(57)【要約】【課題】ブレードの取り付けを容易にするブレード取り付け治具を提供する。【解決手段】スピンドル（６）の先端に装着された後フランジ（８）にブレード（１６）を取り付けるためのブレード取り付け治具（４２）であって、バー状本体（４４）と、バー状本体の一端に形成され、切削手段（２）のブレードカバー（２２）に係止される係止部（４６）と、バー状本体に配設され、係止部がブレードカバーに係止されることで後フランジの外周縁後方に位置付けられ、後フランジを介して磁力を伝達する磁石（４８）と、を備える構成とした。【選択図】図２
2015213984.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンドルと、該スピンドルを回転可能に収容するスピンドルハウジングと、該スピンドルの先端に装着された後フランジと、該後フランジとともにブレードを挟持する前フランジと、該前フランジを固定する固定ナットと、該スピンドルハウジングに固定されるブレードカバーと、を備える切削手段において該スピンドルの先端に装着された状態の該後フランジにブレードを取り付けるためのブレード取り付け治具であって、
該後フランジと該ブレードとは強磁性体からなり、該ブレードは環状の切り刃で構成され、
該ブレード取り付け治具は、
バー状本体と、
該バー状本体の一端に形成され、該切削手段の該ブレードカバーに係止される係止部と、
該バー状本体に配設され、該係止部が該ブレードカバーに係止されることで該後フランジの外周縁後方に位置付けられ、該後フランジを介して磁力を伝達する磁石と、を備えたことを特徴とするブレード取り付け治具。
【請求項２】
請求項１に記載のブレード取り付け治具を用いて該切削手段に該ブレードを取り付けるブレード取り付け方法であって、
該スピンドルの先端に該後フランジを装着する後フランジ装着ステップと、
該後フランジ装着ステップを実施した後、該ブレード取り付け治具の該係止部を該ブレードカバーに係止して該ブレード取り付け治具の該磁石を該後フランジの外周縁後方に位置付けることで該後フランジを介して磁力を伝達する治具取り付けステップと、
該治具取り付けステップを実施した後、該後フランジの前面に該ブレードを取り付けるブレード取り付けステップと、
該ブレード取り付けステップを実施した後、該ブレードを介して該後フランジに該前フランジを装着し、該前フランジを該固定ナットで固定する前フランジ固定ステップと、
該前フランジ固定ステップを実施した後、該ブレード取り付け治具を該ブレードカバーから取り外す治具取り外しステップと、を備えたことを特徴とするブレード取り付け方法。
【請求項３】
該ブレードは、ブレードケースに収容されており、
該治具取り付けステップを実施する前に、該ブレードケースに収容された該ブレードに該ブレード取り付け治具の該磁石を対面させ、該磁石に吸着させることで該ブレードケースから該ブレードをピックアップするブレードピックアップステップを更に備えたことを特徴とする請求項２に記載のブレード取り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の切削に使用されるブレードを切削装置に取り付けるブレード取り付け治具、及びブレード取り付け治具を用いるブレード取り付け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面に複数のデバイスが形成された半導体ウェーハ等の板状物は、例えば、円環状のブレード（切削ブレード）を備える切削装置で切削されて、各デバイスに対応する複数のチップへと分割される。
【０００３】
ブレードは、例えば、金属、樹脂、セラミックス等の結合材に、ダイヤモンド、ＣＢＮ（Cubic  Boron  Nitride）等の砥粒を混合して形成されており、所定の装着具を介して切削装置に装着される（例えば、特許文献１参照）。このブレードとしては、円盤状の基台の外周部分に切り刃を固定したいわゆるハブブレードの他に、円環状の切り刃のみで構成されるいわゆるワッシャーブレードが広く使用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１５４０５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、板状物に形成されるカーフ（切削痕）の幅を狭くしたい場合等には、厚みが数１０μｍ程度の非常に薄いブレードを使用することがある。しかしながら、切り刃のみで構成されるワッシャーブレードがこのように薄いと、ハンドリングは難しくなり、例えば、落下等のミスでブレードを破損させてしまう可能性が高くなる。
【０００６】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ブレードの取り付けを容易にするブレード取り付け治具、及びこのブレード取り付け治具を用いるブレード取り付け方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、スピンドルと、該スピンドルを回転可能に収容するスピンドルハウジングと、該スピンドルの先端に装着された後フランジと、該後フランジとともにブレードを挟持する前フランジと、該前フランジを固定する固定ナットと、該スピンドルハウジングに固定されるブレードカバーと、を備える切削手段において該スピンドルの先端に装着された状態の該後フランジにブレードを取り付けるためのブレード取り付け治具であって、該後フランジと該ブレードとは強磁性体からなり、該ブレードは環状の切り刃で構成され、該ブレード取り付け治具は、バー状本体と、該バー状本体の一端に形成され、該切削手段の該ブレードカバーに係止される係止部と、該バー状本体に配設され、該係止部が該ブレードカバーに係止されることで該後フランジの外周縁後方に位置付けられ、該後フランジを介して磁力を伝達する磁石と、を備えたことを特徴とするブレード取り付け治具が提供される。
【０００８】
また、本発明によれば、該ブレード取り付け治具を用いて該切削手段に該ブレードを取り付けるブレード取り付け方法であって、該スピンドルの先端に該後フランジを装着する後フランジ装着ステップと、該後フランジ装着ステップを実施した後、該ブレード取り付け治具の該係止部を該ブレードカバーに係止して該ブレード取り付け治具の該磁石を該後フランジの外周縁後方に位置付けることで該後フランジを介して磁力を伝達する治具取り付けステップと、該治具取り付けステップを実施した後、該後フランジの前面に該ブレードを取り付けるブレード取り付けステップと、該ブレード取り付けステップを実施した後、該ブレードを介して該後フランジに該前フランジを装着し、該前フランジを該固定ナットで固定する前フランジ固定ステップと、該前フランジ固定ステップを実施した後、該ブレード取り付け治具を該ブレードカバーから取り外す治具取り外しステップと、を備えたことを特徴とするブレード取り付け方法が提供される。
【０００９】
また、本発明のブレード取り付け方法において、該ブレードは、ブレードケースに収容されており、該治具取り付けステップを実施する前に、該ブレードケースに収容された該ブレードに該ブレード取り付け治具の該磁石を対面させ、該磁石に吸着させることで該ブレードケースから該ブレードをピックアップするブレードピックアップステップを更に備えたことが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のブレード取り付け治具は、ブレードカバーに係止される係止部と、係止部がブレードカバーに係止されることで後フランジの外周縁後方に位置付けられる磁石と、を備えるので、後フランジを介して伝達される磁力を利用して、後フランジの前面にブレードを容易に取り付けることができる。
【００１１】
すなわち、ブレード取り付け治具の係止部をブレードカバーに係止させるだけで、後フランジの外周縁後方に磁石を位置付け、強磁性体でなるブレードを後フランジの前面に吸着させることができるので、ブレードの取り付けが容易になる。このように、本発明によれば、ブレードの取り付けを容易にするブレード取り付け治具、及びこのブレード取り付け治具を用いるブレード取り付け方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ブレードユニットの構成例を模式的に示す斜視図である。
【図２】ブレード取り付け治具の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図３】後フランジ装着ステップを模式的に示す斜視図である。
【図４】ブレードピックアップステップを模式的に示す斜視図である。
【図５】治具取り付けステップを模式的に示す斜視図である。
【図６】図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、ブレード取り付けステップを模式的に示す斜視図である。
【図７】前フランジ固定ステップを模式的に示す斜視図である。
【図８】治具取り外しステップを模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。まず、本実施の形態に係るブレード取り付け治具を用いてブレードが取り付けられるブレードユニット（切削手段）について説明する。図１は、本実施の形態に係るブレードユニットの構成例を模式的に示す斜視図である。
【００１４】
図１に示すように、ブレードユニット（切削手段）２は、例えば、切削装置の移動機構（不図示）等に固定されるスピンドルハウジング４を備えている。スピンドルハウジング４の内部には、前後方向（Ｙ軸方向）に伸びるスピンドル６が回転可能に支持されている。スピンドル６の先端部（前端部）は、スピンドルハウジング４から前方に突出している。
【００１５】
スピンドル６の先端部には、開口６ａが形成されており、当該開口６ａの内壁面６ｂには、ねじ溝が設けられている。このスピンドル６の先端部には、強磁性体を含む材料で形成された後フランジ８が取り付けられる。後フランジ８は、径方向外向きに延出するフランジ部１０と、フランジ部１０の表面（前面）から前方に突出するボス部１２とを含む。
【００１６】
フランジ部１０の中央には、フランジ部１０を前後に貫通する開口１０ａが形成されている。また、フランジ部１０の裏面（後面）側には、スピンドル６の先端部を嵌め込むことのできる嵌合部（不図示）が形成されている。この嵌合部は、開口１０ａに対応する位置に設けられている。
【００１７】
フランジ部１０に形成された嵌合部にスピンドル６の先端部を嵌め込んだ状態で、開口１０ａ及び開口６ａに固定ボルト１４を締め込めば、後フランジ８はスピンドル６に固定される。なお、固定ボルト１４の外周面１４ａには、開口６ａのねじ溝に対応するねじ山が設けられている。
【００１８】
フランジ部１０の外周側の表面は、ブレード１６の裏面に当接する当接面１０ｂとなっている。この当接面１０ｂは、スピンドル６の軸心方向（Ｙ軸方向）から見て円環状に形成されている。ボス部１２は円筒状に形成されており、その外周面１２ａには、ねじ山が設けられている。
【００１９】
ブレード１６は、強磁性体を含む材料で形成された円環状の切り刃でなり、磁力によって引き付けられる。ブレード１６の中央には、ボス部１２が挿通される円形の開口１６ａが形成されており、この開口１６ａにボス部１２を挿通することで、ブレード１６は、後フランジ８に取り付けられる。
【００２０】
後フランジ８にブレード１６を取り付けた状態で、ブレード１６の表面側には、円環状の前フランジ１８が装着される。前フランジ１８の中央には、開口１８ａが形成されており、この開口１８ａに後フランジ８のボス部１２が嵌め込まれる。なお、前フランジ１８の外周側の裏面は、ブレード１６の表面と当接する当接面（不図示）となっている。この当接面は、後フランジ８の当接面１０ｂと対応する位置に設けられている。
【００２１】
前フランジ１８を装着した後には、ボス部１２の先端に円環状の固定ナット２０を締め込む。これにより、前フランジ１８は後フランジ８側に押し付けられ、ブレード１６は、後フランジ８と前フランジ１８とで挟持される。なお、固定ナット２０には、開口２０ａが形成されており、この開口２０ａの内壁面２０ｂには、ねじ溝が設けられている。
【００２２】
スピンドルハウジング４の前面には、スピンドル６に装着されたブレード１６等を収容するブレードカバー２２が設けられている。ブレードカバー２２は、スピンドルハウジング４の前面に固定されたブレードカバー本体２４と、ブレードカバー本体２４に対して左右方向（Ｘ軸方向）にスライド可能なスライドカバー２６とで構成されている。
【００２３】
スライドカバー２６は、エアシリンダ２８を介してブレードカバー本体２４に連結されており、連結具３０を通じて供給されるエアでスライドする。ブレード１６をスピンドル６に装着した後に、スライドカバー２６をスライドさせてブレードカバー２２を閉じれば、ブレード１６をブレードカバー２２の内側に収容できる。
【００２４】
スライドカバー２６には、ブレード１６の下部を前後に挟む略Ｌ字状の一対のノズル３２が固定されている。ノズル３２には、スライドカバー２６に設けられた連結具３４を通じて切削水が供給される。ノズル３２の先端側には、ブレード１６と対向するように複数のスリット（不図示）が形成されている。複数のスリットを通じて噴射される切削水によって、ブレード１６は冷却、洗浄される。
【００２５】
一方、ブレードカバー本体２４には、ブレード１６に切削水を供給するための供給孔（不図示）が設けられている。この供給孔は、ブレードカバー本体２４に設けられた連結具３６と接続されており、連結具３６を通じて供給孔から供給される切削水によって、ブレード１６は冷却、洗浄される。
【００２６】
本実施の形態に係るブレード取り付け治具は、このブレードユニット２に対してブレード１６を取り付ける際に使用される。図２は、ブレード取り付け治具の構成例を模式的に示す斜視図である。図２に示すように、ブレード取り付け治具４２は、所定の方向（上下方向）に伸びる直方体状のバー状本体４４を備えている。
【００２７】
バー状本体４４の一端側（上端側）には、ブレードカバー２２に係止される係止フック（係止部）４６が設けられている。この係止フック４６は、バー状本体４４の裏面（後面）４４ｂと面一に形成された支持部４６ａと、支持部４６ａの先端から後方に延出された庇部４６ｂとを含み、ブレードカバー本体２４の前面上部に係止される。
【００２８】
バー状本体４４の表面（前面）４４ａには、円盤状の磁石４８が設けられている。この磁石４８は、係止フック４６がブレードカバー本体２４の前面上部に係止された状態で後フランジ８の外周縁後方に位置付けられるように、表面４４ａの下端側（他端側）に配置されている。
【００２９】
後フランジ８は、強磁性体を含む材料で形成されているので、係止フック４６をブレードカバー本体２４の前面上部に係止してブレード取り付け治具４２をブレードカバー２２に取り付けると、磁石４８の磁力は後フランジ８の前方に伝達される。
【００３０】
次に、ブレード取り付け治具を用いるブレード取り付け方法について説明する。本実施の形態に係るブレード取り付け方法では、まず、スピンドル６の先端部に後フランジ８を装着する後フランジ装着ステップを実施する。図３は、後フランジ装着ステップを模式的に示す斜視図である。
【００３１】
この後フランジ装着ステップでは、まず、後フランジ８（フランジ部１０）の裏面側に形成された嵌合部にスピンドル６の先端部を嵌め込む。その後、フランジ部１０の開口１０ａ及びスピンドル６の開口６ａに前方から固定ボルト１４を締め込むことで、図３に示すように、スピンドル６に後フランジ８を装着できる。
【００３２】
後フランジ装着ステップを実施した後には、ブレードケースに収容されているブレード１６をピックアップするブレードピックアップステップを実施する。図４は、ブレードピックアップステップを模式的に示す斜視図である。このブレードピックアップステップでは、ブレード取り付け治具４２を利用してブレード１６をビックアップする。
【００３３】
具体的には、ブレードケース５２に収容されたブレード１６に対して、磁石４８を対面させるようにブレード取り付け治具４２を接近させる。ブレード１６は強磁性体を含む材料で形成されているので、ブレード取り付け治具４２をある程度の距離まで接近させると、ブレード１６は磁石４８に吸着される。
【００３４】
このように、ブレード取り付け治具４２を利用することで、ブレード１６が薄い場合でも容易にピックアップできる。なお、ピックアップされたブレード１６は、ブレード取り付け治具４２の磁石４８から分離され、後のブレード取り付けステップに使用される。
【００３５】
ブレードピックアップステップを実施した後には、ブレード取り付け治具４２をブレードカバー２２に取り付ける治具取り付けステップを実施する。図５は、治具取り付けステップを模式的に示す斜視図である。図５に示すように、治具取り付けステップでは、ブレード取り付け治具４２の係止フック４６をブレードカバー本体２４の前面上部に係止し、磁石４８を後フランジ８の外周縁後方に位置付ける。これにより、後フランジ８を介して前方に磁力を伝達させることができる。
【００３６】
治具取り付けステップを実施した後には、後フランジ８の前面にブレード１６を取り付けるブレード取り付けステップを実施する。図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、ブレード取り付けステップを模式的に示す斜視図である。ブレード取り付けステップでは、図６（Ａ）に示すように、ブレード１６の中央に形成された開口１６ａに後フランジ８のボス部１２を挿通する。
【００３７】
上述のように、ブレード１６は強磁性体を含む材料で形成されているので、ブレード１６の開口１６ａに後フランジ８のボス部１２を挿通すると、図６（Ｂ）に示すように、ブレード１６は、後方に位置する磁石４８の磁力で後フランジ８（フランジ部１０）の前面に吸着される。このように、磁石４８の磁力を利用することで、ブレード１６が薄い場合等でも取り付けが容易になる。
【００３８】
ブレード取り付けステップを実施した後には、後フランジ８の表面側に前フランジ１８を固定する前フランジ固定ステップを実施する。図７は、前フランジ固定ステップを模式的に示す斜視図である。前フランジ固定ステップでは、まず、後フランジ８のボス部１２に前フランジ１８の開口１８ａを嵌め込む。
【００３９】
次に、ボス部１２の先端に円環状の固定ナット２０を締め込んで、前フランジ１８を固定する。その結果、図７に示すように、ブレード１６は、後フランジ８と前フランジ１８とで挟持される。
【００４０】
前フランジ固定ステップを実施した後には、ブレード取り付け治具４２をブレードカバー２２から取り外す治具取り外しステップを実施する。図８は、治具取り外しステップを模式的に示す斜視図である。例えば、図８に示すように、ブレード取り付け治具４２を上方に引き上げることで、ブレードカバー２２からブレード取り付け治具４２を容易に取り外すことができる。
【００４１】
以上のように、本実施の形態に係るブレード取り付け治具４２は、ブレードカバー２２に係止される係止フック（係止部）４６と、係止フック４６がブレードカバー２２に係止されることで後フランジ８の外周縁後方に位置付けられる磁石４８と、を備えるので、後フランジ８を介して伝達される磁力を利用して、後フランジ８の前面にブレード１６を容易に取り付けることができる。
【００４２】
すなわち、ブレード取り付け治具４２の係止フック４６をブレードカバー２２に係止させるだけで、後フランジ８の外周縁後方に磁石４８位置付け、強磁性体でなるブレード１６を後フランジ８の前面に吸着させることができるので、ブレード１６の取り付けが容易になる。このように、本実施の形態によれば、ブレード１６の取り付けを容易にするブレード取り付け治具４２、及びこのブレード取り付け治具４２を用いるブレード取り付け方法を提供できる。
【００４３】
なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、治具取り付けステップを実施する前にブレードピックアップステップを実施しているが、このブレードピックアップステップは省略されても良い。
【００４４】
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００４５】
２  ブレードユニット（切削手段）
４  スピンドルハウジング
６  スピンドル
６ａ  開口
６ｂ  内壁面
８  後フランジ
１０  フランジ部
１０ａ  開口
１０ｂ  当接面
１２  ボス部
１２ａ  外周面
１４  固定ボルト
１４ａ  外周面
１６  ブレード
１６ａ  開口
１８  前フランジ
１８ａ  開口
２０  固定ナット
２０ａ  開口
２０ｂ  内壁面
２２  ブレードカバー
２４  ブレードカバー本体
２６  スライドカバー
２８  エアシリンダ
３０  連結具
３２  ノズル
３４  連結具
３６  連結具
４２  ブレード取り付け治具
４４  バー状本体
４４ａ  表面（前面）
４４ｂ  裏面（後面）
４６  係止フック（係止部）
４６ａ  支持部
４６ｂ  庇部
４８  磁石
５２  ブレードケース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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