(57)【要約】【課題】チャックテーブルを短時間で容易に交換できるようにする。【解決手段】板状ワークを吸引保持するチャックテーブルが支持テーブル３０によって支持される構成の保持手段において、支持テーブル３０の接続面３１には、チャックテーブルの第１の位置決め部と連結されてチャックテーブルを所定の位置に位置決めする第２の位置決め部３４ａ，３４ｂを備え、チャックテーブルの吸着面と下面とを連通させる第１の吸引孔が、接続面３１に開口した第２の吸引孔３５ａ，３５ｂに接続され、第３の吸引孔３６ａ〜３６ｄは、一端が接続面３１に開口している。第１の切換バルブ１６は、第２の吸引孔３５ａ，３５ｂを、吸引源５０またはエア供給源６０に選択的に連通可能であり、第２の切換バルブ１７は、第３の吸引孔３６ａ〜３６ｄを、吸引源５０またはエア供給源に選択的に連通可能であり、取付けねじ等を用いずにチャックテーブルを交換可能である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを吸引保持する保持手段と、
該保持手段によって保持された該板状ワークに回転する研削砥石を当接させることにより該板状ワークを研削する研削手段と、
を備えた研削装置であって、
該保持手段は、
該板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルを支持する支持テーブルと、
該支持テーブルを回転させる回転手段と、
を備え、
該チャックテーブルは、
該チャックテーブルの上面に設けられ、該板状ワークが載置される吸着面と、
該チャックテーブルの下面に設けられた第１の位置決め部と、
該チャックテーブルの該下面と該吸着面との間を連通させる第１の吸引孔と、
を備え、
該支持テーブルは、
該チャックテーブルの該下面と接続される接続面と、
該接続面に設けられ、該第１の位置決め部と連結されることにより該チャックテーブルを所定の位置に位置決めする第２の位置決め部と、
一端が該接続面に開口し、該第１の吸引孔に接続される第２の吸引孔と、
一端が該接続面に開口した第３の吸引孔と、
を備え、
該第２の吸引孔に接続された配管と吸引源に接続された配管とを連通させて、該チャックテーブルの該吸着面に載置された該板状ワークを吸引保持する吸引保持状態と、該第２の吸引孔に接続された配管とエア供給源に接続された配管とを連通させて、該チャックテーブルの該吸着面に載置された該板状ワークの吸引保持を解除する保持解除状態とを切り換える第１の切換バルブと、
該第３の吸引孔に接続された配管と吸引源に接続された配管とを連通させて、該チャックテーブルを吸引保持する吸引保持状態と、該第３の吸引孔に接続された配管とエア供給源に接続された配管とを連通させて、該チャックテーブルの吸引保持を解除する保持解除状態とを切り換える第２の切換バルブと、
該第１の切換バルブ及び該第２の切換バルブを制御する制御部と、
を備える、研削装置。
【請求項２】
前記チャックテーブルの前記下面と前記支持テーブルの前記接続面とは、一方が凹部を備え、他方が該凹部と嵌合する凸部を備え、
該凹部と該凸部とを嵌合させ、前記第１の位置決め部と前記第２の位置決め部とを連結することにより、該チャックテーブルを位置決めする、請求項１記載の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを吸引保持する保持手段を備えた研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削装置において、大きさや形状の異なる複数種類の板状ワークをチャックテーブルにおいて吸引保持する場合、吸引領域の大きさや形状が板状ワークの大きさや形状と合っていないと、板状ワークを十分な吸引力によって保持することができない。これを解決するため、吸引領域を複数に分割し、板状ワークの大きさや形状に合わせて、吸引領域を切り換えられるようにしたチャックテーブルが提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２２６６０７号公報
【特許文献２】特開平３−３２５３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記チャックテーブルにおいて、吸引領域を複数に分割するためには、吸引領域の間に境界を設ける必要があるが、研削により板状ワークを１０μｍ〜２０μｍ程度まで薄化すると、この境界が板状ワークに転写される場合がある。この問題が生じるのを防ぐためには、吸引領域を複数に分割したチャックテーブルを使うのでなく、単独の吸引領域を有するチャックテーブルを複数用意し、板状ワークの大きさや形状に合わせて、チャックテーブルを交換すればよい。
【０００５】
しかし、チャックテーブルを交換するためには、チャックテーブルの外周に円周状に配置されチャックテーブルを支持テーブルに固定している複数の取付けねじを緩めてチャックテーブルを取り外し、別のチャックテーブルを取り付けてから取付けねじを締め付ける必要がある。また、取付けねじを締め付ける際の締め付けトルクを均等にする必要があるので、締め付けトルクを管理しなければならない。このため、チャックテーブルの交換には、多大な手間と時間がかかる。
【０００６】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、手間をかけずに、チャックテーブルを短時間で容易に交換できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る研削装置は、板状ワークを吸引保持する保持手段と、該保持手段によって保持された該板状ワークに回転する研削砥石を当接させることにより該板状ワークを研削する研削手段と、を備えた研削装置であって、該保持手段は、該板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを支持する支持テーブルと、該支持テーブルを回転させる回転手段と、を備え、該チャックテーブルは、該チャックテーブルの上面に設けられ、該板状ワークが載置される吸着面と、該チャックテーブルの下面に設けられた第１の位置決め部と、該チャックテーブルの該下面と該吸着面との間を連通させる第１の吸引孔と、を備え、該支持テーブルは、該チャックテーブルの該下面と接続される接続面と、該接続面に設けられ、該第１の位置決め部と連結されることにより該チャックテーブルを所定の位置に位置決めする第２の位置決め部と、一端が該接続面に開口し、該第１の吸引孔に接続される第２の吸引孔と、一端が該接続面に開口した第３の吸引孔と、を備え、該第２の吸引孔に接続された配管と吸引源に接続された配管とを連通させて、該チャックテーブルの該吸着面に載置された該板状ワークを吸引保持する吸引保持状態と、該第２の吸引孔に接続された配管とエア供給源に接続された配管とを連通させて、該チャックテーブルの該吸着面に載置された該板状ワークの吸引保持を解除する保持解除状態とを切り換える第１の切換バルブと、該第３の吸引孔に接続された配管と吸引源に接続された配管とを連通させて、該チャックテーブルを吸引保持する吸引保持状態と、該第３の吸引孔に接続された配管とエア供給源に接続された配管とを連通させて、該チャックテーブルの吸引保持を解除する保持解除状態とを切り換える第２の切換バルブと、該第１の切換バルブ及び該第２の切換バルブを制御する制御部と、を備える。
前記チャックテーブルの前記下面と前記支持テーブルの前記接続面とは、一方が凹部を備え、他方が該凹部と嵌合する凸部を備え、該凹部と該凸部とを嵌合させ、前記第１の位置決め部と前記第２の位置決め部とを連結させることにより、該チャックテーブルを位置決めすることが好ましい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る研削装置によれば、第２の切換バルブを保持解除状態に切り換えることにより、チャックテーブルを容易に取り外すことができ、第２の切換バルブを吸引保持状態に切り換えることにより、チャックテーブルを容易に取り付けることができる。また、第１の位置決め部と第２の位置決め部とが連結することにより、チャックテーブルが位置決めされるので、面倒な調整作業が必要なく、チャックテーブルを短時間で容易に交換することができる。
チャックテーブルの下面と支持テーブルの接続面とに凹部と凸部とを設ければ、凹部と凸部とを嵌合させることにより、第１の位置決め部と第２の位置決め部とを連結させやすくなるので、チャックテーブルの位置決めが更に容易になるとともに、チャックテーブルが横ずれするのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】研削装置を示す斜視図。
【図２】チャックテーブルの上面側及び下面側を示す斜視図。
【図３】支持テーブルの接続面側及び下面側を示す斜視図。
【図４】チャックテーブルの別の例の上面側及び下面側を示す斜視図。
【図５】支持テーブルの別の例の接続面側及び下面側を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示す研削装置１０は、大きさや形状の異なる複数種類の板状ワークを研削可能な研削装置であり、板状ワークを吸引保持する保持手段１１と、保持手段１１に保持された板状ワークを研削砥石４０で研削する研削手段１４と、研削手段１４を±Ｚ方向に移動させる研削送り手段１５とを備えている。
【００１１】
保持手段１１は、複数のチャックテーブル２０ａ，２０ｂと、いずれか１つのチャックテーブルを支持し回転可能であるとともに±Ｙ方向に移動可能である支持テーブル３０と、±Ｚ方向に平行な軸を中心として支持テーブル３０を回転させる回転手段（不図示）とを備えている。
【００１２】
各チャックテーブル２０ａ，２０ｂの上面には、板状ワークが載置される吸着面２１を備えている。吸着面２１は、板状ワークの大きさや形状に合致する大きさ及び形状を有する。チャックテーブル２０ａ，２０ｂは、研削対象となる板状ワークに合わせて使い分けられる。例えば、円形の板状ワークを研削する場合はチャックテーブル２０ａが用いられ、四角形の板状ワークを研削する場合はチャックテーブル２０ｂが用いられる。なお、チャックテーブルは、図１に示した２種類には限定されない。
【００１３】
研削手段１４は、研削砥石４０が環状に固着された研削ホイール１４３と、研削ホイール１４３が装着されるマウント１４１と、±Ｚ方向に平行な軸を中心としてマウント１４１を回転させるモータ１４２とを備えており、モータ１４２がマウント１４１を回転させると、マウント１４１に装着された研削ホイール１４３が回転する。
【００１４】
研削送り手段１５は、±Ｚ方向に平行なねじ軸１５１をモータ１５２が回転させることにより、ねじ軸１５１に係合した移動部１５３がガイド１５４に案内されて±Ｚ方向に移動する。研削手段１４は、移動部１５３に固定されていて、移動部１５３の移動に伴って、±Ｚ方向に移動する。研削送り手段１５が研削手段１４を−Ｚ方向に移動させることにより、回転している研削砥石４０の下面を、保持手段１１に保持された板状ワークの上面に当接させ、板状ワークを研削することができる。
【００１５】
以下では、図１に示したチャックテーブル２０ａについて説明するが、チャックテーブル２０ｂも、吸着面の形状以外は、チャックテーブル２０ａと同様の構造を有している。図２に示すように、チャックテーブル２０ａは、±Ｚ方向に平行な軸を中心軸とする円柱形状であり、上面２２に吸着面２１が設けられている。吸着面２１は、多孔質材料で形成された円柱形状の吸着部２１ａの上面であり、吸着部２１ａは、チャックテーブル２０ａの上面２２に設けられた円柱形状の凹部に嵌挿されている。
【００１６】
チャックテーブル２０ａの下面２３には、チャックテーブル２０ａを所定の位置に位置決めするための２つの第１の位置決め部２４ａ，２４ｂが設けられている。第１の位置決め部２４ａ，２４ｂは、±Ｚ方向に平行な軸を中心軸とする有底円柱状の凹部であり、チャックテーブル２０ａの中心軸から等距離かつ反対の方向に設けられている。
【００１７】
チャックテーブル２０ａには、吸着面２１と下面２３との間を連通させる２つの第１の吸引孔２５ａ，２５ｂが設けられている。第１の吸引孔２５ａ，２５ｂは、チャックテーブル２０ａの吸着部２１ａを除く部分を±Ｚ方向に貫通する穴であり、一端が吸着部２１ａの下面に接続されて開口し、他端がチャックテーブル２０ａの下面２３側において開口している。第１の吸引孔２５ａ，２５ｂは、チャックテーブル２０ａの中心軸から等距離かつ反対の方向に設けられている。
【００１８】
図３に示すように、支持テーブル３０は、±Ｚ方向に平行な軸を中心軸とする円柱形状であり、チャックテーブル２０ａの下面２３と接続される接続面３１に、チャックテーブル２０ａを所定の位置に位置決めするための２つの第２の位置決め部３４ａ，３４ｂが設けられている。第２の位置決め部３４ａ，３４ｂは、±Ｚ方向に平行な軸を中心軸とする円柱状の凸部であり、チャックテーブル２０ａの第１の位置決め部２４ａ，２４ｂに対応する位置に設けられている。すなわち、２つの第２の位置決め部３４ａ，３４ｂは、支持テーブル３０の中心軸から等距離かつ反対の方向に設けられ、支持テーブル３０の中心軸から第２の位置決め部３４ａ，３４ｂまでの距離は、チャックテーブル２０ａの中心軸から第１の位置決め部２４ａ，２４ｂまでの距離と等しい。また、第２の位置決め部３４ａ，３４ｂは、第１の位置決め部２４ａ，２４ｂと係合して連結する形状に形成されている。すなわち、第２の位置決め部３４ａ，３４ｂの外径及び高さは、第１の位置決め部２４ａ，２４ｂの内径及び深さよりもわずかに小さい。チャックテーブル２０ａを支持テーブル３０の上に載置すると、第１の位置決め部２４ａ，２４ｂと第２の位置決め部３４ａ，３４ｂとが連結されることにより、チャックテーブル２０ａが所定の位置に位置決めされる。２つの第１の位置決め部２４ａ，２４ｂがチャックテーブル２０ａの中心軸に対して対称な位置に設けられ、２つの第２の位置決め部３４ａ，３４ｂがそれに対応して支持テーブル３０の中心軸に対して対称な位置に設けられているので、チャックテーブル２０ａを１８０度回転させた状態でも第１の位置決め部２４ａ，２４ｂと第２の位置決め部３４ａ，３４ｂとを連結することができる。したがって、チャックテーブル２０ａが位置決めされる位置には、中心軸を中心として１８０度回転した２つの位置がある。これにより、チャックテーブル２０ａを位置決めするためにチャックテーブル２０ａを回転させなければならない角度は、１８０度以内となる。
【００１９】
支持テーブル３０には、チャックテーブル２０ａが位置決めされたときに、チャックテーブル２０ａの第１の吸引孔２５ａ，２５ｂと接続される２つの第２の吸引孔３５ａ，３５ｂが設けられている。第２の吸引孔３５ａ，３５ｂは、支持テーブル３０を±Ｚ方向に貫通する貫通孔であり、一端が接続面３１に接続されて開口し、他端が支持テーブル３０の下面３３に接続されて開口し、接続面３１側の開口はチャックテーブル２０ａの第１の吸引孔２５ａ，２５ｂの下面２３側の開口に対応する位置に設けられている。すなわち、２つの第２の吸引孔３５ａ，３５ｂは、支持テーブル３０の中心軸から等距離かつ反対の方向に設けられ、支持テーブル３０の中心軸から第２の吸引孔３５ａ，３５ｂまでの距離は、チャックテーブル２０ａの中心軸から第１の吸引孔２５ａ，２５ｂまでの距離と等しく、支持テーブル３０の中心軸に対して第２の位置決め部３４ａと第２の吸引孔３５ａとがなす角度は、チャックテーブル２０ａの中心軸に対して第１の位置決め部２４ａと第１の吸引孔２５ａとがなす角度と等しい。２つの第１の吸引孔２５ａ，２５ｂがチャックテーブル２０ａの中心軸に対して対称な位置に設けられ、２つの第２の吸引孔３５ａ，３５ｂがそれに対応して支持テーブル３０の中心軸に対して対称な位置に設けられているので、チャックテーブル２０ａを１８０度回転した状態で位置決めした場合でも、第２の吸引孔３５ａ，３５ｂが第１の吸引孔２５ａ，２５ｂと接続される。
【００２０】
また、支持テーブル３０には、支持テーブル３０を±Ｚ方向に貫通する４つの第３の吸引孔３６ａ〜３６ｄが設けられている。第３の吸引孔３６ａ〜３６ｄは、接続面３１に設けられた円環溝状の溝部３２に一端が接続されて開口し、他端が下面３３に接続されて開口している。
【００２１】
図１に示した研削装置１０は、図３に示すように、チャックテーブル２０ａに載置された板状ワークの保持状態を切り換える第１の切換バルブ１６と、チャックテーブル２０ａの保持状態を切り換える第２の切換バルブ１７と、第１の切換バルブ１６や第２の切換バルブ１７に接続された配管１８１〜１８６と、第１の切換バルブ１６及び第２の切換バルブ１７を制御する制御部１９とを備えている。
【００２２】
第１の切換バルブ１６は、三方弁であり、３つの端子に配管１８１〜１８３がそれぞれ接続されている。第２の切換バルブ１７は、三方弁であり、３つの端子に配管１８４〜１８６がそれぞれ接続されている。配管１８１は、第２の吸引孔３５ａ，３５ｂの下面３３側の開口に接続されている。配管１８４は、第３の吸引孔３６ａ〜３６ｄの下面３３側の開口に接続されている。配管１８２，１８５は、エアを吸引する吸引源５０に接続されている。配管１８３，１８６は、エアを供給する供給源６０に接続されている。
【００２３】
第２の切換バルブ１７は、制御部１９の制御により、配管１８４と配管１８６とを連通させる。これにより、第３の吸引孔３６ａ〜３６ｄを介して溝部３２にエアが供給され、接続面３１に載置されたチャックテーブル２０ａの吸引保持を解放する保持解除状態となる。一方、第２の切換バルブ１７は、制御部１９の制御により切り換えられると、配管１８４と配管１８５とを連通させる。これにより、第３の吸引孔３６ａ〜３６ｄを介して溝部３２内のエアが吸引され、接続面３１に載置されたチャックテーブル２０ａを吸引保持する吸引保持状態となる。
【００２４】
第１の切換バルブ１６は、制御部１９の制御により、配管１８１と配管１８２とを連通させる。これにより、第２の吸引孔３５ａ，３５ｂ及びそれに接続した第１の吸引孔２５ａ，２５ｂを介して、吸着面２１からエアが吸引され、吸着面２１に載置された板状ワークを吸引保持する吸引保持状態となる。また、第１の切換バルブ１６は、制御部１９の制御により切り換えられると、配管１８１と配管１８３とを連通させる。これにより、供給源６０から供給されるエアが第２の吸引孔３５ａ，３５ｂ及びそれに接続した第１の吸引孔２５ａ，２５ｂを介して吸着面２１から放出され、吸着面２１に載置された板状ワークをの吸引保持を解放する保持解除状態となる。
【００２５】
チャックテーブル２０ａを交換する場合、まず、制御部１９が、第２の切換バルブ１７を保持解除状態に切り換えて、チャックテーブル２０ａの吸引保持を解除する。その後、支持テーブル３０に載置されたチャックテーブル２０ａを取り外す。取付けねじを緩めるなどの作業は不要であり、チャックテーブル２０ａを容易に取り外すことができる。
【００２６】
次に、吸着面２１の大きさや形状が異なる例えば図１に示したチャックテーブル２０ｂを支持テーブル３０に載置し、チャックテーブル２０ｂの第１の位置決め部２４ａ，２４ｂと支持テーブル３０の第２の位置決め部３４ａ，３４ｂとを連結させる。これにより、チャックテーブル２０ａを所定の位置に容易に位置決めすることができる。
【００２７】
その後、制御部１９が、第２の切換バルブ１７を吸引保持状態に切り換えて、チャックテーブル２０ａを吸引保持する。取付けねじを締め付けるなどの作業は不要であり、取付けねじの締め付けトルクを管理する必要もなく、チャックテーブル２０ａを容易に取り付けることができる。
【００２８】
このように、チャックテーブル２０ａ，２０ｂを支持テーブル３０に取付けねじで取り付けるのではなく、チャックテーブル２０ａ，２０ｂを吸引保持することで支持テーブル３０に固定するので、チャックテーブル２０ａ，２０ｂを容易に交換することができる。また、第１の位置決め部２４ａ，２４ｂと第２の位置決め部３４ａ，３４ｂとを連結することで、チャックテーブル２０ａ，２０ｂを容易に位置決めすることができるので、チャックテーブル２０ａ，２０ｂを短時間で容易に交換することができる。
【００２９】
板状ワークを研削する場合には、板状ワークの大きさ及び形状に合致した大きさ及び形状のチャックテーブル２０ａ、２０ｂを支持テーブル３０に取り付けて吸引保持した状態で、板状ワークをチャックテーブル２０ａ、２０ｂの吸着面２１に載置し、制御部１９が、第１の切換バルブ１６を吸引保持状態に切り換えて、板状ワークを吸引保持する。その状態で、チャックテーブル２０ａに保持された板状ワークを研削手段１４が研削する。チャックテーブル２０ａに保持された板状ワークを研削する間は、第１の位置決め部２４ａ，２４ｂと第２の位置決め部３４ａ，３４ｂとが連結されているため、チャックテーブル２０ａ，２０ｂが横ずれするのを防止することができる。研削が終了したら、制御部１９が第１の切換バルブ１６を保持解除状態に切り換えて、板状ワークの吸引保持を解除し、チャックテーブル２０ａ，２０ｂから板状ワークを搬出する。
【００３０】
第１の位置決め部２４ａ，２４ｂと第２の位置決め部３４ａ，３４ｂとが連結されることにより、チャックテーブル２０ａが所定の位置に位置決めされているので、第１の吸引孔２５ａ，２５ｂと第２の吸引孔３５ａ，３５ｂとが確実に接続され、板状ワークを吸引保持することができる。また、チャックテーブル２０ａを吸引保持しているので、第１の吸引孔２５ａ，２５ｂと第２の吸引孔３５ａ，３５ｂとの接続部分からエアが漏れるのを防ぐことができ、板状ワークを確実に吸引保持することができる。
【００３１】
図４に示すチャックテーブル２０Ａは、チャックテーブル２０Ａの中心軸を中心とする円柱状の凹部２７が下面２３に設けられている点が、図２で説明したチャックテーブル２０ａと異なる。凹部２７の内径は、チャックテーブル２０Ａの中心軸と、第１の位置決め部２４ａ，２４ｂ及び第１の吸引孔２５ａ，２５ｂとの間の距離よりも大きい。すなわち、第１の位置決め部２４ａ，２４ｂ及び第１の吸引孔２５ａ，２５ｂの下面２３側の開口は、凹部２７の中に設けられている。
【００３２】
図５に示した支持テーブル３０Ａは、図４に示したチャックテーブル２０Ａと対をなすものであり、支持テーブル３０Ａの中心軸を中心とする円柱状の凸部３７が接続面３１に設けられている点が、図３で説明した支持テーブル３０と異なる。凸部３７の外径及び高さは、凹部２７の内径及び深さよりもわずかに小さく、凹部２７と凸部３７とは嵌合する。第２の位置決め部３４ａ，３４ｂ及び第２の吸引孔３５ａ，３５ｂの接続面３１側の開口は、凸部３７の上に設けられている。第２の位置決め部３４ａ，３４ｂの高さは、凸部３７の高さよりも低くすることが好ましい。これにより、第１の位置決め部２４ａ，２４ｂと第２の位置決め部３４ａ，３４ｂとが連結されていない状態であっても、凹部２７と凸部３７とを不完全ながら嵌合させることができる。
【００３３】
チャックテーブル２０Ａを支持テーブル３０Ａに載置して、中心軸の位置を合わせると、凹部２７と凸部３７とが嵌合する。この状態でチャックテーブル２０Ａを回転させて、第１の位置決め部２４ａ，２４ｂと第２の位置決め部３４ａ，３４ｂとが連結される位置を探し、チャックテーブル２０Ａを位置決めする。凹部２７と凸部３７とが嵌合していることで、チャックテーブル２０Ａを回転させたときに中心軸の位置がずれるのを防ぐことができる。中心軸の位置が合っているので角度を調整するだけでよく、チャックテーブル２０Ａを容易に位置決めすることができる。これにより、チャックテーブル２０Ａを容易に交換することができる。また、チャックテーブル２０Ａに保持された板状ワークを研削する間は、凹部２７と凸部３７とが嵌合していることにより、チャックテーブル２０Ａが横ずれするのを防止することができる。
【００３４】
このように、凹部２７と凸部３７とによって第一段階の位置決めをし、次に第１の位置決め部２４ａ，２４ｂと第２の位置決め部３４ａ，３４ｂとによって第二段階の位置決めをするようにして、チャックテーブル２０Ａの位置決めを複数の段階に分けることにより、各段階における位置決めが更に容易になる。
【００３５】
第１の位置決め部２４ａ，２４ｂ及び第２の位置決め部３４ａ，３４ｂの数は、２つに限らず、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。また、第１の位置決め部２４ａ，２４ｂ及び第２の位置決め部３４ａ，３４ｂの形状は、互いに係合して連結可能な形状であればよく、例えば第１の位置決め部２４ａ，２４ｂが凸状で、第２の位置決め部３４ａ，３４ｂが凹状であってもよい。
【００３６】
第１の吸引孔及び第２の吸引孔の数は、２つに限らず、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。また、第２の吸引孔の第１の切換バルブ１６側の出口は、支持テーブル３０の下面３３ではなく、側面など他の面に設ける構成であってもよい。
【００３７】
第３の吸引孔の数は、４つに限らず、３つ以下であってもよいし、５つ以上であってもよい。また、第３の吸引孔の第２の切換バルブ１７側の出口は、支持テーブル３０の下面３３ではなく、側面など他の面に設ける構成であってもよい。
【００３８】
凸部及び凹部は、互いに嵌合する形状であればよく、例えばチャックテーブルに凸部を設け、それに対応する凹部を支持テーブルに設ける構成であってもよい。
【符号の説明】
【００３９】
１０  研削装置、
１１  保持手段、
１４  研削手段、１４１  マウント、１４２  モータ、
１５  研削送り手段、１５１  ねじ軸、１５２  モータ、１５３  移動部、
１５４  ガイド、
１６  第１の切換バルブ、１７  第２の切換バルブ、
１８１，１８２，１８３，１８４，１８５，１８６  配管、１９  制御部、
２０ａ，２０ｂ，２０Ａ  チャックテーブル、２１  吸着面、２２  上面、
２３  下面、２４ａ，２４ｂ  第１の位置決め部、２５ａ，２５ｂ  第１の吸引孔、
２７  凹部、
３０，３０Ａ  支持テーブル、３１  接続面、３２  溝部、３３  下面、
３４ａ，３４ｂ  第２の位置決め部、３５ａ，３５ｂ  第２の吸引孔、
３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄ  第３の吸引孔、３７  凸部、
４０  研削砥石、５０  吸引源、６０  供給源
【図１】
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【図２】
2015168013.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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