(57)【要約】【課題】  隣り合う半導体層と半導体層との間の溝の幅を狭くすることにより、半導体発光素子の生産性の向上を図ったIII 族窒化物半導体発光素子およびその製造方法を提供することである。【解決手段】  レーザー照射工程では、サファイアウエハＳａの半導体層形成面Ｓａ１からの距離が第１の深さＸ１である位置に複数の改質箇所Ｒ１から成る列Ａ１と、サファイアウエハＳａの半導体層形成面Ｓａ１からの距離が第２の深さＸ２である位置に複数の改質箇所Ｒ２から成る列Ａ２と、を形成する。列Ａ１の第１の深さＸ１は、５０μｍ以上７０μｍ以下の範囲内である。列Ａ１における改質箇所Ｒ１のピッチ間隔は、２．５μｍ以上１５μｍ以下の範囲内である。列Ａ２の第２の深さＸ２は、列Ａ１の第１の深さＸ１よりも深い。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
サファイアウエハの第１面にIII 族窒化物半導体層を形成した積層ウエハを分割する素子分割工程を有するIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記素子分割工程は、
前記サファイアウエハにレーザーを照射して前記サファイアウエハに複数の改質箇所から成る列を形成するレーザー照射工程と、
前記複数の改質箇所から成る列に沿って前記サファイアウエハから前記III 族窒化物半導体発光素子を切り離すブレーキング工程と、
を有し、
前記レーザー照射工程では、
前記サファイアウエハの前記第１面からの距離が第１の深さである位置に前記複数の改質箇所から成る第１の列と、
前記サファイアウエハの前記第１面からの距離が第２の深さである位置に前記複数の改質箇所から成る第２の列と、
を形成し、
前記第１の列の前記第１の深さは、
５０μｍ以上７０μｍ以下の範囲内であり、
前記第１の列における改質箇所のピッチ間隔は、
２．５μｍ以上１５μｍ以下の範囲内であり、
前記第２の列の前記第２の深さは、
前記第１の列の前記第１の深さよりも深いこと
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記レーザー照射工程では、
前記サファイアウエハに照射するレーザーの出力を０．２６Ｗ以上０．６Ｗ以下の範囲内とすること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記第２の列の前記第２の深さは、
８０μｍ以上１３０μｍ以下の範囲内であること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記第２の列における改質箇所のピッチ間隔は、
２．５μｍ以上１５μｍ以下の範囲内であること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記レーザー照射工程では、
前記サファイアウエハのａ軸に平行にレーザーを走査して、前記第１列としてａ軸に平行な列を形成し、
前記サファイアウエハに前記ａ軸に平行な列から前記第１面まで達する亀裂を形成し、
前記第１面での前記亀裂の位置と、前記第１の列を前記第１面に射影した位置と、の間のずれ量を８μｍ以下とすること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記サファイアウエハの上に半導体層を成長させる半導体層形成工程と、
前記半導体層を格子状に区画する溝を形成する半導体層区画工程と、
を有し、
前記レーザー照射工程では、
前記溝の中央線からｒ面の存在する側の反対側に０μｍ以上８μｍ以下の範囲内で変位させた位置にレーザーを照射すること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記レーザー照射工程では、
前記サファイアウエハに少なくとも前記第１の列から前記第１面まで達する亀裂を形成し、
前記第１の列および前記第２の列における改質箇所のピッチ間隔は、
８μｍ以上１２μｍ以下の範囲内であり、
前記第１面での前記亀裂の位置と、前記第１の列を前記第１面に射影した位置と、の間のずれ量を４μｍ以下とすること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
【請求項８】
第１面を有するサファイア基板と、
前記サファイア基板の前記第１面に形成されたIII 族窒化物半導体層と、
を有するIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記サファイア基板の前記第１面からの距離が第１の距離である位置に複数のレーザー照射痕から成る第１の列と、
前記サファイア基板の前記第１面からの距離が第２の距離である位置に複数のレーザー照射痕から成る第２の列と、
を有し、
前記第１の列の前記第１の距離は、
５０μｍ以上７０μｍ以下の範囲内であり、
前記第１の列におけるレーザー照射痕のピッチ間隔は、
２．５μｍ以上１５μｍ以下の範囲内であり、
前記第２の列の前記第２の距離は、
前記第１の列の前記第１の距離よりも大きいこと
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。
【請求項９】
請求項８に記載のIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記第１の列および前記第２の列におけるレーザー照射痕のピッチ間隔は、
８μｍ以上１２μｍ以下の範囲内であること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載のIII 族窒化物半導体発光素子において、
前記サファイア基板の前記第１面側の端部の位置と、前記第１の列を前記第１面に射影した位置と、の間のずれ量が、４μｍ以下であること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サファイアウエハから発光素子を高い精度で分離することのできるIII 族窒化物半導体発光素子およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
サファイアウエハを成長基板として用いる半導体発光素子の製造工程は、サファイアウエハの上に半導体層を成長させる半導体層形成工程と、サファイアウエハを分割して多数の半導体発光素子とする素子分割工程と、を有することがある。サファイアは、明瞭な劈開面を持たない。そのため、サファイアウエハを分割することはそれほど容易ではない。
【０００３】
そのため例えば、素子分割工程において、サファイアウエハの内部にレーザーを集光した状態で走査し、サファイアウエハの内部に改質箇所の列を形成する技術等が開発されてきている（特許文献１の段落［０００２］等参照）。そして、その後のブレーキング工程では、その改質箇所の列に沿って素子を切り離す。
【０００４】
また、特許文献２には、レーザーを照射して形成した改質箇所から斜め方向に割る技術が開示されている（特許文献２の段落［００１８］−［００２０］および図１等参照）。ｃ面サファイアを用いた場合には、サファイアが斜めに割れやすい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２０５９００号公報
【特許文献２】特開２０１１−１８１９０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献２に記載の技術では、サファイアウエハを厚み方向に対してやや斜めに割る。そして、隣り合う半導体層と半導体層との間の隙間の中央部（特許文献２の図１の中央線ａ）から少し離れた位置に改質箇所（特許文献２の図１の第１の改質領域３）を形成する（特許文献２の段落［００１８］−［００２０］および図１等参照）。そのため、隣り合う半導体層と半導体層との間の溝の幅をある程度広く設計する必要がある。この溝の幅が広いと、１枚のサファイアウエハから生産できる半導体発光素子の数は少ない。すなわち、半導体発光素子の生産性がやや悪かった。
【０００７】
一方、半導体層に近い位置に改質箇所を形成すれば、溝の幅を小さく設計することができる。しかし、改質箇所の形成位置は、レーザーを照射する際に集光する位置である。レーザーを照射する際に集光する箇所と半導体層とが近いと、レーザーの一部が半導体層に照射されてしまうおそれがある。これにより、発光素子の光学特性が悪くなるおそれがある。歩留まりを向上させるため、レーザーを集光する箇所と半導体層との膜厚方向の距離をある程度大きくしたい。
【０００８】
本発明は、前述した従来の技術が有する問題点を解決するためになされたものである。すなわちその課題は、隣り合う半導体層と半導体層との間の溝の幅を狭くすることにより、半導体発光素子の生産性の向上を図ったIII 族窒化物半導体発光素子およびその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法は、サファイアウエハの第１面にIII 族窒化物半導体層を形成した積層ウエハを分割する素子分割工程を有する。また、素子分割工程は、サファイアウエハにレーザーを照射してサファイアウエハに複数の改質箇所から成る列を形成するレーザー照射工程と、複数の改質箇所から成る列に沿ってサファイアウエハからIII 族窒化物半導体発光素子を切り離すブレーキング工程と、を有する。そして、レーザー照射工程では、サファイアウエハの第１面からの距離が第１の深さである位置に複数の改質箇所から成る第１の列と、サファイアウエハの第１面からの距離が第２の深さである位置に複数の改質箇所から成る第２の列と、を形成する。ここで、第１の列の第１の深さは、５０μｍ以上７０μｍ以下の範囲内である。第１の列における改質箇所のピッチ間隔は、２．５μｍ以上１５μｍ以下の範囲内である。また、第２の列の第２の深さは、第１の列の第１の深さよりも深い。
【００１０】
このIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法では、サファイアウエハの表面にほぼ垂直にサファイアウエハを割ることができる。そのため、サファイアウエハを割る際にできる亀裂が、半導体層に達しにくい。つまり、この製造方法における歩留まりは、従来の方法に比べてよい。また、レーザーを集光する箇所と半導体層との膜厚方向の距離をある程度とることができる。また、発光素子の切り代を小さく設計することができる。そのため、１枚のサファイアウエハからより多くの発光素子を製造することができる。また、切り代を狭くする代わりに、半導体層の一片の長さを長くとるように設計してもよい。この場合には、発光素子の発光面積が従来の発光素子に比べて広い。すなわち、明るい発光素子を製造することができる。
【００１１】
第２の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、上記に加えて、レーザー照射工程では、サファイアウエハに照射するレーザーの出力を０．２６Ｗ以上０．６Ｗ以下の範囲内とする。
【００１２】
第３の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、上記に加えて、第２の列の第２の深さは、８０μｍ以上１３０μｍ以下の範囲内である。
【００１３】
第４の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、上記に加えて、第２の列における改質箇所のピッチ間隔は、２．５μｍ以上１５μｍ以下の範囲内である。
【００１４】
第５の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、上記に加えて、レーザー照射工程では、サファイアウエハのａ軸に平行にレーザーを走査して、第１列としてａ軸に平行な列を形成し、サファイアウエハにａ軸に平行な列から第１面まで達する亀裂を形成する。そして、第１面での亀裂の位置と、第１の列を第１面に射影した位置と、の間のずれ量を８μｍ以下とする。
【００１５】
第６の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法は、上記に加えて、サファイアウエハの上に半導体層を成長させる半導体層形成工程と、半導体層を格子状に区画する溝を形成する半導体層区画工程と、を有する。そして、レーザー照射工程では、溝の中央線からｒ面の存在する側の反対側に０μｍ以上８μｍ以下の範囲内で変位させた位置にレーザーを照射する。
【００１６】
第７の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法は、上記に加えて、レーザー照射工程を次のように実施する。サファイアウエハに、少なくとも第１の列から第１面まで達する亀裂を形成する。第１の列および第２の列における改質箇所のピッチ間隔を、８μｍ以上１２μｍ以下の範囲内とする。第１面での亀裂の位置と、第１の列を第１面に射影した位置と、の間のずれ量を４μｍ以下とする。
【００１７】
第８の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子は、第１面を有するサファイア基板と、サファイア基板の第１面に形成されたIII 族窒化物半導体層と、を有する。このIII 族窒化物半導体発光素子は、サファイア基板の第１面からの距離が第１の距離である位置に複数のレーザー照射痕から成る第１の列と、サファイア基板の第１面からの距離が第２の距離である位置に複数のレーザー照射痕から成る第２の列と、を有する。また、第１の列の第１の距離は、５０μｍ以上７０μｍ以下の範囲内である。第１の列におけるレーザー照射痕のピッチ間隔は、２．５μｍ以上１５μｍ以下の範囲内である。第２の列の第２の距離は、第１の列の第１の距離よりも大きい。
【００１８】
第９の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子では、上記に加えて、第１の列および第２の列におけるレーザー照射痕のピッチ間隔は、８μｍ以上１２μｍ以下の範囲内である。
【００１９】
第１０の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子では、上記に加えて、サファイア基板の第１面側の端部の位置と、第１の列を第１面に射影した位置と、の間のずれ量が、４μｍ以下である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明では、隣り合う半導体層と半導体層との間の溝の幅を狭くすることにより、半導体発光素子の生産性の向上を図ったIII 族窒化物半導体発光素子およびその製造方法が提供されている。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施形態に係る発光素子を例示する平面図である。
【図２】図１のII-II 断面を示す断面図である。
【図３】実施形態に係る積層ウエハを示す平面図である。
【図４】実施形態に係る積層ウエハに改質箇所を形成したものを示す平面図である。
【図５】実施形態に係る半導体発光素子の製造方法におけるレーザー照射工程を説明するための概念図（その１）である。
【図６】実施形態に係る半導体発光素子の製造方法におけるレーザー照射工程を説明するための概念図（その２）である。
【図７】実施形態に係る半導体発光素子の製造方法におけるレーザー照射工程を説明するための概念図（その３）である。
【図８】実施形態に係る半導体発光素子の製造方法におけるレーザー照射工程を説明するための概念図（その４）である。
【図９】実施形態に係る半導体発光素子における割れとそのずれ量Ｙ１を示す図である。
【図１０】実施形態に係る半導体発光素子のサファイア基板のレーザー照射痕を説明するための図である。
【図１１】実施形態の変形例に係る発光素子を例示する概略構成図である。
【図１２】実施形態に係る半導体発光素子のレーザー照射条件と割れのずれ量Ｙ１との関係を示す表（その１）である。
【図１３】実施形態に係る半導体発光素子のレーザー照射条件と割れのずれ量Ｙ１との関係を示す表（その２）である。
【図１４】実施形態に係る半導体発光素子のレーザー照射条件と割れのずれ量Ｙ１との関係を示す表（その３）である。
【図１５】実施形態に係る半導体発光素子のレーザー照射条件と割れのずれ量Ｙ１との関係を示す表（その４）である。
【図１６】実施形態に係る半導体発光素子のレーザー照射条件と割れのずれ量Ｙ１との関係を示す表（その５）である。
【図１７】実施形態に係る半導体発光素子のレーザー照射条件と割れのずれ量Ｙ１との関係を示す表（その６）である。
【図１８】実施形態に係る半導体発光素子のレーザー照射条件と割れのずれ量Ｙ１との関係を示す表（その７）である。
【図１９】改質箇所のピッチ間隔とずれ量との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、具体的な実施形態について、半導体発光素子を例に挙げて図を参照しつつ説明する。しかし、本発明は、下記の実施形態に限定されるものではない。また、後述する発光素子の各層の積層構造および電極構造は、例示である。そのため、実施形態とは異なる積層構造であってももちろん構わない。そして、それぞれの図における各層の厚みは、概念的に示したものに過ぎない。
【００２３】
１．半導体発光素子
図１は、本実施形態の半導体発光素子の製造方法により製造される発光素子１００を示す平面図である。図２は、図１のII-II 断面を示す断面図である。発光素子１００は、サファイア基板の上にIII 族窒化物半導体を形成されたフェイスアップ型の発光素子である。
【００２４】
図２に示すように、発光素子１００は、サファイア基板１１０と、低温バッファ層１２０と、ｎ型コンタクト層１３０と、ｎ型ＥＳＤ層１４０と、ｎ型超格子層１５０と、発光層１６０と、ｐ型超格子層１７０と、ｐ型コンタクト層１８０と、を有する。
【００２５】
また、図１に示すように、発光素子１００は、ｐ電極Ｐ１と、ｐ延伸電極Ｐ２と、ｎ電極Ｎ１と、ｎ延伸電極Ｎ２と、を有している。ｐ電極Ｐ１およびｐ延伸電極Ｐ２は、ｐ型コンタクト層１８０の上に形成されている。ｎ電極Ｎ１およびｎ延伸電極Ｎ２は、ｎ型コンタクト層１３０の上に形成されている。
【００２６】
図１および図２に示すように、サファイア基板１１０の中央領域には、半導体層が形成されており、外周領域には、ストリートＳ１、Ｓ２がある。本実施形態では、ストリートＳ１、Ｓ２は、ｎ型コンタクト層１３０が露出している領域である。このストリートＳ１、Ｓ２は、後述するように、サファイアウエハの上に形成された複数の発光層１６０を区画するためのものである。そして、ストリートＳ１、Ｓ２は、サファイアウエハから発光素子１００を切り出す際の切り代としての役割も果たす。
【００２７】
図１に示すように、ストリートＳ１は、発光素子１００の長尺方向にわたって形成されている。ストリートＳ１の幅は、Ｌ１である。ストリートＳ２は、発光素子１００の短尺方向にわたって形成されている。ストリートＳ２の幅は、Ｌ２である。ストリートＳ１、Ｓ２は、枠状に半導体層を囲っている。
【００２８】
２．積層ウエハ（分割前）
図３に、各々の発光素子１００に分割する前における積層ウエハＷ０を示す。積層ウエハＷ０は、サファイアウエハＳａの上にIII 族窒化物半導体層を形成された半導体ウエハである。サファイアウエハＳａは、オリエンテーションフラットＯＦを形成されたｃ面サファイアである。積層ウエハＷ０を分割することにより、図１、図２等に示した多数の発光素子１００となる。
【００２９】
積層ウエハＷ０の半導体層は、溝Ｊ１、Ｊ２により区画されている。この溝Ｊ１、Ｊ２は、直線状に形成されている。溝Ｊ１、Ｊ２は、後述するように、サファイアウエハＳａの上に成長させた単一の半導体層にエッチング等を実施することにより形成される。溝Ｊ１、Ｊ２は、発光素子１００への分割後には、ストリートＳ１、Ｓ２となる。そのため、溝Ｊ１の幅Ｈ１は、Ｌ１の２倍であり、溝Ｊ２の幅Ｈ２は、Ｌ２の２倍である。
【００３０】
図３に示す矢印Ｄ１は、サファイアウエハＳａのａ軸に平行な方向を示している。溝Ｊ１は、ａ軸に平行な方向に沿って形成されている。矢印Ｄ２は、サファイアウエハＳａのｍ軸に平行な方向を示している。溝Ｊ２は、ｍ軸に平行な方向に沿って形成されている。
【００３１】
３．加工装置
本実施形態の分割方法では、サファイアウエハＳａに改質箇所の列を形成するレーザー加工装置と、その改質箇所の列に沿ってサファイアウエハＳａを分割するブレーキング装置と、を用いる。レーザー加工装置は、パルスレーザーを発振して照射するレーザー照射部と、レーザー照射部に対してＸＹ方向に可動するステージと、を有する。このため、パルスレーザーを照射しながらステージを動かすことにより、サファイアウエハＳａに改質箇所の列を形成することができる。ここで照射するレーザーは、例えば、フェムト秒レーザーである。
【００３２】
４．積層ウエハから半導体発光素子への分割方法
４−１．第１のレーザー照射工程
まず、積層ウエハＷ０の溝Ｊ１に沿ってレーザーを走査する。その際に、溝Ｊ１の中央線を狙ってレーザーを照射する。これにより、図４に示すように、溝Ｊ１に沿った改質箇所Ｒ１ａの列Ａ１ａが形成される。なお、列Ａ１ａの形成を順次行うので、等間隔で並んだ列Ａ１ａが形成される。これにより、列Ａ１ａは、溝Ｊ１の中央線Ｍ１に沿って形成される。ここで、中央線Ｍ１は、仮想的に想定した線であり、現実の線ではない。溝Ｊ１の中央線Ｍ１からｒ面の存在する側の反対側にずらした線に沿って、レーザーを照射してもよい。理由については、後述する。
【００３３】
次に、積層ウエハＷ０の溝Ｊ２に沿ってレーザーを走査する。その際に、溝Ｊ２の中央線Ｍ２を狙ってレーザーを照射する。これにより、溝Ｊ２に沿った改質箇所Ｒ１ｂの列Ａ１ｂが形成される。なお、列Ａ１ｂの形成を順次行うので、等間隔で並んだ列Ａ１ｂが形成される。ここで、中央線Ｍ２は、仮想的に想定した線であり、現実の線ではない。そして、中央線Ｍ２は、中央線Ｍ１とほぼ直交している。
【００３４】
図４に示すように、改質箇所Ｒ１ａの列Ａ１ａは、ａ軸方向に平行に形成されている。改質箇所Ｒ１ｂの列Ａ２ａは、ｍ軸方向に平行に形成されている。ここでは、平行という表現を用いたが、加工精度によって、それぞれ１°以下のずれが生じる場合がある。このように、改質箇所Ｒ１ａ、Ｒ１ｂは、異なる方向に形成されているが、その他の点においては同じである。そのため、形成方向を区別する必要のない場合には、改質箇所Ｒ１ａ、Ｒ１ｂをまとめて、改質箇所Ｒ１と表記することとする。同様に、列Ａ１ａ、Ａ１ｂをまとめて、列Ａ１と表記することとする。
【００３５】
この工程により、図４に示すように、列Ａ１に沿う複数の改質箇所Ｒ１が形成される。この改質箇所Ｒ１は、サファイアウエハＳａの膜厚の内部に形成された閉領域である。改質箇所Ｒ１は、レーザーの集光により一時的に溶融して、再凝固することにより、形成されたものである。そのため、改質箇所Ｒ１は、サファイアの結晶ではなく、非結晶状態の酸化アルミニウムであると考えられる。
【００３６】
図５に示すように、レーザー照射口１０１０は、積層ウエハＷ０の裏面Ｓａ２側からサファイアウエハＳａにレーザーを照射する。裏面Ｓａ２は、サファイアウエハＳａにおいて、半導体層Ｅｐ１を形成された半導体層形成面Ｓａ１の反対側の面である。
【００３７】
ここで、改質箇所Ｒ１は、レーザー照射口１０１０から照射されたレーザーが集光する箇所に形成される。そのため、改質箇所Ｒ１を狙いの深さの位置に形成するために、レーザーの集光する位置を調整する。これにより、狙いの深さで改質箇所Ｒ１を形成することができる。
【００３８】
４−２．第２のレーザー照射工程
次に、図６に示すように、複数の改質箇所Ｒ２を形成する。これらの改質箇所Ｒ２は、列Ａ２を構成する。改質箇所Ｒ２の深さは、第２の深さＸ２である。第２の深さＸ２は、半導体層形成面Ｓａ１から改質箇所Ｒ２のうち最も半導体層形成面Ｓａ１に近い位置までの距離である。ここで、第２の深さＸ２は、後述する第１の深さＸ１よりも長い。すなわち、改質箇所Ｒ２は、改質箇所Ｒ１よりも半導体層形成面Ｓａ１から遠い位置にある。ここで、列Ａ１および列Ａ２は、この後のブレーキング工程で分割する分割予定線でもある。
【００３９】
４−３．改質箇所の形成位置
改質箇所Ｒ１を形成する位置は、半導体層形成面Ｓａ１からＸ１の距離である。つまり、改質箇所Ｒ１の形成箇所は、溝Ｊ１、Ｊ２の中央線Ｍ１、Ｍ２に沿って、半導体層形成面Ｓａ１から第１の深さＸ１の位置に位置している。第１の深さＸ１は、半導体層形成面Ｓａ１から改質箇所Ｒ１のうち最も半導体層形成面Ｓａ１に近い位置までの距離である。ここで、第１の深さＸ１は、次の式を満たす。
５０μｍ  ≦  Ｘ１  ≦  ７０μｍ      ………（１）
本実施形態では、第１の深さＸ１が５０μｍ以上であり、改質箇所Ｒ１は半導体層形成面Ｓａ１からある程度離れている。これは、レーザーを集光する箇所と半導体層とがある程度離れていることを意味している。そのため、レーザーを照射する際に、半導体層が損傷しにくい。
【００４０】
なお、前述のように、第１のレーザー照射工程により、第１の深さＸ１の位置に改質箇所Ｒ１を形成した後に、第２の深さＸ２の位置に改質箇所Ｒ２を形成する。このように、第１のレーザー照射工程と、第２のレーザー照射工程とは、別個に行う工程である。そのため、各々の改質箇所Ｒ１と、改質箇所Ｒ２とに着目した場合、必ずしも、図６に示すように、改質箇所Ｒ１と、改質箇所Ｒ２とが、サファイアウエハＳａの膜厚方向の上下に並んでいるとは限らない。つまり、改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１と改質箇所Ｒ２のピッチ間隔Ｉ２とを同じにした場合であっても、図７に示すようなずれＶ１が生じることがある。また、図８に示すように、改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１と、改質箇所Ｒ２のピッチ間隔Ｉ２とを、別々に設定してもよい。
【００４１】
改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１は、２．５μｍ以上１５μｍ以下の範囲内である。改質箇所Ｒ２のピッチ間隔Ｉ２は、２．５μｍ以上１５μｍ以下の範囲内である。これ以外の数値範囲については、後述する。
【００４２】
このようなサファイアウエハＳａの半導体層形成面Ｓａ１から第１の深さＸ１の改質箇所Ｒ１と、第２の深さＸ２の改質箇所Ｒ２とを形成することにより、サファイアウエハＳａが膜厚方向に割れる。つまり、第２のレーザー照射工程により、改質箇所Ｒ２を形成した後に、図９に示すようなサファイアウエハＳａの膜厚方向に亀裂Ｚ（クラック）が入る。
【００４３】
４−４．ブレーキング工程
次に、ブレーキング装置を用いて、図４の改質箇所Ｒ１の列Ａ１と、改質箇所Ｒ２の列Ａ２と、に沿って、積層ウエハＷ０を多数の発光素子１００に切り離す。この工程の前の段階で、既にサファイアウエハＳａの半導体層形成面Ｓａ１に達する亀裂Ｚ（クラック）が入っている。列Ａ１、Ａ２に沿って、積層ウエハＷ０を分割する。これにより、積層ウエハＷ０は、複数の帯状の小片に分割される。次に、複数の帯状の小片を複数の発光素子１００に分割する。これにより、１枚の積層ウエハＷ０から多数の発光素子１００が製造されることとなる。
【００４４】
５．半導体発光素子の製造方法
５−１．半導体層形成工程
サファイアウエハＳａの半導体層形成面Ｓａ１に、低温バッファ層１２０と、ｎ型コンタクト層１３０と、ｎ型ＥＳＤ層１４０と、ｎ型超格子層１５０と、発光層１６０と、ｐ型超格子層１７０と、ｐ型コンタクト層１８０と、をこの順序で形成する。その際には、有機金属化学気相成長法（ＭＯＣＶＤ法）を用いればよい。
【００４５】
５−２．素子区画工程
そして、次に、溝Ｊ１、Ｊ２を形成する。そのために、マスクを使用してＩＣＰ等のドライエッチングを実施すればよい。これにより、溝Ｊ１、Ｊ２が形成される。この溝Ｊ１、Ｊ２は、半導体層を格子状に区画する。また、このエッチングにより、ｎ電極Ｎ１等を形成する領域のｎ型コンタクト層１３０も露出させる。
【００４６】
５−３．電極形成工程
そして、ｎ型コンタクト層１３０の露出部分の上にｎ電極Ｎ１およびｎ延伸電極Ｎ２を形成する。また、ｐ型コンタクト層１８０の上にｐ電極Ｐ１およびｐ延伸電極Ｐ２を形成する。
【００４７】
５−４．素子分割工程
素子分割工程は、レーザー照射工程と、ブレーキング工程と、を有する。これらの工程により、積層ウエハＷ０を分割して、多数の発光素子１００とする。レーザー照射工程の前に、半導体層Ｅｐ１を保護しつつ、裏面Ｓａ２を研磨するとよい。この研磨により、サファイアウエハＳａの厚みを、例えば、１０００μｍから１４０μｍ程度にする。これらの厚みは例示であり、もちろん上記以外の厚みであってもよい。
【００４８】
５−４−１．第１のレーザー照射工程
図５に示すように、積層ウエハＷ０の裏面Ｓａ２の側からサファイアウエハＳａにレーザーを照射する。ステージを移動させて、サファイアウエハＳａのすべての溝Ｊ１、Ｊ２に沿って改質箇所Ｒ１を形成する。このときの半導体層形成面Ｓａ１から改質箇所Ｒ１までの深さは、式（１）で示す第１の深さＸ１である。ここで、レーザーを溝Ｊ１、Ｊ２の中央線Ｍ１、Ｍ２に沿って照射する。実際には、中央線Ｍ１、Ｍ２から０μｍ以上８μｍ以下の領域にレーザーを照射する。具体的には、改質箇所Ｒ１を形成した場合に、ｒ面が存在する反対側に８μｍ以下だけずれた位置にレーザーを照射する。レーザーの出力は、０．２６Ｗ以上０．６Ｗ以下の範囲内である。好ましくは、０．３Ｗ以上０．５Ｗ以下の範囲内である。これにより、サファイアウエハＳａに複数の改質箇所Ｒ１から成る列Ａ１を形成する。列Ａ１における改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１は、２．５μｍ以上１５μｍ以下の範囲内である。
【００４９】
５−４−２．第２のレーザー照射工程
次に、図６に示すように、改質箇所Ｒ２を形成する。改質箇所Ｒ２を形成する位置は、改質箇所Ｒ１の列Ａ１からみて裏面Ｓａ２の側にずれた位置である。そのため、半導体層形成面Ｓａ１または裏面Ｓａ２の側からみると、列Ａ１と列Ａ２とは、ほぼ重なる。
【００５０】
このときの改質箇所Ｒ２の深さは、第２の深さＸ２である。この第２の深さＸ２は、第１の深さＸ１よりも深い。第２の深さＸ２は、サファイアウエハＳａの半導体層形成面Ｓａ１から８０μｍ以上１３０μｍ以下の範囲内である。好ましくは、第２の深さＸ２は、８０μｍ以上１２０μｍ以下の範囲内である。レーザーの出力は、０．２６Ｗ以上０．６Ｗ以下の範囲内である。好ましくは、０．３Ｗ以上０．５Ｗ以下の範囲内である。これにより、サファイアウエハＳａに複数の改質箇所Ｒ２から成る列Ａ２を形成する。列Ａ２における改質箇所Ｒ２のピッチ間隔Ｉ２は、２．５μｍ以上１５μｍ以下の範囲内である。
【００５１】
このように改質箇所Ｒ２を形成した後に、図９に示すように、改質箇所Ｒ１と改質箇所Ｒ２とを結ぶ面状に亀裂Ｚ（クラック）が形成される。また、この亀裂Ｚは、少なくとも、サファイアウエハＳａの列Ａ１から半導体層形成面Ｓａ１にまで達する。亀裂Ｚは、サファイアウエハＳａの半導体層形成面Ｓａ１にほぼ垂直である。図９に示すように、亀裂Ｚの半導体層形成面Ｓａ１での位置Ｙ０と、列Ａ１を半導体層形成面Ｓａ１に射影した位置Ｙ２とは、ずれ量Ｙ１のずれが生じていることがある。このずれ量Ｙ１は、８μｍ以下である。好ましくは、ずれ量Ｙ１は、５μｍ以下である。もちろん、それ以下であってもよい。
【００５２】
５−４−３．ブレーキング工程
次に、ブレーキング装置により、溝Ｊ１、Ｊ２に沿って積層ウエハＷ０を分割する。また、言い替えると、列Ａ１、Ａ２に沿って積層ウエハＷ０を分割する。これにより、積層ウエハＷ０から多数の発光素子１００が切り出される。
【００５３】
５−５．その他の工程
その他に、保護膜を形成する工程と、蛍光体を塗布する工程と、熱処理を行う工程と、を適宜実施してもよい。また、上記以外の工程を実施してもよい。以上により、発光素子１００が製造される。
【００５４】
６．本実施形態の製造方法で製造された発光素子
図１０は、上記の製造方法により製造された発光素子１００を表す模式図である。図１０に示すように、発光素子１００のサファイア基板Ｓａは、側面Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３を有している。側面Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３は、連続する面である。側面Ｚ１と側面Ｚ２との間には、レーザー照射痕Ｔ１がある。側面Ｚ２と側面Ｚ３との間には、レーザー照射痕Ｔ２がある。
【００５５】
レーザー照射痕Ｔ１、Ｔ２は、それぞれ、改質箇所Ｒ１、Ｒ２であった箇所である。そのため、レーザー照射痕Ｔ１、Ｔ２は、それぞれ、ピッチ間隔Ｉ１、Ｉ２のピッチで形成されている。また、レーザー照射痕Ｔ１の半導体層Ｅｐ１側の端部Ｔ１ａと、半導体層形成面Ｓａ１と、の間の距離は、第１の深さＸ１と同じである。レーザー照射痕Ｔ２の半導体層Ｅｐ１側の端部Ｔ２ａと、半導体層形成面Ｓａ１と、の間の距離は、第２の深さＸ２と同じである。
【００５６】
また、レーザー照射痕Ｔ１は、改質箇所Ｒ１の列Ａ１に相当する列を構成している。そして、レーザー照射痕Ｔ２は、改質箇所Ｒ２の列Ａ２に相当する列を構成している。そして、レーザー照射痕Ｔ１、Ｔ２の列は、外部から視認することができる。また、レーザー照射痕Ｔ１、Ｔ２のピッチ間隔Ｉ１、Ｉ２を測定することは容易である。
【００５７】
７．本実施形態の発光素子と従来の発光素子との比較
ここで、本実施形態の発光素子１００と、従来の発光素子とを比較する。表１は、本実施形態の発光素子１００と従来の発光素子とで、ストリートの幅を比較するための表である。本実施形態の発光素子１００におけるストリートＳ１の幅Ｌ１は、１０μｍであり、ストリートＳ２の幅Ｌ２は、１３μｍである。従来の発光素子におけるストリート（Ｓ１）の幅（Ｌ１）は、１３μｍであり、ストリート（Ｓ２）の幅（Ｌ２）は、１７μｍである。
【００５８】
両者は、このストリートの幅を除いて、同じである。表１において、本実施形態の発光素子１００におけるストリートの幅は、従来の発光素子と同程度の歩留まりとなるように調整したものである。実際には、異なるストリートの幅を有する発光素子を何種類か製作し、従来の発光素子を製造する場合と、歩留まりを比較した。そして、従来の発光素子を製造する場合と、同程度の歩留まりとなる場合を選び出したものを表１に示す。
【００５９】
表１に示すように、１枚のサファイアウエハＳａからとれる発光素子１００の数は、従来の発光素子の場合に比べて、３．３％向上した。前述のように、歩留まりも同程度であるため、１枚のサファイアウエハＳａからとれる良品の発光素子の数も、同程度の割合で向上した。
【００６０】
［表１］
本実施形態の発光素子          従来の発光素子
ストリートの幅Ｌ１                  １０μｍ                １３μｍ
ストリートの幅Ｌ２                  １３μｍ                １７μｍ
発光素子の数（比）                １．０３３                １．００
【００６１】
８．本実施形態の効果
このように、本実施形態では、サファイアウエハＳａの膜厚方向に形成する２つの改質箇所Ｒ１、Ｒ２の列Ａ１、Ａ２に沿ってサファイアウエハＳａが膜厚方向に割れる。そのため、積層ウエハＷ０を分割する工程における加工精度は高い。そのため、歩留まりが向上する。また、前述したように、溝Ｊ１、Ｊ２は、積層ウエハＷ０から発光素子１００を分割する際に切り代の役割を果たす。そのため、溝Ｊ１、Ｊ２の幅を狭く設計してもよい。その場合には、同じ口径の積層ウエハＷ０からより多くの発光素子１００を生産することができる。すなわち、生産性が高い。また、溝Ｊ１、Ｊ２の幅を狭く設計する代わりに、１個の発光素子１００の発光面積、すなわち、半導体層の面積を増やすことができる。つまり、より明るい発光素子を生産することができる。また、レーザーを集光する箇所と半導体層とがある程度離れている。そのため、レーザーを照射する際に、半導体層が損傷しにくい。
【００６２】
９．変形例
９−１．素子の種類
本実施形態では、フェイスアップ型の発光素子であって、延伸電極を有するものを例に挙げて説明した。しかし、延伸電極を有さないフェイスアップ型の発光素子についても、本発明を適用することができる。また、フリップチップにも適用することができる。
【００６３】
９−２．基板の凹凸
サファイアウエハＳａの半導体層形成面Ｓａ１に凹凸を形成してもよい。この場合の第１の深さＸ１および第２の深さＸ２は、半導体層形成面Ｓａ１における凹凸の底面、すなわち、凹面側から測定すればよい。
【００６４】
９−３．ストリートにおける半導体層
本実施形態では、図２に示すように、ストリートＳ１、Ｓ２は、ｎ型コンタクト層１３０が露出している領域である。しかし、図１１の発光素子２００に示すように、サファイア基板１１０を露出させてもよい。この場合には、ストリートＳ１、Ｓ２は、サファイア基板１１０上に位置することとなる。このように、ストリートＳ１、Ｓ２は、厚み方向に発光層１６０が存在しない箇所であれば、発光素子１００の外縁部にｎ型コンタクト層１３０が存在してもよいし、存在しなくともよい。この場合であっても、ストリートＳ１、Ｓ２が、発光層１６０を区画することに変わりない。その場合には、素子区画工程と、ｎ電極Ｎ１を形成するために、ｎ型コンタクト層２３０を露出させる工程とは、別の工程で実施することとなる。
【００６５】
１０．本実施形態のまとめ
以上、詳細に説明したように、本実施形態に係る発光素子１００の製造方法は、サファイアウエハＳａの膜厚方向の異なる深さの位置に、改質箇所Ｒ１と改質箇所Ｒ２と、を形成する。また、改質箇所Ｒ１の深さを式（１）の範囲内の第１の深さＸ１とする。これにより、縦方向、すなわち、サファイアウエハＳａを膜厚方向に割ることができる。そのため、発光素子１００を分割する工程における加工精度は高い。
【００６６】
そのため、この半導体発光素子の製造方法では、歩留まりが向上する。一方、発光素子１００における溝Ｊ１、Ｊ２の幅を狭いものとして設計することができる。この場合には、切り代である溝Ｊ１、Ｊ２の面積を小さくできる。その結果、同じ口径の１枚のサファイアウエハＳａから、より多くの発光素子１００を製造することができる。また、発光素子の全体大きさを変えないで、溝Ｊ１、Ｊ２の幅を小さく設計することもできる。その場合には、発光素子の発光面積は、従来のものに比べて広い。つまり、より明るい発光素子を製造することができる。
【００６７】
なお、本実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能である。半導体層の積層構造については、必ずしも図に示したものに限らない。積層構造や各層の繰り返し回数等、任意に選択してよい。また、有機金属気相成長法（ＭＯＣＶＤ法）に限らない。その他の結晶成長方法を用いてもよい。
【実施例】
【００６８】
１．実験方法
積層ウエハＷ０に対して、照射条件を変えてレーザーを積層ウエハＷ０に照射した。そして、半導体層形成面Ｓａ１に表出した亀裂Ｚの位置の、切断予定線からのずれ量を測定した。本実験においてずれ量を測定するにあたって、改質箇所Ｒ１の列をａ軸に平行な方向に形成した。すなわち、改質箇所Ｒ１ａの列Ａ１ａおよび改質箇所Ｒ２ａの列Ａ２ａを形成した。列Ａ２ａは、列Ａ１ａに平行な列である。そして、列Ａ１ａおよび列Ａ２ａに沿ってサファイアを割った際における狙い位置からのずれ量を測定した。
【００６９】
ここで、変化させた条件は、改質箇所Ｒ１、Ｒ２のピッチ間隔Ｉ１、Ｉ２と、改質箇所Ｒ１、Ｒ２を形成する際のレーザーの出力と、改質箇所Ｒ２の第２の深さＸ２と、である。レーザーは、周波数１００ｋＨｚ、波長１０４５ｎｍのフェムト秒レーザーである。レーザーの出力については、後述する。
【００７０】
２．ずれ量の評価方法
ずれ量Ｙ１は、図９に示すように、半導体層形成面Ｓａ１側における溝Ｊ１もしくは溝Ｊ２の中央線Ｍ１、Ｍ２と、亀裂Ｚ（クラック）の端部Ｙ０との距離である。本実験においては、ずれ量Ｙ１は、改質箇所Ｒ１における半導体層形成面Ｓａ１側の端部を半導体層形成面Ｓａ１に射影した位置Ｙ２と、端部Ｙ０との距離である。
【００７１】
３．実験結果
３−１．改質箇所のピッチ間隔
実験結果を図１２から図１８までに示す。図１２は、改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１を変化させた場合における各サンプルのずれ量Ｙ１を示す表である。図１２では、改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１をそれぞれ、１０μｍ、６μｍ、３μｍとしたときのずれ量Ｙ１を示す。図１２に示すように、サンプル数はそれぞれの条件に対して１０個である。
【００７２】
条件１から条件３までにおいて、改質箇所Ｒ１の第１の深さＸ１を６０μｍとし、改質箇所Ｒ２の第２の深さＸ２を１００μｍとした。また、レーザーの出力は、いずれも０．３Ｗであった。このとき、ずれ量Ｙ１の平均値は、いずれも、８μｍ以下であった。また、条件１から条件３までのうち、改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１を１０μｍとしたときに、ずれ量Ｙ１は５．３６であった。
【００７３】
図１３は、改質箇所Ｒ２のピッチ間隔Ｉ２を変化させた場合における各サンプルのずれ量Ｙ１を示す表である。図１３では、改質箇所Ｒ２のピッチ間隔Ｉ２をそれぞれ、１０μｍ、６μｍ、３μｍとしたときのずれ量Ｙ１を示す。
【００７４】
ずれ量Ｙ１の平均値は、いずれも、７μｍ以下であった。また特に、条件５においては、ずれ量Ｙ１の平均値が３μｍ以下と非常に小さかった。
【００７５】
図１４は、改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１および改質箇所Ｒ２のピッチ間隔Ｉ２の双方を変化させた場合におけるずれ量Ｙ１を示す表である。それ以外の条件については、条件１と同じである。
【００７６】
改質箇所Ｒ１のピッチ間隔を７．５μｍとするとともに、改質箇所Ｒ２のピッチ間隔を７．５μｍとした場合に、ずれ量Ｙ１は６μｍ程度であった。改質箇所Ｒ１のピッチ間隔を１０μｍとするとともに、改質箇所Ｒ２のピッチ間隔を１０μｍとした場合に、ずれ量Ｙ１は３μｍ以下であった。
【００７７】
そのため、改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１が２．５μｍ以上１５μｍ以下の範囲内であるとともに、改質箇所Ｒ２のピッチ間隔Ｉ２が２．５μｍ以上１５μｍ以下の範囲内であると、小さいずれ量Ｙ１で分割することができる。より好ましくは、改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１が５μｍ以上１２μｍ以下の範囲内であるとともに、改質箇所Ｒ２のピッチ間隔Ｉ２が５μｍ以上１２μｍ以下の範囲内である。さらに好ましくは、改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１が８μｍ以上１２μｍ以下の範囲内であるとともに、改質箇所Ｒ２のピッチ間隔Ｉ２が８μｍ以上１２μｍ以下の範囲内である。さらに好ましくは、改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１が８μｍ以上１０μｍ以下の範囲内であるとともに、改質箇所Ｒ２のピッチ間隔Ｉ２が８μｍ以上１０μｍ以下の範囲内である。
【００７８】
３−２．出力
図１５は、改質箇所Ｒ２を形成する際のレーザーの出力を変えずに、改質箇所Ｒ１を形成する際のレーザーの出力を変化させた場合における各サンプルのずれ量Ｙ１を示す表である。図１５に示すように、改質箇所Ｒ１を形成する際のレーザーの出力は、０．３Ｗと、０．３５Ｗと、０．４Ｗと、のいずれを用いても、ずれ量Ｙ１は、５μｍ程度である。したがって、０．２６Ｗ以上０．６Ｗ以下の範囲内の出力の条件下では、充分に高い精度でサファイアウエハＳａを割ることができる。好ましくは、０．３Ｗ以上０．５Ｗ以下の範囲内である。
【００７９】
図１６は、改質箇所Ｒ１を形成する際のレーザーの出力を変えずに、改質箇所Ｒ２を形成する際のレーザーの出力を変化させた場合における各サンプルのずれ量Ｙ１を示す表である。図１６に示すように、改質箇所Ｒ２を形成する際のレーザーの出力は、０．３Ｗと、０．３５Ｗと、０．４Ｗと、のいずれを用いても、ずれ量Ｙ１は、５μｍ程度である。したがって、０．２６Ｗ以上０．６Ｗ以下の範囲内の出力の条件下では、充分に高い精度でサファイアウエハＳａを割ることができる。好ましくは、０．３Ｗ以上０．５Ｗ以下の範囲内である。
【００８０】
図１７は、改質箇所Ｒ１を形成する際のレーザーの出力と、改質箇所Ｒ２を形成する際のレーザーの出力と、の両方を同時に変えた場合における各サンプルのずれ量Ｙ１を示す表である。図１７中の「×」印は、改質箇所Ｒ１および改質箇所Ｒ２の両方を形成したにもかかわらず、サファイアウエハＳａの表面にクラックが達しなかった場合である。この場合には、ブレーキング工程において、サファイアウエハＳａに不規則な割れが発生するおそれがある。したがって、この「×」印のような状態は発生しないことが好ましい。
【００８１】
図１７では、レーザーの出力が０．２Ｗの場合に全てのサンプルでクラックが表面に達していない。この場合には、改質箇所Ｒ１、Ｒ２の大きさが不十分であるため、クラックがサファイアウエハＳａの半導体層形成面Ｓａ１に達していないと考えられる。
【００８２】
また、レーザーの出力が０．２５Ｗの場合には、一部のサンプルに対してクラックが表面に達していない。つまり、レーザーの出力が０．２５Ｗであっても、改質箇所Ｒ１、Ｒ２の大きさはやや不十分であると考えられる。しかし、この場合、ずれ量Ｙ１については、十分に小さい。
【００８３】
また、レーザーの出力が０．３Ｗの場合には、すべてのサンプルでクラックがサファイアウエハＳａの半導体層形成面Ｓａ１に達している。つまり、改質箇所Ｒ１、Ｒ２の大きさは十分である。また、その際のずれ量Ｙ１の平均値は、２．９３μｍであり、この値は十分に小さい。したがって、レーザーの出力は、０．３Ｗ以上であることが好ましい。
【００８４】
３−３．改質箇所の深さ
図１８は、改質箇所Ｒ２の第２の深さＸ２を変化させた場合におけるずれ量Ｙ１を示す表である。図１８に示すように、ずれ量Ｙ１は、改質箇所Ｒ２の深さＸ２にはそれほど影響しない。そのため、第２の深さＸ２は、８０μｍ以上１３０μｍ以下の範囲内であるとよい。
【００８５】
３−４．割れる方向
本実験では、ａ軸に平行に改質箇所Ｒ１ａの列Ａ１ａおよび改質箇所Ｒ２ａの列Ａ２ａを形成した。この場合において、改質箇所Ｒ１ａから半導体層形成面Ｓａ１に向かって入る亀裂Ｚは、改質箇所Ｒ１ａからみてサファイアのｒ面の存在する側である。そのため、溝Ｊ１の中央線Ｍ１からｒ面の存在する側の反対側にずらした線に沿って、レーザーを照射するとよい。その場合、溝Ｊ１の中央線Ｍ１からｒ面の存在する側の反対側に０μｍ以上８μｍ以下の範囲内で変位させた位置にレーザーを照射する。これにより、亀裂Ｚの半導体層形成面Ｓａ１での位置Ｙ０が溝Ｊ１の中央線Ｍ１の上となるように、発光素子１００への分割を行うことができる。もちろん、加工精度の関係で、亀裂Ｚの半導体層形成面Ｓａ１での位置Ｙ０が、狙いの中央線Ｍ１から若干ずれる場合はある。
【００８６】
３−５．改質箇所のピッチ間隔とずれ量との関係
図１９は、改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１と、ずれ量Ｙ１と、の関係を示すグラフである。この実験では、改質箇所Ｒ１の第１の深さＸ１を６０μｍとするとともに、改質箇所Ｒ２の第２の深さＸ２を１００μｍとした。そして、これらの改質箇所Ｒ１、Ｒ２を形成する際のレーザーの出力は、いずれも０．３Ｗであった。また、改質箇所Ｒ２のピッチ間隔Ｉ２を、改質箇所Ｒ１のピッチ間隔Ｉ１と同じ値に設定した。
【００８７】
図１９に示すように、ピッチ間隔Ｉ１、Ｉ２が５μｍの場合には、ずれ量Ｙ１は、６μｍ以上９μｍ以下である。ピッチ間隔Ｉ１、Ｉ２が７．５μｍの場合には、ずれ量Ｙ１は、４．５μｍ以上７μｍ以下である。ピッチ間隔Ｉ１、Ｉ２が１０μｍの場合には、ずれ量Ｙ１は、２μｍ以上４μｍ以下である。
【００８８】
また、図１９に示すようなピッチ間隔Ｉ１、Ｉ２の範囲内では、改質箇所Ｒ１、Ｒ２のピッチ間隔Ｉ１、Ｉ２を大きくするほど、ずれ量Ｙ１は小さい。このため、改質箇所Ｒ１、Ｒ２のピッチ間隔Ｉ１、Ｉ２を８μｍ以上１２μｍ以下の範囲内とするとよい。この場合には、ずれ量Ｙ１が小さいからである。例えば、ずれ量Ｙ１を４μｍ以下とすることができる。そのため、溝Ｊ１、Ｊ２を小さく設計することができる。すなわち、歩留まりを向上させることができる。
【符号の説明】
【００８９】
１００…発光素子
１１０…サファイア基板
１２０…低温バッファ層
１３０…ｎ型コンタクト層
１４０…ｎ型ＥＳＤ層
１５０…ｎ型超格子層
１６０…発光層
１７０…ｐ型超格子層
１８０…ｐ型コンタクト層
Ｐ１…ｐ電極
Ｎ１…ｎ電極
Ｓａ…サファイアウエハ
Ｓａ１…半導体層形成面
Ｓａ２…裏面
Ｒ１、Ｒ２…改質箇所
Ａ１、Ａ２…列
Ｓ１、Ｓ２…ストリート
Ｗ０…積層ウエハ
Ｊ１、Ｊ２…溝
【図１】
2015130470.tif 000003
【図２】
2015130470.tif 000004
【図３】
2015130470.tif 000005
【図４】
2015130470.tif 000006
【図５】
2015130470.tif 000007
【図６】
2015130470.tif 000008
【図７】
2015130470.tif 000009
【図８】
2015130470.tif 000010
【図９】
2015130470.tif 000011
【図１０】
2015130470.tif 000012
【図１１】
2015130470.tif 000013
【図１２】
2015130470.tif 000014
【図１３】
2015130470.tif 000015
【図１４】
2015130470.tif 000016
【図１５】
2015130470.tif 000017
【図１６】
2015130470.tif 000018
【図１７】
2015130470.tif 000019
【図１８】
2015130470.tif 000020
【図１９】
2015130470.tif 000021