(57)【要約】【課題】配線基板を、導電性接着剤を用いて、圧電アクチュエータと流路構造体の両方と接合する際に、各接合部が、その接合後に再度加熱されてしまうことを防止して、接合部の熱劣化を抑制することにある。【解決手段】ＣＯＦ５１を、流路ユニット２０の第１部分２０ａに接合された圧電アクチュエータ２１と、流路ユニット２０の第２部分２０ｂとに、それぞれ、導電性接着剤６８を用いて接合する。その際、スクリーン印刷により、圧電アクチュエータ２１と流路ユニット２０の第２部分２０ｂとに、導電性接着剤６８ａ〜６８ｃを一度に形成する。次に、導電性接着剤６８ａ〜６８ｃを加熱しながら、ＣＯＦ５１を圧電アクチュエータ２１と流路ユニット２０に押圧することで、ＣＯＦ５１を圧電アクチュエータ２１と流路ユニット２０に同時に接合する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部が金属材料で形成され、複数のノズルを含む液体流路を有する流路構造体と、前記流路構造体の第１部分に設けられ、前記ノズル内の液体に吐出エネルギーを付与するエネルギー付与部と、前記エネルギー付与部に接続された配線部材と、を備え、
前記配線部材は、前記流路構造体の、前記エネルギー付与部が配置された前記第１部分から、金属材料で形成され、且つ、前記第１部分と隣接する第２部分まで跨って延在し、
前記配線部材の第１端子が前記エネルギー付与部の接続端子に接続され、前記配線部材の、一定電位が印加される第２端子が前記流路構造体の前記第２部分に接続された、液体吐出装置の製造方法であって、
前記流路構造体の前記第１部分に前記エネルギー付与部を接合する、エネルギー付与部接合工程と、
前記エネルギー付与部の前記接続端子と、前記流路構造体の前記第２部分とに、導電性接着剤を配置する、導電性接着剤配置工程と、
前記導電性接着剤を加熱しながら、前記配線部材を前記エネルギー付与部と前記流路構造体に押圧することで、前記配線部材を前記エネルギー付与部と前記流路構造体に同時に接合する、配線部材接合工程と、
を備えていることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
【請求項２】
前記導電性接着剤配置工程において、スクリーン印刷により、前記エネルギー付与部の前記接続端子と、前記流路構造体の前記第２部分に、前記導電性接着剤を一度に配置することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項３】
前記導電性接着剤配置工程において、前記流路構造体の前記第１部分から前記第２部分に向かう方向にスクリーン印刷を行い、前記エネルギー付与部の前記接続端子に前記導電性接着剤を配置してから、前記流路構造体の前記第２部分に前記導電性接着剤を配置することを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項４】
前記流路構造体の前記第１部分に配置される、前記エネルギー付与部の厚みが、１５０μｍ以下であることを特徴とする請求項２又は３に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項５】
前記導電性接着剤配置工程において、スクリーン印刷に使用するマスクに形成された、前記流路構造体の前記第２部分に前記導電性接着剤を配置するための穴は、前記エネルギー付与部の前記接続端子に前記導電性接着剤を配置するための穴よりも大きいことを特徴とする請求項２〜４の何れかに記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項６】
前記エネルギー付与部接合工程において、前記流路構造体の前記第１部分に、前記エネルギー付与部を接着剤で接合し、
前記エネルギー付与部接合工程の後に、前記第１部分から流れてきた接着剤が付着しうる、前記流路構造体の前記第２部分の少なくとも一部分において、前記第２部分の金属面を露出させる露出工程をさらに備え、
前記接合部形成工程において、前記第２部分のうちの、前記露出工程で前記金属面を露出させた部分に、前記導電性接着剤を配置することを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項７】
前記流路構造体を作製する流路構造体作成工程をさらに備え、
前記流路構造体作製工程において、前記流路構造体の、前記第２部分の内部に空間を形成し、
前記露出工程において、前記流路構造体の前記第２部分に、前記空間まで貫通する穴を形成して、前記穴の縁部において金属面を露出させ、
前記接続部形成工程において、少なくとも前記穴の縁部の金属面に接触するように前記第２接続部を形成することを特徴とする請求項６に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項８】
前記流路構造体は、金属材料で形成され、前記エネルギー付与部が設置される接合面を有する第１流路部材と、前記第１流路部材の、前記接合面と反対側の面に積層される第２流路部材とを含み、
前記流路構造体作製工程において、
前記第１流路部材のうちの、前記流路構造体の前記第２部分となる部分の、前記接合面とは反対側の面に、ハーフエッチングを行って凹部を形成し、
前記第１流路部材の、前記凹部が形成された面に、前記第２流路部材を接合することを特徴とする請求項７に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項９】
前記流路構造体作製工程において、
前記第１流路部材には、前記液体流路の一部を形成し、
前記第１流路部材の、前記接合面とは反対側の面に、前記第２流路部材との接合に使用する接着剤が前記液体流路の一部に流入しないように逃がす、凹状の第１接着剤逃がし部と、前記凹部とを、ハーフエッチングで同時に形成することを特徴とする請求項８に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項１０】
前記エネルギー付与部接合工程において、前記流路構造体の前記第１部分に、前記エネルギー付与部を接着剤で接合し、
前記流路構造体は、前記エネルギー付与部が設置される接合面を有する第１流路部材と、金属材料で形成され、且つ、前記第１流路部材の前記接合面と反対側の面に積層される第２流路部材とを含み、
前記流路構造体を作製する流路構造体作成工程をさらに備え、
前記流路構造体作製工程において、
前記第１流路部材の、前記流路構造体の前記第２部分となる部分に、貫通穴を形成し、
前記第２流路部材の前記第１流路部材と積層される面の、前記第１流路部材と積層されたときに前記貫通穴と重なる領域のうちの、前記第１部分側の領域に、凹状の第２接着剤逃し部を形成し、
前記第１流路部材と前記第２流路部材とを接合して、前記流路構造体を作製し、
前記エネルギー付与部接合工程において、
前記エネルギー付与部を、前記流路構造体の前記第１部分に接着剤で接合し、
前記導電性接着剤配置工程において、
前記第２流路部材の前記第１流路部材と積層される面の、前記貫通穴と重なる領域のうちの、前記第１接着剤逃し部に対して前記第１部分と反対側の領域に、前記導電性接着剤を配置することを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項１１】
前記流路構造体作製工程において、
前記第１流路部材の前記接合面とは反対側の面にのみ接着剤を付着させ、この接着剤により前記第１流路部材と前記第２流路部材とを接合することを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項１２】
前記導電性接着剤配置工程において、前記流路構造体の前記第２部分に、前記配線部材の前記第２端子との接合のための導電性接着剤とは別に、前記配線部材の接合を補強するための導電性接着剤を配置し、
前記配線部材接合工程において、前記導電性接着剤を加熱しながら、前記配線部材を前記エネルギー付与部と前記流路構造体に押圧することで、前記配線部材の前記第２端子を前記流路構造体の前記第２部分に接合し、且つ、前記配線部材の前記第２端子が形成されていない部分をも、前記流路構造体の前記第２部分に接合することを特徴とする請求項１〜１１の何れかに記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項１３】
前記配線部材接合工程の後に、前記流路構造体と前記配線部材との間に、封止材を充填する封止材充填工程をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜１２の何れかに記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項１４】
前記導電性接着剤配置工程において、前記流路構造体の前記第２部分に、前記エネルギー付与部の縁に沿って、前記導電性接着剤を連続的に配置することを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項１５】
前記導電性接着剤配置工程において、前記流路構造体の前記第２部分の、前記エネルギー付与部の縁に沿った複数の領域にそれぞれ前記導電性接着剤を配置して、接着剤列を形成し、
さらに、複数の前記接着剤列を、前記エネルギー付与部の縁と交差する方向に並べて形成し、
前記複数の接着剤列の間で、前記導電性接着剤の配列方向における配置位置をずらすことを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項１６】
少なくとも一部が金属材料で形成され、複数のノズルを含む液体流路を有する流路構造体と、
前記流路構造体の第１部分に設けられ、前記ノズル内の液体に吐出エネルギーを付与するエネルギー付与部と、
前記エネルギー付与部に接続された配線部材と、を備え、
前記配線部材は、前記流路構造体の、前記エネルギー付与部が配置された前記第１部分から、金属材料で形成され、且つ、前記第１部分と隣接する第２部分まで跨って延在し、
前記配線部材の第１端子が、導電性接着剤によって前記エネルギー付与部の接続端子に接続され、
前記配線部材の、一定電位が印加される第２端子が、導電性接着剤によって前記流路構造体の前記第２部分に接続され、
前記第２端子は、前記配線部材の端部に設けられており、
前記配線部材の、前記第２端子が設けられている端部が前記導電性接着剤で包まれていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１７】
前記配線部材の、前記第２端子が設けられている前記端部が、前記第１端子が設けられている部分よりも、前記流路構造体に近い位置にあることを特徴とする請求項１６に記載の液体吐出装置。
【請求項１８】
前記配線部材の、前記流路構造体と反対側に、前記配線部材の剥離を防止するための押さえ部材が配置され、
前記押さえ部材は、前記配線部材の、前記流路構造体の前記第２部分と接合される部分に配置される一方で、前記配線部材の、前記エネルギー付与部と対向する部分には接触していないことを特徴とする請求項１６又は１７に記載の液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置の製造方法、及び、液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出装置として、特許文献１には、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドが開示されている。この特許文献１のインクジェットヘッドは、複数のノズルを含むインク流路が形成された流路構造体（流路ユニット）と、インク流路内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ（アクチュエータユニット）を備えている。
【０００３】
流路構造体は、複数枚の金属プレートの積層体である。この流路構造体は、その上面に、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を有する。圧電アクチュエータは、流路構造体の複数の圧力室を覆うように、流路構造体の上面に接着剤で接合されている。圧電アクチュエータの上方には、フレキシブル配線基板（ＦＰＣ）が配置され、配線基板は、圧電アクチュエータの上面に形成された表面電極と電気的に接続される。配線基板には、圧電アクチュエータを駆動するドライバＩＣが実装されている。ドライバＩＣは、配線基板に形成されている導体パターンを介して、圧電アクチュエータと電気的に接続されている。
【０００４】
また、配線基板の一部分が、圧電アクチュエータの上方からさらに延出して、金属材料からなる流路構造体の上面に接触した状態で、配線部材が流路構造体の上面と接合されている。そして、配線基板に形成されている、グランドに接続された導体パターンが流路構造体の上面に接続されている。これにより、金属製の流路構造体がグランドに接続されている。
【０００５】
尚、特許文献１には、配線基板と圧電アクチュエータとの接合の詳細は記載されていないが、配線基板を圧電アクチュエータの表面電極と電気的に接続する必要があることから、配線基板と圧電アクチュエータは、導電性接着剤やハンダなどの導電性材料で接合する必要がある。一方、配線基板と流路構造体の上面との接合については、配線基板側の導体パターンが流路構造体に接触しているために、非導電性接着剤を用いることが可能、との記載がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−３５５８４号公報（図７）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来から、異なる２つの部材を電気的且つ機械的に接合する場合に、導電性接着剤が好適に用いられている。一般に、導電性接着剤は、熱硬化性接着剤に、導電性粒子を混合させたものであり、導電性接着剤を用いて２つの部材を接合する際には、一方の部材を他方の部材に押圧して導電性を発現させつつ、加熱を行って熱硬化性接着剤を硬化させる。
【０００８】
本発明者らは、前述の特許文献１のように、配線基板を、圧電アクチュエータと流路構造体の両方に接合する上で、双方の接合を、それぞれ導電性接着剤を用いて行うことを検討している。上記のように、導電性接着剤による接合では、接着剤を加熱して硬化させる工程が必要になる。そのため、配線基板と圧電アクチュエータとの接合と、配線基板と流路構造体との接合を、別々の工程で行うと、先に形成された接合部が、後の接合工程によって再度加熱されてしまう。これにより、先の接合工程で形成された接合部が、後の接合工程の加熱によって樹脂材料が劣化して接合強度が低下する。尚、先に形成された接合部が再度加熱されてしまうことを抑制するために、配線基板の流路構造体との接合位置を、圧電アクチュエータとの接合位置から離れた位置にすることも考えられるが、その場合は、流路構造体の大型化に繋がる。
【０００９】
本発明の目的は、配線基板を、導電性接着剤を用いて、圧電アクチュエータと流路構造体の両方と接合する際に、各接合部がその接合後に再度加熱されてしまうことを防止して、接合部の熱劣化を抑制することにある。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【００１０】
本発明の液体吐出装置の製造方法は、少なくとも一部が金属材料で形成され、複数のノズルを含む液体流路を有する流路構造体と、前記流路構造体の第１部分に設けられ、前記ノズル内の液体に吐出エネルギーを付与するエネルギー付与部と、前記エネルギー付与部に接続された配線部材と、を備え、前記配線部材は、前記流路構造体の、前記エネルギー付与部が配置された前記第１部分から、金属材料で形成され、且つ、前記第１部分と隣接する第２部分まで跨って延在し、前記配線部材の第１端子が前記エネルギー付与部の接続端子に接続され、前記配線部材の、一定電位が印加される第２端子が前記流路構造体の前記第２部分に接続された、液体吐出装置の製造方法であって、
前記流路構造体の前記第１部分に前記エネルギー付与部を接合する、エネルギー付与部接合工程と、前記エネルギー付与部の前記接続端子と、前記流路構造体の前記第２部分とに、導電性接着剤を配置する、導電性接着剤配置工程と、前記導電性接着剤を加熱しながら、前記配線部材を前記エネルギー付与部と前記流路構造体に押圧することで、前記配線部材を前記エネルギー付与部と前記流路構造体に同時に接合する、配線部材接合工程と、を備えていることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明では、配線部材の第１端子を、流路構造体の第１部分に設けられたエネルギー付与部の接続端子に接続することで、エネルギー付与部の駆動を可能とする。また、配線部材の、一定電位が印加される第２端子を、流路構造体の第２部分に接続することにより、流路構造体を前記一定電位に維持する。
【００１２】
配線部材とエネルギー付与部との接合と、配線部材と流路構造体の第２部分との接合は、共に、導電性接着剤によって行う。ここで、本発明では、エネルギー付与部と流路構造体にそれぞれ導電性接着剤を配置した後に、これらの導電性接着剤を加熱しながら、配線部材をエネルギー付与部と流路構造体に押圧して、配線部材を、エネルギー付与部と流路構造体に同時に接合する。これによれば、配線部材とエネルギー付与部との接合、及び、配線部材と流路構造体との接合のうちの、一方の接合が先に行われ、先に形成された接合部が、後に行われる他方の接合によって、再度加熱されてしまうということがない。従って、接合部を構成する導電性接着剤の熱劣化が抑制される。
【００１３】
本発明の液体吐出装置は、少なくとも一部が金属材料で形成され、複数のノズルを含む液体流路を有する流路構造体と、前記流路構造体の第１部分に設けられ、前記ノズル内の液体に吐出エネルギーを付与するエネルギー付与部と、前記エネルギー付与部に接続された配線部材と、を備え、
前記配線部材は、前記流路構造体の、前記エネルギー付与部が配置された前記第１部分から、金属材料で形成され、且つ、前記第１部分と隣接する第２部分まで跨って延在し、
前記配線部材の第１端子が、導電性接着剤によって前記エネルギー付与部の接続端子に接続され、前記配線部材の、一定電位が印加される第２端子が、導電性接着剤によって前記流路構造体の前記第２部分に接続され、
前記第２端子は、前記配線部材の端部に設けられており、前記配線部材の、前記第２端子が設けられている端部が前記導電性接着剤で包まれていることを特徴とするものである。
【００１４】
本発明では、配線部材の第１端子が、流路構造体の第１部分に設けられたエネルギー付与部の接続端子に接続されている。また、配線部材の、一定電位が印加される第２端子が、流路構造体の第２部分に接続されている。その上で、配線部材とエネルギー付与部との接合と、配線部材と流路構造体の第２部分との接合は、共に、導電性接着剤によって行われている。さらに、第２端子は、配線部材の端部に設けられており、この配線部材の端部は、第２端子と流路構造体の第２部分とを接合する導電性接着剤によって包まれている。そのため、第２端子と流路構造体の第２部分との導通信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態に係るプリンタの概略的な平面図である。
【図２】インクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２のＡ部拡大図である。
【図４】図３のIV-IV線断面図である。
【図５】ＣＯＦの先端部の平面図である。
【図６】ＣＯＦの接合工程を説明する図である。
【図７】第２変更形態のインクジェットヘッドの平面図である。
【図８】第３変更形態のインクジェットヘッドの一部断面図である。
【図９】（ａ）は、第４変更形態のインクジェットヘッドの一部拡大平面図であり、（ｂ）は、第５変更形態のインクジェットヘッドの一部拡大平面図である。
【図１０】第６変更形態のインクジェットヘッドの製造工程を説明する図である。
【図１１】第７変更形態のインクジェットヘッドの製造工程を説明する図である。
【図１２】第９変更形態のインクジェットヘッドの製造工程を説明する図である。
【図１３】第１０変更形態のインクジェットヘッドの一部断面図である。
【図１４】第１１変更形態のインクジェットヘッドの一部断面図である。
【図１５】第１２変更形態のインクジェットヘッドの一部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
次に、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施形態に係るプリンタの概略的な平面図である。まず、図１を参照してインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。尚、以下では、図１の紙面手前側を上方、紙面向こう側を下方と定義して、適宜、「上」「下」の方向語を使用して説明する。
【００１７】
（プリンタの概略構成）
図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、搬送機構５と、制御装置６等を備えている。
【００１８】
プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１０，１１に沿って走査方向に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端ベルト１４が連結され、キャリッジ駆動モータ１５によって無端ベルト１４が駆動されることで、キャリッジ３は走査方向に移動する。
【００１９】
インクジェットヘッド４は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４は、プリンタ１に装着された４色（例えば、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクカートリッジ１７と、図示しないチューブによって接続されている。また、インクジェットヘッド４の下面（図１の紙面向こう側の面）には、複数のノズル２５が形成されている。そして、このインクジェットヘッド４は、インクカートリッジ１７から供給された４色のインクを、複数のノズル２５からプラテン２に載置された記録用紙１００に対して吐出する。
【００２０】
搬送機構５は、搬送方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８，１９を有する。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１８，１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を搬送方向に搬送する。
【００２１】
制御装置６は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及び、各種制御回路を含むＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等を備える。また、制御装置６は、ＰＣや携帯端末等の、図示しない外部装置とデータ通信可能に接続されている。制御装置６は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＡＳＩＣにより、記録用紙１００への印刷等の各種処理を実行する。例えば、印刷処理においては、制御装置６は、外部装置から入力された印刷指令に基づいて、インクジェットヘッド４やキャリッジ駆動モータ１５等を制御して、記録用紙１００に画像等を印刷させる。具体的には、キャリッジ３とともにインクジェットヘッド４を走査方向に移動させながらインクを吐出させるインク吐出動作と、搬送ローラ１８，１９によって記録用紙１００を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。
【００２２】
（インクジェットヘッドの詳細構成）
次に、インクジェットヘッド４について説明する。図２は、インクジェットヘッド４の平面図である。図３は、図２のＡ部拡大図である。図４は、図３のIV-IV線断面図である。尚、図２、図３では、図面の簡単のため、図４では実線で示されている、圧電アクチュエータ２１に接続されるＣＯＦ５１を二点鎖線で概略的に示している。図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド４は、流路ユニット２０と圧電アクチュエータ２１を備えている。
【００２３】
（流路ユニット）
図４に示すように、流路ユニット２０は、それぞれ流路形成孔が形成された５枚のプレート３１〜３５が互いに積層されることによって形成されている。５枚のプレート３１〜３５のうちの、最下層のプレート３５は、複数のノズル２５が形成されたノズルプレートである。ノズルプレート３５は、ポリイミド等の合成樹脂材料で形成されたプレートである。一方、上側の残り４枚のプレート３１〜３４には、複数のノズル２５に連通するマニホールド２４や圧力室２６等のインク流路となる流路孔が形成されている。４枚のプレート３１〜３４は、それぞれ金属材料で形成されたプレートである。これら５枚のプレート３１〜３５が積層されたときにそれぞれの流路孔が連通することによって、流路ユニット２０には、以下に述べるようなインク流路が形成されている。
【００２４】
図２に示すように、流路ユニット２０の上面には、４つのインクカートリッジ１７（図１参照）と接続される４つのインク供給孔２３が形成されている。流路ユニット２０の内部には、４つのインク供給孔２３にそれぞれ接続された４本のマニホールド２４が形成されている。４本のマニホールド２４には、４つのインク供給孔２３を介して、４つのインクカートリッジ１７の４色のインクがそれぞれ供給される。また、４本のマニホールド２４は、それぞれ搬送方向に延在している。
【００２５】
また、流路ユニット２０は、最下層のプレート３５に形成された複数のノズル２５と、最上層のプレート３１に形成された複数の圧力室２６を有する。図２に示すように、流路ユニット２０の下面（図３の紙面向こう側の面）において、複数のノズル２５は搬送方向に沿って配列され、４本のマニホールド２４にそれぞれ対応した４列のノズル列を構成している。
【００２６】
複数の圧力室２６は、流路ユニット２０の上面の中央部において、４本のマニホールド２４、及び、４列のノズル列に対応して、４列に配列されている。各圧力室２６は、走査方向に長い、略楕円形の平面形状を有する。また、図３、図４に示すように、各圧力室２６の長手方向一端部は、マニホールド２４と連通し、長手方向他端部はノズル２５と連通している。これにより、図４に示すように、流路ユニット２０には、マニホールド２４から分岐して、圧力室２６を経てノズル２５に至る、個別流路が複数形成されている。尚、図４においては、マニホールド２４及び複数の圧力室２６等の個別流路内にインクＩが充填されている状態が示されている。
【００２７】
尚、以下の説明においては、図４に示すように、流路ユニット２０のうちの複数の圧力室２６が形成された部分、即ち、後述の圧電アクチュエータ２１が配置される流路ユニット２０の中央部を、第１部分２０ａと称する。また、流路ユニット２０のうちの、前記第１部分２０ｂに隣接する、第１部分２０ａの周囲部分を第２部分２０ｂと称する。
【００２８】
（圧電アクチュエータ）
圧電アクチュエータ２１は、流路ユニット２０の各ノズル２５内のインクに、吐出エネルギーを付与して、各ノズル２５からインクを吐出させるものである。この圧電アクチュエータ２１は、流路ユニット２０の第１部分２０ａの上面に、複数の圧力室２６を覆うように配置されている。図２〜図５に示すように、圧電アクチュエータ２１は、インク封止膜４０と、２枚の圧電層４１，４２と、複数の個別電極４４、及び、共通電極４５とを備えている。
【００２９】
インク封止膜４０は、インク透過性の低い材料、例えば、ステンレス鋼等の金属材料で形成された薄い膜である。インク封止膜４０は、複数の圧力室２６を覆うように、流路ユニット２０の上面に接着剤で接合されている。
【００３０】
２枚の圧電層４１，４２は、それぞれ圧電材料からなる。圧電層４１，４２を構成する圧電材料としては、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を採用することができる。その他、非鉛の圧電材料である、チタン酸バリウムや、ニオブ系の圧電材料を採用することもできる。圧電層４１，４２は互いに積層された状態で、インク封止膜４０の上面に接合されている。
【００３１】
複数の個別電極４４は、上層の圧電層４１の上面に配置されている。より詳細には、図２〜図４に示すように、各個別電極４４は、圧電層４１の上面の、圧力室２６の中央部と対向する領域に配置されている。複数の個別電極４４は、複数の圧力室２６に対応して搬送方向に沿って配列され、４列の個別電極列を構成している。各個別電極４４には、個別電極４４の一端部から、圧力室２６と対向しない領域まで引き出された接続端子４６が設けられている。図４に示すように、複数の個別電極４４の接続端子４６の各々は、後述するＣＯＦ５１の個別端子６１と、導電性接着剤からなる接合部４８によって接合されている。尚、導電性接着剤は、熱硬化性樹脂に金属粒子を混合させてなるものであり、接合対象の２つの部材を、電気的に導通させた状態で接合することが可能な接着剤である。
【００３２】
後でも説明するが、ＣＯＦ５１にはドライバＩＣ５３が実装され、このドライバＩＣ５３は、ＣＯＦ５１の複数の個別端子６１とそれぞれ接続されている（図５参照）。また、ＣＯＦ５１は、制御装置６（図１参照）にも接続されている。ドライバＩＣ５３は、制御装置６から入力された制御信号に基づいて、各個別電極４４に対して、駆動電位とグランド電位の何れか一方の電位を選択的に印加する。
【００３３】
共通電極４５は、２枚の圧電層４１，４２の間に配置されている。共通電極４５は、圧電層４１を挟んで、複数の個別電極４４と共通に対向している。図２に示すように、上層の圧電層４１の上面の、走査方向における両端部には２つの接続端子４７がそれぞれ設けられている。２つの接続端子４７は、圧電層４１に形成された複数のスルーホール４１ａを介して共通電極４５と導通している。２つの接続端子４７の各々は、ＣＯＦ５１と、導電性接着剤からなる接合部４９によって接合されている。共通電極４５は、ＣＯＦ５１のグランド端子６２に接続されることによって、常にグランド電位に維持されている。
【００３４】
尚、圧電層４１の、個別電極４４と共通電極４５に挟まれた部分を、特に、活性部４３と呼ぶ。活性部４３は、厚み方向において下向き、即ち、個別電極４４から共通電極４５に向かう方向に分極されている。
【００３５】
以上説明した圧電アクチュエータ２１の、ノズル２５からインクを吐出させる際の動作は、以下の通りである。ドライバＩＣ５３により、ある個別電極４４の電位が、グランド電位から駆動電位に切り換えられたとする。このとき、駆動電位が印加された個別電極４４と、グランド電位に維持されている共通電極４５の間に、電位差が生じる。これにより、圧電層４１の活性部４３に厚み方向の電界が生じる。また、活性部４３の分極方向と電界の方向とが一致するために、活性部４３はその分極方向である厚み方向に伸びて面方向に収縮する。この活性部４３の収縮変形に伴って、２つの圧電層４１，４２が圧力室２６側に凸となるように撓む。これにより、圧力室２６の容積が減少してその内部のインクに圧力が付与され、圧力室２５に連通するノズル２６からインクの液滴が吐出される
【００３６】
（ＣＯＦ）
次に、ＣＯＦ５１の構成について説明する。図５は、ＣＯＦ５１の先端部の平面図である。先にも触れたが、このＣＯＦ５１は、制御装置６と圧電アクチュエータ２１とを接続する。図４、図５に示すように、ＣＯＦ５１は、ポリイミド等の合成樹脂材料で形成されてフレキシブル性を備え、且つ、搬送方向に長尺な基板５２を有する。図２に示すように、上面視で、基板５２は、圧電アクチュエータ２１が配置された流路ユニット２０の中央部（第１部分２０ａ）を完全に覆い、且つ、第１部分２０ａからその周囲部分（第２部分２０ｂ）に跨って延在している。
【００３７】
基板５２の先端部の下面には、圧電アクチュエータ２１の複数の個別電極４４とそれぞれ接合される、複数の個別端子６１が形成されている。また、基板５２の先端部の下面の、走査方向における両端部には、圧電アクチュエータ２１の、共通電極４５用の２つの接続端子４７とそれぞれ接続される、２つのグランド端子６２が形成されている。
【００３８】
基板５２の下面には、ドライバＩＣ５３が実装されている。ドライバＩＣ５３は、基板５２に形成された複数の入力配線６３によって、制御装置６と接続されている。また、ドライバＩＣ５３は、基板５２に形成された複数の出力配線６４によって、複数の個別端子とそれぞれ接続されている。尚、２つのグランド端子６２は、基板５２の長手方向（搬送方向）に延びるグランドパターン６５を介してグランドに接続されている。従って、２つのグランド端子６２は、常にグランド電位に維持されている。尚、図４に示すように、基板５２の下面には被覆材６６が設けられており、基板５２に形成された複数の入力配線６３、複数の出力配線６４、及び、グランドパターン６５が、被覆材６６に覆われている。但し、圧電アクチュエータ２１と接続される、複数の個別端子６１及び２つのグランド端子６２は、被覆材６６に覆われておらずに露出している。
【００３９】
ＣＯＦ５１は流路ユニット２０の上面と対向して配置された状態では、各個別端子６１が、圧電アクチュエータ２１の接続端子４６と対向し、各グランド端子６２の、走査方向における内側部分（以下、内側端子部６２ａという）が、圧電アクチュエータ２１の接続端子４７と対向する。そして、各個別端子６１は、対応する接続端子４６と、導電性接着剤からなる接合部４８によって接続されている。また、各グランド端子６２の内側端子部６２ａも、対応する接続端子４７と、導電性接着剤からなる複数の接合部４９によって接続されている。
【００４０】
さらに、図４に示すように、各グランド端子６２の走査方向における外側部分（以下、外側端子部６２ｂという）は、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面と対向している。そして、各グランド端子６２の外側端子部６２ｂは、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面と、搬送方向に並ぶ複数の接合部５０によって接続されている。複数の接合部５０も、接合部４８，４９と同様に、導電性接着剤からなる。流路ユニット２０の第２部分２０ｂに、ＣＯＦ５１の外側端子部６２ｂが接続されることにより、流路ユニット２０の４枚の金属製のプレート３１〜３４が、常にグランド電位に維持されることになる。このように、圧力室２６等のインク流路が形成される金属製のプレート３１〜３４がグランド電位に維持されることで、そのインク流路内のインクの電位もグランド電位となる。また、ＣＯＦ５１が、圧電アクチュエータ２１の上面だけではなく、流路ユニット２０とも接続部で直接接合されることで、その接合部５０が、ＣＯＦ５１と圧電アクチュエータ２１との接合を補強する。これにより、ＣＯＦ５１が、圧電アクチュエータ２１の上面から剥がれにくくなる。
【００４１】
尚、ＣＯＦ５１と流路ユニット２０の第２部分２０ｂとを接合する接合部５０は、ＣＯＦ５１と圧電アクチュエータ２１とを接合する接合部４８，４９と比べて、ＣＯＦ５１から接合対象までの距離が遠い分、高く形成する必要がある。そのため、図３、図４に示すように、接合部５０のサイズ（高さ及び幅）は、接合部４８，４９よりも大きなものとなっている。
【００４２】
次に、前述したインクジェットヘッド４の製造工程について説明する。まず、流路ユニット２０と圧電アクチュエータ２１とをそれぞれ作製する。
【００４３】
（流路ユニット作製工程）
流路ユニット２０を構成する５枚のプレート３１〜３５のうち、上側の４枚の金属プレート３１〜３４については、それぞれエッチングを行って、圧力室２６、マニホールド２４等の流路孔を形成する。また、合成樹脂材料からなるノズルプレート３５には、レーザー加工等により、複数のノズル２５を形成する。そして、５枚のプレート３１〜３５を熱硬化性接着剤により接合する。
【００４４】
（圧電アクチュエータ作製工程）
未焼成の２枚のグリーンシートを準備する。一方のグリーンシートの表面に複数の個別電極４４を形成し、他方のグリーンシートの表面に共通電極４５を形成する。個別電極４４、及び、共通電極４５の形成は、スクリーン印刷、蒸着、ＣＶＤ等の公知の方法で行うことができる。上記の２枚のグリーンシートを、共通電極４５を挟むように積層してから、これら２枚のグリーンシートを所定温度で加熱して焼成し、２枚の圧電層４１，４２の積層体を得る。
【００４５】
（圧電アクチュエータ接合工程）
上記の圧電層４１，４２を有する圧電アクチュエータ２１を、流路ユニット２０の第１部分２０ａに接合する。まず、流路ユニット２０の上面にインク封止膜４０を、接着剤で接合する。尚、インク封止膜４０の接合は、この段階で行う必要は必ずしもなく、流路ユニット２０のプレート３１〜３５の接合と同時に行ってもよい。次に、インク封止膜４０の上面に、２枚の圧電層４１，４２を接着剤で接合する。
【００４６】
（ＣＯＦの接合工程）
流路ユニット２０と圧電アクチュエータ２１の作製、及び、両者の接合が完了したら、次に、導電性接着剤を用いたＣＯＦ５１の接合を行う。図６は、ＣＯＦ５１の接合工程を説明する図である。
【００４７】
（１）導電性接着剤の配置
まず、図６（ａ）に示すように、流路ユニット２０の第１部分２０ａに接合された圧電アクチュエータ２１の上面と、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面に、それぞれ、ＣＯＦ５１を接合するための導電性接着剤６８を配置する。導電性接着剤６８の配置方法は特には限定されないが、スクリーン印刷を好適に採用できる。
【００４８】
スクリーン印刷を採用する場合には、図６（ａ）に示すように、まず、流路ユニット２０及び圧電アクチュエータ２１の上方に、マスク７０を配置する。マスク７０には、個別電極４４の接続端子４６の上方に位置する穴７０ａと、共通電極４５の接続端子４７の上方に位置する穴７０ｂと、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上方に位置する穴７０ｃとが形成されている。このマスク７０の上に、流動性を有する導電性接着剤６８を供給し、マスク７０の上面に沿ってスキージ７１を移動させる。これにより、導電性接着剤６８を穴７０ａ，７０ｂ，７０ｃから下に押し出して、圧電アクチュエータ２１の接続端子４６、４７及び、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面にそれぞれ付着させる。
【００４９】
尚、スクリーン印刷の方向は特に限定されるものではないが、本実施形態では、スクリーン印刷の方向は、流路ユニット２０の第１部分２０ａから第２部分２０ｂに向かう方向としている。即ち、第１部分２０ａから第２部分２０ｂに向かう方向（図中右方）にスキージ７１を移動させる。これにより、圧電アクチュエータ２１の上面に導電性接着剤６８ａ，６８ｂを配置した後、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面に導電性接着剤６８ｃを配置する。
【００５０】
また、流路ユニット２０に対応するマスク７０の穴７０ｃは、圧電アクチュエータ２１に対応するマスク７０の穴７０ａ，７０ｂよりも大きくなっている。そのため、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面には、圧電アクチュエータ２１よりも、多くの量の導電性接着剤６８が付着し、導電性接着剤６８の大きな塊が形成される。
【００５１】
（２）接着剤の加熱＋押圧
図６（ｂ）に示すように、流路ユニット２０及び圧電アクチュエータ２１の上に、両者を跨ぐようにＣＯＦ５１を配置する。このとき、圧電アクチュエータ２１の、接続端子４６に配置された導電性接着剤６８ａに、ＣＯＦ５１の個別端子６１を接触させ、接続端子４７に配置された導電性接着剤６８ｂに、ＣＯＦ５１のグランド端子６２の内側端子部６２ａを接触させる。また、流路ユニット２０の第２部分２０ｂに配置された導電性接着剤６８ｃには、グランド端子６２の外側端子部６２ｂを接触させる。
【００５２】
この状態で、ＣＯＦ５１の上面にヒータ７２を設置し、このヒータ７２により、ＣＯＦ５１を介して導電性接着剤６８ａ，６８ｂ，６８ｃを加熱しつつ、ＣＯＦ５１を圧電アクチュエータ２１及び流路ユニット２０に押圧する。これにより、ＣＯＦ５１を、圧電アクチュエータ２１と流路ユニット２０の第２部分２０ｂに同時に接合する。即ち、ＣＯＦ５１の複数の個別端子６１を、圧電アクチュエータ２１の複数の接続端子４６に接続する。また、ＣＯＦ５１の２つのグランド端子６２の内側端子部６２ａを、圧電アクチュエータ２１の２つの接続端子４７に接続する。さらに、ＣＯＦ５１の２つのグランド端子６２の外側端子部６２ｂを、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面にそれぞれ接続する。
【００５３】
以上のように、本実施形態では、圧電アクチュエータ２１と流路ユニット２０の第２部分２０ｂにそれぞれ導電性接着剤６８を配置した後に、導電性接着剤６８を加熱しながら、ＣＯＦ５１を圧電アクチュエータ２１と流路ユニット２０に押圧することで、ＣＯＦ５１を、圧電アクチュエータ２１と流路ユニット２０の第２部分２０ｂに同時に接合する。これによれば、ＣＯＦ５１と圧電アクチュエータ２１との接合、及び、ＣＯＦ５１と流路ユニット２０との接合のうちの、一方の接合が先に行われ、先に形成された接合部が、後に行われる他方の接合によって、再度加熱されてしまうということがない。従って、接合部４８〜５０を構成する導電性接着剤の熱劣化が抑制される。
【００５４】
また、本実施形態では、導電性接着剤６８の配置をスクリーン印刷によって行っている。これにより、圧電アクチュエータ２１の上面と、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面とに、導電性接着剤６８を一度に付着させることができ、導電性接着剤の配置工程を簡素化できる。
【００５５】
流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面は、圧電アクチュエータ２１の上面よりも低い位置にある。そのため、ＣＯＦ５１を流路ユニット２０の第２部分２０ｂに確実に接合するためには、流路ユニット２０の第２部分２０ｂには、多くの導電性接着剤６８ｃを配置し、接合部５０の高さを、圧電アクチュエータ２１との接合部４８，４９の高さよりも高くすることが好ましい。そのため、本実施形態では、図６（ａ）に示すように、マスク７０の、流路ユニット２０の第２部分２０ｂに導電性接着剤６８ｃを配置するための穴７０ｃは、圧電アクチュエータ２１の上面に導電性接着剤６８ａ，６８ｂを配置するための穴７０ａ，７０ｂよりも大きくなっている。これにより、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面には、圧電アクチュエータ２１の上面よりも多くの導電性接着剤６８を付着させて、その高さを高くすることができる。
【００５６】
また、スクリーン印刷の、印刷始めは、印刷がかすれる等の原因で、導電性接着剤６８の付着量が少なくなる場合がある。そこで、本実施形態では、図６（ａ）に示すように、第１部分２０ａから第２部分２０ｂに向かう方向にスクリーン印刷を行う。つまり、流路ユニット２０の第２部分２０ｂへの導電性接着剤６８ｃの配置が、圧電アクチュエータ２１への導電性接着剤６８ａ，６８ｂの配置よりも後となり、印刷始めの印刷のかすれ等によって、第２部分２０ｂに配置される導電性接着剤６８ｃの量が少なくなってしまうことが防止される。
【００５７】
また、圧電アクチュエータ２１の厚みが大きいほど、流路ユニット２０の第２部分２０ｂに、多量の導電性接着剤６８を配置する必要がある。その必要量があまりに多いと、１回のスクリーン印刷で、導電性接着剤６８の必要量全部を付着させることが難しくなり、圧電アクチュエータ２１の上面と、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面に、導電性接着剤６８ａ，６８ｂ，６８ｃを一度に配置することが困難となる。この観点からは、圧電アクチュエータ２１の全体の厚みｔは、所定厚み以下、具体的には、１５０μｍ以下であることが好ましい。
【００５８】
以上説明した実施形態において、インクジェットヘッド４が、本発明の液体吐出装置に相当する。流路ユニット２０が、本発明の流路構造体に相当する。圧電アクチュエータ２１が、本発明のエネルギー付与部に相当する。ＣＯＦ５１が配線部材に相当する。ＣＯＦ５１の個別端子６１、及び、グランド端子６２の内側端子部６２ａが、本発明の第１端子に相当する。グランド端子６２の外側端子部６２ｂが、一定電位が印加される本発明の第２端子に相当する。
【００５９】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００６０】
１］（第１変更形態）前記実施形態では、圧電アクチュエータ２１の上面の接続端子４６，４７と、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面に、スクリーン印刷により導電性接着剤６８を一度に配置している。これに対して、圧電アクチュエータ２１と流路ユニット２０の第２部分２０ｂに、導電性接着剤６８を別々の工程で配置してもよい。
【００６１】
２］（第２変更形態）流路ユニット２０の第２部分２０ｂに、ＣＯＦ５１の外側端子部６２ｂを接合するための導電性接着剤６８ｃとは別に、ＣＯＦ５１の接合を補強するための導電性接着剤６８を配置してもよい。例えば、図７に示すように、流路ユニット２０の第２部分２０ｂのうちの、圧電アクチュエータ２１の搬送方向上流側部分と搬送方向下流側部分にも導電性接着剤６８ｄを配置し、ＣＯＦ５１を接合する。導電性接着剤６８ｄによって接合される、ＣＯＦ５１の、圧電アクチュエータ２１よりも搬送方向上流側部分と搬送方向下流側部分には、グランド端子６２は配置されていない。つまり、導電性接着剤６８ｄからなる接合部７４は、流路ユニット２０をグランド電位に維持するためのものではなく、ＣＯＦ５１の接合を補強するものである。これにより、ＣＯＦ５１の剥がれが確実に防止できる。
【００６２】
３］（第３変更形態）図８に示すように、圧電層４１，４２への塵の侵入防止、あるいは、圧電層４１，４２の防湿等の目的で、流路ユニット２０とＣＯＦ５１との間に、シリコン材料等からなる封止材７５を充填してもよい（封止材充填工程）。流路ユニット２０とＣＯＦ５１との間に配置されている圧電アクチュエータ２１と、外部との間には、ＣＯＦ５１と流路ユニット２０の第２部分２０ｂとを直接接合する、導電性接着剤６８ｃからなる複数の接合部５０が存在している。そのため、ＣＯＦ５１の接合後に、流路ユニット２０とＣＯＦ５１との間に、外部から封止材を注入したときに、複数の接合部５０によって、封止材７５が奥の圧電アクチュエータ２１まで流れ込んでしまうことが抑制される。尚、この観点からは、スクリーン印刷等による導電性接着剤６８の配置工程において、流路ユニット２０の第２部分２０ｂに、圧電アクチュエータ２１の縁２１ａに沿って（図８の紙面垂直方向に）、導電性接着剤６８ｃを多数並べて配置することが好ましい。
【００６３】
（第４変更形態）図９（ａ）に示すように、流路ユニット２０の第２部分２０ｂに、圧電アクチュエータ２１の縁２１ａに沿って、導電性接着剤６８ｃを連続的に配置してもよい。この場合は、封止材７５の、圧電アクチュエータ２１への流れ込みが、より確実に防止される。
【００６４】
（第５変更形態）接合部５０の位置が揃いすぎていると、ある特定方向から外力が作用したときには剥がれやすくなる。例えば、前記実施形態の図２のように、複数の接合部５０が、圧電アクチュエータ２１の縁２１ａに沿って直線的に１列に並んでいる場合、あるいは、前記第４変更形態の図９（ａ）のように、接合部５０が直線的に延びている場合、ＣＯＦ５１に対して接合部５０の配列方向からめくり上げるような外力が作用したときに、ＣＯＦ５１が剥がれやすい。
【００６５】
そこで、図９（ｂ）に示すように、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面の、圧電アクチュエータ２１の縁２１ａに沿った複数の領域に導電性接着剤６８ｃをそれぞれ配置して、２つの接着剤列７６ａ，７６ｂを形成してもよい。ここで、第２部分２０ｂの上面に、複数の接着剤列７６ａ，７６ｂを、圧電アクチュエータ２１の縁２１ａと交差する方向（ここでは走査方向）に並べて形成する。さらに、前記２つの接着剤列７６ａ，７６ｂの間で、導電性接着剤６８ｃの配列方向における配置位置をずらす。即ち、複数の導電性接着剤６８ｃの塊を、圧電アクチュエータ２１の縁２１ａに沿って千鳥状に配列する。この場合、ＣＯＦ５１に作用する外力が、離散して配置された複数の接合部５０（６８ｃ）に分散して作用することになり、ＣＯＦ５１が剥がれにくくなる。尚、導電性接着剤６８ｃを３列以上に形成してもよい。
【００６６】
さらに、圧電アクチュエータ２１に配置する導電性接着剤６８ａ，６８ｂと、流路ユニット２０の第２部分２０ｂに配置する導電性接着剤６８ｃとの間でも、搬送方向、あるいは、走査方向の位置をずらすようにしてもよい。図９（ａ）では、圧電アクチュエータ２１の上面の導電性接着剤６８ａ，６８ｂ（接合部４８，４９）と、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの導電性接着剤６８ｃ（接合部５０）の、搬送方向における位置が互いにずれている。
【００６７】
４］圧電アクチュエータ２１を流路ユニット２０の第１部分２０ａに接着剤で接合したときに、余剰の接着剤が、流路ユニット２０の第２部分２０ｂまで広がって、第２部分２０ｂの上面が絶縁性の接着剤で覆われてしまうことが考えられる。その場合でも、ＣＯＦ５１のグランド端子６２と流路ユニット２０の第２部分２０ｂとの導通を確実にとることができるように、インクジェットヘッド４の製造工程において、以下のような工程を追加してもよい。
【００６８】
（ａ）流路ユニット２０の第２部分２０ｂに、圧電アクチュエータ２１のインク封止膜４０を流路ユニット２０の第１部分２０ａに接着剤で接合する際に第１部分２０ａから第２部分２０ｂへ流れる余剰の接着剤を逃がす、接着剤逃がし部を形成してもよい。
【００６９】
（第６変更形態）図１０に示すように、圧電アクチュエータ２１のインク封止膜４０を流路ユニット２０の第１部分２０ａに接着剤７７で接合する前に、流路ユニット２０の第１部分２０ａと、第２部分２０ｂの導電性接着剤６８ｃが配置される領域との間に、エッチング等によって接着剤７７の逃がし溝８０を形成してもよい。これにより、インク封止膜４０を流路ユニット２０の第１部分２０ａに接着剤７７で接合したときの、余剰の接着剤７７が第２部分２０ｂへ流れても、逃がし溝８０に逃がされるため、導電性接着剤６８ｃが配置される領域に接着剤７７が到達しにくくなる。
【００７０】
（第７変更形態）この形態は、インク封止膜４０の接合時の余剰の接着剤７７が多い場合に、特に適している。流路ユニット２０は、圧電アクチュエータ２１が接合される、圧力室２６が形成されているプレート３１と、このプレート３１の接合面と反対側に積層されるプレート３２とを有する。まず、図１１（ａ）に示すように、最上層のプレート３１の、第２部分２０ｂを構成する図中右側部分に、貫通穴８１を形成する。また、２層目のプレート３２の上面の、プレート３１と積層されたときに貫通穴８１と重なる領域のうち、左側（第１部分２０ａ側）の領域に、凹状の接着剤７８の逃がし溝８２を形成する。そして、プレート３２を、プレート３１の下面に接着剤７８で接合する。
【００７１】
次に、図１１（ｂ）に示すように、プレート３１のうちの、流路ユニット２０の第１部分２０ａを構成する図中左側部分の上面（接合面３１ａ）に、圧電アクチュエータ２１を接着剤７７で接合する。このとき、余剰の接着剤７７が、前記接合面３１ａから、プレート３１の、流路ユニット２０の第２部分２０ｂを構成する右側部分に流れようとするが、接着剤７７は、プレート３１の上面に形成された貫通穴８１内に落下し、さらに、プレート３２の上面に形成された逃がし溝８２に逃がされる。逃がし溝８２は、プレート３２の、貫通穴８１によって露出する領域のうちの、第１部分２０ａ側にのみ形成されていることから、上記領域のうちの、第２部分２０ｂ側の領域Ａには接着剤７７が付着しない。
【００７２】
次に、図１１（ｃ）に示すように、スクリーン印刷等により、プレート３２の、貫通穴８１によって露出する領域のうちの、逃がし溝８２に対して右側の領域Ａに、導電性接着剤６８ｃを配置する。この領域Ａは、上述したように接着剤７７が付着しないことから、導電性接着剤６８ｃと流路ユニット２０の第２部分２０ｂとが導通する。
【００７３】
尚、図１１（ａ）において、プレート３１とプレート３２とを接着剤７８で接合する際に、この接着剤７８は、プレート３１の下面にのみ付着させ、プレート３２の上面には接着剤７８を付着させないことが好ましい。これにより、プレート３１，３２の接合時の余剰の接着剤７８は、プレート３１の貫通穴８１へ逃げやすくなり、プレート３２の上面の、導電性接着剤６８ｃが配置される領域Ａに接着剤７８が付着しにくい。
【００７４】
この第７変更形態において、流路ユニット２０の最上層のプレート３１が、本発明の第１流路部材に相当し、２層目のプレート３２が、本発明の第２流路部材に相当する。逃がし溝８２が、本発明の第２接着剤逃がし部に相当する。
【００７５】
（ｂ）あるいは、圧電アクチュエータ２１の接合時に、第１部分２０ａから流れてきた接着剤７７が付着しうる、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの少なくとも一部分において、第２部分２０ｂの金属面を露出させてもよい。第１部分２０ａから流れてきた接着剤７７が第２部分２０ｂに付着しても、露出工程で第２部分２０ｂの金属面を露出させて、金属面を露出させた部分に導電性接着剤６８ｃを配置することで、ＣＯＦ５１と流路ユニット２０の第２部分２０ｂとを確実に導通させることができる。以下、露出工程の例をいくつか挙げる。
【００７６】
（第８変更形態）第２部分２０ｂの上面に流れてきた接着剤７７の層を除去することによって、第２部分２０ｂの金属面を露出させてもよい。例えば、流路ユニット２０の第１部分２０ａにインク封止膜４０を接合した後に、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの上面に、レーザー照射や研磨加工を行うことによって、第２部分２０ｂを覆っている接着剤７７を除去する。
【００７７】
（第９変更形態）流路ユニット２０の第２部分２０ｂの内部に予め空間を形成しておき、第２部分２０ｂの上面に、上記空間まで達する穴をあけることによって、第２部分２０ｂの金属面を露出させてもよい。図１２を参照して具体的に説明する。
【００７８】
まず、図１２（ａ）に示すように、流路ユニット２０の一部を構成する最上層のプレート３１の、第２部分２０ｂとなる図中右側部分の下面に、ハーフエッチングで凹部８３を形成する。また、上から２層目のプレート３２の、プレート３１と重なる部分には貫通穴８４を形成する。そして、プレート３１の凹部８３とプレート３２の貫通穴８４が上下に重なるように位置合わせした上で、プレート３２を、プレート３１の凹部８３が形成された下面に接着剤７８で接合する。これにより、流路ユニット２０の第２部分２０ｂの内部に空間８５が形成される。尚、２枚のプレートを接着剤７８で接合したときには、余剰の接着剤７８が、プレート３１に形成された圧力室２６に流入する虞があるため、圧力室２６の周囲に接着剤７８の逃がし溝８７を形成しておくことが好ましい。その際、プレート３１に前記の凹部８３をハーフエッチングで形成する際に、凹状の逃がし溝８７も同時に形成するようにすれば、工程を簡素化できる。
【００７９】
次に、図１２（ｂ）に示すように、プレート３１のうちの、流路ユニット２０の第１部分２０ａとなる図中左側部分の上面（接合面３１ａ）に、圧電アクチュエータ２１を接着剤７７で接合する。このとき、余剰の接着剤７７が、前記接合面３１ａから、プレート３１の、流路ユニット２０の第２部分２０ｂを構成する右側部分の上面まで流れ出す。そこで、プレート３１の凹部８３が形成された部分に、上方からポンチ等を当てるなどして、凹部８３内の空間８５まで貫通する穴８６を形成する。これにより、穴８６の縁部において、第２部分２０ｂの金属面が露出する。尚、図１２（ａ）において、２層目のプレート３２に貫通穴８４を形成しているのは、プレート３１に貫通状の穴８６をあける際にポンチ等の治具がプレート３２に当たってしまうことを防止するためである。最上層のプレート３１の厚みによっては、凹部８３だけで十分な場合もあり、このような場合には２層目のプレート３２に貫通穴８４を形成する工程は省略できる。
【００８０】
次に、図１２（ｃ）に示すように、スクリーン印刷等により、プレート３１の穴８６が形成された部分に、導電性接着剤６８ｃを配置する。このとき、金属面が露出した穴８６の縁部に導電性接着剤６８ｃが接触することにより、導電性接着剤６８ｃと流路ユニット２０の第２部分２０ｂとが導通する。
【００８１】
尚、この第９変更形態において、流路ユニット２０の最上層のプレート３１が、本発明の第１流路部材に相当し、２層目のプレート３２が、本発明の第２流路部材に相当する。逃がし溝８７が、本発明の第１接着剤逃がし部に相当する。
【００８２】
５］上に説明したものの他、ＣＯＦ５１と、流路ユニット２０、あるいは、圧電アクチュエータ２１との電気的接続の信頼性を高めるために、以下のような構成を採用することもできる。
【００８３】
（第１０変更形態）図１３では、ＣＯＦ５１の、流路ユニット２０の第２部分２０ｂと接合されるグランド端子６２の外側端子部６２ｂは、ＣＯＦ５１の基板５２の端部５２ａに設けられている。その上で、ＣＯＦ５１のグランド端子６２と、流路ユニット２０の第２部分２０ｂとを接合する導電性接着剤６８ｃからなる接合部５０が、ＣＯＦ５１の外側端子部６２ｂが設けられている端部５２ａに、その下面から側面を経て上面まで覆うように付着しており、この端部５２ａを包んでいる。このように、外側端子部６２ｂが形成されているＣＯＦ５１の端部５２ａが導電性接着剤６８ｃによって包まれているために、外側端子部６２ｂと流路ユニット２０の第２部分２０ｂとの間の電気的接続の信頼性が向上する。
【００８４】
（第１１変更形態）図１４では、ＣＯＦ５１の、流路ユニット２０の第２部分２０ｂと接合される外側端子部６２ｂが設けられている端部５２ａが、圧電アクチュエータ２１と接合される個別端子６１や内側端子部６２ａが設けられている部分よりも、流路ユニット２０に近い位置にある。ここで、導電性接着剤６８は、加熱硬化の際に収縮する。また、流路ユニット２０の第２部分２０ｂに配置される導電性接着剤６８ｃは、圧電アクチュエータ２１に配置される導電性接着剤６８ａ，６８ｂよりも量が多いため、収縮量も大きくなる。従って、導電性接着剤６８ｃの収縮によって、ＣＯＦ５１の端部５２ａには下に押し付けられる力が作用する。これにより、ＣＯＦ５１が圧電アクチュエータ２１から剥がれにくくなるため、圧電アクチュエータ２１とＣＯＦ５１との電気的接続の信頼性が向上する。
【００８５】
（第１２変更形態）図１５では、ＣＯＦ５１の、流路ユニット２０とは反対側に、ＣＯＦ５１の剥離を防止するための押さえ部材９０が配置されている。また、この押さえ部材９０は、ＣＯＦ５１の、流路ユニット２０の第２部分２０ｂと接合される端部５２ａに配置されて、ＣＯＦ５１を流路ユニット２０に押し付けている。これにより、ＣＯＦ５１が流路ユニット２０及び圧電アクチュエータ２１から剥離することが防止される。一方で、押さえ部材９０は、ＣＯＦ５１の、圧電アクチュエータ２１と対向する部分には接触していない。従って、押さえ部材９０によって、圧電アクチュエータ２１が押圧されることがないため、圧電アクチュエータ２１の変形が押さえ部材９０によって阻害されることがない。また、押さえ部材９０の押圧による圧電アクチュエータ２１の破損も生じない。
【００８６】
また、図１３〜図１５の特徴を２以上組み合わせて採用した構成であってもよい。例えば、図１３のように、ＣＯＦ５１の端部５２ａが導電性接着剤６８ｃによって包まれた上で、図１４のように、このＣＯＦ５１の端部５２ａが、圧電アクチュエータ２１と接合される部分よりも下に位置していてもよいし、あるいは、図１５のように、端部５２ａの上に押さえ部材９０が配置されていてもよい。
【００８７】
６］その他、下記に挙げるような変更も可能である。
前記実施形態では、ＣＯＦ５１の１つのグランド端子６２が、圧電アクチュエータ２１の共通電極４５の接続端子４７と、流路ユニット２０の第２部分２０ｂとに、共通に接合されている。これに対し、ＣＯＦ５１の、圧電アクチュエータ２１に接続される端子と、流路ユニット２０の第２部分２０ｂに接続される端子とが、別々に分かれていてもよい。
【００８８】
前記実施形態では、流路ユニット２０の第２部分２０ｂと接合される、ＣＯＦ５１のグランド端子６２はグランド電位が付与されているが、グランド電位以外の一定電位が付与されている端子が流路ユニット２０に接合されてもよい。
【００８９】
流路ユニット２０は、全部が金属材料で形成されていてもよいし、一部分のみが金属材料で形成されていてもよい。流路ユニット２０の一部分のみが金属である場合、当然ながら、ＣＯＦ５１は、金属からなる前記一部分に接合される。
【００９０】
各ノズルに吐出エネルギーを付与するエネルギー付与部は、前記実施形態で例示した圧電アクチュエータには限られない。例えば、インクに熱エネルギーを付与する発熱抵抗体を有し、発熱抵抗体による加熱によってインクに膜沸騰を生じさせてノズルから吐出させる装置であってもよい。あるいは、インクを帯電させて静電気力によってノズルから吐出させる装置であってもよい。
【００９１】
また、前記実施形態は、本発明を、記録用紙にインクを吐出して画像等を印刷するインクジェットヘッドに適用したものであるが、画像等の印刷以外の様々な用途で使用される液体吐出装置においても本発明は適用されうる。例えば、基板に導電性の液体を吐出して、基板表面に導電パターンを形成する液体吐出装置にも、本発明を適用することは可能である。
【符号の説明】
【００９２】
４  インクジェットヘッド
２０  流路ユニット
２０ａ  第１部分
２０ｂ  第２部分
２１  圧電アクチュエータ
２１ａ  縁
２５  ノズル
３１  プレート
３２  プレート
３１ａ  接合面
４０  インク封止膜
４６，４７  接続端子
４８  接合部
４９  接合部
５０  接合部
５１  ＣＯＦ
５２ａ  端部
６１  個別端子
６２  グランド端子
６２ａ  内側端子部
６２ｂ  外側端子部
６８ａ，６８ｂ，６８ｃ  導電性接着剤
７０  マスク
７０ａ，７０ｂ，７０ｃ  穴
７１  スキージ
７４  接合部
７５  封止材
７６ａ，７６ｂ  接着剤列
７７  接着剤
７８  接着剤
８１  貫通穴
８２  逃がし溝
８３  凹部
８５  空間
８６  穴
８７  逃がし溝
９０  押さえ部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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