(57)【要約】【課題】光電センサの検出精度を高めることに有効な光電センサヘッドを提供する。【解決手段】光電センサヘッド１０は、光を出射する投光部２１と、光分離部１７と、受光部２２と、反射部１９と、反射面１９ａと、を備える。光分離部１７は、投光部２１からの出射光ＬＰの光路上に設けられ、出射光ＬＰと、出射光ＬＰと同軸の光路を形成する反射光ＬＲとを入射する。受光部２２は、光分離部１７により出射光と同軸の光路より分離された反射光ＬＲを受光する受光面２２ａを有する。反射部１９は、受光面２２ａに対向する位置に配され、出射光ＬＰの光路外に向かう迷光ＬＳを反射させる。反射面１９ａは、反射部１９に形成され、反射した迷光ＬＳＲが受光面２２ａの外側方向に進行するように受光面２２ａに対し所定の角度を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を出射する投光部、
前記投光部からの出射光の光路上に設けられ、前記出射光と、前記出射光が外部で反射されて戻る光であって前記出射光と同軸の光路を形成する反射光とが入射する光分離部、
前記光分離部により前記出射光と同軸の光路より分離された前記反射光を受光する受光面を有する受光部、
前記受光面に対向する位置に配され、前記出射光の光路外に向かう迷光を反射させる反射部、及び、
前記反射部に形成され、反射した前記迷光が前記受光面の外側方向に進行するように前記受光面に対し所定の角度を有する反射面、
を備える、光電センサヘッド。
【請求項２】
前記反射部は、複数の前記反射面からなる、
請求項１に記載の光電センサヘッド。
【請求項３】
前記反射部は、二以上の方向を向く反射面からなる、
請求項２に記載の光電センサヘッド。
【請求項４】
前記所定の角度は、９０度未満である、
請求項１から３のいずれかに記載の光電センサヘッド。
【請求項５】
前記投光部と前記受光部と前記光分離部とを被覆するケースを備え、
前記反射部は、前記ケースの一部に形成されてなる、
請求項１から４のいずれかに記載の光電センサヘッド。
【請求項６】
前記受光部は、受光レンズと前記受光レンズを介して前記光分離部からの光を受光する受光素子とを含み、
前記反射面の所定の角度は、前記反射した迷光が前記受光レンズに入射する量を低減するように形成されてなる、
請求項１から５のいずれかに記載の光電センサヘッド。
【請求項７】
前記迷光は、前記出射光の一部が前記光分離部によって前記反射部側に向けられる光成分である、
請求項１から６のいずれかに記載の光電センサヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光電センサヘッドに関し、特に同軸式の回帰反射型光電センサのためのセンサヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
物体の有無の検出に用いられる光電センサとして、光の反射を利用した反射型光電センサが知られている。反射型光電センサの中には、回帰反射型光電センサと呼ばれるものがある。
回帰反射型光電センサは、一般に、発光素子及び受光素子を内蔵したセンサヘッドと、回帰反射板（以下、リフレクタとも呼ぶ）を備える。回帰反射型光電センサの使用に際しては、投受光器とリフレクタとを対向して配置する。発光素子から出た光の光路上に物体が存在しない場合、その光はリフレクタで反射して受光素子に入射する。一方、光路上に物体が存在する場合、発光素子から出た光はその物体によって遮られるため受光素子に入射する光の量が減少する。すなわち光路上に物体が存在するか否かによって受光素子の受光量が異なる。回帰反射型光電センサは、この受光量の違いに基づいて物体の有無を検出する。
【０００３】
更に、回帰反射型光電センサには、２眼式のものと同軸式とがあり、同軸式の場合、投光路と受光路が略一致しており、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）等の偏光手段によって、投光路と受光路を分離する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２８９７３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
同軸式の回帰反射型光電センサの場合、投光路と受光路とが物理的に分離されていないため、偏光手段により光路が分離されるが、投光器からの光が一部迷光となってセンサヘッド内で反射し、受光素子に入射する。
迷光の光量は小さいため、通常の物体の有無を簡易的に判別する際には余り影響はない。しかし、物体が例えば透明体である場合、その有無による受光量の差は微小である。よって、迷光が受光量に影響を与えてしまい、ＳＮ比を悪くなる。その結果、光電センサによる検出精度の安定性に影響する。
【０００６】
本発明の目的は、光電センサの検出精度を高めることに有効な光電センサヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一つの観点によれば、光電センサヘッドは、光を出射する投光部、光分離部、受光部、反射部、及び反射面を有する。光分離部は、投光部からの出射光の光路上に設けられ、出射光と、出射光が外部で反射されて戻る光であって出射光と同軸の光路を形成する反射光とが入射する。受光部は、光分離部により出射光と同軸の光路より分離された反射光を受光する受光面を有する。反射部は、受光面に対向する位置に配され、出射光の光路外に向かう迷光を反射させる。反射面は、反射部に形成され、反射した迷光が受光面の外側方向に進行するように受光面に対し所定の角度を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る光電センサヘッドは、光電センサヘッド内において反射する迷光が受光部に入光する量を削減できるため、光電センサによる物体検出の精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】一実施の形態に係る光電センサの全体の概略構成図。
【図２】同光電センサのセンサヘッドの内部を一部省略して示す構成図。
【図３】同光電センサのセンサヘッドのケースの斜視図。
【図４】比較例による光電センサのセンサヘッドの内部における光路を示す図。
【図５】本実施の形態に係る光電センサのセンサヘッド内部における光路を示す図。
【図６】同光電センサの反射部の構造を模式的に示す図。
【図７】同反射部の位置と迷光の光路を概略的に示す図。
【図８】同反射部の構造を説明するための図。
【図９】変形例１に係る反射部の構造を模式的に示す図。
【図１０】変形例２に係る反射部の構造を模式的に示す図。
【図１１】変形例３に係る反射部の構造を模式的に示す図。
【図１２】変形例４に係る反射部の構造を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、適宜図面を参照しながら、実施の形態を詳細に説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。
なお、当業者が本開示を十分に理解するために添付図面および以下の説明を提供するのであって、これらによって特許請求の範囲に記載の主題を限定することを意図するものではない。
【００１１】
（実施の形態）
［１−１  構成］
［１−１−１  光電センサの構成］
図１は、本発明の一実施の形態に係る光電センサの全体構成を概略的に示す。光電センサ１は、センサヘッド１０（光電センサヘッドの一例）と、リフレクタ３０と、ケーブル４０と、アンプユニット５０とを備える。光電センサ１は、投光路と受光路とがセンサヘッド１０の内部で光学素子（偏光ビームスプリッタ、ハーフミラー等）により分離される、いわゆる同軸回帰反射型光電センサである。
【００１２】
センサヘッド１０は、後述するように投光部と受光部とを備え、リフレクタ３０との間において、投光部からの出射光ＬＰと受光部への反射光ＬＲを含む光路を形成する。リフレクタ３０は、例えば多数のコーナーキューブが配置された回帰反射板であり、一定の検出距離を置いてセンサヘッド１０に対向して配置される。対向して配置されたセンサヘッド１０とリフレクタ３０との間には、出射光ＬＰと反射光ＬＲの光路が形成される。検出物体Ｓは、同光路を横切るように配された移送路上を通過する。センサヘッド１０は、電源ラインや信号ライン等が一体化されたケーブル４０を介してアンプユニット５０に接続される。アンプユニット５０は、増幅部、制御部及び電源部を備え、センサヘッド１０からの信号を受信すると共に、センサヘッド１０に対し電源部より駆動電圧を供給する。
なお、図示例ではセンサヘッド１０とアンプユニット５０は分離しているが、アンプユニット５０はその一部又は全部がセンサヘッド１０に内蔵されていてもよい。
【００１３】
［１−１−２  センサヘッドの構成］
図２は、センサヘッド１０の内部構成を一部省略して示す。センサヘッド１０は、ケース１１と、ケース１１内に設けられた発光素子１３と、投光レンズ１４と、偏光ビームスプリッタ１７（光分離部の一例）と、受光レンズ１５と、受光素子１６と、投受光口１８と、本実施形態の特徴である反射部１９と、を備える。発光素子１３と投光レンズ１４は投光部２１（投光部の一例）を構成する。受光レンズ１５と受光素子１６は受光部２２（受光部の一例）を構成する。
【００１４】
ケース１１は、図３に示すように、黒色の樹脂材料により一体成形され、センサヘッド１０の各部品を被覆する。また、同図に示すように、ケース１１の内壁の一部においては、投受光口１８の近傍であって受光部２２に対向する位置に反射部１９が形成される。
発光素子１３は、レーザ光を発光するレーザダイオード等から構成され、出射光ＬＰを発光する。出射光ＬＰは、投光レンズ１４及び偏光ビームスプリッタ１７を通過して、投受光口１８よりセンサヘッド１０の外部に向けて出射される。投光レンズ１４は、発光素子１３の前方（投光側）に配される。
【００１５】
偏光ビームスプリッタ１７は、出射光ＬＰの光路上であって投光レンズ１４の前方に配される。偏光ビームスプリッタ１７は、発光素子１３から出射された出射光ＬＰの光路と、出射光ＬＰがリフレクタ３０に反射して戻る光である反射光ＬＲの光路とを分離させる光学素子である。なお、偏光ビームスプリッタ１７は、ハーフミラーに代えてもよい。
受光レンズ１５は、偏光ビームスプリッタ１７に対向する位置に配され、出射光ＬＰの出射方向にほぼ直交して配される。受光素子１６は、フォトダイオードやフォトトランジスタ等から構成され、受光レンズ１５を挟んで偏光ビームスプリッタ１７に対向して配される。受光素子１６は、受光レンズ１５を介して偏光ビームスプリッタ１７からの反射光ＬＲを受光する。
【００１６】
投受光口１８は、投光部２１から出射光ＬＰをセンサヘッド１０の外部へ通し、リフレクタ３０からの反射光ＬＲをセンサヘッド１０の内部へ通す。
反射部１９は、ケース１１内壁の一部であって偏光ビームスプリッタ１７に対向する位置に形成される。反射部１９はまた、偏光ビームスプリッタ１７を挟んで受光部２２に対向する。反射部１９の大きさ（範囲）は、発光素子１３より発光されるレーザ光の径に比例して決められる。つまり、反射部１９は、レーザ径が大きい程広く形成される。反射部１９の詳細については後述する。
【００１７】
［１−２  動作］
以下、図１及び図２を参照して光電センサ１の動作について説明する。
アンプユニット５０は、ケーブル４０を介してセンサヘッド１０に駆動電圧を供給する。センサヘッド１０は、この駆動電圧を受けて、投光部２１よりレーザ光を発光する。センサヘッド１０から出射されたレーザ光である出射光ＬＰは、投光部２１と同じ光軸上に配された投光レンズ１４に入射する。出射光ＬＰは、投光レンズ１４を通過した後、偏光ビームスプリッタ１７に入射する。出射光ＬＰは、偏光ビームスプリッタ１７を透過し、投受光口１８よりリフレクタ３０に向けてセンサヘッド１０の外部に出射される。出射光ＬＰは、リフレクタ３０で反射して反射光ＬＲとなり、投受光口１８を介してセンサヘッド１０内に戻る。この結果、センサヘッド１０とリフレクタ３０間において出射光ＬＰと反射光ＬＲの光路が形成される。つまり、反射光ＬＲは、出射光ＬＰと同軸の光路を有し、出射光ＬＰとは逆向きの方向に進む。なお、ここでの同軸の光路とは、図１に示すように、偏光ビームスプリッタ１７に入射して外部に出射される出射光ＬＰの経路と、外部から戻って偏光ビームスプリッタ１７に入射する反射光ＬＲの経路を含む、同一軸に沿った光路である。
【００１８】
センサヘッド１０内に入射した反射光ＬＲは、偏光ビームスプリッタ１７に入射する。そして、反射光ＬＲは、偏光ビームスプリッタ１７により上記出射光ＬＰと同軸の光路から受光部２２方向に分離され、受光レンズ１５を介して受光素子１６に入射する。受光素子１６は、反射光ＬＲを受光して、反射光ＬＲの受光量に応じた強度を有する電気信号を生成する。センサヘッド１０は、その生成した電気信号を、ケーブル４０を介してアンプユニット５０に出力する。アンプユニット５０は、その電気信号に基づいて物体の有無を検出したり、センサヘッド１０における受光量を示す信号を出力したりする。
【００１９】
以上のような投受光動作によって、光電センサ１は、センサヘッド１０の受光量に基づいて物体の有無を検出する。検出物体Ｓが出射光ＬＰの光路上の所定の検出領域に位置しない場合、センサヘッド１０から出た出射光ＬＰは、リフレクタ３０で反射して反射光ＬＲとなりセンサヘッド１０の受光部２２に入射する。一方、検出物体Ｓが光路上の検出領域に位置する場合には、センサヘッド１０の投光部２１からの出射光ＬＰが検出物体Ｓによって遮られるので、受光部２２が受ける反射光ＬＲの光量が減少する。つまり、検出物体Ｓが検出領域に位置するか否かによってセンサヘッド１０の受光部２２の受光量が異なるので、その受光量の差に基づいて物体の有無を検出する。
【００２０】
［１−３  反射部］
［１−３−１  比較例］
図４は、比較例によるセンサヘッド１０´とその光路を概略的に示す。同センサヘッド１０´は、ケース１１´に反射部１９を形成しない点において本実施の形態に係るセンサヘッド１０と異なる。以下、比較例によるセンサヘッド１０´による投受光動作について説明する。
【００２１】
発光素子１３からの出射光ＬＰは、投光レンズ１４を介して偏光ビームスプリッタ１７を透過し、投受光口１８を通過して外部に出射される。出射光ＬＰは、リフレクタ３０に反射して反射光ＬＲとなり、反射光ＬＲは投受光口１８から偏光ビームスプリッタ１７に戻る。偏光ビームスプリッタ１７からの反射光ＬＲは、受光レンズ１５を通り受光素子１６に入射される。
【００２２】
上記において、発光素子１３から発光された光成分のうち一部は、全て偏光ビームスプリッタ１７を透過せず、図４に示すように迷光ＬＳとしてケース１１の内壁面に向かう。ケース１１の内壁面に反射した迷光ＬＳＲ´は、同内壁面に対向する位置にある受光部２２に戻る。この結果、迷光ＬＳＲ´により受光素子１６の受光量が変化し、ＳＮ比が悪くなるという問題が生じる。
【００２３】
反射した迷光ＬＳＲ´のうち受光部２２に入射する光の量は、比較的小さいことから、従来は、検出物体Ｓの有無を検出する等の簡易的な検出には余り影響がなかった。しかし、検出物体Ｓが透明体等の物体である場合、微小な受光量の差に基づいて検出が行われる。よって、迷光ＬＳＲ´が受光部２２に入射する量がわずかであっても、検出の精度の安定性に問題があった。
例えば、レーザ発光による検出の場合、偏光ビームスプリッタ１７からの迷光ＬＳは、全体の発光量１００％に対しおよそ５％である。その迷光ＬＳのうち、ケース１１の内壁面で反射した迷光ＬＳＲ´は全体の発光量１００％に対しおよそ０．５％であり、そのうち受光部２２に入る量はおよそ０．０５％であった。一方、検出物体Ｓが透明体等であるとき、受光部２２で受光される反射光ＬＲの量は、検出物体の有無によって生じる差が小さい。よって、迷光ＬＳＲ´が受光部２２に入る量が上記のようにわずかであっても、透明体等の物体の検出には影響してしまい、正確な物体検出ができなくなるおそれがある。
【００２４】
［１−３−２  反射部の機能及び構成］
本実施の形態に係るセンサヘッド１０は、ケース１１の内壁面において反射した迷光ＬＳＲが受光部２２に戻るのを防ぐ構造を備える。以下、図５から図８を参照しながら、反射部の機能及び構成について説明する。
【００２５】
図５は、本実施の形態に係るセンサヘッド１０とその光路を概略的に示す。
発光素子１３から発光された出射光ＬＰは、投光レンズ１４を介して偏光ビームスプリッタ１７を透過し、投受光口１８を通過して外部に出射される。出射光ＬＰは、リフレクタ３０に反射して反射光ＬＲとなり、反射光ＬＲは投受光口１８から偏光ビームスプリッタ１７に戻る。偏光ビームスプリッタ１７からの反射光ＬＲは、受光レンズ１５を通り受光素子１６に入射される。
【００２６】
発光素子１３からの出射光ＬＰの光成分は、全て偏光ビームスプリッタ１７を透過せず反射し、図５に示すように迷光ＬＳとしてケース１１の内壁面に向かう。ケース１１の内壁面に反射した迷光ＬＳＲは、同内面に形成された反射部１９によって所定の角度をもって進む。その結果、反射した迷光ＬＳＲが偏光ビームスプリッタ１７を介して受光部２２に戻る量を大幅に低減することが可能となる。
【００２７】
図６は、反射部１９の構造を模式的に示す。図６（ａ）は反射部１９の断面図であり、図６（ｂ）は反射部１９の平面図である。図６（ａ）に示すように、反射部１９は断面が複数の三角形状で、平面視で複数列の三角柱の形状を有する。
図７は、受光部２２に対する反射部１９の位置と迷光の光路を概略的に示す。同図において、符号２２ａは、受光素子１６の受光面を指す。受光面２２ａは、受光素子１６に光が入る面を示す。反射部１９は、偏光ビームスプリッタ１７（図７では省略）を挟んで受光面２２ａに対向するように配される。反射部１９は更に、受光面２２ａに対して、すべての反射面１９ａが所定の角度を有するように形成されている。反射面１９ａは２方向を向き、受光面２２ａに平行な面がないように形成されている。
【００２８】
図７に示すように、偏光ビームスプリッタ１７（図７では省略）からの迷光ＬＳは、反射部１９に向かって進行する。反射部１９においては、迷光ＬＳの進行方向に対し直交する面（つまり、受光面２２ａに平行な面）は形成されていない。一方、反射部１９に形成された複数の反射面１９ａは、受光面２２ａに対して全て所定の角度を有するように形成されている。よって、迷光ＬＳのうち反射面１９ａにあたる光は、反射面１９ａの角度に応じて反射する。
【００２９】
図８に示すように、反射面１９ａの受光面２２ａに対する所定の角度θ１は、例えばおよそ４５°に形成される。これは、受光面２２ａに対しほぼ垂直に進む迷光ＬＳの反射面１９ａに対する入射角θ２（図８のＶＬは反射面１９ａの垂線）に相当する。
以上のような構成により、偏光ビームスプリッタ１７からの迷光ＬＳは反射面１９ａによって反射し、反射した迷光ＬＳＲのほとんどが反射面１９ａの垂線ＶＬより外側（受光面２２ａの外側方向）を進行する。この結果、反射した迷光ＬＳＲは、受光部２２を避けるように進行するため、反射した迷光ＬＳＲが受光部２２に入射する量を大幅に減少させることができる。
【００３０】
［１−４  変形例］
上記実施の形態においては、反射部１９の形態は、上記のものに限定されない。以下、反射部１９の変形例について説明する。
［１−４−１  変形例１］
図９は、変形例１によるケース１１の内面に形成された反射部１１９の構造を示す。図９（ａ）は反射部１１９の断面図であり、図９（ｂ）は反射部１１９の平面図であり、図９（ｃ）は反射部１１９を受光部２２側から見た斜視図である。同図に示すように、反射部１１９は、断面は上記実施の形態と同様に複数の三角形状であるが、平面視では整列した複数の三角錐を形成している。このような構造を有することにより、反射部１１９は４方向を向いた反射面１１９ａを有し、受光面２２ａに平行な面を形成しないため、反射した迷光ＬＳＲが受光部２２に入射する量を大幅に減少させることができる。
【００３１】
［１−４−２  変形例２］
図１０は、変形例２によるケース１１の内面に形成された反射部２１９の構造を示す。図１０（ａ）は反射部２１９の断面図であり、図１０（ｂ）は反射部２１９の平面図であり、図１０（ｃ）は反射部２１９を受光部２２側から見た斜視図である。同図に示すように、反射部２１９は、全体にわたって所定の角度を有する一つの反射面２１９ａを形成する。このような構造であっても、反射部２１９は、受光面２２ａに平行な面を形成しないため、反射した迷光ＬＳＲが受光部２２に入射する量を大幅に減少させることができる。
【００３２】
［１−４−３  変形例３］
図１１は、変形例３によるケース１１の内面に形成された反射部３１９の構造を示す。図１１（ａ）は反射部３１９の断面図であり、図１１（ｂ）は反射部３１９の平面図であり、図１１（ｃ）は反射部３１９を受光部２２側から見た斜視図である。同図に示すように、反射部３１９は、断面は複数の三角形状であり、平面視で複数列の三角柱の形状を有する。反射部３１９は、図６に示す例とは異なり、一方向を向いた複数の反射面３１９ａのみを形成する。このような構造であっても、反射面３１９ａは全て、受光面２２ａに平行な面を形成しないため、反射した迷光ＬＳＲが受光部２２に入射する量を大幅に減少させることができる。
【００３３】
［１−４−４  変形例４］
図１２は、変形例４によるケース１１の内面に形成された反射部４１９の構造を示す。図１２（ａ）は反射部４１９の断面図であり、図１２（ｂ）は反射部４１９の平面図であり、図１２（ｃ）は反射部４１９を受光部２２側から見た斜視図である。同図に示すように、反射部４１９は、断面が上記変形例３と同様に複数の三角形状であるが、平面視で整列した複数の三角錐を形成している点において異なる。反射部４１９は、このような構造を有することにより、少なくとも２方向を向いた複数の反射面４１９ａを形成し、受光面２２ａに平行な面を形成しないため、反射した迷光ＬＳＲが受光部２２に入射する量を大幅に減少させることができる。
【００３４】
［１−５  効果等］
上記実施の形態に係る光電センサ１のセンサヘッド１０は、投光部２１、偏光ビームスプリッタ１７、受光部２２、反射部１９、及び反射面１９ａを備える。偏光ビームスプリッタ１７は、投光部２１からの出射光ＬＰの光路上に設けられ、出射光ＬＰと、出射光ＬＰと同軸の光路を形成する反射光ＬＲとを入射する。受光部２２は、偏光ビームスプリッタ１７により上記出射光と同軸の光路より分離された反射光ＬＲを受光する受光面２２ａを有する。反射部１９は、受光面２２ａに対向する位置に配され、出射光ＬＰの光路外に向かう迷光ＬＳを反射させる。反射面１９ａは、反射部１９に形成され、反射した迷光ＬＳＲが受光面２２ａの外側方向に進行するように受光面２２ａに対し所定の角度を有する。このため、反射部１９に反射した迷光ＬＳＲが受光部２２に入光する量を大幅に削減できるため、光電センサ１による物体検出の精度を向上させることができる。具体的には、従来に比して、受光部２２に入る反射した迷光ＬＳＲの量はおよそ１０分の１（レーザ発光量に対しおよそ０．００５％）まで削減することができる。
【００３５】
反射部１９は黒色であるため、迷光ＬＳの光成分を吸収し、反射した迷光ＬＳＲが受光部２２に入光する量をより効果的に削減できる。よって、光電センサ１による物体検出の測定の精度を向上させることができる。
反射部１９はまた、ケース１１に一体成形されるため、製造が容易であると共に、製造コストも抑制できる。
【００３６】
（その他の実施の形態）
以上のように、本出願において開示する技術の例示として、実施の形態及びその変形例を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。
そこで、以下、他の実施の形態を例示する。
【００３７】
[１]
上記実施の形態及び変形例において、受光面２２ａに対する反射部１９の所定の角度は４５°前後に限定されない。９０°未満の範囲内であって、受光部２２への迷光ＬＳＲの戻り量を減少させる角度であればよい。
また、反射部１９において複数の反射面１９ａが形成されている場合、上記受光面２２ａに対する所定の角度はそれぞれ異なる角度であってもよい。
【００３８】
[２]
反射部１９はケース１１とは別体でケース１１内面に取り付けてもよい。
また、反射部１９は、上記実施の形態に代えて或いは上記実施の形態に加えて、偏光フィルタを含んでいてもよい。この場合、偏光フィルタは、例えば投光部２１からの出射光ＬＰと異なる偏光成分のフィルタ（例えば、出射光ＬＰがＰ偏光ならＳ偏光のフィルタ）を、上記実施の形態の反射部１９と同様に配置する。この偏光フィルタにより、迷光ＬＳの光成分が透過するため、反射した迷光ＬＳＲの量を削減することができ、この結果、受光部２２に入る反射した迷光ＬＳＲの量を削減することできる。
【００３９】
[３]
反射部１９の反射面１９ａは、粗面に形成してもよい。反射面１９ａを粗面に形成することにより、迷光ＬＳは拡散されるため、受光部２２に入る反射した迷光ＬＳＲの量を削減することできる。
【００４０】
[４]
上記実施の形態及び変形例においては、発光素子１３としてレーザダイオードを用いているが、ＬＥＤを用いてもよい。つまり、リフレクタ３０によって回帰反射される光を発するものであればよく、その波長領域は特に限定されるものではない。
【００４１】
以上のように、本開示における技術の例示として、実施の形態を説明した。そのために、添付図面および詳細な説明を提供した。
したがって、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、上記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。
【００４２】
また、上述の実施の形態は、本開示における技術を例示するためのものであるから、特許請求の範囲またはその均等の範囲において種々の変更、置き換え、付加、省略などを行うことができる。
【符号の説明】
【００４３】
１        光電センサ
１０      センサヘッド
１１      ケース
１３      発光素子
１４      投光レンズ
１５      受光レンズ
１６      受光素子
１７      偏光ビームスプリッタ
１８      投受光口
１９      反射部
２１      投光部
２２      受光部
３０      リフレクタ
４０      ケーブル
５０      アンプユニット
Ｓ        検出物体
【図１】
2015115278.tif 000003
【図２】
2015115278.tif 000004
【図３】
2015115278.tif 000005
【図４】
2015115278.tif 000006
【図５】
2015115278.tif 000007
【図６】
2015115278.tif 000008
【図７】
2015115278.tif 000009
【図８】
2015115278.tif 000010
【図９】
2015115278.tif 000011
【図１０】
2015115278.tif 000012
【図１１】
2015115278.tif 000013
【図１２】
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