(57)【要約】【課題】ダウンドロー法により成形されたシートガラスにスクライブ線を形成した際に発生するガラス屑が、シートガラスに付着するのを抑制するガラス板の製造方法等を提供する。【解決手段】ダウンドロー法によるガラス板の製造方法であって、成形体を用いて熔融ガラスをシートガラスに成形する成形工程と、シートガラスを下方向に搬送しながら徐冷を行う徐冷工程と、シートガラスの表面に、シートガラスの搬送方向と直交する方向にスクライブ線を形成するスクライブ工程と、シートガラスの搬送方向に沿って気流を発生させ、スクライブ工程で発生したガラス屑を気流により下方向に送る気流発生工程と、下方向に送られたガラス屑を除去する除去工程と、を備える。【選択図】図３
2015189658.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダウンドロー法によるガラス板の製造方法であって、
成形体を用いて熔融ガラスをシートガラスに成形する成形工程と、
前記シートガラスを下方向に搬送しながら徐冷を行う徐冷工程と、
前記シートガラスの表面に、前記シートガラスの搬送方向と直交する方向にスクライブ線を形成するスクライブ工程と、
前記シートガラスの搬送方向に沿って下降する気流を発生させ、前記スクライブ工程で発生したガラス屑を前記気流により下方向に送る気流発生工程と、
前記下方向に送られたガラス屑を除去する除去工程と、を備える、
ことを特徴とするガラス板の製造方法。
【請求項２】
前記気流発生工程において、前記シートガラスの搬送先である床面まで前記ガラス屑を送り、
前記除去工程において、前記床面に形成された吸引口から前記ガラス屑を吸引する、
ことを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記スクライブ工程では、６００ｍｍ／秒〜１２００ｍｍ／秒でスクライブ線が形成される、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記シートガラスの厚さは、０．０５ｍｍ〜０．４ｍｍであり、
前記気流発生工程において、前記シートガラスのスクライブ線の形成面と、その反対の反対面とに、速度が一定の気流を発生させて、前記シートガラスの揺れを抑制する、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
【請求項５】
ダウンドロー法によるガラス板の製造装置であって、
成形体を用いて熔融ガラスをシートガラスに成形する成形装置と、
前記シートガラスを下方向に搬送しながら徐冷を行う徐冷装置と、
前記シートガラスの表面に、前記シートガラスの搬送方向と直交する方向にスクライブ線を形成するスクライブ装置と、
前記シートガラスの搬送方向に沿って下降する気流を発生させ、前記スクライブ線の形成時に発生したガラス屑を前記気流により下方向に送る気流発生装置と、
前記下方向に送られたガラス屑を除去する除去装置と、を備える、
ことを特徴とするガラス板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（以下、「ＦＰＤ」という。）に用いるガラス基板には、厚さが例えば０．５〜０．７ｍｍと薄いガラス板が用いられている。この薄いガラス板を製造する方法として、ダウンドロー法が知られている。ダウンドロー法では、成形体に溶融ガラスを流し込んだ後、当該溶融ガラスを成形体からオーバーフローさせる。溶融ガラスは、その後、成形体に沿って流下する。溶融ガラスは、成形体の下端部で合流し、その後、成形体を離れてシート状のガラス（シートガラス）となる。シートガラスは、流下する過程において炉内でローラによって挟み込まれ、下方に引き下げられながら冷却される。その後、シートガラスは、所望の大きさに切断（折割）され、さらに加工されてガラス基板となる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
シートガラスの厚さをさらに薄くしようとする場合、シートガラスを下方に引き下げる速度を上げる必要がある。シートガラスの引き下げ速度を上げるためには、シートガラスにスクライブ線を形成（刻設）する速度を上げて、シートガラスを所望の大きさに切断する速度を上げる必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−４３８２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、シートガラスにスクライブ線を形成する速度を上げると、スクライブ時に発生するガラス屑が増加し、このガラス屑がシートガラスに付着するおそれがある。ガラス屑がシートガラスに付着すると、シートガラスの品質が低下し、シートガラスから加工するガラス基板の品質低下にもつながる。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、ダウンドロー法において、シートガラスを引き下げる速度を上げて薄いシートガラスを成形する際に、シートガラスにスクライブ線を形成する速度を上げても、シートガラスにガラス屑が付着しないガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様は、ダウンドロー法によるガラス板の製造方法であって、
成形体を用いて熔融ガラスをシートガラスに成形する成形工程と、
前記シートガラスを下方向に搬送しながら徐冷を行う徐冷工程と、
前記シートガラスの表面に、前記シートガラスの搬送方向と直交する方向にスクライブ線を形成するスクライブ工程と、
前記シートガラスの搬送方向に沿って下降する気流を発生させ、前記スクライブ工程で発生したガラス屑を前記気流により下方向に送る気流発生工程と、
前記下方向に送られたガラス屑を除去する除去工程と、を備える、
ことを特徴とする。
【０００８】
前記気流発生工程において、前記シートガラスの搬送先である床面まで前記ガラス屑を送り、
前記除去工程において、前記床面に形成された吸引口から前記ガラス屑を吸引する、ことが好ましい。
【０００９】
前記スクライブ工程では、６００ｍｍ／秒〜１２００ｍｍ／秒でスクライブ線が形成される、ことが好ましい。
【００１０】
前記シートガラスの厚さは、０．０５ｍｍ〜０．４ｍｍであり、
前記気流発生工程において、前記シートガラスのスクライブ線の形成面と、その反対の反対面とに、速度が一定の気流を発生させて、前記シートガラスの揺れを抑制する、ことが好ましい。
【００１１】
本発明の他の一態様は、ダウンドロー法によるガラス板の製造装置であって、
成形体を用いて熔融ガラスをシートガラスに成形する成形装置と、
前記シートガラスを下方向に搬送しながら徐冷を行う徐冷装置と、
前記シートガラスの表面に、前記シートガラスの搬送方向と直交する方向にスクライブ線を形成するスクライブ装置と、
前記シートガラスの搬送方向に沿って下降する気流を発生させ、前記スクライブ線の形成時に発生したガラス屑を前記気流により下方向に送る気流発生装置と、
前記下方向に送られたガラス屑を除去する除去装置と、を備える、
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ダウンドロー法において、シートガラスを引き下げる速度を上げて薄いシートガラスを成形する際に、シートガラスにスクライブ線を形成する速度を上げても、シートガラスにガラス屑が付着するのを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態であるガラス板の製造方法のフローを示す図である。
【図２】本実施形態の熔解工程〜切断工程を行う装置を模式的に示す図である。
【図３】本実施形態におけるガラス板の成形装置、徐冷装置、および、スクライブ装置を示す図である。
【図４】図３のスクライブ装置を背面側から見て示す図である。
【図５】シートガラス及び気流発生装置を平面視した状態を示す図である。
【図６】シートガラスＧに付着したガラス屑を除去する方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に係るガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置について説明する。図１は、本実施形態であるガラス板の製造方法のフローを示す図である。
【００１５】
（ガラス板の製造方法の全体概要）
ガラス板の製造方法は、熔解工程（ＳＴ１）と、清澄工程（ＳＴ２）と、均質化工程（ＳＴ３）と、供給工程（ＳＴ４）と、成形工程（ＳＴ５）と、徐冷工程（ＳＴ６）と、切断工程（ＳＴ７）と、を主に有する。この他に、研削工程、研磨工程、洗浄工程、検査工程、梱包工程等を有し、梱包工程で積層された複数のガラス板は、納入先の業者に搬送される。
【００１６】
図２は、熔解工程（ＳＴ１）〜切断工程（ＳＴ７）を行う装置を模式的に示す図である。当該装置は、図２に示すように、主に熔解装置２００と、成形装置３００と、切断装置４００と、を有する。熔解装置２００は、熔解槽２０１と、清澄槽２０２と、攪拌槽２０３と、ガラス供給管２０４，２０５，２０６と、を主に有する。なお、ガラス供給管２０４，２０５は、熔融ガラスＭＧを流す金属管であるとともに清澄機能を有するので、実質的に清澄槽でもある。熔解槽２０１以降、成形装置３００までの各槽間を接続するガラス供給管２０４，２０５，２０６および清澄槽２０２と攪拌槽２０３の本体部分とは、白金あるいは白金合金管により構成されている。ガラス供給管２０４、２０５は円筒形状もしくは、樋形状を成している。
【００１７】
熔解工程（ＳＴ１）では、ＳｎＯ２が清澄剤として添加されて熔解槽２０１内に供給されたガラス原料、すなわちＳｎＯ２を清澄剤として含むガラス原料を、少なくとも電極を用いた通電加熱により熔解することで、熔融ガラスＭＧを得る。さらに、電極を用いた通電加熱の他に、図示されない火焔を用いてガラス原料を熔解して熔融ガラスＭＧを得てもよい。通電加熱と火炎を用いたガラス原料の熔解を行う場合、具体的には、図示されない原料投入装置を用いてガラス原料は熔融ガラスＭＧの液面に分散させて供給される。ガラス原料は、火炎で高温となった気相により加熱されて徐々に熔解し、熔融ガラスＭＧ中に溶ける。熔融ガラスＭＧは、通電加熱により昇温される。
【００１８】
清澄工程（ＳＴ２）は、清澄槽２０２、ガラス供給管２０４，２０５において行われる。清澄工程では、ガラス供給管２０４内の熔融ガラスＭＧが昇温されることにより、熔融ガラスＭＧ中に含まれるＯ２、ＣＯ２あるいはＳＯ２等のガス成分を含んだ泡が、清澄剤であるＳｎＯ２の還元反応により生じたＯ２を吸収して成長し、熔融ガラスＭＧの液面に浮上して放出される。また、清澄工程では、熔融ガラスＭＧの温度の低下による泡中のガス成分の内圧が低下することと、ＳｎＯ２の還元反応により得られたＳｎＯが熔融ガラスＭＧの温度の低下によって酸化反応をすることにより、熔融ガラスＭＧに残存する泡中のＯ２等のガス成分が熔融ガラスＭＧ中に再吸収されて、泡が消滅する。
【００１９】
均質化工程（ＳＴ３）では、ガラス供給管２０５を通って供給された攪拌槽２０３内の熔融ガラスＭＧを、スターラ２０３ａを用いて攪拌することにより、ガラス成分の均質化を行う。なお、攪拌槽２０３は２つ以上設けられてもよい。
【００２０】
供給工程（ＳＴ４）では、ガラス供給管２０６を通して熔融ガラスＭＧが成形装置３００に供給される。
【００２１】
成形工程（ＳＴ５）では、成形装置３００において、熔融ガラスＭＧをシートガラス（板状ガラス）Ｇに成形し、シートガラスＧの流れを作る。本実施形態では、成形体３１０を用いたオーバーフローダウンドロー法を用いる。なお、成形工程（ＳＴ５）では、スロットダウンドロー法を用いて成形を行ってもよい。
【００２２】
徐冷工程（ＳＴ６）では、徐冷装置において、成形装置３００から供給されるシートガラスＧが所望の厚さになり、平面歪が生じないように、さらに、熱収縮率が大きくならないように、冷却される。シートガラスＧは、例えば、５０〜８０ｍｍ／秒の移動速度で、鉛直下方に向かって搬送される。
【００２３】
切断工程（ＳＴ７）では、スクライブ装置において、成形装置３００から供給され上方から流れるシートガラスＧにスクライブ加工を施すことで、シートガラスＧの表面にスクライブ線を形成し、スクライブ線が形成されたシートガラスＧを所定の長さに切断することで、ガラス板を得る。切断されたガラス板はさらに、所定のサイズに切断され、目標サイズのガラス板が作製される。この後、ガラスの端面の研削、研磨およびガラス板の洗浄が行われ、さらに、泡や脈理等の欠点の有無が検査された後、検査合格品のガラス板が最終製品として梱包される。
【００２４】
図３は、ガラス板の成形装置３００、徐冷装置３７０及びスクライブ装置５００の構成を示す図であり、成形装置３００、徐冷装置３７０、スクライブ装置５００、気流発生装置６００及び吸引装置７００の概略の側面図を示す。
成形装置３００で成形されるガラス板は、例えば、液晶ディスプレイ用ガラス基板、有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板、カバーガラスに好適に用いられる。成形装置３００で成形されるガラス板は、その他、携帯端末機器などのディスプレイや筐体用のカバーガラス、タッチパネル板、太陽電池のガラス基板やカバーガラスとしても用いることができる。特に、ポリシリコンＴＦＴを用いた液晶ディスプレイ用ガラス基板に好適である。
【００２５】
成形工程（ＳＴ５）を行う成形炉４０および徐冷工程（ＳＴ６）を行う徐冷炉５０は、耐火レンガ、耐火断熱レンガ、あるいはファイバー系断熱材等の耐火物で構成された炉壁に囲まれて構成されている。成形炉４０は、徐冷炉５０に対して鉛直上方に設けられている。なお、成形炉４０および徐冷炉５０をあわせて炉３０という。炉３０の図示されない炉壁で囲まれた成形炉４０の炉内部空間には、成形体３１０と、冷却ローラ３３０とが設けられ、徐冷炉５０の炉内部空間には、搬送ローラ３５０が設けられている。成形炉４０の炉内部空間と徐冷炉５０の炉内部空間との間には仕切り板４５が設けられ、仕切り板４５に設けられた細長いスリット孔を通してシートガラスＧが徐冷炉４０の炉内部空間に導入される。徐冷炉５０の炉内部空間とスクライブ装置５００（切断装置４００）の空間との間には仕切り板５５が設けられ、仕切り板５５に設けられた細長いスリット孔を通してシートガラスＧがスクライブ装置５００の空間に導入される。スクライブ装置５００は、切断装置４００の設備の１ユニットとして装備され、切断装置４００の空間内に配されている。このほかに、冷却ローラ３３０と成形体３１０との間に空間を間仕切り熱の移動を遮断する仕切り板が設けられてもよく、さらに冷却ローラ３３０の下方にシートガラスを冷却する冷却ユニットが設けられてもよい。
【００２６】
成形体３１０は、図２に示すように、ガラス供給管２０４，２０５，２０６を通して熔解装置２００から流れてくる熔融ガラスＭＧを、シートガラスＧに成形する。これにより、成形装置３００内で、鉛直下方（長手方向）のシートガラスＧの流れが作られる。成形体３１０は、耐火レンガ等によって構成された細長い構造体であり、図３に示すように断面が楔形状を成している。成形体３１０の頂部には、熔融ガラスＭＧを導く流路となる溝３１２が設けられている。溝３１２は、成形装置３００に設けられた図示されない供給口において楔形２０６と接続され、ガラス供給管２０６を通して流れてくる熔融ガラスＭＧは、溝３１２を伝って流れる。溝３１２の深さは、熔融ガラスＭＧの流れの下流ほど浅くなっており、溝３１２から熔融ガラスが鉛直下方に向かって溢れ出るようになっている。
溝３１２から溢れ出た熔融ガラスＭＧは、成形体３１０の両側の側壁を伝わって鉛直下方に流下する。側壁を流れた熔融ガラスＭＧは、図３に示す成形体３１０の下方端部で合流し、１つのシートガラスＧが成形される。これによって、シートガラスＧは、徐冷炉５０に向かって流下する。
【００２７】
徐冷炉５０の炉内部空間には、複数の搬送ローラ３５０が所定の間隔で設けられ、シートガラスＧを下方向に牽引する。搬送ローラ３５０のそれぞれは、ローラ対を有し、シートガラスＧの厚さ方向の両側を挟むようにシートガラスＧの幅方向の両側端部に設けられている。シートガラスＧが下方向に移動する速度は、例えば、５０〜８０ｍｍ／秒である。
【００２８】
図４は、図３のスクライブ装置５００を背面側から見て示す図である。スクライブ装置５００のうち、シートガラスＧと向い合う側がスクライブ装置５００の正面であり、その反対側がスクライブ装置５００の背面である。スクライブ装置５００は、モータ５１０、モータ５１０が駆動することにより協働して回転するローラ５２０、モータ５１０が駆動し、ローラ５２０が回転ことにより連動して動く、モータ５１０とローラ５２０とに掛け渡された環状のベルト５３０、ベルト５３０に接続されるスライドテーブル５４０、スライドテーブル５４０に積載されるカッター部５５０、を有する。モータ５１０、ローラ５２０、ベルト５３０が搬送装置として機能し、この搬送装置が、スクライブ加工を行う際に、カッター部５５０を積載したスライドテーブル５４０を、シートガラスＧの幅方向の一方の端から他方の端に搬送して、シートガラスＧに直線状のスクライブ線Ｓを形成する。搬送装置により、スクライブ装置５００は、図４に示すように、Ｘ軸方向（左右方向、短手方向）、Ｙ軸方向（上下方向、長手方向）、Ｚ軸方向（前後方向）の各方向に自在に移動できる。スクライブ装置５００は、制御部（図示せず）からの命令に基づいて、シートガラスＧにスクライブ線Ｓを形成（刻設）する位置に移動し、Ｙ軸方向に移動するシートガラスＧに対して、Ｘ軸方向にカッター部５５０を相対的に走行させ、カッター部５５０の刃先（ホイールカッター）をシートガラスＧの表面（Ｚ軸方向）に押し付けて、シートガラスＧの表面にスクライブ線Ｓを形成する。スクライブ線Ｓが形成されたシートガラスＧは、その後、切断装置４００により、スクライブ線Ｓに沿って折り割され、所定サイズのガラス板が得られる。なお、以降において、シートガラスＧにおいて、スクライブ線Ｓが形成される側を表面（形成面）、スクライブ線Ｓが形成されない側を裏面（反対面）とする。
【００２９】
カッター部５５０は、例えば、超硬合金、焼結ダイヤモンドなどの材質で製作されたホイールカッター、加圧機構を備える空圧シリンダから構成される。カッター部５５０には、図示されない制御ケーブルが接続されている。制御ケーブルは、スライドテーブル５４０からカッター部５５０に案内され、外部の電源および制御装置に接続されたカッター部５５０の回転駆動を制御するためのものである。カッター部５５０は、ホイールカッターを回転駆動させ、例えば、６００ｍｍ／秒〜１２００ｍｍ／秒の移動速度でホイールカッターを移動させてスクライブ線Ｓを形成する。ホイールカッターの回転速度は、スライドテーブル５４０（カッター部５５０）の移動速度、シートガラスＳの厚さによって任意に設定変更でき、例えば、ホイールカッターの移動速度に比例させて、回転速度を変更することもできる。シートガラスＧにスクライブ線Ｓを形成する際、カッター部５５０（ホイールカッター）がシートガラスＧを削ることによりスクライブ線Ｓが形成されるために、削られた粉塵状のガラスがガラス屑として発生する。ダウンドロー法を用いて、厚さ０．０５〜０．４ｍｍのシートガラスＧを成形するには、シートガラスＧを、例えば５０〜８０ｍｍ／秒の速度で鉛直下方に向かって搬送する必要があり、この鉛直下方への搬送速度に応じて、例えば６００ｍｍ／秒〜１２００ｍｍ／秒の移動速度でスライドテーブル５４０（ホイールカッター）を移動させてスクライブ線Ｓを形成する。ホイールカッターの移動速度が６００ｍｍ／秒以上となると、ホイールカッターの回転する刃先からシートガラスＧにかかる荷重が増えるため、摩擦力が増大する。このため、スクライブ線Ｓを形成する際に発生するガラス屑の量が増え、このガラス屑がシートガラスＧに付着すると、シートガラスＧの品質が低下し、シートガラスＧから加工するガラス基板の品質低下にもつながる。このため、ガラス屑が、シートガラスＧに付着するのを防ぐ必要がある。
【００３０】
気流発生装置６００は、ファン、モータ、電源装置（図示せず）等を備え、スクライブ装置５００の上方（上流側）に設置され、シートガラスＧの搬送方向に沿って、直線的に下方に進む気流Ｃを発生させる。スクライブにより発生したガラス屑は、数μｍ程度の大きさであり、軽く、空気の影響を受けやすい。このため、シートガラスＧの搬送方向に沿って下方に進む気流Ｃがあると、ガラス屑はこの気流Ｃに乗って、下方に移動していく。気流Ｃに乗ったガラス屑は、シートガラスＧの表面に近づくことなく下方に送られ、シートガラスＧの表面を流れる気流Ｃがいわゆるエアーカーテンの役割を果たし、シートガラスＧにガラス屑が付着するのが抑制される。気流発生装置６００は、シートガラスＧの表面側と裏面側との両方に設置され、シートガラスＧの表面側と裏面側とにおいて、気流Ｃを発生させる。シートガラスＧの表面側と裏面側とに発生させた気流Ｃは、シートガラスＧの両側を覆い、シートガラスＧが気流Ｃ以外の気流、乱流の影響を受けることを抑制する。シートガラスＧの厚さ０．０５〜０．４ｍｍである場合、シートガラスＧの周囲の気流の影響を受けやすい。このため、気流発生装置６００は、シートガラスＧの表面側と裏面側に気流Ｃを発生させ、この気流ＣがシートガラスＧの表面側と裏面側とに同一の力（影響）を及ぼすように、気流Ｃを制御する。図５は、シートガラスＧ及び気流発生装置６００を平面視した状態を示す図である。同図に示すように、気流発生装置６００は、シートガラスＧの幅方向の一端から他端までの幅方向全体でシートガラスＧを覆うように設けられる。これにより、シートガラスＧは、気流Ｃ以外の気流、乱流から受ける影響が抑制され、気流Ｃから表面側と裏面側とにおいて同一の力を受けることにより揺れが抑制される。気流Ｃの速度は、例えば、１ｍ／ｓ〜１０ｍ／ｓであり、シートガラスＧの周囲の乱流等を抑制できれば任意である。
【００３１】
吸引装置７００は、空気、粉塵等を吸引する吸引機能を備え、気流Ｃに乗って流れてきたガラス屑を吸引して除去する除去装置として機能する。吸引装置７００は、床Ｆの下方で、気流発生装置６００のほぼ直下の位置に設置され、床Ｆに堆積したガラス屑等の粉塵、シートガラスＧに沿って下方に流れてきた気流Ｃ（空気）を吸引する。ここで、床Ｆとは、複数の装置が設置され、成形されたシートガラスＧを一時的に保管しておくための場所である。床Ｆには、気流Ｃを床Ｆの下方に流すための複数の孔が設けられ、床Ｆにガラス屑等の粉塵が堆積しないようになっている。吸引装置７００が吸引を開始すると、図３に示すように、気流発生装置６００で発生した気流Ｃは、シートガラスＧに沿って、ほぼ真下（シートガラスＧの搬送方向）に進む。気流発生装置６００から下方に出た気流Ｃ（空気）は、下方に進むにつれて、速度が徐々に遅くなるのが一般的であるが、気流発生装置６００のほぼ直下にある吸引装置７００が吸引を行っているため、気流Ｃの速度は、下方に進んだ時点であっても、気流発生装置６００を出た直後と変わらなくなっている。そして、気流Ｃは、速度を落とすことなく、吸引装置７００に吸引される。このため、シートガラスＧの表裏面は気流Ｃに保護されガラス屑が付着しない、また、付着しても気流Ｃによってガラス屑が除去される。
【００３２】
次に、図６を参照しながら、シートガラスＧにスクライブ線Ｓを形成した際に発生するガラス屑Ｂを気流Ｃにより除去する方法について説明する。図６は、シートガラスＧに付着したガラス屑Ｂを除去する方法を説明する図である。スクライブ工程が開始される前、カッター部５５０（ホイールカッター）は、シートガラスＧから離間した位置にある。シートガラスＧが下方の搬送方向に移動し、スクライブ線Ｓを形成する位置まで搬送されると、搬送装置は、カッター部５５０をシートガラスＧの一端に移動させ、カッター部５５０が有するホイールカッターがシートガラスＧ側を押圧（当接）するように移動させる。カッター部５５０（ホイールカッター）がシートガラスＧに当接する前に、制御部により動作が制御されるホイールカッターが回転を始め、カッター部５５０がシートガラスＧの一端から他端に移動することにより、カッター部５５０に設けられたホイールカッターがシートガラスＧの表面に沿って回転しながらシートガラスＧの一端から他端へ向かって移動する。空気圧等によってカッター部５５０にかかる荷重を設定し、シートガラスＧの表面の微妙な凹凸を乗り越える際の急激な荷重変化を吸収しながら、カッター部５５０の荷重を適正範囲に自動調整することにより、カッター部５５０の位置が適正に調整され、スクライブ線ＳがシートガラスＧに形成される。カッター部５５０がシートガラスＧの一端から他端まで移動することによりスクライブ線Ｓが形成されると、ホイールカッターは回転を停止し、スクライブ工程が終了する。シートガラスＧにスクライブ線Ｓを形成する際、カッター部５５０がシートガラスＧを削ることによりスクライブ線Ｓが形成されるために、削られた粉塵状のガラスがガラス屑Ｂとして発生する。ダウンドロー法を用いて、厚さ０．０５〜０．４ｍｍのシートガラスＧを成形するには、シートガラスＧを、例えば５０〜８０ｍｍ／秒の速度で鉛直下方に向かって搬送する必要があり、この鉛直下方への搬送速度に応じて、例えば６００ｍｍ／秒〜１２００ｍｍ／秒の移動速度でカッター部５５０を移動させてスクライブ線Ｓを形成する。カッター部５５０の移動速度が６００ｍｍ／秒以上となると、ホイールカッターの回転する刃先からシートガラスＧにかかる荷重が増えるため、摩擦力が増大する。このため、スクライブ線Ｓを形成する際に発生するガラス屑Ｂの量が増え、このガラス屑ＢがシートガラスＧに付着すると、シートガラスＧの品質が低下し、シートガラスＧから加工するガラス基板の品質低下にもつながる。シートガラスＧはカッター部５５０との接触摩擦により帯電しているため、粉塵状のガラス屑Ｂの一部は、静電気によりシートガラスＧに引き付けられて付着する。
【００３３】
気流Ｃは、スクライブ線Ｓの形成時にも上方から下方（シートガラスＧの搬送方向）に流れている。スクライブにより発生したガラス屑Ｂの一部は空中に飛散し、また、ガラス屑Ｂの一部はシートガラスＧに付着する。ガラス屑Ｂは数μｍ程度と細かい屑であるため、空中に飛散したガラス屑Ｂは、気流Ｃに乗って下方に移動する。気流Ｃの速度は、上述したように、気流Ｃの発生時から収束時（吸収時）まで、ほぼ同一となっているため、気流Ｃに乗った（押された）ガラス屑Ｂは、途中留まることなく吸引装置７００まで運ばれ、吸引される。これにより、空中に飛散したガラス屑は、シートガラスＧに付着することなく除去できる。また、気流Ｃのない場所に飛散しているガラス屑Ｂは、気流Ｃがいわゆるエアーカーテンの役割を果たすため、シートガラスＧに付着することなく、飛散後、床Ｆに堆積する。床Ｆには、空気の下方に流すための複数の孔が設けられ、床Ｆの下方には吸引装置７００が設置されているため、床Ｆに堆積したガラス屑Ｂは、吸引装置７００に吸引され、シートガラスＧに付着することはない。これに対し、静電気によりシートガラスＧに引き付けられて付着したガラス屑Ｂは、空気を吹き付けることによっては除去しづらい。しかし、ガラス屑Ｂは数μｍ程度と細かいため、ガラス屑Ｂに帯電される電荷量は小さい。このため、一定の速度（例えば、１ｍ／ｓ）以上のある気流ＣをシートガラスＧに吹き付けることにより、シートガラスＧからガラス屑Ｂを除去できる。シートガラスＧから離れたガラス屑Ｂは、気流Ｃに乗って吸引装置７００まで運ばれ吸引される。これにより、シートガラスＧに付着したガラス屑Ｂを除去することができる。
【００３４】
気流Ｃは、シートガラスＧの表裏面の両側に存在するため、シートガラスＧの表裏面には、ガラス屑Ｂが付着することなく、ガラス屑Ｂを除去できる。シートガラスＧの表裏面の両側に気流Ｃが流れ、シートガラスＧの両面は気流Ｃから同一の風圧（抗力）を受けて、シートガラスＧの幅方向に対して垂直方向に、シートガラスＧが揺れることが抑制されている。シートガラスＧが気流Ｃから受ける抗力は、ベルヌーイの式から流体の速度の２乗に比例し、気流Ｃは気流発生装置６００から吸引装置７００までの間、ほぼ一定の速度であるため、シートガラスＧの両面において同一である。このため、シートガラスＧの揺れを抑制できる。
【００３５】
本実施形態では、シートガラスＧの表裏面側に下降気流を発生させることにより、スクライブにより発生したガラス屑Ｂを下方に運び除去している。これにより、シートガラスＧにスクライブ線Ｓを形成する速度を上げてガラス屑Ｃが発生した場合であっても、シートガラスＧにガラス屑Ｃを付着させずに除去することができる。また、シートガラスＧの両面において、気流Ｃから受ける抗力を同一にすることにより、シートガラスＧの揺れを抑制できる。
【００３６】
（ガラス板）
本実施形態のシートガラス（ガラス板）に用いるガラスは、例えば、ボロシリケートガラス、アルミノシリケートガラス、アルミノボロシリケートガラス、ソーダライムガラス、アルカリシリケートガラス、アルカリアルミノシリケートガラス、アルカリアルミノゲルマネイトガラスなどを適用することができる。なお、本発明に適用できるガラスは上記に限定されるものではない。
【００３７】
本実施形態で用いるガラス板のガラス組成は例えば以下のものを挙げることができる。しかし、下記ガラス組成には限定されない。以下示す組成の含有率表示は、質量％である。
ＳｉＯ２：５０〜７０％、
Ｂ２Ｏ３：５〜１８％、
Ａｌ２Ｏ３：０〜２５％、
ＭｇＯ：０〜１０％、
ＣａＯ：０〜２０％、
ＳｒＯ：０〜２０％、
ＢａＯ：０〜１０％、
ＲＯ：５〜２０％（ただし、ＲはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａから選ばれる少なくとも１種であり、ガラス板が含有するものである)、
を含有する無アルカリガラスであることが好ましい。
【００３８】
なお、本実施形態では無アルカリガラスとしたが、ガラス板はアルカリ金属を微量含んでいてもよい。アルカリ金属を含有させる場合、Ｒ’２Ｏの合計が０．２０％を超え２．０％以下(ただし、Ｒ’はＬｉ、Ｎａ及びＫから選ばれる少なくとも１種であり、ガラス板が含有するものである)含むことが好ましい。また、ガラスの熔解を容易にするために、比抵抗を低下させるという観点から、ガラス中の酸化鉄の含有量が０．０１〜０．２％であることがさらに好ましい。
【００３９】
ここで、Ｌｉ２Ｏ，Ｎａ２Ｏ，Ｋ2Ｏは、ガラスから溶出してＴＦＴの特性を劣化させ、また、ガラスの熱膨張係数を大きくして熱処理時に基板を破損するおそれがある成分であることから、液晶ディスプレイ用ガラス基板や有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板として適用する場合には、実質的に含まないことが好ましい。しかし、ガラス中に上記成分を敢えて特定量含有させることによって、ＴＦＴの特性の劣化やガラスの熱膨張を一定範囲内に抑制しつつ、ガラスの塩基性度を高め、価数変動する金属の酸化を容易にして、清澄性を発揮させることが可能である。そこで、Ｌｉ２Ｏ，Ｎａ２Ｏ，Ｋ２Ｏの合量は０〜２．０％であり、０．１〜１．０％がより好ましく、０．２〜０．５％がさらに好ましい。なお、Ｌｉ２Ｏ，Ｎａ２Ｏは含有させずに、上記成分中でも、最もガラスから溶出してＴＦＴの特性を劣化させ難いＫ２Ｏを含有させることが好ましい。Ｋ２Ｏの含有量は、０〜２．０％であり、０．１〜１．０％がより好ましく、０．２〜０．５％がさらに好ましい。
【００４０】
ガラス板のガラスにおいて、ガラス中の気泡を脱泡させる成分として清澄剤を添加することができる。清澄剤としては、環境負荷が小さく、ガラスの清澄性に優れたものであれば特に制限されないが、例えば、酸化スズ、酸化鉄、酸化セリウム、酸化テルビウム、酸化モリブデン及び酸化タングステンといった金属酸化物から選ばれる少なくとも１種を挙げることができる。
【００４１】
なお、Ａｓ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３及びＰｂＯは、熔融ガラス中で価数変動を伴う反応を生じ、ガラスを清澄する効果を有する物質であるが、Ａｓ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３及びＰｂＯは環境負荷が大きい物質であることから、実質的に含まないことが好ましい。なお、本明細書において、Ａｓ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３及びＰｂＯを実質的に含まないとは、０．０１％質量未満であって不純物を除き意図的に含有させないことを意味する。
【００４２】
本実施形態に用いるシートガラス（ガラス板）の厚さは、例えば０．０５ｍｍ〜０．４ｍｍであることが好ましい。このような薄いシートガラスを製造するためには、成形体から供給されるシートガラスを、搬送ローラの回転速度を速くして、下方向に速く引っ張る必要がある。下方向に速く搬送されるシートガラスに対してスクライブ線を形成するためには、スライドテーブルもシートガラスの幅方向に速く搬送する必要がある。スライドテーブルの搬送速度を上げると、シートガラスとホイールカッターとの摩擦抵抗が大きくなるためスクライブ時に発生するガラス屑が増加し、このガラス屑がシートガラスに付着する。本実施形態では、シートガラスの表面側、裏面側において、シートガラスの搬送方向に気流を発生させ、この気流をいわゆるエアーカーテンとして、ガラス屑がシートガラスに付着するのを抑制している。これにより、薄いシートガラスを製造するためにスライドテーブルが速く搬送されても、シートガラスにガラス屑を付着させずに、スクライブ線を形成することができる。
【００４３】
本実施形態のガラス板の幅方向の長さは、例えば５００ｍｍ〜３５００ｍｍであり、１０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることが好ましく、２０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることがより好ましい。一方、ガラス板の縦方向の長さも、例えば５００ｍｍ〜３５００ｍｍであり、１０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることが好ましく、２０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることがより好ましい。
【００４４】
以上、本発明のガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【００４５】
５００  スクライブ装置
５１０  モータ（搬送装置）
５２０  ローラ（搬送装置）
５３０  ベルト（搬送装置）
５４０  スライドテーブル
５５０  カッター部
６００  気流発生装置
７００  吸引装置
Ｇ  シートガラス
Ｓ  スクライブ線
Ｃ  気流
Ｆ  床
Ｂ  ガラス屑
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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