(57)【要約】【課題】試料導入後に試料成分が流路内に残存するのを防止することができる試料導入装置及びこれを備えた分析装置を提供する。【解決手段】トラップ１７内に試料成分が捕集された状態とトラップ１７内に試料成分が捕集されていない状態とで、少なくともトラップ１７から分析部２までのキャリアガス流路４２を共用する。この場合、キャリアガス流路４２を介して分析部２に試料が導入された後も、当該キャリアガス流路４２内をキャリアガスが流れる期間がある。これにより、試料導入時に試料成分がキャリアガス流路４２内にあったとしても、その後にキャリアガス流路４２内を流れるキャリアガスにより試料成分を流路内から排除することができるため、試料導入後に試料成分が流路内に残存するのを防止することができる。【選択図】  図１Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分析部に試料を導入するための試料導入装置であって、
試料成分が充填されるサンプルチューブと、
前記サンプルチューブ内に充填された試料成分を加熱して脱離させる第１加熱部と、
前記サンプルチューブ内から脱離した試料成分を捕集するトラップと、
前記トラップ内の試料成分を加熱して脱離させる第２加熱部と、
前記トラップ内から脱離した試料成分をキャリアガスにより前記分析部に導くキャリアガス流路と、
前記トラップ内に試料成分が捕集された状態と前記トラップ内に試料成分が捕集されていない状態とで、前記キャリアガス流路を切り替える第１流路切替機構とを備え、
少なくとも前記トラップから前記分析部までの前記キャリアガス流路が、前記トラップ内に試料成分が捕集された状態と前記トラップ内に試料成分が捕集されていない状態とで共用されることを特徴とする試料導入装置。
【請求項２】
前記トラップ内に試料成分が捕集された状態において、前記トラップを介して前記分析部に導かれるキャリアガスの一部を前記サンプルチューブ内に導くスプリット流路をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の試料導入装置。
【請求項３】
前記スプリット流路内のキャリアガスの流量を制御する第１流量制御部をさらに備えたことを特徴とする請求項２に記載の試料導入装置。
【請求項４】
内部標準試料を供給する内部標準試料供給路と、
内部標準試料を前記サンプルループ内に供給するサンプルループ供給状態と前記サンプルループ内の内部標準試料を前記サンプルチューブ内に供給するサンプルチューブ供給状態とに、前記内部標準試料供給路を切り替える第２流路切替機構と、
前記サンプルループ供給状態及び前記サンプルチューブ供給状態における前記内部標準試料供給路内の内部標準試料の流量を制御する第２流量制御部とをさらに備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の試料導入装置。
【請求項５】
前記第２流路切替機構は、前記サンプルチューブ内から脱離した試料成分を前記トラップ内に供給するトラップ供給状態に、前記内部標準試料供給路を切替可能であり、
前記第２流路制御部は、前記トラップ供給状態における前記内部標準試料供給路内の内部標準試料の流量を制御することを特徴とする請求項４に記載の試料導入装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の試料導入装置と、
前記試料導入装置から導入される試料を分析する分析部とを備えたことを特徴とする分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分析部に試料を導入するための試料導入装置及びこれを備えた分析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば空気中の環境汚染物質を分析する場合のように、極微量の試料成分を分析部に導入する際に、加熱脱離方式の試料導入装置が用いられる場合がある（例えば、下記特許文献１参照）。この種の試料導入装置では、サンプルチューブ内に充填された試料成分を加熱して脱離させることにより、トラップ内に試料成分を一旦捕集した後、当該トラップ内の試料成分を加熱することにより脱離させ、分析部に導入することができる。
【０００３】
図２Ａ〜図２Ｄは、従来の加熱脱離方式の試料導入装置１００の構成例を示した図である。この試料導入装置１００では、内部標準試料を分析部２００に導入することにより、当該内部標準試料の測定結果を用いて、測定対象試料の測定結果を補正することができるようになっている。
【０００４】
試料導入装置１００には、内部標準試料供給部１０１、キャリアガス供給部１０２、サンプルループ１０３、サンプルチューブ１０４、トラップ１０５、八方バルブ１０６、四方バルブ１０７、三方バルブ１０８、複数の二方バルブ１１１〜１１６及び複数の流量制御部１２１〜１２３が備えられている。これらの各部は、配管を介して互いに接続されている。
【０００５】
図２Ａは、サンプルループ１０３内に内部標準試料を供給するサンプルループ供給状態を示している。図２Ｂは、サンプルループ１０３内の内部標準試料をサンプルチューブ１０４内に供給するサンプルチューブ供給状態を示している。図２Ｃは、サンプルチューブ１０４内から脱離した試料成分をトラップ１０５内に供給するトラップ供給状態を示している。図２Ｄは、トラップ１０５内から脱離した試料成分を分析部２００に供給する分析部供給状態を示している。
【０００６】
この試料導入装置１００では、まず、図２Ａに示すように、八方バルブ１０６により内部標準試料供給部１０１及びサンプルループ１０３を連通させた状態で、二方バルブ１１１が開かれる。これにより、図２Ａに破線で示すように、内部標準試料が、その圧力によって内部標準試料供給部１０１側から二方バルブ１１１側に流れ、サンプルループ１０３内に充填される。
【０００７】
その後、図２Ｂに示すように、八方バルブ１０６が切り替えられることにより、キャリアガス供給部１０２、サンプルループ１０３、サンプルチューブ１０４及び流量制御部１２１が連通した状態となる。このとき、二方バルブ１１２は閉じられ、二方バルブ１１３は開かれる。これにより、図２Ｂに破線で示すように、キャリアガス供給部１０２から供給されるキャリアガスが、サンプルループ１０３及びサンプルチューブ１０４を順次通過して流量制御部１２１側に流れる。
【０００８】
この図２Ｂに示す状態では、サンプルループ１０３内の内部標準試料の試料成分がサンプルチューブ１０４内に捕集され、サンプルチューブ１０４内に試料成分が充填される。キャリアガス供給部１０２からサンプルループ１０３及びサンプルチューブ１０４へのキャリアガスの流量は、流量制御部１２１により制御することができる。
【０００９】
次に、図２Ｃに示すように、八方バルブ１０６及び四方バルブ１０７が切り替えられるとともに、二方バルブ１１２，１１４が開かれ、二方バルブ１１３が閉じられる。これにより、図２Ｃに破線で示すように、キャリアガス供給部１０２、サンプルチューブ１０４、トラップ１０５及び流量制御部１２２が連通した状態となり、サンプルチューブ１０４内から脱離した試料成分がトラップ１０５内に捕集される。
【００１０】
キャリアガス供給部１０２からサンプルチューブ１０４及びトラップ１０５へのキャリアガスの流量は、流量制御部１２２により制御することができる。このとき、三方バルブ１０８が、キャリアガス供給部１０２及び分析部２００を連通させた状態とされることにより、キャリアガス供給部１０２からのキャリアガスが分析部２００に供給される。
【００１１】
このようにしてトラップ１０５内に試料成分を捕集した後、図２Ｄに示すように、四方バルブ１０７が切り替えられるとともに、二方バルブ１１３が開かれ、二方バルブ１１２，１１４が閉じられる。このとき、三方バルブ１０８が、キャリアガス供給部１０２及びトラップ１０５を連通させた状態に切り替えられる。
【００１２】
これにより、図２Ｄに破線で示すように、キャリアガス供給部１０２及びトラップ１０５が連通されるとともに、トラップ１０５が四方バルブ１０７を介して分析部２００に連通し、かつ、トラップ１０５が四方バルブ１０７を介してサンプルチューブ１０４及び流量制御部１２１に連通した状態となる。この状態では、トラップ１０５内から脱離した試料成分の一部が、分析部２００に導入されるとともに、残りの試料成分がサンプルチューブ１０４内に再捕集される。
【００１３】
キャリアガス供給部１０２からトラップ１０５及びサンプルチューブ１０４へのキャリアガスの流量は、流量制御部１２１により制御することができる。また、二方バルブ１１５が開かれることにより、分析部２００側に供給される試料成分の一部が分岐部１３０から流量制御部１２３側に導かれる。このとき、分岐部１３０から流量制御部１２３までの流路はスプリット流路１３１を構成しており、スプリット流路１３１内のキャリアガスの流量を流量制御部１２３により制御することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００７−２１２３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、上記のような従来の構成では、四方バルブ１０７と分岐部１３０との間の流路１３２がデッドボリュームになるという問題がある。すなわち、図２Ｄの状態では、トラップ１０５内から脱離した試料成分の一部が、流路１３２を介して分析部２００に導入されるが、それ以外の図２Ａ〜図２Ｃの状態では、当該流路１３２内をガスが流通しない。
【００１６】
そのため、分析時に流路１３２内に残存した試料成分が次の分析時に持ち越され、次の分析時に流路１３２を介して分析部２００に導入されるガス中に、前の分析時の試料成分が混入してしまうという問題がある。この場合、本来存在しない試料成分のピークが測定結果に現れるなど、正確な測定結果が得られないおそれがある。特に、沸点が高く蒸発しにくい試料成分は、流路１３２内に残存しやすく、上記のような問題が生じやすい。
【００１７】
一方で、装置の製造コストの低減やメンテナンス性の向上などの観点から、部品点数が少なく、より簡略化された構成が望まれている。
【００１８】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、試料導入後に試料成分が流路内に残存するのを防止することができる試料導入装置及びこれを備えた分析装置を提供することを目的とする。また、本発明は、構成がより簡略化された試料導入装置及びこれを備えた分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明に係る試料導入装置は、分析部に試料を導入するためのものであって、サンプルチューブと、第１加熱部と、トラップと、第２加熱部と、キャリアガス流路と、第１流路切替機構とを備えている。
【００２０】
サンプルチューブには、試料成分が充填される。第１加熱部は、前記サンプルチューブ内に充填された試料成分を加熱して脱離させる。トラップは、前記サンプルチューブ内から脱離した試料成分を捕集する。第２加熱部は、前記トラップ内の試料成分を加熱して脱離させる。キャリアガス流路は、前記トラップ内から脱離した試料成分をキャリアガスにより前記分析部に導く。第１流路切替機構は、前記トラップ内に試料成分が捕集された状態と前記トラップ内に試料成分が捕集されていない状態とで、前記キャリアガス流路を切り替える。少なくとも前記トラップから前記分析部までの前記キャリアガス流路は、前記トラップ内に試料成分が捕集された状態と前記トラップ内に試料成分が捕集されていない状態とで共用される。
【００２１】
このような構成によれば、トラップ内に試料成分が捕集された状態とトラップ内に試料成分が捕集されていない状態とで、少なくともトラップから分析部までのキャリアガス流路が共用されるため、キャリアガス流路を介して分析部に試料が導入された後も、当該キャリアガス流路内をキャリアガスが流れる期間がある。これにより、試料導入時に試料成分がキャリアガス流路内にあったとしても、その後にキャリアガス流路内を流れるキャリアガスにより試料成分を流路内から排除することができるため、試料導入後に試料成分が流路内に残存するのを防止することができる。
【００２２】
また、トラップ内に試料成分が捕集された状態とトラップ内に試料成分が捕集されていない状態とで、少なくともトラップから分析部までのキャリアガス流路を共用することにより、部品点数を削減することができるため、構成をより簡略化することができる。これにより、装置の製造コストを低減することができるとともに、メンテナンス性を向上することができる。
【００２３】
前記試料導入装置は、スプリット流路をさらに備えていてもよい。前記スプリット流路は、前記トラップ内に試料成分が捕集された状態において、前記トラップを介して前記分析部に導かれるキャリアガスの一部を前記サンプルチューブ内に導く。
【００２４】
このような構成によれば、スプリット流路に導かれるキャリアガスに含まれる試料成分が、サンプルチューブ内に捕集される。これにより、スプリット流路を利用して、試料成分をサンプルチューブ内に再捕集することができるため、部品点数を削減し、構成をより簡略化することができる。
【００２５】
前記試料導入装置は、第１流量制御部をさらに備えていてもよい。前記第１流量制御部は、前記スプリット流路内のキャリアガスの流量を制御する。
【００２６】
このような構成によれば、第１流量制御部でスプリット流路内のキャリアガスの流量を制御することにより、スプリット流量を調整することができるとともに、サンプルチューブ内に再捕集される試料成分の流量を調整することができる。このように、第１流量制御部を共用して、スプリット流量及び再捕集される試料成分の流量を制御することにより、部品点数を削減することができるため、構成をより簡略化することができる。
【００２７】
前記試料導入装置は、内部標準試料供給路と、第２流路切替機構と、第２流量制御部とをさらに備えていてもよい。前記内部標準試料供給路は、内部標準試料を供給する。前記第２流路切替機構は、内部標準試料を前記サンプルループ内に供給するサンプルループ供給状態と前記サンプルループ内の内部標準試料を前記サンプルチューブ内に供給するサンプルチューブ供給状態とに、前記内部標準試料供給路を切り替える。前記第２流量制御部は、前記サンプルループ供給状態及び前記サンプルチューブ供給状態における前記内部標準試料供給路内の内部標準試料の流量を制御する。
【００２８】
このような構成によれば、第２流量制御部を共用して、サンプルループ供給状態及びサンプルチューブ供給状態における内部標準試料供給路内の内部標準試料の流量を制御することができる。これにより、部品点数を削減することができるため、構成をより簡略化することができる。
【００２９】
前記第２流路切替機構は、前記サンプルチューブ内から脱離した試料成分を前記トラップ内に供給するトラップ供給状態に、前記内部標準試料供給路を切替可能であってもよい。この場合、前記第２流路制御部は、前記トラップ供給状態における前記内部標準試料供給路内の内部標準試料の流量を制御してもよい。
【００３０】
このような構成によれば、サンプルループ供給状態及びサンプルチューブ供給状態に加えて、トラップ供給状態においても第２流量制御部を共用して、内部標準試料供給路内の内部標準試料の流量を制御することができる。これにより、部品点数をさらに削減し、構成をさらに簡略化することができる。
【００３１】
本発明に係る分析装置は、前記試料導入装置と、前記試料導入装置から導入される試料を分析する分析部とを備えている。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、流路内を流れるキャリアガスにより試料成分を流路内から排除することができるため、試料導入後に試料成分が流路内に残存するのを防止することができる。また、本発明によれば、部品点数を削減することができるため、構成をより簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１Ａ】本発明の一実施形態に係る加熱脱離方式の試料導入装置の構成例を示した図であり、サンプルループ供給状態を示している。
【図１Ｂ】本発明の一実施形態に係る加熱脱離方式の試料導入装置の構成例を示した図であり、サンプルチューブ供給状態を示している。
【図１Ｃ】本発明の一実施形態に係る加熱脱離方式の試料導入装置の構成例を示した図であり、トラップ供給状態を示している。
【図１Ｄ】本発明の一実施形態に係る加熱脱離方式の試料導入装置の構成例を示した図であり、分析部供給状態を示している。
【図２Ａ】従来の加熱脱離方式の試料導入装置の構成例を示した図であり、サンプルループ供給状態を示している。
【図２Ｂ】従来の加熱脱離方式の試料導入装置の構成例を示した図であり、サンプルチューブ供給状態を示している。
【図２Ｃ】従来の加熱脱離方式の試料導入装置の構成例を示した図であり、トラップ供給状態を示している。
【図２Ｄ】従来の加熱脱離方式の試料導入装置の構成例を示した図であり、分析部供給状態を示している。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
図１Ａ〜図１Ｄは、本発明の一実施形態に係る加熱脱離方式の試料導入装置１の構成例を示した図である。この試料導入装置１では、内部標準試料を分析部２に導入することにより、当該内部標準試料の測定結果を用いて、測定対象試料の測定結果を補正することができるようになっている。分析部２は、例えばカラム３を備えたガスクロマトグラフであり、試料導入装置１から導入される試料を分析する。
【００３５】
試料導入装置１には、内部標準試料供給部１１、ＡＦＣ（Auto Flow Controller）１２、ＡＰＣ（Auto  Pressure Controller）１３、ＭＦＣ（Mass  Flow Controller）１４、サンプルループ１５、サンプルチューブ１６、トラップ１７、２つの六方バルブ１８，１９、三方バルブ２０及び３つの二方バルブ２１〜２３が備えられている。これらの各部は、配管を介して互いに接続されている。
【００３６】
図１Ａは、サンプルループ１５内に内部標準試料を供給するサンプルループ供給状態を示している。図１Ｂは、サンプルループ１５内の内部標準試料をサンプルチューブ１６内に供給するサンプルチューブ供給状態を示している。図１Ｃは、サンプルチューブ１６内から脱離した試料成分をトラップ１７内に供給するトラップ供給状態を示している。図１Ｄは、トラップ１７内から脱離した試料成分を分析部２に供給する分析部供給状態を示している。
【００３７】
内部標準試料供給部１１は、例えば内部標準試料が高圧で収容されたボンベからなり、内部の圧力によって内部標準試料を供給することができる。ＡＦＣ１２は、キャリアガス供給部を構成しており、試料成分を分析部２に導入するためのキャリアガスの供給流量を制御する。ＡＰＣ１３は、捕集用ガス供給部を構成しており、試料成分をサンプルチューブ１６及びトラップ１７に捕集させるための捕集用ガスの供給圧力を制御する。ＭＦＣ１４は、排気路４１を介して装置の外部に排気するガスの流量を制御する。
【００３８】
この試料導入装置１では、まず、図１Ａに示すように、二方バルブ２１を開くとともに、二方バルブ２２，２３を閉じた状態で、六方バルブ１８，１９により内部標準試料供給部１１、サンプルループ１５及びＭＦＣ１４を連通させる。これにより、図１Ａに破線で示すように、内部標準試料が、その圧力によって内部標準試料供給部１１側からＭＦＣ１４側に流れ、サンプルループ１５内に充填される。このとき、ＡＦＣ１２からはキャリアガスが供給され、図１Ａに二点鎖線で示すキャリアガス流路４２を介して、分析部２のカラム３にキャリアガスが導入される。
【００３９】
その後、図１Ｂに示すように、二方バルブ２１が閉じられるとともに、二方バルブ２２が開かれた状態となる。この状態で、六方バルブ１９により流路が切り替えられ、図１Ｂに破線で示すように、ＡＰＣ１３、サンプルループ１５、サンプルチューブ１６及びＭＦＣ１４が、この順序で連通した状態となる。これにより、ＡＰＣ１３から供給される捕集用ガスが、サンプルループ１５及びサンプルチューブ１６を順次通過してＭＦＣ１４側に流れる。
【００４０】
この図１Ｂに示す状態では、サンプルループ１５内の内部標準試料の試料成分が、冷却されたサンプルチューブ１６内に捕集され、サンプルチューブ１６内に試料成分が充填される。サンプルチューブ１６への捕集用ガスの流量は、ＭＦＣ１４により制御することができる。なお、六方バルブ１８は図１Ａと同じ状態であり、ＡＦＣ１２からのキャリアガスは、図１Ｂに二点鎖線で示すように、キャリアガス流路４２を介して分析部２のカラム３に導入される。
【００４１】
次に、図１Ｃに示すように、二方バルブ２２が閉じられるとともに、二方バルブ２３が開かれた状態となる。この状態で、六方バルブ１８及び三方バルブ２０により流路が切り替えられ、図１Ｃに破線で示すように、ＡＰＣ１３、サンプルチューブ１６、サンプルループ１５、トラップ１７及びＭＦＣ１４が、この順序で連通した状態となる。なお、六方バルブ１９は図１Ｂと同じ状態である。
【００４２】
このとき、サンプルチューブ１６に隣接して設けられたヒータ（第１加熱部）３１によりサンプルチューブ１６が加熱され、サンプルチューブ１６内に充填された試料成分が脱離される。これにより、ＡＰＣ１３から供給される捕集用ガスが、サンプルチューブ１６内から脱離した試料成分をトラップ１７側へと送り、当該試料成分が冷却されたトラップ１７内に捕集される。トラップ１７への捕集用ガスの流量は、ＭＦＣ１４により制御することができる。
【００４３】
六方バルブ１８による流路の切替に伴い、ＡＦＣ１２から分析部２までのキャリアガス流路４２は、図１Ｃに二点鎖線で示すように、トラップ１７を通過しない状態となる。この状態で、ＡＦＣ１２からのキャリアガスが、キャリアガス流路４２を介して分析部２のカラム３に導入される。
【００４４】
このようにしてトラップ１７内に試料成分を捕集した後、図１Ｄに示すように、六方バルブ１８，１９により流路が切り替えられる。これにより、図１Ｄに二点鎖線で示すように、キャリアガス流路４２が、ＡＦＣ１２からトラップ１７を介して分析部２に連通した状態となる。このとき、トラップ１７に隣接して設けられたヒータ（第２加熱部）３２によりトラップ１７が加熱され、トラップ１７内の試料成分が脱離される。トラップ１７内から脱離した試料成分は、キャリアガス流路４２を介して、キャリアガスにより分析部２のカラム３に導かれる。
【００４５】
図１Ａ〜図１Ｄに示すように、六方バルブ１８は、トラップ１７内に試料成分が捕集された状態と、トラップ１７内に試料成分が捕集されていない状態とで、キャリアガス流路４２を切り替える第１流路切替機構を構成している。本実施形態において、少なくともトラップ１７から分析部２までのキャリアガス流路４２は、トラップ１７内に試料成分が捕集された状態と（図１Ｄ）、トラップ１７内に試料成分が捕集されていない状態（図１Ａ及び図１Ｂ）とで、共用されている。
【００４６】
この場合、図１Ｄの状態でキャリアガス流路４２を介して分析部２に試料が導入された後も、図１Ａ及び図１Ｂのように、当該キャリアガス流路４２内をキャリアガスが流れる期間がある。これにより、試料導入時に試料成分がキャリアガス流路４２内にあったとしても、その後にキャリアガス流路４２内を流れるキャリアガスにより試料成分を流路内から排除することができるため、試料導入後に試料成分が流路内に残存するのを防止することができる。
【００４７】
また、トラップ１７内に試料成分が捕集された状態とトラップ１７内に試料成分が捕集されていない状態とで、少なくともトラップ１７から分析部２までのキャリアガス流路４２を共用することにより、部品点数を削減することができるため、構成をより簡略化することができる。これにより、装置の製造コストを低減することができるとともに、メンテナンス性を向上することができる。
【００４８】
図１Ｄの状態では、図中に一点鎖線で示すスプリット流路４３により、トラップ１７を介して分析部２に導かれるキャリアガスの一部がサンプルチューブ１６に導かれる。このとき、スプリット流路４３に導かれるキャリアガスに含まれる試料成分が、冷却されたサンプルチューブ１６内に捕集される。
【００４９】
これにより、スプリット流路４３を利用して、試料成分をサンプルチューブ１６内に再捕集することができるため、部品点数を削減し、構成をより簡略化することができる。なお、試料成分の再捕集を行わない場合には、図１Ｃの状態から図１Ｄの状態に移行する際、六方バルブ１９を切り替えなければよい。
【００５０】
スプリット流路４３におけるサンプルチューブ１６よりも下流側は、ＡＦＣ１２に接続されており、当該ＡＦＣ１２が、スプリット流路４３内のキャリアガスの流量を制御する第１流量制御部を構成している。したがって、ＡＦＣ１２でスプリット流路４３内のキャリアガスの流量を制御することにより、スプリット流量を調整することができるとともに、サンプルチューブ１６内に再捕集される試料成分の流量を調整することができる。このように、ＡＦＣ１２を共用して、スプリット流量及び再捕集される試料成分の流量を制御することにより、部品点数を削減することができるため、構成をより簡略化することができる。
【００５１】
内部標準試料を供給する内部標準試料供給路４４は、六方バルブ１８，１９により構成される第２流路切替機構により、図１Ａに破線で示すサンプルループ供給状態と、図１Ｂに破線で示すサンプルチューブ供給状態と、図１Ｃに破線で示すトラップ供給状態とに切り替えることができる。ＭＦＣ１４は、サンプルループ供給状態、サンプルチューブ供給状態及びトラップ供給状態における内部標準試料供給路４４内の内部標準試料の流量を制御する第２流量制御部を構成している。内部標準試料供給路４４内の圧力は、当該内部標準試料供給路４４に接続された圧力センサ４５により検知することができる。
【００５２】
内部標準試料供給路４４が、図１Ａに破線で示すようなサンプルループ供給状態のときには、内部標準試料供給部１１から供給される内部標準試料がサンプルループ１５内に供給される。また、内部標準試料供給路４４が、図１Ｂに破線で示すようなサンプルチューブ供給状態のときには、サンプルループ１５内の内部標準試料がサンプルチューブ１６内に供給される。
【００５３】
本実施形態では、ＭＦＣ１４を共用して、サンプルループ供給状態及びサンプルチューブ供給状態における内部標準試料供給路４４内の内部標準試料の流量を制御することができる。これにより、部品点数を削減することができるため、構成をより簡略化することができる。
【００５４】
また、内部標準試料供給路４４が、図１Ｃに破線で示すようなトラップ供給状態のときには、サンプルチューブ１６から脱離した試料成分が、トラップ１７内に供給される。本実施形態では、サンプルループ供給状態及びサンプルチューブ供給状態に加えて、トラップ供給状態においてもＭＦＣ１４を共用して、内部標準試料供給路４４内の内部標準試料の流量を制御することができる。これにより、部品点数をさらに削減し、構成をさらに簡略化することができる。
【００５５】
以上の実施形態では、内部標準試料を用いて測定対象試料の測定結果を補正することができるような構成について説明した。しかし、本発明は、このような構成に限らず、内部標準試料を用いないような構成にも適用することができる。この場合、測定対象試料の試料成分が充填されたサンプルチューブ１６を試料導入装置１に取り付けた後、図１Ｃ以降の動作を行えばよい。
【００５６】
また、本発明に係る試料導入装置１は、ガスクロマトグラフのような分析部２に限らず、他の分析部２に試料を導入するような構成にも適用することができる。
【符号の説明】
【００５７】
１    試料導入装置
２    分析部
３    カラム
１１    内部標準試料供給部
１２    ＡＦＣ
１３    ＡＰＣ
１４    ＭＦＣ
１５    サンプルループ
１６    サンプルチューブ
１７    トラップ
１８，１９  六方バルブ
２０    三方バルブ
２１〜２３  二方バルブ
３１，３２  ヒータ
４１    排気路
４２    キャリアガス流路
４３    スプリット流路
４４    内部標準試料供給路
４５    圧力センサ
【図１Ａ】
2015099122.tif 000003
【図１Ｂ】
2015099122.tif 000004
【図１Ｃ】
2015099122.tif 000005
【図１Ｄ】
2015099122.tif 000006
【図２Ａ】
2015099122.tif 000007
【図２Ｂ】
2015099122.tif 000008
【図２Ｃ】
2015099122.tif 000009
【図２Ｄ】
2015099122.tif 000010