(57)【要約】【課題】  本発明は、時間波形の取得に要する時間を短縮できる情報取得装置の提供を目的とする。【解決手段】  情報取得装置は、光源１０１からの光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐部１０８と、テラヘルツ波発生部１０２と、テラヘルツ波検出部１０３と、ポンプ光又はプローブ光が伝搬するファイバ１０４ａと、ファイバの光路長を変更する変更部１０４ｂと、テラヘルツ波の時間波形を構築する波形構築部１０６と、ファイバの光路長に関する情報を取得する取得部１０７と、を有し、取得部は、ファイバを伝搬する前のポンプ光又はプローブ光を第１の光と第２の光とに分岐する分岐部と、ファイバを伝搬した第１の光とファイバを伝搬していない第２の光との干渉光を形成する形成部と、干渉光の強度を検出する光検出部と、を備え、波形構築部は、光検出部の検出結果に基づいてテラヘルツ波検出部の検出結果を抽出することにより、時間波形を構築する。【選択図】  図１
2015055563.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テラヘルツ波を試料に照射して前記試料の情報を取得する情報取得装置であって、
光源からのパルス光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐部と、
前記ポンプ光が入射することによりテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部と、
前記プローブ光が入射することにより前記試料からのテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記ポンプ光又は前記プローブ光が伝搬するファイバと、
前記ポンプ光の光路長と前記プローブ光の光路長との光路長差を、前記ファイバの光路長を変更することによって変更する変更部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果を用いてテラヘルツ波の時間波形を構築する波形構築部と、
前記ファイバの光路長に関する情報を取得する取得部と、を有し、
前記取得部は、
前記ファイバを伝搬する前の前記ポンプ光又は前記プローブ光を第１の光と第２の光とに分岐する分岐部と、
前記ファイバを伝搬した前記第１の光と前記ファイバを伝搬していない前記第２の光との干渉光を形成する形成部と、
前記ファイバの光路長に関する情報として、前記干渉光の強度を検出する光検出部と、を備え、
前記波形構築部は、前記光検出部の検出結果に基づいて前記テラヘルツ波検出部の検出結果を抽出することにより、テラヘルツ波の時間波形を構築する
ことを特徴とする情報取得装置。
【請求項２】
前記波形構築部は、前記ファイバの光路長に関する情報に基づいて前記テラヘルツ波検出部の検出結果を抽出する範囲を特定する
ことを特徴とする請求項１に記載の情報取得装置。
【請求項３】
テラヘルツ波を試料に照射して前記試料の情報を取得する情報取得装置であって、
光源からのパルス光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐部と、
前記ポンプ光が入射することによりテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部と、
前記プローブ光が入射することにより前記試料からのテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記ポンプ光又は前記プローブ光が伝搬するファイバと、
前記ポンプ光の光路長と前記プローブ光の光路長との光路長差を、前記ファイバの光路長を変更することによって変更する変更部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果を用いてテラヘルツ波の時間波形を構築する波形構築部と、
ファイバの光路長に関する情報を取得する取得部と、を有し、
前記取得部は、
前記ファイバを伝搬する前の前記ポンプ光又は前記プローブ光を第１の光と第２の光とに分岐する分岐部と、
前記ファイバを伝搬した前記第１の光と前記ファイバを伝搬していない前記第２の光との干渉光を形成する形成部と、
前記ファイバの光路長に関する情報として、前記干渉光の強度を検出する光検出部と、を備え、
前記テラヘルツ波検出部は、前記光検出部の検出結果に基づいてテラヘルツ波の検出を開始する
ことを特徴とする情報取得装置。
【請求項４】
前記干渉光の基本波と高調波とを発生させる非線形結晶と、
前記基本波と前記高調波とを分割する分割部と、を更に有し、
前記光検出部は、前記分割部からの前記高調波を検出する
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の情報取得装置。
【請求項５】
前記形成部は、前記第１の光と前記第２の光とが非線形効果が生じる角度で入射するように設けられている非線形結晶であり、
前記光検出部は、前記非線形結晶からの前記第１の光の高調波と前記第２の光の高調波との干渉波を前記干渉光として検出する
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の情報取得装置。
【請求項６】
テラヘルツ波を試料に照射して前記試料の情報を取得する情報取得装置であって、
光源からのパルス光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐部と、
前記ポンプ光が入射することによりテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部と、
前記プローブ光が入射することにより前記試料からのテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記ポンプ光又は前記プローブ光が伝搬するファイバと、
前記ポンプ光の光路長と前記プローブ光の光路長との光路長差を、前記ファイバの光路長を変更することによって変更する変更部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果を用いてテラヘルツ波の時間波形を構築する波形構築部と、
前記ファイバの光路長に関する情報を取得する取得部と、を有し、
前記変更部は、変形することによって前記ファイバの長さを変更して前記ファイバの光路長を変更し、
前記取得部は、前記ファイバの光路長に関する情報として、前記変更部の変形による変化量を測定する測定部を備え、
前記波形構築部は、前記測定部の測定結果に基づいて前記テラヘルツ波検出部の検出結果を抽出することによりテラヘルツ波の時間波形を構築する
ことを特徴とする情報取得装置。
【請求項７】
テラヘルツ波を試料に照射して前記試料の情報を取得する情報取得装置であって、
光源からのパルス光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐部と、
前記ポンプ光が入射することによりテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部と、
前記プローブ光が入射することにより前記試料からのテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、
前記ポンプ光又は前記プローブ光が伝搬するファイバと、
前記ポンプ光の光路長と前記プローブ光の光路長との光路長差を、前記ファイバの光路長を変更することによって変更する変更部と、
前記テラヘルツ波検出部の検出結果を用いてテラヘルツ波の時間波形を構築する波形構築部と、
前記ファイバの光路長に関する情報を取得する取得部と、を有し、
前記変更部は、変形することによって前記ファイバの長さを変更して前記ファイバの光路長を変更し、
前記取得部は、前記ファイバの光路長に関する情報として、前記変更部の変形による変化量を測定する測定部を有し、
前記テラヘルツ波検出部は、前記測定部の測定結果に基づいてテラヘルツ波の検出を開始する
ことを特徴とする情報取得装置。
【請求項８】
前記ファイバの光路長に関する情報は、前記テラヘルツ波検出部の検出結果を抽出する範囲を特定するための測定基準を特定するために利用される情報である
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の情報取得装置。
【請求項９】
前記ファイバの光路長に関する情報は、前記テラヘルツ波検出部がテラヘルツ波の検出を開始するタイミングを特定するための測定基準を特定するために利用される情報である
ことを特徴とする請求項６又は７に記載の情報取得装置。
【請求項１０】
前記プローブ光は、前記ファイバを伝搬し、
前記ポンプ光は、前記ファイバと異なるファイバを伝搬する
ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の情報取得装置。
【請求項１１】
テラヘルツ波を試料に照射して前記試料の情報を取得する情報取得方法であって、
光源からのパルス光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐ステップと、
前記ポンプ光が入射することによりテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生ステップと、
前記プローブ光が入射することにより前記試料からのテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出ステップと、
前記ポンプ光の光路長と前記プローブ光の光路長との光路長差を、前記ポンプ光又は前記プローブ光が伝搬するファイバの光路長を変更することによって変更する変更ステップと、
前記テラヘルツ波検出ステップの検出結果を用いてテラヘルツ波の時間波形を構築する波形構築ステップと、
前記ファイバの光路長に関する情報を取得する取得ステップと、を有し、
前記取得ステップは、
前記ファイバを伝搬する前の前記ポンプ光又は前記プローブ光を第１の光と第２の光とに分岐する分岐ステップと、
前記ファイバを伝搬した前記第１の光と前記ファイバを伝搬していない前記第２の光との干渉光を形成する形成ステップと、
前記ファイバの光路長に関する情報として、前記干渉光の強度を検出する光検出ステップと、を含み、
前記波形構築ステップでは、前記光検出ステップの検出結果に基づいて前記テラヘルツ波検出ステップの検出結果を抽出することによってテラヘルツ波の時間波形を構築する
ことを特徴とする情報取得方法。
【請求項１２】
テラヘルツ波を試料に照射して前記試料の情報を取得する情報取得方法であって、
光源からのパルス光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐ステップと、
前記ポンプ光が入射することによりテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生ステップと、
前記プローブ光が入射することにより前記試料からのテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出ステップと、
前記ポンプ光の光路長と前記プローブ光の光路長との光路長差を、前記ポンプ光又は前記プローブ光が伝搬するファイバの光路長を変更することによって変更する変更ステップと、
前記テラヘルツ波検出ステップの検出結果を用いてテラヘルツ波の時間波形を構築する波形構築ステップと、
前記ファイバの光路長に関する情報を取得する取得ステップと、を有し、
前記取得ステップは、
前記ファイバを伝搬する前の前記ポンプ光又は前記プローブ光を第１の光と第２の光とに分岐する分岐ステップと、
前記ファイバを伝搬した前記第１の光と前記ファイバを伝搬していない前記第２の光との干渉光を形成する形成ステップと、
前記ファイバの光路長に関する情報として、前記干渉光の強度を検出する光検出ステップと、を含み、
前記テラヘルツ波検出ステップでは、前記光検出ステップの検出結果に基づいてテラヘルツ波の検出を開始する
ことを特徴とする情報取得方法。
【請求項１３】
テラヘルツ波を試料に照射して前記試料の情報を取得する情報取得方法であって、
光源からのパルス光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐ステップと、
前記ポンプ光が入射することによりテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生ステップと、
前記プローブ光が入射することにより前記試料からのテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出ステップと、
前記ポンプ光の光路長と前記プローブ光の光路長との光路長差を、前記ポンプ光又は前記プローブ光が伝搬するファイバの光路長を変更することによって変更する変更ステップと、
前記テラヘルツ波検出ステップの検出結果を用いてテラヘルツ波の時間波形を構築する波形構築ステップと、
前記ファイバの光路長に関する情報を取得する取得ステップと、を有し、
前記変更ステップでは、変更部を変形することによって前記ファイバの長さを変更して前記ファイバの光路長を変更し、
前記取得ステップは、前記ファイバの光路長に関する情報として、前記変更ステップの変形による変化量を測定する測定ステップを含み、
前記波形構築ステップでは、前記測定ステップの測定結果に基づいて前記テラヘルツ波検出ステップの検出結果を抽出することによりテラヘルツ波の時間波形を構築する
ことを特徴とする情報取得方法。
【請求項１４】
テラヘルツ波を試料に照射して前記試料の情報を取得する情報取得方法であって、
光源からのパルス光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐ステップと、
前記ポンプ光が入射することによりテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生ステップと、
前記プローブ光が入射することにより前記試料からのテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出ステップと、
前記ポンプ光の光路長と前記プローブ光の光路長との光路長差を、前記ポンプ光又は前記プローブ光が伝搬するファイバの光路長を変更することによって変更する変更ステップと、
前記テラヘルツ波検出ステップの検出結果を用いてテラヘルツ波の時間波形を構築する波形構築ステップと、
前記ファイバの光路長に関する情報を取得する取得ステップと、を有し、
前記変更ステップでは、変更部を変形することによって前記ファイバの長さを変更して前記ファイバの光路長を変更し、
前記取得ステップは、前記ファイバの光路長に関する情報として、前記変更ステップの変形による変化量を測定する測定ステップを含み、
前記テラヘルツ波検出ステップは、前記測定ステップの測定結果に基づいてテラヘルツ波の検出を開始する
ことを特徴とする情報取得方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テラヘルツ波を用いて試料の情報を取得する情報取得装置及び情報取得方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
テラヘルツ波は、典型的には０．０３ＴＨｚ以上３０ＴＨｚ以下の範囲のうち、任意の周波数帯域の成分を有する電磁波である。このテラヘルツ波を用いた検査装置として、テラヘルツ時間領域分光法（ＴＨｚ−ＴＤＳ：ＴＨｚ−Ｔｉｍｅ−Ｄｏｍａｉｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を応用して試料の情報を取得する情報取得装置がある。
【０００３】
ＴＨｚ−ＴＤＳ法は、テラヘルツ波検出用のパルス光（プローブ光）とパルス状のテラヘルツ波とがテラヘルツ波検出部に到達するタイミングを相対的に変化させることにより、テラヘルツ波の時間波形を取得する方法である。このとき、プローブ光が光源からテラヘルツ波検出部に到達するまでの光路長又はテラヘルツ波発生用のパルス光（ポンプ光）が光源からテラヘルツ波発生部に到達するまでの光路長を、遅延光学部を用いて変化させることによって検出のタイミングを変更する。
【０００４】
時間波形の取得に要する時間は、遅延光学部の掃引速度による。そこで、時間波形の取得に要する時間を短縮するために、圧電素子に巻かれたファイバを用いてファイバ型の遅延光学部を構成する手法がある（非特許文献１）。ファイバ型の遅延光学部では、ファイバの長さを変化させたり、ファイバに電界を印加させて屈折率を変化させたりして、ファイバの光路長を変更する。
【０００５】
ファイバは、情報取得装置の周囲の環境（温度や湿度等）の変化、及び、ファイバの伸縮の繰り返しによって生じるファイバの弾性率の変化等が要因で、ファイバの光路長が変化する場合がある。また、圧電素子を用いてファイバの伸縮を行う場合、圧電素子が有するヒステリシスの影響により、制御信号が同じでも光路長が異なることがある。これらは、ファイバを伝搬する光の伝搬速度や伝搬距離が変化するために起こる。
【０００６】
そのため、遅延光学部を同じように制御していても、ファイバの光路長が異なり、テラヘルツ波の検出を一定の間隔で行えないことがあった。非特許文献１は、ファイバを伝搬したパルス光と参照光との干渉光を検出し、干渉光の強度変化パターンからテラヘルツ波の検出の間隔を安定化している。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】Ｐｒｏｃ．ｏｆ  ＳＰＩＥ，７４８５，７４８５０４（２００９）  Ｈａｎｄｈｅｌｄ  ｔｅｒａｈｅｒｔｚ  ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ  ｆｏｒ  ｔｈｅ  ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ  ｏｆ  ｌｉｑｕｉｄ  ｅｘｐｌｏｓｉｖｅｓ．
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ファイバを伝搬する光の伝搬速度や伝搬距離の変化は、テラヘルツ波の検出を開始するタイミングにも影響を与えている。そのため、非特許文献１に記載の方法によって検出の間隔を安定化していても、テラヘルツ波の時間波形が異なるタイミングから開始することがある。すなわち、複数の時間波形を取得する場合、情報取得装置で構築される各時間波形の時間軸上での位置が変動することがある。
【０００９】
この位置変動の影響を抑制するために、非特許文献１では、同じ試料について複数回測定を行い、それらを平均化することで、出現確立が最も高い時間波形を抽出している。そのため、１つの試料に対する測定回数が多く、時間波形の取得に長時間を要する。
【００１０】
上記課題に鑑み、本発明は、時間波形の取得に要する時間を短縮できる情報取得装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一側面としての情報取得装置は、テラヘルツ波を試料に照射して前記試料の情報を取得する情報取得装置であって、光源からのパルス光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐部と、前記ポンプ光が入射することによりテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生部と、前記プローブ光が入射することにより前記試料からのテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出部と、前記ポンプ光又は前記プローブ光が伝搬するファイバと、前記ポンプ光の光路長と前記プローブ光の光路長との光路長差を、前記ファイバの光路長を変更することによって変更する変更部と、前記テラヘルツ波検出部の検出結果を用いてテラヘルツ波の時間波形を構築する波形構築部と、前記ファイバの光路長に関する情報を取得する取得部と、を有し、前記波形構築部は、前記ファイバの光路長に関する情報に基づいて前記テラヘルツ波検出部の検出結果を抽出することにより、テラヘルツ波の時間波形を構築することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一側面としての情報取得装置によれば、時間波形の取得に要する時間を短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】情報取得装置の概略構成図。
【図２】第１の実施形態の情報取得装置の構成を説明する図。
【図３】第１の実施形態の遅延光学部の変形例を説明する図。
【図４】第１の実施形態の間隔監視部の変形例を説明する図。
【図５】第２の実施形態の情報取得装置の構成を説明する図。
【図６】第１の実施形態の取得部の変形例を説明する図。
【図７】第１の実施形態の遅延光学部の変形例を説明する図。
【図８】時間波形を構築する方法を示したフローチャート。
【図９】時間波形を構築する別の方法を示したフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（第１の実施形態）
本実施形態の情報取得装置の概要を図１を参照して説明する。図１は情報取得装置の概略構成図である。本実施形態の情報取得装置は、ファイバ型の遅延光学部を用いたＴＨｚ−ＴＤＳ装置である。なお、本明細書における「ファイバ」は、屈折率分布によって光を閉じ込めることにより、光を伝搬させる光導波路である。
【００１５】
情報取得装置は、光源１０１、テラヘルツ波発生部１０２、テラヘルツ波検出部１０３、遅延光学部１０４、間隔監視部１０５、波形構築部１０６、取得部１０７、分岐部１０８を有する。情報取得装置は、ＣＰＵ、メモリ、記憶デバイス等を備えたコンピュータを有し、コンピュータは波形構築部１０６の機能を有する。
【００１６】
光源１０１は、超短パルス光を出力する部分である。ここで、超短パルス光とは、パルス幅がフェムト秒オーダのパルス光を指す。典型的には、光源１０１は、パルス幅１０フェムト秒以上１００フェムト秒以下で、繰り返し周波数が１０ＭＨｚのフェムト秒レーザである。
【００１７】
光源１０１から出力した超短パルス光（パルス光）は、分岐部１０８でテラヘルツ波を発生するためのポンプ光Ｌ１とテラヘルツ波を検出するためのプローブ光Ｌ２とに分岐される。分岐部１０８は、ファイバカプラやビームスプリッタのように光を分岐する手段であれば良い。
【００１８】
テラヘルツ波発生部１０２は、ポンプ光Ｌ１が入射するとパルス状のテラヘルツ波を発生する部分である。発生するテラヘルツ波のパルス幅は、典型的には数１００フェムト秒から数ピコ秒である。
【００１９】
テラヘルツ波発生部１０２として、半導体膜に導体でアンテナを形成した光伝導素子が適用できる。また、半導体基板や有機結晶の表面にポンプ光Ｌ１を照射する形態や、非線形結晶にポンプ光Ｌ１を導波させる形態の発生素子等が適用できる。発生部１０２は、ポンプ光Ｌ１の入力によりパルス状のテラヘルツ波が発生すればよく、この目的を実現できる既知の技術が適用できる。例えば、テラヘルツ波発生部１０２で発生したテラヘルツ波は、試料（不図示）に照射される。
【００２０】
テラヘルツ波検出部１０３は、プローブ光Ｌ２の入射によりテラヘルツ波を検出する部分である。詳細には、テラヘルツ波検出部１０３は、プローブ光Ｌ２が入射する際に到達するテラヘルツ波の電界強度の瞬間値を検出する。例えば、テラヘルツ波発生部１０２で発生したテラヘルツ波が試料に照射され、試料を透過又は試料で反射したテラヘルツ波がテラヘルツ波検出部１０３で検出される。
【００２１】
テラヘルツ波検出部１０３は、上述した光伝導素子や、電気光学効果を用いて電場を検出する手法や、磁気光学効果を用いて磁場を検出する手法が適用できる。テラヘルツ波検出部１０３は、プローブ光Ｌ２によりテラヘルツ波を検出できれば良く、この目的を実現できる既知の技術が適用できる。
【００２２】
遅延光学部１０４は、テラヘルツ波発生部１０２に到達するポンプ光Ｌ１とテラヘルツ波検出部１０３に到達するプローブ光Ｌ２との光路長差を調整するファイバ型の遅延光学部である。本実施形態の遅延光学部１０４は、プローブ光Ｌ２が伝搬するファイバ１０４ａと、ファイバ１０４ａの光路長を変更する変更部１０４ｂとで構成される。詳細には、変更部１０４ｂは、ファイバ１０４ａの長さや屈折率等の物性を変化させることでファイバ１０４ａの光路長を変更する。
【００２３】
なお、本明細書における「ファイバ１０４ａの長さ」は、ファイバ１０４ａの光学的な長さ（光路長）ではなく、ファイバ１０４ａの物理的な長さのことである。
【００２４】
間隔監視部１０５は、テラヘルツ波を検出する間隔が一定になるように、ポンプ光Ｌ１の光路長とプローブ光Ｌ２の光路長との光路長差をモニタする部分である。周囲の環境やファイバ自体の弾性率の変化等の影響によってファイバの光路長が変化するためにテラヘルツ波検出部１０３がテラヘルツ波を検出する間隔が一定とならないことがあった。そこで、間隔監視部１０５は、非特許文献１に記載の構成を用いて、テラヘルツ波を検出する間隔が一定になるようにプローブ光Ｌ２の伝搬距離をモニタして、検出トリガを出力する。
【００２５】
なお、間隔監視部１０５は検出トリガのようなデジタル信号を出力する構成に限らず、ファイバ１０４ａの長さの変化量等のアナログ信号を出力してもよい。間隔監視部１０５の構成は、後述の各実施形態で説明する。
【００２６】
波形構築部１０６は、テラヘルツ波検出部１０３の検出結果を用いてテラヘルツ波の時間波形を構築する部分である。テラヘルツ波の時間波形の構築に用いるデータは、異なるタイミングで検出された複数のテラヘルツ波の電界強度を含む。
【００２７】
取得部１０７は、ファイバ１０４ａの光路長に関する情報を取得する部分である。ファイバ１０４ａの光路長に関する情報は、ファイバ１０４ａを伝搬した光とファイバ１０４ａを伝搬していない光との干渉光の強度、変更部１０４ｂの変化量等が挙げられる。情報取得装置は、ファイバ１０４ａの光路長に関する情報に基づいて波形構築部１０６が構築する時間軸の測定基準を定め、結果としてテラヘルツ波の時間波形の時間軸上での位置変動を抑制する。
【００２８】
具体的には、テラヘルツ波検出部１０３は、ファイバ１０４ａの光路長に関する情報に基づいてテラヘルツ波の検出を開始する。又は、波形構築部１０６は、ファイバ１０４ａの光路長に関する情報に基づいてテラヘルツ波検出部１０３の検出結果を抽出して時間波形を構築する。
【００２９】
ファイバ１０４ａの光路長に関する情報を用いて、テラヘルツ波の時間波形の時間軸上での位置変動を抑制する方法の詳細を説明する。なお、取得部１０７の構成の詳細については後述の実施形態で説明する。
【００３０】
まず、ファイバ１０４ａの光路長に関する情報に基づいて、テラヘルツ波検出部１０３がテラヘルツ波の検出を開始する方法について図８を参照して説明する。この方法は、変更部１０４ｂで光路長を変えながらファイバ１０４ａの光路長に関する情報を取得し、その情報に基づいて測定を開始するための基準（測定基準）を特定する。そして、テラヘルツ波検出部１０３は、その測定基準からテラヘルツ波の検出を開始する。
【００３１】
具体的な動作フローの一例を、図８を参照して説明する。図８は、情報取得装置の動作を表すフローチャートである。
【００３２】
情報取得装置の動作が開始されると、取得部１０７はファイバ１０４ａの光路長に関する情報の取得を開始する（Ｓ８０１）。その後、変更部１０４ｂが動作を開始し、光路長差を変更する（Ｓ８０２）。なお、Ｓ８０１とＳ８０２の順番は同時でもよく、また逆でも良い。
【００３３】
取得部１０７は、変更部１０４ｂが動作することによって光路長差が変更される毎にファイバの光路長に関する情報を取得する（Ｓ８０３）。その後、取得したファイバの光路長に関する情報から、波形構築部１０６は、測定基準に到達しているかを判断する（Ｓ８０４）。測定基準に到達していない場合は、再び変更部１０４ｂを動作させて光路長差を変更して、測定基準に到達するまでＳ８０２からＳ８０４の動作を繰り返す。測定基準に到達したときからテラヘルツ波検出部１０３はテラヘルツ波の検出を開始する（Ｓ８０５）。
【００３４】
なお、本実施形態において、テラヘルツ波検出部１０３は測定基準から検出を開始していた。しかし、本発明はそれに限定されない。例えば、測定基準から所定の時間が経過したときにテラヘルツ波検出部１０３が検出を開始することとしても良い。
【００３５】
テラヘルツ波を検出して時間波形の測定が終了したら、波形構築部１０６はその検出結果の全て又は一部を用いてテラヘルツ波の時間波形を構築する（Ｓ８０６）。検出結果のうち測定基準を含まない範囲を用いて時間波形を構築する場合でも、測定基準に基づいて時間軸上の位置を特定できるので、時間波形の時間軸上の位置の変動を抑制できる。その結果、時間波形の測定を複数回行って出現確率の高い時間波形を抽出する工程を短縮でき、時間波形の取得に要する時間を短縮できる。
【００３６】
また、この測定方法は、測定基準に到達した後、テラヘルツ波の時間波形の測定を開始している。そのため、時間波形の構築に必要最低限の量のデータを取得するため、扱うデータ量を削減できる。
【００３７】
次に、図９を参照して、ファイバ１０４ａの光路長に関する情報に基づいて、波形構築部１０６がテラヘルツ波検出部１０３の検出結果を抽出して時間波形を構築する方法について説明する。図９は、情報取得装置の動作を表すフローチャートである。この方法は、変更部１０４ｂが動作するとともに、テラヘルツ波検出部１０３がテラヘルツ波の検出を開始する。その後、波形構築部１０６が、テラヘルツ波検出部１０３の検出結果の中から時間波形の構築に用いるデータを抽出する。
【００３８】
この方法も、先ほどと同様に、変更部１０４ｂで光路長を変えながらファイバ１０４ａの光路長に関する情報を取得し、その情報に基づいて検出結果を抽出するための基準（測定基準）を特定する。そして、テラヘルツ波検出部１０３は、その測定基準以降のデータを抽出する。
【００３９】
情報取得装置の動作が開始されると、取得部１０７が動作を開始する（Ｓ９０１）。その後、変更部１０４ｂが動作を開始してファイバ１０４ａの光路長を変更する（Ｓ９０２）。なお、Ｓ９０１とＳ９０２の順番は同時でもよく、逆でもよい。
【００４０】
テラヘルツ波検出部１０３は、変更部１０４ｂがファイバ１０４ａの光路長を変更する動作に伴いテラヘルツ波を検出する（Ｓ９０３）。具体的には、テラヘルツ波検出部１０３が、変更部１０４ｂの動作に伴いテラヘルツ波を検出するとともに、取得部１０７がファイバ１０４ａの光路長に関する情報を取得する。
【００４１】
テラヘルツ波検出部１０３は、変更部１０４ｂの動作を確認した後、テラヘルツ波の検出を開始するようになっている。これに限らず、テラヘルツ波検出部１０３は、変更部１０４ｂが動作を開始した後、変更部１０４ｂが予め定められた光路長差だけ変更したら検出を開始する構成や、変更部１０４ｂがセンサを通過したら検出を開始する構成等でも良い。テラヘルツ波検出部１０３の検出結果は、不図示の記録部に記録される。記録部は、コンピュータに備えられたメモリ、又は、ハードディスク等の外部記憶装置等である。
【００４２】
テラヘルツ波の検出と並行して、取得したファイバ１０４ａの光路長に関する情報から、時間波形の構築に用いるデータの範囲を特定するための測定基準を特定する（Ｓ９０４）。測定基準を特定したら、それを記録部に記録する（Ｓ９０５）。
【００４３】
なお、測定基準を記録する場合、検出結果を記録したデータ列の列番号を記録しても良いし、測定基準におけるファイバ１０４ａの光路長やポンプ光Ｌ１とプローブ光Ｌ２との光路長差等に換算したものを記録しても良い。要は、測定基準を参照して時間波形の構築に利用するデータの開始列が分かれば、記憶されるデータの形式は問わない。
【００４４】
テラヘルツ波の測定が終了すると、波形構築部１０６は、測定基準を基準として、テラヘルツ波の時間波形の構築に利用する検出結果を含むデータを抽出する（Ｓ９０６）。本実施形態では、測定基準の検出結果を開始列として時間波形の構築に用いるデータを抽出する。なお、本発明はそれに限定されない。例えば、測定基準から所定の時間が経過したときの検出結果を開始列として時間波形の構築に用いるデータを抽出しても良い。
【００４５】
波形構築部１０６は、抽出したデータに含まれるすべての検出結果、又は一部の検出結果を用いてテラヘルツ波の時間波形を構築する（Ｓ９０７）。抽出したデータの一部の検出結果を用いる場合でも、測定基準における検出結果を基準とすることで、テラヘルツ波の時間軸上の位置の変動を抑えて、時間波形の構築に要する時間を短縮できる。
【００４６】
この測定方法は、時間波形の構築に必要な検出結果を含むようにテラヘルツ波を測定した後、ファイバ１０４ａの光路長に関する情報を参照して測定基準を特定し、時間波形の構築に必要なデータを抽出する。そのため、テラヘルツ波の測定を行っている過程で、光路長差を変更する毎に測定基準に到達しているかを確認するための工程を省略できるので、より高速な測定が可能となる。
【００４７】
上述の方法で取得したテラヘルツ波の時間波形にはテラヘルツ波を照射した試料の情報が含まれており、時間波形を調べることで試料の情報を取得できる。
【００４８】
例えば、試料を透過したテラヘルツ波の時間波形は、試料の物性を反映した時間波形となるので、この時間波形を解析することで、測定物の光学特性を知ることができる。また、試料で反射したテラヘルツ波を測定した場合、その時間波形から測定物が有する屈折率界面の光学特性等を知ることができる。なお、本明細書の「光学特性」は、検体の複素振幅反射率、複素屈折率、複素誘電率、反射率、屈折率、吸収係数、誘電率、電気伝導率等を含むと定義する。
【００４９】
また、試料と試料に照射するテラヘルツ波との相対位置を変更する位置変更部を有する構成にすれば、試料の光学特性を反映した透過像や反射像等を取得できるイメージング装置にも適用できる。このとき、界面の位置や光学特性の分布等から、検体中の物体の形状、検体中の所定の光学特性を有する領域の形状等も試料の情報として取得できる。
【００５０】
以上、情報取得装置の概要を説明した。以降、情報取得装置の詳細な形態について説明する。なお、これまでの説明と共通する部分の説明は省略する。
【００５１】
（第１の実施例）
図２は、第１の実施例の情報取得装置を説明する装置構成図である。本実施例では、遅延光学部１０４、及び、間隔監視部１０５、取得部１０７の構成について、その一例を説明する。
【００５２】
本実施例のファイバ型の遅延光学部１０４は、光源１０１から出力された超短パルス光（パルス光）が分岐されたプローブ光Ｌ２が伝搬するファイバ１０４ａと、変更部１０４ｂとで構成される。変更部１０４ｂは、伸縮部２０４１と駆動部２０４２とを備える。
【００５３】
伸縮部２０４１はボビン型のピエゾ素子である。ファイバ１０４ａは伸縮部２０４１に巻き付けた状態で接着固定されており、伸縮部２０４１が変形することでファイバ１０４ａを伸縮する。駆動部２０４２は、伸縮部２０４１のピエゾ素子を変形させる電圧を印加するコントローラである。伸縮部２０４１の変形に伴いファイバ１０４ａの長さが変化するため、ファイバ１０４ａの光路長が変化する。発生部１０２に到達するポンプ光Ｌ１の光路長は変化しないため、遅延光学部１０４によってポンプ光Ｌ１とプローブ光Ｌ２との光路長差を調整できる。
【００５４】
例えば、ファイバ１０４ａとして偏波保持ファイバを使用し、伸縮部２０４１に６０ｍの長さのファイバ１０４ａを巻き付けた場合、ファイバ１０４ａは、駆動部２０４２の電圧に対し約５．５ｕｍ／Ｖの割合で伸縮する。駆動部２０４２が±４００Ｖ、３００Ｈｚの電圧で伸縮部２０４１を制御すると、約２０ピコ秒の範囲で光路長差を調整することができる。
【００５５】
なお、光路長差の調整の範囲は、使用するファイバの種類や長さ、駆動部２０４２の印加電圧によって変化する。非特許文献１のように、ファイバの種類や印加電圧の条件を調整することで、１００ピコ秒を超える光路長差の調整を行うこともできる。
【００５６】
また、ファイバ型の遅延光学部１０４の別の構成として、図３のような構成にすることも可能である。図３において、遅延光学部１０４は、伸縮部３０４１と駆動部３０４２とを備える変更部１０４ｂ、及び、ファイバ１０４ａを有する。
【００５７】
伸縮部３０４１は、ファイバ１０４ａの長さを変更する部分である。詳細には、ＤＣモータが平行に配置されている伸縮部３０４１にファイバ１０４ａを巻き付け、ＤＣモータの回転によって伸縮部３０４１でファイバ１０４ａを巻き取ることで、ファイバ１０４ａの光路長を変更する。なお、モータの種類はＤＣモータに限らずステッピングモータ等でも良い。また、モータの数も二つに制限されない。駆動部３０４２は、モータの制御を行うコントローラである。
【００５８】
また、変更部１０４ｂを用いてファイバ１０４ａの光路長を調整する方法は、ファイバ１０４ａの長さを変化させる方法に限らない。例えば、ファイバ１０４ａの屈折率を変化させて光路長の調整を行うこともできる。その一例を図７に示す。図７は、遅延光学部１０４の変形例を説明する図である。
【００５９】
図７の遅延光学部１０４は、ボビン型の部材７０４４に設けられた第１電極７０４５、第２電極７０４６、駆動部７０４２を有する変更部１０４ｂと、電気光学効果を有するファイバ１０４ａとを有する。
【００６０】
図７（ｂ）は、図７（ａ）のＡＡ’断面図である。図のようにファイバ１０４ａは、第１電極７０４５と第２電極７０４６との間にあり、絶縁部７０４７によって部材７０４４に巻き付けられた状態で固定されている。絶縁部７０４７はファイバ１０４ａを固定し、かつ保護する役目を担う。
【００６１】
第１電極７０４５と第２電極７０４６は、ファイバ１０４ａに電界を印加するための電極であり、部材７０４４の外側にファイバ１０４ａを挟む配置で同心円状に形成されている。駆動部７０４２は第１電極７０４５と第２電極７０４６に電界を印加する部分である。
【００６２】
この構成によれば、遅延光学部１０４におけるファイバ１０４ａの光路長の調整を外部電界によって行うことができる。そのため、ファイバ１０４ａの光路長を電気的に調整が可能で、機械式の調整と比較してテラヘルツ波の測定速度の向上が期待できる。
【００６３】
間隔監視部１０５は、干渉光学系で構成する。基本的な構成は、非特許文献１における遅延光学部に組み込まれたマッハチェンダー干渉系の技術と同じである。詳細には、間隔監視部１０５は、参照光源２０５１と、光検出器２０５２と、分岐部２０５３、２０５５と、合流部２０５４、２０５６とを有する。合流部２０５４と分岐部２０５５は波長分割多重カプラ（以後ＷＤＭカプラと呼ぶ）を用いる。合流部２０５６と分岐部２０５３はカプラで構成する。
【００６４】
間隔監視部１０５は、参照光源２０５１からの光のうちファイバ１０４ａを伝搬した光とファイバ１０４ａを伝搬していない光との干渉光を検出することによって、結果としてポンプ光Ｌ１とプローブ光Ｌ２との相対的な光路長差を検出する。
【００６５】
参照光源２０５１は連続波を出力する。以後、参照光源２０５１が出力した連続波を参照光と呼ぶ。参照光は、分岐部２０５３に入力され、Ｒ１及びＲ２の二つに分岐される。参照光Ｒ２は、合流部２０５４に入力され、参照光Ｒ１は合流部２０５６に入力される。
【００６６】
合流部２０５４には、参照光Ｒ２の他に、遅延光学部１０４に到達する前のプローブ光Ｌ２が分岐した第１の光Ｌ２ａが入力される。合流部２０５４の出力は、遅延光学部１０４に入力される。第１の光Ｌ２ａ及び参照光Ｒ２の波長は、余計な干渉を避けるために異なることが好ましい。第１の光Ｌ２ａ及び参照光Ｒ２は、合流部２０５４から出力されて遅延光学部１０４のファイバ１０４ａを伝搬する。
【００６７】
ファイバ１０４ａを伝搬した第１の光Ｌ２ａと参照光Ｒ２は、分岐部２０５５に入力され２つに分岐される。分岐部２０５５からの参照光Ｒ２は、合流部２０５６に入力され、第１の光Ｌ２ａは、後述する取得部１０７の分岐部２０７３に入力される。
【００６８】
合流部２０５６には、遅延光学部１０４を介した経路を伝搬した参照光Ｒ２と、遅延光学部１０４を介さない経路を伝搬した参照光Ｒ１とが入力される。そのため、参照光Ｒ１とＲ２との間には位相差が生じ、合流部２０５６で干渉する。詳細には、遅延光学部１０４で調整されたファイバ１０４ａの光路長に応じて、合流部２０５６が出力する干渉光の強度が変化する。
【００６９】
光検出器２０５２は、合流部２０５６から出力された干渉光の強度を検出して信号（干渉信号）を出力する。この干渉信号の強弱パターンを数えることで、ポンプ光Ｌ１とプローブ光Ｌ２との光路長差の変化を読み取ることができる。例えば、参照光源２０５１として波長１３１０ｎｍのレーザを使用し、ファイバ２０４３の屈折率が１．５であると仮定すると、干渉波の強弱は、約３フェムト秒毎に繰り返される。この強弱パターンを数えることで、ポンプ光Ｌ１に対するプローブ光Ｌ２の相対的な光路長の変化を検出する。
【００７０】
光検出器２０５２の出力は波形構築部１０６に入力される。波形構築部１０６は、光検出器２０５２の出力を参照し、テラヘルツ波検出部１０３の検出結果を記録する間隔を決定する。例えば、光検出器２０５２が、強弱パターン毎に検出トリガを出力して、波形構築部１０６が光検出器２０５２からの検出トリガを取得するとテラヘルツ波検出部１０３の瞬間値を記録するような構成が挙げられるが、これに限らない。
【００７１】
また、間隔監視部１０５は、参照光を使わずに遅延光学部１０４の駆動に用いる信号を利用することもできる。例えば、図４の構成では、間隔監視部１０５は、伸縮部２０４１の変形具合を調整する駆動部２０４２の制御信号を参照し、この制御信号を時間波形の時間軸上の位置に変換する位置変換部４０５１を有する。位置変換部４０５１には、駆動部２０４２が出力する制御信号に対する第１の光Ｌ２ａの伝搬距離の変化等が予め記憶されており、その情報を用いて制御信号から時間軸上の位置を取得して検出トリガを出力する。
【００７２】
ここからは、取得部１０７の構成について説明する。本実施例の取得部１０７は、干渉光学系で構築する。図２に示すように、取得部１０７は、分岐部２０７２、２０７３と形成部２０７４と光検出部２０７１とを有する。分岐部２０７２、２０７３及び形成部２０７４はカプラで構成する。
【００７３】
光源１０１から出力されたパルス光の一部は、分岐部１０８でポンプ光Ｌ１とプローブ光Ｌ２とに分岐される。その後、プローブ光Ｌ２は、分岐部２０７２に入力して第１の光Ｌ２ａと第２の光Ｌ２ｂとに分岐する。第２の光Ｌ２ｂは形成部２０７４にそのまま入力する。第１の光Ｌ２ａは、前述の間隔監視部１０５を構成する合流部２０５４に入力する。合流部２０５４に入力された第１の光Ｌ２ａは、遅延光学部１０４及び分岐部２０５５を介して分岐部２０７３に入力される。
【００７４】
分岐部２０７３は、ファイバ１０４ａを伝搬した第１の光Ｌ２ａをさらに２つに分岐する。分岐された一方は、プローブ光としてテラヘルツ波検出部１０３に入力され、テラヘルツ波の検出に利用される。他方は、形成部２０７４に入力される。
【００７５】
形成部２０７４には、遅延光学部１０４を介した経路を伝搬した光（第１の光Ｌ２ａの一部）と、遅延光学部１０４を介さない経路を伝搬した光（第２の光Ｌ２ｂ）とが入力され、その干渉光が形成される。なお、本明細書では、第１の光Ｌ２ａの一部と第２の光Ｌ２ｂとの干渉光を、第１の光Ｌ２ａと第２の光Ｌ２ｂとの干渉光とみなす。
【００７６】
光検出部２０７１は、形成部２０７４で形成された干渉光の強度を検出する部分である。本実施例の光検出部２０７１は、ファイバ１０４ａの光路長に関する情報として干渉光の強度を検出する。そして、干渉光の強度が最大となった場合を測定基準とする。
【００７７】
遅延光学部１０４によって変更された第１の光Ｌ２ａの光路長に応じて、形成部２０７４から出力する干渉光の強度が変化する。具体的には、第１の光Ｌ２ａの一部と第２の光Ｌ２ｂとが形成部２０７４に同時に入力されると、干渉光の強度が最大となる。本実施例では、その干渉光の強度の変化を利用して、測定基準を特定する。
【００７８】
測定基準が特定されたら、光検出部２０７１が測定基準を示すトリガ（以降、測定基準トリガと呼ぶ）のようなデジタル信号を出力する、又は、光検出部２０７１の検出結果をアナログ信号として連続的に出力する。アナログ信号を出力する場合、予め測定基準となる値（測定基準値）が設定されており、波形構築部１０６は、この測定基準値とファイバの光路長に関する情報とを比較する系を含む。
【００７９】
一般的に、形成部２０７４に入力する光は超短パルス光であるため、干渉光の強度の変化は、入力される光の強度と比較して小さい。この強度変化を感度よく検出するために、光検出部２０７１は、干渉光から定常的に検出されるパルス光の強度信号を取り除き、強度変化だけを検出する形態が望ましい。例えば、感度よく測定基準の位置を判断するために、非線形効果を利用して強度変化の差を大きくすることが望ましい。
【００８０】
図６は、非線形効果を利用して光検出部２０７１の検出感度を向上する方法の一例を説明する図である。図６（ａ）は、ファイバ測定系を用いる例を示す。図６（ｂ）は、ファイバを用いない空間的測定系を用いる例を示す。
【００８１】
図６（ａ）に示したファイバ測定系を用いる例では、形成部２０７４から出力された干渉光は、非線形結晶ファイバ６０７５と分岐部６０７６とを介して光検出部２０７１に入力する。形成部２０７４はカプラで構成される。そして、分岐部６０７６はＷＤＭカプラで構成される。
【００８２】
ここで、形成部２０７４からの干渉光の波長をλとする。干渉光の波長λは、光源１０１が出力したパルス光の波長である。干渉光が非線形結晶ファイバ６０７５を伝搬すると、非線形効果により基本波λと高調波λ／２とが発生し、分割部６０７６で基本波λと高調波λ／２とに分割される。その後、光検出部２０７１で高調波λ／２を検出することで干渉光の強度を取得する。
【００８３】
このように、非線形結晶ファイバを用いて干渉光の基本波を取り除いて高調波を検出することで、光検出部２０７１の感度を上げることができ、精度よく測定基準を取得することができる。また、取得部１０７をすべてファイバで構成することが可能なので、装置の小型化が容易となる。
【００８４】
図６（ｂ）に示した空間的測定系を用いる例では、形成部２０７４が非線形結晶６０７７で構成されている。詳細には、第１の光Ｌ２ａの一部及び第２の光Ｌ２ｂは、非線形結晶６０７７に対して非線形効果が生じる角度で入射するように調整されており、各パルス光の高調波λ／２の干渉波が干渉光として光検出部２０７１で検出される。
【００８５】
空間的測定系を用いると、高調波λ／２と基本波λの伝搬経路が空間的に分離されているので、高調波λ／２の信号を取り出すことが容易となる。また、超短パルス光が空間を伝搬するため、超短パルス光のパルス形状やパワー等の品質を維持することが容易となり、精度よく測定基準を取得できる。
【００８６】
なお、遅延光学部１０４や間隔監視部１０５、取得部１０７をファイバ系で構築する場合、温度や湿度などの外部環境によってファイバの特性が変化する可能性がある。ファイバの特性変化を抑制するため、少なくともこれらの部分に対し、温度調節機構を備えていることが望ましい。或いは、情報取得装置全体の温度調節を行う温度調節機構を備えていても良い。
【００８７】
（第２の実施例）
第２の実施例について図５を参照して説明する。なお、前述の第１の実施例と共通する部分についての説明は省略する。図５に本実施例における情報取得装置の構成を示した。
【００８８】
本実施例の情報取得装置は、取得部１０７の構成が第１の実施例と異なる。具体的には、第１の実施例では、取得部１０７が、干渉光学系を用いて、光路長が一定な第２の光Ｌ２ｂと光路長が変化するファイバ１０４ａを伝搬した第１の光Ｌ２ａとの干渉光の強度を検出し、それをファイバの光路長に関する情報としていた。それに対し、本実施例では、ファイバの光路長に関する情報として、変更部１０４ｂの物理的な変化量を取得する。取得部１０７の構成以外は図２に示した第１の実施例と同様である。
【００８９】
図５において、取得部１０７は、ファイバ２０４３の長さを伸縮により変更する伸縮部２０４１の物理的な変化量を測定する測定部としてのエンコーダ５０７２と、測定基準出力部５０７１で構成する。伸縮部２０４１を構成するピエゾ素子を縦方向に変形させることでファイバを伸縮させる場合、ピエゾ素子が縦方向にどの程度変形したかという変化量をエンコーダで測定する。
【００９０】
測定基準出力部５０７１は、測定した変化量と測定基準値とを比較することで測定基準を特定する。測定基準値は、測定基準においてエンコーダ５０７２が示す値を予め測定しておき、それを記録しておくのが良い。測定基準を特定したら、測定基準を示す信号を出力する。
【００９１】
本実施例では、取得部１０７は、ファイバ１０４ａの長さを変化させる伸縮部２０４１の変化量を測定して、その測定結果である変化量をファイバ１０４ａの光路長に関する情報として取得する。
【００９２】
伸縮部２０４１の変化量は、エンコーダで測定することにより電気的に取り扱うことが可能となる。そのため、既知の信号処理手法の適用が容易になり、信号のＳＮ比が向上して精度よく測定基準を特定できる。また、構成部品の種類も豊富であるため、取得部１０７を構成する構成要素の選択肢が広く、情報処理装置を小型かつ安価に提供することが可能となる。
【００９３】
以上、本発明の好ましい実施形態及び実施例について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【００９４】
例えば、上述の実施形態では、遅延光学部１０４は検出用のパルス光であるプローブ光の伝搬経路に設けられているが、発生用のパルス光であるポンプ光の伝搬経路に設けても良い。この時、間隔監視部１０５、及び、取得部１０７もポンプ光側に設ける。
【００９５】
また、上述の実施形態では、パルス光の伝搬経路をファイバで構成しているが、これに限らず、遅延光学部１０４を構成するファイバ１０４ａを除くファイバは別の光学系に置き換えることができる。例えば、上述の実施形態では、ポンプ光及びプローブ光はどちらもファイバを伝搬する構成としているが、遅延光学部１０４を介さないポンプ光の伝搬経路は、空間光学系で構成されても良い。
【符号の説明】
【００９６】
１０２  テラヘルツ波発生部
１０３  テラヘルツ波検出部
１０４ａ  ファイバ
１０４ｂ  変更部
１０６  波形構築部
１０７  取得部
１０８  分岐部
【図１】
2015055563.tif 000003
【図２】
2015055563.tif 000004
【図３】
2015055563.tif 000005
【図４】
2015055563.tif 000006
【図５】
2015055563.tif 000007
【図６】
2015055563.tif 000008
【図７】
2015055563.tif 000009
【図８】
2015055563.tif 000010
【図９】
2015055563.tif 000011