(57)【要約】【課題】入力ポート７の微小開口時に生じる脈動を抑制でき、且つ、全開ストローク時に所要の流量性能を得ることができる小型の油圧制御弁を提供する。【解決手段】第１ランド１１の軸方向一端側には、エッジ部ｅより内径方向に段差ｒ１を有し、この段差ｒ１の反エッジ部側を起点ｓ１として軸方向および径方向に凸となる曲面形状（凸Ｒ部）を有する段付き絞り部１６が設けられる。流入口７ａを開き始める微小開口時には、スリーブ４の角部と凸Ｒ部との間に開口する第２のゲートを作動流体が通過することで絞られるため、急激な流量増加や制御の不安定性を抑えることができる。また、全開ストローク時には、第２のゲートの開口面積が大きくなるため、最大流量の性能を損なうことがない。更に、微小開口時から全開ストローク時において、噴射流が凸Ｒ部の表面に沿って径方向内向きの流れに変わるため、軸方向に発生する流体力が小さくなる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にスプール孔（４ａ）を形成するスリーブ（４）と、
前記スプール孔（４ａ）に挿入されて軸方向に移動可能に配設されるスプール（５）とを備え、
前記スリーブ（４）は、前記スプール孔（４ａ）に連通する入力ポート（７）と出力ポート（８）を有し、
前記スプール（５）は、前記スリーブ（４）の内周を摺動可能に設けられる第１のランド（１１）と第２のランド（１２）、および両ランド（１１、１２）を軸方向に連結する軸部（１３）とを有し、
前記スリーブ（４）の内周面に開口する前記入力ポート（７）の開口部を流入口（７ａ）と呼ぶ時、
前記スプール（５）の移動により前記第１のランド（１１）が前記流入口（７ａ）を開くことで前記入力ポート（７）と前記出力ポート（８）との間を連通する流体制御弁（１）であって、
前記流入口（７ａ）を開閉する前記第１のランド（１１）の外周角部をエッジ部（ｅ）と呼ぶ時、
前記軸部（１３）を介して前記第２のランド（１２）と軸方向に対向する前記第１のランド（１１）の軸方向一端側には、前記エッジ部（ｅ）より前記第１のランド（１１）の内径方向に段差（ｒ１）を有し、この段差（ｒ１）の反エッジ部側を起点（ｓ１）として軸方向へ突き出る段付き絞り部（１６）が設けられ、この段付き絞り部（１６）の外周角部が軸方向および径方向に対して凸となる曲面形状を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項２】
請求項１に記載した流体制御弁（１）において、
前記スプール（５）は、前記第１のランド（１１）に連結される前記軸部（１３）の軸方向他端側の全周に括れ部（１７）が形成され、この括れ部（１７）のうち最も深く括れている部位から軸方向一端側へ向かって括れ形状が次第に浅くなる括れ減少域（１７ａ）を有し、
前記スリーブ（４）の内周面に開口する前記出力ポート（８）の開口部を流出口（８ａ）と呼ぶ時、
前記括れ減少域（１７ａ）の表面は、前記流出口（８ａ）に向かって湾曲する凹曲面またはテーパ面によって形成されることを特徴とする流体制御弁。
【請求項３】
請求項１または２に記載した流体制御弁（１）において、
前記段付き絞り部（１６）には、前記曲面形状を有する外周角部より内径側に起点（ｓ２）を設定し、その起点（ｓ２）から前記段付き絞り部（１６）の軸方向内側へ掘り込んだ凹部（１８）を有することを特徴とする流体制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、筒状のスリーブ内に収容されるスプールを軸方向に駆動して作動流体の流出入を切り替える流体制御弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、スプールの移動に応じて作動流体（作動油）の圧力を調整する油圧制御弁が公知である。この油圧制御弁は、図１２に示すように、内部にスプール孔１００を形成するスリーブ１１０と、スプール孔１００に挿入されて軸方向（図示左右方向）に可動するスプール１２０とを有する。スリーブ１１０には、入力ポート１３０と出力ポート１４０を含む複数の油圧ポートが形成され、スプール１２０の移動に応じて入力ポート１３０と出力ポート１４０との間が開閉される。
ここで、スプール１２０が開弁方向へ移動して入力ポート１３０を開く時、つまり、入力ポート１３０の開口量がゼロから正値に変わる微小開口時には、図１３に示すように、作動流体の流量（実線グラフ）及び軸方向の流体力（破線グラフ）が急激に上昇する。その結果、流体流れに脈動が生じるため制御が不安定となる。なお、軸方向の流体力とは、スプール１２０が開弁方向へ移動する際に、スプール１２０の移動を妨げる方向（図１２の左方向）に働く作動流体の圧力である。
【０００３】
入力ポート１３０の微小開口時に生じる脈動を抑制する手段として、例えば、特許文献１では、スプール１２０の油圧仕切り部（エッジ部と呼ぶ）にノッチ形状あるいはエッジ部を起点としたテーパ形状を全周に設ける構成が開示されている。
また、特許文献２では、エッジ部の直近下流にストレートな段差形状を設ける構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６０−１２５４７１号公報
【特許文献２】特開２０１２−２５５５０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、スプール１２０を駆動するアクチュエータとしてソレノイドを用いた場合、ソレノイドの制御ストローク（プランジャの可動範囲）は有限である。すなわち、スプール１２０のストローク範囲が限定される。この限定されたストローク範囲にノッチ形状やテーパ形状あるいはストレートな段差形状を設けると、スプール１２０が入力ポート１３０を開く開口幅（全開ストロークと呼ぶ）が大きく取れなくなる。その結果、図１４に示すように、全開ストローク時の最大流量（実線グラフの右端）が小さくなるため、所要の流量性能が得られなくなる。なお、ソレノイドの磁気回路部を大きくして制御ストロークを拡大することにより全開ストロークを大きく取ることも可能であるが、その場合、油圧制御弁が大型化するため、搭載面で課題が生じる。
【０００６】
また、ノッチ形状やテーパ形状あるいはストレートな段差形状を超えた開口域では、入力ポート１３０より流入する作動流体の噴射流が軸方向を向くため、図１４の破線グラフで示すように、作動安定性に悪影響を与える流体力を低減できない問題がある。
本発明は、上記の課題を解決するために成されたものであり、その目的は、入力ポートの微小開口時に生じる脈動を抑制でき、且つ、全開ストローク時に所要の流量性能を得ることができる流体制御弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、内部にスプール孔を形成するスリーブと、スプール孔に挿入されて軸方向に移動可能に配設されるスプールとを備え、スリーブは、スプール孔に連通する入力ポートと出力ポートを有し、スプールは、スリーブの内周を摺動可能に設けられる第１のランドと第２のランド、および両ランドを軸方向に連結する軸部とを有し、スリーブの内周面に開口する入力ポートの開口部を流入口と呼ぶ時、スプールの移動により第１のランドが流入口を開くことで入力ポートと出力ポートとの間を連通する流体制御弁であって、流入口を開閉する第１のランドの外周角部をエッジ部と呼ぶ時、軸部を介して第２のランドと軸方向に対向する第１のランドの軸方向一端側には、エッジ部より第１のランドの内径方向に段差を有し、この段差の反エッジ部側を起点として軸方向へ突き出る段付き絞り部が設けられ、この段付き絞り部の外周角部が軸方向および径方向に対して凸となる曲面形状を有していることを特徴とする。
【０００８】
上記の構成によれば、第１のランドが流入口を開き始める微小開口時の急激な流量増加を抑制できる。つまり、流入口の微小開口時には、段付き絞り部の曲面形状に対し概ね直角的に噴射流が当たることでエネルギが小さくなり、且つ、段付き絞り部の曲面形状と流入口との間に開口する径方向の開口幅が小さいため、急激な流量増加を抑えることができる。また、流速が低くなった噴射流は、曲面形状を有する段付き絞り部の表面に沿って径方向内向きの流れに変わるため、軸方向に発生する流体力が小さくなる。これにより、脈動の発生が抑制されて制御の安定性が向上する。
【０００９】
さらに、段付き絞り部の外周角部が軸方向および径方向に凸となる曲面形状（凸曲面と呼ぶ）を有するため、流入口の開口幅が大きくなるに連れて流入口と凸曲面との間隔（径方向の開口幅）が次第に大きくなる。すなわち、微小開口時より流入口の開口幅が大きくなるに連れて、段付き絞り部によって流量が絞られることが無くなる。その結果、流入口の開口幅が最大となる全開ストローク時の流量が低減することは無く、所要の最大流量性能を確保できる。言い換えると、第１のランドの軸方向一端側に段付き絞り部を設けても全開ストローク時の流量が低減することはないので、所要の最大流量性能を確保するためにスプールのストローク範囲を大きく取る必要はない。
また、高い流量が発生するストローク時においても、高い流速の噴射流は凸曲面の表面に沿って、例えれば航空機の翼に発生する流れと同様な原理で径方向内向きに変わるため、軸方向に発生する流体力が小さくなる。これにより、流体力に対抗するための制御駆動力を小さくすることができ、流体制御弁の小型化にも寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施例１に係る油圧制御弁の断面図である。
【図２】請求項１の構成を説明する油圧制御弁の要部拡大図である。
【図３】微小開口時を示す油圧制御弁の一部断面図である。
【図４】図３のＡ部拡大図である。
【図５】全開ストローク時の作動流体の流れを示す油圧制御弁の部分断面図である。
【図６】油圧制御弁の流量特性を示すグラフである（実施例１、２、３）。
【図７】請求項２の構成を説明する油圧制御弁の要部拡大図である（実施例２）。
【図８】作動流体の噴射流れ方向を示す流速ベクトル図である（実施例２）。
【図９】図８のＢ部拡大図である。
【図１０】請求項３の構成を説明する油圧制御弁の要部拡大図である（実施例３）。
【図１１】請求項３の構成を説明する油圧制御弁の要部拡大図である（実施例３）
【図１２】従来技術に係る油圧制御弁の要部拡大図である。
【図１３】図１２に示す油圧制御弁の流量特性を示すグラフである。
【図１４】微小開口時の脈動を抑制するための対策を施した油圧制御弁（特許文献１、２）の流量特性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明を実施するための形態を以下の実施例により詳細に説明する。
【実施例】
【００１２】
〔実施例１〕
実施例１では、本発明の流体制御弁を油圧制御弁に適用した事例を説明する。
油圧制御弁１は、例えば、自動車に搭載される自動変速機の油圧回路に用いられ、図１に示すように、スプール弁２とソレノイド３とで構成される。
スプール弁２は、内部にスプール孔４ａを形成するスリーブ４と、スプール孔４ａに挿入されてスリーブ４の長手方向（図１の左右方向）に移動可能に配設されるスプール５と、このスプール５を図示右方向へ付勢するスプリング６等を備える。以下、スリーブ４の長手方向を軸方向と呼ぶ。
【００１３】
スリーブ４は、スプール孔４ａの両端が開口する筒形状に設けられ、軸方向と直交する半径方向にスリーブ４の肉厚を貫通して複数の油圧ポート７、８、９が形成される。この複数の油圧ポート７、８、９は、油圧ポンプ等の油圧供給源に接続される入力ポート７と、油圧の供給先に接続される出力ポート８、およびオイルパン等の低圧側へ作動流体を排出するドレインポート９である。なお、実施例１では、スリーブ４の軸方向において入力ポート７とドレインポート９との間に出力ポート８が形成される。
スリーブ４の軸方向一端側（図示左側）には、スプール孔４ａの開口端を閉じるプラグ１０が螺子結合され、そのプラグ１０とスプール５との間にスプリング６が配設される。スプリング６の荷重は、スリーブ４に対するプラグ１０のねじ込み量によって調節できる。
【００１４】
スプール５は、スリーブ４の内周を摺動可能に設けられる第１のランド（以下、第１ランド１１と言う）と第２のランド（以下、第２ランド１２と言う）、および両ランド１１、１２を軸方向に連結する軸部１３とを有する。
第１ランド１１は、軸部１３に対して軸方向の反プラグ側に配置され、スリーブ４の内周面に開口する入力ポート７の開口部（流入口７ａと呼ぶ）を開閉可能に設けられる。以下、第１ランド１１が流入口７ａを開く時のスプール５の移動方向を開弁方向と呼び、第１ランド１１が流入口７ａを閉じる時のスプール５の移動方向を閉弁方向と呼ぶ。
【００１５】
第２ランド１２は、軸部１３に対して軸方向のプラグ側に配置され、スプール孔４ａの内周に開口するドレインポート９の開口部（排出口９ａと呼ぶ）を開閉可能に設けられる。
軸部１３は、両ランド１１、１２の外径より小さい軸径を有し、スリーブ４の内周面と軸部１３の外周面との間に環状の空間（以下、油圧切換え室１４と呼ぶ）が形成される。
なお、スリーブ４の内周面に開口する出力ポート８の開口部（流出口８ａと呼ぶ）は常時、油圧切換え室１４に連通している。
【００１６】
ソレノイド３は、スリーブ４の軸方向他端側、つまり軸方向の反プラグ側に配設され、内蔵するコイル（図示せず）への通電によって電磁石を形成し、その電磁石に吸引されてプランジャ１５が図示右方向へ移動する。このプランジャ１５の移動に伴い、スプリング６に付勢されるスプール５が開弁方向（図示右方向）へ移動する。この時、第１ランド１１が流入口７ａを開くことで入力ポート７と出力ポート８との間が油圧切換え室１４を通じて連通し、第２ランド１２が排出口９ａを閉じることで出力ポート８とドレインポート９との間が遮断される。
【００１７】
コイルへの通電が停止すると、プランジャ１５が図示しないリターンスプリングに付勢されて図示左方向へ移動する。このプランジャ１５の移動に伴い、スプリング６の付勢力に抗してスプール５が閉弁方向（図示左方向）へ移動する。この時、第１ランド１１が流入口７ａを閉じることで入力ポート７と出力ポート８との間が遮断され、第２ランド１２が排出口９ａを開くことで出力ポート８とドレインポート９との間が油圧切換え室１４を通じて連通する。
【００１８】
続いて、図２を参照して本発明の請求項１に係る構成を説明する。
以下の説明では、スプール５が開弁方向へ移動する際に流入口７ａを開き始める第１ランド１１の外周角部をエッジ部ｅと呼ぶ。このエッジ部ｅはピン角（直角）に形成されている。第１ランド１１の軸方向一端側には、エッジ部ｅより内径方向（図示下方向）に段差ｒ１を有し、この段差ｒ１の反エッジ部側を起点ｓ１として軸方向へ突き出る段付き絞り部１６が設けられる。この段付き絞り部１６の外周角部は、軸方向および径方向に凸となる曲面形状を有する。この曲面形状は、例えば、一定の曲率を有するＲ曲面、あるいは、曲率が滑らかに変化する凸曲面である。以下、軸方向および径方向に凸となる曲面形状を凸Ｒ部と呼ぶ。
【００１９】
なお、段差ｒ１の大きさは、エッジ部ｅが流入口７ａを閉じる際に異物の噛み込みを防止するために、油圧回路に設けられるフィルタのメッシュサイズより大きい値（例えば０．１ｍｍ以上）が有益である。但し、段付き絞り部１６を設けることによる効果（後述する）を得るためには、段差ｒ１の上限値を全開ストロークＬｍａｘの６０％以下とすることが望ましい。
全開ストロークＬｍａｘとは、ソレノイド３に設けられるプランジャ１５の可動範囲Ｐｓ（図１参照）によって決まる。つまり、プランジャ１５の最大ストローク時に第１ランド１１のエッジ部ｅが流入口７ａを開く軸方向の開口幅である。
一方、段付き絞り部１６の高さ（軸方向の突出寸法）Ｙ１は、全開ストロークＬｍａｘの２倍以下が有益である。但し、エッジ部ｅが流入口７ａを開き始める微小開口時の急激な流量増加を抑えるためには、段付き絞り部１６の高さＹ１の下限値を全開ストロークＬｍａｘの１０％以上とすることが望ましい。
【００２０】
〔実施例１の作用および効果〕
実施例１の油圧制御弁１は、第１ランド１１の軸方向一端側に段付き絞り部１６を設けたことにより、第１ランド１１のエッジ部ｅが流入口７ａを開き始める微小開口時の急激な流量増加を抑制できる。微小開口時とは、図３に示すように、段付き絞り部１６の高さＹ１より開口ストロークＬの方が小さい領域を言う。開口ストロークＬとは、エッジ部ｅが流入口７ａを開口する軸方向の開口幅を言う。つまり、流入口７ａの軸方向一端側の開口端を形成するスリーブ４の角部ｃ（図４参照）から第１ランド１１のエッジ部ｅまでの軸方向距離に相当する。以下、スリーブ４の角部ｃとエッジ部ｅとの間に開口する軸方向の開口領域を第１のゲートと呼ぶ。
【００２１】
上記の微小開口時には、図４に示すように、第１のゲートに向かって図示矢印Ａで示す流れが発生する。この流れＡは、第１のゲートを通過する際に流速が大きい噴射流となるが、その噴射流が凸Ｒ部に対し概ね直角的に当たることで噴射流のエネルギが小さくなる。凸Ｒ部に当たった噴射流は、図示矢印Ｂで示すように、スリーブ４の角部ｃと凸Ｒ部との間に開口する径方向の開口領域（第２のゲートと呼ぶ）を通過するが、第２のゲート幅が小さいため、微小開口時の急激な流量増加を抑えることができる（図６参照）。
第２のゲートを通過して流速が低くなった噴射流は、凸Ｒ部の表面に沿って径方向内向きの流れ（図示矢印Ｃ）に変わるため、軸方向の流体力が小さくなる。
【００２２】
また、段付き絞り部１６の凸Ｒ部は、軸方向および径方向に凸となる曲面形状（例えばＲ曲面）を有するため、微小開口時では、開口ストロークＬが大きくなるに連れて第２のゲート幅も次第に大きくなる。これにより、開口ストロークＬの増大に比例して略線形に流量が増加する。
微小開口時を過ぎて第１のゲート幅が最大となる全開ストロークＬｍａｘに達すると、図５に示すように、段付き絞り部１６がスリーブ４の角部ｃより開弁方向へ移動しているため、流量が第２のゲートによって絞られることはない。つまり、第１ランド１１の軸方向一端側に段付き絞り部１６を設けたことにより、図６の実線グラフで示すように、全開ストローク時の最大流量が減少することはない。また、図６の破線グラフ（１）で示すように、軸方向流体力も小さくできる。
【００２３】
上記のように、実施例１の油圧制御弁１は、微小開口時の流量および軸方向流体力の急激な増加を抑制でき、且つ、特許文献１、２と比較して、同一流量における流体力の値が相対的に低くなる。
その結果、脈動の発生が抑制されて制御の安定性が向上する。また、全開ストローク時の流量が段付き絞り部１６によって絞られることが無いので、所要の流量性能を確保できる。これにより、ソレノイド３の磁気回路部を大きくして制御ストロークを拡大する必要はなく、油圧制御弁１の大型化を回避できる。
さらに、図６に示すように、開口ストロークに対する流量および軸方向流体力の線形性が向上する（不連続な変曲点が無い）ため、ソレノイド３の通電量に対し直線的な流量特性を得ることができ、商品性アップにも寄与する。
【００２４】
以下、本発明に係る他の実施例について説明する。
なお、実施例１と共通する部品および構成を示すものは、実施例１と同一の符号を付与し、詳細な説明は省略する。
〔実施例２〕
この実施例２は、請求項２に係る本発明の構成を説明する一例であり、図７に示すように、第１ランド１１に連結される軸部１３の軸方向他端側の全周に括れ部１７を形成している。
括れ部１７は、実施例１で説明した段付き絞り部１６の軸方向端面（軸部１３の軸心方向と直交する面）に沿って軸部１３の内径側へ括れ、且つ、最も深く括れている部位から軸部１３の軸方向一端側（図示左側）へ向かって括れ形状が次第に浅くなる括れ減少域１７ａを有する。この括れ減少域１７ａでは、括れ形状の表面がスリーブ４の内周に開口する流出口８ａに向かって湾曲する凹曲面またはテーパ面によって形成される。
【００２５】
上記のように軸部１３の全周に括れ部１７を形成したことにより、微小開口時に第１のゲート（エッジ部が開く流入口７ａの開口域）を通過した作動流体が括れ部１７に流れ込むことで、軸部１３に対し径方向内向きの力Ｆｉが働く。さらに、括れ部１７に流れ込んだ作動流体が、図示破線矢印で示すように、括れ減少域１７ａの表面（凹曲面またはテーパ面）に沿って流出口８ａへ向かう噴射流となる。
図８はＣＡＥ解析によるシミュレーション結果を示す流速ベクトル図であり、第１のゲートを通過した作動流体が括れ部１７に流れ込んだ後、括れ減少域１７ａの表面に沿って出力ポート８の流出口８ａへ向かう噴射流れとなっている。
【００２６】
特に、第１のゲートを通過する作動流体の流れを見ると、図９に示すように、凸Ｒ部の表面に沿って径方向内向きに流れる噴射流れとなり、その後、括れ形状に沿って流れることが分かる。すなわち、軸方向へ向かう噴射流れが少なくなる。また、括れ減少域１７ａの表面に沿って流れる噴射流の高い流速によって括れ減少域１７ａの表面の圧力が下がるため、軸方向の流体力を打ち消す力Ｆ１（図７参照）が発生する。上記の結果、図６の破線グラフ（２）で示すように、実施例１と比較して流体力の低減効果をより大きくすることができる。
【００２７】
〔実施例３〕
この実施例３は、請求項３に係る本発明の構成を説明する一例であり、図１０に示すように、段付き絞り部１６の凸Ｒ部より内径側に起点ｓ２を設定して、その起点ｓ２から段付き絞り部１６の軸方向内側（図示右側）へ掘り込んだ凹部１８を形成している。
上記の構成によれば、第１のゲートを通過した作動流体が凸Ｒ部の表面に沿って径方向内向きに流れる噴射流（図示実線矢印）となって括れ部１７の表面に衝突する。この衝突時のエネルギが軸方向に作用して凹部１８の壁面に対する圧力を高めることで、軸方向の流体力を打ち消す力Ｆ２となる。
この実施例３によれば、実施例２で説明したＦ１に加えてＦ２が発生することにより、図６の破線グラフ（３）で示すように、実施例２と比較しても更に流体力を低減できる。
【００２８】
なお、図１０に示す凹部１８は、凸Ｒ部の終点ｚより径方向の内側に起点ｓ２を設定し、その起点ｓ２から軸方向内側へテーパ状に掘り込んで形成されているが、例えば、図１１に示すように、図１０の事例と同様に起点ｓ２を設定し、その起点ｓ２から軸方向（軸部１３の軸心方向と平行）に掘り込んだ凹形状とすることもできる。
また、図１０および図１１の事例では、凸Ｒ部の終点ｚより径方向の内側に凹部１８の起点ｓ２を設定しているが、凸Ｒ部の終点ｚを凹部１８の起点ｓ２とすることもできる。あるいは、凸Ｒ部の途中に凹部１８の起点ｓ２を設定しても良い。凸Ｒ部の終点ｚは、その終点ｚを接点とする接線を引いた時に、その接線方向がスプール５の軸心方向（図示左右方向）と直交する垂直面上に設けられる。
【００２９】
〔変形例〕
実施例３は、軸部１３に括れ部１７を形成した実施例２の事例を基に、段付き絞り部１６の軸方向内側へ掘り込んだ凹部１８を形成しているが、軸部１３に括れ部１７を形成していない実施例１の事例に実施例３の事例を適用することもできる。
実施例１に記載した油圧制御弁１は、スプール５を駆動する駆動源としてソレノイド３を使用しているが、ソレノイド３に替えて油圧を利用した駆動源を用いることもできる。
本発明の流体制御弁は、実施例１で説明した油圧制御弁１だけでなく、例えば、流量制御弁、流路切替制御弁等にも適用できる。
【符号の説明】
【００３０】
１    油圧制御弁（流体制御弁）
４    スリーブ
４ａ  スプール孔
５    スプール
７    入力ポート
８    出力ポート
１１    第１ランド（第１のランド）
１２    第２ランド（第２のランド）
１３    軸部
１６    段付き絞り部
１７    括れ部
１７ａ  括れ減少域
１８    凹部
ｅ    エッジ部
ｒ１  段差
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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