(57)【要約】【課題】ミラー付き光導波路に関し、低背であり、空気反射ミラーの強度に優れ、光信号の伝搬が良好なミラー付き光導波路を提供する。【解決手段】下部クラッド層、コアパターン、上部クラッド層、コアパターンに設けられた空気反射ミラー、前記空気反射ミラー上に設けられたミラー補強部材を有する光導波路であって、前記上部クラッド層が、前記コアパターンの保護層、かつ前記ミラー補強部材との接着層であるミラー付き光導波路。【選択図】図１
2015004855.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部クラッド層、コアパターン、上部クラッド層、コアパターン光軸上に設けられた空気反射ミラー、前記空気反射ミラー上に設けられたミラー補強部材を有する光導波路であって、
前記上部クラッド層が、前記コアパターンの保護層、かつ前記ミラー補強部材との接着層であるミラー付き光導波路。
【請求項２】
前記コアパターン上面から、前記ミラー補強部材までの距離が、５０μｍ以下である請求項１に記載のミラー付き光導波路。
【請求項３】
前記下部クラッド層の前記コアパターン形成面と反対の面に基板を有する請求項１又は２に記載のミラー付き光導波路。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法であって、
前記下部クラッド層、前記コアパターンを順次形成した後に、前記コアパターン形成面側から前記上部クラッド層を積層し、未硬化又は半硬化の上部クラッド層とする工程Ａ、
前記コアパターン光軸上に前記空気反射ミラーを形成する工程Ｂ、
前記ミラー補強部材を、前記空気反射ミラーを覆うように前記上部クラッド層と接合する工程Ｃ、
前記上部クラッド層を硬化すると共に、前記上部クラッド層と前記ミラー補強部材を接着する工程Ｄ、
を有するミラー付き光導波路の製造方法。
【請求項５】
工程Ａとしてコアパターンを形成した後に、工程Ｂとして空気反射ミラーを形成し、工程Ａの残りの工程として上部クラッド層を積層した後に、前記空気反射ミラーにかかる上部クラッド層をエッチング除去する請求項４に記載のミラー付き光導波路の製造方法。
【請求項６】
前記工程Ｄにおいて、前記上部クラッド層の硬化及び前記上部クラッド層と前記ミラー補強部材との接着が、加熱によって行われる請求項４又は５に記載のミラー付き光導波路の製造方法。
【請求項７】
前記ミラー補強部材が、樹脂フィルムである請求項４〜６のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法。
【請求項８】
前記ミラー補強部材が、前記上部クラッド層との接合面側に、前記上部クラッド層以外の接着層を有さないミラー補強部材である請求項４〜７のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法。
【請求項９】
前記ミラー補強部材の前記上部クラッド層との接合面側が、粗化処理されているミラー補強部材である請求項４〜８のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法。
【請求項１０】
前記上部クラッド層が、光硬化型樹脂、熱硬化型樹脂又は光／熱硬化型樹脂である請求項４〜９のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法。
【請求項１１】
前記工程Ｃにおいて、前記空気反射ミラーが、略４５°の傾斜面であって、前記コアパターン形成面側から前記傾斜面が形成される請求項４〜１０のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法。
【請求項１２】
前記工程Ｂ又は前記工程Ｃの前に、前記上部クラッド層が、熱によるプリベーク又は／及び光硬化によって半硬化される工程Ｅを有する請求項４〜１１のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法。
【請求項１３】
前記工程Ｂにおいて、前記空気反射ミラー形成部上の前記未硬化又は半硬化の上部クラッド層の少なくとも一部を除去した後に、前記コアパターン光軸上に空気反射ミラーを形成する請求項４及び６〜１２のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法。
【請求項１４】
前記工程Ａにおいて、前記下部クラッド層が、基板上に形成される請求項４〜１３のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はミラー付き光導波路及びその製造方法に関し、特に、低背であり、空気反射ミラーの強度に優れ、光信号の伝搬が良好なミラー付き光導波路及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
情報容量の増大に伴い、幹線やアクセス系といった通信分野のみならず、ルータやサーバ内の情報処理や、民生機器ではパソコン、携帯電話にも光信号を用いる光インターコネクション技術の開発が進められている。光伝送路としては、光ファイバに比べ、配線の自由度が高く、かつ高密度化が可能な光導波路を用いることが望ましく、中でも加工性や経済性に優れたポリマー材料を用いた光導波路が有望である。
また、光導波路基板垂直方向から光信号を入力又は出力するために、光導波路基板平行方向に配線された光導波路コアパターンに光信号の光路を変換する空気反射ミラーを設けることも一般的に行われている。
【０００３】
この光導波路としては、例えば、特許文献１に記載されているように、光導波路にレーザアブレーションやダイシングソーを用いて空気反射ミラーを形成し、切り欠き斜面を埋め込まないようにミラー補強部材を設置することで、空気と光導波路との屈折率差を利用した空気反射型のミラーを設け、そのミラー部の強度を補強したミラー付きの光導波路がある。
このようなミラー付き光導波路の場合、ミラー補強部材を貼合する際に、ミラー補強部材側に接着層があると、貼合の圧力や温度により、接着層が流動し、空気反射ミラーへ接着層が浸入して、良好なミラー反射が得られなくなる懸念がある。また接着層の厚み分の光導波路が厚くなってしまう課題もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２３１０９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前記の課題を解決するためになされたもので、低背であり、空気反射ミラーの強度に優れ、光信号の伝搬が良好なミラー付き光導波路及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、上記課題に対して、下部クラッド層、コアパターン、上部クラッド層、コアパターンに設けられた空気反射ミラー、前記空気反射ミラー上に設けられたミラー補強部材を有する光導波路の、前記上部クラッド層を、前記コアパターンの保護層、かつ前記ミラー補強部材との接着層とすることによって、前記課題を解決し得ることを見出した。本発明はかかる知見に基づいて完成したものである。
【０００７】
すなわち、本発明は、
（１）下部クラッド層、コアパターン、上部クラッド層、コアパターン光軸上に設けられた空気反射ミラー、前記空気反射ミラー上に設けられたミラー補強部材を有する光導波路であって、前記上部クラッド層が、前記コアパターンの保護層、かつ前記ミラー補強部材との接着層であるミラー付き光導波路、
（２）前記コアパターン上面から、前記ミラー補強部材までの距離が、５０μｍ以下である（１）に記載のミラー付き光導波路、
（３）前記下部クラッド層の前記コアパターン形成面と反対の面に基板を有する（１）又は（２）に記載のミラー付き光導波路、
（４）（１）〜（３）のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法であって、
前記下部クラッド層、前記コアパターンを順次形成した後に、前記コアパターン形成面側から前記上部クラッド層を積層し、未硬化又は半硬化の上部クラッド層とする工程Ａ、
前記コアパターン光軸上に前記空気反射ミラーを形成する工程Ｂ、
前記ミラー補強部材を、前記空気反射ミラーを覆うように前記上部クラッド層と接合する工程Ｃ、
前記上部クラッド層を硬化すると共に、前記上部クラッド層と前記ミラー補強部材を接着する工程Ｄ、
を有するミラー付き光導波路の製造方法、
（５）工程Ａとしてコアパターンを形成した後に、工程Ｂとして空気反射ミラーを形成し、工程Ａの残りの工程として上部クラッド層を積層した後に、前記空気反射ミラーにかかる上部クラッド層をエッチング除去する（４）に記載のミラー付き光導波路の製造方法。
（６）前記工程Ｄにおいて、前記上部クラッド層の硬化及び前記上部クラッド層と前記ミラー補強部材との接着が、加熱によって行われる（４）又は（５）に記載のミラー付き光導波路の製造方法、
（７）前記ミラー補強部材が、樹脂フィルムである（４）〜（６）のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法、
（８）前記ミラー補強部材が、前記上部クラッド層との接合面側に接着層を有さないミラー補強部材である（４）〜（７）のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法、
（９）前記ミラー補強部材の前記上部クラッド層との接合面側が、粗化処理されているミラー補強部材である（４）〜（８）のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法、
（１０）前記上部クラッド層が、光硬化型樹脂、熱硬化型樹脂又は光／熱硬化型樹脂である（４）〜（９）のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法、
（１１）前記工程Ｃにおいて、前記空気反射ミラーが、略４５°の傾斜面であって、前記コアパターン形成面側から前記傾斜面が形成される（４）〜（１０）のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法、
（１２）前記工程Ｂ又は前記工程Ｃの前に、前記上部クラッド層が、熱によるプリベーク又は／及び光硬化によって半硬化される工程Ｅを有する（４）〜（１１）のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法、
（１３）前記工程Ｂにおいて、前記空気反射ミラー形成部上の前記未硬化又は半硬化の上部クラッド層の少なくとも一部を除去した後に、前記コアパターン光軸上に空気反射ミラーを形成する（４）及び（６）〜（１２）のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法、
（１４）前記工程Ａにおいて、前記下部クラッド層が、基板上に形成される（４）〜（１３）のいずれかに記載のミラー付き光導波路の製造方法、
を提供するものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、低背であり、空気反射ミラーの強度に優れ、光信号の伝搬が良好なミラー付き光導波路を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明のミラー付き光導波路の一例（第１の形態）を示す断面図である。
【図２】第１の形態（図１）のミラー付き光導波路の製造方法を示す図である。
【図３】本発明のミラー付き光導波路の別の一例（第２の形態）を示す断面図である。
【図４】第２の形態（図３）のミラー付き光導波路の製造方法を示す図である。
【図５】第２の形態（図３）のミラー付き光導波路の別の製造方法を示す図である。
【図６】第２の形態（図３）のミラー付き光導波路を示す平面図である（ミラー補強部材は図示していない）。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明のミラー付き光導波路を図１及び図３を用いて説明する。本発明のミラー付き光導波路は、図１（第１の形態）及び図３（第２の形態）のように、下部クラッド層２、コアパターン３、上部クラッド層４からなる光導波路と、コアパターン３の光軸上に設けられた切り欠き斜面からなる空気反射ミラー５と、空気反射ミラー５上にミラー補強部材６と、を有するミラー付き光導波路であって、上部クラッド層４が、ミラー補強部材６との接着層となっているミラー付き光導波路である。
図１（第１の形態）は、上部クラッド層４を積層した後に空気反射ミラー５が形成されたミラー付き光導波路であり、図３（第２の形態）は、コアパターン３形成後に空気反射ミラー５が形成され、上部クラッド層４が、前記空気反射ミラーを覆わないようにパターン化されたミラー付き光導波路であり、図５（第２の形態）は、上部クラッド層４１を積層した後に、空気反射ミラー５形成部分の上部クラッド層４を除去し、空気反射ミラー５が形成されたミラー付き光導波路である。
第１及び第２の形態共に光導波路の下部クラッド層２側には、基板１を備えていても良い。基板１を有することによって、空気反射ミラー５を加工した後に光導波路が折れたり破断したりすることを抑制することができる。
【００１１】
本発明のミラー付き光導波路の製造方法の一例を図２、図４、図５を用いて説明する。本発明のミラー付き光導波路は、図２（第１の形態の製造方法）及び図４、図５（第２の形態の製造方法）のように、まず、工程Ａとして、下部クラッド層２、コアパターン３を順次形成し、形成したコアパターン３上から上部クラッド層４を積層し、未硬化又は半硬化状態の上部クラッド層４１とする。工程Ｂとして、工程Ａで形成したコアパターン３の光軸上に空気反射ミラー５を形成する。工程Ｃとして、工程Ｂで形成した空気反射ミラー５を覆うようにミラー補強部材６を未硬化又は半硬化状態の上部クラッド層４１と接合する。工程Ｄとして、未硬化又は半硬化状態の上部クラッド層４１を硬化し、硬化した上部クラッド層４２とすると共に、上部クラッド層４とミラー補強部材を接合する工程を有するミラー付き光導波路の製造方法である。
また、工程Ｂの前に、上部クラッド層４１が、熱によるプリベーク又は／及び光硬化によって半硬化される工程Ｅをさらに有しても良い。半硬化することによって、例えば（第１の形態の製造方法）のように、工程Ａとして下部クラッド層２上にコアパターン３を形成し、コアパターン３形成面から、上部クラッド層４を積層し、工程Ｂとして空気反射ミラー５の形成を上部クラッド層４側から行う際に、工程Ｂの前に、熱によるプリベーク又は／及び光硬化によって半硬化しておくと、空気反射ミラー５形成時の上部クラッド層４１のバリや剥がれ等を抑制できるため好ましい。その後に、工程Ｃとして、ミラー補強部材６を上部クラッド層４１に接合し、工程Ｄとして、上部クラッド層４１を硬化及びミラー補強部材６との接着を行ってできる。
図４の（第２の形態の製造方法）のように、工程Ａとしてコアパターン３を形成した後に、工程Ｂとして空気反射ミラー５を形成し、工程Ａの残りの工程として上部クラッド層４１を積層した後に、フォトリソグラフィー加工を用いて、空気反射ミラー５にかかる上部クラッド層４１をエッチング除去する。その後に、工程Ｃとして、ミラー補強部材６を空気反射ミラー５を覆うように上部クラッド層４１に接合し、工程Ｄとして上部クラッド層４を硬化及びミラー補強部材６との接着を行ってできる。この方法の場合、フォトリソグラフィー加工による露光光の照射又は／及びエッチング液の乾燥が上記光硬化及びプリベーク（工程Ｅ）に相当する。
図５の（第２の形態の別の製造方法）としては、工程Ａとして、下部クラッド層２上にコアパターン３を形成した後に、フォトリソグラフィー加工を用いて、空気反射ミラー５形成部分の上部クラッド層４１を除去する。その後、工程Ｂとして、上部クラッド層４１を硬化せずに、空気反射ミラー５を形成する。その後に、工程Ｃとして、ミラー補強部材６を上部クラッド層４１に接合し、工程Ｄとして、上部クラッド層４１を硬化及びミラー補強部材６との接着を行ってできる。この場合もフォトリソグラフィー加工による露光光の照射又は／及びエッチング液の乾燥が上記光硬化及びプリベーク（工程Ｅ）に相当する。
また、図５の（第２の形態の別の製造方法）に示すように、空気反射ミラー５の加工の際に、あらかじめ空気反射ミラー形成部上の未硬化又は半硬化の上部クラッド層４１の少なくとも一部を除去した後に、コアパターン３の光軸上に空気反射ミラー５を形成すると、上部クラッド層４のバリや、破損がより抑制できるため好ましい。本実施例では、フォトリソグラフィー加工によって、未硬化又は半硬化の上部クラッド層４１の少なくとも一部を除去しているが、その方法に特に制限はなく、例えば、ダイシングソーやレーザアブレーション等によって物理的に上部クラッド層４１を除去しても良い。工程Ｂにおいて、空気反射ミラーを形成する際に、上部クラッド層４１の除去量を低減できれば、本効果が得られる。
【００１２】
本発明では、上部クラッド層４を未硬化又は半硬化状態で、ミラー補強部材６を接合し、その後、上部クラッド層４を硬化すると共に、上部クラッド層４とミラー補強部材６を接合するため、ミラー補強部材６の上部クラッド層４接合面側には接着層が不要であり、接着層がある場合の、空気反射ミラー５への接着層の浸入がないため、良好に光信号が伝搬可能なミラー付き光導波路を安定して製造することができる。
本発明では、第１及び第２の形態の製造方法共に、工程Ａにおいて、下部クラッド層２が基板１上に形成されると好ましい。
【００１３】
（上部クラッド層の未硬化又は半硬化）
本発明における上部クラッド層４の未硬化又は半硬化状態とは、ミラー補強部材６との接合後の硬化処理によって、ミラー補強部材６との密着性が向上し得る状態のことを指す。具体例として、上部クラッド層４が光硬化型樹脂の場合、光硬化が行われていない状態で、その後の光や熱による硬化処理によって、ミラー補強部材６との接着性が向上する状態のことを未硬化状態といい、ある程度の光硬化が行われていて、その後の光や熱による硬化処理によって、ミラー補強部材６との接着性が向上する状態のことを半硬化状態という。
上部クラッド層４が熱硬化型樹脂の場合、熱硬化が行われていない状態で、その後の光や熱による硬化処理によって、ミラー補強部材６との接着性が向上する状態のことを未硬化状態といい、ある程度の熱硬化が行われていて、その後の光や熱による硬化処理によって、ミラー補強部材６との接着性が向上する状態のことを半硬化状態という。
光／熱硬化型樹脂（光で硬化する成分と熱で硬化する成分の両方の成分を有する樹脂）の場合、未硬化状態又は半硬化状態において、光／熱硬化型樹脂中に含まれる光硬化に寄与する成分／熱硬化に寄与する成分のうち、少なくとも一部の成分が未反応で残存していると良く、ミラー補強部材６との接合後の硬化処理において、該未反応成分の少なくとも一部が硬化し、ミラー補強部材６との接着性が向上すれば良い。
光による半硬化状態の形成方法としては、上部クラッド層４を積層した後に、上部クラッド層４を光硬化し得る活性光線を照射して得られる。上記の観点から、（Ｂ）光重合化合物、（Ｃ）光重合開始剤を少なくとも含む樹脂組成物であると良く、成膜性の観点からさらに（Ａ）ポリマーを含む樹脂組成物であると良い。
熱による半硬化状態の形成方法としては、上部クラッド層４を積層した後に、後述する上部クラッド層４の硬化温度以下あるいは短時間処理で加熱すると良く、６０℃〜２８０℃であれば良く、８０℃〜２３０℃であるとより良く、１００℃〜２００℃であるとさらに良い。上記の観点から、（Ｂ）熱重合化合物、（Ｃ）熱重合開始剤を少なくとも含む樹脂組成物であると良く、成膜性の観点からさらに（Ａ）ポリマーを含む樹脂組成物であると良い。
【００１４】
（上部クラッド層の硬化方法）
工程Ｄにおいて、上部クラッド層４を硬化すると共に、上部クラッド層４とミラー補強部材６を接着する方法としては、特に限定はなく、光照射や熱処理、それらを複合した方法や順次処理する方法が挙げられるが、加熱による熱処理がより好ましい。熱処理であると、上部クラッド層４の硬化及びミラー補強部材６との接着を効率良く行える利点や、光照射には、ミラー補強部材６又は光導波路や基板１を透過する波長を選択する必要があるが、熱処理にはミラー補強部材６又は光導波路や基板１によらず行える利点がある。加熱処理の温度は、上部クラッド層４とミラー補強部材６との接着性が得られ、光導波路の光信号伝搬に悪影響がない範囲であれば特に限定はないが、６０℃〜２８０℃であれば良く、８０℃〜２３０℃であるとより良く、１００℃〜２００℃であるとさらに良い。上記の範囲内でさらに上部クラッド層４のガラス転移点（Ｔｇ）以上の温度であることが最も好ましい。
【００１５】
以下、本発明のミラー付き光導波路を構成する部位について説明する。
（光導波路）
本発明に用いられる光導波路は、光信号を伝搬するコアパターン３と該コアパターン３よりも屈折率の小さいクラッド層からなり、光信号がコアパターン３を伝搬可能であれば特に限定はなく、定法によって得ることができる。例えば、第１の製造方法として、下部クラッド層２上にコア層を積層し、フォトリソグラフィー加工によってコアパターン３を形成し、上部クラッド層４にて該コアパターン３を埋め込む方法や、第２の製造方法として、下部クラッド層２にコアパターン３形成用の凹み部を設けた後に、コア層形成用樹脂を該凹み部に充填し、その後、上部クラッド層４を形成する方法などが挙げられる。
【００１６】
（クラッド層）
本発明に用いられるクラッド層はコアパターン３よりも屈折率が小さく、コアパターン３を保護する材料であれば特に限定はない。第２の形態の場合には、フォトリソグラフィー加工可能な材料であると良く、感光性樹脂組成物であるとより好ましい。クラッド層が、下部クラッド層２と上部クラッド層４の２層からなる光導波路の場合、少なくとも下部クラッド層２は、コアパターン３の下面を、上部クラッド層４は、コアパターン３の上面を覆う材料であることが好ましく、コアパターン３がエッチングによって形成されている場合には、上部クラッド層４で、さらにコアパターン３の側面を覆えると良い。
光信号の閉じ込めの観点から、コアパターン３の上下左右に５μｍ以上の厚みのクラッド層があると良く、特に、省スペース及び低背化の観点、並びにハンドリング性の観点から、コアパターン３の上下にそれぞれ５μｍ〜１００μｍ（両端数値を含む、以下同様）の厚みのクラッド層があれば良く、５μｍ〜５０μｍであるとなお良く、５μｍ〜２５μｍであるとさらに良い。２５μｍ以下であると、フレキシブルな光導波路を得ることができるため好ましい。
【００１７】
（下部クラッド層）
本発明に用いられる下部クラッド層２はコアパターン３よりも屈折率が小さく、コアパターン３の下面に配置される材料であれば特に限定はない。下部クラッド層の材料としては、熱硬化型樹脂組成物や光硬化型樹脂組成物や光／熱硬化型樹脂組成物（光硬化及び熱硬化の併用型）であると良い。光信号の閉じ込めの観点から、５μｍ以上の厚みがあれば良く、積層後の厚み均一性の観点から１００μｍ以下であると良く、５μｍ〜５０μｍであるとフレキシブル性の高い導波路を得ることができるためなお良く、５μｍ〜２５μｍであると高精度の上部クラッド層４の厚み制御が容易となるためさらに良く、５μｍ〜１５μｍであると低背な光導波路を得られるためさらに良い。
【００１８】
（上部クラッド層）
本発明に用いられる上部クラッド層４はコアパターン３よりも屈折率が小さく、コアパターン３の上面に配置され、硬化時にミラー補強部材と接着できる材料であれば特に限定はないが、上部クラッド層４の材料としては、熱硬化型樹脂組成物や光硬化型樹脂組成物や光／熱硬化型樹脂組成物（光硬化及び熱硬化の併用型）であると良い。第２の形態で、上部クラッド層４に、フォトリソグラフィー加工で、空気反射ミラー付近を開口する場合には感光性樹脂組成物であるとより好ましい。
【００１９】
上部クラッド層４を形成する材料としては、重合性化合物及び重合開始剤を少なくとも含む樹脂組成物であれば良い。樹脂層形成性の観点からは、さらにアクリルポリマー、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂等の樹脂を含むことが好ましく、これらの中でもアクリルポリマーが特に好ましい。
前記重合性化合物としては、特に制限はなく、例えば、エチレン性不飽和基を有する化合物、分子内にエポキシ基、イソシアネート基、又はブロックイソシアネート基を有する化合物などが好適に挙げられる。接着性をより向上できる観点からは、熱硬化型重合性化合物（熱硬化成分）を含むことが好ましく、そのような熱硬化成分としては、分子内にエポキシ基、イソシアネート基、又はブロックイソシアネート基を有する化合物等が挙げられる。
重合開始剤としては、特に限定はなく、例えば、熱によってラジカルが発生する熱ラジカル発生剤や、熱によってカチオンが発生する熱カチオン発生剤等が挙げられる。
【００２０】
コアパターン３上面からミラー補強部材６までの上部クラッド層４の厚みは、光信号の閉じ込めの観点から、５μｍ以上の厚みがあれば良く、５μｍ〜５０μｍであるとフレキシブル性の高い導波路を得ることができるためなお良く、５μｍ〜２５μｍであると高精度の上部クラッド層４の厚み制御が容易となるためさらに良く、５μｍ〜１５μｍであると低背な光導波路を得られるため得られるためさらに良い。特に、本発明においては、コアパターン３上面から、ミラー補強部材６までの距離が、上部クラッド層４の厚みであると好ましい。
【００２１】
（コアパターン）
本発明に用いられるコアパターン３は、下部クラッド層２及び上部クラッド層４よりも屈折率が高く、光信号を伝搬可能であり、パターンを形成し得る材料であれば特に限定はないが、位置合わせ精度やピッチ精度の観点から、フォトリソグラフィー加工可能な材料であると良く、感光性樹脂組成物であるとより好ましい。
【００２２】
（空気反射ミラー）
本発明に用いられる空気反射ミラー５は、コアパターン３の光軸上に配置された略４５°の傾斜面からなれば良く、第１の形態及び第２の形態に示す様にコアパターン３に設けられていると良い。空気反射ミラー５は一つのコアパターン３に対して少なくとも１以上形成されていると良く、２つ形成すると、下部クラッド層２側からの光信号の入出力が可能となる。
空気反射ミラーによって、コアパターン３を伝搬した光信号が、下部クラッド層２方向へ略９０°方向に光路変換される又は下部クラッド層２方向から入射された光信号が、コアパターン方向へ略９０°光路変換されると良く、上記の観点から空気反射ミラー５の傾斜面の角度は、３０°〜６０°であると良く、４０°〜５０°であるとより良く、４３°〜４７°であるとさらに良い。また、斜面の形状は、直線状でも湾曲した形状でも良い。
傾斜面の形成方法は、特に限定はないが、第１の形態のようにクラッド層に埋没したコアパターン３を有する光導波路とした後に、ダイシングソーを用いた切削方法や、レーザアブレーションを用いた加工方法が挙げられる。第２の形態のようにコアパターン３に、直接、ダイシングソーを用いた切削方法や、レーザアブレーションを用いた加工方法を用いて傾斜面を形成する方法もある。中でも、角度制御の観点からダイシングソーによる加工方法が一括で加工できるためより好適に挙げられる。
【００２３】
（ミラー補強部材）
本発明に用いられるミラー付き光導波路はミラー補強部材６を有する。その材質としては特に限定はされないが、例えば、ガラスエポキシ樹脂基板、セラミック基板、ガラス基板、シリコン基板、プラスチック基板、金属基板、樹脂層付き基板、金属層付き基板、プラスチックフィルム、樹脂層付きプラスチックフィルム、金属層付きプラスチックフィルム、電気配線板などが挙げられる。
さらには、柔軟性及び強靭性のあるミラー補強部材として、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルサルファイド、ポリアリレート、液晶ポリマー、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミドなどの樹脂フィルムをミラー補強部材として用いても良い。低背化の観点から上記樹脂フィルムを用いることが好ましく、これらのうち、耐熱性、寸法安定性の観点から、ポリアミドイミド、ポリイミドが特に好ましい。ミラー補強部材６の厚さとしては、板の反りや寸法安定性により、適宜変えて良いが、好ましくは１０μｍ〜１０．０ｍｍであり、より好ましくは１０μｍ〜１００μｍであり、さらに好ましくは１０μｍ〜５０μｍであり、特に好ましくは１０μｍ〜２５μｍである。
ミラー補強部材６の上部クラッド層４と接合する面には、上部クラッド層４以外の接着層はないほうが空気反射ミラーへの樹脂の回り込みの懸念が少ないため好ましい。また、ミラー補強部材６の上部クラッド層４と接合する面に、上部クラッド層４との接着性をより向上するための表面活性処理や、接着性付与層等は適宜形成しても良い。
上部クラッド層４とミラー補強部材６との接着性をより向上させるミラー補強部材６の表面処理方法として最も好ましいのは、表面粗化処理であり、その十点平均荒さ（Ｒｚ）は、０．５μｍ〜６μｍであると接着性が向上しやすく、０．５〜５μｍであると、光導波路の厚みの制御がしやすいためより好ましく、０．１〜４μｍであるとコアパターンの視認性が良好になるためさらに好ましい。表面粗化処理の方法としては特に限定はなく、プラズマアッシング処理、スパッタリング処理、イオンミリング処理、ジェットスクラブ処理、デスミア処理、過マンガン酸処理、凹凸の転写などで形成できる。凹凸の転写方法の一例としては、凹凸のある金属箔と樹脂の積層体を形成し、金属箔をエッチング除去し、残った樹脂をミラー補強部材６として使用する方法などがある。
【００２４】
（基板）
本発明に用いられる光導波路には基板１を設けることが出来る。基板１と光導波路とを接合させることによって光導波路に強靭性を持たせることが出来るため設置することが好ましい。基板１の材質としては特に限定はないが、例えば、ガラスエポキシ樹脂基板、セラミック基板、ガラス基板、シリコン基板、プラスチック基板、金属基板、樹脂層付き基板、金属層付き基板、プラスチックフィルム、樹脂層付きプラスチックフィルム、金属層付きプラスチックフィルム、電気配線板などが挙げられる。
さらには、柔軟性及び強靭性のある基板１として、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルサルファイド、ポリアリレート、液晶ポリマー、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミドを蓋材７として用いても良い。これらのうち、耐熱性、寸法安定性の観点から、ポリアミドイミド、ポリイミドが特に好ましい。基板１の厚さとしては、板の反りや寸法安定性により、適宜変えて良いが、好ましくは１０μｍ〜１０．０ｍｍであり、基板１のハンドリングの観点、及び低背化の観点から、より好ましくは１０μｍ〜５０μｍであり、さらに好ましくは１０μｍ〜２５μｍである。
光信号が空気反射ミラー５を介して基板１を透過する場合には光信号に対して透明な基板１を用いると良い。この場合、上記の材料のうち、ガラス基板、プラスチック基板、ポリアミドイミド、ポリイミドが特に好ましい。
【実施例】
【００２５】
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されない。
実施例１
［クラッド層形成用樹脂フィルムの作製］
［（A）ベースポリマー；（メタ）アクリルポリマー（Ａ−１）の作製］
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと、及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４６質量部及び乳酸メチル２３質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌を行った。液温を６５℃に上昇させ、メチルメタクリレート４７質量部、ブチルアクリレート３３質量部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１６質量部、メタクリル酸１４質量部、２，２'−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４６質量部、及び乳酸メチル２３質量部の混合物を３時間かけて滴下後、６５℃で３時間撹拌し、さらに９５℃で１時間撹拌を続けて、（メタ）アクリルポリマー（A−１）溶液（固形分４５質量％）を得た。
[重量平均分子量の測定］
（Ａ−１）の重量平均分子量（標準ポリスチレン換算）をＧＰＣ（東ソー（株）製「ＳＤ−８０２２」、「ＤＰ−８０２０」、及び「ＲＩ−８０２０」）を用いて測定した結果、３．９×１０4であった。なお、カラムは日立化成（株）製「Ｇｅｌｐａｃｋ  ＧＬ−Ａ１５０−Ｓ」及び「Ｇｅｌｐａｃｋ  ＧＬ−Ａ１６０−Ｓ」を使用した。
［酸価の測定］
（Ａ−１）の酸価を測定した結果、７９ｍｇＫＯＨ／ｇであった。なお、酸価はＡ−１溶液を中和するのに要した０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化カリウム水溶液量から算出した。このとき、指示薬として添加したフェノールフタレインが無色からピンク色に変色した点を中和点とした。
［クラッド層形成用樹脂ワニスの調合］
（Ａ）ベースポリマーとして、前記（Ａ−１）溶液（固形分４５質量％）８４質量部（固形分３８質量部）、（Ｂ）光硬化成分として、ポリエステル骨格を有するウレタン（メタ）アクリレート（新中村化学工業（株）製「Ｕ−２００ＡＸ」）３３質量部、及びポリプロピレングリコール骨格を有するウレタン（メタ）アクリレート（新中村化学工業（株）製「ＵＡ−４２００」）１５質量部、（Ｃ）熱硬化成分として、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート型三量体をメチルエチルケトンオキシムで保護した多官能ブロックイソシアネート溶液（固形分７５質量％）（住化バイエルウレタン（株）製「スミジュールＢＬ３１７５」）２０質量部（固形分１５質量部）、（Ｄ）光重合開始剤として、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（チバ・ジャパン（株）製「イルガキュア２９５９」）１質量部、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキシド（チバ・ジャパン（株）製「イルガキュア８１９」）１質量部、及び希釈用有機溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２３質量部を攪拌しながら混合した。孔径２μｍのポリフロンフィルタ（アドバンテック東洋（株）製「ＰＦ０２０」）を用いて加圧濾過後、減圧脱泡し、クラッド層形成用樹脂ワニスを得た。
上記で得られたクラッド層形成用樹脂組成物を、キャリアフィルムであるＰＥＴフィルム（東洋紡績（株）製「コスモシャインＡ４１００」、厚み５０μｍ）の非処理面上に、塗工機（マルチコーターＴＭ−ＭＣ、（株）ヒラノテクシード製）を用いて塗布し、１００℃で２０分乾燥後、カバーフィルムとして表面離型処理ＰＥＴフィルム（帝人デュポンフィルム（株）製「ピューレックスＡ３１」、厚み２５μｍ）を貼付け、クラッド層形成用樹脂フィルムを得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であり、本実施例では使用した下部クラッド層２及び上部クラッド層４の厚みに付いては、実施例中に記載する。また、下部クラッド層２及び上部クラッド層４の硬化後の膜厚と塗工後の膜厚は同一であった。
【００２６】
［コア層形成用樹脂フィルムの作製］
（Ａ）ベースポリマーとして、フェノキシ樹脂（商品名：フェノトートＹＰ−７０、東都化成（株）製）２６質量部、（Ｂ）光重合性化合物として、９，９−ビス［４−（２−アクリロイルオキシエトキシ）フェニル］フルオレン（商品名：Ａ−ＢＰＥＦ、新中村化学工業（株）製）３６質量部、及びビスフェノールＡ型エポキシアクリレート（商品名：ＥＡ−１０２０、新中村化学工業（株）製）３６質量部、（Ｃ）光重合開始剤として、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド（商品名：イルガキュア８１９、チバ・ジャパン（株）製）１質量部、及び１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（商品名：イルガキュア２９５９、チバ・ジャパン（株）製）１質量部、有機溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４０質量部を用いたこと以外は上記製造例と同様の方法及び条件でコア層形成用樹脂ワニスＢを調合した。その後、上記製造例と同様の方法及び条件で加圧濾過さらに減圧脱泡した。
上記で得られたコア層形成用樹脂ワニスＢを、キャリアフィルムであるＰＥＴフィルム（商品名：コスモシャインＡ１５１７、東洋紡績（株）製、厚さ：１６μｍ）の非処理面上に、上記製造例と同様な方法で塗布乾燥し、次いでカバーフィルムとして離型ＰＥＴフィルム（商品名：ピューレックスＡ３１、帝人デュポンフィルム（株）、厚さ：２５μｍ）を離型面が樹脂側になるように貼り付け、コア層形成用樹脂フィルムを得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であり、本実施例では使用したコア層形成用樹脂フィルム厚みに付いては、５０μｍになるように調整した。
【００２７】
[第１の形態のミラー付き光導波路の作成]
（下部クラッド層の作製）
１５μｍ厚のクラッド層形成用樹脂フィルムを１０ｃｍ×１０ｃｍに切断し、カバーフィルムを剥離した後、真空加圧式ラミネータ（商品名：ＭＶＬＰ−５００、（株）名機製作所製）を用いて、５００Ｐａ以下に真空引きした後、圧力０．４ＭＰａ、温度１２０℃、加圧時間３０秒の条件で基板１としてポリイミドフィルム（商品名：カプトンＥＮ、東レ・デュポン（株）製、厚さ：２５μｍ、サイズ１０ｃｍ×１０ｃｍ）に加熱圧着した。その後、紫外線露光機（商品名：ＥＶ−８００、日立ビアメカニクス（株）製）でキャリアフィルム側から紫外線を４０００ｍＪ／ｃｍ2照射し、キャリアフィルムを剥離した後に１７０℃、１時間加熱硬化して下部クラッド層２を得た（図２（Ａ）参照）。
【００２８】
（コアパターンの作製）
次に、下部クラッド層２上にロールラミネータ（商品名：ＨＬＭ−１５００、日化設備エンジニアリング（株）製）を用いて、圧力０．５ＭＰａ、温度５０℃、ラミネート速度０．２ｍ／ｍｉｎの条件でカバーフィルムを剥離した５０μｍ厚のコア層形成用樹脂フィルムをラミネートし、次いで、上記の真空加圧式ラミネータ（商品名：ＭＶＬＰ−５００、（株）名機製作所製）を用いて５００Ｐａ以下に真空引きした後、圧力０．４ＭＰａ、温度７０℃、加圧時間３０秒の条件で加熱圧着した。その後、コアパターン幅５０μｍ、長さ９０ｍｍ、５ｃｈ（２５０μｍピッチ）のネガ型フォトマスクを介し、上記紫外線露光機（商品名：ＥＶ−８００、日立ビアメカニクス（株）製）でコア層形成用樹脂フィルム側から紫外線を８００ｍＪ／ｃｍ2照射し、次いで、８０℃で５分間加熱を行った。その後、キャリアフィルムを剥離し、現像液（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート／Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド＝８／２、質量比）を用いて、コア層をエッチングした。その後、洗浄液（イソプロパノール）を用いて洗浄し、１００℃で１０分間加熱乾燥させて、コアパターン３を形成した（図２（Ｂ）参照）。
【００２９】
（上部クラッド層の作製）
次に、カバーフィルムから剥離した５４μｍ厚のクラッド層形成用樹脂フィルムをコアパターン３形成面側から真空加圧式ラミネータ（商品名：ＭＶＬＰ−５００、（株）名機製作所製）を用い、５００Ｐａ以下に真空引きした後、圧力０．４ＭＰａ、温度１２０℃、加圧時間３０秒の条件で加熱圧着してラミネートした。その後、上記紫外線露光機を用いて紫外線を４０００ｍＪ／ｃｍ2照射し、次いで、クラッド層形成用樹脂フィルムのキャリアフィルムを剥離した後、１２０℃で１時間乾燥及び半硬化させて上部クラッド層４１を形成した。得られた上部クラッド層４１のコアパターン３上の厚みは５μｍであった（図２（Ｃ）参照）。
【００３０】
（空気反射ミラーの作製）
上部クラッド層４１側からダイシングソー（ＤＡＣ５５２、（株）ディスコ社製）を用いて４５°の傾斜面を形成し、同時にコアパターン３に空気反射ミラー５を形成した。このとき、空気反射ミラー５は一つのコアパターン３に対して対向するように２箇所（８０ｍｍ間隔）形成した（図２（Ｄ）参照）。
【００３１】
（ミラー補強部材の形成）
片面銅箔ポリイミドフィルム（新日鉄住金（株）製、商品名：ＭＣ１２−２５−００ＣＥＭ（銅箔は古河電気工業（株）製、商品名：Ｆ２−ＷＳ、厚み２５μｍ））の銅箔面を、塩化第二鉄水溶液にて、エッチング除去し、十点平均荒さ（Ｒｚ）が２．５μｍの粗化面を露出させた。
【００３２】
（ミラー補強部材の接合）
その後、上記で得られたポリイミドフィルムの粗化面を上部クラッド層４１側にし、真空加圧式ラミネータ（商品名：ＭＶＬＰ−５００、（株）名機製作所製）を用い、５００Ｐａ以下に真空引きした後、圧力０．４ＭＰａ、温度１２０℃、加圧時間３０秒の条件で加熱圧着してラミネートした（図２（Ｅ）参照）。
【００３３】
（ミラー補強部材の接着）
その後、上部クラッド層４１を１７０℃で１時間硬化させて上部クラッド層４２とミラー補強部材６との接着を行った（図２（Ｆ）参照）。
得られたミラー付き光導波路のミラー補強板６は剥がれなく、光の伝搬も良好であった。ミラー付き光導波路の総厚は１２０μｍであった。
【００３４】
実施例２
（第２の形態（図４の製造方法））
実施例１と同様に、コアパターン３を形成した後に、コアパターン３形成面側からダイシングソー（ＤＡＣ５５２、（株）ディスコ社製）を用いて４５°の傾斜面を形成し、同時にコアパターン３に空気反射ミラー５を形成した。このとき、空気反射ミラー５は一つのコアパターン３に対して対向するように２箇所（８０ｍｍ間隔）形成した（図４（Ａ）参照）。
カバーフィルムから剥離した６０μｍ厚のクラッド層形成用樹脂フィルムをコアパターン３形成面側から真空加圧式ラミネータ（商品名：ＭＶＬＰ−５００、（株）名機製作所製）を用い、５００Ｐａ以下に真空引きした後、圧力０．４ＭＰａ、温度１２０℃、加圧時間３０秒の条件で加熱圧着してラミネートした。その後、上記紫外線露光機を用いて、空気反射ミラー５形成部付近を遮光部としたネガ型のフォトマスクを介し、紫外線を２５０ｍＪ／ｃｍ2照射し、次いで、クラッド層形成用樹脂フィルムのキャリアフィルムを剥離した後、現像液（１％炭酸ナトリウム水溶液）を用いて、空気反射ミラー５付近の上部クラッド層４１を現像除去し、上記紫外線露光機を用いて、紫外線を３０００ｍＪ／ｃｍ2照射し、１２０℃で１時間乾燥及び半硬化させて上部クラッド層４１を形成した。得られた上部クラッド層４１のコアパターン３上の厚みは１１μｍであった（図４（Ｂ）、図６参照）。
【００３５】
（ミラー補強部材の形成）
片面銅箔ポリイミドフィルム（ポリイミド；ユーピレックスＶＴ、宇部日東化成（株）製、厚み；１２．５μｍ）（銅箔；三井金属鉱業（株）製、商品名；３ＥＣ−ＶＬＰ、厚さ：１２μｍ）を用い、実施例１と同様に、銅箔面を塩化第二鉄水溶液にてエッチング除去し、十点平均荒さ（Ｒｚ）が３．５μｍの粗化面を露出させた。
その後、実施例１と同様にミラー補強部材６の接合（図４（Ｃ）参照）及び上部クラッド層４１の硬化を行った（図４（Ｄ）参照）。
得られたミラー付き光導波路のミラー補強板６は剥がれなく、光の伝搬も良好であった。
ミラー付き光導波路の総厚は１１３μｍであった。
【００３６】
実施例３
（第２の形態（図５の製造方法））
実施例２において、空気反射ミラー５を形成せずに、７４μｍ厚のクラッド層形成用樹脂フィルムを用いて、空気反射ミラー形成部付近を開口した上部クラッド層４１を形成した（図５（Ａ）参照）。なお、上部クラッド層４１のフォトマスクは実施例２で用いたものと同様のものを用いた。
その後、上部クラッド層４１を開口した部分に、実施例２と同様に空気反射ミラー５を形成した（図５（Ｂ）参照）。得られた上部クラッド層４１のコアパターン３上の厚みは２５μｍであった
【００３７】
（ミラー補強部材の形成）
ポリイミドフィルム（ポリイミド；ユーピレックスＲＮ、宇部日東化成（株）製、厚み；２５μｍ）の一方の面をプラズマアッシング処理を行い十点平均荒さ（Ｒｚ）が０．５μｍの粗化面を形成した。
その後、実施例１と同様にミラー補強部材６の接合（図５（Ｃ）参照）及び上部クラッド層４１の硬化を行った（図５（Ｄ）参照）。
得られたミラー付き光導波路のミラー補強板６は剥がれなく、光の伝搬も良好であった。
ミラー付き光導波路の総厚は１４０μｍであった。
【００３８】
比較例１
実施例１において、上部クラッド層４１を１７０℃１時間加熱処理し、硬化した上部クラッド層４２とした後に、ミラー補強部材６を接合及び上部クラッド層４の加熱を行ったが、ミラー補強板６は上部クラッド層に接着せず剥離してしまった。
【００３９】
比較例２
［接着フィルムの作製］
ＰＣＴ／ＪＰ２００８／０５４６５の実施例１に記載の接着フィルムを作製した。すなわち、（ａ）エポキシ樹脂としてＹＤＣＮ−７０３（東都化成（株）製商品名、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量２１０）５５質量部、（ｂ）硬化剤としてミレックスＸＬＣ−ＬＬ（三井化学（株）製商品名、フェノール樹脂、水酸基当量１７５、吸水率１．８質量％、３５０℃における加熱重量減少率４％）４５質量部、シランカップリング剤としてＮＵＣ  Ａ−１８９（日本ユニカー（株）製商品名、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン）１．７質量部とＮＵＣ  Ａ−１１６０（日本ユニカー（株）製商品名、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン）３．２質量部、（ｄ）フィラーとしてアエロジルＲ９７２（シリカ表面にジメチルジクロロシランを被覆し、４００℃の反応器中で加水分解させた、メチル基などの有機基を表面に有するフィラー、日本アエロジル（株）製商品名、シリカ、平均粒径０．０１６μｍ）３２質量部からなる組成物に、シクロヘキサノンを加えて攪拌混合し、更にビーズミルを用いて９０分混練した。これに（ｃ）高分子化合物としてグリシジルアクリレート又はグリシジルメタクリレート３質量％を含むアクリルゴムＨＴＲ−８６０Ｐ−３（ナガセケムテックス（株）製商品名、重量平均分子量８０万）を２８０質量部、及び（ｅ）硬化促進剤としてキュアゾール２ＰＺ−ＣＮ（四国化成工業（株）製商品名、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール）を０．５質量部加え、攪拌混合、真空脱気した。この接着剤ワニスをキャリアフィルムとして厚さ７５μｍの離型処理したポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（ピューレックスＡ３１）上に塗布し、１４０℃で５分間加熱乾燥して、膜厚が１０μｍの塗膜を形成した。次いでカバーフィルムとして２５μｍの離型処理したポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（ピューレックスＡ３１）を離型面が樹脂側になるように貼り付け、接着フィルムを得た。
【００４０】
（ミラー補強部材の形成）
１００ｍｍ×１００ｍｍのポリイミドフィルム（宇部日東化成（株）製、商品名；ユーピレックスＲＮ、厚み；２５μｍ）に、上記の接着フィルムを、カバーフィルムを剥離した後に真空加圧式ラミネータ（（株）名機製作所製、ＭＶＬＰ−５００）を用い、５００Ｐａ以下に真空引きした後、圧力０．４ＭＰａ、温度６０℃、加圧時間３０秒の条件にて加熱圧着して、ラミネートした。
続いて接着フィルムのキャリアフィルム側から上記紫外線露光機（機種名：ＥＸＭ−１１７２、（株）オーク製作所製）を用いて、紫外線を（波長３６５ｎｍ）を１．０Ｊ／ｃｍ2照射した。
次に接着フィルムのキャリアフィルムを剥離して、ミラー補強部材６とした。
【００４１】
(ミラー付き光導波路の形成)
実施例１と同様に、空気反射ミラー５を形成した後に、上記で得られた接着フィルム付きミラー補強部材６の接着フィルム面を上部クラッド層４１側にして接合し、加熱によって上部クラッド層４１の硬化及びミラー補強部材６との接着を行った。
得られたミラー付き光導波路のミラー補強部材６は剥がれなく良好であったが、空気反射ミラーの一部に接着フィルムの樹脂が入り込み、良好に光信号の伝搬ができなかった。
ミラー付き光導波路の総厚は１３０μｍと実施例１よりも厚かった。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
以上詳細に説明したように、本発明のミラー付き光導波路は、低背であり、空気反射ミラーの強度に優れ、光信号の伝搬が良好である。このため、光信号伝搬用のデバイス、光路変換部品、光電変換部品等として有用である。
【符号の説明】
【００４３】
１．基板
２．下部クラッド層
３．コアパターン
４．上部クラッド層
４１．未硬化又は半硬化の上部クラッド層
４２．硬化した上部クラッド層
５．空気反射ミラー
６．ミラー補強部材
【図１】
2015004855.tif 000003
【図２】
2015004855.tif 000004
【図３】
2015004855.tif 000005
【図４】
2015004855.tif 000006
【図５】
2015004855.tif 000007
【図６】
2015004855.tif 000008