(57)【要約】      （修正有）【課題】アニール処理によりプラスチックフィルムの収縮を小さくすることが可能なアニール装置を提供する。【解決手段】移動するプラスチックフィルム５２を加熱してアニール処理するアニール装置１００であって、プラスチックフィルム５２が通過する加熱室１０と、加熱室１０の内部を通過するプラスチックフィルム５２を加熱する複数のヒータ２０と、加熱室１０の出口１０ｂにおけるフィルム温度を測定する温度計３０ｂと、温度計３０ｂにより測定した温度に基づいてヒータ出力を調整する温度制御部４０とを備え、複数のヒータ２０は、プラスチックフィルム５２の移動方向に沿って配列され、隣接するヒータ２１、２２、２３同士の間隔ｂ１、ｂ２が、ヒータ２１、２２、２３の、プラスチックフィルム５２の移動方向と平行な長さｈ１、ｈ２、ｈ３の０．７〜２．８倍である、アニール装置１００。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動するプラスチックフィルムを加熱してアニール処理するアニール装置であって、
プラスチックフィルムが通過する加熱室と、該加熱室の内部を通過するプラスチックフィルムを加熱する複数のヒータと、前記加熱室の出口におけるフィルム温度を測定する温度計と、該温度計により測定した温度に基づいてヒータ出力を調整する温度制御部とを備え、
前記複数のヒータは、プラスチックフィルムの移動方向に沿って配列され、隣接するヒータ同士の間隔が、ヒータの、プラスチックフィルムの移動方向と平行な長さの０．７〜２．８倍である、アニール装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アニール装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
環境問題への関心の高まりに伴い、太陽光発電が急速に普及している。
太陽光発電では、発電素子である複数の太陽電池セルが電気的に接続された状態で一対のシート状の封止材（太陽電池用封止シート）に挟持され、その表面側に保護部材であるガラス基板と、その裏面側に保護部材であるバックシートと、が設けられた太陽電池モジュールが使用される。
前記太陽電池用封止シートには、太陽電池セル並びにガラス基板及びバックシートとの密着性、柔軟性、強度、透明性などが主に要求される。
かかる太陽電池用封止シートの製造方法としては、例えば、溶融樹脂をフィルム状に成形し、搬送されるプラスチックフィルムを、ヒータで加温してアニール処理を行い、冷却する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−８４９９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来、太陽電池用封止シートを製造する際、アニール処理によってプラスチックフィルムが収縮しやすかった。プラスチックフィルムの収縮が大きいと、太陽電池セルの位置ずれや、ガラス基板及びバックシートとの密着不良などを生じやすい、という問題がある。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、アニール処理によるプラスチックフィルムの収縮を小さくすること、を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、移動するプラスチックフィルムを加熱してアニール処理するアニール装置であって、プラスチックフィルムが通過する加熱室と、該加熱室の内部を通過するプラスチックフィルムを加熱する複数のヒータと、前記加熱室の出口におけるフィルム温度を測定する温度計と、該温度計により測定した温度に基づいてヒータ出力を調整する温度制御部とを備え、前記複数のヒータは、プラスチックフィルムの移動方向に沿って配列され、隣接するヒータ同士の間隔が、ヒータの、プラスチックフィルムの移動方向と平行な長さの０．７〜２．８倍であることを特徴とするアニール装置である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明のアニール装置によれば、アニール処理によるプラスチックフィルムの収縮を小さくできる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明のアニール装置の一実施形態を示す断面図である。
【図２】比較例１のアニール装置の実施形態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本発明のアニール装置は、移動するプラスチックフィルムを加熱してアニール処理するものである。
本発明のアニール装置がアニール処理対象とするプラスチックフィルムは、特に限定されず、好ましくは熱可塑性樹脂を主成分とする樹脂フィルムが挙げられる。この熱可塑性樹脂としては、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、ポリエチレンテレフタレート、エチレン−（メタ）アクリレート共重合体（ＥＭＭＡ）、エチレン−グリシジル−（メタ）アクリレート共重合体（ＧＭＡ）、エチレン−酢酸ビニル−（メタ）アクリレート共重合体、エチレン−αオレフィン共重合体等が挙げられる。
ここでいう「主成分」とは、樹脂フィルムを形成する樹脂組成物の固形分中の含有量が５０質量％以上の成分、好ましくは８０質量％以上の成分を意味し、固形分の１００質量％であってもよい。
「（メタ）アクリレート」とは、アクリレート及びメタクリレートの少なくとも一方を意味する。
本発明のアニール装置は、プラスチックフィルムのなかでも、特に、太陽電池用封止シートを構成する樹脂フィルムの前駆体（シート前駆体層）をアニール処理するのに有用である。以下、前記シート前駆体層を形成する樹脂組成物を「樹脂組成物（Ａ）」という。
【０００９】
樹脂組成物（Ａ）は、太陽電池モジュールに使用される通常の封止シートを形成できるものであればよく、公知の樹脂組成物が使用できる。例えば、太陽電池用封止シートを形成し得る樹脂、及び該樹脂を架橋硬化させる架橋剤を含有する組成物が挙げられる。
太陽電池用封止シートを形成し得る樹脂としては、ＥＶＡが好ましい。架橋剤としては、公知の有機過酸化物（パーオキシケタール類、ジアルキルパーオキサイド類、パーオキシエステル類等）、光増感剤等が挙げられる。また、樹脂組成物（Ａ）には、必要に応じて、架橋助剤、光安定剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、カップリング剤等の他の成分が配合されていてもよい。また、その他に、変色防止剤（脂肪酸金属塩等）、顔料、染料、充填材等が配合されてもよい。
【００１０】
架橋助剤としては、トリアリルイソシアヌレート、トリアリルシアヌレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート等が挙げられる。
光安定剤としては、ヒンダードアミン系光安定剤等が挙げられる。
紫外線吸収剤としては、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤、サリチル酸エステル系紫外線吸収剤等が挙げられる。
酸化防止剤としては、ヒンダードフェノール系酸化防止剤、ホスファイト系酸化防止剤等が挙げられる。
カップリング剤としては、シランカップリング剤が好ましく、例えば、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。
【００１１】
本発明のアニール装置の一例について、以下に図１を参照して説明する。
本実施形態のアニール装置１００は、積層体５０が通過する入口１０ａ及び出口１０ｂを有する箱状の加熱室１０と、積層体５０を加熱する３つのヒータ２１、２２、２３（２０）と、加熱室１０の入口１０ａにおけるフィルム温度を測定する温度計３０ａと、加熱室１０の出口１０ｂにおけるフィルム温度を測定する温度計３０ｂと、温度計３０ｂにより測定した温度に基づいてヒータ出力を調整する温度制御部４０と、から概略構成されている。
本実施形態においては、入口１０ａ及び出口１０ｂが、加熱室１０の対向する側面１０ｅ及び側面１０ｆの下部にそれぞれ設けられている。積層体５０は、工程紙５１とこの上に押出成形によって形成されたシート前駆体層（プラスチックフィルム５２）とからなる。この積層体５０は、加熱室１０の内部を、加熱室１０の底面１０ｄと略平行に、入口１０ａから出口１０ｂへ（図中の左矢印方向へ）と搬送され通過する。
３つのヒータ２１、２２、２３は、加熱室１０内の上面１０ｃに、積層体５０の移動方向に沿って配列され、プラスチックフィルム５２を加熱する。ヒータ２１、２２、２３としては、例えば、赤外線ヒータ、ハロゲンヒータ、電気ヒータ等が挙げられ、赤外線ヒータが好ましい。
温度制御部４０は、３つのヒータ２１、２２、２３と温度計３０ｂとにそれぞれ接続している。そして、出口１０ｂにおけるフィルム温度が連続的に測定され、３つのヒータ２１、２２、２３のヒータ出力が同時に調整されるようになっている。
【００１２】
工程紙５１は、表層に剥離剤層が形成された剥離紙である。工程紙５１としては、例えば、紙の表面に目止め剤によって目止め層を形成した後、該目止め層上に剥離剤によって剥離剤層を形成した剥離紙等が挙げられる。
工程紙５１に使用する紙としては、例えば、グラシン紙（厚さ２５〜１００μｍ、ＪＩＳ  Ｐ８１１３で規定されるＭＤ方向及びＴＤ方向のそれぞれの引張強度が共に１〜１０ｋＮ／ｍ２、ＪＩＳ  Ｐ８１１３で規定されるＭＤ方向及びＴＤ方向のそれぞれの伸びが共に０．５〜６．０％、ＪＩＳ  Ｐ８１１６で規定されるＭＤ方向及びＴＤ方向のそれぞれの引裂き強さが共に１００〜１０００ｍＮのもの）が挙げられる。
目止め剤としては、例えば、ポリアクリル酸エステル共重合体、でんぷん、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロース等が挙げられる。
剥離剤としては、例えば、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等が挙げられる。
【００１３】
（アニール処理の条件）
アニール処理の条件は、加熱室１０の大きさ、プラスチックフィルム５２の種類、プラスチックフィルム５２の厚さ等によって適宜決定される。
以下、プラスチックフィルム５２（シート前駆体層）として、ＥＶＡを主成分とする樹脂フィルムを適用し、アニール装置１００により、移動するプラスチックフィルム５２を加熱してアニール処理する際の好適な条件について説明する。
【００１４】
アニール装置１００において、隣接するヒータ同士の間隔ｂ１は、ヒータ２１、２２の、プラスチックフィルム５２の移動方向と平行な長さｈ１、ｈ２の０．７〜２．８倍［すなわち、０．７≦（ｂ１／ｈ１）≦２．８，０．７≦（ｂ１／ｈ２）≦２．８］であり、好ましくは０．９〜２．２倍である。隣接するヒータ同士の間隔ｂ２は、ヒータ２２、２３の、プラスチックフィルム５２の移動方向と平行な長さｈ２、ｈ３の０．７〜２．８倍［すなわち、０．７≦（ｂ２／ｈ２）≦２．８，０．７≦（ｂ２／ｈ３）≦２．８］であり、好ましくは０．９〜２．２倍である。
加熱室１０の、プラスチックフィルム５２の移動方向と平行な長さｔ１は、１８０〜３５０ｃｍが好ましく、より好ましくは２００〜２６０ｃｍである。
ヒータ２１、２２、２３の長さｈ１、ｈ２、ｈ３は、それぞれ２５〜３５ｃｍが好ましく、より好ましくは２７〜３２ｃｍである。長さｈ１、ｈ２、ｈ３は、相互に同一であっても異なっていてもよい。
隣接するヒータ同士の間隔ｂ１、ｂ２は、それぞれ２５〜７０ｃｍが好ましく、より好ましくは３０〜６０ｃｍである。間隔ｂ１、ｂ２は、相互に同一であっても異なっていてもよい。
ヒータ２１、２２、２３からプラスチックフィルム５２表面までの距離ｔ２は、８〜２０ｃｍが好ましく、より好ましくは１３〜１５ｃｍである。
【００１５】
プラスチックフィルム５２の厚さは、０．３〜０．８ｍｍが好ましく、より好ましくは０．４〜０．６ｍｍである。
プラスチックフィルム５２の移動速度は、３〜１５ｍ／分とすることが好ましく、より好ましくは５〜８ｍ／分である。
【００１６】
加熱室１０の出口１０ｂ付近のフィルム温度は、１００〜１２５℃に設定することが好ましく、より好ましくは１１５〜１２０℃である。
加熱室１０の入口１０ａ付近のフィルム温度は、８０〜１１０℃であることが好ましく、より好ましくは９０〜１０５℃である。
加熱室１０内におけるプラスチックフィルム５２の中央５２ｃ付近のフィルム温度は、１１０〜１２５℃であることが好ましく、より好ましくは１１５〜１２０℃である。
ヒータ２１、２２、２３のヒータ出力は、８〜２０ｋＷが好ましく、より好ましくは１４〜１７ｋＷである。
【００１７】
（作用効果）
本実施形態のアニール装置１００においては、３つのヒータ２１、２２、２３が、所定の間隔［すなわち、０．７≦（ｂ１／ｈ１）≦２．８，０．７≦（ｂ１／ｈ２）≦２．８，０．７≦（ｂ２／ｈ２）≦２．８，０．７≦（ｂ２／ｈ３）≦２．８］を空け、プラスチックフィルム５２の移動方向に沿って並んで設けられている。これに対し、従来のアニール装置では、アニール装置１００においてヒータ２１の入口１０ａ側の隣と、ヒータ２１とヒータ２２との間と、ヒータ２２とヒータ２３との間と、にさらにヒータが設置され、隣接するヒータ同士の間隔がヒータの長さの０．７倍未満であり、ヒータ同士が近接していた。
アニール装置１００によれば、従来のアニール装置に比べて、プラスチックフィルム５２の全体を、より均一に加熱できるため、アニール処理によるプラスチックフィルム５２の収縮を小さくできる。
【００１８】
（他の実施形態）
本発明のアニール装置は、上述の実施形態に限定されるものではない。
図１に示すアニール装置１００では、ヒータの数が３個であるが、隣接するヒータ同士の間隔を該ヒータの長さの０．７〜２．８倍とする限りにおいて、２個であってもよく、４個以上であってもよい。
また、アニール装置１００では、３つのヒータ２１、２２、２３が同一の温度制御部４０に接続しているが、３つのヒータ２１、２２、２３がそれぞれ異なる温度制御部に接続していてもよい。
また、アニール装置１００には、プラスチックフィルム５２の全体を、より均一に加熱するため、各ヒータ２１、２２、２３の、プラスチックフィルム５２の移動方向と直交する方向の両端側に、補助ヒータを設けてもよい。
【実施例】
【００１９】
以下、実施例によって本発明を詳細に説明するが、本発明は以下の記載によっては限定されない。
本実施例に使用した原料は以下のとおりである。
工程紙５１：品名「Ｍ−Ｌｉｎｅｒ」、グラシン紙、目付量５０ｇ、シリコーンコートタイプ、引張り強度８ｋＮ／ｍ２、引裂き強さ３５０ｍＮ；Ｍｏｎｄｉ社製。
樹脂組成物（Ａ）：エチレン−酢酸ビニル共重合体；商品名「ＣｏｓｍｏｔｈｅｎｅＭＡ−１０」、ＴＰＣ社製。
【００２０】
（実施例１）
一定方向に走行する工程紙５１の表層に形成された剥離剤層上に、樹脂組成物（Ａ）をシート状に押出成形し、工程紙５１とこの上に形成されたプラスチックフィルム５２（シート前駆体層）との積層体５０を得た。かかる押出成形の際、ヒータによる予熱温度を８０℃、ダイから押し出す樹脂組成物（Ａ）の温度を１００℃に設定した。
次いで、図１に例示したものと同一の実施形態のアニール装置１００を使用し、アニール処理の条件を以下のように設定し、加熱室１０の内部を移動する積層体５０を加熱してアニール処理を行った。
【００２１】
・ヒータ２１、２２、２３の種類：赤外線ヒータ
・ヒータ２１、２２、２３の長さｈ１，ｈ２，ｈ３：いずれも２９ｃｍ
・隣接するヒータ同士の間隔ｂ１、ｂ２：いずれも４５．５ｃｍ、ヒータの長さｈ１、ｈ２、ｈ３の１．５７倍
・加熱室の長さｔ１：２２８ｃｍ
・ヒータ２１、２２、２３からシート前駆体層表面までの距離ｔ２：１５ｃｍ
・積層体５０の移動速度：８ｍ／分
・加熱室１０の入口１０ａ付近のフィルム温度：９０℃
・加熱室１０の出口１０ｂ付近のフィルム設定温度：１１５℃
・加熱室１０内におけるシート前駆体層の中央５２ｃ付近のフィルム温度：１１８℃ 
中央５２ｃ付近のフィルム温度の測定は、放射温度計を用いて行った。
・シート前駆体層の厚さ：０．４ｍｍ
・ヒータ２１、２２、２３の出力：１６．１ｋＷ（ヒータ電源のＯＮ・ＯＦＦ操作により適宜調整）
【００２２】
次いで、工程紙５１上に形成したシート前駆体層の表面に、エンボスロールを押圧することで、該エンボスロールの外周面に形成されたエンボスをシート前駆体層の表面に転写した。
次いで、冷却ファンによってシート前駆体層を冷却し、工程紙５１とこの上に形成された太陽電池用封止シートとの積層体を得た。
次いで、該積層体から工程紙５１を剥離しつつ巻き取ることにより、太陽電池用封止シートのロール体を得た。
【００２３】
（実施例２）
シート前駆体層の厚さを０．６ｍｍとした他は、実施例１と同様にして太陽電池用封止シートのロール体を得た。加熱室１０内におけるシート前駆体層の中央５２ｃ付近のフィルム温度は１２０℃であった。
【００２４】
（実施例３）
アニール処理の条件を以下のように設定した他は、実施例１と同様にして太陽電池用封止シートのロール体を得た。
・ヒータ２１、２２、２３の種類：赤外線ヒータ
・ヒータ２１、２２、２３の長さｈ１，ｈ２，ｈ３：いずれも３５ｃｍ
・隣接するヒータ同士の間隔ｂ１、ｂ２：いずれも２５ｃｍ、ヒータの長さｈ１、ｈ２、ｈ３の０．７１倍
・加熱室の長さｔ１：２２８ｃｍ
・ヒータ２１、２２、２３からシート前駆体層表面までの距離ｔ２：１５ｃｍ
・積層体５０の移動速度：８ｍ／分
・加熱室１０の入口１０ａ付近のフィルム温度：９０℃
・加熱室１０の出口１０ｂ付近のフィルム設定温度：１１５℃
・加熱室１０内におけるシート前駆体層の中央５２ｃ付近のフィルム温度：１１７℃
中央５２ｃ付近のフィルム温度の測定は、放射温度計を用いて行った。
・シート前駆体層の厚さ：０．４ｍｍ
・ヒータ２１、２２、２３の出力：１６．１ｋＷ（ヒータ電源のＯＮ・ＯＦＦ操作により適宜調整）
【００２５】
（実施例４）
シート前駆体層の厚さを０．６ｍｍとした他は、実施例３と同様にして太陽電池用封止シートのロール体を得た。加熱室１０内におけるシート前駆体層の中央５２ｃ付近のフィルム温度は１１９℃であった。
【００２６】
（実施例５）
アニール処理の条件を以下のように設定した他は、実施例１と同様にして太陽電池用封止シートのロール体を得た。
・ヒータ２１、２２、２３の種類：赤外線ヒータ
・ヒータ２１、２２、２３の長さｈ１，ｈ２，ｈ３：いずれも２５ｃｍ
・隣接するヒータ同士の間隔ｂ１、ｂ２：いずれも７０ｃｍ、ヒータの長さｈ１、ｈ２、ｈ３の２．８０倍
・加熱室の長さｔ１：２２８ｃｍ
・ヒータ２１、２２、２３からシート前駆体層表面までの距離ｔ２：１５ｃｍ
・積層体５０の移動速度：８ｍ／分
・加熱室１０の入口１０ａ付近のフィルム温度：９０℃
・加熱室１０の出口１０ｂ付近のフィルム設定温度：１１５℃
・加熱室１０内におけるシート前駆体層の中央５２ｃ付近のフィルム温度：１２０℃
中央５２ｃ付近のフィルム温度の測定は、放射温度計を用いて行った。
・シート前駆体層の厚さ：０．４ｍｍ
・ヒータ２１、２２、２３の出力：１６．１ｋＷ（ヒータ電源のＯＮ・ＯＦＦ操作により適宜調整）
【００２７】
（実施例６）
シート前駆体層の厚さを０．６ｍｍとした他は、実施例５と同様にして太陽電池用封止シートのロール体を得た。加熱室１０内におけるシート前駆体層の中央５２ｃ付近のフィルム温度は１２２℃であった。
【００２８】
（比較例１）
アニール装置を、図２に示す実施形態のアニール装置２００に変更した以外は、実施例１と同様にして太陽電池用封止シートのロール体を得た。
アニール装置２００は、ヒータの配列、及び、温度制御部とヒータとの接続仕様の他は、図１に示すアニール装置１００と同じ形態である。具体的には、アニール装置２００では、アニール装置１００においてヒータ２１の入口１０ａ側の隣と、ヒータ２１とヒータ２２との間と、ヒータ２２とヒータ２３との間と、にさらにヒータが設置され、合計で６つのヒータ２４〜２９が設けられている。また、温度制御部４０が、６つのヒータ２４〜２９と温度計３０ｂとにそれぞれ接続している。そして、出口１０ｂにおけるフィルム温度が連続的に測定され、６つのヒータ２４〜２９の出力が同時に調整されるようになっている。
アニール処理の条件は、以下の通りである。
【００２９】
・ヒータ２４〜２９の種類：赤外線ヒータ
・ヒータ２４〜２９の長さｈ４〜ｈ９：いずれも２９ｃｍ
・隣接するヒータ同士の間隔：いずれも８．１ｃｍ、ヒータの長さｈ１、ｈ２、ｈ３の０．２８倍
・加熱室の長さｔ１：２２８ｃｍ
・ヒータ２４〜２９からシート前駆体層表面までの距離ｔ２：１５ｃｍ
・積層体５０の移動速度：８ｍ／分
・加熱室１０の入口１０ａ付近のフィルム温度：９０℃
・加熱室１０の出口１０ｂ付近のフィルム設定温度：１１５℃
・加熱室１０内におけるシート前駆体層の中央５２ｃ付近のフィルム温度：１１３℃
中央５２ｃ付近のフィルム温度の測定は、放射温度計を用いて行った。
・シート前駆体層の厚さ：０．４ｍｍ
・ヒータ２４〜２９の出力：１６．１ｋＷ（ヒータ電源のＯＮ・ＯＦＦ操作により適宜調整）
【００３０】
（比較例２）
シート前駆体層の厚さを０．６ｍｍとした他は、比較例１と同様にして太陽電池用封止シートのロール体を得た。加熱室１０内におけるシート前駆体層の中央５２ｃ付近のフィルム温度は１１３℃であった。
【００３１】
＜評価＞
実施例及び比較例で得られた各太陽電池用封止シートについて、加熱収縮率を測定し、アニール処理による収縮性を評価した。その評価結果を表１に示す。
【００３２】
［加熱収縮率］
実施例及び比較例で得られた太陽電池用封止シートの同じ位置から、それぞれ１４ｃｍ四方の試験片を３つ切り出した。これらの３つの試験片のそれぞれに、巻き取り方向に沿って長さ１０ｃｍの印（直線）を入れ、８０℃の温水で１分間加熱した。そして、加熱後の印の長さを測定し、下式より加熱収縮率（％）を求めた。
加熱収縮率＝（加熱前の印の寸法−加熱後の印の寸法）／加熱前の印の寸法×１００
この加熱収縮率を指標とし、シート前駆体層の厚さが０．４ｍｍの例については、加熱収縮率が１０％以下であった場合を合格とし、シート前駆体層の厚さが０．６ｍｍの例については、加熱収縮率が５％以下であった場合を合格とした。
【００３３】
【表１】
2015182455.tif 000003
【００３４】
表１に示す評価結果から、本発明を適用した実施例１、３、５で得られた太陽電池用封止シートは、本発明の範囲外である比較例１で得られた太陽電池用封止シートに比べて、アニール処理によるプラスチックフィルムの収縮が小さいことが確認できる。同様に、実施例２、４、６で得られた太陽電池用封止シートは、比較例２で得られた太陽電池用封止シートに比べて、アニール処理によるプラスチックフィルムの収縮が小さいことが確認できる。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明のアニール装置は、プラスチックフィルムを加熱してアニール処理するのに有用である。特に、太陽電池用封止シートの製造用として好適に利用できる。
【符号の説明】
【００３６】
１０  加熱室、
２０  ヒータ、
２１  ヒータ、
２２  ヒータ、
２３  ヒータ、
３０ａ  温度計、
３０ｂ  温度計、
４０  温度制御部、
１００  アニール装置。
【図１】
2015182455.tif 000004
【図２】
2015182455.tif 000005