(57)【要約】【課題】接合された金属部材を容易に平坦にすることができる接合方法を提供する。【解決手段】昇降可能に形成された冷却部Ｋ３を備えた架台Ｋを用いて一対の金属部材１，１の摩擦攪拌接合を行う接合方法であって、第一の本接合工程では、冷却部Ｋ３を架台Ｋの表面から突出させるとともに、冷却部Ｋ３を用いて金属部材１，１の他端側に対して一端側が高くなるように金属部材１，１を傾斜させた状態で摩擦攪拌を行い、第一の本接合工程終了後に金属部材１，１を裏返し、第二の本接合工程では、冷却部Ｋ３を架台Ｋの内部に退避させるとともに、冷却部Ｋ３で金属部材１，１を冷却しつつ摩擦攪拌を行うことを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
昇降可能に形成された冷却部を備えた架台を用いて一対の金属部材の摩擦攪拌接合を行う接合方法であって、
前記金属部材の一端側の端面同士を突き合わせて突合せ部を形成する準備工程と、
前記金属部材の表面側から前記突合せ部に摩擦攪拌を行う第一の本接合工程と、
前記金属部材の裏面側から前記突合せ部に摩擦攪拌を行う第二の本接合工程と、を含み、
前記第一の本接合工程では、前記冷却部を前記架台の表面から突出させるとともに、前記冷却部を用いて前記金属部材の他端側に対して一端側が高くなるように前記各金属部材を傾斜させた状態で摩擦攪拌を行い、
前記第一の本接合工程終了後に前記両金属部材を裏返し、
前記第二の本接合工程では、前記冷却部を前記架台の内部に退避させるとともに、前記冷却部で前記金属部材を冷却しつつ摩擦攪拌を行うことを特徴とする接合方法。
【請求項２】
前記第二の本接合工程の前に、前記第一の本接合工程の摩擦攪拌で発生したバリを除去することを特徴とする請求項１に記載の接合方法。
【請求項３】
前記第二の本接合工程では、前記冷却部と前記金属部材とを接触させた状態で摩擦攪拌を行うことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の接合方法。
【請求項４】
前記準備工程では、前記冷却部を前記架台の内部に退避させた状態で、前記冷却部の上方に前記突合せ部を位置させるとともに、前記冷却部を前記架台の表面から突出させることで前記各金属部材を傾斜させることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の接合方法。
【請求項５】
前記冷却部にはその内部に冷却流路が設けられており、前記第二の本接合工程では、前記冷却流路に冷却媒体を流して冷却することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の接合方法。
【請求項６】
前記冷却部は、銅製であることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の接合方法。
【請求項７】
前記架台は冷却板を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の接合方法。
【請求項８】
前記第二の本接合工程では、前記第一の本接合工程で形成された塑性化領域に回転ツールの攪拌ピンを入り込ませつつ摩擦攪拌を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の接合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、摩擦攪拌による金属部材同士の接合方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属部材同士を接合する方法として、摩擦攪拌接合（ＦＳＷ＝Friction Stir Welding）が知られている。摩擦攪拌接合とは、回転ツールを回転させつつ金属部材同士の突合せ部に沿って移動させ、回転ツールと金属部材との摩擦熱により突合せ部の金属を塑性流動させることで、金属部材同士を固相接合させるものである。
【０００３】
特許文献１には、金属部材同士の端部同士を突き合わせて形成された突合せ部に回転ツールを挿入して、金属部材同士の表面側及び裏面側から突合せ部を摩擦攪拌接合する発明が開示されている。摩擦攪拌接合を行うと、回転ツールの移動軌跡に塑性化領域が形成されるが、当該塑性化領域が熱収縮するため、接合後の金属部材同士が凹状となるように変形してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２９００９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
金属部材同士の表面側から摩擦攪拌を行った後に金属部材同士を裏返すと、金属部材同士が上方に凸状となるように反った状態となる。この状態で金属部材同士の裏面側から摩擦攪拌を行うと、回転ツールのショルダ部と金属部材との接触部分が大きくなるため回転ツールの操作性が低下するという問題がある。かかる問題を解消するために、例えば、特許文献１に示すように、接合後の金属部材をロール部材で挟持しつつ当該金属部材に対してロール部材を相対移動させて、凹状に変形した金属部材を平坦にすればよいが、当該矯正作業が煩雑になる。
【０００６】
また、金属部材同士の裏面側から突合せ部に摩擦攪拌を行った後も、金属部材同士の裏面側（摩擦攪拌を行った面側）が凹状となるように変形するため、再度矯正作業を行わなければならず、作業手間がかかるという問題がある。
【０００７】
このような観点から、本発明は、摩擦攪拌による金属部材同士の接合方法において、接合された金属部材を容易に平坦にすることができる接合方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような課題を解決するために本発明は、昇降可能に形成された冷却部を備えた架台を用いて一対の金属部材の摩擦攪拌接合を行う接合方法であって、前記金属部材の一端側の端面同士を突き合わせて突合せ部を形成する準備工程と、前記金属部材の表面側から前記突合せ部に摩擦攪拌を行う第一の本接合工程と、前記金属部材の裏面側から前記突合せ部に摩擦攪拌を行う第二の本接合工程と、を含み、前記第一の本接合工程では、前記冷却部を前記架台の表面から突出させるとともに、前記冷却部を用いて前記金属部材の他端側に対して一端側が高くなるように前記各金属部材を傾斜させた状態で摩擦攪拌を行い、前記第一の本接合工程終了後に前記両金属部材を裏返し、前記第二の本接合工程では、前記冷却部を前記架台の内部に退避させるとともに、前記冷却部で前記金属部材を冷却しつつ摩擦攪拌を行うことを特徴とする。
【０００９】
かかる接合方法によれば、第一の本接合工程を行う際に、金属部材を予め傾斜させておき、摩擦攪拌接合後の熱収縮を利用することで、接合された金属部材を平坦にすることができる。これにより、金属部材同士が平坦な状態で第二の本接合工程を行うことができる。また、冷却部を架台の表面から突出させることで金属部材を容易に傾斜させることができる。また、冷却部を架台の内部に退避させることで第二の本接合工程を容易に行うことができる。
【００１０】
また、前記第二の本接合工程の前に、前記第一の本接合工程の摩擦攪拌で発生したバリを除去することが好ましい。
【００１１】
かかる接合方法によれば、バリを切除することで、第二の本接合工程において、金属部材がガタつくことなく安定して摩擦攪拌を行うことができる。
【００１２】
また、前記第二の本接合工程では、前記冷却部と前記金属部材とを接触させた状態で摩擦攪拌を行うことが好ましい。
【００１３】
かかる接合方法によれば、金属部材の冷却効率を高めることができる。
【００１４】
また、前記準備工程では、前記冷却部を前記架台の内部に退避させた状態で、前記冷却部の上方に前記突合せ部を位置させるとともに、前記冷却部を前記架台の表面から突出させることで前記各金属部材を傾斜させることが好ましい。
【００１５】
かかる接合方法によれば、各金属部材を容易に傾斜させることができる。
【００１６】
また、前記冷却部にはその内部に冷却流路が設けられており、前記第二の本接合工程では、前記冷却流路に冷却媒体を流して冷却することが好ましい。
【００１７】
かかる接合方法によれば、冷却部に冷却流路を設けることで冷却作業を容易に行うことができる。
【００１８】
また、前記冷却部は、銅製であることが好ましい。また、前記架台は冷却板を備えていることが好ましい。かかる接合方法によれば、より冷却効率を高めることができる。
【００１９】
また、前記第二の本接合工程では、前記第一の本接合工程で形成された塑性化領域に回転ツールの攪拌ピンを入り込ませつつ摩擦攪拌を行うことが好ましい。
【００２０】
かかる接合方法によれば、第一の本接合工程において塑性化領域内に形成された接合欠陥を第二の本接合工程で再度摩擦攪拌することができるため、接合部の水密性及び気密性を高めることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係る接合方法よれば、接合された金属部材を容易に平坦にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第一実施形態に係る架台を示す断面図である。
【図２】第一実施形態に係る接合方法を示す断面図であって、（ａ）は載置工程を示し、（ｂ）は傾斜工程を示す。
【図３】第一実施形態に係る接合方法を示す断面図であって、（ａ）は第一の本接合工程を示し、（ｂ）はバリ切除工程を示す。
【図４】第一実施形態に係る接合方法を示す断面図であって、（ａ）は第二の本接合工程の接合前を示し、（ｂ）は第二の本接合工程の接合中を示す。
【図５】本発明の第二実施形態に接合方法を示す断面図であって、（ａ）は第一の本接合工程を示し、（ｂ）は第二の本接合工程を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
［第一実施形態］
本発明の第一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。まずは、本実施形態で用いる架台について説明する。
【００２４】
図１に示すように、第一実施形態に係る接合方法では、架台Ｋを用いる。架台Ｋは、基板Ｋ１と、クランプＫ２と、冷却部Ｋ３とで構成されている。架台Ｋは、金属部材１，１（図２参照）を移動不能に拘束するとともに、金属部材１，１を冷却することができる。
【００２５】
基板Ｋ１は、金属製であって、直方体を呈する。基板Ｋ１は、伝熱性の高い金属で形成されていることが好ましい。基板Ｋ１の内部には、金属製の管で構成された複数の冷却流路Ｋ１ａが配設されている。冷却流路Ｋ１ａは基板Ｋ１の表面近傍において、表面と平行に配設されている。冷却流路Ｋ１ａに冷却媒体（冷水又は冷気）が流通することにより、基板Ｋ１が「冷却板」として機能し、金属部材１，１を冷却することができる。
【００２６】
クランプＫ２は、基板Ｋ１の表面に複数個設けられている。クランプＫ２は、基板Ｋ１に金属部材１，１（図２参照）を移動不能に拘束する部材である。
【００２７】
冷却部Ｋ３は、基板Ｋ１の中央に形成された隙間Ｓに配設される部材である。冷却部Ｋ３は、本体部Ｋ３ａと、複数の冷却流路Ｋ３ｂとで構成されている。本体部Ｋ３ａは、直方体を呈し、基板Ｋ１の奥行方向に延設されている。本体部Ｋ３ａの側面Ｋ３ｃ，Ｋ３ｃと、基板Ｋ１の側壁Ｋ１ｂ，Ｋ１ｂとは非接触であってもよいが、本実施形態では面接触している。
【００２８】
本体部Ｋ３ａは、本体部Ｋ３ａの下方に設置された昇降部（図示省略）によって基板Ｋ１に対して上下に可動する。昇降部は、例えば、本体部Ｋ３ａを昇降させることができるシリンダーで構成されている。昇降部は、本体部Ｋ３ａと接触又は非接触を問わず、基板Ｋ１に対して本体部３Ｋａを昇降可能な装置を用いればよい。
【００２９】
冷却流路Ｋ３ｂは、金属製の管で構成されており、本体部Ｋ３ａの内部に複数本配設されている。冷却流路Ｋ３ｂは、本実施形態では３本形成されているが、配設本数を限定するものではない。冷却流路Ｋ１ａに冷却媒体が流通することにより、金属部材１，１（図２参照）を冷却することができる。本体部Ｋ３ａ及び冷却流路Ｋ３ｂは、熱効率の観点から金属製であることが好ましい。また、本体部Ｋ３ａ及び冷却流路Ｋ３ｂは、少なくともいずれか一方が銅製であることがより好ましい。
【００３０】
次に、第一実施形態に係る接合方法について説明する。図２の（ａ）に示すように、第一実施形態では、金属部材１，１の端部同士を突き合わせて形成された突合せ部Ｊを摩擦攪拌によって接合する。接合される金属部材１は、金属製の板状部材である。金属部材１，１は、同等の形状になっている。また、金属部材１，１は同等の材料で形成されている。金属部材１の材料は、摩擦攪拌可能な金属であれば特に制限されないが、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金、チタン、チタン合金、 マグネシウム、マグネシウム合金等から適宜選択すればよい。
【００３１】
第一実施形態に係る接合方法では、準備工程と、第一の本接合工程と、バリ切除工程と、第二の本接合工程とを行う。
【００３２】
準備工程は、突合せ部Ｊが高くなるように、金属部材１，１を架台Ｋに固定する工程である。準備工程では、載置工程と、傾斜工程とを行う。図２の（ａ）に示すように、載置工程は、架台Ｋに金属部材１，１を載置する工程である。載置工程では、金属部材１，１の端面１ａ，１ａを突き合わせて突合せ部Ｊを形成しつつ、冷却部Ｋ３の上に突合せ部Ｊを位置させる。
【００３３】
傾斜工程は、金属部材１，１を傾斜させる工程である。図２の（ｂ）に示すように、傾斜工程では、冷却部Ｋ３を基板Ｋ１の表面から突出させる。これにより、金属部材１，１の一端側が他端側に対して高くなるようにして傾斜する。また、金属部材１，１の他端側をクランプＫ２によって基板Ｋ１に移動不能に拘束する。つまり、突合せ部Ｊが最も高くなる状態で金属部材１，１が基板Ｋ１に固定される。
【００３４】
金属部材１，１が架台Ｋに固定されると、端面１ａ，１ａの下端は当接した状態となるが、端面１ａ，１ａの上端はわずかに離間した状態となる。本実施形態に係る「突合せ部」とは、端面１ａ，１ａが突き合わされており、端面１ａ，１ａ間で形成される空間断面がＶ字状を呈する状態も含むものである。
【００３５】
金属部材１，１の傾斜角度は、特に限定されないが、金属部材１，１の材質、各部位の寸法、後記する本接合工程の入熱量や接合後の熱収縮等を考慮して、第一の本接合工程後の熱収縮によって金属部材１，１が平坦になるような傾斜角度を適宜設定すればよい。
【００３６】
第一の本接合工程は、突合せ部Ｊに対して金属部材１，１の表面１ｂ，１ｂ側から摩擦攪拌接合を行う工程である。図３の（ａ）に示すように、第一の本接合工程は、本実施形態では回転ツールＧを用いる。回転ツールＧは、円柱状を呈するショルダ部Ｇ１と、ショルダ部Ｇ１の下端面から突出する攪拌ピンＧ２とで構成されている。攪拌ピンＧ２は、錐台形状を呈する。
【００３７】
図３の（ａ）に示すように、第一の本接合工程では、金属部材１，１の表面１ｂ，１ｂ側から突合せ部Ｊに対して回転した回転ツールＧの攪拌ピンＧ２を挿入する。そして、突合せ部Ｊに沿って回転ツールＧを相対移動させる。
【００３８】
本実施形態では、ショルダ部Ｇ１の下端面を、表面１ｂ，１ｂよりも数ミリ程度押し込んで摩擦攪拌を行う。回転する回転ツールＧによって端面１ａ，１ａの金属が摩擦攪拌されて金属部材１，１が接合される。回転ツールＧの移動軌跡には、塑性化領域Ｗ１が形成される。金属部材１，１に対する攪拌ピンＧ２の挿入深さは適宜設定すればよいが、攪拌ピンＧ２の先端を突合せ部Ｊの深さ方向の１／２以上の位置まで挿入することが好ましい。第一の本接合工程が終了したら、クランプＫ２を解除して金属部材１，１を放置する。
【００３９】
図３の（ｂ）に示すように、バリ切除工程は、第一の本接合工程で発生したバリＶを切除する工程である。バリ切除工程では、金属部材１，１の表面１ｂ，１ｂに発生したバリＶを切除して表面１ｂ，１ｂを平担にする。
【００４０】
第二の本接合工程は、基板Ｋ１及び冷却部Ｋ３に冷却媒体を流して金属部材１，１を冷却しつつ、突合せ部Ｊに対して金属部材１，１の裏面１ｃ，１ｃ側から摩擦攪拌接合を行う工程である。図４の（ａ）に示すように、第二の本接合工程では、まず、冷却部Ｋ３を架台Ｋの内部に退避させる。より詳しくは、冷却部Ｋ３の表面と基板Ｋ１の表面とが面一になるまで冷却部Ｋ３を下降させる。そして、金属部材１，１を裏返し、クランプＫ２を介して架台Ｋに金属部材１，１を移動不能に拘束する。金属部材１，１の表面１ｂ，１ｂは、基板Ｋ１の表面と面接触する。また、塑性化領域Ｗ１の表面は、冷却部Ｋ３の表面と面接触する。
【００４１】
図４の（ｂ）に示すように、第二の本接合工程では、金属部材１，１の裏面１ｃ，１ｃから突合せ部Ｊに対して回転した回転ツールＧの攪拌ピンＧ２を挿入する。そして、冷却流路Ｋ１ａ，Ｋ３ｂに冷却媒体を流して金属部材１，１を冷却しつつ、突合せ部Ｊに沿って回転ツールＧを相対移動させる。
【００４２】
本実施形態では、ショルダ部Ｇ１の下端面を、裏面１ｃ，１ｃよりも数ミリ程度押し込んで摩擦攪拌を行う。回転する回転ツールＧによって端面１ａ，１ａの金属が摩擦攪拌されて金属部材１，１が接合される。回転ツールＧの移動軌跡には、塑性化領域Ｗ２が形成される。金属部材１，１に対する攪拌ピンＧ２の挿入深さは適宜設定すればよいが、塑性化領域Ｗ１と塑性化領域Ｗ２とが接触する程度に挿入することが好ましい。より好ましくは、本実施形態のように攪拌ピンＧ２が塑性化領域Ｗ１に入り込む程度に挿入することが好ましい。以上の工程によって金属部材１，１が接合される。
【００４３】
以上説明した本実施形態に係る接合方法によれば、第一の本接合工程を行う際に、金属部材１，１同士を予め傾斜させておき、摩擦攪拌接合後の熱収縮を利用することで、第一の本接合工程後に接合された金属部材１，１を平坦にすることができる。これにより、金属部材１，１を裏返しても金属部材１，１が平坦となっているため、第二の本接合工程を好適に行うことができる。
【００４４】
また、第二の本接合工程を行う際に、冷却部Ｋ３で金属部材１，１を冷却しながら摩擦攪拌を行うため、第二の本接合工程後の熱収縮の発生を抑制することができる。特に、本実施形態では、基板Ｋ１の冷却流路Ｋ１ａにも冷却媒体を流通させることで、より冷却効率を高めることができる。これにより、第二の本接合工程後の金属部材１，１を容易に平坦にすることができる。
【００４５】
また、第一の本接合工程後にバリ切除工程を行うことで、基板Ｋ１（冷却板）及び冷却部Ｋ３と金属部材１，１との接触面積を大きくすることができるため冷却効率を高めることができる。また、第二の本接合工程の前にバリ切除工程を行うことで、第二の本接合工程において、金属部材１，１がガタつくことなく安定して摩擦攪拌を行うことができる。
【００４６】
また、第二の本接合工程において、本実施形態では、金属部材１，１の表面１ｂ，１ｂと冷却部Ｋ３とが面接触しているため、突合せ部Ｊの裏側が確実に支持される。つまり、冷却部Ｋ３が裏当て材としても機能するため摩擦攪拌を安定して行うことができる。また、突合せ部Ｊの延長方向に沿って冷却部Ｋ３を配設することにより、摩擦熱が発生する部分を集中的に冷却することができるため、冷却効率を高めることができる。
【００４７】
また、冷却部Ｋ３の側面Ｋ３ｃ（図１参照）と基板Ｋ１の側壁Ｋ１ｂとが面接触しているため、両者の熱伝達効率が向上する。これにより、基板Ｋ１と冷却部Ｋ３とによって金属部材１，１を相乗的に冷却できる。
【００４８】
また、本実施形態の接合方法のように、第二接合工程を行う際に、塑性化領域Ｗ１に攪拌ピンＧ２を入り込ませることにより、塑性化領域Ｗ１の先端側を再度攪拌することができる。これにより、塑性化領域Ｗ１に接合欠陥が発生した場合に、塑性化領域Ｗ１が再度摩擦攪拌されるため、当該接合欠陥を修復することができる。よって、接合部の水密性及び気密性を高めることができる。また、突合せ部Ｊの深さ方向全体が摩擦攪拌されるため、接合強度を高めることができる。
【００４９】
また、基板Ｋ１に対して冷却部Ｋ３を昇降可能に形成しているため、金属部材１，１の一端側を容易に傾斜させることができる。また、冷却部Ｋ３によって金属部材１，１の傾斜角度を容易に変更することができる。また、冷却部Ｋ３が、冷却機能と金属部材１，１を傾斜させる機能とを兼用しているため、第一の本接合工程及び第二の本接合工程を一の架台Ｋで行うことができる。これにより、接合方法で用いる装置点数を削減することができる。
【００５０】
また、冷却部Ｋ３は、冷却流路Ｋ３ｂを用いて冷却媒体を流通させる構成としているため、冷却媒体の管理が容易となる。これにより、冷却作業を容易に行うことができる。
【００５１】
なお、本実施形態では、冷却部Ｋ３の幅を塑性化領域Ｗ１の幅よりも小さく設定しているが、冷却部Ｋ３の幅を塑性化領域Ｗ１の幅以上に設定し、塑性化領域Ｗ１以外の金属部材１，１と冷却部Ｋ３とが接触するようにしてもよい。また、本実施形態の第二の本接合工程では、冷却部Ｋ３と金属部材１，１（塑性化領域Ｗ１）とを面接触させたが、冷却部Ｋ３によって金属部材１，１が冷却可能であれば両者が離間していてもよい。
【００５２】
また、本実施形態の準備工程では、載置工程と傾斜工程を行ったが、例えば、冷却部Ｋ３を上昇させた後に、金属部材１，１を冷却部Ｋ３に当接させて金属部材１，１を傾斜させてもよい。また、冷却部Ｋ３は、本実施形態では冷却流路Ｋ３ｂに冷却媒体を流通させることにより冷却しているが、金属部材１，１を冷却可能であれば他の形態であってもよい。また、基板Ｋ１内の冷却流路Ｋ１ａは省略してもよい。
【００５３】
［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態に係る接合方法について説明する。第二実施形態に係る接合方法では、図５に示すように、クランプＫ２を用いない点等で第一実施形態と相違する。第二実施形態では、第一実施形態と相違する部分を中心に説明する。
【００５４】
図５の（ａ）に示すように、架台Ｋは、基板Ｋ１と、冷却部Ｋ３とで構成されている。基板Ｋ１には、クランプＫ２（図１参照）が設けられていない。また、基板Ｋ１の内部には、冷却流路Ｋ１ａ（図１参照）が設けられていない。
【００５５】
第二実施形態に係る接合方法では、準備工程と、第一の本接合工程と、バリ切除工程と、第二の本接合工程とを行う。
【００５６】
準備工程では、第一実施形態と同様の手順で金属部材１，１を傾斜させる。第二実施形態では、金属部材１，１の他端側は基板Ｋ１の表面に当接させるだけであって、基板Ｋ１に固定しない。第一の本接合工程及びバリ切除工程は、第一実施形態と同様である。
【００５７】
第二の本接合工程では、挟持部材Ｌ，Ｌを用いて金属部材１，１を挟持する。挟持部材Ｌ，Ｌは、基板Ｋ１の表面に設置される。挟持部材Ｌ，Ｌのハンドルを回動させることにより、金属部材１，１が挟持されて基板Ｋ１に対して移動不能に拘束される。第二の本接合工程は、挟持部材Ｌ，Ｌを用いていることを除いては第一実施形態と同様である。
【００５８】
第二の本接合工程によっても、第一実施形態と略同等の効果を得ることができる。第二実施形態のように、第一の本接合工程においては金属部材１，１の他端側を基板Ｋ１に固定しない状態で摩擦攪拌を行ってもよい。なお、挟持部材Ｌ，Ｌを省略して金属部材１，１の他端側を基板Ｋ１に固定しない状態で第二の本接工程を行ってもよい。
【符号の説明】
【００５９】
１      金属部材
１ａ    端面
１ｂ    表面
１ｃ    裏面
Ｇ      回転ツール
Ｇ１    ショルダ部
Ｇ２    攪拌ピン
Ｊ      突合せ部
Ｋ      架台
Ｋ１    基板
Ｋ２    クランプ
Ｋ３    冷却部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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