(57)【要約】【課題】１つの装置を共有する複数のユーザー間で情報の伝達を確実に行うことを可能にする操作パネルを実現する。【解決手段】基本画面毎に外部からの入力に基づいてメモを作成するメモ作成手段１１３と、各メモを基本画面上のオブジェクトに対応付けるオブジェクト設定手段１１７と、メモ作成手段１１３によって作成されたメモの基本画面上への表示を制御するメモ表示制御手段１１９とが操作パネルに設けられる。メモ表示制御手段１１９は、各メモに対応する基本画面が表示される際に、当該メモを、オブジェクト設定手段１１７によって対応付けられているオブジェクトに関連付けて基本画面上に表示する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置の動作を制御するために１または複数のオブジェクトを含む複数の基本画面を表示可能に構成された操作パネルであって、
基本画面毎に外部からの入力に基づいてメモを作成するメモ作成手段と、
前記メモ作成手段によって作成されたメモの基本画面上への表示を制御するメモ表示制御手段と
を備え、
前記メモ作成手段によって作成された任意のメモを着目メモと定義したとき、前記メモ表示制御手段は、着目メモに対応する基本画面が表示される際に、当該基本画面上に着目メモを表示すること特徴とする、操作パネル。
【請求項２】
前記メモ作成手段によって作成されるメモを基本画面上のオブジェクトのうちの外部から指定されるオブジェクトに対応付けるオブジェクト設定手段を更に備え、
前記メモ表示制御手段は、前記オブジェクト設定手段によって着目メモに対応付けられているオブジェクトに関連付けて、着目メモを表示することを特徴とする、請求項１に記載の操作パネル。
【請求項３】
前記メモ表示制御手段は、前記オブジェクト設定手段によって着目メモに対応付けられているオブジェクトの近傍の位置に、着目メモを表示することを特徴とする、請求項２に記載の操作パネル。
【請求項４】
人の指が接近したことを検知するセンサ手段を更に備え、
前記メモ表示制御手段は、前記オブジェクト設定手段によって着目メモに対応付けられているオブジェクトに人の指が接近していることを前記センサ手段が検知したときに、着目メモを表示することを特徴とする、請求項２または３に記載の操作パネル。
【請求項５】
各ユーザーによるログイン操作を受け付けるログイン手段と、
前記メモ作成手段によって作成されるメモの公開先を設定する公開先設定手段と
を更に備え、
前記メモ表示制御手段は、前記公開先設定手段によって着目メモの公開先に設定されているユーザーがログインしている場合に、着目メモを表示することを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項に記載の操作パネル。
【請求項６】
前記公開先設定手段は、複数のユーザーからなるグループを前記メモ作成手段によって作成されるメモの公開先として設定することが可能なように構成され、
前記メモ表示制御手段は、前記公開先設定手段によって着目メモの公開先に設定されているグループに含まれるユーザーがログインしている場合に、着目メモを表示することを特徴とする、請求項５に記載の操作パネル。
【請求項７】
前記メモ表示制御手段は、基本画面上に表示されるべきメモについて当該基本画面上への表示と非表示とを切り替えることができることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか１項に記載の操作パネル。
【請求項８】
前記メモ作成手段によって作成されるメモと音声とを対応付ける音声設定手段と、
音声を出力する音声出力手段と
を更に備え、
前記音声出力手段は、前記メモ表示制御手段によって着目メモが表示される際、前記音声設定手段によって着目メモに音声が対応付けられていれば、当該対応付けられている音声を出力することを特徴とする、請求項１から７までのいずれか１項に記載の操作パネル。
【請求項９】
前記メモ作成手段によって作成されるメモに対して種類を設定するメモ種類設定手段を更に備え、
前記メモ表示制御手段によって表示されるメモの外観が、前記メモ種類設定手段によって指定されている種類に応じて異なることを特徴とする、請求項１から８までのいずれか１項に記載の操作パネル。
【請求項１０】
前記メモ作成手段によって作成されたメモに関する内容を更新するメモ更新手段を更に備えることを特徴とする、請求項１から９までのいずれか１項に記載の操作パネル。
【請求項１１】
前記メモ作成手段によって作成されたメモの一覧表示を行うメモ一覧表示手段を更に備えることを特徴とする、請求項１から１０までのいずれか１項に記載の操作パネル。
【請求項１２】
基板を処理する基板処理装置であって、
請求項１から１１までのいずれか１項に記載の操作パネルを備えることを特徴とする、基板処理装置。
【請求項１３】
装置の動作を制御するために１または複数のオブジェクトを含む複数の基本画面を表示可能に構成された操作パネルの制御方法であって、
基本画面毎に前記操作パネルの外部からの入力に基づいてメモを作成するメモ作成ステップと、
前記メモ作成ステップで作成されたメモの基本画面上への表示を制御するメモ表示制御ステップと
を含み、
前記メモ作成ステップで作成された任意のメモを着目メモと定義したとき、前記メモ表示制御ステップでは、着目メモに対応する基本画面が表示される際に当該基本画面上に着目メモが表示されるよう、メモの基本画面上への表示が制御されること特徴とする、操作パネルの制御方法。
【請求項１４】
装置の動作を制御するために１または複数のオブジェクトを含む複数の基本画面を表示可能に構成された操作パネルの制御プログラムであって、
基本画面毎に前記操作パネルの外部からの入力に基づいてメモを作成するメモ作成ステップと、
前記メモ作成ステップで作成されたメモの基本画面上への表示を制御するメモ表示制御ステップと
をコンピュータのＣＰＵがメモリを利用して実行させ、
前記メモ作成ステップで作成された任意のメモを着目メモと定義したとき、前記メモ表示制御ステップでは、着目メモに対応する基本画面が表示される際に当該基本画面上に着目メモが表示されるよう、メモの基本画面上への表示が制御されること特徴とする、操作パネルの制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、操作パネルに関し、更に詳しくは、半導体基板を処理する基板処理装置などの主にクリーンルームで使用される装置に設けられている操作パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体デバイスの基となる「ウェーハ」と呼ばれる円盤状の半導体基板に各種処理を施すために、基板処理装置が使用されている。基板処理装置では、例えば、基板の加熱・冷却処理，基板を回転させながらレジスト液の塗布を行うコーティング処理，露光後の基板に現像液を塗布する現像処理などが行われる。
【０００３】
上述した基板処理装置には、通常、各種処理に関するパラメータの設定や処理の実行指示などを利用者（以下、「ユーザー」という。）が行うための操作パネルが設けられている。例えば、特開平１０−３２１６９７号公報には、基板処理装置に設けられたタッチパネル式の操作パネルに関する発明が開示されている。特開平１０−３２１６９７号公報に開示された発明によれば、情報の入力に要する操作時間が従来よりも短縮され、しかも入力間違いの発生が抑制される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−３２１６９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、１つの装置を複数のユーザーで共有する場合、或るユーザーから別のユーザーに対して当該装置での作業に関して何らかの伝達事項が生じることがある。そのような場合、一般的には、例えば、伝達事項をメモ用紙に記入して、当該メモ用紙を装置に貼り付けることなどが行われる。基板処理装置に関しても、処理毎に異なるユーザーが操作を行うなど、複数のユーザーで共有されることが多い。例えば、或るユーザーがパラメータを特殊な値に設定してウェーハの処理を実行した場合、パラメータの値を特殊な値に設定していることを次の処理を実行するユーザーに伝達しなければならない。伝達が適切になされなければ、次の処理によってウェーハがダメージを受けることが考えられる。ところが、基板処理装置は、通常、ウェーハの処理に悪影響を及ぼすパーティクル（浮遊微小粒子）の発生を抑制するために、情報伝達のための物品の持ち込みや人の活動に制限が課される部屋であるクリーンルームに設置されている。このため、一般的な装置と同様の伝達方法を採用できないことが多い。
【０００６】
上述のように基板処理装置がクリーンルームに設置されていることを考慮すると、ユーザー間の伝達手段としては、口頭での直接の伝達，電話，および電子メールを採用することが考えられる。しかしながら、口頭での直接の伝達を行うためには、ユーザー間で互いに時間の調整などを行う必要があり、先の処理の実行から後の処理の実行までの間に必ずしも口頭での伝達を行う機会が得られるとは限らない。また、電話を利用した場合には、画面を示すことができないため、伝達が不充分になることがある。さらに、電子メールを利用するためにはユーザーは電子メールの送受信を行うことのできる環境にいなければならないし、送信先のユーザーが必ずしも次の処理を実行するまでにメールの内容を見るとは限らない。
【０００７】
そこで本発明は、１つの装置を共有する複数のユーザー間で情報の伝達を確実に行うことを可能にする操作パネルを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、装置の動作を制御するために１または複数のオブジェクトを含む複数の基本画面を表示可能に構成された操作パネルであって、
基本画面毎に外部からの入力に基づいてメモを作成するメモ作成手段と、
前記メモ作成手段によって作成されたメモの基本画面上への表示を制御するメモ表示制御手段と
を備え、
前記メモ作成手段によって作成された任意のメモを着目メモと定義したとき、前記メモ表示制御手段は、着目メモに対応する基本画面が表示される際に、当該基本画面上に着目メモを表示することを特徴とする。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明において、
前記メモ作成手段によって作成されるメモを基本画面上のオブジェクトのうちの外部から指定されるオブジェクトに対応付けるオブジェクト設定手段を更に備え、
前記メモ表示制御手段は、前記オブジェクト設定手段によって着目メモに対応付けられているオブジェクトに関連付けて、着目メモを表示することを特徴とする。
【００１０】
第３の発明は、第２の発明において、
前記メモ表示制御手段は、前記オブジェクト設定手段によって着目メモに対応付けられているオブジェクトの近傍の位置に、着目メモを表示することを特徴とする。
【００１１】
第４の発明は、第２または第３の発明において、
人の指が接近したことを検知するセンサ手段を更に備え、
前記メモ表示制御手段は、前記オブジェクト設定手段によって着目メモに対応付けられているオブジェクトに人の指が接近していることを前記センサ手段が検知したときに、着目メモを表示することを特徴とする。
【００１２】
第５の発明は、第１から第４までのいずれかの発明において、
各ユーザーによるログイン操作を受け付けるログイン手段と、
前記メモ作成手段によって作成されるメモの公開先を設定する公開先設定手段と
を更に備え、
前記メモ表示制御手段は、前記公開先設定手段によって着目メモの公開先に設定されているユーザーがログインしている場合に、着目メモを表示することを特徴とする。
【００１３】
第６の発明は、第５の発明において、
前記公開先設定手段は、複数のユーザーからなるグループを前記メモ作成手段によって作成されるメモの公開先として設定することが可能なように構成され、
前記メモ表示制御手段は、前記公開先設定手段によって着目メモの公開先に設定されているグループに含まれるユーザーがログインしている場合に、着目メモを表示することを特徴とする。
【００１４】
第７の発明は、第１から第６までのいずれかの発明において、
前記メモ表示制御手段は、基本画面上に表示されるべきメモについて当該基本画面上への表示と非表示とを切り替えることができることを特徴とする。
【００１５】
第８の発明は、第１から第７までのいずれかの発明において、
前記メモ作成手段によって作成されるメモと音声とを対応付ける音声設定手段と、
音声を出力する音声出力手段と
を更に備え、
前記音声出力手段は、前記メモ表示制御手段によって着目メモが表示される際、前記音声設定手段によって着目メモに音声が対応付けられていれば、当該対応付けられている音声を出力することを特徴とする。
【００１６】
第９の発明は、第１から第８までのいずれかの発明において、
前記メモ作成手段によって作成されるメモに対して種類を設定するメモ種類設定手段を更に備え、
前記メモ表示制御手段によって表示されるメモの外観が、前記メモ種類設定手段によって指定されている種類に応じて異なることを特徴とする。
【００１７】
第１０の発明は、第１から第９までのいずれかの発明において、
前記メモ作成手段によって作成されたメモに関する内容を更新するメモ更新手段を更に備えることを特徴とする。
【００１８】
第１１の発明は、第１から第１０までのいずれかの発明において、
前記メモ作成手段によって作成されたメモの一覧表示を行うメモ一覧表示手段を更に備えることを特徴とする。
【００１９】
第１２の発明は、基板を処理する基板処理装置であって、
第１から第１１までのいずれかの発明に係る操作パネルを備えることを特徴とする。
【００２０】
第１３の発明は、装置の動作を制御するために１または複数のオブジェクトを含む複数の基本画面を表示可能に構成された操作パネルの制御方法であって、
基本画面毎に前記操作パネルの外部からの入力に基づいてメモを作成するメモ作成ステップと、
前記メモ作成ステップで作成されたメモの基本画面上への表示を制御するメモ表示制御ステップと
を含み、
前記メモ作成ステップで作成された任意のメモを着目メモと定義したとき、前記メモ表示制御ステップでは、着目メモに対応する基本画面が表示される際に当該基本画面上に着目メモが表示されるよう、メモの基本画面上への表示が制御されること特徴とする。
【００２１】
第１４の発明は、装置の動作を制御するために１または複数のオブジェクトを含む複数の基本画面を表示可能に構成された操作パネルの制御プログラムであって、
基本画面毎に前記操作パネルの外部からの入力に基づいてメモを作成するメモ作成ステップと、
前記メモ作成ステップで作成されたメモの基本画面上への表示を制御するメモ表示制御ステップと
をコンピュータのＣＰＵがメモリを利用して実行させ、
前記メモ作成ステップで作成された任意のメモを着目メモと定義したとき、前記メモ表示制御ステップでは、着目メモに対応する基本画面が表示される際に当該基本画面上に着目メモが表示されるよう、メモの基本画面上への表示が制御されること特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
上記第１の発明によれば、ユーザーは任意の基本画面と対応付けてメモを作成することができる。そして、作成済みの各メモは、当該各メモに対応する基本画面が表示される際に、当該基本画面上に表示される。このため、各ユーザーは、或る基本画面から操作を行うユーザーへの伝達事項（操作の際の注意点など）があるときに、当該基本画面が表示される際に現れるメモを作成することができる。これにより、ユーザー間の伝達手段が制限される環境下で使用される装置（例えばクリーンルームに設置される装置）を複数のユーザーで共有する場合に、それら複数のユーザー間での情報の伝達を確実に行うことが可能となる。
【００２３】
上記第２の発明によれば、ユーザーは、メモを基本画面上の任意のオブジェクトに対応付けることができる。そして、各メモは、当該メモに対応付けられているオブジェクトに関連付けて表示される。このため、伝言を受ける側のユーザーによるメモの見落としが防止される。
【００２４】
上記第３の発明によれば、各メモは、当該メモに対応付けられているオブジェクトの近傍に表示される。このため、より確実に、伝言を受ける側のユーザーによるメモの見落としが防止される。
【００２５】
上記第５の発明によれば、ユーザーは、特定のユーザーに対してメモを作成することが可能となる。これにより、操作パネルの画面上に不必要に多くのメモが表示されることが防止される。その結果、画面上にメモが表示されたときには、よりユーザーに対して注意が喚起されるので、伝達の不備がより確実に防止される。
【００２６】
上記第６の発明によれば、ユーザーは、複数のユーザー宛てのメモを作成することが可能となる。これにより、１つのメモを作成するだけで複数のユーザーに対する伝達の不備を防止することが可能となる。
【００２７】
上記第７の発明によれば、必要に応じてメモの表示／非表示を切り替えることができるので、操作性が向上する。
【００２８】
上記第８の発明によれば、ユーザーは、メモに音声を付加することができる。そして、各メモが表示される際に、当該メモに対応付けられている音声が出力される。これにより、文章では表現しにくい複雑な事項の伝達が可能となる。
【００２９】
上記第９の発明によれば、ユーザーは、メモに対して種類を設定することができる。そして、各メモは、種類毎に異なる外観で表示される。これにより、伝達事項の重要度に応じて、ユーザーに対する注意を喚起することが可能となる。
【００３０】
上記第１０の発明によれば、ユーザーは、必要に応じて、作成済みのメモの内容を更新することができる。
【００３１】
上記第１１の発明によれば、多数のメモが作成されても、比較的容易にそれらのメモを管理することが可能となる。
【００３２】
上記第１２の発明によれば、基板処理装置を複数のユーザーで共有する場合に、それら複数のユーザー間での情報の伝達を確実に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施形態に係る操作パネルを備えた基板処理装置の概略斜視図である。
【図２】上記実施形態において、基板処理装置に搭載されているコンピュータのハードウェア構成を示すブロック図である。
【図３】上記実施形態における操作パネルの概略断面図である。
【図４】上記実施形態において、操作パネルに表示される画面の一例を示す図である。
【図５】上記実施形態において、伝言メモ画面の一例を示す図である。
【図６】上記実施形態において、基本画面およびサブ画面について説明するための図である。
【図７】上記実施形態において、伝言メモ機能を実現するための機能構成を示す機能ブロック図である。
【図８】上記実施形態において、伝言メモボタンの一例を示す図である。
【図９】上記実施形態において、伝言メモボタンを含む各種ボタンの表示例を示す図である。
【図１０】上記実施形態において、メニューから伝言メモ機能をユーザーに選択させることについて説明するための図である。
【図１１】上記実施形態において、伝言メモ初期画面の一例を示す図である。
【図１２】上記実施形態において、伝言メモ登録画面の一例を示す図である。
【図１３】上記実施形態において、タイトル入力画面の一例を示す図である。
【図１４】上記実施形態において、種類選択用リストボックスの一例を示す図である。
【図１５】上記実施形態において、オブジェクト選択用リストボックスの一例を示す図である。
【図１６】上記実施形態において、処理選択用リストボックスの一例を示す図である。
【図１７】上記実施形態において、伝言メモ公開先設定画面（個人別）の一例を示す図である。
【図１８】上記実施形態において、伝言メモ公開先設定画面（権限別）の一例を示す図である。
【図１９】上記実施形態において、操作パネルの基本画面上への伝言メモ画面の表示のされ方について説明するための図である。
【図２０】上記実施形態において、伝言メモ画面の一例を示す図である。
【図２１】上記実施形態において、伝言メモ画面の一例を示す図である。
【図２２】上記実施形態において、伝言メモ画面の任意の位置への移動について説明するための図である。
【図２３】上記実施形態において、伝言メモ設定画面の一例を示す図である。
【図２４】上記実施形態において、伝言メモ一覧画面の一例を示す図である。
【図２５】上記実施形態において、ユーザーが伝言メモの新規作成（登録）を行う際の操作の流れを説明するためのフローチャートである。
【図２６】上記実施形態において、ユーザーが伝言メモ画面を介して伝言メモの更新を行う際の操作の流れを説明するためのフローチャートである。
【図２７】上記実施形態において、ユーザーが伝言メモ初期画面を介して伝言メモの更新を行う際の操作の流れを説明するためのフローチャートである。
【図２８】上記実施形態の変形例について説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態について説明する。
【００３５】
＜１．概略構成＞
図１は、本発明の一実施形態に係る操作パネルを備えた基板処理装置の概略斜視図である。この基板処理装置は、半導体デバイスの基となる「ウェーハ」と呼ばれる円盤状の半導体基板に各種処理を施すための装置である。図１に示すように、この基板処理装置は、操作パネル１０，インデクサ部２０，熱処理部２１，コーティング処理部２２，現像処理部２３，インターフェース部２４，および搬送部（搬送ロボット）２５を備えている。操作パネル１０は、各種処理に関するパラメータの設定や処理の実行指示などをユーザーが行うためのタッチパネル式の画面である。インデクサ部２０は、カセットからの処理対象の基板の搬出およびカセットへの処理済みの基板の収納を行う。熱処理部２１は、基板の加熱・冷却処理を行う。コーティング処理部２２は、基板を回転させながらレジスト液の塗布を行うコーティング処理を行う。現像処理部２３は、露光後の基板に現像液を塗布する現像処理を行う。インターフェース部２４は、搬送部２５と露光装置（不図示）との間で基板の受け渡しを行う。搬送部２５は、各処理部への基板の搬送を行う。
【００３６】
基板処理装置の内部には、装置全体を制御するためのコンピュータが搭載されている。図２は、基板処理装置に搭載されているコンピュータ１００のハードウェア構成を示すブロック図である。コンピュータ１００は、ＣＰＵ１１，ＲＯＭ１２，ＲＡＭ１３，補助記憶装置１４，通信制御部１５，および操作パネル１０を有している。ＣＰＵ１１は、このコンピュータ１００の全体を制御するために各種演算処理等を行う。ＲＯＭ１２は、読み出し専用のメモリであって、例えば基板処理装置の起動時にコンピュータ１００のＣＰＵ１１に実行させる初期プログラムなどを格納する。ＲＡＭ１３は、書き込み可能な揮発性のメモリであって、実行中のプログラムやデータ等を一時的に格納する。補助記憶装置１４は、磁気ディスク装置などの不揮発性の記憶装置である。この補助記憶装置１４には、操作パネル１０の画面を制御したり操作パネル１０で行われた操作に基づいてコンピュータ１００を動作させるためのプログラムＰが格納されている。通信制御部１５は、外部へのデータ送信の制御や外部からのデータ受信の制御を行う。
【００３７】
図３は、操作パネル１０の概略断面図である。図２および図３に示すように、操作パネル１０には、ユーザーがタッチ（指で触れること）した画面上の位置を検知する入力受付部１０１（センサ）と、操作用の画面を表示する表示部１０２とが含まれている。表示部１０２は、例えば液晶表示装置によって実現されている。操作パネル１０に入力受付部１０１（センサ）が設けられているので、コンピュータ１００は、操作パネル１０の画面上に表示されているオブジェクトのうちのいずれのオブジェクトをユーザーがタッチしたのかを把握することができる。なお、本明細書においては、基板処理装置の各処理部あるいは操作パネル１０に何らかの処理の実行を指示するためにユーザーによるタッチが可能なよう操作パネル１０上に表示されているボタンやメニューなどを総称したものを「オブジェクト」という。
【００３８】
コンピュータ１００が起動されると、補助記憶装置１４に格納されているプログラムＰがＲＡＭ１３に読み出され、そのＲＡＭ１３に読み出されたプログラムＰをＣＰＵ１１が実行することにより各種機能が実現される。なお、プログラムＰは、ＣＤ−ＲＯＭ，ＤＶＤ−ＲＯＭ，フラッシュメモリ等の記録媒体に記録された形態あるいは外部のサーバからのネットワークを介したダウンロードの形態で提供される。
【００３９】
図４は、本実施形態において、操作パネル１０に表示される画面の一例を示す図である。図４に示すように、操作パネル１０の画面上の様々な位置に、メニューやボタンなどのオブジェクト２が設けられている。本実施形態における操作パネル１０には、各ユーザーから他のユーザーへの伝達事項である伝言メモを画面上に表示する機能（以下、「伝言メモ機能」という。）が設けられている。ユーザーはこの伝言メモ機能を利用することにより、例えば図５に示すような伝言メモ画面７００を操作パネル１０の画面上に表示することができる。なお、操作パネル１０に表示される画面は、ユーザーの操作に従って遷移する。これに関し、本明細書においては、操作パネル１０のほぼ全体に表示される画面のことを「基本画面」といい、基本画面上のボタン等をタッチした際に基本画面上に表示されるダイアログなどと呼ばれる画面のことを「サブ画面」という（図６参照）。後述するように、伝言メモは、基本画面毎に作成される。以下、伝言メモ機能について詳しく説明する。
【００４０】
＜２．伝言メモ機能＞
＜２．１  概要＞
図７は、操作パネル１０において伝言メモ機能を実現するための機能構成を示す機能ブロック図である。操作パネル１０は、伝言メモ機能を実現するための構成要素として、メモ記憶部１１２を含むメモ管理手段１１１，メモ作成手段１１３，メモ更新手段１１４，メモ種類設定手段１１５，音声設定手段１１６，オブジェクト設定手段１１７，公開先設定手段１１８，およびメモ表示制御手段１１９を有している。なお、これらの各手段は、補助記憶装置１４に格納されているプログラムＰがＲＡＭ１３に読み出され、そのＲＡＭ１３に読み出されたプログラムＰをＣＰＵ１１が実行することによって実現される。
【００４１】
メモ管理手段１１１は、ユーザーによって作成された伝言メモの管理を行う。なお、ユーザーによって作成された伝言メモは、メモ記憶部１１２に格納される。メモ作成手段１１３は、伝言メモの新規作成を行う。メモ更新手段１１４は、作成済みのメモ（メモ記憶部１１２に格納されているメモ）の内容を更新する（メモの削除も含む）。メモ種類設定手段１１５は、ユーザーによって作成されるメモに対してメモの種類を設定する。音声設定手段１１６は、ユーザーによって作成されるメモに、ユーザーが入力あるいは指定する音声を対応付ける。オブジェクト設定手段１１７は、ユーザーによって作成されるメモに、ユーザーによって指定されるオブジェクトを対応付ける。公開先設定手段１１８は、ユーザーによって作成されるメモの公開先を設定する。メモ表示制御手段１１９は、作成済みのメモ（メモ記憶部１１２に格納されているメモ）の基本画面上への表示を制御する。
【００４２】
メモ作成手段１１３によってメモの作成が行われる際およびメモ更新手段１１４によってメモの更新が行われる際には、適宜、メモ種類設定手段１１５，音声設定手段１１６，オブジェクト設定手段１１７，および公開先設定手段１１８によって各種の設定が行われる。
【００４３】
本実施形態においては、ユーザーが伝言メモ機能を利用する際にタッチするボタンとして、例えば図８に示すようなボタン（以下、「伝言メモボタン」という。）３が操作パネル１０に表示される各基本画面上に設けられている。図４で符号１９０で示す部分に着目すると、例えば、伝言メモボタン３を含む、図９に示すような各種ボタンが表示されている。なお、図８に示すような図形入りの伝言メモボタン３をユーザーにタッチさせることに代えて、例えば図１０に示すようなメニューから伝言メモ機能をユーザーに選択させるようにしても良い。図１０に示す例の場合、ユーザーはドロップダウンリストをたどって符号１９１で示すメニューをタッチすることによって伝言メモ機能を利用することが可能となる。
【００４４】
ところで、操作パネル１０に表示される基本画面は、ユーザーによる操作に従って遷移する。すなわち、操作パネル１０には様々な基本画面が表示される。例えば、ユーザーがログインを行う際には「ログイン画面」が表示され、各種処理のパラメータの設定が行われる際には「パラメータ設定画面」が表示される。本実施形態においては、ユーザーは、このような基本画面毎に伝言メモを登録することができる。
【００４５】
基本画面上に表示されている伝言メモボタン３がユーザーによってタッチされると、図１１に示すような伝言メモ初期画面３００がサブ画面として基本画面上に表示される。伝言メモ初期画面３００には、登録ボタン３１と一覧ボタン３２と表示／非表示ボタン３３と閉じるボタン３９とが設けられている。登録ボタン３１は、伝言メモの新規作成（登録）を行うためのボタンである。一覧ボタン３２は、登録されている伝言メモの一覧表示を行うためのボタンである。表示／非表示ボタン３３は、伝言メモ画面７００の表示／非表示の切り替えを行うためのボタンである。閉じるボタン３９は、この伝言メモ初期画面３００を閉じるためのボタンである。
【００４６】
＜２．２  伝言メモの作成＞
伝言メモ初期画面３００においてユーザーによって登録ボタン３１がタッチされると、図１２に示すような伝言メモ登録画面４００がサブ画面として基本画面上に表示される。伝言メモ登録画面４００には、タイトルボタン４１と種類ボタン４２と本文ボタン４３と音声ボタン４４とオブジェクトボタン４５と公開先ボタン４６と登録者表示領域４７ａとタイトル表示領域４７ｂと種類表示領域４７ｃと本文表示領域４７ｄと音声表示領域４７ｅとオブジェクト表示領域４７ｆと公開先表示領域４７ｇと作成ボタン４８と閉じるボタン４９とが設けられている。
【００４７】
タイトルボタン４１は、伝言メモのタイトルを入力するためのボタンである。このタイトルボタン４１がユーザーによってタッチされると、例えば図１３に示すようなタイトル入力画面４１０がサブ画面として基本画面上に表示される。タイトル入力画面４１０には、タイトル入力用テキストボックス４１１とＯＫボタン４１８とキャンセルボタン４１９とが設けられている。タイトル入力用テキストボックス４１１にタイトルが入力された後、ＯＫボタン４１８がタッチされると、当該タイトル入力用テキストボックス４１１への入力内容が、作成中の伝言メモのタイトルとして設定される。これにより、伝言メモ登録画面４００のタイトル表示領域４７ｂに、タイトル入力用テキストボックス４１１への入力内容が表示される。タイトル入力画面４１０でキャンセルボタン４１９がタッチされたときには、タイトル入力用テキストボックス４１１への入力内容が破棄される。なお、タイトル入力用テキストボックス４１１へのタイトルの入力は、例えば操作パネル１０上に表示されるソフトウェアキーボードを用いて行われる。
【００４８】
種類ボタン４２は、伝言メモの種類を選択するためのボタンである。この種類ボタン４２がユーザーによってタッチされると、例えば図１４に示すような種類選択用リストボックス４２０が表示される。種類選択用リストボックス４２０には、選択可能な種類の一覧が表示されている。選択可能な種類のうちのいずれか１つの種類がユーザーによってタッチされると、タッチされた種類が、作成中の伝言メモの種類として設定される。これにより、伝言メモ登録画面４００の種類表示領域４７ｃに、種類選択用リストボックス４２０より選択された種類が表示される。なお、タイトルと同様、種類についてもテキストボックスを用いて入力するようにしても良い。
【００４９】
本文ボタン４３は、伝言メモの本文を入力するためのボタンである。この本文ボタン４３がユーザーによってタッチされると、テキストボックスとＯＫボタンとキャンセルボタンとが設けられた上述のタイトル入力画面４１０と同様の画面が表示される。但し、テキストボックスの大きさについては、許容する本文の長さに応じて適宜調整することが好ましい。タイトルの入力と同様にして本文の入力が行われると、当該入力内容が伝言メモ登録画面４００の本文表示領域４７ｄに表示される。
【００５０】
音声ボタン４４は、作成中の伝言メモに対応付ける音声ファイルを指定するためのボタンである。この音声ボタン４４がユーザーによってタッチされると、例えば、外部のサーバに保存されている選択可能な音声ファイルの一覧が表示される。選択可能な音声ファイルのうちのいずれか１つの音声ファイルがユーザーによってタッチされると、タッチされた音声ファイルが、作成中の伝言メモに対応付ける音声ファイルとして設定される。これにより、伝言メモ登録画面４００の音声表示領域４７ｅに、一覧より選択された音声ファイルのファイル名が表示される。なお、例えば操作パネル１０の近傍に音声入力用のマイクを取り付け、音声ボタン４４がタッチされたときに当該マイクを用いて音声を入力できるようにしても良い。また、音声ファイルについては、必ずしも指定される必要はない。さらに、伝言メモ画面７００を表示する際に音声の出力が全く不要である場合には、図１２に示した構成の伝言メモ登録画面４００から音声ボタン４４および音声表示領域４７ｅを削除した画面を採用しても良い。
【００５１】
オブジェクトボタン４５は、作成中の伝言メモに対応付けるオブジェクトを選択するためのボタンである。オブジェクトボタン４５がユーザーによってタッチされると、例えば図１５に示すようなオブジェクト選択用リストボックス４５１が表示される。オブジェクト選択用リストボックス４５１には、選択可能なオブジェクトの一覧として、伝言メモを作成しようとしている基本画面に設けられているオブジェクトの一覧が表示されている。オブジェクトの一覧の中からいずれか１つのオブジェクトが選択されると、その選択されたオブジェクトが、作成中の伝言メモに対応付けるオブジェクトとして設定される。これにより、伝言メモ登録画面４００のオブジェクト表示領域４７ｆに、選択されたオブジェクトを識別するための名称（例えばボタン名）が表示される。
【００５２】
なお、オブジェクトに代えて処理の名称をユーザーが選択することによってメモとオブジェクトとの対応付けが行われるようにしても良い。この場合、オブジェクトボタン４５がユーザーによってタッチされると、例えば図１６に示すような処理選択用リストボックス４５２が表示される。そして、処理名称の一覧の中からいずれか１つの処理名称が選択されると、その選択された処理名称の処理を実行する際にタッチされるべきオブジェクトが、作成中の伝言メモに対応付けるオブジェクトとして設定される。また、例えば、或るボタン（「ボタンＺ」とする。）をタッチしたときに３つの処理のうちの１つを選択するためのサブ画面が表示されるような場合、それら３つの処理の処理名称のうちのいずれかが処理選択用リストボックス４５２から選択されれば、ボタンＺが、作成中の伝言メモに対応付けるオブジェクトとして設定される。
【００５３】
作成中の伝言メモに対応付けられたオブジェクトと当該伝言メモについての操作パネル１０の基本画面上への表示のされ方との関係については後述する。
【００５４】
公開先ボタン４６は、伝言メモの公開先の設定を行うためのボタンである。この公開先ボタン４６がユーザーによってタッチされると、例えば図１７に示すような伝言メモ公開先設定画面５００が表示される。この伝言メモ公開先設定画面５００は、公開先の設定を個人別（ユーザー別）に行うための画面である。伝言メモ公開先設定画面５００には、チェックボックス５１とユーザー名表示領域５２と権限表示領域５３と権限別ボタン５８と閉じるボタン５９とが設けられている。ユーザー名表示領域５２にはユーザー名の一覧が表示され、権限表示領域５３には各ユーザーの権限が表示されている。なお、本実施形態においては、「Ｓｅｒｖｉｃｅ」，「Ｐｒｏｃｅｓｓ」，「Ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ」，および「Ｏｐｅｒａｔｏｒ」という４つの権限が用意されているものと仮定する。また、「Ｓｅｒｖｉｃｅ」，「Ｐｒｏｃｅｓｓ」，「Ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ」，「Ｏｐｅｒａｔｏｒ」の順序で権限が徐々に弱くなると仮定する。このような権限によって、この基板処理装置で実行できる処理が異なっている。例えば、「Ｏｐｅｒａｔｏｒ」という権限を有するユーザーは或る限られた処理しか実行することができないが、「Ｓｅｒｖｉｃｅ」という権限を有するユーザーは全ての処理を実行することができる。ユーザーは、この伝言メモ公開先設定画面５００において、公開先に設定したいユーザー（ユーザー名）に対応して設けられているチェックボックス５１をタッチする。その後、閉じるボタン５９がタッチされると、チェックボックス５１へのチェックの状況に従って、作成中の伝言メモの公開先が設定される。これにより、伝言メモ登録画面４００の公開先表示領域４７ｇに、伝言メモ公開先設定画面５００で設定された公開先が表示される。
【００５５】
上述の伝言メモ公開先設定画面５００において権限別ボタン５８がタッチされると、例えば図１８に示すような伝言メモ公開先設定画面６００が表示される。この伝言メモ公開先設定画面６００は、公開先の設定を権限別に行うための画面である。伝言メモ公開先設定画面６００には、チェックボックス６１と権限表示領域６２と個人別ボタン６８と閉じるボタン６９とが設けられている。権限表示領域６２には権限の一覧が表示されている。ユーザーは、この伝言メモ公開先設定画面６００において、公開先に設定したい権限に対応して設けられているチェックボックス６１をタッチする。その後、閉じるボタン６９がタッチされると、チェックボックス６１へのチェックの状況に従って、作成中の伝言メモの公開先が設定される。例えば、権限として「Ｓｅｒｖｉｃｅ」が選択された場合、「Ｓｅｒｖｉｃｅ」という権限を有する全てのユーザーが公開先に設定される。以上のようにして公開先の設定が行われると、伝言メモ登録画面４００の公開先表示領域４７ｇに、伝言メモ公開先設定画面６００で設定された公開先が表示される。なお、図１８に示す例では、権限として「ＡＬＬ」が選択されると、全てのユーザーが公開先に設定される。
【００５６】
本実施形態においては、上述のように、公開先の設定を個人別（ユーザー別）に行うための伝言メモ公開先設定画面５００と公開先の設定を権限別に行うための伝言メモ公開先設定画面６００とが設けられている。これに関し、ユーザーは、いずれか一方でのみ公開先の設定を行っても良いし、双方で公開先の設定を行っても良い。仮に、伝言メモ公開先設定画面５００において「ＡＢＣ」というユーザーが選択され、伝言メモ公開先設定画面６００において「Ｓｅｒｖｉｃｅ」という権限が選択された場合、「Ｓｅｒｖｉｃｅ」という権限を有する全てのユーザーと「ＡＢＣ」というユーザーとが公開先として設定される。なお、伝言メモ公開先設定画面５００および伝言メモ公開先設定画面６００の双方で公開先の設定が行われた場合に、時間的に後で行われた設定のみを有効とするようにしても良い。
【００５７】
作成ボタン４８は、伝言メモ登録画面４００で設定された内容に基づいて、伝言メモを作成するためのボタンである。作成ボタン４８がタッチされると、伝言メモ登録画面４００で設定された内容に基づく伝言メモがメモ記憶部１１２（図７参照）に記憶されるとともに、当該伝言メモを表す伝言メモ画面７００（図５参照）が基本画面上に表示される。閉じるボタン４９は、伝言メモ登録画面４００で設定された内容を破棄するためのボタンである。この閉じるボタン４９がタッチされたときには、伝言メモは作成されない。
【００５８】
なお、メモ作成手段１１３は、上述の伝言メモ登録画面４００を表示し、当該伝言メモ登録画面４００を用いて設定された内容に基づいて伝言メモを作成している。メモ種類設定手段１１５は、上述の種類選択用リストボックス４２０を表示し、当該種類選択用リストボックス４２０から選択された種類を、作成中の伝言メモの種類として設定している。音声設定手段１１６は、上述のようにして指定あるいは入力された音声を、作成中の伝言メモに対応付けている。オブジェクト設定手段１１７は、上述のオブジェクト選択用リストボックス４５１を表示し、当該オブジェクト選択用リストボックス４５１から選択されたオブジェクトを、作成中の伝言メモに対応付けている。公開先設定手段１１８は、上述の伝言メモ公開先設定画面５００，６００を表示し、当該伝言メモ公開先設定画面５００，６００で指定された内容に基づいて、作成中の伝言メモの公開先を設定している。
【００５９】
＜２．３  操作パネルの基本画面上への伝言メモ画面の表示＞
次に、操作パネル１０の基本画面上への伝言メモ画面７００の表示のされ方について説明する。登録済みの伝言メモ（メモ記憶部１１２に記憶されている伝言メモ）を表す伝言メモ画面７００は、オブジェクトに関連付けられつつ基本画面上に表示される。例えば、或る伝言メモが図１９で符号１９２で示すボタンに対応付けられていると仮定する。この場合、伝言メモ画面７００は、例えば、図１９に示すようにボタン１９２の近傍の位置に表示される。なお、伝言メモ画面７００とオブジェクトとの関連付けはこれには限定されない。例えば、伝言メモに対応付けられているボタンの一部または全てを覆うよう伝言メモ画面７００が表示されるようにしても良い。また、例えば、伝言メモに対応付けられているボタンと伝言メモ画面７００との間に線や矢印などが表示されるようにしても良い。
【００６０】
伝言メモ画面７００には、図５に示すように、タイトル表示領域７０と種類表示領域７１と公開先表示領域７２と登録者表示領域７３と設定ボタン７４と伝言メモ表示領域７５とが設けられている。タイトル表示領域７０には、伝言メモのタイトルが表示される。種類表示領域７１には、伝言メモの種類に対応する文字あるいは図形が表示される。公開先表示領域７２には、伝言メモの公開先が表示される。登録者表示領域７３には、伝言メモを登録したユーザー名が表示される。伝言メモ表示領域７５には、伝言メモの本文が表示される。設定ボタン７４は、伝言メモの変更や削除を行うためのボタンである。この設定ボタン７４がタッチされたときの動作については後述する。
【００６１】
本実施形態においては、伝言メモの種類として、「連絡」，「注意」，および「警告」の３種類が設けられている（図１４参照）。そして、各伝言メモに設定されている種類に応じて、伝言メモ画面７００の外観が異なっている。具体的には、本実施形態においては、種類表示領域７１の模様が種類に応じて異なっている。例えば、種類が「連絡」であれば図５に示すような伝言メモ画面７００が表示され、種類が「注意」であれば図２０に示すような伝言メモ画面７００が表示され、種類が「警告」であれば図２１に示すような伝言メモ画面７００が表示される。
【００６２】
また、本実施形態においては、ユーザーが操作パネル１０上において伝言メモ画面７００をドラッグすることにより伝言メモ画面７００を基本画面上の任意の位置に配置することが可能となっている。例えば、図２２に示す基本画面において、符号１９３の矢印で示す位置に配置されている伝言メモ画面７００をドラッグ操作によって例えば符号１９４の矢印で示す位置に移動させることができる。さらに、伝言メモ画面７００が或る操作の邪魔になるような場合には、伝言メモ初期画面３００（図１１参照）を表示して表示／非表示ボタン３３をタッチすることにより、当該伝言メモ画面７００を非表示にすることもできる。非表示となった伝言メモ画面７００は、再度表示／非表示ボタン３３がタッチされることによって表示される。
【００６３】
また、登録済みの伝言メモを表す伝言メモ画面７００は、該当の伝言メモの公開先に設定されているユーザーがログインしている場合にのみ表示される。例えば、或る伝言メモの公開先として「Ｐｒｏｃｅｓｓ」という権限が設定されている場合、「Ｐｒｏｃｅｓｓ」という権限を有するユーザーがログインしている場合にのみ、当該伝言メモを表す伝言メモ画面７００が表示される。なお、公開先として設定されている権限よりも強い権限を有するユーザーがログインしている場合にも当該伝言メモ画面７００が表示されるようにしても良い。
【００６４】
なお、基本画面上への伝言メモ画面７００の表示に関する上述のような制御は、メモ表示制御手段１１９によって行われる。
【００６５】
ところで、本実施形態においては、伝言メモと音声とを対応付けることが可能になっている。そこで、或る伝言メモに音声が対応付けられていれば、当該伝言メモを表す伝言メモ画面７００が基本画面上に表示される際に、当該対応付けられている音声の出力が行われる。このように伝言メモに音声を付加することができるので、例えば文章では表現しにくい複雑な事項の伝達が可能となる。なお、このような音声出力の機能を実現するためには、操作パネル１０の近傍にスピーカーなどの音声出力手段を備える必要がある。
【００６６】
＜２．４  伝言メモの変更＞
次に、登録済みの伝言メモの変更や削除について説明する。或る伝言メモを表す伝言メモ画面７００（図５参照）が表示されているときに設定ボタン７４がタッチされると、当該伝言メモの変更や削除を行うための図２３に示すような伝言メモ設定画面８００がサブ画面として基本画面上に表示される。伝言メモ設定画面８００には、タイトルボタン８１と種類ボタン８２と本文ボタン８３と音声ボタン８４とオブジェクトボタン８５と公開先ボタン８６と登録者表示領域８７ａとタイトル表示領域８７ｂと種類表示領域８７ｃと本文表示領域８７ｄと音声表示領域８７ｅとオブジェクト表示領域８７ｆと公開先表示領域８７ｇと更新ボタン８８ａと削除ボタン８８ｂと閉じるボタン８９とが設けられている。更新ボタン８８ａおよび削除ボタン８８ｂ以外のものについては、伝言メモ登録画面４００と同様であるので説明を省略する。
【００６７】
更新ボタン８８ａは、登録済みの伝言メモの内容をこの伝言メモ設定画面８００を用いて設定した内容で更新するためのボタンである。更新ボタン８８ａがタッチされると、伝言メモ設定画面８００で設定された内容に基づいて、メモ記憶部１１２（図７参照）に記憶されている伝言メモの内容が更新される。削除ボタン８８ｂは、該当の伝言メモを削除するためのボタンである。削除ボタン８８ｂがタッチされると、該当の伝言メモが、メモ記憶部１１２から削除され、操作パネル１０上に表示されなくなる。
【００６８】
なお、メモ更新手段１１４（図７参照）は、上述の伝言メモ設定画面８００を表示し、当該伝言メモ設定画面８００を用いて設定された内容に基づいて伝言メモの更新・削除を行っている。
【００６９】
＜２．５  伝言メモの一覧表示＞
伝言メモ初期画面３００（図１１参照）においてユーザーによって一覧ボタン３２がタッチされると、図２４に示すような伝言メモ一覧画面９００がサブ画面として基本画面上に表示される。伝言メモ一覧画面９００には、登録済みの伝言メモの一覧が表示される。伝言メモ一覧画面９００には、タイトル表示領域９１と画面名表示領域９２と登録者表示領域９３と公開先表示領域９４と設定ボタン９８と閉じるボタン９９とが設けられている。タイトル表示領域９１には、各伝言メモのタイトルが表示される。画面名表示領域９２には、各伝言メモを表示する基本画面の名称（画面名）が表示される。登録者表示領域９３には、各伝言メモを登録したユーザー名が表示される。公開先表示領域９４には、各伝言メモの公開先が表示される。設定ボタン９８は、伝言メモの変更や削除を行うためのボタンである。閉じるボタン９９は、この伝言メモ一覧画面９００を閉じるためのボタンである。
【００７０】
伝言メモ一覧画面９００において１つの伝言メモが選択されている状態で設定ボタン９８がタッチされると、その選択されている伝言メモの変更や削除が可能となるよう、上述した伝言メモ設定画面８００（図２３参照）が表示される。これにより、ユーザーは、登録済みの伝言メモの変更や削除を行うことができる。
【００７１】
＜３．操作の流れ＞
以下、フローチャート（図２５〜図２７）を参照しつつ、ユーザーが伝言メモの作成や更新を行う際の操作の流れについて説明する。なお、伝言メモの更新については、伝言メモ画面７００（図５参照）を介して行う方法（第１の方法）と伝言メモ初期画面３００（図１１参照）を介して行う方法（第２の方法）とがある。
【００７２】
＜３．１  伝言メモの作成＞
図２５は、ユーザーが伝言メモの新規作成（登録）を行う際の操作の流れを説明するためのフローチャートである。まず、ユーザーは、ログイン画面（不図示）よりログインを行う（ステップＳ１００）。通常、ログインの際には、ユーザー名とパスワードの入力が行われる。次に、ユーザーは、伝言メモを作成したい基本画面へと、操作パネル１０上に表示される基本画面を遷移させる（ステップＳ１１０）。そして、ユーザーは、伝言メモを作成したい基本画面が表示されている状態で、伝言メモボタン３をタッチする（ステップＳ１２０）。これにより、操作パネル１０の基本画面上に伝言メモ初期画面３００が表示される（ステップＳ１３０）。そして、ユーザーは、伝言メモ初期画面３００内の登録ボタン３１をタッチする（ステップＳ１４０）。これにより、伝言メモ登録画面４００（図１２参照）が表示される（ステップＳ１５０）。
【００７３】
伝言メモ登録画面４００が表示された後、ユーザーは、必要事項の入力（例えば、本文の入力）や各種設定（例えば、公開先の設定）などを行う（ステップＳ１６０）。その後、ユーザーは、伝言メモ登録画面４００内の作成ボタン４８をタッチする（ステップＳ１７０）。これにより伝言メモが作成され、その作成された伝言メモが基本画面上に表示される（ステップＳ１８０）。
【００７４】
＜３．２  伝言メモの更新（第１の方法）＞
図２６は、ユーザーが伝言メモ画面７００を介して伝言メモの更新を行う際の操作の流れを説明するためのフローチャートである。まず、ユーザーは、ログイン画面（不図示）よりログインを行う（ステップＳ２００）。次に、ユーザーは、所望の基本画面へと、操作パネル１０に表示される基本画面を遷移させる（ステップＳ２１０）。このとき、その基本画面に対応付けられていて、かつ、当該ユーザー（または当該ユーザーが有する権限）を公開先に設定している伝言メモが伝言メモ記憶部１１２に格納されていれば、基本画面上に伝言メモ画面７００が表示される（ステップＳ２２０）。そして、ユーザーは、伝言メモ画面７００内の設定ボタン７４をタッチする（ステップＳ２３０）。これにより、伝言メモ設定画面８００（図２３参照）が表示される（ステップＳ２４０）。
【００７５】
伝言メモ設定画面８００が表示された後、ユーザーは、必要に応じて、入力内容の変更や各種設定の変更などを行う（ステップＳ２５０）。その後、ユーザーは、伝言メモ設定画面８００内の更新ボタン８８ａをタッチする（ステップＳ２６０）。これにより伝言メモが更新され、更新内容に基づいて伝言メモ画面７００の表示が行われる（ステップＳ２７０）。なお、伝言メモを削除する場合には、ステップＳ２６０において、ユーザーは削除ボタン８８ｂをタッチする。この場合、ステップＳ２５０の処理は不要となる。
【００７６】
＜３．３  伝言メモの更新（第２の方法）＞
図２７は、ユーザーが伝言メモ初期画面３００を介して伝言メモの更新を行う際の操作の流れを説明するためのフローチャートである。まず、ユーザーは、ログイン画面（不図示）よりログインを行う（ステップＳ３００）。次に、ユーザーは、伝言メモボタン３をタッチする（ステップＳ３１０）。これにより、操作パネル１０の基本画面上に伝言メモ初期画面３００が表示される（ステップＳ３２０）。そして、ユーザーは、伝言メモ初期画面３００内の一覧ボタン３２をタッチする（ステップＳ３２５）。これにより、伝言メモ一覧画面９００（図２４参照）が表示される（ステップＳ３３０）。
【００７７】
その後、ユーザーは、伝言メモ一覧画面９００において、更新対象の伝言メモを選択した状態で、設定ボタン９８をタッチする（ステップＳ３３５）。これにより、選択していた伝言メモの更新を行うための伝言メモ設定画面８００が表示される（ステップＳ３４０）。
【００７８】
伝言メモ設定画面８００が表示された後、ユーザーは、必要に応じて、入力内容の変更や各種設定の変更などを行う（ステップＳ３５０）。その後、ユーザーは、伝言メモ設定画面８００内の更新ボタン８８ａをタッチする（ステップＳ３６０）。これにより伝言メモが更新され、更新内容に基づいて伝言メモ画面７００の表示が行われる（ステップＳ３７０）。なお、伝言メモを削除する場合には、ステップＳ３６０において、ユーザーは削除ボタン８８ｂをタッチする。この場合、ステップＳ３５０の処理は不要となる。
【００７９】
＜４．効果＞
本実施形態によれば、操作パネル１０には、基本画面毎に伝言メモを作成することのできる伝言メモ機能が設けられている。詳しくは、操作パネル１０には、ユーザーによる入力内容に基づいて任意の基本画面と対応付けて伝言メモを作成するメモ作成手段１１３と、登録済みの伝言メモを当該伝言メモに対応付けられている基本画面上に表示するメモ表示制御手段１１９とが設けられている。このため、各ユーザーは、或る基本画面から操作を行うユーザーへの伝達事項（操作の際の注意点など）があるときに、当該基本画面が表示される際に現れる伝言メモを作成することができる。
【００８０】
また、操作パネル１０には、伝言メモを基本画面上のオブジェクトに対応付けるオブジェクト設定手段１１７が設けられている。そして、メモ表示制御手段１１９は、登録済みの伝言メモを当該伝言メモに対応付けられているオブジェクトに関連付けて表示する。これにより、例えば、或る処理（例えば現像処理）に関する注意事項を記載した伝言メモを当該処理の開始を指示するオブジェクト（ボタンなど）の近傍に表示することが可能となる。このため、伝言を受ける側のユーザーによる伝言メモの見落としが防止される。
【００８１】
さらに、操作パネル１０には、伝言メモの公開先を設定する公開先設定手段１１８が設けられている。このため、各ユーザーは、特定のユーザーあるいは特定の権限を有するユーザーに対して伝言メモを作成することが可能となる。これにより、操作パネル１０の画面上に不必要に多くの伝言メモが表示されることが防止される。その結果、画面上に伝言メモが表示されたときには、よりユーザーに対して注意が喚起されるので、伝達の不備がより確実に防止される。
【００８２】
さらにまた、操作パネル１０には、伝言メモに対して種類を設定するメモ種類設定手段１１５が設けられている。そして、メモ表示制御手段１１９は、各伝言メモを種類毎に異なる外観で表示する。これにより、伝達事項の重要度に応じて、ユーザーに対する注意を喚起することが可能となる。
【００８３】
以上のように、本実施形態によれば、１つの装置を共有する複数のユーザー間で情報の伝達を確実に行うことを可能にする操作パネルが実現される。
【００８４】
＜５．変形例＞
【００８５】
上記実施形態においては、基本画面が表示される際に伝言メモ画面７００が表示されていた。しかしながら、本発明はこれに限定されない。例えば、基本画面が表示される時点においては伝言メモ画面７００は表示されずに、該当の伝言メモに対応付けられているオブジェクト（ボタンなど）をユーザーがタッチしようとした際に伝言メモ画面７００が表示されるようにしても良い。これについて、図２８を参照しつつ説明する。ここでは、或る伝言メモが図２８で符号１９５で示すボタンに対応付けられていると仮定する。この場合、図２８（Ａ）に示すような状態から図２８（Ｂ）に示すようにユーザーがボタン１９５をタッチしようとした際に、図２８（Ｃ）に示すようにボタン１９５の近傍に伝言メモ画面７００が表示される。
【００８６】
＜６．その他＞
上記実施形態においては、基板処理装置に設けられている操作パネルを例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。複数のユーザーによって共有される各種装置（特に、クリーンルームで使用される装置）に設けられている操作パネルに本発明を適用することができる。
【００８７】
また、上記実施形態においては、操作パネルがタッチパネル式のものであることを前提に説明したが、本発明はこれに限定されない。キーボードおよびマウスを用いて操作が行われる操作パネルにも、本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００８８】
３…伝言メモボタン
１０…操作パネル
１１１…メモ管理手段
１１２…メモ記憶部
１１３…メモ作成手段
１１４…メモ更新手段
１１５…メモ種類設定手段
１１６…音声設定手段
１１７…オブジェクト設定手段
１１８…公開先設定手段
１１９…メモ表示制御手段
３００…伝言メモ初期画面
４００…伝言メモ登録画面
５００…伝言メモ公開先設定画面（個人別）
６００…伝言メモ公開先設定画面（権限別）
７００…伝言メモ画面
８００…伝言メモ設定画面
９００…伝言メモ一覧画面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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