(57)【要約】【課題】検査対象物の前面の外観を高精度で検査することができる外観検査装置を提供する。【解決手段】光透過性を有する検査対象物１４に対して、検査対象物１４の背面から検査対象物の前面に向けて光２０を照射する照明部１１と、検査対象物１４の前面側に位置し、照明部１１の光軸とは非平行な方向から検査対象物１４を撮像する撮像部１２と、撮像部１２が撮像した検査対象物１４の画像に基づいて、検査対象物１４を検査する検査処理部１３とを備え、撮像部１２は、検査対象物１４の前面において合焦し、検査対象物１４の背面において合焦しないように、撮像部１２の被写界深度を調整し、検査処理部１３は、画像に基づいて、検査対象物１４の前面の状態を検査する。【選択図】図２
2015099119.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光透過性を有する検査対象物に対して、前記検査対象物の背面から前記検査対象物の前面に向けて光を照射する照明部と、
前記検査対象物の前面側に位置し、前記照明部の光軸とは非平行な方向から前記検査対象物を撮像する撮像部と、
前記撮像部が撮像した前記検査対象物の画像に基づいて、前記検査対象物を検査する検査処理部とを備え、
前記撮像部は、前記検査対象物の前面において合焦し、前記検査対象物の背面において合焦しないように、前記撮像部の被写界深度を調整し、
前記検査処理部は、前記画像に基づいて、前記検査対象物の前面の状態を検査する
外観検査装置。
【請求項２】
前記照明部の光軸と前記撮像部の光軸とは、前記検査対象物の前面において交差する
請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記検査処理部は、さらに、前記検査対象物の検査に先立って、前記検査対象物の画像の輝度値のヒストグラムにおいて、画像全体に示す画素数が所定の割合以上となる輝度値の範囲を特定し、特定した前記輝度値の範囲を拡大する変換をすることで、前記検査対象物の画像の輝度値を補正する
請求項１または２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記撮像部は、回転させられる円形状の前記検査対象物の回転中心軸と平行な方向に撮像素子が並べられたラインセンサである
請求項１〜３のいずれか１項に記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記照明部は、前記回転中心軸に平行な方向に光源が並べられたライン光源である
請求項１〜４のいずれか１項に記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置に関し、特に、光透過性を有する検査対象物の前面を検査する外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、透明または半透明の容器などの検査対象物を撮像して、検査対象物の状態を検査する方法として、シルエット法と呼ばれる方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。図１３は、シルエット法を用いた従来の外観検査装置を上方から見た模式図である。図１３に示すように、外観検査装置１は、透明または半透明の光透過性を有する検査対象物１４の状態を検査する装置であって、照明部１１と、撮像部１２とを備える。
【０００３】
照明部１１は、検査対象物１４の背後から検査対象物１４に対して光を照射する光源である。撮像部１２は、例えば、カメラであり、検査対象物１４を挟んで照明部１１と対向する位置に配置される。また、撮像部１２は、撮像部１２の光軸が照明部１１の光軸と一致する位置に配置される。撮像部１２が検査対象物１４の前面を撮像することにより、検査対象物１４のシルエット画像が取得される。また、取得されたシルエット画像に基づいて、検査対象物の状態が検査される。
【０００４】
図１３に示すように、検査対象物１４が透明であり、かつ、検査対象物１４にキズがなければ、照明部１１が出射した光２０が遮られることなく、撮像部１２に直接入射する。このため、シルエット画像には、キズのない部分は明るく映る。
【０００５】
その一方、図１４に示すように、検査対象物１４にキズ２１がある場合には、照明部１１が出射した光２０がキズ２１によって遮られ、キズ２１の部分で乱反射する。このため、撮像部１２には、照明部１１が出射した光２０のうち、一部の光２２が到達することとなり、キズ２１の部分は、キズ２１のない部分に比べ暗く映る。
【０００６】
シルエット法では、このような現象を利用して、シルエット画像で暗く映った部分をキズの部分として抽出することで、検査対象物１４の検査を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−０７４６７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、シルエット法を用いた外観検査装置１では、検査対象物１４のキズ２１の位置を判別することができない。例えば、図１５に示すように、検査対象物１４の背面にキズ２１が生じている場合であっても、図１４に示す検査対象物１４の前面にキズ２１が生じている場合と同様に、キズ２１の部分で光２０が乱反射する。このため、一部の光２２が撮像部１２に到達することになり、背面のキズ２１の部分は、前面のキズ２１の部分と同様に、暗く映る。
【０００９】
図１６は、撮像部１２により撮像されたシルエット画像の一例を示す図である。図１６に示すように、シルエット画像には、検査対象物１４のキズ２１の部分が暗く映り、キズ２１のない部分が明るく映る。図１６では、検査対象物１４の前面のキズ２１が、左側の領域８に暗く映り、検査対象物１４の背面のキズ２１が、右側の領域９に暗く映っている。このように、シルエット画像からはキズ２１が検査対象物１４の前面にあるのか背面にあるのかが判別できない。
【００１０】
検査の目的によっては、検査対象物１４の前面のキズ２１のみを検査し、背面のキズ２１は検査したくない場合がある。また、検査対象物１４の前面に貼られたラベルに記載された文字や、検査対象物１４の前面に印刷された文字などを読み取りたい場合もある。このような場合に、背面のキズ２１や模様がシルエット画像に映ると、文字を正しく読み取ることができない。さらに、検査対象物１４の前面に印刷された位置決めマークにより、検査対象物１４の位置決めを行いたい場合にも、背面のキズ２１や模様がシルエット画像に映ると、正しく位置決めをすることができない。
【００１１】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、検査対象物の前面の外観を高精度で検査することができる外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明のある局面に係る外観検査装置は、光透過性を有する検査対象物に対して、前記検査対象物の背面から前記検査対象物の前面に向けて光を照射する照明部と、前記検査対象物の前面側に位置し、前記照明部の光軸とは非平行な方向から前記検査対象物を撮像する撮像部と、前記撮像部が撮像した前記検査対象物の画像に基づいて、前記検査対象物を検査する検査処理部とを備え、前記撮像部は、前記検査対象物の前面において合焦し、前記検査対象物の背面において合焦しないように、前記撮像部の被写界深度を調整し、前記検査処理部は、前記画像に基づいて、前記検査対象物の前面の状態を検査する。
【００１３】
この構成によると、検査対象物の前面においてのみ合焦させることができるため、検査対象物の背面がぼけた状態で撮像される。よって、検査対象物の背面の画像が検査対象物の前面の画像に映り込むことにより、検査対象物の前面の画像が影響を受けることを防ぐことができる。よって、検査対象物の前面の外観を高精度で検査することができる。
【００１４】
好ましくは、前記照明部の光軸と前記撮像部の光軸とは、前記検査対象物の前面において交差する。
【００１５】
この構成によると、撮像部の光軸上おける検査対象物の前面に光が照射される。また、撮像部の光軸上において、検査対象部の背面に照射される光は、検査対象物の前面に照射される光に比べて、光量が小さい。よって、検査対象物の背面の画像が検査対象物の前面の画像に映り込むことにより、検査対象物の前面の画像が影響を受けることを防ぐことができる。よって、検査対象物の前面の外観を高精度で検査することができる。
【００１６】
また、前記検査処理部は、さらに、前記検査対象物の検査に先立って、前記検査対象物の画像の輝度値のヒストグラムにおいて、画像全体に示す画素数が所定の割合以上となる輝度値の範囲を特定し、特定した前記輝度値の範囲を拡大する変換をすることで、前記検査対象物の画像の輝度値を補正しても良い。
【００１７】
この構成によると、全体的に暗い画像であっても画像を鮮明にすることができる。よって、検査対象物の前面の外観を高精度で検査することができる。
【００１８】
また、前記撮像部は、回転させられる円形状の前記検査対象物の回転中心軸と平行な方向に撮像素子が並べられたラインセンサであっても良い。
【００１９】
この構成によると、検査対象物を回転させながら、検査対象物の前面を１ラインずつ撮像することにより、検査対象物の画像を取得することができる。よって、照明条件等が揃った画像を取得することができ、検査対象物の前面の外観を高精度で検査することができる。
【００２０】
また、前記照明部は、前記回転中心軸に平行な方向に光源が並べられたライン光源であってもよい。
【００２１】
この構成によると、検査対象物の前面のみを狙って光を照射することができる。よって、検査対象物の背面の画像が検査対象物の前面の画像に映り込むことにより、検査対象物の前面の画像が影響を受けるのを防ぐことができる。よって、検査対象物の前面の外観を高精度で検査することができる。
【００２２】
なお、本発明は、このような特徴的な処理部を備える外観検査装置として実現することができるだけでなく、外観検査装置に含まれる特徴的な処理部が実行する処理をステップとする外観検査方法として実現することができる。また、外観検査装置に含まれる特徴的な処理部としてコンピュータを機能させるためのプログラムまたは外観検査方法に含まれる特徴的なステップをコンピュータに実行させるプログラムとして実現することもできる。そして、そのようなプログラムを、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc-Read Only Memory）等のコンピュータ読取可能な非一時的な記録媒体やインターネット等の通信ネットワークを介して流通させることができるのは、言うまでもない。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によると、検査対象物の前面の外観を高精度で検査することができる外観検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態に係る外観検査装置の外観図である。
【図２】検査処理部を除く外観検査装置を上方から見た模式図である。
【図３】検査対象物の前面にキズがある場合に、撮像部に入射する光を示す図である。
【図４】撮像部が撮像した検査対象物の画像の一例を示す図である。
【図５】撮像部により撮像されたシルエット画像の一例を示す図である。
【図６】撮像部が撮像した検査対象物の画像の他の一例を示す図である。
【図７】撮像部の被写界深度について説明するための図である。
【図８】検査対象物の前面にのみピントを合わせた状態で撮像した検査対象物の画像の一例を示す図である。
【図９】外観検査装置が実行する処理のフローチャートである。
【図１０】ウィンドウの一例を示す図である。
【図１１】輝度値の補正方法を説明するための図であり、（ａ）は、輝度値補正前の画像を示し、（ｂ）は、輝度値補正後の画像を示し、（ｃ）および（ｄ）は、輝度値補正後の画像の一部を拡大した画像を示す。
【図１２】図１１の（ａ）に示す画像の輝度値のヒストグラムである。
【図１３】シルエット法を用いた従来の外観検査装置を上方から見た模式図である。
【図１４】検査対象物の前面にキズがある場合に、撮像部に入射する光を示す図である。
【図１５】検査対象物の背面にキズがある場合に、撮像部に入射する光を示す図である。
【図１６】撮像部により撮像されたシルエット画像の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。本発明は、特許請求の範囲によって特定される。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、本発明の課題を達成するのに必ずしも必要ではないが、より好ましい形態を構成するものとして説明される。
【００２６】
＜１．外観検査装置の構成＞
図１は、本発明の実施の形態に係る外観検査装置の外観図である。外観検査装置１０は、照明部１１と、撮像部１２と、検査処理部１３とを備える。図２は、検査処理部１３を除く外観検査装置１０を上方から見た模式図である。なお、図２では、検査対象物１４を水平方向の断面図で示している。
【００２７】
照明部１１は、透明または半透明の光透過性を有する円形状の検査対象物１４に対して、検査対象物１４の背面から光２０を照射する。検査対象物１４は、回転台１５に載置され、回転台１５が回転することにより回転中心軸１６回りに回転する。照明部１１は、検査対象物１４の回転中心軸１６、すなわち回転台１５の回転中心軸１６と平行な方向に光源が並べられたライン光源である。
【００２８】
撮像部１２は、検査対象物１４の前面側に位置し、照明部１１の光軸１７とは非平行な方向から検査対象物１４を撮像する。撮像部１２は、回転中心軸１６と平行な方向に撮像素子が並べられたラインセンサである。回転台１５を矢印１９の方向に等速で一周回転させながら、撮像部１２が検査対象物１４を撮像することにより、検査対象物１４の１枚の画像が得られる。
【００２９】
図２を見て分かるように、例えば、撮像部１２は、撮像部１２の光軸１８が検査対象物１４の中心を向くように配置される。また、照明部１１は、照明部１１の光軸１７が、撮像部１２の光軸１８と平行とはならず、かつ、照明部１１の光軸１７が撮像部１２の撮像面と交わらない位置に配置される。これにより、照明部１１が出射した光２０は、撮像部１２には直接到達しない。また、照明部１１の光軸１７と撮像部１２の光軸１８とが、検査対象物１４の前面において交わるように撮像部１２と照明部１１を配置するのが良い。これにより、撮像部１２の光軸１８上において、検査対象物１４の前面に光２０を照射するが、検査対象物１４の背面に光２０を照射しないようにすることができる。
【００３０】
検査処理部１３は、撮像部１２に接続され、撮像部１２が撮像した検査対象物１４の画像に基づいて、検査対象物１４の外観を検査する。検査処理部１３による検査方法については後述する。
【００３１】
外観検査装置１０をこのような配置にすることにより、照明部１１が出射する光２０は、撮像部１２には直接到達しない。このため、検査対象物１４のキズのない部分は暗く映る。一方、図３に示すように、検査対象物１４の前面にキズ２１がある場合には、キズ２１の部分で光２０が乱反射する。このため、撮像部１２には、照明部１１が出射した光２０のうち、一部の光２２が撮像部１２に到達する。よって、キズ２１の部分は、キズ２１のない部分に比べ明るく映る。
【００３２】
図４は、撮像部１２が撮像した検査対象物１４の画像の一例を示す図である。図４に示すように、検査対象物１４の前面のキズ２１が領域２３のように明るく表示されている。一方、検査対象物１４の前面のキズ２１のない部分は領域２４のように暗く表示されている。このため、画像中からキズ２１の部分とキズ２１ではない部分とを見分けることができる。
【００３３】
また、撮像部１２の光軸１８上の、検査対象物１４の背面には、光２０を照射しないようにしている。このため、検査対象物１４の背面部分が検査対象物１４の前面の撮像において、映り込むのを防ぐことができる。しかしながら、照明部１１が出射する光２０は、光の回折等により検査対象物１４の背面に照射される場合もある。その場合、図５に示すように、照明部１１が出射した光２０が、検査対象物１４の背面のキズ２１によって乱反射し、撮像部１２に、光２０のうち一部の光２２が到達してしまう。このような場合には、検査対象物１４の前面のキズ２１と背面のキズ２１とを判別するのが困難である。
【００３４】
図６は、撮像部１２が撮像した検査対象物１４の画像の他の一例を示す図である。図６に示すように、破線２５で囲った部分が検査対象物１４の前面のキズ２１の像である。キズ２１の部分が明るく映っていることが分かる。しかし、破線２５で囲った部分以外でも明るく映っている部分がある。これは、検査対象物１４の背面のキズ２１や模様により、光２０が乱反射し、映り込んだものである。
【００３５】
本実施の形態では、検査対象物１４の前面のキズ２１のみを画像として捉え、背面のキズ２１を画像として捉えないようにするために、撮像部１２の被写界深度を調節する。具体的には、図７に示すように、検査対象物１４の前面の範囲２６において合焦し、検査対象物１４の背面の範囲２７において合焦しないように、撮像部１２の被写界深度を調節する。このように、被写界深度を浅く設定することにより、検査対象物１４の前面にのみピントを合わせる。これにより、検査対象物１４の背面のピントがぼけた状態になり、背面のキズをぼかすことができる。
【００３６】
図８は、検査対象物１４の前面にのみピントを合わせた状態で撮像した検査対象物１４の画像の一例を示す図である。図６と同様に、破線２５で囲った部分が検査対象物１４のキズ２１の像である。キズ２１の部分が明るく映っていることが分かる。一方、図６では、検査対象物１４の背面のキズ２１や模様が明るく映り込んでいたが、図８では、これらはピントがぼけた状態で撮像されるため、背面の画像の前面の画像への映り込みが低減されている。
【００３７】
なお、被写界深度は、レンズの焦点距離が長いほど、また、絞りを開くほど、つまり、Ｆ値が小さいほど浅くなる。このため、レンズの焦点距離や絞りを調節することにより、被写界深度を調節する。なお、シャッタースピードの調節など、それ以外の方法により被写界深度を調節してもよい。
【００３８】
＜２．外観検査装置の処理＞
以下、外観検査装置１０が実行する処理の詳細について説明する。
【００３９】
図９は、外観検査装置１０が実行する処理のフローチャートである。
【００４０】
ステップＳ１において、照明部１１が光２０を検査対象物１４に照射している状態において、回転台１５を等速で一周回転させながら、撮像部１２が検査対象物１４を撮像する。これにより、撮像部１２は、検査対象物１４の画像を撮像する。
【００４１】
ステップＳ２において、検査処理部１３は、撮像部１２が撮像した画像から、キズ２１の部分を抽出する。具体的には、以下に説明する手法１から手法３のうちのいずれかの手法に基づいて、キズ２１の部分を抽出する。
【００４２】
（手法１）
検査処理部１３は、画像を微分し、微分強度が所定の閾値よりも大きい画素をキズ２１の画素として抽出する。つまり、画像の座標（ｘ，ｙ）の輝度値をｆ（ｘ，ｙ）とした場合に、検査処理部１３は、式１および式２に従い、画素ごとに水平方向の微分強度ｆｈ（ｘ，ｙ）および垂直方向の微分強度ｆｖ（ｘ，ｙ）をそれぞれ算出する。検査処理部１３は、算出した水平方向の微分強度ｆｈ（ｘ，ｙ）および垂直方向の微分強度ｆｖ（ｘ，ｙ）を用いて、式３に従い、画素ごとに微分強度ｆｄ（ｘ，ｙ）を算出する。検査処理部１３は、算出した微分強度ｆｄ（ｘ，ｙ）が所定の閾値よりも大きい画素をキズ２１の画素として抽出する。
【００４３】
ｆｈ（ｘ，ｙ）＝｜ｆ（ｘ−１，ｙ）−ｆ（ｘ，ｙ）｜  …（式１）
ｆｖ（ｘ，ｙ）＝｜ｆ（ｘ，ｙ−１）−ｆ（ｘ，ｙ）｜  …（式２）
ｆｄ（ｘ，ｙ）＝ｍａｘ（ｆｈ（ｘ，ｙ），ｆｖ（ｘ，ｙ））  …（式３）
（手法２）
検査処理部１３は、画像上でウィンドウを走査しながら、各ウィンドウ位置においてウィンドウ内の輝度値の分散を算出し、分散が所定の閾値よりも大きい場合に、そのウィンドウ内の着目画素をキズ２１の画素として抽出する。つまり、検査処理部１３は、図１０に示すような３×３のサイズのウィンドウを画像上で走査する。なお、ウィンドウのサイズは、３×３に限定されるものではない。ウィンドウ内の中心画素ｘ５を着目画素とすると、ウィンドウ内の輝度値の分散Ｖは、以下の式４で示される。ここで、ｆ（ｘｉ）は、画素ｘｉの輝度値を示す。検査処理部１３は、分散Ｖが所定の閾値よりも大きくなるウィンドウ位置における着目画素ｘ５をキズ２１の画素として抽出する。
【００４４】
【数１】
2015099119.tif 000003
ここで、
【数２】
2015099119.tif 000004
【００４５】
（手法３）
検査処理部１３は、画像上でウィンドウを走査しながら、各ウィンドウ位置においてウィンドウ内の着目画素と周辺の画素との輝度差の分散を算出し、輝度差の分散が所定の閾値よりも大きい場合に、そのウィンドウ内の着目画素をキズ２１の画素として抽出する。つまり、検査処理部１３は、図１０に示すような３×３のサイズのウィンドウを画像上で走査する。ウィンドウ内の中心画素ｘ５を着目画素とすると、ウィンドウ内の着目画素ｘ５と周辺の画素との輝度差の分散ＶＤは、以下の式６で示される。検査処理部１３は、輝度差の分散ＶＤが所定の閾値よりも大きくなるウィンドウ位置における着目画素ｘ５をキズ２１の画素として抽出する。
【００４６】
【数３】
2015099119.tif 000005
ここで、
【数４】
2015099119.tif 000006
【００４７】
＜３．効果等＞
以上説明したように、本実施の形態によると、検査対象物１４の前面においてのみ合焦させることができるため、検査対象物１４の背面がぼけた状態で検査対象物１４が撮像される。よって、検査対象物１４の背面の画像が検査対象物１４の前面の画像に映り込むことにより、検査対象物１４の前面の画像が影響を受けることを防ぐことができる。よって、検査対象物１４の前面の外観を高精度で検査することができる。
【００４８】
特に、照明部１１の光軸１７と撮像部１２の光軸１８とが、検査対象物１４の前面において交差している。このため、撮像部１２の光軸１８上における検査対象物１４の前面に光２０が照射される。また、撮像部１２の光軸１８上において、検査対象物１４の背面に照射される光２０は、検査対象物１４の前面に照射される光２０に比べて、光量が小さい。よって、検査対象物１４の前面にキズ２１がある場合には、キズ２１によって光２０が乱反射され、キズ２１が画像上で明るく映る。しかし、検査対象物１４の背面にキズ２１があっても、そのキズ２１には光２０が当たらないため、キズ２１は画像上では暗く映る。よって、検査対象物１４の前面のキズ２１のみを高精度で抽出することができる。
【００４９】
以上、本発明の実施の形態に係る外観検査装置１０について説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。
【００５０】
例えば、外観検査装置１０は、外観検査として、キズの検査以外にも、検査対象物１４の表面に印刷されたマークを認識して、検査対象物１４の位置決めを行ってもよい。
【００５１】
また、外観検査装置１０は、外観検査として、検査対象物１４の表面に印刷された文字を認識してもよい。
【００５２】
また、外観検査装置１０は、外観検査の前処理として、輝度値の補正を行ってもよい。以下に、輝度値の補正方法について具体例を挙げながら説明する。検査処理部１３は、検査対象物１４が撮像した画像の輝度値を補正する。具体的には、図１１の（ａ）のように、検査対象物１４が撮像した画像は全体的に暗い。図１２は、図１１の（ａ）に示す画像の輝度値のヒストグラムである。横軸が輝度値を示し、縦軸が輝度値の度数を示す。このヒストグラムから分かるように、輝度値が低い画素の度数が高く、輝度値が高い画素はほとんどないことが分かる。検査処理部１３は、検査対象物１４の画像の輝度値のヒストグラムにおいて、画像全体に示す画素数が所定の割合以上となる輝度値の範囲を特定し、特定した輝度値の範囲を拡大する変換をすることで、検査対象物１４の画像の輝度値を補正する。例えば、検査処理部１３は、画像全体に占める画素数が９５％以上となる輝度値の範囲２８を特定する。輝度値の範囲が０から２５５までとした場合に、検査処理部１３は、範囲２８に含まれる輝度値の最小値が０に、最大値が２５５になるような線形または非線形の輝度変換を施すことにより、輝度値の範囲を拡大することで、画像の輝度を変換する。図１１の（ｂ）は、図１１の（ａ）の画像を輝度変換した結果の画像である。図１１の（ｃ）および（ｄ）は、図１１の（ｂ）の画像の一部（破線部分）を拡大した画像である。このように、人間の目で見ても文字や図形などを視認することができる程度まで画像を鮮明にすることができる。画像を鮮明にすることにより、文字認識等の外観検査を高精度で行うことができる。
【００５３】
なお、上記の検査処理部１３は、具体的には、マイクロプロセッサ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスクドライブ、ディスプレイユニット、キーボード、マウスなどから構成されるコンピュータシステムとして構成されても良い。ＲＡＭまたはハードディスクドライブには、コンピュータプログラムが記憶されている。マイクロプロセッサが、コンピュータプログラムに従って動作することにより、検査処理部１３は、その機能を達成する。ここでコンピュータプログラムは、所定の機能を達成するために、コンピュータに対する指令を示す命令コードが複数個組み合わされて構成されたものである。
【００５４】
さらに、上記の検査処理部１３は、１個のシステムＬＳＩ（Large Scale Integration：大規模集積回路）から構成されているとしても良い。システムＬＳＩは、複数の構成部を１個のチップ上に集積して製造された超多機能ＬＳＩであり、具体的には、マイクロプロセッサ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどを含んで構成されるコンピュータシステムである。ＲＡＭには、コンピュータプログラムが記憶されている。マイクロプロセッサが、コンピュータプログラムに従って動作することにより、システムＬＳＩは、その機能を達成する。
【００５５】
さらにまた、上記の検査処理部１３は、外観検査装置１０に脱着可能なＩＣカードまたは単体のモジュールから構成されているとしても良い。ＩＣカードまたはモジュールは、マイクロプロセッサ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどから構成されるコンピュータシステムである。ＩＣカードまたはモジュールは、上記の超多機能ＬＳＩを含むとしても良い。マイクロプロセッサが、コンピュータプログラムに従って動作することにより、ＩＣカードまたはモジュールは、その機能を達成する。このＩＣカードまたはこのモジュールは、耐タンパ性を有するとしても良い。
【００５６】
また、本発明は、上記に示す方法であるとしても良い。また、本発明は、これらの方法をコンピュータにより実現するコンピュータプログラムであるとしても良いし、前記コンピュータプログラムからなるデジタル信号であるとしても良い。
【００５７】
さらに、本発明は、上記コンピュータプログラムまたは上記デジタル信号をコンピュータ読み取り可能な非一時的な記録媒体、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯ、ＤＶＤ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＢＤ（Blu-ray Disc（登録商標））、半導体メモリなどに記録したものとしても良い。また、これらの非一時的な記録媒体に記録されている上記デジタル信号であるとしても良い。
【００５８】
また、本発明は、上記コンピュータプログラムまたは上記デジタル信号を、電気通信回線、無線または有線通信回線、インターネットを代表とするネットワーク、データ放送等を経由して伝送するものとしても良い。
【００５９】
また、本発明は、マイクロプロセッサとメモリを備えたコンピュータシステムであって、上記メモリは、上記コンピュータプログラムを記憶しており、上記マイクロプロセッサは、上記コンピュータプログラムに従って動作するとしても良い。
【００６０】
また、上記プログラムまたは上記デジタル信号を上記非一時的な記録媒体に記録して移送することにより、または上記プログラムまたは上記デジタル信号を上記ネットワーク等を経由して移送することにより、独立した他のコンピュータシステムにより実施するとしても良い。
【００６１】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、検査対象物の外観を検査する外観検査装置等に適用できる。
【符号の説明】
【００６３】
１、１０  外観検査装置
８、９、２３、２４  領域
１１  照明部
１２  撮像部
１３  検査処理部
１４  検査対象物
１５  回転台
１６  回転中心軸
１７、１８  光軸
１９  矢印
２０  光
２１  キズ
２２  一部の光
２５  破線
２６、２７、２８  範囲
【図１】
2015099119.tif 000007
【図２】
2015099119.tif 000008
【図３】
2015099119.tif 000009
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2015099119.tif 000016
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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