(57)【要約】【課題】ヘッドを交換する実装装置において、より均一な明るさの画像を得る。【解決手段】実装装置１００は、保持中（使用中）の実装ヘッド１２０と収納場所１４２に収納された実装ヘッド１２０とを交換させ、保持された実装ヘッド１２０を用いて、照明部で用いる補正情報１７２をそれぞれの実装ヘッド１２０に対応づけて設定し、ＲＡＭ１６６に記憶する。そして、ＣＰＵ１６２は、保持されている実装ヘッド１２０に応じた補正情報１７２を用いて吸着ノズル１３及び吸着（保持）された部品の画像データを取得する。実装ヘッド１２０には、吸着ノズル１３の後方に背景体が配設されており、照明部によりこの背景体を照明して、吸着ノズル１３に吸着された部品の吸着状態を表す画像を撮影する。【選択図】図１
2015130377.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を基板上へ実装する実装装置であって、
前記部品の保持及び保持解除が可能な部品保持具を装着する２以上のヘッドのうち１以上のヘッドを収納する収納手段と、
前記ヘッドを交換可能に保持するヘッド保持手段と、
前記ヘッド保持手段を移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段を制御して前記ヘッド保持手段が保持するヘッドと前記収納手段に収納されたヘッドとを交換させるヘッド交換制御手段と、
前記ヘッド保持手段に保持されたヘッドの前記部品保持具と背景との間に明暗を付与する照明部と該部品保持具を撮像する撮像素子と該撮像素子からの信号に基づいて画像データを生成する画像処理部とを有し該部品保持具の画像データを取得する画像取得手段と、
前記ヘッド保持手段に保持された前記ヘッドを用いて設定され、前記ヘッドを用いて取得される画像の明るさが所定の範囲に含まれるよう前記照明部及び前記画像処理部のうちいずれかで用いる値を補正する補正情報を前記２以上のヘッドのそれぞれに対応づけて記憶する補正情報記憶手段と、
前記ヘッド保持手段に保持されているヘッドに応じた前記補正情報を用いて前記部品保持具及び／又は前記部品保持具に保持された部品の画像データを前記画像取得手段に取得させる撮像制御手段と、
を備えた実装装置。
【請求項２】
前記ヘッドは、前記部品保持具の背景体を備えており、
前記撮像制御手段は、前記照明部により前記明暗を付与された前記背景体の画像を前記画像取得手段に取得させ、該取得した画像を用いて前記補正情報を設定し、該設定した前記補正情報を前記補正情報記憶手段に記憶させる、請求項１に記載の実装装置。
【請求項３】
前記補正情報記憶手段は、前記照明部の電流値を補正する前記補正情報を記憶する、請求項１又は２に記載の実装装置。
【請求項４】
前記ヘッドは、複数の部品保持具を装着しており、
前記補正情報記憶手段は、前記複数の部品保持具のそれぞれの装着位置に対応する前記補正情報を記憶する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の実装装置。
【請求項５】
前記撮像制御手段は、所定の更新タイミングにおいて、前記ヘッドを交換しつつ該ヘッドに対応する前記補正情報を取得し、該取得した補正情報を前記補正情報記憶手段に記憶させる、請求項１〜４のいずれか１項に記載の実装装置。
【請求項６】
前記画像取得手段は、前記部品保持具の側面から該部品保持具及び／又は該部品保持具に保持された部品を撮像する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の実装装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の実装装置であって、
所定の基準部材に基づいて設定され前記照明部の照明の個別のばらつきを補正する基準情報を記憶する基準情報記憶手段、を備え、
前記撮像制御手段は、前記基準情報と前記補正情報とを用いて前記画像データを前記画像取得手段に取得させる、実装装置。
【請求項８】
前記ヘッドは、前記部品保持具の背景体を備えており、
前記画像取得手段の前記照明部は、前記背景体を照らすことにより前記部品保持具と前記背景との間に明暗を付与する、請求項１〜７のいずれか１項に記載の実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、実装装置としては、照明装置の出荷検査時に、照明の個体差を補正する補正データを記憶させておく照明装置を備えたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この実装装置では、補正データを用いることにより、どの照明装置を備えるものとしても一定の照明条件を実現することができるとしている。また、実装装置としては、カメラにより撮像した一定物体（例えば基準部材）の画像の明るさと予め定められた基準値との比較を照明の光量を変化させつつ行い、画像の明るさが基準値と略一致するときの照明の明るさを照明調整用データとして記憶する照明装置を備えたものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。この実装装置では、チップ部品等を照明により照らしつつ撮像して画像処理を行う場合に、画像の明るさを精度よく調整することができるとしている。また、実装装置としては、ノズルを円周上に配置し、部品の認識カメラの撮像可能な面を照明する照明と、認識カメラの視野内に固定された反射板と、反射板の照度を認識カメラで測定する照度測定部を備え、測定結果が所定範囲外であるときに警告を発するものが提案されている（例えば、特許文献３参照）。この実装装置では、照明の輝度の変化に伴って発生する不正確な認識を防止することができるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２２４７８４号公報
【特許文献２】特開平６−８５５００号公報
【特許文献３】特開２０００−３６６９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この特許文献１〜３に記載された実装装置では、部品を吸着するノズルを備えたヘッドを複数備え、このヘッドを交換しながら部品の画像を取得するものではなかった。このため、ヘッドを交換する実装装置において、ヘッドを切り替えた際に、画像の明るさを均一にすることは考慮されていなかった。
【０００５】
本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、ヘッドを交換するものにおいて、より均一な明るさの画像を得ることができる実装装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。
【０００７】
即ち、本発明の実装装置は、
部品を基板上へ実装する実装装置であって、
前記部品の保持及び保持解除が可能な部品保持具を装着する２以上のヘッドのうち１以上のヘッドを収納する収納手段と、
前記ヘッドを交換可能に保持するヘッド保持手段と、
前記ヘッド保持手段を移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段を制御して前記ヘッド保持手段が保持するヘッドと前記収納手段に収納されたヘッドとを交換させるヘッド交換制御手段と、
前記ヘッド保持手段に保持されたヘッドの前記部品保持具と背景との間に明暗を付与する照明部と該部品保持具を撮像する撮像素子と該撮像素子からの信号に基づいて画像データを生成する画像処理部とを有し該部品保持具の画像データを取得する画像取得手段と、
前記ヘッド保持手段に保持された前記ヘッドを用いて設定され、前記ヘッドを用いて取得される画像の明るさが所定の範囲に含まれるよう前記照明部及び前記画像処理部のうちいずれかで用いる値を補正する補正情報を前記２以上のヘッドのそれぞれに対応づけて記憶する補正情報記憶手段と、
前記ヘッド保持手段に保持されているヘッドに応じた前記補正情報を用いて前記部品保持具及び／又は前記部品保持具に保持された部品の画像データを前記画像取得手段に取得させる撮像制御手段と、
を備えたものである。
【０００８】
この実装装置では、保持中（使用中）のヘッドと収納されたヘッドとを交換させ、保持されたヘッドを用いて照明部及び画像処理部のうちいずれかで用いる補正情報をそれぞれのヘッドに対応づけて設定して記憶する。そして、保持されているヘッドに応じた補正情報を用いて部品保持具及び保持された部品の少なくとも一方の画像データを取得する。したがって、ヘッドを交換するものにおいて、より均一な明るさの画像を得ることができる。このため、ヘッドによる画像のばらつきをより抑制することができる。
【０００９】
本発明の実装装置において、前記ヘッドは、前記部品保持具の背景体を備えており、前記撮像制御手段は、前記照明部により前記明暗を付与された前記背景体の画像を前記画像取得手段に取得させ、該取得した画像を用いて前記補正情報を設定し、該設定した前記補正情報を前記補正情報記憶手段に記憶させるものとしてもよい。こうすれば、例えば、背景体の汚れなどに応じて生じうる、画像データの明るさの変化をより抑制することができ、より均一な明るさの画像を得ることができる。
【００１０】
本発明の実装装置において、前記補正情報記憶手段は、前記照明部の電流値を補正する前記補正情報を記憶するものとしてもよい。こうすれば、照明部の照明を補正することによって、より均一な明るさの画像を得ることができる。あるいは、前記補正情報記憶手段は、前記画像処理部の画像処理値を補正する前記補正情報を記憶するものとしてもよい。こうすれば、画像処理部の画像生成処理の補正によって、より均一な明るさの画像を得ることができる。画像処理値としては、例えば、ガンマ補正値などが挙げられる。
【００１１】
本発明の実装装置において、前記ヘッドは、複数の部品保持具を装着しており、前記補正情報記憶手段は、前記複数の部品保持具のそれぞれの装着位置に対応する前記補正情報を記憶するものとしてもよい。こうすれば、更に複数の部品保持具においてもより均一な明るさの画像を得ることができる。この部品保持具は、例えば、部品を吸着するノズルとしてもよいし、部品を把持するメカチャックとしてもよい。また、前記ヘッドは、円周上に前記複数の部品保持具を装着し、該円周方向に前記部品保持具を回転移動可能であるものとしてもよい。
【００１２】
本発明の実装装置において、前記撮像制御手段は、所定の更新タイミングにおいて、前記ヘッドを交換しつつ該ヘッドに対応する前記補正情報を取得し、該取得した補正情報を前記補正情報記憶手段に記憶させるものとしてもよい。こうすれば、更新タイミングにおいて補正情報が更新されるから、経時変化にも対応して、より均一な明るさの画像を得ることができる。
【００１３】
本発明の実装装置において、前記画像取得手段は、前記部品保持具の側面から該部品保持具及び／又は該部品保持具に保持された部品を撮像するものとしてもよい。
【００１４】
本発明の実装装置は、所定の基準部材に基づいて設定され前記照明部の照明の個別のばらつきを補正する基準情報を記憶する基準情報記憶手段、を備え、前記撮像制御手段は、前記基準情報と前記補正情報とを用いて前記画像データを前記画像取得手段に取得させるものとしてもよい。こうすれば、基準情報によって照明部の個別のばらつきを補正しつつ、補正情報により各ヘッドごとのばらつきを補正することによって、より均一な明るさの画像を得ることができる。ここで、「前記照明部の照明の個別のばらつき」とは、例えば、各実装装置間での照明部のばらつきとしてもよいし、照明部が２以上の照明を備えるときにこの各照明のばらつきとしてもよい。
【００１５】
本発明の実装装置において、前記ヘッドは、前記部品保持具の背景体を備えており、前記画像取得手段の前記照明部は、前記背景体を照らすことにより前記部品保持具と前記背景との間に明暗を付与するものとしてもよい。こうすれば、部品保持具や部品の色に関係せず、より均一な明るさの画像を得ることができる。あるいは、前記画像取得手段の前記照明部は、前記部品保持具を照らすことにより前記部品保持具と前記背景との間に明暗を付与するものとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】部品実装システム１の全体構成を示す説明図。
【図２】ヘッドユニット１１０の斜視図。
【図３】第３実装ヘッド１２０ｃの斜視図。
【図４】ヘッド保持体２１を下から斜め上向きに見たときの斜視図。
【図５】ノズルカメラ１２４の斜視図。
【図６】ヘッド保持体２１に保持された第１実装ヘッド１２０ａの吸着ノズル１３と光学系ユニット８０との位置関係を示す概念図。
【図７】補正値設定処理ルーチンの一例を示すフローチャート。
【図８】基準情報１７１及び補正情報１７２の一例を示す説明図。
【図９】実装処理ルーチンの一例を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の好適な実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１は部品実装システム１の全体構成を示す説明図である。図２は、ヘッドユニット１１０の斜視図である。図３は、第３実装ヘッド１２０ｃの斜視図である。図４は、ヘッド保持体２１を下から斜め上向きに見たときの斜視図である。図５は、ノズルカメラ１２４の斜視図である。図６は、ヘッド保持体２１に保持された第１実装ヘッド１２０ａの吸着ノズル１３と光学系ユニット８０との位置関係を示す概念図である。なお、本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図１、２に示した通りとする。
【００１８】
部品実装システム１は、実装装置１００と、管理コンピュータ２００とを備えている。
【００１９】
実装装置１００は、図１に示すように、基台１０２に搭載された基板搬送装置１０４と、着脱可能に取り付けられた実装ヘッド１２０を有しＸＹ平面を移動可能なヘッドユニット１１０と、吸着ノズル１３などのノズルを側方（前方）から撮像するノズルカメラ１２４と、各種ヘッドを収納するためのヘッド収納エリア１４０と、基板１０１へ装着する部品を供給する部品供給装置１５０と、各種制御を実行するコントローラ１６０とを備えている。
【００２０】
基板搬送装置１０４は、前後一対の支持板１０６，１０６にそれぞれ取り付けられたコンベアベルト１０８，１０８（図１では片方のみ図示）により基板１０１を左から右へと搬送する。
【００２１】
ヘッドユニット１１０は、部品を吸着し基板１０１上へ移動させるものであり、Ｘ軸スライダ１１２に取り付けられている。ヘッドユニット１１０は、部品を吸着する吸着ノズル１３と、吸着ノズル１３を１以上装着、取り外し可能な実装ヘッド１２０と、Ｘ軸スライダ１１２に配設され実装ヘッド１２０を交換可能に保持するヘッド保持体２１と、を備えている。このヘッドユニット１１０は、Ｘ軸スライダ１１２がガイドレール１１４，１１４に沿って左右方向に移動するのに伴って左右方向に移動し、Ｙ軸スライダ１１６がガイドレール１１８，１１８に沿って前後方向に移動するのに伴って前後方向に移動する。このため、ヘッドユニット１１０は、ＸＹ平面を移動可能である。各スライダ１１２，１１６は、それぞれ図示しないサーボモータによって駆動される。
【００２２】
ヘッド保持体２１は、例えば、第１実装ヘッド１２０ａ、第２実装ヘッド１２０ｂ、第３実装ヘッド１２０ｃなどを装着、取り外し可能である。なお、第１実装ヘッド１２０ａ、第２実装ヘッド１２０ｂ及び第３実装ヘッド１２０ｃを実装ヘッド１２０と総称する。このヘッド保持体２１は、情報を記憶するフラッシュメモリ１１１を備えている。このフラッシュメモリ１１１には、実装ヘッド１２０に関する情報として、個別の照明の明るさのばらつきを修正する基準値（補正値）を含む基準情報１７１が記憶されている（後述図８参照）。この基準情報１７１は、製品の出荷前において、明るさの基準となる基準部材を照明部８１（図５参照）により照明しつつノズルカメラ１２４で撮像して得られた画像が所定の明るさになる供給電流値に修正する基準値を含む情報である。この基準値は、個々の照明部の照度のばらつきなどを修正するものであり、電流値に乗算される係数としてもよいし、電流値に加減される加減値としてもよい。なお、この基準値は、各実装ヘッド１２０の背景体４４の明るさや暗さなどは考慮されていない。
【００２３】
第１実装ヘッド１２０ａは、ヘッドユニット１１０に着脱可能に取り付けられている。吸着ノズル１３は、圧力を利用して、ノズル先端に部品を吸着（保持）したり、ノズル先端に吸着している部品を放したりするものである。第１実装ヘッド１２０ａは、図２に示すように、１２個のノズルホルダ１２を備えており、１２本の吸着ノズル１３を装着可能である。ノズルホルダ１２は、上端付近にノズル操作レバー３９を有し、スプリング４０によって上方へ付勢されて所定の定位置（上方位置）に位置決めされている。ノズル操作レバー３９が押下されると、スプリング４０の弾性力に抗してノズルホルダ１２及び吸着ノズル１３が下降し、ノズル操作レバー３９の押下が解除されると、ノズルホルダ１２及び吸着ノズル１３はスプリング４０の弾性力によって定位置に戻る。なお、第１実装ヘッド１２０ａは、複数種類のノズルを装着可能としてもよい。この第１実装ヘッド１２０ａは、ノズルカメラ１２４からみて吸着ノズル１３の後方（軸中心側）に、第１実装ヘッド１２０ａの底部から下方向に突出した円柱形の背景体４４が配設されている。
【００２４】
ヘッド収納エリア１４０は、基台１０２の上面右側に設けられ、実装ヘッド１２０を収納するための収納場所１４２を複数（ここでは３つ）有している。このヘッド収納エリア１４０の収納場所１４２には、第２実装ヘッド１２０ｂ及び第３実装ヘッド１２０ｃが収納され、１つの収納場所１４２が空きになっている。第２実装ヘッド１２０ｂは、第１実装ヘッド１２０ａと同様に１２本の吸着ノズル１３を装着可能である。第３実装ヘッド１２０ｃは、図３に示すように、４個のノズルホルダ１２ｂを備えており、４本の吸着ノズル１３を装着可能である。この第３実装ヘッド１２０ｃは、ヘッド保持体２１へ装着された際にノズルカメラ１２４からみて吸着ノズル１３の後方（軸中心側）に、第３実装ヘッド１２０ｃの下面から下方に向かって円柱形の背景体４５が配設されている。
【００２５】
部品供給装置１５０は、実装装置１００の前方に取り付けられている。この部品供給装置１５０は、複数のスロットを有しており、各スロットにはフィーダ１５２が差し込み可能となっている。フィーダ１５２には、テープが巻き付けられたリール１５４が取り付けられている。テープの表面には、部品がテープの長手方向に沿って並んだ状態で保持されている。これらの部品は、テープの表面を覆うフィルムによって保護されている。こうしたテープは、図示しないスプロケット機構によって後方へ送り出され、フィルムが剥がされて部品が露出した状態で所定位置に配置される。所定位置とは、吸着ノズル１３がその部品を吸着可能な位置である。この所定位置で部品を吸着した吸着ノズル１３は、基板１０１上の定められた位置にその部品を実装することができる。
【００２６】
その他に、実装装置１００は、ノズルストッカ１３４などを備えている。ノズルストッカ１３４は、複数種類の吸着ノズル１３をストックするボックスであり、部品供給装置１５０の隣に配置されている。吸着ノズル１３は、部品を装着する基板の種類や部品の種類に適したものに交換される。
【００２７】
コントローラ１６０は、各種制御を実行するＣＰＵ１６２、制御プログラム等を記憶するＲＯＭ１６４、作業領域として利用されるＲＡＭ１６６及び大容量のデータを記憶するＨＤＤ１６８を備え、これらは図示しないバスによって接続されている。コントローラ１６０は、基板搬送装置１０４、Ｘ軸スライダ１１２、Ｙ軸スライダ１１６及びヘッドユニット１１０と信号のやり取りが可能なように接続されている。
【００２８】
管理コンピュータ２００は、基板１０１の生産ジョブを管理するコンピュータであり、オペレータが作成した生産ジョブデータを記憶している。生産ジョブデータには、実装装置１００において、どのような実装ヘッド１２０を用いるかや、どのスロット位置のフィーダ１５２からどの部品をどういう順番でどの基板種の基板１０１へ実装するか、そのように実装した基板１０１を何枚作製するかなどの情報が定められている。管理コンピュータ２００は、実装装置１００のコントローラ１６０と双方向通信可能に接続されている。
【００２９】
ここで、ヘッドユニット１１０について、詳細に説明する。ヘッドユニット１１０は、図２，５に示すように、ヘッド保持体２１と実装ヘッド１２０とノズルカメラ１２４とを備えている。
【００３０】
ヘッド保持体２１は、Ｘ軸スライダ１１２（図１参照）に、図示しない昇降機構によって昇降可能に取り付けられている。このヘッド保持体２１は、上部にリング状のＲ軸ギア２４を有し、下部に円柱状のＲ軸２２を有している。Ｒ軸ギア２４は、Ｒ軸モータ２５によって回転駆動され、Ｒ軸２２と一体的に回転する。Ｒ軸２２は、下端にフックを有する係合部材３１を複数個（図４参照、本実施形態では４つ）有している。フックの向きは、Ｒ軸２２が正回転する方向と同じになるように揃えられている。これらの係合部材３１は、Ｒ軸２２の下面の同一円周上（この円の中心はＲ軸２２の中心軸と一致する）に等間隔に配置されている。また、各係合部材３１は、図示しないエアシリンダによって上下動可能となっている。第１実装ヘッド１２０ａの底面側に配設された背景体４４は、その中心軸がＲ軸２２の中心軸や１２本の吸着ノズル１３の円周状の並びの中心軸と一致する。背景体４４の外周面には例えば蛍光塗料などが塗布されており、ノズルカメラ１２４の照明部８１（図５参照）からの紫外線を受けて発光可能である。第１実装ヘッド１２０ａは、Ｒ軸２２を挿入可能な円筒空間を有している。この円筒空間の内部には、図示しない円盤状のベースに係合孔が複数（本実施形態では４つ）形成されている。この係合孔がＲ軸２２の係合部材３１のフックと係合することで、ヘッド保持体２１は実装ヘッド１２０を保持可能なように構成されている。なお、第２実装ヘッド１２０ｂ及び第３実装ヘッド１２０ｃも同様である。
【００３１】
ヘッドユニット１１０には、ノズルカメラ１２４が取り付けられている。図５に示すように、ノズルカメラ１２４は、本体フレーム９０と、支持シャフト９２と、カメラ本体９４と、光学系ユニット８０と、を備えている。本体フレーム９０及び支持シャフト９２は、ヘッドユニット１１０に取り付けられてヘッド保持体２１と一体化されている。これにより、ノズルカメラ１２４は、ヘッドユニット１１０（ヘッド保持体２１）のＸＹ方向の移動に伴ってＸＹ方向に移動する。なお、ヘッド保持体２１の昇降はノズルカメラ１２４とは独立して可能であり、これによりヘッド保持体２１に保持される実装ヘッド１２０とノズルカメラ１２４の光学系ユニット８０との上下の位置関係を調整できるようになっている。カメラ本体９４は、本体フレーム９０に取り付けられており、図示しないレンズと、レンズを介して入射した光を光電変換して信号を出力する撮像素子９４ａと、撮像素子９４ａから出力される信号を入力して所定の画像処理を施して画像データや画像ファイルを生成する画像処理部９４ｂなどを備えている。光学系ユニット８０は、本体フレーム９０及び支持シャフト９２に取り付けられている。光学系ユニット８０の後側の面には、背景体４４や背景体４５に光を照射しこれらを照らす複数の光源を有する照明部８１が取り付けられている。
【００３２】
光学系ユニット８０の内部構造について説明する。図２では、図５における光学系ユニット８０の上カバ−８０ａを取り外した状態を示している。図２に示すように、光学系ユニット８０は、後方（ヘッド保持体２１に取り付けられた実装ヘッド１２０が位置する方向）に向けて開口した中入射口８３ａ，左入射口８３ｂ，右入射口８３ｃと、各入射口８３ａ〜８３ｃを覆う透明な中カバー８４ａ，左カバー８４ｂ，右カバー８４ｃと、を備えている。また、光学系ユニット８０は、中入射口８３ａ，左入射口８３ｂ，右入射口８３ｃの各々から入射した光をカメラ本体９４の撮像素子に導く中光学系８２ａ，左光学系８２ｂ，右光学系８２ｃを備えている。中光学系８２ａは、ミラー８６ａなどを有している。中入射口８３ａから入射した光はミラー８６ａを介してカメラ本体９４に導かれる。左光学系８２ｂは、ミラー８６ｂ，プリズム８５ｂ，ミラー８６ａ（中光学系８２ａと共通）などを有している。左入射口８３ｂから入射した光は、ミラー８６ｂ，プリズム８５ｂ，ミラー８６ａをこの順で反射又は透過してカメラ本体９４に導かれる。右光学系８２ｃは、ミラー８６ｃ，プリズム８５ｃ，ミラー８６ａ（中光学系８２ａと共通）などを有している。右入射口８３ｃから入射した光は、ミラー８６ｃ，プリズム８５ｃ，ミラー８６ａをこの順で反射又は透過してカメラ本体９４に導かれる。なお、プリズム８５ｂとプリズム８５ｃとの間には左右方向に隙間が形成されており、中入射口８３ａからの光はこの隙間を通過してミラー８６ａに到達する。カメラ本体９４の撮像素子９４ａは、中光学系８２ａ，左光学系８２ｂ，右光学系８２ｃからの受光により電荷を発生させる。カメラ本体９４の画像処理部９４ｂは、撮像素子９４ａで発生した電荷を入力し、例えば、ガンマ補正処理や、コントラスト処理、シャープネス処理など周知の処理を施して、この電荷に基づく画像データを生成する。
【００３３】
ここで、ノズルカメラ１２４の光学系ユニット８０と各実装ヘッド１２０の吸着ノズル１３との位置関係について図６を用いて説明する。なお、図６は、Ｚ軸に垂直な断面図として示している。また、図６は、吸着ノズル１３が光学系ユニット８０と対向してノズルカメラ１２４による各ノズルの撮像が可能な高さ位置（撮像位置）に位置するようにヘッド保持体２１を昇降させた状態を図示している。ノズルカメラ１２４は、中入射口８３ａの正面（後方）の撮像エリアＡに位置する吸着ノズル１３ａ、左入射口８３ｂの正面（後方）の撮像エリアＢに位置する吸着ノズル１３ｂ及び右入射口８３ｃの正面（後方）の撮像エリアＣに位置する吸着ノズル１３ｃ、及びこれらの吸着ノズル１３に吸着された部品を撮像することができる。このノズルカメラ１２４では、中光学系８２ａ，左光学系８２ｂ，右光学系８２ｃがミラー８６ａを共用しているため、中光学系８２ａ，左光学系８２ｂ，右光学系８２ｃを介して入射した光がまとめてカメラ本体９４の撮像素子で受光される。これにより、ノズルカメラ１２４は、中光学系８２ａ，左光学系８２ｂ，右光学系８２ｃを介した受光に基づくそれぞれの像が中央，左側，右側に配置された１つの画像を表す画像データを取得することになる。また、Ｒ軸モーター２５によってＲ軸を回転させることで、１２本の吸着ノズル１３及び背景体４４はヘッド保持体２１の中心軸を中心に回転する。このため、ノズルカメラ１２４は、円周方向に連続する任意の３本の吸着ノズル１３を撮像することができる。なお、照明部８１の複数の光源は、そのいずれか１以上により撮像エリアＡ〜Ｃのいずれかを照明するように設定されている。
【００３４】
なお、ノズルカメラ１２４は、照明部８１により背景体４４又は背景体４５に紫外線を照射し、背景体４４や背景体４５の発光を用いて撮像を行う。即ち、照明部８１は、背景体４４，４５を照らすことにより吸着ノズル１３と背景との間に明暗を付与する。これにより、吸着ノズル１３の画像データでは、背景体４４の領域は明るい背景となり、撮像対象である吸着ノズル１３や吸着ノズル１３に吸着された部品は暗く表される。
【００３５】
次に、こうして構成された本実施形態の部品実装システム１の動作、特に、吸着ノズル１３及び吸着ノズル１３に吸着された部品を撮像する際の照明部８１の照明の補正値を設定する処理について説明する。図７は、コントローラ１６０のＣＰＵ１６２により実行される補正値設定処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。このルーチンは、ＨＤＤ１６８に記憶され、例えば、基板１０１に部品を実装する新たな実装処理を行う前など、所定の更新タイミングにおいて実行される。このルーチンは、例えば、実装装置１００の各ユニットを利用してＣＰＵ１６２が実行するものとする。ここでは、補正値の設定処理について、第１実装ヘッド１２０ａを主たる具体例に用いて説明する。
【００３６】
このルーチンが開始されると、ＣＰＵ１６２は、まず、実装装置１００が備える実装ヘッド１２０の情報を取得する（ステップＳ１００）。ＣＰＵ１６２は、例えば、管理コンピュータ２００から生産ジョブデータを取得し、この生産ジョブデータに含まれる情報からヘッド収納エリア１４０にある実装ヘッド１２０の情報を取得するものとしてもよい。あるいは、ＣＰＵ１６２は、ヘッド収納エリア１４０に収納された実装ヘッド１２０を直接確認することにより実装ヘッド１２０の情報を取得するものとしてもよい。次に、ＣＰＵ１６２は、個別の照明部８１の明るさのばらつきを修正する基準値を基準情報１７１から読み出して取得し（ステップＳ１１０）、ヘッド保持体２１に保持する実装ヘッド１２０を設定し（ステップＳ１２０）、設定した実装ヘッド１２０をヘッド保持体２１に装着する処理を行う（ステップＳ１３０）。ＣＰＵ１６２は、例えば、ステップＳ１２０の実装ヘッド１２０の設定を、実装処理で使用する順に設定するものとしてもよい。なお、補正値設定処理では、ヘッド保持体２１には、実装ヘッド１２０を装着するが、実装ヘッド１２０には吸着ノズル１３は装着しないものとする。
【００３７】
次に、ＣＰＵ１６２は、照明部８１の電流値を設定し（ステップＳ１４０）、ステップＳ１２０で取得した基準値を加味して照明部８１の照明をオンにし（ステップＳ１５０）、ノズルカメラ１２４の撮像素子９４ａで背景体４４の画像を撮像する（ステップＳ１６０）。ここで、複数の吸着ノズル１３を有する実装ヘッド１２０では、各吸着ノズル１３が含まれる撮像エリアＡ〜Ｃに対して画像を撮像する処理を行うものとする。例えば、ノズルカメラ１２４では１２個の吸着ノズル１３を備えた第１実装ヘッド１２０ａの３個の吸着ノズル１３の撮像エリアＡ〜Ｃを１回に撮像可能であるから、ＣＰＵ１６２は、第１実装ヘッド１２０ａを回転方向に９０°ずつ移動して４回撮像処理を行うものとする。なお、第２実装ヘッド１２０ｂについても、第１実装ヘッド１２０ａと同様である。また、４個の吸着ノズル１３を有する第３実装ヘッド１２０ｃに対しては、ノズルカメラ１２４の撮像エリアＡ（正面）のみを用いて撮像するものとし、ＣＰＵ１６２は、第３実装ヘッド１２０ｃを回転方向に９０°ずつ移動して４回撮像処理を行うものとする。
【００３８】
次に、ＣＰＵ１６２は、撮像された画像の明るさが基準となる所定範囲内にあるか否かを判定する（ステップＳ１７０）。この画像明るさの所定範囲は、例えば、ノズルカメラ１２４で撮像した画像を用いてＣＰＵ１６２が部品の保持状態を判定する際に、誤判定をより防止することができる良好な範囲に経験的に定めることができる。撮像した画像の明るさは、例えば、吸着ノズル１３に保持された部品が含まれるであろう画像の領域（判定領域）の各画素の輝度値を平均した平均値として求めるものとしてもよい。また、ステップＳ１６０で複数の画像を撮像した場合においても、これらの判定領域全体での平均値とすればよい。ここでは、吸着ノズル１３ａ〜１３ｃの撮像エリアＡ〜Ｃの３つに対応する判定領域に対して撮像画像の明るさの平均値を求め、ステップＳ１７０の判定を行うものとする。撮像した画像の明るさが基準の所定範囲にないときには、ＣＰＵ１６２は、ステップＳ１４０以降の処理を繰り返し実行する。即ち、ステップＳ１４０で照明部８１の電流値を再設定し、その電流による照明で画像を撮像し、ステップＳ１７０で撮像画像の明るさの判定を行う。ＣＰＵ１６２は、この処理を基準（所定範囲）の明るさに達するまで繰り返す。ここで、ステップＳ１４０で設定する照明部８１の電流値は、例えば、得られる画像の明るさが好適な範囲からやや外れる値を初期値に経験的に定めておくものとしてもよい。その後、ＣＰＵ１６２は、得られる画像の明るさが好適な範囲へ向かう電流値をステップＳ１４０で設定するものとしてもよい。具体的には、ＣＰＵ１６２は、画像の明るさがやや暗くなるような電流値を初期値に設定し、ステップＳ１４０〜Ｓ１７０の繰り返しの処理の中で、電流値を増加して設定することにより、好適な画像の明るさの範囲に入るようにしてもよい。
【００３９】
ステップＳ１７０で、撮像した画像の明るさが基準の所定範囲内であるときには、ＣＰＵ１６２は、現在設定されている電流値を用いて補正値を算出し、ヘッド保持体２１に保持されている実装ヘッド１２０に対応づけてこの補正値を補正情報１７２に記憶させる（ステップＳ１８０）。ここでは、ＣＰＵ１６２は、撮像エリアＡ〜Ｃの３つに対応する照明部８１の補正値を設定する。この補正値は、各実装ヘッド１２０に配設されている背景体の色や明るさのばらつきなどを修正するものであり、電流値に乗算される係数としてもよいし、電流値に加減される加減値としてもよい。
【００４０】
ここで、補正値の設定について説明する。図８は、フラッシュメモリ１１１に記憶される基準情報１７１及びＲＡＭ１６６に記憶される補正情報１７２の一例を示す説明図である。この図８（ａ）は補正値の設定前、図８（ｂ）は好適な電流値の測定結果、図８（ｃ）は補正値の設定後の説明図である。ヘッド保持体２１のフラッシュメモリ１１１に記憶された基準情報１７１には、撮像エリアＡ〜Ｃの３つに対応する電流基準値や輝度基準値が含まれている（図８（ａ））。電流基準値は、例えば、実装装置間での照明部８１のばらつき、あるいは、照明部８１の各光源間でのばらつきを修正する電流の補正値である。輝度基準値は、各撮像エリアで満たすことを要する輝度の基準値である。この基準情報１７１は、自動更新されないデータである。ステップＳ１６０で、この基準値を用いて照明部８１で照明し、撮像した画像を得る。次に、ＣＰＵ１６２は、ステップＳ１４０〜Ｓ１７０の処理により、この撮像画像の明るさが基準の所定範囲に含まれる電流値を得る（図８（ｂ））。そして、この電流値に応じて、各実装ヘッド１２０、且つ各撮像エリアＡ〜Ｃの補正値を計算し、これをＲＡＭ１６６に補正情報１７２として記憶する（図８（ｃ））。この補正情報１７２には、各実装ヘッド１２０に対応する補正値が各撮像エリアＡ〜Ｃごとに対応づけられて含まれている。
【００４１】
続いて、ＣＰＵ１６２は、補正値を未設定の実装ヘッド１２０があるか否かを判定し（ステップＳ１９０）、補正値を未設定である実装ヘッド１２０があるときには、ステップＳ１２０以降の処理を実行する。即ち、ＣＰＵ１６２は、ヘッド保持体２１に保持する次の実装ヘッド１２０を設定し、照明部で照明されて撮像された画像の明るさが所定範囲に含まれるような補正値を設定する処理を繰り返す。一方、ステップＳ１９０で、補正値を未設定である実装ヘッド１２０がないときには、ＣＰＵ１６２は、すべての実装ヘッド１２０に補正値を設定したものとみなし、そのままこのルーチンを終了する。
【００４２】
次に、実装装置１００の動作、特に補正情報１７２を用いた実装処理について説明する。図９は、コントローラ１６０のＣＰＵ１６２により実行される実装処理ルーチンの一例を表すフローチャートである。このルーチンは、ＨＤＤ１６８に記憶され、作業者による開始指示により実行される。このルーチンは、例えば、実装装置１００の各ユニットを利用してＣＰＵ１６２により実行される。このルーチンが開始されると、ＣＰＵ１６２は、まず、管理コンピュータ２００から生産ジョブデータを取得し（ステップＳ２００）、基板１０１の搬送及び固定処理を実行する（ステップＳ２１０）。次に、ＣＰＵ１６２は、生産ジョブデータの実装順に基づいて、吸着を行う部品を設定し（ステップＳ２２０）、実装ヘッド１２０の指定及び吸着ノズル１３の指定を生産ジョブデータから取得すると共に、補正情報１７２を取得する（ステップＳ２３０）。
【００４３】
次に、ＣＰＵ１６２は、指定された実装ヘッド１２０及び吸着ノズル１３がヘッドユニット１１０に装着済であるか否かを判定し（ステップＳ２４０）、装着済でないときには、指定された実装ヘッド１２０をヘッド保持体２１に装着すると共に、指定された吸着ノズル１３を実装ヘッド１２０に装着する（ステップＳ２５０）。このとき、例えば、ＣＰＵ１６２は、Ｘ軸スライダ１１２やＹ軸スライダ１１６を制御してヘッド保持体２１が保持する実装ヘッド１２０と収納場所１４２に収納された実装ヘッド１２０とを交換させる処理を行う。ステップＳ２５０のあと、又は、ステップＳ２４０で実装ヘッド１２０及び吸着ノズル１３が装着済であるときには、ＣＰＵ１６２は、部品供給装置１５０にある部品を実装ヘッド１２０に吸着させ（ステップＳ２６０）、基準情報１７１と、ヘッド保持体２１に保持された実装ヘッド１２０に対応する補正情報１７２の補正値とを用いて、吸着ノズル１３及びこれが吸着している部品をノズルカメラ１２４により側面から撮像する処理を行う（ステップＳ２７０）。
【００４４】
続いて、ＣＰＵ１６２は、撮像した画像を用いて吸着ノズル１３に吸着された部品の吸着状態が異常であるか否かを判定する（ステップＳ２８０）。この判定では、部品の形状などに基づき、部品の吸着位置や吸着角度などが許容範囲を外れている場合に異常有りと判定するものとする。この許容範囲は、部品を実装位置に配置したときの実装位置ずれに応じて経験的に定めることができる。なお、ステップＳ２６０〜Ｓ２８０では、複数の吸着ノズル１３が実装ヘッド１２０に装着されている場合には、ＣＰＵ１６２は、各吸着ノズル１３に部品を吸着させ、各吸着ノズル１３の部品の吸着状態を判定するものとする。部品の吸着状態が異常でないときには、ＣＰＵ１６２は、部品を実装位置に配置する処理を行い（ステップＳ２９０）、部品の吸着状態が異常であるときには、その部品に対して異常対応処理を行う（ステップＳ３００）。異常対応処理では、ＣＰＵ１６２は、例えば、吸着状態が異常である部品を廃棄すると共に、その旨の情報を図示しない操作パネルのディスプレイに表示するものとする。例えば、第１実装ヘッド１２０ａや第３実装ヘッド１２０ｃには、背景体４４や背景体４５が設けられているが、これらの明るさや色などが異なる場合や汚れが存在する場合などには、判定に利用する撮像画像の明るさなどが異なることがある。このように、明るさの異なる画像を用いて、吸着ノズル１３での部品の吸着状態を判定すると、正常な吸着状態の部品を廃棄してしまう場合も生じうる。この実装装置１００では、各実装ヘッド１２０に対応づけられた補正情報１７２（補正値）を用いて照明を行い、撮像処理を行うから、撮像画像の明るさのばらつきをより抑制可能であり、その結果、部品を無駄に消費することを抑制可能である。
【００４５】
ステップＳ２９０又は、ステップＳ３００のあと、ＣＰＵ１６２は、現在の基板１０１の実装処理が完了したか否かを判定し（ステップＳ３１０）、現在の基板１０１の実装処理が完了していないときには、ステップＳ２２０以降の処理を実行する。即ち、ＣＰＵ１６２は、補正情報１７２を用いて吸着ノズル１３に吸着された部品及び背景体を照明し、部品の吸着状態を判定しながら、現在の基板１０１上に部品を次々に実装する。一方、ステップＳ３１０で現在の基板１０１の実装処理が完了したときには、ＣＰＵ１６２は、実装完了した基板１０１を排出し（ステップＳ３２０）、生産完了したか否かを判定する（ステップＳ３２０）。生産完了していないときには、ＣＰＵ１６２は、ステップＳ２１０以降の処理を繰り返し実行する。即ち、新たな基板１０１を搬送、固定し、実装ヘッド１２０の交換処理などを行いつつ、部品を基板１０１上へ実装する処理を繰り返し行う。一方、ステップＳ３３０で生産完了したときには、実装ヘッド１２０や吸着ノズル１３を、ヘッド収納エリア１４０やノズルストッカ１３４に返却し（ステップＳ３４０）、このルーチンを終了する。
【００４６】
ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の吸着ノズル１３が本発明の部品保持具に相当し、実装ヘッド１２０がヘッドに相当し、収納場所１４２が収納手段に相当し、ヘッド保持体２１がヘッド保持手段に相当し、Ｘ軸スライダ１１２及びＹ軸スライダ１１６がヘッド移動手段に相当する。また、ＣＰＵ１６２がヘッド交換制御手段及び撮像制御手段に相当し、ノズルカメラ１２４が画像取得手段に相当し、ＲＡＭ１６６が補正情報記憶手段に相当し、フラッシュメモリ１１１が基準情報記憶手段に相当する。また、背景体４４，４５が背景体に相当し、照明部８１が照明部に相当し、撮像素子９４ａが撮像素子に相当し、画像処理部９４ｂが画像処理部に相当し、基準情報１７１が基準情報に相当し、補正情報１７２が補正情報に相当する。
【００４７】
以上説明した本実施形態の実装装置１００によれば、保持中（使用中）の実装ヘッド１２０と収納場所１４２に収納された実装ヘッド１２０とを交換させ、保持された実装ヘッド１２０を用いて、照明部８１で用いる補正情報１７２をそれぞれの実装ヘッド１２０に対応づけて設定し、ＲＡＭ１６６に記憶する。そして、ＣＰＵ１６２は、保持されている実装ヘッド１２０に応じた補正情報１７２を用いて吸着ノズル１３及び吸着（保持）された部品の画像データを取得する。したがって、実装ヘッド１２０を交換するものにおいて、より均一な明るさの、吸着ノズル１３及び吸着された部品の画像を得ることができる。このため、実装ヘッド１２０による画像のばらつきをより抑制することができる。また、このような画像を用いて部品の吸着状態を判定するため、部品の吸着状態の誤判定の発生をより低減することができ、部品を無駄に消費してしまうことをより抑制することができる。
【００４８】
また、実装ヘッド１２０は、背景体４４や背景体４５を備えており、ＣＰＵ１６２は、照明部８１により照明された背景体の画像を撮像し、取得した撮像画像を用いて補正情報１７２を設定するため、例えば、背景体の汚れなどに応じて生じうる、画像データの明るさの変化をより抑制することができ、より均一な明るさの画像を得ることができる。更に、ＲＡＭ１６６は、照明部８１の電流値を補正する補正情報１７２を記憶するため、照明部８１の照明を補正することによって、より均一な明るさの画像を得ることができる。更にまた、ＣＰＵ１６２は、更新タイミングにおいて、実装ヘッド１２０を交換しつつ補正情報１７２を取得、更新するため、経時変化にも対応して、より均一な明るさの画像を得ることができる。そしてまた、ノズルカメラ１２４は、吸着ノズル１３の側面から吸着ノズル１３及びこの吸着ノズル１３が保持する部品を撮像するため、側面からみた部品のずれを検出することができる。そして更に、ＣＰＵ１６２は、照明部８１の照明の個別のばらつきを補正する基準情報１７１と、補正情報１７２とを用いるため、基準情報１７１によって照明部８１の個別のばらつきを補正しつつ、補正情報１７２により各実装ヘッド１２０ごとのばらつきを補正することによって、より均一な明るさの画像を得ることができる。そして更にまた、照明部８１は、背景体４４，４５を照らすことにより吸着ノズル１３（及び保持した部品）と背景との間に明暗を付与するため、吸着ノズル１３や部品の色（例えば白や黒など）に関係せず、より均一な明るさの画像を得ることができる。
【００４９】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００５０】
例えば、上述した実施形態では、補正情報１７２は、照明部８１の電流値を補正するものとして説明したが、撮像された画像の明るさが所定の範囲に含まれるように補正するものであれば、特に電流値に限定されない。例えば、照明部８１の電圧値を補正するものとしてもよいし、複数ある照明部８１の光源の点灯数を補正するものとしてもよいし、照明部８１と吸着ノズル１３との距離を変更する補正値としてもよい。あるいは、補正情報は、画像処理部９４ｂで用いるものとしてもよい。画像処理部９４ｂで用いる補正値としては、例えば、ガンマ補正値などが挙げられる。
【００５１】
上述した実施形態では、照明部８１の電流値を補正する補正値（係数や加減値）を含む補正情報１７２を用いるものとしたが、例えば、ノズルカメラ１２４で撮像された画像の明るさが所定の範囲に入る電流値自体を含む補正情報を用いるものとしてもよい。こうしても、複数の実装ヘッド１２０においてより均一な明るさの吸着ノズル１３及び部品の画像を得ることができる。
【００５２】
上述した実施形態では、吸着ノズル１３の撮像エリア（Ａ〜Ｃ）ごとに補正値を設定するものとして説明したが、特にこれに限定されず、例えば、ＣＰＵ１６２は、各吸着ノズル１３ごとに補正値を設定するものとしてもよい。具体的には、上述した実施形態では、１２個の吸着ノズル１３を有する第１実装ヘッド１２０ａにおいて、撮像エリアＡ〜Ｃの３個の補正値を持つものとしたが、各吸着ノズル１３ごとに１２個の補正値を持つものとしてもよい。ヘッドユニット１１０では、実装ヘッド１２０と共に背景体も回転することから、各吸着ノズル１３の背景となる背景体の領域は吸着ノズル１３ごとに決まっている。したがって、こうすれば、複数の実装ヘッド１２０のみならず、更に複数の吸着ノズル１３においてもより均一な明るさの画像を得ることができる。あるいは、ＣＰＵ１６２は、３つの撮像エリア（Ａ〜Ｃ）の平均を更にとり、ノズルカメラ１２４で１つの補正値を設定するものとしてもよい。こうしても、複数の実装ヘッド１２０においてより均一な明るさの吸着ノズル１３及び部品の画像を得ることはできる。
【００５３】
上述した実施形態では、所定の更新タイミングで補正情報を取得する処理を実行するものとしたが特にこれに限定されず、出荷時に補正情報１７２を記憶させておくものとしてもよい。ここで、背景体４４，４５の経時劣化を考慮すると、補正情報１７２は更新されることが好ましい。なお、基準情報１７１をヘッドユニット１１０に設けられたフラッシュメモリ１１１に記憶したが、特にこれに限定されず、コントローラ１６０のＲＯＭ１６４やＨＤＤ１６８に記憶させてもよい。また、補正情報１７２をコントローラ１６０のＲＡＭ１６６に記憶するものとしたが、特にこれに限定されず、ヘッドユニット１１０に設けられたフラッシュメモリ１１１やコントローラ１６０のＲＯＭ１６４、ＨＤＤ１６８に記憶させてもよい。更に、ヘッドユニット１１０にＲＡＭなどのメモリを設け、このメモリに補正情報１７２を記憶するものとしてもよい。また、基準情報１７１と補正情報１７２とを同じ記憶媒体に記憶させるものとしてもよい。
【００５４】
上述した実施形態では、ノズルカメラ１２４は、側面から、吸着ノズル１３に吸着された部品を撮像するものとしたが、部品の吸着状態を撮像するものであれば、特にこれに限定されず、吸着ノズル１３に吸着された部品を下方や上方から撮像するものとしてもよい。
【００５５】
上述した実施形態では、基準情報１７１をフラッシュメモリ１１１が記憶し、この基準情報１７１と補正情報１７２とを用いて照明部８１での照明を行うものとしたが、特にこれに限定されず、基準情報１７１を省略してもよい。こうしても、実装ヘッド１２０を交換する実装装置において、補正情報１７２によって、より均一な明るさの吸着ノズル１３及び部品の画像を得ることができる。
【００５６】
上述した実施形態では、実装ヘッド１２０は、円周上に複数の吸着ノズル１３を装着し、この円周方向に吸着ノズル１３を回転移動可能であるものとしたが、特にこれに限定されず、例えば、実装ヘッドは、円周上に吸着ノズル１３を配設しないものや、回転移動しないものとしてもかまわない。
【００５７】
上述した実施形態では、照明部８１が蛍光色の背景体４４，４５に紫外光を照射することにより、吸着ノズル１３（及び吸着された部品）と背景との間に明暗を付与するものとしたが、特にこれに限定されず、例えば、可視光を吸着ノズル１３（及び吸着された部品）に照射することにより、吸着ノズル１３（及び吸着された部品）と背景との間に明暗を付与するものとしてもよい。こうしても、複数の実装ヘッド１２０においてより均一な明るさの吸着ノズル１３及び部品の画像を得ることができる。また、上述した実施形態では、吸着ノズル１３の後方に背景体４４を備えるものとして説明したが、特にこれに限定されず、背景体を備えないものとしてもよい。
【００５８】
上述した実施形態では、部品保持具は、部品を吸着する吸着ノズル１３として説明したが、特にこれに限定されず、部品保持具は、部品を引っかけて保持する把持部を有する保持部材（メカチャック）としてもよい。
【００５９】
上述した実施形態では、実装処理ルーチンのステップＳ２７０〜Ｓ２８０で、吸着ノズル１３に吸着された部品を撮像することにより部品の吸着状態を判定するものとして説明したが、特にこれに限定されず、例えば、吸着ノズル１３のみを撮像し吸着ノズル１３の装着状態を判定するものとしてもよい。こうしても、複数の実装ヘッド１２０においてより均一な明るさの吸着ノズル１３の画像を得ることができる。
【００６０】
上述した実施形態では、本発明を実装装置１００として説明したが、特にこれに限定されず、例えば、実装検査方法やそのプログラムの形態としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明は、電子部品の実装分野に利用可能である。
【符号の説明】
【００６２】
１  部品実装システム、１２，１２ｂ  ノズルホルダ、１３，１３ａ〜１３ｃ  吸着ノズル、２１  ヘッド保持体、２２  Ｒ軸、２４  Ｒ軸ギア、２５  Ｒ軸モータ、２７  Ｑ軸ギア、２８  Ｑ軸モータ、３１  係合部材、３３  円筒ギア、３４  小ギア、３９  ノズル操作レバー、４０  スプリング、４４，４５  背景体、６１  クラッチ部材、６２  クラッチ部材、８０  光学系ユニット、８０ａ  上カバー、８１  照明部、８２ａ  中光学系、８２ｂ  左光学系、８２ｃ  右光学系、８３ａ  中入射口、８３ｂ  左入射口、８３ｃ  右入射口、８４ａ  中カバー、８４ｂ  左カバー、８４ｃ  右カバー、８５ｂ，８５ｃ  プリズム、８６ａ〜８６ｃ  ミラー、９０  本体フレーム、９２  支持シャフト、９４  カメラ本体、９４ａ  撮像素子、９４ｂ  画像処理部、１００  実装装置、１０１  基板、１０２  基台、１０４  基板搬送装置、１０６  支持板、１０８  コンベアベルト、１１０  ヘッドユニット、１１１  フラッシュメモリ、１１２  Ｘ軸スライダ、１１４  ガイドレール、１１６  Ｙ軸スライダ、１１８  ガイドレール、１２０  実装ヘッド、１２０ａ  第１実装ヘッド、１２０ｂ  第２実装ヘッド、１２０ｃ  第３実装ヘッド、１２４  ノズルカメラ、１３４  ノズルストッカ、１４０  ヘッド収納エリア、１４２  収納場所、１５０  部品供給装置、１５２  フィーダ、１５４  リール、１６０  コントローラ、１６２  ＣＰＵ、１６４  ＲＯＭ、１６６  ＲＡＭ、１６８  ＨＤＤ、１７１  基準情報、１７２  補正情報、２００  管理コンピュータ、Ａ〜Ｃ  撮像エリア。
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図３】
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【図５】
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