(57)【要約】【課題】レンズ保持枠において、外力によるレンズの変形を抑制することができるとともに容易に製造することができるようにする。【解決手段】中間枠部材４５と、中間枠部材４５の内周側に配置され、参照レンズ４１を保持するレンズ保持部材４６と、を有しており、レンズ保持部材４６は、参照レンズ４１と固定される突起部４６ｆと、中間枠部材４５の軸方向において突起部４６ｆに対して離間した位置で、中間枠部材４５の内周部に固定される雄ねじ部４６ｂと、突起部４６ｆおよび雄ねじ部４６ｂの間に設けられ、雄ねじ部４６ｂが外力を受けた際に径方向に弾性変形することにより、突起部４６ｆの径方向の変位を抑制する薄肉突出部４６Ｂおよび環状部４６Ａと、を備える構成とする。【選択図】図５
2015169916.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状部材と、
該筒状部材の内周側に配置され、レンズを保持するレンズ保持部材と、
を有しており、
該レンズ保持部材は、
前記レンズと固定される第１固定部と、
前記筒状部材の軸方向において前記第１固定部に対して離間した位置で、前記筒状部材の内周部に固定される第２固定部と、
前記第１固定部および前記第２固定部の間に設けられ、前記第２固定部が外力を受けた際に径方向に弾性変形することにより、前記第１固定部の径方向の変位を抑制する弾性変形部と、
を備える、レンズ保持枠。
【請求項２】
前記レンズ保持部材は、
前記筒状部材の周方向に沿って延び、前記第２固定部が外周部に設けられた環状部と、
該環状部から、前記筒状部材の軸方向に沿って延ばされ、前記筒状部材の径方向の厚さよりも薄肉に形成され、先端部の内周側に前記第１固定部が突出して設けられた薄肉突出部と、
を備える
ことを特徴とする、請求項１に記載のレンズ保持枠。
【請求項３】
前記弾性変形部は、
前記筒状部材の縦弾性係数よりも小さい縦弾性係数を有する材料で形成された
ことを特徴とする、請求項１または２に記載のレンズ保持枠。
【請求項４】
前記レンズ保持部材の前記第２固定部は、
前記筒状部材の内周部に設けられた雌ねじ部と螺合する雄ねじ部が形成されている
ことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載のレンズ保持枠。
【請求項５】
前記筒状部材は、
レンズ鏡筒の内周部に挿入して固定される中間枠部材である
ことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載のレンズ保持枠。
【請求項６】
前記中間枠部材は、
前記レンズ鏡筒の縦弾性係数よりも大きい縦弾性係数を有する材料で形成された
ことを特徴とする、請求項５に記載のレンズ保持枠。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のレンズ保持枠と、
前記レンズ保持部材の前記第１固定部と固定されたレンズと、
を備える、レンズユニット。
【請求項８】
前記第１固定部と固定されたレンズは、
必要な面精度が異なる複数のレンズ面を有し、
前記第１固定部は、
前記複数のレンズ面の外縁部に対する軸方向の位置が、もっとも高精度の面精度が必要なレンズ面の外縁部から最も離れた位置において、前記レンズと固定されている
ことを特徴とする、請求項７に記載のレンズユニット。
【請求項９】
前記レンズと前記第１固定部とは、
硬化時の縦弾性係数が、前記レンズ保持部材の縦弾性係数よりも小さい接着剤を介して固定されている
ことを特徴とする、請求項７または８に記載のレンズユニット。
【請求項１０】
請求項７〜９のいずれか１項に記載のレンズユニットと、
干渉測定の参照面を構成するレンズ面を有する参照レンズと、
を備え、
前記レンズ保持部材の前記第１固定部と固定されているレンズが、前記参照レンズである、干渉計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ保持枠、レンズユニット、および干渉計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学機器に用いるレンズを保持するレンズ鏡筒に外力が作用した際に、レンズ保持枠を介してレンズを保持することにより、レンズ鏡筒に保持されたレンズの変形を抑制する技術が種々提案されている。
例えば、特許文献１には、このようなレンズ保持枠であるレンズ保持部材が、レンズ部材を保持するレンズ受け部と、鏡筒に保持される鏡筒保持部とを備え、レンズ受け部と鏡筒保持部との間に空間が形成されることにより、鏡筒からレンズ部材方向に加えられる応力に対して、レンズ受け部と鏡筒保持部との間に空間にて応力を緩和するレンズ保持装置が記載されている。
特許文献１では、レンズ保持部材はいずれもレンズの側面に固定する略円筒状の部材である。また、レンズ受け部と鏡筒保持部との間に空間としては、レンズ保持部材の軸方向に貫通する円弧状の狭隘な貫通溝と、レンズ保持部材の軸方向の中間部まで延びる周方向に貫通する狭隘な溝部とが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２９１１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような従来技術のレンズ保持枠には以下のような問題があった。
特許文献１には、レンズ保持部材に設けられた空間（以下、溝空間と称する）によりレンズ受け部と鏡筒保持部との間を縁切りしていることが記載されている。これは、レンズ受け部と鏡筒保持部との間に応力を伝播しない溝空間があるため、溝空間に面した鏡筒保持部から溝空間に面したレンズ受け部には応力が伝播しないということである。
しかし、特許文献１におけるレンズ受け部と鏡筒保持部とは、一体に形成されており、溝空間以外の部位では互いに連続している（以下、連続部と称する）。このため、鏡筒保持部が溝空間の範囲で変形すれば、連続部を通じて応力が伝播してレンズ受け部にも応力分布が発生する。これによりレンズ受け部も連続部の近くで変形する。
例えば、干渉計に用いる参照レンズの場合、参照面の面精度はλ／２０以下程度が要求されるため、レンズ受け部の変形は極力低減する必要がある。
特許文献１において、レンズ受け部の変形を低減するには、レンズ保持部材において、レンズ受け部の剛性を大きくし、鏡筒保持部の剛性を低減する必要がある。また、連続部の位置はレンズからできるだけ離す必要がある。
このため、例えば、溝空間に対向する鏡筒保持部の断面積を小面積にするとともに溝空間の周方向の長さを長くし、かつ連続部ができるだけレンズから離れるようにレンズ受け部を肉厚な円筒状に形成することが必要である。
特許文献１に記載の構成において、このような形状を形成するには、薄肉の鏡筒保持部を残して狭隘な溝空間を加工することが必要になるため、加工が難しくなり製造コストが増大するという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、外力によるレンズの変形を抑制することができるとともに容易に製造することができるレンズ保持枠、レンズユニット、および干渉計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の第１の態様のレンズ保持枠は、筒状部材と、該筒状部材の内周側に配置され、レンズを保持するレンズ保持部材と、を有しており、該レンズ保持部材は、前記レンズと固定される第１固定部と、前記筒状部材の軸方向において前記第１固定部に対して離間した位置で、前記筒状部材の内周部に固定される第２固定部と、前記第１固定部および前記第２固定部の間に設けられ、前記第２固定部が外力を受けた際に径方向に弾性変形することにより、前記第１固定部の径方向の変位を抑制する弾性変形部と、を備える構成とする。
【０００７】
上記レンズ保持枠では、前記レンズ保持部材は、前記筒状部材の周方向に沿って延び、前記第２固定部が外周部に設けられた環状部と、該環状部から、前記筒状部材の軸方向に沿って延ばされ、前記筒状部材の径方向の厚さよりも薄肉に形成され、先端部の内周側に前記第１固定部が突出して設けられた薄肉突出部と、を備えることが好ましい。
【０００８】
上記のレンズ保持枠では、前記弾性変形部は、前記筒状部材の縦弾性係数よりも小さい縦弾性係数を有する材料で形成されたことが好ましい。
【０００９】
上記レンズ保持枠では、前記レンズ保持部材の前記第２固定部は、前記筒状部材の内周部に設けられた雌ねじ部と螺合する雄ねじ部が形成されていることが好ましい。
【００１０】
上記レンズ保持枠では、前記筒状部材は、レンズ鏡筒の内周部に挿入して固定される中間枠部材であることが好ましい。
【００１１】
上記レンズ保持枠では、前記中間枠部材は、前記レンズ鏡筒の縦弾性係数よりも大きい縦弾性係数を有する材料で形成されたことが好ましい。
【００１２】
本発明の第２の態様のレンズユニットは、上記のレンズ保持枠と、前記レンズ保持部材の前記第１固定部と固定されたレンズと、を備える構成とする。
【００１３】
上記レンズユニットでは、前記第１固定部と固定されたレンズは、必要な面精度が異なる複数のレンズ面を有し、前記第１固定部は、前記複数のレンズ面の外縁部に対する軸方向の位置が、もっとも高精度の面精度が必要なレンズ面の外縁部から最も離れた位置において、前記レンズと固定されていることが好ましい。
【００１４】
上記レンズユニットでは、前記レンズと前記第１固定部とは、硬化時の縦弾性係数が、前記レンズ保持部材の縦弾性係数よりも小さい接着剤を介して固定されていることが好ましい。
【００１５】
本発明の第３の態様の干渉計は、上記レンズユニットと、干渉測定の参照面を構成するレンズ面を有する参照レンズと、を備え、前記レンズ保持部材の前記第１固定部と固定されているレンズが、前記参照レンズである構成とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のレンズ保持枠、レンズユニット、および干渉計によれば、レンズ保持部材が、レンズと固定される第１固定部と、筒状部材の軸方向において第１固定部に対して離間した位置で、筒状部材の内周部に固定される第２固定部と、第１固定部および第２固定部の間に設けられた径方向に変形する弾性変形部とを備えるため、外力によるレンズの変形を抑制することができるとともに容易に製造することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施形態の干渉計の構成を示す模式的なシステム構成図である。
【図２】本発明の第１の実施形態のレンズユニットの構成を説明する光軸を含む断面における模式的な断面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態のレンズ保持枠における筒状部材の模式的な正面図およびＡ−Ａ断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態のレンズ保持枠におけるレンズ保持部材の模式的な正面図およびＢ−Ｂ断面図である。
【図５】図２におけるＣ部の部分拡大図である。
【図６】本発明の第１の実施形態のレンズ保持枠の変形例（第１変形例）に用いるレンズ保持部材の模式的な正面図およびＤ−Ｄ断面図である。
【図７】本発明の第２の実施形態のレンズユニットの主要部の構成を示す模式的な断面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態のレンズ保持枠におけるレンズ保持部材の模式的な正面図およびＥ−Ｅ断面図である。
【図９】本発明の第２の実施形態の変形例（第２変形例）のレンズユニットの主要部の構成を示す模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
【００１９】
［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態の干渉計について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態の干渉計の構成を示す模式的なシステム構成図である。
【００２０】
本明細書では、例えば、光軸や中心軸線等の軸線が特定できる軸状、筒状等の部材に関する相対位置について説明する場合に、軸線に沿う方向を軸方向、軸線回りに周回する方向を周方向、軸線に直交する平面において軸線に交差する線に沿う方向を径方向と称する。また、特に、光軸に沿う方向を光軸方向と称する場合がある。また、径方向においては、軸線から離れる方を径方向外方（外側）、軸線に近づく方を径方向内方（内側）と称する場合がある。
【００２１】
図１に示すように、本実施形態の干渉計５０は、例えば、被測定物５の被測定面５ａの干渉縞測定を行うため、本実施形態のレンズユニット４０を備えて構成されるフィゾー型の干渉計である。
被測定面５ａとしては、適宜の形状を測定できるが、以下では、凹面形状を測定する場合の構成例を用いて説明する。
干渉計５０の概略構成は、光源１、コリメートレンズ２、ビームスプリッタ３、レンズユニット４０、保持台８、移動ステージ９、集光レンズ６、撮像部７、測定制御部１０、および表示部１１からなる。
【００２２】
光源１は、干渉縞を形成するためのコヒーレント光を発生する光源で、本実施形態では、波長λのレーザー光を発散光として発生する光源を採用している。光源１によって発生された発散光は、コリメートレンズ２によって平行光３０ａとされ、ビームスプリッタ３に入射される。
ビームスプリッタ３は、平行光３０ａを反射してレンズユニット４０の光軸上に導くとともに、レンズユニット４０側から入射する後述の被測定面反射光３０ｃ、参照面反射光３０ｄを透過する光分岐素子である。
【００２３】
レンズユニット４０は、光軸上に入射された平行光３０ａの一部を参照面４１ａで反射して、参照面反射光３０ｄを形成し、光軸上に入射された平行光３０ａの他の部分を透過光３０ｂとして透過し、透過光３０ｂを集光する装置部分である。
参照面４１ａの形状は、被測定面５ａの理想的な形状に併せて精度よく仕上げられており、干渉計５０を用いた干渉縞計測の参照面を構成している。
図１は模式図のため、レンズユニット４０が１枚のレンズを有する形状に描かれているが、レンズユニット４０には、参照面４１ａを備える参照レンズを含む１以上のレンズがレンズ鏡筒に保持された構成を採用することができる。
本実施形態におけるレンズユニット４０の詳細構成の一例については、干渉計５０の全体構成を説明した後に説明する。
レンズユニット４０は、レンズ鏡筒の外周部に設けられた図示略の取り付け溝において、干渉計５０内の図示略の支持部材に着脱可能に固定されている。
【００２４】
保持台８は、透過光３０ｂを被測定面５ａに照射するため、被測定物５を保持する装置部分であり、レンズユニット４０に対向する位置に配置されている。
被測定面５ａは、干渉縞測定を行う際には、被測定面５ａの光軸がレンズユニット４０の光軸に一致するとともに、被測定面５ａの曲率中心が、透過光３０ｂの集光位置に一致するように配置する必要がある。
このような配置を実現する被測定面５ａの位置調整を行うため、保持台８は、移動ステージ９によって移動可能に支持されている。
移動ステージ９は、少なくともレンズユニット４０の光軸に沿う方向の移動と、これに直交する２軸方向への移動とが可能な３軸移動ステージを採用することができる。また、必要に応じて、レンズユニット４０の光軸に対する移動方向のアライメント調整を行う傾動ステージを備えることが可能である。
【００２５】
被測定面５ａに入射された透過光３０ｂは、被測定面５ａにおいて被測定面反射光３０ｃとして反射される。このとき、被測定面５ａ、レンズユニット４０の光軸が一致するとともに、被測定面５ａの曲率中心がレンズユニット４０の集光位置に一致しているため、透過光３０ｂの光線が被測定面５ａの法線に沿って入射し、被測定面反射光３０ｃは、透過光３０ｂと同一の光路を逆進して、レンズユニット４０に再入射し、ビームスプリッタ３に向けて透過される。
【００２６】
したがって、被測定面反射光３０ｃ、参照面反射光３０ｄは、いずれも、同一の光束である平行光３０ａが参照面４１ａによって分割されて形成された光束である。そして、被測定面反射光３０ｃは、被測定面５ａで反射されることで被測定面５ａの形状に応じて波面が変化した測定光となっている。一方、参照面反射光３０ｄは、参照面４１ａで反射されることで参照面４１ａの形状に対応した波面を有する参照光となっている。また、被測定面反射光３０ｃは、被測定面５ａで反射されて同一光路を逆進することで、参照面反射光３０ｄに対して、参照面４１ａと被測定面５ａとの間の光路長の２倍の光路差を有している。そのため、被測定面反射光３０ｃと参照面反射光３０ｄとは、参照面４１ａ上で、被測定面５ａと参照面４１ａとの間の形状誤差に対応する光路差による干渉縞を形成する。
【００２７】
集光レンズ６は、被測定面反射光３０ｃ、参照面反射光３０ｄによる干渉縞を、撮像部７の撮像面７ａ上に結像する装置部分である。
撮像部７は、撮像面７ａ上に結像された干渉縞画像を光電変換する撮像素子である。撮像部７としては、例えば、ＣＣＤなどを採用することができる。
撮像部７は、測定制御部１０に電気的に接続されており、測定制御部１０によって撮像動作を制御され、撮像部７で撮像した画像信号は測定制御部１０に送出される。
【００２８】
測定制御部１０は、撮像部７から送出された干渉縞画像を画像処理することにより、干渉縞の解析を行って、干渉縞に基づく波面収差を求め、被測定面５ａの形状を算出するものである。算出された被測定面５ａの形状は、必要に応じてこの解析に伴うグラフや中間演算結果などとともに、表示部１１に表示されるようになっている。
【００２９】
次に、レンズユニット４０の一例の詳細構成について説明する。
図２は、本発明の第１の実施形態のレンズユニットの構成を説明する光軸を含む断面における模式的な断面図である。図３（ａ）は、本発明の第１の実施形態のレンズ保持枠における筒状部材の模式的な正面図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。図４（ａ）は、本発明の第１の実施形態のレンズ保持枠におけるレンズ保持部材の模式的な正面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。図５は、図２におけるＣ部の部分拡大図である。
【００３０】
図２に示すように、本実施形態のレンズユニット４０は、レンズ４２および参照レンズ４１（レンズ）が、それぞれ、押え枠４４およびレンズ保持枠４７により、レンズ鏡筒４３に固定されて構成されている。
レンズ４２および参照レンズ４１のそれぞれのレンズ光軸と、レンズ鏡筒４３の中心軸線とは、レンズユニット４０の光軸Ｏに同軸に整列している。
【００３１】
レンズ４２は、平行光である透過光３０ｂ（図２では図示略、図１参照）を集光して、参照レンズ４１に導くレンズである。図２には一例として平凸レンズの例を示している。
レンズ４２を固定する押え枠４４は、レンズ４２をレンズ光軸に沿う方向に押圧する押え面４４ｄを一方の端面に備える環状部材である。
押え枠４４の外周部には、レンズ鏡筒４３と螺合するための雄ねじ部４４ｃが設けられている。
押え枠４４の内周部には、レンズ４２の有効レンズ径よりも大径の開口部４４ａが軸方向に沿って設けられている。
開口部４４ａにおいて、押え面４４ｄの近傍には、レンズユニット４０の開口絞りとなる環状突起部４４ｂが全周にわたって形成されている。
押え枠４４において、押え面４４ｄと反対側の端面には、押え枠４４をレンズ鏡筒４３に螺合する際にカニ目治具を挿入する複数のカニ目穴４４ｅが設けられている。
【００３２】
参照レンズ４１は、レンズユニット４０における最も被測定物５寄りに配置されたレンズであり、レンズ４２に近い方から順に、第１面４１ｂ、参照面４１ａを備える。
第１面４１ｂの外周部と参照面４１ａの外周部との間には、レンズ光軸を中心とする円筒面からなるレンズ側面４１ｃが形成されている。
第１面４１ｂは、レンズ４２によって集光された透過光３０ｂを屈折して、参照面４１ａに垂直入射するように集光するレンズ面である。
本実施形態では、参照レンズ４１は、第１面４１ｂが凸面、参照面４１ａが凹面の正メニスカスレンズを採用している。
【００３３】
レンズ側面４１ｃと参照面４１ａとの交差部分には、エッジ部４１ｄが全周にわたって形成されている。エッジ部４１ｄは、必要に応じて加工丸みや面取りを形成することが可能であるが、参照面４１ａの面頂からの距離は一定とされている。このため、エッジ部４１ｄは、参照面４１ａの光軸に沿う方向の位置決め部として使用することができる。
【００３４】
このような参照レンズ４１は、レンズ保持枠４７によって保持され、レンズ保持枠４７を介して、レンズ鏡筒４３に固定されている。
レンズ保持枠４７は、レンズ鏡筒４３と固定するための中間枠部材４５（筒状部材）と、中間枠部材４５の内周側で固定され、参照レンズ４１を保持するレンズ保持部材４６とを備える。
【００３５】
中間枠部材４５は、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、円筒状の外周面４５ｂを有し、内部に、外周面４５ｂと同軸の円筒面からなる内周面４５ａを有する円筒状部材である。
内周面４５ａの内径は、参照レンズ４１のレンズ側面４１ｃよりも大径とされている。
内周面４５ａと外周面４５ｂとの間の厚さはｔ１であり、中間枠部材４５の軸方向の長さはＬ１である。
中間枠部材４５の軸方向における第１端面４５ｆは、レンズ鏡筒４３の内方に向いて配置される端面であり、レンズ保持枠４７を組み立てる際にカニ目治具を挿入する複数のカニ目穴４５ｇが設けられている。
中間枠部材４５において第１端面４５ｆの反対側の端面である第２端面４５ｅは、中間枠部材４５の中心軸線に直交する平面であり、レンズ保持部材４６を軸方向に係止することが可能である。
【００３６】
中間枠部材４５の外周面４５ｂにおいて、軸方向の中間部から第２端面４５ｅまでの領域には、レンズ鏡筒４３と螺合するための雄ねじ部４５ｄが形成されている。雄ねじ部４５ｄのピッチ円径は、外周面４５ｂの外径よりも大径である。
中間枠部材４５の内周面４５ａにおいて、第２端面４５ｅの近傍には、レンズ保持部材４６と螺合するための雌ねじ部４５ｃが形成されている。雌ねじ部４５ｃのピッチ円径は、雌ねじ部４５ｃの内径よりも小径である。
【００３７】
このような中間枠部材４５は、螺合されたレンズ鏡筒４３の方から外力を受けた場合に変形がなるべく小さくなるように、剛性が高い材質、例えば、金属（純金属または合金）などで形成することが好ましい。
中間枠部材４５として好適な材料としては、例えば、炭素鋼、ステンレス鋼、真鍮、アルミニウム合金などの例を挙げることができる。
【００３８】
中間枠部材４５は、筒状、特に円筒状であり、しかも、例えば、狭隘な溝部は貫通孔等の難加工部を有していないため、加工や成形が容易になり、安価に製作することが可能である。
中間枠部材４５の製造方法の種類は、特に限定されない。例えば、プレス加工、鋳造、射出成形、切削加工、あるいはこれらを適宜の組み合わせた加工などを採用することができる。
【００３９】
レンズ保持部材４６は、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、環状部４６Ａと、薄肉突出部４６Ｂ（弾性変形部）とを有する全体として略筒状の部材である。レンズ保持部材４６の外形は、中心軸線Ｐを中心とする回転対称な形状を有する。
環状部４６Ａは、断面が略直角三角形状を有する円環状の部位であり、軸方向の一方の端部に中心軸線Ｐに直交する平面からなる平面部４６ｅが形成されている。
環状部４６Ａの軸方向の他方の端部には、中心軸線Ｐに直交する方向に沿って径方向外方に延ばされた円環状のフランジ部４６ｃが形成されている。
フランジ部４６ｃの外径は、中間枠部材４５における外周面４５ｂの外径以下である。
フランジ部４６ｃには、レンズ保持部材４６を中間枠部材４５に螺合する際にカニ目治具を挿入する複数のカニ目孔４６ｄが厚さ方向に貫通して設けられている。
【００４０】
平面部４６ｅとフランジ部４６ｃとの間における環状部４６Ａの外周部には、中間枠部材４５の内周部に設けられた雄ねじ部４６ｂと螺合する雄ねじ部４６ｂが形成されている。
環状部４６Ａの内周部には、参照レンズ４１のレンズ側面４１ｃよりも小径、かつ参照面４１ａにおける有効レンズ径よりも大径の円筒面により、開口部４６ａが形成されている。
【００４１】
薄肉突出部４６Ｂは、環状部４６Ａが径方向外側から外力を受けた際に、少なくとも中間枠部材４５に比べてより変形しやすい形状や材質で形成される。
本実施形態では、平面部４６ｅから軸方向に沿って延ばされた肉厚が厚さｔ２（ただし、ｔ２＜ｔ１）を有する円筒状の突出部である。薄肉突出部４６Ｂの平面部４６ｅからの突出長さはＬ２である。
本実施形態では、さらに、厚さｔ２は、環状部４６Ａの径方向の厚さよりも薄くなっている。このため、薄肉突出部４６Ｂは、径方向の変形に関しては、環状部４６Ａに比べても、より変形しやすい形状にもなっている。
また、フランジ部４６ｃから薄肉突出部４６Ｂの先端までの軸方向の長さはＬ３（ただし、Ｌ１＞Ｌ３＞Ｌ２）である。
【００４２】
薄肉突出部４６Ｂの内径は、図５に示すように、中間枠部材４５に固定された状態で、参照レンズ４１のレンズ側面４１ｃとの間に隙間Ｈ１が形成される寸法である。
薄肉突出部４６Ｂの外径は、雄ねじ部４６ｂのピッチ円径よりも小径とされるともに、中間枠部材４５に固定された状態で、薄肉突出部４６Ｂの外周面と中間枠部材４５の内周面４５ａとの間に隙間Ｈ０が形成される寸法である。
隙間Ｈ０（Ｈ１）は、環状部４６Ａに作用すると想定される外力により薄肉突出部４６Ｂが変形する際に、薄肉突出部４６Ｂが第２穴部７３ｅ（レンズ側面４１ｃ）と接触しない寸法に設定しておく。
このような寸法は、例えば、レンズ保持部材４６の変形に関する数値計算や実験を行うなどして、最小限の隙間寸法を求めることにより設定することができる。
【００４３】
薄肉突出部４６Ｂの突出方向の先端部には、全周にわたって内周側に突出された突起部４６ｆ（第１固定部）が形成されている。
突起部４６ｆは、参照レンズ４１のレンズ側面４１ｃと接着部４８を介して固定するために設けられた部位であり、環状部４６Ａの内周面からの突出高さは高さＨ１以下である。
これにより、突起部４６ｆの突出方向の頂部の内径は、レンズ側面４１ｃの外径以上になっている。このため、参照レンズ４１を固定するために内側に挿通させたときに、レンズ側面４１ｃが押圧されて参照レンズ４１がひずまないようになっている。
【００４４】
接着部４８は、適宜の接着剤を、突起部４６ｆの近傍におけるレンズ側面４１ｃ上に塗布し、硬化させることにより形成されている。
接着部４８は、周方向に離間して複数箇所に形成されていてもよいが、本実施形態では、一例として、全周に設けられている。
このようにすることで、レンズ保持部材４６が外力によって変形した際に、突起部４６ｆから作用する外力が、周方向に分散されるため、参照レンズ４１の変形が抑制しやすくなるため、より好ましい。
また、接着部４８が硬化する際の変形による応力が参照レンズ４１に作用する場合にも、周方向において局所的な変形が発生しないため、参照レンズ４１の変形を周方向に均等化することができるため、より好ましい。
【００４５】
接着部４８を形成する接着剤としては、参照レンズ４１の第１面４１ｂおよび参照面４１ａの面精度が許容範囲内に保たれるように硬化時の変形が少なく、かつ塗布時にレンズ面に回り込まないようにある程度の粘度を備える接着剤を用いる。接着部４８を形成するのに好適な接着剤としては、例えば、シリコン系接着剤のような接着剤の例を挙げることができる。
【００４６】
参照レンズ４１を突起部４６ｆに挿入した際に形成されるレンズ側面４１ｃと突起部４６ｆとの間の隙間は、接着部４８を形成する接着剤を充填して硬化させることができる程度の隙間とする。
【００４７】
上述のような構成により、突起部４６ｆは、レンズ保持部材４６において、参照レンズ４１と固定される第１固定部を構成している。
雄ねじ部４６ｂは、中間枠部材４５の軸方向において、第１固定部に対して離間した位置で、中間枠部材４５の内周部の雌ねじ部４５ｃに固定される第２固定部を構成している。
【００４８】
本実施形態では、薄肉突出部４６Ｂの厚さｔ２を中間枠部材４５の厚さｔ１よりも薄くしているため、薄肉突出部４６Ｂの材質が、中間枠部材４５と同材質であっても、薄肉突出部４６Ｂの方がより径方向の変形に関して低剛性になっており、径方向に変形しやすくなっている。
このため、薄肉突出部４６Ｂの材質は、中間枠部材４５に使用可能な材質は、すべて採用することが可能である。
ただし、薄肉突出部４６Ｂの材質は、中間枠部材４５の材質の縦弾性係数よりも小さい縦弾性係数を有することが可能である。この場合、薄肉突出部４６Ｂを中間枠部材４５に比べてさらに変形しやすくすることができる。
レンズ保持部材４６に用いるのに特に好ましい低縦弾性係数の材質の例としては、例えば、アルミニウム合金、真鍮、青銅などを挙げることができる。
【００４９】
このように、変形の容易さが互いに異なる中間枠部材４５とレンズ保持部材４６とを、互いに異なる材質で形成してから組み立てる場合、それぞれの特性に応じた、材質や加工法を採用することができるため、製造がより容易になる。
【００５０】
レンズ保持部材４６は、形状が回転対称であり、しかも、例えば、狭隘な溝部は貫通孔等の難加工部を有していないため、加工や成形が容易になり、安価に製作することが可能である。
レンズ保持部材４６の製造方法の種類は、特に限定されない。例えば、プレス加工、鋳造、射出成形、切削加工、あるいはこれらを適宜の組み合わせた加工などを採用することができる。
また、レンズ保持部材４６において、環状部４６Ａと薄肉突出部４６Ｂとの材質を変えた構成も可能である。
【００５１】
このような構成により、図５に示す断面において、例えば、環状部４６Ａが矢印Ｆ方向に外力を受けて、径方向内側に変位しようとする場合、薄肉突出部４６Ｂでは、基端部４６ｈの近傍で特に大きく弾性変形することで、先端側に向かうにつれて径方向の変形量が減少していく。
すなわち、外力が作用した断面では、薄肉突出部４６Ｂは、軸方向に延びる梁部材状になっているため、先端側の突起部４６ｆが基端部４６ｈに対して、図示矢印Ｒ方向に相対回転したような撓み変形が起こる。このため、薄肉突出部４６Ｂの剛性が高いために、撓み変形が少ない場合に比べて、突起部４６ｆから参照レンズ４１に作用する応力が低減される。
【００５２】
このように、レンズ保持部材４６における薄肉突出部４６Ｂは、第２固定部が外力を受けた際に径方向に弾性変形することにより、第１固定部の径方向の変位を抑制する弾性変形部を構成している。
【００５３】
このようなレンズ保持部材４６は、図５に示すように、薄肉突出部４６Ｂが中間枠部材４５の内部に第２端面４５ｅ側から挿入され、フランジ部４６ｃが第２端面４５ｅと当接されるまで雄ねじ部４６ｂが雌ねじ部４５ｃに螺合されることにより互いに固定される。
これにより、レンズ保持枠４７が形成される。
本実施形態では、Ｌ１＞Ｌ３であるため、薄肉突出部４６Ｂの全体は、中間枠部材４５の内部に位置している。このため、薄肉突出部４６Ｂは、レンズ保持枠４７として中間枠部材４５と組み立てられた状態では、中間枠部材４５によって径方向外側から覆われており、径方向外側からの直接的な外力を受けにくくなっている。
【００５４】
参照レンズ４１をレンズ保持枠４７に固定するには、参照面４１ａをレンズ保持部材４６の平面部４６ｅに向けて薄肉突出部４６Ｂの内部に挿入し、平面部４６ｅにエッジ部４１ｄを軽く当接するよって軸方向の位置決めを行う。
この状態で、平面部４６ｅからの反力によるひずみが十分小さく、参照面４１ａの面精度が許容範囲に保たれる場合には、このまま接着を行うことが可能である。
ただし、参照面４１ａの面精度の悪化を確実に防止するため、エッジ部４１ｄを平面部４６ｅから離間した状態で、接着することも可能である。この場合、例えば、エッジ部４１ｄを平面部４６ｅと当接させて参照レンズ４１の軸方向の位置決めを行った後、適宜の治具を用いて参照レンズ４１のレンズ側面４１ｃを軸方向に一定距離だけ移動した後に接着を行う。
【００５５】
参照レンズ４１を接着するには、突起部４６ｆの近傍におけるレンズ側面４１ｃに接着剤を塗布する。そして、この接着剤を硬化させることにより、接着部４８を形成する。これにより、参照レンズ４１は、突起部４６ｆを介してレンズ保持枠４７に固定され、レンズ保持枠４７と参照レンズ４１とからなる組立体４９が形成される。
【００５６】
レンズ鏡筒４３は、レンズ４２および参照レンズ４１を含む組立体４９を同軸に配置して一体に保持する筒状の部材である。
このため、図５に示すように、レンズ鏡筒４３の一方の端面の内側には、レンズ４２を配置するためのレンズ４２よりも大径の円筒状の第１穴部４３ａを有し、他方の端面の内側には、組立体４９を配置するための円筒状の第２穴部４３ｅを有している。
第１穴部４３ａと第２穴部４３ｅとのそれぞれの底部には、レンズ４２のレンズ外径よりも小径であって、有効光束の最外部ＥＬの外側の領域に開口する孔４３ｇが軸方向に貫通している。
レンズ鏡筒４３の外周面４３ｈには、レンズユニット４０を干渉計５０の図示略の支持部材に固定するため、周方向に延ばされた取り付け溝４３ｄが設けられている。取り付け溝４３ｄは、第２穴部４３ｅと重ならない領域に設けられることが好ましい。本実施形態では、第１穴部４３ａの径方向外方に設けられている。
【００５７】
第１穴部４３ａにおいて、孔４３ｇの径方向外側には、レンズ４２を径方向および軸方向に保持する円筒穴からなるレンズ保持部４３ｂが形成されている。
第１穴部４３ａの内周面には、押え枠４４の雄ねじ部４４ｃを螺合する雌ねじ部４３ｃが設けられている。
このため、レンズ４２は、レンズ保持部４３ｂに挿入してから、第１穴部４３ａに押え枠４４を挿入し、雄ねじ部４４ｃを雌ねじ部４３ｃに螺合していくことにより、押え面４４ｄによってレンズ保持部４３ｂに固定される。
【００５８】
第２穴部４３ｅの内周面には、中間枠部材４５の雄ねじ部４５ｄを螺合する雌ねじ部４３ｆが設けられている。
このため、組立体４９は、参照レンズ４１の第１面４１ｂを第２穴部４３ｅの奥側に向けた状態で、中間枠部材４５の雄ねじ部４５ｄを雌ねじ部４３ｆに螺合していくことができる。これにより、組立体４９は、第２穴部４３ｅ内で軸方向の位置調整が可能な状態で取り付けられる。
【００５９】
第２穴部４３ｅと外周面４３ｈとの間の肉厚は、レンズユニット４０として必要な強度や剛性が得られる適宜の肉厚が可能である。本実施形態では、第２穴部４３ｅの内部に中間枠部材４５が取り付けられるため、中間枠部材４５との組み合わせにより、必要な剛性が確保されればよく、例えば、中間枠部材４５が十分な剛性を有していれば、中間枠部材４５の厚さｔ２より薄肉とすることも可能である。
【００６０】
レンズ鏡筒４３として好適な材料としては、レンズ保持部材４６に好適な材質から適宜選択することができる。
【００６１】
レンズ鏡筒４３に組立体４９を固定するには、第１穴部４３ａに上述のようにしてレンズ４２を固定してから、雌ねじ部４３ｆに組立体４９を螺合する。
次に、レンズ４２に対する位置調整を行う調整治具によって、組立体４９の固定位置を決めてから、雄ねじ部４５ｄおよび雌ねじ部４３ｆの螺合部の隙間に浸透する接着剤を塗布してから硬化させる。これにより、第２穴部４３ｅに組立体４９が固定される。
中間枠部材４５をレンズ鏡筒４３に固定する接着剤としては、中間枠部材４５およびレンズ鏡筒４３の材質等に応じて適宜の接着剤を採用することができる。
【００６２】
このようにして、レンズ鏡筒４３に、レンズ４２と参照レンズ４１との相対位置が調整された状態で、レンズ４２および組立体４９が固定される。これにより、レンズユニット４０が形成される。
【００６３】
次に、本実施形態のレンズユニット４０の作用について、本実施形態のレンズ保持枠４７の作用を中心に説明する。
干渉計５０に用いる参照レンズ４１は、参照面４１ａが干渉縞測定の参照面として用いられるフィゾーレンズであるため、被測定面５ａの面精度に比べて格段に良好な面精度が求められる。被測定面５ａとして光学レンズのレンズ面を測定する場合には、参照面４１ａの面精度は、例えば、ＰＶ（ｐｅａｋ  ｔｏ  ｖａｌｌｅｙ）値が０．０５λ（λ＝６３２．８ｎｍ）以下にすることが多い。
このような面精度を維持するには、参照レンズ４１に作用する外力によって、参照面４１ａが極力ひずまないようにする必要がある。
参照面４１ａがひずむ原因としては、例えば、レンズユニット４０を干渉計５０に取り付ける際にレンズ鏡筒４３が受ける外力や、例えば、雌ねじ部４３ｆと雄ねじ部４５ｄとの間に浸透する接着剤の硬化時の変形によって径方向に発生する応力などの例を挙げることができる。
【００６４】
一方、レンズ４２は、干渉測定に用いる透過光束の波面収差が許容範囲であればよいため、参照面４１ａほど高精度の面精度は必ずしも必要とされない。このため、本実施形態では、レンズ４２は、押え枠４４を用いてレンズ面を押圧する固定方法を採用している。
【００６５】
本実施形態では、中間枠部材４５に固定されたレンズ保持部材４６によって、参照レンズ４１を保持している。
中間枠部材４５に外力が作用して中間枠部材４５がひずむと、中間枠部材４５が変形して、雄ねじ部４６ｂを介して環状部４６Ａに応力が伝達される。これにより、環状部４６Ａは、径方向において雄ねじ部４６ｂの位置における中間枠部材４５と略同様に変位する。
【００６６】
その際、参照レンズ４１のエッジ部４１ｄは、平面部４６ｅと軸方向に離間しているかまたは、接触しているとしても摩擦力がきわめて小さいため、平面部４６ｅの変位の影響を受けない。
【００６７】
環状部４６Ａの変位は、薄肉突出部４６Ｂを通して、ある程度、参照レンズ４１に伝わるが、薄肉突出部４６Ｂは、中間枠部材４５と比べると径方向に格段に変形しやすいため、外力が作用した断面における基端部４６ｈと突起部４６ｆとの間で撓み変形が起こり、突起部４６ｆの変位量は、基端部の変位量よりも減少する。
このため、突起部４６ｆにおける応力が低減され、突起部４６ｆから参照レンズ４１に伝わる力は、中間枠部材４５から作用する力に比べて低減される。
さらに、突起部４６ｆと参照レンズ４１との間には、突起部４６ｆに比べて縦弾性係数の小さい接着部４８が介在しているため、レンズ保持部材４６に実際に作用する外力はさらに弱まる。
【００６８】
このようにして、参照レンズ４１は、接着部４８の位置において、中間枠部材４５からの外力が直接作用する場合に比べて格段に小さい外力を受けることになり、ひずみが抑制される。
さらに、接着部４８が、レンズ側面４１ｃにおいて、レンズ４２の近傍に形成され、参照面４１ａから離れた位置に形成されている。このため、接着部４８からある程度の外力が作用するとしても、ひずみは、接着部４８の近傍に分布するため、参照面４１ａにおけるひずみを抑制することができる。
【００６９】
また、薄肉突出部４６Ｂが、レンズ側面４１ｃに沿って軸方向に延ばされているため、薄肉突出部４６Ｂがレンズ側面４１ｃの側方で変形するようになっている。
このため、薄肉突出部４６Ｂを第１面４１ｂまたは参照面４１ａの外縁部から軸方向外側に延ばす構成とする場合に比べて、レンズユニット４０の軸方向の厚さを低減することができる。
【００７０】
また、レンズ鏡筒４３における取り付け溝４３ｄは、軸方向において、レンズユニット４０の側方からずれた位置に設けられている。
このため、干渉計５０への取り付け時に、取り付け溝４３ｄから外力が作用してレンズ鏡筒４３がひずむ場合に、レンズユニット４０に伝わる応力を、より低減することができる。
【００７１】
以上に説明したように、本実施形態のレンズ保持枠４７によれば、中間枠部材４５とレンズ保持部材４６とを備え、中間枠部材４５に比べて変形しやすいレンズ保持部材４６の薄肉突出部４６Ｂによって、弾性変形部を構成するため、レンズ保持部材４６に保持された参照レンズ４１に関して、外力によるレンズの変形を抑制することができる。
また、中間枠部材４５およびレンズ保持部材４６は、いずれも筒状であって、例えば、狭隘な貫通孔や溝部等の難加工部を有しない製造容易な形状である。また、中間枠部材４５およびレンズ保持部材４６は、互いに異なる製法によって製造したり、剛性の異なる材料で製造したりすることもできる。
このため、レンズ保持枠４７は、容易に製造することができ、製造コストを低減することができる。
【００７２】
［第１変形例］
次に、上記第１の実施形態の変形例（第１変形例）について説明する。
図６（ａ）は、本発明の第１の実施形態のレンズ保持枠の変形例（第１変形例）に用いるレンズ保持部材の模式的な正面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）におけるＤ−Ｄ断面図である。
【００７３】
図１に示すように、本変形例の干渉計５１は、上記第１の実施形態のレンズユニット４０に代えて、レンズユニット６０を備える。
レンズユニット６０は、図５に示すように、上記第１の実施形態のレンズユニット４０のレンズ保持枠４７に代えて、レンズ保持枠６７を備える。
レンズ保持枠６７は、上記第１の実施形態のレンズ保持枠４７のレンズ保持部材４６に代えて、レンズ保持部材６６を備える。
以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００７４】
図６（ａ）、（ｂ）に示すように、レンズ保持部材６６は、上記第１の実施形態のレンズ保持部材４６の薄肉突出部４６Ｂに代えて、薄肉突出部６６Ｂ（弾性変形部）を備える。
薄肉突出部６６Ｂは、薄肉突出部４６Ｂが平面部４６ｅにおいて周方向の全周から突出されていたのに対して、周方向の一部の範囲のみに突出され、平面部４６ｅにおいて周方向に離間した位置から突出された複数のものからなる点が、薄肉突出部４６Ｂと異なる。
すなわち、図６（ｂ）に示すように、薄肉突出部６６Ｂの径方向の断面形状は、薄肉突出部４６Ｂと同一である。
本変形例では、薄肉突出部６６Ｂは、一例として、円周を三等分する三箇所の位置に設けられている。
薄肉突出部６６Ｂの周方向の幅Ｗは、薄肉突出部６６Ｂに必要な剛性に応じて設定することができる。
【００７５】
このような構成のレンズ保持部材６６は、図５に示すように、上記第１の実施形態のレンズ保持部材４６と同様にして、中間枠部材４５に固定して、レンズ保持枠６７を組み立てることができる。
また、薄肉突出部６６Ｂの突起部４６ｆに、参照レンズ４１を接着して固定することにより、レンズユニット６０を製造することができる。ただし、本変形例では、突起部４６ｆが周方向に離間した３箇所に設けられているため、接着部４８も、各突起部４６ｆの近傍の三箇所に形成される点が上記第１の実施形態と異なる。
レンズユニット６０は、レンズユニット４０と同様にして、干渉計５１の図示略の支持部材に着脱可能に固定される。
【００７６】
本変形例のレンズユニット６０によれば、参照レンズ４１が、レンズ保持枠６７において、薄肉突出部６６Ｂを有するレンズ保持部材６６を介して固定されているため、上記第１の実施形態と同様に、外力によるレンズの変形を抑制することができるとともに容易に製造することができる。
特に、薄肉突出部６６Ｂによれば、径方向の厚さｔ２に加えて、周方向の幅Ｗを変えることによっても、剛性を調整することができるため、応力緩和の自由度が向上する。
また、薄肉にすることが難しい材料や、薄肉化すると製造コストが増大する材料を用いても、必要な剛性を得ることができる。このため、製造がより容易となり、製造コストも低減することが可能となる。
【００７７】
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。
図７は、本発明の第２の実施形態のレンズユニットの主要部の構成を示す模式的な断面図である。図８（ａ）は、本発明の第２の実施形態のレンズ保持枠におけるレンズ保持部材の模式的な正面図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）におけるＥ−Ｅ断面図である。
【００７８】
図１に示すように、本変形例の干渉計５２は、上記第１の実施形態のレンズユニット４０に代えて、レンズユニット７０を備える。
レンズユニット７０は、図７に示すように、上記第１の実施形態のレンズユニット４０のレンズ保持枠４７、レンズ鏡筒４３に代えて、レンズ保持部材７６、レンズ鏡筒７３（筒状部材）を備える。
レンズ保持部材７６は、上記第１の実施形態のレンズ保持部材４６と同様にして参照レンズ４１を保持する部材であり、環状部４６Ａに代えて、環状部７６Ａを備える。
以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００７９】
図８（ａ）、（ｂ）に示すように、環状部７６Ａは、上記第１の実施形態の環状部４６Ａのフランジ部４６ｃを削除し、雄ねじ部４６ｂに代えて、雌ねじ部４３ｆに螺合する雄ねじ部７６ｂ（第２固定部）を備える。
すなわち、環状部７６Ａは、上記第１の実施形態の環状部４６Ａのフランジ部４６ｃを削除した円環状の部位になっている。
環状部７６Ａにおいて、平面部４６ｅと反対側の端面には、レンズ保持部材７６をレンズ鏡筒４３に螺合する際にカニ目治具を挿入する複数のカニ目穴７６ｄが設けられている。
環状部７６Ａの外径は、レンズ保持部材７６をレンズ鏡筒７３に固定した際に、後述するレンズ鏡筒７３の第２穴部７３ｅと薄肉突出部４６Ｂとの間の径方向の隙間Ｈ２を確保できる寸法とする。
隙間Ｈ２は、上記第１の実施形態における隙間Ｈ０と同様、環状部７６Ａに作用すると想定される外力により薄肉突出部４６Ｂが変形する際に、薄肉突出部４６Ｂが第２穴部７３ｅと接触しない寸法に設定しておく。
【００８０】
レンズ鏡筒７３は、図７に示すように、レンズ４２および参照レンズ４１が固定されたレンズ保持部材７６を同軸に配置して一体に保持する筒状部材であり、上記第１の実施形態のレンズ鏡筒４３の第２穴部４３ｅに代えて第２穴部７３ｅを備える。
第２穴部７３ｅは、参照レンズ４１が固定されたレンズ保持部材７６を配置するための円筒状の穴部であり、内周面には、レンズ保持部材７６の雄ねじ部７６ｂを螺合する雌ねじ部７３ｆが設けられている。
このため、参照レンズ４１が固定されたレンズ保持部材７６は、参照レンズ４１の第１面４１ｂを第２穴部７３ｅの奥側に向けた状態で、レンズ保持部材７６の雄ねじ部７６ｂを雌ねじ部７３ｆに螺合していくことができる。これにより、レンズ保持部材７６は、第２穴部７３ｅ内で軸方向の位置調整が可能な状態で取り付けられる。
【００８１】
第２穴部７３ｅと外周面７３ｈとの肉厚ｔ３は、レンズユニット７０として必要な強度や剛性が得られるとともに、上記第１の実施形態の中間枠部材４５と同様に、径方向外方から外力を受けた場合にレンズ保持部材７６の変形がなるべく少なくなる剛性が得られる肉厚とする。
このため、例えば、レンズ鏡筒７３の材質として、中間枠部材４５と同材質を採用する場合、少なくとも、ｔ３≧ｔ１とすることが好ましい。図７に示す例のように、第２穴部７３ｅの開口部の外周側に面取り加工がなされて一部の剛性が低下する場合には、ｔ３＞ｔ１として、中間枠部材４５と同等以上の剛性を確保することが好ましい。
レンズ鏡筒７３の材質としては、上記第１の実施形態のレンズ鏡筒４３と同様な材質を採用することができる。
【００８２】
このような構成のレンズユニット７０では、レンズ保持部材７６は、上記第１の実施形態のレンズ保持部材４６と同様にして、薄肉突出部４６Ｂの突起部４６ｆに、参照レンズ４１が接着されている。これにより、突起部４６ｆが、接着部４８を介してレンズ側面４１ｃに固定されている。
参照レンズ４１が固定されたレンズ保持部材７６は、参照レンズ４１の第１面４１ｂを第２穴部７３ｅの奥側に向けた状態で、雄ねじ部７６ｂがレンズ鏡筒７３の雌ねじ部７３ｆに螺合され、第２穴部７３ｅ内で軸方向の位置調整を行ってから、図示略の接着剤によりレンズ鏡筒７３と固定されている。
これにより、レンズユニット７０が形成される。
レンズユニット７０は、レンズユニット４０と同様にして、干渉計５２の図示略の支持部材に着脱可能に固定される。
【００８３】
第１の実施形態のレンズ保持部材４６は中間枠部材４５を介してレンズ鏡筒４３に固定されていたのに対して、本実施形態のレンズユニット７０では、レンズ保持部材７６は、中間枠部材を介することなくレンズ鏡筒７３に直接固定されている。
このため、本変形例では、レンズユニット７０は、参照レンズ４１に関しては、筒状部材であるレンズ鏡筒７３とレンズ保持部材７６とからなるレンズ保持枠を構成している。
【００８４】
本実施形態のレンズユニット７０によれば、レンズ鏡筒７３とレンズ保持部材７６とを備え、レンズ鏡筒７３に比べて変形しやすいレンズ保持部材７６の薄肉突出部４６Ｂによって、弾性変形部が構成されているため、上記第１の実施形態と同様にして、レンズ保持部材７６に保持された参照レンズ４１に関して、外力によるレンズの変形を抑制することができる。
また、レンズ鏡筒７３およびレンズ保持部材７６は、いずれも筒状であって難加工部を有しない製造容易な形状であり、互いに剛性の異なる材料で製造することもできる。このため、いずれも容易に製造することができ、製造コストを低減することができる。
【００８５】
［第２変形例］
次に、上記第２の実施形態の変形例（第２変形例）について説明する。
図９は、本発明の第２の実施形態の変形例（第２変形例）のレンズユニットの主要部の構成を示す模式的な断面図である。
【００８６】
図１に示すように、本変形例の干渉計５３は、上記第２の実施形態のレンズユニット７０に代えて、レンズユニット８０を備える。
レンズユニット８０は、図９に示すように、上記第２の実施形態のレンズ保持部材７６に代えて、レンズ保持部材８６を備える。
以下、上記第２の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００８７】
図９に示すように、レンズ保持部材８６は、上記第２の実施形態のレンズ保持部材７６の環状部７６Ａ、薄肉突出部７６Ｂに代えて、環状部８６Ａ、薄肉突出部８６Ｂ（弾性変形部）を備える。
【００８８】
環状部８６Ａは、角断面を有する円環状の部位であり、環状部７６Ａと同様に、雄ねじ部７６ｂおよびカニ目穴７６ｄを有する。
環状部８６Ａの内径は、参照レンズ４１の外径よりも大径とされ、参照レンズ４１が内部に挿入可能になっている。
【００８９】
薄肉突出部８６Ｂは、環状部８６Ａの内周側の端部から、軸方向に縮径しつつ突出されたテーパー状の筒状部である。
薄肉突出部８６Ｂの先端部には、有効光束の最外部ＥＬの外側の領域内で径方向内側に突出し、参照レンズ４１の第１面４１ｂを受けるレンズ受け部８６ｆが設けられている。
レンズ受け部８６ｆに接続する部位の薄肉突出部８６Ｂは、内径が参照レンズ４１の外径よりもわずかに大きい穴部になっており、参照レンズ４１の径方向の位置決めが可能になっている。
このように、レンズ保持部材８６の内周側には、環状部８６Ａの方から参照レンズ４１を挿入して軸方向に保持可能なすり鉢状の穴部が形成されている。
【００９０】
薄肉突出部８６Ｂの厚さｔ４は、第２穴部７３ｅと外周面７３ｈとの間の厚さｔ３よりも薄くなっており、レンズ鏡筒７３よりも径方向に変形しやすくなっている。
薄肉突出部８６Ｂの長さは、厚さｔ４に応じて、必要な弾性変形が可能となる適宜長さにする。
本変形例では、一例として、参照レンズ４１のエッジ部４１ｄが環状部８６Ａの内側に隠れるような長さにしている。
薄肉突出部８６Ｂの先端部と第２穴部７３ｅの内周面との隙間Ｈ３と、環状部８６Ａの内周面とレンズ側面４１ｃとの間の隙間Ｈ４は、それぞれ上記第２の実施形態のＨ２、Ｈ１と同様にして設定することができる。
【００９１】
このような構成のレンズユニット８０では、レンズ保持部材８６は、薄肉突出部８６Ｂのレンズ受け部８６ｆに、第１面４１ｂが突き当てられた参照レンズ４１が接着部４８を介して固定されている。
ただし、本変形例における接着部４８は、レンズ側面４１ｃと薄肉突出部８６Ｂの間の隙間を通して、レンズ受け部８６ｆの近傍に塗布された接着剤を硬化して形成されている。
参照レンズ４１が固定されたレンズ保持部材８６は、上記第２の実施形態のレンズ保持部材７６と同様にして、雄ねじ部７６ｂがレンズ鏡筒７３の雌ねじ部７３ｆに螺合され、第２穴部７３ｅ内で軸方向の位置調整を行ってから、図示略の接着剤によりレンズ鏡筒７３と固定されている。
これにより、レンズユニット８０が形成される。
レンズユニット８０は、レンズユニット７０と同様にして、干渉計５３の図示略の支持部材に着脱可能に固定される。
【００９２】
本変形例は、レンズ保持部材８６における軸方向の位置決めが、第１面４１ｂで行われる場合の例になっている。
また、本変形例は、レンズ鏡筒４３および参照レンズ４１の軸方向に沿って傾斜しつつ延びる薄肉のテーパー状の筒体により、弾性変形部が構成される場合の例になっている。
【００９３】
本変形例のレンズユニット８０によれば、レンズ鏡筒７３とレンズ保持部材８６とを備え、レンズ鏡筒７３に比べて変形しやすい薄肉突出部８６Ｂを有するレンズ保持部材８６によって、弾性変形部が構成されている。このため、上記第２の実施形態と同様にして、レンズ保持部材８６に保持された参照レンズ４１に関して、外力によるレンズの変形を抑制することができる。
また、レンズ保持部材８６は、筒状であって難加工部を有しない製造容易な形状であり、互いに剛性の異なる材料で製造することもできる。このため、レンズ保持部材８６は、容易に製造することができ、製造コストを低減することができる。
【００９４】
なお、上記の各実施形態および各変形例の説明では、レンズユニットを構成するレンズが、レンズ４２と参照レンズ４１とからなる場合の例で説明したが、これは一例であり、レンズユニットのレンズ枚数やレンズ構成はこれには限定されない。
【００９５】
上記の各実施形態および各変形例の説明では、レンズユニットのうち、参照レンズ４１を保持する部分のみに、本発明のレンズ保持枠を用いる場合の例で説明したが、例えば、レンズ４２などの他のレンズも同様にして保持することが可能である。
【００９６】
上記の各実施形態および各変形例の説明では、本発明のレンズ保持枠が、干渉計の参照面を含むレンズを保持する場合の例で説明したが、本発明のレンズ保持枠は、干渉計以外に用いるレンズを保持するために用いることも可能である。
【００９７】
上記の第１実施形態の説明では、薄肉突出部４６Ｂが、中間枠部材４５の内側に配置され、軸方向には突出しない場合の例で説明したが、これは一例であって、薄肉突出部４６Ｂの長さは、必要な剛性を得るために適宜の長さに設定することができる。このため、薄肉突出部４６Ｂは、中間枠部材４５の軸方向の外側に突出した構成も可能である。
【００９８】
上記の各実施形態および各変形例の説明では、中間枠部材、レンズ保持部材の材質が、金属の場合の例で説明したが、中間枠部材、レンズ保持部材の材質は金属には限定されない。レンズ保持部材の材質は、レンズ保持部材の材質は合成樹脂も可能である。また、レンズ保持部材の材質は、金属と合成樹脂との複合材料を採用することもできる。
【００９９】
上記の各実施形態および各変形例の説明では、環状部において、薄肉突出部の境界まで第２固定部が形成された場合の例で説明した。このため、環状部は、筒状部材と略一体になっているため、筒状部材の変形とともに弾性変形する部位ではあるが、これにより第１固定部の変位を低減する部位にはなっていない。この点で、本発明における弾性変形部には該当しないため、薄肉突出部のみが弾性変形部を構成している場合の例になっている。
ただし、環状部における第２固定部が、薄肉突出部と反対側の端部のみに形成され、環状部が、薄肉突出部との間に筒状部材と径方向に離間している部位を有しており、かつこの部位の径方向の厚さが筒状部材よりも薄い構成も可能である。
この場合には、第２固定部と薄肉突出部との間の環状部は、径方向に弾性変形すると、第２固定部とは異なる変位をするため、第１固定部の変位抑制に寄与することになる。この場合の環状部は、薄肉突出部とともに本発明における弾性変形部を構成する。
【０１００】
上記の各実施形態および各変形例の説明では、弾性変形部が、筒状または突片状の薄肉突出部で構成される場合の例で説明したが、弾性変形部は、筒状部材に比べて低剛性であればよく、肉厚が筒状部材よりも薄いことは必須ではない。
例えば、薄肉突出部を筒状部材と同じ肉厚で形成しても、縦弾性係数がより小さい部材で構成したり、突片状としたりすれば、より低剛性であるため、より弾性変形しやすくなる。
【０１０１】
上記に説明したすべての構成要素は、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせたり、削除したりして実施することができる。
例えば、上記第２実施形態および第２変形例の薄肉突出部４６Ｂ、８６Ｂを、上記第１変形例の薄肉突出部６６Ｂのような突片状の形状にすることが可能である。
また、上記第１の実施形態の薄肉突出部４６Ｂに代えて、上記第２変形例における薄肉突出部８６Ｂを用いることも可能である。
また、上記第１変形例の薄肉突出部６６Ｂの基端部と環状部４６Ａとの間に、薄肉突出部４６Ｂのような筒状の薄肉突出部を介在させることにより、剛性を変化させた薄肉突出部の構成も可能である。
【符号の説明】
【０１０２】
４０、６０、７０、８０  レンズユニット
４１  参照レンズ
４１ａ  参照面
４１ｂ  第１面
４１ｃ  レンズ側面
４２  レンズ
４３、７３  レンズ鏡筒
４３ｄ  取り付け溝
４３ｅ、７３ｅ  第２穴部
４３ｆ、４５ｃ、７３ｆ  雌ねじ部
４３ｈ、７３ｈ  外周面
４５  中間枠部材（筒状部材）
４５ａ  内周面
４５ｂ  外周面
４５ｄ  雄ねじ部
４５ｅ  第２端面
４５ｆ  第１端面
４６、６６、７６、８６  レンズ保持部材
４６Ａ、７６Ａ、８６Ａ  環状部
４６Ｂ、６６Ｂ、７６Ｂ、８６Ｂ  薄肉突出部（弾性変形部）
４６ｂ、７６ｂ  雄ねじ部（第２固定部）
４６ｅ  平面部
４６ｆ  突起部（第１固定部）
４７、６７  レンズ保持枠
４８  接着部
４９  組立体
５０、５１、５２、５３  干渉計
７３  レンズ鏡筒（筒状部材）
８６ｆ  レンズ受け部（第１固定部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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