(57)【要約】【課題】金属配線部をグラビア印刷法を用いた処理方法によって形成することにより、低コストで、良質な太陽電池モジュール用の集電シートを製造できる製造方法を提供する。【解決手段】太陽電池モジュール用の集電シート１の製造方法を、積層工程と、凹版式印刷法による膜形成工程と、エッチング工程と、剥離工程と、を備え、レジスト膜４の本体部分４１の平均厚さが、余長部分４２の平均厚さよりも大きく、エッチング工程においては、レジスト膜４に０．２ＭＰａ以上０．７ＭＰａ以下のスプレー圧で積層体の表面の全域にエッチング液の噴霧を行う製造方法とする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂基材の表面に配線パターンが形成されている太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法であって、
前記樹脂基材の表面に金属箔を積層して積層体を得る積層工程と、
前記金属箔の表面に、配線パターン形成部分に対応する本体部分と、配線パターン非形成部分に対応する余長部分とからなるレジスト膜を凹版式印刷法により形成するレジスト膜形成工程と、
前記金属箔における前記配線パターン非形成部分を除去するエッチング処理を行うエッチング工程と、
前記レジスト膜を除去して配線パターンを露出形成する剥離工程と、を備え、
前記レジスト膜の前記本体部分の平均厚さが、前記余長部分の平均厚さよりも大きく、
前記エッチング工程においては、前記レジスト膜に０．２ＭＰａ以上０．７ＭＰａ以下のスプレー圧で前記積層体の表面の全域にエッチング液の噴霧を行うことにより、前記エッチング処理を行う太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法。
【請求項２】
前記スプレー圧が、０．５ＭＰａ以上０．７ＭＰａ以下である請求項１に記載の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法。
【請求項３】
前記余長部分の前記配線パターン形成部分からのはみ出し幅が、前記金属箔の厚みの６０％以上の幅であり、且つ、該余長部分が形成されている配線パターン非形成部分の幅の１／２未満である請求項１又は２に記載の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法。
【請求項４】
前記凹版式印刷法がグラビア印刷法である請求項１から３のいずれかに記載の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の製造方法で製造された太陽電池モジュール用の集電シートにバックコンタクト型の太陽電池素子が積層されている太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、太陽電池素子から電気を取り出すために用いる太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、環境問題に対する意識の高まりから、太陽電池がクリーンなエネルギー源として注目を集めている。太陽電池素子から電気を取り出す方法については様々な形式のものがあるが、太陽光線の受光効率を高めるために、太陽光の受光面側には電極を配置せず、非受光面側に異なる極性を有する複数の電極を配置したバックコンタクト型の太陽電池素子の開発が進んでいる。
【０００３】
バックコンタクト型の太陽電池素子には種々の方式がある。受光面と非受光面とを貫通するスルーホールを有するＭＷＴ方式、ＥＷＴ方式の太陽電池素子、太陽電池素子の裏面に、くし型形状のｐ型、ｎ型の拡散層を形成して、そのｐ、ｎ領域から、電気を取り出す構造を備えるＩＢＣ方式の太陽電池素子等がある。又、非受光面側に集電配線部を備える自己集電方式のバックコンタクト型の太陽電池素子も開発されている。
【０００４】
これらのバックコンタクト型の太陽電池素子は、通常、太陽電池モジュールの内部に複数枚設けられ、これらが直並列接合されることにより必要な電圧及び電流を得られるように構成されている。非受光面側に設けられた多数の電極から安全に効率よく電気を取り出すために、図１に示すような太陽電池モジュール用の集電シートが提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
図１に示す太陽電池モジュール用の集電シート１は、複数のバックコンタクト型の太陽電池素子５を太陽電池モジュールの内部で配線するために、回路になる櫛形形状等の複雑な形状を備える金属配線部３を、エッチング処理することにより樹脂基材２の表面に形成したものである。
【０００６】
従来、金属配線部を形成するための加工処理方法としては、複雑な配線パターンを正確に形成することができるフォトエッチングによる加工処理方法が広く用いられてきた。この方法は以下の（ｉ）〜（ｖ）の工程を必須とする。即ち、（ｉ）金属配線部の材料とする金属箔を積層した樹脂基材の上に、フォトレジスト液の滴下によりレジスト膜を形成し、（ｉｉ）形成したレジスト膜にマスクを重ねて光露光し、（ｉｉｉ）レジスト膜の感光部分を現像工程により溶脱させて、レジスト膜パターンの形成を行う。そして、（ｉｖ）形成されたレジスト膜パターンをエッチングマスクとしつつ、エッチング液によって不要の金属薄膜部分を除去し、（ｖ）最後にエッチングマスクであるレジスト膜パターンを剥離除去する。
【０００７】
太陽電池モジュール用の集電シートの製造において、その金属配線部の形成を、上記のフォトエッチングによる加工処理方法によって行う従来の方法は、上記（ｉ）から（ｖ）の通り、エッチング処理に係る材料費や製造工程の複雑さに起因して製造コストが嵩むため、太陽電池モジュールの価格を引き上げてしまう。これを回避して製造コストを削減することができる他の製造方法が求められていた。
【０００８】
基材上に微細且つ複雑な配線パターンからなる金属配線部を形成する処理を含む製造方法において、特に、上記の通り、複雑な工程を重ねることが必要とされるエッチング処理について、より低コストでレジスト膜の作成を行うことができるグラビア印刷法によるレジスト膜の作成方法を、従来のフォトエッチング処理によるに方法に代えて採用することが考えられる。上記処理をグラビア印刷方法で行うことによって、特に上記の（ｉ）から（ｉｉｉ）のレジスト膜を形成する工程を大幅に簡略化によるコストダウンを図ることができる。
【０００９】
このグラビア印刷によるレジスト膜の形成を行った場合に、微細且つ複雑な配線パターンを形成することができる方法として、適切なオーバーエッチングにより、より微細な配線パターンを形成することを企図した製造方法も開示されている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００７−０８１２３７号公報
【特許文献２】特開２０１２−２４３８３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、グラビア印刷法は、不要なインキをドクターによって印刷刷版から物理的に掻き取る処理を経る方法であるため、原理的にインキの微細な掻き残しを完全に排除することは困難であった。尚、微細な配線パターンの加工処理の精度を高めるためのオーバーエッチングについての発明を開示している特許文献２においても、グラビア印刷特有のインキの掻き残しの問題については、特に言及されていない。
【００１２】
一方、太陽電池モジュール用の集電シートの製造においては、金属配線部の配線パターン形成のためのインキ、即ち、レジスト液のごく僅かな掻き残しであっても、金属配線部の配線パターン形成不良に伴う短絡の原因となり、太陽電池モジュールに深刻なダメージを与えてしまう場合がある。
【００１３】
グラビア印刷法によるレジスト膜の形成時に不可避であったインキの微細な描き残しを排除して、太陽電池モジュールの基本性能に係る信頼性を確保しながら、従来よりも低コストで太陽電池モジュール用の集電シートを製造することができる太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法の開発が望まれていた。
【００１４】
本発明は、以上のような状況に鑑みてなされたものであり、太陽電池モジュールの基本性能に係る信頼性を確保しながら、金属配線部をグラビア印刷法を用いた処理方法によって形成することにより、低コストで、良質な太陽電池モジュール用の集電シートを製造することができる太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、太陽電池モジュール用の集電シートの製造において、グラビア印刷によるレジスト膜の形成を行った場合、エッチング処理時にレジスト膜に所定値以上のスプレー圧でエッチング液の噴霧を行うことにより、描き残しインキを完全に除去して、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的に本発明は以下のものを提供する。
【００１６】
（１）  樹脂基材の表面に配線パターンが形成されている太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法であって、前記樹脂基材の表面に金属箔を積層して積層体を得る積層工程と、前記金属箔の表面に、配線パターン形成部分に対応する本体部分と、配線パターン非形成部分に対応する余長部分とからなるレジスト膜を凹版式印刷法により形成するレジスト膜形成工程と、前記金属箔における前記配線パターン非形成部分を除去するエッチング処理を行うエッチング工程と、前記レジスト膜を除去して配線パターンを露出形成する剥離工程と、を備え、前記レジスト膜の前記本体部分の平均厚さが、前記余長部分の平均厚さよりも大きく、前記エッチング工程においては、前記レジスト膜に０．２ＭＰａ以上０．７ＭＰａ以下のスプレー圧で前記積層体の表面の全域にエッチング液の噴霧を行うことにより、前記エッチング処理を行う太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法。
【００１７】
（２）  前記スプレー圧が、０．５ＭＰａ以上０．６ＭＰａ以下である（１）に記載の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法。
【００１８】
（３）  前記余長部分の前記配線パターン形成部分からのはみ出し幅が、前記金属箔の厚みの６０％以上の幅であり、且つ、該余長部分が形成されている配線パターン非形成部分の幅の１／２未満である（１）又は（２）に記載の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法。
【００１９】
（４）  前記凹版式印刷法がグラビア印刷法である（１）から（３）のいずれかに記載の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法。
【００２０】
（５）  （１）から（４）のいずれかに記載の製造方法で製造された太陽電池モジュール用の集電シートにバックコンタクト型の太陽電池素子が積層されている太陽電池モジュール。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、エッチング処理時に所定値以上のスプレー圧でエッチング液を噴霧することによって、太陽電池モジュールの基本性能に係る信頼性を確保しながら、太陽電池用の集電シートの金属配線部をグラビア印刷法を用いた処理方法によって形成することができる。よって、従来方法より低コストで、良質な太陽電池モジュール用の集電シートを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の太陽電池モジュール用の集電シート上に太陽電池素子を配置した使用状態の一例を模式的に示す斜視図である。
【図２】本発明の太陽電池モジュール用の集電シートの構成を模式的に示す部分拡大平面図である。
【図３】本発明の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法の説明に供する図である。
【図４Ａ】本発明の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法におけるレジスト膜の態様の説明に供する断面模式図である。
【図４Ｂ】本発明の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法におけるレジスト膜の態様の説明に供する平面模式図である。
【図５】本発明の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法におけるエッチングの態様の説明に供する図である。
【図６】本発明の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法によって形成された金属配線部の態様の説明に供する断面模式図である。
【図７Ａ】本発明の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法におけるレジスト膜の余長部分の断面写真である。
【図７Ｂ】本発明の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法におけるレジスト膜の本体部分の断面写真である。
【図８Ａ】グラビア印刷によって形成したレジスト膜のインキの掻き残しの態様の一例を示す写真である。
【図８Ｂ】本発明の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法における図８Ａのエッチング処理後の状態を示す写真である。
【図９Ａ】グラビア印刷によって形成したレジスト膜の周辺に発生したインキのミストの態様の一例を示す写真である。
【図９Ｂ】本発明の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法における図９Ａのエッチング処理後の状態を示す写真である。
【図１０】本発明の太陽電池モジュール用の集電シートを用いた太陽電池モジュールの層構成を示す断面の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の太陽電池モジュール用の集電シート（以下、単に「集電シート」とも言う）及びその製造方法の実施形態、実施態様について、詳細に説明する。本発明は、以下の実施形態等に何ら限定されるものではなく、本発明の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。
【００２４】
本発明の集電シートは、太陽電池モジュール全般に用いることができるが、特に、バックコンタクト型の太陽電池素子を備える太陽電池モジュールにおいて、太陽電池素子から電気を取り出す場合に優れた集電性能を発揮する。本明細書におけるバックコンタクト型の太陽電池素子とは、使用時に受光面とは反対側の裏面側となる面に電極が配置されている全ての太陽電池素子のことを言う。本発明の集電シートは、あらゆるバックコンタクト型の太陽電池素子に好ましく用いることができる。
【００２５】
＜太陽電池モジュール用の集電シート＞
本発明の好ましい一実施形態である集電シート１について、図１及び図２を参照しながら説明する。集電シート１は、図１及び図２に示す通り、樹脂基材２の表面に、金属箔からなる導電性の金属配線部３が形成されている。樹脂基材２は、単層、或いは、多層の樹脂シートである。太陽電池素子５は金属配線部３の上に集電可能な態様で設置される。
【００２６】
［樹脂基材］
樹脂基材２としてはシート状に成形された絶縁性の樹脂シートを用いることができる。ここで、シート状とはフィルム状を含む概念であり本発明において両者に差はない。樹脂シートの厚さは、特に限定されないが、耐候性、衝撃緩和性能、及び絶縁性と、製造コストのバランスとの観点から、５０μｍ以上４００μｍ以下程度であることが好ましい。
【００２７】
そして、そのような樹脂シートは、レジスト膜形成工程において、ロール・ツー・ロール方式で連続的に配線パターンを形成することができる点においても好ましい。
【００２８】
又、樹脂基材２の絶縁性については、太陽電池モジュールとしての一体化時に、集電シートに必要とされる絶縁性を付与し得る体積固有抵抗率を有する樹脂であればよい。一般的には、樹脂基材２の体積固有抵抗率が１０１４Ω・ｃｍ以上であることが好ましく、１０１８Ω・ｃｍ以上であることがより好ましい。
【００２９】
樹脂基材２として用いることができる絶縁性の樹脂の具体例を以下にあげる。代表的な樹脂として、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のポリエステル系樹脂、ポリフェニレンエーテル（ＰＰＥ）、エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂（ＥＶＡ）、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、フッ素系樹脂等をあげることができる。樹脂基材２が多層の樹脂シートである場合には、生産効率を高めるために、上記のうちから選択された同一種類の樹脂を用いてもよいし、或いは、モジュール化時に太陽電池モジュールの裏面側となる最外層の樹脂シートに太陽電池モジュールの所謂裏面保護シートとしての機能を発揮させることを目的として、特に耐候性に優れたポリフェニレンエーテル（ＰＰＥ）やフッ素系樹脂を、樹脂基材２として用いることもできる。
【００３０】
［金属配線部］
図１及び図２に示す通り、金属配線部３は、集電シート１の表面上に積層される導電性基材からなる配線パターンである。金属配線部３は、複数の太陽電池素子５から、電気を取り出す機能を有する。そのために、金属配線部３は、図２に示す通り、複数の微細な櫛形形状の金属配線が、交差或いは接触せずに、近接して配置される複雑な配線パターンとして樹脂基材２の表面に形成される。金属配線部３の厚さは、太陽電池モジュール用の集電シート１に要求される耐電流の大きさ等に応じて適宜設定すればよい。金属配線部３の厚さは、特に限定されないが、一例として１０μｍ〜５０μｍが挙げられる。
【００３１】
金属配線部３を形成するための導電性基材の材料としては、金属や金属化合物が挙げられ、これらの材料はいずれもエッチングできることが必須である。金属或いは金属化合物としては、例えば、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、金、銀、インジウム、アンチモン、錫、亜鉛等の金属、上記金属の酸化物、窒化物、硫化物、炭化物等の金属化合物が挙げられる。更に金属配線部３を構成する材料として、上記金属や上記金属化合物の複合材料（例えばインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）等）が挙げられる。それらのうち、本発明の製造方法においては、導電性、加工性に優れ、且つ、入手容易である銅箔、又はアルミニウム箔を好ましく用いることができる。
【００３２】
金属配線部３には高い導電性が必要であり、表面抵抗値が、５００Ω／□以下が好ましく、３００Ω／□以下がより好ましく、更に１００Ω／□以下が好ましく、特に５０Ω／□以下が好ましい。下限は０．００５Ω／□程度である。
【００３３】
［裏面保護シート］
尚、集電シート１は、太陽電池素子５の他、他の部材と一体化されて図１０にその構成を示すような太陽電池モジュール１００となるが、樹脂基材２の裏面側に予め別のＥＴＦＥ、耐加水ＰＥＴ等からなる裏面保護シート１０４を一体化することにより、裏面保護シート一体型の太陽電池モジュール用の集電シートとしてもよい。このような裏面保護シート一体型の太陽電池モジュール用の集電シートは、樹脂基材２の裏面側に裏面保護シートをドライラミネーション法等によって積層することにより製造することができる。
【００３４】
以上の通り、本発明の集電シート１は、特にバックコンタクト型の太陽電池素子５と接合した際に、電極間を絶縁しつつ、端子から安全に且つ効率よく電気を取り出すことができる。
【００３５】
＜太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法＞
本発明の集電シートの製造方法により、上述の集電シート１を、安定的に品質を保持しながら、従来公知の製造方法よりも低コストで製造することができる。本発明の集電シートの製造方法は、従来方法と同様、積層工程、レジスト膜形成工程、エッチング工程、及び剥離工程を備える。又、レジスト膜形成工程におけるレジスト膜の形成をグラビア印刷によって行うものである。
【００３６】
但し、本発明の集電シートの製造方法は、エッチング処理を所定値以上のスプレー圧によるエッチング液の噴霧によって行うことにより、グラビア印刷に不可避的に伴うインキの掻き残しの問題を解決した方法である点に特徴がある。本発明の集電シートの製造方法によれば、このような太陽電池モジュール用の集電シート１を、フォトエッチング処理によって金属配線部を形成する従来の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法と比較して製造コストを大幅に低減することができる。以下、図３〜図６を参照しながら、本発明の集電シートの製造方法について順次説明する。
【００３７】
［積層工程］
本発明の製造方法では、先ず、図３に示す通り、金属配線部３の材料とする銅箔等の金属箔３０を、樹脂基材２の表面に積層して集電シートの材料とする積層体を得る。積層方法としては、金属箔３０を接着剤によって樹脂基材２の表面に接着する方法、或いは、樹脂基材２の表面に直接にメッキ方法や気相製膜法（スパッタリング、イオンプレーティング、電子ビーム蒸着、真空蒸着、化学蒸着等）により金属箔３０を蒸着させる方法を挙げることができる。比較的厚みの小さい金属箔を均一に安定的に積層するという観点から気相製膜法が好ましく用いられる。又、コストの面からは、金属箔３０を接着剤によって樹脂基材２の表面に接着する方法が有利である。接着による場合には、ウレタン系、ポリカーボネート系、エポキシ系等の接着剤を使用したドライラミネート法によって金属箔３０を樹脂基材２の表面に接着する方法が好ましい。
【００３８】
［レジスト膜形成工程］
この工程では、積層工程で得た積層体の金属箔３０の表面に、金属配線部３の形状にパターニングされたレジスト膜４を凹版式印刷法によって形成する。レジスト膜４は、後に説明するエッチング工程において、将来、金属配線部３となる金属箔３０の配線パターン形成部分３１がエッチング液による腐食を免れるために設けられる。
【００３９】
図４Ａ及び図４Ｂに示す通り、レジスト膜４は、金属箔３０のうち金属配線部３が形成される部分である配線パターン形成部分３１上に対応する本体部分４１と、配線パターン非形成部分３２に対応する余長部分４２とからなる。即ち、レジスト膜４は、本体部分４１が配線パターン形成部分３１を覆い、余長部分４２が配線パターン形成部分３１からはみ出す態様で、金属箔３０の表面に形成されている。尚、レジスト膜４は、後に説明する剥離工程において、アルカリ性の剥離液で剥離できるものであることが必要である。
【００４０】
図４Ａ及び図４Ｂに示す通り、レジスト膜４の幅Ｗ３については、配線パターン形成部分３１からはみ出す余長部分４２の幅Ｗ４が、金属箔３０の厚みＴ１の６０％以上、より好ましくは８０％以上であり、且つ、配線パターン非形成部分３２の幅Ｗ１の１／２未満であるように形成する。一般的な太陽電池用の集電シートにおける具体的な一例として、Ｗ１の幅が３００μｍ、Ｔ１が１８μｍの金属配線部を形成する場合において、レジスト膜の余長部分の幅Ｗ４を２０μｍとする例が挙げられる。
【００４１】
レジスト膜４の厚さについては、線幅のより小さい配線パターンを形成するためには、レジスト膜４の厚さをできる限り小さくすることが好ましい。この観点からレジスト膜４の厚さは小さいことが好ましい。又、レジスト膜４の厚さを小さくすることは、原料コストの低減が図られること、レジスト膜４の剥離工程の短縮化が図られること、及びレジスト膜４の剥離工程に用いられる剥離液（アルカリ水溶液）の劣化を抑制できること等の利点がある。よって、本発明において、レジスト膜４の厚さはその平均厚さを４μｍ以下とすることが好ましい。
【００４２】
そして、レジスト膜４の断面形状については、本体部分４１の平均厚さが、余長部分４２の平均厚さよりも大きい所謂かまぼこ型となるようにする。レジスト膜４を凹版式印刷法によって行うことによって、レジスト膜４の断面形状をこのようなかまぼこ型の形状とすることができる。このようなかまぼこ型の断面形状を有するレジスト膜４の断面形状の好ましい例としては、本体部分４１の平均厚さが０．５μｍ〜３μｍ、余長部分４２の平均厚さが０．３μｍ〜１μｍである態様を挙げることができる。
【００４３】
ここで、図７Ａは、本発明の集電シートの製造方法における積層体のレジスト膜４の余長部分４２を含む部分の断面写真である。又、図７Ｂは、同条件で撮影したレジスト膜４の本体部分４１を含む部分の断面写真である。これらの写真によれば、余長部分４２の厚さは、０．1μｍ〜０．６μｍ程度、又、本体部分の厚さは、１μｍ〜２μｍ程度となっており、本発明の製造方法によって上述した通りのかまぼこ型態様のレジスト膜が適切に形成されていることが確認できた。尚、図７の写真の積層体は樹脂基材としてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）（厚さ１００μｍ）、金属箔として銅箔（厚さ１８μｍ）、レジスト液としては、市販のグラビア印刷用レジストインキを用いて、大日本印刷株式会社所有のロール・ツー・ロール方式の印刷機によるグラビア印刷でレジスト膜を形成したものである。
【００４４】
レジスト膜４の幅や厚さ、及び断面形状を上記態様とすることにより、後述のエッチング工程におけるエッチング処理時に、相対的に厚さの大きい本体部分４１によって、エッチング液のスプレー圧から配線パターン形成部分を確実に保護する一方で、相対的に厚さの小さい余長部分４２は適切な範囲まで崩壊してエッチング処理による金属箔３０の配線パターン非形成部分３２の溶解除去を適切に進行させることができる。又、同時に、上記のスプレー圧の作用によりレジスト液の掻き残しやミストを除去することができる。
【００４５】
そして、本発明の集電シートの製造方法は、上述したレジスト膜４の形成をレジスト膜４を形成するインキ（レジスト液）を凹版式印刷法によって金属箔３０の表面に形成することとしたことにより、上述した全体工程の簡略化のみならず、ロール・ツー・ロール方式で連続的に配線パターンを形成することもできるようになる。この点においても、本発明の製造方法によれば、集電シートの生産性を大幅に向上させることが可能である。
【００４６】
又、凹版式印刷法としては、特にグラビア印刷法が好ましい。グラビア印刷法の中には、ダイレクトグラビア印刷法、オフセットグラビア印刷法があり、どちらの印刷法も好ましく用いられるが、特にダイレクトグラビア印刷法がロール・ツー・ロール方式で安定的に連続的に配線パターン状のレジスト膜を形成することができることから好ましい。
【００４７】
レジスト膜４は、熱硬化型或いは活性エネルギー線硬化型のレジスト膜形成用組成物を硬化せしめた膜であることが好ましく、特に活性エネルギー線硬化型レジスト組成物を硬化せしめた膜であることが好ましい。活性エネルギー線硬化型レジスト組成物は、１分子中に、１個以上のエチレン性不飽和基及び１個以上のエチレンオキシ基とを有するモノマー及び／又はオリゴマー並びに、１分子中に、カルボキシル基を１個以上有し、且つ、酸価が５０以上２００未満である樹脂とを少なくとも含むことが好ましい。尚、レジスト用組成物の粘度（２５℃の粘度）は、剪断速度１００（１／ｓ）において、０．０３〜３０Ｐａ・ｓの範囲が好ましく、０．１〜１０Ｐａ・ｓの範囲がより好ましく、特に１〜１０Ｐａ・ｓの範囲が好ましい。
【００４８】
［エッチング工程］
図５に示すように、このエッチング工程では、金属箔３０上において配線パターン非形成部分３２をエッチング処理によって除去する。エッチング処理の方法としては、ケミカルエッチング法を用いる。ケミカルエッチング法とは、レジスト膜４で保護された配線パターン形成部分３１以外の不要金属箔部分である配線パターン非形成部分３２を、エッチング液６で溶解して除去する方法である。
【００４９】
ケミカルエッチング法に用いられるエッチング液６としては、塩化第二鉄水溶液、塩化第二銅水溶液、アルカリ系エッチング液等がある。中でも、本発明の製造方法においては、ボーメ比重が３０から４５である塩化第二鉄（ＦｅＣｌ３）を好ましく使用することができる。
【００５０】
エッチング工程におけるエッチング液６の温度は２０〜６０℃の範囲が適当であり、２５〜５０℃の範囲が好ましい。処理時間は、１０〜３００秒の範囲が適当であり、２０〜１８０秒の範囲が好ましい。
【００５１】
本発明の集電シートの製造方法は、このエッチング処理を、レジスト膜４に所定圧力以上のスプレー圧がかかる態様で、エッチング液６の噴霧を行うこととした点に特徴がある。噴霧はスプレー等の噴霧機器により機械的に一定条件の下で行うことが好ましい。又、本明細書におけるスプレー圧とは、噴霧を行う機器の噴霧口に隣接設置した圧力計によって測定したエッチング液の押出し圧力のことを言う。
【００５２】
スプレー圧について、より具体的には、エッチング液の噴霧を、０．２ＭＰａ以上０．７ＭＰａ以下のスプレー圧で行う。スプレー圧が０．２ＭＰａ未満である場合には、レジストの余長部分の崩壊が均一に起こらず、配線寸法のばらつきや、配線形状の蛇行が生じやすい。一方、スプレー圧が０．７ＭＰａより高い場合は、特殊なスプレー装置が必要となり、設備保全の観点からも好ましくない。
【００５３】
又、上記スプレー圧は、０．５ＭＰａ以上０．７ＭＰａ以下であることが、より好ましい。一般に、塩化第二鉄の噴霧によるエッチング処理は、レジスト膜の崩壊のリスクを避けるため０．５ＭＰａ未満のスプレー圧で行われる。しかし、本発明の製造方法においては、かまぼこ型のレジスト膜４の余長部分４２のみが先行して崩壊することを予め想定してレジスト膜厚さを設定しているため、０．５ＭＰａ以上のスプレー圧による噴霧でも、本体部分４１の崩壊は起こらず、一方で高いスプレー圧により、より確実にレジスト液の掻き残し等を除去することができる。
【００５４】
尚、上述のスプレー圧の範囲は、いずれも、スプレーノズル等、噴霧を行う機器の噴霧口と積層体との距離が１００〜１５０ｍｍ程度である一般的態様を想定している。噴霧機器やエッチング液の物性、その他のエッチング条件に応じて、上記スプレー圧は上記範囲内において適宜微調整することがより好ましい。
【００５５】
前述した通り、グラビア印刷等の凹版印刷方法によってレジスト膜４を形成した場合、図８Ａの破線枠内に認められるレジスト液の掻き残しや、図９Ａレジスト液のミスト４Ａの形成を完全に防ぐことは難しい。しかし、本発明の製造方法では、エッチング処理を、所定圧力以上のスプレー圧でエッチング液６を噴霧する態様で行うことにより、これらの、掻き残しやミスト４Ａを、エッチング液６のスプレー圧によって完全に除去することができる。
【００５６】
図９Ｂ、図１０Ｂは、それぞれ本発明の製造方法によって製造された集電シート１について、それぞれ図９Ａ、図１０Ｂに対応する同一部分の拡大写真であるが、いずれも、上記の掻き残しやミストの存在にかかわらず、配線パターン非形成部分３２が、適切に除去されていることが分かる。
【００５７】
図５に示す通り、上記エッチング処理により、上記の掻き残し等が除去されると同時に、レジスト膜４の余長部分４２もエッチング液６のスプレー圧により崩壊する。そして図６に示す通り、金属箔３０のうち、配線パターン非形成部分３２が除去され、金属配線部３となる配線パターン形成部分３１のみが樹脂基材２の表面に残る状態となる。
【００５８】
本発明の製造方法は、このように、相対的に厚さが小さいレジスト膜の余長部分４２が崩壊するスプレー圧と、レジスト液からなる掻き残し等を除去するために必要なスプレー圧とが、概ね同程度となることを見出し、エッチング処理を、そのような適度のスプレー圧をかけたエッチング液６の噴霧によって行うようにした点に特徴がある。
【００５９】
［剥離工程］
この工程では、アルカリ性の剥離液を使用して、レジスト膜４を除去する。この工程を経ることにより、レジスト膜４が金属配線部３の表面から除去される。剥離工程で使用されるアルカリ性の剥離液としては、例えば、所定濃度の苛性ソーダの水溶液が挙げられる。これらのアルカリ性の剥離液の温度は２０〜６０℃の範囲が好ましく、３０〜５５℃の範囲がより好ましい。アルカリ性の剥離液での処理時間は、５〜１００秒の範囲が好ましく、２０〜８０秒の範囲がより好ましい。
【００６０】
＜太陽電池モジュール＞
次に、本発明の集電シート１が使用される太陽電池モジュール１００について説明する。図１０は、太陽電池モジュール１００について、その層構成の一例を示す断面の模式図である。太陽電池モジュール１００は、受光面側から、ガラス等からなる透明前面基板１０１、エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂（ＥＶＡ）、アイオノマー、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、ポリエチレン等からなる前面封止材層１０２、太陽電池素子５、集電シート１、背面封止材層１０３、これにフッ素系樹脂フィルムであるＥＴＦＥ、耐加水分解ＰＥＴ等からなる裏面保護シート１０４が順に積層された構成である。太陽電池素子５２から取り出された電気は、集電シート１の金属配線部３を介して太陽電池モジュール１００から取り出される。
【００６１】
＜太陽電池モジュールの製造方法＞
本発明の集電シート１と太陽電池素子５を備える太陽電池モジュール１００は、集電シート１、太陽電池素子５及び他の部材を積層して一体化することによって製造することができる。この一体化の方法としては真空熱ラミネート加工により一体化する方法が挙げられる。上記方法を用いた際のラミネート温度は、１３０℃〜１９０℃の範囲内とすることが好ましい。又、ラミネート時間は、５〜６０分の範囲内が好ましく、特に８〜４０分の範囲内が好ましい。
【００６２】
尚、この一体化の過程において、集電シート１の樹脂基材１１は、太陽電池モジュールとして他の部材と強固に一体化されているため、集電シート１の基材樹脂のＴｇ以上で加熱しても熱による収縮、変形の問題が生じない。
【００６３】
以上説明した本発明の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法、及び太陽電池用の集電シートによれば、以下のような効果を奏する。
【００６４】
（１）  本発明の集電シートの製造方法によれば、レジスト膜の形状を余長部分を有するかまぼこ型とし、エッチング処理を所定圧力以上のスプレー圧によるエッチング液の噴霧によって行うことにより、エッチング処理時に、グラビア印刷の使用時には従来不可避であった微細なインキの掻き残しやミストを適切に除去することを可能とした。これにより、太陽電池モジュールの基本性能に係る信頼性を確保しながら、太陽電池用の集電シートの金属配線部の形成をより生産性の高いグラビア印刷法を用いた配線パターン形成方法によって行うことができるようになった。即ち、本発明の太陽電池モジュール用の集電シートの製造方法によれば、グラビア印刷法を用いた配線パターン形成方法の採用による金属配線部の形成に係るコストの低減と、同方法の採用に伴う絶縁性不備の危険性回避を同時に実現し、優れた絶縁性能を有する太陽電池モジュール用の集電シートを高い生産性で製造することができる。
【００６５】
（２）  エッチング液の噴霧を０．５ＭＰａ以上０．７ＭＰａ以下のスプレー圧で行うようにした。これにより、上記の余長部分の崩壊と合わせて、配線パターン形成不良の要因となるレジスト液の掻き残しやミストを、より確実に完全に除去することができる。
【００６６】
（３）  余長部分の配線パターン形成部分からのはみ出し幅を金属箔の厚みの６０％以上の幅とし、且つ、余長部分が形成されている配線パターン非形成部分の幅の１／２未満とした。これにより、所定圧力以上のスプレー圧がかかるエッチング液の噴霧によってエッチング処理を行う場合において、レジスト膜の余長部分が適切な範囲まで崩壊し、エッチング処理による金属箔３０の配線パターン非形成部分３２の溶解除去を適切に進行させることができる。
【００６７】
（４）  凹版式印刷法をグラビア印刷法とした。これにより、ロール・ツー・ロール方式で安定的に連続的にレジスト膜を形成することができる。
【００６８】
（５）  本発明の製造方法によって製造した太陽電池モジュール用の集電シートにバックコンタクト型の太陽電池素子が積層されている太陽電池モジュールとした。これにより、耐候性、安全性に優れた太陽電池モジュールを、従来よりも低コストで得ることができる。
【符号の説明】
【００６９】
１              集電シート
２              樹脂基材
３              金属配線部
３０            金属箔
３１            配線パターン形成部分
３２            配線パターン非形成部分
４              レジスト膜
４Ａ            ミスト
４１            本体部分
４２            余長部分
５              太陽電池素子
６              非配線部
５０            切削溝
６              エッチング液
１００          太陽電池モジュール
１０１          透明前面基板
１０２          前面封止材層
１０３          背面封止材層
１０４          裏面保護シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図１０】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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