(57)【要約】      （修正有）【課題】光学部品の切り出し精度によらず、光学部品を高精度に実装できる光通信モジュールの製造方法を提供する。【解決手段】光学部品１ｂの光学面２ｂを吸着コレット１０により吸着し、吸着コレット１０により吸着された光学部品１ｂを、基板３の所定位置まで移動させ、所定位置の上方で基板３に接触させることなく保持し、光学部品１ｂと基板３との隙間に充填された紫外線硬化樹脂４ｂを硬化させることにより、光学部品１ｂを基板３の所定位置に固定する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に実装された複数の発光素子または受光素子と、前記基板上の前記複数の発光素子または受光素子のそれぞれに対応する位置に固定された複数の光学部品とを有する光通信モジュールの製造方法であって、
前記光学部品の光学面を吸着手段により吸着する吸着工程と、
前記吸着手段により吸着された前記光学部品を、前記基板の所定位置まで移動させ、該所定位置の上方で前記基板に接触させることなく保持する保持工程と、
前記光学部品と前記基板との隙間に充填された樹脂を硬化させることにより、前記光学部品を前記基板の所定位置に固定する固定工程とを備えた、光通信モジュールの製造方法。
【請求項２】
前記吸着手段は、先端部分の長手方向側面に形成された基準平面と、該基準平面中に設けられた吸着口とを有する吸着コレットであり、
前記吸着工程は、前記吸着口に前記光学部品の光学面を吸着する、請求項１に記載の光通信モジュールの製造方法。
【請求項３】
前記基準平面は前記吸着コレットの先端から長手方向に所定距離離れた位置に段差を有し、前記所定距離は前記光学部品の高さよりも短く、
前記吸着工程の後、前記光学部品を前記基板の所定位置へ移動させる前に、さらに、前記光学部品の下面を前記基板に押し付け、前記光学部品の上面を前記段差に接触させる工程を含む、請求項２に記載の光通信モジュールの製造方法。
【請求項４】
前記固定工程にて前記樹脂を硬化させる前に、さらに、前記光学部品の調芯を、前記吸着コレットの基準平面に対して調芯されたオートコリメータにより行う調芯工程を含む、請求項２または３に記載の光通信モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高精度な実装が要求される光学部品を搭載する光通信モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信モジュールの一つである波長多重光送信モジュール（以下、単に光送信モジュールという）は、複数の発光素子（ＬＤ：Laser Diode）から出射された信号光を、光学レンズや波長選択フィルタ、反射ミラーなどの光学部品を用いて波長多重化して送信するものであり、複数のＬＤと共に、これらの光学部品が基板上に実装されている。
【０００３】
従来、上記の光学部品をピンセットなどで基板の所定位置に搬送する方法が取られていたが、光学部品の高密度化や、光送信モジュールの小型化などに伴い、基板上でピンセットを入れる面積を確保することが困難になってきた。そこで、吸着コレット（吸引コレット、真空コレットともいう）と呼ばれる保持具を用いて光学部品を吸引・吸着し、基板の所定位置に搬送する方法が提案されている。この吸着コレットとは、光学部品表面に当接される吸着面と、吸着面に開口する吸着口とを備え、吸着口を介して光学部品表面を吸着して、光学部品を基板の所定位置に搬送するものである。
【０００４】
上記の吸着コレットは、本来、半導体素子などの電子デバイスの搬送用に開発されたものであり、例えば、特許文献１に記載の吸着コレットは、略ニードル形状をなし、その軸線が鉛直方向に延び、先端の吸着面が水平面を基準に所定角度θ１で傾斜して設けられている。この傾斜角θ１は、２０°〜７０°の範囲内であればよいが、より望ましくは３０°〜６０°程度とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−７７４５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図８は、従来の吸着コレットの形状および部品の搬送方法を示す図で、図中、１２０は吸着コレット、１２１はｍＰＤ（モニタＰＤ）、１２２は光学部品、１２３は光学面、１２４は切断面を示す。図８（Ａ）は吸着コレット１２０によりｍＰＤ１２１を吸引搬送する従来の使用方法を示している。このような電子部品を搬送する場合、吸着コレット１２０の吸着口は電子部品のデバイス形成面に直接触れないようになっている。具体的には、吸着コレット１２０の先端に凹部が形成され、この凹部の最奥に吸着口が設けられている。吸着コレット１２０で電子部品を吸着すると、電子部品が凹部の縁に引っ掛かり、そのデバイス形成面が直接触れない構造となっている。このような吸着コレット１２０を、光学部品１２２に使用する場合、図８（Ｂ）に示すように、光学部品１２２の切断面１２４を吸着することとなり、光学面１２３と吸着コレット１２０の吸着面は、切り出しの垂直度の影響を受けてしまう。
【０００７】
かかる従来の吸着コレット１２０を光学部品の実装に応用しようとする場合、光学部品は１ｍｍ２に満たない寸法しかない。従来の吸着コレットは元々電子デバイス（半導体チップ）用に開発されたものであり、その吸着口をコレット先端に有している。あるいは、コレット先端にチップサイズに準じたアダプタ（断面Ｕ字型の平板）を有し、このＵ字の底辺側を吸着口とするのが常であった。
【０００８】
しかしながら、この吸着コレットを上記光学部品の搭載工程に適用する場合、次のような問題がある。各光学部品の光学面（光学基準面ともいう、例えば、ＷＤＭフィルタ，ミラー，ＰＢＣの場合には反射面、レンズの場合にはレンズ主面）は全て基板の主面に対して垂直である。すなわち、ｍＰＤのみはその光学面（受光面）が基板の主面に平行であるところ、他の全ての部品は押しなべて垂直な位置にその光学面がある。この場合、従来の吸着コレットを利用すると、ｍＰＤ以外では部品の吸着面は光学面以外となるため、例えば、光学面と接する上面を吸着しなければならない。
【０００９】
光学部品について、その主面（光学面）とその反対の面についての平行度は厳密に規定されている。特に、ＷＤＭフィルタ、λ／２波長板、ＰＢＣでは両面が非平行になると、出射光が入射光と非平行となるので好ましくないため、製品の一仕様として厳密に規定されている。ところが、通常、光学部品の主面とその主面に接する上面との直交性（直角性）については規定されていない。この直角性を製品仕様に含めた場合には、製品価格が格段に上昇してしまう。従って、図８（Ｂ）に示すように、直角性が不確実な上面を吸着コレットの先端で吸着した場合には、部品の光学面と基板との直角性が全く維持されないことになる。
【００１０】
つまり、吸着コレットの先端で部品上面を吸着する場合、部品光学面のＬＤ光軸に対する角度（向き）が全く補償されない。吸着コレットに吸着させる瞬間の部品の状態や、吸引速度等により、吸着コレットで吸着した直後の部品の角度は、たとえ吸着コレットに角度についての指標（index）やマークなどを設けていたとしても、その角度は不定になってしまう。しかし、光送信モジュールでは、この部品光学面のＬＤ光軸に対する角度が最も厳密に規定されなくてはならない。
【００１１】
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたもので、光学部品の切り出し精度によらず、光学部品を高精度に実装できる光通信モジュールの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、
（１）基板上に実装された複数の発光素子または受光素子と、前記基板上の前記複数の発光素子または受光素子のそれぞれに対応する位置に固定された複数の光学部品とを有する光通信モジュールの製造方法であって、前記光学部品の光学面を吸着手段により吸着する吸着工程と、前記吸着手段により吸着された前記光学部品を、前記基板の所定位置まで移動させ、該所定位置の上方で前記基板に接触させることなく保持する保持工程と、前記光学部品と前記基板との隙間に充填された樹脂を硬化させることにより、前記光学部品を前記基板の所定位置に固定する固定工程とを備える。
【００１３】
（２）基板上に実装された複数の発光素子または受光素子と、前記基板上の前記複数の発光素子または受光素子のそれぞれに対応する位置に固定された複数の光学部品とを有する光通信モジュールの製造方法に用いる吸着コレットであって、先端部分の長手方向側面に形成された基準平面と、該基準平面中に設けられた吸着口とを有する。
【発明の効果】
【００１４】
上記発明によれば、光学部品の光学面を吸着することで、光学部品の切り出し精度に依らない高精度でばらつきの少ない部品実装が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】光送信モジュールの光学系近傍の構成例を示す模式図である。
【図２】光送信モジュールの光学系近傍の構成例を示す鳥瞰図である。
【図３】光信号λ１〜λ４の透過率の一例を示す図である。
【図４】本発明による吸着コレットの先端部分の形状の一例を示す図である。
【図５】本発明による吸着コレットの先端部分の構造をさらに具体的に説明するための図である。
【図６】本発明による吸着コレットを用いた光送信モジュールの製造方法の一例を説明する図である。
【図７】本発明による調芯工程の一例を説明する図である。
【図８】従来の吸着コレットの形状および部品の搬送方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
まず、本発明にかかる光送信モジュールについて説明する。図１は光送信モジュールの光学系近傍の構成例を示す模式図で、図２はその鳥瞰図である。図中、１００は光送信モジュール、１０１は４チャンネルドライバ、１０２はＬＤ（Laser Diode×４）、１０３は集光レンズ（×４）、１０４はｍＰＤ(monitor Photo Diode×４）、１０５はＢＳ（Beam Splitter）、１０６はコリメートレンズ、１０７は波長分割多重フィルタ（ＷＤＭフィルタ）、１０８はλ／２波長板、１０９はミラー、１１０はＰＢＣ（Polarization Beam Combiner）、１１１は基板（キャリアともいう）を示す。
【００１７】
上記の光送信モジュール１００は、基板１１１上に、４チャンネルドライバ１０１で駆動される４個のＬＤ１０２を搭載し、これら４個のＬＤ１０２から出射される光信号（λ１〜λ４：波長がそれぞれ異なる）を多重化して出力する。出射光λ１〜λ４の波長はＣＷＤＭ規格（１３１０ｎｍ，１３３０ｎｍ，…，以下２０ｎｍ間隔）に準ずる。このような極めて小さな隣接波長間隔を有する複数の信号光を多重化するに際し、ＷＤＭフィルタ１０７では隣接する波長に対する選択比を確保するのが難しくなる。
【００１８】
４個のＬＤ１０２から出射された信号光は、４個の集光レンズ１０３で一旦集光された後に、ｍＰＤ１０４に入力される。図２を参照すると、ｍＰＤ１０４は４連のＢＳ１０５上に搭載されており、ＢＳ１０５は集光レンズ１０３からの光を二分し、一方を基板１１１の主面に垂直な方向、つまり、ｍＰＤ１０４の方向に反射させ、他方を透過させる。ＢＳ１０５は二つのプリズムを貼り合わせたものであり、二つのビームの強度比は二つのプリズムの界面の特性で決定される。例えば、反射光：透過光は１：９の比となる。
【００１９】
上記において、透過光が主成分であり、これは次のコリメートレンズ１０６に入力される。集光レンズ１０３のｍＰＤ１０４側の焦点とコリメートレンズ１０６のｍＰＤ１０４側の焦点とは大概一致している。これにより、以下の光学系の結合効率が高まると同時に各光学部品のアライメントが容易となる。コリメートレンズ１０６を透過した光は実質コリメート光（平行光）に変換され、一方の一群の光信号λ３とλ４はミラー１０９で全反射され、その光軸がほぼ９０°曲げられる。他の一群の光信号λ１とλ２はそれぞれＷＤＭフィルタ１０７に入力される。ＷＤＭフィルタ１０７では、コリメートレンズ１０６を直進した光信号λ１，λ２と、その後ミラー１０９で反射された光信号λ３，λ４とを合成する。
【００２０】
すなわち、ＷＤＭフィルタ１０７は第１のＷＤＭフィルタ１０７ａと第２のＷＤＭフィルタ１０７ｂとからなる。第１のＷＤＭフィルタ１０７ａに注目すると、λ１の光を透過し、λ３の光を反射する波長特性を有する多層膜からなる。第２のＷＤＭフィルタ１０７ｂについても同様にλ２とλ４の関係において、透過／反射を有する光学多層膜からなる。このように、ＷＤＭフィルタ１０７を介することで、λ１とλ３の光、λ２とλ４の光が合波されその光軸を一致させる。
【００２１】
次いで、λ１とλ３を合波した光のみλ/２波長板１０８を通過させ、その偏光方向を９０°回転させる。本光送信モジュール１００では端面発光型のＬＤを想定している。この種のＬＤの出射光の偏光方向は実質活性層に平行である。すなわち、エピダウン／エピアップの実装形態に係らず、端面発光型ＬＤでのその出射光の偏光方向はチップ表面（裏面）に平行となる。従って、本光送信モジュール１００では基板１１１の主面に平行な方向にλ１〜λ４の光は偏光している。
【００２２】
集光レンズ１０３、ＢＳ１０５、コリメートレンズ１０６、ＷＤＭフィルタ１０７、及びミラー１０９は偏光方向に作用しないので、ＷＤＭフィルタ１０７を出射した二つの合波光の偏光方向は基板１１１の主面に平行である。そして、λ１，λ３の合波光をλ／２波長板１０８を通過させることで、その偏光方向を基板１１１の主面に垂直な方向に変換する。
【００２３】
上記のような偏光成分を有する二つの合波光をＰＢＣ１１０に入射させることで、これらを合波することができる。具体的には、λ１，λ３の合波光はそのまま直進し、ＰＢＣ１１０に入射する。一方、λ２，λ４の合波光はミラー１０９によりその進行方向が９０°変換されて、ＰＢＣ１１０に入射する。
【００２４】
図３は、光信号λ１〜λ４の透過率の一例を示す図で、図中、縦軸は透過率、横軸は波長を示す。この光学系において、λ１，λ３の合波光がｐ波であり、λ２，λ４の合波光がｓ波に相当する。ＰＢＣ１１０は、ｓ波、ｐ波についてその反射／透過特性に大きな差を持たせることで、二つの合波光を効率よく合波することができる。すなわち、本例のＰＢＣ１１０は、ｓ波（λ２+λ４）に大きな反射率（小さな透過率）、ｐ波（λ１+λ３）に大きな透過率（小さな反射率）を持たせている。以上のような光学系により複数のＬＤ１０２の出射光を効率良く合波して出力することができる。
【００２５】
しかしながら、上記光学系は多数の光学部品を基板１１１上に搭載する必要がある。すなわち、８個のレンズ（集光レンズ１０３及びコリメートレンズ１０６）、ミラー１０９、２個のＷＤＭフィルタ１０７、λ／２波長板１０８、及びＰＢＣ１１０を全て基板１１１の上に搭載しなければならない。ＬＤ１０２を出射した光は５〜６個の光学部品を反射／透過して出力される。従って、個々の光学部品の調芯精度は、２〜３個の部品を介して出力される通常の光送信モジュールに対して１／２〜１／４程度の調芯尤度しか与えられない。
【００２６】
また、上記光学系を複雑にしているのは、ミラー１０９、ＷＤＭフィルタ１０７、ＰＢＣ１１０について、ＬＤ１０２の光軸に対し４５°の角度を維持しつつ、基板１１１上に搭載しなければならない点である。λ３，λ４の光に至っては４５°傾けられた光学部品を２度通過する。
【００２７】
さらに、上記の光学部品は全て一の基板１１１上に搭載されている。この光学系の前提として、λ１〜λ４の光の光軸が全て基板１１１の主面に平行に維持される必要がある。各光学部品は樹脂、接着剤等により基板１１１上に固定される。光学部品を搭載する際にそのあおり角が適正に維持されない場合には、次の光学部品を搭載する際に、部品と主面との間隔が大きくなり過ぎ、樹脂でその隙間を埋めきれない、あるいは、部品寸法を上回って光軸が主面に近寄ってしまう、等の不都合を生ずる。
【００２８】
従来、このような光学系について各部品を基板上に搭載するに際しては、その大きさが１ｍｍ２に満たない光学部品を吸着コレットで吸着し、光学部品を部品トレーから予め接着樹脂（紫外線硬化樹脂）が塗布されている搭載箇所に搬送し、真空吸着している状態で光学調芯を行い、調芯後に紫外線を照射して樹脂を固化する、という方法が採用されていた。
【００２９】
以下、本発明の実施形態に係る光通信モジュールの製造方法の具体例を、図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【００３０】
図４は、本発明による吸着コレットの先端部分の形状の一例を示す図で、図４（Ａ）は吸着コレットに光学部品を吸着した状態を示す図で、図４（Ｂ）は吸着コレットの先端部分の拡大図である。図中、１は光学部品、２は光学面、１０は吸着コレット、１１は側面、１２は基準平面、１３は吸着口、１４は段差を示す。
【００３１】
本発明による吸着手段の一例である吸着コレット１０は、先端部分の長手方向側面１１に形成された基準平面１２と、基準平面１２中に設けられた吸着口１３とを有する。吸着コレット１０の吸着口１３に、光学部品１の光学面２を吸着するように構成される。また、基準平面１２の吸着コレット１０の先端から長手方向に所定距離離れた位置に段差１４を有し、この所定距離の長さ、つまり、基準平面１２における吸着コレット１０の長手方向の長さが光学部品１の高さよりも短くなっている。
【００３２】
本発明による吸着コレット１０では、光学部品１の角度を精密に決定するために、基準平面１２を設ける必要がある。基準平面１２で光学部品１の光学面２を把持することで光学部品１の角度が決定される。しかし、この場合、光学部品１の光学面２を直接吸引することになるため、光学面２に機械的損傷を与える虞がある。そこで、吸着コレット１０では、吸着口１３を比較的大きく設定し、光学部品１の光学面２のうち、光が実際の透過／反射する領域を全てこの吸着口１３で覆われるように構成されている。これにより光学面２の機械的損傷を防止することが可能となる。
【００３３】
図５は、本発明による吸着コレット１０の先端部分の構造をさらに具体的に説明するための図である。図５（Ａ）は吸着コレット１０の先端部分の斜視図、図５（Ｂ）は吸着コレット１０の先端部分の側面図である。吸着コレット１０の先端部分は、側面１１に形成された基準平面１２と、その基準平面１２に平行な裏面１５とを有する。そして、基準平面１２のほぼ中央に真空吸着ポートとして吸着口１３が設けられている。
【００３４】
また、基準平面１２と側面１１との境界には段差１４が設けられている。この段差１４は吸着コレット１０の底面１６に対して平行である。光学部品１を吸着する際に、光学部品１の上面をこの段差１４に突き当てることで、光学部品１の高さ方向の０点調整を行うことができる構造となっている。つまり、段差１４はストッパとして機能する。なお、段差１４と基準平面１２との接続部分には、図５（Ｂ）に示すように、抉り部１７が形成されている。段差１４に抉り部１７が無い場合、段差１４と基準平面１２との接続部分に、加工精度により斜面が形成されることが起こり得る。このような場合、この斜面に光学部品１が乗り上げて光学部品１の角度が基準平面１２に沿ったものにならない可能性がある。そこで、これを防止するために、上記のように、段差１４と基準平面１２との接続部分に抉り部１７を形成することが望ましい。
【００３５】
基準平面１２のコレット先端から段差１４までの長さは、吸着される光学部品１がコレット先端から突き出る長さとする。すなわち、吸着コレット１０の先端から段差１４までの長さが光学部品１の高さよりも短くなっている。ここで、光学部品１のコレット先端からの突き出し長は、光学部品１を基板（図示せず）に固定する時に使用する樹脂が、吸着コレット１０に接触しない距離として定める。具体的には、約０．２〜０．５ｍｍ程度とする。なお、突き出し長が大き過ぎる場合には、吸着口１３が光学部品１の光学面の中心を吸引できない可能性があり、吸着コレット１０の基準平面を適切な長さに設定することが望ましい。
【００３６】
上記において、吸着コレット１０は、円筒形状に限定されるものではなく、例えば、四角柱形状であってもよい。また、図５の例の場合、段差１４は吸着コレット１０の長手方向側面を切り欠いて形成されているが、吸着コレット１０の先端から長手方向に所定距離離れた位置に突起を設けることで、段差１４を形成してもよい。
【００３７】
以下の各実施形態では、光通信モジュールの一例として、複数の発光素子（ＬＤ）と、複数の光学部品とを備えた光送信モジュールを例示して説明するが、複数の受光素子（ＰＤ）と、複数の光学部品とを備えた光受信モジュールであっても同様に実施することができることは言うまでもない。
【００３８】
（第１の実施形態）
図６は、本発明による吸着コレット１０を用いた光送信モジュールの製造方法の一例を説明する図である。図６（Ａ）は吸着コレット１０を用いて光学部品を基板に実装する様子を示す図で、図６（Ｂ）は吸着コレット１０の近傍を拡大した図である。図中、１ａ，１ｂは光学部品、２ａ，２ｂは光学面、３は基板、４ａ，４ｂは樹脂の一例である紫外線硬化樹脂を示す。なお、本例では、光学部品１ｂを実装する場合を例に説明するが、光学部品１ａおよびその他の光学部品についても同様である。
【００３９】
本発明による方法は、大きく分けて、光学部品１ｂの光学面２ｂを吸着コレット１０により吸着する吸着工程と、吸着コレット１０により吸着された光学部品１ｂを、基板３の所定位置まで移動させ、所定位置の上方で基板３に接触させることなく保持する保持工程と、光学部品１ｂと基板３との隙間に充填された紫外線硬化樹脂４ｂを硬化させることにより、光学部品１ｂを基板３の所定位置に固定する固定工程とを備える。
【００４０】
そして、保持工程にて光学部品１ｂを基板３の所定位置へ移動させる前に、さらに、光学部品１ｂの下面を基板３に押し付け、光学部品１ｂの上面を段差１４に接触させる押付工程を含むようにしてもよい。また、後述の第２の実施形態として説明するように、固定工程にて紫外線硬化樹脂４ｂを硬化させる前に、さらに、光学部品１ｂの調芯を、吸着コレット１０の基準平面１２に対して調芯されたオートコリメータにより行う調芯工程を含むようにしてもよい。
【００４１】
上記方法についてより具体的に説明する。まず、吸着コレット１０を備えた製造装置において、予め吸着コレット１０の回転方向とあおり角を調整しておく。すなわち、吸着コレット１０の可動方向はＸ，Ｙ，Ｚの三方向のみとする（Ｓ１）。次に、吸着コレット１０を図示しない部品パレットに移動させ、光学部品１ｂの光学面２ｂを吸着コレット１０により吸着する（Ｓ２：吸着工程）。
【００４２】
そして、光学部品１ｂを吸着した吸着コレット１０を基板３上に平行移動させ、任意の位置で下降させて光学部品１ｂの下面を基板３に押し付け、光学部品１ｂの上面を段差１４に接触させる。これにより光学部品１ｂの高さ方向の０点（基準面）調整を行う（Ｓ３：押付工程）。
【００４３】
そして、光学部品１ｂを吸着した状態で吸着コレット１０を、光学部品１ｂを搭載する所定位置上に移動させる（Ｓ４）。これは、例えば、基板３上にアライメントマーク（十字、Ｌ字、コの字等）を設けておくことで概略の位置を決定することができる。このアライメントマークのＸＹ位置で吸着コレット１０を上方に退避させる。
【００４４】
そして、光学部品１ｂと基板３との隙間に紫外線硬化樹脂４ｂを供給する（Ｓ５）。次に、吸着コレット１０を下降させ、光学部品１ｂの下面を基板３から２０〜３０μｍ浮かせた状態で且つ基板３との隙間に紫外線硬化樹脂４ｂが満たされた状態で光学部品１ｂを保持する（Ｓ６：保持工程）。このように、光学部品１ｂの下面を基板３に押し付けないようにする。もし光学部品１ｂの下面を基板３に接触させてしまうと、光学部品１ｂの下面が基板３に平行に保持される場合が生ずる。
【００４５】
上記において、光学部品１ｂの光学面２ｂとその下面とは必ずしも直角が保たれているわけではない。前述したように、光学面２ｂとその裏面の平行度は部品性能として規定されているが、これら両面（光学面２ｂとその裏面）と下面との角度は規定外という場合が多い。従って、光学部品１ｂの下面を基板３に押し付けると、当該下面と基板主面が平行になってしまい、光学面２ｂと基板３との角度が維持されなくなる。つまり、吸着コレット１０の基準平面１２で規定されるべき光学部品１ｂのあおり角が維持されなくなってしまう。このため、上記Ｓ６のように、光学部品１ｂの下面を実行基板３に接触させることなく保持する。
【００４６】
最後に、図６（Ｂ）に示すように、光学部品１ｂを上記Ｓ６の状態で保持したまま紫外光（ＵＶ光）を照射し、紫外線硬化樹脂４ｂを硬化させ、光学部品１ｂを基板３の所定位置に固定する（Ｓ７：固定工程）。
【００４７】
このように、本実施形態によれば、光学部品の光学面を吸着することで、光学部品の切り出し精度に依らない高精度でばらつきの少ない部品実装が可能となる。また、光学部品の光学面を吸着することで、光学部品の切り出し精度に依らないため、予め吸着コレット自体の回転方向とあおり方向を調整しておくことで、光学部品ごとの調整が不要となり、実装時間を短縮することができる。
【００４８】
（第２の実施形態）
ここで、樹脂硬化する前に以下の光学調芯（調芯工程）を行うことがより好ましい。アライメントマークに対する調芯のみで光学部品の光学調芯が達成される場合が大概であるが、より精密な光学結合のためには、以下のような調芯を行うのが好ましい。
【００４９】
図７は、本発明による調芯工程の一例を説明する図で、図中、２０はオートコリメータを示す。これにより、安定した実装状態の管理、および実装評価の短縮を可能とする。具体的には、上述の製造装置にオートコリメータ２０を追加する。このオートコリメータ２０は、内部に可視光源２３、ハーフミラー２２、受光部（２次元モニタ）２１を少なくとも有し、被測定物に可視光を照射し、その反射光２４を観測して、被測定物が回転、及びあおりずれを起こしていない位置を基準として、それとの反射光２４の位置ずれから、回転（あおり）ずれ量を評価する装置である。つまり、受光部２１には２次元モニタ２５が設けられており、マーカ２６の交点となるモニタ中央２７に反射光２４が見えるように調整される。
【００５０】
まず、吸着コレット１０の基準平面１２に基準ミラー（図示せず）を吸着させ、反射光２４を２次元モニタ２５上のモニタ中央（十字の中央）２７に結像するようにオートコリメータ２０を調整する（Ｓ１１）。これにより、オートコリメータ２０は、吸着コレット１０の基準平面１２に対して調芯される。なお、このオートコリメート２０の調芯処理は、光学部品を吸着コレット１０で吸着する前に予め行っておく。
【００５１】
次に、上記の基準ミラーに代えて実際の光学部品を、上記の手順にてその搭載位置上で保持した状態で、２次元モニタ２５により反射光２４の結像位置を観測し、その結像位置がモニタ中央２７に位置するように、吸着コレット１０の回転角、あおり角を調整する（Ｓ１２）。
【００５２】
基板３を光送信モジュール内部に搭載する前に、上記の方法により、基板３上でＰＢＣ、ミラー、二つのＷＤＭフィルタの調芯をこの順序に従って行う。これらはＬＤの光軸に対して４５°の角度をもって搭載する必要のある部品である。次いで、同様にして、基板３上にＬＤ、コリメートレンズ等を搭載する。
【００５３】
このように、本実施形態によれば、光学部品の光学面に可視光を照射し、その反射光を常にモニタリングすることで、予期せぬ突発的な光学部品のずれに対して、吸着コレットを調整して規格に収めることが可能となり、歩留りを向上することができる。
また、光学部品の実装時に、光学面に可視光を照射し、その反射光をモニタリングすることで、部品の実装時に測定・評価が可能となり、実装時間を短縮することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１，１ａ，１ｂ…光学部品、２，２ａ，２ｂ…光学面、３…基板、４ａ，４ｂ…紫外線硬化樹脂、１０…吸着コレット、１１…側面、１２…基準平面、１３…吸着口、１４…段差、１５…裏面、１６…底面、１７…抉り部、２０…オートコリメータ、２１…受光部、２２…ハーフミラー、２３…可視光源、２４…反射光、２５…２次元モニタ、２６…マーカ、２７…モニタ中央、１００…光送信モジュール、１０１…４チャンネルドライバ、１０２…ＬＤ、１０３…集光レンズ、１０４…ｍＰＤ、１０５…ＢＳ、１０６…コリメートレンズ、１０７…波長分割多重フィルタ（ＷＤＭフィルタ）、１０８…λ／２波長板、１０９…ミラー、１１０…ＰＢＣ、１１１…基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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