(57)【要約】【課題】停電などの非常時において工具及び被加工物を損傷させることなく工作機械の動作を停止させられるモータ駆動装置が求められている。【解決手段】本発明に係るモータ制御装置は、モータが非常停止される停止原因を検出する停止原因検出部と、工具を指令軌跡に沿って停止させる停止指令を生成する停止指令生成部と、工具と被加工物との間の干渉を回避するように、工具及び被加工物を相対的に移動させる退避指令を生成する退避指令生成部と、を備えている。モータ制御装置は、停止原因検出部によって停止原因が検出されたときに、退避指令及び停止指令を重畳することによって得られる重畳指令に従って工作機械が動作されるように構成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
工作機械を駆動するモータを制御するモータ制御装置であって、
前記モータが非常停止される停止原因を検出する停止原因検出部と、
工具を指令軌跡に沿って停止させる停止指令を生成する停止指令生成部と、
工具と被加工物との間の干渉を回避するように、工具及び被加工物を相対的に移動させる退避指令を生成する退避指令生成部と、
を備えており、
前記停止原因検出部によって前記停止原因が検出されたときに、前記退避指令及び前記停止指令を重畳することによって得られる重畳指令に従って前記工作機械が動作されるように構成された、モータ制御装置。
【請求項２】
前記退避指令が、予め定められる退避量及び退避時間に基づいて調整されるようにした、請求項１に記載のモータ制御装置。
【請求項３】
前記退避指令が、前記退避量及び前記退避時間に応じて定まるカットオフ周波数を有するローパスフィルタによって調整されるようにした、請求項２に記載のモータ制御装置。
【請求項４】
前記退避指令は、前記退避量を前記退避時間で除算して得られる一定の速度に従って工具が移動するように調整されるようにした、請求項２に記載のモータ制御装置。
【請求項５】
前記退避指令生成部によって前記退避指令が生成される有効状態と、前記退避指令が生成されない無効状態と、を互いに切換え可能に構成される、請求項１から４のいずれか１項に記載のモータ制御装置。
【請求項６】
前記退避指令によって指定される工具の退避動作の方向が、前記工具及び前記被加工物の位置関係に応じて定まるようにした、請求項１から５のいずれか１項に記載のモータ制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械の可動軸を駆動するモータを制御するモータ制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図９は、工作機械の工具Ｔ及び工作機械によって加工されるワークＷを示す概略図である。工具Ｔは、３軸立形マシニングセンタの主軸Ｓに取付けられ、ワークＷを加工するのに使用される。工作機械は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸に沿って互いに独立して移動可能な可動軸を有している。例えば、工作機械がワークＷの表面Ｗ１に沿って輪郭制御される場合、主軸ＳがＸ軸及びＹ軸によって画定される水平面において移動しながら、主軸ＳがＺ軸に沿って鉛直上下方向に移動される。そのようにして、工具ＴがワークＷの表面Ｗ１に沿って移動しながらワークＷの加工が連続的に行われる。
【０００３】
ワークＷの加工中に停電が生じて工作機械への電源供給が遮断された場合、通常はブレーキ装置が作動して、重力に起因する工具Ｔの鉛直下向きの移動が阻止される。しかしながら、停電が発生してからブレーキ装置が作動して工具Ｔが停止するまでの間に、工具Ｔが指令軌跡から外れてワークＷに向かって移動し、その結果としてワークＷを損傷させることがある。或いは、工具Ｔが予期せぬ角度からワークＷに接触して工具Ｔが損傷する場合もある。そこで、工作機械が停止する前に工具ＴをワークＷから離間させる退避動作を実行するようにした制御装置が提案されている。
【０００４】
特許文献１には、サーボモータによって駆動される機械において、非常停止時などにブレーキ装置のバックラッシ量以上の所定量だけ可動軸を上昇させるような動作指令をサーボモータに付与するように構成されたサーボ制御装置が開示されている。この技術は、ブレーキ装置のバックラッシに起因して可動軸が降下した際に、可動軸がワークなどの周囲の物体との衝突及び干渉を防止することを目的とするものである。
【０００５】
また、特許文献２には、停電などによって電源が遮断されたときに、水平方向及び鉛直方向の各制御軸の移動体を減速停止させて工具を安全な位置に退避させる工作機械が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３６１６７５９号公報
【特許文献２】特許第４９７００７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示されたサーボ制御装置では、可動軸を単に上昇させるように退避させるだけなので、常に加工面を保護できるとは限らない。また、特許文献２に開示されたサーボモータ制御装置では、工具をいったん減速停止させてから工具を被加工物から離間させるので、工作機械が停止するまでの間に被加工物が損傷を被る虞がある。
【０００８】
したがって、停電などの非常時において工具及び被加工物を損傷させることなく工作機械の動作を停止させられるモータ駆動装置が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願に係る１番目の発明によれば、工作機械を駆動するモータを制御するモータ制御装置であって、前記モータが非常停止される停止原因を検出する停止原因検出部と、工具を指令軌跡に沿って停止させる停止指令を生成する停止指令生成部と、工具と被加工物との間の干渉を回避するように、工具及び被加工物を相対的に移動させる退避指令を生成する退避指令生成部と、を備えており、前記停止原因検出部によって前記停止原因が検出されたときに、前記退避指令及び前記停止指令を重畳することによって得られる重畳指令に従って前記工作機械が動作されるように構成された、モータ制御装置が提供される。
本願に係る２番目の発明によれば、１番目の発明に係るモータ制御装置において、前記退避指令は、予め定められる退避量及び退避時間に基づいて調整される。
本願に係る３番目の発明によれば、２番目の発明に係るモータ制御装置において、前記退避指令は、前記退避量及び前記退避時間に応じて定まるカットオフ周波数を有するローパスフィルタによって調整される。
本願に係る４番目の発明によれば、２番目の発明に係るモータ制御装置において、前記退避指令は、前記退避量を前記退避時間で除算して得られる一定の速度に従って工具が移動するように調整される。
本願に係る５番目の発明によれば、１番目から４番目のいずれかの発明に係るモータ制御装置において、前記退避指令生成部によって前記退避指令が生成される有効状態と、前記退避指令が生成されない無効状態と、を互いに切換え可能に構成される。
本願に係る６番目の発明によれば、１番目から５番目のいずれかの発明に係るモータ制御装置において、前記退避指令によって指定される工具の退避動作の方向が、前記工具及び前記被加工物の位置関係に応じて定まる。
【発明の効果】
【００１０】
上記構成を備えたモータ制御装置によれば、指令軌跡に沿って工具を停止させるのと同時に、工具が被加工物から離間するように退避させられるようになる。すなわち、退避動作が遅滞なく実行されることによって工具と被加工物との間の干渉が防止される。また、退避動作と同時に実行される工具の停止動作は指令軌跡に沿って行われるので、被加工物の加工面が工具によって損傷を受けるのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るモータ制御装置を示す機能ブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態に従って生成される退避指令及び停止指令を説明する図である。
【図３】本発明の一実施形態に従って生成される退避指令及び停止指令を説明する図である。
【図４Ａ】本発明の一実施形態に従って生成される退避指令の例を示す図である。
【図４Ｂ】本発明の一実施形態に従って生成される退避指令の例を示す図である。
【図４Ｃ】本発明の一実施形態に従って生成される退避指令の例を示す図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に従って実行される処理の流れを示すフローチャートである。
【図６】本発明の第２の実施形態に係るモータ制御装置を示す機能ブロック図である。
【図７Ａ】工具及び被加工物の位置関係の例を示す図である。
【図７Ｂ】工具及び被加工物の位置関係の例を示す図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に従って実行される処理の流れを示すフローチャートである。
【図９】工作機械の工具及び被加工物を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。図示される実施形態の構成要素は、本発明の理解を助けるためにそれらの縮尺が適宜変更されている。
【００１３】
図１は、本発明の第１の実施形態に係るモータ制御装置１０を示す機能ブロック図である。モータ制御装置１０は、位置指令生成部１２を備えた上位制御装置１４と協働して、モータＭの動作を制御するように構成される。モータＭには、エンコーダＥが付与されており、モータＭの動作状況に関する情報、例えばモータＭの回転位置及び回転速度などが取得できるようになっている。図示されるように、モータ制御装置１０は、位置制御部１６と、速度制御部１８と、電流制御部２０と、サーボアンプ２２と、アンプ電源２４と、停止原因検出部３０と、停止指令生成部３２と、退避指令生成部３４と、ローパスフィルタ３６と、を備えている。
【００１４】
上位制御装置１４及びモータ制御装置１０は、プログラムを記憶可能なＲＯＭと、プログラムに従って各種演算処理を実行するＣＰＵと、演算結果を一時的に記憶するＲＡＭと、入力手段（例えばマウス及びキーボード）と、表示手段（例えば液晶ディスプレイ）と、外部機器及びモータＭなどと信号を送受信するためのインターフェイスと、を含む、公知のハードウェア構成を有する。
【００１５】
上位制御装置１４は、予め定められた加工プログラムに従ってモータＭに対する位置指令を生成する位置指令生成部１２を備えている。位置指令は、加工プログラム、工具の送り速度などの加工条件その他各種パラメータに基づいて、公知の態様により生成される。
【００１６】
位置制御部１６は、位置指令生成部１２から生成される位置指令と、エンコーダＥから出力されるモータＭの位置フィードバックとの間の位置偏差量に基づいて、速度指令を生成する。速度制御部１８は、位置制御部１６から出力される速度指令と、エンコーダＥから出力されるモータＭの速度フィードバックとの間の速度偏差量に基づいて、トルク指令を生成する。電流制御部２０は、速度制御部１８から出力されるトルク指令に対応する電流指令を生成する。そして、電流制御部２０から出力される電流指令に従って、モータＭを駆動させる電流がサーボアンプ２２を介してモータＭに供給されるようになっている。位置指令生成部１２、位置制御部１６、速度制御部１８、電流制御部２０及びサーボアンプ２２の構成及び作用は公知であるので、本明細書においてより詳細な説明は省略される。
【００１７】
モータＭは、例えば、図９を参照して前述したような３軸立形マシニングセンタにおいて使用されうるものの、それには限定されず、公知である任意のタイプの工作機械において、工作機械の可動軸を駆動するのに使用されうる。また、説明を簡単にするため、本明細書においてはモータＭによって工具が移動されるタイプの工作機械について主として説明するものの、被加工物がモータＭによって移動されるタイプの工作機械、並びに工具及び被加工物がともにモータＭによって移動されるタイプの工作機械にも本発明を同様に適用可能であることは当業者に自明である。すなわち、工具及び被加工物を互いに相対的に移動可能な構成であれば、工具及び被加工物のいずれが可動体であってもよいことに留意すべきである。
【００１８】
アンプ電源２４は、工作機械の制御系に電力を供給する主電源２６を介してサーボアンプ２２に電力を供給する。アンプ電源２４は、コンデンサなどの蓄電手段を備えていてもよい。アンプ電源２４が蓄電手段を備えている場合には、主電源２６からの電力供給が遮断されたときに、後述する工具Ｔの退避動作を実行するのに必要な電力をモータ制御装置１０に供給できるように構成されうる。
【００１９】
停止原因検出部３０は、工作機械を非常停止させるべき停止原因を検出するように構成される。例えば停電が発生した場合、停止原因検出部３０は、主電源２６からの電力供給が遮断されたことを検出できるように構成される。本発明は、停電以外の停止原因に応答して工作機械を非常停止させる場合にも適用可能である。したがって、停止原因には、停電の他、例えばエラー信号の検出、オペレータによる非常停止ボタンの操作などが含まれてもよい。
【００２０】
停止指令生成部３２は、停止原因検出部３０によって停止原因の発生が検出されたときに停止指令を生成する。生成された停止指令は上位制御装置１４に出力される。上位制御装置１４は、停止指令を位置指令として加算器２８に出力する。停止指令は、例えば加工プログラムに従って指定される指令軌跡に沿ってモータＭを一定の減速度で停止させるように生成される。すなわち、停止指令生成部３２によって生成される停止指令によれば、予定された指令軌跡に従って工具を移動させながら、工具の移動速度を徐々に低下させる。
【００２１】
退避指令生成部３４は、停止原因検出部３０によって停止原因の発生が検出されたときに退避指令を生成する。退避指令は、ローパスフィルタ３６を介して加算器２８に入力される。すなわち、停止原因が検出された場合、加算器２８には、停止指令及び退避指令がそれぞれ入力される。加算器２８は、停止指令及び退避指令を重畳することによって得られる重畳指令を位置指令として位置制御部１６に出力するように作用する。
【００２２】
退避指令は、工具を被加工物（例えばワーク）から離間する方向に所定の退避量だけ移動させる。図２及び図３は、退避指令及び停止指令を説明する図である。図２の横軸は工具のＸ軸位置を表し、縦軸は工具のＺ軸位置を表している。図２の実線は実軌跡を表し、点線は指令軌跡を表している。なお、説明を簡単にするために、Ｙ軸位置については考慮しないものの、以下のＸ軸位置についての説明は、Ｙ軸位置についても同様に当てはまると理解されるべきである。
【００２３】
前述したように、停電が発生すると、退避指令生成部３４によって、工具を被加工物から離間させるように退避指令が位置指令に付加される。それにより、実軌跡上の工具のＺ軸位置は、停電が発生しなかった場合に工具が通過するべき指令軌跡よりも大きくなる（すなわち、工具が被加工物から離間する方向に移動する）。
【００２４】
図３において、横軸は時間を表し、縦軸は工具のＺ軸位置及びＸ軸位置を表している。図３の実線は工具のＺ軸位置を表し、点線は工具のＸ軸位置を表している。説明を簡単にするため、図３においては、指令軌跡における工具のＸ軸位置及びＺ軸位置が互いに一致するようにプロットされている。停電が発生すると、停止指令が付与される結果として工具は、Ｘ軸方向において減速しながら停止される。それに対し、停止指令に加えて退避指令が付与される結果として、工具は、Ｚ軸方向において指令軌跡よりも大きいＺ軸位置において（すなわち、工具が被加工物から離間した位置において）停止されるようになる。
【００２５】
同様に説明を簡単にするために、Ｚ軸方向が退避方向に一致する場合について説明したものの、本発明はそのような特定の態様に限定されない。すなわち、退避方向は、停止原因が検出された時点における工具及び被加工物の位置関係に応じて定まる。したがって、退避方向は前述したようなＺ軸に沿った方向に限定されることはなく、任意の方向に沿って定められうる。退避方向は、例えばワークの加工面に対して垂直な方向でありうる。
【００２６】
退避方向は、種々の方法によって決定されうる。例えば工具長及び工具姿勢、被加工物の形状情報、又は指令軌跡に基づく情報に従って、工具及び被加工物の位置関係が求められる。或いは、視覚センサを利用して工具及び被加工物の位置関係を検出し、検出された情報に基づいて退避方向が決定されてもよい。
【００２７】
ローパスフィルタ３６は、退避指令に含まれる高周波成分を除去することによって、モータの退避動作の立ち上がり段階における急激な変化を緩和する。ローパスフィルタ３６のカットオフ周波数は、例えば予め定められる退避量及び退避時間に基づいて算出される。図４Ａは、本発明の一実施形態に従って生成される退避指令の例を示す図である。図４Ａに示される退避指令は、ローパスフィルタ３６を介在させることによって、立ち上がりにおける急激な変化が緩和されている。この場合、予め定められる退避量Ｚ１及び時定数ｔ１に基づいて退避量が徐々に増大するような退避指令が生成され、モータＭの退避動作が円滑に行われるようになる。退避量Ｚ２は、時定数ｔ１に対応する退避量を表している。
【００２８】
ローパスフィルタ３６は、例えば以下の式で表される一次のローパスフィルタでありうる。
ｙ（ｎ）＝ｘ（ｎ）＋（１−Ｋ)×ｙ（ｎ−１）
ここで、「ｙ（ｎ）」はフィルタからの出力を表し、「ｘ（ｎ）」はフィルタへの入力を表し、「Ｋ」はフィルタ係数である。
また、立ち上がり時定数をｔ１とすると、次の式が成立する。
ｔ１＝−Ｔｓ／（ｌｎＫ）
ここで、「Ｔｓ」はサンプリング時間を表し、「ｌｎＫ」は「Ｋ」の自然対数を表す。
【００２９】
図４Ｂは、また別の実施形態に従って生成される退避指令の例を示す図である。この場合も、予め定められる退避量Ｚ１及び退避時間ｔ２に基づいて退避指令の立ち上がり段階における急激な変化が緩和されるようになる。具体的には、図４Ｂの例では、予め定められる退避量Ｚ１を退避時間ｔ２で除算することによって得られる一定の退避速度に従って、退避指令が生成される。
【００３０】
図４Ｃは、本発明の別の実施形態に従って生成される退避指令の例を示す図である。この実施形態においては、前述したようなローパスフィルタを使用せずに、退避指令がステップ状に加算器２８に入力される。なお、退避指令は、図４Ａ〜図４Ｃに示される例のいずれに従って生成されてもよいし、他の公知の方法に従って立ち上がりの急激な変化を緩和した退避指令を採用してもよい。
【００３１】
次に、図５を参照してモータ制御装置１０の動作について説明する。図５は、本発明の一実施形態に従って実行される処理の流れを示すフローチャートである。
【００３２】
モータの駆動制御において、前述したように、加工プログラムに従って、上位制御装置１４の位置指令生成部１２によって位置指令が生成される（ステップＳ１１）。通常の動作時（すなわち停止原因が存在しない状態）において、モータ制御装置１０は、加工プログラムに基づいて入力される位置指令に従って、速度指令、トルク指令及び電流指令を順次生成してモータを駆動する。具体的には、ステップＳ１２において停止原因が検出されない場合、ステップＳ１４に進んで、所期の加工処理を実行する。そして、ワークに対する加工処理が完了するまでステップＳ１１〜Ｓ１４が繰返される。
【００３３】
他方、ステップＳ１２において停止原因が検出された場合、ステップＳ１３に進む。ステップＳ１３では、停止指令生成部３２によって停止指令が生成されるとともに、退避指令生成部３４によって退避指令が生成される。そして、停止指令及び退避指令を重畳することによって得られる重畳指令が位置指令としてモータ制御装置１０に入力される（ステップＳ１３）。そしてステップＳ１４に進み、この重畳指令に従ってモータが駆動され、工具は、指令軌跡に沿って減速しながら移動するとともに、被加工物から離間するように退避させられる。なお、停止原因が停電である場合、ステップＳ１３及びそれに続くステップＳ１４の退避動作及び停止動作は、主電源２６とは別個の予備電源（図示せず）を利用して実行されうる。或いは、前述したようにアンプ電源２４に内蔵された蓄電手段によって退避動作及び停止動作が実行されてもよい。
【００３４】
前述したように、工具が被加工物から離間する方向において工具を退避させる退避指令を付与することによって、工具が被加工物に干渉ないし衝突して工具又は被加工物が損傷するのを防止できる。また、それと同時に、被加工物の加工面に対しては、工具を指令軌跡に従って移動させながら停止させるので、加工面の品質が損なわれない。それにより、停止原因が解消されたとき、例えば電源が復旧したときに、直前の加工位置に復帰して加工処理を速やかに再開できるようになる。このことは、特に停電と通電が短時間で繰返されるような場合に特に有利である。
【００３５】
続いて、前述した実施形態とは異なる本発明の他の実施形態について説明する。以下の説明において、既に述べた内容と重複する事項については説明を適宜省略する。また、同一又は対応する構成要素には同一の参照符号が使用される。
【００３６】
図６は、本発明の第２の実施形態に係るモータ制御装置１０’を示す機能ブロック図である。図１を参照して前述した第１の実施形態モータ制御装置１０の構成要素に加えて、本実施形態に係るモータ制御装置１０’は、退避動作起動スイッチ３８をさらに備えている。
【００３７】
退避動作起動スイッチ３８は、モータを退避動作させる機能を有効にする有効状態と、同機能を無効にする無効状態とを互いに切換えるのに使用される。すなわち、予め定められた方向において工具を退避させるように構成された工作機械においては、退避動作させることが好ましくない場合がありうる。
【００３８】
図７Ａ及び図７Ｂは、工具ＴとワークＷ（被加工物）との間の位置関係の例を示す図である。図７Ａに示された状態においては、主軸ＳをＺ軸方向に上昇させることによって、工具ＴがワークＷと干渉することなくワークＷから離間させられる。それに対し、図７Ｂに示された状態において、主軸ＳをＺ軸方向に上昇させると、工具ＴがワークＷの加工面Ｗ２に接触することが分かる。
【００３９】
図７Ｂに関連して説明したように、退避動作によってむしろ工具ＴとワークＷとの間の干渉を引き起こす可能性がある場合、退避動作起動スイッチ３８がオフに切換えられ、退避動作が回避される。退避動作が実行されない場合、停止指令生成部３２によって生成される停止指令に従ってモータは停止されるものの、Ｚ軸方向の退避動作は実行されない。或いは、指令軌跡に沿ってモータを減速させる停止指令の代わりに、単にモータを可及的速やかに停止させるようにしてもよい。
【００４０】
退避動作を有効にすべきか否かは種々の態様によって決定される。例えば、モータ制御装置１０’が工具Ｔ及びワークＷの形状情報若しくは位置姿勢情報に基づいて、退避動作起動スイッチ３８のオンオフを自動的に切換えるように構成されていてもよい。或いは、例えば視覚センサによって得られる検出情報に基づいて、退避動作起動スイッチ３８をオフにするための外部信号を受信できるように構成されていてもよい。また、オペレータが手動で退避動作起動スイッチ３８をオフにできるようになっていてもよい。また、少なくとも一部の加工を実行する際に退避動作起動スイッチ３８をオフに設定できるように、加工プログラム内に予め退避動作を無効にすべき情報が組込まれていてもよい。
【００４１】
また、安全上の理由から退避動作を有効にすべきでない場合もある。例えば加工領域に対して作業員が誤って進入した場合などは、工作機械を直ちに停止させる必要がある。そのような場合、工具の退避動作及び指令軌跡に沿った減速動作を実行せずに工作機械が速やかに停止されうる。
【００４２】
図８は、本発明の第２の実施形態に従って実行される処理の流れを示すフローチャートである。ステップＳ２１、Ｓ２２、Ｓ２５及びＳ２６における処理は、図５を参照して説明した第１の実施形態におけるステップＳ１１〜Ｓ１４と同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００４３】
本実施形態においては、ステップＳ２３において、退避動作が有効であるか否かが判定される。退避動作が有効ではないと判定された場合、退避動作起動スイッチ３８がオフに切換えられる。したがって、停電が検出された（ステップＳ２２における判定結果が肯定の場合）としても、退避動作は実行されない。すなわち、この場合、退避指令及び停止指令の重畳指令の代わりに、停止指令が位置指令に置換される（ステップＳ２４）。そして、停止指令に従ってモータが停止される（ステップＳ２６）。
【００４４】
本実施形態によれば、必要に応じて退避動作の有効と無効とを切換えるようになるので、状況に応じて適切なモータの制御が可能になる。
【００４５】
以上、本発明の種々の実施形態及び変形例を説明したが、他の実施形態及び変形例によっても本発明の意図される作用効果を奏することができることは当業者に自明である。特に、本発明の範囲を逸脱することなく前述した実施形態及び変形例の構成要素を削除ないし置換することが可能であるし、公知の手段をさらに付加することが可能である。また、本明細書において明示的又は暗示的に開示される複数の実施形態の特徴を任意に組合せることによっても本発明を実施できることは当業者に自明である。
【符号の説明】
【００４６】
１０    モータ制御装置
１０’    モータ制御装置
１２    位置指令生成部
１４    上位制御装置
１６    位置制御部
１８    速度制御部
２０    電流制御部
２２    サーボアンプ
２４    アンプ電源
２６    主電源
２８    加算器
３０    停止原因検出部
３２    停止指令生成部
３４    退避指令生成部
３６    ローパスフィルタ
Ｅ    エンコーダ
Ｍ    モータ
Ｓ    主軸
Ｔ    工具
ｔ１    時定数
ｔ２    時定数
Ｗ    ワーク（被加工物）
Ｚ１    退避量
【図１】
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【図２】
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【図３】
2015097045.tif 000005
【図４Ａ】
2015097045.tif 000006
【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
2015097045.tif 000008
【図５】
2015097045.tif 000009
【図６】
2015097045.tif 000010
【図７Ａ】
2015097045.tif 000011
【図７Ｂ】
2015097045.tif 000012
【図８】
2015097045.tif 000013
【図９】
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