(57)【要約】【課題】使用環境の湿度が高くなっても、オゾン発生の変化が少なく、幅広い湿度環境において安定したオゾン発生を得ることができるオゾン発生器を提供する。【解決手段】２つの電極２０が所定のギャップ長Ｄｇを隔てて配置された１以上の電極対１６を有し、電極対１６の少なくとも２つの電極２０間に原料ガス１２を通過させ、２つの電極２０間に放電を発生させることで、オゾンを発生させるオゾン発生器１０において、２つの電極２０のうち、いずれか一方の電極２０ａが原料ガス１２の上流側に配置され、他方の電極２０ｂが原料ガス１２の下流側に配置され、一方の電極２０ａから他方の電極２０ｂに向かう方向Ｌａが原料ガス１２の供給方向Ｌｂに対して傾いている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの電極が所定のギャップ長を隔てて配置された１以上の電極対を有し、
前記電極対の少なくとも前記２つの電極間に原料ガスを通過させ、前記２つの電極間に放電を発生させることで、オゾンを発生させるオゾン発生器において、
前記２つの電極のうち、いずれか一方の電極が前記原料ガスの上流側に配置され、他方の電極が前記原料ガスの下流側に配置され、
前記一方の電極から前記他方の電極に向かう方向が前記原料ガスの供給方向に対して傾いていることを特徴とするオゾン発生器。
【請求項２】
請求項１記載のオゾン発生器において、
前記一方の電極から前記他方の電極に向かう方向と、前記原料ガスの供給方向とのなす角の絶対値が８０°以下であることを特徴とするオゾン発生器。
【請求項３】
請求項１記載のオゾン発生器において、
前記一方の電極から前記他方の電極に向かう方向と、前記原料ガスの供給方向とのなす角の絶対値が６０°以下であることを特徴とするオゾン発生器。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のオゾン発生器において、
前記一方の電極から前記他方の電極に向かう方向と、前記原料ガスの供給方向とのなす角の絶対値が１０°以上であることを特徴とするオゾン発生器。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のオゾン発生器において、
前記一方の電極から前記他方の電極に向かう方向と、前記原料ガスの供給方向とのなす角の絶対値が３０°以上であることを特徴とするオゾン発生器。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のオゾン発生器において、
前記原料ガスが絶対湿度０〜５０ｇ／ｍ3の大気であることを特徴とするオゾン発生器。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のオゾン発生器において、
前記ギャップ長が０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ未満であることを特徴とするオゾン発生器。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載のオゾン発生器において、
各前記電極は、中空部を有する筒状の誘電体と、該誘電体の前記中空部内に位置された導体とを有することを特徴とするオゾン発生器。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載のオゾン発生器において、
前記２つの電極で挟まれた空間が放電空間であり、
複数の前記電極対が並列もしくは直列又は並列及び直列に配置され、
前記原料ガスの流れの主方向を法線方向とする原料ガス通過面に、前記放電空間ではない部分が存在することを特徴とするオゾン発生器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電極間に原料ガスを通過させ、電極間に放電を発生させることで、オゾンを発生させるオゾン発生器に関する。
【背景技術】
【０００２】
オゾン発生器は、放電発生装置により発生した放電を利用して生成された熱的非平衡プラズマ中に、空気等の酸素を含有するガスを通すことにより、オゾンを発生する装置である。放電発生装置としては例えば無声放電方式がある。この方式は、例えば高電圧電極と接地電極の放電ギャップ間に、高圧交流電源より発生した数〜数十ｋＶの高電圧を印加して微小放電柱の集合である放電を発生させる。酸素含有ガスは放電によって分解され、これによって、オゾンが発生する。
【０００３】
従来、このようなオゾン発生器の構成としては、例えば特許文献１及び２に開示がある。
【０００４】
特許文献１の段落［０００２］には、「無声放電式オゾン生成装置は１又は２の誘電体を挟んで対向した電極を有し、誘電体と電極との隙間又は誘電体同士の隙間に酸素を含む原料ガス（高濃度酸素（ＰＳＡ酸素）や脱湿空気等）を通過させながら前記電極に交流高電圧を印加し、無声放電により酸素を解離させてオゾンを生成する。前記隙間は１ｍｍ前後で、誘電体には絶縁耐力の高いガラスやセラミックが用いられる。」と記載されている。
【０００５】
特許文献２の段落［０００８］には、「放電電極と、前記放電電極に対向する誘導電極と、前記放電電極と前記誘導電極との間に設けられた誘電体層と、前記放電電極上に形成された撥水層とを備えている。」と記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−３２４５０４号公報
【特許文献２】特開２０１３−０６０３２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しなしながら、従来のオゾン発生器は、高湿度環境では、水分子やＯＨ（水酸基）によってオゾンが分解され、オゾンの生成効率が低下するという問題がある。
【０００８】
特許文献１では、誘電体を挟んで対向した２つの電極（電極対）間に、原料ガスを流すようにしているが、特許文献１の図４及び図５に示すように、原料ガスの流れ方向に対して、電極対の方向（一方の電極から他方の電極に向かう方向）を垂直(９０°)に設置している。そのため、電極の放電面に直接加湿された原料ガスが当たるため、水分子やＯＨの影響によってオゾンの生成が阻害され、オゾンの生成効率が低下したり、発生しなくなる。
【０００９】
特許文献２では、放電電極上に撥水層を設けている。しかしながら、特許文献２の段落［００２０］に記載されているように、剥離防止のための保護膜を誘電体層と撥水層の間に設けていても、長期間の運転では剥離するおそれがある。しかも、高湿度環境では運転時間の経過に伴ってオゾンの生成効率が下がっていく、という問題がある。
【００１０】
本発明はこのような課題を考慮してなされたものであり、使用環境の湿度が高くなっても、オゾン発生の変化が少なく、幅広い湿度環境（絶対湿度０〜５０ｇ／ｍ3）において安定したオゾン発生を得ることができるオゾン発生器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
［１］  本発明に係るオゾン発生器は、２つの電極が所定のギャップ長を隔てて配置された１以上の電極対を有し、電極対の少なくとも２つの電極間に原料ガスを通過させ、２つの電極間に放電を発生させることで、オゾンを発生させるオゾン発生器において、２つの電極のうち、いずれか一方の電極が原料ガスの上流側に配置され、他方の電極が原料ガスの下流側に配置され、一方の電極から他方の電極に向かう方向が原料ガスの供給方向に対して傾いていることを特徴とする。
【００１２】
これにより、電極対の片側の放電面に原料ガスが直接当たらなくなるため、片側の放電面は水分子やＯＨ分子が直接当たらなくなり、低湿度状態が維持することができ、オゾン生成量の減少を少なくすることが可能となる。
【００１３】
［２］  本発明において、一方の電極から他方の電極に向かう方向（以下、電極対の方向と記す）と、原料ガスの供給方向とのなす角の絶対値が８０°以下であることが好ましい。これにより、電極対の片側の放電面に原料ガスが直接当たらなくなるため、片側の放電面には水分子やＯＨ分子が直接当たらず、低湿度状態が維持でき、オゾン生成量の減少を少なくすることが可能となる。
【００１４】
［３］  本発明において、一方の電極から他方の電極に向かう方向と、原料ガスの供給方向とのなす角の絶対値が６０°以下であることが好ましい。これにより、２つの電極間に供給される原料ガスの減少量が少なく、電極対の片側では低湿度状態が維持でき、高いオゾン生成量を得ることが可能となる。
【００１５】
［４］  本発明において、一方の電極から他方の電極に向かう方向と、原料ガスの供給方向とのなす角の絶対値が１０°以上であることが好ましい。これにより、一方の電極及び他方の電極間（放電空間）に原料ガスが供給されなくなることによるオゾン生成量の減少を少なくすることが可能となる。
【００１６】
［５］  本発明において、一方の電極から他方の電極に向かう方向と、原料ガスの供給方向とのなす角の絶対値が３０°以上であることが好ましい。これにより、２つの電極間に供給される原料ガスの減少量が少なく、電極対の片側では低湿度状態が維持でき、高いオゾン生成量を得ることが可能となる。
【００１７】
［６］  本発明において、原料ガスが絶対湿度０〜５０ｇ／ｍ3の大気であってもよい。
【００１８】
［７］  本発明において、ギャップ長が０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ未満であることが好ましい。これにより、湿度が高くなってもオゾン発生の変化が少なくなり、幅広い湿度環境（絶対湿度０〜５０ｇ／ｍ3）において、安定したオゾン発生が得られるオゾン発生器とすることができる。
【００１９】
［８］  本発明において、各電極は、中空部を有する筒状の誘電体と、誘電体の中空部内に位置された導体とを有してもよい。
【００２０】
［９］  本発明において、２つの電極で挟まれた空間が放電空間であり、複数の電極対が並列もしくは直列又は並列及び直列に配置され、原料ガスの流れの主方向を法線方向とする原料ガス通過面に、放電空間ではない部分が存在してもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係るオゾン発生器によれば、使用環境の湿度が高くなっても、オゾン発生の変化が少なく、幅広い湿度環境（絶対湿度０〜５０ｇ／ｍ3）において安定したオゾン発生を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施の形態に係るオゾン発生器の要部を示す縦断面図である。
【図２】図１におけるＩＩ−ＩＩ線上の断面図である。
【図３】本実施の形態に係るオゾン発生器の作用を示す説明図である。
【図４】本実施の形態に係るオゾン発生器の他の例の要部を示す縦断面図である。
【図５】第１変形例に係るオゾン発生器の要部を示す縦断面図である。
【図６】第２変形例に係るオゾン発生器の要部を示す縦断面図である。
【図７】第３変形例に係るオゾン発生器の要部を示す縦断面図である。
【図８】サンプル１〜７について、原料ガスの供給流量を変化させた場合のオゾン発生量の変化を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明に係るオゾン発生器の実施の形態例を図１〜図８を参照しながら説明する。なお、本明細書において数値範囲を示す「〜」は、その前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味として使用される。
【００２４】
本実施の形態に係るオゾン発生器１０は、図１及び図２に示すように、原料ガス１２が流通する筐体１４と、筐体１４の内部に設置された１以上の電極対１６と、交流電源１８とを有する。電極対１６は、２つの電極２０（第１電極２０ａ及び第２電極２０ｂ）が所定のギャップ長Ｄｇを隔てて配置されて構成されている。交流電源１８は、２つの電極２０間に交流電圧ｖを印加する。
【００２５】
オゾン発生器１０は、電極対１６の少なくとも２つの電極２０間に原料ガス１２を通過させ、２つの電極２０間に放電を発生させることで、オゾンを発生させる。２つの電極２０で挟まれた空間は、放電が発生する空間であることから、ここでは、放電空間２２と定義する。
【００２６】
また、このオゾン発生器１０は、原料ガス１２の流れの主方向を法線方向とする原料ガス通過面２４に、放電空間ではない部分２６が存在する。例えば図１に示すように、原料ガス１２の流れの主方向を法線方向とする面２７（二点鎖線で示す）のうち、原料ガス通過面２４は、太い二点鎖線で示す範囲である。この原料ガス通過面２４のうち、第１電極２０ａと筐体１４の一方の内壁２８ａ（第１電極２０ａに近接する内壁）間の部分と、第２電極２０ｂと筐体１４の他方の内壁２８ｂ（第２電極２０ｂに近接する内壁）間の部分とがそれぞれ放電空間ではない部分２６である。なお、原料ガス１２の流れの主方向とは、原料ガス１２の中央部分における指向性のある流れの方向を示し、これは、原料ガス１２の周辺部の指向性のない流れ成分の方向を排除する意味である。
【００２７】
各電極２０は棒状を有し、中空部３０を有する筒状の誘電体３２と、該誘電体３２の中空部３０内に位置された導体３４とを有する。図１及び図２では、誘電体３２は円筒状を有し、横断面形状が円形の中空部３０が形成された例を示す。導体３４は横断面形状が円形を有する。もちろん、これらの形状に限定する必要はなく、誘電体３２は、横断面形状が三角形、四角形、五角形、六角形、八角形等の多角形の筒状としてもよい。これに対応させて、導体３４の形状も横断面形状が三角形、四角形、五角形、六角形、八角形等の多角形の柱状としてもよい。
【００２８】
原料ガス１２は、本実施の形態では、オゾンを発生させることを目的としているため、大気や酸素を含んだガスを例示することができる。この場合、除湿されていない空気であっても構わない。
【００２９】
導体３４の材料は、モリブデン、タングステン、銀、銅、ニッケル及びこれらの中から少なくとも１つを含む合金からなる群より選ばれた１つであることが好ましい。合金としては、インバー、コバール、インコネル（登録商標）、インコロイ（登録商標）を例示することができる。
【００３０】
また、誘電体３２の材料は、導体３４の融点未満の温度において焼成することができるセラミックス材料、例えば酸化バリウム、酸化ビスマス、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ネオジム、窒化チタン、窒化アルミ、窒化珪素、アルミナ、シリカ及びムライトからなる群から選ばれた１つ以上の材料を含む単独もしくは複合酸化物や複合窒化物であることが好ましい。
【００３１】
そして、本実施の形態においては、図１及び図３に示すように、電極対を構成する２つの電極のうち、第１電極２０ａが原料ガス１２の上流側に配置され、第２電極２０ｂが原料ガス１２の下流側に配置されている。さらに、上流側の第１電極２０ａから下流側の第２電極２０ｂに向かう方向Ｌａが原料ガス１２の供給方向Ｌｂに対して傾いている。
【００３２】
これにより、図３に示すように、第１電極２０ａと第２電極２０ｂ間の放電空間２２には、原料ガス１２が通過する領域３６ａと原料ガス１２がほとんど通過しない領域３６ｂとが形成されることになる。そのため、第１電極２０ａにおける誘電体３２の表面のうち、放電空間２２内の表面（放電面３２ａ）に原料ガス１２が直接当たらなくなる。すなわち、第１電極２０ａにおける誘電体３２の上述の放電面３２ａには水分子やＯＨ分子が直接当たらないため、低湿度状態が維持でき、オゾン生成量の減少を少なくすることが可能となる。
【００３３】
もちろん、図４に示すように、電極対１６を構成する２つの電極２０のうち、第２電極２０ｂを原料ガス１２の上流側に配置し、第１電極２０ａを原料ガス１２の下流側に配置してもよい。この場合も、上流側の第２電極２０ｂから下流側の第１電極２０ａに向かう方向Ｌａが原料ガス１２の供給方向Ｌｂに対して傾いている。
【００３４】
これにより、第２電極２０ｂにおける誘電体３２の放電面３２ａに原料ガス１２が直接当たらなくなる。すなわち、第２電極２０ｂにおける誘電体３２の上述の放電面３２ａには水分子やＯＨ分子が直接当たらないため、低湿度状態が維持でき、オゾン生成量の減少を少なくすることが可能となる。
【００３５】
特に、図１及び図４に示すように、上流側に位置する電極（第１電極２０ａ又は第２電極２０ｂ）から下流側に位置する電極（第２電極２０ｂ又は第１電極２０ａ）に向かう方向（以下、電極対の方向Ｌａと記す）と、原料ガス１２の供給方向Ｌｂとのなす角（±θ）の絶対値は８０°以下であることが好ましい。図１は、なす角が−θの場合を示し、図４は、なす角が＋θの場合を示す。この場合、第１電極２０ａ及び第２電極２０ｂ間（放電空間２２）に原料ガス１２が供給されなくなることによるオゾン生成量の減少を少なくすることが可能となる。
【００３６】
また、電極対１６の方向Ｌａと、原料ガス１２の供給方向Ｌｂとのなす角（±θ）の絶対値は１０°以上であることが好ましい。電極対１６の片側の放電面３２ａに原料ガス１２が直接当たらなくなるため、片側の放電面３２ａには水分子やＯＨ分子が直接当たらず、低湿度状態が維持でき、オゾン生成量の減少を少なくすることが可能となる。
【００３７】
電極対の方向Ｌａと、原料ガス１２の供給方向Ｌｂとのなす角（±θ）の絶対値は６０°以下であることが好ましい。また、電極対１６の方向Ｌａと、原料ガス１２の供給方向Ｌｂとのなす角（±θ）の絶対値は３０°以上であることが好ましい。これらにより、２つの電極２０間に供給される原料ガス１２の減少量が少なく、電極対１６の片側では低湿度状態が維持でき、高いオゾン生成量を得ることが可能となる。
【００３８】
このように、本実施の形態においては、高湿度の原料ガス１２を供給してもオゾンの分解反応によるオゾン発生の低減を減らすことができ、且つ、反応しきれないまま放電空間２２を通過する原料ガス１２を減らすことができるため、高いオゾンの生成効率を得ることができる。
【００３９】
その結果、湿度が高くなってもオゾン発生の変化が少なくなり、幅広い湿度環境（絶対湿度０〜５０ｇ／ｍ3）において、安定したオゾン発生が得られるオゾン発生器とすることができる。
【００４０】
また、特許文献２のような撥水層が存在しないため、長期間の運転による撥水層の剥離の影響も無く、長期間において安定したオゾン発生量が得られる。
【００４１】
次に、本実施の形態に係るオゾン発生器１０の好ましいその他の態様について説明する。
【００４２】
先ず、２つの電極２０間のギャップ長Ｄｇは、２つの電極２０間の距離のうち、第１電極２０ａの誘電体３２と第２電極２０ｂの誘電体３２との間の最短距離を示す。このギャップ長はＤｇは、０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ未満であることが好ましい。
【００４３】
ギャップ長Ｄｇが大きすぎると、誘電体３２間の距離が大きくなることから、放電空間２２の中央部分に存在する水分子やＯＨ分子の量が増えることとなる。そのため、高湿度環境では原料ガス１２に含まれ、且つ、誘電体３２の付近や放電空間２２の中央部分に存在する水分子やＯＨ分子の影響によってオゾンの生成が阻害され、オゾンの生成効率が低下したり、発生しなくなる。
【００４４】
ギャップ長Ｄｇが小さすぎると、水分子やＯＨ分子が誘電体３２に付着することによって、放電空間２２が短絡するおそれがある。すなわち、誘電体３２間が水分子やＯＨ分子で接続されるおそれがある。これは、放電空間２２の中央部分に水分子やＯＨ分子が多く存在することと同じになり、水分子やＯＨ分子の影響によってオゾンの生成が阻害され、オゾンの生成効率が低下したり、発生しなくなる。
【００４５】
従って、ギャップ長Ｄｇは、０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ未満であることが好ましい。
【００４６】
本実施の形態では、各電極２０を、中空部３０を有する筒状の誘電体３２と、該誘電体３２の中空部３０内に位置された導体３４とを有する構成としたので、電極２０間の距離を容易に調整することができ、特許文献１に記載された沿面放電方式の構成と比して、電極２０間のギャップ長Ｄｇを０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ未満とすることが容易になる。
【００４７】
なお、電極２０の製造方法としては、以下に示す方法が挙げられる。すなわち、例えば筒状の成形体を仮焼成して中空部を有する仮焼成体を作製し、その後、仮焼成体の中空部内に導体３４を挿入する。そして、仮焼成体と導体３４とを仮焼成よりも高い温度で焼成することによって直接一体化させて誘電体３２の中空部３０に導体３４が挿入された電極２０を作製する。
【００４８】
その他の方法としては、ゲルキャスト法を用いることができる。ゲルキャスト法では、金型内に、導体３４をセットし、セラミック粉末、分散媒、及びゲル化剤を含むスラリーを注型した後に、このスラリーを温度条件や架橋剤の添加等によりゲル化させることにより固化し、成形して、その後、焼成することで、電極２０を作製する。
【００４９】
上述の例では、１つの電極対１６を示したが、その他、図５〜図７に示す第１変形例〜第３変形例も好ましく採用することができる。
【００５０】
第１変形例に係るオゾン発生器１０ａは、図５に示すように、複数の電極対１６を並列に配列した点で、オゾン発生器１０（図１参照）と異なる。交流電源１８は、それぞれ第１電極２０ａと第２電極２０ｂ間に交流電圧ｖを印加する。
【００５１】
このオゾン発生器１０ａにおいても、原料ガス通過面２４に、放電空間ではない部分２６が存在する。具体的には、原料ガス通過面２４のうち、電極対１６間の部分と、筐体１４の一方の内壁２８ａに近接する第１電極２０ａと一方の内壁２８ａ間の部分と、筐体１４の他方の内壁２８ｂに近接する第２電極２０ｂと他方の内壁２８ｂ間の部分が、それぞれ放電空間ではない部分２６である。
【００５２】
なお、第１変形例において、各電極対１６の方向及び角度を全て同じにした例を示したが、一部の電極対１６が、電極対１６の方向Ｌａや角度が異なっていてもよい。
【００５３】
第２変形例に係るオゾン発生器１０ｂは、図６に示すように、複数の電極対１６を直列に配列した点で、オゾン発生器１０（図１参照）と異なる。交流電源１８は、それぞれ第１電極２０ａと第２電極２０ｂ間に交流電圧ｖを印加する。
【００５４】
このオゾン発生器１０ｂにおいても、原料ガス通過面２４に放電空間ではない部分２６が存在する。具体的には、複数の電極対１６の各第１電極２０ａと筐体１４の一方の内壁２８ａ間の部分と、複数の電極対１６の各第２電極２０ｂと筐体１４の他方の内壁２８ｂ間の部分が、それぞれ放電空間ではない部分２６である。
【００５５】
なお、第２変形例において、各電極対１６の方向及び角度を全て同じにした例を示したが、一部の電極対１６が、電極対１６の方向Ｌａや角度が異なっていてもよい。
【００５６】
第３変形例に係るオゾン発生器１０ｃは、図７に示すように、複数の電極対１６を並列及び直列に配列した点で、オゾン発生器１０（図１参照）と異なる。交流電源１８は、それぞれ第１電極２０ａと第２電極２０ｂ間に交流電圧ｖを印加する。
【００５７】
このオゾン発生器１０ｃにおいても、原料ガス通過面２４に放電空間ではない部分２６が存在する。なお、第３変形例において、各電極対１６の方向及び角度を全て同じにした例を示したが、一部の電極対１６が、電極対１６の方向Ｌａや角度が異なっていてもよい。
【００５８】
本実施の形態に係るオゾン発生器１０においては、１つの放電空間２２当たりの原料ガス１２の流量を３８０Ｌ／ｍｉｎ以下とすることが好ましい。さらに好ましくは、３００Ｌ／ｍｉｎ以下であり、より好ましくは１５０Ｌ／ｍｉｎ以下である。
【００５９】
これにより、放電空間２２に流れる原料ガス１２の分布が減少し、放電空間２２内で均一にオゾンが生成でき、原料ガス１２が多すぎてオゾンが生成しきれないことをなくすことができる。その結果、オゾンの分解反応によるオゾン発生の低減を減らすことができ、且つ、反応しきれないまま放電空間２２を通過する原料ガス１２を減らすことができるため、高いオゾンの生成効率を得ることができる。
【実施例】
【００６０】
サンプル１〜７について、原料ガスの供給流量を変化させた場合のオゾン発生量の変化を確認した。サンプル１〜７における各電極２０の材質は、誘電体３２がアルミナ、導体３４が銅である。
【００６１】
（オゾン発生量の確認方法）
先ず、オゾン発生量を確認するために、原料ガス１２は、空気（絶対湿度：３０ｇ／ｍ3）を使用した。ガス圧力は０．１０ＭＰａとした。
【００６２】
放電用の電源として、電圧（振幅Ａ）が±４ｋＶ、周波数ｆが２０ｋＨｚの交流電圧ｖを出力する交流電源１８を用いた。
【００６３】
上記の条件で、排出ガスのオゾン濃度をオゾン濃度計（ＥＧ−３０００Ｄ（荏原実業株式会社製））にて測定し、この測定値に供給流量を乗算してオゾン発生量を求めた。
【００６４】
サンプル１〜７に係るオゾン発生器における電極構造の内訳は以下の通りである。
【００６５】
（サンプル１）
サンプル１は、図１及び図４に示す構造において、電極対１６の方向Ｌａと原料ガス１２の供給方向Ｌｂとのなす角（±θ）が±０°である。すなわち、電極対１６の方向Ｌａは、原料ガス１２の供給方向Ｌｂに対して傾いておらず、原料ガス１２の供給方向に対して平行となっている。
【００６６】
（サンプル２〜６）
サンプル２、３、４、５及び６は、電極対１６の方向Ｌａと原料ガス１２の供給方向Ｌｂとのなす角（±θ）がそれぞれ±１０°、±３０°、±４５°、±６０°及び±８０°である点以外はサンプル１と同じである。すなわち、電極対１６の方向Ｌａは、原料ガス１２の供給方向Ｌｂに対して傾いている。
【００６７】
サンプル７は、電極対１６の方向Ｌａと原料ガス１２の供給方向Ｌｂとのなす角（±θ）が±９０°である。すなわち、電極対１６の方向Ｌａは、原料ガス１２の供給方向Ｌｂに対して傾いておらず、原料ガス１２の供給方向に対して垂直となっている。
【００６８】
（評価結果）
サンプル１〜７の評価結果を図８に示す。
【００６９】
図８から、電極対１６の方向Ｌａが原料ガス１２の供給方向Ｌｂに対して傾いているサンプル２〜６は、いずれの供給流量においても、電極対１６の方向Ｌａが原料ガス１２の供給方向Ｌｂに対して傾いていないサンプル１及び７よりもオゾン発生量が多かった。特に、電極対１６の方向Ｌａと原料ガス１２の供給方向Ｌｂとのなす角（±θ）がそれぞれ±３０°、±４５°、±６０°であるサンプル３、４及び５は、他のサンプル１及び７よりもオゾン発生量が多かった。
【００７０】
このことから、電極対１６の方向Ｌａと原料ガス１２の供給方向Ｌｂとのなす角（±θ）の絶対値は、８０°以下が好ましく、さらに好ましくは６０°以下であることがわかる。また、電極対１６の方向Ｌａと原料ガス１２の供給方向Ｌｂとのなす角（±θ）の絶対値は、１０°以上が好ましく、さらに好ましくは３０°以上であることがわかる。
【００７１】
なお、本発明に係るオゾン発生器は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【符号の説明】
【００７２】
１０…オゾン発生器                    １２…原料ガス
１６…電極対                          １８…交流電源
２０…電極                            ２０ａ…第１電極
２０ｂ…第２電極                      ２２…放電空間
２４…原料ガス通過面                  ２６…放電空間ではない部分
２７…面                              ３０…中空部
３２…誘電体                          ３２ａ…放電面
３４…導体                            ３６ａ…原料ガスが通過する領域
３６ｂ…原料ガスがほとんど通過しない領域
Ｄｇ…ギャップ長
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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