(57)【要約】【課題】通電時の発生熱量を低減し、必要な冷却器の小形化を可能とすることにより、装置体格を縮小することが可能な半導体モジュールを提供する。【解決手段】実施形態によれば、電力変換装置の半導体モジュールは、放熱板２４と、絶縁基板、およびこの絶縁基板上に形成された複数の導体パターンを有し、放熱板上に接合された実装基板５３、５４と、一部の導体パターン上に実装された半導体素子と、を備えている。導体パターンは、半導体素子が実装された実装パターン３２Ｆと、半導体素子が非搭載の非実装パターン３２Ａと、を含み、非実装パターンは、実装パターンよりも厚く形成されている。【選択図】図２
2015053410.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電力変換装置の半導体モジュールであって、
放熱板と、
絶縁基板、およびこの絶縁基板上に形成された複数の導体パターンを有し、前記放熱板上に接合された実装基板と、
前記導体パターンの一部の導体パターン上に実装された半導体素子と、を備え、
前記導体パターンは、前記半導体素子が実装された実装パターンと、半導体素子が非搭載の非実装パターンと、を含み、前記非実装パターンは、前記実装パターンよりも厚く形成されていることを特徴とする半導体モジュール。
【請求項２】
前記実装基板は、前記非実装パターンの形状と同等以下の面積を有し前記非実装パターン上に積層された導体板を備え、前記非実装パターンおよびこれに積層された導体板の合計の厚さが、前記実装パターンの厚さよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の半導体モジュール。
【請求項３】
前記導体板は複数の貫通孔を有することを特徴とする請求項２に記載の半導体モジュール。
【請求項４】
前記導体板は、それぞれ導体板の幅の範囲内で幅方向に延びる複数のスリットを有することを特徴とする請求項２に記載の半導体モジュール。
【請求項５】
前記実装パターンは、前記絶縁基板の中央部に設けられ、前記非実装パターンは、前記実装パターンの外側で前記絶縁基板の側縁近傍に設けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の半導体モジュール。
【請求項６】
前記非実装パターンは、配線経路を形成する配線パターンであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の半導体モジュール。
【請求項７】
電力変換装置の半導体モジュールであって、
放熱板と、
絶縁基板、およびこの絶縁基板上に形成された複数の導体パターンを有し、前記放熱板上に接合された実装基板と、
前記導体パターンの一部の導体パターン上に実装された半導体素子と、を備え、
前記導体パターンは、前記半導体素子が実装された実装パターンと、半導体素子が非搭載の非実装パターンと、を含み、前記非実装パターンに、始点側接合点および終点側接合点が前記非実装パターン内に設置された複数のボンディングワイヤが接合されていることを特徴とする半導体モジュール。
【請求項８】
電力変換装置の半導体モジュールであって、
放熱板と、
絶縁基板、およびこの絶縁基板上に形成された複数の導体パターンを有し、前記放熱板上に接合された第１実装基板と、
絶縁基板、およびこの絶縁基板上に形成された複数の導体パターンを有し、前記放熱板上に接合された第２実装基板と、
前記第１実装基板の一部の導体パターン上に実装された第１半導体素子と、
前記第２実装基板の一部の導体パターン上に実装された第２半導体素子と、を備え、
前記第１および第２実装基板の導体パターンの各々は、前記第１あるいは第２半導体素子が実装された実装パターンと、半導体素子が非搭載の非実装パターンと、を含み、前記非実装パターンの少なくとも一部は、他の部分よりも大きなパターン幅に拡大され、
前記第１および第２実装基板は、前記放熱板に対して、互いに非対称に配置されていることを特徴とする半導体モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
ここで述べる実施形態は、インバータ等の電力変換装置に用いる半導体モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、各種用途のインバータは、高効率および高信頼性であるとともに、より小形であることが期待されている。それを実現するため、インバータのキー部品であるパワー半導体モジュールの改善が要求される。
【０００３】
高効率化するためには、パワー半導体モジュールの通電に伴う発熱量の低減、すなわち、低損失化が重要となる。しかしながら、通電発熱に伴う温度上昇を抑制するためには、冷却機構を装備する必要があり、この冷却機構は通常大きな容積を必要とするので、インバータの大きさを支配する最大要因となっている。このことから、低損失化はインバータの小形化に通じる。
【０００４】
パワー半導体モジュールには、スイッチング素子等のパワー半導体素子が収納され、これを効率良く利用することも重要である。すなわち、パワー半導体素子の電圧、電流などの通電定格の許容上限値にできるだけ近い値まで通電することが求められる。パワー半導体素子を、その許容上限値に近い通電条件で使用した場合でも、長期的に信頼性を維持し続けることも期待される。
【０００５】
パワー半導体素子は、高純度のシリコン材料を用い、各種の極めて微細な加工を施して製造されている。装置に組み込む際の取扱の便宜を図るため、半導体素子をパッケージに収納したパワー半導体モジュールとして扱われる（一般の半導体部品と同様）。
【０００６】
パワー半導体素子は、複数個を並列もしくは直列に接続して使用する場合が多い。また、インバータ回路を構成する場合、素子群からなる単位回路を複数個組み合わせて所要の回路を構成する必要がある。そこで、半導体素子１個単位で１個のパッケージに収納するのではなく、複数個の半導体素子もしくは複数の単位回路を１個のパッケージに収納する形態が主流となっている。
【０００７】
パワー半導体モジュールにおいては、収納する半導体素子の配置方法や素子間を接続する配線構造が通電特性や信頼性を左右する。そのため、様々な構成や構造が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１０−１３０３２２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
パワー半導体モジュールの発熱量低減のためには、半導体素子の発熱量低減と、モジュールの内部配線の抵抗成分に起因する発熱量低減が必要である。前者は半導体素子の特性向上、後者は配線の材料、形状および敷設形態の工夫による抵抗低減が必要となる。
【００１０】
また、通電時に発生するサージ電圧を低減することにより、通電条件（電圧、電流）の制限を緩和でき、より大きい電圧または電流で使用できる。サージ電圧低減には、回路の寄生インダクタンスを低減する必要があり、素子の内部配線に寄生するインダクタンスの低減も不可欠である。
【００１１】
この発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、その課題は、通電時の発生熱量を低減し、必要な冷却器の小形化を可能とすることにより、装置体格を縮小することが可能な半導体モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
実施形態によれば、電力変換装置の半導体モジュールは、放熱板と、絶縁基板、およびこの絶縁基板上に形成された複数の導体パターンを有し、前記放熱板上に接合された実装基板と、前記導体パターンの一部の導体パターン上に実装された半導体素子と、を備えている。前記導体パターンは、前記半導体素子が実装された実装パターンと、半導体素子が非搭載の非実装パターンと、を含み、前記非実装パターンは、前記実装パターンよりも厚く形成されている。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、第１の実施形態に係るパワー半導体モジュールを示す斜視図。
【図２】図２は、前記パワー半導体モジュールの分解斜視図。
【図３】図３は、前記パワー半導体モジュールの平面図。
【図４】図４は、前記パワー半導体モジュールの実装基板を示す平面図。
【図５】図５は、前記実装基板を示す斜視図。
【図６】図６は、図４の線Ａ−Ａに沿った実装基板の断面図。
【図７】図７は、第２の実施形態に係るパワー半導体モジュールの実装基板を示す分解斜視図。
【図８】図８は、第３の実施形態に係るパワー半導体モジュールの実装基板を示す分解斜視図。
【図９】図９は、第４の実施形態に係るパワー半導体モジュールの実装基板を示す分解斜視図。
【図１０】図１０は、第５の実施形態に係るパワー半導体モジュールの実装基板を示す斜視図。
【図１１】図１１は、第６の実施形態に係るパワー半導体モジュールの実装基板を示す斜視図
【図１２】図１２は、第６の実施形態に係るパワー半導体モジュールの平面図。
【図１３】図１３は、第７の実施形態に係るパワー半導体モジュールの平面図。
【図１４】図１４は、パワー半導体モジュールを用いたインバータの等価回路図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら、実施形態に係るパワー半導体モジュールについて詳細に説明する。  
（第１の実施形態）  
始めに、パワー半導体モジュールを用いる半導体電力変換装置（インバータ）について説明する。図１４は、インバータの等価回路を示している。
【００１５】
図１４に示すように、インバータ２０は、例えば、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の３相インバータとして構成されているとともに、負荷対象として、例えば、３相電動機７０に電力を供給するように構成されている。インバータ２０は、それぞれＵ相、Ｖ相、Ｗ相に対応する３つのパワー半導体モジュール１０と、直流電源１からパワー半導体モジュール１０に供給される直流電圧を平滑する平滑コンデンサ４と、３相電動機７０に３相出力を出力する出力部２と、３相電動機７０へ流れる電流を検出する電流検出器７２ａ、７２ｂ、７２ｃと、電流検出器により検出された電流情報や平滑コンデンサ４に印加される電圧等に基づき、パワー半導体モジュール１０を制御する制御ユニット７４と、制御ユニット７４の制御信号に基づき、パワー半導体モジュールの半導体素子を駆動する駆動回路を有する駆動基板７５と、を備えている。駆動基板７５には、半導体素子のゲートに駆動信号を入力する駆動用ＩＣ７６が半導体素子に対して１対１の対応で設けられている。即ち、この回路では、駆動用ＩＣ７６が６個設けられている。また、パワー半導体モジュール１０、および平滑コンデンサ４の下方には、これらを冷却する図示しないヒートシンク、放熱板等の冷却器が設けられている。
【００１６】
各相のパワー半導体モジュール１０は、半導体素子として、例えば、ＩＧＢＴ(Insulated gate bipolar transistor)１９１、１９２と、ダイオード２０１、２０２とを有している。パワー半導体モジュール１０は、直流電源１から供給される直流電力の正極及び負極を正極端子（Ｃ１端子）３８及び負極端子（Ｅ２端子）３９にそれぞれ印加し、コンデンサ４を利用して、ＩＧＢＴ１９１、１９２のそれぞれのゲートを制御することにより、交流電力に変換して、出力部２に出力する。これにより、インバータ２０は、直流電力を三相交流電力に変換し、出力部２から３相電動機７０に出力する。ダイオード２０１、２０２は、例えば、低損失半導体素子である窒化ケイ素（ＳｉＣ）素子により形成されている。スイッチング素子としてのＩＧＢＴ１９１、１９２と、このＩＧＢＴに逆並列に接続されたダイオード２０１、２０２とがモジュール化されている。ＩＧＢＴ１９１およびダイオード２０１は、インバータの上アームを構成し、ＩＧＢＴ１９２およびダイオード２０２は、インバータの下アームを構成している。
【００１７】
なお、図１４において、各パワー半導体モジュール１０のＩＧＢＴ１９１、１９２、およびダイオード２０１、２０２は、それぞれ１つずつ図示しているが、実施形態においては、各ＩＧＢＴは、３つのＩＧＢＴを並列に接続して構成され、同様に、各ダイオードは、３つのダイオードを並列に接続して構成されている。また、スイッチング素子は、ＩＧＢＴ以外、例えばＭＯＳＦＥＴなども使用可能である。
【００１８】
次に、インバータ２０の各相を構成するパワー半導体モジュールについて詳細に説明する。図１は、第１の実施形態に係るパワー半導体モジュールの外観を示す斜視図、図２はパワー半導体モジュールの分解斜視図、図３は、蓋体を除いて内部構造を示すパワー半導体モジュールの平面図である。
【００１９】
図１ないし図３に示すように、パワー半導体モジュール１０は、全体として偏平な矩形箱状に形成されている。パワー半導体モジュール１０は、ベースとして機能する矩形状の放熱板２４と、放熱板の上面、すなわち、設置面、上に配置された第１実装基板（ハイサイド用絶縁基板）５３および第２実装基板（ローサイド用絶縁基板）５４と、第１実装基板５３上に実装された第１半導体素子としてのＩＧＢＴ１９１Ａ、１９１Ｂ、１９１Ｃ、およびダイオード２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃと、第２実装基板５４上に実装された第２半導体素子としてのＩＧＢＴ１９２Ａ、１９２Ｂ、１９２Ｃ、およびダイオード２０２Ａ、２０２Ｂ、２０２Ｃと、樹脂ケース５２と、蓋体５５と、接続配線（接続導体）用のボンディングワイヤ３１Ａ〜３１Ｇと、を備えている。
【００２０】
放熱板２４は、銅や金属メッキを施したセラミック材などが用いられる。第１および第２実装基板５３、５４は、例えば、セラミック等の絶縁板の表裏両面に銅箔などの金属回路パターン（導体パターン）が直接接合して構成されている。第１および第２実装基板５３、５４は、全体を１枚構成にすると、面積が大きくなり、反り変形などが発生しやすくなるため、２枚構成としている。第１および第２実装基板５３、５４は大きさと細部形状が同一に形成されている。第１および第２実装基板５３、５４の裏面導体パターンは、ハンダなどを用いて放熱板２４上に接合されている。これにより、第１および第２実装基板５３、５４は、放熱板２４の長手方向に並んで配置されている。
【００２１】
第１実装基板５３の導体パターン３２Ｆ上に、ＩＧＢＴ１９１Ａ〜１９１Ｃ、およびダイオード２０１Ａ〜２０１Ｃが実装されている。この場合、ＩＧＢＴのアノード（陽極）側およびダイオードのカソード（陰極）側がハンダ等により導体パターン３２Ｆ上に接合されている。ＩＧＢＴのカソード側およびダイオードのアノード側は、配線としてのボンディングワイヤ３１Ａにより互いに接続されている。これにより、ＩＧＢＴ１９１Ａ〜１９１Ｃ、およびダイオード２０１Ａ〜２０１Ｃは、互いに逆並列に接続されインバータ回路の正極側を構成している。第１実装基板５３、ＩＧＢＴ１９１Ａ〜１９１Ｃ、およびダイオード２０１Ａ〜２０１Ｃは、駆動信号入力部（ゲート）を有する上アーム回路部を構成している。ＩＧＢＴ１９１Ａ〜１９１Ｃのカソードは、図示しないボンディングワイヤによりゲート信号パターン３２Ｄに電気的に接続されている。更に、ダイオード２０１Ａ〜２０１Ｃのアノードは、配線としてのボンディングワイヤ３１Ａにより、第１実装基板５３の配線パターン３２Ａに電気的に接続されている。
【００２２】
第２実装基板５４の導体パターン３２Ｆ上に、ＩＧＢＴ１９２Ａ〜１９２Ｃ、およびダイオード２０２Ａ〜２０２Ｃが実装されている。この場合、ＩＧＢＴのアノード（陽極）側およびダイオードのカソード（陰極）側がハンダ等により導体パターン３２Ｆ上に接合されている。ＩＧＢＴのカソード側およびダイオードのアノード側は、配線としてのボンディングワイヤ３１Ｂにより互いに接続されている。これにより、ＩＧＢＴ１９２Ａ〜１９２Ｃ、およびダイオード２０２Ａ〜２０２Ｃは、互いに逆並列に接続され、インバータ回路の負極側を構成している。第２実装基板５４、ＩＧＢＴ１９２Ａ〜１９２Ｃ、およびダイオード２０２Ａ〜２０２Ｃは、駆動信号入力部（ゲート）を有する下アーム回路部を構成している。ＩＧＢＴ１９２Ａ〜１９２Ｃのカソードは、図示しないボンディングワイヤによりゲート信号パターン３２Ｄに電気的に接続されている。更に、ＩＧＢＴ１９２Ａ〜１９２Ｃのカソードは、配線としてのボンディングワイヤ３１Ｂにより、第２実装基板５４の配線パターン３２Ｇに電気的に接続されている。
【００２３】
第１実装基板５３の導体パターン３２Ｆは、ボンディングワイヤ３１Ｃにより、第２実装基板５４の導体パターン（配線パターン）３２Ａに電気的に接続されている。また、第１実装基板５３の導体パターン（配線パターン）３２Ａは、ボンディングワイヤ３１Ｄにより、第２実装基板５４の導体パターン３２Ｆに電気的に接続されている。
【００２４】
図１ないし図３に示すように、樹脂ケース５２は、矩形枠形状に形成されている。樹脂ケース５２は、放熱板２４に対応した大きさの矩形状の底壁５２ａと、底壁の周囲に立設された枠状の側壁５２ｂと、側壁の一方短辺側から長手方向外側に突出する２つの端子支持部５２ｃと、側壁の他方短辺側から長手方向外側に突出する２つの端子支持部５２ｄと、を一体に有し、底壁５２ａには、矩形状の開口５６が形成されている。そして、樹脂ケース５２は、その底壁５２ａが放熱板２４の上面に接着固定されている。この際、第１および第２実装基板５３、５４は、樹脂ケース５２の開口５６内に位置し、樹脂ケース内に露出している。
【００２５】
一方の端子支持部５２ｃには、正極端子（Ｃ１端子）３８が保持され、この正極端子の端部は、樹脂ケース５２内に延出している。他方の端子支持部５２ｃには、負極端子（Ｅ２端子）３９が保持され、この負極端子の端部は、樹脂ケース５２内に延出している。正極端子３８および負極端子３９は、それぞれ金属板により、あるいは、絶縁板の表面を金属メッキすることにより形成されている。第２実装基板５４の配線パターン３２Ａは、ボンディングワイヤ３１Ｅにより正極端子３８に電気的に接続され、導体パターン（配線パターン）３２Ｇは、ボンディングワイヤ３１Ｆにより負極端子３９に電気的に接続されている。
【００２６】
一対の端子支持部５２ｄには、一対の出力端子（Ｅ１Ｃ２端子）４０が保持されている。これらの出力端子４０の端部は、樹脂ケース５２内に延出し、互いに連結されている。すなわち、一対の出力端子４０は、それぞれ金属板により、あるいは、絶縁板の表面を金属メッキすることにより一体に形成されている。第１実装基板５３の配線パターン３２Ａは、ボンディングワイヤ３１Ｇにより出力端子４０に電気的に接続されている。
【００２７】
樹脂ケース５２の側壁において、第１実装基板５３の近傍に、図示しないゲート信号入力端子およびエミッタ入力端子が取り付けられている。他方の側壁において、第２実装基板５４の近傍に、図示しないゲート信号入力端子およびエミッタ入力端子が取り付けられている。これらのゲート入力端子およびエミッタ入力端子は、後述する第１および第２実装基板５３、５４のゲート信号パターン３２Ｄに電気的に接続される。  
なお、図２および図３において、図面の簡略化を図るためにボンディングワイヤ３１を帯状に示しているが、実際には、各帯状部分は、８本以上のワイヤで構成されている。
【００２８】
ボンディングワイヤ３１により各構成要素を電気的に接続した後、樹脂ケース５２内に図示しない絶縁モールドが充填され、更に、矩形板状の蓋体５５により樹脂ケース５２の上部開口を閉じることにより、パワー半導体モジュール１０が構成される。
【００２９】
このように構成したパワー半導体モジュール１０を、長方形の長辺が隣接するように３個近接配置する。この場合、３組の正極端子３８と負極端子３９とが、比較的近い間隔で略一列に配列される。これら３個のパワー半導体モジュール群の外側かつ、３組の正極端子３８と負極端子３９に近接するように平滑コンデンサ４を配置することにより、どのパワー半導体モジュール１０からも比較的近距離で平滑コンデンサ４に接続することができる。それにより、一巡の電流経路に対するインダクタンス低減に配慮している。
【００３０】
次に、第１および第２実装基板５３、５４について詳細に説明する。  
前述したように、第１および第２実装基板５３、５４は、同一の構成であり、互いに１８０度向きを変えて配置されている。そのため、一方の基板、例えば、第２実装基板５４を代表して、その構成を説明する。
【００３１】
図４は実装基板５４の平面図、図５は実装基板５４の斜視図、図６は、図４の線Ａ−Ａに沿った実装基板の断面図である。  
図４ないし図６に示すように、第２実装基板５４は、セラミックからなる矩形状の絶縁基板３２Ｉと、絶縁基板の表面側に銅箔等で形成された複数の導体パターンと、絶縁基板の裏面側に銅箔等で形成された裏面導体バターン３２Ｈと、を有している。表面側の導体パターンは、半導体素子を搭載する実装パターン３２Ｆと、半導体素子を搭載しない非実装パターン（配線パターン）３２Ａ、３２Ｄ、３２Ｇとを含んでいる。
【００３２】
すなわち、表側の導体パターンは、絶縁基板３２Ｉの中央部に比較的広い面積で形成された半導体素子搭載用の実装パターン（Ｃ２パターン）３２Ｆと、非実装パターンである第１非実装パターン（Ｃ１パターン）３２Ａ、第２非実装パターン（Ｅ２パターン）３２Ｇ、およびゲート信号パターン３２Ｄと、を有している。第１非実装パターン３２Ａ、第２非実装パターン３２Ｇは、実装パターン３２Ｆの両側にそれぞれ独立して設けられている。図２および図３に示したように、実装パターン３２Ｆ上に、ＩＧＢＴ１９２Ａ〜１９２Ｃ、およびダイオード２０２Ａ〜２０２Ｃが実装され、また、これらＩＧＢＴおよびダイオードの負極はボンディングワイヤ３１Ｂにより第２非実装パターン３２Ｇに電気的に接続されている。
【００３３】
ゲート信号パターン３２Ｄを除く各パターンは、半導体素子を搭載するか否かにかかわらず、半導体モジュール内部配線経路の一部であり、配線抵抗を有する。そこで、第１および第２非実装パターン３２Ａ、３２Ｇは、その断面積が従来よりも大きくなるように形成されている。本実施形態では、半導体素子を搭載する実装パターン３２Ｆに対して、半導体素子を搭載しない第１、第２非実装パターン３２Ａ、３２Ｇの厚さを大きくしている。具体的には、実装パターン３２Ｆを基準として、そのパターン厚さよりも、第１および第２非実装パターン３２Ａ、３２Ｇのパターン厚さを大きく、例えば、約２倍程度の厚さとしている。  
第１実装基板５３についても、第２実装基板５４と同様に形成されている。
【００３４】
半導体モジュール１０のハイサイド通電経路（正極端子３８→ボンディングワイヤ３１Ｅ→第１非実装パターン３２Ａ→ボンディングワイヤ３１Ｃ→実装パターン３２Ｆ→半導体素子→第１非実装パターン３２Ａ→ボンディングワイヤ３１Ｇ→出力端子４０）において、２つの第１非実装パターン３２Ａの抵抗が実装パターン３２Ｆの抵抗より大きく、抵抗の大きさは群を抜いており、この部分の抵抗低減が必要である。本実施形態では、第１および第２非実装パターン３２Ａ、３２Ｇのパターン厚さを実装パターン３２Ｆの厚さよりも大きくし、その抵抗を大幅に低減している。
【００３５】
以上のように構成された第１の実施形態に係るパワー半導体モジュール１０によれば、非実装パターンの層厚を増大することにより、配線経路の断面積が増え、パターンの配線抵抗低減を図ることができる。
【００３６】
前述したように、絶縁基板のパターン厚さを増大すると、基板のそり変形を生じさせるなどの懸念があるが、本実施形態によれば、基板の表面側パターン全ての厚さを増大するのではなく、半導体素子を搭載しない一部の非実装パターンに限定して厚さの増大を行っている。また、半導体素子を搭載する実装パターン３２Ｆの方が、絶縁基板中央部の大面積を占めているため、比較的外周に近い限られたエリアの非実装パターンに限定して厚さ増大を図っている。これにより、実装基板の反り変形発生を抑制した上で、配線抵抗を低減することが可能となる。
【００３７】
本実施形態における効果を計算で算出する。  
（変更前→変更後）  
・非実装パターン厚さ：０．３ｍｍ→０．６ｍｍ（０．３ｍｍ増大）  
・第２実装基板５４の第１非実装パターン３２Ａ：０．６７ｍΩ(厚さ０．３ｍｍ)→０．３４ｍΩ(厚さ０．６ｍｍ)  
・第１実装基板５３の実装パターン３２Ｆ：０．１ｍΩ(厚さ０．３ｍｍ)→０．１ｍΩ(厚さ０．３ｍｍ)変更なし  
・第１実装基板５３の第１非実装パターン３２Ａ：０．３５ｍΩ（厚さ０．３ｍｍ）→０．１８ｍΩ（厚さ０．６ｍｍ）
・端子およびボンディングワイヤ(一式)：０．３２ｍΩ→０．３２ｍΩ（変更なし）  
・トータル(ハイサイド)：１．４４ｍΩ（１００％）→０．９４ｍΩ（６５％）
以上の通り、基板パターンの限定的な厚さ増大により、抵抗低減効果が生じパワー半導体全体として、３５％の配線抵抗低減という顕著な効果が得られる。  
なお、第１非実装パターン３２Ａは２つ存在するが、第２実装基板５４に形成された一方の第１非実装パターン３２Ａは、基板のほぼ片端から反対端までの、長い電流経路をとるため抵抗が非常に大きい。他方、第１実装基板５３に形成された第１非実装パターン３２Ａでは、３並列敷設されたボンディングワイヤ３１Ａを介して電流経路が形成されるため、前者よりは抵抗が小さい。すなわち同じ第１非実装パターン３２でも抵抗値が異なっている。
【００３８】
以上のように、本実施形態によれば、パワー半導体モジュールの絶縁基板に形成した複数の導体パターンの内、半導体素子を搭載する導体パターンに対して、半導体素子を搭載しない導体パターンの厚さを大きくする。絶縁基板の一部のパターンに限定して厚さを増大することで、パターン厚さ増大に起因する基板のそり変形を防止しながら、配線抵抗を低減できる。その結果、パワー半導体モジュール内部の配線抵抗による通電時の発熱量を低減でき、適用装置の高効率化、高信頼性化、および小形化を実現することができる。
【００３９】
次に、他の実施形態に係るパワー半導体モジュールについて説明する。後述する他の実施形態において、前述した第１の実施形態と同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略し、異なる部分を中心に詳細に説明する。
【００４０】
（第２の実施形態）  
図７は、第２の実施形態に係るパワー半導体モジュールの実装基板５４（５３）を示す分解斜視図である。  
前述した第１の実施形態においては、半導体素子を搭載する導体パターン（実装パターン）に対して、半導体素子を搭載しない導体パターン（第１、第２非実装パターン）の厚さを大きくした。
【００４１】
これに対して、第２の本実施形態では、実装基板５３、５４の製造段階では、半導体素子を搭載する実装パターン３２Ｆ、および半導体素子を搭載しない第１、第２非実装パターン３２Ａ、３２Ｇを、同じ厚さで形成する。次に、第１および第２非実装パターンの形状と同等以下の面積を有する第１積層用導体板３２Ａ２および第２積層用導体板３２Ｇ２を、それぞれ第１および第２非実装パターン３２Ａ１、３２Ｇ１の表面側に積層することにより、非実装パターンの厚さを厚くする。
【００４２】
第１および第２積層用導体板３２Ａ２、３２Ｇ２は、実装基板の製造段階でロー付けなどの接合方法で結合する、もしくはパワー半導体モジュール１０の組立工程にて、半導体素子搭載や、放熱板との接合と同じ形態で、ハンダ接合により非実装パターンに結合するといった方法を用いることができる。
【００４３】
なお、積層用導体板は、対応するパターンのサイズを超過しない範囲で自由に設定することができる。積層用導体板は、必ずしも、非実装パターンと同一形状でなくても良い。
【００４４】
第２の実施形態において、パワー半導体モジュールの他の構成は、第１の実施形態と同一である。
【００４５】
以上のように構成された第２の実施形態においても、第１の実施形態と同様に配線パターンの抵抗低減効果が期待できる。本実施形態では、導体板積層前の実装基板の構成は、従来の構成と同様のため、第１の実施形態と比較して、実装基板の製造が容易となる。また、本実施形態では、積層用導体板の形状や厚さを任意に設定でき、該当するパターンの厚さや形状設定の自由度が向上する。
【００４６】
（第３の実施形態）  
図８は、第３の実施形態に係るパワー半導体モジュールの実装基板５４（５３）を示す分解斜視図である。  
第３の実施形態における実装基板５４の基本構成は、第２の実施形態と同等である。第３の実施形態における相違点は、積層用導体板３２Ａ２、３２Ｇ２に複数の貫通孔３３Ａ、３３Ｂを形成した点にある。すなわち、図８に示すように、第１非実装パターン３２Ａ１に積層する積層用導体板３２Ａ２には、貫通孔３３Ａが複数個形成されている。また、第２非実装パターン３２Ｇ１に積層する積層用導体板３２Ｇ２には、貫通孔３３Ｂが複数個形成されている。
【００４７】
第１の実施形態と同様に、半導体素子を搭載しない一部の非実装パターンに限定して厚さの増大を行うことで、実装基板の反りや変形発生を小さくしている。本実施形態によれば、積層用導体板３２Ａ２、３２Ｇ２に貫通孔３３Ａ、３３Ｂを設けることで、貫通孔付近に応力緩和効果を得ることができる。複数個の貫通孔３３Ａ、３３Ｂにより、メッシュ材を使用した場合と同様の効果が発揮される。
【００４８】
パワー半導体モジュールにおいては、通電発熱による温度上昇が不可避であり、温度変化による熱変形の抑制が重要である。本実施形態によれば、第１、第２の実施形態と比較して、実装基板の導体パターンの配線抵抗低減と同時に、実装基板の変形抑制による信頼性向上の効果を得ることができる。
【００４９】
本実施形態において、積層用導体板３２Ａ２、３２Ｇ２と、第１非実装パターン３２Ａ、第２非実装パターンとの接合面積は、必ずしも、積層用導体板または非実装パターンの全面積でなくても良い。積層用導体板の保持固定に必要な接合面積を確保できれば、複数分割された小面積で接合しても良い。この場合、さらに有効な応力緩和効果が得られる。
【００５０】
（第４の実施形態）  
図９は、第４の実施形態に係るパワー半導体モジュールの実装基板５４（５３）を示す分解斜視図である。  
第４の実施形態における実装基板５４の基本構成は、第２の実施形態と同等である。第４の実施形態における相違点は、積層用導体板３２Ａ２、３２Ｇ２に、導体幅を貫通しない範囲で幅方向にスリット３４Ａ、３４Ｂを複数形成した点である。
【００５１】
すなわち、図９に示すように、第１非実装パターン３２Ａ１に積層する積層用導体板３２Ａ２には、スリット３４Ａが複数個形成されている。また、第２非実装パターン３２Ｇ１に積層する積層用導体板３２Ｇ２には、スリット３４Ｂが複数個形成されている。いずれのスリット３４Ａ、３４ｂも、導体板の幅を貫通しない範囲で形成され、積層用導体板が第１、第２非実装パターンに結合された後に、パターンと一体化して、必要な強度が確保される。
【００５２】
第４の実施形態によれば、第３の実施形態と同様に、積層用導体板にスリットを設けることで、スリット付近に応力緩和効果が期待できる。パワー半導体モジュールにおいては、通電発熱による温度上昇が不可避であり、温度変化による熱変形の抑制が重要である。本実施形態おいても、第１ないし第３の実施形態と比較して、実装基板の導体パターンの配線抵抗低減と同時に、実装基板の変形抑制による信頼性向上の効果が得られる。
【００５３】
（第５の実施形態）  
図１０は、第５の実施形態に係るパワー半導体モジュールの実装基板５４（５３）を示す斜視図である。  
第５の実施形態においては、実装基板５４の導体パターンの内、半導体素子を搭載しない第１非実装パターン３２Ａに、始点側接合点と終点側接合点ともに当該パターン内に設置されるように、複数のボンディングワイヤ３５を接合した構成である。これらのボンディングワイヤ３５は、半導体素子／導体パターン／端子の各相互間を接続して必要な回路を構成するために使用されるワイヤとは異なり、始点側も終点側も単一の非実装パターン３２Ａのエリア内に接続されている。
【００５４】
本実施形態によれば、半導体素子を搭載しない第１非実装パターン３２Ａ内にボンディングワイヤ３５を敷設することで、導体パターンと並行する電流経路が増設されることになる。これにより、第１非実装パターン（増設ボンディングワイヤ３５も含め）に対応する配線抵抗低減効果が得られる。また、ボンディングワイヤ３５には、材料と形状に起因する応力緩和効果が期待できるため、非実装パターンの配線抵抗低減と同時に、実装基板の変形抑制効果が得られる。ボンディングワイヤ３５は、幅２ｍｍ程度の帯状のワイヤを用いることも可能である。
【００５５】
（第６の実施形態）  
前述した第１ないし第５の実施形態では、実装基板の導体パターンの厚さを増大、もしくはそれに準ずる効果が期待できる構成を採用することで、半導体モジュール全体の中でウェイトの大きい導体パターンの抵抗低減を実現した。これに対して第６の実施形態では、導体パターンの厚さを増大するのではなく、導体パターンの幅の増大により、当該パターンの配線抵抗低減を図っている。
【００５６】
ただし、導体パターン幅の増大は、パターンの占有面積増大につながり、実装基板の面積増大と、さらにはパワー半導体モジュール外形の増大につながる懸念がある。その場合、適用装置の体格増大に至る懸念までもある。
【００５７】
そこで、本実施形態では、パワー半導体モジュールにおいて、半導体素子を搭載しない非実装パターンについて、パターン幅を部分的に拡大している。すなわち、非実装パターンの幅を一律に拡大するのではなく、最も効果が期待できる箇所に限定して導体幅を拡大し、当該部分の断面積の増大と、配線抵抗低減を図っている。
【００５８】
図１１は、第６の実施形態に係るパワー半導体モジュールの実装基板５４を示す斜視図、図１２は、第６の実施形態に係るパワー半導体モジュールの平面図である。これらの図に示すように、ハイサイドの電流経路の中で最も抵抗の大きい部材である第１および第２実装基板５３、５４の第１非実装パターン３２Ａについて、両端部の幅は変えず、中央部の幅のみを拡大している。
【００５９】
本実施形態では、適用箇所を限定しているものの、部分的にパターン幅を増大したため、増大分に対応して実装基板の外形も増大している。図１２に示すように、本実施形態の第１および第２実装基板５３、５４をパワー半導体モジュール１０に搭載した場合、第１および第２実装基板５３、５４の外形増大分は、ゲート信号用配線接続部スペース（樹脂ケースの底壁５２ａ）の幅を縮小することで相殺し、半導体モジュール外形寸法を維持している。
【００６０】
第６の実施形態によれば、実装基板の導体パターンの断面積増大箇所が限定的であり、第１ないし第５の実施形態に準ずる抵抗低減効果が得られる。一方、導体パターンの厚さは、実装基板の同一面内で均等に維持できるため、実装基板の反り変形発生の懸念を小さくすることできる。また、実装基板の製造方法は従来構成と同等のため、製造コストや組立工数の増大を抑制することできる。
【００６１】
（第７の実施形態）  
図１３は、第７の実施形態に係るパワー半導体モジュールの平面図である。  
第７の実施形態は、第６の実施形態と同じ構成の実装基板を用いる。本実施形態において、第６の実施形態との相違点は、第１および第２実装基板５３、５４を放熱板２４上に非対称に配置した構成にある。
【００６２】
図１３に示すように、第１実装基板（ハイサイド基板）５３、および第２実装基板（ローサイド基板）５４ともに、放熱板に対して非対称に配置されている。両実装基板ともに、パワー半導体モジュール１０の中心軸からオフセットして配置している。この配置に対応するため、ゲート信号用配線接続部（樹脂ケース５２の底壁５２ａ）は、両側共、約半分はさらに幅狭形状となっているものの、約半分は当初有していた幅を確保できている。当該スペースが、ゲート信号用配線接続に必要なエリアである。
【００６３】
本実施形態によれば、第６の実施形態と同様に、第１ないし第５の実施形態に準ずる抵抗低減効果が得られる。一方、実装基板の導体パターンの厚さは、基板の同一面内で均等に維持できるため、実装基板の反り変形発生の懸念を小さくすることができる。また、実装基板の製造方法は従来構成と同等のため、製造コストや組立工数の増大を抑制できる。さらに、面積増大した実装基板を放熱板に対して非対称で搭載したことで、ゲート信号用配線接続の必要エリアの維持をでき、第６の実施形態と比較して、信号接続がしやすいという効果が得られる。
【００６４】
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【００６５】
例えば、各実施形態において、ＩＧＢＴ及びダイオードを実装する個数は、実施形態に限定されることなく、必要に応じて増減可能である。半導体素子は、大容量化したものを選択すると寿命が短くなる。しかし、あまり小容量化のものを選択すると、並列接続する個数を増やす必要があり、この場合、装置全体が大型化し、配線経路が増え、配線抵抗増大を招くおそれがある。従って、目的や用途などにより適切に選択し、最適なパワー半導体モジュールを製造することができる。
【符号の説明】
【００６６】
１０…パワー半導体モジュール、２４…放熱板、
３１Ａ〜３１Ｇ…ボンディングワイヤ、３２Ａ…第１非実装パターン、
３２Ｆ…実装パターン、３２Ｇ…第２非実装パターン、
３２Ａ２、３２Ｇ２…積層用導体板、３３Ａ，３３Ｂ…貫通孔、
３４Ａ、３４Ｂ…スリット、３８…正極端子、３９…負極端子、４０…出力端子、
５２…樹脂ケース、５２ａ…底壁、５２ｂ…側壁、５２ｃ、５２ｄ…端子支持部、
５３…第１実装基板、５４…第２実装基板、
１９１Ａ、１９１Ｂ、１９１Ｃ、１９２Ａ、１９２Ｂ、１９２Ｃ…ＩＧＢＴ、
２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃ、２０２Ａ、２０２Ｂ、２０２Ｃ…ダイオード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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