(57)【要約】      （修正有）【課題】ガラス微粒子堆積体の意図しない外径変動や嵩密度変化の発生を低減するガラス微粒子堆積体の製造方法を提供する。【解決手段】ロッド４にガラス微粒子を堆積させる初期段階からガラス微粒子を略一定径で定常的に堆積させる定常段階に移行するまでの間における、ガラス微粒子堆積体Ｍの所定位置の外径の目標外径パターンを用意する準備工程と、初期段階からガラス微粒子堆積体Ｍの所定部分Ｍａを撮像装置７によってモニターし、所定位置における外径が目標外径パターンに沿って成長するように、ガラス微粒子堆積体Ｍの引上速度を制御する引上速度制御工程とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス微粒子をバーナからロッドに吹き付けて軸方向に堆積させていくことによってガラス微粒子堆積体を形成するガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記ロッドに前記ガラス微粒子を堆積させる初期段階から前記ガラス微粒子を略一定径で定常的に堆積させる定常段階に移行するまでの間における、前記ガラス微粒子堆積体の第１の所定部分の所定位置の外径の目標外径パターンを用意する準備工程と、
前記初期段階から前記ガラス微粒子堆積体の前記第１の所定部分を撮像装置によってモニターし、前記所定位置における外径が前記目標外径パターンに沿って成長するように、前記ガラス微粒子堆積体を引き上げる引上速度を制御する引上速度制御工程と、
を備える、ガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項２】
前記初期段階から前記ガラス微粒子堆積体の前記第１の所定部分を撮像装置によってモニターし、モニターして得られた前記所定位置の外径データに基づいて、次回以降のガラス微粒子堆積体の製造時において前記所定位置における外径が前記目標外径パターンに沿って成長するように、次回以降の製造時における前記ロッドと前記バーナとの初期相対位置を調整する初期条件調整工程を備える、請求項１に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項３】
前記所定位置における外径が、前記定常段階における外径に略一致した後、
前記定常段階において、前記ガラス微粒子堆積体の第２の所定部分がレーザー光線を遮るようにして、前記レーザー光線の受光量が一定になるように前記ガラス微粒子堆積体を引き上げる引上速度を制御する工程を備える、請求項１または２に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項４】
前記所定位置における外径が、前記定常段階における外径に略一致した後、
前記定常段階において前記ガラス微粒子堆積体の第３の所定部分を撮像装置によってモニターし、前記第３の所定部分の外径が所定値となるように、前記ガラス微粒子堆積体を引き上げる引上速度を制御する、請求項１または２に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス微粒子をロッドに堆積させてガラス微粒子堆積体を形成するガラス微粒子堆積体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス微粒子堆積体を製造する方法としてＶＡＤ法が知られている。下記特許文献１、２には、ＶＡＤ法において、ＣＣＤカメラを用いて引き上げ速度などを制御する方法が開示されている。また、下記特許文献３には、ＶＡＤ法の一例として、ロッドに堆積されたガラス微粒子堆積体の引き上げ制御を行なうに際し、レーザー光線を用いて堆積面を検出する製造方法の一例が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１９３３６０号公報
【特許文献２】特開２０００−２８１３７８号公報
【特許文献３】特開昭６０−４１５３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１等に開示された製造方法では、ガラス微粒子を吹き付けるためのバーナを交換する等の設備変更が行われた場合、バーナの個体差等に起因する設備固有の影響によって、製造されたガラス微粒子堆積体に、意図しない外径変動や嵩密度変化等が発生する場合があった。
【０００５】
そこで、本発明は、ガラス微粒子堆積体の外径変動や嵩密度変化の発生を抑制することができるガラス微粒子堆積体の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法は、ガラス微粒子をバーナからロッドに吹き付けて軸方向に堆積させていくことによってガラス微粒子堆積体を形成するガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記ロッドに前記ガラス微粒子を堆積させる初期段階から前記ガラス微粒子を略一定径で定常的に堆積させる定常段階に移行するまでの間における、前記ガラス微粒子堆積体の第１の所定部分の所定位置の外径の目標外径パターンを用意する準備工程と、
前記初期段階から前記ガラス微粒子堆積体の前記第１の所定部分を撮像装置によってモニターし、前記所定位置における外径が前記目標外径パターンに沿って成長するように、前記ガラス微粒子堆積体を引き上げる引上速度を制御する引上速度制御工程と、を備えるものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法によれば、ガラス微粒子の外径変動や嵩密度変化の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造装置の構成を示す図である。
【図２】堆積時間に対する所定位置の目標外径パターンの一例を示す図である。
【図３】ガラス微粒子堆積体の所定位置近傍における堆積面の変化の様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
＜本発明の実施形態の概要＞
最初に本発明の実施形態の概要を説明する。
（１）ガラス微粒子堆積体の製造方法は、ガラス微粒子をバーナからロッドに吹き付けて軸方向に堆積させていくことによってガラス微粒子堆積体を形成するガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記ロッドに前記ガラス微粒子を堆積させる初期段階から前記ガラス微粒子を略一定径で定常的に堆積させる定常段階に移行するまでの間における、前記ガラス微粒子堆積体の第１の所定部分の所定位置の外径の目標外径パターンを用意する準備工程と、
前記初期段階から前記ガラス微粒子堆積体の前記第１の所定部分を撮像装置によってモニターし、前記所定位置における外径が前記目標外径パターンに沿って成長するように、前記ガラス微粒子堆積体を引き上げる引上速度を制御する引上速度制御工程と、を備えるものである。
【００１０】
上記のガラス微粒子堆積体の製造方法によれば、ガラス微粒子堆積体の所定位置の外径を目標外径パターンに沿って成長させることにより、交換したバーナの個体差等に起因する設備固有の影響を低減し、ガラス微粒子堆積体の意図しない外径変動や嵩密度変化の発生を抑制することができる。
【００１１】
（２）また、上記（１）のガラス微粒子堆積体の製造方法において、前記初期段階から前記ガラス微粒子堆積体の前記第１の所定部分を撮像装置によってモニターし、モニターして得られた前記所定位置の外径データに基づいて、次回以降のガラス微粒子堆積体の製造時において前記所定位置における外径が前記目標外径パターンに沿って成長するように、次回以降の製造時における前記ロッドと前記バーナとの初期相対位置を調整する初期条件調整工程を備えることが好ましい。
【００１２】
この製造方法によれば、モニターして得られたガラス微粒子堆積体の所定位置の外径データに基づいて、次回以降のガラス微粒子堆積体の製造時におけるロッドとバーナとの初期相対位置を調整することにより、次回以降の製造時におけるガラス微粒子堆積体の所定位置の外径を目標外径パターンに沿って成長させることができる。このように、ロッドとバーナとの初期相対位置を調整することにより、より目標パターンに沿って成長させることができるようになり、ガラス微粒子堆積体の意図しない外径変動や嵩密度変化の発生を抑制することができる。
【００１３】
（３）また、上記（１）または（２）のガラス微粒子堆積体の製造方法において、前記所定位置における外径が、前記定常段階における外径に略一致した後、
前記定常段階において、前記ガラス微粒子堆積体の第２の所定部分がレーザー光線を遮るようにして、前記レーザー光線の受光量が一定になるように前記ガラス微粒子堆積体を引き上げる引上速度を制御する工程を備えることが好ましい。
【００１４】
この製造方法によれば、定常段階においては、従来のようにレーザー光線を用いてガラス微粒子堆積体の引上速度を制御している。これにより、定常段階においてもガラス微粒子堆積体の外径を安定化させることができ、ガラス微粒子堆積体の意図しない外径変動や嵩密度変化の発生を抑制することができる。
【００１５】
（４）また、上記（１）または（２）のガラス微粒子堆積体の製造方法において、前記所定位置における外径が、前記定常段階における外径に略一致した後、
前記定常段階において前記ガラス微粒子堆積体の第３の所定部分を撮像装置によってモニターし、前記第３の所定部分の外径が所定値となるように、前記ガラス微粒子堆積体を引き上げる引上速度を制御することが好ましい。
【００１６】
この製造方法によれば、定常段階において撮像装置を用いてモニターし、ガラス微粒子堆積体の所定部分の外径が所定値となるようにガラス微粒子堆積体の引上速度を制御している。これにより、定常段階においてもガラス微粒子堆積体の外径を安定化させることができ、ガラス微粒子堆積体の意図しない外径変動や嵩密度変化の発生を抑制することができる。
【００１７】
＜本発明の実施形態の詳細＞
以下、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法の実施形態の一例について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
図１は、本実施形態のガラス微粒子堆積体の製造方法を実施することのできる製造装置１の構成を示す。
図１に示すように、製造装置１は、ガラス微粒子堆積体Ｍが形成される反応容器２と、反応容器２の上方から内部に吊り下げられた支持棒３と、支持棒３に取り付けられたガラスロッド４（ロッドの一例）とを備えている。また、製造装置１は、反応容器２の内部下方に配置されたガラス微粒子生成用バーナ５と、反応容器２の側面に取り付けられた排気管６と、反応容器２の外部に配置されたＣＣＤカメラ（撮像装置の一例）７と、投光器８ａおよび受光器８ｂ（検出装置の一例）とを備えている。さらに、製造装置１は、支持棒３を昇降および回転させる昇降回転装置１０と、ガスの流量制御を行なうＭＦＣ（マスフローコントローラ）１１と、ガラス微粒子堆積体Ｍの堆積データを処理する堆積データ処理装置１２と、各部の動作を制御する制御部１３とを備えている。
【００１９】
支持棒３は、反応容器２の上壁に形成された貫通穴を挿通して上下方向に配置されており、反応容器２内に配置された一方の端部（図において下端部）にはガラスロッド４が取り付けられている。支持棒３は、他方の端部（図において上端部）を昇降回転装置１０により把持されており、昇降回転装置１０の制御に基づいて昇降および回転される。
【００２０】
ガラスロッド４は、ガラス微粒子が堆積されるロッドであり、支持棒３に取り付けられている。ガラスロッド４は、支持棒３の動作に伴って反応容器２内を支持棒３の方向に昇降されたり、支持棒３の軸まわりに回転される。
【００２１】
ガラス微粒子生成用バーナ５は、原料ガスと火炎形成ガスを噴出し、形成された火炎により原料ガスが火炎加水分解されて生成されるガラス微粒子をガラスロッド４に堆積させるバーナである。バーナ５は、コア部を堆積するコア用バーナ５ａとクラッド部を堆積するクラッド用バーナ５ｂとによって構成されている。コア用バーナ５ａとクラッド用バーナ５ｂの先端部は反応容器２の内部に突出して配置されている。
【００２２】
排気管６は、ガラスロッド４またはガラス微粒子堆積体Ｍに付着しなかったガラス微粒子を反応容器２の外部に排出する管である。
【００２３】
ＣＣＤカメラ７は、ガラス微粒子が堆積されている最中のガラス微粒子堆積体Ｍの先端部（第１の所定部分の一例）Ｍａをモニターする。ＣＣＤカメラ７は、ガラスロッド４の軸方向の所定の位置（高さ）における先端部Ｍａの外径をモニターし、ガラス微粒子堆積体Ｍの先端部Ｍａおよびその周囲近傍の輝度データを測定する。具体的には、ＣＣＤカメラ７は、ガラス微粒子堆積体Ｍの先端部Ｍａをガラスロッド４の軸方向に対して垂直な略水平方向に走査した複数点の輝度データを測定する。モニターによって取得された輝度データは堆積データ処理装置１２へ送信され、記憶部１２ａに記憶される。
【００２４】
投光器８ａと受光器８ｂは、ガラス微粒子堆積体Ｍの先端部Ｍａの位置を検出する検出手段である。投光器８ａはレーザー光線を発する部位であり、受光器８ｂはレーザー光線を受ける部位である。投光器８ａと受光器８ｂは、反応容器２の外部に反応容器２を間に挟むように対向する位置に配置される。投光器８ａから発せられたレーザー光線を先端部Ｍａの堆積面に接するようにし、受光器８ｂによってこのレーザー光線の受光量を測定することで先端部Ｍａの位置を検出する。
【００２５】
昇降回転装置１０は、支持棒３およびガラスロッド４を介してガラス微粒子堆積体Ｍを昇降動作および回転動作させる装置である。昇降回転装置１０は、制御部１３から送信されてくる制御信号に基づいて支持棒３の動作を制御する。
【００２６】
ＭＦＣ１１は、コア用バーナ５ａおよびクラッド用バーナ５ｂに供給する原料ガスの流量制御を行なう装置である。ＭＦＣ１１は、制御部１３から送信されてくる制御信号に基づいて、原料ガスの供給量の制御を行なう。原料ガスは、原料容器２１内に収容された液体原料を気化させたものが供給される。
【００２７】
堆積データ処理装置１２は、後述する初期段階において、ＣＣＤカメラ７によって測定されたガラス微粒子堆積体Ｍのデータを処理する。堆積データ処理装置１２は、まずＣＣＤカメラ７によって測定されたガラス微粒子堆積体Ｍの先端部Ｍａおよびその周囲近傍の輝度データの演算処理を行なう。そして、堆積データ処理装置１２は、連続した２点間の輝度変化率から微分波形を取得するとともに取得した微分波形からガラス微粒子堆積体Ｍの先端部Ｍａの所定位置における外径（外周位置）を算出する。算出された先端部Ｍａの外径データは、堆積データ処理装置１２に設けられた記憶部１２ａに記憶される。
【００２８】
制御部１３は、昇降回転装置１０、ＭＦＣ１１、ＣＣＤカメラ７、投光器８ａ、受光器８ｂ等の動作を制御する。制御部１３は、記憶部１３ａを備えており、記憶部１３ａには、例えば、ガラス微粒子堆積体Ｍの先端部Ｍａ（第１の所定部分の一例）の所定位置における目標外径パターンのデータ等が記憶される。ここで、目標外径パターンとは、各堆積時間における先端部Ｍａの所定位置における目標外径を示したパターンであり、予め設定されるパターンである。
【００２９】
次に、ガラス微粒子堆積体Ｍの製造方法について説明する。
先ず、昇降回転装置１０に支持棒３が取り付けられることにより、支持棒３の先端に取り付けられたガラスロッド４が反応容器２内に納められる。
【００３０】
ＭＦＣ１１は、制御部１３から送信される制御信号に基づき、原料ガス、火炎形成ガス、およびバーナーシールガスを、コア用バーナ５ａおよびクラッド用バーナ５ｂに供給する。コア用バーナ５ａおよびクラッド用バーナ５ｂは、投入された原料ガス及び火炎形成ガスにより、原料ガスを加水分解反応させてガラス微粒子を生成する。そして、生成されたガラス微粒子がガラスロッド４に対して吹き付けられて、ガラス微粒子の堆積が開始される。
【００３１】
ＣＣＤカメラ７は、制御部１３から送信される制御信号に基づき、ガラスロッド４に堆積されたガラス微粒子堆積体Ｍにおける所定の高さの先端部Ｍａを、ガラスロッド４にガラス微粒子を堆積させる初期段階からモニターする。昇降回転装置１０は、制御部１３から送信される制御信号に基づき、ガラス微粒子堆積体Ｍの成長に合わせて、ガラス微粒子堆積体Ｍが堆積されたガラスロッド４を回転させながら引き上げる。
【００３２】
制御部１３は、ガラス微粒子堆積体Ｍにおける所定の高さの先端部Ｍａが予め定められた目標外径パターンに沿って成長するように、ガラス微粒子堆積体Ｍを引き上げる引上速度の制御を行う（引上速度制御工程の一例）。図２は、先端部Ｍａの初期段階の所定位置における目標外径パターンの一例を示したものである。目標外径パターンＸは、ガラス微粒子の堆積が開始された当初である初期段階からガラス微粒子が定常的に堆積される定常段階に移行するまでの期間における先端部Ｍａの所定位置における目標外径を示す。
【００３３】
図２に示すように、目標外径パターンＸは、例えば、目標外径パターンＸ上の点（●）で示されるように、堆積開始から堆積時間が所定時間Ｔａ→Ｔｂ→Ｔｃ→Ｔｄ→Ｔｅ→Ｔｆへと経過するにしたがい、先端部Ｍａの目標外径はａ→ｂ→ｃ→ｄ→ｅ→ｆと大きくなるように設定されている。堆積時間Ｔｆは初期段階から定常段階に移行するタイミングを示し、その時間における先端部Ｍａの目標外径はｆに設定されている。また、目標外径パターンＸは、その傾きが時間の経過とともに変化する。すなわち、目標外径パターンＸの傾きは、先端部Ｍａの目標外径が定常段階に切り替わる目標外径ｆに近づくにしたがい徐々に小さくになるように設定されている。
【００３４】
制御部１３は、堆積の初期段階、例えば図２の堆積時間Ｔａの段階から目標外径パターンＸに基づいた引上速度の制御を行う。具体的には、制御部１３は、堆積データ処理装置１２によって算出されたガラス微粒子堆積体Ｍの先端部Ｍａの所定位置における外径データを記憶部１２ａから読み出す。また、制御部１３は、先端部Ｍａの所定位置における目標外径パターンＸのデータを記憶部１３ａから読み出す。そして、制御部１３は、記憶部１２ａから読み出した外径データと記憶部１３ａから読み出した目標外径パターンＸの現在の堆積時間における目標外径データと比較し、例えば両データの偏差をフィードバック制御する等して、先端部Ｍａの所定位置における外径を目標外径パターンＸに沿って成長させるための、ガラス微粒子堆積体Ｍを引き上げる引上速度を算出する。制御部１３は、算出した引上速度によってガラス微粒子堆積体Ｍの引き上げ動作を行うように、昇降回転装置１０の引上げ速度を制御する。
【００３５】
図３は、初期段階におけるガラス微粒子堆積体Ｍの先端部Ｍａの近傍の堆積面の変化の様子を示したものである。図３において、縦軸はガラス微粒子堆積体Ｍの長手方向の位置（高さ）を示し、横軸はガラス微粒子堆積体Ｍの径方向の位置（外径）を示している。符号Ｓａは、堆積時間Ｔａにおける先端部Ｍａの近傍の堆積面の外形を示している。同様に、符号Ｓｂ〜Ｓｆは、堆積時間Ｔｂ〜Ｔｆにおける先端部Ｍａの近傍の堆積面の外形をそれぞれ示している。符号Ｈは、ＣＣＤカメラ７でモニターされるガラス微粒子堆積体Ｍの先端部Ｍａの所定位置を示している。
【００３６】
本例では、目標外径パターンＸを用いて制御部１３が算出した引上速度によってガラス微粒子堆積体Ｍの引き上げ動作を行うように、制御部１３が昇降回転装置１０の引上げ速度を制御する。これにより、ガラス微粒子堆積体Ｍの先端部Ｍａの近傍の堆積面は、図３に示すように、堆積時間Ｔａから堆積時間Ｔｆまでの間においてガラス微粒子堆積体Ｍの先端部Ｍａの所定位置における外径が目標外径パターンＸに沿って変化する。
【００３７】
そして、初期段階から定常段階に移行すると（本例での堆積時間Ｔｆが経過し、先端部Ｍａの所定位置における外径が、定常段階における外径に一致すると）、ＣＣＤカメラ７による先端部Ｍａのモニタリングから投光器８ａと受光器８ｂによるモニタリングに切り替わる。定常段階に移行すると、投光器８ａから発せられたレーザー光線を先端部Ｍａの堆積面に接するようにし、ガラス微粒子堆積体の所定部分（第２の所定部分の一例）がレーザー光線を遮るようにして、受光器８ｂによってこのレーザー光線の受光量を測定することで先端部Ｍａの位置を検出する。受光器８ｂによって測定された受光量のデータは、堆積データ処理装置１２へ送信され、制御部１３は、受光量が一定となるように、ガラス微粒子堆積体Ｍを引き上げる引上速度の制御を行なう。具体的には、先端部Ｍａの成長によってレーザー光線が遮られ、受光量が予め設定した値を下回った時点から、制御部１３はレーザーの受光量に基づき、ガラス微粒子堆積体Ｍの引上速度の制御を行う。
【００３８】
ところで、ＣＣＤカメラ７を有さず、投光器８ａと受光器８ｂによるモニタリングのみ可能な製造装置では、投光器８ａから発せられたレーザー光線がガラス微粒子堆積体Ｍの堆積面に接する程度までガラス微粒子堆積体Ｍが成長しないと、ガラス微粒子堆積体Ｍを引き上げる速度を制御することができない。つまり、初期段階から定常段階の間においてガラス微粒子堆積体Ｍを引き上げる速度を制御することができない。このような製造装置では、ガラス微粒子を吹き付けるためのバーナを交換する等の設備変更が行われた場合、バーナの個体差等に起因する設備固有の影響が堆積の初期段階において現れやすく、製造されたガラス微粒子堆積体に意図しない外径変動や嵩密度変化等が発生する場合があった。
【００３９】
以上説明した本実施形態のガラス微粒子堆積体Ｍの製造方法によれば、ガラス微粒子をガラスロッド４に堆積させる初期段階（本例では堆積時間Ｔａ〜Ｔｆ）から、ＣＣＤカメラ７を用いて先端部Ｍａをモニターし、堆積の初期段階から目標外径パターンＸを用いてガラス微粒子堆積体Ｍを引き上げる引上速度を制御する。このため、バーナを交換した際にバーナの個体差等に起因して発生する設備固有の影響を堆積の初期段階から低減し、ガラス微粒子堆積体Ｍの意図しない外径変動や嵩密度変化の発生を抑制することができる。従って、ガラス微粒子堆積体Ｍの割れやガラス微粒子堆積体Ｍから製造される光ファイバの特性不良等の発生を低減することができる。
【００４０】
また、定常段階においては、投光器８ａから発せられたレーザー光線の受光量を用いてガラス微粒子堆積体Ｍの引上速度を制御している。これにより、定常段階においてもガラス微粒子堆積体Ｍの外径を安定化させることができ、ガラス微粒子堆積体Ｍの外径変動や嵩密度変化の発生を抑制することができる。
【００４１】
なお、上記実施形態では、目標外径パターンＸを用いてオンタイムでガラス微粒子堆積体Ｍの引上速度を制御する例（引上速度制御工程を行う例）を説明したが、この例に限られない。
例えば、引上速度制御工程とともに、下記の初期条件調整工程を行ってもよい。
【００４２】
一例としての初期条件調整工程では、先ず、ガラス微粒子生成用バーナ５等を交換した製造装置１によってガラス微粒子堆積体Ｍを製造する。この場合の製造は、製造に際して、ガラス微粒子堆積体Ｍの高さＨ１の先端部ＭａをＣＣＤカメラ７によってモニターし、上記同様に引上速度の制御をしながら、ガラス微粒子堆積体Ｍが製造されるが、バーナの個体差等に起因する影響により、目標外径パターンＸからは若干ずれて製造される。このように製造されたガラス微粒子堆積体Ｍの先端部Ｍａの所定位置における外径の初期段階から定常段階までの外径データと、目標外径パターンＸとを比較し、例えば、両データの偏差が少なくなるように、次回以降のガラス微粒子堆積体Ｍの製造時におけるガラスロッド４とバーナ５との初期相対位置を上下方向に調整する。
【００４３】
このようにして、次回以降のガラス微粒子堆積体Ｍの製造時におけるガラスロッド４とバーナ５との初期相対位置を調整することにより、次回以降の製造時におけるガラス微粒子堆積体Ｍの先端部の所定位置における外径を目標外径パターンに沿って成長させることができる。従って、バーナを交換した際にバーナの個体差等に起因して発生する設備固有の影響を堆積の初期段階から低減し、ガラス微粒子堆積体Ｍの外径変動や嵩密度変化の発生を抑制することができる。そして、ガラス微粒子堆積体Ｍの割れやガラス微粒子堆積体Ｍから製造される光ファイバの特性不良等の発生を低減することができる。
【００４４】
また、上記実施形態では、定常段階から投光器８ａと受光器８ｂによるモニタリングに切り替わる例を説明したがこの例に限られない。例えば、そのままＣＣＤカメラ７を定常段階でも用いてガラス微粒子堆積体Ｍの引上速度を制御する構成であっても良い。この場合、ＣＣＤカメラ７によりガラス微粒子堆積体Ｍの所定部分（第３の所定部分の一例）をモニターし、その所定位置の外径が所定値で一定となるように引上速度を制御する。
【００４５】
これにより、初期段階から定常段階にスムーズに移行しやすくなるとともに、定常段階においてもガラス微粒子堆積体Ｍの外径を安定化させることができ、ガラス微粒子堆積体Ｍの外径変動や嵩密度変化の発生を抑制することができる。
【００４６】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されず、適宜、変形、改良等が自在である。その他、上述した実施形態における各構成要素の材質、形状、寸法、数値、形態、数、配置場所等は、本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。
【符号の説明】
【００４７】
Ｍ：ガラス微粒子堆積体
Ｍａ：先端部
Ｘ：目標外径パターン
１，３０：ガラス微粒子堆積体の製造装置
２：反応容器
３：支持棒
４：ガラスロッド（ロッド）
５：ガラス微粒子生成用バーナ
５ａ：コア用バーナ
５ｂ：クラッド用バーナ
６：排気管
７：ＣＣＤカメラ（撮像装置）
８ａ：投光器（検出装置）
８ｂ：受光器（検出装置）
１０：昇降回転装置
１１：ＭＦＣ
１２：堆積データ処理装置
１３：制御部
【図１】
2015063431.tif 000003
【図２】
2015063431.tif 000004
【図３】
2015063431.tif 000005