(57)【要約】【課題】簡便な構造の光共振器を用いて、スペクトラム線幅の狭い光を出力するレーザ光源を提供する。  【解決手段】レーザ光源１０は光共振器１１０と第１の光フィルタ１２０を備える。第１の光フィルタ１２０は光共振器１１０の外部に設けられ、光共振器構造を構成しない。たとえば、第１の光フィルタ１２０の光共振器１１０側およびその反対側の面には無反射コーティングが施されており、第１の光フィルタ１２０を透過した後の光の光路上には、光共振器１１０方向へ光を反射させる反射構造を有さない。【選択図】図１
2015050404.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光共振器と、
前記光共振器の外部に設けられ、光共振器構造を構成しない第１の光フィルタと
を備えるレーザ光源。
【請求項２】
光共振器と、
前記光共振器の外部に設けられた第１の光フィルタと
を備え、
前記第１の光フィルタの前記光共振器側およびその反対側の面には無反射コーティングが施されており、
前記第１の光フィルタを透過した後の光の光路上には、前記光共振器方向へ前記光を反射させる反射構造を有さない
レーザ光源。
【請求項３】
請求項１または２に記載のレーザ光源であって、
前記光共振器と前記第１の光フィルタは同一基板上に実装されている
レーザ光源。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載のレーザ光源であって、
前記第１の光フィルタは、前記光共振器の縦モード間隔の２倍より小さい透過帯域幅を有する
レーザ光源。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載のレーザ光源であって、
前記光共振器の内部に設けられた第２の光フィルタをさらに備える
レーザ光源。
【請求項６】
請求項５に記載のレーザ光源であって、
前記第２の光フィルタはリング共振器、マッハツェンダー干渉計、分布反射器のいずれかである
レーザ光源。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載のレーザ光源であって、
前記光共振器の内部に設けられた位相調整部をさらに備える
レーザ光源。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載のレーザ光源であって、
前記光共振器と前記第１の光フィルタとの間に、前記第１の光フィルタから前記光共振器への戻り光を遮断する光アイソレータをさらに備える
レーザ光源。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載のレーザ光源であって、
前期第１の光フィルタから出力される光の周波数をモニタする光モニタと、
前記光モニタによりモニタされた前記周波数に基づいて前記光共振器の出力光の周波数を制御する制御部とをさらに備える
レーザ光源。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載のレーザ光源であって、
前記光共振器はファブリペロー型およびループ型のいずれかである
レーザ光源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレーザ光源に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光を発する光源として、スペクトラム線幅の狭い光を発するレーザ光源が求められている。
【０００３】
レーザ光の線幅は、光共振器を構成する導波路損失が十分に小さい場合には、共振器長の２乗に反比例する。一方、導波路損失が大きい場合には共振器長に反比例する。
【０００４】
非特許文献１には、光共振器を長尺化することによって、スペクトラム線幅の狭窄化を図ることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−３３８０７号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】Electronics Letters, vol.21, No.3, pp113-115, 1985
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、本発明者は次の様な問題点を見いだした。光共振器を長尺化した場合には、高い強度の隣接縦モード光が発生する。そして、この隣接縦モード光の出力を防ぐために光共振器内に多段の光フィルタを設けた場合、光共振器の導波路損失が大きくなり、長尺化による線幅の狭窄効果が小さくなってしまう。
【０００８】
特許文献１には、光共振器内に挿入する光フィルタのディチューニング量を調整することで、共振器長を長くすることなく狭線幅化を行うことが記載されているが、光共振器の構造が複雑となる。
【０００９】
本発明の目的は、簡便な構造の光共振器を用いて、スペクトラム線幅の狭い光を出力するレーザ光源を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、
光共振器と、
前記光共振器の外部に設けられ、光共振器構造を構成しない第１の光フィルタと
を備えるレーザ光源が提供される。
【００１１】
本発明によれば、
光共振器と、
前記光共振器の外部に設けられた第１の光フィルタと
を備え、
前記第１の光フィルタの前記光共振器側およびその反対側の面には無反射コーティングが施されており、
前記第１の光フィルタを透過した後の光の光路上には、前記光共振器方向へ前記光を反射させる反射構造を有さない
レーザ光源が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、簡便な構造の光共振器を用いて、スペクトラム線幅の狭い光を出力するレーザ光源を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施形態に係るレーザ光源の構造を示す図である。
【図２】光共振器における、発振モードおよび縦モード間隔について説明するための図である。
【図３】第１の実施形態に係る光共振器の変形例を示す図である。
【図４】第２の実施形態におけるレーザ光源の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１５】
なお、以下に示す説明において、レーザ光源の制御部は、ハードウエア単位の構成ではなく、機能単位のブロックを示している。レーザ光源の制御部は、任意のコンピュータのＣＰＵ、メモリ、メモリにロードされた本図の構成要素を実現するプログラム、そのプログラムを格納するハードディスクなどの記憶メディア、ネットワーク接続用インタフェースを中心にハードウエアとソフトウエアの任意の組合せによって実現される。そして、その実現方法、装置には様々な変形例がある。
【００１６】
（第１の実施形態）  
図１は、第１の実施形態に係るレーザ光源１０の構造を示す図である。本図において、波線は光の経路を模式的に示している。本実施形態によれば、レーザ光源１０は光共振器１１０と第１の光フィルタ１２０を備える。第１の光フィルタ１２０は光共振器１１０の外部に設けられ、光共振器構造を構成しない。
【００１７】
たとえば、第１の光フィルタ１２０の光共振器１１０側およびその反対側の面には無反射コーティングが施されており、第１の光フィルタ１２０を透過した後の光の光路上には、光共振器１１０方向へ光を反射させる反射構造を有さない。
以下で詳細に説明する。
【００１８】
第１の光フィルタ１２０は光共振器１１０の外部に設けられ、光共振器１１０から出力される光のうち、所望の周波数の光のみを透過させる。光共振器１１０は内部に第２の光フィルタ１１２および利得部１１４を備える。第２の光フィルタ１１２は光共振器１１０の内部に設けられている。光共振器１１０の光の出力面である第１面１１７には第１の反射ミラー１１３が設けられ、第１面１１７に対向する第２面１１８には第２の反射ミラー１１５が設けられている。
【００１９】
第１の光フィルタ１２０の入射面および出射面には、無反射コーティングが施されており、光共振器１１０を含む光共振器構造を構成しない。また、レーザ光源１０は、第１の光フィルタ１２０を透過した後の光の光路上には、光共振器１１０方向へ光を反射させる反射構造を有さない。
【００２０】
利得部１１４には電力が入力され、光が発生する。発生した光のうち、特定の周波数の光のみが第２の光フィルタ１１２を通過し、第１の反射ミラー１１３および第２の反射ミラー１１５で反射され、利得部１１４で増幅されることを繰り返すことで発振する。発振した光は光共振器１１０の外部に出力される。第１の反射ミラー１１３と第２の反射ミラー１１５との距離が、共振器長に相当する。図１では、第１面１１７側に利得部１１４を、第２面１１８側に第２の光フィルタ１１２を設ける例を示しているが、第１面１１７側に第２の光フィルタ１１２を、第２面１１８側に利得部１１４を設けても良い。
【００２１】
光共振器１１０から出力された光は第１の光フィルタ１２０に入射する。第１の光フィルタ１２０は所望の発振モードの周波数の光のみを透過させ、発振モードに隣接する縦モードの周波数の光（隣接縦モード光）を除去する。光共振器１１０の共振器長は、所望の線幅を得るために調整されている。本実施形態において、光共振器１１０の共振器長はたとえば５ｍｍである。
【００２２】
図２は、光共振器における、発振モードおよび縦モード間隔について説明するための図である。光共振器におけるスペクトラム線幅（以後では単に線幅と呼ぶ）は、式（１）で表わされる。
【００２３】
【数１】
2015050404.tif 000003
【００２４】
ここでΔｖはレーザ光源の線幅、Ｒｓｐｏｎは自然放出率、Ｓは光共振器内の平均フォトン数、αは線幅増大係数である。Ｒｓｐｏｎは式（２）で、Ｓは式（３）で表される。
【００２５】
【数２】
2015050404.tif 000004
【数３】
2015050404.tif 000005
【００２６】
ここで、ｖｇは光の群速度、ｎｓｐは自然放出係数、αｍは光共振器のミラー損失、αＬは内部損失、Ｐ０は光共振器の片端面からの光出力、ｈνは発振モードのフォトンエネルギーを表す。αｍは式（４）で表される。
【００２７】
【数４】
2015050404.tif 000006
【００２８】
ここで、Ｌは共振器長、Ｒ１およびＲ２は光共振器のそれぞれの端面での光の反射率を表す。式（１）〜（４）より、式（５）が得られる。
【００２９】
【数５】
2015050404.tif 000007
【００３０】
従って、内部損失αＬが小さい領域では線幅は共振器長Ｌの２乗に反比例し、αＬが大きい領域では線幅は共振器長Ｌに反比例することが分かる。つまり、光共振器の長尺化に伴う線幅の狭窄効果を期する場合は、内部損失αＬを小さく設計することが望ましいことが分かる。
【００３１】
次に、光共振器の縦モード間隔Δｆは式（６）で表される。ここで、ｎｅｑは等価屈折率、ｃは真空中の光速度である。したがって、縦モード間隔は共振器長に反比例することが分かる。
【００３２】
【数６】
2015050404.tif 000008
【００３３】
以上より、所望の線幅を得るために、光共振器を長尺化した際の、光共振器の縦モード間隔を算出することができる。
【００３４】
図２は、光共振器の縦モードと光共振器内の光フィルタのミラー損失との関係を示している。発振モードの周波数におけるミラー損失と、その隣接する縦モードにおけるミラー損失の差分を発振閾値利得差Δｇと呼び、Δｇが大きいほど発振周波数の選択性や安定性が良好となる。
【００３５】
光共振器を長尺化した場合、先に述べたように、縦モード間隔が小さくなるため、光共振器内に設けられた光フィルタのミラー損失の特性が不変である場合は、Δｇが小さくなる。このため、発振周波数の選択性や安定性が劣化する。
【００３６】
このような隣接縦モード光の出力を防ぐために、光共振器の内部に光フィルタを多段化して設けることが考えられる。しかしこの場合、光共振器の内部損失が増大し、光共振器の長尺化に伴う線幅の狭窄効果が小さくなる。また、光フィルタ調整用の電気入力端子などを多く配置する必要があるため、操作の煩雑さやコストの増大を招く。
【００３７】
本実施形態に係るレーザ光源１０では、光共振器１１０の外部に第１の光フィルタ１２０が設けられている。そのため、光共振器の長尺化に伴う線幅の狭窄効果を損なうことなく、隣接する縦モードの光を除去することができる。また、光共振器の構成が複雑化することもない。
【００３８】
第１の光フィルタ１２０は、光共振器１１０から出力される光に含まれる複数の縦モードのうちひとつを透過するよう、光共振器１１０の縦モード間隔の２倍より小さい透過帯域幅を有することが好ましい。なお、透過帯域幅とは、光電力の透過率が最大点の半分以上となる範囲のことを示す。
【００３９】
図１に戻り、本実施形態に係るレーザ光源１０の構造について詳細に説明する。レーザ光源１０は光共振器１１０と第１の光フィルタ１２０とを備える。光共振器１１０は、利得部１１４および第２の光フィルタ１１２を有する。さらに、光共振器１１０の第１面１１７および第２面１１８には反射ミラー１１３，１１５が設けられている。
【００４０】
利得部１１４は、電力入力により光を発生させ、増幅させる。利得部１１４は、たとえば、ＩｎＰ基板上にＩｎＧａＡｓＰ系材料層もしくはＩｎＧａＡｓＡｓ系材料層が形成された構造を有する。
【００４１】
第２の光フィルタ１１２は、利得部１１４で発生した光のうち、特定の周波数の光のみを透過させる。第２の光フィルタ１１２はたとえばリング共振器、マッハツェンダー干渉計、分布反射器（Distributed Bragg Reflector：ＤＢＲ）などである。第２の光フィルタ１１２は周波数選択性があり、かつ発振周波数のチューニングが可能なものが望ましい。発振周波数のチューニングは、たとえば電流注入によるプラズマ効果や、温度調整などにより、光フィルタの屈折率を変化させることにより行うことができる。
【００４２】
反射ミラー１１３，１１５は、光共振器１１０の両端で光を繰り返し反射させる。利得部１１４での増幅、第２の光フィルタ１１２での周波数選択、反射ミラー１１３，１１５での反射を繰り返すことで、レーザ発振を生じる。
【００４３】
２つの反射ミラー１１３，１１５の反射率が同一の場合は、両方の反射ミラー１１３，１１５から同じ強度の光が出力されることになる。本実施形態では、第１面１１７からのみ光を出力させるために、反射ミラー１１３，１１５の反射率を調整している。具体的には、第１の反射ミラー１１３の反射率を低減させ、第１面１１７から出力される光の強度を大きくするために、第１の反射ミラー１１３の反射面にはＬＲ（Low Reflection）コーティングが施されている。一方、第２の反射ミラー１１５の反射率を増大させ、第２面１１８から出力される光の強度を小さくするために、第２の反射ミラー１１５の反射面にはＨＲ（High Reflection）コーティングが施されている。反射率は、第１の反射ミラー１１３で３〜１０％、第２の反射ミラー１１５で９０％前後とすることが好ましい。
【００４４】
第１の光フィルタ１２０は、光共振器１１０の第１面１１７の前方に配置され、第１面１１７から出力された光のうち、所望の周波数の光のみを透過させる。第１の光フィルタ１２０は、たとえばファイバーブラッググレーティング（Fiber Bragg Grating：ＦＢＧ）である。第１の光フィルタ１２０はいずれの光共振器の経路の中にも配置されていない。つまり、第１の光フィルタ１２０は光共振器の構成要素とはなっていない。
【００４５】
なお、本実施形態に係る光共振器１１０は第２の光フィルタ１１２を必ずしも備える必要はない。光共振器１１０の温度を制御することで光共振器１１０から出力する光を制御でき、第１の光フィルタ１２０を通すことで所望の周波数の光を得ることができるためである。
【００４６】
本実施形態に係るレーザ光源１０は、光共振器１１０と第１の光フィルタ１２０を同一基板上に実装することも可能である。また、それらを半導体基板に集積して構成することも可能である。レーザ光源１０を小面積の半導体基板上に作製することで、低コスト化や小型化が可能となる。
【００４７】
光共振器１１０においては、第２の光フィルタ１１２，利得部１１４および反射ミラー１１３，１１５を一体の構造として構成することもできる。その場合、第２の光フィルタ１１２および利得部１１４を備える基板の端面を反射ミラー１１３，１１５として用いることも可能である。
【００４８】
図３は本実施形態に係る光共振器１１０の変形例を示す図である。本実施形態においては、光共振器１１０が２つの反射ミラー１１３，１１５を備えるファブリペロー型である例について説明したが、たとえば図３のように反射ミラーを光共振器１１０の第１面１１７にのみ設け、光共振器１１０の内部で光の経路がループ状となるループ型とすることもできる。本図において、波線は光の経路を模式的に示している。この場合、先に述べたような端面コーティングを施さなくても、第１面１１７からのみ光を出力させることができる。たとえば光共振器１１０を基板上に構成する場合には、光導波路を半導体基板の端面と接触しないようにループ状に形成する。図３は、ループが第２の光フィルタ１１２に形成されている例を示しているが、ループは、利得部１１４に形成しても良いし、第２の光フィルタ１１２に形成しても良いし、それ以外の領域に形成しても良い。ループ型の光共振器１１０では、第１の反射ミラー１１３で反射した光がループを通り、再び第１の反射ミラー１１３に入射するまでの光の経路の長さが共振器長に相当する。
【００４９】
次に、本実施形態の作用および効果について説明する。本実施形態に係るレーザ光源１０では、光共振器１１０の外部に第１の光フィルタ１２０を設け、光共振器１１０から出力される隣接縦モード光を除去する。このことにより、発振周波数の選択性、安定性に優れた狭線幅レーザ光の出力が可能である。
【００５０】
また、本実施形態に係るレーザ光源１０は、光共振器１１０の外部に第１の光フィルタ１２０を設けていることにより、光共振器１１０の長尺化に伴う線幅の狭窄効果に優れる。光共振器の内部に光フィルタを追加する必要がないため、内部損失の増大を招かないためである。このことにより、レーザ光源１０は、狭線幅のレーザ光を出力できる。
【００５１】
また、本実施形態に係るレーザ光源１０は、光共振器１１０の外部に第１の光フィルタ１２０を設けていることにより、操作が簡単で低コストに実現できる。光共振器１１０の内部に光フィルタを追加する必要がないため、光フィルタを調整するための電気入力端子などを増やす必要がないからである。
【００５２】
（第２の実施形態）
図４は、第２の実施形態におけるレーザ光源１０の構成を示す図である。本実施形態に係るレーザ光源１０は、第１の実施形態に係るレーザ光源１０の構成に加えて、光アイソレータ１３０、光モニタ１４０、および制御部１５０を備え、光共振器１１０の内部に位相調整部１１６を備える。その他、以下に説明する点を除いて、本実施形態に係るレーザ光源１０は、第１の実施形態に係るレーザ光源１０と同一である。
【００５３】
本実施形態に係るレーザ光源１０は、光共振器１１０、光アイソレータ１３０、第１の光フィルタ１２０、光モニタ１４０、および制御部１５０を備える。光共振器１１０は内部に、第２の光フィルタ１１２、位相調整部１１６、利得部１１４を備える。光共振器１１０の第１面１１７には第１の反射ミラー１１３が、第２面１１８には第２の反射ミラー１１５が設けられている。第１の光フィルタ１２０は光共振器１１０の外部に設けられ、光共振器構造を構成しない。
【００５４】
光共振器１１０と第１の光フィルタ１２０の間には光アイソレータ１３０が設けられている。光アイソレータ１３０は第１の光フィルタ１２０から光共振器１１０への戻り光を遮断する。このように光アイソレータ１３０を設ける場合には、第１の光フィルタ１２０には無反射コーティングを施す必要がない。また、レーザ光源１０は、第１の光フィルタ１２０を透過した後の光の光路上に、光共振器１１０方向へ光を反射させる反射構造を有しても良い。
【００５５】
第１の光フィルタ１２０を光が透過した先には、さらにハーフミラー１６０が設けられている。ハーフミラー１６０は第１の光フィルタ１２０を透過した光の一部を反射し光モニタ１４０に導く。反射されなかった光はハーフミラー１６０を透過し、レーザ光源１０の外部に出力される。
【００５６】
光モニタ１４０は、光モニタ１４０に入射する光の周波数、すなわち、第１の光フィルタ１２０から出力される光の周波数をモニタする。モニタされた周波数は、制御部１５０に入力される。制御部１５０は、光モニタ１４０によりモニタされた周波数に基づいて、光共振器１１０の出力光の周波数を制御する。以下に詳細に説明する。
【００５７】
本実施形態に係る光共振器１１０は、内部に位相調整部１１６を備える。図４では、位相調整部１１６は、第２の光フィルタ１１２と利得部１１４の間に配置された図を示しているが、これに限定するものではない。位相調整部１１６を透過する光は位相が調整され、その結果、光共振器１１０の発振周波数が縦モード間隔より小さい範囲で調整される。位相調整部１１６は、たとえばＩｎＰ基板上にＩｎＧａＡｓＰ系材料を層が形成された構造を有する。位相調整部１１６に入力する電流量により、位相調整部１１６内における光路の屈折率を調整することができる。
【００５８】
光共振器１１０の内部に設けられた第２の光フィルタ１１２は、複数の光フィルタを有する。複数の光フィルタを有することにより、周波数の可変幅を増大することが可能である。また、第２の光フィルタ１１２は、複数の異なる種類の光フィルタを有する。このことで、同一タイプの光フィルタの組み合わせでは実現が困難な光フィルタが構成されている。たとえば第２の光フィルタ１１２は、フリースペクトラルレンジ（free spectral range：ＦＳＲ）が小さく、微調整に適したフィルタの実現が容易なリング共振器と、ＦＳＲが大きく、荒調整に適したフィルタの実現が容易なマッハツェンダー干渉計とが組み合わされた構造を有する。
【００５９】
光共振器１１０と第１の光フィルタ１２０との間には光アイソレータ１３０が設けられている。光アイソレータ１３０は、第１の光フィルタ１２０側から光共振器１１０側への戻り光を防ぐ。光アイソレータ１３０は市販されているものを使用できるが、より小型化するために半導体基板上に構成されたものを使用してもよい。また、光アイソレータ１３０は光共振器１１０と同一基板上に構成することもできる。
【００６０】
光共振器１１０から出力され、光アイソレータ１３０および第１の光フィルタ１２０を透過した光の一部は、ハーフミラー１６０を介して光モニタ１４０に入射する。光モニタ１４０は、入射した光の周波数をモニタする。光モニタ１４０はたとえば、ＦＳＲが固有の値に定められたファブリペローエタロンと、フォトダイオードを有する。ファブリペローエタロンにより、周波数の変化は光の強度変化に変換され、その光強度がフォトダイオードによりモニタされる。光モニタ１４０によりモニタされた周波数変化の情報は制御部１５０に入力される。
【００６１】
制御部１５０は、光モニタ１４０から入力された周波数変化の情報に基づいて、位相調整部１１６を制御する。すなわち、レーザ光源１０から出力させる光の所望の周波数と、光共振器１１０から出力される光の周波数とが一致するように、位相調整部１１６を制御する。制御方法としてはフィードバック制御を用いることができる。
【００６２】
なお、本実施形態に係るレーザ光源１０では、制御部１５０は位相調整部１１６を制御することにより、光共振器１１０の出力光の周波数を制御したが、これに限定されるものではない。制御部１５０は、第２の光フィルタ１１２を制御しても良いし、光共振器１１０の温度を制御しても良い。
【００６３】
なお、本実施形態においては、第１の実施形態に係るレーザ光源１０の構成に加え、光アイソレータ１３０、光モニタ１４０、制御部１５０、位相調整部１１６を備える例について説明したが、必ずしもこれらを全て備える必要は無い。また、第２の光フィルタ１１２が複数の光フィルタを有する例について説明したが、第２の光フィルタ１１２は必ずしも複数の光フィルタを有する必要は無い。
【００６４】
次に、本実施形態の作用および効果について説明する。本実施形態においては第１の実施形態と同様の作用および効果が得られる。加えて、以下の作用および効果が得られる。
【００６５】
位相調整部１１６を備えない光共振器１１０では、光共振器１１０の温度変化に伴う光の経路の屈折率変化を利用して、出力する光の周波数を微調整する。それに対し、本実施形態に係るレーザ光源１０は、光共振器１１０の内部に位相調整部１１６を備えることによって、出力する光の周波数を高速に微調整することができる。また、利得部１１４の温度が上昇することにより光出力が低下したり、付随的に第１の光フィルタ１２０の温度が変化することにより第１の光フィルタ１２０の周波数特性が変化したりすることを防ぐことができ、出力光の安定的な制御が可能である。
【００６６】
本実施形態に係るレーザ光源１０は、光共振器１１０と第１の光フィルタ１２０との間に光アイソレータ１３０を備えることにより、光共振器１１０への戻り光を防ぎ、レーザ光源１０の内部反射に伴う不安定動作を防止できる。
【００６７】
本実施形態に係るレーザ光源１０は、光モニタ１４０および制御部１５０を備え、光共振器１１０からの出力光の周波数が制御される。このことで、レーザ光源１０から出力される光の周波数を安定化するとともに、出力される光の強度を最大化することができる。
【００６８】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
以下、参考形態の例を付記する。
１． 光共振器と、
前記光共振器の外部に設けられ、光共振器構造を構成しない第１の光フィルタと
を備えるレーザ光源。
２． 光共振器と、
前記光共振器の外部に設けられた第１の光フィルタと
を備え、
前記第１の光フィルタの前記光共振器側およびその反対側の面には無反射コーティングが施されており、
前記第１の光フィルタを透過した後の光の光路上には、前記光共振器方向へ前記光を反射させる反射構造を有さない
レーザ光源。
３． １．または２．に記載のレーザ光源であって、
前記光共振器と前記第１の光フィルタは同一基板上に実装されている
レーザ光源。
４． １．から３．のいずれか一つに記載のレーザ光源であって、
前記第１の光フィルタは、前記光共振器の縦モード間隔の２倍より小さい透過帯域幅を有する
レーザ光源。
５． １．から４．のいずれか一つに記載のレーザ光源であって、
前記光共振器の内部に設けられた第２の光フィルタをさらに備える
レーザ光源。
６． ５．に記載のレーザ光源であって、
前記第２の光フィルタはリング共振器、マッハツェンダー干渉計、分布反射器のいずれかである
レーザ光源。
７． １．から６．のいずれか一つに記載のレーザ光源であって、
前記光共振器の内部に設けられた位相調整部をさらに備える
レーザ光源。
８． １．から７．のいずれか一つに記載のレーザ光源であって、
前記光共振器と前記第１の光フィルタとの間に、前記第１の光フィルタから前記光共振器への戻り光を遮断する光アイソレータをさらに備える
レーザ光源。
９． １．から８．のいずれか一つに記載のレーザ光源であって、
前期第１の光フィルタから出力される光の周波数をモニタする光モニタと、
前記光モニタによりモニタされた前記周波数に基づいて前記光共振器の出力光の周波数を制御する制御部とをさらに備える
レーザ光源。
１０． １．から９．のいずれか一つに記載のレーザ光源であって、
前記光共振器はファブリペロー型およびループ型のいずれかである
レーザ光源。
１１． ５．に記載のレーザ光源であって、
前記第２の光フィルタは、複数の光フィルタを有する
レーザ光源。
【符号の説明】
【００６９】
１０ レーザ光源
１１０ 光共振器
１１２ 第２の光フィルタ
１１３ 第１の反射ミラー
１１４ 利得部
１１５ 第２の反射ミラー
１１６ 位相調整部
１１７ 第１面
１１８ 第２面
１２０ 第１の光フィルタ
１３０ 光アイソレータ
１４０ 光モニタ
１５０ 制御部
１６０ ハーフミラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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