(57)【要約】      （修正有）【課題】流量や圧力の変動により生じるハンチングを抑えながらも、最適な係数を用いた演算によるフィードバック制御によって流量を精度良く制御する。【解決手段】流量測定部と、流量制御バルブ２０と、バルブ制御部３２と、流量制御バルブ２０より上流側の状態の変化によって生じるハンチングを検出するハンチング検出部３３とを具備し、バルブ制御部３２が、ハンチング検出部３３によりハンチングが検出されたハンチング検出時に、演算に用いる係数を変更して流量制御バルブ２０をフィードバック制御し、係数の変更後において、流量制御バルブ２０より上流側の状態が変化前の状態に戻ったとき又は設定値が変更されたときに、係数を変更前の係数に戻して流量制御バルブ２０をフィードバック制御するようにした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れる流路上に設けられ、前記流体の流量を測定する流量測定部と、
前記流路上に設けられた流量制御バルブと、
前記流量測定部で測定される測定値と、予め設定される設定値との偏差に演算を施して、前記流量制御バルブをフィードバック制御するバルブ制御部と、
前記流量制御バルブより上流側の状態の変化によって生じるハンチングを検出するハンチング検出部とを具備し、
前記バルブ制御部が、前記ハンチング検出部によりハンチングが検出されたハンチング検出時に、前記演算に用いる係数を変更して前記流量制御バルブをフィードバック制御し、前記係数の変更後において、前記流量制御バルブより上流側の状態が変化前の状態に戻ったとき又は前記設定値が変更されたときに、前記係数を変更前の係数に戻して前記流量制御バルブをフィードバック制御することを特徴とする流量制御装置。
【請求項２】
前記ハンチング検出部が、前記流量測定部により測定される測定値のハンチング又は前記流量制御バルブのハンチングを検出することを特徴とする請求項１記載の流量制御装置。
【請求項３】
前記バルブ制御部が、前記測定値と前記設定値との偏差にＰＩＤ演算を施すものであり、前記ハンチング検出部によりハンチングが検出された検出時に、前記ＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を変更することを特徴とする請求項１又は２記載の流量制御装置。
【請求項４】
前記流量測定部が熱式流量計であることを特徴とする請求項１乃至３のうち何れか一項に記載の流量制御装置。
【請求項５】
流体が流れる流路上に設けられ、前記流体の流量を測定する流量測定部と、
前記流路上に設けられた流量制御バルブとを具備する流量制御装置に用いられるプログラムであって、
前記流量測定部で測定される測定値と、予め設定される設定値との偏差に演算を施して、前記流量制御バルブをフィードバック制御するバルブ制御部と、
前記流量制御バルブより上流側の状態の変化によって生じるハンチングを検出するハンチング検出部とを具備し、
前記バルブ制御部が、前記ハンチング検出部によりハンチングが検出された検出時に前記演算に用いる係数を変更し、前記係数の変更後において、前記流量制御バルブより上流側の状態が変化前の状態に戻ったとき又は前記設定値が変更されたときに前記係数を変更前の係数に戻すことを特徴とする流量制御装置用プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量制御装置及び流量制御装置用プログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、流量制御装置としては、流体が流れる流路に設けられ、該流体の流量を測定する流量測定部と、前記流路上に設けられた流量制御バルブとを具備し、前記流量測定部により得られる測定流量と予め設定された設定流量との偏差に演算を施して、前記流量制御バルブの開度をフィードバック制御するように構成されたものがある。
【０００３】
ところで、このような流量制御装置において、例えば、上流側の流量や圧力が変動したときや流体の種類が変わったときに、上述した制御が不安定になりハンチングが生じることがある。
【０００４】
ここで、特許文献１には、ハンチングを検出するとともに、ハンチングが検出されたときに、演算に用いられる係数を小さくすることでハンチングを抑えるように構成されたフィードバック制御装置が記載されている。
【０００５】
ところが、このフィードバック制御装置を流量制御装置に適用した場合、ハンチングが検出されて係数が小さくなったあとに設定流量を変更すると、測定流量と設定流量との偏差に最適な係数を用いた演算を施すことができず、測定流量が収束するまでに時間かかったり、なかなか収束しない場合には流量を精度良く制御できないという問題が生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６２−２０００５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであって、流量制御装置において、流量や圧力の変動により生じるハンチングを抑えながらも、最適な係数を用いた演算によるフィードバック制御によって流量を精度良く制御することをその主たる課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち本発明に係る流量制御装置は、流体が流れる流路上に設けられ、前記流体の流量を測定する流量測定部と、前記流路上に設けられた流量制御バルブと、前記流量測定部で測定される測定値と、予め設定される設定値との偏差に演算を施して、前記流量制御バルブをフィードバック制御するバルブ制御部と、前記流量制御バルブより上流側の状態の変化によって生じるハンチングを検出するハンチング検出部とを具備し、前記バルブ制御部が、前記ハンチング検出部によりハンチングが検出されたハンチング検出時に、前記演算に用いる係数を変更して前記流量制御バルブをフィードバック制御し、前記係数の変更後において、前記流量制御バルブより上流側の状態が変化前の状態に戻ったとき又は前記設定値が変更されたときに、前記係数を変更前の係数に戻して前記流量制御バルブをフィードバック制御することを特徴とするものである。
【０００９】
このようなものであれば、バルブ制御部が、ハンチング検出時に演算に用いる係数を変更して流量制御バルブをフィードバック制御するので、例えば前記係数を小さくすることにより、流量制御バルブより上流側の状態の変化によって生じたハンチングを抑えることができる。
そのうえ、バルブ制御部が、上述した係数の変更後において、流量制御バルブより上流側の状態が変化前の状態に戻ったとき又は設定値が変更されたときに、係数を変更前の係数に戻して流量制御バルブをフィードバック制御するので、設定値と測定値との偏差に最適な係数を用いた演算を施してフィードバック制御をすることができ、設定値の変更後も流量を精度良く制御することができる。
【００１０】
ハンチングは、測定部により得られる測定値や、流量制御バルブの開口や振幅等の動作又は流量制御バルブに印加される電圧等に生じるところ、生じたハンチングを応答性良くかつ確実に検出するためには、前記ハンチング検出部が、前記流量測定部により測定される測定値のハンチング又は前記流量制御バルブのハンチングを検出するものが好ましい。
【００１１】
前記バルブ制御部が、前記測定値と前記設定値との偏差にＰＩＤ演算を施すものであり、前記ハンチング検出部によりハンチングが検出された検出時に、前記ＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を変更するものが好ましい。
これならば、偏差にＰＩＤ演算を施して測定流量を収束しやくできるうえ、ハンチング検出時には各係数を変更することによりハンチングを抑えることができる。
【００１２】
本発明の効果がより顕著になる実施態様としては、前記流量測定部が熱式流量計であるものが望ましい。
【００１３】
例えば、既存の流量制御装置に対してプログラムを書き換える等することで、本発明の流量制御装置としての機能を実現するようにするには、流体が流れる流路上に設けられ、前記流体の流量を測定する流量測定部と、前記流路上に設けられた流量制御バルブとを具備する流量制御装置に用いられるプログラムであって、前記流量測定部で測定される測定値と、予め設定される設定値との偏差に演算を施して、前記流量制御バルブをフィードバック制御するバルブ制御部と、前記流量制御バルブより上流側の状態の変化によって生じるハンチングを検出するハンチング検出部とを具備し、前記バルブ制御部が、前記ハンチング検出部によりハンチングが検出された検出時に前記演算に用いる係数を変更し、前記係数の変更後において、前記流量制御バルブより上流側の状態が変化前の状態に戻ったとき又は前記設定値が変更されたときに前記係数を変更前の係数に戻すことを特徴とする流量制御装置用プログラム又はプログラム記録媒体を用いればよい。
【発明の効果】
【００１４】
このように構成した本発明によれば、流量制御装置において、流量や圧力の変動により生じるハンチングを抑えながらも、最適な係数を用いた演算によるフィードバック制御によって流量を精度良く制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態の流量制御装置の全体構成を模式的に示す図。
【図２】同実施形態の流量制御装置の機能を示す機能ブロック図。
【図３】同実施形態における流量測定部の測定値を示すグラフ。
【図４】同実施形態におけるハンチングの検出方法を示すグラフ。
【図５】同実施形態における流量制御装置の動作を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明に係る流量制御装置の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
本実施形態に係る流量制御装置１００は、例えば、半導体製造工程等において、各種成分ガスや希釈ガスの流量を制御するために用いられるマスフローコントローラである。
具体的にこの流量制御装置１００は、図１に示すように、流体が流れる流路Ｌ１と、流路Ｌ１に設けられ、当該流路Ｌ１に流れる流量を測定する流量測定部１０と、前記流量測定部１０の下流に設けられた流量制御バルブ２０と、前記制御バルブの開度を制御する制御装置３０と具備したものである。
【００１８】
流量測定部１０は、流路Ｌ１を流れる流体の物理量である流量を測定するものであり、本実施形態ではいわゆる熱式流量センサである。
具体的にこの流量測定部１０は、流路Ｌ１に設けてある流路抵抗たる層流素子１３と、層流素子１３の上流において流路Ｌ１から分岐し、当該層流素子１３の下流において流路Ｌ１に合流するセンサ流路Ｌ２と、センサ流路Ｌ２における上流側と下流側とにそれぞれ設けられた第１温度センサ１１及び第２温度センサ１２と、第１温度センサ１１及び第２温度センサ１２で測定される温度差に基づいて流路Ｌ１に流れる流量を算出する流量算出部１４と、を備えたものである。
なお、流量算出部１４は後述する制御装置３０の演算機能を利用して構成してある。
【００１９】
流量制御バルブ２０は、その開度を調整することにより流路Ｌ１に流れる流量を制御するものであり、本実施形態ではピエゾ式のものであって、開度をピエゾ素子よりなるアクチュエータによって変化させうるように構成されている。
より詳細には、この流量制御バルブ２０は、外部（本実施形態では後述するバルブ制御部３２）からの開度制御信号を与えられることによって前記アクチュエータを駆動し、その開度制御信号の値に応じて開度を調整し、流量を制御するものである。
【００２０】
制御装置３０は、ＣＰＵ、メモリ、ＡＣ／ＤＣコンバータ、入力手段等を有した所謂コンピュータであり、前記メモリに格納された各種プログラムをＣＰＵによって実行することによって、図２に示すように、流量算出部１４、設定流量受付部３１、バルブ制御部３２及びハンチング検出部３３、係数格納部３４としての機能を有するものである。
【００２１】
以下、各部について説明する。
【００２２】
流量算出部１４は、上述したように、各温度センサ１１、１２で測定される温度差に基づいて流路Ｌ１に流れる流量を算出するものであり、具体的には、前記温度差に基づいてセンサ流路Ｌ２に流れる流量を算出するとともに、流路Ｌ１とセンサ流路Ｌ２との分流比に基づいて流路Ｌ１に流れる流量を算出している。
【００２３】
設定流量受付部３１は、例えばキーボード等の入力手段によりユーザから入力された設定流量を受け付けるものである。
【００２４】
バルブ制御部３２は、前記流量算出部１４が算出した流量を測定値として取得するとともに、前記設定流量受付部３１が受け付けた設定流量を設定値として取得し、測定値と設定値との偏差に演算を施して得られた値を開度制御信号として流量制御バルブ２０に送信することにより、該流量制御バルブ２０の開度をフィードバック制御するものである。
より具体的にこのバルブ制御部３２は、測定値と設定値との偏差に、比例係数、積分係数及び微分係数を用いたＰＩＤ演算を施してバルブ開度等の操作量を算出するものであり、これらの各係数はそれぞれ、流量制御装置１００に応じて流量を精度良く制御すべく最適な値となるように予め設定された値である。
なお、本実施形態では、前記メモリの所定領域に形成された係数格納部３４が、上述したフィードバック制御するために用いられる各係数を制御用係数として格納しており、バルブ制御部３２は、この係数格納部３４から前記制御用係数を取得して操作量を算出するように構成されている。
【００２５】
ここで、上述のＰＩＤ演算を用いたフィードバック制御による流量（本実施形態では、流量測定部１０による測定値）の挙動について図３を参照して説明する。
流路Ｌ１に流体が流れ始めた直後は、図３に示すように、測定値が設定値の上下を変動する不安定な挙動（以下、過渡状態ともいう）であり、その後上述したフィードバック制御により測定値と設定値との偏差が小さくなりながら測定値が一定の値（本実施形態では設定値）になる（以下、定常状態ともいう）。
なお、上述した過渡状態は、本実施形態では流体が流れ始めたから約５００ｍｓｅｃ続いている。
【００２６】
次に、ハンチング検出部３３について説明する。
ハンチング検出部３３は、例えば、流量制御バルブ２０より上流側の状態の変化により生じるハンチングを検出するものであり、本実施形態では、前記流量算出部１４により得られる測定値を取得してこの測定値のハンチングを検出するように構成されている。
なお、ここでいう流量制御バルブ２０より上流側の状態の変化とは、例えば、流量制御バルブ２０より上流側における流路Ｌ１内の圧力や流量等の物理量の変動や、流路Ｌ１を流れる流体の種類が変更されたこと等が挙げられる。
また、このハンチング検出部３３は、必ずしも流量制御バルブ２０より上流側の状態の変化により生じるハンチングのみを検出するものである必要はなく、種々の原因により生じるハンチングを検出するためのものであって、結果的に前記上流側の状態の変化により生じるハンチングを検出するものであれば良い。
【００２７】
本実施形態のハンチング検出部３３は、上述した定常状態で生じるハンチングを検出するものであり、定常状態における所定の単位時間内に、測定値の閾値以上の変動を検出するとともに、この変動が連続した複数の単位時間それぞれで検出されたときにその測定値の挙動をハンチングとして検出するように構成されている。
【００２８】
より詳細にこのハンチング検出部３３は、測定値の閾値以上の増大及び減少それぞれが連続した単位時間それぞれで検出されたときにその測定値の挙動をハンチングとして検出するように構成されている。本実施形態では、図４に示すように、単位時間内において、測定値の最小値と該最小値より前の第１最大値との差、及び、前記最小値と該最小値より後の第２最大値との差それぞれが閾値以上であるかを検出している。
なお、本実施形態の閾値はフルスケールの６％に設定されている。
【００２９】
また、本実施形態では、図４に示すように、前記単位時間が５００ｍｓｅｃに設定されており、上述の連続した複数の単位時間の合計が過渡状態の時間より長くなるように設定されている。具体的に本実施形態のハンチング検出部３３は、連続した３回の単位時間それぞれで上述した測定値の増大及び減少を検出したときにこの測定値の挙動をハンチングとして検出するように構成されている。
【００３０】
しかして、本実施形態のバルブ制御部３２は、上述したハンチング検出部３３からの信号を取得して、ハンチング検出部３３がハンチングを検出したハンチング検出時に、ＰＩＤ演算に用いる各係数を変更するように構成されている。
【００３１】
具体的にこのバルブ制御部３２は、ハンチング検出時に各係数を小さくするように構成されており、本実施形態では各係数それぞれを予め設定されている値の１／５にするように構成されている。
なお、本実施形態では、前記係数格納部３４が、上述したハンチング検出時に用いる各係数をハンチング低減用係数として格納しており、バルブ制御部３２は、この係数格納部３４から前記ハンチング低減用係数を取得するように構成されている。
【００３２】
また、このバルブ制御部３２は、上述した係数の変更後、流量制御バルブ２０の上流側の状態が変化前に戻ったとき、又は、設定流量が変更されたときに、係数格納部３４から制御用係数を取得して、各係数を予め設定された値に戻すように構成されている。
【００３３】
具体的に本実施形態のバルブ制御部３２は、前記ハンチング検出時に各係数を変更したあと、例えばユーザにより設定流量が変更されたときに、前記設定流量受付部３１からの信号を受け付けるとともに、前記各係数を変更前の予め設定された値に戻すように構成されている。
【００３４】
次に、本実施形態に係る流量制御装置１００の動作について、図５のフローチャートを参照して説明する。
【００３５】
まず、ユーザが例えばキーボード等の入力手段を用いて設定値を設定し、流量制御が開始される（Ｓ１）。
【００３６】
次に、バルブ制御部３２が、流量算出部１４により得られる測定値と前記設定値との偏差にＰＩＤ係数を施してバルブ開度等の操作量を算出し、この操作量に基づいて流量制御バルブ２０を制御して流路Ｌ１に流れる流量をフィードバック制御する（Ｓ２）。
【００３７】
ここで、流量制御バルブ２０より上流側の状態が変化すると、ハンチングが生じることがある。
【００３８】
この場合、ハンチング検出部３３が上述したハンチングを検出する（Ｓ３）。
なお、ハンチング検出部３３によるハンチングの検出方法は上述した通りである。
【００３９】
そして、ハンチング検出部３３がハンチングを検出したときは、バルブ制御部３２が、ハンチング検出部３３からの信号を取得し、ＰＩＤ演算に用いられる各係数を変更して上述した操作量を小さくする（Ｓ４）。
なお、本実施形態のバルブ制御部３２は、各係数を小さく変更するものである。
【００４０】
その後、バルブ制御部３２は、例えばユーザにより設定値が変更されたときに、設定流量受付部３１からの信号を受け付けるとともに（Ｓ５）、前記各係数を変更前の予め定められた値に戻し（Ｓ６）、再びＳ２に戻ってこれらの係数を用いたフィードバック制御を開始する（Ｓ２）。
【００４１】
このように構成された本実施形態に係る流量制御装置１００によれば、バルブ制御部３２が、ハンチング検出時に、演算に用いる各係数を小さな値に変更するので、流量制御バルブ２０より上流側の状態の変化によって生じたハンチングを抑えることができる。
そのうえ、設定値が変更されたときは、前記上流側の状態が変化前の状態に戻っている可能性が高く、各係数を予め定められた最適な値にすべきところ、バルブ制御部３２が、設定値が変更されたときに、各係数を予め定められた値に戻してフィードバック制御をするので、設定値の変更後も流量を精度良く制御することができる。
【００４２】
また、連続した複数の単位時間の合計が過渡状態の時間より長くなるように設定されているので、過渡状態における測定値の挙動をハンチングとして誤検出することを防ぐことができ、過渡状態では測定値を確実にフィードバック制御することができる。
【００４３】
さらに、ハンチング検出部３３が、測定値の閾値以上の増大及び減少それぞれが連続した単位時間それぞれで検出されたときにその測定値の挙動をハンチングとして検出するように構成されているので、生じたハンチングを応答性良くかつ確実に検出するとともに、測定値のわずかな振幅等をハンチングとして誤検出することを防ぐことができる。
【００４４】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【００４５】
例えば、前記実施形態では、ハンチング検出部は、流量測定部により得られる測定値のハンチングを検出するものであったが、バルブの開度、バルブの振幅、バルブへの印加電圧等のバルブに関するハンチングを検出するものであっても良い。
【００４６】
また、このハンチング検出部は、測定値の閾値以上の増大又は減少のいずれか一方が、連続した単位時間それぞれで検出されたときにその測定値の挙動をハンチングとして検出するように構成しても良い。
【００４７】
バルブ制御部は、前記実施形態では、各係数を変更したあと、設定流量が変更されたときに、各係数を予め設定された値に戻すように構成されていたが、制御バルブより上流側の状態が、ハンチングを招来した前記上流側の状態の変化より前の状態に戻ったときに、例えば上流側監視部からの信号を受け付けるとともに、各係数を予め定められた値に戻すようにしても構わない。
この場合、流路における流量制御バルブより上流側に流量や圧力等の物理量を測定するセンサを設け、前記上流側監視部はこのセンサからの信号を取得するように構成されていれば良い。より具体的にこの上流側監視部は、前記センサからの信号を取得して、上流側の状態の変化前後における物理量を比較して、その差又は比率が所定の範囲内になったときにバルブ制御部に信号を送信するように構成されていれば良い。
また、流路に流れるガス種を検知するガス種検知部を設け、バルブ制御部がこのガス種検知部からの信号を受け付けて、各係数を変更したあと、ガス種が戻ったときに各係数を予め設定された値に戻すように構成しても良い。
なお、流量測定部として熱式流量センサを用いた場合、各係数を変更したあと、設定流量が変更されたときに、各係数を予め設定された値に戻すように構成されているほうが、別途センサを設ける必要がないので好ましい。
【００４８】
さらに、バルブ制御部は、ハンチング検出時に各係数を変更したあと、例えば、ハンチング検出時から所定の時間経過後に各係数を自動的に予め定められた値に戻すように構成されていても良い。
【００４９】
加えて、前記実施形態では、バルブ制御部が、ハンチング検出時にＰＩＤ演算に用いられる各係数それぞれを変更するものであったが、必ずしも演算に用いられる全ての係数を変更する必要はなく、例えば何れか１つの係数を変更するように構成しても良い。
また、前記実施形態では、バルブ制御部は、ハンチング検出時に各係数を予め定められた値の１／５に変更していたが、必ずしも１／５である必要はない。
さらに、バルブ制御部は、ＰＩＤ演算を用いてフィードバック制御するものに限られず、ＰＩ演算等の他の演算を用いてフィードバック制御するようにしても良い。
【００５０】
また、流量測定部としては熱式流量センサに限られるものではなく、例えば圧力式流量センサであっても構わない。このように圧力式流量センサを用いた場合、流量変化に対するセンサ出力の応答速度を向上させることができ、より流量制御の応答性を向上させることもできる。
上述したように圧力式流量センサを用いた場合、例えば上流側監視部が上流側圧力センサからの出力を取得するように構成することにより、別途センサを設けることなく、バルブ制御部は、各係数を変更したあと、制御バルブより上流側の状態が変化前の状態に戻ったときに、前記上流側監視部からの信号を受け付けるとともに、各係数を予め定められた値に戻すことができる。
【００５１】
さらに、流量制御バルブより上流側の状態が変化してハンチングが生じ、バルブ制御部がハンチング検出時に演算に用いられる係数を小さくしたあと、当該ハンチングが低減するまえに上流側の状態が変化前に戻ることがある。この場合は、例えば、バルブ制御部は、前記係数を小さくしたあと、ハンチングが低減するまでは前記係数の値を変更せず、ハンチングが低減したあとに前記係数を変更前の値に戻すように構成されていれば良い。
【００５２】
さらに、流量制御装置の全体構成としては、前記実施形態の流路の上流側に接続されるとともに、予め定められたガス種が流れる複数の分岐流路を有し、各分岐流路に設けられたバルブを切り替えることにより、各ガス種を混合して混合ガスを所定の流量に制御するように構成しても良い。
上述した構成では、各分岐流路に設けられているバルブを切り替えたときにハンチングが生じることがある。
【００５３】
また、前記実施形態では流路抵抗として層流素子を用いていたが、例えばオリフィス等を用いても構わない。
【００５４】
さらに、制御バルブもピエゾ式に限られるものではなく、ソレノイド式等の他方式のものであっても構わない。
【００５５】
さらに加えて、流量制御装置は、流路に流れる流体の流量を制御するものに限られず、例えば流体の圧力等の物理量を制御するものであっても良い。
すなわち、本発明は、流体が流れる流路上に設けられ、前記流体の流量又は流量に関する物理量を測定する流体測定部と、前記流路上に設けられた流体制御バルブと、前記流体測定部で測定される測定値と、予め設定される設定値との偏差に演算を施して、前記流体制御バルブをフィードバック制御するバルブ制御部と、前記流体制御バルブより上流側の状態の変化によって生じるハンチングを検出するハンチング検出部とを具備し、前記バルブ制御部が、前記ハンチング検出部によりハンチングが検出されたハンチング検出時に、前記演算に用いる係数を変更して前記流体制御バルブをフィードバック制御し、前記係数の変更後において、前記流体制御バルブより上流側の状態が変化前の状態に戻ったとき又は前記設定値が変更されたときに、前記係数を変更前の係数に戻して前記流体制御バルブをフィードバック制御することを特徴とする流体制御装置であっても良い。
なお、この流体制御装置による圧力等の物理量の制御方法は、前記実施形態と同様である。
【００５６】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５７】
１００  ・・・流量制御装置
Ｌ１    ・・・流路
１０    ・・・流量測定部
１４    ・・・流量算出部
２０    ・・・流量制御バルブ
３０    ・・・制御装置
３２    ・・・ハンチング検出部
３３    ・・・バルブ制御部
【図１】
2015158755.tif 000003
【図２】
2015158755.tif 000004
【図３】
2015158755.tif 000005
【図４】
2015158755.tif 000006
【図５】
2015158755.tif 000007