(57)【要約】【課題】導通をとらない領域においてパッシベーション膜の侵食により裏面再結合抑制効果を損なうことなく、パッシベーション膜との密着性が向上し、かつ、パッシベーション膜上で電極としての機能を十分に果たし、太陽電池セルから出力される電気を効率的に伝達することができる導電性アルミニウムペーストを提供する。【解決手段】導電性アルミニウムペーストは、パッシベーション膜５の上に太陽電池用裏面電極としてアルミニウム電極層９を形成するために塗工される導電性アルミニウムペーストであって、アルミニウム粉末と、ガラス粉末と、有機ビヒクルとからなる。ガラス粉末が、リチウム、ナトリウム、カリウム、カルシウム、マグネシウム、ストロンチウム、および、バリウムからなる群より選ばれた一種または二種以上の金属の酸化物を１重量％以上４０重量％以下、含有する。【選択図】図１
2015115400.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッシベーション膜の上に太陽電池用裏面電極を形成するために塗工される導電性アルミニウムペーストであって、
アルミニウム粉末と、ガラス粉末と、有機ビヒクルとからなり、
前記ガラス粉末が、リチウム、ナトリウム、カリウム、カルシウム、マグネシウム、ストロンチウム、および、バリウムからなる群より選ばれた一種または二種以上の金属の酸化物を１重量％以上４０重量％以下、含有する、導電性アルミニウムペースト。
【請求項２】
前記アルミニウム粉末１００重量部に対して、前記ガラス粉末を０．５重量部以上１５重量部以下、前記有機ビヒクルを３０重量部以上１５０重量部以下、含有する、請求項１に記載の導電性アルミニウムペースト。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的には導電性アルミニウムペーストに関し、特定的には、パッシベーション膜の上に太陽電池用裏面電極を形成するために塗工される導電性アルミニウムペーストに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池の裏面に形成される電極材として、導電性アルミニウムペーストが用いられている。一般的に、この導電性アルミニウムペーストは、有機バインダーとして、樹脂を有機溶剤に溶かしたもの（有機ビヒクル）、無機バインダーとしてのガラスフリット、および、アルミニウム粉末から構成されている。導電性アルミニウムペーストは、シリコン基板に直接塗布するため、電極を形成するための焼成工程で、シリコンとアルミニウムが反応してＡｌ-Ｓｉ合金層が形成される。このようにしてＡｌ-Ｓｉ合金が形成されることにより、電極の密着性が向上する。また、シリコン結晶系太陽電池の受光側表面には入射光の表面反射率を低減するための反射防止膜が形成されている。代表的な反射防止膜材料として、パッシベーションを兼ね備えた窒化ケイ素膜が選ばれている。
【０００３】
一方、太陽電池のさらなる高変換効率化のために、受光側表面と同様に、太陽電池セルの裏面側にも窒化珪素、酸化珪素、酸化アルミニウムなどの膜を形成し、裏面再結合の抑制による変換効率の向上を狙ったタイプ（裏面パッシベーション型太陽電池）のものが検討されている。裏面パッシベーション型太陽電池においても、電極材として導電性アルミニウムペーストが検討されている。このような裏面パッシベーション型太陽電池においてパッシベーション膜の上に形成された電極とシリコン基板とを導通させる方法としては、たとえば、特表２０１０−５３８４６６号公報（特許文献１）には、レーザー照射によりパッシベーション膜を貫通させる（ＬＦＣ）方法、導電性ペーストを用いてファイヤースルー法によって導通させる方法が開示されている。また、「Investigation of Modified Screen-Printing Al Pastes for Local Back Surface Field Formation」,2006年6月, Photovoltaic Energy Conversion, Conference Record of the 2006 IEEE 4th World Conference on （Volume:2）,pp.1338-1441（非特許文献１という）には、アルミニウムペーストを塗布する前に予めパッシベーション膜をレーザーやエッチングペーストで取り除く（ｉＰＥＲＣ）方法が開示されており、このような方法に適した導電性ペーストが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２０１０−５３８４６６号公報
【非特許文献１】「Investigation of Modified Screen-Printing Al Pastes for Local Back Surface Field Formation」,2006年6月, Photovoltaic Energy Conversion, Conference Record of the 2006 IEEE 4th World Conference on （Volume:2）,pp.1338-1441
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、非特許文献１に記載の方法では、一般的な太陽電池セルと異なり、部分的な合金層の形成であり、電極の大部分の領域においてパッシベーション膜と導電性アルミニウムペーストとが接触することになるので、両界面の結合が弱くなる。この結果、太陽電池セル上でのアルミニウム電極抵抗値の上昇と耐久性低下による電極の剥離、磨耗が起こり、太陽電池セルから出力される電気を効率的に伝達することができないという問題がある。また、非特許文献１に記載のペーストは、無機バインダーとしてガラスフリットを含んでいるため、窒化ケイ素のようなパッシベーション膜の上に塗布した場合、７００〜９００℃の温度での焼成過程において、導通をとらない領域においてもガラスフリットがパッシベーション膜を浸食（ファイヤースルー）してしまい、パッシベーション機能を低下させてしまう恐れがある。一方、ペースト中のガラスフリットを除いてしまうと、無機バインダーとしての密着性が損なわれ、パッシベーション膜との密着性が低下する恐れがある。
【０００６】
そこで、本発明は、上述した実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、導通をとらない領域においてパッシベーション膜の侵食により裏面再結合抑制効果を損なうことなく、パッシベーション膜との密着性が向上し、かつ、パッシベーション膜上で電極としての機能を十分に果たし、太陽電池セルから出力される電気を効率的に伝達することができる導電性アルミニウムペーストを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願発明者らは、上述した実情に鑑みて、パッシベーション膜を有する太陽電池セルにおいて、パッシベーション膜と、その上に導電性アルミニウムペーストを用いて形成される電極との密着性を向上し、太陽電池セルから出力される電気を効率的に伝達する方法を種々検討した。その結果、導電性アルミニウムペーストに、特定の成分を含有するガラス粉末を添加することにより、電極界面の密着性を向上することを見出した。この知見に基づいて、本発明に従った導電性アルミニウムペーストは、次のような特徴を備えている。
【０００８】
本発明に従った導電性アルミニウムペーストは、パッシベーション膜の上に太陽電池用裏面電極を形成するために塗工される導電性アルミニウムペーストであって、アルミニウム粉末と、ガラス粉末と、有機ビヒクルとからなる。ガラス粉末が、リチウム、ナトリウム、カリウム、カルシウム、マグネシウム、ストロンチウム、および、バリウムからなる群より選ばれた一種または二種以上の金属の酸化物を１重量％以上４０重量％以下、含有する。
【０００９】
本発明の導電性アルミニウムペーストにおいて、アルミニウム粉末１００重量部に対して、ガラス粉末を０．５重量部以上１５重量部以下、有機ビヒクルを３０重量部以上１５０重量部以下、含有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
以上のように、本発明の導電性アルミニウムペーストを用いることにより、パッシベーション膜と電極との密着性を向上させ、太陽電池素子から出力される電気を効率的に伝達することができるので、太陽電池素子の変換効率をさらに高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】一つの実施の形態として本発明が適用される太陽電池素子の一般的な断面構造を模式的に示す図である。
【図２】図１に示される構造を形成するための一つの製造工程における断面構造を模式的に示す図である。
【図３】本発明の実施例と比較例において作製された電極構造の断面を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＜太陽電池素子＞
図１に示すように、太陽電池素子１００は、たとえば、厚みが１８０〜２５０μｍのｐ型シリコン半導体基板１を用いて構成される。シリコン半導体基板１の受光面側には、厚みが０．３〜０．６μｍのｎ型不純物層２と、その上に、たとえば、窒化シリコン膜からなる反射防止膜３と、たとえば、銀からなるグリッド電極４とが形成されている。
【００１３】
また、シリコン半導体基板１の受光面と反対側の裏面には、たとえば、窒化シリコン膜からなるパッシベーション膜５が形成され、ファイヤースルーによってパッシベーション膜５を貫通するように所定のパターン形状に従ったアルミニウム電極層６が形成されている。アルミニウム電極層６は、アルミニウム粉末、ガラス粉末および有機ビヒクルからなるペースト組成物をスクリーン印刷等によって塗布し、乾燥させた後、たとえば、７００〜９００℃の温度にて短時間焼成することによって形成されている。この焼成の際にアルミニウムがシリコン半導体基板１の内部に拡散することにより、アルミニウム電極層６とシリコン半導体基板１との間にＡｌ−Ｓｉ合金層７が形成されると同時に、アルミニウム原子の拡散による不純物層としてｐ+層（ＢＳＦ層）８が形成される。このｐ+層８の存在により、電子の再結合を防止し、生成キャリアの収集効率を向上させるＢＳＦ（Back Surface Field）効果が得られる。
【００１４】
上記のアルミニウム電極層６に接続され、かつ、パッシベーション膜５の上に接触して延在するように、もう一つのアルミニウム電極層９が形成される。本発明の導電性アルミニウムペーストは、アルミニウム電極層９を形成するためのペースト組成物である。
【００１５】
図２に示すように、パッシベーション膜５の上に、アルミニウム電極層６を形成するための導電性アルミニウムペースト６０を塗布し、さらに、この導電性アルミニウムペーストを覆い、かつ、パッシベーション膜５の上に延在するように、アルミニウム電極層９を形成するための導電性アルミニウムペースト９０が塗布される。その後、ファイヤースルー可能な温度である、たとえば、たとえば、７００〜９００℃の温度にて焼成することにより、アルミニウム電極層６とアルミニウム電極層９とが形成される。
【００１６】
＜導電性アルミニウムペースト＞
本発明の導電性アルミニウムペーストは、パッシベーション膜の上に太陽電池用裏面電極を形成するために塗工される導電性アルミニウムペーストであって、アルミニウム粉末と、ガラス粉末と、有機ビヒクルとからなる。ガラス粉末が、リチウム、ナトリウム、カリウム、カルシウム、マグネシウム、ストロンチウム、および、バリウムからなる群より選ばれた一種または二種以上の金属の酸化物を１重量％以上４０重量％以下、含有する。
【００１７】
本発明の導電性アルミニウムペーストは、パッシベーション膜を有する太陽電池においてパッシベーション膜５の上にアルミニウム電極層９を形成するために用いられると、形成される電極とパッシベーション膜との密着性が向上し、パッシベーション膜上においてもアルミニウム電極層９が電極として低い電気抵抗を示し、電極として十分な性能を発揮することができ、太陽電池セルから出力される電気を効率的に伝達することができる。
【００１８】
＜アルミニウム粉末＞
導電性アルミニウムペーストがアルミニウム粉末を含むことによって、その導電性から電極としての効果を発揮することができる。アルミニウム粉末を構成するアルミニウム粒子の形状は特に限定されないが、その形状が球状であると、アルミニウム電極層９においてアルミニウム粒子の充填性が増し、電極の電気抵抗を低下させるのに有利である。本発明の導電性アルミニウムペースト中のアルミニウム粉末に関して、望ましい粒子径は、平均粒子径で１〜１０μｍである。平均粒子径が１μｍ以下では、ペースト中での分散性が悪化し、１０μｍ以上では、反応性が低下する。
【００１９】
＜ガラス粉末＞
ガラス粉末は、アルミニウム粉末とシリコンとの反応やアルミニウム粉末自身の焼結を助ける作用があるとされている。ガラス粉末は、アルカリ金属、アルカリ土類金属のうち、少なくとも１種を含む。具体的には、アルカリ金属に属するリチウム、ナトリウム、カリウム、および、アルカリ土類金属に属するカルシウム、マグネシウム、ストロンチウム、バリウムのうち、少なくとも１種の酸化物を含む。また、ガラス粉末には、Ｐｂ、Ｂｉ、Ｖ、Ｂ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｐ、Ｚｎからなる群から選択される１種、または２種以上を含有してもよい。さらに、鉛を含むガラス粉末、もしくは、ビスマス系、バナジウム系、錫−燐系、ホウ珪酸亜鉛系、アルカリホウ珪酸系、などの無鉛のガラス粉末を用いることができる。特に人体への影響を鑑みると、無鉛のガラス粉末の利用が望ましい。また、ガラス粉末は、軟化点が７５０℃以下のものであることが好ましい。軟化点が７５０℃を超えるガラス粉末を用いると、アルミニウム粉末の焼結促進効果が低下するためである。また、ガラス粉末の平均粒子径としては、１μｍ以上５μｍ以下が好ましい。ガラス粉末の平均粒子径が１μｍ未満であるとペースト分散時にガラス粉末が凝集する恐れがあり、５μｍを超えるとアルミニウム電極層９の電極抵抗を低下させる恐れがあるためである。さらに、本発明の導電性アルミニウムペースト中に含まれるガラス粉末の含有量は特に限定されないが、アルミニウム粉末１００重量部に対して、０．５重量部以上１５重量部以下であることが好ましい。導電性アルミニウムペースト中のガラス粉末の含有量が０．５重量部未満ではアルミニウム電極層９とパッシベーション膜５との密着性が低下し、１５重量部を越えるとアルミニウム電極層９の電極としての電気抵抗が増加してしまうためである。
【００２０】
＜有機ビヒクル＞
有機ビヒクルとしては、溶剤に、必要に応じて各種添加剤および樹脂を溶解したものが使用される。溶剤としては公知のものが使用可能であり、具体的には、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル等が挙げられる。各種添加剤としては、たとえば、酸化防止剤、腐食抑制剤、消泡剤、増粘剤（タックファイヤー）、カップリング剤、静電付与剤、重合禁止剤、チキソトロピー剤、沈降防止剤等を使用することができる。具体的には、たとえば、ポリエチレングリコールエステル化合物、ポリエチレングリコールエーテル化合物、ポリオキシエチレンソルビタンエステル化合物、ソルビタンアルキルエステル化合物、脂肪族多価カルボン酸化合物、燐酸エステル化合物、ポリエステル酸のアマイドアミン塩、酸化ポリエチレン系化合物、脂肪酸アマイドワックス等を使用することができる。樹脂としては公知のものが使用可能であり、エチルセルロース、ニトロセルロース、ポリビニールブチラール、フェノール樹脂、メラニン樹脂、ユリア樹脂、キシレン樹脂、アルキッド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、フラン樹脂、ウレタン樹脂、イソシアネート化合物、シアネート化合物などの熱硬化樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルアルコール、ポリアセタール、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリフェニレンオキサイド、ポリスルフォン、ポリイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリ４フッ化エチレン、シリコン樹脂等の二種以上を組み合わせて用いることができる。なお、本発明の導電性アルミニウムペーストに含められる有機ビヒクルには、樹脂を溶解しないものも含まれる。さらに、本発明の導電性アルミニウムペースト中に含まれる有機ビヒクルの含有量は特に限定されないが、アルミニウム粉末１００重量部に対して３０重量部以上１５０重量部以下であることが好ましい。有機ビヒクルの含有量が３０重量部未満、または１５０重量部を越えると、ペーストの印刷性が低下するためである。
【実施例】
【００２１】
以下、本発明の実施例と比較例について説明する。
【００２２】
（実施例１）
平均粒径６μｍ、純度９９．７％以上の球状のアルミニウム粉末１００重量部に対して、以下の表１に示す含有量でＢ2Ｏ3、ＳｉＯ2、ＺｎＯを含み、さらに、ＢａＯ、Ｋ2Ｏ、Ｎａ2Ｏ、および、ＭｇＯの合計を１２重量％（アルカリ酸化物量）含有するガラス粉末を１．５重量部、有機ビヒクルを４０重量部、周知の混合機にて混合し、導電性アルミニウムペーストを調製した。
【００２３】
（実施例２）
平均粒径６μｍで純度９９．７％以上の球状のアルミニウム粉末１００重量部に対して、表１に示す含有量でＢ2Ｏ3、ＳｉＯ2、ＺｎＯを含み、さらに、ＢａＯおよびＫ2Ｏの合計を１重量％（アルカリ酸化物量）含有するガラス粉末を１．５重量部、有機ビヒクルを４０重量部、周知の混合機にて混合し、導電性アルミニウムペーストを調製した。
【００２４】
（実施例３）
平均粒径６μｍで純度９９．７％以上の球状のアルミニウム粉末１００重量部に対して、表１に示す含有量でＢ2Ｏ3、ＳｉＯ2、ＺｎＯ、Ａｌ2Ｏ3を含み、ＢａＯ、ＣａＯ、Ｌｉ2Ｏ、および、ＳｒＯの合計を１０重量％（アルカリ酸化物量）含有するガラス粉末を１．５重量部、有機ビヒクルを４０重量部、周知の混合機にて混合し、導電性アルミニウムペーストを調製した。
【００２５】
（実施例４）
平均粒径６μｍで純度９９．７％以上の球状のアルミニウム粉末１００重量部に対して、表１に示す含有量でＢ2Ｏ3、ＳｉＯ2、ＺｎＯ、Ａｌ2Ｏ3を含み、さらに、Ｋ2Ｏを１２．５重量％（アルカリ酸化物量）含有するガラス粉末を１．５重量部、有機ビヒクルを４０重量部、周知の混合機にて混合し、導電性アルミニウムペーストを調製した。
【００２６】
（実施例５）
平均粒径６μｍで純度９９．７％以上の球状のアルミニウム粉末１００重量部に対して、表１に示す含有量でＢ2Ｏ3、ＳｉＯ2、ＺｎＯ、Ａｌ2Ｏ3を含み、さらに、Ｋ2ＯおよびＮａ2Ｏの合計を４０重量％（アルカリ酸化物量）含有するガラス粉末を１．５重量部、有機ビヒクル４０重量部を、周知の混合機にて混合し、導電性アルミニウムペーストを調製した。
【００２７】
（比較例１）
平均粒径６μｍで純度９９．７％以上の球状のアルミニウム粉末１００重量部に対して、アルカリ金属およびアルカリ土類金属のいずれも含まず、表１に示す含有量でＢ2Ｏ3、Ｂｉ2Ｏ3を含むガラス粉末を１．５重量部、有機ビヒクルを４０重量部、周知の混合機にて混合し、導電性アルミニウムペーストを調製した。
【００２８】
（比較例２）
平均粒径６μｍで純度９９．７％以上の球状のアルミニウム粉末１００重量部に対して、アルカリ金属およびアルカリ土類金属のいずれも含まず、表１に示す含有量でＢ2Ｏ3、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＰｂＯを含むガラス粉末を１．５重量部、有機ビヒクルを４０重量部、周知の混合機にて混合し、導電性アルミニウムペーストを調製した。
【００２９】
（比較例３）
平均粒径６μｍで純度９９．７％以上の球状のアルミニウム粉末１００重量部に対して、アルカリ金属およびアルカリ土類金属のいずれも含まず、表１に示す含有量でＺｎＯ、Ｂｉ2Ｏ3を含むガラス粉末を１．５重量部、有機ビヒクルを４０重量部、周知の混合機にて混合し、導電性アルミニウムペーストを調製した。
【００３０】
（比較例４）
平均粒径６μｍで純度９９．７％以上の球状のアルミニウム粉末１００重量部に対して、表１に示す含有量でＢ2Ｏ3、ＳｉＯ2、ＺｎＯ、Ａｌ2Ｏ3、Ｂｉ2Ｏ3を含み、さらに、ＢａＯを０．５重量％（アルカリ酸化物量）含有するガラス粉末を１．５重量部、有機ビヒクルを４０重量部、周知の混合機にて混合し、導電性アルミニウムペーストを調製した。
【００３１】
（比較例５）
平均粒径６μｍで純度９９．７％以上の球状のアルミニウム粉末１００重量部に対して、表１に示す含有量でＢ2Ｏ3、ＳｉＯ2、ＺｎＯ、Ａｌ2Ｏ3を含み、さらに、ＢａＯおよびＣａＯの合計が４５重量％（アルカリ酸化物量）含有するガラス粉末を１．５重量部、有機ビヒクルを４０重量部、周知の混合機にて混合し、導電性アルミニウムペーストを調製した。
【００３２】
（比較例６）
平均粒径６μｍで純度９９．７％以上の球状のアルミニウム粉末１００重量部に対して、表１に示す含有量でＢ2Ｏ3、ＺｎＯを含み、さらに、ＢａＯおよびＬｉ2Ｏの合計を７０重量％含有するガラス粉末を１．５重量部、有機ビヒクルを４０重量部、周知の混合機にて混合し、導電性アルミニウムペーストを調製した。
【００３３】
実施例１〜５、比較例１〜６で得られた各導電性アルミニウムペーストを、図３に示すように、予め、パッシベーション膜５としてシリコン窒化膜を形成した平面寸法が１５６ｍｍ×１５６ｍｍで、厚みが２００μｍのｐ型シリコン半導体基板１の全面上に、スクリーン印刷により塗布した。スクリーンメッシュは２５０Ｍｅｓｈを使用した。シリコン半導体基板１を１００℃の温度で１０分乾燥後、赤外線焼成炉、空気雰囲気中で７５０〜８００℃の温度で焼成し、シリコン半導体基板１上のパッシベーション膜５の全表面上にアルミニウム電極層９を形成した。
【００３４】
（密着性の評価）
アルミニウム電極層９とパッシベーション膜５との密着性は、パッシベーション膜５上に形成されたアルミニウム電極層９の表面にメンディングテープ（幅１２ｍｍ、住友スリーエム株式会社製）を３ｃｍ程度の長さで貼り付けた後、シリコン半導体基板１に対して４５度の角度をなす方向に勢いよくテープを引っ張って剥がし、貼り付けた元のメンディングテープ面積に対して、アルミニウムが付着した部分の合計面積の、割合を、二値化処理可能な解析ソフトを用いて算出することによって評価した。密着性の評価は、全て同一人物が同一の姿勢、角度、力、および一定の速度で行った。メンディングテープにアルミニウムの付着が全くないものを◎、テープ面積に対して５％未満の割合でアルミニウムが付着していたものを○、テープ面積に対して５％以上５０％未満の割合でアルミニウムが付着していたものを△、テープ面積に対して５０％以上の割合でアルミニウムが付着していたものを×として評価した。
【００３５】
（ファイヤースルー性の評価）
焼成工程中において、導通をとらない領域でパッシベーション膜５を侵食し、シリコン半導体基板１の表面までアルミニウム電極層９の界面が達するファイヤースルー性が発現していないかどうかを確認した。アルミニウム電極層９が形成されたシリコン半導体基板１を濃度が１５重量％の塩酸水溶液に浸漬し、アルミニウム電極層９をエッチングで除去した。エッチング後のシリコン半導体基板１を光学顕微鏡（倍率：２００倍）で観察し、ファイヤースルー性を評価した。シリコン半導体基板１の表面が全く露出していなかったものを「○」、２０％未満の割合でシリコン半導体基板１の表面が露出していたものを「△」、２０％以上の割合でシリコン半導体基板１の表面が露出していたものを「×」とした。
【００３６】
（アルミニウム電極層の面抵抗の評価）
電極の評価として、アルミニウム電極層９の面抵抗を、シート抵抗機（ナプソン株式会社製、型番ＲＴ―７０Ｖ）を用いて測定した。
【００３７】
以上の評価結果を表１に示す。
【００３８】
【表１】
2015115400.tif 000003
【００３９】
表１から、リチウム、ナトリウム、カリウム、カルシウム、マグネシウム、ストロンチウム、および、バリウムからなる群より選ばれた一種または二種以上の金属を１重量％以上４０重量％以下含有するガラス粉末を含む実施例１〜５のペースト組成物をパッシベーション膜５の上に塗工することにより、形成されるアルミニウム電極層９とパッシベーション膜５との密着性が向上し、ファイヤースルー性が発現せずパッシベーション膜を損なうことがないとともに、アルミニウム電極層の面抵抗を低減することができるため、太陽電池素子から出力される電気を効率的に伝達することができることがわかる。
【００４０】
以上に開示された実施の形態や実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態や実施例ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正や変形を含むものと意図される。
【符号の説明】
【００４１】
１：（ｐ型）シリコン半導体基板、２：ｎ型不純物層、３：反射防止膜、４：グリッド電極、５：パッシベーション膜、６，９：アルミニウム電極層、７：Ａｌ‐Ｓｉ合金層、８：ｐ+層、６０，９０：導電性アルミニウムペースト、１００：太陽電池素子。
【図１】
2015115400.tif 000004
【図２】
2015115400.tif 000005
【図３】
2015115400.tif 000006