(57)【要約】【課題】従来のコンタクトプローブでは、プランジャーとバレルの摺動領域が一定領域であり、摺動面の傷や金属カス等により接触抵抗値が増大し易いという問題があった。【解決手段】本発明のコンタクトプローブ１では、プランジャー２の中空部２内に配設される遊体プランジャー５が、コイルバネ６に対して非固定状態である。そして、コンタクトプローブ１の外形としてコイルバネ４を用いることで、摺動距離を短くし、また、摺動領域が限定され難い。その結果、少なくともプランジャー２、３の一定の摺動面には傷や金属カス等が発生し難くなり、接触抵抗値の安定化により、コンタクトプローブ１の耐久性が向上される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端側が第１の接触子となり、他端側が開口端部となる導電性の筒状体の第１のプランジャーと、
一端側が第２の接触子となり、他端側の少なくとも一部が前記第１のプランジャー内に配設され、前記第１のプランジャーの軸心方向に移動可能な第２のプランジャーと、
一端側が前記第１のプランジャーの外周面に固定され、他端側が前記第２のプランジャーの外周面に固定され、前記第１及び第２のプランジャーを前記軸心方向に付勢して伸縮する第１のバネと、
前記第１のプランジャー内に配設され、前記軸心方向に伸縮する第２のバネと、
一端側が前記第２のバネと非固定状態となり、他端側が前記第２のプランジャーと対向するように、前記第１のプランジャー内にて移動自在に配設される導電性の第３のプランジャーとを有することを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
前記第２のプランジャーは、前記第１のプランジャーの開口端部と当接して前記第１のプランジャーの前記軸心方向への移動を止めるストッパー部を有することを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記第２のプランジャーの他端側は円錐形状となり、前記第３のプランジャーの他端側は前記軸心方向に対して傾斜面を有する鋭角形状となり、前記円錐形状の先端断面の角度は前記鋭角形状の先端断面角度よりも大きいことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
測定時には、前記第３のプランジャーは前記第２のプランジャーからの押圧力及び前記第２のバネからの押圧力により前記第１のプランジャーと接触することを特徴とする請求項３に記載のコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンタクトプローブ（プローブユニット）に関し、特に、安定した接触抵抗値を実現する構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のコンタクトプローブの構造として、下記に示す構造が知られている。
【０００３】
図７に示す如く、コンタクトプローブ３１は、棒状体からなるプランジャー３２が筒状体からなるバレル３３内に挿入して保持される構造である。そして、プランジャー３２は、バレル３３内にてスプリング３４（図８（Ａ）参照）により軸心方向に付勢され、軸心方向に移動自在となる。
【０００４】
図８（Ａ）に示す如く、バレル３３は、プランジャー３２の直径よりも大きな内径を有し、バレル３３内には、プランジャー３２やスプリング３４により一端が固定されたバイアスピン３５が配設される。そして、バイアスピン３５は、バレル３３内にてプランジャー３２及びスプリング３４により挟まれ、矢印３６にて示すクリアランス方向へも移動可能である。
【０００５】
図８（Ｂ）に示す如く、測定時には、バイアスピン３５がプランジャー３２により押圧されることで、バレル３３を介して３つの導通経路３６、３７、３８が形成される（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−９０９４１号公報（第４−５頁、第１−３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記コンタクトプローブ３１では、プランジャー３２がバレル３３内を軸心方向に移動し、バイアスピン３５を押圧することで、上記導通経路３７、３８、３９が形成される。そのため、プランジャー３２及びバイアスピン３５が、バレル３３と摺動して移動する距離も長くなる。そして、この測定作業を繰り返すことで、バレル３３の摺動領域やバイアスピン３５の摺動領域では、金属剥がれ等の傷や金属カス等が発生し易く、接触抵抗値が大きくなるという問題がある。
【０００８】
特に、バイアスピン３５の一端がスプリング３４に固定されているため、バイアスピン３５の可動領域は制限され、バイアスピン３５とバレル３３との摺動領域は一定の領域となり易い。その結果、バイアスピン３５やバレル３３は、その一定領域にて摺動動作を繰り返すため、金属剥がれ等の傷や金属カス等が発生し易く、耐久性が悪化するという問題がある。そして、測定装置では、所望の品質（抵抗値）を維持する必要があるため、コンタクトプローブの交換サイクルが短くなり、コストアップへと繋がる問題がある。
【０００９】
また、近年の半導体装置の高集積化に伴い、ウエハ上面に多数のコンタクトプローブ３１を接触させ、一度に複数の素子の特性検査を行う。そして、素子に設けられた接続端子のピッチ間が年々狭ピッチ化されており、コンタクトプローブ３１自体の小型化が求められている。
【００１０】
更には、バイアスピン３５がプランジャー３２に対して点接触することで、バイアスピンがバレル３３の内周面側へと移動し易い構造を実現している。しかしながら、バイアスピン３５とプランジャー３２との点接触の構造では、接触抵抗値が大きくなり易いという問題がある。また、上記点接触状態では、バレル３３（外筒）の撓みを利用するため「瞬断」と呼ばれる現象が生じ易い。そして、ウエハ等の被検査半導体装置には異常がないにもかかわらず不良品と判定され、測定装置側の誤測定により、歩留まり率が低下する結果を招く恐れがある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前述した各事情に鑑みて成されたものであり、本発明は、一端側が第１の接触子となり、他端側が開口端部となる導電性の筒状体の第１のプランジャーと、一端側が第２の接触子となり、他端側の少なくとも一部が前記第１のプランジャー内に配設され、前記第１のプランジャーの軸心方向に移動可能な第２のプランジャーと、一端側が前記第１のプランジャーの外周面に固定され、他端側が前記第２のプランジャーの外周面に固定され、前記第１及び第２のプランジャーを前記軸心方向に付勢して伸縮する第１のバネと、前記第１のプランジャー内に配設され、前記軸心方向に伸縮する第２のバネと、一端側が前記第２のバネと非接続状態となり、他端側が前記第２のプランジャーと対向するように、前記第１のプランジャー内にて移動自在に配設される導電性の第３のプランジャーとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、筒状筐体のプランジャー内に遊体プランジャー及びコイルバネが配置され、測定時の導通経路が形成される。遊体プランジャーが、プランジャーの中空部内を非固定状態にて移動することで、摺動領域の重複が低減し、低い接触抵抗値の維持が実現される。
【００１３】
また、本発明では、遊体プランジャーはコイルバネにより動きが規制され難く、遊体プランジャーの動きにより他のプランジャーとの接触面積が増大し易くなる。
【００１４】
また、本発明では、筒状筐体のプランジャーとその外周面に固定されたコイルバネにより外形が形成される。この構造により、筒状筐体内部の遊体プランジャーの移動距離が短くなり、摺動面の金属剥がれ等の傷や金属カス等が発生を大幅に低減できる。
【００１５】
また、本発明では、コイルバネが外形の一部として用いられ、コンタクトプローブがコイルバネの領域で撓み、プランジャーの領域にて撓み難い構造となる。そして、各プランジャー間が安定して接触し易く、接触面積も増大し易くなる。また、筐体フレーム構造に発生し易い「瞬断」とよばれる現象も抑えることができる。
【００１６】
また、本発明では、外径の一部としてのコイルバネが、筐体内部に配置されないことで、測定装置の負荷荷重に合わせた線径を選択でき、コンタクトプローブの小型化も実現できる。
【００１７】
また、本発明では、プランジャー内に配置されるコイルバネを導電経路として用いないことで、その材質を自由に選択できる。そして、コイルバネの弾性係数が、線径以外に材質により調整可能であり、遊体プランジャーへの所望の接触圧の確保が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態におけるコンタクトプローブを説明するための側面図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるコンタクトプローブを説明するための（Ａ）断面図、（Ｂ）断面図、（Ｃ）断面図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるコンタクトプローブを説明するための（Ａ）断面図、（Ｂ）断面図である。
【図４】本発明の実施の形態における（Ａ）〜（Ｄ）コンタクトプローブの耐久試験の結果を説明するための図である。
【図５】本発明の実施の形態における（Ａ）〜（Ｄ）コンタクトプローブの耐久試験の結果を説明するための図である。
【図６】本発明の実施の形態における測定状況を説明するための概略図である。
【図７】従来の実施の形態におけるコンタクトプローブを説明するための側面図である。
【図８】従来の実施の形態におけるコンタクトプローブを説明するための（Ａ）断面図、（Ｂ）断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、本発明の一実施の形態であるコンタクトプローブについて説明する。図１は、本実施の一形態であるコンタクトプローブの側面図である。図２（Ａ）〜図２（Ｃ）は、図１に示すコンタクトプローブのＡ−Ａ線方向の断面図であり、図２（Ａ）は、負荷荷重を加える前のコンタクトプローブの状態を示し、図２（Ｂ）及び図２（Ｃ）は、負荷荷重を加えた後のコンタクトプローブの状態を示す。図３（Ａ）は、各プランジャーを説明するための断面図であり、図３（Ｂ）は、各プランジャーの接触状況と導電経路を説明するための断面図である。図４（Ａ）〜（Ｄ）は、コンタクトプローブの耐久試験の結果を説明するための図である。図５（Ａ）〜（Ｄ）は、コンタクトプローブの耐久試験の結果を説明するための図である。図６は、コンタクトプローブを用いた測定状況を説明するための概略図である。
【００２０】
図１に示す如く、コンタクトプローブ１は、例えば、高周波用等の半導体装置、電子部品や自動車の電子制御回路等の電気的な特性検査を行う測定装置に用いられる。近年では、半導体装置の高集積化や電子部品の小型化に伴い、微細ピッチにて配置された端子や電極に対してコンタクトプローブ１を接触させる必要があり、コンタクトプローブ１自体の小型化や接触抵抗値の低減化、安定化等が求められている。
【００２１】
コンタクトプローブ１は、主に、接触子が形成された筒状体のプランジャー２と、接触子が形成されたプランジャー３と、両プランジャー２、３の外周面に一端が固定されるコイルバネ４と、プランジャー２内に移動自在に配設された遊体プランジャー５（図２（Ａ）参照）と、プランジャー２内に配設されたコイルバネ６（図２（Ａ）参照）とを有する。そして、コンタクトプローブ１の全長Ｌは、例えば、２０ｍｍ程度であり、その外径φ１は、例えば、０．８ｍｍ程度である。
【００２２】
プランジャー２は、例えば、円筒状の外筒筐体として形成され、一端側に円錐状の接触子２Ａが形成され、他端側は開口端部２Ｂとして形成される。プランジャー２は、導電経路として用いられるため、例えば、導電性に優れた銅材、金材や合金材等が用いられ、その中空部２Ｃ（図２（Ａ）参照）の内周面も含め全周面に金メッキ、銅メッキ等が成される。
【００２３】
尚、プランジャー２の接触子２Ａの形状は円錐状に限定するものではなく、接触子２Ａが接する端子や電極の形状に応じて、様々な形状を採用することができる。また、プランジャー２に接触子２Ａが一体に成形された場合について説明したが、この場合に限定するものではない。例えば、接触子２Ａを別体として成形した後、プランジャー２の一端側に取り付ける場合でも良い。また、プランジャー２の断面形状は円形に限定するものではなく、その断面形状は８角形等の多角形でも良い。
【００２４】
プランジャー３は、例えば、少なくとも２種類の外径φ１、φ２を有する円柱状体として形成される。プランジャー３の一端側の先端には円錐状の接触子３Ａが形成される。一方、プランジャー３の他端側の先端には円錐状のコンタクト部３Ｂ（図２（Ａ）参照）が形成され、プランジャー２の中空部２Ｃ内へと配設される。そして、プランジャー３は、導電経路として用いられるため、例えば、導電性に優れた銅材、金材や合金材等が用いられ、プランジャー３の外周面には金メッキ、銅メッキ等が成される。
【００２５】
尚、プランジャー２と同様に、接触子３Ａを別体として成形した後、プランジャー３の一端側に取り付ける場合でも良い。
【００２６】
コイルバネ４は、一端側がプランジャー２の外周面を巻回すようにプランジャー２に固定され、他端側がプランジャー３の外周面を巻回すようにプランジャー３に固定される。コイルバネ４は、プランジャー２、３に固定される部分では密接して巻回され、その中間部では一定間隔にて巻回されることで、その中間部にてプランジャー２の動きに応じて伸縮する。
【００２７】
そして、コイルバネ４は、筐体内に収容されない構造となることで、コイルバネ４の線径が、測定装置から加えられる負荷荷重に応じて所望の範囲にて変更することが可能となる。また、コイルバネ４は、導電性材料でも、非導電性材料でも良い。
【００２８】
尚、コイルバネ４は、コンタクトプローブ１の外形としても機能し、丸印７、８（図２（Ａ）参照）にて示すプランジャー２、３の段差部の端面を利用して安定的にプランジャー２、３に固定される。
【００２９】
図２（Ａ）では、例えば、コンタクトプローブ１が測定装置（図示せず）にセットされたが、測定装置から負荷荷重が加えられていない状況を示す。
【００３０】
先ず、遊体プランジャー５は、例えば、円柱状体であり、その一端は軸心方向（紙面上下方向）に対して傾斜面５Ａを有する鋭角形状として形成される。具体的には、傾斜面５Ａを形成するために円柱状体を側面から斜めに切断した形状となる。一方、遊体プランジャー５の他端はコイルバネ６に固定されない構造となる。
【００３１】
遊体プランジャー５の外径φ３は、プランジャー２の内径φ４よりも小さく、遊体プランジャー５は、プランジャー２の中空部２Ｃの内面に対して一定のクリアランスを有した状態となる。そして、遊体プランジャー５は、プランジャー３とコイルバネ６との間のプランジャー２の中空部２Ｃ内を移動可能となる。
【００３２】
また、遊体プランジャー５は、導電経路として用いられるため、例えば、導電性に優れた銅材、金材や合金材等が用いられ、遊体プランジャー５の外周面には金メッキ、銅メッキ等が成される。
【００３３】
コイルバネ６は、導電経路として用いられないため、導電性の小さい金属材料やプラスチック等の絶縁材料から形成されても良い。そして、コイルバネ６は、プランジャー２の中空部２Ｃ内に配設されることで、その線径が制限されるが、その材料が導電性材料に限定されないため、材質により測定装置からの負荷荷重に対応することができる。
【００３４】
コイルバネ６の一端側は、遊体プランジャー５と固定されず自由端となり、その他端側も、プランジャー２の中空部２Ｃ内の端部に固定されず自由端となる。そして、コイルバネ６は、遊体プランジャー５から押圧されることで軸心方向に伸縮したり、プランジャー２の内周面側へと傾いたりする。尚、コンタクトプローブ１の組み立て時には、コイルバネ６及び遊体プランジャー５は、プランジャー２の中空部２Ｃ内に、順次、挿入されるのみで、非固定状態にて配置される。
【００３５】
次に、図示したように、コンタクトプローブ１の接触子２Ａが、半導体素子等の端子９等に接触し、電気的な特性検査が行われる。測定装置からコンタクトプローブ１に負荷荷重が加えられていない状態では、プランジャー３も軸心方向に移動せず、コイルバネ４にも荷重が加わらない。
【００３６】
遊体プランジャー５は、コイルバネ６に固定されていないため、プランジャー２の内周面に寄り掛かりながらコイルバネ６上に乗った状態となる。このとき、遊体プランジャー５は、測定装置の設置時や測定準備時の機械的振動等により、コイルバネ６の一端側の全周囲のプランジャー２の内周面に寄り掛かることが可能となる。
【００３７】
そして、遊体プランジャー５とプランジャー３とは距離Ｄ１離間し、両部材３、５が離間している間は、遊体プランジャー５にはプランジャー３からの押圧力は加わらない。
【００３８】
図２（Ｂ）及び図２（Ｃ）では、コンタクトプローブ１に測定装置から負荷荷重が加えられた状況を示す。
【００３９】
図２（Ｂ）に示す如く、プランジャー２の開口端部２Ｂとプランジャー３のストッパー部３Ｃとは距離Ｄ２（図２（Ａ）参照）離間する。そして、測定装置からコンタクトプローブ１に負荷荷重が加わると、プランジャー３のストッパー部３Ｃがプランジャー２の開口端部２Ｂへ向けて移動する。
【００４０】
このとき、プランジャー３が距離Ｄ１（図２（Ａ）参照）移動し、少なくともプランジャー３が遊体プランジャー５と接触するまでは、遊体プランジャー５にはプランジャー３からの押圧力は加わらない。
【００４１】
尚、距離Ｄ２は、コンタクトプローブ１のストローク距離として、例えば、０．４ｍｍと設定される。そして、距離Ｄ１は距離Ｄ２よりも短く設定されることで、プランジャー３が距離Ｄ１以上移動することで、各プランジャー２、３、５間が所望の接触圧により接触し、接触抵抗値が低減された導電経路１０、１１（図２（Ｃ）参照）の確保が実現される。
【００４２】
図２（Ｃ）に示す如く、プランジャー３が距離Ｄ１以上移動することで、遊体プランジャー５は、プランジャー３とコイルバネ６により挟まれた状態となり、両部材３、６から略反対方向の押圧力を受ける。そして、プランジャー３は、そのストッパー部３Ｃがプランジャー２の開口端部２Ｂと当接するまでは、軸心方向に移動可能である。
【００４３】
このとき、遊体プランジャー５はコイルバネ６に固定されていないため、遊体プランジャー５の軸心とコイルバネ６の軸心は一致し難く、コイルバネ６は縮みながらプランジャー２の内周面側へと傾く。尚、この状態の説明は、図３（Ｂ）を用いて後述する。
【００４４】
その結果、遊体プランジャー５は、プランジャー３及びコイルバネ６からそれぞれ押圧力を受け、プランジャー２の内周面へと押し付けられるように固定される。更に、遊体プランジャー５からの反力により、プランジャー３の一部もプランジャー２の内周面へと押し付けられるように固定される。そして、矢印にて示すように、プランジャー２、３及び遊体プランジャー５による第１の導電経路１０と、プランジャー２、３による第２の電流経路１１とが形成される。
【００４５】
上述したように、プランジャー３が、最初の距離Ｄ１移動する間は、プランジャー２の内周面に対してクリアランスを有するので、実質、プランジャー２、３間が摺動することはない。つまり、各プランジャー２、３、５間が摺動するのは、プランジャー３が距離Ｄ１移動した以降である。そして、大きな摩擦力が加わる摺動距離を大幅に低減することで、金属剥がれ等の傷や金属カス等による接触抵抗値の増大が大幅に改善できる。そして、コンタクトプローブ１の耐久性も大幅に向上され、コンタクトプローブ１が長寿命化し、交換サイクルも長くなり、コスト面の改善も実現できる。
【００４６】
図３（Ａ）では、説明の都合上、各プランジャー２、３、５間を離間した状態にて説明する。また、コイルバネ４も省略して説明する。
【００４７】
図示の如く、遊体プランジャー５の傾斜面５Ａの鋭角形状の先端断面の角度αは、例えば、３０°となり、プランジャー３のコンタクト部３Ｂの先端断面の角度βは、例えば、６０°となる。具体的には、遊体プランジャー５の鋭角形状は、角度α＜角度β、より適格には、角度β＝２α（±５°の範囲は許容）の関係を満たすように形成されることで、各プランジャー２、３、５間での十分な接触面積が確保される。
【００４８】
図２（Ａ）にて上述したように、測定時には、プランジャー２の中空部２Ｃ内にて、遊体プランジャー５は、プランジャー２の内周面に寄り掛かりながらコイルバネ６上に乗った状態となる。そして、遊体プランジャー５は、コイルバネ６に対して非固定状態のため、プランジャー２の全内周面に対して寄り掛かることが可能となる。
【００４９】
この構造により、測定毎に遊体プランジャー５と接するプランジャー２の内周面が異なる可能性が高く、遊体プランジャー５は、プランジャー２の内周面の一定の領域に対して摺動を繰り返す可能性は小さくなり、ランダムに任意のプランジャー２の内周面と摺動することが可能となる。
【００５０】
更に、プランジャー３が遊体プランジャー５を押圧する際、遊体プランジャー５は、それぞれの傾斜面５Ａ、３Ｄを介してプランジャー３の傾斜面３Ｄとプランジャー２の内周面との間に入り込む。このとき、同様に、それぞれの傾斜面５Ａ、３Ｄ同士が、一定の領域に対して摺動を繰り返す可能性は小さくなり、ランダムに任意の領域にて摺動することが可能となる。
【００５１】
その結果、各プランジャー２、３、５間において、一定領域での摺動動作の繰り返しを大幅に低減でき、摺動動作の繰り返しによる金属剥がれ等の傷や金属カス等の発生を大幅に低減できる。そして、各プランジャー２、３、５間での接触抵抗値の増大を防止することで、コンタクトプローブ１の耐久性が向上され、コンタクトプローブ１の繰り返しの利用が可能となる。
【００５２】
図３（Ｂ）に示す状態は、プランジャー３により遊体プランジャー５が押圧される状態、図２（Ｂ）から図２（Ｃ）へと移行する状態を示す。この状態では、遊体プランジャー５の軸心は、コイルバネ６の軸心よりも紙面右側に位置し、両軸心は一致し難くなる。
【００５３】
次に、測定装置からの負荷荷重がコンタクトプローブ１に加わることで、矢印１２にて示すように、プランジャー３は軸心方向へと移動し、遊体プランジャー５をコイルバネ６方向へと押圧する。このとき、両部材３、５は、傾斜面３Ｄ、５Ａを介して接触するため、軸心方向から紙面右側へ傾いた押圧力が、遊体プランジャー５へと伝わる。更に、遊体プランジャー５はコイルバネ６を押圧するが、両部材５、６の軸心方向がずれ、上記傾いた押圧力により、コイルバネ６は、矢印１３方向に傾斜しながら縮む。
【００５４】
この状態により、遊体プランジャー５は、プランジャー３及びコイルバネ６からの押圧力により、矢印方向１４方向（紙面右側）のプランジャー２の内周面に押し付けられ、プランジャー２との広い接触面積Ｓ１が確保される。また、遊体プランジャー５とプランジャー３とは、上記角度α、βの関係を満たすことで、傾斜面３Ｄに沿った接触面積Ｓ２が確保される。更に、プランジャー３にも、遊体プランジャー５からの反力等の矢印方向１５方向（紙面左側）の押圧力が加わり、プランジャー３のコンタクト部３Ｂ側が、プランジャー２の内周面に押し付けられ、プランジャー２との広い接触面積Ｓ３が確保される。
【００５５】
特に、開口端部２Ｂとストッパー部３Ｃとが当接しない状態では、コンタクトプローブ１は、コイルバネ４の領域にて撓み、プランジャー２は撓み難くなる。そして、遊体プランジャー５がコイルバネ６に固定されてなく、プランジャー２内の各プランジャー２、３、５間が接触し易くなり、広い接触面積Ｓ１〜Ｓ３が確保され易い。
【００５６】
その結果、上述した接触抵抗値の小さい２つの導通経路１０、１１が確保され、接触抵抗値の増大が防止され、「瞬断」と呼ばれる現象が防止される。尚、各プランジャー２、３、５は、それぞれの径は異なるが、同心円の円柱状態となることで、より確実に上記接触面積Ｓ１〜Ｓ３が確保される。
【００５７】
更に、コイルバネ６は、その材料により弾性係数を小さくし、あまり伸縮しない構造とすることもできる。この構造により、遊体プランジャー５が、コイルバネ６及びプランジャー３により高い接触圧を受けることができ、各プランジャー２、３、５間の接点圧も高められる。そして、「瞬断」と呼ばれる現象を防止し、コンタクトプローブ１の安定した接触抵抗値が実現される。
【００５８】
図４及び図５を用いてコンタクトプローブ１の耐久試験の結果を説明する。耐久試験の設定条件は、コンタクトプローブ１のストローク距離（Ｄ２）を０．４ｍｍ、角度αを３０°、角度βを６０°に設定し、図４（Ａ）〜図４（Ｄ）に示す常温の場合と、図５（Ａ）〜図５（Ｄ）に示す１７５℃の場合について説明する。
【００５９】
先ず、常温の場合には、図４（Ａ）に示す初期値として、それぞれの接触抵抗値が３０〜３５ｍΩの範囲、それぞれの接触荷重が１１０〜１４０ｇｆの範囲にあった。図４（Ｂ）に示す３０万回時の値としては、それぞれの接触抵抗値が３０〜４５ｍΩの範囲、それぞれの接触荷重が１１０〜１３０ｇｆの範囲にあった。図４（Ｃ）に示す５０万回時の値としては、それぞれの接触抵抗値が３０〜５０ｍΩの範囲、それぞれの接触荷重が１００〜１２０ｇｆの範囲にあった。図４（Ｄ）に示す７０万回時の値としては、９本の接触抵抗値が３０〜５０ｍΩの範囲にあったが、１本（４番目）の接触抵抗値が７５ｍΩであり、それぞれの接触荷重が９０〜１１０ｇｆの範囲にあった。
【００６０】
次に、１７５°の場合には、図５（Ａ）に示す初期値として、それぞれの接触抵抗値が３５〜３０ｍΩの範囲、それぞれの接触荷重が１１０〜１３０ｇｆの範囲にあった。図５（Ｂ）に示す３０万回時の値としては、それぞれの接触抵抗値が２５〜３５ｍΩの範囲、それぞれの接触荷重が１１０〜１２５ｇｆの範囲にあった。図５（Ｃ）に示す５０万回時の値としては、それぞれの接触抵抗値が１５〜５０ｍΩの範囲、それぞれの接触荷重が１００〜１２５ｇｆの範囲であり、多少のばらつきがあった。図５（Ｄ）に示す７０万回時の値としては、９本の接触抵抗値が３０〜５０ｍΩの範囲にあったが、１本（４番目）の接触抵抗値が６５ｍΩであり、それぞれの接触荷重が１０５〜１２５ｇｆの範囲にあった。
【００６１】
上記により、コンタクトプローブ１では、常温の場合でも、１７５°の場合でも、接触抵抗値をおおよそ５０ｍΩ以下に維持しつつ、７０万回という高い耐久性能が実証された。
【００６２】
図６に示す如く、測定装置２１では、半導体ウエハや電子回路基板等の測定物２２を測定用テーブル上に設置し、測定物２２の端子数に応じた数のコンタクトプローブ１をソケット２３へと配置する。そして、測定装置２１の荷重ユニット２４がコンタクトプローブ１の接触子３Ａ（図１参照）に接触し、ソケット２３内の全てのコンタクトプローブ１に対して負荷荷重を加え、コンタクトプローブ１の接触子２Ａ（図１参照）と端子とを十分な接触状態とし、電気的な特性検査を行う。測定物２２によっては、ソケット２３内に数千本〜数万本のコンタクトプローブ１を配置する場合もある。そして、全てのコンタクトプローブ１に対して一定の負荷荷重を加えるためには、荷重ユニット２４から加える負荷荷重も大きくする必要がある。
【００６３】
図１を用いて前述したように、コイルバネ４が筐体内に収容されない構造となることで、コイルバネ４の線径が、測定装置２１から加えられる負荷荷重に応じて所望の範囲にて変更することが可能となる。そして、コイルバネ４の線径を大きくした場合でも、その周囲を覆う筐体が不要のため、コンタクトプローブ１の小型化を実現でき、近年の微細化パターンへも対応することができる。
【００６４】
また、測定物２２の端子等の形成される面には多数の凹凸を有し、ソケット２３に多数のコンタクトプローブ１の配置される場合には、接触子２Ａと端子との接触の際にその凹凸の影響を受け易い。
【００６５】
図２（Ａ）〜図２（Ｃ）を用いて前述したように、コイルバネ４が外枠として用いられることで、コンタクトプローブ１は、コイルバネ４の領域にて撓み、プランジャー２は撓み難い構造が実現される。特に、ソケット２３に多数のコンタクトプローブ１が配置される場合には、端子等の測定物２３側の凹凸の影響により、開口端部２Ｂとストッパー部３Ｃとが当接しないコンタクトプローブ１も多数存在するが、上記コイルバネ４の撓んだ状態により、各プランジャー２、３、５間の安定した接触状態を実現できる。そして、筐体フレーム構造に発生し易い「瞬断」とよばれる現象も抑えることができる。
【符号の説明】
【００６６】
１  コンタクトプローブ
２  プランジャー
２Ａ  接触子
２Ｂ  開口端部
２Ｃ  中空部
３  プランジャー
３Ａ  接触子
３Ｂ  コンタクト部
３Ｃ  ストッパー部
３Ｄ  傾斜面
４  コイルバネ
５  遊体プランジャー
５Ａ  傾斜面
６  コイルバネ
９  端子
１０  導電経路
１１  導電経路
２１  測定装置
２２  測定物
２３  ソケット
２４  荷重ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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