(57)【要約】      （修正有）【課題】移動可能な載物台の衝撃が最小化される大きい設置面積を有する防振システムを提供する。【解決手段】複数の剛性部に分かれている支持台を備える。剛性部間の交差領域は、それら剛性部よりも低い剛性を有する。支持台上には、少なくとも剛性部の拡張方向に沿って移動可能な載物台が配置される。上記剛性部は空気軸受に配置される。個々の剛性部の空気軸受は互いから独立して、かつ移動可能な載物台の位置に基づき制御される。【選択図】図２
2015055356.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも鉛直方向に有効な空気軸受（４）に取り付けられる複数の剛性部（２ａ、２ｂ、２ｃ）に分けられる、防振的に取付けされる支持台（２）であって、該支持台（２）は移動可能な載物台（３）を支持する役目を果たす、支持台（２）と、
前記支持台（２）の複数の点において前記支持台（２）の高さを検出するセンサーと、
を備える防振システム（１）であって、
前記空気軸受（４）は前記支持台（２）の高さを検出する前記センサーからの信号に基づいて、かつ同時に、前記移動可能な載物台（３）の位置に基づいて制御可能である、防振システム。
【請求項２】
前記剛性部（２ａ、２ｂ、２ｃ）は互いに連結される、請求項１に記載の防振システム。
【請求項３】
前記剛性部（２ａ、２ｂ、２ｃ）の前記空気軸受（４）は、隣接する剛性部の前記空気軸受から独立して制御可能である、請求項１又は２に記載の防振システム。
【請求項４】
各前記剛性部（２ａ、２ｂ、２ｃ）は、前記高さを検出する少なくとも１つのセンサーを備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載の防振システム。
【請求項５】
磁気アクチュエーターが前記空気軸受（４）に配置される、請求項１〜４のいずれか１項に記載の防振システム。
【請求項６】
前記防振システムは、学習段階中にデータの集合を記憶する手段を備え、前記データの集合は、前記移動可能な載物台（３）の１回の通過中の前記支持台の複数の支持点（６）における高さの変化を表す、請求項１〜５のいずれか１項に記載の防振システム。
【請求項７】
前記支持台（２）は、少なくとも３つの剛性部（２ａ、２ｂ、２ｃ）に分けられる、請求項１〜６のいずれか１項に記載の防振システム。
【請求項８】
前記剛性部のそれぞれは、少なくとも４つの空気軸受（４）に防振的に取付けされ、或る剛性部の前記軸受は他の剛性部の前記軸受から独立して制御される、請求項７に記載の防振システム。
【請求項９】
防振システム（１）、特に請求項１〜８のいずれか１項に記載の防振システムを制御する方法であって、該防振システム（１）は防振的に取付けされる支持台（２）上に配置される移動可能な載物台（３）を備え、前記支持台（２）は複数の剛性部（２ａ、２ｂ、２ｃ）に分けられ、該方法は、
複数のセンサーを用いて前記支持台（２）の種々の点における前記高さを検出することと、
前記移動可能な載物台（３）の位置に基づいて、前記支持台（２）の前記剛性部（２ａ、２ｂ、２ｃ）を支持する空気軸受（４）を制御することと、
を含む、方法。
【請求項１０】
前記支持台（２）を複数の支持点（６）に分けることと、
学習段階において、前記支持台上を前記載物台が移動する間の前記複数の支持点（６）の高さの変化を表すデータの集合を生成することと、
その後、前記データの集合を考慮に入れながら前記空気軸受（４）を制御することと、を含む、請求項９に記載の防振システムを制御する方法。
【請求項１１】
前記データの集合は計算された補償信号を含み、該補償信号は、前記載物台と前記近接する空気軸受との位置の関数であり、高さ制御信号に付加される、請求項１０に記載の防振システムを制御する方法。
【請求項１２】
前記空気軸受（４）を制御する信号を計算するように、前記支持台（２）を複数の支持点に分けることと、
前記載物台（３）がどの方向に移動される場合でも、前記載物台の質量中心に最も近い前記空気軸受を制御することと、
を含む、請求項９〜１１のいずれか１項に記載の防振システムを制御する方法。
【請求項１３】
前記支持点（６）の少なくとも一部は前記センサー間に位置し、これらの支持点（６）における前記支持台（２）の前記高さは、近接するセンサーの場所における前記支持台の前記高さの補間によって求められる、請求項９〜１２のいずれか１項に記載の防振システムを制御する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、防振システム、特に半導体デバイスを製造する機械の防振的な据付けに用いる防振システムに関する。本防振システムは、支持台上で移動可能である載物台を備える。本発明は更に、防振システムを制御する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術の防振システムは、特に空気圧式防振装置に基づいており、いわゆる載物台フィードフォワード制御を含むことがある。防振装置は空気軸受の他に位置センサー又は加速度センサーを備える。位置センサーは特に、各防振装置の場所における防振用積載負荷（anti-vibration mounted load）の高さを検出するのに用いられる。
【０００３】
載物台フィードフォワード制御において、移動可能な載物台の加速度情報及び位置情報が防振システムのコントローラーに伝達される。次に、コントローラーはフィードフォワード制御に基づいて、防振システムの力アクチュエーターに対して制御信号を計算して出力する。フィードフォワード制御によると、変位可能な質量(mass)によって引き起こされる力は６つの自由度が想定されて補償力が提供される。そのような制御システムは、防振システムの実際の（フィードバック及び位置）制御とは独立して、及びそれに加えて用いることができる。発生する力は、移動可能な載物台の重量、加速度、及び移動に応じて変化し、ひいては必要となる補償力を決定する。補償力は通常、磁気アクチュエーターによって提供される。
【０００４】
多くの用途（例えば、フラットパネルの製造に関するシステムの取扱いにおける）にとって、必要とされる補償力は大きくなっており、そのため従来のローレンツモーター（永久磁石及び可動コイルシステム）の使用はもはや経済的に実現可能でない。したがって、別様に力を提供する動向がある。
【０００５】
特許文献１（Integrated Dynamics Engineering社）は、空気圧式サブシステムの弁、すなわち空気軸受の弁を用いる改良されたアクティブ防振システムを開示している。このシステムは鉛直方向の補償力を提供する。弁は別様には、システム全体を特定の鉛直動作点に移動させるようにのみ設けられる。しかし、適切な制御によって、圧力の変化を通じて十分に大きい範囲の入力される力を提供することさえも可能になる。それにより、鉛直方向の補償力を空気圧式サブシステムによって実質的に提供することができる。
【０００６】
特に、荷重移動に際してかなり長い時間維持されるべき静的耐力を得るための、ローレンツモーターへの連続的な電流供給はここではもはや必要ない。その代わり、これらの力は防振装置における圧力の増大によって生じる。
【０００７】
必要な水平方向の補償力を提供するために、水平方向において力の衝撃が生じるとき、基礎（ground）に対する機械的な短絡をもたらすことが可能である。これは、例えば、防振装置内の非ニュートン流体、又は磁気粘性流体若しくは電気粘性流体を用いる。これにより、かなり大型の機械でさえも基礎の振動から切り離すとともに、支持される質量の移動可能な部分によって引き起こされる力の衝撃を最小化し、一時的な影響を最小化することが可能になる。
【０００８】
フラットパネルディスプレイ等の製造される装置のサイズが大きくなることにより、必要とされる床面積、すなわち防振されるフットプリント（footprint：設置場所）も大きくなる。
【０００９】
上記の製造プロセスにおける継続的な要求は、特殊な工具のもとでワークピースの任意の部分を配置することが可能であるように、移動可能な載物台によって全面にわたってパネルが移動するのを可能にすることである。したがって、移動可能な載物台の必要とされる移動距離が増大し、ひいては移動距離にわたる支持面も増大する。
【００１０】
そのため、移動可能な載物台に対して、変形しない十分に大きく均一な支持台を提供することはもはや不可能に近い。
【００１１】
その代わり、支持台を、互いに、単に緩く（moderately）連結される複数のセクションに分けることが必要である。
【００１２】
この場合、通常の３つ又は４つの防振装置よりも多くの防振装置を用いることが必要となる。これは用いられるそれらの質量のみに起因しない。その代わり、３つ又は４つの防振装置を各セクションに用いてもよい。
【００１３】
大きい質量に起因して適度に多い数の防振装置が設けられる場合、防振装置はともに連結されて群を形成する。これらの群には制御ループからの制御信号が提供される。例えば、支持台の４つの角のそれぞれに１つずつ、４つの群を設けてもよく、各群は複数の防振装置を含み、一群の防振装置は同じ様式で駆動される。
【００１４】
載物台フィードフォワードシステムが用いられる場合、移動可能な載物台の位置信号及び加速度信号を用いて弁に対する制御信号を生成する。制御信号は通常、いわゆる空気軸に供給され、防振装置の群の論理的な組合せを結び付け、物理的な自由度を表す（Ｘ回転、Ｙ回転、及びＺ並進）。しかし、原理においては個別の群の防振装置又は個別の防振装置に対して制御信号を生成することも可能である。
【００１５】
防振装置のそれぞれは、空気軸受の弁と、鉛直方向に対する少なくとも１つの距離センサーとを有する。アクチュエーターの群を結び付けるために、電線が弁の各群に取り付けられ、同じ制御信号によって制御されてもよい。
【００１６】
しかし、距離センサーによって構造部の偏りを検出することは可能でない。また、防振装置がアクチュエーターとしてセクション間にわたってまとめて連結されているとき、偏りは相殺することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】欧州特許出願公開第２２９５８２９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
本発明は、移動可能な載物台の衝撃が最小化される大きい設置面積を有する防振システムを提供する目的に基づいている。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の目的は、独立請求項のいずれかに記載の防振システム及び防振システムを制御する方法によって既に達成されている。
【００２０】
本発明の好ましい実施形態及び変更形態は、従属請求項の主題において規定される。
【００２１】
本発明は防振システムに関し、本システムは、特に、半導体デバイスを製造する機械を防振により収容する（accommodating）ように提供される。特に、本発明は、ディスプレイパネルの製造において用いられる防振システムに関する。
【００２２】
防振システムは、複数の剛性部に分けられる、防振的に取付けされる支持台を備え、剛性部は少なくとも鉛直方向に有効な空気軸受に取り付けられる。
【００２３】
支持台は移動可能な載物台を支持する役目を果たし、移動可能な載物台上で、例えばディスプレイパネルが支持台上を移動される。
【００２４】
このように、支持台は複数の剛性部に分けられる。剛性部間の交差領域は、それら剛性部よりも低い剛性を有する。つまり、それら剛性部は相互連結される場合がある。特に、例えば、花崗岩又は複合材料製の複数のプレートからなる支持台が考えられる。これらのプレートが、例えば螺合されることによって連結される場合、連結部の剛性はより低くなる。したがって、本発明に関して、複数の剛性部からなる支持台は、特に、相互連結されるいくつかのプレートからなる支持台であってもよい。
【００２５】
移動可能な載物台は、少なくとも剛性部の拡張方向に沿って移動可能である。
【００２６】
空気軸受は防振装置の構成部品を構成することが好ましい。この防振装置は、空気軸受に加えて少なくとも１つの位置及び／又は加速度検出用センサーを備える。任意選択的に、防振装置は、アクティブ防振に用いる電気的に制御可能な磁気アクチュエーター（例えばローレンツモーター）を更に備える。この磁気アクチュエーターは、特に、水平方向のアクティブ防振の役目を果たしてもよい。したがって、本発明による水平方向におけるアクティブ防振に加えて、特に、アクチュエーターによって更なる空間的方向にアクティブ防振を提供することが考えられる。
【００２７】
防振システムは、支持台の複数の場所において支持台の高さを検出するセンサーを更に備える。これらのセンサーは防振装置に組み込まれることが好ましく、防振装置のそれぞれは空気軸受を更に備える。
【００２８】
さらに、空気軸受は、支持台の高さを検出するセンサーからの信号に基づいて、かつ同時に、移動可能な載物台の位置に基づいて制御可能である。「制御」とは、制御信号を空気軸受に供給し、それにより空気圧式構成部品内の圧力が変化し、ひいては支持力が変化することを意味する。
【００２９】
したがって、空気軸受のフィードフォワード制御は、センサーからの信号だけでなく、移動可能な載物台の位置も考慮に入れる。
【００３０】
また、載物台は支持台の強固に連結されていない複数の剛性部にわたって移動することが考慮に入れられる。
【００３１】
特に、或る剛性部の空気軸受は、隣接する剛性部の空気軸受から独立して制御可能である。
【００３２】
したがって、本発明によると、支持台は一様な剛性プレートとはみなされず、支持台の剛性部は個別に制御される。
【００３３】
少なくとも防振装置又は空気軸受の群が存在し、これらの群は他の全ての剛性部の制御信号から独立している制御信号によって制御される。
【００３４】
本発明の１つの実施形態において、支持台は少なくとも３つの剛性部に分けられる。
【００３５】
さらに、剛性部のそれぞれは少なくとも４つの空気軸受に防振的に取付けされる。４つの空気軸受は通常、それぞれの剛性部の周縁部に配置される。
【００３６】
各剛性部の軸受は他の剛性部の軸受から独立して制御される。
【００３７】
各剛性部は、高さを検出する少なくとも１つのセンサーを有することが好ましい。
【００３８】
特に防振装置の一部である各軸受は、自身と連動する１つのセンサーを有することがより好ましい。
【００３９】
本発明の１つの実施形態において、該防振システムは、学習段階中にデータの集合を記憶する手段を備え、前記データの集合は、前記移動可能な載物台の１回の通過中、前記支持台の複数の支持点の高さの変化を表す。この誤差信号は、支持点におけるパラメーターを調整するのに用いられる。次に、これらのパラメーターは、動作中、空気軸受を制御する補償信号を計算するのに用いられる。
【００４０】
したがって、支持台は複数の支持点に分けられ、いわゆる学習パス中に誤差信号が生成され、支持点における移動可能な載物台の影響を表すデータの集合として記憶される。
【００４１】
次に、学習段階中、誤差信号を用いて、誤差信号が最小化されるように支持点におけるパラメーターを調整する。通常動作中、支持点のパラメーターは、次に補償信号を生成するのに用いられる。
【００４２】
次に、この補償信号は、防振システムの動作中、従来のアクティブ制御に付加してもよい。
【００４３】
本発明は更に、防振システムを制御する方法に関する。この防振システムは、防振的に取り付けされ、複数の剛性部に分けられる支持台上に配置される移動可能な載物台を備え、支持台の高さは複数のセンサーを用いて種々の点において求められる。
【００４４】
支持台の剛性部は空気軸受によって支持され、空気軸受は移動可能な載物台の位置に基づいて制御される。
【００４５】
本発明の好ましい一実施形態において、支持台は複数の支持点に分けられ、学習段階中、データの集合が生成され、データの集合は、支持台上での載物台の移動中、複数の支持点の高さの変化を表し、空気軸受はこのデータの集合を考慮に入れて制御される。この目的で、補償信号が生成されることが好ましい。
【００４６】
載物台のどの方向の移動中でも、最も近い空気軸受が載物台の位置に基づいて制御される。
【００４７】
そうして、補償信号は通常の高さ制御信号に付加される。補償信号は、載物台の位置と支持点についての記憶されるパラメーターとに依存することが好ましい。補償信号は支持点に近接する空気軸受を制御するのに用いられる。
【００４８】
鉛直方向の防振は単に空気軸受を用いて達成されることが好ましい。
【００４９】
本発明の１つの実施形態において、前記支持点の少なくとも一部は前記センサー間に位置し、これらの支持点における前記支持台の高さは、近接するセンサーの場所における前記支持台の高さの補間によって求められる。
【００５０】
これより本発明を、概略的に示されている例示的な一実施形態によって、図１〜図８の図面を参照しながらより詳細に記載する。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】防振システムの概略上面図である。
【図２】防振システム１の象徴的な概略側面図である。
【図３】支持台２が剛性部２ａ、２ｂ、２ｃに分かれているのを示す別の図である。
【図４】図３に示されている剛性部２ａ、２ｂ、２ｃと連動する、符号の付された空気軸受及び防振装置を示す図である。
【図５】移動可能な載物台の種々の位置に関する個々の防振装置のセンサーの信号を示す図である。
【図６】支持点６の例示的な配置を示す図である。
【図７】載物台の種々の位置における出力信号を示す図である。
【図８】本発明の方法を詳細に説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００５２】
図１は防振システムの概略上面図である。
【００５３】
防振システム１は支持台２を備え、支持台２上には移動可能な載物台３が配置される。
【００５４】
載物台３を用いて、例えば、ディスプレイパネルの基板を支持する。
【００５５】
載物台３は、処理されるべき構成部品を種々のステーションへ搬送するために、支持台２上で少なくともＹ方向に移動可能である。
【００５６】
例示的な本実施形態では、移動可能な載物台３はＸ方向にも移動することができる。移動可能な載物台３はコントローラーに接続される出力ポートを備え、コントローラーによって載物台３の位置が移動される（図示せず）。コントローラーは防振システムの一部である。
【００５７】
図２はそのような防振システム１の象徴的な概略側面図である。
【００５８】
支持台は３つの剛性部２ａ、２ｂ、２ｃに分かれていることを見て取ることができる。
【００５９】
剛性部２ａ、２ｂ、２ｃは空気軸受４−１、４−４、４−１２に防振的に取付けされる。
【００６０】
本発明の理解を容易にするために、二次元の図のみを示す。
【００６１】
図３は、支持台２が剛性部２ａ、２ｂ、２ｃに分かれているのを示す別の図である。
【００６２】
図４は、図３に示されている剛性部２ａ、２ｂ、２ｃと連動する、符号の付された空気軸受及び防振装置を示す。
【００６３】
剛性部２ａは軸受１〜４上に、剛性部２ｂは軸受５〜８上に、剛性部２ｃは軸受９〜１２上に置かれている。
【００６４】
ここで支持台２が、従来の様式であるプレートとみなされる場合、通常、防振装置２、３及び６、防振装置７、１０及び１１、防振装置１、４及び５、並びに防振装置８、９及び１２は、防振装置のそれぞれの群となって結び付けられ、同じ制御信号によって動作する。
【００６５】
載物台３が移動されると、限りあるスチフネスに起因して、剛性部２ａ、２ｂ、２ｃのそれぞれは、図２に示されているように、システム全体の総質量中心の回りにだけでなく、それぞれの自身の枢動点５ａ、５ｂ、５ｃの回りに動くことを予期することができる。
【００６６】
図５は、移動可能な載物台の種々の位置に関する個々の防振装置のセンサーの信号を示す。
【００６７】
上段のグラフは図４における位置１〜４にあるセンサーからの信号を示す。中段のグラフは図４におけるセンサー５〜８からの信号を示す。下段のグラフは図４におけるセンサー９〜１２からの信号を示す。
【００６８】
各場合において、４つのセンサーからの信号が与えられ、この概略的な図において、個々のグラフが正確にはどのセンサーから得られたかは本発明の理解にとって重要でないことが理解される。
【００６９】
各場合における位置の偏差はマイクロメートル単位でｙ軸上にプロットされ、時間はｘ軸上にプロットされる。
【００７０】
関連する載物台の位置は矢印で示されている。
【００７１】
個々の剛性部における位置の偏差は載物台の位置に依存することを見て取ることができる。
【００７２】
図６は支持点６の例示的な配置を示している。
【００７３】
図６における防振装置の構成は図３の構成に対応する。空気軸受４−１〜４−１２を見て取ることができ、空気軸受４−１〜４−１２の位置は図４における符号に対応する。
【００７４】
ここで、支持点６はもはや軸受の場所になく、支持台にわたって分布している。空気軸受はセンサーの場所にある。センサーはまた、軸受から離間して配置されてもよいことが理解される。
【００７５】
支持点６は、ここでは仮想的なものとみなされるべきであるとともに軸受及びセンサーの間に位置し、信号をフィルタリングするのに用いられる。
【００７６】
アクチュエーターが載物台フィードフォワード制御に用いられる場合、空気圧式（高さ）制御におけるような群は有用ではない。
【００７７】
その代わり、本発明によると、載物台の移動によって生じる力を補償するアクチュエーターとして用いるのに適するように、アクチュエーターは別様に群になって接続される。
【００７８】
この場合では、載物台は、それぞれの位置における載物台の質量中心に作用する荷重（weight force）とみなされることが好ましい。
【００７９】
剛性は限りがあるものの、大きいため、枢動点は下部構造部の質量中心と同じ場所になく、剛性部２ａ、２ｂ、２ｃの連結部の方へ明確にずらされていることを仮定することができる。設けられる距離センサーは構造部が詳細にはどのように動くかを測定するのに用いることができる。
【００８０】
移動可能な載物台３はＸ方向及びＹ方向に移動することができ、自身の位置情報
【数１】
2015055356.tif 000003
を制御システムに提供する。次に、この制御システムは制御信号を弁
【数２】
2015055356.tif 000004
の利用可能なポートに提供するべきである。それにより、それぞれのゼロ位置Ｎｉからの高さＨｉ（ｔ）の二乗偏差（quadratic deviation）の和は、以下の手順中に最小化される。
【数３】
2015055356.tif 000005
【００８１】
制御システムは離散時間において動作するため、積分は和
【数４】
2015055356.tif 000006
に変換される。一般的に、和は移動可能な載物台の動作軌道の範囲において時間ｔの点の集合にわたって計算される。したがって、関数
【数５】
2015055356.tif 000007
がサーチされ、移動可能な載物台の位置情報
【数６】
2015055356.tif 000008
から弁Ｖｉに対する出力信号を生成する。
【数７】
2015055356.tif 000009
【００８２】
フィードフォワードシステムにおいて、サーチされた関数
【数８】
2015055356.tif 000010
は、通常、入力変数Ｘｐｏｓ及びＹｐｏｓに線形的に依存する関数である。なぜなら、入力変数Ｘｐｏｓ及びＹｐｏｓは単純な荷重移動に関連し、荷重移動の力作用は質量中心からの距離に線形的に比例するからである。加えて、この関数は、力アクチュエーターの位置に線形的に依存する。なぜなら、アクチュエーターの力作用はレバーアームの上記質量中心までの長さに比例するからである。したがって、関数族はスカラー行列として書き表すことができる。
【００８３】
示されている多部分可動システムの場合、剛性部が種々の枢動点の回りに動く場合があるため、この関数はよりいっそう複雑になる。
【００８４】
したがって、載物台が移動されるとき、線形関数によって十分に安定した位置にシステムを維持する弁制御信号を生成することがもはや可能でない。複雑な振動幾何構造に起因して、この問題に対する純粋に算術的な手法もおそらく実現不可能である。しかし、この問題は以下の方法で解決することができる。
【００８５】
移動可能な載物台が上を移動することができる領域は、有限数の象限に分けられる。象限の交点は、弁／防振装置Ｖｉの場所と一致してもよいが、一致する必要はない。また、象限はサイズが等しいか、正方形であるか、又は均一である必要はない。
【００８６】
しかし、より単純に示すために、ここでは、象限は正方形かつ均一に分布していると仮定する。説明を更に単純化するために、１つのみの空間方向がここでは想定される（これは図２に示されている）。
【００８７】
移動可能な載物台の力作用を補償するフィードフォワード制御システムの基本理念は以下の通りである。
【００８８】
防振装置の弁に対する弁出力信号は象限の支持点のみの関数として定義される。中間位置に対しては、周囲の支持点に基づく補間が用いられる。これは、第１の近似としての線形補間としてもよいが、支持点における連続的な関数を提供するためにスプライン補間又は他の多項式補間も考慮してもよい。
【００８９】
次に、スカラーを有する行列が提供され、各弁出力信号Ｖｉに対して規定されるべきである。上記行列は出力信号を計算するのに用いられる。これは図７に示されており、載物台の種々の位置における出力信号を示している。
【００９０】
出力信号Ｖｉを「計算する」ために、載物台の「位置」に対応する行列値のみがスカラー行列から読み取られるべきである。このパラメーター行列
【数９】
2015055356.tif 000011
は形式的に畳み込みを解かれ（formally deconvolved）、同様にパラメーターベクトルとして解釈されてもよい。
【００９１】
ここで、図２の一次元の例において、６つのスカラーのベクトル
【数１０】
2015055356.tif 000012
が結果として生じる。
【００９２】
中間値は、例えば、２つの支持点間の線形補間によって得られる。このようにして、連続的な位置の値（Ｘｐｏｓ／Ｙｐｏｓ）の関数として弁制御信号の最適化が有限数のスカラーの最適化に単純化される（reduced）。したがって、出力信号Ｖｉを計算する関数は（少数の）パラメーター
【数１１】
2015055356.tif 000013
に基づく関数関係に単純化される。ここで、全てのＶｉに対してそれぞれの対応するパラメーター
【数１２】
2015055356.tif 000014
の最適な集合が求められるべきであり、これは、載物台が移動されるとき、目標高さと現在の高さの間の高さとの差を最小にする。
【００９３】
出力信号Ｖｉは利用可能な弁／防振装置の数と同一である必要はないが、相互接続された弁／防振装置の群も示してもよい。これは、例えば、有限数の（電気）ポートが制御目的で利用可能でさえあれば好適であるとしてもよい。しかし、最も有効な方法は、全ての利用可能な自由度が利用できるように全ての弁を用いることである。したがって、各個別の場合において、コストと可能な性能との間のバランスが見出されるべきである。
【００９４】
本明細書に提示されている行列法は以下のように簡略化してもよい。
【００９５】
全てのパラメーターのパラメーター化は、実際的に、手動手順を回避する。これは、６×３個の支持点及び１０個（の群）の弁のみを用いる場合でさえも、もはや１８０個のパラメーターが調整されなければならないからである。
【００９６】
しかし、パラメーター化は、大幅に簡略化し、有意味な手動パラメーター化を利用可能とすることができる。
【００９７】
図２において見て取ることができるように、弁ポートは防振装置に接続され、ひいては局所的に制限されたアクチュエーター作用につながる。すなわち、弁の位置は、載物台のどの位置に対してこのアクチュエーターが自身の力作用を印加するべき及び有用に適用することができるかを決定する。
【００９８】
寸法に起因して（及びコストのために）、アクチュエーターは数が専ら有限であり、可能な限り都合よく（well）据付物の下に分布するため、考慮されるべきエリアは当然ながら、それぞれのアクチュエーターと連動することができる領域に分かれる。そのため、各弁出力信号Ｖｉに自身のベクトル
【数１３】
2015055356.tif 000015
を提供する必要はもはやなく、全てのＶｉに対して１つのベクトル
【数１４】
2015055356.tif 000016
のみが提供される。
【００９９】
出力信号Ｖｉを計算するのに、ベクトル
【数１５】
2015055356.tif 000017
から補間された中間値が用いられる。
【０１００】
パラメーターの適合を以下のように実験的に達成することができる。
【０１０１】
載物台が移動され、その結果、或る特定の点における高さが目標高さを下回るとき、この位置の回りのベクトル
【数１６】
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における支持点は上昇するべきであることが直感的に明らかである。図７（中段）ではこれは支持点Ｓ４であり、下段のグラフでは支持点Ｓ３である。計算では、載物台は、載物台のそれぞれの位置に応じて載物台の質量中心に配置される点荷重とみなされる。
【０１０２】
ここでは当業者にとって、
【数１７】
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のパラメーターを適合する完全自動のいわゆるアダプティブ法（adaptive method）を実施することが可能である。
【０１０３】
変化するパラメーターの選択とともに、誤差の程度に関する情報（いわゆる誤差信号）が利用可能である。
【０１０４】
移動可能な載物台の位置情報をいわゆる基準信号として用いて、このパラメーターは、ここではデジタルフィルターを適応する標準化技術（例えば、最小二乗平均アルゴリズム、ＲＬＳ等）を自動的に用いて適合することができる。この「学習段階」の後、パラメーター化の変更を凍結及び記憶することができる。
【０１０５】
動作中、誤差信号を定期的又は連続的に計算するとともに、支持点におけるパラメーターを絶えず調整することも考えられることが理解される。したがって、この場合、学習段階は動作の間続く。こうして、防振システムは自身を適応することが可能であり、特に、機械的摩耗によって生じる構成部品の変化する剛性に適応することが可能である。
【０１０６】
図８を参照すると、本発明の方法がフローチャートを参照して詳細に説明される。
【０１０７】
支持台の鉛直位置が複数のセンサーを用いて複数の支持点において検出される。通常、位置センサーは空気軸受に配置される。したがって、空気軸受の支持点及びセンサーは互いに対応する。
【０１０８】
空気軸受は目標位置を調整するように制御される。
【０１０９】
１つの軸受における位置の他の軸受における支持台の位置に対する変化の影響を考慮に入れることが特に意図される。さらに、設置面の振動はフィードフォワード制御ループにおいて検出されてもよい。また、振動は空気軸受を制御することによって相殺されてもよい。鉛直方向の防振のこのような体系が本質的に既知である。
【０１１０】
本発明によると、支持台上で移動可能な載物台の位置が検出される。載物台の位置及びそれぞれの支持点の場所に対応するパラメーターに基づいて、補償信号が計算される。これらのパラメーターは、特に、相互連結された複数の剛性部に分けられるため、頑丈なプレートとみなされない支持台の特定の性質に依存する。
【０１１１】
補償信号は従来の高さ制御信号に付加される。
【０１１２】
このようにして、大幅に改善された防振が簡単に可能になる。
【０１１３】
支持台のいくつかの剛性部の下の空気軸受は、少なくとも部分的に独立して制御されることが本発明にとって重要である。したがって、軸受は群になって結び付けられず、支持台の角に位置するものと仮定され、その代わり、支持台の剛性部は個別に考慮されるとともに個別に制御される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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