(57)【要約】【課題】  品質問題やトラブルが発生しないポリイミドフィルムの製造方法を提供する。【解決手段】  ポリアミド酸溶液を支持体上に口金からフィルム状に連続的に押し出しまたは塗布したゲルフィルムを、前記支持体から剥離し、延伸、乾燥、熱処理することによりポリイミドフィルムを製造するポリイミドフィルムの製造方法であって、口金から連続的にゲルフィルムを押し出す工程において、口金の前にフィルターを設置し、ポリアミド酸溶液を濾過するフィルターを、連続的に切り替えるポリイミドフィルムの製造方法。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリアミド酸溶液を支持体上に口金からフィルム状に連続的に押し出しまたは塗布したゲルフィルムを、前記支持体から剥離し、延伸、乾燥、熱処理することによりポリイミドフィルムを製造するポリイミドフィルムの製造方法であって、口金から連続的にゲルフィルムを押し出す工程において、口金の前にフィルターを設置し、ポリアミド酸溶液を濾過するフィルターを、連続的に切り替えるポリイミドフィルムの製造方法。
【請求項２】
連続的に、ポリアミド酸溶液を濾過しているフィルターから、ポリアミド酸溶液を濾過していないフィルターに切り替える請求項１に記載のポリイミドフィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポリイミドフィルムの製造方法に関し、特に、ポリアミド酸溶液を支持体上に口金からゲルフィルム状に連続的に押し出す工程において、口金の前にフィルターを設置し、ポリアミド酸溶液を濾過するフィルターを、連続的に切り替えるポリイミドフィルムの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のフィルター切り替え技術としては、配管を並列に配置し各々にフィルターを設置する事によって、一方を使用し、もう一方は予備としてフィルターが詰まったら切り替えるという手法により連続的に運転する事によって、生産性の向上が図られてきた（特許文献１参照）。
【０００３】
一般的にフィルター切り替え装置は、タンクのような充填機に液体を押し出す工程において、フィルターを切り替える事によって連続運転に使用されているが、ポリイミドフィルムを製造するような、口金からフィルム状に連続的に押し出す工程においては使用の報告はされていない。
【０００４】
ポリイミドフィルムを製造する一般的な方法としては、まず、極性溶媒中で芳香族ジアミンと芳香族テトラカルボン酸を反応させ、化学閉環の場合は更にイミド化触媒と脱水剤を添加したポリアミド酸溶液を調製し、このポリアミド酸溶液を口金からシート状にして金属表面などの支持体上に流延し製膜することにより、いわゆるゲルフィルムとする。その後、このゲルフィルム中のポリアミド酸を、熱または化学閉環剤の作用によりポリイミドに変化せしめ、さらに乾燥工程で溶媒を取り除くことによりポリイミドフィルムを製造する。
【０００５】
このようなポリイミドフィルムの製造方法においては、ポリアミド酸またはポリイミドに由来する重合未反応物類や低重合物類およびそれらの変成物といった不純物が排出される為に、口金の前にフィルターを設置して、異物を捕集している。しかし、経時によってフィルター詰まりが発生すると、ポリマーラインの圧力が上昇し、フィルターを異物がすり抜ける事によって、フィルム表面の欠点の原因となっている。その為フィルターが詰まると、工程を止めてフィルターを交換する必要がある。
【０００６】
このようなポリイミドフィルムの製造方法において、連続的にフィルターを切り替える事ができるフィルター切り替え装置を使用すると、切り替え時に泡噛みや圧力変動などが発生し、ポリイミドフィルムの製造に品質問題やトラブルが発生する。その為、ポリイミドフィルムの製造ラインにこのようなフィルター切り替え装置を導入した事例は、なかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１２−１７９５０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、品質問題やトラブルが発生しないポリイミドフィルムの製造方法を提供する事を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、品質問題やトラブルが発生しないポリイミドフィルムの製造方法を見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】
すなわち、本発明は、ポリアミド酸溶液を支持体上に口金からフィルム状に連続的に押し出しまたは塗布したゲルフィルムを、前記支持体から剥離し、延伸、乾燥、熱処理することによりポリイミドフィルムを製造するポリイミドフィルムの製造方法であって、口金から連続的にゲルフィルムを押し出す工程において、口金の前にフィルターを設置し、ポリアミド酸溶液を濾過するフィルターを、連続的に切り替えるポリイミドフィルムの製造方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法は、口金から連続的にゲルフィルムを押し出す工程において、実質上困難であった連続的にフィルターを切り替える事に対して、圧力変動を抑える事によりフィルムの品質問題やトラブルを起こすことなく切り替える事が出来る。又、これにより、フィルターを交換する為に工程を止めていたロスを抑制する事が出来る。
【００１２】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法は、泡噛みもなく品質的に良好なフィルムを提供する事が出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明のポリイミドフィルムの製造方法で用いるフィルター切り替え装置を組み立てた全体の模式図である。
【図２】図２は、第１フィルターラインのブリードラインを表した模式図である。
【図３】図３は、第１フィルターを使用したラインを表した模式図である。
【図４】図４は、第２フィルターラインのブリードラインを表した模式図である。
【図５】図５は、第２コック切り替えバルブから第２コックブリード口のブリードラインを表した模式図である。
【図６】図６は、第１、第２フィルターの２本のフィルターを使用したラインの模式図である。
【図７】図７は、第１フィルターから第２フィルターラインに切り替えた第２フィルターを使用したラインを表した模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、ポリイミドフィルムは、好ましくは、ポリアミド酸を有機溶媒中に溶解した溶液を用いて製膜し、該ポリアミド酸をイミド化してポリイミドフィルムを得る事が出来る。ここで、溶液中のポリアミド酸は、部分的にイミド化されていてもよい。又、溶液には少量の無機化合物を含有していてもよく、結果としてポリイミドフィルムに少量の無機化合物が含まれる事になっても構わない。
【００１５】
本発明において、好ましく使用される有機溶媒の具体例としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドおよびＮ−メチル−２−ピロリドンなどの有機極性アミド系溶媒が挙げられ、これらの有機溶媒は単独でまたは２種以上を組み合わせて使用されるが、ベンゼン、トルエンおよびキシレンのような非溶媒と組み合わせて使用してもよい。
【００１６】
本発明に使用するポリイミドの先駆体であるポリアミド酸としては、芳香族テトラカルボン酸類と芳香族ジアミン類とからなり、下記式（Ｉ）で示される繰り返し単位で構成されるものが好ましい。
【００１７】
【化１】
2015063009.tif 000002
【００１８】
（上記式（Ｉ）において、Ｒ１は、少なくとも１個の芳香族環を有する４価の有機基で、その炭素数が２５以下であるものを表わし、Ｒ２は、少なくとも１個の芳香族環を有する２価の有機基で、その炭素数が２５以下であるものを表わし、Ｒ１に結合する２つのカルボキシル基のそれぞれは、Ｒ１における芳香族環のアミド基が結合する炭素原子と相隣接する炭素原子に結合しており、アミノ基は、Ｒ２における芳香族環の炭素原子と結合しているものとする。）。
【００１９】
上記の芳香族テトラカルボン酸類の具体例としては、ピロメリット酸、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸、２，３’，３，４’−ビフェニルテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）プロパン、ピリジン−２，３，５，６−テトラカルボン酸またはその酸無水物、あるいはその酸のエステル化合物またはハロゲン化物から誘導される芳香族テトラカルボン酸類が挙げられる。
【００２０】
上記の芳香族ジアミン類の具体例としては、パラフェニレンジアミン、メタフェニレンジアミン、ベンジジン、パラキシリレンジアミン、４，４’−ジアミノジニフェニルエーテル、３，４’−ジアミノジフェニルエーテル、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、４，４’−ジアミノジフェニルスルホン、３，３’−ジメチルー４，４’−ジアミノジフェニルメタン、１，５−ジアミノナフタレン、３，３’−ジメトキシベンジジン、１，４−ビス（３−メチル−５−アミノフェニル）ベンゼンおよびこれらの誘導体が挙げられる。
【００２１】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、ポリイミドに特に好適な芳香族テトラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成分の組み合わせとしては、ピロメリット酸二無水物と４，４’−ジアミノジフェニルエーテルおよび３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と４，４’−ジアミノジフェニルエーテルの組み合わせが挙げられ、さらにこれらの共重合および／またはパラフェニレンジアミンの共重合が好ましい。
【００２２】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、ポリイミドフィルムを構成するポリイミドの固有粘度（２５℃硫酸中で測定）としては、０．２〜３．０の範囲にあることが好ましく、０．８〜２．０の範囲にあることがより好ましい。
【００２３】
なお、本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、ポリイミドフィルム中には、本発明の目的を阻害しない範囲であれば、高強度化などを目的として、異種ポリマーがブレンドされていてもよい。また、酸化防止剤、熱安定剤、紫外線吸収剤、遮光剤、耐電防止剤などの有機添加剤が、通常添加される程度に添加されていてもよい。
【００２４】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、ポリアミド酸溶液は、フィルムの易滑性付与のため、粒子が０．０５〜５重量％添加されていてもよい。粒子に関しては、酸化チタン、微細シリカ、炭酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸水素カルシウム、ポリイミドフィラー等の化学的に不活性な有機フィラー或いは無機フィラー等を含有していてもよく、このようなフィラーとしては、シリカが好ましい。
【００２５】
本発明に用いる無機フィラー（無機粒子）は、特に限定されないが、全粒子の粒子径が０．００５μm以上２．０μm以下の無機フィラーが好ましく、全粒子の粒子径が０．０１μm以上１．５μm以下の無機フィラーがより好ましい。粒度分布（体積基準）に関して、特に限定されないが、粒子径０．１０μm以上０．９０μm以下の粒子が全粒子中８０体積％以上を占める無機フィラーが好ましく、より易滑性に優れる点から、粒子径０．１０μm以上０．７５μm以下の粒子が全粒子中８０体積％以上を占める無機フィラーがより好ましく、特に易滑性に優れる為、粒子径０．１０μm以上０．６０μm以下の粒子が全粒子中８０体積％以上を占める無機フィラーが特に好ましい。また、本発明の無機フィラーの平均粒子径は、特に限定されないが、０．０５μm以上０．７０μm以下が好ましく、０．１０μm以上０．６０μm以下がより好ましく、０．３０μm以上０．５０μm以下が特に好ましい。平均粒子径が０．０５μm以下になると、フィルムの易滑性効果が低下するので好ましくない。前記の粒度分布、平均粒子径及び粒子径範囲は、堀場製作所のレーザー同析／散乱式粒度分布測定装置LA−９１０を用いて測定する事が出来る。前記平均粒子径は、体積平均粒子径を指す。
【００２６】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、口金から連続的にゲルフィルムを押し出す工程において、口金の前にフィルターを設置し、ポリアミド酸溶液を濾過する。
【００２７】
フィルターは、好ましくは、化学閉環プロセスで使用され、脱水剤、脱水触媒等を混合して口金から支持体にキャストされるため、脱水剤と脱水触媒等を混合後口金の間で、目開きが２〜３５μｍのフィルターを用いて濾過することが好ましい。フィルターについては、耐腐食性のあるものであれば良く、ステンレス綱やハステロイ系等が好ましい。目開きが２μｍ以下では、フィルターの圧力損失が大きくなりすぎて、生産性が低下する場合がある。また目開きが３５μｍを超えるとイミド変性状物の除去が悪くなり、欠点の減少に効果が少ない場合がある。フィルターの形式は、金属繊維焼結金属、金属粉末焼結金属どちらのタイプでも良い。
【００２８】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、口金の前にフィルターを設置し、ポリアミド酸溶液を濾過するフィルターを、連続的に切り替える。
【００２９】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、好ましくは、連続的に、ポリアミド酸溶液を濾過しているフィルターから、ポリアミド酸溶液を濾過していないフィルターに切り替える。
【００３０】
以下、ポリアミド酸溶液を濾過するフィルターを、連続的に切り替える工程について、図面を用いて詳細に説明する。
【００３１】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、好ましくは、ポリアミド酸溶液を通す前、フィルター切り替え装置内を有機溶媒で満たしておく。その際、有機溶媒を満たすまでは第１・２コック切り替えバルブ（１・２・３・４）を全開（１００％）残りは全て閉にしておき、フィルター切り替え装置内に有機溶媒を満たした後、第１・２コック切り替えバルブ（１・２・３・４）を全閉（０％）にする。この状態を、図１に示した。
【００３２】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、好ましくは、第１コック切り替えバルブ（第１フィルター側）３と第２コックブリードバルブ（第１フィルター側）５を全開（１００％）にする。この状態を、図２に示した。図２において、図１の状態から、その後、ポリアミド酸溶液を、第１コック前ブリードバルブ１１を全開にし、第1コック入り口から第1コックに入れる。これにより、ポリアミド酸溶液は配管１４をA１の方向に流れる。その後、第１フィルター９を通り、配管１２を通った後、第２コックブリード口（第１フィルター側）１７からポリアミド酸で配管中の有機溶媒を押し流す。好ましくは、第２コックブリード口（第１フィルター側）１７から出てきた有機溶媒がポリアミド酸に変わり、エアーの噛み込みがなくなった時点で、第１フィルターラインのブリードを完了とする。図２において、太線は、ポリアミド酸溶液が通過するラインを示す。
【００３３】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、好ましくは、図２の状態から、第２コック切り替えバルブ（第１フィルター側）１を微開（５〜１０％程度）にして第２コック出口１６からポリアミド酸溶液を流す（図３）。その後、好ましくは、第２コックブリードバルブ（第１フィルター側）５を微閉（５〜１０％)し、第２コックブリード口（第１フィルター側）１７から押し出されるポリアミド酸を絞る。この際、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸溶液に変動を与えないようにする。好ましくは、この作業を繰り返し実施し、第２コック切り替えバルブ（第１フィルター側）１を全開（１００％）、第２コックブリードバルブ（第１フィルター側）５を全閉（０％）にする。好ましくは、この際、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸溶液に変動を与えないように５分以上かけて操作を実施する。これにより、図３のラインでポリアミド酸は第２コック出口１６から押し出される。図３において、太線は、ポリアミド酸溶液が通過するラインを示す。
【００３４】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、好ましくは、図３の状態から、第２フィルターラインのブリード（泡抜き）を実施する（図４）。好ましくは、始めに、第２コックブリードバルブ(第２フィルター側)６を全開にする。好ましくは、その後、第１コック切り替えバルブ(第２フィルター側)４を１０〜２５％程度開にする。好ましくは、この時、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸溶液に変動を与えないよう注意する。好ましくは、第２コックブリード口（第２フィルター側）１８から出てきた有機溶媒がポリアミド酸に変わり、エアーの噛み込みがなくなった事を確認する。図４において、太線は、ポリアミド酸溶液が通過するラインを示す。
【００３５】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、好ましくは、図４の状態から、第２コック切り替えバルブ（第２フィルター側）２を微開（好ましくは、５％程度）する（図５）。好ましくは、その後、第２コックブリード口（第２フィルター側）１８から出てきた有機溶媒がポリアミド酸に変わり、エアーの噛み込みがなくなった時点で、第２フィルターラインのブリードを完了とする。好ましくは、このとき、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸溶液に変動を与えないよう注意する。図５において、太線は、ポリアミド酸溶液が通過するラインを示す。
【００３６】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、好ましくは、図５の状態から、第２コックブリードブリードバルブ（第２フィルター側）６を微閉（好ましくは、５〜１０％）し、第２コックブリード口（第２フィルター側）１８から押し出されるポリアミド酸を絞る（図６）。好ましくは、この際、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸溶液に変動を与えないよう注意する。好ましくは、この作業を繰り返し実施し、第２コックブリードバルブ（第２フィルター側）６を全閉（０％）にする。好ましくは、次に、第１コック切り替えバルブ（第２フィルター側）４を全閉から全開（１００％）にする。好ましくは、その後、第２コック切り替えバルブ（第２フィルター側）２を５分以上かけてゆっくり全開にする。好ましくは、この時、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸溶液に変動を与えないよう注意する。これにより、図６のラインでポリアミド酸は第１フィルター９、第２フィルター１０の２本を通り（Ａ１・Ａ２）、第２コック出口１６から押し出される。図６において、太線は、ポリアミド酸溶液が通過するラインを示す。
【００３７】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、好ましくは、図６の状態から、第２コック切り替えバルブ（第１フィルター側）１を第２コック出口１６から押し出されるポリアミド酸に変動を与えないよう、５分以上かけて全開（１００％）→全閉（０％）にする（図７）。好ましくは、その後、第１コック切り替えバルブ（第１フィルター側）３を同様に５分以上かけてゆっくり全開（１００％）→全閉（０％）に操作する。好ましくは、この時、第２コック出口１６から押し出されるポリアミド酸に変動を与えないよう注意する。これにより、図７のラインでポリアミド酸は、第２フィルター１０を通り、第２コック出口１６から押し出され、Ａ２のラインとなり、第１フィルター９から第２フィルター１０の切り替えが完了となる。図７において、太線は、ポリアミド酸溶液が通過するラインを示す。
【実施例】
【００３８】
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明が以下の実施例に限定されないことはいうまでもない。
【００３９】
［実施例１］
攪拌機を備えた重合装置に、乾燥したＮ、Ｎ−ジメチルアセトアミドを１９００．６ｋｇ投入し、さらに、４，４’−ジアミノジフェニルエーテルを２００．０２４（１ｋｍｏｌ）投入して、攪拌溶解した。次に、ピロメリット酸二無水物を少量ずつ、合計２１８．２ｋｇ（１ｋｍｏｌ）投入した。該投入完了後、１時間攪拌し続けて、透明なポリアミド酸溶液を得た。この溶液は、２０℃で３５０Ｐａ・Ｓの粘度であった。
【００４０】
このポリアミド酸溶液に、無水酢酸をポリアミド酸単位に対して、２．５ｍｏｌ、ピリジンをポリアミド酸単位に対して２．０ｍｏｌ投入して混合した後、上記フィルター切り替え装置で図２におけるＡ１のラインを通して、口金スリット幅１．３ｍｍ、長さ１８００ｍｍのＴダイから押し出し、９０℃の金属エンドレスベルト上に流延して自己指示性のあるゲルフィルムを得た。
【００４１】
上記の状態から、第２コックブリードバルブ（第２フィルター側）６を全開にし、第１コック切り替えバルブ（第２フィルター側）４を５分かけて１５％開にした。この時、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸溶液に泡噛み等の変動はなかった。３０分後、第２コックブリード口（第２フィルター側）１８から出てきた有機溶媒がポリアミド酸に変わり、エアーの噛み込みがなくなった。
【００４２】
次に、第２コック切り替えバルブ（第２フィルター側）２を５％３分かけて開にした。１０分後、第２コックブリード口（第２フィルター側）１８から出てきた有機溶媒がポリアミド酸に代わりエアーの噛み込みがなくなった事を確認した。この時、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸は、特に変動はなかった。
【００４３】
次に、第２コックブリードバルブ（第２フィルター側）６を１０％５分かけて閉止した。この作業を１０回繰り返し、第２コックブリードバルブ（第２フィルター側）６を０％（全閉）にした。その後、第１コック切り替えバルブ（第２フィルター側）４を１０分かけて全閉から全開（１００％）にし、第２コック切り替えバルブ（第２フィルター側）２を６分かけて全開にした。この時、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸溶液に変動はなかった。
【００４４】
次に、第２コック切り替えバルブ（第１フィルター側）１を８分かけて全開（１００％）から全閉（０％）にした。この時、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸溶液に変動はなく、第１フィルター９から第２フィルター１０への切り替えを完了した。この時、口金から押し出され、エンドレスベルト上で流延したゲルフィルムに特に異常はなかった。
【００４５】
［比較例１］
攪拌機を備えた重合装置に、乾燥したN、N−ジメチルアセトアミドを１９００．６ｋｇ投入し、さらに、４，４’−ジアミノジフェニルエーテルを２００．０２４（１ｋｍｏｌ）投入して、攪拌溶解した。次に、ピロメリット酸二無水物を少量ずつ、合計２１８．２ｋｇ（１ｋｍｏｌ）投入した。該投入完了後、１時間攪拌し続けて、透明なポリアミド酸溶液を得た。この溶液は、２０℃で３５０Ｐａ・Ｓの粘度であった。
【００４６】
このポリアミド酸溶液に、無水酢酸をポリアミド酸単位に対して、２．５ｍｏｌ、ピリジンをポリアミド酸単位に対して２．０ｍｏｌ投入して混合した後、上記フィルター切り替え装置で図２におけるＡ１のラインを通して、口金スリット幅１．３ｍｍ、長さ１８００ｍｍのＴダイから押し出し、９０℃の金属エンドレスベルト上に流延して自己指示性のあるゲルフィルムを得た。
【００４７】
上記の状態から、第２コックブリードバルブ（第２フィルター側）６を全開にし、第１コック切り替えバルブ（第２フィルター側）４を５分かけて１５％開にした。この時、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸溶液に泡噛み等の変動はなかった。３５分後、第２コックブリード口（第２フィルター側）１８から出てきた有機溶媒がポリアミド酸に変わり、エアーの噛み込みがなくなった。
【００４８】
次に、第２コック切り替えバルブ（第２フィルター側）２を５％３分かけて開にした。８分後、第２コックブリード口（第２フィルター側）１８から出てきた有機溶媒がポリアミド酸に代わりエアーの噛み込みがなくなった事を確認した。この時、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸は、特に変動はなかった。
【００４９】
次に、第２コックブリードバルブ（第２フィルター側）６を全開→全閉にした（所要時間1分）。その後、第１コック切り替えバルブ（第２フィルター側）４を全閉から全開（１００％）にし、第２コック切り替えバルブ（第２フィルター側）２を全開にした（所要時間2分）。この時、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸溶液が変動し、口金から押し出されるゲルフィルムも脈動を確認した。
【００５０】
次に、第２コック切り替えバルブ（第１フィルター側）１を全開（１００％）から全閉（０％）にした。この時、第２コック出口１６から流れるポリアミド酸溶液が変動し、口金から押し出されるゲルフィルムも脈動しちぎれてしまい、フィルターを切り替える事は出来なかった。
【符号の説明】
【００５１】
１．第２コック切り替えバルブ（第１フィルター側）
２．第２コック切り替えバルブ（第２フィルター側）
３．第１コック切り替えバルブ（第１フィルター側）
４．第１コック切り替えバルブ（第２フィルター側）
５．第２コックブリードバルブ（第１フィルター側）
６．第２コックブリードバルブ（第２フィルター側）
７．第１コックブリードバルブ（第１フィルター側）
８．第１コックブリードバルブ（第２フィルター側）
９．第１フィルター
１０．第２フィルター
１１．第１コック前ブリードバルブ
１２．第２コックフィルター配管（第１フィルター側）
１３．第２コック−フィルター配管（第２フィルター側）
１４．第１コック−フィルター配管（第１フィルター側）
１５．第１コック−フィルター配管（第２フィルター側）
１６．第２コック出口
１７．第２コックブリード口（第１フィルター側）
１８．第２コックブリード口（第２フィルター側）
１９．第１コックブリード口（第１フィルター側）
２０．第１コックブリード口（第２フィルター側）
２１．第２コック
２２．第１コック
【図１】
2015063009.tif 000003
【図２】
2015063009.tif 000004
【図３】
2015063009.tif 000005
【図４】
2015063009.tif 000006
【図５】
2015063009.tif 000007
【図６】
2015063009.tif 000008
【図７】
2015063009.tif 000009