(57)【要約】【課題】効率的なメンテナンスを実現可能な加工装置を提供する。【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル（１２）と、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段（８）と、表示手段（１４）と、入力手段（１４）と、を備えた加工装置（２）であって、各種のメンテナンス項目に関するメンテナンス項目情報（２０ａ，２０ｂ，２０ｃ）と、各メンテナンス項目の実施方法を実施手順に沿ってガイドするガイド情報（２２ａ，２２ｂ）と、を記憶する記憶手段（１６ｂ）を備え、表示手段に表示される各種のメンテナンス項目情報に基づいて、入力手段で所望のメンテナンス項目に対応する選択情報を入力すると、メンテナンス項目に対応するガイド情報が表示手段に表示され、入力手段でガイド情報の更新を指示する更新情報（２４ａ，２４ｂ）を入力すると、次の手順に合わせて更新されたガイド情報が表示手段に表示される構成とした。【選択図】図２
2015098063.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、情報を表示する表示手段と、情報を入力する入力手段と、を備えた加工装置であって、
該加工装置の各種のメンテナンス項目に関するメンテナンス項目情報と、各メンテナンス項目の実施方法を実施手順に沿ってガイドするガイド情報と、を記憶する記憶手段を備え、
該表示手段に表示される各種のメンテナンス項目情報に基づいて、該入力手段で所望の該メンテナンス項目に対応する選択情報を入力すると、該メンテナンス項目に対応する該ガイド情報が該表示手段に表示され、
該入力手段で該ガイド情報の更新を指示する更新情報を入力すると、次の手順に合わせて更新された該ガイド情報が該表示手段に表示されることを特徴とする加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハや樹脂基板、光デバイスウェーハ等の被加工物は、切削装置や研削装置、レーザー加工装置等の加工装置で加工される。これらの加工装置は、各部の状態をセンシングするセンサーや、ユーザーの指示を入力する入力インターフェース等を備えており、各種センサーで得られるセンシング情報や、入力インターフェースからの指示情報等に基づいて全体の動作を制御している。
【０００３】
上述のように、加工装置は、各種センサーで得られるセンシング情報や入力インターフェースからの指示情報等に基づいて制御されるので、適切な動作を実現するための定期的なメンテナンスが推奨されている（例えば、特許文献１参照）。このメンテナンスの項目は、例えば、各種センサーのセンシング状態の確認や、緊急停止ボタン等を含む入力インターフェースの応答確認等、多岐にわたっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２１８４５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、このメンテナンスでは、複数のメンテナンス項目を連続的に確認する場合が多いので、実施の手順を誤ると長い待ち時間が発生し、メンテナンスの効率が低下してしまうこともある。
【０００６】
例えば、メンテナンスの初期の段階で緊急停止ボタンの動作確認を実施してしまうと、加工装置を再起動するためのイニシャル作業が必要になって、他のメンテナンス項目を実施するまでに長い時間を要してしまう。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、効率的なメンテナンスを実現可能な加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、情報を表示する表示手段と、情報を入力する入力手段と、を備えた加工装置であって、該加工装置の各種のメンテナンス項目に関するメンテナンス項目情報と、各メンテナンス項目の実施方法を実施手順に沿ってガイドするガイド情報と、を記憶する記憶手段を備え、該表示手段に表示される各種のメンテナンス項目情報に基づいて、該入力手段で所望の該メンテナンス項目に対応する選択情報を入力すると、該メンテナンス項目に対応する該ガイド情報が該表示手段に表示され、該入力手段で該ガイド情報の更新を指示する更新情報を入力すると、次の手順に合わせて更新された該ガイド情報が該表示手段に表示されることを特徴とする加工装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の加工装置は、メンテナンスの実施方法をガイドするガイド情報を表示すると共に、ユーザーからの入力に基づき、次の手順に合わせて更新されたガイド情報を表示できるので、ユーザーは、効率の良い実施手順をメンテナンスの進行に応じて確認できる。
【００１０】
つまり、本発明の加工装置では、ユーザーからの入力に基づいて次の手順に相当するガイド情報が表示されるので、例えば、全ての実施手順を一度に表示する場合等のように、誤って効率の悪い手順を選択してしまう可能性を低く抑えることができる。このように、本発明によれば、効率的なメンテナンスを実現可能な加工装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施の形態に係る加工装置の構成例を模式的に示す図である。
【図２】図２（Ａ）は、メンテナンス項目情報の表示状態を模式的に示す画像図であり、図２（Ｂ）は、ガイド情報の表示状態を模式的に示す画像図であり、図２（Ｃ）は、更新されたガイド情報の表示状態を模式的に示す画像図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係る加工装置の構成例を模式的に示す図である。なお、本実施の形態では、半導体ウェーハ等の被加工物を切削する加工装置（切削装置、ダイサー）について説明するが、本発明に係る加工装置は、研削装置（グラインダー）、研磨装置、レーザー加工装置等でも良い。
【００１３】
図１に示すように、本実施の形態に係る加工装置２は、各構成を支持する基台４を備えている。基台４の上方には、基台４の上面を覆う筐体６が設けられている。筐体６の内部には、空間が形成されており、被加工物（不図示）を切削する切削ユニット（加工手段）８が収容されている。
【００１４】
また、筐体６の前下部には、筐体６の内部と外部とを接続する開口部が形成されると共に、この開口部を開閉する扉６ａ，６ｂが取り付けられている。被加工物は、開口部を通じて筐体６の内部に収容される。
【００１５】
加工装置２で加工される被加工物は、例えば、円盤状の半導体ウェーハであり、裏面側に貼着されたダイシングテープを介して環状のフレームに支持される。被加工物の表面は、格子状に配列されたストリート（分割予定ライン）で複数の領域に区画されており、各領域にはＩＣ等のデバイスが設けられる。
【００１６】
切削ユニット８は、円環状のブレード１０を備えている。ブレード１０は、水平に支持されたスピンドル（不図示）の一端側に装着されており、スピンドルの他端側に連結されたモータ（不図示）の回転力で回転する。この切削ユニット８は、割り出し送り機構（不図示）によって割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に移動する。
【００１７】
また、切削ユニット８と近接する位置には、チャックテーブル１２が配置されている。チャックテーブル１２は、モータ等の回転機構（不図示）と連結されており、鉛直軸（Ｚ軸）の周りに回転する。また、このチャックテーブル１２は、加工送り機構（不図示）によって加工送り方向（Ｘ軸方向）に移動する。
【００１８】
チャックテーブル１２の上面は、被加工物を吸引保持する保持面となっている。この保持面は、チャックテーブル１２の内部に形成された流路（不図示）を通じて吸引源（不図示）と接続されている。
【００１９】
筐体６の前面６ｃには、ユーザーインターフェースとなるタッチパネル（表示手段、入力手段）１４が設けられている。このタッチパネル１４は、筐体６の内部に設けられた制御装置１６と接続されている。
【００２０】
制御装置１６は、切削ユニット８、チャックテーブル１２、回転機構、加工送り機構、割り出し送り機構等の各構成と接続されており、タッチパネル１４を介して設定される加工条件等に基づいて、上述した各構成の動作を制御する。
【００２１】
制御装置１６は、各構成の制御に必要な処理を実行する処理部１６ａと、各種の情報を記憶する記憶部（記憶手段）１６ｂとを含んでいる。記憶部１６ｂには、例えば、後述するメンテナンス作業においてタッチパネル１４に表示されるメンテナンス項目に関するメンテナンス項目情報や、各メンテナンス項目の実施手順に関するガイド情報等が記憶される。なお、処理部１６ａ及び記憶部１６ｂの具体的な機能等については後述する。
【００２２】
タッチパネル１４と隣接する位置には、加工装置２の緊急停止を行う緊急停止ボタン１８が設けられている。緊急停止ボタン１８を押下すると、例えば、スピンドルに連結されたモータへの電力供給がストップしてブレード１０の回転は停止する。
【００２３】
この加工装置２は、例えば、高速回転するブレード１０を、チャックテーブル１２に吸引保持された被加工物に切り込ませ、切削ユニット８とチャックテーブル１２とを加工送り方向に相対移動させることで、被加工物を切削加工する。
【００２４】
ところで、この加工装置２は、上述した各構成の状態をセンシングする複数のセンサー（不図示）を備えている。各センサーは、いずれも制御装置１６に接続されており、制御装置１６は、センサーから得られるセンシング情報等に基づいて加工装置２を制御する。そのため、加工装置２を適切に動作させるには、センサーの動作確認等のメンテナンスを定期的に実施する必要がある。
【００２５】
次に、本実施の形態の加工装置２で実施されるメンテナンス作業の例を説明する。まず、加工装置２のユーザーは、タッチパネル１４を通じて制御装置１６にメンテナンスモードへの移行を指示する。メンテナンスモードへの移行を指示されると、制御装置１６の処理部１６ａは、記憶部１６ｂからメンテナンス項目情報を読み出してタッチパネル１４に表示する。
【００２６】
図２（Ａ）は、メンテナンス項目情報の表示状態を模式的に示す画像図である。図２（Ａ）に示すように、タッチパネル１４には、「１．日次点検」を表すメンテナンス項目情報２０ａ、「２．月次点検」を表すメンテナンス項目情報２０ｂ、「３．半年毎点検」を表すメンテナンス項目情報２０ｃが表示されている。
【００２７】
ただし、タッチパネル１４に表示されるメンテナンス項目情報はこれに限定されず、任意に変更できる。タッチパネル１４に表示されるメンテナンス項目情報を変更するには、記憶部１６ｂに記憶されているメンテナンス項目情報を変更すれば良い。
【００２８】
図２（Ａ）に示す状態になると、ユーザーは任意のメンテナンス項目情報２０ａ〜２０ｃを選択してタッチする。その結果、タッチされた領域に対応するメンテナンス項目情報が、選択情報として制御装置１６に通知（入力）される。なお、ここでは、「１．日次点検」を表すメンテナンス項目情報２０ａが選択情報として制御装置１６に通知されたものとして説明を続ける。
【００２９】
制御装置１６に上述した選択情報が通知されると、処理部１６ａは、選択情報が示すメンテナンス項目に関するガイド情報を記憶部１６ｂから読み出し、タッチパネル１４に表示する。なお、この段階では、第１番目に実施されるべきメンテナンスの内容を示すガイド情報がタッチパネル１４に表示される。
【００３０】
図２（Ｂ）は、ガイド情報の表示状態を模式的に示す画像図である。図２（Ｂ）に示すように、タッチパネル１４には、「１．日次点検」において第１番目に実施されるべきメンテナンスである「１−１.スピンドル回転時の点検」に関するガイド情報２２ａが表示されている。
【００３１】
図２（Ｂ）に示す状態になると、ユーザーはガイド情報２２ａの内容を参照し、当該ガイド情報２２ａに従って加工装置２のメンテナンスを行う。ここでは、「スピンドルを回転させると，扉はロックがかかって閉鎖されるか確認して下さい。」というガイドに従い、スピンドルを回転させ、扉６ａ，６ｂが閉鎖状態でロックされるか否かを確認する。
【００３２】
ガイド情報２２ａに従ってメンテナンスを実施した後には、ガイド情報２２ａの下方において、「次へ」と表示された更新情報２４ａを選択してタッチする。その結果、ガイド情報２２ａの更新を指示する更新情報２４ａが、制御装置１６に通知（入力）される。
【００３３】
制御装置１６に更新情報２４ａが通知されると、処理部１６ａは、更新情報２４ａが示す次の手順に相当するガイド情報を記憶部１６ｂから読み出し、タッチパネル１４に表示する。すなわち、この段階では、第２番目に実施されるべきメンテナンスの内容を示すガイド情報がタッチパネル１４に表示される。
【００３４】
図２（Ｃ）は、更新されたガイド情報の表示状態を模式的に示す画像図である。図２（Ｃ）に示すように、タッチパネル１４には、「１．日次点検」において第２番目に実施されるべきメンテナンスである「１−２.緊急停止ボタンの点検」に関するガイド情報２２ｂが表示されている。
【００３５】
図２（Ｃ）に示す状態になると、ユーザーはガイド情報２２ｂの内容を参照し、当該ガイド情報２２ｂに従って加工装置２のメンテナンスを行う。ここでは、「緊急停止ボタンを押して，スピンドルの回転が停止するか確認して下さい。」というガイドに従い、緊急停止ボタン１８を押下して、スピンドルの回転が停止するか否かを確認する。
【００３６】
ガイド情報２２ｂに従ってメンテナンスを実施した後には、ガイド情報２２ｂの下方において、「次へ」と表示された更新情報２４ｂを選択してタッチする。その結果、ガイド情報２２ｂの更新を指示する更新情報２４ｂが、制御装置１６に通知（入力）される。
【００３７】
制御装置１６に更新情報２４ｂが通知されると、処理部１６ａは、更新情報２４ｂが示す次の手順に相当するガイド情報を記憶部１６ｂから読み出し、タッチパネル１４に表示する。このような手順を繰り返し、選択されたメンテナンス項目情報２０ａに対応する全てのメンテナンスが実施されると、加工装置２のメンテナンスは終了する。
【００３８】
以上のように、本実施の形態に係る加工装置２は、メンテナンスの実施方法をガイドするガイド情報を表示すると共に、ユーザーからの入力に基づき、次の手順に合わせて更新されたガイド情報を表示できるので、ユーザーは、効率の良い実施手順をメンテナンスの進行に応じて確認できる。
【００３９】
つまり、本実施の形態の加工装置２では、ユーザーからの入力に基づいて次の手順に相当するガイド情報が表示されるので、例えば、全ての実施手順を一度に表示する場合等のように、誤って効率の悪い手順を選択してしまう可能性を低く抑えることができる。このように、本実施の形態によれば、効率的なメンテナンスを実現可能な加工装置２を提供できる。
【００４０】
なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態の加工装置２では、文字のみによるガイド情報２２ａ，２２ｂをタッチパネル１４に表示しているが、ガイド情報は、図や動画等でも良い。もちろん、文字、図、動画を組み合わせたガイド情報を表示することもできる。
【００４１】
また、ガイド情報の表示と共に、音声等による通知を行っても良い。この場合、処理部１６ａは、加工装置２のスピーカー（不図示）から任意の音声を発生させる。音声は、例えば、ガイド情報の内容を読み上げるようなものでも良い。
【００４２】
また、本実施の形態では、定期的に実施されるメンテナンス（定期点検）を例に加工装置２を説明しているが、本発明のメンテナンスには、例えば、ブレード１０の交換、チャックテーブル１２の交換等が含まれる。すなわち、本発明において、メンテナンスは、各構成の保守、点検、修理、交換等を意味している。
【００４３】
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００４４】
２  加工装置
４  基台
６  筐体
６ａ，６ｂ  扉
６ｃ  前面
８  切削ユニット（加工手段）
１０  ブレード
１２  チャックテーブル
１４  タッチパネル（表示手段、入力手段）
１６  制御装置
１６ａ  処理部
１６ｂ  記憶部（記憶手段）
１８  緊急停止ボタン
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ  メンテナンス項目情報
２２ａ，２２ｂ  ガイド情報
２４ａ，２４ｂ  更新情報
【図１】
2015098063.tif 000003
【図２】
2015098063.tif 000004