(57)【要約】【課題】位置センサの損傷または位置ずれが生じにくい位置センサ取付構造を備えたセンサユニット、及びアクチュエータを提供する。【解決手段】センサユニット１００は、アクチュエータ本体１１のスライダ５０の位置の検出のために用いられるセンサユニット１００であって、スライダ５０の位置を検出する位置センサ１１０と、位置センサ１１０をレール溝１２０ａに収容するレール部材１２０と、位置センサ１１０をレール溝１２０ａに固定するための固定金具１３０と、を備える。【選択図】図３
2015161646.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータ本体の移動体の位置の検出のために用いられるセンサユニットであって、
前記移動体の位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段をレール溝に収容するレール部材と、
前記位置検出手段を前記レール溝に固定するための固定部材と、
を備えることを特徴とするセンサユニット。
【請求項２】
前記位置検出手段からケーブルが引き出されており、
前記ケーブルは、前記レール溝に配線されていることを特徴とする請求項１に記載のセンサユニット。
【請求項３】
前記固定部材には、前記ケーブルが前記レール溝から脱落することを防止するケーブル脱落防止部が形成されていることを特徴とする請求項２に記載のセンサユニット。
【請求項４】
前記移動体には磁性体が取り付けられ、
前記位置検出手段は、前記磁性体の磁束を検出する磁気センサであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のセンサユニット。
【請求項５】
前記固定部材は、止め具によって前記レール部材に固定されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のセンサユニット。
【請求項６】
前記止め具は、ねじ部材と、前記ねじ部材が螺合するナット部材と、を有し、
前記固定部材には、前記ねじ部材の先端が当接するねじ受け部が形成されていることを特徴とする請求項５に記載のセンサユニット。
【請求項７】
前記固定部材には、前記位置検出手段を前記レール溝に付勢する位置検出手段押付け部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のセンサユニット。
【請求項８】
進退移動する移動体を有するアクチュエータ本体と、
請求項１乃至７のいずれか一項に記載のセンサユニットと、
を有することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項９】
前記アクチュエータ本体は、前記移動体の少なくとも一部を覆うカバーを有し、
前記レール部材は、前記カバーに取り付けられていることを特徴とする請求項８に記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記アクチュエータ本体は、前記移動体を進退移動可能に支持するベースを有し、
前記レール部材は、前記ベースに取り付けられていることを特徴とする請求項８に記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
前記アクチュエータ本体は、前記移動体の少なくとも一部を覆うカバーを有し、
前記レール部材は、前記カバーの一部として構成されていることを特徴とする請求項８に記載のアクチュエータ。
【請求項１２】
前記アクチュエータ本体は、前記移動体を進退移動可能に支持するベースを有し、
前記レール部材は、前記ベースの一部として構成されていることを特徴とする請求項８に記載のアクチュエータ。
【請求項１３】
前記アクチュエータ本体は、
回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
を有し、
前記移動体は、前記ボールねじナットに固定され、前記ボールねじナットとともに直線運動することを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項１４】
前記アクチュエータ本体は、前記移動体にスライダテーブルが取り付けられたスライダタイプのアクチュエータであることを特徴とする請求項８乃至１３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項１５】
前記アクチュエータ本体は、前記移動体にロッドが取り付けられたロッドタイプのアクチュエータであることを特徴とする請求項８乃至１３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサユニット及びアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
アクチュエータは、例えば、モータの回転運動が、ボールねじを介して移動体に伝達されることにより移動体が進退移動する機械装置である。このようなアクチュエータには、移動体の原点位置を検知するための位置センサが取り付けられることがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実用新案登録第２５５１８５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のアクチュエータでは、位置センサは、センサ本体であるセンサ部と、センサ部の下方に設けられたスライド部とを有している。スライド部は、アクチュエータ本体の側面に固定されたレールに支持されている。このため、センサ部は、レール部の上方から露出した状態で配置される。これにより、作業者が誤って触れたり、物がぶつかってしまうおそれがあり、位置センサの損傷または位置ずれの発生を引き起こすおそれがある。
【０００５】
本発明は、上述の事情の下になされたもので、位置センサの損傷または位置ずれが生じにくい位置センサ取付構造を備えたセンサユニット、及びアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るセンサユニットは、
アクチュエータ本体の移動体の位置の検出のために用いられるセンサユニットであって、
前記移動体の位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段をレール溝に収容するレール部材と、
前記位置検出手段を前記レール溝に固定するための固定部材と、
を備える。
【０００７】
前記位置検出手段からケーブルが引き出されており、
前記ケーブルは、前記レール溝に配線されていてもよい。
【０００８】
前記固定部材には、前記ケーブルが前記レール溝から脱落することを防止するケーブル脱落防止部が形成されていてもよい。
【０００９】
前記移動体には磁性体が取り付けられ、
前記位置検出手段は、前記磁性体の磁束を検出する磁気センサであってもよい。
【００１０】
前記固定部材は、止め具によって前記レール部材に固定されていてもよい。
【００１１】
前記止め具は、ねじ部材と、前記ねじ部材が螺合するナット部材と、を有し、
前記固定部材には、前記ねじ部材の先端が当接するねじ受け部が形成されていてもよい。
【００１２】
前記固定部材には、前記位置検出手段を前記レール溝に付勢する位置検出手段押付け部が形成されていてもよい。
【００１３】
本発明の第２の観点に係るアクチュエータは、
進退移動する移動体を有するアクチュエータ本体と、
本発明の第１の観点に係るセンサユニットと、
を有することを特徴とする。
【００１４】
前記アクチュエータ本体は、前記移動体の少なくとも一部を覆うカバーを有し、
前記レール部材は、前記カバーに取り付けられていてもよい。
【００１５】
前記アクチュエータ本体は、前記移動体を進退移動可能に支持するベースを有し、
前記レール部材は、前記ベースに取り付けられていてもよい。
【００１６】
前記アクチュエータ本体は、前記移動体の少なくとも一部を覆うカバーを有し、
前記レール部材は、前記カバーの一部として構成されていてもよい。
【００１７】
前記アクチュエータ本体は、前記移動体を進退移動可能に支持するベースを有し、
前記レール部材は、前記ベースの一部として構成されていてもよい。
【００１８】
前記アクチュエータ本体は、
回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
を有し、
前記移動体は、前記ボールねじナットに固定され、前記ボールねじナットとともに直線運動してもよい。
【００１９】
前記アクチュエータ本体は、前記移動体にスライダテーブルが取り付けられたスライダタイプのアクチュエータであってもよい。
【００２０】
前記アクチュエータ本体は、前記移動体にロッドが取り付けられたロッドタイプのアクチュエータであってもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明では、位置検出手段はレール溝内に収容されている。これにより、位置検出手段はレール部材に覆われるため、位置検出手段が損傷しにくくなるとともに、位置検出手段の位置ずれが生じにくくなる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係るアクチュエータの斜視図である。
【図２】アクチュエータの正面図である。
【図３】アクチュエータの分解斜視図である。
【図４】センサユニットの斜視図である。
【図５】レール部材及び位置センサの形状等を説明するための図である。
【図６】（Ａ）は、固定金具の斜視図である。（Ｂ）は、固定金具の平面図である。（Ｃ）は、固定金具の正面図である。
【図７】センサユニットのＸＹ断面図である。
【図８】図７のＡ−Ａ断面図である。
【図９】センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その１）である。
【図１０】センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その２）である。
【図１１】センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その３）である。
【図１２】センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その４）である。
【図１３】センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その５）である。
【図１４】センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その６）である。
【図１５】センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その７）である。
【図１６】センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その８）である。
【図１７Ａ】アクチュエータの動作を説明するための平面図（その１）である。
【図１７Ｂ】アクチュエータの動作を説明するための平面図（その２）である。
【図１７Ｃ】アクチュエータの動作を説明するための平面図（その３）である。
【図１８Ａ】アクチュエータの動作を説明するための平面図（その４）である。
【図１８Ｂ】アクチュエータの動作を説明するための平面図（その５）である。
【図１９】第１の変形例に係るアクチュエータの正面図である。
【図２０】第２の変形例に係るアクチュエータの斜視図である。
【図２１Ａ】第３の変形例に係るアクチュエータの斜視図である。
【図２１Ｂ】図２１ＡのＢ−Ｂ断面図である。
【図２２】第４の変形例に係るアクチュエータの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１０について、図１〜図１８を用いて説明する。なお、理解を容易にするために、ＸＹＺ座標を設定し、適宜参照する。
【００２４】
アクチュエータ１０は、図１に示すように、スライダテーブルＴが＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の双方向に移動するスライダタイプのアクチュエータである。アクチュエータ１０は、図１及び図２に示すように、アクチュエータ本体１１と、アクチュエータ本体１１の側面（＋Ｘ側の側面）に設けられたセンサユニット１００とを有する。
【００２５】
アクチュエータ本体１１は、図３に示すように、上述したスライダテーブルＴに加えて、モータユニット２０と、筐体３０と、ボールねじ４０と、スライダ５０（移動体）と、フロントブラケット１２と、リアブラケット１３とを有する。
【００２６】
フロントブラケット１２は、筐体３０の−Ｙ側の端面に、複数のボルトによって固定されている。フロントブラケット１２の内部には、ベアリングが嵌め込まれている。ベアリングは、ボールねじ４０の先端（−Ｙ側の端部）を回転可能に支持している。
【００２７】
リアブラケット１３は、筐体３０の＋Ｙ側の端面に、複数のボルトによって固定されている。リアブラケット１３の内部には、ベアリングが嵌め込まれている。ベアリングは、ボールねじ４０の後端（＋Ｙ側の端部）を回転可能に支持している。
【００２８】
モータユニット２０は、リアブラケット１３の＋Ｙ側に取り付けられている。モータユニット２０は、モータ本体、モータを収納するモータケース２１、アクチュエータケーブル２２等を有する。また、モータ本体は、出力軸、ロータ、ステータ、エンコーダ等を有している。モータ本体には、アクチュエータケーブル２２を介して電源から電力が供給される。モータ本体に電力が供給されることによって、モータ本体のロータが回転する。ロータの回転運動は、出力軸に出力される。出力軸の先端はボールねじ４０に連結されており、出力軸が回転すると、ボールねじ４０は出力軸とともに回転する。
【００２９】
筐体３０は、ボールねじ４０及びスライダ５０等を覆うことで保護するために用いられる。筐体３０は、ベース３１と、サイドカバー３２Ｒ、３２Ｌと、ステンレスシート３３とを有している。
【００３０】
ベース３１は、鋼球を介してスライダ５０を、＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の双方向に進退移動可能に支持する部材である。ベース３１は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。ベース３１は、ＸＺ断面が略凹形状となるように形成されている。ベース３１の内面には、一対のレールが設けられている。レールの表面は、鋼球の形状に対応した面に形成されている。
【００３１】
サイドカバー３２Ｒ、３２Ｌは、ボールねじ４０の側方等を覆う部材である。サイドカバー３２Ｒ、３２Ｌは、ＸＺ断面が略Ｌ字形状になるように形成されている。サイドカバー３２Ｒとサイドカバー３２Ｌとの間には開口部３０ａが形成されている。
【００３２】
ステンレスシート３３は、サイドカバー３２Ｒ、３２Ｌの間の開口部３０ａを塞ぐ部材である。ステンレスシート３３は、サイドカバー３２Ｒ、３２Ｌとともに、アクチュエータ本体１１の内部の各部材を、埃や塵、水滴等から保護する。
【００３３】
ボールねじ４０は、ボールねじ軸とボールねじナットとを有する。ボールねじ軸は、軸心がＹ軸方向に平行になるように配置されている。ボールねじ軸は、外周面が螺旋状の雄ねじ面として構成されている。ボールねじナットの内周面には、ボールねじ軸の雄ねじに噛み合う雌ねじ部が形成されている。ボールねじナットは、ボールねじ軸に高剛性の球体を介して嵌め込まれる。これにより、ボールねじ軸の回転運動が、ボールねじナットの直線運動に円滑に変換される。
【００３４】
スライダ５０（移動体）は、ベース３１に−Ｙ方向及び＋Ｙ方向の双方向に移動可能に支持されている。スライダ５０には、ボールねじナットを嵌め込むための孔が形成されている。ボールねじナットは、この孔に嵌め込まれて、ボルトでスライダ５０に固定されている。これにより、スライダ５０は、ボールねじ軸の軸方向に沿って、ボールねじナットとともに直線運動する。スライダ５０の＋Ｘ側の側面には、磁性体取付け穴が形成されている。この磁性体取付け穴には、磁性体５１が嵌め込まれている。本実施形態においては、磁性体５１は、円柱形状に形成された磁石である。ただし、これに限らず、磁性体５１は、磁化されたものであれば、磁石以外のものであってもよい。また、スライダ５０の上部には、スライダテーブルＴが複数のねじによって取り付けられている。
【００３５】
センサユニット１００は、スライダ５０の原点位置を検出するために用いられる。センサユニット１００は、位置センサ１１０と、アクチュエータ本体１１に設けられ、レール溝１２０ａが形成されたレール部材１２０と、固定金具１３０と、固定金具１３０をレール溝１２０ａに固定するための止めねじ１４０及びナット１５０と、を有する。なお、スライダ５０の原点位置は任意であり、アクチュエータ１０を用いるユーザが用途に応じて適宜設定することができる。
【００３６】
位置センサ１１０（位置検出手段）は、磁束を検出する磁気センサである。位置センサ１１０は、スライダ５０に取り付けられた磁性体５１の磁束を検出することで、スライダ５０の移動開始前の初期位置（以下、原点位置とする）を検出する。そして、原点位置等の情報を出力する。位置センサ１１０の形状は、本実施形態においては、Ｙ軸方向を長手方向とする略直方体である。位置センサ１１０には、スライダ５０の原点位置を検出した場合に点灯するＬＥＤ１１１が設けられている。また、位置センサ１１０からは、ケーブル１１２が引き出されている。引き出されたケーブル１１２の端部にはコネクタ１１３が設けられている。コネクタ１１３は、モータケース２１の後端側に形成されたコネクタに着脱可能に接続される（図１参照）。なお、ケーブル１１２の一部は、レール溝１２０ａに配線される。
【００３７】
レール部材１２０は、図４に示すように、レール溝１２０ａに位置センサ１１０を収納して保護する部材である。レール溝１２０ａは、レール溝１２０ａの長手方向（Ｙ軸方向）に沿って形成されている。レール部材１２０は、例えば、アルミニウムを押出し成形することにより形成される。レール部材１２０は、図３に示すように、アクチュエータ本体１１の筐体３０のサイドカバー３２Ｒに、３本のねじ９０によって着脱可能に取り付けられる。レール部材１２０は、図５に示すように、ＹＺ平面に平行な側壁部１２１と、側壁部１２１の上端及び下端から外側方向（＋Ｘ方向）に突出する天板部１２２及び底面部１２３と、を有している。天板部１２２及び底面部１２３の端部からは、内向きに突出する縁部１２４ａ、１２４ｂが形成されている。側壁部１２１、天板部１２２、底面部１２３、縁部１２４ａ、１２４ｂに囲われることにより、レール溝１２０ａは、ＺＸ断面が略Ｔ字形状（Ｔ字スロット）となるように形成される。
【００３８】
レール部材１２０の縁部１２４ａと縁部１２４ｂとの間には、スリット１２５が形成されている。スリット１２５は、その幅Ｌ１（Ｚ軸方向の長さ）が位置センサ１１０の幅Ｌ２（Ｚ軸方向の長さ）よりも小さくなるように形成されている。これにより、位置センサ１１０は、スリット１２５から脱落しないようにレール溝１２０ａに配置される。
【００３９】
固定金具１３０（固定手段）は、位置センサ１１０をレール溝１２０ａに固定するために用いられる。固定金具１３０は、図６に示すように、ステンレスの板材を、３箇所の屈曲部１３０ａ、１３０ｂ、１３０ｃを基点に直角に折り曲げられることにより形成される。
【００４０】
固定金具１３０の一方の端部には、−Ｙ方向に突出したねじ受け部１３１が形成されている。ねじ受け部１３１は、ＹＺ平面に平行な平板形状に形成されている。ねじ受け部１３１には、図７に示すように、固定金具１３０を止めねじ１４０及びナット１５０でレール溝１２０ａに取り付けた場合に、ナット１５０に螺合した止めねじ１４０の先端が当接する。これにより、固定金具１３０は、位置センサ１１０とともにレール溝１２０ａに固定される。
【００４１】
図６に戻り、固定金具１３０の他方の端部には、ケーブル脱落防止部１３２が形成されている。ケーブル脱落防止部１３２は、中央に湾曲部１３２ａが形成された略Ｙ字形状に形成されている。ケーブル脱落防止部１３２は、図８を参照するとわかるように、位置センサ１１０がレール溝１２０ａに取り付けられている場合に、配線されたケーブル１１２がレール溝１２０ａから脱落することを防止するために用いられる。
【００４２】
ケーブル脱落防止部１３２は、その幅（Ｚ軸方向の長さ）が、レール部材１２０のスリット１２５の幅（Ｚ軸方向の長さ）よりも大きく形成されている。また、ケーブル脱落防止部１３２の根元部分は、レール部材１２０のスリット１２５に嵌り込む形状に形成された括れ部１３２ｂが形成されている（後述の図１２参照）。これにより、ケーブル脱落防止部１３２は、レール部材１２０の縁部１２４ａ、１２４ｂに掛止可能に形成される。
【００４３】
図６に戻り、固定金具１３０の屈曲部１３０ａと屈曲部１３０ｂとの間の部分には、位置センサ１１０をレール溝１２０ａに付勢する位置センサ押付け部１３３（位置検出手段押付け部）が形成されている。位置センサ押付け部１３３には、窓部１３４と、一対の爪部１３５ａ、１３５ｂと、が形成されている。図７を参照するとわかるように、爪部１３５ａ、１３５ｂが位置センサ１１０の表面を付勢することで、位置センサ１１０はレール溝１２０ａに安定して固定される。
【００４４】
ナット１５０は、図３に示すように、四角ナットである。ナット１５０は、レール部材１２０のスリット１２５から抜けない形状及び寸法のものが用いられる。本実施形態では、止めねじ１４０及びナット１５０が、本発明に係る止め具に相当する。
【００４５】
上述のように構成されたセンサユニット１００の組立て方法を、図９〜１６、図７を用いて説明する。
【００４６】
先ず、センサユニット１００を組み立てるアクチュエータ１０のユーザは、図９に示すように、レール部材１２０のレール溝１２０ａの＋Ｙ側の端部開口から、ナット１５０を挿入する。そして、ナット１５０をレール溝１２０ａ内でスライドさせつつ、任意の位置まで移動させる。
【００４７】
続いて、図１０に示すように、レール溝１２０ａの＋Ｙ側の端部開口から、位置センサ１１０を挿入する。そして、図１１に示すように、位置センサ１１０をレール溝１２０ａ内でスライドさせつつ、ナット１５０近傍まで移動させる。
【００４８】
続いて、図１２に示すように、レール溝１２０ａの端部開口から、固定金具１３０のケーブル脱落防止部１３２を挿入する。次に、図１３に示すように、ケーブル脱落防止部１３２をレール溝１２０ａ内でスライドさせつつ、固定金具１３０を位置センサ１１０近傍まで移動させる。次に、固定金具１３０を、ケーブル脱落防止部１３２近傍を基点に、図１４に示すように、回転方向Ｒ１回りに回動させる。これにより、位置センサ１１０は固定金具１３０に覆われつつ、レール部材１２０に固定される。また、位置センサ１１０のＬＥＤ１１１が窓部１３４から露出する。
【００４９】
続いて、図１５に示すように、ユーザは、ナット１５０を位置センサ１１０側にスライドさせ、ねじ受け部１３１と重なる位置まで移動させる（図７参照）。次に、図１６に示すように、止めねじ１４０をナット１５０に螺合させる。すると、図７に示すように、止めねじ１４０の先端がねじ受け部１３１に当接する。これにより、位置センサ押付け部１３３の爪部１３５ａ、１３５ｂが、位置センサ１１０の表面を付勢する。結果として、位置センサ１１０が、レール部材１２０のレール溝１２０ａに固定される。
【００５０】
以上により、センサユニット１００の組立てが完了する。
【００５１】
上述のように構成されたアクチュエータ１０の動作について、図１７、図１８、及び図３を用いて説明する。本実施形態においては、図１７Ａに示すように、スライダ５０が最も後端側（＋Ｙ側）に移動しているＹ軸方向における位置を、スライダ５０の原点位置Ｐ１とする。また、アクチュエータ１０には、図示しないコントローラが接続される。コントローラは、ティーチングペンダント等からの入力に基づいて、アクチュエータ１０を制御するための装置である。コントローラは、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶部、表示部、入力部、及び上記各部を相互に接続するシステムバスを含んで構成される。
【００５２】
図１７Ａを参照するとわかるように、先ず、モータユニット２０のモータ本体に電源が供給されることによって、モータ本体の出力軸とともにボールねじ軸も所定方向に回転（正転）する。すると、ボールねじが、ボールねじ軸の回転運動を、ボールねじナットの直線運動に変換し、この結果、図１７Ｂに示すように、スライダ５０が−Ｙ方向に直線運動を開始する。このとき、図３を参照するとわかるように、スライダ５０は、鋼球を介して筐体３０のベース３１に支持されているため、この鋼球が転動する効果によって円滑に移動する。スライダテーブルＴは図１７Ｃに示すように、やがて最も先端の先端位置Ｐ２に移動する。
【００５３】
次に、出力軸が、所定方向とは逆に回転（逆転）すると、図１８Ａに示すように、スライダ５０が＋Ｙ方向に直線運動を開始する。そして、図１８Ｂに示すように、やがて、スライダ５０は原点位置Ｐ１に移動する。すると、位置センサ１１０は、スライダ５０に取り付けられた磁性体の磁束を検出することで、原点位置Ｐ１を検出し、原点位置Ｐ１等の情報を出力する。位置センサ１１０から出力された信号は、ケーブル１１２を介して、アクチュエータ１０に接続されたコントローラのＣＰＵに入力される。また、スライダ５０が原点位置Ｐ１に移動すると、位置センサ１１０のＬＥＤ１１１が点灯する。
【００５４】
以上、説明したように、本実施形態では、位置センサ１１０はレール溝１２０ａ内に収容されている。これにより、位置センサ１１０はレール部材１２０に覆われるため、アクチュエータ１０のユーザがメンテナンス等に誤って触れてしまうことを防止できる。結果として、位置センサ１１０が損傷しにくくなるとともに、位置センサ１１０の位置ずれが生じにくくなる。
【００５５】
また、位置センサ１１０はレール部材１２０に覆われるため、アクチュエータ１０の設置場所の自由度や、他のアクチュエータの組合せの自由度を向上させることができる。
【００５６】
位置センサ１１０がレール部材１２０の外部に露出しないため、アクチュエータ１０の小型化（コンパクト化）を実現することができる。
【００５７】
また、位置センサ１１０は、固定金具１３０等によりレール部材１２０に取り付けられているため、ユーザは位置センサ１１０をＹ軸方向の任意の位置に取り付けることができる。
【００５８】
また、本実施形態では、位置センサ１１０から引き出されたケーブル１１２の一部は、レール溝１２０ａに配線されている。このため、ケーブル１１２の断線等の損傷を抑制することができる。結果として、位置センサ１１０全体が損傷にくくなる。また、ユーザがアクチュエータ１０を設置する場合、ケーブル１１２の配線が容易になる。
【００５９】
また、本実施形態では、固定金具１３０には、ケーブル１１２がレール溝１２０ａから脱落することを防止するケーブル脱落防止部１３２が形成されている。このため、ケーブル１１２がレール溝１２０ａから脱落しにくくなり、ケーブル１１２の損傷を抑制することができる。結果として、位置センサ１１０が損傷にくくなる。
【００６０】
また、本実施形態では、固定金具１３０には、位置センサ１１０をレール溝１２０ａに付勢する位置センサ押付け部１３３が形成されている。この位置センサ押付け部１３３の爪部１３５ａ、１３５ｂにより、位置センサ１１０をレール溝１２０ａに安定して固定することができる。特に、スライダ５０を高速運動させることにより、アクチュエータ本体１１に大きな振動が生じた場合でも、位置センサ１１０をレール溝１２０ａに安定して固定することができる。
【００６１】
また、本実施形態では、センサユニット１００は、サイドカバー３２Ｒに取り付けられている。このため、ベース３１からサイドカバー３２Ｒを取り外すことにより、センサユニット１００のメンテナンス作業や部品の交換作業を行うことができる。これにより、ユーザの作業効率を向上させることができる。
【００６２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態等によって限定されるものではない。
【００６３】
例えば、上記実施形態においては、位置センサ１１０は、磁気センサから構成されている。しかしながら、これに限らず、位置センサ１１０は、磁気センサ以外のセンサから構成されていてもよい。例えば、光学式センサであってもよい。
【００６４】
上記実施形態においては、ナット１５０は、四角ナットである。しかしながら、これに限らず、ナット１５０は四角ナット以外のナットから構成されていてもよい。例えば、六角ナットであってもよい。しかしながら、レール溝１２０ａに安定して収納される観点から、四角ナットの方が望ましい。
【００６５】
上記実施形態においては、図１及び図３に示すように、レール部材１２０は、筐体３０の正面右側のサイドカバー３２Ｒに取り付けられている。しかしながら、これに限らない。レール部材１２０の取付け位置は任意である。レール部材１２０は、筐体３０のベース３１に取り付けられてもよいし、筐体３０の正面左側のサイドカバー３２Ｌに取り付けられていてもよい。または、図１９に示すアクチュエータ１０Ａのように、筐体３０の正面両側のサイドカバー３２Ｒ、３２Ｌいずれにも取り付けられていてもよい。
【００６６】
また、本実施形態では、図１及び図３に示すように、レール部材１２０は、サイドカバー３２Ｒに取り付けられている。すなわち、レール部材１２０は、サイドカバー３２Ｒとは別体として構成されている。しかしながら、これに限らない。レール部材１２０は、図２０に示すアクチュエータ１０Ｂのように、筐体３０のサイドカバー３２Ｒの一部として構成されていてもよい。具体的には、サイドカバー３２Ｒに溝を形成し、その溝に位置センサ１１０を取り付けるようにしてもよい。この場合、部品点数を削減することができ、アクチュエータ１０Ｂの製造コストを低廉化させることができる。しかしながら、センサユニット１００を有さない従来のアクチュエータを流用できる点からは、本実施形態に係るアクチュエータ１０の方が望ましい。
【００６７】
または、レール部材１２０は、図２１Ａ及び図２１Ｂに示すアクチュエータ１０Ｃのように、筐体３０のベース３１の一部として構成されていてもよい。具体的には、ベース３１に溝３１ａを形成し、その溝３１ａに位置センサ１１０を取り付けるようにしてもよい。この場合でも、部品点数を削減することができ、アクチュエータ１０Ｃの製造コストを低廉化させることができる。しかしながら、センサユニット１００を有さない従来のアクチュエータを流用できる点からは、本実施形態に係るアクチュエータ１０の方が望ましい。
【００６８】
上記実施形態においては、図１に示すように、センサユニット１００は、一つの位置センサ１１０を有している。しかしながら、これに限らず、図２２に示すアクチュエータ１０Ｄのように、二つ以上の位置センサ１１０を有していてもよい。これにより、例えば、スライダテーブルＴ（詳しくは、スライダ５０）の原点位置Ｐ１だけでなく、原点位置Ｐ１以外の任意の位置（例えば、先端位置Ｐ２等）も検知することが可能になる。
【００６９】
上記実施形態においては、アクチュエータ本体１１は、スライダ５０にスライダテーブルＴが取り付けられたスライダタイプのアクチュエータである。しかしながら、これに限らず、アクチュエータ本体１１は、スライダ５０にロッドが取り付けられたロッドタイプのアクチュエータであってもよい。
【００７０】
本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。
【符号の説明】
【００７１】
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ  アクチュエータ
１１  アクチュエータ本体
１２  フロントブラケット
１３  リアブラケット
２０  モータユニット（モータ）
２１  モータケース
２２  アクチュエータケーブル
３０  筐体
３０ａ  開口部
３１  ベース
３１ａ  溝（レール溝）
３２Ｒ、３２Ｌ  サイドカバー
３３  ステンレスシート
４０  ボールねじ
５０  スライダ
５１  磁性体
９０  ねじ
１００  センサユニット
１１０  位置センサ（位置検出手段）
１１１  ＬＥＤ
１１２  ケーブル
１１３  コネクタ
１２０  レール部材
１２０ａ  レール溝
１２１  側壁部
１２２  天板部
１２３  底面部
１２４ａ、１２４ｂ  縁部
１２５  スリット
１３０  固定金具（固定部材）
１３０ａ、１３０ｂ、１３０ｃ  屈曲部
１３１  ねじ受け部
１３２  ケーブル脱落防止部
１３２ａ  湾曲部
１３２ｂ  括れ部
１３３  位置センサ押付け部（位置検出手段押付け部）
１３４  窓部
１３５ａ、１３５ｂ  爪部
１４０  止めねじ（ねじ部材）
１５０  ナット（ナット部材）
Ｔ  スライダテーブル
Ｐ１  原点位置
Ｐ２  先端位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１７Ｃ】
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【図１８Ａ】
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【図１８Ｂ】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１Ａ】
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【図２１Ｂ】
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【図２２】
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