(57)【要約】      （修正有）【課題】波長掃引光源の温度を制御することにより、波長掃引光源の安定した性能を引き出すことができる眼科装置を提供する。【解決手段】波長掃引光源１４と、波長掃引光源１４の温度を検出する光源温度センサ１６と、雰囲気中の温度を検出する雰囲気温度センサ１８と、波長掃引光源１４を加熱又は冷却するペルチェ素子とから構成される波長掃引光源１４の温度を調整するための光源温度制御ユニットであって、光源温度制御ユニットは光源温度センサ１６及び雰囲気温度センサ１８による検出温度に基づいてペルチェ素子を制御する温度制御手段６４を備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長掃引光源の光から分かれた参照光と被検眼を経由した測定光との干渉光を検出する干渉光学系を有する眼科装置において、波長掃引光源と、該波長掃引光源の温度を検出する光源温度センサと、雰囲気中の温度を検出する雰囲気温度センサと、該波長掃引光源を加熱又は冷却する熱変換素子とから構成される波長掃引光源の温度を調整するための光源温度制御ユニットであって、前記光源温度制御ユニットは前記光源温度センサ及び前記雰囲気温度センサによる検出温度に基づいて前記熱変換素子を制御する温度制御手段を備える眼科装置。
【請求項２】
前記温度制御手段は、前記波長掃引光源の光源目標温度と前記光源温度センサ及び前記雰囲気
温度センサによる検出温度との差に応じて前記熱変換素子により前記波長掃引光源を冷却又は加熱するように制御される請求項１に記載の眼科装置。
【請求項３】
前記温度制御手段は、フィードバック制御を用いて、該フィードバック制御におけるパラメータ値を変更することにより制御される請求項１又は２に記載の眼科装置。
【請求項４】
前記温度制御手段において、前記雰囲気温度センサの検出温度と前記光源目標温度との差に応じて該光源目標温度を補正する光源目標温度補正手段を設ける請求項１〜３のいずれか一項に記載の眼科装置。
【請求項５】
前記光源温度制御ユニットは、さらにファンを有し、該ファンの駆動を制御するファン駆動制御手段を設ける請求項１〜４に記載の眼科装置。
【請求項６】
前記ファン駆動制御手段は、前記光源温度センサ及び前記雰囲気温度センサによる検出温度に応じて該ファンの駆動をオン／オフする、または、該ファンの駆動速度を変化させるように制御される請求項５に眼科装置。
【請求項７】
前記光源温度制御ユニットと前記干渉光学系とを遮蔽するために対向する側面に開口部を有する遮蔽体を固定的に設けると共に、該遮蔽体の内部に前記光源温度制御ユニットを配置する請求項１〜６のいずれか一項に記載の眼科装置。
【請求項８】
前記遮蔽体の対向する一方の側面の前記開口部の近傍にファンを配置し、対向する開口部との間に前記波長掃引光源ユニットを配置する請求項７に記載の眼科装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光干渉により被検眼を検査する眼科装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、光干渉を利用して被検眼の内部を検査するための眼科装置が供されてきている。例えば、被検眼の眼軸長等の眼寸法を測定する眼科装置（特許文献１参照）や被検眼の深さ方向の断層画像を取得する眼科装置（特許文献２参照）が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３１３２０８号公報
【特許文献２】特開２００７−１１７６２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の眼科装置においては、タイムドメイン方式と呼ばれる、参照ミラーを機械的に移動させて、参照光と測定光の光路長差を変化させて連続的に被検眼の反射強度分布を反映する干渉信号を得る方法と、フーリエドメイン方式と呼ばれる、広帯域波長光源を用いて分光器によりスペクトル分解し、スペクトル干渉信号を取得する（ＳＤ）方式、もしくは、波長掃引光源を用いてスペクトル干渉信号を取得する（ＳＳ）方式のものがある。
【０００５】
フーリエドメイン方式（ＳＳ）の眼科装置において、波長掃引光源の温度が不安定になると、本来光源が持っている性能を安定して引き出す事が困難となり、結果として受光素子で検出される干渉信号が乱れてしまう問題があった。
【０００６】
本発明は、波長掃引光源の温度を制御することにより、波長掃引光源の安定した性能を引き出すことができる眼科装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以下、前述の如き課題を解決するために為された本発明の態様を記載する。なお、以下に記載の各態様において採用される構成要素は、可能な限り任意の組合せで採用可能である。
【０００８】
眼科装置に関する本発明の第１の態様は、波長掃引光源の光から分かれた参照光と被検眼を経由した測定光との干渉光を検出する干渉光学系を有する眼科装置において、波長掃引光源と、該波長掃引光源の温度を検出する光源温度センサと、雰囲気中の温度を検出する雰囲気温度センサと、該波長掃引光源を加熱又は冷却する熱変換素子とから構成される波長掃引光源の温度を調整するための光源温度制御ユニットであって、前記光源温度制御ユニットは前記光源温度センサ及び前記雰囲気温度センサによる検出温度に基づいて前記熱変換素子を制御する温度制御手段を備える。
【０００９】
本態様に従う構造とされた眼科装置においては、波長掃引光源の温度を制御することにより、波長掃引光源の安定した性能を引き出すことができると共に、光源における発光素子の劣化も防ぐことも可能となる。
【００１０】
本発明の第２の態様は、前記第１の態様に係る眼科装置において、前記温度制御手段は、前記波長掃引光源の光源目標温度と前記光源温度センサ及び前記雰囲気温度センサによる検出温度との差に応じて前記熱変換素子により前記波長掃引光源を冷却又は加熱するように制御される。
【００１１】
本態様に従う構造とされた眼科装置においては、波長掃引光源温度センサだけでなく雰囲気温度センサも用いて光源温度制御することにより、迅速に波長掃引光源の温度を安定させることが可能となる。
【００１２】
本発明の第３の態様は、前記第１又は２の態様に係る眼科装置において、前記温度制御手段は、フィードバック制御を用いて、該フィードバック制御におけるパラメータ値を変更することにより制御される。
【００１３】
本態様に従う構造とされた眼科装置においては、フィードバック制御を用いて、フィードバック制御におけるパラメータ値を変更することにより、波長掃引光源の温度をより安定させることが可能となる。
【００１４】
本発明の第４の態様は、前記第１〜３のいずれか１つの態様に係る眼科装置において、前記温度制御手段において、前記雰囲気温度センサの検出温度と前記光源目標温度との差に応じて該光源目標温度を補正する光源目標温度補正手段を設ける。
【００１５】
本態様に従う構造とされた眼科装置においては、光源目標温度補正手段を設けることにより、雰囲気温度に合わせた適切な波長掃引光源の温度を設定することが可能となり、波長掃引光源のより安定した性能を引き出すことが可能となる。
【００１６】
本発明の第５の態様は、前記第１〜４のいずれか１つの態様に係る眼科装置において、前記光源温度制御ユニットは、さらにファンを有し、該ファンの駆動を制御するファン駆動制御手段を設ける。
【００１７】
より好ましくは、本発明の第６の態様は、前記第５の態様に係る眼科装置において、前記ファン駆動制御手段は、前記光源温度センサ及び前記雰囲気温度センサによる検出温度に応じて該ファンの駆動をオン／オフする、または、該ファンの駆動速度を変化させるように制御される。
【００１８】
本態様に従う構造とされた眼科装置においては、ファンを設けるにより、波長掃引光源の温度制御を効率よく行うことが可能となる。さらに、ファン駆動制御手段を設けることにより、ペルチェ素子による波長掃引光源の冷却又は加熱の効率を高めると共に、光源温度制御ユニットに埃が溜らないようにすることが可能となる。
【００１９】
本発明の第７の態様は、前記第１〜６のいずれか１つの態様に係る眼科装置において、前記光源温度制御ユニットと前記干渉光学系とを遮蔽するために対向する側面に開口部を有する遮蔽体を固定的に設けると共に、該遮蔽体の内部に前記光源温度制御ユニットを配置する。
【００２０】
より好ましくは、本発明の第８の態様は、前記第７の態様に係る眼科装置において、前記遮蔽体の対向する一方の側面の前記開口部の近傍にファンを配置し、対向する開口部との間に前記波長掃引光源ユニットを配置する。
【００２１】
本態様に従う構造とされた眼科装置においては、光源温度制御ユニットに遮蔽体を固定的に設け、対向する開口部との間に波長掃引光源ユニットを配置することにより、波長掃引光源を効果的に温度制御することが可能となると共に、干渉光学系への埃の侵入を防ぐことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施例に係る眼科装置の光学系の概略構成図である。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は本実施例に係る眼科装置の外観の側面図であり、（ｃ）は本実施例に係る眼科装置の外観の上面図である。
【図３】（ａ）は本実施例に係る眼科装置の光学系の光源部の概略構成図であり、（ｂ）は本実施例に係る眼科装置の光学系の光源部における光源温調器の断面図である。
【図４】本実施例に係る眼科装置の制御系のブロック図である。
【図５】本実施例に係る眼科装置の波長掃引光源の温度制御の一例を示すフローチャートである。
【図６】本実施例に係る眼科装置の眼軸長の測定手順の一例を示すフローチャートである。
【図７】得られた干渉信号波形を処理する手順を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【実施例】
【００２３】
図１に示すように、本実施例の眼科装置１１０は、被検眼１００を検査するための光源部１０と測定部３０を有している。光源部１０は、光源温度制御機構６４を設けた波長掃引光源１４を有し、測定部３０は、光源部１０の波長掃引光源１４から出射された光による被検眼１００から反射される反射光と参照光とを干渉させる干渉光学系３２と、被検眼１００の前眼部を観察する観察光学系５０と、被検眼１００に対して測定部３０を所定の位置関係にアライメントするためのアライメント光学系（図示省略）を有している。アライメント光学系は、公知の眼科装置に用いられているものを用いることができるため、その詳細な説明は省略する。
【００２４】
光源部１０は、波長掃引光源１４と、波長掃引光源１４の内部に設けられた波長掃引光源１４の温度を検出する光源温度センサ１６と、雰囲気中の温度を検出する雰囲気温度センサ１８と、波長掃引光源１４を加熱又は冷却する熱変換素子（本実施例では、ペルチェ素子２０を用いる）と、放熱フィン２２と、ファン２６と、波長掃引光源１４の温度を調整するための光源温度制御機構６４と、その光源温度制御機構６４を駆動する第１駆動装置６２（図４に図示）と、ファン２６の駆動を制御するためのファン制御機構６８と、そのファン制御機構６８を駆動する第２駆動装置６６（図４に図示）によって構成されている。なお、光源部１０の構造については、後で詳述する。
【００２５】
測定部３０における干渉光学系３２は、光源部１０の波長掃引光源１４から出射された光を被検眼１００の内部に照射すると共にその反射光を導く測定光学系と、光源部１０の波長掃引光源１４からの光を参照ミラーに照射すると共にその反射光を導く参照光学系と、測定光学系により導かれた反射光と参照光学系により導かれた参照光とを合成した干渉光を受光する受光素子３８によって構成されている。
【００２６】
測定光学系は、ビームスプリッタ３６と、ホットミラー５２によって構成されている。光源部１０の波長掃引光源１４から出射された光は、ビームスプリッタ３６、ホットミラー５２を介して被検眼１００に照射される。被検眼１００からの反射光は、ホットミラー５２、ビームスプリッタ３６を介して受光素子３８に導かれる。
【００２７】
参照光学系は、ビームスプリッタ３６と参照ミラー３４によって構成されている。光源部１０の波長掃引光源１４から出射された光の一部は、ビームスプリッタ３６で反射され、参照ミラー３４に照射され、参照ミラー３４によって反射される。参照ミラー３４で反射された光は、ビームスプリッタ３６を介して受光素子３８に導かれる。
【００２８】
測定部３０における観察光学系５０は、被検眼１００にホットミラー５２を介して観察光を照射すると共に、被検眼１００から反射される反射光（すなわち、照射された観察光の反射光）を撮影する。ここで、ホットミラー５２は、光源部１０の波長掃引光源１４からの光を反射する一方で、観察光学系５０の光源からの光を透過する。このため、本実施例の眼科装置１１０では、干渉光学系３２による測定と、観察光学系５０による前眼部の観察を同時に行うことができる。なお、観察光学系５０には、公知の眼科装置に用いられているものを用いることができるため、その詳細な構成については説明を省略する。
【００２９】
なお、本実施例の眼科装置１１０では、被検眼１００に対して光源部１０及び測定部３０の位置を調整するための位置調整機構７２と、その位置調整機構７２を駆動する第３駆動装置７０（図４に図示）を備えている。第３駆動装置７０を駆動することで、被検眼１００に対する光源部１０及び測定部３０の位置が調整される。
【００３０】
このような構造とされた光源部１０及び測定部３０は、図２-（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す眼科装置１１０に収容されている。眼科装置１１０は、本体１１２と、架台１１４と、ベース１１６と、顎受け台１１８と、ジョイスティック１２０と、モニタ１２２によって構成されている。本体１１２はベース１１６上に架台１１４を介して設けられており、ベース１１６には、被検者の顔を固定するための顎受け台１１８と本体１１２をベース１１６に対する移動の操作を行うためのジョイスティック
１２０とが設けられている。また、本体１１２には、モニタ１２２が設けられている。さらに、本体１１２の外部カバー４８には、本体１１２の対向する一方の側面の一部には空気取り入れ口１２４が形成され、もう一方の側面の一部には空気取り出し口１２６が形成されている。
【００３１】
特に本実施例においては、光源部１０は、図３-（ａ）にモデル的に示すように、本体１１２内において遮蔽箱４０内に設けられている。
【００３２】
遮蔽箱４０は、対向する側面に開口部４４、４６を有する直方体状であり、遮蔽箱４０の開口部４４，４６と外部カバーの空気取り入れ口１２４及び取り出し口１２６が連結されるように配置されている。また、遮蔽箱４０には、適当な部位に波長掃引光源１４の光を測定部３０に出射できるように貫通孔４２が形成されている。光源温度センサ１６は波長掃引光源１４の内部に設けられ、雰囲気温度センサ１８は波長掃引光源１４の外部の近傍に設けられ、光源温度制御機構６４は、断熱材２４に覆われた波長掃引光源１４をペルチェ素子２０の上面に密着させ、ペルチェ素子２０の下面に放熱フィン２２を配置した光源温調器１２（図３-（ｂ）に図示）を外部カバーの空気取り入れ口１２４と取り出し口１２６との間に配置し、空気取り出し口１２６を覆うようにファン２６が配置されている。空気取り入れ口１２４から空気取り出し口１２６に流れる眼科装置１１０の外部の空気に光源温調器１２が直接さらされることになるため、ペルチェ素子２０を効果的に働かせることができる。
【００３３】
次に、本実施例の眼科装置１１０の制御系の構成を説明する。図４に示すように、眼科装置１１０は演算装置６０によって制御される。演算装置６０は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等からなるマイクロコンピュータ（マイクロプロセッサ）によって構成されている。演算装置６０には、波長掃引光１４源と、観察光学系５０と、モニタ１２２と、受光素子３８と、第１駆動装置６２と、第２駆動装置６６と、第３駆動装置７０と、光源温度センサ１６と、雰囲気温度センサ１８が接続されている。演算装置６０は、波長掃引光源１４のオン／オフを制御し、第３駆動装置７０を制御することで位置調整機構７２を駆動し、また、観察光学系５０を制御して観察光学系５０で撮像される前眼部像をモニタ１２２に表示する。また、演算装置６０には、光源温度センサ１６及び雰囲気温度センサ１８で検出される温度が入力され、その温度に応じて第１駆動装置６２を制御することで光源温度制御機構６４を駆動するとともに第２駆動装置６６を制御することでファン制御機構６８を駆動する。さらに、演算装置６０には、受光素子３８で検出される干渉光の強度に応じた干渉信号が入力され、その干渉信号をフーリエ変換することによって、被検眼１００の各部位（角膜１０２の前後面、水晶体１０４の前後面、網膜１０６の表面）の位置を特定し、被検眼１００の眼軸長を算出する。なお、演算装置６０による波長掃引光源１４の温度制御及びファン制御の詳細については後述する。
【００３４】
次に、このような構造とされた眼科装置１１０において、演算装置６０が実行する光源温度制御及びファン制御方法と眼軸長の測定手順について説明する。
【００３５】
検査者は、眼科装置１１０の電源をＯＮする。電源がＯＮされると同時に、演算装置６０は、波長掃引光源１４の温度制御及びファン制御を開始する。なお、演算装置６０による波長掃引光源１４の光源温度制御及びファン制御は、眼科装置１１０の電源をＯＦＦするまで常に行われている。
【００３６】
以下に、演算装置６０が実行する光源温度制御及びファン制御方法の概略を図５に示し、以降、順に説明する。 本実施例では、光源温度制御にフィードバック制御であるＰＩＤ制御を用いる。ＰＩＤ制御は、光源目標温度と温度センサによる検出温度の偏差に対して比例して出力電流を制御する比例動作（比例ゲイン）と、偏差の積分値に比例して制御する積分動作（積分ゲイン）と、偏差の微分値に比例して制御する微分動作（微分ゲイン）の３つの動作を組み合わせた制御である。
【００３７】
電源がＯＮされると、演算装置６０は、予め設定された波長掃引光源１４の温度の光源目標温度を読込む（Ｓ１００）。
【００３８】
次に、演算装置６０は、光源目標温度の補正を行う（Ｓ１０２）。詳細には、雰囲気温度センサ１８で検出される雰囲気中の温度を取り込み、Ｓ１００で読込んだ光源目標温度と取り込んだ雰囲気温度センサ１８の検出温度との偏差を計算する。そして、算出された偏差が所定値より大きい場合には、光源目標温度を補正する。算出された偏差が所定値より小さい場合には、光源目標温度の補正はゼロとする（光源目標温度は補正しない）。そして、演算装置６０は、光源目標温度を設定する（Ｓ１０４）。
【００３９】
例えば、具体的には、偏差の所定値が１０℃であって、Ｓ１００で読込んだ光源目標温度が２５℃、雰囲気温度センサ１８で検出される雰囲気温度が１０℃の場合、Ｓ１００で読込んだ光源目標温度と雰囲気温度センサの偏差が１５℃となるため、光源目標温度の補正が行われる。例えば、光源目標温度の補正として、光源目標温度を５℃プラスし、Ｓ１０４において光源目標温度を３０℃に設定する。
【００４０】
次に、演算装置６０は、光源温度センサ１６で検出される波長掃引光源１４の温度を取り込み（Ｓ１０６）、Ｓ１０４で設定した光源目標温度とＳ１０６で取り込んだ光源温度センサ１６の検出温度との偏差を計算する（Ｓ１０８）。このステップで算出された偏差がＰＩＤ演算で使用される。
【００４１】
次に、演算装置６０は、雰囲気温度センサ１８で検出される雰囲気中の温度を取り込み（Ｓ１１０）、Ｓ１０４で設定した光源目標温度とＳ１１０で取り込んだ雰囲気温度センサ１８の検出温度との偏差を計算する（Ｓ１１２）。そして、Ｓ１１２で算出された偏差に応じてＰＩＤ制御における各パラメータ（比例ゲイン、積分ゲイン、微分ゲイン）を設定する（Ｓ１１４）。
【００４２】
次に、演算装置６０は、Ｓ１０８で算出された光源目標温度と光源温度センサ１６の検出温度との偏差と、Ｓ１１４で設定した各ＰＩＤ制御パラメータ値を用いてＰＩＤ演算を行う（Ｓ１１６）。そして、演算装置６０は、Ｓ１１６で算出されたＰＩＤ演算結果の出力値をペルチェ素子２０に入力し（Ｓ１１８）、ペルチェ素子２０により波長掃引光源１４が冷却又は加熱される。このようにして、演算装置６０が光源目標温度と光源温度センサ１６及び雰囲気センサ１８の検出温度との偏差に応じてペルチェ素子２０への出力値を調整することで、迅速に波長掃引光源１４の温度を安定させることが可能となる。
【００４３】
なお、Ｓ１１８における演算装置６０によるペルチェ素子２０への入力値に応じて、演算装置６０は、第２駆動装置によりファン制御機構を駆動する。具体的には、ペルチェ素子による冷却または加熱速度が大きい場合には、ファンを駆動させると共に冷却または加熱の速度に応じて駆動速度を変化させる。ペルチェ素子による冷却または加熱速度が略一定の場合には、ファンの駆動を止める。
【００４４】
この後、演算装置６０は、温度制御のループの先頭に戻って、眼科装置１１０の電源がＯＦＦされるまで処理を繰り返す。
【００４５】
波長掃引光源１４の温度が第１駆動装置７０による光源温度制御により光源目標温度の所定の範囲内になると眼軸長測定を開始することが可能となる。
【００４６】
次に、波長掃引光源１４の温度が光源目標温度の所定範囲内時に行われる演算装置６０が実行する眼軸長の測定手順の概略を図６に示し、以降、順に説明する。
【００４７】
検査者はジョイスティック１２０を操作して、被検眼１００に対して測定部３０の位置合わせを行う（Ｓ１０）。すなわち、演算装置６０は、検査者のジョイスティック１２０の操作に応じて、第３駆動装置７０により位置調整機構７２を駆動する。これによって、被検眼１００に対する測定部３０のｘｙ方向（縦横方向）の位置とｚ方向（進退動する方向）の位置が調整される。
【００４８】
次に、演算装置６０は、波長掃引光源１４から照射される光の周波数を変化させながら、受光素子３８で検出される信号を取り込む（Ｓ１２）。受光素子３８で受光する干渉光には、被検眼１００の深さ方向の各部位から反射された光が含まれている。すなわち、受光素子３８から出力される干渉信号は、図７に示すように、信号強度が時間によって変化する信号となり、この信号には被検眼１００の各部（角膜１０２の前面及び後面、水晶体１０４の前面及び後面、網膜１０６の表面）から反射された各反射光と参照光とを合成した干渉波による信号が含まれている。そこで、演算装置６０は、受光素子３８から入力された信号をフーリエ変換することで、その信号から被検眼１００の各部（角膜１０２の前面及び後面、水晶体１０４の前面及び後面、網膜１０６の表面）から反射された反射光による干渉信号成分を分離する（図７の下段のグラフ参照）。これにより、演算装置６０は、被検眼１００の各部の位置を特定することができる。
【００４９】
次に、演算装置６０は、ステップＳ１２で得られた干渉信号をフーリエ変換することで、被検眼１００の各部（角膜１０２の前面及び後面、水晶体１０４の前面及び後面、網膜１０６の表面）の位置を特定する（Ｓ１４）。
【００５０】
次に、演算装置６０は、ステップＳ１４で得られた被検眼１００の各部の位置から、被検眼１００の眼軸長（角膜表面から網膜までの長さ）を算出する（Ｓ１６）。具体的には、演算装置６０は、ステップＳ１４で得られた被検眼１００の網膜の位置から角膜表面の位置を減算することで、干渉光に基づく眼軸長を算出する。
【００５１】
次に、演算装置６０は、ステップＳ１６で眼軸長を算出すると、その算出した眼軸長をモニタ１２２に表示する（Ｓ１８）。そして、眼軸長の測定を終了する。
【００５２】
以上、本発明の実施例について詳細に説明したが、これは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【００５３】
例えば、上述した実施例では、本体１１２内において遮蔽箱４０を設け、光源部１０と測定部３０とを遮蔽する構成としたが、このような形態に限られない。例えば、測定部３０を収納する筐体とは異なる、別の筐体に光源部１０を収納する構成としてもよい。
【００５４】
また、上述した実施例では、フィードバック制御としてＰＩＤ制御を用いたが、フィードフォワード制御や両方のコンビネーション制御を用いてもよい。
【００５５】
また、上述した実施例では、被検眼の眼内寸法を測定する眼科装置を開示したが、波長掃引光源によるフーリエドメイン方式の眼科装置であれば適用が可能であり、例えば、被検眼の深さ方向の断層画像（例えば、前眼部の断層画像や眼底の断層画像）を取得する眼科装置に本発明の波長掃引光源の温度制御を利用してもよい。
【００５６】
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００５７】
１０：光源部、３０：測定部、３２：干渉光学系、６４：光源温度制御機構、６８：ファン制御機構、７２：位置調整機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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