(57)【要約】【課題】本発明が解決しようとする課題は、保磁力が大きなＮｄ系などの磁性材料でも、小規模な設備により低コストで且つ簡便に磁性材料の着磁状態を評価し、磁石素材の選別やランク分けできる手段を提供する事にある。また、選別された磁石で構成された高品質な永久磁石モータを提供することにある。【解決手段】本発明は上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例を挙げるならば、着磁前の磁石素材の着磁面を磁場発生装置に近接させ、該磁場発生装置から該磁石素材を透過した磁束密度を測定し、該磁束密度の分布から前記磁石素材の着磁後の磁石の磁気特性を予測し選別することで達成される。これにより、永久磁石モータに磁石素材を搭載する前に磁石品質を予測し不良品を排除することができる。【選択図】  図１
2015099053.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
着磁前の磁石素材の着磁面を磁場発生装置に近接させ、該磁場発生装置から該磁石素材を透過した磁束密度を測定し、該磁束密度の分布から前記磁石素材の着磁後の磁石の磁気特性を予測し選別することを特徴とする磁石素材の選別方法。
【請求項２】
請求項１に記載の磁石素材の選別方法であって、
前記磁束密度の分布として、前記着磁前の磁石素材の４隅の磁束密度を測定して前記磁石素材の着磁後の磁石の磁気特性を予測し選別することを特徴とする磁石素材の選別方法。
【請求項３】
請求項１または２の何れか１項に記載の磁石素材の選別方法を用いて選別した磁石を組み込んで構成されたことを特徴とする永久磁石モータ。
【請求項４】
着磁前の磁石素材の着磁面に磁場を印加する磁場発生装置と、
前記磁石素材を透過した磁束密度を測定する磁化測定部と、
前記磁場発生装置と前記磁化測定部とが一定の間隔を有して固定された構造体と、
前記磁場発生装置と前記磁化測定部の間を前記磁石素材が相対的に移動する移動機構とからなり、
前記着磁前の磁石素材の磁束密度分布を測定することを特徴とする磁気測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載の磁気測定装置であって、
前記磁化測定部は、磁気センサを複数配列した磁気センサアレイで構成されていることを特徴とする磁気測定装置。
【請求項６】
請求項５に記載の磁気測定装置であって、
前記磁気センサはホール素子であることを特徴とする磁気測定装置。
【請求項７】
請求項４から６の何れか１項に記載の磁気測定装置であって、
前記磁石素材は長方形断面形状であり、前記移動機構により、前記磁石素材が前記磁場発生装置と前記磁化測定部の間を相対的に直線移動することを特徴とする磁気測定装置。
【請求項８】
請求項４から６の何れか１項に記載の磁気測定装置であって、
前記磁石素材は曲面断面形状であり、前記移動機構により、前記磁石素材が前記磁場発生装置と前記磁化測定部の間を前記磁石素材の曲面断面の曲率半径に沿って相対的に回転移動することを特徴とする磁気測定装置。
【請求項９】
請求項４から６の何れか１項に記載の磁気測定装置であって、
前記磁石素材は曲面断面形状であり、
前記磁場発生装置と前記磁化測定部は前記磁石素材の曲面断面の曲率半径に沿った曲面形状を有し、
前記移動機構により、前記磁石素材が前記磁場発生装置と前記磁化測定部の間を相対的に直線移動することを特徴とする磁気測定装置。
【請求項１０】
請求項４から９の何れか１項に記載の磁気測定装置であって、
さらにヒータを有し、
該ヒータにより前記磁石素材を加熱した状態で前記磁石素材を透過した磁束密度を測定することを特徴とする磁気測定装置。
【請求項１１】
請求項４から１０の何れか１項に記載の磁気測定装置であって、
前記着磁前の磁石素材の４隅の磁束密度を測定することを特徴とする磁気測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、永久磁石用モータに用いられる強磁性材料の品質管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車などに使用される高出力モータでは、Ｎｄ-Ｆｅ-Ｂ系などの保磁力の大きい強磁性体（永久磁石）を用いてモータの出力増加を図ることが一般的になってきている。強磁性体をモータに用いる場合、強磁性体に１５ｋガウス以上の大きな磁界を印加して着磁して使う必要がある。着磁は、強磁性体をモータに組み込む前に行っても、組み込んだ後に行っても構わないが、前述のように、Ｎｄ-Ｆｅ-Ｂ系の強磁性体の着磁には大きな印加磁界が必要であるので、着磁に必要な磁界が確保できない場合は、強磁性体の着磁が不完全となり、モータの出力が低下してしまう現象が生じる。また、磁石の着磁特性は、磁石の成分や製造方法の影響を受けやすい。
【０００３】
従来、磁石素材は日本製が主流であったが、近年、ハイブリッド自動車、電気自動車及び風力発電等のエネルギー設備で使用するモータに高効率なＮｄ-Ｆｅ-Ｂ系磁石モータが使用されるようになり、供給重要が増加している。供給量の増加に伴い、磁石素材は海外製が主流になってきている。しかし、海外製磁石素材は、磁石の品質ばらつきが大きいという問題がある。また、希土類元素の供給不足からジスプロシウムを低減させた磁石の開発が進んでいるが、このような磁石の特性は品質が不安定になりやすい。このため、磁石素材の特性ばらつきが懸念され、強磁性体の着磁状態を管理することが、きわめて重要になる。
【０００４】
強磁性体の磁気特性評価に関する技術分野の背景技術として、特開平６−２８９１１２７号公報（特許文献１）がある。前提として、永久磁石等の強磁性材料の被測定物の磁気特性測定を、コイル８０３に電流を流して発生させた磁束を被測定物に注入し、ＢコイルとＨコイルにより、被測定物に生じるＢ−Ｈ特性を測定することが一般的である。この場合、電磁石の磁極と被測定物の間に空隙があると、被測定物の界面に発生した磁極の反磁界により、測定に誤差を生じる。特許文献１には、この空隙を極力小さくするため、被測定物と磁極との接する面上に厚さの薄い圧力センサのひずみゲージを設置し、ひずみゲージの出力をひずみ測定器と変換器を介し検出した検出信号を駆動用モータにフィードバックして被測定物に加わる圧力を自動的に制御した磁気特性測定装置が記載されている。
【０００５】
磁石の着磁前磁石の着磁状態を定量化するため、着磁前磁石素材と着磁した磁石素材の吸引力を測定し着磁前磁石素材の磁気特性を予測する方法として、特開平５−１１９１３８号公報（特許文献２）に開示されている。特許文献２では、着磁前の磁石素材と吸引力発生用磁石とを近接させて近接時における磁石素材の被吸引力の大きさを測定することにより、磁石素材の被吸引力の大小と着磁後の磁石の磁気特性の良否とが反対の関係にあることを利用して前記磁石素材を着磁した後の磁石の磁気特性を磁石素材の段階で予測することを特徴としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平６−２８９１１２号公報
【特許文献２】特開平５−１１９１３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１の、Ｂ−Ｈ特性による磁石の磁気特性測定方法では、保磁力の大きなＮｄ系などの磁性材料を測定する場合には、大きな磁界を発生する電磁石が必要になるため、大掛かりな設備が必要になる。また、測定前の調整に時間が掛かるので、低コストで簡易な測定には不向きである。
【０００８】
また、特許文献２では、未着磁磁石と吸引力発生用磁石の相対する面に生じる吸引力は、吸引力の定義から、吸引用磁石の磁化と相対面の面積の積に比例する値であるので、平均値しかわからず着磁前素材の部分箇所による磁気特性変化は吸引力に反映しづらく、磁石素材の面内での磁気特性分布が不明で、磁気特性の良否判断がしにくいという欠点があった。磁石素材の面内での磁気特性分布ばらつきが大きいと、それを用いたモータの脈動が大きくなってしまう等の問題がある。
【０００９】
よって、本発明が解決しようとする課題は、磁石素材を着磁する前に磁気特性を予測するに際して、磁石素材の面内での磁気特性分布を予測することにより、磁石素材の選別やランク分けできる手段を提供する事にある。また、選別された磁石で構成された高品質な永久磁石モータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例を挙げるならば、着磁前の磁石素材の着磁面を磁場発生装置に近接させ、該磁場発生装置から該磁石素材を透過した磁束密度を測定し、該磁束密度の分布から前記磁石素材の着磁後の磁石の磁気特性を予測し選別することで達成される。
【発明の効果】
【００１１】
永久磁石モータに磁石素材を搭載する前に磁石品質を予測し不良品を排除することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施例１の磁気測定装置の構成図である。
【図２】実施例１のホール素子アレイと鉄芯の位置関係を示した図である。
【図３】実施例１に係る磁気測定結果の一例を示す図である。
【図４】実施例１の磁気測定装置のプロセスフローを示した図である。
【図５】実施例１の応用事例を示す図である。
【図６】実施例２に係る永久磁石モータの断面構造を示した図である。
【図７】実施例２の磁気測定装置の構成図である。
【図８】実施例３の磁気測定装置の構成図である。
【図９】実施例３のホール素子アレイと鉄芯の位置関係を示した図である。
【図１０】実施例４の磁気測定装置の構成図である。
【図１１】実施例４の磁気測定装置のプロセスフローを示した図である。
【図１２】実施例５に係る磁石素材の磁束密度分布を示す図である。
【図１３】強磁性材料断面の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、実施例を、図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１４】
まず、磁気特性の品質向上の必要性について説明する。図１３に、Ｎｄ-Ｆｅ-Ｂ系磁石素材の着磁後の断面構造の一例を示す。Ｎｄ-Ｆｅ-Ｂ系強磁性体の完全着磁は難しく、磁石素材の材料あるいは着磁状態が悪いと、図１３に示すような、着磁されていない多磁区状態の部位（粒子）が存在する。このような局所的な多磁区部位を有する強磁性体は加熱により温度が上昇すると、多磁区部位を起点に多磁区部位が伝播し磁束密度が低減するため磁化特性が劣化する。このため、このような着磁後に多磁区部位の多い磁石を製品から取り除くことが、製品の磁気特性の品質を向上させるための重要な因子となる。
【００１５】
本実施例では、磁気センサとしてのホール素子を複数配列してなるホール素子アレイを用いて着磁前磁石の磁気特性を予測する場合の、着磁前磁石素材の磁束密度分布を測定する装置及び測定方法の一例を示す。
【００１６】
図１に、本実施例の着磁前磁石の磁束密度分布を簡易に測定する磁気測定装置の構成図を示す。１０１はホール素子アレイ、１０２は磁石素材ホルダ、１０３は未着磁の磁石素材、１０４は磁石素材ホルダ駆動制御機構、１０５はコイル、１０６は鉄芯（コア）、１０７は筺体である。また、ホール素子アレイ１０１で測定したデータと磁石素材ホルダ駆動制御信号は同期する構造でも、しない構造でもどちらでも構わない。
【００１７】
本実施例では、ホール素子アレイ１０１と鉄芯１０６の相対位置関係を維持したまま、ホール素子アレイ１０１と鉄芯１０６の間の空間に磁石素材１０３を移動させる移動機構を有する装置を用いて磁石素材面内の磁束密度分布を測定する方法を示す。磁場発生装置として、コイル１０５に電流を流すことにより鉄芯１０６から磁石素材１０３に向けた磁場が発生する。発生した磁場は磁石素材１０３を通過し、相対する、磁化測定部であるホール素子アレイ１０１で測定される。
【００１８】
図２は、ホール素子アレイ１０１と鉄芯１０６の位置関係を示した図である。図２（ａ）は、図１の紙面に平行な方向からみた、ホール素子アレイ１０１と鉄芯１０６の構成図である。図２（ａ）の上部は、ホール素子アレイ１０１の構造の一例を示しておりホール素子２０１は基板２０３の端部に一列に配列して設置され、基板２０３に内蔵されたアンプ２０２を介して測定信号を取得できる。
【００１９】
また、図２（ａ）の下部は、鉄芯１０６の形状の一例を示しており、鉄芯１０６はホール素子２０１と略同一の幅を有し、ホール素子アレイ１０１と略同一の長さを有する構造になっている。図２（ｂ）は、図１の紙面に垂直な方向からみた、ホール素子アレイ１０１と鉄芯１０６との関係を示した図である。図２（ｂ）に示すように、コイル１０５（図１参照）に電流を流して発生した磁場２０５は、鉄芯１０６の端面から磁石素材１０３（図示せず）に印加され、磁石素材１０３を通過して相対するホール素子アレイ１０１にて測定される。このため、同一電流で発生する同一磁場が磁石素材１０３を透過した後の磁化をホール素子アレイ１０１で測定できる。磁石素材１０３を透過した後の磁化は磁石素材内部の磁壁移動や磁化反転など磁石素材の磁化挙動で変化するので、本測定により磁石素材１０３の磁束密度分布を測定することで着磁前の磁石素材の特性を予測できる。
【００２０】
また、ホール素子アレイ１０１は、図１の紙面に対して垂直方向にホール素子が配列して配置されているので、それと直交する方向（図１の紙面上の左右方向）に磁石素材１０３を直線移動しながら磁化測定をすることにより磁石素材の面内の磁束密度分布を測定することができる。この場合、ホール素子の測定タイミングと磁石素材の移動量を同期させることにより高精度な磁束密度分布を得ることができる。しかし、同期しない場合でも相対的に磁石素材の磁束密度分布を評価することができる。
【００２１】
本装置に使用したホール素子アレイでのサンプリング時間は、１ミリ秒以下で、磁石素材の移動速度を1ミリ/秒とした。この場合φ20ミリの円形磁石であれば20秒程度の短時間でデータを得ることができる。
【００２２】
ここでは、図２のように、ホール素子を一列に並べたタイプのホール素子アレイを示したが、ホール素子単体としても、あるいは複数列に並べマトリックス状に配列した他の構成のホール素子アレイとしても良い。なお、複数列に並べた場合は、駆動機構による磁石素材の移動量を小さくできるので、測定時間短縮の効果がある。
【００２３】
さらには、ホール素子の代わりに他の磁気センサ、例えばＭＲ素子(磁気抵抗素子)等、を用いて磁気センサアレイを用いても良い。また、移動機構は、磁石素材を移動させるように説明したが、ホール素子アレイと鉄芯の間を磁石素材が相対的に移動すればよいので、例えば、磁石素材を固定して、ホール素子アレイと鉄芯を移動するような、他の駆動方法を使って磁石素材の磁束密度分布を測定しても構わない。
【００２４】
図３は、同一メーカの同一型式の磁石素材に対し、本ホール素子アレイで測定した印加磁界と磁石素材を通過した後の透過磁束密度の関係を示す。磁石素材（a）及び磁石素材（ｂ）共に印加磁界の増加に伴い、透過磁束密度も増加する。しかし、透過磁束密度の低い磁石素材（ｂ）においては、どの印加磁界においても磁石素材（a）の透過磁束密度より低くなる。このため、任意の印加磁界に対する透過磁束密度を測定することにより、着磁前磁石の磁気特性の予測が可能になる。また、他の予測方法として、複数種類の磁界を磁石素材に印加し、磁石素材の磁束密度分布を測定して、磁石素材の特性を予測しても構わない。
【００２５】
図４は、図１に示した磁気測定装置で磁石素材の磁束密度分布を測るプロセスフローである。図４において、まずステップ０１（以降ステップをＳと省略する）で鉄芯に電流を流して磁界を発生させる。この状態で、磁石素材を移動させ（Ｓ０２）、鉄芯及ホール素子アレイ間を通過することにより磁束密度を測定する。磁束密度分布を測定する場合は、予め印加磁界を設定し、所定の移動回数Ｎまで測定を繰り返す（Ｓ０３）ことで実現できる。
【００２６】
図５に、永久磁石モータの応用例であるハイブリッド自動車の駆動装置の概略を示す。タンク５０４から供給されるガソリンにより駆動するエンジン５０１と、バッテリー５０３の電気により駆動されるモータ５０２を効率良く組み合わせて使うことによって低燃費を実現する。このような高効率なモータには永久磁石モータを使うことが多い。
【００２７】
以上のように、本実施例は、着磁前の磁石素材の着磁面に磁場を印加する磁場発生装置と、前記磁石素材を透過した磁束密度を測定する磁化測定部と、前記磁場発生装置と前記磁化測定部とが一定の間隔を有して固定された構造体と、前記磁場発生装置と前記磁化測定部の間を前記磁石素材が相対的に移動する移動機構と、からなる磁気測定装置によって、前記着磁前の磁石素材の磁束密度分布を測定し、該磁束密度分布から前記磁石素材の着磁後の磁石の磁気特性を予測し選別することが出来る。言い換えれば、着磁前の磁石素材の着磁面を磁場発生装置に近接させ、該磁場発生装置から該磁石素材を透過した磁束密度を測定し、該磁束密度の分布から前記磁石素材の着磁後の磁石の磁気特性を予測し選別することが出来る。
【００２８】
よって、小規模な設備により低コストで且つ簡便に磁性材料の着磁状態を評価できる。また、選別された磁石で構成された高品質な永久磁石モータを提供することが出来る。
【００２９】
また、永久磁石モータに磁石素材を搭載する前に磁石品質を予測し不良品を排除することができるので、磁石素材起因の不良品発生率を大幅に低減することができる。また、不良磁石素材の排除あるいは磁石素材のクラス分けを行うことができるので、永久磁石モータの要求仕様に合わせて資源の有効活用に貢献できる。
【実施例２】
【００３０】
図６に、典型的な永久磁石モータの断面図を示す。モータ内部の回転子に磁石６０１が埋め込まれており、図示したように長方形断面形状の磁石(a)、(b)か、曲面断面形状の磁石(c)、(d)に大別される。
【００３１】
そこで、本実施例では、磁石素材が曲面断面形状を有する場合の磁気測定装置について図７を用いて説明する。
【００３２】
図７（ａ）において、ホール素子アレイ１０１と鉄芯１０６の間の間隔を一定に保ち、磁石素材７０１を相対的にホール素子アレイ１０１及び鉄芯１０３間で移動させることで磁石素材７０１の磁束密度分布を測定する。この場合は、磁石素材７０１の曲面断面の曲率半径に沿って磁石素材を回転移動できる移動機構として駆動装置７０２を付加することにより測定が可能になる。図７（ｂ）に、図７（ａ）の磁石素材７０１および駆動装置７０２を上面から見た場合の図を示す。実施例１と同様に、ホール素子アレイ１０１と直交する方向に磁石素材７０１を駆動モータ７０３により回転しながら磁化測定をすることにより、磁石素材面内の磁束密度分布を測定することができる。
【００３３】
ホール素子の測定タイミングと磁石素材の移動量を同期させることにより高精度な磁束密度分布を得ることができるが、同期しない場合でも相対的に磁石素材の透磁率分布を評価することができる。また、ここでは、図２のように、ホール素子を一列に並べたタイプのホール素子アレイを示したが、ホール素子単体としても、あるいは複数列に並べマトリックス状に配列した他の構成のホール素子アレイとしても良い。なお、複数列に並べた場合は、駆動装置による磁石素材の移動量を小さくできるので、測定時間短縮の効果がある。
【００３４】
さらには、ホール素子の代わりに他の磁気センサ、例えばＭＲ素子(磁気抵抗素子)等、を用いて磁気センサアレイを用いても良い。また、移動機構は、磁石素材を移動させるように説明したが、ホール素子アレイと鉄芯の間を磁石素材が相対的に移動すればよいので、例えば、磁石素材を固定して、ホール素子アレイと鉄芯を移動するような、他の駆動方法を使って磁石素材の磁束密度分布を測定しても構わない。
【実施例３】
【００３５】
磁石素材が曲面断面形状を有する場合の他の構成の磁気測定装置を図８に示す。図８において、ホール素子アレイ８０１、未着磁の磁石素材７０１、鉄心２０６が図１と異なり、他は図１と同様である。本実施例では、図１と同様に、ホール素子アレイ８０１と鉄芯２０６の相対位置関係を維持したまま、ホール素子アレイ８０１と鉄芯２０６の間の空間に磁石素材７０１を移動させる移動機構を有する装置を用いて磁石素材面内の磁束密度分布を測定する。
【００３６】
図９は、ホール素子アレイ８０１と鉄芯２０６の位置関係を示した図であり、図９（ａ）は、図８の紙面に平行な方向からみた、ホール素子アレイ８０１と鉄芯２０６の構成図である。図９（ａ）の上部は、ホール素子アレイ８０１の構造の一例を示しており、ホール素子アレイ８０１は磁石素材７０１の曲率半径に合わせて曲げた構造となっている。すなわち、基板２０４が、磁石素材７０１の曲率半径に合わせて曲げた構成となっており。ホール素子２０１は基板２０４の端部に沿って１列に配列して設置され、基板２０４に内蔵されたアンプ（図示せず）を介して測定信号を取得できる構造となっている。
【００３７】
また、図９（ａ）の下部は、鉄芯２０６の形状の一例を示しており、鉄芯２０６の先端は、ホール素子２０１と略同一の幅を有し、ホール素子アレイ８０１と同様に、磁石素材７０１の曲率半径に合わせて曲げた形状となっている。
【００３８】
図９（ｂ）は、図８の紙面に垂直な方向からみた、ホール素子アレイ８０１と鉄芯２０６との関係を示した断面図である。図９（ｂ）に示すように、コイル１０５（図８参照）に電流を流して発生した磁場は、鉄芯２０６の端面から磁石素材７０１に印加され、磁石素材７０１を通過して相対するホール素子アレイ８０１にて測定される構造になっている。このため、同一電流で発生する同一磁場が磁石素材７０１を透過した後の磁化をホール素子アレイ８０１で測定できる。なお、駆動装置１０４により磁石素材ホルダ１０２を紙面と並行な方向に駆動させ、磁石素材７０１を紙面に対して左右方向に直線移動させることにより、曲面断面形状を有する磁石素材７０１の磁束密度分布を測定することで着磁前の磁石素材の特性を予測できる。
【００３９】
すなわち、磁石素材７０１の曲率半径に合わせて曲げたホール素子アレイ８０１が、紙面に際して垂直方向に配置されており、そのホール素子アレイと直交するように、駆動装置１０４により磁石素材ホルダ１０２を紙面と並行の方向に駆動させ、鉄芯２０６より磁界を印加しながら磁石素材７０１の磁束密度分布を測定することが可能になる。なお、鉄芯２０６の先端は磁石素材７０１の曲率半径に合わせて曲げた形状としたので、磁石素材７０１への印加磁界が均一になるという効果がある。
【００４０】
なお、鉄芯２０６の形状を、直方体としてもよく、その場合は、鉄芯の構造を簡単にできるという効果がある。
【００４１】
また、図９（ａ）のように、ホール素子を磁石素材の曲率半径に合わせて１列に曲線上に並べたタイプのホール素子アレイを示したが、ホール素子単体としても、あるいは複数列に並べマトリックス状に配列した他の構成のホール素子アレイとしても良い。なお、複数列に並べた場合は、駆動装置による磁石素材の移動量を小さくできるので、測定時間短縮の効果がある。
【００４２】
さらには、ホール素子の代わりに他の磁気センサ、例えばＭＲ素子(磁気抵抗素子)等、を用いて磁気センサアレイを用いても良い。また、移動機構は、磁石素材を移動させるように説明したが、ホール素子アレイと鉄芯の間を磁石素材が相対的に移動すればよいので、例えば、磁石素材を固定して、ホール素子アレイと鉄芯を移動するような、他の駆動方法を使って磁石素材の磁束密度分布を測定しても構わない。
【実施例４】
【００４３】
図１０に、本発明の他の実施例を示す。磁石素材１０３の種類や成分によっては、微小印加磁界に対する磁束密度の変化では、磁石素材品質を判断しにくい場合が想定される。その場合は、より大きな磁界を磁石素材に印加して、磁石素材の品質を判断する必要がある。一方、大きな磁界を発生するには大掛かりな磁界発生装置が必要になってしまう。このため、磁石素材を磁界が透過しやすい、すなわち、磁壁移動や磁化反転し易い状態にしておいて測定することが有効と考えられる。
【００４４】
図１０に示した磁束密度測定装置においては、磁石加熱するためのヒータ９０１を具備した構造の簡易型磁束密度測定装置の一例を示している。本実施例では、ヒータ９０１により、磁石素材を加熱した状態で磁石の磁束密度分布を測定する。ヒータ９０１をホール素子アレイと隣接させ、磁石素材を加熱した後、磁束密度分布測定を行う。ヒータ９０１は、ホール素子アレイの測定が熱による影響を受けないよう断熱材で囲い込み磁石素材のみを加熱する構造になっている。また、磁石素材の熱に影響されない範囲でホール素子アレイと磁石素材の間隔を決めている。ヒータ９０１は、カートリッジヒータや高周波加熱コイルなど前記断熱ができれば使用可能である。
【００４５】
図１１に、図１０に示した測定装置で磁石素材の磁束密度分布を測るプロセスフローを示す。図１１において、まず、ヒータ９０１を所定の温度に加熱する（Ｓ０４）。次に、鉄芯に電流を流して磁界を発生させる（Ｓ０５）。この状態で、磁石素材をヒータ側から移動させ（Ｓ０６）、磁石素材がヒータ上を通過した後、鉄芯及ホール素子アレイ間を通過することにより磁束密度分布を測定する。そして、所定回数Ｎ、磁束密度分布を測定（Ｓ０７）後、冷却機構（冷却ファンなど）により冷却を行う（Ｓ０８）。ヒータにより加熱する温度は、磁石素材の種類や形状によってことなるので一義的には決まらないが、５０℃程度の加熱でも有効であり、その場合、測定後自然冷却でも構わない。
【実施例５】
【００４６】
以上説明した実施例では、ホール素子アレイの配列している方向と直交する方向に磁石素材を相対移動しながら磁場発生装置からの磁石素材を透過した磁化を測定することにより、磁石素材の面内の磁束密度分布を測定するようにした。
【００４７】
ここで、磁石素材の面内の磁束密度分布は、一般的に、図１２に示すように、その磁石素材の４隅（角）が大きい特性となる。そして、その磁石素材の磁気特性は、その４隅の値で決まる傾向がある。よって、本実施例では、少なくとも、磁石素材の４隅（角）の磁束密度を測定することで、磁石素材の着磁後の磁石の磁気特性を予測し、磁石素材の選別を行う。これにより、測定時間の短縮、測定装置の簡略化が可能となる。
【００４８】
また、図１２に示すように、面内の磁束密度分布のうち、磁石素材の４辺の値が他の部分に対して比較的大きいので、４隅（角）のみの場合より精度を上げるために、磁石素材の４辺の磁束密度分布を測定するようにしてもよい。
【００４９】
以上実施例について説明したが、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加、削除、置換をすることも可能である。
【符号の説明】
【００５０】
１０１，８０１…ホール素子アレイ、１０２…磁石素材ホルダ、
１０３，７０１…未着磁の磁石素材、１０４…磁石素材ホルダ駆動制御機構、
１０５…コイル、１０６，２０６…鉄芯（コア）、１０７…筺体、２０１…ホール素子、
２０２…アンプ、２０３，２０４…基板、２０５…磁場、６０１…磁石、９０１…ヒータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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