(57)【要約】【課題】高温環境下でも安定した検出動作を可能とする。【解決手段】磁気回路部１０２、１０３と、磁気回路部１０２、１０３により形成される外側磁極１１２Ａと内側磁極１１４Ａとの間であって検出方向Ｏに移動可能に配置される検出コイル１２０、１２１を有する可動部１０４と、磁気回路部１０２、１０３と可動部１０４とを収納するケーシング１０６と、を備える高温対応型検出器１００であって、磁気回路部１０２、１０３よりもケーシング１０６の線膨張係数μ３が大きくされており、ケーシング１０６の内側には凸部１３２が設けられ、撓むことで検出方向Ｏに変位可能な撓み部１３４Ｂを有し、撓ませた状態の撓み部１３４Ｂを介して検出方向Ｏで凸部１３２に磁気回路部１０２、１０３を押圧する押圧部材１３４を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気回路部と、該磁気回路部により形成される２つの磁極の間であって検出方向に移動可能に配置される検出コイルを有する可動部と、該磁気回路部と該可動部とを収納するケーシングと、を備える高温対応型検出器であって、
前記磁気回路部よりも前記ケーシングの線膨張係数が大きくされており、
前記ケーシングの内側には凸部が設けられ、
撓むことで前記検出方向に変位可能な撓み部を有し、撓ませた状態の該撓み部を介して前記検出方向で該凸部に該磁気回路部を押圧する押圧部材を備えることを特徴とする高温対応型検出器。
【請求項２】
前記押圧部材は前記ケーシングの内側に係合して固定される固定部を有し、前記撓み部が該固定部の径方向内側で支持されることを特徴とする請求項１に記載の高温対応型検出器。
【請求項３】
前記撓み部は、前記固定部から前記径方向内側に一体的に延在していることを特徴とする請求項２に記載の高温対応型検出器。
【請求項４】
前記撓み部の前記径方向内側の先端には前記検出方向に突出する突起部が設けられ、該突起部を前記磁気回路部に当接させることを特徴とする請求項３に記載の高温対応型検出器。
【請求項５】
前記撓み部は、前記固定部から前記径方向内側に一体的に延在する延在部で支持されることを特徴とする請求項２に記載の高温対応型検出器。
【請求項６】
前記磁気回路部にはサマリウム系希土類コバルト磁石が用いられることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の高温対応型検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高温対応型検出器に係り、特に、高温環境下でも安定して検出動作が可能な高温対応型検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１に示すような加速度検出器が加速度の検出のために用いられている。この加速度検出器は、磁気回路部と、該磁気回路部により形成される２つの磁極の間であって検出方向に移動可能に配置される検出コイルを有する可動部と、該磁気回路部と該可動部とを収納するケーシングと、を備えている。この加速度検出器は、可動部がダンピングされることで、検出方向の加速度に比例した電圧を出力することができ、電源が不要であることから、様々な環境下で使用が可能とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２９４４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された加速度検出器の構成部材の材料は互いに異なっており、それらの線膨張係数は異なっている。このため、例えば、高温環境下では、熱膨張量の違いから各構成部材の締結状態が変化することで、安定した検出動作をしないおそれがあった。
【０００５】
本発明は、前記の問題点を解決するべくなされたもので、高温環境下でも安定して検出動作が可能な高温対応型検出器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願の請求項１に係る発明は、磁気回路部と、該磁気回路部により形成される２つの磁極の間であって検出方向に移動可能に配置される検出コイルを有する可動部と、該磁気回路部と該可動部とを収納するケーシングと、を備える高温対応型検出器であって、前記磁気回路部よりも前記ケーシングの線膨張係数が大きくされており、前記ケーシングの内側には凸部が設けられ、撓むことで前記検出方向に変位可能な撓み部を有し、撓ませた状態の該撓み部を介して前記検出方向で該凸部に該磁気回路部を押圧する押圧部材を備えたことにより、前記課題を解決したものである。
【０００７】
本願の請求項２に係る発明は、前記押圧部材に前記ケーシングの内側に係合して固定される固定部を有し、前記撓み部を該固定部の径方向内側で支持するようにしたものである。
【０００８】
本願の請求項３に係る発明は、前記撓み部を、前記固定部から前記径方向内側に一体的に延在させたものである。
【０００９】
本願の請求項４に係る発明は、前記撓み部の前記径方向内側の先端に前記検出方向に突出する突起部を設け、該突起部が前記磁気回路部に当接するようにしたものである。
【００１０】
本願の請求項５に係る発明は、前記撓み部を、前記固定部から前記径方向内側に一体的に延在する延在部で支持するようにしたものである。
【００１１】
本願の請求項６に係る発明は、前記磁気回路部にサマリウム系希土類コバルト磁石を用いるようにしたものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、高温環境下でも安定して検出動作が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る高温対応型検出器の一例を示す模式図
【図２】図１の押圧部材の一例を示す模式図（側断面図（Ａ）、上面図（Ｂ））
【図３】本発明の第２実施形態に係る高温対応型検出器の一例を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態の一例を詳細に説明する。
【００１５】
本発明に係る第１実施形態について、図１、図２を用いて説明する。
【００１６】
最初に、本実施形態に係る高温対応型検出器１００の構成を説明する。
【００１７】
高温対応型検出器１００は、図１に示すように、磁気回路部１０２、１０３と、可動部１０４と、ケーシング１０６と、を備える。この高温対応型検出器１００は、動電型加速度検出器であり、「導体が磁界中を運動すると導体の端末に運動速度に比例した起電力を発生する」という原理（フレミングの右手の法則）を利用しており、検出コイル１２０、１２１を支持する可動部１０４に対して電磁的にダンピング（減衰）をかけることで可動部１０４に生じる加速度に比例した電圧を出力することができる。この高温対応型検出器１００は、常温（２０℃近辺）の温度環境下だけでなく、高温環境下（例えば、１５０℃近辺）においても動作が確保される構成となっている。
【００１８】
前記磁気回路部１０２、１０３は、図１に示す如く、互いに背中合わせに配置されているが、同一形状・同一構成とされている。このため、以下、磁気回路部１０２について説明し、磁気回路部１０３については、磁気回路部１０２の構成部材の符号の下１桁目の符号をそれぞれ１増加させて、その説明を省略する。
【００１９】
磁気回路部１０２は、図１に示す如く、マグネット１１０とトッププレート１１２とバックプレート１１４とを有する。マグネット１１０は、平面視リング状の永久磁石で形成され、ケーシング１０６内に磁界を形成している。マグネット１１０は、例えばサマリウム系希土類コバルト磁石とされている。即ち、マグネット１１０のキュリー温度は７００℃以上であり、高温環境下での磁力の低下が最小限に防止されている。マグネット１１０を検出方向Ｏで挟み込むように、同じく平面視リング状に形成されたトッププレート１１２及びバックプレート１１４が配置されている。トッププレート１１２及びバックプレート１１４は、何れも鉄系の磁性材料（例えばＳＳ４００など）で形成されている。このため、磁気回路部１０２、１０３を低コストで実現することができる。なお、これに限らず、より透磁率の高い電磁鋼や純鉄（電磁軟鉄）などをトッププレート及びバックプレートに用いてもよい。磁気回路部１０２を構成するこれらの部材の線膨張係数μ１は、１０×１０-6／℃程度若しくはそれ以下とされている。詳しくは、マグネット１１０及びトッププレート１１２（バックプレート１１４）の線膨張係数はそれぞれ、８×１０-6／℃及び１２×１０-6／℃とされている。
【００２０】
トッププレート１１２は、図１に示す如く、平面視においてマグネット１１０と略同一形状のリング状である。トッププレート１１２は、マグネット１１０の上面に配設され、その内周には、外側磁極１１２Ａが形成される。そして、トッププレート１１２の外周には、ケーシング１０６の内側に設けられた凸部１３２に嵌合する凹部１１２Ｂが形成されている。凹部１１２Ｂを設けることで、トッププレート１１２を軽量化でき、且つ高温対応型検出器１００の検出方向Ｏの長さを短くすることができる。なお、トッププレート１１３もトッププレート１１２と同一の形状として互いに兼用可能とされている（必ずしもトッププレート１１３に凹部１１３Ｂは必要ではない）。
【００２１】
バックプレート１１４も、図１に示す如く、平面視リング状であって、載置部１１４Ｃと起立部１１４Ｂとを有している。載置部１１４Ｃにはマグネット１１０が載置され、起立部１１４Ｂは載置部１１４Ｃの内側部分から起立するように円筒形状に設けられている。起立部１１４Ｂの上端の外周には、外側磁極１１２Ａと対向して内側磁極１１４Ａが形成されている。外側磁極１１２Ａと内側磁極１１４Ａとの間には、平面視でリング状の隙間１１８が形成されている。その隙間１１８には、可動部１０４の検出コイル１２０が配置される。
【００２２】
前記可動部１０４は、図１に示す如く、検出コイル１２０、１２１を支持するボビン１１６、１１７と、それらを連結する連結棒１２２と、を有する。なお、２つのボビン１１６、１１７はそれぞれ、ダイヤフラムばね１２４、１２５でケーシング１０６により支持されている。即ち、可動部１０４は、磁気回路部１０２、１０３により形成される２つの磁極の間（外側磁極１１２Ａと内側磁極１１４Ａとの間）であって検出方向Ｏに移動可能に配置される検出コイル１２０、１２１を有する。ボビン１１６、１１７は、互いに背中合わせに配置されているが、同一形状・同一構成とされている。このため、以下、ボビン１１６について説明し、ボビン１１７については、ボビン１１６の構成部材の符号の下１桁目の符号をそれぞれ１増加させて、その説明を省略する。
【００２３】
ボビン１１６は、図１に示す如く、フランジ部１１６Ａとフランジ部１１６Ａに支持されるリング状の保持部１１６Ｂとを有する。保持部１１６Ｂは、アルミ、銅、銀等の非磁性で且つ比抵抗値が小さい金属材で形成されている。このため、ボビン１１６が磁界中で運動すると保持部１１６Ｂは円環形状であるためフレミングの右手と左手の法則により、速度に比例し逆方向に働く力が発生して、ボビン１１６の動きにダンピング（減衰）をかける（過減衰できる）ようになっている。保持部１１６Ｂの線膨張係数μ２は、２３．６×１０-6／℃とされている。
【００２４】
検出コイル１２０は、保持部１１６Ｂに巻回されたコイルであり、外側磁極１１２Ａと内側磁極１１４Ａにより形成されたリング状の隙間１１８に配置される。検出コイル１２０から出力される電圧は、アナログ信号として出力される。
【００２５】
２つのボビン１１６、１１７は、互いのフランジ部１１６Ａ、１１７Ａの軸中心で連結棒１２２により連結されている。そして、その連結棒１２２は、バックプレート１１４、１１５の起立部１１４Ｂ、１１５Ｂを貫通している。即ち、２つの磁気回路部１０２、１０３は、連結棒１２２により２つのボビン１１６、１１７に挟まれる形態とされている。連結棒１２２の線膨張係数μ２（保持部１１６Ｂと同じ）は、ケーシング１０６と同一とされており、例えば、アルミ等の非磁性金属材で形成されている。
【００２６】
ダイヤフラムばね１２４、１２５は、渦巻き形状に形成されており、一端がケーシング１０６の内側に固定され、他端がボビン１１６、１１７のフランジ部１１６Ａ、１１７Ａに接続されている。そして、ダイヤフラムばね１２４、１２５は、可動部１０４を検出方向Ｏに移動可能に支持している。ダイヤフラムばね１２４、１２５は、コバルト、ニッケル、クロム、モリブデンを主成分とした高温環境下での熱へたりを抑制できる非磁性恒弾性材で形成されている。ダイヤフラムばね１２４、１２５は、ボビン１１６、１１７の変位に応じて、所定のばね定数により導出されるばね力をボビン１１６、１１７に付与する。
【００２７】
前記ケーシング１０６は、磁気回路部１０２、１０３と可動部１０４とを収納している。ケーシング１０６は、筒状部材１２６と筒状部材１２６の上下を密封する蓋部材１２８、１３０とを有する。筒状部材１２６と蓋部材１２８、１３０も、連結棒１２２と同一のアルミなどの非磁性金属材で形成されており、その線膨張係数μ３（＝μ２）は、２３．６×１０-6／℃程度とされている（磁気回路部１０２、１０３の線膨張係数μ１よりもケーシング１０６の線膨張係数μ３が大きくされている（μ１＜μ３）。即ち、ケーシング１０６と連結棒１２２とは同一の熱膨張量となり、高温環境下では検出方向Ｏで同一の熱膨張量（伸び）を示す。筒状部材１２６の内側には、リング状に凸部１３２が一体的に設けられている。そして、凸部１３２の位置から検出方向Ｏの所定の距離で筒状部材１２６の内側に、雌螺子部１２６Ａが設けられている。雌螺子部１２６Ａにより、押圧部材１３４が固定される。
【００２８】
押圧部材１３４は、図１、図２（Ａ）、（Ｂ）に示す如く、平面視リング状とされ、固定部１３４Ａと撓み部１３４Ｂとを有する。押圧部材１３４は、ケーシング１０６と同一のアルミなどの非磁性金属材で形成されており、線膨張係数μ３は、２３．６×１０-6／℃程度とされている（ケーシング１０６と同一の線膨張係数）。固定部１３４Ａには、雌螺子部１２６Ａに螺合する雄螺子部１３４Ｃが外周に設けられている。即ち、押圧部材１３４は、ケーシング１０６の内側に係合して固定される固定部１３４Ａを有する。撓み部１３４Ｂは固定部１３４Ａから径方向内側に一体的に延在している（このため押圧部材１３４は、プリロードスプリングとも称する）。つまり、撓み部１３４Ｂは、固定部１３４Ａの径方向内側で支持されている。撓み部１３４Ｂは、撓むことで検出方向Ｏに変位可能とされている。撓み部１３４Ｂには、固定部１３４Ａの近傍から径方向の中心に向かって複数本のスリット１３４Ｆが形成され、図２（Ｂ）の平面視でもスリット１３４Ｆで分離された撓み部１３４Ｂの個々の部分の幅Ｗは先細りの形状とされている。同時に、図１、図２（Ａ）に示す如く、固定部１３４Ａの近傍から径方向内側の中心に向かって、撓み部１３４Ｂの検出方向Ｏの厚みＴも(突起部１３４Ｄを除いて)徐々に薄くなるようにされている。このため、撓み部１３４Ｂは、検出方向Ｏに対して撓みやすく、且つ撓んだ際に固定部１３４Ａ近傍に応力集中が生じることを回避している。これにより、押圧部材１３４の塑性変形を生じにくくし、撓み部１３４Ｂの撓んだ状態からの復元力の低下を低減することができる。撓み部１３４Ｂの径方向内側の先端には、検出方向Ｏに突出する突起部１３４Ｄが設けられている。そして、突起部１３４Ｄの上面１３４ＤＡが磁気回路部１０３のトッププレート１１３に当接するようにされている。なお、符号１３４Ｇは、押圧部材１３４を筒状部材１２６の雌螺子部１２６Ａに螺合させて固定する際に、押圧部材１３４を回転させるための治具を嵌合させる貫通孔である。
【００２９】
次に、高温対応型検出器１００の組立手順を説明する。
【００３０】
まず、筒状部材１２６の内側に２つの磁気回路部１０２、１０３を背中合わせとした状態で配置させる。このとき、トッププレート１１２の凹部１１２Ｂを、筒状部材１２６の凸部１３２に嵌合させる。
【００３１】
次に、筒状部材１２６の内側に押圧部材１３４を係合させて、ケーシング１０６に対してがたつかないように磁気回路部１０２、１０３を固定する。即ち、押圧部材１３４は、撓ませた状態の撓み部１３４Ｂを介して検出方向Ｏで凸部１３２に磁気回路部１０２、１０３を押圧する（プリロードする）。このときの撓み部１３４Ｂの検出方向Ｏの撓み量は、高温環境下で生じる、検出方向Ｏにおけるケーシング１０６の熱膨張量と磁気回路部１０２、１０３の熱膨張量との差よりも大きくされている。同時に、その撓み量は、その高温環境下で、検出対象となる加速度が加わった際でも、ケーシング１０６に対して磁気回路部１０２、１０３ががたつかないような復元力を生じさせる撓み量とされている。
【００３２】
次に、可動部１０４を組み込む。即ち、予めボビン１１６、１１７を組み立てた状態としておき、磁気回路部１０２、１０３を挟み込むように、ボビン１１６、１１７を連結棒１２２で連結する。また、ボビン１１６、１１７それぞれを筒状部材１２６の内側で支持させるために、ダイヤフラムばね１２４、１２５を取り付ける。
【００３３】
そして、筒状部材１２６に蓋部材１２８、１３０を取り付けて、高温対応型検出器１００を密封させる。
【００３４】
このように、本実施形態においては、磁気回路部１０２、１０３の線膨張係数μ１よりもケーシング１０６の線膨張係数μ３が大きくされている（μ１＜μ３）。このため、高温対応型検出器１００を組立環境（常温）下から高温環境（約１５０℃）下に置くと、約１３０℃近くの温度変化を受ける。このため、例えば、検出方向Ｏでは、磁気回路部１０２、１０３が熱膨張量の差でケーシング１０６よりも短くなる（例えば、５０μｍ程度）。つまり従来であれば、熱膨張量の観点から、５０℃程度（高温対応としてもせいぜい８０℃程度）の温度環境下での検出動作しか期待出来なかった。しかしながら、高温対応型検出器１００は、撓ませた状態の撓み部１３４Ｂを介して検出方向Ｏで凸部１３２に磁気回路部１０２、１０３を押圧する押圧部材１３４を備えている。即ち、撓み部１３４Ｂの撓み量で上記熱膨張量の差で生じる可能性のあった（磁気回路部１０２、１０３とケーシング１０６との間の）隙間を排除することが可能となる。このため、高温環境下で検出対象となる加速度範囲においても、ケーシング１０６に対して磁気回路部１０２、１０３ががたつくことを防止することができる。つまり、高温環境下で、がたつきによって生じる加速度の誤検出（加速度の吸収を含む）や検出精度低下したりすることを防止することができる。
【００３５】
そして、本実施形態においては、押圧部材１３４がケーシング１０６の内側に係合して固定される固定部１３４Ａを有し、撓み部１３４Ｂが固定部１３４Ａの径方向内側で支持されている。このため、押圧部材１３４は、撓み部１３４Ｂの撓み量とは無関係に、固定部１３４Ａで安定して固定される。もちろん、本発明はこれに限定されることなく、撓み量に関連して押圧部材が固定されるような構成であってもよい。
【００３６】
また、本実施形態においては、撓み部１３４Ｂが固定部１３４Ａから径方向内側に一体的に延在している。このため、押圧部材１３４の部品点数を少なくでき、その構成も単純にすることができ、押圧部材１３４を低コスト且つ小型にすることが可能である。
【００３７】
また、本実施形態においては、更に、撓み部１３４Ｂの径方向内側の先端に検出方向Ｏに突出する突起部１３４Ｄが設けられ、突起部１３４Ｄの上面１３４ＤＡを磁気回路部１０３に当接させている。即ち、突起部１３４Ｄが固定部１３４Ａから最も離れた径方向内側で磁気回路部１０３を押圧することとなる。つまり、撓み部１３４Ｂのリーチを長くできるので、撓み部１３４Ｂの撓み量を大きくとることができる。このため、磁気回路部１０２、１０３とケーシング１０６との熱膨張量の差が大きくてもその差を十分に吸収することができる。同時に、温度が変化しても、突起部１３４Ｄで磁気回路部１０３を押圧する位置をほとんど変化させずに済むので、押圧部材１３４による押圧力を一定に維持することが容易となる。もちろん、本発明はこれに限定されることなく、突起部が存在しないような撓み部の形状であってもよい。
【００３８】
また、本実施形態においては、磁気回路部１０２、１０３にはサマリウム系希土類コバルト磁石を用いている。このため、高温環境下でも、磁力の低下を最小限にでき、磁気回路部１０２、１０３に強力な磁界を発生させることができ、検出精度及び検出感度の低下を防止することができる。
【００３９】
また、本実施形態においては、連結棒１２２及び押圧部材１３４がケーシング１０６と同一の材料である。即ち、これらの部材の熱膨張量は同一である。このため、検出方向Ｏにおけるケーシング１０６と可動部１０４との位置関係は温度変化に関わらず一定とされている。即ち、温度変化に対しては、ケーシング１０６に対してのみ磁気回路部１０２、１０３の位置変化や熱膨張量の差を考慮すればいいので、高温対応型検出器１００の設計、及び検出された加速度の解析が容易となる。同時に、温度が変わってもダイヤフラムばね１２４、１２５の接続位置の関係が変わらないので、温度変化によるダイヤフラムばね１２４、１２５のばね力の不要な変化を防止することができる。そして、ケーシング１０６に対する押圧部材１３４の固定に対して、温度変化で不具合などが生じる可能性も低減することができる。
【００４０】
即ち、本実施形態においては、高温環境下でも安定した検出動作が可能となる。
【００４１】
本発明について第１実施形態を挙げて説明したが、本発明は第１実施形態に限定されるものではない。即ち本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでもない。
【００４２】
例えば、第１実施形態においては、撓み部１３４Ｂが固定部１３４Ａから径方向内側に一体的に延在していたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図３に示す第２実施形態の如く、撓み部２３４Ｂが固定部２３４Ａから径方向内側に一体的に延在する延在部２３４Ｄで支持されていてもよい。なお、第２実施形態では、押圧部材２３４のみが第１実施形態とは異なるので、主に押圧部材２３４について説明し、他の要素については符号の下２桁を同一として説明を省略する。
【００４３】
押圧部材２３４は、図３に示す如く、平面視リング状とされ、固定部２３４Ａと撓み部２３４Ｂと延在部２３４Ｄとを有する。押圧部材２３４は、ケーシング２０６と同一のアルミなどの非磁性金属材で形成されており、線膨張係数μ３は、２３．６×１０-6／℃程度とされている（ケーシング２０６と同一の線膨張係数）。固定部２３４Ａには、雌螺子部に螺合する雄螺子部２３４Ｃが外周に設けられている。撓み部２３４Ｂは、上述の如く、固定部２３４Ａから径方向内側に一体的に延在する延在部２３４Ｄで支持されている。延在部２３４Ｄ自体は、押圧部材２３４による押圧で変形することがないように肉厚に形成されている。撓み部２３４Ｂは、平面視リング状の波形座金であり、撓むことで検出方向Ｏに変位可能とされている。そして、撓み部２３４Ｂが磁気回路部２０３のトッププレート２１３の凹部２１３Ｂに丁度当接するようにされている。
【００４４】
このため、本実施形態においては、撓み部２３４Ｂだけの交換が可能であり、例えば、押圧部材２３４による押圧力の変更や調整を撓み部２３４Ｂだけの交換で実現することができる。
【００４５】
なお、上記実施形態においては、非磁性金属材として主にアルミを想定していたが、本発明では、これに限定されず、銅（リン青銅などの銅合金を含む）や非磁性のステンレス等であってもよい。
【００４６】
また、上記実施形態においては、高温対応型検出器が動電型加速度検出器であったが、本発明はこれに限定されない。例えば、逆起電圧を生じない非金属材とされており、可動部がダンピングされない動電型速度検出器であってもよい。そもそも動電型の検出器である必要はなく、可動部の位置を中立位置に保つように可動部の位置をサーボ制御するサーボ型の検出器であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、磁気回路部と、該磁気回路部により形成される２つの磁極の間であって検出方向に移動可能に配置される検出コイルを有する可動部と、該磁気回路部と該可動部とを収納するケーシングと、を備える高温対応型検出器に広く適用することができる。
【符号の説明】
【００４８】
１００、２００…高温対応型検出器
１０２、１０３、２０２、２０３…磁気回路部
１０４、２０４…可動部
１０６、２０６…ケーシング
１１０、１１１…マグネット
１１２、１１３、２１２、２１３…トッププレート
１１４、１１５…バックプレート
１１６、１１７…ボビン
１１６Ａ、１１７Ａ…フランジ部
１１６Ｂ、１１７Ｂ…保持部
１１８、１１９…隙間
１２０、１２１…検出コイル
１２２…連結棒
１２４、１２５…ダイヤフラムばね
１２６、２２６…筒状部材
１２８、１３０…蓋部材
１３２、２３２…凸部
１３４、２３４…押圧部材
１３４Ａ、２３４Ａ…固定部
１３４Ｂ、２３４Ｂ…撓み部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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