(57)【要約】【課題】循環流路構造を有するインクジェットヘッドにおいて、好ましいノズル部の洗浄が実現されるインクジェットヘッド洗浄装置及び方法を提供する。【解決手段】インクジェットヘッド（２００）のノズル面（２７７）を浸漬させる洗浄液が溜められるキャップ部（１４）と、キャップ部に洗浄液を供給する洗浄液供給部（１５，１６，１７）と、インクジェットヘッドの循環口（２５６Ａ）に接続される第１流路（３０）と、第１流路に設けられる第１ポンプ（２２）と、インクジェットヘッドの供給口（２５２Ａ）に接続される第２流路（３０）と、第２流路に設けられる第２ポンプ（３２）と、キャップ部に溜められた洗浄液を用いてノズル部を洗浄する際に、キャップ部に溜められた洗浄液がノズル開口から循環流路、循環口を介して第１流路へ送られ、供給口から供給流路を介してノズル部へ洗浄液が送られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口が形成されたノズル面、前記ノズル開口を含むノズル部、前記ノズル部と連通される循環流路、前記循環流路と連通される循環口、前記ノズル部へ液体を供給する供給流路、前記供給流路と連通される供給口を具備するインクジェットヘッドを洗浄するインクジェットヘッド洗浄装置であって、
前記インクジェットヘッドの前記ノズル面を浸漬させる洗浄液が溜められるキャップ部と、
前記インクジェットヘッドの前記循環口に接続される第１流路と、
前記第１流路に設けられる第１ポンプと、
前記洗浄液が貯留される洗浄液貯留部と、
前記インクジェットヘッドの前記供給口に接続される第２流路であり、前記洗浄液が供給される第２流路と、
前記第２流路に設けられる第２ポンプと、
前記キャップ部に溜められた洗浄液を用いて前記ノズル部を洗浄する際に、前記第１ポンプを動作させて前記キャップ部に溜められた洗浄液を前記ノズル開口から前記循環流路、前記循環口を介して前記第１流路へ送り、前記第２ポンプを動作させて前記第２流路から前記供給口及び前記供給流路を介して前記ノズル部へ洗浄液を送るポンプ制御部と、
を備えたインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項２】
前記キャップ部へ置換液を供給する置換液供給部と、
前記キャップ部へ前記洗浄液供給部から洗浄液を供給するか、前記キャップ部へ前記置換液供給部から置換液を供給するかを選択的に切り換える切換部と、
を備えた請求項１に記載のインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項３】
前記インクジェットヘッドに乾燥処理を施す乾燥部を備えた請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項４】
前記乾燥部は、前記ノズル部から気体を供給する気体供給装置と、
前記循環口に接続される気体排出流路と、
前記気体排出流路に設けられる気体排出ポンプと、
前記気体排出ポンプを制御して、前記ノズル部から前記循環口への気体の流れを生成する気体排出ポンプ制御部と、
を具備する請求項３に記載のインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項５】
前記乾燥部は、前記インクジェットヘッドを加熱して乾燥させる加熱装置を具備する請求項３又は４に記載のインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項６】
前記洗浄液を超音波振動させる超音波振動付与部を備えた請求項１から５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項７】
前記超音波振動付与部は、前記キャップ部内の洗浄液を超音波振動させる超音波振動素子を備えた請求項６に記載のインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項８】
前記超音波振動付与部は、前記インクジェットヘッドに具備される圧電素子に駆動電圧を供給して、前記圧電素子を超音波振動させる駆動電圧供給部を備えた請求項６又は７に記載のインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項９】
ノズル開口が形成されたノズル面、前記ノズル開口を含むノズル部、前記ノズル部と連通される循環流路、前記循環流路と連通される循環口、前記ノズル部へ液体を供給する供給流路、前記供給流路と連通される供給口を具備するインクジェットヘッドを洗浄するインクジェットヘッド洗浄方法であって、
前記インクジェットヘッドの前記ノズル面を浸漬させるキャップ部へ洗浄液が供給される第１洗浄液供給工程と、
前記インクジェットヘッドの前記循環口に接続させる第１流路に設けられる第１ポンプを動作させて前記キャップ部に溜められた洗浄液が前記ノズル部から前記循環流路、前記循環口を介して前記第１流路へ送られる第１洗浄液送液工程と、
前記インクジェットヘッドの前記供給口に接続させる第２流路に設けられる第２ポンプを動作させて前記第２流路へ供給された洗浄液が前記供給口から前記供給流路を介して前記ノズル部へ送られる第２洗浄液送液工程と、
を含むインクジェットヘッド洗浄方法。
【請求項１０】
前記第１洗浄液送液工程、又は前記第２洗浄液送液工程において、洗浄液を超音波振動させる超音波振動付与工程を含む請求項９に記載のインクジェットヘッド洗浄方法。
【請求項１１】
装置に搭載されたインクジェットヘッドに対して洗浄処理を施す請求項９又は１０に記載のインクジェットヘッド洗浄方法。
【請求項１２】
装置から取り外されたインクジェットヘッドに対して洗浄処理を施す請求項９又は１０に記載のインクジェットヘッド洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットヘッド洗浄装置及びインクジェットヘッド洗浄方法に係り、特に供給流路及び循環流路が設けられる循環流路構造を有するインクジェットヘッドの洗浄技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドは、ノズル部に液体（インク）の乾燥物や紙粉などの異物が付着することがある。ノズル部への異物の付着によって吐出方向の安定性が低下してしまう。インクジェットヘッドを長期に安定して使用するためには、ノズル部の異物を除去する必要がある。
【０００３】
特許文献１は、洗浄機能を備えた液滴吐出装置が記載されている。同文献に記載の液滴吐出装置は、キャップに超音波振動子を備え、キャップ内に洗浄液を満たした状態でノズル（吐出ノズル）にキャップを覆設させ、超音波振動子から超音波を発振させてノズル及びノズルプレートを洗浄している。
【０００４】
同文献の図４には、インクジェットヘッドのインク供給系の構造を利用して、インクジェットヘッドのインク供給口（接続管（１２）の接続部）からインクジェットヘッドの内部（流路）に洗浄液を満たす構成が図示されている。
【０００５】
特許文献２は、インクジェットヘッドの洗浄装置が記載されている。同文献に記載のインクジェットヘッドの洗浄装置は、ヘッド浸漬容器内で超音波振動する洗浄液にインクジェットヘッドを浸漬させ、インク供給口から吸引をして洗浄液をノズルから流路へ流通させ、インクジェットヘッドをヘッド浸漬容器から引き上げてノズルから洗浄液を噴射させてノズル及びインク流路を洗浄している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−３４７０００号公報
【特許文献２】特開２００４−３５８６６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の図４に記載された構成のように、インクジェットヘッドのインク供給口からインクジェットヘッドの流路を通過させて、洗浄液をノズルに向けて流すと、インクジェットヘッドの流路から除去された異物がノズルに集中してしまう。そして、異物がノズルの内壁に付着することでさらに吐出方向の安定性が悪化する可能性がある。
【０００８】
一方、特許文献２に記載の構成は、ノズルからインクジェットヘッドの流路へ洗浄液を流通させているので、ノズルに異物が集中してしまう可能性は低いものの、流路に異物が引っかかり、洗浄後のインク供給の際に流路に引っかかった異物がノズルへ移動してしまい、ノズルに移動した異物が吐出異常の原因になる可能性がある。
【０００９】
インクジェットヘッドのインク供給口にフィルタが設けられている場合には、洗浄液をノズルから流通させた際にノズルから流れてきた異物がフィルタに付着する。洗浄後にインクを供給（循環）させる際にフィルタに付着している異物がノズルへ移動してしまい、ノズルに移動した異物が吐出異常の原因になる可能性がある。
【００１０】
また、特許文献１、２は、ノズル部へインクを供給する供給流路、及びノズル部からインクを循環させる循環流路が設けられた循環流路構造を有するインクジェットヘッドにおけるノズルの洗浄に関して記載されたものではない。
【００１１】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、循環流路構造を有するインクジェットヘッドにおいて、好ましいノズル部の洗浄が実現されるインクジェットヘッド洗浄装置及びインクジェットヘッド洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、ノズル開口が形成されたノズル面、ノズル開口を含むノズル部、ノズル部と連通される循環流路、循環流路と連通される循環口、ノズル部へ液体を供給する供給流路、供給流路と連通される供給口を具備するインクジェットヘッドを洗浄するインクジェットヘッド洗浄装置であって、インクジェットヘッドのノズル面を浸漬させる洗浄液が溜められるキャップ部と、インクジェットヘッドの循環口に接続される第１流路と、第１流路に設けられる第１ポンプと、洗浄液が貯留される洗浄液貯留部と、インクジェットヘッドの供給口に接続される第２流路であり、洗浄液が供給される第２流路と、第２流路に設けられる第２ポンプと、キャップ部に溜められた洗浄液を用いてノズル部を洗浄する際に、第１ポンプを動作させてキャップ部に溜められた洗浄液をノズル開口から循環流路、循環口を介して第１流路へ送り、第２ポンプを動作させて第２流路から供給口及び供給流路を介してノズル部へ洗浄液を送るポンプ制御部と、を備えたインクジェットヘッド洗浄装置を提供する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ノズル部から循環流路を介して循環口へ至る洗浄液の流れ、及び供給口から供給流路を介してノズル部へ至る洗浄液の流れを作ることで、ノズル部に存在する異物が循環流路、循環口を介して第１流路へ排出される。また、供給口からノズル部への洗浄液の流れによって、ノズル部に存在する異物が供給流路や供給口へ移動することがなく、異物の残存による吐出異常の発生が防止される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置の全体構成図
【図２】図１に示すインクジェットヘッド洗浄装置における制御系の概略構成を示すブロック図
【図３】図１に示すインクジェットヘッド洗浄装置が使用されるインクジェットヘッドの構造例を示す斜視図
【図４】図３に示すインクジェットヘッドのノズル配列の説明図
【図５】図３に示すインクジェットヘッドの内部構造を示す断面図
【図６】図３に示すインクジェットヘッドを用いて構成されるマルチヘッドのノズル面の平面透視図
【図７】本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄方法の流れを示すフローチャート
【図８】本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置の全体構成図
【図９】図８に示すインクジェットヘッド洗浄装置における制御系の概略構成を示すブロック図
【図１０】本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄方法の流れを示すフローチャート
【図１１】本発明の第３実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置に適用される気体供給装置の接続例を示す説明図
【図１２】本発明の第３実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置に適用される気体供給装置の他の接続例を示す説明図
【図１３】加熱による乾燥処理を模式的に図示した説明図
【図１４】本発明の第３実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置における制御系の概略構成を示すブロック図
【図１５】本発明の第３実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄方法の流れを示すフローチャート
【図１６】ポンプを用いた送液の他の態様の説明図
【図１７】本発明の第４実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄方法の説明図
【図１８】洗浄装置の取付構造の一例を示す説明図
【図１９】ａ：マルチヘッドに保湿用キャップが装着された状態を示す模式図、ｂ：インクジェットヘッドに洗浄用キャップが装着された状態を示す模式図
【図２０】洗浄用キャップの他の例を示す説明図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００１６】
〔第１実施形態〕
（インクジェットヘッド洗浄装置の全体構成）
図１は、本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置の全体構成図である。同図に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０は、インクジェットヘッド２００のノズル面２７７を浸漬する洗浄液１２が収容されるキャップ部１４、インクジェットヘッド２００の循環口２５６Ａに接続される第１流路２０、第１流路２０に設けられる第１ポンプ２２、第１流路２０（第１ポンプ２２と循環口２５６Ａとの間）に設けられる第１圧力計２３、インクジェットヘッド２００の供給口２５２Ａに接続される第２流路３０、第２流路３０に設けられる第２ポンプ３２、及び第２流路３０（第２ポンプ３２と供給口２５２Ａとの間）に設けられる第２圧力計３１と、を含んで構成される。
【００１７】
キャップ部１４は、第３流路１５（洗浄液供給部の一例）を介して洗浄液タンク１６（洗浄液供給部の一例、洗浄液貯留部）と連通される。第３流路１５に設けられた第３ポンプ１７（洗浄液供給部の一例）を動作させると、洗浄液タンク１６からキャップ部１４へ洗浄液が供給される。
【００１８】
第３流路１５（洗浄液タンク１６と第３ポンプ１７との間）には、洗浄液に混入した異物等を捕獲するフィルタ１８が設けられている。図１の第３ポンプ１７の下側に図示した矢印線は洗浄液の送液方向を示している。
【００１９】
第１流路２０のインクジェットヘッド２００の循環口２５６Ａと接続される一方の端には、循環口２５６Ａと接続可能な構造を有するジョイント２０Ａが設けられており、第１流路２０の他方の端は廃液タンク２４と接続されている。
【００２０】
第１ポンプ２２を動作させると、キャップ部１４に貯留される洗浄液がノズル開口（図１中不図示、図４に符号２８０を付して図示）からインクジェットヘッド２００のノズル部（図１中不図示、図５に符号２８１を付して図示）へ供給される。
【００２１】
ノズル部からインクジェットヘッド２００に供給された洗浄液は、循環流路（図１中不図示、図５に符号２２６を付して図示）を介して循環口２５６Ａへ送られ、循環口２５６Ａから排出され、第１流路２０を介して廃液タンク２４へ送られる。
【００２２】
第２流路３０のインクジェットヘッド２００の供給口２５２Ａと接続される一方の端には、供給口２５２Ａと接続可能な構造を有するジョイント３０Ａが設けられており、第２流路３０の他方の端は洗浄液タンク１６と接続される。第２流路３０の第２ポンプ３２と洗浄液タンク１６との間には、洗浄液に混入した異物等を捕獲するフィルタ３４が設けられている。
【００２３】
第２ポンプ３２を動作させると、フィルタ３４、第２ポンプ３２、ジョイント３０Ａを介して、洗浄液タンク１６からインクジェットヘッド２００の内部流路（供給流路）へ洗浄液が送られる。
【００２４】
第１ポンプ２２の上側に図示した矢印線、及び第２ポンプ３２の上側に図示した矢印線は、それぞれ第１ポンプ２２、第２ポンプ３２の動作による洗浄液の送液方向を示している。第１流路２０に設けられる第１圧力計２３は、第１流路２０の圧力を計測する第１圧力計測部として機能し、第２流路３０に設けられる第２圧力計３１は、第２流路３０の圧力を計測するする第２圧力計測部として機能する。
【００２５】
図１に図示したインクジェットヘッド２００の内部流路構造の詳細は後述するが、図１に図示した符号２３２はインク供給室、符号２３２Ａはインク供給側のフィルタ、符号２３６はインク循環室、符号２３６Ａはインク循環側のフィルタ、符号２３３はインク供給室とインク循環室とを隔てる隔壁である。
【００２６】
フィルタ２３６Ａは、循環口２５６Ａから排出させる異物を通過させる穴（不図示）が形成されている。フィルタ２３６Ａに設けられた穴は、フィルタのメッシュの面積（サイズ）を超え、想定される異物のサイズに対応した開口面積を有している。フィルタ２３６Ａに設けられた穴の平面形状は、円、四角形など様々な形状が適用可能である。
【００２７】
インクジェットヘッド洗浄装置１０は、インクジェットヘッド２００を固定する固定部材（不図示）が具備される。固定部材は、キャップ部１４と一体構造でもよいし、キャップ部１４とは別の部材としてもよい。
【００２８】
固定部材にインクジェットヘッド２００が固定され、インクジェットヘッド２００の循環口２５６Ａに第１流路２０のジョイント２０Ａが取り付けられ、インクジェットヘッド２００の供給口２５２Ａに第２流路３０のジョイント３０Ａが取り付けられると、インクジェットヘッド２００の洗浄が実行可能となる。
【００２９】
図１に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０が用いられるインクジェットヘッド２００は、記録媒体の全幅に対応する長さにわたって複数のノズルが配置された構造を有するフルライン型マルチヘッドを構成するヘッド構造体である。
【００３０】
本例に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０が適用されるインクジェットヘッドは、上記の例に限定されない。例えば、シリアルヘッドにも適用可能である。
【００３１】
図１に図示したインクジェットヘッド２００は、液体（インク）を供給する供給口２５２Ａ、及び液体を循環させる（回収する）循環口２５６Ａを備えた循環流路構造を有している。インクジェットヘッド２００の詳細な構造については後述するが、供給口２５２Ａはインクジェットヘッド２００の内部流路（供給流路）を介してノズル部と連通し、循環口２５６Ａはインクジェットヘッド２００の内部流路（循環流路）を介してノズル部と連通している。
【００３２】
ここで、インクジェットヘッド２００の「内部流路」とは、上述した供給流路、循環流路を含み、後述する圧力室（図６に符号２１８を付して図示）など、液体が通過する溝、凹部、穴等が含まれる。
【００３３】
インクジェットヘッド２００は、複数のインクジェットヘッド２００を並べてフルライン型のマルチヘッドを構成するものでもよい。「フルライン型のマルチヘッド」とは、用紙（図６に符号Ｐを付して図示）の全幅に対応する長さにわたって複数のノズル部が並べられた構造を有し、用紙とマルチヘッドとを相対的に１回だけ移動させることで、用紙の全面に液体を吐出させることができる。
【００３４】
「用紙の全幅」とは、用紙とインクジェットヘッドとの相対移動方向(図６のＹ方向)と直交する方向（図６のＸ方向）における用紙の長さである。ここで、本明細書における「直交」という用語には、９０°未満の角度、又は９０°を超える角度をなして交差する態様のうち、実質的に９０°の角度をなして交差する場合と同様の作用効果を発生させる態様が含まれる。
【００３５】
（制御系の説明）
図２は、図１に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０における制御系の概略構成を示すブロック図である。同図に示すように、インクジェットヘッド洗浄装置１０は、システム制御部５０によって装置各部が統括制御される。
【００３６】
システム制御部５０は、演算装置（プロセッサ）、メモリ、及びこれらの周辺回路から構成される。
【００３７】
ポンプ制御部５２は、システム制御部５０から送出される指令信号（圧力設定値）、及び第１圧力計２３の計測値、第２圧力計３１の計測値に基づいて、第１ポンプ２２、第２ポンプ３２、動作（オンオフ、回転数等）を制御する。また、第３ポンプ１７の動作（オンオフ、回転数等）を制御して、キャップ部１４内の洗浄液の液量（水位）を一定に維持する。
【００３８】
例えば、インクジェットヘッド２００のノズル開口（図４参照）を介してキャップ部１４からインクジェットヘッド２００の内部流路へ洗浄液が供給される際に、インクジェットヘッド２００から廃液タンク２４へ洗浄液を流す方向（図１の矢印線の方向）に第１ポンプ２２を動作させる。
【００３９】
システム制御部５０から送出される指令信号（圧力設定値）と、第１圧力計２３の計測値が比較され、第１圧力計２３の計測値（負の値、詳細後述）が圧力設定値よりも大きい場合（第１圧力計２３の計測値の絶対値が指令値の絶対値よりも小さい場合）は、第１ポンプ２２の回転数が上げられ、第１圧力計２３の計測値が圧力設定値よりも小さい場合（第１圧力計２３の計測値の絶対値が指令値の絶対値よりも大きい場合）は、第１ポンプ２２の回転数が下げられる。
【００４０】
また、供給口２５２Ａを介して洗浄液タンク１６からインクジェットヘッド２００へ洗浄液が供給される際は、洗浄液タンク１６からインクジェットヘッド２００へ洗浄液を流す方向（図１の矢印線の方向）に第２ポンプ３２を動作させる。
【００４１】
システム制御部５０から送出される指令信号（圧力設定値）と、第２圧力計３１の計測値が比較され、第２圧力計３１の計測値（正の値）が指令値よりも大きい場合は、第２ポンプ３２の回転数が下げられ、第２圧力計３１の計測値が指令値よりも小さい場合は、第２ポンプ３２の回転数が上げられる。
【００４２】
さらに、第３流路１５を介して洗浄液タンク１６からキャップ部１４へ洗浄液が供給される際は、洗浄液タンク１６からキャップ部１４へ洗浄液を流す方向（図１の矢印線の方向）に第３ポンプ１７を動作させる。
【００４３】
温度調節部５４は、洗浄液を加熱する加熱手段として機能する。すなわち、ヒータ及びヒータの制御回路（ドライバー）を含み、システム制御部５０から送出される指令信号に基づいて、洗浄液の温度を予め設定された温度に維持する。
【００４４】
図２に図示したセンサ５６は、洗浄液の温度を検出する温度センサが含まれる。温度センサの検出結果（洗浄液の温度情報）はシステム制御部５０へ提供される。システム制御部５０は、温度センサから提供された洗浄液の温度情報に基づいて、温度調節部５４へ指令信号を送出する。
【００４５】
一般に、洗浄液の温度を高くすると、インク固化物の溶解性が高くなり、洗浄期間の短縮化、洗浄効果の向上が見込まれる。洗浄液を加熱するヒータは、キャップ部１４、洗浄液タンク１６に設けられていてもよいし、第２流路３０、第３流路１５に設けられていてもよい。複数のヒータを具備し、装置内の洗浄液に温度分布が発生しない構成が好ましい。
【００４６】
温度センサは、ヒータによる加熱の影響を直接受けない位置であり、ヒータの近傍位置に配置すると、環境温度の影響等による制御ばらつきの発生を抑制することができ、好ましい。
【００４７】
センサ５６は、上述した温度センサの他に、装置各部に配置される各種センサが含まれる。例えば、洗浄液の温度を検出する温度センサ、キャップ部１４内の洗浄液の水位（残量）を検出するセンサ、洗浄液タンク１６内の洗浄液の水位（残量）を検出するセンサ、インクジェットヘッド２００の固定の有無、固定位置を検出する位置センサ等が挙げられる。
【００４８】
超音波振動発生部５８（超音波振動付与部）は、キャップ部１４に貯留される洗浄液、又はインクジェットヘッド２００内の洗浄液に対して超音波振動を付与する手段であり、超音波振動を発生させる超音波振動子、及び超音波振動子の駆動回路（ドライバー回路）を含んで構成される。
【００４９】
例えば、キャップ部１４の外周に超音波振動子を配置し、キャップ部１４を超音波振動させてキャップ部１４内の洗浄液に超音波振動を付与することができる。また、キャップ部１４の内部に超音波振動子を配置して、キャップ部１４内の洗浄液を直接超音波振動させてもよい。
【００５０】
超音波振動させた洗浄液を用いることで、洗浄効果の向上、洗浄期間の短縮化が見込まれる。超音波の周波数及び出力は、ノズル面２７７（図１参照）など、インクジェットヘッド２００を構成する部品に対して負荷（ストレス）を与えない範囲であり、より高い洗浄効果が得られる範囲とされる。
【００５１】
インクジェットヘッド２００に吐出力を発生させる手段として圧電素子（超音波振動付与部の一例）を備える場合、圧電素子を動作させてインクジェットヘッド２００内の洗浄液に超音波振動を付与することができる。
【００５２】
圧電素子を用いて超音波振動を発生させる態様における超音波振動発生部５８は、圧電素子の駆動回路（ドライバー回路）が含まれる。圧電素子の駆動回路は、発振回路、増幅回路、及びこれらの周辺回路、メモリ等が含まれる。
【００５３】
表示部６０は、インクジェットヘッド洗浄装置１０の各種情報（エラー情報、各種パラメータの設定情報、洗浄処理実行中のステータス情報（進行状況）等）を表示する表示手段であり、ディスプレイ装置、ディスプレイドライバー、メモリ等が含まれる。
【００５４】
操作部６２は、オペレータによる情報入力手段であり、操作部６２から入力された情報はシステム制御部５０へ送出される。システム制御部５０は、操作部６２から入力された情報に基づいて装置各部へ指令信号を送出する。操作部６２の例として、キーボード、マウス、ジョイスティック等が挙げられる。タッチパネル方式のディスプレイを用いて、表示部６０と操作部６２とを一体構成としてもよい。
【００５５】
インクジェットヘッド洗浄装置１０は、システムパラメータ等の各種設定が記憶されるパラメータ記憶部６４、装置各部に用いられるプログラムが格納されるプログラム格納部６６、各種情報の記憶手段としてのメモリ６８が具備される。
【００５６】
インクジェットヘッド洗浄装置１０は、インクジェットヘッド２００の洗浄処理を実行する際に、プログラム格納部６６からプログラムが読み出され、パラメータ記憶部６４から各種設定値が読み出される。
【００５７】
インクジェットヘッド洗浄装置１０は、第１ポンプ２２の動作期間、第２ポンプ３２の動作期間を計測する動作期間計測部としてタイマー５９が具備される。また、後述する一連の工程の実行回数（繰り返し回数）を計測する実行回数計測部としてカウンター６９が具備される。
【００５８】
タイマー５９及びカウンター６９は、システム制御部５０を構成するプロセッサに内蔵されているものでもよい。
【００５９】
（インクジェットヘッドの説明）
次に、本例に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０が使用されるインクジェットヘッドについて説明する。
【００６０】
図３はインクジェットヘッド２００の構造例を示す斜視図（部分断面図を含む図）であり、図４はインクジェットヘッド２００のノズル配列の説明図、図５はインクジェットヘッド２００の内部構造を示す断面図、図６は、インクジェットヘッド２００を用いて構成されるマルチヘッド２０１のノズル面２７７の平面透視図である。
【００６１】
図３に示すように、インクジェットヘッド２００は、ノズル板２７５のノズル面２７７と反対側（図３においてノズル面を下側とした場合の上側）にインク供給室２３２とインク循環室２３６等からなるインク供給ユニットを有している。
【００６２】
インクジェットヘッド２００（マルチヘッド２０１、図６参照）を稼働させる際に、インク供給室２３２は、供給管路２５２を介してインクタンク（不図示）に接続され、インク循環室２３６は、循環管路２５６を介して回収タンク（不図示）に接続される。
【００６３】
図４ではノズル開口２８０の数を省略して描いているが、１個のインクジェットヘッド２００のノズル板２７５のノズル面２７７には、２次元のノズル配列によって複数のノズル開口２８０が形成されている。
【００６４】
すなわち、インクジェットヘッド２００は、Ｘ方向に対して角度βの傾きを有するＶ方向に沿った長辺側の端面と、Ｙ方向に対して角度αの傾きを持つＷ方向に沿った短辺側の端面とを有する平行四辺形の平面形状となっており、Ｖ方向に沿う行方向、及びＷ方向に沿う列方向について、複数のノズル開口２８０がマトリクス配置されている。
【００６５】
なお、ノズル開口２８０の配置は、図４に図示した態様に限定されず、Ｘ方向に沿う行方向、及びＸ方向に対して斜めに交差する列方向に沿って複数のノズル開口２８０を配置してもよい。
【００６６】
すなわち、ノズル開口２８０（ノズル部２８１、図６参照）のマトリクス配置とは、Ｘ方向に並べた各ノズル開口２８０を投影させた投影ノズル列において、ノズル開口２８０の配置間隔（ノズル間ピッチ）が均一になる配置である。
【００６７】
図５に示す符号２１４はインク供給路、２１８は圧力室（液室）、２１６は各圧力室２１８とインク供給路２１４とをつなぐ個別供給路、２２０は圧力室２１８からノズル開口２８０につながるノズル連通路、２２６はノズル連通路２２０と循環共通流路２２８とをつなぐ循環個別流路である。
【００６８】
これら流路部（２１４，２１６，２１８，２２０，２２６，２２８）を構成する流路構造体２１０のノズル面２７７と反対側（図５における上側）に、振動板２６６が設けられる。振動板２６６の上には接着層２６７を介して、下部電極（共通電極）２６５、圧電体層２３１及び上部電極（個別電極）２６４の積層構造から成る圧電素子２３０が配設されている。
【００６９】
上部電極２６４は、各圧力室２１８の形状に対応してパターニングされた個別電極となっており、圧力室２１８ごとに、それぞれ圧電素子２３０が設けられている。
【００７０】
インク供給路２１４は、図３で説明したインク供給室２３２につながっており、インク供給路から個別供給路２１６を介して圧力室２１８にインクが供給される。描画すべき画像の画像信号に応じて、対応する圧力室２１８に設けられた圧電素子２３０の上部電極２６４に駆動電圧を印加することによって、圧電素子２３０及び振動板２６６が変形して圧力室２１８の容積が変化し、これに伴う圧力変化によりノズル連通路２２０を介してノズル開口２８０からインクが吐出される。
【００７１】
画像情報から生成されるドット配置データに基づいて各ノズル開口２８０に対応した圧電素子２３０の駆動を制御することにより、ノズル開口２８０からインク滴を吐出させることができる。用紙Ｐ（図６参照）を一定の速度でＹ方向に搬送しながら、その搬送速度に合わせて各ノズル開口２８０からのインク吐出タイミングを制御することによって、用紙上に所望の画像を記録することができる。
【００７２】
図示は省略するが、各ノズル開口２８０に対応して設けられている圧力室２１８は、その平面形状が概略正方形となっており、対角線上の両隅部の一方にノズル開口２８０への流出口が設けられ、他方に供給インクの流入口（個別供給路）２１６が設けられている。
【００７３】
なお、圧力室の形状は、正方形に限定されない。圧力室の平面形状は、四角形（菱形、長方形など）、五角形、六角形その他の多角形、円形、楕円形など、多様な形態があり得る。
【００７４】
先に説明したインクジェットヘッド２００の「供給流路」には、図５に示すインク供給路２１４、圧力室２１８、ノズル連通路２２０、及び図３に示すインク供給室２３２が含まれる。
【００７５】
ノズル開口２８０及びノズル連通路２２０を含むノズル部２８１には、循環出口（不図示）が形成され、ノズル部２８１は循環出口を介して循環個別流路２２６と連通される。
【００７６】
ノズル部２８１のインクのうち、吐出に使用されないインクは循環個別流路２２６を介して循環共通流路２２８へ回収（循環）される。
【００７７】
循環共通流路２２８は、図５で説明したインク循環室２３６につながっており、循環個別流路２２６を通って常時インクが循環共通流路２２８へ回収されることにより、非吐出（非駆動）時におけるノズル部のインクの増粘が防止される。
【００７８】
先に説明したインクジェットヘッド２００の「循環流路」には、図５に示す循環個別流路２２６、循環共通流路２２８、及び図３に示すインク循環室２３６が含まれる。
【００７９】
なお、ノズル開口２８０（ノズル部２８１）の配置は、用紙Ｐの幅方向について一列に配置してもよいし、二列の千鳥配置でもよい。ノズル開口２８０から液体を吐出させる方式として、サーマル方式、静電方式など、他の吐出方式を適用することも可能である。
【００８０】
図６に示すマルチヘッド２０１は、複数のインクジェットヘッド２００を用紙Ｐの幅方向（Ｘ方向）に沿って一列に並べた構造を有している。インクジェットヘッド２００に付した枝番号（「−」（ハイフン）の後ろに付した整数）は、ｉ（１からｎの整数）番目のヘッドモジュールであることを表している。
【００８１】
各インクジェットヘッド２００のノズル面２７７には、図４に図示した複数のノズル開口２８０がマトリクス配置されている。
【００８２】
図６に図示したマルチヘッド２０１は、用紙Ｐの全幅Ｌｍａｘに対応する長さにわたって複数のノズル開口が配置されたフルライン型のインクジェットヘッド（シングルパス・ページワイドヘッド）である。
【００８３】
なお、本例に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０による洗浄処理は、液体の供給流路及び循環流路を具備するものであれば、用紙Ｐの幅に満たない短尺のシリアルヘッドの用紙Ｐの幅方向への走査、用紙Ｐの幅方向と直交する方向への用紙Ｐの間欠搬送を組み合わせて、用紙Ｐの全面に印字を行うシリアルヘッドに適用してもよい。
【００８４】
（フローチャートの説明）
図７は、本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄方法の流れを示すフローチャートである。図１に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０は、以下に説明するフローチャートが適用される。
【００８５】
インクジェットヘッド２００を洗浄するにあたり、マルチヘッド２０１（図６参照）からインクジェットヘッド２００が取り外される。インクジェットヘッド２００は、供給口２５２Ａ（図１参照）及び循環口２５６Ａがジョイント（コネクタ）によってマルチヘッド２０１の供給管路２５２（図３参照）及び循環管路２５６と接続されているので、供給口２５２Ａ及び循環口２５６Ａと供給管路２５２及び循環管路２５６との接続を解除する。
【００８６】
マルチヘッド２０１から取り外されたインクジェットヘッド２００は、インクが入った状態である。
【００８７】
次に、インクジェットヘッド２００の電気回路と駆動回路基板との接続が解除される。インクジェットヘッド２００の電気回路は、フレキシブル基板を介して駆動基板と接合される。フレキシブル基板を駆動回路基板から取り外して（又はフレキシブル基板をインクジェットヘッド２００から取り外して）、インクジェットヘッド２００の電気回路と駆動回路基板との接続が解除される。
【００８８】
フレキシブル基板は、駆動回路基板に搭載されたコネクタと連結されるコネクタが取り付けられる態様では、フレキシブル基板に搭載されたコネクタにカバーを取り付けることで、インクジェットヘッド２００の洗浄処理の際に、フレキシブル基板に搭載されたコネクタへインク等が付着することを防止できる。
【００８９】
マルチヘッド２０１が搭載されるインクジェット記録装置の設置場所にインクジェットヘッド洗浄装置１０を設置して、装置の設置場所においてマルチヘッド２０１から取り外されたインクジェットヘッド２００の洗浄を行うことが可能である。
【００９０】
一方、専用の洗浄場所（洗浄工場）においてインクジェットヘッド２００の洗浄処理を行うと、インクジェットヘッドの設置場所に洗浄装置が載置できないといった、洗浄装置の大きさの制約がなく効率がよい場合がある。但し、洗浄工場へインクジェットヘッド２００を輸送する際に、輸送中のインクジェットヘッド２００の状態の悪化の防止を考慮した梱包、輸送方法を選択する必要がある。
【００９１】
例えば、インクジェットヘッド２００を保湿状態が維持された（保湿液が入れられた）容器に入れて、乾燥によるインクジェットヘッド２００の悪化を防止することや、緩衝剤を使用して振動によるインクジェットヘッド２００の故障を防ぐことなどが考えられる。
【００９２】
また、輸送中にインクジェットヘッド２００が収納される容器に湿度センサを備えて、輸送中のインクジェットヘッド２００の環境湿度を監視することや、輸送中にインクジェットヘッド２００が収納される容器への衝撃を測定する衝撃センサ（ショックセンサ）を備えて、輸送中のインクジェットヘッド２００に加えられる衝撃を監視することが考えられる。
【００９３】
さらに、ノズル面２７７に保護カバーを取り付けて、輸送中のノズル面２７７の傷付きや破損を防止すること、弁付きのチューブの使用、チューブへのクリップの取り付け、チューブの先端へのプラグの取り付けなどによるインク漏れを防止することが考えられる。
【００９４】
インクジェットヘッド２００の洗浄方法（洗浄処理）が開始されると（図７のステップＳ１０）、インクジェットヘッド２００の内部流路のインクが洗浄液に置換される（置換工程：ステップＳ１２）。具体的には、インクジェットヘッド洗浄装置１０（図１参照）に、インクジェットヘッド２００が取り付けられ（インクジェットヘッド２００を固定保持する固定保持部材を用いてインクジェットヘッド２００が固定され）、インクジェットヘッド２００の循環口２５６Ａに第１流路２０のジョイント２０Ａが取り付けられ、供給口２５２Ａに第２流路３０のジョイント３０Ａが取り付けられ、第３ポンプ１７を動作させて洗浄液タンク１６からキャップ部１４へ洗浄液が供給され（第１洗浄液供給工程）、インクジェットヘッド２００のノズル面２７７を洗浄液に浸漬させる。
【００９５】
なお、予めキャップ部１４へ洗浄液を供給しておき、キャップ部１４に洗浄液が満たされた状態でインクジェットヘッド２００をインクジェットヘッド洗浄装置１０へ取り付けてもよい。
【００９６】
そして、第１ポンプ２２を動作させて、ノズル部２８１（図５参照）からインクジェットヘッド２００の内部流路へ洗浄液が供給され、ノズル部２８１から循環流路を介して循環口２５６Ａへ向かう洗浄液の流れを作り出す（第１洗浄液送液工程）。また、第２ポンプ３２を動作させて、供給口２５２Ａから供給流路を介してノズル部２８１への洗浄液の流れを作り出す（第２洗浄液送液工程）。
【００９７】
ノズル部２８１から循環口２５６Ａへの洗浄液の流れ、及び供給口２５２Ａからノズル部２８１への洗浄液の流れによって、インクジェットヘッド２００の供給流路のインク及び循環流路のインクが循環口２５６Ａへ移動して、循環口２５６Ａからインクジェットヘッド２００の外部へ排出される。そして、インクジェットヘッド２００の供給流路のインク及び循環流路のインクは洗浄液へ置き換えられる。
【００９８】
第１ポンプ２２の圧力設定値、動作期間、及び第２ポンプ３２の圧力設定値、動作期間は、インクジェットヘッド２００の内部流路の流路抵抗、インクジェットヘッド２００に収容される洗浄液の体積（インクジェットヘッド２００の内部流路の容積）、インクジェットヘッド２００の状態、洗浄液の物性、インクジェットヘッド２００へ与えるダメージ等の条件によって適宜決められる。
【００９９】
第１ポンプ２２の圧力設定値を相対的に上げると、第１ポンプ２２の動作期間を相対的に短くすることができる。同様に、第２ポンプ３２の圧力設定値を相対的に上げると、第２ポンプ３２の動作期間を相対的に短くすることができる。
【０１００】
本例では、置換工程における第１ポンプ２２の圧力設定値をマイナス２５キロパスカル、第１ポンプ２２の動作期間を３分、第２ポンプ３２の圧力設定値を２０キロパスカル、第２ポンプ３２の動作期間を３分としている。
【０１０１】
ここで、圧力設定値の「プラス（正）」は、インクジェットヘッド２００へ液体を流入させる圧力の方向を意味し、圧力設定値の「マイナス（負）」は、インクジェットヘッド２００から液体を排出させる圧力の方向を意味している。すなわち、インクジェットヘッド２００を基準として、インクジェットヘッド２００へ液体を流入させる圧力の方向が「プラス」とされ、インクジェットヘッド２００から液体を排出させる圧力の方向が「マイナス」とされる。
【０１０２】
先に説明したように、インク循環室２３６に設けられるフィルタ２３６Ａには穴が形成されているので、ノズル部（図５に符号２８１を付して図示）から循環口２５６Ａまでの流路抵抗値は、供給口２５２Ａからノズル部までの流路抵抗値未満となっている。
【０１０３】
したがって、第１ポンプ２２の圧力設定値の絶対値を、第２ポンプ３２の圧力設定値の絶対値以上とすることで、単位時間あたりに循環口２５６Ａから排出される洗浄液の体積が、単位時間あたりに供給口２５２Ａから流入されるインクの体積を超えるので、単位時間あたりに循環口２５６Ａから排出されるインクから単位時間あたりに供給口２５２Ａからインクジェットヘッド２００へ流入される洗浄液の体積を減算した体積の洗浄液が、単位時間にキャップ部１４からノズル開口（図５に符号２８０を付して図示）を介してインクジェットヘッドの内部（ノズル部）へ吸い込まれる。
【０１０４】
さらに、第１ポンプ２２の圧力設定値の絶対値を、第２ポンプ３２の圧力設定値の絶対値を超える値とすることで、第１ポンプ２２の圧力設定値の絶対値と第２ポンプ３２の圧力設定値の絶対値とを同じ値にした場合に比べて、ノズル部からインクジェットヘッド２００の内部へ吸い込まれる洗浄液の単位時間あたりの体積を増やすことができ、ノズル部のインクが効率よく洗浄液へ置換され、ノズル部の洗浄における高い洗浄効果を得ることができる。
【０１０５】
さらにまた、第１ポンプ２２の圧力設定値の絶対値から第２ポンプ３２の圧力設定値の絶対値を減算した値を相対的に大きくすることで、単位時間あたりにノズル部からインクジェットヘッド２００の内部へ吸い込まれる洗浄液の体積を相対的に増加させることができる。
【０１０６】
本例では、第１ポンプ２２の圧力設定値の絶対値が、第２ポンプ３２の圧力設定値の絶対値の１．２５倍としている。インクジェットヘッド２００から排出させる液体の圧力（第１ポンプ２２の圧力設定値）と、インクジェットヘッド２００へ流入する液体の圧力（第２ポンプ３２の圧力設定値）との圧力差が相対的に小さい場合に、ノズル部からの液体の吸い込み量が相対的に少なくなるので、インクジェットヘッド２００から排出させる液体の圧力と、ノズル部からの液体の吸い込み量としてある程度の量を確保するという観点から、インクジェットヘッド２００へ流入する液体の圧力との圧力差をある程度大きくしておく必要がある。
【０１０７】
そこで、ノズル部からの効率のよい洗浄液の吸い上げの観点、インクジェットヘッド２００の内部流路を通過する洗浄液の流速が洗浄に適した一定以上の流速となる観点から、第１ポンプ２２の圧力設定値の絶対値を第２ポンプ３２の圧力設定値の絶対値の１倍を超え３倍以下とする態様が好ましい。
【０１０８】
置換工程において、キャップ部１４内の洗浄液が減少して、予め決められた下限値以下になると、第３ポンプ１７を動作させて洗浄液タンク１６からキャップ部１４へ洗浄液が供給される。
【０１０９】
洗浄液は、異物除去性能（例えば、インク固化物を溶解させる性能）がより高いものが好ましい。但し、異物除去性能が高い洗浄液がインクと接触した際に凝集等が発生する場合は、インクから緩衝液（インクと接触しても凝集等が発生しない性質の液体、例えば、洗浄液の濃度を下げた液体（洗浄液を希釈した液体））に置換し（緩衝液置換工程）、緩衝液から洗浄液に置換される（洗浄液置換工程）。
【０１１０】
置換工程（ステップＳ１２）によって、インクジェットヘッド２００の内部流路のインクが洗浄液に置換されると、第２ポンプ３２を停止させ、ノズル部２８１の洗浄が実行される（ノズル部洗浄工程：ステップＳ１４）。
【０１１１】
ノズル部洗浄工程では、第１ポンプ２２を動作させてノズル部２８１から循環口２５６Ａへ向かう洗浄液の流れによってノズル部２８１に付着した異物が除去される。ノズル部洗浄工程における第１ポンプ２２の圧力設定値、動作期間は、インクジェットヘッド２００の内部流路の流路抵抗、インクジェットヘッド２００の内部流路の容積、インクジェットヘッドの状態（汚れの程度）によって適宜設定される。また、ノズル部洗浄工程洗浄液に超音波振動を付加する超音波振動付加工程が含まれていてもよい。
【０１１２】
本例では、ノズル部洗浄工程における第１ポンプ２２の圧力設定値はマイナス５０キロパスカル以上マイナス２０キロパスカル以下とされる。また、第１ポンプ２２の動作期間の設定値は１分以上１０分以下とされる。特に、インクジェットヘッド２００の吐出状態が悪い場合（汚れている場合）は、第１ポンプ２２の圧力設定値はマイナス１００キロパスカル以上マイナス５０キロパスカル未満の範囲で適宜調整される。
【０１１３】
但し、第１ポンプ２２の圧力設定値がマイナス５０キロパスカル以下にされると、インクジェットヘッドに与えられるダメージが大きくなる。そこで、第１ポンプ２２の動作期間がより短期間に設定される。第１ポンプ２２の圧力設定値がマイナス１００キロパスカルに設定される場合は、第１ポンプ２２の動作期間は３０秒以下に設定される。
【０１１４】
このようにして、インクジェットヘッドの吐出状態に応じて、第１ポンプ２２の圧力設定値、動作期間が設定される。
【０１１５】
ノズル部洗浄工程において、キャップ部１４内の洗浄液が減少して、予め決められた下限値以下になると、第３ポンプ１７を動作させて洗浄液タンク１６からキャップ部１４へ洗浄液が供給される。
【０１１６】
次に、インク固化物を溶解させるインク固化物溶解工程（ステップＳ１６）が実行される。インク固化物溶解工程では、第１ポンプ２２及び第２ポンプ３２を停止させて洗浄液の流れを停止させ、ノズル部２８１、循環流路（供給流路）に付着したインク固化物を洗浄液に溶解させる。
【０１１７】
本例では、ノズル部洗浄工程（ステップＳ１４）において第２ポンプ３２を停止させているので、ノズル部２８１に対してノズル部洗浄工程の実行中に、供給流路に対してインク固化物溶解工程（ステップＳ１６）が実行されている。
【０１１８】
インク固化物溶解工程の実行期間は、ノズル部２８１が汚れている場合には相対的に長く設定され、ノズル部２８１の汚れが軽度の場合には、相対的に短く設定される。また、循環流路、供給流路の汚れの程度を加味してインク固化物溶解工程の実行期間を設定するとよい。
【０１１９】
インク固化物溶解工程の実行期間は、数分から１日（２４時間）程度に設定することができる。本例では、ノズル部２８１及び循環流路に対するインク固化物溶解工程の実行期間は５分に設定される。
【０１２０】
次に、異物排出工程（ステップＳ１８）が実行される。異物排出工程では、第１ポンプ２２及び第２ポンプ３２を動作させて、ノズル部２８１、供給流路、循環流路から除去された異物を循環口２５６Ａから排出させる。
【０１２１】
異物排出工程では、すでに洗浄液に取り込まれている異物（洗浄液に溶解している物質、洗浄液に浮遊している物質）を洗浄液の流れによって循環口２５６Ａへ移動させるので、第１ポンプ２２の圧力設定値、第２ポンプ３２の圧力設定値を置換工程における第１ポンプ２２の圧力設定値以上、第２ポンプ３２の圧力設定値以下に設定することができる。
【０１２２】
本例では、異物排出工程における第１ポンプ２２の圧力設定値はマイナス２５キロパスカル（置換工程における第１ポンプ２２の圧力設定値と同じ設定値）、異物排出工程における第２ポンプ３２の圧力設定値は２０キロパスカル（置換工程における第２ポンプ３２の圧力設定値と同じ設定値）とされる。
【０１２３】
また、異物排出工程における第１ポンプ２２の動作期間、第２ポンプ３２の動作期間は、インクジェットヘッド２００に収容される洗浄液の体積によって設定される。すなわち、インク固化物溶解工程において、インクジェットヘッド２００のノズル部２８１及び内部流路に収容されている洗浄液をすべて排出させることで、ノズル部洗浄工程において除去された異物、インク固化物溶解工程によって洗浄液に溶解させたインクを、インクジェットヘッド２００の外部へ排出させることができる。
【０１２４】
本例では、第１ポンプ２２の動作期間は５分、第２ポンプ３２の動作期間は５分に設定される。なお、第２ポンプ３２の動作期間は第１ポンプ２２の動作期間以下でよい（第１ポンプ２２の動作中に第２ポンプ３２を停止させてもよい）。
【０１２５】
異物排出工程が実行されると、ノズル部洗浄工程（ステップＳ１４）、インク固化物溶解工程（ステップＳ１６）、及び異物排出工程（ステップＳ１８）の一連の工程の処理回数が、予め設定された設定回数に達したか否かが判断される（処理回数判断工程：ステップＳ２０）。
【０１２６】
ステップＳ２０において、予め設定された設定回数に満たないと判断されると（Ｎｏ判定）、ステップＳ１４に進み、予め設定された設定回数に達するまでノズル部洗浄工程、インク固化物溶解工程、及び異物排出工程の一連の工程が実行される。
【０１２７】
一方、ステップＳ２０において、予め設定された設定回数に達したと判断されると（ＹＥＳ判定）、ステップＳ２２に進み、インクジェットヘッド２００の洗浄処理は終了される。
【０１２８】
洗浄処理を行う前に、インクジェットヘッド２００の状態を確認する工程（前検査工程）を含む態様が好ましい。前検査工程を含む態様によれば、インクジェットヘッド２００の洗浄前の状態に適した洗浄条件を設定することができる。
【０１２９】
前検査工程の例として、印字検査（インクジェットヘッド２００の吐出状態の検査）が挙げられる。洗浄処理前にインクジェットヘッド２００の吐出状態を把握することで、第１ポンプ２２の圧力設定値、動作期間、第２ポンプ３２の圧力設定値、動作期間などの設定を最適化することが可能である。
【０１３０】
印字検査には、インクジェットヘッド２００に検査用の駆動電圧を供給する検査用駆動電圧供給部、インクジェットヘッド２００から吐出させたインクを受ける検査用インク受容体、検査用インク受容体に付着したインク（ドット、ライン等）の位置、形状等を測定するインク測定部を具備する印字検査装置が適用される。
【０１３１】
前検査工程に適用可能な検査手法として、光学顕微鏡を用いたノズル面２７７の観察が挙げられる。シリコンによってノズル板２７５（図５参照）が形成されているインクジェットヘッドでは、赤外線顕微鏡を用いたノズル部２８１、及び内部流路の観察が挙げられる。
【０１３２】
さらに、Ｘ線を透過させる材料でノズル板２７５が形成されている場合には、Ｘ線を用いたインクジェットヘッド２００のノズル部２８１、及び内部流路の観察が挙げられる。
【０１３３】
インクジェットヘッド２００の吐出異常の発生ノズル数が相対的に多い場合は、第１ポンプ２２の圧力設定値は相対的に小さくされ、第２ポンプ３２の圧力設定値は相対的に大きく設定され、第１ポンプ２２の動作期間、第２ポンプ３２の動作期間は相対的に長く設定される。
【０１３４】
一方、インクジェットヘッド２００の吐出異常の発生ノズル数が相対的に少ない場合は、第１ポンプ２２の圧力設定値は相対的に大きくし、第２ポンプ３２の圧力設定値は相対的に小さく設定され、第１ポンプ２２の動作期間、第２ポンプ３２の動作期間は相対的に短く設定される。
【０１３５】
洗浄処理後にインクジェットヘッド２００の状態を確認する工程（後検査工程）を含む態様が好ましい。前検査工程の検査結果と後検査工程の検査結果とを照合して、洗浄が十分であるか、洗浄条件の設定が適切であるかを判断することができる。
【０１３６】
（作用効果の説明）
上記の如く構成されたインクジェットヘッド洗浄装置１０、及びインクジェットヘッド洗浄方法によれば、ノズル部２８１と連通される循環流路を具備し、循環流路を介してノズル部２８１と連通される循環口２５６Ａを具備する構造を有するインクジェットヘッド２００のノズル部２８１を洗浄する際に、ノズル部２８１（ノズル開口２８０）から循環流路を介して循環口２５６Ａへ洗浄液を流し、循環口２５６Ａから洗浄液を排出させるので、仮に、循環流路に異物が残留してしまった場合でも、インクジェットヘッド２００の使用状態（ノズル開口２８０からインクを吐出させる状態）において、循環流路はノズル部２８１から循環口２５６Ａへ向かうインクの流れが発生するので、循環流路に残留した異物がノズル部２８１へ戻ることがない。
【０１３７】
したがって、循環流路に残留した異物がノズル部２８１へ移動したことに起因する吐出異常の発生が回避される。
【０１３８】
超音波振動させた洗浄液を用いることで、洗浄効率を向上させることができ、洗浄処理に要する期間を短縮化することができる。キャップ部１４に洗浄液が供給された後にキャップ部１４の洗浄液に超音波振動を付与してもよいし、インクジェットヘッド２００内に洗浄液を供給した後に、インクジェットヘッド２００に具備される圧電素子２３０（図５参照）を用いて、インクジェットヘッド２００内の洗浄液に超音波振動を付与してもよい。
【０１３９】
洗浄液に超音波振動を付与する期間は、キャップ部１４又はインクジェットヘッド２００へ洗浄液が供給された後、洗浄液が排出されるまでの任意の期間とすることができる。
【０１４０】
一般に、洗浄液の温度が高いほど、洗浄液のインク固化物を溶解させる能力が高くなるので高い洗浄効果を得ることができる。したがって、洗浄液が接触する部材に影響を与えない範囲で洗浄液の温度を高くすることが好ましい。
【０１４１】
インクジェットヘッド２００の外側面（ノズル面２７７など）に付着した汚れ（インク等）を予め除去しておくことで、インクジェットヘッド２００の外側面に付着した汚れが洗浄液に混入し、洗浄液の汚れがノズル部２８１（インクジェットヘッド２００の内部流路）に入り込むことが防止される。
【０１４２】
また、キャップ部１４内の洗浄液の正常状態を維持するために、フィルタ１８を通してキャップ部１４へ洗浄液が供給される、キャップ部１４から洗浄液をオーバーフローさせる、キャップ部１４とインクジェットヘッド２００（ノズル面２７７）との距離を調整してキャップ部１４とインクジェットヘッド２００（ノズル面２７７）との隙間をなくす、などの対応が好ましい。
【０１４３】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態について説明する。以下に説明する第２実施形態において、第１実施形態と同一又は類似する部分には同一の符号を付し、その説明は省略する。また、以下の説明において説明を省略した構成は、第１実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置１０の構成が適用可能である。
【０１４４】
（全体構成の説明）
図８は、第２実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置１０Ａの全体構成図である。同図に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０Ａは、図１に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０に対して、洗浄液の置換液として機能する純水が貯留される純水タンク７０（置換液供給部の一例）、第２流路３０に設けられる切換弁７２（切換部）、洗浄液タンク１６と連通される第４流路７４、及び純水タンク７０と連通される第５流路７６（置換液供給部の一例）が追加される。
【０１４５】
また、第２流路３０に第３流路１５が接続される。第２流路３０は他方の端に切換弁７２が取り付けられ、第３流路１５との接続部と切換弁７２との間にフィルタ３４が配置されている。フィルタ３４は、第２流路３０及び第３流路１５のフィルタを兼用している。
【０１４６】
切換弁７２は、制御信号に基づいて連通させるポートが切り換えられる三方弁が適用される。切換弁７２は、コモンポート７２Ａに第２流路３０の他方の端が接続され、第１ポート７０Ｂに第４流路７４の一方の端が接続され、第２ポート７２Ｃに第５流路７６の一方の端が接続される。切換弁７２は、第２流路３０と第４流路７４とを連通させるか、第２流路３０と第５流路７６とを連通させるかを切り換える手段として機能する。
【０１４７】
第２流路３０と第４流路７４とを連通させると、第２流路３０へ洗浄液タンク１６から洗浄液が供給され、第２流路３０と第５流路７６とを連通させると、第２流路３０へ純水タンク７０から純水が供給される。
【０１４８】
（制御系の説明）
図９は、図８に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０Ａにおける制御系の概略構成を示すブロック図である。図９に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０Ａの制御系は、図２に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０の制御系に対して、バルブ制御部７８が追加されている。
【０１４９】
バルブ制御部７８は、システム制御部５０から送出される指令信号に基づいて切換弁７２の動作を制御する。すなわち、第２流路３０（図８参照）を介してインクジェットヘッド２００の供給口２５２Ａ、及びノズル開口２８０（図５参照）からインクジェットヘッド２００の内部流路へ洗浄液が供給される場合は、コモンポート７２Ａと第１ポート７０Ｂとを連通させ、インクジェットヘッド２００の内部流路へ純水が供給される場合は、コモンポート７２Ａと第２ポート７２Ｃとを連通させる。
【０１５０】
（フローチャートの説明）
図１０は、第２実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄方法の流れを示すフローチャートである。図１０に示すフローチャートでは、図７に示すフローチャートに対して、処理回数確認工程（ステップＳ２０）の後であり、終了工程（ステップＳ２２）の前に、置換液置換工程（ステップＳ２４）が追加されている。
【０１５１】
インクジェットヘッド２００のノズル部２８１、及び内部流路に洗浄液が残留した状態でインクジェットヘッド２００をマルチヘッド２０１に取り付けると、マルチヘッド２０１が搭載されるインクジェット記録装置に洗浄液が流出してしまう。
【０１５２】
インクジェット記録装置の内部（例えば、記録媒体を搬送する搬送部）への洗浄液の流出が問題になる場合は、インクジェット記録装置の内部へ流出しても問題とならない（洗浄液が付着した部材に破損等が発生しない）性質を有する液体である、純水、インク等の置換液に洗浄液が置換される。
【０１５３】
また、インクジェット記録装置のインクに洗浄液が混入すると、インクの色変化や、物性値の変動によりインク吐出に影響するある場合がある。このような問題を起こさない性質を有する液体である置換液に洗浄液が置換される。
【０１５４】
すなわち、図１０のステップＳ２０において、一連の処理回数が設定回数に達したと判断されると（ＹＥＳ判定）、ステップＳ２４（置換液置換工程）に進む。ステップＳ２４では、切換弁７２（図８参照）を動作させて第５流路７６と第２流路３０とを連通させ、第２ポンプ３２及び第３ポンプ１７を動作させて、純水タンク７０からインクジェットヘッド２００のノズル部２８１（図５参照）、及び内部流路へ純水が供給される。
【０１５５】
また、第１ポンプ２２を動作させて、インクジェットヘッド２００のノズル部２８１、及び内部流路の洗浄液を廃液タンク２４へ排出させる。第１ポンプ２２、第２ポンプ３２、及び第３ポンプ１７を一定期間動作させると、インクジェットヘッド洗浄装置１０のノズル部２８１、及び内部流路の洗浄液は純水に置換される。
【０１５６】
第１ポンプ２２の動作条件（圧力設定値、動作期間）、及び第２ポンプ３２の動作条件は、インクジェットヘッド２００の内部流路の流路抵抗、インクジェットヘッド２００の内部流路の容積に基づいて決められる。本例では、第１ポンプ２２の圧力設定値はマイナス２５キロパスカル、第２ポンプ３２の圧力設定値は２０キロパスカルに設定される。
【０１５７】
また、第１ポンプ２２の動作期間、及び第２ポンプ３２の動作期間は以下のとおりに設定される。まず、第１ポンプ２２、及び第２ポンプ３２を５分間動作させる。次に、第２ポンプ３２を停止させて第１ポンプ２２のみを５分間動作させる。
【０１５８】
次に、第１ポンプ２２、及び第２ポンプ３２を５分間動作させ、第２ポンプ３２を停止させて第１ポンプ２２のみを５分間動作させる。その後、第２ポンプ３２の停止を維持して第１ポンプ２２を５分間停止させる。第１ポンプ２２、及び第２ポンプ３２を停止させている期間において純水のよどみ部分を拡散させる。
【０１５９】
その後、第１ポンプ２２、及び第２ポンプ３２を５分間動作させ、第２ポンプ３２を停止させて第１ポンプ２２のみを５分間動作させ、第１ポンプ２２、及び第２ポンプ３２を５分間動作させ、第１ポンプ２２、及び第２ポンプ３２を停止させる。
【０１６０】
置換液置換工程が終了して、インクジェットヘッド２００のノズル部２８１及び内部流路の洗浄液が純水に置換されると、インクジェットヘッド洗浄処理は終了される（ステップＳ２２）。
【０１６１】
置換液置換工程において、キャップ部１４内の純水が減少して、予め決められた下限値以下になると、第３ポンプ１７を動作させて純水タンク７０からキャップ部１４へ純水が供給される。
【０１６２】
本例では、洗浄液の置換液として純水を例示したが、置換液は、インク、インクの溶媒成分など、インクジェット記録装置の内部へ流出しても問題とならない液体であればよい。
【０１６３】
（作用効果の説明）
第２実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置１０Ａ、及びインクジェットヘッド洗浄方法によれば、洗浄液を用いた洗浄の後に洗浄液が純水などの置換液に置換されるので、洗浄処理後のインクジェットヘッド２００がマルチヘッド２０１に取り付けられ、インクジェット記録装置に搭載された後に、装置内に流出すると問題が発生する洗浄液の装置内への流出が防止される。また、置換液が装置内に流出しても問題が発生しない。
【０１６４】
〔第３実施形態〕
（全体構成の説明）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。図１１は第３実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置に適用される気体供給装置（乾燥部の一例）の接続例を示す説明図であり、図１２は気体供給装置の他の接続例を示す説明図であり、図１３は加熱による乾燥処理を模式的に図示した説明図である。
【０１６５】
以下に説明する第３実施形態において、第１実施形態及び第２実施形態と同一又は類似する部分には同一の符号を付し、その説明は省略する。また、以下の説明において説明を省略した構成は、第１実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置１０（インクジェットヘッド洗浄方法）の構成、又は第２実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置１０Ａ（インクジェットヘッド洗浄方法）の構成が適用可能である。
【０１６６】
第３実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置１０Ｂ（インクジェットヘッド洗浄方法）では、インクジェットヘッド２００のノズル部２８１（図５参照）及び内部流路に乾燥処理が施される。
【０１６７】
図１１に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０Ｂは、洗浄液を用いてインクジェットヘッド２００を洗浄する構成に加えて、気体供給装置８０、気体供給装置８０とインクジェットヘッド２００（供給口２５２Ａ）とを接続させる気体供給流路８２、インクジェットヘッド２００の循環口２５６Ａに接続される気体排出流路８４、及び気体排出流路８４に設けられる気体排出ポンプ８６、第３圧力計８５が具備される。
【０１６８】
また、図１１では図示を省略するが、インクジェットヘッド洗浄装置１０Ｂは、図１又は図８に示した洗浄液を用いてインクジェットヘッド２００のノズル部２８１、及び内部流路を洗浄する構成が具備される。
【０１６９】
洗浄液を用いた洗浄がされ、洗浄液が置換液へ置換されると、インクジェットヘッド２００から置換液が排出され、キャップ部１４、第１流路２０、及び第２流路３０がインクジェットヘッド２００から取り外される。
【０１７０】
そして、インクジェットヘッド２００の供給口２５２Ａに気体供給流路８２（ジョイント８２Ａ）が取り付けられ、インクジェットヘッド２００の循環口２５６Ａに気体排出流路８４（ジョイント８４Ａ）が取り付けられ、さらに、気体供給用キャップ９０をノズル面２７７に密着させる。
【０１７１】
気体供給装置８０を動作させて気体供給流路８２へ気体を送り出し、気体排出ポンプ８６を動作させて負圧（インクジェットヘッド２００のノズル部２８１、及び内部流路の圧力を基準とする負圧）を発生させると、気体供給装置８０から送り出された気体は、供給口２５２Ａからインクジェットヘッド２００のノズル部２８１、及び内部流路へ供給され、インクジェットヘッド２００のノズル部２８１、及び内部流路に供給された気体は、循環口２５６Ａ、気体排出流路８４を介してインクジェットヘッド２００の外部へ排出される。
【０１７２】
図１１の気体供給流路８２の上側に図示した矢印線、及び気体排出流路８４の上側に図示した矢印線は、気体の流れ方向を表している。
【０１７３】
気体供給装置８０から送り出された気体によって、インクジェットヘッド２００のノズル部２８１、及び内部流路の湿気が除去される。気体供給装置８０からインクジェットヘッド２００へ供給される気体の一例として、ドライエア（乾燥気体）、窒素が挙げられる。
【０１７４】
ドライエアを供給する気体供給装置８０の例として、空気（大気）を乾燥させる（除湿する）乾燥部、送風ファン、送付口を含む構成が挙げられる。窒素を供給する気体供給装置８０の例として、窒素が貯留される窒素タンク、送風ファン、送付口、風向調整用のルーバーを含む構成が挙げられる。
【０１７５】
（他の態様の説明）
図１２に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０Ｃは、ノズル面２７７（ノズル開口２８０（図５参照））からインクジェットヘッド２００のノズル部２８１、及び内部流路へ気体を供給し、供給口２５２Ａ、及び循環口２５６Ａから気体を排出させる構成を有している。
【０１７６】
すなわち、図１２に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０Ｃは、気体供給装置８０に気体供給流路８２Ｂの一方の端が接続され、気体供給流路８２Ｂの他方の端に気体供給用キャップ９０が接続される。気体供給流路８２Ｂには加圧ポンプ８６Ａ、第４圧力計８５Ａが設けられる。
【０１７７】
インクジェットヘッド２００の循環口２５６Ａには第１気体排出流路８４Ｂ（ジョイント８４Ｄ）が接続され、インクジェットヘッド２００の供給口２５２Ａには第２気体排出流路８４Ｃ（ジョイント８４Ｅ）が接続される。
【０１７８】
加圧ポンプ８６Ａを動作させると、気体供給流路８２Ｂ、第１気体排出流路８４Ｂ、及び第２気体排出流路８４Ｃに矢印線で示す方向の気体の流れが生成される。気体供給装置８０から送り出された気体は、ノズル面２７７（ノズル開口２８０（図５参照））からインクジェットヘッド２００のノズル部２８１、及び内部流路へ供給され、インクジェットヘッド２００のノズル部２８１、及び内部流路から、循環口２５６Ａ（第１気体排出流路８４Ｂ）、及び供給口２５２Ａ（第２気体供給流路８２Ｃ）を介して排出される。
【０１７９】
図１１に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０Ｂの構成と、図１２に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０Ｃの構成とを組み合わせて、供給口２５２Ａから循環口２５６Ａへの気体の流れと、ノズル部２８１から循環口２５６Ａ（供給口２５２Ａ）への気体の流れとを選択的に生成する構成とすることが可能である。
【０１８０】
図１１に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０Ｂの構成と、図１２に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０Ｃの構成とを組み合わせた場合には、気体排出流路８４から第１気体排出流路８４Ｂを分岐させ、第１気体排出流路８４Ｂに制御弁（図１４に符号９８を付して図示）が取り付けられる。
【０１８１】
また、気体供給流路８２から第２気体排出流路８４Ｃが分岐され、第２気体排出流路８４Ｃに制御弁（図１４に符号９８を付して図示）が取り付けられる。
【０１８２】
図１、図８に示す第１流路２０、第１ポンプ２２などが洗浄液、気体の両方を使用することができるものであれば、図１、図８に示す第１流路２０、第１ポンプ２２等と、図１１に示す気体排出流路８４、気体排出ポンプ８６等とを兼用することができる。
【０１８３】
図１、図８に示す第１流路２０、第１ポンプ２２等と、図１１に示す気体排出流路８４、気体排出ポンプ８６等が兼用される態様では、第２流路３０を分岐させて気体供給装置８０と接続させ、第３流路１５を分岐させて気体供給装置８０と接続させる。
【０１８４】
（加熱による乾燥処理の説明）
次に、洗浄液を用いた洗浄後のインクジェットヘッド２００に対する加熱による乾燥処理について説明する。
【０１８５】
図１３に示すように、インクジェットヘッド２００をオーブン９２（置換液供給部の一例、加熱装置）の中に入れ、インクジェットヘッド２００に対して加熱処理を施して、インクジェットヘッド２００のノズル部２８１（図５参照）及び内部流路を乾燥させる。
【０１８６】
オーブン９２の乾燥条件（温度、相対湿度、動作期間等）は、インクジェットヘッド２００の乾燥状態を考慮して適宜決められる。本例におけるオーブン９２の乾燥条件は、温度が４０℃、相対湿度が１０％（ＲＨ）以下、動作期間が２４時間とされる。
【０１８７】
（他の乾燥処理の説明）
気体を用いた乾燥処理、加熱による乾燥処理の他に、チャンバーの内部圧力を大気圧未満（減圧（真空）状態）として、インクジェットヘッド２００に対して真空乾燥を施すことも可能である。また、複数の異なる乾燥処理を適宜組み合わせて、一連の乾燥処理とすることも可能である。
【０１８８】
（制御系の説明）
図１４は、第３実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置１０Ｂ，１０Ｃの制御系の概略構成を示すブロック図である。図１４中、図２、図９と同一又は類似する部分には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１８９】
図１４に示すように、システム制御部５０の指令信号に基づいて、乾燥装置９４の動作が制御される。図１４に示す乾燥装置９４は、図１１、図１２に示す気体供給装置８０、図１３に示すオーブン９２、不図示の真空チャンバーが含まれる。
【０１９０】
図１４に示すポンプ９６は、図１、図８に示す第１ポンプ２２、第２ポンプ３２、第３ポンプ１７、及び図１１に示す気体排出ポンプ８６、図１２に図示した加圧ポンプ８６Ａが含まれる。
【０１９１】
また、図１４に示すバルブ９８は、図８に示す切換弁７２、図１１に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０Ｂの構成と、図１２に示すインクジェットヘッド洗浄装置１０Ｃの構成とを組み合わせた態様における、第１気体排出流路８４Ｂ、及び第２気体供給流路８２Ｃに取り付けられる不図示の制御弁が含まれる。
【０１９２】
（フローチャートの説明）
図１５は、第３実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄方法のフローチャートである。図１５中、図７及び図１０と同一又は類似する部分には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１９３】
図１５に示すフローチャートでは、図１０の置換液置換工程（ステップＳ２４）の後であり、終了工程（ステップＳ２２）の前に乾燥工程（ステップＳ２６）が追加されている。
【０１９４】
ステップＳ２４において、洗浄液が純水に置換されると乾燥処理工程が実行される。乾燥処理工程では、まず、供給口２５２Ａ（図１１参照）から気体を供給して、インクジェットヘッド２００の内部流路に収容されている純水を循環口２５６Ａから排出させる。
【０１９５】
インクジェットヘッド２００の内部流路に収容されている純水を排出させる際の気体排出ポンプ８６の圧力設定値は３０キロパスカルとされ、気体排出ポンプ８６の動作期間は５分とされる。
【０１９６】
次に、ノズル面２７７（図１２参照）から気体を供給して、ノズル部２８１（図５参照）に収容される純水を循環口２５６Ａから排出させる。ノズル部２８１に収容される純水を排出させる際の加圧ポンプ８６Ａの圧力設定値は３０キロパスカルとされ、加圧ポンプ８６Ａの動作期間は５分とされる。
【０１９７】
次に、ノズル部２８１へ気体が供給される。ノズル部２８１へ気体が供給される際の加圧ポンプ８６Ａの圧力設定値は３０キロパスカルとされ、加圧ポンプ８６Ａの動作期間は２０分とされる。
【０１９８】
その後、インクジェットヘッド２００のノズル部２８１のへの気体の供給が継続され、さらに、インクジェットヘッド２００の供給口２５２Ａから内部流路へ気体が供給される。供給口２５２Ａから内部流路へ気体が供給される際の気体排出ポンプ８６の圧力設定値、加圧ポンプ８６Ａの圧力設定値は３０キロパスカルとされ、気体排出ポンプ８６の動作期間、加圧ポンプ８６Ａの動作期間は６０分とされる。
【０１９９】
気体を用いた乾燥処理の後に、インクジェットヘッド２００をオーブン９２（図１３参照）に入れ、加熱による乾燥処理が施される。一連の乾燥処理が終了されると、ステップＳ２２に進み、インクジェットヘッド２００の洗浄処理は終了される。
【０２００】
（作用効果の説明）
第３実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄装置１０Ｂ，１０Ｃ、及びインクジェットヘッド洗浄方法によれば、洗浄液を用いた洗浄処理後にインクジェットヘッド２００のノズル部２８１、及び内部流路を乾燥させることで、洗浄液を用いた洗浄処理後のインクジェットヘッド２００の長期間の保管が可能である。
【０２０１】
〔ポンプを用いた送液の他の態様の説明〕
図１６は、ポンプを用いた送液の他の態様の説明図である。ポンプ（図１に示す第１ポンプ２２等）による送液は、ポンプの中に液体を通過させる構成であり、直接ポンプが用いられている。一方、図１６に示す構成では、ポンプ３２Ａ（図１の第２ポンプ３２、第３ポンプ１７に相当する構成）を用いて洗浄液タンク１６の内部を加圧して（ポンプ３２Ａの中に洗浄液を通過させずに）、洗浄液タンク１６から洗浄液を送り出している。
【０２０２】
なお、図１６では、第２流路３０に第２圧力計３１が配置される態様を例示しているが、ポンプ３２Ａと洗浄液タンク１６との間に第２圧力計３１が配置されてもよい。
【０２０３】
洗浄液タンク１６から第２流路３０へ洗浄液を送る場合は制御弁３３が開かれ、洗浄液タンク１６から第３流路１５へ洗浄液を送る場合は制御弁１９が開かれる。
【０２０４】
図１６に示すポンプ３２Ａの加圧方式は、タンクが接続される流路に対して適宜適用することが可能である。
【０２０５】
〔第４実施形態〕
（全体構成の説明）
次に、本発明の第４実施形態について説明する。図１７は、第４実施形態に係るインクジェットヘッド洗浄方法（装置）の説明図である。図１７中、図１から図１６に示した部分には同一の符号を付し、その説明は省略する。また、図１７では、インクジェットヘッド２００の一部の図示が省略されている。
【０２０６】
以下に説明するインクジェットヘッド洗浄方法では、マルチヘッド２０１がインクジェット記録装置（不図示）に搭載された状態で、マルチヘッド２０１を構成するインクジェットヘッド２００の洗浄が実行される。
【０２０７】
図１７に示すマルチヘッド２０１は、インクジェットヘッド２００の供給管路２５２が供給管２０２と接続され、循環管路２５６が回収管２０３と接続される。インクジェットヘッド２００は、供給管路２５２、及び循環管路２５６の取り外しが可能である。
【０２０８】
供給管路２５２、及び循環管路２５６は、インクジェットヘッド２００との接続部分を閉じることが可能な構造を有しており、インクジェットヘッド２００が取り外された際のインク漏れを防止できる。なお、インクジェットヘッド２００を取り外す際には、インクの循環を停止させる。
【０２０９】
洗浄対象のインクジェットヘッド２００は、供給管路２５２、及び循環管路２５６が取り外され、インクジェットヘッド洗浄装置（図１、８等参照）が取り付けられ、洗浄処理が実行される。
【０２１０】
洗浄処理は、第１実施形態から第３実施形態に示したインクジェットヘッド洗浄装置、方法（図１３に図示したオーブン９２を用いた加熱乾燥、不図示の真空乾燥を除く）が適用されるので、ここでは説明を省略する。
【０２１１】
図１７に符号２０４を付して一点破線により図示した供給管路２５２、及び循環管路２５６の位置に洗浄装置を取り付ける構造を備える場合には、マルチヘッド２０１からインクジェットヘッド２００を取り外すことなく、インクジェットヘッド２００の洗浄処理が実行可能である。
【０２１２】
図１８は、供給管路２５２、及び循環管路２５６に設けられたインクジェットヘッド洗浄装置への取付構造の一例を示す説明図である。同図に示すインクジェットヘッド洗浄装置への取付構造は、供給管路２５２に取り付けられた分岐管２５２Ｂ、弁２５２Ｃ、循環管路２５６に取り付けられた分岐管２５６Ｂ、弁２５６Ｃを含んで構成される。
【０２１３】
例えば、図１のインクジェットヘッド洗浄装置１０を取り付ける場合は、図１８の弁２５２Ｃ，２５６Ｃを閉じ、分岐管２５２Ｂに図１の第２流路３０が接続され、図１８の分岐管２５６Ｂに図１の第１流路２０が接続される。
【０２１４】
図１９（ａ）は、マルチヘッド２０１に保湿用キャップ２０６が装着された状態を示す模式図であり、図１９（ｂ）は、インクジェットヘッド２００に洗浄用キャップ２０７が装着された状態を示す模式図である。
【０２１５】
また、図２０は、図１９（ｂ）に示す洗浄用キャップ２０７が装着できないマルチヘッドに適用される洗浄用キャップ２０７がインクジェットヘッド２００に装着された状態を示す模式図である。
【０２１６】
インクジェットヘッド２００の洗浄処理は、印刷処理実行前、印刷処理待機中、段取り替え中、印刷処理実行後に実行される。そうすると、図１９（ａ）に示すように、マルチヘッド２０１は保湿用キャップ２０６が装着されている。
【０２１７】
そこで、インクジェットヘッド２００の洗浄処理が実行される際に、保湿用キャップ２０６をマルチヘッド２０１から取り外し、図１９（ｂ）に示す洗浄用キャップ２０７がインクジェットヘッド２００のノズル面２７７に装着される。
【０２１８】
一方、洗浄非対象のインクジェットヘッド２００のノズル面２７７には、保湿用キャップ２０８が装着される。保湿用キャップ２０８に代わり、インクに対する耐久性を有するシートをインクジェットヘッド２００のノズル面２７７に張り付けてもよい。例えば、インクに対する耐久性を有するシートとして、ポリイミド製のシートを適用することができる。
【０２１９】
マルチヘッド２０１から保湿用キャップ２０６を取り外す際に、マルチヘッド２０１を移動させてもよいし、保湿用キャップ２０６を移動させてもよい。
【０２２０】
図２０は、洗浄用キャップの他の態様の説明図である。同図に示す洗浄用キャップ２０７Ａは、マルチヘッド２０１において隣接するインクジェットヘッド２００との間隔が狭く、ノズル面の外周よりも外側へ突出した形状（サイズ）の洗浄用キャップの取り付けが困難な場合に使用される。
【０２２１】
図２０に示す洗浄用キャップ２０７Ａは、ノズル面２７７の内側に収納される形状（サイズ）を有している。洗浄用キャップ２０７Ａのノズル面２７７と接触する部分（例えば、縁部）には、ノズル面２７７を傷付けることがない柔らかい材料（例えば、耐薬品性が高いシリコーンゴム）が適用される。
【０２２２】
本例に示すインクジェットヘッド洗浄装置及び方法は、複数のマルチヘッド２０１（例えば、色ごとのマルチヘッド）を備える装置にも適用可能である。
【０２２３】
洗浄処理中は装置を稼働させることができないので、インクジェットヘッド２００（マルチヘッド２０１）の乾燥を防止する必要がある。そこで、ポンプの圧力設定値を上げる、乾燥工程を省略するなどにより処理期間の短縮化を図り、装置の停止期間を短くすることが好ましい。
【０２２４】
〔洗浄液の説明〕
本例に示すインクジェットヘッド洗浄装置及び方法に適用される洗浄液は、水溶性有機溶剤、塩基性化合物、及びその他の添加物を含有する。洗浄液の具体例として、以下の組成が挙げられる。
【０２２５】
ジエチレングリコールモノブチルエーテル：２５．０質量パーセント
ジエチレングリコール：１０．０質量パーセント
イミダゾール：０．５質量パーセント
ベンゾトリアゾール：０．２質量パーセント
コロイダルシリカ：０．２質量パーセント
イオン交換水：残部
なお、本例に示すインクジェットヘッド洗浄装置及び方法に適用される洗浄液は上記の例に限定されず、使用されるインクに対応して含有される物質の変更、追加、削除が可能である。洗浄液が変更された場合には、洗浄処理に適用される条件、パラメータが適宜変更される。
【０２２６】
本明細書では、グラフィック用途のインクジェットヘッド２００の洗浄を例示したが、グラフィック用途のインクジェットヘッド（マルチヘッド）以外にも、機能性液体（金属インク等）を吐出させる工業用途のインクジェットヘッドの洗浄にも本発明を適用することが可能である。
【０２２７】
以上説明したインクジェットヘッド洗浄装置及び方法は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜変更、追加、削除をすることが可能である。また、上述した各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。
【０２２８】
〔本明細書が開示する発明〕
上記に詳述した発明の実施形態についての記載から把握されるとおり、本明細書は少なくとも以下に示す発明を含む多様な技術思想の開示を含んでいる。
【０２２９】
（第１態様）：ノズル開口が形成されたノズル面、ノズル開口を含むノズル部、ノズル部と連通される循環流路、循環流路と連通される循環口、ノズル部へ液体を供給する供給流路、供給流路と連通される供給口を具備するインクジェットヘッドを洗浄するインクジェットヘッド洗浄装置であって、インクジェットヘッドのノズル面を浸漬させる洗浄液が溜められるキャップ部と、インクジェットヘッドの循環口に接続される第１流路と、第１流路に設けられる第１ポンプと、洗浄液が貯留される洗浄液貯留部と、インクジェットヘッドの供給口に接続される第２流路であり、洗浄液が供給される第２流路と、第２流路に設けられる第２ポンプと、キャップ部に溜められた洗浄液を用いてノズル部を洗浄する際に、第１ポンプを動作させてキャップ部に溜められた洗浄液をノズル開口から循環流路、循環口を介して第１流路へ送り、第２ポンプを動作させて第２流路から供給口及び供給流路を介してノズル部へ洗浄液を送るポンプ制御部と、を備えたインクジェットヘッド洗浄装置。
【０２３０】
第１態様によれば、ノズル部から循環流路を介して循環口へ至る洗浄液の流れ、及び供給口から供給流路を介してノズル部へ至る洗浄液の流れを作ることで、ノズル部に存在する異物が循環流路、循環口を介して第１流路へ排出される。また、供給口からノズル部への洗浄液の流れによって、ノズル部に存在する異物が供給流路や供給口へ移動することがなく、異物の残存による吐出異常の発生が防止される。
【０２３１】
第１態様において、インクジェットヘッドを装置から取り外す取外工程、インクジェットヘッドを装置へ取り付ける取付工程を含む態様が可能である。
【０２３２】
（第２態様）：第１態様に記載のインクジェットヘッド洗浄装置において、キャップ部へ置換液を供給する置換液供給部と、キャップ部へ洗浄液供給部から洗浄液を供給するか、キャップ部へ置換液供給部から置換液を供給するかを選択的に切り換える切換部と、を備えている。
【０２３３】
第２態様によれば、洗浄液を用いた洗浄後に、ノズル部の洗浄液を置換液に置き換えることで、洗浄処理後のインクジェットヘッドを装置へ装着した際に、洗浄液の装置内への流出が防止される。
【０２３４】
（第３態様）：第１態様又は第２態様に記載のインクジェットヘッド洗浄装置において、インクジェットヘッドに乾燥処理を施す乾燥部を備えている。
【０２３５】
第３態様によれば、洗浄後にインクジェットヘッドに乾燥処理を施すことで、洗浄後のインクジェットヘッドの長期保存が可能である。
【０２３６】
（第４態様）：第３態様に記載のインクジェットヘッド洗浄装置において、乾燥部は、ノズル部から気体を供給する気体供給装置と、循環口に接続される気体排出流路と、気体排出流路に設けられる気体排出ポンプと、気体排出ポンプを制御して、ノズル部から循環口への気体の流れを生成する気体排出ポンプ制御部と、を具備している。
【０２３７】
第４態様によれば、ノズル部へ気体を供給することで、気体の流れによってノズル部の乾燥が促進される。
【０２３８】
第４態様の気体排出流路は第１態様の第１流路と兼用が可能である。また、第４態様の気体排出ポンプは第１態様の第１ポンプと兼用が可能である。さらに、第４態様の気体排出ポンプ制御部は第１態様のポンプ制御部と兼用可能である。
【０２３９】
（第５態様）：第３態様又は第４態様に記載のインクジェットヘッド洗浄装置において、インクジェットヘッドを加熱して乾燥させる加熱装置を具備している。
【０２４０】
第５態様によれば、加熱による乾燥処理を施すことで、インクジェットヘッドの供給流路、ノズル部、循環流路を含む内部流路を一括して乾燥させることが可能となる。
【０２４１】
（第６態様）：第１態様から第５態様のいずれかに記載のインクジェットヘッド洗浄装置において、洗浄液を超音波振動させる超音波振動付与部を備えている。
【０２４２】
第６態様によれば、洗浄液に超音波振動を付与することで、洗浄効果を向上させることが可能である。
【０２４３】
（第７態様）：第６態様に記載のインクジェットヘッド洗浄装置において、超音波振動付与部は、キャップ部内の洗浄液を超音波振動させる超音波振動素子を備えている。
【０２４４】
第７態様によれば、キャップ部内の洗浄液に超音波振動を付与することで、ノズル部から循環口までの洗浄効果を向上させることができる。
【０２４５】
（第８態様）：第６態様又は第７態様に記載のインクジェットヘッド洗浄装置において、超音波振動付与部は、インクジェットヘッドに具備される圧電素子に駆動電圧を供給して、圧電素子を超音波振動させる駆動電圧供給部を備えている。
【０２４６】
第８態様によれば、インクジェットヘッドに具備される圧電素子を用いてインクジェットヘッドの内部流路の洗浄液に超音波振動が付与されるので、インクジェットヘッドの内部流路の洗浄効果の向上が見込まれる。
【０２４７】
また、超音波振動を発生させる装置を別途用意することなく、洗浄液に超音波振動を付与することが可能である。
【０２４８】
（第９態様）：ノズル開口が形成されたノズル面、ノズル開口を含むノズル部、ノズル部と連通される循環流路、循環流路と連通される循環口、ノズル部へ液体を供給する供給流路、供給流路と連通される供給口を具備するインクジェットヘッドを洗浄するインクジェットヘッド洗浄方法であって、インクジェットヘッドのノズル面を浸漬させるキャップ部へ洗浄液が供給される第１洗浄液供給工程と、インクジェットヘッドの循環口に接続させる第１流路に設けられる第１ポンプを動作させてキャップ部に溜められた洗浄液がノズル部から循環流路、循環口を介して第１流路へ送られる第１洗浄液送液工程と、インクジェットヘッドの供給口に接続させる第２流路に設けられる第２ポンプを動作させて第２流路へ供給された洗浄液が供給口から供給流路を介してノズル部へ送られる第２洗浄液送液工程と、を含むインクジェットヘッド洗浄方法。
【０２４９】
第９態様によれば、ノズル部から循環流路を介して循環口へ至る洗浄液の流れ、及び供給口から供給流路を介してノズル部へ至る洗浄液の流れを作ることで、ノズル部に存在する異物が循環流路、循環口を介して第１流路へ排出される。また、供給口からノズル部への洗浄液の流れによって、ノズル部に存在する異物が供給流路や供給口へ移動することがなく、異物の残存による吐出異常の発生が防止される。
【０２５０】
第９態様において、キャップ部へ置換液を供給する置換液供給工程と、キャップ部へ洗浄液を供給するか、キャップ部へ置換液を供給するかを選択的に切り換える切換工程と、を含む態様が好ましい。
【０２５１】
第９態様において、インクジェットヘッドに乾燥処理を施す乾燥工程を含む態様が好ましい。
【０２５２】
第９態様において、乾燥工程は、ノズル部から循環口への気体の流れを生成する気流生成工程を含む態様が好ましい。
【０２５３】
第９態様において、インクジェットヘッドを加熱して乾燥させる加熱工程を含む態様が好ましい。
【０２５４】
（第１０態様）：第９態様に記載のインクジェットヘッド洗浄方法において、第１洗浄液送液工程、又は第２洗浄液送液工程において、洗浄液を超音波振動させる超音波振動付与工程が含まれる。
【０２５５】
第１０態様によれば、洗浄液に超音波振動を付与することで、洗浄効果を向上させることが可能である。
【０２５６】
第１０態様において、超音波振動付与工程は、キャップ部内の洗浄液を超音波振動させる態様が好ましい。
【０２５７】
第１０態様において、超音波振動付与工程は、インクジェットヘッドに具備される圧電素子に駆動電圧を供給して、圧電素子を超音波振動させる態様が好ましい。
【０２５８】
（第１１態様）：第９態様又は第１０態様に記載のインクジェットヘッド洗浄方法において、装置に搭載されたインクジェットヘッドに対して洗浄処理が施される。
【０２５９】
第１１態様によれば、インクジェットヘッドに洗浄処理を施す際に、インクジェットヘッドを取り外す必要がない。
【０２６０】
（第１２態様）：第９態様又は第１０態様に記載のインクジェットヘッド洗浄方法において、装置から取り外されたインクジェットヘッドに対して洗浄処理が施される。
【０２６１】
第１２態様によれば、装置から取り外されたインクジェットヘッドに対して洗浄処理が施されるので、洗浄処理が実施される場所等の制限が緩和される。
【符号の説明】
【０２６２】
１０、１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ…インクジェットヘッド洗浄装置、１４…キャップ部、１５…第３流路、１６…洗浄液タンク、１７…第３ポンプ、２０…第１流路、２２…第１ポンプ、３０…第２流路、３２…第２ポンプ、５０…システム制御部、５２…ポンプ制御部、５８…超音波振動発生部、７０…純水タンク、７２…切換弁、７６…第５流路、７８…バルブ制御部、８０…気体供給装置、８２，８２Ａ…気体供給流路、８４，８４Ｂ，８４Ｃ…気体排出流路、８６…気体排出ポンプ、８６Ａ…加圧ポンプ、９２…オーブン、９４…乾燥装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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