(57)【要約】【課題】振動漏れを抑制しつつ、小型化することが容易な圧電振動片、及び圧電振動子を提供する。また、そのような圧電振動子を備え、信頼性に優れた発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。【解決手段】本発明の圧電振動片の一つの態様は、基部と、基部に接続され、幅方向に並んで配置された一対の振動腕部と、基部の幅方向の両端から幅方向に延出する一対の連結腕部と、一対の連結腕部の基部と逆側の端部から振動腕部の長さ方向に沿って延出する一対の支持腕部と、を備え、連結腕部と、支持腕部における連結腕部側の接続端部と、のうちの少なくとも一部の主面に、有底の凹部が形成され、基部は、非凹部形成部であることを特徴とする。【選択図】図３
2015159367.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部に接続され、幅方向に並んで配置された一対の振動腕部と、
前記基部の前記幅方向の両端から前記幅方向に延出する一対の連結腕部と、
一対の前記連結腕部の前記基部と逆側の端部から前記振動腕部の長さ方向に沿って延出する一対の支持腕部と、
を備え、
前記連結腕部と、前記支持腕部における前記連結腕部側の接続端部と、のうちの少なくとも一部の主面に、有底の凹部が形成され、
前記基部は、非凹部形成部であることを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
基部と、
幅方向に並んで配置された一対の振動腕部と、
前記基部の前記幅方向の両端から前記幅方向に延出し、前記基部と前記振動腕部とを接続する一対の連結腕部と、
一対の前記振動腕部の間に配置され、前記基部から前記振動腕部の長さ方向に沿って延出する支持腕部と、
を備え、
前記連結腕部と、前記支持腕部における前記基部側の接続端部と、のうちの少なくとも一部の主面に、有底の凹部が形成され、
前記基部は、非凹部形成部であることを特徴とする圧電振動片。
【請求項３】
前記凹部は、前記連結腕部と、前記支持腕部の前記接続端部と、のうちのいずれか一方に形成されている、請求項１または２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記凹部は、前記支持腕部の前記接続端部に形成されている、請求項３に記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記凹部は、前記連結腕部に形成されている、請求項３に記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記凹部は、前記連結腕部における前記幅方向の一部に形成されている、請求項５に記載の圧電振動片。
【請求項７】
前記凹部は、前記支持腕部の前記接続端部における前記幅方向の一部に形成されている、請求項４に記載の圧電振動片。
【請求項８】
前記凹部は、両面に形成されている、請求項１から７のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項９】
前記凹部は複数形成され、
複数の前記凹部は、一対の前記振動腕部同士の間の前記幅方向の中心を通り、かつ、前記長さ方向に平行な中心線に対して、線対称となるように配置されている、請求項１から８のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項１０】
ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージと、
前記ベース部材における実装面にマウントされ、前記キャビティ内に収容された請求項１から９のいずれか一項に記載の圧電振動片と、を備えることを特徴とする圧電振動子。
【請求項１１】
請求項１０に記載の圧電振動子を備え、前記圧電振動子は発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
【請求項１２】
請求項１０に記載の圧電振動子を備え、前記圧電振動子は計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
【請求項１３】
請求項１０に記載の圧電振動子を備え、前記圧電振動子はフィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動漏れを抑制することを目的として、基部に切欠き部が形成された圧電振動片が提案されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−７８０７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記のような構成では、基部に切欠き部が形成されているため、基部が軽量化され、振動腕部から基部へと振動が伝わりやすくなってしまう場合があった。これにより、有効に振動漏れを抑制できない場合があった。
【０００５】
この問題に対して、基部の重量を増加させることで振動腕部から基部へと振動が伝わりにくくする構成も考えられるが、その場合においては基部が大型化し、圧電振動片の小型化が困難になるという問題があった。
【０００６】
本発明の一つの態様は、上記問題点に鑑みて成されたものであって、振動漏れを抑制しつつ、小型化することが容易な圧電振動片、及び圧電振動子を提供することを目的の一つとする。また、本発明の一つの態様は、そのような圧電振動子を備え、信頼性に優れた発振器、電子機器、及び電波時計を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の圧電振動片の一つの態様は、基部と、前記基部に接続され、幅方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記基部の前記幅方向の両端から前記幅方向に延出する一対の連結腕部と、一対の前記連結腕部の前記基部と逆側の端部から前記振動腕部の長さ方向に沿って延出する一対の支持腕部と、を備え、前記連結腕部と、前記支持腕部における前記連結腕部側の接続端部と、のうちの少なくとも一部の主面に、有底の凹部が形成され、前記基部は、非凹部形成部であることを特徴とする。
【０００８】
本発明の圧電振動片の一つの態様は、基部と、幅方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記基部の前記幅方向の両端から前記幅方向に延出し、前記基部と前記振動腕部とを接続する一対の連結腕部と、一対の前記振動腕部の間に配置され、前記基部から前記振動腕部の長さ方向に沿って延出する支持腕部と、を備え、前記連結腕部と、前記支持腕部における前記基部側の接続端部と、のうちの少なくとも一部の主面に、有底の凹部が形成され、前記基部は、非凹部形成部であることを特徴とする。
【０００９】
前記凹部は、前記連結腕部と、前記支持腕部の前記接続端部と、のうちのいずれか一方に形成されている構成としてもよい。
【００１０】
前記凹部は、前記支持腕部の前記接続端部に形成されている構成としてもよい。
【００１１】
前記凹部は、前記連結腕部に形成されている構成としてもよい。
【００１２】
前記凹部は、前記連結腕部における前記幅方向の一部に形成されている構成としてもよい。
【００１３】
前記凹部は、前記支持腕部の前記接続端部における前記幅方向の一部に形成されている構成としてもよい。
【００１４】
前記凹部は、両面に形成されている構成としてもよい。
【００１５】
前記凹部は複数形成され、複数の前記凹部は、一対の前記振動腕部同士の間の前記幅方向の中心を通り、かつ、前記長さ方向に平行な中心線に対して、線対称となるように配置されている構成としてもよい。
【００１６】
本発明の圧電振動子の一つの態様は、ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージと、前記ベース部材における実装面にマウントされ、前記キャビティ内に収容された上記の圧電振動片と、を備えることを特徴とする。
【００１７】
本発明の発振器の一つの態様は、上記の圧電振動子を備え、前記圧電振動子は発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする。
【００１８】
本発明の電子機器の一つの態様は、上記の圧電振動子を備え、前記圧電振動子は計時部に電気的に接続されていることを特徴とする。
【００１９】
本発明の電波時計の一つの態様は、上記の圧電振動子を備え、前記圧電振動子はフィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の一つの態様によれば、振動漏れを抑制しつつ、小型化することが容易な圧電振動片、及び圧電振動子が提供される。また、本発明の一つの態様によれば、そのような圧電振動子を備え、信頼性に優れた発振器、電子機器、及び電波時計が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第１実施形態の圧電振動子を示す分解斜視図である。
【図２】第１実施形態の圧電振動子を示す断面図である。
【図３】第１実施形態の圧電振動片を示す平面図である。
【図４】第１実施形態の圧電振動片を示す図であって、図３におけるIV−IV断面図である。
【図５】第１実施形態の圧電振動片を示す図であって、図３におけるV−V断面図である。
【図６】第１実施形態の圧電振動片の製造方法を示すフローチャートである。
【図７】第２実施形態の圧電振動片を示す平面図である。
【図８】第２実施形態の圧電振動片を示す図であって、図７におけるVIII−VIII断面図である。
【図９】第３実施形態の圧電振動片を示す平面図である。
【図１０】第３実施形態の圧電振動片を示す図であって、図９におけるX−X断面図である。
【図１１】第４実施形態の圧電振動片を示す平面図である。
【図１２】第４実施形態の圧電振動片を示す図であって、図１１におけるXII−XII断面図である。
【図１３】発振器の実施形態の一例を示す図である。
【図１４】電子機器の実施形態の一例を示す図である。
【図１５】電波時計の実施形態の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図を参照しながら、本発明の実施形態に係る圧電振動片、及び圧電振動子について説明する。
なお、本発明の範囲は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせる場合がある。
【００２３】
（第１実施形態）
［圧電振動子］
図１及び図２は、本実施形態の圧電振動子１を示す図である。図１は、分解斜視図である。図２は、断面図である。図３から図５は、本実施形態の圧電振動片１００を示す図である。図３は、平面図である。図４は、図３におけるIV−IV断面図である。図５は、図３におけるV−V断面図である。
【００２４】
なお、以下の説明においては、ＸＹＺ軸を設定し、このＸＹＺ座標系を参照しつつ各部材の位置関係を説明する。この際、圧電振動子１（図１参照）の厚み方向をＺ軸方向、圧電振動子１の長手方向をＹ軸方向、圧電振動子１の短手方向をＸ軸方向とする。
【００２５】
本実施形態の圧電振動子１は、図１に示すように、外形が略直方体状のいわゆるセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。圧電振動子１は、気密に封止されたキャビティＣ１を有するパッケージ２と、キャビティＣ１に収容された圧電振動片１００とを備える。
【００２６】
パッケージ２は、図１に示すように、パッケージ本体（ベース部材）３と、封口板（リッド部材）４とを備える。パッケージ本体３は、有底の凹部３ａを有する部材である。凹部３ａは、後述するシールリング５２の内側面５２ａと、後述する第２ベース基板５１上に形成された貫通孔５１ａの内側面と、後述する第１ベース基板５０の上面５０ａとで構成されている。
【００２７】
封口板４は、パッケージ本体３の凹部３ａの開口を塞いでおり、パッケージ本体３と接合されている。キャビティＣ１は、パッケージ本体３の凹部３ａの内側に相当する内部空間であり、パッケージ本体３と封口板４とによって、パッケージ２の外部と仕切られている。
【００２８】
パッケージ本体３は、第１ベース基板５０と、第１ベース基板５０上に配置された第２ベース基板５１と、第２ベース基板５１上に配置されたシールリング５２とを含む。
【００２９】
第１ベース基板５０と第２ベース基板５１とは、それぞれ、平面視（ＸＹ面視）において外形が概ね長方形の板状部材である。第２ベース基板５１は、平面視（ＸＹ面視）において外形寸法が第１ベース基板５０とほぼ同じである。
【００３０】
第１ベース基板５０と第２ベース基板５１とは、それぞれ、セラミックス製である。第１ベース基板５０と第２ベース基板５１との形成材料は、例えば、アルミナを主成分とする高温焼成セラミックス（ＨＴＣＣ：Ｈｉｇｈ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）であってもよいし、ガラスセラミックス等の低温焼成セラミックス（ＬＴＣＣ：Ｌｏｗ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）であってもよい。
【００３１】
第１ベース基板５０において、第２ベース基板５１側（＋Ｚ側）の上面５０ａの一部は、パッケージ本体３の凹部３ａの底面に相当する。
第２ベース基板５１は、第１ベース基板５０に重ねられており、第１ベース基板５０と焼結などで結合されている。すなわち、第２ベース基板５１は、第１ベース基板５０と一体化されている。
【００３２】
第２ベース基板５１には、図１及び図２に示すように、貫通孔５１ａが形成されている。貫通孔５１ａの内側面は、パッケージ本体３の凹部３ａの側壁の一部を構成している。貫通孔５１ａの短手方向の一方側（−Ｘ側）の内側面には、貫通孔５１ａに突出して実装部５５が設けられている。貫通孔５１ａの短手方向の他方側（＋Ｘ側）の内側面には、貫通孔５１ａに突出して実装部５６が設けられている。実装部５５と実装部５６とは、互いに対向して設けられている。貫通孔５１ａの平面視（ＸＹ面視）形状は、矩形から実装部５５，５６の平面視（ＸＹ面視）形状を除いた形状である。
【００３３】
実装部５５，５６のシールリング５２側（＋Ｚ側）の面は、圧電振動片１００がマウントされる実装面５５ａ，５６ａである。実装面５５ａには、電極パッド５３が設けられている。実装面５６ａには、電極パッド５４が設けられている。実装部５５，５６の平面視（ＸＹ面視）形状は、本実施形態においては、例えば、矩形状である。実装部５５，５６は図２に示すように、電極パッド５３，５４を介して圧電振動片１００と接触する。
【００３４】
電極パッド５３と電極パッド５４とは、圧電振動片１００と電気的に接続される一対の端子である。電極パッド５３及び電極パッド５４は、例えば、バンプ電極である。
詳しくは後述するが、圧電振動片１００には、基板実装用のマウント部１７及びマウント部１８が設けられている。電極パッド５３は、圧電振動片１００のマウント部１７に形成された図示しないマウント電極と電気的に接続され、電極パッド５４は、圧電振動片１００のマウント部１８に形成された図示しないマウント電極と電気的に接続される。
【００３５】
シールリング５２は、図１に示すように、平面視（ＸＹ面視）で矩形状の枠状部材であり、パッケージ本体３の凹部３ａの側壁の一部を構成する。シールリング５２は、平面視（ＸＹ面視）における外形寸法が、第２ベース基板５１よりも一回り小さい。シールリング５２は、銀ロウ等のロウ材や半田材等を用いた焼付けによって、第２ベース基板５１のシールリング５２側（＋Ｚ側）の面（以下、第２ベース基板５１の上面）に接合されている。シールリング５２は、第２ベース基板５１の上面に形成された金属接合層に対する溶着等によって、第２ベース基板５１の上面と接合されていてもよい。この金属接合層は、電解メッキ法、無電解メッキ法、蒸着法、スパッタ法の少なくとも１つを用いて形成されていてもよい。
【００３６】
シールリング５２は、導電性の部材であり、例えば、ニッケル基合金を含む。このニッケル基合金は、コバール、エリンバー、インバー、４２−アロイのうち１種または２種以上を含んでいてもよい。シールリング５２の形成材料は、第１ベース基板５０及び第２ベース基板５１と熱膨張係数が近い材料から選択されていてもよい。例えば、第１ベース基板５０及び第２ベース基板５１の形成材料として、熱膨張係数が６．８×１０-6／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング５２の形成材料は、熱膨張係数が５．２×１０-6／℃のコバールであってもよいし、熱膨張係数が４．５〜６．５×１０-6／℃の４２−アロイであってもよい。
【００３７】
シールリング５２の内形は、実装部５５，５６が形成されている箇所を除いて、貫通孔５１ａと平面視（ＸＹ面視）で重なっている。
【００３８】
封口板４は、図２に示すように、シールリング５２上に重ねられており、シールリング５２の開口（凹部３ａの開口）を塞いでいる。上述のキャビティＣ１は、第１ベース基板５０と第２ベース基板５１とシールリング５２と封口板４とに囲まれる空間である。すなわち、圧電振動片１００は、平面視（ＸＹ面視）で、シールリング５２の内側に収容されている。
【００３９】
封口板４は、導電性の基板であり、シールリング５２と接合されている。シールリング５２は、例えば、ローラ電極を接触させることによるシーム溶接、レーザ溶接、超音波溶接などの溶接によって、封口板４と接合される。封口板４とシールリング５２とを溶接する場合に、封口板４の下面（−Ｚ側の面）とシールリング５２の上面（＋Ｚ側の面）との一方または双方にニッケル、金等の接合層が設けられていると、溶接による接合の信頼性が向上し、例えば、キャビティＣ１の気密性を確保しやすくなる。
【００４０】
第１ベース基板５０の下方側（−Ｚ側）の面には、外部電極５７及び外部電極５８が設けられている。
外部電極５７及び外部電極５８は、圧電振動子１の外部のデバイス、例えば、圧電振動子１が実装されるデバイスからの電力の供給を受ける端子である。
【００４１】
パッケージ本体３には、電極パッド５３と外部電極５７とを電気的に接続する第１配線（図示せず）と、電極パッド５４と外部電極５８とを電気的に接続する第２配線（図示せず）とが設けられている。すなわち、外部電極５７に印加された電位は、第１配線及び電極パッド５３を介して、圧電振動片１００のマウント部１７に形成されたマウント電極に印加される。また、外部電極５８に印加された電位は、第２配線及び電極パッド５４を介して、圧電振動片１００のマウント部１８に形成されたマウント電極に印加される。圧電振動片１００は、各マウント電極に供給される電力によって、振動する。
【００４２】
なお、第１配線は、例えば、第１ベース基板５０を厚み方向（Ｚ軸方向）に貫通して外部電極５７と導通する第１貫通電極と、第２ベース基板５１を厚み方向（Ｚ軸方向）に貫通して電極パッド５３と導通する第２貫通電極と、第１ベース基板５０と第２ベース基板５１との間に設けられ第１貫通電極と第２貫通電極とを電気的に接続する接続配線と、を含む。電極パッド５４と外部電極５８とを電気的に接続する第２配線は、第１配線と同様の構成である。第１配線と第２配線の構成は、適宜変更できる。
【００４３】
［圧電振動片］
次に、本実施形態の圧電振動片１００について説明する。
圧電振動片１００は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電体に、電極あるいは配線として機能する導電膜パターンなどの付帯物が形成された板状の部品である。本実施形態の圧電振動片１００は、いわゆるサイドアーム型の圧電振動片である。
【００４４】
圧電振動片１００は、図３に示すように、基部１０と、基部１０に接続され、幅方向（Ｘ軸方向）に並んで配置された一対の振動腕部２１，２２と、基部１０における振動腕部２１，２２の幅方向（Ｘ軸方向）の両端に接続され、幅方向に延出する一対の連結腕部２３，２４と、連結腕部２３，２４の基部１０とは逆側の端部にそれぞれ接続された支持腕部１５，１６と、支持腕部１５，１６に設けられた２つのマウント部１７，１８とを備える。本実施形態において、基部１０、一対の振動腕部２１，２２、連結腕部２３，２４及び支持腕部１５，１６は、一体的に形成されており、隣接する各部が界面なく連続している。図３及び図５においては、各部の範囲を示すために、各部の基端あるいは先端を２点鎖線で示している。なお、後述する図７，９，１０，１１についても同様である。
【００４５】
基部１０の平面視（ＸＹ面視）形状は、図３に示すように、矩形状である。
基部１０には、後述する凹部３１ａのような凹部は形成されていない。すなわち、基部１０は、非凹部形成部である。
【００４６】
ここで、本明細書において、基部１０が非凹部形成部である、とは、厳密に基部１０に凹部がまったく形成されていないことのみを意味するものではなく、製造過程等において基部１０にわずかな凹みや、傷が生じる場合や、後述する振動腕部２１の溝部４１ａ等がわずかに基部１０にはみ出して形成されたような場合も許容されるものとする。
【００４７】
基部１０における振動腕部２１，２２の幅方向両側（±Ｘ側）の端部には、それぞれ連結腕部２３，２４が接続されている。基部１０における振動腕部２１，２２の長さ方向の一方側（＋Ｙ側）には、振動腕部２１，２２が接続されている。
【００４８】
振動腕部２１，２２は、それぞれ長さ方向の一方側（−Ｙ側）の端部で、基部１０と接続されている。振動腕部２１と振動腕部２２とは、振動腕部２１と振動腕部２２との間の幅方向（Ｘ軸方向）の中心を通り、振動腕部２１，２２の長さ方向（Ｙ軸方向）に平行な中心線Ｐ１に対して線対称に設けられている。
振動腕部２１と振動腕部２２とは、形状及び寸法が同様であるため、以下の説明においては、代表して、振動腕部２１についてのみ説明する場合がある。
【００４９】
振動腕部２１は、略均一な幅で直線的に延びる帯状部１１と、幅（Ｘ軸方向長さ）が帯状部１１よりも広いハンマー部１３とを備える。同様にして、振動腕部２２は、帯状部１２と、ハンマー部１４とを備える。
【００５０】
帯状部１１における圧電振動片１００の表面（＋Ｚ側の主面）１９ａには、溝部４１ａが形成されている。溝部４１ａは、振動腕部２１の長さ方向（Ｙ軸方向）とほぼ平行に延びている。溝部４１ａの深さ方向は、圧電振動片１００の厚み方向（Ｚ軸方向）とほぼ平行である。溝部４１ａの断面（ＺＸ断面）形状は、特に限定されず、本実施形態においては、図４に示すように、例えば、矩形状である。
【００５１】
帯状部１１における圧電振動片１００の裏面（−Ｚ側の主面）１９ｂには、表面１９ａと同様に、溝部４１ｂが形成されている。本実施形態においては、溝部４１ａと溝部４１ｂとは、平面視（ＸＹ面視）において重なるように形成されている。
【００５２】
振動腕部２１と同様にして、振動腕部２２の帯状部１２には、溝部４２ａ及び溝部４２ｂが形成されている。
【００５３】
ハンマー部１３，１４は、それぞれ帯状部１１，１２の基部１０と接続されている側と逆側（＋Ｙ側）の先端から、帯状部１１，１２の長手方向（Ｙ軸方向）に沿うように延出して形成されている。ハンマー部１３，１４の幅（Ｘ軸方向長さ）は、帯状部１１，１２の幅（Ｘ軸方向長さ）よりも大きく形成されている。ハンマー部１３，１４は、基部１０を固定端として、幅方向（Ｘ軸方向）に振動する自由端に設定されている。
【００５４】
振動腕部２１における表面１９ａ、裏面１９ｂ及び溝部４１ａ，４１ｂの内壁には、図示しない励振電極が形成されている。振動腕部２２についても同様である。
【００５５】
連結腕部２３は、図３に示すように、基部１０と支持腕部１５とを接続している。連結腕部２３は、基部１０の幅方向の一方側（−Ｘ側）の端部から幅方向に延出して設けられている。連結腕部２３における表面１９ａには、有底の凹部３１ａが形成されている。
凹部３１ａは、連結腕部２３における支持腕部１５側（−Ｘ側）の端部で、かつ、振動腕部２１の先端側（＋Ｙ側）の端部に形成されている。すなわち、凹部３１ａは、連結腕部２３における振動腕部２１の先端側（＋Ｙ側）の側面に開口している。
【００５６】
凹部３１ａは、連結腕部２３における振動腕部２１の幅方向（Ｘ軸方向）の一部に形成されている。すなわち、凹部３１ａにおける振動腕部２１の幅方向（Ｘ軸方向）の長さＷ２は、連結腕部２３における振動腕部２１の幅方向の長さＷ１よりも小さい。
また、凹部３１ａは、連結腕部２３における振動腕部２１の長さ方向（Ｙ軸方向）の一部に形成されている。
【００５７】
凹部３１ａの平面視（ＸＹ面視）形状は、特に限定されず、円形状であっても、矩形状であっても、その他の形状（例えば、多角形状）であってもよい。本実施形態においては、凹部３１ａの平面視（ＸＹ面視）形状は、例えば、矩形状である。
【００５８】
凹部３１ａの断面視（ＺＸ断面視）形状は、特に限定されず、図５に示す例では、例えば、矩形状である。圧電振動片１００の圧電体として水晶を選択する場合であって、凹部３１ａをエッチングにより形成する場合には、凹部３１ａの断面形状は、結晶面に応じた形状となる。
【００５９】
連結腕部２３における裏面１９ｂには、図５に示すように、有底の凹部３１ｂが形成されている。凹部３１ｂは、凹部３１ａと同様である。本実施形態においては、凹部３１ｂは、平面視（ＸＹ面視）において、凹部３１ａと重なるように形成されている。
【００６０】
連結腕部２４は、基部１０と支持腕部１６とを接続している。連結腕部２４には、連結腕部２３と同様に、凹部３２ａ及び凹部３２ｂが形成されている。連結腕部２３に形成された凹部３１ａ，３１ｂと、連結腕部２４に形成された凹部３２ａ，３２ｂとは、中心線Ｐ１に対して線対称に設けられている。
【００６１】
なお、本明細書において、「線対称」とは、厳密に線対称である場合のみを意味するものではなく、寸法比が０．９以上、１．１以下程度である範囲、及び位置のずれが対象物の幅の５％以下程度である範囲までは含まれるものとする。また、水晶がエッチングされる際において結晶面によって決まる内壁の形状のわずかな違いについても含まれるものとする。
【００６２】
支持腕部１５，１６は、連結腕部２３，２４の基部１０側と逆側の端部から振動腕部２１，２２の長さ方向（Ｙ軸方向）に沿って、振動腕部２１，２２の先端側（＋Ｙ側）に向かって延出して形成されている。
【００６３】
支持腕部１５，１６の裏面１９ｂ側（−Ｚ側）には、それぞれマウント部１７，１８が設けられている。マウント部１７，１８が設けられている位置は、支持腕部１５，１６が振動する際に、振動の節となる位置である。
【００６４】
支持腕部１５，１６のマウント部１７，１８には、図示しないマウント電極が形成され、図示しない引き出し電極により、振動腕部２１，２２の外表面上に形成された励振電極と接続されている。そして、これらの各電極に所定の電圧が印加されると、一対の振動腕部２１，２２の双方の励振電極同士の相互作用により、一対の振動腕部２１，２２が互いに接近または離間する方向（Ｘ軸方向）に所定の共振周波数で振動する。
【００６５】
［圧電振動片の製造方法］
次に、本実施形態の圧電振動片１００の製造方法について説明する。
図６は、圧電振動片１００の製造方法を示すフローチャートである。
【００６６】
図６に示すように、まずポリッシングが終了し、所定の厚みに高精度に仕上げられたウエハを準備する（Ｓ１）。次いで、このウエハをフォトリソグラフィー技術によってエッチングして、該ウエハに複数の圧電振動片１００の外形形状を形成する外形形成工程を行う（Ｓ２）。この工程について、具体的に説明する。
【００６７】
まず、ウエハの両面にエッチング保護膜をそれぞれ成膜する（Ｓ２ａ）。このエッチング保護膜としては、例えば、クロム（Ｃｒ）を数μｍ成膜する。次いで、エッチング保護膜上にフォトレジスト膜を、フォトリソグラフィー技術によってパターニングする。この際、図３に示す、基部１０と、連結腕部２３，２４と、振動腕部２１，２２と、支持腕部１５，１６とを備える圧電振動片１００の周囲を囲むような形状にパターニングする。そして、このフォトレジスト膜をマスクとしてエッチング加工を行い、マスクされていないエッチング保護膜を選択的に除去する。そして、エッチング加工後にフォトレジスト膜を除去する。
【００６８】
これにより、圧電振動片１００の外形形状、すなわち、基部１０、連結腕部２３，２４、振動腕部２１，２２及び支持腕部１５，１６の外形形状に沿ってパターニングされた、エッチング保護膜が形成される（Ｓ２ｂ）。この際、製造する圧電振動片１００の数だけパターニングを行う。
【００６９】
次いで、パターニングされたエッチング保護膜をマスクとして、ウエハの両面をそれぞれエッチング加工する（Ｓ２ｃ）。これにより、エッチング保護膜でマスクされていない領域を選択的に除去して、圧電振動片１００の外形形状を形作ることができる。
以上により、外形形成工程（Ｓ２）が終了し、圧電振動片１００の外形形状を有する圧電板が複数形成される。
【００７０】
続いて、振動腕部２１，２２の主面上に溝部４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂを形成するとともに、連結腕部２３，２４の主面上に凹部３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂを形成する溝部形成工程を行う（Ｓ３）。具体的には、前述した外形形成時と同様に、パターニングされたエッチング保護膜上にフォトレジスト膜を成膜する。そして、フォトリソグラフィー技術によって、溝部４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂ、及び凹部３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂの領域を空けるようにフォトレジスト膜をパターニングする。そして、パターニングされたフォトレジスト膜をマスクとしてエッチング加工を行い、エッチング保護膜を選択的に除去する。その後、フォトレジスト膜を除去することで、既にパターニングされたエッチング保護膜を、溝部４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂ、及び凹部３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂの領域を空けた状態でさらにパターニングすることができる。
【００７１】
次いで、この再度パターニングされたエッチング保護膜をマスクとして、ウエハをエッチング加工した後、マスクとしていたエッチング保護膜を除去する。これにより、振動腕部２１，２２の主面上に溝部４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂを形成するとともに、連結腕部２３，２４の主面上に凹部３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂを形成することができる。
なお、複数の圧電板は、後に行う切断工程を行うまで、連結部を介してウエハに連結された状態となっている。
【００７２】
次いで、マスクを通した露光を行うことで、複数の圧電板の外表面上に電極膜をパターニングして、励振電極、マウント電極及び引き出し電極をそれぞれ形成する電極形成工程を行う（Ｓ４）。この工程について、詳細に説明する。
【００７３】
電極形成工程では、まず、圧電板の外表面に電極膜を、蒸着やスパッタリング等により成膜する（Ｓ４ａ）。成膜する電極膜としては、たとえば、前述した、クロムと金の積層構造とすることができる。
【００７４】
次に、電極膜上にフォトレジスト膜を成膜するフォトレジスト膜形成工程を行う（Ｓ４ｂ）。このフォトレジストは紫外光に感光感度を持つ樹脂をベースとした化合物であり、本実施形態ではポジ型のフォトレジストを採用している。
この工程により、電極膜上にフォトレジスト膜が形成される。
【００７５】
続いて、励振電極、マウント電極及び引き出し電極の形成領域以外の領域が開口したフォトマスクにより、フォトレジスト膜に対して紫外光を露光する露光工程を行う（Ｓ４ｃ）。この工程により、電極膜を残しておきたい部分が、フォトレジスト膜によって被膜されるように、フォトレジスト膜がパターニングされる。
露光条件としては、たとえば、露光量が積算量で９００Ｊｍ／ｃｍ2とできる。
【００７６】
露光後、現像液により不要部分を除去して加熱工程等を経てフォトレジスト膜を固化させる（Ｓ４ｄ）。そして、メタルエッチング（Ｓ４ｅ）により、電極形成部分に対応する形状のフォトレジスト膜によるフォトレジストパターンを形成する。こうして、フォトレジスト膜を除去することによって（Ｓ４ｆ）、励振電極、マウント電極及び引き出し電極を形成して電極形成工程（Ｓ４）を終了する。
【００７７】
最後に、ウエハと複数の圧電板とを連結していた連結部を切断して、複数の圧電板をウエハから切り離して小片化する切断工程を行う（Ｓ５）。これにより、１枚のウエハから、サイドアーム型の圧電振動片１００を一度に複数製造することができる。この時点で、圧電振動片１００の製造工程が終了し、図３に示す圧電振動片１００を得る。
【００７８】
本実施形態によれば、連結腕部２３，２４に凹部３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂが形成されているため、振動腕部２１，２２の振動が、連結腕部２３，２４を介して支持腕部１５，１６に伝わりにくい。これにより、本実施形態によれば、支持腕部１５，１６のマウント部１７，１８からパッケージ２に振動が漏れることを抑制できる。
【００７９】
また、本実施形態によれば、基部１０は非凹部形成部であるため、基部１０に凹部が形成されることによって基部１０が軽量化されることがない。これにより、基部１０を大型化することなく、振動腕部２１，２２の振動が基部１０から連結腕部２３，２４に伝わりやすくなることを抑制できる。
以上により、本実施形態によれば、振動漏れを抑制しつつ、小型化することが容易な圧電振動片が得られる。
【００８０】
また、本実施形態によれば、凹部３１ａは有底であるため、連結腕部２３，２４に貫通孔が形成される場合に比べて、圧電振動片の強度が低下することを抑制できる。
【００８１】
また、本実施形態によれば、凹部３１ａは、連結腕部２３における振動腕部２１の幅方向（Ｘ軸方向）の一部に形成されている。そのため、本実施形態によれば、連結腕部２３の剛性が低下することを抑制できる。
【００８２】
また、本実施形態によれば、凹部３１ａは、連結腕部２３における振動腕部２１の長さ方向（Ｙ軸方向）の一部に形成されている。そのため、本実施形態によれば、連結腕部２３の剛性が低下することを抑制できる。
【００８３】
また、本実施形態によれば、連結腕部２３には、表面１９ａと裏面１９ｂとの両面側に凹部３１ａ，３１ｂがそれぞれ形成されているため、より振動漏れを抑制することができる。
【００８４】
また、本実施形態によれば、凹部３１ａが、基部１０と直接接続された連結腕部２３、すなわち、基部１０に近い位置に形成されているため、基部１０を介して連結腕部２３に伝わる振動腕部２１，２２の振動をより低減できる。
【００８５】
また、本実施形態によれば、連結腕部２３に形成された凹部３１ａ，３１ｂと、連結腕部２４に形成された凹部３２ａ，３２ｂとは、中心線Ｐ１に対して線対称に設けられている。そのため、本実施形態によれば、圧電振動片の振動特性が不安定になることを抑制できる。
【００８６】
また、本実施形態の圧電振動子１によれば、上記説明した圧電振動片１００を備えているため、信頼性に優れた圧電振動子が得られる。
【００８７】
なお、本実施形態においては、以下の構成、及び製造方法を採用することもできる。
【００８８】
本実施形態においては、連結腕部２３の主面に形成される範囲内において、凹部３１ａはどこに形成されていてもよい。
【００８９】
また、本実施形態においては、裏面１９ｂ側の凹部３１ｂが形成されていなくてもよい。すなわち、本実施形態においては、凹部は、連結腕部２３，２４の片面側だけに形成されていてもよい。
【００９０】
また、本実施形態においては、凹部３１ａは、連結腕部２３における振動腕部２１の幅方向（Ｘ軸方向）の全体に形成されていてもよい。
また、本実施形態においては、凹部３１ａは、連結腕部２３における振動腕部２１の長さ方向（Ｙ軸方向）の全体に形成されていてもよい。
【００９１】
また、上記説明した実施形態においては、凹部３１ａの形成方法は、振動腕部２１に形成される溝部４１ａを形成する際（Ｓ３）に、同時に形成する方法としたが、これに限られない。
本実施形態においては、例えば、外形形成工程（Ｓ２）において、凹部３１ａを形成してもよい。具体的には、エッチング保護膜をパターニングする工程（Ｓ２ｂ）において、凹部３１ａが形成される部分のエッチング保護膜も除去し、そのエッチング保護膜をマスクとしてエッチングを行う（Ｓ２ｃ）。このとき、例えば、圧電振動片の圧電体が水晶であって、形成される凹部３１ａの幅が小さい場合には、凹部３１ａにあたる部分のエッチング深さが浅くなる。そのため、凹部３１ａにあたる部分においては、ウエハが厚み方向に貫通されず、エッチング残りが生じる。これにより、凹部３１ａを形成することができる。
【００９２】
（第２実施形態）
第２実施形態は、第１実施形態に対して、凹部が支持腕部の接続端部に形成されている点において異なる。
なお、以下の説明においては、上記実施形態と同様の構成については、適宜同一の符号を付す等により、説明を省略する場合がある。
【００９３】
図７及び図８は、本実施形態の圧電振動片２００を示す図である。図７は、平面図である。図８は、図７におけるVIII−VIII断面図である。
本実施形態の圧電振動片２００は、図７に示すように、基部１０と、一対の振動腕部２１，２２と、一対の連結腕部２２３，２２４と、一対の支持腕部２１５，２１６と、支持腕部２１５，２１６に設けられた２つのマウント部１７，１８とを備える。
【００９４】
連結腕部２２３，２２４は、凹部が形成されていない点を除いて、第１実施形態の連結腕部２３，２４と同様である。
支持腕部２１５，２１６は、凹部が形成されている点を除いて、第１実施形態の支持腕部１５，１６と同様である。
【００９５】
支持腕部２１５の連結腕部２２３側（−Ｙ側）の接続端部における表面２１９ａには、凹部２３１ａが形成されている。
凹部２３１ａは、支持腕部２１５の幅方向の基部１０側（＋Ｘ側）の端部に、支持腕部２１５の基部１０側（＋Ｘ側）の側面に開口するように形成されている。凹部２３１ａは、支持腕部２１５の幅方向（Ｘ軸方向）の一部に形成されている。凹部２３１ａの形状は、第１実施形態の凹部３１ａと同様である。
【００９６】
ここで、本明細書において、支持腕部２１５の「接続端部」とは、支持腕部２１５の長さ方向（Ｙ軸方向）基部１０側（−Ｙ側）の端縁からの距離が、支持腕部２１５の長さ（Ｙ軸方向長さ）の１／３以下程度である範囲を意味するものとする。
【００９７】
支持腕部２１５の接続端部における裏面２１９ｂには、図８に示すように、凹部２３１ｂが形成されている。凹部２３１ｂは、凹部２３１ａと同様である。本実施形態においては、凹部２３１ｂは、平面視（ＸＹ面視）において、凹部２３１ａと重なるように形成されている。
【００９８】
支持腕部２１６の接続端部には、支持腕部２１５と同様に、凹部２３２ａ及び凹部２３２ｂが形成されている。支持腕部２１５に形成された凹部２３１ａ，２３１ｂと、支持腕部２１６に形成された凹部２３２ａ，２３２ｂとは、中心線Ｐ１に対して線対称に設けられている。
【００９９】
本実施形態によれば、凹部２３１ａが支持腕部２１５の接続端部に形成されているため、支持腕部２１５のマウント部１７から基部１０に伝えられる応力を低減できる。
【０１００】
なお、本実施形態においては、以下の構成を採用することもできる。
【０１０１】
本実施形態においては、凹部２３１ａは、支持腕部２１５の接続端部に形成されている範囲内で、どこに形成されていてもよい。
【０１０２】
また、本実施形態においては、凹部２３１ａは、支持腕部２１５の幅方向（Ｘ軸方向）の全体に形成されていてもよい。
【０１０３】
（第３実施形態）
第３実施形態は、第１実施形態に対して、センターアーム型の圧電振動片である点において異なる。
なお、以下の説明においては、上記実施形態と同様の構成については、適宜同一の符号を付す等により、説明を省略する場合がある。
【０１０４】
図９及び図１０は、本実施形態の圧電振動片３００を示す図である。図９は、平面図である。図１０は、図９におけるX−X断面図である。
本実施形態の圧電振動片３００は、いわゆる、センターアーム型の圧電振動片である。
本実施形態の圧電振動片３００は、図９に示すように、基部３１０と、幅方向（Ｘ軸方向）に並んで配置された一対の振動腕部３２１，３２２と、基部３１０における振動腕部３２１，３２２の幅方向（Ｘ軸方向）の両端から幅方向に延出し、基部３１０と振動腕部３２１，３２２とを接続する一対の連結腕部３２３，３２４と、一対の振動腕部３２１，３２２の間に配置され、基部３１０から振動腕部３２１，３２２の長さ方向（Ｙ軸方向）に沿って延出する支持腕部３１５と、支持腕部３１５に設けられた２つのマウント部３１７，３１８とを備える。
【０１０５】
基部３１０は、非凹部形成部である。基部３１０の形状は、第１実施形態の基部１０と同様である。
振動腕部３２１と振動腕部３２２とは、振動腕部３２１と振動腕部３２２との間の幅方向（Ｘ軸方向）の中心を通り、振動腕部３２１，３２２の長さ方向（Ｙ軸方向）に平行な中心線Ｐ２に対して線対称に設けられている。
【０１０６】
振動腕部３２１は、略均一な幅で直線的に延びる帯状部３１１と、幅（Ｘ軸方向長さ）が帯状部３１１よりも広いハンマー部３１３とを備える。同様にして、振動腕部３２２は、帯状部３１２と、ハンマー部３１４とを備える。
【０１０７】
帯状部３１１における表面３１９ａには、溝部３４１が形成されている。帯状部３１１における裏面３１９ｂには、表面３１９ａと同様に、溝部が形成されている（図示省略）。
振動腕部３２１と同様にして、振動腕部３２２の帯状部３１２における表面３１９ａには、溝部３４２が形成され、裏面３１９ｂには図示しない溝部が形成されている。
【０１０８】
帯状部３１１，３１２、ハンマー部３１３，３１４、溝部３４１，３４２は、それぞれ、第１実施形態と同様である。
【０１０９】
連結腕部３２３は、図９に示すように、基部３１０と振動腕部３２１とを接続している。連結腕部３２３は、基部３１０における振動腕部３２１の幅方向の一方側（−Ｘ側）の端部から幅方向に延出して設けられている。連結腕部３２３における表面３１９ａには、凹部３３１ａが形成されている。
【０１１０】
凹部３３１ａは、連結腕部３２３における基部３１０側（＋Ｘ側）の端部で、かつ、振動腕部２１の先端側（＋Ｙ側）の端部に形成されている。すなわち、凹部３３１ａは、連結腕部３２３における振動腕部２１の先端側（＋Ｙ側）の側面に開口している。
【０１１１】
凹部３３１ａは、連結腕部３２３における振動腕部３２１の幅方向（Ｘ軸方向）の一部に形成されている。すなわち、凹部３３１ａにおける振動腕部３２１の幅方向（Ｘ軸方向）の長さＷ４は、連結腕部３２３における振動腕部３２１の幅方向の長さＷ３よりも小さい。
また、凹部３３１ａは、連結腕部３２３における振動腕部３２１の長さ方向（Ｙ軸方向）の一部に形成されている。
凹部３３１ａの形状は、第１実施形態の凹部３１ａと同様である。
【０１１２】
連結腕部３２３における裏面３１９ｂには、図１０に示すように、凹部３３１ｂが形成されている。凹部３３１ｂは、凹部３３１ａと同様である。本実施形態においては、凹部３３１ｂは、平面視（ＸＹ面視）において、凹部３３１ａと重なるように形成されている。
【０１１３】
連結腕部３２４には、連結腕部３２３と同様に、凹部３３２ａ及び凹部３３２ｂが形成されている。連結腕部３２３に形成された凹部３３１ａ，３３１ｂと、連結腕部３２４に形成された凹部３３２ａ，３３２ｂとは、中心線Ｐ２に対して線対称に設けられている。
【０１１４】
支持腕部３１５は、振動腕部３２１と振動腕部３２２との幅方向（Ｘ軸方向）における間に配置され、基部３１０から振動腕部３２１，３２２の長さ方向（Ｙ軸方向）に沿って、振動腕部３２１，３２２の先端側（＋Ｙ側）に向かって延出して形成されている。
【０１１５】
支持腕部３１５の裏面３１９ｂ側（−Ｚ側）には、それぞれマウント部３１７，３１８が設けられている。マウント部３１７，３１８が設けられている位置は、支持腕部３１５が振動する際に、振動の節となる位置である。
マウント部３１７，３１８は、第１実施形態のマウント部１７，１８と同様である。
【０１１６】
本実施形態によれば、上記実施形態と同様にして、振動漏れを抑制しつつ、小型化することが容易な圧電振動片が得られる。
【０１１７】
（第４実施形態）
第４実施形態は、第３実施形態に対して、凹部が支持腕部の接続端部に形成されている点において異なる。
なお、以下の説明においては、上記実施形態と同様の構成については、適宜同一の符号を付す等により、説明を省略する場合がある。
【０１１８】
図１１及び図１２は、本実施形態の圧電振動片４００を示す図である。図１１は、平面図である。図１２は、図１１におけるXII−XII断面図である。
本実施形態の圧電振動片４００は、図１１に示すように、基部３１０と、一対の振動腕部３２１，３２２と、一対の連結腕部４２３，４２４と、支持腕部４１５と、支持腕部４１５に設けられた２つのマウント部３１７，３１８とを備える。
【０１１９】
連結腕部４２３，４２４は、凹部が形成されていない点を除いて、第３実施形態の連結腕部３２３，３２４と同様である。
支持腕部４１５は、凹部が形成されている点を除いて、第３実施形態の支持腕部３１５と同様である。
【０１２０】
支持腕部４１５の基部３１０側（−Ｙ側）の接続端部における表面４１９ａには、凹部４３１ａ及び凹部４３２ａが形成されている。
凹部４３１ａは、支持腕部４１５の幅方向の振動腕部３２１側（−Ｘ側）の端部に、支持腕部４１５の振動腕部３２１側（−Ｘ側）の側面に開口するように形成されている。凹部４３１ａは、支持腕部４１５の幅方向（Ｘ軸方向）の一部に形成されている。凹部４３１ａの形状は、第１実施形態の凹部３１ａと同様である。
【０１２１】
凹部４３２ａは、支持腕部４１５の幅方向の振動腕部３２２側（＋Ｘ側）の端部に、支持腕部４１５の振動腕部３２２側（＋Ｘ側）の側面に開口するように形成されている。凹部４３２ａは、支持腕部４１５の幅方向（Ｘ軸方向）の一部に形成されている。凹部４３２ａの形状は、凹部４３１ａと同様である。
【０１２２】
支持腕部４１５の接続端部における裏面４１９ｂには、図１２に示すように、凹部４３１ｂ及び凹部４３２ｂが形成されている。凹部４３１ｂ，４３２ｂは、凹部４３１ａ，４３２ａと同様である。本実施形態においては、凹部４３１ｂ，４３２ｂは、平面視（ＸＹ面視）において、凹部４３１ａ，４３２ａと重なるように形成されている。
凹部４３１ａ，４３１ｂと、凹部４３２ａ，４３２ｂとは、中心線Ｐ２に対して線対称に設けられている。
【０１２３】
本実施形態によれば、上記実施形態と同様にして、振動漏れを抑制しつつ、小型化することが容易な圧電振動片が得られる。
【０１２４】
なお、上記説明した各実施形態の圧電振動片においては、それぞれ凹部が４つずつ形成された構成を示したが、これに限られず、凹部の数は、１つ以上３つ以下であってもよいし、５つ以上であってもよい。また、凹部の形状はそれぞれ異なっていてもよい。
【０１２５】
また、上記説明した各実施形態においては、連結腕部と支持腕部の接続端部とのうち、いずれか一方に凹部が形成されている例を示したが、これに限られない。凹部が形成される箇所は、連結腕部と支持腕部の接続端部とのうちの少なくとも一部の表面あるいは裏面である範囲内において、特に限定されず、例えば、凹部が連結腕部と支持腕部の接続端部との両方に形成されていてもよい。
【０１２６】
また、各実施形態においては、サイドアーム型の圧電振動片及びセンターアーム型の圧電振動片を用いたが、音叉型のものであってもよい。
【０１２７】
また、各実施形態においては、圧電振動片を用いた圧電振動子として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明したが、圧電振動片を、ガラス材によって形成されるベース基板及びリッド基板が陽極接合によって接合されるガラスパッケージタイプの圧電振動子に適用することも可能である。
【０１２８】
（圧電振動子を備える機器の実施形態）
［発振器］
次に、圧電振動子１を備える本実施形態の発振器について説明する。
図１３は、本実施形態の発振器１０００を示す図である。
発振器１０００は、基板１０１０と、集積回路１０２０と、電子部品１０３０と、圧電振動子１とを備える。
電子部品１０３０は、例えば、キャパシタなどであり、基板１０１０に実装されている。集積回路１０２０は、発振器用であり、基板１０１０に実装されている。
【０１２９】
集積回路１０２０は、圧電振動子１と電子部品１０３０とのそれぞれと、図示略の配線を介して電気的に接続されている。圧電振動子１は、例えば、基板１０１０において集積回路１０２０の近傍に実装される。圧電振動子１は、図１などを参照して上記説明した実施形態の圧電振動子であり、発振子として機能する。発振器１０００の少なくとも一部は、適宜、図示しない樹脂によりモールドされていてもよい。
【０１３０】
発振器１０００は、圧電振動子１に電力が供給されると、圧電振動子１の圧電振動片が振動する。圧電振動片の振動は、圧電振動片が有する圧電特性により、電気信号へ変換される。この電気信号は、圧電振動子１から集積回路１０２０へ出力される。集積回路１０２０は、圧電振動子１から出力された電気信号に各種処理を実行することで、周波数信号を生成する。
【０１３１】
発振器１０００は、例えば、時計用の単機能発振器、コンピューターなどの各種装置の動作タイミングを制御するタイミング制御装置、時刻あるいはカレンダーなどを提供する装置などに応用できる。集積回路１０２０は、発振器１０００に要求される機能に応じて構成され、いわゆるＲＴＣ（リアルタイムクロック）モジュールを含んでいてもよい。
【０１３２】
本実施形態によれば、圧電振動子１を備えているため、上述したのと同様にして、信頼性に優れた発振器１０００が得られる。
【０１３３】
［電子機器］
次に、圧電振動子１を備える本実施形態の電子機器の一つの形態として、携帯情報機器について説明する。
この携帯情報機器は、腕時計のような形態であり、一般的な携帯電話よりも格段に小型かつ軽量であるが、携帯電話と同様の通信が可能である。この携帯情報機器は、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイなどの表示部が配置されており、表示部に時刻情報などを表示可能である。また、この携帯情報機器は、バンドの内側部分にスピーカ、マイクロフォンなどの入出力部が設けられており、入出力部を利用して通話などが可能である。
【０１３４】
図１４は、本実施形態の携帯情報機器１１００の一例を示す図である。
図１４に示す携帯情報機器１１００は、計時部１１１０と、表示部１１２０と、通信部１１３０と、制御部１１４０と、電源部１１５０と、電圧検出部１１６０と、電源遮断部１１７０とを備える。
【０１３５】
制御部１１４０は、携帯情報機器１１００の各部を総括的に制御する。例えば、制御部１１４０は、計時部１１１０による時刻の計測、表示部１１２０による情報の表示、通信部１１３０による外部との通信などを制御する。制御部１１４０は、例えば、予めプログラムが書き込まれたＲＯＭと、このＲＯＭに書き込まれたプログラムを読み出し、このプログラムに従って各種処理を実行するＣＰＵと、このＣＰＵのワークエリアとして使用されるＲＡＭとを含む。
【０１３６】
計時部１１１０は、集積回路と、圧電振動子１とを備える。この集積回路は、発振回路と、レジスタ回路と、カウンタ回路と、インターフェース回路とを含む。圧電振動子１は、上記説明した実施形態に係る圧電振動子である。圧電振動子１は、電力の供給を受けて圧電振動片が振動し、この振動を、圧電振動片が有する圧電特性に応じた電気信号に変換する。圧電振動子１から出力された電気信号は、集積回路の発振回路へ入力される。
【０１３７】
計時部１１１０の集積回路において、発振回路の出力は、二値化されてレジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。この計数結果は、インターフェース回路を介して制御部１１４０に供給される。制御部１１４０は、集積回路からの計数結果に基づいて各種演算などを実行することで時刻や日付などを算出し、その算出結果に基づいて、表示部１１２０に時刻、日付、カレンダーなどの各種情報を表示させる。
【０１３８】
通信部１１３０は、外部との通信、すなわち外部へのデータの送信および外部からのデータの受信を行う。通信部１１３０は、無線部１２００と、音声処理部１２１０と、切替部１２２０と、増幅部１２３０と、音声入出力部１２４０と、電話番号入力部１２５０と、着信音発生部１２６０と、呼制御メモリ部１２７０とを含む。
【０１３９】
無線部１２００は、符号化された音声データ等の各種データを、アンテナ１２８０を介して基地局とやりとりする。音声処理部１２１０は、無線部１２００から入力されたデータを、復号化して増幅部１２３０へ出力する。また、音声処理部１２１０は、増幅部１２３０から入力されたデータを、符号化して無線部１２００へ出力する。増幅部１２３０は、音声処理部１２１０と音声入出力部１２４０との間の信号の受け渡しを行うとともに、受け渡される信号を適宜、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部１２４０は、スピーカおよびマイクロフォンなどを含み、増幅部１２３０からの信号に応じた音声を外部へ出力し、外部から音声の入力を受け付ける。
【０１４０】
また、切替部１２２０は、基地局からの呼び出しなどに応じた制御部１１４０からの指令により、着信音発生部１２６０を増幅部１２３０と接続する。着信音発生部１２６０は、基地局からの呼び出しに応じた制御部１１４０からの指令により、着信音のデータを切替部１２２０に出力する。すなわち、制御部１１４０は、基地局からの呼び出しなどに応じて、着信音のデータを増幅部１２３０へ出力させることにより、音声入出力部１２４０によって着信音を出力させる。
【０１４１】
呼制御メモリ部１２７０は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部１２５０は、例えば０から９の番号キー及びその他のキーを備え、これら番号キー等の押下により、通話先の電話番号等の入力に利用される。
【０１４２】
電源部１１５０は、例えば、リチウムイオン二次電池を含み、携帯情報機器１１００の各部へ電力を供給する。電圧検出部１１６０は、電源部１１５０から携帯情報機器１１００の各部へ供給されている電圧を検出する。電圧検出部１１６０は、検出した電圧が所定値以下になった場合に、電圧が所定値以下であることを制御部１１４０に通知する。この所定値は、通信部１１３０を安定して動作させるために必要とされる電圧として予め設定されている値であり、例えば、３Ｖ程度である。電圧検出部１１６０から電圧降下の通知を受けた制御部１１４０は、無線部１２００、音声処理部１２１０、切替部１２２０、及び着信音発生部１２６０を含む複数の機能部の少なくとも一部の動作を、禁止または制限する。この場合に、制御部１１４０は、複数の機能部のうち相対的に消費電力が大きい機能部の動作を、複数の機能部のうち相対的に消費電力が小さい機能部よりも先に禁止または制限する。制御部１１４０は、供給電力の低下によって機能が停止または制限されていることを示す情報を、表示部１１２０に表示させる。この表示は、文字を含んでいてもよいし、記号を含んでいてもよく、例えば、表示部１１２０に表示された電話アイコンに×（バツ）印を付ける態様でもよい。電源遮断部１１７０は、複数の機能部のうち、電圧低下により機能が停止する機能部への電力の供給を選択的に停止する。
【０１４３】
本実施形態によれば、圧電振動子１を備えているため、上述したのと同様にして、信頼性に優れた携帯情報機器１１００が得られる。
【０１４４】
［電波時計］
次に、圧電振動子１を備える本実施形態の電波時計について説明する。
電波時計は、表示する時刻を、標準電波から取得される時刻に合わせる機能を有する。標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を含む変調信号によって、所定周波数の搬送波にＡＭ変調をかけたものである。標準電波は、例えば日本国内では、福島県の送信所と佐賀県の送信所とから送信されている。福島県の送信所から送信される標準電波は、搬送波の周波数が４０ｋＨｚであり、佐賀県の送信所から送信される標準電波は、搬送波の周波数が６０ｋＨｚである。
【０１４５】
図１５は、本実施形態の電波時計１３００を示す図である。この電波時計１３００は、アンテナ１３１０と、アンプ１３２０と、フィルタ部１３３０と、検波整流回路１３４０と、波形整形回路１３５０と、ＣＰＵ１３６０と、ＲＴＣ１３７０とを備える。
【０１４６】
アンテナ１３１０は、標準電波を受信する。アンプ１３２０は、アンテナ１３１０が受信した標準電波の信号を、増幅してフィルタ部１３３０へ出力する。フィルタ部１３３０は、アンプ１３２０からの信号を、濾波、同調して検波整流回路１３４０へ出力する。検波整流回路１３４０は、フィルタ部１３３０からの信号を、検波復調して波形整形回路１３５０へ出力する。波形整形回路１３５０は、検波整流回路１３４０からの信号からタイムコードを取得し、このタイムコードをＣＰＵ１３６０へ供給する。ＣＰＵ１３６０は、タイムコードから現在の年、積算日、曜日、時刻等の時刻に関する情報を取得する。ＲＴＣ１３７０は、いわゆるリアルタイムクロックであり、現在の年、月、日、時、分、秒などの情報を保持している。ＣＰＵ１３６０は、タイムコードから取得した時刻に関する情報を、ＲＴＣ１３７０が保持する情報に反映させる。ＲＴＣ１３７０が保持する情報は、適宜読みだされて、時刻の表示に利用される。
【０１４７】
フィルタ部１３３０は、濾波する信号の周波数に相当する共振周波数の圧電振動子を含む。フィルタ部１３３０において、圧電振動子は、共振子として機能する。例えば、図１５の電波時計１３００は、日本国内での使用が想定されたものであり、フィルタ部１３３０は、共振周波数が４０ｋＨｚの圧電振動子１ａと、共振周波数が６０ｋＨｚの圧電振動子１ｂとを含む。なお、日本国内以外の地域での使用が想定される電波時計１３００は、使用される地域に対応した標準電波の搬送波の周波数に応じて、フィルタ部１３３０の圧電振動子の共振周波数が設定される。
本実施形態において、フィルタ部１３３０の圧電振動子１ａと圧電振動子１ｂとは、それぞれ、上記説明した実施形態の圧電振動子１と同様の圧電振動子である。
【０１４８】
本実施形態によれば、圧電振動子１と同様の構成を有する圧電振動子１ａ，１ｂを備えているため、上述したのと同様にして、信頼性に優れた電波時計１３００が得られる。
【０１４９】
なお、上記の説明においては、発振器、電子機器及び電波時計の例として、第１実施形態の圧電振動片１００が実装された圧電振動子１を備える例を示したが、これに限られない。発振器、電子機器及び電波時計の実施形態としては、例えば、第２実施形態から第４実施形態に示した圧電振動片のうちいずれか一つが実装された圧電振動子を備える構成であってもよい。
【符号の説明】
【０１５０】
１，１ａ，１ｂ…圧電振動子、２…パッケージ、３…パッケージ本体（ベース部材）、４…封口板（リッド部材）、１０，３１０…基部、１５，１６，２１５，２１６，３１５，４１５…支持腕部、１９ａ，２１９ａ，３１９ａ，４１９ａ…表面（主面）、１９ｂ，２１９ｂ，３１９ｂ，４１９ｂ…裏面（主面）、２１，２２，３２１，３２２…振動腕部、２３，２４，２２３，３２３，３２４，４２３，４２４…連結腕部、３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，２３１ａ，２３１ｂ，２３２ａ，２３２ｂ，３３１ａ，３３１ｂ，３３２ａ，３３２ｂ，４３１ａ，４３１ｂ，４３２ａ，４３２ｂ…凹部、５５ａ，５６ａ…実装面、１００，２００，３００，４００…圧電振動片、１０００…発振器、１０２０…集積回路、１１１０…計時部、１３００…電波時計、１３３０…フィルタ部、Ｃ１…キャビティ、Ｐ１，Ｐ２…中心線
【図１】
2015159367.tif 000003
【図２】
2015159367.tif 000004
【図３】
2015159367.tif 000005
【図４】
2015159367.tif 000006
【図５】
2015159367.tif 000007
【図６】
2015159367.tif 000008
【図７】
2015159367.tif 000009
【図８】
2015159367.tif 000010
【図９】
2015159367.tif 000011
【図１０】
2015159367.tif 000012
【図１１】
2015159367.tif 000013
【図１２】
2015159367.tif 000014
【図１３】
2015159367.tif 000015
【図１４】
2015159367.tif 000016
【図１５】
2015159367.tif 000017