(57)【要約】【課題】簡易な構成で振動ミラー素子の温度を上昇させることが可能なプロジェクタを提供する。【解決手段】このＨＵＤ装置（プロジェクタ）１００は、レーザ光を照射するレーザ光源と、レーザ光源からのレーザ光を走査するＭＥＭＳミラーと、ＭＥＭＳミラーを支持するベース部材とを備え、ベース部材に電圧を印加することによりベース部材を発熱させるように構成されている。【選択図】図４
2015169822.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影光を照射する光源部と、
前記光源部からの投影光を走査する振動ミラー素子と、
前記振動ミラー素子を支持する導電性のベース部材とを備え、
前記ベース部材に電圧を印加することにより前記ベース部材を発熱させるように構成されている、プロジェクタ。
【請求項２】
前記振動ミラー素子に接続され、前記振動ミラー素子に駆動信号を送信する第１配線部と前記第１配線部とは異なる第２配線部とを含む配線基板をさらに備え、
前記配線基板の前記第２配線部を介して前記ベース部材に電圧を印加するように構成されている、請求項１に記載のプロジェクタ。
【請求項３】
前記ベース部材は、導電性物質を含有する導電性樹脂により形成されている、請求項１または２に記載のプロジェクタ。
【請求項４】
前記振動ミラー素子は、投影光を反射させるミラー部と、静電力により揺動するように駆動され、前記ミラー部を揺動可能に支持する櫛歯状の軸部とを含み、
前記ベース部材は、前記櫛歯状の軸部に対応する位置に電流が流れることにより前記軸部に対応する位置が発熱するように構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のプロジェクタ。
【請求項５】
平面視において、前記ベース部材の前記振動ミラー素子が配置される位置に対応する領域には、平坦部と前記平坦部よりも厚みが薄くなる凹部とが形成され、
前記平坦部は、前記軸部に沿って前記軸線方向に延びるように形成され、
前記凹部は、前記軸線方向に延びるように形成されるとともに、前記平坦部に隣接して前記平坦部を挟むように両側に配置されている、請求項４に記載のプロジェクタ。
【請求項６】
前記振動ミラー素子に接続され、前記振動ミラー素子に駆動信号を送信する第１配線部と前記第１配線部とは異なる第２配線部とを含む配線基板をさらに備え、
前記配線基板は、フレキシブル配線基板を含み、
前記フレキシブル配線基板は、前記ベース部材上に配置されるとともに、前記ベース部材により支持されるように構成され、
前記配線基板の前記第２配線部を介して前記ベース部材に電圧を印加するように構成されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載のプロジェクタ。
【請求項７】
前記フレキシブル配線基板は、前記第２配線部の上側を被覆する上側被覆部および下側を被覆する下側被覆部と、前記上側被覆部および前記下側被覆部のうちの少なくとも一方により覆われていない前記第２配線部が露出された露出部とを含み、
前記第２配線部は、前記露出部を介して前記ベース部材と電気的に接続されている、請求項６に記載のプロジェクタ。
【請求項８】
前記配線基板の前記第２配線部は、前記下側被覆部側の前記露出部を介して導電性接着剤により前記ベース部材と電気的に接続されている、請求項７に記載のプロジェクタ。
【請求項９】
前記配線基板の前記第２配線部は、前記上側被覆部側の前記露出部を介して導電性の接続部材により前記ベース部材と電気的に接続されている、請求項７に記載のプロジェクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プロジェクタに関し、特に、振動ミラー素子を備えるプロジェクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動ミラー素子を備えるプロジェクタが知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、光源部と、ミラー部およびミラー部を支持する軸部を含み、光源部からの投影光を走査する振動ミラー素子と、振動ミラー素子を支持するベース部材とを備えたプロジェクタが開示されている。プロジェクタは、ベース部材に加熱コイルおよびコイル端子が設けられている。また、プロジェクタは、加熱コイルによりベース部材の温度を上昇させることによって、振動ミラー素子（軸部）の温度を上昇させるように構成されている。振動ミラー素子（軸部）の温度を上昇させることにより、振動ミラー素子の共振周波数が一定に保たれてミラー部の揺動が安定する。また、一般的に、高湿環境下で振動ミラー素子を高速駆動させると、軸部に結露が発生する場合がある。そこで、上記特許文献１のように、振動ミラー素子（軸部）の温度を上昇させることにより、軸部における結露の発生が抑制されると考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−６９８６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１のプロジェクタでは、振動ミラー素子の温度を上昇させるために、ベース部材に別途加熱コイルおよびコイル端子を設ける必要があり、振動ミラー素子を温度上昇させるための構成が複雑であるという問題点がある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、簡易な構成で振動ミラー素子の温度を上昇させることが可能なプロジェクタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の一の局面によるプロジェクタは、投影光を照射する光源部と、光源部からの投影光を走査する振動ミラー素子と、振動ミラー素子を支持する導電性のベース部材とを備え、ベース部材に電圧を印加することによりベース部材を発熱させるように構成されている。
【０００８】
この発明の一の局面によるプロジェクタでは、上記のように、振動ミラー素子を支持するベース部材として導電性のベース部材を設けるとともに、ベース部材に電圧を印加することによりベース部材を発熱させることによって、ベース部材に対して直接電圧が印加されるので、加熱用のコイルなどを別途設ける必要がない。その結果、振動ミラー素子の温度を上昇させるための構成を複雑化させることなく、簡易な構成で振動ミラー素子の温度を上昇させることができる。
【０００９】
上記一の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、振動ミラー素子に接続され、振動ミラー素子に駆動信号を送信する第１配線部と第１配線部とは異なる第２配線部とを含む配線基板をさらに備え、配線基板の第２配線部を介してベース部材に電圧を印加するように構成されている。このように構成すれば、既存の第１配線部を含む配線基板に第２配線部を設けることにより、１つの配線基板によって、振動ミラー素子に駆動信号を送信するとともに、ベース部材に電圧を印加することができるので、これによっても、装置構成を複雑化させることなく簡易な構成で振動ミラー素子の温度を上昇させることができる。
【００１０】
上記一の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、ベース部材は、導電性物質を含有する導電性樹脂により形成されている。このように構成すれば、導電性を有するベース部材を容易に樹脂成形により形成することができる。
【００１１】
上記一の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、振動ミラー素子は、投影光を反射させるミラー部と、静電力により揺動するように駆動され、ミラー部を揺動可能に支持する櫛歯状の軸部とを含み、ベース部材は、櫛歯状の軸部に対応する位置に電流が流れることにより軸部に対応する位置が発熱するように構成されている。このように構成すれば、振動ミラー素子の軸部に対応する所定位置を中心としてベース部材が発熱するので、ベース部材を介して結露が発生しやすい振動ミラー素子の軸部の温度を上昇させることができる。その結果、軸部の結露を効果的に抑制することができる。
【００１２】
この場合、好ましくは、平面視において、ベース部材の振動ミラー素子が配置される位置に対応する領域には、平坦部と平坦部よりも厚みが薄くなる凹部とが形成され、平坦部は、軸部に沿って軸線方向に延びるように形成され、凹部は、軸線方向に延びるように形成されるとともに、平坦部に隣接して平坦部を挟むように両側に配置されている。このように構成すれば、凹部と比べて平坦部の方が軸部に直交する断面積が大きくなる（電気抵抗が小さくなる）ので、振動ミラー素子の軸部に対応するベース部材の平坦部に電流が流れやすくなり、効率的にベース部材の軸部の温度を上昇させることができる。
【００１３】
上記一の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、振動ミラー素子に接続され、振動ミラー素子に駆動信号を送信する第１配線部と第１配線部とは異なる第２配線部とを含む配線基板をさらに備え、配線基板は、フレキシブル配線基板を含み、フレキシブル配線基板は、ベース部材上に配置されるとともに、ベース部材により支持されるように構成され、配線基板の第２配線部を介してベース部材に電圧を印加するように構成されている。このように構成すれば、フレキシブル配線基板が導電性のベース部材により支持されるので、振動ミラー素子に対して安定してフレキシブル配線基板を配置することができるとともに、フレキシブル配線基板に近接する導電性のベース部材に、フレキシブル配線基板の第２配線部により容易に電圧を印加することができる。
【００１４】
この場合、好ましくは、フレキシブル配線基板は、第２配線部の上側を被覆する上側被覆部および下側を被覆する下側被覆部と、上側被覆部および下側被覆部のうちの少なくとも一方により覆われていない第２配線部が露出された露出部とを含み、第２配線部は、露出部を介してベース部材と電気的に接続されている。このように構成すれば、第２配線部が上側被覆部および下側被覆部のうちの少なくとも一方の露出部から露出するので、露出部において第２配線部とベース部材とを容易に電気的に接続することができる。
【００１５】
上記第２配線部が露出部を介してベース部材と電気的に接続される構成において、好ましくは、フレキシブル配線基板の第２配線部は、下側被覆部側の露出部を介して導電性接着剤によりベース部材と電気的に接続されている。このように構成すれば、導電性接着剤により、フレキシブル配線基板とベース部材とを接着すると同時に、第２配線部とベース部材とを電気的に接続することができるので、装置構成が複雑化するのを抑制することができる。
【００１６】
上記第２配線部が露出部を介してベース部材と電気的に接続される構成において、好ましくは、フレキシブル配線基板の第２配線部は、上側被覆部側の露出部を介して導電性の接続部材によりベース部材と電気的に接続されている。このように構成すれば、導電性の接続部材により、第２配線部とベース部材とをより容易に電気的に接続することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、上記のように、簡易な構成で振動ミラー素子の温度を上昇させることが可能なプロジェクタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態によるＨＵＤ装置の自動車内での使用状態を示した模式図である。
【図２】本発明の第１実施形態によるＨＵＤ装置のレーザ光を走査する走査ブロック部を示したブロック図である。
【図３】本発明の第１実施形態によるＨＵＤ装置のレーザ光を走査する走査ブロック部を示した斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態によるＨＵＤ装置の水平方向にレーザ光を走査する側の走査ブロック部を示した斜視図である。
【図５】本発明の第１実施形態によるＨＵＤ装置のＭＥＭＳミラーの軸部を示した部分拡大図である。
【図６】図４の５００−５００線に沿ったフレキシブル配線基板およびベース部材の拡大断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態によるフレキシブル配線基板およびベース部材の拡大断面図である。
【図８】本発明の第３実施形態によるフレキシブル配線基板およびベース部材の拡大断面図である。
【図９】本発明の第４実施形態によるＨＵＤ装置のベース部材、ＭＥＭＳミラー、フレキシブル配線基板およびベース部材を示した斜視図である。
【図１０】本発明の第４実施形態によるＨＵＤ装置のベース部材およびフレキシブル配線基板を示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２０】
（第１実施形態）
図１〜図６を参照して、本発明の第１実施形態によるＨＵＤ（ヘッドアップディスプレイ）装置１００の構成について説明する。なお、ＨＵＤ装置１００は、本発明の「プロジェクタ」の一例である。
【００２１】
本発明の第１実施形態によるＨＵＤ装置１００は、図１に示すように、自動車９０などの輸送用機器に搭載されるように構成されている。また、ＨＵＤ装置１００は、フロントガラスなどのスクリーン９１にレーザ光を照射することにより、自動車９０の外側でスクリーン９１の前方に虚像（画像）を形成するように構成されている。このＨＵＤ装置１００は、カーナビゲーションに関する情報や自動車９０に関する情報などをスクリーン９１に表示する機能を有している。なお、レーザ光は、本発明の「投影光」の一例である。
【００２２】
また、図２に示すように、ＨＵＤ装置１００は、走査ブロック部１０１と、光源ブロック部１０２と、制御ブロック部１０３とを備えている。
【００２３】
また、ＨＵＤ装置１００の走査ブロック部１０１は、水平方向走査用のＭＥＭＳミラー１と、垂直方向走査用のＭＥＭＳミラー２とを含んでいる。また、走査ブロック部１０１は、ＭＥＭＳミラー１およびＭＥＭＳミラー２をそれぞれ駆動させるためのフレキシブル配線基板３およびフレキシブル配線基板４を含んでいる。また、走査ブロック部１０１は、ＭＥＭＳミラー１およびフレキシブル配線基板３を支持するベース部材５と、ＭＥＭＳミラー２およびフレキシブル配線基板４を支持するベース部材６とを含んでいる。なお、ＭＥＭＳミラー１および２は、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。
【００２４】
ＭＥＭＳミラー１は、照射されたレーザ光を水平方向（画面の水平方向）に走査してＭＥＭＳミラー２を介してスクリーン９１に投影するように構成されている。また、ＭＥＭＳミラー２は、照射されたＭＥＭＳミラー１からのレーザ光を垂直方向（画面の水平方向）に走査してスクリーン９１に投影するように構成されている。具体的には、走査ブロック部１０１のＭＥＭＳミラー１および２が、順に、後述するレーザ光源７１ａ〜７１ｃから照射されたレーザ光を走査して、画像をスクリーン９１に投影するように構成されている。また、ＭＥＭＳミラー１は、水平方向を共振駆動により高速走査するように構成されている。また、ＭＥＭＳミラー２は、垂直方向を直流駆動により低速走査するように構成されている。
【００２５】
ここで、第１実施形態のＨＵＤ装置１００は、フレキシブル配線基板３および４（図３参照）を介してベース部材５および６のそれぞれに電圧を印加することにより、ベース部材５および６を発熱させるように構成されている。なお、フレキシブル配線基板４については、フレキシブル配線基板３と同様の構成であるため、図示を省略している。そして、ＨＵＤ装置１００は、発熱されたベース部材５および６にそれぞれ支持されるＭＥＭＳミラー１および２の温度を上昇させるように構成されている。走査ブロック部１０１の詳細については後述する。
【００２６】
また、図４に示すように、フレキシブル配線基板３およびフレキシブル配線基板４は、それぞれ、ＭＥＭＳミラー１および２に駆動信号およびフィードバック信号を送信する駆動用配線部３１と、ベース部材５および６を発熱させるための発熱用配線部３２とを備えている。ＨＵＤ装置１００は、この発熱用配線部３２を介してベース部材５および６にそれぞれ電圧を印加するように構成されている。なお、駆動用配線部３１は、本発明の「第１配線部」の一例である。また、発熱用配線部３２は、本発明の「第２配線部」の一例である。
【００２７】
また、図２に示すように、ＨＵＤ装置１００の光源ブロック部１０２は、３つ（青（Ｂ）、緑（Ｇ）、赤（Ｒ））のレーザ光源７１ａ〜７１ｃと、３つの偏光プリズム７２ａ〜７２ｃと、集光レンズ７３とを含んでいる。また、光源ブロック部１０２は、レーザ光源７１ａ〜７１ｃから照射されたレーザ光を、それぞれ平行に補正するコリメートレンズ１７１ａ〜１７１ｃを含んでいる。また、光源ブロック部１０２は、ビーム整形プリズム１７３を含んでいる。そして、光源ブロック部１０２は、偏光プリズム７２ａの出射面とビーム整形プリズム１７３の出射面とによりレーザ光のスポット形状を整形する（たとえば、楕円形状から略円形状に整形する）ように構成されている。なお、レーザ光源７１ａ〜７１ｃは、本発明の「光源部」の一例である。
【００２８】
レーザ光源７１ａは、緑色のレーザ光を偏向プリズム７２ａを通過させてＭＥＭＳミラー１に照射するように構成されている。また、レーザ光源７１ｂは、赤色のレーザ光を偏向プリズム７２ｂおよび７２ａの順に通過させてＭＥＭＳミラー１に照射するように構成されている。また、レーザ光源７１ｃは、青色のレーザ光を偏向プリズム７２ｃ、７２ｂおよび７２ａの順に通過させてＭＥＭＳミラー１に照射するように構成されている。
【００２９】
また、走査ブロック部１０１および光源ブロック部１０２の各構成部品は、図示しない光学ベースに位置決めされた状態で、光学ベースに固定的に保持されるように構成されている。
【００３０】
また、ＨＵＤ装置１００の制御ブロック部１０３は、メインＣＰＵ７４と、操作部７５と、表示制御部７６とを含んでいる。
【００３１】
メインＣＰＵ７４は、ＨＵＤ装置１００の各部を制御するように構成されている。操作部７５は、ＨＵＤ装置１００の電源を入れる操作、情報の投影角度を変更する操作および情報の解像度を変更する操作などを受け付けるために設けられている。
【００３２】
表示制御部７６は、映像処理部７６ａと、光源制御部７６ｂと、ＬＤ（レーザダイオード）ドライバ７６ｃと、ミラー制御部７６ｄと、ミラードライバ７６ｅと、電圧印加部７６ｆとを含む。
【００３３】
ＨＵＤ装置１００は、映像処理部７６ａに入力された映像信号に基づいて画像情報を出力するように構成されている。映像処理部７６ａは、外部から入力される映像信号に基づいて、画像の投影を制御するように構成されている。具体的には、映像処理部７６ａは、外部から入力される映像信号に基づいて、ミラー制御部７６ｄを介して、ＭＥＭＳミラー１および２の駆動を制御するとともに、光源制御部７６ｂを介して、レーザ光源７１ａ〜７１ｃによるレーザ光の照射を制御するように構成されている。
【００３４】
光源制御部７６ｂは、映像処理部７６ａによる制御に基づいて、ＬＤドライバ７６ｃを制御することにより、レーザ光源７１ａ〜７１ｃによるレーザ光の照射を制御するように構成されている。具体的には、光源制御部７６ｂは、ＭＥＭＳミラー１および２のそれぞれが走査するタイミングに合せて画像情報に基づいて各画素に対応する色のレーザ光をレーザ光源７１ａ〜７１ｃから照射させる制御を行うように構成されている。
【００３５】
ミラー制御部７６ｄは、映像処理部７６ａによる制御に基づいて、所定の制御信号をミラードライバ７６ｅに送信することにより、ミラードライバ７６ｅを制御するように構成されている。また、ミラードライバ７６ｅは、ミラー制御部７６ｄからの制御信号に基づいて、ＭＥＭＳミラー１および２に駆動信号を送信することにより、ＭＥＭＳミラー１および２を駆動させるように構成されている。また、電圧印加部７６ｆは、ミラー制御部７６ｄの制御の下でミラードライバ７６ｅがＭＥＭＳミラー１および２を駆動させる際に、ベース部材５および６に電圧を印加するように構成されている。
【００３６】
次に、図３〜図６を参照して、走査ブロック部１０１（図２参照）の詳細な構成について説明する。なお、ＭＥＭＳミラー１側（フレキシブル配線基板３およびベース部材５を含む）およびＭＥＭＳミラー２側（フレキシブル配線基板４およびベース部材６を含む）は、同様の構成を備えているため、以下では、ＭＥＭＳミラー１側ついて説明し、ＭＥＭＳミラー２側についての説明は省略する。
【００３７】
図３および図４に示すように、ＭＥＭＳミラー１は、レーザ光を反射させるミラー部１１と、静電力により揺動するように駆動され、ミラー部１１を揺動可能に支持する櫛歯状（図５参照）の軸部１２ａおよび１２ｂと、軸部１２ａおよび１２ｂを支持する支持筐体部１３とを含んでいる。なお、図３および図４では、軸部１２ａおよび１２ｂを簡略化して櫛歯状ではなく棒状に図示している。
【００３８】
ミラー部１１は、光を反射させる反射面１１ａをＺ１方向側に有している。また、ミラー部１１は、軸部１２ａおよび１２ｂによって軸線９００（図４参照）周りのＡ方向およびＢ方向に傾斜（揺動）されるように構成されている。なお、軸線９００は、本発明の「軸線」の一例である。
【００３９】
軸部１２ａおよび１２ｂは、Ｙ方向に延びるように形成されている。また、軸部１２ａおよび１２ｂの内側の端部は、それぞれ、ミラー部１１に接続されている。また、軸部１２ａおよび１２ｂは、それぞれ、変形することによりミラー部１１を軸線９００（図４参照）周りに振動可能に連結している。また、図５に示すように、軸部１２ａ（１２ｂ）は、それぞれ、Ｘ１方向およびＸ２方向に延びる複数の細かな可動側突出部１２ｃを有している。この複数の可動側突出部１２ｃは、それぞれ軸線方向（Ｙ方向）に等間隔で並ぶように配置されている。また、軸部１２ａ（１２ｂ）は、複数の可動側突出部１２ｃにより櫛歯状に形成されている。また、軸部１２ａ（１２ｂ）は、エッチングにより形成された金属膜の可動電極部１２ｄに覆われたシリコン基板により構成されている。また、可動電極部１２ｄは、フレキシブル配線基板３の駆動用配線部３１を介してミラードライバ７６ｅに接続されている。
【００４０】
図４に示すように、支持筐体部１３は、Ｘ方向に延びる箱状に形成されている。また、支持筐体部１３は、軸部１２ａおよび１２ｂの外側の端部（軸部１２ａのＸ２方向側端部および軸部１２ｂのＸ１方向側端部）を固定的に支持している。また、支持筐体部１３は、軸部１２ａ（１２ｂ）を挟むように配置される一対の固定電極部１３ａを有している。すなわち、ＭＥＭＳミラー１は、ミラー部１１のＹ１方向側およびＹ２方向側のそれぞれに一対の固定電極部１３ａを有している。この固定電極部１３ａは、軸部１２ａ（１２ｂ）の櫛歯状に対応するように櫛歯状に形成されている。具体的には、図５に示すように、固定電極部１３ａは、軸部１２ａ（１２ｂ）の複数の可動側突出部１２ｃのそれぞれの間に侵入するように、軸部１２ａ（１２ｂ）側に向けて延びる複数の細かな固定電極部１３ａを有している。この複数の固定電極部１３ａは、それぞれ軸線方向（Ｙ方向）に等間隔で並ぶように配置されている。また、固定電極部１３ａは、複数の固定側突出部１３ｂにより櫛歯状に形成されている。また、固定電極部１３ａは、フレキシブル配線基板３の駆動用配線部３１を介してミラードライバ７６ｅに接続されている。
【００４１】
ＭＥＭＳミラー１は、可動電極部１２ｄと固定電極部１３ａとに、それぞれ、ミラードライバ７６ｅから駆動用配線部３１を介して得られる駆動信号に基づく所定電圧を印加するように構成されている。その結果、ＭＥＭＳミラー１は、可動電極部１２ｄと固定電極部１３ａとの間に互いに引き合う静電引力（静電力）および互いに遠ざけ合う静電斥力（静電力）が交互に生じるように構成されている。これにより、ＭＥＭＳミラー１は、軸部１２ａおよび１２ｂがＡ方向およびＢ方向（図４参照）に交互に揺動され、ミラー部１１が揺動されるように構成されている。
【００４２】
フレキシブル配線基板３は、ベース部材５の上面５ａ（図６参照）に当接状態で配置されるとともに、ベース部材５により支持されるように構成されている。また、フレキシブル配線基板３は、図４に示すように、矩形状の孔部３ａを有しており、孔部３ａの内側にＭＥＭＳミラー１が配置されるように構成されている。また、フレキシブル配線基板３は、図６に示すように、発熱用配線部３２の上側（Ｚ１方向側）を被覆する上側被覆部３３および下側（Ｚ２方向側（ベース部材５側））を被覆する下側被覆部３４を含んでいる。また、発熱用配線部３２、上側被覆部３３および下側被覆部３４は、接着剤３５により互いに接着されている。
【００４３】
また、図４に示すように、フレキシブル配線基板３は、発熱用配線部３２の下側（Ｚ２方向側）に下側被覆部３４に覆われていない発熱用配線部３２が露出した一対の露出部３６を含んでいる。また、発熱用配線部３２は、一対の露出部３６を介してベース部材５と電気的に接続（導通）されている。具体的には、図６に示すように、フレキシブル配線基板３は、下側被覆部３４と露出部３６とに囲われた領域に導電性接着剤３７が充填されることにより、導電性接着剤３７を介して発熱用配線部３２とベース部材５とが電気的に接続（導通）されるように構成されている。また、フレキシブル配線基板３は、ベース部材５と導電性接着剤３７により接着されている。
【００４４】
また、図４に示すように、フレキシブル配線基板３の一対の露出部３６は、軸線９００に対応する位置のＭＥＭＳミラー１の両側（Ｙ方向の両側）に、ＭＥＭＳミラー１を挟むようにしてそれぞれ形成されている。
【００４５】
図３に示すように、ベース部材５は、矩形状かつ平板状に形成されている。また、ベース部材５は、導電性物質（カーボン、黒鉛およびセラミックスなど）を含有する導電性樹脂により形成されている。また、ベース部材５は、発熱用配線部３２を介して電圧印加部７６ｆ（図２参照）に接続されている。なお、ベース部材５および６は、互いに形状が異なる他は同様の構成を有している。
【００４６】
また、図４に示すように、ベース部材５は、櫛歯状の軸部１２ａおよび１２ｂに対応する位置に電流が流れることにより、軸部１２ａおよび１２ｂに対応する位置が発熱するように構成されている。すなわち、ベース部材５は、フレキシブル配線基板３の一対の露出部３６を介して電圧印加部７６ｆにより電圧が印加されることにより、軸部１２ａおよび１２ｂに対応する位置に電流が流れるように構成されている。その結果、ベース部材５は、電流により軸部１２ａおよび１２ｂに対応する位置の温度が上昇するように構成されている。また、ベース部材５は、支持しているＭＥＭＳミラー１に発熱により得られた熱を伝達する。これにより、ベース部材５は、ＭＥＭＳミラー１の温度を上昇させるように構成されている。
【００４７】
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００４８】
第１実施形態では、上記のように、ＭＥＭＳミラー１（２）を支持するベース部材５として導電性のベース部材５を設けるとともに、ベース部材５に電圧を印加することによりベース部材５を発熱させることによって、ベース部材５に対して直接電圧が印加されるので、加熱用のコイルなどを別途設ける必要がない。その結果、ＭＥＭＳミラー１（２）の温度を上昇させるための構成を複雑化させることなく、簡易な構成でＭＥＭＳミラー１（２）の温度を上昇させることができる。
【００４９】
また、第１実施形態では、上記のように、フレキシブル配線基板３に、ＭＥＭＳミラー１（２）に接続され、ＭＥＭＳミラー１（２）に駆動信号を送信する駆動用配線部３１と発熱用配線部３２とを設け、ＨＵＤ装置１００を、フレキシブル配線基板３の発熱用配線部３２を介してベース部材５に電圧を印加するように構成する。これにより、既存の駆動用配線部３１を含むフレキシブル配線基板３に発熱用配線部３２を設けることにより、１つのフレキシブル配線基板３によって、ＭＥＭＳミラー１（２）に駆動信号を送信するとともに、ベース部材５に電圧を印加することができるので、これによっても、装置構成を複雑化させることなく簡易な構成でＭＥＭＳミラー１（２）の温度を上昇させることができる。
【００５０】
また、第１実施形態では、上記のように、ベース部材５を、導電性物質を含有する導電性樹脂により形成する。これにより、導電性を有するベース部材５を容易に樹脂成形により形成することができる。
【００５１】
また、第１実施形態では、上記のように、ＭＥＭＳミラー１（２）に、投影光を反射させるミラー部１１と、静電力により揺動するように駆動され、ミラー部１１を揺動可能に支持する櫛歯状の軸部１２ａおよび１２ｂとを設け、ベース部材５を、櫛歯状の軸部１２ａおよび１２ｂに対応する位置に電流が流れることにより軸部１２ａおよび１２ｂに対応する位置が発熱するように構成する。これにより、ＭＥＭＳミラー１（２）の軸部１２ａおよび１２ｂに対応する所定位置を中心としてベース部材５が発熱するので、ベース部材５を介して結露が発生しやすいＭＥＭＳミラー１（２）の軸部１２ａおよび１２ｂの温度を上昇させることができる。その結果、軸部１２ａおよび１２ｂの結露を効果的に抑制することができる。
【００５２】
また、第１実施形態では、上記のように、フレキシブル配線基板３を、ベース部材５上に配置するとともに、ベース部材５により支持されるように構成し、ＨＵＤ装置１００を、発熱用配線部３２を介してベース部材５に電圧を印加するように構成する。これにより、フレキシブル配線基板３が導電性のベース部材５により支持されるので、ＭＥＭＳミラー１（２）に対して安定してフレキシブル配線基板３を配置することができるとともに、フレキシブル配線基板３に近接する導電性のベース部材５に、フレキシブル配線基板３の発熱用配線部３２により容易に電圧を印加することができる。
【００５３】
また、第１実施形態では、上記のように、フレキシブル配線基板３に、発熱用配線部３２の上側（Ｚ１方向側）を被覆する上側被覆部３３および下側を被覆する下側被覆部３４と、下側被覆部３４により覆われていない発熱用配線部３２が露出された露出部３６とを設け、発熱用配線部３２を、露出部３６を介してベース部材５と電気的に接続する。これにより、発熱用配線部３２が下側被覆部３４の露出部３６から露出するので、露出部３６において発熱用配線部３２とベース部材５とを容易に電気的に接続することができる。
【００５４】
また、第１実施形態では、上記のように、フレキシブル配線基板３の発熱用配線部３２を、下側被覆部３４側の露出部３６を介して導電性接着剤３７によりベース部材５と電気的に接続する。これにより、導電性接着剤３７により、フレキシブル配線基板３とベース部材５とを接着すると同時に、発熱用配線部３２とベース部材５とを電気的に接続することができるので、装置構成が複雑化するのを抑制することができる。
【００５５】
（第２実施形態）
次に、図１、図２および図７を参照して、第２実施形態について説明する。この第２実施形態では、導電性接着剤３７によりフレキシブル配線基板３の発熱用配線部３２とベース部材５とを電気的に接続した上記第１実施形態と異なり、板ばね２３７によりフレキシブル配線基板２０３の発熱用配線部３２とベース部材５とを電気的に接続した例について説明する。なお、上記第１実施形態と同様の構成は、第１実施形態と同じ符号を付して図示するとともに説明を省略する。なお、板ばね２３７は、本発明の「接続部材」の一例である。
【００５６】
第２実施形態によるＨＵＤ装置２００（図１および図２参照）では、図７に示すように、フレキシブル配線基板２０３は、ベース部材５と接着剤３５により接着されている。また、フレキシブル配線基板２０３は、発熱用配線部３２の上側（Ｚ１方向側）に上側被覆部３３に覆われていない発熱用配線部３２が露出した一対の露出部２３６を含んでいる。また、フレキシブル配線基板２０３の発熱用配線部３２は、上側被覆部３３側の露出部２３６を介して導電性の板ばね２３７によりベース部材５と電気的に接続されている。具体的には、板ばね２３７は、一方端が発熱用配線部３２の上側（Ｚ１方向側）の露出部２３６に当接し、他方端がベース部材５の下面５ｂ（Ｚ２方向側の面）に当接するように構成されている。すなわち、板バネ２３７は、フレキシブル配線基板２０３とベース部材５とを挟持するように取り付けられる。これにより、発熱用配線部３２とベース部材５とは、電気的に接続されている。なお、ＨＵＤ装置２００は、本発明の「プロジェクタ」の一例である。
【００５７】
第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００５８】
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００５９】
第２実施形態では、上記第１実施形態と同様に、ＭＥＭＳミラー１（２）を支持するベース部材５として導電性のベース部材５を設けるとともに、ベース部材５に電圧を印加することによりベース部材５を発熱させることによって、ベース部材５に対して直接電圧が印加されるので、簡易な構成でＭＥＭＳミラー１（２）の温度を上昇させることができる。
【００６０】
また、第２実施形態では、上記のように、フレキシブル配線基板２０３の発熱用配線部３２を、上側被覆部３３側の露出部２３６を介して導電性の板ばね２３７によりベース部材５と電気的に接続する。これにより、導電性の板ばね２３７により、露出部２３６とベース部材５とをより容易に電気的に接続することができる。
【００６１】
第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００６２】
（第３実施形態）
次に、図１、図２および図８を参照して、第３実施形態について説明する。この第３実施形態では、板バネ２３７によりフレキシブル配線基板２０３の発熱用配線部３２とベース部材５とを電気的に接続した上記第２実施形態と異なり、導電性のねじ３３７によりフレキシブル配線基板３０３の発熱用配線部３２とベース部材５とを電気的に接続した例について説明する。なお、上記第２実施形態と同様の構成は、第２実施形態と同じ符号を付して図示するとともに説明を省略する。また、ねじ３３７は、本発明の「接続部材」の一例である。
【００６３】
第３実施形態によるＨＵＤ装置３００（図１および図２参照）では、図８に示すように、フレキシブル配線基板３０３は、ベース部材５と接着剤３５により接着されている。また、フレキシブル配線基板３０３は、発熱用配線部３２の上側（Ｚ１方向側）に上側被覆部３３に覆われていない発熱用配線部３２が露出した一対の露出部３３６を含んでいる。また、フレキシブル配線基板３０３およびベース部材５には、それぞれ、露出部３３６からＺ２方向に伸びるねじ孔３３６ａが形成されている。そして、発熱用配線部３２とベース部材５とは、ねじ孔３３６ａにねじ３３７が取り付けられることにより、電気的に接続されるように構成されている。なお、ねじ３３７は、頭部が露出部３３６に当接した状態でフレキシブル配線基板３０３およびベース部材５に取り付けられるように構成されている。なお、ＨＵＤ装置３００は、本発明の「プロジェクタ」の一例である。
【００６４】
第３実施形態のその他の構成は、上記第２実施形態と同様である。
【００６５】
第３実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００６６】
第３実施形態では、上記第２実施形態と同様に、ＭＥＭＳミラー１（２）を支持するベース部材５として導電性のベース部材５を設けるとともに、ベース部材５に電圧を印加することによりベース部材５を発熱させることによって、ベース部材５に対して直接電圧が印加されるので、簡易な構成でＭＥＭＳミラー１（２）の温度を上昇させることができる。
【００６７】
また、第３実施形態では、上記のように、フレキシブル配線基板３０３の発熱用配線部３２を、上側被覆部３３側の露出部３３６を介して導電性のねじ３３７によりベース部材５と電気的に接続する。これにより、導電性のねじ３３７により、露出部３３６とベース部材５とをより容易に電気的に接続することができる。
【００６８】
第３実施形態のその他の効果は、上記第２実施形態と同様である。
【００６９】
（第４実施形態）
次に、図１、図２、図９および図１０を参照して、第４実施形態について説明する。この第４実施形態では、平面視において（Ｚ２方向側から見て）、ＭＥＭＳミラー１に対応する位置のベース部材５の下面５ｂ（Ｚ２方向側の面）が平坦に形成された上記第１実施形態と異なり、ＭＥＭＳミラー１に対応する位置のベース部材４０５の下面５ｂ（Ｚ２方向側の面）が平坦部４５１と凹部４５２とから形成された例について説明する。なお、上記第１実施形態と同様の構成は、第１実施形態と同じ符号を付して図示するとともに説明を省略する。
【００７０】
第４実施形態によるＨＵＤ装置４００（図１および図２参照）では、図９および図１０に示すように、平面視において（Ｚ２方向から見て）、ベース部材４０５のＭＥＭＳミラー１が配置される位置に対応するベース部材４０５の領域には、平坦部４５１と平坦部４５１よりも厚みが薄くなる凹部４５２とが形成されている。平坦部４５１は、軸部１２ａおよび１２ｂと重なる位置に配置されるとともに、軸部１２ａおよび１２ｂに沿って軸線方向（Ｙ方向）に延びるように形成されている。凹部４５２は、軸線方向（Ｙ方向）に延びるように形成されるとともに、平坦部４５１に隣接して平坦部４５１を挟むように両側に配置されている。また、たとえば、ベース部材４０５の厚みは、約１ｍｍに設置され、凹部４５２の深さは、約０．５ｍｍ（約０．５ｍｍ以上）に設定されている。なお、ＨＵＤ装置４００は、本発明の「プロジェクタ」の一例である。
【００７１】
第４実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００７２】
第４実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００７３】
第４実施形態では、上記第１実施形態と同様に、ＭＥＭＳミラー１（２）を支持するベース部材４０５として導電性のベース部材４０５を設けるとともに、ベース部材４０５に電圧を印加することによりベース部材４０５を発熱させることによって、ベース部材４０５に対して直接電圧が印加されるので、簡易な構成でＭＥＭＳミラー１（２）の温度を上昇させることができる。
【００７４】
また、第４実施形態では、上記のように、平面視において、ベース部材４０５のＭＥＭＳミラー１（２）が配置される位置に対応する領域に、平坦部４５１と平坦部４５１よりも厚みが薄くなる凹部４５２とを形成し、平坦部４５１を、軸部１２ａおよび１２ｂに沿って軸線方向（Ｙ方向）に延びるように形成し、凹部４５２を、軸線方向（Ｙ方向）に延びるように形成するとともに、平坦部４５１に隣接して平坦部４５１を挟むように両側に配置する。これにより、凹部４５２と比べて平坦部４５１の方が軸部１２ａおよび１２ｂに直交する断面積が大きくなる（電気抵抗が小さくなる）ので、ＭＥＭＳミラー１（２）の軸部１２ａおよび１２ｂに対応するベース部材４０５の平坦部４５１に電流が流れやすくなり、効率的にベース部材４０５の軸部１２ａおよび１２ｂの温度を上昇させることができる。
【００７５】
第４実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００７６】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００７７】
たとえば、上記第１〜第４実施形態では、ＨＵＤ装置に本発明を適用した例を示したが、ＨＵＤ装置以外のプロジェクタに本発明を適用してもよい。
【００７８】
また、上記第１〜第４実施形態では、それぞれ、ベース部材とフレキシブル配線基板とを導電性接着剤、板ばねおよびねじにより、電気的に接続する例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、半田や銀ペーストにより電気的に接続してもよい。
【００７９】
また、上記第１〜第４実施形態では、それぞれ、フレキシブル配線基板を介してベース部材に電圧を印加する例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、ベース部材に電圧を印加するための電極を設けてベース部材に電圧を印加してもよい。
【００８０】
また、上記第１〜第４実施形態では、それぞれ、ベース部材を導電性物質を含有する導電性樹脂により形成する例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、ベース部材を金属で形成してもよい。
【００８１】
また、上記第１〜第４実施形態では、それぞれ、フレキシブル配線基板の上側被覆部または下側被覆部から発熱用配線部が露出する露出部を介してベース部材と電気的に接続する例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、フレキシブル配線基板の端部から露出する発熱用配線部を介してベース部材と電気的に接続してもよい。
【００８２】
また、上記第１〜第４実施形態では、水平走査用と垂直走査用との走査部を別々に設ける例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、水平走査用と垂直走査用との走査部を１つの走査部としてもよい。
【符号の説明】
【００８３】
１、２  ＭＥＭＳミラー（振動ミラー素子）
３、４、２０３、３０３  フレキシブル配線基板
５、６、４０５  ベース部材
１１  ミラー部
１２ａおよび１２ｂ  軸部
３１  駆動用配線部（第１配線部）
３２  発熱用配線部（第２配線部）
３３  上側被覆部
３４  下側被覆部
３６、２３６、３３６  露出部
３７  導電性接着剤
７１ａ〜７１ｃ  レーザ光源（光源部）
１００、２００、３００、４００  ＨＵＤ装置（プロジェクタ）
２３７  板ばね（接続部材）
３３７  ねじ（接続部材）
４５１  平坦部
４５２  凹部
【図１】
2015169822.tif 000003
【図２】
2015169822.tif 000004
【図３】
2015169822.tif 000005
【図４】
2015169822.tif 000006
【図５】
2015169822.tif 000007
【図６】
2015169822.tif 000008
【図７】
2015169822.tif 000009
【図８】
2015169822.tif 000010
【図９】
2015169822.tif 000011
【図１０】
2015169822.tif 000012