(57)【要約】      （修正有）【課題】加工液を交換することなく、かつ、フィルタを無駄無く使用する。【解決手段】放電加工機の加工液濾過装置であって、第１フィルタＦ１をロール状にセットしたフィルタ供給ロール１１ａを回転駆動するフィルタ供給ロール用モータ１３ａと、第１フィルタＦ１を回収するフィルタ回収ロール１１ｂを回転駆動するフィルタ回収ロール用モータ１３ｂと、第１フィルタＦ１の移動量を検出するエンコーダ１２と、濾過槽７内の加工液の圧力を検出する圧力センサ２５と、濾過槽７の上流あるいは下流に設けられた第１フィルタＦ１を洗浄する逆洗用ノズル１４と、圧力センサ２５で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、フィルタ供給ロール用モータ１３ａとフィルタ回収ロール用モータ１３ｂとを同期させて駆動して第１フィルタを所定距離移動させ第１フィルタＦ１を洗浄するように制御する制御部１７と、を備えた放電加工機の加工液濾過装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極により被加工物を放電加工する放電加工部を内部に有する加工槽と、該加工槽の加工液を回収および貯留する汚水槽と、底部に開口部を有する濾過槽と、該濾過槽の底部にフィルタを当接させ濾過槽とフィルタで形成される空間に前記汚水槽の加工液を充填させて濾過する放電加工機の加工液濾過装置において、
加工液濾過用フィルタをロール状にセットしたフィルタ供給ロールを回転駆動するフィルタ供給ロール用アクチュエータと、
前記フィルタを回収するフィルタ回収ロールを回転駆動するフィルタ回収ロール用アクチュエータと、
前記フィルタの移動量を検出する移動量検出部と、
前記濾過槽の加工液の圧力を検出する圧力検出部と、
前記濾過槽の上流あるいは下流に設けられた前記フィルタを洗浄するノズルと、
前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタ供給用アクチュエータまたはフィルタ回収ロール用アクチュエータを駆動して前記フィルタを所定距離移動させ該フィルタを洗浄するように制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする放電加工機の加工液濾過装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタの濾過槽で使用した部分を移動させ洗浄を行い、洗浄後に前記フィルタの洗浄した部分を濾過槽へ移動させることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機の加工液濾過装置。
【請求項３】
前記フィルタの同一部分の洗浄回数を計数する計数部を有し、
前記制御部は、前記洗浄回数が所定の回数となった場合、洗浄を行わずに前記フィルタ回収ロールに回収することを特徴とする請求項２に記載の放電加工機の加工液濾過装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタの濾過槽で使用した部分を移動させて洗浄を行い、前記フィルタ回収ローラにフィルタが全て回収された時、フィルタ回収ローラとフィルタ供給ローラの回転を逆回転させることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機の加工液濾過装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記フィルタ供給用アクチュエータとフィルタ回収ロール用アクチュエータとを同期させて駆動して前記フィルタを所定距離移動させることを特徴とする請求項１〜４に記載の放電加工機の加工液濾過装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電加工機において、加工時に排出される被加工物の微細の金属屑（スラッジ）を、ロール状にセットしたフィルタ濾過材により濾過し、そのフィルタ濾材を逆洗浄することにより、複数回繰り返しフィルタ濾材を使用することが可能な放電加工機における加工液濾過装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤカット放電加工機などの放電加工機において加工液を濾過するため、合成繊維やセルロース等のフィルタ濾材を折りたたみ、フィルタ濾材を円筒形の金属容器もしくは円筒形の樹脂容器に詰め込んだフィルタが広く使用されている。なお、ここでは、フィルタとは、フィルタ濾材とその外側のフィルタ容器を組み合わせたものをいう。  
これらのフィルタは、加工時に排出されるスラッジを濾過することにより、濾材にスラッジが堆積し、ある時間経過すると、いわゆる目詰まりを起こし、濾過能力が低下する。ここで、濾過能力とは、濾過流量のことである。
【０００３】
目詰りを起こしたフィルタの濾過流量を増やすためには、濾過時の圧力を上げれば良いが、濾材や濾過容器の強度に限界があり、その限界強度以下の圧力値までしか濾過圧力を上げることができない。一般に、フィルタの交換時期は、上記の強度限界まで濾過圧力が達した時となる。  
現在のワイヤカット放電加工機に使用されているフィルタは、特許文献１に開示されるように、フィルタ濾材とフィルタ容器が組み合わされたフィルタを用いている。しかし、交換する時は、フィルタそのものを交換する必要があり、コストもかかり、かつ、濾過容器も廃棄することになり、環境への影響も大きく、フィルタの長寿命化と廃棄物の削減が、最近特に叫ばれている。
【０００４】
特許文献２には、ロール状にセットしたフィルタ濾材を濾過に用い、フィルタが目詰まりして濾過槽の圧力が高くなった時に回収ローラを駆動して使用したフィルタを回収する技術が開示されている。当該装置は、フィルタ容器を使用しないため、フィルタ交換時に容器を廃棄することはない。  
特許文献３には、圧縮エアもしくは水流を利用してフィルタを逆洗浄することにより、同一フィルタを何度も使用することが可能な、ロール状にセットしたフィルタ濾材を利用した、金型の循環冷却水濾過装置の技術が開示されている。  
特許文献４には、エアーブローもしくは超純水を吹き付けてフィルタを逆洗浄するため、繰り返して使用することが可能な、半導体装置の製造の研磨工程で発生するスラリーを濾過する技術が開示されている。  
特許文献５には、既設の濾過装置のフィルタエレメントの寿命を延長することを目的としたサブフィルタの技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−０２９５８４号公報
【特許文献２】特開平２−３０４３３号公報
【特許文献３】特開２００６−３５０８９号公報
【特許文献４】特開２００４−６３８４６号公報
【特許文献５】実開昭６２−０２２０２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
背景技術で説明した特許文献１に開示される技術は、前述の問題点に加えて、フィルタ供給ロールから供給できるフィルタが終了したことを制御部に報知する手段を備えていないことから、濾過されていない加工液が清水槽に流入してしまい、水配管や冷却装置がスラッジで汚れて詰まり、機械の配管系統が故障する恐れがある。  
特許文献２に開示される技術は、フィルタを洗浄する装置を備えていないため、回収されたフィルタを繰り返し利用することができない。フィルタを移動させるための駆動モータは、回収ローラ側にしか設けられていないため、加工液で濡れたフィルタが破れてしまうという問題がある。
【０００７】
特許文献３や特許文献４に開示される技術は洗浄装置を備えているため、フィルタを繰り返し使用することが可能である。しかし、特許文献３に開示される装置では、逆洗浄は別の貯水槽の冷却水中で行われ、逆洗浄によりフィルタから取り除かれたスラッジは、その貯水槽の循環冷却水中に戻される。このため、逆洗浄を行う毎に、その貯水槽内の循環冷却水を廃棄し、新しい冷却水と入れ替える必要がある。また、特許文献４に開示される装置は、無端状に形成したフィルタの一部で濾過処理を、一部で逆洗浄による目詰まり解消処理を並行して行い、同一フィルタを反復利用する。フィルタの目詰まりを検出せずに逆洗浄するので、フィルタの目が詰まっていない時でも逆洗浄することがあり、逆洗浄を効率的に行うことができないという問題がある。また、特許文献５に開示される技術は、プレクレーナに用いるフィルタエレメントを逆洗浄して複数回使用するものではない。
【０００８】
そこで本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑み、放電加工装置において、加工時に排出される被加工物の微細の金属屑（スラッジ）を、ロール状にセットしたフィルタ濾材により濾過し、そのフィルタ濾材を逆洗浄することにより、複数回繰り返しフィルタ濾材を使用することが可能な放電加工機の加工液濾過装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願の請求項１に係る発明は、電極により被加工物を放電加工する放電加工部を内部に有する加工槽と、該加工槽の加工液を回収および貯留する汚水槽と、底部に開口部を有する濾過槽と、該濾過槽の底部にフィルタを当接させ濾過槽とフィルタで形成される空間に前記汚水槽の加工液を充填させて濾過する放電加工機の加工液濾過装置において、加工液濾過用フィルタをロール状にセットしたフィルタ供給ロールを回転駆動するフィルタ供給ロール用アクチュエータと、前記フィルタを回収するフィルタ回収ロールを回転駆動するフィルタ回収ロール用アクチュエータと、前記フィルタの移動量を検出する移動量検出部と、前記濾過槽の加工液の圧力を検出する圧力検出部と、前記濾過槽の上流あるいは下流に設けられた前記フィルタを洗浄するノズルと、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタ供給用アクチュエータまたはフィルタ回収ロール用アクチュエータを駆動して前記フィルタを所定距離移動させ該フィルタを洗浄するように制御する制御部と、を備えたことを特徴とする放電加工機の加工液濾過装置である。
【００１０】
請求項２に係る発明は、前記制御部は、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタの濾過槽で使用した部分を移動させ洗浄を行い、洗浄後に前記フィルタの洗浄した部分を濾過槽へ移動させることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機の加工液濾過装置である。  
請求項３に係る発明は、前記フィルタの同一部分の洗浄回数を計数する計数部を有し、前記制御部は、前記洗浄回数が所定の回数となった場合、洗浄を行わずに前記フィルタ回収ロールに回収することを特徴とする請求項２に記載の放電加工機の加工液濾過装置である。  
請求項４に係る発明は、前記制御部は、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタの濾過槽で使用した部分を移動させて洗浄を行い、前記フィルタ回収ローラにフィルタが全て回収された時、フィルタ回収ローラとフィルタ供給ローラの回転を逆回転させることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機の加工液濾過装置である。  
請求項５に係る発明は、前記制御部は、前記フィルタ供給用アクチュエータとフィルタ回収ロール用アクチュエータとを同期させて駆動して前記フィルタを所定距離移動させることを特徴とする請求項１〜４に記載の放電加工機の加工液濾過装置である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明により、フィルタ洗浄終了後に貯水槽の加工液を交換することなく、かつ、フィルタの洗浄を適切な時期に行い、フィルタを無駄無く使用することが可能な放電加工機の加工液濾過装置を提供でき、放電加工装置において、加工時に排出される被加工物の微細の金属屑（スラッジ）を、ロール状にセットしたフィルタ濾材により濾過し、そのフィルタ濾材を逆洗浄することにより、複数回繰り返しフィルタ濾材を使用することが可能な放電加工機の加工液濾過装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態の放電加工機における加工液濾過装置を説明する図である。
【図２−１】放電加工における加工液濾過装置の第１の形態の動作を説明するフロチャートである（その１）。
【図２−２】放電加工における加工液濾過装置の第１の形態の動作を説明するフロチャートである（その２）。
【図３−１】放電加工における加工液濾過装置の第２の形態の動作を説明するフロチャートである（その１）。
【図３−２】放電加工における加工液濾過装置の第２の形態の動作を説明するフロチャートである（その２）。
【図４】図１の圧力センサに替えて圧力スイッチを用いた本発明の実施形態を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。  
まず、本発明の実施形態の概要を説明する。本発明では、フィルタ濾材の逆洗浄を、濾過槽とは別の槽（位置）まで移動して行う。フィルタ濾材の移動量の測定については、フィルタ濾材に密接したローラに付設されたエンコーダによる。その逆洗浄によって取り除かれた加工屑（スラッジ）は、放電加工機の加工液貯留槽に戻さないので、逆洗浄のたびに加工液を廃棄して新しい加工液を入れる必要はない。フィルタ濾材を交換する必要がある圧力に到達した場合、圧力センサからの信号あるいは圧力スイッチからの要交換信号に基づいて洗浄を行い、逆洗浄を効率的に行うことができる。逆洗浄を所定の回数（実験により寿命と判断された回数）を繰り返し、逆洗浄の回数がその所定回数に到達したときにフィルタ濾材の寿命が来た（つまり、フィルタ濾過材の交換時期）と判断する。
【００１４】
図１は本発明の実施形態の放電加工機における加工液濾過装置を説明する図である。例えばワイヤカット放電加工機では、機構部１上に配置された加工槽２内に載置したワークを加工するために、ワイヤボビンから供給されたワイヤ電極を、上，下ワイヤガイド５の上ワイヤガイドを貫通して走行し、前記ワーク加工領域を通過させ、その後、下ガイドを貫通して走行し、ワイヤ巻き取り部に巻き取り、ワイヤ電極に所定の張力を与えながら走行させ、ワイヤ電極とワークとの間に電圧を印加し、放電作用によってワークを加工する機械である。加工槽２内には加工液が満たされ、ワイヤ電極とワーク間に電圧が印加されることにより両者間に放電を起し、ワークを加工する。前記ワイヤカット放電加工機は図示しない制御装置により制御される。
【００１５】
加工槽２で使用された汚れた加工液は汚水槽３に溜まる。汚水槽３に溜まった加工屑などで汚れた加工液は、フィルタポンプＰ１によって汲み上げられ、第２フィルタＦ２が収納された容器に入れる。第２フィルタＦ２で濾過された加工液は清水槽４に送られる。清水槽４に溜まった濾過された加工液は加工液循環ポンプＰ３によって上，下ワイヤガイド５に送られる。また、清水槽４内の加工液の温度を一定に保つため、循環ポンプＰ４によって清水槽４から加工液を汲み上げ冷却装置２４に供給し、冷却装置２４で冷却された加工液は再度，清水槽４に戻される。
【００１６】
Ｆ１はロール紙状のフィルタ、１１ａはロール状に巻いたフィルタ供給ロール、２１は第１フィルタＦ１をガイドするために移動経路上に配置された複数組のガイドローラ、１１ｂはフィルタ供給ロール１１ａから巻き出された第１フィルタＦ１を回収するためのフィルタ回収ロールである。フィルタ供給ロール１１ａ，フィルタ回収ロール１１ｂは第１フィルタＦ１の一端部がそれぞれ芯部材に着脱自在に取付けられている。フィルタ供給ロール１１ａはフィルタ供給ロール用モータ１３ａと連結し、フィルタ回収ロール１１ｂはフィルタ回収ロール用モータ１３ｂと連結している。１２は第１フィルタＦ１の移動量を計測するためのエンコーダである。
【００１７】
７は濾過槽、６は貯留槽、１５は濾過槽７の底部側面に設けられた第１フィルタＦ１の通過口のシールである。濾過槽７は上部には蓋、下部には第１フィルタＦ１を支えると共に多数の開口が設けられた敷板（図示せず）が設けられている。濾過槽７，第１フィルタＦ１で囲われた空間は閉塞されている。ロール式フィルタ用ポンプＰ２を稼働することによって汚水槽３に貯留される汚れた加工液が汲み上げられ、定流量弁１０を介して濾過槽７に送られる。濾過槽７の底部の第１フィルタＦ１が汚れて目が詰まるにつれて、濾過槽７の内部の圧力が上昇する。濾過槽７内の加工液は、重力と濾過槽７の内部の圧力上昇によって濾過槽７側から第１フィルタＦ１によって濾過されて貯留槽６側へ流れ込む。濾過される前に加工液に含まれていた加工屑は第１フィルタＦ１に付着する。貯留槽６に溜まった濾過された加工液は清水槽４に送られる。貯留槽６から清水槽４へは図示しないポンプあるいは重力による自然流によって送られる。
【００１８】
２２はロール式フィルタ用ポンプＰ２を駆動するインバータであり、ロール式フィルタ用ポンプＰ２は電磁開閉器（マグネットコンタクタ）１６を用いて止められる。電磁開閉器１６は電気回路の開閉制御を行う電磁接触器（コンタクタ）とモータの過負荷保護を行うサーマルリレー（熱動形過負荷継電器）を組み合わせたものである。  
制御部１７は加工液濾過装置の全体を制御する装置であり、図示しないプロセッサ（ＣＰＵ），メモリ，入出力用インタフェース，第１フィルタＦ１の取替えを表示するなどの表示装置を備える。図示しない前記メモリは、第１フィルタの使用回数ｎを記憶する領域、使用方向フラグＤｉｒを記憶する領域、第１フィルタの使用限度回数ｎlimを記憶する領域を有する。前記使用回数、前記使用方向フラグ、前記使用限度回数については、後述する。制御部１７は単独の制御装置としてもよいし、放電加工装置の制御装置の機能として組み込むようにしてもよい。
【００１９】
貯留槽６，濾過槽７の出口側からフィルタ回収ロール１１ｂまでの間の所定個所に、第１フィルタＦ１を逆洗浄するための逆洗用ノズル１４が配設されている。２０は洗浄用流体供給装置であって、逆洗用ノズル１４に第１フィルタＦ１を逆洗浄するための洗浄用流体を供給する。逆洗用ノズル１４を用いる第１フィルタの逆洗浄に替えて、薬剤を用いる方法などの方法を用いる構成としてもよい。  
２５は圧力センサである。濾過槽７の底部の第１フィルタＦ１が汚れて目が詰まるにつれて、濾過槽７の内部の圧力が高くなる。この濾過槽７の内部の圧力を圧力センサ２５によって検出する。圧力センサ２５により検出された濾過槽７内の圧力信号は制御部１７に入力する。圧力センサ２５により検出された濾過槽７内の圧力がある一定の圧力に達すると制御部１７により、フィルタ回収ロール用モータ１３ｂを用いてフィルタ回収ロール１１ｂを回転させ、第１フィルタＦ１を逆洗浄する場所、つまり、逆洗用ノズル１４の配置場所まで移動する。濾過槽７において加工液の濾過処理を行なった第１フィルタＦ１の部分を、逆洗用ノズル１４を用いて逆洗浄する。第１フィルタＦ１の移動量はエンコーダ１２を用いて計測することができる。なお、圧力センサ２５に替えて圧力スイッチ９（図４参照）を用いるようにしてもよい。圧力スイッチ９は所定の圧力に到達したら、信号を制御部１７に送信する。
【００２０】
ここで、フィルタ供給ロール１１ａあるいはフィルタ回収ロール１１ｂからの第１フィルタＦ１の巻き出しが限界に達したことを検出する方法を説明する。なお、ここでは、第１フィルタＦ１の両端部がフィルタ供給ロール１１ａあるいはフィルタ回収ロール１１ｂの芯部材に固定されているものとする。  
まず、フィルタ供給ロール１１ａから第１フィルタＦ１が巻き出されフィルタ回収ロール１１ｂに回収され、第１フィルタＦ１がもうこれ以上フィルタ供給ロール１１ａから巻き出されることが不可能になると、フィルタ回収ロール用モータ１３ｂを回転させる駆動電流を増加しても、フィルタ供給ロール用モータ１３ａ，フィルタ回収ロール用モータ１３ｂとも回転しない。第１フィルタＦ１は移動しない状態となりエンコーダ１２によって検出される第１フィルタＦ１の移動量は零となる。従って、フィルタ回収ロール用モータ１３ｂの駆動電流値とエンコーダ１２によって検出される第１フィルタＦ１の移動量を監視することによって、第１フィルタＦ１がフィルタ供給ロール１１ａからの巻き出し終了に達したか否かを判別することができる。
【００２１】
また、フィルタ回収ロール１１ｂに巻き取られた第１フィルタＦ１を巻き出しフィルタ回収ロール１１ａに逆方向に移動させる場合には、フィルタ供給ロール用モータ１３ａの駆動電流値とエンコーダ１２から検出される第１フィルタＦ１の移動量を監視することによって、第１フィルタＦ１がフィルタ回収ロール１１ｂからの巻き出し終了に達したか否かを判別することができる。  
第１フィルタＦ１の両端部がフィルタ供給ロール１１ａ，フィルタ回収ロール１１ｂに対して固定されていない場合には、遮光センサなどを用いる構成としてもよい。あるいは、第１フィルタの所定個所にマークなど他の部位とことなる物理量を検知できる手段を施し、該物理量を検出する装置を用いるようにしてもよい。  
図１では、逆洗用ノズル１４を濾過槽７，貯留槽６の下流側に配置しているが、上流側に配置することもできる。また、第１フィルタＦ１を移動させる場合、フィルタ供給ロール用モータ１３ａとフィルタ回収ロール用モータ１３ｂを同期して駆動させる。両モータを同期して駆動することによって第１フィルタＦ１に弛みが発生しないように移動させることができる。あるいは、濾過装置の構成あるいは第１フィルタの材質などによって弛みなどの問題が発生しない場合には、第１フィルタＦ１の移動方向側のモータのみを駆動し、他方のモータを自由回転状態にし、第１フィルタＦ１を引っ張るようにして移動させるようにしてもよい。
【００２２】
図２−１，図２−２は、図１に示される放電加工における加工液濾過装置の第１の形態の動作を説明するフロチャートである。第１の形態は、第１フィルタＦ１の終了する位置に達する前に、濾過に使用した第１フィルタの部位を逆洗浄し、巻き戻し使用する形態である。以下、各ステップに従って説明する。
●［ステップＳＡ０１］フィルタの使用回数を表すｎの値を読み込む。使用回数ｎの値は初期値１が設定される。なお、ｎの値は、新品のフィルタロールをフィルタ供給ロール１１ａとする時に１とする。使用途中では、加工液濾過装置を停止するときにメモリに記憶されている使用回数ｎの値を、次に加工液濾過装置を起動するときに使用する。  
●［ステップＳＡ０２］フィルタポンプＰ２を運転し濾過を開始する。  
●［ステップＳＡ０３］圧力センサ２５からの信号を受信する。  
●［ステップＳＡ０４］圧力センサ２５からの信号は所定値を超えたかを判断し、所定値を超えた場合にはステップＳＡ０５へ移行し、超えていない場合にはステップＳＡ０３へ戻る。  
●［ステップＳＡ０５］フィルタポンプＰ２を停止する。
●［ステップＳＡ０６］使用回数のｎの値を１つ増加した値をｎの値とする。なお、このｎの値は、放電加工機の加工液濾過装置の動作を停止する場合には、不揮発性メモリに記憶する。  
●［ステップＳＡ０７］フィルタＦ１の一区間の使用限度回数ｎlimに達したか否かを判断し、使用限度に達した（ＹＥＳ）の場合にはステップＳＡ０８へ移行し、使用限度に達していない（ＮＯ）の場合には、ステップＳＡ１２に移行する。  
●［ステップＳＡ０８］使用回数ｎの値を１に戻す。  
●［ステップＳＡ０９］フィルタ回収ロール１１ｂに１区間分巻き取り開始する。  
●［ステップＳＡ１０］フィルタ供給ロール１１ａからのフィルタＦ１の供給終了か否かを判断し、供給終了でない（ＮＯ）場合にはステップＳＡ１１へ移行し、供給終了の（ＹＥＳ）場合にはステップＳＡ１７へ移行する。  
●［ステップＳＡ１１］フィルタ回収ロール１１ｂに１区間分巻き取り終了か否か判断し、巻き取り終了でない（ＮＯ）場合にはステップＳＡ１０へ戻り、巻き取り終了の（ＹＥＳ）場合にはステップＳＡ０２に戻り処理を継続する。
●［ステップＳＡ１２］フィルタＦ１を逆洗用ノズル１４の位置まで移動開始する。  
●［ステップＳＡ１３］フィルタ供給ロール１１ａからフィルタＦ１の供給終了か否か判断し、供給終了でない（ＮＯ）場合にはステップＳＡ１４へ移行し、供給終了の（ＹＥＳ）場合にはステップＳＡ１７へ移行する。  
●［ステップＳＡ１４］フィルタＦ１は逆洗用ノズル１４の位置まで移動終了か否か判断し、移動終了でない（ＮＯ）場合にはステップＳＡ１３へ移行し、移動終了の（ＹＥＳ）場合にはステップＳＡ１５へ移行する。  
●［ステップＳＡ１５］逆洗用ノズル１４を用いてフィルタＦ１を逆洗浄する。  
●［ステップＳＡ１６］逆洗したフィルタＦ１を濾過槽７の下に戻し、ステップＳＡ０２に戻る。  
●［ステップＳＡ１７］フィルタＦ１を移動させるために駆動しているモータの駆動を停止するとともに、放電加工機の制御装置にアラーム信号を送信し、処理を終了する。
【００２３】
図３−１，図３−２は、放電加工における加工液濾過装置の第２の形態の動作を説明するフロチャートである。第２の形態は、第１フィルタＦ１の終了する位置に達した後に、濾過に使用した第１フィルタの部位を巻き戻し使用する形態である。以下、各ステップに従って説明する。
●［ステップＳＢ０１］フィルタの使用回数を表すｎの値を読み込む。ｎの値は初期値１が設定される。なお、ｎの値は、新品のフィルタロールをフィルタ供給ロール１１ａとする時に１とする。また、フィルタＦの供給方向を表すフラグである使用方向フラグＤｉｒを読み込む。なお、本明細書では、使用方向フラグＤｉｒは、「０」が正回転方向、「１」は逆回転方向を意味し、初期値は０（正回転方向）に設定する。
●［ステップＳＢ０２］フィルタポンプＰ２を運転し濾過を開始する。  
●［ステップＳＢ０３］圧力センサ２５からの信号を受信する。  
●［ステップＳＢ０４］圧力センサ２５からの信号は所定値を超えたかを判断し、所定値を超えた場合にはステップＳＢ０５へ移行し、超えていない場合にはステップＳＢ０３へ戻る。
●［ステップＳＢ０５］フィルタポンプＰ２を停止する。  
●［ステップＳＢ０６］使用方向フラグＤｉｒは「０」（正回転方向）であるか否か判断し、０（正回転方向）の場合にはステップＳＢ０７へ移行し、０でない（つまり、使用方向フラグＤｉｒが１であって逆回転方向）場合にはステップＳＢ１２へ移行する。  
●［ステップＳＢ０７］フィルタ回収ロール１１ｂに一区間分巻き取りを開始する。  
●［ステップＳＢ０８］フィルタ供給ロール１１ａからフィルタＦ１の供給終了か否か判断し、終了でない（ＮＯ）場合にはステップＳＢ０９へ移行し、終了の（ＹＥＳ）場合にはステップＳＢ１１へ移行する。  
●［ステップＳＢ０９］フィルタ回収ロール１１ｂに一区間分巻き取り終了か否か判断し、巻き取り終了でない（ＮＯ）場合にはステップＳＢ０８へ戻り、巻き取り終了の（ＹＥＳ）の場合にはステップＳＢ１０へ移行する。
●［ステップＳＢ１０］ノズル１４を用いてフィルタＦ１を逆洗浄する。  
●［ステップＳＢ１１］使用方向フラグＤｉｒを１（逆回転方向）にし、ステップＳＢ１６へ移行する。  
●［ステップＳＢ１２］フィルタ供給ロール１１ａに一区間分巻き取り開始する。  
●［ステップＳＢ１３］フィルタ回収ロール１１ｂからフィルタＦ１の供給終了か否か判断し、供給終了でない（ＮＯ）の場合にはステップＳＢ１４へ移行し、供給終了の（ＹＥＳ）の場合にはステップＳＢ１５へ移行する。  
●［ステップＳＢ１４］フィルタ供給ロール１１ａに一区間分巻き取り終了か否か判断し、巻き取り終了の（ＹＥＳ）場合にはステップＳＢ１０へ移行し、巻き取り終了でない（ＮＯ）の場合にはステップＳＢ１３へ戻る。
●［ステップＳＢ１５］使用方向フラグＤｉｒを０（つまり、正回転方向）にし、ステップＳＢ１６へ移行する。  
●［ステップＳＢ１６］ｎの値を１増加した値を新たにｎの値とする。  
●［ステップＳＢ１７］フィルタＦ１の使用限度ｎlimに到達したか否か判断し、到達していない（ＮＯ）場合にはステップＳＢ０６へ戻り、到達した（ＹＥＳ）場合にはステップＳＢ１８へ移行する。  
●［ステップＳＢ１８］フィルタＦ１を移動させるために駆動しているモータの駆動を停止するとともに、放電加工機の制御装置にアラーム信号を送信し、処理を終了する。
【００２４】
本発明は、フィルタを逆洗浄することにより、フィルタの同じ場所を複数回使用することができる。フィルタの洗浄は逆洗浄以外でもよい。また、フィルタ供給ロールからフィルタが無くなった時に制御部にアラーム信号を送ることで、機械を停止することができ、水配管や冷却装置にスラッジが詰まることを防止することができる。
【符号の説明】
【００２５】
１  機構部
２  加工槽
３  汚水槽
４  清水槽
５  上，下ワイヤガイド
６  貯留槽
７  濾過槽
９  圧力スイッチ
１０  定流量弁
１１ａ  フィルタ供給ロール
１１ｂ  フィルタ回収ロール
１２  エンコーダ
１３ａ  フィルタ供給ロール用モータ
１３ｂ  フィルタ回収ロール用モータ
１４  逆洗用ノズル
１５  シール
１６  電磁継電器（マグネットコンタクタ）
１７  制御部
２０  洗浄用流体供給装置
２１  ガイドローラ
２２  インバータ
２４  冷却装置
２５  圧力センサ
Ｐ１  フィルタポンプ
Ｐ２  ロール式フィルタ用ポンプ
Ｐ３  加工液供給ポンプ
Ｐ４  循環ポンプ
Ｆ１  第１フィルタ
Ｆ２  第２フィルタ
ｎ  使用回数
ｎlim  使用限度回数
Ｄｉｒ  使用方向フラグ
【図１】
2015037812.tif 000003
【図２−１】
2015037812.tif 000004
【図２−２】
2015037812.tif 000005
【図３−１】
2015037812.tif 000006
【図３−２】
2015037812.tif 000007
【図４】
2015037812.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成24年4月27日(2012.4.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
特許文献３や特許文献４に開示される技術は洗浄装置を備えているため、フィルタを繰り返し使用することが可能である。しかし、特許文献３に開示される装置では、逆洗浄は別の貯水槽の冷却水中で行われ、逆洗浄によりフィルタから取り除かれたスラッジは、その貯水槽の循環冷却水中に戻される。このため、逆洗浄を行う毎に、その貯水槽内の循環冷却水を廃棄し、新しい冷却水と入れ替える必要がある。また、特許文献４に開示される装置は、無端状に形成したフィルタの一部で濾過処理を、一部で逆洗浄による目詰まり解消処理を並行して行い、同一フィルタを反復利用する。フィルタの目詰まりを検出せずに逆洗浄するので、フィルタの目が詰まっていない時でも逆洗浄することがあり、逆洗浄を効率的に行うことができないという問題がある。また、特許文献５に開示される技術は、プレクリーナに用いるフィルタエレメントを逆洗浄して複数回使用するものではない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本願の請求項１に係る発明は、電極により被加工物を放電加工する放電加工部を内部に有する加工槽と、該加工槽の加工液を回収および貯留する汚水槽と、底部に開口部を有する濾過槽と、該濾過槽の底部にフィルタを当接させ濾過槽とフィルタで形成される空間に前記汚水槽の加工液を充填させて濾過する放電加工機の加工液濾過装置において、加工液濾過用フィルタをロール状にセットしたフィルタ供給ロールを回転駆動するフィルタ供給ロール用アクチュエータと、前記フィルタを回収するフィルタ回収ロールを回転駆動するフィルタ回収ロール用アクチュエータと、前記フィルタの移動量を検出する移動量検出部と、前記濾過槽の加工液の圧力を検出する圧力検出部と、前記濾過槽の上流あるいは下流に設けられた前記フィルタを洗浄するノズルと、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタ供給用アクチュエータと前記フィルタ回収ロール用アクチュエータを同期させて駆動して前記フィルタを所定距離移動させ該フィルタを洗浄するように制御する制御部と、を備えたことを特徴とする放電加工機の加工液濾過装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項２に係る発明は、前記制御部は、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタの濾過槽で使用した部分を移動させ洗浄を行い、洗浄後に前記フィルタの洗浄した部分を濾過槽へ移動させることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機の加工液濾過装置である。  
請求項３に係る発明は、前記フィルタの同一部分の洗浄回数を計数する計数部を有し、前記制御部は、前記洗浄回数が所定の回数となった場合、洗浄を行わずに前記フィルタ回収ロールに回収することを特徴とする請求項２に記載の放電加工機の加工液濾過装置である。  
請求項４に係る発明は、前記制御部は、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタの濾過槽で使用した部分を移動させて洗浄を行い、前記フィルタ回収ローラにフィルタが全て回収された時、フィルタ回収ローラとフィルタ供給ローラの回転を逆回転させることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機の加工液濾過装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極により被加工物を放電加工する放電加工部を内部に有する加工槽と、該加工槽の加工液を回収および貯留する汚水槽と、底部に開口部を有する濾過槽と、該濾過槽の底部にフィルタを当接させ濾過槽とフィルタで形成される空間に前記汚水槽の加工液を充填させて濾過する放電加工機の加工液濾過装置において、
加工液濾過用フィルタをロール状にセットしたフィルタ供給ロールを回転駆動するフィルタ供給ロール用アクチュエータと、
前記フィルタを回収するフィルタ回収ロールを回転駆動するフィルタ回収ロール用アクチュエータと、
前記フィルタの移動量を検出する移動量検出部と、
前記濾過槽の加工液の圧力を検出する圧力検出部と、
前記濾過槽の上流あるいは下流に設けられた前記フィルタを洗浄するノズルと、
前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタ供給用アクチュエータと前記フィルタ回収ロール用アクチュエータを同期させて駆動して前記フィルタを所定距離移動させ該フィルタを洗浄するように制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする放電加工機の加工液濾過装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタの濾過槽で使用した部分を移動させ洗浄を行い、洗浄後に前記フィルタの洗浄した部分を濾過槽へ移動させることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機の加工液濾過装置。
【請求項３】
前記フィルタの同一部分の洗浄回数を計数する計数部を有し、
前記制御部は、前記洗浄回数が所定の回数となった場合、洗浄を行わずに前記フィルタ回収ロールに回収することを特徴とする請求項２に記載の放電加工機の加工液濾過装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記圧力検出部で検出した加工液の圧力が所定の値を超えたとき、前記フィルタの濾過槽で使用した部分を移動させて洗浄を行い、前記フィルタ回収ローラにフィルタが全て回収された時、フィルタ回収ローラとフィルタ供給ローラの回転を逆回転させることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機の加工液濾過装置。