部、２４…球状体、２６Ａ，２７Ａ…ベース部材側滑り板、２６Ｂ，２７Ｂ…可動部材側滑り板、Ｃ…光軸、ＣＳ…球状体接触面、Ｌ１，Ｌ２…対角線、Ｔ１…直線移動軌跡、Ｔ２…回転移動軌跡。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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