(57)【要約】【課題】プラテンに研磨パッドを貼り付ける際の位置合わせを容易にすること。【解決手段】研磨ヘッド６０に保持されるウエハ６６に光２８を照射することによりウエハ６６に対する研磨の終点を検出する検出部１６と、光２８を通過させるパッド側窓４４を備える第１研磨パッド４０ａのパッド側窓４４と重なる光２８を通過させるプラテン側窓２２と、第１研磨パッド４０ａを貫通する第１孔４６に挿入される第１突起部２４と、が上面に設けられたプラテン１０と、を備える研磨装置。【選択図】図６
2015213978.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨ヘッドに保持される被研磨物に光を照射することにより前記被研磨物に対する研磨の終点を検出する検出部と、
前記光を通過させるパッド側窓を備える第１研磨パッドの前記パッド側窓と重なる前記光を通過させるプラテン側窓と、前記第１研磨パッドを貫通する第１孔に挿入される第１突起部と、が上面に設けられたプラテンと、を備えることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記第１突起部は、前記プラテンの中心と前記プラテン側窓との間に位置することを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項３】
前記第１突起部は、前記光の発光及び非発光を切替えるスイッチの機能を有し、
前記プラテンの上面に前記第１研磨パッドが貼り付けられた場合、前記第１突起部は前記第１孔に挿入されることにより押されず、前記光は発光し、
前記プラテンの上面に前記パッド側窓を備えない第２研磨パッドが貼り付けられた場合、前記第１突起部は前記第２研磨パッドで押されて、前記光は発光しないことを特徴とする請求項１又は２記載の研磨装置。
【請求項４】
前記プラテンの上面に、前記第２研磨パッドを貫通する第２孔に挿入される第２突起部が設けられていることを特徴とする請求項３記載の研磨装置。
【請求項５】
上面に突起部と研磨ヘッドに保持される被研磨物に対する研磨の終点の検出に用いられる光を通過させるプラテン側窓とを備えるプラテンの前記上面に、研磨パッドを貼り付ける工程と、
前記プラテンの上面に貼り付けられた前記研磨パッドを用いて前記被研磨物を研磨する工程と、を備え、
前記研磨パッドを貼り付ける工程は、前記研磨パッドが前記光を通過させるパッド側窓を備える研磨パッドの場合、前記パッド側窓を前記プラテン側窓に重ね且つ前記パッド側窓を備える研磨パッドを貫通する孔に前記突起部を挿入することで行うことを特徴とする研磨方法。
【請求項６】
前記研磨パッドを貼り付ける工程は、前記パッド側窓を前記プラテン側窓に重ねた後、前記孔に前記突起部を挿入することで行うことを特徴とする請求項５記載の研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨装置及び研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハ等において、表面の平坦性を向上させるために、表面を研磨装置で研磨することがなされている。研磨装置による研磨は、研磨ヘッドに保持されたウエハ等の被研磨物を、プラテンの上面に貼り付けられた研磨パッドに押し当てることで行われる。被研磨物に対する研磨の終点を検出する方法として、被研磨物に光を照射し、被研磨物からの反射光を受光することで検出する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、外周に径方向外方に突き出した突起部分を有する研磨パッドや、裏面側に配置された粘着層を被覆する被覆部材を複数に分割した研磨パッドが知られている（例えば、特許文献２、３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−８３９７７号公報
【特許文献２】特開２００７−２０３３９４号公報
【特許文献３】特開２００５−２３０９８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
研磨装置は、プラテンの大型化に伴い研磨パッドも大型化している。このため、研磨パッドをプラテンの適切な位置に合わせて貼り付けることが難しくなっている。例えば、研磨の終点検出に用いられる光を通過させる窓をプラテン側と研磨パッド側とで合わせ且つ研磨パッドの中心をプラテンの中心に合わせて貼り付けることが難しくなっている。
【０００５】
本研磨装置及び研磨方法は、プラテンに研磨パッドを貼り付ける際の位置合わせを容易にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書に記載の研磨装置は、研磨ヘッドに保持される被研磨物に光を照射することにより前記被研磨物に対する研磨の終点を検出する検出部と、前記光を通過させるパッド側窓を備える第１研磨パッドの前記パッド側窓と重なる前記光を通過させるプラテン側窓と、前記第１研磨パッドを貫通する第１孔に挿入される第１突起部と、が上面に設けられたプラテンと、を備えている。
【０００７】
本明細書に記載の研磨方法は、上面に突起部と研磨ヘッドに保持される被研磨物に対する研磨の終点の検出に用いられる光を通過させるプラテン側窓とを備えるプラテンの上面に、研磨パッドを貼り付ける工程と、前記プラテンの上面に貼り付けられた前記研磨パッドを用いて前記被研磨物を研磨する工程と、を備え、前記研磨パッドを貼り付ける工程は、前記研磨パッドが前記光を通過させるパッド側窓を備える研磨パッドの場合、前記パッド側窓を前記プラテン側窓に重ね且つ前記パッド側窓を備える研磨パッドを貫通する孔に前記突起部を挿入することで行う。
【発明の効果】
【０００８】
本明細書に記載の研磨装置及び研磨方法によれば、プラテンに研磨パッドを貼り付ける際の位置合わせを容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、実施例１に係る研磨装置を示す上面図である。
【図２】図２は、研磨ヘッドの揺動を説明するための上面図である。
【図３】図３（ａ）は、実施例１に係る研磨装置のプラテンの斜視図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。
【図４】図４（ａ）は、第１研磨パッドの上面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。
【図５】図５（ａ）は、第２研磨パッドの上面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。
【図６】図６（ａ）は、プラテンの上面に第１研磨パッドが貼り付けられる前の状態を示す斜視図、図６（ｂ）は、第１研磨パッドが貼り付けられ、第１研磨パッドを用いたウエハの研磨を示す断面図である。
【図７】図７（ａ）は、プラテンの上面に第２研磨パッドが貼り付けられる前の状態を示す斜視図、図７（ｂ）は、第２研磨パッドが貼り付けられ、第２研磨パッドを用いたウエハの研磨を示す断面図である。
【図８】図８（ａ）は、実施例２に係る研磨装置のプラテンの斜視図、図８（ｂ）は、図８（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。
【図９】図９（ａ）は、プラテンの上面に第１研磨パッドが貼り付けられた状態を示す断面図、図９（ｂ）は、第２研磨パッドが貼り付けられた状態を示す断面図である。
【図１０】図１０は、実施例２の変形例１に係る研磨装置のプラテンの斜視図である。
【図１１】図１１（ａ）は、プラテンの上面に第１研磨パッドが貼り付けられた状態を示す断面図、図１１（ｂ）は、第２研磨パッドが貼り付けられた状態を示す断面図である。
【図１２】図１２は、スイッチの機能を有さない第２突起部を含む場合における、プラテンの上面に第２研磨パッドが貼り付けられた状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。
【実施例１】
【００１１】
図１は、実施例１に係る研磨装置を示す上面図である。図１のように、回転テーブルになる複数のプラテン（例えば定盤）の上面に、研磨パッド４０（例えば研磨布）の下面が貼り付けられている。研磨パッド４０の直径はプラテンの直径よりも大きく、例えば研磨パッド４０の直径は４２インチ程度で、プラテンの直径は４０インチ程度である。研磨パッド４０をプラテンよりも大きくすることで、研磨パッド４０とプラテンとの間に、後述するスラリー（例えば研磨材）及び／又は水が入り込むことを抑制できる。その結果、研磨パッド４０がプラテンから剥がれることを抑制できる。
【００１２】
プラテンには、例えばステンレスのような硬質な材料が用いられる。研磨パッド４０には、例えばウレタン樹脂、アクリル樹脂、又はエポキシ樹脂等の樹脂材料が用いられる。研磨パッド４０の厚さは、例えば２ｍｍ〜５ｍｍ程度である。研磨パッド４０は、単層でもよいし、２層以上の積層でもよい。プラテンの周囲には、スラリー及び／又は水の飛散を抑えるために、プラテンシールド８０が設けられている。
【００１３】
研磨パッド４０の上方に、研磨ヘッド６０が配置されている。１つのプラテンに対して、例えば２つの研磨ヘッド６０が配置されている。研磨ヘッド６０の下面には被研磨物であるウエハが保持されている。研磨ヘッド６０は、回転軸６２によって回転可能に支持されている。また、研磨ヘッド６０は、研磨パッド４０上を揺動可能に支持されている。
【００１４】
図２は、研磨ヘッドの揺動を説明するための上面図である。図２のように、研磨ヘッド６０は、研磨パッド４０の中心４２を通らず、中心４２から離れた位置で揺動する（図２中の矢印参照）。図２中の破線は、研磨処理を行うウエハの入れ替えの際の研磨ヘッド６０の移動の軌跡を示している。これから分かるように、研磨ヘッド６０は、ウエハ入れ替えの際の研磨ヘッド６０の移動の軌跡に対して交差する方向（例えば直交する方向）に揺動する。このように、研磨パッド４０の中心４２付近には、研磨ヘッド６０の揺動が行われない領域が存在する。また、この領域では、ウエハに対する研磨が行われないため、コンディショニングディスクをこの領域まで動かさなくてもよくなる。
【００１５】
図１のように、研磨パッド４０の上方に、ノズル８２が配置されている。ノズル８２は、研磨パッド４０上にスラリーを供給する。プラテン及び研磨ヘッド６０を回転させた状態で、研磨ヘッド６０を揺動させながら、研磨ヘッド６０の下面に保持されたウエハを研磨パッド４０の上面に接触させる。これにより、ウエハの下面が研磨される。
【００１６】
ここで、プラテンについて説明する。図３（ａ）は、実施例１に係る研磨装置のプラテンの斜視図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。図３（ａ）及び図３（ｂ）のように、プラテン１０は、回転軸１２によって回転可能に支持されている。プラテン１０の上面に凹部１４が設けられている。凹部１４内には、研磨ヘッド６０に保持されるウエハに対する研磨の終点を検出するための検出部１６が設けられている。検出部１６は、光（例えばレーザ光）を照射する発光部１８と、照射された光がウエハで反射された反射光を受光する受光部２０と、を含む。発光部１８は、例えばレーザダイオードを含む。受光部２０は、例えばフォトダイオードを含む。検出部１６は、受光部２０で受光した反射光の強度によって、ウエハに対する研磨の終点を検出する。例えば銅（Ｃｕ）又はタングステン（Ｗ）等の金属を研磨する場合、研磨が進むに連れて反射光の強度が弱まることを利用して、研磨の終点を検出する。
【００１７】
実施例１の研磨装置は、図１のように、複数のプラテン１０を備えている。複数のプラテン１０それぞれの検出部１６に含まれる発光部１８からの光の発光は、制御部のキースイッチによってオン又はオフすることができるが、オン又はオフは全てのプラテン１０で共通となっている。即ち、制御部のキースイッチをオンすると、全てのプラテン１０において発光部１８から光が発光し、オフすると、全てのプラテン１０において発光部１８から光が発光されなくなる。このように、発光部１８からの光の発光及び非発光を、制御部によって複数のプラテン１０それぞれ個別に制御することはできない。
【００１８】
図３（ａ）及び図３（ｂ）のように、凹部１４の上部であってプラテン１０の上面に、発光部１８からの光を通過させるプラテン側窓２２が設けられている。プラテン側窓２２は、例えば上面がプラテン１０の上面と同一面を形成するように設けられている。プラテン側窓２２は、例えば矩形形状をしていて、その大きさは例えば４ｃｍ×１ｃｍ程度であるが、その他の形状をしていてもよい。プラテン側窓２２には、発光部１８からの光を通過させる材料が用いられ、例えばガラスが用いられる。
【００１９】
また、プラテン１０の上面には、第１突起部２４が設けられている。第１突起部２４には、例えばＳＵＳ等の金属が用いられる。第１突起部２４は、例えば円柱形状をしているが、角柱形状等の他の形状をしていてもよい。第１突起部２４は、ウエハに対する研磨に影響を及ぼさない領域に設けられている。例えば、図２で説明したように、研磨ヘッド６０は研磨パッド４０の中心４２付近では揺動しないことから、第１突起部２４はプラテン１０の中心２６付近に設けられている。例えば、第１突起部２４は、プラテン側窓２２と中心２６との間の中心２６付近に設けられている。第１突起部２４は、発光部１８からの光の発光及び非発光を切替えるスイッチの機能を有する。第１突起部２４が押されると、発光部１８から光が発光されず、第１突起部２４が押されないと、発光部１８から光が発光される。第１突起部２４の直径は例えば５ｍｍ程度であり、高さは研磨パッド４０の厚さと同程度である。
【００２０】
次に、研磨パッドについて説明する。研磨パッドには、発光部１８からの光を通過させるパッド側窓を備える第１研磨パッドと、パッド側窓を備えない第２研磨パッドと、の２種類がある。図４（ａ）は、第１研磨パッドの上面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。図４（ａ）及び図４（ｂ）のように、第１研磨パッド４０ａには、発光部１８からの光を通過させるパッド側窓４４が設けられている。パッド側窓４４は、例えば上面及び下面が第１研磨パッド４０ａの上面及び下面と同一面を形成するように設けられている。パッド側窓４４は、例えばプラテン側窓２２と同じ形状をしている。パッド側窓４４は、例えば矩形形状をしていて、その大きさは例えば４ｃｍ×１ｃｍ程度であるが、その他の形状をしていてもよい。パッド側窓４４には、プラテン側窓２２と同様に発光部１８からの光を通過させる材料が用いられ、例えばガラスが用いられる。
【００２１】
また、第１研磨パッド４０ａには、上面から下面にかけて貫通する第１孔４６が設けられている。第１孔４６は、プラテン１０の上面に設けられた第１突起部２４に対応する位置に設けられている。即ち、第１孔４６は、ウエハに対する研磨に影響を及ぼさない領域に設けられ、例えば第１研磨パッド４０ａの中心４２付近、例えばパッド側窓４４と中心４２との間の中心４２付近に設けられている。第１孔４６は、例えば第１研磨パッド４０ａの上面に平行な断面が円形形状をしているが、矩形形状等の他の形状をしている場合でもよい。第１孔４６の直径は、例えば５ｍｍ程度であり、第１突起部２４よりも若干大きい程度である。
【００２２】
図５（ａ）は、第２研磨パッドの上面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。図５（ａ）及び図５（ｂ）のように、第２研磨パッド４０ｂには、発光部１８からの光を通過させるパッド側窓及び上面から下面にかけて貫通する第１孔は設けられていない。
【００２３】
次に、プラテンの上面に第１研磨パッド又は第２研磨パッドが貼り付けられ、貼り付けられた研磨パッドを用いたウエハの研磨について説明する。図６（ａ）は、プラテンの上面に第１研磨パッドが貼り付けられる前の状態を示す斜視図、図６（ｂ）は、第１研磨パッドが貼り付けられ、第１研磨パッドを用いたウエハの研磨を示す断面図である。図６（ａ）及び図６（ｂ）のように、第１研磨パッド４０ａのパッド側窓４４をプラテン１０のプラテン側窓２２に重ね且つ第１孔４６に第１突起部２４を挿入することで、第１研磨パッド４０ａをプラテン１０に貼り付ける。例えば、パッド側窓４４をプラテン側窓２２に重ねた後、第１孔４６に第１突起部２４を挿入することで、第１研磨パッド４０ａをプラテン１０に貼り付ける。その後、プラテン１０の上面に貼り付けられた第１研磨パッド４０ａを用いて、研磨ヘッド６０の下面に保持されるウエハ６６に対して研磨をする。なお、パッド側窓４４とプラテン側窓２２とは、パッド側窓４４の全体がプラテン側窓２２と重なることが好ましいが、パッド側窓４４の一部がプラテン側窓２２と重なっていない場合でもよい。
【００２４】
第１孔４６は、プラテン側窓２２とパッド側窓４４とが重なり且つプラテン１０と第１研磨パッド４０ａの互いの中心２６、４２が合った場合に、第１突起部２４が挿入されるような位置に設けられている。このため、パッド側窓４４をプラテン側窓２２に重ね且つ第１孔４６に第１突起部２４を挿入することで、第１研磨パッド４０ａをプラテン１０の適切な位置に貼り付けることができる。
【００２５】
ウエハ６６を保持する研磨ヘッド６０について説明する。研磨ヘッド６０は、ウエハ保持パッド６４を介してウエハ６６を保持する。ウエハ６６の周囲にはリテーナリング６８が設けられている。ウエハ６６は、研磨ヘッド６０により第１研磨パッド４０ａ側に加圧されることで保持される。この際、ウエハ６６を保護するため、ウエハ保持パッド６４には、シリコンゴム等の軟質材が用いられる。また、リテーナリング６８には、例えばテフロン（登録商標）又はＰＰＳ（Poly Phenylene Sulfide）等が用いられる。リテーナリング６８は、ウエハ６６のエッジを保護すると共に、ウエハ６６の研磨の分布を調整する機能がある。
【００２６】
プラテン１０の上面に設けられた第１突起部２４は、第１研磨パッド４０ａの第１孔４６に挿入されており、押されていない。このため、発光部１８から光２８が発光される。プラテン側窓２２とパッド側窓４４とは重なっているため、発光部１８からの光２８は、プラテン側窓２２とパッド側窓４４とを通過してウエハ６６に照射される。ウエハ６６に照射された光２８は、ウエハ６６で反射され、反射光３０がパッド側窓４４とプラテン側窓２２とを通過して受光部２０に入射される。これにより、検出部１６でウエハ６６に対する研磨の終点を検出することができる。
【００２７】
図７（ａ）は、プラテンの上面に第２研磨パッドが貼り付けられる前の状態を示す斜視図、図７（ｂ）は、第２研磨パッドが貼り付けられ、第２研磨パッドを用いたウエハの研磨を示す断面図である。図７（ａ）及び図７（ｂ）のように、第２研磨パッド４０ｂには、発光部１８からの光を通過させるパッド側窓及び上面から下面にかけて貫通する第１孔が共に設けられていない。このため、プラテン１０の上面に第２研磨パッド４０ｂが貼り付けられることで、プラテン１０の上面に設けられた第１突起部２４は、第２研磨パッド４０ｂによって押される。このため、発光部１８から光は発光されない。プラテン１０の上面に貼り付けられた第２研磨パッド４０ｂを用いたウエハ６６に対する研磨は、例えば研磨時間によって制御される。また、第２研磨パッド４０ｂのプラテン１０への貼り付けは、プラテン１０の外周からの第２研磨パッド４０ｂのはみ出し量が全方向で一定となるように調整することで行うことができる。その他の構成は、図６（ａ）及び図６（ｂ）と同じであるため説明を省略する。
【００２８】
実施例１によれば、図６（ｂ）のように、プラテン１０は、第１研磨パッド４０ａのパッド側窓４４と重なるプラテン側窓２２と、第１研磨パッド４０ａの第１孔４６に挿入される第１突起部２４と、を上面に備える。したがって、パッド側窓４４をプラテン側窓２２に重ね且つ第１孔４６に第１突起部２４を挿入することで、第１研磨パッド４０ａはプラテン１０に貼り付けられ、貼り付けられた第１研磨パッド４０ａを用いてウエハ６６に研磨がなされる。これにより、プラテン１０に第１研磨パッド４０ａを貼り付ける際、パッド側窓４４とプラテン側窓２２及び第１孔４６と第１突起部２４の２つを用いて位置合わせをするため、位置合わせを容易にすることができる。
【００２９】
第１研磨パッド４０ａはプラテン１０の適切な位置に貼り付けられるため、プラテン側窓２２とパッド側窓４４との間の位置ずれを抑制できる。よって、検出部１６が光量不足によって研磨の終点の検出ができなくなることを抑制できる。また、第１研磨パッド４０ａがプラテンシールド８０に接触することも抑制できる。さらに、第１研磨パッド４０ａのプラテン１０の外周からのはみ出し量が不十分となる部分が生じ難くなり、第１研磨パッド４０ａとプラテン１０との間にスラリー等が入り込むことも抑制できる。
【００３０】
プラテン側窓２２及びパッド側窓４４は、第１突起部２４及び第１孔４６よりも大きい。したがって、パッド側窓４４をプラテン側窓２２に重なるように位置合わせすることは、第１孔４６に第１突起部２４を挿入することよりも行い易い。また、パッド側窓４４をプラテン側窓２２に重なるように位置合わせした後は、プラテン１０に対する第１研磨パッド４０ａの位置がそれなりに合っているため、第１孔４６に第１突起部２４を挿入し易くなる。よって、第１研磨パッド４０ａをプラテン１０に貼り付ける際は、パッド側窓４４をプラテン側窓２２に重ねた後、第１孔４６に第１突起部２４を挿入することが好ましい。
【００３１】
図６（ａ）のように、第１突起部２４はプラテン側窓２２とプラテン１０の中心２６との間に位置することが好ましい。これにより、プラテン側窓２２の近くに第１突起部２４があるため、パッド側窓４４をプラテン側窓２２に重ねつつ、第１孔４６に第１突起部２４を挿入することが容易となる。このように、第１突起部２４をプラテン１０の中心２６に設けなくてもよいのは、プラテン側窓２２とパッド側窓４４及び第１突起部２４と第１孔４６の２つを用いて位置合わせをしているためである。
【００３２】
第１突起部２４は、検出部１６からの光の発光及び非発光を切替えるスイッチの機能を有する。図６（ｂ）のように、プラテン１０の上面に第１研磨パッド４０ａが貼り付けられた場合、第１突起部２４は第１孔４６に挿入されることにより押されず、光２８は発光する。これにより、パッド側窓４４を備える第１研磨パッド４０ａが貼り付けられた場合には、光２８が発光されて、検出部１６によって研磨の終点を検出することができる。図７（ｂ）のように、プラテン１０の上面に第２研磨パッド４０ｂが貼り付けられた場合、第１突起部２４は第２研磨パッド４０ｂで押されて、光２８は発光されない。これにより、パッド側窓４４を備えない第２研磨パッド４０ｂが貼り付けられた場合には、光２８が発光されず、無駄な発光を抑制できる。よって、検出部１６の寿命を延ばすことができる。また、ウエハ６６の研磨面に銅（Ｃｕ）がある場合には、光が当たることでＣｕデンドライトの発生が懸念されるが、無駄な発光が抑制されるため、Ｃｕデンドライトによる欠陥の発生も抑制される。
【実施例２】
【００３３】
実施例２は、プラテンの上面に第１突起部の他に１以上の第２突起部が設けられた場合の例である。図８（ａ）は、実施例２に係る研磨装置のプラテンの斜視図、図８（ｂ）は、図８（ａ）のＡ−Ａ間の断面図である。図８（ａ）及び図８（ｂ）のように、実施例２の研磨装置のプラテン１０ａでは、上面にプラテン側窓２２及び第１突起部２４に加えて、第２突起部３２が１つ設けられている。第２突起部３２には、例えば第１突起部２４と同じ材料が用いられる。第２突起部３２は、例えば円柱形状をしているが、角柱形状等の他の形状をしていてもよい。第２突起部３２は、第１突起部２４と同じく、ウエハに対する研磨に影響を及ぼさない領域に設けられている。第１突起部２４と第２突起部３２とは共に、発光部１８からの光の発光及び非発光を切替えるスイッチの機能を有する。即ち、第１突起部２４及び第２突起部３２の少なくとも１つが押されると、発光部１８から光が発光されず、第１突起部２４及び第２突起部３２が共に押されないと、発光部１８から光が発光される。第２突起部３２の直径及び高さは、例えば第１突起部２４と同程度である。その他の構成は、実施例１の図３（ａ）及び図３（ｂ）と同じであるため説明を省略する。
【００３４】
図９（ａ）は、プラテンの上面に第１研磨パッドが貼り付けられた状態を示す断面図、図９（ｂ）は、第２研磨パッドが貼り付けられた状態を示す断面図である。図９（ａ）のように、パッド側窓４４がプラテン側窓２２に重なり且つ第１孔４６に第１突起部２４が挿入することに加え、第１研磨パッド４０ｃを上面から下面に貫通する第３孔５０に第２突起部３２が挿入されている。第３孔５０は、第１孔４６と同じく、プラテン側窓２２とパッド側窓４４とが重なり且つプラテン１０ａ及び第１研磨パッド４０ｃの互いの中心が合った場合に、第２突起部３２が挿入されるような位置に設けられている。このため、第１研磨パッド４０ｃをプラテン１０ａの適切な位置に貼り付けることができる。また、第１突起部２４は第１孔４６に挿入され、第２突起部３２は第３孔５０に挿入されているため、第１突起部２４及び第２突起部３２は共に押されずに、発光部１８から光２８が発光される。その他の構成は、実施例１の図６（ｂ）と同じであるため説明を省略する。
【００３５】
図９（ｂ）のように、第２研磨パッド４０ｄを上面から下面に貫通する第２孔４８に第２突起部３２が挿入することで、第２研磨パッド４０ｄがプラテン１０ａの上面に貼り付けられている。第２孔４８は、第２研磨パッド４０ｄがプラテン１０ａの適切な位置に貼り付けられた場合に、第２突起部３２が挿入されるような位置に設けられている。このため、第２研磨パッド４０ｄをプラテン１０ａの適切な位置に貼り付けることができる。また、第１突起部２４は、第２研磨パッド４０ｄによって押されているため、発光部１８から光は発光されない。その他の構成は、実施例１の図７（ｂ）と同じであるため説明を省略する。
【００３６】
実施例２によれば、図９（ｂ）のように、プラテン１０ａの上面に、パッド側窓４４を備えない第２研磨パッド４０ｄを上面から下面にかけて貫通する第２孔４８に挿入される第２突起部３２が設けられている。これにより、実施例１の図７（ｂ）の場合と比べて、プラテン１０ａに第２研磨パッド４０ｄを貼り付ける際の位置合わせが容易となる。また、第１突起部２４は第２研磨パッド４０ｄによって押されるため、発光部１８から光が発光されず、無駄な発光を抑制できる。
【００３７】
図１０は、実施例２の変形例１に係る研磨装置のプラテンの斜視図である。図１０のように、実施例２の変形例１のプラテン１０ｂでは、第２突起部３２が２つ設けられている。その他の構成は、実施例２の図８（ａ）と同じであるため説明を省略する。
【００３８】
図１１（ａ）は、プラテンの上面に第１研磨パッドが貼り付けられた状態を示す断面図、図１１（ｂ）は、第２研磨パッドが貼り付けられた状態を示す断面図である。なお、研磨ヘッド６０に関する部分については、簡略化のために、図示を省略している。図１１（ａ）のように、パッド側窓４４がプラテン側窓２２に重なり、第１突起部２４が第１孔４６に挿入し、且つ２つの第２突起部３２が共に第３孔５０に挿入することで、第１研磨パッド４０ｅはプラテン１０ｂに貼り付けられている。第１突起部２４及び第２突起部３２が全て押されていないため、発光部１８から光２８が発光される。
【００３９】
図１１（ｂ）のように、２つの第２突起部３２が共に第２孔４８に挿入することで、第２研磨パッド４０ｆはプラテン１０ｂに貼り付けられている。第１突起部２４は第２研磨パッド４０ｆによって押されているため、発光部１８から光は発光されない。
【００４０】
実施例２の変形例１では、第２研磨パッド４０ｆは、２つの第２突起部３２を用いた位置合わせによって、プラテン１０ｂに貼り付けられる。このため、プラテン１０ｂに第２研磨パッド４０ｆを貼り付ける際の位置合わせを容易にすることができる。
【００４１】
第２突起部３２は、発光部１８からの光の発光及び非発光を切替えるスイッチの機能を有さない場合でもよい。図１２は、スイッチの機能を有さない第２突起部を含む場合における、プラテンの上面に第２研磨パッドが貼り付けられた状態を示す断面図である。なお、研磨ヘッド６０に関する部分については、簡略化のために、図示を省略している。図１２のように、第２突起部３２の１つがスイッチの機能を有さない場合でもよい。この場合でも、第１突起部２４が第２研磨パッド４０ｆで押されるため、発光部１８から光は発光されない。また、２つの第２突起部３２を用いて位置合わせをするため、プラテン１０ｂに第２研磨パッド４０ｆを貼り付ける際の位置合わせを容易にすることができる。
【００４２】
なお、実施例２の図８（ａ）のように、第２突起部３２が１つ設けられた場合でも、第２突起部３２をスイッチとして用いない場合でもよい。実施例２の変形例１の図１０のように、第２突起部３２が複数設けられた場合では、全ての第２突起部３２をスイッチとして用いない場合でもよいし、一部の第２突起部３２をスイッチとして用いない場合でもよい。スイッチとして用いない第２突起部３２は、上方からの力によって凹まない固定ピンとしてもよい。即ち、第２突起部３２は、発光部１８からの光２８の発光及び非発光を切替えるスイッチの機能を有するものを含んでいてもよいし、上方からの力が加わっても凹まない固定ピンのものを含んでいてもよい。
【００４３】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００４４】
なお、以上の説明に関して更に以下の付記を開示する。
（付記１）研磨ヘッドに保持される被研磨物に光を照射することにより前記被研磨物に対する研磨の終点を検出する検出部と、前記光を通過させるパッド側窓を備える第１研磨パッドの前記パッド側窓と重なる前記光を通過させるプラテン側窓と、前記第１研磨パッドを貫通する第１孔に挿入される第１突起部と、が上面に設けられたプラテンと、を備えることを特徴とする研磨装置。
（付記２）前記第１突起部は、前記プラテンの中心と前記プラテン側窓との間に位置することを特徴とする付記１記載の研磨装置。
（付記３）前記第１突起部は、前記光の発光及び非発光を切替えるスイッチの機能を有し、前記プラテンの上面に前記第１研磨パッドが貼り付けられた場合、前記第１突起部は前記第１孔に挿入されることにより押されず、前記光は発光し、前記プラテンの上面に前記パッド側窓を備えない第２研磨パッドが貼り付けられた場合、前記第１突起部は前記第２研磨パッドで押されて、前記光は発光しないことを特徴とする付記１又は２記載の研磨装置。
（付記４）前記プラテンの上面に、前記第２研磨パッドを貫通する第２孔に挿入される第２突起部が設けられていることを特徴とする付記３記載の研磨装置。
（付記５）前記第２突起部には、前記光の発光及び非発光を切替えるスイッチの機能を有するものが含まれることを特徴とする付記４記載の研磨装置。
（付記６）前記第２突起部には、上方からの力が加わっても凹まない固定ピンが含まれることを特徴とする付記４又は５記載の研磨装置。
（付記７）上面に第１突起部と研磨ヘッドに保持される被研磨物に対する研磨の終点の検出に用いられる光を通過させるプラテン側窓とを備えるプラテンの上面に、研磨パッドを貼り付ける工程と、前記プラテンの上面に貼り付けられた前記研磨パッドを用いて前記被研磨物を研磨する工程と、を備え、前記研磨パッドを貼り付ける工程は、前記研磨パッドが前記光を通過させるパッド側窓を備える第１研磨パッドの場合、前記パッド側窓を前記プラテン側窓に重ね且つ前記第１研磨パッドを貫通する第１孔に前記第１突起部を挿入することで行うことを特徴とする研磨方法。
（付記８）前記研磨パッドを貼り付ける工程は、前記パッド側窓を前記プラテン側窓に重ねた後、前記第１孔に前記第１突起部を挿入することで行うことを特徴とする付記７記載の研磨方法。
（付記９）前記第１突起部は、前記プラテンの中心と前記プラテン側窓との間に位置することを特徴とする付記７又は８記載の研磨方法。
（付記１０）前記第１突起部は、前記光の発光及び非発光を切替えるスイッチの機能を有し、前記研磨パッドを貼り付ける工程は、前記研磨パッドが前記第１研磨パッドの場合、前記第１孔に前記第１突起部を挿入することで前記第１突起部が押されずに前記光が発光するように前記第１研磨パッドを貼り付け、前記研磨パッドが前記パッド側窓を備えない第２研磨パッドの場合、前記第１突起部が前記第２研磨パッドで押されて前記光が発光しないように前記第２研磨パッドを貼り付けることを特徴とする付記７から９のいずれか一項記載の研磨方法。
（付記１１）前記プラテンの上面に、前記第２研磨パッドを貫通する第２孔に挿入される第２突起部が設けられていることを特徴とする付記１０記載の研磨方法。
（付記１２）前記第２突起部には、前記光の発光及び非発光を切替えるスイッチの機能を有するものが含まれることを特徴とする付記１１記載の研磨方法。
（付記１３）前記第２突起部には、上方からの力が加わっても凹まない固定ピンが含まれることを特徴とする付記１１又は１２記載の研磨方法。
【符号の説明】
【００４５】
１０〜１０ｂ  プラテン
１６  検出部
１８  発光部
２０  受光部
２２  プラテン側窓
２４  第１突起部
２６  プラテンの中心
２８  光
３０  反射光
３２  第２突起部
４０  研磨パッド
４０ａ、４０ｃ、４０ｅ  第１研磨パッド
４０ｂ、４０ｄ、４０ｆ  第２研磨パッド
４２  研磨パッドの中心
４４  パッド側窓
４６  第１孔
４８  第２孔
５０  第３孔
６０  研磨ヘッド
６６  ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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