(57)【要約】      （修正有）【課題】レーザー光を発する光源を用いた反射型の発光装置の高出力化を図ること、特に緑色用光源として高出力が得られる発光装置を提供する。【解決手段】発光装置は、レーザー光を発する光源１０と、光源に対し空間的に離間して配置された発光部２０とを備え、発光部は基板３０と、基板上に配置された蛍光体層２１と、基板と蛍光体層との間に配置された反射層２２とを有する。さらに蛍光体層を伝搬するレーザー光の伝搬方向を変化させる光路調整手段を備える。光路調整手段は、例えば、蛍光体層内に分散された補間材である。或いは蛍光体層に接して配置された白色セラミック層である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー光を発する光源と、前記光源に対し空間的に離間して配置された発光部とを備え、前記発光部は基板と、前記基板上に配置された蛍光体層と、前記基板と前記蛍光体層との間に配置され反射層とを有し、
前記蛍光体層を伝搬するレーザー光の伝搬方向を変化させる光路調整手段を備えたことを特徴する発光装置。
【請求項２】
請求項１に記載の発光装置であって、
前記反射層は、前記基板から順に、金属反射膜、増反射膜及び全反射膜を備えたことを特徴する発光装置。
【請求項３】
請求項２に記載の発光装置であって、前記光路調整手段は前記蛍光体層内に分散された補間材であることを特徴とする発光装置。
【請求項４】
請求項２に記載の発光装置であって、前記蛍光体層は複数の層から成り、前記光路調整手段は前記複数の層の少なくとも１層内に分散された補間材であることを特徴とする発光装置。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の発光装置であって、前記補間材は、レーザー光を該レーザー光の進行方向に回折散乱する粒界径を有することを特徴とする発光装置。
【請求項６】
請求項３又は４に記載の発光装置であって、前記補間材は、粒界形状が略球状または略球状多角形であることを特徴とする発光装置。
【請求項７】
請求項３又は４に記載の発光装置であって、前記補間材は、蛍光体結晶と異なる結晶構造を有し、蛍光体結晶構成元素を含むことを特徴とする発光装置。
【請求項８】
請求項３又は４に記載の発光装置であって、
前記レーザー光が青色レーザーであって、前記蛍光体層に含まれる蛍光体がＬｕＡＧ：Ｃｅ、前記補間材がＡｌ２Ｏ３であることを特徴とする発光装置。
【請求項９】
請求項８に記載の発光装置であって、
前記蛍光体層に含まれる蛍光体の濃度が７５体積％以上９５体積％以下であることを特徴とする発光装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の発光装置であって、前記反射層は、前記基板から順に、金属反射膜と白色セラミック層とを備え、前記光路調整手段は前記白色セラミック層であり前記蛍光体層に接して配置されることを特徴とする発光装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の発光装置であって、
前記レーザー光が青色レーザーであって、前記蛍光体層は蛍光体としてＬｕＡＧ：Ｃｅを含み、補間材を実質的に含まないことを特徴とする発光装置。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の発光装置であって、
前記蛍光体層の上に、反射防止膜が形成されていることを特徴とする発光装置。
【請求項１３】
ＬＤ青色光源、ＬＥＤ赤色光源及び緑色光源を組み合わせたプロジェクター用光源であって、前記緑色光源が請求項１ないし１２に記載の発光装置であることを特徴とするプロジェクター用光源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー光を発する光源と、レーザー光を励起光とし、それと異なる波長の光を発する蛍光体とを組み合わせた発光装置に関し、特に蛍光体における光損失を低減した高出力の発光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体発光素子が高出力化するに伴い、その用途は一般照明、ＬＣＤバックライト、車両用前照灯の光源へと拡大している。高出力の光源を使用する用途のうちプロジェクターは、映像をスクリーンに拡大投影するので特に高い出力が必要とされ、従来は高圧放電等が利用されてきたが、コンパクト化の要請からＬＤやＬＥＤ光源が用いられるようになってきた。
【０００３】
プロジェクター用光源では、色を再現するためにＲＧＢ（赤、緑、青）の三原色の光源が必要となる。従来、青色光源と赤色光源には高出力ＬＤまたはＬＥＤがあるが、これらに匹敵する高出力が得られる緑色光源がなかった。
【０００４】
緑色光源に用いられる蛍光体としては、例えば特許文献１に記載される蛍光体が知られている。特許文献１は、Ａｌ２Ｏ３からなる第１相と、Ｃｅを含有するＬｕＡＧから成る第２相で構成された緑色蛍光体を提案しており、青色ＬＥＤと組み合わせた場合に、第２相の割合が特定の範囲のときに、第２相が１００％のときより高い発光強度が得られることが記載されている。
【０００５】
一方、高出力が得られる光源装置として、レーザー光源と蛍光体とを空間的に離れた位置に配置した光源装置が特許文献２に記載されている。特許文献２に記載された技術では、蛍光体層から反射方式で光を取りだすことにより、従来の透過型の光源に比べて、熱放射効率が改善され高輝度な光源装置が提供される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−６２４４４号公報
【特許文献２】特開２０１２−２２６９８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１では、緑色用蛍光体についてＬＥＤを用いた透過型の装置とした場合の発光強度の検討がなされているが、反射型の場合やレーザー光源との組み合わせについて検討はされていない。また特許文献２では、輝度を高めるために蛍光体層と基板との間に反射層を設けるなどの工夫がなされているが、反射層には波長依存性があり単に反射層を設けただけでは必ずしも高輝度化を図ることはできない。
【０００８】
本発明は、レーザー光を発する光源を用いた反射型の発光装置の高出力化を図ること、特に緑色用光源として高出力が得られる発光装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の発光装置は、レーザー光を発する光源と、前記光源に対し空間的に離間して配置された発光部とを備え、前記発光部は基板と、前記基板上に配置された蛍光体層と、前記基板と前記蛍光体層との間に配置された反射層とを有し、前記蛍光体層を伝搬するレーザー光の伝搬方向を変化させる光路調整手段を備えたことを特徴する。
【００１０】
本発明において、レーザー光の伝搬方向を変化させる光路調整手段はいくつかの態様を取りえる。光路調整手段の一つの態様は、蛍光体層に蛍光体に加えて含有される補間材である。他の態様は、蛍光体層に接する白色セラミック層である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明者らの検討によれば、発光部に全反射層を設けただけの発光装置では、蛍光体濃度が高いほど、発光部の発光出力は増加し、蛍光体濃度１００％のときに最大となる。しかし反射層に増反射膜や全反射膜を設けて反射層の反射特性を向上させた場合には蛍光体濃度１００％の蛍光体プレートを用いた場合には、蛍光体濃度１００％未満の蛍光体プレートを用いた場合よりも出力が低下することを見出した。この現象は、以下の蛍光体励起メカニズムに起因すると考えられる。
【００１２】
レーザー光の強度分布は中心が高く、周囲が急激に弱くなるガウシアン分布である。そのため、蛍光体プレートに垂直入射して反射層に到達したレーザー光は、入射光の光路と同じ光路で光出射側に反射される。その結果、蛍光体が励起飽和を起こし蛍光出力が増加しない（蛍光効率が向上しない）と考えられる。
【００１３】
本発明では、蛍光体層内を伝搬する光の伝搬方向を変化させる手段を設けたことにより、入射した光路と反射後の光路にずれを生じさせることができ、これにより励起飽和を防止し、高輝度化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の発光装置の全体概要を示す図
【図２】第１実施形態の蛍光体プレートを示す断面図
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、第１実施形態の蛍光体プレートの変更例を示す図
【図４】第２実施形態の発光装置の構造を示す図
【図５】第３実施形態のプロジェクター用光源装置の概要を示す図
【図６】実施例１の反射防止層の反射スペクトルを示すグラフ
【図７】実施例１の反射層の入射角依存性を示すグラフ
【図８】実施例１の反射層の反射スペクトルを示すグラフ
【図９】実施例で用いた蛍光体出力測定装置の概要を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の発光装置の実施形態を説明する。
まず図１を参照して、本発明が適用される発光装置の概要を説明する。図１に示す発光装置１００は、レーザー光源１０と発光部２０を備え、レーザー光源１０と発光部２０とは図示しない支持構造によって互いに空間的に離れて配置されている。レーザー光源１０は、所定の波長のレーザー光を発する光源で、例えば青色光レーザーを発するレーザーダイオード（ＬＤ）が用いられる。レーザー光源１０を構成するＬＤは単数でも複数個でも良い。
【００１６】
発光部２０は、主として、蛍光体プレート（蛍光体層）２１と基板３０を有し、蛍光体プレート２１は接合材４０により基板３０に固定されている。また蛍光体プレート２１の基板側には反射層２２が形成され、蛍光体プレート２１の上面（基板側と反対側）には反射防止層２５が形成されている。反射防止層２５が形成される面が発光部２０の光出射面となる。なお図１では、レーザー光が蛍光体プレート上面に対し斜めに入射する場合を示しているが、レーザー光の蛍光体プレート２１に対する入射角は０度でもよい。
【００１７】
蛍光体プレート２１は、レーザー光源１０からのレーザー光を吸収し、レーザー光と異なる波長の光を発する蛍光体を含む部材である。蛍光体としては、赤色光を発する赤色蛍光体、黄色光を発する黄色蛍光体、緑色光を発する緑色蛍光体など公知の蛍光体を用いることができるが、本発明は特に緑色蛍光体の高出力化に好適である。緑色蛍光体としては、ＬｕＡＧ：ＣｅやＬｕＡＧ：Ｃｅ＋Ａｌ２Ｏ３を用いることができる。なお、ＬｕＡＧとはＬｕ３Ａｌ５Ｏ１２の組成式で示されるガーネット結晶構造の結晶体であり、Ｌｕはルテチウム、Ａｌはアルミニウム、Ｏは酸素である。そしてＬｕＡＧ：Ｃｅは、ＬｕＡＧ結晶のＬｕ原子サイトの一部を賦活材であるＣｅ（セリウム）で置換した結晶体を意味する。また、ＬｕＡＧ：Ｃｅ＋Ａｌ２Ｏ３はＬｕＡＧとＡｌ２Ｏ３の多結晶体を意味する。
【００１８】
蛍光体プレート２１の形態としては、蛍光体粉末をガラスや樹脂中に分散させたもの、ガラス母体に発光中心イオンを添加したガラス蛍光体、及び蛍光体セラミックス等を用いることができる。特に、蛍光体粉末の焼結体である蛍光体セラミックスが好ましい。また蛍光体プレートは、透光性の高いものが好ましい。透光性の高い蛍光体プレートを用いることにより、蛍光層からの光の取り出し効率を高めることができ、また蛍光体プレート内で発生した熱を効率よく拡散することができる。
【００１９】
基板３０は、蛍光体プレート２１の支持部材であるとともに、蛍光体プレート２１で発する熱を放熱する機能を有する。このためアルミニウム、銅、スレンレスなど熱導電性のよい金属を用いることが好ましい。また図１では平板状の基板３０を示しているが、基板３０は蛍光体プレート２１が固定される面と反対側にフィン等の放熱構造を備えていてもよいし、形状は任意である。
【００２０】
蛍光体プレート２１を基板３０に固定する接合材４０としては、シリコーン樹脂、ガラス等を用いることができる。また蛍光体プレート２１に形成された反射層２２が金属層の場合、熱伝導性の良いＡｇフィラーやグラファイトフィラーを添加したエポキシ樹脂やシリコーン樹脂、はんだ、金錫等を用いることも可能である。接合材４０が樹脂やガラスの場合、透明（光透過性）でも不透明でもよく、透明な場合には蛍光体プレート２１側面を覆うように設けてもよい。透明な樹脂は蛍光体プレート２１側面からの光の出射を妨げないので側面からの光も利用することができる。
【００２１】
蛍光体プレート２１の裏面側に設けられる反射層２２としては、金属反射膜、誘電体多層膜からなる増反射膜、金属反射膜と増反射膜との組み合わせなどを用いることができる。好適には、図２に示すように、蛍光体プレート２１側から順に、全反射膜２２３、増反射膜２２２及び金属反射膜２２１を組み合わせたものが好適である。
【００２２】
金属反射膜２２１は、Ａｇ、Ａｌ等の金属が用いられる。特に反射率の高いＡｇが好適である。金属反射膜２２１の厚みは、特に限定されるものではないが、用いる金属の反射率が飽和する厚み以上が好ましい。Ａｇ、Ａｌならば１０００〜２０００Å（１００〜２００ｎｍ）が好ましい。また金属反射膜の外側には、金属の劣化を防止するためＴｉ、Ｐｔ、Ｔｉ／Ａｕ、Ｐｔ／Ａｕ等の金属性の保護膜２６やＡｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２等の金属酸化物の保護膜２６を形成することが好ましい。
【００２３】
増反射膜２２２は、屈折率（ｎ）の異なる材料を交互に積層した光学多層膜であり、各層の厚みが入射光の波長λの１／４程度に調整され、さらに入射光の角度依存性による反射率低下を防ぐために反射波長帯域を広くする構造とすることにより入射光の一部または殆どを透過せず反射光にすることができる。その層構成は励起光及び波長変換部材２０が発する光の波長を考慮して調整される。なお増反射膜２２２の入射光の反射可能な最大入射角（反射限界角）が小さければ層構成は簡素化でき、大きければ層構成は複雑化、多層化する。低屈折率材料としては、例えば、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４（チオライト）（ｎ＝１．３３）、ＡｌＦ３（ｎ＝１．３６）、ＣａＦ２（ｎ＝１．３８）、ＳｉＯ２（ｎ＝１．４５）、Ａｌ２Ｏ３（ｎ＝１．６４）等が用いられる。高屈折率材料としては、ＣｅＯ２（ｎ＝２．１３）、Ｔａ２Ｏ５（ｎ＝２．２０）、Ｔｉ３Ｏ５（ｎ＝２．３１）、ＴｉＯ２（ｎ＝２．３５）、Ｎｂ２Ｏ５（ｎ＝２．３７）等が用いられる。本実施形態に好適な一例として、蛍光体プレート側から順にＴａ２Ｏ５（５４ｎｍ）／ＳｉＯ２（２４ｎｍ）／Ｔａ２Ｏ５（５４ｎｍ）／ＳｉＯ２（１００ｎｍ）／Ｔａ２Ｏ５（４２ｎｍ）／ＳｉＯ２（５４ｎｍ））の構成とした多層膜が挙げられる。
【００２４】
全反射膜２２３は、蛍光体プレート２１よりも屈折率が小さい透光性材料からなる。これにより蛍光体プレート２１から全反射膜２２３に入射する入射光のうち全反射が起こる最も小さい入射角（全反射臨界角）以上の入射光を全反射できる。すなわち、全反射膜２２３を設けることにより増反射膜２２２の反射限界角を小さくでき、層構成を簡素化できる。
【００２５】
全反射膜２２３を構成する材料の屈折率は、蛍光体プレート２１の屈折率より小さく、増反射膜の反射限界角と同等か小さい角度で全反射臨界角となる値が好ましい。具体的には、蛍光体プレート２１の屈折率がｎ１、全反射膜２２３の屈折率がｎ２、増反射膜２２２の反射限界角がθならば、ｎ２≦ｓｉｎ（θ）×ｎ１となる関係が良い。例えば、蛍光体プレートであるＬｕＡＧの屈折率が１．８５、増反射膜の反射限界角が６５°ならば、全反射膜の屈折率ｎ２は１．６８以下となれば良い。このような低屈折率材料として、具体的には、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４（チオライト）（ｎ＝１．３３）、ＡｌＦ３（ｎ＝１．３６）、ＭｇＦ２（ｎ＝１．３８）、ＣａＦ２（ｎ＝１．４３）、ＳｉＯ２（ｎ＝１．４５）、Ａｌ２Ｏ３（ｎ＝１．６４）などの誘電体物質を用いることができる。また蛍光体プレートの屈折率が大きければＡｌＮ（ｎ＝１．９−２．２）、Ｓｉ３Ｎ４（ｎ＝２．０３）などの誘電体物質も用いることができる。これらのうち化学的安定性、屈折率、成膜性の観点からはＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３が好適である。
【００２６】
全反射膜２２３の厚みは、限定されるものではないが、全反射膜２２３と金属反射膜２２１との間に誘電体層の多層膜（増反射膜）２２２を設ける場合には、３００ｎｍ以上、好ましくは５００ｎｍ以上である。また上限は２μｍ以下、好ましくは１μｍ以下である。厚みを３００ｎｍ以上とすることにより、増反射膜と干渉を起こすことなく全反射機能を得ることができる。また２μｍ以下とすることにより製造時間の短縮を図ることができる。
【００２７】
金属反射膜２２１、増反射膜２２２及び全反射膜２２３及び保護膜２６は、それぞれ、スパッタリング、イオンプレーティング、真空蒸着、イオンアシスト蒸着等の方法で、蛍光体プレート２１或いはその上に形成された反射層の表面に成膜することができる。
【００２８】
蛍光体プレート２１の光出射面に設けられる反射防止層２５は、蛍光体プレート２１へ入射する励起光の反射を低減し入射効率を向上するとともに、励起放射された蛍光を効率よく取りだす機能を持つ。反射防止層２５としては、高屈折率材料（誘電体）と低屈折率材料（誘電体）とを交互に多層に積層した多層膜を用いることができる。本実施形態に好適な一例として、蛍光体プレート側よりＴａ２Ｏ５（２３ｎｍ）／ＳｉＯ２（２５ｎｍ）／Ｔａ２Ｏ５（５８ｎｍ）／ＳｉＯ２（１８ｎｍ）／Ｔａ２Ｏ５（４１ｎｍ）／ＳｉＯ２（９９ｎｍ）とした構成の多層膜が挙げられる。反射防止層２５は、他の反射層２２と同様に、蒸着、イオンプレーティングなど公知の手法で蛍光体プレート上に成膜することができるが、イオンアシスト機能を利用した蒸着は、蒸着時の基板温度を下げることができ好ましい。なお反射防止層２５の層構成は、反射防止する波長によって異なり、前掲のものに限定されるものではない。
【００２９】
発光装置１００は、発光装置の構造体の一部である基板３０に接合材４０を介して発光部２０の反射層２２側を接合して固定し、発光部２０の光出射面に対し所定の角度でレーザー光が照射されるようにレーザー光源１０を取り付けることにより製造することができる。発光装置１００は、レーザー光源１０から発したレーザー光の光路を調整するために、レンズ、ハーフミラー、ダイクロックミラーなどの図示しない光学部材を備えていてもよい。
【００３０】
本発明の発光装置は、上述した構造を基本として、蛍光体プレート２１に入射されたレーザー光による蛍光体の励起飽和を防止する手段（光路調整手段）を設けたことが特徴であり、以下、光路調整手段の態様毎に実施形態を説明する。
【００３１】
＜第１実施形態＞
本実施形態の発光装置は、光路調整手段として、蛍光体プレートが補間材を含むことが特徴である。発光装置の構造は図１に示したものと同じであり、蛍光体プレート以外の要素については説明を省略する。以下、本実施形態の特徴である蛍光体プレートについて説明する。
【００３２】
本実施形態の発光装置が用いる蛍光体プレートは、蛍光体粉末と補間材とを焼結して得られる蛍光体セラミックスからなる。蛍光体粉末としては、ＣａＡｌＳｉＮ３：Ｅｕ２＋、（Ｃａ，Ｓｒ）ＡｌＳｉＮ３：Ｅｕ２＋、（Ｓｒ，Ｂａ）２ＳｉＯ５：Ｅｕ２＋、（Ｃａ，Ｓｒ）２Ｓｉ５Ｎ８：Ｅｕ２＋、等の赤色発光蛍光体、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２：Ｃｅ３＋、（Ｓｒ，Ｂａ）２ＳｉＯ４：Ｅｕ２＋、Ｃａｘ（Ｓｉ，Ａｌ）１２（Ｏ，Ｎ）１６：Ｅｕ２＋、（Ｂａ，Ｓｒ，Ｃａ）２ＳｉＯ４：Ｅｕ２＋、Ｔｂ３Ａｌ５Ｏ１２：Ｃｅ３＋、Ｃａ−α−Ｓｉａｌｏｎ：Ｅｕ２＋等の黄色発光蛍光体、Ｙ３（Ｇａ，Ａｌ）５Ｏ１２：Ｃｅ３＋、Ｌｕ３Ａｌ５Ｏ１２：Ｃｅ３＋、（Ｂａ，Ｓｒ）２ＳｉＯ４：Ｅｕ２＋、Ｃａ３Ｓｃ２Ｓｉ３Ｏ１２：Ｃｅ３＋、ＣａＳｃ２Ｏ４：Ｅｕ２＋、ＣａＳｃ２Ｏ４：Ｃｅ３＋、（Ｓｉ，Ａｌ）６（Ｏ，Ｎ）８：Ｅｕ２＋、β−Ｓｉａｌｏｎ：Ｅｕ２＋、（Ｓｒ，Ｂａ）Ｓｉ２Ｏ２Ｎ２：Ｅｕ２＋、Ｂａ３Ｓｉ６Ｏ１２Ｎ２：Ｅｕ２＋等の緑色発光蛍光体を用いることができる。結晶構造の観点からはガーネット結晶構造のＴＡＧ系（テルビウム・アルミニウム・ガーネット系）、ＹＡＧ系（イットリウム・アルミニウム・ガーネット系）、ＬｕＡＧ（ルビジウム・アルミニウム・ガーネット系）系蛍光体が適している。本実施形態は緑色発光蛍光体、特にＬｕ３Ａｌ５Ｏ１２：Ｃｅ３＋等のＬｕＡＧ系蛍光体に好適に適用することができる。
【００３３】
補間材は、焼結体中で蛍光体の結晶相とは別の結晶相を形成することによって、蛍光体プレートの透光性を損なうことなく光拡散性を与える材料であり、蛍光体（結晶）と屈折率が異なる材料が用いられる。具体的には、蛍光体と共通する元素を有するＡｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４等の金属酸化物が用いられる。
【００３４】
透光性を損なうことなくレーザー光を散乱するために、補間材の粒界径はレーザー光が粒界通過時に進行方向に回折散乱するような粒界径、すなわち０．５μｍ〜５μｍ程度の粒界径であることが好ましく、好適には１μｍ前後が良い。粒界径が０．５μｍより小さくなるとレーザー光の進行方向後方側の回折散乱強度が高くなり、励起光であるレーザー光が蛍光体プレート深部へ届かなくなり蛍光効率（蛍光出力÷励起光出力）が低下する。反対に５μｍより大きくなると進行方向の回折散乱角が狭くなり、蛍光体結晶への入射光量が減少しやはり蛍光効率が低下する。
【００３５】
レーザー光の回折散乱に適した補間材の粒界形状は略球状、略球状多角形が良い。それには補間材の結晶構造が蛍光体結晶と異なると共に蛍光体結晶構成元素を含むことが好ましい。このような性状の補間材は、補間材と蛍光体を焼結形成する過程において補間材粒界が略球状、略球状多角形になり易い。
【００３６】
蛍光体プレート中における補間材の割合（濃度）は、５ｖｏｌ．％〜２５ｖｏｌ．％であることが好ましい。５ｖｏｌ．％以上とすることにより、蛍光体結晶中に補間材が上述したサイズおよび形状で分散する粒界を形成するので蛍光体の励起飽和を防止するのに必要な散乱が得られる。また２５ｖｏｌ．％を超えると、蛍光体濃度が低下して蛍光効率が低下する。
【００３７】
本実施形態の蛍光体プレートは、通常の蛍光体セラミックスの製造方法と同じである。補間材となる金属酸化物の微粒子を所定の量で混合する。その後、例えば、金型等によって一軸成形後、冷間静水圧成形を行って成形体とし、不活性ガス、酸素ガス、減圧、真空の何れかまたは組み合わせた雰囲気で焼結する。焼結体を板状に加工した後、反射層２２、保護膜２６及び反射防止層２５を形成した後、所定の形状にダイシングし、蛍光体プレートを得る。
【００３８】
本実施形態の発光装置は、図１の蛍光体プレートとして上述した補間材を含む蛍光体プレート２１を用いたことが特徴であり、層構造は図１に示すような単層でもよいし、図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、複数の層（蛍光体プレート）から構成されているものでもよい。図３（ａ）は、上層２１１と下層２１２の二層からなり、レーザー光が入射される上層２１１が補間材を含まない蛍光体プレート、下層２１２が補間材を含む蛍光体プレートである。図３（ｂ）は、図３（ａ）と逆で、上層２１１が補間材を含む蛍光体プレート、下層２１２が補間材を含まない蛍光体プレートである。図３（ｃ）は、補間材を含まない蛍光体プレートからなる中間層２１３を、補間材を含む蛍光体プレートからなる上下の層２１４、２１５で挟んだ構造である。補間材を含む蛍光体プレートの位置は、図３に示す例に限定されず、上層、中間層、下層のいずれでもよい。尚、このような層構造にした場合、蛍光体プレート２１の体積に換算しときの補間材濃度が５ｖｏｌ．％〜２５ｖｏｌ．％となるように上層、中間層または下層となる補間材を含む蛍光体プレートを形成する。
【００３９】
蛍光体プレート２１を複数の層で構成する場合、種類の異なる蛍光体プレートを接合材で接合してもよいし、各蛍光体プレートの蛍光体と補間材を成形後、焼結体とする前に重ねて同時に焼結し１枚の蛍光体プレートとしてもよい。
【００４０】
本実施形態の発光装置では、レーザー光源１０から発せられたレーザー光は、反射防止層２５を通過し発光部２０の蛍光体プレート２１に入射する。ここで蛍光体プレート２１に補間材を含む上層、中間層または下層の蛍光体プレートの層が存在することにより、発光部２０に入射したレーザー光は回折散乱を受ける。この散乱では、光は後方散乱せず蛍光体プレートの下側の反射層２２に向かうことができるので、反射層２２までの光路（往路）と反射層２２で反射されて光出射面から出射されるまでの光路（復路）とで、蛍光体プレート中の蛍光体を十分に励起することができる。しかも補間材による回折散乱によってレーザー光の往路と復路とが異なることから、励起飽和による蛍光効率の低下を生じることがない。
【００４１】
さらに本実施形態の発光装置では、反射層２２を金属反射膜２２１、増反射膜２２２及び全反射膜２２３で構成したことにより、蛍光体プレート２１と反射層２２との界面でレーザー光及び蛍光の光損失がなく極めて高い反射率で光出射面側に反射されるので、高い蛍光効率（高出力）を得ることができる。
【００４２】
＜第２実施形態＞
本実施形態の発光装置は、光路調整手段として、蛍光体プレートに接する反射層として白色セラミックを用いたことが特徴である。発光装置の構造は図４に示す。図４において図１と同じ構成要素については同じ符号で示し、説明を省略する。なお図４ではレーザー光源１０を省略しているが、レーザー光源１０を発光部２０に対し空間的に離して配置することは図１の発光装置１００と同じである。
【００４３】
本実施形態の発光装置も、発光部２０は基板３０の上に接合材４０により固定された構造を持つ。発光部２０は蛍光体プレート２１の光出射面側に反射防止層２５が形成され、その反対側の面に反射層２２が形成されている。
【００４４】
反射層２２は、蛍光体プレート２１側から順に、白色セラミック層２２５及び金属反射膜２２１からなる。なお金属反射膜２２１は、発光部２０を基板３０に固定する接合材４０として、はんだや金錫等の金属接合材を用いる場合には必要であるが、接合材４０が樹脂やガラスの場合には省くことも可能である。その場合には金属反射膜２２１を保護する保護膜も省略することができる。
【００４５】
白色セラミック層２２５は、蛍光体プレート２１を透過したレーザー光及びレーザー光によって蛍光体プレート２１が発した蛍光を拡散反射または均等拡散反射し、反射層２２までの光路（往路）と反射層２２から光出射面までの光路（復路）を異ならせる光路調整手段として機能する。この機能を持たせるために、レーザー光の波長（例えば４５０ｎｍ）と蛍光の波長（緑色蛍光体の場合約５１０ｎｍ）に対し高い反射率を持つ白色アルミナ反射膜が好適である。白色アルミナ反射膜は、波長４５０ｎｍの光に対し９５％以上の高い反射率を持ち、正反射光の少ない拡散反射が得られる。
【００４６】
白色アルミナ反射膜等のセラミック層２２５は、蛍光体プレート２１の面にプラズマ溶射によりμｍオーダーの膜厚精度で形成することができる。他にスパッタ、プラズマＣＶＤ等でも形成可能だが、拡散反射面または均等拡散反射面を形成するにはプラズマ溶射膜が好ましい。また所定の基材上に白色セラミック層２７を溶射により形成したものを蛍光体プレート２１に透明な樹脂やガラス等の接合材を介して接合してもよい。セラミック層２２５の厚みは、特に限定されないが、金属反射膜２２１を設ける場合にはレーザー光の拡散に必要な１μｍ〜２０μｍ程度の膜厚で良い。またセラミック層２２５だけで拡散反射させる場合には反射率の低下を防ぐために２０μｍ〜１００μｍ程度とすることが好ましい。
【００４７】
セラミック層２２５に熱伝導性の高い部材を用いれば、蛍光体プレート２１が蛍光する際に発する熱を効率良く基板３０へ伝熱できるので蛍光体プレート２１の温度消光を防止できる。白色アルミナの熱伝導率は２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）〜３０Ｗ／（ｍ・Ｋ）と高い熱伝導率を有するので好適な部材である。
【００４８】
蛍光体プレート２１は、第１実施形態と同様のものを用いてもよいが、励起飽和の問題がなければ、蛍光体濃度が高いほど高い蛍光効率（光出力）が得られるので、蛍光体濃度１００％の蛍光体プレートを用いることが好ましい。蛍光体濃度１００％の蛍光体プレートとは、補間材を含まない蛍光体プレートであることを意味し、不可避的に混入する成分を含むものを排除するものではない。蛍光体プレート２１を構成する蛍光体としては第１実施形態で例示した蛍光体を用いることができ、本実施形態においても、ＬｕＡＧ等の緑色蛍光体を好適に用いることができる。また蛍光体プレートの製造方法は、原料の比率が異なる以外は蛍光体濃度１００％未満の場合と同様である。
【００４９】
なお反射防止層２５は省略することもできる。
【００５０】
本実施形態の発光装置は、発光部２０の反射層２２として、蛍光体プレート２１に接する部分に拡散反射性を持つ白色セラミック層２２５を用いたことにより、蛍光体プレート２１を往復するレーザー光による蛍光体の励起飽和を効果的に防止し、且つ蛍光体が発する光に対しても高い反射性が維持できるので、高出力を得ることができる。
【００５１】
＜第３実施形態＞
次に本発明の発光装置をプロジェクター用光源に利用した実施形態を説明する。
【００５２】
図５にプロジェクター用光源装置の一例を示す。このプロジェクター用光源装置８００は、青色レーザーを発するレーザー光源１０と、蛍光体を備えた発光部２０と、赤色光を発する赤色光源８０と、ハーフミラー９１及び複数のダイクロイックミラー９２（９２１〜９２３）を含む光学部材と、光を映像光に変換する変換素子９４とを備えている。
【００５３】
レーザー光源１０は、図１の発光装置１００のレーザー光源と同様であるが、ここでは青色レーザーを発するレーザー光源を複数用いている。レーザー光源１０からの光はレンズ９５で集光された後、ハーフミラー９１により一部は反射され、残りはハーフミラー９１を透過し、さらに所定の波長を透過するダイクロイックミラー９２１を透過し、発光部２０に入射する。
【００５４】
発光部２０は、緑色蛍光体を含む蛍光体プレートに反射層を備え、第１実施形態又は第２実施形態のいずれかと同様の発光部２０であり、ダイクロイックミラー９２１を通して入射された青色レーザー光を蛍光体が吸収し、緑色の光を出射する。発光部２０から出射された緑色の光は、ダイクロイックミラー９２１は透過せず反射されて、さらに第２のダイクロイックミラー９２２で反射され、第３のダイクロイックミラー９２３を透過し、変換素子９４に到達する。
【００５５】
またハーフミラー９１で反射されたレーザー光源１０からの光は、ダイクロイックミラー９２３でさらに反射されて変換素子９４に到達する。
【００５６】
赤色光源８０は、赤色ＬＥＤ等からなり、赤色に対し透過特性を持つ第２のダイクロイックミラー９２２の後方に配置され、そこから発した赤色光はダイクロイックミラー９２２及び第３のダイクロイックミラー９２３を透過して変換素子９４に到達する。
【００５７】
変換素子９４は、液晶素子やＤＬＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｌｉｇｈｔ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ）素子からなり、多数の画素に対応し、素子がＯＮのときに光を通過させ、ＯＦＦのときに光を遮断することにより光を映像光に変換する。レーザー光源１０からの青色光、発光部２０からの緑色光及び赤色光源８０からの赤色光は、変換素子９４によって、所定の割合で合成された映像光となって出力される。
【００５８】
本実施形態の発光装置では、緑色光を発する発光部２０として、出力の高い赤色ＬＥＤや青色ＬＤに劣らない高出力の発光部を用いることができるので、明るく色再現性のよい映像が得られる。
【実施例】
【００５９】
＜実施例１＞
蛍光体ＬｕＡＧ：Ｃｅと補間材Ａｌ２Ｏ３とを含み、蛍光体濃度が異なる複数の蛍光体プレート（厚み：１００ｎｍ）を用意した。蛍光体濃度は、試料１：２５ｖｏｌ．％、試料２：５０ｖｏｌ．％、試料３：７５ｖｏｌ．％、試料４：９０ｖｏｌ．％、試料５：９５ｖｏｌ．％、試料６：１００ｖｏｌ．％の６種類とした。なお賦活材濃度（［Ｃｅ］／（［Ｌｕ］＋［Ｃｅ］×１００）は５＜ａｔｏｍｉｃ％と一定にした。
【００６０】
イオンアシスト機能を持つ蒸着装置を用いて、これら蛍光体プレートの一方の面に、反射防止層として、蛍光体プレート側よりＴａ２Ｏ５（２３ｎｍ）／ＳｉＯ２（２５ｎｍ）／Ｔａ２Ｏ５（５８ｎｍ）／ＳｉＯ２（１８ｎｍ）／Ｔａ２Ｏ５（４１ｎｍ）／ＳｉＯ２（９９ｎｍ））を形成した。同様に、イオンアシスト機能を持つ蒸着装置を用いて、蛍光体プレートの他方の面に全反射膜（ＳｉＯ２、厚み：５００ｎｍ）、増反射膜（全反射膜側よりＴａ２Ｏ５（５４ｎｍ）／ＳｉＯ２（２４ｎｍ）／Ｔａ２Ｏ５（５４ｎｍ）／ＳｉＯ２（１００ｎｍ）／Ｔａ２Ｏ５（４２ｎｍ）／ＳｉＯ２（５４ｎｍ））、接着層（Ａｌ２Ｏ３（１０ｎｍ））、金属反射膜（Ａｇ（１５０ｎｍ））をこの順に形成し、最後にＡｇ膜の上に保護膜（ＴｉＯ２（５０ｎｍ））を形成した。
【００６１】
実施例１の反射防止層および反射層の反射特性を以下の通り確認した。
（１）反射防止層の反射率特性
透光性のＹＡＧ基板（屈折率１．８５）の上に実施例１で形成した反射防止層と同じ多層膜を形成し、この反射防止層の反射スペクトルを、反射率測定装置を用い入射角５°で測定した。結果を図６に示す。図６において横軸は波長（ｎｍ）、縦軸は反射率（％）である。図示するように、本実施例の反射防止層は、波長４３０ｎｍ〜５８０ｎｍの光に対する反射率が０．４％以下であり、励起光である青色レーザー光（約４５０ｎｍ）に対して反射率０．２％以下と高い反射防止性があることが確認された。また蛍光体の発光波長（約５１０ｎｍ）付近では０．２％以下の反射率すなわち高い透過性があることが確認された。
【００６２】
（２）反射層の反射率の入射角依存性
ガラス基板（屈折率１．８２）の上に実施例１で形成した反射層（全反射膜＋増反射膜＋金属反射膜＋保護膜）と同じ反射層を形成し、励起光と同じ波長４５０ｎｍの光と、蛍光体の発光波長と同じ波長５１０ｎｍの光について、入射角を０°〜２８°まで変化させた場合の反射率を、反射率測定装置を用いてガラス側から測定した。結果を図７に示す。図７において横軸は入射角（°）、縦軸は反射率（％）である。図示するように、測定したすべての入射角において、両波長の光に対し９２％以上の反射率を示した。青色光（波長４５０ｎｍ）は５°〜１０°程度までの入射角に対し９７％以上の反射率を有し、緑色光（波長５１０ｎｍ）は、レーザー光源からの入射角として想定される角度範囲０°〜２８°の入射角に対し９５％以上の反射率を有した。
【００６３】
（３）反射層の反射率の波長依存性
上記（２）の反射層の反射スペクトルを、反射率測定装置を用い入射角５°で測定した。結果を図８に示す。図８において横軸は波長（ｎｍ）、縦軸は反射率（％）である。図示するように、波長４５０ｎｍの反射率および波長５１０ｎｍの反射率はともに９８％以上であり、非常に反射特性が良好であることが確認された。
【００６４】
上述のように一方の面に反射防止層、他方の面に反射層を形成した蛍光体濃度の異なる６種の蛍光体プレートを所定の大きさ（１ｍｍ×１ｍｍ）にカットし、試料片を得た。これら６個の試料片を、ＵＶ洗浄後の金属基板（アルミ基板、厚さ０．５ｍ）に透明樹脂（シリコーン樹脂）を用いて接合し、１５０℃で４時間硬化した。
【００６５】
＜比較例１＞
増反射膜と金属反射膜を設けないこと以外は、実施例１と同様にして、蛍光体濃度の異なる６種類の蛍光体プレート試料および金属基板接合後の試料を得た。
【００６６】
上述した実施例１および比較例１の各試料について、図９に示すような測定装置９００を用いて、金属基板接合後の蛍光体プレート試料の蛍光出力を測定した。図９において、波長４５０ｎｍの青色レーザーを発するレーザー光源からのレーザー光を、ハーフミラーおよび集光レンズを介しては蛍光体プレート試料に照射し、蛍光体プレート試料が発する蛍光をハーフミラーおよびダイクロイックミラーで分離し、サーモパイルセンサで検出した。レーザー光出力は室温下で１０Ｗとし、照射サイズを約１ｍｍ×１．５ｍｍ角とした。
【００６７】
結果を表１に示す。表１の結果は、比較例１の蛍光体濃度１００％の蛍光出力値で規格化した値である。
【表１】
2015119046.tif 000003
【００６８】
表１に示す結果からわかるように、増反射膜および金属反射膜を設けない比較例１では、蛍光出力は蛍光体濃度の増加に伴い増加し、蛍光体濃度１００％のときに最大となる。これに対し、増反射膜および金属反射膜を備える実施例１では、蛍光体濃度が約９０％で蛍光出力は最大となり、それより蛍光体濃度が多くても逆に蛍光出力が低下する。しかしながら蛍光体濃度７５％、９０％および９５％の試料で比較例１の蛍光体濃度１００％のものより高い蛍光体出力が得られた。これは実施例１の蛍光体プレート試料が比較例１の蛍光体プレート試料に対して増反射膜を備えたことによる低入射角光の反射率が高くなったことに起因する。
【００６９】
比較例１の試料は、増反射膜と金属反射膜を備えていないので、蛍光体プレートへ入射したレーザー光の内、蛍光体励起に用いられず蛍光体プレートの反対面に到達した残光成分は出射して接合部材や金属基板で吸収減衰する。従って補間材による回折拡散効果の有無に関係なく蛍光体濃度にのみ蛍光出力が左右される。
【００７０】
実施例１の試料は、増反射膜と金属反射膜を備えているので、蛍光体プレートに入射したレーザー光の内、蛍光体励起に用いられず蛍光体プレートの反対面に到達した残光成分は増反射膜で反射され、再び蛍光体を励起する再励起光となる。この時、補間材粒界によるレーザー光の進行方向の回折拡散効果が十分に得られる蛍光体濃度９０ｖｏｌ．％までは、レーザー光が拡散して広い範囲の蛍光体粒界を励起するので、再励起光による蛍光体の励起飽和が防止でき蛍光出力が増加する。対して、補間材による回折散乱効果が減少する蛍光体濃度９０ｖｏｌ．％程度超では、レーザー光の拡散が不十分になり狭い範囲の蛍光体粒界のみを励起するので、再励起光による蛍光体の励起飽和が起こり、蛍光出力が減少する。
【００７１】
蛍光体濃度９０％ｖｏｌ％未満では蛍光出力は減少するが、蛍光体濃度７５ｖｏｌ．％までは再励起光分の蛍光出力が加わるので増反射膜と金属反射膜を備えていない比較例１より蛍光出力は高い。
【００７２】
全反射膜と増反射膜で殆どの光（９０％以上）を反射するので、金属反射膜は無くてもよく、蛍光出力に大差はない。
【００７３】
＜実施例２＞
実施例１の試料６（蛍光体濃度１００％）と同じ蛍光体プレート試料を作成し、その一方の面に実施例１と同様に反射防止層を形成した。また他方の面に白色アルミナ層（厚み：３０μｍ）をプラズマ溶射により形成した。この白色アルミナ層形成後の蛍光体プレート試料を、白色アルミナ層側を実施例１と同様に金属基板に接合し、実施例２の試料とした。
【００７４】
実施例２の試料の白色アルミナ層の反射特性を確認するため、ガラス基板上にプラズマ溶射により白色アルミナ層を形成し、反射スペクトルを測定したところ、波長４５０ｎｍおよび５１０ｎｍの光に対し、９５％以上の反射率があることが確認された。
【００７５】
実施例２の試料について、実施例１と同様に蛍光体出力を測定したところ、１．０７（比較例１の蛍光体濃度１００％の値で規格化した値）であり、高い輝度が得られることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明によれば、プロジェクター用光源として好適な高輝度の緑色光源を提供することができる。
【符号の説明】
【００７７】
１０・・・レーザー光源、２０・・・発光部、２１・・・蛍光体プレート、２２・・・反射層、２５・・・反射防止層、２６・・・保護膜、２７・・・セラミック層、３０・・・基板、４０・・・接合材、５０・・・高周波振動台、５５・・・高周波振動子、６０・・・支持部材、８０・・・赤色光源、９１・・・ハーフミラー、９２（９２１〜９２３）・・・ダイクロイックミラー、９４・・・変換素子１００・・・発光装置、２２１・・・金属反射膜、２２２・・・増反射膜、２２３・・・全反射膜、８００・・・プロジェクター用光源装置。
【図１】
2015119046.tif 000004
【図２】
2015119046.tif 000005
【図３】
2015119046.tif 000006
【図４】
2015119046.tif 000007
【図５】
2015119046.tif 000008
【図６】
2015119046.tif 000009
【図７】
2015119046.tif 000010
【図８】
2015119046.tif 000011
【図９】
2015119046.tif 000012