(57)【要約】      （修正有）【課題】床面に向かって空気が吹き付けられても床面上の塵埃等の異物が舞い上がって吸引ヘッドの外部に漏出しまうことを防止することができ、よってクリーンルーム等の環境下で掃除を行うことができる掃除機および掃除方法を提供する。【解決手段】掃除機は、空気を吹き付けるノズル１６および床面５０上の異物を吸引する排気ダクト１１を有する吸引ヘッド１０と、吸引ヘッド１０の排気ダクト１１から排気を吸引し、吸引された空気をノズル１６に送るモータを有する本体とを備えている。吸引ヘッド１０は、床面５０に接地したときに排気ダクト１１が外部空間から隔離されて当該排気ダクト１１内で密閉空間を形成する。【選択図】図２
2015130956.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気を吹き付けるノズルおよび床面上の異物を吸引する排気ダクトを有する吸引ヘッドと、
前記吸引ヘッドの前記ノズルに連通する給気通路および前記吸引ヘッドの前記排気ダクトに連通する排気通路を有するホースと、
前記ホースの前記排気通路に接続され、前記吸引ヘッドの前記排気ダクトから排気を吸引し、吸引されて前記異物を除去した後の空気を前記ホースの前記給気通路を介して前記ノズルに送るモータを有する本体と、
を備え、
前記吸引ヘッドは、床面に接地したときに前記排気ダクトが外部空間から隔離されて当該排気ダクト内で密閉空間を形成することを特徴とする、掃除機。
【請求項２】
前記吸引ヘッドの前記ノズルまたは前記排気ダクトの少なくとも一方には開閉弁が設けられており、前記吸引ヘッドが床面から離間しているときには前記開閉弁は閉じるようになっており、前記吸引ヘッドを床面に接地させた状態で当該吸引ヘッドを更に床面に押し込んだときに前記開閉弁が開くようになっている、請求項１記載の掃除機。
【請求項３】
前記本体には、前記モータにより吸引された空気が圧縮状態で貯留される空気室および前記空気室の出口側に配置される増圧弁がそれぞれ設けられており、前記吸引ヘッドが床面から離間しているときには前記増圧弁は閉じるようになっており、前記吸引ヘッドを床面に接地させた状態で当該吸引ヘッドを更に床面に押し込んだときに前記増圧弁が開いて前記空気室から前記吸引ヘッドの前記ノズルに圧縮空気が送られるようになっている、請求項２記載の掃除機。
【請求項４】
前記吸引ヘッドの底面には接触センサが設けられており、
前記吸引ヘッドの前記ノズルまたは前記排気ダクトの少なくとも一方には開閉弁が設けられており、前記吸引ヘッドが床面から離間しているときには前記開閉弁は閉じるようになっており、前記吸引ヘッドが床面に接地することにより前記接触センサが当該床面に接触したときに前記開閉弁が開くようになっている、請求項１記載の掃除機。
【請求項５】
前記本体には、前記モータにより吸引された空気が圧縮状態で貯留される空気室および前記空気室の出口側に配置される増圧弁がそれぞれ設けられており、前記吸引ヘッドが床面から離間しているときには前記増圧弁は閉じるようになっており、前記接触センサが床面に接触したときに前記増圧弁が開いて前記空気室から前記吸引ヘッドの前記ノズルに圧縮空気が送られるようになっている、請求項４記載の掃除機。
【請求項６】
前記吸引ヘッドにおいて前記ノズルによる空気の吐出口の断面積は前記排気ダクトによる空気の排気口の断面積よりも小さくなっている、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の掃除機。
【請求項７】
前記ノズルの前記吐出口および前記排気ダクトの前記排気口のいずれか一方は他方に対して前記吸引ヘッド内において略同一中心の位置で外側または内側に配置されている、請求項６記載の掃除機。
【請求項８】
前記排気ダクトは床面に接地される下側壁部を有しており、当該下側壁部の下端部は前記吸引ヘッドの中心に向かって突出している、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の掃除機。
【請求項９】
前記下側壁部における前記吸引ヘッドの中心に向かって突出している部分は鉛直方向に対して傾斜または湾曲している、請求項８記載の掃除機。
【請求項１０】
前記吸引ヘッドの前記排気ダクト内の気圧を減圧するための圧力制御機構を更に備えた、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の掃除機。
【請求項１１】
清掃環境の気圧を検出する清掃環境気圧検出センサおよび前記排気ダクト内の気圧を検出するヘッド内気圧検出センサがそれぞれ設けられており、前記ヘッド内気圧検出センサにより検出された前記排気ダクト内の気圧と前記清掃環境気圧検出センサにより検出された清掃環境の気圧との比較結果に基づいて前記圧力制御機構が動作されるようになっている、請求項１０記載の掃除機。
【請求項１２】
空気を吹き付けるノズルおよび床面上の異物を吸引する排気ダクトを有する吸引ヘッドと、前記吸引ヘッドの前記ノズルに連通する給気通路および前記吸引ヘッドの前記排気ダクトに連通する排気通路を有するホースと、前記ホースの前記排気通路に接続され、前記吸引ヘッドの前記排気ダクトから排気を吸引し、吸引された空気を前記ホースの前記給気通路を介して前記ノズルに送るモータを有する本体とを備えた掃除機による掃除方法であって、
前記吸引ヘッドを床面に接地させて前記排気ダクトを外部空間から隔離させることにより当該排気ダクト内で密閉空間を形成する工程と、
前記モータにより前記吸引ヘッドの前記排気ダクトから排気を吸引する工程と、
吸引されて前記異物を除去した後の空気を前記ホースの前記給気通路を介して前記ノズルに送る工程と、
を備えたことを特徴とする、掃除方法。
【請求項１３】
前記密閉空間において前記吸引ヘッド内が清掃環境の気圧より減圧された状態で空気を吹き付ける、請求項１２記載の掃除方法。
【請求項１４】
清掃開始時の前記密閉空間の形成時において、前記モータにより前記吸引ヘッドの前記排気ダクトから排気を吸引する工程は、吸引されて前記異物を除去した後の空気を前記ホースの前記給気通路を介して前記ノズルに送る工程より先に開始する、請求項１２または１３記載の掃除方法。
【請求項１５】
掃除終了時の前記密閉空間の解除時において、前記モータにより前記吸引ヘッドの前記排気ダクトから排気を吸引する工程は、吸引されて前記異物を除去した後の空気を前記ホースの前記給気通路を介して前記ノズルに送る工程より後に終了する、請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載の掃除方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、掃除機および掃除方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、床面上の塵埃等の異物を除去する掃除機として様々なタイプのものが知られている。例えば、特許文献１には、電気掃除機本体の吸引口に連結されて使用される電気掃除機ノズルの吸い込み口の近傍に、床面に空気を吹き付けて塵埃を舞い上げる吹き出し口を設けることにより、掃除対象の生地を傷めることなく生地に埋もれた塵埃を確実に吸い取ることができる技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１５５７０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されるような掃除機では、床面に空気を吹き付けることにより舞い上がる塵埃の挙動を制御しにくい構造となっていることにより、舞い上がった塵埃が吸引ヘッドの外部に漏れ出てしまうおそれがあり、クリーンルーム等ではこのような掃除機を使用することができないという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、床面に向かって空気が吹き付けられても床面上の塵埃等の異物が舞い上がって吸引ヘッドの外部に漏出しまうことを防止することができ、よってクリーンルーム等の環境下で掃除を行うことができる掃除機および掃除方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の掃除機は、空気を吹き付けるノズルおよび床面上の異物を吸引する排気ダクトを有する吸引ヘッドと、前記吸引ヘッドの前記ノズルに連通する給気通路および前記吸引ヘッドの前記排気ダクトに連通する排気通路を有するホースと、前記ホースの前記排気通路に接続され、前記吸引ヘッドの前記排気ダクトから排気を吸引し、吸引されて前記異物を除去した後の空気を前記ホースの前記給気通路を介して前記ノズルに送るモータを有する本体と、を備え、前記吸引ヘッドは、床面に接地したときに前記排気ダクトが外部空間から隔離されて当該排気ダクト内で密閉空間を形成することを特徴とする。
【０００７】
このような掃除機によれば、吸引ヘッドを床面に接地させて排気ダクトを外部空間から隔離させることにより当該排気ダクト内で密閉空間を形成するため、掃除を行う際に吸引ヘッドを床面に接地させることにより、ノズルから床面に向かって空気が吹き付けられても床面上の塵埃等の異物が舞い上がって吸引ヘッドの外部に漏出しまうことが防止され、このことによりクリーンルーム等の環境下で掃除を行うことができるようになる。
【０００８】
本発明の掃除機においては、前記吸引ヘッドの前記ノズルまたは前記排気ダクトの少なくとも一方には開閉弁が設けられており、前記吸引ヘッドが床面から離間しているときには前記開閉弁は閉じるようになっており、前記吸引ヘッドを床面に接地させた状態で当該吸引ヘッドを更に床面に押し込んだときに前記開閉弁が開くようになっていてもよい。
【０００９】
この場合、前記本体には、前記モータにより吸引された空気が圧縮状態で貯留される空気室および前記空気室の出口側に配置される増圧弁がそれぞれ設けられており、前記吸引ヘッドが床面から離間しているときには前記増圧弁は閉じるようになっており、前記吸引ヘッドを床面に接地させた状態で当該吸引ヘッドを更に床面に押し込んだときに前記増圧弁が開いて前記空気室から前記吸引ヘッドの前記ノズルに圧縮空気が送られるようになっていてもよい。
【００１０】
本発明の掃除機においては、前記吸引ヘッドの底面には接触センサが設けられており、前記吸引ヘッドの前記ノズルまたは前記排気ダクトの少なくとも一方には開閉弁が設けられており、前記吸引ヘッドが床面から離間しているときには前記開閉弁は閉じるようになっており、前記吸引ヘッドが床面に接地することにより前記接触センサが当該床面に接触したときに前記開閉弁が開くようになっていてもよい。
【００１１】
この場合、前記本体には、前記モータにより吸引された空気が圧縮状態で貯留される空気室および前記空気室の出口側に配置される増圧弁がそれぞれ設けられており、前記吸引ヘッドが床面から離間しているときには前記増圧弁は閉じるようになっており、前記接触センサが床面に接触したときに前記増圧弁が開いて前記空気室から前記吸引ヘッドの前記ノズルに圧縮空気が送られるようになっていてもよい。
【００１２】
本発明の掃除機においては、前記吸引ヘッドにおいて前記ノズルによる空気の吐出口の断面積は前記排気ダクトによる空気の排気口の断面積よりも小さくなっていてもよい。
【００１３】
この場合、前記ノズルの前記吐出口および前記排気ダクトの前記排気口のいずれか一方は他方に対して前記吸引ヘッド内において略同一中心の位置で外側または内側に配置されていてもよい。
【００１４】
本発明の掃除機においては、前記排気ダクトは床面に接地される下側壁部を有しており、当該下側壁部の下端部は前記吸引ヘッドの中心に向かって突出していてもよい。
【００１５】
この場合、前記下側壁部における前記吸引ヘッドの中心に向かって突出している部分は鉛直方向に対して傾斜または湾曲していてもよい。
【００１６】
本発明の掃除機は、前記吸引ヘッドの前記排気ダクト内の気圧を減圧するための圧力制御機構を更に備えていてもよい。
【００１７】
この場合、清掃環境の気圧を検出する清掃環境気圧検出センサおよび前記排気ダクト内の気圧を検出するヘッド内気圧検出センサがそれぞれ設けられており、前記ヘッド内気圧検出センサにより検出された前記排気ダクト内の気圧と前記清掃環境気圧検出センサにより検出された清掃環境の気圧との比較結果に基づいて前記圧力制御機構が動作されるようになっていてもよい。
【００１８】
本発明の掃除方法は、空気を吹き付けるノズルおよび床面上の異物を吸引する排気ダクトを有する吸引ヘッドと、前記吸引ヘッドの前記ノズルに連通する給気通路および前記吸引ヘッドの前記排気ダクトに連通する排気通路を有するホースと、前記ホースの前記排気通路に接続され、前記吸引ヘッドの前記排気ダクトから排気を吸引し、吸引された空気を前記ホースの前記給気通路を介して前記ノズルに送るモータを有する本体とを備えた掃除機による掃除方法であって、前記吸引ヘッドを床面に接地させて前記排気ダクトを外部空間から隔離させることにより当該排気ダクト内で密閉空間を形成する工程と、前記モータにより前記吸引ヘッドの前記排気ダクトから排気を吸引する工程と、吸引されて前記異物を除去した後の空気を前記ホースの前記給気通路を介して前記ノズルに送る工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１９】
このような掃除方法によれば、吸引ヘッドを床面に接地させて排気ダクトを外部空間から隔離させることにより当該排気ダクト内で密閉空間を形成するため、ノズルから床面に向かって空気が吹き付けられても床面上の塵埃等の異物が舞い上がって吸引ヘッドの外部に漏出しまうことが防止され、このことによりクリーンルーム等の環境下で掃除を行うことができるようになる。
【００２０】
本発明の掃除方法においては、前記密閉空間において前記吸引ヘッド内が清掃環境の気圧より減圧された状態で空気を吹き付けるようになっていてもよい。
【００２１】
本発明の掃除方法においては、清掃開始時の前記密閉空間の形成時において、前記モータにより前記吸引ヘッドの前記排気ダクトから排気を吸引する工程は、吸引されて前記異物を除去した後の空気を前記ホースの前記給気通路を介して前記ノズルに送る工程より先に開始するようになっていてもよい。
【００２２】
本発明の掃除方法においては、掃除終了時の前記密閉空間の解除時において、前記モータにより前記吸引ヘッドの前記排気ダクトから排気を吸引する工程は、吸引されて前記異物を除去した後の空気を前記ホースの前記給気通路を介して前記ノズルに送る工程より後に終了するようになっていてもよい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の掃除機および掃除方法によれば、床面に向かって空気が吹き付けられても床面上の塵埃等の異物が舞い上がって吸引ヘッドの外部に漏出しまうことを防止することができ、よってクリーンルーム等の環境下で掃除を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１の実施の形態による掃除機の構成の概略を示す概略構成図である。
【図２】図１に示す掃除機における吸引ヘッドの構成を示す縦断面図である。
【図３】図２に示す吸引ヘッドのＡ−Ａ矢視による横断面図である。
【図４】図２に示す吸引ヘッドを床面に接地させたときの状態を示す縦断面図である。
【図５】図２に示す吸引ヘッドを床面に接地させた後に更に床面に押し込んだときの状態を示す縦断面図である。
【図６】図２に示す吸引ヘッドを床面から上方に離間させる直前の状態を示す縦断面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態による掃除機における吸引ヘッドの構成を示す縦断面図である。
【図８】図７に示す吸引ヘッドを底面側から見たときの構成を示す構成図である。
【図９】図７および図８に示す掃除機の動作を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の第３の実施の形態による掃除機の構成の概略を示す概略構成図である。
【図１１】図１０に示す掃除機の動作を示すフローチャートである。
【図１２】図１１に引き続く、図１０に示す掃除機の動作を示すフローチャートである。
【図１３】本発明の第４の実施の形態による掃除機における吸引ヘッドの構成を示す縦断面図である。
【図１４】図１３に示す吸引ヘッドのＢ−Ｂ矢視による横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
〔第１の実施の形態〕
以下、図面を参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。図１乃至図６は、本実施の形態による掃除機を示す図である。このうち、図１は、本実施の形態による掃除機の構成の概略を示す概略構成図であり、図２は、図１に示す掃除機における吸引ヘッドの構成を示す縦断面図であり、図３は、図２に示す吸引ヘッドのＡ−Ａ矢視による横断面図である。また、図４は、図２に示す吸引ヘッドを床面に接地させたときの状態を示す縦断面図であり、図５は、図２に示す吸引ヘッドを床面に接地させた後に更に床面に押し込んだときの状態を示す縦断面図であり、図６は、図２に示す吸引ヘッドを床面から上方に離間させる直前の状態を示す縦断面図である。
【００２６】
図１等に示すように、本実施の形態による掃除機は、本体３０と、本体３０に接続されたホース２４と、ホース２４の先端に設けられ、床面５０上の塵埃等の異物を吸引する吸引ヘッド１０とを備えている。図２に示すように、吸引ヘッド１０の内部にはノズル１６が設けられており、ノズル１６から下方に空気が吹き付けられることにより床面５０上の塵埃等の異物が舞い上がるようになっている。また、吸引ヘッド１０におけるノズル１６の外側には排気ダクト１１が配置されており、床面５０から舞い上がった塵埃等の異物は排気ダクト１１を介して吸引されるようになっている。このような吸引ヘッド１０の構成の詳細については後述する。
【００２７】
図１に示すように、ホース２４は、中心側に配置され吸引ヘッド１０のノズル１６に連通する給気通路２６と、外側に配置され吸引ヘッド１０の排気ダクト１１に連通する排気通路２８とからなる同心の二重構造となっている。ここで、本体３０からホース２４の給気通路２６を介して吸引ヘッド１０のノズル１６に空気が送られるとともに、吸引ヘッド１０の排気ダクト１１から排気が排気通路２８を介して本体３０に戻されるようになっている。掃除機の操作性を向上させるために、ホース２４は例えば蛇腹状のものからなっていてもよい。
【００２８】
本体３０の内部には、ホース２４の排気通路２８に接続され、排気ダクト１１から排気を吸引するモータ３２と、モータ３２に接続され、排気ダクト１１からホース２４の排気通路２８を介して送られた塵埃等の異物が集積される集塵袋３４とがそれぞれ設けられている。また、集塵袋３４にはプレフィルタ３６および高集塵フィルタ３８を介して空気室４０が接続されており、モータ３２により吸引された排気は集塵袋３４を通過した後にプレフィルタ３６および高集塵フィルタ３８により除塵され、その後、空気室４０内に圧縮状態で貯留されるようになっている。ここで、プレフィルタ３６は集塵袋３４から空気室４０に送られる空気中に含まれる比較的径が大きい塵埃等の異物を除去するようになっている。また、高集塵フィルタ３８は例えばＵＬＰＡフィルタ（Ｕｌｔｒａ  Ｌｏｗ  Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）からなり、プレフィルタ３６により除塵された空気に含まれる例えば０．１μｍの大きさの細かい異物を例えば９９．９９９９％の除去率で除去するようになっている。また、空気室４０の出口側には増圧弁４２が設けられており、この増圧弁４２が開いたときには、空気室４０内の圧縮空気がホース２４の給気通路２６に送られるようになっている。
【００２９】
次に、吸引ヘッド１０の構成の詳細について図２および図３を用いて説明する。図２等に示すように、吸引ヘッド１０の内部には略円筒形状のノズル１６が設けられている。ここで、このノズル１６の先端部分１６ａは先細のテーパ形状となっているとともに、この先端部分１６ａには吹き出し孔１６ｂが設けられており、図１に示す本体３０の空気室４０からホース２４の給気通路２６を介してノズル１６に送られた圧縮空気はこの吹き出し孔１６ｂから下方に噴射されるようになっている（図５の矢印参照）。また、ノズル１６の内部には、後述する弁座１４を受ける弁体１７が設けられている。このようなノズル１６は、通常は弾性体（図示せず）等の周知の手段により弁座１３と弁体１８および弁座１４と弁体１７が接触するようにコントロールされているが、例えば操作者によって吸引ヘッド１０が床面５０に接地した後に更に当該吸引ヘッド１０が床面５０に押し込まれたときに、排気ダクト１１に対して図２に示す位置から下方に相対的に移動するようになっている。このようなノズル１６の動作の詳細については後述する。
【００３０】
また、図２に示すように、吸引ヘッド１０におけるノズル１６の外側には略円筒形状の排気ダクト１１が配置されている。具体的には、排気ダクト１１は下側壁部１２および上側壁部２２を有している。そして、下側壁部１２の底面が床面５０に接地された状態でノズル１６の吹き出し孔１６ｂから下方に空気が噴射されると、噴射された空気は下側壁部１２の内周面とノズル１６の外周面との間の空間および上側壁部２２の内周面とノズル１６の外周面との間の空間を順に通って上方に流れ（図５の矢印参照）、図１に示すホース２４の排気通路２８に送られるようになっている。また、図２に示す上側壁部２２の下端部には接触センサ２０が設けられており、吸引ヘッド１０が床面５０に接地した後に更に当該吸引ヘッド１０が床面５０に押し込まれたときに、接触センサ２０および上側壁部２２が一体的に床面５０側に向かって移動し、この接触センサ２０が下側壁部１２の上面に接触するようになっている。接触センサ２０が下側壁部１２の上面に接触すると、図１に示す本体３０に設けられた増圧弁４２が開くようになっている。なお、本実施の形態では、吸引ヘッド１０は、床面５０に接地したときに排気ダクト１１が外部空間から隔離されて当該排気ダクト１１内で密閉空間が形成されるような形状となっている。
【００３１】
本実施の形態による掃除機では、吸引ヘッド１０においてノズル１６による空気の吐出口の断面積（すなわち、ノズル１６の吹き出し孔１６ｂの断面積）は、排気ダクト１１による空気の排気口の断面積（すなわち、下側壁部１２の内周面とノズル１６の外周面との間の空間の断面積や上側壁部２２の内周面とノズル１６の外周面との間の空間の断面積）よりも小さくなっている。このことにより、ノズル１６の吹き出し孔１６ｂから下方に吹き出される空気の圧力を増大させることができ、床面５０に塵埃等の異物が固着していた場合でもこのような塵埃等の異物をより一層確実に舞い上がらせることができるようになる。また、本実施の形態では、図３に示すように、ノズル１６の吐出口は排気ダクト１１の排気口よりも吸引ヘッド１０の中心側に配置されている。
【００３２】
また、図２に示すように、本実施の形態による掃除機では、排気ダクト１１の下側壁部１２の下端部は吸引ヘッド１０の中心に向かって突出している。具体的には、下側壁部１２における吸引ヘッド１０の中心に向かって突出している部分（図２等において参照符号１２ａで表示）は鉛直方向に対して湾曲している。このような突出部分１２ａが下側壁部１２に設けられていることにより、吸引ヘッド１０が床面５０に接地した後にモータ３２によって排気ダクト１１内の空気の吸引が行われるときに、図５の矢印に示すように下側壁部１２の突出部分１２ａにおける湾曲面に沿って空気が流れるようになるため排気ダクト１１内における空気の流れがスムーズとなり、床面５０上における下側壁部１２の近傍で塵埃等の異物が滞留してしまうことを防止することができる。なお、下側壁部１２における吸引ヘッド１０の中心に向かって突出している部分は鉛直方向に対して湾曲する代わりに直線状に傾斜していてもよい。また、このような下側壁部１２における吸引ヘッド１０の中心に向かって突出している部分は当該下側壁部１２から取り外し可能となっていてもよい。
【００３３】
また、ノズル１６の外周面には円板形状の弁体１８が設けられているとともに、下側壁部１２の外周面には弁体１８を受ける中空の円板形状の弁座１３が設けられており、排気ダクト１１内においてこれらの弁体１８および弁座１３により開閉弁が構成されている。具体的には、吸引ヘッド１０が床面５０に接地していないときの状態では、図２に示すように弁座１３に設けられた中空部分の隙間を弁体１８が塞ぐことにより開閉弁が閉じられるようになっている。一方、吸引ヘッド１０が床面５０に接地した後に更に当該吸引ヘッド１０が床面５０に押し込まれ、排気ダクト１１に対してノズル１６が図２に示す位置から下方に相対的に移動したときに、図５に示すように弁体１８が弁座１３から離間して排気ダクト１１内の開閉弁が開くようになる。
【００３４】
また、ノズル１６の内部には弁座１４が位置固定で設けられているとともに、当該ノズル１６の内周面には弁座１４を受ける中空の円板形状の弁体１７が設けられており、ノズル１６内においてこれらの弁座１４および弁体１７により開閉弁が構成されている。具体的には、吸引ヘッド１０が床面５０に接地していないときの状態では、図２に示すように弁体１７に設けられた中空部分の隙間を弁座１４が塞ぐことにより開閉弁が閉じられるようになっている。一方、吸引ヘッド１０が床面５０に接地した後に更に当該吸引ヘッド１０が床面５０に押し込まれ、排気ダクト１１に対してノズル１６が図２に示す位置から下方に相対的に移動したときに、図５に示すように弁座１４が弁体１７から離間してノズル１６内の開閉弁が開くようになる。
【００３５】
次に、このような構成からなる本実施の形態の掃除機の動作について説明する。まず、掃除機のメインスイッチをＯＮとすることにより、本体３０に設けられたモータ３２を駆動させる。しかしながら、この状態では図２に示すように吸引ヘッド１０のノズル１６内における弁座１４および弁体１７により構成される開閉弁および排気ダクト１１内における弁座１３および弁体１８により構成される開閉弁がそれぞれ閉じているため、排気ダクト１１から排気がモータ３２により吸引されることなく掃除機はいわゆるアイドリング状態となる。
【００３６】
その後、図２に示すような吸引ヘッド１０が床面５０から離間した状態から当該吸引ヘッド１０を下方に移動させることにより図４に示すように吸引ヘッド１０を床面５０に接地させる。この際に、排気ダクト１１が外部空間から隔離されて当該排気ダクト１１内で密閉空間が形成される。このような状態で吸引ヘッド１０を床面５０に向かって更に押し込むと、図４の矢印に示すようにノズル１６や接触センサ２０、上側壁部２２が床面５０に向かって下方に更に移動する。このことにより、図５に示すように、弁座１４が弁体１７から離間してノズル１６内の開閉弁が開き、また、弁体１８が弁座１３から離間して排気ダクト１１内の開閉弁が開くようになる。また、接触センサ２０および上側壁部２２が一体的に床面５０側に向かって下方に移動することにより、この接触センサ２０が下側壁部１２の上面に接触すると、図１に示す本体３０に設けられた増圧弁４２が開く。このことにより、図５の矢印に示すように、本体３０の空気室４０からホース２４の給気通路２６を介してノズル１６に送られた圧縮空気が吹き出し孔１６ｂから下方に噴射され、床面５０上の塵埃等の異物が排気ダクト１１内で舞い上がるようになる。同時に、排気ダクト１１内の開閉弁が開くことにより、モータ３２により排気ダクト１１内の排気が行われるようになり、床面５０から舞い上がった塵埃等の異物は排気ダクト１１からホース２４の排気通路２８を介して集塵袋３４に送られる。このようにして、本実施の形態による掃除機によって床面５０の掃除が行われるようになる。
【００３７】
その後、例えば操作者等の判断により床面５０の掃除が完了すると、当該床面５０に対する吸引ヘッド１０の押し込みを解除する。このことにより、図６の矢印に示すようにノズル１６や接触センサ２０、上側壁部２２が床面５０から離間するよう上方に移動する。なお、図６は、図２に示す吸引ヘッド１０を床面５０から上方に離間させる直前の状態を示す縦断面図である。接触センサ２０が下側壁部１２の上面から離間すると、本体３０に設けられた増圧弁４２が閉じる。このことにより、空気室４０からノズル１６に空気が送られないようになる。また、ノズル１６が床面５０から離間するよう上方に移動することによって、図６に示すように、弁体１７に設けられた中空部分の隙間を弁座１４が塞ぐことによりノズル１６内の開閉弁が閉じられ、また、弁座１３に設けられた中空部分の隙間を弁体１８が塞ぐことにより排気ダクト１１内の開閉弁が閉じられる。このことにより、排気ダクト１１から排気がモータ３２により吸引されなくなり、掃除機はいわゆるアイドリング状態に戻る。そして、掃除機のメインスイッチをＯＦＦとすることにより、本体３０に設けられたモータ３２の駆動が停止させられる。このようにして、本実施の形態による掃除機の一連の動作が完了する。なお、弁座１３と弁体１８の接触および弁座１４と弁体１７の接触は同時でもよいが、更に好ましくは弁座１３と弁体１８の接触は弁座１４と弁体１７の接触よりも遅いほうが好ましい。こうすることにより密閉空間から空気が外に漏れるリスクが下がり、より確実にクリーンルーム環境の汚染を防止できるからである。
【００３８】
以上のような構成からなる本実施の形態の掃除機および掃除方法によれば、吸引ヘッド１０を床面５０に接地させて排気ダクト１１を外部空間から隔離させることにより当該排気ダクト１１内で密閉空間を形成するため、ノズル１６から床面５０に向かって空気が吹き付けられても床面５０上の塵埃等の異物が舞い上がって吸引ヘッド１０の外部に漏出しまうことが防止され、このことによりクリーンルーム等の環境下で掃除を行うことができるようになる。
【００３９】
また、本実施の形態の掃除機においては、上述したように、吸引ヘッド１０のノズル１６および排気ダクト１１に開閉弁がそれぞれ設けられており、吸引ヘッド１０が床面５０から離間しているときにはこれらの開閉弁は閉じるようになっており、吸引ヘッド１０を床面５０に接地させた状態で当該吸引ヘッド１０を更に床面５０に押し込んだときに開閉弁が機械的に開くようになっている。このような構成によれば、吸引ヘッド１０を床面５０に接地させた状態で当該吸引ヘッド１０を更に床面５０に押し込むという単純な動作によりノズル１６や排気ダクト１１に設けられた開閉弁の開閉動作を行うことができるようになり、掃除機の操作性を向上させることができる。なお、上述した態様では開閉弁が吸引ヘッド１０のノズル１６および排気ダクト１１の各々に設けられた例について説明したが、開閉弁が吸引ヘッド１０のノズル１６または排気ダクト１１の何れか一方にのみ設けられるようになっていてもよい。
【００４０】
また、本実施の形態の掃除機においては、上述したように、本体３０には、モータ３２により吸引された空気が圧縮状態で貯留される空気室４０および空気室４０の出口側に配置される増圧弁４２がそれぞれ設けられており、吸引ヘッド１０が床面５０から離間しているときには増圧弁４２は閉じるようになっており、吸引ヘッド１０を床面５０に接地させた状態で当該吸引ヘッド１０を更に床面５０に押し込んだときに増圧弁４２が開いて空気室４０から吸引ヘッド１０のノズル１６に圧縮空気が送られるようになっている。このような構成によれば、吸引ヘッド１０を床面５０に接地させた状態で当該吸引ヘッド１０を更に床面５０に押し込むという単純な動作により増圧弁４２の開閉動作を行うことができるようになり、掃除機の操作性を向上させることができる。さらに、弾性体等の反発力によって、吸引ヘッド１０を床面５０に押し込んだ状態で空気が吸引ヘッド１０に送られるため、より確実に密閉空間から外への漏れを防止することができる。
【００４１】
〔第２の実施の形態〕
次に、図７乃至図９を用いて本発明の第２の実施の形態について説明する。図７乃至図９は、本実施の形態による掃除機を示す図である。このうち、図７は、本実施の形態による掃除機における吸引ヘッドの構成を示す縦断面図であり、図８は、図７に示す吸引ヘッドを底面側から見たときの構成を示す構成図である。また、図９は、図７および図８に示す掃除機の動作を示すフローチャートである。なお、図７乃至図９を用いて第２の実施の形態による掃除機を説明するにあたり、図１乃至図６に示す第１の実施の形態による掃除機と同じ構成要素については同じ参照符号を付してその説明を省略する。
【００４２】
図７に示すように、本実施の形態に係る掃除機の吸引ヘッド６０には、略円筒形状のケーシング６１の内周面に沿ってリング状のノズル６６が設けられている。そして、該ノズル６６の噴出口６６ａから斜め下方に空気が噴射されることにより、床面５０上の塵埃等の異物が舞い上がるようになっている。ここで、該ノズル６６はホース２４の給気通路２６に連通するようになっており、本体３０の空気室４０からホース２４の給気通路２６を介して該ノズル６６に圧縮空気が送られるようになっている。
【００４３】
また、吸引ヘッド６０のケーシング６１の内部において、該ノズル６６よりも吸引ヘッド６０の中心側には排気ダクト６４が同心円上に配置されており、床面５０上の塵埃等の異物は排気ダクト６４を介して吸引されるようになっている。具体的には、吸引ヘッド６０の底面６０ａが床面５０に接地された状態で該ノズル６６の噴出口６６ａから空気が噴射されると、噴射された空気は排気ダクト６４に通って上方に流れ（図７の矢印参照）、ホース２４の排気通路２８に送られるようになっている。
【００４４】
また、図７および図８に示すように、吸引ヘッド６０の底面６０ａには複数（例えば４つ）の接触センサ６２が設けられている。なお、図８には、図７に示す吸引ヘッド６０を底面側から見たときの接触センサ６２の構成が示されている。ここで、図７に示すように吸引ヘッド１０が床面５０に接地して各接触センサ６２が床面５０に接触すると、本体３０に設けられた増圧弁４２が開くようになっている。
【００４５】
本実施の形態でも、第１の実施の形態と同様に、吸引ヘッド６０は、床面５０に接地したときに排気ダクト６４が外部空間から隔離されて当該排気ダクト６４内で密閉空間が形成されるような形状となっている。
【００４６】
また、図示していないが、本実施の形態による掃除機では、ホース２４の給気通路２６と吸引ヘッド６０のノズル６６との間には電磁弁が設けられており、また、ホース２４の排気通路２８と吸引ヘッド６０の排気ダクト６４との間にも電磁弁が設けられている。これらの電磁弁は吸引ヘッド１０が床面５０から離間しているときには閉じており、各接触センサ６２が床面５０に接触すると各々の電磁弁が開くようになっている。
【００４７】
次に、図７および図８に示すような構成からなる本実施の形態の掃除機の動作について図９に示すフローチャートを用いて説明する。まず、掃除機のメインスイッチをＯＮとすることにより、本体３０に設けられたモータ３２を駆動させる（ＳＴＥＰ１）。しかしながら、この状態ではホース２４の給気通路２６と吸引ヘッド６０のノズル６６との間に設けられた電磁弁、およびホース２４の排気通路２８と吸引ヘッド６０の排気ダクト６４との間に設けられた電磁弁がそれぞれ閉じたままであり、排気ダクト６４から排気がモータ３２により吸引されることなく掃除機はいわゆるアイドリング状態となる（ＳＴＥＰ２）。
【００４８】
その後、図７に示すように吸引ヘッド１０を床面５０に接地させる。この際に、排気ダクト６４が外部空間から隔離されて当該排気ダクト６４内で密閉空間が形成される。また、吸引ヘッド１０が床面５０に接地して各接触センサ６２が床面５０に接触すると（ＳＴＥＰ３の「ＹＥＳ」）、ホース２４の給気通路２６と吸引ヘッド６０のノズル６６との間に設けられた電磁弁、およびホース２４の排気通路２８と吸引ヘッド６０の排気ダクト６４との間に設けられた電磁弁がそれぞれ開く（ＳＴＥＰ４）。また、各接触センサ６２が床面５０に接触することにより、本体３０に設けられた増圧弁４２が開く（ＳＴＥＰ５）。このことにより、本体３０の空気室４０からホース２４の給気通路２６を介してノズル６６に送られた圧縮空気が噴出口６６ａから斜め下方に噴射され（ＳＴＥＰ６）、床面５０上の塵埃等の異物が排気ダクト６４内で舞い上がるようになる。同時に、モータ３２により排気ダクト６４内の排気が行われるようになり、床面５０から舞い上がった塵埃等の異物は排気ダクト６４からホース２４の排気通路２８を介して集塵袋３４に送られるようになり、通常運転状態となる（ＳＴＥＰ７）。このようにして、本実施の形態による掃除機によって床面５０の掃除が行われるようになる。
【００４９】
その後、床面５０の掃除が完了すると、吸引ヘッド６０を床面５０から離間させる（ＳＴＥＰ８の「ＮＯ」）。このことにより、各接触センサ６２が床面５０と接触しないようになり、本体３０に設けられた増圧弁４２が閉じる（ＳＴＥＰ９）。このことにより、空気室４０からノズル６６に空気が送られないようになる。また、各接触センサ６２が床面５０と接触しないようになることによって、ホース２４の給気通路２６と吸引ヘッド６０の該ノズル６６との間に設けられた電磁弁、およびホース２４の排気通路２８と吸引ヘッド６０の排気ダクト６４との間に設けられた電磁弁がそれぞれ閉じられる（ＳＴＥＰ１０）。このことにより、排気ダクト６４から排気がモータ３２により吸引されなくなり、掃除機はいわゆるアイドリング状態に戻る（ＳＴＥＰ１１）。そして、掃除機のメインスイッチをＯＦＦとすることにより、本体３０に設けられたモータ３２の駆動が停止させられる（ＳＴＥＰ１２）。このようにして、本実施の形態による掃除機の一連の動作が完了する。
【００５０】
以上のような構成からなる本実施の形態の掃除機によれば、第１の実施の形態による掃除機と同様に、吸引ヘッド６０は、床面５０に接地したときに排気ダクト６４が外部空間から隔離されて当該排気ダクト６４内で密閉空間が形成されるような形状となっているため、ノズル６６から床面５０に向かって空気が吹き付けられても床面５０上の塵埃等の異物が舞い上がって吸引ヘッド６０の外部に漏出しまうことが防止され、このことによりクリーンルーム等の環境下で掃除を行うことができるようになる。さらに、リング状のノズル６６から空気を噴出し、中心から吸引するため、床面５０との付着力の弱い埃や粉等を清掃する場合には、埃や粉等を強く舞い上げることなく吸引できるので、密閉空間の外に埃や粉等が漏れるリスクを低減する効果が望める。
【００５１】
また、本実施の形態の掃除機においては、上述したように、吸引ヘッド６０の底面６０ａには接触センサ６２が設けられており、また、吸引ヘッド６０のノズル６６および排気ダクト６４にはそれぞれ開閉弁として電磁弁が設けられている。そして、吸引ヘッド６０が床面５０から離間しているときには各電磁弁は閉じるようになっており、吸引ヘッド６０が床面５０に接地することにより接触センサ６２が当該床面５０に接触したときに各電磁弁が開くようになっている。このような構成によれば、吸引ヘッド１０を床面５０に接地させるという単純な動作によりノズル６６や排気ダクト６４に設けられた電磁弁の開閉動作を行うことができるようになり、掃除機の操作性を向上させることができる。なお、上述した態様では電磁弁が吸引ヘッド６０のノズル６６および排気ダクト６４の各々に設けられた例について説明したが、電磁弁が吸引ヘッド６０のノズル６６または排気ダクト６４の何れか一方にのみ設けられるようになっていてもよい。
【００５２】
また、本実施の形態の掃除機においては、上述したように、吸引ヘッド６０が床面５０から離間しているときには増圧弁４２は閉じるようになっており、接触センサ６２が床面５０に接触したときに増圧弁４２が開いて空気室４０から吸引ヘッド６０のノズル６６に圧縮空気が送られるようになっている。このような構成によれば、吸引ヘッド６０を床面５０に接地させるという単純な動作により増圧弁４２の開閉動作を行うことができるようになり、掃除機の操作性を向上させることができる。
【００５３】
また、図２乃至図６に示すような第１の実施の形態に係る吸引ヘッド１０の底面にも、第２の実施の形態に係る接触センサ６２と同様の構成の接触センサを設けてもよい。この場合には、弁座１４および弁体１７により構成される開閉弁や弁座１３および弁体１８により構成される開閉弁が設けられる代わりに、排気ダクト１１やノズル１６に開閉弁として電磁弁が設けられるようになる。そして、吸引ヘッド１０が床面５０から離間しているときには各電磁弁は閉じるようになっており、吸引ヘッド１０が床面５０に接地することにより接触センサが当該床面５０に接触したときに各電磁弁が開くようになる。
【００５４】
〔第３の実施の形態〕
次に、図１０乃至図１２を用いて本発明の第３の実施の形態について説明する。図１０乃至図１２は、本実施の形態による掃除機を示す図である。このうち、図１０は、本実施の形態による掃除機の構成の概略を示す概略構成図である。また、図１１は、図１０に示す掃除機の動作を示すフローチャートであり、図１２は、図１１に引き続く、図１０に示す掃除機の動作を示すフローチャートである。なお、図１０乃至図１２を用いて第３の実施の形態による掃除機を説明するにあたり、図１乃至図６に示す第１の実施の形態による掃除機と同じ構成要素については同じ参照符号を付してその説明を省略する。
【００５５】
図１０に示すように、本実施の形態による掃除機では、本体３０において吸引ヘッド１０への給気側および吸引ヘッド１０からの排気側の圧力を制御するための圧力制御機構８０が設けられている。圧力制御機構８０はシリンダ８２および当該シリンダ８２内で往復移動を行うピストン８４を有しており、図１０の矢印に示すようにシリンダ８２内でピストン８４が左方向に移動したときに吸引ヘッド１０内を含む循環空気雰囲気の減圧が行われるようになっている。また、吸引ヘッド１０のノズル１６へ給気する給気通路２６とシリンダ８２との間には第１の弁８６が設けられており、また、吸引ヘッド１０の排気ダクト１１から排気する排気通路２８とシリンダ８２との間には第２の弁８８が設けられている（図１０では、第１の弁８６が開くとともに第２の弁８８が閉じている状態が示されている）。また、吸引ヘッド１０からの排気通路２８とシリンダ８２との間にはフィルタ８９が設けられており、吸引ヘッド１０により吸引された塵埃等の異物が当該フィルタ８９により除塵されて圧力制御機構８０のシリンダ８２内に入り込まないようになっている。
【００５６】
また、本実施の形態による掃除機では、図１乃至図６に示す第１の実施の形態の掃除機の吸引ヘッド１０における弁座１３、弁座１４、弁体１７、弁体１８は設置されていない。代わりに、図１０に示すように、ホース２４の給気通路２６と吸引ヘッド１０のノズル１６との間には電磁弁からなる噴射弁２６ａが設けられている。また、ホース２４の排気通路２８と吸引ヘッド６０の排気ダクト６４との間には電磁弁からなる吸引弁２８ａが設けられている。これらの噴射弁２６ａや吸引弁２８ａは吸引ヘッド１０が床面５０から離間しているときには閉じており、一方、吸引ヘッド１０が床面５０に設置した状態で当該吸引ヘッド１０を床面５０に向かって更に押し込むことにより接触センサ２０が下側壁部１２の上面に接触すると噴射弁２６ａや吸引弁２８ａが開くようになっている。なお、接触センサ２０を用いる代わりに第２の実施の形態に記載の接触センサ６２を用いてもよい。
【００５７】
また、本実施の形態では、図１０に示すように、本体３０には清掃環境の気圧（具体的には、クリーンルーム内の気圧）を検出する清掃環境気圧検出センサ７０が設けられており、さらに、吸引ヘッド１０の内部には排気ダクト１１内の気圧を検出するヘッド内気圧検出センサ７２が設けられている。
【００５８】
次に、図１０に示すような構成からなる本実施の形態の掃除機の動作について図１１および図１２に示すフローチャートを用いて説明する。まず、掃除機のメインスイッチをＯＮとすることにより、本体３０に設けられたモータ３２を駆動させる（ＳＴＥＰ２１）。しかしながら、この状態ではホース２４の給気通路２６と吸引ヘッド１０のノズル１６との間に設けられた噴射弁２６ａ、およびホース２４の排気通路２８と吸引ヘッド１０の排気ダクト１１との間に設けられた吸引弁２８ａがそれぞれ閉じたままであり、排気ダクト１１から排気がモータ３２により吸引されることなく掃除機はいわゆるアイドリング状態となる（ＳＴＥＰ２２）。
【００５９】
その後、図２に示すように吸引ヘッド１０が床面５０から離間した状態から当該吸引ヘッド１０を下方に移動させることにより図４に示すように吸引ヘッド１０を床面５０に接地させる（ＳＴＥＰ２３）。この際に、排気ダクト１１が外部空間から隔離されて当該排気ダクト１１内で密閉空間が形成される。このような状態で吸引ヘッド１０を床面５０に向かって更に押し込むと、図４の矢印に示すように接触センサ２０および上側壁部２２が一体的に床面５０側に向かって下方に移動することにより、この接触センサ２０が下側壁部１２の上面に接触する。このことにより、吸引弁２８ａが開き（ＳＴＥＰ２４）、モータ３２により排気ダクト１１内の吸引が行われるようになり、床面５０上にある塵埃等の異物は排気ダクト１１からホース２４の排気通路２８を介して集塵袋３４に送られる（ＳＴＥＰ２５）。なお、接触センサ２０を用いる代わりに第２の実施の形態に記載の接触センサ６２を用いる場合も同様であり、以下、接触センサ２０を例に説明する。また、接触センサ２０が下側壁部１２の上面に接触することにより、噴射弁２６ａが開くとともに（ＳＴＥＰ２６）、本体３０に設けられた増圧弁４２が開く。このことにより、図５の矢印に示すように、本体３０の空気室４０からホース２４の給気通路２６を介してノズル１６に送られた圧縮空気が吹き出し孔１６ｂから下方に噴射され、床面５０上の塵埃等の異物が排気ダクト１１内で舞い上がるとともに、ホース２４の排気通路２８を介して本体３０に送られ空気の循環が発生するようになる（ＳＴＥＰ２７）。
【００６０】
次に、圧力制御機構８０において、第１の弁８６が開かれるとともに（ＳＴＥＰ２８）、シリンダ８２内でピストン８４が図１０の矢印に示す減圧方向（図１０における左方向）に移動する（ＳＴＥＰ２９）。このことにより、吸引ヘッド１０への給気通路２６から圧力制御機構８０のシリンダ８２内に空気が引き抜かれるため、当該吸引ヘッド１０の排気ダクト１１内を含む循環空気雰囲気の減圧が行われる。その後、第１の弁８６が閉じられる（ＳＴＥＰ３０）。また、清掃環境気圧検出センサ７０により検出されたクリーンルーム内の気圧と、ヘッド内気圧検出センサ７２により検出された吸引ヘッド１０の排気ダクト１１内の気圧との比較が行われ、吸引ヘッド１０の排気ダクト１１内の気圧がクリーンルーム内の気圧よりも小さくなっていない場合には（ＳＴＥＰ３１の「ＮＯ」）、第１の弁８６が再び開かれて排気ダクト１１内の更なる減圧が行われるようになる。一方、吸引ヘッド１０の排気ダクト１１内の気圧がクリーンルーム内の気圧よりも小さくなっている場合には（ＳＴＥＰ３１の「ＹＥＳ」）、通常運転状態となる（ＳＴＥＰ３２）。このように、吸引ヘッド１０の排気ダクト１１内の気圧がクリーンルーム内の気圧よりも小さくなる条件下で本実施の形態による掃除機により掃除を行った場合には、吸引ヘッド１０内の雰囲気が当該吸引ヘッド１０の外部に漏れることがより一層抑制されるようになり、クリーンルームで本実施の形態による掃除機を使用した場合でも当該クリーンルームが汚染されてしまうことがより一層確実に防止される。
【００６１】
その後、床面５０の掃除が完了すると、吸引ヘッド１０を床面５０から離間させる。このことにより、接触センサ２０が下側壁部１２の上面と接触しないようになり、噴射弁２６ａが閉じるとともに（ＳＴＥＰ４０）、本体３０に設けられた増圧弁４２が閉じる。このようにして、空気室４０からノズル１６に空気が送られないようになる（ＳＴＥＰ４１）。
【００６２】
次に、圧力制御機構８０において、第２の弁８８が開かれるとともに（ＳＴＥＰ４２）、シリンダ８２内でピストン８４が図１０の矢印に示す減圧方向とは逆の方向である常圧方向（図１０における右方向）に移動する（ＳＴＥＰ４３）。このことにより、シリンダ８２内の空気が吸引ヘッド１０への排気側に送られるため、当該吸引ヘッド１０の排気ダクト１１内を含む循環空気雰囲気が常圧に戻るようになる。その後、第２の弁８８が閉じられる（ＳＴＥＰ４４）。また、清掃環境気圧検出センサ７０により検出されたクリーンルーム内の気圧と、ヘッド内気圧検出センサ７２により検出された吸引ヘッド１０の排気ダクト１１内の気圧との比較が行われ、吸引ヘッド１０の排気ダクト１１内の気圧がクリーンルーム内の気圧と同じ大きさではない場合には（ＳＴＥＰ４５の「ＮＯ」）、第２の弁８８が再び開かれて排気ダクト１１内を常圧に戻す動作が再び行われるようになる。一方、吸引ヘッド１０の排気ダクト１１内の気圧がクリーンルーム内の気圧と同じ大きさである場合には（ＳＴＥＰ４５の「ＹＥＳ」）、吸引弁２８ａが閉じられる（ＳＴＥＰ４６）。このことにより、排気ダクト１１からの吸引動作が停止させられ（ＳＴＥＰ４７）、掃除機はいわゆるアイドリング状態に戻る。そして、掃除機のメインスイッチをＯＦＦとすることにより、本体３０に設けられたモータ３２の駆動が停止させられる（ＳＴＥＰ４８）。このようにして、本実施の形態による掃除機の一連の動作が完了する。
【００６３】
図１０乃至図１２に示すような構成からなる本実施の形態の掃除機によれば、吸引ヘッド１０の排気ダクト１１内の気圧を減圧するための圧力制御機構８０が設けられていることにより、圧力制御機構８０によって吸引ヘッド１０の排気ダクト１１内を含む循環空気雰囲気の気圧をクリーンルーム内の気圧よりも小さくすることができるようになる。このため、吸引ヘッド１０内の雰囲気が当該吸引ヘッド１０の外部に漏れることがより一層抑制されるようになり、クリーンルームで本実施の形態による掃除機を使用した場合でも当該クリーンルームが汚染されてしまうことがより一層確実に防止される。
【００６４】
なお、上述した圧力制御機構８０は、図２乃至図６に示すような吸引ヘッド１０を有する第１の実施の形態に係る掃除機以外にも、図７および図８に示すような吸引ヘッド６０を有する第２の実施の形態に係る掃除機にも適用することができる。
【００６５】
〔第４の実施の形態〕
次に、図１３および図１４を用いて本発明の第４の実施の形態について説明する。図１３および図１４は、本実施の形態による掃除機を示す図である。このうち、図１３は、本実施の形態による掃除機における吸引ヘッドの構成を示す縦断面図であり、図１４は、図１３に示す吸引ヘッドのＢ−Ｂ矢視による横断面図である。なお、図１３および図１４を用いて第４の実施の形態による掃除機を説明するにあたり、図１乃至図６に示す第１の実施の形態による掃除機と同じ構成要素については同じ参照符号を付してその説明を省略する。
【００６６】
本実施の形態による掃除機では、図１３に示すように、吸引ヘッド９０におけるノズル１６の外側には略円筒形状の排気ダクト９１が配置されている。具体的には、排気ダクト９１は下側壁部９２および上側壁部２２を有している。ここで、図１乃至図６に示す第１の実施の形態に係る掃除機と異なり、本実施の形態による掃除機では下側壁部９２はその横断面が略長方形形状となっており、このような形状にすることで、清掃が困難なクリーンルームや装置のコーナーを有効に清掃できるという効果が生じる。特に装置のねじ穴は装置内のコーナーや端に設置されていることが多く、略長方形形状であることで端やコーナーに吸引ヘッド９０がフィットして、ねじ穴に入り込んだ異物（例えば、ねじ等も含む）であっても外部に撒き散らすことなく吸引により除去できるという効果を有する。また、下側壁部９２の内部にはその横断面が長方形形状である空気の通路（図１３および図１４において参照符号９４で表示）が形成されている。このような図１３および図１４に示す吸引ヘッド９０でも、下側壁部９２の底面が床面５０に接地された状態でノズル１６の吹き出し孔１６ｂから下方に空気が噴射されると、噴射された空気は下側壁部９２の内面とノズル１６の外周面との間の空間および上側壁部２２の内周面とノズル１６の外周面との間の空間を順に通って上方に流れ、ホース２４の排気通路２８に送られるようになっている。また、上側壁部２２の下端部には接触センサ２０が設けられており、吸引ヘッド１０が床面５０に接地した後に更に当該吸引ヘッド１０が床面５０に押し込まれたときに、接触センサ２０および上側壁部２２が一体的に床面５０側に向かって移動し、この接触センサ２０が下側壁部９２の上面に接触するようになっている。本実施の形態でも、第１の実施の形態と同様に、吸引ヘッド９０は、床面５０に接地したときに排気ダクト９１が外部空間から隔離されて当該排気ダクト９１内で密閉空間が形成されるような形状となっている。
【００６７】
また、図１３に示すように、本実施の形態による掃除機では、排気ダクト９１の下側壁部９２の下端部は吸引ヘッド９０の中心に向かって突出している。具体的には、下側壁部９２における吸引ヘッド９０の中心に向かって突出している部分（図１３において参照符号９２ａで表示）は鉛直方向に対して湾曲している。このような突出部分９２ａが下側壁部９２に設けられていることにより、吸引ヘッド９０が床面５０に接地した後にモータ３２によって排気ダクト９１内の空気の吸引が行われるときに、下側壁部９２の突出部分９２ａにおける湾曲面に沿って空気が流れるようになるため排気ダクト９１内における空気の流れがスムーズとなり、床面５０上における下側壁部９２の近傍で塵埃等の異物が滞留してしまうことを防止することができる。なお、下側壁部９２における吸引ヘッド９０の中心に向かって突出している部分は鉛直方向に対して湾曲する代わりに直線状に傾斜していてもよい。また、このような下側壁部９２における吸引ヘッド９０の中心に向かって突出している部分は当該下側壁部９２から取り外し可能となっていてもよい。
【００６８】
図１３および図１４に示すような構成からなる本実施の形態の掃除機によれば、第１の実施の形態による掃除機と同様に、吸引ヘッド９０は、床面５０に接地したときに排気ダクト９１が外部空間から隔離されて当該排気ダクト９１内で密閉空間が形成されるような形状となっているため、ノズル１６から床面５０に向かって空気が吹き付けられても床面５０上の塵埃等の異物が舞い上がって吸引ヘッド９０の外部に漏出しまうことが防止され、このことによりクリーンルーム等の環境下で掃除を行うことができるようになる。
【００６９】
なお、本発明による掃除機や掃除方法は、上述したような第１乃至第４の実施の形態に記載された態様に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載の発明の範囲内で様々な変更を加えることができる。
【符号の説明】
【００７０】
１０  吸引ヘッド
１１  排気ダクト
１２  下側壁部
１２ａ  突出部分
１３  弁座
１４  弁座
１６  ノズル
１６ａ  先端部分
１６ｂ  吹き出し孔
１７  弁体
１８  弁体
２０  接触センサ
２２  上側壁部
２４  ホース
２６  給気通路
２６ａ  噴射弁
２８  排気通路
２８ａ  吸引弁
３０  本体
３２  モータ
３４  集塵袋
３６  プレフィルタ
３８  高集塵フィルタ
４０  空気室
４２  増圧弁
５０  床面
６０  吸引ヘッド
６０ａ  底面
６１  ケーシング
６２  接触センサ
６４  排気ダクト
６６  ノズル
６６ａ  噴出口
７０  清掃環境気圧検出センサ
７２  ヘッド内気圧検出センサ
８０  圧力制御機構
８２  シリンダ
８４  ピストン
８６  第１の弁
８８  第２の弁
８９  フィルタ
９０  吸引ヘッド
９１  排気ダクト
９２  下側壁部
９２ａ  突出部分
９４  空気の通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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