(57)【要約】【課題】被印刷材を異なる厚さで簡単に印刷すること。【解決手段】第１のマスク板１１０は、電子部品を実装するための特定パッド２０１ａを上面に有するプリント配線基板２００上に重ねて配置される。第２のマスク板１２０は、第１のマスク板１１０上に重ねて配置される。特定第１の開口部１１１ａは、第１のマスク１１０に特定パッド２０１ａに対応する位置に形成されている。特定第２の開口部１２１ａは、第２のマスク板１２０が第１のマスク板１１０上に重ねて配置されたときに、特定第１の開口部１１１ａを内側に含むとともに、端面が特定第１の開口部１１１ａの端面の近傍に設けられる。駆動部１３０は、所定のスキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）に対して略垂直方向である所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に、第１のマスク１１０の上面に沿って、第２のマスク１２０を摺動させる。【選択図】      図１
2015182418.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を実装するためのパッドを上面に有する基板上に、下面を前記基板の前記上面に向かい合わせて、前記基板上に重ねて配置される第１のマスク板と、
下面を前記第１のマスク板の上面に向かい合わせて、前記第１のマスク板上に重ねて配置される第２のマスク板と、
前記第１のマスク板に前記パッドに対応する位置に形成された第１の開口部と、
前記第２のマスク板が前記第１のマスク板上に重ねて配置されたときに、前記第１の開口部を内側に含むとともに、端面が第１の開口部の端面の近傍に設けられる第２の開口部と、
前記第１の開口部および前記第２の開口部を介して前記基板上の前記パッドに被印刷材を塗布するためにスキージを移動させる方向である所定のスキージ移動方向に対して略垂直方向である所定の摺動方向に、前記第１のマスクの上面に沿って、前記第２のマスクを摺動させる駆動部とを備えた印刷用マスク。
【請求項２】
前記第２のマスク板の前記第２の開口部を前記所定の摺動方向に沿って付勢する弾性部材を備えた請求項１に記載の印刷用マスク。
【請求項３】
前記駆動部は、
前記第１のマスク板または第２のマスク板の一方に設けられたコイルと、
前記第１のマスク板または第２のマスク板の他方に前記コイルに向かい合うように設けられた磁石とを備え、
前記コイルに電流を流すことにより、前記コイルおよび前記磁石の間に電磁力を発生させ、この電磁力により前記第２のマスクを前記所定の摺動方向に前記第１のマスク板の主面に沿って摺動させる請求項１または２に記載の印刷用マスク。
【請求項４】
前記第１のマスク板の上面および前記第２のマスク板の下面のいずれか一方または双方に設けられ、前記第１のマスク板の上面および前記第２のマスク板の下面を密着させる磁性部材を備えた請求項１〜３のいずれか１項に記載の印刷用マスク。
【請求項５】
前記第２のマスク板を前記第１のマスク板上に配置する際に用いるために、前記第１のマスク板および第２のマスク板のいずれか一方または双方に設けられた位置決め指標を備えた請求項１〜４のいずれか１項に記載の印刷用マスク。
【請求項６】
第１の開口部を有する第１のマスク板を、電子部品を実装するためのパッドを上面に有する基板上に重ねて、下面を前記基板の前記上面に向かい合わせるとともに、前記第１の開口部を前記パッドの位置に対応させて、配置する第１のマスク板配置ステップと、
前記第１のマスク板上に重ねて配置されたときに前記第１の開口部を内側に含むともに端面が第１の開口部の端面の近傍に設けられる第２の開口部を有する第２のマスク板を、下面を前記第１のマスク板の上面に向かい合わせて、前記第１のマスク板上に重ねて、配置する第２のマスク板配置ステップと、
前記第２のマスク板の上面に沿ってスキージを移動させることにより、前記第１の開口部および前記第２の開口部を介して、被印刷材を前記パッド上に塗布する被印刷材塗布ステップと、
駆動部により、前記基板上の前記パッドに前記被印刷材を塗布するために前記スキージを移動させる方向である所定のスキージ移動方向に対して略垂直方向である所定の摺動方向に、前記第１のマスク板の上面に沿って、前記第２のマスク板を摺動させる第２のマスク板摺動ステップとを含む印刷方法。
【請求項７】
前記第２のマスク板摺動ステップでは、弾性部材により前記第２のマスク板の前記第２の開口部を前記所定の摺動方向に沿って付勢しながら、前記駆動部により、前記所定の摺動方向に、前記第１のマスク板の主面に沿って、前記第２のマスク板を摺動させる請求項６に記載の印刷方法。
【請求項８】
前記駆動部は、
前記第１のマスク板または第２のマスク板の一方に設けられたコイルと、
前記第１のマスク板または第２のマスク板の他方に前記コイルに向かい合うように設けられた磁石とを備え、
前記第２のマスク板摺動ステップでは、前記コイルに電流を流すことにより、前記コイルおよび前記磁石の間に電磁力を発生させ、この電磁力により前記第２のマスクを前記所定の摺動方向に前記第１のマスク板の主面に沿って摺動させる請求項６または７に記載の印刷方法。
【請求項９】
前記第１のマスク板の上面および前記第２のマスク板の下面を密着させる磁性部材が、前記第１のマスク板の上面および前記第２のマスク板の下面のいずれか一方または双方に設けられ、
前記第２のマスク板配置ステップでは、
前記第２のマスク板を、下面を前記第１のマスク板の上面に向かい合わせて、前記第１のマスク板上に重ねて配置し、前記磁性部材の磁力により前記第１のマスク板の上面および前記第２のマスク板の下面を密着させる請求項６〜８のいずれか１項に記載の印刷方法。
【請求項１０】
前記第２のマスク板を前記第１のマスク板上に配置する際に用いるための位置決め指標が、前記第１のマスク板および第２のマスク板のいずれか一方または双方に設けられ、
前記第２のマスク板配置ステップでは
前記位置決め指標を用いて、前記第２のマスク板を、下面を前記第１のマスク板の上面に向かい合わせて、前記第１のマスク板上に重ねて、配置する請求項６〜９のいずれか１項に記載の印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷用マスク等に関し、例えば、クリーム半田や半田ペースト等の被印刷材を異なる厚さで基板上に印刷するために用いられるものに関する。
【背景技術】
【０００２】
印刷用マスクの一例が特許文献１に開示されている。特許文献１に記載の印刷用マスクでは、まず、第１のメタルマスクをプリント配線基板上に配置する。次に、第１のメタルマスクの開口部を介して、印刷スキージを用いてローリングすることにより、クリーム半田をプリント配線基板上の全ランドに印刷する。次に、第１のメタルマスクの上に第２のメタルマスクを接合する。次に、第２のメタルマスクの開口部を介して、印刷スキージを用いてローリングすることにより、クリーム半田をプリント配線基板上の一部のランドに追加供給する。これにより、クリーム半田を異なる厚さでプリント配線基板上に印刷することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−３０９８１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、第１のメタルマスクをプリント配線基板上に配置してクリーム半田を印刷した後、第２のメタルマスクを第１のメタルマスクに接合してクリーム半田を再度、追加供給している。このため、印刷工程に要する時間が、半田クリームを一回で印刷する場合と比較して、約２倍かかってしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、被印刷材を異なる厚さで簡単に印刷することができる印刷用マスク等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の印刷用マスクは、電子部品を実装するためのパッドを上面に有する基板上に、下面を前記基板の前記上面に向かい合わせて、前記基板上に重ねて配置される第１のマスク板と、下面を前記第１のマスク板の上面に向かい合わせて、前記第１のマスク板上に重ねて配置される第２のマスク板と、前記第１のマスク板に前記パッドに対応する位置に形成された第１の開口部と、前記第２のマスク板が前記第１のマスク板上に重ねて配置されたときに、前記第１の開口部を内側に含むとともに、端面が第１の開口部の端面の近傍に設けられる第２の開口部と、前記第１の開口部および前記第２の開口部を介して前記基板上の前記パッドに被印刷材を塗布するためにスキージを移動させる方向である所定のスキージ移動方向に対して略垂直方向である所定の摺動方向に、前記第１のマスクの上面に沿って、前記第２のマスクを摺動させる駆動部とを備えている。
【０００７】
本発明の印刷方法は、第１の開口部を有する第１のマスク板を、電子部品を実装するためのパッドを上面に有する基板上に重ねて、下面を前記基板の前記上面に向かい合わせるとともに、前記第１の開口部を前記パッドの位置に対応させて、配置する第１のマスク板配置ステップと、前記第１のマスク板上に重ねて配置されたときに前記第１の開口部を内側に含むともに端面が第１の開口部の端面の近傍に設けられる第２の開口部を有する第２のマスク板を、下面を前記第１のマスク板の上面に向かい合わせて、前記第１のマスク板上に重ねて、配置する第２のマスク板配置ステップと、前記第２のマスク板の上面に沿ってスキージを移動させることにより、前記第１の開口部および前記第２の開口部を介して、被印刷材を前記パッド上に塗布する被印刷材塗布ステップと、駆動部により、前記基板上の前記パッドに前記被印刷材を塗布するために前記スキージを移動させる方向である所定のスキージ移動方向に対して略垂直方向である所定の摺動方向に、前記第１のマスク板の上面に沿って、前記第２のマスク板を摺動させる第２のマスク板摺動ステップとを含んでいる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明にかかる印刷用マスク等によれば、被印刷材を異なる厚さで簡単に印刷することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す図である。図１（ａ）は、本発明の第１の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す上面図である。図１（ｂ）は、本発明の第１の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す断面図であって、図１（ａ）のＡ−Ａ切断面における断面図である。
【図２】プリント配線基板の構成を示す図である。図２（ａ）は、プリント配線基板の上面図である。図２（ｂ）は、プリント配線基板の断面図であって、図２（ａ）のＢ−Ｂ切断面における断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態における印刷マスクの第１のマスク板の構成を示す図である。図３（ａ）は、本発明の第１の実施の形態における印刷マスクの第１のマスク板の構成を示す上面図である。図３（ｂ）は、本発明の第１の実施の形態における印刷マスクの第１のマスク板の構成を示す断面図であって、図３（ａ）のＣ−Ｃ切断面における断面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態における印刷マスクの第２のマスク板の構成を示す図である。図４（ａ）は、本発明の第１の実施の形態における印刷マスクの第２のマスク板の構成を示す上面図である。図４（ｂ）は、本発明の第１の実施の形態における印刷マスクの第２のマスク板の構成を示す断面図であって、図４（ａ）のＤ−Ｄ切断面における断面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態における印刷フローを示す図である。
【図６】図５（ｂ）の工程を説明するための図である。図６（ａ）は、矢視Ｐを示す図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ１−Ａ１切断面における断面を示す図である。
【図７】特定第２の開口部内の被印刷材の残存状態を概略的に示す図である。図７（ａ）は、被印刷材を印刷した後の特定第２の開口部の上面図である。図７（ｂ）は、被印刷材を印刷した後の特定第２の開口部の斜視図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す図である。図８（ａ）は、本発明の第２の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す上面図である。図８（ｂ）は、本発明の第２の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す断面図であって、図８（ａ）のＥ−Ｅ切断面における断面図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態における印刷用マスクの第２のマスク板の構成を示す図である。図９（ａ）は、第２のマスク板の上面図である。図９（ｂ）は、第２のマスクの断面図であって、図９（ａ）のＦ−Ｆ切断面における断面図である。
【図１０】本発明の第４の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す図である。図１０（ａ）は、本発明の第４の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す上面図である。図１０（ｂ）は、本発明の第４の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す断面図であって、図１０（ａ）のＧ−Ｇ切断面における断面図である。
【図１１】駆動部の構成を説明するための図であって、図１０（ｂ）のＨ部の拡大図である。
【図１２】本発明の第５の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す図である。図１２（ａ）は、本発明の第５の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す上面図である。図１２（ｂ）は、本発明の第５の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す断面図であって、図１２（ａ）のＪ−Ｊ切断面における断面図である。
【図１３】位置決め指標の構成を説明するための図である。図１３（ａ）は、位置決め指標の上面拡大図である。図１３（ｂ）は、図１２（ｂ）のＫ部の拡大図である。
【図１４】位置決め指標の構成を説明するための図である。図１４（ａ）は、第２のマスク板に形成された第２の位置決め用開口部の上面図である。図１４（ｂ）は、第１のマスク板に形成された第１の位置決め用開口部の上面図である。図１４（ｃ）は、光検出センサの構成を示す上面図である。
【図１５】本発明の第６の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す図である。図１５（ａ）は、本発明の第６の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す上面図である。図１５（ｂ）は、本発明の第６の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す断面図であって、図１５（ａ）のＬ−Ｌ切断面における断面図である。
【図１６】位置決め指標の構成を説明するための図である。図１６（ａ）および図１６（ｂ）は、位置決め指標の断面であって、図１５（ｂ）のＭ部の拡大図を含む図である。
【図１７】本発明の第７の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す図である。図１７（ａ）は、本発明の第７の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す上面図である。図１７（ｂ）は、本発明の第７の実施の形態における印刷マスクをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す断面図であって、図１７（ａ）のＮ−Ｎ切断面における断面図である。
【図１８】位置決め指標の構成を説明するための図である。図１８（ａ）および図１８（ｂ）は、位置決め指標の断面であって、図１７（ｂ）のＰ部の拡大図を含む図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜第１の実施の形態＞
本発明の第１の実施の形態における印刷用マスク１００の構成について説明する。図１は、印刷マスク１００をプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す図である。図１（ａ）は、印刷マスク１００をプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す上面図である。図１（ｂ）は、印刷マスク１００をプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す断面図であって、図１（ａ）のＡ−Ａ切断面における断面図である。
【００１１】
図１（ａ）および図１（ｂ）に示されるように、印刷用マスク１００は、第１のマスク板１１０と、第２のマスク板１２０と、駆動部１３０とを備えている。印刷用マスク１００のうち、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０は、プリント配線基板２００上に配置される。
【００１２】
説明の便宜上、まず、プリント配線基板２００の構成を説明した後、印刷用マスク１００の構成を説明する。
【００１３】
図２は、プリント配線基板２００の構成を示す図である。図２（ａ）は、プリント配線基板２００の上面図である。図２（ｂ）は、プリント配線基板２００の断面図であって、図２（ａ）のＢ−Ｂ切断面における断面図である。
【００１４】
図２（ａ）および図２（ｂ）に示されるように、プリント配線基板２００は、板状に形成されている。プリント配線基板２００は、複数のパッド２０１を有する。プリント配線基板２００は、本発明の基板に相当する。
【００１５】
複数のパッド２０１は、プリント配線基板２００の上面（図２（ｂ）の紙面上側の面）上に形成されている。この複数のパッド２０１は、電子部品（不図示）をプリント配線基板２００の上面上に実装するために形成されている。なお、プリント配線基板２００の基材は、導電層（不図示）と絶縁層（不図示）を積層して形成される。複数のパッド２０１および導電層の材料には、例えば、銅合金、金合金等の導電性金属材料が用いられる。
【００１６】
なお、図１（ａ）、図１（ｂ）、図２（ａ）および図２（ｂ）では、複数のパッド２０１のうち、本発明に特に関わるパッドを、特定パッド２０１ａとして示す。すなわち、この特定パッド２０１ａは、本発明のバッドに相当する。
【００１７】
以上、プリント配線基板２００の構成を説明した。
【００１８】
次に、印刷用マスク１００の構成について説明する。印刷用マスク１００は、第１のマスク板１１０と、第２のマスク板１２０と、駆動部１３０とを備えている。ここでは、まず、第１のマスク板１１０の構成を説明した後に、第２のマスク板１２０の構成を説明し、最後に駆動部１３０について説明する。
【００１９】
図３は、印刷マスク１００の第１のマスク板１１０の構成を示す図である。図３（ａ）は、印刷マスク１００の第１のマスク板１１０の構成を示す上面図である。図３（ｂ）は、印刷マスク１００の第１のマスク板１１０の構成を示す断面図であって、図３（ａ）のＣ−Ｃ切断面における断面図である。
【００２０】
図３（ａ）および図３（ｂ）に示されるように、第１のマスク板１１０は、板状に形成されている。また、図１（ａ）および図１（ｂ）に示されるように、第１のマスク板１１０は、プリント配線基板２００の上面（図１（ｂ）紙面上側の面）上に下面（図１（ｂ）紙面下側の面）を向かい合わせて、プリント配線基板２００上に重ねて配置される。第１のマスク板１１０は、複数の第１の開口部１１１を有する。第１のマスク板１１０は、第１のステンシルとも呼ばれる。第１のマスク板１１０の材料には、例えば、ステンレス等の金属材料が用いられている。
【００２１】
図３（ａ）および図３（ｂ）に示されるように、複数の第１の開口部１１１は、プリント配線基板２００上の複数のパッド２０１の形成位置に対応する位置に、貫通するように形成されている。
【００２２】
なお、図１（ａ）、図１（ｂ）、図３（ａ）および図３（ｂ）では、複数の第１の開口部１１１のうち、本発明に特に関わる第１の開口部を、特定第１の開口部１１１ａとして示す。すなわち、この特定第１の開口部１１１ａは、本発明の第１の開口部に相当する。図１（ａ）および図１（ａ）に示されるように、特定第１の開口部１１１ａの上面視の形状は、特定パッド２０１ａとほぼ同じ形状である。また、特定第１の開口部１１１ａは、特定パッド２０１ａの形成位置に対応する位置に形成されている。
【００２３】
図４は、印刷マスク１００の第２のマスク板１２０の構成を示す図である。図４（ａ）は、印刷マスク１００の第２のマスク板１２０の構成を示す上面図である。図４（ｂ）は、印刷マスク１００の第２のマスク板１２０の構成を示す断面図であって、図４（ａ）のＤ−Ｄ切断面における断面図である。
【００２４】
図４（ａ）および図４（ｂ）に示されるように、第２のマスク板１２０は、板状に形成されている。また、図１（ａ）および図１（ｂ）に示されるように、第２のマスク板１２０は、下面（図１（ｂ）紙面下側の面）を第１のマスク板１１０の上面（図１（ｂ）紙面上側の面）に向かい合わせて、第１のマスク板１１０上に重ねて配置される。第２のマスク板１２０は、複数の第２の開口部１２１を有する。第２のマスク板１２０は、第２のステンシルとも呼ばれる。第２のマスク板１２０の材料には、例えば、ステンレス等の金属材料が用いられている。
【００２５】
図１（ａ）および図４（ａ）に示されるように、複数の第２の開口部１２１は、第１のマスク板１１０の一部の第１の開口部１１１を囲うように形成されている。
【００２６】
なお、図１（ａ）、図１（ｂ）、図４（ａ）および図４（ｂ）では、複数の第２の開口部１２１のうち、本発明に特に関わる第２の開口部を、特定第２の開口部１２１ａとして示す。すなわち、この特定第２の開口部１２１ａは、本発明の第２の開口部に相当する。図１（ａ）および図１（ｂ）に示されるように、第２のマスク板１２０が第１のマスク板１１０上に重ねて配置されたときに、特定第２の開口部１２１ａは、特定第１の開口部１１１ａを内側に含むとともに、端面が特定第１の開口部１１１ａの端面の近傍に設けられている。
【００２７】
図１（ａ）および図１（ｂ）に示されるように、駆動部１３０は、第２のマスク１２０を、第１のマスク１１０の上面（図１（ｂ）の紙面上側の面）に沿って、所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に摺動させる。ここで、図１（ａ）に、所定のスキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）を示す。この所定のスキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）は、第１の開口部１１１および第２の開口部１２１を介してプリント配線基板２００上のパッド２０１に被印刷材（クリーム半田、半田ペースト等）を塗布するためにスキージ（不図示）を移動させる方向である。そして、所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）は、この所定のスキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）に対して略垂直方向に設定されている。なお、第１のマスク１１０の上面は、本発明の第１のマスクの主面に相当する。
【００２８】
以上、印刷マスク１００の構成を説明した。
【００２９】
次に、印刷用マスク１００を用いて、被印刷材をプリント配線基板２００上のパッド２０１に印刷する方法について、説明する。図５は、本発明の第１の実施の形態における印刷フローを示す図である。
【００３０】
図５（ａ）に示されるように、まず、プリント配線基板２００、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０を準備する。そして、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０を、プリント配線基板２００の上面上に配置する。図５（ａ）は、図１（ｂ）と同じ各部材間の配置関係を示す。
【００３１】
より具体的には、まず、第１の開口部１１１（特定第１の開口部１１１ａを含む。）を有する第１のマスク板１１０を、パッド２０１（特定パッド２０１を含む。）を上面（図１（ｂ）紙面上側の面）に有するプリント配線基板２００上に重ねて、下面（図１（ｂ）紙面下側の面）をプリント配線基板２００の上面（図１（ｂ）紙面上側の面）に向かい合わせるとともに、第１の開口部１１１をパッド２０１の位置に対応させて、配置する。この第１のマスク板１１０をプリント配線基板２００上に配置する工程は、本発明の第１のマスク板配置ステップに対応する。
【００３２】
次に、第２の開口部１２１（特定第２の開口部１２１ａを含む。）を有する第２のマスク板１２０を、下面（図１（ｂ）紙面下側の面）を第１のマスク板１１０の上面（図１（ｂ）紙面上側の面）に向かい合わせて、第１のマスク板１１０上に重ねて、配置する。この第２のマスク板１２０を第１のマスク板１１０上に配置する工程は、本発明の第２のマスク板配置ステップに対応する。第２のマスク板１２０が第１のマスク板１１０上に重ねて配置されたとき、図１（ａ）および図１（ｂ）に示されるように、特定第２の開口部１２１ａは、特定第１の開口部１１１ａを内側に含むともに、端面が特定第１の開口部１１１ａの端面の近傍に設けられる。
【００３３】
また、第２のマスク板１２０を摺動できるように、駆動部１３０を第２のマスク板１２０に接続する。
【００３４】
次に、図５（ｂ）に示されるように、第２のマスク板１２０の上面に沿ってスキージ（不図示）を移動させることにより、第１の開口部１１１（特定第１の開口部１１１ａを含む。）および第２の開口部１２１（特定第２の開口部１２１ａを含む。）を介して、被印刷材ＳＰ（半田ペースト、クリーム半田等）をパッド２０１（特定パッド２０１ａを含む。）上に塗布する。このとき、スキージは、図１（ａ）に示した所定のスキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）に移動させる。これにより、被印刷材ＳＰがパッド２０１（特定パッド２０１ａを含む。）上に印刷される。図５（ｂ）の工程は、本発明の被印刷材塗布ステップに相当する。
【００３５】
ここで、図６は、図５（ｂ）の工程を説明するための図である。すなわち、この図６は、スキージ（不図示）を用いて、第１の開口部１１１（特定第１の開口部１１１ａを含む。）および第２の開口部１２１（特定第２の開口部１２１ａを含む。）を介して、被印刷材ＳＰをプリント配線基板２００上のパッド２０１（特定パッド２０１ａを含む。）上に塗布した後の状態を示す図である。図６（ａ）は、矢視Ｐを示す図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ１−Ａ１切断面における断面を示す図である。
【００３６】
図６（ａ）および図６（ｂ）に示されるように、第１の開口部１１１（特定第１の開口部１１１ａを含む。）の内側には、被印刷材ＳＰが充填されている。第２の開口部１２１（特定第２の開口部１２１ａを含む。）の内側のうち、スキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）に対して略平行な方向に延在する対辺の内壁に沿って、被印刷材ＳＰが残存する。
【００３７】
図７は、特定第２の開口部１１１ａ内の被印刷材ＳＰの残存状態を概略的に示す図である。図７（ａ）は、被印刷材を印刷した後の特定第２の開口部１１１ａの上面図である。図７（ｂ）は、被印刷材を印刷した後の特定第２の開口部１１１ａの斜視図である。
【００３８】
図７（ａ）および図７（ｂ）に示されるように、特定第２の開口部１２１ａの内側のうち、スキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）に対して略平行な方向に延在する対辺の内壁に沿って、被印刷材ＳＰが残存する。このとき、特定第２の開口部１２１ａの内側に残存する被印刷材ＳＰは、第２のマスク板１２０の下面から上面に向けて体積が減るように、残存している。
【００３９】
次に、図５（ｃ）および図１（ａ）に示されるように、駆動部１３０により、所定の摺動方向（矢印α１）に、第１のマスク板１１０の上面（主面）に沿って、第２のマスク板１２０を摺動させる。なお、所定の摺動方向は、前述の通り、所定のスキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）に対して略垂直方向である。これにより、図５（ｃ）に示されるように、特定第２の開口部１２１ａの内側に残存した被印刷材の残存物ＳＰ−ａが、特定第１の開口部１１１ａ内に充填されているＳＰから、離間される。
【００４０】
次に、図５（ｄ）および図１（ａ）に示されるように、駆動部１３０により、所定の摺動方向（矢印α２（矢印α１と逆方向））に、第１のマスク板１１０の上面（主面）に沿って、第２のマスク板１２０を摺動させる。これにより、図５（ｄ）に示された被印刷材ＳＰのうちで、特定第２の開口部１２１ａ以外の第２の開口部１２１内に充填されている被印刷材ＳＰと、特定第１の開口部１１１ａ以外の第１の開口部１１１内に充填されている被印刷材ＳＰとが、再び接合する。この結果、図５（ｄ）の左側のパッド２０１上には、被印刷材ＳＰが、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０を合わせた板厚分の高さで、印刷される。
【００４１】
また、図５（ｄ）に示されるように、駆動部１３０により、所定の摺動方向（矢印α２）に第２のマスク板１２０を摺動させた後であっても、特定第２の開口部１２１ａの内側に残存した被印刷材の残存物ＳＰ−ａは、特定第１の開口部１１１ａ内に充填されているＳＰと離間された状態のままである。したがって、特定パッド２０１ａ上には、被印刷材の残存物ＳＰ−ａを含まない状態で、被印刷材ＳＰが、第１のマスク板１１０の板厚分の高さで、印刷される。
【００４２】
また、図５（ｄ）の中央部のパッド２０１上には、図５（ｂ）の処理の段階で、被印刷材ＳＰは、第１のマスク板１１０の内側に充填されるのみで、被印刷物の残存物ＳＰ−ａはない。したがって、図５（ｄ）の中央部のパッド２０１上には、被印刷材ＳＰが、第１のマスク板１１０の板厚分の高さで、印刷される。
【００４３】
最後に、図５（ｅ）に示されるように、印刷用マスク１００をプリント配線基板２００から取り外す。この工程は、印刷用マスク取り外しステップに相当する。これにより、図５（ｅ）に示されるように、被印刷材ＳＰを異なる厚さでプリント配線基板２００上に印刷することができる。
【００４４】
以上、印刷用マスク１００を用いて、被印刷材をプリント配線基板２００上のパッド２０１に印刷する方法について、説明した。
【００４５】
以上の通り、本発明の第１の実施の形態における印刷用マスク１００は、第１のマスク板１１０と、第２のマスク板１２０と、特定第１の開口部１１１ａと、特定第２の開口部１２１ａ）と、駆動部１３０とを備えている。第１のマスク板１１０は、電子部品（不図示）を実装するための特定パッド２０１ａを上面に有するプリント配線基板２００上に、下面をプリント配線基板２００の上面に向かい合わせて、プリント配線基板２００上に重ねて配置される。第２のマスク板１２０は、下面を第１のマスク板１１０の上面に向かい合わせて、第１のマスク板１１０上に重ねて配置される。特定第１の開口部１１１ａは、第１のマスク１１０に特定パッド２０１ａに対応する位置に形成されている。特定第２の開口部１２１ａは、第２のマスク板１２０が第１のマスク板１１０上に重ねて配置されたときに、特定第１の開口部１１１ａを内側に含むとともに、端面が特定第１の開口部１１１ａの端面の近傍に設けられる。駆動部１３０は、所定のスキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）に対して略垂直方向である所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に、第１のマスク１１０の上面に沿って、第２のマスク１２０を摺動させる。ここで、所定のスキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）は、特定第１の開口部１１１ａおよび特定第２の開口部１２１ａを介してプリント配線基板２００上の特定パッド２０１ａに被印刷材を塗布するためにスキージ（不図示）を移動させる方向である。
【００４６】
この印刷用マスク１００を用いた場合、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０をプリント配線基板２００の上面上に重ねて配置した状態で、スキージ（不図示）を移動させることにより、特定第１の開口部１１１ａおよび特定第２の開口部１２１ａを介して、被印刷材ＳＰを特定パッド２０１ａ上に塗布する。このとき、特定第２の開口部１２１ａの内側のうち、スキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）に対して略平行な方向に延在する対辺の内壁に沿って、被印刷材ＳＰが残存する。
【００４７】
しかし、印刷用マスク１００では、上述の通り、駆動部１３０によって、所定のスキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）に対して略垂直方向である所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に、第１のマスク１１０の上面に沿って、第２のマスク１２０を摺動させる。
【００４８】
この第２のマスク１２０を摺動することによって、特定第２の開口部１２１ａの内側に残存した被印刷材の残存物ＳＰ−ａが、特定第１の開口部１１１ａ内に充填されているＳＰと離間される。したがって、被印刷材ＳＰをプリント配線基板２００上に印刷し、印刷用マスク１００をプリント配線基板２００から取り外した後に、被印刷材の残存物ＳＰ−ａは除去される。すなわち、印刷用マスク１００によれば、特許文献１に記載の技術のように、２度も被印刷材を供給することとなく、被印刷材を異なる厚さで簡単に印刷することができる。
【００４９】
また、本発明の第１の実施の形態における印刷方法は、第１のマスク板配置ステップと、第２のマスク板配置ステップと、被印刷材塗布ステップと、第２のマスク板摺動ステップとを含んでいる。第１のマスク板配置ステップでは、特定第１の開口部１１１ａを有する第１のマスク板１１０を、電子部品（不図示）を実装するための特定パッド２０１ａを上面に有するプリント配線基板２００上に重ねて、下面をプリント配線基板２００の上面に向かい合わせる。この向かい合わせとともに、第１のマスク板１１０を、特定第１の開口部１１１ａを特定パッド２０１ａの位置に対応させて、配置する。第２のマスク板配置ステップでは、特定第２の開口部１２１ａを有する第２のマスク板１２０を、下面を第１のマスク板１１０の上面に向かい合わせて、第１のマスク板１１０上に重ねて、配置する。特定第２の開口部１２１ａは、第１のマスク板１１０上に重ねて配置されたときに特定第１の開口部１１１ａを内側に含むともに端面が特定第１の開口部１１１ａの端面の近傍に設けられる。被印刷材塗布ステップでは、第２のマスク板１２０の上面に沿ってスキージ（不図示）を移動させることにより、特定第１の開口部１１１ａおよび特定第２の開口部１２１ａを介して、被印刷材ＳＰを特定パッド２０１ａ上に塗布する。第２のマスク板摺動ステップでは、駆動部１３０により、所定のスキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）に対して略垂直方向である所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に、第１のマスク板１１０の上面に沿って、第２のマスク板１２０を摺動させる。所定のスキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）は、プリント配線基板２００上の特定パッド２０１に被印刷材ＳＰを塗布するためにスキージ（不図示）を移動させる方向である。この印刷方法によっても、前述した印刷用マスク１００の効果と同様の効果を奏する。
【００５０】
＜第２の実施の形態＞
次に、本発明の第２の実施の形態における印刷用マスク１００Ａの構成について説明する。図８は、印刷マスク１００Ａをプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す図である。図８（ａ）は、印刷マスク１００Ａをプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す上面図である。図８（ｂ）は、印刷マスク１００Ａをプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す断面図であって、図８（ａ）のＥ−Ｅ切断面における断面図である。なお、図８では、図１〜７で示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜７に示した符号と同等の符号を付している。
【００５１】
図８（ａ）および図８（ｂ）に示されるように、印刷用マスク１００Ａは、第１のマスク板１１０Ａと、第２のマスク板１２０Ａと、駆動部１３０とを備えている。印刷用マスク１００Ａのうち、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０Ａは、プリント配線基板２００上に配置される。
【００５２】
ここで、図１（ａ）、（ｂ）と、図８（ａ）、（ｂ）を対比する。図８（ａ）および図８（ｂ）では、第１のマスク板１１０Ａおよび第２のマスク板１２０Ａが、第１の磁性部材１１２および第２の磁性部材１２２をそれぞれ有している。これに対して、図１（ａ）および図１（ｂ）では、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０は、磁性部材を有さない。この点で、両者は互いに相違する。
【００５３】
第１の磁性部材１１２は、第１のマスク板１１０Ａの上面（図８（ｂ）紙面の上側の面）に取り付けられている。第１の磁性部材１１２は、第２の磁性部材１２２と磁力により引きつけ合うことにより、第１のマスク板１１０Ａの上面および第２のマスク板１２０Ａの下面を密着させる。
【００５４】
第２の磁性部材１２２は、第２のマスク板１２０Ａの下面（図８（ｂ）紙面の下側の面）に取り付けられている。第２の磁性部材１２２は、第１の磁性部材１１２と磁力により引きつけ合うことにより、第１のマスク板１１０Ａの上面および第２のマスク板１２０Ａの下面を密着させる。
【００５５】
なお、図８（ａ）および図８（ｂ）では、磁性部材は、第１のマスク板１１０Ａの上面および第２のマスク板１２０Ｂの下面の双方に設けられている。一方、磁性部材は、第１のマスク板の上面および前記第２のマスク板の下面のいずれか一方に設けられてもよい。この場合でも、磁性部材は、第１のマスク板１１０Ａの上面および第２のマスク板１２０Ｂの下面を密着させる。
【００５６】
以上の通り、本発明の第２の実施の形態における印刷用マスク１００Ａは、磁性部材（例えば、第１の磁性部材１１２、第２の磁性部材１２２）を備えている。磁性部材は、第１のマスク板１１０Ａの上面および第２のマスク板１２０Ｂの下面のいずれか一方または双方に設けられている。磁性部材は、第１のマスク板１１０Ａの上面および第２のマスク板１２０Ｂの下面を密着させる。これにより、第１のマスク板１１０Ａおよび第２のマスク板１２０Ａをプリント配線基板２００上に配置して被印刷材を第１の開口部１１１および第２の開口部１２１を介してパッドに塗布する際に、第１のマスク板１１０Ａおよび第２のマスク板１２０Ａの間（板厚方向の間（図８（ｂ）紙面の上下方向））に被印刷材が流入することを抑止できる。
【００５７】
また、磁性部材は、特に第１の開口部１１１（特定第１の開口部１１１ａを含む。）の外周部および第２の開口部１２１（特定第２の開口部１２１ａを含む。）の外周部に形成されるとよい。これにより、第１のマスク板１１０Ａおよび第２のマスク板１２０Ａをプリント配線基板２００上に配置して被印刷材を第１の開口部１１１および第２の開口部１２１を介してパッドに塗布する際に、第１のマスク板１１０Ａおよび第２のマスク板１２０Ａの間（板厚方向の間（図８（ｂ）紙面の上下方向））に被印刷材が流入することを効率よく抑止できる。
【００５８】
また、本発明の第２の実施の形態における印刷方法では、第１のマスク板１１０Ａの上面および第２のマスク板１２０Ｂの下面を密着させる磁性部材（例えば、第１の磁性部材１１２、第２の磁性部材１２２）が、第１のマスク板１１０Ａの上面および第２のマスク板１２０Ａの下面のいずれか一方または双方に設けられている。第２のマスク板配置ステップでは、第２のマスク板１２０Ａを、下面を第１のマスク板１１０Ａの上面に向かい合わせて、第１のマスク板１１０Ａ上に重ねて配置し、磁性部材の磁力により第１のマスク板１１０Ａの上面および第２のマスク板１２０Ｂの下面を密着させる。この印刷方法によっても、前述した印刷用マスク１００Ａの効果と同様の効果を奏する。
【００５９】
＜第３の実施の形態＞
次に、本発明の第３の実施の形態における印刷用マスクの構成について説明する。図９は、本発明の第３の実施の形態における印刷用マスクの第２のマスク板１２０Ｂの構成を示す図である。図９（ａ）は、第２のマスク板１２０Ｂの上面図である。図９（ｂ）は、第２のマスク１２０Ｂの断面図であって、図９（ａ）のＦ−Ｆ切断面における断面図である。なお、図９では、図１〜８で示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜８に示した符号と同等の符号を付している。
【００６０】
図９（ａ）および図９（ｂ）に示されるように、第２のマスク板１２０Ｂは、可動部１２３と、枠部１２４と、弾性部材１２５とを備えている。
【００６１】
可動部１２３は、第２の開口部１２１（特定第２の開口部１２１ａを含む）の全てを有する。可動部１２３は、枠部１２４の内側に配置される。可動部１２３は、弾性部材１２５によって、枠部１２４に連結されている。
【００６２】
枠部１２４は、可動部１２３を囲うように配置されている。枠部１２４は、弾性部材１２５によって、可動部１２３に連結されている。
【００６３】
弾性部材１２５は、可動部１２３および枠部１２４の間を連結する。弾性部材１２５は、可動部１２３の外周辺うち、前述した所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）方向の対辺に沿って、設けられている。弾性部材１２５は、第２のマスク板１２０Ｂの可動部１２３を摺動方向（矢印α１、矢印α２）に沿って付勢する。これにより、弾性部材１２５は、第２のマスク板１２０Ｂの第２の開口部１２１（特定第２の開口部１２１ａを含む。）を摺動方向（矢印α１、矢印α２）に沿って付勢する。
【００６４】
なお、図９（ａ）に示されるように、可動部１２３の外側端面と枠部１２４の内側端面の間には、所定の間隙（ｄ１、ｄ２）が設けられている。
【００６５】
間隙ｄ１は、可動部１２３の外側端面と枠部１２４の内側端面とが当接する程度に設定されている。
【００６６】
間隙ｄ２は、弾性部材１２５を設置できる程度に設定されている。また、間隙ｄ２は、可動部１２３の移動距離が前述の被印刷材の残存物ＳＰ−ａの底面の幅（第２のマスク板１２０Ｂの可動部１２３を摺動方向（矢印α１、矢印α２）における幅）よりも大きくなるように、設定されている。これにより、可動部１２３の移動によって、被印刷材の残存物ＳＰ−ａを、第１の開口部１１１（特定第１の開口部１１１ａを含む。）内に充填されている被印刷物ＳＰから離間することができる。
【００６７】
次に、本発明の第３の実施の形態における印刷用マスクを用いて、被印刷材をプリント配線基板２００上のパッド２０１に印刷する方法について、説明する。
【００６８】
図５（ｃ）に対応する第２のマスク板摺動ステップでは、弾性部材１２５により第２のマスク板１２０Ｂの第２の開口部１２１（特定第２の開口部１２１ａを含む。）を所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に沿って付勢しながら、駆動部１３０により、所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に、第１のマスク板１１０の上面に沿って、第２のマスク板１２０Ｂの可動部１２３を摺動させる。これにより、第２のマスク板１２０Ｂの特定第２の開口部１２１ａの摺動が、弾性部材１２５により付勢される。この結果、特定第２の開口部１２１ａの内側に残存した被印刷材の残存物ＳＰ−ａが、特定第１の開口部１１１ａ内に充填されているＳＰから、効率よく離間される。なお、その他の動作は、図５（ａ）〜（ｅ）を用いた上記説明に準ずる。
【００６９】
以上の通り、本発明の第３の実施の形態における印刷用マスクは、弾性部材１２５を有する。この弾性部材１２５は、第２のマスク板１２０Ｂの特定第２の開口部１２１ａを所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に沿って付勢する。これにより、第２のマスク板１２０Ｂの特定第２の開口部１２１ａの摺動が、弾性部材１２５により付勢される。この結果、特定第２の開口部１２１ａの内側に残存した被印刷材の残存物ＳＰ−ａが、特定第１の開口部１１１ａ内に充填されているＳＰから、効率よく離間される。
【００７０】
また、本発明の第３の実施の形態における印刷方法において、第２のマスク板摺動ステップでは、弾性部材１２５により第２のマスク板１２０Ｂの特定第２の開口部１２１ａを所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に沿って付勢しながら、駆動部１３０により、所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に、第１のマスク板１１０の主面に沿って、第２のマスク板１２０Ｂの特定第２の開口部１２１ａを摺動させる。この印刷方法によっても、本発明の第３の実施の形態における印刷用マスクの効果を同様の効果を奏する。
【００７１】
＜第４の実施の形態＞
次に、本発明の第４の実施の形態における印刷用マスク１００Ｃの構成について説明する。図１０は、印刷マスク１００Ｃをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す図である。図１０（ａ）は、印刷マスク１００Ｃをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す上面図である。図１０（ｂ）は、印刷マスク１００Ｃをプリント配線基板上に取り付けた状態を示す断面図であって、図１０（ａ）のＧ−Ｇ切断面における断面図である。なお、図１０では、図１〜９で示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜９に示した符号と同等の符号を付している。
【００７２】
図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示されるように、印刷用マスク１００Ｃは、第１のマスク板１１０と、第２のマスク板１２０とＢ、駆動部１３０Ｃとを備えている。
【００７３】
ここで、図１（ａ）、（ｂ）と、図１０（ａ）、（ｂ）を対比する。図１０（ａ）および図１０（ｂ）では、複数の駆動部１３０Ｃが第１および第２のマスク板１１０、１２０Ｂ上に設けられている点で、図１（ａ）および図１（ｂ）と相違する。また、図１０（ａ）および図１０（ｂ）では、第２のマスク板１２０Ｂが設けられている点で、第２のマスク板１２０が設けられている図１（ａ）および図１（ｂ）と相違する。
【００７４】
図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示されるように、複数の駆動部１３０Ｃの各部は、第１および第２のマスク板１１０、１２０Ｂのうちで、所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）における両端部側に、設けられている。なお、複数の駆動部１３０Ｃは、第１および第２のマスク板１１０、１２０Ｂのうちで、所定のスキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）における両端部側に、設けられてもよい。さらに、複数の駆動部１３０Ｃは、第１および第２のマスク板１１０、１２０Ｂの４辺に沿って、設けられてもよい。
【００７５】
図１１は、駆動部１３０Ｃの構成を説明するための図であって、図１０（ｂ）のＨ部の拡大図である。
【００７６】
図１１に示されえるように、コイル１３１と、第１の磁石１３２と、第２の磁石１３３と、強磁性板１３４とを備えている。
【００７７】
図１１に示されるように、コイル１３１は、第２のマスク板１２０の上面に設けられている。コイル１３１は、金属線を螺旋状または環状に巻くことにより形成される。
【００７８】
図１１に示されるように、第１の磁石１３２および第２の磁石１３３は、第１のマスク板１１０の下面に、互い違いに配置されるように設けられている。第１の磁石１３２はＮ極の磁石であり、第２の磁石１３３は、Ｓ極の磁石である。
【００７９】
強磁性板１３４は、第１のマスク板１１０の下面に設けられている。強磁性板１３４は、例えば、高透磁率である鉄等の板である。
【００８０】
なお、上記説明では、コイル１３１が第２のマスク板１２０の上面に設けられ、第１の磁石１３２および第２の磁石１３３が第１のマスク板１１０の下面に設けられていると
説明した。一方、コイル１３１が第１のマスク板１１０の下面に設けられ、第１の磁石１３２および第２の磁石１３３が第２のマスク板１２０の上面に設けられてもよい。
【００８１】
次に、本発明の第４の実施の形態における印刷用マスク１００Ｃを用いて、被印刷材をプリント配線基板２００上のパッド２０１に印刷する方法について、説明する。
【００８２】
図５（ｃ）および（ｄ）において、駆動部１３０Ｃは次のように動作する。すなわち、コイル１３１に電流を流すことにより、コイル１３１と、第１および第２の磁石１３２、１３３との間に、電磁力を発生させる。これに対応して、第１の磁石１３２および第２の磁石１３３が反発する。これにより、第２のマスク板１２０Ｂが第１のマスク板１１０に対して相対的に移動する。これにより、図５（ｃ）を用いて説明した内容と同様に、特定第２の開口部１２１ａの内側に残存した被印刷材の残存物ＳＰ−ａが、特定第１の開口部１１１ａ内に充填されているＳＰから、離間される。また、図５（ｄ）を用いて説明した内容と同様に、被印刷材ＳＰのうちで、特定第２の開口部１２１ａ以外の第２の開口部１２１内に充填されている被印刷材ＳＰと、特定第１の開口部１１１ａ以外の第１の開口部１１１内に充填されている被印刷材ＳＰとが、再び接合する。この結果、図５（ｄ）の左側のパッド２０１上には、被印刷材ＳＰが、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０を合わせた板厚分の高さで、印刷される。
【００８３】
ここで、第２のマスク板Ｂの可動部１２３（第２の開口部１２１（特定第２の開口部１２１ａを含む。））は、間隙ｄ１によって、所定のスキージ移動方向（矢印β１、矢印β２）の移動が規制されている。一方、第２のマスク板Ｂの可動部１２３（第２の開口部１２１（特定第２の開口部１２１ａを含む。））は、弾性部材１２５によって、所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に付勢されて移動する。
【００８４】
以上の通り、本発明の第４の実施の形態における印刷用マスク１００Ｃでは、駆動部１３０Ｃは、コイル１３１と、磁石（第１の磁石１３２、第２の磁石１３３）を備えている。
コイル１３１は、第１のマスク板１１０または第２のマスク板１２０Ｂの一方に設けられている。磁石（第１の磁石１３２、第２の磁石１３３）は、第１のマスク板１１０または第２のマスク板１２０Ｂの他方にコイル１３１に向かい合うように設けられている。そして、コイル１３１に電流を流すことにより、コイル１３１および磁石（第１の磁石１３２、第２の磁石１３３）の間に電磁力を発生させ、この電磁力により第２のマスク１２０Ｂを所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に第１のマスク板１１０の上面に沿って摺動させる。これにより、簡単な構成で、第２のマスク１２０Ｂを所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に第１のマスク板１１０の上面に沿って摺動させることができる。
【００８５】
また、本発明の第４の実施の形態における印刷方法では、駆動部１３０Ｃは、コイル１３１と、磁石（第１の磁石１３２、第２の磁石１３３）を備えている。コイル１３１は、第１のマスク板１１０または第２のマスク板１２０Ｂの一方に設けられている。磁石（第１の磁石１３２、第２の磁石１３３）は、第１のマスク板１１０または第２のマスク板１２０Ｂの他方にコイル１３１に向かい合うように設けられている。そして、コイル１３１に電流を流すことにより、コイル１３１および磁石（第１の磁石１３２、第２の磁石１３３）の間に電磁力を発生させ、この電磁力により第２のマスク１２０Ｂを所定の摺動方向（矢印α１、矢印α２）に第１のマスク板１１０の上面に沿って摺動させる。この印刷方法によっても、印刷用マスク１００Ｃの効果を同様の効果を奏する。
【００８６】
＜第５の実施の形態＞
次に、本発明の第５の実施の形態における印刷用マスク１００Ｄの構成について説明する。図１２は、印刷マスク１００Ｄをプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す図である。図１２（ａ）は、印刷マスク１００Ｄをプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す上面図である。図１２（ｂ）は、印刷マスク１００Ｄをプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す断面図であって、図１２（ａ）のＪ−Ｊ切断面における断面図である。なお、図１２では、図１〜１１で示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜１１に示した符号と同等の符号を付している。
【００８７】
図１２（ａ）および図１２（ｂ）に示されるように、印刷用マスク１００Ｄは、第１のマスク板１１０と、第２のマスク板１２０と、駆動部１３０と、位置決め指標１４０とを備えている。
【００８８】
ここで、図１（ａ）、（ｂ）と、図１２（ａ）、（ｂ）とを比較する。図１２（ａ）および図１２（ｂ）では、印刷用マスク１００Ｄが位置決め指標１４０を有する点で、図１（ａ）および図１（ｂ）と相違する。
【００８９】
図１２（ａ）および図１２（ｂ）に示されるように、位置決め指標１４０の各部は、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０の四隅に設けられている。
【００９０】
図１３は、位置決め指標１４０の構成を説明するための図である。図１３（ａ）は、位置決め指標１４０の上面図である。図１３（ｂ）は、図１２（ｂ）のＫ部の拡大図である。
【００９１】
図１３（ａ）および図１３（ｂ）に示されるように、位置決め指標１４０は、第１の位置決め用開口部１４１と、ブリッジ部１４２と、第２の位置決め用開口部１４３と、光源部１４４と、光源用カバー部１４５と、光検出センサ１４６とを備えている。
【００９２】
図１４は、位置決め指標の構成を説明するための図である。図１４（ａ）は、第２のマスク板に形成された第２の位置決め用開口部１４３の上面図である。図１４（ｂ）は、第１のマスク板に形成された第１の位置決め用開口部１４１の上面図である。図１４（ｃ）は、光検出センサ１４６の構成を示す上面図である。
【００９３】
図１３（ａ）、図１３（ｂ）および図１４（ｂ）に示されるように、４つの第１の位置決め用開口部１４１は、第１のマスク板１１０の四隅に設けられている。４つの第１の位置決め用開口部１４１の集合体は、略円形状になるように形成されている。また、４つの第１の位置決め用開口部１４１の間には、ブリッジ部１４２が設けられている。
【００９４】
図１３（ａ）、図１３（ｂ）および図１４（ｂ）に示されるように、ブリッジ部１４２は、４つの第１の位置決め用開口部１４１の間に設けられている。ブリッジ１４２の交差部は、４つの第１の位置決め用開口部１４１の集合体の中心部に配置される。
【００９５】
図１３（ａ）、図１３（ｂ）および図１４（ａ）に示されるように、第２の位置決め用開口部１４３は、第２のマスク板１２０の四隅に設けられている。第２の位置決め用開口部１４３は、４つの第１の位置決め用開口部１４１の集合体と向かい合うように、円形状に設けられている。第２の位置決め用開口部１４３の中心部は、ブリッジ１４２の交差部の位置に対応するように設定される。すなわち、第２の位置決め用開口部１４３の中心部は、４つの第１の位置決め用開口部１４１の集合体の中心部の位置に対応するように設定される。また、第２の位置決め用開口部１４３の外周円は、４つの第１の位置決め用開口部１４１の集合体の外周円の内側に配置されている。
【００９６】
図１３（ａ）および図１３（ｂ）に示されるように、光源部１４４は、第２のマスク板１２０上であって、第２の位置決め用開口部１４３に向かい合うように設けられている。光源部１４４は、第１および第２の位置決め用開口部１４１、１４３を介して、光検出サンサ１４６へ向けて光を出射する。
【００９７】
図１３（ａ）および図１３（ｂ）に示されるように、光源用カバー部１４５は、光源部１４４および第２の位置決め用開口部１４３を覆うように、第２のマスク板１２０に取り付けられている。光源用カバー部１４５は、光源部１４４により出射される光が漏れることを抑制する。
【００９８】
図１３（ａ）、図１３（ｂ）および図１４（ｃ）に示されるように、４つの光検出センサ１４６の各々は、４つの第１の位置決め用開口部１４１の各々の位置に対応して、第１のマスク板１１０の下面に設けられている。４つの光検出センサ１４６の各々は、光源部１４４により出射される光を受光し、第１の位置決め用開口部１４１と第２の位置決め用開口部１４３の間で生じる位置ずれを検出する。
【００９９】
次に、図５（ａ）で説明した第２のマスク板配置ステップにて、位置決め用指標１４０を用いた配置方法について説明する。
【０１００】
まず、第１のマスク板１１０が、プリント配線基板２００上に重ねて配置されている。
【０１０１】
次に、第２のマスク板１２０を、第１のマスク板１１０上に重ねて配置する。このとき、光源部１４４により出射された光が、第１および第２の位置決め用開口部１４１、１４３を介して、４つの光検出センサ１４６に、入射される。４つの光検出センサ１４６の各々は、入射光の光量を検出する。４つの光検出センサ１４６の各々により検出された入射光量の違いによって、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０の位置ずれの向きおよび位置ずれ量を認識することができる。そして、位置決め用指標１４０は、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０の位置ずれの向きおよび位置ずれ量を補正するための補正量を算出する。そして、この補正量に基づいて、第１のマスク板１１０に対する第２のマスク板１２０の位置が補正される。この補正処理では、前述の駆動部１３０、１３０Ｃを用いて、第１のマスク板１１０に対する第２のマスク板１２０の位置が補正する。
【０１０２】
以上の通り、本発明の第５の実施の形態における印刷用マスク１００Ｄは、位置決め指標１４０を備えている。位置決め指標１４０は、第２のマスク板１２０を第１のマスク板１１０上に配置する際に用いるために、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０のいずれか一方または双方に設けられている。これにより、第２のマスク板１２０を第１のマスク板１１０上に正確に配置することができる。
【０１０３】
また、本発明の第５の実施の形態における印刷方法では、第２のマスク板１２０を第１のマスク板１１０上に配置する際に用いるための位置決め指標１４０が、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０のいずれか一方または双方に設けられている。第２のマスク板配置ステップでは、位置決め指標１４０を用いて、第２のマスク板１２０を、下面を第１のマスク板１１０の上面に向かい合わせて、第１のマスク板１１０上に重ねて、配置する。この印刷方法によっても、印刷用マスク１１０Ｄの効果を同様の効果を奏する。
【０１０４】
＜第６の実施の形態＞
次に、本発明の第６の実施の形態における印刷用マスク１００Ｅの構成について説明する。図１５は、印刷マスク１００Ｅをプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す図である。図１５（ａ）は、印刷マスク１００Ｅをプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す上面図である。図１５（ｂ）は、印刷マスク１００Ｅをプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す断面図であって、図１５（ａ）のＬ−Ｌ切断面における断面図である。なお、図１５では、図１〜１４で示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜１４に示した符号と同等の符号を付している。
【０１０５】
図１５（ａ）および図１５（ｂ）に示されるように、印刷用マスク１００Ｅは、第１のマスク板１１０と、第２のマスク板１２０と、駆動部１３０と、位置決め指標１５０とを備えている。
【０１０６】
ここで、図１（ａ）、（ｂ）と、図１５（ａ）、（ｂ）とを比較する。図１５（ａ）および図１５（ｂ）では、印刷用マスク１００Ｅが位置決め指標１５０を有する点で、図１（ａ）および図１（ｂ）と相違する。
【０１０７】
図１５（ａ）および図１５（ｂ）に示されるように、複数の位置決め指標１５０は、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０の四隅に設けられている。図１５（ａ）および図１５（ｂ）には、４つの位置決め指標１５０を示した。しかしながら、位置決め指標１５０は少なくとも３つ以上設けられればよい。
【０１０８】
図１６は、位置決め指標１５０の構成を説明するための図である。図１６（ａ）および図１６（ｂ）は、位置決め指標１５０の断面であって、図１５（ｂ）のＭ部の拡大図を含む図である。
【０１０９】
図１６（ａ）および図１６（ｂ）に示されるように、位置決め指標１５０は、第１の位置決め用開口部１４１Ａと、第２の位置決め用開口部１４３Ａとを備えている。
【０１１０】
第１の位置決め用開口部１４１Ａは、第１のマスク板１１０を貫通するように、形成されている。
【０１１１】
第２の位置決め用開口部１４３Ａは、第２のマスク板１２０を貫通するように、形成されている。第２の位置決め用開口部１４３Ａは、第１の位置決め用開口部１４１Ａの形成位置に対応する位置に形成されている。第２の位置決め用開口部１４３Ａの大きさは、第１の位置決め用開口部１４１Ａの大きさと略同一である。
【０１１２】
次に、図５（ａ）で説明した第２のマスク板配置ステップにて、位置決め用指標１５０を用いた配置方法について説明する。
【０１１３】
まず、第１のマスク板１１０が、プリント配線基板２００上に重ねて配置されている。
【０１１４】
次に、第２のマスク板１２０を、第１のマスク板１１０上に重ねて配置する。このとき、図１６（ａ）および図１６（ｂ）に示されるように、ピンＰＩを用いて、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０が正確な位置で互いに重なり合うように、調整する。具体的には、第１および第２の位置決め用開口部１４１Ａ、１４３Ｂ内にピンＰＩを挿入することによって、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０の間の配置関係を補正する。なお、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０の間で生じるずれ量は、約５００μｍ未満と想定される。第１の位置決め用開口部１４１Ａおよび第２の位置決め用開口部１４３Ａの内径がφ２ｍｍ程度であると仮定する。この場合、第１の位置決め用開口部１４１Ａおよび第２の位置決め用開口部１４３Ａに、直径φ１．８ｍｍのピンを挿入することにより、第１の位置決め用開口部１４１Ａおよび第２の位置決め用開口部１４３Ａが一致する方向に第２のマスク板１２０が移動する。これにより、第１のマスク板１１０に対する第２のマスク板１２０の位置が補正される。そして、第１の位置決め用開口部１４１Ａおよび第２の位置決め用開口部１４３Ａが互いに重なり合う。この結果、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０が正確な位置で互いに重なり合う。
【０１１５】
以上の通り、本発明の第６の実施の形態における印刷用マスク１００Ｅは、位置決め指標１５０を備えている。位置決め指標１５０は、第２のマスク板１２０を第１のマスク板１１０上に配置する際に用いるために、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０のいずれか一方または双方に設けられている。これにより、第２のマスク板１２０を第１のマスク板１１０上に正確に配置することができる。
【０１１６】
また、本発明の第６の実施の形態における印刷方法では、第２のマスク板１２０を第１のマスク板１１０上に配置する際に用いるための位置決め指標１５０が、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０のいずれか一方または双方に設けられている。第２のマスク板配置ステップでは、位置決め指標１５０を用いて、第２のマスク板１２０を、下面を第１のマスク板１１０の上面に向かい合わせて、第１のマスク板１１０上に重ねて、配置する。この印刷方法によっても、印刷用マスク１１０Ｅの効果を同様の効果を奏する。
【０１１７】
＜第７の実施の形態＞
次に、本発明の第７の実施の形態における印刷用マスク１００Ｆの構成について説明する。図１７は、印刷マスク１００Ｆをプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す図である。図１７（ａ）は、印刷マスク１００Ｆをプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す上面図である。図１７（ｂ）は、印刷マスク１００Ｆをプリント配線基板２００上に取り付けた状態を示す断面図であって、図１７（ａ）のＮ−Ｎ切断面における断面図である。なお、図１７では、図１〜１６で示した各構成要素と同等の構成要素には、図１〜１６に示した符号と同等の符号を付している。
【０１１８】
図１７（ａ）および図１７（ｂ）に示されるように、印刷用マスク１００Ｆは、第１のマスク板１１０と、第２のマスク板１２０と、駆動部１３０と、位置決め指標１６０とを備えている。
【０１１９】
ここで、図１（ａ）、（ｂ）と、図１７（ａ）、（ｂ）とを比較する。図１７（ａ）および図１７（ｂ）では、印刷用マスク１００Ｆが位置決め指標１６０を有する点で、図１（ａ）および図１（ｂ）と相違する。
【０１２０】
図１７（ａ）および図１７（ｂ）に示されるように、複数の位置決め指標１６０は、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０の四隅に設けられている。図１７（ａ）および図１７（ｂ）には、４つの位置決め指標１６０を示した。しかしながら、位置決め指標１６０は少なくとも３つ以上設けられればよい。
【０１２１】
図１８は、位置決め指標１６０の構成を説明するための図である。図１８（ａ）および図１８（ｂ）は、位置決め指標１６０の断面であって、図１７（ｂ）のＰ部の拡大図を含む図である。
【０１２２】
図１８（ａ）および図１８（ｂ）に示されるように、位置決め指標１６０は、位置決め用マーク１４７と、位置決め用開口部１４８とを備えている。
【０１２３】
位置決め用マーク１４７は、第１のマスク板１１０の上面上に、円形状に凹むように形成されている。
【０１２４】
位置決め用開口部１４８は、第２のマスク板１２０を貫通するように、形成されている。位置決め用開口部１４８は、位置決め用マーク１４７の形成位置に対応する位置に形成されている。位置決め用開口部１４８の大きさは、位置決め用マーク１４７の大きさよりも小さくなるように設定されている。すなわち、位置決め用マーク１４７および位置決め用開口部１４８をそれぞれの中心を合せて重ねたとき、位置決め用マーク１４７が位置決め用開口部１４８の内側に配置される。
【０１２５】
次に、図５（ａ）で説明した第２のマスク板配置ステップにて、位置決め用指標１６０を用いた配置方法について説明する。
【０１２６】
まず、第１のマスク板１１０が、プリント配線基板２００上に重ねて配置されている。
【０１２７】
次に、第２のマスク板１２０を、第１のマスク板１１０上に重ねて配置する。このとき、図１８（ａ）および図１８（ｂ）に示されるように、カメラＣＡを用いて、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０が正確な位置で互いに重なり合うように、調整する。具体的には、カメラＣＡが、位置決め用マーク１４７および位置決め用開口部１４８を撮影する。そして、カメラＣＡの撮像画像にて、位置決め用マーク１４７が位置決め用開口部１４８の内側に配置されるように、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０の間の配置関係を補正する。これにより、第１のマスク板１１０に対する第２のマスク板１２０の位置が補正される。この結果、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０が正確な位置で互いに重なり合う。
【０１２８】
以上の通り、本発明の第７の実施の形態における印刷用マスク１００Ｆは、位置決め指標１６０を備えている。位置決め指標１６０は、第２のマスク板１２０を第１のマスク板１１０上に配置する際に用いるために、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０のいずれか一方または双方に設けられている。これにより、第２のマスク板１２０を第１のマスク板１１０上に正確に配置することができる。
【０１２９】
また、本発明の第７の実施の形態における印刷方法では、第２のマスク板１２０を第１のマスク板１１０上に配置する際に用いるための位置決め指標１６０が、第１のマスク板１１０および第２のマスク板１２０のいずれか一方または双方に設けられている。第２のマスク板配置ステップでは、位置決め指標１６０を用いて、第２のマスク板１２０を、下面を第１のマスク板１１０の上面に向かい合わせて、第１のマスク板１１０上に重ねて、配置する。この印刷方法によっても、印刷用マスク１１０Ｆの効果を同様の効果を奏する。
【０１３０】
以上、実施の形態をもとに本発明を説明した。実施の形態は例示であり、本発明の主旨から逸脱しない限り、上述各実施の形態に対して、さまざまな変更、増減、組合せを加えてもよい。これらの変更、増減、組合せが加えられた変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。
【符号の説明】
【０１３１】
１００、１００Ａ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ    印刷用マスク
１１０、１１０Ａ    第１のマスク板
１１１    第１の開口部
１１１ａ    特定第１の開口部
１２０、１２０Ａ、１２０Ｂ    第２のマスク板
１２１    第２の開口部
１２１ａ    特定第２の開口部
１３０、１３０Ｃ    駆動部
１３１    コイル
１３２    第１の磁石
１３３    第２の磁石
１３４    強磁性板
１４０    位置決め指標
１４１、１４１Ａ    第１の位置決め用開口部
１４２    ブリッジ部
１４３、１４３Ａ    第２の位置決め用開口部
１４４    光源部
１４５    光源用カバー部
１４６    光検出センサ
１４７    位置決め用マーク
１４８    位置決め用開口部
１５０    位置決め指標
２００    プリント配線基板
２０１    パッド
２０１ａ    特定パッド
【図１】
2015182418.tif 000003
【図２】
2015182418.tif 000004
【図３】
2015182418.tif 000005
【図４】
2015182418.tif 000006
【図５】
2015182418.tif 000007
【図６】
2015182418.tif 000008
【図７】
2015182418.tif 000009
【図８】
2015182418.tif 000010
【図９】
2015182418.tif 000011
【図１０】
2015182418.tif 000012
【図１１】
2015182418.tif 000013
【図１２】
2015182418.tif 000014
【図１３】
2015182418.tif 000015
【図１４】
2015182418.tif 000016
【図１５】
2015182418.tif 000017
【図１６】
2015182418.tif 000018
【図１７】
2015182418.tif 000019
【図１８】
2015182418.tif 000020