(57)【要約】  【課題】レーザ照射によって加工を施す場合の加工環境を常に適正に保持することのできるレーザ加工用集塵装置を提供すること。  【解決手段】レーザ出力ユニット２とワーク治具３に支承されたワーク４との間に形成される加工領域空間Ｐを覆うブースダクト５であって、加工領域空間Ｐを開閉させてワーク４の当該加工領域空間Ｐへの出入を可能とする可動領域５ｂを備えているブースダクト５と、ワーク４に向けて不活性ガスを吹き付けるアシストガスノズル７と、加工領域空間Ｐ内の気体を排気口９に向けて強制的に流動させるエアーブローノズル１０とを有することを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出力されたレーザ光をワーク上の走査領域に照射するガルバノスキャナと、
前記ガルバノスキャナと前記ワークとの間に形成される加工領域空間を覆うブースダクトであって、前記加工領域空間を開閉させて前記ワークの当該加工領域空間への出入を可能とする可動領域を備えているブースダクトと、
前記ワークに向けて不活性ガスを吹き付けるアシストガスノズルと、
前記加工領域空間内の気体を排気口に向けて強制的に流動させるエアーブローノズルとを有する
ことを特徴とするレーザ加工用集塵装置。
【請求項２】
前記ブースダクトは、前記ガルバノスキャナ側の固定ブースダクトと前記ワーク側の可動ブースダクトとによって形成されており、
前記アシストガスノズルは、前記可動ブースダクトの前記ワーク側端部に取付られているとともに少なくとも流量調整自在に形成されており、
前記エアーブローノズルは、前記固定ブースダクトに取付られているとともに少なくとも流量調整自在に形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工用集塵装置。
【請求項３】
前記アシストガスノズルは複数個設けられ、当該複数のアシストガスノズルのオン・オフ調整により前記不活性ガスを前記ワーク上の走査領域の所定の範囲に選択的に吹き付ける
ことを特徴とする請求項２に記載のレーザ加工用集塵装置。
【請求項４】
前記複数のアシストガスノズルのオン・オフ調整は、前記レーザ発振器のオン・オフに同期して制御する
ことを特徴とする請求項２または請求項３に記載のレーザ加工用集塵装置。
【請求項５】
前記エアーブローノズルは、レーザ発振器の出力またはレーザ加工時間に応じてオン・オフ調整を行う
ことを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか１つに記載のレーザ加工用集塵装置。
【請求項６】
前記ブースダクトには前記ワークの加工点を照明する照明手段が設置されている
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１つに記載のレーザ加工用集塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工において用いられるレーザ加工用集塵装置に係り、特にガルバノスキャナを用いたレーザ加工を行う場合に好適なレーザ加工用集塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、レーザ加工は種々の産業分野において多用されている。
【０００３】
そのレーザ加工において、レーザ照射で生じた溶融物や蒸発ガスをすみやかに除去するために、集塵機構を設けることが行われている。また、加工性の向上やワークの冷却を目的として不活性ガスからなるアシストガスをワークの加工点に向けて吹き付けることが行われている。これらの集塵機構およびアシストガスは、更に、被加工物に対する加工品質に影響を及ぼす重要な役割を担っているとともに、加工物を冷却したり、熱影響部を抑える効果があり、同時に加工によって生じる溶融物や飛散物（スパッタ）から加工レンズ（レーザ集光光学系）や保護ガラスを保護する役割も担っている。
【０００４】
特に、レーザ切断加工時においては、加工によって発生・飛散する粉塵・噴煙等を極力加工点近傍で吸引して集塵することが望ましい。
【０００５】
また、従来のスキャナを用いたレーザ加工システムにおいては、加工エリアが最大で２００ｍｍ四方程度が標準的であるが、５００ｍｍ四方若しくはそれ以上の広範囲の加工エリアをスキャナを用いてレーザ加工することが望まれている。
【０００６】
ところが、スキャナを用いたレーザ加工においては、加工点が非常に高速に移動するため、高速移動する加工点に対応して局所集塵を行うことができない条件下にある。同様に、加工点を不活性化するためのアシストガス噴流や集塵吸引流を強制的に形成するエアーブローも、固定設置が困難である。これらの困難性を解決する集塵機構を実現しないと、加工レンズや保護ガラスの汚染進行が加速し、品質への悪影響、メンテナンス頻度の増加につながり、製品歩留まり、稼働率低下につながる要因となる。
【０００７】
そのために、広範囲の加工エリアをカバーするものとして、特開２００８−１００２３２号公報（特許文献１）において「レーザー加工機またはプラズマ加工機における飛散物回収の方法及び装置」が提案され、実開平０６−００５７８６号公報（特許文献２）において「レーザ加工機における集塵カバー」が提案されている。
【０００８】
また、フードが移動するものものとして、特開２００４−０７４２５４号公報（特許文献３）において「プラズマアークまたはレーザによる切断加工機、およびその切断方法」が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００８−１００２３２号公報
【特許文献２】実開平０６−００５７８６号公報
【特許文献３】特開２００４−０７４２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
前記特許文献１においては、加工軌跡を覆う集塵フードを備えた構成が開示されている。具体的には、ワーク上で加工が行われる加工軌跡の両側を、所定の間隔をもって、かつワーク表面近傍から加工ヘッドのある側を囲う遮蔽物を設けている。しかしながら、スキャナを用いたレーザ加工の加工点の移動速度は機械的な遮蔽物の移動速度よりも高速であるため、局所的にフードおよび遮蔽物で加工軌跡を覆う特許文献１の方法を加工エリアが広範囲なスキャナを用いたレーザ加工には適用できないという不都合があった。また、板の切断には遮蔽物を用いても対応できるが、被加工物に凹凸がある立体構造物に対して加工を行おうとする場合には、加工軌跡に合わせて遮蔽物を設置することは困難であるという不都合があった。
【００１１】
前記特許文献２においては、加工テーブルの移動範囲全域を覆う集塵カバーを備えた構成が開示されている。この特許文献２においては、防音、防塵を図ると共に、安全性の向上を図ることを目的としており、広範囲の加工エリアに対してスキャナを用いてレーザ加工することに関しては、レーザ照射で生じた溶融物や蒸発ガスをすみやかに除去することや、加工物を冷却し、熱影響部を抑え、加工によって生じる溶融物や飛散物から加工レンズや保護ガラスを保護するためのアシストガス噴流や集塵吸引流を確保することについては考慮されていない。従って、特許文献２をスキャナを用いたレーザ加工に適用することは困難である。
【００１２】
前記特許文献３においては、加工時にフードを下降させ、消耗品交換時にフードを上昇させる構成が開示されている。この特許文献３においては、トーチによる加工を前提としているため、トーチの周囲を覆いながら、フードがトーチと共に移動する加工方法には適用できるが、広範囲の加工エリアをスキャナを用いてレーザ加工する場合には加工点の移動速度は機械的なフードの移動速度よりはるかに速いため、この特許文献３に記載の方法をそのまま適用することができないという不都合があった。また、単純にフードを大きくしただけでは、集塵吸引流が弱くなり、集塵が難しくなるほか、加工点を不活性化し、加工品質を向上させるためのアシストガスの吹き付けも難しくなるという不都合があった。
【００１３】
本発明は、これらの点に鑑みてなされたものであり、レーザ照射によって加工を施す場合の加工環境を常に適正に保持することのできるレーザ加工用集塵装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の第１態様のレーザ加工用集塵装置は、レーザ発振器と、前記レーザ発振器から出力されたレーザ光をワーク上の走査領域に照射するガルバノスキャナと、前記ガルバノスキャナと前記ワークとの間に形成される加工領域空間を覆うブースダクトであって、前記加工領域空間を開閉させて前記ワークの当該加工領域空間への出入を可能とする可動領域を備えているブースダクトと、前記ワークに向けて不活性ガスを吹き付けるアシストガスノズルと、前記加工領域空間内の気体を排気口に向けて強制的に流動させるエアーブローノズルとを有することを特徴とする。
【００１５】
この第１の態様によれば、ガルバノスキャナとワークとの間に形成される加工領域空間を覆うことができるので、加工領域空間の確実な防塵を行うことができ、ブースダクトの可動領域によってワークの加工領域空間への出入を容易に行うことができ、アシストガスノズルによってワークに向けて不活性ガスを吹き付けながらレーザ加工を施すことができ、エアーブローノズルによって加工領域空間内の気体を排気口に向けて強制的に流動させて排気することができ、レーザ照射によって加工を施す場合の加工環境を常に適正に保持することができるなどの優れた効果を奏する。
【００１６】
また、本発明の第２態様のレーザ加工用集塵装置として、前記第１の態様において、前記ブースダクトは、前記ガルバノスキャナ側の固定ブースダクトと前記ワーク側の可動ブースダクトとによって形成されており、前記アシストガスノズルは、前記ブースダクトの前記ワーク側端部に取付られているとともに少なくとも流量調整自在に形成されており、前記エアーブローノズルは、前記固定ブースダクトに取付られているとともに少なくとも流量調整自在に形成されていることを特徴とする。
【００１７】
この第２の態様によれば、レーザ照射によって加工を施す場合の加工環境をより円滑に適正に保持することができる。
【００１８】
また、本発明の第３態様のレーザ加工用集塵装置として、前記第２の態様において、前記アシストガスノズルは複数個設けられ、当該複数のアシストガスノズルのオン・オフ調整により前記不活性ガスを前記ワーク上の走査領域の所定の範囲に選択的に吹き付けることを特徴とする。
【００１９】
この第３の態様によれば、ワーク上の走査領域の所定の範囲のみに確実に不活性ガスを選択的に吹き付けてレーザ加工を施すことができる。
【００２０】
また、本発明の第４態様のレーザ加工用集塵装置として、前記第２または第３の態様において、前記複数のアシストガスノズルのオン・オフ調整は、前記レーザ発振器のオン・オフに同期して制御することを特徴とする。
【００２１】
この第４の態様によれば、レーザ加工が行われている時のみにアシストガスを供給したレーザ加工を施すことができ、アシストガスの無駄な消費を防止することができる。
【００２２】
また、本発明の第５態様のレーザ加工用集塵装置として、前記第２から第４のいずれか１の態様において、前記エアーブローノズルは、レーザ発振器の出力またはレーザ加工時間に応じてオン・オフ調整を行うことを特徴とする。
【００２３】
この第５の態様によれば、ワークに照射されるレーザ光の出力、加工時間、粉塵・噴煙の量等に応じてエアーブローを実行して、粉塵等を確実に排出することができる。
【００２４】
また、第６態様のレーザ加工用集塵装置として、前記第１から第５のいずれか１つの態様において、前記ブースダクトには前記ワークの加工点を照明する照明手段が設置されていることを特徴とする。
【００２５】
この第６の態様によれば、ブーストダクトに覆われている加工領域空間内の加工点を照明して、例えばＣＣＤカメラによって加工点の観察を行うことができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明のレーザ加工用集塵装置によれば、レーザ照射によって加工を施す場合の加工環境を常に適正に保持することができるなどの優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明のレーザ加工用集塵装置の第１実施形態を示す縦断面図
【図２】図１の正面図
【図３】図１のレーザ加工用集塵装置によるレーザ加工のタイミングチャート
【図４】本発明のレーザ加工用集塵装置の第２実施形態を示す縦断面図
【図５】図４の可動ブースダクトを短縮した状態を示す正面図
【図６】図４のＶＩ−ＶＩ線にそった断面図
【図７】図１の矢印Ｑ側から見たアシストガスノズルとワークとの位置関係を示す平面図
【図８】アシストガスノズルの他の配設位置を示す図６と同様の図
【図９】アシストガスノズルの他の例を示す側面図
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明のレーザ加工用集塵装置の実施形態を図１から図９により説明する。
【００２９】
（第１実施形態）
図１および図２は本発明のレーザ加工用集塵装置の第１実施形態を示している。
【００３０】
本実施形態のレーザ加工用集塵装置１は、レーザ出力ユニット２とその鉛直下方に設けられたワーク治具３との間に配設されている。本実施形態のレーザ出力ユニット２は、レーザ発振器２ａと、当該レーザ発振器２ａから発振されたレーザ光を伝送する光学系と、当該光学系からのレーザ光をワーク４上に照射して走査させるガルバノスキャナ２ｂとを有している。ガルバノスキャナ２ｂは、例えば１個のヘッドから５００ｍｍ四方にスキャンするようにレーザ照射可能に形成されている。ワーク治具３の上面にはワーク４が支承される。ワーク４としては平面状、凹凸面状、湾曲面状等のいずれの形状のものであってもよく、図１に示すワーク４はレーザ加工される上面が上方に凸状に湾曲した湾曲面状とされている。
【００３１】
本実施形態のレーザ加工用集塵装置１は、レーザ出力ユニット２とワーク治具３に支承されたワーク４との間に形成されるワーク４の全体を囲む上下方向の空間からなる加工領域空間Ｐを覆うブースダクト５が配置されている。
【００３２】
本実施形態のブースダクト５は難燃性の素材によって全体として円錐状若しくは四角錐状（本実施形態においては四角錐状）に形成されており、レーザ出力ユニット２側の固定ブースダクト５ａとワーク４側（ワーク治具３側）の可動ブースダクト５ｂとによって分割形成されている。
【００３３】
一方の可動ブースダクト５ｂは、図１の実線位置と鎖線位置との間を上下動自在に形成されていて、加工領域空間Ｐを開閉させてワーク４の当該加工領域空間Ｐへの出入を可能とする可動領域を形成している。また、可動ブースダクト５ｂはその上端部を固定ブースダクト５ａの下端部の外側を覆う大きさに形成されており、当該上端部と下端部との間に伸縮自在な蛇腹（図示せず）を設けて気体が漏れないように密閉したり、図１の実線の全閉状態において両者を密着させて気体が漏れないように密閉したりするとよい。
【００３４】
また、可動ブースダクト５ｂの下端部に図示しない四角筒状のスカートを設けてワーク４およびワーク治具３の周囲を覆うようにしてもよい。また、図２に示すように、レーザ出力ユニット２から吊下支承手段６をもって可動ブースダクト５ｂを吊下し、当該吊下支承手段６を巻上げ巻降ろしすることによって可動ブースダクト５ｂを上下に駆動させるとよい。
【００３５】
ブースダクト５のワーク治具３側端部となる可動ブースダクト５ｂの下端部の内面にはワーク４に向けて不活性ガスを吹き付けるアシストガスノズル７が取付られている。アシストガスノズル７は、可動ブースダクト５ｂの四角形の下端部の各辺の内面に固定されたアシストガスヘッダ８に、その噴き出し口を斜め下方のワーク４に向けて複数個取付られている。各アシストガスノズル７は、少なくとも流量調整自在に形成されている。本実施形態において、各アシストガスノズル７は、噴き出し流量をオン・オフ若しくは０から最大まで変更自在としたり噴き出し方向を変更自在に形成されている。
【００３６】
固定ブースダクト５ａの１つの斜面には、内部の気体を排出する排出口９が形成されており、外部の吸引手段（図示せず）によって吸引されるようになっている。この吸引圧力を監視するセンサ（図示せず）を設けるとよい。更に、固定ブースダクト５ａの排出口９が形成されている斜面と対向する斜面には、加工領域空間Ｐ内の気体を排気口９に向けて強制的に流動させるエアーブローノズル１０が設置されている。このエアーブローノズル１０はアシストガスノズル７と同様に少なくとも流量調整自在に形成されている。
【００３７】
本実施形態においては、ブースダクト５の上部の内側にはワーク４の加工点を照明するＬＥＤ等の照明手段１１が設置されている。これにより例えばブースダクト５が難燃性の不透明な素材によって形成されていても、ワーク４の加工点を照明して、例えば、レーザ出力ユニット２内に配置されているＣＣＤカメラ（図示せず）による画像観察を実行することができる。
【００３８】
次に、本実施形態の作用を説明する。
【００３９】
本実施形態においては、図３に示すタイミングチャート（Ｔ０時〜Ｔ１１時）に従って構成各部が動作する。
【００４０】
Ｔ０時の動作開始前においては、吊下支承手段６が可動ブースダクト５ｂを巻上げてワーク治具３を開放状態に保持している（図１鎖線および図２鎖線参照）。
【００４１】
次に、加工動作を開始すると、Ｔ１時において、ワーク４のワーク治具３への固定が実行される。
【００４２】
次に、Ｔ２時において、吊下支承手段６が可動ブースダクト５ｂを巻降ろしてワーク治具３およびワーク４の全体を含む加工領域空間Ｐを覆う（図１実線状態および図２実線状態参照）。このとき、好適には加工領域空間Ｐを密閉することが望ましい。
【００４３】
次に、Ｔ３時において、各アシストガスノズル７をオンにしてワーク４に向けて不活性ガス（例えば、窒素ガス若しくはアルゴンガス）を所定流量に管理した状態で吹き付ける。こうすることにより、密閉状態にある加工領域空間Ｐにアシストガスを充満させて不活性の雰囲気を形成することができる。
【００４４】
次に、Ｔ４時において、エアーブローノズル１０をオンにして排気口９に向けて空気を所定流量に管理した状態で噴き付ける。これにより吸引手段からの吸引力が作用する排気口９に向けて強制的な気流が形成される。
【００４５】
次に、Ｔ５時において、レーザ出力ユニット２のレーザ発振器２ａをオンにしてＴ６時までガルバノスキャナ２ｂを用いてレーザ照射を行ってワーク４に対するレーザ加工を施す。このレーザ加工が継続されている間においては、各アシストガスノズル７からワーク４に向けて不活性ガスが継続的に噴き付けられるので、ワーク４に対するレーザ加工が適正に実行される。
【００４６】
同時に、エアーブローノズル１０からの空気の噴き付けも継続されるので、レーザ加工によってブースダクト５内に発生・飛散した粉塵・噴煙等を強制的に排気口９に向かう気流に乗せて流動させて確実に外部に吸引排出させる。これによってワーク４に対するレーザ加工を施す加工領域空間Ｐ内の加工環境が常に適正に保持されることとなる。
【００４７】
このレーザ加工時においては、照明手段１１をオンにしてワーク４の加工点を照明し、図示しないＣＣＤカメラによって加工点の画像を取得しながら加工の良否を観察する。加工に不具合がある場合には、レーザ出力ユニット２のレーザ発振器２ａをオフにしてレーザ加工を中断若しくは中止する。
【００４８】
次に、Ｔ６時において、レーザ出力ユニット２のレーザ発振器２ａをオフにしてレーザ加工を終了し、その後Ｔ７時まで各アシストガスノズル７による不活性ガスの噴き付けを継続してワーク４の周囲の粉塵・噴煙等の全部をブースダクト５の上部へ完全に移送させる。
【００４９】
次に、Ｔ７時において、各アシストガスノズル７をオフにして不活性ガスの噴き付けを終了し、その後Ｔ８時までエアーブローノズル１０による空気の噴き付けを継続してブースダクト５の上部に集合している粉塵・噴煙等を排気口９を通して外部へ完全に排出させる。
【００５０】
次に、Ｔ８時において、エアーブローノズル１０をオフにして空気の噴き付けを終了し、その後Ｔ９時において、吊下支承手段６が可動ブースダクト５ｂを巻上げてワーク治具３およびワーク４の全体を含む加工領域空間Ｐを開放する（図１鎖線および図２鎖線参照）。
【００５１】
次に、Ｔ１０時において、ワーク４のワーク治具３からの取り出しが実行され、その後Ｔ１１時に進んで次のワーク４のレーザ加工のために待機される。
【００５２】
このように本実施形態のレーザ加工用集塵装置１によれば、レーザ照射によって加工を施す場合の加工環境を常に適正に保持することができ、加工品質の優れたレーザ加工を施すことができるなどの優れた効果を奏する。
【００５３】
（第２実施形態）
図４〜図６は本発明のレーザ加工用集塵装置の第２実施形態を示す。本実施形態においては、図１および図２に示す第１実施形態のブースダクト５を四角錐形状から箱型形状のブースダクト１５に変更したものであり、その他の構成は同一であり説明を省略する。箱型形状のブースダクト１５とすることにより、ブースダクト１５の製作コストを低廉に抑えることができ、設置スペースの小型化を図ることができる。
【００５４】
箱型形状のブースダクト１５は難燃性の素材によって全体として四角箱状（円筒状でもよい）に形成されており、レーザ出力ユニット２側の小型の四角筒状の固定ブースダクト１５ａとワーク４側（ワーク治具３側）の大型の下向きに開口している四角箱状の可動ブースダクト１５ｂとによって分割形成されている。一方の可動ブースダクト１５ｂは、図４および図５に示すように、四角筒状の固定ブースダクト１５ａの下端部の外周に固定された正方形の天板１６ａと、この天板１６ａの４辺の下面に取付けられた四角筒蛇腹状の可動側壁１６ｂとを有している。当該可動側壁１６ｂは、図示しない駆動手段によって、図４実線の伸長した状態と、図５の短縮した状態となるように上下に伸縮させられて、加工領域空間Ｐを開閉させてワーク４の当該加工領域空間Ｐへの出入を可能とするブースダクト１５の可動領域を形成している。この可動側壁１６ｂの下端部はワーク治具３の上面に載置されてワーク４およびワーク治具３の周囲を覆うように形成されている。また、ブースダクト１５のワーク治具３側端部となる可動側壁１６ｂの４辺の下端部の内面にはワーク４に向けて不活性ガスを水平方向に噴き付けるアシストガスノズル７がアシストガスヘッダ８をもって取付られている（図６参照）。
【００５５】
本実施形態においても前記第１実施形態と同様にして、レーザ照射によって加工を施す場合の加工環境を常に適正に保持することができるなどの優れた効果を奏する。
【００５６】
なお、第２実施形態において、可動ブースダクト１５ｂを形成する四角筒蛇腹状の可動側壁１６ｂに代えて変形しない四角筒部として形成して天板１６ａに対して当該四角筒部を上下動させたり、天板１６ａと四角筒部を固着して両者を一体として固定ブースダクト１５ａに対して上下動させるように形成してもよい。
【００５７】
（アシストガスノズルの制御）
前記の各実施形態におけるレーザ加工用集塵装置において、各アシストガスノズル７のオン・オフは、ワーク４に照射されるレーザ光の位置に応じて選択的に制御を行うことができる。以下、第１実施形態を例にアシストガスノズル７の制御について説明する。
【００５８】
図７は、図１の矢印Ｑ側から見たアシストガスノズル７とワーク４との位置関係を示す平面図である。例えば、図７において、ワーク４の加工領域、すなわちレーザ光の照射領域をＡ〜Ｅ（図７の左上、左下、右上、右下、中央の各領域）の５つの領域に区分けするとともに、各照射領域Ａ〜Ｅに噴き付け方向を向けたアシストガスノズル７Ａ〜７Ｅを配置する。
【００５９】
そして、照射領域Ａを加工する場合、ガルバノスキャナ２ｂによってレーザ光を照射領域Ａに照射すると共に、照射領域Ａの近傍に配置されているアシストガスノズル７Ａをオンして他のアシストガスノズルをオフすることにより、照射領域Ａに集中的にアシストガスを吹き付けることができる。
【００６０】
以下、照射領域Ｂ〜Ｄについても、照射領域Ａと同様に制御することができる。すなわち、照射領域Ｂを加工する場合にはアシストガスノズル７Ｂをオンして他のアシストガスノズルをオフし、照射領域Ｃを加工する場合にはアシストガスノズル７Ｃをオンして他のアシストガスノズルをオフし、照射領域Ｄを加工する場合にはアシストガスノズル７Ｄをオンして他のアシストガスノズルをオフし、照射領域Ｅを加工する場合にはアシストガスノズル７Ｅをオンして他のアシストガスノズルをオフする。こうすることで、各照射領域Ａ〜Ｅに対して集中的に且つ適切なアシストガスの供給ができる。
【００６１】
なお、アシストガスノズル７を完全にオン・オフとするのではなく、加工領域Ａ〜Ｅ（照射領域Ａ〜Ｅに相当する）に対応したアシストガスノズルから噴出するガス流量を増加させ、その他のアシストガスノズルのガス流量を減少させるようにしても良い。こうすれば、あらかじめ他の加工領域にもアシストガスを供給しておけるので、ガルバノスキャナによるレーザ光の高速走査に対応して、より適切なアシストガスの供給が可能となる。
【００６２】
また、加工領域はワークの材質、サイズ、形状等によって適宜設定してよく、アシストガスノズルも加工領域の設定に対応させて適宜変更できる。
【００６３】
また、各アシストガスノズル７のオン・オフ制御またはガス流量の制御は、レーザ発振器２ａのオン・オフに同期させてもよい。こうすれば、レーザ加工が行われていないときに無駄なガスを消費することがなくなる。
【００６４】
（エアーブローノズルの制御）
前記の各実施形態におけるレーザ加工用集塵装置において、エアーブローノズル１０から噴出される空気の流量は、ワーク４に照射されるレーザ光の出力、加工時間、粉塵・噴煙の量等に応じて制御することができる。
【００６５】
例えば、レーザ発振器２ａから発振されるレーザ光の出力を高く設定した場合やレーザ加工時間を長く設定した場合には、ワーク４に対して供給されるエネルギーが高いために粉塵や噴煙が増加することが考えられる。そのため、エアーブローノズル１０から噴出される空気の流量を増加させて排気を促すようにすることが望ましい。
【００６６】
（変形例）
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて変更することができる。
【００６７】
例えば、図８に示すように、アシストガスノズル７をブースダクト５、１５の四角形の底部の４隅部に取り付けて、各アシストガスノズル７の噴き付け方向を可変調節して加工位置に適正に不活性ガスを供給するように形成するとよい。この場合においても、各アシストガスノズル７のオン・オフまたはアシストガスの噴出流量を、ワーク４の加工領域に応じて制御することもできる。
【００６８】
アシストガスノズル７としては、図９に示すように、アシストガスヘッダ８から蛇腹状に突出するように形成して、例えばワーク４の凹凸面の形状に合わせてアシストガスノズル７を曲げることにより、必要な箇所にアシストガスを供給できるように形成するとよい。
【符号の説明】
【００６９】
１  レーザ加工用集塵装置
２  レーザ出力ユニット
３  ワーク治具
４  ワーク
５、１５  ブースダクト
５ａ、１５ａ  固定ブースダクト
５ｂ、１５ｂ  可動ブースダクト
７  アシストガスノズル
９  排気口
１０  エアブローノズル
１１  照明手段
Ｐ  加工領域空間
【図１】
2015182116.tif 000003
【図２】
2015182116.tif 000004
【図３】
2015182116.tif 000005
【図４】
2015182116.tif 000006
【図５】
2015182116.tif 000007
【図６】
2015182116.tif 000008
【図７】
2015182116.tif 000009
【図８】
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【図９】
2015182116.tif 000011