(57)【要約】【課題】設置時の安定性を高めることができる振動片を提供すること、また、この振動片を備える優れた信頼性を有する振動子、発振器、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】振動片２００は、基部２２０と、基部２２０から沿って延出している１対の振動腕２３０、２４０と、基部２２０から１対の振動腕２３０、２４０間に延出している保持腕２５０と、を備え、振動腕２３０、２４０は、基部２２０から延出している腕部２３７、２４７と、腕部２３７、２４７の先端部に設けられているハンマーヘッド２６０、２７０と、を有しており、各振動腕２３０、２４０の質量をＭ１とし、保持腕２５０の質量をＭ２としたとき、Ｍ１＞Ｍ２の関係を満たす。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
平面視で前記基部から第１方向に沿って延出され、前記第１方向と交差する第２方向に沿って並んでいる１対の振動腕と、
平面視で前記１対の振動腕間に配置され、前記基部から前記第１方向に沿って延出されている保持腕と、
を含み、
前記振動腕の質量をＭ１、
前記保持腕の質量をＭ２としたとき、
Ｍ１＞Ｍ２
の関係を満たしていることを特徴とする振動片。
【請求項２】
前記振動腕は、
錘部と、
前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
を含み、
前記錘部の質量をＭ３としたとき、
Ｍ２＜２×Ｍ３
の関係を満たしている請求項１に記載の振動片。
【請求項３】
Ｍ２＜Ｍ３
の関係を満たしている請求項２に記載の振動片。
【請求項４】
前記基部の質量をＭ４としたとき、
Ｍ２＜Ｍ４
の関係を満たしている請求項２ないし３のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項５】
前記腕部の質量をＭ５としたとき、
Ｍ３＞Ｍ５
の関係を満たしている請求項２ないし４のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項６】
前記保持腕は、対象物に対して取り付けられる固定部が設けられ、
前記固定部は、平面視で、前記基部、前記振動腕および前記保持腕を含む構造体の重心と重なっている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項７】
前記保持腕の先端は、前記錘部よりも前記基部側に位置している請求項２ないし６のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項８】
前記保持腕は、
対象物に対して取り付けられる固定部を含む本体部と、
前記本体部と前記基部とを接続し、前記本体部よりも前記第２方向に沿った幅が狭くなっている接続部と、
を含む請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項９】
前記腕部の互いに表裏の関係にある第１の主面及び第２の主面の少なくとも一方には、前記第１方向に沿って溝が設けられている請求項１ないし８のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の振動片と、
前記振動片が収納されているパッケージと、
を備えていることを特徴とする振動子。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の振動片と、
前記振動片に電気的に接続されている発振回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。
【請求項１２】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１３】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水晶発振器等の振動デバイスとしては、音叉型の振動片を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、特許文献１に記載の共振子は、ベースによって接合された２つのアームを有する音叉形部分を含む。このベースには、２つのアーム間に、アームと平行に配置された中央アームが取り付けられている。この共振子では、良好な減結合を実現する（振動漏れを小さくする）目的で、中央アームの質量が音叉部分のアームの質量よりも大きくなっている。
しかし、このような質量の関係を有する振動片は、パッケージに搭載する際のバランスが悪く、搭載時にパッケージの搭載面に対して斜めの状態になりやすいという問題があった。かかる問題は、製造時の歩留まりの低下、製造工程の複雑化、製品の信頼性の低下等をもたらす。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１６３５６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、設置時の安定性を高めることができる振動片を提供すること、また、この振動片を備える優れた信頼性を有する振動子、発振器、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動片は、基部と、
平面視で前記基部から第１方向に沿って延出され、前記第１方向と交差する第２方向に沿って並んでいる１対の振動腕と、
平面視で前記１対の振動腕間に配置され、前記基部から前記第１方向に沿って延出されている保持腕と、
を含み、
前記振動腕の質量をＭ１、
前記保持腕の質量をＭ２としたとき、
Ｍ１＞Ｍ２
の関係を満たしていることを特徴とする。
このような振動片によれば、振動片の第２方向での両端部の質量が大きくなるため、保持腕を対象物に対して固定して振動片を搭載するとき、振動片が撓んで、固定による支点に対して振動片の重心が対象物側（下側）に移動し、その結果、振動片の安定性を高めることができる。
【０００６】
［適用例２］
本発明の振動片では、前記振動腕は、
錘部と、
前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
を含み、
前記錘部の質量をＭ３としたとき、
Ｍ２＜２×Ｍ３
の関係を満たしていることが好ましい。
これにより、振動片の第１方向での端部（特に錘部側の端部）が下側に変位するような振動片の撓みが生じやすくなる。そのため、保持腕を対象物に対して固定して振動片を搭載するとき、振動片の安定性をより高めることができる。
【０００７】
［適用例３］
本発明の振動片では、Ｍ２＜Ｍ３
の関係を満たしていることが好ましい。
これにより、振動片の第１方向での端部が下側（対象物側）に変位するような振動片の撓みがより生じやすくなる。
【０００８】
［適用例４］
本発明の振動片では、前記基部の質量をＭ４としたとき、
Ｍ２＜Ｍ４
の関係を満たしていることが好ましい。
これにより、振動片の第１方向での端部（特に基部側の端部）が下側（対象物側）に変位するような振動片の撓みが生じやすくなる。そのため、保持腕を対象物に対して固定して振動片を搭載するとき、振動片の安定性をより高めることができる。
【０００９】
［適用例５］
本発明の振動片では、前記腕部の質量をＭ５としたとき、
Ｍ３＞Ｍ５
の関係を満たしていることが好ましい。
これにより、振動腕の腕部の撓みにより振動片の第１方向での端部（特に錘部側の端部）が下側（対象物側）に変位するような振動片の撓みが生じやすくなる。そのため、保持腕を対象物に対して固定して振動片を搭載するとき、振動片の安定性をより高めることができる。
【００１０】
［適用例６］
本発明の振動片では、前記保持腕は、対象物に対して取り付けられる固定部が設けられ、
前記固定部は、平面視で、前記基部、前記振動腕および前記保持腕を含む構造体の重心と重なっていることが好ましい。
これにより、保持腕を対象物に対して固定して振動片を搭載するとき、振動片の安定性をより高めることができる。
【００１１】
［適用例７］
本発明の振動片では、前記保持腕の先端は、前記錘部よりも前記基部側に位置していることが好ましい。
これにより、１対の振動腕の腕部間の空間を効率的に利用して保持腕を配置することができる。また、１対の振動腕の錘部間に保持腕が存在しないため、振動腕間の距離を小さくすることができ、その結果、振動片の小型化を図ることができる。
【００１２】
［適用例８］
本発明の振動片では、前記保持腕は、
対象物に対して取り付けられる固定部を含む本体部と、
前記本体部と前記基部とを接続し、前記本体部よりも前記第２方向に沿った幅が狭くなっている接続部と、
を含むことが好ましい。
これにより、保持腕の撓みにより振動片の第１方向での端部（特に基部側の端部）が下側（対象物側）に変位するような振動片の撓みが生じやすくなる。そのため、保持腕を対象物に対して固定して振動片を搭載するとき、振動片の安定性をより高めることができる。
【００１３】
［適用例９］
本発明の振動片では、前記腕部の互いに表裏の関係にある第１の主面及び第２の主面の少なくとも一方には、前記第１方向に沿って溝が設けられていることが好ましい。
これにより、振動腕の腕部の撓みにより振動片の第１方向での端部（特に錘部側の端部）が下側（対象物側）に変位するような振動片の撓みが生じやすくなる。そのため、保持腕を対象物に対して固定して振動片を搭載するとき、振動片の安定性をより高めることができる。また、熱弾性損失を低減して、Ｑ値を高めることができる。
【００１４】
［適用例１０］
本発明の振動子は、本発明の振動片と、
前記振動片が収納されているパッケージと、
を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する振動子を提供することができる。
【００１５】
［適用例１１］
本発明の発振器は、本発明の振動片と、
前記振動片に電気的に接続されている発振回路と、
を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する発振器を提供することができる。
【００１６】
［適用例１２］
本発明の電子機器は、本発明の振動片を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する電子機器を提供することができる。
［適用例１３］
本発明の移動体は、本発明の振動片を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動片を示す平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】振動漏れ抑制の原理を説明する平面図である。
【図４】搭載時の安定性を説明するための振動片の簡略化モデルを示す図であって、（ａ）は、従来の振動片を示す図、（ｂ）は、本発明の振動片を示す図である。
【図５】図１に示す振動片に重力が加わった状態を示す斜視図である。
【図６】振動片の各部の寸法および質量を説明するための図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る振動片を示す平面図である。
【図８】本発明の振動子の一例を示す図である。
【図９】本発明の発振器の一例を示す図である。
【図１０】本発明の電子機器の第１例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図１１】本発明の電子機器の第２例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１２】本発明の電子機器の第３例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図１３】本発明の移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
１．振動片
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動片を示す平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。また、図３は、振動漏れ抑制の原理を説明する平面図である。
【００１９】
なお、各図では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。また、以下の説明では、Ｘ軸に平行な方向（第２方向）を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向（第１方向）を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向（第３方向）を「Ｚ軸方向」といい、また、各図に図示されたＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の矢印の先端側を「＋（プラス）」、基端側を「−（マイナス）」という。また、以下の説明では、説明の便宜上、Ｚ軸方向から見たときの平面視を単に「平面視」ともいう。また、説明の便宜上、図１中の上側（＋Ｚ軸方向側）を「上」、下側（−Ｚ軸方向側）を「下」ともいう。
【００２０】
図１および図２に示す振動片２００は、振動基板２１０と、この振動基板２１０上に形成された第１駆動用電極２８０および第２駆動用電極２９０（図２参照）とを有している。
振動基板２１０は、例えば、水晶、特に、Ｚカット水晶板で構成されている。これにより、振動片２００は、優れた振動特性を発揮することができる。Ｚカット水晶板とは、水晶のＺ軸（光学軸）を厚さ方向とする水晶基板である。Ｚ軸は、振動基板２１０の厚さ方向と一致しているのが好ましいが、常温近傍における周波数温度変化を小さくする観点からは、厚さ方向に対して若干（例えば、１５°未満程度）傾けることになる。
【００２１】
振動基板２１０は、基部２２０と、基部２２０から＋Ｙ軸方向へ突出し、かつ、Ｘ方向に並んで設けられた２つの振動腕２３０、２４０と、基部２２０から＋Ｙ軸方向側へ突出するとともに、２つの振動腕２３０、２４０の間に位置する保持腕２５０とを有している。このような振動基板２１０は、Ｙ軸と平行な対称軸Ｙ１に対して対称となるように形成されている。
基部２２０は、Ｘ軸およびＹ軸を含むＸＹ平面に沿って広がり、Ｚ軸方向に厚さ方向とする略板状をなしている。このような基部２２０は、腕２３０、２４０、２５０を支持、連結する本体部２２１と、振動漏れを低減する縮幅部２２２（第１縮幅部）とを有している。
【００２２】
図１に示すように、本体部２２１は、その幅（Ｘ軸方向に沿った長さ）がＹ軸方向に沿ってほぼ一定である。すなわち、本体部２２１は、略矩形の平面視形状を有している。そして、本体部２２１の−Ｙ軸方向側の外縁に、縮幅部２２２が接続されている。すなわち、縮幅部２２２は、本体部２２１を介して各腕２３０、２４０、２５０と反対側に設けられている。
【００２３】
縮幅部２２２の輪郭は、対称軸Ｙ１を境にして対称形状である円弧状の円弧部２２２ａで構成されており、円弧部２２２ａの両端が、本体部２２１の−Ｙ軸方向側の各角部と接続されている。
このような円弧部２２２ａの曲率半径は、その全域にわたって一定となっている。なお、円弧部２２２ａの曲率半径は、一定の場合に限定されず、例えば、−Ｙ軸方向に向けて漸増していてもよいし、反対に、漸減していてもよい。
【００２４】
縮幅部２２２の外縁は、円弧部２２２ａのような曲線状に限定されず、直線状の傾斜部や複数の段差を有する階段状のステップで構成しても良い。また、水晶基板をウェットエッチングすることにより振動腕２３０、２４０および基部２２０を含む振動基板２１０を形成する場合、その振動基板２１０の輪郭には水晶の結晶面が出現するため、微視的に見ると、円弧部２２２ａは、短い直線状の部分の集合体となっているとも言えるが、このような場合も「円弧状」に含まれるものとする。また、この場合には、短い直線状の部分の集合体となった円弧部２２２ａよりも内側（本体部２２１側）に、結晶面が現れない程度に追加でウェットエッチングを施して円弧を形成してもよい。
このような縮幅部２２２のＸ軸方向に沿った幅は、Ｙ軸と平行で基部２２０の中心を通る対称軸Ｙ１（仮想中心線）に沿って基部２２０から離れる方向側に向かうにしたがって漸減している。
【００２５】
これにより、１対の振動腕２３０、２４０の、略面内において互いに接近と離間を繰り返す屈曲振動に伴う基部２２０の変形を効果的に低減することができる。その結果、基部２２０のＹ軸方向に沿った長さを短くしても、１対の振動腕２３０、２４０の互いに接近または離間する屈曲振動に伴う基部２２０の変形を低減し、基部２２０から外部への振動漏れを低減することができる。なお、縮幅部２２２による振動漏れ低減の原理については、後に詳述する。
【００２６】
また、縮幅部２２２の最大幅（突出方向基端における長さ）は、本体部２２１の幅とほぼ等しく、縮幅部２２２は、本体部２２１の−Ｙ軸方向側の端（角部）と段差なく連続的に形成されている。こうすることによって、縮幅部２２２と本体部２２１の−Ｙ軸方向側の端（角部）において、屈曲振動時の歪みが集中することで発生する温度変化の増大を低減し、熱流が増大するのを低減できるので、熱弾性損失が増大してＱ値が劣化するのを低減することができる。
【００２７】
保持腕２５０は、基部２２０から＋Ｙ軸方向に延出しており、かつ、振動腕２３０、２４０の間に位置している。
この保持腕２５０は、本体部２５１と、本体部２５１と基部２２０とを接続する接続部２５２とを有する。このような保持腕２５０がパッケージに固定されことにより、振動片２００がパッケージに設置される。なお、振動片２００の設置については、後に詳述する。
【００２８】
保持腕２５０の下面には、後述する２つの接続電極３３１、３３２に対応して２つの電極パッド（図示せず）が設けられており、保持腕２５０には、平面視で、この２つの電極パッド間に位置する切込み部２５３、２５４、２５５、２５６が設けられている。
切込み部２５３は、保持腕２５０の上面および＋Ｘ軸方向側の側面に開放し、切込み部２５４は、保持腕２５０の下面および＋Ｘ軸方向側の側面に開放し、切込み部２５５は、保持腕２５０の上面および−Ｘ軸方向側の側面に開放し、切込み部２５６は、保持腕２５０の下面および−Ｘ軸方向側の側面に開放している。
【００２９】
切込み部２５３、２５４は、第１駆動用電極２８０、第２駆動用電極２９０および電極パッドを含む電極を形成する際に保持腕２５０の側面に残った側面電極（図示せず）による互いに電位の異なる２つの電極パッド間の短絡を防止している。一方、切込み部２５５、２５６は、切込み部２５３、２５４が保持腕２５０に設けられることによって生じる保持腕２５０の形状の非対称性を防止している。
【００３０】
保持腕２５０の主面と略直交する側面に成膜された側面電極は、第１駆動用電極２８０および第２駆動用電極２９０および電極パッドを含む電極を形成する際に用いるフォトリソ工程において、斜め露光装置等を用いることなく通常の露光装置で完全に除去することは非常に難しい。それは、フォトリソ工程で形成するレジスト膜で覆われた保持腕２５０の側面が完全に露光されないためであり、保持腕２５０の主面から板厚方向に約２０μｍまでであれば、通常の露光装置でも露光でき、側面電極を除去できるが、板厚方向の中心に至る部位までは光が到達し難く露光できないため側面電極が残り、２つの電極パッド間を短絡してしまう。
【００３１】
そのため、図２に示すように、切込み部２５３には、保持腕２５０の上面に面２５３ｃを介して接続する第１の傾斜面２５３ａ、２５３ｂが設けられ、同様に、保持腕２５０の下面に面２５４ｃを介して接続する切込み部２５４には、第２の傾斜面２５４ａ、２５４ｂが設けられている。これにより、保持腕２５０の主面と略直交する面２５３ｃ、２５４ｃのＺ軸方向の寸法を２０μｍ以下とすることで、通常の露光装置でも露光することができる。同様に、第１の傾斜面２５３ａと第２の傾斜面２５４ａとを接続する側面２５７も、保持腕２５０の主面と直交しているが、側面２５７のＺ軸方向の寸法を２０μｍ以下とすることで、通常の露光装置でも露光することができる。このようにして、２つの電極パッド間の短絡を防止することが可能となる。
このような切込み部２５３、２５４の形成は、Ｚカット水晶板で構成された振動基板２１０をウェットエッチングすることで行うことができる。基板の表裏を同時にエッチングすることによりエッチング時間を短縮することができる。
【００３２】
一般的に、水晶はエッチング異方性があるため、結晶軸の方向ごとにエッチングレートが異なる。そのため、Ｚカット水晶板を用いると、水晶の結晶Ｘ軸を図２のＸ軸、水晶の結晶Ｙ軸を図２のＹ軸、水晶の結晶Ｚ軸を図２のＺ軸とすれば、図２に示す振動腕２３０、２４０のＸ軸方向に略直交する側面２３３、２３４、２４３、２４４の形状がそれぞれで異なる。つまり、＋Ｘ軸方向の側面２３３、２４３と−Ｘ軸方向の側面２３４、２４４とでは、形状が異なり、−Ｘ軸方向の側面２３４、２４４の形状が略フラット状であるのに対し、＋Ｘ軸方向の側面２３３、２４３形状は板厚方向（Ｚ軸方向）の中央部にウェットエッチング時間が長くなるにつれて小さくなる三角錐状の突起部のような凸状の傾斜部が形成される。
【００３３】
特に、振動腕２３０、２４０のＸＺ断面において、＋Ｘ軸方向の側面２３３、２４３は、振動腕２３０、２４０の主面に略直交する傾斜面と三角錐状の突起部を形成する傾斜面の２つの傾斜面を有している。なお、振動片２００の外形を形成する場合には、振動腕２３０、２４０の断面形状の非対称性により生じる振動漏れを防止するために、長時間のウェットエッチングを施し、振動腕２３０、２４０の断面形状の対称性を確保している。
【００３４】
一方、切込み部２５３、２５４は、図２に示すように、水晶のエッチング異方性によって生じる＋Ｘ軸方向に延びる第１、第２の傾斜面２５３ａ、２５３ｂ、２５４ａ、２５４ｂと、保持腕２５０の主面に略直交する面２５３ｃ、２５４ｃとをウェットエッチング時間を短くすることで、意図的に形成することができる。特に、切込み部２５３、２５４の形成は、溝２３５、２３６、２４５、２４６形成時に一緒に行うと効率がよい。
【００３５】
なお、切込み部２５３、２５４が設けられた領域における側面２５７や面２５３ｃ、２５４ｃのＺ軸方向の寸法は、それぞれ、２０μｍ以下がよく、好ましくは１０μｍ以下がよい。また、切込み部２５３、２５４のＹ軸方向の寸法は、エッチングが進行するのに最低限必要な開口部の長さを有しつつ小型化が図れるので５〜５００μｍがよく、好ましくはエッチングの進行がし易く、更なる小型化が図れる２０〜１００μｍがよい。さらに、切込み部２５３、２５４のＸ軸方向の寸法は、エッチングが進行するのに最低限必要な開口部の長さを有しつつ小型化が図れるので５〜３００μｍがよく、好ましくはエッチングの進行がし易く、更なる小型化が図れる１０〜５０μｍがよい。
【００３６】
振動腕２３０、２４０は、所定の間隔距離をもってＸ方向に並んで設けられており、それぞれ、基部２２０から＋Ｙ方向に突出している。また、振動腕２３０、２４０は、それぞれ、基部２２０から延出している腕部２３７、２４７と、腕部２３７、２４７の先端部に設けられていて腕部２３７、２４７よりも幅が大きい錘部としてのハンマーヘッド２６０、２７０（錘部）を有している。ハンマーヘッド２６０、２７０を設けることによって、振動片２００の小型化を図ったり、振動腕２３０、２４０の屈曲振動の周波数を低めたりすることができる。
【００３７】
また、振動腕２３０には、一方の主面２３１に開放する有底の溝２３５と、他方の主面２３２に開放する有底の溝２３６とが形成されている。同様に、振動腕２４０には、一方の主面２４１に開放する有底の溝２４５と、他方の主面２４２に開放する有底の溝２４６とが形成されている。これら溝２３５、２３６、２４５、２４６は、Ｙ軸方向に延在して設けられており、互いに同じ形状をなしている。そのため、振動腕２３０、２４０は、略「Ｈ」状の横断面形状をなしている。このような溝２３５、２３６、２４５、２４６を形成することによって、屈曲振動によって発生する熱が拡散（熱伝導）し難くなり、屈曲振動周波数（機械的屈曲振動周波数）ｆが熱緩和周波数ｆ０より大きな領域（ｆ＞ｆ０）である断熱的領域では、熱弾性損失を抑制することができる。なお、溝２３５、２３６、２４５、２４６は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。
【００３８】
また、図２に示すように、振動腕２３０には、第１駆動用電極２８０と第２駆動用電極２９０とが形成されている。第１駆動用電極２８０は、溝２３５、２３６の内面に形成されており、第２駆動用電極２９０は、側面２３３、２３４に形成されている。同様に、振動腕２４０にも、第１駆動用電極２８０と第２駆動用電極２９０とが形成されている。第１駆動用電極２８０は、側面２４３、２４４に形成されており、第２駆動用電極２９０は、溝２４５、２４６の内面に形成されている。これら第１、第２駆動用電極２８０、２９０間に交番電圧を印加すると、振動腕２３０、２４０が互いに接近、離間を繰り返すように面内方向（ＸＹ平面方向）に所定の周波数で振動する。本実施形態では、溝２３５、２３６が、前述した切欠き部２５３、２５４と同様に、傾斜面を有しており、溝２３５、２３６の底部において第１駆動用電極２８０の一部が欠損している。これにより、振動腕２３０におけるＸ軸方向の熱の流れが速くなるのを防ぎ、その結果、熱弾性損失が増大することを防ぐことができる。なお、溝２４５、２４６における第２駆動用電極２９０についても、溝２３５、２３６における第１駆動用電極２８０と同様である。
【００３９】
第１駆動用振動電極２８０および第２駆動用電極２９０の構成材料としては、特に限定されず、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料を用いることができる。
なお、図示しないが、第１駆動用電極２８０および第２駆動用電極２９０は、基部２２０を介して保持腕２５０まで引き出されており、保持腕２５０にて、例えば、後述するパッケージ３００に形成された接続電極との導通が図られている。
以上、振動片２００の構成について説明した。
【００４０】
（縮幅部による振動漏れ抑制の原理）
ここで、縮幅部２２２による振動漏れ抑制の原理について説明する。なお、以下では、説明を簡単にするために、振動片の形状は、Ｙ軸に平行な所定の軸に対して対称であるとする。
まず、図３（ａ）に示すように、縮幅部２２２が設けられていない基部２２０Ｘについて説明する。
【００４１】
振動腕２３０、２４０が互いに離間するように屈曲変形した場合、振動腕２３０が接続されている付近の本体部２２１では、矢印で示したように時計回りの回転運動に近い変位が発生する。一方、振動腕２４０が接続されている付近の本体部２２１では、矢印で示したように反時計回りの回転運動に近い変位が発生する。ただし、これらの変位は、厳密には回転運動と云うことができるような運動ではないため、便宜的に回転運動に近い、と表現している。
【００４２】
これらの変位のＸ軸方向成分は、互いに反対方向を向いているから、本体部２２１のＸ軸方向中央部において相殺され、＋Ｙ軸方向の変位が残ることになる。ただし、厳密にはＺ軸方向の変位も残るが、ここでは省略する。
すなわち、本体部２２１は、Ｘ軸方向中央部が＋Ｙ軸方向に変位するような屈曲変形をする。この＋Ｙ軸方向の変位を有する本体部２２１のＹ軸方向中央部に接着剤を形成し、接着剤を介してパッケージに固定すると、＋Ｙ軸方向変位に随伴する弾性エネルギーが接着剤を介して外部に漏洩する。これが振動漏れという損失であり、Ｑ値の劣化の原因となる（結果としてＣＩ値の劣化となる）。
【００４３】
これに対して、図３（ｂ）に示すように、縮幅部２２２が設けられている基部２２０では、縮幅部２２２は凸状の輪郭を有していることによって、上述した回転運動に近い変位は、縮幅部２２２において互いにつっかえることになる。
すなわち、縮幅部２２２のＸ軸方向中央部においては、本体部２２１のＸ軸方向中央部と同様にＸ軸方向の変位が相殺され、それとともに、Ｙ軸方向の変位が抑制されることになる。
【００４４】
さらに、縮幅部２２２の輪郭が凸状であるから、本体部２２１で発生しようとする＋Ｙ軸方向の変位をも抑制することになる。この結果、縮幅部２２２が設けられた基部２２０のＸ軸方向中央部の＋Ｙ軸方向の変位は、縮幅部２２２が設けられていない基部２２０Ｘに比べて遥かに小さくなる。すなわち、振動漏れの小さい振動片２００を得ることができる。
以上説明したように縮幅部２２２によって振動漏れを抑制することができる。
【００４５】
（振動片の設置）
次に、図１、図４〜６に基づいて、振動片２００の設置について説明する。
図４は、搭載時の安定性を説明するための振動片の簡略化モデルを示す図であって、図４（ａ）は、従来の振動片を示す図、図４（ｂ）は、本発明の振動片を示す図である。また、図５は、図１に示す振動片に重力が加わった状態を示す斜視図である。また、図６は、振動片の各部の寸法および質量を説明するための図である。
【００４６】
前述したように、振動腕２３０、２４０が延出している基部２２０には、保持腕２５０が延出しており、この保持腕２５０（より具体的には本体部２５１）がパッケージに取り付けられることにより、振動片２００がパッケージに設置される。なお、図１には、図示しないパッケージが備える２つの接続電極３３１、３３２と、この２つの接続電極３３１、３３２に対して保持腕２５０を取り付ける導電性接着剤３５１、３５２とが破線で図示されており、この導電性接着剤３５１、３５２に接着される部分が固定部２５１ａ、２５１ｂである。
【００４７】
保持腕２５０は、基部２２０から１対の振動腕２３０、２４０間に振動腕２３０、２４０と同じ側に延出している。そして、前述したように、振動腕２３０、２４０は、基部２２０から延出している腕部２３７、２４７と、腕部２３７、２４７の先端部に設けられていて腕部２３７、２４７よりも幅が大きい錘部としてのハンマーヘッド２６０、２７０と、を有している。
【００４８】
このような保持腕２５０および振動腕２３０、２４０を有する振動片２００において、各振動腕２３０、２４０の質量（１つの振動腕２３０または２４０の質量）をＭ１とし、保持腕２５０の質量をＭ２としたとき、Ｍ１≦Ｍ２の関係を有する場合、図４（ａ）に示すように、振動片２００のＸ軸方向での両端部（振動腕２３０、２４０）の質量が小さいため、保持腕２５０をパッケージ（対象物）に対して固定して振動片２００を搭載するとき、振動片２００はほとんど撓まず、振動片２００の重心Ｇが保持腕２５０内に位置する。そのため、固定による支点Ｐに対して振動片２００の重心Ｇが対象物とは反対側（上側）に位置し、振動片２００が不安定となる。その結果、搭載時にパッケージの設定面に対して斜めの状態になりやすく、製造時の歩留まりの低下、製造工程の複雑化、製品の信頼性の低下等をもたらす。
【００４９】
そこで、振動片２００は、Ｍ１＞Ｍ２の関係を満たす。これにより、図４（ｂ）および図５に示すように、振動片２００のＸ軸方向での両端部（振動腕２３０、２４０）の質量が大きくなるため、保持腕２５０をパッケージに対して固定して振動片２００を搭載するとき、振動片２００が撓んで、固定による支点Ｐに対して振動片２００の重心Ｇがパッケージ側（下側）に移動し、その結果、Ｍ１≦Ｍ２の関係を有する場合に比べて振動片２００の安定性を高めることができる。
【００５０】
質量Ｍ１および質量Ｍ２は、Ｍ１＞Ｍ２の関係を満たしていればよいが、搭載時の安定性と振動片２００の小型化等とのバランスの観点から、Ｍ１／Ｍ２が、１．１以上１．６以下であることが好ましく、１．２以上１．５以下であることがより好ましく、１．３以上１．４以下であることがさらに好ましい。
また、各ハンマーヘッド２６０、２７０の質量をＭ３としたとき、Ｍ２＜２×Ｍ３の関係を満たす。これにより、振動片２００のＹ軸方向での端部（特にハンマーヘッド２６０、２７０側の端部）が下側に変位するような振動片２００の撓みが生じやすくなる。そのため、保持腕２５０をパッケージに対して固定して振動片２００を搭載するとき、振動片２００の重心Ｇがよりパッケージ側（下側）に移動し、その結果、振動片２００の安定性をより高めることができる。
【００５１】
質量Ｍ２および質量Ｍ３は、前述したようなＭ２＜２×Ｍ３の関係を満たしていればよいが、振動片２００のＸ軸方向での端部が下側（パッケージ側）に変位するような振動片２００の撓みがより生じやすくなるという観点から、Ｍ２＜Ｍ３の関係を満たすことが好ましく、さらに、搭載時の安定性と振動片２００の振動特性等とのバランスの観点から、Ｍ３／Ｍ２が、１．１以上１．５以下であることが好ましく、１．１以上１．３以下であることがより好ましく、１．１以上１．２以下であることがさらに好ましい。
【００５２】
同様に、振動片２００のＹ軸方向での端部（特に基部２２０側の端部）が下側（パッケージ側）に変位するような振動片２００の撓みが生じやすくなるという観点から、基部２２０の質量をＭ４としたとき、Ｍ２＜Ｍ４の関係を満たす。
質量Ｍ２および質量Ｍ４は、前述したような関係を満たしていればよいが、搭載時の安定性と振動片２００の振動特性等とのバランスの観点から、Ｍ４／Ｍ２が、１．１以上１．５以下であることが好ましく、１．１以上１．３以下であることがより好ましく、１．１以上１．２以下であることがさらに好ましい。
【００５３】
また、質量Ｍ３および質量Ｍ４は、搭載時の安定性と振動片２００の振動特性等とのバランスの観点から、Ｍ３／Ｍ４が、１．１以上１．５以下であることが好ましく、１．１以上１．３以下であることがより好ましく、１．１以上１．２以下であることがさらに好ましい。
さらに、振動腕２３０、２４０の腕部２３７、２４７の撓みにより振動片２００のＹ軸方向での端部（特にハンマーヘッド２６０、２７０側の端部）が下側（パッケージ側）に変位するような振動片２００の撓みが生じやすくなるという観点から、各腕部２３７、２４７の質量をＭ５としたとき、Ｍ３＞Ｍ５の関係を満たす。
【００５４】
質量Ｍ３および質量Ｍ５は、前述したような関係を満たしていればよいが、搭載時の安定性と振動片２００の振動特性等とのバランスの観点から、Ｍ３／Ｍ５が、２．０以上３．５以下であることが好ましく、２．２以上３．２以下であることがより好ましく、２．５以上３．０以下であることがさらに好ましい。
しかも、前述したように、腕部２３７、２４７の表裏の面には、Ｙ軸方向に沿って延在する有底の溝２３５、２３６、２４５、２４６が設けられている。したがって、振動腕２３０、２４０の腕部２３７、２４７の撓みやすく、これによっても、振動腕２３０、２４０の腕部２３７、２４７の撓みにより振動片２００のＹ軸方向での端部（特にハンマーヘッド２６０、２７０側の端部）が下側（パッケージ側）に変位するような振動片２００の撓みが生じやすくなる。
【００５５】
また、前述したように、保持腕２５０は、パッケージに対して取り付けられる固定部を含む本体部２５１と、本体部２５１と基部２２０とを接続していて、本体部２５１よりも幅が狭くなっている接続部２５２と、を有している。これによっても、保持腕２５０の撓みにより振動片２００のＹ軸方向での端部（特に基部２２０側の端部）が下側（パッケージ側）に変位するような振動片２００の撓みが生じやすくなる。
以上のような各部の質量の関係により、保持腕２５０をパッケージに対して固定して振動片２００を搭載するとき、振動片２００が撓んで、固定による支点Ｐに対して振動片２００の重心Ｇがパッケージ側（下側）に位置し、その結果、振動片２００の安定性を高めることができる。
【００５６】
例えば、基部２２０のＹ軸方向に沿った長さを９０μｍ、振動腕２３０、２４０の腕部２３７、２４７の長さを５７３μｍ、腕部２３７、２４７の幅を３８μｍ、ハンマーヘッド２６０、２７０のＹ軸方向に沿った長さを１３７μｍ、ハンマーヘッド２６０、２７０のＸ軸方向に沿った長さを２５５μｍ、保持腕２５０の幅を１００μｍ、これらの各部の厚さ（振動基板２１０の厚さ）を１３０μｍとした場合、各部の質量の関係は以下のようになり、前述したような効果を発揮することができる。
【００５７】
この場合、各振動腕２３０、２４０の質量Ｍ１は、保持腕２５０の質量Ｍ２の１．３１倍であり、２つのハンマーヘッド２６０、２７０の質量（２×Ｍ３）は、保持腕２５０の質量Ｍ２の１．９４倍であり、保持腕２５０の質量Ｍ２は、基部２２０の質量Ｍ４の１．１８倍であり、各ハンマーヘッド２６０、２７０の質量Ｍ３は、各腕部２３７、２４７の質量Ｍ５の２．８７倍であり、２つのハンマーヘッド２６０、２７０の質量（２×Ｍ３）は、基部２２０の質量Ｍ４の２．２９倍である。
【００５８】
本実施形態のように、パッケージが備える２つの接続電極３３１、３３２と、これら２つの接続電極３３１、３３２に夫々対応するように保持腕２５０に設けられている２つの電極パッドとを導電性接着剤によって確実に電気的な接続をする場合、保持腕の幅を１００μｍとして保持腕の面積を広くする方が、電気的な接続がなされなくなる虞を低減できる。
【００５９】
一方、振動片のパッケージへの搭載時の安定性を優先し、よりバランスをとる場合には保持腕の幅を８０μｍとすればよい。この場合、各振動腕２３０、２４０の質量Ｍ１は、保持腕２５０の質量Ｍ２の１．６４倍であり、２つのハンマーヘッド２６０、２７０の質量（２×Ｍ３）は、保持腕２５０の質量Ｍ２の２．４３倍であり、保持腕２５０の質量Ｍ２は、基部２２０の質量Ｍ４の０．９４倍であり、各ハンマーヘッド２６０、２７０の質量Ｍ３は、各腕部２３７、２４７の質量Ｍ５の２．８７倍であり、２つのハンマーヘッド２６０、２７０の質量（２×Ｍ３）は、基部２２０の質量Ｍ４の２．２９倍である。
【００６０】
また、保持腕２５０の固定部は、平面視で、基部２２０、振動腕２３０、２４０および保持腕２５０を含んで一体で形成されている構造体、すなわち、振動片２００または振動基板２１０の重心Ｇを包含している。これにより、保持腕２５０をパッケージに対して固定して振動片２００を搭載するとき、振動片２００の安定性をより高めることができる。
また、保持腕２５０の先端は、ハンマーヘッド２６０、２７０よりも基部２２０側に位置している。これにより、１対の振動腕２３０、２４０の腕部２３７、２４７間の空間を効率的に利用して保持腕２５０を配置することができる。また、１対の振動腕２３０、２４０のハンマーヘッド２６０、２７０間に保持腕２５０が存在しないため、振動腕２３０、２４０間の距離を小さくすることができ、その結果、振動片２００の小型化（特にＸ軸方向での寸法の小型化）を図ることができる。
【００６１】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図７は、本発明の第２実施形態に係る振動片を示す平面図である。
以下、第２実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第２実施形態は、基部の縮幅部の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図７では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００６２】
図７に示す振動片２００Ａが備える基部２２０Ａは、縮幅部２２２Ａを有している。この縮幅部２２２Ａの輪郭は、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸の両軸に対して傾斜する直線状の傾斜部２２２ｂ、２２２ｃで構成されている。これら傾斜部２２２ｂ、２２２ｃの一端（−Ｙ軸方向側の端）同士が対称軸Ｙ１上で接続されている。すなわち、傾斜部２２２ｂと２２２ｃとは、例えば振動腕２３０と振動腕２４０との間の中心を通る対称軸Ｙ１を境にして実質的に対称関係である。そのため、縮幅部２２２Ａは、その先端部に、傾斜部２２２ｂ、２２２ｃを辺とする角を有し、尖っている。
【００６３】
なお、傾斜部２２２ｂ、２２２ｃとＸ軸とのなす角度θとしては、特に限定されないが、例えば、縮幅部２２２Ａの過度な大型化を抑制する観点からすると、５°以上、７０°以下程度であるのが好ましく、１０°以上、５０°以下程度であるのがより好ましい。
また、水晶基板をウェットエッチングすることにより、基部２２０の含む振動基板２１０Ａをパターニングする場合、振動基板２１０Ａの輪郭には水晶の結晶面が出現するため、この結晶面と平行な傾斜部２２２ｂ、２２２ｃをフォトマスク上で形成してパターニングしておけば、形状のばらつきが小さくなり、安定した性能を得ることができる。特に水晶のＸ軸に対して３０°や６０°を成す結晶面と平行にするとよい。
以上説明したような第２実施形態に係る振動片２００Ａによっても、設置時の安定性を高めることができる。
【００６４】
２．振動子
次に、本発明の振動片を適用した振動子（本発明の振動子）について説明する。
図８は、本発明の振動子の一例を示す図である。
図８に示す振動子１００は、振動片２００と、振動片２００を収納するパッケージ３００とを有している。
【００６５】
パッケージ３００は、上面に開放する凹部３１１を有するキャビティ型のベース基板３１０と、凹部３１１の開口を覆うようにベース基板３１０に接合されたリッド（蓋体）３２０とを有し、その内部空間に振動片２００を収納している。また、内部空間は、気密的に形成されている。
ベース基板３１０は、絶縁性を有する材料で構成されている。このような材料としては、特に限定されず、例えば、酸化物系セラミックス、窒化物系セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックスなどを用いることができる。一方、リッド３２０は、ベース基板３１０の構成材料と線膨張係数が近似する部材で構成されている。このような材料としては、例えば、ベース基板３１０の構成材料を前述したようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金を用いることができる。
【００６６】
凹部３１１の底面には、２つの接続電極３３１、３３２が形成されており、これら接続電極３３１、３３２は、それぞれ、図示しない貫通電極や層間配線を介して、ベース基板３１０の下面に形成された図示しない実装電極と電気的に接続されている。
収納空間に収納された振動片２００は、保持腕２５０において、保持腕２５０の２つの固定部（前述した固定部２５１ａ、２５１ｂ）に１対の導電性接着剤３５１、３５２（固定部材）を介してベース基板３１０に支持、固定されている。一方の導電性接着剤３５１は、接続電極３３１と第１駆動用電極２８０とを電気的に接続するように設けられており、他方の導電性接着剤３５２は、接続電極３３２と第２駆動用電極２９０とを電気的に接続するように設けられている。
【００６７】
このような２つの導電性接着剤３５１、３５２を介した駆動信号の入力により振動片２００を駆動することができる。なお、導電性接着剤３５１、３５２に代えて、金属バンプを用いてもよい。
以上説明したような振動子は、前述したような設置時の安定性に優れた振動片２００を備えているので、振動片２００がベース基板３１０に対して平行となるように容易に設置することができ、その結果、製造時の歩留まりが高く、また、優れた信頼性を有する。
【００６８】
３．発振器
次に、本発明の振動片を適用した発振器（本発明の発振器）の一例について説明する。
図９は、本発明の発振器の一例を示す図である。
図９に示す発振器９００は、振動片２００と、振動片２００を収納するパッケージ４００と、振動片２００を駆動するためのＩＣチップ（チップ部品）５００とを有している。
パッケージ４００は、ベース基板４１０と、ベース基板４１０に接合されたリッド（蓋体）４２０とを有している。
ベース基板４１０は、上面に開放する第１凹部４１１と、下面に開放する第２凹部４１２とを有している。
【００６９】
第１凹部４１１の開口は、リッド４２０によって塞がれており、その内側に、振動片２００が収納されている。また、第１凹部４１１内には、２つの接続電極４３１、４３２が形成されている。第１凹部４１１内の振動片２００は、保持腕２５０において、一対の導電性接着剤４５１、４５２を介してベース基板４１０に支持、固定されている。また、一方の導電性接着剤４５１は、接続電極４３１と第１駆動用電極２８０とを電気的に接続するように設けられており、他方の導電性接着剤４５２は、接続電極４３２と第２駆動用電極２９０とを電気的に接続するように設けられている。
【００７０】
一方、第２凹部４１２内にはＩＣチップ５００が収容されており、このＩＣチップ５００は、接着剤を介してベース基板４１０に固定されている。また、第２凹部４１２内には、少なくとも２つのＩＣ接続電極４３３、４３４が形成されている。ＩＣ接続電極４３３は、ボンディングワイヤーによってＩＣチップ５００と電気的に接続されているとともに、図示しない貫通電極や層間配線を介して接続電極４３１と電気的に接続されている。同様に、ＩＣ接続電極４３４は、ボンディングワイヤーによってＩＣチップ５００と電気的に接続されているとともに、図示しない貫通通電極や層間配線を介して接続電極４３２と電気的に接続されている。また、第２凹部４１２内には樹脂組成物で構成された封止材７００が充填されており、この封止材７００によって、ＩＣチップ５００が封止されている。
【００７１】
ＩＣチップ５００は、振動片２００の駆動を制御するための駆動回路（発振回路）を有しており、このＩＣチップ５００によって振動片２００を駆動すると、所定の周波数の信号を取り出すことができる。
以上説明したような発振器は、前述したような設置時の安定性に優れた振動片２００を備えているので、振動片２００がベース基板４１０に対して平行となるように容易に設置することができ、その結果、製造時の歩留まりが高く、また、優れた信頼性を有する。
【００７２】
４．電子機器
次いで、本発明の振動片を適用した電子機器（本発明の電子機器）について、図１０〜図１２に基づき、詳細に説明する。
図１０は、本発明の電子機器の第１例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部２０００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、発振器９００（振動片２００）が内蔵されている。
【００７３】
図１１は、本発明の電子機器の第２例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部２０００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、発振器９００（振動片２００）が内蔵されている。
【００７４】
図１２は、本発明の電子機器の第３例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００７５】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００７６】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチルカメラ１３００には、発振器９００（振動片２００）が内蔵されている。
以上説明したような電子機器は、優れた信頼性を有する。
【００７７】
なお、本発明の振動片を備える電子機器は、図１０のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１１の携帯電話機、図１２のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等に適用することができる。
【００７８】
５．移動体
図１３は、本発明の移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。
この図において、移動体１５００は、車体１５０１と、４つの車輪１５０２とを有しており、車体１５０１に設けられた図示しない動力源（エンジン）によって車輪１５０２を回転させるように構成されている。このような移動体１５００には、発振器９００（振動片２００）が内蔵されている。
【００７９】
以上説明したような移動体は、優れた信頼性を有する。なお、本発明の移動体は、自動車に限定されず、例えば、航空機、船舶、オートバイ等の各種移動体に適用可能である。
以上、本発明の振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【００８０】
また、前述した実施形態の縮幅部の輪郭には、突出部や窪み（切り欠き）が形成されていてもよい。
また、前述した実施形態では、振動基板の厚さが全域にわたって一定である場合を例に説明したが、振動基板が厚さの異なる部分を有していてもよい。例えば、保持腕の接続部の厚さが保持腕の本体部の厚さよりも薄くてもよい。
【符号の説明】
【００８１】
１００‥‥振動子  ２００‥‥振動片  ２００Ａ‥‥振動片  ２１０‥‥振動基板  ２１０Ａ‥‥振動基板  ２２０‥‥基部  ２２０Ａ‥‥基部  ２２０Ｘ‥‥基部  ２２１‥‥本体部  ２２２‥‥縮幅部  ２２２Ａ‥‥縮幅部  ２２２ａ‥‥円弧部  ２２２ｂ‥‥傾斜部  ２２２ｃ‥‥傾斜部  ２３０‥‥振動腕  ２３１‥‥主面  ２３２‥‥主面  ２３３‥‥側面  ２３４‥‥側面  ２３５‥‥溝  ２３６‥‥溝  ２３７‥‥腕部  ２４０‥‥振動腕  ２４１‥‥主面  ２４２‥‥主面  ２４３‥‥側面  ２４４‥‥側面  ２４５‥‥溝  ２４６‥‥溝  ２４７‥‥腕部  ２５０‥‥保持腕  ２５１‥‥本体部  ２５１ａ‥‥固定部  ２５１ｂ‥‥固定部  ２５２‥‥接続部  ２５３‥‥切込み部  ２５３ａ‥‥第１の傾斜面  ２５３ｂ‥‥第１の傾斜面  ２５３ｃ‥‥面  ２５４‥‥切込み部  ２５４ａ‥‥第２の傾斜面  ２５４ｂ‥‥第２の傾斜面  ２５４ｃ‥‥面  ２５５‥‥切込み部  ２５６‥‥切込み部  ２５７‥‥側面  ２６０‥‥ハンマーヘッド  ２７０‥‥ハンマーヘッド  ２８０‥‥駆動用電極  ２９０‥‥駆動用電極  ３００‥‥パッケージ  ３１０‥‥ベース基板  ３１１‥‥凹部  ３２０‥‥リッド  ３３１‥‥接続電極  ３３２‥‥接続電極  ３５１‥‥導電性接着剤  ３５２‥‥導電性接着剤  ４００‥‥パッケージ  ４１０‥‥ベース基板  ４１１‥‥凹部  ４１２‥‥凹部  ４２０‥‥リッド  ４３１‥‥接続電極  ４３２‥‥接続電極  ４３３‥‥接続電極  ４３４‥‥接続電極  ４５１‥‥導電性接着剤  ４５２‥‥導電性接着剤  ５００‥‥ＩＣチップ  ７００‥‥封止材  ９００‥‥発振器  １１００‥‥パーソナルコンピューター  １１０２‥‥キーボード  １１０４‥‥本体部  １１０６‥‥表示ユニット  １２００‥‥携帯電話機  １２０２‥‥操作ボタン  １２０４‥‥受話口  １２０６‥‥送話口  １３００‥‥ディジタルスチルカメラ  １３０２‥‥ケース  １３０４‥‥受光ユニット  １３０６‥‥シャッタボタン  １３０８‥‥メモリー  １３１２‥‥ビデオ信号出力端子  １３１４‥‥入出力端子  １４３０‥‥テレビモニター  １４４０‥‥パーソナルコンピューター  １５００‥‥移動体  １５０１‥‥車体  １５０２‥‥車輪  ２０００‥‥表示部  Ｇ‥‥重心  Ｐ‥‥支点  Ｙ１‥‥対称軸  θ‥‥角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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