(57)【要約】【課題】保持部材から接着シートが離脱せず、接着シートおよび被着体が保持部材で持ち上げられてしまうことを防止できるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１は、変形可能な保持部材３１を有し、当該保持部材３１で接着シートＡＳを保持する保持手段３と、保持部材３１を変形させ、接着シートＡＳを被着体ＷＦに押圧して貼付する押圧手段４と、被着体ＷＦと保持部材３１とを離間接近可能に相対移動させる移動手段５とを備え、被着体ＷＦ側に膨出するように保持部材３１を変形させて、接着シートＡＳを被着体ＷＦに貼付し、保持部材３１を変形させたまま保持部材３１と被着体ＷＦとを離間させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
変形可能な保持部材を有し、当該保持部材で前記接着シートを保持する保持手段と、
前記保持部材を変形させ、前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記被着体と前記保持部材とを離間接近可能に相対移動させる移動手段とを備え、
前記被着体側に膨出するように前記保持部材を変形させて、前記接着シートを前記被着体に貼付し、前記保持部材を変形させたまま前記保持部材と前記被着体とを離間させることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
変形可能な保持部材を用い、接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法において、
前記被着体側に膨出するように前記保持部材を変形させて、前記接着シートを前記被着体に貼付する工程と、
前記保持部材を変形させたまま前記保持部材と前記被着体とを離間させることで、前記保持部材から前記接着シートを離脱させる工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、第２ワーク（接着シート）を第１ワーク（被着体）に貼合（貼付）するワーク貼合装置（シート貼付装置）が利用されている（例えば、特許文献１参照）。
このシート貼付装置は、固定貼合台と、この固定貼合台と対向配置され、ダイアフラム膜（保持部材）を有する可動貼合台とを備えている。そして、シート貼付装置は、保持部材に加圧空気を作用させ、保持部材を膨張させることで、接着シートを押圧して被着体に貼付し、その後、保持部材を収縮させて元の状態に戻し、接着シートを保持部材から分離している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−４９０４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置では、接着シートを保持部材から分離するために保持部材を収縮させる際に形成される接着シートと保持部材との剥離角度が小さいため、保持部材から接着シートが離脱せず、接着シートおよび被着体が保持部材で持ち上げられてしまうという不都合がある。また、保持部材が持ち上げた接着シートおよび被着体が途中で落下してしまい、被着体が破損するという不都合もある。
【０００５】
本発明の目的は、保持部材から接着シートが離脱せず、接着シートおよび被着体が保持部材で持ち上げられてしまうことを防止できるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、変形可能な保持部材を有し、当該保持部材で前記接着シートを保持する保持手段と、前記保持部材を変形させ、前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、前記被着体と前記保持部材とを離間接近可能に相対移動させる移動手段とを備え、前記被着体側に膨出するように前記保持部材を変形させて、前記接着シートを前記被着体に貼付し、前記保持部材を変形させたまま前記保持部材と前記被着体とを離間させる、という構成を採用している。
【０００７】
一方、本発明のシート貼付方法は、変形可能な保持部材を用い、接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法において、前記被着体側に膨出するように前記保持部材を変形させて、前記接着シートを前記被着体に貼付する工程と、前記保持部材を変形させたまま前記保持部材と前記被着体とを離間させることで、前記保持部材から前記接着シートを離脱させる工程とを備えている、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００８】
以上のような本発明によれば、保持部材を変形させたまま、保持部材と接着シートとを離間させるため、接着シートと保持部材との剥離角度を大きくすることができ、接着シートと保持部材との剥離を円滑に行うことができ、保持部材から接着シートが離脱せず、接着シートおよび被着体が保持部材で持ち上げられてしまうことを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は、シート貼付装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。
【００１１】
図１において、シート貼付装置１は、被着体としての半導体ウエハ（以下、単にウエハという場合がある）ＷＦを支持する支持手段２と、変形可能な保持部材３１を有し、当該保持部材３１で接着シートＡＳを保持する保持手段３と、保持部材３１を変形させ、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段４と、ウエハＷＦと保持部材３１とを離間接近可能に相対移動させる移動手段であって駆動機器としての直動モータ５とを備えている。
【００１２】
支持手段２は、上面が開口された略箱状の下ケース２１と、この下ケース２１の内側底面に設けられたテーブル２２と、このテーブル２２内部に設けられ、正、負の電荷を発生させてクーロン力によってウエハＷＦを引き付ける第１静電チャック２３とを備えている。
【００１３】
保持手段３は、ゴムや樹脂等によって変形可能な部材で構成された保持部材３１と、保持部材３１の内部に設けられた第２静電チャック３２とを備えている。
【００１４】
押圧手段４は、直動モータ５の出力軸５１に支持され、下面が開口されて下ケース２１とで第１密閉空間ＳＰ１（図２（Ａ）参照）を形成可能も設けられるとともに、内側上面において保持部材３１の外縁部を支持し、保持部材３１との間に第２密閉空間ＳＰ２（図２（Ａ）参照）を形成可能な略箱状の上ケース４１と、流体としての気体を供給または排出することで第１密閉空間ＳＰ１を加圧または減圧する真空ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段と加圧ポンプやタービン等の加圧手段とを備えた第１圧力調整手段４２Ｂと、流体としての気体を供給または排出することで第２密閉空間ＳＰ２を加圧または減圧する真空ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段と加圧ポンプやタービン等の加圧手段とを備えた第２圧力調整手段４３Ｂとを備えている。第１および第２圧力調整手段４２Ｂ、４３Ｂは、それぞれ配管４２Ａ、４３Ａを介して第１および第２密閉空間ＳＰ１、ＳＰ２に連通されている。
【００１５】
以上のシート貼付装置１において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順について説明する。
先ず、図１中実線で示すように、上ケース４１が下ケース２１から離れた状態で、人手や多関節ロボット等の図示しない搬送手段が接着シートＡＳを保持部材３１に当接させると、保持手段３が第２静電チャック３２を駆動し、保持部材３１で接着シートＡＳを保持する。また、図示しない搬送手段でウエハＷＦをテーブル２２の支持面に当接させると、支持手段２が第１静電チャック２３を駆動し、テーブル２２でウエハＷＦを支持する。
【００１６】
次に、移動手段が直動モータ５を駆動し、上ケース４１を下降させて、第１密閉空間ＳＰ１を形成した後、押圧手段４が第１および第２圧力調整手段４２Ｂ、４３Ｂを駆動し、第１および第２密閉空間ＳＰ１、ＳＰ２を同じ減圧率で減圧する。そして、第１および第２密閉空間ＳＰ１、ＳＰ２が所定の圧力となったことが図示しない検知手段で検知されると、第１圧力調整手段４２Ｂが第１密閉空間ＳＰ１内を所定の圧力に維持しつつ、第２圧力調整手段４３Ｂが第２密閉空間ＳＰ２の減圧を停止し、第２密閉空間ＳＰ２を加圧する。これにより、第１密閉空間ＳＰ１と第２密閉空間ＳＰ２との間に圧力差が生じ、図２（Ａ）に示すように、第２静電チャック３２の保持部材３１がウエハＷＦ側に膨出するように変形し、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する。ここで、保持部材３１を収縮させて接着シートＡＳから保持部材３１を離脱させると、接着シートＡＳと保持部材３１との剥離角度が角度θ１（図２（Ａ）参照）となり、この角度θ１が小さいと接着シートＡＳと保持部材３１との剥離が円滑に進まず、保持部材３１から接着シートＡＳが離脱せず、接着シートＡＳおよびウエハＷＦが保持部材３１で持ち上げられてしまうという不都合がある。また、保持部材３１が持ち上げた接着シートＡＳおよびウエハＷＦが途中で落下してしまい、ウエハＷＦが破損するという不都合が生じる。
【００１７】
そこで、第２密閉空間ＳＰ２が所定の圧力となったことが図示しない検知手段で検知されると、保持手段３が第２静電チャック３２の駆動を停止する。このときの第１密閉空間ＳＰ１と第２密閉空間ＳＰ２との圧力差を圧力差△Ｐとする。そして、圧力差△Ｐを維持した状態で第１圧力調整手段４２Ｂが第１密閉空間ＳＰ１の減圧を停止し、第１密閉空間ＳＰ１を加圧するとともに、第２圧力調整手段４３Ｂが第１圧力調整手段４２Ｂと同じ加圧率で第２密閉空間ＳＰ２を更に加圧する。そして、第１密閉空間ＳＰ１が大気圧となったことが図示しない検知手段で検知されると、第２圧力調整手段４３Ｂが第２密閉空間ＳＰ２内の圧力を維持しつつ、移動手段が直動モータ５を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、上ケース４１を上方に移動させる。このとき、圧力差△Ｐが維持されているので、保持部材３１をウエハＷＦ側に膨出するように変形させて保持部材３１とウエハＷＦとを離間させることができる。これにより、図２（Ｂ）に示すように、角度θ１よりも大きい角度θ２を形成した状態で保持部材３１を接着シートＡＳから離脱させることができ、円滑に保持部材３１を接着シートＡＳから離脱させることができる。
その後、保持部材３１が接着シートＡＳから離脱すると、第２圧力調整手段４３Ｂが第２密閉空間ＳＰ２の加圧を停止し、第２密閉空間ＳＰ２を減圧して保持部材３１を図１中実線で示す状態に戻す。そして、支持手段２が第１静電チャック２３の駆動を停止した後、図示しない搬送手段で接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００１８】
以上のような実施形態によれば、保持部材３１を変形させたまま、保持部材３１と接着シートＡＳとを離間させるため、接着シートＡＳと保持部材３１との剥離角度を大きくすることができ、接着シートＡＳと保持部材３１との剥離を円滑に行うことができ、保持部材３１から接着シートＡＳが離脱せず、接着シートＡＳおよびウエハＷＦが保持部材３１で持ち上げられてしまうことを防止できる。
【００１９】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２０】
例えば、移動手段は、図１中符号ＡＡで示すように、直動モータ５の代わりに、下ケース２１に対して上ケース４１を回動可能に支持する蝶番５２Ａと、上ケース４１を蝶番５２Ａの回転軸を中心に回動させる回動モータや直動モータなどの図示しない駆動機器とを有する移動手段５Ａで構成してもよい。
また、移動手段は、上ケース４１および下ケース２１の両方を昇降可能に構成してもよいし、下ケース２１のみを昇降可能に構成してもよい。
さらに、第２圧力調整手段４３Ｂが第２密閉空間ＳＰ２に供給する流体は、大気、単体ガス、混合ガス、水やオイル等の液体、ジェル状体等であってもよい。
また、シート貼付装置１は、第１密閉空間ＳＰ１が大気圧の状態で接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付してもよい。この場合、第２圧力調整手段４３Ｂの図示しない加圧手段のみを駆動し、第２密閉空間ＳＰ２を加圧して保持部材３１をウエハＷＦ側に変形させて接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付した後、第２密閉空間ＳＰ２の圧力を維持したまま保持部材３１を接着シートＡＳから離間するとよい。
さらに、支持手段２および保持手段３は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段でウエハＷＦおよび接着シートＡＳを保持するように構成してもよい。
また、保持部材３１は、弾性変形可能なものや弾性変形しないものであってもよく、変形した後に完全に元の形状に戻らないものであってもよい。
さらに、上ケース４１を上昇させるときの第２密閉空間ＳＰ２の圧力は、押圧時の圧力差△Ｐでなくともよく、押圧時の圧力差△Ｐよりも圧力を大きくした状態や小さくした状態で上ケース４１を上昇させてもよいし、第２密閉空間ＳＰ２内の圧力を上昇させながら上ケース４１を上昇させてもよい。
【００２１】
また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２２】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持手段は、変形可能な保持部材を有し、当該保持部材で前記接着シートを保持するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２３】
１…シート貼付装置
３…保持手段
３１…保持部材
４…押圧手段
５、５Ａ…移動手段
ＡＳ…接着シート
ＷＦ…ウエハ（被着体）
【図１】
2015053396.tif 000003
【図２】
2015053396.tif 000004