(57)【要約】【課題】圧電素子の破損を低減し信頼性を向上する。【解決手段】積層された圧電素子をケーシング内に備え、圧電素子が積層される積層方向にエンド部材１６をストローク可能な圧電ユニット６と、エンド部材１６に押圧されエンド部材１６と共に積層方向にストロークする押圧部材１１と、圧電ユニット６を収容してケーシング１５を少なくとも外周側から保持するホルダ１３と、エンド部材１６とは反対側の押圧部材１１の端部１６ａとの間に作動流体が流れる流路を形成するノズル１２と、を備え、ホルダ１３は、ケーシング１５の外周面１５ａとの間で第一の間隙Ｇ１を形成する第一内周面２８と、積層方向における第一内周面２８の両側に配され、第一の間隙Ｇ１よりも小さい第二の間隙Ｇ２を形成する第二内周面２９と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層された圧電素子をケーシング内に備え、前記圧電素子が積層される積層方向にエンド部材をストローク可能な圧電ユニットと、
前記エンド部材に押圧され前記エンド部材と共に前記積層方向にストロークする押圧部材と、
前記圧電ユニットを収容して前記ケーシングを少なくとも外周側から保持するホルダと、
前記エンド部材とは反対側の前記押圧部材の端部との間に作動流体が流れる流路を形成するノズルと、
を備え、
前記ホルダは、
前記ケーシングの外周面との間で第一の間隙を形成する第一内周面と、
前記積層方向における前記第一内周面の両側に配され、前記第一の間隙よりも小さい第二の間隙を形成する第二内周面と、を備えるパイロット圧調整装置。
【請求項２】
前記ホルダは、
前記圧電ユニットを保持する第一ホルダと、
前記押圧部材を摺動可能に支持する第二ホルダと、を備え、
前記第一ホルダは、前記第二ホルダに嵌め合いにより取り付けられる請求項１に記載のパイロット圧調整装置。
【請求項３】
作動流体を供給する第一流体供給部、および、第二流体供給部と、
前記第一流体供給部から供給される作動流体によりパイロット圧力を調整する請求項１又は２に記載のパイロット圧調整装置と、
前記パイロット圧調整装置により調整されたパイロット圧力に応じて、前記第二流体供給部から供給される作動流体の圧力を調整するスプールと、を備えるサーボ弁。
【請求項４】
請求項３に記載のサーボ弁を備え、
前記サーボ弁により調整された作動流体によって駆動するアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、パイロット圧調整装置、サーボ弁、および、アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
油などの作動流体により駆動されるアクチュエータにおいては、緻密な動作が必要な場合にサーボ弁を用いることがある。このようなアクチュエータを駆動するためのサーボ弁は、大きな制御量、および、高応答性が要求されることが多い。
【０００３】
特許文献１には、大きな制御量、および、高い応答性を実現するために、圧電素子によって変位される可変絞りによってサーボ弁のパイロット圧を調整する技術が開示されている。この場合、パイロット圧に応じてサーボ弁のスプール位置が変位する。
また、特許文献２には、サーボ弁のスプール位置を決めるためのパイロット圧調整装置として、バイモルフ型圧電素子や、積層型圧電素子を用いて圧力調整絞りを作動させる技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１−９３６８０号公報
【特許文献２】特許第５２３２７１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した圧電素子は、一般に、その伸縮する積層方向に直交する横方向の力に対して脆い。そのため、圧電素子を備えるユニットと、圧電素子によって変位されるロッドなどの部材とが正確に位置決めされていないと、圧電素子に対して圧電素子の積層方向に直交する横方向の力が作用してしまい、圧電素子が破損する可能性がある。
この発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、圧電素子の破損を低減し信頼性を向上することが可能なパイロット圧調整装置、サーボ弁、および、アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために以下の構成を採用する。
この発明に係るパイロット圧調整装置は、積層された圧電素子をケーシング内に備え、前記圧電素子が積層される積層方向にエンド部材をストローク可能な圧電ユニットと、前記エンド部材に押圧され前記エンド部材と共に前記積層方向にストロークする押圧部材と、前記圧電ユニットを収容して前記ケーシングを少なくとも外周側から保持するホルダと、前記エンド部材とは反対側の前記押圧部材の端部との間に作動流体が流れる流路を形成するノズルと、を備え、前記ホルダは、前記ケーシングの外周面との間で第一の間隙を形成する第一内周面と、前記積層方向における前記第一内周面の両側に配され、前記第一の間隙よりも小さい第二の間隙を形成する第二内周面と、を備える。
このように構成することで、積層方向における第一内周面の両側で、ホルダの内周面と圧電ユニットの外周面との隙間を小さくすることができる。これにより、圧電ユニットを少なくとも積層方向の２カ所でホルダに対して正確に位置決めすることができる。そのため、圧電ユニットのエンド部材と、押圧部材との同軸度、および、平行度を確保することができる。また、ケーシングの外周面と第一内周面との間隙が、ケーシングの外周面と第二内周面との間隙に対して大きく形成されていることで、圧電ユニットをホルダ内に円滑に収容することができる。
【０００７】
さらに、この発明に係るパイロット圧調整装置は、上記パイロット圧調整装置において、前記ホルダは、前記圧電ユニットを保持する第一ホルダと、前記押圧部材を摺動可能に支持する第二ホルダと、を備え、前記第一ホルダは、前記第二ホルダに嵌め合いにより取り付けられていてもよい。
このように構成することで、第二ホルダに対して押圧部材を取り付けた後に、第二ホルダに対して第一ホルダを取り付けることができる。また、第一ホルダを第二ホルダに嵌め合いにより取り付けるため、第一ホルダと第二ホルダとの同軸度を確保できる。その結果、圧電素子の破損を低減しつつ、組立性を向上することができる。
【０００８】
この発明に係るサーボ弁は、作動流体を供給する第一流体供給部、および、第二流体供給部と、前記第一流体供給部から供給される作動流体によりパイロット圧力を調整する上記パイロット圧調整装置と、前記パイロット圧調整装置により調整されたパイロット圧力に応じて、前記第二流体供給部から供給される作動流体の圧力を調整するスプールと、を備える。
このように構成することで、パイロット圧調整装置における圧電素子の破損を低減できるため、圧電ユニットによる高応答を実現しつつサーボ弁の信頼性を向上できる。
【０００９】
この発明に係るアクチュエータは、上記サーボ弁を備え、前記サーボ弁により調整された作動流体によって駆動する。
このように構成することで、大きな制御量、および、高い応答性を確保しつつ、アクチュエータの信頼性を向上できる。
【発明の効果】
【００１０】
この発明に係るパイロット圧調整装置、サーボ弁、および、アクチュエータによれば、圧電素子の破損を低減し信頼性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】この発明の実施形態におけるアクチュエータの概略構成図である。
【図２】この発明の実施形態におけるパイロット圧調整装置、及び、サーボ弁の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、この発明の一実施形態に係るパイロット圧調整装置、サーボ弁、および、アクチュエータについて説明する。
図１は、この発明の実施形態におけるアクチュエータの概略構成図である。
この実施形態におけるアクチュエータ１は、内燃機関の吸気バルブ、および、排気バルブを作動させるアクチュエータである。
ここで、アクチュエータを用いて吸気バルブ、および、排気バルブを作動させる場合、吸気バルブ、および、排気バルブを一般的なカムにより作動させる場合よりも、複雑な動作が可能となる。とりわけ、燃費向上や、排気ガス中の有害物質を低減するための試験などにおいては、アクチュエータを用いて吸気バルブ、および、排気バルブを作動させることが有効である。
【００１３】
図１に示すように、この実施形態におけるアクチュエータ１は、サーボ弁２と、アクチュエータ本体３と、を備えている。
サーボ弁２は、アクチュエータ本体３を駆動するための作動流体の圧力を電気的に制御する。このサーボ弁２は、パイロット圧調整装置４と、サーボ弁本体５と、を備えている。
【００１４】
パイロット圧調整装置４は、第一ポンプ（第一流体供給部）Ｐ１から供給されるパイロット用流体の圧力（以下、単にパイロット圧力と称する）を調整して、パイロット用流体をサーボ弁本体５に供給する。このパイロット圧調整装置４は、印加電圧に応じて伸縮する圧電素子を有したピエゾアクチュエータ（圧電ユニット）６を備えている。パイロット圧調整装置４は、ピエゾアクチュエータ６を作動させてタンク２３へ繋がるドレン流路２４の面積を変化させることで、パイロット圧力を調整する。
【００１５】
サーボ弁本体５は、パイロット圧調整装置４の圧力を増幅する。より具体的には、サーボ弁本体５は、パイロット圧力に応じて第二ポンプＰ２から供給される作動流体の圧力を調整し、この圧力調整された作動流体をアクチュエータ本体３へ供給する。サーボ弁本体５は、内部にスプール７を備えている。このスプール７は、パイロット圧力に応じてその長手方向に変位可能となっている。
【００１６】
スプール７は、パイロット圧力が相対的に高い場合に、第二ポンプＰ２（第二流体供給部）から供給される作動流体をドレンＤに逃がす量を少なくして圧力低下を小さくする。一方で、スプール７は、パイロット圧力が相対的に低い場合に、第二ポンプＰ２から供給される作動流体をドレンＤに逃がす量を多くして圧力低下を大きくする。つまり、サーボ弁本体５は、パイロット圧力によりスプール７を作動させることで、第二ポンプＰ２から供給される作動流体の圧力を調整する。
【００１７】
アクチュエータ本体３は、作動流体の圧力に応じて出没するロッド８を備えている。この実施形態におけるロッド８には、その端部に、内燃機関の排気バルブ又は吸気バルブ（何れも図示せず）が取り付けられる。アクチュエータ本体３は、例えば、作動流体の圧力が相対的に高い場合に、ロッド８が突出する方向（図１中、紙面下方向）に変位する。また、アクチュエータ本体３は、例えば、作動流体の圧力が相対的に低い場合に、ロッド８が没入する方向（図１中、紙面上方向）に変位する。つまり、この実施形態の一例におけるアクチュエータ本体３は、ロッド８の動作によって排気バルブ又は吸気バルブの開閉を行う。
【００１８】
図２は、この発明の実施形態におけるパイロット圧調整装置を拡大した断面図である。
図２に示すように、パイロット圧調整装置４は、ピエゾアクチュエータ６と、押圧部材１１と、ノズル１２と、ホルダ１３と、を備えている。
【００１９】
ピエゾアクチュエータ６は、円筒状のケーシング１５を備えている。ピエゾアクチュエータ６は、このケーシング１５の内部に、軸線方向に向かって多層に積層されたピエゾ素子（圧電素子）Ｐを有している。ピエゾアクチュエータ６は、エンド部材１６を更に備えている。エンド部材１６は、ピエゾ素子Ｐの伸縮に応じてピエゾ素子の積層方向（以下、単に積層方向と称する）に変位する。このエンド部材１６の端部１６ａは、ケーシング１５の端面に形成された孔（図示せず）を介してケーシング１５の外部に露出している。つまり、エンド部材１６がピエゾ素子Ｐの圧電効果によってストロークすることによって、ケーシング１５の外部に露出したエンド部材１６の端部１６ａもストロークすることとなる。
【００２０】
押圧部材１１は、上記エンド部材１６と共に積層方向にストローク可能とされている。押圧部材１１は、受圧部１７と、ロッド部１８とを備えている。
受圧部１７は、上記エンド部材１６の端部１６ａを位置決めする凹部１７ｂが中央に形成された円盤状に形成されている。
ロッド部１８は、積層方向の外側に向かって延びる円柱状に形成されている。ロッド部１８の端部１８ａは、ノズル１２の端面１２ａとの間に隙間Ｓ１を形成する。
【００２１】
押圧部材１１は、弾性部材１９により、ピエゾアクチュエータ６側に付勢されている。より具体的には、押圧部材１１の受圧部１７が、ロッド部１８よりも径方向外側で、複数の弾性部材１９によってピエゾアクチュエータ６側に押圧されている。この弾性部材１９により押圧部材１１が付勢されることで、ロッド部１８がエンド部材１６の変位（ストローク）に常に追従するようになっている。この実施形態における弾性部材１９として、コイルばねを図示しているが、弾性部材１９はコイルばねに限られるものではない。
【００２２】
ノズル１２は、ロッド部１８の端部１８ａと対向する端面１２ａを備える。ノズル１２は、その内部に端面１２ａ側に開口する流路２０備えている。この流路２０は、サーボ弁本体５に接続される主流路２１（図１参照）から分岐している。そのため、流路２０には、第一ポンプＰ１から供給されたパイロット用流体の一部が分流することとなる。また、ノズル１２およびロッド部１８の周囲には、空間２２が形成されている。この空間２２は、パイロット用流体を貯留するタンク２３に連通するドレン流路２４に連通している。つまり、ノズル１２とロッド部１８との隙間Ｓ１の大きさに応じて、主流路２１からドレン流路２４へと流出するパイロット用流体の流量が変化する。言い換えれば、隙間Ｓ１の大きさを調整することで、主流路２１におけるパイロット用流体の圧力を調整することが可能となっている。
【００２３】
ホルダ１３は、上述したピエゾアクチュエータ６、押圧部材１１、および、弾性部材１９を収容する。ホルダ１３は、第一ホルダ２６と、第二ホルダ２７とを備えている。
第一ホルダ２６は、ピエゾアクチュエータ６を収容し、ピエゾアクチュエータ６のケーシング１５を少なくとも外周側から保持する。第一ホルダ２６は、その内部に円柱状の空間が形成された筒状に形成されている。
【００２４】
第一ホルダ２６は、ケーシング１５の外周面１５ａとの間で第一の間隙Ｇ１を形成する第一内周面２８を備えている。この第一内周面２８は、第一ホルダ２６の軸線方向（言い換えれば、積層方向）における中間部に形成されている。第一ホルダ２６は、軸線方向における第一内周面２８の両側に、第二内周面２９を更に備えている。言い換えれば、第一ホルダ２６には、二つの第二内周面２９，２９の間に第一内周面２８が形成されている。これら第二内周面２９は、外周面１５ａとの間で第一の間隙Ｇ１よりも小さい第二の間隙Ｇ２を形成する。
【００２５】
ここで、例えば、第一の間隙Ｇ１を３００μｍ程度とした場合、第二の間隙Ｇ２は、第一の間隙Ｇ１よりも小さい５０μｍ程度とすることができる。第二の間隙Ｇ２は、設計値であるため、実際には、第一ホルダ２６に対してケーシング１５が接触し、その摩擦力によりケーシング１５が第一ホルダ２６に保持されることとなる。
また、例えば、第一内周面２８の積層方向における長さＬ１は、第一内周面２８のエンド部材１６側に形成された第二内周面２９の積層方向における長さＬ２と同程度とされている。また、積層方向でエンド部材１６とは反対側に形成される第二内周面２９の積層方向における長さＬ３は、第一内周面２８の積層方向における長さＬ１の半分程度とされ十分に短く形成されている。
【００２６】
第二ホルダ２７は、主に、押圧部材１１と弾性部材１９を収容する。第二ホルダ２７は、収容部３０と、孔部３１と、固定部３２とを備えている。
収容部３０は、押圧部材１１の受圧部１７および弾性部材１９を収容する円柱状の空間を形成する。この収容部３０には、積層方向と直交する方向に広がる円環状の支持面３０ａが形成されている。上述した弾性部材１９は、この支持面３０ａと受圧部１７との間に僅かに圧縮された状態で挟まれている。
【００２７】
孔部３１は、押圧部材１１のロッド部１８が挿通される貫通孔を備えている。言い換えれば、孔部３１により、ロッド部１８が摺動可能に支持されている。この孔部３１の貫通孔は、収容部３０よりも十分に小さな内径の丸孔とされている。ロッド部１８の端部１８ａは、この孔部３１を介してホルダ１３の外部に露出される。ここで、ロッド部１８の外周面には、複数のリング状溝１８ｂが形成されている。これらリング状溝１８ｂは、作動流体を潤滑油として摺動部分に留めてロッド部１８の外周面１８ｃにおける油膜切れを抑制している。
【００２８】
第一ホルダ２６と第二ホルダ２７とは、互いの軸線が一直線上に配されて互いの芯が合わさるように（言い換えれば、同軸度、および、平行度を確保するために）、嵌め合い（いわゆるインロー）により接合されている。第二ホルダ２７が嵌め合わされる第一ホルダ２６の端部側の外周面２６ａは、段差部３３を介して縮径されている。一方で、第一ホルダ２６に嵌め合わされる第二ホルダ２７の基部側の内周面３４は、段差部３５を介して拡径されている。また、第一ホルダ２６に第二ホルダ２７が接合された状態で、第二ホルダ２７の基部側の外周面３６は、段差部３３よりも上方の第一ホルダ２６の外周面３７と面一とされている。第二ホルダ２７を第一ホルダ２６に接合する際に、第二ホルダ２７の基部側の縁部３８は、段差部３３に突き当たるようになっている。これにより、第一ホルダ２６に対して第二ホルダ２７が積層方向に正確に位置決めされる。
【００２９】
ここで、第二ホルダ２７の収容部３０は、押圧部材１１の受圧部１７の外周面１７ａとの間に第三の間隙Ｇ３を形成する内周面４０を備えている。第二ホルダ２７の孔部３１は、ロッド部１８の外周面１８ｃとの間に第四の間隙Ｇ４を形成する内周面４１を備えている。これら第三の間隙Ｇ３、および、第四の間隙Ｇ４は、ロッド部１８が摺動可能な範囲で、いずれも第二の間隙Ｇ２と同程度、又は、第二の間隙Ｇ２よりも僅かに大きく形成されている。つまり、第二ホルダ２７と、押圧部材１１とは、同軸度、および、平行度が十分に確保されている。
【００３０】
上述したホルダ１３は、主流路２１やドレン流路２４等が形成されるブロック４２の円柱状の凹部４３に対して嵌め合いによって取り付けられている。この凹部４３の底部４４に上述したノズル１２が取り付けられている。ノズル１２は、凹部４３に対して十分な同軸度及び平行度が確保されている。
【００３１】
第一ホルダ２６は、第二ホルダ２７とは反対側の開口部を閉塞する蓋部４５を備えている。この蓋部４５は、ピエゾアクチュエータ６を押圧可能とされている。蓋部４５は、２種類のボルト４６ａ，４６ｂにより第一ホルダ２６に固定される。この蓋部４５は、ボルト４６ａ，４６ｂによって積層方向における位置調整が可能となっている。つまり、蓋部４５の位置をボルト４６ａ，４６ｂによって調整することでピエゾアクチュエータ６の積層方向における位置を微調整することが可能となっている。
【００３２】
ここで、蓋部４５には、蓋部４５を貫通する２種類の孔部４７ａ，４７ｂが形成されている。孔部４７ａには、ボルト４６ａをねじ込むことが可能な雌ネジが形成されている。孔部４７ｂは、ボルト４６ｂのネジの呼び径よりも大きな遊挿孔となっている。また、蓋部４５には、孔部４７ｂの延長上に、ボルト４６ｂをねじ込むことが可能な雌ネジ部４８が形成されている。
【００３３】
つまり、ボルト４６ａを孔部４７ａにねじ込むことで、ボルト４６ａの端部が第一ホルダ２６を押圧する。これにより、ボルト４６ａから蓋部４５に対して第一ホルダ２６から離間する方向の力が作用する。一方で、ボルト４６ｂを孔部４７ｂに挿通し雌ネジ部４８にねじ込むことで、ボルト４６ｂの頭部が蓋部４５を第一ホルダ２６側に押圧する。これにより、ボルト４６ｂから蓋部４５に対して第一ホルダ２６に接近する方向の力が作用する。このようにすることで、ボルト４６ｂに適正な軸力を掛けることが可能となり、その結果、蓋部４５の積層方向における位置を精度よく調整することが可能となる。
ここで、図示を省略したが、上述したパイロット圧調整装置４には、シールが必要な箇所に適宜Ｏリングなどのシール部材５０が取り付けられている。
【００３４】
この実施形態におけるアクチュエータ１は上述した構成を備えている。次に、上述したパイロット圧調整装置４の組立方法について説明する。
まず、第二ホルダ２７の内部に、押圧部材１１、および、弾性部材１９を配置する。
次いで、第二ホルダ２７を第一ホルダ２６に嵌め合いにより取り付ける。
さらに、第一ホルダ２６にピエゾアクチュエータ６を挿入して、ピエゾアクチュエータ６を第一ホルダ２６に取り付ける。
また、蓋部４５をボルト４６ａ，４６ｂにより第一ホルダ２６に取り付ける。
その後、ボルト４６ａ，４６ｂによって蓋部４５の位置を調整して、第一ホルダ２６に対するピエゾアクチュエータ６の積層方向の位置を調整する。
【００３５】
したがって、上述した実施形態のパイロット圧調整装置４によれば、積層方向における第一内周面２８の両側で、ホルダ１３の第二内周面２９とピエゾアクチュエータ６の外周面１５ａとの第二の間隙Ｇ２を小さくすることができる。これにより、ピエゾアクチュエータ６を少なくとも積層方向の２カ所でホルダ１３に対して正確に位置決めすることができる。そのため、ピエゾアクチュエータ６のエンド部材１６と、押圧部材１１との同軸度、および、平行度を十分に確保することができる。
その結果、エンド部材１６を押圧部材１１により積層方向に直交する横方向の力が作用することを低減することができるため、ピエゾアクチュエータ６の破損を低減し信頼性を向上できる。
【００３６】
また、ピエゾアクチュエータ６のケーシング１５の外周面１５ａと第一内周面２８との第一の間隙Ｇ１が、ケーシング１５の外周面１５ａと第二内周面２９との第二の間隙Ｇ２に対して大きく形成されていることで、ピエゾアクチュエータ６をホルダ１３内にスライドさせて挿入する場合に、ケーシング１５とホルダ１３との対向する積層方向の全域が第二の間隙Ｇ２とされる場合と比較して、円滑にピエゾアクチュエータ６をホルダ１３内に収容することができる。
【００３７】
さらに、第二ホルダ２７に対して押圧部材１１を取り付けた後に、第二ホルダ２７に対して第一ホルダ２６を取り付けることができる。また、第一ホルダ２６を第二ホルダ２７に嵌め合いにより取り付けるため、第一ホルダ２６と第二ホルダ２７との同軸度を確保できる。その結果、ピエゾ素子Ｐの破損を低減しつつ、組立性を向上することができる。
【００３８】
また、上述した実施形態のサーボ弁２によれば、パイロット圧調整装置４におけるピエゾ素子の破損を低減できるため、ピエゾアクチュエータ６による高応答を実現しつつサーボ弁２の信頼性を向上することができる。
さらに、上述した実施形態のアクチュエータ１によれば、大きな制御量、および、高い応答性を確保しつつ、アクチュエータ１の信頼性を向上することができる。
【００３９】
なお、この発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、この発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、実施形態で挙げた具体的な形状や構成等は一例にすぎず、適宜変更が可能である。
【００４０】
例えば、上述した実施形態においては、ホルダ１３が第一ホルダ２６と第二ホルダ２７とに２分割可能な場合について説明した。しかし、ホルダ１３は、第一ホルダ２６と第二ホルダ２７とを分割不能に一体形成するようにしても良く、また、３分割以上に分割可能に構成しても良い。
【００４１】
さらに、上述した実施形態においては、ピエゾアクチュエータ６の直径がその軸線方向で一定な場合を一例に説明した。しかし、この構成に限られるものではなく、例えば、ピエゾアクチュエータ６の直径が軸線方向で変化する場合にも適用可能である。
【００４２】
また、上述した実施形態においては、アクチュエータ１を内燃機関の排気バルブ、および、吸気バルブを駆動するアクチュエータとして用いる一例について説明した。しかし、アクチュエータ１は、ロッド８のストロークにより作動するものであれば、内燃機関のバルブ開閉以外に適用しても良い。さらに、実施形態においては、アクチュエータ本体３がロッド８をストロークさせる場合について説明したが、作動流体により駆動するアクチュエータであればよく、例えば、ロッド８のストローク以外の動作を行うアクチュエータにも適用可能である。
【００４３】
さらに、上述した実施形態においては、ピエゾアクチュエータ６の断面輪郭が円形に形成され、ホルダ１３の内周断面が円形に形成される場合について説明した。しかし、ピエゾアクチュエータ６、および、ホルダ１３の形状は、これらの形状に限られない。例えば、断面多角形状に形成しても良い。さらに、全周に渡ってピエゾアクチュエータ６の外周面１５ａとホルダ１３の第二内周面２９との間隙が第一の間隙Ｇ１、および、第二の間隙Ｇ２とされる場合について説明した。しかし、第二の間隙Ｇ２は、全周に渡って形成される場合に限られない。ホルダ１３に対してピエゾアクチュエータ６の上記横方向への相対変位を規制できればよく、第二の間隙Ｇ２は、例えば、周方向に間隔を空けて３箇所以上に形成されていればよい。
【符号の説明】
【００４４】
１  アクチュエータ
２  サーボ弁
３  アクチュエータ本体
４  パイロット圧調整装置
５  サーボ弁本体
６  ピエゾアクチュエータ（圧電ユニット）
７  スプール
８  ロッド
１１  押圧部材
１２  ノズル
１２ａ  端面
１３  ホルダ
１５  ケーシング
１５ａ  外周面
１６  エンド部材
１６ａ  端部
１７  受圧部
１７ａ  外周面
１７ｂ  凹部
１８  ロッド部
１８ａ  端部
１８ｂ  溝
１８ｃ  外周面
１９  弾性部材
２０  流路
２１  主流路
２２  空間
２３  タンク
２４  ドレン流路
２６  第一ホルダ
２６ａ  外周面
２７  第二ホルダ
２８  第一内周面
２９  第二内周面
３０  収容部
３０ａ  支持面
３１  孔部
３２  固定部
３３  段差部
３４  内周面
３５  段差部
３６  外周面
３７  外周面
３８  縁部
４０  内周面
４１  内周面
４２  ブロック
４３  凹部
４５  蓋部
４６ａ，４６ｂ  ボルト
４７ａ，４７ｂ  孔部
４８  雌ネジ部
５０  シール部材
Ｇ１  第一の間隙
Ｇ２  第二の間隙
Ｇ３  第三の間隙
Ｇ４  第四の間隙
Ｐ  ピエゾ素子（圧電素子）
Ｐ１  第一ポンプ（第一流体供給部）
Ｐ２  第二ポンプ（第二流体供給部）
Ｓ１  隙間
【図１】
2015161349.tif 000003
【図２】
2015161349.tif 000004