(57)【要約】【課題】低電圧駆動が可能であり、高い生産性を有する電気泳動表示装置の製造方法、電気泳動表示装置、該電気泳動表示装置を備えた電子機器を提供すること。【解決手段】電気泳動表示装置の製造方法は、画素電極を覆う絶縁膜を形成する工程（ステップＳ２）と、絶縁膜にコンタクトホールを形成する工程と、コンタクトホールを介して画素電極に電気的に接続する第３電極を絶縁膜上に形成する工程（ステップＳ３）と、第２基板の共通電極が形成された表面を複数の領域に区分する隔壁を形成する工程（ステップＳ５）と、隔壁により区分された複数の領域のそれぞれに電気泳動粒子を含む分散媒を充填する工程（ステップＳ６）と、第１基板と第２基板とを貼り合わせる組立工程（ステップＳ７）と、を含み、組立工程では、隔壁の頭頂部が第３電極を分断して絶縁膜に至るように、第１基板を第２基板に対して相対的に押圧することを特徴とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と第２基板との間に挟持された電気泳動層を有する電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記第１基板に第１電極を形成する工程と、
前記第１電極を覆う絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜にコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールを介して前記第１電極に電気的に接続する第３電極を前記絶縁膜上に形成する工程と、
前記第２基板に第２電極を形成する工程と、
前記第２基板の前記第２電極が形成された表面を複数の領域に区分する隔壁を形成する工程と、
前記隔壁により区分された前記複数の領域のそれぞれに電気泳動粒子を含む分散媒を充填する工程と、
前記第３電極が形成された前記第１基板と、前記分散媒が充填された前記第２基板とを貼り合わせる組立工程と、を含み
前記組立工程では、前記隔壁の頭頂部が前記第３電極を分断して前記絶縁膜に至るように、前記第１基板を前記第２基板に対して相対的に押圧することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項２】
導電性を有する第１の樹脂材料を用いて前記第３電極を形成し、
前記第１の樹脂材料よりも柔らかい第２の樹脂材料を用いて前記絶縁膜を形成することを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記第１の樹脂材料は、カーボンナノチューブを含むことを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記第１電極が画素電極であって、前記第２電極が複数の前記第１電極に対向する共通電極であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項５】
分断された前記第３電極ごとに複数の前記コンタクトホールを形成することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項６】
平面視で隣り合う前記コンタクトホールの間に前記隔壁を形成することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記第２電極が画素電極であって、前記第１電極が複数の前記第２電極に対向する共通電極であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする電気泳動表示装置。
【請求項９】
請求項８に記載の電気泳動表示装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示装置の製造方法、電気泳動表示装置、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気泳動表示装置として、対向して配置された基板の対向する面にそれぞれ設けられた導電電極の間に、複数の粒子体を包含するマイクロカプセルが設けられた表示装置が知られている（特許文献１）。特許文献１によれば、マイクロカプセルは、バインダーによって導電電極の間に固定されている。
【０００３】
また、例えば、表示面を有する第一基板と、第一基板に対向する第二基板と、第一基板の第二基板に対する対向面に立設され、第一基板と第二基板とに挟まれた空間を複数のセルに区画する隔壁と、セルに内包された帯電粒子を含む分散媒とを備え、第一基板の対向面における隔壁と接触する領域の一部または全部を粗面化する表面処理工程と、一部または全部が粗面化された上記対向面に隔壁を形成する隔壁形成工程とを有する電気泳動表示媒体の製造方法が知られている（特許文献２）。
【０００４】
上記特許文献２の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、第一基板と第二基板とを隔壁を挟んで貼り合わせるため、特許文献１に比べて対向する基板間の距離を一定に保ち易いという特徴がある。ところが、特許文献２の電気泳動表示媒体によれば、帯電粒子を動かすためにセルに電界を与える電極を第一基板及び第二基板の対向面と反対側に設ける構成が示されている。この構成では、電極間に電圧を印加しても第一基板及び第二基板を介して帯電粒子を動かすだけの電界を発生させることは容易ではない。
【０００５】
一方で、透明電極を有する第１の基板と、画素電極を有する第２の基板と、第１の基板と第２の基板との間隙を平面的に複数のセルに区画する隔壁と、セルに充填され、電気泳動粒子を含む分散媒と、第１の基板と隔壁との間に設けられた金属膜とを備えた電気泳動表示装置が開示されている（特許文献３）。また、特許文献３には、第２の基板上において逆テーパーの隔壁を形成し、該隔壁の上方から金属膜を堆積させて該隔壁の頭頂部と、画素電極を覆う隔壁の底部とに金属膜を成膜し、該底部に予め形成したコンタクトホールを介して画素電極と金属膜とを電気的に接続させる方法が開示されている。このような隔壁と金属膜の形成方法によれば、セルに充填された電気泳動粒子を含む分散媒に対して、透明電極と画素電極に接続された金属膜とが直接に触れることになるので、透明電極と画素電極とに電圧を印加すれば、電気泳動粒子を含む分散媒すなわち電気泳動層に効率的に電界を与えることができ、低電圧駆動が可能となるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−４６０７２号公報
【特許文献２】特開２００７−２７２１３５号公報
【特許文献３】特開２０１３−３３１２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献３によれば、第１の基板と第２の基板とを封止膜を介して貼り合わせる工程の前に、第１の基板の透明電極と、該隔壁の頭頂部に形成された金属膜とを接触させるために、セルを封止する封止膜のうち、該隔壁の頭頂部に形成された金属膜を覆う封止膜を研磨して除去するとしている。したがって、電気泳動表示装置の製造方法が複雑であるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例］本適用例に係る電気泳動表示装置の製造方法は、第１基板と第２基板との間に挟持された電気泳動層を有する電気泳動表示装置の製造方法であって、前記第１基板に第１電極を形成する工程と、前記第１電極を覆う絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜にコンタクトホールを形成する工程と、前記コンタクトホールを介して前記第１電極に電気的に接続する第３電極を前記絶縁膜上に形成する工程と、前記第２基板に第２電極を形成する工程と、前記第２基板の前記第２電極が形成された表面を複数の領域に区分する隔壁を形成する工程と、前記隔壁により区分された前記複数の領域のそれぞれに電気泳動粒子を含む分散媒を充填する工程と、前記第３電極が形成された前記第１基板と、前記分散媒が充填された前記第２基板とを貼り合わせる組立工程と、を含み、前記組立工程では、前記隔壁の頭頂部が前記第３電極を分断して前記絶縁膜に至るように、前記第１基板を前記第２基板に対して相対的に押圧することを特徴とする。
【００１０】
本適用例によれば、組立工程において、隔壁の頭頂部が第３電極を分断して絶縁膜に食い込んだ状態で、第１基板と第２基板とが貼り合わされるので、隔壁で区分された領域に充填された電気泳動粒子を含む分散媒を封止するための封止膜の形成工程が不要となる。また、分散媒には、第２電極と、第１電極に電気的に接続した第３電極とが接することになる。したがって、第１電極と第２電極との間に電圧を印加すれば、電気泳動粒子を含む分散媒からなる電気泳動層に効率的に電界を発生させて表示を行わせることができる。つまり、第２電極と第３電極とのうちいずれか一方が絶縁膜などで覆われている場合に比べて、低電圧駆動が可能であると共に、高い生産性で製造可能な電気泳動表示装置の製造方法を提供できる。
【００１１】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置の製造方法において、導電性を有する第１の樹脂材料を用いて前記第３電極を形成し、前記第１の樹脂材料よりも柔らかい第２の樹脂材料を用いて前記絶縁膜を形成することが好ましい。
この方法によれば、組立工程において、第３電極を隔壁により比較的容易に分断して、隔壁の頭頂部を絶縁膜に食い込ませることができる。
【００１２】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置の製造方法において、前記第１の樹脂材料は、カーボンナノチューブを含むことが好ましい。
この方法によれば、絶縁膜に比べて脆くて硬い第３電極を形成することができ、第３電極を隔壁で確実に分断することができる。
【００１３】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置の製造方法において、前記第１電極が画素電極であって、前記第２電極が複数の前記第１電極に対向する共通電極であることを特徴とする。
この方法によれば、第１電極に電気的に接続する第３電極を実質的な画素電極とするにあたり、第３電極を画素ごとに独立させてパターニングする工程が不要となる。つまり、高い生産性を実現できる。
【００１４】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置の製造方法において、分断された前記第３電極ごとに複数の前記コンタクトホールを形成することが好ましい。
この方法によれば、第１電極と第３電極との電気的な接続をより確実なものとすることができる。
【００１５】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置の製造方法において、平面視で隣り合う前記コンタクトホールの間に前記隔壁を形成してもよい。
この方法によれば、隔壁の頭頂部で第３電極を分断して、それぞれに独立して駆動が可能な電極とすることができる。すなわち、表示における分解能を高められる。
【００１６】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置の製造方法において、前記第２電極が画素電極であって、前記第１電極が複数の前記第２電極に対向する共通電極であるとしてもよい。
この方法によれば、第２電極が画素ごとに独立して設けられる画素電極であるため、第２電極を取り囲んで隔壁を形成することができる。したがって、電極上に隔壁を形成する場合に比べて、第２基板と隔壁との密着性を高めることができる。すなわち、高い信頼性を有する電気泳動表示装置を製造することができる。
【００１７】
［適用例］本適用例に係る電気泳動表示装置は、上記適用例に記載の電気泳動表示装置の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。
本適用例によれば、低電圧駆動が可能であると共に、高い生産性で製造可能な電気泳動表示装置を提供できる。
【００１８】
［適用例］本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の電気泳動表示装置を備えたことを特徴とする。
本適用例によれば、コストパフォーマンスに優れた電子機器を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１実施形態の電気泳動表示装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は第１実施形態の電気泳動表示装置における画素の構造と表示機能とを示す概略断面図。
【図３】第１実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示すフローチャート。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は第１実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は第１実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図６】第２実施形態の電気泳動表示装置の画素の構造を示す概略断面図。
【図７】第２実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示すフローチャート。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は第２実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図９】（ａ）〜（ｄ）は第２実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図１０】本発明の電気泳動表示装置を適用した電子機器の具体例を説明する斜視図。
【図１１】変形例の電気泳動表示パネルの構成を示す概略断面図。
【図１２】（ａ）及び（ｂ）は変形例の隔壁の配置を示す概略平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
【００２１】
（第１実施形態）
＜電気泳動表示装置＞
本実施形態の電気泳動表示装置について、図１及び図２を参照して説明する。図１は第１実施形態の電気泳動表示装置の構成を示す概略斜視図、図２（ａ）及び（ｂ）は第１実施形態の電気泳動表示装置における画素の構造と表示機能とを示す概略断面図である。
【００２２】
図１に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置１００は、電気泳動表示パネル１５０と、電気泳動表示パネル１５０を駆動するための駆動用ＩＣ１６５が実装されたフレキシブル回路基板（ＦＰＣ）１６０とを有している。
電気泳動表示パネル１５０は、対向して配置された素子基板１０１及び対向基板１２１と、これらの基板間に挟持された電気泳動層１３０（図２参照）とを有している。電気泳動層１３０は、これらの基板間において、マトリックス状に区画された複数の領域を有しており、区画された複数の領域のそれぞれが画素Ｐとしての機能を有している。すなわち、マトリックス状に配列した複数の画素Ｐにより表示領域Ｅが構成されている。
【００２３】
素子基板１０１及び対向基板１２１の基材は、例えば、透明なガラスやプラスチックなどが用いられる。なお、詳しくは後述するが、表示領域Ｅにおける表示を確認する方向により、表示の背面側に位置する基材は、不透明であってもよい。
【００２４】
素子基板１０１は対向基板１２１よりも大きく、素子基板１０１と対向基板１２１とを所定の位置で対向させて配置したときに、対向基板１２１からはみ出る素子基板１０１の部分が端子部１０１ａとなっている。
【００２５】
ＦＰＣ１６０には、駆動用ＩＣ１６５が平面実装されている。駆動用ＩＣ１６５は、その周囲が封着剤１６４によってモールドされてＦＰＣ１６０に固定されている。ＦＰＣ１６０は、外部回路から信号や電源などが駆動用ＩＣ１６５に供給される入力端子１６１と、駆動用ＩＣ１６５から表示用の制御信号などが出力される出力端子１６２とを有している。ＦＰＣ１６０は、出力端子１６２と素子基板１０１の端子部１０１ａに設けられた外部接続端子（図示省略）とが電気的に接続するように、例えば、異方性導電膜（図示省略）などを介して端子部１０１ａに実装されている。
【００２６】
このような電気泳動表示装置１００は、素子基板１０１側に画素Ｐをスイッチング制御するためのトランジスターやトランジスターに繋がる配線等を有している。すなわち、電気泳動表示装置１００はアクティブ駆動の受光型表示装置である。
【００２７】
本実施形態では、素子基板１０１が本発明の第１基板に相当し、対向基板１２１が本発明の第２基板に相当するものである。以降、表示領域Ｅおいて、マトリックス状に配置された画素Ｐの行方向をＸ方向とし、画素Ｐの列方向をＹ方向とし、素子基板１０１から対向基板１２１に向い、Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向をＺ方向として説明する。また、Ｚ方向において、対向基板１２１側から見ることを平面視と言う。
なお、表示領域Ｅにおける画素Ｐの配置は、マトリックス状であることに限定されるものではない。本実施形態では、画素Ｐは後述する隔壁によって区画されている。
【００２８】
図２（ａ）に示すように、素子基板１０１は、基材１０１ｓ、画素電極１０２、第３電極１０３、画素電極１０２と第３電極１０３との間に設けられた絶縁膜１０４を含むものである。なお、図２（ａ）及び図２（ｂ）では、素子基板１０１側に設けられたトランジスターやトランジスターに接続される配線等の図示を省略している。
【００２９】
基材１０１ｓの一方の表面には、画素Ｐごとに電気的に独立した画素電極１０２が設けられている。画素電極１０２は、Ｃｕ（銅）箔上にＮｉ（ニッケル）メッキとＡｕ（金）メッキとをこの順で積層したものや、Ａｌ（アルミニウム）、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide；インジウム錫酸化物）などにより形成された電極である。画素電極１０２の膜厚は３０ｎｍ〜１００ｎｍである。
【００３０】
画素電極１０２を覆うようにして絶縁膜１０４が設けられている。また、絶縁膜１０４を覆うようにして第３電極１０３が設けられている。絶縁膜１０４には、画素電極１０２と第３電極１０３とを電気的に接続させるコンタクトホール１０５が設けられている。
【００３１】
対向基板１２１は、基材１２１ｓ、対向電極１２２、隔壁１２３を含むものである。基材１２１ｓの一方の表面には、対向電極１２２が設けられている。対向電極１２２は、ＭｇＡｇ、ＩＴＯ、ＩＺＯ（Indium  Zinc  Oxide）などからなる透明電極であり、素子基板１０１側の複数の画素電極１０２に対して対向する共通電極として、少なくとも表示領域Ｅ（図１参照）に亘って設けられている。対向電極１２２の膜厚は３０ｎｍ〜１００ｎｍである。
隔壁１２３は、対向電極１２２に対向して隣り合う画素電極１０２の間に相当する位置において対向電極１２２上に設けられている。隔壁１２３は、例えば、熱硬化型、または紫外線硬化型のアクリル樹脂やエポキシ樹脂を用いて形成されている。なお、後述する電気泳動粒子１３１，１３２が付着し難い観点で、エポキシ樹脂を用いることが好ましい。
【００３２】
素子基板１０１と対向基板１２１とは、隔壁１２３の頭頂部１２３ａが、第３電極１０３を分断して絶縁膜１０４に至るように貼り合わされ、素子基板１０１と、隔壁１２３と、対向基板１２１とによって密封される空間には、電気泳動粒子１３１，１３２が分散された分散媒１３３が充填され、電気泳動層１３０が構成されている。
【００３３】
このような構造の電気泳動表示装置１００（電気泳動表示パネル１５０）の詳しい製造方法については後述するが、隔壁１２３の頭頂部１２３ａにより第３電極１０３を分断させることから、第３電極１０３は、機械的に脆い無機導電膜や、機械的に脆くて硬い導電材料を含む樹脂材料を用い、その膜厚が１０ｎｍ〜２００ｎｍの範囲、好ましくは２０ｎｍ〜１００ｎｍの範囲で形成される。このような導電材料としてはカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）などを挙げることができる。また、上記樹脂材料としては、隔壁１２３に用いられた材料よりも柔らかいことが望ましく、例えばメタクリル系樹脂、フェノール系樹脂、ポリ乳酸などを挙げることができる。
なお、隔壁１２３によって分断された第３電極１０３を指して、単に電極１０３ａと呼ぶこととする。
【００３４】
絶縁膜１０４は、隔壁１２３の頭頂部１２３ａを絶縁膜１０４に１μｍ〜５μm程度食い込ませて、第３電極１０３を完全に分断させる観点から、絶縁膜１０４の膜厚は、３μｍ〜１０μｍの範囲であることが好ましい。
絶縁膜１０４は、同じく隔壁１２３の頭頂部１２３ａを食い込ませる観点から、隔壁１２３や第３電極１０３を構成する材料よりも柔らかい材料を用いて形成されていることが好ましく、例えばウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ゴム系樹脂などを挙げることができる。また、絶縁膜１０４を構成する材料として、分散媒１３３の封止性を考慮して、隔壁１２３に対して接着性あるいは親和性を有する材料を選択することが好ましい。
【００３５】
素子基板１０１と対向基板１２１との間に挟まれた電気泳動層１３０に含まれる電気泳動粒子１３１は、例えば、アニリンブラック、カーボンブラックなどの黒色顔料からなる粒子（高分子あるいはコロイド）であり、例えば正に帯電されて用いられる。もう一つの電気泳動粒子１３２は、例えば、二酸化チタン、亜鉛華、三酸化アンチモンなどの白色顔料からなる粒子（高分子あるいはコロイド）であり、例えば負に帯電されて用いられる。これらの顔料には、必要に応じ、電解質、界面活性剤、金属石鹸、樹脂、ゴム、油、ワニス、コンパウンドなどの粒子からなる荷電制御剤、チタン系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤、シラン系カップリング剤などの分散剤、潤滑剤、安定化剤などを添加することができる。以降、説明の都合上、電気泳動粒子１３１を黒色粒子１３１と呼び、電気泳動粒子１３２を白色粒子１３２と呼ぶこともある。黒色粒子１３１、白色粒子１３２の大きさ（直径）は特に限定されるものではないが、電気泳動性（表示における応答性）を考慮して、０．０５μｍ〜０．３μｍの範囲であることが好ましい。分散媒１３３に対する電気泳動粒子の割合は、例えば４０ｗｔ％である。黒色粒子１３１と白色粒子１３２の配向割合は、例えば黒色粒子：白色粒子＝１：９である。
【００３６】
電気泳動層１３０に含まれる分散媒１３３としては、水、アルコール系溶媒（メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール、メチルセルソルブなど）、エステル類（酢酸エチル、酢酸ブチルなど）、ケトン類（アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなど）、脂肪族炭化水素（ぺンタン、ヘキサン、オクタンなど）、脂環式炭化水素（シクロへキサン、メチルシクロへキサンなど）、芳香族炭化水素（ベンゼン、トルエン、キシレン、長鎖アルキル基を有するベンゼン類（ヘキシルベンゼン、ヘプチルベンゼン、オクチルベンゼン、ノニルベンゼン、デシルベンゼン、ウンデシルベンゼン、ドデシルベンゼン、トリデシルベンゼン、テトラデシルベンゼンなど））、ハロゲン化炭化水素（塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、１，２−ジクロロエタンなど）などを例示することができ、シリコーンオイルなどの油類であってもよい。これらの物質は単独又は混合物として用いることができ、さらに、カルボン酸塩のような界面活性剤などを配合してもよい。
【００３７】
画素電極１０２と対向電極１２２との間に、直流の駆動電圧を印加して、対向電極１２２を相対的に高電位、画素電極１０２に接続された電極１０３ａを相対的に低電位に保持する。そうすると、電気泳動層１３０に及ぼされた電界効果により、図２（ｂ）に示すように、正に帯電した黒色粒子１３１が電極１０３ａに引き寄せられる一方、負に帯電した白色粒子１３２が対向電極１２２に引き寄せられる。その結果、表示面側となる対向基板１２１側からこの画素Ｐを見ると白色が認識されることとなり、電気泳動表示パネル１５０は白色表示を行うことができる。
【００３８】
白色表示を行う場合と反対に、対向電極１２２を相対的に低電位、画素電極１０２に接続された電極１０３ａを相対的に高電位に保持すれば、電気泳動層１３０に及ぼされた電界効果により、正に帯電した黒色粒子１３１は対向電極１２２に引き寄せられる一方、負に帯電した白色粒子１３２は電極１０３ａに引き寄せられる。その結果、表示面側となる対向基板１２１側からこの画素Ｐを見ると黒色が認識されることとなり、電気泳動表示パネル１５０は黒色表示を行うことができる。
このように画素電極１０２つまり電極１０３ａと対向電極１２２とに与えられる電位を画素Ｐごとに制御すれば、文字や画像などの白黒表示を対向基板１２１側から見ることができる。すなわち、本実施形態では、第３電極１０３が隔壁１２３によって分断されてできた電極１０３ａが実質的な画素電極として機能するものである。
【００３９】
電気泳動層１３０は、黒色粒子１３１及び白色粒子１３２を含むことに限定されず、どちらか一方の電気泳動粒子を有するとしてもよい。
また、黒色粒子１３１及び白色粒子１３２に代えて、例えば赤色、緑色、青色などの顔料を用いてもよい。画素Ｐの電気泳動層１３０に含まれる電気泳動粒子の色を、赤色、緑色、青色などから選択することで、カラー表示を行うこともできる。
【００４０】
＜電気泳動表示装置の製造方法＞
次に、本実施形態の電気泳動表示装置の製造方法について、図３〜図５を参照して説明する。図３は第１実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示すフローチャート、図４（ａ）〜（ｄ）及び図５（ａ）〜（ｄ）は第１実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図である。なお、素子基板１０１において、画素電極１０２に電位を与えるためのトランジスターや配線などを基材１０１ｓに形成する方法は、公知の方法を採用することができるので、図４及び図５においては、トランジスターや配線などの表示を省略している。また、本実施形態の電気泳動表示装置１００の製造方法として、本発明の特徴部分を含む電気泳動表示パネル１５０の製造方法を説明する。
【００４１】
図３に示すように、電気泳動表示パネル１５０の製造方法は、素子基板１０１側において、画素電極形成工程（ステップＳ１）、絶縁膜形成工程（ステップＳ２）、第３電極形成工程（ステップＳ３）を有している。また、対向基板１２１側において、共通電極形成工程（ステップＳ４）、隔壁形成工程（ステップＳ５）、分散媒充填工程（ステップＳ６）を有している。さらに、電気泳動表示パネル１５０の製造方法は、素子基板１０１と対向基板１２１とを貼り合わせる組立工程（ステップＳ７）を有している。
【００４２】
図３のステップＳ１では、図４（ａ）に示すように、基材１０１ｓ上に画素電極１０２を形成する。画素電極１０２の形成方法としては、例えばスパッタ法などによりＣｕ、Ａｌ、ＩＴＯなどの膜を成膜した後に、フォトリソグラフィ法によりパターニングする方法が挙げられる。画素電極１０２の膜厚は３０ｎｍ〜１００ｎｍである。なお、前述したように、Ｃｕを用いて画素電極１０２を形成した場合には、その表面にニッケルと金のメッキ処理を施してもよい。そして、ステップＳ２へ進む。
【００４３】
図３のステップＳ２では、図４（ｂ）に示すように、画素電極１０２を覆う絶縁膜１０４を形成する。絶縁膜１０４の形成方法としては、例えばウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ゴム系樹脂などの樹脂材料を含む溶液をスピンコート法などにより塗布して乾燥することにより形成する方法が挙げられる。絶縁膜１０４の膜厚は３μｍ〜１０μｍの範囲であることが好ましく、本実施形態では５μｍとしている。
次に、図４（ｃ）に示すように、絶縁膜１０４にコンタクトホール１０５を形成する。コンタクトホール１０５の形成方法としては、コンタクトホール１０５の形成位置に対応した開口を有するマスクを絶縁膜１０４上に配置し、該開口を通じて絶縁膜１０４をドライエッチングする方法や、絶縁膜１０４にレーザー光を照射して孔を開ける方法などが挙げられる。
本実施形態におけるステップＳ２の絶縁膜形成工程は、コンタクトホール形成工程を含むものである。そして、ステップＳ３へ進む。
【００４４】
図３のステップＳ３では、図４（ｄ）に示すように、コンタクトホール１０５を埋めると共に、絶縁膜１０４上に第３電極１０３を形成する。第３電極１０３の形成方法としては、蒸着法やスパッタ法により無機導電膜を成膜する方法や、導電材料を含む樹脂材料（ポリマー）を溶媒に溶かした、あるいは分散させた溶液を例えばキャスト法により塗布して乾燥する方法が挙げられる。導電材料としてはカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）などを挙げることができる。また、上記樹脂材料としては、隔壁１２３に用いられた材料よりも柔らかいことが望ましく、例えばメタクリル系樹脂、フェノール系樹脂、ポリ乳酸などを挙げることができる。本実施形態では、コンタクトホール１０５の被覆性を考慮し、後者の方法を採用している。第３電極１０３の膜厚は、前述したように、１０ｎｍ〜２００ｎｍの範囲、好ましくは２０ｎｍ〜１００ｎｍの範囲とする。そして、ステップＳ４へ進む。
【００４５】
図３のステップＳ４では、基材１２１ｓ上に透明な共通電極である対向電極１２２を形成する。対向電極１２２の形成方法は、公知の方法を採用することができ、前述したＭｇＡｇ、ＩＴＯ、ＩＺＯなどの薄膜を蒸着法やスパッタ法で形成する方法が挙げられる。対向電極１２２の膜厚は３０ｎｍ〜１００ｎｍである。そして、ステップＳ５へ進む。
【００４６】
図３のステップＳ５では、図５（ａ）に示すように、基材１２１ｓの対向電極１２２上に隔壁１２３を形成する。隔壁１２３の形成方法としては、感光性のアクリル樹脂またはエポキシ樹脂を含む溶液を塗布して乾燥することにより感光性樹脂層を形成し、当該感光性樹脂層を露光・現像して隔壁１２３を形成する方法が挙げられる。また、熱硬化性のアクリル樹脂またはエポキシ樹脂を含む溶液を塗布して樹脂層を形成し、形成された樹脂層に金型を押し付けて成型し、熱硬化させるインプリント法を用いてもよい。対向電極１２２上における隔壁１２３の高さｈはおよそ３０μｍである。また、隔壁１２３の幅Ｗは、頭頂部１２３ａによって第３電極１０３を分断して絶縁膜１０４に食い込ませる観点から３μｍ〜１０μｍとすることが好ましく、本実施形態では５μｍとしている。基材１２１ｓ上における隔壁１２３の間隔は、先のステップＳ１で形成された画素電極１０２の間隔に対応して設定され、隔壁１２３は、平面視で隣り合う画素電極１０２の間に位置するように形成される。なお、図５（ａ）では、隔壁１２３の断面形状が長方形であるが、インプリント法を採用した場合には、金型の離型性を考慮して、隔壁１２３の頭頂部の幅Ｗに対して底部（対向電極側）の幅が大きい台形状とすることが好ましい。そして、ステップＳ６へ進む。
【００４７】
図３のステップＳ６では、図５（ｂ）に示すように、隔壁１２３で区分された領域に、電気泳動粒子１３１，１３２を含む分散媒１３３を充填する。分散媒１３３の充填方法としては、例えばインクジェットヘッド５０を隔壁１２３で区分された領域のそれぞれに対して対向させ、インクジェットヘッド５０のノズルから分散媒１３３を液滴として吐出する液滴吐出法が挙げられる。これによれば、所定量の分散媒１３３を精度よく充填することができる。具体的には、各領域において隔壁１２３の頭頂部１２３ａを超えることなく、あふれ出ない程度に分散媒１３３を充填する。そして、ステップＳ７へ進む。
【００４８】
図３のステップＳ７では、分散媒１３３が充填された対向基板１２１に素子基板１０１を貼り合わせる。具体的には、図５（ｃ）に示すように、分散媒１３３が充填された対向基板１２１に対して、上方から素子基板１０１を押し付ける。また、図５（ｄ）に示すように、隔壁１２３の頭頂部１２３ａが絶縁膜１０４に至る（食い込む）ように、対向基板１２１に対して素子基板１０１を押圧する。これにより、隔壁１２３によって第３電極１０３が完全に分断され、分断されてできた電極１０３ａ、対向電極１２２、隔壁１２３によって囲まれた領域に電気泳動粒子１３１，１３２を含む分散媒１３３が封止されて電気泳動層１３０が形成される。本実施形態における絶縁膜１０４に対する隔壁１２３の食い込み量は、およそ２μｍである。なお、図５（ｄ）において図示していないが、本実施形態では、表示領域Ｅ（図１参照）の周囲に接着剤を配置して、素子基板１０１と対向基板１２１とを接着させている。
【００４９】
隔壁１２３によって第３電極１０３が分断されてできた電極１０３ａの端部には、応力が集中してできた歪やクラックなどが生ずるので、上記の製造方法で製造されたことを確認することが可能と考えられる。
【００５０】
上記第１実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）電気泳動表示装置１００（電気泳動表示パネル１５０）の製造方法によれば、素子基板１０１の画素電極１０２に対して絶縁膜１０４のコンタクトホール１０５を介して電気的に接続された第３電極１０３は、組立工程において、隔壁１２３の頭頂部１２３ａが絶縁膜１０４に至る（食い込む）ように素子基板１０１と対向基板１２１とが貼り合わされることによって、完全に分断される。これによって、分断されてできた電極１０３ａ、対向電極１２２、隔壁１２３によって囲まれた領域に電気泳動層１３０が形成される。したがって、電気泳動層１３０に電極１０３ａ、対向電極１２２が接しているので、画素電極１０２と対向電極１２２との間に電圧を印加すれば、電気泳動層１３０に含まれる電気泳動粒子１３１，１３２を容易に移動させることが可能な電界を発生させることができる。つまり、電極１０３ａあるいは対向電極１２２が絶縁膜によって覆われている場合に比べて、低電圧駆動が可能な電気泳動表示装置１００（電気泳動表示パネル１５０）を製造することができる。
また、第３電極１０３を実質的に画素電極として機能させるために、第３電極１０３を画素Ｐごとに独立させてパターニングする工程が要らないので、高い生産性を有する電気泳動表示装置１００（電気泳動表示パネル１５０）の製造方法を提供できる。
（２）素子基板１０１の絶縁膜１０４は、第３電極１０３を構成する材料よりも柔らかい樹脂材料を用いて形成される。また、第３電極１０３は絶縁膜１０４や隔壁１２３を構成する材料よりも機械的に脆い材料を用いて形成される。したがって、素子基板１０１と対向基板１２１とを貼り合わせる組立工程で、隔壁１２３の頭頂部１２３ａが絶縁膜１０４に容易に食い込んで第３電極１０３を分断できる。
（３）隔壁１２３により第３電極１０３が分断されて得られる電極１０３ａを、画素電極１０２に電気的に接続させるコンタクトホール１０５は、電極１０３ａごとに複数（２つ）設けられている。したがって、電極１０３ａごとに１つのコンタクトホール１０５が絶縁膜１０４に形成される場合に比べて、画素電極１０２と電極１０３ａとの電気的な接続を確実なものにできる。
【００５１】
（第２実施形態）
＜他の電気泳動表示装置＞
次に、第２実施形態の電気泳動表示装置について図６を参照して説明する。図６は第２実施形態の電気泳動表示装置の画素の構造を示す概略断面図である。第２実施形態の電気泳動表示装置は、第１実施形態の電気泳動表示装置１００（電気泳動表示パネル１５０）に対して、絶縁膜、第３電極、隔壁の配置を異ならせたものである。第１実施形態と同じ構成には、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５２】
図６に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置２００は、電気泳動表示パネル２５０を備えている。電気泳動表示パネル２５０は、素子基板２０１と、対向基板２２１と、素子基板２０１と対向基板２２１との間に挟持された電気泳動層１３０とを有している。
【００５３】
素子基板２０１は、基材２０１ｓと、基材２０１ｓ上に形成された画素電極２０２及び隔壁２０３とを有している。基材２０１ｓは透明なガラスやフィルムなどの基板や、不透明なセラミックスや半導体などの基板を用いることができる。
対向基板２２１は、基材２２１ｓと、基材２２１ｓ上に形成された対向電極２２２及び絶縁膜２２４、並びに第３電極２２３とを有している。基材２２１ｓ、対向電極２２２、絶縁膜２２４、第３電極２２３のそれぞれは透明性を有している。第３電極２２３は、絶縁膜２２４に設けられたコンタクトホール２２５によって対向電極２２２と電気的に接続されている。
【００５４】
隔壁２０３は、基材２０１ｓ上において隣り合う画素電極２０２の間に配置されている。隔壁２０３の頭頂部２０３ａは、対向基板２２１側に設けられた第３電極２２３を分断して絶縁膜２２４に至るように配置されている。つまり、隔壁２０３は対向基板２２１の絶縁膜２２４に食い込んでいる。
第３電極２２３が隔壁２０３によって画素Ｐごとに分断された第３電極２２３を単に電極２２３ａと呼ぶ。電極２２３ａは画素Ｐごとに分断されているが、コンタクトホール２２５を介して共通電極である対向電極２２２に電気的に接続されているので、画素Ｐごとの電極２２３ａは同じ電位となる。
【００５５】
本実施形態では、対向基板２２１が本発明の第１基板に相当し、対向電極２２２が本発明の第１電極に相当するものである。また、素子基板２０１が本発明の第２基板に相当し、画素電極２０２が本発明の第２電極に相当するものである。
【００５６】
＜他の電気泳動表示装置の製造方法＞
次に、第２実施形態の電気泳動表示装置２００の製造方法について、図７〜図９を参照して説明する。図７は第２実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示すフローチャート、図８（ａ）〜（ｄ）及び図９（ａ）〜（ｄ）は第２実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図である。本実施形態においても、電気泳動表示装置２００の製造方法として、発明の特徴部分を含む電気泳動表示パネル２５０の製造方法を説明する。
【００５７】
図７に示すように、電気泳動表示パネル２５０の製造方法は、対向基板２２１側において、共通電極形成工程（ステップＳ１１）、絶縁膜形成工程（ステップＳ１２）、第３電極形成工程（ステップＳ１３）を有している。また、素子基板２０１側において、画素電極形成工程（ステップＳ１４）、隔壁形成工程（ステップＳ１５）、分散媒充填工程（ステップＳ１６）を有している。さらに、電気泳動表示パネル２５０の製造方法は、素子基板２０１と対向基板２２１とを貼り合わせる組立工程（ステップＳ１７）を有している。
【００５８】
図７のステップＳ１１では、図８（ａ）に示すように、基材２２１ｓ上に共通電極としての透明な対向電極２２２を形成する。対向電極２２２の形成方法としては、例えば蒸着法やスパッタ法などによりＭｇＡｇ、ＩＴＯ、ＩＺＯなどの透明導電膜を成膜した後に、フォトリソグラフィ法によりパターニングする方法が挙げられる。対向電極２２２の膜厚は３０ｎｍ〜１００ｎｍである。そして、ステップＳ１２へ進む。
【００５９】
図７のステップＳ１２では、図８（ｂ）に示すように、対向電極２２２を覆う絶縁膜２２４を形成する。絶縁膜２２４の形成方法としては、例えばウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ゴム系樹脂などの樹脂材料を含む溶液をスピンコート法などにより塗布して乾燥することにより形成する方法が挙げられる。絶縁膜２２４の膜厚は３μｍ〜１０μｍの範囲であることが好ましく、本実施形態では５μｍとしている。
次に、図８（ｃ）に示すように、絶縁膜２２４にコンタクトホール２２５を形成する。コンタクトホール２２５の形成方法としては、コンタクトホール２２５の形成位置に対応した開口を有するマスクを絶縁膜２２４上に配置してドライエッチングする方法や、絶縁膜２２４にレーザー光を照射して孔を開ける方法などが挙げられる。
本実施形態におけるステップＳ１２の絶縁膜形成工程は、コンタクトホール形成工程を含むものである。そして、ステップＳ１３へ進む。
【００６０】
図７のステップＳ１３では、図８（ｄ）に示すように、コンタクトホール２２５を埋めると共に、絶縁膜２２４上に第３電極２２３を形成する。第３電極２２３の形成方法としては、蒸着法やスパッタ法によりＩＴＯやＩＺＯなどの透明導電膜を成膜する方法や、導電材料を含む樹脂材料（ポリマー）を溶媒に溶かした、あるいは分散させた溶液を例えばキャスト法により塗布して乾燥する方法が挙げられる。上記導電材料としてカーボンナノチューブを用いることが好ましい。樹脂材料としては、ウレタン系、ポリエステル系、ゴム系、ポリオレフィン系、ＰＶＡなどを挙げることができる。本実施形態においても、コンタクトホール２２５の被覆性を考慮し、後者の方法を採用している。第３電極２２３の膜厚は、前述したように、１０ｎｍ〜２００ｎｍの範囲、好ましくは２０ｎｍ〜１００ｎｍの範囲とする。そして、ステップＳ１４へ進む。
【００６１】
図７のステップＳ１４では、基材２０１ｓ上に画素電極２０２を形成する。画素電極２０２の形成方法としては、例えば蒸着法やスパッタ法などによりＣｕ、Ａｌ、ＩＴＯなどの膜を成膜した後に、フォトリソグラフィ法によりパターニングする方法が挙げられる。なお、第１実施形態と同様ように、Ｃｕを用いて画素電極２０２を形成した場合には、その表面にニッケルと金のメッキ処理を施してもよい。画素電極２０２の膜厚は３０ｎｍ〜１００ｎｍである。そして、ステップＳ１５へ進む。
【００６２】
図７のステップＳ１５では、図９（ａ）に示すように、画素電極２０２が形成された基材２０１ｓ上に隔壁２０３を形成する。隔壁２０３の形成方法としては、第１実施形態と同様に、感光性のアクリル樹脂またはエポキシ樹脂を用いるフォトリソグラフィ法や、熱硬化性のアクリル樹脂またはエポキシ樹脂を用いるインプリント法が挙げられる。基材２０１ｓ上における隔壁２０３の高さｈはおよそ３０μｍである。また、隔壁２０３の幅Ｗは、第１実施形態と同様におよそ５μｍとしている。基材２０１ｓ上において、隔壁２０３は、隣り合う画素電極２０２の間に形成される。なお、第１実施形態と同様に、図９（ａ）では、隔壁２０３の断面形状が長方形であるが、インプリント法を採用した場合には、金型の離型性を考慮して、隔壁２０３の頭頂部の幅Ｗに対して底部（基材２０１ｓ側）の幅が大きい台形状とすることが好ましい。そして、ステップＳ１６へ進む。
【００６３】
図７のステップＳ１６では、図９（ｂ）に示すように、隔壁２０３で区分された領域に、電気泳動粒子１３１，１３２を含む分散媒１３３を充填する。分散媒１３３の充填方法としては、第１実施形態と同様に、例えばインクジェットヘッド５０のノズルから分散媒１３３を液滴として吐出する液滴吐出法が挙げられる。これによれば、所定量の分散媒１３３を精度よく充填することができる。分散媒１３３は、各領域において隔壁２０３の頭頂部２０３ａを超えることなく、あふれ出ない程度に充填される。そして、ステップＳ１７へ進む。
【００６４】
図７のステップＳ１７では、分散媒１３３が充填された素子基板２０１に対向基板２２１を貼り合わせる。具体的には、図９（ｃ）に示すように、分散媒１３３が充填された素子基板２０１に対して、上方から対向基板２２１を押し付ける。また、図９（ｄ）に示すように、隔壁２０３の頭頂部２０３ａが絶縁膜２２４に至るように、素子基板２０１に対して対向基板２２１を押圧する。これにより、隔壁２０３によって第３電極２２３が完全に分断され、分断されてできた電極２２３ａ、画素電極２０２、隔壁２０３によって囲まれた領域に電気泳動粒子１３１，１３２を含む分散媒１３３が封止されて電気泳動層１３０が形成される。なお、図９（ｄ）において図示していないが、第１実施形態と同様に、表示領域Ｅ（図１参照）の周囲に接着剤を配置して、素子基板２０１と対向基板２２１とを接着させている。
【００６５】
上記第２実施形態の電気泳動表示装置２００（電気泳動表示パネル２５０）の製造方法によれば、以下の効果が得られる。
（１）対向基板２２１の対向電極２２２に対して絶縁膜２２４のコンタクトホール２２５を介して電気的に接続された第３電極２２３は、組立工程において、隔壁２０３の頭頂部２０３ａが絶縁膜２２４に至る（食い込む）ように素子基板２０１と対向基板２２１とが貼り合わされることによって分断される。これによって、分断されてできた電極２２３ａ、画素電極２０２、隔壁２０３によって囲まれた領域に電気泳動層１３０が形成される。したがって、電気泳動層１３０に電極２２３ａ、画素電極２０２が接しているので、画素電極２０２と対向電極２２２との間に電圧を印加すれば、電気泳動層１３０に含まれる電気泳動粒子１３１，１３２を容易に移動させることが可能な電界を発生させることができる。つまり、電極２２３ａあるいは画素電極２０２が絶縁膜によって覆われている場合に比べて、低電圧駆動が可能な電気泳動表示装置２００（電気泳動表示パネル２５０）を製造することができる。
（２）第３電極２２３は、コンタクトホール２２５を介して共通電極である対向電極２２２と電気的に接続されているので、隔壁２０３によって第３電極２２３が分断されてできた電極２２３ａのそれぞれは、互いに同じ電位となる。言い換えれば、隔壁２０３により第３電極２２３を電気的に完全に分断しなくてもよいので、絶縁膜２２４や第３電極２２３に用いられる材料の選択の幅が、第１実施形態に比べて広がる。画素Ｐは対向基板２２１側から観察されるので、対向電極２２２や第３電極２２３は、透明性を有することが求められる。上述したように、材料の選択の幅が広がることから、第３電極２２３として透明性に優れた無機の透明導電膜を用いることができる。
【００６６】
（第３実施形態）
＜電子機器＞
次に、本実施形態の電子機器について、図１０を参照して説明する。図１０は、本発明の電気泳動表示装置を適用した電子機器の具体例を説明する斜視図である。
図１０（ａ）は、電子機器の一例である電子ブックを示す斜視図である。電子機器としての電子ブック１０００は、ブック形状のフレーム１００１と、このフレーム１００１に対して回動自在に設けられた（開閉可能な）カバー１００２と、操作部１００３と、本発明の電気泳動表示装置によって構成された表示部１００４と、を備えている。
【００６７】
図１０（ｂ）は、電子機器の一例である腕時計を示す斜視図である。電子機器としての腕時計１１００は、本発明の電気泳動表示装置によって構成された表示部１１０１を備えている。
【００６８】
図１０（ｃ）は、電子機器の一例である電子ペーパーを示す斜視図である。電子機器としての電子ペーパー１２００は、紙と同様の質感および柔軟性を有するリライタブルシートで構成される本体部１２０１と、本発明の電気泳動表示装置によって構成された表示部１２０２を備えている。
【００６９】
以上の電子ブック１０００、腕時計１１００及び電子ペーパー１２００によれば、本発明に係る電気泳動表示装置が採用されているので、画素Ｐの画素電極と対向電極との間に、に駆動電圧を印加することで電気泳動層１３０に効率的に電界が与えられ低電圧駆動が可能であると共に、外光を利用した眼に優しい印刷物のような表示を行うことが可能な電子ブック１０００、腕時計１１００及び電子ペーパー１２００を提供することができる。
【００７０】
なお、本発明の電気泳動表示装置を適用可能な電子機器は、上記電子ブック１０００、腕時計１１００及び電子ペーパー１２００に限定されるものではない。例えば、携帯電話、携帯用オーディオ機器などの電子機器の表示部や、マニュアルなどの業務用シート、教科書、問題集、情報シートなどにも、本発明の電気泳動表示装置は好適に用いることができる。
【００７１】
本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲および明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気泳動表示装置および該電気泳動表示装置の製造方法ならびに該電気泳動表示装置を適用する電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【００７２】
（変形例１）図１１は変形例の電気泳動表示パネルの構成を示す概略断面図である。図１１に示すように、変形例の電気泳動表示パネル３５０は、素子基板３０１と、対向基板３２１と、これらの基板間に挟持された電気泳動層１３０とを有している。
素子基板３０１は、透明あるいは不透明な基材３０１ｓと、第１電極としての画素電極３０２と、第３電極３０３と、画素電極３０２と第３電極３０３との間に設けられた絶縁膜３０４とを含んで構成されている。画素電極３０２と第３電極３０３とは、絶縁膜３０４に設けられたコンタクトホール３０５を介して電気的に接続されている。
対向基板３２１は、透明な基材３２１ｓと、共通電極である透明な対向電極３２２と、対向電極３２２上に形成された隔壁３２３とを含んで構成されている。対向基板３２１において隔壁３２３で区分された領域に電気泳動粒子１３１，１３２を含む分散媒１３３が充填されている。
隔壁３２３の頭頂部３２３ａが素子基板３０１の絶縁膜３０４に至る（食い込む）ように素子基板３０１と対向基板３２１とを貼り合わせることにより、素子基板３０１の第３電極３０３が分断されて電極３０３ａができあがる。隔壁３２３は、隣り合う画素電極３０２の間、及び隣り合うコンタクトホール３０５の間に配置されるように、対向基板３２１側に形成されている。したがって、隔壁３２３により分断されてできた電極３０３ａのそれぞれは、１つのコンタクトホール３０５を介して画素電極３０２と電気的に接続される。つまり、複数のコンタクトホールを介して画素電極と第３電極とを電気的に接続させる場合に比べて、より高精細な画素Ｐを構成することが可能である。
【００７３】
（変形例２）隔壁は、図１に示したようにマトリックス状に配置された画素Ｐのそれぞれを区分するように、Ｘ方向とＹ方向とに延在して格子状に形成されることに限定されない。図１２（ａ）及び（ｂ）は変形例の隔壁の配置を示す概略平面図である。例えば、図１２（ａ）に示すように、隔壁１２３は、Ｘ方向とＹ方向とにおける表示領域Ｅの外縁に対して、斜めに交差する方向に配置されていてもよい。また、図１２（ｂ）に示すように、隔壁１２３はハニカム構造となっていてもよい。図１２（ａ）及び（ｂ）のような隔壁１２３の配置とすることで、外部応力で変形し難い電気泳動表示装置とすることができる。さらに、隔壁１２３で囲まれた領域のそれぞれに、１つの画素電極１０２が配置されることに限定されず、上記第２実施形態のように、素子基板２０１側に隔壁２０３を形成する場合、隔壁２０３で区分された領域に複数の画素電極２０２が含まれるように隔壁２０３を配置してもよい。言い換えれば、隣り合う画素電極２０２の間に隔壁２０３を形成することに限定されず、島状に設けられた画素電極２０２と一部が重なるように隔壁２０３を形成してもよい。
【符号の説明】
【００７４】
１００…電気泳動表示装置、１０１…素子基板、１０２…画素電極、１０３…第３電極、１０４…絶縁膜、１０５…コンタクトホール、１２１…対向基板、１２２…対向電極、１２３…隔壁、１２３ａ…頭頂部、１３０…電気泳動層、１３１，１３２…電気泳動粒子、１３３…分散媒、１５０…電気泳動表示パネル、２００…電気泳動表示装置、２０１…素子基板、２０２…画素電極、２０３…隔壁、２０３ａ…頭頂部、２２１…対向基板、２２２…対向電極、２２３…第３電極、２２４…絶縁膜、２２５…コンタクトホール、２５０…電気泳動表示パネル、１０００…電子機器としての電子ブック、１１００…電子機器としての腕時計、１２００…電子機器としての電子ペーパー。
【図１】
2015161874.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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