(57)【要約】【課題】装置全体の専有面積を小さくして作業効率を向上させるとともに、部品点数を少なくしてコスト低減を図るようにする。【解決手段】検査前の被検査基板Ｐをストックする搬入側ストッカー２１と、検査済の被検査基板をストックする搬出側ストッカー２２，２３とを、検査部１０の片側に設けられているストック部２０内に設け、被検査基板Ｐをストック部２０から検査部１０へと搬送する搬送手段３０を、検査部１０とストック部２０との間に懸架される搬送ベルト３１と被検査基板を吸着可能な２つの基板保持部３２，３３とで構成し、２つ基板保持部３２，３３を介して、検査前の被検査基板Ｐを搬入側ストッカー２１から取り出すのと同時に、検査済の被検査基板を搬出側ストッカー２２へとストックするようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板の良否を検査する検査部と、検査前の上記被検査基板をストックする搬入側ストッカーと、検査済みの上記被検査基板を良品と不良品に分けてストックする第１および第２の２つの搬出側ストッカーと、上記被検査基板を上記搬入側ストッカー→上記検査部→上記搬出側ストッカーへと搬送する搬送手段とを含み、上記検査部にて検査された上記被検査基板を良品・不良品に振り分けて上記搬出側ストッカーのいずれか一方に収納する基板検査装置において、
上記搬入側ストッカーと上記第１および第２搬出側ストッカーの３つのストッカーは、それぞれ同一の間隔をもって上記検査部の片側に配置されている同一のストック部内に並置されており、
上記搬送手段には、上記搬入側ストッカーから検査前の上記被検査基板を保持して上記検査部に搬送する第１の基板保持部と、上記検査部から検査済の上記被検査基板を保持して上記第１もしくは第２搬出側ストッカーに搬送する第２の基板保持部と、上記第１の基板保持部と上記第２の基板保持部を支持して上記検査部と上記ストック部との間に水平移動可能に懸架される搬送ベルトとが備えられ、
上記第１の基板保持部と上記第２の基板保持部には、所定の昇降手段により上記搬送ベルトの移動方向と直交する垂直方向に駆動され、上記被検査基板を着脱可能に吸着する吸着ヘッドがそれぞれ設けられており、
上記第１の基板保持部と上記第２の基板保持部は、上記ストッカーの配置間隔と同一の間隔をもって上記搬送ベルトに支持され、上記第１，第２の各基板保持部がともにそれらの間隔を一定として移動することを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
上記搬入側ストッカーと上記各搬出側ストッカーには、上記搬入側ストッカー内に収納される最上位の上記被検査基板の高さ位置と、上記各搬出側ストッカーに収納される最上位の上記被検査基板の高さ位置を監視する高さ位置監視センサと、上記高さ位置監視センサの出力に応じて上記ストッカーを昇降させるストッカー昇降手段とが設けられており、上記搬入側ストッカー内の最上位の被検査基板の高さと上記各搬出側ストッカー内の最上位の被検査基板の高さとが同じ高さに調整されることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
上記第１基板保持部の吸着ヘッドと上記第２基板保持部の吸着ヘッドは、上記昇降手段により同時に同一方向かつ同一移動量で昇降駆動されることを特徴とする請求項１または２に記載の基板検査装置。
【請求項４】
少なくとも上記搬送手段、上記昇降手段および上記吸着ヘッドの各動作を制御する制御手段を有し、
上記制御手段は、第１ステップとして、上記搬送ベルトにより上記第１の基板保持部が上記搬入側ストッカー上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第１の基板保持部の吸着ヘッドのみを有効として、上記第１の基板保持部の吸着ヘッドにて上記搬入側ストッカー内の検査前の上記被検査基板を吸着保持させたのち、上記各吸着ヘッドを上昇させ、
第２ステップとして、上記搬送ベルトにより上記第１の基板保持部が上記検査部上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第１の基板保持部の吸着ヘッドを無効にして上記検査前の上記被検査基板を上記検査部上に載置して、上記各吸着ヘッドを上昇させ、
第３ステップとして、上記検査部にて上記被検査基板の検査を行わせ、
第４ステップとして、上記搬送ベルトにより上記第２の基板保持部が上記検査部上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第２の基板保持部の吸着ヘッドのみを有効として、上記第２の基板保持部の吸着ヘッドにて上記検査部上の検査済み上記被検査基板を吸着保持させたのち、上記各吸着ヘッドを上昇させ、
第５ステップとして、上記検査部での良品，不良品の検査結果に応じて、上記搬送ベルトにより上記第２の基板保持部が上記搬出側ストッカーのいずれか一方の上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第２の基板保持部の吸着ヘッドを無効にして上記検査済み上記被検査基板を上記いずれか一方の搬出側ストッカー内に収納させ、
上記検査前の上記被検査基板ごとに、上記第１ステップないし上記第５ステップを繰り返し実行することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の基板検査装置。
【請求項５】
上記第１の搬出側ストッカーが良品用、上記第２の搬出側ストッカーが不良品用であり、上記検査部から見て、上記搬入側ストッカー，上記第１の搬出側ストッカー，上記第２の搬出側ストッカーがこの順序で配置されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板等の被検査基板の検査を行う基板検査装置に関し、さらに詳しく言えば、検査前の被検査基板のストック部と検査済み被検査基板のストック部とを基板検査部の片側の同一スペース内に配置し、装置全体の専有面積を小さくするとともに、基板搬送手段の構成を簡素した基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板等の被検査基板の良否をプローブピンや画像処理等によって検査する基板検査装置として、被検査基板を検査する検査部と、検査前の被検査基板をストックして検査部に供給する供給部と、検査部にて検査された検査済の被検査基板をストックする収納部とを一体型とした基板検査装置がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図６に、このような従来の基板検査装置の一例を示す。この基板検査装置１は、被検査基板Ｐの良否を検査する検査部２と、検査前の被検査基板Ｐをストックする搬入側ストック部３と、検査済の被検査基板Ｐをストックする搬出側ストック部４と、この検査システムの動作を制御する制御部（図示省略）とを備えている。
【０００４】
また、基板検査装置１には、被検査基板Ｐを保持して搬入側ストック部３と検査部２との間を往復動する搬送手段５と、被検査基板Ｐを保持して検査部２と搬出側ストック部４との間を往復動する搬送手段６とが備えられている。
【０００５】
検査部２には、図示はされていないが、被検査基板Ｐが載置される検査テーブルや検査基板Ｐを画像処理やプローブピンを接触させて電気的検査を行う各種検査治具等が設けられている。
【０００６】
搬入側ストック部３には、検査前の被検査基板Ｐがストックされる搬入側ストッカー３ａが備えられている。図６に示すように、搬入側ストッカー３ａは、その上方が開放されたボックス型とされ、その内部に例えば数百枚単位で被検査基板Ｐを収納できるようになっている。
【０００７】
搬出側ストック部４には、検査済の被検査基板Ｐをストックする２つの搬出側ストッカー４ａ，４ｂが備えられている。この例において、一方の搬出側ストッカー４ａには検査部２にて良品と判定された被検査基板Ｐが、他方の搬出側ストッカー４ｂには検査部２にて不良品と判定された被検査基板Ｐがそれぞれ収納されるようになっている。
【０００８】
この２つの搬出側ストッカー４ａ，４ｂの各々は、搬入側ストッカー３ａと同様に、その上方が開放されたボックス型とされ、その内部に例えば数百枚単位で被検査基板Ｐが収納できるようになっている。
【０００９】
この例において、２つの搬出側ストッカー４ａ，４ｂは、それぞれ支持脚４ｃ，４ｄに支持されており、支持脚４ｃ，４ｄは、図示しないモータ等の駆動手段により昇降可能とされている。
【００１０】
搬入側ストック部３側の搬送手段５は、搬入側ストック部３と検査部２との間に懸架される搬送ベルト５ａと、搬送ベルト５ａに支持されて、搬入側ストッカー３ａ内にストックされている検査前の被検査基板Ｐを図示しない真空吸着手段により保持する基板保持部５ｂとを備えている。
【００１１】
この例において、真空吸着手段は、基板保持部５ｂの基端側に並列して設けられる３つの吸着パッド５ｂ１を備え、各吸着バッド５ｂ１は、オンオフ切替弁を介して真空発生器（ともに図示しない）に接続されている。
【００１２】
また、基板保持部５ｂは、図示しないモータ等の駆動手段により昇降可能とされている。これにより、基板保持部５ｂを、搬送ベルト５ａを介して搬入側ストッカー３ａ上に位置決めした後に降下させ、吸着パッド５ｂ１にて搬入側ストッカー３ａ内の被検査基板Ｐをエア吸着するようにしている。
【００１３】
収納ストック部４側の搬送手段６は、検査部２と収納ストック部４との間に設けられた搬送ベルト６ａと、搬送ベルト６ａに支持されて、上記搬送手段５と同様の構成からなる基板保持部６ｂとを備えている。
【００１４】
基板保持部６ｂは、上記基板保持部５ｂと同様に、図示しないモータ等の駆動手段により昇降可能とされている。また、真空吸着手段として、基板保持部５ｂの吸着パッド５ｂ１と同様に、図示しない真空発生器とオンオフ切替弁を介して接続される３つの吸着パッド６ｂ１が備えられている。
【００１５】
次に、この従来の基板検査装置１のシステム動作例を説明する。まず、検査システムの始動に際しては、被検査基板Ｐを搬入側ストック部３の搬入側ストッカー３ａ内に所定枚数積層してストックし、図示しない操作部を操作することにより検査システムを開始する。
【００１６】
検査システムの始動により、搬送ベルト５ａは、基板保持部５ｂを搬入側ストッカー３ａ上に移動させて、搬入側ストッカー３ａ内の被検査基板Ｐをエア吸着可能な位置にまで降下させる。
【００１７】
次に、図示しない真空吸着手段を作動させて、吸着パッド５ｂ１を介して、被検査基板Ｐをエア吸着して保持させ、この状態で基板保持部５ｂを降下前の初期位置にまで上昇させる。
【００１８】
そして、搬送ベルト５ａを介して、基板保持部５ｂに保持された被検査基板Ｐを検査部２へと搬送する。その際、被検査基板Ｐは、図示はされていないが、検査部２内の所定位置（例えば検査テーブル上）に載置され、その後、あらかじめ設定された所定の検査工程が行われる。
【００１９】
なお、検査前の被検査基板Ｐを検査部２へと搬送した後には、次の被検査基板Ｐを検査部２へと搬送する動作が繰り返し行われる。すなわち、基板保持部５ｂを搬送ベルト５ａを介して再び搬入側ストック部３へと移動させ、上記動作を繰り返して検査前の被検査基板Ｐを検査部２へと順次搬送するようになっている。
【００２０】
一方、検査部２にて所定の検査が終了した検査済の被検査基板Ｐは、搬送手段６を介して、搬出側ストック部４へと搬送される。検査部２から検査済の被検査基板Ｐを搬出側ストック部４に搬送するには、まず、基板保持部６ｂを検査部２の検査テーブル（図示せず）上に位置決めした後降下させ、吸着パッド６ｂ１を介して被検査基板Ｐをエア吸着して保持する。
【００２１】
次に、被検査基板Ｐを保持した基板保持部６ｂを降下前の元の初期位置まで上昇させ、搬送ベルト６ａを介して搬出側ストック部４へと搬送する。検査部２の検査結果は図示しない制御部から搬送手段６へと送信されており、これにより、検査済みの被検査基板Ｐを、搬送ベルト６ａを介して、良品を収納する搬出側ストッカー４ａあるいは不良品を収納する搬出側ストッカー４ｂのいずれかのストッカーに収納する。
【００２２】
具体的には、被検査基板Ｐが良品の場合には、基板保持部６ｂを搬出側ストッカー４ａ上へと位置決めして降下させる。そして、基板保持部６ｂに保持されている検査済の被検査基板Ｐを搬出側ストッカー４ａの最上位の被検査基板Ｐ上に載置した後、吸着パッド６ｂ１のエア吸着を解除する。
【００２３】
他方、被検査基板Ｐが不良品の場合には、基板保持部６ｂを搬出側ストッカー４ｂ上へと位置決めして降下させる。そして、基板保持部６ｂに保持されている検査済の被検査基板Ｐを搬出側ストッカー４ｂの最上位の被検査基板Ｐ上に載置した後、吸着パッド６ｂ１のエア吸着を解除する。
【００２４】
その後、基板保持部６ｂを降下前の初期位置にまで上昇させ、搬送ベルト６ａを介して再び検査部２へと移動させる。そして、上記動作を繰り返し、検査済の被検査基板Ｐを搬出側ストッカー４ａあるいは搬出側ストッカー４ｂへと良品・不良品に振り分けて収納するようになっている。
【００２５】
なお、この例において、支持脚４ｃ，４ｄを介して、搬出側ストッカー４ａ，４ｂにストックされている最上位の被検査基板Ｐの高さ位置が基板保持部６ｂの降下位置となるようにあらかじめ調整されており、これにより、検査済の被検査基板Ｐを破損等することなく搬出側ストッカー４ａ，４ｂ内に振り分けてストックできるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２６】
【特許文献１】特開平６−２２１８１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２７】
上記従来の基板検査装置では、検査前の被検査基板Ｐを搬入側ストッカー３ａにストックし、検査部２にて所定の検査工程を行わせることにより、検査済の被検査基板Ｐを検査結果に応じた搬出側ストッカー４ａ，４ｂに振り分けて収納させることができる。
【００２８】
そのため、被検査基板Ｐを上流側の搬入側ストック部３から下流側の搬出側ストック部４という一方向の流れのなかに、検査工程をおくことができ、検査システムをシンプルに構成することができるという利点がある。
【００２９】
しかしながら、搬入側ストック部３、検査部２および搬出側ストック部４が、それぞれ独立した構成とされるため、それに応じてスペースや機構部品が必要とされ、システム全体の専有面積が大きくなるとともに、コスト的にも高価とならざるを得ない、という問題があった。
【００３０】
また、検査前の被検査基板Ｐをストックする搬入側ストック部３と、検査済の被検査基板Ｐをストックする搬出側ストック部４とが、検査部２の両側にそれぞれ配置されているため、作業者の作業範囲が広くなり作業効率が低下する、といった問題もあった。
【００３１】
そこで、本発明の課題は、装置全体の専有面積を小さくして作業効率を向上させるとともに、コスト的にも有利な基板検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３２】
上記課題を解決するため、本発明は、被検査基板の良否を検査する検査部と、検査前の上記被検査基板をストックする搬入側ストッカーと、検査済みの上記被検査基板を良品と不良品に分けてストックする第１および第２の２つの搬出側ストッカーと、上記被検査基板を上記搬入側ストッカー→上記検査部→上記搬出側ストッカーへと搬送する搬送手段とを含み、上記検査部にて検査された上記被検査基板を良品・不良品に振り分けて上記搬出側ストッカーのいずれか一方に収納する基板検査装置において、上記搬入側ストッカーと上記第１および第２搬出側ストッカーの３つのストッカーは、それぞれ同一の間隔をもって上記検査部の片側に配置されている同一のストック部内に並置されており、上記搬送手段には、上記搬入側ストッカーから検査前の上記被検査基板を保持して上記検査部に搬送する第１の基板保持部と、上記検査部から検査済の上記被検査基板を保持して上記第１もしくは第２搬出側ストッカーに搬送する第２の基板保持部と、上記第１の基板保持部と上記第２の基板保持部を支持して上記検査部と上記ストック部との間に水平移動可能に懸架される搬送ベルトとが備えられ、上記第１の基板保持部と上記第２の基板保持部には、所定の昇降手段により上記搬送ベルトの移動方向と直交する垂直方向に駆動され、上記被検査基板を着脱可能に吸着する吸着ヘッドがそれぞれ設けられており、上記第１の基板保持部と上記第２の基板保持部は、上記ストッカーの配置間隔と同一の間隔をもって上記搬送ベルトに支持され、上記第１，第２の各基板保持部がともにそれらの間隔を一定として移動することを特徴としている。
【００３３】
本発明において、好ましくは、上記搬入側ストッカーと上記各搬出側ストッカーには、上記搬入側ストッカー内に収納される最上位の上記被検査基板の高さ位置と、上記各搬出側ストッカーに収納される最上位の上記被検査基板の高さ位置を監視する高さ位置監視センサと、上記高さ位置監視センサの出力に応じて上記ストッカーを昇降させるストッカー昇降手段とが設けられており、上記搬入側ストッカー内の最上位の被検査基板の高さと上記各搬出側ストッカー内の最上位の被検査基板の高さとが同じ高さに調整される。
【００３４】
また、上記第１基板保持部の吸着ヘッドと上記第２基板保持部の吸着ヘッドは、上記昇降手段により同時に同一方向かつ同一移動量で昇降駆動されることが好ましい。
【００３５】
また、本発明の基板検査装置は、少なくとも上記搬送手段、上記昇降手段および上記吸着ヘッドの各動作を制御する制御手段をさらに有し、上記制御手段は、第１ステップとして、上記搬送ベルトにより上記第１の基板保持部が上記搬入側ストッカー上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第１の基板保持部の吸着ヘッドのみを有効として、上記第１の基板保持部の吸着ヘッドにて上記搬入側ストッカー内の検査前の上記被検査基板を吸着保持させたのち、上記各吸着ヘッドを上昇させ、第２ステップとして、上記搬送ベルトにより上記第１の基板保持部が上記検査部上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第１の基板保持部の吸着ヘッドを無効にして上記検査前の上記被検査基板を上記検査部上に載置して、上記各吸着ヘッドを上昇させ、第３ステップとして、上記検査部にて上記被検査基板の検査を行わせ、第４ステップとして、上記搬送ベルトにより上記第２の基板保持部が上記検査部上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第２の基板保持部の吸着ヘッドのみを有効として、上記第２の基板保持部の吸着ヘッドにて上記検査部上の検査済み上記被検査基板を吸着保持させたのち、上記各吸着ヘッドを上昇させ、第５ステップとして、上記検査部での良品，不良品の検査結果に応じて、上記搬送ベルトにより上記第２の基板保持部が上記搬出側ストッカーのいずれか一方の上に位置するように上記第１，第２の基板保持部を移動させたのち、上記昇降手段により上記各吸着ヘッドを下降させ、上記第２の基板保持部の吸着ヘッドを無効にして上記検査済み上記被検査基板を上記いずれか一方の搬出側ストッカー内に収納させ、上記検査前の上記被検査基板ごとに、上記第１ステップないし上記第５ステップを繰り返し実行することを特徴としている。
【００３６】
上記第１の搬出側ストッカーが良品用、上記第２の搬出側ストッカーが不良品用であるとして、特に上記第１ステップないし上記第５ステップを実行するうえで、上記検査部から見て、上記搬入側ストッカー，上記第１の搬出側ストッカー，上記第２の搬出側ストッカーがこの順序で配置されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、搬入側ストッカーと第１および第２搬出側ストッカーの３つのストッカーを、それぞれ同一の間隔をもって検査部の片側に配置されている同一のストック部内に並置するとともに、搬入側の第１の基板保持部と搬出側の第２の基板保持部とを、上記ストッカーの配置間隔と同一の間隔をもって搬送ベルトに支持させて第１，第２の各基板保持部がともにそれらの間隔を一定として移動するようにしたことにより、基板搬送機構の構成が大幅に簡素化できる。また、検査前基板の検査部への搬入、検査済み基板の検査部からの搬出の一連の工程を合理的に行うことができる。また、装置全体の占有面積を小さくすることができる。さらには、作業者の作業領域が検査部の片側のみとなるため、作業者の作業効率も向上する。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施形態に係る基板検査装置を示す模式図。
【図２】上記実施形態における搬入側ストッカーと搬出側ストッカーの構成を模式的に示す断面図。
【図３】上記実施形態における基板保持部の構成を模式的に示す断面図。
【図４】上記実施形態の係る基板検査装置の動作例を模式的に示す説明図。
【図５】上記実施形態の係る基板検査装置の他の動作例を模式的に示す説明図。
【図６】従来の基板検査装置の一例を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
次に、図１ないし図５により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００４０】
図１に示すように、この実施形態に係る基板検査装置１Ａは、被検査基板Ｐの良否検査を行う検査部１０と、検査前および検査済の被検査基板Ｐをストックするストック部２０と、この検査システムを制御する制御手段１００とを備えている。制御手段１００には、ＣＰＵ（中央演算処理ユニット）やマイクロコンピュータ等が用いられる。
【００４１】
また、この基板検査装置１Ａは、検査前の被検査基板Ｐをストック部２０から検査部１０に搬入するとともに、検査済の被検査基板Ｐを検査部１０からストック部２０へと搬出する搬送手段３０を備えている。
【００４２】
検査部１０には、被検査基板Ｐが載置される検査テーブルＴ（図４および図５参照）や、図示はされていないが、被検査基板Ｐの電気的検査や画像処理による外観検査等を行う各種検査治具およびこれら検査治具等を制御する制御装置等が備えられている。
【００４３】
図１に示すように、本発明において、検査前の被検査基板Ｐおよび検査済の被検査基板Ｐはともに、検査部１０と隣接してその片側に配置されたストック部２０内にストックされる。
【００４４】
ストック部２０には、検査前の被検査基板Ｐがストックされる１つの搬入側ストッカー２１と、検査済みの被検査基板Ｐがストックされる２つの搬出側ストッカー２２，２３の３つのストッカーが、それぞれ同一の間隔ａをもって一直線上に並置されている。
【００４５】
なお、２つの搬出側ストッカー２２，２３のうち、一方の搬出側ストッカー２２が検査において良品と判断された被検査基板Ｐがストックされる良品用の搬出側ストッカーであり、他方の搬出側ストッカー２３が検査において不良品と判断された被検査基板Ｐがストックされる不良品用の搬出側ストッカーである。
【００４６】
ストッカーの配置順としては、検査前の被検査基板Ｐを検査部１０に搬入し、また、検査済みの被検査基板Ｐを検査部１０から搬出するうえで、検査部１０から見て、搬入側ストッカー２１，良品用の搬出側ストッカー２２，不良品用の搬出側ストッカー２３の順序であることが好ましい。これは、一般的に不良品の数が少ないことによる。
【００４７】
搬入側ストッカー２１および搬出側ストッカー２２，２３は、それぞれ上面が開放されたボックス型に形成されており、各ストッカーは、例えば数百枚の被検査基板Ｐを積層してストックし得る容積を備えている。
【００４８】
この実施形態において、搬入側ストッカー２１および搬出側ストッカー２２，２３に積層される最上位の被検査基板Ｐは、それぞれほぼ同一高さ位置（同一平面上）に揃うように、その高さ位置が制御される。
【００４９】
そのための高さ調整手段として、各ストッカー２１，２２，２３内の最上位の被検査基板Ｐの有無を検知するセンサＳ１，Ｓ２と、被検査基板Ｐを支持して昇降可能な支持脚２４，２５，２６とを備えている。
【００５０】
一例として、図２（ａ）に示すように、搬入側ストッカー２１の上端側に設けられるセンサＳ１は、例えば反射型光センサであって、光センサＳ１が発したビームが搬入側ストッカー２１内の最上位の被検査基板Ｐにあたって反射することにより、最上位の被検査基板Ｐの位置を検出する。
【００５１】
一方、図２（ｂ）に示すように、搬出側ストッカー２２，２３の上端側に向かい合って設けられるセンサＳ２は、例えば透過型光センサであって、センサＳ２，Ｓ２間のビームを被検査基板Ｐが遮ることにより、最上位の被検査基板Ｐの位置を検出する。
【００５２】
また、支持脚２４，２５，２６は、それぞれ被検査基板Ｐが載置される載置板２４１，２５１，２６１を有し、図示しないモータ等の駆動手段により、被検査基板Ｐの１枚分の厚さに相当するピッチで昇降駆動される。
【００５３】
図２（ａ）に示すように、搬入側ストッカー２１から最上位の被検査基板Ｐ１が取り除かれると、センサＳ１がオフになり、これにより上記駆動手段が動作し、次葉の被検査基板ＰによりセンサＳ１がオンになるまで支持脚２４を上昇させる。
【００５４】
一方、図２（ｂ）に示すように、搬出側ストッカー２２，２３に最上位となる被検査基板Ｐ２が積層されると、センサＳ２，Ｓ２間のビームが遮られて、センサＳ２がオフになり、これにより上記駆動手段が動作して支持脚２５，２６をセンサＳ２がオンになるまで下降させる。
【００５５】
このようにして、各ストッカー２１，２２，２３内の最上位の被検査基板Ｐが、それぞれほぼ同一高さ位置（同一平面上）に揃うように、その高さ位置が制御される。
【００５６】
搬送手段３０は、図１に示すように、検査部１０とストック部２０との間で水平方向に懸架される搬送ベルト３１と、被検査基板Ｐを真空吸着手段により着脱可能に保持する２つの基板保持部３２，３３とを有している。
【００５７】
この実施形態において、基板保持部３２，３３は同一構成で、ともに搬送ベルト３１に支持されるが、図１に示すように、基板保持部３２，３３の配置間隔ｂは、上記ストッカーの配置間隔ａと同間隔（ａ＝ｂ）とされ、基板保持部３２，３３は、常に配置間隔ｂを保って移動する。
【００５８】
なお、詳しくは図示されていないが、この実施形態において、搬送ベルト３１には、一対の駆動ローラ間に架け渡された無端ベルトが用いられているが、検査部１０とストック部２０との間に、ガイドレールを水平に架け渡し、基板保持部３２，３３をガイドレールに沿って走行させるようにしてもよい。
【００５９】
基板保持部３２，３３は、所定の駆動手段により搬送ベルト３１の移動方向と直交する垂直方向（Ｚ軸方向）に沿って昇降可能とされるアーム３２１，３３１と、アーム３２１，３３１の下端側に取り付けられた吸着パッド３２２，３３２とを備えている。
【００６０】
この実施形態において、アーム３２１，３３１の駆動手段は、図３に示すように、搬送ベルト３１に背板３００を介して取り付けられたモータＭと、モータＭの回転運動を直線運動に変換する送りねじ軸Ｂと従動ナットＮとの組み合わせからなる直動機構とを備え、アーム３２１，３３１は上記直動機構の従動ナットＮに連結され、モータＭによりＺ軸方向に昇降駆動される。
【００６１】
吸着パッド３２２，３３２は、バキューム配管およびオンオフ切替弁等を介して真空発生器（ともに図示しない）に接続されている。図１に示すように、アーム３２１，３３１には、それぞれ３つの吸着パッド３２２，３３２が設けられているが、吸着パッド３２２，３３２の数は任意であってよい。
【００６２】
次に、図４を参照して、この基板検査装置１Ａの動作例について説明する。なお、基板保持部３２，３３のうち、図４（ａ）において、検査部１０に近い方の一方の基板保持部３２が検査前の被検査基板Ｐを検査部１０に搬入する基板搬入用基板保持部で、他方の基板保持部３３が検査済み被検査基板Ｐを検査部１０から搬出する基板搬出用基板保持部である。また、この動作の制御主体は、制御手段１００である。
【００６３】
まず、図４（ａ）に示すように、搬送ベルト３１により、基板保持部３２，３３を搬入側ストッカー２１，良品用の搬出側ストッカー２２上に位置決めして、それらのアーム３２１，３３１をともに下降させ、基板保持部３２側の吸着パッド３２２を吸着可能（有効）とし、基板保持部３３側の吸着パッド３３２は吸着不能（無効）として、基板保持部３３の吸着パッド３２２にて搬入側ストッカー２１の最上位の被検査基板Ｐを吸着し、アーム３２１，３３１を降下前の元の位置までともに上昇させる。
【００６４】
そして、図４（ｂ）に示すように、搬送ベルト３１により、基板保持部３２が検査部１０の検査テーブルＴ上に位置するように、基板保持部３２，３３をストック部２０から検査部１０へと移動させ、それらのアーム３２１，３３１をともに下降させ、基板保持部３２の吸着パッド３２２の吸着を解除（無効）して、被検査基板Ｐを検査テーブルＴに載置したのち、アーム３２１，３３１をともに上昇させる。
【００６５】
被検査基板Ｐを検査テーブルＴに載置した後、基板保持部３２，３３は、図４（ｃ）に示すように、被検査基板Ｐの検査終了まで検査テーブルＴ上で待機する。この例では、搬送ベルト３１により、基板保持部３３が被検査基板Ｐの上方に位置する状態で待機している。
【００６６】
検査部１０での被検査基板Ｐの検査が終了すると、図４（ｄ）に示すように、基板保持部３２，３３のアーム３２１，３３１をともに下降させ、今度は、基板保持部３３側の吸着パッド３３２を有効とし、基板保持部３３側の吸着パッド３３２は無効として、検査テーブル上の被検査基板Ｐを基板保持部３３の吸着パッド３３２にて吸着し、アーム３２１，３３１をともに上昇させる。
【００６７】
次に、搬送ベルト３１により、基板保持部３２，３３を検査部１０からストック部２０へと移動させるが、検査済の被検査基板Ｐが良品である場合には、図４（ｅ）に示すように、基板保持部３３が良品用の搬出側ストッカー２２上に位置するように、基板保持部３２，３３を移動させる。このとき、基板保持部３２は、搬入側ストッカー２１上に位置する。
【００６８】
そして、基板保持部３２，３３のアーム３２１，３３１をともに下降させ、基板保持部３３の吸着パッド３３２の吸着を解除して、検査済み良品被検査基板Ｐを良品用の搬出側ストッカー２２へとストックするとともに、図４（ｆ）に示すように、基板保持部３２の吸着パッド３２２を有効として、搬入側ストッカー２１から次に検査する被検査基板Ｐを吸着し、アーム３２１，３３１をともに上昇させる。この一連の動作を各被検査基板Ｐごとに繰り返す。
【００６９】
これに対して、検査後の被検査基板Ｐが不良品である場合には、図５（ａ）に示すように、検査済の被検査基板Ｐを基板保持部３３の吸着パッド３３２にて吸着した後、図５（ｂ）に示すように、搬送ベルト３１により、基板保持部３３が不良品用の搬出側ストッカー２３上に位置するように、基板保持部３２，３３を検査部１０からストック部２０へと移動させる。
【００７０】
そして、それらのアーム３２１，３３１をともに下降させ、基板保持部３３の吸着パッド３３２の吸着を解除して、被検査基板Ｐを不良品用の搬出側ストッカー２３上にストックさせ、アーム３２１，３３１をともに上昇させる。このとき、基板保持部３２の吸着パッド３２２は無効とされているため、良品用の搬出側ストッカー２３内の被検査基板Ｐを吸着しない。
【００７１】
次に、図５（ｃ）に示すように、搬送ベルト３１により、基板保持部３２が搬入側ストッカー２１上に位置するように、基板保持部３２，３３を移動させた後、それらのアーム３２１，３３１をともに下降させる。
【００７２】
そして、基板保持部３２の吸着パッド３２２を有効（このとき、基板保持部３３の吸着パッド３３２は無効）として、図５（ｄ）に示すように、搬入側ストッカー２１から次に検査する被検査基板Ｐを吸着し、アーム３２１，３３１をともに上昇させて、検査部１０へと搬送し、図４（ｂ）〜（ｄ）の動作を経て、検査済の被検査基板Ｐが良品の場合には図４（ｅ）の動作を、検査済の被検査基板Ｐが不良品の場合には図５（ａ），（ｂ）の動作をそれぞれ繰り返す。
【００７３】
このように、本発明によれば、基板保持部３２，３３の配置間隔ｂをストッカー２１，２２，２３側の配置間隔ａと同間隔（ａ＝ｂ）とし、また、各ストッカー２１，２２，２３に積層される最上位の被検査基板Ｐが、ほぼ同一水平面上に位置するように高さ調整をしていることにより、検査前の被検査基板Ｐの取り出しと検査済の被検査基板Ｐのストックとを同時に行うことができ、基板搬送時間を短縮することができる。
【００７４】
また、一般的に不良品の発生数が少ないため、検査部１０から見て、搬入側ストッカー２１，良品用の搬出側ストッカー２２，不良品用の搬出側ストッカー２３の順に各ストッカーを配置することにより、基板保持部３２，３３の移動距離が短くなり、この点も基板搬送時間の短縮に寄与する。
【００７５】
また、検査前の被検査基板Ｐをストックする搬入側ストッカー２１と、検査済の被検査基板Ｐをストックする搬出側ストッカー２２，２３とを、検査部１０の片側の同一のストック部２０内に配置したことにより、システム全体の専有面積を小さくすることができるとともに、検査部１０への基板搬入と基板搬出の両基板搬送機構の共用化がはかられ、基板搬送機構の構成を大幅に簡素化することができる。
【００７６】
さらには、作業者の作業領域が検査部の片側のみとなるため、作業者の作業効率も向上する。
【００７７】
なお、上記実施形態では、制御プログラムの簡素化をはかるうえで、被検査基板Ｐの吸着もしくは解除時に、一律に基板保持部３２，３３のアーム３２１，３３１をほぼ同時に昇降させるようにしているが、例えば図４（ａ）で、基板保持部３２の吸着ヘッド３２２にて搬入側ストッカー２１から被検査基板Ｐを吸着する際、基板保持部３３側のアーム３３１は昇降させないようにしてもよく、このような態様も本発明に含まれる。
【００７８】
また、上記実施形態では、基板保持部３２，３３を移動させるための搬送手段として、一対の駆動ローラ間に架け渡された無端ベルトを用いているが、本発明の搬送手段には、検査部１０とストック部２０との間に架け渡されたガイドレールで、そのガイドレールに沿って基板保持部３２，３３を上記間隔ｂを保って移動させる態様も含まれる、と理解されたい。
【符号の説明】
【００７９】
１Ａ  基板検査装置
１０  検査部
２０  ストック部
２１  搬入側ストッカー
２２  良品専用の搬出側ストッカー
２３  不良品専用の搬出側ストッカー
２４，２５，２６  支持脚
２４１，２５１，２６１  載置板
２４２，２５２，２６２  支軸部
３０  搬送手段
３１  搬送ベルト
３２，３３  基板保持部
３２１，３３１  アーム
３２２，３３２  吸着パッド
Ｐ  被検査基板
Ｔ  検査テーブル
Ｓ  センサ
Ｍ  モータ
Ｂ  ボールねじ
Ｎ  従動ナット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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