(57)【要約】【課題】本発明は、シリコーン層縁部表面に適度の濡れ性を付与することにより、グリーンシートの打ち抜き後、エッジ部分から異物等が侵入せずかつ容易にグリーンシートからの剥離が可能であり、さらには均一な厚みのグリーンシートを得ることができる離型フィルムを提供する。【解決手段】本発明の離型フィルムは、プラスチックフィルム層の両側または片方の表面にシリコーン層が設けられ、前記シリコーン層の少なくとも一つの端部から幅方向に１〜３ｍｍの領域に前記シリコーン層の目付量が２．５〜１０ｍｇ／ｍ２である薄層領域が設けられたことを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチックフィルム層の片側または両側の表面にシリコーン層が設けられ、前記シリコーン層の少なくとも一つの端部から幅方向に１〜３ｍｍの領域の前記シリコーン層の目付量が２．５〜１０ｍｇ／ｍ２である薄層領域が設けられた離型フィルム。
【請求項２】
前記シリコーン層の薄層領域の除く目付量の最大値が３０ｍｇ／ｍ２〜５００ｍｇ／ｍ２である請求項１に記載の離型フィルム。
【請求項３】
前記シリコーン層の薄層領域のグリーンシートとの剥離強度が７０ｍN／５０ｍｍ〜２５０ｍN／５０ｍｍである請求項１または２に記載の離型フィルム。
【請求項４】
前記シリコーン層の薄層領域の表面に１つ以上の凸状の形状を有する請求項１〜３のいずれかに記載の離型フィルム。
【請求項５】
前記シリコーン層の薄層領域のグリーンシートとの剥離強度が、薄層領域以外の剥離強度の１．５〜５倍である請求項１〜４のいずれかに記載の離型フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリーンシート製造の際に用いられる離型フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、積層セラミックコンデンサは小型化、大容量化が要求されている。かかる小型化、大容量化の手法として、例えば積層セラミックコンデンサを構成するグリーンシートについて誘電率の高い材料を選定する手法や誘電体であるグリーンシートの厚みを薄くして積層数を増やす手法などが挙げられる。特に後者の手法を採る場合には、離型フィルムには該フィルム表面上に均一に薄いグリーンシートを形成するためにセラミック誘導体からなるセラミックスラリーを均一かつ薄く塗布することが求められる。しかし、セラミックスラリーを薄く塗布すると塗布部の縁部でセラミックスラリーが離型フィルム表面の濡れ性の過小による過大な凝集力を起因とする塗布幅の縮小が発生し、グリーンシート中央部分に比べ縁部のグリーンシート厚みが増大し、均一かつ薄いグリーンシートを作製することができなかった。
【０００３】
また、近年グリーンシート薄膜化に加え、積層数を増加させるために高速積層化が要求されており、離型フィルムにはグリーンシートの剥離工程の高速化という観点から軽剥離化が求められる。しかし離型フィルムの剥離性が良すぎると、外部から加わるごく僅かの力によってグリーンシートと離型フィルム間の部分的な剥離、すなわち浮きが発生したり、このような浮きによって発生した間隙にグリーンシート片が異物として混入し、作製後のコンデンサが不良となる問題点があった。
【０００４】
そこで、離型フィルム表面の濡れ性の過小による縁部のセラミックスラリーの塗布厚の不均一を改善し、離型フィルムの縁部とグリーンシートの密着性を向上させるために離型フィルム上にシリコーン層を縁部のみに形成しない離型フィルム（特許文献１：特開平８−１３０１５２）や離型フィルムの縁部について部分的にシリコーン層を形成しない離型フィルムが知られている（特許文献２：特開平８−２７６５３９）。
【０００５】
しかしながら上記の発明では、シリコーン層を設けていない部分が存在するため、最終的にグリーンシートの打ち抜き後の残余物についてグリーンシートから離型フィルムを剥離させることができず、グリーンシートと離型フィルムを分離収集することができなかった。このため、環境負荷の低減の観点からもグリーンシートの打ち抜き後の残余物についてもグリーンシートと離型フィルムの分離収集を可能とすることが強く求められていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平８−１３０１５２号公報
【特許文献２】特開平８−２７６５３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、シリコーン層縁部表面に適度の濡れ性を付与することにより、グリーンシートの打ち抜き後の端部から異物等が侵入せずかつ容易にグリーンシートからの剥離が可能であり、かつ均一な厚みのグリーンシートを得ることができ、さらにはグリーンシートの打ち抜き後の残余物についてもグリーンシートと分離収集可能な離型フィルムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、プラスチックフィルム層の片側または両側の表面にシリコーン層が設けられ、前記シリコーン層の少なくとも片方の端部から幅方向に１〜３ｍｍの領域の前記シリコーン層の目付量が２．５〜１０ｍｇ／ｍ２である薄層領域が設けられた離型フィルムを提供するものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の離型フィルムは、シリコーン層の薄層領域の目付量が２．５〜１０ｍｇ／ｍ２であるため、グリーンシート間の密着安定性と剥離容易性を同時に実現可能である。すなわち、本発明の離型フィルムにはグリーンシートと優れた密着安定性があるため、セラミックコンデンサ製造過程での離型フィルムとグリーンシート間の端部からの部分的剥離、いわゆる浮きを防止でき、当該浮きに起因する異物侵入を効果的に防ぐことができ、容易にグリーンシートから剥離可能であることからセラミックコンデンサの生産性を向上させることができる。
加えて、本発明の離型フィルムは、グリーンシートと容易に剥離可能であるため、打ち抜きの残余物から離型フィルムとグリーンシートを分別が可能であることからリサイクルによる環境負荷の軽減が期待される。
さらに離型フィルムを構成するシリコーン層の薄層領域の目付量を２．５〜１０ｍｇ／ｍ２の範囲で調整することでシリコーン層表面の濡れ性過大によるセラミックスラリーの縁部での凝集に起因するグリーンシートの厚みの増大を防止することができるため、均一な厚みのグリーンシートを安定的に得ることができる。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜プラスチックフィルム層＞
本発明に係るプラスチックフィルム層を構成する素材としては、特に限定されないが、例えばポリプロピレン樹脂、ポリエステル樹脂、ナイロン等の合成高分子を挙げることができる。この中でも特にフィルムに加工した場合のフィルムの機械的強度、寸法安定性に優れるポリエステル樹脂が好ましい。
【００１１】
本発明の離型フィルムを構成するプラスチックフィルム層の素材として好ましいポリエステル樹脂は、ジカルボン酸成分とグリコール成分（ジヒドロキシ化合物成分）からなる。
【００１２】
ポリエステル樹脂の成分の一つであるジカルボン酸成分としては、例えばテレフタル酸、イソフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、４，４´−ジフェニルジカルボン酸などが例示され、中でもテレフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸がポリエステルフィルムの機械的特性、熱的特性等に優れるため好ましい。また、かかるジカルボン酸成分は一種または二種以上であってもよい。
【００１３】
ポリエステル樹脂の他の成分であるグリコール成分としては、例えばエチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、１，３−プロパンジオール、１，４−ブタンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ポリエチレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、ビスフェノールなどが例示され、中でもエチレングリコールがポリエステルフィルムの機械的特性、熱的特性等に優れるため好ましい。また、かかるグリコール成分は一種または二種以上であってもよい。
【００１４】
前記ポリエステル樹脂としては、ポリエチレンテレフタレートあるいはポリエチレン―２，６―ナフタレートであることが機械的特性、熱的特性等の観点から好ましい。かかるポリエチレンテレフタレートあるいはポリエチレン―２，６―ナフタレートは、上記ジカルボン酸成分あるいはグリコール成分などを共重合したポリエステルであってもよく、三官能以上のポリカルボン酸成分あるいはポリオール成分をポリエステルが実質的に線状となる範囲、例えば５モル％以下で少量共重合したポリエステルであってもよい。
【００１５】
前記ポリエステル樹脂は従来から知られている方法により製造することができ、平均分子量は１０，０００以上であることがフィルムの機械的特性が良好となるため好ましい。また、前記ポリエステル樹脂には、フィルムの滑り性を良好なものとするため有機や無機の微粒子を滑剤として、例えば０．００１〜５重量％の配合割合で含有させることができる。このような微粒子として、炭酸カルシウム、酸化カルシウム、酸化チタン、グラファイト、カオリン、シリカ、アルミナ、酸化珪素、酸化亜鉛、カーボンブラック、炭化珪素、酸化錫、アクリル樹脂粒子、架橋ポリスチレン樹脂粒子、メラミン樹脂粒子、架橋シリコーン樹脂粒子などが好適な例として挙げることができる。
【００１６】
さらに、その他の配合剤として、帯電防止剤、酸化防止剤、有機滑剤、触媒、着色剤、顔料、蛍光増白剤、可塑剤、架橋剤、潤滑剤、紫外線吸収剤、他の樹脂などを必要に応じて添加することができる。
【００１７】
本発明に係るプラスチックフィルム層は、常法によりプラスチックフィルムとして製造されたものからなり、特に２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムにおけるフィルム厚みは５〜１５０μｍ、好ましくは１０〜１００μｍの範囲のものが機械特性、寸法安定性、耐熱性、価格等の点から好ましく適用される。
【００１８】
本発明に係るプラスチックフィルム層を構成する好ましい形態としてのポリエステルフィルムは、従来から知られている方法で製造することができる。例えば、二軸延伸フィルムである場合は、原料となるポリエステル樹脂を溶融し冷却ドラムの上にキャストして未延伸フィルムとし、次いでその未延伸フィルムを当該ポリエステルの二次転移点（Ｔｇ）−１０℃以上の温度で縦方向に通常２〜７倍に延伸して、まず一軸延伸フィルムとし、この一軸延伸フィルムをさらに８０〜１４０℃で横方向に通常２〜９倍延伸して二軸延伸フィルムとすることができる。その際、更に１３０〜２５０℃で熱処理することにより耐熱収縮性に優れたフィルムが得られる。また、二軸延伸フィルムは熱処理する前に必要に応じて更に縦方向及び／又は横方向に再延伸されていてもよい。
【００１９】
＜シリコーン層＞
本発明に係るシリコーン層は基材層であるプラスチックフィルム層の片側または両側の表面上に硬化させたシリコーン系樹脂からなる樹脂層として設けられており、グリーンシートを製造する場合、シリコーン層の表面に設けられたグリーンシートと基材層であるプラスチックフィルム層との剥離性を向上させる機能を有する。なお、本明細書において、シリコーン系樹脂とは、オルガノポリシロキサンからなる樹脂をいうものとする。
【００２０】
本発明に係るシリコーン層を構成するシリコーン系樹脂は、種々の用途に応じて選ばれる。例えば、離型フィルムを構成するプラスチックフィルム層への密着性、離型工程の際の剥離強度の安定性、シリコーン系樹脂成分のグリーンシートへの非移行性を勘案して、熱、紫外線、電子線等による硬化反応にて得られるシリコーン系樹脂であることが望ましい。また、１分子中に珪素原子に直結するアルケニル基を少なくとも２個有するオルガノポリシロキサンと、１分子中に珪素原子に直結する水素原子を少なくとも２個有するオルガノハイドロジエンポリシロキサンとの付加反応にて得られるシリコーン樹脂であることが望ましい。
【００２１】
本発明に係るシリコーン系樹脂を構成するオルガノポリシロキサンの具体的な例としては、ジメチルアルケニルシロキシ基末端封鎖ジメチルポリシロキサン、トリメチルシロキシ基末端封鎖メチルアルケニルシロキサン・ジメチルシロキサン共重合体、シラノール基末端封鎖メチルアルケニルシロキサン・ジメチルシロキサン共重合体、ジメチルアルケニルシロキシ基末端封鎖メチルフェニルシロキサン・ジメチルシロキサン共重合体、ジメチルアルケニルシロキシ基末端封鎖ジフェニルシロキサン・ジメチルシロキサン共重合体、等が挙げられる。
【００２２】
また、前記オルガノハイドロジエンポリシロキサンの具体的な例としては、ジメチルハイドロジエンシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジエンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジエンシロキサン共重合体、ジメチルフェニルシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジエンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基末端封鎖メチルハイドロジエンポリシロキサン、環状メチルハイドロジエンポリシロキサン 等が挙げられる。
【００２３】
本発明に係るシリコーン層を形成するに当たって、オルガノハイドロジエンポリシロキサンの使用量は、前記のオルガノポリシロキサン成分１００重量部に対して、０．２〜４０重量部が好ましく、これらのシリコーン系樹脂の熱による付加反応を促進させるためには白金系触媒等を共存させ、また、紫外線による付加反応を促進させるためには光重合開始剤等を共存させることにより、比較的速やかに硬化反応を達成でき、目的とするシリコーン層を形成することができる。尚、このシリコーン系樹脂には、本発明の範囲内で、必要に応じて公知の反応制御剤、シリカ等の無機充填剤、または、顔料を更に配合することもできる。
【００２４】
本発明の離型フィルムは、プラスチックフィルム層の片側または両側の表面にシリコーン層が設けられ、前記シリコーン層の少なくとも一つの端部から幅方向に１〜３ｍｍの領域での前記シリコーン層の目付量が２．５〜１０ｍｇ／ｍ２である薄層領域が設けられていることを特徴とする。なお、本明細書において目付量とは、シリコーン系樹脂またはその溶液を硬化・乾燥させてシリコーン層を形成後、蛍光Ｘ線分析装置（株式会社リガク製：ＺＳＸ Ｐｒｉｍｕｓ ２）を用いてＳｉに基づく蛍光Ｘ線の強度より算出したシリコーン層の単位面積当たりのシリコーン系樹脂の質量をいうものとする。前記蛍光Ｘ線装置において、測定条件は以下の通りである。
・スペクトル：Ｋα
・フィルタ：ＯＵＴ
・ダイアフラム：３０ｍｍ
・アッテネータ：１／１
・スリット：Ｓ４
・分光結晶：ＰＥＴ
・検出器：ＰＣ
・ＰＨＡ：１００−３００
・印加電圧・電流：３０ｋＶ−１００ｍＡ
【００２５】
本発明に係る薄層領域は離型フィルムの少なくとも１つの端部に設けられており、離型フィルムが長尺状である場合には、幅方向の片方の縁部のみに設けることも両側の端部に設けることも可能である。また、離型フィルムが長方形や正方形である場合には、４つの縁部について、各々１〜４つの薄層領域を適宜加工方法に応じて選択して設けることも含まれる。
【００２６】
前記薄層領域を少なくとも１つの打ち抜き・切断部としてグリーンシート形成後に打ち抜かれる。薄層領域で打ち抜き・切断部とすることにより、グリーンシート打ち抜き後に離型フィルムとグリーンシート間の端部からの異物の侵入を効果的に防止し、グリーンシート打ち抜き後もグリーンシートからの分離が容易であり、加えて打ち抜きによって生じる残余物においても、離型フィルムのみを分離収集することができる。
【００２７】
本発明に係る薄層領域のシリコーン層の目付量が２．５〜１０ｍｇ／ｍ２であることにより、グリーンシートと安定して密着させると同時に容易に剥離させることができる。さらに、薄層領域により離型フィルム縁部に適度な濡れ性を付与することができるため、グリーンシート製造時のセラミックスラリーを塗布する際、縁部のセラミックスラリーが濡れ性過小による凝集に起因する膨らみを形成することがないことから、均一なグリーンシートを容易に得ることが可能である。また、離型フィルムの薄層領域のシリコーン層の目付量は２．５〜１０ｍｇ／ｍ２であり、好ましくは３．０〜９．０ｍｇ／ｍ２であり、より好ましくは３．０〜８．０ｍｇ／ｍ２であり、さらに好ましくは３．０〜７．０ｍｇ／ｍ２である。一方、本発明に係る薄層領域以外のシリコーン層の目付量の最大値は３０〜５００ｍｇ／ｍ２であり、好ましくは５０〜３００ｍｇ／ｍ２である。
【００２８】
また、本発明に係るシリコーン層の薄層領域の剥離強度は離型フィルムとグリーンシートの密着安定性および剥離容易性の観点から、７０〜２５０ｍN／５０ｍｍであることが好ましい。離型フィルムとグリーンシートの剥離強度が７０ｍN／５０ｍｍ未満の場合には打ち抜き時に離型フィルムとグリーンシート間が部分的に剥離して隙間が生じ異物等の混入の恐れがあり、２５０ｍN／５０ｍｍを超えると打ち抜き残余物について、離型フィルムとグリーンシートを分離は可能であるが分離しにくくなる可能性がある。
【００２９】
また、本発明に係るシリコーン層の薄層領域の表面に１つ以上の凸状の形状を有することが、離型フィルムとグリーンシートの剥離容易性の観点から好ましい。薄層領域のシリコーン層表面の凸状形状は１つ以上有していればよい。凸状形状としては、特に限定されず例えば凸状形状のシリコーン層表面方向の断面が長方形、矩形、円形、楕円形であってもよい。また、凸状形状のシリコーン層表面方向の断面が長方形の凸状形状のシリコーン層として薄層領域にストライプ状に設けることが製造の容易性の観点から好ましい。ストライプ状の凸状形状の方向としてはプラスチックフィルム層の端部方向とほぼ平行に設けてもよいし、プラスチックフィルム層の端部方向に対し、一定の角度で設けてもよい。さらに、凸状形状の上部表面の横方向の断面が長方形、矩形、円形、楕円形の凸状形状のシリコーン層として薄層領域に斑点状に設けることも可能である。
【００３０】
さらに、本発明に係るシリコーン層の薄層領域のグリーンシートとの剥離強度が、薄層領域以外の剥離強度の１．５〜５倍であり、当該薄層領域を切断部として打ち抜くことにより、打ち抜き後の離型フィルムとグリーンシートの切断面近傍の密着安定性が向上し、当該切断面近傍の離型フィルムが部分的に剥離した間隙からの異物等の混入を効果的に防ぐとともに、グリーンシートからグリーンシートを容易に剥離することができる。シリコーン層の薄層領域でのグリーンシートとの剥離強度は、薄層領域以外の剥離強度の２〜５倍がより好ましく、３〜５倍がさらに好ましい。
【００３１】
＜シリコーン層の形成＞
本発明に係るシリコーン層はシリコーン系樹脂を塗布することより設けることができるが、その場合のシリコーン系樹脂の形態としては、シリコーン系樹脂の溶剤の溶液を用いる溶剤型、シリコーン系樹脂の水溶液を用いるエマルジョン型、溶媒を用いない無溶剤型のいずれかの方法をとることができる。ただし、シリコーン層の層厚を均一に形成させることおよびポットライフの短縮の観点から上記溶剤型またはエマルジョン型が望ましい。
【００３２】
本発明に係るシリコーン層は従来公知の種々の方法で形成される。例えば、溶剤型およびエマルジョン型の形態を有する熱硬化型のシリコーン系樹脂を前記プラスチックフィルム層の表面に塗布する場合、塗布されたシリコーン系樹脂の溶液または水分散液は乾燥工程へと移されるが、その際の乾燥温度は ５０〜１２０℃の範囲であればよく、６０〜１１０℃の範囲が好ましい。乾燥温度が５０℃未満であると、熱硬化時間が長くなり生産性が低下するので好ましくない。一方、前記乾燥温度が１２０℃を越えると、プラスチックフィルム層にしわが生じるため好ましくない。
【００３３】
また、溶剤を溶媒とする溶剤型および水を溶媒とするエマルジョン型の形態を有する紫外線または電子線硬化型のシリコーン系樹脂を前記プラスチックフィルム層の表面に塗布する場合には、乾燥工程の後に紫外線または電子線の照射工程を有しているため、その乾燥工程においては、溶剤または水分の乾燥除去に必要な最低温度にて実施しても差し支えない。
【００３４】
シリコーン層を形成するためにシリコーン系樹脂のポリエステルフィルム等のプラスチックフィルム表面への塗布の方法は、塗布するシリコーン系樹脂が上記溶剤型、エマルジョン型、無溶剤型のいずれの形態をとるかによっても異なるが、例えば、ロールコーティング法、スクリーン印刷法、バーコート法、スプレーコート法等が採用することができ、中でも、ロールコーティング法は高速度で均一被膜を成形する方法として適している。
【００３５】
本発明に係るシリコーン層の前記プラスチックフィルム層表面への密着性を高めるために、シリコーン系樹脂の溶液または分散液のコーティング前に、プラスチックフィルム層表面にコロナ放電処理、フレーム処理、オゾン処理等の表面活性化処理、あるいはアンカー処理剤を用いたアンカーコーティング処理を施してもよい。
【００３６】
さらに、シリコーン層を片面のみに形成した場合に当該シリコーン層と反対面側に、例えばポリエステルフィルムをアンカー処理剤や接着剤を介して積層したり、あるいは、印刷層や帯電防止層を設けたりして使用することもできる。
【００３７】
（実施例）
本発明の離型フィルムを実施例に基づいて説明する。なお、実施例１〜４は本発明の離型フィルムの薄層領域に該当するものであり、参考例１、２は本発明の離型フィルムの薄層領域以外の部分に該当するものである。
（セラミックスラリーの組成）
チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）紛体：１００重量部、ポリビニルブチラール：８重量部、ジ‐ｎ‐ブチルフタレート：２重量部に、トルエンとエタノールとの混合液（トルエン：エタノールの重量比は１：１）１００重量部を加え、ボールミルにて混合、分散させてセラミックスラリーを調製した。
【００３８】
（参考例１）
（熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成Ａ）
・信越化学工業社製、商品名  「ＫＳ-８４７Ｔ」：１００重量部、
・白金触媒、信越化学工業社製、商品名  「ＣＡＴ‐ＰＬ-５０Ｔ」：３重量部
を溶剤としてのトルエンとＭＥＫの混合液（トルエン：ＭＥＫの重量比は１：１）中に固形分が１.８％となるように溶解させることで調製した。次に幅２１０ｍｍ×長さ２９０ｍｍ（Ａ４サイズ）でフィルム厚みが３８μｍ、表面粗さ（中心面平均粗さＳＲａ）が０.０２７μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの片面にメーヤーバーＮｏ．４を用いて塗布し、９０℃のオーブンで２０秒乾燥させ、離型フィルムとした。
【００３９】
（参考例２）
（熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成Ｂ）
・シリコーン系樹脂を信越化学工業社製、商品名  「ＫＳ-７７６Ａ」とする以外は、参考例１と同様の方法で離型フィルムを得た。
【００４０】
（実施例１）
（熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成Ａ-１）
・信越化学工業社製、商品名「ＫＳ-８４７Ｔ」の固形分濃度を０.１８％とする以外は、参考例１と同様の方法で離型フィルムを得た。
【００４１】
（実施例２）
（熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成Ａ-２）
・シリコーン系樹脂を信越化学工業社製、商品名「ＫＳ-８４７Ｔ」の固形分濃度を０.０９％とする以外は、参考例１と同様の方法で離型フィルムを得た。
【００４２】
（実施例３）
（熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成Ｂ-１）
・シリコーン系樹脂を信越化学工業社製、商品名「ＫＳ-７７６Ａ」の固形分濃度を０.１８％とする以外は、参考例２と同様の方法で離型フィルムを得た。
【００４３】
（実施例４）
（熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成Ｂ-２）
・シリコーン系樹脂を信越化学工業社製、商品名「ＫＳ-７７６Ａ」の固形分濃度を０.０９％とする以外は、参考例２と同様の方法で離型フィルムを得た。
【００４４】
（比較例１）
（熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成Ａ-３）
・シリコーン系樹脂を信越化学工業社製、商品名「ＫＳ-８４７Ｔ」の固形分濃度を０.９％とする以外は、参考例１と同様の方法で離型フィルムを得た。
【００４５】
（比較例２）
（熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成Ａ-４）
・シリコーン系樹脂を信越化学工業社製、商品名「ＫＳ-８４７T」の固形分濃度を０.０４５％とする以外は、参考例１と同様の方法で離型フィルムを得た。
【００４６】
（比較例３）
（熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成Ｂ-３）
・シリコーン系樹脂を信越化学工業社製、商品名「ＫＳ-７７６Ａ」の固形分濃度を０.９％とする以外は、参考例２と同様の方法で離型フィルムを得た。
【００４７】
（比較例４）
（熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成Ｂ-４）
・信越化学工業社製、商品名「ＫＳ-７７６Ａ」の固形分濃度を０.０４５％とする以外は、参考例２と同様の方法で離型フィルムを得た。
【００４８】
離型フィルムの特性評価は下記の方法にて行った。
（シリコーン層の目付量の測定）
作製した離型フィルムのシリコーン層の目付量は、シリコーン系樹脂を硬化・乾燥させてシリコーン層を形成後、蛍光Ｘ線分析装置（株式会社リガク製：ＺＳＸ Ｐｒｉｍｕｓ ２）を用いてＳｉに基づく蛍光Ｘ線の強度よりシリコーン層の目付量を算出した。前記蛍光Ｘ線装置において、測定条件は以下の通りである。
・スペクトル：Ｋα
・フィルタ：ＯＵＴ
・ダイアフラム：３０ｍｍ
・アッテネータ：１／１
・スリット：Ｓ４
・分光結晶：ＰＥＴ
・検出器：ＰＣ
・ＰＨＡ：１００−３００
・印加電圧・電流：３０ｋＶ−１００ｍＡ
【００４９】
（グリーンシートの剥離強度）
グリーンシートの剥離性評価として以下のようにして剥離強度を測定した。作製した離型フィルムのシリコーン層表面上に下記組成のセラミックスラリーをアプリケーターにて塗布し、乾燥処理して、乾燥後の厚みが８μｍになるように離型フィルム上にグリーンシートを作製した。５０ｍｍ×２００ｍｍの短冊状にカットし、テンシロン（株式会社エー・アンド・デイ：ＲＴＧ−１２１０）にて離型フィルムからグリーンシートを１８０°の角度で剥離しその剥離強度を測定した。また、参考例１、２の剥離強度に対する実施例および比較例の剥離強度の倍率を「剥離強度倍率（倍）」として示した。
【００５０】
シリコーン層の目付量が実施例１、２、３、４ではそれぞれ６．３ｍｇ／ｍ２、３．１ｍｇ／ｍ２、６．６ｍｇ／ｍ２、３．５ｍｇ／ｍ２で剥離強度がそれぞれ１８２．４ｍＮ／５０ｍｍ、２２３．６ｍＮ／５０ｍｍ、９１．５ｍＮ／５０ｍｍ、１４４．４ｍＮ／５０ｍｍである。一方、薄層領域以外のシリコーン層の目付量と剥離強度を有する参考例１、２と比較すると剥離強度がそれぞれ６４．３ｍＮ／５０ｍｍ、３６．７ｍＮ／５０ｍｍであり、実施例１〜４においては７０ｍN／５０ｍｍという十分な剥離強度を有しているため、離型フィルムとグリーンシート間で安定した剥離強度を付与できていることを意味し、当該薄層領域での剥離強度の相対的な強さにより、グリーンシートとの密着安定性を実現することができることから、本発明に係る薄層領域として特に適していることがわかる。一方、比較例１〜４においてはシリコーン層の目付量はそれぞれ、３１．２ｍｇ／ｍ２、１．６ｍｇ／ｍ２、３１．２ｍｇ／ｍ２、１．６ｍｇ／ｍ２で、剥離強度はそれぞれ６５．９Ｎ／５０ｍｍ、破断、２２．３Ｎ／５０ｍｍ、破断である。シリコーン層の目付量が２．５ｍｇ／ｍ２未満である比較例２、４については剥離強度が過大であり、かかるシリコーン層の目付量では離型フィルムとグリーンシートの分離が困難であることを意味し、本発明に係る薄層領域としては適さない。また、比較例１、３については、剥離強度がそれぞれ６５．９ｍＮ／５０ｍｍ、２２．３Ｎ／５０ｍｍであり、剥離強度が過小であるため、縁部の離型フィルムとグリーンシート間の浮きが生じる恐れがあり、本発明に係る薄層領域としては適さない。
【００５１】
また、薄層領域以外のシリコーン層の目付量と剥離強度を有する参考例１、２の剥離強度がそれぞれ６４．３ｍＮ／５０ｍｍ、３６．７ｍＮ／５０ｍｍであり、実施例１〜４においては剥離強度が参考例１，２より強いことがわかる。より具体的には実施例１、２の剥離強度は参考例１のそれぞれ２．８倍、３．５倍であり、実施例３、４の剥離強度は参考例２のそれぞれ、２．５倍、３．９倍である。これらのことは離型フィルムを剥離する際に離型フィルムの剥離が容易でありかつグリーンシートの打ち抜き後に縁部、即ち薄層領域での離型フィルムの剥離が起こりにくいことを意味しており実施例１〜４は薄層領域として特に適している。
（評価方法）
本発明に係る薄層領域としての上述した適性の有無により下記のように評価した。
・本発明の薄層領域として適している：○
・本発明の薄層領域として適していない：×
上記評価結果は表１、２に示す通りである。
【００５２】
【表１】
2015189226.tif 000002
【表２】
2015189226.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成26年3月31日(2014.3.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
シリコーン層の目付量が実施例１、２、３、４ではそれぞれ６．３ｍｇ／ｍ２、３．１ｍｇ／ｍ２、６．６ｍｇ／ｍ２、３．５ｍｇ／ｍ２で剥離強度がそれぞれ１８２．４ｍＮ／５０ｍｍ、２２３．６ｍＮ／５０ｍｍ、９１．５ｍＮ／５０ｍｍ、１４４．４ｍＮ／５０ｍｍである。一方、薄層領域以外のシリコーン層の目付量と剥離強度を有する参考例１、２と比較すると剥離強度がそれぞれ６４．３ｍＮ／５０ｍｍ、３６．７ｍＮ／５０ｍｍであり、実施例１〜４においては７０ｍＮ／５０ｍｍ以上という十分な剥離強度を有しているため、離型フィルムとグリーンシート間で安定した剥離強度を付与できていることを意味し、当該薄層領域での剥離強度の相対的な強さにより、グリーンシートとの密着安定性を実現することができることから、本発明に係る薄層領域として特に適していることがわかる。一方、比較例１〜４においてはシリコーン層の目付量はそれぞれ、３１．２ｍｇ／ｍ２、１．６ｍｇ／ｍ２、３１．２ｍｇ／ｍ２、１．６ｍｇ／ｍ２で、剥離強度はそれぞれ６５．９ｍＮ／５０ｍｍ、破断、２２．３ｍＮ／５０ｍｍ、破断である。シリコーン層の目付量が２．５ｍｇ／ｍ２未満である比較例２、４については剥離強度が過大であり、かかるシリコーン層の目付量では離型フィルムとグリーンシートの分離が困難であることを意味し、本発明に係る薄層領域としては適さない。また、比較例１、３については、剥離強度がそれぞれ６５．９ｍＮ／５０ｍｍ、２２．３ｍＮ／５０ｍｍであり、剥離強度が過小であるため、縁部の離型フィルムとグリーンシート間の浮きが生じる恐れがあり、本発明に係る薄層領域としては適さない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
【表１】
2015189226.tif 000004
【表２】
2015189226.tif 000005