(57)【要約】      （修正有）【課題】第２流路構造体が接合される振動板の各連通孔の周囲領域におけるシール性の向上と、各圧電素子から引き出される配線の配置領域の確保の、両方を実現することができる液体吐出装置を提供する。【解決手段】振動板には、リザーバ形成部材２３のリザーバと流路形成部材２１の複数の圧力室２６とをそれぞれ連通させるための、複数の連通孔４２が形成されている。振動板の複数の連通孔４２の周囲領域には、複数の連通孔４２をそれぞれ囲む環状壁部６０が設けられている。リザーバ形成部材２３は、振動板の複数の環状壁部６０が設けられた周囲領域に接合されている。複数の環状壁部６０のうちの少なくとも一部が、導電部分６２を有する導電壁部６１であり、１つの導電壁部６２の導電部分が、１本の駆動配線３５の、圧電素子３６と駆動接点部４０とを繋ぐ部分の一部を構成している。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズル、及び、前記複数のノズルにそれぞれ連通した複数の圧力室を含む、第１液体流路が形成された第１流路構造体と、
前記第１流路構造体に、前記複数の圧力室を覆うように設けられた振動板と、
前記振動板に対して前記圧力室と反対側において前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、
前記振動板に対して前記圧力室とは反対側に配置され、前記複数の圧電素子とそれぞれ接続された複数の駆動配線と、
前記振動板に対して前記圧力室とは反対側に配置されて、前記複数の駆動配線とそれぞれ接続され、且つ、前記複数の圧電素子を駆動するための駆動信号が入力される、複数の接点部と、
前記第１液体流路と連通する前記第１液体流路に液体を供給するための第２液体流路が形成され、且つ、前記振動板に対して前記第１流路構造体とは反対側に配置された第２流路構造体と、を備え、
前記振動板には、前記第２流路構造体の前記第２液体流路と、前記第１流路構造体の前記複数の圧力室とをそれぞれ連通させるための、複数の連通孔が形成され、
前記振動板の前記複数の連通孔の周囲領域に、前記複数の連通孔をそれぞれ囲むように、複数の環状壁部が設けられ、
前記第２流路構造体は、前記振動板の前記複数の環状壁部が設けられた前記周囲領域に接合され、
前記複数の環状壁部のうちの少なくとも一部が、導電部分を有する導電壁部であり、
１つの前記導電壁部の前記導電部分が、１本の前記駆動配線の、前記圧電素子と前記接点部とを繋ぐ部分の一部を構成するものであることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記導電部分が、前記連通孔を、その全周にわたって囲むように環状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記複数の圧力室は、所定の第１方向に配列され、且つ、前記第１方向と直交する第２方向に並ぶ第１圧力室列と第２圧力室列とを構成し、
前記複数の圧電素子も、前記第１方向に配列され、且つ、前記第１方向と直交する第２方向に並ぶ第１圧電素子列と第２圧電素子列とを構成し、
さらに、前記複数の連通孔も、前記複数の圧力室に対応して前記第１方向に配列され、且つ、前記第２方向に並ぶ第１連通孔列と第２連通孔列とを構成し、
前記第１連通孔列は、前記第１圧電素子列と前記第２圧電素子列に対して、前記第２方向における一方側に配置され、
前記第１圧電素子列に属する複数の圧電素子に接続された複数の第１駆動配線と、
前記第２圧電素子列に属する複数の圧電素子に接続された複数の第２駆動配線と、
前記第１連通孔よりも前記第２方向における前記一方側の位置に配置されて、前記複数の第１駆動配線と接続される複数の第１接点部と、
同じく前記第１連通孔よりも前記第２方向における前記一方側の位置に配置されて、前記複数の第２駆動配線と接続される複数の第２接点部と、を有し、
前記複数の第１駆動配線及び前記複数の第２駆動配線は、前記第１圧電素子列及び前記第２圧電素子列から、前記第２方向における前記一方側に引き出されて、前記第１連通孔列を越えて延在して、前記複数の第１接点部及び前記複数の第２接点部に接続され、
前記第１連通孔列に属する前記連通孔の前記周囲領域に設けられた前記環状壁部が、前記第１駆動配線と前記第２駆動配線の何れか一方の一部を構成する前記導電部分を含む、前記導電壁部であることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記第１連通孔列に属する前記連通孔の前記周囲領域において、前記導電部分を含む前記導電壁部の前記第１方向における両側に、前記導電部分とは導通しない別の前記駆動配線がそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記振動板の、前記第１連通孔列を構成する前記複数の第１連通孔の間の領域に、前記別の駆動配線がそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記導電壁部の前記第１方向における両側で、配置されている前記別の駆動配線の数が同じであることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記第２連通孔列は、前記第２圧電素子列に対して、前記第２方向における前記一方側に配置され、
前記第１連通孔列に属する前記連通孔の前記周囲領域に、前記第１駆動配線と前記第２駆動配線の何れか一方の一部を構成する導電部分を含む、第１の導電壁部が設けられ、
前記第２連通孔列に属する前記連通孔の前記周囲領域にも、前記第２駆動配線の一部を構成する導電部分を含む、第２の導電壁部が設けられ、
前記第１駆動配線及び前記第２駆動配線は、前記第１接点部及び前記第２接点部に近いほど、その配線幅が狭くなっており、
前記第１の導電壁部と前記第２の導電壁部とで、前記導電部分の幅が等しいことを特徴とする請求項３〜６の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記導電壁部の前記導電部分は、絶縁性材料で形成された保護層で覆われていることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記第２流路構造体は、前記振動板と、絶縁性の接着剤で接合され、
前記導電壁部の前記導電部分が、前記接着剤で覆われていることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記連通孔を囲むように配置されている前記導電壁部の縁部全周が、その連通孔に連通する前記圧力室の縁よりも内側にあり、前記導電壁部が前記圧力室内に収まるように配置されていることを特徴とする請求項１〜９の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項１１】
前記第１流路構造体の前記複数の圧力室は、前記第２流路構造体が前記振動板に接合された後に形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出装置。
【請求項１２】
前記圧電素子は、圧電層と、前記圧電層に対して前記振動板側に配置される第１電極と、前記圧電層に対して前記振動板と反対側に配置される第２電極とを有し、
前記複数の圧電素子の前記第１電極は互いに導通して共通電極を構成し、
前記複数の圧電素子の前記第２電極には、前記複数の駆動配線がそれぞれ接続され、
前記振動板の、前記圧電素子の配置領域以外の領域において、前記共通電極と、前記共通電極を覆う絶縁層と、前記複数の駆動配線が、この順に積層して配置され、
前記共通電極の一部も、前記連通孔の周囲領域に配置されて、前記周囲領域において、前記導電壁部の前記導電部分と前記共通電極とが、前記絶縁層を介して重なっていることを特徴とする請求項１〜１１の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項１３】
前記導電壁部は、
前記連通孔を囲むように配置され、前記導電部分となる前記駆動配線の一部と、
前記駆動配線の前記一部を覆う、絶縁材料からなる保護層と、を含むことを特徴とする請求項１〜１２の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項１４】
前記圧電素子は、圧電材料で形成された圧電層を有し、
前記導電壁部は、前記圧電層と同じ圧電材料で形成された層を含むことを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出装置。
【請求項１５】
請求項１〜１４の何れかに記載の液体吐出装置の製造方法であって、
前記振動板の前記複数の連通孔の周囲領域に、前記複数の連通孔をそれぞれ囲む複数の環状壁部を形成する、環状壁部形成工程と、
前記振動板の前記複数の環状壁部に前記第２流路構造体を押し付けて、前記第２流路構造体を前記振動板に接合する接合工程と、を備え、
前記環状壁部形成工程において、１本の前記駆動配線の一部を、１つの前記連通孔の周囲領域に配置することによって、前記１つの連通孔の周囲領域に、前記環状壁部としての前記導電壁部を形成することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、液体吐出装置として、インクジェットヘッドが開示されている。このインクジェットヘッドは、流路形成基板とリザーバ形成基板とを有する。流路形成基板には、複数の圧力室と、これら複数の圧力室に共通に連通する連通部が形成されている。また、流路形成基板の上面には、複数の圧力室及び連通部を覆うように振動板が設けられ、さらに、振動板には、複数の圧力室に対応して複数の圧電素子が設けられている。流路形成基板の、振動板と反対側の下面にはノズルプレートが設けられ、ノズルプレートには、複数の圧力室にそれぞれ連通する複数のノズルが形成されている。
【０００３】
リザーバ形成基板は、流路形成基板の上方に複数の圧電素子を覆うように配置され、振動板の、複数の圧電素子よりも外側の領域において接着剤で接合されている。リザーバ形成基板はリザーバ部を有する。このリザーバ部は、振動板に形成された連通孔を介して、流路形成基板の連通部と連通している。リザーバ部内のインクは、流路形成基板の連通部に供給され、さらに、流路形成基板内で、連通部から複数の圧力室へ分配供給される。
【０００４】
また、振動板の、複数の圧電素子の外側の、リザーバ形成基板との接合領域には、振動板から突出した当接部が設けられている。まず、流路形成基板の端部（縁部）全周にわたって、帯状の当接部が設けられている。また、リザーバ形成基板のリザーバ部と流路形成基板の連通部とを連通させる、振動板の連通孔の周りにも、帯状の当接部が設けられている。これらの当接部にリザーバ形成基板が押し当てられた状態で、リザーバ形成基板が振動板に接着剤で接合されている。これにより、流路形成基板とリザーバ形成基板が良好に接合される。
【０００５】
前記当接部は、圧電素子と同じ層構成を有する積層体からなる。即ち、当接部は、圧電体層と、圧電体層を上下から挟む２種類の電極層を含む。但し、当接部を構成している各層は、圧電素子を構成している各層とは切り離されている。つまり、当接部に含まれている電極層は、圧電素子の電極とは分離されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−４５１２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献１では、下側の流路構造体（流路形成基板）に、複数の圧力室とともに、複数の圧力室へインクを分配する流路部分（連通部）が形成されている。即ち、上側の流路構造体（リザーバ形成基板）から、振動板に形成された連通孔を介して、下側の流路構造体（流路形成基板）の連通部へインクが供給された後、下側の流路構造体内で、複数の圧力室へインクが分配される。
【０００８】
上記の構成に対し、上側の流路構造体から、下側の流路構造体の複数の圧力室に対して、個別にインクを供給する構成を採用することも可能である。しかし、その場合には、振動板の複数の圧電素子の近傍位置に、複数の圧力室に連通する複数の連通孔をそれぞれ形成する必要がある。さらに、特許文献１のように、振動板の連通孔の周囲領域におけるシール性を高めるために、連通孔の周囲に当接部を設けようとしたときに、複数の連通孔のそれぞれに対して前記の当接部を設ける必要がある。このように、振動板の、各圧電素子の近傍の位置に、連通孔と当接部とが配置されているために、各圧電素子の電極から引き出される駆動配線を、前記の連通孔と当接部とを避けるように引き回そうとすると、駆動配線を配置できる領域が小さくなってしまう。
【０００９】
本発明の目的は、第１流路構造体の複数の圧力室に対して、別の第２流路構造体から個別に液体を供給する構成において、第２流路構造体が接合される振動板の各連通孔の周囲領域におけるシール性の向上と、各圧電素子から引き出される配線の配置領域の確保の、両方を実現することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【００１０】
第１の発明の液体吐出装置は、複数のノズル、及び、前記複数のノズルにそれぞれ連通した複数の圧力室を含む、第１液体流路が形成された第１流路構造体と、前記第１流路構造体に、前記複数の圧力室を覆うように設けられた振動板と、前記振動板に対して前記圧力室と反対側において前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、前記振動板に対して前記圧力室とは反対側に配置され、前記複数の圧電素子とそれぞれ接続された複数の駆動配線と、前記振動板に対して前記圧力室とは反対側に配置されて、前記複数の駆動配線とそれぞれ接続され、且つ、前記複数の圧電素子を駆動するための駆動信号が入力される、複数の接点部と、前記第１液体流路と連通する前記第１液体流路に液体を供給するための第２液体流路が形成され、且つ、前記振動板に対して前記第１流路構造体とは反対側に配置された第２流路構造体と、を備え、
前記振動板には、前記第２流路構造体の前記第２液体流路と、前記第１流路構造体の前記複数の圧力室とをそれぞれ連通させるための、複数の連通孔が形成され、前記振動板の前記複数の連通孔の周囲領域に、前記複数の連通孔をそれぞれ囲むように、複数の環状壁部が設けられ、前記第２流路構造体は、前記振動板の前記複数の環状壁部が設けられた前記周囲領域に接合され、前記複数の環状壁部のうちの少なくとも一部が、導電部分を有する導電壁部であり、１つの前記導電壁部の前記導電部分が、１本の前記駆動配線の、前記圧電素子と前記接点部とを繋ぐ部分の一部を構成するものであることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明では、振動板の各連通孔の周囲領域に、各連通孔を囲むように環状壁部が設けられている。そして、第２流路構造体は、環状壁部が形成された、振動板の連通孔の周囲領域に押し付けられて接合される。この構成では、第２流路構造体が、連通孔の周囲領域において環状壁部に押し当てられた状態で、振動板に接合されるため、連通孔の周囲のシール性が良好なものとなり、接合部からの液体の漏れが防止される。さらに、複数の環状壁部の少なくとも一部は、駆動配線の一部を構成する導電部分を含む導電壁部である。つまり、環状壁部を避けるように駆動配線が配置されるのではなく、環状壁部そのものに駆動配線の一部が配置されている。これにより、連通孔の周囲に環状壁部を設けつつも、駆動配線の配置領域を確保することができる。
【００１２】
尚、本発明は、第２流路構造体が、振動板に直接接合されている形態だけでなく、第２流路構造体が、振動板に積層された別の層に接合されており、前記別の層を介して振動板に間接的に接合されている形態も含む。
【００１３】
第２の発明の液体吐出装置は、前記第１の発明において、前記導電部分が、前記連通孔を、その全周にわたって囲むように環状に形成されていることを特徴とするものである。
【００１４】
本発明では、導電壁部の導電部分が連通孔の全周を取り囲んでいるため、連通孔の周囲全周において、振動板と第２流路構造体の間のシール性が良好なものとなり、液体の漏れが確実に防止される。
【００１５】
第３の発明の液体吐出装置は、前記第１又は第２の発明において、前記複数の圧力室は、所定の第１方向に配列され、且つ、前記第１方向と直交する第２方向に並ぶ第１圧力室列と第２圧力室列とを構成し、前記複数の圧電素子も、前記第１方向に配列され、且つ、前記第１方向と直交する第２方向に並ぶ第１圧電素子列と第２圧電素子列とを構成し、さらに、前記複数の連通孔も、前記複数の圧力室に対応して前記第１方向に配列され、且つ、前記第２方向に並ぶ第１連通孔列と第２連通孔列とを構成し、前記第１連通孔列は、前記第１圧電素子列と前記第２圧電素子列に対して、前記第２方向における一方側に配置され、
前記第１圧電素子列に属する複数の圧電素子に接続された複数の第１駆動配線と、前記第２圧電素子列に属する複数の圧電素子に接続された複数の第２駆動配線と、前記第１連通孔よりも前記第２方向における前記一方側の位置に配置されて、前記複数の第１駆動配線と接続される複数の第１接点部と、同じく前記第１連通孔よりも前記第２方向における前記一方側の位置に配置されて、前記複数の第２駆動配線と接続される複数の第２接点部と、を有し、
前記複数の第１駆動配線及び前記複数の第２駆動配線は、前記第１圧電素子列及び前記第２圧電素子列から、前記第２方向における前記一方側に引き出されて、前記第１連通孔列を越えて延在して、前記複数の第１接点部及び前記複数の第２接点部に接続され、前記第１連通孔列に属する前記連通孔の前記周囲領域に設けられた前記環状壁部が、前記第１駆動配線と前記第２駆動配線の何れか一方の一部を構成する前記導電部分を含む、前記導電壁部であることを特徴とするものである。
【００１６】
本発明では、複数の圧力室が第１方向に配列されて、第１、第２圧力室列が構成されている。この圧力室の配列に対応して、複数の圧電素子が第１方向に配列されて、第１、第２圧電素子列が構成され、また、複数の連通孔も第１方向に配列されて、第１、第２連通孔列が構成されている。第１連通孔列は、第１、第２圧電素子列に対して、第２方向における一方側に配置されている。また、第１、第２圧電素子列からそれぞれ引き出された第１駆動配線及び第２駆動配線は、全て、第２方向の一方側に引き出され、これら第１駆動配線及び第２駆動配線は、第１連通孔列を越えた先に配置されている、第１、第２接点部と接続されている。
【００１７】
上記の構成では、複数の第１駆動配線と複数の第２駆動配線を、第１連通孔列を越えて向こう側まで引き出す必要があることから、第１連通孔列に属する連通孔の近傍においては、第１駆動配線と第２駆動配線の両方を配置する必要がある。そこで、本発明では、第１連通孔列に属する連通孔の周囲の環状壁部が、第１駆動配線又は第２駆動配線の一部となる導電部分を有する導電壁部となっている。これにより、第１連通孔の近傍において駆動配線の配置領域を大きく確保することができ、第１駆動配線と第２駆動配線の両方を配置することが容易になる。
【００１８】
第４の発明の液体吐出装置は、前記第３の発明において、前記第１連通孔列に属する前記連通孔の前記周囲領域において、前記導電部分を含む前記導電壁部の前記第１方向における両側に、前記導電部分とは導通しない別の前記駆動配線がそれぞれ配置されていることを特徴とするものである。
【００１９】
本発明では、導電壁部の両側に、この導電壁部の導電部分とは導通しない、別の駆動配線が分かれて配置されている。そのため、第２流路構造体が振動板に押し付けられて接合される際に、導電壁部の両側に均等に押圧力が作用することになり、第１連通孔周囲のシール性が高くなる。
【００２０】
第５の発明の液体吐出装置は、前記第４の発明において、前記振動板の、前記第１連通孔列を構成する前記複数の第１連通孔の間の領域に、前記別の駆動配線がそれぞれ配置されていることを特徴とするものである。
【００２１】
隣接する２つの第１連通孔の間の領域に、各々の第１連通孔の周囲の導電壁部とは導通しない別の駆動配線が配置されているため、各導電壁部の両側に、前記別の駆動配線が配置された構成となる。
【００２２】
第６の発明の液体吐出装置は、前記第４又は第５の発明において、前記導電壁部の前記第１方向における両側で、配置されている前記駆動配線の数が同じであることを特徴とするものである。
【００２３】
本発明では、１つの導電壁部の両側に、同数の前記別の駆動配線がそれぞれ配置されるため、第２流路構造体を振動板に接合する際に、導電壁部の両側に、より均等に押圧力が作用することになり、第１連通孔周囲のシール性が一層高くなる。
【００２４】
第７の発明の液体吐出装置は、前記第３〜第６の何れかの発明において、前記第２連通孔列は、前記第２圧電素子列に対して、前記第２方向における前記一方側に配置され、前記第１連通孔列に属する前記連通孔の前記周囲領域に、前記第１駆動配線と前記第２駆動配線の何れか一方の一部を構成する導電部分を含む、第１の導電壁部が設けられ、前記第２連通孔列に属する前記連通孔の前記周囲領域にも、前記第２駆動配線の一部を構成する導電部分を含む、第２の導電壁部が設けられ、前記第１駆動配線及び前記第２駆動配線は、前記第１接点部及び前記第２接点部に近いほど、その配線幅が狭くなっており、前記第１の導電壁部と前記第２の導電壁部とで、前記導電部分の幅が等しいことを特徴とする特徴とするものである。
【００２５】
接点部から圧電素子までの配線の電気抵抗を極力小さくするために、駆動配線の配線幅は大きいことが望ましいが、第１接点部及び第２接点部に近い領域では、第１駆動配線と第２駆動配線の両方が配置されるため、配線幅を大きくすることは難しい。そこで、本発明は、各駆動配線は、接点部に近いほど配線幅が狭くなっている。一方、第１連通孔と第２連通孔の周囲領域にも、駆動配線の一部が配置されて、導電壁部の導電部分が構成されているが、全ての連通孔の周りにおいてシール性を確保するという観点からは、どの導電部分についても幅を狭くすることは望ましくない。そこで、第１連通孔の周囲の第１の導電壁部と、第２連通孔の周囲の第２の導電壁部とで、導電部分の幅が等しくなっている。
【００２６】
第８の発明の液体吐出装置は、前記第１〜第７の何れかの発明において、前記導電壁部の前記導電部分は、絶縁性材料で形成された保護層で覆われていることを特徴とするものである。
【００２７】
連通孔の周囲領域に形成された導電壁部には、連通孔内を流れる液体が接触する可能性がある。本発明では、導電壁部の導電部分が絶縁性の保護層で覆われているため、前記導電部分に液体が接触して短絡等が発生することが防止される。
【００２８】
第９の発明の液体吐出装置は、前記第１〜第７の何れかの発明において、前記第２流路構造体は、前記振動板と、絶縁性の接着剤で接合され、前記導電壁部の前記導電部分が、前記接着剤で覆われていることを特徴とするものである。
【００２９】
本発明では、導電壁部の導電部分が、第２流路構造体を接合する絶縁性の接着剤で覆われているため、前記導電部分に液体が接触して短絡等が発生することが防止される。
【００３０】
第１０の発明の液体吐出装置は、前記第１〜第９の何れかの発明において、前記連通孔を囲むように配置されている前記導電壁部の縁部全周が、その連通孔に連通する前記圧力室の縁よりも内側にあり、前記導電壁部が前記圧力室内に収まるように配置されていることを特徴とするものである。
【００３１】
連通孔を囲むように配置されている導電壁部が、圧力室の縁から外側まではみ出して配置されていると、圧力室の外側に、導電壁部の導電部分を構成する駆動配線とは別の、他の駆動配線を配置するための領域が小さくなってしまう。本発明では、連通孔、及び、連通孔の周囲の導電壁部が、圧力室の縁の内側にあって圧力室内に収まった構成となっている。そのため、圧力室の外側の、前記他の駆動配線を配置するための領域を大きく確保できる。また、本発明では、振動板の、連通孔の周囲の部分が圧力室内に張り出した構成となるが、その張り出した部分に、導電部分を有する導電壁部が設けられているため、この張り出した部分が導電部分によって補強される。そのため、振動板の前記張り出した部分が破損しにくい。
【００３２】
第１１の発明の液体吐出装置は、前記第１０の発明において、前記第１流路構造体の前記複数の圧力室は、前記第２流路構造体が前記振動板に接合された後に形成されていることを特徴とするものである。
【００３３】
前記第１０の発明の構成では、振動板に形成されて、第２流路構造体が押し付けられる導電壁部が圧力室の内側に収まるように配置されている。この場合、仮に、第１流路構造体に複数の圧力室を形成した後に、第２流路構造体を振動板に押し付けて接合すると、導電壁部への押圧力を、第１流路構造体で受けることができないため、振動板の、圧力室の縁から内側に張り出した部分が破損する虞がある。本発明では、振動板に第２流路構造体が接合された後に、第１流路構造体に複数の圧力室を形成する。つまり、第２流路構造体の接合の際には、まだ第１流路構造体に圧力室が形成されていないため、導電壁部に作用する押圧力が、第１流路構造体によって受け止められる。従って、第２流路構造体の接合時に振動板が破損しにくい。
【００３４】
第１２の発明の液体吐出装置は、前記第１〜第１１の何れかの発明において、前記圧電素子は、圧電層と、前記圧電層に対して前記振動板側に配置される第１電極と、前記圧電層に対して前記振動板と反対側に配置される第２電極とを有し、前記複数の圧電素子の前記第１電極は互いに導通して共通電極を構成し、前記複数の圧電素子の前記第２電極には、前記複数の駆動配線がそれぞれ接続され、前記振動板の、前記圧電素子の配置領域以外の領域において、前記共通電極と、前記共通電極を覆う絶縁層と、前記複数の駆動配線が、この順に積層して配置され、前記共通電極の一部も、前記連通孔の周囲領域に配置されて、前記周囲領域において、前記導電壁部の前記導電部分と前記共通電極とが、前記絶縁層を介して重なっていることを特徴とするものである。
【００３５】
本発明では、複数の圧電素子の第２電極が互いに導通して構成された共通電極が、連通孔の周囲領域にも配置されて、前記周囲領域において、導電壁部の導電部分と共通電極とが絶縁層を介して重なっている。これにより、駆動配線から振動板側に放射された電界（放射ノイズ）が、連通孔の周囲領域においても共通電極によって遮断されることになり、上記の電界が第１流路構造体側へ広がることが防止される。
【００３６】
上記の第１〜第１２の何れかの発明において、前記導電壁部は、前記連通孔を囲むように配置され、前記導電部分となる前記駆動配線の一部と、前記駆動配線の前記一部を覆う、絶縁材料からなる保護層と、を含むものであってもよい（第１３の発明）。さらに、前記第１４の発明において、前記圧電素子は、圧電材料で形成された圧電層を有し、前記導電壁部は、前記圧電層と同じ圧電材料で形成された層を含むものであってもよい。
【００３７】
第１５の発明の液体吐出装置の製造方法は、前記第１〜第１４の何れかの液体吐出装置の製造方法であって、前記振動板の前記複数の連通孔の周囲領域に、前記複数の連通孔をそれぞれ囲む複数の環状壁部を形成する、環状壁部形成工程と、前記振動板の前記複数の環状壁部に前記第２流路構造体を押し付けて、前記第２流路構造体を前記振動板に接合する接合工程と、を備え、前記環状壁部形成工程において、１本の前記駆動配線の一部を、１つの前記連通孔の周囲領域に配置することによって、前記１つの連通孔の周囲領域に、前記環状壁部としての前記導電壁部を形成することを特徴とするものである。
【００３８】
本発明では、振動板の複数の連通孔の周囲領域に複数の環状壁部を形成してから、第２流路構造体を複数の環状壁部に押し付けて、第２流路構造体を振動板に接合する。これにより、連通孔周りのシール性が良好なものとなり、液体の漏れが防止される。また、一部の連通孔の周囲領域において、駆動配線の一部を配置することにより、環状壁部としての導電壁部を形成する。つまり、環状壁部を避けるように駆動配線が配置するのではなく、環状壁部そのものに駆動配線の一部を配置する。これにより、連通孔の周囲に環状壁部を設けつつも、駆動配線の配置領域を大きく確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本実施形態に係るプリンタの概略的な平面図である。
【図２】インクジェットヘッドの１つのヘッドユニットの上面図である。
【図３】図２のＸ部拡大図である。
【図４】（ａ）は、図３のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は、図３のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】ヘッドユニットの製造工程を示す図である。
【図６】変更形態のヘッドユニットの上面図である。
【図７】別の変更形態のヘッドユニットの上面図である。
【図８】別の変更形態のヘッドユニットの一部断面図である。
【図９】別の変更形態のヘッドユニットの、連通孔の周囲の上面図である。
【図１０】別の変更形態のヘッドユニットの、連通孔の周囲の上面図である。
【図１１】別の変更形態のヘッドユニットの、一部拡大上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
次に、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施形態に係るプリンタの概略的な平面図である。まず、図１を参照してインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。尚、図１に示す前後左右の各方向をプリンタの「前」「後」「左」「右」と定義する。また、紙面手前側を「上」、紙面向こう側を「下」とそれぞれ定義する。以下では、前後左右上下の各方向語を適宜使用して説明する。
【００４１】
（プリンタの概略構成）
図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、搬送機構５と、制御装置６等を備えている。
【００４２】
プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１０，１１に沿って走査方向に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端ベルト１４が連結され、キャリッジ駆動モータ１５によって無端ベルト１４が駆動されることで、キャリッジ３は走査方向に移動する。
【００４３】
インクジェットヘッド４は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４は、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクカートリッジ１７が装着されるカートリッジホルダ７と、図示しないチューブによって接続されている。インクジェットヘッド４は、走査方向に並ぶ２つのヘッドユニット１２，１３を備えている。各ヘッドユニット１２，１３の下面（図１の紙面向こう側の面）には、プラテン２に載置された記録用紙１００に向けてそれぞれインクを吐出する、複数のノズル２４（図２〜図５参照）が形成されている。２つのヘッドユニット１２，１３のうちの、一方のヘッドユニット１２は、ブラックとイエローのインクを吐出するものであり、他方のヘッドユニット１３は、シアンとマゼンタのインクを吐出するものである。
【００４４】
搬送機構５は、搬送方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８，１９を有する。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１８，１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を搬送方向に搬送する。
【００４５】
制御装置６は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及び、各種制御回路を含むＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等を備える。  制御装置６は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＡＳＩＣにより、記録用紙１００への印刷等の各種処理を実行する。例えば、印刷処理においては、制御装置６は、ＰＣ等の外部装置から入力された印刷指令に基づいて、インクジェットヘッド４のヘッドユニット１２，１３やキャリッジ駆動モータ１５等を制御して、記録用紙１００に画像等を印刷させる。具体的には、キャリッジ３とともにインクジェットヘッド４を走査方向に移動させながらインクを吐出させるインク吐出動作と、搬送ローラ１８，１９によって記録用紙１００を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。
【００４６】
（インクジェットヘッドのヘッドユニットの詳細）
次に、インクジェットヘッド４のヘッドユニット１２，１３の詳細構成について説明する。尚、２つのヘッドユニット１２，１３は同一の構造を有するため、以下では、ブラックとイエローのインクを吐出するヘッドユニット１２で代表して説明する。図２は、インクジェットヘッド４のヘッドユニット１２の上面図である。図３は、図２のＸ部拡大図である。図４（ａ）は、図３のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は、図３のＢ−Ｂ線断面図である。図２〜図４に示すように、ヘッドユニット１２は、ノズルプレート２０、流路形成部材２１、積層体２２、及び、リザーバ形成部材２３を備えている。尚、図２、図３では、図面の簡素化のため、流路形成部材２１及び積層体２２の上方に位置する、リザーバ形成部材２３は、二点鎖線で外形のみ示されている。
【００４７】
（ノズルプレート）
ノズルプレート２０は、ステンレス鋼等の金属材料、シリコン、あるいは、ポリイミド等の合成樹脂材料などで形成されている。図２に示すように、ノズルプレート２０には、複数のノズル２４が形成されている。複数のノズル２４は、搬送方向に配列されて、走査方向に並ぶ４列のノズル列２５を構成している。右側の２列のノズル列２５ａは、ブラックインクを吐出するノズル列である。２列のノズル列２５ａの間で搬送方向におけるノズル２４の位置が、各ノズル列２５の配列ピッチＰの半分（Ｐ／２）だけずれている。左側の２列のノズル列２５ｂは、イエローインクを吐出するノズル列である。イエローの２列のノズル列２５ｂも、ブラックのノズル列２５ａと同様に、２列のノズル列２５ｂの間で搬送方向におけるノズル２４の位置がＰ／２ずれている。
【００４８】
（流路形成部材）
流路形成部材２１は、シリコンで形成されている。この流路形成部材２１の下面に、前述したノズルプレート２０が接合されている。流路形成部材２１には、複数のノズル２４とそれぞれ連通する複数の圧力室２６が形成されている。各圧力室２６は、走査方向に長い矩形の平面形状を有する。複数の圧力室２６は、複数のノズル２４に応じて搬送方向に配列されて、走査方向に並ぶ４列の圧力室列２７を構成している。右側２列の圧力室列２７ａがブラックインクの圧力室列であり、左側２列の圧力室列２７ｂがイエローインクの圧力室列２７である。尚、同色のインクを吐出する２列の圧力室列２７ａ（２７ｂ）のうち、左側の圧力室列２７においては、圧力室２６の左端部とノズル２４が重なり、右側の圧力室列２７においては、圧力室２６の右端部とノズル２４が重なっている。また、ブラックの２列の圧力室列２７ａの間で、搬送方向における圧力室２６の位置がＰ／２ずれており、イエローの２列の圧力室列２７ｂの間でも、搬送方向における圧力室２６の位置がＰ／２ずれている。
【００４９】
（積層体）
積層体２２は、複数の圧力室２６内のインクに、それぞれノズル２４から吐出させるための吐出エネルギーを付与するものである。積層体２２は、流路形成部材２１の上面に配置されている。図２〜図４に示すように、積層体２２は、振動板３０、共通電極３１、圧電層３２、複数の個別電極３３、複数の駆動配線３５等を備えている。後でも少し触れるが、積層体２２は、流路形成部材２１となるシリコン基板の上面に、公知の半導体プロセス技術によって各層を順に成膜することによって形成されている。
【００５０】
振動板３０は、流路形成部材２１の上面の全域に、複数の圧力室２６を覆うように配置されている。振動板３０は、シリコン酸化膜（ＳｉＯ2）、あるいは、シリコン窒化膜（ＳｉＮ）等で形成されている。振動板３０の、圧力室２６のノズル２４とは反対側の端部には、連通孔４２が形成されている。
【００５１】
共通電極３１は、導電性材料からなる。この共通電極３１は、振動板３０の上面のほぼ全域に形成され、複数の圧力室２６に跨って配置されている。
【００５２】
圧電層３２は、共通電極３１が形成された振動板３０の上面に、４つの圧力室列２７にそれぞれ対応して４つ配置されている。各圧電層３２は、１つの圧力室列２７を構成する複数の圧力室２６に跨るように、搬送方向に延びている。圧電層３２は、例えば、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなる。
【００５３】
複数の個別電極３３は、圧電層３２の上面の、複数の圧力室２６と重なる部分にそれぞれ形成されている。各個別電極３３は、走査方向に長い矩形の平面形状を有する。
【００５４】
圧電層３２の、個別電極３３と共通電極３１に挟まれた部分は、厚み方向において下向き、即ち、個別電極３３から共通電極３１に向かう方向に分極されている。圧電層３２の、上記の分極処理が施された部分を、特に活性部３２ａという。また、圧電層３２の１つの活性部３２ａと、この活性部３２ａを挟む個別電極３３、及び、共通電極３１とが、振動板３０を挟んで１つの圧力室２６と対向して配置された、１つの圧電素子３６を構成している。
【００５５】
図４に示すように、振動板３０の上面には、共通電極３１、圧電層３２、及び、個別電極３３を覆うように、２層の保護層３７，３８が形成されている。尚、図２、図３では、図面の簡単のため、保護層３７，３８の図示は省略されている。保護層３７は、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、あるいは、シリコン窒化膜等の絶縁体によって構成されている。また、保護層３８は、シリコン酸化膜等の絶縁体によって構成されている。尚、保護層３７，３８が２層である必要は特になく、例えば、シリコン酸化膜等からなる１層の保護層３８のみが形成されてもよい。
【００５６】
複数の駆動配線３５は、振動板３０に対して圧力室２６と反対側、具体的には、保護層３８の上面に配置されている。各駆動配線３５は、個別電極３３の右端部の上面に接続され、個別電極３３から右方へ延びている。複数の駆動配線３５は、シリコン酸化膜等からなる保護層３９によって覆われている。尚、図２、図３では、保護層３９の図示は省略されている。図２、図３に示すように、積層体２２の右端部の上面には、複数の駆動接点部４０（４０ａ，４０ｂ）が搬送方向に１列に配列されている。複数の個別電極３３から右方へ引き出された複数の駆動配線３５は、流路形成部材２１の右端部に位置する複数の駆動接点部４０とそれぞれ接続されている。また、複数の駆動接点部４０の、搬送方向における両側には、共通電極３１と接続されている２つのグランド接点部４１が配置されている。
【００５７】
尚、図４に示すように、保護層３７，３８，３９の、振動板３０の連通孔４２と対応する領域には、それぞれ、連通孔４２と上下に重なる孔が形成されている。即ち、積層体２２には、振動板３０の連通孔４２、及び、保護層３７，３８，３９にそれぞれ形成された孔によって、連通流路４３が形成されている。また、図３、図４から理解されるように、振動板３０の連通孔４２を含む連通流路４３は、平面視で、圧力室２６内に収まるような大きさとなっている。積層体２２の、連通流路４３の周囲部分の構造については、後で詳述する。
【００５８】
図２、図３に示すように、積層体２２の右端部の上面には、配線部材であるＣＯＦ（Chip On Film）５０が接合されており、複数の駆動接点部４０に、ＣＯＦ５０に形成された複数の配線が電気的に接続されている。ＣＯＦ５０の、積層体２２とは反対側は、プリンタ１の制御装置６（図１参照）に接続されている。また、ＣＯＦ５０にはドライバＩＣ５１が実装されている。
【００５９】
ドライバＩＣ５１は、制御装置６から送られてきた制御信号に基づいて、圧電素子３６を駆動するための駆動信号を生成して出力する。ドライバＩＣ５１から出力された駆動信号は、ＣＯＦ５０の配線を介して駆動接点部４０に入力され、さらに、積層体２２の駆動配線３５を介して各圧電素子３６の個別電極３３に供給される。駆動信号が供給された個別電極３３の電位は、所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。また、ＣＯＦ５０には、グランド配線も形成されており、グランド配線が、積層体２２の２つのグランド接点部４１と電気的に接続される。これにより、２つのグランド接点部４１と接続されている共通電極３１の電位は、常にグランド電位に維持される。
【００６０】
ドライバＩＣ５１から駆動信号が供給されたときの、圧電素子３６の動作について説明する。駆動信号が供給されていない状態では、圧電素子３６の個別電極３３の電位はグランド電位となっており、共通電極３１と同電位である。この状態から、ある圧電素子３６の個別電極３３に駆動信号が供給されて、個別電極３３に駆動電位が印加されると、個別電極３３と共通電極３１との電位差により、圧電素子３６の活性部３２ａに、その厚み方向に平行な電界が作用する。ここで、活性部３２ａの分極方向と電界の方向とが一致するために、活性部３２ａはその分極方向である厚み方向に伸びて面方向に収縮する。この活性部３２ａの収縮変形に伴って、振動板３０が圧力室２６側に凸となるように撓む。これにより、圧力室２６の容積が減少して圧力室２６内に圧力波が発生することで、圧力室２６に連通するノズル２４からインクの液滴が吐出される。
【００６１】
（リザーバ形成部材）
リザーバ形成部材２３は、積層体２２を挟んで、流路形成部材２１と反対側（上側）に配置され、積層体２２の上面に接着剤４５で接合されている。リザーバ形成部材２３は、例えば、流路形成部材２１と同様、シリコンで形成されてもよいが、シリコン以外の材料、例えば、金属材料や合成樹脂材料で形成されていてもよい。
【００６２】
リザーバ形成部材２３の上半部には、それぞれ搬送方向に延び、且つ、走査方向に並ぶ２つのリザーバ５２が形成されている。２つのリザーバ５２は、インクカートリッジ１７が装着されるカートリッジホルダ７（図１参照）と、図示しないチューブでそれぞれ接続されている。２つのリザーバ５２のうち、一方のリザーバ５２にはブラックインクが供給され、他方のリザーバ５２にはイエローインクが供給される。
【００６３】
リザーバ形成部材２３の下半部には、各リザーバ５２から下方に延びる複数のインク供給流路５３が形成されている。各インク供給流路５３は、積層体２２の連通流路４３に連通している。これにより、各リザーバ５２から、複数のインク供給流路５３、及び、複数の連通流路４３を介して、流路形成部材２１の複数の圧力室２６にインクが供給される。また、リザーバ形成部材２３の下半部には、積層体２２の４列の圧電素子列６５をそれぞれ覆う、４つの凹状の保護カバー部５４も形成されている。
【００６４】
（積層体の連通孔の周囲部の構造）
次に、積層体２２の、連通孔４２（連通流路４３）の周囲部の構造を詳細に説明する。図４に示すように、リザーバ形成部材２３は、振動板３０の連通孔４２の周囲領域に、絶縁層３８，３９等の、積層体２２の他の層を介して接着剤４５で接合される。ここで、リザーバ形成部材２３の、振動板３０の連通孔４２の周囲領域における接合が不十分で、シール性が低くなっていると、連通孔４２からインクが漏れ出す虞がある。
【００６５】
そこで、本実施形態では、振動板３０の複数の連通孔４２の周囲領域に、保護層３７の上面から上方に突出し、且つ、複数の連通孔４２をそれぞれ囲む、複数の環状壁部６０が設けられている。その上で、環状壁部６０が設けられている、振動板３０の連通孔４２の周囲領域に、リザーバ形成部材２３が押し付けられて接着剤４５で接合されている。この構成では、リザーバ形成部材２３が、連通孔４２の周囲領域において環状壁部６０に押し当てられた状態で、振動板３０（積層体２２）に接合されるため、連通孔４２の周囲のシール性が良好なものとなり、接合部からのインクの漏れが防止される。
【００６６】
図４（ｂ）に示すように、各環状壁部６０は、振動板３０の連通孔４２の周囲領域において、保護層３８の上面に、振動板３０の連通孔４２を取り囲むように形成された環状の導電部分６２を有する。以下、導電部分６２を有する環状壁部６０のことを、特に「導電壁部６１」という。尚、本実施形態では、全ての環状壁部６０が、導電部分６２を有する導電壁部６１となっているが、後の変更形態で述べているように、一部の環状壁部６０が、導電部分６２を有さないものであってもよい。また、本実施形態では、導電部分６２が、連通孔４２を、その全周にわたって環状に形成されている。これにより、連通孔４２の周囲全周においてシール性が良好なものとなり、インクの漏れが確実に防止される。尚、導電部分６２の平面形状は、連通孔４２を取り囲む形状であれば特に限定されない。図３に示されている、連通孔４２と同心の円形の他、楕円形、さらには、矩形の枠状ものであってもよい。
【００６７】
また、複数の導電壁部６１のうちの一部の導電壁部６１においては、その導電部分６２が、１本の駆動配線３５の、１つの圧電素子３６と１つの駆動接点部４０を繋ぐ部分の一部を構成している。即ち、環状壁部６０を避けるように駆動配線３５が配置されるのではなく、環状壁部６０そのものに駆動配線３５の一部が配置されている。これにより、連通孔４２の周囲に環状壁部６０を設けてシール性を向上させつつ、連通孔４２の近傍において駆動配線３５の配置領域を大きく確保することができる。
【００６８】
尚、図４に示すように、導電壁部６１の導電部分６２は、絶縁性材料で形成された保護層３９で覆われている。そのため、駆動配線３５の一部である導電部分６２に、連通孔４２から漏れ出たインクが接触して短絡等が発生することが防止される。さらに、リザーバ形成部材２３を接合するための接着剤４５の一部が、導電部分６２よりも連通孔４２側に存在しているため、導電部分６２へのインクの接触がより確実に防止される。
【００６９】
複数の導電壁部６１のうちの、どの導電壁部６１の導電部分６２が、駆動配線３５の一部を構成しているのかについて、図２、図３を参照して、以下、具体的に説明する。但し、その前に、まず、圧電素子３６、駆動接点部４０、及び、振動板３０の連通孔４２の位置関係について整理しておく。尚、以下では、説明の便宜上、ブラックインク用の構成要素には、その名称の前に「第１」という修飾語を付け、符号の後には“ａ”を付す。また、イエローインク用の構成要素には、その名称の前に「第２」という修飾語を付け、符号の後には“ｂ”を付す。例えば、イエローインク用の圧電素子３６を「第２圧電素子３６ｂ」と称する。また、ブラックインク用の連通孔４２を「第１連通孔４２ａ」と称する。
【００７０】
図２に示すように、右側のブラックインク用の複数の第１圧電素子３６ａは、圧力室２６の配列に従って配列されて、２列の第１圧電素子列６５ａを構成している。また、これら２列の第１圧電素子列６５ａの間の領域に、ブラックインク用の複数の第１連通孔４２ａが２列に配列されて、２列の第１連通孔列６６ａを構成している。左側のイエローインク用の複数の第２圧電素子３６ｂも同様に、圧力室２６の配列に従って配列されて、２列の第２圧電素子列６５ｂを構成している。また、これら２列の第２圧電素子列６５ｂの間の領域に、イエローインク用の複数の第２連通孔４２ｂが２列に配列されて、２列の第２連通孔列６６ｂを構成している。
【００７１】
別の言い方をすれば、ブラックインク用の２列の第１連通孔列６６ａは、中央側の１列の第１圧電素子列６５ａと、２列の第２圧電素子列６５ｂに対して、右側、即ち、駆動接点部４０側に配置されている。また、イエローインク用の２列の第２連通孔列６６ｂは、２列の第１圧電素子列６５ａと、中央側の１列の第２圧電素子列６５ｂに対して、左側、即ち、駆動接点部４０とは反対側に配置されている。
【００７２】
上記の構成において、各圧電素子列６５を構成する複数の圧電素子３６の各々から、全ての駆動配線３５が右方へ引き出され、第１連通孔列６６ａを越えた先に配置されている、駆動接点部４０（ブラックの第１駆動接点部４０ａ、イエローの第２駆動接点部４０ｂ）と接続されている。ここで、中央側の１列の第１圧電素子列６５ａから引き出された複数の第１駆動配線３５ａと、２列の第２圧電素子列６５ｂから引き出された複数の第２駆動配線３５ｂは、２列の第１連通孔列６６ａを越えてさらに右側まで延在することになる。従って、第１連通孔列６６ａ付近では、多くの駆動配線３５を配置するための領域が必要となる。
【００７３】
そこで、本実施形態では、第１連通孔４２ａの周囲の第１導電壁部６１ａは、第１駆動配線３５ａ又は第２駆動配線３５ｂの、圧電素子３６と駆動接点部４０とを繋ぐ部分の一部を構成する導電部分６２を有する。具体的には、図２に示すように、２列の第１連通孔列６６ａのうちの、左側の第１連通孔列６６ａに属する第１連通孔４２ａの周囲の導電部分６２は、その第１連通孔４２ａに対応する第１圧電素子３６ａから引き出された第１駆動配線３５ａの一部を構成している。また、２列の第１連通孔列６６ａのうちの、右側の第１連通孔列６６ａに属する第１連通孔４２ａの周囲の導電部分６２は、別の第２連通孔４２ｂに対応する第２圧電素子３６ｂから引き出された第２駆動配線３５ｂの一部を構成している。このように、第１連通孔４２ａの周囲に配置された第１導電壁部６１ａに、駆動配線３５の一部が配置されることで、第１連通孔４２ａの近傍に、駆動配線３５の配置領域を大きく確保することができ、第１連通孔４２ａの近傍に第１駆動配線３５ａと第２駆動配線３５ｂの両方を配置することが容易になる。
【００７４】
一方、第２連通孔４２ｂの近傍には、第２駆動配線３５ｂしか配置されないため、駆動配線３５の配置領域に余裕がある。そこで、第２連通孔４２ｂに対応する第２導電壁部６１ｂについては、第１連通孔４２ａの導電壁部６１と同様に、導電部分６２が駆動配線３５の一部を構成するものであってもよいが、導電部分６２が、駆動配線３５とは導通しない独立したパターンであってもよい。図２では、２列の第２連通孔列６６ｂのうちの、左側の第２連通孔列６６ｂに属する第２連通孔４２ｂの周囲の導電部分６２は、第２駆動配線３５ｂの一部を構成するものとなっている。これに対して、右側の第２連通孔列６６ｂに属する第２連通孔４２ｂの周囲の導電部分６２は、駆動配線３５とは導通していない、独立した環状のパターンである。
【００７５】
また、駆動接点部４０から圧電素子３６までの配線の電気抵抗を極力小さくするという観点からは、各駆動配線３５の配線幅は大きいことが望ましいのであるが、第１駆動接点部４０ａ及び第２駆動接点部４０ｂに近い、振動板３０の右端部においては、第１駆動配線３５ａと第２駆動配線３５ｂの両方を配置する必要がある。そこで、図３に示すように、第１駆動配線３５ａ及び第２駆動配線３５ｂは、右側の駆動接点部４０に近いほど、その配線幅が狭くなっている。一方で、第１連通孔４２ａと第２連通孔４２ｂの周囲領域にも、駆動配線３５の一部を構成する導電部分６２が配置されているが、全ての連通孔４２の周りにおいてシール性を確保するという観点からは、どの導電部分６２についても幅を狭くすることは望ましくない。そこで、第１連通孔４２ａの周囲の第１導電壁部６１ａと、第２連通孔４２ｂの周囲の第２導電壁部６１ｂとで、導電部分６２の幅は等しくなっている。
【００７６】
図２、図３に示すように、振動板３０の、第１連通孔列６６ａを構成する複数の第１連通孔４２ａの間の領域に、第１導電壁部６１ａの導電部分６２とは導通しない、別の駆動配線３５がそれぞれ配置されている。これにより、各第１導電壁部６１ａの、搬送方向における上流側と下流側に、前記別の駆動配線３５がそれぞれ配置された構成となっている。このように、１つの第１導電壁部６１ａの搬送方向における両側に、別の駆動配線３５が分かれて配置されているため、リザーバ形成部材２３が振動板３０に押し付けられて接着剤４５で接合される際に、導電壁部６１の両側に均等に押圧力が作用することになり、第１連通孔４２ａの周囲におけるシール性が高くなる。
【００７７】
また、１つの第１導電壁部６１ａの両側に、それぞれ、２本の駆動配線３５が配置されている。即ち、１つの第１導電壁部６１ａの両側で、配置されている前記別の駆動配線３５の数が同じとなっている。これにより、リザーバ形成基板を振動板３０に押し付けて接合する際に、第１導電壁部６１ａの両側に、より均等に押圧力が作用することになり、第１連通孔４２ａの周囲のシール性が一層高くなる。さらに、１つの第１導電壁部６１ａに対して搬送方向上流側に配置されている駆動配線３５と、搬送方向下流側に配置されている駆動配線３５とで、第１導電壁部６１ａからの離間距離が等しいことが望ましい。
【００７８】
また、図４に示すように、振動板３０の、圧電素子３６の配置領域以外の領域では、振動板３０側から、共通電極３１、絶縁性の保護層３７，３８、複数の駆動配線３５がこの順に積層して配置されている。また、共通電極３１の一部は、振動板３０の、連通孔４２の周囲領域にも配置されている。つまり、連通孔４２の周囲においては、導電壁部６１の導電部分６２と共通電極３１とが、保護層３７，３８を介して重なっている。この構成では、駆動配線３５から振動板３０側に放射される電界（放射ノイズ）が、連通孔４２の周囲において共通電極３１によって遮断されることになる。従って、上記の電界が、流路形成部材２１側へ広がることが防止される。
【００７９】
振動板３０の、連通孔４２の周囲領域に配置されている導電壁部６１が、平面視で、圧力室２６の縁から外側にまではみ出して配置されていると、その分、導電壁部６１の導電部分６２とは導通しない、別の駆動配線３５を配置するための領域が小さくなってしまう。本実施形態では、図３、図４に示すように、連通孔４２、及び、導電壁部６１が、圧力室２６の縁の内側にあって、これらが、平面視で圧力室２６内に収まった構成となっている。そのため、圧力室２６の外側に、前記他の駆動配線３５を配置するための領域を大きく確保できる。
【００８０】
また、圧電素子３６の駆動によって圧力室２６内で発生した圧力波がリザーバ５２側に漏れると、駆動効率（圧電素子３６に与える電気的エネルギーに対する、インクに付与される吐出エネルギーの効率）が低下する。圧力波のリザーバ５２側へ漏れることを極力防ぐためには、リザーバ５２から圧力室２６へインクを供給する流路の途中に、流路抵抗が大きい絞り部が設けられることが好ましい。この点、圧力室２６よりも上流側にある連通孔４２の孔径が小さくなっていると、この連通孔４２が、上記の絞り部の役目を果たすこととなり、圧力室２６からリザーバ５２への圧力波の漏れを抑えることができる。
【００８１】
次に、上述したインクジェットヘッド４のヘッドユニット１２の製造方法について述べる。図５は、ヘッドユニット１２の製造工程を示す図である。
【００８２】
（ａ）積層体２２の形成
まず、図５（ａ）に示すように、流路形成部材２１となるシリコン基板７１の上面に、積層体２２を形成する。積層体２２の形成は、公知の半導体プロセス技術を用いて行う。簡単に説明すると、例えば、ゾルゲル法やスパッタ法等の公知の成膜法により、積層体２２の各層となる膜を順に成膜し、適宜のタイミングでエッチング等により成膜した膜の不要な部分を除去することによって、積層体２２を形成する。
【００８３】
積層体２２の形成工程においては、振動板３０の連通孔４２の周囲領域に環状壁部６０（導電壁部６１）を形成する（環状壁部形成工程）。即ち、１つの連通孔４２の周囲領域に、連通孔４２を囲むように、環状の導電部分６２を形成し、次に、その導電部分６２を絶縁性材料からなる保護層３９で覆う。尚、前述したように、第１連通孔４２の全て、及び、一部の第２連通孔４２の周囲の導電壁部６１においては、前記導電部分６２は１本の駆動配線３５の一部を構成するものである。
【００８４】
（ｂ）リザーバ形成部材２３の接合
次に、図５（ｂ）に示すように、リザーバ５２及びインク供給流路５３が形成されたリザーバ形成部材２３を、積層体２２の上面に押し付けて、熱硬化性接着剤４５で接合する。その際、振動板３０の連通孔４２の周囲領域において、環状壁部６０（導電壁部６１）に、リザーバ形成部材２３を押し当てて接合する。これにより、振動板３０の連通孔４２の周囲領域において、リザーバ形成部材２３が全周にわたって確実に接合され、シール性が良好なものとなる。
【００８５】
（ｃ）流路形成部材２１の流路形成
次に、図５（ｃ）に示すように、シリコン基板７１に、エッチング等により、複数の圧力室２６等の流路を形成する、これにより、シリコン基板７１が流路形成部材２１となる。
【００８６】
ここで、前述したように、本実施形態では、振動板３０の連通孔４２の周囲領域において、導電壁部６１が圧力室２６の内側に収まる位置に形成されるため、振動板３０が、圧力室２６の縁から内側に張り出した構成となる。この場合において、仮に、流路形成部材２１に複数の圧力室２６を形成した後に、リザーバ形成部材２３を振動板３０に設けられた導電壁部６１に押し付けて接合すると、導電壁部６１への押圧力を流路形成部材２１（シリコン基板７１）で受けることができない。そのため、振動板３０の、圧力室２６の縁から内側に張り出した部分が破損する虞がある。この点、本実施形態では、図５（ｂ）のように振動板３０にリザーバ形成部材２３を接合した後に、図５（ｃ）のように流路形成部材２１に複数の圧力室２６を形成する。つまり、図５（ｂ）のリザーバ形成部材２３の接合の際には、流路形成部材２１（シリコン基板７１）に圧力室２６が形成されていないため、導電壁部６１に作用する押圧力が、流路形成部材２１によって受け止められる。従って、リザーバ形成部材２３の接合時に振動板３０が破損しにくい。
【００８７】
（ｄ）ノズルプレート２０の接合
最後に、図５（ｄ）に示すように、流路形成部材２１の下面に、複数のノズル２４が形成されたノズルプレート２０を接着剤４５で接合する。
【００８８】
以上説明した実施形態において、インクジェットヘッド４が、本発明の液体吐出装置に相当する。流路形成部材２１とノズルプレート２０が、本発明の第１流路構造体に相当する。ノズルプレート２０に形成された複数のノズル２４、及び、流路形成部材２１に形成された複数の圧力室２６が、本発明の第１液体流路に相当する。リザーバ形成部材２３が、本発明の第２流路構造体に相当する。リザーバ形成部材２３のリザーバ５２とインク供給流路５３が、本発明の第２液体流路に相当する。複数の駆動接点部４０が、本発明の接点部に相当する。複数の個別電極３３が、本発明の複数の第２電極に相当する。共通電極３１の、複数の個別電極３３とそれぞれ対向する部分（活性部３２ａに接する部分）が、本発明の複数の第１電極に相当する。
【００８９】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００９０】
１］前記実施形態では、複数の連通孔４２にそれぞれ設けられた複数の環状壁部６０が、それぞれ導電部分６２を有する導電壁部６１である。但し、複数の導電壁部６１のうち、一部の導電壁部６１の導電部分６２のみが、駆動配線３５の一部を構成する導電部分６２を有するものであり、残りの導電壁部６１の導電部分６２は、駆動配線３５とは導通しない、独立したパターンとなっている。これに対し、全ての導電壁部６１の導電部分６２が、それぞれ、駆動配線３５の一部である構成を採用することもできる。
【００９１】
例えば、図６では、各圧電素子３６の右側に、この圧電素子３６に対応する連通孔４２、及び、導電壁部６１が配置されている。また、各圧電素子３６から右側に駆動配線３５が引き出されている。この構成では、全ての圧電素子３６について、右側に引き出された駆動配線３５の途中に、その圧電素子３６に対応する連通孔４２が配置されている。そこで、全ての導電壁部６１の導電部分６２が、駆動配線３５の一部である構成となっている。つまり、全ての導電壁部６１において、駆動配線３５の一部が含まれた構成となっている。
【００９２】
２］複数の連通孔４２にそれぞれ設けられた複数の環状壁部６０の全てが、導電部分６２を有する必要はない。即ち、一部の環状壁部６０が導電部分６２を含まず、絶縁性材料からなる層のみで構成されていてもよい。
【００９３】
３］前記実施形態の図２、及び、先の変更形態の図６では、複数の圧電素子３６にそれぞれ接続された複数の駆動配線３５の全てが、走査方向の一方側に配置された複数の駆動接点部４０へ引き出されている。これに対して、図７に示すように、振動板３０の右端部に第１駆動接点部４０ａが配置され、振動板３０の左端部に第２駆動接点部４０ｂが配置された上で、複数の圧電素子３６からそれぞれ引き出された駆動配線３５のうち、複数の第１駆動配線３５ａは右側へ、複数の第２駆動配線は左側へ、走査方向の両側に分けてそれぞれ引き出されてもよい。
【００９４】
４］導電壁部６１の断面構成は、前記実施形態のものには限られない。例えば、図８（ａ）に示すように、導電壁部６１が、圧電素子３６の圧電層３２と同じ圧電材料で形成された層６８を有するものであってもよい。この場合、上記の層６８は、圧電層３２と同じ成膜工程で形成することができる。また、導電壁部６１が、積層体２２を構成する他の層（例えば、保護層３７，３８）を含んでいてもよい。
【００９５】
あるいは、図８（ｂ）に示すように、導電部分６２が、導電部分６２を覆う保護層３９を含まず、導電部分６２が、導電部分６２のみで構成されていてもよい。但し、この構成の場合、導電部分６２が露出していると、連通孔４２を流れるインクが導電部分６２に接触するため、リザーバ形成部材を接合したときの接着剤４５によって、導電部分６２が覆われていることが好ましい。
【００９６】
また、図８（ｃ）に示すように、導電壁部６１が、振動板３０の上面に直接形成されていてもよい。即ち、共通電極３１や保護層３７，３８等が、振動板３０の連通孔４２の周囲領域に形成されていなくてもよい。この場合は、リザーバ形成部材２３は、振動板３０の上面に直接接合されることになる。
【００９７】
５］導電壁部６１の導電部分６２の平面形状は、前記実施形態のものには限られない。導電部分６２が、連通孔４２を、その全周にわたって完全に囲んでいる必要はなく、例えば、全周の３／４以上（２７０度〜３６０度の角度範囲）で囲んでいてもよい。従って、図９（ａ）に示すように、導電部分６２が、周方向に一部分断された、略Ｃ字状の平面形状を有するものであってもよい。
【００９８】
また、前記実施形態では、１つの導電壁部６１の導電部分６２は、１本の駆動配線３５の一部のみで構成されていたが、導電部分６２が２本以上の駆動配線３５のそれぞれ一部で構成されてもよい。例えば、図９（ｂ）では、１つの導電壁部６１が、それぞれが、１本の駆動配線３５の一部を構成する、２つの導電片６２ａを有する。
【００９９】
６］前記実施形態では、連通孔４２を囲むように配置された導電壁部６１が、圧力室２６内に収まっているが、図１０に示すように、導電壁部６１の一部が、圧力室２６の縁よりも外側まではみ出していてもよい。
【０１００】
７］図１１に示すように、駆動配線３５の、個別電極３５と、導電壁部６１の導電部分６２との間の部分に、圧力室２６の配列方向に延びる導電パターン７０が設けられていてもよい。この構成では、リザーバ形成部材２３が、導電壁部６１に押し付けられて接着剤で接合されたときに、余剰の接着剤が、個別電極３５へ流れるのを阻止することができる。
【０１０１】
８］前記実施形態では、積層体２２の上面に形成された複数の駆動接点部４０に、ドライバＩＣ５１が実装されたＣＯＦ５０が接合されている（図２、図３参照）。これに対して、積層体２２の上面に、ドライバＩＣ５１が直接設置されていてもよい。
【０１０２】
９］前記実施形態では、流路形成部材２１はシリコン基板７１で形成され、シリコン基板７１に公知の半導体プロセス技術によって積層体２２を形成しているが、流路形成部材２１が、シリコン以外の材料、例えば、金属材料などで形成されていてもよい。流路形成部材２１が、シリコン以外の材質で形成されている場合は、別の工程で作製した積層体２２を、流路形成部材２１の上面に接着剤で接合すればよい。
【０１０３】
１０］前記実施形態では、圧電層３２に対して振動板３０側に位置する電極が、グランド電位が印加される共通電極３１であり、圧電層３２に対して振動板３０と反対側に位置する電極が、駆動信号が供給される個別電極３３となっているが、共通電極３１と個別電極３３の配置が逆であってもよい。
【０１０４】
以上説明した実施形態及びその変更形態は、本発明を、記録用紙にインクを吐出して画像等を印刷するインクジェットヘッドに適用したものであるが、画像等の印刷以外の様々な用途で使用される液体吐出装置においても本発明は適用されうる。例えば、基板に導電性の液体を吐出して、基板表面に導電パターンを形成する液体吐出装置にも、本発明を適用することは可能である。
【符号の説明】
【０１０５】
１  インクジェットプリンタ
４  インクジェットヘッド
１２，１３  ヘッドユニット
２０  ノズルプレート
２１  流路形成部材
２２  積層体
２３  リザーバ形成部材
２４  ノズル
２６  圧力室
２７ａ  第１圧力室列
２７ｂ  第２圧力室列
３０  振動板
３１  共通電極
３２  圧電層
３３  個別電極
３５  駆動配線
３５ａ  第１駆動配線
３５ｂ  第２駆動配線
３６  圧電素子
３６ａ  第１圧電素子
３６ｂ  第２圧電素子
３９  保護層
４０  駆動接点部
４０ａ  第１駆動接点部
４０ｂ  第２駆動接点部
４２  連通孔
４２ａ  第１連通孔
４２ｂ  第２連通孔
４５  接着剤
５２  リザーバ
５３  インク供給流路
６０  環状壁部
６１  導電壁部
６１ａ  第１導電壁部
６１ｂ  第２導電壁部
６２  導電部分
６５ａ  第１圧電素子列
６５ｂ  第２圧電素子列
６６ａ  第１連通孔列
６６ｂ  第２連通孔列
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2015182440.tif 000009
【図８】
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【図９】
2015182440.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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