(57)【要約】【課題】組み立てに要する時間、および不具合の修理に要する時間を短縮する。【解決手段】検査対象基板５に規定された複数の検査ポイントに接触させられる複数の検査用接点２２を有する検査ヘッドユニット２と測定装置４との間に配設されて、複数の検査用接点２２のうちの任意の検査用接点２２を測定装置４の一対の出力端子４ａ，４ｂおよび一対の入力端子４ｃ，４ｄに選択的に切り替えて接続するスキャナ装置３であって、切替回路を備えた複数のスキャナカード３１が、同じ構成のカードラック４１の各々に同数ずつ収納された状態で、カードラック収納部５１に収納されている。【選択図】図１
2015099019.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象基板に規定された複数の検査ポイントに接触させられる複数の検査用接点を有する検査ヘッドユニットと測定装置との間に配設されて、前記複数の検査用接点のうちの任意の検査用接点を前記測定装置の測定用端子に選択的に切り替えて接続するスキャナ装置であって、
第１コネクタ、切替回路および第２コネクタを備え、当該切替回路を作動させることにより、当該第１コネクタの端子のうちから選択された端子を当該第２コネクタの端子のうちの予め規定された複数の端子のなかの任意の１つの端子に接続可能な複数のスキャナカードと、
前記第２コネクタと接続可能な予め規定された数の第３コネクタが表面に並設されると共に第４コネクタが裏面に配設され、かつ当該第４コネクタの各端子と当該第４コネクタの当該各端子に対応するすべての当該第３コネクタの端子とを接続する配線パターンが形成された第１バックボードを有して、当該第２コネクタ側から挿入されて当該第２コネクタが当該第３コネクタに接続された前記スキャナカードを前記第１コネクタが並列する状態で収納する複数のカードラックと、
前記第４コネクタと接続可能な予め規定された数の第５コネクタが表面に並設された第２バックボードを有して、当該第４コネクタ側から挿入されて当該第４コネクタが当該第５コネクタに接続された前記カードラックを着脱自在に収納するカードラック収納部とを備え、
前記カードラック収納部に収納されている前記カードラック内の前記スキャナカードにおける前記第１コネクタの前記端子が前記検査ヘッドユニットの前記複数の検査用接点に一対一で接続されている状態において、前記複数のスキャナカードに供給される制御信号に基づいて前記切替回路が作動することにより、当該検査用接点のうちの任意の検査用接点を、当該スキャナカード、当該カードラックおよび当該カードラック収納部を介して当該測定装置の前記測定用端子に接続するスキャナ装置。
【請求項２】
請求項１記載のスキャナ装置と、前記検査ヘッドユニットと、前記測定装置とを備えて、当該測定装置が、当該スキャナ装置によって切り替えられて前記測定用端子に接続された当該検査ヘッドユニットの前記検査用接点を介して接触させられている前記検査ポイントに発生する電気信号に基づいて前記検査対象基板の物理量を測定すると共に、当該測定された物理量に基づいて当該検査対象基板を検査する基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象基板に接触して検査ポイントで発生している電気信号を検出する検査ヘッドユニットと、この電気信号に基づいて検査対象基板における検査ポイントに対応する部位についての被測定量（例えば抵抗値や電圧値や電流値など）を測定する測定部との間に配設されて、検査ヘッドユニットから出力される電気信号を入力すると共にこの電気信号のうちの指定された電気信号を選択的に測定部に出力するスキャナ装置、およびこのスキャナ装置を備えた基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のスキャナ装置として、下記特許文献１に開示されたプリント基板検査装置に設けられているスキャナ装置が知られている。このスキャナ装置は、選択回路（切替回路）が設けられた複数のモジュール基板と、モジュール基板を所定の枚数ずつまとめて接続する複数のマザーボードとを備えて構成されて、絶縁物で構成されると共に被検査基板の測定点に対応する検査用接点が下面に格子状に取り付けられて被検査基板が加圧される基体（検査ヘッドユニットに対応するユニット）と、計測回路との間に配設されている。
【０００３】
各モジュール基板は、選択回路を構成するＩＣが実装されると共に、４つの辺のうちの１つの辺に１つのコネクタ（以下、第１コネクタともいう）が接続され、この１つの辺に対向する他の１つの辺に他の１つのコネクタ（以下、第２コネクタともいう）が接続されている。各モジュール基板は、第１コネクタの各端子が基体の対応する接続用接点（検査用接点に一対一で接続されて基体の上面から突出する接点）に直接接続された状態で基体の上面に対してほぼ直角な状態で、かつ並列された状態で保持されている。具体的には、各モジュール基板は、第１コネクタの各端子が基体の対応する接続用接点に差し込まれることにより、接続用接点を介して対応する検査用接点に電気的に接続されると共に、基体の上面において機械的に保持される。また、各モジュール基板は、第２コネクタを介して相互接続基板であるマザーボード（デコード回路を有するボード）に所定の枚数（同公報では３２枚分）ずつ接続されることによってまとめられて、この単位で外部接続線を介して計測回路に接続される。
【０００４】
このような構成を備えたスキャナ装置によれば、基体に配設されている複数の検査用接点のうちからモジュール基板の選択回路で選択された検査用接点のみを外部接続線に接続することができるため、外部接続線の組み立てに要する時間、および不具合の修理に要する時間を短縮し得る本数を著しく低減することが可能になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特公平７−７０３８号公報（第２−３頁、第１−５図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記のスキャナ装置には、以下のような解決すべき課題が存在している。すなわち、このスキャナ装置では、すべてのモジュール基板は、第１コネクタの各端子が基体の対応する接続用接点に個々に差し込まれることにより、基体の上面に機械的に保持されている。したがって、このスキャナ装置には、基体にモジュール基板を一枚ずつ接続しなければならないため、モジュール基板の基体への接続（つまり、スキャナ装置の組み立て）に時間がかかるという課題が存在している。また、モジュール基板に不具合が発生した場合において、この不具合の発生したモジュール基板を正常なモジュール基板と交換する際に、モジュール基板を一枚ずつ基体から取り外す作業が必要になるため、修理に時間がかかるという課題も存在している。
【０００７】
本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、組み立てに要する時間、および不具合の修理に要する時間を短縮し得るスキャナ装置、およびこのスキャナ装置を備えた基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく請求項１記載のスキャナ装置は、検査対象基板に規定された複数の検査ポイントに接触させられる複数の検査用接点を有する検査ヘッドユニットと測定装置との間に配設されて、前記複数の検査用接点のうちの任意の検査用接点を前記測定装置の測定用端子に選択的に切り替えて接続するスキャナ装置であって、第１コネクタ、切替回路および第２コネクタを備え、当該切替回路を作動させることにより、当該第１コネクタの端子のうちから選択された端子を当該第２コネクタの端子のうちの予め規定された複数の端子のなかの任意の１つの端子に接続可能な複数のスキャナカードと、前記第２コネクタと接続可能な予め規定された数の第３コネクタが表面に並設されると共に第４コネクタが裏面に配設され、かつ当該第４コネクタの各端子と当該第４コネクタの当該各端子に対応するすべての当該第３コネクタの端子とを接続する配線パターンが形成された第１バックボードを有して、当該第２コネクタ側から挿入されて当該第２コネクタが当該第３コネクタに接続された前記スキャナカードを前記第１コネクタが並列する状態で収納する複数のカードラックと、前記第４コネクタと接続可能な予め規定された数の第５コネクタが表面に並設された第２バックボードを有して、当該第４コネクタ側から挿入されて当該第４コネクタが当該第５コネクタに接続された前記カードラックを着脱自在に収納するカードラック収納部とを備え、前記カードラック収納部に収納されている前記カードラック内の前記スキャナカードにおける前記第１コネクタの前記端子が前記検査ヘッドユニットの前記複数の検査用接点に一対一で接続されている状態において、前記複数のスキャナカードに供給される制御信号に基づいて前記切替回路が作動することにより、当該検査用接点のうちの任意の検査用接点を、当該スキャナカード、当該カードラックおよび当該カードラック収納部を介して当該測定装置の前記測定用端子に接続する。
【０００９】
また、請求項２記載の基板検査装置は、請求項１記載のスキャナ装置と、前記検査ヘッドユニットと、前記測定装置とを備えて、当該測定装置が、当該スキャナ装置によって切り替えられて前記測定用端子に接続された当該検査ヘッドユニットの前記検査用接点を介して接触させられている前記検査ポイントに発生する電気信号に基づいて前記検査対象基板の物理量を測定すると共に、当該測定された物理量に基づいて当該検査対象基板を検査する。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載のスキャナ装置および請求項２記載の基板検査装置では、スキャナカードは、同じ構成のカードラックの各々に同数ずつ収納された状態で、カードラック収納部に収納されている。したがって、このスキャナ装置および基板検査装置によれば、このようなカードラックを予め作製しておくことで、カードラック収納部にカードラック単位でスキャナカードを着脱自在に収納することができるため、カードラック収納部へのスキャナカードの収納作業に要する時間（カードラック収納部の組み立てに要する時間）を大幅に短縮することができる。また、スキャナ装置に不具合が発生したときも、カードラック単位で交換して対処できるため、修理に要する時間についても大幅に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】検査ヘッドユニット２を分解した状態の基板検査装置１の斜視図である。
【図２】図１のスキャナ装置３の平面図である。
【図３】スキャナカード３１の収納状態でのカードラック４１の分解斜視図である。
【図４】スキャナカード３１の構成を説明するための構成図である。
【図５】スキャナカード３１の未収納状態でのカードラック４１の分解斜視図である。
【図６】カードラック４１の未収納状態でのカードラック収納部５１の斜視図である。
【図７】カードラック４１の未収納状態でのカードラック収納部５１の平面図である。
【図８】カードラック収納部５１内へのカードラック４１の収納手順を説明するためのカードラック収納部５１の斜視図である。
【図９】検査ヘッドユニット２とスキャナ装置３を連結した状態での基板検査装置１の構成を説明するための構成図である。
【図１０】連結した状態での検査ヘッドユニット２とスキャナ装置３との関係を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、スキャナ装置およびこのスキャナ装置を備えた基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１３】
最初に、基板検査装置の一例としての図１に示す基板検査装置１の構成について説明する。この基板検査装置１は、検査ヘッドユニット２、スキャナ装置３および測定装置４を備え、検査ヘッドユニット２に接触させられた検査対象基板５に対する電気的検査を実行可能に構成されている。
【００１４】
検査ヘッドユニット２は、図１に示すように、検査ヘッド１１、カバー１２、複数の受けピンボード１３およびベース板１４を備えている。検査ヘッド１１は、一例として、検査対象基板５に対向する１つの壁部２１ａ（同図中では上壁部）が電気的絶縁性を有する材料（合成樹脂材料など）で形成された筒状体（本例では一例として四角筒状体）のヘッド本体２１と、この壁部２１ａの表面に互いに電気的に絶縁された状態で取り付けられて、検査対象基板５に規定された不図示の複数の検査ポイントに接触させられる複数の検査用接点２２とを有している。本例では一例として、複数の検査用接点２２は、ｘ方向に沿ってｍ個並び、かつｙ方向に沿ってｎ個並んで（つまり、ｍ×ｎの格子状に）配列されている。
【００１５】
カバー１２は、一例として、１つの壁部１２ａ（同図中では上壁部）に貫通孔１２ｂが形成されると共に、この壁部１２ａと対向する面側（同図中では下面側）がほぼ全域に亘って開口する筒状体（本例では一例として四角筒状体）に形成されて、ベース板１４に形成された後述の複数の連通孔１４ａをすべて覆う状態でベース板１４の一面に取り付けられている。また、カバー１２は、その壁部１２ａにおける貫通孔１２ｂの形成部位に、貫通孔１２ｂを覆うように検査ヘッド１１が取り付けられることで、検査ヘッド１１の取付台としても機能する。
【００１６】
複数の受けピンボード１３は、電気的絶縁性を有する材料（合成樹脂材料など）を用いて、一例として平面視長方形（または平面視正方形）の同一形状に形成された平板体２３と、平板体２３の表裏（同図中の上面および下面）を貫通する状態で平板体２３に直角に配設された複数の受けピン２４とをそれぞれ備えている。各受けピンボード１３は、その周縁部がベース板１４に形成された連通孔１４ａの口縁部分に接触する状態で、連通孔１４ａを閉塞するようにしてベース板１４に取り付けられている。ベース板１４に取り付けられたすべての受けピンボード１３に配設された受けピン２４は、検査ヘッド１１の検査用接点２２に対応して、ｘ方向に沿ってｍ個並び、かつｙ方向に沿ってｎ個並んで（つまり、ｍ×ｎの格子状に）配列されている。また、各受けピン２４は、カバー１２の内部からカバー１２に形成された貫通孔１２ｂを経由してヘッド本体２１の内部に至る不図示の電線を介して、検査ヘッド１１の対応する検査用接点２２と一対一で接続されている。つまり、ｍ×ｎの格子状に配列されている複数の受けピン２４のうちのｉ×ｊ（ｉ：１〜ｍのうちの任意の数。ｊ：１〜ｎのうちの任意の数）の位置にある受けピン２４が、ｍ×ｎの格子状に配列されている複数の検査用接点２２のうちのｉ×ｊの位置にある検査用接点２２と接続されている。
【００１７】
本例では一例として、図１に示すように、受けピンボード１３は、ｘ方向に沿って３つ並べられ、ｙ方向に沿って２つ並べられて、合計６つ使用されている。したがって、１つの受けピンボード１３には、受けピン２４が、ｘ方向に沿って（ｍ／３）個並べられ、ｙ方向に沿って（ｎ／２）個並べられて、（ｍ／３）×（ｎ／２）の格子状に配列されている。
【００１８】
スキャナ装置３は、図１，２に示すように、複数のスキャナカード３１、複数のカードラック４１および１つのカードラック収納部５１を備え、同じ数ずつ分けて複数のカードラック４１に装着された複数のスキャナカード３１が、カードラック４１単位で１つのカードラック収納部５１に収容されて構成されている。
【００１９】
各スキャナカード３１は、図３，４に示すように、平面視方形に形成されると共に４つの辺のうちの１つの辺（同図中の下辺。下縁部）の一部が第２コネクタとしてのカードエッジコネクタ３３に形成されたカード本体３２、およびカード本体３２におけるカードエッジコネクタ３３に形成された辺に対向する他の辺（同図中の上辺。上縁部）に取り付けられた第１コネクタ３４を備えて、同一に構成されている。また、スキャナカード３１のカード本体３２には、図４に示すように、複数のスイッチＳＷ（ＳＷａ，ＳＷｂ，ＳＷｃ，ＳＷｄ，ＳＷ１１〜ＳＷ１ｋ，ＳＷ２１〜ＳＷ２ｋ，ＳＷ３１〜ＳＷ３ｋ，ＳＷ４１〜ＳＷ４ｋ）、および複数のスイッチＳＷと共に切替回路を構成して複数のスイッチＳＷのオン・オフ状態を制御する切替制御回路ＣＮＴが実装されている。
【００２０】
また、本例のスキャナカード３１では、一例として、カードエッジコネクタ３３の複数の端子のうちの一対の端子は、測定装置４における検査信号Ｓ１（例えば定電流信号）を出力する測定用端子としての一対の出力端子４ａ，４ｂのうちの第１出力端子４ａに接続される検査信号第１入力端子Ｐｉ１、および第２出力端子４ｂに接続される検査信号第２入力端子Ｐｉ２として規定されている。また、カードエッジコネクタ３３の複数の端子のうちの別の一対の端子は、測定装置４における検出信号Ｓ２（例えば電圧信号）を入力する測定用端子としての一対の入力端子４ｃ，４ｄのうちの第１入力端子４ｃに接続される検出信号第１出力端子Ｐｏ１、および第２入力端子４ｄに接続される検出信号第２出力端子Ｐｏ２として規定されている。
【００２１】
スイッチＳＷ１１〜ＳＷ１ｋ（ＳＷ１１，ＳＷ１２，ＳＷ１３，・・・，ＳＷ１ｋ）は、第１コネクタ３４の各端子３５のうちの任意の１つをスイッチＳＷａを介して検査信号第１入力端子Ｐｉ１に接続するためのスイッチであり、スイッチＳＷ２１〜ＳＷ２ｋ（ＳＷ２１，ＳＷ２２，ＳＷ２３，・・・，ＳＷ２ｋ）は、第１コネクタ３４の各端子３５のうちの任意の１つをスイッチＳＷｂを介して検査信号第２入力端子Ｐｉ２に接続するためのスイッチである。また、スイッチＳＷ３１〜ＳＷ３ｋ（ＳＷ３１，ＳＷ３２，ＳＷ３３，・・・，ＳＷ３ｋ）は、第１コネクタ３４の各端子３５のうちの任意の１つをスイッチＳＷｃを介して検出信号第１出力端子Ｐｏ１に接続するためのスイッチであり、スイッチＳＷ４１〜ＳＷ４ｋ（ＳＷ４１，ＳＷ４２，ＳＷ４３，・・・，ＳＷ４ｋ）は、第１コネクタ３４の各端子３５のうちの任意の１つをスイッチＳＷｄを介して検出信号第２出力端子Ｐｏ２に接続するためのスイッチである。
【００２２】
また、カードエッジコネクタ３３の複数の端子のうちの残りの端子は、測定装置４から出力される各種の制御信号Ｓｃｎｔを入力する制御端子Ｐｃｎｔとして規定されている。制御端子Ｐｃｎｔには、一例として、リセット信号を入力する１つのリセット端子、セット信号を入力する１つのセット端子、カードラック収納部５１に収容可能なスキャナカード３１の最大数と同数（またはそれ以上）のアドレスを指定可能なアドレスデータを入力するアドレス端子、スイッチＳＷａ〜ＳＷｄのうちのオン状態に移行させるスイッチを特定するための第１データを入力する第１データ端子、および第１コネクタ３４の各端子３５のうちの任意の１つを特定するための第２データを入力する第２データ端子が含まれている。
【００２３】
この場合、カードラック収納部５１に収容されたすべてのスキャナカード３１のリセット端子には、カードラック収納部５１の後述する第２バックボード５３などや、カードラック４１の第１バックボード４２などを介して制御信号Ｓｃｎｔとしての共通のリセット信号が測定装置４から供給されて、このリセット信号は切替制御回路ＣＮＴに入力される。また、すべてのスキャナカード３１のセット端子にも、リセット信号と同様にして測定装置４から制御信号Ｓｃｎｔとしての共通のセット信号が供給されて、このセット信号は切替制御回路ＣＮＴに入力される。また、すべてのスキャナカード３１のアドレス端子にも、リセット信号と同様にして測定装置４から制御信号Ｓｃｎｔとしての共通のアドレスデータが供給されて、このアドレスデータは切替制御回路ＣＮＴに入力される。また、すべての第１データ端子にも、リセット信号と同様にして測定装置４から制御信号Ｓｃｎｔとしての共通の第１データが供給され、またすべての第２データ入力端子にも、リセット信号と同様にして測定装置４から制御信号Ｓｃｎｔとしての共通の第２データが供給されて、この第１データおよび第２データは切替制御回路ＣＮＴに入力される。
【００２４】
一例として、測定装置４は、スイッチＳＷａ，ＳＷｂ，ＳＷｃ，ＳＷｄを示す４つの第１データを一定時間間隔で順次出力すると共に、スイッチＳＷａ，ＳＷｂ，ＳＷｃ，ＳＷｄにそれぞれ接続する第１コネクタ３４の各端子３５を示す第２データを対応する第１データに同期して順次出力し、かつスイッチＳＷａ，ＳＷｂ，ＳＷｃ，ＳＷｄをオン状態に移行させるスキャナカード３１を特定するためのアドレスデータについても対応する第１データに同期して順次出力する。
【００２５】
各スキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴが、第１データの出力タイミングに同期して入力するアドレスデータで示されるアドレスが例えばディップスイッチなどで予め指定された自カードのアドレスと一致するか否かを検出して、一致するアドレスを検出したときには、そのタイミングで出力されている第１データおよび第２データをアドレスデータに同期して入力するセット信号のタイミングで取得し、取得した第１データに基づいてスイッチＳＷａ〜ＳＷｄに対するオン・オフ制御を実行すると共に、取得した第２データに基づいてスイッチＳＷ１１〜ＳＷ１ｋ，ＳＷ２１〜ＳＷ２ｋ，ＳＷ３１〜ＳＷ３ｋ，ＳＷ４１〜ＳＷ４ｋのオン・オフ状態を制御する。
【００２６】
この切替制御回路ＣＮＴの動作について、例えば、測定装置４が、各スキャナカード３１のうちの１つのスキャナカード３１（この動作についての説明において「第１のスキャナカード３１」ともいう）に配設された第１コネクタ３４の各端子３５のうちの２つの端子３５を自らの第１出力端子４ａおよび第２入力端子４ｄにそれぞれ接続する端子として選択し、別の１つのスキャナカード３１に配設された第１コネクタ３４の各端子３５のうちの１つの端子３５を自らの第２出力端子４ｂに接続する端子として選択し、さらに別の１つのスキャナカード３１に配設された第１コネクタ３４の各端子３５のうちの１つの端子３５を自らの第１入力端子４ｃに接続する端子として選択して、第１データ、第２データおよびアドレスデータを出力したときの第１のスキャナカード３１での切替制御回路ＣＮＴの動作を例に挙げて説明する。
【００２７】
この第１のスキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴは、スイッチＳＷａ，ＳＷｄを示す２つの第１データの出力タイミングに同期して入力したアドレスデータで示されるアドレスが自カードのアドレスと一致していることを検出して、セット信号の入力タイミングで第１データおよび第２データを取得したときには、スイッチＳＷａを示す第１データに基づいてスイッチＳＷａをオン状態に移行させ、かつこの第１データに対応する第２データに基づいてスイッチＳＷ１１〜ＳＷ１ｋ，ＳＷ２１〜ＳＷ２ｋ，ＳＷ３１〜ＳＷ３ｋ，ＳＷ４１〜ＳＷ４ｋのオン・オフ状態を制御することにより、第１コネクタ３４の各端子３５のうちのこの第２データで特定される１つの端子３５をスイッチＳＷａに接続する（すなわち、オン状態のスイッチＳＷａを介して検査信号第１入力端子Ｐｉ１に接続する）。また、切替制御回路ＣＮＴは、スイッチＳＷｄを示す第１データに基づいてスイッチＳＷｄをオン状態に移行させ、かつこの第１データに対応する第２データに基づいてスイッチＳＷ１１〜ＳＷ１ｋ，ＳＷ２１〜ＳＷ２ｋ，ＳＷ３１〜ＳＷ３ｋ，ＳＷ４１〜ＳＷ４ｋのオン・オフ状態を制御することにより、第１コネクタ３４の各端子３５のうちのこの第２データで特定される他の１つの端子３５をスイッチＳＷｄに接続する（すなわち、オン状態のスイッチＳＷｄを介して検出信号第２出力端子Ｐｏ２に接続する）。
【００２８】
また、切替制御回路ＣＮＴは、リセット信号を入力したときには、取得した第１データおよび第２データをクリアすると共に、すべてのスイッチＳＷａ〜ＳＷｄ、スイッチＳＷ１１〜ＳＷ１ｋ，ＳＷ２１〜ＳＷ２ｋ，ＳＷ３１〜ＳＷ３ｋ，ＳＷ４１〜ＳＷ４ｋをオフ状態に制御する。
【００２９】
各スキャナカード３１の切替制御回路ＣＮＴが上記したように動作するため、測定装置４は、上記したように第１データ、第２データ、アドレスデータおよびセット信号をすべてのスキャナカード３１に出力することで、１つのカードラック収納部５１に収容されている複数のスキャナカード３１に設けられた第１コネクタ３４のすべての端子３５のうちの任意の１つを検査信号第１入力端子Ｐｉ１に接続し、他の任意の１つを検査信号第２入力端子Ｐｉ２に接続し、他の任意の１つを検出信号第１出力端子Ｐｏ１に接続し、かつ他の任意の１つを検出信号第２出力端子Ｐｏ２に接続することが可能になっている。また、測定装置４は、上記したようにリセット信号をすべてのスキャナカード３１に出力して、各スキャナカード３１内のすべてのスイッチＳＷａ〜ＳＷｄ、スイッチＳＷ１１〜ＳＷ１ｋ，ＳＷ２１〜ＳＷ２ｋ，ＳＷ３１〜ＳＷ３ｋ，ＳＷ４１〜ＳＷ４ｋをオフ状態に制御することで、検査ヘッドユニット２と測定装置４とを切り離すことが可能になっている。
【００３０】
各カードラック４１は、一例として、図３，５に示すように、第１バックボード４２、４本の支柱４３、平面視方形に形成された枠体４４および一対のカード押さえ板４５を備えて、同一に構成されている。第１バックボード４２は、一例として、平面視方形に形成された回路基板４２ａ、回路基板４２ａの一方の面（同図中の上面）に複数並設されてスキャナカード３１のカードエッジコネクタ３３が挿入される第３コネクタ４２ｂ、および回路基板４２ａの他方の面（同図中の下面）に設けられた第４コネクタ４２ｃを備えている。また、回路基板４２ａには、各第３コネクタ４２ｂの検査信号第１入力端子Ｐｉ１、検査信号第２入力端子Ｐｉ２、検出信号第１出力端子Ｐｏ１、検出信号第２出力端子Ｐｏ２および各制御端子Ｐｃｎｔと、第４コネクタ４２ｃの対応する端子とを接続する不図示の配線パターンが形成されている。
【００３１】
４本の支柱４３は、回路基板４２ａの一方の面における四隅に、回路基板４２ａに対して直角に立設されている。枠体４４は、四隅が４本の支柱４３の上端に連結されることで、支柱４３を介して回路基板４２ａに平行な状態で取り付けられている。また、枠体４４を構成する４つの縁材４４ａ，４４ｂ，４４ｃ，４４ｄのうちの第４コネクタ４２ｃの長さ方向（ｘ方向）と直交する一対の縁材４４ｃ，４４ｄは、上面が他の一対の縁材４４ａ，４４ｂの上面に対して凹むように形成されて、この凹んだ上面には、スキャナカード３１の第１コネクタ３４に形成された位置決め孔３４ａに挿入される位置決めピン４６が１列に並んで突設されている。
【００３２】
また、縁材４４ｂを除く他の縁材４４ａ，４４ｃ，４４ｄは、図２に示すように、平面視した状態での外縁が直線状に形成されている。一方、縁材４４ｂは、同図に示すように、平面視した状態での外縁が凸凹する形状に形成されている。また、この凸凹の形状は、同図に示すように、２つのカードラック４１をそれぞれの縁材４４ｂを対向させて並設したときに、一方のカードラック４１の縁材４４ｃ，４４ｄが他方のカードラック４１の縁材４４ｄ，４４ｃとそれぞれ一直線上に並んだ状態で、各縁材４４ｂの凸凹が互いに嵌まり合うと共に、各縁材４４ｂに形成された後述の各貫通孔４７および各位置決め孔４８がほぼ一直線上に並ぶように形成されている。なお、本例では、縁材４４ｂの平面視したときの外縁の形状を上記のよう凸凹形状とすることで、カードラック４１をカードラック収納部５１内に枠体４４の縁材４４ｂ同士を接触させて並列して収納したときの幅（２つのカードラック４１の縁材４４ｃ，４４ｄに沿った方向の幅）を狭し得ると共に、カードラック４１を収納する際に向きを間違えないようにし得るように構成しているが、この構成に限定されるものではなく、縁材４４ｂについても他の縁材４４ａ，４４ｃ，４４ｄのように外縁を直線状に形成してもよいのは勿論である。
【００３３】
また、縁材４４ａ，４４ｂには、図２，３，５に示すように、固定用のネジが挿入される貫通孔４７が２つずつ設けられている。また、縁材４４ｂには、カードラック４１をカードラック収納部５１に収納する際に使用される位置決め孔４８が一例として２つ形成されている（本例では、一方の位置決め孔４８は楕円形状に形成されているが、双方とも円形に形成することもできる）。
【００３４】
以上のように構成されたカードラック４１には、図３に示すように、第３コネクタ４２ｂと同数のスキャナカード３１がカードエッジコネクタ３３側から挿入されて、各スキャナカード３１は、カードエッジコネクタ３３が第３コネクタ４２ｂに挿入され、かつ第１コネクタ３４の各位置決め孔３４ａ内に位置決めピン４６が挿入されて、ｙ方向に並列する状態で収納（装着）される。これにより、同図に示すように、スキャナカード３１の第１コネクタ３４は、高さが揃えられ、かつ並列した状態で枠体４４内に配設される。このようにしてカードラック４１に収納された各スキャナカード３１は、同図に示すように、カードラック４１の縁材４４ｃ，４４ｄに固定ネジ６１によってカード押さえ４５を取り付けることにより、第１コネクタ３４の一端部が縁材４４ｃおよびカード押さえ４５で挟持され、かつ第１コネクタ３４の他端部が縁材４４ｄおよびカード押さえ４５で挟持される。
【００３５】
このようにして、スキャナカード３１がフル実装されたカードラック４１では、上記したように枠体４４内に並列されたすべての第１コネクタ３４から突出する各端子は、受けピンボード１３の受けピン２４に一対一で対応するように、受けピン２４の配列と同一に配列されている。つまり、カードラック４１に収納されたスキャナカード３１の第１コネクタ３４から突出する各端子は、図３に示すように、ｘ方向に沿って（ｍ／３）個並べられ、ｙ方向に沿って（ｎ／２）個並べられて、（ｍ／３）×（ｎ／２）の格子状に配列されている。また、本例では、図３に示すように、１つの第１コネクタ３４から突出する各端子は、一例として、第１コネクタ３４の幅方向（ｙ方向）に２列で配設されている。このため、カードラック４１に収納されるスキャナカード３１の数は、本例では（ｎ／４）個に規定されている。
【００３６】
カードラック収納部５１は、図６，７に示すように、少なくとも一方の面（同図中の上面）が開口するケース５２（本例では平面視方形に形成された底壁５２ａの４つの縁部に４つの側壁５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅが直角に立設されて構成された直方体状のケース）、ケース５２の内底面に取り付けられた第２バックボード５３、ケース５２内に配設されて（本例では一例として側壁５２ｂ，５２ｃと平行な状態で配設されて）ケース５２の内部領域を２分割する区画壁５４、および一例として各側壁５２ｂ，５２ｃの上面に配設されて、検査ヘッドユニット２のベース板１４と接触させられる受け台５５を備えている。
【００３７】
ケース５２の受け台５５は、図９，１０に示すように、検査ヘッドユニット２を、そのベース板１４を受け台５５に接触させた状態で不図示の固定具を用いてスキャナ装置３に連結したときに、図１０に示すように、カードラック４１に装着された各スキャナカード３１の第１コネクタ３４の各端子３５がベース板１４に装着された受けピンボード１３の受けピン２４のうちの対向する受けピン２４と直接一対一で電気的に接触するように、その厚みが調整されている。このため、本例では一例として、受け台５５は、積層された厚みの異なる２つの板体で構成されているが、この厚みを確保できる限り、板体の数は２つに限定されるものではなく、１つでもよいし、３つ以上であってもよい。
【００３８】
また、図６，７，８に示すように、側壁５２ｂ，５２ｃの上面における受け台５５の配設部位の内側の部位Ａであって、カードラック収納部５１内に装着されたカードラック４１の枠体４４における下面（本例では一例として図８に示すように縁材４４ａの下面）と当接する部位には、縁材４４ａに形成されている２つの貫通孔４７に対応してネジ孔５６が２つ形成されている。本例では一例として、カードラック収納部５１内における区画壁５４で分割された側壁５２ｂ側の領域内に、側壁５２ｂに沿ってカードラック４１が３つ収納されると共に、側壁５２ｃ側の領域内に、側壁５２ｃに沿ってカードラック４１が３つ収納される。このため、側壁５２ｂ，５２ｃの部位Ａには、ネジ孔５６が６つずつ形成されている。
【００３９】
また、カードラック収納部５１内に装着されたカードラック４１の枠体４４における下面（本例では一例として図６に示すように縁材４４ｂの下面）と当接する区画壁５４の上面には、縁材４４ｂに形成されている２つの貫通孔４７に対応してネジ孔５７が２つ形成されていると共に、縁材４４ｂに形成されている２つの位置決め孔４８に対応して位置決めピン５８が２つ突設されている。本例では上記したように、カードラック収納部５１内における区画壁５４で分割された側壁５２ｂ側の領域内および側壁５２ｃ側の領域内に、カードラック４１が３つずつ合計６つ収納される。このため、区画壁５４の上面には、ネジ孔５７が全部で１２個形成されると共に、位置決めピン５８が全部で１２個突設されている。また、本例では、上記したように、カードラック収納部５１内にカードラック４１が、各縁材４４ｂの凸凹が互いに嵌まり合う状態で収納されて、各縁材４４ｂに形成された各貫通孔４７および各位置決め孔４８がほぼ一直線上に並ぶように形成されているため、これに合わせて、区画壁５４の上面に形成されたすべてのネジ孔５７およびすべての位置決めピン５８がほぼ一直線上に並ぶように配設されている。
【００４０】
第２バックボード５３は、一例として、平面視方形に形成された回路基板５３ａ、回路基板５３ａにおけるカードラック収納部５１の内部領域に臨む内底面に設けられた第５コネクタ５３ｂ、および回路基板５３ａのこの面に設けられたインターフェース用コネクタ５３ｃ，５３ｄを備えている。各第５コネクタ５３ｂは、カードラック収納部５１内に装着されるカードラック４１の最大数と同数設けられて、装着されたカードラック４１の第１バックボード４２に設けられた第４コネクタ４２ｃに接続される。
【００４１】
この構成により、図８に示すように、カードラック４１を第１バックボード４２側からカードラック収納部５１内に挿入する際に、カードラック４１における枠体４４の縁材４４ａをケース５２の側壁５２ｂ，５２ｃのうちのいずれかの側壁の部位Ａ側に位置させ、かつ枠体４４の縁材４４ｂを区画壁５４側に位置させて、縁材４４ｂに形成されている一対の位置決め孔４８を区画壁５４に形成されている対応する一対の位置決めピン５８に挿入することで、カードラック収納部５１に対するカードラック４１の位置決めが行われて、縁材４４ａに形成されている貫通孔４７がケース５２の部位Ａに形成されているネジ孔５６に一致させられ、縁材４４ｂに形成されている貫通孔４７が区画壁５４に形成されているネジ孔５７に一致させられ、かつ第１バックボード４２に形成されている第４コネクタ４２ｃが第２バックボード５３に形成されている第５コネクタ５３ｂに正常に接続されることが可能になっている。また、カードラック収納部５１に収納された各カードラック４１は、図８に示すように、固定ネジ６２を枠体４４に形成された貫通孔４７に挿通させてカードラック収納部５１側のネジ孔５７に螺合させることで、カードラック収納部５１に固定される。また、各カードラック４１は、固定ネジ６２を緩めて取り外すことで、カードラック収納部５１から取り外すことが可能である。これにより、各カードラック４１は、カードラック収納部５１に着脱自在に収納可能になっている。
【００４２】
また、カードラック収納部５１にカードラック４１が収納された状態において、第５コネクタ５３ｂでは、各端子が、カードラック４１の第１バックボード４２に設けられた第４コネクタ４２ｃ、第１バックボード４２を構成する回路基板４２ａの配線パターン、および第１バックボード４２を構成する第３コネクタ４２ｂを介して、スキャナカード３１のカードエッジコネクタ３３における対応する端子（検査信号第１入力端子Ｐｉ１、検査信号第２入力端子Ｐｉ２、検出信号第１出力端子Ｐｏ１、検出信号第２出力端子Ｐｏ２および各制御端子Ｐｃｎｔ）と一対一で接続される。
【００４３】
また、第２バックボード５３には、各第５コネクタ５３ｂの端子のうちのスキャナカード３１の各制御端子Ｐｃｎｔに接続される各端子をインターフェース用コネクタ５３ｃの各制御信号Ｓｃｎｔに対応する端子に接続するための配線パターンが形成されている。また、第２バックボード５３には、各第５コネクタ５３ｂの端子のうちのスキャナカード３１の検査信号第１入力端子Ｐｉ１、検査信号第２入力端子Ｐｉ２、検出信号第１出力端子Ｐｏ１および検出信号第２出力端子Ｐｏ２に接続される各端子をインターフェース用コネクタ５３ｄの各検査信号Ｓ１および各検出信号Ｓ２に対応する端子に接続するための配線パターンが形成されている。
【００４４】
この基板検査装置１は、図９に示すように、上記のようにベース板１４のすべての連通孔１４ａに受けピンボード１３が装着された検査ヘッドユニット２を、この連通孔１４ａへの受けピンボード１３の装着状態に対応してカードラック４１がフル実装されたカードラック収納部５１上に連結し、かつカードラック収納部５１の各インターフェース用コネクタ５３ｃ，５３ｄに接続された各接続ケーブルＣＢ１（制御信号Ｓｃｎｔ用の接続ケーブル）および接続ケーブルＣＢ２（検査信号Ｓ１および検出信号Ｓ２用の接続ケーブル）を介してカードラック収納部５１と測定装置４とを接続して構成されている。
【００４５】
このように構成された基板検査装置１では、図９に示すように、検査ヘッド１１の検査用接点２２が検査対象基板５に規定された不図示の検査ポイントに接触させられている状態において、測定装置４が、例えば４端子法により、特定の一対の検査ポイント間の抵抗値を測定してこの特定の一対の検査ポイント間の検査を実行するときには、まず、制御信号Ｓｃｎｔとしてのリセット信号を接続ケーブルＣＢ１を介してカードラック収納部５１に出力する。このリセット信号は、カードラック収納部５１内の第２バックボード５３、各カードラック４１の第１バックボード４２を介してすべてのスキャナカード３１に供給される。これにより、すべてのスキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴが、リセット信号を入力して、第１データおよび第２データをクリアすると共に、すべてのスイッチＳＷａ〜ＳＷｄ、スイッチＳＷ１１〜ＳＷ１ｋ，ＳＷ２１〜ＳＷ２ｋ，ＳＷ３１〜ＳＷ３ｋ，ＳＷ４１〜ＳＷ４ｋをオフ状態に制御する。
【００４６】
次いで、測定装置４が、検査ヘッド１１の検査用接点２２および受けピン２４を介して一対の特定の検査ポイントのうちの一方の特定の検査ポイントに接続されているいずれかのスキャナカード３１の第１コネクタ３４における端子３５が測定装置４の第１入力端子４ｃに接続され、他方の特定の検査ポイントに接続されているいずれかのスキャナカード３１の第１コネクタ３４における端子３５が測定装置４の第２入力端子４ｄに接続され、この特定の検査ポイント間に検査信号Ｓ１を供給し得る一対の検査ポイント（特定の一対の検査ポイントでもよい）のうちの一方の検査ポイントに接続されているいずれかのスキャナカード３１の第１コネクタ３４における端子３５が測定装置４の第１出力端子４ａに接続され、かつこの一対の検査ポイントのうちの他方の検査ポイントに接続されているいずれかのスキャナカード３１の第１コネクタ３４における端子３５が測定装置４の第２出力端子４ｂに接続されるように、制御信号Ｓｃｎｔとしての第１データ、第２データ、アドレスデータおよびセット信号を接続ケーブルＣＢ１を介してカードラック収納部５１に出力する。
【００４７】
これにより、受けピン２４を介して一対の特定の検査ポイントのうちの一方の特定の検査ポイントに第１コネクタ３４の端子３５を接続するようにアドレスデータのアドレスで指定されたスキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴが、セット信号に同期して取得した第１データおよび第２データに基づいて、スイッチＳＷｃをオン状態に制御すると共に、各スイッチＳＷ１１〜ＳＷ１ｋ，ＳＷ２１〜ＳＷ２ｋ，ＳＷ３１〜ＳＷ３ｋ，ＳＷ４１〜ＳＷ４ｋのオン・オフ状態を制御することで、この指定された端子３５をオン状態に制御されたスイッチＳＷｃに接続する。また、受けピン２４を介して一対の特定の検査ポイントのうちの他方の特定の検査ポイントに第１コネクタ３４の端子３５を接続するようにアドレスデータのアドレスで指定されたスキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴが、セット信号に同期して取得した第１データおよび第２データに基づいて、スイッチＳＷｄをオン状態に制御すると共に、各スイッチＳＷ１１〜ＳＷ１ｋ，ＳＷ２１〜ＳＷ２ｋ，ＳＷ３１〜ＳＷ３ｋ，ＳＷ４１〜ＳＷ４ｋのオン・オフ状態を制御することで、この指定された端子３５をオン状態に制御されたスイッチＳＷｄに接続する。
【００４８】
また、受けピン２４を介して検査信号Ｓ１を供給する一対の検査ポイントのうちの一方の検査ポイントに第１コネクタ３４の端子３５を接続するようにアドレスデータのアドレスで指定されたスキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴが、セット信号に同期して取得した第１データおよび第２データに基づいて、スイッチＳＷａをオン状態に制御すると共に、各スイッチＳＷ１１〜ＳＷ１ｋ，ＳＷ２１〜ＳＷ２ｋ，ＳＷ３１〜ＳＷ３ｋ，ＳＷ４１〜ＳＷ４ｋのオン・オフ状態を制御することで、この指定された端子３５をオン状態に制御されたスイッチＳＷａに接続する。また、受けピン２４を介してこの一対の検査ポイントのうちの他方の特定の検査ポイントに第１コネクタ３４の端子３５を接続するようにアドレスデータのアドレスで指定されたスキャナカード３１では、切替制御回路ＣＮＴが、セット信号に同期して取得した第１データおよび第２データに基づいて、スイッチＳＷｂをオン状態に制御すると共に、各スイッチＳＷ１１〜ＳＷ１ｋ，ＳＷ２１〜ＳＷ２ｋ，ＳＷ３１〜ＳＷ３ｋ，ＳＷ４１〜ＳＷ４ｋのオン・オフ状態を制御することで、この指定された端子３５をオン状態に制御されたスイッチＳＷｂに接続する。
【００４９】
これにより、一対の特定の検査ポイントに接触している検査ヘッド１１の２つの検査用接点２２は、検査ヘッドユニット２、スキャナ装置３および接続ケーブルＣＢ２を介して測定装置４の一対の入力端子４ｃ，４ｄに接続され、この一対の特定の検査ポイント間に検査信号Ｓ１を供給する一対の検査ポイントに接触している検査ヘッド１１の２つの検査用接点２２は、検査ヘッドユニット２、スキャナ装置３および接続ケーブルＣＢ２を介して測定装置４の一対の出力端子４ａ，４ｂに接続される。測定装置４は、一対の出力端子４ａ，４ｂに検査信号Ｓ１（定電流信号）を出力しているときに、一対の入力端子４ｃ，４ｄ間で検出される検出信号Ｓ２（検査ポイント間に発生する電気信号としての電圧信号）を測定し、測定した検出信号Ｓ２の電圧値と、検査信号Ｓ１の電流値とに基づいて、検査対象基板５における一対の特定の検査ポイント間の抵抗値を測定し、かつ測定した抵抗値と予め規定された基準抵抗値とに基づいて、一対の特定の検査ポイント間の検査を実行する。
【００５０】
測定装置４は、上記したリセット信号の出力処理と、第１データ、第２データ、アドレスデータおよびセット信号の出力処理と、抵抗値の測定処理およびこの測定した抵抗値に基づく検査処理を、第１データ、第２データおよびアドレスデータで示されるアドレスを変更しつつ実行することで、検査対象基板５に規定されたすべての検査ポイント間の検査を実行する。
【００５１】
このように、このスキャナ装置３、およびこのスキャナ装置３を備えた基板検査装置１では、同じ構成のスキャナカード３１は、同じ構成のカードラック４１の各々に同数ずつ収納された状態で、カードラック収納部５１に収納されている。したがって、このスキャナ装置３および基板検査装置１によれば、このようなカードラック４１を予め作製しておくことで、カードラック収納部５１にカードラック４１単位でスキャナカード３１を着脱自在に収納することができるため、カードラック収納部５１へのスキャナカード３１の収納作業に要する時間（カードラック収納部５１の組み立てに要する時間）を大幅に短縮することができる。また、スキャナ装置３に不具合が発生したときも、カードラック４１単位で交換して対処できるため、修理に要する時間についても大幅に短縮することができる。
【００５２】
なお、上記の例では、検査ヘッド１１に設けられている検査用接点２２の数（ｍ×ｎ個）に対応させて、ベース板１４のすべての連通孔１４ａに受けピンボード１３を装着する（受けピンボード１３を６つ装着する）と共に、この受けピンボード１３の装着状態に対応して、カードラック４１をカードラック収納部５１にフル実装（６つ実装）する構成を採用しているが、検査ヘッド１１に設けられている検査用接点２２の数が少ない場合には、この数に対応させて、ベース板１４の一部の連通孔１４ａにのみ受けピンボード１３を装着すると共に、カードラック収納部５１におけるこの受けピンボード１３の装着位置に対応する位置にのみカードラック４１を収納（装着）する構成を採用することもできる。
【００５３】
また、上記のスキャナ装置３では、カードラック４１を２列に収納する構成とするため、カードラック収納部５１のケース５２内に区画壁５４を設ける構成を採用しているが、カードラック４１を１列で収納する構成のときには、区画壁５４を設けずに、ケース５２の側壁５２ｂ，５２ｃのうちの一方の上面における部位Ａにネジ孔５６を設けると共に、他方の上面における部位Ａにネジ孔５７および位置決めピン５８を設ける構成を採用することもできる。
【００５４】
また、上記の基板検査装置１では、４端子法に基づいて一対の検査ポイント間の抵抗値を測定し得るように、スキャナ装置３が測定装置４の一対の出力端子４ａ，４ｂおよび一対の入力端子４ｃ，４ｄに接続されるスキャナカード３１の第１コネクタ３４における端子３５を切り替えているが、２端子法に基づいて一対の検査ポイント間の抵抗値を測定し得るように、スキャナ装置３が測定装置４の一対の出力端子４ａ，４ｂおよび一対の入力端子４ｃ，４ｄに接続されるスキャナカード３１における第１コネクタ３４の端子３５を切り替えるようにすることもできる。
【００５５】
また、スキャナ装置３を検査対象基板５の一対の検査ポイント間の物理量としての抵抗値を測定することで、この検査ポイント間の検査を実行する基板検査装置１に適用しているが、抵抗値に代えて、容量値やインダクタンス値を物理量として測定して検査を実行する基板検査装置に適用してもよいのは勿論である。
【００５６】
また、上記の基板検査装置１では、すべてのカードラック４１が１つの測定装置４に接続される構成を採用しているが、２以上の測定装置に接続される構成を採用することもできる。また、測定装置４から出力される各種の制御信号Ｓｃｎｔについては、接続ケーブルＣＢ１を介してスキャナ装置３に供給する構成に代えて、光信号などを用いて他の経路からスキャナ装置３に供給する構成を採用することもできる。
【００５７】
また、上記のカードラック４１では、支柱４３を一定長の１本の棒で構成しているが、伸縮可能な構造として、スキャナカード３１の長さや、カードラック収納部５１の高さに合わせてカードラック４１の高さを変更し得るように構成することもできる。この場合、スキャナカード３１はフレキシブル基板であることが好ましい。
【符号の説明】
【００５８】
１  基板検査装置
２  検査ヘッドユニット
３  スキャナ装置
４  測定装置
４ａ，４ｂ  出力端子
４ｃ，４ｄ  入力端子
２２  検査用接点
３１  スキャナカード
３３  カードエッジコネクタ
３４  第１コネクタ
４１  カードラック
４２  第１バックボード
４２ｂ  第３コネクタ
４２ｃ  第４コネクタ
５１  カードラック収納部
５３  第２バックボード
５３ｂ  第５コネクタ
５３ｃ，５３ｄ  インターフェース用コネクタ
【図１】
2015099019.tif 000003
【図２】
2015099019.tif 000004
【図３】
2015099019.tif 000005
【図４】
2015099019.tif 000006
【図５】
2015099019.tif 000007
【図６】
2015099019.tif 000008
【図７】
2015099019.tif 000009
【図８】
2015099019.tif 000010
【図９】
2015099019.tif 000011
【図１０】
2015099019.tif 000012