(57)【要約】      （修正有）【課題】スリット間隔を簡便かつ精度よく形成できるスリットノズルを提供する。【解決手段】スリットノズルは、第１のベースと第２のベースとの間に介在する複数のプレートの積層構造体５を備えており、この積層構造体５は、複数の細孔７，８を有する細孔プレート６と案内路１１を有する案内プレート１０と流体を厚み方向（積層方向）及び吐出口の方向に分配可能な分配路が形成された複数の分配プレート１５，２３と複数の分配プレートの間に配設され、かつ連通部２１を有するスペーサープレート２０とを備えている。分配路は、切り欠き部１６，２４と、この切り欠き部の間の延出部１７，２５の孔部１８，２６とで構成され、積層状態において、前記複数の分配プレートの切り欠き部の開口部は、長手方向に延びるスリット状吐出口を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも流体の供給路を有する第１のベースと、この第１のベースに対して対向して配設可能な第２のベースと、前記第１及び第２のベースの間に配設され、かつ流体の供給路に通じる流路と、この流路からの流体を噴出するための長手方向に延びるスリット状吐出口とを形成するため複数のプレートの積層構造体とを備えたスリットノズルであって、前記複数のプレートの積層構造体が、
前記第１のベースの供給路に連なり、かつ長手方向に間隔をおいて形成された複数の細孔と、この細孔に通じてスリット状吐出口の方向又は厚み方向に延びる案内路とを有する流路プレートと； 
この流路プレートに重ね合わせ可能であり、かつ前記案内路と通じ、流体を厚み方向及び吐出口の方向に分配可能な分配路が形成された複数の分配プレートと；を備えており、
前記複数の分配プレートの分配路の吐出口が、積層状態において、長手方向に延びるスリット状吐出口を形成するスリットノズル。
【請求項２】
複数の分配プレートの間に配設可能であり、かつ分配路と連通可能な連通部を有するスペーサープレートを備えている請求項１記載のスリットノズル。 
【請求項３】
分配路が、各分配プレートの側縁の長手方向に間隔をおいて形成された切り欠き部と、隣接する切り欠き部の間に形成された孔部とを備えており；厚み方向に隣接する分配プレートにおいて、切り欠き部と孔部とが長手方向において互いに位置ずれして形成され、かつ重ね合わせ状態において、上流側の分配プレートの切り欠き部及び孔部が、下流側の分配プレートの孔部及び切り欠き部とそれぞれ連通可能であり；厚み方向において、複数の切り欠き部が、重複することなく長手方向に延びるスリット状吐出口を形成している請求項１又は２記載のスリットノズル。
【請求項４】
複数の分配プレートが、第１及び第２の分配プレートで構成され；分配路が、各分配プレートの側縁の長手方向に間隔をおいてコ字状に切り欠いて形成された切り欠き部と、隣接する切り欠き部の間に形成された孔部とを備えており；第１及び第２の分配プレートにおいて、切り欠き部と孔部とが、互い違いに形成されている請求項１〜３のいずれかに記載のスリットノズル。
【請求項５】
分配路が、各分配プレートの側縁の長手方向に間隔をおいて、吐出口に向かって拡がる形態で形成された切り欠き部と、隣接する切り欠き部間の延出部の基部側に形成された孔部とを備えている請求項１〜４のいずれかに記載のスリットノズル。
【請求項６】
分配路が、各分配プレートの側縁の長手方向に間隔をおいて形成された切り欠き部と、隣接する切り欠き部の間に形成された孔部とを備えており；スペーサープレートの連通部を通じて、上流側の分配プレートの切り欠き部及び孔部が、それぞれ、下流側の分配プレートの孔部及び切り欠き部と連通可能である請求項２〜５のいずれかに記載のスリットノズル。
【請求項７】
流路プレートの案内路が、細孔に通じてスリット状吐出口の方向に延び、かつ細孔側よりもスリット吐出口側の流路幅が大きい形態で閉じた流路を形成している請求項１〜６のいずれかに記載のスリットノズル。
【請求項８】
流路プレートが、細孔が形成された細孔プレートと；前記細孔からの流体をスリット状吐出口の方向に案内するための切り抜き部が形成された案内プレートとを備えている請求項１〜７のいずれかに記載のスリットノズル。
【請求項９】
第１のベースが、液体供給路と気体供給路とを備えており；流路プレートが、前記液体供給路に通じる第１の細孔と、前記気体供給路に通じる第２の細孔とを備えたオリフィスプレートと、第１及び第２の細孔から側縁部の方向に延び、かつ側縁部を余して側縁部の長手方向に沿って切り抜かれたＴ字状切り抜き部が形成された案内プレートとを備えている請求項１〜８のいずれかに記載のスリットノズル。
【請求項１０】
第１のベース及び／又は第２のベースの装着凹部に、流路プレートと複数の分配プレートとが積層形態で収容されている請求項１〜９のいずれかに記載のスリットノズル。
【請求項１１】
第１のベースが、液体供給路及び気体供給路のうち一方の流路を備え、第２のベースが他方の流路を備えており；積層構造体が、前記液体供給路に通じる液体細孔と、この液体細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる案内路を備えた液体流路プレートと；前記気体供給路に通じる気体細孔と、この気体細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる案内路を備えた気体流路プレートと；これらの液体流路プレートと気体流路プレートとの間に配設された複数の分配プレートとを備えている請求項１〜１０のいずれかに記載のスリットノズル。
【請求項１２】
液体流路プレートが、液体供給路に通じる細孔を備えた液体細孔プレートと、この液体細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる切り抜き案内部を備えた液体案内プレートとで構成され、気体流路プレートが、気体供給路に通じる細孔を備えた気体細孔プレートと、この気体細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる切り抜き案内部を備えた気体案内プレートとで構成されている請求項１１記載のスリットノズル。
【請求項１３】
少なくとも流体の供給路を有する第１のベースと、この第１のベースに対して対向して配設可能な第２のベースと、前記第１及び第２のベースの間に配設され、かつ流体の供給路に通じる流路と、この流路からの流体を噴出するための長手方向に延びるスリット状吐出口とを形成するための複数のプレートの積層構造体とを備えたスリットノズルを組み立てるためのセットであって、前記複数のプレートの積層構造体が、
前記第１のベースの供給路に連なり、かつ長手方向に間隔をおいて形成された複数の細孔と、この細孔に通じてスリット状吐出口の方向又は厚み方向に延びる案内路とを有する流路プレートと； 
この流路プレートに重ね合わせ可能であり、かつ前記案内路と通じ、流体を厚み方向及び吐出口の方向に分配吐出可能な分配路が形成された複数の分配プレートと；を備えており、
前記複数の分配プレートの切り欠き部が、積層状態において、長手方向に延びるスリット状吐出口を形成するスリットノズルのセット。
【請求項１４】
複数の分配プレートの間に配設可能であり、かつ分配路と連通可能な連通部を有するスペーサープレートを備えている請求項１３記載のセット。
【請求項１５】
請求項１〜１２のいずれかに記載のスリットノズルを用い、第１のベースの供給路から流体を供給し、スリット状吐出口から流体を噴霧する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体をスリットから噴射又は噴霧するスリットノズル（水又は空気を噴出する一流体スリットノズル、空気と水との二流体を混合して噴射又は噴霧する二流体スリットノズルなど）に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハーや液晶基板などの被洗浄体を洗浄するため、スリット状噴霧孔から水を噴出する一流体スリットノズル、空気と水との二流体を混合してスリット状噴霧孔から噴射又は噴霧する二流体スリットノズルが使用されている。また、洗浄後の被洗浄体を乾燥するため、スリット状噴霧孔から空気を噴射又は噴霧する一流体スリットノズルも使用されている。
【０００３】
スリットノズルとして、２つの長尺部材を接合してスリットを形成したノズル、２つの長尺部材を、スペーサーなどを介在させて接合してスリットを形成したノズルが知られている。例えば、特開２０１０−１７２８３８号公報（特許文献１）には、２枚の長手プレートを外周固定ネジにより面接合させて形成したスリット状オリフィスから流体をプレートの長手方向に沿って膜状にスプレーするスリットノズルにおいて、狭い取付けスペースが許容する幅寸法のプレート間の流体流路に、第１チャンバー、バランス流路、第２チャンバー、内部オリフィス、第３チャンバーおよびスリット状のオリフィスを設け、第２チャンバーを第１チャンバーより断面において幅広に形成し、内部オリフィスをバランス流路よりも狭くし、第３チャンバーを断面円形としたスリットノズルが記載されている。
【０００４】
さらに、特開２００６−１９２３６０号公報（特許文献２）には、第１部材と第２部材との間に中間スペーサーを介在させてボデイを形成し、横長なボデイの長さ方向の一端面に沿ってスリット状噴射孔を設け、ボデイ内に長さ方向に沿って液体流路と気体流路とを設け、これら液体流路と気体流路とが前記スリット状噴射孔側で４５°〜９０°の交差角度で合流する気液衝突混合部を設け、この気液衝突混合部とスリット状噴射孔とを小径流路で連通し、スリット状噴射孔のスリット幅を小径流路の幅以下に設定した二流体用スリットノズルが記載されている。
【０００５】
しかし、これらのノズルでは、均一なスリットを形成するためには、長尺部材のスリット部や混合流路を高精度かつ複雑な加工で形成する必要があり、加工時間を要し、高コストとなる。また、仮にスリットを高精度に加工できたとしても、ネジ接合により長尺部材に微妙な反りが生じ、スリット精度を向上できない。
【０００６】
このような観点から、接合ネジの一部に調整機能を備え、スリット間隔を微調整して均一なスリットを形成することも可能である。しかし、スリット間隔調整ネジを用いても、調整には手間を要し、しかも熟練度を要する。
【０００７】
特開２００７−３３０９６０号公報（特許文献３）には、薬液が流入される供給孔が形成された第１胴体部と、この第１胴体部と対向して配された第２胴体部と、前記第１及び第２胴体部の間に配されたスペーサーとを備え、前記スペーサーが、前記第１及び第２胴体部の間に前記供給孔と通じる吐出口を形成するスリットノズルが記載され、開口部を吐出口側に向けたコ字状の形態のスペーサーが記載されている。しかし、このノズルでは、第１及び第２の胴体部の間に一枚のコの字状スペーサーが介在するため、第１及び第２の胴体部のネジによる締結に伴って、スリットの長手方向に胴体部が保持されずに反りが生じ、スリットを精度よく形成できない。
【０００８】
なお、スリットは非常に微細であり、異物などが詰まり易い。しかし、スリット間隔の調整が極めて難しいため、メンテナンスのための分解ができず、均一なスプレー噴霧を常に維持できない。そのため、異物が除去可能なノズルも提案されている。例えば、特開２００９−２４７９３７号公報（特許文献４）には、流体の流入口を備えた長尺部材と、この長尺部材内に形成され、かつ前記流入口と通じる流路と、この流路に通じて前記長尺部材の長手方向に形成され、かつ流体を膜状に噴射又は噴霧するためのスリット状吐出口とを備えたスリットノズルであって、前記スリット状吐出口に連なり、かつスリット状吐出口の長手方向の少なくとも一方の端部に前記スリット状吐出口のスリット幅よりも大きく形成された凹部と、この凹部に対して装着可能な蓋部材とを備えているスリットノズルが記載されている。このノズルでは、噴霧分布の均等性を損なうことなく、異物を簡便に除去できる。しかし、スリット間隔を調整するには高い熟練と手間を要する。
【０００９】
特開２０１１−１４００１５号公報（特許文献５）には、長手方向の一方の側縁部に所定間隔毎に断面コ字状に切り欠いて形成されたスリットと、長手方向の他方の側縁部に長方形状の抜き穴とが形成された平板と、長方形状の抜き穴を有する四角枠状のパッキン板とを有し、前記平板とパッキン板とをそれぞれ重ね合わせた構造を有し、前記平板の板厚とスリットの幅との組合せにより、気体又は液体を吸引する吸引孔を形成した吸引ノズルが記載されている。また、重ね合わせ状態で、両端部に位置する四角枠状のパッキン板には、ベースと蓋体とが重ね合わされている。しかし、このノズルは、吸引ノズルであるだけでなく、パッキン板が四角枠状であるため、ネジによる締結に伴って、ベース及び／又は蓋体に反りが生じる。また、複数の平板を重ね合わせた状態では、スリットの両側部が重複するため、均一な吸引が困難である。さらには、矩形状のスリット幅がスリット間隔よりも大きいため、ベースと蓋体との締付けにより四角枠状のパッキン板に撓みが生じ、スリットを精度よく形成できない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０１０−１７２８３８号公報（特許請求の範囲、図１）
【特許文献２】特開２００６−１９２３６０号公報（特許請求の範囲、図２）
【特許文献３】特開２００７−３３０９６０号公報（特許請求の範囲、図３）
【特許文献４】特開２００９−２４７９３７号公報（特許請求の範囲、図１）
【特許文献５】特開２０１１−１４００１５号公報（特許請求の範囲、図１、図３及び図４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
従って、本発明の目的は、スリット間隔を簡便かつ精度よく形成できるスリットノズルを提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、流体をスリット状吐出口から均一に噴霧できるスリットノズルを提供することにある。
【００１３】
本発明のさらに他の目的は、低コストで作製可能であり、簡単に組立及びメンテナンスが可能なスリットノズルを提供することにある。
【００１４】
本発明の別の目的は、一流体ノズル及び二流体ノズルとして利用でき、均一な流量分布及び圧力分布で流体をスリット状吐出口から噴霧可能なスリットノズルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明者らは、前記課題を達成するため鋭意検討した結果、少なくとも流体の供給路を有する第１のベースと、この第１のベースに対して対向して配設可能な第２のベースとの間に、複数のプレートによる積層構造体を形成し、この積層構造体において、前記第１のベースの供給路からの流体を、オリフィス孔を通じてスリット状吐出口の方向に案内し、案内された流体を厚み方向と吐出口の方向とに分配するとともに、厚み方向に分配された流体をさらに吐出口の方向に分配すると、スリットノズルの吐出口から流体を均一に噴霧できることを見いだし、本発明を完成した。
【００１６】
すなわち、本発明のスリットノズルは、少なくとも流体の供給路を有する第１のベースと、この第１のベースに対して対向して配設可能な第２のベースと、前記第１及び第２のベースの間に配設され、かつ流体の供給路に通じる流路と、この流路からの流体を噴出するための長手方向に延びるスリット状吐出口とを形成するため複数のプレートの積層構造体とを備えている。前記複数のプレートの積層構造体は、前記第１のベースの供給路に連なり、かつ長手方向に間隔をおいて形成された複数の細孔と、この細孔に通じてスリット状吐出口の方向又は厚み方向に延びる案内路又は案内凹部路（案内溝）とを有する流路プレートと； この流路プレートに重ね合わせ可能であり、かつ前記案内路又は案内凹部路（案内溝）と通じ、流体を厚み方向（積層方向）及び吐出口の方向に分配可能な分配路が形成された複数の分配プレートとを備えている。複数の分配プレートの間には、分配路と連通可能な連通部（連通孔）を有するスペーサープレートを配設してもよい。さらに、前記複数の分配プレートの分配路の吐出口は、積層状態（重ね合わせ状態）において、長手方向に延びるスリット状吐出口を形成している。なお、前記積層構造体を介して、第１のベースと第２のベースとはネジ手段（ネジ部材など）により締結される。
【００１７】
なお、流路プレートの案内路又は案内凹部路は、細孔に通じてスリット状吐出口の方向に延びていてもよく、このような案内路又は案内凹部路は、細孔側よりもスリット吐出口側の流路幅が大きい形態（例えば、細孔側からスリット状吐出口の方向にいくにつれて流路幅が拡がるＴ字状などの形態）の閉じた流路（端部で開口せず、側縁の途中部まで延びる流路）を形成してもよい。さらに、流路プレートは、細孔（例えば、オリフィス孔）が形成された細孔プレート（例えば、オリフィスプレート）と；前記細孔からの流体をスリット状吐出口の方向に案内するための切り抜き部が形成された案内プレートとを備えていてもよい。前記切り抜き部は、細孔プレート（例えば、オリフィスプレート）との積層状態において、細孔からの流体を案内する案内路（案内溝）を形成する。なお、液体供給路に通じる第１の細孔（例えば、第１のオリフィス孔）と、気体供給路に通じる第２の細孔（例えば、第２のオリフィス孔）とを備えたノズル（二流体ノズル）において、閉じた案内路又は案内凹部路を、第１の細孔及び第２の細孔を結ぶ流路と、この流路から延び、かつ細孔側よりもスリット吐出口側の流路幅が大きい流路とで形成する場合（例えば、前記Ｔ字状などの形態の流路を形成する場合）、スリット吐出口側の流路は、液体と気体との混合流路を形成してもよい。
【００１８】
前記分配路は、各分配プレートの側縁（スリット状吐出口側の側縁）の長手方向に間隔をおいて形成された切り欠き部（例えば、流体を吐出口の方向に分配するための吐出路）と、隣接する切り欠き部の間に形成された孔部（例えば、厚み方向（積層方向）に分配するための孔部）とを備えていてもよい。分配路は、各分配プレートの側縁（スリット状吐出口側の側縁）の長手方向に間隔をおいてコ字状に切り欠いて形成された切り欠き部と、隣接する切り欠き部の間（コ字状延出部）に形成された孔部とを備えていてもよい。さらに、分配路は、各分配プレートの側縁の長手方向に間隔をおいて、吐出口に向かって拡がる形態で形成された切り欠き部と、隣接する切り欠き部間の延出部（先端部の幅が狭いコ字状延出部）の基部側に形成された孔部とを備えていてもよい。
【００１９】
厚み方向（積層方向）に隣接する分配プレートにおいて、切り欠き部と孔部とは長手方向において互いに位置ずれして形成できる。また、重ね合わせ状態において、上流側の分配プレートの切り欠き部及び孔部は、下流側の分配プレートの孔部及び切り欠き部とそれぞれ連通可能である。さらに、厚み方向（積層方向）において、複数の分配プレートで形成された複数の切り欠き部は、重複することなく長手方向に延びるスリット状吐出口を形成している。すなわち、重ね合わせ状態で、長手方向に連続してスリット状吐出口を形成できる。
【００２０】
例えば、複数の分配プレートを、第１及び第２の分配プレートで構成し、第１及び第２の分配プレートにおいて、切り欠き部と孔部とを、互い違いに形成してもよい。
【００２１】
なお、上流側の分配プレートの切り欠き部及び孔部は、スペーサープレートの連通部を通じて、それぞれ、下流側の分配プレートの孔部及び切り欠き部と連通可能であってもよい。すなわち、スペーサープレートは、前記切り欠き部及び孔部と連通可能な連通部（連通孔）を有していてもよい。
【００２２】
なお、複数の分配プレートのうち最下流側の分配プレートの分配路は、前記孔部を有している必要はなく、分配プレートの側縁（スリット状吐出口側）の長手方向に間隔をおいて形成された切り欠き部を有していてもよい。
【００２３】
本発明のスリットノズルは、一流体ノズルであってもよく、二流体ノズルであってもよい。二流体スリットノズルは、例えば、第１のベースが、液体供給路と気体供給路とを備えており；流路プレートが、前記液体供給路に通じる第１の細孔（第１のオリフィス孔）と、前記気体供給路に通じる第２の細孔（第２のオリフィス孔）とを備えたオリフィスプレートと、第１及び第２の細孔から側縁部の方向に延び、かつ側縁部を余して側縁部の長手方向に沿って切り抜かれた流路と、この流路に連通して混合流路に延びるＴ字状切り抜き部が形成された案内プレートとを備えていてもよい。
【００２４】
なお、前記積層構造体は、前記各プレートの積層体が第１及び第２のベース間に位置していればよく、第１のベース及び／又は第２のベースの装着凹部に、流路プレートと複数の分配プレートとが積層形態で収容されていてもよい。さらに、第１のベースが、液体供給路及び気体供給路のうち一方の流路を備え、第２のベースが他方の流路を備えていてもよい。このような形態のノズルにおいて、積層構造体は、前記液体供給路に通じる液体細孔と、この液体細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる案内路を備えた液体流路プレートと；前記気体供給路に通じる気体細孔と、この気体細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる案内路を備えた気体流路プレートと；これらの液体流路プレートと気体流路プレートとの間に配設された複数の分配プレートとを備えていてもよい。また、前記液体流路プレートは、液体供給路に通じる細孔を備えた液体細孔プレートと、この液体細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる切り抜き案内部を備えた液体案内プレートとで構成してもよく、気体流路プレートは、気体供給路に通じる細孔を備えた気体細孔プレートと、この気体細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる切り抜き案内部を備えた気体案内プレートとで構成してもよい。
【００２５】
本発明は、前記スリットノズルを組み立てるためのセット（ノズル部品のセット）も開示する。このセットは、少なくとも流体の供給路を有する第１のベースと、この第１のベースに対して対向して配設可能な第２のベースと、前記第１及び第２のベースの間に配設され、かつ流体の供給路に通じる流路と、この流路からの流体を噴出するための長手方向に延びるスリット状吐出口とを形成するための複数のプレートの積層構造体とを備えたスリットノズルを組み立てることができる。前記複数のプレートの積層構造体は、前記流路プレートと複数の分配プレートとで構成でき、複数の分配プレートの間に配設可能スペーサープレートを備えていてもよい。また、流路プレートは、オリフィスプレートと案内プレートとで構成してもよい。
【００２６】
本発明は、さらに、前記スリットノズルを用い、第１のベースの供給路から流体を供給し、スリット状吐出口から流体を噴霧する方法も包含する。
【００２７】
なお、本明細書中、「上流」及び「下流」とは、流体の流れ方向を示す。また、「プレート」は「シート」と同義に用いることができる。また、本明細書では、積層構造体と積層体とを同義に用いる場合がある。
【発明の効果】
【００２８】
本発明では、プレートの積層構造体で吐出口を形成するため、スリット間隔を簡便かつ精度よく形成できる。また、分配路により厚み方向の流体を吐出口の方向に分配しつつ噴霧するため、流体をスリット状吐出口から均一に噴霧できる。さらに、プレートの積層体でスリットノズルを形成できるため、低コストで作製可能であるとともに、簡単に組立でき、またメンテナンスが可能である。さらには、本発明のスリットノズルは、一流体ノズル及び二流体ノズルとして利用でき、均一な流量分布及び圧力分布で流体をスリット状吐出口から噴霧可能できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は本発明のスリットノズルの積層構造体の一例を示す部分分解斜視図である。
【図２】図２は図１のスリットノズルを示す部分分解図であり、（ａ）は部分分解斜視図、（ｂ）は第１のベースの内壁面を示す概略側面図、（ｃ）は第２のベースの内壁面を示す概略側面図である。
【図３】図３は図１のスリットノズルを示す概略図である。
【図４】図４は図１の第１の分配プレートとスペーサープレートと第２の分配プレートとの関係を示す概略分解斜視図である。
【図５】図５は図１のスリットノズルの吐出口を示す概略斜視図である。
【図６】図６は本発明のスリットノズルの他の例を示す概略斜視図である。
【図７】図７は本発明のスリットノズルのさらに他の例を示す概略斜視図である。
【図８】図８は図７の積層構造体を示す概略分解斜視図である。
【図９】図９は実施例１の結果を示すグラフである。
【図１０】図１０は実施例２の結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下に添付図面を参照しつつ、本発明を詳細に説明する。図１〜図５に示される例では、スリットノズルは、液体供給路２と気体供給路３とを有する長尺な第１のベース１と；第１のベース１に対して対向して配設可能な長尺な第２のベース２８と；第１のベース１と第２のベース２８との間に介在し、複数のプレートの積層構造体５とを備えており、この積層構造体５により、液体供給路２及び気体供給路３にそれぞれ通じる流路と、この流路からの流体を噴出するための長手方向に延びるスリット状吐出口２７とが形成されている。なお、積層構造体５と長尺な第１のベース１との間、及び積層構造体５と長尺な第２のベース２８との間には、それぞれ、下方（スリット状吐出口２７側）が開放したコ字状又はＵ字状のパッキン４，２９が介在しており、積層構造体５を介して長尺な第１のベース１と長尺な第２のベース２８とはネジ部材３０で一体に締結されている。
【００３１】
前記複数のプレートの積層体５は、前記第１のベース１の液体供給路２及び気体供給路３にそれぞれ通じる第１の細孔（オリフィス孔）７及び第２の細孔（オリフィス孔）８を備えた長尺なオリフィスプレート６と；前記第１及び第２の細孔７，８からの各流体をスリット状吐出口２７の方向に案内するための案内路１１を備えた長尺な案内プレート１０と；一方の側縁（スリット状吐出口２７側の側縁）の長手方向に間隔をおいて形成された切り欠き部１６と、隣接する切り欠き部１６間に形成された孔部１８とを備えた長尺な第１の分配プレート１５と；一方の側縁部を余して長手方向に所定間隔をおいて形成された連通部（連通孔）２１を有する長尺なスペーサープレート２０と；前記第１の分配プレート１５の切り欠き部１６及び孔部１８に対して互い違いに孔部２６及び切り欠き部２４が形成された長尺な第２の分配プレート２３とを備えている。第１の分配プレート１５の切り欠き部１６、及び第２の分配プレート２３の切り欠き部２４は、それぞれ単位吐出口２７ａ，２７ｂを形成する。
【００３２】
より詳細には、長尺な第１のベース１には、縦方向に間隔をおいて、気体供給溝３ａと液体供給溝２ａとがそれぞれ長手方向に延びて形成され、前記気体供給溝３ａと液体供給路溝２ａとは、それぞれ、気体と液体とを供給するための気体ポート（気体供給路３）及び液体ポート（液体供給路２）と連通している。なお、この例では、均一な混合流体を形成するため、気体供給路３（供給溝３ａ）が液体供給路２（供給溝２ａ）よりも上流側に形成されている。
【００３３】
前記オリフィスプレート６には、前記気体供給路３（供給溝３ａ）と液体供給路２（供給溝２ａ）とにそれぞれ通じる一対の第１及び第２のオリフィス孔７，８が形成され、一対の第１及び第２のオリフィス孔７，８は、それぞれ、長手方向に間隔をおいて形成されている。すなわち、一対の第１及び第２のオリフィス孔７，８は、長手方向に間隔をおいて、前記気体供給路３（供給溝３ａ）及び液体供給路２（供給溝２ａ）に対応して、長尺なオリフィスプレート６の縦方向（短手方向）に間隔をおいて形成されている。なお、各オリフィス孔７，８は、前記各供給路２，３（供給溝２ａ，３ａ）から案内プレート１０の案内路１１への流体の流量を調整するのに有用である。
【００３４】
前記案内プレート１０には、一方の側縁部を余して長手方向に間隔をおいて複数の案内路１１が形成されている。案内プレート１０の案内路１１は、第１及び第２のオリフィス孔７，８を結んで一方の側縁の方向（縦方向）に延び、かつ側縁部を余して側縁部の長手方向に沿って案内プレート１０を切り抜いたＴ字状切り抜き部（Ｔ字状切り抜き案内路）で形成されている。Ｔ字状切り抜き部は、閉じた流路を形成する。すなわち、オリフィスプレート６との重ね合わせ状態で、案内プレート１０は、第１のオリフィス孔７と第２のオリフィス孔８とを含む縦方向の第１の流路１２と、この流路から側縁部の長手方向に沿って両側部方向に分岐して延びる第２の流路１３とで閉じたＴ字状流路を形成しており、Ｔ字状流路は、気体と液体とを混合可能な混合流路（又は混合部）を形成している。そのため、案内プレート１０は混合プレートと称することもできる。
【００３５】
このような案内路１１で案内され、かつ混合された気液混合流体は、第１の分配プレート１５、スペーサープレート２０及び第２の分配プレート２３で分配され、スリット状吐出口２７から吐出される。すなわち、長尺な第１の分配プレート１５は、一方の側縁（スリット状吐出口２７側の側縁）の長手方向に、吐出口２７に向かって、幅が台形状の形態で拡がる形態に形成された切り欠き部１６と、隣接する切り欠き部１６間の延出部１７（先端部の幅が狭いコ字状延出部１７）とを備え、この延出部１７の基部側にはほぼ四角形状の孔部１８（先端部の幅が若干狭い台形状孔部１８）が形成されている。なお、この例では、切り欠き部１６の開口部の幅Ｗ１と延出部１７の先端部の幅Ｗ２とは同じ幅（Ｗ１＝Ｗ２）に形成され、延出部１７の基部側の幅Ｗ４は、切り欠き部１６の深部の幅Ｗ３よりも大きく形成されている（Ｗ３＜Ｗ４）。また、前記切り欠き部１６と延出部１７とは、一方の側縁において櫛歯状の形態で形成されている。前記切り欠き部１６と孔部１８には、それぞれ、前記案内プレート１０の混合流路からの混合流体が通過又は流出可能である。
【００３６】
また、前記長尺なスペーサープレート２０の一方の側縁（スリット状吐出口２７側の側縁）の長手方向には、前記第１の分配プレート１５の切り欠き部１６と孔部１８とにそれぞれ対応して連通部（連通孔）２１が間隔をおいて形成されている。この連通部（連通孔）２１は、第１の分配プレート１５のほぼ四角形状の孔部１８と同様に形成されている。そのため、切り欠き部１６を利用して吐出口２７の方向に混合流体を噴霧可能である。すなわち、混合流体は、第１の分配プレート１５の切り欠き部１６及び孔部１８と、スペーサープレート２０の連通部（連通孔）２１とを通過可能であるものの、オリフィスプレート６と案内プレート１０と第１の分配プレート１５とスペーサープレート２０との重ね合わせ状態（積層状態）では、第１の分配プレート１５の切り欠き部１６において、混合流体は、２つの方向、すなわち、スペーサープレート２０の連通部（連通孔）２１を通じて、厚み方向（下流方向）と、吐出口２７（単位吐出口２７ａ，２７ｂ）の方向とに分配される。なお、連通部（連通孔）２１のサイズが切り欠き部１６よりも小さいため、混合流体は吐出口２７の方向へ優位に分配される。
【００３７】
一方、第１の分配プレート１５の孔部１８を通過した混合流体は、スペーサープレート２０の連通部（連通孔）２１を通じて厚み方向（下流方向）に流動する。この混合流体を吐出口２７の方向に噴霧させるため、第２の分配プレート２３には、一方の側縁（スリット状吐出口２７側の側縁）の長手方向に、第１の分配プレート１５の切り欠き部１６と延出部１７（孔部１８）とに対して、互い違いに位置ずれした形態で、前記と同様の形態の延出部２５と、台形状に拡がる形態で形成された切り欠き部２４とが隣接して形成されている。先端部の幅が狭いコ字状延出部２５（台形状延出部２５）には、前記と同様に、四角形状の孔部２６が形成されている。すなわち、第１の分配プレート１５と第２の分配プレート２３とには、互い違いに切り欠き部１６，２４と延出部１７，２５とが隣接して（切り欠き部１６，２４及び延出部１７，２５の繰り返しピッチに対して１／２ピッチ位置ずれした形態で）櫛歯状に形成されている。そのため、スペーサープレート２０の連通部（連通孔）２１を厚み方向（下流方向）に通過した混合流体は、第２の分配プレート２３の切り欠き部２４により、吐出口２７の方向に流動し、吐出口２７の方向に噴霧される。なお、切り欠き部２４及び孔部２６により、厚み方向に流動しようとする混合流体は、第２の分配プレート２３に重ね合わされた前記第２のベース２８により阻止される。そのため、スペーサープレート２０の連通部（連通孔）２１及び第２の分配プレート２３の切り欠き部２４を通過した混合流体は、吐出口２７の方向に流動する。
【００３８】
特に、切り欠き部１６，２４の開口部と延出部１７，２５の先端部とは同じ幅（Ｗ１＝Ｗ２）に形成され、かつ延出部１７，２５の基部側の幅Ｗ４が切り欠き部２４の深部の幅Ｗ３よりも大きく形成されているため（Ｗ３＜Ｗ４）、第１の分配プレート１５と第２の分配プレート２３との重ね合わせ状態では、図４に示すように、先端部の幅が狭い台形状延出部１７，２５の両側部が重複（細長い逆三角形の形態で重複）する。そのため、ネジで締付けても、延出部１７，２５の重複する両側部でプレートを支持でき、切り欠き部１６，２４で形成される単位吐出口（スリット単位）２７ａ，２７ｂの変形を防止できるとともに、高い精度の単位吐出口２７ａ，２７ｂ及びスリット状吐出口２７を実現できる。そのため、前記延出部１７，２５は延出支持部と称することもできる。
【００３９】
さらに、このような形態の第１の分配プレート１５及び第２の分配プレート２３では、２列の複数の切り欠き部１６，２４（第１の分配プレート１５の複数の切り欠き部１６列と第２の分配プレート２３の複数の切り欠き部２４列）は、図５に示されるように、同じ長さ寸法の切り欠き部１６，２４（吐出口２７ａ，２７ｂ）が交互に長手方向に並んだ形態で、厚み方向（積層方向）において、重複することなく、長手方向に連続したスリット状吐出口２７を形成する。すなわち、第１の分配プレート１５の切り欠き部１６（開口部）で形成される吐出部と、第２の分配プレート２３の切り欠き部２４（開口部）で形成される吐出部とで、長手方向に連続した形態のスリット状吐出口２７が形成される。そのため、スリット状吐出口２７から均一な流量及び圧力分布で混合流体を噴霧でき、二流体ノズルとして適している。
【００４０】
このようなスリットノズルは、前記長尺な第１のベース１と長尺な第２のベース２８との間に、オリフィスプレート６と案内プレート１０と第１の分配プレート１５とスペーサープレート２０と第２の分配プレート２３とを重ね合わせた形態で介在させればよいため、スリットノズルの構築（組み立て）及び解体が極めて容易である。そのため、スリット状吐出口２７に不純物が詰まったとしても、解体することにより、不純物を容易に除去でき、メインテナンスの点でも有利である。しかも、主要なノズル部品がシート又はプレート状の形態であるため、低コストでスリットノズルを形成できる。さらに、ノズル部品がシート又はプレート状の形態であり、スペーサープレート２０の一方の側縁部（吐出口２７側の側縁部）が長手方向に連続しているため、スリット状吐出口２７のスリット間隔を簡便かつ精度よく形成できるとともに、長手方向に沿ってスリット間隔が変動することもない。特に、第１の分配プレート１５と第２の分配プレート２３との重ね合わせ状態では、先端部の幅が狭まった台形状延出部１７，２５の両側部が重複するため、各切り欠き部１６の吐出口２７ａ，２７ｂ（スリット）の変形を防止できるとともに、高い精度でスリットを形成できる。
【００４１】
なお、本発明のスリットノズルにおいて、少なくとも流体の供給路を有する第１のベースと、この第１のベースに対して対向して配設可能な第２のベースと、第１及び第２のベース間に、複数のプレートの積層構造体が介在し、この積層構造体により、流体の供給路に通じる流路と、この流路からの流体を噴出するための長手方向に延びるスリット状吐出口とが形成できればよい。
【００４２】
［第１のベース及び第２のベース］
前記第１のベースは、少なくとも流体の供給路を有していればよく、異なる複数の流体の供給路を有していてもよい。例えば、一流体ノズルにおいて、前記第１のベースは、空気などの気体流路や、水などの液体流路を備えていればよく、二流体ノズルにおいて、前記第１のベースは、空気などの気体流路と水などの液体流路とを備えていてもよい。また、二流体ノズルにおいて、第１のベースに気体流路及び液体流路のいずれか一方の流路を形成し、第２のベースに他方の流路を形成してもよい。第１のベースに気体流路及び液体流路の双方の流路を形成した二流体ノズルにおいて、気体流路は、液体流路の下流側に位置していてもよいが、通常、液体流路の上流側に位置している場合が多い。また、第２のベースにも流路を形成する場合、気体流路は、液体流路の下流側に位置していてもよいが、通常、液体流路と同じ高さ位置又は上流側に位置している場合が多い。なお、液体供給路及び／又は気体供給路は、長手方向に流体を分配するため、通常、長手方向に沿って延びた供給溝に通じて形成される。
【００４３】
第１のベースと第２のベースとは、前記積層構造体を介在させた形態で締結可能であればよく、第１のベース及び第２のベースの形態は、板状であってもよく、断面形状が矩形状、湾曲状又は屈曲状であってもよい。なお、第１及び第２のベースは、用途に応じて、短尺であってもよいが、長尺である場合が多く、前記第１のベース及び第２のベースには、通常、流体の漏出を防止するため、パッキンが配設される。
【００４４】
さらに、積層構造体は第１のベースと第２のベースとの間に介在していればよく、スリットノズルは、積層構造体の両面に第１のベースと第２のベースとが積層した形態を有していてもよく、第１のベース及び／又は第２のベースに形成した装着凹部（吐出口側が開放した形態の装着凹部）に積層構造体が収容又は埋め込まれた形態を有していてもよい。
【００４５】
図６は本発明のスリットノズルの他の例を示す概略斜視図である。この例では、長尺な第１のベース３１には、前記と同様に、下流側の液体供給路及び上流側の気体供給路（図示せず）と、一方の側縁（スリット状吐出口側）が開放した形態で長手方向に沿って収容凹部３２とが形成されている。そして、この収容凹部３２には、前記と同様に、オリフィスプレートと案内プレートと第１の分配プレートとスペーサープレートと第２の分配プレートとの積層体５が収容されている。なお、前記収容凹部３２の周縁部にはパッキン４が配設され、前記収容凹部３２に前記積層構造体５を収容した形態で、第１のベース３１と第２のベース３３とはネジ部材（図示せず）で締結されている。
【００４６】
このような埋め込み形態のスリットノズルでは、前記複数のプレートの積層構造体５の積層形態を保持・維持しつつ、第１のベース３１と第２のベース３３との間に挟着状態で介在させることができる。そのため、耐圧性能が高く、安定した噴霧特性を得ることができる。
【００４７】
なお、少なくとも第１のベースが流体の供給路（液体流路及び／又は気体流路）を有していればよく、第２のベースも流体の供給路を有していてもよい。例えば、第１のベースが液体供給路及び気体供給路のうち一方の流路を備え、第２のベースが他方の流路を備えていてもよい。さらに、流路プレートは、細孔に通じてスリット状吐出口の方向に延びる案内路に限らず、細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる案内路を備えていてもよい。
【００４８】
図７は本発明のスリットノズルのさらに他の例を示す概略斜視図であり、図８は図７の積層構造体を示す概略分解斜視図である。
【００４９】
この例に示すスリットノズルは、気体供給管４３が接続された断面半円状の第１のベース４１と、液体供給管８０が接続された断面半円状の第２のベース７８と、第１のベース４１と第２のベース７８と間に挟持されて介在する積層構造体４５とを備えており、この積層構造体４５により、第１のベース４１と第２のベース７８とで形成される断面円形状の空間が、断面半円状の気体供給路４２と液体供給路７９とに区画されている。また、積層構造体４５が介在した状態で、第１のベース４１と第２のベース７８とはネジ手段（ボルト・ナット）８１で締結されている。
【００５０】
前記積層構造体４５は、前記気体供給路４２及び液体供給路７９に通じる流路とスリット状吐出口７７とを形成している。すなわち、前記積層構造体４５は、第１のベース４１の気体供給路４２に通じ、かつ長手方向に間隔をおいて形成された複数の第１の細孔（細長状の細孔）４７を有する第１の細孔プレート４６と；この細孔プレートに隣接する第１の案内プレート５０と；この第１の案内プレート５０に隣接する第１の分配プレート５５と；この第１の分配プレート５５に隣接して配設された第２の分配プレート６３と；この第２の分配プレート６３に隣接して配設された第２の案内プレート６８と；この第２の案内プレート６８に隣接し、かつ第２のベース７８の液体供給路７９に通じ、長手方向に間隔をおいて形成された複数の細孔（オリフィス孔）７１を有する第２の細孔プレート７０とを備えている。第２の細孔プレート７０の細孔（液体用オリフィス孔）は第１の細孔（気体用細孔）４７よりも下流側に形成されている。
【００５１】
第１の案内プレート５０は、前記第１の細孔プレート４６の第１の細孔（細長状の細孔）４７に対応して、長手方向に間隔をおいて形成された複数の第１の切り抜き案内部５１（第１の細孔４７からの気体が厚み方向に通過可能な細長状案内部）と、この案内部５１よりも下流側（吐出口７７側）で長手方向に間隔をおいて形成された複数の第２の細長状の切り抜き案内部５２とを備えている。第１の切り抜き案内部５１と第２の切り抜き案内部５２とは、縦方向に間隔をおいて長手方向に配置された切り抜き案内列を形成している。
【００５２】
また、第１の分配プレート５５には、長手方向に間隔をおいて、吐出口７７に向かって拡がる台形状の形態で形成された切り欠き部５６と、これらの切り欠き部５６の間の延出部５７とが隣接して櫛歯状に形成され、これらの先端部の幅が狭い台形状の延出部５７には、前記第１及び第２の案内部５１，５２に対応して、それぞれ第１の孔部５８及び第２の孔部５９とが形成されている。第１の孔部５８及び第２の孔部５９は、それぞれ細長の四角形状の孔部（先端部の幅が若干狭い台形状孔部）を形成している。
【００５３】
さらに、第２の分配プレート６３の長手方向には、第１の分配プレート５５の切り欠き部５６及び延出部５７とは互い違いに延出部６５と切り欠き部６４とが隣接して櫛歯状に形成されており、この延出部６５には、前記第２の孔部５９に対応した形状（細長の四角形状）の第３の孔部６６（先端部の幅が若干狭い台形状孔部）が形成されている。
【００５４】
前記第２の案内プレート６８には、前記第１の案内プレート５０の第２の切り抜き案内部５２に対応して第３の細長状切り抜き案内部６９が形成され、第２の細孔プレート７０のオリフィス孔７１と通じている。
【００５５】
このようなスリットノズルでは、気体供給路４２からの気体は、第１の細孔プレート４６の第１の細孔４７、第１の案内プレート５０の第１の切り抜き案内部５１を通過し、第１の分配プレート５５の第１の孔部５８及び第２の分配プレート６３の切り欠き部６４に至り、第２の案内プレート６８で阻止される。
【００５６】
一方、液体供給路７９からの液体は、第２の細孔プレート７０のオリフィス孔７１を通じて、第２の案内プレート６８の第３の切り抜き案内部６９、第２の分配プレート６３の切り欠き部６４及び第３の孔部６６、第１の分配プレート５５の延出部５７の第２の孔部５９及び切り欠き部５６を通過し、第１の案内プレート５０の第２の切り抜き案内部５２に至り、第１の細孔プレート４６により通過が阻止される。
【００５７】
そして、第１の切り抜き案内部５１から第１の分配プレート５５の第１の孔部５８を通過した気体は、第２の分配プレート６３の切り欠き部６４に至り、第２の案内プレート６８により通過が阻止される。そのため、第１の孔部５８を通過した気体は、第２の分配プレート６３の切り欠き部６４で吐出口７７に分配されて吐出される。また、第１の分配プレート５５の切り欠き部５６を通過した気体は、第２の分配プレート６３の延出部６５（延出部の基部側）で通過が阻止されるため、切り欠き部５６に沿って吐出口７７から吐出される。
【００５８】
しかも、気体と液体とが対向して前記分配プレート５５，６３に流入するため、第１の案内プレート５０と第２の案内プレート６８との間の流路で、気体と液体とが混合室で効率よく混合され、吐出口７７から吐出される。すなわち、第２の案内プレート６８の第３の切り抜き案内部６９、第２の分配プレート６３の第３の孔部６６及び切り欠き部６４、第１の分配プレート５５の切り欠き部５６及び第２の孔部５９、第１の案内プレート５０の第２の切り抜き案内部５２は、厚み方向に連通する空間を形成し、混合室として機能する。そのため、このような混合室で空気と水とを均一に混合でき、長手方向に混合ミストを均一に吐出・噴霧できる。
【００５９】
なお、二流体を対向させて流動させる二流体ノズルでは、第１のベース４１が、液体供給路７９及び気体供給路４２のうち一方の流路を備え、第２のベース７８が他方の流路（例えば、前記とは逆に、第１のベース４１が液体供給路７９、第２のベース７８が気体供給路４２）を備えていればよい。また、積層構造体は、前記液体供給路に通じる液体細孔と、この液体細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる案内路を備えた液体流路プレートと；前記気体供給路に通じる気体細孔と、この気体細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる案内路を備えた気体流路プレートと；これらの液体流路プレートと気体流路プレートとの間に配設された複数の分配プレートとを備えていてもよい。
【００６０】
本発明において、複数のプレートの積層構造体は、流路プレートと、複数の分配プレートとで構成でき、複数の分配プレートの間にスペーサープレートが介在していてもよい。
【００６１】
［流路プレート］
流路プレートは、流体をスリット状吐出口の方向に案内する案内路を有する流路プレートと、流体を厚み方向に貫通して積層方向に案内する案内路を有する流路プレートとに大別できる。
【００６２】
前者の流路プレートは、前記第１のベースの供給路に連なり、かつ長手方向に間隔をおいて形成された複数の細孔と、この細孔に通じてスリット状吐出口の方向に延びて案内する案内路又は案内凹部路（案内溝）とを備えていてもよく、この案内路は、閉じた流路（端部で開口せず、側縁の途中部まで延びる流路）を形成している。このような案内路は、通常、第１のベース及び第２のベースの一方のベースから二流体を供給する二流体ノズルの流路プレートに形成する場合が多い。
【００６３】
なお、流路プレートの案内路又は案内凹部路は、細孔側よりもスリット状吐出口側の流路幅が大きい形態（例えば、細孔側からスリット状吐出口の方向にいくにつれて流路幅が連続的又は段階的に拡がる形態）であってもよく、例えば、細孔を含む領域（細孔域）から短手方向に延びる第１の流路と、この第１の流路と繋がって、かつ一方の側縁部を余して長手方向に延びる第２の流路とでＬ字状（特に、Ｔ字状）などの形態に屈曲又は湾曲させて形成してもよい。
【００６４】
このような流路プレートは、単一のプレートであってもよく、前記細孔が形成された細孔プレート（又はオリフィスプレート）と、前記案内路に対応する切り抜き部（前記細孔からの流体をスリット状吐出口の方向に案内するための切り抜き部）が形成された案内プレートとで構成してもよい。好ましい態様では、流路プレートは、細孔プレート（又はオリフィスプレート）と案内プレートとで構成される。前記切り抜き部は、細孔プレートと案内プレートとの積層形態では、細孔からの流体を案内する案内路（案内溝）を形成する。
【００６５】
後者の流路プレートは、細孔に通じて厚み方向に貫通して延び、かつ少なくとも分配プレートの分配路に至る案内路を備えている。このような案内路は、通常、二流体を対向させて流動させる二流体ノズル（第１のベース及び第２のベースからそれぞれ異なる二流体を対向させて流動させる二流体ノズル）の流路プレートに切り抜き案内部として形成する場合が多い。
【００６６】
さらに、流路プレートは、前記のように、細孔を備えた細孔プレートと、この細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる切り抜き案内部を備えた案内プレートとで構成してもよい。例えば、前記液体流路プレートは、液体供給路に通じる細孔を備えた液体細孔プレートと、この液体細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる切り抜き案内部を備えた液体案内プレートとで構成してもよく、気体流路プレートは、気体供給路に通じる細孔を備えた気体細孔プレートと、この気体細孔に通じて厚み方向に貫通して延びる切り抜き案内部を備えた気体案内プレートとで構成してもよい。なお、前記のように、二流体ノズルにおいて、案内プレートの案内路は、少なくとも分配プレートの分配路に流体を供給できればよく、図８に示す例において、前記第１の案内プレート５０の第３の細孔５２は、混合室として機能するが、必ずしも必要ではない。
【００６７】
細孔プレートにおいて、液体用の細孔は、オリフィス孔として機能するオリフィス状（円形状など）である場合が多く、気体用の細孔は、前記図８に示すように、オリフィス状である必要はなく、円形状、楕円形状、多角形状、長細状、スリット状などであってもよい。
【００６８】
細孔プレート（又はオリフィスプレート）の厚みは、例えば、０．１〜５ｍｍ（例えば、０．２〜３ｍｍ）程度の広い範囲から選択でき、通常、０．３〜２ｍｍ、好ましくは０．４〜１．５ｍｍ、さらに好ましくは０．５〜１ｍｍ程度であってもよい。平均細孔径は、例えば、０．２〜５ｍｍ（例えば、０．３〜３ｍｍ）程度の広い範囲から選択でき、通常、０．５〜２ｍｍ、好ましくは０．７〜１．７ｍｍ、さらに好ましくは１〜１．５ｍｍ程度であってもよい。
【００６９】
また、案内プレートの厚みは、例えば、０．２〜５ｍｍ（例えば、０．４〜４ｍｍ）程度の広い範囲から選択でき、通常、０．５〜３ｍｍ、好ましくは０．７〜１．７ｍｍ、さらに好ましくは１〜２ｍｍ程度であってもよい。また、案内路の幅は、細孔径に対して、例えば、１〜１０倍（例えば、１．２〜５倍）、好ましくは１．５〜４倍、さらに好ましくは２〜３倍程度であってもよい。
【００７０】
［複数の分配プレート］
流路プレートには分配プレートが重ね合わせ可能であり、この分配プレートには、前記案内路（案内溝）と通じ、流体を厚み方向（積層方向）及び吐出口の方向に分配可能な分配路が形成されている。
【００７１】
前記分配路は、流体を厚み方向（積層方向）及び吐出口の方向に分配可能であればよく、少なくとも切り欠き部（分配プレートの側縁（スリット状吐出口側の側縁）の長手方向に間隔をおいて形成された複数の切り欠き部（例えば、流体を吐出口の方向に分配するための吐出路））で構成できる。分配路は、通常、前記複数の切り欠き部と、隣接する切り欠き部の間に形成された孔部（例えば、厚み方向（積層方向）に分配するための孔部）とで構成できる。単一の分配プレートの複数の切り欠き部は、長手方向に間隔をおいて位置する複数の単位吐出口（スリット単位）を形成する。切り欠き部の平面形状は、例えば、Ｖ字状、コ字状、Ｕ字状などであってもよく、切り欠き部の両側は吐出口に向かって狭まる又は並行な形態であってもよく、吐出口に向かって拡がる形態（例えば、開口先端部の幅が広いコ字状又はＵ字状の形態）であってもよい。
【００７２】
また、隣接する切り欠き部の間は、切り欠き部に対応した形状の延出部で形成しており、この延出部は、Ｖ字状、コ字状、Ｕ字状などの形態で突出していてもよく、先端部の幅が拡がった台形状の形態であってもよいが、通常、先端部と基部との幅が同じコ字状又はＵ字状の形態、先端部の幅が狭いコ字状の形態である。
【００７３】
また、切り欠き部の開口部（吐出口側の開口端）の幅Ｗ１と延出部の先端部の幅Ｗ２とは互いに異なっていてもよい（Ｗ１＞Ｗ２又はＷ１＜Ｗ２）が、切り欠き部による単位吐出口を等間隔に形成するため、通常、同じ幅（Ｗ１＝Ｗ２）に形成される。特に、重ね合わせ状態で、一方の分配プレートと他方の分配プレートとを重複させるのが好ましい。この重複形態は、特に制限されず、延出部の両側部の形態を拡大又は縮小させたり、延出部の両側部に湾曲部や突出部などを形成することにより、重ね合わせ状態で、分離プレートの重複部を形成してもよい。例えば、切り欠き部の開口部と延出部の先端部とを同じ幅に形成し（Ｗ１＝Ｗ２）、切り欠き部の深部の幅Ｗ３と延出部の基部側の幅Ｗ４とを異にして形成すると（Ｗ３＞Ｗ４又はＷ３＜Ｗ４）、分配プレート同士の重ね合わせ状態で、一方の分配プレートの延出部の両側部が他方の分配プレートの切り欠き部に隣接する延出部の両側部と重複（細長い三角形の形態で重複）するため、この重複部がネジ締めに対する支持部として機能し、切り欠き部で形成される単位吐出口（スリット単位）を精度よく形成できる。そのため、例えば、延出部の基部側の幅Ｗ４を、切り欠き部の深部の幅Ｗ３よりも大きく又は小さく形成し、重ね合わせ状態で、一方の分配プレートと他方の分配プレートとを重複させてもよい。
【００７４】
孔部は、下流側の分配プレートの分配路（例えば、切り欠き部）に流体が供給可能であればよく、孔部は、延出部の適所に形成できるが、延出部の少なくとも基部側（上流部側）に形成する場合が多い。なお、図８に示すように、二流体を対向させて流動させる二流体ノズルでは、流体（特に、気体よりも下流域の液体）を案内するため、延出部の先端部側（下流部側）に孔部を形成してもよい。孔部の形状は、特に制限されず、円形状、楕円形状、多角形状（四角形状、台形状、五角形状など）などであってもよい。
【００７５】
分配プレートの分配路の吐出口（単位吐出口）は、前記複数の分配プレートの積層状態（重ね合わせ状態）において、長手方向に延びるスリット状吐出口を形成する。すなわち、前記単位吐出口（スリット単位）を形成する切り欠き部により、長手方向にスリット状吐出口を形成するため、複数の分配プレートが使用される。より具体的には、単一の分配プレートでは、長手方向に間隔をおいて形成された複数の分配路の吐出口（単位吐出口）の列が形成される。そのため、複数の分配プレートの積層状態（重ね合わせ状態）において、積層方向（重ね合わせ方向）において、吐出口（単位吐出口）を隣接させることにより、全体として長手方向に延びるスリット状吐出口を形成できる。
【００７６】
厚み方向（積層方向）において、複数の分配プレートの切り欠き部による吐出口（単位吐出口）の側部は、互いに離れていてもよく一部重複していてもよいが、流体の噴霧分布を均一にするためには、複数の吐出口（単位吐出口）の側部は、重複することなく、長手方向に連なって延びる（長手方向に連続して延びる）スリット状吐出口を形成するのが好ましい。
【００７７】
分配プレートの数は特に制限されず、例えば、２〜１０枚（例えば、２〜５枚）、特に２〜４枚程度であってもよい。分配プレートの数は、通常、偶数枚である。この複数の分配プレートにおいて、厚み方向（積層方向）では、分配路（例えば、切り欠き部及び孔部）は長手方向において互いに位置ずれして形成できる。また、重ね合わせ状態において、上流側の分配プレートの分配路（例えば、切り欠き部及び孔部）は、下流側の分配プレートの分配路（例えば、孔部及び切り欠き部）とそれぞれ連通可能である。具体的には、切り欠き部及び延出部を１ピッチとしたとき、互いに隣接する複数の分配プレートには、積層順序に従って、１／２ピッチだけ位置をずらして（互い違いに）切り欠き部及び延出部が形成できる。そのため、分配プレートの枚数に対応させて、１／２ピッチだけずらしてプレートを打ち抜いて分配路を形成することにより、分配プレートを容易に調製できる。
【００７８】
より具体的には、複数の分配プレートを、第１及び第２の分配プレートで構成する場合、第１及び第２の分配プレートには、切り欠き部と孔部とを、互い違いに形成できる。このように位置させて切り欠き部と孔部とを形成すると、重ね合わせ状態で、第１の分配プレートの切り欠き部を第２の分配プレートの孔部に位置させ、第１の分配プレートの孔部を第２の分配プレートの切り欠き部に位置させることができる。
【００７９】
なお、複数の分配プレートのうち最下流側（厚み方向の流れの最下流側）の分配プレートの分配路は、前記孔部（例えば、前記孔部２６）を有している必要はなく、分配プレートの側縁（スリット状吐出口側）の長手方向に間隔をおいて形成された分配路（例えば、切り欠き部）を有していてもよい。
【００８０】
分配プレートの厚みは、吐出口からの流体の噴霧量などに応じて選択でき、例えば、０．０３〜１ｍｍ（例えば、０．０５〜０．５ｍｍ）、好ましくは０．０５〜０．３ｍｍ（例えば、０．０７〜０．２５ｍｍ）、さらに好ましくは０．１〜０．２ｍｍ（例えば、０．１２〜０．１８ｍｍ）程度であってもよい。
【００８１】
［スペーサープレート］
前記の例のように、スペーサープレートは必ずしも必要ではないが、複数の分配プレートの間にスペーサープレートを配設することにより、ネジによる締結接合によっても、隣接する分配プレート間隔（スリット間隔）を保持できる。スペーサープレートは、前記分配プレートの分配路（例えば、前記切り欠き部及び孔部）と連通可能な連通部（連通孔）を有している。そのため、下流側の分配プレートの分配路において厚み方向に流れる流体を、連通部（連通孔）を通じて、下流側の分配プレートの分配路に流動させることができる。
【００８２】
連通部は、分配プレートの分配路（例えば、前記切り欠き部及び孔部）に対応する位置に形成できる。連通部は、長手方向に間隔をおいて形成された複数の連通部（連通孔）で構成してもよく、必要であれば、長手方向に沿って切除された切り抜き部（長手方向に延びる切り抜き部）で形成してもよく、この切り抜き部は、図８に示す案内プレート５０のように、短手方向（縦方向）に間隔をおいて切除され、かつ長手方向に所定の間隔で配置された複数列の切り抜き部で形成してもよい。
【００８３】
連通部（連通孔）の形状は、特に制限されず、前記分配プレートの孔部と同様の形態に形成できる。
【００８４】
このようなスペーサープレートにより、上流側の分配プレートの切り欠き部及び孔部は、スペーサープレートの連通部を通じて、それぞれ、下流側の分配プレートの孔部及び切り欠き部と連通可能であってもよい。
【００８５】
スペーサープレートの厚みは、用途に応じて選択でき、例えば、０．１〜１ｍｍ、好ましくは０．２〜０．７ｍｍ、さらに好ましくは０．３〜０．５ｍｍ程度であってもよい。スペーサープレートに隣接する一対の分配プレートにより吐出口が形成されるため、通常、厚みの薄いスペーサープレートが使用される。
【００８６】
本発明は二流体スリットノズルのみならず一流体スリットノズルにも適用できる。一流体スリットノズルでは、液体又は気体のいずれかの流体を噴霧すればよいため、流路プレートには、異なる流体のための細孔を縦方向に間隔をおいて形成する必要はなく、細孔を長手方向に間隔をおいて形成すればよい。また、二流体スリットノズルでは、前記のように、第１のベースは、液体供給路と気体供給路とを備えてえていてもよく、流路プレートは、前記液体供給路に通じる第１の細孔（例えば、第１のオリフィス孔）と、前記気体供給路に通じる第２の細孔（例えば、第２のオリフィス孔）と、第１及び第２の細孔からの流体を混合し、スリット状吐出口の方向に案内する案内路（混合流路）とを備えていてもよい。この流路プレートは、細孔プレート（例えば、前記第１の細孔と第２の細孔とを備えたオリフィスプレート）と、第１及び第２の細孔を結ぶ方向（側縁部の方向）に延び、かつ側縁部を余して側縁部の長手方向に沿って切り抜かれたＴ字状などの形態の切り抜き部が形成された案内プレートとで構成してもよい。
【００８７】
このような形態の案内路を有する二流体ノズルでは、混合空間又は混合流路としての案内路で気体と液体との衝突混合効率を向上でき、液滴を微細化できる。また、複数の分配プレートの分配路及びスペーサープレートの連通部を通過する過程で、気体と液体との衝突混合効率をさらに向上でき、液滴を微細化しつつ均一化できる。
【００８８】
さらに、本発明では、第１のベースと第２のベースとの間に複数のプレートを重ね合わせて締結して一体化することにより、スリット間隔を高い精度で形成しつつ、スリットノズルを簡単に組み立て又は構築できる。そのため、本発明は、前記スリットノズルを組み立てるためのセット（ノズル部品のセット）も包含する。このセットは、少なくとも流体の供給路を有する第１のベースと、この第１のベースに対して対向して配設可能な第２のベースとの間に、複数のプレートの積層により、流体の供給路に通じる流路と、この流路からの流体を噴出するための長手方向に延びるスリット状吐出口とが形成されたスリットノズルを組み立てることができる。前記複数のプレートの積層構造体は、前記流路プレートと、複数の分配プレートと、必要によりスペーサープレートとで構成できる。また、流路プレートはオリフィスプレートと案内プレートとで構成してもよい。
【００８９】
本発明は、さらに、前記スリットノズルを用い、第１のベースの供給路から流体を供給し、スリット状吐出口から流体を噴霧する方法も包含する。なお、流体（気体又は液体）の噴霧量は、用途に応じて選択でき、例えば、液体（例えば、水）の流量０．０５〜１０Ｌ／分（幅５０ｍｍ当たり）程度の範囲から選択できる。二流体ノズルでは、気体と液体との容積割合（流量割合）は、気体／液体＝５／１〜１０００／１、好ましくは１０／１〜７５０／１（例えば、５０／１〜５００／１）程度であってもよい。
【実施例】
【００９０】
以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
【００９１】
実施例１
図１〜図５に示すスリットノズルを用いた。なお、オリフィスプレート（厚み０．５ｍｍ、オリフィス孔径φ１．０ｍｍ、長手方向のオリフィス孔の間隔１０ｍｍ）、案内プレート（厚み１．０ｍｍ、縦方向の第１の流路の幅３ｍｍ、第２の流路の幅又は長さ９．３ｍｍ、第２の流路の幅２ｍｍ、吐出口から第２の流路の距離３ｍｍ、第１の流路の間隔１０ｍｍ）、第１の分配プレート（厚み０．１６ｍｍ、Ｗ１＝Ｗ２＝２ｍｍ，Ｗ３＝１．５ｍｍ，Ｗ４＝２．５ｍｍ、孔部（１．３ｍｍ×１．５ｍｍの台形）、切り欠き部の深さ＝延出部の長さ＝５ｍｍ、吐出口から孔部までの距離３ｍｍ）、スペーサープレート（厚み０．３ｍｍ、孔部に対応する連通孔（１．３ｍｍ×１．５ｍｍの台形））、第２の分配プレート（厚み０．１６ｍｍ、第１の分配パイプレートの切り欠き部及び延出部に対して延出部及び切り欠き部が互い違いに形成されたプレート）を用いた。
【００９２】
そして、上記スリットノズルを用い、空気圧０．３１ＭＰａ、水圧０．２４ＭＰａ、空気量６０．５ｍ３／ｈ（Ｎ）及び水量５．０Ｌ／分の条件でスリット状吐出口から二液混合流体（混合ミスト）を噴霧し、噴射距離５０ｍｍでの流量分布を測定した。図９は実施例１の結果を示すグラフである。
【００９３】
図９から明らかなように、スリット状吐出口から均一な流量分布で混合ミストを噴霧できる。
【００９４】
実施例２
実施例１のスリットノズルを用い、流体として空気だけを用いた。そして、空気圧０．１４ＭＰａ、空気量３９０ｍ３／ｈ（Ｎ）の条件でスリット状吐出口から空気を噴出させ、噴射距離３ｍｍで衝突力分布を測定した。図１０は実施例２の結果を示すグラフである。なお、図１０において、縦軸（衝突力）の一目盛りは１０ｇであり、横軸（噴射幅）の一目盛りは２０ｍｍである。
【００９５】
図１０から明らかなように、スリット状吐出口の長手方向に沿って、均一な衝突力で流体を噴霧できる。
【産業上の利用可能性】
【００９６】
本発明のスリットノズルは、液体（水など）及び／又は気体（空気など）を噴霧して被処理帯を処理する種々の用途、例えば、被処理体の洗浄（半導体ウエハーや液晶基板など精密機器部品の洗浄）、被冷却体の冷却、被乾燥体の乾燥などに利用できる。
【符号の説明】
【００９７】
１，３１，４１…第１のベース
２，４２…液体供給路
３，７９…気体供給路
５，４５…積層構造体
６，４６…細孔（オリフィス）プレート
７，４７…第１の細孔
８…第２の細孔
１０，５０，６８…案内プレート
１１…案内路
１５，５５…第１の分配プレート
１６，５６…切り欠き部
１７，５７…延出部
１８，５８，５９…孔部
２０…スペーサープレート
２１…連通部（連通孔）
２３，６３…第２の分配プレート
２４，６４…切り欠き部
２５，６５…延出部
２６，６６…孔部
２７，７７…スリット状吐出口
２８，３３，７８…第２のベース
５１，５２，６９…切り抜き案内部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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