(57)【要約】【課題】小さな印加電圧で板状プラズマを安定して発生させる。【解決手段】プラズマ発生装置１００は、電波を透過する素材で構成された筒状の管と、管の内部に封入されており、電圧が印加されることによってプラズマを発生させるガスと、管の一端部に設置された第１の電極と、管の他端部に設置された第２の電極とを備え、第１の電極と第２の電極との間に電圧が印加されると棒状プラズマを発生させる棒状プラズマ発生素子１０を複数備える。また、プラズマ発生装置１００は、複数の棒状プラズマ発生素子１０から、第１の電極と第２の電極との間に電圧を印加するものを選択する切り替え器２０ａおよび切り替え器２０ｂと、切り替え器２０ａと切り替え器２０ｂとを制御するコントローラ２０ｃとを備える。複数の棒状プラズマ発生素子１０は、それぞれの第１の電極と第２の電極とを結ぶ線に直交する断面で、格子状に配列されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれが、電波を透過する素材で構成された筒状の管と、前記管の内部に封入されており、電圧が印加されることによってプラズマを発生させるガスと、前記管の一端部に設置された第１の電極と、前記管の他端部に設置された第２の電極とを備え、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電圧が印加されると棒状プラズマを発生させる、複数の棒状プラズマ発生素子と、
前記複数の棒状プラズマ発生素子から、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電圧を印加する棒状プラズマ発生素子を選択する選択器、を備え、
前記複数の棒状プラズマ発生素子は、それぞれの前記第１の電極と前記第２の電極とを結ぶ線に直交する断面で、格子状に配列されている、
プラズマ発生装置。
【請求項２】
前記選択器は、前記複数の棒状プラズマ発生素子を、前記第１の電極と前記第２の電極とを結ぶ線に直交する断面で列を構成するように連ねて選択し、選択された複数の棒状プラズマ発生素子が棒状プラズマを発生させることにより、全体として一つの板状プラズマを発生させる、
請求項１に記載のプラズマ発生装置。
【請求項３】
前記複数の棒状プラズマ発生素子は、それぞれの前記第１の電極と前記第２の電極とを結ぶ線が相互に平行になるように配置されている、
請求項１又は２に記載のプラズマ発生装置。
【請求項４】
前記複数の棒状プラズマ発生素子の前記第１の電極と前記第２の電極との間に印加する電圧を制御することにより、前記管の内部に発生するプラズマの濃度を制御する制御部をさらに備える、
請求項１から３のいずれか１項に記載のプラズマ発生装置。
【請求項５】
それぞれが筒状の管を有し、前記管の内部に電圧が印加されることによってプラズマを発生させるガスが封入され、また前記管の軸方向に直交する断面で格子状に配列されている複数の棒状プラズマ発生素子から、隣接する複数の棒状プラズマ発生素子を選択し、選択した複数の棒状プラズマ発生素子のそれぞれに棒状のプラズマを発生させることにより、全体で一つの板状プラズマを発生させるプラズマ発生方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状のプラズマを発生させるプラズマ発生装置およびプラズマ発生方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマは、プラズマ周波数よりも十分に低い周波数の電波を反射する性質を持つ。この性質を利用し、板状のプラズマを発生させ、電波を反射する反射鏡として用いる技術が存在する。
特許文献１は、誘電体密閉容器内において、一方の面にマトリックス状に複数の陽極を設置し、また他方の面にマトリックス状に複数の陰極を設置した板状プラズマ発生装置を開示している。この板状プラズマ発生装置は、対面する陽極と陰極との間に選択的に電圧を印加することにより、板状のプラズマを発生させることができる。このようにして生じた板状プラズマによって電波を反射し、電波の進行方向を変える反射鏡として利用することができる。また、この板状プラズマ発生装置は、電圧を印加する陽極及び陰極を変えることにより、発生させた板状プラズマの角度を変え、電波を反射する方向を変化させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１２７５３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１が開示するプラズマ発生装置は、発生させる板状プラズマのサイズよりも大きな誘電体密閉容器を必要とする。そのため、誘電体密閉容器が必然的に大きくなり、プラズマの生成に必要な印加電圧が大きくなる。また、このプラズマ発生装置では、陽極と陰極とが対応付けられていない。このため、意図しない陽極と陰極の組み合せでプラズマが生成する可能性があり、発生するプラズマの形状や方向が安定しない等、板状プラズマを安定して発生させることができない。このため、電磁波の反射を安定して制御することも困難となってしまう。
【０００５】
本発明では、上記の問題を解決し、小さな印加電圧で、板状プラズマを安定して発生させるプラズマ発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係るプラズマ発生装置は、それぞれが、電波を透過する素材で構成された筒状の管と、管の内部に封入されており、電圧が印加されることによってプラズマを発生させるガスと、管の一端部に設置された第１の電極と、管の他端部に設置された第２の電極とを備え、第１の電極と第２の電極との間に電圧が印加されると棒状プラズマを発生させる、複数の棒状プラズマ発生素子と、複数の棒状プラズマ発生素子から、第１の電極と第２の電極との間に電圧を印加する棒状プラズマ発生素子を選択する選択器、を備えるものである。また、複数の棒状プラズマ発生素子は、それぞれの第１の電極と第２の電極とを結ぶ線に直交する断面で、格子状に配列されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明では、複数の棒状プラズマ発生素子がそれぞれ棒状プラズマを発生させる。発生した複数の棒状プラズマは、全体として板状プラズマと同様の挙動を示す。このため、本発明によれば、小さな印加電圧で板状プラズマを安定して発生できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の形態に係るプラズマ発生装置の構成を示す図である。
【図２】図１に示すプラズマ発生装置が備える棒状プラズマ発生素子の構成を示す図である。
【図３】格子状に配列された棒状プラズマ発生素子の配置を示す図である。
【図４】（ａ）は、複数の棒状プラズマ発生素子が、板状プラズマと同一の挙動を示す棒状プラズマを発生させた状態を示す図である。（ｂ）は、（ａ）において発生した一連の棒状プラズマ全体とほぼ同一の挙動を示す板状プラズマを示す図である。
【図５】（ａ）は、複数の棒状プラズマから構成される疑似板状プラズマによる電波の反射を示す模式図である。（ｂ）は、疑似板状プラズマの向きによる電波の反射方向の違いを示す模式図である。
【図６】図３に示した格子状に配列された棒状プラズマ発生素子から、ｘ軸方向に一列に並ぶ棒状プラズマ発生素子を選択した状態を示す図である。
【図７】図３に示した格子状に配列された棒状プラズマ発生素子から、ｘ軸方向に傾斜して一列に並ぶ棒状プラズマ発生素子を選択した状態を示す図である。
【図８】凸面鏡又は凹面鏡として機能する板状プラズマを発生するように図５に示した棒状プラズマ発生素子を選択した状態を示す図である。
【図９】図５に示した格子状に配列された棒状プラズマ発生素子から、複数列に並ぶ棒状プラズマ発生素子を選択した状態を示す図である。
【図１０】制御部を備えるプラズマ発生装置の構成を示す図である。
【図１１】ハニカム状に配列した棒状プラズマ発生素子の形態を、棒状プラズマ発生素子の軸方向からの視点で示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明にあたっては、相互に直交するｘ軸、ｙ軸およびｚ軸からなる座標系を用いる。これは理解を容易にするために用いるものであって、発明を限定する趣旨ではない。
【００１０】
（実施の形態）
本発明の実施の形態に係るプラズマ発生装置は、板状のプラズマを発生させ、発生させた板状のプラズマで電波を反射する装置である。
【００１１】
プラズマ発生装置１００は、図１に示すように、棒状プラズマを発生させるための複数の棒状プラズマ発生素子１０と、棒状プラズマ発生素子１０の内から棒状プラズマを発生させるものを選択する一対の切り替え器２０ａ、２０ｂと、切り替え器２０ａ，２０ｂを制御するコントローラ２０ｃと、切り替え器２０ａ、２０ｂを介してプラズマ発生対象の棒状プラズマ発生素子１０に直流電圧を印加する電源３０とを備える。プラズマ発生装置１００は、一列に連なった棒状プラズマを発生させることにより、擬似的な板状プラズマを発生する。すなわちプラズマ発生装置１００は、全体として板状プラズマとみなせるように各棒状プラズマ発生素子１０に棒状プラズマを発生させる。
【００１２】
棒状プラズマ発生素子１０は、図２に示すように、柱状の管部１１と、管部１１の内部に封入されたガス１２と、管部１１の内部の一方の端部に設置された陰極１３と、管部１１の内部の他方の端部に設置された陽極１４とを備える。陰極１３と陽極１４との間に閾値以上の直流電圧が印加されると、ガス１２がプラズマ化され、管部１１の内部空間にプラズマが発生する。
【００１３】
管部１１は、石英等の電波を透過する絶縁性素材で構成され、中が空洞となった筒状の構造を有し、ガス１２が封入され、密閉されている。なお、以下の説明では、管部１１は正方形状の断面を有する。
【００１４】
ガス１２は、直流電圧が印加されるとプラズマ化する性質を有する気体、例えばアルゴンガス等の希ガス等を含む気体である。ガス１２は、反射対象の電波の周波数に比べて十分高いプラズマ周波数が得られる密度（圧力）で管部１１に封入されている。
【００１５】
陰極１３は、管部１１の一方の端部の内側に配置される。陽極１４は、管部１１内部の他方の端に配置される。陰極１３と陽極１４との間に閾値以上の電圧が印加されると、陰極１３と陽極１４との間に存在するガス１２に電圧が加えられ、加えられた電圧を受けてガス１２はプラズマ化する。ガス１２が、管部１１の内部空間に充填されているため、プラズマも、管部１１の内部の棒状の空間をほぼ満たすように発生する。そのため、ガス１２から発生するプラズマは、全体として棒状の形状となる。従って、棒状プラズマ発生素子１０は、内部空間に棒状のプラズマを発生させるといえる。
【００１６】
図１に示すように、棒状プラズマ発生素子１０は、それぞれの管部１１の筒の軸が同一の方向（図１におけるｚ軸方向）を向き、相互に平行になるように、かつ、図３に示すように、各管部１１の筒の軸方向に直交する断面（図中ｘｙ平面）で２次元の格子を構成するように等間隔で配列されている。ここで「平行」とは、数学的に厳密な意味で互いに平行である場合だけでなく、反射対象の電波の波長に比べて平行とみなせる範囲を指す。
【００１７】
切り替え器２０ａと２０ｂとは、配列された複数の棒状プラズマ発生素子１０の一端部と他端部に配置され、棒状プラズマ発生素子１０を図３に示すように配置する支持フレームとして機能する。
【００１８】
また、切り替え器２０ａは、電源３０の陰極に接続されたケーブル４０ａと各棒状プラズマ発生素子１０の陰極１３との間を電気的に接続あるいは切断する複数の内部スイッチを備える。切り替え器２０ａは、コントローラ２０ｃからの切り替え制御情報に従って内部スイッチをオン・オフすることにより、棒状プラズマを発生させる棒状プラズマ発生素子１０を選択する。このように、切り替え器２０ａ、切り替え器２０ｂおよびコントローラ２０ｃは、共同して動作することにより、複数の棒状プラズマ発生素子１０から、陰極１３（第１の電極）と陽極１４（第２の電極）との間に電圧を印加する棒状プラズマ発生素子１０を選択する選択器としての機能を提供する。
【００１９】
同様に、切り替え器２０ｂは、電源３０の陽極に接続されたケーブル４０ｂと各棒状プラズマ発生素子１０の陽極１４との間を電気的に接続あるいは切断する複数の内部スイッチを備える。切り替え器２０ｂは、コントローラ２０ｃからの切り替え制御情報に従って内部スイッチをオン・オフすることにより、棒状プラズマを発生させる棒状プラズマ発生素子１０を選択する。
【００２０】
コントローラ２０ｃは、プロセッサおよびメモリ等を備え、プログラムに従って動作し、切り替え器２０ａ、２０ｂを制御することにより、棒状プラズマを発生させる棒状プラズマ発生素子１０を選択する。具体的には、コントローラ２０ｃは、例えば、ユーザの操作に応じて、プラズマ発生用の電圧を印加すべき棒状プラズマ発生素子１０を特定し、特定した棒状プラズマ発生素子１０を示す切り替え制御情報を切り替え器２０ａと２０ｂに供給する。切り替え器２０ａと２０ｂは、コントローラ２０ｃからの切り替え制御情報に従って内部スイッチをオン・オフすることにより、棒状プラズマを発生させる棒状プラズマ発生素子１０の陰極１３と陽極１４の間に電源３０からの直流電圧を印加する。
【００２１】
電源３０は、直流電源から構成され、その陰極はケーブル４０ａと切り替え器２０ａとを介して各棒状プラズマ発生素子１０の陰極１３に接続され、その陽極はケーブル４０ｂと切り替え器２０ｂとを介して各棒状プラズマ発生素子１０の陽極１４に接続される。電源３０は、オンした内部スイッチを介して、コントローラ２０ｃにより特定された棒状プラズマ発生素子１０の陰極１３と陽極１４との間に放電用の電圧を印加する。
【００２２】
図４（ａ）に示すように、一列に並んだ棒状プラズマ発生素子１０を選択し、これらの陰極１３と陽極１４間に電源３０からプラズマ発生用の電圧を印加させると、一定の間隔で並んだ一連の棒状プラズマを発生させることができる。この一連の棒状プラズマは、プラズマの間隔及びプラズマ周波数に比べて十分長い波長を持つ電波に対しては、図４（ｂ）に示す板状プラズマ８０とほぼ同一の特性（反射特性）を示す。
【００２３】
従って、一連の棒状プラズマを全体で板状プラズマ（以下、区別のため疑似板状プラズマと呼ぶ）とみなして、自身の間隔且つプラズマ周波数よりも低い周波数の電波を反射する反射鏡として用いることができる。
【００２４】
ここで、図５（ａ）に示すように、疑似板状プラズマ８１に、プラズマ周波数よりも周波数の低い電波が矢印Ａ９０に示すように入射すると、その電波は、擬似板状プラズマ８１の面で反射され、入射角と等しい反射角をもつ方向（矢印Ａ９１の方向）に出射する。この疑似板状プラズマ８１を、図５（ｂ）に示すように角度αだけ傾斜すると、電波の反射方向は、図５（ａ）に示す傾斜前の反射方向（矢印Ａ９１）に比べて２αだけ傾斜した矢印Ａ９２の方向となる。従って、棒状プラズマの選択を調整して、疑似板状プラズマ８１の傾きを調整することにより、電波の反射方向を制御することが可能となる。
【００２５】
図３に示したように、複数の棒状プラズマ発生素子１０は、ｘｙ平面内で２次元の正方形を単位とし、その間隔（ｐｘおよびｐｙ）が、反射対象の電波の波長に比べて十分小さく、回折現象が無視できる程度になるように配置されている。
【００２６】
コントローラ２０ｃは、このように配置された棒状プラズマ発生素子１０を、ｘｙ平面内で任意の方向に列を構成するように連ねて選択して棒状プラズマを発生することにより、全体として疑似板状プラズマ８１を生成する。その動作例を図６と図７を参照して説明する。
【００２７】
図６は、コントローラ２０ｃが、図中ｘ軸方向に直線の列を構成するように連ねて棒状プラズマ発生素子１０を選択した例を示す。この例の場合、コントローラ２０ｃは、棒状プラズマ発生素子１０ａ〜１０ｇを棒状プラズマを発生対象として特定し、これらの棒状プラズマ発生素子１０を示す切り替え制御情報を切り替え器２０ａと２０ｂに送信する。
【００２８】
切り替え器２０ａは、切り替え制御情報に応答し、ケーブル４０ａと棒状プラズマ発生素子１０ａ〜１０ｇの陰極１３とを電気的に接続し、ケーブル４０ａと他の棒状プラズマ発生素子１０の陰極１３とを電気的に切断するように、内部スイッチのオン・オフを制御する。同様に、切り替え器２０ａは、切り替え制御情報に応答し、ケーブル４０ｂと棒状プラズマ発生素子１０ａ〜１０ｇの陽極１４とを電気的に接続し、ケーブル４０ｂと他の棒状プラズマ発生素子１０の陽極１４とを電気的に切断するように、内部スイッチのオン・オフを制御する。
【００２９】
これにより、棒状プラズマ発生素子１０ａ〜１０ｇの陰極１３と陽極１４との間に電源３０からプラズマ発生用の直流電圧が印加され、図６に示すように棒状プラズマが発生され、全体としてｘ−ｚ平面に平行な疑似板状プラズマ８１が生成される。
【００３０】
この疑似板状プラズマ８１は、図５（ａ）を参照して前述したように、矢印Ａ９０方向から入射した電波を矢印Ａ９１で示す方向に反射する。
【００３１】
反射方向をＺ周りに角度βだけ回転する場合、コントローラ２０ｃは、図７に示すように、図中ｘ軸方向からβ／２だけ傾斜した方向（線Ｌの伸びる方向）に直線状の列を構成するように連ねて棒状プラズマ発生素子１０ｈ〜１０ｊ，１０ｄ，１０ｋ〜１０ｍを特定し、切り替え制御情報を切り替え器２０ａ，２０ｂに送信する。これにより、上述と同様の動作により、棒状プラズマ発生素子１０ｈ〜１０ｊ，１０ｄ，１０ｋ〜１０ｍに棒状プラズマが発生され、ｘ軸に対し角度β／２だけ傾いた疑似板状プラズマ８１が生成され、電波の反射方向が角度βだけ回転する。
【００３２】
このようにｘｙ平面内（陰極１３から陽極１４へ向かう方向と直交する断面内）で任意の方向の列を構成するように棒状プラズマ発生素子１０を選択して棒状プラズマを発生させることにより、疑似板状プラズマ８１の角度をｘｙ平面内で任意に制御することができる。
【００３３】
棒状プラズマ発生素子１０の内部には、陰極１３および陽極１４が一つずつしか存在せず、他の棒状プラズマ発生素子１０の電極端子との間での電気的干渉が発生しない。そのため、棒状プラズマ発生素子１０は、形状、位置、向き、強度等が固定した棒状プラズマを安定して発生させることができる。棒状プラズマ発生素子１０が棒状プラズマを安定して発生させることにより、プラズマ発生装置１００は、疑似板状プラズマ８１を安定して発生させることができる。
【００３４】
また、棒状プラズマ発生素子１０の管部１１の内容積は、発生させる疑似板状プラズマ８１に比べて小さい。従って、陰極１３と陽極１４の間への小さな印加電圧で、管部１１の内部に封入されたガス１２をプラズマ化することができる。
【００３５】
なお、ｘｙ平面内で任意に棒状プラズマ発生素子１０を選択することが可能である。例えば、ｘｙ平面内で、複数の直線状の列を構成するように、又は、曲線状の列を構成するように選択することも可能である。例えば、図８に示すように、ｘｙ平面内において曲線の列を構成するように連ねて棒状プラズマ発生素子１０を選択すると、中央部に、図中上から見た場合の凹部９０（図中下からみると凸部に該当する）を有する疑似板状プラズマ８２を生成することができる。
【００３６】
この疑似板状プラズマ８２は、凹部９０の存在により、矢印Ａ９３の方向から入射する電波に対しては凹面鏡として働き、その焦点の位置に電波を集中させ、一方、矢印Ａ９４の方向から入射する電波に対しては凸面鏡として働き、入射した電波を拡散する。
【００３７】
このようにすることで、プラズマ発生装置１００は、単に電波の反射方向を変えるだけでなく、入射した電波を任意の焦点に集中させたり、逆に入射した電波を拡散したりすることができる。
【００３８】
また、プラズマ発生装置１００が発生させる疑似板状プラズマ８１，８２の厚さも任意である。例えば、図９に示すように、複数列（図では２列）の一連の棒状プラズマ発生素子１０を選択することも可能である。このようにした場合、板状プラズマの厚さは図中ｄ２となり、一列の直線（線Ｌ１）を構成するように連ねて棒状プラズマ発生素子１０を選択した場合の板状プラズマの厚さ（図中ｄ１）に比べて厚くすることができる。
また、列を作るように一連の棒状プラズマ発生素子１０を選択する際、隣接していない棒状プラズマ発生素子１０を選択してもよく、例えば、１つおきに棒状プラズマ発生素子１０を選択してもよい。このようにした場合であっても、棒状プラズマ発生素子１０同士の間隔が反射対象の電波の波長に比べて十分短ければ、選択された棒状プラズマ１０は全体として擬似的な板状プラズマの挙動を示す。
【００３９】
なお、この発明は上記実施の形態に限定されず、種々の変形及び応用が可能である。
例えば、図１０に示すように、棒状プラズマ発生素子１０の陰極１３と陽極１４との間に印加する電圧を制御する制御部５０を設け、ガス１２に印加する電圧を変更できるようにしてもよい。陰極１３と陽極１４との間に印加される電圧を高めることで、管部１１内部のプラズマの濃度を高めることができ、これにより管部１１内部のプラズマのプラズマ周波数を調整することができ、反射する電波の波長を調整することができる。このように、制御部５０を設けることで、複数の棒状プラズマ発生素子１０の陰極１３（第１の電極）と陽極１４（第２の電極）との間に印加する電圧を制御することにより、管部１１の内部に発生するプラズマの濃度を制御することが可能となる。
【００４０】
また、上記実施の形態では、陰極１３および陽極１４を、棒状プラズマ発生素子１０の管部１１の内部に配置したが、陰極１３および陽極１４を、管部１１の外部に配置することも可能である。
【００４１】
また、棒状プラズマ発生素子１０の管部１１の断面を正方形としたが、断面形状は任意であり、丸、三角形、五角形以上の多角形などとしてもよい。さらに、棒状プラズマ発生素子１０の２次元配列を正方形に基づく格子状としたが、配置形状も任意に選択可能である。例えば、管部１１の断面が六角形である棒状プラズマ発生素子１０を、図１１に示すように、正三角形を単位とする２次元の格子状（いわゆるハニカム構造）に配置してもよい。
【００４２】
また、上記実施の形態においては、同一構成の棒状プラズマ発生素子１０を互いに平行に且つ等間隔に配置する例を示したが、疑似的に板状プラズマと見なせる棒状プラズマが形成されるならば、棒状プラズマ発生素子１０の構成は互いに同一である必要はなく、間隔が不均一でもよい。
【００４３】
また、棒状プラズマ発生素子１０同士の向きは、上述したように、反射対象の電波の波長に比べて平行とみなせる範囲であればよく、厳密に数学的に平行でなくともよい。あるいは、本発明のプラズマ発生装置を利用する場面によっては、平行でなくともよい例もある。
例えば、探知レーダーからの電波を拡散し、探知から逃れることを意図する場合、電波の到来方向とは異なる方向に反射すればよいのであるから、棒状プラズマ発生素子１０同士の向きが平行でなくともよい。
【００４４】
上記実施の形態では、陰極１３と陽極１４を介してガス１２に直流電圧を印加して、棒状プラズマを生成する例を示したが、ガス１２に交流電圧を印加して棒状プラズマを生成することも可能である。この場合、電源３０を交流電源とし、或いは、インバータ回路等を介して直交変換を行って交流電圧をガス１２に印加することで、ガス１２をプラズマ化する。陰極１３と陽極１４は、一方と他方の交流電極となる。
【００４５】
棒状プラズマ発生素子１０に、管部１１内のガス１２の注入あるいは排出を可能とするガス交換口などを設けてもよい。さらに、この交換口を介して、棒状プラズマ発生素子１０のガス１２の圧力・密度を調整する調整機構を配置してもよい。このようにすることで、管部１１内のガス１２の密度を調整し、反射対象の電波の波長に応じて板状プラズマのプラズマ周波数を変更することができる。
また、棒状プラズマ発生素子１０の配列を支持するフレームに、棒状プラズマ発生素子１０の間隔を調整する調整機構を設け、棒状プラズマの間隔を適宜変更できるようにしてもよい。
【００４６】
なお、電源３０を、板状プラズマ発生装置１００の外付けの構成とすることも可能である。また、コントローラ２０ｃは、必要に応じて配置すればよい。
【００４７】
発生した板状プラズマを、電波を反射する用途に使用する例を示したが、生成した板状プラズマの用途は任意である。
【００４８】
本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。また、上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。つまり、本発明の範囲は、実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。そして、特許請求の範囲内及びそれと同等の発明の意義の範囲内で施される様々な変形が、本発明の範囲内とみなされる。
【符号の説明】
【００４９】
１０  棒状プラズマ発生素子、１１  管部、１２  ガス、１３  陰極、１４  陽極、２０ａ  切り替え器、２０ｂ  切り替え器、２０ｃ  コントローラ、３０  電源、４０ａ  ケーブル、４０ｂ  ケーブル、５０  制御部、８０  板状プラズマ、８１  擬似板状プラズマ、８２  擬似板状プラズマ、９０  凹部、１００  プラズマ発生装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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