(57)【要約】【課題】受圧ダイアフラムの異常変形を回避する。受圧ダイアフラムの剥離性や圧力伝達媒体の封入性を向上させる。【解決手段】ストッパ部材（スペーサ）７２ａ，７２ｂの受圧ダイアフラム２７，２８に対向する面上に、複数の凸部（柱）８１ａ，８１ｂを離散的に形成し、この複数の凸部８１ａ，８１ｂと凸部８１ａ，８１ｂとの間の通路（溝）８２ａ，８２ｂを連通孔８０ａ，８０ｂの周部とストッパ部材７２ａ，７２ｂの周端部８３ａ，８３ｂとの間の連通路とする。【選択図】  図１
2015194343.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受圧ダイアフラムを両側面に有するボディ本体の内部に内室を形成し、この内室を過大圧保護機構を構成するセンタダイアフラムによって２つのセンタダイアフラム室に画成し、前記各受圧ダイアフラムの内側に形成した受圧ダイアフラム室と前記センタダイアフラム室をそれぞれ連通するとともに、前記センタダイアフラム室と前記ボディ本体に組み込まれたダイアフラム式の圧力センサのセンサ室とを連通し、かつこれらの室に圧力伝達媒体を封入した差圧発信器において、
前記受圧ダイアフラム室の前記受圧ダイアフラムの内側の前記受圧ダイアフラムに対向する面に設けられたストッパ部材を備え、
前記ストッパ部材は、
前記受圧ダイアフラム室と前記センタダイアフラム室とを連通させる連通孔を有し、
前記ストッパ部材の前記受圧ダイアフラムに対向する面上には、
複数の凸部が離散的に形成され、
前記複数の凸部と凸部との間の通路が前記センタダイアフラム室への連通孔の周部と前記ストッパ部材の周端部との間の連通路とされている
ことを特徴とする差圧発信器。
【請求項２】
請求項１に記載された差圧発信器において、
前記ストッパ部材の前記受圧ダイアフラムに対向する面上に形成された複数の凸部は、
前記受圧ダイアフラムが変位して当該受圧ダイアフラムがその凸部の上面に接触した状態でも前記センタダイアフラム室への連通孔の周部と前記ストッパ部材の周端部との間の連通状態を保つ
ことを特徴とする差圧発信器。
【請求項３】
請求項１又は２に記載された差圧発信器において、
前記ストッパ部材の前記受圧ダイアフラムに対向する面は、
前記受圧ダイアフラムに過大圧が印加された時の当該受圧ダイアフラムの過度な変位を阻止するその受圧ダイアフラムの変位に沿った曲面状の凹部を備え、
前記ストッパ部材の曲面状の凹部の底面上に前記複数の凸部が離散的に形成されている
ことを特徴とする差圧発信器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、石油化学・化学工業・電力・ガス・食品・鉄鋼等の種々のプラントに用いられる差圧発信器に関し、特に過大圧保護機構を備えた差圧発信器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、工業用の差圧発信器として、一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを用いた圧力センサチップを組み込んだ差圧発信器が用いられている。
【０００３】
この差圧発信器は、高圧側および低圧側の受圧ダイアフラムに加えられる各測定圧を、圧力伝達媒体としての封入液によってセンサダイアフラムの一方の面および他方の面に導き、そのセンサダイアフラムの歪みを例えば歪抵抗ゲージの抵抗値変化として検出し、この抵抗値変化を電気信号に変換して取り出すように構成されている。
【０００４】
このような差圧発信器は、例えば石油精製プラントにおける高温反応塔等の被測定流体を貯蔵する密閉タンク内の上下２位置の差圧を検出することにより、液面高さを測定するときなどに用いられる。
【０００５】
図５に従来の差圧発信器の概略構成を示す（例えば、特許文献１参照）。この差圧発信器１００は、センサダイアフラム（図示せず）を有する圧力センサチップ１（ダイアフラム式の圧力センサ）をメータボディ２に組み込んで構成される。圧力センサチップ１におけるセンサダイアフラムは、シリコンやガラス等からなり、薄板状に形成されたダイアフラムの表面に歪抵抗ゲージが形成されている。メータボディ２は、金属製の本体部３とセンサ部４とからなり、本体部３の両側面には一対の受圧部をなす受圧ダイアフラム５ａ，５ｂが設けられ、センサ部４に圧力センサチップ１が組み込まれている。
【０００６】
メータボディ２において、センサ部４に組み込まれた圧力センサチップ１はセンサ室７に配置されており、センサ室７と受圧ダイアフラム５ａ，５ｂの内側に形成された受圧ダイアフラム室８ａ，８ｂとの間は、大径のセンタダイアフラム６により隔離されたセンタダイアフラム室９ａ，９ｂを介してそれぞれ連通され、圧力センサチップ１と受圧ダイアフラム５ａ，５ｂとを結ぶ連通路１０ａ，１０ｂにシリコーンオイル等の圧力伝達媒体１１ａ，１１ｂが封入されている。
【０００７】
また、受圧ダイアフラム室８ａ，８ｂの受圧ダイアフラム５ａ，５ｂの内側の受圧ダイアフラム５ａ，５ｂに対向する面には、ストッパ部材（スペーサ）１２ａ，１２ｂが適宜な隙間１３ａ，１３ｂを保ってそれぞれ設けられている。ストッパ部材１２ａ，１２ｂは、メータボディ２の線膨張係数より十分に小さい線膨張係数を有するセラミックス、金属等で形成されている。
【０００８】
なお、シリコーンオイル等の圧力媒体が必要となるのは、センサダイアフラムに対する計測媒体中の異物付着を防ぐこと、センサダイアフラムを腐食させないため、耐食性を持つ受圧ダイアフラムと応力（圧力）感度を持つセンサダイアフラムとを分離する必要があるためである。
【０００９】
この差圧発信器１００では、プロセスからの第１の流体圧力（第１の測定圧）Ｐａが受圧ダイアフラム５ａに印加され、プロセスからの第２の流体圧力（第２の測定圧）Ｐｂが受圧ダイアフラム５ｂに印加される。これにより、受圧ダイアフラム５ａ，５ｂが変位し、その加えられた圧力Ｐａ，Ｐｂがセンタダイアフラム６により隔離されたセンタダイアフラム室９ａ，９ｂを介し、圧力伝達媒体１１ａ，１１ｂを通して、圧力センサチップ１のセンサダイアフラムの一方の面および他方の面にそれぞれ導かれる。この結果、圧力センサチップ１のセンサダイアフラムは、その導かれた圧力Ｐａ，Ｐｂの差圧ΔＰに相当する変位を呈することになる。
【００１０】
これに対して、例えば、受圧ダイアフラム５ａに過大圧Ｐoverが加わると、受圧ダイアフラム５ａが大きく変位し、これに伴ってセンタダイアフラム６が過大圧Ｐoverを吸収するように変位する。そして、受圧ダイアフラム５ａが受圧ダイアフラム室８ａ内のストッパ部材１２ａの受圧ダイアフラム５ａに対向する面（過大圧保護面）に着底し、その変位が規制されると、受圧ダイアフラム５ａを介するセンサダイアフラムへのそれ以上の差圧ΔＰの伝達が阻止される。受圧ダイアフラム５ｂに過大圧Ｐoverが加わった場合も、受圧ダイアフラム５ａに過大圧Ｐoverが加わった場合と同様にして、受圧ダイアフラム５ｂが受圧ダイアフラム室８ｂ内のストッパ部材１２ｂの受圧ダイアフラム５ｂに対向する面（過大圧保護面）に着底し、その変位が規制されると、受圧ダイアフラム５ｂを介するセンサダイアフラムへのそれ以上の差圧ΔＰの伝達が阻止される。
【００１１】
このような受圧ダイアフラム５ａ，５ｂとセンタダイアフラム６とで構成される過大圧保護機構の働きによって、過大圧Ｐoverの印加による圧力センサチップ１の破損、すなわち圧力センサチップ１におけるセンサダイアフラムの破損が未然に防止される。
【００１２】
また、受圧ダイアフラム室８ａ，８ｂの受圧ダイアフラム５ａ，５ｂの内側の受圧ダイアフラム８ａ，８ｂに対向する面にストッパ部材１２ａ，１２ｂを設け、このストッパ部材１２ａ，１２ｂをメータボディ２の線膨張係数より十分に小さい線膨張係数の材料によって形成しているので、温度変化による過大圧保護機構が働き始めるときの圧力（過大圧保護機構の動作点）の変動を小さくすることができるようになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００４−１０８８６８号公報
【特許文献２】特開２００５−６９７３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、図５に示された差圧発信器１００の構造では、受圧ダイアフラム５ａ，５ｂがストッパ部材１２ａ，１２ｂの受圧ダイアフラム５ａ，５ｂに対向する面に着底する際、受圧ダイアフラム５ａ，５ｂがストッパ部材１２ａ，１２ｂの受圧ダイアフラム５ａ，５ｂに対向する面に完全に押し付けられて密着するため、過大圧から開放されても受圧ダイアフラム５ａ，５ｂがストッパ部材１２ａ，１２ｂの受圧ダイアフラム５ａ，５ｂに対向する面から直ぐには離れず、出力が戻るのが遅れる虞があった。
【００１５】
また、図６に示すように、ストッパ部材１２ａ，１２ｂを大きくし、ストッパ部材１２ａ，１２ｂの受圧ダイアフラム５ａ，５ｂの感圧領域に対向する面全体を受圧ダイアフラム５ａ，５ｂの変位に沿った曲面状の凹部１４ａ，１４ｂとすることが考えられる（例えば、特許文献２参照）。
【００１６】
しかし、このような構造では、ストッパ部材１２ａ，１２ｂの凹部１４ａ，１４ｂの曲面（非球面）の形状が理想設計形状からずれてしまった場合、内部に封入される圧力伝達媒体であるオイル等が着底した受圧ダイアフラム５ａ，５ｂとストッパ部材１２ａ，１２ｂの曲面状の凹部１４ａ，１４ｂとの間に取り残される可能性がある。この場合、オイルの逃げ場が無い為、受圧ダイアフラム５ａ，５ｂが異常変形し、それに伴い過大な応力が発生し、出力異常や、受圧ダイアフラム５ａ，５ｂの破壊に繋がってしまう虞がある。
【００１７】
また、受圧ダイアフラム５ａ，５ｂの着底後も差圧を上げ、その後差圧を下げていった場合、着底した差圧で剥がれるのが理想だが、着底した後では、着底側の受圧面積は連通孔１０ａ，１０ｂの開口面積のみとなる為、着底圧で剥がれず、更には使用圧まで下がっても剥がれないという可能性がある。
【００１８】
また、圧力伝達媒体であるオイル等を封入する際に、受圧ダイアフラム５ａ，５ｂのエッジに行けば行くほどギャップが小さくなる為、オイル封入が困難になり、未封入箇所が出来てしまうと圧力損失に繋がるという虞がある。
【００１９】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、受圧ダイアフラムの異常変形を回避することが可能な、また受圧ダイアフラムの剥離性や圧力伝達媒体の封入性を向上させることが可能な差圧発信器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
このような目的を達成するために本発明は、受圧ダイアフラムを両側面に有するボディ本体の内部に内室を形成し、この内室を過大圧保護機構を構成するセンタダイアフラムによって２つのセンタダイアフラム室に画成し、各受圧ダイアフラムの内側に形成した受圧ダイアフラム室とセンタダイアフラム室をそれぞれ連通するとともに、センタダイアフラム室とボディ本体に組み込まれたダイアフラム式の圧力センサのセンサ室とを連通し、かつこれらの室に圧力伝達媒体を封入した差圧発信器において、受圧ダイアフラム室の受圧ダイアフラムの内側の受圧ダイアフラムに対向する面に設けられたストッパ部材を備え、ストッパ部材は、受圧ダイアフラム室とセンタダイアフラム室とを連通させる連通孔を有し、ストッパ部材の受圧ダイアフラムに対向する面上には、複数の凸部が離散的に形成され、複数の凸部と凸部との間の通路がセンタダイアフラム室への連通孔の周部とストッパ部材の周端部との間の連通路とされていることを特徴とする。
【００２１】
本発明において、受圧ダイアフラムに高圧の測定圧がかかった場合、受圧ダイアフラムはストッパ部材側に撓み、ストッパ部材の受圧ダイアフラムに対する面に着底する。このストッパ部材の受圧ダイアフラムに対向する面上には、複数の凸部が離散的に形成されており、この複数の凸部と凸部との間の通路がセンタダイアフラム室への連通孔の周部とストッパ部材の周端部との間の連通路とされている。このストッパ部材の受圧ダイアフラムに対向する面上に形成された複数の凸部は、受圧ダイアフラムが変位して当該受圧ダイアフラムがその凸部の上面に接触した状態でもセンタダイアフラム室への連通孔の周部とストッパ部材の周端部との間の連通状態を保つ。
【００２２】
本発明において、ストッパ部材の受圧ダイアフラムに対向する面は、平坦な面としても構わないが、受圧ダイアフラムに過大圧が印加された時の当該受圧ダイアフラムの過度な変位を阻止するその受圧ダイアフラムの変位に沿った曲面状の凹部を備えた面とし、この曲面状の凹部の底面上に複数の凸部を離散的に形成するようにしてもよい。
【００２３】
本発明では、この連通状態が保たれる複数の凸部と凸部との間の通路がオイルなどの圧力伝達媒体の逃げ道となるため、受圧ダイアフラムとストッパ部材の受圧ダイアフラムに対向する面との間に圧力伝達媒体が取り残されることによる受圧ダイアフラムの異常変形を回避することが可能となる。また、ストッパ部材の連通孔だけではなく、ストッパ部材の受圧ダイアフラムに対向する面全体に形成される複数の凸部と凸部との間の通路に圧力伝達媒体が残るため、受圧ダイアフラムの剥離性が向上する。また、ストッパ部材の受圧ダイアフラムに対向する面全体に形成される複数の凸部と凸部との間の通路を通して受圧ダイアフラムのエッジ付近（微少ギャップ付近）まで圧力伝達媒体を侵入させることが可能となるため、圧力伝達媒体の封入性が向上する。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ストッパ部材の受圧ダイアフラムに対向する面上に、複数の凸部を離散的に形成し、この複数の凸部と凸部との間の通路をセンタダイアフラム室への連通孔の周部とストッパ部材の周端部との間の連通路とするようにしたので、この複数の凸部と凸部との間の通路に圧力伝達媒体を入り込ませるようにして、受圧ダイアフラムの異常変形を回避したり、受圧ダイアフラムの剥離性や圧力伝達媒体の封入性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る差圧発信器の一実施の形態を示す断面図である。
【図２】この差圧発信器におけるストッパ部材の受圧ダイアフラムに対向する面上に離散的に形成された複数の凸部の形状を示す平面図である。
【図３】この差圧発信器におけるストッパ部材の受圧ダイアフラムに対向する面上に離散的に形成された複数の凸部の形状の他の例を示す平面図である。
【図４】この差圧発信器に用いるストッパ部材の別の例を示す断面図である。
【図５】従来の差圧発信器の概略構成を示す図である。
【図６】従来の差圧発信器においてストッパ部材に曲面状の凹部を設けた例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る差圧発信器の一実施の形態を示す断面図である。
【００２７】
図１において、全体を符号２０で示す差圧発信器は、金属製のボディ本体２１と、ボディ本体２１の両側面（測圧面）２２，２３にそれぞれ取付けられた左右一対のカバー部材２４，２４と、ボディ本体２１の上方にネック部２５を介して設けられた電気信号変換部２６等で構成されている。
【００２８】
ボディ本体２１は、ＳＵＳ３１６等によって円板状に形成された２つのボディ２１Ａ，２１Ｂを電子ビーム溶接等によって一体的に接合することにより形成されており、両側面２２，２３に受圧ダイアフラム２７，２８がそれぞれ取付けられている。
【００２９】
受圧ダイアフラム２７，２８は、通常ステンレスなどの薄膜状金属板を塑性加工することで円板状に形成され、外周縁部（固定部）がボディ本体２１の各側面２２，２３にそれぞれ溶接によって固定されている。
【００３０】
受圧ダイアフラム２７，２８の加工形成に際しては、圧力を受ける受圧部、すなわち各側面２２，２３に溶接される外周縁部（固定部）より内側部分に波形の襞を同心円状に付けることで、受圧ダイアフラム２７，２８の荷重−弾性変形特性における線形域を広くしている。
【００３１】
ボディ本体２１の各側面２２，２３で各受圧ダイアフラム２７，２８の受圧部と対向する部分には、これらダイアフラムと同形の円形の凹部３０，３１がそれぞれ形成されており、これらの凹部３０，３１と受圧ダイアフラム２７，２８の間の空間が受圧ダイアフラム室３２ａ，３２ｂをそれぞれ形成している。
【００３２】
また、ボディ本体２１の内部中央、すなわち２つのボディ２１Ａ，２１Ｂの接合面間には内室３４が形成されており、この内室３４を受圧ダイアフラム２７，２８とともに過大圧保護機構を構成するセンタダイアフラム３５によって第１の測定圧（Ｐａ側）と第２の測定圧（Ｐｂ側）の２つの室、すなわちＰａ側のセンタダイアフラム室３４ａとＰｂ側のセンタダイアフラム室３４ｂとに仕切っている。
【００３３】
センタダイアフラム３５は、外周縁部（固定部）が溶接によってボディ２１Ａ，２１Ｂの接合面に挟持されて溶接され、外周縁部より内側部分が受圧部を形成している。この受圧部には、受圧ダイアフラム２７，２８の受圧部と同様に波形の襞が同心円状に形成されている。
【００３４】
各センタダイアフラム室３４ａ，３４ｂの内壁面３６ａ，３６ｂには、センタダイアフラム３５と同形の波形の襞がそれぞれ同心円状に形成されている。なお、本実施の形態においては、受圧ダイアフラム２７，２８、センタダイアフラム３５とボディ本体２１に同心円状の波形の襞をそれぞれ形成したが、これらの襞は必ずしも必要ではない。
【００３５】
ボディ本体２の各側面２２，２３と各受圧ダイアフラム２７，２８との間に形成された各受圧ダイアフラム室３２ａ，３２ｂと、センタダイアフラム室３４ａ，３４ｂは、ボディ２１Ａ，２１Ｂ内に形成した連通路３９ａ，３９ｂによってそれぞれ連通している。また、受圧ダイアフラム室３２ａ，３２ｂ、センタダイアフラム室３４ａ，３４ｂおよび連通路３９ａ，３９ｂには、各ボディ２１Ａ，２１Ｂに設けた封入液封入用孔４０，４０から圧力伝達媒体であるシリコーンオイル等の封入液４１，４１がそれぞれ封入されている。各封入液封入用孔４０は、ボール４２によってそれぞれ封止され、このボール４２の抜けを止めねじ４３によって防止している。
【００３６】
各カバー部材２４は、裏面外周縁部がシール部材４４を介してボディ本体２１の側面２２，２３の外周縁部にそれぞれ密接され、複数本のボルト４５およびナット４６によって共締め固定されている。また、各カバー部材２４の中央には、被測定流体４７をボディ本体２１の受圧ダイアフラム２７，２８に導く流体導入口４８がそれぞれ表裏面に貫通して形成されている。
【００３７】
さらに、ボディ本体２１の内部には、封入液回路５１（５１ａ，５１ｂ）が形成されている。この封入液回路５１は、一端が一方のボディ２１Ａの内壁面（ダイアフラム座）３６ａに開口してセンタダイアフラム室３４ａと連通し、他端が他方のボディ２１Ｂの内壁面（ダイアフラム座）３６ｂに開口してセンタダイアフラム室３４ｂと連通し、中間部がボディ本体２１のネック部２５内に組み込まれたダイアフラム式の圧力センサ５２によって２つの回路に仕切られている。
【００３８】
ネック部２５は、それぞれＳＵＳ等の金属によって形成されボディ本体２１の上面に溶接によって一体的に接合された外筒６０および内筒６１とからなり、これらによって圧力センサ５２を収納する金属製の容器６５を形成している。
【００３９】
圧力センサ５２は、内筒６１の凹陥部６１ａ内に配設されたパイレックス（登録商標）ガラス等の基台６６と、この基台６６の下面に外周縁部が接合されたシリコン、サファイア等からなるセンサダイアフラム６７とを備え、このセンサダイアフラム６７によって凹陥部６１ａの内部を二つのセンサ室、すなわちセンサダイアフラム６７の下側と上側の室６８Ａ，６８Ｂに仕切っている。下側のセンサ室６８Ａは、封入液回路５１ａに連通している。上側のセンサ室６８Ｂは、基台６６に貫通形成した貫通孔６６ａと内筒６１内に形成した連通孔６１ｂと、外筒６０と内筒６１との間に形成した環状溝６８を介して封入液回路５１ｂに連通している。
【００４０】
したがって、センサダイアフラム６７の中央に設けたダイアフラム部の下面側には、受圧ダイアフラム２７に加えられる測定圧Ｐａが、受圧ダイアフラム室３２ａ、連通路３９ａ、センタダイアフラム室３４ａ、封入液回路５１ａおよびセンサ室６８Ａ内の封入液４１を介して加えられ、ダイアフラム部の上面側には、受圧ダイアフラム２８に加えられる測定圧Ｐｂが、受圧ダイアフラム室３２ｂ、連通路３９ｂ、センタダイアフラム室３４ｂ、封入液回路５１ｂ、連通路６１ｂ、貫通孔６６ａおよびセンサ室６８Ｂ内の封入液４１を介して加えられている。
【００４１】
そして、センサダイアフラム６７のいずれか一方の面には、ピエゾ抵抗領域として作用する図示しない４つの拡散ゲージが不純物の拡散またはイオンの打ち込み技術によって形成されており、これらの拡散ゲージは、ホイールストーンブリッジを形成し、リード線６２およびリードピン６３によって電気回路に接続されている。なお、６４はリードピン６３を内筒６１から絶縁するハーメチックシールである。
【００４２】
各ボディ２１Ａ，２１Ｂの受圧ダイアフラム室３２ａ，３２ｂには、ストッパ部材装填用空間部７０，７１がそれぞれ形成されている。これらのストッパ部材装填用空間部７０，７１は、各ボディ２１Ａ，２１Ｂの受圧ダイアフラム２７，２８が着底する着底面の中央に形成した同一の大きさの凹陥部からなり、ストッパ部材７２ａ，７２ｂがそれぞれ収納配置されている。
【００４３】
ストッパ部材７２ａ，７２ｂは、その線膨張係数をαｃ、ボディ本体２１、受圧ダイアフラム２７，２８の線膨張係数をαｓ、封入液４１の体膨張係数をαｆとすると、αｆ≫αｓ≫αｃの条件を満たす、線膨張係数がきわめて小さい材料（以下、低熱膨張材料ともいう）によって略同一の大きさに形成され、ストッパ部材装填用空間部７０，７１にそれぞれ嵌挿され、ボルト、かしめ固定等の適宜な固定手段によって固定されている。
【００４４】
また、ストッパ部材７２ａ，７２ｂは、ストッパ部材装填用空間部７０，７１より若干小さく形成されることにより、ストッパ部材装填用空間部７０，７１の内壁との間に環状の適宜な隙間７４ａ，７４ｂをそれぞれ形成しており、表面がストッパ部材装填用空間部７０，７１を形成しない場合におけるボディ２１Ａ，２１Ｂの側面と同一面を形成している。このため、各受圧ダイアフラム室３２ａ，３２ｂは、隙間７４ａ，７４ｂの容積分だけ従来の受圧ダイアフラム室より大きく形成されている。また、当然のことながら、各受圧ダイアフラム室３２ａ，３２ｂに封入される封入液４１の量も隙間７４ａ，７４ｂの容積分だけ従来の封入液量より増加している。
【００４５】
ストッパ部材７２ａ，７２ｂの材料としては、線膨張係数αｃがボディ本体２１の線膨張係数αｓの１／５以下、好ましくは１／１０以下で、さらに好ましくは線膨張係数αｃがマイナスのセラミックス、金属等によって形成されている。なお、ストッパ部材７２ａ，７２ｂとしては、ボディ２１Ａ，２１Ｂに対する容積比が大きいことが好ましい。
【００４６】
低熱膨張材料としては、シリコン（線膨張係数：２．５４ｐｐｍ／Ｋ）、チタン酸アルミニウム（線膨張係数：−０．８ｐｐｍ／Ｋ）、インバー（線膨張係数：１．２ｐｐｍ／Ｋ）等が用いられる。
【００４７】
また、ストッパ部材７２ａ，７２ｂは、その中央部に受圧ダイアフラム室３２ａ，３２ｂとセンサダイアフラム室３４ａ，３４ｂとを連通させる連通孔８０ａ，８０ｂを有している。また、ストッパ部材７２ａ，７２ｂの受圧ダイアフラム２７，２８と対向する面上には、複数の凸部（柱）８１ａ，８１ｂが離散的に形成されており（図２参照）、この複数の凸部８１ａ，８１ｂと凸部８１ａ，８１ｂとの間の通路（溝）８２ａ，８２ｂが連通孔８０ａ，８０ｂの周部とストッパ部材７２ａ，７２ｂの周端部８３ａ，８３ｂとの間の連通路とされている。この例において、凸部８１ａ，８１ｂは円柱状とされているが、図３に示すように、六角柱状とするなどしてもよい。
【００４８】
このような構造からなる差圧発信器２０において、被測定流体４７の測定圧ＰａとＰｂを受圧ダイアフラム２７，２８にそれぞれ加えると、両ダイアフラム２７，２８および受圧ダイアフラム室３２ａ，３２ｂ内の封入液４１を介してセンタダイアフラム３５に伝達される。このため、センタダイアフラム３５はその差圧（Ｐａ−Ｐｂ）に応じて変位し、この変位が封入液４１を介して圧力センサ５２のセンサダイアフラム６７の両面に加えられる。このため、センサダイアフラム６７は差圧（Ｐａ−Ｐｂ）に応じて歪み、その歪み量が電気信号に変換され、演算処理されることにより、被測定流体４７の圧力、液面高さ等が測定される。
【００４９】
測定に当たっては、低熱膨張材料からなるストッパ部材７２ａ，７２ｂを各ボディ２１Ａ，２１Ｂの受圧ダイアフラム室３２ａ，３２ｂに配置しているので、温度変化による過大圧保護機構の動作点の変動幅を小さくすることができる。この点については、特許文献１に詳述されているので、ここでの説明は省略する。
【００５０】
この差圧発信器２０において、測定圧Ｐａを高圧側の測定圧とし、測定圧Ｐｂを低圧側の測定圧とした場合、受圧ダイアフラム２７に高圧側の測定圧Ｐａがかかると、受圧ダイアフラム２７はストッパ部材７２ａ側に撓み、ストッパ部材７２ａの受圧ダイアフラム２７に対向する面（以下、単に対向面と呼ぶ）に着底する。
【００５１】
この受圧ダイアフラム２７が着底するストッパ部材７２ａの対向面には、複数の凸部８１ａが離散的に形成されており、この複数の凸部８１ａと凸部８１ａとの間の通路８２ａが連通孔８０ａの周部とストッパ部材７２ａの周端部８３ａとの間の連通路とされている。このストッパ部材７２ａの対向面に形成された複数の凸部８１ａは、受圧ダイアフラム２７が変位して当該受圧ダイアフラム２７がその凸部８１ａの上面に接触した状態でも、連通孔８０ａの周部とストッパ部材７２ａの周端部８３ａとの間の連通状態を保つ。
【００５２】
すなわち、本実施の形態では、ストッパ部材７２ａの連通孔８０ａだけではなく、ストッパ部材７２ａの対向面全体に形成される複数の凸部８１ａと凸部８１ａとの間の通路８２ａにオイルが残るため、受圧ダイアフラム２７がストッパ部材７２ａの受圧ダイアフラム２７に対向する面に完全に押し付けられて密着するということがない。このため、過大圧から開放されると、直ぐに受圧ダイアフラム２７がストッパ部材７２ａの受圧ダイアフラム２７に対向する面から離れ、出力が戻るのが遅れるという問題は生じない。
【００５３】
上述では、測定圧Ｐａを高圧側の測定圧とし、測定圧Ｐｂを低圧側の測定圧とした場合について説明したが、測定圧Ｐｂを高圧側の測定圧とし、測定圧Ｐａを低圧側の測定圧とした場合は、受圧ダイアフラム２８側で同様の動作が行われるものとなり、受圧ダイアフラム２８が着底するストッパ部材７２ｂの対向面に複数の凸部８１ａが離散的に形成されているので、受圧ダイアフラム２７側で説明したと同様の効果が得られるものとなる。
【００５４】
なお、上述した実施の形態では、ストッパ部材７２ａ，７２ｂの受圧ダイアフラム２７，２８に対向する面を平坦な面とし、この平坦な面に複数の凸部８１ａ，８１ｂを離散的に形成するようにしているが、ストッパ部材７２ａ，７２ｂを大きくし、ストッパ部材７２ａ，７２ｂの受圧ダイアフラム２７，２８の感圧領域に対向する面全体を受圧ダイアフラム２７，２８の変位に沿った曲面状の凹部８４ａ，８４ｂとし（図４参照）、この曲面状の凹部８４ａ，８４ｂの底面上に複数の凸部８１ａ，８１ｂを離散的に形成するようにしてもよい。
【００５５】
このような構造とすると、受圧ダイアフラム２７，２８がストッパ部材７２ａ，７２ｂの曲面状の凹部８４ａ，８４ｂに着底した場合、連通状態が保たれる複数の凸部８１ａと凸部８１ａとの間の通路８２ａが封入されているオイルの逃げ道となるため、受圧ダイアフラム２７，２８とストッパ部材７２ａ，７２ｂの対向面との間にオイルが取り残されることによる受圧ダイアフラム２７，２８の異常変形を回避することが可能となる。また、ストッパ部材７２ａ，７２ｂの連通孔８０ａ，８０ｂだけではなく、ストッパ部材７２ａ，７２ｂの対向面全体に形成される複数の凸部８１ａ，８１ｂと凸部８１ａ，８１ｂとの間の通路８２ａ，８２ｂにオイルが残るため、受圧ダイアフラム２７，２８の剥離性が向上する。また、ストッパ部材７２ａ，７２ｂの対向面全体に形成される複数の凸部８１ａ，８１ｂと凸部８１ａ，８１ｂとの間の通路８２ａ，８２ｂを通して受圧ダイアフラム２７，２８のエッジ付近（微少ギャップ付近）までオイルを侵入させることが可能となるため、オイルの封入性が向上する。
【００５６】
また、上述した実施の形態では、圧力センサ５２をセンサダイアフラム６７に圧力変化に応じて抵抗値が変化する拡散ゲージを形成したタイプとしているが、静電容量式のセンサチップとしてもよい。静電容量式のセンサチップは、所定の空間（容量室）を備えた基板と、その基板の空間上に配置されたダイアフラムと、基板に形成された固定電極と、ダイアフラムに形成された可動電極とを備えている。ダイアフラムが圧力を受けて変形することで、可動電極と固定電極との間隔が変化してその間の静電容量が変化する。
【００５７】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００５８】
２０…差圧発信器、２１…ボディ本体、２１Ａ，２１Ｂ…ボディ、２７，２８…受圧ダイアフラム、３２ａ，３２ｂ…受圧ダイアフラム室、３４…内室、３４ａ，３４ｂ…センタダイアフラム室、３５…センタダイアフラム、３９ａ，３９ｂ…連通路、４１…封入液、５２…圧力センサ、６７…センサダイアフラム、６８Ａ，６８Ｂ…センサ室、７２ａ，７２ｂ…ストッパ部材（スペーサ）、８０ａ，８０ｂ…連通孔、８１ａ，８１ｂ……凸部（柱）、８２ａ，８２ｂ…通路（溝）、８３ａ，８３ｂ…周端部、８４ａ，８４ｂ…曲面状の凹部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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