(57)【要約】【課題】撮像部を移動させる操作の操作性を向上させる。【解決手段】基板１００の上面１００ａおよび下面１００ｂを撮像する撮像部４ａ，４ｂ、撮像部４ａ，４ｂを移動させる移動機構３ａ，３ｂ、および撮像部４ａ，４ｂによって撮像された各画像を表示部に表示させる表示処理部を有する表示装置を備えて、撮像部４ａ，４ｂの移動量および各画像に基づいて特定されるプロービング位置にプロービングさせたプローブ５１を介して入出力する電気信号に基づいて基板１００を検査可能に構成され、表示装置は、上面１００ａを平面視したときの上面１００ａ内における標識Ｍａの位置関係と画像内における標識Ｍａの位置関係とが等しく、かつ上面１００ａから基板１００を透過して下面１００ｂを視認したときの下面１００ｂ内における標識Ｍｂの位置関係と画像内における標識Ｍｂの位置関係とが等しい状態で各画像を表示部に表示させる。【選択図】図３
2015096815.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の一面を撮像する第１の撮像部、前記基板の他面を撮像する第２の撮像部、移動指示に従って前記第１の撮像部を前記一面に沿って移動させると共に前記第２の撮像部を前記他面に沿って移動させる移動機構、および前記第１の撮像部によって撮像された前記一面の画像と前記第２の撮像部によって撮像された前記他面の画像とを表示部に表示させる表示処理部を有する表示装置と、
前記移動機構による前記第１の撮像部および前記第２の撮像部の移動量および前記各画像に基づいて特定されるプロービング位置にプローブをプロービングさせるプロービング装置と、
前記プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板を検査する検査装置とを備えた基板検査システムであって、
前記表示装置は、前記一面を平面視したときの当該一面内における被撮像体の位置関係と前記一面の画像内における当該被撮像体の位置関係とが等しく、かつ前記一面から前記基板を透過して前記他面を視認したときの当該他面内における被撮像体の位置関係と前記他面の画像内における当該被撮像体の位置関係とが等しい状態で当該一面の画像および当該他面の画像を前記表示部に表示させる表示処理を実行する基板検査システム。
【請求項２】
前記第１の撮像部は、前記一面から入射した画像光を非反射状態で受光して当該一面を撮像し、
前記第２の撮像部は、前記他面から入射した画像光を反射部で反射させた反射状態で受光して当該他面を撮像し、
前記表示処理部は、前記第１の撮像部によって撮像された前記一面の画像および前記第２の撮像部によって撮像された前記他面の画像を当該各画像内における各々の前記被撮像体の位置関係を変更することなく前記表示部に表示させることによって前記表示処理を実行する請求項１記載の基板検査システム。
【請求項３】
前記各撮像部は、前記一面および前記他面からそれぞれ入射した画像光をそれぞれ非反射状態で受光して当該一面および当該他面をそれぞれ撮像し、
前記表示処理部は、前記第１の撮像部によって撮像された前記一面の画像を当該画像内における前記被撮像体の位置関係を変更することなく前記表示部に表示させると共に前記第２の撮像部によって撮像された前記他面の画像を当該画像内における前記被撮像体の位置関係を反転させて当該表示部に表示させることによって前記表示処理を実行する請求項１記載の基板検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の一面および他面を撮像した画像に基づいて特定されるプロービング位置にプローブをプロービングさせて基板を検査する基板検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査システムとして、下記特許文献１において出願人が開示した両面基板検査装置が知られている。この両面基板検査装置は、基板の上面側においてＸＹ方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に移動させられる上面側の位置計測用カメラと、基板の下面側においてＸＹ方向に移動させられる下面側の位置計測用カメラとを備えて構成されている。この両面基板検査装置では、上面側の位置計測用カメラによって基板に設けられている基準マークを基板の上面側から撮影すると共に、下面側の位置計測用カメラによって基準マークを基板の下面側から撮影する。また、この両面基板検査装置では、撮影した映像に基づいて基板の位置ずれ量や各位置計測用カメラの配設位置の位置ずれ量を特定し、基板の上面および下面に検査用プローブピンをプロービングさせる際に、特定した位置ずれ量に基づいてプロービング位置を補正する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２２１５５０号公報（第３−４頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の両面基板検査装置には改善すべき以下の課題がある。すなわち、この両面基板検査装置では、基板の基準マークを撮影する際に、上面側の位置計測用カメラおよび下面側の位置計測用カメラを基準マークの対向位置にそれぞれ移動させる移動操作を行う必要がある。この移動操作では、各位置計測用カメラによって撮像される基板の上面および下面の画像を表示部に表示させ、その画像を見ながら、移動操作用の操作部を操作して各位置計測用カメラをＸＹ方向に移動させる。ここで、この種の両面基板検査装置は、一般的に、基板を上面側から見た状態での移動操作がし易いように構成されている。具体的には、この種の両面基板検査装置は、例えば、上下左右の各向きを示す矢印ボタンで移動操作用の操作部が構成されている場合において、右側に向かう矢印ボタンを操作したときには、上面側から見た状態における基板の右側に位置計測用カメラが移動するように構成されている。つまり、この種の両面基板検査装置は、基板を上面側から見た状態では、位置計測用カメラを移動させたい向きと、操作すべき矢印ボタンの向きとが一致するように構成されている。一方、基板の下面を下面側から見たときには、基板を上面側から見た状態における基板の右側の部分が左側に位置して見えることとなる。このため、下面側の位置計測用カメラで撮像した下面の画像を表示部に表示させ、この画像を見ながら移動操作を行う際に、画面における右側に位置計測用カメラを移動させようとするときには、左側に向かう矢印ボタンを操作する必要がある。つまり、この種の両面基板検査装置では、基板を下面側から撮像した下面の画像を見ながら移動操作を行う際には、位置計測用カメラを移動させたい向きと、操作すべき矢印ボタンの向きとが一致しないこととなる。このように、従来の両面基板検査装置では、位置計測用カメラによって撮像した画像を見ながら位置計測用カメラを移動させる際の操作性が悪いことがあり、この点の改善が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、撮像部を移動させる操作の操作性を向上させ得る基板検査システムを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査システムは、基板の一面を撮像する第１の撮像部、前記基板の他面を撮像する第２の撮像部、移動指示に従って前記第１の撮像部を前記一面に沿って移動させると共に前記第２の撮像部を前記他面に沿って移動させる移動機構、および前記第１の撮像部によって撮像された前記一面の画像と前記第２の撮像部によって撮像された前記他面の画像とを表示部に表示させる表示処理部を有する表示装置と、前記移動機構による前記第１の撮像部および前記第２の撮像部の移動量および前記各画像に基づいて特定されるプロービング位置にプローブをプロービングさせるプロービング装置と、前記プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板を検査する検査装置とを備えた基板検査システムであって、前記表示装置は、前記一面を平面視したときの当該一面内における被撮像体の位置関係と前記一面の画像内における当該被撮像体の位置関係とが等しく、かつ前記一面から前記基板を透過して前記他面を視認したときの当該他面内における被撮像体の位置関係と前記他面の画像内における当該被撮像体の位置関係とが等しい状態で当該一面の画像および当該他面の画像を前記表示部に表示させる表示処理を実行する。
【０００７】
また、請求項２記載の基板検査システムは、請求項１記載の基板検査システムにおいて、前記第１の撮像部は、前記一面から入射した画像光を非反射状態で受光して当該一面を撮像し、前記第２の撮像部は、前記他面から入射した画像光を反射部で反射させた反射状態で受光して当該他面を撮像し、前記表示処理部は、前記第１の撮像部によって撮像された前記一面の画像および前記第２の撮像部によって撮像された前記他面の画像を当該各画像内における各々の前記被撮像体の位置関係を変更することなく前記表示部に表示させることによって前記表示処理を実行する。
【０００８】
また、請求項３記載の基板検査システムは、請求項１記載の基板検査システムにおいて、前記各撮像部は、前記一面および前記他面からそれぞれ入射した画像光をそれぞれ非反射状態で受光して当該一面および当該他面をそれぞれ撮像し、前記表示処理部は、前記第１の撮像部によって撮像された前記一面の画像を当該画像内における前記被撮像体の位置関係を変更することなく前記表示部に表示させると共に前記第２の撮像部によって撮像された前記他面の画像を当該画像内における前記被撮像体の位置関係を反転させて当該表示部に表示させることによって前記表示処理を実行する。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の基板検査システムでは、一面を平面視したときの一面内における被撮像体の位置関係と一面の画像内における被撮像体の位置関係とが等しく、かつ一面から基板を透過して他面を視認したときの他面内における被撮像体の位置関係と他面の画像内における被撮像体の位置関係とが等しい状態で一面の画像および他面の画像を表示部に表示させる。このため、この基板検査システムによれば、例えば、一面側から視認したときに被撮像体の中心が撮像部の光軸に対して左側に位置ずれしているときには、一面の画像および他面の画像のいずれの画像内においても、被撮像体の中心が撮像部の光軸に対して左側に位置ずれしているように表示される。したがって、この基板検査システムによれば、一面の画像および他面の画像を見ながら撮像部を移動させて撮像部の光軸と被撮像体の中心とを一致させるような作業において、一面の画像および他面の画像から認識される位置ずれを修正するために撮像部を移動させるべき向きと同じ向きの移動指示をする操作ボタン（例えば矢印ボタン）を操作することで、撮像部の光軸と被撮像体の中心とを確実かつ容易に一致させることができる結果、このような作業における操作性を十分に向上させることができる。
【００１０】
また、請求項２記載の基板検査システムによれば、他面から入射した画像光を反射部で反射させた反射状態で受光して他面を撮像するように第２の撮像部を構成したことにより、例えば、第２の撮像部から出力される画像データを変換して他面の画像の左右を反転させるような処理を表示処理部が行うことなく、一面から基板を透過して他面を視認したときの他面内における被撮像体の位置関係と他面の画像内における被撮像体の位置関係とが等しい状態で他面の画像を表示部に表示させることができる。このため、この基板検査システムによれば、画像データを変換する必要がない分、表示処理部による処理の負担を軽減することができる。
【００１１】
また、請求項３記載の基板検査システムでは、各撮像部が、一面および他面からそれぞれ入射した画像光をそれぞれ非反射状態で受光して一面および他面をそれぞれ撮像し、表示処理部が、第１の撮像部によって撮像された一面の画像を画像内における被撮像体の位置関係を変更することなく表示部に表示させると共に第２の撮像部によって撮像された他面の画像を画像内における被撮像体の位置関係を反転させて表示部に表示させる。このため、この基板検査システムでは、第１の撮像部と第２の撮像部とを同じ構成とする、つまり両撮像部を共通化することができる結果、その分、撮像部のコストおよび基板検査システムのコストを低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】基板検査システム１の構成を示す構成図である。
【図２】基板保持部２、移動機構３ａ，３ｂおよび撮像部４ａ，４ｂの平面図である。
【図３】基板保持部２、移動機構３ａ，３ｂおよび撮像部４ａ，４ｂの側面図である。
【図４】撮像部４ａの構成を示す断面図である。
【図５】撮像部４ｂの構成を示す断面図である。
【図６】基板１００の上面１００ａを上方から平面視した平面視画像Ｇｃを概念的に示す画面図である。
【図７】基板１００の下面１００ｂを下方から平面視した平面視画像Ｇｄを概念的に示す画面図である。
【図８】上面１００ａから基板１００を透過して下面１００ｂを視認した透過画像Ｇｅを概念的に示す画面図である。
【図９】撮像画像Ｇａおよび撮像画像Ｇｂの表示画面図である。
【図１０】撮像画像Ｇａおよび撮像画像Ｇｆの表示画面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、基板検査システムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１４】
最初に、基板検査システムの一例としての図１に示す基板検査システム１の構成について説明する。基板検査システム１は、同図に示すように、基板保持部２、移動機構３ａ，３ｂ、撮像部４ａ，４ｂ、表示処理部５、表示部６、操作部７、記憶部８および制御部９を備えて、検査対象の基板１００に対する検査を実行可能に構成されている。なお、移動機構３ａ，３ｂ、撮像部４ａ，４ｂ、表示処理部５および表示部６によって表示装置が構成される。
【００１５】
基板保持部２は、基板１００を保持可能に構成されている。この場合、この基板保持部２では、図１，２に示すように、基板１００における互いに対向する２つの縁部の端面に当接部材２ａ，２ｂをそれぞれ当接させて、基板１００の中央部に向けて当接部材２ａ，２ｂで端面を押圧することによって基板１００を保持するように構成されている。
【００１６】
移動機構３ａ，３ｂは、図２，３に示すように、第１駆動部２１、第２駆動部２２および支持板２３をそれぞれ備えて構成されている。第１駆動部２１は、基板保持部２によって保持された基板１００の上面１００ａおよび下面１００ｂ沿った方向に平行な方向（ＸＹ方向：図２参照）に支持板２３を移動させる。第２駆動部２２は、図２，３に示すように、支持板２３に取り付けられている。また、第２駆動部２２は、プローブ５１を固定可能に構成されて、基板保持部２によって保持された基板１００に対して垂直な方向（Ｚ方向：図３参照）にプローブ５１を移動させる。支持板２３は、図３に示すように、基板保持部２によって保持されている基板１００の上面１００ａおよび下面１００ｂに対して表面２３ａが平行な状態（平行状態）に配置され、この平行状態で第１駆動部２１によって移動させられる。
【００１７】
この場合、移動機構３ａは、図３に示すように、制御部９の制御（操作部７に対する移動操作に基づく移動指示）に従って基板１００の上面１００ａに沿って撮像部４ａを移動させて、上面１００ａに設けられている位置合わせ用の標識Ｍａ（一面内における被撮像体の一例）に撮像部４ａを対向させる。また、移動機構３ｂは、同図に示すように、制御部９の制御に従って基板１００の下面１００ｂに沿って撮像部４ｂを移動させて、下面１００ｂに設けられている位置合わせ用の標識Ｍｂ（他面内における被撮像体の一例）に撮像部４ｂを対向させる。なお、この例では、基板１００の上面１００ａが一面に相当し、基板１００の下面１００ｂが他面に相当するものとする。
【００１８】
また、移動機構３ａ，３ｂは、プロービング装置として機能し、制御部９の制御に従って上記した第１駆動部２１および第２駆動部２２を駆動させることにより、制御部９によって特定されるプロービング位置にプローブ５１（図１，２参照）をプロービングさせるプロービング処理を実行する。
【００１９】
撮像部４ａは、第１の撮像部に相当し、図３に示すように、移動機構３ａの支持板２３に取り付けられて、移動機構３ａの第１駆動部２１によってＸＹ方向（図２参照）に移動させられる。また、撮像部４ａは、制御部９の制御に従って基板１００の上面１００ａを撮像して画像データＤｇａを出力する。
【００２０】
また、撮像部４ａは、図４に示すように、光学系３１ａ、発光部３２ａ、撮像素子３３ａ、およびこれらの構成要素を収容する筐体３４ａを備えて構成されている。光学系３１ａは、同図に示すように、筐体３４ａ内における発光部３２ａと撮像素子３３ａとの間に配置されたレンズ４２ａを備えて構成されて、基板１００の上面１００ａから入射した上面１００ａの画像光Ｌｐａを撮像素子３３ａの受光面４３ａに結像させる。
【００２１】
発光部３２ａは、リング状に配置されたＬＥＤ（発光ダイオード）を備えて構成されて、照明光Ｌｌａを射出する。また、発光部３２ａは、図４に示すように、筐体３４ａ内における光学系３１ａよりも基板１００に近接する位置（この例では、光学系３１ａの下方）に配置されている。
【００２２】
撮像素子３３ａは、一例としてＣＣＤ（電荷結合素子）で構成されている。また、撮像素子３３ａは、図４に示すように、基板１００の上面１００ａから入射した画像光Ｌｐａを受光可能に筐体３４ａ内に配置されて、画像光Ｌｐａを非反射状態（ミラー等の反射部によって画像光Ｌｐａの上下や左右が反転していない状態）で受光して画像データＤｇａ（図１参照）を出力する。具体的には、撮像素子３３ａは、上面１００ａから入射した画像光Ｌｐａの光路上において、基板保持部２によって保持されている状態の基板１００の上面１００ａに対して受光面４３ａが平行で、かつ同図における撮像素子３３ａの左右方向が図９に示す表示部６の表示画面６ａ（同図に示す矩形の枠）における左右方向となるように配置されている。
【００２３】
撮像部４ｂは、第２の撮像部に相当し、図３に示すように、移動機構３ｂの支持板２３に取り付けられて、移動機構３ｂの第１駆動部２１によってＸＹ方向に移動させられる。また、撮像部４ｂは、制御部９の制御に従って基板１００の下面１００ｂを撮像して画像データＤｇｂを出力する。
【００２４】
また、撮像部４ｂは、図５に示すように、光学系３１ｂ、発光部３２ｂ、撮像素子３３ｂ、およびこれらの構成要素を収容する筐体３４ｂを備えて構成されている。光学系３１ｂは、同図に示すように、反射部４１およびレンズ４２ｂを備えて構成されている。
【００２５】
反射部４１は、一例として、板状のハーフミラーで構成されている。また、反射部４１は、図５に示すように、基板保持部２によって保持されている基板１００の下面１００ｂ（撮像部４ｂが取り付けられている移動機構３ｂにおける支持板２３の表面２３ａ）に対して反射面４１ａが４５°傾斜するように筐体３４ｂ内に配置され、基板１００の下面１００ｂに対して垂直（または、ほぼ垂直）な方向に沿って基板１００から入射した下面１００ｂについての画像光Ｌｐｂを基板１００の下面１００ｂ（つまり、移動機構３ｂにおける支持板２３の表面２３ａ）に沿って（下面１００ｂに平行、またはほぼ平行な方向に）反射させる。
【００２６】
レンズ４２ｂは、筐体３４ｂ内における反射部４１と撮像素子３３ｂとの間に配置されて反射部４１によって反射された画像光Ｌｐｂを撮像素子３３ｂの受光面４３ｂに結像させる。
【００２７】
発光部３２ｂは、一例として、ＬＥＤ（発光ダイオード）を備えて構成されて、図５に示すように、照明光Ｌｌｂを射出する。また、発光部３２ｂは、同図に示すように、筐体３４ｂ内における光学系３１ｂの反射部４１よりも基板１００から離間する位置（この例では、反射部４１の下方）に配置されている。この基板検査システム１では、反射部４１が、ハーフミラーで構成されているため、発光部３２ｂから射出された照明光Ｌｌｂは、反射部４１を透過して基板１００の下面１００ｂに照射される。
【００２８】
撮像素子３３ｂは、一例としてＣＣＤで構成されている。また、撮像素子３３ｂは、図５に示すように、光学系３１ｂの反射部４１によって反射された画像光Ｌｐｂを受光可能に筐体３４ｂ内に配置されて、画像光Ｌｐｂを反射状態（反射部４１の反射部によって画像光Ｌｐｂの上下や左右（この例では、左右）が反転している状態）で受光して画像データＤｇｂを出力する。具体的には、撮像素子３３ｂは、反射部４１によって反射された画像光Ｌｐｂの光路上において、受光面４３ｂが支持板２３の表面２３ａに対して直交し、かつ同図における撮像素子３３ｂの上下方向が図９に示す表示部６の表示画面６ｂ（同図に示す矩形の枠）における左右方向となるように配置されている。
【００２９】
表示処理部５は、制御部９の制御に従って各種の画像を表示部６に表示させる。また、表示処理部５は、表示処理を実行して、撮像部４ａから出力された画像データＤｇａに基づく基板１００の上面１００ａの撮像画像Ｇａ（一面の画像：図９参照）、および撮像部４ｂから出力された画像データＤｇｂに基づく基板１００の下面１００ｂの撮像画像Ｇｂ（他面の画像：同図参照）を表示させるための表示用データＤｄを生成して表示部６に出力することにより、撮像画像Ｇａ，Ｇｂを表示部６に表示させる。
【００３０】
この場合、表示処理部５は、撮像部４ａによって撮像された撮像画像Ｇａ（図９参照）および撮像部４ｂによって撮像された撮像画像Ｇｂ（同図参照）を各撮像画像Ｇａ，Ｇｂ内における各々の標識Ｍａ，Ｍｂ（被撮像体）の位置関係を変更することなく、つまり各撮像画像Ｇａ，Ｇｂを各撮像部４ａ，４ｂによって撮像された状態のままで表示部６に表示させる。
【００３１】
ここで、この基板検査システム１では、上記したように、撮像部４ａの撮像素子３３ａが基板１００の上面１００ａから入射した画像光Ｌｐａを非反射状態で受光して画像データＤｇａを出力する。このため、画像データＤｇａに基づく撮像画像Ｇａ（撮像素子３３ａに結像した画像：図９参照）内における標識Ｍａの位置関係（左右の位置関係）が、上面１００ａを上方から平面視した画像（図６に示す平面視画像Ｇｃ）内における標識Ｍａの位置関係（左右の位置関係）と等しくなる。
【００３２】
また、この基板検査システム１では、上記したように、撮像部４ｂの撮像素子３３ｂが基板１００の下面１００ｂから入射した画像光Ｌｐｂを反射状態で受光して画像データＤｇｂを出力する。このため、画像データＤｇｂに基づく撮像画像Ｇｂ（撮像素子３３ｂに結像した画像：図９参照）内における標識Ｍｂの位置関係（左右の位置関係）と、下面１００ｂを下方から平面視した画像（図７に示す平面視画像Ｇｄ）内における標識Ｍｂの位置関係（左右の位置関係）とが、平面視画像Ｇｄにおける左右方向の中心を通って平面視画像Ｇｄの上下方向に平行な中心線Ｓを対称軸として線対称となる。つまり、撮像画像Ｇｂは、中心線Ｓを中心として平面視画像Ｇｄの左右を反転させた画像となっている。
【００３３】
一方、撮像画像Ｇｂ内における標識Ｍｂの位置関係（左右の位置関係）は、上面１００ａから基板１００を透過して下面１００ｂを視認した画像（図８に示す透過画像Ｇｅ）内における標識Ｍｂの位置関係（左右の位置関係）と等しくなる。つまり、この基板検査システム１では、画像光Ｌｐｂを反射状態で受光して画像データＤｇｂを出力する撮像部４ｂを用いることで、下面１００ｂを下方から平面視した平面視画像Ｇｄの左右を反転させて、上面１００ａから基板１００を透過して下面１００ｂを視認した透過画像Ｇｅと同様の撮像画像Ｇｂを表示部６に表示させることが可能となっている。
【００３４】
表示部６は、表示処理部５から出力される表示用データＤｄに基づく撮像画像Ｇａ，Ｇｂを表示すると共に、検査結果を示す画像を表示する。
【００３５】
操作部７は、基板１００と撮像部４ａ，４ｂとの位置ずれ量を特定する特定処理の実行を指示する操作ボタン、移動機構３ａ，３ｂによる撮像部４ａ，４ｂの移動指示をするための操作ボタン（例えば、上下左右の各向きを示す矢印ボタン）、および検査処理の実行を指示するための操作ボタンなどを備え、これらの操作ボタンが操作されたときに操作信号を出力する。この場合、この基板検査システム１では、操作部７における上下左右の各向きを示す矢印ボタンを操作したときに、移動機構３ａ，３ｂが矢印ボタンに割り当てられた矢印の向きであって操作量に応じた距離だけ撮像部４ａ，４ｂを移動させる。
【００３６】
記憶部８は、基板１００における標識Ｍａ，Ｍｂの位置（設計上の位置）を示す標識位置データＤｍ、プローブ５１をプロービングさせる基板１００上の位置として予め決められた位置を示すプロービング位置データＤｐを記憶する。また、制御部９の制御に従い、制御部９によって実行される特定処理において特定される位置ずれ量を示す位置ずれ量データＤａを記憶する。
【００３７】
制御部９は、操作部７から出力される操作信号に従って基板検査システム１を構成する各構成要素を制御する。また、制御部９は、移動機構３ａ，３ｂによる撮像部４ａ，４ｂの移動量、および撮像画像Ｇａ，Ｇｂに基づいて基板１００と撮像部４ａ，４ｂとの位置ずれ量を特定する特定処理を実行する。また、制御部９は、特定した位置ずれ量に基づいてプローブ５１をプロービングさせるプロービング位置を特定する。さらに、制御部９は、検査装置として機能し、プローブ５１を介して入出力する電気信号に基づいて基板１００を検査する検査処理を実行する。
【００３８】
次に、基板検査システム１を用いて基板１００を検査する方法、およびその際の基板検査システム１の各部の動作について、図面を参照して説明する。
【００３９】
まず、基板１００を基板保持部２に保持させる。具体的には、図２に示すように、基板１００における互いに対向する２つの縁部の端面に当接部材２ａ，２ｂをそれぞれ当接させ、次いで、基板１００の中央部に向けて当接部材２ａ，２ｂで端面を押圧させる。これにより、当接部材２ａ，２ｂによって基板１００が保持される。
【００４０】
続いて、操作部７を操作して、基板１００と撮像部４ａ，４ｂとの位置ずれ量を特定する特定処理の実行を指示する。この際に、操作部７が操作信号を出力し、制御部９が操作信号に従って特定処理を実行する。この特定処理では、制御部９は、記憶部８から標識位置データＤｍを読み出して、基板１００における標識Ｍａ，Ｍｂの位置（設計上の位置）を特定する。次いで、制御部９は、移動機構３ａの第１駆動部２１を制御して、支持板２３をＸＹ方向に移動させることにより、図４に示すように、基板１００の上面１００ａに設けられている標識Ｍａの対向位置（上方の位置）に撮像部４ａにおける光学系３１ａ（撮像素子３３ａ）を位置させる。また、制御部９は、移動機構３ｂの第１駆動部２１を制御して、支持板２３をＸＹ方向に移動させることにより、図５に示すように、基板１００の下面１００ｂに設けられている標識Ｍｂの対向位置（下方の位置）に撮像部４ｂにおける光学系３１ｂの反射部４１を位置させる。
【００４１】
続いて、制御部９は、撮像部４ａを制御して基板１００の上面１００ａを撮像させる。具体的には、制御部９は、撮像部４ａの発光部３２ａを発光させる。この際に、図４に示すように、発光部３２ａから照射された照明光Ｌｌａが基板１００の上面１００ａに照射される。
【００４２】
次いで、照射された照明光Ｌｌａが上面１００ａで反射して、画像光Ｌｐａとして撮像部４ａに入射する。続いて、光学系３１ａ（レンズ４２ａ）が、画像光Ｌｐａを撮像素子３３ａの受光面４３ａに結像させ、撮像素子３３ａが、画像光Ｌｐａに基づいて画像データＤｇａを生成して出力する。
【００４３】
また、制御部９は、撮像部４ｂを制御して基板１００の下面１００ｂを撮像させる。具体的には、制御部９は、撮像部４ｂの発光部３２ｂを発光させる。この際に、図５に示すように、発光部３２ｂから照射された照明光Ｌｌｂがハーフミラーで構成されている光学系３１ｂの反射部４１を透過して基板１００の下面１００ｂに照射される。
【００４４】
次いで、照射された照明光Ｌｌｂが下面１００ｂで反射して、画像光Ｌｐｂとして反射部４１に入射する。続いて、反射部４１が、基板１００の下面１００ｂに垂直（または、ほぼ垂直）な方向に沿って下面１００ｂから入射した画像光Ｌｐｂを、基板１００の下面１００ｂに沿って（下面１００ｂに平行またはほぼ平行な方向に）反射させる。次いで、光学系３１ｂのレンズ４２ｂが、反射部４１によって反射された画像光Ｌｐｂを撮像素子３３ｂの受光面４３ｂに結像させ、撮像素子３３ｂが、画像光Ｌｐｂに基づいて画像データＤｇｂを生成して出力する。
【００４５】
続いて、制御部９は、表示処理部５を制御して表示処理を実行させる。この表示処理では、表示処理部５は、撮像部４ａから出力された画像データＤｇａに基づく基板１００の上面１００ａの撮像画像Ｇａ、および撮像部４ｂから出力された画像データＤｇｂに基づく基板１００の下面１００ｂの撮像画像Ｇｂを表示させるための表示用データＤｄを生成する。
【００４６】
この場合、表示処理部５は、撮像部４ａによって撮像された撮像画像Ｇａ（撮像素子３３ａに結像した画像）および撮像部４ｂによって撮像された撮像画像Ｇｂ（撮像素子３３ｂに結像した画像）を各撮像画像Ｇａ，Ｇｂ内における各々の標識Ｍａ，Ｍｂの位置関係を変更することなく、つまり各撮像画像Ｇａ，Ｇｂを各撮像部４ａ，４ｂによって撮像された状態のまま表示部６に表示させる表示用データＤｄを生成する。また、表示処理部５は、撮像部４ａ，４ｂの光軸の位置を示すカーソルＣａ，Ｃｂ（図９参照））を表示させる情報を含めて表示用データＤｄを生成する。
【００４７】
次いで、制御部９が表示用データＤｄを表示部６に出力することにより、図９に示すように、表示用データＤｄに基づく撮像画像Ｇａ，Ｇｂが撮像部４ａ，４ｂの光軸を示すカーソルＣａ，Ｃｂと共に表示部６に左右に並んで表示される。
【００４８】
ここで、この基板検査システム１では、上記したように、画像データＤｇａに基づく撮像画像Ｇａ（撮像素子３３ａに結像した画像）内における標識Ｍａの位置関係（左右の位置関係）と、上面１００ａを上方から平面視した平面視画像Ｇｃ（図６参照）内における標識Ｍａの位置関係（左右の位置関係）とが等しくなる。また、この基板検査システム１では、上記したように、画像データＤｇｂに基づく撮像画像Ｇｂ（撮像素子３３ｂに結像した画像）内における標識Ｍｂの位置関係（左右の位置関係）と、上面１００ａから基板１００を透過して下面１００ｂを視認した透過画像Ｇｅ（図８参照）内における標識Ｍｂの位置関係（左右の位置関係）とが等しくなる。
【００４９】
続いて、操作部７を操作して、撮像部４ａ，４ｂの光軸をそれぞれ示すカーソルＣａ，Ｃｂの中心と撮像画像Ｇａ，Ｇｂ内の標識Ｍａ，Ｍｂの中心とがそれぞれ一致するように移動機構３ａ，３ｂに対する撮像部４ａ，４ｂの移動指示を行う。この際に、制御部９が操作信号に応じて移動機構３ａ，３ｂを制御して、撮像部４ａ，４ｂを移動させる。次いで、制御部９は、移動機構３ａ，３ｂによる移動量を位置ずれ量として特定して、その位置ずれ量を示す位置ずれ量データＤａを記憶部８に記憶させる。以上により特定処理が終了する。
【００５０】
ここで、撮像部４ａと同様に構成した撮像部で下面１００ｂを撮像する構成では、下面１００ｂを下方から平面視した状態を示す図７に示す平面視画像Ｇｄと同様の下面１００ｂの撮像画像Ｇｆ（図１０参照）が表示部６に表示される。この場合、上面１００ａから基板１００を透過して下面１００ｂを視認した透過画像Ｇｅ（図８参照）と撮像画像Ｇｆとを比較すると、撮像画像Ｇｆは、透過画像Ｇｅの左右を反転させた画像となっている。このため、撮像部４ａと同様に構成した撮像部を用いて撮像画像Ｇｆを表示する構成では、例えば、透過画像Ｇｅ内において標識Ｍｂの中心が撮像部４ｂの光軸を示すカーソルＣｂの中心に対して左側に位置ずれしているときに、撮像画像Ｇｆ内において標識Ｍｂの中心がカーソルＣｂの中心に対して右側に位置ずれしているように表示される。このため、移動機構３ｂに対する撮像部４ｂの移動指示を行ってカーソルＣｂの中心と標識Ｍｂの中心とを一致させる位置合わせの作業を行う際に、実際には左側に位置ずれしている標識Ｍｂに向けて撮像部４ｂを左向きに移動させるべきところ、それとは逆の右向きに撮像部４ｂを移動させるような誤操作を行うおそれがある。つまり、操作者の意図に反してカーソルＣｂの中心と標識Ｍｂとがさらに大きく位置ずれするおそれがある。
【００５１】
これに対して、この基板検査システム１では、上面１００ａを平面視したときの上面１００ａ内における標識Ｍａの位置関係と撮像画像Ｇａ内における標識Ｍａの位置関係とが等しく、かつ上面１００ａから基板１００を透過して下面１００ｂを視認したときの下面１００ｂ内における標識Ｍｂの位置関係と下面１００ｂの画像内における標識Ｍｂの位置関係とが等しい状態で上面１００ａの撮像画像Ｇａおよび下面１００ｂの撮像画像Ｇｂを表示部６に表示させる。このため、この基板検査システム１によれば、例えば、上面１００ａ側から視認したときに標識Ｍａ，Ｍｂの中心が撮像部４ａ，４ｂの光軸に対して左側に位置ずれしているときには、上面１００ａの撮像画像Ｇａおよび下面１００ｂの撮像画像Ｇｂのいずれの画像内においても、標識Ｍａ，Ｍｂの中心が撮像部４ａ，４ｂの光軸を示すカーソルＣａ，Ｃｂの中心に対して左側に位置ずれしているように表示される。このため、この基板検査システム１では、上記した位置合わせの作業において、誤操作が確実に防止されて、操作者の意図通りにカーソルＣａ，Ｃｂの中心と標識Ｍａ，Ｍｂの中心とを確実かつ容易に一致させることができる結果、このような位置合わせの作業における操作性を十分に向上させることが可能となっている。
【００５２】
続いて、操作部７を操作して、検査処理の実行を指示する。この際に、操作部７が、操作信号を出力し、制御部９が、操作信号に従って検査処理を実行する。この検査処理では、制御部９は、プロービング位置データＤｐを記憶部８から読み出して、プロービング位置を特定する。また、制御部９は、位置ずれ量データＤａを記憶部８から読み出して、位置ずれ量を特定する。
【００５３】
次いで、制御部９は、プロービング位置を位置ずれ量で補正する。続いて、制御部９は、移動機構３ａ，３ｂの各第１駆動部２１を制御して、補正後のプロービング位置の上方に各プローブ５１をそれぞれ移動させる。次いで、制御部９は、移動機構３ａ，３ｂの各第２駆動部２２を制御して、基板１００の上面１００ａおよび下面１００ｂに向けて移動させて、補正後のプロービング位置に各プローブ５１をプロービングさせる。
【００５４】
続いて、制御部９は、図外の信号供給部を制御して検査用の電気信号を出力させてプローブ５１を介して基板１００に供給させ、その際にプローブ５１を介して入力した電気信号を検出する。次いで、制御部９は、出力させた検査用の電気信号の物理量（例えば、電圧値）と入力した電気信号の物理量（例えば、電流値）とに基づいて抵抗値を算出し、その抵抗値に基づいて、基板１００の良否（基板１００における導体パターンの絶縁状態の良否や導通状態の良否）を検査する。続いて、制御部９は、表示処理部５を制御して、検査結果を示す表示用データＤｄを生成させて表示部６に出力させる。これにより、表示部６に検査結果が表示される。
【００５５】
このように、この基板検査システム１では、上面１００ａを平面視したときの上面１００ａ内における標識Ｍａの位置関係と撮像画像Ｇａ内における標識Ｍａの位置関係とが等しく、かつ上面１００ａから基板１００を透過して下面１００ｂを視認したときの下面１００ｂ内における標識Ｍｂの位置関係と撮像画像Ｇｂ内における標識Ｍｂの位置関係とが等しい状態で撮像画像Ｇａおよび撮像画像Ｇｂを表示部６に表示させる。このため、この基板検査システム１によれば、例えば、上面１００ａ側から視認したときに標識Ｍａ，Ｍｂの中心が撮像部４ａ，４ｂの光軸に対して左側に位置ずれしているときには、上面１００ａの撮像画像Ｇａおよび下面１００ｂの撮像画像Ｇｂのいずれの画像内においても、標識Ｍａ，Ｍｂの中心が撮像部４ａ，４ｂの光軸に対して左側に位置ずれしているように表示される。したがって、この基板検査システム１によれば、撮像画像Ｇａ，Ｇｂを見ながら撮像部４ａ，４ｂを移動させて撮像部４ａ，４ｂの光軸と標識Ｍａ，Ｍｂの中心とを一致させるような作業において、撮像画像Ｇａ，Ｇｂから認識される位置ずれを修正するために撮像部４ａ，４ｂを移動させるべき向きと同じ向きの移動指示をする操作ボタン（矢印ボタン）を操作することで、撮像部４ａ，４ｂの光軸と標識Ｍａ，Ｍｂの中心とを確実かつ容易に一致させることができる結果、このような作業における操作性を十分に向上させることができる。
【００５６】
また、この基板検査システム１によれば、下面１００ｂから入射した画像光Ｌｐｂを反射部４１で反射させた反射状態で受光して下面１００ｂを撮像するように撮像部４ｂを構成したことにより、例えば、撮像部４ｂから出力される画像データＤｇｂを変換して撮像画像Ｇｂの左右を反転させるような処理を表示処理部５が行うことなく、上面１００ａから基板１００を透過して下面１００ｂを視認したときの下面１００ｂ内における標識Ｍｂの位置関係と撮像画像Ｇｂ内における標識Ｍｂの位置関係とが等しい状態で撮像画像Ｇｂを表示部６に表示させることができる。このため、この基板検査システム１によれば、画像データＤｇｂを変換する必要がない分、表示処理部５による処理の負担を軽減することができる。
【００５７】
なお、基板検査システムは、上記の構成に限定されない。例えば、上記した撮像部４ｂに代えて、撮像部４ａと同様に構成した撮像部を用いて下面１００ｂを撮像する構成を採用することもできる。この場合、この撮像部を用いるときには、表示処理部５が、表示処理において、撮像部４ｂから出力された画像データＤｇｂに対して変換処理を行って表示用データＤｄを生成し、撮像部４ｂによって撮像された下面１００ｂの画像をその画像内における標識Ｍｂ（被撮像体）の位置関係が、その画像の左右方向の中心を通ってその画像の上下方向に平行な中心軸を対称軸として線対称となるように反転させて表示部６に表示させる。この構成によれば、上面１００ａを撮像する撮像部４ａと下面１００ｂを撮像する撮像部とを共通化する（同じ構成とする）ことができるため、その分、撮像部のコストおよび基板検査システムのコストを低減させることができる。
【００５８】
また、基板検査システム１の撮像部４ｂにおいて、反射部４１をハーフミラーで構成した例について上記したが、ハーフミラー以外のビームスプリッタ（反射光と透過光の比率が１：１以外の比率のビームスプリッタ）で構成した反射部を採用することもできる。また、全反射ミラーで構成した反射部を採用して、例えばリング状の発光部を反射部と基板１００との間に配置する構成を採用することもできる。
【００５９】
また、反射部４１による画像光Ｌｐａの反射によって画像の左右が反転する例について上記したが、反射部４１における反射面４１ａの向き（傾斜方向）によっては（具体的には、上記した例における反射面４１ａの向きを９０°回動させたときには）、画像における上下方向の中心線を中心として画像の上下が反転することもある。このような構成を採用するときには、撮像素子３３ｂの姿勢を、上記した例における撮像素子３３ｂの姿勢を、反射面４１ａの回動の向きと同じ向きに９０°回動させた姿勢で配置することで、上記した各効果を実現することができる。
【００６０】
また、上面１００ａを一面とし、下面１００ｂを他面とする例について上記したが、これとは逆に、下面１００ｂを一面とし、上面１００ａを他面とすることもでき、この構成においても、上記した各効果と同様の効果を実現することができる。
【００６１】
また、撮像画像Ｇａ，Ｇｂの双方を左右に並べて表示部６に表示させる構成例について上記したが、上下に並べて表示部６に表示させる構成を採用することもできる。また、撮像画像Ｇａ，Ｇｂの一部同士または全部同士が重なる状態で撮像画像Ｇａ，Ｇｂを表示部６に表示させる構成を採用することもできる。また、２つの表示部６に撮像画像Ｇａ，Ｇｂを別々に表示させる構成を採用することもできる。また、表示部６を備えた基板検査システム１を例に挙げて説明したが、表示部６を備えずに、外部の表示部に撮像画像Ｇａ，Ｇｂを表示させる構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００６２】
１  基板検査システム
３ａ，３ｂ  移動機構
４ａ，４ｂ  撮像部
５  表示処理部
６  表示部
７  操作部
９  制御部
４１  反射部
１００  基板
１００ａ  上面
１００ｂ  下面
Ｄｇａ，Ｄｇｂ  画像データ
Ｇａ，Ｇｂ  撮像画像
Ｌｐａ，Ｌｐｂ  画像光
Ｍａ，Ｍｂ  標識
【図１】
2015096815.tif 000003
【図２】
2015096815.tif 000004
【図３】
2015096815.tif 000005
【図４】
2015096815.tif 000006
【図５】
2015096815.tif 000007
【図６】
2015096815.tif 000008
【図７】
2015096815.tif 000009
【図８】
2015096815.tif 000010
【図９】
2015096815.tif 000011
【図１０】
2015096815.tif 000012