(57)【要約】【課題】空洞管の内面を均一に電解研磨する。【解決手段】  空洞管の最大内径位置間を単位としたダンベル状の管要素を扱うことになる。当該管要素は支持筒に同芯に嵌挿され、保持手段で保持される。この状態で、管要素に前記保持筒に保持された環状の陽極リードが当接され、また、前記支持筒に位置を固定され、前記管要素の内周面形状に符合した網状の陰極が、管要素の内周面から所定距離を保って配設される。以上のように小径部の溶接部を含めた内周面が研磨されたダンベル体が複数大径部相互を突き合わせて溶接され、空洞管が形成される。その後、空洞管の内周面形状に応じて径方向に翼を挿抜できる翼電極をそなえた電極と空洞管との間に電界が印加され、空洞管内周面、特に大径部の溶接部内周面が研磨される。これによって、空洞管の内面全体が研磨されることになる。【選択図】図１
2015063727.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周径が軸方向に周期的に変化する空洞管の内周面を部分的に電解研磨する空洞管の部分電解研磨治具において、
前記空洞管の最大内径位置間を単位としたダンベル状の管要素が嵌挿される支持筒と、
前記支持筒に管要素を同軸に保持する保持手段と、
前記支持筒に固定されるとともに、前記嵌挿された管要素の外面に当接される陽極環と、
前記支持筒に位置を固定されるとともに、前記管要素の内周面形状に符合し、管要素の内周面から所定距離を保って配設される網状の陰極と、
を備えたことを特徴とする空洞管の部分電解研磨治具。
【請求項２】
前記保持手段が陽極リードを兼ねる請求項１に記載の空洞管の部分電解研磨治具。
【請求項３】
内周径が軸方向に周期的に変化する空洞管の内周面を電解研磨する空洞管の内周面研磨方法において、
請求項１記載の空洞管の部分電解研磨治具を用いて、前記空洞管の最大内径位置間を単位としたダンベル状の管要素の内周面を研磨するするステップ、
前記内周面が研磨された管要素を、大径部相互を突き合わせた状態で連続して複数溶接して空洞管となした内周面を、当該空洞管の内部で空洞管の内径に沿った形状を形成できる翼電極によって空洞管の内周面を研磨するステップ
を備えたことを特徴とする空洞管の研磨方法。
【請求項４】
前記翼電極が、
電極軸と、
前記電極軸の軸方向に所定幅で先端が、空洞管の内周面形状に対応する単翼を少なくとも１枚、周方向に等間隔に配置した翼電極と、
前記各単翼が電極軸に巻回された状態で、翼電極を収納する電極軸と同心に配置された収納筒と、
前記収納筒の各単翼に対応する位置に、軸方向のスリットを設け、当該スリットに各単翼を挿通した状態で、電極軸と収納筒とを相対的に回転することによって、各単翼を径方向に拡縮可能な径調整手段と、
を備えた、請求項３に記載の空洞管の研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は空洞管の内周面を部分的に電解研磨するための部分電解研磨治具と空洞管の内周面を研磨する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
陽電子と電子を衝突させ、ビッグバン状態を形成する装置としてリニアコライダが建設されようとしている（ILC計画）。リニアコライダには図１２に示すように、両端にフランジ１０１ａ、１０１ｂを有し、軸方向に周期的に径が変化するニオブの空洞管１００が使用される。この装置で所定の効果を得るための要素の１つとして、このニオブの空洞管１００の内周面が平滑になっているか否かがある。
【０００３】
ところが、空洞管１００は、成形時に過大な圧力や熱を掛けるところから、その内表面の組織は不均一に歪んだ状態となっている。この表面状態をこのままにしておくと、電気的特性、磁気的特性も不均一な状態となり、結果として、電子や陽電子に所定の速度を与えることができなくなる。そこで、空洞管の内周面を所定の厚さを研磨する方法が開発されている。
【０００４】
図１３は前記の空洞管の製造手順を示すものである。
【０００５】
中心に所定の大きさの穴１１１が空いた円板１１０（図１３(a)）をプレスして、前記穴１１１の周辺を台状に一方に突起させ、周縁に至るに従って他方に湾曲させて、全体としてカップ形状を有する空洞管のふくらみの小径部１１０ｓから大径部１１０ｗに至る半分の部分（以下カップ体１２０（図１３(b)）という）を成型する。このカップ体１２０を複数、前記中心の小径部を相互に付き合わせるとともに、周縁の大径部１１０ｗを相互に突き合わせて溶接する（図１３(d)）。これによって、図１２に示す空洞管が完成することになる。
【０００６】
前記のように、溶接する前には当然、各カップ体１２０は種々の方法で研磨されることになる（図１３(c)）が、各カップ体１２０が何等かの方法で研磨されたとしても、前記大径部１１０ｗと小径部１１０ｓにできる溶接部の表面に熱変化が発生し、空洞管として仕上がったときに当該溶接部の表面状態が他の部分との均一性を欠くことになる。特に、リニアコライダの加速器に使用される空洞管は、外表面はもちろん内表面の状態の状態が、重要になり、前記溶接部の内表面の処理方法が問題となる。
【０００７】
そこで、図１３(f)に示すように空洞管として出来上がった後に内周面を所定の厚さ、研磨する方法が開発されている。
【０００８】
ニオブの空洞管を研磨する方法としては、化学的に研磨する方法（以後「化学研磨」と称す）及び電気化学的に研磨する方法（以後「電解研磨」と称す）の２種類が知られている。
【０００９】
化学研磨法としては、例えば特開昭５７−１１４６６９号公報に開示されているように、フッ酸、硫酸、水からなる酸の混合液を利用し、その中にニオブ材を浸漬して、その全面を化学的に平滑に研磨することが知られている。また、同―目的に利用する研磨液として、フッ酸、リン酸、硝酸からなる混合液を利用することも周知である。いずれにしても、これらの方法は空洞管全体を研磨液に浸漬するので、作業自体は簡便であるものの、本来不要な空洞管の外面まで研磨され、液の不要な汚染や老化・劣化を促し、また研磨対象物の浸漬方向によって研磨量に著しい差異を生ずるという問題がある。
【００１０】
この現象は発生するガスによる研磨液の掻き混ぜ作用が関与しており、また、発生するガスが空洞管の形状によっては、その内表面に付着して研磨外観を損ねる等難点が多い。
【００１１】
電解研磨については以下のような例がある。
【００１２】
特公昭５５−１２１１６号には、ニオブの空洞管の両端開口部を水平にした状態で、フッ酸、硫酸、水からなる研磨液中に空洞管の下半分を部分浸漬して、停止状態で短時間通電して部分電解研磨し、次いで通電を停止したのち回転させ、酸化膜を溶解除去することを何回も繰り返して行う間歇的な電解研磨が開示されている。
【００１３】
この方法も本来、研磨を必要としない空洞管の外面をも同時に研磨することになり、空洞管の不要な溶解ロスが発生するとともに、研磨液が不要に消耗し、また汚染することになる。また、研磨が間歇的であることによる、研磨段差が発生し、加えて、揮散性が高く有害なガスを発生するフッ酸と、発熱性の高い硫酸を扱う極めて危険性の高い作業となっている。
【００１４】
特開昭６１−２３７９９号に開示の発明は、ニオブの空洞管を回転させながら、通液パイプに連通する吹出孔から研磨液を送液し、部分浸漬状態で連続電解しようとするようになっている。この構成で、研磨時間の短縮が計れると同時に無駄にニオブ材の溶解を起こさず、従って、研磨液の不要な汚染や消耗が抑制されることになる。
【００１５】
しかながら、通液パイプに設けた吹出孔を研磨液中に開口して、研磨液を貯留した研磨液中に吐出させるようにしているので、研磨液の流速の差が研磨の状態に現れ、ニオブの空洞管の内周面に研磨外観ムラを生じるという問題があった。
【００１６】
特開平１１−３５０２００に開示の発明は、基本的に上記特開昭６１−２３７９９号に開示の発明と同じであるが、前記通液パイプに設けた吹出孔を、研磨される側と反対側である研磨液の上側に開口させて、貯留した研磨液に直接研磨液が流れ込まないようにして、研磨の均一化を図ろうとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特公昭５５-１２１１６
【特許文献２】特開昭６１-２３７９９
【特許文献３】特開平１１−３５０２００
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかしながら、空洞管として組み上がった状態で、当該空洞管の内周面を電解研磨するとき、位置によって変化する内径にどのように対応するのかという問題がある。この問題は、特に、小径部の溶接位置の内周面と、大径部の溶接位置の内周面とを同時に均等に処理することが困難であるという問題を含んで入る。
【００１９】
上記いずれの電解研磨方法においても、陰極となる通液パイプは直線状であり、研磨対象物である空洞管の内表面は、前記したように波形状に内径が変化している。したがって、空洞管の内表面の各部分と陰極との距離が均一ではなく、電流は距離の短い部分に集中し、特に研磨が必要な大径部の溶接部について所定の厚みの研磨をしようとすると、膨大な時間を要することになり、コストが上がることになる。
【００２０】
また、上記いずれの電解研磨方法においても、空洞管を水平に保ち、下側に研磨液を貯留して、研磨をする構成となっている。このとき、研磨液の上側に空洞を残しており、この部分にフッ化水素等、研磨液からでるガスが一時的であっても溜まることになり、研磨が進んだとしても、発生したガスにより研磨された表面が変質する怖れがある。
【００２１】
更に、特開平１１-３５０２００に開示の技術では、空洞管を設置したり、研磨液を充填するときは当該空洞管を縦にし、研磨作業時は横にし、さらに廃液作業時は再び縦にする等、作業工程が非常に複雑になる。
【００２２】
本願出願人は、既に国際出願ＪＰ２０１３-０６８５９３号として、空洞管の内周面を一様に研磨できる電極を提案しており、一応の成果を得ている。しかしながら、この電極で研磨した空洞管の内周面は目視することができず、その評価は、空洞管が本来の用途に使用されたときの成果から判断する方法しかなかった。
【００２３】
本発明は、空洞管の内周面の研磨状態の大部分を目視でき、しかも前記国際出願ＪＰ２０１３-０６８５９３号に記載の電極の効果を生かすことができる空洞管の部分電解研磨治具と電解研磨方法を提案することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明は内周径が軸方向に周期的に変化する空洞管の内周面を電解研磨する空洞管の部分電解研磨治具において、以下の構成を採っている。
【００２５】
まず、本発明では、前記空洞管の最大内径位置間を単位としたダンベル状の管要素を扱うことになる。当該管要素は支持筒に同芯に嵌挿され、保持手段で保持される。この状態で、管要素に前記保持筒に保持された環状の陽極リードが当接され、また、前記支持筒に位置を固定され、前記管要素の内周面形状に符合した網状の陰極が、管要素の内周面から所定距離を保って配設される。
【００２６】
上記において、前記保持手段が陽極リードを兼ねる構成としてもよい。
【００２７】
以上のように小径部の溶接部を含めた内周面が研磨されたダンベル体が複数大径部相互を突き合わせて溶接され、空洞管が形成される。ここで、本願出願人は国際出願ＪＰ２０１３-０６８５９３号に空洞管の内周面形状に応じて径方向に翼を挿抜できる翼電極をそなえた電極を開示しているので、当該電極と空洞管との間に電界が印加され、空洞管内周面、特に大径部の溶接部内周面が研磨される。
【発明の効果】
【００２８】
以上のように部分電解研磨治具を構成することで、周期的に内径が変化する空洞管をダンベル状の管要素毎に研磨することができ、この段階では空洞管の内周面全体が研磨されることになるが、特に、小径部の溶接部の内表面が研磨されることになる。この後に、前記管要素の大径部を相互に突き合わせた状態で、溶接をして空洞管として仕上げることになる。
【００２９】
ここで、大径部の溶接部の内表面に他の部分と不均一な状態が発生したとしても、この部分を研磨できる何らかの方法を用いれば足りることになる。
【００３０】
上記「何らかの方法」は特に限定されるものではないが、出願人は既に国際出願ＪＰ２０１３-０６８５９３号で、空洞管の内部で内径の変化に応じた形状を形成できる電極を提案しているので、当該電極を、大径部の研磨精度を高めるように用いることで目的を実現できることになる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の部分電解研磨治具
【図２】部分研磨治具に使用する固定手段を示す図
【図３】本発明の研磨方法を示す図
【図４】本発明の空洞管の製造工程を示すフロー図
【図５】本発明に使用する収納状態の電極の平面図
【図６】図５の側面図
【図７】本発明に使用する稼動状態の電極の平面図
【図８】図７の側面図
【図９】単位の電極の斜視図
【図１０】複数の翼電極群を備えた本発明の電極の斜視図。
【図１１】空洞管の研磨方法を示す概念図
【図１２】空洞管の概念図
【図１３】従来の空洞管の製造工程を示すフロー図
【発明を実施するための形態】
【００３２】
＜部分電解研磨治具＞
図４は本発明に係る空洞管の研磨手順の概要を示す図である。
【００３３】
上記したように、中央に穴１１１が空いた円板１１０（図４(a)）がプレスされ、当該プレス後は中央の穴１１１の部分が短く一方に短く突き出して小径部１１０ｓとなり、他方、円板１１０の外周縁は他方に湾曲した大径部１１０ｗとなり、全体としてカップ体１２０（図４(b)）を形成する。このように形成されたカップ体１２０を２つ、小径部相互が溶接で繋ぎ合わされ、ダンベル体１３０（図４(c)）が形成される。
【００３４】
空洞管１００は、図４(e)→(f)に示すように当該ダンベル体１３０の大径部１１０ｗ相互を溶接し、両端にフランジ１０１ａ、１０１ｂを取り付けることによって完成する。しかしながら、ここでは、空洞管１００を形成する前に当該ダンベル体１３０の内周面が以下の治具を用いて研磨される。
【００３５】
まず、ダンベル体１３０が以下に図１を用いて説明する部分電解研磨治具２００にセットされることになる。
【００３６】
部分電解研磨用治具２００は以下のように構成される。まず、前記ダンベル体１３０の大径部１１０ｗが嵌り込む径で、ダンベル体１３０の軸方向の長さに対応する長さの円筒が支持筒２１０として用意される。当該支持筒２１０に対して同軸に前記ダンベル体１３０が挿入され固定手段２２０で固定される。固定手段２２０の構成は特に問われることはないが、図２では、ダンベル体１３０の小径部１１０ｓに符合する位置で、前記支持筒２１０の外側からビス２２１で、当該小径部１１０ｓを径方向から押さえる構成になっている。このとき、図２に示すようにビス２２１の先端に押さえ環２２３を配設することでもよい。
【００３７】
このように支持筒２１０に固定されたダンベル体１３０の両端の大径部１１０ｗに、当該ダンベル体１３０の外周に接する円形の陽極環２３０が嵌めこまれる。当該陽極環２３０から軸方向外部に支持枝２３１が導出され、当該支持枝２３１は支持筒２１０の端で折り返されて支持筒２１０の外部でビス等で固定される。この支持枝２３１は、上記のように陽極環２３０を支持筒２１０に固定する機能を持つとともに、電源の陽極からの配線を接続することによって陽極のリードとしても機能する。
【００３８】
上記のようにダンベル体１３０と陽極環２３０が支持筒２１０に支持された状態で、ダンベル体１３０のカップ状の内周面の形状に符合する網電極２４０が、前記ダンベル体１３０の両方のカップに沿って、かつ、カップの内周面と電解研磨に必要な所定距離を保って支持筒２１０に固定配設される。網電極２４０の支持筒２１０への固定の方法は特に問われないが、図１では、前記電極環２３０と同様、網電極２４０から軸方向に延設した支持枝２４１を、支持筒２１０の端で折り返して支持筒２１０の外部側面にビス止めする構成を示した。
【００３９】
以上のようにダンベル体１３０を支持筒２１０に設置し、陽極（ダンベル体１３０）と陰極（網電極２４０）の間に電解研磨に必要な電界をかけることによって、前記小径部１１０ｓの溶接部を含めたダンベルの内周面が研磨されることになる。ここで陽極は陽極環と当接するダンベル体１３０そのものである。尚、前記陽極環２４０に代えて固定手段２２０を陽極リードして利用することも可能である。
【００４０】
上記のようにダンベル体１３０を支持筒２１０に治めて、各ダンベル体１３０を個別に電解処理することも可能であるが、電解液に適度の流動性を持たせると、電解むらをなくすことができる。そこで、図３に示すように上記部分電解研磨治具冶２００を円板４００に放射状に多数保持させ、前記円板４００の軸４１０を中心に電解液が充填された電解槽５００の中でゆっくり回転させることで、均一な電解処理が可能となる。
【００４１】
このようにして内周面の電解研磨がなされたダンベル体１３０は次に、その大径部相互が突き合わされて複数溶接され空洞管１００に仕上げられる（図４(f)）。尚、図４(f)において、両端のふくらみはダンベル体１３０とカップ体１２０で形成し、両端にフランジ１０１ａ、１０１ｂが形成される。
【００４２】
ここで、最後に溶接した大径部１１０ｗの内周面は、溶接による熱変化を受けているおそれがあるので、研磨処理が必要となる。本願出願人は既に国際出願ＪＰ２０１３-０６８５９３号として、空洞管の内周面の形状に応じて、翼を拡縮できる翼電極を開発しているので、ここではその電極を使用する。
【００４３】
上記翼電極は以下のように構成されている。
＜翼電極＞
図１１は空洞管の内径に応じて拡縮できる電極を用いて、空洞管の電界研磨をしている状態を示す図であり、図５〜図９は前記電極の１単位（空洞管の１つの膨らみに対応）を示す基本的な概念図であり、以下、まず、単位の電極について、説明する。
【００４４】
図５は、電極を空洞管に装着した状態であって、使用状態に至る前の状態を示す状態を示す平面図、図６はその側面図、図７は空洞管に装着しかつ、使用状態を示す平面図、図８はその側面図である。さらに、図９は、斜視図である。但し、図９では図５〜図８に対して、若干の付加的要素がある。
【００４５】
電極軸２１には、基端が軸方向に所定幅で外周端が、研磨対象物の空洞管１００のふくらみ部の内周面形状に対応する形状となっており、少なくとも外周端が金属で構成された薄板よりなる単翼２２a、２２ｂ・・を、１枚もしくは複数枚（図示では４枚）、周方向に等間隔に配置して翼電極２２を形成する。
【００４６】
翼電極２２を構成する各単翼２２a、２２ｂ・・は、可撓性を有しており、電極軸２１に巻回された状態で、最小径となり、この状態で、電極軸２１と同心に配置された収納筒２９に収納されるようになっている。前記収納筒２９に収納された状態の各単翼２２a、２２ｂ・・の先端に対応する位置に、軸方向のスリット群２３（２３ａ、２３ｂ・・）が設けられ、当該スリット群を構成する各スリット23ａ、２３ｂ・・に、各単翼２２a、２２ｂ・・の先端部が、収納筒２９の外部に僅かに出る程度に挿通しておく。これによって、電極軸２１と収納筒２９とを相対的に回転することによって、各単翼２２a、２２ｂ・・の先端を径方向に挿抜することができ、各単翼２２a、２２ｂ・・の先端の径を調整できる構成（径調整手段：電極軸２１＋翼電極２２＋収納筒２９＋スリット群23）とする。
【００４７】
尚、前記電極軸２１に収納筒２９を同心に配置する構成として、例えば、電極軸２１に当該電極軸２１より径が大きく、収納筒２９の径に符号するスペーサ３０を嵌める（図９参照）構成とすることが考えられる。
【００４８】
上記のように翼電極２２は、収納状態と、稼動状態の２つの態様を採る。すなわち、図５、図６に示すように、各単翼２２a、２２ｂ・・の先端が、収納筒２９の各スリット２３ａ、２３ｂ・・から僅かに出た状態が収納状態であり、また、図７、図８に示すように、電極軸２１と収納筒２９を相対的に回転させ、各単翼２２a、２２ｂ・・の外周端が、空洞管１００の内周面近くに押し出された状態（各単翼２２a、２２ｂ・・の外周端と空洞管１００の内周面との距離が例えば１cm前後）が稼動状態である。
【００４９】
図９は、前記図５〜図８に示した電極２０のより具体的な実施形態を示す斜視図である。
【００５０】
前記のように電極軸２１には空洞管１００のふくらみに対応する形状の単翼２２ａ、２２ｂ・・が周方向に少なくとも１枚取り付けられて翼電極２２を構成する。前記各単翼２２ａ、２２ｂ・・は、少なくとも外周が金属、例えば、金属の網体で構成される。当該各単翼２２ａ、２２ｂ・・は可撓性を持たすための薄い金属製、あるいは合成樹脂製の保形材２２１ａ、２２１ｂ・・が、各単翼２２、２２ｂａ・・の基端（電極軸２１側）から先端に渡って（径方向）に溶接あるいは溶着で貼り付けられる。
【００５１】
あるいは、金属の網体の端縁を除く表裏前面に合成樹脂を含浸することによって、各単翼に可撓性を持たすとともに、網体表面の絶縁性と端縁の導電性を確保する構成としてもよい。
【００５２】
このように電極軸２１に各単翼２２ａ、２２ｂ・・・を取り付けた状態で、当該電極軸２１より径の大きいスペーサ３０を電極軸２１の前記翼電極２２の上下の位置に固定しておく。
【００５３】
上記のように翼電極２２を構成する一方、前記収納筒２９を、その径は前記スペーサ３０に符合し、前記スリット２３ａ、２３ｂ・・・が下側に解放された状態で構成しておく。
【００５４】
更に、上記のように構成した収納筒２９を、スペーサ３０を介して電極軸２１の周囲にはめ込むことになるが、このとき、前記各単翼２２ａ、２２ｂ・・・が各スリット２３ａ、２３ｂ・・・に差し込まれるようにする。これによって、電極２０（電極軸２１+翼電極２２+収納筒２９）が構成されたことになる。
【００５５】
上記のように構成された電極２０を、空洞管１００に装着して、空洞管の内周面を電解研磨する手順を以下に説明する。
【００５６】
まず、電極２０の初期の状態は収納状態であり、この状態で空洞管１００に挿入する。ついで、収納筒２９が回らないように手で押さえて電極軸２１のみを回して、空洞管１００の内周面と各単翼２２ａ、２２ｂ・・・の周端が電解研磨に適した距離（例えば１cm程度）になるまで、各単翼２２ａ、２２ｂ・・を径方向に延伸させて稼動状態にする。更に、空洞管１００の内部に電解液を充填し、翼電極２２と空洞管１００との間に研磨に必要な電界を掛けて、駆動手段１２０（図１１参照）で電極２０を回転（このとき収納筒２９もともに回転）すると、空洞管１００の内周面は電解研磨される。研磨が終わると、収納筒２９が回らないように手で押さえて前記稼動状態を形成するのとは逆の方向に電極軸２１のみを回して、収納状態に戻して、空洞管１００から引き上げることになる。
【００５７】
尚、収納筒２９のスリット２３ａ、２３ｂ・・・と各単翼２２ａ、２２ｂ・・は、通常は摩擦力で相互に滑らないようになっており、稼動状態から収納状態（またはその逆）を形成するためには、前記摩擦力を超える力を必要とし、電解研磨時に電極軸２１を回転させるときは、前記摩擦力で電極軸２１と収納筒２９は共に回転する構成となっている。
【００５８】
前記図９の構成ではさらに、各単翼２２ａ、２２ｂ・・の先端に、周方向に所定の長さを備えた所定幅の補助電極２２０ａ、２２０ｂ・・が設けられる。この補助電極２２０ａ、２２０ｂ・・は各単翼２２ａ、２２ｂ・・が開いたときには、研磨対象の空洞管１００の内周面のふくらみ部の先端付近の周形状に沿った状態となる。
【００５９】
上記のように先端に補助電極２２０ａ、２２０ｂ・・が設けられていると、電解研磨時に、各単翼２２ａ、２２ｂ・・を延伸したとき、通常では一番電流の流れ難い空洞管１００のふくらみ部の最も奥の部分、すなわち前記部分研磨の後に熔接された部分、にも、補助電極２２０ａ、２２０ｂ・・を介して充分に電流を流すことができることになる。
【００６０】
以上のように単位の電極２０を構成するが、空洞管１００の内周面のふくらみの数は１つではなく、図１２に示すように軸方向に周期的に複数個ある。従って、実際の電極２０は、図１０に示すように、電極軸２１の長さを空洞管１００の軸の長さに対応させ、翼電極２２の数は、空洞管１００の内周面のふくらみの数に対応させて設けられる。更に、図１０に示すように、収納筒２９も、電極軸２１と略同じ長さとし、１組のスリット群２３（２３ａ、２３ｂ、・・）が設けられるとともに、当該スリット群が軸方向の複数の単翼に共通に設けられる。
【００６１】
図１１は、上記のように構成した電極を使用して、空洞管の内周面を研磨する装置を示した側面図である。
【００６２】
基台１０上に、架台１１が設けられ、当該架台１１に研磨対象の空洞管１００が設置される。当該空洞管１００には電極２０が、前記収納状態で貫挿され、稼動状態になるように、各単翼２３ａ、２３ｂ・・が延伸される。この後、電解液が空洞管に充填され、駆動手段１２０で電極２０をゆっくり回転させて電解研磨がなされる。電解研磨が終了すると、稼動状態から収納状態に遷移されて、空洞管１００から引き抜かれることになる。
【００６３】
電解液の供給は、研磨液タンク１５からポンプ１６にて、液導入口１４を介して空洞管１００に充填される。オーバフローした電解液は、液導出口１９を介して、排出されることになる。前記オーバフローは、電解処理中に液を更新する必要上、常時必要となる。
【００６４】
上記のようにして研磨が終了すると、研磨液を排出して（例えば、液導入口１４に設けたドレン（図示しない）から）、洗浄水を給液ポンプ１６から空洞管１００に送り込んで洗浄する。その後、電極２０を収納状態にして、空洞管１００から抜き取ることによって作業は終了することになる。
【００６５】
以上説明したように、本発明は周期的に内径の変化する空洞管の内周面を研磨するにあたって、まず最大径間のダンベル体の内面研磨をし、この段階で小径部の溶接部を含めた大部分の内面を研磨しておき、空洞管として仕上げられた後に、空洞管の内面形状に符合する形状が形勢できる翼電極を用いて、大径部の溶接部に的を絞って研磨しているので、径が変化する空洞管であっても効率よく全内面を研磨することが可能となる。 
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明はリニアコライダを効率的に運用するために必要な技術であり、産業上の利用可能性は極めて大きい。
【符号の説明】
【００６７】
１０  基台
１１  架台
１４  液導入口
１７  液導出口
２１  電極軸
２０  電極
２１  電極軸
２２  翼電極
２２a、２２ｂ・・  単翼
２３  スリット群
２３ａ、２３ｂ・・  スリット
２９  収納筒
１００  空洞管
１１０  円板
１２０  カップ体
１３０  ダンベル体
２００  部分電解研磨治具
２１０  研磨支持筒
２３０  陽極環
２４０  網電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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