(57)【要約】【課題】高い生産性で半導体チップを製造可能とする方法を提供する。【解決手段】実施形態の半導体チップの製造方法は、保護膜を各々が含む複数のエッチングマスクを半導体基板上に形成して、前記半導体基板のうち前記複数のエッチングマスクによって保護された複数の第１領域と、前記半導体基板のうち露出した領域である第２領域とを画定することと、前記第２領域を化学的エッチング処理により異方的に除去して、前記エッチングマスクの端面と同一面内に少なくとも一部が位置した側壁と、前記半導体基板の裏面に到達した底部とを各々が有する複数の溝を形成し、これにより、前記半導体基板を、前記複数の第１領域に対応した複数のチップ本体へと個片化することとを含む。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
保護膜を各々が含む複数のエッチングマスクを半導体基板上に形成して、前記半導体基板のうち前記複数のエッチングマスクによって保護された複数の第１領域と、前記半導体基板のうち露出した領域である第２領域とを画定することと、
前記第２領域を化学的エッチング処理により異方的に除去して、前記エッチングマスクの端面と同一面内に少なくとも一部が位置した側壁と、前記半導体基板の裏面に到達した底部とを各々が有する複数の溝を形成し、これにより、前記半導体基板を、前記複数の第１領域に対応した複数のチップ本体へと個片化することと
を含んだ半導体チップの製造方法。
【請求項２】
前記エッチングマスクの上面は、一端同士が接した２つの線分によって規定される角部を有していない請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記化学的エッチング処理は、前記第２領域に貴金属触媒を設け、その後、前記半導体基板にエッチング液又はエッチングガスを接触させることを含む請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記貴金属触媒は粒状である請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記化学的エッチング処理は、前記複数のチップ本体の各々が、その端面に、前記チップ本体の前記保護膜が形成されている面から反対側の面へ向けて各々が延びた筋状の凹部又は凸部を有するように行う請求項１乃至４の何れか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記凹部又は凸部の各々は１０乃至１００ｎｍの幅を有する請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記半導体基板はシリコン基板である請求項１乃至６の何れか１項に記載の方法。
【請求項８】
半導体素子を含んだ表面領域を有しているチップ本体を具備し、前記チップ本体の端面は前記チップ本体の前記表面領域側の面から反対側の面へ向けて各々が延びた筋状の凹部又は凸部であるエッチング痕を有している半導体チップ。
【請求項９】
前記凹部又は凸部の各々は１０乃至１００ｎｍの幅を有する請求項８に記載の半導体チップ。
【請求項１０】
前記表面領域を覆った保護膜を更に具備し、前記チップ本体の前記表面領域側の面の輪郭は、前記表面領域側の面を含む平面への前記保護膜の正射影の輪郭と少なくとも部分的に一致している請求項８又は９に記載の半導体チップ。
【請求項１１】
前記チップ本体の前記表面領域側の面は、一端同士が接した２つの線分によって規定される角部を有していない請求項８乃至１０の何れか１項に記載の半導体チップ。
【請求項１２】
半導体素子を含んだ表面領域を有しているチップ本体と、前記表面領域を覆った保護膜とを具備し、前記チップ本体は、前記保護膜を含んだエッチングマスクを半導体基板上に形成し、この半導体基板を貴金属触媒とエッチング液又はエッチングガスとを用いた化学的エッチング処理に供することによって個片化されたものであり、前記チップ本体の前記表面領域側の面の輪郭は、この上面を含む平面への前記保護膜の正射影の輪郭と少なくとも部分的に一致している半導体チップ。
【請求項１３】
半導体素子を含んだ表面領域を有しているチップ本体を具備し、前記チップ本体は、保護膜を含んだエッチングマスクを半導体基板上に形成し、この半導体基板を貴金属触媒とエッチング液又はエッチングガスとを用いた化学的エッチング処理に供することによって個片化されたものであり、前記チップ本体の前記表面領域側の面は、一端同士が接した２つの線分によって規定される角部を有していない半導体チップ。
【請求項１４】
支持部材と、
前記支持部材上に位置した、請求項８乃至１３の何れか１項に記載の半導体チップと、
前記半導体チップを覆うように前記支持部材上に設けられたモールド樹脂と
を具備した半導体装置。
【請求項１５】
支持部材と、
前記支持部材上に位置した、請求項８乃至１３の何れか１項に記載の半導体チップと、
前記支持部材と前記半導体チップとの間に介在した接合部材と
を具備した半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、半導体チップの製造方法、半導体チップ、及び半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板のチップへの個片化には、回転するブレードによりウエハを機械的に切断するブレードダイシングが一般的に用いられている。ブレードダイシングでは、半導体基板に複数のダイシング溝を順次形成して、半導体基板をチップへと個片化する。このため、ブレードダイシングには、チップサイズを小さくして、ダイシング溝の数（ライン数）を多くすると、ライン数に比例してダイシング時間が長くなるという問題がある。
【０００３】
また、ブレードダイシングによって得られるチップは、角部が直角であり、耐衝撃性が低い。しかも、ブレードダイシングは、チップの端部に微細な欠け（チッピング）を生じるため、それによって得られるチップは抗折強度が低い。
【０００４】
ところで、近年、化学的な作用によって、高アスペクト比の深い孔を単結晶基板に形成することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表２０１３−５２７１０３号公報
【特許文献２】特開２０１１−１０１００９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、高い生産性で半導体チップを製造可能とする方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態によれば、半導体チップの製造方法は、保護膜を各々が含む複数のエッチングマスクを半導体基板上に形成して、前記半導体基板のうち前記複数のエッチングマスクによって保護された複数の第１領域と、前記半導体基板のうち露出した領域である第２領域とを画定することと、前記第２領域を化学的エッチング処理により異方的に除去して、前記エッチングマスクの端面と同一面内に少なくとも一部が位置した側壁と、前記半導体基板の裏面に到達した底部とを各々が有する複数の溝を形成し、これにより、前記半導体基板を、前記複数の第１領域に対応した複数のチップ本体へと個片化することとを含む。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】エッチングマスクが形成された半導体基板の上面図。
【図２】図１に示した半導体基板の一部を示す断面図。
【図３Ａ】エッチングマスクの形状の一例を示す平面図。
【図３Ｂ】エッチングマスクの形状の他の例を示す平面図。
【図３Ｃ】エッチングマスクの形状の更に他の例を示す平面図。
【図３Ｄ】エッチングマスクの形状の更に他の例を示す平面図。
【図３Ｅ】エッチングマスクの形状の更に他の例を示す平面図。
【図４】図２の工程に続く工程を示す断面図。
【図５】貴金属触媒が配置された半導体基板の上面図。
【図６】露出領域に配置された貴金属触媒を示す図。
【図７】Ａｇナノ粒子触媒の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真。
【図８】置換めっきの結果を示すＳＥＭ写真。
【図９】図４の工程に続く工程を示す断面図。
【図１０】ディープトレンチが形成された半導体基板の上面図。
【図１１】エッチング処理後のシリコン基板の断面ＳＥＭ写真。
【図１２】図９の工程に続く工程を示す断面図。
【図１３】針状残りを生じた半導体基板の上面図。
【図１４】個片化された半導体チップの一例を示す斜視図。
【図１５Ａ】一実施形態にかかる半導体チップの製造方法の一工程を示す断面図。
【図１５Ｂ】図１５Ａの工程に続く工程を示す断面図。
【図１５Ｃ】図１５Ｂの工程に続く工程を示す断面図。
【図１５Ｄ】図１５Ｃの工程に続く工程を示す断面図。
【図１５Ｅ】図１５Ｄの工程に続く工程を示す断面図。
【図１６】個片化された半導体チップ群を示す上面図。
【図１７Ａ】エッチング痕の一例を概略的に示す斜視図。
【図１７Ｂ】エッチング痕の他の例を概略的に示す斜視図。
【図１７Ｃ】エッチング痕の更に他の例を概略的に示す斜視図。
【図１８】一実施形態にかかる半導体装置の断面図。
【図１９】他の実施形態にかかる半導体装置の断面図。
【図２０】更に他の実施形態にかかる半導体装置の断面図。
【図２１Ａ】電極パッドを含んだチップ本体の一例を示す拡大断面図。
【図２１Ｂ】電極パッドを電極保護層で被覆したチップ本体の一例を示す拡大断面図。
【図２２】チップ本体の絶縁膜等を示す拡大断面図。
【図２３Ａ】他の実施形態にかかる半導体チップの製造方法の工程を示す断面図。
【図２３Ｂ】図２３Ａの工程に続く工程を示す断面図。
【図２３Ｃ】図２３Ｂの工程に続く工程を示す断面図。
【図２４Ａ】他の実施形態にかかる半導体チップの製造方法の一工程を示す断面図。
【図２４Ｂ】図２４Ａの工程を示す上面図。
【図２５Ａ】図２４Ａの工程に続く工程を示す断面図。
【図２５Ｂ】図２５Ａの工程を示す上面図。
【図２６Ａ】図２５Ａの工程に続く工程を示す断面図。
【図２６Ｂ】図２６Ａの工程を示す上面図。
【図２７Ａ】図２６Ａの工程に続く工程を示す断面図。
【図２７Ｂ】図２７Ａの工程を示す上面図。
【図２８Ａ】図２７Ａの工程に続く工程を示す断面図。
【図２８Ｂ】図２８Ａの工程を示す上面図。
【図２９Ａ】図２８Ａの工程に続く工程を示す断面図。
【図２９Ｂ】図２９Ａの工程を示す上面図。
【図３０】半導体基板の他の例を示す断面図。
【図３１Ａ】他の実施形態の方法の一工程を示す断面図。
【図３１Ｂ】図３１Ａの工程に続く工程を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
【００１０】
図１は、一実施形態にかかる方法に用いる半導体基板の上面図である。図２は、図１の半導体装置の部分断面図を示している。
【００１１】
図示するように、半導体基板１０には、１以上の半導体素子を各々が含んだ複数の素子領域１２が設けられている。これら素子領域１２は、互いから離間して配列している。各素子領域１２は、エッチングマスク１４で覆うことにより保護されている。
【００１２】
素子領域１２が含んでいる半導体素子は、例えば、トランジスタ、ダイオード、発光ダイオード又は半導体レーザである。素子領域１２は、キャパシタや配線などを更に含むことができる。
【００１３】
隣り合った素子領域１２間の領域は、半導体基板１０の表面が露出した露出領域１８である。追って説明するように、この露出領域１８には、貴金属触媒が配置される。本実施形態においては、貴金属触媒とエッチング液とを用いた化学的エッチング処理を施して半導体基板１０の露出領域１８を除去することによって、個片化された半導体チップが得られる。
【００１４】
図２に示す例においては、エッチングマスク１４は、絶縁膜１５と保護膜１６との積層構造で構成されている。絶縁膜は保護膜の一種ということができるが、絶縁膜１５を設けることによって、素子領域１２の電極パッド（図示せず）を確実に保護することが可能となる。場合によっては、絶縁膜及び保護膜の何れか一方で、エッチングマスク１４を構成してもよい。
【００１５】
なお、半導体基板１０の裏面には、個片化されたチップを保持するためのダイシングシート２０を貼り付けておくことが好ましい。
【００１６】
半導体基板１０は、貴金属触媒の効果で選択的にエッチング可能なものであり、例えば、Ｓｉ、Ｇｅ、III-Ｖ族半導体、即ちIII族元素とＶ元素との化合物からなる半導体（例えばＧａＡｓ、ＧａＮなど）、及びＳｉＣ等から選択される材料で構成することができる。なお、ここで使用する用語「族」は、短周期型周期表の「族」である。
【００１７】
半導体基板１０の厚さは特に限定されず、目的とされる半導体チップのサイズに応じて適宜選決定すればよい。半導体基板１０の厚さは、例えば５０μｍ乃至５００μｍの範囲とすることができる。半導体基板１０への不純物のドーピング量も同様に、特に限定されず適宜決定すればよい。半導体基板１０の主面は、半導体の何れの結晶面に対して平行であってもよい。
【００１８】
エッチングマスク１４は、素子領域１２を覆うように、半導体基板１０の上面の複数の領域に選択的に形成される。各エッチングマスク１４の上面形状は、矩形状に限定されず、図３Ａ乃至図３Ｅに示すような種々の形状とすることができる。  
図３Ａに示すようにエッチングマスク１４をラウンド状の角部を有するように形成した場合には、個片化されたチップにおいても、角部はラウンド状となる。言い換えると、エッチングマスク１４及び半導体チップのこのような上面形状は、輪郭を構成している直線（線分）同士が接する部分を有しない形状、即ち、輪郭を構成している線分が互いから離間した形状である。角部をラウンド状とすることによって、チップの機械的強度が高められる。
【００１９】
エッチングマスク１４の上面は、５以上の辺を有する多角形であってもよい。例えば、図３Ｂに示す例では、エッチングマスク１４は、各々が六角形の上面を有しており、ハニカム状に配置されている。エッチングマスクがこのような上面形状を有している場合、上面が５以上の辺を有する多角形である半導体チップが得られる。多角形の各内角が９０°よりも大きい半導体チップは、多角形の各内角が９０°である半導体チップと比較して、高い機械的強度を有している。
【００２０】
エッチングマスク１４は、図３Ｃに示すような円形の上面を有していてもよい。エッチングマスクがこのような上面形状を有している場合、上面が円形である半導体チップが得られる。上面が円形の半導体チップは、上面がラウンド状の角部を有する矩形である半導体チップと同等以上の機械的強度を有している。
【００２１】
半導体チップの上面形状が回転対称性を有している場合、半導体チップの上面形状のみに基づいてその方位合わせをすることはできない。図３Ｅに示すように、エッチングマスク１４の上面を回転対称性を有していない形状とすると、上面が回転対称性を有していない形状の半導体チップが得られる。そのような半導体チップは、例えば、上面形状のみに基づいてその方位合わせをすることができる。なお、回転対称性を有していない形状に特に制限はないが、例えば、１以上の角部の形状が他の角部の形状とは異なっている形状や、切り欠きが設けられた形状が挙げられる。
【００２２】
半導体基板上に形成されるエッチングマスクが、全て同一の形状である必要はない。例えば、図３Ｄに示すような異なる形状のパターンとして、エッチングマスク１４を形成することもできる。
【００２３】
何れの形状のエッチングマスクが用いられた場合も、このマスクの上面形状をほぼ忠実に反映した上面形状を有するように、半導体チップが個片化される。
【００２４】
絶縁膜１５の材料としては、貴金属触媒が半導体基板へ付着するのを抑制できるものであれば特に限定されず、有機及び無機の何れの絶縁材料を用いてもよい。有機の絶縁材料としては、例えば、ポリイミド、フッ素樹脂、フェノール樹脂、及びエポキシ樹脂等の有機樹脂が挙げられる。無機の絶縁材料としては、例えば酸化膜及び窒化膜等が挙げられる。絶縁膜１５は、必ずしも素子領域１２上に別途形成する必要はない。素子領域１２を構成している絶縁膜の一部を、絶縁膜１５として使用することも可能である。
【００２５】
なお、絶縁膜として有機樹脂のような衝撃吸収性を有する材料を用いた場合は、この絶縁膜を永久膜として最終製品に残置することができる。残された絶縁膜を個片化チップの衝撃吸収膜として利用すると、個片化チップの上面が完全に衝撃吸収膜で覆われる構造となるので、チップの機械的強度が高められる。
【００２６】
保護膜１６の材料としては、エッチング液に侵食されないものであれば特に限定されない。例えば、ポリイミド、フッ素樹脂、フェノール樹脂、及びエポキシ樹脂等の有機樹脂、又は、Ａｕ、Ａｇ及びＰｔなどの貴金属を用いて、保護膜１６を形成することができる。
【００２７】
露出領域１８は、半導体チップの個片化に用いられ、いわゆるダイシングラインに相当する。この露出領域１８の幅は、特に限定されないが、例えば１μｍ乃至２００μｍの範囲である。
【００２８】
露出領域１８には、図４に示すように貴金属触媒２２を配置する。ここでは、エッチングマスク１４は、露出領域１８以外の箇所に貴金属触媒２２が付着するのを防ぐマスクとして作用する。露出領域１８に貴金属触媒２２が配置された半導体基板１０の上面図を、図５に示す。
【００２９】
貴金属触媒２２は、この貴金属触媒と接触している半導体基板１０の酸化反応を活性化させる。この酸化反応を活性化させる効果を有する任意の貴金属を、貴金属触媒２２として用いることができる。貴金属触媒２２の材料は、例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、及びＰｄなどから選択することができる。
【００３０】
貴金属触媒２２は、例えば粒状で配置することができる。粒状の貴金属触媒は、エッチング中にも安定しているので好ましい。粒状触媒の形状としては、球状、棒状、及び板状などが挙げられる。球状の場合には、半導体基板のエッチングが進行する方向が垂直に近づくので好ましい。粒状触媒の粒径は特に限定されず、例えば数十ｎｍ乃至数百ｎｍの範囲とすることができる。なお、エッチング後のチップ分割を容易にするために、粒状触媒は高密度又は多層に配置することが好ましい。
【００３１】
図６には、露出領域１８に粒状の貴金属触媒２２が配置された半導体基板１０の上面の一部を表わす模式図を示す。
【００３２】
貴金属触媒は、例えば、電解めっき、還元めっき、及び置換めっきなどの手法により、半導体基板１０の露出領域１８に配置することができる。また、貴金属粒子を含む分散液の塗布、蒸着、スパッタリング等を用いてもよい。これら手法のなかでも、置換めっきを用いた場合には、ダイシングラインに相当する露出領域１８に、粒状の貴金属触媒を、一様に直接形成することができる。
【００３３】
置換めっきにより粒状の貴金属触媒を配置するには、例えば硝酸銀溶液を用いることができる。以下に、このプロセスの一例を説明する。置換めっき液としては、例えば硝酸銀溶液とフッ化水素酸と水との混合液を用いることができる。フッ化水素酸は、半導体基板表面の自然酸化膜を除去する作用を有している。
【００３４】
置換めっき液中における硝酸銀濃度は、０．００１ｍｏｌ／Ｌ乃至０．１ｍｏｌ／Ｌの範囲が好ましく、０．００５乃至０．０１ｍｏｌ／Ｌの範囲がより好ましい。置換めっき液中におけるフッ化水素濃度は、１ｍｏｌ／Ｌ乃至６．５ｍｏｌ／Ｌの範囲が好ましい。
【００３５】
所定の領域がエッチングマスクで選択的に保護された半導体基板１０を、上述したような置換めっき液に１乃至５分程度浸漬することによって、半導体基板１０の露出領域１８にのみ選択的に、粒状の貴金属触媒２２としてのＡｇナノ粒子を析出させることができる。なお、置換めっき液の温度は、特に限定されず、例えば２５℃、３５℃など適宜設定すればよい。
【００３６】
図７には、置換めっきによりシリコン基板上にＡｇナノ粒子群が形成されたサンプルのＳＥＭ画像を示す。ここでは、所定の領域がエッチングマスクで保護された単結晶シリコン基板を、２５℃の置換めっき液に３分間浸漬して、単結晶シリコン基板の露出領域にＡｇナノ粒子を形成した。
【００３７】
エッチングマスクとしては、ポリイミド膜からなる絶縁膜を用い、置換めっき液としては、０．００５ｍｏｌ／Ｌの硝酸銀と、５．０ｍｏｌ／Ｌのフッ化水素とを含む水溶液を用いた。図７のＳＥＭ画像では、粒状の貴金属触媒２２に相当するＡｇナノ粒子２２ａは、に白色領域として示されている。これらＡｇナノ粒子２２の粒径は１００ｎｍ前後である。
【００３８】
Ａｇナノ粒子２２の粒径は、例えば、浸漬時間や置換めっき液の濃度を変更することによって、制御することができる。Ａｇナノ粒子の粒径は、数十乃至数百ｎｍ程度であることが好ましい。このような範囲の粒径を有するＡｇナノ粒子が形成されていれば、エッチング液に浸漬した際に、半導体基板のエッチングが良好に進行することが確認された。
【００３９】
なお、必ずしも単結晶シリコン基板の露出領域の全表面が、Ａｇナノ粒子で完全に覆われるわけではない。図７のＳＥＭ画像の一部には、半導体基板１０の表面の一部が黒色領域として示されている。
【００４０】
ここで、組成の異なる種々の置換めっき液中にＳｉ基板を１分間浸漬した結果の一例を、図８にまとめる。置換めっき液中における硝酸銀溶液の濃度は０．００１乃至０．０５ｍｏｌ／Ｌとし、フッ化水素の濃度は３．５乃至６．５ｍｏｌ／Ｌとし、置換めっき液の温度は２５℃であった。
【００４１】
置換めっき液におけるフッ化水素の濃度が３．５乃至６．５ｍｏｌ／Ｌの範囲内の何れの値であっても、硝酸銀の濃度が０．０３ｍｏｌ／Ｌ以上の場合には、Ａｇの結晶は樹状に成長し、０．００５乃至０．０１ｍｏｌ／Ｌの場合に、粒径１０乃至１００ｎｍ程度のＡｇナノ粒子の形成が確認される。所望の粒径のＡｇナノ粒子を得るには、置換めっき液の組成及び温度、浸漬時間などを適宜設定して、置換めっきを行なえばよい。
【００４２】
貴金属触媒２２が配置された半導体基板を、図９に示すようにエッチング液３０に浸漬する。エッチング液３０としては、フッ化水素酸と酸化剤とを含む混合液が用いられる。貴金属触媒２２の作用により、貴金属触媒２２と接触している箇所（露出領域１８）においてのみ半導体基板１０の酸化が起こる。半導体基板１０の酸化した領域をフッ化水素酸により溶解除去し、粒状の貴金属触媒２２に接触している箇所のみを選択的にエッチングすることが可能となる。即ち、露出領域１８のエッチングは異方的に進行する。
【００４３】
半導体基板１０が選択的に溶解除去される際、貴金属触媒２２自体は変化せず、エッチングの進行とともに半導体基板１０の下方に移動して、そこで再度エッチングが行われていく。従って、半導体基板１０をエッチング液３０に浸漬させた場合には、半導体基板１０の表面に対して垂直方向にエッチングが進んで複数の溝又は孔が形成される。本実施形態においては、こうして形成される溝又は孔をディープトレンチ２４ａと称する。図１０には、露出領域１８にディープトレンチ２４ａが形成された半導体基板１０の上面図を示す。鮮明には示されていないが、半導体基板１０には、露出領域１８に多数のディープトレンチ２４ａが形成されている。
【００４４】
ディープトレンチ２４ａが形成される領域は、図７に示したＡｇナノ粒子２２ａが存在する領域（白色領域）に対応するということができる。図７におけるＡｇナノ粒子２２ａが存在しない領域（黒色領域）では、半導体基板１０のエッチングは進行しないことになる。これについては追って説明する。
【００４５】
エッチング液としては、フッ化水素酸と酸化剤とを含む混合液を用いることができる。酸化剤は、過酸化水素、硝酸、ＡｇＮＯ3、ＫＡｕＣｌ4、ＨＡｕＣｌ4、Ｋ2ＰｔＣｌ6、Ｈ2ＰｔＣｌ6、Ｆｅ（ＮＯ3）3、Ｎｉ（ＮＯ3）2、Ｍｇ（ＮＯ3）2、Ｎａ2Ｓ2Ｏ8、Ｋ2Ｓ2Ｏ8、ＫＭｎＯ4、及びＫ2Ｃｒ2Ｏ7などから選択することができる。有害な副生成物が発生せず、素子領域の汚染も生じないことから、酸化剤としては過酸化水素が好ましい。なお、エッチング液の代わりに、フッ素ガスと酸化性ガスとの混合気体を用いて、乾式プロセスによりエッチングを進めることも可能である。
【００４６】
エッチング液におけるフッ化水素及び酸化剤の濃度は特に限定されない。例えば、フッ化水素濃度が５ｍｏｌ／Ｌ乃至１５ｍｏｌ／Ｌであり、過酸化水素濃度が０．３ｍｏｌ／Ｌ乃至５ｍｏｌ／Ｌの水溶液が使用可能である。
【００４７】
半導体基板１０の露出領域１８をより確実にエッチングするためには、基板の材質に応じた酸化剤を用いることが望まれる。例えば、酸化剤としては、Ｇｅ基板の場合にはＡｇＮＯ3等のＡｇ系の塩が好ましく、ＳｉＣ基板の場合にはＫ2Ｓ2Ｏ8が好ましい。ＧａＡｓ及びＧａＮ等のIII−Ｖ族半導体からなる基板やＳｉ基板の場合には、酸化剤として過酸化水素が好ましい。なかでも、Ｓｉ基板を用いた場合には、特に良好にエッチングが進行する。
【００４８】
図１１には、エッチング液に浸漬した後の単結晶シリコン基板の断面ＳＥＭ画像の一例を示す。単結晶シリコン基板の露出領域には、図７のＳＥＭ画像に示したように複数のＡｇナノ粒子が形成されていた。図１１のＳＥＭ画像は、そのような単結晶シリコン基板を、フッ化水素濃度が１０ｍｏｌ／Ｌであり、過酸化水素濃度が１ｍｏｌ／Ｌの水溶液に１０分間浸漬した結果である。
【００４９】
図１１のＳＥＭ画像においては、領域Ａはエッチングマスクで保護された部分であり、領域Ｂは貴金属触媒として複数のＡｇナノ粒子が配置された露出領域に相当する。領域Ｂには、複数のディープトレンチが黒色領域として示されている。本実施形態によれば、エッチングマスクパターンの開口部に相当するシリコン基板の露出領域に、複数のディープトレンチを形成できることがわかる。いわゆるセルフアラインで形成されるので、エッチングマスクで保護された領域Ａに対して最も近くに位置したディープトレンチは、エッチングマスクの端面と同一面内に側壁を有することができる。
【００５０】
エッチングを進めて、図１２に示すようにディープトレンチ２４ａを半導体基板１０の裏面まで到達させる。粒状の貴金属触媒２２を半導体基板１０上の露出領域１８に高密度に配置しておくことで、この露出領域１８に形成されるディープトレンチ２４ａの密度も高くなる。複数のディープトレンチ２４ａが互いに繋がることによりチップ分割溝２４が構成されて、エッチングが完了した時点では、半導体基板１０は素子領域１２を各々が含む複数のチップ本体１０’へと個片化される。なお、ここでは、チップ本体１０’とエッチングマスク１４とを含んだ構造２８を、チップ又は半導体チップと呼ぶ。
【００５１】
図１２に示されるように、個片化されたチップ本体１０’の間であって、粒状の貴金属触媒２２の隙間に相当する箇所には、針状残り２６が発生している。図１３に、針状残り２６を生じた半導体基板１０の上面図を示す。この時点で個片化プロセスを完了し、各チップ２８をピックアップして使用することも可能である。この手法は、個片化された半導体チップが簡易に得られる点で有利である。
【００５２】
個片化後、必要であれば、粒状の貴金属触媒２２を化学的に除去してもよい。貴金属触媒２２は、溶解液を用いた湿式エッチングにより除去することができる。溶解液としては、半導体基板１０、絶縁膜１５及び保護膜１６を侵食せず、貴金属触媒膜を除去可能な任意の液体を用いることができる。具体的には、溶解液としては、ハロゲン溶液、ハロゲン化アンモニウム溶液、硝酸、及び王水などが挙げられる。
【００５３】
個片化後には、必要に応じて保護膜１６を除去してもよい。シンナーによる溶解除去又はＯ2プラズマによる除去などを適用して、保護膜１６を除去することができる。
【００５４】
必要であれば、絶縁膜１５も除去することができる。絶縁膜１５の除去方法には、シンナーによる溶解除去、及び各種プラズマによる除去などが適用可能である。
【００５５】
また、必要であれば、針状残り２６をエッチング除去してもよい。針状残り２６を除去した場合には、半導体チップ２８をピックアップする際、針状残りがダストとしてチップに付着するおそれを低減することができる。
【００５６】
針状残り２６は、半導体基板材料をエッチング可能な任意のエッチング方法により除去することができる。例えばシリコン基板の場合には、湿式エッチング法及びドライエッチング法の何れを用いてもよい。湿式エッチング法におけるエッチング液は、例えば、フッ化水素酸と硝酸と酢酸との混合液、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）、及びＫＯＨ等から選択することができる。ドライエッチング法としては、例えば、ＳＦ6、ＣＦ4、Ｃ2Ｆ6、Ｃ3Ｆ8、ＣＣｌＦ2、ＣＣｌ4、ＰＣｌ3、ＣＢｒＦ3などのガスを用いたプラズマエッチングが挙げられる。
【００５７】
図１４には、一実施形態にかかる半導体チップ２８の斜視図を示す。図示するように、一実施形態にかかる半導体チップ２８において、チップ本体１０’の素子領域が形成された面は、エッチングマスクの一部として用いられた絶縁膜（図示せず）と、エッチングマスクの他の一部として用いられた保護膜１６との積層体によって覆われている。この保護膜１６の端面は、少なくとも部分的にチップ本体１０’の側面と面一である。チップ本体１０’の平面形状、具体的には上面の輪郭は、この上面を含む平面への保護膜１６の正射影の輪郭に少なくとも部分的に一致しているということができる。この構造を採用すると、チップ本体１０’の上面のうち保護膜１６から露出する領域は大幅に低減される。従って、チップの機械的強度が高められる。保護膜１６は、チップ本体１０’の上面全域を覆うこともできる。この場合、強度はよりいっそう高められる。
【００５８】
保護膜１６が耐衝撃性の高い材料の場合には、保護膜１６が外部衝撃やピックアップ装置の接触によるチップ欠けを抑制する効果は、よりいっそう大きなものとなる。耐衝撃性の高い材料としては、例えば、ポリイミド、フッ素樹脂、フェノール樹脂、及びエポキシ樹脂等の有機樹脂が挙げられる。
【００５９】
しかも、図１４に示されるように、この半導体チップ２８の上面における角部Ｃ１はラウンド状であるので、耐衝撃性が高められる。下面においても、角部Ｃ２はラウンド状であるので、本実施形態にかかる半導体チップ２８は、抗折強度が低下することはない。これによって、外部衝撃やチップピックアップ装置の接触によるチップの欠けも大幅に抑制される。
【００６０】
本実施形態における半導体チップ２８は、化学的エッチング処理を用いた個片化によって得られたものであるので、側面は物理的なダメージを受けていない。このことは、半導体チップの動作の信頼性の向上につながる。
【００６１】
エッチングマスクとして絶縁膜を用い、粒状の貴金属触媒を配置して半導体基板を半導体チップへと個片化するプロセスを、図１５Ａ乃至図１５Ｅにまとめる。なお、ここでは、保護膜１６は省略する。
【００６２】
図１５Ａに示すように、複数の素子領域１２が形成された半導体基板１０において、素子領域１２は、エッチングマスクとしての絶縁膜１５によって保護される。エッチングマスクは、半導体基板１０に、エッチングマスクによって保護された領域と、露出した領域である露出領域１８とを画定している。なお、半導体基板１０の裏面には、ダイシングシート２０が設けられている。
【００６３】
半導体基板１０の露出領域１８には、図１５Ｂに示すように粒状の貴金属触媒２２を配置する。半導体基板１０は、図１５Ｃに示すようにエッチング液３０に浸漬する。半導体基板１０の露出領域１８ではエッチングが進行して、露出領域１８の各々に複数のディープトレンチ２４ａが形成される。複数のディープトレンチ２４ａが形成されることによって、エッチングされた領域には針状残りが生じることになる。
【００６４】
半導体基板１０の裏面までエッチングを進めた後には、図１５Ｄに示すように、露出領域１８に対応する領域に針状残り２６が存在する。ダイシングシート２０上の針状残り２６及び貴金属触媒２２を除去して、図１５Ｅに示すような半導体チップ２８’が得られる。ここでは、半導体チップ２８’は、チップ本体１０’と絶縁膜１５とを含んでいる。半導体チップ２８’の間では、図１６の上面図に示すようにダイシングシート２０が露出する。
【００６５】
図１５Ｅに示されるチップ本体１０’の側面２９には、エッチングマスクの近傍に位置した粒状の貴金属触媒２２に起因して、上面から下面方向に向けて各々が延びたエッチング痕が、チップ本体１０’の周方向に連続するように形成されている。エッチング痕は、用いた粒状の貴金属触媒２２の大きさや形状を反映した凹部又は凸部であり、縦筋として形成されることが多いが、斜め方向に延びた凹部又は凸部として形成される場合もある。エッチング痕を形成する凹部又は凸部の幅は、粒状の貴金属触媒の粒径に依存するが、一般的には１０乃至１００ｎｍ程度、特に１０乃至５０ｎｍ程度である。
【００６６】
チップ本体１０’の側面２９におけるエッチング痕の一例を、図１７Ａの模式図に示す。図示するように、側面２９には、ナノオーダーのエッチング痕３２が形成されている。エッチング痕はナノオーダーの凹部又は凸部であるので、チップ本体１０’の側面２９に存在していても何ら不利に作用することはない。なお、エッチング条件によっては、エッチング痕３２は、縦筋状ではなく、図１７Ｂに示すように形状や配置がランダムな凹部又は凸部として形成される場合もある。
【００６７】
以下に、エッチング痕３２が形成されるプロセス及びメカニズムについて説明する。  
露出領域１８に粒状の貴金属触媒２２を形成した場合、図６に示すように、貴金属触媒２２が占める領域の形状は、露出領域１８の形状とは完全には一致せず、粒形状に応じた凹凸を有している。適正な条件、例えばフッ化水素酸１０ｍｏｌ／Ｌ、過酸化水素２ｍｏｌ／Ｌの条件でエッチングを行うと、エッチングは貴金属触媒２２のごく近傍でしか起こらない。そのため、チップ本体１０’の側壁には、貴金属触媒２２の粒形状を反映して、上面から下面方向に向けて各々が延びたエッチング痕３２が形成される。一方、エッチング液の酸化剤濃度が高い条件、例えばフッ化水素酸２．５ｍｏｌ／Ｌ、過酸化水素８ｍｏｌ／Ｌの条件でエッチングを行うと、貴金属触媒２２が影響を及ぼす範囲が広がる。そのため、エッチング痕３２は、もはや貴金属触媒２２の粒形状を反映せず、ランダムな凹凸形状として形成される。
【００６８】
個片化をプラズマエッチングで実施した場合、図１７Ｃに示すように、プラズマ処理における切り替え動作に起因して、チップ本体１０’の側面２９には、デバイス形成面に対して平行な横溝が形成される。このような構造を有している半導体チップは、本実施形態に係る半導体チップとは異なる。
【００６９】
エッチング痕を側面２９に有する半導体チップ２８’は、図１８に示すようにボンディング材３４を介して基板３５上に据え付けることができる。なお、ボンディング材３４は、例えば、接着剤、粘着フィルム、又は異方性導電膜である。また、基板３５は、例えば、回路基板又はインターポーザである。
【００７０】
側面２９にエッチング痕を有している構造は、側面２９にエッチング痕を有していない構造と比較して表面積が大きい。そのため、半導体チップ２８’は、この側面２９からの放熱効率が高い。特に、光半導体チップやパワーデバイスなどにとっては、チップの放熱性は、チップの正常動作を保障するうえで重要な特性である。なお、図１８においては、半導体チップの上面で電極パッド５１が露出している。電極パッドについては追って説明する。
【００７１】
図１９に示すように、基板３５と半導体チップ２８’との間にはんだ３６などの接合部材を配置した場合にも、側面２９のエッチング痕の効果が発揮される。この場合には、余剰はんだは、毛細管現象によって側面２９上を上方に移動し得る。これによって、基板３５を基準としたチップ２８’の高さが低減されるとともに、この高さのばらつきも抑制される。また、はんだ３６の許容塗布量マージンを拡げることができ、工程管理が容易となる。更に、この構造を採用した場合、側面２９は熱伝導率が高いはんだ３６と接触するため、放熱量の増加も期待できる。本効果は、接合部材として、はんだ３６の代わりにアンダーフィル剤を用いた場合も同様である。
【００７２】
エッチング痕を側面２９に有する半導体チップ２８’をリードフレーム上に配置し、樹脂モールドした場合には、図２０に示すような半導体装置４０が得られる。図示する半導体装置４０においては、リードフレーム４１ａ上にボンディング材４３を介して半導体チップ２８’が配置されている。この半導体チップ２８’は、上述したようなナノオーダーのエッチング痕を側面２９に有するものであり、Ａｌワイヤー４５によってリードフレーム４１ｂと電気的に接続されている。これらは、リードフレーム４１ｂの外部接続用の端部を除き、モールド樹脂４７ａ及び４７ｂにより封止されている。
【００７３】
半導体チップ２８’の側面２９にはナノオーダーのエッチング痕が形成されているので、半導体チップ２８’とモールド樹脂４７ｂとの間にアンカー効果が働き、密着性を高めることができる。そのため、例えばフッ素系の樹脂など、一般にチップとの密着性が弱い材料であってもモールド樹脂として使用することが可能となり、モールド材料選定の選択肢を拡げることが可能となる。
【００７４】
なお、チップ本体１０’を保護膜１６で保護した場合であっても、外部と電気的に接続するために、図２１Ａに示されるように電極パッド５１を露出させることがある。電極パッド５１は、通常、アルミニウムから構成されるので、フッ化水素酸と酸化剤とを含有するエッチング液に対する耐性が弱い。図２１Ｂに示すように電極保護層５２を設けることによって、電極パッド５１をエッチング液から保護することができる。
【００７５】
電極保護層５２は、エッチング液に耐性を有する任意の材料を用いて形成することができ、金属及び有機材料の何れを用いてもよい。例えば、Ｎｉ／Ａｕなどの金属を用いて電極保護層５２を形成した場合には、電極保護層５２が電極パッド５１上に残存していても後工程において問題を生じることはない。樹脂を用いて形成された電極保護層５２は、エッチング処理後、適切な手法により除去すればよい。
【００７６】
ここで、図２２を参照して、素子領域を保護する保護膜等の寸法について説明する。素子領域が形成される半導体基板１０の厚さは、通常数百μｍ程度であり、素子領域に含まれる複数の絶縁膜５４及び配線５５の厚さは、数十乃至数百ｎｍ程度である。配線５５のラインアンドスペースは、各々が数十乃至数百ｎｍ程度の幅である。なお、絶縁膜５４は、一般的にはＳｉＮ等から構成されている。
【００７７】
素子領域を保護する保護膜１６のラインアンドスペースは、各々が数十乃至数百μｍ程度の幅である。この保護膜１６は、半導体基板１０の最表面に存在する凹凸を考慮して、数乃至数十μｍ程度の厚さで形成される。
【００７８】
図２２を参照して説明したように、素子領域１２を保護する保護膜１６の厚さが数乃至数十μｍ程度であるのに対して、素子領域１２における絶縁膜５４の厚さは数十乃至数百ｎｍ程度である。素子領域１２における絶縁膜５４は極めて薄いので、この絶縁膜５４をエッチングマスクとして用いた場合には、微細な露出領域を形成することができる。図２３を参照して、このプロセスについて説明する。
【００７９】
図２３Ａに示すように、裏面にダイシングシート２０が配置された半導体基板１０には、複数の素子領域１２が形成されており、各素子領域１２上には、絶縁膜５４及び保護膜１６が順次積層される。隣接する素子領域１２の間には、半導体基板１０が露出した露出領域１８’が存在する。上述したとおり、絶縁膜５４の厚さが数十乃至数百ｎｍ程度であるので、露出領域１８’の幅も数十乃至数百ｎｍ程度と微細にすることができる。
【００８０】
露出領域１８’には、図２３Ｂに示すように、貴金属触媒２２を配置する。この際、上述したような置換めっき法を採用することによって、絶縁膜５４上や保護膜１６上を避けて、露出領域１８’上にのみ、貴金属触媒２２を選択的に配置することができる。
【００８１】
露出領域１８’に選択的に貴金属触媒２２に配置された半導体基板１０を、上述したようなエッチング液に浸漬する。これにより、半導体基板の露出領域１８’が選択的に除去される。その結果、図２３Ｃに示すようなチップ分割溝２４が形成されて、半導体基板１０がチップ本体へと個片化される。
【００８２】
この方法によれば、露出ダイシングラインとして用いられる露出領域１８’の幅は絶縁膜５４間の間隔に相当するので、理論上は、ダイシングラインの幅を数十乃至数百ｎｍ程度とすることが可能となる。ダイシングラインが細くなって有効なチップ面積が増える点で、これは有利である。
【００８３】
半導体基板の露出領域に配置する貴金属触媒は、粒状に限定されず、膜状であってもよい。以下に、膜状の貴金属触媒を半導体基板の露出領域に形成して、個片化する方法を説明する。
【００８４】
図２４Ａは、複数の素子領域１２が形成された半導体基板１０の部分断面図である。各素子領域１２は、絶縁膜１５によって保護されている。絶縁膜１５は、半導体基板１０のうち、絶縁膜１５によって覆われた領域と、半導体基板１０の露出した部分である露出領域１８とを画定している。なお、半導体基板１０の裏面には、ダイシングシート２０が設置されている。この半導体基板１０の上面図を図２４Ｂに示す。
【００８５】
絶縁膜１５を形成した半導体基板１０の上面全体に、図２５Ａに示すように金属触媒膜５７を形成する。金属触媒膜５７は、例えばスパッタリング又は蒸着により形成することができる。この方法で成膜することによって、一様な膜厚の金属触媒膜５７が得られる。エッチング等の後工程を考慮すると、金属触媒膜５７の膜厚は、１０乃至５０ｎｍ程度とすることが望まれる。半導体基板１０の全面に金属触媒膜５７が形成されるので、図２５Ｂの上面図に示すように、絶縁膜１５及び露出領域１８は金属触媒膜５７で覆われる。
【００８６】
次いで、図２６Ａに示すように、レジストパターン５８を形成して、金属触媒膜５７のうち露出領域１８上に位置した領域を選択的に保護する。レジストパターン５８は、常法により形成して、金属触媒膜５７の所定の領域を保護すればよい。図２６Ｂの上面図に示されるように、露出領域に対応する部分にはレジストパターン５８が形成されるので、金属触媒膜５７は、絶縁膜１５の位置で露出する。
【００８７】
金属触媒膜５７の露出部分を常法により除去すると、図２７Ａに示すように、レジストパターン５８の位置にのみ金属触媒膜５７が残置される。この状態の半導体基板１０の上面図を、図２７Ｂに示す。金属触媒膜５７の露出部分は、例えば、ハロゲン溶液、ハロゲン化アンモニウム溶液、硝酸、及び王水などを用いて除去することができる。
【００８８】
その後、レジストパターン５８を剥離して、図２８Ａに示すようにパターニングされた金属触媒膜５７’を露出させる。レジストパターン５８は、レジスト材料に応じて適当な剥離液を用いて剥離すればよい。図２８Ｂの上面図に示すように、パターニングされた金属触媒膜５７’は、露出領域１８上にのみ残置されることになる。
【００８９】
パターニングされた金属触媒膜５７’をエッチングマスクとして用いて、上述したような工程にしたがって半導体基板１０の基板除去領域１８を選択的に除去する。これによって、図２９Ａに示すように、半導体基板１０はチップ本体１０’へと個片化され、チップ本体１０’と絶縁膜１５とを含んだ半導体チップ５９が得られる。金属触媒膜５７’は、そのままの状態で下方に移動して、図示するようにダイシングシート２０に達する。個片化された複数の半導体チップ５９の上面図を図２９Ｂに示す。
【００９０】
膜状の貴金属触媒を用いた場合には、粒状の貴金属触媒を配置する場合と比較して、膜厚の制御が容易となる。膜状の貴金属触媒を用いた場合、半導体基板材料の種類によらず、任意の金属を使用して触媒膜を形成することができる。加えて、この場合、針状残りが発生することもない。
【００９１】
以上の例においては、半導体基板の裏面にはダイシングシートが直接接して設けられているが、これに限定されない。図３０に示されるように、メタライズ層７０を介して、半導体基板１０の裏面にダイシングシート２０を設置してもよい。メタライズ層７０は、任意の金属を用いて形成することができ、単層膜及び多層膜の何れの構造としてもよい。
【００９２】
特に、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ等の貴金属がメタライズ層７０中に含まれる場合には、半導体基板１０のエッチングが進行して裏面まで達した際、ダイシングシートの接着層がエッチング液に侵されるのを抑制することができる。場合によっては、メタライズ層７０をそのまま残し、個片化したチップをダイボンディングする際のメタライズ膜として利用することも可能である。
【００９３】
上述したような化学的エッチングと基板研削とを組み合わせて、個片化することもできる。このプロセスは、いわゆる先ダイシング（dicing before grinding）法である。図３１Ａ及び図３１Ｂを参照して、このプロセスを説明する。
【００９４】
まず、図３１Ａに示すように、半導体基板１０に対し、チップ本体１０’の厚み以上の深さでチップ分離溝２４を形成する。その後、図３１Ｂに示すように、基板研削装置７２によりチップ分離溝２４に達するまで半導体基板１０の下面側領域を除去して、半導体チップ２８を得る。
【００９５】
半導体基板１０の下面側領域は、エッチングにより除去してもよい。エッチングとしては、例えば、フッ化水素酸と硝酸と酢酸との混合液、ＴＭＡＨ、及びＫＯＨ等から選択されるエッチング液を用いた湿式エッチング、又は、ＳＦ6、ＣＦ4、Ｃ2Ｆ6、Ｃ3Ｆ8、ＣＣｌＦ2、ＣＣｌ4、ＰＣｌ3、及びＣＢｒＦ3などから選択されるガスを用いたプラズマエッチングが挙げられる。
【００９６】
先ダイシング法を採用した場合には、分離溝２４を形成するためのエッチングは分離溝２４が半導体基板の裏面に到達する前に停止するので、このエッチング直後において半導体基板の剛性が保たれる。このため、この方法には、エッチング直後の基板のハンドリングが容易という利点がある。
【００９７】
以上説明したように、一実施形態にかかる方法では、ダイシングラインに相当する半導体基板の露出領域全体を同時にエッチング加工して、半導体チップを得ることができる。このため、例えば、ダイシングラインの数を変更しても、一定の時間で個片化を完了することができる。しかも、複数の半導体基板をバッチ処理で同時に加工できるため、基板１枚当たりの加工時間は大幅に短縮されて、生産性が向上する。
【００９８】
また、一実施形態にかかる方法においては、貴金属触媒とエッチング液又はエッチングガスとを用いた化学的エッチング処理により個片化を行う。それ故、この方法では、光学的な位置合わせは必要とされず、位置合わせマークの読み取り誤差や基板ひずみ等に起因する位置のバラつきが発生することはない。しかも、チップ本体の上面端部の実質的に全体を保護樹脂で覆うことができるので、割れや欠けは極力低減することが可能となる。
【００９９】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行なうことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【０１００】
本実施形態は、以下の態様を含む。
［１］
保護膜を各々が含む複数のエッチングマスクを半導体基板上に形成して、前記半導体基板のうち前記複数のエッチングマスクによって保護された複数の第１領域と、前記半導体基板のうち露出した領域である第２領域とを画定することと、
前記第２領域を化学的エッチング処理により異方的に除去して、前記エッチングマスクの端面と同一面内に少なくとも一部が位置した側壁と、前記半導体基板の裏面に到達した底部とを各々が有する複数の溝を形成し、これにより、前記半導体基板を、前記複数の第１領域に対応した複数のチップ本体へと個片化することと
を含んだ半導体チップの製造方法。
［２］
前記エッチングマスクの上面は、一端同士が接した２つの線分によって規定される角部を有していない［１］に記載の方法。
［３］
前記エッチングマスクの上面は、５以上の辺を有する多角形である［１］に記載の方法。
［４］
前記化学的エッチング処理は、前記第２領域に貴金属触媒を設け、その後、前記半導体基板にエッチング液又はエッチングガスを接触させることを含む［１］乃至［３］の何れかに記載の方法。
［５］
無電解めっきにより前記第２領域に前記貴金属触媒を設ける［４］に記載の方法。
［６］
前記貴金属触媒は粒状である［４］又は［５］に記載の方法。
［７］
前記化学的エッチング処理は、前記半導体基板に前記エッチング液を接触させることを含み、前記エッチング液は、フッ化水素酸と過酸化水素とを含んだ［４］乃至［６］の何れかに記載の方法。
［８］
前記化学的エッチング処理は、前記複数のチップ本体の各々が、その端面に、前記チップ本体の前記保護膜が形成されている面から反対側の面へ向けて各々が延びた筋状の凹部又は凸部を有するように行う［１］乃至［７］の何れかに記載の方法。
［９］
前記凹部又は凸部の各々は１０乃至１００ｎｍの幅を有する［８］に記載の方法。
［１０］
前記凹部又は凸部の各々は１０乃至５０ｎｍの幅を有する［８］に記載の方法。
［１１］
前記複数の第１領域は、電極パッドを有する半導体素子を含んだ［１］乃至［１０］の何れかに記載の方法。
［１２］
前記半導体基板はシリコン基板である［１］乃至［１１］の何れかに記載の方法。
［１３］
半導体素子を含んだ表面領域を有しているチップ本体を具備し、前記チップ本体の端面はエッチング痕を有している半導体チップ。
［１４］
前記エッチング痕は、前記チップ本体の前記表面領域側の面から反対側の面へ向けて各々が延びた筋状の凹部又は凸部である［１３］に記載の半導体チップ。
［１５］
前記凹部又は凸部の各々は１０乃至１００ｎｍの幅を有する［１４］に記載の半導体チップ。
［１６］
前記凹部又は凸部の各々は１０乃至５０ｎｍの幅を有する［１４］に記載の半導体チップ。
［１７］
前記表面領域を覆った保護膜を更に具備し、前記チップ本体の前記表面領域側の面の輪郭は、前記表面領域側の面を含む平面への前記保護膜の正射影の輪郭と少なくとも部分的に一致している［１３］乃至［１６］の何れかに記載の半導体チップ。
［１８］
前記チップ本体の前記表面領域側の面は、一端同士が接した２つの線分によって規定される角部を有していない［１３］乃至［１７］の何れかに記載の半導体チップ。
［１９］
半導体素子を含んだ表面領域を有しているチップ本体と、前記表面領域を覆った保護膜とを具備し、前記チップ本体は、前記保護膜を含んだエッチングマスクを半導体基板上に形成し、この半導体基板を貴金属触媒とエッチング液又はエッチングガスとを用いた化学的エッチング処理に供することによって個片化されたものであり、前記チップ本体の前記表面領域側の面の輪郭は、この上面を含む平面への前記保護膜の正射影の輪郭と少なくとも部分的に一致している半導体チップ。
［２０］
半導体素子を含んだ表面領域を有しているチップ本体を具備し、前記チップ本体は、保護膜を含んだエッチングマスクを半導体基板上に形成し、この半導体基板を貴金属触媒とエッチング液又はエッチングガスとを用いた化学的エッチング処理に供することによって個片化されたものであり、前記チップ本体の前記表面領域側の面は、一端同士が接した２つの線分によって規定される角部を有していない半導体チップ。
［２１］
支持部材と、
前記支持部材上に位置した、［１３］乃至［２０］の何れかに記載の半導体チップと、
前記半導体チップを覆うように前記支持部材上に設けられたモールド樹脂と
を具備した半導体装置。
［２２］
支持部材と、
前記支持部材上に位置した、［１３］乃至［２０］の何れか１項に記載の半導体チップと、
前記支持部材と前記半導体チップとの間に介在した接合部材と
を具備した半導体装置。
【符号の説明】
【０１０１】
１０…半導体基板；  １０’…チップ本体；  １２…素子領域；  １４…エッチングマスク；  １５…絶縁膜；  １６…保護膜；  １８…露出領域；  １８’…露出領域；  ２０…ダイシングシート：  ２２…貴金属触媒；  ２２ａ…Ａｇ粒子；  ２４ａ…ディープトレンチ；  ２４…分離溝；  ２６…針状残り；  ２８…半導体チップ；  ２８’…半導体チップ；  ２９…側面；  ３０…エッチング液；  ３１…側面；  ３２…エッチング痕；  ３４…ボンディング材；  ３５…基板；  ３６…はんだ；  ４０…半導体装置；  ４１ａ…リードフレーム；  ４１ｂ…リードフレーム；  ４３…ボンディング材；  ４５…Ａｌワイヤー；  ４７ａ…モールド樹脂；  ４７ｂ…モールド樹脂；  ５１…電極パッド；  ５２…電極保護層；  ５４…絶縁層；  ５５…配線層；  ５７…金属触媒膜；  ５８…レジストパターン；  ５９…半導体チップ；  ８０…メタライズ層；  ８２…基板研削装置。
【図１】
2015119170.tif 000002
【図２】
2015119170.tif 000003
【図３Ａ】
2015119170.tif 000004
【図３Ｂ】
2015119170.tif 000005
【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図３Ｅ】
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【図４】
2015119170.tif 000009
【図５】
2015119170.tif 000010
【図６】
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【図９】
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【図１０】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１５Ｃ】
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【図１５Ｄ】
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【図１５Ｅ】
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【図１６】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１７Ｃ】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１Ａ】
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【図２１Ｂ】
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【図２２】
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【図２３Ａ】
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【図２３Ｂ】
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【図２３Ｃ】
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【図２４Ａ】
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【図２４Ｂ】
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【図２５Ａ】
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【図２５Ｂ】
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【図２６Ａ】
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【図２６Ｂ】
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【図２７Ａ】
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【図２７Ｂ】
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【図２８Ａ】
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【図２８Ｂ】
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【図２９Ａ】
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【図２９Ｂ】
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【図３０】
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【図３１Ａ】
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【図３１Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図１１】
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