(57)【要約】【課題】ＡＯＩ等から取得した欠陥位置情報に基づいて、ウェブ状フィルムにおける欠陥位置の画像を精確に撮像する。【解決手段】ウェブ状フィルムの搬送を欠陥位置で停止させ、補正用マーク撮像手段により欠陥位置情報に含まれる欠陥座標を補正するためにウェブ状フィルムに設けられた複数の補正用マークをそれぞれ撮像し、補正用マーク撮像手段により撮像された画像における各補正用マークの位置に基づいて、欠陥位置情報に含まれる欠陥座標を補正する。ウェブ状フィルムの搬送を停止させる際には、各補正用マークが補正用マーク撮像手段の撮像範囲に含まれる位置にウェブ状フィルムを停止させるために、ウェブ状フィルムに搬送方向に沿って設けられた複数の停止用マークのうち、欠陥位置に対応する位置に設けられた停止用マークが検出されたことに基づいて停止させる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェブ状フィルムの欠陥位置を欠陥画像撮像手段により撮像する欠陥画像撮像装置であって、
前記欠陥位置を特定するための欠陥位置情報を取得する取得手段と、
前記ウェブ状フィルムを搬送する搬送手段と、
前記ウェブ状フィルムの搬送が停止された際、前記欠陥位置情報に含まれる欠陥座標を補正するために前記ウェブ状フィルムに設けられた複数の補正用マークを撮像する補正用マーク撮像手段と、
各前記補正用マークが前記補正用マーク撮像手段の撮像範囲に含まれる位置に前記ウェブ状フィルムを停止させるために、前記ウェブ状フィルムに搬送方向に沿って複数設けられた停止用マークのうち、前記欠陥座標の示す欠陥位置に対応する位置に設けられた停止用マークを検出手段が検出したことに基づいて、前記搬送手段による搬送を停止させる搬送制御手段と、
前記補正用マーク撮像手段により撮像された画像における各補正用マークの位置に基づいて、前記取得手段が取得した欠陥位置情報に含まれる欠陥座標を補正する補正手段と、
前記欠陥画像撮像手段が前記補正手段により補正された補正済欠陥座標の示す位置を撮像可能な位置に前記欠陥画像撮像手段を移動させる移動手段と、
を備えることを特徴とする欠陥画像撮像装置。
【請求項２】
請求項１に記載の欠陥画像撮像装置であって、
前記ウェブ状フィルムは、複数のシートを含み、
前記欠陥位置情報は、前記欠陥位置を含むシートを識別するための欠陥シート識別情報を更に含み、
前記搬送制御手段は、前記欠陥シート識別情報により識別されるシートに対応する前記停止用マークの検出に基づいて前記搬送手段による搬送を停止させることを特徴とする欠陥画像撮像装置。
【請求項３】
請求項２に記載の欠陥画像撮像装置であって、
前記ウェブ状フィルムには、各前記シートを識別するためのシート識別マークが設けられており、
前記搬送制御手段は、前記ウェブ状フィルムにおける前記シート識別マークを参照して、前記欠陥シート識別情報により識別されるシートを特定することを特徴とする欠陥画像撮像装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の欠陥画像撮像装置であって、
前記欠陥画像撮像手段がオートフォーカス機能を備えることを特徴とする欠陥画像撮像装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項に記載の欠陥画像撮像装置であって、
前記ウェブ状フィルムを挟んで前記欠陥画像撮像手段の反対側に設けられる照明手段と、
前記ウェブ状フィルムの搬送中に前記照明手段を前記ウェブ状フィルムから離し、前記ウェブ状フィルムの停止中に前記照明手段を前記ウェブ状フィルムに押しつける位置に移動させる照明移動手段と、
を更に備えることを特徴とする欠陥画像撮像装置。
【請求項６】
ウェブ状フィルムの欠陥位置を欠陥画像撮像手段により撮像する欠陥画像撮像方法であって、
前記欠陥位置を特定するための欠陥位置情報を取得する取得工程と、
前記ウェブ状フィルムを搬送する搬送工程と、
前記ウェブ状フィルムの搬送が停止された際、補正用マーク撮像手段が、前記欠陥位置情報に含まれる欠陥座標を補正するために前記ウェブ状フィルムに設けられた複数の補正用マークをそれぞれ撮像する撮像工程と、
各前記補正用マークが前記補正用マーク撮像手段の撮像範囲に含まれる位置に前記ウェブ状フィルムを停止させるために、前記ウェブ状フィルムに搬送方向に沿って複数設けられた停止用マークのうち、前記欠陥座標の示す欠陥位置に対応する位置に設けられた停止用マークを検出手段が検出したことに基づいて、搬送を停止させる制御工程と、
前記補正用マーク撮像手段により撮像された画像における各補正用マークの位置に基づいて、前記取得工程により取得した欠陥位置情報に含まれる欠陥座標を補正する補正工程と、
前記欠陥画像撮像手段が前記補正工程により補正された補正済欠陥座標の示す位置を撮像可能な位置に前記欠陥画像撮像手段を移動させる移動工程と、
を含むことを特徴とする欠陥画像撮像方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェブ状フィルムのタッチパネル配線パターンの欠陥など、フィルム上に発生する欠陥を撮像する欠陥画像撮像装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
スマートフォン等で用いられるタッチパネルは画面表示部のITO（Indium Tin Oxide）透明電極部と、その周辺の銅や銀の引き回し電極から構成されており、引き回し電極については、配線パターンのオープン、ショート、欠け、突起の欠陥検査が電気検査及びＡＯＩ(Automated Optical Inspection:光学式自動外観検査)により行われている。ＡＯＩでは、画像処理（良品画像と検査対象を撮像した画像の比較）により配線パターンの検査を行うが、分解能の制約により良否を判定できない欠陥、すなわちグレー欠陥が生じる。このとき、グレー欠陥がある品を全て欠陥品として処理してしまうと歩留まりが悪くなってしまうことから、製品として問題ないものについては良品として判定することが好ましい。
【０００３】
そこで、特許文献１等には、グレー欠陥を詳細に検査（レビュー）することにより、製品として問題のあるもののみを欠陥品として排除するための技術が開示されている。
【０００４】
また、グレー欠陥の良否の判定は線幅に対してどの程度線が残っているかといった判定を行うことから、ＡＯＩよりも高分解能で撮像可能な顕微鏡により欠陥画像を撮影して判定を行うためのレビュー機を使用することが有効である。レビュー機は、ＡＯＩで検出した欠陥座標に顕微鏡を移動させて、欠陥画像を撮像するのが一般的である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１１２９２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ＡＯＩで検出した欠陥座標で特定される欠陥位置に顕微鏡を移動させて欠陥画像を撮像する場合、既存のレビュー機は枚葉のシート状ガラスやウェーハをレビュー対象としているため、レビュー対象がウェブ状フィルムであると欠陥画像を適切に撮像することが困難であった。
【０００７】
具体的には、レビュー対象が枚葉のシート状ガラスであれば、一枚一枚、シート状ガラスをレビュー機に搬送してきて正しい位置に配置し、欠陥座標に基づいて欠陥位置の真上に顕微鏡を移動させて欠陥位置を撮像することができるが、レビュー対象がウェブ状フィルムの場合、巻き取り機によるウェブ状フィルムの搬送を、顕微鏡が欠陥位置を撮像可能な位置で停止させ、次いで、顕微鏡を欠陥座標に基づいて欠陥位置まで移動させる必要がある。このとき、フィルムの癖や搬送部起因によるたわみ、停止位置のばらつきにより、欠陥座標に基づいて顕微鏡を移動させても欠陥位置が顕微鏡の視野外となってしまい、顕微鏡画像を撮像することができない場合があった。特に、顕微鏡画像の視野は例えば５００μｍ四方程度であるため、フィルムのたわみ等で座標が少しずれるだけで、欠陥位置が顕微鏡の視野がとなり、欠陥位置を特定することができなくなる。
【０００８】
本発明は、このような問題に鑑みて為されたもので、ウェブ状フィルムにおける欠陥位置の画像を精確に撮像することができる欠陥画像撮像装置等を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、ウェブ状フィルムの欠陥位置を欠陥画像撮像手段により撮像する欠陥画像撮像装置であって、前記欠陥位置を特定するための欠陥位置情報を取得する取得手段と、前記ウェブ状フィルムを搬送する搬送手段と、前記ウェブ状フィルムの搬送が停止された際、前記欠陥位置情報に含まれる欠陥座標を補正するために前記ウェブ状フィルムに設けられた複数の補正用マークを撮像する補正用マーク撮像手段と、各前記補正用マークが前記補正用マーク撮像手段の撮像範囲に含まれる位置に前記ウェブ状フィルムを停止させるために、前記ウェブ状フィルムに搬送方向に沿って複数設けられた停止用マークのうち、前記欠陥座標の示す欠陥位置に対応する位置に設けられた停止用マークを検出手段が検出したことに基づいて、前記搬送手段による搬送を停止させる搬送制御手段と、前記補正用マーク撮像手段により撮像された画像における各補正用マークの位置に基づいて、前記取得手段が取得した欠陥位置情報に含まれる欠陥座標を補正する補正手段と、前記欠陥画像撮像手段が前記補正手段により補正された補正済欠陥座標の示す位置を撮像可能な位置に前記欠陥画像撮像手段を移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
当該発明によれば、ウェブ状フィルムの搬送が停止された際に補正用マーク撮像手段により撮像された画像における各補正用マークの位置に基づいて欠陥座標が補正されることから、欠陥画像撮像手段を補正済欠陥座標の示す位置に移動させることで、欠陥画像撮像手段が欠陥位置を精確に撮像することができる。
【００１１】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の欠陥画像撮像装置であって、前記ウェブ状フィルムは、複数のシートを含み、前記欠陥位置情報は、前記欠陥位置を含むシートを識別するための欠陥シート識別情報を更に含み、前記搬送制御手段は、前記欠陥シート識別情報により識別されるシートに対応する前記停止用マークの検出に基づいて前記搬送手段による搬送を停止させることを特徴とする。
【００１２】
当該発明によれば、欠陥位置を含むシートが欠陥画像撮像手段の移動範囲内に停止することから、欠陥画像撮像手段が欠陥位置を精確に撮像することができる。
【００１３】
更に、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の欠陥画像撮像装置であって、前記ウェブ状フィルムには、各前記シートを識別するためのシート識別マークが設けられており、前記搬送制御手段は、前記ウェブ状フィルムにおける前記シート識別マークを参照して、前記欠陥シート識別情報により識別されるシートを特定することを特徴とする。
【００１４】
当該発明によれば、シート識別マークに基づいて、欠陥位置を含むシートが欠陥画像撮像手段の移動範囲内に停止することから、欠陥画像撮像手段が欠陥位置を精確に撮像することができる。
【００１５】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３の何れか一項に記載の欠陥画像撮像装置であって、前記欠陥画像撮像手段がオートフォーカス機能を備えることを特徴とする。
【００１６】
当該発明によれば、搬送が停止した際のウェブ状フィルムのたわみ等によるＺ軸方向の位置ずれがあっても欠陥位置を精確に撮像することができる。
【００１７】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１乃至３の何れか一項に記載の欠陥画像撮像装置であって、前記ウェブ状フィルムを挟んで前記欠陥画像撮像手段の反対側に設けられる照明手段と、前記ウェブ状フィルムの搬送中に前記照明手段を前記ウェブ状フィルムから離し、前記ウェブ状フィルムの停止中に前記照明手段を前記ウェブ状フィルムに押しつける位置に移動させる照明移動手段と、を更に備えることを特徴とする。
【００１８】
当該発明によれば、欠陥画像撮像手段が欠陥位置を撮像する際に、反対側から照明手段がウェブ状フィルムに押しつけられることから、搬送が停止した際のウェブ状フィルムのたわみ等が軽減され、欠陥位置をより精確に撮像することができる。
【００１９】
また、請求項６に記載の発明は、ウェブ状フィルムの欠陥位置を欠陥画像撮像手段により撮像する欠陥画像撮像方法であって、前記欠陥位置を特定するための欠陥位置情報を取得する取得工程と、前記ウェブ状フィルムを搬送する搬送工程と、前記ウェブ状フィルムの搬送が停止された際、補正用マーク撮像手段が、前記欠陥位置情報に含まれる欠陥座標を補正するために前記ウェブ状フィルムに設けられた複数の補正用マークをそれぞれ撮像する撮像工程と、各前記補正用マークが前記補正用マーク撮像手段の撮像範囲に含まれる位置に前記ウェブ状フィルムを停止させるために、前記ウェブ状フィルムに搬送方向に沿って複数設けられた停止用マークのうち、前記欠陥座標の示す欠陥位置に対応する位置に設けられた停止用マークを検出手段が検出したことに基づいて、搬送を停止させる制御工程と、前記補正用マーク撮像手段により撮像された画像における各補正用マークの位置に基づいて、前記取得工程により取得した欠陥位置情報に含まれる欠陥座標を補正する補正工程と、前記欠陥画像撮像手段が前記補正工程により補正された補正済欠陥座標の示す位置を撮像可能な位置に前記欠陥画像撮像手段を移動させる移動工程と、を含むことを特徴とする。
【００２０】
当該発明によれば、ウェブ状フィルムの搬送が停止された際に補正用マーク撮像手段により撮像された画像における各補正用マークの位置に基づいて欠陥座標が補正されることから、欠陥画像撮像手段を補正済欠陥座標の示す位置に移動させることで、欠陥画像撮像手段が欠陥位置を精確に撮像することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、ウェブ状フィルムの搬送が停止された際に補正用マーク撮像手段により撮像された画像における各補正用マークの位置に基づいて欠陥座標が補正されることから、欠陥画像撮像手段を補正済欠陥座標の示す位置に移動させることで、欠陥画像撮像手段が欠陥位置を精確に撮像することができる。よって、ウェブ状フィルム上の欠陥についてＡＯＩから取得した欠陥座標に基づいて拡大画像を撮像することができ、グレー欠陥の良否判定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】一実施形態におけるウェブ状フィルムＦの一例を示す図である。
【図２】一実施形態におけるレビュー装置Ｓの構成の一例を示す図である。
【図３】一実施形態におけるレビュー装置Ｓの構成の一例を示すブロック図である。
【図４】一実施形態における搬送中のウェブ状フィルムＦの一例を示す図である。
【図５】一実施形態におけるアライメントマーク認識用エリアセンサ４が補正用マーク１０２Ａを撮像した際の画像の一例を示す図である。
【図６】（Ａ）は一実施形態における搬送中のライトテーブルＴの位置を示す図であり、（Ｂ）は一実施形態における搬送停止中のライトテーブルＴの位置を示す図である。
【図７】一実施形態におけるレビュー装置Ｓによる欠陥位置撮像処理の一例を示すフローチャートである。
【図８】変形例におけるウェブ状フィルムＦの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、レビュー装置において本発明を適用した場合の実施形態である。なお、本実施形態におけるレビュー装置のレビュー対象はウェブ状フィルムである。
【００２４】
［１．レビュー装置の概要］
本実施形態におけるレビュー装置は、ＡＯＩから取得した欠陥位置情報の示すウェブ状フィルム上の欠陥位置を顕微鏡で撮像する装置である。欠陥位置情報は、グレー欠陥の位置を示す情報であり、具体的には、欠陥があるシート（後述する）を識別するための欠陥シート識別情報と、当該シートにおける欠陥がある位置を示す欠陥座標とを含んでいる。レビュー装置は、巻き返し機により搬送されるウェブ状フィルムを、欠陥シート識別情報により示されるシートが顕微鏡による撮影に適した位置で停止するように搬送を停止する。レビュー装置は、搬送を停止させると、欠陥座標の示す位置に顕微鏡を移動させて欠陥位置を撮像する。このとき、フィルムの癖や搬送部起因によるたわみ等により、欠陥座標の示す位置に顕微鏡を移動させても欠陥を撮像できない場合があるため、レビュー装置はその誤差（以下、「座標誤差」という）を調整するために、ＡＯＩから取得した欠陥座標を補正し、補正済欠陥座標に基づいて顕微鏡を移動させることにより欠陥を確実に撮像する。
【００２５】
［２．ウェブ状フィルムの構成］
図１を用いてウェブ状フィルムＦ（以下、「フィルムＦ」という）について説明する。フィルムＦは、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate）フィルム上に金属をスパッタすることにより製造され、タブレット端末等のタッチセンサ用の部品Ｐを複数含んでいる。フィルムＦは、点線Ｌで区切られる複数のシートで構成されており、各シートには１又は複数の部品Ｐが含まれている（図１は１シートに３個の部品Ｐが含まれている例を示している）。
【００２６】
フィルムＦの幅方向端部には、停止用マーク１０１が搬送方向に沿って一定間隔毎に形成されている。なお、図１において停止用マーク１０１は端部に形成されているが、停止用マーク１０１は端部より内側に形成することとしてもよい。停止用マーク１０１はフィルムＦをエッチングすることにより形成されており、光電センサにより検出可能となっている。停止用マーク１０１は、顕微鏡が移動可能な範囲に欠陥シート識別情報により示されるシートを停止させる際に用いられる。
【００２７】
各シートには複数の補正用マーク１０２Ａ、１０２Ｂが形成されている。補正用マーク１０２Ａ及び補正用マーク１０２Ｂは、フィルムＦの搬送が停止された際にたわみ等により生じる欠陥座標の誤差を補正する際に用いられる。具体的には、レビュー装置は、補正用マーク１０２Ａ、１０２Ｂが本来あるべき位置からどれだけずれているかに応じて、たわみ等により生じる誤差を算出し、欠陥座標を補正する。図１では、補正用マークが１シートに２つ形成されているフィルムＦの例を示しているが、多くの補正用マークをシート内に満遍なく配するほど、より正確に誤差を算出することができる。但し、補正用マークの数が多い程、誤差を算出するための時間が必要になる。なお、シートのたわみ等により生じる誤差を検出するという観点から、補正用マークを２つとする場合には、図１に示すように、シートの対角線上に形成するのが好ましい。
【００２８】
［３．レビュー装置の構成］
次に、図２及び図３を用いて、レビュー装置Ｓの構成について説明する。図２又は図３に示すように、レビュー装置Ｓは、ＰＣ（Personal Computer）１、巻き返し機２と、減速用センサ３Ａと、停止用センサ３Ｂと、アライメントマーク認識用エリアセンサ４と、ＸＹ軸ステージ５と、ＡＦ（auto focus）機能付きコントローラ６と、顕微鏡７と、Ｚ軸ステージ８と、ＰＬＣ９と、ライトテーブルＴを含んで構成される。
【００２９】
巻き返し機２は、巻き取り部２Ａと、巻き出し部２Ｂと、フィルムＦを搬送するためのモータ２Ｍを含んで構成されている。モータ２Ｍの制御はＰＬＣ（programmable logic controller）９により行われる。ＰＬＣ９には、減速用センサ３Ａ及び停止用センサ３Ｂが接続されている。減速用センサ３Ａ及び停止用センサ３Ｂは、巻き返し機２により搬送されるフィルムＦに形成された停止用マーク１０１を検出する光電センサである。減速用センサ３Ａ及び停止用センサ３Ｂは、停止用マーク１０１を検出すると、ＰＬＣ９に対してマーク検出信号を出力する。ＰＬＣ９は、ＰＣ１から取得する欠陥シート識別情報と、減速用センサ３Ａ及び停止用センサ３Ｂから入力されるマーク検出信号とに基づいて、モータ２Ｍを制御することにより、フィルムＦの搬送を制御する。
【００３０】
具体的には、ＰＬＣ９は、減速用センサ３Ａ又は停止用センサ３Ｂから入力されたマーク検出信号を計数することにより顕微鏡７の下を通過するシートの数を管理し、欠陥シート識別情報（フィルムＦの何シート目に欠陥があるかを示す情報）の示すシートを所定の位置に停止させる。なお、欠陥のないシートは所定の位置を通過し、搬送が継続される。ＰＬＣ９は、欠陥のあるシートを所定の位置に停止させるために、減速用センサ３Ａから欠陥シート識別情報の示すシートに対応する停止用マーク１０１を検出したことを示すマーク検出信号が入力されると（図４（Ａ）参照）、搬送速度を減速させるようにモータ２Ｍを制御し、次いで、停止用センサ３Ｂから欠陥シート識別情報の示すシートに対応する停止用マーク１０１を検出したことを示すマーク検出信号が入力されると（図４（Ｂ）参照）、搬送を停止させるようにモータ２Ｍを制御する。例えば、図４（Ａ）に示すように、フィルムＦに欠陥Ｘがある場合には、減速用センサ３Ａが停止用マーク１０１Ｘを検出すると、ＰＬＣ９は搬送速度を減速させ、次いで、図４（Ｂ）に示すように、停止用センサ３Ｂが停止用マーク１０１Ｘを検出すると、ＰＬＣ９は搬送を停止させる。つまり、ＰＬＣ９は、一旦、搬送速度を緩めてから搬送を停止させるように２段階の制御を行う。これにより、ＰＬＣ９は、シートを正確に所定の位置に停止させることができる。
【００３１】
アライメントマーク認識用エリアセンサ４は、ＰＬＣ９によりシートが所定の位置に停止された際に、補正用マーク１０２Ａ及び補正用マーク１０２Ｂをそれぞれ撮像するために予め定められた位置に移動して、補正用マーク１０２Ａ及び補正用マーク１０２Ｂを撮像する。具体的には、アライメントマーク認識用エリアセンサ４は、ＸＹ軸ステージ５にて補正用マーク１０２Ａ及び補正用マーク１０２Ｂの停止している位置に移動させられる。上記のように、ＰＬＣ９が減速、停止といった２段階の制御を行うのは、アライメントマーク認識用エリアセンサ４がＸＹ軸ステージ５にて移動させられた際、それぞれの撮像範囲に補正用マーク１０２Ａ及び補正用マーク１０２Ｂが含まれるように精度良く停止させるためである。よって、搬送速度を減速させる際には、ＰＬＣ９は要求停止精度を満たすことが可能な速度まで減速させる。アライメントマーク認識用エリアセンサ４は、それぞれ、補正用マーク１０２Ａ及び補正用マーク１０２Ｂを撮像し、撮像した画像をＰＣ１に送信する。なお、アライメントマーク認識用エリアセンサ４の視野は、フィルムＦの停止位置のバラツキ（巻き返し機２起因のバラツキ）と、アライメントマーク認識用エリアセンサ４の停止位置のバラツキ（ＸＹ軸ステージ５起因のバラツキ）を加えた最大値より大きいものとし、補正用マーク１０２Ａ、１０２Ｂが視野から外れないように設定されるものとする。
【００３２】
ＰＣ１は、ＡＯＩ２００から欠陥位置情報を取得し、欠陥のあるシートを所定の位置に停止させるために、欠陥位置情報に含まれる欠陥シート識別情報をＰＬＣ９に出力する。また、ＰＣ１は、アライメントマーク認識用エリアセンサ４から、補正用マーク１０２Ａ及び補正用マーク１０２Ｂを撮像した画像を受信する。
【００３３】
図５は、アライメントマーク認識用エリアセンサ４が補正用マーク１０２Ａを撮像した画像３００の一例である。ＰＣ１は、画像３００の中心に仮想的に示した補正用マーク３０１と、実際に撮像された補正用マーク１０２Ａの差を、補正用マーク１０２Ａの誤差として算出する。同様に、ＰＣ１は、補正用マーク１０２Ｂの誤差を算出する。そして、ＰＣ１は、補正用マーク１０２Ａの誤差と補正用マーク１０２Ｂの誤差に基づいて、欠陥位置情報に含まれる欠陥座標を補正し、補正済欠陥座標を算出する。これにより、補正済欠陥座標は、実際に欠陥がある座標を示すこととなる。
【００３４】
ＰＣ１は、補正済欠陥座標を算出すると、補正済欠陥座標の示す位置を撮像できる位置に顕微鏡７を移動させるようにＸＹ軸ステージ５を制御する。なお、ＸＹ軸ステージ５は、ＰＣ１の制御のもと、フィルムＦに対して平行に顕微鏡７を移動させる装置である。
【００３５】
ＡＦ機能付きコントローラ６は、顕微鏡７が補正済欠陥座標の示す位置を撮像できる位置まで移動すると、顕微鏡７による撮像を開始する。このとき、ＡＦ機能付きコントローラ６は、顕微鏡７をＺ軸方向（フィルムＦに対して垂直方向）に移動させるＺ軸ステージ８を制御し、顕微鏡７をＺ軸方向に１０ミクロン刻みで移動させながら撮像を行い、最もコントラストの高い画像をフォーカスの合った画像として、ＰＣ１に送信する。
【００３６】
ＰＣ１は、ＡＦ機能付きコントローラ６から受信した欠陥位置を撮像した画像をディスプレイに表示したり、記憶部に記憶させたりする。そして、グレー欠陥は、欠陥位置の画像に基づいて、従来公知の方法により良否判定がなされる。
【００３７】
ライトテーブルＴは、顕微鏡７がフィルムＦを透過照明撮像する際の光源であり、フィルムＦを挟んで顕微鏡７の反対側に設けられる。ＡＦ機能のみではフィルムのたわみ等によるＺ軸方向の位置ずれに対応することができない場合があるため、本実施形態では、ライトテーブルＴをフィルムＦの下側から押しつけて、フィルムＦを支える。ライトテーブルＴには、ライトテーブルＴを上下動させるライトテーブル昇降機Ｅが設けられている。ライトテーブル昇降機Ｅは、図６（Ａ）に示すようにフィルムＦの搬送中にはライトテーブルＴをフィルムＦから離した位置に移動させ、図６（Ｂ）に示すようにフィルムＦの搬送停止中にはライトテーブルＴをフィルムＦに押しつける位置に移動させる。
【００３８】
なお、フィルムＦにおけるグレー欠陥の良否判定では、反射照明のみで欠陥位置を撮像した画像では明るさが足りずに判定が困難であるため、透過照明による撮像を行う必要がある。既存のレビュー装置等では、シート状ガラス等の検体の撮影を適切に行うために吸着テーブル（机上に小さな穴が設けられ、穴からエアを吸い込むことでフィルムＦを吸着するテーブル）により検体を固定しているが、吸着テーブルではその構造的特徴から透過照明撮像に充分な光源となり得ない。そこで、本実施形態では、吸着テーブルで固定できないために生じるフィルムＦのたわみ等によるＺ軸方向の位置ずれを、透過照明の光源であるライトテーブルＴをフィルムＦに下から押しつけて支えることにより解消している。
【００３９】
［４．レビュー装置の動作］
次に、図７を用いて、レビュー装置Ｓによる欠陥位置撮像処理について説明する。なお、図６は、欠陥位置撮像処理のフローチャートの一例を示す図である。
【００４０】
まず、ＰＣ１が、ＡＯＩ２００から欠陥位置情報を取得する（ステップＳ１）。このとき、ＰＣ１は、レビュー対象のフィルムＦにおけるグレー欠陥の位置を示す全ての欠陥位置情報を取得し、欠陥位置情報を、欠陥位置情報に含まれる欠陥シート識別情報の示す順序に従ってソートして記憶する。
【００４１】
次に、ＰＬＣ９が、ＰＣ１からステップＳ１が完了したことを示す信号が入力されたことに基づいて、モータ２Ｍを制御し、フィルムＦの搬送を開始させる（ステップＳ２）。また、ＰＬＣ９は、搬送されるシートの数の計数を開始する（ステップＳ３）。具体的には、ＰＬＣ９は、減速用センサ３Ａ又は停止用センサ３Ｂからマーク検出信号が入力された回数の計数を開始することにより、搬送されるシートの数の計数を開始する。
【００４２】
次に、ＰＬＣ９が、欠陥シート識別情報の示すシートに対応する停止用マーク１０１が減速用センサ３Ａにより検出されたか否かを判定する（ステップＳ４）。具体的には、ステップＳ４が実行される前までに、ＰＣ１が、欠陥位置情報をソート順に１件読み出して、当該欠陥位置情報に含まれる欠陥シート識別情報をＰＬＣ９に出力しておく。そして、ＰＬＣ９は、入力された欠陥シート識別情報の示す数（各シートに割り振られた通し番号）と、計数しているシートの数とを比較し、数が一致するシートに対応する停止用マーク１０１が減速用センサ３Ａにより検出されたか否かを判定する。
【００４３】
ＰＬＣ９は、欠陥シート識別情報の示すシートに対応する停止用マーク１０１が減速用センサにより検出されるまでステップＳ４の判定を繰り返し（この間、フィルムＦは通常速度で搬送されている）、欠陥シート識別情報の示すシートに対応する停止用マーク１０１が減速用センサにより検出されたと判定した場合には（ステップＳ４：ＹＥＳ）、搬送速度を減速するようにモータ２Ｍを制御する（ステップＳ５）。
【００４４】
次に、ＰＬＣ９が、欠陥シート識別情報の示すシートに対応する停止用マーク１０１が停止用センサ３Ｂにより検出されたか否かを判定する（ステップＳ６）。ＰＬＣ９は、欠陥シート識別情報の示すシートに対応する停止用マーク１０１が停止用センサ３Ｂにより検出されるまでステップＳ６の判定を繰り返し（この間、フィルムＦは低速で搬送されている）、欠陥シート識別情報の示すシートに対応する停止用マーク１０１が停止用センサ３Ｂにより検出されたと判定した場合には（ステップＳ６：ＹＥＳ）、搬送を停止するようにモータ２Ｍを制御する（ステップＳ７）。また、ＰＬＣ９は、フィルムＦの搬送を停止させると、フィルムＦの下側から押しつける位置にライトテーブルＴを移動させるよう、ライトテーブル昇降機Ｅに指示する。
【００４５】
フィルムＦの搬送が停止すると、アライメントマーク認識用エリアセンサ４により補正用マーク１０２Ａ及び補正用マーク１０２Ｂを撮像する。具体的には、まず、ＸＹ軸ステージ５がアライメントマーク認識用エリアセンサ４を、補正用マーク１０２Ａを撮像可能な位置に移動させる。次いでアライメントマーク認識用エリアセンサ４は、補正用マーク１０２Ａを撮像する。次にＸＹ軸ステージ５がアライメントマーク認識用エリアセンサ４を、補正用マーク１０２Ｂを撮像可能な位置に移動させる。次いでアライメントマーク認識用エリアセンサ４は、補正用マーク１０２Ｂを撮像する。アライメントマーク認識用エリアセンサ４は、撮像した画像を順次ＰＣ１に送信する。
【００４６】
ＰＣ１は、アライメントマーク認識用エリアセンサ４から画像を受信すると、それぞれの画像上の補正用マーク１０２Ａ又は補正用マーク１０２Ｂの位置に基づいて、座標誤差を算出し、補正済欠陥座標を算出する（ステップＳ９）。
【００４７】
ＰＣ１は、ステップＳ９の処理で算出した補正済欠陥座標に基づいて、顕微鏡７を移動させる（ステップＳ１０）。具体的には、ＰＣ１は、補正済欠陥座標の示す欠陥位置を撮像可能な位置に顕微鏡７を移動させるように、ＸＹ座標ステージ５を制御する。
【００４８】
顕微鏡７が補正済欠陥座標の示す位置を撮像できる位置まで移動すると、ＡＦ機能付きコントローラ６は、顕微鏡７を用いて欠陥位置を撮像する（ステップＳ１１）。ＡＦ機能付きコントローラ６は撮像した画像をＰＣ１に送信する。
【００４９】
ＰＣ１は、ＡＦ機能付きコントローラ６から画像を受信すると、ＰＣＬ９にフィルムＦの搬送を再開させる（ステップＳ１２）。なお、ＰＬＣ９は、フィルムＦの搬送を再開させる前に、ライトテーブルＴをフィルムＦから離すようにライトテーブル昇降機Ｅに指示する。
【００５０】
次に、ＰＣ１は、記憶部に記憶した全ての欠陥位置情報に対応する欠陥位置を撮像したか否かを判定する（ステップＳ１３）。このとき、ＰＣ１は、全ての欠陥位置情報に対応する欠陥位置を撮像したと判定した場合には（ステップＳ１３：ＹＥＳ）、フィルムＦの搬送が完了するまで搬送を継続して、フィルムＦの搬送が完了したら、欠陥位置撮像処理を終了する。一方、ＰＣ１は、全ての欠陥位置情報に対応する欠陥位置を撮像していないと判定した場合には（ステップＳ１３：ＮＯ）、ステップＳ４の処理に移行し、記憶部から次の欠陥位置情報をソート順に１件読み出して、当該欠陥位置情報に含まれる欠陥シート識別情報をＰＬＣ９に出力する。以降、レビュー装置Ｓは、全ての欠陥位置情報に対応する欠陥位置を撮像するまで、ステップＳ４からステップＳ１３の処理を繰り返す。
【００５１】
なお、上記フローチャートでは、１シートに存在する欠陥位置が一箇所のみである場合について説明したが、１シートに欠陥位置が複数箇所ある場合には、当該シートを停止させた状態で、各欠陥位置の撮像を行い、各欠陥位置の撮像が完了した後に、搬送を再開させる。また、ＰＣ１は、当該複数箇所の欠陥座標についてそれぞれ補正済欠陥座標を算出し、ＡＦ機能付きコントローラ６は、各補正済欠陥座標について撮像を行うものとする。
【００５２】
以上説明したように、本実施形態のレビュー装置Ｓ（「欠陥画像撮像装置」の一例）は、フィルムＦ（「ウェブ状フィルム」の一例）の欠陥位置ＸをＡＦ機能付きコントローラ６及び顕微鏡７（「欠陥画像撮像手段」の一例）により撮像する装置であって、ＰＣ１（「取得手段」の一例）が欠陥位置Ｘを特定するための欠陥位置情報をＡＯＩ２００から取得し、巻き返し機２（「搬送手段」の一例）がフィルムＦを搬送し、アライメントマーク認識用エリアセンサ４（「補正用マーク撮像手段」の一例）が、フィルムＦの搬送が停止された際、欠陥位置情報に含まれる欠陥座標を補正するためにフィルムＦに設けられた複数の補正用マーク１０２Ａ、１０２Ｂを撮像し、ＰＬＣ９（「搬送制御手段」の一例）が、各補正用マーク１０２Ａ、１０２Ｂがアライメントマーク認識用エリアセンサ４の撮像範囲に含まれる位置にフィルムＦを停止させるために、フィルムＦに搬送方向に沿って複数設けられた停止用マーク１０１のうち、欠陥座標の示す欠陥位置Ｘに対応する位置に設けられた停止用マーク１０１Ｘを減速用センサ３Ａ及び停止用センサ３Ｂ（「検出手段」の一例）が検出したことに基づいて、巻き返し機２による搬送を停止させ、ＰＣ１（「補正手段」の一例）が、アライメントマーク認識用エリアセンサ４により撮像された画像における各補正用マーク１０２Ａ、１０２Ｂの位置に基づいて、ＡＯＩ２００から取得した欠陥位置情報に含まれる欠陥座標を補正し、ＸＹ軸ステージ５（「移動手段」の一例）が、顕微鏡７がＰＣ１により補正された補正済欠陥座標の示す位置を撮像可能な位置に顕微鏡７を移動させる。
【００５３】
したがって、本実施形態のレビュー装置Ｓによれば、フィルムＦの搬送が停止された際にアライメントマーク認識用エリアセンサ４により撮像された画像における各補正用マーク１０２Ａ、１０２Ｂの位置に基づいて欠陥座標が補正されることから、顕微鏡７を補正済欠陥座標の示す位置に移動させることで、顕微鏡７により欠陥位置を精確に撮像することができる。
【００５４】
また、本実施形態のフィルムＦは複数のシートを含んでおり、欠陥位置情報が欠陥位置を含むシートを識別するための欠陥シート識別情報を更に含み、レビュー装置ＳのＰＬＣ９は、欠陥シート識別情報により識別されるシートに対応する停止用マーク１０１の検出に基づいて巻き返し機２による搬送を停止させる。これにより、欠陥位置を含むシートが顕微鏡７の移動範囲内に停止することから、顕微鏡７により欠陥位置を精確に撮像することができる。
【００５５】
また、本実施形態の顕微鏡７はＡＦ機能付きコントローラ６の制御のもと、オートフォーカス機能を備えている。これにより、搬送が停止した際のフィルムＦのたわみ等によるＺ軸方向の位置ずれがあっても欠陥位置を精確に撮像することができる。
【００５６】
また、本実施形態のレビュー装置Ｓは、ライトテーブルＴ（「照明手段」の一例）が、フィルムＦを挟んで顕微鏡７の反対側に設けられ、ライトテーブル昇降機Ｅ（「照明移動手段」の一例）が、フィルムＦの搬送中にライトテーブルＴをフィルムＦから離した位置に移動させ、フィルムＦの停止中にライトテーブルＴをフィルムＦに押しつける位置に移動させる。これにより、顕微鏡７により欠陥位置を撮像する際に、反対側からライトテーブルＴがフィルムＦに押しつけられることから、搬送が停止した際のフィルムＦのたわみ等によるＺ軸方向の位置ずれがあっても欠陥位置を精確に撮像することができる。
【００５７】
［５．変形例］
次に、上記実施形態の変形例について説明する。なお、以下に説明する変形例は適宜組み合わせることができる。
【００５８】
［５．１．シート識別マーク］
上記実施形態では、搬送中のシートが何シート目であるかを、搬送開始時から停止用マーク１０１の検出に基づいて計数することとしたが、これに代えて、フィルムＦに、各シートを識別するためのシート識別マークを設け、ＰＬＣ９は、シート識別マークを参照して、欠陥シート識別情報により識別されるシートを特定することとしてもよい。具体的には、例えば、シートの通し番号を示す２次元コードをフィルムＦの各シートに設けることとし、フィルムＦの搬送中に２次元コードリーダにより２次元コードを読み取り、読み取った情報をＰＬＣ９に入力する。そして、ＰＬＣ９は入力された情報に基づいて、搬送中のシートが何シート目であるかを判別する。これにより、シート識別マークに基づいて、欠陥位置を含むシートが顕微鏡７の移動範囲内に停止することから、顕微鏡７により欠陥位置を精確に撮像することができる。
【００５９】
［５．２．補正用マークと停止用マークの兼用］
上記実施形態では、停止マーク１０１とは別に補正用マーク１０２Ａ、１０２Ｂを設けることとしたが、両者を兼用とすることとしてもよい。例えば、図８に示すように、補正用マーク１０２Ａ、１０２Ｂを光電センサが検出可能な形態で形成し、アライメントマーク認識用エリアセンサ４で撮像するとともに、減速用センサ３Ａ及び停止用センサ３Ｂで検出することとする。
【符号の説明】
【００６０】
Ｓ  レビュー装置
１  ＰＣ
２  巻き返し機
２Ａ  巻き取り部
２Ｂ  巻き出し部
２Ｍ  モータ
３Ａ  減速用センサ
３Ｂ  停止用センサ
４  アライメントマーク認識用エリアセンサ
５  ＸＹ軸ステージ
６  ＡＦ機能付きコントローラ
７  顕微鏡
８  Ｚ軸ステージ
９  ＰＬＣ
Ｔ  ライトテーブル
Ｆ  フィルム
１０１  停止用マーク
１０２Ａ、１０２Ｂ  補正用マーク
【図１】
2015166722.tif 000003
【図２】
2015166722.tif 000004
【図３】
2015166722.tif 000005
【図４】
2015166722.tif 000006
【図５】
2015166722.tif 000007
【図６】
2015166722.tif 000008
【図７】
2015166722.tif 000009
【図８】
2015166722.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成26年3月5日(2014.3.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
フィルムＦの搬送が停止すると、アライメントマーク認識用エリアセンサ４により補正用マーク１０２Ａ及び補正用マーク１０２Ｂを撮像する（ステップＳ８）。具体的には、まず、ＸＹ軸ステージ５がアライメントマーク認識用エリアセンサ４を、補正用マーク１０２Ａを撮像可能な位置に移動させる。次いでアライメントマーク認識用エリアセンサ４は、補正用マーク１０２Ａを撮像する。次にＸＹ軸ステージ５がアライメントマーク認識用エリアセンサ４を、補正用マーク１０２Ｂを撮像可能な位置に移動させる。次いでアライメントマーク認識用エリアセンサ４は、補正用マーク１０２Ｂを撮像する。アライメントマーク認識用エリアセンサ４は、撮像した画像を順次ＰＣ１に送信する。