(57)【要約】【課題】バンプを所望の形状でより確実に形成することが可能なバンプ形成装置を提供する。【解決手段】バンプ形成装置１は、金属シート２から金属片２ａを打ち抜くためのポンチ３およびダイ４と、金属片２ａを加熱する金属片加熱手段１７と、バンプを形成すべき部品１４にポンチ３を用いて金属片２ａを接触させる駆動手段５と、ポンチ３を冷却する冷却手段２０と、を備える。バンプ形成装置１は、部品１４を保持するためのステージ１５をさらに備え、金属片加熱手段１７は、ステージ１７およびステージ１７に保持された部品１４を介して金属片２ａを加熱するものであってもよい。金属片加熱手段１７は、金属片２ａにレーザ光を照射するレーザ光照射器であってもよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属シートを打ち抜いて金属片を形成するためのポンチおよびダイと、
前記金属片を加熱する金属片加熱手段と、
バンプを形成すべき部品に前記ポンチを用いて前記金属片を接触させる駆動手段と、
前記ポンチを冷却する冷却手段と、を備えた、バンプ形成装置。
【請求項２】
前記部品を保持するためのステージをさらに備え、
前記金属片加熱手段は、前記ステージおよび該ステージに保持された前記部品を介して前記金属片を加熱するものである、請求項１に記載のバンプ形成装置。
【請求項３】
前記金属片加熱手段は、前記金属片にレーザ光を照射するレーザ光照射器である、請求項１に記載のバンプ形成装置。
【請求項４】
前記金属シートを加熱する金属シート加熱手段をさらに備える、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のバンプ形成装置。
【請求項５】
前記金属シート加熱手段は、前記ダイを介して前記金属シートを加熱するものである、請求項４に記載のバンプ形成装置。
【請求項６】
前記ポンチを案内するポンチガイドと、
前記ポンチガイドを移動させ、該ポンチガイドを用いて前記金属シートを前記ダイに押し付ける移動手段と、をさらに備える、請求項１ないし５に記載のバンプ形成装置。
【請求項７】
金属シート、およびバンプを形成すべき部品を用意する工程と、
ポンチおよびダイを用いて金属シートから金属片を打ち抜く打ち抜き工程と、
前記金属片を加熱するとともに、前記ポンチを用いて前記金属片を前記部品に接触させる加熱工程と、
前記ポンチを冷却する工程と、
前記ポンチを前記部品から遠ざける工程と、を含む、バンプ付部品の製造方法。
【請求項８】
前記加熱工程において、前記部品を介して前記金属片を加熱する、請求項７に記載のバンプ付部品の製造方法。
【請求項９】
前記加熱工程において、前記金属片を前記部品に接触させる前に前記金属片を加熱する、請求項７に記載のバンプ付部品の製造方法。
【請求項１０】
前記打ち抜き工程において、前記ポンチを所定の温度に維持する、請求項７ないし９のいずれか１項に記載のバンプ付部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器に使用される素子または基板といった部品に電気接続用の金属突起（以下「バンプ」と称す）を形成する装置、および当該部品にバンプが形成されてなるバンプ付部品を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子や光素子といった素子を基板に実装する方法として、フリップチップ接合が知られている。フリップチップ接合では、素子および基板の少なくとも一方にバンプが形成され、当該バンプを介して素子が基板に接合される。このようなバンプを形成する装置が特許文献１，２に記載されている。
特許文献１に記載されるバンプ形成装置では、ポンチとダイを用いて金属シートから金属シートの片（以下「金属片」という）が打ち抜かれる。金属片は、加熱された基板にポンチを用いて押し付けられる。これにより、金属片は溶融して基板に接着される。加熱された金属片が基板に接着されたところでポンチは基板から離れる方向に移動する。この結果、金属片だけが基板上に残り、当該金属片が固まることで基板上にバンプが形成される。
特許文献２に記載されるバンプ形成装置では、ポンチとダイを用いて金属シートが打ち抜かれた後、レーザ照射によって金属片が溶かされる。金属片が溶融したところで、ポンチが金属片を素子に押し付け、その後、ポンチは素子から離れる方向に移動する。この結果、金属片だけが素子上に残り、当該金属片が固まることで素子上にバンプが形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２２６４０１号公報
【特許文献２】特開平７−１５３７６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１，２に記載されるバンプ形成装置では、バンプが所望の形状で基板や素子上に形成されないとの問題が生じることがある。この問題は、金属片を溶かす熱に起因して生じることを本発明者は見出した。
すなわち、金属片を溶かす熱はポンチに伝わり、ポンチの温度を上昇させる。ポンチの温度の上昇に伴って金属片とポンチとの間の接着力が強まり、金属片がポンチから離れにくくなる。そのため、金属片を基板または素子に押し付けているポンチを基板または素子から遠ざけても、金属片がポンチに接着されたままとなって基板または素子から離れてしまう場合が生じる。このような場合、基板または素子にバンプが形成されなくなる。
また、ポンチはその温度の上昇に伴って膨張する。そのため、高温状態のポンチで金属シートを打ち抜くと、金属片の寸法が所望の寸法よりも大きくなる。その結果、バンプを所望の形状で形成することができなくなる。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものである。本発明の目的は、バンプを所望の形状でより確実に形成することが可能なバンプ形成装置、およびバンプ付部品の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のバンプ形成装置は、金属シートを打ち抜いて金属片を形成するためのポンチおよびダイと、金属片を加熱する金属片加熱手段と、バンプを形成すべき部品にポンチを用いて金属片を接触させる駆動手段と、ポンチを冷却する冷却手段と、を備える。
また、本発明のバンプ付部品の製造方法は、金属シート、およびバンプを形成すべき部品を用意する工程と、ポンチおよびダイを用いて金属シートから金属片を打ち抜く工程と、金属片を加熱するとともに、ポンチを用いて金属片を部品に接触させる工程と、ポンチを冷却する工程と、ポンチを部品から遠ざける工程と、を含む。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、バンプを所望の形状でより確実に形成することが可能なバンプ形成装置、およびバンプ付部品の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るバンプ形成装置の側面図である。
【図２】図１に示されるバンプ形成装置の動作を説明するための図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係るバンプ形成装置の側面図である。
【図４】本発明の第３の実施形態に係るバンプ形成装置の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を具体的に説明する。
（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態について説明する。図１は、第１の実施形態に係るバンプ形成装置の側面図である。なお、図１において、バンプ形成装置の一部は断面図で示されている。
図１に示されるように、本実施形態に係るバンプ形成装置１は、金属シート２を打ち抜くためのポンチ３およびダイ４と、ポンチ３を移動させる駆動手段５と、を備える。ダイ４には貫通穴４ａが形成されており、ポンチ３は貫通穴４ａを挿通可能に形成されている。金属シート２は、例えばはんだシートや金錫（ＡｕＳｎ）シートである。
本実施形態では、貫通穴４ａは鉛直方向（図１に示されるＺ方向）に沿って延びており、ポンチ３は鉛直方向に移動可能に設けられている。そして、金属シート２はダイ４の上面に載置される。
もちろん、本発明はこの形態に限られない。例えば、貫通穴４ａが水平方向に沿って延びており、ポンチ３が水平方向に移動可能に設けられていてもよい。この場合、金属シート２は保持具等を用いてダイ４に保持される。
駆動手段５が作動することで、ポンチ３は鉛直下方に移動し、貫通穴４ａに挿入される。このとき、ポンチ３は金属シート２を打ち抜いて金属片を形成する。なお、ポンチ３が金属シート２を打ち抜くことで形成される金属片は、ポンチ３から離れることなくポンチ３とともに移動する。
駆動手段５は例えばソレノイドを用いたアクチュエータである。駆動手段５はこのようなアクチュエータに限られず、電動モータを用いたアクチュエータや油圧を用いたアクチュエータであってもよい。
【０００９】
バンプ形成装置１は、ポンチ３を案内するポンチガイド６を備えていてもよい。ポンチガイド６は、ポンチ３の移動方向（本実施形態では鉛直方向）に沿って変位可能に支持機構７に支持されていることが好ましい。支持機構７は、例えば、ベース部材８と、ベース部材８から鉛直方向に延びる軸体９と、軸体９の先端に設けられたヘッド部１０と、を含む。
ベース部材８はポンチガイド６に対してダイ４とは反対側に位置している。軸体９はポンチガイド６に形成された貫通穴１１に通されており、ヘッド部１０は貫通穴１１から抜け出ている。
軸体９の外径は貫通穴１１の直径よりも小さく、ポンチガイド６は鉛直方向に沿って変位することができる。ヘッド部１０は貫通穴１１よりも大きく、軸体９が貫通穴１１から抜け出るのを防ぐように機能する。
ベース部材８は移動手段１２に取り付けられており、移動手段１２が作動することでベース部材８は鉛直方向に移動する。駆動手段１２は例えばソレノイドを用いたアクチュエータである。駆動手段１２はこのようなアクチュエータに限られず、電動モータを用いたアクチュエータや油圧を用いたアクチュエータであってもよい。
ベース部材８が鉛直下方に移動することで、ポンチガイド６はダイ４へ近づき、金属シート２をダイ４へ押し付ける。支持機構７はポンチガイド６を変位可能に支持しているので、ベース部材８が鉛直下方に移動しすぎてもダイ４および金属シート２に過大な力が加わるのが防がれる。
支持機構７は、ポンチガイド６をダイ４へ向けて付勢する付勢部材１３を含むことがより好ましい。付勢部材１３を設けることで、金属シート２をダイ４へ適度な力で押し付けることができる。付勢部材１３としてはバネが挙げられる。
【００１０】
また、バンプ形成装置１は、バンプが形成される部品１４を載置するためのステージ１５と、金属シート２を加熱する金属シート加熱手段１６と、金属片を加熱する金属片加熱手段１７と、を備える。部品１４は、電子機器に使用される部品であり、より具体的には、半導体素子、光素子および基板等である。
ステージ１５は、ダイ４の鉛直下方に位置している。したがって、金属シート２を打ち抜いたポンチ３を鉛直下方に移動させると、ポンチ３に付いている金属片が部品１４に接触する。
バンプ形成装置１は、ポンチ３の位置を検出する位置検出器１８と、位置検出器１８を用いて検出されるポンチ３の位置に基づいて駆動手段５の動作を制御する制御部１９と、を備えていることが好ましい。制御部１９がポンチ３の位置に基づいてポンチ３の移動量を制御することで、ポンチ３が部品１４に突き当たるのを防ぐことができる。その結果、部品１４の破損を抑制することが可能になる。
【００１１】
本実施形態では、金属シート加熱手段１６はダイ４に接続されている。金属シート加熱手段１６がダイ４に熱を加えると、当該熱はダイ４から金属シート２に伝わり、金属シート２が軟化する。金属シート２が軟化することで金属シート２は打ち抜かれやすくなり、所望の形状を有する金属片をより容易に形成することができる。
また、金属片加熱手段１７はステージ１５に接続されている。金属片加熱手段１７がステージ１５に熱を加えると、当該熱はステージ１５から部品１４に伝わり、部品１４の温度が上昇する。金属片は、加熱された部品１４に接触することで溶け、部品１４にくっつく。溶融金属片が固まることで部品１４上にバンプが形成される。
なお、金属シート加熱手段１６はダイ４に接続されている必要はなく、金属シート２に熱を加えて金属シート２を軟化することができればよい。また、金属片加熱手段１７はステージ１５に接続されている必要はなく、金属片を溶かすことができればよい。金属シート加熱手段１６，１５は、例えば、金属シート２または金属片にレーザ光を照射して金属シート２または金属片に熱を加えるレーザ光照射器であってもよい。
【００１２】
さらに、バンプ形成装置１は、ポンチ３を冷却する冷却手段２０を備える。冷却手段２０がポンチ３を冷却するので、ポンチ３に付いた金属片に熱が加えられてもポンチ３の温度上昇が抑制される。
ポンチ３の温度上昇が抑制されるので、溶融金属片とポンチ３との間の接着力は増加しにくい。したがって、溶融金属片を部品１４に接触させているポンチ３を部品１４から遠ざける際に、溶融金属片はポンチ３から離れて部品１４上に残りやすくなる。その結果、部品１４にバンプをより確実に形成することが可能になる。
また、ポンチ３の温度上昇が抑制されるので、ポンチ３はほとんど膨張しない。したがって、駆動手段５がポンチ３を用いて金属シート２を打ち抜いた際に、所望の寸法を有する金属片が形成されやすくなる。その結果、バンプを所望の形状で形成することが可能になる。
なお、冷却手段としては、ヒートシンクやヒートパイプといった放熱部材、ペルチェ素子といった冷却素子、および水冷装置や油冷装置といった冷却機構等を用いることができる。
冷却手段２０はポンチ３を所定の温度に維持する温度コントローラ（不図示）を備えることがより望ましい。ポンチ３が所定の温度で維持されることで、ポンチ３の膨張、収縮が抑制され、所望の寸法を有する金属片がより形成されやすくなる。
【００１３】
バンプ形成装置１は、ダイ４を保持する保持部２１と、ポンチガイド６を案内するガイド部２２と、を含んでいてもよい。ガイド部２２は保持部２１と一体化されていることが好ましい。ガイド部２２が保持部２１と一体化されることで、ポンチガイド６が鉛直下方に移動した際にポンチガイド６はダイ４の貫通穴４ａに対応する位置に案内される。その結果、ポンチ３が鉛直下方に移動したときにポンチ３は貫通穴４ａにより確実に挿入される。
なお、ここでいう「一体化」には、保持部２１とガイド部２２とが継ぎ目なく一体成形された場合だけでなく、ボルトといった締結部材を用いてガイド部２２が保持部２１に強固に取り付けられた場合も含む。
【００１４】
次に、図２（ａ）ないし（ｆ）を用いてバンプ形成装置１の動作を説明する。図２は、バンプ形成装置１の動作を説明するための図である。
初期状態では、図２（ａ）に示されるように、ポンチガイド６はダイ４から離れており、ポンチ３は貫通穴４ａに挿入されていない。用意された金属シート２がダイ４に載置され、用意された部品１４がステージ１５に載置される。
続いて、図２（ｂ）に示されるように、移動手段１２が作動してベース部材８を鉛直下方（図２において矢印Ｚ１で示される方向）に移動させる。ベース部材８が鉛直下方に移動することで、ポンチガイド６は金属シート２に接触し金属シート２をダイ４へ押し付ける。
ポンチガイド６が金属シート２を押し付けたところで、図２（ｃ）に示されるように、駆動手段５が作動してポンチ３を鉛直下方に移動させる。ポンチ３が鉛直下方に移動することでポンチ３が金属シート２を打ち抜いて金属片２ａを形成する。金属シート２がダイ４へ押し付けられているので、金属シート２が打ち抜かれる際に金属シート２がずれにくく、金属片２ａが所望の形状で形成されやすくなる。
金属シート２がポンチ３を用いて打ち抜かれる際には、金属シート加熱手段１６が金属シート２に熱を加えて金属シート２を軟化させていることが好ましい。金属シート２を軟化させることで、金属シート２が打ち抜かれやすくなり、金属片２ａを所望の形状で形成することができる。
【００１５】
駆動手段５は、図２（ｄ）に示されるように、ポンチ３をさらに鉛直下方へ移動させ、ポンチ３に付いた金属片２ａを部品１４に接触させる。その後、金属片加熱手段１７が作動してステージ１５および部品１４を介して金属片２ａに熱を加える。金属片２ａに熱が加えられることで、金属片２ａは溶けて部品１４に付着する。
部品１４上で金属片２ａが溶けたところで、駆動手段５はポンチ３を鉛直上方（図２において矢印Ｚ２で示されている方向）へ移動させる。このとき、金属片２ａはポンチ３から離れて部品１４上に残る。溶融状態の金属片２ａは部品１４上で固まってバンプとなり、バンプ付部品が製造される。
本実施形態では、冷却手段２０がポンチ３を冷却しているので、金属片２ａからポンチ３に熱が伝わってもポンチ３の温度はほとんど上昇しない。そのため、溶融状態の金属片２ａとポンチ３との間の接着力はほとんど増加せず、金属片２ａはポンチ３から離れやすい。したがって、駆動手段５がポンチ３を鉛直上方に移動させたときに金属片２ａは部品１４上に残りやすく、部品１４にバンプをより確実に形成することが可能になる。
冷却手段２０はポンチ３を常に冷却している必要はない。より具体的には、冷却手段２０は、少なくとも、駆動手段５がポンチ３を部品１４から遠ざける際にポンチ３を冷却すればよい。
【００１６】
ポンチ３を貫通穴４ａから抜き出したところで、図２（ｆ）に示されるように、移動手段１２が作動してベース部材８を鉛直上方に移動させ、ポンチガイド６を金属シート２から離す。バンプ形成装置１は初期状態（図２（ａ））に戻り、バンプ形成動作が終了する。
ポンチガイド６が金属シート２から離れることで、金属シート２を動かすことが可能になる。ダイ４上の金属シート２がずらされるか新たな金属シート２がダイ４上に載置され、ステージ１５上の部品１４がずらされるか新たな部品１４がステージ１５上に載置されたところで、バンプ形成装置１は再びバンプ形成動作を開始する。
駆動手段５がポンチ３を用いて金属シート２を打ち抜く際には、ポンチ３が冷却手段２０を用いて所定の温度に保たれていることが望ましい。ポンチ３の温度を所定の温度に保つことで、ポンチ３の膨張や収縮が抑制される。したがって、駆動手段５がポンチ３を用いて金属シート２を打ち抜いた際に所望の寸法を有する金属片が形成されやすくなる。その結果、バンプを所望の形状で形成することが可能になる。
【００１７】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。図３は、第２に実施形態に係るバンク形成装置の側面図である。なお、第１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。図３において、バンプ形成装置１の一部は断面図で示されている。また、図３は、金属シート２から打ち抜かれた金属片２ａが部品１４に接触する前の状態のバンプ形成装置１を示している。
図３に示されるように、バンプ形成装置１は、加熱手段１７としてレーザ光照射器を備える。レーザ光照射器は、金属片２ａにレーザ光を照射して金属片２ａを加熱する。その結果、金属片２ａの温度が上昇し、金属片２ａが溶ける。
金属片２ａが溶けたところでポンチ３が金属片２ａを部品１４に接触させると、金属片２ａが部品１４にくっつく。その後、ポンチ３が部品１４から離れる方向に移動する。この結果、金属片２ａだけが部品１４上に残り、金属片２ａが固まることで部品１４上にバンプが形成される。
加熱手段１７としてのレーザ光照射器が金属片２ａにレーザ光を照射する際に、熱がポンチ３に伝わる。本実施形態では、冷却手段２０がポンチ３を冷却するので、金属片２ａに熱が加えられてもポンチ３の温度上昇が抑制される。
ポンチ３の温度上昇が抑制されるので、溶融金属片とポンチ３との間の接着力は増加しにくい。したがって、金属片２ａを部品１４に接触させているポンチ３を部品１４から遠ざける際に、金属片２ａはポンチ３から離れて部品１４上に残りやすくなる。その結果、部品１４にバンプをより確実に形成することが可能になる。
また、ポンチ３の温度上昇が抑制されるので、ポンチ３はほとんど膨張しない。したがって、駆動手段５がポンチ３を用いて金属シート２を打ち抜いた際に、所望の寸法を有する金属片２ａが形成されやすくなる。その結果、バンプを所望の形状で形成することが可能になる。
冷却手段２０はポンチ３を所定の温度に維持する温度コントローラ（不図示）を備えることがより望ましい。ポンチ３が所定の温度で維持されることで、ポンチ３の膨張、収縮が抑制され、所望の寸法を有する金属片２ａがより形成されやすくなる。
【００１８】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。図４は、第３の実施形態に係るバンプ形成装置の側面図である。なお、図４において、バンプ形成装置の一部は断面図で示されている。また、第１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。
図４に示されるように、ポンチガイド６がダイ４の鉛直下方に位置しており、金属シート２はポンチガイド６の上面に載置される。ステージ１５は、ダイ４の鉛直上方に位置しており、部品１４は、ステージ１５に設けられた保持具２３を用いてステージ１５に保持されている。
ポンチガイド６は第１の弾性部材２４を介してベース部材８に支持されている。第１の軸体２５がベース部材８から鉛直下方に延びており、ポンチガイド６に形成された貫通穴６ａに通されている。
ベース部材８は第２の弾性部材２６を介して保持部２１に支持されている。第２の軸体２７が保持部２１から鉛直下方に延びており、ベース部材８に形成された貫通穴８ａに通されている。
【００１９】
移動手段１２が作動してベース部材８を鉛直上方へ移動させると、ポンチガイド６が鉛直上方へ移動する。ポンチガイド６はダイ４へ近づき、金属シート２をダイ４へ押し付ける。金属シート２はダイ４に押し付けられることでダイ４に保持される。言い換えれば、ポンチガイド６は、金属シート２をダイ４へ保持する保持具としても機能する。
ポンチガイド６は第１の弾性部材２４を介してベース部材８に支持されているので、ベース部材８が鉛直上方に移動しすぎてもダイ４および金属シート２に過大な力が加わるのが防がれる。
駆動手段５が作動することで、ポンチ３はポンチガイド６に沿って鉛直上方へ移動する。このとき、ポンチ３は金属シート２を打ち抜いて金属片を形成する。
本実施形態では、金属シート加熱手段１６はポンチガイド６に接続されている。金属シート加熱手段１６がポンチガイド６に熱を加えると、当該熱はポンチガイド６から金属シート２に伝わり、金属シート２が軟化する。金属シート２が軟化することで金属シート２は打ち抜かれやすくなり、所望の形状を有する金属片をより容易に形成することができる。
駆動手段５が金属シート２を打ち抜いたポンチ３をさらに鉛直上方に移動させると、金属片はポンチ３とともに鉛直上方に移動し、部品１４に接触する。
金属片加熱手段１７がステージ１５に熱を加えると、当該熱はステージ１５から部品１４に伝わり、部品１４の温度が上昇する。金属片は、温度が比較的高い部品１４に接触することで溶け、部品１４に付着する。溶融金属片が固まることで部品１４上にバンプが形成される。
【００２０】
ポンチ３には冷却手段２０が接続されている。冷却手段２０がポンチ３を冷却するので、ポンチ３に付いた金属片に熱が加えられてもポンチ３の温度上昇が抑制される。
ポンチ３の温度上昇が抑制されるので、溶融金属片とポンチ３との間の接着力は増加しにくい。したがって、駆動手段５がポンチ３を部品１４から遠ざける際、溶融金属片はポンチ３から離れて部品１４上に残りやすくなる。その結果、部品１４にバンプをより確実に形成することが可能になる。
また、ポンチ３の温度上昇が抑制されるので、ポンチ３はほとんど膨張しない。したがって、駆動手段５がポンチ３を用いて金属シート２を打ち抜いた際に、所望の寸法を有する金属片が形成されやすくなる。その結果、バンプを所望の形状で形成することが可能になる。
冷却手段２０はポンチ３を所定の温度に維持する温度コントローラを備えることがより望ましい。ポンチ３が所定の温度で維持されることで、ポンチ３の膨張、収縮が抑制され、所望の寸法を有する金属片がより形成されやすくなる。
以上、実施形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施形態に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００２１】
１    バンプ形成装置
２    金属シート
３    ポンチ
４    ダイ
５    駆動手段
６    ポンチガイド
７    支持機構
８    ベース部材
９    軸体
１０    ヘッド部
１１    貫通穴
１２    移動手段
１３    付勢部材
１４    基板
１５    ステージ
１６    金属シート加熱手段
１７    金属片加熱手段
１８    位置検出器
１９    制御部
２０    冷却手段
２１    保持部
２２    ガイド部
２３    保持具
２４    第１の弾性部材
２５    第１の軸体
２６    第２の弾性部材
２７    第２の軸体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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