(57)【要約】      （修正有）【課題】良質な電気機械変換膜を形成するために使用する機能性インクを提供する。【解決手段】親水性領域に、機能性インク膜５２が形成される。機能性インク５２は、電気機械変換膜を形成する際に、使用する機能性インクであって、前駆体ゾルゲル溶液の主溶媒と異なる副溶媒を含み、乾燥速度の対主溶媒比が、７５％以下である。機能性インク膜５２に対して、加熱処理が施され、加熱処理された機能性インク膜５３が形成される。加熱処理により、ＳＡＭ膜５０は、消失する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気機械変換膜を形成する際に、使用する機能性インクであって、
前駆体ゾルゲル溶液の主溶媒と異なる副溶媒を含み、
乾燥速度の対前記主溶媒比が、７５％以下である機能性インク。
【請求項２】
電気機械変換膜を形成する際に、使用する機能性インクであって、
前駆体ゾルゲル溶液の主溶媒と異なる副溶媒を含み、
乾燥速度の対前記主溶媒比が、５０％以上７５％以下である機能性インク。
【請求項３】
前記副溶媒は、前記前駆体ゾルゲル溶液と相溶性がある
請求項１又は２記載の機能性インク。
【請求項４】
前記副溶媒の沸点は、前記主溶媒の沸点より高い
請求項１乃至３の何れか一項記載の機能性インク。
【請求項５】
前記副溶媒は、アルコール類、グリコール類、エーテル類の中の少なくとも一つの材料を含む
請求項１乃至４の何れか一項記載の機能性インク。
【請求項６】
表面が親水性領域と疎水性領域に分かれる電極と、
機能性インクを前記親水性領域に塗布して形成される電気機械変換膜と、を有し、
前記機能性インクは、前駆体ゾルゲル溶液の主溶媒と異なる副溶媒を含み、乾燥速度の対前記主溶媒比が、７５％以下である電気機械変換素子。
【請求項７】
インクジェット方式により前記電気機械変換膜を形成する請求項６記載の電気機械変換素子。
【請求項８】
請求項６又は７記載の電気機械変換素子を備えた液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項８記載の液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置。
【請求項１０】
請求項６又は７記載の電気機械変換素子を備えた偏向ミラー。
【請求項１１】
請求項６又は７記載の電気機械変換素子を備えた加速度センサ。
【請求項１２】
請求項６又は７記載の電気機械変換素子を備えたＨＤＤヘッド用微調整装置。
【請求項１３】
請求項６又は７記載の電気機械変換素子を備えた強誘電体メモリ素子。
【請求項１４】
請求項６又は７記載の電気機械変換素子を備えた角速度センサ。
【請求項１５】
請求項６又は７記載の電気機械変換素子を備えたマイクロポンプ。
【請求項１６】
請求項６又は７記載の電気機械変換素子を備えたマイクロバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能性インク、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、及びインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像記録装置或いは画像形成装置として使用されるインクジェット記録装置及び液滴吐出ヘッドに関して、インク滴を吐出するノズルと、ノズルが連通する圧力室と、圧力室内のインクを加圧する圧電素子等の電気機械変換素子とを有するものが知られている。
【０００３】
電気機械変換素子は、例えば、下部電極上に電気機械変換膜及び上部電極を積層した構造を有する。薄膜である電気機械変換膜は、例えば、スパッタリング法、ＭＯＣＶＤ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、ゾルゲル法、エアロゾルデポジション法等により製造できる。
【０００４】
ここで、一例としてゾルゲル法を用いた電気機械変換膜の製造方法について説明する。まず、下部電極上に疎水性膜のパターンを形成する。下部電極上の疎水性膜のパターンが形成されていない部分は親水性である。次に、下部電極上の親水性部分（疎水性膜のパターンが形成されていない部分）のみに電気機械変換膜の前駆体塗膜を形成し熱処理を行う。この熱処理により、疎水性膜のパターンは消失する。
【０００５】
前駆体塗膜は、例えば、インクジェット方式により形成できる。インクジェットヘッドから吐出する微小なインク液滴（機能性インク）を、直接、親水性部分に着弾させることで、該液滴は、濡れ広がり前駆体塗膜となる。機能性インクの液質（粘度、表面張力、乾燥速度等）は、液滴の着弾パターン等に影響を及ぼす。例えば、粘度が低いと、パターン外にミストが付着する（表１参照）。
【０００６】
【表１】
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ゾルゲル法を用いて、前駆体を、超音波により気化させた後、加熱・冷却を繰り返して分解させることで、基材の表面にクラックやボイドのない高品質な薄膜を形成する技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
又、金属複合酸化物及び有機溶媒を含み、粘度が３〜１３ｍＰａ・ｓ、表面張力が３０±５ｍＮ／ｍ、乾燥速度の対純水比が７０〜８０％の前駆体ゾルゲル溶液を使用することで、インクジェットヘッドの吐出を安定化させる技術が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
機能性インクの乾燥速度が速いと、インクジェットヘッドの吐出信頼性が低下し、電気機械変換膜の品質が悪化する。
【０００９】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、良質な電気機械変換膜を形成するために使用する機能性インクを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本実施の形態の機能性インクは、電気機械変換膜を形成する際に、使用する機能性インクであって、前駆体ゾルゲル溶液の主溶媒と異なる副溶媒を含み、乾燥速度の対主溶媒比が、７５％以下であることを要件とする。
【発明の効果】
【００１１】
本実施の形態によれば、良質な電気機械変換膜を形成するために使用する機能性インクを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態１に係る液滴吐出ヘッドを例示する断面図である。
【図２】実施の形態１に係る液滴吐出ヘッドを例示する断面図である。
【図３】実施の形態１に係る薄膜製造装置を例示する斜視図である。
【図４】実施の形態１に係る薄膜製造工程を例示する図である。
【図５】実施の形態１に係る薄膜製造工程を例示する図である。
【図６】実施の形態１に係る薄膜製造工程を例示する図である。
【図７】実施の形態２に係るインクジェット記録装置を例示する斜視図である。
【図８】実施の形態２に係るインクジェット記録装置の、機構部を例示する側面図である。
【図９】実施の形態３に係る偏向ミラーを例示する斜視図である。
【図１０】実施の形態４に係る加速度センサを例示する断面図である。
【図１１】実施の形態５に係るＨＤＤヘッド用微調整装置を例示する斜視図である。
【図１２】実施の形態６に係る強誘電体メモリ素子を例示する断面図である。
【図１３】実施の形態７に係る角速度センサを例示する斜視図である。
【図１４】実施の形態８に係るマイクロポンプを例示する斜視図である。
【図１５】実施の形態９に係るマイクロバルブを例示する断面図である。
【図１６】前駆体ゾルゲル溶液の合成の流れを例示する図である。
【図１７】本実施例で作製した電気機械変換膜を示す写真である。
【図１８】本実施例で作製した電気機械変換膜の距離と膜厚との関係を示すグラフ及び３次元形状を示す斜視図である。
【図１９】本実施例で作製した電気機械変換膜の距離と膜厚との関係を示すグラフ及び３次元形状を示す斜視図である。
【図２０】本実施例で作製した電気機械変換素子のＰ−Ｅヒステリシス曲線を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面及び表を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１４】
本明細書において、「主溶媒」とは、前駆体ゾルゲル溶液で使用されている溶媒を指すものとする。
【００１５】
又、本明細書において、「副溶媒」とは、主溶媒と異なり、前駆体ゾルゲル溶液と相溶性がある溶媒を指すものとする。
【００１６】
又、本明細書において、「乾燥速度の対主溶媒比」とは、主溶媒が添加された機能性インクの乾燥速度（１００％）に対する主溶媒及び副溶媒が添加された機能性インクの乾燥速度の比率を指すものとする。
【００１７】
〈第１の実施の形態〉
［薄膜］
まず、第１の実施の形態に係る薄膜製造装置及び薄膜製造方法で製造される薄膜の一例として、電気機械変換素子を構成する電気機械変換膜について説明する。なお、第１の実施の形態に係る薄膜製造装置及び薄膜製造方法で製造可能な薄膜が電気機械変換膜に限定されないことは言うまでもない。
【００１８】
電気機械変換素子は、例えば、インクジェット記録装置において使用する液滴吐出ヘッドの構成部品として用いられる。図１は、電気機械変換素子を用いた液滴吐出ヘッドを例示する断面図である。
【００１９】
図１を参照するに、液滴吐出ヘッド１は、ノズル板１０と、圧力室基板２０と、振動板３０と、電気機械変換素子４０とを有する。ノズル板１０には、インク滴を吐出するノズル１１が形成されている。ノズル板１０、圧力室基板２０、及び振動板３０により、ノズル１１に連通する圧力室２１（インク流路、加圧液室、加圧室、吐出室、液室等と称される場合もある）が形成されている。振動板３０は、インク流路の壁面の一部を形成している。
【００２０】
電気機械変換素子４０は、密着層４１と、下部電極４２と、電気機械変換膜４３と、上部電極４４とを含んで構成され、圧力室２１内のインクを加圧する機能を有する。密着層４１は、例えばＴｉ、ＴｉＯ２、ＴｉＮ、Ｔａ、Ｔａ２Ｏ５、Ｔａ３Ｎ５等からなる層であり、下部電極４２と振動板３０との密着性を向上する機能を有する。但し、密着層４１は、電気機械変換素子４０の必須の構成要素ではない。
【００２１】
電気機械変換素子４０において、下部電極４２と上部電極４４との間に電圧が印加されると、電気機械変換膜４３が機械的に変位する。電気機械変換膜４３の機械的変位にともなって、振動板３０が例えば横方向（ｄ３１方向）に変形変位し、圧力室２１内のインクを加圧する。これにより、ノズル１１からインク滴を吐出させることができる。
【００２２】
なお、図２に示すように、液滴吐出ヘッド１を複数個並設し、液滴吐出ヘッド２を構成することもできる。
【００２３】
電気機械変換膜４３の材料としては、例えば、ＰＺＴを用いることができる。ＰＺＴとはジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３）とチタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）の固溶体である。例えば、ＰｂＺｒＯ３とＰｂＴｉＯ３の比率が５３：４７の割合で、化学式で示すとＰｂ（Ｚｒ０．５３、Ｔｉ０．４７）Ｏ３、一般にはＰＺＴ（５３／４７）と示されるＰＺＴ等を使用することができる。ＰｂＺｒＯ３とＰｂＴｉＯ３の比率によって、ＰＺＴの特性が異なる。
【００２４】
電気機械変換膜４３としてＰＺＴを使用する場合、出発材料に酢酸鉛三水和物、ジルコニウムアルコキシド化合物、チタンアルコキシド化合物を使用しても良い。これらの出発材料を、共通溶媒（主溶媒）に溶解させることで、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液を作製し、更に、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒及び副溶媒を添加することで、機能性インクを作製する。酢酸鉛三水和物、ジルコニウムアルコキシド化合物、チタンアルコキシド化合物の混合量は、所望のＰＺＴの組成（ＰｂＺｒＯ３とＰｂＴｉＯ３の比率）に応じて、当業者が適宜選択できるものである。なお、金属アルコキシド化合物は、大気中の水分により容易に分解する。そのため、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に、安定剤としてアセチルアセトン、酢酸、ジエタノールアミン等を添加してもよい。
【００２５】
主溶媒の材料としては、２−メトキシエタノール、２−ｎ−ブトキシエタノール、２−プロパノール（イソプロピルアルコール）等が挙げられる。
【００２６】
副溶媒の材料としては、主溶媒の沸点より高い沸点を有する材料であり、アルコール類、グリコール類、エーテル類、アミン系材料等を用いることが好ましい。具体的には、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ｎ−ドテシルアルコール、ｎ−ノニルアルコール、エチレングリコール、プロピレングリコールモノブチルエーテル、等が挙げられる。
【００２７】
主溶媒及び副溶媒の材料、主溶媒と副溶媒の体積比、副溶媒の数、副溶媒間の体積比等を、適宜選択することが好ましい。
【００２８】
電気機械変換膜４３の材料として、例えば、チタン酸バリウム等を用いても構わない。この場合は、バリウムアルコキシド化合物、チタンアルコキシド化合物を出発材料にし、共通溶媒に溶解させることでチタン酸バリウム前駆体ゾルゲル溶液を作製することが可能である。又、例えば、チタン酸バリウムとビスマスペロブスカイトの固溶体等を用いても構わない。
【００２９】
これら材料は一般式ＡＢＯ３で記述され、Ａ＝Ｐｂ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｂｉ  Ｂ＝Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｍｇ、Ｎｂを主成分とする複合酸化物が該当する。その具体的な記述として（Ｐｂ１−ｘ、Ｂａ）（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ３、（Ｐｂ１−ｘ、Ｓｒ）（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ３、と表され、これはＡサイトのＰｂを一部ＢａやＳｒで置換した場合である。このような置換は２価の元素であれば可能であり、その効果は熱処理中の鉛の蒸発による特性劣化を低減させる作用を示す。
【００３０】
電気機械変換膜４３を形成する際に、上述のいずれの材料を用いる場合であっても、機能性インクにおける乾燥速度の対主溶媒比が、７５％以下であることが好ましく、５０％以上７５％以下であることがより好ましい。５０％以上７５％以下であることで、タクトタイムを速め、生産効率を向上させることができる。
【００３１】
詳細は後述するが、乾燥速度の対主溶媒比が、７５％以下である機能性インクを利用することで、インクジェットヘッドの吐出信頼性を高めることができる。その結果、良質な電気機械変換膜を得易くなる。
【００３２】
下部電極４２の材料としては、高い耐熱性を有し、下記に示すアルカンチオールとの反応により、ＳＡＭ膜を形成する金属等を用いることができる。具体的には、低い反応性を有するルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）、プラチナ（Ｐｔ）等の白金族金属や、これら白金族金属を含む合金材料等を用いることができる。
【００３３】
又、これらの金属層を作製した後に、導電性酸化物層を積層して使用することも可能である。導電性酸化物としては、具体的には、化学式ＡＢＯ３で記述され、Ａ＝Ｓｒ、Ｂａ、Ｃａ、Ｌａ、  Ｂ＝Ｒｕ、Ｃｏ、Ｎｉ、を主成分とする複合酸化物があり、ＳｒＲｕＯ３やＣａＲｕＯ３、これらの固溶体である（Ｓｒ１−ｘ  Ｃａｘ）Ｏ３のほか、ＬａＮｉＯ３やＳｒＣｏＯ３、更にはこれらの固溶体である（Ｌａ，  Ｓｒ）（Ｎｉ１−ｙ  Ｃｏｙ）Ｏ３  （ｙ＝１でも良い）が挙げられる。それ以外の酸化物材料として、ＩｒＯ２、ＲｕＯ２も挙げられる。
【００３４】
下部電極４２は、例えば、スパッタ法や真空蒸着等の真空成膜法等の方法により作製することができる。下部電極４２は、電気機械変換素子４０に信号入力する際の共通電極として電気的接続をするので、その下部にある振動板３０は絶縁体又は表面が絶縁処理された導体を用いることができる。
【００３５】
振動板３０の具体的な材料としては、例えば、シリコンを用いることができる。又、振動板３０（後述する基板３１）の表面を絶縁処理する具体的な材料としては、例えば、厚さ約数百ｎｍ〜数μｍ程度のシリコン酸化膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜又はこれらの膜を積層した膜等を用いることができる。又、熱膨張差を考慮し、酸化アルミニウム膜、ジルコニア膜等のセラミック膜を用いてもよい。振動板３０の表面を絶縁処理するシリコン系絶縁膜は、ＣＶＤ法やシリコンの熱酸化処理等により形成できる。又、振動板３０の表面を絶縁処理する酸化アルミニウム膜等の金属酸化膜は、スパッタリング法等により形成できる。
【００３６】
［薄膜製造装置］
次に、第１の実施の形態に係る薄膜製造装置の構造について説明する。図３は、第１の実施の形態に係る薄膜製造装置を例示する斜視図である。図３を参照するに、薄膜製造装置３において、架台６０上には、Ｙ軸駆動手段６１が設置されている。Ｙ軸駆動手段６１上には、基板６３を搭載するステージ６２が、Ｙ軸方向に駆動できるように設置されている。
【００３７】
なお、ステージ６２には通常、真空又は静電気等を利用した図示しない吸着手段が付随されており、これにより基板６３を固定することができる。
【００３８】
又、架台６０上には、Ｘ軸駆動手段６６を支持するためのＸ軸支持部材６５が設置されている。Ｘ軸駆動手段６６には、ヘッドベース６８が取り付けられており、Ｘ軸方向に駆動できるように設置されている。ヘッドベース６８の上には、機能性インクを吐出させるインクジェットヘッド６９が搭載されている。インクジェットヘッド６９には図示しない各インクタンクから機能性インク材料供給用パイプ６７を介して機能性インクが供給される。
【００３９】
なお、図３は、ステージ６２がＹ方向の１軸の自由度を有し、インクジェットヘッド６９がＸ方向の１軸の自由度を有する構成を示しているが、この形態には限定されない。例えば、ステージ６２がＸ及びＹ方向の２軸の自由度を有し、インクジェットヘッド６９を固定する構成であっても良い。又、ステージ６２がＹ方向の１軸の自由度を有し、インクジェットヘッド６９をＹ軸方向に一列に並べる構成であっても良い。
【００４０】
又、基板６３を固定し、インクジェットヘッド６９がＸ及びＹ方向の２軸の自由度を有する構成であっても良い。又、Ｘ軸及びＹ軸は、Ｘ軸及びＹ軸ベクトルにより、１平面を表現できれば直交する必要はなく、例えば、Ｘ軸ベクトルとＹ軸ベクトルは３０度、４５度、６０度の角度を有しても良い。
【００４１】
薄膜製造装置３は、図示しない装置制御部を有し、インクジェットヘッド６９の機能性インクの吐出条件を制御することができる。又、装置制御部は図示しない記録部を有し、機能性インクの結晶状態等を記録部に記録することができる。
【００４２】
［薄膜製造方法］
次に、第１の実施の形態に係る薄膜製造方法について説明する。ここでは、薄膜として図１に示す電気機械変換膜４３を作製する例を示す。
【００４３】
まず、図４（Ａ）に示す工程では、基板３１の表面に、密着層４１、下部電極層４６、フォトレジスト層４５を、順次積層する。下部電極層４６は、２層で形成され、例えば、下層に白金（Ｐｔ）を、上層にランタン酸ニッケル（ＬａＮｉＯ３）を用いることができる。
【００４４】
次に、図４（Ｂ）に示す工程では、公知のフォトリソグラフィ法により、フォトレジスト層４５をパターニングし、レジストパターンを形成する。該レジストパターンと重ならない下部電極層４６の上層４８を、ドライエッチング等により除去することで、下部電極層４６の下層４７表面の一部を露出させる。なお、レジストパターンは、図１に示す圧力室２１のレイアウトに合わせて形成される。
【００４５】
次に、図４（Ｃ）に示す工程では、残存するレジストパターンを除去する。これにより、下層電極４７表面に所定パターンを有する上層電極４８を備える下部電極４２が形成される。
【００４６】
次に、図４（Ｄ）に示す工程では、下部電極４２が形成された基板の表面全体に表面処理が施され、下層電極４７表面に、ＳＡＭ（Ｓｅｌｆ  Ａｓｓｅｍｂｌｅｄ  Ｍｏｎｏｌａｙｅｒ）膜５０が形成される。
【００４７】
具体的には、下部電極４２が形成された基板をアルカンチオール等からなるＳＡＭ材料で浸漬処理する。下層電極４７表面に、ＳＡＭ材料が反応しＳＡＭ膜５０が付着することで、下層電極４７表面を撥水化することができる。アルカンチオールは、分子鎖長により反応性や疎水（撥水）性が異なるが、通常、炭素数６〜１８の分子を、アルコール、アセトン又はトルエン等の有機溶媒に溶解させて作製する。通常、アルカンチオールの濃度は数ミリモル／リットル程度である。所定時間後に、基板を取り出し、余剰な分子を溶媒で置換洗浄し、乾燥する。
【００４８】
ＳＡＭ膜５０が形成されている領域は、疎水性領域となる。一方、上層電極４８表面が露出している領域は、親水性領域となる。この表面エネルギーのコントラストを利用して、下記で詳述する機能性インク５１の塗り分けが可能となる。
【００４９】
次に、図５（Ａ）に示す工程では、薄膜製造装置３のステージ６２上に、表面処理が施された基板（図４（Ｄ）の基板に相当）を載置する。そして、周知のアライメント装置（ＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラ等）等を用いて、該基板の位置や傾き等をアライメントする。
【００５０】
そして、インクジェットヘッド６９をＸ軸に駆動させ、基板が載置されたステージ６２をＹ軸に駆動させて、ステージ６２上にインクジェットヘッド６９を配置する。そして、インクジェットヘッド６９から、親水性領域に機能性インク５１を吐出させる。なお、機能性インク５１において、乾燥速度の対主溶媒比は、７５％以下であることが好ましく、５０％以上７５％以下であることがより好ましい。
【００５１】
次に、図５（Ｂ）に示す工程では、親水性領域に、機能性インク膜５２が形成される。機能性インク５１は、表面エネルギーのコントラストにより、親水性領域のみに濡れ広がる。
【００５２】
次に、図５（Ｃ）に示す工程では、機能性インク膜５２に対して、加熱処理が施され、加熱処理された機能性インク膜５３が形成される。第1の加熱処理により、機能性インク膜５２の溶媒を蒸発させ、第２の加熱処理により、機能性インク膜５２に含まれる有機物を熱分解させる。なお、この加熱処理により、ＳＡＭ膜５０は、消失する。
【００５３】
次に、図６（Ａ）に示す工程では、ＳＡＭ膜５０が消失した基板を、イソプロピルアルコールにて洗浄する。そして、図４（Ｄ）に示す工程と同様に、再び、下層電極４７表面に、ＳＡＭ膜５０が形成される。
【００５４】
次に、図６（Ｂ）に示す工程では、図５（Ａ）に示す工程と同様に、インクジェットヘッド６９から加熱処理された機能性インク膜５３表面（親水性領域）に、再び、機能性インク５１を吐出させる。
【００５５】
次に、図６（Ｃ）に示す工程では、図５（Ｂ）に示す工程と同様に、加熱処理された機能性インク膜５３表面（親水性領域）に、再び、機能性インク膜５２が形成される。機能性インク５１は、表面エネルギーのコントラストにより、親水性領域のみに濡れ広がる。
【００５６】
次に、図６（Ｄ）に示す工程では、図５（Ｃ）に示す工程と同様に、機能性インク膜５２に対して、加熱処理が施される。第１の加熱処理により、機能性インク膜５２の溶媒を蒸発させ、第２の加熱処理により、機能性インク膜５２に含まれる有機物を熱分解させる。
【００５７】
更に、第３の加熱処理により、加熱処理された機能性インク膜を結晶化させる。
【００５８】
図６（Ｄ）に示す工程で形成される、結晶化した機能性インク膜５４の膜厚は、数１０ｎｍ程度である。この膜厚では、電気機械変換膜として、不十分であるため、図６（Ｄ）に示す工程の後、更に、図４（Ｄ）から図６（Ｄ）までの工程を必要回数繰り返す。これにより、結晶化した機能性インク膜５４が積層され、下部電極４２上に、所定のパターンと厚さ（１００μｍ以下であることが好ましい。）を有する結晶化した機能性インク膜、すなわち電気機械変換膜４３が作製される。
【００５９】
上述の薄膜製造方法により作製される電気機械変換膜４３は、良好な品質を有する。
【００６０】
〈第２の実施の形態〉
第２の実施の形態では、薄膜製造装置３で製造した液滴吐出ヘッド１（図１参照）を搭載したインクジェット記録装置の例を示す。図７は、インクジェット記録装置を例示する斜視図である。図８は、インクジェット記録装置の機構部を例示する側面図である。
【００６１】
図７及び図８を参照するに、インクジェット記録装置４は、記録装置本体８１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ９３、キャリッジ９３に搭載した液滴吐出ヘッド１の一実施形態であるインクジェット記録ヘッド９４、インクジェット記録ヘッド９４へインクを供給するインクカートリッジ９５等で構成される印字機構部８２等を収納する。
【００６２】
記録装置本体８１の下方部には、多数枚の用紙８３を積載可能な給紙カセット８４（或いは給紙トレイでもよい）を抜き差し自在に装着することができる。又、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができる。給紙カセット８４或いは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部８２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。
【００６３】
印字機構部８２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向に摺動自在に保持する。キャリッジ９３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッド９４を、複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。又、キャリッジ９３は、インクジェット記録ヘッド９４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ９５を交換可能に装着している。
【００６４】
インクカートリッジ９５は、上方に大気と連通する図示しない大気口、下方にはインクジェット記録ヘッド９４へインクを供給する図示しない供給口を、内部にはインクが充填された図示しない多孔質体を有している。多孔質体の毛管力によりインクジェット記録ヘッド９４へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。又、インクジェット記録ヘッド９４としてここでは各色のヘッドを用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドを用いてもよい。
【００６５】
キャリッジ９３は、用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド９１に摺動自在に嵌装し、用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド９２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ９３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ９７で回転駆動される駆動プーリ９８と従動プーリ９９との間にタイミングベルト１００を張装し、主走査モータ９７の正逆回転によりキャリッジ９３が往復駆動される。タイミングベルト１００は、キャリッジ９３に固定されている。
【００６６】
又、インクジェット記録装置４は、給紙カセット８４から用紙８３を分離給装する給紙ローラ１０１、フリクションパッド１０２、用紙８３を案内するガイド部材１０３、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ１０４、この搬送ローラ１０４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５、搬送ローラ１０４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ１０６、を設けている。これにより、給紙カセット８４にセットした用紙８３を、インクジェット記録ヘッド９４の下方側に搬送される。搬送ローラ１０４は副走査モータ１０７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００６７】
用紙ガイド部材である印写受け部材１０９は、キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１０４から送り出された用紙８３をインクジェット記録ヘッド９４の下方側で案内する。この印写受け部材１０９の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１１、拍車１１２を設けている。更に、用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ１１３及び拍車１１４と、排紙経路を形成するガイド部材１１５、１１６とを配設している。
【００６８】
画像記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じてインクジェット記録ヘッド９４を駆動することにより、停止している用紙８３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙８３を排紙する。
【００６９】
キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、インクジェット記録ヘッド９４の吐出不良を回復するための回復装置１１７を有する。回復装置１１７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有する。キャリッジ９３は、印字待機中に回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段でインクジェット記録ヘッド９４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。又、記録途中等に、記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００７０】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でインクジェット記録ヘッド９４の吐出口を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出す。又、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。更に、吸引されたインクは、本体下部に設置された図示しない廃インク溜に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００７１】
このように、インクジェット記録装置４においては、薄膜製造装置３で製造した液滴吐出ヘッド１の一実施形態であるインクジェット記録ヘッド９４を搭載しているので、振動板駆動不良によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られるため、画像品質を向上できる。
【００７２】
〈第３の実施の形態〉
第３の実施の形態では、第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を備える偏光ミラーの例を示す。図９は、圧電式ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）ミラーを例示する斜視図である。
【００７３】
圧電式ＭＥＭＳミラー６００は、固定ベース６０６と、反射面を有するミラー部６０１と、ミラー部６０１を支持する弾性支持部材６０４と、弾性支持部材６０４の一部を、両側から支持する梁状部材６０３と、梁状部材６０３に固着する電気機械変換素子６０５を含む。電圧が印加されることにより駆動部６０７が歪むことで、ミラー部６０１が振動する。このような圧電式ＭＥＭＳミラー６００に第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を適用することで、圧電式ＭＥＭＳミラー６００の性能を高められる。
【００７４】
〈第４の実施の形態〉
第４の実施の形態では、第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を備える加速度センサの例を示す。図１０は、加速度センサを例示する断面図である。
【００７５】
加速度センサ７００は、片面に異方性エッチングが施され、肉厚部Ｘ及び肉薄部Ｙを有するシリコン基板７０１と、シリコン基板７０１を挟むガラス基板７０６Ａ、７０６Ｂと、肉薄部Ｙ上に形成され、上部電極７０２、電気機械変換膜７０４、下部電極７０３を備える電気機械変換素子７０５を含む。加速度が加わると、肉厚部Ｘと共に、電気機械変換素子７０５が変形する。加速度センサ７００は、電気機械変換素子７０５の変位量を電圧変換することで加速度を検出する。このような加速度センサ７００に第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を適用することで、加速度センサ７００の性能を高められる。
【００７６】
〈第５の実施の形態〉
第５の実施の形態では、第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を備えるＨＤＤ（Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ）ヘッド用微調整装置の例を示す。図１１は、ＨＤＤヘッド用微調整装置８００を例示する斜視図である。
【００７７】
ＨＤＤヘッド用微調整装置８００は、移動可能なアクセスアーム８０５と、中心部材８０３を介して支持ばね８０２の先端に取り付けられたヘッド８０１と、中心部材８０３に取り付けられた電気機械変換素子８０４Ａ、８０４Ｂを含む。ＨＤＤヘッド用微調整装置８００は、電気機械変換素子８０４Ａ、８０４Ｂを、交互に伸縮させることにより、ヘッド８０１を、ＨＤＤ上の所定位置に移動させ、微調整を行う。このようなＨＤＤヘッド用微調整装置８００に第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を適用することで、ＨＤＤヘッド用微調整装置８００の性能を高められる。
【００７８】
〈第６の実施の形態〉
第６の実施の形態では、第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を備える強誘電体メモリ素子の例を示す。図１２は、強誘電体メモリ８５０を例示する断面図である。
【００７９】
強誘電体メモリ８５０は、ビットライン８５８及びワードライン８５７が形成された基板８５１と、基板８５１上に形成された層間絶縁膜８５５と、層間絶縁膜８５５上に形成され、上部電極８５２、電気機械変換膜８５３、下部電極８５４を備える電気機械変換素子８５６と、電気機械変換素子８５６上に形成された層間絶縁膜８６０と、コンタクトホールを介して上部電極８５２と電気的に接続する配線８６１を含む。強誘電体メモリ８５０は、上部電極８５２及び下部電極８５４に電圧が印加されることにより生じる電気機械変換膜８５３の残留分極の反転を利用してメモリとして機能する。このような強誘電体メモリ８５０に第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を適用することで、強誘電体メモリ８５０の性能を高められる。
【００８０】
〈第７の実施の形態〉
第７の実施の形態では、第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を備える角速度センサの例を示す。図１３は、振動ジャイロ型の角速度センサ９００を例示する斜視図である。
【００８１】
振動ジャイロ型の角速度センサ９００は、熱膨張の少ない材料で形成されている音叉９０１と、音叉９０１に取り付けられている発振駆動用の電気機械変換素子９０２ａ及び検出用の電気機械変換素子９０２ｂと、電気機械変換素子９０２ａに対応するパッド９０３ａと、電気機械変換素子９０２ｂに対応するパッド９０３ｂを含む。電気機械変換素子９０２ａと電気機械変換素子９０２ｂとは、それぞれ、垂直な面に形成されている。振動ジャイロ型の角速度センサ９００は、パッド９０３を介して、電気機械変換素子９０２の振動を検知し、周波数の差に基づき角速度を検出する。このような振動ジャイロ型の角速度センサ９００に第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を適用することで、角速度センサ９００の性能を高められる。
【００８２】
〈第８の実施の形態〉
第８の実施の形態では、第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を備えるマイクロポンプの例を示す。図１４は、マイクロポンプ９５０を例示する斜視図である。
【００８３】
マイクロポンプ９５０は、流路９５１が形成された基板９５２と、振動板９５３及び振動板９５３に密着して形成されている電気機械変換素子９５４を備える圧電アクチュエータ９５５と、圧電アクチュエータ９５５が複数配設された流路形成基板９５６と、蓋基板９５７と、保護基板９５８を含む。マイクロポンプ９５０は、振動板９５３を順次図中の矢印方向へ駆動させることにより、流体の吸い込み又は吐出を繰り返し、流路９５１内の流体の輸送を行う。液体流入孔及び流出孔の形状を工夫する、或いは流路９５１に弁を設けることで、輸送効率を上げることができる。このようなマイクロポンプ９５０に第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を適用することで、マイクロポンプ９５０の性能を高められる。
【００８４】
〈第９の実施の形態〉
第９の実施の形態では、第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を備えるマイクロバルブの例を示す。図１５は、マイクロバルブ９６０を例示する断面図である。
【００８５】
マイクロバルブ９６０は、中央部に吐出口９６６を有する円板状の基板９６５と、中央部に弁となる突起部９６２を有するダイアフラム９６３と、基板９６５及びダイアフラム９６３を固定する固定部９６４と、ダイアフラム９６３上に形成されている電気機械変換素子９６１と、流体が流れ込む導入口９６７を含む。マイクロバルブ９６０は、電気機械変換素子９６１の歪みにより生じる突起部９６２の振動を利用して、吐出口９６６を開閉することにより、流体の流れを制御する。このようなマイクロバルブ９６０に第１の実施の形態に係る電気機械変換膜を適用することで、マイクロバルブ９６０の性能を高められる。
【００８６】
〈実施例〉
本実施例では、第１の実施の形態に係る前駆体ゾルゲル溶液、機能性インク、電気機械変換膜、及び電気機械変換素子を実際に作製した。１３個の機能性インクを作製し（表２参照）、各機能性インクを、サンプル１〜サンプル１３とした。実施例のサンプルとして、サンプル１〜サンプル９を用いた。比較例のサンプルとして、サンプル１０〜サンプル１３を用いた。
【００８７】
【表２】
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更に、作製した機能性インクの乾燥時間及び乾燥速度の対主溶媒比を測定した。又、作製した機能性インクを用いてインクジェットヘッドの吐出信頼性を調べた。又、作製した電気機械変換膜の膜厚を調べた。又、作製した電気機械変換素子の電気的特性及び電気機械変換能を評価した。なお、電気機械変換膜の主成分は、ジルコン酸チタン酸鉛とした。
【００８８】
［ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液の合成］
まず、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液の合成について、図１６を用いて説明する。
【００８９】
最初に、出発材料を準備した。出発材料としては、酢酸鉛三水和物（Ｐｂ（ＣＨ３ＣＯＯ）２３Ｈ２Ｏ）、ジルコニウムテトラノルマルプロポキシドＺｒ（ＯＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）４、チタニウムテトライソプロポキシドＴｉ（ＯＣＨ（ＣＨ３）２）４を用いた。
【００９０】
次に、これらの出発材料を、Ｐｂ（Ｚｒ０．５３、Ｔｉ０．４７）Ｏ３の化学両論組成に対し、鉛量が２０ｍｏｌ％過剰になる組成、即ち、Ｐｂ１．２０（Ｚｒ０．５３、Ｔｉ０．４７）Ｏ３となるように秤量した。
【００９１】
次に、酢酸鉛三水和物を、沸点の異なる３種類の主溶媒に溶解し、溶液を作製した（表２参照）。具体的には、サンプル１、２、３、４、５、６、１０、１１では、主溶媒として、２−メトキシエタノール（沸点１２５．０℃）を用いて、酢酸鉛の２−メトキシエタノール溶液を作製した。又、サンプル７、８、１２では、主溶媒として、２−ｎ−ブトキシエタノール（沸点１７０．０℃）を用いて、酢酸鉛の２−ｎ−ブトキシエタノール溶液を作製した。又、サンプル９、１３では、主溶媒として、２−プロパノール（沸点８２．４℃）を用いて、酢酸鉛の２−プロパノール溶液を作製した。
【００９２】
次に、各溶液を、各主溶媒の沸点にて加熱、還流し、酢酸鉛三水和物の脱水処理を行った。次に、各溶液に対して、ジルコニウムテトラノルマルプロポキシド及びチタニウムテトライソプロポキシドを投入し、再び、各主溶媒の沸点にて加熱、還流し、酢酸鉛のアルコール交換反応、及びエステル化反応を進行させた。
【００９３】
次に、各溶液に対して、安定剤として微量の酢酸を添加した。酢酸を添加することで、アルコール交換反応により生成したアルコキシド化合物（例えば、鉛アルコキシド）が、水分等により分解するのを防ぐことができる。なお、安定剤として、アセチルアセトン、ジエタノールアミン等を添加してもよい。
【００９４】
次に、各溶液に対して、各主溶媒を、更に混合し、重合体から為る固形分の濃度が、０．５モル／リットルとなるように、濃度調整を行った。
【００９５】
このようにして、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液を合成し、１３個のＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液を作製した。
【００９６】
［ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液のインク化調整］
続いて、１３個のＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、インク化調整を行い、機能性インクを作製した。該機能性インクに分散する固形分の濃度が、０．３モル／リットルとなるように濃度調整を行った。
【００９７】
具体的には、サンプル１では、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒として、２−メトキシエタノールを、副溶媒として、ジエチレングリコールモノメチルエーテル（沸点１９４℃）及びｎ−ドテシルアルコール（沸点２５９℃）を添加し、撹拌を行った。主溶媒と副溶媒の体積比を、２：１とした。又、副溶媒間の体積比を、２：１とした。
【００９８】
サンプル２では、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒として、２−メトキシエタノールを、副溶媒として、ｎ−ドテシルアルコールを添加し、撹拌を行った。主溶媒と副溶媒の体積比を、２：１とした。
【００９９】
サンプル３では、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒として、２−メトキシエタノールを、副溶媒として、ｎ−ドテシルアルコールを添加し、撹拌を行った。主溶媒と副溶媒の体積比を、１：１とした。
【０１００】
サンプル４では、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒として、２−メトキシエタノールを、副溶媒として、ｎ−ノニルアルコール（沸点２１４℃）を添加し、撹拌を行った。主溶媒と副溶媒の体積比を、２：１とした。
【０１０１】
サンプル５では、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒として、２−メトキシエタノールを、副溶媒として、ｎ−ノニルアルコールを添加し、撹拌を行った。主溶媒と副溶媒の体積比を、１：１とした。
【０１０２】
サンプル６では、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒として、２−メトキシエタノールを、副溶媒として、エチレングリコール（沸点１９８℃）を添加し、撹拌を行った。主溶媒と副溶媒の体積比を、２：１とした。
【０１０３】
サンプル７では、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒として、２−ｎ−ブトキシエタノールを、副溶媒として、プロピレングリコールモノブチルエーテル（沸点１７０℃）を添加し、撹拌を行った。主溶媒と副溶媒の体積比を、１：１とした。
【０１０４】
サンプル８では、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒として、２−ｎ−ブトキシエタノールを、副溶媒として、ｎ−ノニルアルコールを添加し、撹拌を行った。主溶媒と副溶媒の体積比を、１：１とした。
【０１０５】
サンプル９では、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒として、２−プロパノールを、副溶媒として、ｎ−ノニルアルコールを添加し、撹拌を行った。主溶媒と副溶媒の体積比を、２：１とした。
【０１０６】
サンプル１０では、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒として、２−メトキシエタノールを、副溶媒として、プロピレングリコールモノブチルエーテルを添加し、撹拌を行った。主溶媒と副溶媒の体積比を、１：２とした。
【０１０７】
サンプル１１では、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒として、２−メトキシエタノールを添加し、撹拌を行った。
【０１０８】
サンプル１２では、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒として、２−ｎ−ブトキシエタノールを添加し、撹拌を行った。
【０１０９】
サンプル１３では、ＰＺＴ前駆体ゾルゲル溶液に対して、主溶媒として、２−プロパノールを添加し、撹拌を行った。
【０１１０】
なお、インク化調整は、各サンプルの粘度、表面張力、沸点等の物性を考慮して行うことも可能である。この場合、粘度は、３〜１０ｃＰ、表面張力は、２５〜３５ｍＮ／ｍであることが好ましい。
【０１１１】
［機能性インクの乾燥時間、及び乾燥速度の対主溶媒比の測定］
続いて、作製した機能性インク（サンプル１〜サンプル１３）の乾燥時間、及び乾燥速度の対主溶媒比を測定した。
【０１１２】
表２に、サンプル１〜サンプル１３における測定結果を示す。
【０１１３】
サンプル１において、乾燥時間は、７．７ｍｉｎであった。サンプル２において、乾燥時間は、９．５ｍｉｎであった。サンプル３において、乾燥時間は、１０．３ｍｉｎであった。サンプル４において、乾燥時間は、６．７ｍｉｎであった。サンプル５において、乾燥時間は、７．４ｍｉｎであった。サンプル６において、乾燥時間は、６．９ｍｉｎであった。サンプル７において、乾燥時間は、６．８ｍｉｎであった。サンプル８において、乾燥時間は、１３．８ｍｉｎであった。サンプル９において、乾燥時間は、７．１ｍｉｎであった。サンプル１０において、乾燥時間は、６．６ｍｉｎであった。サンプル１１において、乾燥時間は、５．０ｍｉｎであった。サンプル１２において、乾燥時間は、６．８ｍｉｎであった。サンプル１３において、乾燥時間は、３．０ｍｉｎであった。
【０１１４】
又、サンプル１において、乾燥速度の対主溶媒比は、６４．９％であった。サンプル２において、乾燥速度の対主溶媒比は、５２．６％であった。サンプル３において、乾燥速度の対主溶媒比は、４８．５％であった。サンプル４において、乾燥速度の対主溶媒比は、７４．６％であった。サンプル５において、乾燥速度の対主溶媒比は、６７．６％であった。サンプル６において、乾燥速度の対主溶媒比は、７２．５％であった。サンプル７において、乾燥速度の対主溶媒比は、７３．５％であった。サンプル８において、乾燥速度の対主溶媒比は、３６．２％であった。サンプル９において、乾燥速度の対主溶媒比は、７０．４％であった。サンプル１０において、乾燥速度の対主溶媒比は、７５．８％であった。なお、サンプル１１、１２、１３には、副溶媒は、添加されていないため、乾燥速度の対主溶媒比は、１００．０％である。
【０１１５】
サンプル１〜サンプル９において、乾燥速度の対主溶媒比は、５０％以上７５％以下を満たしていたが、サンプル１０〜サンプル１３において、乾燥速度の対主溶媒比は、７５％より大きかった。
【０１１６】
即ち、機能性インクの乾燥速度は、主溶媒及び副溶媒の材料、主溶媒と副溶媒の体積比等に依存することがわかった。主溶媒及び副溶媒を適宜選択することで、良質な電気機械変換膜を形成するために必要な機能性インクを作製できることが示唆される。
【０１１７】
［機能性インクの塗布］
続いて、インクジェット方式により、作製した機能性インクを、親水性領域に塗布した。下部電極に対して表面処理を施し、下部電極の表面を親水性領域と疎水性領域に分けることで、機能性インクの塗り分けを行った。
【０１１８】
まず、シリコンウェハに、密着層として二酸化チタン膜（膜厚５０ｎｍ）をスパッタ成膜した。次に、下部電極層として、白金膜（膜厚５０ｎｍ）及びランタン酸ニッケル膜（膜厚６０ｎｍ）の積層膜をスパッタ成膜した。
【０１１９】
次に、下部電極層上に、フォトレジスト層をスピンコートし、フォトリソグラフィにより、フォトレジスト層をパターニングすることで、レジストパターンを形成した。次に、レジストパターンと重ならないランタン酸ニッケル膜を、ドライエッチングにより除去した。次に、レジストパターンを剥離し、白金膜上に所定パターンのランタン酸ニッケル膜を有する、下部電極が形成された。
【０１２０】
なお、レジストパターンは、短手方向の長さが４５μｍ、長手方向の長さが１０００μｍである矩形を複数含む形状を有する。隣り合う矩形同士の間隔は、４５μｍであり、ラインとスペースの比は、１：１である。
【０１２１】
次に、下部電極が形成されたシリコンウェハを、アルカンチオール希釈液に、１０秒間浸漬させ、ＳＡＭ処理を行った。ＳＡＭ処理を行ったシリコンウェハを、エタノール溶液に浸し、５分間の超音波洗浄を施し、白金膜表面にＳＡＭ膜が形成された。アルカンチオール希釈液は、ドデカンチオールＣＨ３（ＣＨ２）１１−ＳＨを使用し、濃度０．１ミリモル／リットル（溶媒：エタノール）の希釈液とした。
【０１２２】
ＳＡＭ処理後、ＳＡＭ膜が形成された領域において、対純粋接触角を測定したところ、１００°以上となり、疎水性領域となることがわかった。一方、ランタン酸ニッケル膜が形成された領域において、対純粋接触角を測定したところ、４０°以下となり、親水性領域となることがわかった。この結果から、ＳＡＭ処理が適切になされ、下部電極の表面は、疎水性領域と親水性領域に分けられ、高い接触角コントラストを有することがわかった。
【０１２３】
次に、機能性インク（サンプル１〜サンプル１３）を、インクジェット方式により、インクジェットヘッドから、親水性領域（ランタン酸ニッケル膜が形成された領域）に吐出させた。機能性インクは、親水性領域に濡れ広がり、機能性インク膜が形成された。
【０１２４】
次に、機能性インク膜に対して、加熱処理を行った。シリコンウェハを、ホットプレートに載せ、シリコンウェハ下面より第１の加熱処理を行った。昇温速度を、３０℃／ｍｉｎとして、室温から１２０℃まで温度上昇させた。ホットプレートの温度が、1２０℃に到達した後も、機能性インク膜が乾燥するまで、加熱処理を行った。次に、乾燥させた機能性インク膜に対して、第２の加熱処理を行った。５００℃での加熱処理を行うことで、乾燥させた機能性インク膜に含まれる有機物の熱分解処理を行った。この加熱処理により、ＳＡＭ膜は、消失し、加熱処理された機能性インク膜（中央部の膜厚が８０ｎｍ）が形成された。
【０１２５】
次に、加熱処理された機能性インク膜が形成されたシリコンウェハを、イソプロピルアルコールにて洗浄し、アルカンチオール希釈液に、１０秒間浸漬させ、ＳＡＭ処理を行った。ＳＡＭ処理を行ったシリコンウェハを、エタノール溶液に浸し、５分間の超音波洗浄を施し、白金膜表面にＳＡＭ膜が形成された。ＳＡＭ処理後、加熱処理された機能性インク膜が形成された領域において、対純粋接触角を測定したところ、２５°以下となり、親水性領域となることがわかった。
【０１２６】
次に、再び、機能性インクを、インクジェット方式により、インクジェットヘッドから親水性領域（加熱処理された機能性インク膜が形成された領域）に吐出させた。機能性インクは、親水性領域に濡れ広がり、再び、機能性インク膜が形成された。
【０１２７】
次に、再び、機能性インク膜に対して、加熱処理を行った。シリコンウェハを、ホットプレートに載せ、シリコンウェハ下面より第１の加熱処理を行った。昇温速度を、３０℃／ｍｉｎとして、室温から１２０℃まで温度上昇させた。次に、乾燥させた機能性インク膜に対して、第２の加熱処理を行った。５００℃での加熱処理を行うことで、乾燥させた機能性インク膜に含まれる有機物の熱分解処理を行った。更に、第３の加熱処理（結晶化処理）を行った。高速熱処理装置を用いて、７５０℃の急速加熱処理を行うことで、加熱処理された機能性インク膜（重ね塗りされている)を結晶化させた。
【０１２８】
その後、引き続き、ＳＡＭ処理、機能性インクの塗布、加熱処理、ＳＡＭ処理、機能性インクの塗布、加熱処理、結晶化処理という一連のサイクルを、全く同様の条件で、１５サイクル繰り返した。即ち、機能性インクの塗布を３０回繰り返し行った。これより、所定の膜厚を有する電気機械変換膜（ＰＺＴ膜）が形成された。
【０１２９】
［インクジェットヘッドの吐出信頼性］
続いて、電気機械変換膜（ＰＺＴ膜）の着弾パターンから、インクジェットヘッドの吐出信頼性を調べた。
【０１３０】
図１７は、ＰＺＴ膜の着弾パターンの様子を撮像した写真である。図１７（ａ）は、サンプル１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１２を使用して形成されたＰＺＴ膜の着弾パターンの様子である。図１７（ｂ）は、サンプル１１、１３を使用して形成されたＰＺＴ膜の着弾パターンの様子である。
【０１３１】
図１７（ａ）より、インクジェットヘッドから吐出した液滴（機能性インク）は、所定のパターン上に的確に着弾していることがわかった。一方、図１７（ｂ）では、所定のパターン外に微小な円形状のパターンが見られた。従って、サンプル１１、１３は、インクジェットヘッドの吐出信頼性を低下させることがわかった。
【０１３２】
即ち、副溶媒を含む機能性インクは、インクジェットヘッドの吐出信頼性を高められることが示唆される。
【０１３３】
［ＰＺＴ膜の膜厚の測定］
続いて、機能性インク（サンプル１〜サンプル１３）を用いて形成されたＰＺＴ膜の膜厚を調べた。ＰＺＴ膜の膜厚は、接触式段差計を用いて測定した。
【０１３４】
図１８（Ａ）に、サンプル１〜サンプル９を用いて形成されたＰＺＴ膜の１つのパターンにおける端部からの距離と膜厚との関係を示し、図１８（Ｂ）に、端部から中央部までの３次元形状を示す。又、図１９（Ａ）に、サンプル１０、１２を用いて形成されたＰＺＴ膜の１つのパターンにおける端部からの距離と膜厚との関係を示し、図１９（Ｂ）に、端部から中央部までの３次元形状を示す。
【０１３５】
図１８に示す様に、サンプル１〜サンプル９を用いて形成されたＰＺＴ膜は、膜厚２．４μｍ、パターン内において、端部と中央部との間の膜厚バラツキが±０．５％未満であった。なお、パターン間において、膜厚バラツキは、２．５％以内であった。一方、図１９に示す様に、サンプル１０、１２を用いて形成されたＰＺＴ膜は、パターン内において、端部と中央部との間の膜厚バラツキが２０％以上であった。
【０１３６】
即ち、サンプル１〜サンプル９を用いて形成されたＰＺＴ膜の膜厚は、ほぼ一定であるのに対して、サンプル１０、１２を用いて形成されたＰＺＴ膜の膜厚は、端部が中央部に比べて厚くなっていることがわかった。従って、サンプル１〜サンプル９を用いることで、ＰＺＴ膜のコーヒーステイン現象を抑制できることがわかった。
【０１３７】
乾燥速度の対主溶媒比が、７５％以下である機能性インクを使用することで、良質な電気機械変換膜を形成できることが示唆される。
【０１３８】
［電気的特性及び電気機械変換能の評価］
続いて、良質なＰＺＴ膜に上部電極（白金）を成膜し、電気機械変換素子を作製し、電気的特性、電気機械変換能（圧電定数）の評価を行った。
【０１３９】
比誘電率は２０２０〜２２８０、誘電損失は０．０４〜０．０８、耐圧は６０〜６８Ｖであった。従って、電気機械変換素子は、優れた電気的特性を示すことがわかった。
【０１４０】
図２０に、Ｐ−Ｅヒステリシス曲線を示す。残留分極は１９．２［μＣ／ｃｍ２］、抗電界は３６．１［ｋＶ／ｃｍ］であり、通常のセラミック焼結体と同等の特性を持つことがわかった。又、電気機械変換能は、電界印加による変形量をレーザードップラー振動計で計測し、シミュレーションによる合わせ込みから算出した。圧電定数ｄ３１は、１４１ｐｍ／Ｖとなった。従って、圧電定数も通常のセラミック焼結体と同等の値であることがわかった。この値は、液滴吐出ヘッドに用いられる電気機械変換素子として十分設計できうる特性値である。
【０１４１】
従って、良質な電気機械変換膜を使用して形成された電気機械変換素子は、良好な素子特性を有することがわかった。
【０１４２】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の実施形態の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【０１４３】
１  液滴吐出ヘッド
４  インクジェット記録装置
４０  電気機械変換素子
４２  電極
４３  電気機械変換膜
５１  機能性インク
６００  偏向ミラー
７００  加速度センサ
８００  ＨＤＤ用微調整装置
８５０  強誘電体メモリ素子
９００  角速度センサ
９５０  マイクロポンプ
９６０  マイクロバルブ
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１４４】
【特許文献１】特開平４−１６８２７７号公報
【特許文献２】特開２０１１−１５５２０４号公報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図２０】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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