(57)【要約】  【課題】二つの部材の離間距離をより細やかに調整可能な離間距離調整機構および搬送装置を提供する。  【解決手段】間隔調整機構１ａは、搬送フレーム４および架台５間に所定の間隔をおいて配置された一対の第一間隔調整装置２ａ各々の差動ネジ２０を回転させることにより、差動ネジ２０の回転数と差動ネジ２０の第一のネジ部２０１および第二のネジ部２０２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減することができる。この際、一対の第一間隔調整装置２ａ間に配置された第二間隔調整装置３ａの円筒ネジ３５にシャフト３１をスライド自在に保持させておき、一対の第一間隔調整装置２ａによる間隔調整がおおよそ終了してから、円筒ネジ３５を回転させてシャフト３１に固定することにより、第二間隔調整装置３ａに過剰な負荷かかるのを防止でき、間隔調整機構１ａが損傷する可能性を低減できる。【選択図】図１
2015161332.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二つの部材の離間距離を調整する離間距離調整機構であって、
前記二つの部材間に所定の間隔をおいて配置された一対の第一の離間距離調整装置と、
前記一対の第一の離間距離調整装置間に配置された第二の離間距離調整装置と、を備え、
前記第一の離間距離調整装置は、
前記二つの部材のうちの第一の部材の裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合する第一のネジ部と、前記二つの部材のうちの第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合し、前記第一のネジ部とはピッチの異なる第二のネジ部と、を有する差動ネジを備え、
前記第二の離間距離調整装置は、
前記第一の部材の裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合するネジと、
前記ネジの軸心方向に連結されたネジ連結シャフトと、
前記ネジ連結シャフトを前記第二の部材に連結するネジ連結シャフト用円筒ネジと、
前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴に対する前記ネジ連結シャフト用円筒ネジのねじ込み量を規制する規制手段と、を備え、
前記ネジ連結シャフト用円筒ネジは、
前記ネジ連結シャフトが挿入されるとともに、前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合するネジ部が外周面に形成された円筒ネジ本体と、
前記円筒ネジ本体の他方の端部から一方の端部へ向けて形成されたスリットと、を備える
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項２】
請求項１に記載の離間距離調整機構であって、
前記第二の離間距離調整装置の前記規制手段は、
前記ネジ連結シャフト用円筒ネジの前記円筒ネジ本体の一方の端部において径方向外側へはり出すように形成され、前記ネジ連結シャフト用円筒ネジを前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴にねじ込み量の規制値以上にねじ込んだ場合に、当該固定手段の当該ネジ穴が設けられた面と当接する鍔部である
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項３】
請求項１に記載の離間距離調整機構であって、
前記第二の離間距離調整装置の前記規制手段は、
前記ネジ連結シャフトが挿入されるとともに、前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴に挿入され、前記ネジ連結シャフト用円筒ネジを前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴にねじ込み量の規制値以上にねじ込んだ場合に、前記ネジ連結シャフト用円筒ネジの前記円筒ネジ本体の他方の端部と当接するスペーサである
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項４】
請求項１に記載の離間距離調整機構であって、
前記第二の離間距離調整装置の前記規制手段は、
前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴内に形成され、前記ネジ連結シャフト用円筒ネジを前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴にねじ込み量の規制値以上にねじ込んだ場合に、前記ネジ連結シャフト用円筒ネジの前記円筒ネジ本体の他方の端部と当接する段差面である
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の離間距離調整機構であって、
前記第一の離間距離調整装置は、
一方の端面に前記差動ネジの前記第二のネジ部と螺合するネジ穴が形成され、当該差動ネジと軸心方向に連結された差動ネジ連結シャフトと、
前記差動ネジ連結シャフトを前記第二の部材に連結する差動ネジ連結シャフト用円筒ネジと、
前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴に対する当該差動ネジ連結シャフト用円筒ネジのねじ込み量を規制する規制手段と、をさらに備え、
前記差動ネジ連結シャフト用円筒ネジは、
前記差動ネジ連結シャフトが挿入されるとともに、前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合するネジ部が外周面に形成された円筒ネジ本体と、
前記円筒ネジ本体の他方の端部から一方の端部へ向けて形成されたスリットと、を備える
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項６】
請求項５に記載の離間距離調整機構であって、
前記第一の離間距離調整装置の前記規制手段は、
前記差動ネジ連結シャフト用円筒ネジの前記円筒ネジ本体の一方の端部において径方向外側へはり出すように形成され、前記差動ネジ連結シャフト用円筒ネジを前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴にねじ込み量の規制値以上にねじ込んだ場合に、当該固定手段の当該ネジ穴が設けられた面と当接する鍔部である
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項７】
請求項６に記載の離間距離調整機構であって、
前記第一の離間距離調整装置の前記規制手段は、
前記差動ネジ連結シャフトが挿入されるとともに、前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴に挿入され、前記差動ネジ連結シャフト用円筒ネジを前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴にねじ込み量の規制値以上にねじ込んだ場合に、前記差動ネジ連結シャフト用円筒ネジの前記円筒ネジ本体の他方の端部と当接するスペーサである
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項８】
請求項６に記載の離間距離調整機構であって、
前記第一の離間距離調整装置の前記規制手段は、
前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴内に形成され、前記差動ネジ連結シャフト用円筒ネジを前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴にねじ込み量の規制値以上にねじ込んだ場合に、前記差動ネジ連結シャフト用円筒ネジの前記円筒ネジ本体の他方の端部と当接する段差面である
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか一項に記載の離間距離調整機構であって、
前記第二の離間距離調整装置の前記ネジは、
前記第一の部材の裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合する第一のネジ部と、前記ネジ連結シャフトの端面に設けられたネジ穴と螺合し、前記第一のネジ部とはピッチの異なる第二のネジ部と、を有する差動ネジである
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか一項に記載の離間距離調整機構であって、
前記第一の離間距離調整装置の前記差動ネジは、前記第一のネジ部側の端面に形成されたレンチ挿入用穴を有し、
前記第一の離間距離調整装置の前記差動ネジと螺合する、前記第一の部材の裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴は、前記搬送レールの表面を貫いている
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の離間距離調整機構であって、
前記第二の離間距離調整装置の前記ネジは、前記第一の部材の裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴に挿入される端面に形成されたレンチ挿入用穴を有し、
前記第二の離間距離調整装置の前記ネジと螺合する、前記第一の部材の裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴は、前記第一の部材の表面を貫いている
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項１２】
請求項１ないし９のいずれか一項に記載の離間距離調整機構であって、
前記第一の離間距離調整装置の前記差動ネジは、前記第一のネジ部と前記第二のネジ部との間の外周面に形成された平坦部を有する
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項１３】
請求項１ないし９および１２のいずれか一項に記載の離間距離調整機構であって、
前記第二の離間距離調整装置の前記ネジは、外周面に形成された平坦部を有する
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれか一項に記載の離間距離調整機構であって、
前記第一の離間距離調整装置は、
前記差動ネジの前記第一のネジ部と螺合して、前記第一の部材の裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段と当接することにより、当該第一のネジ部と当該裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴との螺合の緩み止めを防止するナットをさらに有する
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれか一項に記載の離間距離調整機構であって、
前記第二の離間距離調整装置は、
前記ネジと螺合して、前記第一の部材の裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段と当接することにより、当該ネジと当該裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴との螺合の緩み止めを防止するナットをさらに有する
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項１６】
請求項１ないし１３のいずれか一項に記載の離間距離調整機構であって、
前記第一の離間距離調整装置は、
前記差動ネジの前記第一のネジ部と前記第二のネジ部との間に位置するように、前記差動ネジに装着されたスプリングパッドと、
一方の端部が前記差動ネジに装着された前記スプリングパッドと当接し、他方の端部が前記第一の部材の裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段と当接するスプリングと、をさらに有する
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項１７】
請求項１ないし１３および１６のいずれか一項に記載の離間距離調整機構であって、
前記第二の離間距離調整装置は、
前記ネジに装着されたスプリングパッドと、
一方の端部が前記ネジに装着された前記スプリングパッドと当接し、他方の端部が前記第一の部材の裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段と当接するスプリングと、をさらに有する
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項１８】
請求項１ないし１７のいずれか一項に記載の離間距離調整機構であって、
前記第二の離間距離調整装置は、
前記ネジ連結シャフト用円筒ネジの前記円筒ネジ本体の内周面、および前記ネジ連結シャフトの外周面の少なくとも一方に、凹凸が形成されている
ことを特徴とする離間距離調整機構。
【請求項１９】
搬送対象物を搬送するための搬送装置であって、
搬送レールと、
架台と、
前記搬送レールを第一の部材とし、前記架台を第二の部材として、両部材の離間距離を調整する請求項１ないし１８のいずれか一項に記載の離間距離調整機構と、を備える
ことを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二つの部材の離間距離を調整する離間距離調整機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
製造ライン等において、ガラス基板等の薄板状の搬送対象を搬送レールの搬送面から浮上させて非接触で搬送する浮上搬送装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような浮上搬送装置を含む様々な搬送装置において、搬送レールは、間隔調整機構を介して架台によって支えられている。間隔調整機構は、搬送レールが所望の高さで水平になるように、搬送レールと架台との間隔を調整する。
【０００３】
図１１は、従来の間隔調整機構７を含む搬送装置の断面図である。
【０００４】
図示するように、従来の間隔調整機構７は、搬送レール８と架台９との間に介在する複数の間隔調整装置７０によって構成される。それぞれの間隔調整装置７０は、つぎのようにして搬送レール８と架台９との間に組み付けられる。まず、搬送レール８の表面（搬送面）８０から裏面８１を貫く座繰り貫通穴８２に、六角穴付きボルト７１を搬送レール８の表面８０側から挿入する。つぎに、スプリングソーサ７２、スプリング７３、およびブラケット７４を、この順番で搬送レール８の裏面８１から突出した六角穴付きボルト７１の軸部７１０に装着する。それから、六角穴付きボルト７１のネジ部７１１が、架台９の裏面９１から表面９０を貫く段付き貫通穴９２に、架台９の表面９０側から挿入されるように架台９を配置し、架台９の裏面９１側から架台９の段付き貫通穴９２にＴナット７５を挿入して、六角穴付きボルト７１のネジ部７１１と螺合させる。つぎに、ブラケット７４をボルト７６で架台９の表面９０に取り付ける。最後に、六角穴付きボルト７１の頭部７１２の六角穴７１３に図示していない六角レンチを差し込んで回すことにより、六角穴付きボルト７１のネジ部７１１とＴナット７５との螺合度合い（ねじ込み量）を調節することにより、架台９の表面９０と搬送レール８の裏面８１との間隔ｈを調整する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１９０８９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来の間隔調整装置７０は、六角穴付きボルト７１の回転数と六角穴付きボルト７１のネジ部７１１のピッチとの積により間隔ｈの調整量が決まる。六角穴付きボルト７１のネジ部７１１は、スプリング７３の反力が六角穴付きボルト７１に付与された状態で高さ調整のために回転する。このため、ネジ山が摩耗し易く、また、スプリング７３の反力に耐え得る強度が必要であることから、六角穴付きボルト７１のネジ部７１１のピッチを狭くすることが困難であり、間隔ｈを細かく調整することができない。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、二つの部材の離間距離をより細やかに調整可能な離間距離調整機構および搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の離間距離調整機構は、二つの部材間に所定の間隔をおいて配置された一対の第一の離間距離調整装置と、これら第一の離間距離調整装置間に配置された第二の離間距離調整装置と、を備える。第一の離間距離調整装置は、二つの部材のうちの第一の部材の裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合する第一のネジ部と、二つの部材のうちの第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合し、第一のネジ部とはピッチの異なる第二のネジ部と、を有する差動ネジを備えている。この差動ネジを回転させることにより、差動ネジの回転数と差動ネジの第一のネジ部および第二のネジ部間のピッチ差分との積により定まる調整量分、二つの部材の離間距離を増減する。第二の離間距離調整装置は、第一の部材の裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合するネジと、このネジの軸心方向に連結されたネジ連結シャフトと、このネジ連結シャフトが挿入されるとともに、第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合するネジ部が外周面に形成されたネジ連結シャフト用円筒ネジと、第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴に対するネジ連結シャフト用円筒ネジのねじ込み量を規制する規制手段と、を備えている。ネジ連結シャフト用円筒ネジは、他方の端部から一方の端部へ向けてスリットが形成されており、このネジ連結シャフト用円筒ネジを回転させることにより、外周面に形成されたネジ部が第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴にねじ込まれる。そして、ネジ連結シャフト用円筒ネジを第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴にねじ込み量の規制値以上にねじ込もうとすると、ネジ部のネジ山と第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴のネジ溝とが圧接され、ネジ山およびネジ溝の傾斜によりその圧接力の一部が径方向内側に向かう。ネジ部には、他方の端部から一方の端部へ向けて軸心方向に沿ったスリットが形成されているため、この径方向内側に向かう力によりネジ部の他方の端部側が径方向内側に移動して、円筒ネジに挿入されたネジ連結シャフトを締め付ける。
【０００９】
例えば、本発明の離間距離調整機構は、二つの部材の離間距離を調整する離間距離調整機構であって、
前記二つの部材間に所定の間隔をおいて配置された一対の第一の離間距離調整装置と、
前記一対の第一の離間距離調整装置間に配置された第二の離間距離調整装置と、を備え、
前記第一の離間距離調整装置は、
前記二つの部材のうちの第一の部材の裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合する第一のネジ部と、前記二つの部材のうちの第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合し、前記第一のネジ部とはピッチの異なる第二のネジ部と、を有する差動ネジを備え、
前記第二の離間距離調整装置は、
前記第一の部材ルの裏面あるいは裏面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合するネジと、
前記ネジの軸心方向に連結されたネジ連結シャフトと、
前記ネジ連結シャフトを前記第二の部材に連結するネジ連結シャフト用円筒ネジと、
前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴に対する前記ネジ連結シャフト用円筒ネジのねじ込み量を規制する規制手段と、を備え、
前記ネジ連結シャフト用円筒ネジは、
前記ネジ連結シャフトが挿入されるとともに、前記第二の部材の表面あるいは表面に取り付けられた固定手段に設けられたネジ穴と螺合するネジ部が外周面に形成された円筒ネジ本体と、
前記円筒ネジ本体の他方の端部から一方の端部へ向けて形成されたスリットと、を備える。
【００１０】
また、本発明の搬送装置は、搬送対象物を搬送するための搬送装置であって、
搬送レールと、架台と、前記搬送レールを第一の部材とし、前記架台を第二の部材として、両部材の離間距離を調整する上述の離間距離調整機構と、を備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、二つの部材間に所定の間隔をおいて配置された一対の第一の離間距離調整装置各々の差動ネジを回転させることにより、差動ネジの回転数と差動ネジの第一のネジ部および第二のネジ部間のピッチ差分との積により定まる調整量分、二つの部材の離間距離を増減することができるので、二つの部材の離間距離をより細やかに調整することができる。また、この際、一対の第一の離間距離調整装置間に配置された第二の離間距離調整装置のネジ連結シャフト用円筒ネジにネジ連結シャフトをスライド自在に保持させておき、一対の第一の離間距離調整装置による二つの部材の離間距離調整がおおよそ終了してから、ネジ連結シャフト用円筒ネジを回転させてネジ連結シャフトに固定することにより、第二の離間距離調整装置に過剰な負荷かかるのを防止でき、離間距離調整機構が損傷する可能性を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａを含む搬送装置の断面図である。
【図２】図２（Ａ）は、円筒ネジ３５の底面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）に示す円筒ネジ３５のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図３は、円筒ネジ３５の原理を説明するための図である。
【図４】図４は、本発明の第二実施の形態に係る間隔調整機構１ｂを含む搬送装置の断面図である。
【図５】図５は、本発明の第三実施の形態に係る間隔調整機構１ｃを含む搬送装置の断面図である。
【図６】図６は、本発明の第四実施の形態に係る間隔調整機構１ｄを含む搬送装置の断面図である。
【図７】図７は、本発明の第五実施の形態に係る間隔調整機構１ｅを含む搬送装置の断面図である。
【図８】図８は、本発明の第六実施の形態に係る間隔調整機構１ｆを含む搬送装置の断面図である。
【図９】図９は、円筒ネジ３５を用いたブラケット３２にシャフト３１を固定するための機構の変形例を説明するための図である。
【図１０】図１０は、円筒ネジ３５を用いたブラケット３２にシャフト３１を固定するための機構の変形例を説明するための図である。
【図１１】図１１は、従来の間隔調整機構７を含む搬送装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１４】
＜第一実施の形態＞
図１は、本発明の第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａを含む搬送装置の断面図である。
【００１５】
図示するように、本実施の形態に係る間隔調整機構１ａは、搬送レール４と架台５との間に所定の間隔をおいて配置された少なくとも一対の第一間隔調整装置２ａと、一対の第一間隔調整装置２ａ間に配置された第二間隔調整装置３ａと、を備えて構成される。なお、ここでは、一対の第一間隔調整装置２ａを搬送レール４と架台５との間の両端部１０に配置し、第二間隔調整装置３ａを搬送レール４と架台５との間の中央部１１に配置している。
【００１６】
第一間隔調整装置２ａは、差動ネジ２０と、差動ネジ２０と軸心方向に連結されたシャフト２１と、シャフト２１を架台５の表面５０に取り付けるためのブラケット２２と、を備えている。
【００１７】
差動ネジ２０は、搬送レール４の裏面４１に設けられたネジ穴４２と螺合する第一のネジ部２０１と、シャフト２１の一方の端面２１０に設けられたネジ穴２１２と螺合し、第一のネジ部２０１とはピッチの異なる第二のネジ部２０２と、端面（第一のネジ部２０１を挟んで第二のネジ部２０２の反対側に位置する端面）２０３に設けられたレンチ挿入用穴２０４と、を有する。ここで、搬送レール４の裏面４１に設けられたネジ穴４２は、搬送レール４の表面４０を貫いている。このネジ穴４２は、例えばヘリサート４４を用いることにより形成してもよい。
【００１８】
シャフト２１は、一方の端面２１０に設けられ、差動ネジ２０の第二のネジ部２０２と螺合するネジ穴２１２と、他方の端面２１１に設けられ、後述の組立ボルト２５と螺合するネジ穴２１３と、を有する。なお、本実施の形態では、差動ネジ２０をシャフト２１より短くしているが、差動ネジ２０をシャフト２１より長くしてもよい。また、図示していないが、シャフト２１をスパナで回転させることができるように、シャフト２１の外周面にスパナ掛け用の平坦部を設けてもよい。例えば、シャフト２１を六角柱状とすることにより、あるいはシャフト２１の外周面に六角柱状の鍔部を設けることにより、スパナ掛け用の平坦部を設けてもよい。
【００１９】
ブラケット２２は、裏面２２１から表面２２０に向けて形成された座繰り貫通穴２２２と、後述の組立ボルト２４でブラケット２２を架台５の表面５０に取り付けるための座繰り貫通穴２２３と、を有する。
【００２０】
第二間隔調整装置３ａは、差動ネジ３０と、差動ネジ３０と軸心方向に連結されたシャフト３１と、架台５の表面５０に取り付けられるブラケット３２と、シャフト３１をブラケット３２に連結する円筒ネジ３５と、を備えている。
【００２１】
差動ネジ３０は、搬送レール４の裏面４１に設けられたネジ穴４３と螺合する第一のネジ部３０１と、シャフト３１の一方の端面３１０に設けられたネジ穴３１２と螺合する第二のネジ部３０２と、端面（第一のネジ部３０１を挟んで第二のネジ部３０２の反対側に位置する端面）３０３に設けられたレンチ挿入用穴３０４と、を有する。ここで、差動ネジ３０は、第一間隔調整装置２ａの差動ネジ２０と同様、第一のネジ部３０１と第二のネジ部３０２とのピッチを異ならせている。また、搬送レール４の裏面４１に設けられたネジ穴４３は、搬送レール４の表面４０を貫いている。このネジ穴４３は、例えばヘリサート４５を用いることにより形成してもよい。
【００２２】
シャフト３１は、一方の端面３１０に設けられ、差動ネジ３０の第二のネジ部３０２と螺合するネジ穴３１２を有する。なお、本実施の形態では、差動ネジ３０をシャフト３１より短くしているが、差動ネジ３０をシャフト３１より長くしてもよい。また、図示していないが、シャフト３１をスパナで回転させることができるように、シャフト３１の外周面３１３にスパナ掛け用の平坦部を設けてもよい。例えば、シャフト３１を六角柱状とすることにより、あるいはシャフト３１の外周面３１３に六角柱状の鍔部を設けることにより、スパナ掛け用の平坦部を設けてもよい。
【００２３】
ブラケット３２は、円筒ネジ３５と螺合する、表面３２０および裏面３２１を貫くネジ穴３２２と、後述の組立ボルト３４でブラケット３２を架台５の表面５０に取り付けるための座繰り貫通穴３２３と、を有する。
【００２４】
円筒ネジ３５には、シャフト３１が挿入された状態でブラケット３２のネジ穴３２２と螺合する。図２（Ａ）は、円筒ネジ３５の底面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）に示す円筒ネジ３５のＡ−Ａ断面図である。
【００２５】
図示するように、円筒ネジ３５は、シャフト３１が挿入されるとともに、ブラケット３２に設けられたネジ穴３２２と螺合するすり割りネジ部３５１が外周面３５２に形成された円筒ネジ本体３５０と、円筒ネジ本体３５０の一方の端部３５３側において径方向外側へ張り出すように形成されたスパナ掛け用の鍔部３５５と、円筒ネジ本体３５０の他方の端部３５４の端面３５８から一方の端部３５３へ向けて円周方向に等間隔に形成された複数のスリット３５６と、を備える。なお、図２に示す例では、スリット３５６を複数設けているが、スリット３５６は少なくとも一つ設けられていればよい。
【００２６】
図３は、円筒ネジ３５の原理を説明するための図である。
【００２７】
第二間隔調整装置３ａにおいて、図示するように、円筒ネジ３５をブラケット３２のネジ穴３２２にブラケット３２の表面３２０側から挿入し、その後、シャフト３１を円筒ネジ３５の鍔部３５５側から挿入して、所定の位置に保持させ、それから、図示していないスパナで円筒ネジ３５の鍔部３５５を把持して所定の回転方向Ｒに回転させると、円筒ネジ３５がブラケット３２のネジ穴３２２にねじ込まれて、円筒ネジ３５の鍔部３５５の裏面３８０がブラケット３２の表面３２０と当接する。その後も円筒ネジ３５を回転方向Ｒに回転させると、すり割りネジ部３５１のネジ山３５７とブラケット３２のネジ穴３２２のネジ溝３２４とが圧接され、ネジ山３５７およびネジ溝３２４の傾斜によりその圧接力Ｐの一部Ｐｘが円筒ネジ３５の径方向内側に向かう。すり割りネジ部３５１には、円筒ネジ本体３５０の他方の端部３５４の端面３５８から一方の端部３５３へ向けて軸心Ｏ方向に沿って複数のスリット３５６が形成されているため、この径方向内側に向かう力Ｐｘにより円筒ネジ本体３５０の他方の端部３５４側が円筒ネジ３５の径方向内側に移動して、円筒ネジ３５に挿入されたシャフト３１を締め付ける。これにより、シャフト３１がブラケット３２に固定される。
【００２８】
なお、円筒ネジ本体３５０の他方の端部３５４側を円筒ネジ３５の径方向内側に移動させて、円筒ネジ３５に挿入されたシャフト３１を締め付ける際に、シャフト３１がブラケット３２により強固に固定されるようにするために、円筒ネジ本体３５０の内周面３５９およびシャフト３１の外周面３１３の少なくとも一方に、ローレット加工、エンボス加工等により凹凸を形成して、円筒ネジ本体３５０の内周面３５９とシャフト３１の外周面３１３との摩擦抵抗を大きくしてもよい。
【００２９】
上記構成の間隔調整機構１ａは、例えば、つぎのようにして搬送レール４と架台５との間に組み付けられる。まず、搬送レール４の裏面４１から表面４０を貫くネジ穴４２に、第一間隔調整装置２ａの差動ネジ２０の一方の端面２０３を搬送レール４の裏面４１側から挿入して、この差動ネジ２０の第一のネジ部２０１をネジ穴４２に螺合させる。同様に、搬送レール４の裏面４１から表面４０を貫くネジ穴４３に、第二間隔調整装置３ａの差動ネジ３０の一方の端面３０３を搬送レール４の裏面４１側から挿入して、この差動ネジ３０の第一のネジ部３０１をネジ穴４３に螺合させる。
【００３０】
つぎに、第一間隔調整装置２ａの差動ネジ２０の第二のネジ部２０２を、第一間隔調整装置２ａのシャフト２１の一方の端面２１０に設けられたネジ穴２１２に挿入して螺合させることにより、差動ネジ２０にシャフト２１を差動ネジ２０の軸心方向に連結する。同様に、第二間隔調整装置３ａの差動ネジ３０の第二のネジ部３０２を、第二間隔調整装置３ａのシャフト３１の一方の端面３１０に設けられたネジ穴３１２に挿入して螺合させることにより、差動ネジ３０にシャフト３１を差動ネジ３０の軸心方向に連結する。
【００３１】
つぎに、第一間隔調整装置２ａのブラケット２２に設けられた座繰り貫通穴２２２の軸心と第一間隔調整装置２ａのシャフト２１の他方の端面２１１に設けられたネジ穴２１３の軸心とが一致するようにして、ブラケット２２の表面２２０とシャフト２１の他方の端面２１１とを当接させた状態で、組立ボルト２５を、ブラケット２２の裏面２２１側からブラケット２２の座繰り貫通穴２２２に挿入して、シャフト２１の他方の端面２１１に設けられたネジ穴２１３に螺合させる。これにより、シャフト２１をブラケット２２の表面２２０に取り付ける。
【００３２】
また、第二間隔調整装置３ａの円筒ネジ３５を、第二間隔調整装置３ａのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられたネジ穴３２２に螺合させる。このとき、円筒ネジ３５がブラケット３２から抜け落ちない程度の緩めに螺合させる。それから、第二間隔調整装置３ａのシャフト３１の他方の端面３１１を、ブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２のネジ穴３２２に螺合させた円筒ネジ３５に挿入する。これにより、ブラケット３２のネジ穴３２に挿入された円筒ネジ３５が、シャフト３１にスライド自在に装着される。このとき、円筒ネジ３５をＲ方向に回転させて、ブラケット３２をシャフト３１に仮止めしてもよい（図３参照）。この場合、搬送レール４の裏面４１からブラケット３２の裏面３２１までの距離が搬送レール４の裏面４１からブラケット２２の裏面２２１までの距離より短くなる位置において、ブラケット３２をシャフト３１に仮止めする。
【００３３】
つぎに、組立ボルト２４を、第一間隔調整装置２ａのブラケット２２の表面２２０側からブラケット２２に設けられた座繰り貫通穴２２３に挿入し、架台５の表面５０に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット２２を架台５の表面５０に取り付ける。同様に、組立ボルト３４を、第二間隔調整装置３ａのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられた座繰り貫通穴３２３に挿入し、架台５の表面５０に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット３２を架台５の表面５０に取り付ける。このとき、ブラケット３２がシャフト３１に仮止めされているならば、円筒ネジ３５をＲ方向の反対方向に回転させて、円筒ネジ３５によるシャフト３１の締め付けを緩めておく。
【００３４】
つぎに、搬送レール４の表面４０側からネジ穴４２に図示していないレンチを挿入して、第一間隔調整装置２ａの差動ネジ２０の一方の端面２０３に設けられたレンチ挿入用穴２０４にこのレンチの先端部を挿入する。そして、レンチを回転させて、差動ネジ２０を回転させることにより、差動ネジ２０の回転数と差動ネジ２０の第一のネジ部２０１および第二のネジ部２０２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、第一間隔調整装置２ａの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減して、この間隔ｈを所定の長さに調整する。このとき、第二間隔調整装置３ａのシャフト３１が円筒ネジ３５に固定されていないため、第一間隔調整装置２ａの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈの増減によって第二間隔調整装置３ａに加わる負荷は、シャフト３１が円筒ネジ３５内をスライドすることにより吸収される。
【００３５】
つぎに、図示していないスパナに第二間隔調整装置３ａの円筒ネジ３５の鍔部３５５を把持させ、このスパナを用いて円筒ネジ３５を、円筒ネジ３５の鍔部３５５が第二間隔調整装置３ａのブラケット３２の表面３２０と当接するまでＲ方向に回転させて、円筒ネジ３５をブラケット３２の表面３２０のネジ穴３２２に螺合させ、さらにねじ込むことにより、第二間隔調整装置３ａのシャフト３１を円筒ネジ３５に固定する。
【００３６】
つぎに、差動ネジ３０の一方の端面３０３に設けられたレンチ挿入用穴３０４に挿入されたレンチを用いて、差動ネジ３０を回転させることにより、差動ネジ３０の回転数と差動ネジ２０の第一のネジ部３０１および第二のネジ部３０２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、第二間隔調整装置３ａの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減して、この間隔ｈが第一間隔調整装置２ａの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈと同寸法になるように調整する。
【００３７】
最後に、差動ネジ２０およに差動ネジ３０を微調整して、搬送フレーム４と架台５との間隔ｈが一定となるように調整する。
【００３８】
以上、本発明の第一実施の形態を説明した。
【００３９】
本実施の形態によれば、搬送フレーム４および架台５間に所定の間隔をおいて配置された一対の第一間隔調整装置２ａ各々の差動ネジ２０を回転させることにより、差動ネジ２０の回転数と差動ネジ２０の第一のネジ部２０１および第二のネジ部２０２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減することができるので、搬送フレーム４と架台５との間隔ｈをより細やかに調整することができる。また、この際、一対の第一間隔調整装置２ａ間に配置された第二間隔調整装置３ａのシャフト３１がブラケット２２に対してスライド自在となるように円筒ネジ３５を介して装着しておき、一対の第一間隔調整装置３ａによる間隔調整がおおよそ終了してから、円筒ネジ３５を回転させてシャフト３１をブラケット２２に固定することにより、第二間隔調整装置３ａに過剰な負荷かかるのを防止でき、間隔調整機構１ａが損傷する可能性を低減できる。
【００４０】
＜第二実施の形態＞
図４は、本発明の第二実施の形態に係る間隔調整機構１ｂを含む搬送装置の断面図である。ここで、図１に示す第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａと同じ機能を有するものには同じ符号を付している。
【００４１】
図示するように、本実施の形態に係る間隔調整装置１ｂが図１に示す第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａと異なる点は、第一間隔調整装置２ａに代えて第一間隔調整装置２ｂを設けた点にある。その他の構成は第一実施形態に係る間隔調整機構１ａと同様である。第一間隔調整装置２ｂは、第一実施形態に係る間隔調整機構１ａの第一間隔調整装置２ａと同様、搬送レール４と架台５との間に所定の間隔をおいて少なくとも一対配置される。ここでは、一対の第一間隔調整装置２ｂを搬送レール４と架台５との間の両端部１０に配置し、第二間隔調整装置３ａを搬送レール４と架台５との間の中央部１１に配置している。
【００４２】
第一間隔調整装置２ｂは、差動ネジ２０と、差動ネジ２０と軸心方向に連結された段付きシャフト２６と、架台５の表面５０に取り付けられるブラケット３２と、段付きシャフト２６をブラケット３２に連結する円筒ネジ３５と、を備えている。ここで、差動ネジ２０は、第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａの第一間隔調整装置２ａに用いられる差動ネジ２０と同じものであり、ブラケット３２および円筒ネジ３５は、第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａの第二間隔調整装置３ａに用いられるブラケット３２および円筒ネジ３５と同じものである。
【００４３】
段付きシャフト２６は、円筒ネジ３５に挿入される小径部２６３と、小径部２６３に連結され、小径部２６３との連結部分に段差面２６５を備える大径部２６４と、を有する。また、段付きシャフト２６の一方の端面（大径部２６４側の端面）２６０には、差動ネジ２０の第二のネジ部２０２と螺合するネジ穴２６２が設けられている。なお、本実施の形態では、差動ネジ２０を段付きシャフト２６より短くしているが、差動ネジ２０を段付きシャフト２６より長くしてもよい。また、図示していないが、段付きシャフト２６をスパナで回転させることができるように、段付きシャフト２６の大径部２６４の外周面にスパナ掛け用の平坦部を設けてもよい。例えば、段付きシャフト２６の大径部２６４を六角柱状とすることにより、あるいは段付きシャフト２６の大径部２６４の外周面に六角柱状の鍔部を設けることにより、スパナ掛け用の平坦部を設けてもよい。
【００４４】
上記構成の間隔調整機構１ｂは、例えば、つぎのようにして搬送レール４と架台５との間に組み付けられる。まず、搬送レール４の裏面４１から表面４０を貫くネジ穴４２に、第一間隔調整装置２ｂの差動ネジ２０の一方の端面２０３を搬送レール４の裏面４１側から挿入して、この差動ネジ２０の第一のネジ部２０１をネジ穴４２に螺合させる。同様に、搬送レール４の裏面４１から表面４０を貫くネジ穴４３に、第二間隔調整装置３ａの差動ネジ３０の一方の端面３０３を搬送レール４の裏面４１側から挿入して、この差動ネジ３０の第一のネジ部３０１をネジ穴４３に螺合させる。
【００４５】
つぎに、第一間隔調整装置２ａの差動ネジ２０の第二のネジ部２０２を、第一間隔調整装置２ｂの段付きシャフト２６の一方の端面２６０に設けられたネジ穴２６２に挿入して螺合させることにより、差動ネジ２０に段付きシャフト２６を差動ネジ２０の軸心方向に連結する。同様に、第二間隔調整装置３ａの差動ネジ３０の第二のネジ部３０２を、第二間隔調整装置３ａのシャフト３１の一方の端面３１０に設けられたネジ穴３１２に挿入して螺合させることにより、差動ネジ３０にシャフト３１を差動ネジ３０の軸心方向に連結する。
【００４６】
つぎに、第一間隔調整装置２ｂの円筒ネジ３５を、第一間隔調整装置２ｂのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられたネジ穴３２２に螺合させる。このとき、円筒ネジ３５がブラケット３２から抜け落ちない程度の緩めに螺合させる。それから、第一間隔調整装置２ｂの段付きシャフト２６の他方の端面（小径部２６３側の端面）２６１を、ブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２のネジ穴３２２に螺合させた円筒ネジ３５に挿入する。これにより、ブラケット３２のネジ穴３２に挿入された円筒ネジ３５が、段付きシャフト２６の小径部２６３にスライド自在に装着される。このとき、円筒ネジ３５をＲ方向に回転させて、ブラケット３２に段付きシャフト２６を仮止めしてもよい（図３参照）。
【００４７】
同様に、第二間隔調整装置３ａの円筒ネジ３５を、第二間隔調整装置３ａのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられたネジ穴３２２に螺合させる。このとき、円筒ネジ３５がブラケット３２から抜け落ちない程度の緩めに螺合させる。それから、第二間隔調整装置３ａのシャフト３１の他方の端面３１１を、ブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２のネジ穴３２２に挿入された円筒ネジ３５に挿入する。これにより、シャフト３１がブラケット３２のネジ穴３２に挿入された円筒ネジ３５に対して、スライド自在に装着される。このとき、円筒ネジ３５をＲ方向に回転させて、ブラケット３２にシャフト３１を仮止めしてもよい。この場合、第二間隔調整装置３ａの搬送レール４の裏面４１からブラケット３２の裏面３２１までの距離が第一間隔調整装置２ｂの搬送レール４の裏面４１からブラケット３２の裏面３２１までの距離より短くなる位置において、ブラケット３２にシャフト３１を仮止めする。
【００４８】
つぎに、第一間隔調整装置２ｂにおいて、組立ボルト３４を、第一間隔調整装置２ｂのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられた座繰り貫通穴３２３に挿入し、架台５の表面５０に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、第一間隔調整装置２ｂのブラケット３２を架台５の表面５０に取り付ける。このとき、ブラケット３２が段付きシャフト２６に仮止めされているならば、円筒ネジ３５をＲ方向の反対方向に回転させて、円筒ネジ３５による段付きシャフト３２の締め付けを緩めておく。
【００４９】
同様に、第二間隔調整装置３ａにおいて、組立ボルト３４を、第二間隔調整装置３ａのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられた座繰り貫通穴３２３に挿入し、架台５の表面５０に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、第二間隔調整装置３ａのブラケット３２を架台５の表面５０に取り付ける。このとき、ブラケット３２にシャフト３１が仮止めされているならば、円筒ネジ３５をＲ方向の反対方向に回転させて、円筒ネジ３５によるシャフト３１の締め付けを緩めておく。
【００５０】
つぎに、第一間隔調整装置２ｂにおいて、段付きシャフト２６の段差面２６５を円筒ネジ３５の鍔部３５５に当接させた状態で、図示していないスパナに第一間隔調整装置２ｂの円筒ネジ３５の鍔部３５５を把持させ、このスパナを用いて円筒ネジ３５を、円筒ネジ３５の鍔部３５５が第一間隔調整装置２ｂのブラケット３２の表面３２０と当接するまでＲ方向に回転させて、円筒ネジ３５をブラケット３２の表面３２０のネジ穴３２２に螺合させ、さらにねじ込むことにより、第一間隔調整装置２ｂの段付きシャフト２６を円筒ネジ３５に固定する。
【００５１】
つぎに、搬送レール４の表面４０側からネジ穴４２に図示していないレンチを挿入して、第一間隔調整装置２ｂの差動ネジ２０の一方の端面２０３に設けられたレンチ挿入用穴２０４にこのレンチの先端部を挿入する。そして、レンチを回転させて、差動ネジ２０を回転させることにより、差動ネジ２０の回転数と差動ネジ２０の第一のネジ部２０１および第二のネジ部２０２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、第一間隔調整装置２ｂの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減して、この間隔ｈを所定の長さに調整する。このとき、第二間隔調整装置３ａのシャフト３１が円筒ネジ３５に固定されていないため、第一間隔調整装置２ｂの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈの増減によって第二間隔調整装置３ａに加わる負荷は、シャフト３１が円筒ネジ３５内をスライドすることにより吸収される。
【００５２】
つぎに、図示していないスパナに第二間隔調整装置３ａの円筒ネジ３５の鍔部３５５を把持させ、このスパナを用いて円筒ネジ３５を、円筒ネジ３５の鍔部３５５が第二間隔調整装置３ａのブラケット３２の表面３２０と当接するまでＲ方向に回転させて、円筒ネジ３５をブラケット３２の表面３２０のネジ穴３２２に螺合させ、さらにねじ込むことにより、第二間隔調整装置３ａのシャフト３１を円筒ネジ３５に固定する。
【００５３】
つぎに、第二間隔調整装置３ａにおいて、搬送レール４の表面４０側からネジ穴４２に図示していないレンチを挿入して、第二間隔調整装置３ａの差動ネジ３０の一方の端面３０３に設けられたレンチ挿入用穴３０４にこのレンチの先端部を挿入する。そして、レンチを回転させて、差動ネジ３０を回転させることにより、差動ネジ３０の回転数と差動ネジ３０の第一のネジ部３０１および第二のネジ部３０２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、第二間隔調整装置３ａの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減して、この間隔ｈを所定の長さに調整する。
【００５４】
最後に、差動ネジ２０および差動ネジ３０を微調整して、搬送フレーム４と架台５との間隔ｈが一定となるように調整する。
【００５５】
以上、本発明の第二実施の形態を説明した。
【００５６】
本実施の形態によれば、第一間隔調調整装置２ｂに円筒ネジ３５を設けたことにより、第一間隔調整装置２ｂにおいて、搬送フレーム４と架台５との間隔ｈのおおよその調整は、円筒ネジ３５で行い、最終的な微調整のみを差動ネジ２０で行うことができる。したがって、搬送フレーム４と架台５との間隔ｈをより迅速に調整することができる。その他の効果は、第一実施の形態と同様である。
【００５７】
＜第三実施の形態＞
図５は、本発明の第三実施の形態に係る間隔調整機構１ｃを含む搬送装置の断面図である。ここで、図１および図４に示す第一および第二実施の形態に係る間隔調整機構１ａ、１ｂと同じ機能を有するものには同じ符号を付している。
【００５８】
図示するように、本実施の形態に係る間隔調整装置１ｃが図１に示す第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａと異なる点は、第一間隔調整装置２ａに代えて第一間隔調整装置２ｃを設けた点にある。その他の構成は第一実施形態に係る間隔調整機構１ａと同様である。第一間隔調整装置２ｃは、第一実施形態に係る間隔調整機構１ａの第一間隔調整装置２ａと同様、搬送レール４と架台５との間に所定の間隔をおいて少なくとも一対配置される。ここでは、一対の第一間隔調整装置２ｃを搬送レール４と架台５との間の両端部１０に配置し、第二間隔調整装置３ａを搬送レール４と架台５との間の中央部１１に配置している。
【００５９】
第一間隔調整装置２ｃは、差動ネジ２７と、差動ネジ２７を架台５の表面５０に取り付けるためのブラケット２８と、を備えている。
【００６０】
差動ネジ２７は、搬送レール４の裏面４１に設けられたネジ穴４２と螺合する第一のネジ部２７１と、ブラケット２８に設けられたネジ穴２８２と螺合し、第一のネジ部２７１とはピッチの異なる第二のネジ部２７２と、端面（第一のネジ部２７１を挟んで第二のネジ部２７２の反対側に位置する端面）２７３に設けられたレンチ挿入用穴２７４と、を有する。
【００６１】
ブラケット２８は、表面２８０に設けられた貫通ネジ穴２８２と、組立ボルト２４でブラケット２８を架台５の表面５０に取り付けるための座繰り貫通穴２８３と、を有する。ここで、ブラケット２８の表面２８０に設けられたネジ穴２８２は、ブラケット２８の裏面２８１を貫いている。このネジ穴２８２は、例えば、ヘリサート２８４を用いることにより形成してもよい。
【００６２】
上記構成の間隔調整機構１ｃは、例えば、つぎのようにして搬送レール４と架台５との間に組み付けられる。まず、搬送レール４の裏面４１から表面４０を貫くネジ穴４２に、第一間隔調整装置２ｃの差動ネジ２７の一方の端面２７３を搬送レール４の裏面４１側から挿入して、この差動ネジ２７の第一のネジ部２７１をネジ穴４２に螺合させる。同様に、搬送レール４の裏面４１から表面４０を貫くネジ穴４３に、第二間隔調整装置３ａの差動ネジ３０の一方の端面３０３を搬送レール４の裏面４１側から挿入して、この差動ネジ３０の第一のネジ部３０１をネジ穴４３に螺合させる。
【００６３】
つぎに、第二間隔調整装置３ａの差動ネジ３０の第二のネジ部３０２を、第二間隔調整装置３ａのシャフト３１の一方の端面３１０に設けられたネジ穴３１２に挿入して螺合させることにより、差動ネジ３０にシャフト３１を差動ネジ３０の軸心方向に連結する。
【００６４】
つぎに、第一間隔調整装置２ｃの差動ネジ２７の第二のネジ部２７２を、第一間隔調整装置２ｃのブラケット２８の表面２８０に設けられたネジ穴２８２に挿入して螺合させることにより、ブラケット２８を差動ネジ２７に取り付ける。
【００６５】
つぎに、第二間隔調整装置３ａの円筒ネジ３５を、第二間隔調整装置３ａのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられたネジ穴３２２に螺合させる。このとき、円筒ネジ３５がブラケット３２から抜け落ちない程度の緩めに螺合させる。それから、第二間隔調整装置３ａのシャフト３１の他方の端面３１１を、ブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２のネジ穴３２２に螺合させた円筒ネジ３５に挿入する。これにより、ブラケット３２のネジ穴３２２に挿入された円筒ネジ３５に、シャフト３１がスライド自在に装着される。このとき、円筒ネジ３５をＲ方向に回転させて、ブラケット３２にシャフト３１を仮止めしてもよい（図３参照）。この場合、第二間隔調整装置３ａの搬送レール４の裏面４１からブラケット３２の裏面３２１までの距離が第一間隔調整装置２ｃの搬送レール４の裏面４１からブラケット２８の裏面２８１までの距離より短くなる位置において、ブラケット３２にシャフト３１を仮止めする。
【００６６】
つぎに、組立ボルト２４を、第一間隔調整装置２ｃのブラケット２８の表面２８０側からブラケット２８に設けられた座繰り貫通穴２８３に挿入し、架台５の表面５０に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット２８を架台５の表面５０に取り付ける。同様に、組立ボルト３４を、第二間隔調整装置３ａのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられた座繰り貫通穴３２３に挿入し、架台５の表面５０に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット３２を架台５の表面５０に取り付ける。このとき、ブラケット３２にシャフト３１が仮止めされているならば、円筒ネジ３５をＲ方向の反対方向に回転させて、円筒ネジ３５によるシャフト３２の締め付けを緩めておく。
【００６７】
つぎに、搬送レール４の表面４０側からネジ穴４２に図示していないレンチを挿入して、第一間隔調整装置２ｃの差動ネジ２７の一方の端面２７３に設けられたレンチ挿入用穴２７４にこのレンチの先端部を挿入する。そして、レンチを回転させて、差動ネジ２７を回転させることにより、差動ネジ２７の回転数と差動ネジ２７の第一のネジ部２７１および第二のネジ部２７２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、第一間隔調整装置２ｃの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減して、この間隔ｈを所定の長さに調整する。このとき、第二間隔調整装置３ａのシャフト３１が円筒ネジ３５に固定されていないため、第一間隔調整装置２ａの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈの増減によって第二間隔調整装置２ａに加わる負荷は、シャフト３１が円筒ネジ３５内をスライドすることにより吸収される。
【００６８】
つぎに、図示していないスパナに第二間隔調整装置３ａの円筒ネジ３５の鍔部３５５を把持させ、このスパナを用いて円筒ネジ３５を、円筒ネジ３５の鍔部３５５が第二間隔調整装置３ａのブラケット３２の表面３２０と当接するまでＲ方向に回転させて、円筒ネジ３５をブラケット３２の表面３２０のネジ穴３２２に螺合させ、さらにねじ込むことにより、第二間隔調整装置３ａのシャフト３１を円筒ネジ３５に固定する。これにより、第二間隔調整装置３ａの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを固定する。
【００６９】
つぎに、差動ネジ３０の一方の端面３０３に設けられたレンチ挿入用穴３０４に挿入されたレンチを用いて、差動ネジ３０を回転させることにより、差動ネジ３０の回転数と差動ネジ３０の第一のネジ部３０１および第二のネジ部３０２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、第二間隔調整装置３ａの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減して、この間隔ｈを所定の長さに調整する。
【００７０】
最後に、差動ネジ２７および差動ネジ３０を微調整して、搬送フレーム４と架台５との間隔ｈが一定となるように調整する。
【００７１】
以上、本発明の第三実施の形態を説明した。
【００７２】
本実施の形態によれば、第一間隔調調整装置２ｃにおいて、差動ネジ２７の第二のネジ部２７２をブラケット２８のネジ穴２８２に螺合させることにより、差動ネジ２７およびブラケット２８間に介在するシャフト（図１に示す第一間隔調整装置２ａのシャフト２１参照）を第一間隔調整装置２ｃから省略している。これにより、部品点数を削減できる。したがって、コストを低減することができるとともに、作業性を向上させることができる。その他の効果は、第一実施の形態と同様である。
【００７３】
＜第四実施の形態＞
図６は、本発明の第四実施の形態に係る間隔調整機構１ｄを含む搬送装置の断面図である。ここで、図１、図４および図５に示す第一ないし第三実施の形態に係る間隔調整機構１ａ〜１ｃと同じ機能を有するものには同じ符号を付している。
【００７４】
図示するように、本実施の形態に係る間隔調整装置１ｄが図１に示す第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａと異なる点は、第一間隔調整装置２ａに代えて第一間隔調整装置２ｄを設けた点、および第二間隔調整装置３ａに代えて第二間隔調整装置３ｄを用いた点にある。第一間隔調整装置２ｄは、第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａの第一間隔調整装置２ａと同様、搬送レール４ａと架台５との間に所定の間隔をおいて少なくとも一対配置される。また、第二間隔調整装置３ｄは、第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａの第二間隔調整装置３ａと同様、一対の第一間隔調整装置２ｄ間に配置される。ここでは、一対の第一間隔調整装置２ｄを搬送レール４と架台５との間の両端部１０に配置し、第二間隔調整装置３ｄを搬送レール４と架台５との間の中央部１１に配置している。
【００７５】
第一間隔調整装置２ｄは、差動ネジ２９と、差動ネジ２９を架台５の表面５０に取り付けるためのブラケット２８と、を備えている。ここで、ブラケット２８は、第三実施の形態に係る間隔調整機構１ｃの第一間隔調整装置２ｃに用いられるブラケット２８と同じものである。
【００７６】
差動ネジ２９は、搬送レール４の裏面４１側に設けられたネジ穴４６と螺合する第一のネジ部２９１と、ブラケット２８に設けられたネジ穴２８２と螺合し、第一のネジ部２９１とはピッチの異なる第二のネジ部２９２と、第一のネジ部２９１および第二のネジ部２９２間に設けられたスパナ掛け部２９３と、を有する。
【００７７】
スパナ掛け部２９３は、少なくともスパナが把持することができる形状であればよい。例えば、スパナ掛け部２９３を図示するように六角柱状としてもよいし、あるいは差動ネジ２９の軸心を挟んで対向する一対の平行な平坦面が形成された円柱状としてもよい。
【００７８】
第二間隔調整装置３ｄは、差動ネジ３６と、差動ネジ３６と軸心方向に連結されたシャフト３１と、架台５の表面５０に取り付けられるブラケット３２と、シャフト３１をブラケット３２に連結する円筒ネジ３５と、を備えている。ここで、シャフト３１、ブラケット３２、および円筒ネジ３５は、第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａの第二間隔調整装置３ａに用いられるシャフト３１、ブラケット３２、および円筒ネジ３５と同じものである。
【００７９】
差動ネジ３６は、搬送レール４の裏面４１側に設けられたネジ穴４７と螺合する第一のネジ部３６１と、シャフト３１の一方の端面３１０に設けられたネジ穴３１２と螺合する第二のネジ部３６２と、第一のネジ部３６１および第二のネジ部３６２間に設けられたスパナ掛け部３６３と、を有する。ここで、差動ネジ３６は、第一間隔調整装置２ｄの差動ネジ２９と同様、第一のネジ部３６１と第二のネジ部３６２とのピッチを異ならせている。
【００８０】
スパナ掛け部３６３は、少なくともスパナが把持することができる形状であればよい。例えば、スパナ掛け部３６３を図示するように六角柱状としてもよいし、あるいは差動ネジ３６の軸心を挟んで対向する一対の平行な平坦面が形成された円柱状としてもよい。
【００８１】
上記構成の間隔調整機構１ｄは、例えば、つぎのようにして搬送レール４と架台５との間に組み付けられる。まず、搬送レール４の裏面４１側に設けられたネジ穴４６に、第一間隔調整装置２ｄの差動ネジ２９の一方の端面２９０を挿入して、この差動ネジ２９の第一のネジ部２９１をネジ穴４６に螺合させる。同様に、搬送レール４の裏面４１に設けられたネジ穴４７に、第二間隔調整装置３ｄの差動ネジ３６の一方の端面３６０を挿入して、この差動ネジ３６の第一のネジ部３６１をネジ穴４７に螺合させる。
【００８２】
つぎに、第二間隔調整装置３ｄの差動ネジ３６の第二のネジ部３６２を、第二間隔調整装置３ａのシャフト３１の一方の端面３１０に設けられたネジ穴３１２に挿入して螺合させることにより、差動ネジ３６にシャフト３１を差動ネジ３６の軸心方向に連結する。
【００８３】
つぎに、第一間隔調整装置２ｄの差動ネジ２９の第二のネジ部２９２を、第一間隔調整装置２ｄのブラケット２８の表面２８０に設けられたネジ穴２８２に挿入して螺合させることにより、ブラケット２８に差動ネジ２９を取り付ける。
【００８４】
つぎに、第二間隔調整装置３ｄの円筒ネジ３５を、第二間隔調整装置３ｄのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられたネジ穴３２２に螺合させる。このとき、円筒ネジ３５がブラケット３２から抜け落ちない程度の緩めに螺合させる。それから、第二間隔調整装置３ｄのシャフト３１の他方の端面３１１を、ブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２のネジ穴３２２に螺合させた円筒ネジ３５に挿入する。これにより、ブラケット３２のネジ穴３２に挿入された円筒ネジ３５に、シャフト３１がスライド自在に装着される。このとき、円筒ネジ３５をＲ方向に回転させて、ブラケット３２にシャフト３１を仮止めしてもよい（図３参照）。この場合、第二間隔調整装置３ｄの搬送レール４の裏面４１からブラケット３２の裏面３２１までの距離が第一間隔調整装置２ｄの搬送レール４の裏面４１からブラケット２８の裏面２８１までの距離より短くなる位置において、ブラケット３２にシャフト３１を仮止めする。
【００８５】
つぎに、組立ボルト２４を、第一間隔調整装置２ｄのブラケット２８の表面２８０側からブラケット２８に設けられた座繰り貫通穴２８３に挿入し、架台５の表面５０に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット２８を架台５の表面５０に取り付ける。同様に、組立ボルト３４を、第二間隔調整装置３ｄのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられた座繰り貫通穴３２３に挿入し、架台５の表面５０に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット３２を架台５の表面５０に取り付ける。このとき、ブラケット３２にシャフト３１が仮止めされているならば、円筒ネジ３５をＲ方向の反対方向に回転させて、円筒ネジ３５によるシャフト３１の締め付けを緩めておく。
【００８６】
つぎに、第一間隔調整装置２ｄの差動ネジ２９のスパナ掛け部２９３を図示していないスパナで把持して、差動ネジ２９を回転させることにより、差動ネジ２９の回転数と差動ネジ２９の第一のネジ部２９１および第二のネジ部２９２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、第一間隔調整装置２ｄの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減して、この間隔ｈを所定の長さに調整する。このとき、第二間隔調整装置３ｄのシャフト３１が円筒ネジ３５に固定されていないため、第一間隔調整装置２ｄの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈの増減によって第二間隔調整装置３ｄに加わる負荷は、シャフト３１が円筒ネジ３５内をスライドすることにより吸収される。
【００８７】
つぎに、第二間隔調整装置３ｄの円筒ネジ３５の鍔部３５５を図示していないスパナで把持して、円筒ネジ３５を、円筒ネジ３５の鍔部３５５が第二間隔調整装置３ｄのブラケット３２の表面３２０と当接するまでＲ方向に回転させて、円筒ネジ３５をブラケット３２の表面３２０のネジ穴３２２に螺合させ、さらにねじ込むことにより、第二間隔調整装置３ｄのシャフト３１を円筒ネジ３５に固定する。
【００８８】
つぎに、第二間隔調整装置３ｄの差動ネジ３６のスパナ掛け部３６３をスパナで再度把持して、差動ネジ３６を回転させることにより、差動ネジ２９の回転数と差動ネジ２９の第一のネジ部２９１および第二のネジ部２９２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、第一間隔調整装置２ｄの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減して、この間隔ｈを所定の長さに調整する。
【００８９】
最後に、差動ネジ２９および差動ネジ３６を微調整して、搬送フレーム４と架台５との間隔ｈが一定となるように調整する。
【００９０】
以上、本発明の第四実施の形態を説明した。
【００９１】
本実施の形態によれば、第一間隔調調整装置２ｄにおいて、差動ネジ２９のスパナ掛け部２９３をスパナで把持させて、差動ネジ２９を回転させることにより、第一間隔調整装置２ｄの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを調整することができるので、差動ネジ２９の一方の端面２９０にレンチ挿入用穴を設ける必要がなく、したがって、搬送レール４の表面４０に、このレンチ挿入用穴にレンチを挿入するための穴を設ける必要がない。これにより、搬送レール４の表面（搬送面）４０をより平坦することができ、搬送の精度を向上させることができる。その他の効果は、第一および第三実施の形態と同様である。
【００９２】
＜第五実施の形態＞
図７は、本発明の第五実施の形態に係る間隔調整機構１ｅを含む搬送装置の断面図である。ここで、図１および図４ないし図６に示す第一ないし第四実施の形態に係る間隔調整機構１ａ〜１ｄと同じ機能を有するものには同じ符号を付している。
【００９３】
図示するように、本実施の形態に係る間隔調整装置１ｅが図１に示す第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａと異なる点は、第一間隔調整装置２ａに代えて第一間隔調整装置２ｅを設けた点、および第二間隔調整装置３ａに代えて第三間隔調整装置３ｅを用いた点にある。第一間隔調整装置２ｅは、第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａの第一間隔調整装置２ａと同様、搬送レール４と架台５との間に所定の間隔をおいて少なくとも一対配置される。また、第二間隔調整装置３ｅは、第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａの第二間隔調整装置３ａと同様、一対の第一間隔調整装置２ｅ間に配置される。ここでは、一対の第一間隔調整装置２ｅを搬送レール４と架台５との間の両端部１０に配置し、第二間隔調整装置３ｅを搬送レール４と架台５との間の中央部１１に配置している。
【００９４】
第一間隔調整装置２ｅは、差動ネジ２９と、差動ネジ２９を搬送レール４の裏面４１に取り付けるためのブラケット６０と、差動ネジ２９を架台５の表面５０に取り付けるためのブラケット２８と、を備えている。ここで、差動ネジ２９は、第四実施の形態に係る間隔調整機構１ｄの第一間隔調整装置２ｄに用いられる差動ネジ２９と同じものであり、ブラケット２８は、第三実施の形態に係る間隔調整機構１ｃの第一間隔調整装置２ｃに用いられるブラケット２８と同じものである。
【００９５】
ブラケット６０は、表面６００に設けられたネジ穴６０２と、組立ボルト６１でブラケット６０を搬送レール４の裏面４１に取り付けるための座繰り貫通穴６０３と、を有する。ここで、ブラケット６０の表面６００に設けられたネジ穴６０２は、例えば、ヘリサート６０４を用いることにより形成してもよい。
【００９６】
第二間隔調整装置３ｅは、差動ネジ３６と、差動ネジ３６を搬送レール４の裏面４１に取り付けるためのブラケット３７と、差動ネジ３６と軸心方向に連結されたシャフト３１と、架台５の表面５０に取り付けられるブラケット３２と、シャフト３１をブラケット３２に連結する円筒ネジ３５と、を備えている。ここで、差動ネジ３６は、第四実施の形態に係る間隔調整機構１ｄの第二間隔調整装置３ｄに用いられる差動ネジ３６と同じものであり、シャフト３１、ブラケット３２、および円筒ネジ３５は、第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａの第二間隔調整装置３ａに用いられるシャフト３１、ブラケット３２、および円筒ネジ３５と同じものである。
【００９７】
ブラケット３７は、表面３７０に設けられたネジ穴３７２と、組立ボルト３８でブラケット３７を搬送レール４の裏面４１に取り付けるための座繰り貫通穴３７３と、を有する。ここで、ブラケット３７の表面３７０に設けられたネジ穴３７２は、例えば、ヘリサート３７４を用いることにより形成してもよい。
【００９８】
上記構成の間隔調整機構１ｅは、例えば、つぎのようにして搬送レール４と架台５との間に組み付けられる。まず、第一間隔調整装置２ｅのブラケット６０の表面６００に設けられたネジ穴６０２に、第一間隔調整装置２ｅの差動ネジ２９の第一のネジ部２９１の一方の端面２９０を挿入して、この差動ネジ２９の第一のネジ部２９１をネジ穴６０２に螺合させる。これにより、差動ネジ２９にブラケット６０を取り付ける。このとき、差動ネジ２９のネジ穴６０２に対する螺合の緩みを防止するため、第一のネジ部２９１に図示していないナットを予め装着し、このナットが装着された第一のネジ部２９１をネジ穴６０２に螺合させた後、ナットがブラケット６０の表面６００に当接するまでナットを締め込むようにしてもよい。それから、ブラケット６０の裏面６０１を搬送レール４の裏面４１に接触させ、組立ボルト６１を、ブラケット６０の表面６００側からブラケット６０に設けられた座繰り貫通穴６０３に挿入し、搬送レール４の裏面４１に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット６０を搬送レール４の裏面４１に取り付ける。
【００９９】
同様に、第二間隔調整装置３ｅのブラケット３７の表面３７０に設けられたネジ穴３７２に、第二間隔調整装置３ｅの差動ネジ３６の第一のネジ部３６１の一方の端面３６０を挿入して、この差動ネジ３６の第一のネジ部３６１をネジ穴３７２に螺合させる。これにより、差動ネジ３６にブラケット３７を取り付ける。このとき、差動ネジ３６のネジ穴３７２に対する螺合の緩みを防止するため、第一のネジ部３６１に図示していないナットを予め装着し、このナットが装着された第一のネジ部３６１をネジ穴３６２に螺合させた後、ナットがブラケット２７の表面３７０に当接するまでナットを締め込むようにしてもよい。それから、ブラケット３７の裏面３７１を搬送レール４の裏面４１に接触させ、組立ボルト３８を、ブラケット３７の表面３７０側からブラケット３７に設けられた座繰り貫通穴３７３に挿入し、搬送レール４の裏面４１に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット３７を搬送レール４の裏面４１に取り付ける。
【０１００】
つぎに、第二間隔調整装置３ｅの差動ネジ３６の第二のネジ部３６２を、第二間隔調整装置３ｅのシャフト３１の一方の端面３１０に設けられたネジ穴３１２に挿入して螺合させることにより、差動ネジ３６にシャフト３１を差動ネジ３６の軸心方向に連結する。
【０１０１】
つぎに、第一間隔調整装置２ｅの差動ネジ２９の第二のネジ部２９２を、第一間隔調整装置２ｅのブラケット２８の表面２８０に設けられたネジ穴２８２に挿入して螺合させることにより、ブラケット２８を差動ネジ２９に取り付ける。
【０１０２】
つぎに、第二間隔調整装置３ｅの円筒ネジ３５を、第二間隔調整装置３ｅのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられたネジ穴３２２に螺合させる。このとき、円筒ネジ３５がブラケット３２から抜け落ちない程度の緩めに螺合させる。それから、第二間隔調整装置３ｅのシャフト３１の他方の端面３１１を、ブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２のネジ穴３２２に螺合させた円筒ネジ３５に挿入する。これにより、ブラケット３２のネジ穴３２に挿入された円筒ネジ３５に、シャフト３１がスライド自在に装着される。このとき、円筒ネジ３５をＲ方向に回転させて、ブラケット３２にシャフト３１を仮止めしてもよい（図３参照）。この場合、第二間隔調整装置３ｅの搬送レール４の裏面４１からブラケット３２の裏面３２１までの距離が第一間隔調整装置２ｅの搬送レール４の裏面４１からブラケット２８の裏面２８１までの距離より短くなる位置において、ブラケット３２にシャフト３１を仮止めする。
【０１０３】
つぎに、組立ボルト２４を、第一間隔調整装置２ｅのブラケット２８の表面２８０側からブラケット２８に設けられた座繰り貫通穴２８３に挿入し、架台５の表面５０に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット２８を架台５の表面５０に取り付ける。同様に、組立ボルト３４を、第二間隔調整装置３ｅのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられた座繰り貫通穴３２３に挿入し、架台５の表面５０に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット３２を架台５の表面５０に取り付ける。このとき、ブラケット３２がシャフト３１に仮止めされているならば、円筒ネジ３５をＲ方向の反対方向に回転させて、円筒ネジ３５によるシャフト３１の締め付けを緩めておく。
【０１０４】
つぎに、第一間隔調整装置２ｅの差動ネジ２９のスパナ掛け部２９３を図示していないスパナで把持して、差動ネジ２９を回転させることにより、差動ネジ２９の回転数と差動ネジ２９の第一のネジ部２９１および第二のネジ部２９２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、第一間隔調整装置２ｅの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減して、この間隔ｈを所定の長さに調整する。このとき、第二間隔調整装置３ｅのシャフト３１が円筒ネジ３５に固定されていないため、第一間隔調整装置２ｅの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈの増減によって第二間隔調整装置３ｅに加わる負荷は、シャフト３１が円筒ネジ３５内をスライドすることにより吸収される。
【０１０５】
つぎに、第二間隔調整装置３ｅの円筒ネジ３５の鍔部３５５を図示していないスパナで把持して、円筒ネジ３５を、円筒ネジ３５の鍔部３５５が第二間隔調整装置３ｅのブラケット３２の表面３２０と当接するまでＲ方向に回転させて、円筒ネジ３５をブラケット３２の表面３２０のネジ穴３２２に螺合させ、さらにねじ込むことにより、第二間隔調整装置３ｅのシャフト３１を円筒ネジ３５に固定する。
【０１０６】
つぎに、第二間隔調整装置３ｅの差動ネジ３６のスパナ掛け部３６３をスパナで把持して、差動ネジ３６を回転させることにより、差動ネジ３６の回転数と差動ネジ３６の第一のネジ部３６１および第二のネジ部３６２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、第二間隔調整装置３ｅの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減して、この間隔ｈを所定の長さに調整する。
【０１０７】
最後に、差動ネジ２９および差動ネジ３６を微調整して、搬送フレーム４と架台５との間隔ｈが一定となるように調整する。
【０１０８】
以上、本発明の第五実施の形態を説明した。
【０１０９】
本実施の形態によれば、ブラケット６０およびブラケット３７を介して搬送レール４の裏面４１に、第一間隔調整装置２ｅおよび第二間隔調整装置３ｅを取り付けるようにしているので、ブラケット６０、３７におけるネジ穴６０２、３７２の位置を調整することにより、搬送レール４に追加の加工を施すことなく、第一間隔調整装置２ｅおよび第二間隔調整装置３ｅの設置位置を調節することができる。その他の効果は、第一、第三および第四実施の形態と同様である。
【０１１０】
＜第六実施の形態＞
図８は、本発明の第六実施の形態に係る間隔調整機構１ｆを含む搬送装置の断面図である。ここで、図１および図４ないし図７に示す第一ないし第五実施の形態に係る間隔調整機構１ａ〜１ｅと同じ機能を有するものには同じ符号を付している。
【０１１１】
図示するように、本実施の形態に係る間隔調整装置１ｆが図１に示す第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａと異なる点は、第一間隔調整装置２ａに代えて第一間隔調整装置２ｆを設けた点、および第二間隔調整装置３ａに代えて第三間隔調整装置３ｆを用いた点にある。第一間隔調整装置２ｆは、第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａの第一間隔調整装置２ａと同様、搬送レール４と架台５との間に所定の間隔をおいて少なくとも一対配置される。また、第二間隔調整装置３ｆは、第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａの第二間隔調整装置３ａと同様、一対の第一間隔調整装置２ｆ間に配置される。ここでは、一対の第一間隔調整装置２ｆを搬送レール４と架台５との間の両端部１０に配置し、第二間隔調整装置３ｆを搬送レール４と架台５との間の中央部１１に配置している。
【０１１２】
第一間隔調整装置２ｆは、差動ネジ２９と、差動ネジ２９を搬送レール４の裏面４１に取り付けるためのブラケット６０と、差動ネジ２９を架台５の表面５０に取り付けるためのブラケット２８と、コイルスプリング６２と、スプリングパッド兼ガイド６３と、を備えている。ここで、差動ネジ２９は、第四実施の形態に係る間隔調整機構１ｄの第一間隔調整装置２ｄに用いられる差動ネジ２９と同じものであり、ブラケット２８は、第三実施の形態に係る間隔調整機構１ｃの第一間隔調整装置２ｃに用いられるブラケット２８と同じものであり、そして、ブラケット６０は、第五実施の形態に係る間隔調整機構１ｅの第一間隔調整装置２ｅに用いられるブラケット６０と同じものである。
【０１１３】
スプリングパッド兼ガイド６３は、一方の端部６３０にフランジ６３１が形成された円筒状部材であり、フランジ６３１が差動ネジ２９のスパナ掛け部２９３と当接するように、差動ネジ２９の第一のネジ部２９１に装着される。
【０１１４】
コイルスプリング６２は、一方の端部６２０がスプリングパッド兼ガイド６３と当接し、他方の端部６２１がブラケット６０の表面６００と当接するように、差動ネジ２９の第一のネジ部２９１に装着され、差動ネジ２９をブラケット６０のネジ穴６０２から引き抜く方向に付勢する。
【０１１５】
第二間隔調整装置３ｆは、差動ネジ３６と、差動ネジ３６を搬送レール４の裏面４１に取り付けるためのブラケット３７と、差動ネジ３６と軸心方向に連結されたシャフト３１と、架台５の表面５０に取り付けられるブラケット３２と、シャフト３１をブラケット３２に連結する円筒ネジ３５と、コイルスプリング６４と、スプリングパッド兼ガイド６５と、を備えている。ここで、差動ネジ３６は、第四実施の形態に係る間隔調整機構１ｄの第二間隔調整装置３ｄに用いられる差動ネジ３６と同じものであり、シャフト３１、ブラケット３２、および円筒ネジ３５は、第一実施の形態に係る間隔調整機構１ａの第二間隔調整装置３ａに用いられるシャフト３１、ブラケット３２、および円筒ネジ３５と同じものであり、そして、ブラケット３７は、第五実施の形態に係る間隔調整機構１ｅの第二間隔調整装置３ｅに用いられるブラケット６０と同じものである。
【０１１６】
スプリングパッド兼ガイド６５は、一方の端部６５０にフランジ６５１が形成された円筒状部材であり、フランジ６５１が差動ネジ３６のスパナ掛け部３６３と当接するように、差動ネジ３６の第一のネジ部３６１に装着される。
【０１１７】
コイルスプリング６４は、一方の端部６４０がスプリングパッド兼ガイド６５と当接し、他方の端部６４１がブラケット３７の表面３７０と当接するように、差動ネジ３６の第一のネジ部３６１に装着され、差動ネジ３６をブラケット３７のネジ穴３７２から引き抜く方向に付勢する。
【０１１８】
上記構成の間隔調整機構１ｆは、例えば、つぎのようにして搬送レール４と架台５との間に組み付けられる。まず、第一間隔調整装置２ｆのスプリングパッド兼ガイド６３を、スプリングパッド兼ガイド６３のフランジ６３１が第一間隔調整装置２ｆの差動ネジ２９のスパナ掛け部２９３と当接するように、差動ネジ２９の第一のネジ部２９１に装着し、それから、第一間隔調整装置２ｆのコイルスプリング６２を差動ネジ２９の第一のネジ部２９１に装着する。つぎに、第一間隔調整装置２ｆのブラケット６０の表面６００に設けられたネジ穴６０２に、第一間隔調整装置２ｆの差動ネジ２９の第一のネジ部２９１の一方の端面２９０を挿入して、この差動ネジ２９の第一のネジ部２９１をネジ穴６０２に螺合させる。これにより、差動ネジ２９にブラケット６０を取り付ける。また、コイルスプリング２９が圧縮されて、差動ネジ２９をブラケット６０のネジ穴６０２から引き抜く方向に付勢し、差動ネジ２９のネジ穴６０２に対する螺合の緩みが防止される。それから、ブラケット６０の裏面６０１を搬送レール４の裏面４１に接触させ、組立ボルト６１を、ブラケット６０の表面６００側からブラケット６０に設けられた座繰り貫通穴６０３に挿入し、搬送レール４の裏面４１に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット６０を搬送レール４の裏面４１に取り付ける。
【０１１９】
同様に、第二間隔調整装置３ｆのスプリングパッド兼ガイド６５を、スプリングパッド兼ガイド６５のフランジ６５１が第二間隔調整装置３ｆの差動ネジ３６のスパナ掛け部３６３と当接するように、差動ネジ３６の第一のネジ部３６１に装着し、それから、第二間隔調整装置３ｆのコイルスプリング６４を差動ネジ３６の第一のネジ部３６１に装着する。つぎに、第二間隔調整装置３ｆのブラケット３７の表面３７０に設けられたネジ穴３７２に、第二間隔調整装置３ｆの差動ネジ３６の第一のネジ部３６１の一方の端面３６０を挿入して、この差動ネジ３６の第一のネジ部３６１をネジ穴３７２に螺合させる。これにより、差動ネジ３６にブラケット３７を取り付ける。また、コイルスプリング６４が圧縮されて、差動ネジ３６をブラケット３７のネジ穴３７２から引き抜く方向に付勢し、差動ネジ３６のネジ穴３７２に対する螺合の緩みが防止される。それから、ブラケット３７の裏面３７１を搬送レール４の裏面４１に接触させ、組立ボルト３８を、ブラケット３７の表面３７０側からブラケット３７に設けられた座繰り貫通穴３７３に挿入し、搬送レール４の裏面４１に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット３７を搬送レール４の裏面４１に取り付ける。
【０１２０】
つぎに、第二間隔調整装置３ｆの差動ネジ３６の第二のネジ部３６２を、第二間隔調整装置３ｆのシャフト３１の一方の端面３１０に設けられたネジ穴３１２に挿入して螺合させることにより、差動ネジ３６にシャフト３１を差動ネジ３６の軸心方向に連結する。
【０１２１】
つぎに、第一間隔調整装置２ｆの差動ネジ２９の第二のネジ部２９２を、第一間隔調整装置２ｆのブラケット２８の表面２８０に設けられたネジ穴２８２に挿入して螺合させることにより、ブラケット２８を差動ネジ２９に取り付ける。
【０１２２】
つぎに、第二間隔調整装置３ｆの円筒ネジ３５を、第二間隔調整装置３ｆのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられたネジ穴３２２に螺合させる。このとき、円筒ネジ３５がブラケット３２から抜け落ちない程度の緩めに螺合させる。それから、第二間隔調整装置３ｆのシャフト３１の他方の端面３１１を、ブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２のネジ穴３２２に螺合させた円筒ネジ３５に挿入する。これにより、ブラケット３２のネジ穴３２に挿入された円筒ネジ３５に、シャフト３１がスライド自在に装着される。このとき、円筒ネジ３５をＲ方向に回転させて、ブラケット３２にシャフト３１を仮止めしてもよい（図３参照）。この場合、第二間隔調整装置３ｆの搬送レール４の裏面４１からブラケット３２の裏面３２１までの距離が第一間隔調整装置２ｆの搬送レール４の裏面４１からブラケット２８の裏面２８１までの距離より短くなる位置において、ブラケット３２をシャフト３１に仮止めする。
【０１２３】
つぎに、組立ボルト２４を、第一間隔調整装置２ｆのブラケット２８の表面２８０側からブラケット２８に設けられた座繰り貫通穴２８３に挿入し、架台５の表面５０に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット２８を架台５の表面５０に取り付ける。同様に、組立ボルト３４を、第二間隔調整装置３ｆのブラケット３２の表面３２０側からブラケット３２に設けられた座繰り貫通穴３２３に挿入し、架台５の表面５０に設けられた図示していないネジ穴に螺合させる。これにより、ブラケット３２を架台５の表面５０に取り付ける。このとき、ブラケット３２がシャフト３１に仮止めされているならば、円筒ネジ３５をＲ方向の反対方向に回転させて、円筒ネジ３５によるシャフト３１の締め付けを緩めておく。
【０１２４】
つぎに、第一間隔調整装置２ｆの差動ネジ２９のスパナ掛け部２９３を図示していないスパナで把持して、差動ネジ２９を回転させることにより、差動ネジ２９の回転数と差動ネジ２９の第一のネジ部２９１および第二のネジ部２９２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、第一間隔調整装置２ｆの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減して、この間隔ｈを所定の長さに調整する。このとき、第二間隔調整装置３ｆのシャフト３１が円筒ネジ３５に固定されていないため、第一間隔調整装置２ｆの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈの増減によって第二間隔調整装置３ｆに加わる負荷は、シャフト３１が円筒ネジ３５内をスライドすることにより吸収される。
【０１２５】
つぎに、第二間隔調整装置３ｆの円筒ネジ３５の鍔部３５５を図示していないスパナで把持して、円筒ネジ３５を、円筒ネジ３５の鍔部３５５が第二間隔調整装置３ｆのブラケット３２の表面３２０と当接するまでＲ方向に回転させて、円筒ネジ３５をブラケット３２の表面３２０のネジ穴３２２に螺合させ、さらにねじ込むことにより、第二間隔調整装置３ｆのシャフト３１を円筒ネジ３５に固定する。
【０１２６】
つぎに、第二間隔調整装置３ｆの差動ネジ３６のスパナ掛け部３６３をスパナで把持して、差動ネジ３６を回転させることにより、差動ネジ３６の回転数と差動ネジ３６の第一のネジ部３６１および第二のネジ部３６２間のピッチ差分との積により定まる調整量分、第二間隔調整装置３ｆの配置位置における搬送フレーム４と架台５との間隔ｈを増減して、この間隔ｈを所定の長さに調整する。
【０１２７】
最後に、差動ネジ２９および差動ネジ３６を微調整して、搬送フレーム４と架台５との間隔ｈが一定となるように調整する。
【０１２８】
以上、本発明の第六実施の形態を説明した。
【０１２９】
本実施の形態によれば、コイルスプリング６２によって差動ネジ２９がブラケット６０のネジ穴６０２から引き抜く方向に付勢されることにより、差動ネジ２９のネジ穴６０２に対する螺合の緩みが防止される。また、コイルスプリング６４によって差動ネジ３６がブラケット３７のネジ穴３７２から引き抜く方向に付勢されることにより、差動ネジ３６のネジ穴３７２に対する螺合の緩みが防止される。その他の効果は、第一および第三ないし第五実施の形態と同様である。
【０１３０】
なお、本実施の形態では、差動ネジ２９をブラケット６０のネジ穴６０２から引き抜く方向に付勢するためにコイルスプリング６２を用いているが、コイルスプリングに代えて積み重ねられた複数枚の皿バネ等のその他の付勢手段を用いてもよい。同様に、差動ネジ３６をブラケット３７のネジ穴３７２から引き抜く方向に付勢するためにコイルスプリング６４を用いているが、コイルスプリングに代えて積み重ねられた複数枚の皿バネ等のその他の付勢手段を用いてもよい。
【０１３１】
なお、本発明は、上記の各実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
【０１３２】
例えば、上記の各実施の形態では、図３を用いて説明したように、円筒ネジ３５の鍔部３５５の裏面３８０とブラケット３２の表面３２０との当接後も、円筒ネジ３５を回転方向Ｒに回転させることにより、すり割りネジ部３５１のネジ山３５７とブラケット３２のネジ穴３２２のネジ溝３２４とを圧接させて、ネジ山３５７およびネジ溝３２４の傾斜によりその圧接力Ｐの一部Ｐｘが円筒ネジ３５の径方向内側に向かうようにすることで、円筒ネジ本体３５０の他方の端部３５４側を円筒ネジ３５の径方向内側に移動させ、これにより、円筒ネジ３５に挿入されたシャフト３１を締め付けるようにしている。しかし、本発明はこれに限定されない。ブラケット３２のネジ穴３２２に対する円筒ネジ３５のねじ込み量（軸心方向の移動量）を規制する手段を設けることにより、ブラケット３２のネジ穴３２２に円筒ネジ３５をねじ込み量の規制値以上にねじ込もうとしたときに、すり割りネジ部３５１のネジ山３５７とブラケット３２のネジ穴３２２のネジ溝３２４とが圧接して、ネジ山３５７およびネジ溝３２４の傾斜によりその圧接力Ｐの一部Ｐｘが円筒ネジ３５の径方向内側に向かうようにすることで、円筒ネジ本体３５０の他方の端部３５４側を円筒ネジ３５の径方向内側に移動させて、円筒ネジ３５に挿入されたシャフト３１を締め付けるものであればよい。
【０１３３】
図９は、円筒ネジ３５を用いたブラケット３２にシャフト３１を固定するための機構の変形例を説明するための図である。この変形例が図３に示すものと異なる点は、ブラケット３２のネジ穴３２２の裏面３２１側に、シャフト３１がスライド自在に挿入される円筒状のスペーサ３９が配置されている点である。
【０１３４】
図示するように、スペーサ３９および円筒ネジ３５をブラケット３２のネジ穴３２２にブラケット３２の表面３２０側からこの順番に挿入し、その後、シャフト３１を円筒ネジ２５およびスペーサ３９に円筒ネジ３５の鍔部３５５側から挿入して、図示していないスパナで円筒ネジ３５の鍔部３５５を把持して所定の回転方向Ｒに回転させると、円筒ネジ３５がブラケット３２のネジ穴３２２にねじ込まれて、円筒ネジ３５の円筒ネジ本体３５０の端面３５８がスペーサ３９の端面３９０と当接し、ブラケット３２のネジ穴３２２に対する円筒ネジ３５の最大ねじ込み量が規制される。その後も円筒ネジ３５を回転方向Ｒに回転させると、すり割りネジ部３５１のネジ山３５７とブラケット３２のネジ穴３２２のネジ溝３２４とが圧接され、ネジ山３５７およびネジ溝３２４の傾斜によりその圧接力Ｐの一部Ｐｘが円筒ネジ３５の径方向内側に向かう。これにより、円筒ネジ本体３５０の他方の端部３５４側が円筒ネジ３５の径方向内側に移動して、円筒ネジ３５に挿入されたシャフト３１を締め付ける。なお、図９では、スペーサ３９の形状を円筒状としているが、他の形状であってもよく、例えば、円弧状あるいは棒状のスペーサを、ブラケット３２のネジ穴３２２のネジ溝３２４とシャフト３１の外周面３１３との隙間に複数配置するようにしてもよい。
【０１３５】
図１０は、円筒ネジ３５を用いたブラケット３２にシャフト３１を固定するための機構の変形例を説明するための図である。この変形例が図３に示すものと異なる点は、ネジ穴３２２に代えてブラケット３２ａを設けた点である。また、ブラケット３２ａが図３に示すブラケット３２と異なる点は、ネジ穴３２２に代えて、大径部３２６および小径部３２７を有するネジ穴３２２ａを設けた点である。ネジ穴３２２ａの大径部３２６は、ブラケット３２ａの表面３２０側に設けられ、円筒ネジ３５のすり割りネジ部３５１のネジ山３５７と螺合するネジ溝３２４が形成されている。ネジ穴３２２ａの小径部３２７は、ブラケット３２ａの裏面３２１側に設けられ、円筒ネジ３５のすり割りネジ部３５１の外径より小さく、かつシャフト３１の外径より大きい内径を有している。
【０１３６】
図示するように、円筒ネジ３５をブラケット３２ａのネジ穴３２２ａにブラケット３２ａの表面３２０側から円筒ネジ２５に挿入し、その後、シャフト３１を円筒ネジ２５に円筒ネジ３５の鍔部３５５側から挿入して、図示していないスパナで円筒ネジ３５の鍔部３５５を把持して所定の回転方向Ｒに回転させると、円筒ネジ３５がブラケット３２ａのネジ穴３２２ａにねじ込まれて、円筒ネジ３５の円筒ネジ本体３５０の端面３５８がブラケット３２ａのネジ穴３２２ａの大径部３２６と小径部３２７との段差面３２８と当接し、ブラケット３２ａのネジ穴３２２ａに対する円筒ネジ３５の最大ねじ込み量が規制される。その後も円筒ネジ３５を回転方向Ｒに回転させると、すり割りネジ部３５１のネジ山３５７とブラケット３２ａのネジ穴３２２ａのネジ溝３２４とが圧接され、ネジ山３５７およびネジ溝３２４の傾斜によりその圧接力Ｐの一部Ｐｘが円筒ネジ３５の径方向内側に向かう。これにより、円筒ネジ本体３５０の他方の端部３５４側が円筒ネジ３５の径方向内側に移動して、円筒ネジ３５に挿入されたシャフト３１を締め付ける。
【０１３７】
また、本発明は、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルに用いられる大型ガラス基板等の搬送物を搬送する搬送装置において、搬送レールおよび搬送レールを支える架台との間隔を調整する間隔調整機構の他、二つの部材の離間距離を調整する離間距離調整機構に広く適用可能である。
【符号の説明】
【０１３８】
１ａ〜１ｆ：間隔調整機構、  ２ａ〜２ｆ：第一間隔調整装置、  ３ａ、３ｄ〜３ｆ：第二間隔調整機構、  ４：搬送レール、  ５：架台、  ２０、２７、２９、３０、３６：差動ネジ、  ２１、３１：シャフト、  ２２、２８、３２、３２ａ、３７、６０：ブラケット、  ２４、２５、３４、３８、６１：組立ボルト、  ２６：段付きシャフト、  ３５：円筒ネジ、  ３９：スペーサ、  ４０：搬送レール４の表面、  ４１：搬送レール４の裏面、  ４２、４３、４６、４７：搬送レール４のネジ穴、  ４４、４５、２８４、３７４、６０４：ヘリサート、  ５０：架台５の表面、  ５１：架台５の裏面、  ６２、６４：コイルスプリング、  ６３、６５：スプリングパッド兼ガイド、  ２０１：差動ネジ２０の第一のネジ部、  ２０２：差動ネジ２０の第二のネジ部、  ２０３：差動ネジ２０の端面、  ２０４：差動ネジ２０のレンチ挿入用穴、  ２１０、２１１：シャフト２１の端面、  ２１２、２１３：シャフト２１のネジ穴、  ２２０：ブラケット２２の表面、  ２２１：ブラケット２２の裏面、  ２２２、２２３：ブラケット２２の座繰り貫通穴、  ２６０、２６１：段付きシャフト２６の端面、  ２６２：段付きシャフト２６のネジ穴、  ２６３：段付きシャフト２６の小径部、  ２６４：段付きシャフト２６の大径部、  ２６５：段付きシャフト２６の段差面、  ２７１：差動ネジ２７の第一のネジ部、  ２７２：差動ネジ２７の第二のネジ部、  ２７３：差動ネジ２７の端面、  ２７４：差動ネジ２７のレンチ挿入用穴、  ２８０：ブラケット２８の表面、  ２８１：ブラケット２８の裏面、  ２８２：ブラケット２８のネジ穴、  ２８３：ブラケット２８の座繰り貫通穴、  ２９０：差動ネジ２９の端面、  ２９１：差動ネジ２９の第一のネジ部、  ２９２：差動ネジ２９の第二のネジ部、  ２９３：差動ネジ２９のスパナ掛け部、  ３０１：差動ネジ３０の第一のネジ部、  ３０２：差動ネジ３０の第二のネジ部、  ３０３：差動ネジ３０の端面、  ３０４：差動ネジ３０のレンチ挿入穴、  ３１０、３１１：シャフト３１の端面、  ３１２：シャフト３１のネジ穴、  ３１３：シャフト３１の外周面、  ３２０：ブラケット３２の表面、  ３２１：ブラケット３２の裏面、  ３２２：ブラケット３２のネジ穴、  ３２２ａ：ブラケット３２ａのネジ穴、  ３２３：ブラケット３２の座繰り貫通穴、  ３２４：ネジ穴３２２のネジ溝、  ３２６：ネジ穴３２２ａの大径部、  ３２７：ネジ穴３２２ａの小径部、  ３２８：大径部３２６と小径部３２７との段差面、  ３５０：円筒ネジ３５の円筒ネジ本体、  ３５１：円筒ネジ３５のすり割りネジ部、  ３５２：円筒ネジ３５の外周面、  ３５３、３５４：円筒ネジ本体３５０の端部、  ３５５：円筒ネジ３５の鍔部、  ３５６：円筒ネジ３５のスリット、  ３５７：すり割りネジ部３５１のネジ山、  ３５８：円筒ネジ本体３５０の端部３５４の端面、  ３５９：円筒ネジ本体３５０の内周面、  ３６０：差動ネジ３６の端面、  ３６１：差動ネジ３６の第一のネジ部、  ３６２：差動ネジ３６の第二のネジ部、  ３６３：差動ネジ３６のスパナ掛け部、  ３７０：ブラケット３７の表面、  ３７１：ブラケット３７の裏面、  ３７２：ブラケット３７のネジ穴、  ３７３：ブラケット３７の座繰り貫通穴、  ３８０���円筒ネジ３５の鍔部３５５の裏面、  ３９０：スペーサ３９の端面、  ６００：ブラケット６０の表面、  ６０１：ブラケット６０の裏面、  ６０２：ブラケット６０のネジ穴、  ６０３：ブラケット６０の座繰り貫通穴、  ６３１：スプリングパッド兼ガイド６３のフランジ、  ６５１：スプリングパッド兼ガイド６５のフランジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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