(57)【要約】【課題】測定に要する時間の短縮化を図り、測定精度に対する信頼性を高めることができる、電子部品の電気特性測定装置を提供することである。【解決手段】電子部品の一方の外部電極に電気的に接続され、測定器Ｍに接続される第１の測定端子１６、電子部品の他方の外部電極に当接可能となり、測定器Ｍに接続される第２の測定端子４０、電子部品が保持され、第１の測定端子１６と電気的に接続される保持手段５０、第２の測定端子４０と対向させる位置に保持手段５０を搬送させる搬送手段、電子部品の他方の外部電極を第２の測定端子４０と当接させるように保持手段５０を第２の測定端子４０に向かって相対移動させる移動手段、第１の測定端子１６と保持手段５０を電気的に接続し、保持手段５０に連動して保持手段５０の移動方向に移動可能となる中継部材８６を含む、電子部品の電気特性測定装置１０である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する一方主面側および他方主面側の少なくとも一部に、一方の外部電極および他方の外部電極がそれぞれ形成されたチップ型の電子部品の電気的特性を測定する電子部品の電気特性測定装置であって、
前記一方の外部電極に電気的に接続され、且つ、前記電気的特性を測定する測定器に接続される第１の測定端子、
前記他方の外部電極に当接可能となり、且つ、前記測定器に接続される第２の測定端子、
前記電子部品を保持すると共に前記第１の測定端子と電気的に接続可能となる保持手段、
前記保持手段で保持された前記電子部品を前記第２の測定端子と対向させる位置に、前記保持手段を搬送させる搬送手段、
前記電子部品の前記他方の外部電極を前記第２の測定端子と当接させるように、前記保持手段を前記第２の測定端子に向かって相対移動させる移動手段、および
前記移動手段で移動する保持手段に連動して前記保持手段の移動方向に移動可能となり、前記第１の測定端子と前記保持手段とを電気的に接続させる中継部材を含むことを特徴とする、電子部品の電気特性測定装置。
【請求項２】
前記保持手段は、前記移動手段の移動方向に向けて付勢する緩衝機構をさらに含み、
前記第１の測定端子は、前記保持手段の移動方向とは逆方向に向けて付勢させる他の緩衝機構をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の電子部品の電気特性測定装置。
【請求項３】
前記保持手段は、前記電子部品の一方主面を吸着して保持することが可能な吸着ノズル部を含み、前記第１の測定端子は、複数のプローブを含み、
前記搬送手段で前記吸着ノズル部を前記第２の測定端子と対向する位置に搬送し、前記電子部品の前記他方の外部電極を前記第２の測定端子と当接させるように前記移動手段で前記電子部品を移動させ、前記複数のプローブと前記中継部材とを当接させた状態で、前記電子部品の電気的特性を測定するようにしたことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の電子部品の電気特性測定装置。
【請求項４】
前記第２の測定端子の面には、シート状の異方性導電ゴムが配設されることを特徴とする、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の電子部品の電気特性測定装置。
【請求項５】
前記電子部品の電気的特性を４端子測定法により測定するように構成されていることを特徴とする、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の電子部品の電気特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の電気特性測定装置に関し、例えば、抵抗・サーミスタ・コンデンサ・コイル等のチップ型の電子部品の電極に測定端子を当接させることにより電気的特性を測定するようにした電気特性測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
チップ部品の電気的特性を測定して良品を選別するようにした従来の電気特性測定装置の一例としては、例えば、測定ステージから半導体チップの裏面電極と接触する複数の下側プローブ針と、チップ部品の表面電極に接触する上下可動な複数の上側プローブ針とを備え、下側プローブ針及び上側プローブ針を測定器に接続し、下側プローブ針と上側プローブ針との間でチップ部品を介して通電しチップ部品の電気特性を測定することを特徴とするチップ部品の電気特性測定装置がある（例えば、特許文献１参照。）。この電気特性測定装置では、測定のため上側プローブ針を上下動可能に駆動させる昇降機構と、測定ステージ上のチップ部品を交換していく搬送機構を有している。
【０００３】
この電気特性測定装置では、先ず、搬送機構によりチップ部品を、複数の小孔を設けた絶縁物から成る測定ステージ上の所定位置に載置する。このとき、裏面電極は、測定ステージに設けられた小孔から所定の高さ突出した４本の下側プローブ針の先端で支持される格好になる。次に、昇降機構部により上側プローブ針を下降させ表面電極に所定の圧力で接触させる。このとき、この押圧により下側プローブ針の先端と裏面電極とが接触される。このようにして、上下のプローブ針に挟まれた状態でチップ部品の電気特性を測定する。測定が完了したら、昇降機構部により上側プローブ針を上昇させ表面電極から離間させ、搬送機構により測定が完了したチップ部品を収納トレイに収納し、次のチップ部品を測定ステージの上に載置する。そして、順次、この動作が繰り返される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１８５７０１号公報（図１，図２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、この従来の電気特性測定装置では、チップ部品を測定ステージに配置するための機構（ここでは、単に、「搬送機構」と言う。）と、当該チップ部品の電気特性を測定するために、上側プローブ針を下降及び上昇させてチップ部品の表面電極と当接及び離間させる昇降機構が別々の機構となっている。そのため、搬送機構でチップ部品を測定ステージに配置した後に上側プローブ針を昇降させる必要がある。すなわち、チップ部品の搬送機構と、上側プローブ針の昇降とが、別々に実施されるため、チップ部品の電気特性の測定に要する時間が長くなるという不具合があった。
また、この従来の電気特性測定装置では、上側プローブ針および下側プローブ針を電子部品の表面電極および裏面電極に、それぞれ、直接、接触させないと測定ができないので、チップ部品の寸法誤差，外部電極の電極ピッチおよび電極幅のばらつきが生じると、測定ステージ上に搬送装置でチップ部品を配置した場合、そして、測定ステージ上のチップ部品を順次交換する場合、位置ずれが生じて、上側プローブ針および下側プローブ針とチップ部品の電極との接触精度を十分に確保することが困難となる虞があった。そのため、上側プローブ針とチップ部品、下側プローブ針とチップ部品の接続不良が発生し、測定精度に対する信頼性の低下を招く虞があった。
【０００６】
それゆえに、本発明の主たる目的は、測定に要する時間の短縮化を図り、測定精度に対する信頼性を高めることができる、電子部品の電気特性測定装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る本発明は、互いに対向する一方主面側および他方主面側の少なくとも一部に、一方の外部電極および他方の外部電極がそれぞれ形成されたチップ型の電子部品の電気的特性を測定する電子部品の電気特性測定装置であって、一方の外部電極に電気的に接続され、且つ、電気的特性を測定する測定器に接続される第１の測定端子と、他方の外部電極に当接可能となり、且つ、測定器に接続される第２の測定端子と、電子部品を保持すると共に第１の測定端子と電気的に接続可能となる保持手段と、保持手段で保持された電子部品を第２の測定端子と対向させる位置に、保持手段を搬送させる搬送手段と、電子部品の他方の外部電極を第２の測定端子と当接させるように、保持手段を第２の測定端子に向かって相対移動させる移動手段と、移動手段で移動する保持手段に連動して保持手段の移動方向に移動可能となり、第１の測定端子および保持手段を電気的に接続させる中継部材とを含むことを特徴とする、電子部品の電気特性測定装置である。
請求項１に係る本発明では、上記した構成を有することにより、電子部品を測定ステージに配置するための機構が、当該電子部品の電気特性を測定するための機構を兼ね備えた構成となっている。本発明では、電子部品を測定ステージに配置するための機構が、保持手段で保持された電子部品を第２の測定端子と対向させる位置に搬送させる搬送手段と、電子部品の他方の外部電極を第２の測定端子と当接させるように保持手段を第２の測定端子に向かって相対移動させる移動手段とで構成されている。つまり、測定ステージと保持手段とは、電子部品の他方の外部電極と第２の測定端子とを当接させる方向に相対的に往復動可能となる。この場合、保持手段が移動手段により第２の測定端子に向かって移動されると、それに連動して、中継部材が保持手段の移動方向に移動し、中継部材および保持手段を介して、第１の測定端子と電子部品の一方の外部電極とが電気的に接続されるため、電子部品の電気的特性が測定される。
すなわち、電子部品が保持される保持手段を搬送手段により測定ステージ１４の第２の測定端子４０の上方に対向するように配置させ、さらに、当該電子部品を移動手段により第２の測定端子に向かって移動させ、当該電子部品の他方の外部電極を第２の測定端子に当接させることにより、第１の測定端子と電子部品の一方の外部電極とが電気的に接続され、且つ、第２の測定端子と電子部品の他方の外部電極とが電気的に接続されて、電子部品の電気的特性が測定されるものとなる。したがって、本発明では、たとえば特許文献１に示すような先行技術と比べて、第１の測定端子の昇降機構が不要となるため、電気特性の測定に要する時間の短縮化を実現することが可能となっている。
また、本発明では、電子部品を搬送手段で第２の測定端子に対向させる位置に搬送させるとき、移動手段で電子部品を第２の測定端子に当接させて電子部品の電気的特性を測定するとき、電子部品の電気的特性を測定した後、当該電子部品を次工程へ再搬送するときにおいて、それぞれ、保持手段によって電子部品を保持した状態で維持することが可能となり、電子部品の位置ずれを防止することができる。そのため、電子部品の位置ずれによる接続不良の発生を防止し、測定精度に対する信頼性が向上される。したがって、電子部品の位置ずれを修正するための再位置決め機構等を別途設ける必要がない。
さらに、本発明では、第１の測定端子と中継部材とが当接されることを介して、第１の測定端子と保持手段に保持された電子部品の一方の外部電極とが、電気的に接続されるので、第１の測定端子に対する中継部材の当接部位の範囲を十分に確保することが可能となる。そのため、接続ミスによる測定信頼性の劣化を防止することが可能となり、例えば、電子部品に、寸法誤差、外部電極の電極ピッチや電極幅のばらつきがある場合でも、たとえば上記特許文献１に示す先行技術と比べて、第１の測定端子と電子部品の一方の外部電極、第２の測定端子と電子部品の他方の外部電極の当接精度、延いては、それらの電気的接続精度を高め、測定精度に対する信頼性を向上させることが可能となっている。
また、本発明では、第１の測定端子および第２の測定端子が、測定ステージ側に配置することが可能なので、電子部品の電気特性を測定する測定器に接続するリード線等の配線を当該測定ステージ側に集中させ、当該配線長さを短くすることが可能となっている。この場合、保持手段側に配置される搬送手段および移動手段の配線を簡素化することが可能となるため、電子部品が保持された保持手段の搬送および移動による当該搬送手段および移動手段の配線の劣化も防止することが可能となる。
請求項２に係る本発明は、請求項１に係る発明に従属する発明であって、保持手段は、移動手段の移動方向に向けて付勢する緩衝機構をさらに含み、第１の測定端子は、保持手段の移動方向とは逆方向に向けて付勢させる他の緩衝機構をさらに含むことを特徴とする、電子部品の電気特性測定装置である。
請求項２に係る本発明は、上記した構成を有することにより、電子部品が第２の測定端子に当接する際の電子部品に作用する衝撃力を緩衝機構で吸収して小さくすることができ、よって、電子部品へのダメージ（外観上のキズおよび内部クラック等）の発生を防止することができる。この場合、第１の測定端子の他の緩衝機構は、当該緩衝機構の緩衝力を調整することによって、測定ステージに配置される電子部品の厚みに対応することが可能となる。
請求項３に係る本発明は、請求項１または請求項２に係る発明に従属する発明であって、保持手段は、電子部品の一方主面を吸着して保持することが可能な吸着ノズル部を含み、第１の測定端子は、複数のプローブを含み、搬送手段で吸着ノズル部を第２の測定端子と対向する位置に搬送し、電子部品の他方の外部電極を第２の測定端子と当接させるように移動手段で電子部品を移動させ、複数のプローブと中継部材とを当接させた状態で、電子部品の電気的特性を測定するようにしたことを特徴とする、電子部品の電気特性測定装置である。
請求項３に係る本発明では、吸着ノズル部により電子部品の一方主面が吸引されて吸着ノズル部に電子部品が保持される。電子部品を吸着した吸着ノズル部は、搬送手段により測定ステージに搬送され、第２の測定端子と対向する位置に搬送される。電子部品を吸着した吸着ノズル部は、移動手段によって第２の測定端子に向かって移動され、電子部品の他方の外部電極と第２の測定端子とが当接される。このとき、中継部材は、吸着ノズル部が移動手段により第２の測定端子に向かって移動するのに連動して、吸着ノズル部の移動方向に移動するため、中継部材は、複数のプローブと当接した状態となる。すなわち、複数のプローブと電子部品の一方の外部電極とが、中継部材および吸着ノズル部を介して、電気的に接続され、且つ、電子部品の他方の外部電極と第２の測定端子とが当接されることによって、電子部品の電気的特性が測定される。請求項３に係る発明は、上記した構成を有することにより、請求項１に係る発明と同様の効果を奏するものとなっている。
請求項４に係る本発明は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に係る本発明に従属する発明であって、第２の測定端子の面には、シート状の異方性導電ゴムが配設されることを特徴とする、電子部品の電気特性測定装置である。
請求項４に係る本発明は、上記した構成を有することにより、シート状の異方性導電ゴムに圧力を加えると、圧力を加えた方向にのみ導通状態となる。したがって、電子部品の一方主面側から電子部品および第２の測定端子に圧力を加えることにより、電子部品および第２の測定端子間で、シート状の異方性導電ゴムが導通状態となる。それにより、電子部品の他方主面に形成された他方の外部電極と第２の測定端子とが、電気的に接続される。
本発明では、電子部品の小型化により一方の外部電極および他方の外部電極間の距離が小さくなっていたり、当該外部電極の形状のばらつきがあっても、シート状の異方性導電ゴムの弾性によって、当該シート状の異方性導電ゴムの厚み方向の少々の形状ばらつきを吸収することができる。また、電子部品が例えば部分的に第２の測定端子に斜めに当接しても、あるいは、第２の測定端子が少々傾いていても、当該シート状の異方性導電ゴムの弾性によって、電子部品ないし第２の測定端子の傾きを吸収することができるため、測定信頼性の劣化も防止する。
そのため、本発明では、電子部品の外部電極と第２の測定端子との接続不良を防ぐことができ、正確に電子部品の電気的特性を測定することができる。さらに、シート状の異方性導電ゴムを介して電子部品の外部電極と第２の測定端子が当接するため、異方性導電ゴムの弾性作用が緩衝作用としても働き、たとえば特許文献１に示すような先行技術と比べて、電子部品が破損しにくい。
請求項５に係る本発明は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に係る本発明に従属する発明であって、電子部品の電気的特性を４端子測定法により測定するように構成されていることを特徴とする、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の電子部品の電気特性測定装置。
請求項５に係る本発明は、上記した構成を有することにより、４端子測定法を用いることにより接触抵抗による悪影響を排除することができ、高精度な測定が可能となる。すなわち、電子部品に４端子当接させることで保持手段の電子部品を保持する部位の抵抗成分・第２の側測定端子の抵抗成分を排除し、電子部品に対して高精度に抵抗値を測定することが可能となる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、測定に要する時間の短縮化を図り、測定精度に対する信頼性を高めることができる、電子部品の電気特性測定装置を得ることができる。
【０００９】
この発明の上述の目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係る電子部品の電気特性測定装置の一実施の形態を示す概略正面図である。
【図２】図１の要部を示す説明図であって、図２の（Ａ）は、測定ステージの一例を示す要部平面図であり、図２の（Ｂ）は、その正面図である。
【図３】第１の測定端子の一例を示す一部断面図である。
【図４】保持手段の一例を示す要部斜視図である。
【図５】保持手段の他の例を示す要部斜視図である。
【図６】保持手段のさらに他の例を示す要部斜視図である。
【図７】図６の要部を示す拡大斜視図である。
【図８】ノズル本体の一例を示す説明図であって、図８の（Ａ）は、その要部断面図であり、図８の（Ｂ）は、図８の（Ａ）のＸ−Ｘ線における拡大端面図であり、図８の（Ｃ）は、ノズル本体の吸着部に電子部品を吸着させた状態の一例を示す要部断面図である。
【図９】ノズル本体の他の例を示す説明図であって、図９の（Ａ）は、その要部断面図であり、図９の（Ｂ）は、図９の（Ａ）のＸ−Ｘ線における拡大端面図であり、図９の（Ｃ）は、図９の（Ｂ）に示すノズル本体の変形例の一例を示す要部拡大端面図である。
【図１０】本発明に係る電子部品の電気特性測定装置に適用され得る測定ステージの他の例を示す要部断面図である。
【図１１】本発明に係る電子部品の電気特性測定装置に適用され得る測定ステージのさらに他の例を示す要部断面図である。
【図１２】本発明に係る電子部品の電気特性測定装置の他の例を示す説明図であって、図１２の（Ａ）は、その要部平面図であり、図１２の（Ｂ）は、図１２の（Ａ）の正面図である。
【図１３】本発明に係る電子部品の電気特性測定装置のさらに他の例を示す要部正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１は、本発明に係る電子部品の電気特性測定装置の一実施の形態を示す概略正面図である。図２は、図１の要部を示す説明図であって、図２の（Ａ）は、測定ステージの一例を示す要部平面図であり、図２の（Ｂ）は、その正面図である。
この電子部品の電気特性測定装置１０（以下、単に、「測定装置１０」と言う。）は、互いに対向する一方主面側および他方主面側の少なくとも一部に、一方の外部電極および他方の外部電極がそれぞれ形成された、例えば、抵抗・サーミスタ・コンデンサ・コイル等のチップ型の電子部品の電気的特性を測定する電子部品の電気特性測定装置である。この実施の形態では、例えば、電子部品は、その一辺が５０ｍｍ以下の四角形板状または直径が５０ｍｍ以下の円板状に形成されている。電子部品の形状は、矩形板状および円板状に限定されるものではなく、互いに対向する一方主面側および他方主面側の少なくとも一部に、一方の外部電極および他方の外部電極がそれぞれ形成されていれば、種々の形状の電子部品が測定対象物となり得る。
【００１２】
測定装置１０は、床面に設置されるベース（図示せず）を備え、ベースの上には、図１に示すように、測定台１２が設けられている。測定台１２の上面には、電子部品（図１，図２では図示せず）が供給・配置され、当該電子部品の電気的特性を測定する測定ステージ１４が配設されている。測定ステージ１４は、図２に示すように、たとえば平面視矩形板状の絶縁材料からなるテーブルで形成されている。測定ステージ１４には、第１の測定端子１６が配置されている。第１の測定端子１６は、たとえば２つのコンタクトプローブ１８で構成されている。このコンタクトプローブ１８は、図３に示すように、たとえば圧縮スプリング２８を内蔵させてなる内バネタイプのコンタクトプローブである。
【００１３】
コンタクトプローブ１８は、プローブ本体２２を含み、プローブ本体２２は、その一側に被測定対象部位（後述する中継部材８６のパターン電極９０ａ，９０ｂ）への接触部２４を有するプランジャー部２６と、このプランジャー部２６の他側に形成されているストッパー部（図示せず）を介してプランジャー部２６を抜脱不能に収納保持する有底筒形のバレル部３２とで形成されている。接触部２４は、その先端がたとえば球冠状に形成され、被測定対象部位と点接触して当接されるように形成されている。
【００１４】
プランジャー部２６の他側に設けられているストッパー部を収納保持するバレル部３２は、内蔵させた導電性を有する圧縮スプリング２８によりプランジャー部２６を押し出し方向に押圧付勢しつつ、その周面に形成されている凹陥部３０にストッパー部を係合させて抜脱不能としている。そのため、プランジャー部２６は、ストッパー部が凹陥部３０と係合関係を維持しつつも、常時、バレル部３２から突出する方向へと付勢されるものとなる。プローブ本体２２は、プランジャー部２６とバレル部３２とにおける相互の対面部位の少なくともいずれか一方の側に絶縁層（図示せず）を設けて形成されている。
【００１５】
圧縮スプリング２８は、その長さ方向の一端部がストッパー部（図示せず）に固着され、その長さ方向の他端部がバレル部３２の内底部３４に固着されている。プローブ本体２２は、バレル部３２内の圧縮スプリング２８を介することで、プランジャー部２６とバレル部３２との間に電気的経路を形成している。圧縮スプリング２８自体は、導電性合金材等の抵抗率の低い金属線を用いて形成されており、必要により、さらにその表面に金（Ａｕ）メッキを施すなどして抵抗値を最小限に押えて形成したものを用いることもできる。
【００１６】
このコンタクトプローブ１８では、プランジャー部２６の接触端２４が被測定対象部位に接触した際、圧縮スプリング２８の押圧付勢力に抗してプランジャー部２６のストッパー部がバレル部３２内を後退するので、圧縮スプリング２８の一端部の側に座屈を生じさせることになる。この座屈は、プランジャー部２６におけるストッパー部の側をバレル部３２の内壁面の側に押し当てることになり、プランジャー部２６はバレル部３２の側と接触するものとなる。この場合、プランジャー部２６とバレル部３２との対面部位における少なくともいずれか一方には、絶縁層が形成されているので、プランジャー部２６とバレル部３２とが仮に接触することがあっても、相互間に電気的経路が形成されることはない。
【００１７】
したがって、プローブ本体２２では、その電気的経路がプランジャー部２６の接触部２４→プランジャー部２６のストッパー部→圧縮スプリング２８→バレル部３２という一本のルートのみで形成されることになる。このため、プローブ本体２２における被測定対象部位からソケット部２０へと至る電気的経路の抵抗値は、プランジャー部２６のストローク量とは無関係に常に一定化することができるので、コンタクトプローブを用いて測定する際に好ましい再現性を確保することができる。
【００１８】
一方、バレル部３２の内底部には、リード線３６の一端が接続され、リード線３６の他端は、電子部品の電気的特性を測定する測定器としてのたとえば抵抗測定器Ｍ（図１参照。）に接続されている。
【００１９】
上記した構造の２つのコンタクトプローブ１８は、測定ステージ１４の長手方向に所定の間隔を隔てて配置されている。２つのコンタクトプローブ１８は、それぞれ、この測定器１０の測定台１２に配設されるソケット部２０に、着脱自在に装着される。２つのソケット部２０は、それぞれ、測定ステージ１４に設けられた挿通孔３８に挿通されて、測定台１２に配設されている。２つのソケット部２０は、それぞれ、その一方側が測定ステージ１４の上面から所定の間隔を隔てて当該測定ステージ１４の上側に位置するように、測定台１２に配設されている。２つのコンタクトプローブ１８は、それぞれ、そのプランジャー部２６の接触部２４がソケット部２０の一方側から所定の突出長さをもって上方に突出するように、バレル部３２から突出する方向へと常時付勢されている。
【００２０】
また、測定ステージ１４には、図１および図２に示すように、第２の測定端子４０が配設されている。この第２の測定端子４０は、測定ステージ１４の幅方向の中間部に設けられた例えば平面視矩形の凹部４２に配設される。凹部４２は、特に、図２の（Ｂ）に示すように、断面視逆Ｔ字状の態様を有する。第２の測定端子４０は、図２の（Ａ）に示すように、凹部４２の底面側に形成されるたとえば平面視矩形の測定電極４４を含む。測定電極４４の長手方向の一端側で且つその幅方向の両端側には、その端部から測定ステージ１４の幅方向の一端部に延びる引き出し電極４６が形成される。２つの引き出し電極４６は、それぞれ、測定ステージ１４の幅方向の一端部の部位で、リード線４８と接続され、当該リード線４８は、電子部品の電気的特性を測定する測定器としてのたとえば抵抗測定器Ｍ（図１参照。）に接続されている。なお、測定電極４４は、超鋼合金，銅，銀および金等の導電材料で形成されている。
【００２１】
さらに、測定ステージ１４の上方には、この測定器１０の測定対象物となる電子部品が保持される保持手段５０が配置される。保持手段５０は、搭載ヘッド（図示せず）に搭載・支持されている。保持手段５０は、図１に示すＺ−Ｚ軸（上下軸）方向に昇降可能に支持されるものとなっている。すなわち、搭載ヘッド（図示せず）は、軸受（図示せず）を介して、Ｚ−Ｚ軸（上下軸）方向に向けて配置された支持ロッドＲを垂直方向に昇降可能に支持した構造となっている。支持ロッドＲの上端面には、当該支持ロッドＲをＺ−Ｚ軸方向（上下軸方向）に昇降自在に移動させるための移動手段として、たとえばサーボモータとボールネジを組み合わせた駆動機構を含む駆動部（図示せず）が配設されている。駆動部としては、前記したものに限定されるものではなく、たとえば駆動カムを有する駆動機構およびその他の駆動機構で構成されたものであってもよい。
さらに、この搭載ヘッドは、搬送手段（図示せず）によって、たとえば図１に示すＸ−Ｘ軸（左右軸）方向に移動自在となるように支持され、また、他の搬送手段（図示せず）によって、Ｙ軸（前後軸）方向に移動自在となるように支持されている。この支持ロッドＲの下端側には後述する保持手段５０が装着される。
【００２２】
保持手段５０は、吸着ノズル部５２を含み、吸着ノズル部５２は、図１に示すように、ホルダ部５４およびノズル本体５６を含む。ホルダ部５４には、外筒５８内に下方から挿入されたホルダ本体６０が固定されている。ホルダ本体６０は、その軸方向に延びて、その下方に開口するノズル挿通孔６０ａを有し、ノズル挿通孔６０ａにノズル本体５６が軸方向に摺動自在に挿入されている。ノズル本体５６にはキャップ６２が装着され、ノズル挿通孔６０ａ内には、円筒体６４が装着されている。キャップ６２は、円筒体６４の内周面に極めて狭いクリアランスを設けて摺接されている。キャップ６２および円筒体６４は、それぞれ、たとえば金属、耐摩耗性プラスチック等の摩耗し難い材料で形成されている。
ホルダ部５４は、当該ホルダ部４の外側から螺着された固定ネジ６６を支持ロッドＲに締め付けることにより固定されている。この固定ネジ６６を緩めることによりホルダ部５４を取り外せるようになっている。
【００２３】
また、ホルダ本体６０の上部には、軸方向に延びる吸引凹部６０ｂが、ノズル挿通孔６０ａとは独立して形成されている。この吸引凹部６０ｂ内には、この保持手段５０を、図１に示すＺ−Ｚ軸（上下軸）方向に昇降可能とする支持ロッドＲの下端部が挿入されている。この支持ロッドＲの軸心には、吸引凹部６０ｂに連通する吸引孔（図示せず）が配設され、当該吸引孔には吸引ホース（図示せず）を介して、真空吸引装置（図示せず）が接続されている。
一方、ノズル本体５６には、その直径方向に延びる円柱状のストッパピン６８が外方に突出させて貫通されている。このストッパピン６８の両突出部６８ａ，６８ｂは、ホルダ本体６０に形成されたストッパ孔６０ｃ内に挿入されている。これにより、ノズル本体５６は、ストッパ６６とストッパ孔６０ｃの径差分だけ上下移動のみが許容され、下方への抜け及び軸周りの回動が阻止されている。ストッパピン６８は、ホルダ部５４の外筒５８を貫通する貫通孔５９から挿通され、ノズル本体５６に貫通される。
【００２４】
吸引凹部６０ｂとノズル本体５６の軸心に形成された吸着孔５６ａとは、第１，第２，第３，第４吸引通路７０，７２，７４，７６を介して、連通されている。第１吸引通路７０は、外筒５８の内周面とホルダ本体６０の外周面との間に、円筒状の隙間を設けることにより形成されたものであって、シールリング７８で密封されている。第２吸引通路７２は、ホルダ本体６０の上部で直径方向に十字路をなすように形成されている。第２吸引通路７２の外端口は、第１吸引通路７０の上端部に連通され、内端口は、吸引凹部６０ｂに連通されている。
【００２５】
また、第３吸引通路７４は、ホルダ本体６０の下部で直径方向に十字路をなすように形成されている。この第３吸引通路７４の外端口は、第１吸引通路７０の下端部に連通され、内端口は、ノズル挿通孔６０ａに開口している。さらに、第４吸引通路７６は、ノズル本体５６の上端部で直径方向に十字路をなすように形成されている。第４吸引通路７６の外端口は、キャップ６２，円筒体６４に形成された孔６２ａ，６４ａを介して、第３吸引通路７４に連通され、内端口は、吸着孔５６ａに連通されている。
このようにして、真空吸引装置（図示せず）により発生した負圧は、支持ロッドＲの吸引孔（図示せず）およびホルダ本体６０の吸引凹部６０ｂから第２吸引通路７２に達し、当該第２吸引通路７２から第１吸引通路７０を介して、第３，第４吸引通路７４，７６を通って吸着孔５６ａに達する。
【００２６】
ノズル本体５６は、ノズル本体５６の先端には、たとえば断面円形の吸着口５６ｂを有するたとえば円筒状のノズルチップ８０が形成されている。ノズル本体５６およびノズルチップ８０間には、ノズル本体５６とノズルチップ８０とを接続する接続部８２が連設されている。この接続部８２は、たとえばノズルチップ８０より大径で且つノズル本体５６より小径の円筒状に形成されている。ノズル本体５６とノズルチップ８０と接続部８２とは、超鋼合金，銅，銀および金等の導電材料で一体的に形成されている。ノズルチップ８０の吸着口５６ｂは、接続部８２の内部空間８２ａを介して、吸着孔５６ａと連通される。ノズルチップ８０は、ホルダ部６０の下面から下方に突出するように配設されている。ノズル本体５６には、キャップ６２およびストッパピン６８が装着され、且つ、第４吸引通路７６が設けられている。
【００２７】
さらに、ホルダ本体６０のノズル挿通孔６０ａの内底面６０ｄと、ノズル本体５６のキャップ６２の上端面６２ｂとの間には、ノズル本体５６を下方に向けて付勢する緩衝機構としてのたとえばコイルバネ８４が配設されている。
【００２８】
また、保持手段５０は、図１に示すように、第１の測定端子１６と保持手段５０とを電気的に接続させる中継部材８６を含む。中継部材８６は、支持ロッドＲを含む移動手段で移動する保持手段５０に連動して、当該保持手段５０の移動方向に移動可能となるように、保持手段５０に配設される。
すなわち、中継部材８６は、図１および図４に示すように、絶縁材料でたとえば円板状に形成された中継基板８８を含む。中継基板８８は、吸着ノズル部５２のノズル本体５６の近傍に位置するホルダ部５４の外側に嵌装されて配設される。中継基板８８は、その一方主面に、たとえば２つの半円形のパターン電極９０ａおよび９０ｂが形成されている。２つのパターン電極９０ａ，９０ｂは、中継基板８６の中央で間隔を隔てて形成される。２つのパターン電極９０ａおよび９０ｂは、それぞれ、銅，銀および金等の導電材料で形成される。２つのパターン電極９０ａおよび９０ｂは、２つのコンタクトプローブ１８の接触部２４が当接される当接面に形成されるものである。２つのパターン電極９０ａおよび９０ｂの形状は、当該当接面に形成されていれば、半円形以外の形状に形成されていてもよい。
【００２９】
さらに、中継基板８６の２つのパターン電極９０ａおよび９０ｂは、それぞれ、吸着ノズル部５２のノズル本体５６と電気的に接続される。この場合、２つのパターン電極９０ａおよび９０ｂは、リード線等の導線９２ａおよび９２ｂにより、ノズル本体５６の接続部８２の外周面に接続される。導線９２ａおよび９２ｂは、それぞれ、その一端が中継基板８６のパターン電極９０ａおよび９０ｂの一部に、ハンダ付け等の固定手段９４により固定され、その他端がノズル本体５６の接続部８２の外周面に、止め輪締結等の固定手段９６により固定されている。なお、ノズル本体５６と中継基板８６との電気的に接続するための導線９２ａおよび９２ｂの固定手段としては、ハンダ付けおよび止め輪締結の方法以外にも、ネジ締結等、他の固定手段で固定するようにしてもよい。
【００３０】
上述の実施の形態において、吸着ノズル部５２で電子部品を吸着して保持するとき、さらに、電子部品が保持された吸着ノズル部５２を搬送手段（図示せず）で測定ステージ１４の所定の測定位置に搬送するときに、その位置精度が要求される場合、例えば、測定ステージ１４の下方からＣＣＤカメラ等の撮像手段により、電子部品を吸着保持して移動するノズル本体５６の先端部および当該先端部に予め設けられた基準マークを撮像することで電子部品の吸着位置を検出し、基準マークと、ノズル本体５６の先端部との相対位置を検出した電子部品の吸着位置とから、その位置ずれ量を計算する画像処理手段（図示せず）、および、当該位置ずれ量を補正するように、吸着ノズル部５２の位置を調整して所定の測定位置に配置する制御手段（図示せず）をさらに含む構成とすることができる。
この場合、ノズル本体５６のノズルチップ８０に、図４に示すように、上記した撮像手段を支援・補助する補助具９８を付設することが好ましい。この補助具９８は、補助リング９８Ａを含む。補助リング９８Ａは、たとえば弾性を有する白色のプラスチックやシリコンゴム等で形成されている。補助リングＡを白色に形成することによって、撮像手段にて取り込んだ画像を画像処理手段で２値化ないし多値化処理する場合に、測定領域と測定領域外との識別化が図り易いものとなる。
【００３１】
次に、上述した測定装置１０を用いた電子部品の電気的特性を測定する測定方法の一例について、図１〜図４および図１０等を参照しながら、以下、説明する。以下に示す測定方法において、測定対象物となる電子部品は、互いに対向する一方主面および他方主面の全面に、一方の外部電極および他方の外部電極がそれぞれ形成されたチップ型の電子部品である（たとえば図１０の電子部品Ｗを参照。）。
この測定方法では、例えば、先ず、部品供給手段（図示せず）により部品供給ステージの上面に電子部品Ｗが供給される。
部品供給ステージに電子部品Ｗが供給されると、搭載ヘッド（図示せず）に搭載された保持手段５０の吸着ノズル部５２により当該電子部品Ｗが吸着保持される。この場合、電子部品Ｗは、その一方主面がノズル本体５６のノズルチップ８０の吸着口５６ｂにより吸着保持される。
【００３２】
次に、搭載ヘッド（図示せず）は、搬送手段（図示せず）および他の搬送手段（図示せず）により、図１に示すＸ−Ｘ軸（左右軸）方向およびＹ−Ｙ軸（前後軸）方向に移動され、当該搭載ヘッドに搭載された保持手段５０の吸着ノズル部５２は、図１に示すように、測定ステージ１４の測定位置上方に搬送される。このとき、吸着ノズル部５２は、電子部品Ｗの他方主面の外部電極Ｗｂが第２の測定端子４０の測定電極４４と対向するように、当該第２の測定端子４０の上方に配置される。
【００３３】
それから、搭載ヘッドは、移動手段によって、電子部品Ｗの他方主面の外部電極Ｗｂを第２の測定端子４０の測定電極４４と当接させるように、保持手段５０の吸着ノズル部５２を当該第２の測定端子４０の測定電極４４に向かって移動させる。この場合、吸着ノズル部５２が移動手段により第２の測定端子４０の測定電極４４に向かって移動するのに連動して、中継部材８６の中継基板８８が吸着ノズル部５２と共にその移動方向に移動し、第１の測定端子１６と当接する。
【００３４】
したがって、中継基板８８のパターン電極９０ａおよび９０ｂは、それぞれ、２つのコンタクトプローブ１８の接触部２４と当接する。つまり、第１の測定端子１６と電子部品Ｗの一方主面の外部電極Ｗａとは、中継部材８６および吸着ノズル部５２のノズル本体５６を介して、電気的に接続されるため、電子部品Ｗの電気的特性が測定される。この場合、中継基板８８のパターン電極９０ａおよび９０ｂは、それぞれ、第１の測定端子１６をノズル本体５６のノズルチップ８０を介して第２の測定端子４０の測定電極４４に電気的に接続するための中継接続電極としての機能を有するものとなっている。
【００３５】
このようにして、電子部品Ｗの電気的特性が測定された後、吸着ノズル部５２を搭載した搭載ヘッドは、次の電子部品Ｗを測定ステージ１４に搬送するために部品供給ステージまで戻り、再度、上記した同様の動作を繰り返すものとなっている。
【００３６】
この実施の形態の測定装置１０を用いた電子部品の電気的特性の測定方法では、電子部品Ｗを測定ステージ１４に配置するための機構が、保持手段５０の吸着ノズル部５２で保持された電子部品Ｗを第２の測定端子４０と対向させる位置に搬送させる搬送手段と、電子部品Ｗの他方主面の外部電極Ｗｂを第２の測定端子４０の測定電極４４と当接させるように、当該吸着ノズル部５２を第２の測定端子４０に向かって移動させる移動手段とで構成されている。この場合、吸着ノズル部５２が移動手段により第２の測定端子４０に向かって移動させると、それに連動して、中継部材８６の中継基板８８が吸着ノズル部５２の移動方向に移動し、当該中継基板８８および吸着ノズル部５２のノズル本体５６を介して、第１の測定端子１６と電子部品Ｗの一方主面の外部電極Ｗｂとが電気的に接続される。つまり、この実施の形態の測定装置１０では、電子部品Ｗを測定ステージ１４に配置するための機構が、当該電子部品Ｗの電気特性を測定するための機構を兼ね備えた構成となっている。
したがって、この実施の形態では、たとえば特許文献１に示すような先行技術と比べて、第１の測定端子１６それ自体の昇降機構が不要となるため、電気特性の測定に要する時間の短縮化を実現することができる。
【００３７】
また、この実施の形態の測定装置１０では、電子部品Ｗを搬送手段で第２の測定端子４０に対向させる位置に搬送させる場合、移動手段で電子部品Ｗを第２の測定端子４０に当接させて電子部品Ｗの電気的特性を測定する場合、電子部品Ｗの電気的特性を測定した後、当該電子部品Ｗを次工程へ再搬送する場合において、それぞれ、吸着ノズル部５２によって電子部品Ｗを吸着保持した状態で維持することができるので、電子部品Ｗの位置ずれを防止することができる。そのため、電子部品Ｗの位置ずれによる接続不良の発生を防止し、測定精度に対する信頼性が向上される。したがって、電子部品Ｗの位置ずれを修正するための再位置決め機構等を別途設ける必要がない。
【００３８】
さらに、この実施の形態では、第１の測定端子１６のコンタクトプローブ１８と中継部材８６の中継基板８８とが当接されることを介して、第１の測定端子１６と吸着ノズル部５２に保持された電子部品Ｗの一方主面の外部電極Ｗａとが、電気的に接続されるので、第１の測定端子１６に対する中継基板８８のパターン電極９０ａ，９０ｂとの当接部位の範囲を十分に確保することができる。そのため、接続ミスによる測定信頼性の劣化を防止することができ、例えば、電子部品Ｗに、寸法誤差、外部電極の電極ピッチや電極幅のばらつきがある場合でも、たとえば特許文献１に示すような先行技術と比べて、第１の測定端子１６と電子部品Ｗの一方主面の外部電極Ｗａ、第２の測定端子４０の測定電極４４と電子部品Ｗの他方主面の外部電極Ｗｂとの当接精度、延いては、それらの電気的接続精度を高め、測定精度に対する信頼性を向上させることができる。
【００３９】
また、この実施の形態では、第１の測定端子１６および第２の測定端子４０の測定電極４４が、測定ステージ１４側に配置することができるため、電子部品Ｗの電気特性を測定する抵抗測定器Ｍに接続するリード線３６，４８等の配線を当該測定ステージ１４側に集中させ、しかも、その配線長さを短くすることができる。この場合、吸着ノズル部５２側に配置される搬送手段および移動手段の配線を簡素化することができるため、電子部品Ｗが保持された吸着ノズル部５２を搬送させる搬送手段および当該吸着ノズル部５２を移動させる移動手段の配線の劣化も防止することができる。
【００４０】
さらに、この実施の形態では、吸着ノズル部５２が、移動手段の移動方向に向けて付勢する緩衝機構としてのたとえばコイルバネ８４を含み、第１の測定端子１６のコンタクトプローブ１８が、吸着ノズル部５２の移動方向とは逆方向に向けて付勢する他の緩衝機構としてのたとえば圧縮スプリング２８を含む構成となっているため、電子部品Ｗが第２の測定端子４０の測定電極４４に当接する際の電子部品Ｗに作用する衝撃力を当該緩衝機構で吸収して小さくすることができる。そのため、電子部品Ｗへのダメージ（外観上のキズおよび内部クラック等）の発生を防止することができる。この場合、第１の測定端子１６の緩衝機構は、当該緩衝機構の緩衝力を調整することによって、測定ステージ１４に配置される電子部品Ｗの厚みに対応することができる。
【００４１】
上述の実施の形態では、図１に示すように、吸着ノズル部５２のノズル本体５６とノズルチップ８０を接続するたとえば円筒状の接続部８２が連設されているが、吸着ノズル部５２の先端部を構成する部分において、この接続部８２は、円筒状に限定されるものではなく、図５に示すように、矩形ブロック状の接続部１００で形成されてもよい。接続部１００は、ブロック形状に形成され、平面部を有しているため、円筒状の接続部８２に比べて、リード線等の導線９２ａ，９２ｂをノズル本体５６の先端部に機械的に接続し易いものとなっている。この場合、図５に示す実施の形態では、導線９２ａおよび９２ｂの一端が中継基板８６のパターン電極９０ａおよび９０ｂの一部に、ハンダ付け等の固定手段９４により固定され、その他端がノズル本体５６の接続部１００の平面部に、ネジ締結等の固定手段１０２で固定されている。
【００４２】
また、接続部としては、上記した接続部１００をたとえば２分割した態様のものであってもよい。すなわち、図６および図７に示す接続部１０６は、第１の接続片１００Ａおよび第２の接続片１００Ｂを含む。第１の接続片１００Ａおよび第２の接続片１００Ｂは、それぞれ、矩形ブロック状に形成されている。
この場合、接続部１０６に連設されるノズルチップ８０も、同様にして、２分割された態様を有する。ノズルチップ８０は、第１のノズルチップ分割片８０Ａおよび第２のノズルチップ分割片８０Ｂを含む。第１の接続片１００Ａと第１のノズルチップ分割片８０Ａとが一体的に形成され、第１のノズル先端ブロック部１０２Ａが構成される。同様に、第２の接続片１００Ｂと第２のノズルチップ分割片８０Ｂとが一体的に形成され、第２のノズル先端ブロック部１０２Ｂが構成される。
【００４３】
第１のノズル先端ブロック部１０２Ａの接合面１０４ａおよび第２のノズル先端ブロック部１０２Ｂの接合面１０４ｂは、それぞれ、ノズル吸着孔５６ａを構成するためのたとえば断面半円状の凹溝部（図示せず）を有する。第１のノズル先端ブロック部１０２Ａおよび第２のノズル先端ブロック部１０２Ｂには、それらの接合端面に、たとえば絶縁性接着材が塗布される。そして、第１のノズル先端ブロック部１０２Ａと第２のノズル先端ブロック部１０２Ｂとが突合せられて接着することによって、その中央にノズル吸着孔５６ａを備えたノズル先端部１０８が形成される。この場合、第１のノズルチップ分割片８０Ａおよび第２のノズルチップ分割片８０Ｂで形成されたノズルチップ８０には、補助具９８が嵌装される。
【００４４】
上記したノズル先端部１０８が用いられる場合としては、たとえば図８の（Ｃ）および図１１に示すように、測定対象物となる電子部品Ｗが、互いに対向する一方側面の全面および一方主面の一部に亘って形成される一方の外部電極Ｗａと、互いに対向する他方側面の全面および他方主面の一部に亘って形成される他方の外部電極Ｗｂとを有する場合である［たとえば図８の（Ｃ）および図１１の電子部品Ｗを参照。］。すなわち、電子部品Ｗの外部電極の形成位置に応じて、吸着ノズル部５２のノズル先端部としては、図６および図７に示すように、２つに分割された構成のノズル先端部１０８が適用され、第２の側測定端子４０としては、図１１に示すように、２つに分割された測定電極４４ａ，４４ｂが適用される。
【００４５】
この場合、電子部品Ｗの一方の外部電極Ｗａおよび他方の外部電極Ｗｂに、当該電子部品Ｗの一方主面側から、ノズル先端部１０８の第１のノズルチップ分割片８０Ａおよび第２のノズルチップ分割片８０Ｂ、導線９２ａ，９２ｂ、中継基板８８のパターン電極９０ａ，９０ｂを経由して、第１の測定端子１６の一方のコンタクトプローブ１８および他方のコンタクトプローブ１８が電気的に接続される。さらに、電子部品Ｗの一方の外部電極Ｗａおよび他方の外部電極Ｗｂには、当該電子部品Ｗの他方主面側から、第２の測定端子４０の測定電極４４ａ，４４ｂが電気的に接続される。つまり、電子部品Ｗの上下から２端子接触させる４端子抵抗測定法により、電子部品Ｗの電気的特性が測定される構成となっている。
【００４６】
したがって、４端子抵抗測定法を用いることによって、接触抵抗による悪影響を排除することができ、高精度な測定を行うことができる。すなわち、電子部品Ｗに４端子当接させることで、当該電子部品Ｗを吸着保持する吸着ノズル部５２のノズル先端部１０８の抵抗成分および第２の側測定端子４０の抵抗成分を排除し、電子部品Ｗに対して、高精度に抵抗値を測定することができる。
【００４７】
上記した４端子抵抗測定法に用いられるノズル先端部のノズルとしては、図６および図７に示したように、ノズル先端部１０８の吸着孔５６ａが、たとえば円形の態様を有し、単一の吸着孔５６ａで構成されていたが、吸着孔の形状、数および配置は、構造に限定されるものではなく、図８に示すように、たとえば断面視円形の６つの吸着孔１１０が、ノズル本体５６の軸心を中心にして左右に３つずつ対称に配置された構成であってもよい。この場合、ノズル本体５６の軸心部には、絶縁材料からなる隔壁部１１２が配設され、第１のノズル先端ブロック部１０２Ａおよび第２のノズル先端ブロック部１０２Ｂが電気的に導通されないように分離するように構成されている。
また、吸着孔は、図９の（Ｂ）に示すように、たとえば断面視矩形の吸着孔１１４が、ノズル本体５６の軸心を中心にして左右に１つずつ対称に配置された構成であってもよく、さらに、この吸着孔は、たとえば図９の（Ｃ）に示すように、その断面視半円状の吸着孔１１６であってもよい。
【００４８】
また、図１〜図４、図５および図６〜図７で示された各実施の形態において、たとえば図１０および図１１に示すように、第２の測定端子４０の測定電極４４あるいは測定電極４４ａ，４４ｂの面に、シート状の異方性導電ゴム１１８を配設するようにしてもよい。この場合、シート状の異方性導電ゴム１１８に圧力を加えると、圧力を加えた方向にのみ導通状態となる。したがって、電子部品Ｗの一方主面側から電子部品Ｗおよび第２の測定端子４０の測定電極４４あるいは測定電極４４ａ，４４ｂの面に圧力を加えることにより、電子部品Ｗの外部電極Ｗｂと当該測定電極４４あるいは測定電極４４ａ，４４ｂとの間で、シート状の異方性導電ゴム１１８が導通状態となる。それにより、電子部品Ｗの他方主面に形成された他方の外部電極Ｗｂと、第２の測定端子の測定電極４４あるいは測定電極４４ａ，４４ｂとが、電気的に接続される。
【００４９】
図１０および図１１に示す実施の形態では、例えば、電子部品Ｗの小型化により一方の外部電極Ｗａおよび他方の外部電極Ｗｂ間の距離が小さくなっていたり、当該外部電極Ｗａ，Ｗｂの形状のばらつきがあっても、シート状の異方性導電ゴム１１８の弾性によって、当該シート状の異方性導電ゴム１１８の厚み方向の少々の形状ばらつきを吸収することができる。また、電子部品Ｗが、たとえば部分的に第２の測定端子４０の測定電極４４あるいは測定電極４４ａ，４４ｂの面に斜めに当接しても、あるいは、当該測定電極４４あるいは測定電極４４ａ，４４ｂの面が少々傾いていても、当該シート状の異方性導電ゴム１１８の弾性によって、電子部品Ｗないし第２の測定端子４０の測定電極４４あるいは測定電極４４ａ，４４ｂの面の傾きを吸収することができるので、測定信頼性の劣化も防止する。
【００５０】
そのため、電子部品Ｗの外部電極Ｗａ，Ｗｂと第２の測定端子４０との接続不良を防ぐことができ、正確に電子部品Ｗの電気的特性を測定することができる。さらに、シート状の異方性導電ゴム１１８を介して電子部品Ｗの外部電極Ｗａ，Ｗｂと第２の測定端子４０が当接するため、異方性導電ゴムの弾性作用が緩衝作用としても働き、たとえば特許文献１に示すような先行技術と比べて、電子部品Ｗが破損しにくいものとなる。
【００５１】
図１で示した測定装置１０では、保持手段５０の吸着ノズル部５２を搭載した搭載ヘッド（図１では図示せず）が、たとえば図１に示すＸ−Ｘ軸（左右軸）方向に移動自在となるように、搬送手段（図示せず）によって支持され、また、Ｙ軸（前後軸）方向に移動自在となるように、他の搬送手段（図示せず）によって支持されていたが、たとえば図１２および図１３に示すように、それぞれ、搭載ヘッド１２０および１２２が、回転軸１２０ａおよび１２２ａにより回転自在に構成されるものであってもよい。
さらに、図１で示した測定装置１０では、当該吸着ノズル部５２が、図１に示すＺ−Ｚ軸（上下軸）方向を上から下に移動する昇降機能を有していたが、たとえば図１２に示すように、当該吸着ノズル部５２が下から上に移動する移動手段を有するものであってもよく、あるいは、測定ステージ１４が上から下に移動手段を有してもよい。つまり、吸着ノズル部５２と測定ステージ１４がＺ−Ｚ軸（上下軸）方向に相対的に往復動可能となる移動手段を有するものであってもよい。また、たとえば図１３に示すように、吸着ノズル部５２と測定ステージ１４が、水平方向［図１に示すＸ−Ｘ軸（左右軸）方向］に相対的に往復動可能となる移動手段を有するものであってもよい。
【００５２】
なお、本発明は、上記した各実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変形され得る。
【符号の説明】
【００５３】
１０  電子部品の電気特性測定装置
１２  測定台
１４  測定ステージ
１６  第１の測定端子
１８  コンタクトプローブ
２０  ソケット部
２２  プローブ本体
２４  接触部
２６  プランジャー部
２８  圧縮スプリング（他の緩衝機構）
３０  凹陥部
３２  バレル部
３４  内底部
３６，４８  リード線
３８  挿通孔
４０  第２の測定端子
４２  凹部
４４  測定電極
４６  引き出し電極
５０  保持手段
５２  吸着ノズル部
５４  ホルダ部
５６  ノズル本体
５６ａ  吸着孔
５６ｂ  吸着口
５８  外筒
５９  貫通孔
６０  ホルダ本体
６０ａ  ノズル挿通孔
６０ｂ  吸引凹部
６０ｃ  ストッパ孔
６０ｄ  内底面
６２  キャップ
６４  円筒体
６６  固定ネジ
６８  ストッパピン
７０  第１吸引通路
７２  第２吸引通路
７４  第３吸引通路
７６  第４吸引通路
７８  シールリング
８０  ノズルチップ
８２，１００，１０６  接続部
８２ａ  接続部の内部空間
８４  コイルバネ（緩衝機構）
８６  中継部材
８８  中継基板
９０ａ，９０ｂ  パターン電極（接続電極）
９２ａ，９２ｂ  導線
９４，９６  固定手段
９８  補助具
９８Ａ  補助リング
１００Ａ  第１の接続片
１００Ｂ  第２の接続片
１０２Ａ  第１のノズル先端ブロック部
１０２Ｂ  第１のノズル先端ブロック部
１０４ａ，１０４ｂ  分割溝部
１０８  ノズル先端部
１１０，１１４，１１６  吸着孔
１１２  隔壁部
１１８  シート状の異方性導電ゴム
１２０，１２２  搭載ヘッド
１２０ａ，１２２ａ  回転軸
Ｍ  抵抗測定器
Ｗ  電子部品
Ｗａ  一方の外部電極
Ｗｂ  他方の外部電極
【図１】
2015055575.tif 000003
【図２】
2015055575.tif 000004
【図３】
2015055575.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2015055575.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2015055575.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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