(57)【要約】【課題】真空環境下において気化した潤滑剤を回収するのに適した相対動部材間の構造を提供する。【解決手段】相対部材間の構造Ｂ１は、第１部材４と、第１部材４に対して相対動可能な第２部材５と、第１および第２部材４．５の間に介装され、潤滑剤６４の存在下で第２部材５を第１部材４に対して所定方向に相対動させるための相対動機構６と、第１部材４または第２部材５のいずれか一方に設けられ、第１部材４、第２部材５および相対動機構６との間で閉じた空間Ｓを形成するためのシール手段７と、第１部材４および第２部材５のうち少なくとも一方に設けられ、閉じた空間Ｓの内部において気化した潤滑剤６４を冷却するための冷却手段８とを備える。このような構成によれば、気化した潤滑剤の外部への拡散を防止するとともに、気化した潤滑剤を相対動機構に戻すことにより当該相対動機構の長寿命化を図ることができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材と、
上記第１部材に対して相対動可能な第２部材と、
上記第１部材および第２部材の間に介装され、潤滑剤の存在下で上記第２部材を上記第１部材に対して所定方向に相対動させるための相対動機構と、
上記第１部材または第２部材のいずれか一方に設けられ、上記第１部材、上記第２部材および上記相対動機構との間で閉じた空間を形成するためのシール手段と、
上記第１部材および第２部材のうち少なくとも一方に設けられ、上記閉じた空間の内部において気化した上記潤滑剤を冷却するための冷却手段と、を備えることを特徴とする、相対動部材間の構造。
【請求項２】
上記冷却手段は、電流を流すことにより吸熱する吸熱部および発熱する発熱部を有するペルチェ素子を含んで構成される、請求項１に記載の相対移動部材間の構造。
【請求項３】
上記第１部材は、上端が開口し、かつ上下方向に延びる円筒状部分を含み、
上記相対動機構は、外輪と内輪の間に複数の第１転動体が保持された構成を有し、上記外輪が上記円筒状部分に内嵌される転がり軸受を含み、
上記第２部材は、上記内輪に内嵌される回動軸を含んでおり、
上記ペルチェ素子は、上記相対動機構よりも上位に設けられている、請求項２に記載の相対動部材間の構造。
【請求項４】
上記第２部材は、上記回動軸の上端につながり、かつ上記第１部材よりも上位に位置し、上下方向において少なくとも上記外輪と重なる位置まで径方向外方に延びる円板部を有し、
上記ペルチェ素子は、上記閉じた空間内において、上記吸熱部が下方に向いて露出するように上記円板部に取り付けられている、請求項３に記載の相対動部材間の構造。
【請求項５】
上記ペルチェ素子は、上記回動軸を囲むように配置されている、請求項３または４に記載の相対動部材間の構造。
【請求項６】
上記第１部材は、直線状のレールを含み、
上記第２部材は、上記レールに相対動可能に嵌め合わされたスライダを含み、
上記相対動機構は、上記レールおよび上記スライダの間に介装され、これらに各々が摺接しうる複数の第２転動体を含んでいる、請求項２に記載の相対動部材間の構造。
【請求項７】
上記レールは、水平方向に延びており、
上記スライダは、上記レール上において往復動可能であり、
上記ペルチェ素子は、上記閉じた空間内において、上記スライダの進行方向を向く面における上記第２転動体よりも上位に取り付けられている、請求項６に記載の相対動部材間の構造。
【請求項８】
ワークを保持するためのハンドと、請求項１ない７のいずれかに記載の相対動部材間の構造を含んで構成された、上記ハンドを動作させるためのハンド動作手段と、を備えることを特徴とする、ワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、潤滑剤の存在下で部材を相対動させるように構成された相対動部材間の構造、およびこれを備えたワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
回転や往復動など相対動する部材間には、摩擦によるエネルギー損失を減少させ、部材の焼き付き等を防止するため、たとえば軸受が介装される。軸受においては、摩擦の低減、耐久性の向上などの目的により、グリースなどの潤滑剤が一般に使用される。
【０００３】
グリースによる潤滑の場合、通常、軸受の組立時に塗布されたグリースのみで潤滑する。この場合、軸受の使用状況に応じてグリースが蒸発することがあり、そのようなグリースの蒸発が起こると、軸受において焼き付きなどの不都合を来たすおそれがある。このようなグリースの蒸発に起因する不都合に対し、たとえば、内輪、外輪、およびこれらの間に介在させられる複数の転動体を有する転がり軸受において、内輪の回転による空気流を利用して潤滑を終えたグリースをミスト化し、回収して再利用する方法が提案されている（たとえば特許文献１を参照）。
【０００４】
一方、軸受等を利用した機械構造を具備する装置として、ワークを搬送するためのワーク搬送装置がある（たとえば特許文献２を参照）。ワーク搬送装置は、たとえば半導体製造や液晶基板製造などの分野において、薄板状のウエハやガラス基板などのワークを搬送するために用いられる。
【０００５】
ワーク搬送装置は、たとえばトランスファチャンバに設置され、このトランスファチャンバに隣接してワークに所定の処理を施すためのプロセスチャンバが配置される。ワークへの処理等に応じて、トランスファチャンバおよびプロセスチャンバは、たとえばクリーン環境や真空環境とされる。そして、ワーク搬送装置が真空環境下に設置される場合、当該真空環境では蒸気圧が低いので、ワーク搬送装置の軸受等には、気化しにくい真空グリース（真空用の潤滑剤）が塗布される。
【０００６】
しかしながら、真空環境下においては、真空グリースを用いても蒸発を避けることはできない。大気環境下では、特許文献１を参照して上述したように、軸受内で潤滑を終えたグリースを空気流を利用してミスト化し、回収再利用する方法が提案されている。しかし、真空環境下では、空気流が発生しないので特許文献１に示された手法によっては気化したグリースを回収することはできず、気化したグリースを戻すための有効な手段がなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２５８１５７号公報
【特許文献２】特開２００３−１８８２３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、真空環境下において気化した潤滑剤を回収するのに適した相対動部材間の構造、およびそのような構造を備えたワーク搬送装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。
【００１０】
本発明の第１の側面によって提供される相対部材間の構造は、第１部材と、上記第１部材に対して相対動可能な第２部材と、上記第１部材および第２部材の間に介装され、潤滑剤の存在下で上記第２部材を上記第１部材に対して所定方向に相対動させるための相対動機構と、上記第１部材または第２部材のいずれか一方に設けられ、上記第１部材、上記第２部材および上記相対動機構との間で閉じた空間を形成するためのシール手段と、上記第１部材および第２部材のうち少なくとも一方に設けられ、上記閉じた空間の内部において気化した上記潤滑剤を冷却するための冷却手段とを備えることを特徴としている。
【００１１】
好ましい実施の形態においては、上記冷却手段は、電流を流すことにより吸熱する吸熱部および発熱する発熱部を有するペルチェ素子を含んで構成される。
【００１２】
好ましい一つの実施の形態においては、上記第１部材は、上端が開口し、かつ上下方向に延びる円筒状部分を含み、上記相対動機構は、外輪と内輪の間に複数の第１転動体が保持された構成を有し、上記外輪が上記円筒状部分に内嵌される転がり軸受を含み、上記第２部材は、上記内輪に内嵌される回動軸を含んでおり、上記ペルチェ素子は、上記相対動機構よりも上位に設けられている。
【００１３】
好ましい実施の形態においては、上記第２部材は、上記回動軸の上端につながり、かつ上記第１部材よりも上位に位置し、上下方向において少なくとも上記外輪と重なる位置まで径方向外方に延びる円板部を有し、上記ペルチェ素子は、上記閉じた空間内において、上記吸熱部が下方に向いて露出するように上記円板部に取り付けられている。
【００１４】
好ましい実施の形態においては、上記ペルチェ素子は、上記回動軸を囲むように配置されている。
【００１５】
好ましい他の実施の形態においては、上記第１部材は、直線状のレールを含み、上記第２部材は、上記レールに相対動可能に嵌め合わされたスライダを含み、上記相対動機構は、上記レールおよび上記スライダの間に介装され、これらに各々が摺接しうる複数の第２転動体を含んでいる。
【００１６】
好ましい実施の形態においては、上記レールは、水平方向に延びており、上記スライダは、上記レール上において往復動可能であり、上記ペルチェ素子は、上記閉じた空間内において、上記スライダの進行方向を向く面における上記第２転動体よりも上位に取り付けられている。
【００１７】
好ましい実施の形態においては、上記ペルチェ素子の上記吸熱部は上記進行方向を向く面を覆っている。
【００１８】
本発明の第２の側面によって提供されるワーク搬送装置は、ワークを保持するためのハンドと、本発明の第２の側面に係る相対動部材間の構造を含んで構成された、上記ハンドを動作させるためのハンド動作手段と、を備えることを特徴としている。
【００１９】
このような構成によれば、気化した潤滑剤の外部への拡散を防止するとともに、気化した潤滑剤を相対動機構に戻すことにより当該相対動機構の長寿命化を図ることができる。
【００２０】
本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る相対部材間の構造を備えたワーク搬送装置の一例を示す側面図である。
【図２】図１に示すワーク搬送装置の平面図である。
【図３】本発明に係る相対動部材間の構造の一例を示す縦断面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う要部断面図である。
【図５】図３に示す相対動部材間の構造の作用を説明するための要部拡大断面図である。
【図６】本発明に係る相対部材間の構造を備えたワーク搬送装置の他の例を示す斜視図である。
【図７】図６に示すワーク搬送装置の平面図である。
【図８】図６に示すワーク搬送装置の側面図である。
【図９】本発明に係る相対動部材間の構造の他の例を示し、図７のＩＸ−ＩＸ線に沿う要部断面図である。
【図１０】図９のＸ−Ｘ線に沿う要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の好ましい実施形態につき、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【００２３】
図１および図２は、本発明に係る相対部材間の構造を備えたワーク搬送装置の一例を示している。本実施形態のワーク搬送装置Ａ１は、中心軸が垂直方向に延びる筒状の固定ベース１と、昇降ベース２と、水平方向に長手状の下段アーム３および上段アーム４と、ウエハ等の薄板状のワークＷを載置保持しうるハンド５とを備え、たとえばウエハ等の薄板状のワークＷの搬送を行うように構成されたものである。
【００２４】
昇降ベース２は、固定ベース１に支持されており、図示しない昇降機構によって昇降可能とされている。下段アーム３は、昇降ベース２に対して垂直軸心Ｏ１を中心として回動可能に基端の回動軸が支持されており、図示しない下段アーム駆動機構によって回動させられる。上段アーム４は、下段アーム３の先端に対して垂直軸心Ｏ２を中心として回動可能に基端の回動軸が支持されており、図示しない上段アーム駆動機構によって回動させられる。
【００２５】
ハンド５は、上段アーム４の先端に対して垂直軸心Ｏ３を中心として回動可能に基端の回動軸が支持されており、図示しないハンド駆動機構によって垂直軸心Ｏ３周りに回動させられる。ハンド５の先端には、二股のホーク状とされたワーク保持部５１が設けられている。
【００２６】
上記下段アーム駆動機構、上記上段アーム駆動機構、および上記ハンド駆動機構は、下段アーム３、上段アーム４、およびハンド５の各回動軸に対して連係するモータやベルトを利用した駆動力伝達機構などによって構成されている。なお、上記下段アーム駆動機構、上記上段アーム駆動機構、および上記ハンド駆動機構については、詳細な図示説明は省略したが、たとえば特開２００３−１８８２３１号公報記載の構造と同様の構造によって実現することができる。
【００２７】
詳細な図示説明は省略するが、ワーク搬送装置Ａ１は、たとえばウエハが収容されたロードポートと、プロセスチャンバとの間でワークＷの搬送を行うのに用いられ。そして、ワーク搬送装置Ａ１は、ロードポートおよびプロセスチャンバのいずれにも隣接するトランスポートチャンバ内に配置され、当該トランスポートチャンバ内は、たとえば真空環境とされる。
【００２８】
上記構成のワーク搬送装置Ａ１において、上記下段アーム駆動機構、上段アーム駆動機構、ハンド駆動機構の動作を適宜制御することにより、ロードポートおよびプロセスチャンバに対して、ハンド５に保持されたワークＷの搬出入が可能とされている。そして、上記下段アーム駆動機構、上段アーム駆動機構およびハンド駆動機構は、ハンド５を所望に動作させるためのハンド動作手段を構成している。
【００２９】
本発明に係る相対動部材間の構造は、ワーク搬送装置Ａ１において、たとえば下段アーム３と上段アーム４との連結部や上段アーム４とハンド５との連結部に採用することができる。
【００３０】
図３は、本発明に係る相対動部材間の構造を上段アーム４とハンド５との連結部に採用した場合の概略構成を示している。
【００３１】
本実施形態の相対動部材間の構造Ｂ１は、上段アーム４（第１部材）と、上段アーム４の先端に対して回動可能（相対動可能）なハンド５（第２部材）と、上段アーム４およびハンド５の間に介装された転がり軸受６と、リップシール７と、ペルチェ素子８とを備えて構成されている。
【００３２】
より具体的には、上段アーム４の先端には、上端が開口する円筒状のハウジング４１（円筒状部分）が設けられている。ハウジング４１は、転がり軸受６および後述の回動軸５２を内挿する部分である。ハウジング４１の下端部は、蓋４２が接合されるとともにＯリング４３が介装されることにより、密閉されている。転がり軸受６は、内輪６１、外輪６２、およびこれらの間に図示しない保持器を介して保持された複数の転動体６３を有しており、外輪６２がハウジング４１に内嵌される。本実施形態では、２つの転がり軸受６が軸方向に並んで取付けられる。
【００３３】
ハンド５の基端には、回動軸５２と、この回動軸５２の上端につながる円板部５３とが設けられている。回動軸５２は、転がり軸受６の内輪６１に内嵌されている。回動軸５２の外径寸法は、たとえば直径４０〜５０ｍｍ程度である。円板部５３は、上段アーム４よりも上位に位置し、上下方向において転がり軸受６の外輪６２と重なる位置まで径方向外方に延びている。このようにハウジング４１（上段アーム４）と回動軸５２（ハンド５）との間に転がり軸受６が介装されることにより、ハンド５は、上段アーム４に対して垂直軸心Ｏ３を中心としてその周方向に回動可能である。
【００３４】
転がり軸受６の内部には、潤滑剤としての真空グリース６４が塗布されている。真空グリース６４は、ベースオイルに増ちょう剤や添加剤が配合されたものであり、蒸気圧が低いものが選択的に用いられる。
【００３５】
リップシール７は、全体として環状をなしており、嵌合部７１およびリップ部７２を有する。嵌合部７１は、円板部５３に形成された取付溝５３１に嵌め込まれている。これにより、リップシール７は、円板部５３に固定される。リップ部７２は、概略下方に延びており、また、下方に向かうにつれて径方向外方に変位するように傾斜している。リップ部７２の先端は、転がり軸受６の外輪６２ないしハウジング４１の内周壁に当接している。このような構成により、リップシール７は、ハウジング４１（上段アーム４）、円板部５３（ハンド５）、および転がり軸受６との間で囲まれた、環状の閉じた空間Ｓを形成している。
【００３６】
ペルチェ素子８は、上記閉じた空間Ｓ内において気化した真空グリースを冷却し、液化させたうえで転がり軸受６（相対動機構）に戻すためのものである。ペルチェ素子８は、２種類の金属の接合部に電流を流すと一方の金属から他方へ熱が移動するというペルチェ効果を利用した板状の半導体素子であり、電流を流すことにより発熱する発熱部８１および吸熱する吸熱部８２を有する。ペルチェ素子８は、転がり軸受６よりも上位に設けられており、本実施形態においては、ハンド５側の円板部５３に取り付けられている。より詳細には、発熱部８１が円板部５３の下面を覆うように当該円板部５３に取り付けられており、上記閉じた空間Ｓ内において、吸熱部８２が下方に向いて露出している。
【００３７】
ペルチェ素子８は、回動軸５２を囲むように略円環状に配置されている。ペルチェ素子８の具体的な配置態様としては、１辺が１０ｍｍ程度の小片のペルチェ素子８を複数並べる態様（図４参照）や、円環状をなす専用のペルチェ素子８を用いる態様などが挙げられる。
【００３８】
ペルチェ素子８には、電力を供給するための配線８３が接続されている。配線８３は、固定ベース１から昇降ベース２、下段アーム３および上段アーム４を経由してハンド５までつながっている。また、図面では概略的に示したが、配線８３は、固定ベース１および昇降ベース２の間、昇降ベース２および下段アーム３の間、下段アーム３および上段アーム４の間、ならびに上段アーム４およびハンド５の間において、相対位置の変化に対応するように、たとえばカールコードのような多芯ケーブルやフラットケーブルによって構成される。たとえば、ワーク搬送装置Ａ１の稼働時において、ペルチェ素子８に常時電力が供給され、吸熱部８２の温度は０℃程度まで降下する。
【００３９】
次に、上記した実施形態に係るワーク搬送装置Ａ１（相対動部材間の構造Ｂ１）の作用について説明する。
【００４０】
上記構成のワーク搬送装置Ａ１が真空環境下で稼働する際には、図３に示された上段アーム４およびハンド５の周囲も真空環境にある。ここで、転がり軸受６内の真空グリース６４（オイルシール）は徐々に蒸発するが、リップシール７が適所に設けられることによって閉じた空間Ｓが形成されており、気化した真空グリース６４（ベースオイル）が外部に漏洩することは防止される。その結果、蒸発した真空グリース６４（ベースオイル）が拡散することによる真空環境の汚染を防止することができる。
【００４１】
上記の閉じた空間Ｓ内にはペルチェ素子８が設けられている。このため、気化した真空グリース６４（ベースオイル）は、ペルチェ素子８（吸熱部８２）によって冷却され、凝集して再び液体になる。
【００４２】
ペルチェ素子８は、転がり軸受６よりも上位に設けられている。このため、凝集して液体となった真空グリース６４（ベースオイル）は、図５に表れているように、自重により回動軸５２やリップシール７の表面をつたって転がり軸受６の内部に流れ落ちる。したがって、真空環境下において一旦蒸発した真空グリース６４（ベースオイル）は、液体となって回収され、転がり軸受６（転動体６３）を潤滑するために再利用される。その結果、転がり軸受６の長寿命化を図ることができる。
【００４３】
ペルチェ素子８の吸熱部８２は、閉じた空間Ｓ内において、下方に向けて露出している。これにより、気化した真空グリース６４（ベースオイル）は吸熱部８２によって直接冷却されるので、真空グリース６４（ベースオイル）を効率よく凝集することができる。また、ペルチェ素子８の発熱部８１が円板部５３の下面を覆うように取り付けられているため、発熱部８１で発生した熱は、円板部５３（ハンド５）を介して外部に効率よく放出される。
【００４４】
ペルチェ素子８は回動軸５２を囲むように略円環状に配置されているため、閉じた空間Ｓ全体を万遍なく冷却することが可能である。このことは、気化した真空グリース６４（ベースオイル）を効率よく凝集させるのに適する。
【００４５】
図６〜図８は、本発明に係る相対部材間の構造を備えたワーク搬送装置の他の例を示している。なお、図６以降の図においては、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実施形態と同一の符号を付しており、適宜説明を省略する。
【００４６】
本実施形態のワーク搬送装置Ａ２は、固定ベース１と、この固定ベース１に支持された旋回ベース２０と、旋回ベース２０に支持されたガイド体３０と、ガイド体３０の内部に収容された図示しないベルト駆動装置と、ガイド体３０によって各別に支持された２つのハンド５Ａ，５Ｂとを備えている。ハンド５Ａ，５Ｂは、たとえば液晶表示パネル用の基板等の薄板状のワークＷを水平姿勢で保持するためのものであり、ワーク搬送装置Ａ２は、薄板状のワークＷの搬送を行うように構成されたものである。
【００４７】
旋回ベース２０は、固定ベース１に対して昇降可能とされ、かつ垂直状の旋回軸Ｏｓ周りに回転可能に支持されている。固定ベース１の内部には、図示しない昇降用モータおよび旋回用モータが設けられており、これらモータの駆動により、旋回ベース２０は昇降あるいは旋回させられる。ガイド体３０は、平面視において長矩形の箱状とされている。ガイド体３０の内部には、ハンド５Ａ，５Ｂを各別に支持するためのレールが設けられている。ハンド５Ａ，５Ｂは、上記レールに支持されながら、互いが干渉することなく水平直線状の移動行程ＧＬに沿ってスライド可能となっている。
【００４８】
図６〜図８に表れているように、ハンド５Ａ，５Ｂには、ガイド体３０の長手方向に延びる複数のホーク状のワーク保持部５１ａ，５１ｂが一体形成されており、これらのワーク保持部５１ａ，５１ｂ上に上記薄板状のワークＷが載置保持される。なお、図８においては、図６、図７と異なり、ハンド５Ａ，５Ｂの双方が固定ベース１の上方に位置する状態を示している。
【００４９】
ベルト駆動装置は、ハンド５Ａ，５Ｂを上記レール上にてスライド移動させるためのものであり、ハンド５Ａ，５Ｂに対応して対をなして設けられている。固定ベース１の内部には、ハンド５Ａ，５Ｂをそれぞれ駆動するための図示しないハンド用モータが設けられており、固定ベース１、旋回ベース２０、およびガイド体３０の内部に跨るようにして、上記ハンド用モータの駆動力を上記ベルト駆動装置に伝達するための駆動力伝達機構が設けられている。なお、旋回ベース２０の支持構造、ハンド５Ａ，５Ｂの支持構造、およびベルト駆動装置への駆動力伝達機構については、詳細な図示説明は省略したが、たとえば特開２００８−２７２８４７号公報記載の構造と同様の構造によって実現することができる。
【００５０】
詳細な図示説明は省略するが、ワーク搬送装置Ａ２は、たとえば、ロードポートとプロセスチャンバとの間でワークＷの搬送を行うのに用いられ。そして、ワーク搬送装置Ａ２は、ロードポートおよびプロセスチャンバのいずれにも隣接するトランスポートチャンバ内に配置され、当該トランスポートチャンバ内は、たとえば真空環境とされる。
【００５１】
本発明に係る相対部材間の構造は、ワーク搬送装置Ａ２において、たとえばハンド５Ａ（５Ｂ）の支持構造に採用することができる。
【００５２】
図９および図１０は、本発明に係る相対動部材間の構造をレールによるハンド５Ａ（５Ｂ）の支持構造に採用した場合の概略構成を示している。
【００５３】
本実施形態の相対動部材間の構造Ｂ２は、直線状のレール４００（第１部材）と、スライダ５００（第２部材）と、レール４００およびスライダ５００の間に介装される複数の転動体６００（図１０において点線で表す）と、カバー７００（図９、図１０において二点鎖線で表す）と、ペルチェ素子８とを備えて構成されている。
【００５４】
レール４００は、ガイド体３０に支持されており、ガイド体３０の長手方向に沿って水平に延びている。スライダ５００は、レール４００に対して相対動可能に嵌め合わされている。レール４００およびスライダ５００は、それぞれ、互いに対向し、複数の転動体６００が循環移動するための通路を形成する転動溝（図示略）を有する。転動体６００ないしその通路には、潤滑剤としての真空グリース（図示略）が塗布されている。レール４００、スライダ５００、および複数の転動体６００は、いわゆるリニアガイドとして構成されたものである。スライダ５００は、レール４００上において往復直線動可能であり、スライダ５００がレール４００に沿って移動する際には、複数の転動体６００は、レール４００およびスライダ５００に摺接しうる。
【００５５】
なお、詳細な図示説明は省略するが、スライダ５００には、ハンド５Ａ（５Ｂ）を支持するための支持アームが連結されている。そして、各ハンド５Ａ（５Ｂ）は、ガイド体３０の短手方向に離間する一対のリニアガイド（レール４００およびスライダ５００）によって支持されており、水平直線状の移動行程ＧＬに沿ってスライド可能となっている。
【００５６】
カバー７００は、スライダ５００に取り付けられており、当該スライダ５００およびレール４００の一部を覆っている。カバー７００は、スライダ５００の進行方向において伸縮可能な蛇腹状とされており、スライダ５００とともに移動する。カバー７００は、レール４００、スライダ５００、および複数の転動体６００との間で囲まれた閉じた空間Ｓを形成している。
【００５７】
図９によく表れているように、本実施形態において、ペルチェ素子８は、スライダ５００の進行方向を向く面５０１，５０２に取り付けられている。ペルチェ素子８は、転動体６００よりも上位に取り付けられている。本実施形態において、ペルチェ素子８は、スライダ５００の進行方向を向く２つの面５０１，５０２それぞれにおいて、転動体６００の配置に対応した２箇所に設けられている。ペルチェ素子８はまた、吸熱部８２が、スライダ５００の進行方向を向く面５０１，５０２を覆うように取り付けられている。ペルチェ素子８に電力を供給するための配線８３は、レール４００とスライダ５００との相対位置の変化に対応するように、たとえばケーブルベア（登録商標）によって構成される。
【００５８】
上記構成のワーク搬送装置Ａ２が真空環境下で稼働する際には、図９、図１０に示されたレール４００およびスライダ５００の周囲も真空環境にある。ここで、転動体６００に塗布された真空グリース（オイルシール）は徐々に蒸発するが、カバー７００が適所に設けられることによって閉じた空間Ｓが形成されており、気化した真空グリース（ベースオイル）が外部に漏洩することは防止される。その結果、蒸発した真空グリース（ベースオイル）が拡散することによる真空環境の汚染を防止することができる。
【００５９】
上記の閉じた空間Ｓ内にはペルチェ素子８が設けられている。このため、気化した真空グリース（ベースオイル）は、ペルチェ素子８（吸熱部８２）によって冷却され、凝集して再び液体になる。
【００６０】
ペルチェ素子８は、転動体６００よりも上位に設けられている。このため、凝集して液体となった真空グリース（ベースオイル）は、自重によりスライダ５００の進行方向を向く面５０１（５０２）をつたって転動体６００の周囲に戻る。したがって、真空環境下において一旦蒸発した真空グリース（ベースオイル）は、液体となって回収され、転動体６００を潤滑するために再利用される。その結果、転動体６００を含んで構成されたリニアガイドの長寿命化を図ることができる。
【００６１】
本実施形態において、ペルチェ素子８は、その吸熱部８２がスライダ５００の進行方向を向く面５０１，５０２を覆うように取り付けられている。このような構成によれば、面５０１，５０２においては、ペルチェ素子８の取付箇所周辺の比較的広い範囲が冷却される。そして、スライダ５００がレール４００に沿って移動すると、進行方向を向く面５０１（５０２）に気化した真空グリース（ベースオイル）が衝突し、当該真空グリース（ベースオイル）が冷却される。このような構成は、気化した真空グリース（ベースオイル）を効率よく凝集させるのに適する。
【００６２】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は上記した実施形態に限定されるものではない。本発明に係る相対動部材間の構造およびこれを備えたワーク搬送装置の各部の具体的な構成は、発明の思想から逸脱しない範囲内で種々な変更が可能である。
【００６３】
上記実施形態では、ペルチェ素子８（冷却手段）を閉じた空間Ｓ内に設ける場合を例に挙げて説明したが、冷却手段については、必ずしも閉じた空間Ｓ内に設ける必要はない。たとえば、上記実施形態の相対動部材間の構造Ｂ２（図９、図１０参照）において、ペルチェ素子８はスライダ５００側に取り付けてられていたが、これに代えて、ペルチェ素子８をレール４００側に取り付けてもよい。
【符号の説明】
【００６４】
Ａ１，Ａ２    ワーク搬送装置
Ｂ１，Ｂ２    相対動部材間の構造
Ｓ        閉じた空間
Ｗ        ワーク
１        固定ベース
２        昇降ベース
２０      旋回ベース
３        下段アーム
３０      ガイド体
４        上段アーム（第１部材）
４１      ハウジング（円筒状部分）
４２      蓋
４３      Ｏリング
４００    レール（第１部材）
５        ハンド（第２部材）
５Ａ，５Ｂ    ハンド
５１，５１ａ，５１ｂ    ワーク保持部
５２      回動軸
５３      円板部
５００    スライダ（第２部材）
６        転がり軸受（相対動機構）
６１      内輪
６２      外輪
６３      転動体（第１転動体）
６４      真空グリース（潤滑剤）
６００    転動体（第２転動体）
７        リップシール（シール手段）
７１      嵌合部
７２      リップ部
８        ペルチェ素子（冷却手段）
８１      発熱部
８２      吸熱部
８３      配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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