(57)【要約】【課題】鋼棒の端（端部ないし端面）を確実に検出することができ、生産性を向上することができる表面加工部品の製造方法および表面加工部品の製造装置を提供する。【解決手段】複数の鋼棒１１を軸方向に隙間なく並べた状態で軸方向に移動させながら鋼棒１１に焼入れ（表面加工）を部分的に行う。この場合、鋼棒１１には、移動工程と、検出工程と、焼入れ工程を経て、部分的に焼入部１２，１３が形成される。検出工程では、押圧ローラ装置２４により、軸方向への移動中の一の鋼棒１１の端部１１Ａを隣接する他の鋼棒１１の端部１１Ｂに対して径方向にずらし、一または他の鋼棒１１の端（端部１１Ａ，１１Ｂないしその端面）の通過を検出センサ２６により検出する。焼入れ工程では、検出センサ２６の検出結果に基づき、焼入れ装置２７により鋼棒１１への焼入れのタイミングを決定して部分的に焼入部１２，１３を形成する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の鋼棒を軸方向に隙間なく並べた状態で軸方向に移動させながら前記鋼棒の表面に加工を部分的に行う、表面加工部品の製造方法であって、
前記鋼棒を移動させる移動手段により前記鋼棒を軸方向に移動させる移動工程と、
前記移動手段の下流側または前記移動手段の途中に設けられ前記鋼棒を該鋼棒の径方向に付勢する付勢手段により、前記軸方向への移動中に該付勢手段に位置する一の鋼棒の端部を隣接する他の鋼棒の端部に対して前記鋼棒の径方向にずらし、前記一または他の鋼棒の端を検出手段により検出する検出工程と、
前記検出手段の検出結果に基づき、表面加工装置により前記鋼棒への表面加工のタイミングを決定して部分的に表面加工部を形成する表面加工工程と、
からなる表面加工部品の製造方法。
【請求項２】
前記表面加工は焼入れであることを特徴とする請求項１に記載の表面加工部品の製造方法。
【請求項３】
前記移動工程は、一対の回転ローラを有した前記移動手段により前記鋼棒を前記一対の回転ローラにより挟持して所定区間移動させるものであることを特徴とする請求項１または２に記載の表面加工部品の製造方法。
【請求項４】
前記検出工程では、前記鋼棒を前記付勢手段により付勢して前記鋼棒の径方向にずらし、ガイド手段により径方向にずれるときの案内をすることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の表面加工部品の製造方法。
【請求項５】
前記検出工程では、前記移動手段による挟持が解放された前記一の鋼棒の後方がずれることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の表面加工部品の製造方法。
【請求項６】
前記検出工程では、前記一の鋼棒の径方向にずれた端を検出することを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の表面加工部品の製造方法。
【請求項７】
前記表面加工工程の後、前記鋼棒の非表面加工部に塑性加工または切削加工を施す加工工程を行うことを特徴とする請求項１に記載の表面加工部品の製造方法。
【請求項８】
複数の鋼棒を軸方向に隙間なく並べた状態で軸方向に移動させながら前記鋼棒に表面加工を部分的に行う表面加工部品の製造装置であって、
前記鋼棒を該鋼棒の軸方向に移動させる移動手段と、
前記移動手段の下流側または前記移動手段の途中に設けられ前記鋼棒を径方向に付勢し、一の鋼棒の端部を隣接する他の鋼棒の端部に対して径方向にずらす付勢手段と、
前記付勢手段により径方向にずれた前記一または他の鋼棒の端を検出する検出手段と、
前記検出手段の検出結果に基づき表面加工のタイミングを決定して、前記鋼棒に部分的に表面加工部を形成する表面加工装置と、
からなる表面加工部品の製造装置。
【請求項９】
前記移動手段は、前記鋼棒を複数の回転ローラで上下に挟持するものであることを特徴とする請求項８に記載の表面加工部品の製造装置。
【請求項１０】
前記移動手段は、前記鋼棒を複数の回転ローラで側部を挟持するものであることを特徴とする請求項８に記載の表面加工部品の製造装置。
【請求項１１】
前記検出手段は、前記鋼棒が径方向にずれるときの案内をするガイド手段に取り付けられていることを特徴とする請求項８ないし１０のいずれかに記載の表面加工部品の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば油圧シリンダや油圧緩衝器等のシリンダ装置のロッド等、鋼棒（中空、中実を含む）に表面加工を部分的に行う表面加工部品の製造方法および表面加工部品の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車等の走行装置に設けられるシリンダ装置としての油圧緩衝器は、ピストンを内蔵したシリンダと、一端が該シリンダ内でピストンに連結され他端がロッドガイドを介してシリンダから伸縮可能に突出したロッドとにより大略構成されている。
【０００３】
ロッドの軸方向の途中位置には、その外周側に位置して環状のストッパ（リバウンドストッパ）が取付けられている。このストッパは、ロッドを伸長させたときにロッドガイドに当接することにより、ロッドの最伸長位置を規定するものである。この場合、ロッドの外周面に全周溝を形成し、この全周溝にストッパの一部を塑性変形させて押入れる、所謂メタルフロー結合により、ストッパをロッドに固定している。
【０００４】
このようなロッドの製造過程では、ロッドの素材（材料）となる鋼棒（鋼母材）に、焼入れを部分的に行っている。即ち、鋼棒のうち塑性加工や切削加工が施される部位、例えば鋼棒の両端や全周溝が形成される部位等を避けて、鋼棒に部分的に焼入部を形成することが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−２０９７０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
鋼棒に対して焼入れなどの表面加工を部分的に行う場合、表面加工を行う部位と表面加工を行わない部位とを特定するために、鋼棒の位置を検出する必要がある。特に、生産性の向上を図るべく、複数の鋼棒を軸方向に隙間なく並べた状態で軸方向に移動させながら鋼棒に表面加工を部分的に行う場合、例えば、軸方向に隣り合う鋼棒の同士の境目となる鋼棒の端（端部ないし端面）を確実に検出できることが望まれる。
【０００７】
本発明は、上述した従来技術の問題に鑑みなされたもので、本発明の目的は、鋼棒の端（端部ないし端面）を確実に検出することができ、生産性を向上することができる表面加工部品の製造方法および表面加工部品の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決するため、本発明は、複数の鋼棒を軸方向に隙間なく並べた状態で軸方向に移動させながら前記鋼棒の表面に加工を部分的に行う、表面加工部品の製造方法であって、前記鋼棒を移動させる移動手段により前記鋼棒を軸方向に移動させる移動工程と、前記移動手段の下流側または前記移動手段の途中に設けられ前記鋼棒を該鋼棒の径方向に付勢する付勢手段により、前記軸方向への移動中に該付勢手段に位置する一の鋼棒の端部を隣接する他の鋼棒の端部に対して前記鋼棒の径方向にずらし、前記一または他の鋼棒の端を検出手段により検出する検出工程と、前記検出手段の検出結果に基づき、表面加工装置により前記鋼棒への表面加工のタイミングを決定して部分的に表面加工部を形成する表面加工工程と、からなることを特徴としている。
【０００９】
また、本発明は、複数の鋼棒を軸方向に隙間なく並べた状態で軸方向に移動させながら前記鋼棒に表面加工を部分的に行う表面加工部品の製造装置であって、前記鋼棒を該鋼棒の軸方向に移動させる移動手段と、前記移動手段の下流側または前記移動手段の途中に設けられ前記鋼棒を径方向に付勢し、一の鋼棒の端部を隣接する他の鋼棒の端部に対して径方向にずらす付勢手段と、前記付勢手段により径方向にずれた前記一または他の鋼棒の端を検出する検出手段と、前記検出手段の検出結果に基づき表面加工のタイミングを決定して、前記鋼棒に部分的に表面加工部を形成する表面加工装置と、からなることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、複数の鋼棒を軸方向に隙間なく並べた状態で軸方向に移動させながら鋼棒に表面加工を部分的に行うときに、鋼棒の端（端部ないし端面）を確実に検出することができ、生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施の形態によるロッドを備えた油圧緩衝器を示す縦断面図である。
【図２】実施の形態による表面加工装置（焼入れ装置）を示す一部断面の側面図である。
【図３】鋼棒が押圧ローラ装置の付勢に基づいて径方向にずれたときの表面加工装置（焼入れ装置）を示す図２と同方向からみた一部断面の側面図である。
【図４】図２中の矢示IV−IV方向からみた拡大断面図である。
【図５】図２中の矢示Ｖ−Ｖ方向からみた拡大断面図である。
【図６】図３中の（VI）部を拡大して示す一部断面の側面図である。
【図７】実施の形態によるロッドの製造過程を（Ａ）から順に（Ｄ）まで示す工程図である。
【図８】変形例による表面加工装置（焼入れ装置）を示す一部断面の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態による表面加工部品の製造方法および表面加工部品の製造装置として、シリンダ装置のロッドに表面加工として焼入れを適用した場合を例に挙げ、図１ないし図７を参照しつつ詳細に説明する。
【００１３】
図１は、実施の形態による表面加工部品（焼入れ部品）の製造方法および製造装置によって表面加工としての焼入れが部分的に行われるロッド４を備えた油圧緩衝器１を示している。シリンダ装置としての油圧緩衝器１は、シリンダ２と、ピストン３と、ロッド（ピストンロッド）４と、ロッドガイド５とにより大略構成されている。
【００１４】
シリンダ２は、作動流体が封入され一端（図１の上端）が開口したものである。具体的には、シリンダ２は、内筒２Ａと外筒２Ｂとからなる二重筒構造をなし、その下部はボトムキャップ２Ｃによって閉塞されている。ピストン３は、シリンダ２の内筒２Ａ内に軸方向に摺動可能に挿嵌されてシリンダ２の内筒２Ａ内を２室に画成するものである。
【００１５】
焼入れ部品（表面加工部品）としてのロッド（ピストンロッド）４は、軸方向の一端（図１の上端）がシリンダ２の開口を介してシリンダ２の外部へ延出され、他端（図１の下端）がピストン３に連結されている。シール部材としてのロッドガイド５は、シリンダ２の開口に設けられ、ロッド４に対しスリーブ５Ａとシールリング５Ｂとを介して摺接（摺動）するものである。
【００１６】
ここで、ロッド４は、軸方向（図１の上，下方向）に延びる細長い円柱体（円柱棒、円筒管）として形成されている。この場合、ロッド４は、後述の製造方法によって形成されるものである。即ち、ロッド４は、中実または中空で横断面が円形状（円環状）の鋼材からなる鋼棒（鋼母材）１１（図２ないし図７参照）に部分的に焼入れ処理（表面加工処理）が施された焼入れ部品（表面加工部品）として形成されている。より具体的には、ロッド４は、鋼棒１１に、焼入れ処理（高周波焼入れ処理）、機械加工（塑性加工、切削加工、研削加工、研磨加工等）、めっき処理（硬質クロムめっき処理）、焼戻し処理等を施すことにより形成されている。
【００１７】
ロッド４は、それぞれが後述の焼入部１２，１３（図２，３，６，７参照）に対応する摺動部４Ａ、中間部４Ｂと、それぞれが後述の非焼入部１４，１５，１６（図２，３，６，７参照）に対応する一端取付部４Ｃ、他端取付部４Ｄ、加工部４Ｅとを有するものである。ロッド４のうち摺動部４Ａは、一端取付部４Ｃと加工部４Ｅとの間の部位となる。摺動部４Ａ（の外周面）は、油圧緩衝器１の伸長、縮小に伴って、ロッドガイド５のスリーブ５Ａおよびシールリング５Ｂと摺動する。
【００１８】
ロッド４のうち中間部４Ｂは、他端取付部４Ｄと加工部４Ｅとの間の部位となる。中間部４Ｂは、油圧緩衝器１の完成状態で、ピストン３とストッパ７との間に位置する。実施の形態では、ロッド４のうち加工部４Ｅの軸方向両側、即ち、摺動部４Ａと中間部４Ｂとに、それぞれ焼入れを施す（部分的に焼入れを行う）。
【００１９】
ロッド４の一端側（図１の上端側）は、摺動部４Ａおよび中間部４Ｂの外径よりも小径の外径を有する一端取付部４Ｃとなっている。一端取付部４Ｃは、例えば車両の車体側（図示せず）に取付けられる。一端取付部４Ｃは、切削加工等により小径に切削されると共に雌ねじが形成される部位となるため、焼入れは行わない。
【００２０】
ロッド４の他端側（図１の下端側）は、摺動部４Ａおよび中間部４Ｂの外径よりも小径の外径を有する他端取付部４Ｄとなっている。他端取付部４Ｄには、ピストン３が取付けられ、該ピストン３は、他端取付部４Ｄの先端側に螺合されたボルト６によりロッド４からの抜け止めが図られる。他端取付部４Ｄは、切削加工等により小径に切削されると共に雌ねじが形成される部位となるため、焼入れは行わない。
【００２１】
ロッド４のうち加工部４Ｅは、焼入部１２，１３に挟まれた部位、即ち、摺動部４Ａと中間部４Ｂとの間の部位となる。加工部４Ｅは、塑性加工または切削加工により全周溝４Ｅ１が形成されるため、焼入れは行わない。全周溝４Ｅ１には、ロッド４が大きく伸長したときにロッドガイド５に当接しそれ以上の伸長を規制するストッパ（リバウンドストッパ）７が、例えばメタルフロー結合等の結合手段によって取付けられている。
【００２２】
次に、油圧緩衝器１のロッド４の製造方法について、図７を参照しつつ説明する。
【００２３】
図１に示すロッド４は、図７の（Ａ）に示すような所定の長さに切断された中実または中空の鋼棒１１に、焼入れ処理、機械加工、めっき処理、焼戻し処理等を施すことにより形成されるものである。より具体的には、図７の（Ａ）に示す鋼棒１１は、図７の（Ｂ）に示す「焼入れ工程」、図７の（Ｃ）に示す「加工工程」、図７の（Ｄ）に示す「研ぎ工程」、これに続く図示しない「めっき工程」、「焼戻し工程」、「測定工程（検査工程）」等を順に経て、図１に示すロッド４として形成される。
【００２４】
図７の（Ｂ）に示す「焼入れ工程」は、図７の（Ａ）に示す鋼棒１１に対し、軸方向に離間した２箇所位置に、高周波焼入れによる焼入れを行い、部分的に焼入部１２，１３を形成する工程である。２箇所の焼入部１２，１３のうち一端側（図７の左端側）の焼入部１２は、ロッド４の完成状態で摺動部４Ａとなる部位に形成されている。一方、焼入部１２と軸方向に離間する別の焼入部１３、即ち、他端側（図７の右端側）の焼入部１３は、ロッド４の完成状態で中間部４Ｂとなる部位に形成されている。表面加工部としての焼入部１２，１３の両側は、それぞれ非表面加工部としての非焼入部１４，１５，１６となり、これら非焼入部１４，１５，１６は、ロッド４の完成状態でそれぞれ一端取付部４Ｃ、他端取付部４Ｄ、加工部４Ｅとなる。なお、「焼入れ工程」の詳しい説明は、後述する。
【００２５】
図７の（Ｂ）に示すように、鋼棒１１の２箇所に焼入部１２，１３を形成したら、図７の（Ｃ）に示す「加工工程」を行う。この「加工工程」は、鋼棒１１のうち２箇所の焼入部１２，１３の間に、塑性加工または切削加工を施すことにより、全周溝４Ｅ１を形成する工程である。この「加工工程」は、例えば、旋盤等を用いて切削工具（バイト）１７により全周溝４Ｅ１を形成する切削加工や、図示しない転造ローラを押付けて全周溝４Ｅ１を形成する塑性加工を採用することができる。この場合、２箇所の焼入部１２，１３の間、即ち、ロッド４の完成状態で加工部４Ｅとなる部位は、焼入れを行わない（非焼入部１５となっている）ので、全周溝４Ｅ１を形成するための塑性加工または切削加工を容易、かつ、安定して行うことができる。
【００２６】
また、図７の（Ｃ）に示す「加工工程」では、鋼棒１１の両端側に、例えば切削加工を施して当該部位を小径にすることにより、一端取付部４Ｃと他端取付部４Ｄとを形成する加工も行っている。この場合、鋼棒１１の両端側も、全周溝４Ｅ１を形成する部位と同様に焼入れを行わない（非焼入部１４，１６となっている）ので、一端取付部４Ｃおよび他端取付部４Ｄを形成する加工も容易、かつ、安定して行うことができる。
【００２７】
図７の（Ｃ）に示すように、全周溝４Ｅ１、一端取付部４Ｃ、他端取付部４Ｄの加工を行ったら、図７の（Ｄ）に示す「研ぎ工程」を行う。この「研ぎ工程」は、その後に行う「めっき工程」に先立って、めっきが施される部分の少なくとも一部、例えば鋼棒１１のうち全周溝４Ｅ１と他端取付部４Ｄとの間部分に対し、研削または研磨を行うものである。「研ぎ工程」は、例えば、研削盤を用いて砥石１８により表面を研削する研削加工や、研磨布紙、砥粒、研磨剤等を用いて表面を研磨する研磨加工を採用することができる。
【００２８】
これにより、めっきが施される前に、めっきが施される部位の表面粗さを平滑化することができ、この後の「めっき工程」で形成されるめっき層の仕上がり向上、めっき層の密着性（被膜性）の向上を図ることができる。なお、図７の（Ｄ）に示す「研ぎ工程」に続く、「めっき工程」、「焼戻し工程」、「測定工程（検査工程）」等については、例えば前述の特許文献１に記載されているため、これ以上の説明は省略する。
【００２９】
次に、鋼棒１１に焼入れを部分的に行う「焼入れ工程」について、図２ないし図６を参照しつつ説明する。
【００３０】
図２ないし図６には、複数の鋼棒１１を軸方向に隙間なく並べた状態で鋼棒１１を軸方向に移動させながら該鋼棒１１に焼入れ（表面加工）を部分的に行う焼入れ部品（表面加工部品）の製造装置２１（以下、製造装置２１という）を示している。製造装置２１は、フィードローラ装置２２と、押圧ローラ装置２４と、ガイド部材２５と、検出センサ２６と、焼入れ装置２７とを含んで構成されている。
【００３１】
移動手段としてのフィードローラ装置（鋼棒供給装置）２２は、鋼棒１１を該鋼棒１１の軸方向に移動させるものである。即ち、フィードローラ装置２２は、鋼棒１１の流れ方向の上流側から鋼棒１１を供給する（送り出す）ことにより、複数の鋼棒１１を軸方向に隙間なく並べた状態で軸方向に移動させるものである。フィードローラ装置２２は、鋼棒１１を軸方向に送る複数の回転ローラ（送りローラ）２２Ａと、該各回転ローラ２２Ａを回転可能に支持する基体２２Ｂと、各回転ローラ２２Ａを回転駆動するモータ（図示せず）とを含んで構成されている。
【００３２】
フィードローラ装置２２の基体２２Ｂには、例えば１０個の回転ローラ２２Ａが、上，下方向にそれぞれ５個ずつ対面して設けられている。即ち、フィードローラ装置２２の基体２２Ｂには、上下で一対の回転ローラ２２Ａが５組、合計１０個設けられている。これにより、フィードローラ装置２２は、鋼棒１１を複数の回転ローラ２２Ａで上下に挟持し、これら各回転ローラ２２Ａをモータで回転駆動することにより、鋼棒１１を軸方向に送り出す（押し出す）構成となっている。この場合、図４に示すように、回転ローラ２２Ａは、軸方向中間部が両端側に対して小径となった略鼓状のローラとして形成されている。
【００３３】
フィードローラ装置２２の基体２２Ｂは、軸方向に移動する鋼棒１１の上側に位置して回転ローラ２２Ａを支持する上側ローラ支持部２２Ｂ１と、鋼棒１１の下側に位置して回転ローラ２２Ａを支持する下側ローラ支持部２２Ｂ２とを有している。この場合、下側ローラ支持部２２Ｂ２は、上側ローラ支持部２２Ｂ１よりも鋼棒１１の進行方向（移動方向）の前側に延び、その前端は、後述する押圧ローラ装置２４の基体２４Ｃと接続されている。
【００３４】
下側ローラ支持部２２Ｂ２のうち回転ローラ２２Ａよりも下流側（鋼棒１１の進行方向の前側）には、軸方向に移動する鋼棒１１の下側に位置して複数（２個）の従動ローラ（アイドラローラ）２３が設けられている。各従動ローラ２３は、上下に対面する各回転ローラ２２Ａ間から送り出された鋼棒１１を、該鋼棒１１の進行方向となる軸方向前側に向けて案内するものである。この場合、各従動ローラ２３は、後述するガイド部材２５と上，下方向に対面している（回転ローラ２２Ａのように相手ローラと対面していない）。なお、従動ローラ２３も、回転ローラ２２Ａと同様に、略鼓状のローラとして形成されている。
【００３５】
付勢手段としての押圧ローラ装置２４は、フィードローラ装置２２の下流側に設けられている。より具体的には、押圧ローラ装置２４は、フィードローラ装置２２の最下流側の回転ローラ２２Ａよりも下流側（さらに、最下流側の従動ローラ２３よりも下流側）に位置して、ガイド部材２５と上，下方向に対面して設けられている。押圧ローラ装置２４は、図６に示すように、該押圧ローラ装置２４を通過する（押圧ローラ装置２４と対面する）鋼棒１１を径方向に付勢し、この通過する（対面する）一の鋼棒１１の端部１１Ａを隣接する他の鋼棒１１の端部１１Ｂに対して径方向にずらすものである。実施の形態では、押圧ローラ装置２４の付勢により、一の鋼棒１１の後方（鋼棒１１の進行方向に関して後側、移動方向の後側、上流側）を該鋼棒１１の進行方向に対して浮き上がらせる（上方にずらす）構成としている。
【００３６】
このために、押圧ローラ装置２４は、コイルばね等からなる弾性部材２４Ａと、鋼棒１１を進行方向に案内しつつ弾性部材２４Ａの弾性力に基づいて鋼棒１１を該鋼棒１１の径方向に押圧する押圧ローラ２４Ｂと、該押圧ローラ２４Ｂを弾性部材２４Ａを介して支持する基体２４Ｃとにより大略構成されている。
【００３７】
押圧ローラ装置２４の基体２４Ｃは、フィードローラ装置２２の基体２２Ｂ、即ち、上側ローラ支持部２２Ｂ１の前端と接続されている。これにより、フィードローラ装置２２の基体２２Ｂと押圧ローラ装置２４の基体２４Ｃとを一体的に形成している。なお、押圧ローラ２４Ｂも、従動ローラ２３および回転ローラ２２Ａと同様に、略鼓状のローラとして形成することができる。
【００３８】
ガイド手段としてのガイド部材２５は、鋼棒１１を挟んで押圧ローラ２４Ｂとは反対側となる位置、即ち、押圧ローラ装置２４により鋼棒１１が押圧される側に、該押圧ローラ装置２４（の押圧ローラ２４Ｂ）と対面（対向）して設けられている。ここで、ガイド部材２５は、鋼棒１１が径方向にずれるときの案内をするものである。
【００３９】
即ち、フィードローラ装置２２により軸方向に移動する鋼棒１１は、フィードローラ装置２２による挟持が開放されると、即ち、鋼棒１１の上流側の端部１１Ａが最下流側の回転ローラ２２Ａよりも下流側に進むことにより回転ローラ２２Ａの挟持から解放され、さらに、最下流側の従動ローラ２３よりも下流側に進むと、押圧ローラ装置２４の付勢により、一の鋼棒１１の後方（端部１１Ａ側）が浮き上がる（上方にずれる）。ガイド部材２５は、押圧ローラ装置２４の付勢（押圧ローラ２４Ｂの押圧）により径方向にずれた鋼棒１１のずれ量を、所定の範囲に規制する（径方向にずれた鋼棒１１が所定量以上径方向にすれるのを規制する）ものである。
【００４０】
このために、ガイド部材２５は、水平方向に延びる略板状の部材として形成され、押圧ローラ装置２４と対面する位置に、径方向にずれた鋼棒１１と当接する（受ける）凹部２５Ａが設けられている。この場合、鋼棒１１のずれ量に対応する凹部２５Ａの底部の位置は、後述する検出センサ２６により鋼棒１１の端（端部１１Ａ，１１Ｂないしその端面）の有無を検出できる位置まで鋼棒１１が変位するように設定する。具体的には、凹部２５Ａの底部の位置は、検出センサ２６の検出位置（検出部２６Ａと対向する位置）から一の鋼棒１１の端部１１Ａが押圧ローラ装置２４の付勢に基づいて外れるまで鋼棒１１が変位できるように設定することができる。
【００４１】
焼入れを行う鋼棒１１を、今まで焼入れを行っていたものとは異なる径寸法や長さ寸法のものに変えるときは、ガイド部材２５の位置を、これから焼入れを行う鋼棒１１の寸法に合せて調整する。これにより、段取り換え、即ち、今までに焼入れを行っていた鋼棒１１とは異なる寸法の鋼棒１１の焼入れを開始するときの製造装置２１のセッティングを、容易に行うことができる。
【００４２】
検出手段としての検出センサ（検出器）２６は、押圧ローラ装置２４とガイド部材２５との間に設けられている。検出センサ２６は、押圧ローラ装置２４により径方向にずれた一の鋼棒１１の端（端部１１Ａないしその端面）または他の鋼棒１１の端（端部１１Ｂないしその端面）の有無を検出するものである。検出センサ２６は、例えば、その検出部２６Ａに対面する位置に鋼棒１１があるか否かを検出することができる非接触式のセンサ（例えば、光センサ、超音波センサ、磁気センサ等）により構成することができる。
【００４３】
そして、検出部２６Ａは、例えば、押圧ローラ装置２４の付勢（押圧）に基づいて一の鋼棒１１の端部１１Ａが径方向にずれているときに、該鋼棒１１の端部１１Ａと対面（対向）せず、かつ、一の鋼棒１１の端部１１Ａが径方向にずれていないときに、該鋼棒１１と対面（対向）する位置に設けられている。この場合、検出センサ２６は、検出部２６Ａが鋼棒１１に対面している状態から対面していない状態になったとき（変化したとき）に、一の鋼棒１１の端（端部１１Ａないし端面）が通過したことを検出できる。また、検出センサ２６は、検出部２６Ａが鋼棒１１に対面していない状態から対面している状態になったとき（変化したとき）に、他の鋼棒１１の端（端部１１Ｂないし端面）が通過したことを検出することができる。いずれの場合も、鋼棒１１の端（端部１１Ａ，１１Ｂないしその端面）の通過を確実に検出することができる。
【００４４】
なお、検出センサ２６は、ガイド部材２５に取付ける構成とすることができる。この場合には、焼入れを行う鋼棒１１の径寸法や長さ寸法等に合せて、その寸法に対応する位置関係、寸法関係の検出センサ２６とガイド部材２５との組み合わせを、鋼棒１１の寸法毎に準備しておくことができる。そして、焼入れを行う鋼棒１１を今までとは異なる寸法のものに変えるときは、ガイド部材２５と共にこれに取付けられた検出センサ２６を、これから焼入れを行う鋼棒１１の寸法に合せたものに交換する。これにより、段取り換え、即ち、今までに焼入れを行っていた鋼棒１１とは異なる寸法の鋼棒１１の焼入れを開始するときの製造装置２１のセッティングを容易に行うことができる。
【００４５】
また、検出センサ２６は、例えば、ガイド部材２５の凹部２５Ａに一の鋼棒１１の端部１１Ａが当接したことを検出する荷重センサ等の接触式センサやスイッチを用いることもできる。即ち、検出センサ２６は、一の鋼棒１１の端（端部１１Ａないしその端面）または他の鋼棒１１の端（端部１１Ｂないしその端面）の有無を検出（端の通過の検出）をできるものであれば、各種のセンサ、スイッチを採用することができる。
【００４６】
さらに、実施の形態では、検出センサ２６（の検出部２６Ａ）は、押圧ローラ装置２４の付勢により径方向にずれる一の鋼棒１１のうち、浮き上がる（上方に変位する）側となる後方側（進行方向とは反対側となる後側、移動方向の後側、上流側）と対応する位置に設けている。これに対し、例えば、図３に二点鎖線で符号２６′を付して示すように、検出センサ２６′（の検出部２６Ａ′）を、径方向にずれる一の鋼棒１１のうち、沈み込む（下方に変位する）側となる前方側（進行方向側となる前側、移動方向の前側、下流側）と対応する位置に設けることもできる。さらには、一の鋼棒１１の後方側と前方側との両方に対応する位置に、それぞれ検出センサ２６（の検出部２６Ａ）を設けることもできる。
【００４７】
表面加工装置としての焼入れ装置２７は、検出センサ２６よりも鋼棒１１の流れ方向の下流側に設けられている。焼入れ装置２７は、例えば、鋼棒１１を全周にわたって囲む誘導加熱コイル２７Ａを備えた高周波焼入れ装置として構成されている。焼入れ装置２７は、検出センサ２６の検出結果に基づき焼入れのタイミング、即ち、誘導加熱コイル２７Ａに対する通電（ＯＮ）、非通電（ＯＦＦ）のタイミングを決定して、鋼棒１１に部分的に焼入部１２，１３を形成するものである。
【００４８】
即ち、焼入れ装置２７は、鋼棒１１のうち焼入部１２，１３を形成すべき部位が誘導加熱コイル２７Ａを通過しているときに該誘導加熱コイル２７Ａを通電状態（ＯＮ）とし、鋼棒１１のうち非焼入部１４，１５，１６とすべき部位が誘導加熱コイル２７Ａを通過しているときに該誘導加熱コイル２７Ａを非通電状態（ＯＦＦ）とする。このとき、誘導加熱コイル２７Ａの通電、非通電のタイミングは、例えば、検出センサ２６により一または他の鋼棒１１の端（端部１１Ａ，１１Ｂないしその端面）を検出してから（端の通過を検出してから）の経過時間により設定することができる。
【００４９】
この場合、焼入れ装置２７による焼入れのタイミング（誘導加熱コイル２７Ａの通電、非通電のタイミング）は、鋼棒１１の端（端部１１Ａ，１１Ｂないしその端面）の検出を確実に行うことができる検出センサ２６の検出結果に基づいて決定することができる。このため、焼入れ装置２７は、軸方向に移動する鋼棒１１に対し焼入部１２，１３を所望の位置に正確に形成することができる。
【００５０】
一方、焼入れ装置２７の上流側と下流側、即ち、焼入れ装置２７を挟んで鋼棒１１の進行方向の前側と後側には、それぞれ周方向回転ローラ２８と抑え板２９とが設けられている。周方向回転ローラ２８は、軸方向に進む鋼棒１１を周方向に回転させるものである。抑え板２９は、周方向回転ローラ２８により周方向に回転する鋼棒１１が周方向回転ローラ２８の間から上側に外れることを阻止する、即ち、周方向に回転する鋼棒１１を進行方向に案内するものである。
【００５１】
また、焼入れ装置２７の下流側には、焼入れ装置２７の誘導加熱コイル２７Ａ内を通過した鋼棒１１を冷却するシャワー３０が設けられている。周方向回転ローラ２８は、誘導加熱コイル２７Ａ内を通過する鋼棒１１を周方向に回転させることができ、これにより、焼入部１２，１３を鋼棒１１の周方向にわたって均一に形成することができる。
【００５２】
なお、実施の形態では、図３に示すように、押圧ローラ装置２４の付勢により、一の鋼棒１１の後方を浮き上がらせる（上方にずらす）と共に、前方を沈み込ませる（下方にずらす）構成としている。このために、押圧ローラ装置２４の付勢により一の鋼棒１１の後方が浮き上がった（径方向にずれた）ときの該一の鋼棒１１の前方（前端）に対応する位置から、周方向回転ローラ２８をずらして配置している。一方、一の鋼棒１１の後方が浮き上がったときの一の鋼棒１１の前方（前端）と対応する位置に、周方向回転ローラ２８を配置することにより、一の鋼棒１１の後方のみを浮き上がらせる、即ち、前方は進行方向にそのまま進みつつ後方だけが径方向にずれる構成とすることもできる。
【００５３】
実施の形態のように、押圧ローラ装置２４の付勢により一の鋼棒１１の前方と後方との両方が進行方向に対して径方向にずれる構成とした場合には、前方がずれない（後方だけがずれる）構成と比較して、一の鋼棒１１の後方のずれ量（径方向変位量）に対する一の鋼棒１１全体の傾斜角度（進行方向に対するずれ角）を大きくすることができる。これにより、一の鋼棒１１の後方のずれ量（径方向変位量）を抑えつつ、検出センサ２６による検出の確実性を向上することができる。この結果、複数の鋼棒１１を安定して軸方向に移動させることと検出の確実性とを両立することができる。
【００５４】
実施形態による製造装置２１は上述の如き構成を有するもので、以下、この製造装置２１を用いた製造方法について説明する。
【００５５】
実施の形態による製造方法は、複数の鋼棒１１を軸方向に隙間なく並べた状態で該鋼棒１１を軸方向に移動させながら該鋼棒１１に表面加工としての焼入れを部分的に行うもので、移動工程と、検出工程と、焼入れ工程とを有している。
【００５６】
移動工程では、鋼棒１１を移動させるフィードローラ装置２２により鋼棒１１を軸方向に移動させる。この移動工程では、上下で一対の回転ローラ２２Ａを有したフィードローラ装置２２により、鋼棒１１を一対の回転ローラ２２Ａにより挟持しつつ、該回転ローラ２２Ａの回転に基づいて、鋼棒１１を軸方向に所定区間移動させる。これにより、鋼棒１１は、検出センサ２６および焼入れ装置２７側に向けて進む。
【００５７】
続く検出工程では、押圧ローラ装置２４により、鋼棒１１の軸方向への移動中に該押圧ローラ装置２４に位置する一の鋼棒１１の端部１１Ａを隣接する他の鋼棒１１の端部１１Ｂに対して鋼棒１１の径方向にずらし、一または他の鋼棒１１の端（端部１１Ａ，１１Ｂないしその端面）の通過を検出センサ２６により検出する。この検出工程では、鋼棒１１を押圧ローラ装置２４により付勢して鋼棒１１の径方向にずらし、ガイド部材２５により鋼棒１１が径方向にずれるときの案内をする。即ち、径方向にずれた一の鋼棒１１は、ガイド部材２５の凹部２５Ａの底部と当接することにより、それ以上の径方向のずれ（上方への浮き上がり）が規制される。
【００５８】
このような検出工程では、フィードローラ装置２２による挟持が解放された一の鋼棒１１の後方がずれる構成としている。より具体的には、押圧ローラ装置２４の付勢により一の鋼棒１１の前方と後方との両方が、進行方向に対して径方向にずれる（前方が沈み込み後方が浮き上がる）構成としている。そして、検出工程では、一の鋼棒１１の径方向にずれた端の検出、具体的には、押圧ローラ装置２４の付勢により径方向にずれた一の鋼棒１１の後方の端（端部１１Ａないしその端面）の通過の検出、または、一の鋼棒１１に隣接する他の鋼棒１１の前方の端（端部１１Ｂないしその端面）の通過を検出する構成としている。これにより、鋼棒１１の端部１１Ａ，１１Ｂないしその端面の通過の検出を、検出センサ２６により確実に行うことができる。
【００５９】
続く表面加工工程としての焼入れ工程では、検出センサ２６の検出結果に基づき、焼入れ装置２７により鋼棒１１への焼入れ（表面加工）のタイミングを決定して部分的に焼入部１２，１３を形成する。この場合、焼入れのタイミングは、鋼棒１１の端（端部１１Ａ，１１Ｂないしその端面）の通過の検出を確実に行うことができる検出センサ２６の検出結果に基づいて決定する。このため、焼入れ装置２７は、軸方向に移動する鋼棒１１に対し、焼入部１２，１３を所望の位置に正確に形成することができる。さらに、図７の（Ｃ）に示すように、焼入れ工程の後は、鋼棒１１の非焼入部１４，１５，１６に塑性加工または切削加工を施す加工工程を行う。非焼入部１４，１５，１６は焼入れされていないため、塑性加工や切削加工等の機械加工を容易に行うことができる。
【００６０】
かくして、実施の形態によれば、複数の鋼棒１１を軸方向に隙間なく並べた状態で軸方向に移動させながら鋼棒１１に焼入れを部分的に行うときに、鋼棒１１の端部１１Ａ，１１Ｂないしその端面（の通過）を確実に検出することができ、生産性を向上することができる。
【００６１】
即ち、実施の形態によれば、軸方向に隙間なく並べた状態で軸方向に移動する複数の鋼棒１１のうち、押圧ローラ装置２４により径方向にずれた一の鋼棒１１または隣接する他の鋼棒１１の端部１１Ａ，１１Ｂないしその端面の有無を、検出センサ２６により検出する構成としている。これにより、鋼棒１１の端部１１Ａ，１１Ｂないしその端面の通過の検出を確実に行うことができる。そして、その検出センサ２６の検出結果に基づいて、焼入れ装置２７による焼入れのタイミングを決定するため、焼入れ装置２７は、軸方向に移動する鋼棒１１に対し焼入部１２，１３を所望の位置に正確に形成することができる。
【００６２】
この結果、ロッド４の生産性を向上することができる。具体的には、鋼棒１１を軸方向に隙間なく並べることによる生産量の増大（生産速度の向上）、鋼棒１１の端部１１Ａ，１１Ｂを検出し易くするための加工工程（例えば、鋼棒１１の端部１１Ａに面取り等の加工を施す工程）の省略による加工時間の短縮、焼入部１２，１３を正確に形成できることによる不良品の低減（歩留まり向上）等を図ることができる。
【００６３】
実施の形態によれば、移動工程は、一対の回転ローラ２２Ａを有したフィードローラ装置２２により鋼棒１１を一対の回転ローラ２２Ａにより挟持して所定区間移動させるものとしている。この場合、一対の回転ローラ２２Ａにより複数の鋼棒１１を軸方向に隙間なく並べた状態でこれら複数の鋼棒１１を軸方向に安定して移動させることができる。
【００６４】
実施の形態によれば、検出工程では、鋼棒１１を押圧ローラ装置２４により付勢して鋼棒１１の径方向にずらし、ガイド部材２５により径方向にずれるときの案内をする構成としている。この場合、押圧ローラ装置２４により鋼棒１１を径方向に安定してずらすことができる。これに加えて、径方向にずれた鋼棒１１がガイド部材２５の凹部２５Ａにより案内されることにより、検出センサ２６による一の鋼棒１１または隣接する他の鋼棒１１の端（端部１１Ａ，１１Ｂないしその端面）の有無の検出を安定して行うことができる。
【００６５】
実施の形態によれば、検出工程では、フィードローラ装置２２による挟持が解放された一の鋼棒１１の後方がずれる構成としている。即ち、押圧ローラ装置２４の付勢により一の鋼棒１１の後方が鋼棒１１の進行方向となる軸方向に対して径方向にずれる構成としている。これにより、一の鋼棒１１を進行方向に移動させつつ径方向に安定してずらすことができる。
【００６６】
実施の形態によれば、一の鋼棒１１の径方向にずれた端（端部１１Ａないしその端面）を検出する構成としている。即ち、押圧ローラ装置２４の付勢により径方向にずれた一の鋼棒１１の後方の端（端部１１Ａないしその端面）を検出する構成としている。このため、後方の端（端部１１Ａないしその端面）の有無（端が通過したこと）を検出センサ２６により検出することで、鋼棒１１の端部１１Ａないしその端面の検出の確実性を向上することができる。
【００６７】
実施の形態によれば、焼入れ工程の後、鋼棒１１の非焼入部１４，１５，１６に塑性加工または切削加工を施す加工工程を行う構成としている。この場合、非焼入部１４，１５，１６は焼入れされていないため、塑性加工または切削加工を容易に行うことができる。
【００６８】
実施の形態によれば、フィードローラ装置２２は、鋼棒１１を複数の回転ローラ２２Ａで上下に挟持する構成としている。この場合、鋼棒１１を上下に挟持する複数の回転ローラ２２Ａにより複数の鋼棒１１を軸方向に安定して移動させることができる。
【００６９】
実施の形態によれば、検出センサ２６は、鋼棒１１が径方向にずれるときの案内をするガイド部材２５に取り付ける構成としている。このため、今までに焼入れを行っていた鋼棒１１とは異なる寸法の鋼棒１１の焼入れを開始するときの製造装置２１のセッティング（段取り換え）を容易に行うことができる。
【００７０】
なお、上述した実施の形態では、移動手段としてのフィードローラ装置２２の下流側に、付勢手段としての押圧ローラ装置２４を設ける構成とした場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、図８に示す変形例のように、移動手段としてのフィードローラ装置３１を上流部３１Ａと下流部３１Ｂとの２つ（複数）に分離（分割）した構成とし、フィードローラ装置３１の途中（上流部３１Ａと下流部３１Ｂとの間）に押圧ローラ装置２４を設ける構成としてもよい。
【００７１】
上述した実施の形態では、移動手段としてのフィードローラ装置２２は、鋼棒１１を複数の回転ローラ２２Ａで上下に挟持する構成とした場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、移動手段（フィードローラ装置）は、鋼棒を複数の回転ローラで側部（例えば、左，右の側部）を挟持する構成としてもよい。変形例についても同様である。
【００７２】
上述した実施の形態では、鋼棒１１の２箇所に表面加工としての焼入れを行う（２箇所に焼入部１２，１３を形成する）構成とした場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、鋼棒の１箇所に焼入れを行う（例えば鋼棒の両端部を非焼入部としその間に焼入部を形成する）、または、３箇所以上の複数箇所に焼入れを行う構成としてもよい。変形例についても同様である。
【００７３】
上述した実施の形態では、鋼棒１１の横断面形状を円形とした場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、鋼棒の横断面形状は、例えば、円形以外の四角形、多角形としてもよい。変形例についても同様である。
【００７４】
上述した実施の形態では、付勢手段としての押圧ローラ装置２４による鋼棒１１の付勢を、弾性部材２４Ａの弾性力に基づいて行う構成とした場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、付勢手段による付勢は、鋼棒を該鋼棒の径方向に付勢できればよく、例えば、空気圧等の気体による圧力（ガスバネ）に基づいて行う構成等、各種の付勢手段を用いることができる。変形例についても同様である。
【００７５】
上述した実施の形態では、鋼棒１１の付勢（押圧）を、押圧ローラ２４Ｂを介して行う構成とした場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、圧縮空気等の付勢手段となる気体を鋼棒に直接吹きかけることにより鋼棒を径方向に付勢する構成等、鋼棒を付勢手段により直接付勢する構成としてもよい。
【００７６】
上述した実施の形態では、焼入れ部品として油圧緩衝器１に用いるロッド４に適用した場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、油圧シリンダ等の他のシリンダ装置に用いるロッドに適用してもよい。また、シリンダ装置のロッドに限らず、他の機械装置に組み込まれる焼入れ部品、より具体的には、部分的に焼入部が形成された焼入れ部品に適用してもよい。
【００７７】
上述した実施の形態では、表面加工として焼入れを行う場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、クロムめっきなどを行うめっき加工や、コーティング加工、塗装加工、切削加工など、部品の表面に部分的に表面処理加工を行うものに適用してもよい。
【００７８】
以上の実施の形態によれば、複数の鋼棒を軸方向に隙間なく並べた状態で軸方向に移動させながら鋼棒に表面加工（焼入れ）を部分的に行うときに、鋼棒の端（端部ないし端面）を確実に検出することができ、生産性を向上することができる。
【００７９】
即ち、実施の形態によれば、軸方向に隙間なく並べた状態で軸方向に移動する複数の鋼棒のうち、付勢手段により径方向にずれた一の鋼棒または隣接する他の鋼棒の端（の有無）を、検出手段により検出する構成としている。これにより、鋼棒の端の検出（例えば、端の通過の検出）を確実に行うことができる。そして、その検出手段の検出結果に基づいて、表面加工装置（焼入れ装置）による表面加工（焼入れ）のタイミングを決定するため、軸方向に移動する鋼棒に対し表面加工部（焼入部）を所望の位置に正確に形成することができる。
【００８０】
この結果、表面加工（焼入れ）を部分的に行う表面加工部品（焼入れ部品）の生産性を向上することができる。具体的には、鋼棒を軸方向に隙間なく並べることによる生産量の増大（生産速度の向上）、鋼棒の端を検出し易くするための加工工程（例えば、鋼棒の端部に面取り等の加工を施す工程）の省略による加工時間の短縮、表面加工部（焼入部）を正確に形成できることによる不良品の低減（歩留まり向上）等を図ることができる。
【００８１】
実施の形態によれば、移動工程は、一対の回転ローラを有した移動手段により鋼棒を一対の回転ローラにより挟持して所定区間移動させるものとしている。この場合、一対の回転ローラにより複数の鋼棒を軸方向に隙間なく並べた状態でこれら複数の鋼棒を軸方向に安定して移動させることができる。
【００８２】
実施の形態によれば、検出工程では、鋼棒を付勢手段により付勢して鋼棒の径方向にずらし、ガイド手段により径方向にずれるときの案内をする構成としている。この場合、付勢手段により鋼棒を径方向に安定してずらすことができる。これに加えて、径方向にずれた鋼棒がガイド手段により案内されることにより、検出手段による一の鋼棒または隣接する他の鋼棒の端（の有無）の検出を安定して行うことができる。
【００８３】
実施の形態によれば、検出工程では、移動手段による挟持が解放された一の鋼棒の後方がずれる構成としている。即ち、付勢手段の付勢により一の鋼棒の後方（進行方向の後側、移動方向の後側、上流側）が鋼棒の進行方向となる軸方向に対して径方向にずれる構成としている。これにより、一の鋼棒を進行方向に移動させつつ径方向に安定してずらすことができる。
【００８４】
実施の形態によれば、一の鋼棒の径方向にずれた端を検出する構成としている。即ち、付勢手段の付勢により径方向にずれた一の鋼棒の後方（進行方向の後側、移動方向の後側、上流側）の端または前方（進行方向の前側、移動方向の前側、下流側）の端を検出する構成としている。このため、後方の端の有無または前方の端の有無（端が通過したこと）を検出手段により検出することで、鋼棒の端の検出の確実性を向上することができる。この場合、後方の端の有無と前方の端の有無との両方を検出すれば、検出の確実性のさらなる向上を図ることもできる。
【００８５】
実施の形態によれば、表面加工工程（焼入れ工程）の後、鋼棒の非表面加工部（非焼入部）に塑性加工または切削加工を施す加工工程を行う構成としている。この場合、非表面加工部（非焼入部）は表面加工（焼入れ）されていないため、塑性加工または切削加工を容易に行うことができる。
【００８６】
実施の形態によれば、移動手段は、鋼棒を複数の回転ローラで上下に挟持する構成としている。この場合、鋼棒を上下に挟持する複数の回転ローラにより複数の鋼棒を軸方向に安定して移動させることができる。
【００８７】
実施の形態によれば、移動手段は、鋼棒を複数の回転ローラで側部を挟持する構成としている。この場合、鋼棒の側部を挟持する複数の回転ローラにより複数の鋼棒を軸方向に安定して移動させることができる。
【００８８】
実施の形態によれば、検出手段は、鋼棒が径方向にずれるときの案内をするガイド手段に取り付ける構成としている。このため、例えば、表面加工（焼入れ）を行う鋼棒の径寸法や長さ寸法等に合せて、その寸法に対応する位置関係、寸法関係の検出手段とガイド手段との組み合わせを、鋼棒の寸法毎に準備しておくことができる。そして、表面加工（焼入れ）を行う鋼棒を今までとは異なる寸法のものに変えるときは、ガイド手段と共にこれに取付けられた検出手段を、これから表面加工（焼入れ）を行う鋼棒の寸法に合せたものに交換する。これにより、今までに表面加工（焼入れ）を行っていた鋼棒とは異なる寸法の鋼棒の表面加工（焼入れ）を開始するときの段取り換えを容易に行うことができる。
【符号の説明】
【００８９】
１  油圧緩衝器（シリンダ装置）
４  ロッド
１１  鋼棒
１２，１３  焼入部（表面加工部）
１４，１５，１６  非焼入部（非表面加工部）
２１  製造装置（表面加工部品の製造装置）
２２，３１  フィードローラ装置（移動手段）
２４  押圧ローラ装置（付勢手段）
２５  ガイド部材（ガイド手段）
２６  検出センサ（検出手段）
２７  焼入れ装置（表面加工装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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