(57)【要約】【課題】  吐出口近傍に付着物が残留する可能性を低減する。【解決手段】  本発明の液体吐出装置は、供給された液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有する記録ヘッドと、吐出口面から離間し、吐出口面に沿って移動可能に設けられ、移動に伴って吐出口面上の液体を吐出口が設けられていない回収位置に移動させる液体移動手段と、を有する。【選択図】  図３
2015120332.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給された液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、
前記吐出口面から離間し、前記吐出口面に沿って移動可能に設けられ、移動に伴って前記吐出口面上の液体を前記吐出口が設けられていない回収位置に移動させる液体移動手段と、を有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
請求項１記載の液体吐出装置において、
前記液体移動手段は、前記吐出口面から離間し、前記吐出口面に沿って移動可能な吸引口と、前記吸引口と連通し、負圧を発生させる負圧発生手段と、を備え、前記負圧発生手段が発生させる負圧による前記吸引口からの吸引により、前記液体を移動させることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項３】
請求項１記載の液体吐出装置において、
前記液体移動手段は、前記吐出口面から離間し、前記吐出口面に沿って移動可能な吹き出し口と、前記吹き出し口と連通し、加圧を発生させる加圧発生手段と、を備え、前記加圧発生手段が発生させる加圧による前記吹き出し口からの空気の吹き出しにより、前記液体を移動させることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出装置において、
前記液体移動手段は、前記吐出口面から離間し、前記吐出口面との間で液体を保持する液体保持部を備えることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項５】
請求項２記載の液体吐出装置において、
前記液体移動手段は、前記吐出口面上の液体を前記回収位置に移動させた後、該液体を前記吸引口から吸引することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項６】
請求項２記載の液体吐出装置において、
前記液体移動手段は、前記負圧発生手段と連通可能であり且つ前記吸引口よりも開口面積が小さい回収吸引口をさらに備え、前記負圧発生手段と前記吸引口とを連通した状態で、前記吸引口からの吸引により前記吐出口面上の液体を前記回収位置に移動させた後、前記負圧発生手段と前記回収吸引口とを連通した状態で、前記回収吸引口からの吸引により前記液体を前記回収吸引口から吸引することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項７】
請求項５または６記載の液体吐出装置において、
前記液体移動手段は、前記吸引口から前記吐出口面までの距離を変化させる昇降部を備え、前記回収位置に移動させた液体を回収する動作を行う場合には、前記液体を前記回収位置に移動させる動作を行う場合よりも、前記吸引口を前記吐出口面に近づけていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項８】
請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出装置において、
前記回収位置に設けられ、前記回収位置近傍の液体を回収する液体回収手段を有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項９】
請求項８記載の液体吐出装置において、
前記液体回収手段は、前記液体回収口を備え、前記液体を前記液体回収口から吸引することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１０】
請求項８記載の液体吐出装置において、
前記液体回収手段は、毛細管力により前記液体を吸収する液体回収体を有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の液体吐出装置において、
前記液体回収体には、不揮発性の液体もしくは保水性を有する液体が含浸されていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載の液体吐出装置において、
前記液体回収手段は、前記液体回収体に回収された液体を吸引する吸引通気管を有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１３】
請求項８から１２のいずれか１項に記載の液体吐出装置において、
前記液体回収手段の周囲に、親液性を有する親液処理部が設けられていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１４】
請求項１から１３のいずれか１項に記載の液体吐出装置において、
前記吐出口の周囲に、撥液性を有する撥液処理部が設けられていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１５】
請求項１から１４のいずれか１項に記載の液体吐出装置において、
前記液体を前記ヘッドに供給する供給手段を有し、
前記供給手段は、前記液体に第１の加圧圧力を加えて前記ヘッドに前記液体を供給した後、前記第１の加圧よりも絶対値の小さい第２の加圧圧力を加えることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１６】
液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドを備えた液体吐出装置の制御方法であって、
前記吐出口面から離間し、前記吐出口面に沿って移動可能に設けられた液体移動手段により、前記吐出口面上の液体を前記吐出口が設けられていない回収位置に移動させることを特徴とする制御方法。
【請求項１７】
液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、
前記吐出口面に対向して配置され、前記吐出口面に対して負圧を発生させる負圧発生手段と、
前記負圧発生手段を所定方向に沿って移動させる移動手段と、を有する液体吐出装置において、
前記負圧発生手段は、
吸引により前記負圧を発生する吸引開口部と、
前記所定方向に沿って前記吸引開口部よりも前方となる側に、かつ前記吐出口面まで第１の距離で離れて配置された第１対向面部と、
前記所定方向に沿って前記吸引開口部よりも後方となる側に、かつ前記吐出口面まで前記第１の距離よりも大きい第２の距離で離れて配置された第２対向面部と、を備えていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１８】
液体が前記第１対向面部と前記吐出口面の間で保持されることを特徴とする請求項１７に記載の液体吐出装置。
【請求項１９】
前記負圧発生装置は、前記吐出口面に気体を吹き出す吹出口部を備え、前記吹出口部が前記第２対向面部に配置されていることを特徴とする請求項１８に記載の液体吐出装置。
【請求項２０】
液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、
前記吐出口面に対向して配置される対向部材と、
前記対向部材を所定方向に沿って移動させる移動手段と、を有する液体吐出装置において、
前記対向部材は、
前記吐出口面上の液体を回収する回収開口部と、
前記所定方向に沿って前記回収開口部よりも前方となる側に、かつ前記吐出口面まで第１の距離で離れて配置された第１対向面部と、
前記所定方向に沿って前記回収開口部よりも後方となる側に、かつ前記吐出口面まで前記第１の距離よりも大きい第２の距離で離れて配置された第２対向面部と、
前記所定方向に沿って前記回収開口部よりも後方となる側に配置され、前記吐出口面に気体を吹き出す吹出口部と、を備えていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２１】
供給された液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、前記吐出口面から離間し、前記吐出口面に沿って移動可能に設けられ、移動に伴って前記吐出口面上の液体を前記吐出口が設けられていない回収位置に移動させる液体移動手段と、を有する液体吐出装置と、
前記ヘッドより吐出された前記液体で表面が塗布された基板と前記液体吐出装置とを相対移動させる移動手段と、
表面に凹凸パターンが形成されたモールドと、
前記モールドの前記凹凸パターンが形成された前記表面と前記基板の前記液体が塗布された前記表面とを当接させ、前記基板の前記液体が塗布された前記表面において、前記前記モールドの前記表面に形成された前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するパターン形成手段と、を有することを特徴とするインプリント装置。
【請求項２２】
液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、前記吐出口面に対向して配置され、前記吐出口面に対して負圧を発生させる負圧発生手段と、前記負圧発生手段を所定方向に沿って移動させる移動手段と、を有する液体吐出装置と、
前記ヘッドより吐出された前記液体で表面が塗布された基板と前記液体吐出装置とを相対移動させる移動手段と、
表面に凹凸パターンが形成されたモールドと、
前記モールドの前記凹凸パターンが形成された前記表面と前記基板の前記液体が塗布された前記表面とを当接させ、前記基板の前記液体が塗布された前記表面において、前記前記モールドの前記表面に形成された前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するパターン形成手段と、を有し、
前記負圧発生手段は、
吸引により前記負圧を発生する吸引開口部と、
前記所定方向に沿って前記吸引開口部よりも前方となる側に、かつ前記吐出口面まで第１の距離で離れて配置された第１対向面部と、
前記所定方向に沿って前記吸引開口部よりも後方となる側に、かつ前記吐出口面まで前記第１の距離よりも大きい第２の距離で離れて配置された第２対向面部と、を備えていることを特徴とするインプリント装置。
【請求項２３】
液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、前記吐出口面に対向して配置される対向部材と、前記対向部材を所定方向に沿って移動させる移動手段と、を有する液体吐出装置と、
前記ヘッドより吐出された前記液体で表面が塗布された基板と前記液体吐出装置とを相対移動させる移動手段と、
表面に凹凸パターンが形成されたモールドと、
前記モールドの前記凹凸パターンが形成された前記表面と前記基板の前記液体が塗布された前記表面とを当接させ、前記基板の前記液体が塗布された前記表面において、前記前記モールドの前記表面に形成された前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するパターン形成手段と、を有し、
前記対向部材は、
前記吐出口面上の液体を回収する回収開口部と、
前記所定方向に沿って前記回収開口部よりも前方となる側に、かつ前記吐出口面まで第１の距離で離れて配置された第１対向面部と、
前記所定方向に沿って前記回収開口部よりも後方となる側に、かつ前記吐出口面まで前記第１の距離よりも大きい第２の距離で離れて配置された第２対向面部と、
前記所定方向に沿って前記回収開口部よりも後方となる側に配置され、前記吐出口面に気体を吹き出す吹出口部と、を備えていることを特徴とするインプリント装置。
【請求項２４】
前記液体は光硬化性を有する液体であって、
前記パターン形成手段は、前記基板に形成された前記パターンに光を照射して当該パターンを硬化させる光照射手段を備える
ことを特徴とする請求項２１〜２３のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項２５】
請求項２１〜２４に記載のインプリント装置を用いて、基板を備えた部品を製造する部品の製造方法であって、
前記基板の表面にパターンを形成するパターン形成工程と、
前記パターンが形成された前記基板を処理する処理工程と、を有する
ことを特徴とする部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッドから液体を吐出する液体吐出装置、その制御方法、インプリント装置および部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
印刷方式の１つとして、記録ヘッドから液滴（インク液滴）を吐出して描画するインクジェット方式がある。近年、インクジェット方式の液体吐出装置は、例えば、半導体装置の製造など、多様な分野で利用されている。ここで、液滴が吐出される被描画物（例えば、半導体ウェハー）に異物が付着すると、製品の欠陥などの原因となることがある。
【０００３】
インクジェット方式の液体吐出装置においては、記録ヘッドの吐出口近傍の吐出口面に液滴や装置内の紙粉などの異物が付着することがある。吐出口面に付着した液滴や異物を放置すると、乾燥して吐出口面に固着することがある。吐出口近傍に液滴や異物が固着すると、吐出口から吐出される液滴の量、液滴の吐出方向、液滴の吐出速度などの吐出特性が変化し、被描画物上のドット乱れによる濃度ムラやスジが発生してしまうことがある。また、この固着物（異物）が被描画物に落下し付着してしまうこともある。
【０００４】
吐出口面に付着した液滴や異物を除去する技術として、吐出口面をワイパにより掃払（ワイピング）する技術がある。しかし、この技術では、吐出口面を機械的にワイピングするため、吐出口面上の部材に、摩耗や剥離が起きてしまうことがある。
【０００５】
そこで、特開平５−７７４３７号公報（特許文献１）には、吐出口面にエアーを吹き付けることで、吐出口面に付着した液滴や異物を吹き飛ばして除去する技術が開示されている。この技術によれば、吐出口面に機械的に接触する必要がないため、吐出口面上の部材の摩耗や剥離を起こすことなく、吐出口面に付着した付着物を除去することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−７７４３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
エアーを吹き付けることで吐出口面に付着した液滴や異物を吹き飛ばす場合、吹き飛ばされた液滴や異物が再び吐出口面に付着してしまうことがある。
【０００８】
特許文献１に開示されている技術においては、エアーの噴射口と吐出口面との位置関係は固定されており、エアーが吹き付けられる吐出口面上の位置は一定とされている。そのため、吹き飛ばした液滴や異物が再び吐出口面に付着しても、その場所に向けてエアーが吹き付けられることはなく、再度付着した液滴や異物を、再び吹き飛ばすのは困難である。また、場所によっては、エアーを吹き付けても液滴や異物を十分に除去しきれないことがある。
【０００９】
そのため、特許文献１に開示されているエアーの吹き付けにより液滴や異物を除去する技術においては、液滴や異物などの付着物を除去することができる吐出口面上の領域にムラが発生し、吐出口近傍に付着物が残留してしまう可能性があるという問題がある。
【００１０】
本発明の目的は、吐出口近傍に付着物が残留する可能性の低減を図ることができる液体吐出装置およびその制御方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の液体吐出装置は、
供給された液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、
前記吐出口面から離間し、前記吐出口面に沿って移動可能に設けられ、移動に伴って前記吐出口面上の液体を前記吐出口が設けられていない回収位置に移動させる液体移動手段と、を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明の液体吐出装置の制御方法は、
供給された液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドを備えた液体吐出装置の制御方法であって、
前記吐出口面から離間し、前記吐出口面に沿って移動可能に設けられた液体移動手段により、前記吐出口面上の液体を前記吐出口が設けられていない回収位置に移動させることを特徴とする。
【００１３】
また、他の本発明の液体吐出装置は、
液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、
前記吐出口面に対向して配置され、前記吐出口面に対して負圧を発生させる負圧発生手段と、
前記負圧発生手段を所定方向に沿って移動させる移動手段と、を有する液体吐出装置において、
前記負圧発生手段は、
吸引により前記負圧を発生する吸引開口部と、
前記所定方向に沿って前記吸引開口部よりも前方となる側に、かつ前記吐出口面まで第１の距離で離れて配置された第１対向面部と、
前記所定方向に沿って前記吸引開口部よりも後方となる側に、かつ前記吐出口面まで前記第１の距離よりも大きい第２の距離で離れて配置された第２対向面部と、を備えていることを特徴とする。
【００１４】
また、他の本発明の液体吐出装置は、
液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、
前記吐出口面に対向して配置される対向部材と、
前記対向部材を所定方向に沿って移動させる移動手段と、を有する液体吐出装置において、
前記対向部材は、
前記吐出口面上の液体を回収する回収開口部と、
前記所定方向に沿って前記回収開口部よりも前方となる側に、かつ前記吐出口面まで第１の距離で離れて配置された第１対向面部と、
前記所定方向に沿って前記回収開口部よりも後方となる側に、かつ前記吐出口面まで前記第１の距離よりも大きい第２の距離で離れて配置された第２対向面部と、
前記所定方向に沿って前記回収開口部よりも後方となる側に配置され、前記吐出口面に気体を吹き出す吹出口部と、を備えていることを特徴とする。
【００１５】
本発明のインプリント装置は、
供給された液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、前記吐出口面から離間し、前記吐出口面に沿って移動可能に設けられ、移動に伴って前記吐出口面上の液体を前記吐出口が設けられていない回収位置に移動させる液体移動手段と、を有する液体吐出装置と、
前記ヘッドより吐出された前記液体で表面が塗布された基板と前記液体吐出装置とを相対移動させる移動手段と、
表面に凹凸パターンが形成されたモールドと、
前記モールドの前記凹凸パターンが形成された前記表面と前記基板の前記液体が塗布された前記表面とを当接させ、前記基板の前記液体が塗布された前記表面において、前記前記モールドの前記表面に形成された前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するパターン形成手段と、を有することを特徴とする。
【００１６】
また、他の本発明のインプリント装置は、
液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、前記吐出口面に対向して配置され、前記吐出口面に対して負圧を発生させる負圧発生手段と、前記負圧発生手段を所定方向に沿って移動させる移動手段と、を有する液体吐出装置と、
前記ヘッドより吐出された前記液体で表面が塗布された基板と前記液体吐出装置とを相対移動させる移動手段と、
表面に凹凸パターンが形成されたモールドと、
前記モールドの前記凹凸パターンが形成された前記表面と前記基板の前記液体が塗布された前記表面とを当接させ、前記基板の前記液体が塗布された前記表面において、前記前記モールドの前記表面に形成された前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するパターン形成手段と、を有し、
前記負圧発生手段は、
吸引により前記負圧を発生する吸引開口部と、
前記所定方向に沿って前記吸引開口部よりも前方となる側に、かつ前記吐出口面まで第１の距離で離れて配置された第１対向面部と、
前記所定方向に沿って前記吸引開口部よりも後方となる側に、かつ前記吐出口面まで前記第１の距離よりも大きい第２の距離で離れて配置された第２対向面部と、を備えていることを特徴とする。
【００１７】
また、他の本発明のインプリント装置は、
液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、前記吐出口面に対向して配置される対向部材と、前記対向部材を所定方向に沿って移動させる移動手段と、を有する液体吐出装置と、
前記ヘッドより吐出された前記液体で表面が塗布された基板と前記液体吐出装置とを相対移動させる移動手段と、
表面に凹凸パターンが形成されたモールドと、
前記モールドの前記凹凸パターンが形成された前記表面と前記基板の前記液体が塗布された前記表面とを当接させ、前記基板の前記液体が塗布された前記表面において、前記前記モールドの前記表面に形成された前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するパターン形成手段と、を有し、
前記対向部材は、
前記吐出口面上の液体を回収する回収開口部と、
前記所定方向に沿って前記回収開口部よりも前方となる側に、かつ前記吐出口面まで第１の距離で離れて配置された第１対向面部と、
前記所定方向に沿って前記回収開口部よりも後方となる側に、かつ前記吐出口面まで前記第１の距離よりも大きい第２の距離で離れて配置された第２対向面部と、
前記所定方向に沿って前記回収開口部よりも後方となる側に配置され、前記吐出口面に気体を吹き出す吹出口部と、を備えていることを特徴とする。
【００１８】
本発明の部品の製造方法は、
上記の本発明のインプリント装置を用いて、基板を備えた部品を製造する部品の製造方法であって、
前記基板の表面にパターンを形成するパターン形成工程と、
前記パターンが形成された前記基板を処理する処理工程と、を有する
ことを特徴とする。
【００１９】
本発明によれば、吐出口面上の液体は液体移動手段により吐出口が設けられていない回収位置に移動されるので、吐出口近傍の液滴や異物などの付着物を除去される。また、液体移動手段が吐出口面に沿って移動可能であるため、付着物を除去する吐出口面上の領域のムラの発生が抑制され、吐出口近傍に付着物が残留する可能性は低減する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、吐出口近傍に付着物が残量する可能性を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】（ａ）は、本発明の第１の実施形態の液体吐出装置の構成の一例を示す断面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す記録ヘッドを吐出口面側から見た図であり、（ｃ）は、（ａ）に示す吸引口を記録ヘッド側から見た図である。
【図２】図１に示す液体吐出装置の記録ヘッドに液体を供給した状態を示す図である。
【図３】（ａ）乃至（ｃ）は、図１（ａ）に示す液体移動手段による吐出口面上の液体の移動を説明するための図である。
【図４】図１（ａ）に示す液体回収ユニットによる液体の回収動作を説明するための図である。
【図５】本発明の第１の実施形態の液体吐出装置の構成の他の一例を示す断面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態の液体吐出装置の構成を示す断面図である。
【図７】図６に示す液体吐出装置の記録ヘッドに液体を供給した状態を示す図である。
【図８】（ａ）乃至（ｃ）は、図６に示す液体移動手段による吐出口面上の液体の移動を説明するための図である。
【図９】（ａ）、（ｂ）は、本発明の第３の実施形態の液体移動手段による吐出口面上の液体の移動を説明するための図である。
【図１０】（ａ）、（ｂ）は、本発明の第４の実施形態の液体移動手段による吐出口面上の液体の移動を説明するための図である。
【図１１】本発明の第５の実施形態の液体吐出装置の構成を示す断面図である。
【図１２】（ａ）乃至（ｃ）は、図１１に示す液体移動手段による吐出口面上の液体の移動を説明するための図である。
【図１３】（ａ）、（ｂ）は、図１１に示す液体移動手段による液体の回収動作を説明するための図である。
【図１４】本発明の第６の実施形態の液体吐出装置の構成を示す断面図である。
【図１５】（ａ）乃至（ｃ）は、図１４に示す液体移動手段による吐出口面上の液体の移動を説明するための図である。
【図１６】（ａ）、（ｂ）は、図１４に示す液体移動手段による液体の回収動作を説明するための図である。
【図１７】（ａ）、（ｂ）は、本発明の第７の実施形態の記録ヘッドを吐出口面側から見た図である。
【図１８】本発明の第８の実施形態の液体吐出装置の構成の一例を示す断面図である。
【図１９】（ａ）は、図１８に示す液体回収体の構成の一例を示す図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液体回収体が液体を回収した状態を示す図であり、（ｃ）は、図１８に示す液体回収体の構成の他の一例を示す図である。
【図２０】（ａ）は、本発明の第８の実施形態の液体吐出装置の構成の他の一例を示す断面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す板バネの構成を示す図である。
【図２１】（ａ）は、本発明の第９の実施形態の液体吐出装置の構成を示す断面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液体回収体の構成を示す図である。
【図２２】（ａ）は、本発明の第１０の実施形態の液体吐出装置の構成を示す断面図であり、（ｂ）は、吐出口面を（ａ）に示す矢印Ａの方向から見た図であり、（ｃ）は、吸引口の端部を（ａ）に示す矢印Ｂの方向から見た図である。
【図２３】図２２に示す液体吐出装置の記録ヘッドに液体が供給された状態を示す図である。
【図２４】（ａ）は、図２２に示す液体吐出装置の供給手段により液体が吐出口面上まで供給された状態を示す図であり、（ｂ）は、吸引口が吐出口面に沿って移動する途中の状態を示す図であり、（ｃ）は、吸引口が吐出口面の吐出口の形成領域内から吐出口の形成領域外へ移動した状態を示す図である。
【図２５】本発明の第１１の実施形態の液体吐出装置の構成を示す断面図である。
【図２６】（ａ）は、図２５に示す液体吐出装置の供給手段により液体が吐出口面上まで供給された状態を示す図であり、（ｂ）は、落下回収口が吐出口面に沿って移動する途中の状態を示す図であり、（ｃ）は、落下回収口が吐出口面の吐出口の形成領域内から吐出口の形成領域外へ移動した状態を示す図である。
【図２７】本発明の第１２の実施形態の液体吐出装置の構成を示す断面図である。
【図２８】（ａ）は、図２７に示す液体吐出装置の供給手段により液体が吐出口面上まで供給された状態を示す図であり、（ｂ）は、移動部を矢印Ｅの方向に移動する途中の状態を示す図であり、（ｃ）は、吐出口面上の液体を吐出口の形成領域内から吐出口の形成領域外へ移動した状態を示す図である。
【図２９】本発明の第１３の実施形態のインプリント装置の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。なお、以下では、各図面において、同一の構成については同じ符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２３】
（第１の実施形態）
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態の液体吐出装置１の構成を示す断面図である。
【００２４】
液体吐出装置１には、ベースプレート１１が設置されている。ベースプレート１１には、被描画物搬送部１２が搭載されている。被描画物搬送部１２は、被描画物１３を不図示の吸着手段により吸引して保持する。また、被描画物搬送部１２は、ベースプレート１１に対して、図１（ａ）において左右方向に移動可能である。
【００２５】
液体吐出装置１には、記録ヘッド搭載部１４が設けられている。記録ヘッド搭載部１４には、液体を吐出する記録ヘッド２（ヘッド）が搭載されている。記録ヘッド２と記録ヘッド搭載部１４とは、不図示の接続部により電気的に接続されている。また、記録ヘッド搭載部１４と液体吐出装置１の不図示の制御系とも、不図示の接続部により電気的に接続されている。
【００２６】
記録ヘッド２の一面には、液体を吐出する吐出口３が設けられている。以下では、吐出口３が設けられた面を吐出口面４と称する。吐出口３は、個別液室１５と連通している。個別液室１５は、共通液室１６に連通し、共通液室１６は、供給流路１７に連通している。供給流路１７は、供給手段５に連通している。
【００２７】
供給手段５は、液体タンク１０と圧力制御部３１とを有する。圧力制御部３１は、ポンプ、レギュレーターおよび圧力検知部（いずれも不図示）を有する。圧力制御部３１が有するポンプを動作させ、レギュレーターおよび圧力検知部によりポンプが発生する圧力を制御することで、吐出口３内のメニスカスを維持することができる。
【００２８】
吐出信号が記録ヘッド２に伝達されることで、個別液室１５内の液体が吐出口３から液滴として吐出される。なお、吐出される液体は、配線パターン用の導電性材料を含む液体、産業用および画像記録用の紫外線（ＵＶ）硬化性液体、画像記録用の溶剤と色剤とからなる液体（インク）などがある。
【００２９】
吐出口面４の吐出口３が設けられていない位置には、液体回収口９が設けられている。液体回収口９は、液体回収流路２１に連通している。液体回収流路２１は、液体回収ユニット接続流路１９に連通している。液体回収ユニット接続流路１９は、液体回収手段としての液体回収ユニット２０に連通している。
【００３０】
液体回収ユニット２０は、ポンプ、レギュレーターおよび圧力検知部（いずれも不図示）を有する。液体回収ユニット２０が有するポンプを動作させ、レギュレーターおよび圧力検知部によりポンプが発生する圧力を制御することで、液体回収口９において発生する吸引圧力を制御することができる。
【００３１】
ベースプレート１１には、吐出口面４上の液体を移動させる液体移動手段７が搭載されている。
【００３２】
液体移動手段７は、吐出口面４上の液体を所定の位置（回収位置）まで移動させる。液体移動手段７は、吸引口６と移動部３３とを有する。
【００３３】
移動部３３は、図１において左右方向に移動可能に構成されている。移動部３３の移動により、液体移動手段７は、吐出口面４に沿って移動することができる。移動部３３上に吸引口６が設けられており、移動部３３の移動に応じて、吸引口６も移動する。
【００３４】
吸引口６は、吐出口面４から離間し、移動部３３の移動に応じて、吐出口面４に沿って移動可能に設けられている。吸引口６は、吸引流路１８に連通し、吸引流路１８は、制御手段８に連通している。
【００３５】
制御手段８は、負圧発生手段としての負圧発生機構３４を有している。負圧発生機構３４は、ポンプ、レギュレーターおよび圧力検知部（いずれも不図示）を有している。負圧発生機構３４が有するポンプを動作させ、レギュレーターおよび圧力検知部によりポンプが発生する圧力を制御することで、吸引口６において発生する吸引圧力を制御することができる。また、制御手段８は、移動部３３の移動を制御する。
【００３６】
図１（ｂ）は、吐出口面４を図１（ａ）に示す矢印Ａに示す方向から見た図である。
【００３７】
吐出口面４には、吐出口３および液体回収口９が設けられている。液体回収口９は、吐出口３が設けられた領域（以下、吐出口配列領域２３と称する）から外れた位置に設けられている。ただし、吐出口３間の間隔が大きい場合には、吐出口３間に液体回収口９を設けてもよい。
【００３８】
図１（ｃ）は、吸引口６を図１（ａ）に示す矢印Ｂに示す方向から見た図である。
【００３９】
吸引口６は、長円形の形状をしている。ただし、吸引口６の形状は、長円形に限られるものではなく、楕円形、円形、正方形、長方形などの形状であってもよい。
【００４０】
図２は、記録ヘッド２に液体を供給した状態を示す図である。
【００４１】
供給手段５内の圧力制御部３１が有するポンプが発生する圧力を制御することで、液体タンク１０内の液体が吐出口面４上まで供給される。
【００４２】
例えば、圧力制御部３１は、液体タンク１０内の液体にゲージ圧（絶対圧力と大気圧との差）として、第１の加圧（正圧）圧力としての＋２０ｋＰａの加圧を加える。その結果、液体タンク１０内の液体が、吐出口３から吐出口面４上まで供給される。
【００４３】
吐出口面４上に異物が付着している場合、吐出口面４上の液体２２が吐出口３内に侵入し、吐出口３から被描画物１３上に吐出されると、吐出口面４上に付着していた異物も被描画物１３に付着してしまうことがある。
【００４４】
そのため、圧力制御部３１は、記録ヘッド２への液体の供給後、液体タンク１０内の液体に、第１の加圧圧力よりも絶対値の小さい第２の加圧圧力としての＋１ｋＰａの加圧圧力を加える。こうすることで、吐出口面４上の液体２２を吐出口３内に侵入させないようにすることができる。なお、記録ヘッド２への液体の供給時および供給後に、液体タンク１０内の液体に加える圧力は、上述した数値に限定されるものではない。
【００４５】
次に、液体移動手段７による吐出口面４上の液体２２の移動について、図３（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。
【００４６】
図３（ａ）は、供給手段５により液体を吐出口面４上まで供給した状態を示す図である。なお、吐出口面４上まで液体を供給した後には、＋１ｋＰａの加圧が液体タンク１０内の液体に加えられているため、吐出口面４上の液体２２は吐出口３内に侵入しない。
【００４７】
吐出口面４と吐出口６とは離間している。吐出口面４と吐出口６との距離は、例えば、１ｍｍである。なお、吐出口面４と吐出口６との距離は、上述した数値に限定されるものではない。
【００４８】
ここで、制御手段８内の負圧発生機構３４により、吸引口６内部の圧力は、例えば、−１ｋＰａに制御される。なお、吸引口６内部の圧力は、上述した数値に限定されるものではない。
【００４９】
図３（ａ）においては、吸引口６は、吐出口３が設けられた領域とは離れた位置にある。
【００５０】
制御手段８は、移動部３３を白抜き矢印で示す方向（右方向）移動させることで、吸引口６を吐出口面４に沿って相対的に移動させる。
【００５１】
図３（ｂ）は、吸引口６を図３（ａ）に示す位置から右方向に移動させた状態を示す図である。
【００５２】
吸引口６内の圧力は、−１ｋＰａに制御されているため、吐出口面４上の液体２２の一部は、吸引口６から吸引され、吸引流路１８を介して、制御手段８内の不図示の液体保管部に回収される。また、吐出口面４上の液体２２の一部は、吸引口６からの吸引により、吐出口面４上に保持されつつ、吐出口面４上の吸引口６に対向する位置付近に移動する。
【００５３】
このように、吸引口６内部の圧力を適切な圧力に制御することで、吐出口面４上の液体２２を、吸引口６の移動に応じて、吐出口面４上で移動させることができる。
【００５４】
制御手段８は、吐出口面４上の液体２２を回収位置、本実施形態では、液体回収口９近傍に移動させる。具体的には、制御手段８は、移動部３３をさらに白抜き矢印で示す方向（右方向）移動させ、図３（ｃ）に示すように、吸引口６を液体回収口９に対向する位置に移動させる。
【００５５】
制御手段８は、吸引口６を液体回収口９に対向する位置に移動させると、移動部３３の移動を停止する。上述したように、吸引口６からの吸引により、吐出口面４上の液体２２は、吸引口６に対向する位置付近に移動する。そのため、吐出口面４上の液体２２も回収位置である液体回収口９近傍に移動する。
【００５６】
吐出口面４上の液体２２を吐出口３が設けられていない回収位置に移動させた後、供給手段５内の圧力制御部３１により液体タンク１０内の液体に、例えば、−２ｋＰａの負圧を加える。こうすることで、吐出口３から液体は垂れずに保持され、吐出口３から液体を吐出可能な状態となる。
【００５７】
液体回収口９近傍に移動した液体２２は、液体回収口９から回収される。
【００５８】
図４は、液体回収口９近傍の液体２２を液体回収口９から回収する状態を示す図である。
【００５９】
制御手段８は、吸引口６を液体回収口９に対向する位置に移動させると、負圧発生機構３４のポンプを停止させる。負圧発生機構３４のポンプを停止させることで、吸引口６からの吸引は停止する。
【００６０】
次に、液体回収ユニット２０内のポンプを動作させ、液体回収口９において吸引圧力を発生させる。液体回収口９内部の圧力は、例えば、−２０ｋＰａに制御される。なお、液体回収口９内部の圧力は、上述した数値に限定されるものではない。
【００６１】
液体回収口９において吸引圧力が発生することで、液体回収口９近傍の液体は、液体回収流路２１および液体回収ユニット接続流路１９を介して、液体回収ユニット２０に設けられた液体回収部に回収される。このように、液体回収口９内部の圧力を適切な圧力に制御することで、液体回収口９近傍の液体２２を液体回収口９から回収することができる。
【００６２】
このように本実施形態の液体吐出装置１は、吐出口面４と離間して対向する吸引口６を備え、吐出口面４に沿って移動可能な液体移動手段７を有する。液体移動手段７は、吐出口面４に沿って吸引口６を移動させることで、吸引口６からの吸引により、吐出口面４上の液体２２を吐出口３が設けられていない位置に移動させる。
【００６３】
吐出口面４上の液体２２は、液体移動手段７が備える吸引口６からの吸引により、吐出口３が設けられていない位置に移動されるので、吐出口３近傍の液滴や異物などの付着物を除去される。また、液体移動手段７が吐出口面４に沿って移動可能であるため、付着物を除去する吐出口面４上の領域のムラの発生が抑制され、吐出口３近傍に付着物が残留する可能性を低減することができる。
【００６４】
なお、液体吐出装置においては、記録ヘッド２の周囲に、記録ヘッド２を案内するためのヘッドガイド部が取り付けられることがある。図５は、ヘッドガイド部を設けた場合の、本実施形態の液体吐出装置１の構成を示す断面図である。
【００６５】
図５に示すように、ヘッドガイド部３２は、記録ヘッド２の周囲に、一面が吐出口面４と略同一面となるように設けられている。ヘッドガイド部３２の一面には、液体回収口９が設けられている。ただし、液体回収口９は、記録ヘッド２とヘッドガイド部３２との接合部に設けてもよい。
【００６６】
液体移動手段７は、吐出口６が、記録ヘッド２の吐出口面４およびヘッドガイド部３２の一面に沿って移動可能となるように構成されている。そして、液体移動手段７は、回収位置として、ヘッドガイド部３２の一面に設けられた液体回収口９近傍に吐出口面４上の液体２２を移動させる。
【００６７】
上述したように、吐出口面４と液体回収口９が設けられたヘッドガイド部３２の一面とが略同一面であるため、液体移動手段７により吐出口面４上の液体２２をヘッドガイド部３２の一面に設けられた液体回収口９近傍に移動させることができる。
【００６８】
（第２の実施形態）
図６は、本発明の第２の実施形態の液体吐出装置１ａの構成を示す断面図である。
【００６９】
本実施形態の液体吐出装置１ａは、第１の実施形態の液体吐出装置１と比較して、液体移動手段７を液体移動手段７ａに変更した点が異なる。
【００７０】
液体吐出手段７ａは、液体吐出手段７と比較して、液体保持部３０を追加した点が異なる。
【００７１】
液体保持部３０は、一面３０ａが吐出口面４と離間して対向するように移動部３３に搭載されている。吐出口面４と液体保持部３０の一面３０ａとの距離は、吐出口面４上の液体２２が、液体保持部３０の一面３０ａと接する距離である。
【００７２】
図７は、液体吐出装置１ａの記録ヘッド２に液体を供給した状態を示す図である。
【００７３】
供給手段５内の圧力制御部３１のポンプが発生する圧力を制御することで、液体タンク１０内の液体が吐出口面４上まで供給される。
【００７４】
吐出口面４と液体保持部３０の一面３０ａとの距離は、吐出口面４上の液体２２が、液体保持部３０の一面３０ａと接する距離である。そのため、吐出口面４上の液体２２は、図７に示すように、液体保持部３０の一面３０ａと吐出口面４との間に保持される。
【００７５】
次に、液体移動手段７ａによる吐出口面４上の液体２２の移動について、図８（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。なお、図８（ａ）〜（ｃ）において、図３（ａ）〜（ｃ）と同様の処理については説明を省略する。
【００７６】
図８（ａ）は、供給手段５により液体を吐出口面４上まで供給した状態を示す図である。
【００７７】
図８（ａ）に示すように、吐出口面４上の液体２２は、吐出口面４と液体保持部３０の一面３０ａとの間に保持される。移動部３３を白抜き矢印に示す方向（右方向）に移動させると、吸引口６内の圧力は、−１ｋＰａに制御されているため、図８（ｂ）に示すように、吐出口面４上の液体２２の一部は、吸引口６から吸引され、制御手段８内の不図示の液体保管部に回収される。また、吐出口面４上の液体２２の一部は、吸引口６からの吸引により、吐出口面４上に保持されつつ、吐出口面４上の吸引口６と対向する位置付近に移動する。
【００７８】
このように、吸引口６内部を適切な圧力に制御することで、吐出口面４と液体保持部３０の一面３０ａとの間に保持された液体２２を、吐出口面４上で移動させることができる。
【００７９】
制御手段８は、吐出口面４上の液体２２を回収位置、本実施形態では、液体回収口９近傍に移動させる。具体的には、制御手段８は、図８（ｃ）に示すように、吸引口６を液体回収口９に対向する位置に移動させる。制御手段８は、吸引口６を液体回収口９に対向する位置に移動させると、移動部３３の移動を停止する。上述したように、吸引口６からの吸引により、吐出口面４上の液体２２は、吐出口面４上の吸引口６と対向する位置付近に移動する。そのため、吐出口面４上の液体２２も回収位置である液体回収口９近傍に移動する。
【００８０】
ここで、供給手段５内の圧力制御部３１により、液体タンク１０内の液体に、例えば、−２ｋＰａの負圧を加える。こうすることで、吐出口３から液体は垂れずに保持され、吐出口３から液体を吐出可能な状態となる。
【００８１】
液体回収口９近傍に移動した液体２２は、液体回収口９から回収される。液体回収口９からの液体２２の回収動作は第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００８２】
このように本実施形態の液体吐出装置１ａは、吐出口面４と一面３０ａとの間に液体２２を保持する液体保持部３０をさらに有する。
【００８３】
液体保持部３０の一面３０ａと吐出口面４との間に吐出口面４上の液体２２を保持することで、より確実に吐出口面４上の液体２２を保持することができる。そのため、液体２２の落下を防ぐとともに、吐出口面４上の液体２２を吐出口３が設けられていない位置に移動させ、吐出口３近傍に付着物が残留する可能性を低減することができる。
【００８４】
（第３の実施形態）
図９（ａ）、（ｂ）は、本発明の第３の実施形態の液体移動手段７ｂによる、吐出口面４上の液体２２の移動を説明するための図である。
【００８５】
本実施形態の液体移動手段７ｂは、第２の実施形態の液体移動手段７ａと比較して、吸気口６を吹き出し口３５に変更した点と、制御手段８を制御手段８ｂに変更した点と、が異なる。
【００８６】
吹き出し口３５は、吐出口面４から離間して移動部３３に搭載されており、移動部３３の移動に応じて、吐出口面４に沿って移動可能に設けられている。
【００８７】
制御手段８ｂは、制御手段８と比較して、負圧発生機構３４を加圧発生手段としての加圧発生機構３６に変更した点が異なる。
【００８８】
加圧発生機構３６は、ポンプ、レギュレーターおよび圧力検知部（いずれも不図示）を有する。加圧発生機構３６が有するポンプを動作させ、レギュレーターおよび圧力検知部によりポンプが発生する圧力を制御することで、吹き出し口３５において発生する加圧圧力を制御することができる。吹き出し口３５において発生する加圧圧力は、例えば、＋１０ｋＰａに制御される。吹き出し口３５における加圧圧力により、吹き出し口３５から空気が吹き出される。なお、吹き出し口３５における加圧圧力は、上述した数値に限定されるものではない。
【００８９】
次に、液体移動手段７ｂによる吐出口面４上の液体の移動について説明する。
【００９０】
第２の実施形態において説明したように、吐出口面４上の液体２２は、吐出口面４と液体保持部３０の一面３０ａとの間に保持される。
【００９１】
制御手段８ｂは、図９（ａ）に示すように、加圧発生機構３６により吹き出し口３５から空気を吹き出させながら、移動部３３を白抜き矢印で示す方向（右方向）移動させる。移動部３３の移動に応じて、吹き出し口３５から吹き出される空気により、吐出口面４と液体保持部３０の一面３０ａとの間に保持された液体２２は、吐出口面４上を右方向に移動する。
【００９２】
制御手段８ｂは、吐出口面４上の液体２２を回収位置、本実施形態では、液体回収口９近傍に移動させる。具体的には、制御手段８ｂは、図９（ｂ）に示すように、吐出口面４と液体保持部３０の一面３０ａとの間に保持された液体２２を回収位置である液体回収口９近傍に移動させる。吐出口面４と液体保持部３０の一面３０ａとの間に保持された液体２２が液体回収口９近傍に移動すると、制御手段８ｂは、移動部３３の移動を停止させる。
【００９３】
ここで、供給手段５内の圧力制御部３１により、液体タンク１０内の液体に、例えば、−２ｋＰａの負圧を加える。こうすることで、吐出口３から液体は垂れずに保持され、吐出口３から液体を吐出可能な状態となる。
【００９４】
液体回収口９近傍に移動した液体２２は、液体回収口９から回収される。なお、液体回収口９からの液体２２の回収動作は第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００９５】
このように本実施形態の液体吐出手段７ｂは、吐出口面４との間に吐出口面４上の液体２２を保持する液体保持部３０と、吐出口面４と離間し、吐出口面４に沿って移動可能な吹き出し口３５と、を備える。また、本実施形態の液体吐出手段７ｂは、液体保持部３０の一面３０ａと吐出口面４との間に保持された液体２２を、吹き出し口３５からの吹き出される空気により、吐出口３が設けられていない位置に移動させる。
【００９６】
液体保持部３０の一面３０ａと吐出口面４との間に吐出口面４上の液体２２を保持することができるので、より確実に吐出口面４上の液体２２を保持し、液体２２の落下や飛び散りなどを防ぐことができる。また、液体保持部３０の一面３０ａと吐出口面４との間に保持された液体２２は、吹き出し口３５から吹き出される空気により、吐出口３が設けられていない位置に移動されるので、吐出口３近傍の液滴や異物などの付着物を除去することができる。また、液体移動手段７ｂが吐出口面４に沿って移動可能であるため、付着物を除去する吐出口面４上の領域のムラの発生が抑制されるので、吐出口３近傍に付着物が残留する可能性を低減することができる。
【００９７】
（第４の実施形態）
図１０（ａ）、（ｂ）は、本発明の第４の実施形態の液体移動手段７ｃによる、吐出口面４上の液体２２の移動を説明するための図である。
【００９８】
本実施形態の液体移動手段７ｃは、第２の実施形態の液体移動手段７ａと比較して、吸気口６を削除し、制御手段８を制御手段８ｃに変更した点が異なる。
【００９９】
制御手段８ｃは、制御手段８と比較して、負圧発生機構３４を削除した点が異なる。
【０１００】
次に、液体移動手段７ｃによる吐出口面４上の液体の移動について説明する。
【０１０１】
第２の実施形態において説明したように、吐出口面４上の液体２２は、吐出口面４と液体保持部３０の一面３０ａとの間に保持される。
【０１０２】
図１０（ａ）に示すように、制御手段８ｃは、吐出口面４と液体保持部３０の一面３０ａとの間に液体２２を保持した状態で、移動部３３を白抜き矢印で示す方向（右方向）移動させる。移動部３３の移動に応じて、吐出口面４と液体保持部３３の一面３０ａとの間に保持された液体２２は、吐出口面４上を右方向に移動する。
【０１０３】
制御手段８ｃは、吐出口面４と液体保持部３０の一面３０ａとの間に保持された液体２２を回収位置、本実施形態では、液体回収口９近傍に移動させる。具体的には、制御手段８ｃは、図１０（ｂ）に示すように、吐出口面４と液体保持部３０の一面３０ａとの間に保持された液体２２を、液体回収口９近傍に移動させる。吐出口面４と液体保持部３０の一面３０ａとの間に保持された液体２２が液体回収口９近傍に移動すると、制御手段８ｃは、移動部３３の移動を停止させる。
【０１０４】
ここで、供給手段５内の圧力制御部３１により、液体タンク１０内の液体に、例えば、−２ｋＰａの負圧を加える。こうすることで、吐出口３から液体は垂れずに保持され、吐出口３から液体を吐出可能な状態となる。
【０１０５】
液体回収口９近傍に移動した液体２２は、液体回収口９から回収される。液体回収口９からの液体２２の回収動作は第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【０１０６】
なお、液体保持部３０の一面３０ａは、吐出口面４との間で液体２２を保持しつつ、その液体２２を移動させることが可能な材質で構成されている。例えば、液体保持部３０の一面３０ａは、多孔質体で構成されている。液体保持部３０の一面３０ａを多孔質体で構成した場合には、多孔質体で液体２２の一部を吸収しつつ、吐出口面４との間で液体２２を保持して移動することができる。
【０１０７】
このように本実施形態の液体吐出手段７ｃは、吐出口面４との間で液体２２を保持する液体保持部３０を有し、液体保持部３０と吐出口面４との間に保持された液体２２を、吐出口３が設けられていない位置に移動させる。
【０１０８】
液体保持部３０の一面３０ａと吐出口面４との間に吐出口面４上の液体２２を保持することができるので、より確実に吐出口面４上の液体２２を保持し、液体２２の落下や飛び散りなどを防ぐことができる。また、液体保持部３０の一面３０ａと吐出口面４との間に保持された液体２２は、液体保持部３０の移動により吐出口３が設けられていない位置に移動されるので、吐出口３近傍の液滴や異物などの付着物を除去することができる。また、液体保持部３０（液体移動手段７ｃ）が吐出口面４に沿って移動可能であるため、付着物を除去する吐出口面４上の領域のムラの発生が抑制され、吐出口３近傍に付着物が残留する可能性を低減することができる。また、吸引や空気の吹き出しにより吐出口面４上の液体を移動させるためのポンプなどが不要となり、装置構成の簡易化を図ることができる。
【０１０９】
（第５の実施形態）
図１１は、本発明の第５の実施形態の液体吐出装置１ｄの構成を示す断面図である。
【０１１０】
本実施形態の液体吐出装置１ｄは、第１の実施形態の液体吐出装置１と比較して、液体回収口９、液体回収流路２１、液体回収ユニット接続流路１９および液体回収ユニット２０を削除した点と、液体移動手段７を液体移動手段７ｄに変更した点と、が異なる。
【０１１１】
液体移動手段７ｄは、液体移動手段７と比較して、昇降部２６を追加した点と、制御手段８を制御手段８ｄに変更した点と、が異なる。
【０１１２】
昇降部２６は、移動部３３に搭載され、昇降手段２６には吸引口６が搭載されている。昇降部２６は、移動部３３に対して、図１１において上下方向に移動可能に構成されている。昇降部２６を上下方向に移動させることで、吸引口６は上下方向に移動する。したがって、昇降部２６により、吸引口６と吐出口面４との距離を変化させることができる。
【０１１３】
次に、液体移動手段７ｄによる記録ヘッド２の吐出口面４上の液体の移動について、図１２（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。
【０１１４】
液体移動手段７ｄにより吐出口面４上の液体２２の移動させる方法は、第１の実施形態と同様である。すなわち、制御手段８ｄは、図１２（ａ）に示すように、吸引口６から吸引を行う状態で、図１２（ａ）の白抜き矢印に示す方向（右方向）に吐出口面４に沿って吸引口６を移動させる。
【０１１５】
吸引口６からの吸引により、図１２（ｂ）に示すように、吐出口面４上の液体２２の一部は、吸引口６から吸引され、吸引流路１８を介して、制御手段８ｄ内の不図示の液体保管部に回収される。また、吐出口面４上の液体２２の一部は、吐出口面４上に保持されつつ、吐出口面４上の吸引口６と対向する位置付近に移動する。
【０１１６】
制御手段８ｄは、さらに吸引口６を移動させ、図１２（ｃ）に示すように、吐出口面４上の液体２２を吐出口３が設けられていない回収位置に移動させる。この位置で、吐出口面４上の液体２２は、液体移動手段７ｄにより回収される。
【０１１７】
次に、液体移動手段７ｄによる吐出口面４上の液体２２の回収動作について、図１３（ａ）、（ｂ）を参照して説明する。
【０１１８】
制御手段８ｄは、負圧発生機構３４により吸引口６内部の圧力を、吐出口面４上の液体２２の移動時よりも絶対値の大きい、−２０ｋＰａに制御する。なお、吸引口６内部の圧力は、上述した数値に限定されるものではない。
【０１１９】
吸引口６内部の圧力（負圧）を−１０ｋＰａから−２０ｋＰａに大きくすることで、吐出口面４上の液体２２に対する吐出口６からの吸引力が増加し、図１３（ａ）に示すように、吐出口面４上の液体２２が吸引口６に吸引される。吸引口６から吸引された液体は、吸引流路１８を介して、制御手段８ｄ内の不図示の液体保管部に回収される。
【０１２０】
ここで、制御手段８ｄは、図１３（ｂ）に示すように、昇降部２６を動作させ、吸引口６を吐出口面４に近づける。吸引口６を吐出口面４に近づけることで、吐出口面４上の液体２２に対する吐出口６からの吸引力がさらに増加し、吐出口面４上の液体を除去しやすくなる。
【０１２１】
このように本実施形態の液体移動手段７ｄは、吐出口面４上の液体２２を吐出口３が設けられていない位置に移動させた後、吸引口６から吸引して回収する。また、液体吐出手段７ｄは、吸引口６と吐出口面４との間の距離を変化させる昇降部２６を備え、吐出口面４上の液体２２を回収する際には、昇降部２６により、吸引口６を吐出口面４に近づける。
【０１２２】
吸引口６から吐出口面４上の液体２２を回収することにより、吐出口面４上の液体２２を回収するための構成を別途設ける必要がなくなるので、装置構成の簡素化を図ることができる。また、吸引口６を吐出口面４に近づけることで、吐出口面４上の液体２２に対する吐出口６からの吸引力が増加するので、吐出口面４上の液体２２を除去しやすくなる。
【０１２３】
（第６の実施形態）
図１４は、本発明の第６の実施形態の液体吐出装置１ｅの構成を示す断面図である。
【０１２４】
本実施形態の液体吐出装置１ｅは、第５の実施形態の液体吐出装置１ｄと比較して、液体移動手段７ｄを液体移動手段７ｅに変更した点が異なる。
【０１２５】
液体移動手段７ｅは、液体移動手段７ｄと比較して、液体回収吸引口２８、液体回収吸引口流路２９および３方向弁２７を追加した点と、制御手段８ｄを制御手段８ｅに変更した点とが異なる。液体回収吸引口２８、液体回収吸引口流路２９および３方向弁２７は、昇降部２６に搭載されている。
【０１２６】
液体回収口２８は、吐出口面４と対向し、液体回収吸引口流路２９に連通している。なお、液体回収口２８の開口面積は、吸引口６の開口面積よりも小さい。
【０１２７】
液体回収吸引口流路２９は、３方向弁２７と連通している。
【０１２８】
３方向弁２７は、液体回収吸引口流路２９、吸引口６、および、吸引流路１８と連通している。３方向弁２７は、吸引口６と吸引流路１８、または、液体回収吸引口流路２９と吸引流路１８とを連通する。したがって、液体回収吸引口流路２９または吸引口６から吸引が行われる。
【０１２９】
次に、液体移動手段７ｅによる吐出口面４上の液体２２の移動について、図１５（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。なお、図１５（ａ）〜（ｃ）において、図１２（ａ）〜（ｃ）と同様の処理については説明を省略する。
【０１３０】
吐出口面４上の液体２２を移動させる際には、制御手段８ｅは、３方向弁２７に、吸引口６と吸引流路１８とを連通させる。こうすることで、吸引口６から吸引が行われる。
【０１３１】
液体移動手段７ｅにより吐出口面４上の液体２２の移動させる方法は、第１の実施形態と同様である。すなわち、制御手段８ｄは、図１５（ａ）に示すように、吸引口６から吸引を行う状態で、図１５（ａ）の白抜き矢印に示す方向（右方向）に吐出口面４に沿って吸引口６を移動させる。
【０１３２】
吸引口６からの吸引により、図１５（ｂ）に示すように、吐出口面４上の液体２２の一部は、吸引口６から吸引され、吸引流路１８を介して、制御手段８ｅ内の不図示の液体保管部に回収される。また、吐出口面４上の液体２２の一部は、吐出口面４上に保持されつつ、吐出口面４上の吸引口６と対向する位置付近に移動する。
【０１３３】
制御手段８ｅは、さらに吸引口６を移動させ、図１５（ｃ）に示すように、吐出口面４上の液体２２を吐出口３が設けられていない回収位置に移動させる。この位置で、吐出口面４上の液体２２は、液体移動手段７ｅにより回収される。
【０１３４】
次に、液体移動手段７ｅによる吐出口面４上の液体２２の回収動作について、図１６（ａ）、（ｂ）を参照して説明する。
【０１３５】
まず、制御手段８ｅは、移動部３３に液体回収吸引口２８を、吐出口面４上の液体２２の回収位置に対向する位置に移動させる。また、制御手段８ｅは、３方向弁２７に、液体回収吸引口流路２９と吸引流路１８とを連通させる。こうすることで、液体回収吸引口流路２９から吸引が行われる。
【０１３６】
次に、制御手段８ｅは、負圧発生機構３４により、液体回収吸引口２８内部の圧力を、吐出口面４上の液体２２の移動時よりも絶対値の大きい、−２０ｋＰａに制御する。なお、液体回収吸引口２８内部の圧力は、上述した数値に限定されるものではない。
【０１３７】
液体回収吸引口２８内部の圧力（負圧）を−１０ｋＰａから−２０ｋＰａに大きくすることで、吸引力が増加し、図１６（ａ）に示すように、吐出口面４上の液体２２が液体回収吸引口２８に吸引される。液体回収吸引口２８から吸引された液体は、液体回収吸引口流路２９および吸引流路１８を介して、制御手段８ｅ内の不図示の液体保管部に回収される。
【０１３８】
上述したように、液体回収吸引口２８の開口面積は、吸引口６の開口面積よりも小さい。したがって、負圧発生機構３４が有するポンプが発生する圧力が同じであれば、液体回収吸引口２８からの吸引力の方が、吸引口６からの吸引力よりも大きくなる。そのため、吸引口６からよりも、液体回収吸引口２８からの方が、より強い吸引力で吐出口面４上の液体２２を吸引することができる。
【０１３９】
ここで、制御手段８ｅは、図１６（ｂ）に示すように、昇降部２６を動作させ、液体回収吸引口２８を吐出口面４に近づける。液体回収吸引口２８を吐出口面４に近づけることで、吐出口面４上の液体２２に対する液体回収吸引口２８からの吸引力がさらに増加し、吐出口面４上の液体を除去しやすくなる。
【０１４０】
このように本実施形態の液体移動手段７ｅは、吸引口６よりも開口面積の小さい液体回収吸引口２８をさらに備える。液体吐出手段７ｅは、吸引口６からの吸引により、吐出口面４上の液体２２を吐出口３が設けられていない位置に移動させた後、液体回収吸引口２８からの吸引により、吐出口面４上の液体２２を吸引する。また、液体移動手段７ｅは、吐出口面４上の液体を回収する際には、昇降部２６により、液体回収吸引口２８を吐出口面４に近づける。
【０１４１】
液体回収吸引口２８の開口面積は、吸引口６の開口面積よりも小さいため、液体回収吸引口２８からの吸引力の方が、吸引口６からの吸引力よりも大きい。そのため、液体回収吸引口２８から吐出口面４上の液体２２を吸引することで、より吐出口面４上の液体２２を除去しやすくなる。また、液体回収吸引口２８を吐出口面４に近づけることで、吐出口面４上の液体２２に対する液体回収吸引口２８からの吸引力が増加し、吐出口面４上の液体をさらに除去しやすくなる。
【０１４２】
（第７の実施形態）
図１７（ａ）は、本発明の第７の実施形態の記録ヘッド２ｆを吐出口面側から見た図である。
【０１４３】
記録ヘッド２ｆの吐出口面４ｆには、液体回収口９の周囲に、親液性を有する親液処理部２５が設けられている。また、吐出口３の周囲には、撥液性を有する撥液処理部２４が設けられている。
【０１４４】
第１から第３の実施形態においては、吐出口面４上の液体２２を、回収位置である液体回収口９近傍に移動させている。液体回収口９の周囲に親液処理部２５を設けることで、液体２２が親液処理部２５の表面に付着しやすくなるため、液体２２を液体回収口９の周囲に保持しやすくなる。その結果、液体回収口９からの液体２２の回収が容易となる。
【０１４５】
また、吐出口３の周囲に撥液処理部２４を設けることで、撥液処理部２４上では液体２２が付着しづらくなる。そのため、吐出口３から液滴を吐出する場合に、吐出液滴が吐出口３の周囲に付着した液滴に触れて、液滴の吐出方向が曲がるといった不具合が発生しにくくなる。また、撥液処理部２４を吐出口３の周囲だけでなく、親液処理部２５以外の液体２２を移動させる領域に撥液処理部２４を設けることで、親液処理部２５に液体２２を移動させやすくなる。
【０１４６】
なお、液体回収口９の形状は、図１７（ａ）に示すように、円形に限られるものではない。図１７（ｂ）に示すように、長円形であってもよいし、楕円形、正方形、長方形などであってもよい。
【０１４７】
このように、本実施形態の記録ヘッド２ｆの吐出口面４ｆにおいては、液体回収口９の周囲に、親液性を有する親液処理部２５が設けられている。また、吐出口３の周囲に、撥水性を有する撥液処理部２４が設けられている。
【０１４８】
そのため、液体回収口９の周囲では、液体２２が付着して保持しやすくなるので、液体回収口９からの液体２２の回収が容易となる。また、吐出口３の周囲では、液体２２が付着しにくくなるので、吐出液滴が吐出口３の周囲に付着した液滴に触れて、液滴の吐出方向が曲がるといった不具合が発生しにくくなる。
【０１４９】
（第８の実施形態）
図１８は、本発明の第８の実施形態の液体吐出装置１ｇの構成の一例を示す断面図である。
【０１５０】
本実施形態の液体吐出装置１ｇは、図５に示す第１の実施形態の液体吐出装置１と比較して、液体回収口９、液体回収流路２１、液体回収ユニット接続流路１９および液体回復ユニット２０を削除した点と、液体回収体３７を追加した点と、が異なる。
【０１５１】
回収位置近傍の液体を回収する回収手段としての液体回収体３７は、一面が吐出口面４と略同一面上となり、かつ、吐出口３が設けられていない位置に配置されている。ただし、吐出口３間の間隔が大きい場合には、吐出口３間に液体回収体３７を設けてもよい。
【０１５２】
本実施形態においては、液体移動手段７は、回収位置として、液体回収体３７の近傍に、吐出口面４上の液体２２を移動させる。
【０１５３】
図１９（ａ）は、液体回収体３７の構成例を示す図である。
【０１５４】
液体回収体３７は、自身が異物の発生源とならないよう、事前に洗浄が可能な材質（例えば、ステンレス鋼）により構成されていることが望ましい。
【０１５５】
図１９（ａ）に示すように、液体回収体３７は、ステンレス鋼の板材表面にエッチングなどにより凹形状、凸形状、または、その両方の形状を形成した液体回収部材３８を、少なくとも２枚以上重ね合わせた構成をしている。
【０１５６】
上述した構成により、図１９（ｂ）に示すように、重ね合わせた液体回収部材３８の面間の微小な間隔に毛細管力により、液体回収体３７の近傍に移動した液体２２が吸収される。液体回収部材３８の面間の距離は、例えば、１００μｍである。なお、液体回収部材３８の面間の距離は、上述した数値に限定されるものではない。
【０１５７】
また、液体回収体３７は、例えば、図１９（ｃ）に示すように、ステンレス鋼繊維を収束させた構成であってもよい。液体回収体３７が、図１９（ｃ）に示す構成を有する場合にも、液体２２は毛細管力によりステンレス鋼繊維間に吸収される。
【０１５８】
なお、本実施形態の液体吐出装置１ｇは、図１８に示すように、液体回収体３７をヘッドガイド部３２に設けた構成に限られるものではない。
【０１５９】
図２０（ａ）は、本実施形態の液体吐出装置１ｇの構成の他の一例を示す図である。
【０１６０】
図２０（ａ）に示す液体吐出装置１ｇは、図１（ａ）に示す液体吐出装置１と比較して、液体回収口９、液体回収流路２１、液体回収ユニット接続流路１９および液体回復ユニット２０を削除した点と、液体回収体３７を追加した点と、が異なる
図２０（ａ）に示す液体吐出装置１ｇにおいては、液体回収体３７として、板バネ３９が設けられている。
【０１６１】
板バネ３９は、吐出口面４と略同一面上であって、吐出口３が設けられていない位置に、記録ヘッド２に押し付けるように設けられている。この場合、液体移動手段７は、回収位置として、板バネ３９の近傍に吐出口面４上の液体２２を移動させる。
【０１６２】
図２０（ｂ）は、板バネ３９の構成を示す図である。
【０１６３】
図２０（ｂ）に示すように、板バネ３９には、微細な溝部４２が設けられている。板バネ３９は、溝部４２が吐出口面４と接するにように配置されている。そのため、吐出口面４上の液体２２が板バネ３９近傍に移動すると、板バネ３９の溝部４２の隙間に毛細管力により液体２２が吸収される。ここで、板バネ３９が記録ヘッド２を押し付ける押し付け力は、例えば、２００ｇｆである。なお、板バネ３９の押し付け力は、上述した数値に限定されるものではない。
【０１６４】
このように、本実施形態の液体吐出装置１ｇは、毛細管力により記録ヘッド２の吐出口面４上の液体２２を回収する液体回収体３７を有する。
【０１６５】
そのため、吐出口面４上の液体２２を回収するためにポンプなどの構成を設ける必要が無くなるので、装置構成の簡易化を図ることができる。
【０１６６】
（第９の実施形態）
図２１（ａ）は、本発明の第９の実施形態の液体吐出装置１ｈの構成を示す断面図である。
【０１６７】
本実施形態の液体吐出装置１ｈは、図１８に示す第８の実施形態の液体吐出装置１ｇと比較して、吸引通気管４０が追加された点が異なる。
【０１６８】
吸引通気管４０は、液体回収体３７を取り囲むように配置され、不図示の負圧発生手段と接続されている。負圧発生手段により負圧を発生し、維持することで、液体回収体３７に回収された液体が、吸引通気管４０を介して吸引される。そのため、液体回収体３７に回収された液体２２が、乾燥固化し、被描画物１３に落下、付着することを防止することができる。
【０１６９】
なお、液体回収体３７を洗浄した後、図２１（ｂ）に示すように、不揮発性の液体や、保水性の高い液体４１、例えば、グリセリンを液体回収体３７に含浸させておいてもよい。こうすることで、液体回収体３７に回収された液体２２が、液体回収体３７内で乾燥固化するのを防ぐことができる。
【０１７０】
このように本実施形態の液体吐出装置１ｈは、液体回収体３７に回収された液体を吸収するための吸引通気管４０を有する。
【０１７１】
そのため、液体回収体３７に回収された液体が吸引通気管４０を介して吸引されるため、液体回収体３７内で乾燥固化し、被描画物１３に落下、付着することを防ぐことができる。
【０１７２】
（第１０の実施形態）
図２２（ａ）は、本実施形態の液体吐出装置１の構成を示す断面図である。図２２（ａ）に示すように、ベースプレート１１に液体移動手段７（負圧発生手段）が搭載されている。なお、液体移動手段７は、吸引口６と移動部３３を備えている。
図２２（ｂ）は、吐出口面４を図２２（ａ）に示す矢印Ａの方向から見た図である。
図２２（ｃ）は、吸引口６の端部を図２２（ａ）に示す矢印Ｂの方向から見た図である。
【０１７３】
図２２（ａ）または（ｃ）に示すように、吸引口６は、吐出口面４と対向する端面において、液体保持部４３（第１対向面部）と、後方開口部４４（第２対向面部）と、液体回収開口部４５（吸引開口部）とを備えている。
【０１７４】
具体的には、液体保持部４３は、移動部３３の移動方向（矢印方向Ｃ）に沿って液体回収開口部４５よりも前方となる側に、かつ吐出口面４まで第１の距離（例えば、０．３ｍｍ）で離れて配置されている。
【０１７５】
一方、後方開口部４４は、移動部３３の移動方向に沿って液体回収開口部４５よりも後方となる側に、かつ吐出口面４まで第１の距離よりも大きい第２の距離（例えば、０．５ｍｍ）で離れて配置されている。
【０１７６】
なお、本実施形態では、吸引口６は、方向Ｃに沿って移動しながら吐出口面４上の液体を移動させる。
【０１７７】
また、吐出口面４と後方開口部４４の距離は、吐出口面４と液体保持部４３の距離よりも大きく設けることにより、後述する「追い風」効果が得られる。
【０１７８】
また、本実施形態では、吸引口６（液体回収開口部４５）の形状を長方形としたが、楕円形、円形、正方形、長円形などの形状としてもよい。
【０１７９】
図２３は、記録ヘッド２に液体が供給された状態を示す図である。
【０１８０】
以下、図２４（ａ）〜（ｃ）を参照して、液体移動手段７（負圧発生手段）による吐出口面４上の液体２２の移動状態について説明する。
【０１８１】
図２４（ａ）は、供給手段５により液体２２が吐出口面４上まで供給された状態を示す。図２４（ｂ）は、吸引口６が吐出口面に沿って移動する途中の状態を示す。図２４（ｃ）は、吸引口６が吐出口面の吐出口の形成領域内から吐出口の形成領域外へ移動した状態を示す。
【０１８２】
具体的には、制御手段８内の負圧発生機構３４に備えられたポンプ（図示しない）を動作させる。なお、レギュレーター（図示しない）及び圧力検知部（図示しない）を用いてポンプが発生する圧力が負圧に制御される。これにより、吐出口面４と液体保持部４３の間で液体２２を接触保持した状態で、後方開口部４４から液体回収開口部４５に向かう空気流（追い風効果）を形成することができる。
【０１８３】
この空気流に押されて、吐出口面４と液体保持部４３間で保持された液体２２が容易に移動手段３３と共に移動方向に沿って移動することができる。よって、吐出口面４上の液体２２を確実に吐出口３の形成領域内から吐出口の形成領域外へ移動させることができる。
【０１８４】
ここで、負圧発生機構３４により、液体回収開口部４５内部の圧力は、例えば、−１ｋＰａに制御される。なお、液体回収開口部４５内部の圧力は、上述した数値に限定されるものではない。
【０１８５】
吸引口６が移動しているときの吸引口６内の圧力は、−１ｋＰａに制御されているため、吐出口面４と液体保持部４３の間で接触保持されている液体２２の一部は、吸引口６から吸引され、吸引流路１８を介して、制御手段８内の不図示の液体保管部に回収される。また、吐出口面４上の液体２２の残りの一部は、後方開口部４４から液体回収開口部４５に向かう空気流（追い風効果）により、吐出口面４と液体保持部４３の間に保持されたまま移動手段３３と共に移動する。
【０１８６】
吸引口６の吐出口面４と対向する端部に、液体保持部４３（第１対向面部）と後方開口部４４（第２対向面部）を備え、吸引口６内部の圧力を適切な圧力に制御することにより、吐出口面４上の液体２２を吸引口６の移動に応じて吐出口面４上で移動させることができる。
【０１８７】
このように、本実施形態の液体吐出装置１は、液体を吐出する吐出口（３）が設けられた吐出口面（４）を有するヘッド（２）と、吐出口面（４）と対向して配置され、吐出口面（４）に対して負圧を発生させる負圧発生手段（７）と、負圧発生手段（７）を所定方向に沿って移動させる移動手段（３３）と、を備えている。また、負圧発生手段（７）は、吸引により負圧を発生する吸引開口部（４５）と、所定方向に沿って吸引開口部（４５）よりも前方となる側に、かつ吐出口面（４）まで第１の距離で離れて配置された第１対向面部（４３）と、所定方向に沿って吸引開口部（４５）よりも後方となる側に、かつ吐出口面（４）まで第１の距離よりも大きい第２の距離で離れて配置された第２対向面部（４４）と、を備えている。また、液体２２が、第１対向面部（４３）と前記吐出口面（４）の間で保持されている。
【０１８８】
本実施例形態の液体吐出装置によれば、液体移動手段７（負圧発生手段）は、吐出口面４に沿って液体保持部４３を移動させることにより、吐出口面４上の液体２２を吐出口３が設けられていない位置に移動させることができる。
【０１８９】
また、吐出口面４上の液体２２は、吐出口３が設けられていない位置に移動されるので、吐出口３近傍の液滴や異物などの付着物を除去される。また、液体移動手段７（負圧発生手段）が吐出口面４に沿って移動可能であるため、付着物を除去する吐出口面４上の領域のムラの発生が抑制され、吐出口３近傍に付着物が残留する可能性を低減することができる。
【０１９０】
（第１１の実施形態）
図２５は、本実施形態の液体吐出装置１ａの構成を示す断面図である。
【０１９１】
本実施形態の液体吐出装置１ａは、第１０の実施形態の液体吐出装置１と比較して、後方開口部４４から液体回収開口部４５に向かう空気流（追い風効果）の発生手段として、吹き出し口４６（吹出口部）が設けられた点で異なる。また、本実施形態では、落下回収口６ａは、第１０の実施形態の吸引口６と基本的に同じ構成であるが、負圧を発生させるための制御手段８および負圧発生機構３４が設けられていない。一方、吹き出し口４６には、制御手段８ａおよび加圧発生機構３６が設けられている。
【０１９２】
吹き出し口４６は、移動部３３に設けられており、落下回収口６ａ（回収開口部４５）に対して移動部３３の移動方向（方向Ｄ）の後方に配置されている。また、吹き出し口４６は、吐出口面４に風を吹き出すように配置されている。
【０１９３】
以下、図２６（ａ）〜（ｃ）を参照して、液体移動手段７ａ（対向部材）による吐出口面４上の液体２２の移動状態について説明する。
【０１９４】
図２６（ａ）は、供給手段５により液体２２が吐出口面４上まで供給された状態を示す。図２６（ｂ）は、落下回収口６ａが吐出口面に沿って移動する途中の状態を示す。図２６（ｃ）は、落下回収口６ａが吐出口面の吐出口の形成領域内から吐出口の形成領域外へ移動した状態を示す。
【０１９５】
図２６（ｂ）に示すように、移動手段３３を移動させると共に、吹き出し口４６（吹出口部）から吹き出される空気により、吐出口面４と液体保持部４３の間に保持された液体２２は、移動部３３と共に移動方向Ｄに沿って移動される。
【０１９６】
また、移動手段３３の移動に伴って収集された吐出口面４上の液体２２のうち、吐出口面４と液体保持部４３の間で保持しきれなくなった一部の液体は、落下回収口６ａに落下し、吸引流路１８を介して、不図示の液体保管部に回収される。
【０１９７】
なお、本実施形態では、吹き出し口４６は、落下回収口６ａから離れた位置に配置されていたが、吹き出し口４６を後方開口部４４（第２対向面）に形成してもよい。また、吹出口４６から吐出口面４までの距離は、液体保持部４３（第１対向面）から吐出口面４までの距離よりも大きく設定することができる。
【０１９８】
このように、本実施形態の液体吐出装置１ａは、液体を吐出する吐出口（３）が設けられた吐出口面（４）を有するヘッド（２）と、吐出口面（４）に対向して配置される対向部材（７ａ）と、対向部材（７ａ）を所定方向に沿って移動させる移動手段（３３）と、を備えている。また、対向部材（７ａ）は、吐出口面（４）上の液体を回収する回収開口部（４５）と、所定方向に沿って回収開口部（４５）よりも前方となる側に、かつ吐出口面（４）まで第１の距離で離れて配置された第１対向面部（４３）と、所定方向に沿って回収開口部（４５）よりも後方となる側に、かつ吐出口面（４）まで第１の距離よりも大きい第２の距離で離れて配置された第２対向面部（４４）と、所定方向に沿って回収開口部（４５）よりも後方となる側に配置され、吐出口面（４）に気体を吹き出す吹出口部（４６）と、を備えている。
【０１９９】
本実施例形態の液体吐出装置によれば、液体移動手段７ａ（対向部材）は、吐出口面４に沿って液体保持部４３を移動させることにより、吐出口面４上の液体２２を吐出口３が設けられていない位置に移動させることができる。
【０２００】
また、吐出口面４上の液体２２は、吐出口３が設けられていない位置に移動されるので、吐出口３近傍の液滴や異物などの付着物を除去される。また、液体移動手段７ａ（対向部材）が吐出口面４に沿って移動可能であるため、付着物を除去する吐出口面４上の領域のムラの発生が抑制され、吐出口３近傍に付着物が残留する可能性を低減することができる。
【０２０１】
（第１２の実施形態）
図２７は、本実施形態の液体吐出装置１ｂの構成を示す断面図である。
【０２０２】
本実施形態の液体吐出装置１ｂは、基本的に第１０の実施形態と第１１の実施形態の液体吐出装置１、１ａを融合した構成となっている。
【０２０３】
具体的には、本実形態では、吹き出し口４６ｂ（吹出口部）は、液体移動手段７ｂ（負圧発生手段）の吸引口６内に形成されている。一方、吹き出し口４６ｂには、制御手段８ａおよび加圧発生機構３６が設けられている。また、吸引口６の吸引流路１８には、制御手段８および負圧発生機構３４が設けられている。
【０２０４】
また、吹き出し口４６ｂは、吸引口６の内部を仕切り部により仕切られて形成されている。吹き出し口４６ｂは、液体保持部４３に対して移動部３３の移動方向（Ｅ）後方に配置されている。なお、吹き出し口４６は、液体回収開口部４５よりも移動方向（Ｅ）の後方に位置される。
【０２０５】
以下、図２８（ａ）〜（ｃ）を参照して、液体移動手段７ｂ（負圧発生手段）による吐出口面４上の液体２２の移動状態について説明する。
【０２０６】
図２８（ａ）は、供給手段５により液体が吐出口面４上まで供給された状態を示す。図２８（ｂ）は、移動部３３を矢印Ｅに示す方向（移動方向）に移動する途中の状態を示す。図２８（ｃ）は、吐出口面４上の液体２２を吐出口３が設けられていない位置に移動させた後の状態を示す。
【０２０７】
図２８（ｂ）に示すように、移動手段３３を移動させると共に、吹き出し口４６ｂ（吹出口部）から吹き出される空気により、吐出口面４と液体保持部４３の間に保持された液体２２は、移動部３３と共に方向Ｅに沿って移動される。なお、移動手段３３の移動に伴って収集された吐出口面４上の液体２２のうち、吐出口面４と液体保持部４３の間に保持しきれなくなった一部の液体は、液体回収開口４５から吸引され、吸引流路１８を介して、制御手段８内の不図示の液体保管部に回収される。
【０２０８】
本実施形態は、前述した各実施形態と同様な効果が得られる。
【０２０９】
（第１３の実施形態）
本発明の第１３の実施形態について図２２を用いて説明する。なお、本実形態は、前述した実施形態１と共通する構成を有しており、共通する部分の説明を一部省略する。以下相違点について詳細に説明する。
【０２１０】
図２２に示すように、本発明のインプリント装置７５は、主に液体吐出装置１を備えている。一方、液体吐出装置は、主にヘッド２、レジストタンク８４、レジスト移動手段８５を備えている。
【０２１１】
また、レジストタンク８４には光硬化性のレジスト７６が収容されている。ヘッド２によってレジスト７６が後述するウェハー７７（基板）の表面に吐出される。
【０２１２】
なお、本実施例では、光硬化性のレジスト７６は、光硬化性樹脂で構成されるが、他の光硬化性を有する物質（流体）で構成されてもよい。
【０２１３】
また、本実施例のインプリント装置７５には、一方の表面側に溝状の微細パターン（凹凸パターン）が形成されたモールド７８と、モールド７８を移動するモールド移動部８０と、モールド移動部８０を介してモールド７８を支持するモールド支持部８１とを備えている。モールド７８は光透過性を有する石英材質で構成されており、モールド移動部８０によって上下方向に移動可能に構成されている。なお、モールド移動部８０およびモールド支持部８１は本発明のパターン形成手段を構成するものである。
【０２１４】
本実施例のインプリント装置７５には、モールド７８を隔ててウェハー７７（基板）に吐出されたレジスト７６（パターン）に紫外線を照射する露光ユニット７９（光照射手段）が設けられている。露光ユニット７９は、露光ユニット支持部８２によってモールド７８の上方に支持されている。
【０２１５】
以下、本実施例のインプリント装置７５を用いてウェハー７７の表面にパターンを形成する工程について説明する。
【０２１６】
まず、ヘッド２からウェハー７７に吐出されたレジスト７６が、ウェハー７７上に塗布されて所定のパターンに形成される。
【０２１７】
レジスト７６（パターン）が塗布（形成）されたウェハー７７が、ウェハー搬送部８３（移動手段）によってモールド７８の下方に移動される。
【０２１８】
そして、モールド移動部８０によってモールド７８を下方に降下させ、ウェハー７７の上面に形成されたレジスト７６（パターン）にモールド７８を押し当てる。この押圧動作により、レジスト７６がモールド７８の微細パターン（溝）に充填される。
【０２１９】
レジスト７６が微細パターンに充填された後に、モールド７８を通して露光ユニット７９から紫外線をレジスト７６に照射することにより、レジスト７６からなるパターンが形成される。
【０２２０】
パターンが形成された後に、モールド移動部８０によってモールド７８を上昇させ、形成されたパターンからモールド７８を取外し、インプリント装置７５によるウェハー基板上のパターンの形成工程が終了する。
【０２２１】
インプリント装置７５内にヘッド２、レジスト移動手段８５を設けることで、吐出口面４上のレジストが除去可能となる。
【０２２２】
その結果、インプリント装置７５において、ヘッド２から吐出されるレジスト７６の容量や、レジストの吐出角度、吐出速度などが安定し、更に、吐出口面４上で乾燥固化したレジストの塊が製品であるウェハー７７に落下・付着するのを抑制することができる。
【０２２３】
なお、本実施例のインプリント装置に、前述した各実施例の液体吐出装置の構成を適宜に適用することができる。
【０２２４】
また、本発明のインプリント装置を、例えば、半導体集積回路素子や液晶表示素子などのデバイスを製造する半導体製造装置に適用することができる。
【０２２５】
本発明のインプリント装置を用いて、部品を製造する部品の製造方法は、インプリント装置７５を用いて基板（ウェハー、ガラスプレート、フィルム状基板）にパターンを形成する工程と、パターンが形成された基板を処理する処理工程と、を有することができる。
【０２２６】
また、基板を処理する処理工程として、基板をエッチングするエッチング処理が挙げられる。
【０２２７】
なお、パターンドメディア（記録媒体）や光学素子などのデバイス（部品）を製造する場合は、エッチング処理以外の加工処理が好ましい。
【０２２８】
本発明の部品の製造方法によれば、従来の部品製造方法に比べ、部品の性能・品質・生産性が向上し、生産コストを削減することもできる。
【符号の説明】
【０２２９】
１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｈ  液体吐出装置
２  記録ヘッド（ヘッド）
３  吐出口
４  吐出口面
５  供給手段
６  吸引口
７  液体移動手段
８  制御手段
９  液体回収口
１０  液体タンク
１１  ベースプレート
１２  被描画物搭載部
１３  被描画物
１４  ヘッド搭載部
１５  個別液室
１６  共通液室
１７  液体流路
１８  吸引流路
１９  液体回収ユニット接続流路
２０  液体回収ユニット
２１  液体回収流路
２２  液体
２３  吐出口配列領域
２４  撥液処理部
２５  親液処理部
２６  昇降部
２７  ３方向弁
２８  液体回収吸引口
２９  液体回収吸引口流路
３０  液体保持部
３１  圧力制御部
３２  ヘッドガイド部
３３  移動部
３４  負圧発生機構
３５  吹き出し口
３６  加圧発生機構
３７  液体回収体
３８  液体回収部材
３９  板バネ
４０  吸引通気管
４１  不揮発性液体・高保水性液体
４２  溝部
７５  インプリント装置
７６  レジスト
７７  ウェハー
７８  モールド
７９  露光ユニット
８２  露光ユニット支持部
８４  レジストタンク
８５  レジスト移動手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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