(57)【要約】【課題】貫通気泡の無いハーメチックシール部品を作成可能な、ハーメチックシール部品の中間組立体を得る。【解決手段】接続ピン３の外周にタブレットガラス４〜８が積層している状態に組み立てて、タブレットガラス４〜８をその積層方向に加圧しながら加熱することで、ハーメチックシール部品の中間組立体を得る。【選択図】図１
2015115225.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接続ピンと前記接続ピンの外周に位置するガラスとから構成される、ハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法において、
複数のタブレットガラスそれぞれが有する貫通孔を前記接続ピンで貫かせて、前記接続ピンの外周に前記複数のタブレットガラスが積層している状態に組み立てる組立ステップと、
前記組立ステップで組み立てられた前記複数の積層しているタブレットガラスをその積層方向へ加圧しながら加熱する加圧加熱ステップとを備えることを特徴とするハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法。
【請求項２】
前記組立ステップにおいて、前記複数のタブレットガラスのうち、他のタブレットガラスが有する貫通孔の内径よりも小さい内径の貫通孔を有するタブレットガラスが少なくとも１つ積層している状態に組み立てることを特徴とする請求項１記載のハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法。
【請求項３】
前記組立ステップにおいて、他のタブレットガラスが有する貫通孔の内径よりも小さい内径の貫通孔を有する前記タブレットガラスが、前記積層方向の端部に位置する状態に組み立てることを特徴とする請求項２記載のハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法。
【請求項４】
前記組立ステップにおいて、前記複数のタブレットガラスそれぞれが有する貫通孔の内径が、前記積層方向の前記端部から前記積層方向の反対側の端部へと向かうにつれ同じ又は大きくなる状態に組み立てることを特徴とする請求項３記載のハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法。
【請求項５】
接続ピンと前記接続ピンの外周に位置するガラスとから構成される、ハーメチックシール部品の中間組立体を製造する中間組立体製造装置において、
複数のタブレットガラスそれぞれが有する貫通孔を前記接続ピンで貫かせて、前記接続ピンの外周に前記複数のタブレットガラスが積層している状態に組み立てる組立部と、
前記組立部によって組み立てられた前記複数の積層しているタブレットガラスをその積層方向へ加圧する加圧部と、
前記加圧部によって前記積層方向へ加圧されている前記複数の積層しているタブレットガラスを加熱する加熱部とを備えることを特徴とする中間組立体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば密閉空間に置かれた差圧発信器等のセンサ信号を、密閉空間の密閉状態を保ったまま取り出すことのできるハーメチックシール部品に関するものであり、特にハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法及びその製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハーメチックシールは、例えば密閉空間に置かれたセンサ機器等のシールに使われるものである。特許文献１には、中心に貫通孔を有する円板状の厚板ガラスであるタブレットガラスを、接続ピンに複数個外嵌して、電気炉で一次焼成することで串焼き状の中間組立体を作成し、次いでこの中間組立体を保持部材の貫通孔に挿入して電気炉で二次焼成することにより、保持部材の貫通孔の内周面と接続ピンとの間をハーメチックシールする技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９―２７２１４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１のように複数個のタブレットガラスを積層して接続ピンとともに串焼き状の中間組立体を一次焼成により作成する場合、例えば図６（ａ）に示すようにタブレットガラス３４〜３８を接続ピン３３に通したとき、タブレットガラス３６の上面が製造時の誤差等により水平面に対して傾いていると、積層した状態において隣接するタブレットガラス３５との間に隙間３９が発生する。また、タブレットガラス３４〜３８の上面又は下面に製造過程で凹凸が付いたり、製造時又は製造後に他部品と接触して上面又は下面に傷が付いたり一部が欠けたりすることでも、隙間３９が発生する。
【０００５】
隣接するタブレットガラス３５，３６間に隙間３９がある状態で一次焼成すると、図６（ｂ）に示すように、隣接するタブレットガラス３５，３６間の隙間３９から接続ピン３３が露出した中間組立体４０が作成される。
そして、このような中間組立体４０を保持部材４１に挿入して二次焼成すると、図６（ｃ）に示すように接続ピン３３と保持部材４１の間のガラス４２を貫通して接続ピン３３と保持部材４１とを直接つなぐ貫通気泡４３が形成された状態のハーメチックシール部品が得られる。
隙間３９を起因としてこのような貫通気泡４３が形成された箇所では、接続ピン３３と保持部材４１との間の絶縁が確保できず、絶縁不良の原因となっていた。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、貫通気泡が形成されないハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法及び製造装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に係るハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法は、複数のタブレットガラスそれぞれが有する貫通孔を接続ピンで貫かせて、接続ピンの外周に複数のタブレットガラスが積層している状態に組み立てる組立ステップと、組立ステップで組み立てられた複数の積層しているタブレットガラスをその積層方向へ加圧しながら加熱する加圧加熱ステップとを備えることを特徴とするものである。
【０００８】
またこの発明に係る中間組立体製造装置は、複数のタブレットガラスそれぞれが有する貫通孔を接続ピンで貫かせて、接続ピンの外周に複数のタブレットガラスが積層している状態に組み立てる組立部と、組立部によって組み立てられた複数の積層しているタブレットガラスをその積層方向へ加圧する加圧部と、加圧部によって積層方向へ加圧されている複数の積層しているタブレットガラスを加熱する加熱部とを備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、複数の積層しているタブレットガラスをその積層方向へ加圧しながら加熱することによりハーメチックシール部品の中間組立体を製造するので、中間組立体において、隣接するタブレットガラス間から接続ピンが露出しない。従って、中間組立体を保持部材に設置して加熱した際に、ガラスを貫通して接続ピンと保持部材をつなぐ貫通気泡が形成されなくなり、接続ピンと保持部材との間の絶縁不良を無くすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】この発明の実施の形態１に係るハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法を示す断面図である。
【図２】この発明の実施の形態１に係るハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法及び製造装置により製造される中間組立体の側面図である。
【図３】この発明の実施の形態１に係るハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法及び製造装置により製造された中間組立体を加熱する様子を示す断面図である。
【図４】この発明の実施の形態２に係るハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法を示す断面図である。
【図５】この発明の実施の形態２に係るハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法の変形例を示す断面図である。
【図６】ハーメチックシールに関する従来技術を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１に係るハーメチックシール部品の中間組立体の製造方法を示す断面図である。
焼成治具である保持板１は、上面に複数並んで形成された円形のピン孔１ａを有する。保持板１の上面では、ピン孔１ａの周囲が円形に突出して、凸部１ｂとなっている。保持板１は、例えばステンレス鋼、カーボン等を用いて形成される。
同様に焼成治具であるガイド部材２は、円形の貫通孔２ａを複数有する。貫通孔２ａは、保持板１の凸部１ｂと嵌合可能なように、その内径、隣接する貫通孔２ａ間のピッチ等が設計されている。ガイド部材２は、例えばステンレス鋼、カーボン等を用いて形成される。
【００１２】
ピン孔１ａ及び貫通孔２ａには、接続ピン３が挿入されている。ここで、ピン孔１ａの内径は、接続ピン３をわずかなクリアランスで挿入可能な程度の大きさとなっている。接続ピン３は、例えばＦｅ−５０Ｎｉ合金等を用いて形成される。
接続ピン３の軸周りである外周には、それぞれ中心に貫通孔４ａ〜８ａを有する円板状の厚板ガラス（以下、タブレットガラスと称する）４〜８が、５つ積層した状態で設置されている。また、タブレットガラス４〜８は、貫通孔２ａ内に位置し、タブレットガラス８は、凸部１ｂの上面と接している。ここで、貫通孔２ａの内径は、タブレットガラス４〜８をわずかなクリアランスで挿入可能な程度の大きさとなっている。
【００１３】
ガイド部材２から見て保持板１と反対側には、押し板９が設置されている。押し板９は、複数並んで形成された円形の貫通孔９ａを有し、貫通孔９ａの周囲は、円形に突出して、凸部９ｂとなっている。貫通孔９ａは、ピン孔１ａと同じピッチで並んでおり、その内径は、接続ピン３をわずかなクリアランスで挿入可能な程度の大きさとなっている。この貫通孔９ａとピン孔１ａに挿入されることにより、接続ピン３は位置決めされている。凸部９ｂは、タブレットガラス４〜８を挟んで凸部１ｂに対向しており、タブレットガラス４〜８と同等の、貫通孔２ａへわずかなクリアランスで挿入可能な程度の大きさとなっている。
【００１４】
ここで、図１に示すような状態に保持板１とガイド部材２と接続ピン３とタブレットガラス４〜８と押し板９とを組み立てる流れについて説明する。組立は、中間組立体の製造装置（不図示）により行う。
中間組立体の製造装置は、保持板１とガイド部材２と接続ピン３とタブレットガラス４〜８と押し板９との組立を担う組立部と、圧力を加えることが可能な加圧部と、熱を加えることが可能な加熱部と、装置全体の制御を担う制御部とから構成される。組立部は、部材を掴んで移動可能なアーム、アームを動かすモータ等で構成される。また、加圧部は例えばシリンダ等で、加熱部は例えばヒータ等で構成される。
【００１５】
組み立てる流れとしてはまず、中間組立体の製造装置の組立部により保持板１の凸部１ｂとガイド部材２の貫通孔２ａとが嵌合されることで、保持板１にガイド部材２が設置される。
次に、組立部により、ガイド部材２の貫通孔２ａにタブレットガラス４〜８が、タブレットガラス８からタブレットガラス４の順で挿入される。貫通孔２ａの内径は、タブレットガラス４〜８をわずかなクリアランスで挿入可能な程度の大きさであるので、挿入されたタブレットガラス４〜８は、貫通孔４ａ〜８ａが連通した状態で整然と積層する。
次に、組立部により、タブレットガラス４〜８の貫通孔４ａ〜８ａを貫通して、接続ピン３が挿入される。接続ピン３の下端は、ピン孔１ａへわずかなクリアランスで挿入され、つまり、ピン孔１ａにより接続ピン３の下端の位置決めがなされる。
【００１６】
次に、組立部により、接続ピン３の上端が押し板９の貫通孔９ａを貫通するように、押し板９が設置される。接続ピン３の上端は、貫通孔９ａへわずかなクリアランスで挿入され、つまり、貫通孔９ａにより接続ピン３の上端の位置決めがなされる。また、このとき凸部９ｂは、タブレットガラス４上面に接触する。
保持板１とガイド部材２と接続ピン３とタブレットガラス４〜８と押し板９との組立に際し、部材同士の嵌合、挿入を組立部が適切に行うには、中間組立体の製造装置の組立部の動作を予め規定したプログラムを制御部に読み込ませたり、別途画像認識のための撮影装置等を設置して、組立時に画像認識により組立部の動作を随時制御するなどすればよい。
【００１７】
なお、上記した流れとは別の流れにより保持板１とガイド部材２と接続ピン３とタブレットガラス４〜８と押し板９とを組み立ててもよい。
例えば、まず、中間組立体の製造装置の組立部により保持板１のピン孔１ａに接続ピン３を挿入する。
次に、組立部により、接続ピン３にタブレットガラス４〜８の貫通孔４ａ〜８ａを通す。
次に、組立部により、タブレットガラス４〜８にガイド部材２の貫通孔２ａを通して、保持板１とガイド部材２とを嵌合させる。
次に、組立部により、接続ピン３の上端が押し板９の貫通孔９ａを貫通するように、押し板９が設置される、という流れが考えられる。
また、組立部による動作を、適宜人により行って、保持板１とガイド部材２と接続ピン３とタブレットガラス４〜８と押し板９とを組み立ててもよい。
【００１８】
いずれにせよ、図１に示すような状態に組み立てられた保持板１とガイド部材２と接続ピン３とタブレットガラス４〜８と押し板９とは、その後、中間組立体の製造装置の加圧部により押し板９が接続ピン３の軸方向（図１中の矢印Ｐ方向）に加圧されながら、加熱部によって加熱（一次焼成）される。
【００１９】
一次焼成の温度は、タブレットガラス４〜８が軟化して、わずかに変形する程度の温度であり、例えば６８０度〜６９０度程度である。このとき、加圧部により押し板９が加圧されていることから、その圧力が押し板９の凸部９ｂを介してタブレットガラス４〜８に伝わる。そして、タブレットガラス８が凸部１ｂに接触しており加圧方向への移動が制限されることから、タブレットガラス４〜８は、加圧方向（積層方向）に圧縮されている状態となる。
【００２０】
従って、隣接するタブレットガラス同士はその接触面同士で確実に溶着し、隣接するタブレットガラス間に存在していた隙間が埋められた中間組立体１０が製造される（図２参照）。中間組立体１０は、接続ピン３と、接続ピン３外周に位置し、タブレットガラス４〜８が隣接するもの同士で溶着して一体となったガラス１１とから構成される。
【００２１】
なお、上記した一次焼成では、シリンダ等から構成される加圧部で押し板９を加圧することによりタブレットガラス４〜８を積層方向に圧縮するものを示したが、押し板９の自重のみでタブレットガラス４〜８への十分な圧力が得られる場合は、シリンダ等から構成される加圧部をわざわざ設けなくともよい。そのような加圧部を設けずに、押し板９の自重のみでタブレットガラス４〜８を加圧する場合は、押し板９をタブレットガラス４上面に載置して押し板９によるタブレットガラス４〜８への加圧を可能な状態にする組立部が、加圧部として機能する。
また、一次焼成はタブレットガラス４〜８がわずかに変形する程度の温度で行われるとともに、ガイド部材２がタブレットガラス４〜８外周を囲った状態で加圧するため、加圧方向と垂直な方向へタブレットガラス４〜８が大きく広がることは無く、タブレットガラス４〜８の外径とガラス１１の外径は同程度となる。
【００２２】
この発明では、中間組立体１０を更に加熱（二次焼成）することで、ハーメチックシール部品を製造する。図３に、二次焼成のときの様子を断面図で示す。
例えばステンレス鋼から成る円柱状の保持部材１２は、下部にて焼成治具である保持板１３ａと嵌合している。また、複数の貫通孔１２ａを有しており、貫通孔１２ａには、中間組立体１０が挿入される。ここで、貫通孔１２ａの内径はガイド部材２の貫通孔２ａとほぼ同径となっており、ガラス１１はわずかなクリアランスで貫通孔１２ａに挿入される。
【００２３】
保持板１３ａの上面には、ピン孔１３ｂが形成されており、保持部材１２と保持板１３ａとを嵌合した状態で貫通孔１２ａに中間組立体１０を挿入すると、接続ピン３の下端がピン孔１３ｂに挿入されて、接続ピン３の下端の位置決めが行われる。
また、保持部材１２は、上部にて焼成治具である保持板１３ｃと嵌合している。保持板１３ｃには、保持板１３ａのピン孔１３ｂと対向する貫通孔１３ｄが複数形成されており、接続ピン３の上端が貫通孔１３ｄに挿入されて、接続ピン３の上端の位置決めが行われる。
保持板１３ａ，１３ｃは、例えばステンレス鋼、カーボン等を用いて形成される。
【００２４】
図３に示した状態に、中間組立体１０と保持部材１２と保持板１３ａ，１３ｃとを組み立てた後、中間組立体１０を製造したときの加熱温度（例えば６８０度〜６９０度程度）よりも高い温度（例えば１０００度程度）で加熱（二次焼成）する。
二次焼成により、中間組立体１０のガラス１１は軟化して、その外周面が貫通孔１２ａの内周面に密着する。また、中間組立体１０の状態においてガラス１１の内周面と接続ピン３の外周面との間に隙間があった場合は、二次焼成時に軟化したガラス１１の内周面と接続ピン３の外周面とが密着することで、該隙間が埋められる。
また、一次焼成時に、積層されたタブレットガラス４〜８をその積層方向に加圧しながら加熱したことにより、隣接するタブレットガラス同士はその接触面同士で確実に溶着してガラス１１を形成しているので、ガラス１１を貫通して接続ピン３と保持部材１２をつなぐ貫通気泡が形成されることのないハーメチックシール部品（接続ピン３とガラス１１と保持部材１２とで構成）を得ることができる。
【００２５】
なお、二次焼成も一次焼成で用いた中間組立体の製造装置により行ってもよいし、二次焼成用の製造装置を別途用意して行ってもよい。
また、中間組立体１０を製造するのに積層するタブレットガラスの個数は、上記したような５つに限らず、当然適宜変更してよい。
【００２６】
以上のように、この実施の形態１によれば、タブレットガラス４〜８を積層方向に加圧しながら加熱することで一次焼成を行うので、隣接するタブレットガラス同士が確実に溶着した中間組立体１０を製造することができる。従って、この中間組立体１０を二次焼成すれば、ガラス１１を貫通して接続ピン３と保持部材１２をつなぐ貫通気泡が形成されなくなり、接続ピン３と保持部材１２との間の絶縁不良を無くすことができる。
【００２７】
実施の形態２．
実施の形態１では、タブレットガラス４〜８の貫通孔４ａ〜８ａに関して、接続ピン３を挿入可能であれば特に詳細な設計をしていなかったが、この実施の形態２では、貫通孔４ａ〜８ａの望ましい内径について説明する。
【００２８】
接続ピン３の外径（以下の説明では一例として０．７６ｍｍとする）に対して、タブレットガラス４〜８の貫通孔４ａ〜８ａの内径が例えばごくわずかだけ大きい場合、一次焼成時に貫通孔４ａ〜８ａの内周面、特に押し板９と接触しているタブレットガラス４の貫通孔４ａの内周面がわずかに融解して接続ピン３の外周面に食いつくと、中間組立体の製造装置の加圧部による圧力が下部に位置するタブレットガラス５〜８へ伝わりにくくなる。そのため、例えばタブレットガラス５と６の間、タブレットガラス６と７の間の隙間が埋まらずに、二次焼成後には図６で示したような貫通気泡４３が形成されてしまう可能性がある。
もちろん、加圧部により加える圧力をより大きくすれば、下部に位置するタブレットガラス５〜８まで圧力を伝えることは可能であるが、その分加圧能力の高い加圧部を用意する必要があるとともに、高い圧力を掛けて製造するために、装置自体のコスト及び製造時のコストが増大する。従って、できるだけ低い圧力にて、タブレットガラス４〜８の間の隙間を埋められると望ましい。
【００２９】
図４に、実施の形態２で用いるタブレットガラス１４〜１８を、一次焼成のために保持板１等と組み立てたときのものを示す。なお、図４では、図１と同一または相当の部分については同一の符号を付し、説明を省略する。
図４に示す組み立てた状態、及びこの状態にするまでの組立時の流れは、実施の形態１で説明したものと同様であるが、タブレットガラス１４〜１８は、接続ピン３の外径よりも十分大きい内径の貫通孔１４ａ〜１８ａを中心に有しており、具体的には、接続ピン３の外径０．７６ｍｍに対して、貫通孔１４ａ〜１８ａの内径は例えば０．８８ｍｍよりも大きく形成されている。
【００３０】
このようなタブレットガラス１４〜１８を、実施の形態１で示したのと同様に、中間組立体の製造装置の加圧部により加圧しながら、加熱部によって加熱（一次焼成）する。
このとき、貫通孔１４ａの内周面と接続ピン３の外周面とが十分離れていることから、わずかに融解した貫通孔１４ａの内周面が接続ピン３の外周面に食いつくまでに時間を要するので、その間に加圧部による圧力を下部に位置するタブレットガラス１５〜１８まで伝えてタブレットガラス１４〜１８全体を積層方向に圧縮し、隣接するタブレットガラス同士の隙間を確実に埋めることが可能となる。なお、貫通孔１５ａ〜１８ａの内周面と接続ピン３の外周面も十分離れており、同様に貫通孔１５ａ〜１８ａの内周面が接続ピン３の外周面に食いつくまでに時間を要するので、加圧部による圧力はタブレットガラス１８まで確実に伝わる。このときに掛ける圧力は、貫通孔１４ａ〜１８ａの内周面が接続ピン３の外周面に食いついていないことから、食いついているときに比べて、小さくすることができる。
【００３１】
このようにして得られた、タブレットガラス１４〜１８が隣接するもの同士で溶着して一体となったガラスと接続ピン３とから成る中間組立体は、実施の形態１と同様に二次焼成され、ハーメチックシール部品を構成する。
【００３２】
なお、上記では接続ピン３の外径０．７６ｍｍに対して、貫通孔１４ａ〜１８ａの内径を０．８８ｍｍより大きく形成した。しかし、この大小関係では、一次焼成後であっても貫通孔１４ａ〜１８ａの内周面が接続ピン３の外周面に食いつかず、得られた中間組立体において、タブレットガラス１４〜１８で形成されたガラスから、接続ピン３が容易に脱落してしまう可能性がある。このような中間組立体は、取り扱いが煩雑となる。
こうした事態を避けるためには、タブレットガラス１４〜１８のうちの少なくとも１つのタブレットガラスの貫通孔の内径を他のタブレットガラスの貫通孔の内径よりも小さくすればよい。具体的には、少なくとも１つの貫通孔を、例えば０．８８ｍｍ以下の内径とすればよい。
【００３３】
このようにすることで、タブレットガラス１４〜１８の貫通孔１４ａ〜１８ａのうち、内径を小さくした貫通孔の内周面が接続ピン３の外周面に、一次焼成時に食いつく。また、タブレットガラス１４〜１８は、加圧されることで隣接するタブレットガラス同士がその接触面同士で溶着して、一体的なガラスとなる。従って、いずれか１つのタブレットガラスの貫通孔の内周面が接続ピン３の外周面に食いついてさえいれば、中間組立体において、タブレットガラス１４〜１８で形成されたガラスから、接続ピン３が容易に脱落してしまうことはない。
【００３４】
タブレットガラス１４〜１８のなかでも特に、加圧される端部に位置するタブレットガラス１４から最も遠い反対側の端部に位置するタブレットガラス１８の貫通孔１８ａの内径を、他のタブレットガラス１４〜１７の貫通孔１４ａ〜１７ａの内径より小さくすればよい。これは、タブレットガラス１８の下にはタブレットガラスが無く、自身よりも下部に圧力を伝える必要が無いので、加圧しながら加熱する一次焼成時に、タブレットガラス１８の貫通孔１８ａの内周面が接続ピン３の外周面に食いついても、隣接するタブレットガラス間に存在していた隙間を埋めるのに影響が無いからである。また、二次焼成する際に既に、タブレットガラス１８の貫通孔１８ａの位置で中間組立体のガラスと接続ピン３とが接続しているため、二次焼成前後で該ガラスの下端と接続ピン３下端の間隔に大きな変化は無い。従って、二次焼成後に形成されるガラスの下端と接続ピン３下端との位置決め精度を向上させることができる。
【００３５】
また、下部のタブレットガラスまで圧力を効率的に伝えることを考慮しつつ、中間組立体におけるガラスと接続ピン３との接続点をより多く形成することを考えると、図５に示すように下部のタブレットガラスほどその貫通孔の内径が小さくなるようにしてもよい。
図５では、タブレットガラス２４の貫通孔２４ａとタブレットガラス２５の貫通孔２５ａの内径が０．９３ｍｍ、タブレットガラス２６の貫通孔２６ａとタブレットガラス２７の貫通孔２７ａの内径が０．８８ｍｍ、タブレットガラス２８の貫通孔２８ａの内径が０．８３ｍｍであるものを例示している。つまり、タブレットガラス２４〜２８の貫通孔２４ａ〜２８ａの内径は、自身より１つ下にあるタブレットガラスの貫通孔の内径以上であり、かつ、タブレットガラス２４の貫通孔２４ａの内径がタブレットガラス２８の貫通孔２８ａの内径よりも大きくなっているものを示している。
【００３６】
なお、実施の形態２では、タブレットガラス１４〜１８，２４〜２８の貫通孔１４ａ〜１８ａ，２４ａ〜２８ａの内径について、具体的な数値を例示して説明したが、一次焼成時に貫通孔１４ａ〜１８ａ，２４ａ〜２８ａの内周面が接続ピン３に食いつくか否かは、接続ピン３の寸法、タブレットガラス１４〜１８，２４〜２８の素材となるガラスの性質、一次焼成時の温度等で当然変化するので、上記で示した内径の値に限らず、適宜設計してよい。
【００３７】
以上のように、この実施の形態２によれば、実施の形態１で示した効果に加えて、タブレットガラス１４〜１８が有する貫通孔１４ａ〜１８ａの内径を接続ピン３の外径よりも十分大きくすることで、一次焼成時に掛ける圧力を低減することができる。
また更に、タブレットガラス１４〜１８のうち、他のタブレットガラスが有する貫通孔の内径よりも小さい内径の貫通孔を有するタブレットガラスが少なくとも１つ積層することで、一次焼成によりその小さい内径の貫通孔の内周面が接続ピン３の外周面に接続するので、中間組立体としたときに取り扱いが容易となる。
また更に、他のタブレットガラスが有する貫通孔の内径よりも小さい内径の貫通孔１８ａを有するタブレットガラス１８が、タブレットガラス１４〜１８の積層方向の端部に位置することで、一次焼成により貫通孔１８ａの内周面が接続ピン３の外周面に接続するので、二次焼成後に形成されるガラスの端部と接続ピン３端部との位置決め精度を向上させることができる。
また更に、タブレットガラス２４〜２８が有する貫通孔２４ａ〜２８ａの内径を、貫通孔２８ａから貫通孔２４ａへと向かうにつれ同じ又は大きくすることで、一次焼成時にタブレットガラス２４〜２８へ圧力が効率的に伝わる。
【００３８】
なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
【符号の説明】
【００３９】
１  保持板
１ａ  ピン孔
１ｂ  凸部
２  ガイド部材
２ａ  貫通孔
３  接続ピン
４〜８  タブレットガラス
４ａ〜８ａ  貫通孔
９  押し板
９ａ  貫通孔
９ｂ  凸部
１０  中間組立体
１１  ガラス
１２  保持部材
１２ａ  貫通孔
１３ａ  保持板
１３ｂ  ピン孔
１３ｃ  保持板
１３ｄ  貫通孔
１４〜１８  タブレットガラス
１４ａ〜１８ａ  貫通孔
２４〜２８  タブレットガラス
２４ａ〜２８ａ  貫通孔
３３  接続ピン
３４〜３８  タブレットガラス
３９  隙間
４０  中間組立体
４１  保持部材
４２  ガラス
４３  貫通気泡
【図１】
2015115225.tif 000003
【図２】
2015115225.tif 000004
【図３】
2015115225.tif 000005
【図４】
2015115225.tif 000006
【図５】
2015115225.tif 000007
【図６】
2015115225.tif 000008