(57)【要約】【課題】  カセットのどの位置に板状物が収容されているか容易に判別可能なカセットを提供することである。【解決手段】  板状物を複数収容可能なカセットであって、対向する一対の側壁に板状物を収容する互いに対をなす収容溝が複数対形成されるとともに、該収容溝に板状物を出し入れするための前面開口部を有するカセット本体と、該収容溝の段数を表示する該側壁に形成された段数表示と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図４
2015050401.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状物を複数収容可能なカセットであって、
対向する一対の側壁に板状物を収容する互いに対をなす収容溝が複数対形成されるとともに、該収容溝に板状物を出し入れするための前面開口部を有するカセット本体と、
該収容溝の段数を表示する該側壁に形成された段数表示と、
を備えたことを特徴とするカセット。
【請求項２】
前記複数対の収容溝のうち第一収容溝対に対応した位置の前記一対の側壁に形成された第一色部と、
該第一収容溝対に隣接した第二収容溝対に対応した位置の前記一対の側壁に形成された第二色部と、
を有することを特徴とする請求項１記載のカセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物を複数収容可能なカセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
表面に表面保護テープが貼着されたウエーハや、ウエーハ単体、裏面にダイシングテープが貼着されて環状フレームで支持されたウエーハユニット等の板状物（板状被加工物）は、カセットに複数収容されて切削装置や研削装置等の各種加工装置に供給される。
【０００３】
このようなカセットは、例えば特開２０００−９１４１１号公報に開示されるように、左右一対の側壁に板状物を収容する複数対の収容溝が形成されており、対向する一対の収容溝で１つの板状物を支持してカセット内に収容する。
【０００４】
一方、カセット内に複数種類の板状物を収容することがある。板状物の種類によって加工装置の加工条件が異なる場合には、板状物を収容したカセットの位置（段数）を指定して板状物の種類に応じた加工条件で加工している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−９１４１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、カセットの全ての収容溝に板状物を収容すると、カセットのどの位置に板状物が収容されているか一目では判別が難しい上、段数を間違える恐れがある。特に、複数種類の板状物をカセット内に収容する場合には、カセットのどの位置にどのような種類の板状物が収容されているか判別が難しい上、ある種類の板状物に異なる加工条件を設定してしまう恐れがある。
【０００７】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、カセットのどの位置に板状物が収容されているか容易に判別可能なカセットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によると、板状物を複数収容可能なカセットであって、対向する一対の側壁に板状物を収容する互いに対をなす収容溝が複数対形成されるとともに、該収容溝に板状物を出し入れするための前面開口部を有するカセット本体と、該収容溝の段数を表示する該側壁に形成された段数表示と、を備えたことを特徴とするカセットが提供される。
【０００９】
好ましくは、前記複数対の収容溝のうち第一収容溝対に対応した位置の前記一対の側壁に形成された第一色部と、該第一収容溝対に隣接した第二収容溝対に対応した位置の前記一対の側壁に形成された第二色部と、を有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のカセットは段数表示を備えるため、カセットのどの位置に板状物が収容されているか一目で判別が可能となる。
【００１１】
請求項２記載の発明によると、対向する一対の側壁にそれぞれ着色部を有するので、各側壁で段違いの収容溝に渡って板状物を収容してしまう恐れを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】切削装置の斜視図である。
【図２】ウエーハユニットの斜視図である。
【図３】本発明実施形態に係るカセットの斜視図である。
【図４】第一実施形態のカセットの正面図である。
【図５】第二実施形態のカセットの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、加工装置の一例としての切削装置２の斜視図が示されている。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作パネル４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像ユニットによって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示モニタ６が設けられている。
【００１４】
切削装置２の切削対象である半導体ウエーハ１１は、環状フレームＦに装着されたダイシングテープＴに貼着された後、図１に示したカセット８中に複数枚収容される。カセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。カセット８の後方には、カセット８から切削前のウエーハ１１を搬出するとともに、切削後のウエーハをカセット８に搬入する搬出入ユニット１０が配設されている。
【００１５】
カセット８と搬出入ユニット１０との間には、搬出入対象のウエーハ１１が一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウエーハ１１を一定の位置に位置合わせする位置合わせ機構１４が配設されている。
【００１６】
仮置き領域１２の近傍には、ウエーハ１１を吸着して搬送する旋回アームを有する搬送ユニット１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されて位置合わせされたウエーハ１１は、搬送ユニット１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引保持される。
【００１７】
チャックテーブル１８は、回転可能且つ図示しない加工送り機構によりＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウエーハ１１の切削すべき領域を検出するアライメントユニット２２が配設されている。２０は環状フレームＦをクランプするクランプである。
【００１８】
アライメントユニット２２は、ウエーハ１１の表面を撮像する撮像ユニット２４を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべき領域を検出することができる。撮像ユニット２４によって取得された画像は、表示モニタ６に表示される。
【００１９】
アライメントユニット２２の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウエーハ１１に対して切削加工を施す切削ユニット２６が配設されている。切削ユニット２６はアライメントユニット２２と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２０】
切削ユニット２６は、回転可能なスピンドル２８の先端に外周に切刃を有する切削ブレード３０が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード３０は撮像ユニット２４のＸ軸方向の延長線上に位置している。切削ユニット２６のＹ軸方向の移動は図示しない割り出し送り機構により達成される。
【００２１】
３４は切削加工の終了したウエーハ１１を洗浄するスピンナ洗浄ユニットであり、切削加工の終了したウエーハ１１は搬送ユニット３２によりスピンナ洗浄ユニット３４まで搬送され、スピンナ洗浄ユニット３４でスピン洗浄及びスピン乾燥される。
【００２２】
切削装置２には、図２に示したウエーハユニット１７の形態でウエーハ１１が投入される。ウエーハ１１の表面には複数の分割予定ライン１３が格子状に形成されているとともに、分割予定ライン１３で区画された各領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイス１５が形成されている。
【００２３】
ウエーハユニット１７は、環状フレームＦと、外周部が環状フレームＦに貼着されたダイシングテープＴと、ダイシングテープＴに裏面が貼着されたウエーハ１１とから構成され、カセット８内にウエーハユニット１７が複数収容されて切削装置２に供給される。
【００２４】
切削装置２のカセット８内には、ウエーハユニット１７又はウエーハ１１単体が収容されるが、以下の説明ではカセット８内に収容される板状物（板状被加工物）はウエーハユニット１７であるものとして説明する。
【００２５】
図３を参照すると、カセット８の一例の斜視図が示されている。カセット８は、右側壁３６と、左側壁３８が対向して配設されており、右側壁３６と左側壁３８は天板４０及び底部連結板４２により連結されて四角形状に形成されている。右側壁３６と、左側壁３８と天板４０により収容部８ａが画成されている。
【００２６】
カセット８はウエーハユニット１７をカセット８に出し入れするための前面開口部８ｂを有している。本実施形態では、カセット８の後面も開口している。右側壁３０の内側には前後方向に伸びる複数段の収容溝４４が形成されている。同様に、左側壁３８の内側にも前後方向に伸びる複数段の収容溝４６が形成されている。右側壁３６の収容溝４４と左側壁３８の収容溝４６とは、各段毎にそれぞれ対応して対峙するように形成されている。
【００２７】
カセット８の背面開口部には、右側壁３６の収容溝４４及び左側壁３８の収容溝４６とを直交する方向に伸長するストッパー４８が配設されており、このストッパー４８によってカセット８内に収容されているウエーハユニット１７が背面側から脱落しないようになっている。
【００２８】
本実施形態のカセット８では、ウエーハユニット１７の環状フレームＦが右側壁３６の収容溝４４及び左側壁３８の収容溝４６に収容されて、カセット８の収容部８ａ内に水平状態でウエーハユニット１７が複数枚収容される。天板４には取っ手５２が取り付けられており、オペレータは取っ手５２を把持してカセット８を運搬できるようになっている。
【００２９】
図４を参照すると、本発明第１実施形態に係るカセット８の一部破断正面図が示されている。右側壁３６及び左側壁３８の前面側には、収容溝４４，４６の段数を示す段数表示５５が算用数字で形成されている。段数表示５５はカセット８の下から順番に番号を振るようにしても良い。また、右側壁３６及び左側壁３８の一方のみに段数表示５５を設けるようにしても良い。
【００３０】
右側壁３６に形成された収容溝４４と左側壁３８に形成された収容溝４６とは、高さ位置が等しい収容溝４４，４６とで収容溝対を形成し、高さが等しい一対の収容溝４４，４６中にウエーハユニット１７の環状フレームＦが収容される。
【００３１】
本実施形態のカセット８では、カセット８の前面側に段数表示５５を備えるため、カセット８のどの位置にウエーハユニット１７が収容されているか一目で判別が可能となる。また、収容溝の段数を指定して、操作パネル４から加工条件を入力することが可能となる。
【００３２】
図５を参照すると、本発明第二実施形態のカセット８Ａの一部破断正面図が示されている。図４に示した第一実施形態と同様な構成部分については同一符号し、重複を避けるためその説明を省略する。本実施形態のカセット８Ａは、段数表示５５に加えて、対向する一対の収容溝４４，４６を同一色に着色したことを特徴とする。
【００３３】
例えば、段数表示２の収容溝４４，４６は第一色部５４で着色し、段数表示３の収容溝４４，４６は第二色部５６で着色する。段数表示４の収容溝４４，４６は第一色部５４で着色する。例えば、第一色部５４は白で着色し、第二色部５６は赤で着色する。
【００３４】
このように上下で隣接する収容溝４４，４６を異なる色で着色することにより、切削装置のオペレータが各側壁３６，３８で段違いの収容溝４４，４６に渡ってウエーハユニット１７を収容してしまう恐れを低減できる。
【００３５】
着色は全段で異なっていても良いし、例えば、白→赤→黄→白→・・・のように複数色の繰り返しでもよい。図５に示した実施形態では、側壁３６，３８の前面を着色部としているが、溝４４，４６を形成する突起部を着色するようにしても良い。
【００３６】
上述した実施形態では、カセット８中に収容する板状物としてウエーハユニット１７を採用した例について説明したが、板状物はウエーハユニット１７に限定されるものではなく、ウエーハ１１の単体でも良い。
【００３７】
また、上述した実施形態では、切削装置２のカセット８について説明したが、本発明のカセット８は研削装置のカセットとしても使用できる。この場合には、カセット８内に収容される板状物は、表面に表面保護テープが貼着されたウエーハとなる。
【符号の説明】
【００３８】
２    切削装置
８，８Ａ    カセット
１１    ウエーハ
１７    ウエーハユニット
３６    右側壁
３８    左側壁
４４，４６    収容溝
５４    第一色部
５５    段数表示
５６    第二色部
【図１】
2015050401.tif 000003
【図２】
2015050401.tif 000004
【図３】
2015050401.tif 000005
【図４】
2015050401.tif 000006
【図５】
2015050401.tif 000007