(57)【要約】      （修正有）【課題】安価でかつ簡単な光学系により処理が可能であり、さらにレーザ光吸収材を用いることなく接合する積層されたガラス基板を接合する方法及び装置の提供。【解決手段】第１工程及び第２工程を備えている。第１工程は第１ガラス基板Ｇ１と第２ガラス基板Ｇ２とを重ね合わせる。第２工程は、それぞれ、波長が２．７以上６．０μｍ以下でかつガラス基板Ｇ１，Ｇ２の表面を溶融させないパワーの第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２を集光して、集光された両レーザ光Ｌ１，Ｌ２の重なる部分が２枚のガラス基板Ｇ１，Ｇ２の間を通過するように、第１レーザ光Ｌ１は第１ガラス基板Ｇ１の第１主面側から照射するとともに第２レーザ光Ｌ２は第２ガラス基板Ｇ２の第１ガラス基板Ｇ１と対向する面と逆側の第２主面側から照射し、集光された両レーザ光Ｌ１，Ｌ２の重なる部分において第１及び第２ガラス基板Ｇ１，Ｇ２を溶融させて融着する。【選択図】図１
2015063418.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
重ね合わされたガラス基板にレーザ光を照射してガラス基板同士を融着させるガラス基板の融着方法であって、
第１ガラス基板と第２ガラス基板とを重ね合わせる第１工程と、
それぞれ、波長が２．７以上６．０μｍ以下でかつガラス基板の表面を溶融させないパワーの第１レーザ光及び第２レーザ光を集光して、集光された前記両レーザ光の重なる部分が前記２枚のガラス基板の間を通過するように、前記第１レーザ光は前記第１ガラス基板の第１主面側から照射するとともに前記第２レーザ光は前記第２ガラス基板の前記第１ガラスと対向する面と逆側の第２主面側から照射し、集光された前記両レーザ光の重なる部分において前記第１及び第２ガラス基板を溶融させて融着する第２工程と、
を備えたレーザ光によるガラス基板融着方法。
【請求項２】
前記第２工程では、前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光を同時にガラス基板に対して照射する、請求項１又は２に記載のレーザ光によるガラス基板融着方法。
【請求項３】
前記第２工程では、前記第１レーザ光をガラス基板に照射した後に前記第２レーザ光を照射する、請求項１に記載のレーザ光によるガラス基板融着方法。
【請求項４】
前記第２工程では、１つのレーザ発振器から発振されたレーザ光を分岐して得られた前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光をガラス基板に照射する、請求項１又は２に記載のレーザ光によるガラス基板融着方法。
【請求項５】
重ね合わされたガラス基板にレーザ光を照射してガラス基板同士を融着させるレーザ加工装置であって、
重ね合わされた第１ガラス基板及び第２ガラス基板が載置されるワークテーブルと、
それぞれ波長が２．７以上６．０μｍ以下でかつガラス基板の表面を溶融させないパワーの第１レーザ光及び第２レーザ光を集光して、集光された前記両レーザ光の重なる部分が前記２枚のガラス基板の間を通過するように、前記第１レーザ光は前記第１ガラス基板の第１主面側から照射するとともに前記第２レーザ光は前記第２ガラス基板の前記第１ガラス基板と対向する面と逆側の第２主面側から照射するレーザ光照射機構と、
を備えたレーザ加工装置。
【請求項６】
前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光は、前記２枚のガラス基板の間の集光された両レーザ光が重なる部分において前記ガラス基板が溶融するパワーに調整されている、請求項５に記載のレーザ加工装置。
【請求項７】
前記レーザ光照射機構は、
波長が２．７以上６．０μｍ以下のレーザ光を発振するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器からのレーザ光を前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光に分岐し、前記第１及び第２レーザ光を集光して集光された前記両レーザ光の重なる部分が前記２枚のガラス基板の間を通過するように照射する光学系と、
を有する、
請求項５又は６に記載のレーザ加工装置。
【請求項８】
前記光学系と前記ワークテーブルとを相対的に移動させて、集光されたレーザ光を融着予定ラインに沿って走査する走査機構をさらに備えた、請求項５から７のいずれかに記載のレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板融着方法、特に、重ね合わされたガラス基板にレーザ光を照射してガラス基板同士を融着させるガラス基板融着方法及びそれを実現するためのレーザ加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＩＴ機器用の装置においては、２枚のガラス基板を重ね合わせたデバイスが用いられている。このような積層された２枚のガラス基板を接合するための方法及び装置が、特許文献１に示されている。
【０００３】
特許文献１に示されたガラス基板の接合方法は、２枚のガラス基板の接合界面にレーザ光を照射して接合する方法である。この方法は、まず、２枚のガラス基板のそれぞれの接合面に黒色の油性塗料等からなるレーザ光吸収材が塗布される。そして、このレーザ光吸収材にレーザ光を吸収させることにより、吸収熱によって接合部のガラス同士が溶融して接合する。
【０００４】
また、特許文献２には、超短光パルスレーザにより多光子吸収現象を生成させ、２枚のガラス基板を接合する方法が示されている。この特許文献２の方法では、まず、２枚のガラス基板を積層し、これらを挟持して当接させたり、あるいは２枚のガラス基板を自重により当接させたりすることによって、当接状態が保持される。次に、レーザ光の焦点を２枚のガラス基板の当接部近傍に位置させて超短光パルスレーザが照射され、多光子吸収現象を生成させることによって２枚のガラス基板が接合される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１７０２９０号公報
【特許文献２】特開２００５−６６６２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の方法では、２枚のガラス基板の間にレーザ光吸収材を介在させる必要があり、そのための工程が必要になる。
【０００７】
また、特許文献２の方法では、超短光パルスレーザが用いられるが、このようなパルスレーザ光は高価である。また、この特許文献２の方法では、多光子吸収現象を生成させるために、レーザ光のスポット径を小さくする必要がある。レーザ光のスポット径を小さくするためには、集光光学系と焦点位置制御のために複雑な装置が必要となる。
【０００８】
本発明の課題は、重ね合わされたガラス基板を接合する際に、安価なレーザ光を用いて、かつ簡単な光学系により処理が可能であり、さらにレーザ光吸収材を用いる必要のない接合を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１側面に係るレーザ光によるガラス基板融着方法は、重ね合わされたガラス基板にレーザ光を照射してガラス基板同士を融着させる方法であって、以下の工程を備えている。
【００１０】
第１工程：第１ガラス基板と第２ガラス基板とを重ね合わせる。
【００１１】
第２工程：それぞれ、波長が２．７以上６．０μｍ以下でかつガラス基板の表面を溶融させないパワーの第１レーザ光及び第２レーザ光を集光して、集光された両レーザ光の重なる部分が２枚のガラス基板の間を通過するように、第１レーザ光は第１ガラス基板の第１主面側から照射するとともに第２レーザ光は第２ガラス基板の第１ガラス基板と対向する面と逆側の第２主面側から照射し、集光された両レーザ光の重なる部分において第１及び第２ガラス基板を溶融させて融着する。
【００１２】
この方法では、波長が２．７μｍ以上６．０μｍ以下の中赤外光のレーザ光がガラス基板に対して照射される。中赤外光はガラス基板の内部まで浸透しながら吸収されるために、ガラス基板の表面から内部にわたって、熱分布の偏りが少なくなる。すなわち、ガラス基板の内部は比較的均一に加熱される。したがって、ガラス基板の熱損傷を抑制しつつ、ガラス基板を溶融させることが可能となる。
【００１３】
ここで、１つのレーザ光によって以上のような２枚のガラス基板の融着を行うと、ガラス基板のレーザ光照射面側の表面が溶融し、ガラス基板に凸部が形成されることが判明した。ガラス基板の表面に凸部が形成されると、例えば有機ＥＬパネル等のディスプレイを実装する際に、凸部を避けて保持する必要がある等、利用しにくい。また、ガラス基板を分断する工程において、ガラス基板をテーブルに真空吸着する必要があるが、ガラス基板の表面に凸部が形成されていると、凸部によってガラス基板とテーブルとの間に隙間が形成され、吸着できない。
【００１４】
なお、レーザ光を集光させてガラス基板に照射する場合、ガラス基板のレーザ光照射側の表面よりも裏面でのビーム径を小さくし、ガラス基板の表裏面に温度差をつければ、凸部の形成を抑制することが可能である。
【００１５】
しかし、ガラス基板の表面側に凸部が形成されず、かつ裏面においてガラス基板が溶融されるようにするためには、裏面側におけるビーム径を非常に小さくする必要がある。このように、ビーム径を非常に小さくするためには、高価な光学系が必要になる。
【００１６】
そこで、本発明では、単独ではガラス基板の表面を溶融させない２つのレーザ光を用いて２枚のガラス基板を融着させるようにしている。すなわち、それぞれ波長が２．７以上６．０μｍ以下でかつガラス基板の表面を融着させないパワーの第１レーザ光を第１ガラス基板の表面から照射するとともに、第２レーザ光を第２ガラス基板の裏面（すなわち第１レーザ光が照射される面と反対側の面）から照射し、集光された両レーザ光の重なる部分が２枚のガラス基板の間を通過するようにしている。これにより、ガラス基板において、集光された両レーザ光が重ならない部分ではガラス基板は溶融せず、かつ２枚のガラス基板の間では集光された両レーザ光が重なり、このレーザ光の重なった部分ではガラス基板が溶融して互いが融着する。
【００１７】
このため、ガラス基板のレーザ光照射面側に凸部を形成することなく、２枚のガラス基板を容易に、かつ簡単な構成で融着することができる。また、２枚のガラス基板の間にレーザ光吸収材を設ける必要がない。
【００１８】
本発明の第２側面に係るレーザ光によるガラス基板融着方法は、第１側面の方法において、第２工程では、第１レーザ光及び第２レーザ光を同時にガラス基板に対して照射する。
【００１９】
ここでは、２つのレーザ光が同時にガラス基板に照射されるので、それぞれのレーザ光のパワーを比較的低くすることができる。
【００２０】
本発明の第３側面に係るレーザ光によるガラス基板融着方法は、第１側面の方法において、第２工程では、第１レーザ光をガラス基板に照射した後に第２レーザ光を照射する。
【００２１】
本発明の第４側面に係るレーザ光によるガラス基板融着方法は、第１又は第２側面の方法において、第２工程では、１つのレーザ発振器から発振されたレーザ光を分岐して得られた第１レーザ光及び第２レーザ光をガラス基板に照射する。
【００２２】
ここでは、２つのレーザ光は、１つのレーザ発振器から出射されたレーザ光を分岐することによって得られたものである。したがって、装置構成を簡単にすることができる。
【００２３】
本発明の第５側面に係るレーザ加工装置は、重ね合わされたガラス基板にレーザ光を照射してガラス基板同士を融着させる装置であって、重ね合わされた第１ガラス基板及び第２ガラス基板が載置されるワークテーブルと、レーザ光照射機構と、を備えている。レーザ光照射機構は、それぞれ波長が２．７以上６．０μｍ以下でかつガラス基板の表面を溶融させないパワーの第１レーザ光及び第２レーザ光を集光して、集光された両レーザ光の重なる部分が２枚のガラス基板の間を通過するように、第１レーザ光は第１ガラス基板の第１主面側から照射するとともに第２レーザ光は第２ガラス基板の第１ガラス基板と対向する面と逆側の第２主面側から照射する。
【００２４】
ここでは、第１レーザ光及び第２レーザ光のそれぞれを、単独ではガラス基板の表面を溶融させないパワーとし、かつ集光された両レーザ光の重なる部分においてガラス基板が溶融するようなパワーにすることができる。これにより、ガラス基板のレーザ光照射面側に凸部を形成することなく、２枚のガラス基板を容易に、かつ簡単な構成で融着することができる。
【００２５】
本発明の第６側面に係るレーザ加工装置は、第５側面の装置において、第１レーザ光及び第２レーザ光は、２枚のガラス基板の間の集光された両レーザ光が重なる部分においてガラス基板が溶融するパワーに調整されている。
【００２６】
本発明の第７側面に係るレーザ加工装置は、第５又は第６側面の装置において、レーザ光照射機構は、レーザ発振器と、光学系と、を有している。レーザ発振器は波長が２．７以上６．０μｍ以下のレーザ光を発振する。光学系は、レーザ発振器からのレーザ光を第１レーザ光及び第２レーザ光に分岐し、第１及び第２レーザ光を集光して集光された両レーザ光の重なる部分が２枚のガラス基板の間を通過するように照射する。
【００２７】
ここでは、１つのレーザ発振器から出射されたレーザ光を分岐することによって２つのレーザ光を得るようにしている。したがって、装置構成を簡単にすることができる。
【００２８】
本発明の第８側面に係るレーザ加工装置は、第５から第７側面のいずれかの装置において、光学系とワークテーブルとを相対的に移動させて、集光されたレーザ光を融着予定ラインに沿って走査する走査機構をさらに備えている。
【発明の効果】
【００２９】
以上のような本発明では、安価なレーザ光を用いて、光学系も簡単であり、さらにレーザ光吸収材を用いることなくガラス基板を融着することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施形態によるレーザ加工装置の概略構成図。
【図２】２枚のガラス基板を融着させた場合の断面を示す顕微鏡写真。
【図３】無アルカリガラスに対するレーザ光の波長と透過率との関係を示す図。
【図４】ソーダガラスに対するレーザ光の波長と透過率との関係を示す図。
【図５】レーザ照射機構の別の実施形態を示す図。
【図６】レーザ照射機構のさらに別の実施形態を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
［レーザ加工装置］
本発明の一実施形態によるレーザ加工装置を図１に示す。このレーザ加工装置は、重ね合わされた２枚のガラス基板Ｇ１，Ｇ２が載置されるワークテーブル１と、レーザ発振器２と、光学系３と、走査機構としてのテーブル移動機構４と、を備えている。そして、レーザ発振器２及び光学系３によってレーザ照射機構が構成されている。
【００３２】
レーザ発振器２は、波長が２．７μｍ以上６．０μｍ以下の中赤外光のレーザ光を発振する。ここで、レーザ発振器２としては、Ｅｒ：Ｙ２Ｏ３、Ｅｒ：ＺＢＬＡＮ、Ｅｒ：ＹＳＧＧ、Ｅｒ：ＧＧＧ、Ｅｒ：ＹＬＦ、Ｅｒ：ＹＡＧ、Ｄｙ：ＺＢＬＡＮ、Ｈｏ：ＺＢＬＡＮ、ＣＯ、Ｃｒ：ＺｎＳｅ、Ｃｒ：ＺｎＳ、Ｆｅ：ＺｎＳｅ、Ｆｅ：ＺｎＳ、半導体レーザの中赤外のレーザ光群の中から選択されたレーザ光で、前述のように、波長が２．７〜６．０μｍのものを出射するものであればよい。また、ここでは、連続発振のレーザ光を出射する。
【００３３】
光学系３は、複数の反射ミラー６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆと、分岐部７と、第１及び第２集光レンズ８ａ，８ｂと、を含んでいる。
【００３４】
反射ミラー６ａ，６ｂ，６ｃはレーザ発振器２からのレーザ光Ｌ０を分岐部７に導く。分岐部７は、反射ミラー６ｃからのレーザ光Ｌ０を、ガラス基板Ｇ１の上面（第１主面）に対して直交する方向の第１レーザ光Ｌ１と、ガラス基板Ｇ１の上面に平行な方向の第２レーザ光Ｌ２と、に分岐する。反射ミラー６ｄ，６ｅ，６ｆは、分岐部７で分岐された第２レーザ光Ｌ２を、テーブル移動機構４の下方に導き、さらに第２ガラス基板Ｇ２の下面（第２主面）から照射されるように導く。この例では、各レーザ光Ｌ１，Ｌ２はガラス基板Ｇ１，Ｇ２の第１主面及び第２主面に直交するように照射される。
【００３５】
第１及び第２集光レンズ８ａ，８ｂは、それぞれ第１及び第２レーザ光Ｌ１，Ｌ２を集光して、これらの集光されたレーザ光Ｌ１，Ｌ２が２枚のガラス基板Ｇ１，Ｇ２の間、すなわち両者の接合部で重なり合って通過するように設定されている。
【００３６】
テーブル移動機構４は、互いに直交するＸ及びＹ方向にワークテーブル１を移動させるための機構である。このテーブル移動機構４によって、集光点を融着予定ラインに沿って走査することができる。
【００３７】
なお、この例では、第２レーザ光Ｌ２は第２ガラス基板Ｇ２の下方から照射されるために、ワークテーブル１及びテーブル移動機構４の中央部には、それぞれ第２レーザ光Ｌ２が通過するための開口１ａ，４ａが形成されている。
【００３８】
［ガラス基板表面の凸部について］
ここで、例えば厚みが０．２ｍｍの無アルカリガラス基板に対して、波長が２．８μｍのＥｒファイバーレーザを照射した場合、ガラス基板のレーザ光照射面（表面）と逆側の裏面では、照射面側に比較して裏面におけるレーザ光のパワーが７８％まで減衰する。そして、レーザ光によるガラス基板の温度上昇量はレーザ光の吸収量と比例関係にあることから、基板裏面の温度上昇量は基板表面の７８％となり、基板表面の温度の方が高くなる。
【００３９】
このため、２枚のガラス基板の間の融着させるべき部分（レーザ光が照射される側のガラス基板の裏面）の温度を適切な温度まで上昇させようとすると、レーザ光が照射される側のガラス基板の表面が加熱によって膨張し、凸部が形成される。
【００４０】
図２に以上のような凸部が形成された例を示している。図２の例のガラス基板及びレーザ照射条件は以下の通りである。
【００４１】
基板：無アルカリガラス（ＯＡ１０＝製品名：日本電気硝子社製）、板厚０．２ｍｍ
レーザ光（１本）：Ｅｒ：ＺＢＬＡＮファイバーレーザ、波長２．７μｍ、出力７Ｗ、連続発振、走査速度２０ｍｍ／ｓ
この顕微鏡写真で示すように、２枚のガラス基板はレーザ光が照射された部分において強固に融着されているが、レーザ光が照射された上側のガラス基板の表面に凸部が形成されている。
【００４２】
［ガラス基板の融着方法］
以上のようなガラス基板の表面に形成される凸部は、２枚の融着されたガラス基板をデバイスとして利用する場合や、２枚の融着されたガラス基板を分断する際の吸着工程で、作業の妨げになる。
【００４３】
そこで、この実施形態では、ガラス基板のレーザ光が照射される側の表面に凸部を形成することなく、２枚のガラス基板を融着するようにしている。
【００４４】
具体的には、まず、融着すべき２枚のガラス基板Ｇ１，Ｇ２を重ねあわせ、ワークテーブル１上の所定位置にセットする。このとき、２枚のガラス基板Ｇ１，Ｇ２の間には、レーザ光吸収材を介在させず、かつ２枚のガラス基板Ｇ１，Ｇ２を圧接するための圧力を加えることもしない。
【００４５】
以上のような２枚のガラス基板Ｇ１，Ｇ２に対して、前述のような中赤外光の第１レーザ光Ｌ１を第１ガラス基板Ｇ１の表面（上面＝第１主面）から照射するとともに、同様の第２レーザ光Ｌ２を第２ガラス基板Ｇ２の裏面（下面＝第２主面）から照射する。この実施形態では、１つのレーザ発振器２からのレーザ光Ｌ０を２つのレーザ光Ｌ１，Ｌ２に分岐して照射しているので、２つのレーザ光Ｌ１，Ｌ２は同時にガラス基板Ｇ１，Ｇ２に対して照射されることになる。そして、このとき、両レーザ光Ｌ１，Ｌ２の集光された部分が、両ガラス基板Ｇ１，Ｇ２間で重なるように照射する。また、２つのレーザ光Ｌ１，Ｌ２のパワーは、単独ではガラス基板Ｇ１，Ｇ２の表面を溶融させず、しかも２つの集光されたレーザ光Ｌ１，Ｌ２が重なる領域ではガラス基板Ｇ１，Ｇ２が溶融するような強度に設定する。
【００４６】
なお、両レーザ光Ｌ１，Ｌ２ともに、２つのガラス基板Ｇ１，Ｇ２の間の領域に集光させられる。このため、２つのガラス基板Ｇ１，Ｇ２の間の所定領域では２つの集光されたレーザ光Ｌ１，Ｌ２は、所定の密度（パワー）を有しており、これらの集光されたレーザ光Ｌ１，Ｌ２が重なり合った部分では、ガラス基板Ｇ１，Ｇ２が溶融する。一方、各レーザ光Ｌ１，Ｌ２は、集光点から先の領域では拡散するので、２つのガラス基板Ｇ１，Ｇ２の間以外の領域では、集光されたレーザ光Ｌ１又はＬ２と拡散されたレーザ光Ｌ２又はＬ１とが重なることになる。したがって、この領域では、両レーザ光Ｌ１，Ｌ２が重なり合っても、ガラス基板Ｇ１，Ｇ２は溶融されない。
【００４７】
これにより、集光された２つのレーザ光Ｌ１，Ｌ２が重ならないガラス基板Ｇ１，Ｇ２の表面や中間部では高温にならずに溶融せず、また集光された２つのレーザ光Ｌ１，Ｌ２が重なる２つのガラス基板Ｇ１，Ｇ２の間の領域では温度が上昇して２つのガラス基板Ｇ１，Ｇ２が溶融し、互いに融着する。
【００４８】
以上のように、第１レーザ光Ｌ１が照射される側の第１ガラス基板Ｇ１の表面及び第２レーザ光Ｌ２が照射される第２ガラス基板Ｇ２の裏面は高温にならない。したがって、特に、加熱による第１ガラス基板Ｇ１の表面及び第２ガラス基板Ｇ２の裏面の膨張、すなわち凸部の形成を避けることができる。
【００４９】
以上のような２つのレーザ光Ｌ１，Ｌ２を連続照射しながら融着予定ラインに沿って走査することによって、両ガラス基板Ｇ１，Ｇ２を確実に接合することができる。
【００５０】
［透過率と波長］
図３に、板厚が０．２ｍｍの無アルカリガラス（例えばＯＡ１０（製品名：日本電気硝子社製））のガラス基板に対するレーザ光の波長と透過率との関係を示している。また、図４に、板厚が０．５ｍｍのソーダガラスのガラス基板に対するレーザ光の波長と透過率との関係を示している。
【００５１】
図３から明らかなように、板厚０．２ｍｍの無アルカリガラスに対しては、波長が１０．６μｍのＣＯ２レーザでは透過率が「０」であるので、レーザ光は基板の表面で吸収されることになる。また、波長が１μｍのＹＡＧレーザや、波長が５３２ｎｍのグリーンレーザでは、透過率が９０％以上であり、透過しない約１０％のレーザ光もそのほとんどは表面で反射され、基板内部に吸収されない。そして、波長が２．８μｍのレーザ光であれば、適切なパワーに調節することによって、基板内部でほぼ均一に吸収され、基板内部を溶融させて、重ね合わされた２枚の基板を融着することができる。
【００５２】
また、図４の板厚０．５ｍｍのソーダガラスでは、波長が２．８μｍのレーザ光では、基板の内部までレーザ光が透過しながら吸収され、したがってパワーを適切に調整することによって、基板内部を溶融させて、重ね合わされた２枚の基板を融着することができる。なお、図３と図４に示したグラフの透過率の値の差は、試料の厚さの違いに起因するものであり、厚さが同じであれば、無アルカリガラスとソーダガラスとで透過率に差は無いと思われる。
【００５３】
以上のことから、波長が２．７μｍ以上６．０μｍ以下のレーザ光を用いて、パワーを適切に調整することによって、多くのガラス基板に対して、基板内部を溶融させて２枚の基板を融着することができると推察される。また、レーザ光を照射する基板の厚さが比較的厚い場合でも、波長２．７μｍ以上５．０μｍ以下のレーザ光を用いることにより、安定して２枚の基板を融着することができる。
【００５４】
［特徴］
（１）単独ではガラス基板の表面を溶融させず、かつ集光されたレーザ光が重なった部分ではガラス基板を溶融させるパワーの中赤外光の２つのレーザ光をガラス基板に照射することによって、レーザ光が照射される側のガラス基板の照射面に凸部を形成することなく２枚のガラス基板を融着して接合できる。
【００５５】
（２）２枚のガラス基板の間にレーザ光吸収材を用いる必要がなく、工程が簡素になる。
【００５６】
（３）２枚のガラス基板を重ね合わせる際に、両ガラス基板を互いに押圧する必要がない。したがって、装置構成が簡単になる。
【００５７】
（４）１つのレーザ発振器を用いて２つのレーザ光を作成しているので、レーザ照射機構の構成が簡単になる。また、同時に２つのレーザ光がガラス基板に照射されるので、それぞれのレーザ光のパワーを比較的低くすることができる。
【００５８】
［他の実施形態］
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
【００５９】
（ａ）図５にレーザ光照射機構の他の実施形態を示している。この図５に示す例では、第１レーザ光Ｌ１は前記実施形態と同様であるが、第２レーザ光Ｌ２の照射する方向が前記実施形態と異なっている。
【００６０】
具体的には、第１レーザ光Ｌ１は、前記実施形態と同様に、第１集光レンズ１０ａを介して第１ガラス基板Ｇ１の表面（上面）Ｇ１ａに対して直交する方向から照射され、かつ両ガラス基板Ｇ１，Ｇ２の間に集光される。一方、第２レーザ光Ｌ２は、第２集光レンズ１０ｂを介して、第２ガラス基板Ｇ２の裏面（第２主面）Ｇ２ｂに対して角度θだけ傾斜した方向から照射され、かつ両ガラス基板Ｇ１，Ｇ２の間に集光される。
【００６１】
このような構成にすることにより、両レーザ光Ｌ１，Ｌ２の光軸がずれることになり、第１レーザ光Ｌ１が第２レーザ光Ｌ２側の光学系、又は第２レーザ光Ｌ２が第１レーザ光Ｌ１側の光学系に入射するのを防止でき、各光学系が損傷するのを防止できる。
【００６２】
（ｂ）図６にレーザ光照射機構のさらに他の実施形態を示している。この図６に示す例は、それぞれ複数の第１及び第２レーザ光を両ガラス基板に対して照射するようにしている。
【００６３】
具体的には、２つの第１レーザ光Ｌ１１，Ｌ１２は、それぞれ第１集光レンズ１１ａ，１２ａを介して第１ガラス基板Ｇ１の表面（上面）Ｇ１ａに対して角度θだけ傾斜した方向から照射され、かつ両ガラス基板Ｇ１，Ｇ２の間に集光される。また、２つの第２レーザ光Ｌ２１，Ｌ２２は、それぞれ第２集光レンズ１１ｂ，１２ｂを介して、第２ガラス基板Ｇ２の裏面（第２主面）Ｇ２ｂに対して角度θだけ傾斜した方向から照射され、かつ両ガラス基板Ｇ１，Ｇ２の間に集光される。
【００６４】
このような構成では、各レーザ光のパワーをより小さくすることができ、各ガラス基板Ｇ１，Ｇ２への熱ダメージをより抑えることができる。
【００６５】
（ｂ）前記実施形態では、連続発振のレーザ光を用いたが、繰り返し周波数１ＭＨｚ以上の擬似連続発振のパルスレーザ光や、繰り返し周波数が１０ｋＨｚ以上のパルスレーザ光を照射するようにしてもよい。
【００６６】
（ｃ）前記実施形態では、１つのレーザ発振器からのレーザ光を分岐して第１及び第２レーザ光を得るようにしたが、２つのレーザ発振器及び光学系により２つのレーザ光照射機構を設け、各レーザ光照射機構によって第１レーザ光及び第２レーザ光を得るようにしてもよい。
【００６７】
そして、このような構成にした場合、第１及び第２レーザ光を同時にガラス基板に照射してもよいし、２つのレーザ光を、時間差を設けてガラス基板に照射するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００６８】
１  ワークテーブル
２  レーザ発振器
３  光学系
４  テーブル移動機構
６ａ〜６ｆ  反射ミラー
７  分岐部
８ａ，８ｂ，１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ  集光レンズ
Ｇ１，Ｇ２  ガラス基板
【図１】
2015063418.tif 000003
【図５】
2015063418.tif 000004
【図６】
2015063418.tif 000005
【図２】
2015063418.tif 000006
【図３】
2015063418.tif 000007
【図４】
2015063418.tif 000008