(57)【要約】【課題】従来よりも薄い平板樹脂を破損させることなく、シート上から安定して剥離させることを可能とする。【解決手段】樹脂剥離構造において、シート１８から離間した状態から接近しシート１８を介して平板樹脂Ｐを２回以上押し出しする表面１０２Ａ、１０４Ａが平面の押し出し機構２８を備え、押し出し機構２８は、枠状の第１押圧部１０２と、第１押圧部１０２の内側に嵌合され、第１押圧部１０２と同時に押し出しする第２押圧部１０４と、を備え、第１押圧部１０２の外形は平板樹脂Ｐの外形よりも小さくされ、且つ第１押圧部１０２は平面視で平板樹脂Ｐの内側に配置され、第１押圧部１０２の押し出し量と第２押圧部１０４の押し出し量とが同一の距離でなされた後の押し出し機構２８の押し出しにおいて、第１押圧部１０２の押し出しは第２押圧部１０４の押し出し量よりも短い距離でなされる。【選択図】図１
2015189057.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周部が固定されているシートから該シート上に載置されている平板樹脂を剥離するための樹脂剥離構造において、
前記シートから離間した状態から接近し該シートを介して前記平板樹脂を複数回押し出しする表面が平面の押し出し機構を備え、
該押し出し機構は、枠状の第１押圧部と、該第１押圧部の内側に嵌合され、該第１押圧部と同時に押し出しする第２押圧部と、を備え、
該第１押圧部の外形は前記平板樹脂の外形よりも小さくされ、且つ該第１押圧部は平面視で該平板樹脂の内側に配置され、
該第１押圧部の押し出し量と前記第２押圧部の押し出し量とが同一の距離でなされた後の前記押し出し機構の押し出しにおいて、該第１押圧部の押し出しは該第２押圧部の押し出し量よりも短い距離でなされる
ことを特徴とする樹脂剥離構造。
【請求項２】
請求項１において、
前記押し出し機構は、
前記第２押圧部を支持し前記シートに接近離間可能な支持プレートと、
該支持プレートの押し出しを行う第１駆動部と、
該支持プレートに支持されるとともに、該支持プレートが前記シートに接近した際に前記第１押圧部を支持可能な第１当接面と、該第１当接面と該第１押圧部を支持可能な高さが異なる第２当接面と、が設けられた第１ストッパと、
該第１ストッパを移動させ該第１当接面と該第２当接面とを切り替える第２駆動部と、
を備えた構成とされている
ことを特徴とする樹脂剥離構造。
【請求項３】
請求項２において、
前記押し出し機構は、更に、前記支持プレートが前記シートから離間した状態で前記第１押圧部を支持する第２ストッパを備え、
前記第１当接面と前記第２当接面とは水平方向に並んで設けられ、
前記第２駆動部は該第１ストッパをその水平方向に移動させる
ことを特徴とする樹脂剥離構造。
【請求項４】
請求項２または３において、
前記第２駆動部は１つとされ、
前記第１当接面と前記第２当接面とはそれぞれ、複数とされ且つ少なくとも異なる２直線上に並ぶ
ことを特徴とする樹脂剥離構造。
【請求項５】
外周部が固定されているシートから該シート上に載置されている平板樹脂を剥離するための樹脂剥離方法において、
前記シートを介して、前記平板樹脂の外形よりも小さい平面の第１表面で、該平板樹脂の内側を押し出す工程と、
該平板樹脂を該第１表面で押し出した後に、該第１表面を前記シートから離間させる工程と、
該シートを介して、該第１表面の外形よりも小さい平面の第２表面で、前記平板樹脂の該第１表面で押し出された部分の内側を再度押し出す工程と、
を含む
ことを特徴とする樹脂剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂剥離構造及び樹脂剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や電子部品のように、高い精度が要求される部材を圧縮成形法により樹脂封止する場合、その供給用素材としていわゆる平板樹脂が用いられる。この平板樹脂は、粉粒状の熱硬化性の樹脂を加熱・押圧することによって半硬化状態の薄い板状に成形したものであり、半導体等をばらつきなく封止するための封止素材として好適である。
【０００３】
しかしながら、平板樹脂は例えば、１ｍｍ未満と薄くてそれ自体の強度が高くない。このため、シート上に平板樹脂を成形することで、平板樹脂の薄型化がなされている。そして、特許文献１に示す樹脂剥離構造では、シート上に成形（載置）された平板樹脂を剥離するために、シートを介して平板樹脂を押し出すことで平板樹脂をシートから良好に剥離させることを提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４２５３２６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、近年では更なる平板樹脂の薄膜化（例えば、０．２ｍｍ以下）が求められるようになってきている。このため、特許文献１に示す樹脂剥離構造では、従来よりも、より薄い平板樹脂を剥離しようとすると、その平板樹脂とシートとの剥離が円滑に行われず、平板樹脂が破損してしまうおそれが出てきた。
【０００６】
そこで、本発明は、前記問題点を解決するべくなされたもので、従来よりも薄い平板樹脂を破損させることなく、シート上から安定して剥離させることが可能な樹脂剥離構造及び樹脂剥離方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、外周部が固定されているシートから該シート上に載置されている平板樹脂を剥離するための樹脂剥離構造において、前記シートから離間した状態から接近し該シートを介して前記平板樹脂を複数回押し出しする表面が平面の押し出し機構を備え、該押し出し機構が、枠状の第１押圧部と、該第１押圧部の内側に嵌合され、該第１押圧部と同時に押し出しする第２押圧部と、を備え、該第１押圧部の外形が前記平板樹脂の外形よりも小さくされ、且つ該第１押圧部が平面視で該平板樹脂の内側に配置され、該第１押圧部の押し出し量と前記第２押圧部の押し出し量とが同一の距離でなされた後の前記押し出し機構の押し出しにおいて、該第１押圧部の押し出しが該第２押圧部の押し出し量よりも短い距離でなされることにより、上記課題を解決したものである。
【０００８】
本発明においては、押し出し機構の平板樹脂を押し出しする表面が平面とされている。このため、押し出し機構の押し出しで剥離線が進行可能な領域以外の平板樹脂の部分を、平面で支持することができる。即ち、押し出し機構で剥離されていない平板樹脂の部分にかかる応力を平面である押し出し機構の表面で分散して支持することが可能となる。
【０００９】
さらに、本発明においては、第１押圧部の押し出し量と第２押圧部の押し出し量とが同一の距離でなされた後の押し出し機構の押し出しにおいて、第１押圧部の押し出しは第２押圧部の押し出し量よりも短い距離でなされる。ここで、押し出し機構は、枠状の第１押圧部と、第１押圧部の内側に嵌合され、第１押圧部と同時に押し出しする第２押圧部と、を備えている。そして、第１押圧部の外形は平板樹脂の外形よりも小さくされ、且つ第１押圧部は平面視で平板樹脂の内側に配置されている。
【００１０】
つまり、まず第１押圧部の押し出し量と第２押圧部の押し出し量とが同一の距離でなされた際には、第１押圧部の外形外側までシートに張力を与えることができる。このため、平板樹脂の外周全てから剥離線をその内側に同時に進行させて、第１押圧部の外形外側まで平板樹脂をシートから剥離することが可能となる。次に、第１押圧部の押し出しが第２押圧部の押し出し量よりも短い距離でなされた際には、第２押圧部の外形外側までシートに張力を与えることができる。このため、第１押圧部の外形外側まで進んだ剥離線を更にその内側に同時に進行させて、第２押圧部の外形外側まで平板樹脂をシートから剥離することが可能となる。つまり、平板樹脂のシートからの剥離は外周すべての方向から同時に平板樹脂の内側に段階的に行うことが可能となる。
【００１１】
なお、本発明における「押し出し」の概念には、押し出し機構側が、静止している平板樹脂側に近づく概念のほか、平板樹脂側が、シートの存在する側で静止状態にある押し出し機構側に向かって相対的に近づく概念を含む。
【００１２】
なお、本発明においては、押し出し機構の具体的な構成は特に限定されないが、例えば、前記押し出し機構は、前記第２押圧部を支持し前記シートに接近離間可能な支持プレートと、該支持プレートの押し出しを行う第１駆動部と、該支持プレートに支持されるとともに、該支持プレートが前記シートに接近した際に前記第１押圧部を支持可能な第１当接面と、該第１当接面と該第１押圧部を支持可能な高さが異なる第２当接面と、が設けられた第１ストッパと、該第１ストッパを移動させ該第１当接面と該第２当接面とを切り替える第２駆動部と、を備えた構成を採用することができる。この場合には、第１駆動部と第２駆動部とを備えるだけの比較的簡単な構成で、平板樹脂の押し出し毎に第１押圧部の高さを容易に変更可能となる。同時に、第１駆動部と第２駆動部とを備えながら、同期を取るのが容易であり第１押圧部と第２押圧部との同時押し出しを確実に行うことが可能となる。
【００１３】
なお、上記発明において、前記押し出し機構は、更に、前記支持プレートが前記シートから離間した状態で前記第１押圧部を支持する第２ストッパを備え、前記第１当接面と前記第２当接面とは水平方向に並んで設けられ、前記第２駆動部は該第１ストッパをその水平方向に移動させる場合には、第１ストッパでの第１当接面と第２当接面の切り替えを確実かつ安定して実現でき、第１ストッパを小型でより簡単な構成で実現することができる。
【００１４】
なお、前記第２駆動部が１つとされ、前記第１当接面と前記第２当接面とがそれぞれ、複数とされ且つ少なくとも異なる２直線上に並ぶ構成とされている場合には、第２駆動部が１つであることから装置の高コスト化を防止することができる。同時に、第１当接面と第２当接面に支持される第１押圧部の表面が傾斜したりすることを防止でき、簡単な構成で第１押圧部の押し出し量を安定させることが可能となる。
【００１５】
なお、本発明は、外周部が固定されているシートから該シート上に載置されている平板樹脂を剥離するための樹脂剥離方法において、前記シートを介して、前記平板樹脂の外形よりも小さい平面の第１表面で、該平板樹脂の内側を押し出す工程と、該平板樹脂を該第１表面で押し出した後に、該第１表面を前記シートから離間させる工程と、該シートを介して、該第１表面の外形よりも小さい平面の第２表面で、前記平板樹脂の該第１表面で押し出された部分の内側を再度押し出す工程と、を含むことを特徴とする樹脂剥離方法とも捉えることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、従来よりも薄い平板樹脂を破損させることなく、シート上から安定して剥離させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態に係る押し出し機構の構成を示す概略図（正面図（Ａ）、側面図（Ｂ））
【図２】図１の押し出し機構の各層の上面図（第１押圧部と第２押圧部とが付いた状態（Ａ）、第１押圧部と第２押圧部とを外した状態（Ｂ）、支持プレートまで外した状態（Ｃ））
【図３】本発明の実施形態が適用された成形装置における成形部の構成を示す概略斜視図
【図４】上記成形部を用いて平板樹脂を成形する際の製造工程を示す断面図
【図５】平板樹脂の剥離工程を示すフローチャートを示す図
【図６】図５の剥離工程（前半）を説明するための概略図
【図７】図５の剥離工程（後半）を説明するための概略図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態の一例を詳細に説明する。
【００１９】
本実施形態における平板樹脂Ｐは、成形装置１２で成形される。
【００２０】
最初に、成形装置１２の概要について説明する。なお、図４（Ａ）〜（Ｄ）には、平板樹脂Ｐを成形する際の製造工程がそれぞれ示されている。
【００２１】
成形装置１２は、成形部Ｅと、ヒートプレス２４と、クールプレス２６と、押し出し機構２８と、を備える。成形部Ｅは、図４（Ａ）に示す如く、弾性体シート（シート）１８とカバープレート２０とを備え、その間に原料樹脂Ｐｏが投入される構成である。ヒートプレス２４は、図４（Ｂ）に示す如く、成形部Ｅを上下から挟み込み、加熱・加圧する。クールプレス２６は、図４（Ｃ）に示す如く、加熱・加圧後の成形部Ｅを上下から挟み込み、冷却する。押し出し機構２８は、図４（Ｄ）に示す如く、冷却後の成形部Ｅから成形品としての平板樹脂Ｐを上方に押し出す。なお、図４（Ｄ）に示される構造が、本実施形態に係る樹脂剥離構造である。また、図示はしないが、成形装置１２には、このほかに平板樹脂Ｐの原料となる原料樹脂Ｐｏの投入機構、平板樹脂Ｐを吸着回収するアンローダ機構等が付設されている。
【００２２】
次に、成形部Ｅの構成について詳細に説明する。図３は、当該成形部Ｅの概略斜視図である。
【００２３】
成形部Ｅは、図３の下から順に、枠体１６、その直上の弾性体シート１８、及びカバープレート２０の３層から構成されている。弾性体シート１８及びカバープレート２０は、使い捨てではなく、繰り返し使用可能となっている。
【００２４】
前記枠体１６は、平板樹脂Ｐの外形を確定するためのもので、当該外形に対応させた貫通孔１６Ａを有する。ここでは、矩形の貫通孔１６Ａが形成されている。すなわち、本成形装置１２によって成形される平板樹脂Ｐは、貫通孔１６Ａの形状に対応した矩形となる。
【００２５】
前記弾性体シート１８は、枠体１６の上部に配置される。弾性体シート１８は、この枠体１６の内側（貫通孔１６Ａ）に沿った形状に変形可能であり、かつ復元が可能な素材で形成されている。具体的には、シリコンゴム、あるいはエチレンプロピレン等の弾性のある素材をその基材とし、これに離型性の高い薄膜（例えば、フッ素系離型フィルム）を接着している。なお、この弾性体シート１８は、１２０℃〜１３０℃の耐熱特性を有するのが好ましい。また、弾性体シート１８は、（必ずしも連続している必要はないが）連続した状態となっており、同じ箇所で所定回数（例えば５回から１０回程度）、平板樹脂Ｐを成形することができる。つまり、所定回数の平板樹脂Ｐの成形がなされると、枠体１６が相対的に移動し、別の弾性体シート１８の場所で平板樹脂Ｐの成形がなされることとなる。
【００２６】
前記カバープレート２０は、成形部Ｅの最上部を開閉可能とするものである。この実施形態では、０．１ｍｍ〜０．１５ｍｍの厚さを有するステンレス製の薄い金属板で形成されている。しかし、このカバープレート２０は、弾性体シート１８と同様の素材であってもよい。
【００２７】
次に、樹脂剥離構造について詳細に説明する。
【００２８】
樹脂剥離構造は、図４（Ｄ）に示す如く、押し出し機構２８により成形部Ｅから平板樹脂Ｐを上方に押し出す構成となっている。つまり、樹脂剥離構造は、枠体１６により外周部が固定されている弾性体シート１８から弾性体シート１８上に載置されている平板樹脂Ｐを剥離するための構造である。
【００２９】
まず、押し出し機構２８の概略について説明する。
【００３０】
押し出し機構２８は、図１（Ａ）、（Ｂ）に示す如く、弾性体シート１８から離間した状態から接近し弾性体シート１８を介して平板樹脂Ｐを２回以上押し出しする表面１０２Ａ、１０４Ａが平面の機構である。つまり、押し出し機構２８は、枠状の第１押圧部１０２と、第１押圧部１０２の内側に嵌合され、第１押圧部１０２と同時に押し出しする第２押圧部１０４と、を備える。ここで、第１押圧部１０２の外形は平板樹脂Ｐの外形よりも小さくされ、且つ第１押圧部１０２は平面視で平板樹脂Ｐの内側に配置されている。そして、第１押圧部１０２の押し出し量と第２押圧部１０４の押し出し量とが同一の距離でなされた後の押し出し機構２８の押し出しにおいて、第１押圧部１０２の押し出しは第２押圧部１０４の押し出し量よりも短い距離でなされる構成である。なお、押し出し機構２８は、図１（Ａ）、（Ｂ）に示す如く、第１押圧部１０２及び第２押圧部１０４以外に、支持プレート１１０と、第２駆動部１１８と、第１ストッパ１２２と、第１駆動部１３２と、を備えた構成とされている。
【００３１】
次に、押し出し機構２８の各構成要素について、図１（Ａ）、（Ｂ）、図２（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を参照して、説明する。なお、これらの図においては、成形部Ｅのうち、枠体１６とカバープレート２０とを省略して、弾性体シート１８と平板樹脂Ｐのみを示す（図６（Ａ）〜（Ｄ）、図７（Ａ）〜（Ｄ）も同様）。
【００３２】
前記第１押圧部１０２、第２押圧部１０４は、図２（Ａ）に示す如く、弾性体シート１８から離間した状態から接近し弾性体シート１８に当接して弾性体シート１８を介して平板樹脂Ｐを押し出しする押し出し機構２８の押し出し部を構成している。
【００３３】
第１押圧部１０２は、図１（Ａ）に示す如く、厚みが距離Ｈ１の枠状であり、その表面１０２Ａが平面とされている（「枠状」は、必ずしも角がある必要はなく、平板樹脂Ｐの形状に対応して角がない円環形状となっていてもよい）。第１押圧部１０２の表面１０２ＡのＸ方向長さＳｘは、平板樹脂ＰのＸ方向長さＰｘよりも小さくされている。同時に、第１押圧部１０２は、Ｘ方向において相対的に平板樹脂Ｐの内側に配置されている。また、図１（Ｂ）に示す如く、第１押圧部１０２の表面１０２ＡのＹ方向長さＳｙは、平板樹脂ＰのＹ方向長さＰｙよりも小さくされている。同時に、第１押圧部１０２は、Ｙ方向において相対的に平板樹脂Ｐの内側に配置されている。つまり、第１押圧部１０２の表面１０２Ａの外形は、平板樹脂Ｐの外形よりも小さくされ、且つ第１押圧部１０２は平面視で平板樹脂Ｐの内側に配置されている。第１押圧部１０２の下面１０２Ｂには、図１（Ｂ）、図２（Ｂ）、（Ｃ）に示す如く、第１支柱１０６と第２支柱１０８とが第１押圧部１０２のＹ方向の２辺にそれぞれ、設けられている。第１支柱１０６は、長さが距離Ｈ４であり、支持プレート１１０を貫通して第１ストッパ１２２（後述）に支持される。第２支柱１０８は、長さが距離Ｈ３であり、支持プレート１１０を貫通して架台１３０（後述）の上面１３０Ａに支持される。なお、第１押圧部１０２は、図示せぬばねにより、支持プレート１１０側に付勢されている。
【００３４】
第２押圧部１０４は、図２（Ａ）、（Ｂ）に示す如く、第１押圧部１０２の内側に嵌合する形状であり、その表面１０４Ａも平面とされている（第１押圧部１０２と第２押圧部１０４との間の隙間は相応にあってもよいが、その隙間は平板樹脂Ｐの厚み以下とされている）。つまり、押し出し機構２８の表面は、表面１０２Ａと表面１０４Ａ（または表面１０４Ａのみ）で構成され、平面とされている。なお、図２（Ｂ）の破線領域はそれぞれ、第１押圧部１０２、第２押圧部１０４を示している。
【００３５】
前記支持プレート１１０は、図１（Ａ）、（Ｂ）に示す如く、第２押圧部１０４を直接支持している。第２押圧部１０４の表面１０４Ａから支持プレート１１０の下面１１０Ｃまでの厚みは距離Ｈ２とされている。支持プレート１１０には、図２（Ｂ）に示す如く、第１支柱１０６、第２支柱１０８それぞれをＺ方向（鉛直方向）に移動可能とする貫通孔１１０Ａ、１１０Ｂが設けられている。
【００３６】
前記第２駆動部１１８は、図１（Ａ）、（Ｂ）に示す如く、保持部１１２により、支持プレート１１０に支持されている。第２駆動部１１８は、図２（Ｃ）に示す如く、例えば１つのエアシリンダなどで構成され、Ｘ方向（水平方向）に移動可能な可動部１１８Ａを備える。
【００３７】
前記第１ストッパ１２２は、図１（Ａ）、図２（Ｃ）に示す如く大径部１２２Ａと、大径部１２２Ａよりも径の小さい小径部１２２Ｂとが、その軸方向（Ｘ方向）に並んで複数設けられた棒状部材である。そして、大径部１２２Ａの外周面が第１当接面１２４とされ、小径部１２２Ｂの外周面が第２当接面１２６とされている。つまり、第１ストッパ１２２には、第１当接面１２４と第２当接面１２６とがＸ方向（水平方向）に並んで設けられている。なお、後述するように、第１当接面１２４と第２当接面１２６はともに、第１支柱１０６を介して第１押圧部１０２を支持するようにされている。つまり、第１ストッパ１２２には、第１押圧部１０２を支持可能な第１当接面１２４と、第１当接面１２４と第１押圧部１０２を支持可能な高さが異なる第２当接面１２６と、が設けられている。第１ストッパ１２２は、保持部１１４、１１６により、Ｘ方向に移動可能に支持プレート１１０に支持されている。なお、第１当接面１２４は、支持プレート１１０の下面１１０Ｃから距離Ｈ６離れている。また、第２当接面１２６は、支持プレート１１０の下面１１０Ｃから距離Ｈ５（＞Ｈ６）離れている。
【００３８】
２本の第１ストッパ１２２は、図２（Ｃ）に示す如く、その軸方向がＸ方向に向けられ、互いに平行に配置されている。そして２本の第１ストッパ１２２は、連結部１２０で１つの第２駆動部１１８の可動部１１８Ａに連結されている。ここで、第１ストッパ１２２の真上には、図２（Ｂ）に示す支持プレート１１０に設けた（第１押圧部１０２を支持する）第１支柱１０６を変位可能とする貫通孔１１０Ａがくる。即ち、第２駆動部１１８により、第１ストッパ１２２をＸ方向（水平方向）に移動させ貫通孔１１０Ａの真下にくる第１当接面１２４と第２当接面１２６とを切り替えることができる。つまり、第１当接面１２４が第１支柱１０６を介して第１押圧部１０２を支持することも可能であり、あるいは第２当接面１２６が第１支柱１０６を介して第１押圧部１０２を支持することも可能である。このため、第１当接面１２４、第２当接面１２６のいずれが第１押圧部１０２を支持していても、支持プレート１１０が押し出された際には、第１押圧部１０２と第２押圧部１０４とは同時に押し出されることとなる。
【００３９】
なお、本実施形態では、図２（Ｃ）に示す如く、４つの第１支柱１０６の位置が、異なる２本の第１ストッパ１２２上にくるようにされている。即ち、第１当接面１２４と第２当接面１２６とはそれぞれ、４つとされ、一直線上に並ばず、少なくとも異なる２直線上に並んでいる状態となる。
【００４０】
前記第１駆動部１３２は、図１、（Ａ）、（Ｂ）に示す如く、架台１３０に支持されている。第１駆動部１３２は、エアシリンダなどであり、Ｚ方向（鉛直方向）に伸縮可能な可動部１３２Ａを備える。第１駆動部１３２は、その可動部１３２Ａの伸縮量（押し出し量とも称する）により、支持プレート１１０の押し出し、即ち押し出し機構２８の押し出しを行う。このため、第１駆動部１３２の動作により、支持プレート１１０は、弾性体シート１８に接近離間が可能となっている。なお、架台１３０の上面１３０Ａから弾性体シート１８までは距離Ｈとされている。そして、架台１３０の上面１３０Ａと支持プレート１１０の下面１１０Ｃとの距離は、第１駆動部１３２の可動部１３２Ａの伸縮量Ｌ（Ｌｍｉｎ≦Ｌ≦Ｌｍａｘ、Ｌｍｉｎ；最小伸縮量、Ｌｍａｘ；最大伸縮量）で定められる（伸縮量Ｌは支持プレート１１０の押し出し量とも称する）。なお、符号１２８は、架台１３０と支持プレート１１０との間に配置されたガイドである。
【００４１】
なお、支持プレート１１０が弾性体シート１８に接近した際には、第１ストッパ１２２が第１支柱１０６を介して第１押圧部１０２を支持するようになっている。例えば、支持プレート１１０が弾性体シート１８に接近した際とは、第２当接面１２６が第１支柱１０６を介して第１押圧部１０２を支持可能となるような場合の式（１）で示す伸縮量Ｌａとすることができる。
Ｌａ＞Ｈ３―Ｈ４＋Ｈ５（Ｌａ＞Ｌｍｉｎ）                  （１）
【００４２】
また、支持プレート１１０が弾性体シート１８から離間した状態では、架台１３０の上面１３０Ａ（第２ストッパ）は、第２支柱１０８を介して第１押圧部１０２を支持するようになっている。例えば、支持プレート１１０が弾性体シート１８から離間した状態とは、第１当接面１２４でも第１支柱１０６を介して第１押圧部１０２を支持できない場合の式（２）で示す伸縮量Ｌｎとすることができる。
Ｌｎ＜Ｈ３−Ｈ４＋Ｈ６（Ｌｍｉｎ＜Ｌｎ＜Ｌａ）            （２）
【００４３】
次に、本実施形態の全体の作用の概略を説明する。
【００４４】
まず、図４（Ａ）に示されるように、成形部Ｅのカバープレート２０を開き、弾性体シート１８を枠体１６の貫通孔１６Ａ側に吸引・変形させてポケット部１８Ａを形成する。吸引によって形成された弾性体シート１８のポケット部１８Ａに原料となる粉粒状の樹脂（原料樹脂）Ｐｏを必要量投入し、カバープレート２０を閉じる。この状態で樹脂投入済みの成形部Ｅをヒートプレス２４の設置位置までそっくり移動する。移動後、ヒートプレス２４により、該成形部Ｅを上下から挟み込み、枠体１６の貫通孔１６Ａ内において原料樹脂Ｐｏを成形し、平板樹脂Ｐとする（図４（Ｂ）参照）。このときの加熱温度は、例えば６０℃〜１００℃であり、加圧力は、０．２ＭＰａ〜１．０ＭＰａである。
【００４５】
成形部Ｅにおける枠体１６内で成形された平板樹脂Ｐは、溶融・軟化した状態となっているため、次に、成形部Ｅを再び移動してクールプレス２６によって挟み込み、平板樹脂Ｐから熱を奪う（図４（Ｃ）参照）。この結果、平板樹脂Ｐの温度は例えば１０℃〜２０℃程度にまで低下する。
【００４６】
次に、除熱した成形部Ｅをクールプレス２６から外し、カバープレート２０を一端側（図４の右側）からめくるようにして変形させて開いていく。この変形により、いわゆる剥離線（カバープレート２０が平板樹脂Ｐから剥離されてゆくときの境界線）が発生するため、該剥離線に剥離応力を集中させることができ、軽荷重でカバープレート２０を平板樹脂Ｐから剥離することができる。
【００４７】
最後に、図４（Ｄ）に示されるように、押し出し機構２８によって弾性体シート１８ごと平板樹脂Ｐを上方に突き出し、図示せぬアンローダ機構等によって成形された平板樹脂Ｐを回収する。この作用を、図５〜図７を用いて詳細に説明する。
【００４８】
図５は、平板樹脂Ｐの剥離工程を示すフローチャートを示す図、図６と図７は図５の剥離工程を説明するための概略図である。
【００４９】
まず、平板樹脂Ｐを所定の位置に配置する（図５のステップＳ２）。つまり、上面から見て、平板樹脂Ｐの外形から均等な距離の内側に第１押圧部１０２の外形がくるように、平板樹脂Ｐの位置を相対的に調整する。つまり、第１押圧部１０２は平面視で平板樹脂Ｐの内側に配置される。なお、この段階では、（支持プレート１１０が弾性体シート１８から離間した状態で、）第２支柱１０８は架台１３０の上面１３０Ａに支持され、第１押圧部１０２は上昇しない。そして、第１支柱１０６の真下（Ｚ方向下方）に第１当接面１２４があることを確認して、第１駆動部１３２を動作させる。つまり、可動部１３２Ａの伸縮量Ｌを最小伸縮量Ｌｍｉｎから増加させる。最初は、支持プレート１１０が押し出されても、第２押圧部１０４だけが弾性体シート１８に接近していく。つまり、最初は、第１押圧部１０２の表面１０２Ａの高さ（Ｈ１＋Ｈ３）に対して、第２押圧部１０４の表面１０４Ａの高さ（Ｈ２＋Ｌ）は低くされている（図１（Ａ）で、Ｈ１＋Ｈ３＞Ｈ２＋Ｌ）。
【００５０】
そして、可動部１３２Ａの伸縮量Ｌが距離Ｌ１にまで増加すると、第１当接面１２４によって第１支柱１０６を介して第１押圧部１０２を支持することとなる（図５のステップＳ４）。このときの押し出し機構２８は図６（Ａ）に示す状態となる。つまり、第１押圧部１０２は、第２支柱１０８を介して架台１３０の上面１３０Ａに支持されるだけでなく、第１当接面１２４によっても支持されている。このときには、第１押圧部１０２の表面１０２Ａの高さ（Ｈ１＋Ｈ３）と、第２押圧部１０４の表面１０４Ａの高さ（Ｈ２＋Ｌ１）とは同一となる（Ｈ１＋Ｈ３＝Ｈ２＋Ｌ１）。
【００５１】
さらに、可動部１３２Ａの伸縮量Ｌが増加すると、第１押圧部１０２の表面１０２Ａの高さと、第２押圧部１０４の表面１０４Ａの高さとが同一の状態を保ちながら、第１押圧部１０２と第２押圧部１０４とが同時に上昇していく（図５のステップＳ６）。
【００５２】
そして、可動部１３２Ａの伸縮量Ｌが距離Ｌ２（Ｌ１＜Ｌ２＜Ｌｍａｘ）にまで増加すると、第１押圧部１０２の表面１０２Ａの高さと、第２押圧部１０４の表面１０４Ａの高さとは、同一の状態を保ちながら、距離（Ｈ＋ＤＬ１）となる。すなわち、第１押圧部１０２の表面１０２Ａと、第２押圧部１０４の表面１０４Ａとが一体となって、平板樹脂Ｐを弾性体シート１８から距離ＤＬ１だけ押し出す（図５のステップＳ８）。このときの押し出し機構２８は図６（Ｂ）に示す状態となる。つまり、この工程では、弾性体シート１８を介して、平板樹脂Ｐの外形よりも小さい平面の第１表面（第１押圧部１０２の表面１０２Ａと第２押圧部１０４の表面１０４Ａ）で平板樹脂Ｐの内側を押し出している。これにより、第１押圧部１０２の外形外側まで弾性体シート１８に張力を与えることができる。このため、平板樹脂Ｐの外周全てから剥離線をその内側に同時に進行させて、第１押圧部１０２の外形外側まで平板樹脂Ｐを弾性体シート１８から剥離することが可能となる。なお、距離ＤＬ１は、弾性体シート１８の変形が弾性変形に留まる距離（約１ｍｍ）とされ、適宜に調整することが可能とされている。
【００５３】
次に、第１駆動部１３２を駆動させ、可動部１３２Ａの伸縮量Ｌを距離Ｌ３（Ｌｍｉｎ＜Ｌ３＜Ｌ１）まで減少させる。つまり、第１押圧部１０２と第２押圧部１０４とが同時に下降していく（図５のステップＳ１０）。そして、第２支柱１０８が架台１３０の上面１３０Ａで支持され、第１支柱１０６が第１当接面１２４から離れる。このときの押し出し機構２８は図６（Ｃ）に示す状態となる。なお、この工程は、平板樹脂Ｐを第１表面で押し出した後に、第１表面を弾性体シート１８から離間させている。なお、この工程（図５のステップＳ１０）と前の工程（図５のステップＳ８）とは、平板樹脂Ｐの剥離状況を観察して複数回繰り返してもよい。
【００５４】
次に、第２駆動部１１８を駆動し、第１支柱１０６の真下（Ｚ方向下方）に第２当接面１２６がくるように可動部１１８Ａを移動させる。このときの押し出し機構２８は図６（Ｄ）に示す状態となる。
【００５５】
次に、第１駆動部１３２を動作させる。つまり、可動部１３２Ａの伸縮量Ｌを距離Ｌ３から増加させる。最初は、第２支柱１０８は架台１３０の上面１３０Ａに支持され、第１押圧部１０２は上昇しない。そして、支持プレート１１０が押し出されても、第２押圧部１０４だけが弾性体シート１８に接近していく。つまり、第１押圧部１０２の表面１０２Ａの高さ（Ｈ１＋Ｈ３）に対して第２押圧部１０４の表面１０４Ａの高さ（Ｈ２＋Ｌ）（Ｌ＞Ｌ３）は低くされている（Ｈ１＋Ｈ３＞Ｈ２＋Ｌ）。
【００５６】
そして、可動部１３２Ａの伸縮量Ｌが距離Ｌ１を超えて距離Ｌ４にまで増加すると、第２当接面１２６によって第１支柱１０６を介して第１押圧部１０２を支持することとなる（図５のステップＳ１２）。このときの押し出し機構２８は図７（Ａ）に示す状態となる。つまり、第１押圧部１０２は、第２支柱１０８を介して架台１３０の上面１３０Ａにも支持されるだけでなく、第２当接面１２６によっても支持されている。このときには、第１押圧部１０２の表面１０２Ａの高さ（Ｈ１＋Ｈ３）は、第２押圧部１０４の表面１０４Ａの高さ（Ｈ２＋Ｌ４）よりも距離（Ｈ５−Ｈ６）だけ低くされている（Ｈ２＋Ｌ４−（Ｈ１＋Ｈ３）＝Ｈ５−Ｈ６）。
【００５７】
さらに、可動部１３２Ａの伸縮量Ｌが増加すると、第１押圧部１０２の表面１０２Ａの高さは、第２押圧部１０４の表面１０４Ａの高さよりも距離（Ｈ５−Ｈ６）だけ低くされた状態を保ちながら、第１押圧部１０２と第２押圧部１０４とが同時に上昇していく（図５のステップＳ１４）。
【００５８】
そして、可動部１３２Ａの伸縮量Ｌが距離Ｌ５（Ｌ４＜Ｌ５＜Ｌｍａｘ）にまで増加すると、第２押圧部１０４の表面１０４Ａの高さは、第１押圧部１０２の表面１０２Ａの高さよりも距離（Ｈ５−Ｈ６）だけ高くされた状態を保ちながら、距離（Ｈ＋ＤＬ２）となる。すなわち、第２押圧部１０４の表面１０４Ａだけが、平板樹脂Ｐを弾性体シート１８から距離ＤＬ２だけ押し出す（図５のステップＳ１６）。このときの押し出し機構２８は図７（Ｂ）に示す状態となる。つまり、この工程では、弾性体シート１８を介して第１表面（第１押圧部１０２の表面１０２Ａと第２押圧部１０４の表面１０４Ａ）の外形よりも小さい平面の第２表面（第２押圧部１０４の表面１０４Ａ）で、平板樹脂Ｐの第１表面（第１押圧部１０２の表面１０２Ａと第２押圧部１０４の表面１０４Ａ）で押し出された部分の内側を再度押し出している。言い換えれば、この工程が、第１押圧部１０２の押し出し量と第２押圧部１０４の押し出し量とが同一の距離でなされた後の押し出し機構２８の押し出し工程である。そして、この工程において、第１押圧部１０２の押し出しは第２押圧部１０４の押し出し量よりも短い距離でなされている。これにより、第２押圧部１０４の外形外側まで弾性体シート１８に張力を与えることができる。このため、第１押圧部１０２の外形外側まで進んだ剥離線を更にその内側に同時に進行させて、第２押圧部１０４の外形外側まで平板樹脂Ｐを弾性体シート１８から剥離することが可能となる。つまり、平板樹脂Ｐの弾性体シート１８からの剥離は外周すべての方向から同時に平板樹脂Ｐの内側に段階的に行うことが可能となる。なお、距離ＤＬ２は、弾性体シート１８の変形が弾性変形に留まる距離とされ、適宜に調整することが可能とされている。本実施形態では、距離ＤＬ２は距離ＤＬ１とほぼ同一とされている（ＤＬ２≒ＤＬ１）。なお、可動部１３２Ａの伸縮量ＬをＬ３に戻してこの工程（図５のステップＳ１６）までを、平板樹脂Ｐの剥離状況を観察して複数回繰り返してもよい。
【００５９】
次に、可動部１３２Ａの伸縮量Ｌを距離Ｌ５に維持したまま、図示せぬアンローダ機構で平板樹脂Ｐを吸着し、平板樹脂Ｐを弾性体シート１８から完全に剥離する（図５のステップＳ１８）。このときの押し出し機構２８は図７（Ｃ）に示す状態となる。このとき、平板樹脂Ｐで第２押圧部１０４の外形の大きさ分が未剥離であっても、その未剥離部分の面積は最初の状態から比べて極めて小さくされている。この状態から吸着等の手段によって平板樹脂Ｐを上方に引き上げるので、極めて小さな吸引力で残りの剥離を進行させることができる。つまり、従来よりもはるかに剥離の進行した状態で最終的な吸引・取り出しを行うことができる。この結果、平板樹脂Ｐの破壊をほぼ完全に回避することができ、歩留まりを向上させることができる。
【００６０】
次に、第１駆動部１３２を駆動させ、可動部１３２Ａの伸縮量Ｌを距離Ｌ６（Ｌｍｉｎ＜Ｌ６＜Ｌ１）まで減少させる。つまり、第１押圧部１０２と第２押圧部１０４とを同時に下降させる（図５のステップＳ２０）。そして、第２支柱１０８を架台１３０の上面１３０Ａで支持し、第１支柱１０６が第２当接面１２６から離れるようにする。このときの押し出し機構２８は図７（Ｄ）に示す状態となる。この状態で、次の樹脂剥離のために、第１支柱１０６の真下（Ｚ方向下方）に第１当接面１２４がくるように第２駆動部１１８を駆動する。
【００６１】
従来技術によれば、平板樹脂Ｐを押し出す部分をシートに沿って平板樹脂Ｐの四隅あるいは一辺から移動させるために、平板樹脂Ｐを押し出す部分は複数とされている。そして、その平板樹脂Ｐを押し出す部分は点状であったり線状であったりして未剥離の領域に比べて小さくされている。このため、平板樹脂Ｐが剥離される箇所で生じる剥離線の位置、つまり剥離応力の集中する位置は、平板樹脂Ｐを点状あるいは限定された長さの線状で支持されているに過ぎなかった。つまり、剥離線の近傍では平板樹脂Ｐに大きな内部応力が生じるにも関わらず、その近傍を十分に支持していなかった。このため、平板樹脂Ｐの厚みが薄いと、剥離線の近傍の支持していない部分に応力がかかり、平板樹脂Ｐの破損が生じるおそれがあった。
【００６２】
これに対して、本実施形態では、押し出し機構２８の平板樹脂Ｐを押し出しする表面１０２Ａ、１０４Ａが平面とされている。このため、押し出し機構２８の押し出しで剥離線が進行可能な領域以外の平板樹脂Ｐの部分を、平面で支持することができる。即ち、押し出し機構２８で剥離されていない平板樹脂Ｐの部分にかかる応力を平面である押し出し機構２８の表面１０２Ａ、１０４Ａで分散して支持することが可能となる。
【００６３】
また、本実施形態では、第１押圧部１０２の押し出し量と第２押圧部１０４の押し出し量とが同一の距離でなされた後の押し出し機構２８の押し出しにおいて、第１押圧部１０２の押し出しは第２押圧部１０４の押し出し量よりも短い距離でなされる。つまり、繰り返しとなるが、まず第１押圧部１０２の押し出し量と第２押圧部１０４の押し出し量とが同一の距離でなされた際には、平板樹脂Ｐの外周全てから剥離線をその内側に同時に進行させて、第１押圧部１０２の外形外側まで平板樹脂Ｐを弾性体シート１８から剥離することが可能となる。次に、第１押圧部１０２の押し出しが第２押圧部１０４の押し出し量よりも短い距離でなされた際には、第１押圧部１０２の外形外側まで進んだ剥離線を更にその内側に同時に進行させて、第２押圧部１０４の外形外側まで平板樹脂Ｐを弾性体シート１８から剥離することが可能となる。つまり、本実施形態では、平板樹脂Ｐの弾性体シート１８からの剥離は外周すべての方向から同時に平板樹脂Ｐの内側に段階的に行うことが可能となる。このため、最終的に吸引等によって平板樹脂Ｐを持ち上げる場合にも、平板樹脂Ｐの外周全ては相応に剥離している状態となり、平板樹脂Ｐの内側の狭い面積だけに剥離応力を集中させながら持ち上げることができる。そのため、軽荷重での剥離が迅速に実現でき、平板樹脂Ｐの破損を防止することが可能となる。
【００６４】
また、本実施形態では、押し出し機構２８は２回（２回以上でもよい）押し出しするものの、必ずシート１８から離間した状態から接近しシート１８を介して平板樹脂Ｐを押し出しする。このとき、弾性体シート１８の押し出し量は、その弾性変形の範囲内であり、且つ一度押し出しがなされた際には必ずその押し出し状態が一旦解除される。このため、次の押し出しがなされる前には弾性体シート１８が元の延ばされていない状態に戻ることが可能である。つまり、弾性体シート１８の劣化を最小限にすることができ、特に弾性体シート１８を長期間に亘り繰り返し使用することが可能であるため、ランニングコストを低くすることができる。
【００６５】
また、本実施形態では、押し出し機構２８は、第２押圧部１０４を支持し弾性体シート１８に接近離間可能な支持プレート１１０と、支持プレート１１０の押し出しを行う第１駆動部１３２と、支持プレート１１０に支持されるとともに、支持プレート１１０が弾性体シート１８に接近した際に第１押圧部１０２を支持可能な第１当接面１２４と、第１当接面１２４と第１押圧部１０２を支持可能な高さが異なる第２当接面１２６と、が設けられた第１ストッパ１２２と、第１ストッパ１２２を移動させ第１当接面１２４と第２当接面１２６とを切り替える第２駆動部１１８と、を備えた構成を採用している。一般的には、駆動される部分が２つであれば、それ以上の駆動部を必要とし、且つ複雑な構成を必要とする。しかし、本実施形態では、上記の構成により、第１駆動部１３２と第２駆動部１１８とを備えるだけの比較的簡単な構成で、平板樹脂Ｐの押し出し毎に第１押圧部１０２の高さを容易に変更可能となる。同時に、第１駆動部１３２と第２駆動部１１８とを備えながら、同期を取るのが容易であり第１押圧部１０２と第２押圧部１０４との同時押し出しを確実に行うことが可能となる。なお、押し出し機構の構成はこれに限らず、押し出し機構が２つ以上の駆動部を備えていてもよい。
【００６６】
また、本実施形態では、押し出し機構２８が、更に、支持プレート１１０が弾性体シート１８から離間した状態で第１押圧部１０２を支持する架台１３０の上面１３０Ａ（第２ストッパ）を備え、第１当接面１２４と第２当接面１２６とは水平方向に並んで設けられ、第２駆動部１１８は第１ストッパ１２２をその水平方向に移動させている。このため、第１ストッパ１２２での第１当接面１２４と第２当接面１２６の切り替えを確実かつ安定して実現でき、第１ストッパ１２２をカムなどで構成するよりも小型でより簡単な構成で実現することができる。しかも、第１ストッパ１２２は２本用いられている。このため、回転機構を用いて第１当接面１２４と第２当接面１２６を切り替えるよりも、簡単な構成で且つ容易に２本の第１ストッパ１２２の同期を取ることが可能となる。勿論、架台１３０の上面１３０Ａは第２ストッパの機能を備えなくてもよい。例えば第１ストッパにカム機能を持たせて第１当接面と第２当接面との切り替えを行うようにしてもよい。
【００６７】
また、本実施形態では、第２駆動部１１８が１つとされ、第１当接面１２４と第２当接面１２６とがそれぞれ、複数とされ且つ少なくとも異なる２直線上に並ぶ構成とされている。このため、第２駆動部１１８が１つであることから装置の高コスト化を防止することができる。同時に、第１当接面１２４と第２当接面１２６に支持される第１押圧部１０２の表面１０２Ａが傾斜したりすることを防止でき、簡単な構成で第１押圧部１０２の押し出し量を安定させることが可能となる。勿論、第２駆動部の数は複数であってもよい。また、例えば、第１当接面だけが、複数とされ且つ少なくとも異なる２直線上に並ぶ構成となっていてもよいし、第１当接面１２４と第２当接面１２６とがそれぞれ、１つとされた構成であってもよい。
【００６８】
なお、言うまでもなく、平板樹脂Ｐの破壊を回避するためには、剥離応力はできるだけ弱い方が好ましい。本実施形態においては、剥離線を平板樹脂Ｐの外周のすべての方向から同時に発生させることができる。この剥離線は、平板樹脂Ｐを支持する枠体１６の位置から近いため、押し出しによって弾性体シート１８に発生する張力をこの剥離線に効率的に集中させることができる。そのため、比較的弱い張力（すなわち弱い押し出し力）でも、円滑に平板樹脂Ｐの弾性体シート１８からの剥離を開始させることができる。
【００６９】
また、この実施形態では、原料樹脂Ｐｏは、弾性体シート１８及びカバープレート２０の間に挟まれた状態で成形されるため、平板樹脂Ｐを成形するための金型との接触が一切ない。従って、成形中の樹脂が沁み出して金型と接触することもないため、この点でも平板樹脂Ｐが破損に至る確率が低減される。
【００７０】
従って、本実施形態では、従来よりも薄い平板樹脂Ｐを破損させることなく、弾性体シート１８上から安定して剥離させることが可能となる。
【００７１】
本発明について上記実施形態を挙げて説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでもない。
【００７２】
例えば、上記実施形態においては、矩形の平板樹脂Ｐを成形する際に本発明を適用するようにしていた。平板樹脂Ｐは剥離の際に特に壊れやすいという事情があるため、その意味で、本発明が最も有効に機能する適用例ではあるが、本発明が適用されるべき樹脂は平板樹脂Ｐのみに限定されるわけではない。また、形状も矩形に限定されず、円形や楕円形などであってもよい。
【００７３】
また、上記実施形態においては、押し出し機構は、第１押圧部１０２と第２押圧部１０４とで構成されていたが、本発明はこれに限定されず、第１押圧部の外側に更に枠状の押圧部を１つ以上備えてもよい。そして、その押圧部の数に応じて、押し出し機構による押し出し回数は適宜増加させることができる。  
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、平板樹脂を成形する分野を含め、さまざまな樹脂成形の分野において適用可能である。
【符号の説明】
【００７５】
１２…成形装置
１６…枠体
１６Ａ、１１０Ａ、１１０Ｂ…貫通孔
１８…弾性体シート（シート）
２０…カバープレート
２４…ヒートプレス
２６…クールプレス
２８…押し出し機構
１０２…第１押圧部
１０２Ａ、１０４Ａ、１３０Ａ…表面（上面含む）
１０２Ｂ、１１０Ｃ…下面
１０４…第２押圧部
１０６…第１支柱
１０８…第２支柱
１１０…支持プレート
１１２、１１４、１１６…保持部
１１８…第２駆動部
１１８Ａ、１３２Ａ…可動部
１２０…連結部
１２２…第１ストッパ
１２２Ａ…大径部
１２２Ｂ…小径部
１２４…第１当接面
１２６…第２当接面
１２８…ガイド
１３０…架台
１３２…第１駆動部
Ｅ…成形部
Ｐ…平板樹脂
Ｐｏ…原料樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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