(57)【要約】【課題】単位マスクに加わる引張力によって単位マスクに形成されたアクティブパターンの形態が変形するのを抑制した単位マスク及びマスク組立体を提供する。【解決手段】第１方向に引張力が加わった状態で両端部がフレームに支持される単位マスクは、前記第１方向に沿って延長されたバンド形状を有し、第１厚さを有する単位マスク本体部と、前記単位マスク本体部の中央領域に前記第１方向に沿って相互に離隔して配置され、それぞれが前記第１厚さに比べて薄い第２厚さを有する複数のアクティブパターンと、を含む。【選択図】図３
2015028214.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に引張力が加わった状態で両端部がフレームに支持される単位マスクにおいて、
前記第１方向に沿って延長されたバンド形状を有し、第１厚さを有する単位マスク本体部と、
前記単位マスク本体部の中央領域に、前記第１方向に沿って相互に離隔して配置され、それぞれが前記第１厚さに比べて薄い第２厚さを有する複数のアクティブパターンと、
を含む、単位マスク。
【請求項２】
前記複数のアクティブパターンのうちの前記第１方向に最外郭に位置するアクティブパターンと前記単位マスク本体部の端部との間に位置し、前記第１厚さと前記第２厚さとの間の厚さである第３厚さを有する第１ダミーパターンをさらに含む、請求項１に記載の単位マスク。
【請求項３】
前記第１ダミーパターンは複数個である、請求項２に記載の単位マスク。
【請求項４】
前記アクティブパターンは複数のアクティブ開口部を含み、
前記第１ダミーパターンは複数の第１ダミー開口部を含み、
互いに隣接する前記アクティブ開口部の間の第１距離は、互いに隣接する前記第１ダミー開口部の間の第２距離に比べて短い、請求項２に記載の単位マスク。
【請求項５】
前記複数のアクティブパターンのうちの互いに隣接する前記アクティブパターンの間に位置する第２ダミーパターンをさらに含む、請求項２に記載の単位マスク。
【請求項６】
前記第２ダミーパターンは前記第２厚さを有する、請求項５に記載の単位マスク。
【請求項７】
前記第２ダミーパターンは前記第３厚さを有する、請求項５に記載の単位マスク。
【請求項８】
前記第２ダミーパターンは複数個である、請求項５に記載の単位マスク。
【請求項９】
前記アクティブパターンは複数のアクティブ開口部を含み、
前記第２ダミーパターンは複数の第２ダミー開口部を含み、
互いに隣接する前記アクティブ開口部の間の第１距離は、互いに隣接する前記第２ダミー開口部の間の第３距離に比べて短い、請求項５に記載の単位マスク。
【請求項１０】
開口部を含むフレームと、
前記開口部の上に位置して、請求項１から９のいずれか一項による一つ以上の単位マスクと、
を含む、マスク組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、単位マスク及びマスク組立体に関し、より詳しくは、有機層を蒸着するときに利用される単位マスク及びマスク組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、平板表示装置の代表的な例として、有機発光表示装置（organic light emitting display）、液晶表示装置（liquid crystal display）及びプラズマディスプレイパネル（plasma display panel）などがある。
【０００３】
この中で、有機発光表示装置を製造するためには特定パターンを有する電極と有機発光層などを形成しなければならず、その形成方法としてマスク組立体を利用した蒸着法を適用することができる。
【０００４】
さらに詳細には、有機発光表示装置は、基板に画像表現の基本単位である画素（pixel）がマトリックス状に配列され、それぞれの画素ごとに赤色（Red）、緑色（Green）、青色（Blue）、白色（white）などの光を発光するそれぞれの有機発光層を介して、正極の第１電極と負極の第２電極が順次積層された有機発光素子が配置される構成を有する。ここで、有機発光層を形成する有機物質は水分及び酸素などに非常にぜい弱で、有機発光層を形成する工程中及び有機発光層を形成した後も水分から徹底的に隔離しなければならないので、通常のフォトリソグラフィ工程を利用してパターニングを行うのが困難である。したがって、有機発光層などは主に各パターンに対応する部分を通してのみ蒸着物質を通すためのアクティブパターンが形成されているマスクを利用して形成する。
【０００５】
最近、開口部を備えたフレーム、及び開口部に対応して両端部がフレームに固定されるバンド形状の複数の単位マスクを含むマスク組立体が使用されていた。
【０００６】
このような従来のマスク組立体には、単位マスクが引張力を加えられてフレームに支持されるため、単位マスクに加えられる引張力によって単位マスクに形成されたアクティブパターンの形態が変形されるという問題点があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の一実施形態は上述した問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、単位マスクに加わる引張力によって単位マスクに形成されたアクティブパターンの形態が変形するのを抑制した単位マスク及びマスク組立体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した目的を達成するために、本発明の第１側面は、第１方向に引張力が加わった状態で両端部がフレームに支持される単位マスクにおいて、前記第１方向に沿って延長されたバンド形状を有し、第１厚さを有する単位マスク本体部と、前記単位マスク本体部の中央領域に前記第１方向に沿って相互に離隔して配置されて、それぞれが前記第１厚さに比べて薄い第２厚さを有する複数のアクティブパターンと、を含む、単位マスクを提供する。
【０００９】
前記複数のアクティブパターンのうちの前記第１方向に最外郭に位置するアクティブパターンと前記単位マスク本体部の端部との間に位置し、前記第１厚さと前記第２厚さとの間の厚さである第３厚さを有する第１ダミーパターンをさらに含んでもよい。
【００１０】
前記第１ダミーパターンは複数個であってもよい。
【００１１】
前記アクティブパターンは複数のアクティブ開口部を含み、前記第１ダミーパターンは複数の第１ダミー開口部を含み、互いに隣接する前記アクティブ開口部の間の第１距離は、互いに隣接する前記第１ダミー開口部の間の第２距離に比べて短くてもよい。
【００１２】
前記複数のアクティブパターンのうちの互いに隣接する前記アクティブパターンの間に位置する第２ダミーパターンをさらに含んでもよい。
【００１３】
前記第２ダミーパターンは前記第２厚さを有してもよい。
【００１４】
前記第２ダミーパターンは前記第３厚さを有してもよい。
【００１５】
前記第２ダミーパターンは複数個であってもよい。
【００１６】
前記アクティブパターンは複数のアクティブ開口部を含み、前記第２ダミーパターンは複数の第２ダミー開口部を含み、互いに隣接する前記アクティブ開口部の間の第１距離は、互いに隣接する前記第２ダミー開口部の間の第３距離に比べて短くてもよい。
【００１７】
また、本発明の第２の側面は、開口部を含むフレームと、前記開口部の上に位置する前記単位マスクと、を含むマスク組立体を提供する。
【００１８】
前記単位マスクは複数個であり、複数の前記単位マスクそれぞれは前記開口部の上で前記第１方向と交差する第２方向に配置されてもよい。
【発明の効果】
【００１９】
上述した本発明の課題を解決するための手段の一部実施形態のいずれか一つによれば、単位マスクに加わる引張力によって単位マスクに形成されたアクティブパターンの形態が変形するのを抑制した単位マスク及びマスク組立体が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態によるマスク組立体を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態によるマスク組立体を示す平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態によるマスク組立体に含まれている単位マスクを示す平面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態による単位マスクを示す平面図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。
【図７】本発明の第３実施形態による単位マスクを示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付した図面を参照しながら、本発明の種々の実施形態について本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。本発明は種々の異なる形態に実現でき、ここで説明する実施形態に限られない。
【００２２】
本発明を明確に説明するために説明上不必要な部分は省略し、明細書の全体にわたって同一または類似する構成要素に対しては同一の参照符号を付けた。
【００２３】
また、種々の実施形態において、同一の構成を有する構成要素に対しては同一の符号を付けて代表的に第１実施形態で説明し、その他の実施形態では第１実施形態と異なる構成についてのみ説明する。
【００２４】
また、図面において、各構成の大きさ及び厚さは説明の便宜のために任意に示したので、本発明が必ず示されたものに限られることではない。
【００２５】
図面における種々の層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示した。そして図面において、説明の便宜のために一部層及び領域の厚さを誇張して示した。層、膜、領域、板などの部分が他の部分の「上に」あるというとき、これは他の部分の「すぐ上に」ある場合だけでなく、その中間に他の部分がある場合も含む。
【００２６】
また、明細書の全体において、ある部分がある構成要素を「含む」というとき、これは特に反対になる記載がない限り、他の構成要素を除くことではなく、他の構成要素をさらに含むことができるのを意味する。また、明細書の全体において、「〜上に」とは、対象になる部分の上または下に位置することを意味し、必ず重力方向を基準として上側に位置するのを意味することではない。
【００２７】
以下、図１から図４を参照して、本発明の第１実施形態によるマスク組立体について説明する。
【００２８】
図１は、本発明の第１実施形態によるマスク組立体を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態によるマスク組立体を示す平面図である。
【００２９】
図１及び図２に示されているように、本発明の第１実施形態によるマスク組立体は、フレーム１００、及び複数の単位マスク２００を含む。
【００３０】
フレーム１００は、複数の単位マスク２００それぞれの両端を固定及び支持し、単位マスク２００を露出させる開口部１１０を含む。フレーム１００は、開口部１１０を介して第１方向ｘに沿って互いに対向する一対の第１支持部１２０、及び開口部１１０を介して第１方向ｘと交差する第２方向ｙに沿って互いに対向する一対の第２支持部１３０をさらに含む。第１支持部１２０には単位マスク２００の両端部２００ａが支持される。一例として、単位マスク２００は、第１方向ｘに引張力が加わった状態で、溶接などの固定方法を利用して両端部２００ａがフレーム１００の第１支持部１２０に支持される。
【００３１】
本発明の第１実施形態によるマスク組立体のフレーム１００において、第１支持部１２０が四角形状を有するフレーム１００の長辺を構成し、第２支持部１３０がフレーム１００の短辺を構成するが、本発明の他の実施形態によるマスク組立体のフレーム１００においては、第１支持部１２０及び第２支持部１３０は実質的に同一の長さに形成されてもよい。
【００３２】
一方、本発明の他の実施形態によるマスク組立体のフレームは、多角形または円形の形状に構成されてもよい。
【００３３】
フレーム１００に固定される単位マスク２００は、第１方向ｘに引張力が印加された状態でフレーム１００に支持されるが、フレーム１００は、単位マスク２００に印加された第１方向ｘへの引張力によって、単位マスク２００の延長方向である第１方向ｘに沿って圧縮力の作用を受けるため、単位マスク２００の圧縮力による変形が起こらないように、剛性が大きいステンレス鋼（stainless steel）などのような金属材料で形成されてもよい。
【００３４】
単位マスク２００は、第１方向ｘに延長されたバンド形態であり、第１方向ｘに引張力が加わった状態で両端部２００ａがフレーム１００に支持される。単位マスク２００は複数個であり、複数の単位マスク２００それぞれは、第１方向ｘと交差する第２方向ｙに沿ってフレーム１００に配置されてフレーム１００に支持される。
【００３５】
図３は、本発明の第１実施形態によるマスク組立体に含まれている単位マスクを示す平面図である。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【００３６】
図３及び図４に示されているように、単位マスク２００は、単位マスク本体部２１０、アクティブパターン２２０、第１ダミーパターン２３０、及び第２ダミーパターン２４０を含む。
【００３７】
単位マスク本体部２１０は、第１方向ｘに沿って延長されたバンド形態であり、フレーム１００の開口部１１０の上に位置して、フレーム１００に支持される。単位マスク本体部２１０には、中央領域に第１方向ｘに沿って相互に離隔して配置された複数のアクティブパターン２２０が形成されている。
【００３８】
単位マスク本体部２１０は第１厚さＴ１を有している。一例として、単位マスク本体部２１０は１０μｍから６０μｍの第１厚さＴ１を有してもよく、第１厚さＴ１は実質的に３０μｍであってもよい。
【００３９】
アクティブパターン２２０は複数個であり、複数のアクティブパターン２２０は一つの単位マスク２００に第１方向ｘに相互に離隔して配置されている。アクティブパターン２２０は一つの有機発光表示装置に対応することができ、この場合、単位マスク２００を通して単一工程で複数の有機発光表示装置を構成する有機発光パターンを有機発光表示装置が製造されるマザー基板に同時に形成することができる。つまり、アクティブパターン２２０は、有機発光表示装置を構成する有機発光パターンの蒸着領域に対応して単位マスク２００に配置される。アクティブパターン２２０は、有機発光表示装置を構成する有機発光パターンが、アクティブパターン２２０を通ってマザー基板に形成されるように、単位マスク２００を貫くオープンパターン形態を有する。アクティブパターン２２０は、帯状（stripe）のオープンパターンである複数のアクティブ開口部２２１を含む。
【００４０】
アクティブパターン２２０は、単位マスク本体部２１０の表面から陥没した形態を有し、第１厚さＴ１に比べて薄い第２厚さＴ２を有する。一例として、アクティブパターン２２０は５μｍから５０μｍの第２厚さＴ２を有してもよく、このうちの第２厚さＴ２は実質的に１０μｍであってもよい。
【００４１】
一方、本発明の第１実施形態によるマスク組立体に含まれている単位マスク２００のアクティブパターン２２０のアクティブ開口部２２１は帯状（stripe）を有するが、本発明の他の実施形態によるマスク組立体に含まれている単位マスクのアクティブ開口部２２１は、ドット状（dot）または多角形状など多様であってもよい。
【００４２】
複数のアクティブパターン２２０のうちの第１方向ｘに最外郭に位置するアクティブパターン２２０と隣接して、第１ダミーパターン２３０が位置している。
【００４３】
第１ダミーパターン２３０は、アクティブパターン２２０と単位マスク本体部２１０の端部２００ａとの間に位置している。第１ダミーパターン２３０は、アクティブパターン２２０とは異なる形態を有してもよく、単位マスク本体部２１０の表面から陥没した形態を有している。第１ダミーパターン２３０は、第１厚さＴ１と第２厚さＴ２との間の厚さである第３厚さを有している。一例として、第１ダミーパターン２３０は１０μｍから５０μｍの第３厚さＴ３を有してもよく、このうちの第３厚さＴ３は実質的に２０μｍであってもよい。
【００４４】
第１ダミーパターン２３０は複数個であり、アクティブパターン２２０と単位マスク本体部２１０の端部２００ａとの間で３個が配置されている。複数の第１ダミーパターン２３０それぞれは互いに異なる形態を有してもよい。
【００４５】
一方、本発明の第１実施形態において、第１ダミーパターン２３０は３個であるが、本発明の他の実施形態においては、第１ダミーパターン２３０は１個、２個、または４個以上であってもよい。
【００４６】
第１ダミーパターン２３０は、単位マスク２００を貫くオープンパターン形態を有する。第１ダミーパターン２３０は、帯状（stripe）のオープンパターンである複数の第１ダミー開口部２３１を含む。
【００４７】
一方、本発明の第１実施形態によるマスク組立体に含まれている単位マスク２００の第１ダミーパターン２３０の第１ダミー開口部２３１は帯状（stripe）を有するが、本発明の他の実施形態によるマスク組立体に含まれている単位マスクの第１ダミー開口部２３１は、ドット状（dot）または多角形状など多様であってもよい。
【００４８】
第２ダミーパターン２４０は、複数のアクティブパターン２２０のうちの隣接するアクティブパターン２２０の間に位置している。第２ダミーパターン２４０は単位マスク２００を貫くオープンパターン形態を有する。第２ダミーパターン２４０は、帯状（stripe）のオープンパターンである複数の第２ダミー開口部２４１を含む。
【００４９】
第２ダミーパターン２４０は複数個であり、複数の第２ダミーパターン２４０それぞれは隣接するアクティブパターン２２０の間に配置されている。
【００５０】
第２ダミーパターン２４０は、単位マスク本体部２１０の表面から陥没した形態を有して、第１ダミーパターン２３０と同様に第３厚さＴ３を有する。
【００５１】
一方、本発明の第１実施形態によるマスク組立体に含まれている単位マスク２００の第２ダミーパターン２４０の第２ダミー開口部２４１は帯状（stripe）を有するが、本発明の他の実施形態によるマスク組立体に含まれている単位マスクの第２ダミー開口部２４１は、ドット状（dot）または多角形状など多様であってもよい。
【００５２】
このように、本発明の第１実施形態によるマスク組立体の単位マスク２００は、単位マスク本体部２１０がアクティブパターン２２０の第２厚さＴ２に比べて厚い第１厚さＴ１を有することによって、単位マスク本体部２１０自体の強度が向上するので、単位マスク２００に第１方向ｘに引張力が加わっても、引張力によるアクティブパターン２２０の変形が抑制される。
【００５３】
また、本発明の第１実施形態によるマスク組立体の単位マスク２００は、第１ダミーパターン２３０がアクティブパターン２２０と単位マスク本体部２１０の端部２００ａとの間に位置して、アクティブパターン２２０の第２厚さＴ２と単位マスク本体部２１０の第１厚さＴ１との間の第３厚さＴ３を有することによって、単位マスク２００に第１方向ｘに引張力が加わると、第１ダミーパターン２３０が引張力によって先ず変形するので、アクティブパターン２２０に加わる引張力が分散して、アクティブパターン２２０が第１方向ｘに加わる引張力によって変形するのが抑制される。
【００５４】
さらに、本発明の第１実施形態によるマスク組立体の単位マスク２００は、第２ダミーパターン２４０が互いに隣接するアクティブパターン２２０の間に設けられ、アクティブパターン２２０の第２厚さＴ２と単位マスク本体部２１０の第１厚さＴ１との間の第３厚さＴ３を有することによって、単位マスク２００に第１方向ｘに引張力が加わると、第２ダミーパターン２４０が引張力によって先ず変形するので、アクティブパターン２２０に加わる引張力が分散して、アクティブパターン２２０が第１方向ｘに加わる引張力によって変形するのが抑制される。
【００５５】
つまり、単位マスク２００に第１方向ｘに引張力が加わっても、先ず第１ダミーパターン２３０が引張力によって変形し、次に、第１ダミーパターン２３０によって分散した引張力によって第２ダミーパターン２４０が変形して、アクティブパターン２２０に加わる引張力がさらに分散することによって、実質的に有機層を蒸着するときに利用されるアクティブパターン２２０が、第１方向ｘに加わる引張力によって変形するのが抑制される。
【００５６】
以上のように、本発明の第１実施形態によるマスク組立体の単位マスク２００は、単位マスク本体部２１０の第１厚さＴ１とアクティブパターン２２０の第２厚さＴ２との間の厚さである第３厚さＴ３を有する第１ダミーパターン２３０及び第２ダミーパターン２４０を備えることによって、フレーム１００に単位マスク２００を固定するとき、単位マスク２００に加わる引張力が第１ダミーパターン２３０及び第２ダミーパターン２４０それぞれによって連続して分散するので、アクティブパターン２２０が引張力によって変形するのが抑制される。つまり、単位マスク２００に加わる引張力によって単位マスク２００に形成されたアクティブパターン２２０の形態が変形するのが抑制された単位マスク２００、及びこれを含むマスク組立体が提供される。
【００５７】
以下、図５及び図６を参照して、本発明の第２実施形態による単位マスクについて説明する。
【００５８】
以下、第１実施形態と区別される特徴的な部分のみを抜粋して説明し、説明が省略された部分は第１実施形態による。そして、本発明の第２実施形態では、説明の便宜のために同一の構成要素に対しては本発明の第１実施形態と同一の参照番号を用いて説明する。
【００５９】
図５は、本発明の第２実施形態による単位マスクを示す平面図である。図６は、図５のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。
【００６０】
図５及び図６に示されているように、本発明の第２実施形態による単位マスク２０２は、単位マスク本体部２１０、アクティブパターン２２０、第１ダミーパターン２３０、及び第２ダミーパターン２４０を含む。
【００６１】
第２ダミーパターン２４０は、単位マスク本体部２１０の表面から陥没した形態を有して、アクティブパターン２２０と同様に第２厚さＴ２を有する。
【００６２】
このように、本発明の第２実施形態による単位マスク２０２は、第２ダミーパターン２４０が隣接するアクティブパターン２２０の間に位置して、アクティブパターン２２０の第２厚さＴ２と同一の第２厚さＴ２を有することによって、単位マスク２０２に第１方向ｘに引張力が加わると、第２ダミーパターン２４０が引張力によって先ず変形するので、アクティブパターン２２０に加わる引張力が分散して、アクティブパターン２２０が第１方向ｘに加わる引張力によって変形するのが抑制される。
【００６３】
つまり、単位マスク２０２に第１方向ｘに引張力が加わっても、先ず第１ダミーパターン２３０が引張力によって変形し、次に、第１ダミーパターン２３０によって分散した引張力によって第２ダミーパターン２４０が変形して、アクティブパターン２２０に加わる引張力がさらに分散することによって、実質的に有機層を蒸着するときに利用されるアクティブパターン２２０が、第１方向ｘに加わる引張力によって変形するのが抑制される。
【００６４】
以上のように、本発明の第２実施形態による単位マスク２０２は、アクティブパターン２２０の第２厚さＴ２と同一の第２厚さＴ２を有する第２ダミーパターン２４０を含むことによって、フレーム１００に単位マスク２０２を固定するとき、単位マスク２０２に加わる引張力が第１ダミーパターン２３０及び第２ダミーパターン２４０それぞれによって連続して分散するので、アクティブパターン２２０が引張力によって変形するのが抑制される。つまり、単位マスク２０２に加わる引張力によって単位マスク２０２に形成されたアクティブパターン２２０の形態が変形するのが抑制された単位マスク２０２が提供される。
【００６５】
以下、図７を参照して、本発明の第３実施形態による単位マスクについて説明する。
【００６６】
以下、第１実施形態と区別される特徴的な部分のみを抜粋して説明し、説明が省略されたの部分は第１実施形態による。そして、本発明の第３実施形態では、説明の便宜のために同一の構成要素に対しては本発明の第１実施形態と同一の参照番号を用いて説明する。
【００６７】
図７は、本発明の第３実施形態による単位マスクを示す平面図である。
【００６８】
図７に示されているように、本発明の第３実施形態による単位マスク２０３は、単位マスク本体部２１０、アクティブパターン２２０、第１ダミーパターン２３０、及び第２ダミーパターン２４０を含む。
【００６９】
互いに隣接するアクティブ開口部２２１は第１距離Ｌ１だけ離間し、互いに隣接する第１ダミー開口部は第２距離Ｌ２だけ離間する。互いに隣接するアクティブ開口部２２１の間の第１距離Ｌ１は、互いに隣接する第１ダミー開口部２３１の間の第２距離Ｌ２に比べて短い。
【００７０】
また、互いに隣接する第２ダミー開口部は第３距離Ｌ３だけ離間する。互いに隣接するアクティブ開口部２２１の間の第１距離Ｌ１は、互いに隣接する第２ダミー開口部２４１の間の第３距離Ｌ３に比べて短い。
【００７１】
互いに隣接する第２ダミー開口部２４１の間の第３距離Ｌ３は、互いに隣接する第１ダミー開口部の間は第２距離Ｌ２と同一であるか、または異なってもよい。
【００７２】
このように、本発明の第３実施形態による単位マスク２０３において、互いに隣接する第２ダミー開口部２４１の間の第３距離Ｌ３及び互いに隣接する第１ダミー開口部の間の第２距離Ｌ２それぞれが、互いに隣接するアクティブ開口部２２１の間の第１距離Ｌ１に比べて長いので、単位マスク２０３に第１方向ｘに引張力が加わると、引張力が第１ダミーパターン２３０及び第２ダミーパターン２４０によって分散して、アクティブパターン２２０が第１方向ｘに加わる引張力によって変形するのが抑制される。
【００７３】
つまり、単位マスク２０３に第１方向ｘに引張力が加わっても、先ず第１ダミーパターン２３０及び第２ダミーパターン２４０によって引張力が分散することによって、実質的に有機層を蒸着するときに利用されるアクティブパターン２２０が、第１方向ｘに加わる引張力によって変形するのが抑制される。
【００７４】
以上のように、本発明の第３実施形態による単位マスク２０３は、単位マスク２０３に加わる引張力が第１ダミーパターン２３０及び第２ダミーパターン２４０それぞれによって連続して分散するので、アクティブパターン２２０が引張力によって変形するのが抑制される。つまり、単位マスク２０３に加わる引張力によって単位マスク２０３に形成されたアクティブパターン２２０の形態が変形するのが抑制された単位マスク２０３が提供される。
【００７５】
本発明を上述した好ましい実施形態を通じて説明したが、本発明はこれに限定されず、特許請求の範囲の概念と範囲を逸脱しない限り、多様な修正及び変形が可能であることを、本発明が属する技術分野における者であれば容易に理解するはずである。
【符号の説明】
【００７６】
１００  フレーム
１１０  開口部
１２０  第１支持部
１３０  第２支持部
２００、２０２、２０３  単位マスク
２１０  単位マスク本体部
２２０  アクティブパターン
２２１  アクティブ開口部
２３０  第１ダミーパターン
２３１  第１ダミー開口部
２４０  第２ダミーパターン
２４１  第２ダミー開口部
２００ａ  端部
【図１】
2015028214.tif 000003
【図２】
2015028214.tif 000004
【図３】
2015028214.tif 000005
【図４】
2015028214.tif 000006
【図５】
2015028214.tif 000007
【図６】
2015028214.tif 000008
【図７】
2015028214.tif 000009