(57)【要約】      （修正有）【課題】材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい方法で、所望の形状、パターンの成膜を効率よく行うことができる成膜装置を提供すること。【解決手段】本発明の成膜装置は、粒子が気体中に分散してなるエアロゾルを発生させるエアロゾル発生部と、基材に対して成膜を行う成膜室と、前記エアロゾルを供給するノズルと、前記成膜室のガスを排気する排気口と、必要時に、前記粒子が前記基材に衝突することを防止し前記粒子を前記排気口へと導くガイド部材とを備えることを特徴とする。【選択図】図１
2015161003.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子が気体中に分散してなるエアロゾルを発生させるエアロゾル発生部と、
基材に対して成膜を行う成膜室と、
前記エアロゾルを供給するノズルと、
前記成膜室のガスを排気する排気口と、
必要時に、前記粒子が前記基材に衝突することを防止し前記粒子を前記排気口へと導くガイド部材とを備えることを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
前記ガイド部材は、中空部を有する管状をなすものであり、前記中空部に前記粒子が導入されるように構成されている請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記ノズルからの前記エアロゾルの供給方向と、前記ガイド部材の前記粒子が接触する表面の法線とのなす角は、４０°以上である請求項１または２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記エアロゾル発生部の圧力を調整する第１の圧力調整手段と、
前記成膜室の圧力を調整する第２の圧力調整手段とを、さらに備えている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項５】
前記エアロゾル発生部と前記成膜室とは、内径が１ｍｍ以上１０ｍｍ以下の連結管で接続されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項６】
前記成膜室には、排圧１０−５Ｐａまで可能なポンプが接続されている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項７】
成膜時には、前記エアロゾル発生部の圧力は、１０Ｐａ以上１ＭＰａ以下に制御され、前記成膜室の圧力は、１０ＫＰａ以下に制御される請求項１ないし６のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項８】
前記基材が設置されるステージは、前記ノズルに対し、ｘｙ方向に任意に稼働可能である請求項１ないし７のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項９】
前記ガイド部材により前記粒子を前記排気口に導く際に、前記基材が設置されるステージと、前記ノズルとを、相対的に移動させるように構成されている請求項１ないし８のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の成膜装置を用いて時計用外装部品を製造することを特徴とする時計用外装部品の製造方法。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の成膜装置を用いて製造されたことを特徴とする時計用外装部品。
【請求項１２】
請求項１０に記載の方法を用いて製造されたことを特徴とする時計用外装部品。
【請求項１３】
請求項１１または１２に記載の時計用外装部品を備えたことを特徴とする時計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置、時計用外装部品の製造方法、時計用外装部品および時計に関する。
【背景技術】
【０００２】
時計には、実用品としての機能が求められるとともに、装飾品として優れた審美性（美的外観）が要求される。
【０００３】
このため、時計用外装部品には、各種金属材料等の優れた質感を有する材料が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
そして、さらなる審美性の向上のために、所定のパターンで装飾層（被膜）を設けることが行われている。
【０００５】
従来においては、所定のパターンで装飾層（被膜）を設けるためには、マスク（レジスト等）を配した状態で真空蒸着等の気相成膜を行ったり、基材の全面に成膜を行った後にエッチングで不要部分を除去する方法等が採用されたりしている。
【０００６】
しかしながら、これらの方法では、最終的な時計用外装部品に含まれる被膜の構成材料は、製造に用いる材料のごく一部であり、材料の無駄が多く、省資源の観点から好ましくなかった。
【０００７】
また、被膜形成用材料の回収、回収した材料のリサイクル、レジストの利用等に伴う工程増加や化学物質の使用が、環境負荷やコスト増大の問題を引き起こしていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−１５０６６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい方法で、所望の形状、パターンの成膜を効率よく行うことができる成膜装置を提供すること、材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい方法で、美的外観に優れた時計用外装部品を効率よく製造することができる時計用外装部品の製造方法を提供すること、美的外観に優れ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい時計用外装部品を提供すること、また、美的外観に優れ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい時計用外装部品を備えた時計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の成膜装置は、粒子が気体中に分散してなるエアロゾルを発生させるエアロゾル発生部と、
基材に対して成膜を行う成膜室と、
前記エアロゾルを供給するノズルと、
前記成膜室のガスを排気する排気口と、
必要時に、前記粒子が前記基材に衝突することを防止し前記粒子を前記排気口へと導くガイド部材とを備えることを特徴とする。
【００１１】
これにより、材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい方法で、所望の形状、パターンの成膜を効率よく行うことができる成膜装置を提供することができる。
【００１２】
本発明の成膜装置では、前記ガイド部材は、中空部を有する管状をなすものであり、前記中空部に前記粒子が導入されるように構成されていることが好ましい。
【００１３】
これにより、粒子が不本意な部位に付着することを、より効果的に防止することができる。また、ガイド部材への粒子の付着をより効果的に防止することができるとともに、粒子の成膜室外部への排出効率も向上する。
【００１４】
本発明の成膜装置では、前記ノズルからの前記エアロゾルの供給方向と、前記ガイド部材の前記粒子が接触する表面の法線とのなす角は、４０°以上であることが好ましい。
【００１５】
これにより、粒子の成膜室外部への排出効率を特に優れたものとすることができるとともに、成膜装置のメンテナンスの頻度を少なくすることができる。また、成膜室内での粒子の滞留等をさらに効果的に防止することができ、被膜を有する製造物の歩留まりを向上させることができる。
【００１６】
本発明の成膜装置では、前記エアロゾル発生部の圧力を調整する第１の圧力調整手段と、
前記成膜室の圧力を調整する第２の圧力調整手段とを、さらに備えていることが好ましい。
【００１７】
これにより、ノズル部からのエアロゾル（粒子）の噴射速度等をより好適に制御することができる。また、成膜室内の不本意な圧力変動をより効果的に抑制することができ、より安定した成膜環境を維持することができる。
【００１８】
本発明の成膜装置では、前記エアロゾル発生部と前記成膜室とは、内径が１ｍｍ以上１０ｍｍ以下の連結管で接続されていることが好ましい。
これにより、連結管内における粒子の搬送性を特に優れたものとすることができる。
【００１９】
本発明の成膜装置では、前記成膜室には、排圧１０−５Ｐａまで可能なポンプが接続されていることが好ましい。
【００２０】
これにより、欠陥の発生が防止された被膜をより速い成膜速度で形成することができる。また、ガイド部材による粒子の排気口への誘導をより好適に行うことができる。
【００２１】
本発明の成膜装置では、成膜時には、前記エアロゾル発生部の圧力は、１０Ｐａ以上１ＭＰａ以下に制御され、前記成膜室の圧力は、１０ＫＰａ以下に制御されることが好ましい。
【００２２】
これにより、ノズルからのエアロゾル（粒子）の噴射速度等をさらに好適に制御することができる。
【００２３】
本発明の成膜装置では、前記基材が設置されるステージは、前記ノズルに対し、ｘｙ方向に任意に稼働可能であることが好ましい。
【００２４】
これにより、複雑なパターンの被膜であっても、容易かつ確実に形成することができる。
【００２５】
本発明の成膜装置では、前記ガイド部材により前記粒子を前記排気口に導く際に、前記基材が設置されるステージと、前記ノズルとを、相対的に移動させるように構成されていることが好ましい。
【００２６】
これにより、基材に不本意な粒子の付着が生じることをより確実に防止することができる。
【００２７】
本発明の時計用外装部品の製造方法は、本発明の成膜装置を用いて時計用外装部品を製造することを特徴とする。
【００２８】
これにより、材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい方法で、美的外観に優れた時計用外装部品を効率よく製造することができる時計用外装部品の製造方法を提供することができる。
【００２９】
本発明の時計用外装部品は、本発明の成膜装置を用いて製造されたことを特徴とする時計用外装部品。
【００３０】
これにより、美的外観に優れ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい時計用外装部品を提供することができる。
【００３１】
本発明の時計用外装部品は、本発明の方法を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、美的外観に優れ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい時計用外装部品を提供することができる。
【００３２】
本発明の時計は、本発明の時計用外装部品を備えたことを特徴とする。
これにより、美的外観に優れ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい時計用外装部品を備えた時計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の成膜装置の好適な実施形態を模式的に示す縦断面側面図であり、成膜時の状態を示す図である。
【図２】本発明の成膜装置の好適な実施形態を模式的に示す縦断面側面図であり、成膜の待機時の状態を示す図である。
【図３】成膜装置が備える解砕器の構成の一例を示す縦断面側面図である。
【図４】図１、図２に示す成膜装置の主要部のブロック図である。
【図５】本発明の時計用外装部品の製造方法の好適な実施形態について、各工程を模式的に示す断面図である。
【図６】本発明の時計用外装部品をカバーガラスに適用した場合の好適な実施形態を示す模式的な平面図である。
【図７】本発明の時計（携帯時計）の好適な実施形態を示す部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明の成膜装置、時計用外装部品の製造方法、時計用外装部品および時計を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３５】
＜＜成膜装置＞＞
まず、成膜装置について説明する。
【００３６】
図１、図２は、本発明の成膜装置の好適な実施形態を模式的に示す縦断面側面図、図３は、成膜装置が備える解砕器の構成の一例を示す縦断面側面図、図４は、図１、図２に示す成膜装置の主要部のブロック図である。特に、図１は、成膜時の状態を示す図であり、図２は、成膜の待機時の状態を示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１において、互いに直交する３つの軸として、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を図示している。ｘ軸は、水平方向のうちの一方向に沿った軸であり、ｙ軸は、水平方向であって前記ｘ軸に対し垂直な方向に沿った軸であり、ｚ軸は、鉛直方向（上下方向）に沿った軸である。また、図示した各矢印の先端側を「正側（＋側）」、基端側を「負側（−側）」とする。また、図１中の上側を「上（上方）」と言い、下側を「下（下方）」と言う。
【００３７】
成膜装置１は、別途用意した粒子Ｐ３１を気体中に分散させてなるエアロゾルをノズルから噴射し、成膜を行う装置である。
【００３８】
成膜装置１は、エアロゾル発生器１５と、解砕器４と、成膜室１６と、連結管２と、連結管８と、ガス供給手段３と、圧力調整手段５と、移動手段６と、制御部７、ガイド部材９とを備えている。
【００３９】
エアロゾル発生器１５は、気密性を維持することができるよう構成され、その内部に粒子Ｐ３１を収納することができる。
【００４０】
解砕器４は、連結管８によりエアロゾル発生器１５と連結している。
解砕器４は、エアロゾル発生器１５で発生したエアロゾル中に含まれる粒子Ｐ３１を解砕する機能を有する。
【００４１】
成膜室１６は、基材Ｐ１に対して被膜Ｐ３を形成する部位である。成膜室１６は、エアロゾル発生器１５、解砕器４と独立して設けられている。この成膜室１６も、気密性を維持することができるよう構成され、その内部に基材Ｐ１を収納することができる。
【００４２】
なお、成膜室１６内の室温は、例えば、水冷により、すなわち、配管を通過する冷媒により、２５℃以上３０℃以下に調整されている。
【００４３】
連結管２は、解砕器４と成膜室１６とを連結するものであり、その内腔部２２が、粒子Ｐ３１が通過する流路として機能する。
【００４４】
連結管２は、その一端に開口した第１の開口部（一端開口部）２５が解砕器４内に臨んでおり、他端に開口した第２の開口部（他端開口部）２１が成膜室１６内に臨んでいる。
【００４５】
このような構成により、エアロゾル発生器１５と成膜室１６とは、連結管８、解砕器４および連結管２を介して、連通する。
【００４６】
第２の開口部２１は、成膜室１６に収納された基材Ｐ１の面方向に対して平行に配されている。そして、連結管２（内腔部２２）を通過する粒子Ｐ３１は、第２の開口部２１から基材Ｐ１に吹き付けられる。これにより、被膜Ｐ３が形成される。このように、連結管２では、第２の開口部２１側の部分がノズル部２４として機能する。
【００４７】
なお、連結管２の平均内径は、特に限定されないが、例えば、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であるのが好ましい。また、第２の開口部２１の内径は、特に限定されないが、例えば、０．１ｍｍ以上５ｍｍ以下であるのが好ましい。
【００４８】
これにより、連結管２内における粒子Ｐ３１の搬送性を特に優れたものとすることができる。
【００４９】
また、連結管２の構成材料としては、特に限定されず、例えば、ステンレス鋼等のような金属材料を用いることができる。
【００５０】
また、連結管２の外周部には、当該連結管２を加熱する加熱機構９０が設けられているのが好ましい。この加熱機構９０により、連結管２を通過する粒子Ｐ３１が連結管２−内周部（内壁）に付着するのを防止することができる。なお、加熱温度としては、特に限定されず、例えば、１００℃以上３００℃以下が好ましく、２５０℃以上３００℃以下がより好ましい。
【００５１】
図１、図２に示すように、ガス供給手段３は、エアロゾル発生器１５内にガスを供給するものである。なお、この供給量としては、特に限定されず、例えば、１Ｌ／分以上９０Ｌ／分以下であるのが好ましい。
【００５２】
ガス供給手段３は、ガスが充填されたタンク３１と、タンク３１とエアロゾル発生器１５とを連結する連結管３２と、連結管３２の途中に設置された電磁弁３３とを有している。
【００５３】
タンク３１は、ガスを気密的に貯留することができるものである。
タンク３１に貯留されるガスとしては、特に限定されず、例えば、窒素ガスを用いることができ、その他、ヘリウムやアルゴン等のような不活性ガスも用いることができる。また、粒子Ｐ３１として金属酸化物で構成されたものを用いる場合には、当該ガスとして、酸素を含むものを好適に用いることができる。これにより、粒子Ｐ３１の不本意な還元を防止することができる。
【００５４】
タンク３１とエアロゾル発生器１５とは、連結管３２を介して、連通している。この連結管３２は、硬質のものであってもよいし、可撓性を有するものであってもよい。
【００５５】
また、連結管３２には、その長手方向の途中に電磁弁３３が設置されている。電磁弁３３は、連結管３２を開閉するものである。そして、電磁弁３３が開状態のときに、タンク３１とエアロゾル発生器１５とが連通する。これにより、タンク３１からエアロゾル発生器１５へのガスの供給が行われる。また、電磁弁３３が閉状態のときに、タンク３１とエアロゾル発生器１５との連通が遮断される。これにより、タンク３１からエアロゾル発生器１５へのガスの供給が停止する。
【００５６】
タンク３１からエアロゾル発生器１５にガスが供給されることにより、エアロゾル発生器１５に収納された粒子Ｐ３１がガスに分散したエアロゾルが発生する。
このようにしてエアロゾル発生器１５内で発生したエアロゾルは、タンク３１からのガスがキャリアガスとして機能することにより、連結管８を介して、解砕器４内に導入される。
【００５７】
図３に示すように、解砕器４は、粒子Ｐ３１を含むエアロゾルが導入される容器４１と、連結管８から粒子Ｐ３１を含むエアロゾルが導入されるエアロゾル導入口４２と、粒子Ｐ３１の解砕を行う解砕具４３と、解砕された粒子Ｐ３１を含むエアロゾルを連結管２に導出するエアロゾル導出口４４と、解砕具４３に粒子Ｐ３１が付着した場合にこれを除去するブラシ４５と、容器４１内にガスを導入するガス導入口４６ａ、４６ｂと、超音波振動装置４７とを備えている。
【００５８】
解砕器４においては、容器４１内にエアロゾル導入口４２が設置され、その先に円筒型の解砕具４３が図示しないモーターによって軸回転が可能な状態で配置されている。エアロゾル導入口４２の開口は、解砕具４３の円筒軸方向が長辺となるスリット状となっている。当該スリットの幅は、特に限定されないが、１ｍｍ以下であるのが好ましい。
【００５９】
解砕具４３としては、エアロゾルが衝突する円筒側面が炭化チタン等の高硬度材料で構成されたものであるのが好ましい。
【００６０】
解砕具４３の上方には、エアロゾル導出口４４が配置されている。また、解砕具４３に接するようにブラシ４５が設置されている。解砕具４３からエアロゾル導出口４４にかけての空間に、ガス導入口４６ａ、４６ｂが配置され、エアロゾル導出口４４の外周部には超音波振動装置４７が設置されている。
【００６１】
エアロゾル発生器１５において発生させたエアロゾルをエアロゾル導入口４２にて加速させて、解砕具４３の円筒側面に衝突させる。図中の太い矢印はエアロゾルの進行方向を示している。解砕具４３は図の矢印のように時計周り方向に回転する。したがって導入される位置を次々と変化させるエアロゾルは解砕具４３の円筒側面に、常に衝突面を変えながら衝突する。これにより、エアロゾル発生器１５において発生させたエアロゾルが凝集粒を比較的多く含むものであっても、当該凝集粒を効率よく解砕することができる。
【００６２】
円筒側面には、多少エアロゾル中の粒子Ｐ３１が付着することがあるが、付着粉はブラシ４５にてこすり落とされ、容器４１の底に蓄積される。解砕具４３に衝突して凝集粒が解砕され、一次粒子に富むエアロゾルに変換される。エアロゾル導入口４２から導入されるエアロゾルは解砕具４３の円筒側面に斜めに衝突するため、エアロゾルの大部分は円筒側面の接線方向に沿って反射するものの、ある程度の拡散幅を持っているため、エアロゾル導出口４４の内壁に衝突し付着することが考えられるが、これを防ぐためにガス導入口４６ａ、４６ｂからガスを導入し、エアロゾル導出口４４の内面にカーテン状のガス膜を形成させて付着を防いだり、超音波振動装置４７を運転させてエアロゾル導出口４４を振動させ、付着が進行しないように工夫することが好適である。ガス導入口４６ａ、４６ｂからの小さな矢印は、ここから導入されるガスの流れを示している。さらに、導入するガスをあらかじめイオン化させておくことで、解砕された粒子Ｐ３１の表面電荷を中和して、エアロゾル中で再凝集を防止するのが好ましい。
【００６３】
このようにして一次粒子に富んだエアロゾルに変換され導出されたエアロゾルは、図示しないノズルへと導かれ、したがって効率よく、また欠陥が少ない状態で長時間に亘って不具合なく構造物を形成させることが可能となる。
【００６４】
解砕器４において一次粒子に富んだものに変換されたエアロゾルは、連結管２に導入され、第２の開口部２１から基材Ｐ１に吹き付けられる。そして、粒子Ｐ３１は、基材Ｐ１に衝突して付着することとなり、その結果、被膜Ｐ３が形成される。
【００６５】
圧力調整手段５は、成膜室１６内の圧力を、エアロゾル発生器１５内の圧力、解砕器４内の圧力よりも低くするものである。
【００６６】
このような圧力調整手段（第１の圧力調整手段）５を、前述したガス供給手段（第２の圧力調整手段）３とともに備えることにより、成膜室１６内とエアロゾル発生器１５内との圧力差をより好適に調整することができ、ノズル部２４からのエアロゾル（粒子Ｐ３１）の噴射速度等をより好適に制御することができる。また、成膜室１６内の不本意な圧力変動をより効果的に抑制することができ、より安定した成膜環境を維持することができる。
【００６７】
図１、図２に示すように、圧力調整手段５は、成膜室１６内を吸引するポンプ５１と、ポンプ５１と成膜室１６とを連結する連結管５２と、連結管５２の途中に設置された電磁弁５３とを有している。
【００６８】
ポンプ５１は、成膜室１６内のガスＧ２を吸引するものである。この吸引により、成膜室１６内のガスＧ２が、連結管５２の成膜室１６側の端部である排気口５２１から連結管５２の内部に導入され、成膜室１６の外部に排出される。よって、成膜室１６内の圧力がエアロゾル発生器１５内の圧力、解砕器４内の圧力よりも確実に低くなる。これにより、粒子Ｐ３１が１６内に確実に流出することができ、よって、被膜Ｐ３の形成を確実に行うことができる。
【００６９】
なお、成膜室１６内の圧力としては、エアロゾル発生器１５内の圧力等にもよるが、例えば、エアロゾル発生器１５内の圧力が１０ｋＰａ以上１ＭＰａ以下である場合、１０ｋＰａ未満とすることができる。
【００７０】
これにより、ノズル部２４からのエアロゾル（粒子Ｐ３１）の噴射速度等をさらに好適に制御することができる。
【００７１】
また、ポンプ５１が排圧１０−５Ｐａまで可能なものである場合、欠陥の発生が防止された被膜Ｐ３をより速い成膜速度で形成することができる。また、後に詳述するガイド部材９による粒子Ｐ３１の排気口５２１への誘導をより好適に行うことができる。
【００７２】
また、ポンプ５１としては、特に限定されず、例えば、ターボ分子ポンプ、ドライポンプ、メカニカルブースターポンプ、ロータリーポンプ等を用いることができる。
【００７３】
ポンプ５１は、連結管５２を介して、成膜室１６と連結されている。この連結管５２は、硬質のものであってもよいし、可撓性を有するものであってもよい。
【００７４】
また、連結管５２には、その長手方向の途中に電磁弁５３が設置されている。電磁弁５３は、連結管５２を開閉するものである。そして、電磁弁５３が開状態のときに、ポンプ５１の吸引力により、成膜室１６内を吸引することができ、よって、成膜室１６内を減圧することができる。また、電磁弁５３が閉状態のときに、ポンプ５１の吸引力が成膜室１６内に及ぶのが阻止される。
【００７５】
図１、図２に示すように、移動手段６は、基材Ｐ１を第２の開口部２１に対し、相対的に移動させるものである。図１、図２、図４に示すように、移動手段６は、基材Ｐ１が設置されるステージ（テーブル）６１と、ステージ６１をｘ軸方向に向かって移動させるｘ軸モーター６２ｘと、ｘ軸モーター６２ｘの駆動を制御するｘ軸モータードライバー６３ｘと、ステージ６１をｙ軸方向に向かって移動させるｙ軸モーター６２ｙと、ｙ軸モーター６２ｙの駆動を制御するｙ軸モータードライバー６３ｙと、ステージ６１をｚ軸方向に向かって移動させるｚ軸モーター６２ｚと、ｚ軸モーター６２ｚの駆動を制御するｚ軸モータードライバー６３ｚとを有している。
【００７６】
ステージ６１は、例えばステンレス鋼等のような金属材料で構成された板状をなす部材である。このステージ６１は水平に支持されている。
【００７７】
また、ｘ軸モーター６２ｘは、ｘ軸モータードライバー６３ｘと電気的に接続されており、ｙ軸モーター６２ｙは、ｙ軸モータードライバー６３ｙと電気的に接続されており、ｚ軸モーター６２ｚは、ｚ軸モータードライバー６３ｚと電気的に接続されている。
【００７８】
このように、ステージ６１が、ノズル部２４に対しｘｙ方向に任意に稼働可能であると、基材Ｐ１の所望の部位に所望の量だけ粒子Ｐ３１を容易かつ確実に供給することができ、複雑なパターンの被膜Ｐ３であっても、容易かつ確実に形成することができる。
【００７９】
また、ステージ６１が、ノズル部２４に対しｚ方向に任意に稼働可能であることにより、基材Ｐ１の表面（被膜Ｐ３が形成されるべき表面）に比較的大きい凹凸がある場合であっても、好適に成膜を行うことができる。
【００８０】
ところで、通常、粒子を気体中に分散させてなるエアロゾルをノズルから噴射し成膜を行う成膜装置においては、当該成膜装置の立ち上げ時（電源投入時）等には、成膜室へのエアロゾル（粒子）の供給量が安定化するまでに所定時間を要する。また、成膜室へのエアロゾル（粒子）の供給量は、急激に変更することが困難であり、また、成膜室へのエアロゾル（粒子）の供給を、いったん中止した後に再開しようとした場合、成膜装置の立ち上げ時と同様に、成膜室へのエアロゾル（粒子）の供給量が安定化するまでに所定時間を要する。
【００８１】
したがって、粒子を気体中に分散させてなるエアロゾルをノズルから噴射し成膜を行う成膜装置においては、基材の目的とする部位に成膜していない場合にも、連続的に成膜室にエアロゾル（粒子）を所定の供給量で供給する必要がある。
【００８２】
しかしながら、このように目的とする成膜に利用されずに、成膜室に導入された粒子は、基材の製膜すべきでない部位に付着したり、成膜室の不本意な部位に付着することとなる。
【００８３】
このような問題を防止する目的で、例えば、防着板（シャッター部材）を成膜室に設置することも考えられるが、このような場合、以下のような問題がある。すなわち、前述したように、粒子を気体中に分散させてなるエアロゾルをノズルから噴射し成膜を行う成膜装置においては、基材の目的とする部位に成膜していない場合にも、連続的に成膜室にエアロゾル（粒子）を所定の供給量で供給する必要があるため、比較的短時間で、防着板（シャッター部材）に多量の粒子が付着することとなる。このため、ノズルと防着板との間隔が短時間で短くなり、粒子がノズルに詰まったり、防着板に付着しきれなかった粒子が脱落し、成膜室を汚染する等の問題を生じやすくなる。また、防着板（シャッター部材）の交換等のメンテナンスを頻繁に行う必要があるため、生産性が著しく低下する。
【００８４】
これに対し、成膜装置１では、必要時に、粒子Ｐ３１を排気口５２１へと導くガイド部材９を備えているため、上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、ガイド部材９を備えることにより、成膜時以外の必要時に、粒子Ｐ３１が基材Ｐ１に衝突し、基材Ｐ１等に粒子Ｐ３１が不本意に堆積したり、成膜室１６内に粒子が滞留したりすることを確実に防止することができる。その結果、所望の形状、パターンの成膜を行うことができる。
【００８５】
図示の構成では、ガイド部材９は、粒子Ｐ３１が流れる中空部を有する管状をなすものである。
【００８６】
このような構造であることにより、ガイド部材９の内部に粒子Ｐ３１を取り込むことができ、かつ、いったん取り込まれた粒子Ｐ３１が不本意に漏洩することが効果的に防止されるため、粒子Ｐ３１が不本意な部位に付着することを、より効果的に防止することができる。また、中空部に粒子Ｐ３１を含むエアロゾルを取り込むことにより、中空部内において、排気口５２１側へと向かうガス流が効率よく発生する。このため、ガイド部材９への粒子Ｐ３１の付着をより効果的に防止することができるとともに、粒子Ｐ３１の成膜室１６外部への排出効率も向上する。
【００８７】
ノズル部２４からのエアロゾルの供給方向と、ガイド部材９の粒子Ｐ３１が接触する表面の法線とのなす角θは、４０°以上であるのが好ましく、４５°以上８５°以下であるのがより好ましい。
【００８８】
これにより、ガイド部材９への粒子Ｐ３１の付着をより効果的に防止することができる。その結果、粒子Ｐ３１の成膜室１６外部への排出効率を特に優れたものとすることができるとともに、成膜装置１のメンテナンスの頻度を少なくすることができる。また、成膜室１６内での粒子Ｐ３１の滞留等をさらに効果的に防止することができ、被膜Ｐ３を有する製造物の歩留まりを向上させることができる。
【００８９】
ガイド部材９は、いかなる材料で構成されたものであってもよく、ガイド部材９の構成材料としては、例えば、ステンレス鋼等の各種金属材料、炭化チタン等のセラミックス材料、各種樹脂材料等が挙げられる。
【００９０】
また、ガイド部材９の粒子Ｐ３１が接触しうる表面には、粒子Ｐ３１の付着を防止する表面処理が施されていてもよい。
【００９１】
これにより、ガイド部材９への粒子Ｐ３１の付着をより効果的に防止することができる。その結果、粒子Ｐ３１の成膜室１６外部への排出効率を特に優れたものとすることができるとともに、成膜装置１のメンテナンスの頻度を少なくすることができる。
【００９２】
前記表面処理は、粒子Ｐ３１の付着を防止するものであればいかなるものであってもよいが、付着防止膜の形成であるのが好ましい。
【００９３】
これにより、ガイド部材９への粒子Ｐ３１の付着をさらに効果的に防止することができる。その結果、粒子Ｐ３１の成膜室１６外部への排出効率をさらに優れたものとすることができるとともに、成膜装置１のメンテナンスの頻度をさらに少なくすることができる。また、ガイド部材９の形状が複雑なものであっても、前述したような効果を容易かつ確実に得ることができる。
【００９４】
付着防止膜の構成材料としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素系樹脂、ＤＬＣ（ダイヤモンド様炭素）等が挙げられる。
【００９５】
付着防止膜の厚さは、特に限定されないが、５０μｍ以上３ｍｍ以下であるのが好ましく、１００μｍ以上１ｍｍ以下であるのがより好ましい。
【００９６】
これにより、ガイド部材９の生産コストを抑制しつつ、より長期間にわたって前述した効果をより安定的に得ることができる。
【００９７】
ガイド部材９により粒子Ｐ３１を排気口５２１へと導くタイミングとしては、例えば、成膜装置１の立ち上げ時（電源投入時）、複数の基材Ｐ１を用いる場合における基材Ｐ１の交換時等が挙げられる。
【００９８】
また、ガイド部材９は、ｙ軸方向に向かって移動するためのモーター９２と、モーター９２の駆動を制御するモータードライバー９３とを有している。
【００９９】
モーター９２は、モータードライバー９３と電気的に接続されている。
【０１００】
ガス供給手段３、圧力調整手段５、移動手段６、ガイド部材９等の各作動は、それぞれ、制御部７により制御される。制御部７は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）が内蔵されたパーソナルコンピューター（ＰＣ）である。
【０１０１】
図４に示すように、制御部７は、ガス供給手段３の電磁弁３３と、圧力調整手段５のポンプ５１および電磁弁５３と、移動手段６のｘ軸モータードライバー６３ｘ、ｙ軸モータードライバー６３ｙおよびｚ軸モータードライバー６３ｚと、ガイド部材９のモータードライバー９３と、それぞれ電気的に接続されている。そして、制御部７は、これらをそれぞれ独立して作動させることができる。なお、制御プログラムは、制御部７に内蔵された記憶部（記録媒体）７１に予め記憶されている。
【０１０２】
なお、記憶部７１は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory：揮発性、不揮発性のいずれをも含む）、ＦＤ（Floppy Disk（Floppyは登録商標））、ＨＤ（Hard Disk）、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read-Only Memory）等のような、磁気的、光学的記録媒体、もしくは半導体メモリーで構成されている。
【０１０３】
次に、成膜装置１の作動について、詳細に説明する。
成膜に際して、図１に示すように、連結管２の第２の開口部２１を基材Ｐ１に対向するように、ステージ６１を連結管２の第２の開口部２１に対し位置合わせを行なう。なお、この位置合わせは、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラを用いて、当該ＣＣＤカメラで撮像された画像に基づいて行われる。
【０１０４】
また、このとき、成膜装置１では、圧力調整手段５が作動している。これにより、成膜室１６内の圧力がエアロゾル発生器１５内の圧力よりも低くなる。なお、この状態は、被膜Ｐ３の形成が完了するまで維持される。
成膜装置１では、ガス供給手段３も作動している。
【０１０５】
そして、移動手段６を作動させる、すなわち、ステージ６１をｘ軸方向、ｙ軸方向に移動させる。
【０１０６】
以上のようにガス供給手段３、圧力調整手段５、移動手段６等が作動することにより、エアロゾル発生器１５内で発生した粒子Ｐ３１を含むエアロゾルは、成膜室１６に向かって連結管２を確実に通過する。粒子Ｐ３１は、キャリアガスによって、円滑に連結管２を通過することができる。その後、粒子Ｐ３１は、第２の開口部２１から排出されて、基材Ｐ１の所望の部位に吹き付けられて付着する。
【０１０７】
また、成膜装置１が作動している状態で、粒子Ｐ３１を基材Ｐ１に付着させたくない場合（例えば、成膜装置１の立ち上げ時（電源投入時）、複数の基材Ｐ１を用いる場合における基材Ｐ１の交換時等）には、ガイド部材９を作動させることにより、第２の開口部２１から供給された粒子Ｐ３１を排気口５２１へと導き、粒子Ｐ３１が基材Ｐ１に衝突することを確実に防止することができる。
【０１０８】
これにより、基材Ｐ１の所望の部位に選択的に所定量の粒子Ｐ３１を付着させることができ、その結果、所望の形状、パターンを有する被膜Ｐ３を迅速に形成することができる。また、上記のような成膜装置１を用いることにより、従来の気相成膜等の方法に比べて、材料の無駄が少なく、環境への負荷が小さい方法で成膜を行うことができる。
【０１０９】
また、ガイド部材９により粒子Ｐ３１を排気口５２１に導く際に、基材Ｐ１が設置されるステージ６１と、ノズル部２４とを、相対的に移動させるのが好ましい。
【０１１０】
これにより、基材Ｐ１に不本意な粒子Ｐ３１の付着が生じることをより確実に防止することができる。
【０１１１】
特に、図２に示す構成では、ステージ６１が、ノズル部２４との距離が大きくなるように、ｚ軸正方向に移動している。
これにより、前述したような効果がより顕著に発揮される。
【０１１２】
＜＜時計用外装部品の製造方法＞＞
次に、本発明の時計用外装部品の製造方法について説明する。
【０１１３】
本発明において、時計用外装部品とは、時計の構成部品であり、時計の使用時において、外部から視認可能な部品のことをいい、時計の外部に露出して用いられるもののほか、時計の内部に収納した部品も含む概念である。
【０１１４】
時計用外装部品としては、例えば、カバーガラス（風防ガラス）、文字板、針（地震、分針、秒針等）、ベゼル、ケース、裏蓋、りゅうず、円盤針、日車、曜車、月齢板等の回転表示体等が挙げられる。
【０１１５】
図５は、本発明の時計用外装部品の製造方法の好適な実施形態について、各工程を模式的に示す断面図である。
【０１１６】
図５に示すように、本実施形態の製造方法は、基材Ｐ１を準備する基材準備工程（１ａ）と、基材Ｐ１の表面に下地層Ｐ２を形成する下地層形成工程（１ｂ）と、下地層の表面に被膜Ｐ３を形成する被膜形成工程（１ｃ）と、基材Ｐ１の被膜Ｐ３が設けられた面側に反射防止膜Ｐ４を形成する反射防止膜形成工程（１ｄ）とを有している。
【０１１７】
＜基材準備工程＞
基材準備工程では、基材Ｐ１を準備する（１ａ）。
【０１１８】
基材Ｐ１は、いかなる材料で構成されたものであってもよいが、透明性を有するものであるのが好ましい。
【０１１９】
これにより、例えば、時計用外装部品Ｐ１０の美的外観を特に優れたものとすることができる。また、例えば、時計用外装部品Ｐ１０を備えた時計において、時計用外装部品Ｐ１０の被膜Ｐ３が設けられた面とは反対側の面が外表面側を向くように配置した場合であっても、使用者等が被膜Ｐ３を好適に視認することができ、被膜Ｐ３を備えることによる効果を効果的に発揮させつつ、被膜Ｐ３等が摩擦等により損傷することをより確実に防止することができ、当該時計の耐久性を特に優れたものとすることができる。なお、本明細書において、「時計用外装部品Ｐ１０の美的外観」とは、時計用外装部品Ｐ１０を単独で観察した際の美的外観に加え、時計用外装部品Ｐ１０が時計に組み込まれた状態での当該部位についての美的外観も含むものである。
【０１２０】
なお、本明細書において、「透明性を有する」とは、可視光の少なくとも一部を透過するものであればよいが、光の透過率（波長：６００ｎｍの光の透過率）が、８５％以上のものであるのが好ましく、９０％以上のものであるのがより好ましい。
【０１２１】
基材Ｐ１の好適な構成材料としては、例えば、サファイアガラス、石英、プラスチック等が挙げられる。
【０１２２】
基材Ｐ１がこれらの群から選択される１種または２種以上を含む材料で構成されたものである場合、時計用外装部品Ｐ１０の美的外観をさらに優れたものとすることができる。また、時計用外装部品Ｐ１０を備えた時計の耐久性をさらに優れたものとすることができる。
【０１２３】
基材Ｐ１は、各部位で均一な組成を有するものであってもよいし、異なる組成を有するものであってもよい。例えば、厚さ方向に組成の異なる層が積層された積層体や、傾斜的に組成が変化する傾斜材料で構成されたものであってもよい。
【０１２４】
本工程で用意する基材Ｐ１は、水洗、アルカリ洗、酸洗、有機溶媒による洗浄等の清浄化処理が施されたものであってもよい。
【０１２５】
また、基材Ｐ１上に形成される層との密着性向上等を目的として表面処理が施されたものであってもよい。
【０１２６】
＜下地層形成工程＞
下地層形成工程では、基材Ｐ１の表面に下地層Ｐ２を形成する（１ｂ）。
【０１２７】
これにより、例えば、基材Ｐ１と被膜Ｐ３との密着性（下地層Ｐ２を介した密着性）を特に優れたものとすることができる。また、例えば、下地層Ｐ２を着色層として機能させることにより、時計用外装部品Ｐ１０の美的外観のさらなる向上を図ることもできる。また、下地層Ｐ２をギャップ層として機能させることにより、被膜Ｐ３が浮き上がったような立体感のある外観を得ることができる。
【０１２８】
下地層Ｐ２の平均厚さは、０．０１μｍ以上１０μｍ以下であるのが好ましい。
これにより、下地層Ｐ２は、前述したような機能をより効果的に発揮することができる。
【０１２９】
下地層Ｐ２は、いかなる材料で構成されたものであってもよく、下地層Ｐ２の構成材料としては、例えば、ＴｉＮ、ＡｌＮ、ＳｉＮ、ＧａＮ、ＳｉＯ、ＳｉＯＮ等が挙げられるが、下地層Ｐ２は、ＴｉＮ、ＡｌＮおよびＳｉＮよりなる群から選択される１種または２種以上を含む材料で構成されたものであるのが好ましい。
【０１３０】
これにより、基材Ｐ１と被膜Ｐ３との密着性（下地層Ｐ２を介した密着性）、特に、被膜Ｐ３が金属材料や金属酸化物、金属窒化物で構成されたものである場合の密着性を特に優れたものとすることができる。また、ＴｉＮ、ＡｌＮおよびＳｉＮは、前述したような厚さで、高い透明性を有する材料であるため、時計用外装部品Ｐ１０全体としての外観に悪影響を及ぼすことをより効果的に防止することができる。
【０１３１】
なお、図示の構成では、基材Ｐ１の被膜Ｐ３が設けられた側の面全体に下地層Ｐ２を形成しているが、例えば、下地層Ｐ２は、被膜Ｐ３と接触する部位のみに選択的に形成してもよい。また、下地層Ｐ２は、基材Ｐ１の被膜Ｐ３で被覆される部位のうちの一部のみに設けられるものであってもよい。
【０１３２】
また、図示の構成では、１層の下地層Ｐ２を形成しているが、２層以上の下地層を形成してもよい。
【０１３３】
下地層Ｐ２は、各部位で均一な組成を有するものであってもよいし、異なる組成を有するものであってもよい。例えば、厚さ方向に組成の異なる層が積層された積層体や、傾斜的に組成が変化する傾斜材料で構成されたものであってもよい。
【０１３４】
下地層Ｐ２は、例えば、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング、化学蒸着法（ＣＶＤ）等の気相成膜法（乾式めっき法）、湿式めっき法、ディッピング等により形成することができる。
【０１３５】
また、下地層Ｐ２は、被膜Ｐ３と同様の形成方法、すなわち、粒子（下地層Ｐ２の構成材料で構成された粒子）が気体中に分散してなるエアロゾルをノズルから、基材Ｐ１に向けて吹き付けて、その衝撃力によって下地層Ｐ２を形成する方法を採用してもよい。これにより、所望の部位に選択的かつ効率よく下地層Ｐ２を形成することができる。
【０１３６】
＜被膜形成工程＞
次に、下地層Ｐ２の表面の一部に、被膜Ｐ３を形成する（１ｃ）。
特に、被膜Ｐ３の形成は、前述したような本発明の成膜装置を用いて行う。
【０１３７】
これにより、美的外観に優れ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい時計用外装部品Ｐ１０を提供することができる。すなわち、所望の部位に所望の量だけ粒子Ｐ３１を堆積させることができ、形成される被膜Ｐ３を、確実に所望の形状、パターンを有するものとすることができ、また、目的とする部位に選択的に成膜をすることができるため、材料の無駄も抑えることができる。また、マスク形成等の前処理、不要な成膜部分の除去等の後処理を、省略または簡略化することができる。また、優れた質感を有する材料で構成された被膜Ｐ３を形成することができる。
【０１３８】
また、このような方法では、揮発性溶媒等を用いる必要がないので、時計用外装部品Ｐ１０が時計に組み込まれた状態で、揮発性成分（揮発性有機化合物）が揮発することによる問題（ムーブメントの故障、不具合の発生、カバーガラス等の曇り等）の発生を効果的に防止することができる。
【０１３９】
粒子Ｐ３１の構成材料としては、例えば、各種金属、各種金属酸化物、各種金属窒化物、各種金属炭化物、各種金属ホウ化物、各種金属硫化物、各種炭素材料、各種顔料、各種樹脂材料等が挙げられる。
【０１４０】
粒子Ｐ３１を構成する金属材料としては、例えば、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｃｒやこれらのうち少なくとも１種を含む合金等が挙げられるが、Ａｕを含むものであるのが好ましい。
【０１４１】
粒子Ｐ３１を構成する金属酸化物としては、例えば、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化クロム、酸化ケイ素等が挙げられる。
【０１４２】
粒子Ｐ３１を構成する金属窒化物としては、例えば、窒化チタン、窒化クロム、窒化ジルコニウム、窒化ハフニウム、窒化タンタル、窒化ケイ素等が挙げられる。
【０１４３】
粒子Ｐ３１を構成する金属炭化物としては、例えば、炭化チタン、炭化クロム、炭化ジルコニア、炭化アルミニウム、炭化カルシウム、炭化タングステン、炭化ハフニウム、炭化バナジウム、炭化タンタル、炭化ニオブ、炭化ケイ素等が挙げられる。
【０１４４】
粒子Ｐ３１を構成する金属ホウ化物としては、例えば、ホウ化ジルコニウム、ホウ化モリブデン等が挙げられる。
【０１４５】
粒子Ｐ３１を構成する金属硫化物としては、例えば、硫化亜鉛、硫化クロム、硫化カドミウム等が挙げられる。
【０１４６】
粒子Ｐ３１を構成する炭素材料としては、例えば、黒鉛、グラフェン、ダイヤモンド、カーボンナノチューブ、フラーレン等が挙げられる。
【０１４７】
粒子Ｐ３１を構成する顔料としては、例えば、以下のようなものを挙げることができる。
【０１４８】
すなわち、黒色顔料としては、例えば、ファーネスブラック、チャンネルブラック、アセチレンブラック、サーマルブラック等のカーボンブラック、酸化銅、二酸化マンガン、酸化チタン、アニリンブラック、活性炭、非磁性フェライト、マグネタイト等が挙げられる。
【０１４９】
また、黄色顔料としては、例えば、黄鉛、亜鉛黄、黄色酸化鉄、カドミウムイエロー、クロムイエロー、ハンザイエロー、ハンザイエロー１０Ｇ 、ベンジジンイエローＧ、ベンジジンイエローＧＲ、スレンイエロー、キノリンイエロー、パーメネントイエローＮＣＧ等が挙げられる。
【０１５０】
また、橙色顔料としては、例えば、赤色黄鉛、モリブデンオレンジ、パーマネントオレンジＧＴＲ 、ピラゾロンオレンジ、バルカンオレンジ、ベンジジンオレンジＧ、インダスレンブリリアントオレンジＲＫ、インダスレンブリリアントオレンジＧＫ等が挙げられる。
【０１５１】
赤色顔料としては、ベンガラ、カドミウムレッド、鉛丹、硫化水銀、ウオッチヤングレッド、パーマネントレッド４Ｒ、リソールレッド、ブリリアンカーミン３Ｂ、ブリリアンカーミン６Ｂ、デイポンオイルレッド、ピラゾロンレッド、ローダミンＢ レーキ、レーキレッドＣ、ローズベンガル、エオキシンレッド、アリザリンレーキ等が挙げられる。
【０１５２】
また、青色顔料としては、例えば、紺青、コバルトブルー、アルカリブルーレーキ、ビクトリアブルーレーキ、ファストスカイブルー、インダスレンブルーＢＣ、アニリンブルー、ウルトラマリンブルー、カルコオイルブルー、メチレンブルークロライド、フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、マラカイトグリーンオクサレレートなどが挙げられる。
【０１５３】
紫色顔料としては、マンガン紫、ファストバイオレットＢ、メチルバイオレットレーキ等が挙げられる。
【０１５４】
また、緑色顔料としては、例えば、酸化クロム、クロムグリーン、ピクメントグリーン、マラカイトグリーンレーキ、ファイナルイエローグリーンＧ等が挙げられる。
白色顔料としては、亜鉛華、酸化チタン、アンチモン白、硫化亜鉛等が挙げられる。
【０１５５】
体質顔料としては、バライト粉、炭酸バリウム、クレー、シリカ、ホワイトカーボン、タルク、アルミナホワイト等が挙げられる。
【０１５６】
樹脂材料としては、例えば、（メタ）アクリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、スチレン−（メタ）アクリル系樹脂、ロジンン変性樹脂、テルペン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、エポキシ樹脂、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、繊維素系樹脂（例えば、セルロースアセテートブチレート、ヒドロキシプロピルセルロース等）、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、ポリウレタン系樹脂、ウレア系樹脂等が挙げられる。
なお、粒子Ｐ３１として、異なる複数種の粒子を用いてもよい。
【０１５７】
粒子Ｐ３１の平均粒径は、１０ｎｍ以上１５０μｍ以下であるのが好ましく、１００ｎｍ以上１００μｍ以下であるのがより好ましい。
【０１５８】
これにより、時計用外装部品Ｐ１０の美的外観を特に優れたものとすることができる。また、基材Ｐ１と被膜Ｐ３との密着性（下地層Ｐ２を介した密着性）を特に優れたものとすることができ、時計用外装部品Ｐ１０の耐久性を特に優れたものとすることができる。また、被膜Ｐ３の形成効率が特に優れたものとなり、時計用外装部品Ｐ１０の生産性を特に優れたものとすることができる。
【０１５９】
なお、本明細書では、「平均粒径」とは、質量基準の平均粒径のことを指すものとする。この平均粒径は、例えば、エアロゾルのモビリティーを測定し、エアロダイナミック径を求めることにより得ることができる。粒径の測定には、例えば、ＴＳＩ社製微分型静電分級器等を用いることができる。なお、平均粒径は、走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡の測定結果から求めてもよい。
本工程の処理条件は、一定であってもよいし、経時的に変化するものであってもよい。
【０１６０】
例えば、粒子Ｐ３１の入射角や粒子Ｐ３１を含むエアロゾルの噴射圧力を、経時的に変化させることにより行ってもよい。これにより、形成される被膜Ｐ３の形状を好適に調整することができる。
【０１６１】
被膜Ｐ３は、時計用外装部品Ｐ１０が時計に組み込まれた状態において、観察可能な部位の一部に選択的に設けられるものであるのが好ましい。
【０１６２】
これにより、被膜Ｐ３自体が特定のパターンを有するものであることの効果や、被膜Ｐ３が設けられた部位と被膜Ｐ３が設けられていない部位との組み合わせによる効果により、時計用外装部品Ｐ１０、時計の美的外観を特に優れたものとすることができる。
【０１６３】
また、従来においては、時計用外装部品が時計に組み込まれた状態において、被膜が観察可能な部位の一部に選択的に設けられたものである場合に、時計用外装部品の製造時における材料の無駄が特に多くなる等の問題があったが、本発明によれば、このような問題の発生を確実に防止することができる。したがって、被膜Ｐ３が、時計用外装部品Ｐ１０が時計に組み込まれた状態において観察可能な部位の一部に選択的に設けられたものである場合に、本発明による効果がより顕著に発揮される。
【０１６４】
時計用外装部品Ｐ１０が時計に組み込まれた状態において、時計用外装部品Ｐ１０の観察可能な部位のうち、被膜Ｐ３が設けられている部位の占める面積率（時計用外装部品Ｐ１０の表面が平坦なものである場合には、当該面の法線方向から観察した際の面積率）は、特に限定されないが、７０％以下であるのが好ましく、２％以上５０％以下であるのがより好ましい。
これにより、前述したような効果がより顕著に発揮される。
【０１６５】
被膜Ｐ３の平均厚さは、０．０１μｍ以上３００μｍ以下であるのが好ましく、０．０５μｍ以上１６０μｍ以下であるのがより好ましく、０．１０μｍ以上７０μｍ以下であるのがさらに好ましい。
【０１６６】
これにより、時計用外装部品Ｐ１０の美的外観を特に優れたものとすることができる。また、時計用外装部品Ｐ１０の耐久性を特に優れたものとすることができる。また、時計用外装部品Ｐ１０の生産性を特に優れたものとすることができる。
【０１６７】
本工程で形成される被膜Ｐ３は、各部位で均一な組成を有するものであってもよいし、異なる組成を有するものであってもよい。例えば、時計用外装部品Ｐ１０は、異なる質感（例えば、異なる色彩）の複数種の被膜Ｐ３を所定のパターンで有するものであってもよい。これにより、時計用外装部品Ｐ１０の美的外観のさらなる向上を図ることができる。
【０１６８】
＜反射防止膜形成工程＞
反射防止膜形成工程では、基材Ｐ１の被膜Ｐ３が設けられた面側に反射防止膜Ｐ４を形成する（１ｄ）。
【０１６９】
これにより、外光の不本意な映り込みを効果的に防止することができ、時計用外装部品Ｐ１０の美的外観を特に優れたものとすることができる。
【０１７０】
また、時計用外装部品Ｐ１０がカバーガラス（風防ガラス）に適用される場合においては、上記のように美的外観を向上させる効果が得られるとともに、文字板の視認性も向上させることができ、時計全体としての美的外観を特に優れたものとすることができる。また、時刻等の識別性も向上する等、実用品としての機能も向上する。
【０１７１】
反射防止膜Ｐ４は、例えば、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング、化学蒸着法（ＣＶＤ）等の気相成膜法（乾式めっき法）、湿式めっき法、ディッピング等により形成することができる。
【０１７２】
反射防止膜Ｐ４の厚さは、特に限定されないが、０．２μｍ以上１０μｍ以下であるのが好ましく、０．３μｍ以上７μｍ以下であるのがより好ましい。
【０１７３】
これにより、時計用外装部品Ｐ１０が大型化、厚型化するのを効果的に防止しつつ、前述したような機能をより効果的に発揮することができる。
【０１７４】
なお、図示の構成では、基材Ｐ１の被膜Ｐ３が設けられた側の面全体に反射防止膜Ｐ４を形成しているが、例えば、反射防止膜Ｐ４は、基材Ｐ１の被膜Ｐ３が設けられた側の面の一部のみに選択的に設けられるものであってもよい。
【０１７５】
前述したような本発明の時計用外装部品の製造方法によれば、材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい方法で、美的外観に優れた時計用外装部品を効率よく製造することができる時計用外装部品の製造方法を提供することができる。
【０１７６】
＜＜時計用外装部品＞＞
次に、本発明の時計用外装部品について説明する。
【０１７７】
本発明の時計用外装部品は、前述した本発明の成膜装置を用いて製造されたものである。
【０１７８】
これにより、美的外観に優れ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい時計用外装部品を提供することができる。
【０１７９】
以下、本発明の時計用外装部品をカバーガラス（風防ガラス）に適用した場合の具体的な一例について説明する。
【０１８０】
図６は、本発明の時計用外装部品をカバーガラスに適用した場合の好適な実施形態を示す模式的な平面図である。
【０１８１】
図６に示すように、カバーガラスとしての本実施形態の時計用外装部品Ｐ１０は、平面視した際の外周部付近に選択的に被膜Ｐ３が設けられている。
【０１８２】
時計用外装部品は、時計に組み込まれた状態において、基材の被膜が設けられた面が、内側を向くように配置されるものであるのが好ましい。これにより、被膜の不本意な剥離等をより効果的に防止することができ、時計の耐久性を特に優れたものとすることができる。
【０１８３】
特に、図示の構成では、所定のパターン（唐草模様）で被膜が設けられている。このように、複雑なパターンの被膜Ｐ３であっても、本発明によれば、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さいものとして得ることができる。
【０１８４】
＜＜時計＞＞
次に、本発明の時計について説明する。
本発明の時計は、前述したような本発明の時計用外装部品を有するものである。
【０１８５】
これにより、美的外観に優れ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい時計用外装部品を備えた時計を提供することができる。
【０１８６】
また、時計全体としても、美的外観に優れたものとすることができ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さいものとすることができる。
【０１８７】
なお、本発明の時計は、少なくとも１つの時計用外装部品として、本発明の時計用外装部品を備えるものであればよく、それ以外の部品としては、公知のものを用いることができるが、以下に、本発明の時計の構成の一例について説明する。
【０１８８】
図７は、本発明の時計（腕時計）の好適な実施形態を示す断面図である。
図７に示すように、本実施形態の腕時計（携帯時計）Ｐ１００は、胴（ケース）Ｐ８２と、裏蓋Ｐ８３と、ベゼル（縁）Ｐ８４と、ガラス板（カバーガラス）Ｐ８５とを備えている。また、ケースＰ８２内には、時計用文字板Ｐ７と、太陽電池Ｐ９４と、ムーブメントＰ８１とが収納されており、さらに、図示しない針（指針）等が収納されている。
【０１８９】
ガラス板Ｐ８５は、通常、透明性の高い透明ガラスやサファイア等で構成されている。これにより、時計用文字板Ｐ７や針等の視認性を十分に優れたものとすることができるとともに、太陽電池Ｐ９４に十分な光量の光を入射させることができる。
ムーブメントＰ８１は、太陽電池Ｐ９４の起電力を利用して、指針を駆動する。
【０１９０】
図７中では省略しているが、ムーブメントＰ８１内には、例えば、太陽電池Ｐ９４の起電力を貯蔵する電気二重層コンデンサー、リチウムイオン二次電池や、時間基準源として水晶振動子や、水晶振動子の発振周波数をもとに時計を駆動する駆動パルスを発生する半導体集積回路や、この駆動パルスを受けて１秒毎に指針を駆動するステップモーターや、ステップモーターの動きを指針に伝達する輪列機構等を備えている。
【０１９１】
また、ムーブメントＰ８１は、図示しない電波受信用のアンテナを備えている。そして、受信した電波を用いて時刻調整等を行う機能を有している。
【０１９２】
太陽電池Ｐ９４は、光エネルギーを電気エネルギーに変換する機能を有する。そして、太陽電池Ｐ９４で変換された電気エネルギーは、ムーブメントの駆動等に利用される。
【０１９３】
太陽電池Ｐ９４は、例えば、非単結晶シリコン薄膜にｐ型の不純物とｎ型の不純物とが選択的に導入され、さらにｐ型の非単結晶シリコン薄膜とｎ型の非単結晶シリコン薄膜との間に不純物濃度の低いｉ型の非単結晶シリコン薄膜を備えたｐｉｎ構造を有している。
【０１９４】
胴Ｐ８２には巻真パイプＰ８６が嵌入・固定され、この巻真パイプＰ８６内にはりゅうずＰ８７の軸部Ｐ８７１が回転可能に挿入されている。
【０１９５】
胴Ｐ８２とベゼルＰ８４とは、プラスチックパッキンＰ８８により固定され、ベゼルＰ８４とガラス板Ｐ８５とはプラスチックパッキンＰ８９により固定されている。
【０１９６】
また、胴Ｐ８２に対し裏蓋Ｐ８３が嵌合（または螺合）されており、これらの接合部（シール部）Ｐ９３には、リング状のゴムパッキン（裏蓋パッキン）Ｐ９２が圧縮状態で介挿されている。この構成によりシール部Ｐ９３が液密に封止され、防水機能が得られる。
【０１９７】
りゅうずＰ８７の軸部Ｐ８７１の途中の外周には溝Ｐ８７２が形成され、この溝Ｐ８７２内にはリング状のゴムパッキン（りゅうずパッキン）Ｐ９１が嵌合されている。ゴムパッキンＰ９１は巻真パイプＰ８６の内周面に密着し、該内周面と溝Ｐ８７２の内面との間で圧縮される。この構成により、りゅうずＰ８７と巻真パイプＰ８６との間が液密に封止され防水機能が得られる。なお、りゅうずＰ８７を回転操作したとき、ゴムパッキンＰ９１は軸部Ｐ８７１と共に回転し、巻真パイプＰ８６の内周面に密着しながら周方向に摺動する。
【０１９８】
なお、上記の説明では、時計の一例として、ソーラー電波時計としての腕時計（携帯時計）を挙げて説明したが、本発明は、腕時計以外の携帯時計、置時計、掛け時計等の他の種類の時計にも同様に適用することができる。また、本発明は、ソーラー電波時計を除くソーラー時計や、ソーラー電波時計を除く電波時計等、いかなる時計にも適用することができる。
【０１９９】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記のようなものに限定されるものではない。
【０２００】
例えば、本発明の成膜装置、時計用外装部品、時計では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
【０２０１】
また、前述した実施形態では、ガイド部材が管状の構造を有するものである場合について代表的に説明したが、ガイド部材は、いかなる形状のものであってもよい。例えば、ガイド部材は、粒子を排気口へと導くガス流を生じる溝を備えた板状の部材等であってもよい、
また、前述した実施形態では、成膜室の圧力調整用の排気口が、ガイド部材によって導かれた粒子とともに成膜室のガスを排出する排気口も兼ねている構成について中心的に説明したが、成膜室の圧力調整用の排気口と、ガイド部材によって導かれた粒子を排出する排気口とは、別個のものであってもよい。
【０２０２】
また、前述した実施形態では、時計用外装部品が、基材、被膜に加え、下地層、反射防止膜を備える場合について中心的に説明したが、本発明の時計用外装部品は、基材と被膜とを備えるものであればよく、下地層、反射防止膜を備えていないものであってもよい。
【０２０３】
また、本発明の時計用外装部品の製造方法においては、必要に応じて、前処理工程、中間処理工程、後処理工程を行ってもよい。
【０２０４】
また、前述した実施形態では、本発明の成膜装置を用いて、時計用外装部品を製造する場合について中心的に説明したが、本発明の成膜装置は、時計用外装部品の製造に用いられるものでなくてもよい。
【０２０５】
また、成膜装置の連結管の開口部は、前述した実施形態ではｚ軸負方向を向いているが、これに限定されず、例えば、ｘ軸正方向、ｘ軸負方向、ｙ軸正方向、ｙ軸負方向またはｚ軸正方向を向いていてもよい。
【０２０６】
また、成膜装置の移動手段は、前記実施形態では基材を連結管のノズル部に対し移動させるよう構成されているが、これに限定されず、例えば、連結管のノズル部を基材に対し移動させるよう構成されていてもよい。
また、成膜装置は、ステージが回転可能に構成されていてもよい。
【０２０７】
また、前述した実施形態では、成膜装置が解砕器を備えるものとして説明したが、被膜の形成には、解砕器を備えていないものを用いてもよい。
【０２０８】
また、前述した実施形態では、成膜装置が連結管を加熱する加熱機構を備えるものとして説明したが、被膜の形成には、前記加熱機構を備えていないものを用いてもよい。
【符号の説明】
【０２０９】
Ｐ１００……腕時計（携帯時計）
Ｐ１０……時計用外装部品
Ｐ１……基材
Ｐ２……下地層
Ｐ３……被膜
Ｐ３１……粒子
Ｐ４……反射防止膜
Ｐ７……時計用文字板
Ｐ８１……ムーブメント
Ｐ８２……胴（ケース）
Ｐ８３……裏蓋
Ｐ８４……ベゼル（縁）
Ｐ８５……ガラス板（カバーガラス）
Ｐ８６……巻真パイプ
Ｐ８７……りゅうず
Ｐ８７１……軸部
Ｐ８７２……溝
Ｐ８８……プラスチックパッキン
Ｐ８９……プラスチックパッキン
Ｐ９１……ゴムパッキン（りゅうずパッキン）
Ｐ９２……ゴムパッキン（裏蓋パッキン）
Ｐ９３……接合部（シール部）
Ｐ９４……太陽電池
１……成膜装置
２……連結管
２１……第２の開口部（他端開口部）
２２……内腔部
２４……ノズル部
２５……第１の開口部（一端開口部）
３……ガス供給手段
３１……タンク
３２……連結管
３３……電磁弁
４……解砕器
４１……容器
４２……エアロゾル導入口
４３……解砕具
４４……エアロゾル導出口
４５……ブラシ
４６ａ……ガス導入口
４６ｂ……ガス導入口
４７……超音波振動装置
５……圧力調整手段
５１……ポンプ
５２……連結管
５２１……排気口
５３……電磁弁
６……移動手段
６１……ステージ（テーブル）
６２ｘ……ｘ軸モーター
６２ｙ……ｙ軸モーター
６２ｚ……ｚ軸モーター
６３ｘ……ｘ軸モータードライバー
６３ｙ……ｙ軸モータードライバー
６３ｚ……ｚ軸モータードライバー
７……制御部
７１……記憶部（記録媒体）
８……連結管
１５……エアロゾル発生器
１６……成膜室
９……ガイド部材
９２……モーター
９３……モータードライバー
９０……加熱機構
Ｇ２……ガス
【図１】
2015161003.tif 000003
【図２】
2015161003.tif 000004
【図３】
2015161003.tif 000005
【図４】
2015161003.tif 000006
【図５】
2015161003.tif 000007
【図６】
2015161003.tif 000008
【図７】
2015161003.tif 000009