(57)【要約】【課題】版抜けをスムーズにして良好な印刷精度を確保することができ、コスト的にも有利なスクリーン印刷機及び部品実装ラインを提供することを目的とする。【解決手段】パターン孔１３Ｐが形成されたマスク１３の下面に基板２を保持した基板保持ユニット２１を接触させ、基板２と接触したマスク１３上でスキージ５２を摺動させることによりマスク１３上のペーストＰｓｔを掻き寄せてマスク１３のパターン孔１３ＰにペーストＰｓｔを充填させた後、マスク１３と基板保持ユニット２１とを離間させて版離れをするスクリーン印刷機５において、基板保持ユニット２１は下受け部３５により下受けした基板２の側面を一対のクランプ部材３７によりクランプして保持する構成を有して成り、下受け部３５に、基板２とマスク１３が接触した状態でマスク１３に当接するマスク当接部４３及びこのマスク当接部４３を上方に付勢する弾性体４４から成る付勢手段４０を備える。【選択図】図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン孔が形成されたマスクと、前記マスクの下方において下受け部により基板を下方から支持するとともに一対のクランプ部材により前記基板を側方からクランプして保持する基板保持手段と、前記基板を保持した前記基板保持手段を昇降させて前記基板を前記マスクの下面に接触させる基板保持手段昇降機構と、前記基板保持手段昇降機構により前記基板が接触された前記マスクの前記パターン孔にペーストを充填するペースト充填手段を備え、前記マスクのパターン孔に前記ペーストが充填された後、前記基板保持手段昇降機構が前記基板を前記マスクから離間する方向に移動させて版離れを行うスクリーン印刷機であって、
前記下受け部に、前記基板と前記マスクが接触した状態で前記マスクに当接するマスク当接部及びこのマスク当接部を上方に付勢する弾性体から成る付勢手段を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記付勢手段は前記下受け部に対する設置位置が変更可能であることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機と、前記スクリーン印刷機によりペーストが印刷された前記基板に部品を装着する部品実装機とを備えて成ることを特徴とする部品実装ライン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクのパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機及びこのスクリーン印刷機を備えて構成される部品実装ラインに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品実装ラインは基板に半田等のペーストを印刷するスクリーン印刷機と、スクリーン印刷機によりペーストが印刷された基板に部品を装着する部品実装機を備えて成る。このような部品実装ラインにおけるスクリーン印刷機では、パターン孔が形成されたマスクの下面に一対のクランプ部材により側方をクランプした基板を接触させ、基板と接触したマスク上でスキージを摺動させるなどしてマスクのパターン孔にペーストを充填した後、基板をマスクから離間する方向に移動させて版離れを行う。
【０００３】
このようなスクリーン印刷機では、近年の基板のファインピッチ化に伴う印刷パターンの微細化により、マスクが薄肉化しつつある。このようにマスクが薄肉化すると、スキージによるペーストの充填時に基板に密着したマスクが、その後の版離れのときに基板に引っ張られて中央部が下方に撓んでしまうことから、基板の端部における版抜け方向が基板に対して垂直にならず、印刷後のペーストの形状が崩れて印刷精度が低下するおそれが生じる。このため従来、基板を下方から支持する下受け部に基板を真空吸着する吸着機構を備え、版離れ時にはクランプ機構は下降させずに基板を吸着した下受け部のみを下降させるようにして版離れ時にマスクが基板に引っ張られて下方に撓まないようにしたものが知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２１４７４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の構成では、基板を吸着するための装置として真空ポンプや配管のための部材等が必要となり、構成が複雑となるうえコスト高になるという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、版抜けをスムーズにして良好な印刷精度を確保することができ、コスト的にも有利なスクリーン印刷機及び部品実装ラインを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のスクリーン印刷機は、パターン孔が形成されたマスクと、前記マスクの下方において下受け部により基板を下方から支持するとともに一対のクランプ部材により前記基板を側方からクランプして保持する基板保持手段と、前記基板を保持した前記基板保持手段を昇降させて前記基板を前記マスクの下面に接触させる基板保持手段昇降機構と、前記基板保持手段昇降機構により前記基板が接触された前記マスクの前記パターン孔にペーストを充填するペースト充填手段を備え、前記マスクのパターン孔に前記ペーストが充填された後、前記基板保持手段昇降機構が前記基板を前記マスクから離間する方向に移動させて版離れを行うスクリーン印刷機であって、前記下受け部に、前記基板と前記マスクが接触した状態で前記マスクに当接するマスク当接部及びこのマスク当接部を上方に付勢する弾性体から成る付勢手段を備えた。
【０００８】
本発明の部品実装ラインは、本発明のスクリーン印刷機と、前記スクリーン印刷機によりペーストが印刷された前記基板に部品を装着する部品実装機とを備えて成る。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、版抜けがスムーズに行われて良好な印刷精度を確保することができ、コスト的にも有利である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態における部品実装ラインの概略構成図
【図２】本発明の一実施の形態における部品実装ラインを構成するスクリーン印刷機の平面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える付勢手段の斜視図
【図８】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持ユニットの（ａ）平面図（ｂ）側面図
【図９】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１１】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態における部品実装ライン１を示している。部品実装ライン１は、基板２に部品３を装着して部品実装基板を製造するものであり、基板供給部４より供給される基板２の電極２ａ上に半田等のペーストＰｓｔをスクリーン印刷するスクリーン印刷機５と、スクリーン印刷機５によりペーストＰｓｔが印刷された基板２に部品３を装着する部品実装機６を含んだ構成を有している。本実施の形態では部品実装ライン１における基板２の流れ方向は図１の左方から右方に向かう水平面内方向（オペレータＯＰから見た左右方向）であり、これをＸ軸方向とする。また、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向（オペレータＯＰから見た前後方向）をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。なお、本実施の形態では、図１の紙面左方が基板２の流れの上流側（上流工程側）に相当し、図１の紙面右方が基板２の流れの下流側（下流工程側）に相当する。
【００１２】
図２、図３及び図４において、スクリーン印刷機５は、基台１１上に基板保持移動機構１２を備えており、基板保持移動機構１２の上方にはマスク１３が設置されている。基台１１上における基板保持移動機構１２の基板２の流れの上流側（図２及び図３の紙面左側）には上流工程側の他の装置（ここでは基板供給部４）から搬入した基板２を基板保持移動機構１２に受け渡す基板搬入部としての搬入コンベア１４を備えており、基台１１上における基板保持移動機構１２の基板２の流れの下流側（図２及び図３の紙面右側）には、基板保持移動機構１２から送り出された基板２を受け取って下流工程側の他の装置（ここでは部品実装機６）に搬出する基板搬出部としての搬出コンベア１５を備えている。スクリーン印刷機５は、マスク１３の上方に、印刷ヘッド移動機構１６Ｍによって移動される印刷ヘッド１６と、印刷ヘッド１６と一体に設けられたペースト供給シリンジ１７を備えており、マスク１３の下方に、カメラユニット移動機構１８Ｍによって水平面内で移動される撮像手段としてのカメラユニット１８を備えている。
【００１３】
図３及び図４において、基板保持移動機構１２は、基板２を保持する基板保持ユニット２１と、この基板保持ユニット２１を水平面内（ＸＹ面内）方向及び上下（Ｚ軸）方向に移動させる基板保持ユニット移動機構２２から成る。基板保持ユニット２１はベースとなる昇降プレート３１と、昇降プレート３１から上方に延びた前後一対のコンベア支持部材３２と、これらコンベア支持部材３２に取り付けられた前後一対のコンベア３３（図２も参照）と、昇降プレート３１に取り付けられた昇降アクチュエータ３４によって昇降プレート３１の上方を昇降される下受け部３５と、コンベア３３の上方に設けられてクランプ部材駆動モータ３６によってＹ軸方向に開閉される前後一対のクランプ部材３７（図２も参照）を備える。
【００１４】
図４において、下受け部３５は、昇降アクチュエータ３４によって昇降されるベーステーブル３５ａと、ベーステーブル３５ａの上面に上方に延びて設けられた複数の下受けピン３５ｂから成る。ベーステーブル３５ａはその全体又は上面が磁性体から成っている。
【００１５】
下受け部３５のベーステーブル３５ａは、基板保持ユニット移動機構２２が基板保持ユニット２１を押し上げておらず、昇降アクチュエータ３４も下受け部３５を押し上げていない第１の位置では高さがＨ１であり（図５（ａ）及び図６（ａ））、基板保持ユニット移動機構２２が基板保持ユニット２１を押し上げておらず、昇降アクチュエータ３４が下受け部３５を押し上げた第２の位置では高さがＨ２であり（図５（ｂ）及び図６（ｂ））、昇降アクチュエータ３４が下受け部３５を押し上げた状態の基板保持ユニット２１を基板保持ユニット移動機構２２が押し上げた第３の位置では高さがＨ３である（図５（ｃ）及び図６（ｃ））。なお、図３及び図４は、ベーステーブル３５ａが第１の位置に位置した状態を示している。
【００１６】
図２において、マスク１３はＸＹ平面に広がって延びた矩形平板形状を有しており、その外周は枠部材１３Ｗによって支持されている。マスク１３には、基板２の電極２ａの配置に対応した配置でパターン孔１３Ｐが形成されている。基板２の対角位置には２つ一組の基板側マーク２ｍが設けられており、マスク１３上には、基板側マーク２ｍに対応して配置された２つ一組のマスク側マーク１３ｍが設けられている。
【００１７】
図２〜図４において、下受け部３５のベーステーブル３５ａ上には、複数の付勢手段４０が設けられている。付勢手段４０は、図７（ａ），（ｂ）に示すように、ベーステーブル３５ａの上面に取り付けられる基部４１、基部４１の上面から上方に延びたガイド部４２、ガイド部４２の上端を覆って設けられ、ガイド部４２に沿って上下方向に移動自在なマスク当接部４３及びこのマスク当接部４３を上方に付勢する弾性体４４から成る。弾性体４４は、本実施の形態ではガイド部４２に挿通され、下端を基部４１の上面に当接させるとともに上端をマスク当接部４３の下端に当接させたばね部材から成るが、下端が基部４１の上面に固定され、上端がマスク当接部４３の下端に固定されたゴム部材等であってもよい。このような構成の付勢手段４０では、基部４１がベーステーブル３５ａに取り付けられた状態で、マスク当接部４３を下方に押圧力Ｐ（図７（ｂ））が作用すると、マスク当接部４３は弾性体４４を圧縮させつつガイド部４２に沿って下方に移動し（図７（ｂ））、上記押圧力が除去されると、圧縮された弾性体４４の復元力によってもとの位置（高さ）に復帰する（図７（ａ））。
【００１８】
図７（ａ），（ｂ）において、基部４１の下部には下面を露出させた磁石４５が取り付けられており、付勢手段４０は、磁性体から成るベーステーブル３５ａの上面の任意の位置に着脱自在に取り付けることが可能である。付勢手段４０は、図８（ａ），（ｂ）に示すように、ペーストＰｓｔの印刷対象となる基板２をクランプ部材３７によりクランプしたときに、そのクランプした基板２の平面視において基板２と干渉しない位置を選択してベーステーブル３５ａの上面に取り付けられる。なお、後述するように、基板２はその側面が一対のクランプ部材３７によってクランプされることから、付勢手段４０はクランプ部材３７によってクランプされた状態の基板２のコンベア３３による搬送方向（Ｘ軸方向）の前方及び後方位置となる。
【００１９】
図５（ａ）及び図６（ａ）において、ベーステーブル３５ａが前述の第１の位置（高さＨ１）に位置した状態では、下受け部３５の下受けピン３５ｂの上端と各付勢手段４０のマスク当接部４３の上端はコンベア３３による基板２の搬送面Ｓよりも下方に位置している。このような状態においてコンベア３３は搬入コンベア１４から基板２を受け取り、その受け取った基板２をＸ軸方向に搬送して所定のクランプ位置に位置決めする（図５（ａ）及び図６（ａ））。そして、コンベア３３が基板２をクランプ位置に位置決めしたら、昇降アクチュエータ３４は下受け部３５を押し上げ（図５（ｂ）及び図６（ｂ）中に示す矢印Ａ）、下受け部３５は基板２を支持（下受け）した状態で持ち上げてコンベア３３から離間させる。そして、昇降アクチュエータ３４によってベーステーブル３５ａが第２の位置（高さＨ２）まで押し上げられたら（図５（ｂ）及び図６（ｂ））、クランプ部材３７は基板２を側方（Ｙ軸方向）からクランプする（図５（ｂ）中に示す矢印Ｂ）。なお、クランプ部材３７による基板２のクランプが完了した状態では、基板２の上面とクランプ部材３７の上面とは同じ高さとなっており、各付勢手段４０のマスク当接部４３の上端は、基板２の上面（クランプ部材３７の上面）よりも高い位置に位置する。
【００２０】
このように本実施の形態において、基板保持ユニット２１は、マスク１３の下方において下受け部３５により基板２を下方から支持するとともに一対のクランプ部材３７により基板２を側方からクランプして保持する基板保持手段となっている。
【００２１】
クランプ部材３７が基板２をクランプしたら、基板保持ユニット移動機構２２は基板保持ユニット２１を押し上げる（図５（ｃ）及び図６（ｃ）中に示す矢印Ｃ１）。そして、ベーステーブル３５ａが第３の位置（高さＨ３）に位置し、基板２がマスク１３に当接したところで基板保持ユニット２１の押し上げを停止させる（図５（ｃ）及び図６（ｃ））。この状態では、各付勢手段４０のマスク当接部４３はマスク１３によって下方に押され、弾性体４４を押し縮めて上縁がマスク１３の下面と同じ高さ位置に位置する。なお、基板保持ユニット移動機構２２は、基板２がマスク１３に当接した後、更に基板保持ユニット２１を上昇させてマスク１３をやや持ち上げるようにし、その後下降させてベーステーブル３５ａが高さＨ３の位置に位置するようにする。これにより基板２が確実にマスク１３に密着する。
【００２２】
図３及び図４において、印刷ヘッド１６は、Ｘ軸方向に延びて設けられた移動ベース５１の下方に、Ｙ軸方向に対向配置された２つのスキージ５２を備えて成る。印刷ヘッド移動機構１６Ｍは、Ｙ軸方向に延びて移動ベース５１の左右端部を貫通螺入した２つの印刷ヘッド移動ボール螺子１６ａと、これら２つの印刷ヘッド移動ボール螺子１６ａを回転駆動する２つの印刷ヘッド移動モータ１６ｂを有して成り、２つの印刷ヘッド移動モータ１６ｂによって２つの印刷ヘッド移動ボール螺子１６ａが同期して回転されると、移動ベース５１がＹ軸方向に移動する。２つのスキージ５２はそれぞれ移動ベース５１に設けられたスキージ昇降シリンダ５３によって、移動ベース５１の下方を個別に昇降される。
【００２３】
図３及び図４において、カメラユニット１８は撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１８ａと撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１８ｂを有して成る。カメラユニット移動機構１８ＭはＸＹテーブル機構から成り、カメラユニット１８が取り付けられた移動プレート１８ｐを水平面内で移動させる。
【００２４】
ペースト供給シリンジ１７は内部にペーストＰｓｔを蓄えており、下方にペーストを吐出供給する。図２及び図４において、ペースト供給シリンジ１７は移動ベース５１に沿ってＸ軸方向に移動自在なシリンジベース５１ａに取り付けられており、移動ベース５１のＹ軸方向移動によってスキージ５２とともにＹ軸方向に移動し、シリンジベース５１ａのＸ軸方向への移動によってＸ軸方向に移動する。このためペースト供給シリンジ１７をＸＹ平面内で自在に移動させることによって、マスク１３上の任意の領域にペーストＰｓｔを供給させることができる。
【００２５】
図９において、搬入コンベア１４による基板２の搬入動作、コンベア３３による基板２のクランプ位置への移動動作、昇降アクチュエータ３４による下受け部３５の昇降動作、クランプ部材駆動モータ３６によるクランプ部材３７のクランプ動作、基板保持ユニット移動機構２２による基板保持ユニット２１の水平面内での移動動作と昇降動作、搬出コンベア１５による基板２の搬出動作の各制御は、スクリーン印刷機５が備える制御装置６０によってなされる。また、印刷ヘッド移動機構１６Ｍによる印刷ヘッド１６のＹ軸方向への移動動作、スキージ昇降シリンダ５３による各スキージ５２の昇降動作、ペースト供給シリンジ１７によるペーストＰｓｔの吐出動作、カメラユニット移動機構１８Ｍによるカメラユニット１８の水平面内での移動動作の各制御も制御装置６０によってなされる。
【００２６】
図９において、上方撮像カメラ１８ａは、制御装置６０に制御されて、マスク１３に設けられたマスク側マーク１３ｍの撮像の撮像を行う。下方撮像カメラ１８ｂは、制御装置６０に制御されて、基板保持ユニット２１に保持された基板２の基板側マーク２ｍの撮像を行う。上方撮像カメラ１８ａの撮像によって得られた画像データと下方撮像カメラ１８ｂの撮像によって得られた画像データはともに制御装置６０に入力され、制御装置６０の画像処理部６０ａにおいて画像処理される。そして、制御装置６０は、得られたマスク側マーク１３ｍの画像に基づいて各マスク側マーク１３ｍの位置の算出を行い、得られた基板側マーク２ｍの画像に基づいて各基板側マーク２ｍの位置の算出を行う。
【００２７】
次に、図５、図６、図１０及び図１１を用いて、スクリーン印刷機５によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する。制御装置６０は、基板供給部４から基板２が送り出されたことを検知したら、その基板２を搬入コンベア１４によって受け取ってクランプ位置に位置決めし（図５（ａ）及び図６（ａ））、昇降アクチュエータ３４を作動させて下受け部３５を上昇させ、下受け部３５により基板２を下方から支持してベーステーブル３５ａを第１の位置に位置させる。そして、クランプ部材駆動モータ３６を作動させ、クランプ部材３７により基板２を側方からクランプして保持する（図５（ｂ）及び図６（ｂ）。図５（ｂ）中に示す矢印Ｂ。基板保持工程）。制御装置６０は、クランプ部材３７により基板２をクランプしたら、カメラユニット移動機構１８Ｍによりカメラユニット１８を移動させ、上方撮像カメラ１８ａに基板２のマスク側マーク１３ｍを撮像させてマスク１３の位置を認識するとともに、下方撮像カメラ１８ｂに基板側マーク２ｍを撮像させて、基板２の位置を認識する。
【００２８】
制御装置６０は、マスク側マーク１３ｍの位置と基板側マーク２ｍの位置を認識したら、その認識結果に基づいて、マスク側マーク１３ｍと基板側マーク２ｍが平面視において一致するようにしたうえで、基板保持ユニット移動機構２２によって基板保持ユニット２１を上昇させ（図５（ｃ）及び図６（ｃ）中に示す矢印Ｃ１）、基板保持ユニット２１により保持した基板２をマスク１３の下面に接触させる（図５（ｃ）及び図６（ｃ）。接触工程）。これにより、基板２の電極２ａとマスク１３に形成されたパターン孔１３Ｐとが合致した状態となる。
【００２９】
このように本実施の形態において、基板保持ユニット移動機構２２は、基板２を保持した基板保持手段である基板保持ユニット２１を昇降させて基板２をマスク１３の下面に接触させる基板保持手段昇降機構となっている。なお、上記のように基板２の電極２ａとマスク１３のパターン孔１３Ｐとが合致した状態では、各付勢手段４０のマスク当接部４３はマスク１３により下方へ押圧されており、弾性体４４を押し縮めている。
【００３０】
制御装置６０は基板２をマスク１３に接触させたら、図示しないペースト量確認装置によって、マスク１３上に残存したペーストＰｓｔの量が十分であるかどうかの確認検査を行う。そして、マスク１３上に残存したペーストＰｓｔの量が十分でないと判断した場合には、ペースト供給シリンジ１７によってマスク１３上にペーストＰｓｔを供給する。
【００３１】
制御装置６０は、上記ペースト量の確認（ペースト供給シリンジ１７によるペーストＰｓｔの供給を行った場合にはその後に行ったペースト量の確認）の結果、マスク１３上に残存したペーストＰｓｔの量が十分であると判断したら、基板２を接触させたマスク１３のパターン孔１３ＰにペーストＰｓｔを充填する（ペースト充填工程）。具体的には、制御装置６０は、スキージ昇降シリンダ５３によって一方のスキージ５２を下降させ（図１０（ａ）中に示す矢印Ｄ１）、そのスキージ５２をマスク１３に当接させた後、移動ベース５１を（すなわち印刷ヘッド１６を）Ｙ軸方向へ移動させることによって（図１０（ａ）中に示す矢印Ｅ）、スキージ５２をマスク１３上で移動（摺動）させる。このスキージングによってペーストＰｓｔはマスク１３上で掻き寄せられ、マスク１３のパターン孔１３Ｐ内に充填される。
【００３２】
このように本実施の形態において、スキージ５２は、基板昇降機構である基板保持ユニット移動機構２２により基板２が移動接触されたマスク１３上で摺動してマスク１３上のペーストＰｓｔをパターン孔１３Ｐに充填するペースト充填手段となっている。
【００３３】
制御装置６０は、印刷ヘッド１６を移動させてマスク１３のパターン孔１３Ｐ内にペーストＰｓｔを充填させたら、スキージ昇降シリンダ５３を作動させてスキージ５２を上昇させる（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｄ２）。そして、制御装置６０は、基板保持ユニット移動機構２２を作動させて昇降プレート３１を下降させ（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｃ２）、基板２をマスク１３から離間する方向（ここでは下方）に移動させることによって、版離れを行う（図１１（ａ）→図１１（ｂ）→図１１（ｃ）。版離れ工程）。
【００３４】
上記版離れのときには、粘着質のペーストＰｓｔを介して基板２に密着していたマスク１３が基板２に引っ張られて下方に撓もうとするが、その一方で、各付勢手段４０の弾性体４４を押し縮めていた押圧力は徐々に小さくなるので、弾性体４４は元の形状に復帰するように動作し、マスク当接部４３はクランプ部材３７の上面から突出してマスク１３をクランプ部材３７に対して（すなわち基板２に対して）相対的に上方に押し上げる（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｆ）。このため、マスク１３が基板２に引っ張られて下方に撓もうとするのが阻止され、これにより版離れに際してマスク１３は当初の水平姿勢が維持され（図１１（ｂ）及び図１１（ｃ））、版抜けがスムーズに行われる。なお、版離れ時における基板２のマスク１３に対する密着度は基板２の周辺部よりも基板２の中央部の方が高いため、付勢手段４０によるマスク１３の付勢力を基板２の中央部側に集めることができるよう、各付勢手段４０は基板２の外縁（前縁又は後縁）の近傍位置に設けられていることが好ましい。
【００３５】
制御装置６０は、基板２の１枚当たりのスクリーン印刷が終了したら、クランプ部材３７を開いて基板２のクランプを解除したうえで、昇降アクチュエータ３４を作動させて下受け部３５を下降させ、基板２をコンベア３３上に載置する。このとき下受け部３５はベーステーブル３５ａが高さＨ１の第１の位置に位置するまで下降させる。
【００３６】
制御装置６０は、上記のようにして基板２をコンベア３３上に載置したら、コンベア３３と搬出コンベア１５を連動作動させて、スクリーン印刷機５から下流工程側の他の装置（部品実装機６）に基板２を搬出する。制御装置６０は基板２を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があったときには搬入コンベア１４による基板２の搬入を行い、スクリーン印刷を施す基板２がなかったときには一連の作業を終了する。
【００３７】
図１において、部品実装機６は、基台７１上に基板搬送レーン７２と、部品供給部としての複数のパーツフィーダ７３と、ＸＹロボットから成るヘッド移動機構７４によって移動される２つの装着ヘッド７５を備えている。基板搬送レーン７２は、スクリーン印刷機５でペーストＰｓｔが印刷された基板２をスクリーン印刷機５の搬出コンベア１５から受け取って搬入し、所定の位置に位置決めする。２つの装着ヘッド７５はそれぞれ各パーツフィーダ７３が供給する部品３をピックアップし、その部品３を基板搬送レーン７２によって位置決めされた基板２上に装着する。そして、基板２に対する部品３の装着が終わったら、基板搬送レーン７２を作動させて、基板２を外部（下流工程側）に搬出する。
【００３８】
このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機５では、基板保持ユニット２１を構成する下受け部３５に、基板２とマスク１３が接触した状態でマスク１３に当接するマスク当接部４３とこのマスク当接部４３を上方に付勢する弾性体４４（ばね部材）から成る付勢手段４０を備えており、版離れのときにはこの付勢手段４０がマスク１３を上方に付勢する（基板２に対して押し上げる）ので、版離れ時にマスク１３が基板２に引っ張られて下方に撓むことがなく、版抜けがスムーズに行われて良好な印刷精度を確保することができる。また、付勢手段４０は安価で簡便な構成であるので、コスト的にも有利である。
【００３９】
なお、上述の実施の形態では、マスク１３のパターン孔１３ＰにペーストＰｓｔを充填するペースト充填手段としてペーストＰｓｔをマスク１３上で掻き寄せるタイプのもの（スキージ５２）を示したが、ペースト充填手段はこのようなペーストＰｓｔをマスク１３上で掻き寄せるタイプのものに限られず、内部に収容したペーストＰｓｔをマスク１３のパターン孔１３Ｐに直接吐出供給するタイプのもの等であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
版抜けをスムーズにして良好な印刷精度を確保することができ、コスト的にも有利なスクリーン印刷機及び部品実装ラインを提供する。
【符号の説明】
【００４１】
１  部品実装ライン
２  基板
３  部品
５  スクリーン印刷機
６  部品実装機
１３  マスク
１３Ｐ  パターン孔
２１  基板保持ユニット（基板保持手段）
２２  基板保持ユニット移動機構（基板保持手段昇降機構）
３５  下受け部
３７  クランプ部材
４０  付勢手段
４３  マスク当接部
４４  弾性体
５２  スキージ（ペースト充填手段）
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
2015098087.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2015098087.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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