(57)【要約】【課題】２方向の入射光を同時に受光でき、かつ、立体画像と平面画像の両方を出力する固体撮像装置を提供する。【解決手段】固体撮像装置は、二次元状に配置された第１の受光部１４０３ａと、第１の受光部のそれぞれに隣接して配置された第２の受光部１４０３ｂと、第１の方向から入射光を第１の受光部１４０３ａに集光する第１の集光部７０７ａと、第１の方向とは異なる第２の方向からの入射光を第２の受光部１４０３ｂに集光する第２の集光部７０７ｂと、隣接する第１および第２の集光部７０７ａ、７０７ｂの組の上方に形成された上部マイクロレンズ１４０１と、第１および第２の受光部１４０３ａ、１４０３ｂで光電変換した信号を加算する加算部とを備える。【選択図】図１
2015050208.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二次元状に配置され、入射光を受けて光電変換を行う第１の受光部と、
前記第１の受光部のそれぞれに隣接して配置され、入射光を受けて光電変換を行う第２の受光部と、
前記第１の受光部の上方に形成され、第１の方向から入射光を前記第１の受光部に集光する第１の集光部と、
前記第２の受光部の上方に形成され、前記第１の方向とは異なる第２の方向からの入射光を前記第２の受光部に集光する第２の集光部と、
隣接する前記第１および第２の集光部の組の上方に形成され、入射光を前記第１および第２の集光部に集光する上部マイクロレンズと、
前記第１の受光部で光電変換した信号と前記第２の受光部で光電変換した信号とを加算する加算部とを備え、
前記第１および第２の集光部のそれぞれは、受光面と垂直な軸を中心軸とし異なる屈折率の材料を同心状に繰り返し配置した構造を有し、
前記中心軸の位置は前記第１の方向又は前記第２の方向に依存して第１又は第２の集光部の中心から偏心している
固体撮像装置。
【請求項２】
二次元状に配置された前記第１および第２の受光部からなる撮像エリアの中心部における前記第１の集光部の集光特性曲線と、当該第１の集光部と組をなす第２の集光部の集光特性曲線とを加算した特性曲線は、入射角度が０のとき最大となる放物線であり、
前記入射角度は前記撮像エリアの法線と入射光とのなす角である
請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記固体撮像装置は、さらに、
前記第１または第２の受光部のそれぞれに隣接して配置され、入射光を受けて光電変換を行う第３の受光部と、
前記第１、第２または第３の受光部のそれぞれに隣接して配置され、入射光を受けて光電変換を行う第４の受光部と、
前記第３の受光部の上方に形成され、前記第１および第２の方向とは異なる第３の方向からの入射光を前記第３の受光部に集光する第３の集光部と、
前記第４の受光部の上方に形成され、前記第１、第２および第３の方向とは異なる第４の方向からの入射光を前記第４の受光部に集光する第４の集光部とを備え、
前記加算部は、
前記第１から前記第４の受光部のうち特定方向に並んだ２つによって光電変換された信号を加算する第１の加算器と、
前記第１から前記第４の受光部のうち前記特定方向と直交する方向に並んだ２つによって光電変換された信号を加算する第２の加算器とを備える
請求項１または２に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
さらに、前記固体撮像装置の重力に対する角度を検知する角度センサを備え、
前記角度センサの出力によって、前記第１の加算器と前記第２の加算器のどちらを動作させるかを選択する選択部を備える
請求項３に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記加算部を除く前記第１から第４の受光部、前記第１から第４の集光部、および、前記上部マイクロレンズを半導体基板上に備え、
さらに、前記第１の加算器により加算された信号を用いて、前記特定方向に視差を有する２つの画像を生成する第１の処理部と、
前記第２の加算器により加算された信号を用いて、前記特定方向と直交する方向に視差を有する２つの画像を生成する第２の処理部とを備える、
請求項３に記載の固体撮像装置
【請求項６】
二次元状に配置された前記第１および第２の受光部からなる撮像エリアの中心部における前記第１の集光部の集光特性曲線と、当該第１の集光部と前記組をなす第２の集光部の集光特性曲線とを加算した特性曲線は、入射角度が０のとき最小となり、
前記入射角度は前記撮像エリアの法線と入射光とのなす角である
請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項７】
前記第１および第２の受光部のそれぞれの境界に、入射光を前記第１または第２の受光部に導く反射板を備える
請求項１から請求項６のいずれかに記載の固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、固体撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術における立体視可能な固体撮像装置では、異なる２方向の入射光を同時に効率良く受けることが難しいという課題があった。
【０００３】
例えば、特許文献１の技術では、２つの光路を時分割で切り替え可能な時分割光路切り替え手段を用いることで、時間分割して固体撮像装置に入射する角度を変えるという方法が開示されている。このようにすれば、２つの異なる入射角度の入射光を受けることが出来るため、２視点での立体視が可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０７−２６１０９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の技術では視点の異なる映像が時間軸に展開されているという課題が内在している。すなわち時間軸方向に展開された２視点の２画像の位置関係が少なくとも水平垂直方向に設定通りである必要がある。すなわち撮像装置が確実に静止していることが使用上要求されてしまうため、応用が限定的になってしまう。また被写体が動体であった場合、立体視が困難になってくる。
【０００６】
本開示は、上記課題を解決するためのもので、２方向の入射光を同時に受光でき、かつ、立体画像と平面画像の両方を出力する固体撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため本開示における固体撮像装置は二次元状に配置され、入射光を受けて光電変換を行う第１の受光部と、前記第１の受光部のそれぞれに隣接して配置され、入射光を受けて光電変換を行う第２の受光部と、前記第１の受光部の上方に形成され、第１の方向から入射光を前記第１の受光部に集光する第１の集光部と、前記第２の受光部の上方に形成され、前記第１の方向とは異なる第２の方向からの入射光を前記第２の受光部に集光する第２の集光部と、隣接する前記第１および第２の集光部の組の上方に形成され、入射光を前記第１および第２の集光部に集光する上部マイクロレンズと、前記第１の受光部で光電変換した信号と前記第２の受光部で光電変換した信号とを加算する加算部とを備え、前記第１および第２の集光部のそれぞれは、受光面と垂直な軸を中心軸とし異なる屈折率の材料を同心状に繰り返し配置した構造を有し、前記中心軸の位置は前記第１の方向又は前記第２の方向に依存して第１又は第２の集光部の中心から偏心している。
【０００８】
この構成によれば、２方向の入射光を同時に受光でき、かつ、加算部を用いないで得られる立体画像（つまり視差を有する２つの画像）と、加算部を用いて得られる平面画像とのどちらでも出力することができる。
【０００９】
ここで、二次元状に配置された前記第１および第２の受光部からなる撮像エリアの中心部における前記第１の集光部の集光特性曲線と、当該第１の集光部と組をなす第２の集光部の集光特性曲線とを加算した特性曲線は、入射角度が０のとき最大となる放物線であり、前記入射角度は前記撮像エリアの法線と入射光とのなす角であってもよい。
【００１０】
この構成によれば、加算部を用いて出力される平面画像は、従来の平面画像出力用に開発された固体撮像装置と同等の画質を実現することができる。
【００１１】
ここで、前記固体撮像装置は、さらに、前記第１または第２の受光部のそれぞれに隣接して配置され、入射光を受けて光電変換を行う第３の受光部と、前記第１、第２または第３の受光部のそれぞれに隣接して配置され、入射光を受けて光電変換を行う第４の受光部と、前記第３の受光部の上方に形成され、前記第１および第２の方向とは異なる第３の方向からの入射光を前記第３の受光部に集光する第３の集光部と、前記第４の受光部の上方に形成され、前記第１、第２および第３の方向とは異なる第４の方向からの入射光を前記第４の受光部に集光する第４の集光部とを備え、前記加算部は、前記第１から前記第４の受光部のうち特定方向に並んだ２つによって光電変換された信号を加算する第１の加算器と、前記第１から前記第４の受光部のうち前記特定方向と直交する方向に並んだ２つによって光電変換された信号を加算する第２の加算器とを備えてもよい。
【００１２】
この構成によれば、（１）特定方向（例えば水平方向）に視差のある立体画像、（２）特定方向と直交する方向（例えば垂直方向）に視差のある立体画像、（３）平面画像、（４）第１〜第４の受光部からの信号を加算せずに出力した４つ平面画像、等を選択的に出力することができる。
【００１３】
ここで、前記固体撮像装置は、さらに、前記固体撮像装置の重力に対する角度を検知する角度センサを備え、前記角度センサの出力によって、前記第１の加算器と前記第２の加算器のどちらを動作させるかを選択する選択部を備えていてもよい。
【００１４】
この構成によれば、固体撮像装置の向きによって加算の動作を切り替える。これによって、例えば、常に重力と垂直な方向の視差を有する立体映像を出力することができる。
【００１５】
ここで、前記加算部を除く前記第１から第４の受光部、前記第１から第４の集光部、および、前記上部マイクロレンズを半導体基板上に備え、さらに、前記第１の加算器により加算された信号を用いて、前記特定方向に視差を有する２つの画像を生成する第１の処理部と、前記第２の加算器により加算された信号を用いて、前記特定方向と直交する方向に視差を有する２つの画像を生成する第２の処理部と、を備えてもよい。
【００１６】
この構成によれば、（１）特定方向（例えば水平方向）に視差のある立体画像、（２）特定方向と直交する方向（例えば垂直方向）に視差のある立体画像、（３）平面画像、（４）第１〜第４の受光部からの信号を加算せずに出力した４つ平面画像、等の全部あるいは２つ以上を同時に出力することができる。
【００１７】
ここで、二次元状に配置された前記第１および第２の受光部からなる撮像エリアの中心部における前記第１の集光部の集光特性曲線と、当該第１の集光部と前記組をなす第２の集光部の集光特性曲線とを加算した特性曲線は、入射角度が０のとき最小となり、前記入射角度は前記撮像エリアの法線と入射光とのなす角であってもよい。
【００１８】
この構成によれば、第１の方向と第２の方向の角度を大きくできるので、より視差の大きい立体画像を得ることができる。
【００１９】
ここで、前記第１および第２の受光部のそれぞれの境界に、入射光を前記第１または第２の受光部に導く反射板を備えてもよい。
【００２０】
この構成によれば、隣接する受光部間で入射光が混ざることを防止するので、より鮮明は立体画像および平面画像を得ることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本開示によれば、２方向の入射光を同時に受光でき、かつ、立体画像と平面画像の両方を出力できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は、第１の実施形態に係る固体撮像装置の構造を示す断面図である。
【図２】図２は、同実施形態に係る立体撮像するときの被写体、カメラレンズおよび固体撮像装置の概略図である。
【図３】図３は、同実施形態に係る固体撮像装置の撮像エリア２０１のマイクロレンズの集光特性を単位セル群の位置毎に示す図である。
【図４】図４は、同実施形態に係る固体撮像装置の撮像エリア２０１の中心位置のマイクロレンズの集光特性を示す図である。
【図５Ａ】図５Ａは、同実施形態に係る固体撮像装置の異なる入射角度に対して最大感度を有する単位セルの配列例を示す図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、同実施形態に係る固体撮像装置の異なる入射角度に対して最大感度を有する単位セルの配列例を示す図である。
【図５Ｃ】図５Ｃは、同実施形態に係る固体撮像装置の異なる入射角度に対して最大感度を有する単位セルの配列例を示す図である。
【図６】図６は、図３の集光特性を実現するマイクロレンズの配置例を単位セル群毎に示す図である。
【図７Ａ】図７Ａは、同実施形態に係る固体撮像装置の単位セル群のマイクロレンズの構成の一例を示す断面図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、図６Ａのマイクロレンズの上段構造を形成するためのマスクパターンの上面図である。
【図７Ｃ】図７Ｃは、図６Ａのマイクロレンズの下段構造を形成するためのマスクパターンの上面図である。
【図８】図８は、同実施形態に係る固体撮像装置の構成を示すブロック図である。
【図９】図９は、同実施形態の変形例における固体撮像装置の断面図を示した図である。
【図１０】図１０は、第２の実施形態に係る立体撮像するときの被写体、カメラレンズおよび固体撮像装置の概略図である。
【図１１】図１１は、同実施形態に係る固体撮像装置の第１〜第４の単位セルの配列例を示す図である。単位セルの配列例を示す図である。
【図１２】図１２は、同実施形態に係る固体撮像装置の構成を示すブロック図である。
【図１３Ａ】図１３Ａは、同実施形態の変形例１における固体撮像装置の構成を示すブロック図である。
【図１３Ｂ】図１３Ｂは、同実施形態の変形例２における固体撮像装置の構成を示すブロック図である。
【図１４Ａ】図１４Ａは、第３の実施形態に係るマイクロレンズの下段構造を形成するためのマスクパターンの上面図である。
【図１４Ｂ】図１４Ｂは、同実施形態に係るマイクロレンズの下段構造を形成するためのマスクパターンの上面図である。
【図１４Ｃ】図１４Ｃは、同実施形態に係るマイクロレンズの下段構造を形成するためのマスクパターンの上面図である。
【図１５】図１５は、同実施形態に係るマイクロレンズの集光特性を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
（第１の実施形態）
図１は、実施形態に係る固体撮像装置の構造を示す断面図である。
【００２４】
この固体撮像装置は、光電変換膜１４０３ａ（第１の受光部）と、光電変換膜１４０３ｂ（第２の受光部）と、マイクロレンズ７０７ａ（第１の集光部）と、マイクロレンズ７０７ｂ（第２の集光部）と、上部マイクロレンズ１４０１（光分割部）とを備える。
【００２５】
光電変換膜１４０３ａ（第１の受光部）は、マイクロレンズ７０７ａ（第１の集光部）からの入射光を受けて光電変換を行う。
【００２６】
光電変換膜１４０３ｂ（第２の受光部）は、光電変換膜１４０３ａ（第１の受光部）に隣接して配置され、入射光を受けて光電変換を行う。固体撮像装置において複数の光電変換膜１４０３ａ（第１の受光部）は、複数の光電変換膜１４０３ｂ（第２の受光部）とともに二次元状に配置される。
【００２７】
マイクロレンズ７０７ａ（第１の集光部）は、光電変換膜１４０３ａ（第１の受光部）の上方に形成され、第１の方向から入射光を光電変換膜１４０３ａ（第１の受光部）に集光する。つまり、マイクロレンズ７０７ａは、第１の方向に対する集光特性が他の方向に対する集光特性よりも良くなっている。
【００２８】
マイクロレンズ７０７ｂ（第２の集光部）は、光電変換膜１４０３ｂ（第２の受光部）の上方に形成され、第１の方向とは異なる第２の方向からの入射光を光電変換膜１４０３ｂ（第２の受光部）に集光する。マイクロレンズ７０７ｂは、第２の方向に対する集光特性が他の方向に対する集光特性よりもよくなっている。
【００２９】
上部マイクロレンズ１４０１は、隣接する２つのマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの組（第１および第２の集光部の組）の上方に形成され、入射光をマイクロレンズ７０７ａおよび７０７ｂ（第１および第２の集光部）に集光する。マイクロレンズ７０７ａおよび７０７ｂの集光特性に方向性があることから、上部マイクロレンズ１４０１（光分割部）は、結果的に図１に示したように、カメラレンズから入射される光線を第１の方向と第２の方向の２つに分割し、分割された光を、マイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂに照射することになる。
【００３０】
この固体撮像装置は、光電変換膜１４０３ａ（第１の受光部）で光電変換した信号と光電変換膜１４０３ｂ（第２の受光部）で光電変換した信号とをそのまま出力することも、加算して出力することも可能である。つまり、立体画像（視差を有する２つの画像）と、静止画像とを出力することができる。
【００３１】
マイクロレンズ７０７ａ（第１の集光部）およびマイクロレンズ７０７ｂ（第２の集光部）のそれぞれは、受光面と垂直な軸を中心軸とし異なる屈折率の材料を同心状に繰り返し配置した構造を有している。中心軸の位置は第１の方向又は第２の方向に依存して第１又は第２の集光部の中心から偏心している。この偏心により視差を有する２つの画像を同時に撮像することができる。
【００３２】
図中の第１の単位セルは、上部マイクロレンズ１４０１の下であって、光電変換膜１４０３ａ（第１の受光部）と、マイクロレンズ７０７ａ（第１の集光部）とを含む部分を指す。
【００３３】
第２の単位セルは、上部マイクロレンズ１４０１の下であって、光電変換膜１４０３ｂ（第２の受光部）とマイクロレンズ７０７ｂ（第２の集光部）とを含む部分を指す。
【００３４】
また、図１は、後述する領域Ａと領域Ｂの光を、後述する図５Ａに示す第１の単位セルに対応する光電変換膜１４０３ａと第２の単位セルに対応する光電変換膜１４０３ｂに入射する際の光の経路を示し、上部マイクロレンズ１４０１は、水平方向の２つの単位セルに１個配置されており、前記２つの単位セルの間を最大とする放物線を描く形状である。
【００３５】
また、図１に示す、上部マイクロレンズ１４０１は、カメラレンズから入射される光線を水平方向の左右２つに分割し、分割された左右の光は、マイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂに照射される。
【００３６】
次に、図２は、立体撮像するときの被写体、カメラレンズおよび固体撮像装置の概略図である。
【００３７】
図２では、１つのレンズ１０１（カメラレンズ）の２つの異なる領域Ａ、Ｂから固体撮像装置１０２へ集光する様子が示されている。
【００３８】
図２では、ある被写体１０４をレンズ１０１で固体撮像装置の撮像領域に結像したときの焦点１０３が示されている。
【００３９】
被写体１０４をレンズ１０１で結像した場合、通常はレンズ１０１の全面を通過した光が焦点１０３に集光するよう光学系を成立させる。通常の２次元画像の撮像では被写体１０４から反射、または発光した光の波のうちレンズ１０１を通過した波が焦点１０３に集光する。
【００４０】
この時、レンズ１０１内の領域Ａを通過した光（光束）もレンズ１０１内の領域Ｂを通過した光（光束）も焦点１０３に同じく集光する。
【００４１】
しかしながら、領域Ａおよび領域Ｂのそれぞれからみた被写体１０４は本来異なる角度から見ているため、立体情報としては異なる情報である。そのため、通常のレンズ１０１の全面を集光した光を１点の焦点１０３に集光することは立体情報を積分してしまって２次元情報に変換している。
【００４２】
これに対して、本開示の固体撮像装置は１点の焦点１０３で積分してしまう立体情報を分解して保存する。
【００４３】
なお、領域ＡおよびＢは、マイクロレンズ７０７ａおよび７０７ｂの集光特性に対応して定まるレンズ１０１中の領域である。本固体撮像装置を備えるカメラにおいてレンズ１０１の領域ＡおよびＢ以外の領域をマスクすることは必須ではないが、マスクするようにしてもよい。
【００４４】
図３は、固体撮像装置の撮像エリア２０１に配置するマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの集光特性を撮像エリア２０１の上側の単位セル群の位置毎に示す図である。
【００４５】
なお、図３において、（ａ）は固体撮像装置の撮像エリア２０１の左上角位置（水平方向の左端かつ垂直方向の上端の位置）、（ｂ）は固体撮像装置の撮像エリア２０１の上方中心位置（水平方向の中心かつ垂直方向の上端の位置）、（ｃ）は固体撮像装置の撮像エリア２０１の右上角位置（水平方向の右端かつ垂直方向の上端の位置）、（ｄ）は固体撮像装置の撮像エリア２０１の左水平端位置（水平方向の左端かつ垂直方向の真中の位置）、（ｅ）は固体撮像装置の撮像エリア２０１の中心位置（水平方向の真中かつ垂直方向の真中の位置）、（ｆ）は固体撮像装置の撮像エリア２０１の右水平端位置（水平方向の右端かつ垂直方向の真中の位置）での単位セル群の集光特性のグラフを示している。図３では、撮像エリア２０１の下側の集光特性は上側の集光特性を折り返したものになっているため、撮像エリア２０１の下側の集光特性を省略している。
【００４６】
各集光特性のグラフには単位セル群毎に含まれる右目対応のマイクロレンズ７０７ａの集光特性、および左目対応のマイクロレンズ７０７ｂの集光特性の２種類の集光特性を示している。例えば図３（ｄ）では右目に対応したマイクロレンズ７０７ａの集光特性はほぼ０度の入射光を中心とした集光特性であるが、一方、左目に対応したマイクロレンズ７０７ｂの集光特性は２０度の入射光を中心とした集光特性である。
【００４７】
このように２種類の集光特性を持つマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂを単位セル群毎に配置することで図２の領域Ａおよび領域Ｂを通過する光を別々に受光する単板式固体撮像装置が実現できる。
【００４８】
図４は、本実施形態で利用するマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの集光特性を示す図である。右目に対応した集光特性と左目に対応した集光特性は、光線の入射角度が大きいところの受光量（受光感度）を大きくするように設計している。
【００４９】
この設計により、左目対応で受光する光線の入射角度の平均と、右目対応で受光する光線の入射角度の平均との差を確保することができるため、立体画像出力動作で出力する左右画像には視差が保たれる。
【００５０】
また、図４に示すマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの集光特性は、右目に対応した光線と左目に対応した光線を加算した集光特性が、入射角度が0のところで最大となる放物線を描くように設計している。つまり、撮像エリア２０１の中心部におけるマイクロレンズ７０７ａの集光特性曲線と、当該マイクロレンズ７０７ｂと組をなすマイクロレンズ７０７ｂの集光特性曲線とを加算した特性曲線は、入射角度が０のとき最大となる放物線となるように設計されている。ここで、入射角度は、撮像エリア２０１の法線と入射光とがなす角である。
【００５１】
この設計により、平面画像出力動作で出力する平面画像は、平面画像出力向けに開発された従来の固体撮像装置と同等の画質を実現できる。
【００５２】
次に、マイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの配置の詳細について説明する。
【００５３】
図５Ａ〜図５Ｃは、図２の領域Ａおよび領域Ｂを通過する情報（光）を個別に保存（集光）するための単位セルの配列例を示す図である。
【００５４】
以後、領域Ａからの光を受光しマイクロレンズ７０７ａを有する単位セルを第１の単位セル４０１、領域Ｂからの光を受光しマイクロレンズ７０７ｂする単位セルを第２の単位セル４０２とする。
【００５５】
図５Ａでは、第１の単位セル４０１の列と第２の単位セル４０２の列とが行方向に交互に配置されている。図５Ｂでは、複数の第１の単位セル４０１と複数の第２の単位セル４０２とが千鳥格子で配置されており、列方向（垂直方向）および行方向（水平方向）に交互に配置されている。図５Ｃでは、第１の単位セル４０１の行と第２の単位セル４０２の行とが列方向に交互に配置されている。
【００５６】
なお、単位セルの配列としては３種類を図示したが、第１の単位セル４０１および第２の単位セル４０２を数セル単位のブロック毎に配置するなどしても良い。
【００５７】
このように配置することで局所的には２種類の領域Ａおよび領域Ｂからの光を同時に受光できる。
【００５８】
次に、上記の集光特性を実現するマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの詳細を説明する。
【００５９】
図６は、図３の集光特性を実現するマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの配置例を単位セル群毎に示す図である。なお、図６の配置例は図５Ａの単位セルの配列の時の配置例を図示している。
【００６０】
図６において、（ａ）は固体撮像装置の撮像エリア２０１の左上角位置、（ｂ）は固体撮像装置の撮像エリア２０１の上方中心位置、（ｃ）は固体撮像装置の撮像エリア２０１の右上角位置、（ｄ）は固体撮像装置の撮像エリア２０１の左水平端位置、（ｅ）は固体撮像装置の撮像エリア２０１の中心位置、（ｆ）は固体撮像装置の撮像エリア２０１の右水平端位置での単位セル群のマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの上面パターン（局所的な４×４の１６個のマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの上面パターン）を示している。
【００６１】
図３の集光特性を実現するためにマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂは、上方から見たとき、マイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂへの入射光の波長と同程度かそれよりも短い線幅で分離され、マイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの受光面に対して垂直な方向の軸を中心軸とする同心構造の複数の光透過膜を有し、複数の光透過膜の組み合わせによって制御された実効屈折率分布を有している。
【００６２】
また、このようなマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂを実現するために、マイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂは、例えば無機材料で形成されたマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂ、いわゆるデジタルマイクロレンズとされる。図６のような上面パターンを持つマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂを実装すれば、局所的に異なる入射角度に対応する異なる集光特性を持つ固体撮像装置を実現することが可能になる。
【００６３】
次に、マイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの構成とマスクパターンについて説明する。
【００６４】
図７Ａは、図６（ｄ）又は図６（ｆ）の単位セル群のマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの構成の一例を示す断面図である。
【００６５】
図７Ｂは図７Ａのマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの上段構造を形成するためのマスクパターンの上面図である。図７Ｃは図７Ａのマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの下段構造を形成するためのマスクパターンの上面図である。図７Ａのマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂは、図７Ｂおよび図７Ｃのマスクパターンを用いて形成された２段構造のマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂである。
【００６６】
マイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂのそれぞれは、下段形成用のマスクパターンにより形成された下段集光部と、上段形成用のマスクパターンにより形成された上段集光部とで構成する。
【００６７】
以下、本実施形態に係る撮像方式における固体撮像装置の基本動作について、図８を用いて説明する。
【００６８】
図８は、実施形態に係る固体撮像装置の構成を示すブロック図である。図中、２点鎖線の円は、上部マイクロレンズ１４０１を表している。上部マイクロレンズ１４０１のそれぞれは、２つの第１および第２単位セルを覆うように配置されている。
【００６９】
第１の単位セルは、アドレストランジスタ７０１、増幅トランジスタ７０２、右側画素電極７０４、光電変換膜１４０３ａ（第１の受光部）を含む。
【００７０】
第２の単位セルは、アドレストランジスタ７０１、増幅トランジスタ７０２、左側画素電極７０５、光電変換膜１４０３ｂ（第２の受光部）を含む。
【００７１】
上部マイクロレンズ１４０１と第１および第２の受光部（光電変換膜１４０３ａ、１４０３ｂ）の間には、図１に示した第１および第２の集光部（マイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂ）が形成されているが、回路構成を明確化するため図８では省略している。このように、１つの上部マイクロレンズ１４０１の下には、図５Ａ〜図５Ｃに示した２つの第１および第２の単位セル４０１、４０２が形成されている。
【００７２】
以下では、２つの光電変換膜１４０３ａ、１４０３ｂの位置を特に区別しない場合には代表として単に光電変換膜１４０３と記す。
【００７３】
図８において、行選択部７０８により選択された行の光電変換膜１４０３で光電変換された信号電荷は、蓄積ダイオードにて電圧に変換され、増幅トランジスタ７０２で増幅され、アドレストランジスタ７０１を介して垂直信号線に電圧信号として出力され、Ａ/Ｄ変換器７１０にてディジタル信号に変換する。
【００７４】
列選択部７１１は、複数の受光部から光電変換信号の読み出し順序を選択的に制御する選択回路である。増幅トランジスタ７０２と負荷部７１３とは、ソースフォロア回路を構成している。光電変換膜１４０３には、透明電極電源７１４からすべての受光部に同じ電圧が印加されている。増幅トランジスタ７０２には、すべての受光部に共通に、ソースフォロア電源７１５からソースフォロア電源電圧が印加されている。
【００７５】
上記電圧信号を出力した後、必要な場合は、受光部内の蓄積ダイオードに蓄積された信号電荷は、リセットトランジスタ７０３をＯＮすることにより排出する。
【００７６】
次に、本実施形態において、立体画像を出力するときの動作について説明する。
【００７７】
上部マイクロレンズ１４０１内に配置された２つの受光部の信号は、列選択部７１１により水平走査方向に順次選択され出力する。立体画像出力動作のとき、列選択部７１１は、加算器で加算した信号は選択しないため、右側画素電極７０４の出力を光電変換した信号と、左側画素電極７０５の出力を光電変換した信号を固体撮像装置から出力する。
【００７８】
次に、本実施形態において、平面画像を出力するときの動作について説明する。
【００７９】
上部マイクロレンズ１４０１内に配置された２つの受光部の信号値を信号加算部７１２で加算し、この加算した信号を列選択部７１１により水平走査方向に順次選択され出力する。平面画像出力動作のとき、列選択部７１１は、信号加算部７１２で加算した信号のみ選択するため、加算した信号のみが固体撮像装置から出力する。
【００８０】
なお、前述した図１では、光電変換膜と光電変換膜の境界に金属配線１４０２が通る構成としたが、これに限るものではない。
【００８１】
図９は、本実施形態の変形例における固体撮像装置の断面図を示した図である。図９において、固体撮像装置は、第１の単位セルに対応する光電変換膜１４０３ａと第２の単位セルに対応する光電変換膜１４０３ｂの間に反射板１５０１を有する。
【００８２】
反射板１５０１は、マイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂから照射される光を光電変換膜へ効率的に入射するために、マイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂに近いところでは、幅は短く、光電変換膜に近いところでは、幅が大きくなるような形状で構成される。
【００８３】
また、異なる上部マイクロレンズ１４０１で受光した光が混ざらないようにするため、上部マイクロレンズ１４０１の境界は、前述した実施形態と同じように金属配線１４０２で構成する。
【００８４】
この構成をとることにより、光電変換膜へ入射する光の集光効率を上げることができる。
【００８５】
なお、図７Ａ〜図７Ｃではマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂが上下２段構造の例を説明したが、上段に相当する１段構造でもよい。
【００８６】
（第２の実施形態）
第１の実施形態では２つの方向（第１および第２の方向）に高い集光特性を有する固体撮像装置について説明したが、第２の実施形態では４つの方向（第１〜第４の方向）に高い集光特性を有し、水平方向の視差をもつ立体画像と、垂直方向に視差をもつ立体画像と、平面画像とを出力する固体撮像装置について説明する。
【００８７】
以下、図面を参照しながら、本実施形態に係る固体撮像装置の構成及び動作について、上述した実施形態との相違点を中心に説明する。
【００８８】
図１０は、本実施形態における、立体撮像するときの被写体、カメラレンズおよび固体撮像装置の概略図である。図１０では、１つのレンズ１０１（カメラレンズ）の４つの異なる領域Ａ〜Ｄから固体撮像装置へ集光する様子が示されている。
【００８９】
図１０では、ある被写体１０４をレンズ１０１で固体撮像装置の撮像領域に結像したときの焦点１０３が示されている。
【００９０】
被写体１０４をレンズ１０１で結像した場合、通常はレンズ１０１の全面を通過した光が焦点１０３に集光するよう光学系を成立させる。
【００９１】
通常の２次元画像の撮像では被写体１０４から反射、または発光した光の波のうちレンズ１０１を通過した波が焦点１０３に集光する。
【００９２】
この時、レンズ１０１内の領域Ａを通過した光（光束）もレンズ１０１内の領域Ｂを通過した光（光束）も領域Ｃを通過した光（光束）も領域Ｄを通過した光（光束）も焦点１０３に同じく集光する。
【００９３】
しかしながら、領域Ａおよび領域Ｂ、領域Ｃおよび領域Ｄのそれぞれからみた被写体１０４は本来異なる角度から見ているため、立体情報としては異なる情報である。
【００９４】
そのため、通常のレンズ１０１の全面を集光した光を１点の焦点１０３に集光することは立体情報を積分してしまって２次元情報に変換している。
【００９５】
これに対して、本開示の固体撮像装置は１点の焦点１０３で積分してしまう立体情報を分解して保存する。
【００９６】
次に、マイクロレンズ（第１〜第４の集光部）の配置の詳細について説明する。
【００９７】
図１１は、図１０の領域Ａおよび領域Ｂ、領域Ｃおよび領域Ｄを通過する情報（光）を個別に保存（集光）するための第１〜第４の単位セル（マイクロレンズ）の配列例を示す図である。
【００９８】
以後、領域Ａからの光を受光する単位セルを第１の単位セル４０１、領域Ｂからの光を受光する単位セルを第２の単位セル４０２、領域Ｃからの光を受光する単位セルを第３の単位セル４０３、領域Ｄからの光を受光する単位セルを第４の単位セル４０４とする。
【００９９】
図１０では、第１の単位セル４０１と第２の単位セル４０２とが行方向に交互に配置されている。
【０１００】
また、第１の単位セル４０１と第３の単位セル４０３は列方向に交互に配置されており、第２の単位セル４０２と第４の単位セル４０４は列方向に交互に配置されている。
【０１０１】
なお、第１の単位セル４０１および第２の単位セル４０２、第３の単位セル４０３および第４の単位セル４０４を数セル単位のブロック毎に配置するなどしても良い。
【０１０２】
このように配置することで局所的には４種類の領域Ａおよび領域Ｂ、領域Ｃおよび領域Ｄからの光を同時に受光できる。
【０１０３】
図１２は、本実施形態に係る固体撮像装置の構成を示すブロック図である。図中、２点鎖線の円は、上部マイクロレンズ１４０１を表している。上部マイクロレンズ１４０１のそれぞれは、４つの第１〜第４の単位セルを覆うように配置されている。
【０１０４】
第１の単位セルは、アドレストランジスタ７０１、増幅トランジスタ７０２、右上画素電極１００１、光電変換膜１４０３ａ（第１の受光部）を含む。
【０１０５】
第２の単位セルは、アドレストランジスタ７０１、増幅トランジスタ７０２、左上画素電極１００２、光電変換膜１４０３ｂ（第２の受光部）を含む。
【０１０６】
第３の単位セルは、アドレストランジスタ７０１、増幅トランジスタ７０２、右下画素電極１００３、光電変換膜１４０３ｃ（第３の受光部）を含む。
【０１０７】
第４の単位セルは、アドレストランジスタ７０１、増幅トランジスタ７０２、左下画素電極１００４、光電変換膜１４０３ｄ（第４の受光部）を含む。また、上部マイクロレンズ１４０１と第１〜第４の受光部（光電変換膜１４０３ａ〜１４０３ｄ）の間には、第１〜第４の集光部（マイクロレンズ７０７ａ〜７０７ｄ）が形成されているが、回路構成を明確化するため図１２では省略している。このように、１つの上部マイクロレンズ１４０１の下には、図１１中の４つの第１〜第４の単位セル４０１〜４０４が形成されている。
【０１０８】
光電変換した信号を垂直信号線７０９から出力し、Ａ/Ｄ変換器７１０にてディジタル信号に変換するまでの処理フローは、前の実施形態と同じであるため省略する。
【０１０９】
図１２に示す固体撮像装置の構成をとることにより、（１）水平方向に視差のある立体画像、（２）垂直方向に視差のある立体画像、（３）平面画像、（４）図８に示す４種類の領域からの光を加算せずに出力した画像、の４つの画像のうち、１つを出力することができる。
【０１１０】
本実施形態における、水平方向に視差のある立体画像の出力方法を説明する。
【０１１１】
右上画素電極１００１の出力をＡ/Ｄ変換器７１０にてディジタル信号に変換し、信号保持部１００８にて保持する。
【０１１２】
次に、右下画素電極１００３の出力をＡ/Ｄ変換器７１０にてディジタル信号に変換し、垂直信号加算部１００６によって、信号保持部１００８に保持した信号と加算する。
【０１１３】
左上画素電極１００２の出力と左下画素電極１００４の出力についても、同様に、Ａ/Ｄ変換器７１０にてディジタル信号に変換し、垂直信号加算部１００６で加算する。
【０１１４】
次に、信号選択部１００９は、垂直信号加算部１００６で加算した信号を選択する。
【０１１５】
列選択部７１１は、水平信号加算部１００７の信号を選択せず、垂直信号加算部１００６の出力を選択する。
【０１１６】
垂直信号加算部１００６で信号を加算することにより出来る立体画像は、図８の領域Ａと領域Ｃの入射光を加算して出来る像と、領域Ｂと領域Ｄの入射光を加算して出来る像で形成される。それぞれの像は、入射光が水平方向に異なるため、この出力方法によって水平方向に視差のある立体画像が出力される。
【０１１７】
本実施形態における、垂直方向に視差のある立体画像の出力方法を説明する。
【０１１８】
右上画素電極１００１の出力と左上画素電極１００２の出力のそれぞれをＡ/Ｄ変換器７１０にてディジタル信号に変換する。
【０１１９】
次に、信号選択部１００９は、Ａ/Ｄ変換器７１０の出力を選択する。
【０１２０】
次に、列選択部７１１は、水平信号加算器によって加算された信号を選択して出力する。
【０１２１】
次に、右下画素電極１００３の出力と左下画素電極１００４の出力のそれぞれをＡ/Ｄ変換器７１０にてディジタル信号に変換する。
【０１２２】
次に、信号選択部１００９は、Ａ/Ｄ変換器７１０の出力を選択する。
【０１２３】
次に、列選択部７１１は、水平信号加算器によって加算された信号を選択して出力する。
【０１２４】
水平信号加算部１００７で信号を加算することにより出来る立体画像は、図８の領域Ａと領域Ｂの入射光を加算して出来る像と、領域Ｃと領域Ｄの入射光を加算して出来る像で形成される。それぞれの像は、入射光が垂直方向に異なるため、この出力方法によって垂直方向に視差のある立体画像が出力される。
【０１２５】
本実施形態における、平面画像の出力方法を説明する。
【０１２６】
右上画素電極１００１の出力をＡ/Ｄ変換器７１０にてディジタル信号に変換し、信号保持部１００８にて保持する。
【０１２７】
次に、右下画素電極１００３の出力をＡ/Ｄ変換器７１０にてディジタル信号に変換し、垂直信号加算部１００６によって、信号保持部１００８に保持した信号と加算する。
【０１２８】
左上画素電極１００２の出力と左下画素電極１００４の出力についても、同様に、Ａ/Ｄ変換器７１０にてディジタル信号に変換し、垂直信号加算部１００６で加算する。
【０１２９】
次に、信号選択部１００９は、垂直信号加算部１００６で加算した信号を選択する。
【０１３０】
列選択部７１１は、水平信号加算部１００７の信号を選択して出力する。
【０１３１】
垂直信号加算部１００６と水平信号加算部１００７で信号を加算することにより出来る平面画像は、図８の領域Ａと領域Ｂ、領域Ｃと領域Ｄの入射光を加算して出来る像で形成される。
【０１３２】
本実施形態における、複数の立体画像の出力方法を説明する。
【０１３３】
信号選択部１００９は、Ａ/Ｄ変換器７１０にてディジタル信号に変換された信号を選択する。
【０１３４】
次に、列選択部７１１は、Ａ/Ｄ変換器７１０にてディジタル信号に変換された信号を選択し出力する。
【０１３５】
よって、固体撮像装置からは、Ａ/Ｄ変換器７１０でディジタル信号に変換された信号が出力される。
【０１３６】
（変形例１）
図１３Ａは、本実施形態の変形例１における固体撮像装置の構成を示すブロック図である。本変形例では、図１３Ａに示すように、固体撮像素子１１０１と、加算処理装置１１０２とを備える。
【０１３７】
固体撮像素子１１０１は、加算部を除く第１から第４の受光部、前記第１から第４の集光部、および、前記上部マイクロレンズを半導体基板上に備える構成でよい。つまり、図１２から垂直信号加算部１００６、水平信号加算部１００７、信号保持部１００８および信号選択部１００９を削除した固体撮像装置と同じ構成でよい。あるいは、図１２の固体撮像装置と同じ構成でもよい。
【０１３８】
以後、加算処理装置１１０２を説明する。
【０１３９】
加算処理装置１１０２は、垂直加算処理部１１０３と水平加算処理部１１０４と画像回転処理部１１０５と水平垂直加算処理部１１０６を備える。
【０１４０】
垂直加算処理部１１０３は、固体撮像素子１１０１の出力信号を平面座標に対応して配置した際の、隣接する垂直２画素の信号を加算して出力する。垂直加算処理部１１０３の出力は、水平方向に視差のある立体画像になる。
【０１４１】
水平加算処理部１１０４は、固体撮像素子１１０１の出力信号を平面座標に対応して配置した際の、隣接する水平２画素の信号を加算して出力する。水平加算処理部１１０４の出力は、垂直方向に視差のある立体画像になる。
【０１４２】
画像回転処理部１１０５は、水平加算処理部１１０４の出力を平面座標に対応して配置した際、各座標を９０度回転した画像に変換する。画像回転処理部１１０５によって、垂直方向に視差のある立体画像が、水平方向に視差のある立体画像に変換する。
【０１４３】
水平垂直加算処理部１１０６は、固体撮像素子１１０１の出力信号を平面座標に対応して配置した際の、隣接する水平垂直４画素の信号を加算して出力する。
【０１４４】
垂直加算処理部１１０３の出力は、平面画像になる。
【０１４５】
なお、出力する画像を選択する際、利用者が指定できるようにしてもよいし、固体撮像装置１０２とは異なるセンサの出力によって制御するようにしてもよい。
【０１４６】
（変形例２）
図１３Ｂは、本実施形態の変形例２における固体撮像装置の構成を示すブロック図である。本変形例では、図１３Ｂに示すように、図１３Ａの構成に対して、角度センサ１１０７と選択部１１０８を追加した構成になっている。
【０１４７】
角度センサ１１０７は、固体撮像素子１１０１の重力に対する角度を検知する。
【０１４８】
選択部１１０８は、角度センサ１１０７の出力によって、垂直加算処理部１１０３（第１の処理部）と、水平加算処理部１１０４（第２の処理部）とのどちらを動作させるかを選択する。
【０１４９】
例えば、角度センサ１１０７を用いる場合、被写体１０４を撮影するときの固体撮像素子１１０１の向きによって、加算の動作を制御する。これによって、第１および第２の処理部から出力される立体画像のうち、常に、視差の方向が重力と垂直関係となる方向とより近い方の立体映像を出力することができる。
【０１５０】
なお、本実施形態において、視差の方向が水平方向および垂直方向の２つの立体画像について説明したが、水平方向、垂直方向は、必ずしも重力に対する方向ではなく、撮像エリアのＸ軸方向、Ｙ軸方向を意味する。
【０１５１】
なお、本実施形態における固体撮像装置は、水平方向（Ｘ軸方向）、垂直方向（Ｙ軸方向）に視差を有する立体画像だけでなく、右下がり４５度方向（Ｘ軸に対して＋４５度）、左下がり４５度方向（Ｘ軸に対して−４５度）に視差を有する立体画像も生成可能である。
【０１５２】
この場合、例えば、図１３Ｂにおいて、さらに、第１の受光部の信号から得られる静止画像と第４の受光部の信号から得られる静止画像とからなる立体画像を生成する第３の処理部と、第２の受光部の信号から得られる静止画像と第３の受光部の信号から得られる静止画像とからなる立体画像を生成する第４の処理部を備える構成としてもよい。さらに、画像回転処理部１１０５は、さらに、第３および第４の処理部により生成された画像を左４５度または右４５度回転する。選択部１１０８は、角度センサ１１０７の出力に応じて第１〜第４の処理部を選択し、画像回転処理部１１０５の回転角度（＋４５度、−４５度、＋９０度、−９０度等）を選択する。
【０１５３】
こうすれば、固体撮像装置の角度がどの向きになっても、視差の方向が重力と垂直な方向が、常に４５度以内の立体映像を出力することができる。
【０１５４】
なお、図１３Ａ、図１３Ｂにおいて固体撮像素子１１０１と加算処理装置１１０２は、別個の半導体装置（チップ）でよいが、１つの半導体装置であってもよい。加算処理装置１１０２は１つの半導体装置であってもよいし、複数の半導体装置であってもよい。また、加算処理装置１１０２の機能の全部または一部をパーソナルコンピュータ等の情報処理装置で実現してもよい。
【０１５５】
（第３の実施形態）
本実施形態における固体撮像装置は、撮像エリアの中心部におけるマイクロレンズ７０７ａ（第１の集光部）の集光特性曲線と、当該マイクロレンズ７０７ａ（第１の集光部）と組をなすマイクロレンズ７０７ｂ（第２の集光部）の集光特性曲線とを加算した特性曲線が、入射角度０度で最小となるように構成される。ここで入射角度は撮像エリアの法線と入射光とのなす角である。
【０１５６】
以下、図面を参照しながら、実施形態に係る固体撮像装置の構成及び動作について、上述した実施形態との相違点を中心に説明する。
【０１５７】
第３の実施形態で用いるマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂ（第１および第２の集光部）の構成とマスクパターンについて説明する。
【０１５８】
図１４Ａと図１４Ｂと図１４Ｃは、撮像エリアの中心部におけるマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂの構造を形成するためのマスクパターンの上面図である。このマスクパターンによるマイクロレンズ７０７ａ、７０７ｂは一段構造であるが、二段構造であってもよい。
【０１５９】
図１４Ａ〜図１４Ｃにおいて、マイクロレンズ７０７ａおよび７０７ｂの中心軸はそれぞれ偏心している。具体的には、マイクロレンズ７０７ａおよび７０７ｂの中心軸の距離は、対応する第１および第２の受光部の中心の距離よりも小さくなっている。
【０１６０】
図１５は、本実施形態に係るマイクロレンズの集光特性の例を示した図である。
【０１６１】
図１４Ａに示すマスクパターンで構成するマイクロレンズにおいて、右目対応の集光特性を図１５の（Ａ）に、左目対応の集光特性を図１５の（Ｂ）に示す。
【０１６２】
図１４Ｂに示すマスクパターンで構成するマイクロレンズにおいて、右目対応の集光特性を図１５の（Ｃ）に、左目対応の集光特性を図１５の（Ｄ）に示す。
【０１６３】
図１４Ｃに示すマスクパターンで構成するマイクロレンズにおいて、右目対応の集光特性を図１５の（Ｅ）に、左目対応の集光特性を図１５の（Ｆ）に示す。
【０１６４】
この構成によれば、入射角度の大きい光線の受光量を大きくすることができるため、第１の実施形態の固体撮像装置の構成において、より視差の大きい立体画像を出力することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１６５】
本開示は、撮像方式に利用可能であり、特に３Ｄカメラおよび３Ｄ内視鏡カメラなどの被写体の立体視を行うカメラに利用可能であり、産業上有用である。
【符号の説明】
【０１６６】
１０１  レンズ
１０２  固体撮像装置
１０３  焦点
１０４  被写体
２０１  撮像エリア
４０１  第１の単位セル
４０２  第２の単位セル
４０３  第３の単位セル
４０４  第４の単位セル
７０１  アドレストランジスタ
７０２  増幅トランジスタ
７０３  リセットトランジスタ
７０４  右側画素電極
７０５  左側画素電極
７０７ａ、７０７ｂ  マイクロレンズ
７０８  行選択部
７０９  垂直信号線
７１０  Ａ/Ｄ変換器
７１１  列選択部
７１２  信号加算部
７１３  負荷部
７１４  透明電極電源
７１５  ソースフォロア電源
１００１  右上画素電極
１００２  左上画素電極
１００３  右下画素電極
１００４  左下画素電極
１００５  第２の実施形態におけるマイクロレンズ
１００６  垂直信号加算部
１００７  水平信号加算部
１００８  信号保持部
１００９  信号選択部
１１０１  第３の実施形態における固体撮像装置
１１０２  加算処理装置
１１０３  垂直加算処理部
１１０４  水平加算処理部
１１０５  画像回転処理部
１１０６  水平垂直加算処理部
１４０１  上部マイクロレンズ
１４０３、１４０３ａ、１４０３ｂ、１４０３ｃ、１４０３ｄ  光電変換膜
１５０１  反射板
【図１】
2015050208.tif 000003
【図２】
2015050208.tif 000004
【図３】
2015050208.tif 000005
【図４】
2015050208.tif 000006
【図５Ａ】
2015050208.tif 000007
【図５Ｂ】
2015050208.tif 000008
【図５Ｃ】
2015050208.tif 000009
【図６】
2015050208.tif 000010
【図７Ａ】
2015050208.tif 000011
【図７Ｂ】
2015050208.tif 000012
【図７Ｃ】
2015050208.tif 000013
【図８】
2015050208.tif 000014
【図９】
2015050208.tif 000015
【図１０】
2015050208.tif 000016
【図１１】
2015050208.tif 000017
【図１２】
2015050208.tif 000018
【図１３Ａ】
2015050208.tif 000019
【図１３Ｂ】
2015050208.tif 000020
【図１４Ａ】
2015050208.tif 000021
【図１４Ｂ】
2015050208.tif 000022
【図１４Ｃ】
2015050208.tif 000023
【図１５】
2015050208.tif 000024