(57)【要約】【課題】  平板状の部材をロボットに接続されたハンドにより真空吸着して載置台に移載する吸着ハンドにおいて、ＸＹＺのいずれの軸移動及びθ回転が可能で、部材の載置を精度高く行うことができる吸着ハンドを得る。【解決手段】  板状部材を吸着し、所定の位置に移載するロボットの吸着ハンドであって、前記吸着ハンドは、前記ロボットのアームと連結する連結部と、吸着板を含み、前記連結部には、前後に伸縮するピストンと、前記吸着板の回転後の状態を固定する第１のブレーキ機構と、前記吸着板の前後方向の移動後の状態を固定する第２のブレーキ機構とを備え、前記ピストンの先端は、前記吸着板に立設されたピストンプレートの側面近傍に配置され、前記ピストンの伸縮により前記吸着板の回転及び／または移動を調整することを特徴とする。【選択図】  図１
2015160252.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材を吸着し、所定の位置に移載するロボットの吸着ハンドであって、
前記吸着ハンドは、前記ロボットのアームと連結する連結部と、吸着板を含み、
前記連結部には、前後に伸縮するピストンと、
前記吸着板の回転後の状態を固定する第１のブレーキ機構と、
前記吸着板の前後方向の移動後の状態を固定する第２のブレーキ機構とを備え、
前記ピストンの先端は、前記吸着板に立設されたピストンプレートの側面近傍に配置され、
前記ピストンの伸縮により前記吸着板の回転及び／または移動を調整することを特徴とする吸着ハンド。
【請求項２】
前記連結部と前記吸着板は、弾性体で構成された接合部を介して連結していることを特徴とする請求項１記載の吸着ハンド。
【請求項３】
請求項１または２記載の吸着ハンドを備えたことを特徴とするロボット。
【請求項４】
前記吸着ハンドは複数であって、前記複数の吸着ハンドの重心は、前記ロボットのアーム側にあることを特徴とする請求項３記載のロボット。
【請求項５】
前記ロボットは、前記吸着ハンドの姿勢を検出する検出手段に基づいて前記吸着ハンドの回転及び／または移動を制御することを特徴とする請求項３または４記載のロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル用のガラス基板など平面形状を有する平板を吸着パッドにより吸着して移載するロボット等の吸着ハンドに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル用のガラス基板などの電子デバイス向けのガラス基板、製品に用いられる金属性基板、樹脂性の基板など平面形状を有する平板は広く用いられており、その搬送手段についてもさまざまな方法がある。これらの平板の中でも特にその価値が高く、容易に破損する懸念のあるものは、真空吸着により吸着板に吸着させた後に、搬送する方法がとられることが多い。
【０００３】
しかし、吸着板に平板を吸着してから所望の平板搭載位置に移載する際に、平板が所定の位置に正しく搭載されず、搭載後の平板の角度や位置がずれるといった場合がある。この場合には、平板搭載後の装置が正常に動作しなかったり、吸着動作の不具合等が発生することがある。
【０００４】
このような問題に対し、特許文献１には、縦姿勢で積載した複数枚の板状ワークを取り出し、移載する吸着ハンドが開示されている。本発明によれば、伸縮自在な複数の吸着パッドを備えた吸着ハンドを押し当てた時の吸着圧力が所定の圧力に達した時点で、吸着パッドの先端に設けたドグと該ドグを検出する第１のセンサーと第２のセンサーのオンオフ状態によって、板状ワーク面と吸着パッド群からなる吸着面との角度ずれを検出し、吸着した板状ワークの移載後の吸着ハンドの戻り時間中に予め設定した角度だけ補正することにより、効率的に板状ワークの取り出しと移載が可能となる。
【０００５】
また、図１３は、特許文献２に示された直進または回転駆動機構９００の断面図である。直進または回転駆動機構９００は、中空モータ軸９０１を有するモーター９０２とボールねじ軸部９０３とボールスプライン軸部９０４とを有し、中空モーター軸９０１を遊貫する駆動軸９０５と中空モーター軸９０１の一端に連結されてこの中空モーター軸９０１と共に回転し、かつ、駆動軸９０５のボールねじ軸部９０３とネジ結合するボールねじ９０６と、モーター９０２を挟んでボールねじ９０６の反対側に配置され、駆動軸９０５のボールスプライン軸部９０４にスプライン結合するスプライン軸受９０７とこのスプライン軸受９０７とモーター９０２の間に介装され、中空モーター軸９０１に取り付けられたクラッチ９０８とスプライン軸受９０７に取り付けられたブレーキ９０９とで構成される。本装置によれば、唯一のモーターを使用して駆動軸の直進または回転運動を行うことができ、また、モーターの回転運動を正確に駆動軸に伝達して直進または回転運動を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２６２３２５号公報
【特許文献２】特開昭６１−３８８９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の方法では、取出時の煽り角度の補正はできるが、所定の場所への搭載時に、ＸＹ面でのθ角度において、求められる精度を確保できない場合がある。また、近年、液晶基板などでは、人件費の削減、生産数量の向上、発塵源である人の削減等を行うことで歩留まりを向上させる目的で、作業の自動化が求められている。
【０００８】
従来は人の目により検査を実施していた目視検査も画像処理技術を用いて自動検査を実施する場合もある。たとえば、自動検査装置では液晶パネルに表示駆動を行わせて検査を行う為、パネルに電気を導通し実際に液晶を駆動させる必要がある。液晶パネルに電気を入れる為には、１００μｍ×１００μｍ程度の微小な導電パットにコンタクトピンやプローブを接触させる必要があり、非常に精密な搬送、搭載が求められる。
【０００９】
また、特許文献２に記載の方法では、駆動軸のＺ軸（上下）方向及びＸＹ面上のθ角度（回転）の調整は可能であるが、ＸＹ面上の平行方向あるいは斜め方向への移動には対応していない。すなわち、距離を変更できる方向と角度を変更する方向が直交する場合のみ対応可能で、同一平面上の距離とその位置での角度を変更することができない。
【００１０】
本発明は上記のような実情に鑑みてなされたものであり、平板状の部材をロボットに接続されたハンドにより真空吸着して載置台に移載する吸着ハンドにおいて、ＸＹＺのいずれの軸移動及びθ回転が可能で、部材の載置を精度高く行うことができる吸着ハンドを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明に係る吸着ハンドは、板状部材を吸着し、所定の位置に移載するロボットの吸着ハンドであって、前記吸着ハンドは、前記ロボットのアームと連結する連結部と、吸着板を含み、前記連結部には、前後に伸縮するピストンと、前記吸着板の回転後の状態を固定する第１のブレーキ機構と、前記吸着板の前後方向の移動後の状態を固定する第２のブレーキ機構とを備え、前記ピストンの先端は、前記吸着板に立設されたピストンプレートの側面近傍に配置され、前記ピストンの伸縮により、前記吸着板の回転及び／または移動を調整することを特徴とする。
【００１２】
また、前記連結部と前記吸着板は、弾性体で構成された接合部を介して連結していることを特徴としてもよい。
【００１３】
本発明のロボットは、上記のいずれかの吸着ハンドを備えていることを特徴とする。
【００１４】
また、前記吸着ハンドは複数であって、前記複数の吸着ハンドの重心は、前記ロボットのアーム側にあることを特徴としてもよい。
【００１５】
また、前記ロボットは、前記吸着ハンドの姿勢を検出する検出手段に基づいて前記吸着ハンドの回転及び／または移動を制御することを特徴としてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の吸着ハンドによれば、ＸＹＺのいずれの軸移動及びθ回転が可能で、部材の載置を精度高く行うことができる吸着ハンドの実現することができるので、生産性が高くトラブルのない吸着ハンドを得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態１に係る吸着ハンド１００の構造斜視図である。
【図２】ピストン３の伸長に伴い、吸着ハンド１００の吸着板１の角度と位置が変化する状態を説明する平面図である。
【図３】実施形態２に係る吸着ハンド２００の構造斜視図である。
【図４】実施形態３に係る吸着ハンド１００とその周辺の斜視図である。
【図５】実施形態４係るスカラロボット５００とその周辺の構造斜視図である。
【図６】吸着ハンド１００ａ、１００ｂを接続したスカラロボット５００の概略図である。
【図７】液晶パネルＬ１（Ｌ２）の概略図である。
【図８】スカラロボット５００が液晶パネルＬ１、Ｌ２を検査台Ｃに移載する具体的動作を示したものである。
【図９】スカラロボット５００が液晶パネルＬ１、Ｌ２を検査台Ｃに移載する具体的動作を示したものである。
【図１０】スカラロボット５００が液晶パネルＬ１、Ｌ２を検査台Ｃに移載する具体的動作を示したものである。
【図１１】スカラロボット５００が液晶パネルＬ１、Ｌ２を検査台Ｃに移載する具体的動作を示したものである。
【図１２】検査台Ｃ上に配置された検査プレートＰ１、Ｐ２の一例を示したものである。
【図１３】従来の直進または回転駆動機構の構成を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態について図を用いて説明する。以下の説明では同一の部材には同一の符号を付してある。なお、以下の実施形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１９】
＜実施形態１＞
図１は、本発明に係る吸着ハンド１００の構造斜視図である。吸着ハンド１００は、平板状の部材を吸着し、所定の移載台に移載するスカラロボットのハンドの先端部分を構成し、吸着板１、ハンド筺体２、ピストン３、ピストンプレート４、θブレーキプレート５、Ｘブレーキプレート６、θブレーキ７、Ｘブレーキ８、接合部９より構成される。
【００２０】
吸着板１は、吸着する板状部材の面側に面平行となるように設けたプレート状の部材であり、板状部材を吸着するための吸引管部（図示せず）を備えている。また、板状部材を吸着する面と反対の面には、ピストンプレート４と吸着板１の中心に対向した内周をもつ円弧形状のθブレーキプレート５と平板をＬ字に折り曲げた形状の一端を吸着板１に固定したＸブレーキプレート６が立設されている。
【００２１】
ハンド筐体２には、その先端がピストンプレート４の側面近傍になるように配置された前後方向に伸縮可能なピストン３、θブレーキプレート５の上端の一部を挟持しθブレーキプレートを固定可能なθブレーキ７、Ｘブレーキプレート５の上端の一部を挟持しＸブレーキプレート６を固定可能なＸブレーキ８が設けられている。また、ハンド筺体２は、接合部９を介して吸着板１の吸着面とは反対の面と連結されており、接合部９と連結されていない方の面は、スカラロボットのアームと連結される。
【００２２】
接合部９には、金属や樹脂などの剛性の高い材料を用いることも可能であるが、所定の位置まで吸着板１の角度と距離を精度よく変動させるためには、ある程度柔らかさを持つゴムやバネなどの弾性材料が適している。ピストン３に求められる駆動力が非常に大きくなり、接合部９の大きさが小さい場合には、接合部９の弾性変形の許容量を超えた力が加わり易く、破断する恐れがあるためである。Ｘブレーキ８やθブレーキ５が作動しない状態で吸着ハンドを使用する場合は、接合部９が弾性体であれば吸着板１に吸着するワークの形状が一定でなくても、接合部９の弾性範囲内であれば、ワークに沿って吸着板１の位置と角度を変化させることもできる。
【００２３】
ピストン３とピストンプレート４は吸着板１の厚み方向の中心軸に対する共通の法線上に配置されている。また、ピストン３の長手方向とピストンプレート４の平面とのなす角度は鋭角となるように配置されている。
【００２４】
図２は、ピストン３の伸長に伴い、吸着ハンド１００の吸着板１の角度と位置が変化する状態を説明する平面図である。図において、ピストン３は紙面上向きに配置され、それに対応してピストンプレート４が配置されている例が示されているが、同様に下向きであっても構わない。また、上向きと下向き両方にピストンを備えても構わない。上下両方の向きにピストンを備えた場合は、吸着板１の回転の向きを左右どちらにも変更できるので、いかなる角度のずれにも対応できる。ピストン３の配置に応じてピストンプレート４が適宜配置される。
【００２５】
図２（ａ）は、吸着板１が平板状の部材を吸引し、保持した初期状態を示している。ここで、吸着板１は平板状の部材の移載位置に対して、吸着面がほぼ水平でほぼ垂直真上の状態にあった場合で説明する。ピストン３は収縮した状態でその先端をピストンプレート４の側面に接触させている。あるいは、ピストン３は収縮した状態でその先端をピストンプレート４の近傍に配置している。また、θブレーキ７は、θブレーキプレート５の上端の一部を挟持し、θブレーキプレート５をスライド可能な状態で半固定している。同様に、Ｘブレーキプレート８は、Ｘブレーキプレート５の上端の一部を挟持し、Ｘブレーキプレート８をスライド可能な状態で半固定している。
【００２６】
図２（ｂ）は、吸着板１が平板状の部材の移載位置に角度を合わせる状態を示している。ピストン３を駆動して伸長し、ピストン３の先端でピストンプレート４を押すと、ピストン３の先端はピストンプレート４の側面に接しながら移動する。このとき、吸着板１に対し、ピストン３が伸長する方向に押し出す力と回転の力が同時に発生する。この回転の力と押し出す力は、ピストン３とピストンプレート４の配置や角度により変化する。ピストン３の伸長量を増やすと吸着板１の回転角度がより大きくなる。ピストン３の伸長により、吸着板１の目的の回転角度が得られたら、θブレーキ７を動作させて、θブレーキプレート５の上端部分を挟んで吸着板１の角度を固定する。θブレーキプレート５の固定方法としては、円弧板状のθブレーキプレート５を挟み込むようにブレーキを掛ける方法が簡便であるが、磁石を用いたり、θブレーキプレート５に穴をあけて、その穴にピンを差し込む方法等でも構わない。
【００２７】
図２（ｃ）は、吸着板１が平板状の部材の移載位置に水平位置を合わせる状態を示している。図２（ｂ）で角度の変化が生じない様にθブレーキ７を掛けたため、更にピストン３の伸長を継続すると、吸着板１にはピストン３の伸長方向とほぼ平行に直線的にその位置を変化させる力が加わる。なお、θブレーキ７の根元部分には、ピストン３の回転中は稼働せず、伸長方向と平行に稼働できるスライダー２３または溝を設ける。一方、ピストン３や全体の大きさに対して、微細な変動しか求めない場合には、接合部９を構成する材料の弾性変形を用いても良い。
【００２８】
吸着板１が目的の位置に来たら、Ｘブレーキ８を動作させ固定する。Ｘブレーキプレート６は、吸着板１の角度変化に対応出来る様に、例えば図１に示すように、Ｌ字状に曲げた一方の面の部分を挟み込む構造が望ましいが、角度の変動量が小さく、構成する材料の弾性変形範囲内で対応できる場合には、Ｌ字曲げ形状ではなく、平面形状のＸブレーキプレートを用いてもかまわない。平面形状の場合は、Ｘブレーキプレートの上端部分を上から挟みこむＸブレーキとすればよい。
【００２９】
以上のような方法によって、吸着板１に吸着された被搬送物をその角度と一方向のポジションを変更し、目的の移載場所に正確に載置することが可能となる。
【００３０】
＜実施形態２＞
次に、実施形態２について説明する。本実施形態では、ハンド筺体２と吸着板１の間の接合部９がない例を説明する。
【００３１】
図３は、本実施形態に係る吸着ハンド２００の構造斜視図である。本実施形態においては、吸着板１とハンド筺体２の接合がない分、これを補うためにピストン３とピストンプレート４を可動式ジョイントで締結する必要がある。また、ピストン３の伸長に伴う吸着板１の移動がやや不安定となることがあるため、θブレーキ７の根元部分には、ピストン３の伸長方向と平行に稼働できるスライダー２３や溝が形成されていることが望ましい。
【００３２】
以上の方法では、吸着板１を載置台上に載置してある板状部材の上に置いた状態で、ピストン３とθブレーキ７、Ｘブレーキ８を動作させれば、接合部９がない場合でも、角度と距離を変更させることが可能である。
【００３３】
なお、板状部材の角度と距離を変更する前に、板状部材を吸着して所望の位置に移動したい場合は、θブレーキ７、Ｘブレーキ８は、移動中は作動した状態（ブレーキがかかった状態）であり、且つ、吸着板１と吸着した板状部材の重量に耐えられるような強度を持たせることが必要である。
【００３４】
本実施形態によれば、接合部９がない分、ピストン３の伸長による稼働がスムーズでありピストン３が小型のものでも十分適応できる。ただし、大型の部材の移載の場合は不安定な状態となるためあまり適さず、小型の部材の移載に適している。
【００３５】
＜実施形態３＞
次に、実施形態３について説明する。図４は本実施形態に係る吸着ハンド１００とその周辺の斜視図である。本実施形態においては、上記実施形態１で用いた吸着ハンド１００と同じ物を用いる。
【００３６】
図４に示すように、吸着板１の移動距離を検知する距離センサ１０や吸着板１の回転角度を検知する角度センサ１１を用いれば、Ｘブレーキ８とθブレーキ７の動作タイミングをコントロール可能である。このように、センサを用いることで容易に所定の角度や距離に設定することができる。距離センサ１０や角度センサ１１は吸着板１やハンド筐体２に設置することも可能であるが、配線が多数必要になり、ハンドを動作させるロボットに負荷がかかる為、通常はロボット設置場所の壁や床などに設置することが多い。
【００３７】
ワークとして液晶基板を用いる場合、センサを用いることで精密にワークの姿勢が制御できるので、検査用のプローブと液晶基板の位置合わせが容易になる。
【００３８】
＜実施形態４＞
次に、実施形態４について説明する。本実施形態では、２台の吸着ハンドを備えたスカラロボット５００を用いて、ステージＳに載置された２枚の液晶パネルＬ１、Ｌ２を検査台Ｃに移載する例を説明する。
【００３９】
図５は、本実施形態に係るスカラロボット５００とその周辺の構造斜視図である。スカラロボット５００は、ロボット本体５０１、アーム５０２、５０３、軸５０４、Ｉ字プレート５０５、及び吸着ハンド１００ａ、１００ｂを備える。
【００４０】
アーム５０３は、その一端がロボット本体５０１に水平面に対向して回転可能に接続され、他端にはアーム５０２が、水平面に対向して回転可能に接続されている。アーム５０２のアーム５０３と接続されない端部には水平面に対して垂直に軸５０４が貫通して設けられ、軸５０４の下端にはＩ字プレート５０５が連結されている。軸５０４の下端はＩ字プレート５０５のほぼ中央で連結されている。Ｉ字プレート５０５の両端の下面には、吸着ハンド１００ａ、１００ｂのハンド筺体２ａ、２ｂが接合されている。
【００４１】
図６は、吸着ハンド１００ａ、１００ｂを接続したスカラロボット５００の概略図である。図６（ａ）は、Ｉ字プレート５０５に吸着ハンド１００ａ、１００ｂを接続した例であり、図６（ｂ）はＬ字プレート５０６に吸着ハンド１００ａ、１００ｂを接続した例である。
【００４２】
図６（ｂ）に示す吸着ハンド１００ａ、１００ｂを接続するＬ字プレート５０６は、スカラロボット５００のアーム長を長くする働きがあるが、重心位置がスカラロボット５００から前方にずれてしまうため、スカラロボット５００の動作速度を制限してしまう。その為、図６（ａ）に示すようなスカラロボット５００の回転軸である軸５０４近傍、すなわちスカラロボット５００のアーム側に重心をもつＩ字プレート５０５を用いることにより、スカラロボット５００の動作速度は向上し、生産性を高められる。
【００４３】
図７は、移載対象となる液晶パネルＬ１（Ｌ２）の概略図である。液晶パネルＬ１（Ｌ２）には、コンタクト部２０が形成されている。液晶パネルＬ１（Ｌ２）は、吸着ハンド１００ａ（１００ｂ）により吸着され、検査台Ｃに移載される。検査台Ｃには電気接続端子２１が配置された検査プレートＰが配置されており、この電気接続端子２１に液晶パネルＬ１（Ｌ２）のコンタクト部２０を接触させ、液晶ＴＦＴ素子を駆動させる検査を実施することができる。
【００４４】
図８〜図１１は、スカラロボット５００がステージＳに載置された２枚の液晶パネルＬ１、Ｌ２を検査台Ｃに移載する具体的動作の一例を示したものである。スカラロボット５００は、通常４軸が配置され、搬送する移載前液晶パネルＬ１、Ｌ２の姿勢をストローク範囲内でＸＹＺθの４自由度で制御可能である。
【００４５】
まず、図８（ａ）に示すスカラロボット５００の初期状態から図８（ｂ）に示すようにステージＳに向けてアーム５０３が図面において反時計回りに回転する。次に、図９（ｃ）に示すように、吸着ハンド１００ａが液晶パネルＬ１の、また吸着ハンド１００ｂが液晶パネルＬ２のほぼ上部になるようにアーム５０２が図面において反時計回りに回転する。さらに、図９（ｄ）に示すように、吸着ハンド１００ａが液晶パネルＬ１の、また吸着ハンド１００ｂが液晶パネルＬ２の上部に来るように軸５０４が回転した後、軸５０４が下降し、吸着ハンド１００ａが液晶パネルＬ１に、また吸着ハンド１００ｂが液晶パネルＬ２にそれぞれの吸着板１を吸着させた状態で軸５０４が上昇する。
【００４６】
次に、図１０（ｅ）に示すように、軸５０４及びアーム５０２が逆回転し、図１０（ｆ）に示すように一旦初期状態にもどった後、図１１（ｇ）に示すようにアーム５０３が検査台Ｃに向けて時計回りに回転する。その後、図１１（ｈ）に示すように、液晶パネルＬ１を吸着した吸着ハンド１００ａと液晶パネルＬ２を吸着した吸着ハンド１００ｂがそれぞれに対応した検査プレートＰに重ねられるように、アーム５０２及び軸５０４が回転し、その後、軸５０４が下降する。
【００４７】
図１２は、検査台Ｃ上に配置された検査プレートＰ１、Ｐ２の一例を示したものである。通常、検査プレートは、検査プレートＰ１に示すように、検査台Ｃの側面に対して平行に配置されている。この場合、上記図８〜１１を用いて説明した方法で液晶パネルＬを検査プレートＰにセットすることができる。ここで、液晶パネルＬのコンタクト部２０の形状は通常長方形である場合が多い。昨今の液晶パネルの小型化と高密度化の影響で、コンタクト部２０の横幅は１００μｍ程度と非常に狭くなっており、電気接続端子２１との位置合わせが非常に困難となっている。また、生産性を向上させる為、複数の液晶パネルを同時に検査することも求められている。その為、ステージＳには液晶パネルＬの姿勢を一定に保つアライメントシステムを有する場合もある。
【００４８】
しかし、検査台Ｃの検査プレートが図１２の検査プレートＰ２に示すように角度誤差αを持つようになった場合、スカラロボット５００のＸＹＺθの４自由度に基づく動作だけでは、適切に検査プレートＰ２に液晶パネルＬをセットすることができない。角度誤差αの発生する原因は、電気接続端子２１の交換などのメンテナンスにより頻繁に発生し、その都度、検査台Ｃ上の検査プレートＰの角度を正常に戻すことは困難である。
【００４９】
そこで、上記実施形態１で示した吸着ハンド１００を用いることで、角度誤差に合わせて姿勢を調整することができ、液晶パネルＬを正しく検査プレートＰにセットすることができる。また、本実施形態で示すように吸着ハンド１００が複数連結されている場合においても、それぞれの吸着ハンド１００が単独で稼働できるので、複数の検査を一度に行う場合でも、それぞれの角度後差に合わせて、個別に姿勢を調整することができる。
【００５０】
以上それぞれの実施例で説明したとおり、本発明によれば、部材のＸＹＺのいずれの軸移動及びθ回転が可能で、部材の載置を精度高く行うことができる吸着ハンドを実現することができるので、生産性が高くトラブルのない吸着ハンドを得ることが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、液晶パネル用のガラス基板など平面形状を有する平板を吸着パッドにより吸着して移載するロボット等の吸着ハンドに好適に利用できる。
【符号の説明】
【００５２】
１  吸着板
２  ハンド筺体
３  ピストン
４  ピストンプレート
５  θブレーキプレート
６  Ｘブレーキプレート
７  θブレーキ
８  Ｘブレーキプレート
９  接合部
１０  距離センサー
１１  角度センサー
２０  コンタクト部
２１  電気接続端子
１００、２００  吸着ハンド
５００  スカラロボット
【図１】
2015160252.tif 000003
【図２】
2015160252.tif 000004
【図３】
2015160252.tif 000005
【図４】
2015160252.tif 000006
【図５】
2015160252.tif 000007
【図６】
2015160252.tif 000008
【図７】
2015160252.tif 000009
【図８】
2015160252.tif 000010
【図９】
2015160252.tif 000011
【図１０】
2015160252.tif 000012
【図１１】
2015160252.tif 000013
【図１２】
2015160252.tif 000014
【図１３】
2015160252.tif 000015