(57)【要約】【課題】隣り合う太陽電池セル同士の重ね合わせ部に比較的大きな段差が生じる場合であっても封止膜を確実に形成できることにより、水分の浸入防止に優れた太陽電池モジュールを提供する。【解決手段】基板上に発電層が形成された複数の太陽電池セルの縁部同士が上下に重なり合う重ね合わせ部を形成し、この重ね合わせ部が電気的に接合されることにより形成されるセル接合体を有する太陽電池モジュールであって、前記セル接合体の発電層側表面には、前記重ね合わせ部の段差を平坦化する平坦化膜が形成されており、前記平坦化膜上には、前記太陽電池セルへの水分の浸入を抑える封止膜が形成されている構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に発電層が形成された複数の太陽電池セルの縁部同士が上下に重なり合う重ね合わせ部を形成し、この重ね合わせ部が電気的に接合されることにより形成されるセル接合体を有する太陽電池モジュールであって、
前記セル接合体の発電層側表面には、前記重ね合わせ部の段差を平坦化する平坦化膜が形成されており、
前記平坦化膜上には、前記太陽電池セルへの水分の浸入を抑える封止膜が形成されていることを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項２】
前記平坦化膜は、前記セル接合体上に液状体を塗布することによって形成され、前記封止膜は、ガス粒子を堆積させることにより形成されていることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池モジュール。
【請求項３】
前記平坦化膜は、前記重ね合わせ部に形成される段差の凹部先端における膜厚が、他の部分に形成される膜厚よりも厚く形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の太陽電池モジュール。
【請求項４】
前記平坦化膜は、シロキサンが含有されており、前記封止膜は、バッファ膜とバリア膜とがこの順で積層されて形成されており、前記バッファ膜はシアン化ケイ素、バリア膜は二酸化ケイ素が含有されて形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数枚の太陽電池用のセルをそれぞれの縁部同士が上下に重なるようにして配列された太陽電池モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池モジュールとして、図５（ａ）に示すような細長い短冊状の太陽電池用のセル１０１を複数枚並べて接続したいわゆるスラット構造のものが知られており（例えば、特許文献１参照）、この太陽電池モジュール１００は、例えば、以下のようにして製造される。
【０００３】
帯状の金属材料の基材上に気相成長法によりガス粒子を堆積させて光を電気エネルギーに変える発電層１０２（図５（ｂ）参照）を形成した後、所定長さに切断し、細長い短冊状の太陽電池用のセル（太陽電池セル１０１。単にセルともいう。）を得る。そして、この太陽電池セル１０１を複数枚、隣り合う太陽電池セル１０１の長辺側の縁部同士が重なるようにしてステージ上に並べ、重ね合わせた縁部同士（重ね合わせ部１０６。図５（ｂ）参照）を接合することによりセル接合体１０３を得る。そして、セル接合体１０３の両端部分に電極１０９を取り付けた後、接合体の両面をカバーフィルム１０４で挟んでラミネートすることにより１枚の太陽電池モジュール１００（図５（ａ））としている。このようにして製造された太陽電池モジュール１００は、複数枚の太陽電池セル１０１が電気的に直列接続された状態になり、実用的な電圧を得ることができる。
【０００４】
このような太陽電池モジュール１００は、発電効率の向上の研究がなされており、その１つとして太陽電池セル１０１への水分浸入防止が挙げられる。すなわち、太陽電池セル１０１は、水に曝されると腐食し劣化する性質を有しており、太陽電池セル１０１の劣化は発電効率の低下を招く。そのため、太陽電池モジュール１００は、セル接合体１０３をフッ化ビニル樹脂製若しくはフッ化ビニル樹脂を含む複合フィルムを用いたカバーフィルム１０４間に配置し、カバーフィルム１０４間をエチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等の熱硬化性樹脂からなる封止材を充填して封止層１０５を形成することにより、水分が太陽電池セル１０１の発電層１０２に浸入するのを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−０１０３５５
【特許文献２】特開２０１３−００４５５０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記太陽電池モジュール１００では、水分の浸入防止は十分でないという問題があった。すなわち、封止層１０５のＥＶＡは光劣化により、耐水性、耐湿性、耐アルカリ性といった耐候特性が低下するため、長期的な使用によりＥＶＡが徐々に劣化すると太陽電池モジュール１００の側面から水分が浸入し、太陽電池セル１０１が水分に曝されることになる。
【０００７】
ここで、水分の浸入を防止するものとして、上記特許文献２に示すような無機物を堆積させて形成する封止膜１０７を用いることが考えられる。具体的には、気相成長法により発電層１０２上に無機物を幾層も堆積させることにより複数層で形成される封止膜１０７を形成し水分の浸入を防止している。
【０００８】
ところが、セル接合体１０３の表面に封止膜１０７をプラズマＣＶＤ等の気相成長法により形成しようとしても、セル接合体１０３の隣接する太陽電池セル１０１の重ね合わせ部１０６は、太陽電池セル１０１の厚みで段差が形成されているため、封止膜１０７が完全には形成されないという問題があった。すなわち、引用文献２の太陽電池は、１枚の基板上に発電層１０２が形成されており、発電層１０２の段差はほぼ１〜５μｍ程度である。しかし、スラット構造の太陽電池セル１０１の基板の厚みは、２５〜５０μｍ程度もあるため、重ね合わせ部１０６で形成される段差が発電層１０２に比べて非常に大きく、気相成長法で封止膜１０７を形成しようとすると、図６に示すように、段差の凹の部分（段差の凹部先端１０８）までガス粒子が到達できず、セル接合体１０３の表面を封止膜１０７で完全に覆うのは困難であった。
【０００９】
本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、隣り合う太陽電池セル同士の重ね合わせ部に比較的大きな段差が生じる場合であっても封止膜を確実に形成できることにより、水分の浸入防止に優れた太陽電池モジュールを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために本発明の太陽電池モジュールは、基板上に発電層が形成された複数の太陽電池セルの縁部同士が上下に重なり合う重ね合わせ部を形成し、この重ね合わせ部が電気的に接合されることにより形成されるセル接合体を有する太陽電池モジュールであって、前記セル接合体の発電層側表面には、前記重ね合わせ部の段差を平坦化する平坦化膜が形成されており、前記平坦化膜上には、前記太陽電池セルへの水分の浸入を抑える封止膜が形成されていることを特徴としている。
【００１１】
上記太陽電池モジュールによれば、セル接合体の発電層側表面に平坦化膜を形成するため、重ね合わせ部に形成される段差を平坦化することができる。すなわち、セル接合体の重ね合わせ部では、太陽電池セル１枚の厚みが段差として形成されるが、平坦化膜が形成されることにより、太陽電池セル１枚の厚み以下に抑えることができる。すなわち、封止膜を気相成長法により形成する場合に、ガス粒子が到達することができない段差の凹部先端の深さが浅くなるため、気相成長法により平坦化膜上に封止膜を形成することが可能になる。したがって、セル接合体の発電層側表面に封止膜を確実に形成することができるため、太陽電池セルへの水分の浸入を抑えることができる。
【００１２】
また、前記平坦化膜は、前記セル接合体上に液状体を塗布することによって形成され、前記封止膜は、ガス粒子を堆積させることにより形成されていることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、、平坦化膜が液状体を塗布することによって形成されるため、その液状体が重ね合わせ部の凹部先端に浸入し、その凹部で液溜まりが形成される。これにより、ガス粒子が到達することができない段差の凹部先端の深さが浅くなるため、気相成長法により平坦化膜上に封止膜を形成することが可能になる。
【００１４】
そして、液状体を塗布した後、乾燥させることにより、前記平坦化膜は、前記重ね合わせ部に形成される段差の凹部先端における膜厚が、他の部分に形成される膜厚よりも厚く形成される構成にしてもよい。
【００１５】
これにより、段差の凹部が無くなる、又は、少なくとも浅くなるため、セル接合体の発電層側の表面は、ほぼ平坦になる。したがって、気相成長法により平坦化膜上に封止膜を形成し、水分の浸入を抑えることができる。
【００１６】
そして、具体的な平坦化膜の様態としては、前記平坦化膜は、シロキサンが含有されており、前記封止膜は、バッファ膜とバリア膜とがこの順で積層されて形成されており、前記バッファ膜はシアン化ケイ素、バリア膜は二酸化ケイ素が含有されて形成されていることにより、水分の浸入防止に優れた太陽電池モジュールにすることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の太陽電池モジュールによれば、隣り合う太陽電池セル同士の重ね合わせ部に比較的大きな段差が生じる場合であっても封止膜を確実に形成できることにより、水分の浸入を効果的に阻止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態における太陽電池モジュールの構成を示す概略図である。
【図２】上記太陽電池モジュールのセル接合体の概略図である。
【図３】要部拡大図であり、（ａ）は、重ね合わせ部の拡大図、（ｂ）平坦化膜及び封止膜の外縁を示す図である。
【図４】他の実施形態における太陽電池モジュールの重ね合わせ部の拡大図である。
【図５】従来の太陽電池モジュールを示す図であり、（ａ）は太陽電池モジュールの概略構成図であり、（ｂ）は、セル接合体を示す概略図である。
【図６】従来の太陽電池モジュールのセル接合体に封止膜を形成した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の太陽電池モジュールの実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２０】
ここで、図１は、本実施形態における太陽電池モジュール１の構成を示す概略図であり、図２は、太陽電池モジュール１のセル接合体１０の概略図、図３は、セル接合体の要部拡大図であり、（ａ）は、重ね合わせ部の拡大図、（ｂ）は、平坦化膜及び封止膜の外縁を示す図である。
【００２１】
図１〜図３に示すように、太陽電池モジュール１は、複数の太陽電池セル２により形成され受光した光から電流を発生させるセル接合体１０と、このセル接合体１０の両端に接続される外部電極３と、セル接合体１０と外部電極３の一部を覆うカバー部材４とを有しており、セル接合体１０及び外部電極３がこれらの配列方向と直交する方向の両面側からカバー部材４で挟まれることにより一体的に形成されている。具体的には、両カバー部材４の間には、セル接合体１０及び外部電極３を配置させた状態で封止層５（ＥＶＡ：エチレン−酢酸ビニル共重合体）が充填されており、外部電極３の一部が突出した状態でシート状に一体的に形成されている。
【００２２】
セル接合体１０は、複数の太陽電池セル２が一方向に配列されて形成されている。セル接合体１０は、一の太陽電池セル２と他の太陽電池セル２とが、お互いの長辺側の縁部２ａ同士が上下に重なり合う重ね合わせ部６を有するように形成されている。
【００２３】
太陽電池セル２は、太陽光等の光を受光することにより発電するものであり、太陽電池を構成する最小単位のユニットである。この太陽電池セル２は、短冊状に形成されており、長辺側の縁部２ａと短辺側の縁部とを有する略長方形に形成されている。なお、単に縁部２ａと記載した場合は、長尺寸法側の縁部２ａを指すものとする。
【００２４】
この太陽電池セル２は、短冊状の導電性基板２１上に、下部電極層２２、光電変換層２３、上部電極層２４がこの順に積層されて構成される発電層２５が形成されている。具体的には、導電性基板２１は、厚み２５〜５０μｍ程度のＳＵＳやＣｕ等の金属製部材が用いられており、この導電性基板２１上に、厚み１〜５μｍ程度の発電層２５が形成されている。この太陽電池セル２は、太陽光等の光を受光すると、上部電極層２４を透過した光が光電変換層２３で電気エネルギーに変換されることにより発電される。この光電変換層２３で発生した電気エネルギーは、上部電極層２４と導電性基板２１に導体を連結し電気的に接続することにより電流として取り出すことができる。本実施形態では、隣り合う太陽電池セル２同士において、一方の太陽電池セル２の表面側の縁部２ａ（上部電極層２４の縁部２ａ）と、他方の太陽電池セル２の裏面側の縁部２ａ（導電性基板２１の縁部２ａ）とが連結されることにより、隣り合う太陽電池セル２同士が直列に電気的に接続され、１枚の太陽電池セル２よりも大きな起電力（電圧）を得ることができる。
【００２５】
重ね合わせ部６は、隣り合う太陽電池セル２同士を電気的に接続される部分である。すなわち、一の太陽電池セル２と他の太陽電池セル２との縁部２ａ同士が上下に重なり合う状態を形成し、両セル２同士の間に接合材を介在させることにより両セル同士が電気的に接続される。具体的には、接合材が太陽電池セル２の縁部２ａに塗布されており、この接合材により一の太陽電池セル２の上部電極層２４と他の太陽電池セル２の導電性基板２１とが接続される。接合材には、クリーム半田、導電性接着剤が使用される。このような接合材が、太陽電池セル２の縁部２ａに長手方向に沿って一様に塗布されることにより、隣り合う太陽電池セル２同士が接合され、電気的に接続されている。
【００２６】
本実施形態のセル接合体１０は、図１、図２に示すように、３つの太陽電池セル２がそれぞれ隣接する太陽電池セル２同士で重ね合わせ部６を形成し、この重ね合わせ部６により太陽電池セル２同士が連結されている。すなわち、セル接合体１０は、全ての太陽電池セル２が接合されることにより電気的に直列接続された状態になっている。
【００２７】
また、セル接合体１０の両端部分には、外部電極３が取り付けられている。この外部電極３は、導電性部材で形成されており、本実施形態では銅製の平板部材が用いられている。セル接合体１０と外部電極３は、半田等の導電性のある接合材で電気的に接続されている。これにより、太陽電池セル２で発生した電流を外部電極３から外部に取り出せるようになっている。なお、本実施形態では、太陽電池モジュール１として、太陽電池セル２が３つ連結されている例について説明しているが、太陽電池セル２が３つ以上連結されたセル接合体１０を有する太陽電池モジュール１であってもよい。
【００２８】
また、セル接合体１０の発電層２５側表面には、平坦化膜７１と封止膜７２とが形成されている。具体的には、平坦化膜７１及び封止膜７２は、セル接合体１０の発電層２５側表面から外部電極３の一部を覆うように形成されている。この平坦化膜７１及び封止膜７２により太陽電池セル２への水分の浸入を抑えることができる。
【００２９】
平坦化膜７１は、重ね合わせ部６の段差を平坦化するためのものである。すなわち、重ね合わせ部６は、ほぼ太陽電池セル２の厚み寸法の段差が形成されているため、この段差を平坦化するものである。具体的には、重ね合わせ部６の段差は、導電性基板２１の厚み２５〜５０μｍ程度と発電層２５の厚み１〜５μｍ程度を有しているため、封止膜７２を気相成長法により形成しようとすると、一の太陽電池セル２の上部電極層２４と、この上部電極層２４に接合される他の太陽電池セル２の導電性基板２１の側面とで形成されるほぼ９０°に形成される段差の凹の部分（段差の凹部先端２７と称す）にガス粒子が到達できず、セル接合体１０の発電層２５側表面に一様な封止膜７２を形成することができない。そこで、セル接合体１０の発電層２５側表面に平坦化膜７１を形成することにより、段差の凹部先端２７を無くし、段差を平坦化することで一様な封止膜７２を形成することができる。
【００３０】
この平坦化膜７１は、固形分濃度２０％の主成分をシロキサンとした液状体を乾燥させることにより形成される。具体的には、例えばスリットノズルコータ等の塗布装置を利用してシロキサンの液状体を塗布することにより、セル接合体１０の発電層２５側表面に一様の液状体の薄膜が形成される。この液状体は、ある程度流動性を有しているため、発電層２５の表面に塗布された後、重力等の影響により、セル接合体１０の発電層２５の表面形状に沿うように変形する。すなわち、塗布された液状体は、段差の凹部先端２７を埋めるように移動するため、重ね合わせ部６の段差が液状体で埋められることにより、液状体が塗布されたセル接合体１０の発電層２５側表面に存在する段差の凹部先端２７が消失する。その後、塗布された液状体を乾燥させることにより、段差の凹部先端２７は、Ｒ（アール）状に形成され、セル接合体１０の発電層２５側表面は、なめらかな曲面状に形成される。すなわち、セル接合体１０の発電層２５側表面に平坦化膜７１を形成することにより、気相成長法によるガス粒子が一様に堆積することが可能な表面を形成することができる。
【００３１】
このようにして、液状体を塗布した後、乾燥させて形成された平坦化膜７１は、段差の凹部先端２７部分と、他の部分とで厚みが異なっている。具体的には、図３（ａ）に示されるように、段差の凹部先端２７の厚みｔｒが他の部分の厚みｔｐ１、ｔｐ２に比べて厚く形成される。すなわち、セル接合体１０の発電層２５側表面に液状体を塗布することにより、発電層２５側表面に存在する凹部に液状体が流動して埋めようとするため、凹部に存在する平坦化膜７１の厚みが他の部分に比べて厚くなり、発電層２５側表面全体が滑らかな状態に形成される。
【００３２】
また、封止膜７２は、太陽電池セル２への水分の浸入を抑えるものである。この封止膜７２は、バッファ層７２ａとバリア層７２ｂとを有しており、これらが交互に積層されることにより形成されている。すなわち、バッファ層７２ａが下側、その上にバリア層７２ｂとなるように繰り返して形成されている。本実施形態では、バッファ層７２ａ及びバリア層７２ｂを２回繰り返して形成されている。
【００３３】
バッファ層７２ａは、無機物で形成されている。この「無機物」とは、有機物を除く物質であり、具体的には、炭素骨格を持たない物質である。つまり、無機物には、合成／天然樹脂及び炭素骨格（炭化水素骨格を含む）を有するその他化合物は含まれない。具体的には、バッファ層７２ａはシリコン系膜であり、例えば、バッファ層７２ａは、Ｈ（水素），Ｃ（炭素）及びＳｉ（ケイ素）を含むシリコン系膜である。本実施形態では、ＳｉＣＮ（シアン化ケイ素）が用いられている。なお、一のバッファ層７２ａの組成と他のバッファ層７２ａの組成とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００３４】
バリア層７２ｂは、無機物で形成されており、バッファ層７２ａよりも高い密度を有している。バリア層７２ｂの密度は具体的な数値に限定されるものではないが、水や酸が太陽電池セル２に浸入するのを防止できる程度であればよい。バリア層７２ｂは、具体的には、シリコン系膜であって、Ｓｉ並びにＯ（酸素）及び／又はＮ（窒素）を含んでいることが好ましく、例えば、シリコン酸化膜又はシリコン窒化膜であることが好ましい。本実施形態では、ＳｉＯ２（二酸化ケイ素）が用いられている。なお、一のバリア層７２ｂの組成と他のバリア層７２ｂの組成とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００３５】
この封止膜７２は、端部が傾斜状に形成される。具体的には、図３（ｂ）に示すように、封止膜７２の端部は、先細り形状に形成されており、封止膜７２の厚みが外縁７４に近づくほど薄くなるように形成されている。そして、封止膜７２は、下層の平坦化膜７１を覆い、その外縁７４は平坦化膜７１の外縁７３よりも外側に位置するように形成されている。また、封止膜７２のバッファ層７２ａとバリア層７２ｂも同様に、バッファ層７２ａの上層であるバリア層７２ｂの外縁７４ｂが下層のバッファ層７２ａの外縁７４ａよりも外側に位置しており、バリア層７２ｂの上層に位置するバッファ層７２ａの外縁７４ａは、下層のバリア層７２ｂの外縁７４ｂよりも外側に位置するように形成されている。すなわち、下層の外縁よりも上層の外縁が外側に位置するように形成されている。この構成により、水分の浸入を効果的に抑えることができる。すなわち、平坦化膜７１及び封止膜７２の外縁７３、７４がそれぞれ大気に触れるように形成すると、太陽電池セル２のすぐ上に形成される上層（本実施形態では平坦化膜７１）との界面に水分が浸入し、太陽電池セル２に到達する可能性が高くなる。したがって、上述のように下層の外縁が上層の外縁を覆うように形成することで、太陽電池セル２とその上層の界面に水分が到達しにくくなり、太陽電池セル２への水分の浸入を効果的に防止できる。
【００３６】
次に、本実施形態における太陽電池モジュール１の製造方法について説明する。
【００３７】
まず、導電性基板２１上に発電層２５を形成する。すなわち、プラズマＣＶＤ法により形成され、供給側リールに巻回された帯状の導電性基板２１を発電層２５を形成する各種チャンバに通過させて巻取側リールで巻き取ることにより、導電性基板２１上に下部電極層２２、光電変換層２３、上部電極層２４がこの順に積層されて構成される発電層２５を形成する。
【００３８】
次に、セル接合体１０を形成する。すなわち、発電層２５が形成された帯状の導電性基板２１を所定寸法に切断することにより、短冊状の太陽電池セル２を形成する。そして、太陽電池セル２を搬送し、一の太陽電池セル２と他の太陽電池セル２とが、お互いの長辺側の縁部２ａ同士を上下に重ね合わせて重ね合わせ部６を形成するように配置する。そして、加熱炉に収容し所定温度に維持することにより、重ね合わせ部６に設けられた接合材を溶融させて隣接する太陽電池セル２同士を接合させる。これにより、複数の太陽電池セル２が一方向に配列されたセル接合体１０が形成される。
【００３９】
次に、セル接合体１０の両端部分に外部電極３が接合された後、セル接合体１０の発電層２５側表面に平坦化膜７１が形成される。すなわち、スリットノズルを有する塗布装置によりシロキサンが含有された液状体を塗布することにより形成される。具体的には、スリットノズルから外部電極３上に液状体を塗布してスリットノズルと外部電極３とを太陽電池セル２の長手方向に亘って液状体で連結する。そして、スリットノズルとセル接合体１０とをセル接合体１０の太陽電池セル２の配列方向に相対的に走査させつつ、スリットノズルから液状体を塗布することにより形成する。これにより、外部電極３の一部とセル接合体１０の発電層２５側表面に一様な平坦化膜７１が形成される。すなわち、この平坦化膜７１により、セル接合体１０の発電層２５側表面に存在する段差の凹部先端２７が消失し、発電層２５側表面が滑らかに形成される。
【００４０】
次に、セル接合体１０の発電層２５側表面の平坦化膜７１上に封止膜７２が形成される。すなわち、プラズマＣＶＤ等の気相成長法を用いて封止膜７２を形成する。具体的には、平坦化膜７１が形成されたセル接合体１０（外部電極３含む）をチャンバに収容し原料ガスをプラズマ処理することによりガス粒子を平坦化膜７１上に堆積させる。その際、セル接合体１０の発電層２５側表面は、平坦化膜７１により滑らかに形成されているため、重ね合わせ部６における段差にもガス粒子が堆積し、平坦化膜７１上に一様な封止膜７２が形成される。また、ガス粒子を堆積させる際、外縁付近の端部にはマスクが用いられることにより、封止膜７２の外縁位置が制御される。すなわち、平坦化膜７１上にバッファ層７２ａを形成する際、平坦化膜７１の外縁よりも所定寸法外側にガス粒子が堆積することを許容するマスクを設けて製膜処理を行う。そして、バッファ層７２ａの上にバリア膜を形成する際、バッファ層７２ａの外縁よりも所定寸法外側にガス粒子が堆積することを許容するマスクを設けて製膜処理を行う。このようにして、各層の形成に応じてマスクを変えて製膜することにより、バッファ層７２ａ及びバリア層７２ｂを下層の外縁よりも上層の外縁が外側に位置するように形成することができる。本実施形態では、バッファ層７２ａ及びバリア層７２ｂの形成を２回繰り返して形成し、バッファ層７２ａ及びバリア層７２ｂが計４層で構成される封止膜７２を形成する。
【００４１】
次に、カバー部材４を取り付ける。具体的には、封止膜７２が形成されたセル接合体１０に対し、太陽電池セル２の配列方向とほぼ直交する方向からカバー部材４で挟持し、その状態でカバー部材４の間を封止層５（ＥＶＡ：エチレン−酢酸ビニル共重合体）を充填させる。これにより、外部電極３の一部が突出した状態でシート状の太陽電池モジュール１が形成される。
【００４２】
以上、本実施形態の太陽電池モジュール１によれば、セル接合体１０の発電層側表面に平坦化膜７１を形成するため、重ね合わせ部に形成される段差を平坦化することができる。すなわち、セル接合体１０の重ね合わせ部では、太陽電池セル１枚の厚みが段差として形成されるが、平坦化膜７１が形成されることにより、太陽電池セル１枚の厚み以下に抑えることができる。すなわち、封止膜７２を気相成長法により形成する場合に、ガス粒子が到達することができない段差の凹部先端２７の深さが浅くなるため、気相成長法により平坦化膜７１上に封止膜７２を形成することが可能になる。したがって、セル接合体１０の発電層２５側表面に封止膜７２を確実に形成することができるため、太陽電池セルへの水分の浸入を抑えることができる。
【００４３】
上記実施形態では、平坦化膜７１により段差の凹部先端２７がＲ（アール）形状に形成される例について説明したが、図４に示すように、段差が直線上に堆積されるものであってもよい。例えば、塗布する際に段差付近で塗布の走査を停止させ、段差付近に供給される液状体の量を調節したり、液状体の粘性を調整するなどして、段差部分に垂直方向の端面が形成されないようにすることにより、平坦化膜７１上に形成される封止膜７２を均一厚さで一様に形成することができる。
【００４４】
また、上記実施形態では、封止膜７２について、１組のバッファ層７２ａ及びバリア層７２ｂが２回繰り返される例について説明したが、１回でもよく、また、多数回繰り返すものであってもよい。なお、多数回繰り返すことにより、水分の浸入防止効果を高くすることができる。
【００４５】
また、上記実施形態では、セル接合体１０の発電層２５側表面にのみ封止膜７２を形成する例について説明したが、発電層２５側表面だけでなく、導電性基板２１の裏面側にも封止膜７２を形成するものであってもよい。すなわち、導電性基板２１の裏面側に平坦化膜７１を形成し、その後、封止膜７２を形成することにより、セル接合体１０への水分の浸入を両面から抑えることができる。
【符号の説明】
【００４６】
１  太陽電池モジュール
２  太陽電池セル
２ａ  縁部
６  重ね合わせ部
１０  セル接合体
２５  発電層
２７  段差の凹部先端
７１  平坦化膜
７２  封止膜
７２ａ  バッファ膜
７２ｂ  バリア膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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