(57)【要約】【課題】数百本以上の微細な溝を平行に形成する場合に、加工精度が高く、かつ効率よく加工ができる研削砥石および研削方法を提供する。【解決手段】台金の外周に、第１辺と第２辺と該第１辺と第２辺とが交差する先端部とを有する断面が略三角形の砥石部が、平行に複数条配列された研削砥石１を用いて、被研削物８の表面に、隣接する砥石部３間の間隔の１／ｎ（ｎ＝３、４…の整数）幅の第１溝Ｇ（１）を形成し、続いて、被研削物８に対して研削砥石１を１／ｎだけずらして、第１溝Ｇ（１）に隣接して１／ｎ幅の第２溝Ｇ（２）を形成し、続いて、研削砥石１を第１溝Ｇ（１）から第２溝Ｇ（２）への移動と同じ方向に１／ｎだけずらして、第２溝Ｇ（２）に隣接して１／ｎ幅の第３溝を形成し、これをｎ回続けて第ｎ溝を形成することによって、砥石部３間の間隔の１／ｎ幅の溝Ｇを平行にｎ本以上形成する研削加工方法である。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
台金の外周に、第１辺と第２辺と該第１辺と第２辺とが交差する曲率半径が０．１ｍｍ以下の先端部とを有する断面が略三角形の砥石部が、１〜５ｍｍの間隔で平行に複数条配列された研削砥石。
【請求項２】
請求項１記載の研削砥石を用いて、被研削物の表面に、隣接する前記砥石部間の間隔の１／ｎ（ｎ＝３、４…の整数）幅の第１溝を形成し、続いて、前記被研削物に対して前記研削砥石を１／ｎだけずらして、前記第１溝に隣接して１／ｎ幅の第２溝を形成し、続いて、前記被研削物に対して前記研削砥石を前記第１溝から前記第２溝への移動と同じ方向に１／ｎだけずらして、前記第２溝に隣接して１／ｎ幅の第３溝を形成し、これをｎ回続けて第ｎ溝を形成することによって、前記砥石部間の間隔の１／ｎ幅の溝を平行にｎ本以上形成する研削加工方法。
【請求項３】
前記１／ｎ幅が０．２ｍｍ以下である請求項２記載の研削加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、数百本の微細な溝を平行に形成するために用いられる研削砥石および研削方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板の表面に複数条の溝を形成する方法として、例えば、特許文献１では、磁気ヘッドの接合コアブロックをワイヤソーにて加工し、平行溝を形成する方法が開示されている。また、特許文献２では、光アレイ基板の表面に、光ファイバの外径にほぼ等しい幅の複数本の平行溝を研削加工によって形成する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６２−２７５３０７号公報
【特許文献２】特開平８−２４８２５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載されているワイヤソーを用いた平行溝の加工方法では、溝の本数が少ないときは効率よく加工できるものの、溝の本数が多くなると、加工に時間がかかり、効率が低下するという問題があった。また、特許文献２に記載されている研削加工によって溝を形成する場合でも、精密な溝を形成することができるものの、溝の本数が多くなるにつれて切刃が摩耗して溝の加工精度が低下するとともに、加工に時間がかかるという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、数百本以上の微細な溝を平行に形成する場合に、加工精度が高く、かつ効率よく加工ができる研削砥石および研削方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の研削砥石は、台金の外周に、第１辺と第２辺と該第１辺と第２辺とが交差する曲率半径が０．１ｍｍ以下の先端部とを有する断面が略三角形の砥石部が、１〜５ｍｍの間隔で平行に複数条配列されたものである。
【０００７】
また、本発明の研削方法は、前記研削砥石を用いて、被研削物の表面に、隣接する前記砥石部間の間隔の１／ｎ（ｎ＝３、４…の整数）幅の第１溝を形成し、続いて、前記被研削物に対して前記研削砥石を１／ｎだけずらして、前記第１溝に隣接して１／ｎ幅の第２溝を形成し、続いて、前記被研削物に対して前記研削砥石を前記第１溝から前記第２溝への移動と同じ方向に１／ｎだけずらして、前記第２溝に隣接して１／ｎ幅の第３溝を形成し、これをｎ回続けて第ｎ溝を形成することによって、前記砥石間の間隔の１／ｎ幅の溝を平行にｎ本以上形成する方法である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の研削砥石および研削方法によれば、微細な形状の溝を本数が多くても効率よく加工できるとともに、砥石部の摩耗も抑制でき、溝の加工精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の研削砥石の一例を示し、（ａ）縦断面図、（ｂ）横断面図である。
【図２】本発明の研削砥石を用いた研削加工の一例を示し、（ａ）第１溝を加工した状態、（ｂ）第２溝を加工した状態、（ｃ）第ｎ（１０）溝を加工した状態を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の研削砥石の一例を示す図１、および図１の研削砥石を用いた研削方法の一例を示す図２を基に説明する。図１（ａ）は図１（ｂ）のＡ−Ａ線も沿った断面の一部を示すものである。図１によれば、研削砥石１は、台金２の外周に、砥石部３が平行に複数条配列されている。砥石部３は、第１辺４と、第２辺５と、第１辺４と第２辺５とが交差する先端部６とを有する断面が略三角形形状からなる。
【００１１】
台金２は、円筒状であり、アルミニウム等の金属材からなり、断面の中心の位置に取付孔７が設けられている。砥石部３は、ダイヤモンド砥粒やｃＢＮを固着した電着砥石や、ダイヤモンド砥粒、炭化ケイ素砥粒、アルミナ砥粒等の研削砥粒を結合材で結合したレジンボンドやメタルボンドが使用可能であり、特に摩耗しにくい電着砥石が好適に使用可能である。
【００１２】
そして、この研削砥石１を用いて、被研削物８の表面に、所定幅の溝Ｇを平行に複数本形成する。具体的な加工方法は、図２に示すように、まず、隣接する砥石部３間の間隔の１／ｎ（ｎ＝３、４…の整数、図２ではｎ＝１０）幅の第１溝Ｇ（１）を形成する（図２（ａ）参照）。続いて、研削砥石１または被研削物８を移動させることによって、被研削物８に対する研削砥石１の位置を１／ｎだけずらして、第１溝Ｇ（１）に隣接して、１／ｎ（１／１０）幅の第２溝Ｇ（２）を形成する（図２（ｂ）参照）。続いて、研削砥石１または被研削物を移動させることによって、被研削物に対する研削砥石１の位置を第１溝から第２溝への移動と同じ方向に１／ｎだけずらして、第２溝Ｇ（２）に隣接して、１／ｎ（１／１０）幅の第３溝Ｇを形成する（図示せず）。これをｎ（１０）回続けて、形成した前記第ｎ−１（９）溝Ｇに隣接して、１／ｎ（１／１０）幅の第ｎ（１０）溝Ｇ（１０）を形成する（図２（ｃ）参照）。これによって、被研削物８の表面に、１／ｎ（１／１０）幅の溝Ｇを平行に１０本以上形成することができる。さらに溝Ｇを形成する必要がある場合には、研削砥石１を、溝Ｇを形成していない被研削物８の表面に移動させて、すなわち、研削砥石１の長さ分だけ移動させて、図２（ａ）〜（ｃ）の加工工程を繰り返すことにより、さらに多数本の溝Ｇを加工することができる。
【００１３】
本実施態様によれば、砥石部３の形状は、先端部６の曲率半径が０．１ｍｍ以下であり、隣接する先端部６間の間隔が１〜５ｍｍである。すなわち、例えば、幅０．２ｍｍ以下で深さ０．１ｍｍ以下の微細な溝Ｇを形成する場合、砥石部３の曲率半径は０．０５ｍｍ以下となるが、このようなシャープな先端部６を用いて研削加工する際においても、１つの砥石部３で加工する溝Ｇの数は、１／ｎになることから、砥石部３の摩耗の進行が抑制できる。そのために、加工される溝Ｇの加工精度が悪化することなく、高い加工精度で溝Ｇを形成することができる。
【００１４】
この方法を用いて複数条の平行溝を研削加工することによって、溝Ｇの本数が多くても効率よく加工できるとともに、砥石部３の摩耗も抑制でき、溝Ｇの加工精度が向上する。また、隣接する複数条の溝Ｇを一度に研削加工する方法では、微細な溝Ｇを形成する場合には、研削砥石１の砥石部３の微細な形状を並べて形成する必要があるために、砥石部３を精度よく形成することが難しいが、本実施態様の研削方法によれば、研削砥石１の砥石部３の形状を形成することが容易である。しかも、研削中に発生する研削かすが被研削物８と研削砥石１との間に詰まりにくく、容易に系外に排出することができる。
【００１５】
なお、本実施態様によれば、先端部６の開き角θは４５〜１５０°からなる。この開き角θは、形成する溝Ｇの幅と深さによって調整される。また、溝Ｇの断面が溝底に対して
線対称な溝Ｇを形成する場合には、第１辺４および第２辺５が同じ長さとされ、溝Ｇの断面が溝底に対して線対称でない形状の溝Ｇを形成する場合には、第１辺４および第２辺５が異なる長さとされる。
【００１６】
また、本実施態様によれば、研削砥石１で加工した後の加工面にエッジが形成される場合があり、このような場合には、ブラシ加工やブラスト加工等の研磨加工によってエッジをなくすこともできる。
【００１７】
さらに、本実施態様によれば、研削砥石１の先端部６が摩耗して形状が崩れた場合には、砥石部３に再電着をして、先端部６を再形成し、研削砥石１を再利用することもできる。また、各砥石部３の位置に合わせて加工する溝Ｇと同じ形状の溝が表面に形成された被研削物８よりも高硬度の表面を有する再研磨用の部材を準備し、研削砥石１にて再研磨用の部材を研削加工することにより、砥石部３の先端部６の形状が初期状態に近づき、再度研削加工することができる。この再研磨に際して、第１辺４および第２辺５が曲線でなく直線であることによって、再研磨しろを少なくできる。また、再研磨用の部材としては、被研削物８の表面にダイヤモンドやアルミナ等の高硬度被覆層を形成した部材が好適に使用可能である。
【符号の説明】
【００１８】
１  研削砥石
２  台金
３  砥石部
４  第１辺
５  第２辺
６  先端部
７  取付孔
８  被研削物
Ｇ  溝
【図１】
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【図２】
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