(57)【要約】【課題】精度の高いスクライブを行うことができるホルダ取付け構造体、スクライブ装置、ホルダユニット及びホルダジョイントを提供する。【解決手段】ホルダ取付け構造体２３は、ホルダジョイント３０の内部空間３４に露出する鋼球３５と、ホルダユニット４０の胴体部４３の上面４３ａに形成された鋼球受け部４８からなる第１の支持部Ｓ１と、ホルダユニット４０の円錐台部４３ｂと、円錐台部４３ｂと接触するハウジング５０のテーパー部５４からなる第２の支持部Ｓ２と、を備える。【選択図】図５
2015120252.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクライビングホイールを有するホルダユニットと、
回転軸部と前記ホルダユニットが挿入されるジョイント部とを有するホルダジョイントと、
前記ホルダジョイントへの前記ホルダユニットの取り付けに際して前記ホルダジョイントに結合するハウジングと、
を備えたホルダ取付け構造体であって、
前記ホルダ取付け構造体には前記ホルダユニットを固定するための２つの支持部が回転軸部と同軸に設けられており、
第１の前記支持部は、前記ホルダユニットと前記ホルダジョイントとの間に設けられており、
第２の前記支持部は、前記ホルダユニットと前記ハウジングとの間に設けられていることを特徴するホルダ取付け構造体。
【請求項２】
前記第１の支持部は、前記ホルダジョイントの内側に露出した鋼球と、前記ホルダユニットに設けられた前記鋼球の受け部と、からなることを特徴とする請求項１に記載のホルダ取付け構造体。
【請求項３】
前記第２の支持部は、前記ホルダユニットに形成された円錐台部と、前記ハウジングに形成された前記円錐台部と接触するテーパー部と、からなることを特徴とする請求項２に記載のホルダ取付け構造体。
【請求項４】
前記ハウジングから露出する前記ホルダユニットの側面には、円柱部が設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のホルダ取付け構造体。
【請求項５】
前記ホルダジョイントの前記回転軸部の内部には空洞部が設けられており、前記空洞部内に磁石が配置されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のホルダ取付け構造体。
【請求項６】
請求項１〜５に記載のホルダ取付け構造体を備えることを特徴とするスクライブ装置。
【請求項７】
スクライビングホイールを有し、ホルダジョイントのジョイント部に取り付けられるホルダユニットであって、
前記ジョイント部に取り付けられた際に固定のための支持部を形成する支持形成部が前記ホルダユニットの軸と同軸に２箇所設けられていることを特徴とするホルダユニット。
【請求項８】
スクライビングホイールを有するホルダユニットを取り付けるためのホルダジョイントであって、
回転軸部と、前記ホルダユニットが挿入されるジョイント部と、前記ホルダユニットの取り付け用のハウジングを備え、
前記ホルダユニットが取り付けられた際に固定のための支持部を形成する支持形成部が前記回転軸部の軸中心と同軸に２箇所設けられていることを特徴とするホルダジョイント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、脆性材料基板の表面に高精度のスクライブラインを形成することのできるホルダ取付け構造体、スクライブ装置、ホルダユニット及びホルダジョイントに関する。
【背景技術】
【０００２】
スクライビングホイールと、スクライビングホイールを回転自在に保持するホルダとを一体化し、スクライビングホイールの交換を容易に行うことのできるスクライブ装置が知られている。
【０００３】
このようなスクライブ装置として、例えば特許文献１には、スクライブ装置が備えるホルダジョイントに、チップ（スクライビングホイール）が一体化されたチップホルダを取り付けられるものが記載されている。具体的には、このホルダジョイントは、二つのベアリングと、二つのベアリングに回転軸を挿入する保持部と、を備えており、この保持部に形成された開口にチップホルダを挿入することで、チップホルダを保持する。この時、このチップホルダは、保持部の内側のマグネットと、平行ピンとによって位置決め固定される。
【０００４】
また、他のスクライブ装置として、特許文献２には、スクライバー（スクライブ装置）が備えるヘッドに、ホイール（スクライビングホイール）を有するホイールホルダがチャックを介して取り付けられるものが記載されている。具体的には、このチャックは、ベアリングの中心に固定されるチャック固定部と中空部とチャックボルトとが形成されたシャフトと、コレットと、クランピングナットと、を備えており、ホイールホルダのホルダ軸がコレットに装着されることで、ホイールホルダを保持する。この時、ホイールホルダは、コレットの締め付け片によってホルダ軸が締め付けられることによって固定される。
【０００５】
また、スクライビングホイールとスクライビングホイールを回転自在に保持するホルダとを一体化したものを用いる特許文献１、特許文献２のスクライブ装置とは異なるものとして、特許文献３には、カッターホイール（スクライビングホイール）を保持するカッター取付部と、ベアリングに挿入される支持軸（回転軸）とが一体になっているスクライブ装置が記載されている。
【０００６】
特許文献３のチップホルダにおいては、一方向でスクライブラインを形成した場合、最大で２０μｍ程度スクライブ予定ラインからずれることがある。また、往復でスクライブラインを形成しても、所望のスクライブラインから大きくずれることはなく、スクライブラインのずれは３０μｍ程度となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１１−２１３５９２号公報
【特許文献２】特開２００７−１４５７１１号公報
【特許文献３】特開２０１２−２３２８８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に開示されているスクライブ装置は、ベアリングに挿入される回転軸とスクライビングホイールを有するチップホルダとは、取り外し可能な別々の部品となっている。そして、チップホルダはマグネットと平行ピンとによって位置決め固定される構造になっているが、マグネットは単にチップホルダを鉛直方向に引き寄せているだけで、脆性材料基板と平行な方向に関してはチップホルダが平行ピンによって保持部に押し当てられて固定されているだけである。
【０００９】
したがって、特許文献１に開示されているスクライブ装置は、特許文献３に開示されているカッター取付部と、ベアリングに挿入される回転軸とが一体になっているスクライブ装置と比べると、スクライブを行う度に、ベアリングに挿入される回転軸の中心と、チップホルダの位置にズレが生じてしまうことがある。
【００１０】
具体的には、特許文献１のスクライブ装置では、所望のスクライブラインに対して、一方向でスクライブを行った場合のズレは２０μｍ程度であるが、往復でスクライブを行う場合、最大で１００μｍ程度のズレが生じてしまうことがある。そのため、特許文献１のスクライブ装置は、特許文献３のようなスクライブ装置と同程度の精度でスクライブを行うことが構造的に難しく、また、ますます高まっているスクライブの精度要求に応じることは難しい。
【００１１】
一方、特許文献２のスクライブ装置は、ホルダ軸自身が、チャックを構成するコレットの締め付け片によって締め付け固定されているため、ホルダ軸が常にコレットの中心に位置するようになっている。
【００１２】
しかしながら、特許文献２のスクライブ装置は、ホルダ軸の軸周全体が締め付け片だけで固定されている構成なので、ホイールホルダを固定するための支持部は一箇所だけであり、実際にスクライブを行う時には、ホイールホルダにブレが生じてしまう。
【００１３】
したがって、特許文献２のスクライブ装置においても、ますます高まっているスクライブの精度要求に応じることは難しい。
【００１４】
そこで、本発明は、精度の高いスクライブを行うことができるホルダ取付け構造体、スクライブ装置、ホルダユニット及びホルダジョイントを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するため、本発明のホルダ取付け構造体は、スクライビングホイールを有するホルダユニットと、回転軸部と前記ホルダユニットが挿入されるジョイント部とを有するホルダジョイントと、前記ホルダジョイントへの前記ホルダユニットの取り付けに際して前記ホルダジョイントに結合するハウジングと、を備えたホルダ取付け構造体であって、前記ホルダ取付け構造体には前記ホルダユニットを固定するための２つの支持部が回転軸部と同軸に設けられており、第１の前記支持部は、前記ホルダユニットと前記ホルダジョイントとの間に設けられており、第２の前記支持部は、前記ホルダユニットと前記ハウジングとの間に設けられていることを特徴する。
【００１６】
本発明のホルダ取付け構造体は、ホルダユニットを固定するための２つの支持部が設けられているため、ホルダジョイントの軸に対してホルダユニットの位置が正確に定まり、ブレ難く、精度の高いスクライブを行うことができる。
【００１７】
また、本発明のホルダ取付け構造体は、前記第１の支持部は、前記ホルダジョイントの内側に露出した鋼球と、前記ホルダユニットに設けられた前記鋼球の受け部と、からなることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明のホルダ取付け構造体は、前記第２の支持部は、前記ホルダユニットに形成された円錐台部と、前記ハウジングに形成された前記円錐台部と接触するテーパー部と、からなることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明のホルダ取付け構造体は、前記ハウジングから露出する前記ホルダユニットの側面には、円柱部が設けられていることを特徴とする。
【００２０】
本発明のホルダ取付け構造体によれば、円柱部を利用して、ホルダ取付け構造体におけるホルダユニットの同軸度を測定することができる。
【００２１】
また、本発明のホルダ取付け構造体は、前記ホルダジョイントの前記回転軸部の内部には空洞部が設けられており、前記空洞部内に磁石が配置されていることを特徴とする。
【００２２】
本発明のホルダ取付け構造体によれば、磁石によってホルダユニットを引き寄せておくことが可能になるので、ホルダユニットを交換する際に、ホルダユニットの落下を防止でき、交換作業を効率よく行うことができる。
【００２３】
また、本発明のスクライブ装置は、上記のホルダ取付け構造体を備えることを特徴とする。
【００２４】
本発明のスクライブ装置によれば、精度の高いスクライブを行うことができる。
【００２５】
また、本発明のホルダユニットは、スクライビングホイールを有し、ホルダジョイントのジョイント部に取り付けられるホルダユニットであって、前記ジョイント部に取り付けられた際に固定のための支持部を形成する支持形成部が前記ホルダユニットの軸と同軸に２箇所設けられていることを特徴とする
【００２６】
本発明のホルダユニットによれば、ホルダユニットには支持形成部が２箇所設けられているため、支持形成部を２箇所備えるホルダジョイントとともに用いることで、固定のための２つの支持部が形成され、ホルダジョイントに対してホルダユニットの位置が正確に定まり、精度の高いスクライブを行うことが可能になる。
【００２７】
また、本発明のホルダジョイントは、スクライビングホイールを有するホルダユニットを取り付けるためのホルダジョイントであって、回転軸部と、前記ホルダユニットが挿入されるジョイント部と、前記ホルダユニットの取り付け用のハウジングを備え、前記ホルダユニットが取り付けられた際に固定のための支持部を形成する支持形成部が前記回転軸部の軸中心と同軸に２箇所設けられていることを特徴とする。
【００２８】
本発明のホルダジョイントによれば、ホルダジョイントには支持形成部が２箇所設けられているために、支持形成部を２箇所備えるホルダユニットとともに用いることで、固定のための２つの支持部が形成され、ホルダジョイントに対してホルダユニットの位置が正確に定まり、精度の高いスクライブを行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】実施形態１のスクライブ装置の概略図である。
【図２】実施形態１のホルダ取付け構造体の正面図である。
【図３】一部が断面図で示された実施形態１のホルダ取付け構造体の正面図である。
【図４】実施形態１のホルダ取付け構造体の分解図である。
【図５】ホルダジョイントとハウジングが断面で示された実施形態１のホルダ取付け構造体の正面図である。
【図６】図６（Ａ）は実施形態１のホルダ取付け構造体における第１の支持部を示した断面図であり、図６（Ｂ）は実施形態１のホルダ取付け構造体における第２の支持部を示した正面図である。
【図７】実施形態２のホルダ取付け構造体の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための一例を示すものであり、本発明をこの実施形態に特定することを意図するものではない。本発明は、特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態にも適応できるものである。
【００３１】
［実施形態１］
図１は、本発明の実施形態１に係るスクライブ装置１０の概略図である。スクライブ装置１０は、移動台１１を備えている。移動台１１は、ボールネジ１３と螺合されており、モータ１４の駆動によりこのボールネジ１３が回転することで、一対の案内レール１２ａ、１２ｂに沿ってｙ軸方向に移動するようになっている。
【００３２】
移動台１１の上面には、モータ１５が設置されている。モータ１５は、上部に位置するテーブル１６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めする。分断（スクライブ）対象物としての脆性材料基板１７は、テーブル１６上に載置され、図示しない真空吸引手段等によって保持される。
【００３３】
この脆性材料基板１７は、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスからなるセラミック基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等である。また、脆性材料基板１７は、基板の表面又は内部に薄膜或いは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。また、脆性材料基板１７は、その表面に脆性材料に該当しない薄膜等が付着されていても構わない。
【００３４】
スクライブ装置１０は、テーブル１６に載置された脆性材料基板１７の上方に、この脆性材料基板１７の表面に形成されたアライメントマークを撮像する二台のＣＣＤカメラ１８を備えている。移動台１１とその上部のテーブル１６とを跨ぐように、ブリッジ１９がｘ軸方向に沿うようにして支柱２０ａ、２０ｂに架設されている。
【００３５】
ブリッジ１９にはガイド２２が取り付けられており、スクライブヘッド２１はこのガイド２２に案内されてｘ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド２１には、ホルダ取付け構造体２３が取り付けられている。
【００３６】
このホルダ取付け構造体２３の詳細について、図２〜５を用いて説明する。図２はスクライブヘッド２１に取り付けられたホルダ取付け構造体２３の正面図である。なお、図２には、スクライブヘッド２１が備えるベアリング等が併せて図示されている。図３は図２に示したホルダ取付け構造体２３において、ベアリング等を断面図で示したホルダ取付け構造体２３の正面図である。図４はホルダ取付け構造体２３の分解図である。なお、図４ではホルダ取付け構造体２３を構成するホルダユニット４０について、９０°回転させたホルダユニット４０が併せて図示されている。図５はホルダ取付け構造体２３において、ホルダジョイント３０とハウジング５０を断面図で示したホルダ取付け構造体２３の正面図である。
【００３７】
ホルダ取付け構造体２３は、図４に示すように、ホルダジョイント３０と、ホルダユニット４０と、ハウジング５０と、を備えており、ホルダユニット４０がホルダジョイント３０とハウジング５０により一体化されたものである。
【００３８】
ホルダジョイント３０は、円柱状の回転軸部３１と、ジョイント部３２と、を備えている。この回転軸部３１が、図３に示すように、スクライブヘッド２１に内蔵された二つのベアリング２４ａ、２４ｂと円筒形スペーサ２４ｃとに挿入されることで、ホルダ取付け構造体２３はスクライブヘッド２１に装着される。そして、ホルダ取付け構造体２３はスクライブヘッド２１に対して回転自在に保持される。
【００３９】
回転軸部３１の下方に位置するジョイント部３２には、下端側に円形の開口３３を備えた内部空間３４が設けられている。そして、開口部３３を介して、ホルダユニット４０がこの内部空間３４に挿入される。なお、ホルダジョイント３０の内部構造の詳細については後述する。
【００４０】
ホルダユニット４０は、ホルダ４１と、スクライビングホイール４２と、ピン（図示せず）と、を備えており、スクライビングホイール４２をピンによってホルダ４１に回転可能に取り付けて一体化したものである。
【００４１】
ホルダ４１は、磁性体金属からなり、上方に位置する円柱状の胴体部４３と、下方に位置するホイール取付部４４と、導体部４３とホイール取付部４４との間に位置する円柱部４５と、を備えている。なお、ホルダ４１の胴体部４３の詳細については後述する。
【００４２】
ホイール取付部４４には、スクライビングホイール４２を保持するための保持溝４６が二つの支持部４７により形成されている。そして、スクライビングホイール４２の中心に形成されたピン孔（図示せず）と、支持部４７に形成された支持孔４７ａにピンを挿入することで、保持溝４６にスクライビングホイール４２が回転自在に保持される。なお、ホルダ取付け構造体２３は、スクライビングホイール４２にキャスタ効果が生じるようにするため、図３に示すように、一点鎖線Ｌで示した回転軸部３１の軸中心から支持孔４７ａをズラして設けている。
【００４３】
また、図４に示すように、支持部４７は、保持溝４６を形成する内側面だけでなく、外側面も平坦に形成されている。この外側の平坦な面には、ホルダユニット４０を管理するためのデータを２次元コード化し、この２次元コードを印字する等、ホルダユニット４０の管理に利用することができる。特に、支持部４７は、ホルダ取付け構造体２３において、ハウジング５０から露出しているため、組立て後であっても容易に２次元コード等を確認することができる。
【００４４】
スクライビングホイール４２は、焼結ダイヤモンド（Ｐｏｌｙ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  Ｄｉａｍｏｎｄ）や超硬合金、単結晶ダイヤモンドや多結晶ダイヤモンド等から形成されたものである。また、スクライビングホイール４２は、超硬合金等の基材にダイヤモンド等の硬質材料の膜をコーティングしたものを用いることもできる。また、スクライビングホイール４２は、消耗品であるため、定期的な交換が必要になるが、スクライビングホイール４２の交換をホルダ４１から取り外して行うのではなく、ホルダユニット４０そのものを交換して行う構成なので、スクライビングホイール４２の交換を迅速に行うことができる。
【００４５】
また、ホルダ４１に円柱部４５を設けておくことで、例えば、ホルダ取付け構造体２３におけるホルダユニット４０の同軸度を測定する場合等に、円柱部４５を利用することができる。円柱部４５は、ホルダ取付け構造体２３においてハウジング５０から露出しているため、この部分にセンサを接触させることで、取付け後においてもホルダジョイント３０に対するホルダユニット４０の同軸度を測定することができる。
【００４６】
ハウジング５０は、六角ナット状の金属製の部材である。ハウジング５０は、上部に位置しホルダジョイント３０のジョイント部３２と螺合するよう内側にネジ切り加工が施されている雌ネジ部５１と、下部に位置しホルダユニット４０が露出する貫通部５２が設けられた底部５３と、を備えている。
【００４７】
そして、内部空間３４に挿入されたホルダユニット４０が、貫通部５２を介して露出するように、ハウジング５０をホルダユニット４０の下方から挿入し、雌ネジ部５１をジョイント部３２と螺合させることでホルダユニット４０がホルダジョイント３０に対して固定される。
【００４８】
以上のように、ホルダ取付け構造体２３はホルダジョイント３０と、ホルダユニット４０と、ハウジング５０と、を備えている。そして、本実施形態のホルダ取り付け構造体２３には、脆性材料基板１７に対して高精度のスクライブラインが形成できるよう、ホルダユニット４０を固定するための二つの支持部Ｓ１、Ｓ２が設けられている。
【００４９】
この支持部Ｓ１、支持部Ｓ２について、図６を用いて詳細に説明する。図６（Ａ）はホルダジョイント３０とホルダユニット４０との間に設けられた支持部Ｓ１を示した断面図であり、図６（Ｂ）はホルダユニット４０とハウジング５０との間に設けられた支持部Ｓ２を示した正面図である。なお、図６（Ｂ）においてはハウジング５０が断面図で示されている。
【００５０】
ホルダユニット４０を固定するための第１の支持部Ｓ１は、ホルダジョイント３０とホルダユニット４０との間に設けられている。具体的には、支持部Ｓ１は、ホルダジョイント３０の内部空間３４に露出する鋼球３５と、ホルダユニット４０の胴体部４３の上面４３ａに形成された鋼球受け部４８からなる。つまり、支持部Ｓ１は、ホルダジョイント３０の支持形成部である鋼球３５と、ホルダユニット４０の支持形成部である鋼球受け部４８とで構成される。
【００５１】
鋼球３５は、内部空間３４の上面に形成された圧入穴３６に圧入固定されている。具体的には、鋼球３５は、例えば直径２．０ｍｍの球体であり、圧入穴３６は鋼球３５の直径よりも若干小さく、例えば直径１．９ｍｍの円形の穴である。この圧入穴３６は、中心が回転軸部３１の軸中心（図３の一点鎖線Ｌ）と一致するように形成されており、鋼球３５の中心も回転軸部３１の軸中心Ｌと一致している。
【００５２】
なお、図５に示すように回転軸部３１の内部には、回転軸部３１の先端からの穴あけ加工によって空洞部３７が形成されている。そして、空洞部３７は、下端に更に細い空洞を有しており、圧入穴３６へとつながっている。ホルダジョイント３０は、この空洞部３７に磁石（図示せず）を配置しておくことで、ハウジング５０を装着しない状態でも、磁性体金属からなるホルダ４１を内部空間３４に引き寄せておくことができる。したがって、ホルダ取付け構造体２３は、ホルダユニット４０を交換する際に、ホルダユニット４０の落下を防止できるため、交換作業を効率よく行うことができる。
【００５３】
鋼球受け部４８は、円柱状の胴体部４３の上面４３ａに形成されており、上面４３ａの中心に向かってテーパー状に傾斜する円形状の窪みである。この鋼球受け部４８は、上面４３ａでの直径が例えば１．６ｍｍ程度であり、深さは例えば０．２ｍｍ程度に形成されている。
【００５４】
この鋼球受け部４８の中心は円筒状のホルダユニット４０の軸中心と一致するように形成されている。したがって、ホルダ取付け構造体２３は、ホルダユニット４０を内部空間３４に挿入するだけで、鋼球受け部４８に鋼球３５が嵌り込み、ホルダユニット４０の中心と、回転軸部３１の軸中心Ｌとを簡単に一致させることができる。なお、鋼球受け部４８の底部には、保持溝４６へとつながる貫通孔４９が形成されている。
【００５５】
このように、ホルダジョイント３０の鋼球３５とホルダユニット４０の鋼球受け部４８とが嵌まり合うことで、ホルダユニット４０を固定するための第１の支持部Ｓ１が形成される。この支持部Ｓ１は、ホルダジョイント３０に対するホルダユニット４０の水平方向（図１のｘｙ平面）への移動を防ぐ支点となる。
【００５６】
ホルダユニット４０を固定するための第２の支持部Ｓ２は、ホルダユニット４０とハウジング５０との間に設けられている。具体的には、支持部Ｓ２は、ホルダユニット４０の胴体部４３下側の円錐台部４３ｂと、ハウジング５０の底部５３において、貫通部５２に設けられたテーパー部５４からなる。つまり、支持部Ｓ２は、ホルダユニット４０の支持形成部である円錐台部４３ｂと、ハウジング５０の支持形成部であるテーパー部５４で構成される。
【００５７】
円錐台部４３ｂは、胴体部４３よりも径の小さい円柱部４５に向かって側面が傾斜している部分であり、円錐台部４３ｂの中心は鋼球受け部４８の中心と同軸に、すなわちホルダユニット４０の中心に一致するように形成されている。テーパー部５４は、この円錐台部４３ｂの傾斜方向とは反対向きに、底部５２に向かって内径が小さくなるように傾斜している。
【００５８】
ホルダジョイント３０のジョイント部３２の側面には、図４に示すように、ネジ切り加工により雄ネジ３８が形成されている。この雄ネジ３８にハウジング５０の雌ネジ部５１を螺合させることで、円錐台部４３ｂとテーパー部５４とが接触し、ホルダユニット４０が上方に押し上げられ、ホルダユニット４０はホルダジョイント３０に対して強固に固定される。このとき、ホルダジョイント３０に取り付けられた状態で、テーパー部５４の中心は回転軸部の中心と一致するようにされている。
【００５９】
このように、ホルダユニット４０の円錐台部４３ｂとハウジングのテーパー部５４とが接触することで、ホルダユニット４０を固定するための第２の支持部Ｓ２が形成され、この支持部Ｓ２は、ホルダジョイント３０に対するホルダユニット４０の水平方向（図１のｘｙ平面）への移動を防ぐ支点となる。すなわち、第１の支持部Ｓ１により、回転軸部の軸中心と鋼球受け部４８の中心が一致し、第２の支持部Ｓ２により、テーパー部５４の中心が回転軸部の中心と一致することで、円錐台部４３ｂの中心が回転軸部の中心と一致するので、ホルダユニットの中心が回転軸部の軸中心と一致することとなる。
【００６０】
以上のように、本実施形態のホルダ取付け構造体２３は、ホルダジョイント３０の内側に配置された鋼球３５と、ホルダユニット４０の上面４３ａに形成された鋼球受け部４８からなる第１の支持部Ｓ１と、ホルダユニット４０の円錐台部４３ｂと、円錐台部４３ｂと接触するハウジング５０のテーパー部５４からなる第２の支持部Ｓ２と、を備えている。
【００６１】
したがって、本実施形態のスクライブ装置１０は、ホルダジョイント３０に対するホルダユニット４０の移動を防ぐ支点が２箇所あるため、ホルダジョイント３０に対してホルダユニット４０の位置が正確に定まり、精度の高いスクライブを行うことができる。そして、特許文献３に開示されている、スクライビングホイールの保持部とベアリングに挿入される回転軸とが最初から一体になっているスクライブ装置と同等の精度でスクライブを行うことができる。
【００６２】
また、特許文献２に開示されている、ホルダユニット（特許文献２におけるホイールホルダ）を固定するための支持部が１つしかないスクライブ装置と比べると、本実施形態のスクライブ装置１０は、ホルダユニット４０がブレたりしないため、より精度の高いスクライブを行うことができる。
【００６３】
なお、本実施形態において、ホルダ取付け構造体２３は、ホルダユニット４０を固定するための２つの支持部Ｓ１、Ｓ２を備える構成となっているが、これは少なくとも２つの支持部が必要ということである。したがって、ホルダ取付け構造体２３は、更に多くの支持部を備えていてもよい。
【００６４】
［実施形態２］
次に、実施形態２のホルダ取付け構造体２３Ａについて図７を用いて説明する。図７はホルダ取付け構造体２３Ａにおいて、ホルダジョイント３０Ａとハウジング５０Ａを断面図で示したホルダ取付け構造体２３の正面図である。なお、実施形態１のホルダ取付け構造体２３と同様の構成については同じ符号を用いて説明し、その詳細な説明は省略する。
【００６５】
ホルダ取付け構造体２３Ａは、ホルダジョイント３０Ａと、ホルダユニット４０Ａと、ハウジング５０Ａと、を備えており、ホルダユニット４０Ａがホルダジョイント３０Ａとハウジング５０Ａにより一体化されたものである。
【００６６】
ホルダジョイント３０Ａは、円柱状の回転軸部３１と、ジョイント部３２Ａと、を備えている。回転軸部３１の下方に位置するジョイント部３２Ａには、下端側に円形の開口３３を備えた内部空間３４Ａが設けられている。
【００６７】
ホルダユニット４０Ａは、ホルダ４１Ａと、スクライビングホイール４２と、ピン（図示せず）と、を備えており、ピンを用いてホルダ４１Ａにスクライビングホイール４２を回転可能に取り付けて一体化されたものである。
【００６８】
ホルダ４１Ａは、磁性体金属からなり、上方に位置し先端が丸い円錐状をした凸部４８Ａと、円柱状の胴体部４３Ａと、下方に位置するホイール取付部４４と、胴体部４３とホイール取付部４４との間に位置する円柱部４５と、を備えている。また、ハウジング５０Ａは、実施形態１のハウジング５０と同様の構成であり、六角ナット状の金属製の部材である。
【００６９】
そして、ホルダ取付け構造体２３Ａは、脆性材料基板１７に対して高精度のスクライブラインが形成できるよう、ホルダユニット４０Ａを固定するために二つの支持部Ｓ１Ａ、Ｓ２が設けられている。
【００７０】
ホルダユニット４０を固定するための第１の支持部Ｓ１Ａは、ホルダジョイント３０Ａとホルダユニット４０Ａとの間に設けられている。具体的には、支持部Ｓ１Ａは、ホルダジョイント３０の内部空間３４Ａの上面が傾斜した凹部３５Ａと、ホルダユニット４０Ａの凸部４８Ａからなる。なお、凹部３５Ａは、中心が回転軸部３１の軸中心（図７の一点鎖線Ｌ）と一致するように形成されている。また、ホルダユニット４０Ａの凸部４８Ａは、円形状の胴体部４３Ａの中心が一番高くなるように形成されている。したがって、ホルダ取付け構造体２３Ａは、ホルダユニット４０Ａを内部空間３４Ａに挿入するだけで、ホルダユニット４０Ａの中心と、回転軸部３１の軸中心Ｌとを簡単に一致させることができる。
【００７１】
このように、ホルダジョイント３０Ａの凹部３５Ａとホルダユニット４０Ａの凸部４８Ａとが嵌まり合うことで、ホルダユニット４０Ａを固定するための支持部Ｓ１Ａが形成され、この支持部Ｓ１Ａは、ホルダジョイント３０Ａに対するホルダユニット４０Ａの水平方向への移動を防ぐ支点となる。
【００７２】
また、実施形態１のホルダ取付け構造体２３と同様に、ホルダ取付け構造体２３Ａは、ホルダユニット４０Ａを固定するための支持部Ｓ２を、ホルダユニット４０Ａとハウジング５０Ａとの間に備えている。
【００７３】
ホルダジョイント３０Ａのジョイント部３２Ａの側面には、図４に示すように、雄ネジ３８が形成されている。この雄ネジ３８にハウジング５０Ａの雌ネジ部５１を螺合することにより、円錐台部４３ｂとテーパー部５４とが接触し、ホルダユニット４０Ａが上方に押し上げられ、支持部Ｓ１Ａでは、凹部３５Ａと凸部４８Ａとが嵌まり合い、ホルダユニット４０Ａはホルダジョイント３０Ａに対して強固に固定される。
【００７４】
以上のように、本実施形態のホルダ取付け構造体２３Ａは、ホルダジョイント３０Ａの内側に設けられた凹部３５Ａと、ホルダユニット４０Ａに形成された凸部４８Ａからなる支持部Ｓ１Ａと、ホルダユニット４０Ａの円錐台部４３ｂと、円錐台部４３ｂと接触するハウジング５０Ａのテーパー部５４からなる第２の支持部Ｓ２と、を備えている。
【００７５】
したがって、ホルダ取付け構造体２３Ａは、ホルダジョイント３０Ａに対するホルダユニット４０Ａの水平方向への移動を防ぐ支点が２箇所あるため、ホルダジョイント３０Ａに対してホルダユニット４０Ａの位置が正確に定まり、精度の高いスクライブを行うことができる。そして、特許文献３に開示されている、スクライビングホイールの保持部とベアリングに挿入される回転軸とが最初から一体になっているスクライブ装置と同等の精度でスクライブを行うことができる。
【００７６】
また、特許文献２に開示されている、ホルダユニット（特許文献２におけるホイールホルダ）を固定するための支持部が１つしかないスクライブ装置と比べると、ホルダユニット４０Ａがブレたりしないため、より精度の高いスクライブを行うことができる。
【００７７】
また、ホルダ取付け構造体２３Ａは、実施形態１のような鋼球３５を用いないため、部品点数を削減することができる。
【００７８】
なお、ホルダ取付け構造体２３に設けられた支持部Ｓ１Ａは、ホルダジョイント３０Ａの内側に設けられた凹部３５Ａと、ホルダユニット４０Ａに形成された凸部４８Ａで構成されていたが、ホルダジョイント３０Ａに凸部を設け、ホルダユニット４０Ａに凹部を設ける構成でも構わない。
【符号の説明】
【００７９】
１０…スクライブ装置
２３、２３Ａ…ホルダ取付け構造体
３０、３０Ａ…ホルダジョイント
３１…回転軸部
３２、３２Ａ…ジョイント部
３３…開口
３４、３４Ａ…内部空間
３５…鋼球
３５Ａ…凹部
３６…圧入穴
３７…空洞部
３８…雄ネジ
４０…ホルダユニット
４１…ホルダ
４２…スクライビングホイール
４３、４３Ａ…胴体部
４３ａ…上面
４３ｂ…円錐台部
４４…ホイール取付部
４５…円柱部
４６…保持溝
４７…支持部
４７ａ…支持孔
４８…鋼球受け部
４８Ａ…凸部
４９…貫通孔
５０…ハウジング
５１…雌ネジ部
５２…貫通部
５３…底部
５４…テーパー部
Ｓ１、Ｓ２…支持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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