(57)【要約】 【課題】安定したインクの吐出が得られるインクジェットプリンタを提供する。【解決手段】実施形態によれば、インクジェットプリンタは、循環機構と、圧力室と、アクチュエータと、ノズルと、コントローラとを有する。循環機構は、液体を循環させる。圧力室は、循環機構により循環する液体が充填される。アクチュエータは、圧力室を印加される駆動波形に応じて変形させる。ノズルは、アクチュエータに第１の駆動波形が印加された場合に圧力室の液体を吐出する。コントローラは、液体の温度が飽和温度に達するまで前記ノズルから液体を吐出させない第２の駆動波形をアクチュエータに印加する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を循環させる循環機構と、
前記循環機構により循環する液体が充填される圧力室と、
前記圧力室を印加される駆動波形に応じて変形させるアクチュエータと、
前記アクチュエータに第１の駆動波形が印加された場合に前記圧力室の液体を吐出するノズルと、
前記液体の温度が飽和温度に達するまで前記ノズルから液体を吐出させない第２の駆動波形をアクチュエータに印加するコントローラと、
を有するインクジェットプリンタ。
【請求項２】
前記コントローラは、画像を形成する点においては前記ノズルから液体を吐出させる第１の駆動波形でアクチュエータを駆動させ、画像を形成しない点においては前記ノズルから液体を吐出させない第２の駆動波形でアクチュエータを駆動させる、
請求項１に記載のインクジェットプリンタ。
【請求項３】
前記第２の駆動波形は、前記第１の駆動波形と同等な熱量を液体へ与える、
請求項１または２の何れかに記載のインクジェットプリンタ。
【請求項４】
さらに、前記インクの流路において前記ノズルの上流側でインクの温度を検知する温度検知部を有し、
前記コントローラ８は、前記温度検知部が検知するインクの温度が飽和温度に達するまで前記ノズルから液体を吐出させない第２の駆動波形でアクチュエータを駆動させる、
請求項１乃至３の何れか１項に記載のインクジョットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本実施形態は、インクジェットプリンタに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタには、インクを循環させ、循環するインクをインクジェットヘッドから吐出させて画像を形成するものがある。インク循環型のインクジェットプリンタでは、ヘッドの発熱がインクに伝わり、インク循環系内のインクの温度が徐々に上昇することがある。インクの温度が上昇するとインクの粘度が下がってインクの吐出体積が変化するため、インク循環型のインクジェットプリンタは、インクの温度が不安定になりやすく、安定したインクの吐出が難しくなることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２３１６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、安定したインクの吐出が得られるインクジェットプリンタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態によれば、インクジェットプリンタは、循環機構と、圧力室と、アクチュエータと、ノズルと、コントローラとを有する。循環機構は、液体を循環させる。圧力室は、循環機構により循環する液体が充填される。アクチュエータは、圧力室を印加される駆動波形に応じて変形させる。ノズルは、アクチュエータに第１の駆動波形が印加された場合に圧力室の液体を吐出する。コントローラは、液体の温度が飽和温度に達するまで前記ノズルから液体を吐出させない第２の駆動波形をアクチュエータに印加する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】図１は、本実施形態に係るインクジェットプリンタの構成例を示す図である。
【図２】図２は、本実施形態に係るインクジェットプリンタにおけるインクジェットヘッドの構成例を示す図である。
【図３】図３は、本実施形態に係るインクジェットプリンタのインクジェットヘッドに対する第１の駆動波形の例を示す図である。
【図４】図４は、本実施形態に係るインクジェットプリンタのインクジェットヘッドに対する第２の駆動波形の例を示す図である。
【図５】図５は、本実施形態に係るインクジェットプリンタにおける画像形成処理の例を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、実施形態について、図面を参照して説明する。  
図１は、実施形態に係るインクジェットプリンタ１の構成例を概略的に示す図である。なお、図１では、適宜構成を拡大、縮小、省略して概略的に示している。  
インクジェットプリンタ１は、インクジェットヘッド１１においてインクを吐出して記録媒体Ｐ上に画像を形成する。本実施形態において、インクジェットプリンタ１は、インクを循環させ、循環するインクを吐出して画像を形成する循環型のインクジェットプリントであるものとする。
【０００８】
図１に示す構成例において、インクジェットプリンタ１は、コントローラ２、インク供給機構１０、および、記録媒体Ｐを搬送する搬送機構などを備える。また、インク供給機構１０は、インクジェットヘッド１１、サーミスタ（温度検知部）１２、上流側タンク２５、下流側タンク３０、第１導管４１、第２導管４２、第３導管４３、循環ポンプ（インク送り機構）３５、フィルタ３６などを備える。  
上流側タンク２５および下流側タンク３０は、インクを貯留するタンクである。上流側タンク２５は、インクの供給源として機能する。下流側タンク３０は、インクジェットヘッド１１からのインクを貯留する。第１導管４１、第２導管４２、および第３導管４３は、インクを流路である。本実施形態に係るインクジェットプリンタ１では、上流側タンク２５、下流側タンク３０、第１導管４１、第２導管４２、第３導管４３および循環ポンプ３５などによってインクジェットヘッド１１に供給するインクを循環させる循環機構を構成する。
【０００９】
第１導管４１は、上流側タンク２５とインクジェットヘッド１１とを接続する。第１導管４１は、上流側タンク２５からインクジェットヘッド１１へのインクの循環路となる。第２導管４２は、インクジェットヘッド１１と下流側タンク３０とを接続する。第２導管４２は、インクジェットヘッド１１から下流側タンク３０へのインクの循環路となる。第３導管４３は、下流側タンク３０と上流側タンク２５とを接続する。第３導管４３は、下流側タンク３０から上流側タンク２５へのインクの循環路となる。
【００１０】
また、第３導管４３には、循環ポンプ３５が取り付けられている。循環ポンプ３５は、インクを循環させるインク送り機構として機能する。図１に示す構成例において、循環ポンプ３５は、下流側タンク３０に貯留したインクを上流側タンク２５へ送り出す。フィルタ３６は、循環するインク中から塵などの物質を取り除く。図１に示す構成例において、フィルタ３６は、第３導管４３に設けられ、循環ポンプ３５が循環させるインクに対してフィルタリングする。
【００１１】
インクジェットヘッド１１は、循環するインクをコントローラ２の制御に応じて記録媒体Ｐへ吐出する。インクジェットヘッド１１は、コントローラ２から与えられる駆動波形に応じて駆動するアクチュエータによりインクの吐出が制御される。本実施形態に係るインクジェットヘッド１１のアクチュエータは、コントローラ２からインクを吐出する第１の駆動波形が印加された場合にはインクを吐出し、インクを吐出しない第２の駆動波形が印加えられた場合にはインクを吐出することなく駆動する。インクジェットヘッド１１のアクチュエータは、第１の駆動波形により駆動する場合であっても第２の駆動波形により駆動する場合であっても熱を発生する。本実施形態に係るインクジェットヘッド１１のアクチュエータは、循環するインクに熱を与えるヒータとしても作用する。
【００１２】
図１に示す構成例において、インクジェットヘッド１１は、上流ポート１１ａと下流ポート１１ｂとを有する。インクジェットヘッド１１の上流ポート１１ａは、第１導管４１を介して上流側タンク２５に接続される。下流ポート１１ｂは、第２導管４２を介して下流側タンク３０に接続される。図１に示すように構成されたインクジェットヘッド１１においては、インクが上流ポート１１ａ側から下流ポート１１ｂ側へ流動する。
【００１３】
インクジェットヘッド１１には、インクの温度を検知するためのサーミスタ１２が設けられている。サーミスタ１２は、インク供給機構１０内で循環するインクの温度を検知するものであればよい。たとえば、インクの循環路となる導管４１、４２、４３の何れかに設けても良いし、インクの貯留場所となるタンク２５、３０内に設けても良い。また、実際にノズル１７から吐出されるインクの温度を検知する場合、サーミスタ１２は、インクジェットヘッド１１あるいはインク流路におけるインクジェットヘッド１１の上流側近傍に設置しても良い。本実施形態においては、サーミスタ１２は、インクジェットヘッド１１に設けられるものとし、サーミスタ１２は、インクジェットヘッド１１内のインクの温度を検知するものとする。
【００１４】
図１に示すように、上流側タンク２５は、インクジェットヘッド１１よりも上方に配置される。上流側タンク２５は、インク流入口２５ａとインク流出口２５ｂとを有する。上流側タンク２５は、インクを補給するためのインク供給源として機能する。上流側タンク２５は、上部タンク２６と下部タンク２７とを備える。下部タンク２７は、液面が大気に開放されている。上流側タンク２５は、第１導管４１を介してインクジェットヘッド１１の上流ポート１１ａに接続される。上部タンク２６は、たとえば、交換可能なボトルである。このような形態の場合、上部タンク２６のインクがなくなると、上部タンク２６は、インク充填済みの新しいボトルと交換される。
【００１５】
上部タンク２６と下部タンク２７とは通気パイプ２８及びインク補給パイプ２９を介して接続される。上記インクジェットヘッド１１からインクが消費されると、これに伴って下部タンク２７は、液面が下がる。液面が下がると、通気パイプ２８は、下端が下部タンク２７の液面から離れる。下端が下部タンク２７の液面から離れると、下端が露出した通気パイプ２８を伝って空気が上部タンク２６へ導入される。上部タンク２６において空気によって押し出されたインクが、インク補給パイプ２９を通って下部タンク２７へ落ちる。下部タンク２７へインクが落ちると、下部タンク２７の液面が上昇する。下部タンク２７の液面の上昇によって下部タンク２７の液面が通気パイプ２８の下端まで達すると、通気パイプ２８が閉塞される。通気パイプ２８が閉鎖されると、上部タンク２６への空気の流入は止まり、インクの補給が停止される。
【００１６】
なお、インクジェットヘッド１１のインク室におけるノズル近傍、つまり圧力室の適正圧力（但し、アクチュエータがインク吐出動作のために発生する高周波成分を除く平均値）の設定範囲に余裕がある場合、液面の高さは厳密でなくてもよい。このため、上流側タンク２５としては、断面積が大きく浅い容器を用いても良い。断面積が大きく浅い容器を上流側タンク２５に用いた場合、体積変化に対する液面高さ変化を抑えることができる。また、断面積が大きく浅い容器を上流側タンク２５に用いた場合、上流側タンク２５には、直接インクを補給するようにしても良い。
【００１７】
上流側タンク２５のインクは第１導管４１を介してインクジェットヘッド１１の上流ポート１１ａへ供給される。第１導管４１には、循環路を開閉可能なバルブＶ１（開閉機構）が設けられている。バルブＶ１はインクの供給を止める場合に閉じられ、通常動作中は開放されている。
【００１８】
下流側タンク３０は、インク流入口３０ａとインク流出口３０ｂを有するインクタンクであり、インクを貯留するとともに圧力源としての機能を有する。下流側タンク３０は、インクジェットヘッド１１よりも下方に配置されている。インク流入口３０ａは第２導管４２を介してインクジェットヘッド１１の下流ポート１１ｂに接続される。インク流出口３０ｂは、循環ポンプ３５及びフィルタ３６を備える第３導管４３を介して上流側タンク２５に接続される。循環ポンプ３５は下流側タンク３０のインクを吸い上げ、第３導管４３を介して上流側タンク２５にインクを供給することにより、インク２０を循環させる機能を有する。
【００１９】
また、フィルタ３６は、循環ポンプ３５が下流側タンク３０から吸い上げたインクを濾過する。フィルタ３６により濾過されたインクは、上流側タンク２５に供給される。循環ポンプ３５は、例えばチューブポンプのように、停止時に閉じる構造である。ダイアフラムポンプと逆止バルブを直列にして同じ機能を実現しても良い。なお、循環ポンプ３５は、コントローラ２により制御される。例えば、コントローラ２は、循環ポンプ３５のオン／オフ制御、あるいは、速度制御を行う。コントローラ２は、たとえば、循環ポンプ３５によるインクの流量を予定する最大循環流量の１２０％に設定する。
【００２０】
下流側タンク３０は、上部に空気層を有する。下流側タンク３０は、空気層の上部に、開閉可能なバルブＶ２（圧力調整機構）を備える。バルブＶ２は、コントローラ２により開閉される。コントローラ２は、バルブＶ２の開閉によって、選択的に下流側タンク３０の液面を大気圧に開放したり、密閉したりする。さらに、下流側タンク３０には２つの液面センサＳ１、Ｓ２（液面検出器）が設けられる。液面センサＳ１、Ｓ２は、タンク内のインクの液面がそれぞれ予め設定された第１水位および第２水位に達したか否かを検知する機能を有する。液面が第１水位の高さにある場合、下流側タンク３０の空気層の体積はＶであり、液面が第２水位の高さにある場合、下流側タンク３０の空気層の体積はＶ＋ΔＶである。
【００２１】
上流側タンク２５にインクが供給された初期状態において、コントローラ２は、バルブＶ１を開状態とし、循環ポンプ３５を停止させる。この状態でバルブＶ２を開状態とすると、インクは上流側タンク２５から第１導管４１、インクジェットヘッド１１、第２導管４２を経由して下流側タンク３０に流入する。
【００２２】
密閉キャップによってノズル１７の先端を初期充填が終わるまで密閉することにより、インクがインクジェットヘッド１１のノズル１７から流出するのを防ぐ。また、圧力が小さく、ノズル１７の直径が小さく、かつオリフィスプレート１８の表面にインクが付着していないという条件がそろっている場合、密閉キャップを使用しなくてもインクはノズル１７から流出しないので、密閉キャップを省略して良い。
【００２３】
液面センサＳ１により下流側タンク３０の液面が低水位基準である第１水位を超えたことを検知すると、コントローラ２は、循環ポンプ３５を駆動させる。循環ポンプ３５が作動すると、下流側タンク３０のインクは、上流側タンク２５に向かって送られる。以後、下流側タンク３０の液面が第１水位を超えている間、コントローラ２は循環ポンプ３５を作動させる。
【００２４】
次に、実施形態に係るインクジェットプリンタ１のインクジェットヘッド１１の構成について説明する。  
図２は、インクジェットヘッド１１の構成例を説明するための図である。なお、図２では、適宜構成を拡大、縮小、省略して概略的に示している。  
図２に示すように、インクジェットヘッド１１は、ノズル１７を有するオリフィスプレート１８を備えている。このオリフィスプレート１８の背面側には、ノズル１７に対向する圧力室１９が形成されている。この圧力室１９を経由してインク２０が循環する。圧力室１９は導管と連通する循環路よりも狭く構成されている。
【００２５】
図２に示す構成例において、圧力室１９のノズル１７の対向面側には、アクチュエータ２２が設けられている。圧力室１９において、アクチュエータ２２が駆動されることによって、ノズル１７からインク滴２０ａが吐出される。アクチュエータ２２は、駆動波形に応じて駆動するものであればよく、特定の構成に限定されない。たとえば、アクチュエータ２２としては、ＰＺＴ等の圧電素子を用いて直接又は間接的に圧力室を変形させるものである。
【００２６】
また、インクジェットヘッド１１は、図１に示すように、上流ポート１１ａと下流ポート１１ｂを有する。インクジェットヘッド１１において、上流ポート１１ａは、第１導管４１を介して上流側タンク２５に接続され、下流ポート１１ｂは、第２導管４２を介して下流側タンク３０に接続される。このように構成されたインクジェットヘッド１１において、インク２０は、圧力室１９を経由して、例えば図２中の矢印ａで示すように所定の方向に循環する。
【００２７】
アクチュエータ２２が駆動すると、インクジェットヘッド１１内でインクは加熱される。インクジェットヘッド１１内で加熱されたインクが循環すると、インクの温度は徐々に上昇する。インクの温度が上昇すると、インクの粘度が下がる。インクの粘度が下がると、アクチュエータ２２を駆動させる駆動波形が同じであっても、吐出されるインクの吐出体積は増える傾向となる。従って、インクの温度が不安定であればあるほど、インクの吐出を制御するためのアクチュエータ２２に対する駆動電圧制御あるいはインクの温度管理などが複雑になる。
【００２８】
本実施形態に係るインクジェットプリンタ１では、インクを吐出する必要がない場合であっても、コントローラ２は、アクチュエータ２２をインクが吐出されない駆動波形で駆動させることによりインクを加熱する。すなわち、コントローラ２は、インクジェットヘッド１１のアクチュエータ２２をインクが吐出されない駆動波形で駆動することにより、インクの温度調整用のヒータとして作用させる。
【００２９】
コントローラ２は、たとえば、インクジェットヘッド１１のアクチュエータ２２を第１の駆動波形あるいは第２の駆動波形の何れかで駆動させる。コントローラ２は、液体（インク）を吐出させる場合には第１の駆動波形でアクチュエータ２２を駆動させる。第１の駆動波形は、ノズル１７から所定量のインクを吐出させる駆動波形である。また、液体を吐出させない場合、コントローラ２は、第２の駆動波形でアクチュエータ２２を駆動させる。第２の駆動波形は、ノズル１７からインクを吐出させることなく、第１の駆動波形と同等の熱量をインクに与える駆動波形である。
【００３０】
たとえば、コントローラ２は、インクの温度が飽和する温度に達するまでの間、第２の駆動波形をアクチュエータに与える。これにより、コントローラ２は、インクの吐出を開始する前（画像形成前）において、第２の駆動波形でアクチュエータ２２を駆動させてインクと吐出することなくインクの温度を飽和する温度まで上昇させる。インクの温度が飽和する温度に達した後、コントローラ２は、インクジェットヘッド１１のアクチュエータ２２に第１の駆動波形を与えてノズル１７からインクを吐出させることにより記録媒体Ｐに画像を形成（画像形成処理を実行）する。
【００３１】
また、記録媒体Ｐに画像を形成している間、コントローラ２は、インクを吐出するタイミングでは第１の駆動波形をアクチュエータに印加してノズル１７からインクを吐出させ、インクを吐出しないタイミングでは第２の駆動波形をアクチュエータに印加してノズル１７からのインクの吐出なしでアクチュエータ２２を駆動させても良い。この場合、インクジェットヘッド１１は、インクを吐出する前後でインクの温度差を抑えることができ、温度変化が少ない状態でインクの吐出（画像形成）を行える。
【００３２】
上述したように、インクと吐出しない第２の駆動波形でアクチュエータ２２を駆動させることにより、インクジェットヘッド１１では、インク循環系の熱容量が変わった場合であっても、記録媒体Ｐへの画像形成処理中におけるインクの温度変動が抑えられ、安定したインクの吐出体積が得られる。
【００３３】
次に、本実施形態に係るインクジェットプリンタ１におけるアクチュエータ２２に対する第１および第２の駆動波形の例について説明する。  
図３は、実施形態に係るインクジェットプリンタ１におけるアクチュエータ２２に対する第１の駆動波形の例である。図４は、実施形態に係るインクジェットプリンタ１におけるアクチュエータ２２に対する第２の駆動波形の例である。
【００３４】
図３に示す第１の駆動波形は、ノズル１７から所定量のインクを吐出させるためのアクチュエータ２２に対する駆動波形である。記録媒体Ｐに画像を形成するタイミングにおいて、コントローラ２は、アクチュエータ２２を第１の駆動波形で駆動させる。第１の駆動波形でアクチュエータ２２が駆動すると、インクジェットヘッド１１は、圧力室１９のインクをノズル１７から吐出する。
【００３５】
図４に示す第２の駆動波形は、ノズル１７からインクを吐出させないアクチュエータ２２に対する駆動波形である。第２の駆動波形によりアクチュエータ２２を駆動させた場合、インクジェットヘッド１１は、アクチュエータ２２の駆動による振動が伝わり難いため、ノズル１７からはインクが吐出されない。また、図４に示す第２の駆動波形でアクチュエータ２２を駆動させた場合、インクジェットヘッド１１は、第１の駆動波形で駆動した場合と同等な熱量をインクに与える。すなわち、図４に示す第２の駆動波形は、ノズル１７からインクを吐出させないようにしつつ、第１の駆動波形と同等な熱量をインクに供給する。
【００３６】
次に、本実施形態に係るインクジェットプリンタ１における画像形成の動作について説明する。  
図５は、インクジェットプリンタ１による画像形成の動作例を説明するためのフローチャートである。  
まず、インクジェットプリンタ１は、操作パネルあるいは外部装置からの画像形成処理の実行指示を受け付ける（ＡＣＴ１１）。画像形成処理の実行指示を受けた場合（ＡＣＴ１１、ＹＥＳ）、コントローラ２は、当該インクジェットプリンタ１を画像形成が実行可能な状態にするためのウォームアップが必要か否かを判断する（ＡＣＴ１２）。ウォームアップが必要であると判断した場合（ＡＣＴ１２、ＹＥＳ）、コントローラ２は、ウォームアップ処理を実行する（ＡＣＴ１３）。
【００３７】
ウォームアップ処理において、コントローラ２は、インクジェットヘッド１１の各アクチュエータ２２を第２の駆動波形で駆動させることによりインクの温度を飽和温度まで上昇させる。ウォームアップ処理中において、コントローラ２は、インクの温度が飽和温度に達したか否かを監視する（ＡＣＴ１４）。たとえば、コントローラ２は、インクジェットヘッド１１内のサーミスタ１２によりインクの温度を検知し、検知したインクの温度が飽和温度に達したか否かを判断する。なお、インクの温度は、インク供給機構１０内で検知すればよく、インクジェットヘッド１１内で計測することに限定されない。たとえば、インクの温度は、インクジェットヘッド１１の上流側の導管内において検知しても良い。
【００３８】
インクの温度が飽和温度に達したことを検知した場合（ＡＣＴ１４、ＹＥＳ）、コントローラ２は、記録媒体Ｐへの画像形成処理を実行する（ＡＣＴ１５）。コントローラ２は、記録媒体Ｐ上に形成する画像情報に応じてインクジェットヘッド１１内のアクチュエータ２２に対して第１の駆動波形あるいは第２の駆動波形の何れかを印加する。
【００３９】
すなわち、画像形成処理中において、コントローラ２は、インクを吐出すべきノズル（画素を形成するノズル）に対応するアクチュエータ２２には第１の駆動波形を印加し、インクを吐出すべきでないノズル（画素を形成しないノズル）に対応するアクチュエータ２２には第２の駆動波形を印加する。これにより、画像形成処理中において、インクジェットプリンタ１は、記録媒体Ｐに所望の画像が形成しつつ、各アクチュエータ２２がインクに与える熱量を一定とすることができる。このため、インクジェットヘッド１１は、インクの温度変化が少ない状態でインクの吐出を行うことができる。
【００４０】
上記のように、本実施形態のインクジェットプリンタは、ウォームアップ処理中においては、インクジェットヘッドのアクチュエータ２２をインクと吐出しない波形で駆動させる。これにより、本実施形態によれば、インクジェットプリンタは、インクを加熱するためのヒータとしてアクチュエータを作用させることができる。
【００４１】
また、本実施形態のインクジェットプリンタは、画像形成処理中において、画素を形成する点ではインクを吐出する第１の駆動波形でインクジェットヘッドのアクチュエータを駆動させ、画素を形成しない点ではインクを吐出しない第２の駆動波形でインクジェットヘッドのアクチュエータを駆動させる。これにより、インクには、安定的に熱量を与えることができ、インクの温度管理が容易になる。この結果として、本実施形態によれば、インクジェットプリンタは、インクの温度変化を抑えることができ、安定したインクの吐出が実現できる。
【００４２】
また、第１の駆動波形でインクに供給される熱量と第２の駆動波形でインクに供給される熱量とを同程度とすれば、インクジェットプリンタは、画像形成処理中においても、インクに一定の熱量を供給するようにできる。この結果として、インクの温度変化を抑えることができ、安定したインクの吐出が実現できる。
【００４３】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４４】
１…インクジェットプリンタ、２…コントローラ、１０…インク供給機構、１１…インクジェットヘッド、１２…サーミスタ、１７…ノズル、１９…圧力室、２２…アクチュエータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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