(57)【要約】【課題】ダイシング工程においてハンドリング性に優れ、かつ被切断物のダイシング時に発生するダイシング屑が発生する可能性が低減されており、さらにエキスパンド工程において基材の破断が生じる可能性も低減されているダイシングシート用の基材、およびこの基材を備えたダイシングシートを提供する。【解決手段】樹脂層（Ａ）と、樹脂層（Ａ）の一方の面上に積層された樹脂層（Ｂ）とを備えたダイシングシート用基材フィルム２であって、樹脂層（Ａ）は、２３℃における引張弾性率が１０００ＭＰａ以下であって、ノルボルネン系化合物に由来する構成単位を少なくとも一種有する樹脂であるノルボルネン系樹脂（ａ１）およびプロピレン系重合体に基づく樹脂であるポリプロピレン系樹脂（ａ２）を含み、樹脂層（Ｂ）は、２３℃における引張弾性率が５０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下であって、破断伸度が１００％以上である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂層（Ａ）と、前記樹脂層（Ａ）の一方の面上に積層された樹脂層（Ｂ）とを備えたダイシングシート用基材フィルムであって、
前記樹脂層（Ａ）は、２３℃における引張弾性率が１０００ＭＰａ以下であって、ノルボルネン系化合物に由来する構成単位を少なくとも一種有する樹脂であるノルボルネン系樹脂（ａ１）およびプロピレン系重合体に基づく樹脂であるポリプロピレン系樹脂（ａ２）を含み、
前記樹脂層（Ｂ）は、２３℃における引張弾性率が５０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下であって、破断伸度が１００％以上であることを特徴とするダイシングシート用基材フィルム。
【請求項２】
前記樹脂層（Ａ）中の全樹脂成分における前記ポリプロピレン系樹脂（ａ２）の含有量は、１質量％以上６０質量％以下であることを特徴とする請求項１に記載のダイシングシート用基材フィルム。
【請求項３】
前記樹脂層（Ａ）は、前記ポリプロピレン系樹脂（ａ２）よりも２３℃における引張弾性率が低い樹脂である低弾性樹脂（ａ３）をさらに含有する、請求項１または２に記載のダイシングシート用基材フィルム。
【請求項４】
前記低弾性樹脂（ａ３）は、２３℃における引張弾性率が５０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下である樹脂である、請求項３に記載のダイシングシート用基材フィルム。
【請求項５】
前記低弾性樹脂（ａ３）は、ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）である、請求項３または４に記載のダイシングシート用基材フィルム。
【請求項６】
前記樹脂層（Ａ）の全樹脂成分における、
前記ノルボルネン系樹脂（ａ１）の含有量が３質量％以上６０質量％以下、
前記ポリプロピレン系樹脂（ａ２）の含有量が１質量％以上６０質量％以下、かつ
前記低弾性樹脂（ａ３）の含有量が３０質量％以上９６質量％以下
である、請求項３から５のいずれか一項に記載のダイシングシート用基材フィルム。
【請求項７】
前記ポリプロピレン系樹脂（ａ２）の前記プロピレン系重合体はブロック共重合体である、請求項１から６のいずれか一項に記載のダイシングシート用基材フィルム。
【請求項８】
前記樹脂層（Ｂ）はオレフィン系樹脂を含む、請求項１から７のいずれか一項に記載のダイシングシート用基材フィルム。
【請求項９】
前記基材フィルムの２３℃における引張弾性率が７０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下である、請求項１から８のいずれか一項に記載のダイシングシート用基材フィルム。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれかに記載されるダイシング用基材フィルムと、当該フィルムの前記樹脂層（Ａ）側の面に積層された粘着剤層とを備えたことを特徴とするダイシングシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ等の被切断物を素子小片に切断分離する際に、当該被切断物が貼付されるダイシングシートおよび当該ダイシングシートに用いられる基材フィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
シリコン、ガリウムヒ素などの半導体ウェハおよび各種パッケージ類（以下、これらをまとめて「被切断物」と記載することがある。）は、大径の状態で製造され、これらは素子小片（以下、「チップ」と記載する。）に切断分離（ダイシング）される。
【０００３】
このダイシング工程に付される被切断物は、ダイシング工程およびそれ以降の工程における被切断物およびチップの取扱性の確保を目的として、基材フィルムおよびその上に設けられた粘着剤層を備えるダイシングシートが、切断のための切削工具が近接する側と反対側の被切断物表面にあらかじめ貼り付けられている。このようなダイシングシートは、通常、基材フィルムとしてポリオレフィン系フィルムまたはポリ塩化ビニル系フィルム等が使用されている。
【０００４】
ダイシング工程の具体的な手法として一般的なフルカットダイシングでは、回転する丸刃によって被切断物の切断が行われる。フルカットダイシングにおいては、ダイシングシートが貼り付けられた被切断物が全面にわたって確実に切断されるように、被切断物の厚みを超えて粘着剤層も切断され、さらに基材フィルムの一部も切断される場合がある。
【０００５】
このとき、粘着剤層および基材フィルムを構成する材料からなるダイシング屑がダイシングシートから発生し、得られるチップがそのダイシング屑によって汚染される場合がある。そのようなダイシング屑の形態の一つに、ダイシングライン上、またはダイシングにより分離されたチップの断面付近に付着する、糸状のダイシング屑がある。
【０００６】
上記のような糸状のダイシング屑がチップに付着したままチップの封止を行うと、チップに付着する糸状のダイシング屑が封止の熱で分解し、この熱分解物がパッケージを破壊したり、得られるデバイスにて動作不良の原因となったりする。この糸状のダイシング屑は洗浄により除去することが困難であるため、糸状のダイシング屑の発生によってダイシング工程の歩留まりは著しく低下する。それゆえ、ダイシングシートを用いてダイシングを行う場合には、糸状のダイシング屑の発生を防止することが求められている。
【０００７】
また、特に、複数のチップが硬化した樹脂で封止されているＢＧＡ型パッケージを被切断物としてダイシングする場合には、半導体ウェハをダイシングする場合と比べ、より厚い刃幅のダイシングブレードが使用され、ダイシングの切り込み深さもより深くなる。このため、ダイシング時に切断除去される基材フィルム量が半導体ウェハの場合よりも増えるため、糸状のダイシング屑の発生量も増加する傾向にある。
【０００８】
このようなダイシング屑の発生を抑制することを目的として、特許文献１には、ダイシングシートの基材フィルムとして、電子線またはγ（ガンマ）線が１〜８０Ｍｒａｄ照射されたポリオレフィン系フィルムを用いる発明が開示されている。当該発明では、電子線またはγ線の照射により基材フィルムを構成する樹脂が架橋し、ダイシング屑の発生が抑制されると考えられる。
【０００９】
特許文献１においては、電子線またはγ線が照射されるポリオレフィン系フィルムとして、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−メチル（メタ）アクリル酸エステル共重合体、エチレン−エチル（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−アイオノマー共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、ポリブテン等の樹脂が例示されている。なお、本明細書における「（メタ）アクリル酸」は、アクリル酸およびメタクリル酸の総称である。他の類似語も同様である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平５−２１１２３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、電子線またはγ線の照射は、上記のような樹脂を一度フィルム状に成形した後に行われるため、製造工程が一つ増えることととなり、製造コストが一般の基材フィルムに比べ高くなる傾向にある。また、基材フィルムを構成する樹脂を架橋させたことに伴い、樹脂の機械的特性が低下し、エキスパンド工程において基材が破断する可能性が高まってしまうという問題もあった。
【００１２】
本発明は、上記のような実状に鑑みてなされたものであり、電子線やγ線などの物理的なエネルギーを与えることなく、被切断物のダイシング時に発生するダイシング屑、特に糸状のダイシング屑が発生する可能性が低減されており、しかもダイシング工程におけるハンドリング性に優れ、さらにエキスパンド工程において基材の破断が生じる可能性も低減されているダイシングシート用の基材、およびこの基材を備えたダイシングシートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明は、第１に、樹脂層（Ａ）と、前記樹脂層（Ａ）の一方の面上に積層された樹脂層（Ｂ）とを備えたダイシングシート用基材フィルムであって、前記樹脂層（Ａ）は、２３℃における引張弾性率が１０００ＭＰａ以下であって、ノルボルネン系化合物に由来する構成単位を少なくとも一種有する樹脂であるノルボルネン系樹脂（ａ１）およびプロピレン系重合体に基づく樹脂であるポリプロピレン系樹脂（ａ２）を含み、前記樹脂層（Ｂ）は、２３℃における引張弾性率が５０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下であって、破断伸度が１００％以上であることを特徴とするダイシングシート用基材フィルムである（発明１）。
【００１４】
本明細書において「ダイシングシート」には、ダイシング・ダイボンディングシートも含まれるものとし、また、本発明における「シート」には、「テープ」の概念も含まれるものとする。
【００１５】
本明細書において「ノルボルネン系樹脂（ａ１）」とは、ノルボルネン系化合物に由来する構成単位を少なくとも一種含む重合体に基づく樹脂であり、本明細書において「ノルボルネン系化合物」とは、ノルボルネンおよびノルボルネンに係るビシクロ環を含む環状構造を有する化合物（例えばジシクロペンタジエン）、ならびにこれらの誘導体からなる群から選ばれる一種または二種以上の化合物を意味する。
【００１６】
本明細書において「ポリプロピレン系樹脂（ａ２）」とは、ノルボルネン系化合物に由来する構成単位を実質的に含まず、プロピレンに由来する構成単位を有する重合体（本明細書において「プロピレン系重合体」ともいう。）に基づく樹脂を意味する。なお、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）を構成する重合体は、プロピレンに由来する構成単位の当該重合体内の質量比率が７５質量％以上であることが好ましい。
【００１７】
上記発明（発明１）によれば、樹脂層（Ａ）にはノルボルネン系樹脂（ａ１）に基づく相とポリプロピレン系樹脂（ａ２）に基づく相との相分離構造を有する。したがって、ダイシング工程において樹脂層（Ａ）が切断された際にダイシング屑が生じにくい。また、上記発明（発明１）に係るダイシングシートは、その基材が樹脂層（Ａ）と樹脂層（Ｂ）とを備えるため、ダイシング工程によって樹脂層（Ａ）が切断された後にエキスパンド工程に供されても、基材の破断などの問題が発生しにくい。しかも、基材の樹脂層（Ｂ）の引張弾性率が適切な範囲に制御されているため、ダイシングシートのハンドリング性が低下しにくい。
【００１８】
上記発明（発明１）において、前記樹脂層（Ａ）中の全樹脂成分における前記ポリプロピレン系樹脂（ａ２）の含有量は、１質量％以上６０質量％以下であることが好ましい（発明２）。ポリプロピレン系樹脂（ａ２）の含有量が上記の範囲にある場合には、樹脂層（Ａ）の２３℃における引張弾性率を前述の範囲に設定することが容易となり、エキスパンド工程において基材が破断する可能性をより安定的に低減させることができる。
【００１９】
上記発明（発明１，２）において、前記樹脂層（Ａ）は、前記ポリプロピレン系樹脂（ａ２）よりも２３℃における引張弾性率が低い樹脂である低弾性樹脂（ａ３）をさらに含有することが好ましい（発明３）。低弾性樹脂（ａ３）を含有する場合には、樹脂層（Ａ）の２３℃における引張弾性率を前述の範囲に設定することが容易となり、エキスパンド工程において基材が破断する可能性をより安定的に低減させることができる。
【００２０】
上記発明（発明３）において、前記低弾性樹脂（ａ３）は、２３℃における引張弾性率が５０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下である樹脂であることが好ましい（発明４）。低弾性樹脂（ａ３）がかかる特性を有する場合には、樹脂層（Ａ）の２３℃における引張弾性率を前述の範囲に設定することがさらに容易となってエキスパンド工程において基材が破断する可能性を特に安定的に低減させることができる上に、ダイシングシートのハンドリング性が低下する可能性もより安定的に低減させることができる。
【００２１】
上記発明（発明３，４）において、前記低弾性樹脂（ａ３）は、ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）であることが好ましい（発明５）。本明細書において「ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）」とは、低弾性樹脂（ａ３）の一種であって、エチレンに由来する構成単位を有する重合体（本明細書において「エチレン系重合体」ともいう。）に基づく樹脂を意味する。低弾性樹脂（ａ３）が、ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）である場合には、ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）はノルボルネン系樹脂（ａ１）と相分離構造を形成しやすい。ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）を構成する重合体は、エチレンに由来する構成単位の当該重合体内の質量比率が７０質量％以上であることが好ましい。この場合には、上記の相分離構造がより安定的に形成される。
【００２２】
上記発明（発明３から５）において、前記樹脂層（Ａ）の全樹脂成分における、前記ノルボルネン系樹脂（ａ１）の含有量が３質量％以上６０質量％以下、前記ポリプロピレン系樹脂（ａ２）の含有量が１質量％以上６０質量％以下、かつ前記低弾性樹脂（ａ３）の含有量が３０質量％以上９６質量％以下であることが好ましい（発明６）。樹脂層（Ａ）の樹脂成分がこのような組成を有する場合には、樹脂層（Ａ）の２３℃における引張弾性率を前述の範囲に制御することが容易となる。
【００２３】
上記発明（発明１から６）において、前記ポリプロピレン系樹脂（ａ２）の前記プロピレン系重合体はブロック共重合体であることが好ましい（発明７）。この場合には、ダイシング工程において樹脂層（Ａ）が切断された際にダイシング屑が生じる可能性がより安定的に低減される。
【００２４】
上記発明（発明１から７）において、前記樹脂層（Ｂ）はオレフィン系樹脂を含むことが好ましい（発明８）。本明細書において「オレフィン系樹脂」とは、オレフィン化合物に由来する構成単位を含有する重合体に基づく樹脂を意味する。樹脂層（Ｂ）がオレフィン系樹脂を含む場合には、樹脂層（Ａ）に対する樹脂層（Ｂ）の密着性が高く、樹脂層（Ａ）と樹脂層（Ｂ）との間で層間剥離が生じる可能性がより安定的に低減される。
【００２５】
上記発明（発明１から８）において、前記基材フィルムの２３℃における引張弾性率が７０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下である（発明９）。この場合には、ダイシングシートの搬送エラーが生じたり、エキスパンド工程においてダイシングシートがリングフレームから外れたりする不具合が生じにくい。
【００２６】
本発明は、第２に、上記の発明（発明１から９）のいずれかに係るダイシング用基材フィルムと、当該フィルムの前記樹脂層（Ａ）側の面に積層された粘着剤層とを備えたことを特徴とするダイシングシートを提供する（発明１０）。
【００２７】
かかるダイシングシートは、上記の発明に係る優れた基材フィルムを備えるため、ダイシング工程においてダイシング屑が発生しにくく、ダイシング工程などでのハンドリング性に優れ、かつエキスパンド工程において基材が破断しにくい。
【発明の効果】
【００２８】
本発明に係るダイシングシート用基材フィルムを備えたダイシングシートによれば、電子線やγ線などの物理的なエネルギーを付与することなく、被切断物のダイシング時に発生するダイシング屑の発生を低減させることができる。しかも、ダイシング工程などでのハンドリング性に優れ、かつエキスパンド工程において基材が破断しにくい。したがって、本発明に係るダイシングシート用基材フィルムを備えたダイシングシートは使用時に工程不良が生じにくい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の一実施形態に係るダイシングシートの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の一実施形態に係るダイシングシートの構成要素やその製造方法等について説明する。
１．基材フィルム
図１に示されるように、本発明の一実施形態に係るダイシングシート１は、樹脂層（Ａ）と樹脂層（Ｂ）とが積層された構造を有する基材フィルム２およびこの基材フィルム２の樹脂層（Ａ）側の面上に配置された粘着剤層３を備える。
【００３１】
以下、樹脂層（Ａ）および樹脂層（Ｂ）について詳しく説明する。
（１）樹脂層（Ａ）
本実施形態に係る基材フィルム２が備える樹脂層（Ａ）は、ノルボルネン系樹脂（ａ１）と、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）を含む。
【００３２】
（１−１）ノルボルネン系樹脂（ａ１）
ノルボルネン系樹脂を与える「ノルボルネン系化合物」とは、本明細書において、ノルボルネン、ノルボルネンに係るビシクロ環を含む環状構造を有する化合物（例えばジシクロペンタジエン）、およびこれらの誘導体からなる群から選ばれる一種または二種以上の化合物を意味する。
【００３３】
後述するように、ノルボルネン系樹脂（ａ１）とポリプロピレン系樹脂（ａ２）とは、それぞれの樹脂を構成する重合体がノルボルネン環を含む環骨格を備える化学構造を実質的に有するか否かの点で相違することに基づいて、引張弾性率、軟化点などの物理特性が相違する。このため、樹脂層（Ａ）中で、ノルボルネン系樹脂（ａ１）の相とポリプロピレン系樹脂（ａ２）相とは相分離した構造をなす。つまり、樹脂層（Ａ）は相分離構造を有する多相樹脂層である。
【００３４】
その相分離構造の詳細な形態は、それぞれの樹脂の化学構造や含有比率などによって変動する。一般的には、含有率が多い樹脂層からなるマトリックス中に、含有率が少ない樹脂層が分散する形態（以下、「分散形態」という。）となる。
【００３５】
ダイシング屑の発生をより効果的に抑制する観点からは、樹脂層（Ａ）中の相分離構造は上記の分散形態をなし、かつ分散する方の樹脂の相（以下、「分散相」といい、マトリックスをなす方の樹脂の相を「マトリックス相」という。）の径が小さい方が好ましい。分散形態において分散相の大きさが過度に大きくなると、ダイシング屑の発生を抑制する機能が低下する傾向を示すことに加えて、樹脂層（Ａ）の表面性状が劣化し（具体的には表面が粗面化し）、ダイシングシート１として使用したときに被切断物の断面部にチッピングが生じやすくなることが懸念される。さらに、分散相の大きさが過度に大きくなると、分散相が互いに連結し、その結果、分散相とマトリックス相との界面の樹脂層（Ａ）の厚さ方向の長さが樹脂層（Ａ）の厚さと同等となるものが生じる可能性が高まる。このとき、樹脂層（Ａ）の耐脆性が過度に低下することが懸念される。
【００３６】
なお、樹脂層（Ａ）の断面を高倍率の顕微鏡（例えば走査型電子顕微鏡）を用いて観察することにより、樹脂層（Ａ）が分散形態を有していることが確認できる。
【００３７】
前述のように、ノルボルネン系化合物とはノルボルネン（ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−２−エン）、ノルボルネンに係るビシクロ環を含む環状構造を有する化合物（例えばジシクロペンタジエン）、およびこれらの誘導体からなる群から選ばれる一種または二種以上の化合物であり、ノルボルネン以外の具体例として、シクロペンタジエン、テトラシクロドデセンなどが挙げられる。
【００３８】
ノルボルネン系化合物に由来する構成単位を含む重合体（単独重合体または共重合体）は、主鎖または側鎖にビシクロ［２．２．１］ヘプタン環構造を有する。
【００３９】
ノルボルネン系樹脂（ａ１）の好ましい構造は、樹脂を構成する重合体の主鎖の少なくとも一部を環状構造が構成する構造であり、その環状構造におけるビシクロ環部分が上記の主鎖の一部を構成する構造であればさらに好ましい。そのような構造を備える樹脂として、ノルボルネン系単量体の開環メタセシス重合体水素化物（具体的には日本ゼオン社製ＺＥＯＮＥＸ（登録商標）シリーズとして入手可能である。）、ノルボルネンとエチレンとの共重合体（具体的にはポリプラスチックス社製ＴＯＰＡＳ（登録商標）シリーズとして入手可能である。）、ジシクロペンタジエンとテトラシクロペンタドデセンとの開環重合に基づく共重合体（具体的には日本ゼオン社製ＺＥＯＮＯＲ（登録商標）シリーズとして入手可能である。）、エチレンとテトラシクロドデセンとの共重合体（具体的には三井化学社製アペル（登録商標）シリーズとして入手可能である。）、ジシクロペンタジエンおよびメタクリル酸エステルを原料とする極性基を含む環状オレフィン樹脂（具体的にはＪＳＲ社製アートン（登録商標）シリーズとして入手可能である。）などが好ましい。このような樹脂を用いると、ダイシング加工に基づくせん断力や摩擦熱を受けている領域において、ノルボルネン系樹脂（ａ１）の相とポリプロピレン系樹脂（ａ２）からなる相との分散状態がダイシング屑の発生を抑制することに特に好適な状態になっている。
【００４０】
ノルボルネン系樹脂（ａ１）を構成する重合体は、一種類であってもよいし、複数種類の重合体をブレンドしてなるものであってもよい。ここで、重合体の種類が異なるとは、分岐の状態（すなわち、重合体のアーキテクチャー）、分子量、重合体を構成する単量体の配合バランスおよび重合体を構成する単量体の組成ならびにこれらの組み合わせが物理特性などに大きな影響を与える程度に異なることをいう。ノルボルネン系樹脂（ａ１）を構成する重合体の種類が複数である場合には、樹脂層（Ａ）中でこれらが相分離することなく一つの相をなしてポリプロピレン系樹脂（ａ２）と相分離構造を形成してもよいし、樹脂層（Ａ）中でこれらが互いに異なる相をなしつつポリプロピレン系樹脂（ａ２）と相分離構造を形成してもよい。
【００４１】
ここで、ノルボルネン系樹脂（ａ１）は架橋構造を有していてもよい。架橋構造をもたらす架橋剤の種類は任意であり、ジクミルパーオキサイドのような有機過酸化物やエポキシ基を有する化合物が典型的である。架橋剤は、ノルボルネン系樹脂（ａ１）を構成する重合体の一種類同士の間で架橋してもよいし、異なる種類の重合体間で架橋してもよい。架橋剤の結合部位も任意である。ノルボルネン系樹脂（ａ１）を構成する重合体における主鎖を構成する原子と架橋していてもよいし、側鎖や官能基など主鎖以外を構成する原子と架橋していてもよい。架橋の程度も任意であるが、架橋の程度が過度に進行すると、ノルボルネン系樹脂（ａ１）を含む樹脂層（Ａ）の加工性（特に成形性）が過度に低下したり、樹脂層（Ａ）の表面性状が過度に劣化したり、樹脂層（Ａ）の耐脆性が低下することが懸念されるため、このような問題が発生しない範囲に留めるべきである。
【００４２】
ノルボルネン系樹脂（ａ１）を含有させたことの効果（ダイシング屑の発生が抑制されること）を安定的に得る観点から、前記樹脂層（Ａ）中の全樹脂成分におけるノルボルネン系樹脂（ａ１）の含有量は３質量％以上であることが好ましく、４質量％以上とすることがより好ましく、５質量％以上とすることがさらに好ましい。一方、樹脂層（Ａ）の２３℃における引張弾性率（本明細書において、特にことわりのない「引張弾性率」は、計測温度が２３℃の引張弾性率を意味する。）を後述する範囲（１０００ＭＰａ以下）とすることを容易にする観点から、前記樹脂層（Ａ）中の全樹脂成分におけるノルボルネン系樹脂（ａ１）の含有量は、６０質量％以下とすることが好ましく、５５質量％以下とすることがより好ましく、４５質量％以下とすることがさらに好ましい。
【００４３】
樹脂層（Ａ）の製造しやすさなどの観点から、ノルボルネン系樹脂（ａ１）は熱可塑性を備えることが好ましい。ノルボルネン系樹脂（ａ１）が熱可塑性樹脂である場合において、この熱可塑性の程度は溶融時の粘度を示すメルトマスフローレイト（ＭＦＲ）で表すことができ、樹脂層（Ａ）が適切な相分離構造を有するように適宜設定すればよい。過度にメルトマスフローレイトが高い場合にはポリプロピレン系樹脂（ａ２）との物理特性の差が少なくなり、ダイシング屑の発生を抑制する機能が低下する傾向を示すことが懸念される。なお、熱可塑性が高いほど成形などの加工性に優れるため、この点も考慮することが好ましい。ノルボルネン系樹脂（ａ１）が備えるべき好ましい熱可塑性の程度を具体的に示せば、ＪＩＳ  Ｋ７２１０：１９９９（ＩＳＯ  １１３３：１９９７）に準拠した、温度２３０℃、荷重２．１６ｋｇｆにおけるメルトマスフローレイト（ＭＦＲ）の値が、０．１ｇ／１０ｍｉｎ以上であることが加工性等の観点から好ましい。高い生産性（加工性）を確保しつつダイシング屑の発生の抑制を安定的に実現する観点から、ノルボルネン系樹脂（ａ１）のメルトマスフローレイトは０．５／１０ｍｉｎ以上５０．０ｇ／１０ｍｉｎ以下とすることが好ましく、１．０ｇ／１０ｍｉｎ以上２５.０ｇ／１０ｍｉｎ以下であればさらに好ましい。
【００４４】
ノルボルネン系樹脂（ａ１）の引張弾性率は１．５ＧＰａ超であることが好ましい。なお、引張弾性率の測定方法の詳細は実施例において後述する。引張弾性率をこの範囲とすることで、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）との物理特性の差が大きくなり、ダイシング屑発生の抑制に適した相分離構造が樹脂層（Ａ）に得られやすくなる。この相分離構造を安定的に得る観点から、ノルボルネン系樹脂（ａ１）の２３℃における引張弾性率は２．０ＧＰａ以上であることが好ましい。一方、ノルボルネン系樹脂（ａ１）の引張弾性率は、３．０ＧＰａ以下とすることが、後述するように樹脂層（Ａ）の引張弾性率を１０００ＭＰａ以下とすることが容易となるため、好ましい。この観点からノルボルネン系樹脂（ａ１）の２３℃における引張弾性率は２．５ＧＰａ以下であることがより好ましい。
【００４５】
ノルボルネン系樹脂（ａ１）の流動化温度は２２５℃以下であることが好ましく、２００℃以下であることがより好ましく、１８０℃以下であることがより好ましい。流動化温度とは、加熱された樹脂試料が軟化点を経過したことにより分子の変形自由度が増して分子間相互作用が上昇した状態を超えてさらに試料が加熱された場合における、試料全体の流動化が発生する最低の温度である。流動化温度が２２５℃以下であることにより、樹脂層（Ａ）中においてノルボルネン系樹脂（ａ１）の相が粗大となる事態が生じにくく、ダイシング屑の発生を効果的に抑制しつつ、チッピングの発生や樹脂層（Ａ）の著しい脆化を防止することができる。ノルボルネン系樹脂（ａ１）の流動化温度が過度に低い場合には上記の２３℃における引張弾性率が１．５ＧＰａ以下に低下してしまう場合がある。この場合には、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）との物理特性の差が小さくなり、樹脂層（Ａ）においてダイシング屑発生の抑制に適した相分離構造が得られにくくなることが懸念される。したがって、流動化温度の下限は１００℃以上とすることが好ましい。
【００４６】
ここで、本明細書における「流動化温度」とは、高化式フローテスターによって得られた値とする。具体的には、荷重４９．０５Ｎとし、穴形状がφ２．０ｍｍ、長さが５．０ｍｍのダイを使用し、試料の温度を昇温速度１０℃／分で上昇させながら、昇温とともに変動するストローク変位速度（ｍｍ／分）を測定して、ストローク変位速度の温度依存性チャートを得る。試料が熱可塑性樹脂である場合には、ストローク変位速度は、試料温度が軟化点に到達したことを契機として上昇して所定のピークに到達後、いったん降下する。ストローク変位速度はこの降下により最下点に到達した後、試料全体の流動化が進行することにより急激に上昇する。本明細書では、軟化点を超えて試料温度を上昇させた場合において、ストローク変位速度が一旦ピークに到達した後に現れるストローク変位速度の最低値を与える温度を流動化温度と定義する。
【００４７】
ノルボルネン系樹脂（ａ１）の密度は、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）との物理特性の差を十分に大きくして樹脂層（Ａ）においてダイシング屑発生の抑制に適した相分離構造が得られやすくなる観点から、０．９８ｇ／ｃｍ３以上であることが好ましい。
【００４８】
ノルボルネン系樹脂（ａ１）は、結晶性を有するものであってもよく、非結晶性であってもよいが、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）との物理特性の差を十分に大きくする観点から、非結晶性であることが好ましい。
【００４９】
（１−２）ポリプロピレン系樹脂（ａ２）
ポリプロピレン系樹脂（ａ２）は、前述のとおり、ノルボルネン系化合物に由来する構成単位を実質的に含まず、プロピレン系重合体に基づく樹脂を意味する。本実施形態に係る樹脂層（Ａ）がノルボルネン系樹脂（ａ１）およびポリプロピレン系樹脂（ａ２）を含有することにより、樹脂層（Ａ）中に相分離構造が形成されやすくなり、ダイシング屑の発生をより効果的に抑制できるとともに、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）を含有することにより、樹脂層（Ａ）と粘着剤層３との層間剥離が生じにくくなり、ダイシングシート１として使用した際に、ダイシング工程やエキスパンド工程において不具合（チップ飛散、エキスパンド性低下など）が発生する可能性が低減される。
【００５０】
ポリプロピレン系樹脂（ａ２）に係るプロプレン系重合体としては、プロピレンの単独重合体であってもよく、プロピレンと他のエチレン性不飽和結合を有する化合物との共重合体であってもよい。本明細書において、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）に係るプロピレン系重合体が含む、プロピレンに由来する構成単位以外の構成単位を与えるエチレン性不飽和結合を有する化合物を、「他の不飽和化合物」ともいう。ポリプロピレンとしての特性を安定的に得る観点から、他の不飽和化合物として、１−ブテン、１−ヘキセンおよび１−オクテンなどの炭素数が４〜１８のα位に二重結合を有するアルケンが例示されるαオレフィンならびにエチレンが好ましい例として挙げられる。
【００５１】
ポリプロピレン系樹脂（ａ２）に係るプロピレン系重合体が、プロピレンと他の不飽和化合物との共重合体である場合には、該共重合体におけるプロピレンに由来する構成単位の含有率は、該共重合体を形成するための単量体全体に対するプロピレンの質量比率として、通常、７５質量％以上９９．９質量％以下であり、好ましくは８０質量％以上９９質量％以下であり、より好ましくは８５質量％以上９９質量％以下であり、さらに好ましくは９０質量％以上９９質量％以下である。ポリプロピレン系樹脂（ａ２）に係るプロピレン系重合体が、上記のプロピレンの質量比率が７５質量％以上である共重合体を含有する場合には、ダイシングシート１を加工した際のダイシング屑の発生がより安定的に抑制される。
【００５２】
ポリプロピレン系樹脂（ａ２）に係るプロピレン系重合体が共重合体を含有する場合における、その共重合体の具体的な態様は特に限定されず、ランダム共重合体、ブロック共重合体およびグラフト共重合体のいずれであってもよいし、プロピレン系重合体はこれらの二種以上の共重合体を含有していてもよい。ダイシング工程においてダイシング屑が発生する可能性がより安定的に低減される観点から、これらの形態の中でもブロック共重合体が好ましい。
【００５３】
樹脂層（Ａ）中の全樹脂成分におけるポリプロピレン系樹脂（ａ２）の含有量は、１質量％以上６０質量％以下であることが好ましく、２質量％以上４０質量％以下とすることがより好ましく、５質量％以上２０質量％以下とすることがさらに好ましい。樹脂層（Ａ）中の全樹脂成分におけるポリプロピレン系樹脂（ａ２）の含有量が上記範囲であれば、ダイシング工程においてダイシング屑の発生を抑制するとともに、樹脂層（Ａ）の引張弾性率を後述する範囲（１０００ＭＰａ以下）とすることが容易となる。
【００５４】
ポリプロピレン系樹脂（ａ２）は、樹脂層（Ａ）の製造を容易にするなどの観点から熱可塑性樹脂であることが好ましい。この場合には、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）に係るプロピレン系重合体は、架橋されていない、またはその架橋の程度が適切に制御されている状態にある。ポリプロピレン系樹脂（ａ２）が熱可塑性樹脂である場合のメルトマスフローレイト（ＭＦＲ）は、樹脂層（Ａ）において、ノルボルネン系樹脂（ａ１）とポリプロピレン系樹脂（ａ２）との相分離構造の形成しやすさの観点から、ノルボルネン系樹脂（ａ１）のメルトマスフローレイト（ＭＦＲ）以上であることが好ましい。具体的には、温度１９０℃、荷重２．１６ｋｇｆで測定した時のメルトマスフローレイト（ＭＦＲ）は、０．５ｇ／１０ｍｉｎ以上１０ｇ／１０ｍｉｎ以下であることが好ましく、２．０ｇ／１０ｍｉｎ以上７．０ｇ／１０ｍｉｎ以下であることがより好ましい。
【００５５】
ポリプロピレン系樹脂（ａ２）が熱可塑性樹脂でありかつ結晶性である場合には、その融解ピーク温度は１２０℃以上１７０℃以下であることが好ましく、１３０℃以上１６５℃以下であることがより好ましい。ポリプロピレン系樹脂（ａ２）の融解ピーク温度が１２０℃以下である場合には、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）に係るプロピレン系重合体の構造はブロック重合体が主体でなく、ランダム共重合体および／またはグラフト共重合体が主体となる。そのような場合には、ダイシング屑の発生を抑制しにくくなることが懸念される。一方、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）の融解ピーク温度が１７０℃以上であると、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）に係るプロピレン系重合体の分子量が過度に大きくなってしまうため、樹脂層（Ａ）を形成するための樹脂組成物（一成分としてポリプロピレン系樹脂（ａ２）を含む。）をフィルム状に成形する際に、樹脂層（Ａ）を薄くすることが困難となったり、その厚さにばらつきが生じやすくなったりすることが懸念される。
【００５６】
また、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）が熱可塑性樹脂であって、かつ結晶性である場合において、その融解熱量は６０Ｊ／ｇ以上１００Ｊ／ｇ以下であることが好ましい。ポリプロピレン系樹脂（ａ２）の融解熱量が６０Ｊ／ｇ未満であると、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）に係るプロピレン系重合体の結晶化度が小さいため、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）がノルボルネン系樹脂（ａ１）と相分離構造を形成しにくくなり、ダイシング工程においてダイシング屑の発生を抑制しにくくなることが懸念される。また、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）単独での粘着性が過度に高くなるため、樹脂層（Ａ）を形成するための樹脂組成物をフィルム状に成形する際に不具合（作業性の低下など）を生じることが懸念される。一方、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）の融解熱量が１００Ｊ／ｇ超であると、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）に係るプロピレン系重合体の結晶化度が高いため、樹脂層（Ａ）全体としての柔軟性が失われ、エキスパンド工程の際に不具合（基材フィルム２の破断など）が生じることが懸念される。
【００５７】
なお、本明細書における融解ピーク温度および融解熱量ΔＨは、示差走査熱量計（試験例では、ティー・エイ・インスツルメント社製、型番：Ｑ２０００を使用）によって得られる値とする。具体的には、次のようにして測定する。すなわち、−５０℃から２５０℃まで加熱速度２０℃／ｍｉｎで加熱を行った後、−５０℃まで急速冷却を行い、再度加熱速度２０℃／ｍｉｎで２５０℃まで加熱し、その温度で保持する。この２回目の昇温測定で得られたピーク温度を融解ピーク温度とする。その後２５０℃から−５０℃まで冷却速度２０℃／ｍｉｎで冷却する際に得られたデータから、融解熱量ΔＨを算出する。
【００５８】
また、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）の引張弾性率は、ダイシング工程においてダイシング屑の発生を抑制するとともに、樹脂層（Ａ）の引張弾性率が１０００ＭＰａ以下となることを安定的に実現する観点から、６００ＭＰａ以上９９９ＭＰａ以下であることが好ましく、６５０ＭＰａ以上９９０ＭＰａ以下であることがより好ましく、７００ＭＰａ以上９９０ＭＰａ以下であることが特に好ましい。
【００５９】
（１−３）低弾性樹脂（ａ３）
樹脂層（Ａ）は、安定的に引張弾性率を１０００ＭＰａ以下とするために、低弾性樹脂（ａ３）をさらに含有することが好ましい。
【００６０】
本明細書において「低弾性樹脂（ａ３）」とは、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）よりも２３℃における引張弾性率が低い樹脂を意味する。
樹脂層（Ａ）の引張弾性率が１０００ＭＰａ以下となることを安定的に実現する観点から、樹脂層（Ａ）中の低弾性樹脂（ａ３）の引張弾性率は５００ＭＰａ以下であることが好ましく、３００ＭＰａ以下であることがより好ましく、２００ＭＰａ以下であることが特に好ましい。一方、樹脂層（Ａ）中の低弾性樹脂（ａ３）の引張弾性率が過度に低い場合には、基材フィルム２全体の引張弾性率が過度に低くなる可能性があり、このとき、ダイシングシート１のハンドリング性が低下することが懸念される。このため、低弾性樹脂（ａ３）の引張弾性率は５０ＭＰａ以上であることが好ましく、６０ＭＰａ以上であることがより好ましく、８０ＭＰａ以上であることが特に好ましい。
【００６１】
樹脂層（Ａ）の引張弾性率が１０００ＭＰａ以下となることを安定的に実現する観点から、樹脂層（Ａ）中の全樹脂成分における低弾性樹脂（ａ３）の含有量は、３０質量％以上であることが好ましく、３５質量％以上とすることがより好ましく、４０質量％以上とすることが特に好ましい。一方、樹脂層（Ａ）中の低弾性樹脂（ａ３）の含有量が過度に高い場合には、基材フィルム２全体の引張弾性率が過度に低くなる可能性があり、このとき、ダイシングシート１のハンドリング性が低下することが懸念される。このため、樹脂層（Ａ）中の全樹脂成分における低弾性樹脂（ａ３）の含有量は、９６質量％以下とすることが好ましく、８５質量％以下であることがより好ましく、７５質量％以下であることが特に好ましい。
【００６２】
低弾性樹脂（ａ３）の具体的な構成は、上記の引張弾性率に関する要請を満たす限り、特に限定されない。低弾性樹脂（ａ３）を構成する重合体は一種類であってもよいし、複数種類であってもよい。低弾性樹脂（ａ３）は、ノルボルネン系樹脂（ａ１）には相溶しにくく、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）との相溶性が高い樹脂であることが好ましく、低弾性樹脂（ａ３）はエチレン性不飽和結合を有する化合物に由来する構成単位を含有する重合体に基づく樹脂であることが好ましい。
【００６３】
低弾性樹脂（ａ３）の具体例として、ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロック共重合体およびその変性体からなる群から選ばれた一種または二種以上の重合体に基づく樹脂（ＳＥＢＳ系樹脂）等が挙げられる。
【００６４】
以下、低弾性樹脂（ａ３）の好ましい一例であるポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）について詳しく説明する。樹脂層（Ａ）がポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）を含有することにより、樹脂層（Ａ）の引張弾性率を１０００ＭＰａ以下とすることが容易となる。
【００６５】
ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）は、低弾性樹脂（ａ３）の一種であって、エチレンに由来する構成単位を有する重合体（エチレン系重合体）に基づく樹脂である。ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）に係るエチレン系重合体の具体例として、エチレンの単独重合体、エチレン―αオレフィン共重合体、エチレン―酢酸ビニル共重合体、エチレン―（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン―（メタ）アクリル酸エステル共重合体等のエチレン共重合体が挙げられる。ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）に係るエチレン系重合体は一種類のモノマーからなる単独重合体から構成されていてもよいし、複数種類のモノマーからなる共重合体から構成されていてもよい。
【００６６】
ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）に係るエチレン系重合体におけるエチレンに由来する構成単位の含有率は、共重合体を形成するための単量体全体に対するエチレンの質量比率として、一般に７０質量％以上であり、好ましくは７０質量％以上９９．９質量％以下であり、より好ましくは８０質量％以上９９質量％以下であり、特に好ましくは９０質量％以上９８質量％以下である。ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）に係るエチレン系重合体が、上記のエチレンの質量比率が上記の範囲のエチレン共重合体を含有する場合には、ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）はノルボルネン系樹脂（ａ１）と相分離構造を形成しやすく、ダイシング工程においてダイシング屑の発生を抑制することがより安定的に実現される。
【００６７】
また、ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）に係るエチレン系重合体の密度は、０．８７ｇ／ｃｍ３以上０．９２ｇ／ｃｍ３以下であることが好ましく、０．８９ｇ／ｃｍ３以上０．９１ｇ／ｃｍ３以下であることがより好ましい。エチレン系重合体の密度が０．８７ｇ／ｃｍ３より小さい場合には、樹脂層（Ａ）の粘着性が過度に高まり、基材フィルム２１を巻き取った際にブロッキングが生じやすくなることが懸念される。一方、エチレン系重合体の密度が０．９２ｇ／ｃｍ３より大きい場合には、樹脂層（Ａ）の柔軟性が失われ、基材フィルム２１の取り扱い性が低下したり、エキスパンド工程において基材の破断が生じたりする可能性が高まることが懸念される。
【００６８】
ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）は熱可塑性樹脂であることが好ましく、この場合には、ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）に係るエチレン系重合体は架橋されていない、またはその架橋の程度が適切に制御されている状態にある。ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）が熱可塑性樹脂である場合におけるメルトマスフローレイト（ＭＦＲ）は、樹脂層（Ａ）において、ノルボルネン系樹脂（ａ１）とポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）との相分離構造の形成しやすさの観点から、ノルボルネン系樹脂（ａ１）のメルトマスフローレイト（ＭＦＲ）以上であることが好ましい。具体的には、温度１９０℃、荷重２．１６ｋｇｆで測定した時のメルトマスフローレイト（ＭＦＲ）は、０．５ｇ／１０ｍｉｎ以上１０ｇ／１０ｍｉｎ以下であることが好ましく、２．０ｇ／１０ｍｉｎ以上７．０ｇ／１０ｍｉｎ以下であることがより好ましい。
【００６９】
ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）が熱可塑性樹脂であって、かつ結晶性である場合において、その融解ピーク温度は９０℃以上１４０℃以下であることが好ましく、１００℃以上１３０℃以下であることがより好ましい。また、熱可塑性樹脂であってかつ結晶性であるポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）の融解熱量は５０Ｊ／ｇ以上１６０Ｊ／ｇ以下であることが好ましい。ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）の融解ピーク温度が９０℃未満である場合や、その融解熱量が５０Ｊ／ｇ未満である場合には、ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）単独での粘着性が過度に高くなるため、樹脂層（Ａ）を形成するための樹脂組成物をフィルム状に成形する際に問題（作業性の低下など）を生じることが懸念される。一方、ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）の融解ピーク温度が１４０℃を超える場合や、その融解熱量が１６０Ｊ／ｇ未満の場合には、ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）に含有される重合体の結晶化度が高いため、樹脂層（Ａ）全体としての柔軟性が失われ、エキスパンド工程の際に問題（基材フィルム２の破断など）が生じることが懸念される。なお、融解ピーク温度および融解熱量は、前述のとおり、示差走査熱量計を用いて測定することができる。
【００７０】
ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）は、一種類のエチレン系重合体で上記の特性（密度、ならびに熱可塑性樹脂である場合には融解ピーク温度および融解熱量など）を満たしてもよいし、複数種類のエチレン系重合体の混合物として上記の特性を満たしてもよい。特に密度に関し、ポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）は、上記範囲の中で密度が低いエチレン系重合体と密度が高いエチレン系重合体との混合体に基づく樹脂であることが好ましい。この場合には、基材フィルム２に成形した際に耐ブロッキング性を高めるようにポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）の特性を調整することが容易であり、また、基材フィルム２と粘着剤層３とを備えたダイシングシート１として被着体に貼付されてダイシング加工される際の加工特性を高めるようにポリエチレン系樹脂（ａ３ｉ）の特性を調整することも容易である。
【００７１】
（１−４）その他の成分
樹脂層（Ａ）は上記の樹脂以外の成分を含有してもよい。そのような成分として、顔料、難燃剤、可塑剤、帯電防止剤、滑剤、フィラー等の各種添加剤が例示される。顔料としては、例えば、二酸化チタン、カーボンブラック等が挙げられる。また、フィラーとして、メラミン樹脂のような有機系材料、ヒュームドシリカのような無機系材料およびニッケル粒子のような金属系材料が例示される。こうした添加剤の含有量は特に限定されないが、樹脂層（Ａ）が所望の機能を発揮し、平滑性や柔軟性を失わない範囲に留めるべきである。
【００７２】
（１−５）樹脂層（Ａ）の物性等
本実施形態に係るダイシングシート１用基材フィルム２が備える樹脂層（Ａ）の引張弾性率は、エキスパンド工程において基材フィルム２が破断する可能性を低減させる観点から、１０００ＭＰａ以下である。この基材フィルム２が破断する可能性をより安定的に低減させる観点から、樹脂層（Ａ）の引張弾性率は９００ＭＰａ以下とすることが好ましく、５００ＭＰａ以下とすることがより好ましい。前述のように、樹脂層（Ａ）の引張弾性率を上記の範囲にするためには、ノルボルネン系樹脂（ａ１）およびポリプロピレン系樹脂（ａ２）に加えて、低弾性樹脂（ａ３）を含有させることが好ましい。
【００７３】
一方、樹脂層（Ａ）の引張弾性率が低過ぎると、基材フィルム２をロール状に巻いた時に、樹脂層（Ａ）とこれに接する層との間で、ブロッキングが発生し、基材フィルム２をロールから巻き出す時などにおけるハンドリング性が悪くなるおそれがある。したがって、樹脂層（Ａ）の引張弾性率は、５０ＭＰａ以上であることが好ましく、１００ＭＰａ以上であることがより好ましく、１５０ＭＰａ以上であることが特に好ましい。
【００７４】
樹脂層（Ａ）が相分離構造を有することに基づいてダイシング加工中にダイシング屑が発生しにくくなることを安定的に実現させる観点、および樹脂層（Ａ）の加工しやすさの観点などから、樹脂層（Ａ）は全体として熱可塑性を有することが好ましい。樹脂層（Ａ）が熱可塑性を有する場合には、樹脂層（Ａ）の流動化温度は、９０℃以上１２０℃以下であることが好ましく、特に１００℃以上１１５℃以下であることが好ましい。樹脂層（Ａ）の流動化温度が９０℃以上であることで、基材フィルム２はブロッキングが発生しにくいものとなり、基材フィルム２の良好なハンドリング性を確保することができる。また、樹脂層（Ａ）の流動化温度が１２０℃超えると、ダイシング後のエキスパンド工程において、基材フィルム２がネッキングしてしまい、均一にチップ間隔を拡張することができなくなるおそれがある。
【００７５】
樹脂層（Ａ）の厚さは、１０μｍ以上１２０μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以上１００μｍ以下であることがより好ましく、３０μｍ以上８０μｍ以下であることが特に好ましい。樹脂層（Ａ）の厚さが１０μｍ未満であると、ダイシング屑の発生を抑制することが困難となることが懸念される。一方、樹脂層（Ａ）の厚さが１２０μｍを超えると、基材フィルム２の引張弾性率が過度に高くなってそのエキスパンド性が低下することが懸念される。
【００７６】
なお、本実施形態では樹脂層（Ａ）は一層の樹脂層から構成されているが、樹脂層（Ａ）が複数の樹脂層からなる構造を有していてもよい。この場合には、樹脂層（Ａ）を構成する各層が前述の樹脂層（Ａ）の組成上の特徴を有し、複数層からなる樹脂層（Ａ）として、上記の引張弾性率の条件などを満足すればよい。
【００７７】
（２）樹脂層（Ｂ）
樹脂層（Ｂ）は、引張弾性率が５０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下であり、かつ破断伸度が１００％以上であるものである。このような高い柔軟性（伸長性）を有する樹脂層（Ｂ）は、基材フィルム２に優れたエキスパンド性能を付与することができる。
【００７８】
樹脂層（Ｂ）の引張弾性率が５００ＭＰａを超えると、樹脂層（Ｂ）の柔軟性が低くなって、樹脂層（Ｂ）が破断しやすいため、基材フィルム２が所望のエキスパンド性能を有することが困難となる。一方、樹脂層（Ｂ）の引張弾性率が５０ＭＰａ未満であると、ハンドリング性が悪くなる。樹脂層（Ｂ）の好ましい引張弾性率は５５ＭＰａ以上４００ＭＰａ以下であり、より好ましい引張弾性率は６０ＭＰａ以上３００ＭＰａ以下であり、特に好ましい引張弾性率は６５ＭＰａ以上２００ＭＰａ以下である。
【００７９】
また、樹脂層（Ｂ）の破断伸度が１００％未満であると、ダイシングシート１をエキスパンドしたときに樹脂層（Ｂ）にて破断が生じやすくなって、基材フィルム２が所望のエキスパンド性能を有することが困難となる。樹脂層（Ｂ）の好ましい破断伸度は２００％以上であり、特に好ましい破断伸度は、３００％以上である。なお、樹脂層（Ｂ）の破断伸度の上限は特に限定されないが、一般的には１０００％以下であり、８００％以下程度であってもよい。
【００８０】
樹脂層（Ｂ）の引張弾性率に対する樹脂層（Ａ）の引張弾性率の比率（樹脂層（Ａ）の引張弾性率／樹脂層（Ｂ）の引張弾性率、本明細書において「弾性率比」ともいう。）は、１０以下であることが好ましい。弾性率比が過度に大きい場合には、エキスパンド工程において基材フィルム２を伸長させた際に、樹脂層（Ａ）と樹脂層（Ｂ）との間で層間剥離が生じる可能性が高まる。また、相対的に引張弾性率が低い樹脂層（Ｂ）において塑性変形（降伏）が生じ、引張力を解除したときに基材フィルム２が、樹脂層（Ａ）側が内側になるようにカールしてしまうことが懸念される。こうした問題が生じる可能性をより安定的に低減させる観点から、弾性率比は８以下であることが好ましく、４以下であることがより好ましい。弾性率比の下限は特に限定されないが、通常、１．０以上とされる。１．０未満の場合には、樹脂層（Ａ）の引張弾性率が過度に低くなって基材フィルム２の引張弾性率としても過度に低下する可能性がある。このとき、ダイシングシート１のダイシング工程におけるハンドリング性が低下することが懸念される。また、逆に樹脂層（Ｂ）の引張弾性率が過度に高いために弾性率比が１．０未満となる場合もある。この場合には、エキスパンド工程において基材フィルムの破断など不具合が生じる可能性が高まる。
【００８１】
樹脂層（Ｂ）を構成する樹脂は、上記の物性を満たすものであればよく、特に限定されない。このような樹脂として、例えば、オレフィン化合物を構成単位として含む重合体に基づく樹脂であるオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ポリウレタン；ポリ塩化ビニル；ポリアミドが挙げられる。
【００８２】
これらの樹脂のうち、樹脂層（Ｂ）を構成する樹脂としては、オレフィン化合物を構成単位として含む重合体に基づく樹脂であるオレフィン系樹脂が好ましい。樹脂層（Ｂ）を構成する樹脂がオレフィン系樹脂である場合には、上述したノルボルネン系樹脂（ａ１）およびポリプロピレン系樹脂（ａ２）を含有する樹脂層（Ａ）に対する樹脂層（Ｂ）の密着性が高く、樹脂層（Ａ）と樹脂層（Ｂ）との間で層間剥離が生じる可能性をより安定的に低減させることができる。
【００８３】
上記のオレフィン系樹脂に係る重合体の例として、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、エチレン―プロピレン共重合体、エチレン―ブテン共重合体等のポリオレフィン；オレフィン化合物と、アクリル化合物から選ばれる一種または二種以上とを重合した共重合体が挙げられる。かかる共重合体の具体例として、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン―酢酸ビニル共重合体、エチレン―（メタ）アクリル酸エステル共重合体などが挙げられる。オレフィン系樹脂に係る重合体は、１種単独であってもよいし、２種以上の重合体が混合されてなるものであってもよい。
【００８４】
これらの共重合体の中でも、靭性に優れる樹脂層（Ｂ）が得られやすく、かつノルボルネン系樹脂（ａ１）およびポリプロピレン系樹脂（ａ２）を含有する樹脂層（Ａ）に対する樹脂層（Ｂ）の密着性が高いことから、樹脂層（Ｂ）を構成する樹脂に係る重合体として、エチレン−（メタ）アクリル酸共重体が好ましい。
【００８５】
上記エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体における（メタ）アクリル酸に由来する構成単位の含有率は、共重合体を形成するための単量体全体に対する（メタ）アクリル酸の質量比率として、３質量％以上２０質量％以下であることが好ましく、４質量％以上１５質量％以下であることがより好ましく、５質量％以上１２質量％以下であることが特に好ましい。上記の（メタ）アクリル酸の質量比率が３質量％未満であると、樹脂層（Ｂ）の結晶性が高くなり、ダイシング後のエキスパンド時に基材フィルム２がネッキングしてしまい、チップ間隔が均一に拡張しにくくなるおそれがある。一方、上記の（メタ）アクリル酸の質量比率が２０質量％を超えると、樹脂層（Ｂ）自体にベタツキが発生することがあり、装置を用いてダイシングを行う際に、ダイシングシート１を搬送できなくなってしまうおそれがある。
【００８６】
エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体において、エチレン、アクリル酸および／またはメタクリル酸に由来する構成単位以外に、本実施形態に係るダイシングシート１の目的を損なわない範囲で、他の化合物に由来する構成単位を含有してもよい。そのような他の化合物として、プロピレン等のα−オレフィン；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エステルが例示される。このような他の化合物に由来する構成単位の含有率は、上記エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体中に、共重合体を形成するための単量体全体に対する当該他の化合物の質量比率として、１０質量％未満の割合であることが好ましい。
【００８７】
樹脂層（Ｂ）に係る重合体は、樹脂層（Ｂ）を構成する樹脂全体に対して、上記エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体を７０質量％以上含有することが好ましく、８０質量％以上含有することがより好ましく、９０質量％以上以含有することがさらに好ましい。
【００８８】
樹脂層（Ｂ）は上記の樹脂以外の成分を含有してもよい。そのような成分として、顔料、難燃剤、可塑剤、帯電防止剤、滑剤、フィラー等の各種添加剤が例示される。顔料としては、例えば、二酸化チタン、カーボンブラック等が挙げられる。また、フィラーとして、メラミン樹脂のような有機系材料、ヒュームドシリカのような無機系材料およびニッケル粒子のような金属系材料が例示される。こうした添加剤の含有量は特に限定されないが、樹脂層（Ｂ）が所望の機能を発揮し、平滑性や柔軟性を失わない範囲に留めるべきである。
【００８９】
樹脂層（Ｂ）の厚さは、４０μｍ以上１２０μｍ以下であることが好ましく、特に５０μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましい。
【００９０】
本実施形態に係るダイシングシート１では樹脂層（Ｂ）は一層の樹脂層から構成されているが、樹脂層（Ｂ）が複数の樹脂層からなる構造を有していてもよい。この場合には、複数層からなる樹脂層（Ｂ）として、上記の引張弾性率の条件および破断伸度の条件を満足すればよい。また、樹脂層（Ａ）と樹脂層（Ｂ）との間に接着剤層のような介在層が存在していてもよい。
【００９１】
（３）基材フィルム２の物性
本実施形態に係る基材フィルム２の引張弾性率は、７０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下であることが好ましく、１００ＭＰａ以上４００ＭＰａ以下であることがさらに好ましく、１００ＭＰａ以上３００ＭＰａ以下であることが特に好ましい。引張弾性率が７０ＭＰａ未満であると、ダイシングシート１にウェハを貼着し、リングフレームに固定した場合、基材フィルム２が柔らかいために弛みが発生し、搬送エラーの原因となるおそれがある。一方、引張弾性率が５００ＭＰａを超えると、エキスパンド工程時に加わる荷重を大きくしなければならないため、リングフレームからダイシングシート１自体が剥がれたりするなどの問題が発生するおそれがある。
【００９２】
基材フィルム２の破断伸度は、１００％以上であることが好ましく、特に２００％以上であることが好ましい。破断伸度が１００％以上である基材フィルム２は、エキスパンド工程の際に破断しにくく、被切断物を切断して形成したチップを離間し易いものとなる。
【００９３】
基材フィルム２が上記の好ましい引張弾性率を有することを容易にする観点などから、樹脂層（Ａ）の厚さに対する樹脂層（Ｂ）の厚さの比率（樹脂層（Ａ）の厚さ／樹脂層（Ｂ）の厚さ）は、０．１以上１．０未満であることが好ましく、０．２５以上１．０以下であることがより好ましい。
【００９４】
基材フィルム２の厚さは特に限定されないが、通常、５０μｍ以上４００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、６０μｍ以上２００μｍ以下であることが特に好ましい。
【００９５】
２．基材フィルム２の製造方法
基材フィルム２は、共押出し等により樹脂層（Ａ）および樹脂層（Ｂ）を製膜すると同時に積層することによって製造してもよいし、樹脂層（Ａ）および樹脂層（Ｂ）のそれぞれを製膜した後、それら樹脂層（Ａ）および樹脂層（Ｂ）を接着剤等によって積層することによって製造してもよい。
【００９６】
なお、樹脂層（Ａ）は、ノルボルネン系樹脂（ａ１）と、ポリプロピレン系樹脂（ａ２）と、所望により低弾性樹脂（ａ３）およびその他の添加剤成分とを混練し、その混練物から直接、または一旦ペレットを製造した後、押出し等により製膜することができる。
【００９７】
３．粘着剤層３
ダイシングシート１は、基材フィルム２における樹脂層（Ａ）に接するように形成された粘着剤層３を備える。
粘着剤層３を構成する粘着剤としては、特に限定されず、ダイシングシート１として通常用いられるものを使用することができ、例えば、ゴム系、アクリル系、エポキシ系、シリコーン系、ポリビニルエーテル系等の粘着剤が用いられ、エネルギー線硬化型粘着剤（紫外線硬化型粘着剤を含む）や加熱硬化型粘着剤を用いることもできる。また、本実施形態におけるダイシングシート１がダイシング・ダイボンディングシートとして使用される場合には、ウェハ固定機能とダイ接着機能とを同時に兼ね備えた粘接着剤、熱可塑性接着剤、Ｂステージ接着剤等が用いられる。
粘着剤層３の厚さは特に限定されず、通常は３μｍ以上１００μｍ以下、好ましくは５μｍ以上８０μｍ以下である。
【００９８】
４．ダイシングシート１におけるその他の構成要素
ダイシングシート１は基材フィルム２および粘着剤層３以外の構成要素を備えていてもよい。そのようなその他の構成要素の例として、この粘着剤層３の樹脂層（Ａ）に接していない方の面、つまり被切断物に貼付されるための面を保護するための剥離シートが挙げられる。
剥離シートとして、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン酢酸ビニルフィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム、フッ素樹脂フィルム等を用いることができる。また、これらの架橋フィルムを用いてもよい。さらに、これらのフィルムの複数が積層された積層フィルムであってもよい。
【００９９】
上記剥離シートの剥離面（粘着剤層３に対向する側の面）には、剥離処理が施されていることが好ましい。剥離処理に使用される剥離剤としては、例えば、アルキッド系、シリコーン系、フッ素系、不飽和ポリエステル系、ポリオレフィン系、ワックス系の剥離剤が挙げられる。
なお、剥離シートの厚さについては特に限定されず、通常２０〜１５０μｍ程度である。
【０１００】
５．ダイシングシート１の製造方法
本実施形態に係るダイシングシート１は、常法によって製造することができる。例えば、粘着剤層３を構成する材料と、所望によりさらに溶媒とを含有する塗布剤を調製し、ロールコーター、ナイフコーター、ロールナイフコーター、エアナイフコーター、ダイコーター、バーコーター、グラビアコーター、カーテンコーター等の塗工機によって基材フィルム２の樹脂層（Ａ）の露出面に塗布して乾燥させ、粘着剤層３を形成することにより製造することができる。あるいは、上記塗布剤を、所望の剥離シートの剥離面に塗布して乾燥させ、粘着剤層３を形成した後、その粘着剤層３に基材フィルム２の樹脂層（Ａ）側を圧着することにより製造することもできる。
【０１０１】
６．ダイシングシート１の用途
本実施形態に係るダイシングシート１は、半導体ウェハ、ＢＧＡ型パッケージ等のダイシング工程およびエキスパンド工程に使用されるダイシングシートとして好ましく使用することができる。特に、本実施形態に係るダイシングシート１は、ダイシング屑の発生量が多いＢＧＡ型パッケージ用のダイシング工程およびエキスパンド工程に使用されるダイシングシートとして好適である。
【０１０２】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【実施例】
【０１０３】
以下、実施例等により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例等に限定されるものではない。
【０１０４】
〔実施例１〜１１，比較例１〜９〕
１．基材フィルムの作製
（１）樹脂層（Ａ）の押出用原材料の調製
表１に示す配合比（質量部）で以下の原材料を混合し、二軸混練機（東洋精機製作所社製，ラボプラストミル）にて溶融混練し、樹脂層（Ａ）用の押出用原材料を得た。
【０１０５】
＜樹脂層（Ａ）用原材料＞
・ノルボルネン系樹脂１：ポリプラスチックス社製ＴＯＰＡＳ（登録商標）８００７，２３℃における樹脂密度：１．０２ｇ／ｃｍ３，２３℃での引張弾性率：２．０ＧＰａ，流動化温度：１４２℃
・ノルボルネン系樹脂２：ポリプラスチックス社製ＴＯＰＡＳ７０１０，２３℃における樹脂密度：１．０２ｇ／ｃｍ３，２３℃での引張弾性率：２．２ＧＰａ，流動化温度：１６３℃
・ノルボルネン系樹脂３：ポリプラスチックス社製ＴＯＰＡＳ５０１３，２３℃における樹脂密度：１．０２ｇ／ｃｍ３，２３℃での引張弾性率２．３ＧＰａ，流動化温度：１７５℃
・ポリプロピレン系樹脂１：エチレン−ポリプロピレンブロック共重合体（プライムポリマー社製プライムポリプロ（登録商標）Ｆ７０７Ｗ，融解熱量ΔＨ：８３．２Ｊ／ｇ，２３℃での引張弾性率：９８０ＭＰａ）
・ポリプロピレン系樹脂２：エチレン−ポリプロピレンランダム共重合体（プライムポリマー社製プライムポリプロ（登録商標）Ｂ２４１，２３℃での引張弾性率：７５０ＭＰａ）
・低弾性率樹脂１：低密度ポリエチレン（住友化学社製スミカセン（登録商標）Ｌ７０５，樹脂密度：０．９１８ｇ／ｃｍ３，融解熱量ΔＨ：１２６．０Ｊ／ｇ，２３℃での引張弾性率：１４０ＭＰａ）
・低弾性率樹脂２：超低密度ポリエチレン（住友化学社製エクセレン（登録商標）ＶＬ７００，樹脂密度：０．９００ｇ／ｃｍ３，融解熱量ΔＨ：７９．１Ｊ／ｇ，２３℃での引張弾性率：６４ＭＰａ）
【０１０６】
（２）樹脂層（Ｂ）の押出用原材料の調製
表１に示す配合比（質量部）で、以下の原材料を二軸混練機（東洋精機製作所社製，ラボプラストミル）にて溶融混練し、樹脂層（Ｂ）用の押出用原材料を得た。
【０１０７】
＜樹脂層（Ｂ）用原材料＞
・エチレン−メタクリル酸共重合体１：三井−デュポンポリケミカル社製ニュクレル（登録商標）ＡＮ４２１４Ｃ，２３℃における引張弾性率：２００ＭＰａ
・エチレン−メタクリル酸共重合体２：三井−デュポンポリケミカル社製ニュクレルＡＮ４２０１２Ｃ，２３℃における引張弾性率：１５０ＭＰａ
・エチレン−メタクリル酸共重合体３：三井−デュポンポリケミカル社製ニュクレルＡＮ１２０７Ｃ，２３℃における引張弾性率：１４０ＭＰａ
・エチレン−メタクリル酸共重合体４：三井−デュポンポリケミカル社製ニュクレルＮ１５２５，２３℃における引張弾性率：８３ＭＰａ
・エチレン−メタクリル酸共重合体５：住友化学社製アクリフト（登録商標）Ｗ２０１，２３℃における引張弾性率：６５ＭＰａ
・エステル系エラストマー：三菱化学社製プリマロイ（登録商標）Ｂ１９２０Ｎ，２３℃における引張弾性率：２００ＭＰａ
・ポリエチレン樹脂：プライムポリマー社製エボリュー（登録商標）ＳＰ４０３０，２３℃における引張弾性率：５５０ＭＰａ
・エチレン−酢酸ビニル共重合体１：三井−デュポンポリケミカル社製エバフレックス（登録商標）ＥＶ１５０，酢酸ビニルの含有量：３３質量％，２３℃における引張弾性率：８ＭＰａ
・エチレン−酢酸ビニル共重合体２：東ソー社製ウルトラセン（登録商標）６３６，酢酸ビニルの含有量：１９質量％，２３℃における引張弾性率：４０ＭＰａ
・ノルボルネン系樹脂：ポリプラスチックス社製ＴＯＰＡＳ８００７，２３℃における樹脂密度：１．０２ｇ／ｃｍ３，２３℃での引張弾性率：２．０ＧＰａ，流動化温度：１４２℃
【０１０８】
（３）樹脂層の押出成形（基材フィルムの成形）
樹脂層（Ａ）用の押出用原材料と、樹脂層（Ｂ）用の押出用原材料とを、小型Ｔダイ押出機（東洋精機製作所社製，ラボプラストミル）によって共押出成形し、厚さ４０μｍの樹脂層（Ａ）と、厚さ６０μｍの樹脂層（Ｂ）とからなる２層構造の基材フィルムを得た。
【０１０９】
２．粘着剤の調製
ｎ−ブチルアクリレート９５質量部およびアクリル酸５質量部を共重合してなる共重合体（Ｍｗ：５００，０００）１００質量部、ウレタンアクリレートオリゴマー（Ｍｗ：８０００）１２０質量部、イソシアネート系硬化剤（日本ポリウレタン社製コロネートＬ）５質量部、および光重合開始剤（チバスペシャリティケミカルズ社製イルガキュア１８４）４質量部を混合し、エネルギー線硬化型粘着剤組成物を得た。
【０１１０】
３．粘着剤層の形成（ダイシングシートの作製）
得られたエネルギー線硬化型粘着剤組成物を、シリコーン処理された剥離シート（リンテック社製ＳＰ−ＰＥＴ３８１１１（Ｓ））の剥離処理面に、乾燥後の膜厚が１０μｍとなるように塗布し、１００℃で１分間乾燥させて粘着剤層を形成し、これを上記基材フィルムの片面に貼り付けることで、粘着剤層を基材フィルム上に転写し、ダイシングシートとした。
【０１１１】
【表１】
2015213096.tif 000003
【０１１２】
〔試験例１〕（引張物性の測定）
実施例および比較例において調製した樹脂層（Ａ）用の押出用原材料および樹脂層（Ｂ）用の押出用原材料を用いて、上記の基材フィルムと同様の方法でそれぞれ１００μｍ厚の単層の樹脂フィルムを製造した。
【０１１３】
上記の樹脂層（Ａ）用の押出用原材料から作製した樹脂フィルムおよび樹脂層（Ｂ）用の押出用原材料から作製した樹脂フィルム、ならびに実施例および比較例において作製した基材フィルム（厚さ１００μｍ）のそれぞれについて、１５ｍｍ×１４０ｍｍの試験片に裁断し、ＪＩＳ  Ｋ７１６１：１９９４（ＩＳＯ  ５２７１：１９９３）およびＪＩＳ  Ｋ７１２７：１９９９（ＩＳＯ  ５２７３：１９９５）に準拠して、２３℃における引張弾性率を測定した。具体的には、上記試験片を、引張試験機（島津製作所製オートグラフＡＧ−ＩＳ  ５００Ｎ）にて、チャック間距離１００ｍｍに設定した後、２００ｍｍ／ｍｉｎの速度で引張試験を行い、引張弾性率（単位：ＭＰａ）を測定した。なお、引張弾性率の測定は、樹脂フィルムまたは基材フィルムの成形時の押出方向（ＭＤ）およびこれに直角の方向（ＣＤ）の双方で行い、これらの測定結果の平均値をその樹脂フィルムまたは基材フィルムの引張弾性率とした。
【０１１４】
樹脂層（Ｂ）用の押出用原材料から作製した樹脂フィルムのそれぞれについては、上記の引張弾性率の測定の際に、同時に破断伸度（単位：％）の測定も行った。具体的には、試験片が破断した際のチャック間距離を試験前の当該距離である１００ｍｍで除することにより破断伸度を求めた。なお、破断伸度については、樹脂フィルムの成形時の押出方向（ＭＤ）およびこれに直角の方向（ＣＤ）の双方で行った測定結果の最小値を、その樹脂フィルムの破断伸度とした。結果を表２に示す。
【０１１５】
〔試験例２〕（ダイシング屑観察）
実施例および比較例で製造したダイシングシートの粘着剤層をＢＧＡ型パッケージモジュールに貼付した後、ダイシング装置（ＤＩＳＣＯ社製ＤＦＤ−６５１）にセットし、以下の条件でダイシングを行った。
・ワーク（被着体）：シリコンウエハＢＧＡ型パッケージモジュール（京セラケミカル社製，ＫＥ−Ｇ１２５０）
・ワークサイズ：６インチ径，厚さ３５０μｍ
・ダイシングブレード：ディスコ社製  Ｚ１１１０ＬＳ３
・ブレード回転数：３０，０００ｒｐｍ
・ダイシングスピード：１０ｍｍ／秒
・切り込み深さ：基材フィルムを粘着剤層の界面より２０μｍの深さまで切り込み
・ダイシングサイズ：１０ｍｍ×１０ｍｍ
【０１１６】
その後、基材フィルム側から紫外線を照射（１６０ｍＪ／ｃｍ２）して、切断されたチップを剥離した。縦および横のダイシングラインのうち、それぞれの中央付近における縦の１ラインおよび横の１ラインに発生した長さ１００μｍ以上の糸状屑の個数を、デジタル顕微鏡（キーエンス社製ＶＨＸ−１００，倍率：１００倍）を用いてカウントした。計測結果を次の基準で評価した。
Ａ：糸状屑の個数が０〜１０個
Ｂ：１１〜１５個
Ｃ：１６個以上
ＡおよびＢを良好と判定し、Ｃを不良と判定した。結果を表２に示す。
【０１１７】
〔試験例３〕（エキスパンド性試験）
実施例および比較例で製造したダイシングシートの粘着剤層に６インチウェハを貼付した後、当該ダイシングシートをフラットフレームに装着し、２０μｍ厚のダイヤモンドブレードにより、ウェハを１０ｍｍ角のチップにフルカットした。次に、エキスパンディング冶具（ＮＥＣマシナリー社製ダイボンダーＣＳＰ−１００ＶＸ）を用いて、ダイシングシートを速度３００ｍｍ／分で５ｍｍと６００ｍｍ／分で１０ｍｍの２条件で引き落とした。このときのダイシングシートの破断の有無について確認を行った。その結果を次の基準で評価した。
Ａ：２条件ともに破断が確認されない場合
Ｂ：どちらか１条件で破断が確認された場合
Ｃ：両条件共に破断が確認された場合
ＡおよびＢを良好と判定し、Ｃを不良と判定した。結果を表２に示す。
【０１１８】
〔試験例４〕（ハンドリング性評価）
上記の試験例２（ダイシング屑観察）を実施するにあたり、ダイシング装置（ＤＩＳＣＯ社製ＤＦＤ−６５１）にてダイシングを行ったが、このときのハンドリング性に関し、次の基準で評価した。
Ａ：特段の問題が生じなかった場合
Ｂ：搬送エラーが生じた場合および／またはウェハカセットに再度装着された際、半導体シートがたわみ、下の段に設置してある別のダイシングシートと触れた場合
Ａを良好と判定し、Ｂを不良と判定した。結果を表２に示す。
【０１１９】
【表２】
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【０１２０】
表１から明らかなように、実施例で製造したダイシングシートは、ダイシング工程の際にダイシング屑の発生が少なく、エキスパンド工程の際のエキスパンド性にも優れ、さらにダイシング工程におけるハンドリング性にも優れていた。
【産業上の利用可能性】
【０１２１】
本発明に係るダイシングシート用基材フィルムおよびダイシングシートは、半導体ウェハや各種パッケージ類等のダイシングに好適に用いられる。
【符号の説明】
【０１２２】
１…ダイシングシート
２…基材フィルム（樹脂層（Ａ）／樹脂層（Ｂ））
３…粘着剤層
【図１】
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