(57)【要約】【課題】検出感度および応答速度に優れた信頼性の高いタッチパネルを提供する。【解決手段】第１基板１１と、第２基板１２と、第２基板１２の変形量を検出する電極１３、１４と、第１スペーサ１６および第２スペーサ１７とを備え、第２スペーサ１７は、平常状態において、両基板に接して設けられており、第１スペーサ１６は、第２スペーサ１７よりも低く、第１基板１１に設けられているとともに、平常状態において第２基板１２から離れている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、
上記第１基板よりも使用者側に、上記第１基板に対向配置される第２基板と、
上記第１基板と上記第２基板との間に設けられ、使用者が加える荷重による上記第２基板の変形量を検出するための複数の電極と、
上記第１基板と上記第２基板との間の距離を一定に保持するための、複数の第１スペーサおよび複数の第２スペーサとを備え、
上記複数の第２スペーサは、上記第２基板に荷重が加えられていない平常状態において、上記第１基板および上記第２基板に接して設けられており、
上記複数の第１スペーサのそれぞれは、上記複数の第２スペーサのそれぞれよりも高さが低く、上記第１基板および上記第２基板の何れか一方の基板に設けられているとともに、上記平常状態において、他方の基板から離れていることを特徴とするタッチパネル。
【請求項２】
上記複数の第１スペーサの上記第１基板への投影面積の合計が、上記複数の第２スペーサの上記第１基板への投影面積の合計よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項３】
上記複数の第１スペーサのそれぞれは、層状に形成されており、隣り合う上記第２スペーサの間に配されていることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項４】
上記複数の第１スペーサと上記複数の第２スペーサとは一体的に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項５】
上記複数の第１スペーサのそれぞれは、隣り合う上記第２スペーサの中間位置に近いほど、高さが高くなっていることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項６】
上記第１基板と上記第２基板との間には、屈折率マッチング材が設けられていることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のタッチパネル。
【請求項７】
上記変形量は、上記複数の電極間の抵抗または容量の変化に基づき検出されることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載のタッチパネル。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか１項に記載のタッチパネルと、
上記タッチパネルの使用者と反対側に設けられた表示パネルとを備えていることを特徴とする表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネル、およびタッチパネルを備えた表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、装置の小型化を図るため、表示部と入力部とが一体化された表示装置が広く普及している。特に、携帯電話機、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）、ノート型パーソナルコンピュータ等の携帯端末では、指や入力用のペン（検出対象物）を表示表面に接触させると、その接触位置を検出することができるタッチパネルを備えた表示装置が広く用いられている（例えば、特許文献１〜３）。
【０００３】
図１７は、特許文献１に記載の力学量検知装置（以下、タッチパネルという）の概略構成を示す断面図である。
【０００４】
図１７に示すタッチパネルは、基体１０１と変位電極１０２と対向電極１０３とを備えている。基体１０１は、接触物体（検出対象物；指）による押圧力（荷重）に応じて接触部を含む一部または全部が変形し、接触物体による押圧力がなくなると元の形状に回復する弾性体である。基体１０１は、エストラマーで構成されている。変位電極１０２は、基体１０１の表面または内部に複数個が固定され、そのうちの少なくとも１個は基体１０１の変形部（変形および変位する領域）に配置されている。対向電極１０３は、基体１０１を介して変位電極１０２に対向配置されている。
【０００５】
このタッチパネルでは、基体１０１の変形に際し、変位電極１０２が、基体１０１から分離することなく、変形部の変形および変位に追従する。変位電極１０２の変位に基づいて、対向電極１０３との間の静電容量の変化を検知することにより、接触物体の位置を検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−１７６２６号公報（２０１１年１月２７日公開）
【特許文献２】特開２０１０−３３３８２号公報（２０１０年２月１２日公開）
【特許文献３】特開２０１２−８９０６０号公報（２０１２年５月１０日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、図１７に示す従来のタッチパネルでは、変位電極１０２と対向電極１０３との間に、物体が接触する電極支持体１０４の全面に対応するように、エラストマーからなる弾性体（基体１０１）が設けられている。そのため、基体１０１を変形させるための単位面積当たりの荷重（押圧力）を大きくしなければならない。また、荷重を大きくすると、押圧力を解放したときに元の状態に戻る時間が長くなる。そのため、従来のタッチパネルでは、検知感度が低く、応答速度が遅いという問題がある。また、基体１０１の変形量が大きくなるため、タッチパネルの強度（信頼性）が低いという問題もある。
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、検出感度および応答速度に優れた信頼性の高いタッチパネルおよびそれを備えた表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るタッチパネルは、上記の課題を解決するために、
第１基板と、
上記第１基板よりも使用者側に、上記第１基板に対向配置される第２基板と、
上記第１基板と上記第２基板との間に設けられ、使用者が加える荷重による上記第２基板の変形量を検出するための複数の電極と、
上記第１基板と上記第２基板との間の距離を一定に保持するための、複数の第１スペーサおよび第２スペーサとを備え、
上記複数の第２スペーサは、上記第２基板に荷重が加えられていない平常状態において、上記第１基板および上記第２基板に接して設けられており、
上記複数の第１スペーサのそれぞれは、上記複数の第２スペーサのそれぞれよりも高さが低く、上記第１基板および上記第２基板の何れか一方の基板に設けられているとともに、上記平常状態において、他方の基板から離れていることを特徴とする。
【００１０】
上記の構成によれば、平常状態では、第１スペーサと一方の基板との間には空間（間隙部）が形成される。そのため、タッチパネルに荷重が加えられたときに第２基板が変形し易いため、従来のタッチパネル（図１７）と比較して、タッチパネルの検出感度を高めることができる。また、従来のように両基板間に弾性材料が存在しないため、第２基板の荷重が開放されたときに、第２基板は容易に元の状態（平常状態）に戻ることができる。よって、従来のタッチパネル（図１７）と比較して、タッチパネルの応答速度を速めることができる。さらに、第１スペーサが存在するため、第２基板の変形量を規制することができる。よって、第２基板の破損等を防ぐことができるため、タッチパネルの強度（信頼性）を確保することができる。
【００１１】
上記タッチパネルでは、上記複数の第１スペーサの上記第１基板への投影面積の合計が、上記複数の第２スペーサの上記第１基板への投影面積の合計よりも大きいことが好ましい。
【００１２】
これにより、第２基板の変形量を規制することができるため、タッチパネルの強度を高めることができ、また、第２基板を変形し易くすることができるため、タッチパネルの検出感度を高めることができる。
【００１３】
上記タッチパネルでは、上記第１スペーサは、層状に形成されており、隣り合う上記第２スペーサの間に配されている構成とすることもできる。
【００１４】
上記タッチパネルでは、上記第１スペーサと上記第２スペーサとは一体的に形成されている構成とすることもできる。
【００１５】
これにより、タッチパネルの製造工程を簡素化することができる。
【００１６】
上記タッチパネルでは、上記第１スペーサは、隣り合う上記第２スペーサの中間位置に近いほど、高さが高くなっている構成とすることもできる。
【００１７】
これにより、第２基板の変形量を略一定に規制することができるため、タッチパネルの強度（信頼性）をより高めることができる。
【００１８】
上記タッチパネルでは、上記第１基板と上記第２基板との間には、屈折率マッチング材が設けられている構成とすることもできる。
【００１９】
この構成によれば、タッチパネルを表示装置に設けた場合に、表示パネルから出射される光の乱反射を防ぐことができるため、表示品位を高めることができる。
【００２０】
上記タッチパネルでは、上記変形量は、上記複数の電極間の抵抗または容量の変化に基づき検出されることが好ましい。
【００２１】
これにより、簡易な構成により、正確に検出対象物の位置検出を行うことができる。
【００２２】
本発明に係る表示装置は、上記課題を解決するために、上記タッチパネルと、上記タッチパネルの使用者と反対側に設けられた表示パネルとを備えていることを特徴とする。
【００２３】
これにより、タッチパネル付き表示装置を実現することができる。
【発明の効果】
【００２４】
以上のように、本発明のタッチパネルでは、上記複数の第２スペーサは、上記第２基板に荷重が加えられていない平常状態において、上記第１基板および上記第２基板に接して設けられており、上記複数の第１スペーサのそれぞれは、上記複数の第２スペーサのそれぞれよりも高さが低く、上記第１基板および上記第２基板の何れか一方の基板に設けられているとともに、上記平常状態において、他方の基板から離れている構成である。これにより、検出感度および応答速度に優れた信頼性の高いタッチパネルおよびそれを備えた表示装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施の形態１に係るタッチパネルの概略構成を示す断面図である。
【図２】圧力検出法の原理を示す模式図である。
【図３】タッチ検出法の原理を示す模式図である。
【図４】圧力検出法とタッチ検出法における、荷重に対するシグナル強度の変化を示すグラフである。
【図５】圧力検出法の具体的構成を示す模式図である。
【図６】タッチ検出法の具体的構成を示す模式図である。
【図７】実施の形態１に係るタッチパネルと従来のタッチパネルそれぞれについての、荷重とシグナル強度との関係を示すグラフである。
【図８】実施の形態１に係るタッチパネルと従来のタッチパネルそれぞれについての、荷重と復元時間との関係を示すグラフである。
【図９】実施の形態１に係るタッチパネルの他の構成を示す断面図である。
【図１０】実施の形態２に係るタッチパネルの概略構成を示す断面図である。
【図１１】実施の形態２に係るタッチパネルの位置検出の方法を説明するための図である。
【図１２】実施の形態２に係るタッチパネルにおける各電極の平面構造を示す模式図である。
【図１３】変形例１に係るタッチパネルの概略構成を示す断面図である。
【図１４】変形例２に係るタッチパネルの概略構成を示す断面図である。
【図１５】変形例３に係るタッチパネルの概略構成を示す断面図である。
【図１６】タッチパネル付き表示装置の概略構成を示す断面図である。
【図１７】従来のタッチパネルの概略構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明に係るタッチパネルの実施の形態について図面を用いて以下に説明する。
【００２７】
〔実施の形態１〕
図１は、本実施の形態に係るタッチパネルの概略構成を示す断面図である。図１に示すタッチパネル１は、一対の基板（第１基板１１、第２基板１２）と、第１基板１１上に設けられた複数のセンス電極１３およびドライブ電極１４と、第２基板１２上に設けられた高抵抗膜１５と、両基板１１、１２間に配置された複数の第１スペーサ１６および第２スペーサ１７とを備えている。
【００２８】
第１基板１１および第２基板１２は、透明な基板で構成されており、例えば、ガラスやアクリル等の衝撃に強い材料で構成されている。第２基板１２は、使用者側に配置され検出対象物（指等）が接触するため、タッチパネル１の保護部材としての機能を有する。第１基板１１は、使用者側とは反対側（背面側）に配置され、タッチパネル１が表示装置に設けられる場合には、表示パネルの前面に対置される。
【００２９】
本実施の形態に係るタッチパネル１では、圧力検出法により、検出対象物の位置検出を行う。すなわち、図２に示すように、荷重による両基板１１、１２間の距離Ｄの変化に基づいて位置検出を行う。これにより、タッチ検出法と比較して、検出バラツキを抑えることができる。図３には、タッチ検出法による位置検出の原理を示している。タッチ検出法では、荷重とともに検出対象物（指）の接触面積の変化に基づいて位置検出を行っている。この方法では、指の大きさのバラツキや基板への接触面積に限界があるため、検出バラツキが生じ易い。図４のグラフには、圧力検出法とタッチ検出法における、荷重に対するシグナル強度の変化を示している。このグラフに示すように、圧力検出法（図４の実線のグラフ）の方が、タッチ検出法（図４の点線のグラフ）に比べて、シグナル強度が線形に変化し、指の大きさによるバラツキが少ないことが分かる。
【００３０】
より具体的には、圧力検出法では、センス電極１３およびドライブ電極１４において、両基板１１、１２間の距離Ｄの変化を、図５に示す容量Ｃ１、Ｃ２の変化に基づいて検出する。
【００３１】
タッチパネル１は、圧力検出法とタッチ検出法を併用しても良い。なお、タッチ検出法では、センス電極１３およびドライブ電極１４において、両基板１１、１２間の距離Ｄの変化を、図６に示す電気力線の変化、すなわち静電容量の変化に基づいて検出する。すなわち、タッチパネル１は、低周波駆動（数十ｋＨｚ）の圧力検出法と、高周波駆動（数百ｋＨｚ）のタッチ検出法を、駆動周波数の時分割方式により切り替えて検出動作を行う。これにより、検出精度を高めることができる。
【００３２】
なお、タッチパネル１における位置検出方法は、特に限定されるものではなく、周知の方法を適用することができる。例えば、静電容量方式を適用しても良い。
【００３３】
第１スペーサ１６および第２スペーサ１７は、両基板１１、１２間の距離を保持するための部材であり、材質は光硬化性樹脂で透明度の高いものが好ましく、例えばアクリル系の光硬化性の材料により構成されている。図１に示すように、タッチパネル１に荷重（押圧力）が加えられていない平常状態では、第２スペーサ１７が第１基板１６および第２基板１７に接触しており、両基板１６、１７間の距離Ｄを保持している。第１スペーサ１６は、第１基板１１上に設けられており、第２スペーサ１７よりも高さが低く、平常状態で第２基板１２から距離ｄだけ離れている。第１スペーサ１６は、第２スペーサ１７よりも数量が多く、高密度に配置されている。
【００３４】
上記の構成によれば、平常状態では、第１スペーサ１６と第２基板１２との間には距離ｄの空間（間隙部）が形成されており、荷重が加えられたときに第２基板１２が変形し易くなっている。そのため、従来のタッチパネル（図１７）と比較して、タッチパネルの検出感度を高めることができる。また、従来のように両基板１１、１２間に弾性材料が存在しないため、第２基板１２の荷重が開放されたときに、第２基板１２は容易に元の状態（平常状態）に戻ることができる。よって、従来のタッチパネル（図１７）と比較して、タッチパネルの応答速度を速めることができる。さらに、第１スペーサ１６が存在するため、第２基板１２の変形量を、距離ｄ内に規制することができる。よって、第２基板１２の破損等を防ぐことができるため、タッチパネル１の強度（信頼性）を確保することができる。
【００３５】
このように、タッチパネル１は、高い信頼性が得られるため大型化を図ることができる。このため、タッチパネル１は、大型の表示装置に好適である。
【００３６】
図７は、本実施の形態に係るタッチパネル１と従来のタッチパネルそれぞれについての、荷重（印加荷重）とシグナル強度との関係を示すグラフである。このグラフに示すように、本実施の形態に係るタッチパネル１（図７の「本発明」のグラフ）の方が、従来のタッチパネル（図７の「従来構成」のグラフ）よりも荷重に対するシグナル強度が大きいことが分かる。つまり、タッチパネル１は、従来のタッチパネルと比較して、検出感度が高いことが分かる。
【００３７】
図８は、本実施の形態に係るタッチパネル１と従来のタッチパネルそれぞれについての、荷重（印加荷重）と、タッチパネルが元の状態に戻るまでの時間（復元時間）との関係を示すグラフである。このグラフでは、従来のタッチパネルにおいて荷重を１００ｇとしたときの復元時間を１としたときの比率を示している。このグラフに示すように、本実施の形態に係るタッチパネル１（図８の「本発明」のグラフ）の方が、従来のタッチパネル（図８の「従来構成」のグラフ）よりも荷重に対する復元時間が短いことが分かる。つまり、タッチパネル１は、従来のタッチパネルと比較して、応答速度が速い（応答特性が優れている）ことが分かる。
【００３８】
ここで、第１スペーサ１６および第２スペーサ１７は、要求されるタッチパネル１の強度および検出感度に応じて配置される。具体的には、第１スペーサ１６が高密度（密）に配置され、第２スペーサ１７が低密度（疎）に配置される。換言すると、複数の第１スペーサ１６および第２スペーサ１７は、複数の第１スペーサ１６の第１基板１１への投影面積の合計が、複数の第２スペーサ１７の第１基板１１への投影面積の合計よりも大きくなるように配置されている。これにより、第２基板１２の変形量を規制することができるため、タッチパネル１の強度を高めることができ、また、第２基板１２を変形し易くすることができるため、タッチパネル１の検出感度を高めることができる。
【００３９】
なお、第１スペーサ１６および第２スペーサ１７の形状は特に限定されるものではなく、柱状、球状、円錐状、角錐状など種々の形状とすることができる。
【００４０】
また、第１スペーサ１６は、図９に示すように、第２基板１２に設けられていても良い。
【００４１】
〔実施の形態２〕
図１０は、本実施の形態に係るタッチパネルの概略構成を示す断面図である。図１０に示すタッチパネル２は、一対の基板（第１基板２１、第２基板２２）と、第１基板２１上に設けられた複数のセンス電極２３およびフォース電極２４と、第２基板２２上に設けられた複数のドライブ電極２５と、両基板２１、２２間に配置された複数の第１スペーサ２６および第２スペーサ２７とを備えている。
【００４２】
第１基板２１および第２基板２２は、透明な基板で構成されており、例えば、ガラスやアクリル等の衝撃に強い材料で構成されている。第２基板２２は、使用者側に配置され検出対象物（指等）が接触するため、タッチパネル２の保護部材としての機能を有する。第１基板２１は、使用者側とは反対側に配置され、タッチパネル２が表示装置に設けられる場合には、表示パネルの前面に対置される。
【００４３】
本実施の形態に係るタッチパネル２では、圧力検出法およびタッチ検出法により、検出対象物の位置検出を行う。すなわち、図１１に示すように、荷重による両基板２１、２２間の距離Ｄの変化および静電容量の変化に基づき位置検出を行う。図１２は、各電極（センス電極２３、ドライブ電極２５Ａ、２５Ｂ）の平面構造を示す模式図である。センス電極２３はタッチ検出に用いられ、フォース電極２４は圧力検出に用いられる。
【００４４】
第１スペーサ２６および第２スペーサ２７は、両基板２１、２２間の距離を保持するための部材であり、材質は光硬化性樹脂で透明度の高いものが好ましく、例えばアクリル系の光硬化性の材料により構成されている。図１０に示すように、タッチパネル２に荷重（押圧力）が加えられていない平常状態では、第２スペーサ２７が第１基板２６および第２基板２７に接触しており、両基板２６、２７間の距離Ｄを保持している。第１スペーサ２６は、第１基板２１上に層状に設けられており、第２スペーサ２７よりも高さが低く、平常状態で第２基板２２（ドライブ電極２５）から距離ｄだけ離れている。第１スペーサ２６は、隣り合う第２スペーサ２７の間に設けられている。
【００４５】
上記の構成によれば、平常状態では、第１スペーサ２６と第２基板２２との間には距離ｄの空間（間隙部）が形成されており、荷重が加えられたときに第２基板２２が変形し易くなっている。そのため、従来のタッチパネル（図１７）と比較して、タッチパネルの検出感度を高めることができる。また、従来のように両基板２１、２２間に弾性材料が存在しないため、第２基板２２の荷重が開放されたときに、第２基板２２は容易に元の状態（平常状態）に戻ることができる。よって、従来のタッチパネル（図１７）と比較して、タッチパネルの応答速度を速めることができる。また、第１スペーサ２６が存在するため、第２基板２２の変形量を、距離ｄ内に規制することができる。よって、第２基板２２の破損等を防ぐことができるため、タッチパネル２の強度を確保することができる。さらに、第１スペーサ２６は、層状に形成されているため、実施の形態１に係るタッチパネル１と比較して、より強度および信頼性を高めることができる。
【００４６】
本実施の形態に係るタッチパネル２によれば、実施の形態１に係るタッチパネル１（図７、図８）と同様に、検出感度および応答速度を高めることができる。また、タッチパネル２は、高い信頼性が得られるため大型の表示装置に好適である。
【００４７】
なお、第１スペーサ２６および第２スペーサ２７の形状は、実施の形態１と同様、柱状、球状、円錐状、角錐状など種々の形状とすることができる。また、第１スペーサ２６は、第２基板２２に設けられていても良い。
【００４８】
また、複数の第１スペーサ２６および第２スペーサ２７は、複数の第１スペーサ２６の第１基板２１への投影面積の合計が、複数の第２スペーサ２７の第１基板２１への投影面積の合計よりも大きくなるように配置されている。
【００４９】
（変形例１）
実施の形態２に係るタッチパネル２において、第１スペーサ２６および第２スペーサ２７を一体構造としてもよい。図１３は、変形例１に係るタッチパネル２ａの概略構成を示す断面図である。一体構造のスペーサ２８は、例えばフォトリソグラフィ法により形成することができ、高さの差は、例えばハーフトーンマスク等を用いて、１回の露光により形成することができる。この構成によれば、実施の形態２に係るタッチパネル２と同様の効果を得ることができるとともに、タッチパネル２の製造工程を簡素化することができる。
【００５０】
（変形例２）
実施の形態１、２に係るタッチパネル１、２、２ａでは、第２基板に荷重が加えられたときの第２基板の変形量は、荷重が加えられた位置（接触位置）に応じて大きく変化する。具体的には、隣り合う第２スペーサの中間位置に近いほど、第２基板の変形量（撓み量）が大きくなる。
【００５１】
そこで、変形例２に係るタッチパネル３では、第１スペーサ（１６、２６）が、隣り合う第２スペーサ（１７、２７）の中間位置に近いほど、高さが高くなっている構成を有している。例えば、図１４に示すように、隣り合う第２スペーサ１７の中間に位置する第１スペーサ１６ａの高さｄ１は、これに隣り合う第１スペーサ１６ｂ、１６ｃの高さｄ２よりも高くなっている。第１スペーサの高さの差は、例えばハーフトーンマスク等を用いて、１回の露光により形成することができる。
【００５２】
これにより、隣り合う第２スペーサ１７の中間付近における第２基板１２の変形量を抑えることができる。すなわち、荷重が加えられる位置（接触位置）に関わらず、第２基板１２の変形量を略一定に規制することができる。よって、タッチパネルの強度（信頼性）をより高めることができる。
【００５３】
（変形例３）
上述した各タッチパネルにおいて、第１基板と第２基板との間に、屈折率マッチング材を設けても良い。図１５には、一例として、タッチパネル２において、第１基板２１と第２基板２２との間に屈折率マッチング材３０を設けた状態を示している。
【００５４】
この構成によれば、タッチパネルを表示装置に設けた場合に、表示パネルから出射される光の乱反射を防ぐことができるため、表示品位を高めることができる。
【００５５】
（表示装置）
上述した各タッチパネルは、表示装置に設けることができる。図１６には、一例として実施の形態１に係るタッチパネル１を備えた表示装置５の概略構成を示している。
【００５６】
タッチパネル１の背面（第１基板１１）に対向するように表示パネル６が配置され、表示パネル６の背面にはバックライト７が設けられている。これにより、タッチパネル付き表示装置５を実現することができる。なお、表示装置５には、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ等、各種表示装置を適用することができる。
【００５７】
本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施の形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明のタッチパネルは、各種表示装置に用いることができる。
【符号の説明】
【００５９】
１、２、２ａ  タッチパネル
１１、２１    第１基板
１２、２２    第２基板
１３、２３    センス電極（電極）
１４、２５    ドライブ電極（電極）
１５          高抵抗膜
１６、２６    第１スペーサ
１７、２７    第２スペーサ
２４          フォース電極（電極）
２８          スペーサ
３０          屈折率マッチング材
【図１】
2015180978.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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