(57)【要約】【課題】センサ素子等の再設計をせずに、異なる端子配列のコネクタに対応できるセンサ装置を提供する。【解決手段】センサチップ５の一面５ｅに第１〜第４電極パッド５ｆ、５ｇ、５ｈ、５ｉを設ける。第１電極パッド５ｆと第２電極パッド５ｇとを同電位とすると共に、第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇと、第３電極パッド５ｈと、第４電極パッド５ｉとを別電位とする。第１〜第４電極パッド５ｆ、５ｇ、５ｈ、５ｉを、それぞれが、センサチップの一面５ｅを構成する４辺５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの異なる辺において各辺と対応する位置に設けられた構成とする。以上の構成とすることより、第１電極パッド５ｆ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉの組合せと、第２電極パッド５ｇ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉの組合せのいずれの端子配列のコネクタにも対応できる。【選択図】図４
2015031573.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
４辺（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）よりなる方形状の一面（５ｅ）を有し、前記一面において、センサ素子（５ｚ）、第１電極パッド（５ｆ）、第２電極パッド（５ｇ）、第３電極パッド（５ｈ）、第４電極パッド（５ｉ）、および測定対象検出部（７）が設けられたセンサチップ（５）と、
前記第１電極パッド、前記第２電極パッド、前記第３電極パッド、および前記第４電極パッドのうちのいずれか異なる３つそれぞれに電気的に接続され、外部回路への電気的な接続を行う第１ターミナル（８ａ）、第２ターミナル（８ｂ）、および第３ターミナル（８ｃ）と、を備えるセンサ装置であって、
前記第１電極パッドおよび前記第２電極パッドは、前記測定対象検出部に接続されており、
前記第１電極パッドと前記第２電極パッドとが同電位とされると共に、前記第１電極パッドおよび前記第２電極パッドと、前記第３電極パッドと、前記第４電極パッドとが別電位とされており、
前記第１電極パッド、前記第２電極パッド、前記第３電極パッド、および前記第４電極パッドは、それぞれが、前記センサチップの一面を構成する前記４辺の異なる辺において各辺と対応する位置に設けられており、
前記第１電極パッド、前記第３電極パッド、および前記第４電極パッドの組合せと、前記第２電極パッド、前記第３電極パッド、および前記第４電極パッドの組合せのいずれか一方が選択されて、選択された３つの電極パッドそれぞれと、前記第１ターミナル、前記第２ターミナル、および前記第３ターミナルとが電気的に接続されていることを特徴とするセンサ装置。
【請求項２】
前記第１電極パッドと前記第２電極パッドとが、前記センサチップの一面を構成する前記４辺のうち隣接する２辺それぞれと対応する位置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のセンサ装置。
【請求項３】
前記第１電極パッドおよび前記第２電極パッドは、それぞれが、電源電圧が印加される電極であり、
前記第３電極パッドおよび前記第４電極パッドは、それぞれが、グランドに接続される電極もしくは出力電圧を発生させる電極のうちのいずれかの異なる電極であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のセンサ装置。
【請求項４】
前記第１電極パッドおよび前記第２電極パッドは、それぞれが、出力電圧を発生させる電極であり、
前記第３電極パッドおよび前記第４電極パッドは、それぞれが、グランドに接続される電極もしくは電源電圧が印加される電極のうちのいずれかの異なる電極であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のセンサ装置。
【請求項５】
前記第１電極パッドおよび前記第２電極パッドは、それぞれが、グランドに接続される電極であり、
前記第３電極パッドおよび前記第４電極パッドは、それぞれが、電源電圧が印加される電極もしくは出力電圧を発生させる電極のうちのいずれかの異なる電極であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のセンサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサチップと、このセンサチップと外部回路とを電気的に接続するためのターミナルとを有するセンサ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、センサチップと、このセンサチップと外部回路とを電気的に接続するためのターミナルとを有するセンサ装置として、例えば特許文献１に記載のものが知られている。このセンサ装置は、その一部品であるケースプラグにおいて、センサチップと、このセンサチップと外部回路とを電気的に接続するための複数の金属製棒状のターミナルとを有する構成とされている。そして、各ターミナルの一端部は、それぞれが、ボンディングワイヤを介してセンサチップ上の複数の電極パッドのうち異なる電極パッドと電気的に接続されている。また、各ターミナルの他端部は、ワイヤハーネス等の外部配線部材に繋がるコネクタ（以下、単にコネクタという）に接続されることで、この外部配線部材を介して外部回路と電気的に接続される。
【０００３】
一般に、この種のセンサ装置では、ターミナルおよび電極パッドが、それぞれ３つずつ設けられ、各ターミナルは、それぞれが、３つの電極パッドのうち異なる電極パッドと電気的に接続された構成とされる。そして、各ターミナルの他端部にコネクタが接続されて、３つの電極パッドのうち１つの電極パッドに電源電圧が印加され、異なる１つの電極パッドに出力電圧を発生させ、さらに異なる電極パッドがグランドに接続されて使用される。すなわち、コネクタの端子配列（電源、出力、グランドの割振り）に対応して各電極パッドが別電位とされることで、各電極パッドがそれぞれ、電源電極、出力電極もしくはグランド接続用電極のいずれかとして機能する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１０３５７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
コネクタの端子配列（電源、出力、グランドの割振り）が製品間で異なることがある。例えば、電源、出力、グランドの順の割振りのコネクタもあれば、グランド、電源、出力の順の割振りのコネクタもある。しかしながら、同じ構成のセンサ装置において、異なる端子配列のコネクタに対応することができなかった。
【０００６】
本発明は上記点に鑑みて、センサチップと、このセンサチップと外部回路とを電気的に接続するためのターミナルとを有するセンサ装置において、センサ素子等の再設計をせずに異なる端子配列のコネクタに対応できる構成を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、センサチップ（５）の方形状の一面（５ｅ）において、第１電極パッド（５ｆ）、第２電極パッド（５ｇ）、第３電極パッド（５ｈ）と、第４電極パッド（５ｉ）、および測定対象検出部（７）を設けている。さらに、第１電極パッドと第２電極パッドとを同電位とすると共に、第１電極パッドおよび第２電極パッドと、第３電極パッドと、第４電極パッドとを別電位とする。さらに、第１電極パッド、第２電極パッド、第３電極パッド、および第４電極パッドを、それぞれが、センサチップの一面を構成する４辺（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ）の異なる辺において各辺と対応する位置に設けられるように構成している。
【０００８】
このため、センサチップを、センサチップの一面に対する法線方向から見て半時計回りに９０度回転もしくは１８０度回転させた向きとした場合、異なる端子配列のコネクタに対応することができる。すなわち、第１電極パッド、第３電極パッド、および第４電極パッドの組合せと、第２電極パッド、第３電極パッド、および第４電極パッドの組合せのいずれの端子配列にも対応できる。これにより、センサ素子等の再設計をせずに２種類の端子配列のコネクタのいずれにも対応できる。
【０００９】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るセンサ装置の断面構成を示す図である。
【図２】図１に示すケースプラグをハウジング側から視た図である。
【図３】（ａ）は、図１の二点鎖線部分を拡大したものであり、図２のIIIａ−IIIａ′断面に相当する図であり、（ｂ）は、（ａ）とは異なる角度において図１の二点鎖線部分と対応した部分を拡大したものであり、図２のIIIｂ−IIIｂ′断面に相当する図である。
【図４】図１に示すケースプラグに備えられたセンサチップをハウジング側から視た図である。
【図５】図４に示すセンサチップを半時計回りに９０度回転させた向きとした場合において、このセンサチップをハウジング側から視た図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
【００１２】
（第１実施形態）
図１に示されるように、第１本実施形態に係るセンサ装置は、ケースプラグ１およびハウジング１０を有する構成とされた圧力センサである。
【００１３】
ケースプラグ１は、例えば、断熱樹脂材料であるＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では円柱状をなしている。このケースプラグ１のうち一端部の一面には凹部２が形成されており、他端部には開口部３が形成されている。
【００１４】
凹部２は、図２および図３に示されるように、第１凹部２ａ、第２凹部２ｂ、および第３凹部２ｃによって構成されている。具体的には、ケースプラグ１の一面の略中央部に平面形状が円形状とされた第１凹部２ａが形成され、第１凹部２ａの底面の略中央部に平面形状が方形状とされた第２凹部２ｂが形成されている。また、第１凹部２ａの底面のうち第２凹部２ｂの周囲には、平面形状が円形状とされた第３凹部２ｃが３箇所形成されている。各第３凹部２ｃは、それぞれ、第１凹部２ａを中心として周方向に９０°ずつずらした位置に配置されている。なお、図２および図３中では、第１凹部２ａの底面のうち第２凹部２ｂと第３凹部２ｃとの間に構成される部分を２ｄとして示している。
【００１５】
そして、第２凹部２ｂには、センサ部４が図示しないシリコーン系接着剤等を介して搭載されている。このセンサ部４はセンサチップ５と台座６とを有して構成され、これらセンサチップ５と台座６とは陽極接合されている。
【００１６】
センサチップ５には測定対象検出部としてのダイヤフラム７が形成されており、ダイヤフラム７には図示しないブリッジ回路を構成するように形成されたゲージ抵抗が備えられている。すなわち、このセンサチップ５は、ダイヤフラム７に圧力が印加されるとゲージ抵抗の抵抗値が変化してブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に応じてセンサ出力信号を出力する半導体ダイヤフラム式のものである。
【００１７】
図４に示されるように、センサチップ５は、方形状の一面５ｅを有する構成とされ、この方形状は、４辺５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄを有する構成とされている。また、センサチップ５は、この一面５ｅにおいて、センサ素子５ｚ、第１電極パッド５ｆ、第２電極パッド５ｇ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉが設けられた構成とされている。
【００１８】
本実施形態に係るセンサ装置では、第１電極パッド５ｆと第２電極パッド５ｇとが、配線５ｙによって接続されて同電位とされると共に、第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇと、第３電極パッド５ｈと、第４電極パッド５ｉとが別電位とされる。
【００１９】
また、本実施形態に係るセンサ装置では、第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇがダイヤフラム７に接続された構成とされている。そして、本実施形態では、第１電極パッド５ｆもしくは第２電極パッド５ｇに電源電圧が印加され、第３電極パッド５ｈに出力電圧を発生させ、第４電極パッド５ｉがグランドに接続される。よって、第１、２電極パッド５ｆ、５ｇを電源電極として機能させ、第３電極パッド５ｈを出力電極として機能させ、第４電極パッド５ｉをグランド接続用電極として機能させることを想定して、ＥＭＣ等を考慮しつつセンサ素子５ｚ等が構成されている。
【００２０】
また、本実施形態に係るセンサ装置では、図４に示されるように、第１電極パッド５ｆ、第２電極パッド５ｇ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉは、それぞれが、４辺５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの異なる辺において各辺と対応する位置に設けられている。より具体的には、第１電極パッド５ｆは辺５ａと対応する位置に設けられ、第２電極パッド５ｇは辺５ｂと対応する位置に設けられ、第３電極パッド５ｈは辺５ｃと対応する位置に設けられ、第４電極パッド５ｉは辺５ｄと対応する位置に設けられている。
【００２１】
なお、上述した「辺と対応する位置」は、４辺５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄを有する方形状の２本の対角線５ｊ、５ｋにより区画されて形成された４つの領域５ｌ、５ｍ、５ｎ、５ｏのいずれかを指し、対応する辺が含まれる１つの領域内の位置を指す。本実施形態では、具体的には、図４に示されるように、「辺５ａと対応する位置」が辺５ａを含む領域５ｌ内の位置を指し、「辺５ｂと対応する位置」が辺５ｂを含む領域５ｍ内の位置を指す。さらに同様に、「辺５ｃと対応する位置」が辺５ｃを含む領域５ｎ内の位置を指し、「辺５ｄと対応する位置」が辺５ｄを含む領域５ｏ内の位置を指す。
【００２２】
上記のことから、本実施形態では、第１電極パッド５ｆが領域５ｌ内の位置に設けられ、第２電極パッド５ｇが領域５ｍ内の位置に設けられ、第３電極パッド５ｈが領域５ｎ内の位置に設けられ、第４電極パッド５ｉが領域５ｏ内の位置に設けられた構成とされている。
【００２３】
また、本実施形態では、第１電極パッド５ｆと第２電極パッド５ｇとが、センサチップ５の一面５ｅを構成する４辺５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄのうち隣接する２辺５ａ、５ｂそれぞれと対応する位置に設けられている。
【００２４】
また、図１〜図３に示されるように、ケースプラグ１には、センサチップ５と図示しない外部回路とを電気的に接続するための３個の金属製棒状のターミナル８（図２に示す第１ターミナル８ａ、第２ターミナル８ｂ、第３ターミナル８ｃ）が備えられている。また、各ターミナル８ａ、８ｂ、８ｃはインサートモールドによりケースプラグ１と一体に成形されることによってケースプラグ１内に保持されている。
【００２５】
具体的には、各ターミナル８ａ、８ｂ、８ｃはケースプラグ１を貫通しており、各ターミナル８ａ、８ｂ、８ｃのうち一端部はケースプラグ１から第３凹部２ｃ内に突出しており、他端部はケースプラグ１から開口部３内に突出している。
【００２６】
第３凹部２ｃ内に突出している各ターミナル８ａ、８ｂ、８ｃの一端部は、湾曲しており、この一端部における中間部（湾曲している部分）がボンディングワイヤ９を介してセンサチップ５と接続されている。各第３凹部２ｃが、それぞれ、第１凹部２ａを中心として周方向に９０°ずつずらされていることから、各ターミナル８ａ、８ｂ、８ｃの中間部は、それぞれが、センサチップ５の一面５ｅを構成する４辺５ａ〜５ｄのうち異なる辺に対向する位置に配置されている。そして、静電誘導等を原因とする電磁妨害波等が生じ難くなるように、各ターミナル８ａ、８ｂ、８ｃは、それぞれが、４つの電極パッド５ｆ、５ｇ、５ｈ、５ｉのうち最も近い電極パッドと接続された構成とされている。より具体的には、図４に示されるように、第１ターミナル８ａが第１電極パッド５ｆと接続されており、第２ターミナル８ｂが第３電極パッド５ｈと接続されており、第３ターミナル８ｃが第４電極パッド５ｉと接続されている。
【００２７】
このように、本実施形態に係るセンサ装置では、各ターミナル８ａ、８ｂ、８ｃが、４辺５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの異なる辺において各辺と対応する位置に設けられた４つの電極パッド５ｆ、５ｇ、５ｈ、５ｉのうち最も近い電極パッドと電気的に接続されている。このような構成とされることにより、本実施形態に係るセンサ装置では、各ターミナル８ａ、８ｂ、８ｃ同士が交差したり各ターミナル８ａ、８ｂ、８ｃがセンサ素子等と接触したりすることにより生じるＥＭＣ上の不具合が生じ難くなっている。
【００２８】
各ターミナル８ａ、８ｂ、８ｃの他端部は、ケースプラグ１内において、開口部３に向かって伸びた直線形状部を有し、それぞれの直線形状部が互いに平行となるように構成されている。また、開口部３内に突出している各ターミナル８ａ、８ｂ、８ｃの他端部は、図示しないワイヤハーネス等の外部配線部材を介して図示しない外部回路と電気的に接続される。そして、各ターミナル８ａ、８ｂ、８ｃと接続された各電極パッド５ｆ、５ｈ、５ｉのうち、いずれかの１つの電極パッドに電源電圧が印加され、異なる１つの電極パッドに出力電圧を発生させ、さらに異なる電極パッドがグランドに接続される。すなわち、各電極パッド５ｆ、５ｈ、５ｉそれぞれが、電源電極、出力電極もしくはグランド接続用電極のいずれかとして機能する。ここでは、図４に示されるように、第１電極パッド５ｆが電源電極（図４中のＶ）として機能し、第３電極パッド５ｈが出力電極（図４中のＯ）として機能し、第４電極パッド５ｉがグランド接続用電極（図４中のＧ）として機能する。
【００２９】
また、図１に示されるように、ケースプラグ１にはハウジング１０が組み付けられている。ハウジング１０は、例えば、ＳＵＳ等の金属材料よりなるものである。ハウジング１０のうち凹部２が形成されているケースプラグ１の一面と対向する一面には、例えば、ＳＵＳ等からなる円形のメタルダイヤフラム１１と、メタルダイヤフラム１１の外縁部分に配置されている環状のリングウェルド１２とが備えられている。そして、ケースプラグ１とハウジング１０において、凹部２、メタルダイヤフラム１１、およびリングウェルド１２にて囲まれる空間にて圧力検出室１３が構成されている。また、図１および図３に示されるように、圧力検出室１３内は、メタルダイヤフラム１１に印加された圧力をセンサチップ５に伝達する圧力伝達媒体１４が充填されている。この圧力伝達媒体１４は、例えば、フッ素オイルやシリコーンオイル等のオイルで構成される。
【００３０】
以上、本実施形態に係るセンサ装置の構成について説明した。次に、本実施形態に係るセンサ装置の作用および効果について説明する。
【００３１】
上述したように、本実施形態に係るセンサ装置では、センサチップ５の一面５ｅにおいて、センサ素子５ｚ、第１電極パッド５ｆ、第２電極パッド５ｇ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉを設けている。さらに、本実施形態に係るセンサ装置では、第１電極パッド５ｆと第２電極パッド５ｇとを、配線５ｙによって接続して同電位とすると共に、第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇと、第３電極パッド５ｈと、第４電極パッド５ｉとを別電位とする構成としている。さらに、本実施形態に係るセンサ装置では、図４に示されるように、第１電極パッド５ｆ、第２電極パッド５ｇ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉは、それぞれが、４辺５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの異なる辺において各辺と対応する位置に設けられている。
【００３２】
このため、本実施形態では、センサ部４（センサチップ５等）を、センサチップ５の一面５ｅに対する法線方向から見て半時計回りに９０度回転させた向きで第２凹部２ｂに搭載した場合、以下で説明するように、異なる端子配列のコネクタに対応することができる。
【００３３】
本実施形態では、上述したように、同電位とされる第１電極パッド５ｆと第２電極パッド５ｇがそれぞれ、センサチップ５の一面５ｅを構成する４辺５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄのうち隣接する２辺５ａ、５ｂのうち1辺と対応する位置に設けられている。このため、センサ部４を、センサチップ５の一面５ｅに対する法線方向から見て半時計回りに９０度回転させた向きで第２凹部２ｂに搭載した場合、各電極パッド５ｆ、５ｇ、５ｈ、５ｉと各ターミナル８ａ、８ｂ、８ｃは図５で示す配置関係となる。すなわち、本実施形態では、第１ターミナル８ａが第４電極パッド５ｉと接続され、第２ターミナル８ｂが第２電極パッド５ｇと電気的に接続され、第３ターミナル８ｃが第３電極パッド５ｈと電気的に接続された構成となる。この場合では、第２電極パッド５ｇを電源電極（図５中のＶ）として機能させ、第３電極パッド５ｈを出力電極（図５中のＯ）として機能させ、第４電極パッド５ｉをグランド接続用電極（図５中のＧ）として機能させる端子配列のコネクタに対応できる。
【００３４】
このように、本実施形態に係るセンサ装置では、第１電極パッド５ｆ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉの組合せと、第２電極パッド５ｇ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉの組合せのいずれの端子配列にも対応できる。すなわち、本実施形態に係るセンサ装置では、上述した組合せのいずれか一方を選択して、選択した組合せに対応する向きでセンサ部４（センサチップ５等）を第２凹部２ｂに搭載することで、２種類の端子配列のコネクタのいずれにも対応できる。このように、本実施形態に係るセンサ装置では、センサ素子５ｚ等の再設計をせずに２種類の端子配列のコネクタのいずれにも対応できる。
【００３５】
さらに、本実施形態では、第１電極パッド５ｆと第２電極パッド５ｇがそれぞれ、対向する２辺の１辺に対応する位置に設けられた場合に比べて、容易に第１電極パッド５ｆと第２電極パッド５ｇとを配線５ｙ等によって電気的に接続することができる。すなわち、本実施形態では、第１電極パッド５ｆと第２電極パッド５ｇとを容易に同電位とする構成とすることができる。
【００３６】
また、本実施形態では、第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇがダイヤフラム７に電気的に接続されており、第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇが電源電極として機能する構成としている。すなわち、本実施形態では、電源電極として機能する電極が２つ設けられた構成としている。
【００３７】
このため、本実施形態では、電源電極として機能する２つの電極（第１電極パッド５ｆ、第２電極パッド５ｇ）のうち一方が使用不能となった場合でも、他方を電源電極として使用することができる。
【００３８】
以上説明したように、本実施形態に係るセンサ装置では、センサチップ５の一面５ｅにおいて、センサ素子５ｚ、第１電極パッド５ｆ、第２電極パッド５ｇ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉを設けている。また、第１電極パッド５ｆと第２電極パッド５ｇとを、配線５ｙによって接続して同電位とすると共に、第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇと、第３電極パッド５ｈと、第４電極パッド５ｉとを別電位とする構成としている。さらに、本実施形態に係るセンサ装置では、図４に示されるように、第１電極パッド５ｆ、第２電極パッド５ｇ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉは、それぞれが、４辺５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの異なる辺において各辺と対応する位置に設けられている。
【００３９】
このため、本実施形態に係るセンサ装置では、センサ部４（センサチップ５等）を、センサチップ５の一面５ｅに対する法線方向から見て半時計回りに９０度回転させた向きで第２凹部２ｂに搭載した場合、異なる端子配列のコネクタに対応することができる。すなわち、本実施形態に係るセンサ装置では、第１電極パッド５ｆ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉの組合せと、第２電極パッド５ｇ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉの組合せのいずれの端子配列にも対応できる。このように、本実施形態に係るセンサ装置では、センサ素子５ｚ等の再設計をせずに２種類の端子配列のコネクタのいずれにも対応できる。
【００４０】
（他の実施形態）
上記第１実施形態では、同電位とされる第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇを電源電極として機能させる例について説明したが、本発明はこれに限られない。
【００４１】
例えば、上記第１実施形態において、第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇを出力電極として機能させる構成、すなわち、出力電極として機能させる電極が２つ設けられた構成としてもよい。この場合、出力電極として機能させる２つの電極（第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇ）のうち一方が使用不能となった場合でも、他方を出力電極として使用することができる。
【００４２】
また、上記第１実施形態において、第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇをグランド接続用電極として機能させる構成、すなわち、グランド接続用電極として機能させる電極が２つ設けられた構成としてもよい。この場合、２つの電極（第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇ）と、これらの電極パッド５ｆ、５ｇ同士を接続する配線５ｙとによって、電磁シールドが形成されることにより、電磁妨害波等を抑止することができる。また、グランド接続用電極として機能させる２つの電極（第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇ）のうち一方が使用不能となった場合でも、他方をグランド接続用電極として使用することができる。
【００４３】
また、上記第１実施形態では、第１電極パッド５ｆと第２電極パッド５ｇとを、センサチップ５の一面５ｅを構成する４辺５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄのうち隣接する２辺５ａ、５ｂそれぞれと対応する位置に設けていた。しかしながら、第１電極パッド５ｆと第２電極パッド５ｇとを、４辺５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄのうち対向する２辺それぞれと対応する位置に設けてもよい。
【００４４】
すなわち、例えば、上記第１実施形態において、第１電極パッド５ｆと第２電極パッド５ｇとを、４辺５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄのうち対向する２辺５ａ、５ｃそれぞれと対応する位置に設けてもよい。この場合も、第１電極パッド５ｆと第２電極パッド５ｇとが、配線５ｙによって接続して同電位とされると共に、第１電極パッド５ｆおよび第２電極パッド５ｇと、第３電極パッド５ｈと、第４電極パッド５ｉとが別電位とされる。この場合では、センサ部４（センサチップ５等）を、センサチップ５の一面５ｅに対する法線方向から見て１８０度回転させた向きで第２凹部２ｂに搭載した場合、異なる端子配列のコネクタに対応することができる。すなわち、この場合でも、第１電極パッド５ｆ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉの組合せと、第２電極パッド５ｇ、第３電極パッド５ｈ、および第４電極パッド５ｉの組合せのいずれの端子配列にも対応できる。
【符号の説明】
【００４５】
１      ケースプラグ
２      凹部
３      開口部
４      センサ部
５      センサチップ
６      台座
７      ダイヤフラム
８      ターミナル
９      ボンディングワイヤ
１０    ハウジング
【図１】
2015031573.tif 000003
【図２】
2015031573.tif 000004
【図３】
2015031573.tif 000005
【図４】
2015031573.tif 000006
【図５】
2015031573.tif 000007