(57)【要約】【課題】フッ素系樹脂を粘着剤層として用いる粘着剤層付き部材に関し、より優れた粘着性を有し、固定性に優れた粘着剤層付き部材を提供すること。【解決手段】部材の少なくとも一面に粘着剤層が貼着された粘着剤層付き部材であって、粘着剤層がフッ素系樹脂を含み、粘着剤層中の残留ひずみが０．０５％以下で貼着されていることを特徴とする、粘着剤層付き部材。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部材の少なくとも一面に粘着剤層が貼着された粘着剤層付き部材であって、
粘着剤層がフッ素系樹脂を含み、
粘着剤層中の残留ひずみが０．０５％以下で貼着されていることを特徴とする、粘着剤層付き部材。
【請求項２】
前記フッ素系樹脂が、ポリテトラフルオロエチレンである、請求項１に記載の粘着剤層付き部材。
【請求項３】
前記ポリテトラフルオロエチレンの結晶化度が８０％以上である、請求項２に記載の粘着剤層付き部材。
【請求項４】
前記粘着剤層の厚みが、４０μｍ以上である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の粘着剤層付き部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部材の少なくとも一面に粘着剤層が貼着された粘着剤層付き部材に関する。
【０００２】
部材を接合するために粘着剤層を用いることが知られている。粘着剤層による接合の適用範囲は、紙やプラスチック板といった家庭用、文房具用から、自動車、家電製品等の産業機械用、住宅用等、幅広い用途で使用されている。
【０００３】
また近年、電子デバイスの軽量化、薄型化に伴い、当該電子デバイスに用いられる基板の薄型化が進んでいる。薄型基板は、加工、処理、搬送等において、ハンドリングしづらいという問題がある。例えば、薄型基板にパターンを形成する際に薄型基板を単体で加工に供すると、ハンドリング性の悪さに起因して薄型基板にゆがみが生じやすく、精度よく安定的にパターンを形成することが困難である。
【０００４】
上記のような問題を解決するため、所定の台座に、粘着剤層を介して、薄型基板を貼着して、当該台座に仮固定された状態の薄型基板を、加工、処理、搬送等に供することが行われている。
【０００５】
例えば、薄膜基板としての半導体ウエハと台座としての支持ウエハとを、両面粘着シートにより貼り合わせ、形成された積層体を搬送等する技術が知られている（例えば、特許文献１〜３）。当該技術においては、処理後、台座から半導体ウエハを剥離することを考慮し、両面粘着シートとして、熱膨張型粘着剤または紫外線感光性粘着剤が用いられている。
【０００６】
熱膨張型粘着剤はマイクロカプセルを含む粘着剤であり、加熱により当該マイクロカプセルが発泡して粘着力が低下する。しかしながら、熱膨張型粘着剤を用いて薄型基板（半導体ウエハ）を仮固定した場合、薄膜基板を真空条件下での処理（例えば、スパッタ処理、ＣＶＤ処理）に供する際に、当該マイクロカプセル中のガスが放出され、不要に粘着力が低下したり、真空チャンバーを汚染するという問題がある。また、剥離時の加熱温度（すなわちマイクロカプセルが発泡する温度）より高い温度で、薄型基板の処理を行うことができないという問題がある。さらに、剥離時に粘着剤由来の不純物が薄型基板に残るという問題がある。
【０００７】
紫外線感光性粘着剤は、紫外線硬化型の樹脂および光重合開始剤を含む粘着剤であり、紫外線照射により粘着力が低下する。紫外線感光性粘着剤においては、光重合開始剤の熱分解性に起因して、薄型基板の処理温度が制約されるという問題、ならびに、高温処理を行った場合には紫外線照射による粘着力低下が不十分になるという問題が生じる。
【０００８】
また、熱膨張型粘着剤、紫外線感光性粘着剤等の従来の樹脂は、高温下において、ガス（例えば、熱分解性ガス）が発生し、被着体、加工・処理装置等を汚染するという問題がある。
【０００９】
さらに、従来の粘着剤は、酸に対する耐久性、および極性溶媒に対する耐久性が不十分であり、例えば、薄型基板にパターンを形成する際のエッチング処理、極性溶媒による洗浄処理等において、当該処理に用いる薬液により不要に粘着性が低下するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００５―１１６９４８号公報
【特許文献２】特開２０１０―５６５６２号公報
【特許文献３】特開平６−２１６０９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明者らは、上記問題点に対し、耐熱性、耐薬品性等に優れ、アウトガスが少ない粘着剤層として、フッ素系樹脂を粘着剤層として用いることを見いだした。しかしながらフッ素系樹脂を粘着剤層として用いる場合、同じ粘着剤層であっても貼付け条件により粘着力が異なる場合が確認されている。本発明における目的は、より優れた粘着性を有し、固定性に優れた粘着剤層付き部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、部材の少なくとも一面に粘着剤層が貼着された粘着剤層付き部材であって、
粘着剤層がフッ素系樹脂を含み、
粘着剤層中の残留ひずみが０．０５％以下で貼着されていることを特徴とする、粘着剤層付き部材を提供する。
【００１３】
特に前記フッ素系樹脂が、ポリテトラフルオロエチレンであることを特徴とし、またポリテトラフルオロエチレンの結晶化度が８０％以上であることを特徴とする。
【００１４】
また本発明は、前記粘着剤層の厚みが、４０μｍ以上であることを特徴とする。
【００１５】
本発明の粘着剤層付き部材の粘着剤層の残留ひずみは、０．０５％以下であり、０．０３％以下であることが好ましく、０．００２％以下であることがより好ましい。粘着剤層中の残留ひずみが０．０５％以下であると、高い接着力を得ることができ、安定した部材の固定性を得ることが出来る。
【００１６】
粘着剤層中の残留ひずみが接着力に及ぼす理由は明らかではないが、以下のように推測される。すなわちフッ素樹脂は結晶性分子鎖の運動性が高く、圧力を加えることで被着体に追従し、接着することができる。すなわち圧力を高くすることで被着体との接着面積が増加し接着力は大きくなる。しかし圧力が高すぎるとフッ素樹脂に残留ひずみが発生する。残留ひずみがあることで、外力に対してわずかな力で界面が剥がれる力を満たすため、接着力は低下すると考えられる。
【００１７】
粘着剤層中の残留ひずみは、Ｘ線散乱法により測定された結晶格子歪みから求めることができる。粉末Ｘ線回折装置により、測定散乱角２θ＝１７．６〜１８．６°の範囲で０．０１°おきに回折強度を測定し、得られた回折像のピーク角２θ、およびＸ線源の波長λから、ＰＴＦＥの結晶格子間隔ｄを算出し、ｄを基に格子歪みεを算出した。各測定角度における積算時間（露光時間）は１０秒とした。算出にあたっては下記式（１）、（２）を用いた。
２ｄｓｉｎθ＝λ    （１）
ε＝（ｄ−ｄ０）／ｄ０    （２）
ここで、λはＸ線源（Ｃｕ Ｋα線）の波長（＝０．１５４１８ｎｍ）であり、ｄ０は接着していない態のＰＴＦＥの格子面間隔（＝０．４８４６ｎｍ）を使用しうる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の粘着剤層付き部材においては、粘着剤層中の残留ひずみが０．０５％以下とすることで、粘着力の低下がなく、安定した固定性を得ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の１つの実施形態による粘着剤層付き部材の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（粘着剤層付き部材）
本発明の粘着剤層付き部材について、図面を用いて説明する。
【００２１】
図１（ａ）は、本発明の１つの実施形態による粘着剤層付き部材の概略断面図である。図１（ａ）に示す粘着剤層付き部材１００は、部材２０の一方の面に粘着剤層１０が貼着されている。図１（ｂ）は、本発明の別の実施形態による粘着剤層付き部材の概略断面図である。図１（ｂ）に示す粘着剤層付き部材２００は、部材２０の一方の面に粘着剤層１０が貼着されており、さらに粘着剤層１０のもう一方の面に別の部材３０が貼着されている。図１（ｂ）において部材２０と部材３０は異なる部材であるが、同じ部材同士を粘着剤層１０により接合しているものであっても良い。
【００２２】
本発明の粘着剤層付き部材１００（２００）は、任意の適切な形状であり得る。例えば、長さが１０ｍ〜３０００ｍ程度の長尺状であってもよく、任意の適切な形状に成形または切断された形状であってもよい。また粘着剤層１０は、部材２０（３０）の全面に設けられていても良く、部分的に設けられていても良い。
【００２３】
（粘着剤層）
本発明の粘着剤層付き部材における粘着剤層１０は、フッ素系樹脂を含む。フッ素系樹脂としては、例えば、完全フッ素化樹脂であるポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥともいう）；ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）等の部分フッ素化樹脂；ペルフルオロアルコキシフッ素樹脂（ＰＦＡ）、四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレン・四フッ化エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、エチレン・クロロトリフルオロエチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）等のフッ素化樹脂共重合体；含フッ素アクリル系樹脂；フッ素ゴム等が挙げられる。これらの樹脂は単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。フッ素系樹脂を用いれば、耐熱性、耐薬品性等に優れ、アウトガスが少ない粘着剤層を形成することができる。
【００２４】
上記フッ素系樹脂の含有割合は、粘着剤層中の樹脂の全重量に対して、好ましくは９０重量％〜１００重量％であり、より好ましくは９５重量〜１００重量％であり、さらに好ましくは９９重量％〜１００重量％である。
【００２５】
より好ましくは、上記粘着剤層は、フッ素系樹脂としてＰＴＦＥを含む。ＰＴＦＥを用いれば、粘着力を高くすることができる。また、耐熱性、耐薬品性、低アウトガス性等の観点からもより優れた粘着シートを得ることができる。
【００２６】
上記ＰＴＦＥの含有割合は、粘着剤層中の樹脂の全重量に対して、好ましくは８０重量％以上であり、より好ましくは９０重量％以上であり、さらに好ましくは９０重量％〜１００重量％である。１つの実施形態においては、上記粘着剤層は、樹脂としてＰＴＦＥのみを用いて形成される。
【００２７】
上記ＰＴＦＥの結晶化度は、好ましくは８０％以上であり、より好ましくは９０％以上であり、さらに好ましくは９５％以上である。このような範囲であれば、十分な粘着力を有する粘着剤層を得ることができる。ＰＴＦＥの結晶部分はポリエチレンやポリプロピレンなどの結晶とは異なり、分子鎖は剛直ではあるが分子間の相互作用が小さく、配向した分子鎖間が滑りやすい状態になっている。そのため、結晶化度が高いほどＰＴＦＥを被着体に粘着させたとき、被着体のミクロな凹凸にＰＴＦＥが追従し、その結果、高い粘着力を得ることができると推定される。上記ＰＴＦＥの結晶化度の上限は、好ましくは１００％以下であり、より好ましくは９９％以下であり、さらに好ましくは９８％以下である。完全に結晶化されたＰＴＦＥ（結晶化度が１００％のＰＴＦＥ）を得ることは困難であり、生産性を考慮すれば、結晶化度が９９％以下のＰＴＦＥを用いることが好ましい。なお、本明細書において、結晶化度は、高温示差走査熱量計を用いて測定された、ＰＴＦＥ試料を０℃〜４００℃まで昇温させた時の融解熱量（Ｊ／ｇ）から求められる。すなわち、ＰＴＦＥの結晶化度（％）は、（測定したＰＴＦＥ試料の融解熱量（Ｊ／ｇ）／結晶化度１００％のＰＴＦＥの融解熱量９２．８４（Ｊ／ｇ））×１００の式により求められる。
【００２８】
上記粘着剤層を形成する樹脂として、ＰＴＦＥとその他のフッ素系樹脂とを併用してもよい。ＰＴＦＥ以外のフッ素系樹脂の含有割合は、粘着剤層中の樹脂の全重量に対して、好ましくは２０重量％未満であり、より好ましくは１０重量％未満である。
【００２９】
上記粘着剤層の厚みは、好ましくは４０μｍ以上であり、より好ましくは１００μｍ〜４００μｍであり、さらに好ましくは１５０μｍ〜３００μｍである。このような範囲であれば、被着体の変形に対する追従性に優れ、変形しやすい（例えば、たわみやすい）被着体に対しても良好な粘着力を示す粘着剤層を得ることができる。また、粘着剤層の厚みが上記範囲であれば、コストを抑えて、厚みの均一性が高い粘着剤層を形成することができる。なお、ここでいう粘着剤層の厚みとは、粘着剤層を部材に加圧貼着する前の厚みをいう。
【００３０】
上記粘着剤層は、昇温速度１０℃／分で２５℃から３００℃まで加熱した際の重量減少率が、１重量％以下であることが好ましく、０．３重量％以下であることがより好ましい。当該加熱による重量減少率が小さいことは、高温下において粘着剤層から発生するガス（例えば、粘着剤層成分が熱分解されて発生するガス）が少ないことを意味する。このような粘着剤層を備える粘着シートは、高温下での使用に好適であり、例えば、基板を仮固定して高温下で処理する場合に、装置の汚染を防止することができる。
【００３１】
１つの実施形態においては、上記粘着剤層は、上記ＰＴＦＥを含む樹脂シート（以下、ＰＴＦＥシートともいう）から形成される。すなわち、本発明における粘着剤層は、ＰＴＦＥシートのみから形成されている。また本発明における粘着剤層は、ＰＴＦＥシートが他の基材層を備えていても良い。
【００３２】
上記ＰＴＦＥシートは、多孔質であってもよく、無孔質であってもよい。多孔質ＰＴＦＥシートを用いれば、被着体を貼り付ける際にＰＴＦＥシートが容易に変形するため、低い圧力で、粘着力を得ることができる。一方、無孔質ＰＴＦＥシートを用いる場合、粘着力を得るために同膜厚の多孔質ＰＴＦＥシートで要する圧力よりも高い圧力で圧着する必要があるが、同膜厚の多孔質ＰＴＦＥシートよりも高い粘着力を得ることができる。
【００３３】
上記ＰＴＦＥシートが多孔質である場合、当該ＰＴＦＥシートの気孔率は、好ましくは５０％〜９０％であり、より好ましくは６０％〜８５％であり、さらに好ましくは６５％〜８０％である。気孔率が５０％未満の場合、被着体を貼り付ける際にＰＴＦＥシートが変形し難くなり、十分な粘着力を得ることができないおそれがある。気孔率が９０％を超える場合、被着体を貼り付ける際の条件（例えば、プレスして圧着したときの厚み）を制御することが難しくなるおそれがある。なお、気孔率（％）は、｛１−ＰＴＦＥシートの見かけ密度（ｇ／ｃｍ３）／ＰＴＦＥシートの真密度（ｇ／ｃｍ３）｝×１００の式から求めることができる。ＰＴＦＥシートがＰＴＦＥのみから形成される場合、ＰＴＦＥシートの真密度は２．１８ｇ／ｃｍ３である。
【００３４】
上記ＰＴＦＥシートの製造方法としては、任意の適切な方法が採用され得る。上記ＰＴＦＥを含む樹脂シートは、例えば、ＰＴＦＥパウダーと液状潤滑剤とを含むペースト状の混和物を得、当該混和物を予備成形し、予備成形体をさらに押し出し成形し、当該押し出し成形体を加熱して得ることができる。当該加熱の前に、押し出し成形体を圧延してもよい。また、ＰＴＦＥシートは、所定の延伸工程を経て、多孔質化されていてもよい。
【００３５】
上記ＰＴＦＥパウダーの形態としては、ファインパウダー、モールディングパウダー、ディスパージョン等が挙げられる。好ましくは、ＰＴＦＥパウダーとして、ファインパウダーが用いられる。ファインパウダーを用いれば、成形性よく、高結晶化度のＰＴＦＥシートを得ることができる。ファインパウダーとは、乳化重合法で得られたＰＴＦＥの水性分散液から、ＰＴＦＥを凝集、分離、乾燥して得られる粉末を意味する。ファインパウダーの粒径は、例えば、１００μｍ〜１０００μｍである。
【００３６】
上記液状潤滑剤としては、ＰＴＦＥパウダー（例えば、ＰＴＦＥファインパウダー）の表面を濡らすことができ、抽出や加熱により除去できるものであれば特に制限されず、任意の適切な液体を用いることができる。液状潤滑剤としては、例えば、流動パラフィン、ナフサ、ホワイトオイル等の炭化水素系溶剤が用いられる。上記液状潤滑剤の添加量は、ＰＴＦＥパウダー１００重量部に対して、好ましくは５重量部〜５０重量部である。このような範囲であれば、粘着力が大きいＰＴＦＥシートを得ることができる。
【００３７】
上記ペースト状の混和物は、上述したＰＴＦＥ以外のフッ素系樹脂をさらに含んでいてもよい。
【００３８】
上記ペースト状の混和物を得た後、当該混和物を予備成形する。予備成形は、所定の圧力をかけて当該混和物を押し固めて成形される。予備成形時の圧力は、液状潤滑剤が絞り出されない程度の圧力であることが好ましい。予備成形により得られた予備成形体の形状は、例えば、棒状である。
【００３９】
上記予備成形体を、さらに押し出し成形して押し出し成形体を得る。押し出し成形体の形状は、例えば、長尺テープ状である。押し出し成形体の厚みは、所望とするＰＴＦＥシートの厚み、後工程としての延伸工程の有無等に応じて、調整され得る。押し出し成形体の厚みは、例えば、０．５ｍｍ〜４ｍｍである。押し出し成形においては、例えば、５０℃〜８０℃の温度で加熱しながら、上記予備成形体を押し出すことが好ましい。加熱しながら押し出すことにより、粘着力が高いＰＴＦＥシートを得ることができる。
【００４０】
所望とするＰＴＦＥシートの厚み、後工程としての延伸工程の有無等に応じて、上記押し出し成形体を圧延してもよい。圧延は、例えば、所定のギャップで配置された一対のロール間に押し出し成形体を通過させて行うことができる。圧延後の押し出し成形体の厚みは、圧延前の押し出し成形体の厚みに対して、好ましくは５％〜８０％であり、より好ましくは１０％〜６０％である。
【００４１】
上記のようにして形成された押し出し成形体を加熱する。当該加熱により、液状潤滑剤が除去される。当該加熱の方法としては、例えば、所定の加熱温度に昇温したロール上で加熱する方法、所定の加熱温度に昇温した雰囲気内で加熱する方法等が挙げられる。好ましくは、当該加熱の後、任意の適切な条件で冷却する。１つの実施形態においては、当該加熱・冷却により得られた乾燥成形体が、ＰＴＦＥシートとなる。この実施形態（すなわち、延伸工程を含まない実施形態）においては、無孔質ＰＴＦＥシートを得ることができる。
【００４２】
押し出し成形体を加熱する際の加熱温度は、ＰＴＦＥの融点以下であることが好ましい。具体的には、当該加熱温度は、３４０℃以下であることが好ましく、２５℃〜２８０℃であることがより好ましく、８０℃〜２５０℃であることがさらに好ましく、１００℃〜２００℃であることが特に好ましい。このような範囲であれば、結晶化度が高いＰＴＦＥを含むＰＴＦＥシート、具体的には結晶化度が８０％以上のＰＴＦＥを含むＰＴＦＥシートを得ることができる。押し出し成形体の加熱は、加熱温度を段階的に昇温または降温させて行ってもよい。加熱時間は、押し出し成形体の厚み、押し出し成形体中の液状潤滑剤の量等に応じて、適切に設定され得る。加熱時間は、例えば、１秒〜１０分である。
【００４３】
１つの実施形態においては、上記ＰＴＦＥシートは、上記押し出し成形体、または、押し出し成形体を加熱して得られた乾燥成形体を延伸させて得られ得る。延伸工程を経れば、多孔質ＰＴＦＥシートを得ることができる。
【００４４】
上記延伸工程における延伸は、一軸延伸であってもよく、二軸延伸であってもよい。延伸は、一段階で行ってもよいし、多段階で行ってもよい。
【００４５】
一軸延伸を行う場合の延伸方法としては、例えば、ロール延伸機を用いて長手方向（ＭＤ）に延伸する方法、テンター延伸機を用いて幅方向（ＴＤ）に延伸する方法を用いた方法等が挙げられる。一軸延伸を行う場合、延伸倍率は、好ましくは２倍〜１５倍であり、より好ましくは５倍〜１０倍である。このような範囲であれば、延伸ムラまたは破断を防止して、安定的に、厚み等の特性が均一なＰＴＦＥシートを得ることができる。延伸温度は、ＰＴＦＥの融点以下であることが好ましい。具体的には、延伸温度は、３４０℃以下であることが好ましく、２５℃〜３００℃であることがより好ましく、１５０℃〜３００℃であることがさらに好ましく、２４０℃〜３００℃であることが特に好ましく、２７０℃〜２９０℃であることが最も好ましい。このような範囲であれば、結晶化度が高いＰＴＦＥを含むＰＴＦＥシート、具体的には結晶化度が８０％以上のＰＴＦＥを含むＰＴＦＥシートを得ることができる。
【００４６】
二軸延伸を行う場合の延伸方法としては、例えば、ＭＤ延伸した一軸延伸シートをさらにＴＤ延伸する方法、二軸延伸機を用いる方法等が挙げられる。二軸延伸を行う場合、面積延伸倍率（ＭＤ延伸倍率とＴＤ延伸倍率との積）は、好ましくは５０倍〜９００倍であり、より好ましくは１００倍〜３００倍である。二軸延伸を行う場合においても、延伸温度は、３４０℃以下であることが好ましく、２５℃〜３００℃であることがより好ましく、１５０℃〜３００℃であることがさらに好ましく、２４０℃〜３００℃であることが特に好ましく、２７０℃〜２９０℃であることが最も好ましい。
【００４７】
延伸工程の後、任意の適切な条件でＰＴＦＥシートを冷却することが好ましい。
【００４８】
上記のように、ＰＴＦＥシートは、ＰＴＦＥの融点（３４０℃）以上の熱履歴を経ずに製造されることが好ましい。ＰＴＦＥの融点以上の熱履歴を経ずに製造することにより、結晶化度の高いＰＴＦＥシートを得ることができる。より詳細には、ＰＴＦＥの融点以上の熱履歴を経ずに製造することにより、原料としてのＰＴＦＥパウダーの結晶化度を低下させることなく、結晶化度の高いＰＴＦＥを得ることができる。
【００４９】
上記粘着剤層は、任意の適切な添加剤をさらに含み得る。添加剤の具体例としては、ガラスビーズ、バルーン、フィラー、顔料等が挙げられる。これらの添加剤は、例えば、ＰＴＦＥパウダー（例えば、ファインパウダー）と混合し、その後、成形することにより添加され得る。添加剤の含有割合は、粘着剤層の重量に対して、好ましくは５０重量％以下であり、より好ましくは４０重量％以下であり、さらに好ましくは３０重量％以下であり、特に好ましくは２０重量％以下である。また、上記粘着剤層は、上記液状潤滑剤が残存していてもよい。粘着剤層中の液状潤滑剤の含有割合は、粘着剤層の重量に対して、例えば、０．０１重量％〜５重量％である。
【００５０】
本発明において粘着剤層は基材を含んでいてもよい。基材層の厚みは、好ましくは１５μｍ〜５０μｍであり、より好ましくは２５μｍ〜３８μｍである。
【００５１】
（部材）
本発明の粘着剤層付き部材における部材２０（３０）は、特に限定されないが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ−１−ブテン、ポリ−４−メチル−１−ペンテン、エチレン・プロピレン共重合体、エチレン・１−ブテン共重合体、エチレン・酢酸ビニル共重合体、エチレン・エチルアクリレート共重合体、エチレン・ビニルアルコール共重合体等のポリオレフィン系樹脂から形成される樹脂フィルム；ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂から形成される樹脂フィルム；ポリアクリレートから形成される樹脂フィルム；ポリスチレンから形成される樹脂フィルム；ナイロン６、ナイロン６，６、部分芳香族ポリアミド等のポリアミド系樹脂から形成される樹脂フィルム；ポリ塩化ビニルから形成される樹脂フィルム；ポリ塩化ビニリデンから形成される樹脂フィルム、ポリカーボネートから形成される樹脂フィルム；ポリウレタンフォーム、ポリエチレンフォーム等のフォーム基材；クラフト紙、クレープ紙、和紙等の紙；綿布、スフ布等の布；ポリエステル不織布、ビニロン不織布等の不織布；アルミニウム箔、銅箔等の金属箔等が挙げられる。
【００５２】
また本発明においては、部材２０（３０）として、電子デバイス用の部材（例えば、基板）が好適に用いられ得る。上記部材としては、例えば、シリコン製の部材、サファイヤ製の部材、炭化ケイ素製の部材、ガラス製（例えば、ソーダライム製、強化ガラス製）の部材、樹脂製（例えば、ポリイミド製、ポリカーボネート製、ポリーテルスルホン製）の部材、金属製（例えば、ステンレス製）の部材、ガラス繊維を含む部材、有機無機ハイブリッド材料から構成される部材（例えば、シルセスキオキサンとポリカーボネート等の熱可塑性樹脂とから構成される基板）等が挙げられる。また、ガラス製（例えば、ソーダライム製、強化ガラス製）の台座、シリコン製の台座、サファイヤ製の台座、金属製（例えば、ステンレス製）の台座等が挙げられる。
【００５３】
（貼着方法）
本発明の粘着剤層付き部材は、部材の少なくとも一面に、前記粘着剤層が貼着されており、粘着剤層中の残留ひずみが０．０５％以下で貼着されていることを特徴とする。粘着剤層中の残留ひずみは、粘着剤層を貼着する際に粘着剤層が変形した場合に発生し、貼り付け圧力が高くなりすぎると発生する。このため、本発明において粘着剤層の貼付圧力は、２５ＭＰａ以下であることが好ましく、２０ＭＰａ以下であることがより好ましい。貼付圧力が２５ＭＰａを超えると、ＰＴＦＥシートの変形が大きく、残留ひずみが発生し、粘着力は低下する場合がある。また貼付圧力は、５ＭＰａ以上が好ましく、１０ＭＰａ以上がより好ましい。
【００５４】
粘着剤層を貼着する際に圧力を加える時間は、特に限定されないが、１秒〜１分程度であるのが好ましく、５秒〜３０秒程度であるのがより好ましい。またその際の温度は、特に限定されないが、１０℃〜１００℃程度であるのが好ましく、２０℃〜５０℃程度であるのがより好ましい。
【００５５】
部材に粘着剤層を貼着する際の粘着剤層の圧縮率は、２０％以下であることが好ましく、１５％以下であることがより好ましい。圧縮率が２０％を超えると、粘着剤層中に残留ひずみが発生する場合がある。なお本発明において粘着剤層の圧縮率とは、部材に貼着する前後の粘着剤層の厚み（μｍ）から、以下の式により算出される値をいう。
圧縮率（％）＝１００×［（部材に貼り付ける前の粘着剤層の厚さ）−（部材に貼着後の粘着剤層の厚さ）］／（部材に貼り付ける前の粘着剤層の厚さ）
【００５６】
本発明の粘着剤層付き部材は、例えば、電子デバイスに用いられる部材を搬送、加工、処理等する際に、好適に用いることができる。
【実施例】
【００５７】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例になんら限定されるものではない。
【００５８】
実施例１ 
ＰＴＦＥファインパウダー（商品名「ポリフロンＰＴＦＥ  Ｆ−１０４」、圧縮強さ（ＡＳＴＭ  Ｄ６９５、１％変形、２５℃）５〜６ＭＰａ、ダイキン工業社製）１００重量部と、液状潤滑剤としてｎ−ドデカンを２０重量部とを混合して、ペースト状の混和物を得た。得られた混和物をペースト押し出しにより成形して、押し出し成形体（厚み２００μｍ）を得た。次いで、得られた押し出し成形体を、１５０℃で６０秒間加熱して、液状潤滑剤を乾燥除去して、その後、１００℃で５分間加熱し、その後、２５℃の室温下で冷却して、厚み１９６μｍのＰＴＦＥシートからなる粘着剤層を得た。なお後述する方法で測定されるＰＴＦＥシートの結晶化度は９５％であった。
【００５９】
得られたＰＴＦＥシートを厚さ５０μｍのＰＥＴフィルム（商品名「ダイヤホイルＴ１００−５０Ｓ」、三菱化学ポリエステルフィルム社製）で挟み、真空プレス機（装置名「ＭＳ−ＶＰＦ−５０」、名庄プレス社製）により圧力５ＭＰａ、温度２５℃で１０秒間圧力を加え、ＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムを貼着した。貼着後のＰＴＦＥシートの厚みは、１８９μｍであった。
【００６０】
実施例２
ＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムの貼着時の圧力を１０ＭＰａとした以外は実施例１と同様にしてＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムを貼着した。貼着後のＰＴＦＥシートの厚みは、１８２μｍであった。
【００６１】
実施例３
ＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムの貼着時の圧力を１５ＭＰａとした以外は実施例１と同様にしてＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムを貼着した。貼着後のＰＴＦＥシートの厚みは、１７４μｍであった。
【００６２】
実施例４
ＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムの貼着時の圧力を２０ＭＰａとした以外は実施例１と同様にしてＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムを貼着した。貼着後のＰＴＦＥシートの厚みは、１６７μｍであった。
【００６３】
実施例５
ＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムの貼着時の圧力を２５ＭＰａとした以外は実施例１と同様にしてＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムを貼着した。貼着後のＰＴＦＥシートの厚みは、１６０μｍであった。
【００６４】
比較例１
ＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムの貼着時の圧力を３０ＭＰａとした以外は実施例１と同様にしてＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムを貼着した。貼着後のＰＴＦＥシートの厚みは、１５２μｍであった。
【００６５】
比較例２
ＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムの貼着時の圧力を４０ＭＰａとした以外は実施例１と同様にしてＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムを貼着した。貼着後のＰＴＦＥシートの厚みは、１３９μｍであった。
【００６６】
比較例３
ＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムの貼着時の圧力を５０ＭＰａとした以外は実施例１と同様にしてＰＴＦＥシートとＰＥＴフィルムを貼着した。貼着後のＰＴＦＥシートの厚みは、１３７μｍであった。
【００６７】
［評価］
実施例および比較例で得られた粘着剤層付き部材を以下の評価に供した。結果を表１に示す。
【００６８】
＜結晶化度＞
高温示差走査熱量計（装置名「Ｑ２０００」、ＴＡインスツルメント社製）を用い、０℃〜４００℃まで昇温させた時の融解熱量［Ｊ／ｇ］を測定した。昇温速度は２０℃／ｍｉｎで実施した。粘着シートを構成するＰＴＦＥの結晶化度はＰＴＦＥの完全結晶時の融解熱量を９２．８４［Ｊ／ｇ］として（測定した融解熱量／９２．８４）×１００（％）の式から算出した。
【００６９】
＜圧縮率＞
粘着剤層の圧縮率とは、部材に貼着する前後の粘着剤層の厚み（μｍ）から、以下の式により算出した。
圧縮率（％）＝１００×［（部材に貼り付ける前の粘着剤層の厚さ）−（部材に貼着後の粘着剤層の厚さ）］／（部材に貼り付ける前の粘着剤層の厚さ）
【００７０】
＜残留ひずみ＞
実施例および比較例で作製した粘着剤層付き部材について、粉末Ｘ線回折装置（装置名「ＲＩＮＴ２０００」、リガク社製）によるＸ線散乱法測定により結晶格子歪みを測定した。測定散乱角２θ＝１７．６〜１８．６°の範囲で０．０１°おきに回折強度を測定し、得られた回折像のピーク角２θ、およびＸ線源の波長λから、ＰＴＦＥの結晶格子間隔ｄを算出し、ｄを基に格子歪みεを算出した。各測定角度における積算時間（露光時間）は１０秒とした。算出にあたっては下記式（１）、（２）を用いた。
２ｄｓｉｎθ＝λ    （１）
ε＝（ｄ−ｄ０）／ｄ０    （２）
ここで、λはＸ線源（Ｃｕ Ｋα線）の波長（＝０．１５４１８ｎｍ）であり、ｄ０は接着していない態のＰＴＦＥの格子面間隔（＝０．４８４６ｎｍ）を使用した。
【００７１】
＜粘着力＞
実施例および比較例で作製した粘着剤層付き部材について、長さ１００ｍｍ×２５ｍｍ幅のサイズに切りだして評価サンプルとした。片側のＰＥＴフィルムを両面テープ（商品名「Ｎｏ．５００」、日東電工社製）でＰＥ板に固定した。反対側のＰＥＴフィルムとＰＴＦＥシートをチャックで掴み、「山本式変角度ピール試験機」（旭精工社製）で粘着力を測定した。剥離角度は９０度、剥離速度は５０mm／minとした。粘着力は０．１５Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。
【００７２】
＜固定性＞
実施例および比較例で作製した粘着剤層付き部材について、４０ｍｍ×１００ｍｍに切り出して評価サンプルとした。評価サンプルの片側のＰＥＴフィルムを剥がし、ＰＴＦＥシート面を第１のガラス（松浪ガラス社製、商品名「ＭＩＣＲＯ  ＳＬＩＤＥ  ＧＬＡＳＳ  Ｓ２００４２３」、サイズ６５ｍｍ×１６５ｍｍ、厚み１．２ｍｍ）の片面に２ｋｇハンドローラーにて１０往復の条件にて貼り付けた。さらに、評価サンプルの第１のガラスとは反対側の面のＰＥＴフィルムを剥がし、ＰＴＦシート面を第２のガラス（松浪ガラス社製、商品名「ＭＩＣＲＯ  ＳＬＩＤＥ  ＧＬＡＳＳ  Ｓ１２１４」、サイズ２５ｍｍ×７５ｍｍ、厚み１．２ｍｍ）を２ｋｇハンドローラーにて１０往復の条件にて貼り付けた。このようにして得られた積層体を、第２のガラスが下側になるようにして、４５℃傾けて２５℃下で静置した。表１中、１日経過しても第２のガラスが落下しなかった場合を○、１日以内に第２のガラスが自重により落下した場合を×とした。
【００７３】
【表１】
2015160891.tif 000003
【００７４】
実施例の粘着剤層付き部材は、粘着剤層中の残留ひずみが０．０５％以下であるため、粘着力が高く、固定性に優れることが確認される。一方比較例に係る粘着剤層付き部材は、粘着剤層中の残留ひずみが０．０５％を超えており、粘着力が低く固定性に劣ることが分かる。
【符号の説明】
【００７５】
１０              粘着剤層
２０、３０        部材
１００、２００    粘着剤層付き部材
【図１】
2015160891.tif 000004