(57)【要約】【課題】ウエーハを収容するカセットの種類が増えても、カセットを位置決めする手段の製作や管理の負担軽減を図ることができるようにすること。【解決手段】カセットステージ（１０）は、複数枚のウエーハ（Ｗ）を収容するカセット（２０）を載置させる。カセットステージは、上面にカセットを載置させる板状のテーブル（１２）と、テーブルの上面に載置されたカセットを所定の位置に位置決めする位置決め手段（４０）と、を備えている。位置決め手段は、テーブルに着脱可能に設けられる支持部（４２ｂ）を備えている。支持部は、テーブルに装着したときに、テーブルの上面から突出して側面がカセットの外面と接触し、カセットを所定の位置に位置決めする。【選択図】図１
2015115545.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーハを出し入れ可能な開口部を有して複数枚の該ウエーハを収容するカセットを載置させるカセットステージであって、
基台と、
上面に該カセットを載置させる板状のテーブルと、
該基台の上面と該テーブルの下面とを平行とし、且つ、所定の間隔を形成して連結させる連結部と、
該所定の間隔にて移動可能、且つ、該カセットに対応した位置で位置決め可能に設けられ、該テーブルの上面に載置される該カセットを検出するカセット検出手段と、
該テーブルの上面に載置された該カセットを所定の位置に位置決めする位置決め手段と、を備え、
該位置決め手段は、該テーブルに着脱可能に設けられる支持部を備え、該支持部は、該テーブルに装着したときに、該テーブルの上面から突出して側面が該カセットの外面と接触し、該テーブルの上面に載置される該カセットを所定の位置に位置決めするカセットステージ。
【請求項２】
該位置決め手段は、該テーブルに形成される複数の位置決め孔と、該位置決め孔に挿入される挿入部及び該挿入部に連設された該支持部とを含むピンと、から少なくとも構成され、
該位置決め孔は該カセットの形状に応じて複数形成され、該位置決め孔に該挿入部を挿入することで、該テーブルに該支持部を装着する請求項１記載のカセットステージ。
【請求項３】
該カセット検出手段は、上部ケースと、下部ケースと、該上部ケースと該下部ケースとが上下に反発する付勢力を有する付勢手段と、該上部ケースもしくは該下部ケースに配設されて該テーブルの上面に載置される該カセットを検出するセンサーと、から少なくとも構成される請求項１又は２記載のカセットステージ。
【請求項４】
該センサーは、測定光を放射する発光部と、該発光部から放射され該カセットで反射した該測定光を受光する受光部と、該受光部が受光した受光量で該カセットの有無を判断する判断部と、を備え、
該テーブルは、該測定光を透光させる部材で構成される請求項３記載のカセットステージ。
【請求項５】
該位置決め孔と該挿入部とは多角形の断面形状に形成され、
該ピンは、該挿入部の断面の中心と、該支持部の断面の中心とが不一致となる請求項２記載のカセットステージ。
【請求項６】
該支持部に永久磁石を内蔵し、該永久磁石の磁力で該支持部を該カセットの形状に応じて該テーブルの上面に装着させる請求項１記載のカセットステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセットステージに関し、特に、ウエーハを収容するカセットを位置決めした状態で載置することができるカセットステージに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造プロセスでは、ウエーハを上下に並べて複数枚収容することができるカセットが利用され、このカセットは、カセットステージ上に載置されている（例えば、特許文献１参照）。カセットは、開口部を有しており、この開口部を通じて粘着テープを介して環状フレームと一体となったウエーハが出し入れされる。ウエーハの出し入れは、搬送ロボットのロボットハンドによって行われる。
【０００３】
ところで、ウエーハにあっては、種々のサイズ、形状のものがあり、近時、生産性を向上させるために直径が８インチ、１２インチと拡大しているものもある。かかるウエーハの大径化や、様々な形状のウエーハに応じ、大きさや形状が異なるカセットが複数用意され、このようなカセットをカセットステージ上で位置決めするため、特許文献１のようにカセットアダプタを使用する場合がある。カセットアダプタによって位置決めされたカセットは、開口部がロボットハンドの進入方向に向けられ、カセットに収容されたウエーハの中心位置とカセットステージの中心位置とが一致した状態となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２９７９０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のようにカセットアダプタを使用する場合、ウエーハの形状変更等に際して新たなカセットを製作すると、そのカセットを位置決めするためのカセットアダプタも新たに製作することが必要となる。つまり、カセットの種類が増える程、カセットアダプタを多数製作することになり、製作の負担が大きくなるばかりでなく管理負担も増大になる、という問題がある。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ウエーハを収容するカセットの種類が増えても、カセットを位置決めする手段の製作や管理の負担軽減を図ることができるカセットステージを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のカセットステージは、ウエーハを出し入れ可能な開口部を有して複数枚のウエーハを収容するカセットを載置させるカセットステージであって、基台と、上面にカセットを載置させる板状のテーブルと、基台の上面とテーブルの下面とを平行とし、且つ、所定の間隔を形成して連結させる連結部と、所定の間隔にて移動可能、且つ、カセットに対応した位置で位置決め可能に設けられ、テーブルの上面に載置されるカセットを検出するカセット検出手段と、テーブルの上面に載置されたカセットを所定の位置に位置決めする位置決め手段と、を備え、位置決め手段は、テーブルに着脱可能に設けられる支持部を備え、支持部は、テーブルに装着したときに、テーブルの上面から突出して側面がカセットの外面と接触し、テーブルの上面に載置されるカセットを所定の位置に位置決めすることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、カセットの形状に応じてテーブルの複数箇所で支持部を着脱可能としたので、支持部を増設しなくても形状等が異なる複数のカセットをテーブル上で位置決めすることができる。これにより、従来構造のように、カセットの種類毎にアダプタを製作する必要をなくすことができ、カセットの位置決めのための設備負担や、設備の管理負担が大きくなることを防止することができる。また、カセット検出手段が基台とテーブルとの間の任意の位置で位置決め可能となり、カセットの種類が変わっても、カセット検出手段の位置を容易に調整でき、種々のカセットの検出を行えるようにすることができる。
【０００９】
また、本発明のカセットステージにおいて、位置決め手段は、テーブルに形成される複数の位置決め孔と、位置決め孔に挿入される挿入部及び挿入部に連設された支持部とを含むピンと、から少なくとも構成され、位置決め孔はカセットの形状に応じて複数形成され、位置決め孔に挿入部を挿入することで、テーブルに支持部を装着することが好ましい。この構成では、位置決め孔の形成数に応じ、支持部によりカセット側面を位置決めできる位置を増やすことができ、種々のカセットを位置決め可能として汎用性を向上することができる。
【００１０】
また、本発明のカセットステージにおいて、カセット検出手段は、上部ケースと、下部ケースと、上部ケースと下部ケースとが上下に反発する付勢力を有する付勢手段と、上部ケースもしくは下部ケースに配設されてテーブルの上面に載置されるカセットを検出するセンサーと、から少なくとも構成されるとよい。この構成では、簡単な構成によって、基台とテーブルとの間におけるカセット検出手段の位置調整と位置決めとを行えるようにすることができる。
【００１１】
また、本発明のカセットステージにおいて、センサーは、測定光を放射する発光部と、発光部から放射されカセットで反射した測定光を受光する受光部と、受光部が受光した受光量でカセットの有無を判断する判断部と、を備え、テーブルは、測定光を透光させる部材で構成されるとよい。この構成では、テーブルが測定光を透光するので、センサーによるカセットの検出をテーブルの任意の位置において行うことができ、多種類のカセットに難なく対応することができる。
【００１２】
また、本発明のカセットステージにおいて、位置決め孔と挿入部とは多角形の断面形状に形成され、ピンは、挿入部の断面の中心と、支持部の断面の中心とが不一致となるとよい。この構成では、位置決め孔に挿入される挿入部の周方向の向きを変えることによって、支持部の側面位置を変更することができる。これにより、支持部によるカセットを位置決めする位置を微調整することができる。
【００１３】
また、本発明のカセットステージにおいて、支持部に永久磁石を内蔵し、永久磁石の磁力で支持部をカセットの形状に応じてテーブルの上面に装着させるとよい。この構成では、磁力によって支持部をテーブル上面の何れの位置にも装着することができ、これによっても、種々のカセットを位置決め可能として汎用性を向上することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ウエーハを収容するカセットの種類が増えても、カセットを位置決めする手段の製作や管理の負担軽減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施の形態に係るカセットステージの全体概略斜視図である。
【図２】上記カセットステージに載置されるカセットの平面図である。
【図３】上記カセットステージが有するカセット検出手段及びその周辺の断面図である。
【図４】上記カセット検出手段の概略分解斜視図である。
【図５】図５Ａ及び図５Ｂは、上記カセットステージの平面図であり、カセットの位置決め要領の説明図である。
【図６】図６Ａは、上記カセットステージが有する位置決め手段の断面図であり、図６Ｂは、上記位置決め手段が有するピンの概略斜視図であり、図６Ｃは、図６Ｂの平面図であり、図６Ｄは、変形例に係るピンの概略斜視図であり、図６Ｅは、図６Ｄの平面図であり、図６Ｆは、他の変形例に係るピンの概略斜視図である。
【図７】図７Ａ及び図７Ｂは、上記カセットステージの平面図であり、カセットの位置決め要領の説明図である。
【図８】図８Ａ及び図８Ｂは、第２の実施の形態に係るカセットステージの平面図であり、カセットの位置決め要領の説明図である。
【図９】図９Ａは、第２の実施の形態に係るピンの概略斜視図であり、図９Ｂは、図９Ａの平面図である。
【図１０】図１０Ａ及び図１０Ｂは、第２の実施の形態に係るピンの装着状態の変化を示す説明図であり、図１０Ｃ及び図１０Ｄは、変形例に係るピンの装着状態の変化を示す説明図である。
【図１１】図１１Ａ及び図１１Ｂは、第２の実施の形態に係るカセットステージの平面図であり、カセットの位置決め要領の説明図である。
【図１２】図１２Ａ及び図１２Ｂは、第３の実施の形態に係るカセットステージの平面図であり、カセットの位置決め要領の説明図である。
【図１３】図１３Ａ〜図１３Ｃは、第３の実施の形態に係る位置決め手段の概略斜視図である。
【図１４】図１４Ａ及び図１４Ｂは、第３の実施の形態に係るカセットステージの平面図であり、カセットの位置決め要領の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書及び特許請求の範囲において、特に明示しない限り、「上」、「下」は、図１を基準とし、「左」、「右」は、図２及び図５を基準として用いる。また、「前」は、図２及び図５中下側について用いる一方、「後」は、図２及び図５中上側について用いる。
【００１７】
（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施の形態に係るカセットステージの全体概略斜視図である。図２は、上記カセットステージに載置されるカセットの平面図である。なお、カセットステージは、ウエーハを切削する切削装置に適用でき、また、複数のウエーハを収容するカセットを利用する他の加工装置にも適用することが可能である。
【００１８】
図１に示すように、カセットステージ１０は、直方体状に形成された基台１１と、基台１１の上方に配設された板状のテーブル１２と、基台１１の上面とテーブル１２の下面とを連結する連結部１３とを備えている。テーブル１２の平面形状は、基台１１の上面と同様の方形状に形成され、テーブル１２の部材、材質は、後述する測定光Ｂを透光させるガラスや合成樹脂板等とされる。連結部１３は、基台１１の上面及びテーブル１２の下面の間であって、それらのコーナー４箇所位置（１箇所は不図示）を連結している。連結部１３は、基台１１の上面とテーブル１２の下面とを平行に維持し、それらの間に所定の間隔Ｃを形成している。ここで、テーブル１２の上面には、複数枚のウエーハＷを収容するカセット２０が載置されている。
【００１９】
図１及び図２に示すように、カセット２０に収容されるウエーハＷは、環状のリングフレームＦに張られた粘着シートＳに貼着されている。カセット２０は、対向する一対の側板２１の上端同士を上板２２で連結した箱状に形成されている。また、カセット２０の前方には、リングフレームＦを出し入れする開口部２４が形成され、カセット２０の後方には、背板２５が設けられている。一対の側板２１の内側面には、水平方向（前後方向）に延びる複数の棚板２６が等間隔に設けられている。この複数の棚板２６によって、一対の側板２１にリングフレームＦを収容する収容棚が複数形成される。上板２２には、搬送時に把持される取っ手２７が設けられている。
【００２０】
カセットステージ１０は、間隔Ｃに配設されるカセット検出手段３０を更に備えている。以下、図３及び図４を参照して、本実施の形態に係るカセット検出手段について詳細に説明する。図３は、本実施の形態に係るカセット検出手段及びその周辺の断面図であり、図４は、上記カセット検出手段の概略分解斜視図である。
【００２１】
図３及び図４に示すように、カセット検出手段３０は、円筒状の上部ケース３１と、上部ケース３１の下方から挿入される下部ケース３２とを備えている。上部ケース３１の上部内周側には内向きのフランジ３１ａが形成され、このフランジ３１ａの内側にガラス等からなる保護部材３３が固定されている。上部ケース３１の内部であって、フランジ３１ａの下面と下部ケース３２の上面との間には、コイルばね等の弾性体からなる付勢手段３５が設けられている。付勢手段３５は、下部ケース３２に対し上部ケース３１を押し下げることで、上部ケース３１と下部ケース３２とが上下に反発する付勢力を有している。カセット検出手段３０は、無負荷状態で間隔Ｃより大きい上下幅に設けられ、外力を付与することで付勢手段３５の付勢力を受けながら全体の上下幅を短縮可能となっている。
【００２２】
下部ケース３２は、円筒の下部を有底状に形成して内部に収容空間を備えた形状に設けられている。下部ケース３２内部の収容空間には、センサー３７が配設されている。センサー３７は、その上方に発光部３７ａ及び受光部３７ｂを有している。発光部３７ａは、レーザ光となる測定光Ｂを上方のテーブル１２側に向かって投光する。受光部３７ｂは、テーブル１２上のカセット２０で反射された測定光Ｂを受光する。受光部３７ｂは、メモリや演算装置等を含む判断部３７ｃに接続されており、受光部３７ｂが受光した測定光Ｂの受光量でカセット２０の有無を判断する。
【００２３】
図１に戻り、カセットステージ１０は、テーブル１２の上面に載置されたカセット２０を所定の位置に位置決めする位置決め手段４０を更に備えている。以下、図５Ａ及び図６を参照して、本実施の形態に係る位置決め手段について詳細に説明する。図５Ａは、カセットステージの平面図であり、図６は、位置決め手段を構成するピンの構成図である。
【００２４】
図１及び図５Ａに示すように、位置決め手段４０は、テーブル１２に形成される複数の位置決め孔４１と、位置決め孔４１に挿入されるピン４２とを備えている。なお、図５Ａにおいては、図示の便宜上、ピン４２を黒塗りで表しているものであり、ピン４２の色彩等を特に限定するものでない。また、後述する図５Ｂ等の他の図面についても同様である。
【００２５】
位置決め孔４１は、カセット２０の形状に応じて複数形成されている。本実施の形態では、位置決め孔４１は、平面視で、カセット２０内のウエーハＷの中心位置をテーブル１２の中心位置に一致させたときに、カセット２０の四隅を含む第１〜第４領域Ａ１〜Ａ４に形成されている。第１〜第４領域Ａ１〜Ａ４は、平面視で、テーブル１２の四隅より面内中央寄りに形成されている。テーブル１２の後方に位置する第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２では、位置決め孔４１が１１列７行に亘って整列された状態で形成されている。テーブル１２の前方に位置する第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４では、位置決め孔４１が５列７行に亘って整列された状態で形成されている。各位置決め孔４１は、円形の平面形状にそれぞれ形成され、且つ、底部を有する凹状に形成されている（図６Ａ参照）。
【００２６】
図６Ａは、位置決め孔にピンが装着された状態の部分断面図であり、図６Ｂは、ピンの概略斜視図である。図６Ｃは、ピンの平面図である。図６Ａ〜図６Ｃに示すように、ピン４２は、位置決め孔４１内に挿入される挿入部４２ａと、挿入部４２ａの上端に連設された支持部４２ｂとを備えている。挿入部４２ａは、位置決め孔４１の内径と同一若しくは若干小さい外径の円柱状に形成され、位置決め孔４１内でがたつきが生じないように設けられている。支持部４２ｂは、中心位置が挿入部４２ａの中心位置と同一線上に位置する円柱状に形成され、挿入部４２ａより大きい径寸法に設定されている。従って、ピン４２においては、位置決め孔４１内に挿入部４２ａを挿入することで、支持部４２ｂがテーブル１２の上面に載ってテーブル１２の上面から突出した状態となり、この状態で、テーブル１２に対し、支持部４２ｂを含むピン４２が装着される。また、テーブル１２に装着されたピン４２は、位置決め孔４１から挿入部４２ａを抜き出すことで離脱でき、これにより、テーブル１２に対し、支持部４２ｂを含むピン４２が着脱自在となる。なお、図１及び図５Ａに示すように、ピン４２は、第１〜第４の領域Ａ１〜Ａ４それぞれに複数体設けられ、ピン４２の装着位置となる位置決め孔４１の位置については後述する。
【００２７】
続いて、図５Ａを参照して、上記のカセットステージ１０でのカセット２０の設置方法について説明する。
【００２８】
カセットステージ１０に対し、最初にカセット２０を設置する場合、先ず、平面視で、テーブル１２上にカセット２０を載置し、テーブル１２に対するカセット２０の前後及び左右方向の位置合わせを行う。この位置合わせでは、位置合わせ用にテーブル１２やカセット２０に表示された不図示の基準線等を利用して行われ、カセット２０内のウエーハＷの中心位置をテーブル１２の中心位置に一致させる。
【００２９】
次いで、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２において、それぞれ３箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着する。具体的には、各領域Ａ１，Ａ２において、１本のピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０の側板２１の外面に接触し、且つ、各領域Ａ１，Ａ２で最前に位置する位置決め孔４１に装着する。また、残りの２本のピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０の背板２５の外面に接触し、且つ、カセット２０のコーナーに最寄りの位置決め孔４１と、この位置決め孔４１から最も離れた位置決め孔４１とに装着する。これにより、カセット２０の後方領域において、カセット２０が左右方向と後方向とに移動しないように位置決めされる。
【００３０】
その後、第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４において、それぞれ２箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着する。具体的には、各領域Ａ３，Ａ４において、２本のピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０の側板２１の外面に接触し、且つ、各領域Ａ３，Ａ４で最後方に位置する位置決め孔４１と、側板２１の前端に最寄りの位置決め孔４１とに装着する。これにより、カセット２０の前方領域において、カセット２０が左右方向に移動しないように位置決めされ、カセット２０の設置が完了する。
【００３１】
カセット２０を設置した後、テーブル１２の下面と基台１１の上面との間の間隔Ｃ内にカセット検出手段３０を設置する（図１参照）。この設置は、付勢手段３５の付勢力に抗して上部ケース３１に押し下げる力を付与しながら間隔Ｃ内にカセット検出手段３０を挿入する。この挿入後、カセット検出手段３０がカセット２０の真下に位置するようにカセット検出手段３０をスライド移動させ、位置を調整することができる。間隔Ｃに挿入された状態で、カセット検出手段３０は、付勢手段３５（図２参照）の付勢力によってテーブル１２と基台１１との間で突っ張るようになって位置決めされる。
【００３２】
このように設置されたカセット検出手段３０では、図３に示すように、センサー３７の発光部３７ａから測定光Ｂをテーブル１２側に投光する。テーブル１２上にカセット２０が載置されていれば、テーブル１２で反射された測定光Ｂを受光部３７ｂで受光し、カセット２０が載置されていることを認識する。一方、テーブル１２上にカセット２０が載置されていないと、測定光Ｂが反射されずに受光部３７ｂでの受光量が少なくなり、カセット２０が載置されていないことを認識する。
【００３３】
ここで、カセット２０内のウエーハＷの出し入れは、ロボットハンド（不図示）によって行われ、ロボットハンドは、カセット２０にウエーハＷを収容するときに、開口部２４の前から後方向に進行する。この進行方向に対し、背板２５の外面に接触する支持部４２ｂによってカセット２０を位置決めし、また、ロボットハンドの進行方向に直交する方向（左右方向）に対し、側板２１の外面に接触する支持部４２ｂによってカセット２０を位置決めする。
【００３４】
なお、ピン４２を装着する位置決め孔４１の位置やピン４２の装着本数は、特に限定されるものでなく、上記のようにカセット２０を位置決めできる限りにおいて、変更してもよい。また、ピン４２の装着を行う各領域Ａ１〜Ａ４の順序は、上記の順序に限定されず、適宜変更可能である。更に、上記では、カセット２０の位置合わせ後にピン４２を装着したが、ピン４２を挿入する位置決め孔４１を予め認識していれば、各ピン４２を認識した位置決め孔４１に装着した後、各ピン４２の支持部４２ｂそれぞれに接触するようにカセット２０をステージ１２上に設置してもよい。これら変更を許容する点については、後述するカセットの設置についても同様である。
【００３５】
本実施の形態のカセットステージ１０においては、図５Ａに示すカセット２０に対し、そのサイズや形状を変更したカセットを利用する場合でも、位置決め手段４０によってステージ１２上で位置決めすることができる。この位置決めについて、図５Ｂ、図７Ａ及び図７Ｂに示すカセットステージの平面図を参照して以下に説明する。図５Ｂのカセット２０ａは、図５Ａに示すカセット２０に対し、平面視での大きさを拡大するように変更し、図５Ａに示すウエーハＷ及びリングフレームＦより大径となるウエーハＷａ及びリングフレームＦａを収容するものである。かかるカセット２０ａを設置する場合、上記と同様にして、カセット２０ａ内のウエーハＷａの中心位置がテーブル１２の中心位置に一致するように、テーブル１２に対するカセット２０ａの位置合わせを行う。
【００３６】
次いで、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２において、それぞれ３箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着し、第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４において、それぞれ２箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着する。装着要領は、図５Ａに示すピン４２と同様となるが、カセット２０ａの大きさが拡大した分、ピン４２が挿入される位置決め孔４１の位置が外側に変更される。そして、各領域Ａ１〜Ａ４でピン４２が装着されることで、カセット２０ａが左右方向と後方向とに移動しないように位置決めされる。
【００３７】
図７Ａのカセット２０ｂは、図５Ａに示すカセット２０に対し、平面視での形状を変更している。具体的には、カセット２０ｂは、左右一対の傾斜板２８と、左右一対の後側板２９とを有し、傾斜板２８は、平面視で、側板２１の後端側から後方に向かうに従って次第に接近するように形成されている。後側板２９は、前後方向に延在し、傾斜板２８の後端と背板２５の左右両端と連結している。
【００３８】
カセット２０ｂの設置は、テーブル１２にカセット２０ｂを載せて位置合わせした後、第１〜第４領域Ａ１〜Ａ４において、それぞれ２箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着することにより行われる。具体的には、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２において、１本のピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０ｂの傾斜板２８の外面に接触し、且つ、各領域Ａ１，Ａ２で最前に位置する位置決め孔４１に装着する。また、残りのピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０の背板２５の外面に接触し、且つ、背板２５の左右両端に最寄りの位置決め孔４１に装着する。これにより、カセット２０の後方領域において、カセット２０が左右方向と後方向とに移動しないように位置決めされる。
【００３９】
その後、第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４において、それぞれ２箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着する。この装着は、図５Ａの第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４での要領と同様に行われ、これにより、カセット２０の前方外面に複数のピン４２が接触してカセット２０が左右方向に移動しないように位置決めされる。
【００４０】
図７Ｂのカセット２０ｃは、図７Ａに示すカセット２０ｂに対し、平面視での大きさを拡大するように変更し、図５Ｂと同じ大きさのウエーハＷａ及びリングフレームＦａを収容するものである。カセット２０ｃの設置は、テーブル１２にカセット２０ｃを載せて位置合わせした後、第１〜第４領域Ａ１〜Ａ４において、それぞれ２箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着することにより行われる。具体的には、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２において、１本のピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０ｂの後側板２９の外面に接触する位置決め孔４１に装着する。また、残りのピン４２は、支持部４２ｂの側面がカセット２０の背板２５の外面に接触し、且つ、背板２５の左右両端に最寄りの位置決め孔４１に装着する。これにより、カセット２０の後方領域において、カセット２０が左右方向と後方向とに移動しないように位置決めされる。
【００４１】
その後、第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４において、それぞれ２箇所の位置決め孔４１にピン４２を装着する。この装着は、図５Ｂの第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４での要領と同様に行われ、これにより、側板２１の前方外面に複数のピン４２が接触してカセット２０が左右方向に移動しないように位置決めされる。
【００４２】
以上のように、本実施の形態では、位置決め孔４１にピン４２を脱着し、ピン４２を装着する位置決め孔４１を変更するだけで、大きさや形状が異なるカセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃそれぞれを位置決めすることができる。これにより、カセット２０のバリエーションが増えても、カセット２０を位置決めするための設備を増設することを回避でき、増設した設備を管理する負担が増えることも回避することができる。また、カセット２０の変更に応じ、カセット検出手段３０の位置を間隔Ｃ内でスライド移動させることで、カセット検出手段３０によるカセット２０の有無を検出可能となり、様々なカセット２０に対応し得る汎用性を発揮することができる。
【００４３】
なお、本実施の形態の位置決め手段４０において、図６Ｄ〜図６Ｆに示すピン４４，４５を更に利用して位置決めを行ってもよい。図６Ｄ及び図６Ｅに示すピン４４の支持部４４ｂは、上記のピン４２の支持部４２ｂに比べ、径寸法が小さくなり、挿入部４４ａよりも大きい径寸法に形成されている。図６Ｆに示すピン４５は、挿入部４５ａと支持部４５ｂとが同一の径寸法とされる円柱状に形成されている。これらのピン４２，４４，４５を利用することで、カセット２０を位置決めする位置を、支持部４２ｂ，４４ｂ，４５ｂの半径寸法の相違分微調整することができる。
【００４４】
次いで、第１の実施の形態とは異なる第２及び第３の実施の形態について説明する。なお、第２及び第３の実施の形態において、第１の実施の形態と共通する構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００４５】
（第２の実施の形態）
図８Ａは、第２の実施の形態に係るカセットステージの平面図であり、図９は、第２の実施の形態におけるピンの構成図である。図８Ａに示すように、第２の実施の形態に係るカセットステージ１１０において、位置決め手段１４０は、各位置決め孔１４１を平面視正五角形に形成し、図９に示すように、ピン１４２の挿入部１４２ａを正五角柱に形成したものである。従って、位置決め孔１４１と挿入部１４２ａとは正五角形の断面形状にそれぞれ形成される。図８Ａに戻り、第１領域Ａ１の位置決め孔１４１と、第２領域Ａ２の位置決め孔１４１とは、左右対称となる向きに設けられる。第３領域Ａ３及び第４領域Ａ４の位置決め孔１４１は、第１領域Ａ１の位置決め孔１４１を時計回りに９０°回転した向きに設けられる。
【００４６】
図９Ａ及び図９Ｂに示すように、ピン１４２において、挿入部１４２ａの断面の中心と、支持部１４２ｂの断面の中心とは不一致となっている。従って、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、位置決め孔１４１に挿入される挿入部１４２ａの向きを、挿入部１４２ａの軸線周りに７２°毎に変更することで、支持部１４２ｂの側面によって位置決めする位置をＰ１〜Ｐ５の５段階に調整することができる。
【００４７】
なお、挿入部１４２ａの形状は、正五角形以外の多角形の断面形状としてもよい。例えば、図１０Ｃ及び図１０Ｄに示すように、位置決め孔１４１と挿入部１４２ｂとを正三角形の断面形状に形成してもよい。この構成では、位置決め孔１４１に挿入される挿入部１４２ａの向きを、挿入部１４２ａの軸線周りに１２０°毎に変更することで、支持部１４２ｂの側面によって位置決めする位置をＰ１〜Ｐ３の３段階に調整することができる。
【００４８】
図８Ａに加え、図８Ｂ、図１１Ａ、図１１Ｂは、第２の実施の形態に係るカセットステージの概略平面図である。図８Ａでは、第１の実施の形態における図５Ａのカセット２０が設置され、図８Ｂでは、図５Ｂのカセット２０ａが設置された状態を示す。図１１Ａでは、図７Ａのカセット２０ｂが設置され、図１１Ｂでは、図７Ｂのカセット２０ｃが設置された状態を示す。図８Ａ、図８Ｂ、図１１Ａ、図１１Ｂに示すように、第２の実施の形態に係るカセットステージ１１０においても、第１の実施の形態に係るカセットステージ１０と略同じ要領によって、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃを位置決めして設置することができる。但し、第２の実施の形態では、上述のように、挿入部１４２ａの向きを軸線周りに変更することで、支持部１４２ｂの位置を微調整することができ、位置決めの精度向上を図ることができる。
【００４９】
なお、第２の実施の形態では、ピン１４２を装着する位置決め孔１４１の位置が、第１の実施形態に対して、下記に述べる６箇所で相違している。最初の２箇所としては、図５Ａと図８Ａとの対比において、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２におけるカセット２０のコーナー付近のピン４２，１４２の位置が相違する。第１の実施の形態（図５Ａ）では、カセット２０のコーナーに最寄りの位置決め孔４１にピン４２が装着されるのに対し、第２の実施の形態（図８Ａ）では、その位置決め孔４１に対応する位置決め孔１４１の左右方向に隣接する位置決め孔１４１にピン１４２が装着される。次の２箇所は、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２において、第１の実施の形態（図５Ａ）では、側板２１の外面に接触し、且つ、側板２１の前端に最寄りの位置決め孔４１にピン４２が装着される。これに対し、第２の実施の形態（図８Ａ）では、その位置決め孔４１に対応する位置決め孔１４１から２つ後方の位置決め孔１４１にピン１４２が装着される。更に他の２箇所は、図７Ａと図１１Ａとの対比において、第１領域Ａ１及び第２領域Ａ２の各１本のピン４２，１４２の位置が相違する。第１の実施の形態（図７Ａ）では、カセット２０ｂの傾斜板２８の外面に支持部４２ｂが接触するのに対し、第２の実施の形態（図１１Ａ）では、後側板２９の外面に支持部１４２ｂが接触するように位置決め孔１４１に装着される。
【００５０】
（第３の実施の形態）
図１２Ａは、第３の実施の形態に係るカセットステージの概略平面図であり、図１３は、第３の実施の形態における位置決め手段を構成する支持部の構成図である。図１２Ａに示すように、第３の実施の形態に係るカセットステージ２１０において、位置決め手段２４０は、平面視正方形状に形成されたブロック状の複数の支持部２４０ａを備えている。図１３Ａ〜図１３Ｃに示すように、位置決め手段２４０は、支持部２４０ａの下面側から内蔵された永久磁石２４０ｂを更に含む。支持部２４０ａは、特に限定されるものでないが、３個を直線状に並べて使用したり（図１３Ｂ参照）、４個をＬ字状に並べて使用したりする（図１３Ｃ参照）。
【００５１】
また、本実施の形態のテーブル２１２は、金属製のメッシュ部材等、永久磁石２４０ｂの磁力によって磁着し得る材料によって構成される。従って、支持部２４０ａは、永久磁石２４０ｂの磁力によってテーブル２１２上面の任意の位置に装着可能となり、この装着によってテーブル２１２に位置決めされた状態となる。
【００５２】
図１２Ａに加え、図１２Ｂ、図１４Ａ、図１４Ｂは、第３の実施の形態に係るカセットステージの平面図である。図１２Ａでは、第１の実施の形態における図５Ａのカセット２０が設置され、図１２Ｂでは、図５Ｂのカセット２０ａが設置された状態を示す。図１４Ａでは、図７Ａのカセット２０ｂが設置され、図１４Ｂでは、図７Ｂのカセット２０ｃが設置された状態を示す。図１２Ａ、図１２Ｂ、図１４Ａ、図１４Ｂに示すように、第３の実施の形態に係るカセットステージ２１０において、テーブル２１２にカセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃを設置する場合、第１の実施の形態と同様にして、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃをテーブル２１２上に載置して位置合わせする。次いで、背板２５の左右両側のコーナーに沿って接触するように、Ｌ字状に４個の支持部２４０ａをテーブル２１２上面に装着する。これにより、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃの後方領域において、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃが左右方向と後方向とに移動しないように位置決めされる。その後、側板２１の前方外面に接触するように、３個の支持部２４０ａを前後方向に直線状に並べてテーブル２１２に装着する。これにより、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃの前方領域において、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃが左右方向に移動しないように位置決めされ、カセット２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃの設置が完了する。
【００５３】
従って、第３の実施の形態によれば、磁力を利用して支持部２４０ａをテーブル２１２に着脱可能としたので、支持部２４０ａの装着位置の制約をなくすことができる。これにより、様々な形状や大きさのカセット２０を位置決め可能として汎用性を向上できるばかりでなく、位置決め精度も高めることができる。
【００５４】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００５５】
例えば、第１及び第２の実施の形態における位置決め孔４１，１４１は、テーブル１２に載置される種々のカセット２０に応じて複数形成される限りにおいて、その形成数を増減したり、形成領域を拡縮したりしてもよい。
【００５６】
また、第１の実施の形態では、図６Ａに示すように位置決め孔４１を凹状に形成したが、図６Ｆに示すピン４５を利用しないのであれば、位置決め孔４１を貫通孔によって形成してもよい。なお、位置決め孔４１を貫通孔とし、図６Ｆに示すピン４５を利用すると、該ピン４２は位置決め孔４１を通り抜けて落下するが、図６Ｂ及び図６Ｄに示すピン４２，４４では支持部４２ｂ，４４ｂがテーブル１２上面に載置され、落下することが規制される。
【００５７】
また、第３の実施の形態において、支持部２４０ａの形状は、図示構成例に限られるものでない。例えば、図１３Ｂ及び図１３Ｃにおいて複数個の支持部２４０ａによってなす形状を、１体の支持部２４０ａによって形成するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
以上説明したように、本発明は、ウエーハの形状や大きさに応じ、様々な形状や大きさをなす複数のカセットを位置決めして利用するカセットステージに有用である。
【符号の説明】
【００５９】
１０  カセットステージ
１１  基台
１２，２１２  テーブル
１３  連結部
２０  カセット
２４  開口部
３０  カセット検出手段
３１  上部ケース
３２  下部ケース
３５  付勢手段
３７  センサー
３７ａ  発光部
３７ｂ  受光部
３７ｃ  判断部
４０，１４０，２４０  位置決め手段
４１，１４１  位置決め孔
４２，４４，４５，１４２  ピン
４２ａ，４４ａ，４５ｂ，１４２ａ  挿入部
４２ｂ，４４ｂ，４５ｂ，１４２ｂ，２４０ａ  支持部
２４０ｂ  永久磁石
Ｗ  ウエーハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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