(57)【要約】【課題】  膜厚の基材面内ばらつきを抑制することができる蒸着方法及び蒸着装置を提供する。【解決手段】  変形抑制部７を設置し、変形抑制部に対応した位置にくぼみ部８を設けた補正板３を備えて蒸気の流れを調整することで、ノズル１０の変形と蒸気の流れの不均一とを抑制することにより、基材面内の膜厚ばらつきを抑制する。【選択図】図１
2015120943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸発材料を基材に成膜する蒸着装置において、
前記基材に対向してノズル開口部から蒸気を放出するノズルを備え、
前記ノズルは、
蒸気供給口から前記ノズル開口部に向かって前記蒸気の移動を案内するノズル壁と、
前記ノズルの内部の前記蒸気供給口と前記ノズル開口部との間に前記基材に平行に配置され、前記蒸気の流れの量を制限する孔が前記ノズル長手方向に複数配置されて、前記蒸気供給口から前記ノズル開口部に向かう前記蒸気の流れをノズル長手方向に広げる拡散板と、
前記ノズルの内部の前記ノズル開口部の付近に前記ノズル長手方向に垂直に配置された前記ノズルの変形を抑制する変形抑制部と、
前記ノズル開口部に配置され、前記変形抑制部に対応した位置にくぼみ部を備えて前記蒸気の流れを調整する補正板と、
を備える蒸着装置。
【請求項２】
前記補正板の固定縁からの前記くぼみ部の底部の高さが、前記ノズルの前記開口部の開口両端それぞれでの前記固定縁からの高さよりも低い、請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記補正板が、前記くぼみ部を境界として複数に分割された構造をとり、個別に移動可能な駆動部を備える、請求項１又は２に記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記孔は、スリットの形状であり、前記スリットの幅間隔を調整可能な開閉調整機構を備える、
請求項１又は２に記載の蒸着装置。
【請求項５】
蒸発材料を基材に成膜する蒸着方法において、
前記基材に対して前記蒸発材料をノズルのノズル開口部から吐出し、
経過時間に応じて前記ノズル開口部の縁部に移動可能に配置された補正板を段階的に移動させて前記ノズル開口部の開口幅を調整して、前記基材に蒸着膜を形成する、蒸着方法。
【請求項６】
前記蒸着膜の前記ノズルの長手方向の膜厚分布を膜厚測定部で測定し、
測定結果を基に前記補正板の移動量を制御部で制御して、前記膜厚分布を制御する、請求項５に記載の蒸着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空中で基材に膜を形成する蒸着方法及び蒸着装置に関するものであり、特に基材に蒸着される膜厚のばらつきを抑制し、製品の品質を向上する、蒸着方法及び蒸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機材料を用いた電子デバイスは、半導体、照明、又はディスプレイなどの多くの分野で実用化が進み、今後重要となる技術である。高精度な多層膜などが必要とされ、薄膜形成法として様々な技術が検討されている。一つの方法として、真空中で材料を加熱し、発生させた蒸気を基材に輸送して基材に付着させる真空蒸着法がある。
【０００３】
図８を用いて、従来の蒸着技術について説明する。代表的な有機デバイスである照明又はディスプレイにおいて、生産性向上のため基材の大型化が進んでいる。一方で、高精度な多層膜には、面内の膜厚ばらつきを抑制した成膜が求められる。例えば、基材の有効成膜幅が２０００ｍｍ以上のサイズであっても、面内の膜厚均一性は±５％以下の精度が要求される。
【０００４】
蒸着装置において、面内の膜厚均一性を向上する従来の方法として、一般的には、膜厚補正板を用いる方法がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
図８は、従来の蒸着用のノズル６０の構成の例を示す斜視図であり、ノズル６０は、ノズル壁５２と、補正板５３と、配管５４と、拡散板５５と、基材５１とから構成されている。ノズル壁５２と、補正板５３と、配管５４と、拡散板５５とにはそれぞれ加熱部を備えており、蒸気が付着しない温度にヒーターなどによって加熱されている。蒸気は配管５４からノズル６０内に流入し、拡散板５５に衝突しながら分散され、孔５９を通過して基材５１へ向かう。通過成膜により成膜を行う場合、膜厚分布の微妙な調整を行うために、補正板５３によりノズル６０の開口６０ａのうちの特定の場所を覆うことにより、当該特定の場所での成膜量を減らして膜厚分布を調整する。要求される均一性が±５％とすると、その１／１０程度の単位で補正板形状の調整が必要と考えられる。単純に開口幅に比例した膜が基材５１上に付くとすると、開口幅が１００ｍｍの場合、その１％である１ｍｍ単位の精度で調整することで、要求される均一性を得ている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４１７４２５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、ノズル６０を大型化するにつれ、ノズル６０の加熱による開口部６０ａの熱変形量が大きくなり、要求される均一性を確保するのが難しくなる。図９Ａは、図８の面Ｚにおけるノズル壁５２の断面形状を示した図であり、ノズル６０を加熱した際の変形を示した図である。温度分布による熱膨張差が発生し、ノズル長手方向の中央部において対向するノズル壁５２の間隔が狭くなる方向の変形が生じている。ノズルが大型の場合、この変形量はｍｍのオーダーとなるため、蒸気の流れが妨げられることとなり、膜厚分布へ影響する。図９Ｂは、変形に伴って中央部の膜厚が薄くなり膜厚分布が不均一になった状態を示す図である。このように、大型のノズルにおいては、熱変形により膜厚の分布を均一にすることが困難であった。また、変形を抑制する手段として、たとえば図１０Ａに示すように、補強フレームなどの変形抑制部５７をノズル内部に設置することが考えられる。その場合、ノズル壁５２の変形が抑制されるが、変形抑制部５７によって蒸気の流れが制限され、図１０Ｂに示すように膜厚が薄くなり、結果的に、膜厚分布が不均一になってしまう問題があった。
【０００８】
なお、上記説明は、有機材料に関して行ったが、材料を特定するものではなく、他の無機材料などについても同様の課題が生じている。
【０００９】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、膜厚の基材面内ばらつきを抑制することができる蒸着方法及び蒸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明の蒸着装置は、蒸発材料を基材に成膜する蒸着装置において、
前記基材に対向してノズル開口部から蒸気を放出するノズルを備え、
前記ノズルは、
蒸気供給口から前記ノズル開口部に向かって前記蒸気の移動を案内するノズル壁と、
前記ノズルの内部の前記蒸気供給口と前記ノズル開口部との間に前記基材に平行に配置され、前記蒸気の流れの量を制限する孔が前記ノズル長手方向に複数配置されて、前記蒸気供給口から前記ノズル開口部に向かう前記蒸気の流れをノズル長手方向に広げる拡散板と、
前記拡散板に前記ノズル長手方向に複数配置されて前記蒸気の流れの量を制限する孔と、
前記ノズルの内部の前記ノズル開口部の付近に前記ノズル長手方向に垂直に配置された前記ノズルの変形を抑制する変形抑制部と、
前記ノズル開口部に配置され、前記変形抑制部に対応した位置にくぼみ部を備えて前記蒸気の流れを調整する補正板と、
を備える。
【００１１】
また、前記課題を解決するために、本発明の蒸着方法は、蒸発材料を基材に成膜する蒸着方法において、
前記基材に対して前記蒸発材料をノズルのノズル開口部から吐出し、
経過時間に応じて前記ノズル開口部の縁部に移動可能に配置された補正板を段階的に移動させて前記ノズル開口部の開口幅を調整して、前記基材に蒸着膜を形成する。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように、本発明の蒸着方法及び蒸着装置によれば、大型のノズルにおいても、熱変形を抑制し、補正板による精密な膜厚の調整を行うことができる。これにより、大型の基材に成膜される膜厚の分布を均一化し、高精度なデバイスを生産性良く提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態にかかる蒸着装置を示す概略斜視図
【図２】本発明の前記実施形態における蒸着装置の補正板の形状を示す概略平面図
【図３】本発明の前記実施形態の変形例における蒸着装置の補正板の形状を示す概略平面図
【図４】本発明の第３前記実施形態の変形例における蒸着装置の補正板の構成を示す概略平面図
【図５】本発明の第３前記実施形態の変形例における蒸着装置の補正板を調整した状態を示す概略平面図
【図６】本発明の第４前記実施形態の変形例における蒸着装置を示す概略斜視図
【図７】本発明の第５前記実施形態の変形例における蒸着装置のスリット開口調整機構の構成を示す概略斜視図
【図８】従来のノズル構成の例を示す図
【図９Ａ】従来のノズルの熱変形の例を示す断面図
【図９Ｂ】従来のノズルの熱変形の例の膜厚分布を示す図
【図１０Ａ】変形抑制部を配置した従来のノズルの熱変形の例を示す断面図
【図１０Ｂ】変形抑制部を配置した従来のノズルの熱変形の例の膜厚分布を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１５】
図１及び図２は、本発明の一実施形態における、蒸着方法を実施するための蒸着装置を示す図である。ノズル１０は、ノズル壁２と、配管４と、拡散板５と、変形抑制部７と、補正板３とを備えて構成する。それぞれの部材に対して、図示していないが必要に応じてヒーターなどが配置されており、ヒーターなどでそれぞれの部材を、蒸気が付着しない温度に加熱する。ノズル１０のノズル開口部１０ａに対向した位置に基材１を設置して、真空中で基材１に成膜を行う。ここでは、理解しやすくするため、ノズル開口部１０ａを形成するノズル壁２は透明な部材として、内部がわかるように透視して図示する（以下の図でも同様である）。
【００１６】
ノズル１０の基本的な外形は、長方形の底面１０ｂと、４枚のノズル壁２とで構成される横長の四角箱型の部材である。ノズル１０の基材対向面には、長方形のノズル開口部１０ａを形成し、底面１０ｂと４枚のノズル壁２とで囲まれたノズル１０の内部には、直方体の空間１５を形成する。
【００１７】
ノズル１０の底面１０ｂの中央の原料供給口１０ｃには配管４の一端が接続されている。この配管４の基端には、原料（蒸発材料）を蒸発させる容器（図示せず）が接続されており、当該容器で原料が蒸気へ変えられ、配管４を通して、原料の蒸気がノズル１０内へ送られる。
【００１８】
ノズル１０の底面１０ｂの配管４から、空間１５内に原料の蒸気が導入され、導入された原料の蒸気をノズル１０で基材１に向かわせるように、蒸気の移動を案内する。図１では、ノズル１０は直方体の箱型に構成されているが、ノズル１０の矢印Ｘのノズル長手方向に垂直な断面形状は、基材１に向かって段階的に幅を変化させた階段形状又は基材１に向かって直線的に幅を変化させた台形でも良い。
【００１９】
拡散板５は、ノズル壁２で囲まれた空間１５内に、基材１に平行に設置固定される。拡散板５には、ノズル長手方向と直交する幅方向（ノズル短手方向）沿いに複数のスリット６が例えば所定間隔毎に設けられる。スリット６は、蒸気の流れの量を制限する孔６の一例として機能する。配管４から空間１５内に導入された蒸気は、拡散板５により矢印Ｘのノズル長手方向に広げられた後、複数のスリット６をそれぞれ通過する。それぞれのスリット６を通過する際に、それぞれのスリット６の開口によって蒸気の流れを制限し、スリット６の開口面積を、矢印Ｘのノズル長手方向の中央からそれぞれの端部に向かって面積を例えば段階的に大きくなるように変化させることで、矢印Ｘのノズル長手方向の蒸気流量のバランスがより均一となるように調整される。スリット６は、図１においてはノズルの長手方向に１２箇所設置された例を示したが、設置数を限定するものではなく、矢印Ｘのノズル長手方向の寸法によって設置数を変更しても良い。
【００２０】
変形抑制部７は、ノズル開口部１０ａの熱変形を抑制するために、ノズル長手方向に垂直方向の面に、ノズル長手方向に間隔をあけて、ノズル開口部１０ａの付近、すなわち、拡散板５からノズル開口部１０ａ側の空間１５内に複数個配置される。各変形抑制部７は、ノズル幅方向に対向するノズル壁２に固定された四角形枠板状部材で構成される。これにより、ノズル壁２のノズル短手方向への熱変形が抑制されて、矢印Ｙのノズル短手方向の開口寸法の温度による変化を抑制することができる。蒸気は、変形抑制部７の表面又は裏面とほぼ平行に流れてノズル開口部１０ａに向かう。この際、変形抑制部７の周辺では、蒸気の流れが妨げられて弱くなる。
【００２１】
このとき、基材６は、矢印Ｍの方向に、ノズル１０上を移動して、ノズル１０から放出される蒸気で基材６に成膜される。
【００２２】
補正板３は、基材６に対向した位置（ノズル開口部１０ａの縁部）に固定され、ノズル開口部１０ａから放出される蒸気に対して、ノズル短手方向の開口寸法を制限することにより、最終的に、基材１へ供給される蒸気の量を調整し、基材１に蒸着される蒸着膜の膜厚を補正する。図２は補正板３の形状を示す平面図である。一例として、各補正板３は二等辺三角形の板部材で構成され、二等辺三角形の頂点及び斜辺の中央部に、それぞれＶ字状のくぼみ部８を形成している。Ｖ字状のくぼみ部８は、ノズル短手方向の中心軸に対してほぼ対称な形状を有している。補正板３は、ノズル開口部１０ａの縁部に互いに頂点及びくぼみ部８が対向するように固定されている。よって、一対の補正板３が対向した状態のノズル開口部１０ａは、中央部が最も間隔が狭く、各端部に向かうに従い徐々に広がるような形状の開口となっている。補正板３のくぼみ部８が設けられた位置は、変形抑制部７に対応した位置である。これらのくぼみ部８により、変形抑制部７によって弱められた蒸気の流れを、くぼみ部８で開口寸法を大きく取ることによって補正する。
【００２３】
最終的に、ノズル開口部１０ａから放出される蒸気は、一対の補正板３によってノズル長手方向で均一な流れに補正され、基材６は、矢印のＭの方向に、ノズル１０上を移動して、基材６に成膜される。これにより、基材１上に成膜される蒸着膜の膜厚分布をノズル長手方向で均一にすることができ、膜厚の基材面内ばらつきを抑制することができて、品質の良い製品を得ることができる。
【００２４】
以上のように、前記実施形態の蒸着装置によれば、大型のノズルにおいても、熱変形を変形抑制部７で抑制し、変形抑制部７に対応した位置にくぼみ部８を設けた補正板３で蒸気の流れを調整して、ノズル１０の変形と蒸気の流れの不均一とを抑制して、基材面内の膜厚ばらつきを抑制することができる。よって、補正板３による精密な膜厚の調整を行うことができて、大型の基材に成膜される蒸着膜の膜厚の分布を均一化し、高精度なデバイスを生産性良く提供することが可能となる。
【００２５】
また、図３は、本発明の前記実施形態の変形例における、蒸着方法を実施するための蒸着装置において、前記実施形態の補正板３とは別の形状の補正板３Ｂを示す図である。補正板３のそれぞれのくぼみ部８Ｂの底部８ａの固定縁３ａからの高さＢ及びＣが、ノズル開口両端のそれぞれでの固定縁３ａからの高さＡよりも低い形状としている。
【００２６】
これにより、くぼみ部８Ｂを、ノズル開口両端のそれぞれでの固定縁３ａからの高さＡよりも、より深くすることが可能となり、くぼみ部８Ｂによる膜厚補正範囲をより広く取ることができる。このように構成すれば、材料蒸気の基材１への付着率を高めるために、ノズル１０に基材１をより近づけた場合など、変形抑制部７による膜厚分布への影響が大きい場合においても、この補正板３Ｂを使用することにより、膜厚を補正して均一とすることが可能となる。したがって、有機ＥＬ材料など、高価な材料を利用率高くかつ均一性良く蒸着することが可能となり、品質の良い製品をより低コストで提供することができる。
【００２７】
また、図４は、本発明の前記実施形態の変形例における、蒸着方法を実施するための蒸着装置の可動補正板３Ｃの構成を示す図である。大型のノズルにおいては、ノズルの温度が安定するまで長時間待つ必要があった。温度が安定するまでの間は、変形抑制部７に対応した位置においては、ノズルの変形が抑制されるが、隣接する変形抑制部７と変形抑制部７との間については、温度分布によって開口部のノズル短手方向の長さ寸法が広がったり、逆に狭まったりする為、膜厚分布が低下する恐れがあり、基材１に蒸着することが出来ない。
【００２８】
そこで、図４の前記変形例においては、補正板３Ｃは、図５に示すように、例えば、ノズル長手方向中央ＮＬＣで２つに大きく二等分して、第１補正板３Ｃ−１と第２補正板３Ｃ−２とで構成する。第１補正板３Ｃ−１と第２補正板３Ｃ−２とのそれぞれは、さらに、複数に分割された分割補正板３Ｃａ、３Ｃｂ、３Ｃｃで構成され、各分割補正板３Ｃａ、３Ｃｂ、３Ｃｃには、ロッド状の駆動伝達部１３ａ、１３ｂ、１３ｃをそれぞれ介して、空圧シリンダなどの駆動部１２（１２ａ、１２ｂ、１２ｃ）が接続されている。よって、補正板３Ｃは、６枚の分割補正板３Ｃａ、３Ｃｂ、３Ｃｃで構成し、各分割補正板３Ｃａ、３Ｃｂ、３Ｃｃは、駆動部１２ａ、１２ｂ、１２ｃのそれぞれの駆動により、駆動伝達部１３ａ、１３ｂ、１３ｃをそれぞれ介して、くぼみ部８の斜辺と平行な矢印の方向にそれぞれ移動可能に設置されている。
【００２９】
このような構成によれば、図５のように、分割補正板３Ｃａ、３Ｃｂ、３Ｃｃをそれぞれ個別に移動させることができる。すなわち、図５の（ｂ）の基準位置に対して、図５の（ａ）の分割補正板を押した位置では、駆動部１２ａ、１２ａ、１２ｂ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｃの駆動により、６枚の分割補正板３Ｃａ、３Ｃｂ、３Ｃｃのうち対向する分割補正板３Ｃａと３Ｃａ同士、分割補正板３Ｃｂと３Ｃｂ同士、分割補正板３Ｃｃと３Ｃｃ同士がそれぞれ互いに接近する方向に移動して、くぼみ部８の深さＢ、Ｃを変化させずに、対向する分割補正板間の間隔が狭く調整することができることを示している。一方、図５の（ｂ）の基準位置に対して、図５の（ｃ）の分割補正板を引いた位置では、駆動部１２ａ、１２ａ、１２ｂ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｃの駆動により、６枚の分割補正板３Ｃａ、３Ｃｂ、３Ｃｃのうち対向する分割補正板３Ｃａと３Ｃａ同士、分割補正板３Ｃｂと３Ｃｂ同士、分割補正板３Ｃｃと３Ｃｃ同士がそれぞれ互いに離れる方向に移動して、くぼみ部８の深さＢ、Ｃを変化させずに、対向する分割補正板間の間隔が広く調整することができることを示している。このようにして、６枚の分割補正板３Ｃａ、３Ｃｂ、３Ｃｃを対応するそれぞれの駆動部１２ａ、１２ａ、１２ｂ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｃの駆動により、図５の（ａ）の分割補正板を押した位置と、（ｂ）の基準位置と、（ｃ）の分割補正板を引いた位置との少なくとも３か所に位置させることができ、対向する一対の第１補正板３Ｃ−１同士及び対向する一対の第２補正板３Ｃ−２同士の張り出し量を調整することができる。この結果、変形が抑制されたくぼみ部８の位置においては、くぼみ部８の深さＢ及びＣを変化させずに、熱などにより変形が発生しているくぼみ部８とくぼみ部８との間については、個別に、張り出し量を調整することが出来る。したがって、温度が安定するまでの間、たとえば基材１にテスト蒸着するなどして基材１を取り出したのち基材１へ蒸着された蒸着膜の膜厚を測定し、測定した膜厚に基づいて、駆動部１２ａ、１２ａ、１２ｂ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｃを駆動して、分割補正板３ａ、３ｂ、３ｃを移動させることで、膜厚分布を均一に調整することが出来る。これにより、温度が安定するまでの時間も生産が可能となり、蒸着装置の生産性を向上させることが出来る。
【００３０】
また、図６は、本発明の前記実施形態の変形例における、蒸着方法を実施するための蒸着装置を示す概略図である。なお、図１と同じ部分又は相当する部分には同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００３１】
蒸着装置は、ノズル１０の直上の位置に、膜厚測定部の一例として複数の膜厚レートモニター１１を備える。蒸着レートモニター１１は、変形抑制部７の直上と変形抑制部７との間を含む複数箇所に配置され、ノズル１０の温度が安定するまでの間を含め、その場で膜厚の分布に対応した蒸着レートを計測することが出来る。したがって、膜厚レートモニター１１で計測した蒸着レートの分布を基に、図６の前記変形例に係る分割補正板３Ｃａ、３Ｃｂ、３Ｃｃを移動させることで、その場で膜厚分布を調整することが出来る。例えば、蒸着膜のノズルの長手方向Ｘの膜厚分布を膜厚レートモニター１１で測定し、膜厚レートモニター１１からの測定結果の上方を制御部３０に入力する。制御部３０は、測定結果を基に、補正板３Ｃのそれぞれの分割補正板３Ｃａ，３Ｃｂ，３Ｃｃの移動量を決定する。決定した移動量に基づき、制御部３０で駆動部１２（具体的には、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ）を駆動制御して、分割補正板３Ｃａ，３Ｃｂ，３Ｃｃを移動させて、膜厚分布を制御する。
【００３２】
これによれば、ノズル１０の温度は蒸気が付着しない温度まで上昇さえしていれば良く、温度が安定する前でも、基材１に均一に蒸着することが出来るため、図４及び図５の第３実施形態よりもさらに、蒸着装置の生産性を向上させることが出来る。
【００３３】
また、図７は、本発明の前記実施形態の変形例における、蒸着方法を実施するための蒸着装置のスリット開口調整機構で調整可能なスリット６−１を示す概略図である。前記実施形態等にかかる蒸着方法及び蒸着装置において、生産条件を大きく変更する必要がある場合、補正板の形状のみでは膜厚分布の補正が困難な場合がある。例えば、原料材料の変更、蒸着レートの１０倍以上あるいは１／１０以下への変更などである。この場合、スリットの開口面積を変更することで蒸気の流れのバランスを大きく変化させることが出来るが、拡散板を作り直す必要があり、作製費用や、交換の手間が問題であった。
【００３４】
図７の前記変形例では、以下の構成のようなスリット開口調整機構を備えている。すなわち、隣接する一対の拡散板５−１間の開口形状を矩形のスリット６−１とし、各拡散板５−１を、固定部５ａと可動部５ｂとに分割した構成とする。固定部５ａには、スリット側端縁部に一対の突起５ｃを固定する。可動部５ｂのスリット側端縁部とは反対側の端縁部に、一対の突起５ｃを抜出不自在に係合する一対の楕円形溝５ｄを有する。固定部５ａに対して可動部５ｂをノズル長手方向に移動させることにより、突起５ｃに対して楕円形溝５ｄが移動して、可動部５ｂ従って可動部５ｂのスリット側端縁部が移動する。この結果、可動部５ｂのスリット側端縁部と可動部５ｂのスリット側端縁部とが対向してそれらの間に形成されたスリット６−１の幅を調整することが可能となる。このように、突起５ｃと楕円形溝５ｄとで構成される連結部１４によって、スリット６−１の開口幅を調整可能とする。連結部１４の構成はこれに限らず、同様な機能を有するものならば、任意の機構で良い。
【００３５】
これにより、大きく生産条件が変わった場合においても、同じ構成の拡散板５−１でスリット６−１の開口幅を調整することができて、均一な膜厚を得ることができる。これにより、多品種の生産切り替えに対しても迅速に対応することが出来る。
【００３６】
なお、上記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明にかかる蒸着方法及び蒸着装置は、熱などによる変形を抑制し、補正板による精密な膜厚の調整を行うことができて、基材上に薄膜を形成する蒸着方法及び蒸着装置に使用することができる。
【符号の説明】
【００３８】
１  基材
２  ノズル壁
３  補正板
３ａ  固定縁
３Ｃ  可動補正板
３Ｃ−１  第１補正板
３Ｃ−２  第２補正板
３Ｃａ、３Ｃｂ、３Ｃｃ  分割補正板
４  配管
５，５−１  拡散板
６，６−１  スリット
７  変形抑制部
８  くぼみ部
８ａ  底部
９  孔
１０  ノズル
１０ａ  開口部
１０ｂ  底面
１０ｃ  原料供給口
１１  蒸着レートモニター
１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ  駆動部
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ  駆動伝達部
１４  連結部
１５  空間
ＮＬＣ  ノズル長手方向中央
【図１】
2015120943.tif 000003
【図２】
2015120943.tif 000004
【図３】
2015120943.tif 000005
【図４】
2015120943.tif 000006
【図５】
2015120943.tif 000007
【図６】
2015120943.tif 000008
【図７】
2015120943.tif 000009
【図８】
2015120943.tif 000010
【図９Ａ】
2015120943.tif 000011
【図９Ｂ】
2015120943.tif 000012
【図１０Ａ】
2015120943.tif 000013
【図１０Ｂ】
2015120943.tif 000014