(57)【要約】【課題】導電リボンに隣接する薄膜の剥離を防止可能な薄膜太陽電池モジュールの製造方法を提供する。【解決手段】本薄膜太陽電池モジュールの製造方法は、薄膜太陽電池素子が形成された基板を準備し、前記基板の素子形成面上に前記薄膜太陽電池素子から電力を取り出すための一対の導電リボンを配置する工程と、前記基板の素子形成面上に封止材を重ねる工程と、前記封止材を溶融及び架橋するラミネート工程と、を備え、前記封止材を重ねる工程では、夫々の前記導電リボンに隣接する前記薄膜太陽電池素子上に配置される封止材の厚みが、前記薄膜太陽電池素子の中央部分に配置される封止材の厚みよりも厚くなるように、前記封止材を重ねる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜太陽電池素子が形成された基板を準備し、前記基板の素子形成面上に前記薄膜太陽電池素子から電力を取り出すための一対の導電リボンを配置する工程と、
前記基板の素子形成面上に封止材を重ねる工程と、
前記封止材を溶融及び架橋するラミネート工程と、を備え、
前記封止材を重ねる工程では、夫々の前記導電リボンに隣接する前記薄膜太陽電池素子上に配置される封止材の厚みが、前記薄膜太陽電池素子の中央部分に配置される封止材の厚みよりも厚くなるように、前記封止材を重ねる薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項２】
前記封止材を重ねる工程では、夫々の前記導電リボンの上面に配置される封止材の厚みが、前記薄膜太陽電池素子の中央部分に配置される封止材の厚みよりも厚くなるように、前記封止材を重ねる請求項１記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項３】
前記封止材を重ねる工程では、夫々の前記導電リボンの上面の全面に短冊状の封止材を配置し、更に、前記短冊状の封止材上にシート状の封止材を配置する請求項１又は２記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項４】
前記封止材を重ねる工程では、前記基板上に、前記基板よりも幅広のシート状の封止材を配置し、
前記シート状の封止材の端部を折り返して、前記シート状の封止材の端部を夫々の前記導電リボンの上面の全面に配置する請求項１又は２記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜太陽電池モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的な薄膜太陽電池モジュールにおいては、基板上に薄膜太陽電池素子を形成し、基板の端部の対向する２辺に光起電力を取り出すための導電リボンを配置し、更に、薄膜太陽電池素子を覆う保護部材と基板とを封止材で接着する構造が知られている。
【０００３】
上記薄膜太陽電池モジュールは、例えば、薄膜太陽電池素子及び導電リボンが形成された基板に、シート状の封止材と板状の保護部材を重ね合わせ、ラミネート工程と呼ばれる熱と圧力を掛けて封止材を溶融及び架橋する工程により、基板と保護部材とを封止材で接着することで製造される。
【０００４】
このラミネート工程での問題点として、溶融した封止材が基板の端部よりはみ出し、結果、基板の端部において封止材の厚みが薄くなり接着強度が弱まることが知られている。又、この問題の解決策として、ラミネート工程前に、基板の端部の封止材の厚みを予め厚くすることによって、ラミネート工程で封止材がはみ出したとしてもラミネート工程後の封止材の厚みが薄くなることを防止する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１２３７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ラミネート工程によって製造された薄膜太陽電池モジュールにおいて、下記の別の問題が生じる場合があることを発明者は発見した。
【０００７】
すなわち、基板上に形成された薄膜太陽電池素子は、電極や半導体からなる複数の薄膜の層が積層されたものであり、それぞれの層の接着強度は強くない。そのため、ラミネート工程によって、薄膜太陽電池素子及び導電リボンが形成された基板と保護部材とを封止材で接着した場合、基板に配置された導電リボンの厚みの影響によって、導電リボンに隣接する薄膜の積層部に剥離が生じる。この薄膜の剥離は、薄膜太陽電池素子で生成された電流の流れを阻害し、結果、太陽電池特性の低下の原因となる。
【０００８】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、導電リボンに隣接する薄膜の剥離を防止可能な薄膜太陽電池モジュールの製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本薄膜太陽電池モジュールの製造方法は、薄膜太陽電池素子が形成された基板を準備し、前記基板の素子形成面上に前記薄膜太陽電池素子から電力を取り出すための一対の導電リボンを配置する工程と、前記基板の素子形成面上に封止材を重ねる工程と、前記封止材を溶融及び架橋するラミネート工程と、を備え、前記封止材を重ねる工程では、夫々の前記導電リボンに隣接する前記薄膜太陽電池素子上に配置される封止材の厚みが、前記薄膜太陽電池素子の中央部分に配置される封止材の厚みよりも厚くなるように、前記封止材を重ねることを要件とする。
【発明の効果】
【００１０】
開示の技術によれば、導電リボンに隣接する薄膜の剥離を防止可能な薄膜太陽電池モジュールの製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールを例示する図である。
【図２】第１の実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造工程を例示する図である。
【図３】追加の封止材の配置について説明する図である。
【図４】比較例１に係る薄膜太陽電池モジュールの製造工程を例示する図である。
【図５】図４に示す工程で作製された薄膜太陽電池モジュールの拡大部分断面図である。
【図６】第１の実施の形態の変形例に係る薄膜太陽電池モジュールの製造工程を例示する図（その１）である。
【図７】第１の実施の形態の変形例に係る薄膜太陽電池モジュールの製造工程を例示する図（その２）である。
【図８】第１の実施の形態の変形例に係る薄膜太陽電池モジュールの製造工程を例示する図（その３）である。
【図９】第１の実施の形態の変形例に係る薄膜太陽電池モジュールの製造工程を例示する図（その４）である。
【図１０】比較例２に係る薄膜太陽電池モジュールの製造工程を例示する図である。
【図１１】比較例３に係る薄膜太陽電池モジュールの製造工程を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１３】
〈第１の実施の形態〉
［第１の実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの構造］
まず、第１の実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの構造について説明する。図１は、第１の実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールを例示する図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。なお、図１（ａ）において、便宜上、基板１０及び導電リボン２０を梨地模様で示している。
【００１４】
図１を参照するに、薄膜太陽電池モジュール１は、基板１０と、導電リボン２０と、保護部材３０と、封止材４０と、保護シート５０とを有するサブストレート構造の薄膜太陽電池モジュールである。
【００１５】
基板１０は、例えば、厚さが１．０〜３．０ｍｍ程度のガラス基板、金属基板、樹脂基板等であり、基板１０上には薄膜太陽電池素子（図示せず）が形成されている。薄膜太陽電池素子は、例えば、電極層や、ＣＩＳ系化合物薄膜等を備えた発電層等の薄膜が複数層積層されたものである。
【００１６】
基板１０には、光起電力を取り出すための一対の導電リボン２０が配置されている。導電リボン２０は、薄膜太陽電池素子の電極層に、はんだ付けや超音波圧着等により取り付けられている。なお、一対の導電リボン２０の一方は薄膜太陽電池素子のプラス側に接続され、他方はマイナス側に接続されている。
【００１７】
導電リボン２０は、例えば、銅箔リボン等の金属製のリボンである。導電リボン２０の幅は、例えば、１．０〜３．０ｍｍ程度とすることができる。導電リボン２０の厚さは、例えば、１４０〜２４０μｍ程度とすることができる。一対の導電リボン２０は、例えば、基板１０の端部の対向する２辺に配置できるが、導電リボン２０の位置は、本発明の効果には影響がない。すなわち、一対の導電リボン２０は、基板１０上の任意の位置に配置してよい。
【００１８】
薄膜太陽電池素子及び導電リボン２０を備えた基板１０の周囲を覆うように封止材４０が設けられ、封止材４０上には保護部材３０が配置され、封止材４０により基板１０と接着されている。保護部材３０としては、例えば、厚さが０．５〜４．０ｍｍ程度の白板強化ガラス板や透明樹脂板等を用いることができる。封止材４０の材料としては、例えば、ＥＶＡ（Ethylene-vinyl acetate）やＰＶＢ（Polyvinyl butyral）等を用いることができる。封止材４０の厚さは、例えば、０．２〜１．０ｍｍ程度とすることができる。
【００１９】
封止材４０の裏面側（保護部材３０とは反対側）に、保護シート５０を設けてもよい（保護シート５０は、必須の構成要素ではない）。保護シート５０の材料としては、例えば、アルミニウム箔やＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂等を用いることができる。
【００２０】
［第１の実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法］
次に、第１の実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法について、ラミネート工程を中心に説明する。図２は、第１の実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造工程を例示する図である。なお、図２は、図１（ｂ）の紙面左側部分を拡大した断面に対応している。
【００２１】
まず、周知の方法により、薄膜太陽電池素子が形成された基板１０を準備し、基板１０の素子形成面上に薄膜太陽電池素子から光起電力を取り出すための一対の導電リボン２０を配置する。そして、一対の導電リボン２０を、薄膜太陽電池素子の端部の電極層に、はんだ付けや超音波圧着等により取り付ける。
【００２２】
そして、図２（ａ）に示す工程では、薄膜太陽電池素子及び導電リボン２０を備えた基板１０の上下に所定の部材を重ねる。具体的には、基板１０の素子形成面上に、基板１０に近い側から封止材４２、封止材４３、及び保護部材３０を重ねる。又、基板１０の裏面側（素子形成面の反対面側）に、基板１０に近い側から封止材４１及び保護シート５０を重ねる。
【００２３】
封止材４１は基板１０の裏面の全面を覆うように配置される部材であり、封止材４３は基板１０の素子形成面の全面を覆うように配置される部材である。又、封止材４２は、封止材４１と封止材４３に挟持されるように部分的に配置される部材である。なお、封止材４１、４２、及び４３は、最終的には一体化されて封止材４０となる。
【００２４】
本実施の形態では、封止材４１、４２、及び４３を略同一の厚さとしている。つまり、例えば、封止材４１、４２、及び４３の夫々の厚さをＴとすれば、基板１０の素子形成面側において、一対の導電リボン２０の内側の基板１０の中央部分では封止材の厚さはＴ（封止材４３のみ）である。そして、導電リボン２０の上面及び導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上とその近傍では封止材の厚さは２Ｔ（封止材４２＋４３）である。なお、封止材４１、４２、及び４３を夫々異なる厚さとしても構わない。
【００２５】
この工程では、夫々の導電リボン２０の上面及び導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上に配置される封止材の厚みが、一対の導電リボン２０の内側の薄膜太陽電池素子の中央部分に配置される封止材の厚みよりも厚くなるように、封止材を重ねることが重要である。例えば、図３に示すように夫々の導電リボン２０の上面及び導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上に短冊状の封止材４２を配置し、更に、短冊状の封止材４２上に、図２に示すようにシート状の封止材４３を配置する。これにより、夫々の導電リボン２０の上面及び導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上に配置される封止材の厚みを薄膜太陽電池素子の中央部分に配置される封止材の厚みよりも厚くできる。
【００２６】
なお、各導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上を覆っていれば、封止材４２はどのように配置してもよい。但し、製造工程における配置ずれ等を考慮し、封止材４２として導電リボン２０の上面に掛る大きなものを用いることが好ましい。
【００２７】
封止材４２を各導電リボン２０の上面及び導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上を覆うように配置することの技術的な意義については、後述する。なお、図３（ａ）は図１（ａ）に対応する平面図、図３（ｂ）は図１（ｂ）に対応する断面図であり、便宜上、基板１０、導電リボン２０、及び封止材４２のみを図示している。
【００２８】
次に、図２（ｂ）に示す工程では、ラミネートを行う。具体的には、基板１０等を図２（ａ）に示す状態から上下反転させ、ラミネート装置のヒータ板３１０上に配置する。そして、基板１０等をヒータ板３１０で加熱しながらダイヤフラム３２０により矢印方向に押圧する。これにより、加熱された封止材４１、４２、及び４３が溶融及び架橋して一体化され、封止材４０となり、図１に示す薄膜太陽電池モジュール１が完成する。
【００２９】
ここで、比較例を示しながら、第１の実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法が奏する所定の効果について説明する。
【００３０】
〈比較例１〉
図４は、比較例１に係る薄膜太陽電池モジュールの製造工程を例示する図である。まず、図４（ａ）に示す工程では、薄膜太陽電池素子及び導電リボン２０を備えた基板１０の上下に所定の部材を重ねる。具体的には、基板１０の素子形成面側に、基板１０に近い側から封止材４３及び保護部材３０を重ねる。又、基板１０の裏面側に、基板１０に近い側から封止材４１及び保護シート５０を重ねる。第１の実施の形態の図２（ａ）に示す工程と異なる点は、封止材４１と封止材４３との間に、封止材４２を配置しない点である。
【００３１】
次に、図４（ｂ）に示す工程では、ラミネートを行う。具体的には、基板１０等を図４（ａ）に示す状態から上下反転させ、ラミネート装置のヒータ板３１０上に配置する。そして、基板１０等をヒータ板３１０で加熱しながらダイヤフラム３２０により矢印方向に押圧する。これにより、加熱された封止材４１及び４３が溶融及び架橋して一体化され、封止材４０となり、比較例１に係る薄膜太陽電池モジュールが完成する。
【００３２】
図５は、図４に示す工程で作製された薄膜太陽電池モジュールの拡大部分断面図である。図５において、１１及び１２は薄膜太陽電池素子を示している。例えば、１１はモリブデン等の金属からなる電極層であり、１２は電極層１１上に積層される発電層等を含む積層体である。
【００３３】
図５に示す比較例１に係る薄膜太陽電池モジュールでは、導電リボン２０に隣接する部分の電極層１１と積層体１２との間に剥離が生じ、空間４０ｘが形成されている。このような剥離が生じると、薄膜太陽電池素子で生成された電流の流れを阻害し、結果、太陽電池特性の低下の原因となる。
【００３４】
このような剥離が生じる理由は、導電リボン２０の厚みの影響であると考えられる。すなわち、図４（ｂ）に示す工程で溶融した封止材４０は薄膜太陽電池モジュールの端部から一部はみ出すことになるが、導電リボン２０に隣接する部分では導電リボン２０を起点にして押圧の応力が集中する。そのため、導電リボン２０に隣接する部分では、他の部分（薄膜太陽電池モジュールの中央部分等）よりも封止材４０の量が少なくなる。
【００３５】
このような状態で製造された薄膜太陽電池モジュールを、結露凍結試験（Humidity Freeze試験）等の信頼性試験に掛ける場合を考える。この場合、低温における封止材４０の収縮により、封止材４０の量が少ない導電リボン２０付近において、封止材４０の収縮応力を封止材４０自体が吸収しきれない。その結果、導電リボン２０付近の薄膜太陽電池素子に剥離が生じる。なお、剥離が生じる問題は、封止材４３の厚さに対する導電リボン２０の厚さの割合が大きくなるほど生じやすいことがわかっている。
【００３６】
一方、第１の実施の形態の図２（ａ）に示す工程では、封止材４２を導電リボン２０の上面の全面及び導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上を覆うように配置してラミネートする。そのため、溶融した封止材４０が薄膜太陽電池モジュールの端部から一部はみ出したとしても、導電リボン２０に隣接する部分には十分な量の封止材４０が供給される。その結果、導電リボン２０に隣接する部分の封止材４０の量は、他の部分（薄膜太陽電池モジュールの中央部分等）の封止材４０の量と同程度となる。
【００３７】
図２に示す工程で製造された薄膜太陽電池モジュール１を、結露凍結試験（Humidity Freeze試験）等の信頼性試験に掛ける場合を考える。この場合、低温において封止材４０が収縮しても、導電リボン２０付近に十分な量の封止材４０が存在するため、封止材４０の収縮応力を封止材４０自体が吸収できる。その結果、導電リボン２０付近の薄膜太陽電池素子に剥離が生じないため、良好な太陽電池特性を得ることができる。
【００３８】
なお、封止材４２を設けずに、封止材４３の厚さを全体的に厚くしても（例えば、全体的に２倍の厚さとしても）、図２に示す工程と同様の結果が得られるかもしれないが、封止材４３の厚さを全体的に厚くすることは好ましくない。封止材４３の厚さを全体的に厚くすると、封止材４３の使用量の増加に繋がり、低コスト化及び軽量化の要求に反するからである。
【００３９】
このように、図２に示す工程で製造された薄膜太陽電池モジュール１（図１参照）では、薄膜太陽電池素子の剥離に対する信頼性を向上できる。つまり、導電リボンに隣接する薄膜の剥離を防止可能な薄膜太陽電池モジュール１の製造方法を実現できる。
【００４０】
〈第１の実施の形態の変形例〉
ラミネートする前に、封止材を導電リボン２０の上面の全面を覆うように配置すれば、図２（ａ）に示す工程に代えて、図６に示す工程、図７に示す工程、図８に示す工程、及び図９に示す工程のようにしてもよい。この場合にも、第１の実施の形態と同様の効果を奏する。
【００４１】
図６では、基板１０の外側にはみ出さず、かつ、図２よりも基板１０の内側にはみ出すように、封止材４４を配置している。
【００４２】
図７では、基板１０の外側に少しはみ出し、かつ、図６と同程度に基板１０の内側にはみ出すように、封止材４５を配置している。
【００４３】
図８では、基板１０上に、基板１０よりも幅広のシート状の封止材４１を配置し、シート状の封止材４１の端部を折り返して、シート状の封止材４１の端部を夫々の導電リボン２０の上面の全面を覆うように配置している。
【００４４】
図９では、基板１０の素子形成面における導電リボン２０の内側に、言い換えるならば、導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上に導電リボン２０の側面と封止材４６の側面が接するように封止材４６を配置している。
【００４５】
図６〜図９の共通点は、何れも封止材を導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上に配置している点である。封止材をこのように配置することにより、第１の実施の形態と同様の効果を奏する。なお、封止材４１〜４６を略同一の厚さとしてもよいし、夫々異なる厚さとしてもよい。
【００４６】
〈実験〉
ここで、導電リボン２０の近傍に配置する封止材の様々な形態について、剥離の実験を行った結果を示す。実験は、本実施の形態に係る図２、図６、図７、及び図９、比較例に係る図４、図１０、及び図１１について行った。なお、図２、図６、図７、及び図９の形態を夫々実施例１〜４とする。又、図４、図１０、及び図１１の形態を夫々比較例１〜３とする。
【００４７】
なお、図１０では、基板１０の外側に、基板１０の側面と封止材４７の側面が接するように封止材４７を配置している。封止材４７と導電リボン２０の上面とは全く接する部分がない。
【００４８】
図１１は、図２と類似しているが、封止材４９が導電リボン２０の上面の全面ではなく、導電リボン２０の上面の一部のみを覆っている点、更に、導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上に封止材４９が配置されていない点が相違する。
【００４９】
実験としては、実施例１〜４及び比較例１〜３について、各図の工程に従って３個ずつサンプルを作製し、結露凍結試験（Humidity Freeze試験）を５０サイクル行った。試験後、実施例１〜４及び比較例１〜３の各サンプルについて、剥離の発生有無を確認し、剥離が生じたサンプルの数（剥離サンプル数）をカウントした。結果を表１に示す。
【００５０】
【表１】
2015028993.tif 000003
【００５１】
表１に示す比較例１及び２の結果から次のことがわかった。すなわち、基板１０の素子形成面及び裏面の全面を夫々覆う封止材４３及び４１に加え、追加の封止材を配置しても、追加の封止材を導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上に全く配置しない場合には、３個のサンプル中２個で剥離が確認され、剥離防止に十分な効果がない。
【００５２】
又、表１に示す比較例３では、３個のサンプル中１個で剥離が確認された。つまり、追加の封止材を導電リボン２０の上面の一部に配置することにより、導電リボン２０上の封止材が導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上に流出し、結果、追加の封止材を導電リボン２０の上面に全く配置しない比較例１及び２よりは剥離の頻度が改善されたが、剥離を完全には防止できないことがわかった。
【００５３】
これに対して、追加の封止材を導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上に配置した実施例１〜４では、何れのサンプルについても剥離は確認されなかった。すなわち、基板１０の素子形成面の全面を覆う封止材４３、基板１０の裏面の全面を覆う封止材４１に加え、追加の封止材を導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上に配置することにより、剥離を完全に防止できることがわかった。
【００５４】
なお、図８の形態については実験を行っていないが、封止材４１を折り返している点を除いて図２の形態と類似しているため、図２の形態と同様の結果（剥離が生じない）が得られるものと考えている。
【００５５】
以上、好ましい実施の形態及びその変形例について詳説したが、上述した実施の形態及びその変形例に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態及びその変形例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【００５６】
例えば、上記実施の形態及びその変形例、実施例においては、サブストレート構造の薄膜太陽電池モジュールを例にとって説明した。しかし、スーパーストレート構造の薄膜太陽電池モジュールの製造工程にもサブストレート構造の場合と同様のラミネート工程が存在し、サブストレート構造の場合と同様の剥離の問題が生じる。そして、本発明をスーパーストレート構造の薄膜太陽電池モジュールの製造方法に適用しても同様の効果（剥離防止効果）を奏する。なお、スーパーストレート構造とは、透光性基板に電極層や発電層等の薄膜太陽電池素子を形成し、透光性基板側から光を入射させる構造である。
【００５７】
又、導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上に配置する封止材の厚みを大きくする他の手法として、基板１０の素子形成面の全面を覆う封止材４３において、導電リボン２０に隣接する薄膜太陽電池素子上に対応する部分のみを厚くしてもよい。この場合には、封止材４３の厚さを必要な部分のみ厚くすることになるため、封止材４３の厚さを全体的に厚くする場合とは異なり、低コスト化及び軽量化の要求を満足しつつ、剥離の防止が可能となる。
【００５８】
なお、本発明を適用可能な薄膜太陽電池モジュールの一例を挙げれば、ＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュール、アモルファスシリコン系薄膜太陽電池モジュール、微結晶シリコン系薄膜太陽電池モジュール、ＣＩＳ系以外の化合物系薄膜太陽電池モジュール等である。ＣＩＳ系以外の化合物系薄膜太陽電池モジュールとは、例えば、ＣＺＴＳ系薄膜太陽電池モジュールやＣｄＴｅ系薄膜太陽電池モジュール等である。
【符号の説明】
【００５９】
１  薄膜太陽電池モジュール
１０  基板
２０  導電リボン
３０  保護部材
４０、４１、４２、４３、４４、４５、４６、４７、４９  封止材
５０  保護シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2015028993.tif 000012
【図１０】
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【図１１】
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