(57)【要約】【課題】短時間で簡易かつ高精度に被検査物の形態異常を検査することを課題とする。【解決手段】本発明の非接触式検査装置は、円柱状又は円筒状の部位を被検査部とする被検査物を支持する支持部と、前記支持部に支持された状態の前記被検査物の前記被検査部側面側に、前記被検査部を介して対向配置される一対の投光部及び受光部を有するセンサ部と、前記被検査部における中心軸を回動中心とし、前記中心軸と直交する垂直面上で前記センサ部を回動させる回動機構と、を有し、前記回動機構が、前記センサ部を直接的又は間接的に支持し、外周が外方に向かって逆Ｖ字の先鋭部とされる円環状の回動部と、前記回動部を回動駆動させる回動駆動部と、支持基板及び前記支持基板に取付けられ、前記先鋭部が嵌合されるＶ字溝を有し、前記支持基板に対して回動自在に前記回動部を支持するベアリングを備える回動支持部と、を有することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円柱状又は円筒状の部位を被検査部とする被検査物を支持する支持部と、
前記支持部に支持された状態の前記被検査物の被検査部側面側に、前記被検査部を介して対向配置される一対の投光部及び受光部を有するセンサ部と、
前記被検査部における中心軸を回動中心とし、前記中心軸と直交する垂直面上で前記センサ部を回動させる回動機構と、を有し、
前記回動機構が、前記センサ部を直接的又は間接的に支持し、外周が外方に向かって逆Ｖ字の先鋭部とされる円環状の回動部と、
前記回動部を回動駆動させる回動駆動部と、
支持基板及び前記支持基板に取付けられ、前記先鋭部が嵌合されるＶ字溝を有し、前記支持基板に対して回動自在に前記回動部を支持するベアリングを備える回動支持部と、
を有することを特徴とする非接触式検査装置。
【請求項２】
先鋭部の先鋭角がＶ字溝の溝角よりも僅かに大きい請求項１に記載の非接触式検査装置。
【請求項３】
Ｖ字溝の溝角をθ１とし、先鋭部の先鋭角をθ２としたとき、前記溝角と前記先鋭角が、次式、０°＜θ２−θ１＜１５°の関係を満たす請求項２に記載の非接触式検査装置。
【請求項４】
回動駆動部が、回動駆動源としてのモータと、前記モータにより回動駆動される主動ギアと、前記主動ギアに噛合わされるとともに回動部に取付けられ、前記主動ギアの回動駆動により前記回動部を回動駆動させる従動ギアと、を有する請求項１から３のいずれかに記載の非接触式検査装置。
【請求項５】
ベアリングが回動部の外周位置上に等間隔で４つ以上配される請求項１から４のいずれかに記載の非接触式検査装置。
【請求項６】
更に、支持板と、回動支持部を支持し、前記支持板上に被検査部における中心軸方向と平行して延設されるガイド部と、前記回動支持部と連結され、前記ガイド部に支持された状態の前記回動支持部を前記中心軸方向に沿って進退動させるスライド駆動部と、を備えるスライド機構を有する請求項１から５のいずれかに記載の非接触式検査装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の非接触式検査装置を用いて、被検査物の形態異常を検査する非接触式検査方法であって、
回動部を１８０°以上回動させることにより、前記被検査物の被検査部外周をセンサ部で走査し、回動角度毎に前記被検査部の角度毎の直径を測定する測定ステップと、
測定された直径から得られる寸法情報が基準の範囲内であるか否かを判定する判定ステップと、
を有することを特徴とする非接触式検査方法。
【請求項８】
判定ステップが、測定された直径の最大値と最小値との差で与えられる差異寸法を算出し、前記差異寸法が基準の範囲内であるか否かを判定する請求項７に記載の非接触式検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円柱状又は円筒状の部位を被検査部とする被検査物の形態異常を、光学的手段により非接触で検査する非接触式検査装置及び非接触検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
製造ラインにおいて、製品検品のため、その形態異常を検査することが行われている。
例えば、プラスチックチューブとファーツリー形状部材の圧入接続製品（以下、「圧入製品」と略す）は、凹凸形状が連続して形成されたファーツリー形状の雄部を、樹脂製の素管と素管を被覆するように配されるゴム製のプロテクタ管の多重管構造からなる雌部に圧入して形成される。圧入の際、雄部と雌部の接続状態に不具合等があると、圧入ワレ、座屈等の形態異常が生じる。そのため、出荷又は次工程に移行する前にその形態異常が検査される。
【０００３】
ここで、圧入ワレ、座屈等の形態異常がプロテクタ管にも生ずる場合には、外部から視認が可能であるが、内部の素管に形態異常が生じている場合には、外部から視認することができない。
素管の形態異常を検査する方法としては、プロテクタ管上を手で触診し、内部の素管の形態異常の有無を確認する方法が挙げられるが、外部からの触診では、内部素管の小さな形態異常を確実に発見することができず、形態異常を見落とすおそれがある。
そのため、外側のプロテクタ管を捲り返して素管の状態を実際に目視し、形態異常の有無を確認する作業が行われている。
しかしながら、このような作業は、プロテクタ管を捲り返す作業に多大な工数がかかり、また、製造される圧入製品毎に対して行わなければならないため、作業者に対する作業負担が大きくなる。
そのため、検査を短時間で簡易に行うことのできる検査装置の開発が求められる。
【０００４】
ところで、被検査対象の外形形状を測定して、その異常を機械的に行う装置として、レーザ検出装置が知られている（例えば、特許文献１〜７参照）。これらの装置では、レーザ光の投光部と受光部との間に被検査対象を配した状態で、レーザ光を投光後、被検査対象により影ができた残りの光を受光部で検出して、被検査対象の外形形状を測定する。また、測定の際、投光部と受光部のセンサ部を被検査対象の軸心を回動中心として回動させることで被検査対象の全周形状を測定することが可能とされる。
しかしながら、こうした装置におけるセンサ部の回動機構は、リンク機構、プーリ機構、ギア機構を用いた単純な構造であるため、回動の際、回動部にブレやガタつきが生じ、高精度な測定が困難であるという問題がある。
圧入製品は、自動車の燃料配管等に用いられるため、僅かな形態異常も見落とすことができず、高精度の検査が要求される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭５１−  ５６６６７号公報
【特許文献２】実開昭５４−１２３８５６号公報
【特許文献３】特開昭６２−  ７６４０４号公報
【特許文献４】実開昭６２−  ４６３０８号公報
【特許文献５】特開平  ６−１３７８１９号公報
【特許文献６】特開平  ６−１４７８４０号公報
【特許文献７】特開平  ８−１４５６３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、短時間で簡易かつ高精度に被検査物の形態異常を検査することができる非接触式検査装置及び非接触式検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するための手段としては、以下の通りである。即ち、
＜１＞  円柱状又は円筒状の部位を被検査部とする被検査物を支持する支持部と、前記支持部に支持された状態の前記被検査物の前記被検査部側面側に、前記被検査部を介して対向配置される一対の投光部及び受光部を有するセンサ部と、前記被検査部における中心軸を回動中心とし、前記中心軸と直交する垂直面上で前記センサ部を回動させる回動機構と、を有し、前記回動機構が、前記センサ部を直接的又は間接的に支持し、外周が外方に向かって逆Ｖ字の先鋭部とされる円環状の回動部と、前記回動部を回動駆動させる回動駆動部と、支持基板及び前記支持基板に取付けられ、前記先鋭部が嵌合されるＶ字溝を有し、前記支持基板に対して回動自在に前記回動部を支持するベアリングを備える回動支持部と、を有することを特徴とする非接触式検査装置。
＜２＞  先鋭部の先鋭角がＶ字溝の溝角よりも僅かに大きい前記＜１＞に記載の非接触式検査装置。
＜３＞  Ｖ字溝の溝角をθ１とし、先鋭部の先鋭角をθ２としたとき、前記溝角と前記先鋭角が、次式、０°＜θ２−θ１＜１５°の関係を満たす前記＜２＞に記載の非接触式検査装置。
＜４＞  回動駆動部が、回動駆動源としてのモータと、前記モータにより回動駆動される主動ギアと、前記主動ギアに噛合わされるとともに回動部に取付けられ、前記主動ギアの回動駆動により前記回動部を回動駆動させる従動ギアと、を有する前記＜１＞から＜３＞のいずれかに記載の非接触式検査装置。
＜５＞  ベアリングが回動部の外周位置上に等間隔で４つ以上配される前記＜１＞から＜４＞のいずれかに記載の非接触式検査装置。
＜６＞  更に、支持板と、回動支持部を支持し、前記支持板上に被検査部における中心軸方向と平行して延設されるガイド部と、前記回動支持部と連結され、前記ガイド部に支持された状態の前記回動支持部を前記中心軸方向に沿って進退動させるスライド駆動部と、を備えるスライド機構を有する前記＜１＞から＜５＞のいずれかに記載の非接触式検査装置。
＜７＞  前記＜１＞から＜６＞のいずれかに記載の非接触式検査装置を用いて、被検査物の形態異常を検査する非接触式検査方法であって、回動部を１８０°以上回動させることにより、前記被検査物の被検査部外周をセンサ部で走査し、回動角度毎に前記被検査部の角度毎の直径を測定する測定ステップと、測定された直径から得られる寸法情報が基準の範囲内であるか否かを判定する判定ステップと、を有することを特徴とする非接触式検査方法。
＜８＞  判定ステップが、測定された直径の最大値と最小値との差で与えられる差異寸法を算出し、前記差異寸法が基準の範囲内であるか否かを判定する前記＜７＞に記載の非接触式検査方法。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、従来技術における前記諸問題を解決することができ、短時間で簡易かつ高精度に被検査物の形態異常を検査することができる非接触式検査装置及び非接触式検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る非接触式検査装置の正面図である。
【図２】図１に示す非接触式検査装置の側面図である。
【図３】圧入部位直径の測定方法を概念的に説明する説明図である。
【図４】ベアリングと回動部の嵌合状態を説明する説明図である。
【図５】非接触式検査方法の一例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（非接触式検査装置）
本発明の一実施形態に係る非接触式検査装置を図１，２を主として参照しつつ、説明する。また、本発明の非接触式検査装置は、円柱状又は円筒状の部位を被検査部とする被検査物の形態異常を検査する装置に係り、ここでは、前記被検査物として前述の圧入製品（図５参照）を例として説明する。
なお、図１は、本発明の実施形態に係る非接触式検査装置の正面図である。また、図２は、図１に示す非接触式検査装置の側面図である。
【００１１】
非接触検査装置１は、主として支持部としての製品支持部３０と、センサ部としての投光部１０ａ及び受光部１０ｂと、回動機構としての回動部２０、回動駆動部を構成するモータ２５、主動ギア２４及び従動ギア２３、並びに回動支持部を構成する支持基板２２及びベアリング２１ａ〜２１ｄと、スライド機構を構成する支持板４０、ガイド部４１ａ，４１ｂ及びスライド駆動部４２を有する。
【００１２】
製品支持部３０は、支持板４０上に立設され、上部に圧入製品５０を支持する台座部３１と、台座部３１に圧入製品５０を配した状態で、これを台座部３１に固定するロック部３２ａ，３２ｂとを有する。
ロック部３２ａ，３２ｂは、図１中の左右方向に開閉可能とされ、開状態で圧入製品５０を台座部３１に配した後、閉状態で圧入製品５０を台座部３１に固定する。
【００１３】
圧入製品５０は、ファーツリー形状（樅の木形状）の雄部５１を素管にプロテクタ管が被覆された多重管構造の雌部５２に圧入して形成される（図５参照）。圧入製品５０では、円柱状の圧入部位に圧入ワレ、座屈等の形態異常が生ずることがあり、前記圧入部位を被検査部とする。
【００１４】
一対の投光部１０ａ及び受光部１０ｂは、製品支持部３０に支持された状態の圧入製品５０の前記圧入部位側面側に、前記圧入部位を介して対向配置される。
投光部１０ａは、前記圧入部位に帯状のレーザ光を照射可能とされ、受光部１０ｂは、前記圧入部位で遮光されたレーザ光の一部を受光可能とされる。この際、前記圧入部位で遮光される領域の大きさから前記圧入部位の直径が測定可能とされる（図３参照）。なお、図３は、圧入部位の直径測定方法を概念的に説明する説明図である。
【００１５】
再び図１，２を参照して、回動部２０は、外周が外方に向かって逆Ｖ字の先鋭部とされる円環状の部材として構成される。この回動部２０は、ベアリング２１ａ〜２１ｄとの嵌合による破損が生じないよう、ステンレスなどで形成され、前記先鋭部は、切削加工等により形成される。
また、回動部２０は、従動ギア２３を介して投光部１０ａ及び受光部１０ｂを支持するように構成される。なお、回動部２０は、投光部１０ａ及び受光部１０ｂを直接支持するように構成されていてもよい。
回動部２０中央の穴には、製品支持部３０の台座部３１及び製品支持部３０に支持された圧入製品５０が挿通可能され、その圧入部位に対する投光部１０ａ及び受光部１０ｂの対向配置が可能とされる。
回動部２０は、製品支持部３０の台座部３１に支持された前記圧入部位の中心軸を回動中心とし、この中心軸と直交する垂直面上で回動するように構成される。
これにより、回動部２０に支持される投光部１０ａ及び受光部１０ｂが、前記垂直面上で回動可能とされる（図１中の矢印Ａで示す回動方向参照）。
【００１６】
回動駆動源としてのモータ２５には、該モータ２５により回動駆動される主動ギア２４が連結される。
従動ギア２３は、主動ギア２４に噛合わされ、主動ギア２４の回動駆動に従動して回動駆動可能とされる。また、従動ギア２３は、外周を歯車形状とする円環状の部材とされ、回動部２０の円環状の胴部に沿って周設される。なお、従動ギア２３は、回動部２０の形状に合わせて樹脂成型したものを用いることができる。
【００１７】
なお、回動部２０を回動駆動させる機構として、上述の主動ギア２４と従動ギア２３の噛合わせ機構に変えて、回動部２０を回動可能とする任意のリンク機構、プーリ機構を採用してもよい。
ただし、安定した回動駆動力を付与し、かつ、装置を簡素化する観点から、主動ギア２４と従動ギア２３の噛合わせ機構が好ましい。
【００１８】
支持基板２２は、ガイド部４１ａ，４１ｂとスライド自在に嵌合される底部のアタッチメント２６ａ，２６ｂを介して支持板４０上に立設される板状の部材として構成される。
また、支持基板２２には、製品支持部３０の台座部３１及び台座部３１に支持される圧入製品５０を挿通させる穴が形成される。
【００１９】
また、後述するスライド機構を配する場合には、支持基板２２とモータ２５を連結させ、従動ギア２３のスライド移動とともに、モータ２５及び主動ギア２４がスライド移動されるように構成される。
【００２０】
支持基板２２には、回動部２０の前記先鋭部が嵌合されるＶ字溝を有し、支持基板２２に対して回動自在に回動部２０を支持するベアリング２１ａ〜２１ｄが取付けられる。
ベアリング２１ａ〜２１ｄは、回動部２０の外周位置上に等間隔で配され、回動部２０を４点で支持する。
なお、ベアリングによる回動部２０の支持は、少なくとも３点で行うことができるが、安定的な支持のため、回動部２０の外周位置上に、前記ベアリングを等間隔に４点以上配して行うことが好ましい。ただし、支持点が多いとコスト高となるため、ベアリング２１ａ〜２１ｄの４点による支持が特に好ましい。
ベアリング２１ａ〜２１ｄとしては、市販のベアリングに前記Ｖ字溝を形成したものを用いることができる。
【００２１】
ここで、ベアリング２１ａ〜２１ｄと、回動部２０の嵌合状態について、図４を参照しつつ説明する。図４は、ベアリングと回動部の嵌合状態を説明する説明図である。
回動部２０は、図４中、これを回動部２０における円の直径方向に半円状に切断した部分断面で示すように、外周が外方（円直径の延長方向）に向かって逆Ｖ字の先鋭部とされる。この先鋭部は、ベアリング２１ａ（ベアリング２１ｂ〜２１ｄも同様）に形成された前記Ｖ字溝に嵌合される。これにより、回動部２０は、回動駆動の際のブレやガタつきが軽減される。
【００２２】
こうしたブレやガタつき軽減効果は、前記先鋭部の先鋭角θ２を前記Ｖ字溝の溝角θ１よりも僅かに大きくすると、顕著に発揮されることとなる。即ち、このような溝角θ１と先鋭角θ２を有する回動部２０をベアリング２１ａ〜２１ｄに嵌合させる場合、回動部２０の前記先鋭部がベアリング２１ａ〜２１ｄの前記Ｖ字溝を押し広げようとする力と、前記Ｖ字溝がもとの状態へ復元しようとする力が作用するため、前記先鋭部と前記Ｖ字溝が強く嵌合され、回動部２０の回動の際のブレやガタつきを大きく軽減させることができる。
このような溝角θ１及び先鋭角θ２の具体的な角度としては、前記効果が得られる限り、特に制限はないが、次式、０°＜θ２−θ１＜１５°を満たすことが好ましく、１°≦θ２−θ１≦９°を満たすことがより好ましく、１°≦θ２−θ１≦３°を満たすことが特に好ましい。なお、溝角θ１及び先鋭角θ２の各角度は、前記先鋭部を前記Ｖ字溝に嵌合させる前の角度を示す。
【００２３】
再び図１，２を参照して、前記スライド機構について説明する。
支持板４０は、板状の基板部材として構成される。この支持板４０上には、前記圧入部位の中心軸方向と平行して延設されるレール状のガイド部４１ａ，４１ｂが配される。
ガイド部４１ａ，４１ｂは、支持基板２２のアタッチメント２６ａ，２６ｂを介して支持基板２２全体を支持し、前記圧入製品の中心軸方向に沿って、支持基板２２をスライドさせることが可能とされる。
スライド駆動部４２は、先端側が支持基板２２に連結された柱状の駆動部４２ａを、前記中心軸方向と平行な図２中の矢印Ｂ方向に進退動させることにより、支持基板２２をガイド部４１ａ，４１ｂ上でスライド駆動させることが可能とされる。
なお、このようなスライド駆動部４２としては、前記中心軸方向における所定の位置毎に前記圧入部位の直径を測定可能とするとともに、その位置ズレを軽減する観点から、ピッチ送り制御が可能なスライド駆動部材を用いることが好ましい。
【００２４】
次に、実施形態に係る非接触式検査装置の動作方法について説明する。
先ず、（１）圧入製品５０を製品支持部３０の台座部３１に載置後、ロック部３２ａ，３２ｂでロックし、圧入製品５０の前記圧入部位が台座部３１から突出した状態で製品支持部３０に圧入製品５０を支持させる。
次に、（２）スライド駆動部４２を駆動させることにより、投光部１０ａ−受光部１０ｂ間に前記圧入部位が位置するように、支持基板２２をガイド部４１ａ，４１ｂ上でスライド駆動させる。
次に、（３）投光部１０ａから帯状のレーザ光を前記圧入部位に照射し、前記圧入部位で遮光された残光を受光部１０ｂで受光し、前記圧入部位の直径を測定する。この際、モータ２５の駆動により、主動ギア２４と従動ギア２３を回動駆動させ、回動部２０を回動させる。回動部２０を１８０°回動させ、前記圧入部位の側面半周を投光部１０ａでレーザ走査させると、前記圧入部位の全周に渡る直径データが得られる。
また、前記圧入部位の直径データを、前記圧入部位の中心軸方向で複数個所測定する場合には、前記（２）の動作により、前記圧入部位に対する投光部１０ａ及び受光部１０ｂの位置を前記圧入部位の中心軸方向の所定の位置にスライド移動させた後、前記（３）の動作により、当該位置での前記圧入部位の直径を測定することで行う。
【００２５】
測定された前記圧入部位の直径データは、演算処理部（不図示）に出力され、後述する非接触式検査方法に基づき、形態異常の判定に供される。
【００２６】
なお、以上に説明した非接触検査装置１は、本発明の一実施形態を例示したものに係り、本発明の効果を損なわない限り、任意の変更を加えることができ、本発明の技術的思想は、本例に限定されるものではない。
【００２７】
（非接触式検査方法）
本発明の非接触式検査方法について説明する。前記非接触式検査方法は、前記非接触式検査装置を用いて、前記被検査物の形態異常を測定する方法に係る。
即ち、前記非接触式検査方法は、前記回動部を１８０°以上回動させることにより、前記被検査物の前記被検査部外周を前記センサ部で走査し、回動角度毎に前記被検査部の直径を測定する測定ステップと、測定された直径から得られる寸法情報が基準の範囲内であるか否かを判定する判定ステップとを有する。
【００２８】
前記判定ステップとしては、特に制限はないが、例えば（１）回動角度毎に複数測定された前記被検査部の直径の平均値を算出し、この平均値が予め設定される基準の範囲内であるかを判定する方法と、（２）回動角度毎に複数測定された前記被検査部の直径の最大値と最小値との差で与えられる差異寸法を算出し、この差異寸法が予め設定される基準の範囲内であるかを判定する方法とが挙げられる。
【００２９】
前記非接触式検査方法の具体例を、図５を参照しつつ、圧入製品５０を被検査物の例として説明する。図５は、非接触式検査方法の一例を示す説明図である。
【００３０】
圧入製品５０は、雄部５１を、素管上にプロテクタ管が被覆された多重管構造の雌部５２に圧入して形成される。
雄部５１の圧入部は、ファーツリー形状とされ、圧入後に両部材が外れることを防止するため、外方に突出した段差部が複数配される。
圧入製品５０の圧入ワレ、座屈等は、雄部５１の先端部と、これら段差部で生ずることが多く、雄部５１が圧入された状態の雌部５２における雄部５１の先端部及びこれら段差部の各位置（図５中の測定点１〜５）で検査を行う。なお、図５中の０は、前記センサ部の初期位置である。
【００３１】
この圧入製品５０の測定点１〜５のそれぞれの位置で前記測定ステップを実施し、直径データを取得する。次いで、取得された直径データに基づき、前記判定ステップを実施する。
ここで、圧入製品５０の被検査対象物とする場合、前記判定ステップとしては、上述の（２）の方法で実施することが好ましい。即ち、雄部５１の節部による凹凸形状により、雌部５２の外表面に凹凸が生ずるが、この雌部５２外表面の凹凸は、個々の圧入状況によって一様でないことがあり、直径そのものを評価する上述の（１）の方法で実施した場合、安定した結果が得られないことがある。一方、上述の（２）の方法によれば、直径そのものを評価するものではなく、差異寸法を評価することから、雌部５２外表面の凹凸の個々の圧入状況に係らず、安定して圧入製品５０の形態異常を判定することができる。
なお、この場合、予め設定された差異寸法の基準を超えているか否かで形態異常の存在を判定する。
【００３２】
圧入製品５０の圧入ワレ、座屈等の形態異常は、測定された直径の値において、例えば、数十マイクロメートル単位での数値異常として検出される。
本発明では、このように微小な数値異常に対しても、前記回動部のブレやガタつきが軽減されるため、確実に検出することができ、高精度な検査を行うことができる。
【００３３】
なお、前記被検査物としては、円柱状又は円筒状の部位を被検査部とするものであればよく、前記非接触式検査装置及び前記非接触式検査方法は、圧入製品５０のほか、管状樹脂製品のバリ等、種々の管状製品の形態異常を検査対象とすることができる。
【符号の説明】
【００３４】
１        非接触式検査装置
１０ａ      投光部
１０ｂ      受光部
２０        回動部
２１ａ〜２１ｄ  ベアリング
２２        支持基板
２３        従動ギア
２４        主動ギア
２５        モータ
２６ａ，２６ｂ  アタッチメント
３０        製品支持部
３１        台座部
３２ａ，３２ｂ  ロック部
４０        支持板
４１ａ，４１ｂ  ガイド部
４２        スライド駆動部
４２ａ      駆動部
５０        圧入製品
５１        雄部
５２        雌部
Ａ        回動方向
Ｂ        駆動方向
Ｌ        レーザ光
θ１        溝角
θ２        先鋭角
【図１】
2015007570.tif 000003
【図２】
2015007570.tif 000004
【図３】
2015007570.tif 000005
【図４】
2015007570.tif 000006
【図５】
2015007570.tif 000007