(57)【要約】      （修正有）【課題】厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板に適したガラス板の洗浄装置を提供する。【解決手段】下側ロールブラシ１４は、ガラス板２の搬送方向前端部２Ｃが下側ロールブラシ１４を通過する際にはガラス板２の搬送方向（矢印Ａ方向）に回転され、かつ、ガラス板２の搬送方向後端部２Ｄが下側ロールブラシ１４を通過する際には搬送方向Ａとは逆方向（矢印Ｂ方向）に回転される。これにより、厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板２の脆弱な搬送方向前端部２Ｃ及び搬送方向後端部２Ｄは、下側ロールブラシ１４に叩かれることなく、下側ロールブラシ１４を通過するので、下側ロールブラシ１４によるガラス板２の破損を防止できる。よって、厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板２に適したガラス板の洗浄装置となる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板の下面が載置され、回転駆動されることにより前記ガラス板を水平方向に搬送する複数本のローラからなる搬送手段と、
前記搬送手段によって搬送中の前記ガラス板の下面に接触され、搬送方向と直交する水平軸を中心に回転されることにより前記下面を洗浄する下側ロールブラシと、
前記搬送手段によって搬送中の前記ガラス板の上面に接触され、搬送方向と直交する水平軸を中心に回転されることにより前記上面を洗浄する上側ロールブラシと、
を備えたガラス板の洗浄装置であって、
前記上側ロールブラシと前記下側ロールブラシとは、搬送方向に沿ってそれぞれ位置をずらして配置され、
前記上側ロールブラシの直下に前記ローラが配置され、
前記下側ロールブラシと前記下側ロールブラシに隣接する搬送方向上流側の前記ローラとの間、及び前記下側ロールブラシと前記下側ロールブラシに隣接する搬送方向下流側の前記ローラとの間に補助ローラが配置され、
前記下側ロールブラシは、前記ガラス板の搬送方向前端部が前記下側ロールブラシを通過する際には前記ガラス板の搬送方向に回転され、かつ、前記ガラス板の搬送方向後端部が前記下側ロールブラシを通過する際には前記ガラス板の搬送方向とは逆方向に回転されることを特徴とするガラス板の洗浄装置。
【請求項２】
前記下側ロールブラシ及び前記上側ロールブラシの毛の直径が０．０４ｍｍ〜０．０８ｍｍである請求項１に記載のガラス板の洗浄装置。
【請求項３】
前記下側ロールブラシの直径が５０ｍｍ〜７０ｍｍである請求項１又は２に記載のガラス板の洗浄装置。
【請求項４】
前記搬送手段の前記ローラの配置ピッチが２５ｍｍ〜４０ｍｍ以下である請求項１から３のいずれか１項に記載のガラス板の洗浄装置。
【請求項５】
前記ローラと隣接するローラとの外周間距離が８ｍｍ〜１２ｍｍである請求項１から４のいずれか１項に記載のガラス板の洗浄装置。
【請求項６】
前記下側ロールブラシ及び前記上側ロールブラシの周速が９００ｍｍ/ｓ〜１９００ｍｍ/ｓである請求項１から５のいずれか１項に記載のガラス板の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示パネル、太陽電池、薄膜二次電池等の電子デバイスの薄型化、軽量化に伴い、これらの電子デバイスに用いられるガラス板の薄板化が要望されている。
【０００３】
しかしながら、ガラス板の厚さが０．３ｍｍ以下になると、撓み易くなってガラス板のハンドリング性が悪化する。このため、ガラス板の表面に電子デバイス用の機能層（薄膜トランジスタ（ＴＦＴ： Thin Film Transistor）、カラーフィルタ（ＣＦ：Color Filter））を形成することが困難になる。
【０００４】
そこで、特に厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板の場合には、そのガラス板の裏面に補強板を貼り付けて、ガラス板を補強板により補強した積層体を構成し、積層体の状態でガラス板の表面に機能層を形成する方法が提案されている（特許文献１参照）。この方法によれば、ガラス板のハンドリング性が向上するため、ガラス板の表面に機能層を良好に形成できる。なお、補強板は、機能層の形成後にガラス板から剥離されて再利用される。
【０００５】
ところで、特許文献２には、液晶表示器用のガラス板の製造工程において、ガラス板の上下面をロールブラシによって洗浄する洗浄装置が開示されている。
【０００６】
特許文献２の洗浄装置には、コンベア部、下側ロールブラシ、及び上側ロールブラシが備えられている。コンベア部には、ガラス板の下面が載置され、回転駆動されることによりガラス板を水平方向に搬送する複数本の搬送ローラが備えられている。また、下側ロールブラシは、コンベア部によって搬送中のガラス板の下面に接触され、回転されることにより下面を洗浄する。更に、上側ロールブラシは、コンベア部によって搬送中のガラス板の上面に接触され、回転されることにより上面を洗浄する。
【０００７】
上側ロールブラシと下側ロールブラシとは、鉛直方向において位置をずらして配置されており、下側ロールブラシの直上に押えロールが配置され、かつ上側ロールブラシの直下に支持ロールが配置されている。
【０００８】
特許文献２の洗浄装置によれば、ガラス板は、下側ロールブラシと押えロールとによって挟持された状態で下面が下側ロールブラシによって洗浄され、かつ上側ロールブラシと支持ロールとによって挟持された状態で上面が上側ロールブラシによって洗浄される。
【０００９】
下側ロールブラシの回転方向は、特許文献２の〔図２〕、〔図４〕の矢印で示すように、ガラス板の搬送方向に沿った方向に設定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】国際公開第２０１０／０９０１４７号
【特許文献２】特開平１０−５７０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献２の洗浄装置を利用して、厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板を洗浄した場合、ガラス板の搬送方向後端部が下側ロールブラシの上方を通過する際にガラス板が破損する場合があった。
【００１２】
すなわち、特許文献２の洗浄装置は、厚さが０．３ｍｍを超えるガラス板を洗浄対象としていることが想定され、よって厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板の洗浄装置としては対応できないという問題があった。
【００１３】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板に適したガラス板の洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本願の発明者は、特許文献２の洗浄装置による、厚さ０．３ｍｍ以下のガラス板（以下、薄板のガラス板ともいう。）の破損原因を鋭意検討し、実験にて検証した結果、以下の知見を見出した。
【００１５】
すなわち、特許文献２の洗浄装置によれば、ガラス板の搬送方向後端部が下側ロールブラシの上方を通過する際にガラス板が破損する。この原因は、ガラス板の搬送方向後端部が下側ロールブラシの上方を通過する際に、脆弱なガラス板の搬送方向後端部（主として後端面）が下側ロールブラシの毛に叩かれることによる衝撃によって発生することを突き止めた。その根拠は、同じく脆弱なガラス板の搬送方向前端部（主として前端面）が下側ロールブラシの上方を通過する際には、ガラス板は破損しない。つまり、下側ロールブラシの回転方向がガラス板の搬送方向に沿った回転方向のため、ガラス板の搬送方向前端部は下側ロールブラシの毛に叩かれないが、ガラス板の搬送方向後端部は下側ロールブラシの毛に叩かれてガラス板が破損する。この知見に基づき、本願の発明者は、以下の洗浄装置を提供する。
【００１６】
本発明の一態様は、前記目的を達成するために、厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板の下面が載置され、回転駆動されることにより前記ガラス板を水平方向に搬送する複数本のローラからなる搬送手段と、前記搬送手段によって搬送中の前記ガラス板の下面に接触され、搬送方向と直交する水平軸を中心に回転されることにより前記下面を洗浄する下側ロールブラシと、前記搬送手段によって搬送中の前記ガラス板の上面に接触され、搬送方向と直交する水平軸を中心に回転されることにより前記上面を洗浄する上側ロールブラシと、を備えたガラス板の洗浄装置であって、前記上側ロールブラシと前記下側ロールブラシとは、搬送方向に沿ってそれぞれ位置をずらして配置され、前記上側ロールブラシの直下に前記ローラが配置され、前記下側ロールブラシと前記下側ロールブラシに隣接する搬送方向上流側の前記ローラとの間、及び前記下側ロールブラシと前記下側ロールブラシに隣接する搬送方向下流側の前記ローラとの間に補助ローラが配置され、前記下側ロールブラシは、前記ガラス板の搬送方向前端部が前記下側ロールブラシを通過する際には前記ガラス板の搬送方向に回転され、かつ、前記ガラス板の搬送方向後端部が前記下側ロールブラシを通過する際には前記ガラス板の搬送方向とは逆方向に回転されることを特徴とするガラス板の洗浄装置を提供する。
【００１７】
本発明の一態様によれば、下側ロールブラシは、ガラス板の搬送方向前端部が下側ロールブラシを通過する際にはガラス板の搬送方向に回転され、かつ、ガラス板の搬送方向後端部が下側ロールブラシを通過する際には前記搬送方向とは逆方向に回転される。これにより、厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板の脆弱な前端部及び後端部は、下側ロールブラシに叩かれることなく、下側ロールブラシを通過するので、下側ロールブラシによるガラス板の破損を防止できる。よって、本発明の一態様によれば、厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板に適したガラス板の洗浄装置を提供できる。
【００１８】
また、本発明の一態様によれば、上側ロールブラシが下側ロールブラシに対し、搬送方向に沿って位置をずらして配置され、かつ上側ロールブラシの直下にローラが配置されている。これにより、上側ロールブラシによるガラス板の上面の洗浄時において、ガラス板は、上側ロールブラシの直下のローラに下面が支持された状態で洗浄される。よって、ガラス板は撓みが抑えられた状態でその上面が洗浄されるので、上面の洗浄力が向上する。
【００１９】
更に、本発明の一態様によれば、下側ロールブラシの上流側及び下流側に補助ローラを配置したので、下側ロールブラシによるガラス板の下面の洗浄時において、ガラス板は、補助ローラに下面が支持された状態で洗浄される。よって、ガラス板は撓みが抑えられた状態でその下面が洗浄されるので、ガラス板の破損を抑制するとともに、下面の洗浄力が向上する。
【００２０】
本発明の一態様は、前記下側ロールブラシ及び前記上側ロールブラシの毛の直径が０．０４ｍｍ〜０．０８ｍｍであることが好ましい。
【００２１】
本発明の一態様によれば、下側ロールブラシ及び上側ロールブラシの毛の直径が０．０４ｍｍ以上なので、ガラス板に対するロールブラシの洗浄力を保持できる。また、ロールブラシの毛の直径が０．０８ｍｍ以下なので、ガラス板に対する下側ロールブラシ及び上側ロールブラシの衝撃力を抑えることができる。これによって、ガラス板は、損傷することなく高い洗浄力によって洗浄される。
【００２２】
本発明の一態様は、前記下側ロールブラシの直径が５０ｍｍ〜７０ｍｍであることが好ましい。
【００２３】
本発明の一態様によれば、下側ロールブラシの直径が５０ｍｍ以上なので、下側ロールブラシの自重による撓みを防止できる。これによって、ガラス板の下面を下側ロールブラシによって均等に洗浄できる。また、下側ロールブラシの直径が７０ｍｍ以下なので、下側ロールブラシに対して上流側及び下流側で隣接する一対のローラの配置ピッチを最小限に抑えることができる。これにより、薄板のガラス板がその一対のローラの間で撓むことを防止できるので、下側ロールブラシによってガラス板の下面を安定して洗浄できる。
【００２４】
本発明の一態様は、前記搬送手段の前記ローラの配置ピッチが２５ｍｍ〜４０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００２５】
本発明の一態様によれば、ローラの配置ピッチが２５ｍｍ以上なので、ローラの本数を無用に増やすことなく、薄板のガラス板を安定して搬送できる。また、ローラの配置ピッチが４０ｍｍ以下なので、ガラス板の搬送方向前端部が自重で撓んで、ローラ間の隙間に入り込むことを防止できる。
【００２６】
本発明の一態様は、前記ローラと隣接するローラとの外周間距離が８ｍｍ〜１２ｍｍであることが好ましい。
【００２７】
本発明の一態様によれば、隣接するローラ間の外周間距離が８ｍｍ以上なので、ローラ間の隙間から洗浄液をガラス板の下面に確実に供給できる。また、隣接するローラ間の外周間距離が１２ｍｍ以下なので、ガラス板の搬送方向前端部が自重で撓んで、ローラ間の隙間に入り込むことを防止できる。
【００２８】
本発明の一態様は、前記下側ロールブラシ及び前記上側ロールブラシの周速が９００ｍｍ/ｓ〜１９００ｍｍ/ｓであることが好ましい。
【００２９】
本発明の一態様によれば、下側ロールブラシ及び上側ロールブラシの周速が９００ｍｍ/ｓ以上なので、ガラス板に対する下側ロールブラシ及び上側ロールブラシの洗浄力を保持できる。また、周速が１９００ｍｍ/ｓ以下なので、ガラス板に加わる下側ロールブラシ及び上側ロールブラシの衝撃力を抑えつつ、下側ロールブラシ及び上側ロールブラシの洗浄力を最大限に上げることができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明のガラス板の洗浄装置によれば、厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板に適したガラス板の洗浄装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】電子デバイスの製造工程に供される積層体の一例を示す要部拡大側面図
【図２】ＬＣＤの製造工程の途中で作製される積層体の一例を示す要部拡大側面図
【図３】実施形態のガラス板の洗浄装置の平面図
【図４】図３に示した洗浄装置の側面図
【図５】下側ロールブラシの回転方向がガラス板の搬送位置によって変更される説明図
【図６】下側ロールブラシの回転方向制御装置の構成を示したブロック図
【図７】下側ロールブラシの直径を説明するための側面図
【図８】ローラの配置ピッチ及び外周間距離を説明するための拡大側面図
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、添付図面に従って、本発明のガラス板の洗浄装置の実施形態について説明する。
【００３３】
実施形態のガラス板は、厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板を対象とし、特に電子デバイスの製造工程で使用されるガラス板を対象とする。
【００３４】
実施形態のガラス板の洗浄装置を説明する前に、電子デバイス、及び電子デバイスの製造工程で使用されるガラス板の概要を説明する。
【００３５】
〔電子デバイス〕
電子デバイスとは、表示パネル、太陽電池、薄膜二次電池等の電子部品を指す。表示パネルとしては、液晶ディスプレイパネル（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：Plasma Display Panel）、及び有機ＥＬディスプレイパネル（ＯＥＬＤ：Organic Electro Luminescence Display）を例示できる。
【００３６】
〈電子デバイスの製造工程〉
電子デバイスは、ガラス板の表面に電子デバイス用の機能層（ＬＣＤであれば、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、カラーフィルタ（ＣＦ））を形成することにより製造される。
【００３７】
前記ガラス板は、機能層の形成前に、その裏面が補強板に貼り付けられて積層体に構成される。その後、積層体の状態でガラス板の表面に機能層が形成される。そして、機能層の形成後、補強板がガラス板から剥離される。
【００３８】
すなわち、電子デバイスの製造工程には、積層体の状態でガラス板の表面に機能層を形成する機能層形成工程、及び機能層が形成されたガラス板から補強板を剥離する剥離工程が備えられる。
【００３９】
〔積層体１〕
図１は、積層体１の一例を示した要部拡大側面図である。
【００４０】
積層体１は、機能層が形成されるガラス板２と、ガラス板２を補強する補強板３とを備える。また、補強板３は、表面３ａに吸着層としての樹脂層４が備えられ、樹脂層４にガラス板２の裏面２ｂが貼り付けられる。すなわち、ガラス板２は、樹脂層４との間に作用するファンデルワールス力、又は樹脂層４の粘着力によって、補強板３に樹脂層４を介して貼り付けられる。なお、図１の積層体１は、樹脂層４を備えているが、樹脂層４を無くしてガラス板２と補強板３とからなる構成としてもよい。この場合には、ガラス板２と補強板３との間に作用するファンデルワールス力等によってガラス板２と補強板３とが剥離可能に貼り付けられる。
【００４１】
〈ガラス板２〉
ガラス板２は、その表面２ａに機能層が形成される。ガラス板２は、耐薬品性、耐透湿性に優れ、かつ、線膨張係数が他の板材（セラミックス基板、樹脂基板、金属基板、半導体基板）よりも小さいので、電子デバイス用の板材として好適である。また、線膨張係数が小さくなるに従い、高温下で形成される機能層のパターンが冷却時に、ずれ難くなる利点もある。
【００４２】
ガラス板２のガラスとしては、無アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダライムガラス、高シリカガラス、その他の酸化ケイ素を主な成分とする酸化物系ガラスを例示できる。酸化物系ガラスとしては、酸化物換算による酸化ケイ素の含有量が４０〜９０質量％のガラスが好ましい。
【００４３】
また、ガラスとしては、製造する電子デバイスの種類に適したガラス、その製造工程に適したガラスを選択して採用することが好ましい。たとえば、液晶パネル用のガラスには、アルカリ金属成分を実質的に含まないガラス（無アルカリガラス）を採用することが好ましい。
【００４４】
ガラス板２の厚さは、ガラス板２の種類に応じて設定されるが、実施形態では、電子デバイスの軽量化、薄板化のため、０．３ｍｍ以下、好ましくは０．２ｍｍ以下、さらに好ましくは０．１ｍｍ以下のものが使用される。厚さが０．３ｍｍ以下の場合、ガラス板２に良好なフレキシブル性を与えることができる。更に、厚さが０．１ｍｍ以下の場合、ガラス板２をロール状に巻き取ることができる。
【００４５】
なお、図１の積層体１は、１枚のガラス板２によって構成されているが、ガラス板２は、複数枚の基板で構成されたものでもよい。すなわち、ガラス板２は、複数枚のガラス板を積層した積層体で構成することもできる。
【００４６】
〈補強板３〉
補強板３としては、ガラス基板、セラミックス基板、樹脂基板、金属基板、半導体基板を例示できる。
【００４７】
補強板３の種類は、製造する電子デバイスの種類、その電子デバイスに使用するガラス板２の種類等に応じて選定される。補強板３がガラス板であると、ガラス板２と同一の材質なので、温度変化による反り、剥離を低減できる。
【００４８】
補強板３とガラス板２との平均線膨張係数の差（絶対値）は、ガラス板２の寸法形状等に応じて適宜設定されるが、３５×１０−７／℃以下であることが好ましい。ここで、「平均線膨張係数」とは、５０〜３００℃の温度範囲における平均線膨張係数（JIS R3102）をいう。
【００４９】
補強板３の厚さは、０．７ｍｍ以下に設定され、補強板３の種類、補強するガラス板２の種類、厚さ等に応じて設定される。なお、補強板３の厚さは、ガラス板２よりも厚くてもよいし、薄くてもよいが、ガラス板２を補強するため、０．４ｍｍ以上であることが好ましい。
【００５０】
なお、本例では補強板３が１枚の基板で構成されているが、補強板３は、複数枚の基板を積層した積層体で構成することもできる。
【００５１】
〈樹脂層４〉
樹脂層４は、樹脂層４と補強板３との間で剥離するのを防止するため、補強板３との間の結合力が、ガラス板２との間の結合力よりも高く設定される。これにより、剥離工程では、樹脂層４とガラス板２との間で積層体１が剥離される。
【００５２】
樹脂層４を構成する樹脂は、特に限定されないが、アクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミドシリコーン樹脂を例示できる。いくつかの種類の樹脂を混合して用いることもできる。そのなかでも、耐熱性や剥離性の観点から、シリコーン樹脂、ポリイミドシリコーン樹脂が好ましい。実施形態では、樹脂層４としてシリコーン樹脂層を例示する。
【００５３】
樹脂層４の厚さは、特に限定されないが、好ましくは１〜５０μｍに設定され、より好ましくは４〜２０μｍに設定される。樹脂層４の厚さを１μｍ以上とすることにより、樹脂層４とガラス板２との間に気泡や異物が混入した際、樹脂層４の変形によって、気泡や異物の厚さを吸収できる。一方、樹脂層４の厚さを５０μｍ以下とすることにより、樹脂層４の形成時間を短縮でき、更に樹脂層４の樹脂を必要以上に使用しないため経済的である。
【００５４】
〈機能層が形成された積層体６〉
機能層形成工程を経ることにより積層体１のガラス板２の表面２ａには、機能層が形成される。機能層の形成方法としては、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法、ＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）法等の蒸着法、スパッタ法が用いられる。機能層は、フォトリソグラフィ法、エッチング法によって所定のパターンに形成される。
【００５５】
図２は、ＬＣＤの製造工程の途中で作製される積層体６の一例を示した要部拡大側面図である。
【００５６】
積層体６は、補強板３Ａ、樹脂層４Ａ、ガラス板２Ａ、機能層７、ガラス板２Ｂ、樹脂層４Ｂ、及び補強板３Ｂが、この順で積層されて構成される。すなわち、図２の積層体６は、図１に示した積層体１が、機能層７を挟んで対称に配置された積層体に相当する。以下、ガラス板２Ａ、樹脂層４Ａ、及び補強板３Ａからなる積層体を第１の積層体１Ａとし、ガラス板２Ｂ、樹脂層４Ｂ、及び補強板３Ｂからなる積層体を第２の積層体１Ｂという。
【００５７】
第１の積層体１Ａのガラス板２Ａの表面２Ａａには、機能層７としての薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が形成され、第２の積層体１Ｂのガラス板２Ｂの表面２Ｂａには、機能層７としてのカラーフィルタ（ＣＦ）が形成される。
【００５８】
第１の積層体１Ａと第２の積層体１Ｂとは、互いにガラス板２Ａ、２Ｂの表面２Ａａ、２Ｂａが重ね合わされて一体化される。これにより、機能層７を挟んで、第１の積層体１Ａと第２の積層体１Ｂとが、対称に配置された構造の積層体６が製造される。
【００５９】
積層体６は、剥離工程で補強板３Ａ、３Ｂが剥離され、その後、偏光板、バックライト等が取り付けられて、製品であるＬＣＤが製造される。
【００６０】
なお、図２の積層体６は、表裏両面に補強板３Ａ、３Ｂが配置された構成であるが、積層体としては、片側の面にのみ補強板が配置された構成であってもよい。
【００６１】
次に、実施形態のガラス板２の洗浄装置について説明する。
【００６２】
〔ガラス板２の洗浄装置１０〕
図３は、実施形態のガラス板２の洗浄装置１０の平面図、図４は、図３の洗浄装置１０の側面図であり、これらの図は、特に主要な部材のみを誇張して示した説明図である。
【００６３】
また、図５（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）には、洗浄装置１０を構成する搬送手段としての複数のローラ１２、下側ロールブラシ１４、上側ロールブラシ１６、補助ローラ１８、及びピンチローラ２０が示されており、特に下側ロールブラシ１４の回転方向がガラス板２の搬送位置に基づいて矢印Ａ方向、矢印Ｂ方向、矢印Ａ方向の順に変更されることが示されている。
【００６４】
ガラス板製造装置（不図示）によって製造されたガラス板２は、図５に示した複数のローラ１２の回転によって、図３、図４の矢印Ｃで示す搬送方向に沿って水平方向に搬送され、洗浄装置１０の上流側に搬入される。なお、図３、図４には、図面の煩雑さを避けるため図５に示した搬送ローラ１２の図示が省略され、かつ同様の理由から図３には、図４で示す洗浄液をガラス板２の上面及び下面に向けて噴射するノズル群２２Ａ、２２Ｂ、２４Ａ、２４Ｂの図示が省略されている。
【００６５】
洗浄装置１０には図３、図４の如く、ガラス板２の搬送方向に沿って配置されたケーシング２６が備えられる。ケーシング２６は、図３の如く搬送エリア２８、搬送エリア２８の両側部に配置された機構部３０、及び洗浄液供給部３２から構成される。
【００６６】
搬送エリア２８には、図５に示したローラ１２が配設され、ローラ１２によってガラス板２は洗浄装置１０の上流側から下流側に向けて搬送される。
【００６７】
機構部３０には、駆動源と、駆動源からの動力をローラ１２、下側ロールブラシ１４、及び上側ロールブラシ１６に伝達して回転させる動力伝達部が配置されている。
【００６８】
洗浄液供給部３２には、ノズル群２２Ａ、２２Ｂにアルカリ性洗剤を供給するタンク、ポンプ、及び配管が配設され、かつノズル群２４Ａ、２４Ｂに純水を供給するタンク、ポンプ、及び配管が配設される。
【００６９】
搬送エリア２８は、ガラス板２の搬送方向の上流側から下流側に向けて、位置決めエリア３４、アルカリ洗浄エリア３６、純水洗浄エリア３８、及び乾燥エリア４０が順に配置される。
【００７０】
位置決めエリア３４には、複数本の位置決めローラ４２が配置される。洗浄装置１０の上流側に搬入されたガラス板２は、位置決めエリア３４を通過中に、搬送方向に対して直交方向に配置された複数対の位置決めローラ４２に、搬送方向に沿った縁部が当接されることにより、洗浄、乾燥に適した位置に位置決めされる。
【００７１】
アルカリ洗浄エリア３６には、一対の下側ロールブラシ１４、一対の上側ロールブラシ１６、及びノズル群２２Ａ、２２Ｂが配置される。
【００７２】
純水洗浄エリア３８には、一対の下側ロールブラシ１４、一対の上側ロールブラシ１６、及びノズル群２４Ａ、２４Ｂが配置される。
【００７３】
アルカリ洗浄エリア３６及び純水洗浄エリア３８の下側ロールブラシ１４は、図５の如くローラ１２によって搬送中のガラス板２の下面に、その毛１４Ａが接触され、搬送方向と直交する水平軸１４Ｂを中心に回転されることにより前記下面を洗浄する。上側ロールブラシ１６は、ローラ１２によって搬送中のガラス板２の上面に、その毛１６Ａが接触され、搬送方向と直交する水平軸１６Ｂを中心に回転されることにより前記上面を洗浄する。
【００７４】
また、上側ロールブラシ１６と下側ロールブラシ１４とは、搬送方向に沿ってそれぞれ位置をずらして配置（千鳥状（arranged zigzag）に配置）される。また、上側ロールブラシ１６の直下には、複数のローラ１２のうち１台のローラ１２Ａが配置される。更に、下側ロールブラシ１４と、その下側ロールブラシ１４に隣接する搬送方向上流側のローラ１２Ｂとの間、及び下側ロールブラシ１４と、その下側ロールブラシ１４に隣接する搬送方向下流側のローラ１２Ｃとの間には、補助ローラ１８が配置されている。
【００７５】
図４に示した乾燥エリア４０には、上側ノズル４４と下側ノズル４６とが、ガラス板２の搬送方向に対して傾斜して配置される。乾燥エリア４０を通過中のガラス板２は、上側ノズル４４から噴射されるエアによって、その上面に付着した純水が除去され、その後、前記エアによって乾燥される。これと同時にガラス板２は、下側ノズル４６から噴射されるエアによって、その下面に付着した純水が除去され、その後、前記エアによって乾燥される。
【００７６】
〈下側ロールブラシ１４の回転方向制御について〉
図５（Ａ）の如く、下側ロールブラシ１４は、ガラス板２の搬送方向前端部２Ｃが下側ロールブラシ１４を通過する際には、ガラス板２の搬送方向に沿った矢印Ａで示す回転方向に回転される。そして、図５（Ｂ）の如く、下側ロールブラシ１４は、ガラス板２の搬送方向後端部２Ｄが下側ロールブラシ１４を通過する際には、ガラス板２の搬送方向とは逆方向の矢印Ｂで示す回転方向に回転される。そして、図５（Ｃ）の如く、下側ロールブラシ１４は、ガラス板２の搬送方向後端部２Ｄが下側ロールブラシ１４を通過した後、ガラス板２の搬送方向に沿った矢印Ａで示す回転方向に回転される。
【００７７】
上記のような下側ロールブラシ１４の回転方向制御方法としては、多種の制御方法がある。
【００７８】
図６は、下側ロールブラシ１４の回転方向制御装置４８の構成を示したブロック図である。
【００７９】
回転方向制御装置４８によれば、洗浄装置１０の上流側に、ローラ１２によって搬送されてきたガラス板２の搬送方向前端部２Ｃを非接触で検出するセンサ５０が設けられ、センサ５０からの検出信号に基づいて下側ロールブラシ１４を回転させるモータ５２のドライバ５４を制御する制御装置５６が設けられている。
【００８０】
制御装置５６の記憶部５８には、ローラ１２の搬送速度（ｖ）、ガラス板２の搬送方向に沿った長さ（Ｌ１）、センサ５０の検出位置から下側ロールブラシ１４の水平軸１４Ｂの軸心までの距離（Ｌ２）の情報が記憶されている。センサ５０から制御装置５６に検出信号が出力されると、制御装置５６は、前記情報（ｖ）、（Ｌ１）、（Ｌ２）に基づき、ガラス板２の搬送方向前端部２Ｃが下側ロールブラシ１４を完全に通過するまで、下側ロールブラシ１４を矢印Ａ方向に回転させるようにドライバ５４を制御する（図５（Ａ）参照）。
【００８１】
そして、制御装置５６は、ガラス板２の搬送方向前端部２Ｃが下側ロールブラシ１４を完全に通過した直後又は所定時間経過後に、下側ロールブラシ１４の回転を停止させて下側ロールブラシ１４を矢印Ｂ方向に逆回転させるようにドライバ５４を制御する（図５（Ｂ）参照）。
【００８２】
そして、制御装置５６は、ガラス板２の搬送方向後端部２Ｄが下側ロールブラシ１４を完全に通過した直後又は所定時間経過後に、下側ロールブラシ１４の回転を停止させて下側ロールブラシ１４を矢印Ａ方向に逆回転させるようにドライバ５４を制御する（図５（Ｃ）参照）。
【００８３】
回転方向制御装置４８は、上記のような下側ロールブラシ１４の回転制御を、全ての下側ロールブラシ１４について実施する。
【００８４】
〔洗浄装置１０の特徴〕
洗浄装置１０によれば、下側ロールブラシ１４は、ガラス板２の搬送方向前端部２Ｃが下側ロールブラシ１４を通過する際にはガラス板２の搬送方向（矢印Ａ方向）に回転され、かつ、ガラス板２の搬送方向後端部２Ｄが下側ロールブラシ１４を通過する際には搬送方向とは逆方向（矢印Ｂ方向）に回転される。
【００８５】
これにより、厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板２の脆弱な搬送方向前端部２Ｃ及び搬送方向後端部２Ｄは、下側ロールブラシ１４に叩かれることなく、下側ロールブラシ１４を通過するので、下側ロールブラシ１４によるガラス板２の破損を防止できる。よって、洗浄装置１０によれば、厚さが０．３ｍｍ以下のガラス板２に適したガラス板の洗浄装置となる。
【００８６】
また、洗浄装置１０によれば、上側ロールブラシ１６が下側ロールブラシ１４に対し、搬送方向に沿って位置をずらして配置され、かつ上側ロールブラシ１６の直下にローラ１２Ａが配置されている。
【００８７】
これにより、上側ロールブラシ１６によるガラス板２の上面の洗浄時において、ガラス板２は、ローラ１２Ａに下面が支持された状態で洗浄される。よって、ガラス板２は撓みが抑えられた状態でその上面が洗浄されるので、ガラス板２の破損を抑制するとともに、上面の洗浄力が向上する。
【００８８】
更に、洗浄装置１０によれば、下側ロールブラシ１４の上流側及び下流側に補助ローラ１８を配置したので、下側ロールブラシ１４によるガラス板２の下面の洗浄時において、ガラス板２は、補助ローラ１８に下面が支持された状態で洗浄される。よって、ガラス板２は撓みが抑えられた状態でその下面が洗浄されるので、ガラス板２の破損を抑制するとともに、下面の洗浄力が向上する。
【００８９】
また、下側ロールブラシ１４及び上側ロールブラシ１６の毛１４Ａ、１６Ａの直径は、０．０４ｍｍ〜０．０８ｍｍであることが好ましい。
【００９０】
毛１４Ａ、１６Ａの直径を０．０４ｍｍ以上とすれば、ガラス板２に対する下側ロールブラシ１４及び上側ロールブラシ１６の洗浄力を保持できる。また、毛１４Ａ、１６Ａの直径を０．０８ｍｍ以下とすれば、ガラス板２に対する下側ロールブラシ１４及び上側ロールブラシ１６の衝撃力を抑えることができる。これによって、ガラス板２は、損傷することなく高い洗浄力によって洗浄される。
【００９１】
図７は、下側ロールブラシ１４の側面図である。下側ロールブラシ１４の直径（Ｄ）は、５０ｍｍ〜７０ｍｍであることが好ましい。
【００９２】
下側ロールブラシ１４の直径を５０ｍｍ以上とすれば、下側ロールブラシ１４の自重による撓みを防止できる。これによって、ガラス板２の下面を下側ロールブラシ１４によって均等に洗浄できる。また、下側ロールブラシ１４の直径を７０ｍｍ以下とすれば、下側ロールブラシ１４に対して上流側及び下流側で隣接する一対のローラ１２の配置ピッチを最小限に抑えることができる。これにより、薄板のガラス板２がその一対のローラ１２の間で撓むことを防止できるので、下側ロールブラシ１４によってガラス板２の下面を安定して洗浄できる。
【００９３】
図８は、ローラ１２の配置ピッチ（Ｐ）及び外周間距離（Ｂ）を説明するための拡大側面図である。ローラ１２の配置ピッチは、２５ｍｍ〜４０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００９４】
配置ピッチ（Ｐ）を２５ｍｍ以上とすれば、ローラ１２の本数を無用に増やすことなく、薄板のガラス板２を安定して搬送できる。また、配置ピッチ（Ｐ）を４０ｍｍ以下とすれば、ガラス板２の搬送方向前端部２Ｃが自重で撓んで、ローラ１２間の隙間に入り込むことを防止できる。
【００９５】
更に、外周間距離（Ｂ）は、８ｍｍ〜１２ｍｍであることが好ましい。
【００９６】
外周間距離（Ｂ）を８ｍｍ以上とすれば、ローラ１２間の隙間から洗浄液をガラス板２の下面に確実に供給できる。また、外周間距離（Ｂ）を１２ｍｍ以下とすれば、ガラス板２の搬送方向前端部２Ｃが自重で撓んで、ローラ１２間の隙間に入り込むことを防止できる。
【００９７】
また、下側ロールブラシ１４及び上側ロールブラシ１６の周速が９００ｍｍ/ｓ〜１９００ｍｍ/ｓであることが好ましい。
【００９８】
周速を９００ｍｍ/ｓ以上とすれば、ガラス板２に対する下側ロールブラシ１４及び上側ロールブラシ１６の洗浄力を保持できる。また、周速を１９００ｍｍ/ｓ以下とすれば、ガラス板２に加わる下側ロールブラシ１４及び上側ロールブラシ１６の衝撃力を抑えつつ、下側ロールブラシ１４及び上側ロールブラシ１６の洗浄力を最大限に上げることができる。
【００９９】
以上の実施形態では、洗浄対象物として、厚さが０．３ｍｍのガラス板２を例示したが、厚さが薄く洗浄時に撓み易い材質の板状体であれば洗浄対象物となる。
【符号の説明】
【０１００】
１…積層体、１Ａ…第１の積層体、１Ｂ…第２の積層体、１Ｃ…積層体のコーナ部、１Ｄ…積層体のコーナ部、２…ガラス板、２ａ…基板の表面、２ｂ…基板の裏面、２Ａ…ガラス板、２Ａａ…基板の表面、２Ａｂ…基板の裏面、２Ｂ…ガラス板、２Ｂａ…基板の表面、２Ｂｂ…基板の裏面、２Ｃ…搬送方向前端部、２Ｄ…搬送方向後端部、３…補強板、３ａ…補強板の表面、３ｂ…補強板の裏面、３Ａ…補強板、３Ａａ…補強板の表面、３Ａｂ…補強板の裏面、３Ｂ…補強板、３Ｂａ…補強板の表面、３Ｂｂ…補強板の裏面、４…樹脂層、４Ａ…樹脂層、４Ｂ…樹脂層、６…積層体、１０…洗浄装置、１２…ローラ、１４…下側ロールブラシ、１４Ａ…毛、１６…上側ロールブラシ、１６Ａ…毛、１８…補助ローラ、２０…ピンチローラ、２２Ａ…ノズル群、２２Ｂ…ノズル群、２４Ａ…ノズル群、２４Ｂ…ノズル群、１４Ｂ…水平軸、１６Ｂ…水平軸、２６…ケーシング、２８…搬送エリア、３０…機構部、３２…洗浄液供給部、３４…位置決めエリア、３６…アルカリ洗浄エリア、３８…純水洗浄エリア、４０…乾燥エリア、４２…位置決めローラ、４４…上側ノズル、４６…下側ノズル、４８…回転方向制御装置、５０…センサ、５２…モータ、５４…ドライバ、５６…制御装置、５８…記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2015089546.tif 000009
【図８】
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