(57)【要約】【課題】樹脂塗布装置の樹脂の吐出状態の良否を簡単に判定する。【解決手段】ノズル１１０から樹脂２０１を吐出させる吐出手段１０１と、樹脂２０１を吐出させる情報である吐出情報の取得から所定の第一時間経過後にノズル１１０から吐出された空間中の樹脂２０１を撮像する撮像手段１０２と、撮像手段１０２から取得した画像情報に基づき、樹脂２０１の先端の位置を示す位置情報、および、樹脂２０１の先端の形状を示す形状情報の少なくとも一方を含む先端情報を取得し、先端情報に基づき吐出状態の良否を判定する判定部１３２とを備える。【選択図】図３
2015173162.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布対象である対象物に樹脂を塗布する樹脂塗布装置であって、
ノズルから前記樹脂を吐出させる吐出手段と、
前記樹脂を吐出させる情報である吐出情報の取得から所定の第一時間経過後に前記ノズルから吐出された空間中の前記樹脂を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段から取得した画像情報に基づき、前記樹脂の先端の位置を示す位置情報、および、前記樹脂の先端の形状を示す形状情報の少なくとも一方を含む先端情報を取得し、前記先端情報に基づき吐出状態の良否を判定する判定部と
を備える樹脂塗布装置。
【請求項２】
前記判定部は、前記樹脂の先端の許容される形状を示す許容情報を取得し、前記形状情報と前記許容情報との一致度合いにより吐出状態の良否を判定する
請求項１に記載の樹脂塗布装置。
【請求項３】
前記吐出手段は、前記ノズルから前記樹脂を所定の吐出周期で吐出させ、
前記撮像手段は、前記ノズルから吐出される前記樹脂の吐出周期に同期して複数の前記樹脂を撮像する
請求項１に記載の樹脂塗布装置。
【請求項４】
前記撮像手段は、前記樹脂を吐出させる情報である吐出情報の取得から前記第一時間とは異なる第二時間経過後に前記第一時間に撮像される、または、撮像された空間中の前記樹脂を撮像する
請求項１または請求項３に記載の樹脂塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、液状（ゲル状等を含む）の樹脂をノズルから吐出して対象物に樹脂を塗布する樹脂塗布装置に関し、特に粘度の高い樹脂を塗布する場合でも正確に樹脂の塗布量を制御する樹脂塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板などの対象物に比較的高粘度の液状（ゲル状等含む）の樹脂を塗布する場合、樹脂塗布装置は、エアーの力やスクリューの回転によってノズルから所定量の樹脂を押し出し、押し出された樹脂を対象物の表面に付着させることで対象物に対し樹脂を塗布している。
【０００３】
昨今では、樹脂塗布装置、特にＬＥＤ（発光ダイオード）の分野において微小な粒状の蛍光体を分散状態で含む樹脂を塗布する樹脂塗布装置においては、樹脂の塗布量をより正確に制御し、発光色を安定させたいとの要望がある。
【０００４】
例えば、特許文献１には、シリンジポンプ型の吐出機構を備えた樹脂塗布装置であって、シリンジ内にスリーブと前記スリーブと相対的に移動するピストンを備え、スリーブとピストンとを相対的に移動させながらシリンジ内の樹脂を押圧することで、樹脂の吐出量をより正確に制御しうる技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１７４３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、シリンジポンプなどの吐出機構を正確に制御し、樹脂の吐出量を正確にコントロールして所定の量の樹脂を塗布しようとしても、樹脂は、経時変化やロットの差により粘度が変化するため、樹脂塗布装置に対して設定された同じ塗布条件で樹脂を塗布したとしても、実際に所望の量の樹脂が塗布できているとは限らない。また、樹脂塗布装置を同じ塗布条件に設定しても吐出機構のコンディションなどによって、樹脂の塗布量が変化する場合もある。
【０００７】
従って、樹脂塗布装置を安定して操業させるためには、樹脂の粘度や濃度、吐出機構のコンディションに応じて樹脂塗布装置に設定される塗布条件を変更する必要がある。この場合、塗布条件を変更する際のパラメータが多数存在するため、少なくとも吐出機構から吐出される樹脂の状態が良好か否かを確認し、樹脂の吐出状態が良好でない場合には、良好な状態で樹脂を吐出できるように吐出条件を調整する必要がある。
【０００８】
本願発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、吐出機構から空間中に吐出される樹脂の吐出状態の良否を判定することができる樹脂塗布装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本願発明にかかる樹脂塗布装置は、塗布対象である対象物に樹脂を塗布する樹脂塗布装置であって、ノズルから前記樹脂を吐出させる吐出手段と、前記樹脂を吐出させる情報である吐出情報の取得から所定の第一時間経過後に前記ノズルから吐出された空間中の前記樹脂を撮像する撮像手段と、前記撮像手段から取得した画像情報に基づき、前記樹脂の先端の位置を示す位置情報、および、前記樹脂の先端の形状を示す形状情報の少なくとも一方を含む先端情報を取得し、前記先端情報に基づき吐出状態の良否を判定する判定部とを備えることを特徴とする。
【００１０】
これによれば、ノズルから吐出され空間中に存在する樹脂の先端の先端情報に基づき、定量的に吐出状態の良否を判断することができる。従って、吐出状態の良否を容易にフィードバックすることができ、当該結果に基づき樹脂塗布装置の塗布条件を変更することが可能となる。延いては、安定して樹脂塗布装置を稼働させることが可能となる。
【００１１】
また、前記判定部は、前記樹脂の先端の許容される形状を示す許容情報を取得し、前記形状情報と前記許容情報との一致度合いにより吐出状態の良否を判定してもよい。
【００１２】
これによれば、過去の実績に基づき吐出状態の良否を簡単に判定することができる。
【００１３】
また、前記吐出手段は、前記ノズルから前記樹脂を所定の吐出周期で吐出させ、前記撮像手段は、前記ノズルから吐出される前記樹脂の吐出周期に同期して複数の前記樹脂を撮像するものでもよい。
【００１４】
これによれば、所定の周期で次々に吐出される樹脂のそれぞれについて撮像することができる。従って、統計的な手法を採用することもでき、吐出状態の傾向を正確に把握した上で、吐出状態の良否を判定することが可能となる。また、断続的に吐出されるはずの樹脂が時々吐出されない現象を把握することが可能となる。
【００１５】
また、前記撮像手段は、前記樹脂を吐出させる情報である吐出情報の取得から前記第一時間とは異なる第二時間経過後に前記第一時間に撮像される、または、撮像された空間中の前記樹脂を撮像してもよい。
【００１６】
これによれば、吐出された樹脂の空間中の挙動を経時的に把握することができ、より正確に吐出状態の良否を判断することが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
本願発明によれば、吐出手段から空間中に吐出された樹脂の吐出状態の良否を樹脂塗布装置により定量的、または、定性的に判定することができ、その結果を吐出条件、および、塗布条件にフィードバックすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、樹脂塗布装置の外観を模式的に示す斜視図である。
【図２】図２は、樹脂の塗布状態を模式的に示す側面図である。
【図３】図３は、樹脂塗布装置の機能部を機構部と共に示すブロック図である。
【図４】図４は、判定部の判定方法（良の場合）を模式的に示す図である。
【図５】図５は、判定部の判定方法（否の場合）を模式的に示す図である。
【図６】図６は、判定部の判定方法（否の場合）を模式的に示す図である。
【図７】図７は、判定部の判定方法（否の場合）を模式的に示す図である。
【図８】図８は、許容情報を模式的に示す図である。
【図９】図９は、閾値曲線を用いた判定部の判定方法を模式的に示す図である。
【図１０】図１０は、吐出状態判定方法の工程の流れを示す図である。
【図１１】図１１は、別態様の吐出状態判定方法の工程の流れを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
次に、本願発明に係る樹脂塗布装置の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の実施の形態は、本願発明に係る樹脂塗布装置の一例を示したものに過ぎない。従って本願発明は、以下の実施の形態を参考に請求の範囲の文言によって範囲が画定されるものであり、以下の実施の形態のみに限定されるものではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、本発明の課題を達成するのに必ずしも必要ではないが、より好ましい形態を構成するものとして説明される。
【００２０】
図１は、樹脂塗布装置の外観を模式的に示す斜視図である。
【００２１】
図２は、樹脂の塗布状態を模式的に示す側面図である。
【００２２】
これらの図に示すように、樹脂塗布装置１００は、塗布対象である対象物２００に樹脂を塗布する装置であって、吐出手段１０１と、撮像手段１０２と、樹脂塗布装置１００を制御する制御装置１０３（図１において図示せず）とを備えている。
【００２３】
本実施の形態の場合、樹脂塗布装置１００は、対象物２００としてのキャビティ部２０２の内方の底部にＬＥＤ素子２０３が実装されたＬＥＤパッケージに微小な粒状の蛍光体を分散状態で備える樹脂２０１を充填状態で塗布する装置である。樹脂塗布装置１００が塗布する樹脂２０１の粘度は、例えば粘度５Ｐａ・ｓ〜１０Ｐａ・ｓと同程度、または、それ以上の粘度を有している。
【００２４】
樹脂塗布装置１００は、吐出手段１０１を水平面（図中ＸＹ平面）内において自在に移動させる移動機構１０９を備えている。移動機構１０９は、構造的な基礎となる基台部１９１と、基台部１９１上にＹ軸方向に延びて配置されるＹ軸レール１９２と、Ｘ軸方向に延びて配置され、Ｙ軸レール１９２に沿ってＹ軸方向に移動可能なＸ軸レール１９３と、Ｘ軸レール１９３に沿ってＸ軸方向に移動自在に設けられた移動ステージ１９４とを備えている。また、図示しない駆動源も各部に設けられている。移動ステージ１９４には、吐出手段１０１が取り付けられている。
【００２５】
移動機構１０９は、基台部１９１のＸ軸方向の両端部に一対のＹ軸レール１９２をそれぞれ備えており、Ｘ軸レール１９３は、一対のＹ軸レール１９２に架橋状に配置されている。これにより、Ｘ軸レール１９３のＹ軸方向の移動が安定する。
【００２６】
図３は、樹脂塗布装置の機能部を機構部と共に示すブロック図である。
【００２７】
吐出手段１０１は、ノズル１１０から樹脂２０１を吐出させる装置である。本実施の形態の場合、吐出手段１０１は、ノズル１１０の先端から樹脂２０１を空間中に吐出するために貯留した樹脂２０１に圧力をかける吐出機構１１１を備えている。吐出機構１１１としては、特に限定されるものではなく、例えば、スクリューの回転により樹脂２０１に圧力をかけるスクリュー式の吐出機構１１１や、エアーの圧力により樹脂２０１に圧力を付与するエアパルス方式の吐出機構１１１、圧電素子を動作させることにより樹脂２０１が一時的に貯留される貯留空間の体積を変化させて樹脂２０１に圧力を付与するジェットディスペンス方式の吐出機構１１１などを例示することができる。以下、吐出機構１１１はジェットディスペンス方式であるとして説明する。
【００２８】
また、吐出手段１０１は、吐出機構１１１に樹脂２０１を供給する樹脂供給手段（図示せず）なども備えている。
【００２９】
撮像手段１０２は、樹脂２０１を吐出させる情報である吐出情報の取得から所定の第一時間経過後にノズル１１０から吐出された空間中の樹脂２０１を撮像する装置である。本実施の形態の場合、撮像手段１０２は、撮像装置１２１と、投光装置１２２とを備えている。
【００３０】
撮像装置１２１は、受け取った光に基づき像を示す画像情報を形成する装置である。具体的には、ＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサなどの固体撮像素子と、固体撮像素子の表面に像を形成するためのレンズ系を備えた撮像装置１２１を例示することができる。
【００３１】
投光装置１２２は、撮像対象である樹脂２０１に光を照射する装置である。具体的にはＬＥＤによる白色照明や、青などの単色光を投光する単色照明を例示することができる。
【００３２】
また本実施の形態の場合、投光装置１２２は、撮像装置１２１に向かって光を投光するように配置されている。そして、樹脂２０１は、撮像装置１２１と投光装置１２２との間を通過するように吐出される。つまり、撮像装置１２１は、投光装置１２２によって形成される樹脂２０１のシルエットの像を取得する。
【００３３】
このように樹脂２０１のシルエットの像を画像として取得することで、画像情報から樹脂２０１の先端位置を示す先端情報や先端形状を示す形状情報をより正確に取得させることが可能となる。
【００３４】
なお、撮像装置１２１は、投光装置１２２からの光を樹脂２０１が反射した反射光を用いて像を形成してもかまわない。
【００３５】
また、撮像装置１２１は、投光装置１２２を用いず樹脂塗布装置１００の周囲の光を用いて撮像するものでもかまわない。
【００３６】
また、本実施の形態の場合、撮像手段１０２は、吐出手段１０１（吐出機構１１１）の動作と同期して樹脂２０１の像を撮像する。吐出手段１０１は、ジェットディスペンス方式の吐出機構１１１を備えており、ノズル１１０から樹脂２０１を所定の吐出周期で吐出させることができるものである。従って、撮像手段１０２は、ノズル１１０から吐出される樹脂２０１の吐出周期に同期して樹脂２０１の少なくとも先端部分を断続的に撮像する。具体的には、後述の塗布制御部１３１から送信される吐出情報（例えば、圧電素子への電圧の印加など）を撮像手段１０２が取得し、吐出情報を取得した時刻から第一時間（例えば、数十マイクロ秒）経過後に撮像手段１０２が、樹脂２０１の像を取得する。そして、当該撮像が周期的に繰り返される。
【００３７】
制御装置１０３は、樹脂塗布装置１００を制御する装置である。本実施の形態の場合、制御装置１０３は、コンピューターであり、ソフトウエアを実行することにより種々の機能を発揮するものである。制御装置１０３は、処理部として塗布制御部１３１と、判定部１３２とを備えている。
【００３８】
塗布制御部１３１は、移動機構１０９を制御して所定の位置に吐出手段１０１を移動さる制御を行う処理部である。また、塗布制御部１３１は、樹脂２０１を吐出させる情報である吐出情報を吐出手段１０１の吐出機構１１１に送り、樹脂２０１の吐出を制御する。塗布制御部１３１から送り出される吐出情報は、撮像手段１０２によっても取得され、撮像のトリガー情報として用いられる。
【００３９】
判定部１３２は、撮像手段１０２（撮像装置１２１）から取得した画像情報に基づき、樹脂２０１の先端の位置を示す位置情報、および、樹脂２０１の先端の形状を示す形状情報の少なくとも一方を含む先端情報を取得し、先端情報に基づき吐出状態の良否を判定する処理部である。以下に、判定部１３２が判定する方法を説明する。
【００４０】
図４−図７は、判定部の判定方法を模式的に示す図である。
【００４１】
判定部１３２は、例えば図４に示すような画像情報（Ｔ１、Ｔ２で示す横線は画像情報には含まれない）を撮像手段１０２から取得した場合、次のような方法により吐出状態の良否を判定する。
【００４２】
画像情報から得られる先端位置を示す位置情報Ｌは、先端位置の下限閾値である第一閾値Ｔ１より上を示し、上限閾値である第二閾値Ｔ２よりも下を示している。かつ、画像情報から得られる先端形状を示す形状情報は、左右対称で滑らかに湾曲した下に凸の形状を示している。以上に基づき吐出状態は良と判定される。
【００４３】
また例えば図５に示すような画像情報を取得した場合、判定部１３２は、先端位置を示す位置情報Ｌが第二閾値Ｔ２より上を示しているため、否と判定する。この場合、位置情報Ｌのみにより吐出状態は否として判断されるため、形状情報による判断はしなくてもよい。
【００４４】
また例えば図６に示すような画像情報を取得した場合、判定部１３２は、先端位置を示す位置情報Ｌが第一閾値Ｔ１より下を示しているため、否と判定する。この場合、位置情報Ｌのみにより吐出状態は否として判断されるため、形状情報による判断はしなくてもよい。
【００４５】
また例えば図７に示すような画像情報を取得した場合、判定部１３２は、先端位置を示す位置情報Ｌが第一閾値Ｔ１より上、かつ、第二閾値Ｔ２より下を示している。しかし、形状情報が左右対称ではなくいびつな曲線を有しているため否と判定する。この場合、形状情報のみにより吐出状態は否として判断してもよく、位置情報による判断はしなくてもよい。
【００４６】
なお、形状情報に基づく判定は、例えば数学的に導出された二次曲線を判定部１３２が単数個、または、複数個作成し、当該二次曲線との差異を抽出して統計処理を施すことにより行う方法を例示することができる。
【００４７】
また、判定部１３２は、樹脂２０１の先端の許容される形状を示す許容情報（図８参照）を取得し、撮像手段１０２から取得した形状情報と許容情報との一致度合いにより吐出状態の良否を判定してもかまわない。
【００４８】
具体的に例えば、図８に示すような許容情報とは、他の方法で吐出状態が良と観測された樹脂２０１を撮像手段１０２で撮像した際の画像情報を蓄積したものであってもよい。また、人為的に良として判断しうる樹脂２０１の画像を人為的に作成して蓄積したものであってもよい。形状情報と許容情報との一致度合いは、画像情報と記憶手段に蓄積された許容情報とをマッチングさせることにより取得する。
【００４９】
また、位置情報の良否を判定する場合に、上限閾値と下限閾値のいずれか一方だけを用いてもよい。すなわち、位置情報Ｌが第一閾値Ｔ１より上の場合は良と判定してもよく、位置情報Ｌが第二閾値Ｔ２より下の場合は良と判定してもよい。
【００５０】
また、位置情報Ｌのみ、または、形状情報のみで吐出状態の良否を判定してもかまわない。
【００５１】
また、判定部１３２は、樹脂２０１の先端位置の閾値と樹脂２０１の先端の許容される形状を示す許容情報によって規定される閾値曲線Ｔ３に基づいて、吐出状態の良否を判定してもかまわない。例えば、図９に示すような画像情報を取得した場合、第二閾値Ｔ２と許容形状により規定される閾値曲線を基準として、（ａ）の場合は吐出状態は否、（ｂ）の場合は吐出状態は良、と判断することができる。
【００５２】
次に、樹脂塗布装置における吐出状態判定方法を説明する。
【００５３】
図１０は、吐出状態判定方法の工程の流れを示す図である。
【００５４】
同図に示すように、塗布制御部１３１は、移動機構１０９を制御して吐出手段１０１を対象物２００の上方に配置する。そして、塗布制御部１３１は、吐出手段１０１の吐出機構１１１に吐出情報を送信する。吐出情報を受領した吐出機構１１１は、樹脂２０１に圧力を加えてノズル１１０から樹脂２０１を吐出し、所定量の樹脂２０１を対象物２００に塗布する（Ｓ１０１：実塗布ステップ）。
【００５５】
本実施の形態の場合、対象物２００は、図２に示すように、キャビティ部２０２の内方の底部にＬＥＤ素子２０３が実装されたＬＥＤパッケージであり、当該ＬＥＤパッケージが基板の上にマトリクス状に配置されている。
【００５６】
一方、吐出機構１１１にはジェットディスペンス方式が採用されているため、実塗布ステップＳ１０１においては、塗布制御部１３１は、吐出情報を所定の周波数で送信する。吐出機構１１１に備えられる圧電素子（ピエゾ素子）は、前記吐出情報に従い前記周波数で振動し、同じ周波数で樹脂２０１を吐出する。塗布制御部１３１は、所定の吐出回数に達した時点で所定量の樹脂２０１が、前記チップ部品に充填状態で塗布されたと判断し、樹脂２０１の吐出を終了する。
【００５７】
次に、実塗布ステップＳ１０１が任意の回数実行されたと判断されると（Ｓ１０２：Ｙ）、次に、塗布状態が確認される（Ｓ１０３：塗布状態確認ステップ）。
【００５８】
塗布状態確認ステップＳ１０３としては、例えば、対象物２００と類似したダミー対象物に対象物２００に対する塗布条件と同じ塗布条件で樹脂２０１を塗布し、塗布後の樹脂２０１を評価することにより、塗布された樹脂２０１が所定の性能を満たしているか否かを判断する。本実施の形態の場合、樹脂２０１には蛍光体が含まれているため、樹脂２０１に所定の光（例えば青色の光）を照射して得られた白色光のスペクトルに基づいて、樹脂２０１が所定の性能を満たしているか否かを判断する。
【００５９】
塗布状態確認ステップＳ１０３において塗布された樹脂２０１が所定の性能を満たしていない（Ｓ１０４、Ｎ）と判断されると、次に、塗布制御部１３１は、移動機構１０９を制御し、吐出手段１０１を撮像手段１０２の上方に移動させる。そして、塗布制御部１３１は、吐出情報を吐出手段１０１に送信し、塗布状態確認ステップＳ１０３と同じ吐出条件でノズル１１０から樹脂２０１を吐出させる。撮像手段１０２は、吐出情報の取得から所定の第一時間経過後にノズル１１０から吐出された空間中の樹脂２０１を撮像する（Ｓ１０５：撮像ステップ）。
【００６０】
ここで、吐出条件とは、吐出機構１１１が樹脂２０１を一滴吐出する一回の動作に関係する条件である。また、塗布条件とは吐出条件を含みその他の樹脂塗布装置１００に設定される条件も含む概念として記載している。
【００６１】
次に、撮像手段１０２から取得した画像情報に基づき、樹脂２０１の先端の位置を示す位置情報、および、樹脂２０１の先端の形状を示す形状情報の少なくとも一方を含む先端情報を取得し、前記先端情報に基づき吐出状態の良否を判定部１３２が判定する（Ｓ１０６：判定ステップ）。
【００６２】
判定ステップＳ１０６により得られた判定結果が良（Ｓ１０７、良）である場合は、吐出状態に関係する吐出条件以外の塗布条件（例えば、吐出回数や、一回あたりの吐出量）を塗布した樹脂２０１が所定の性能が出るように変更し（Ｓ１０８：塗布条件変更ステップ）、再び実塗布ステップＳ１０１を行う。
【００６３】
一方、判定ステップＳ１０６により得られた判定結果が否（Ｓ１０７、否）である場合は、吐出状態が良となるまで吐出条件を変更する（Ｓ１０９：吐出条件変更ステップ）。
【００６４】
ここで、吐出条件の変更とは、吐出手段１０１に供給する樹脂２０１の圧力の変更や、吐出機構１１１の条件の変更（例えば、圧電素子に印加する電圧の変更や、圧電素子に電圧を印加する時間の変更など）である。また、吐出条件変更後の吐出状態については、変更後の吐出条件で撮像ステップＳ１０５を実施し、良否を確認すればよい。また、吐出条件の変更によっても判定結果が良とならない場合は、樹脂２０１の種類（ロット）の変更や、ノズル１１０の交換、ノズル１１０の清掃などのメンテナンス作業を実施するよう要求する。
【００６５】
以上の、樹脂塗布装置を用い、吐出状態判定方法を採用すれば、人間の勘や技術に頼ることなく、装置的に定量的、または、定性的に樹脂２０１の吐出状態の良否を判定することができる。従って、塗布した樹脂２０１の性能が所定の条件に達していないような場合に、その原因の一つを経験の浅い人でも簡単に見出すことができ、塗布条件変更の容易化に寄与することができる。
【００６６】
なお、本願発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、本明細書において記載した構成要素を任意に組み合わせて、また、構成要素のいくつかを除外して実現される別の実施の形態を本願発明の実施の形態としてもよい。また、上記実施の形態に対して本願発明の主旨、すなわち、請求の範囲に記載される文言が示す意味を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例も本願発明に含まれる。
【００６７】
例えば、図１１に示すように、吐出状態判定前に、塗布状態を確認して、樹脂性能を満たすか否かを判断する工程を設けずに、定期的に空間中の樹脂２０１を撮像して、吐出状態の良否を判定してもかまわない。
【００６８】
具体的には、所定量の樹脂２０１を対象物２００に塗布する実塗布ステップ（Ｓ２０１）を実行し、実塗布ステップＳ１０１が任意の回数実行されたと判断されると（Ｓ２０２：Ｙ）、次に、撮像手段１０２は、ノズル１１０から吐出された空間中の樹脂２０１を撮像する（Ｓ２０５：撮像ステップ）。
【００６９】
次に、撮像手段１０２から取得した画像情報に基づき先端情報を取得し、前記先端情報に基づき吐出状態の良否を判定部１３２が判定する（Ｓ２０６：判定ステップ）。
【００７０】
判定ステップＳ１０６により得られた判定結果が良（Ｓ２０７、良）である場合は、実塗布ステップＳ２０１に戻る。
【００７１】
一方、判定ステップＳ２０６により得られた判定結果が否（Ｓ２０７、否）である場合は、吐出状態が良となるまで吐出条件を変更する（Ｓ２０９：吐出条件変更ステップ）。
【００７２】
また、吐出手段１０１が対象物２００へ樹脂２０１を吐出する実塗布ステップＳ１０１を実行している際の空間中の樹脂２０１を撮像手段１０２によって撮像し、吐出状態の良否をリアルタイムで判定してもかまわない。
【００７３】
また、撮像手段１０２は、吐出情報の取得から第一時間とは異なる第二時間経過後に第一時間に撮像される、または、撮像された空間中の樹脂２０１を撮像してもかまわない。つまり、ノズル１１０から吐出された樹脂２０１について複数回撮像してもかまわない。これにより、ノズル１１０から吐出された樹脂２０１の空間中の挙動を経時的に把握することができ、吐出状態の良否をより正確に判定することが可能となる。例えば、第一時間は樹脂２０１の先端を撮像する時間であり、第二時間は、樹脂２０１の後端を撮像する時間にすれば、より正確に吐出状態の良否を判定することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本願発明は、樹脂を対象物に塗布する分野に利用でき、特に、接着剤や蛍光体含有樹脂などの比較的高粘度の樹脂を正確な量で塗布する分野に利用できる。具体的な一例としては、白色発光ダイオードを製造する際に青色に発光するＬＥＤ素子の表面に黄色を発光する蛍光体を含有した透明の樹脂を塗布する分野に利用できる。
【符号の説明】
【００７５】
１００  樹脂塗布装置
１０１  吐出手段
１０２  撮像手段
１０３  制御装置
１０９  移動機構
１１０  ノズル
１１１  吐出機構
１２１  撮像装置
１２２  投光装置
１３１  塗布制御部
１３２  判定部
１９１  基台部
１９２  Ｙ軸レール
１９３  Ｘ軸レール
１９４  移動ステージ
２００  対象物
２０１  樹脂
【図１】
2015173162.tif 000003
【図２】
2015173162.tif 000004
【図３】
2015173162.tif 000005
【図４】
2015173162.tif 000006
【図５】
2015173162.tif 000007
【図６】
2015173162.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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