(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の波長領域で使用可能な１／２波長板を提供する。【解決手段】所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品１１と、第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品１２と、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品１３とを備え、第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の主面に平行とされ、第１の水晶部品の光学軸の角度は、Ｘ軸に対して２５．５°から２６．５°であり、第２の水晶部品の光学軸の角度は、Ｘ軸に対して−４５．５°から−４４．５°であり、第３の水晶部品の光学軸の角度は、Ｘ軸に対して６３．５°から６４．５°である１／２波長板１０である。【選択図】図１
2015031745.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、
前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品と
を備え、
入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、
前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、
入射光の入射側から前記第１の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第３の水晶部品の順に重ねて配置されており、
前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、
前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して２５．５°から２６．５°であり、
前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して−４５．５°から−４４．５°であり、
前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して６４．５°から６３．５°である
ことを特徴とする１／２波長板。
【請求項２】
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、
前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品と
を備え、
入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、
前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、
入射光の入射側から前記第１の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第３の水晶部品の順に重ねて配置されており、
前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、
前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して２５．５°から２６．５°であり、
前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して−４５．５°から−４４．５°であり、
前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して６４．５°から６３．５°である
ことを特徴とする１／２波長板。
【請求項３】
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、
前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品と
を備え、
入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、
前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、
入射光の入射側から前記第１の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第３の水晶部品の順に重ねて配置されており、
前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、
前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して−２５．５°から−２６．５°であり、
前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して４４．５°から４５．５°であり、
前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して−６４．５°から−６３．５°である
ことを特徴とする１／２波長板。
【請求項４】
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、
前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品と
を備え、
入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、
前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、
入射光の入射側から前記第１の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第３の水晶部品の順に重ねて配置されており、
前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、
前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して−２５．５°から−２６．５°であり、
前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して４４．５°から４５．５°であり、
前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して−６４．５°から−６３．５°である
ことを特徴とする１／２波長板。
【請求項５】
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、
前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品と
を備え、
入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、
前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、
入射光の入射側から前記第３の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第１の水晶部品の順に重ねて配置されており、
前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、
前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して２５．５°から２６．５°であり、
前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して−４５．５°から−４４．５°であり、
前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して６４．５°から６３．５°である
ことを特徴とする１／２波長板。
【請求項６】
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、
前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品と
を備え、
入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、
前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、
入射光の入射側から前記第３の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第１の水晶部品の順に重ねて配置されており、
前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、
前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して２５．５°から２６．５°であり、
前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して−４５．５°から−４４．５°であり、
前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して６４．５°から６３．５°である
ことを特徴とする１／２波長板。
【請求項７】
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、
前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品と
を備え、
入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、
前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、
入射光の入射側から前記第３の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第１の水晶部品の順に重ねて配置されており、
前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、
前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して−２５．５°から−２６．５°であり、
前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して４４．５°から４５．５°であり、
前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して−６４．５°から−６３．５°である
ことを特徴とする１／２波長板。
【請求項８】
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、
前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、
所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品と
を備え、
入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、
前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、
入射光の入射側から前記第３の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第１の水晶部品の順に重ねて配置されており、
前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、
前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して−２５．５°から−２６．５°であり、
前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して４４．５°から４５．５°であり、
前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して−６４．５°から−６３．５°である
ことを特徴とする１／２波長板。
【請求項９】
前記第１の水晶部品と前記第３の水晶部品の所定の板厚Ｔ１が、０．１５４ｍｍ≦Ｔ１≦０．１６０５ｍｍの範囲で用いられることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の１／２波長板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、本発明は、複屈折を起こす結晶である水晶を用いて直線偏光の入射光の偏光を９０°回転させる機能を有する１／２波長板に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年では、高密度実装基板のビアホールの形成などにレーザ加工装置が用いられている。このようなレーザ加工装置では、例えば、基本波に対して高調波を発生させることで得られる複数の波長のレーザ光を同時に用いることで、様々な加工形状が得られるようにしている（例えば、特許文献１参照）。また、このレーザ加工においては、よく知られているように、直線偏光のレーザ光の偏光方向を、１／２波長板を用いて制御している。
【０００３】
このような１／２波長板としては、光出力の高いレーザに耐えられるように、一般には、２枚の水晶板から構成されている。２枚の水晶板の板厚の差により、所望とする波長の光に対応させるようにしている。この１／２波長板は、２枚の水晶板の各々の主面に平行な光学軸が互いに９０°異なる状態とし、水晶板の主面に垂直に入射する光の偏光方向を、主面に平行な面内で９０°回転させるようにしている。また、よく知られているように、水晶板をより高い精度で加工し、２枚の水晶板の光学軸の関係が正確に９０°となるようにすることで、対象となる光が透過するときの常光と異常光との位相差が、より１８０°に近くなるようにしている。
【０００４】
また、波長の異なるレーザ光を用いたレーザ加工装置が提案されている。このレーザ加工装置は、例えば、ＣＬＢＯ（Ｃｅｓｉｕｍ  Ｌｉｔｈｉｕｍ  Ｂｏｒａｔｅ）結晶が用いられ、赤外レーザを紫外レーザとすることができる（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１１４５２０号公報
【特許文献２】特開２０１２−０３７８１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ＣＬＢＯ結晶を用いたレーザ加工装置では、水晶板の主面に垂直に入射する光の偏光方向を、主面に平行な面内で９０°回転させることができない。
また、赤外レーザと紫外レーザとを分けて使用したい場合は、２つの光学系が必要となり、レーザ加工装置が大型化してしまうことが想定される。
そこで、本発明は、前記課題を解決し、入射する光の偏光方向を回転させつつ赤外レーザと紫外レーザとでの使用ができる１／２波長板を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、本発明は、１／２波長板であって、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品とを備え、入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、入射光の入射側から前記第１の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第３の水晶部品の順に重ねて配置されており、前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して２５．５°から２６．５°であり、前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して−４５．５°から−４４．５°であり、前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して６４．５°から６３．５°であることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明は、１／２波長板であって、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品とを備え、入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、入射光の入射側から前記第１の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第３の水晶部品の順に重ねて配置されており、前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して２５．５°から２６．５°であり、前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して−４５．５°から−４４．５°であり、前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して６４．５°から６３．５°であることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、１／２波長板であって、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品とを備え、入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、入射光の入射側から前記第１の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第３の水晶部品の順に重ねて配置されており、前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して−２５．５°から−２６．５°であり、前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して４４．５°から４５．５°であり、前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して−６４．５°から−６３．５°であることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、１／２波長板であって、  所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品とを備え、入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、入射光の入射側から前記第１の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第３の水晶部品の順に重ねて配置されており、前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して−２５．５°から−２６．５°であり、前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して４４．５°から４５．５°であり、前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して−６４．５°から−６３．５°であることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、１／２波長板であって、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品とを備え、入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、入射光の入射側から前記第３の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第１の水晶部品の順に重ねて配置されており、前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して２５．５°から２６．５°であり、前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して−４５．５°から−４４．５°であり、前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して６４．５°から６３．５°であることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、１／２波長板であって、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品とを備え、入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、入射光の入射側から前記第３の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第１の水晶部品の順に重ねて配置されており、前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して２５．５°から２６．５°であり、前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して−４５．５°から−４４．５°であり、前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して６４．５°から６３．５°であることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、１／２波長板であって、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品とを備え、入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、入射光の入射側から前記第３の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第１の水晶部品の順に重ねて配置されており、前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して−２５．５°から−２６．５°であり、前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して４４．５°から４５．５°であり、前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｘ軸に対して−６４．５°から−６３．５°であることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、１／２波長板であって、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第１の水晶部品と、前記第一の水晶部品の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応する第２の水晶部品と、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応する第３の水晶部品とを備え、入射光の入射方向をＺ軸とし、入射光の偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１，第２，および第３の水晶部品の板厚はＺ軸方向の寸法であり、前記第１，第２，および第３の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態で、入射光の入射側から前記第３の水晶部品，前記第２の水晶部品，および前記第１の水晶部品の順に重ねて配置されており、前記第１，第２，および第３の水晶部品における光学軸は、各々の前記主面に平行とされ、前記第１の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して−２５．５°から−２６．５°であり、前記第２の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して４４．５°から４５．５°であり、前記第３の水晶部品の光学軸の角度は、前記Ｙ軸に対して−６４．５°から−６３．５°であることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、前記第１の水晶部品と前記第３の水晶部品の所定の板厚Ｔ１が、０．１５４ｍｍ≦Ｔ１≦０．１６０５ｍｍの範囲で用いられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
このような１／２波長板によれば、赤外レーザと紫外レーザとを分けて用いても水晶板の主面に垂直に入射する光の偏光方向を、主面に平行な面内で９０°回転させることができる。
また、１つの１／２波長板で赤外レーザと紫外レーザと用いることができるので、１つの光学系でレーザ加工装置に組み込まれるため、大型化することがない。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る１／２波長板の一例を示す概念図である。
【図２】本発明の第二の実施形態に係る１／２波長板の一例を示す概念図である。
【図３】第一の水晶部品の板厚を０．１５４ｍｍを基準にしたときの位相差と１９０ｎｍ〜２００ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図４】第一の水晶部品の板厚を０．１５４ｍｍを基準にしたときの位相差と２１０ｎｍ〜２２２ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図５】第一の水晶部品の板厚を０．１５４ｍｍを基準にしたときの位相差と２４２ｎｍ〜２５７ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図６】第一の水晶部品の板厚を０．１５４ｍｍを基準にしたときの位相差と３００ｎｍ〜３４０ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図７】第一の水晶部品の板厚を０．１５４ｍｍを基準にしたときの位相差と４３０ｎｍ〜５８０ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図８】第一の水晶部品の板厚を０．１５４ｍｍを基準にしたときの位相差と７００ｎｍ〜２７００ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図９】第一の水晶部品の板厚を０．１５７ｍｍを基準にしたときの位相差と１９０ｎｍ〜２００ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図１０】第一の水晶部品の板厚を０．１５７ｍｍを基準にしたときの位相差と２１０ｎｍ〜２２２ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図１１】第一の水晶部品の板厚を０．１５７ｍｍを基準にしたときの位相差と２４２ｎｍ〜２５７ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図１２】第一の水晶部品の板厚を０．１５７ｍｍを基準にしたときの位相差と３００ｎｍ〜３４０ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図１３】第一の水晶部品の板厚を０．１５７ｍｍを基準にしたときの位相差と４３０ｎｍ〜５８０ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図１４】第一の水晶部品の板厚を０．１５７ｍｍを基準にしたときの位相差と７００ｎｍ〜２７００ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図１５】第一の水晶部品の板厚を０．１６０６ｍｍを基準にしたときの位相差と１９０ｎｍ〜２００ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図１６】第一の水晶部品の板厚を０．１６０６ｍｍを基準にしたときの位相差と２１０ｎｍ〜２２２ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図１７】第一の水晶部品の板厚を０．１６０６ｍｍを基準にしたときの位相差と２４２ｎｍ〜２５７ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図１８】第一の水晶部品の板厚を０．１６０６ｍｍを基準にしたときの位相差と３００ｎｍ〜３４０ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図１９】第一の水晶部品の板厚を０．１６０６ｍｍを基準にしたときの位相差と４３０ｎｍ〜５８０ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【図２０】第一の水晶部品の板厚を０．１６０６ｍｍを基準にしたときの位相差と７００ｎｍ〜２７００ｎｍの波長との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、本発明を実施するための最良の形態（以下、「実施形態」という。）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各構成要素について、状態をわかりやすくするために、誇張して図示している。また、主面とは、６面体で構成される水晶部品において、最も広い面積となる平行する２つの面とし、これら最も広い面の周囲を囲む４面を側面とする。
【００１９】
（第一の実施形態）
図１に示すように、本発明の第一の実施形態に係る１／２波長板１０は、第１の水晶部品１１と、第２の水晶部品１２と、第３の水晶部品１３とから主に構成されている。各水晶部品１１〜１３は、水晶板から構成され、各々が互いに主面が平行な状態に配置され、光学軸が主面に平行とされ、各々が異なる光学軸を備えている。
各水晶部品１１〜１３を構成している水晶板の主面をＸＹ平面に平行に配置すると、各水晶部品１１〜１３を構成している水晶板の光学軸は、ＸＹ平面上に配置されることになる。また、各水晶部品１１〜１３を構成している水晶板の板厚は、Ｚ軸方向の寸法となる。これらのことは、後述する他の実施の形態においても同様である。
【００２０】
ここで、入射光Ｌの入射方向をＺ軸とし、入射光Ｌの偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、第１の水晶部品１１，第２の水晶部品１２，および第３の水晶部品１３は、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１の水晶部品１１，第２の水晶部品１２，および第３の水晶部品１３の板厚はＺ軸方向の寸法である。
また、前記第１の水晶部品１１，第２の水晶部品１２，および第３の水晶部品１３は、各々が互いに主面が平行な状態で、入射光Ｌの入射側から前記第１の水晶部品１１，前記第２の水晶部品１２，および前記第３の水晶部品１３の順に重ねて配置されている。
また、前記第１の水晶部品１１，第２の水晶部品１２，および第３の水晶部品１３における光学軸は、各々の前記主面に平行とされている。
また、入射光Ｌを正面から見た場合（例えば符号Ｓからの視線方向）に、Ｘ軸とＹ軸とでなす平面内で方向づけられている光学軸は、前記Ｘ軸を基準としつつ前記Ｚ軸を回転軸として、反時計回りを＋方向、時計回りを−方向とする。
【００２１】
第１の水晶部品１１は、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応している。
この第１の水晶部品１１は、光学軸の角度がＸ軸に対して２５．５°から２６．５°の範囲で用いられる。
また、第１の水晶部品１１は、板厚Ｔ１が、０．１５４ｍｍ≦Ｔ１≦０．１６０５ｍｍの範囲で用いられる。
【００２２】
第２の水晶部品１２は、第一の水晶部品１１の１．５×Ｔ１となる板厚Ｔ２の水晶板に対応している。
つまり、第２の水晶部品１２の板厚Ｔ２は、Ｔ２＝１．５×Ｔ１の式で表わされる。
この第２の水晶部品１２は、光学軸の角度がＸ軸に対して−４５．５°から−４４．５°の範囲で用いられる。
【００２３】
第３の水晶部品１３は、所定の板厚Ｔ１の水晶板に対応している。
つまり、第３の水晶部品１３の板厚Ｔ１は、第１の水晶部品１１の板厚Ｔ１と同じ厚さとなっている。
この第３の水晶部品１３は、光学軸の角度がＸ軸に対して６４．５°から６３．５°の範囲で用いられる。
また、第３の水晶部品１３の所定の板厚Ｔ１が、０．１５４ｍｍ≦Ｔ１≦０．１６０５ｍｍの範囲で用いられる。
【００２４】
また、第１の水晶部品１１の光学軸の角度と第３の水晶部品１３の光学軸の角度とは、角度の値の絶対値を合計した場合に９０°となるように組み合わせられる。
また、第１の水晶部品１１の光学軸の角度と第３の水晶部品１３の光学軸の角度との関係を保ちつつ、前記第１の水晶部品１１，前記第２の水晶部品１２，前記第３の水晶部品１３のそれぞれの角度の範囲と厚さの範囲において、適宜組み合わせることができる。
【００２５】
このように組み合わせることで、赤外レーザと紫外レーザとを分けて用いても水晶板の主面に垂直に入射する光の偏光方向を、主面に平行な面内で９０°回転させることができる１／２波長板とすることができる。
また、１つの１／２波長板で赤外レーザと紫外レーザと用いることができるので、１つの光学系でレーザ加工装置に組み込まれるため、大型化することがなくなる。
【００２６】
（第二の実施形態）
本発明の第二の実施形態に係る１／２波長板は、各水晶部品の光学軸の角度の基準がＹ軸となっている点で第一の実施形態と異なる。
このとき、第１の水晶部品は、光学軸の角度がＹ軸に対して２５．５°から２６．５°の範囲で用いられる。第１の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
また、第２の水晶部品は、光学軸の角度がＹ軸に対して−４５．５°から−４４．５°の範囲で用いられる。第２の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
また、第３の水晶部品は、光学軸の角度がＹ軸に対して６４．５°から６３．５°の範囲で用いられる。第３の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
このように本発明の第二の実施形態に係る１／２波長板を構成しても第一の実施形態と同様の効果を奏する。
【００２７】
（第三の実施形態）
本発明の第三の実施形態に係る１／２波長板は、各水晶部品の光学軸の角度が、第一の実施形態の値のプラスとマイナスとが入れ替わった値となっている点で第一の実施形態と異なる。
このとき、第１の水晶部品は、光学軸の角度がＸ軸に対して−２５．５°から−２６．５°の範囲で用いられる。第１の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
また、第２の水晶部品は、光学軸の角度がＸ軸に対して４４．５°から４５．５°の範囲で用いられる。第２の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
また、第３の水晶部品は、光学軸の角度がＸ軸に対して−６４．５°から−６３．５°の範囲で用いられる。第３の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
このように本発明の第三の実施形態に係る１／２波長板を構成しても第一の実施形態と同様の効果を奏する。
【００２８】
（第四の実施形態）
本発明の第四の実施形態に係る１／２波長板は、各水晶部品の光学軸の角度の基準がＹ軸となっている点で第三の実施形態と異なる。
このとき、第１の水晶部品は、光学軸の角度がＹ軸に対して−２５．５°から−２６．５°の範囲で用いられる。第１の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
また、第２の水晶部品は、光学軸の角度がＹ軸に対して４４．５°から４５．５°の範囲で用いられる。第２の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
また、第３の水晶部品は、光学軸の角度がＹ軸に対して−６４．５°から−６３．５°の範囲で用いられる。第３の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
このように本発明の第四の実施形態に係る１／２波長板を構成しても第三の実施形態と同様の効果を奏する。
【００２９】
（第五の実施形態）
次に本発明の第五の実施形態に係る１／２波長板について説明する。
本発明の第五の実施形態に係る１／２波長板は、入射光の入射側から第３の水晶部品１３ｂ，第２の水晶部品１２ｂ，および第１の水晶部品１１ｂの順に重ねて配置されている点で第一の実施形態と異なる。
このとき、第一の実施形態と同様に、第１の水晶部品は、光学軸の角度がＸ軸に対して２５．５°から２６．５°の範囲で用いられる。第１の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
また、第２の水晶部品は、光学軸の角度がＸ軸に対して−４５．５°から−４４．５°の範囲で用いられる。第２の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
また、第３の水晶部品は、光学軸の角度がＸ軸に対して６４．５°から６３．５°の範囲で用いられる。第３の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
【００３０】
ここで、入射光Ｌの入射方向を第一の実施形態とは反対方向となる−Ｚ軸とし、入射光Ｌの偏光方向をＸ軸とし、Ｘ軸およびＺ軸と直交する方向をＹ軸としたＸＹＺ直交座標系を定義した場合、第１の水晶部品１１ｂ，第２の水晶部品１２ｂ，および第３の水晶部品１３ｂは、各々の周面がＸＹ平面に平行に配置されており、かつ前記第１の水晶部品１１ｂ，第２の水晶部品１２ｂ，および第３の水晶部品１３ｂの板厚はＺ軸方向の寸法である。
また、前記第１の水晶部品１１ｂ，第２の水晶部品１２ｂ，および第３の水晶部品１３ｂは、各々が互いに主面が平行な状態で、入射光Ｌの入射側から前記第３の水晶部品１３ｂ，前記第２の水晶部品１２ｂ，および前記第１の水晶部品１１ｂの順に重ねて配置されている。
また、前記第１の水晶部品１１ｂ，第２の水晶部品１２ｂ，および第３の水晶部品１３ｂにおける光学軸は、各々の前記主面に平行とされている。
また、入射光Ｌを正面から見た場合（例えば符号Ｓｂからの視線方向）に、Ｘ軸とＹ軸とでなす平面内で方向づけられている光学軸は、前記Ｘ軸を基準としつつ前記Ｚ軸を回転軸として、反時計回りを＋方向、時計回りを−方向とする。
このように第五の実施形態を構成しても第一の実施形態と同様の効果を奏する。
【００３１】
（第六の実施形態）
次に本発明の第六の実施形態に係る１／２波長板について説明する。
本発明の第六の実施形態に係る１／２波長板は、各水晶部品の光学軸の角度の基準がＹ軸となっている点で第五の実施形態と異なる。
このとき、第１の水晶部品は、光学軸の角度がＹ軸に対して２５．５°から２６．５°の範囲で用いられる。第１の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
また、第２の水晶部品は、光学軸の角度がＹ軸に対して−４５．５°から−４４．５°の範囲で用いられる。第２の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
また、第３の水晶部品は、光学軸の角度がＹ軸に対して６４．５°から６３．５°の範囲で用いられる。第３の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
このように本発明の第六の実施形態に係る１／２波長板を構成しても第五の実施形態と同様の効果を奏する。
【００３２】
（第七の実施形態）
図２に示すように、本発明の第七の実施形態に係る１／２波長板１０ｂは、入射光の入射側から第３の水晶部品１３ｂ，第２の水晶部品１２ｂ，および第１の水晶部品１１ｂの順に重ねて配置され、光学軸の角度が第一の実施形態の値に対してプラスとマイナスが入れ替わった値となっている点で第五の実施形態と異なる。
【００３３】
第１の水晶部品１１ｂは、光学軸の角度がＸ軸に対して−２５．５°から−２６．５°の範囲で用いられる。第１の水晶部品１１ｂの板厚は、第一の実施形態と同様である。
第２の水晶部品１２ｂは、光学軸の角度がＸ軸に対して４４．５°から４５．５°の範囲で用いられる。第２の水晶部品１２ｂの板厚は、第一の実施形態と同様である。
第３の水晶部品１３ｂは、光学軸の角度がＸ軸に対して−６４．５°から−６３．５°の範囲で用いられる。第３の水晶部品１３ｂの板厚は、第一の実施形態と同様である。
このように第七の実施形態に係る１／２波長板を構成しても、第五の実施形態と同様の効果を奏する。
【００３４】
（第八の実施形態）
次に本発明の第八の実施形態に係る１／２波長板について説明する。
本発明の第八の実施形態に係る１／２波長板は、各水晶部品の光学軸の角度の基準がＹ軸となっている点で第七の実施形態と異なる。
このとき、第１の水晶部品は、光学軸の角度がＹ軸に対して−２５．５°から−２６．５°の範囲で用いられる。第１の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
また、第２の水晶部品は、光学軸の角度がＹ軸に対して４４．５°から４５．５°の範囲で用いられる。第２の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
また、第３の水晶部品は、光学軸の角度がＹ軸に対して−６４．５°から−６３．５°の範囲で用いられる。第３の水晶部品の板厚は、第一の実施形態と同様である。
このように第八の実施形態に係る１／２波長板を構成しても、第七の実施形態と同様の効果を奏する。
【００３５】
このような本発明の実施形態に係る１／２波長板は、適宜変更が可能である。
例えば、前記した各実施形態において、各水晶部品は、接して配置されていてもよく、また、離間して配置されていてもよい。
【実施例】
【００３６】
次に、第一の実施形態に係る１／２波長板を用いた実施例について説明する。
（実施例１）
実施例１は、第１の水晶部品１１の板厚Ｔ１をＴ１＝０．１５４ｍｍを基準としたときの第１の水晶部品１１の光学軸の角度と第２の水晶部品１２の光学軸の角度と第３の水晶部品１３の光学軸の角度とを種々組み合わせた１／２波長板である。
この１／２波長板は、第１の水晶部品１１の光学軸の角度がＸ軸に対して２５．５°から２６．５°の範囲で、これに対応させた第３の水晶部品１３の光学軸の角度がＸ軸に対して６３．５°から６４．５°の範囲となっており、第２の水晶部品１２の光学軸の角度がＸ軸に対して−４５．５°から−４４．５°の範囲で組み合わせて構成されている。
ここで、第２の水晶部品１２と第３の水晶部品１３の板厚は、第１の水晶部品１１の板厚Ｔ１に対して±０．０００１ｍｍの誤差を考慮している。
また、この結果は、回転検光子法を用いたシミュレーション値であり、回転検光子法の特性上、偏光状態の左回りまたは右回りの区別がない。このため、実位相差１８５°は、１７５°とされる。
【００３７】
例えば、第１の水晶部品１１の光学軸の角度を２５．５°とし板厚Ｔ１を誤差として０．０００１ｍｍを考慮した０．１５３９ｍｍとしたとき、第２の水晶部品１２の光学軸の角度を４５．５°，４５°，４４．５°の順に１つが用いられ、板厚Ｔ２が０．２３０９ｍｍ，０．２４１ｍｍの順にいずれか１つが用いられ、第３の水晶部品１３の光学軸の角度を６３．５°，６４°，６４．５°の順に１つが用いられ、板厚Ｔ１に対して誤差として０．０００１ｍｍを考慮した０．１５３９ｍｍ，０．１５４１ｍｍの順にいずれか１つが用いられており、それぞれを組み合わせて位相差と波長との関係を調べた。
同様に、第一の水晶部品１１の光学軸の角度を２６．５°とし板厚Ｔ１を０．１５４１ｍｍとしたときも、第２の水晶部品１２の光学軸の角度と板厚Ｔ２と、第３の水晶部品１３の光学軸の角度と板厚Ｔ１を組み合わせて位相差と波長との関係を調べた。
【００３８】
位相差を縦軸とし波長を横軸として、各波長と位相差との関係は以下のとおりである。
図３に示すように、波長が１９０ｎｍ〜１９３ｎｍ及び１９５ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図４に示すように、波長が２１０ｎｍ〜２１５ｎｍ及び２１７ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図５に示すように、波長が２４２ｎｍ〜２５７ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図６に示すように、波長が３００ｎｍ〜３３５ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図７に示すように、波長が４３０ｎｍ〜５５５ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図８に示すように、波長が９５０ｎｍ〜２２００ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
【００３９】
なお、図３〜図８において、第一の水晶部品１１の光学軸の角度と板厚と、第２の水晶部品１２の光学軸の角度と板厚Ｔ２と、第３の水晶部品１３の光学軸の角度と板厚との各種組み合わのグラフを重ねているため、各組合せでのグラフがそれぞれが近い位置を通ることにより黒く塗りつぶされたグラフとなっている。
【００４０】
したがって、赤外レーザとして用いる場合、波長が基本波である１５４７ｎｍのときに位相差が１７０°〜１８０°の間にあるのでレーザ加工装置に用いることができ、紫外レーザとして用いる場合、波長が基本波の８倍波である１９３ｎｍのときに位相差が１７０°〜１８０°の間にあるのでレーザ加工装置に用いることができる。つまり、本発明の１つの１／２波長板で赤外レーザでも紫外レーザでも用いることができることが確認できる。
なお、位相差が１７０°〜１８０°の間にある波長であれば、レーザ加工装置に用いることができる。
【００４１】
（実施例２）
実施例２は、第１の水晶部品１１の板厚Ｔ１をＴ１＝０．１５７ｍｍを基準としたときの第１の水晶部品１１の光学軸の角度と第２の水晶部品１２の光学軸の角度と第３の水晶部品１３の光学軸の角度とを種々組み合わせた１／２波長板である。
この１／２波長板は、第１の水晶部品１１の光学軸の角度がＸ軸に対して２５．５°から２６．５°の範囲で、これに対応させた第３の水晶部品１３の光学軸の角度がＸ軸に対して６３．５°から６４．５°の範囲となっており、第２の水晶部品１２の光学軸の角度がＸ軸に対して−４５．５°から−４４．５°の範囲で組み合わせて構成されている。
ここで、第２の水晶部品１２と第３の水晶部品１３の板厚は、第１の水晶部品１１の板厚Ｔ１に対して±０．０００１ｍｍの誤差を考慮している。
【００４２】
例えば、第１の水晶部品１１の光学軸の角度を２５．５°とし板厚Ｔ１を誤差として０．０００１ｍｍを考慮した０．１５６９ｍｍとしたとき、第２の水晶部品１２の光学軸の角度を４５．５°，４５°，４４．５°の順に１つが用いられ、板厚Ｔ２が０．２３０９ｍｍ，０．２４１ｍｍの順にいずれか１つが用いられ、第３の水晶部品１３の光学軸の角度を６３．５°，６４°，６４．５°の順に１つが用いられ、板厚Ｔ１に対して誤差として０．０００１ｍｍを考慮した０．１５６９ｍｍ，０．１５７１ｍｍの順にいずれか１つが用いられており、それぞれを組み合わせて位相差と波長との関係を調べた。
同様に、第一の水晶部品１１の光学軸の角度を２６．５°とし板厚Ｔ１を０．１５７１ｍｍとしたときも、第２の水晶部品１２の光学軸の角度と板厚Ｔ２と、第３の水晶部品１３の光学軸の角度と板厚Ｔ１を組み合わせて位相差と波長との関係を調べた。
【００４３】
位相差を縦軸とし波長を横軸として、各波長と位相差との関係は以下のとおりである。
図９に示すように、波長が１９０ｎｍ〜１９５ｎｍ及び１９７ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図１０に示すように、波長が２１１ｎｍ〜２２０ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図１１に示すように、波長が２４２ｎｍ〜２５７ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図１２に示すように、波長が３００ｎｍ〜３４０ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図１３に示すように、波長が４３０ｎｍ〜５６５ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図１４に示すように、波長が９５０ｎｍ〜２２００ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
【００４４】
なお、図９〜図１４において、第一の水晶部品１１の光学軸の角度と板厚と、第２の水晶部品１２の光学軸の角度と板厚Ｔ２と、第３の水晶部品１３の光学軸の角度と板厚との各種組み合わのグラフを重ねているため、各組合せでのグラフがそれぞれが近い位置を通ることにより黒く塗りつぶされたグラフとなっている。
【００４５】
したがって、赤外レーザとして用いる場合、波長が基本波である１５４７ｎｍのときに位相差が１７０°〜１８０°の間にあるのでレーザ加工装置に用いることができ、紫外レーザとして用いる場合、波長が基本波の８倍波である１９３ｎｍのときに位相差が１７０°〜１８０°の間にあるのでレーザ加工装置に用いることができる。つまり、本発明の１つの１／２波長板で赤外レーザでも紫外レーザでも用いることができることが確認できる。
なお、位相差が１７０°〜１８０°の間にある波長であれば、レーザ加工装置に用いることができる。
【００４６】
（実施例３）
実施例３は、第１の水晶部品１１の板厚Ｔ１をＴ１＝０．１６０５ｍｍを基準としたときの第１の水晶部品１１の光学軸の角度と第２の水晶部品１２の光学軸の角度と第３の水晶部品１３の光学軸の角度とを種々組み合わせた１／２波長板である。
この１／２波長板は、第１の水晶部品１１の光学軸の角度がＸ軸に対して２５．５°から２６．５°の範囲で、これに対応させた第３の水晶部品１３の光学軸の角度がＸ軸に対して６３．５°から６４．５°の範囲となっており、第２の水晶部品１２の光学軸の角度がＸ軸に対して−４５．５°から−４４．５°の範囲で組み合わせて構成されている。
ここで、第２の水晶部品１２と第３の水晶部品１３の板厚は、第１の水晶部品１１の板厚Ｔ１に対して±０．０００１ｍｍの誤差を考慮している。
【００４７】
例えば、第１の水晶部品１１の光学軸の角度を２５．５°とし板厚Ｔ１を誤差として０．０００１ｍｍを考慮した０．１６０４ｍｍとしたとき、第２の水晶部品１２の光学軸の角度を４５．５°，４５°，４４．５°の順に１つが用いられ、板厚Ｔ２が０．２３０９ｍｍ，０．２４１ｍｍの順にいずれか１つが用いられ、第３の水晶部品１３の光学軸の角度を６３．５°，６４°，６４．５°の順に１つが用いられ、板厚Ｔ１に対して誤差として０．０００１ｍｍを考慮した０．１６０４ｍｍ，０．１６０６ｍｍの順にいずれか１つが用いられており、それぞれを組み合わせて位相差と波長との関係を調べた。
同様に、第一の水晶部品１１の光学軸の角度を２６．５°とし板厚Ｔ１を０．１６０６ｍｍとしたときも、第２の水晶部品１２の光学軸の角度と板厚Ｔ２と、第３の水晶部品１３の光学軸の角度と板厚Ｔ１を組み合わせて位相差と波長との関係を調べた。
【００４８】
位相差を縦軸とし波長を横軸として、各波長と位相差との関係は以下のとおりである。
図１５に示すように、波長が１９１ｎｍ，１９３ｎｍ〜１９７ｎｍ，及び１９９ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図１６に示すように、波長が２１１ｎｍ，２１３ｎｍ〜２２１ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図１７に示すように、波長が２４３ｎｍ〜２５７ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図１８に示すように、波長が３０２ｎｍ〜３４０ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図１９に示すように、波長が４４０ｎｍ〜５８０ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
図２０に示すように、波長が９５０ｎｍ〜２３５０ｎｍの入射光では、位相差が１７０°〜１８０°の間にあるので、レーザ加工装置に使用することができる。
【００４９】
なお、図１５〜図２０において、第一の水晶部品１１の光学軸の角度と板厚と、第２の水晶部品１２の光学軸の角度と板厚Ｔ２と、第３の水晶部品１３の光学軸の角度と板厚との各種組み合わせのグラフを重ねているため、各組合せでのグラフがそれぞれ近い位置を通ることにより黒く塗りつぶされたグラフとなっている。
【００５０】
したがって、赤外レーザとして用いる場合、波長が基本波である１５４７ｎｍの入射光のときに位相差が１７０°〜１８０°の間にあるのでレーザ加工装置に用いることができ、紫外レーザとして用いる場合、波長が基本波の８倍波である１９３ｎｍの入射光のときに位相差が１７０°〜１８０°の間にあるのでレーザ加工装置に用いることができる。つまり、本発明の１つの１／２波長板で赤外レーザでも紫外レーザでも用いることができることが確認できる。
なお、位相差が１７０°〜１８０°の間にある波長の入射光であれば、レーザ加工装置に用いることができる。
【００５１】
また、本発明の第二の実施形態に係る１／２波長板〜本発明の第八の実施形態に係る１／２波長板においても同等の位相差と波長の関係を有している。
【符号の説明】
【００５２】
１０，１０ｂ    １／２波長板
１１，１１ｂ    第１の水晶部品
１２，１２ｂ    第２の水晶部品
１３，１３ｂ    第３の水晶部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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