(57)【要約】【課題】  純度の高い鱗片状の粉体を高収率で生産性良く得ることができる鱗片状微粉体の製造方法および鱗片状微粉体の製造装置を提供する。【解決手段】  真空槽１０内において、エンドレスベルト１１を連続的に搬送するとともに、前記エンドレスベルト１１の表面にイオン性液体２６を形成する塗布工程と、前記イオン性液体２６の上に金属または金属化合物の薄膜を形成する成膜工程と、前記エンドレスベルト１１から前記イオン性液体２６と前記薄膜とを剥離する剥離工程とを、連続して複数回繰り返して行うものであり、前記塗布工程は、融点以上の温度に保たれた前記イオン性液体２６を蓄えた浴槽２７からエンドレスベルト１１を引き上げることにより行うものであり、前記剥離工程は、前記浴槽２７にエンドレスベルト１１を浸漬することにより行うものであることを特徴とする鱗片状微粉体の製造方法、および製造装置。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽内において、エンドレスベルトを連続的に搬送するとともに、前記エンドレスベルトの表面にイオン性液体を形成する塗布工程と、前記イオン性液体の上に金属または金属化合物の薄膜を形成する成膜工程と、前記エンドレスベルトから前記イオン性液体と前記薄膜とを剥離する剥離工程とを、連続して複数回繰り返して行うものであり、前記イオン性液体は、融点が５０℃以上１５０℃以下であり、前記塗布工程は、融点以上の温度に保たれた前記イオン性液体を蓄えた浴槽からエンドレスベルトを引き上げることにより行うものであり、前記剥離工程は、前記浴槽にエンドレスベルトを浸漬することにより行うものであることを特徴とする鱗片状微粉体の製造方法。
【請求項２】
前記イオン性液体と前記薄膜とを分離して前記薄膜を回収する分離回収工程と、前記薄膜を粉砕する粉砕工程とをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の鱗片状微粉体の製造方法。
【請求項３】
エンドレスベルトと、このエンドレスベルトを搬送する搬送手段と、前記エンドレスベルトの表面にイオン性液体を形成する塗布手段と、前記イオン性液体の上に金属または金属化合物の薄膜を形成する成膜手段と、前記エンドレスベルトから前記イオン性液体と前記薄膜とを剥離する剥離手段とを、真空槽内に備えたものであり、前記塗布手段は、融点以上の温度に保たれた前記イオン性液体を蓄えた浴槽からエンドレスベルトを引き上げることにより行うものであり、前記剥離手段は、前記浴槽にエンドレスベルトを浸漬することにより行うものであることを特徴とする鱗片状微粉体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属または金属化合物の鱗片状微粉体の製造方法および鱗片状微粉体の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、金、銀、アルミニウム等の金属粉は塗料に混合され金属光沢を有する塗料の製造に用いられている。また、最近では電子デバイス等に使用される導電性ペーストや、紫外線遮蔽ほかの各種機能性材料の原料として、高品質の金属粉または金属化合物粉が産業界に欠かせないものとなってきている。
【０００３】
金属粉の製造方法としては、アトマイズ法、電解法、化学的還元法等の方法が知られているが、これらの方法では、厚みの極めて薄い扁平な形状、いわゆる鱗片状の金属粉を得ることは困難である。
【０００４】
鱗片状の粉体を製造する方法としては、真空蒸着法を用いる方法が知られている。真空蒸着法により鱗片状の粉体を製造する方法としては、ベースフィルム上に、水または有機溶剤などの溶剤で溶解除去可能な樹脂などの剥離層を形成し、その上に金属または金属化合物を蒸着し、ベースフィルムから剥離層と蒸着層を一体的に剥離し、次いで溶剤中で粉砕して鱗片状の粉体を製造する方法が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００５】
また、真空蒸着法やスパッタリング法などの物理蒸着法により、金属または金属化合物などのナノ粒子前駆体をイオン性液体に付着させてナノ粒子を製造する、ナノ粒子の製造方法が、知られている（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表２００５−５３８２３４号公報
【特許文献２】特開２００７−２３１３０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記の特許文献１に開示のような方法では、樹脂などの剥離層および溶剤を回収し再利用することが困難であり、また、剥離した蒸着層には樹脂などの剥離層の一部が残存し、純度の高い鱗片状の粉体を得にくいという課題がある。また、上記の特許文献２に開示の方法は、使用するイオン性液体が液状であるために、得られるナノ粒子の形状は粒状や針状または不定形であり、鱗片状の粉体は得られないという課題がある。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するもので、剥離層を回収し再利用することが可能であり、また、純度の高い鱗片状の粉体を高収率で生産性良く得ることができる、鱗片状微粉体の製造方法および鱗片状微粉体の製造装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の鱗片状微粉体の製造方法は、真空槽内において、エンドレスベルトを連続的に搬送するとともに、前記エンドレスベルトの表面にイオン性液体を形成する塗布工程と、前記イオン性液体の上に金属または金属化合物の薄膜を形成する成膜工程と、前記エンドレスベルトから前記イオン性液体と前記薄膜とを剥離する剥離工程とを、連続して複数回繰り返して行うものであり、前記イオン性液体は、融点が５０℃以上１５０℃以下であり、前記塗布工程は、融点以上の温度に保たれた前記イオン性液体を蓄えた浴槽からエンドレスベルトを引き上げることにより行うものであり、前記剥離工程は、前記浴槽にエンドレスベルトを浸漬することにより行うものであることを特徴とする。
【００１０】
そして、本発明の鱗片状微粉体の製造装置は、エンドレスベルトと、このエンドレスベルトを搬送する搬送手段と、前記エンドレスベルトの表面にイオン性液体を形成する塗布手段と、前記イオン性液体の上に金属または金属化合物の薄膜を形成する成膜手段と、前記エンドレスベルトから前記イオン性液体と前記薄膜とを剥離する剥離手段とを、真空槽内に備えたものであり、前記塗布手段は、融点以上の温度に保たれた前記イオン性液体を蓄えた浴槽からエンドレスベルトを引き上げることにより行うものであり、前記剥離手段は、前記浴槽にエンドレスベルトを浸漬することにより行うものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の鱗片状微粉体の製造方法によれば、薄膜を積層する下地の剥離層として、融点が５０℃以上１５０℃以下のイオン性液体を用いることにより、このイオン性液体は薄膜の形成時には固体状であるので、容易に薄膜が形成できる。そして、イオン性液体を形成する塗布工程と金属または金属化合物の薄膜を形成する成膜工程とエンドレスベルトからイオン性液体と薄膜とを剥離する剥離工程とを連続して複数回繰り返して行うので、純度の高い鱗片状微粉体の高濃縮液を高収率で生産性良く製造することができる。また、溶剤を使用しないので、剥離層として用いたイオン性液体は、容易に回収し再利用することが可能である。
【００１２】
そして、本発明の鱗片状微粉体の製造装置によれば、比較的コンパクトな構造で、上記の本発明の鱗片状微粉体の製造方法が実現でき、純度の高い鱗片状微粉体の高濃縮液を高収率で生産性良く製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施の形態における鱗片状微粉体の製造装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の鱗片状微粉体の製造方法および鱗片状微粉体の製造装置について、以下に詳細に説明する。
【００１５】
本発明の鱗片状微粉体の製造方法は、真空槽内において、エンドレスベルトを連続的に搬送するとともに、前記エンドレスベルトの表面にイオン性液体を形成する塗布工程と、前記イオン性液体の上に金属または金属化合物の薄膜を形成する成膜工程と、前記エンドレスベルトから前記イオン性液体と前記薄膜とを剥離する剥離工程とを、連続して複数回繰り返して行うものであり、前記イオン性液体は、融点が５０℃以上１５０℃以下であり、前記塗布工程は、融点以上の温度に保たれた前記イオン性液体を蓄えた浴槽からエンドレスベルトを引き上げることにより行うものであり、前記剥離工程は、前記浴槽にエンドレスベルトを浸漬することにより行うものである構成としたものである。本発明の鱗片状微粉体の製造方法について、以下に、本発明の鱗片状微粉体の製造装置とともに、これらの構成および工程の詳細を順に説明する。
【００１６】
図１は、本発明の一実施の形態における鱗片状微粉体の製造装置の概略構成図である。図１の製造装置は、エンドレスベルト１１と、このエンドレスベルト１１を搬送する搬送手段１２と、エンドレスベルト１１の表面にイオン性液体を形成する塗布手段１３と、イオン性液体の上に金属または金属化合物の薄膜を形成する成膜手段１４と、エンドレスベルト１１からイオン性液体と薄膜とを剥離する剥離手段１５とを、真空槽１０内に備えている。
【００１７】
図１の製造装置において、真空槽１０は、イオン性液体室１７と成膜室１８とが断熱のための仕切り板１６により分離されている。イオン性液体室１７は、図示していない真空弁、排気管を経て真空排気ポンプにより所望の真空度に排気される。成膜室１８も、図示していない真空弁、排気管を経て真空排気ポンプによりイオン性液体室１７と同様に所望の真空度に排気される。
【００１８】
エンドレスベルト１１は、文字通り終端のないループ状であり、金属または金属化合物の薄膜を、この上に連続的に形成し剥離するための基材として機能する。エンドレスベルト１１の材質は、金属ベルト、ゴムベルト、プラスチックフィルム、金属またはプラスチックフィルムにゴムをラミネートしたベルト等が利用可能である。プラスチックフィルムの場合は、耐久性に劣るので、定期的にエンドレスベルトを交換するか、繊維強化プラスチック等で耐久性を向上させることが望ましい。また、厚さほか寸法形状は、特に限定されるものではなく、装置の搬送系のトルクや張力等に応じて適宜決定すれば良い。
【００１９】
搬送手段１２は、エンドレスベルト１１を搬送し連続走行させるものであり、冷却ドラム２０、冷却ドラム２１、搬送ロール２２、回転ドラム２３、および加熱ロール２４などを回転することにより構成されている。
【００２０】
塗布手段１３は、エンドレスベルト１１の表面に、金属または金属化合物の薄膜を形成する下地の剥離層となるイオン性液体を形成するものである。塗布手段１３としては、加熱ロール２４により加熱され融点以上の温度に保たれたイオン性液体２６を蓄えた浴槽２７からエンドレスベルト１１を引き上げることにより行う。そして、エンドレスベルト１１の表面に塗布されたイオン性液体２６は、ワイヤバー２５により所望の厚さに調整された後、冷却ドラム２１およびクライオパネル２８と熱交換ガス導入口２９からの冷却ガスにより冷却されて、固体状の塗膜として形成される。
【００２１】
成膜手段１４は、製造目的とする鱗片状の微粉体を得るために、上記エンドレスベルト１１上のイオン性液体２６の固体状塗膜の表面に、鱗片状微粉体の材料の薄膜を形成するものである。成膜手段１４としては、例えば、真空蒸着法やイオンプレーティング法、スパッタリング法などの物理蒸着法（ＰＶＤ法）により、蒸着源３０から冷却ドラム２０に向けて鱗片状微粉体の材料を蒸発させ、エンドレスベルト１１上のイオン性液体２６の固体状塗膜の表面に薄膜を形成する。また、成膜時のエンドレスベルト１１の温度を低く保つために、イオン性液体室１７と同様に、成膜室１８にクライオパネル２８と熱交換ガス導入口２９を設けることもできる。
【００２２】
剥離手段１５は、上記の塗布手段１３および成膜手段１４により、エンドレスベルト１１上に形成したイオン性液体２６および金属または金属化合物の薄膜を、エンドレスベルト１１から剥離してイオン性液体２６と薄膜とを回収するものである。剥離手段１５としては、上記塗布手段１３と同一のイオン性液体２６を蓄えた浴槽２７を用い、この浴槽２７にエンドレスベルト１１を浸漬する。これにより、エンドレスベルト１１上の固体状塗膜であるイオン性液体２６が液状化し、金属または金属化合物の薄膜は、エンドレスベルト１１からイオン性液体２６とともに剥離して、回収される。また、より高い回収率を実現するために、剥離手段として、さらに、薄膜をかき落とす刷毛や超音波振動等の方法を追加するほか、浴槽２７をいくつかの槽に仕切って、剥離した薄膜が他の槽へ移動拡散するのを防ぐことが、より好ましい。
【００２３】
以下に、図1の製造装置を用いた本発明の一実施の形態における鱗片状微粉体の製造方法について、詳細に説明する。
【００２４】
まず、鱗片状微粉体の製造方法における塗布工程について説明する。塗布工程においては、エンドレスベルト１１の表面にイオン性液体２６を形成する。
【００２５】
本発明の製造方法においては、金属または金属化合物の薄膜を形成する下地の剥離層として、イオン性液体を用いる。そして、本発明で用いるイオン性液体は、薄膜の形成時には固体状であることが必須であり、これにより、この固体状のイオン性液体の上に、容易に薄膜が形成できる。このため、本発明で用いるイオン性液体は、常温で固体状であることが望ましく、融点が５０℃以上であることが望ましい。また、後述するように、剥離工程において、このイオン性液体を融点以上に加熱して、イオン性液体とともに薄膜を基材であるエンドレスベルト１１から剥離するので、イオン性液体の融点は１５０℃以下であることが望ましい。したがって、本発明で用いるイオン性液体は、融点が５０℃以上１５０℃以下であることが望ましい。
【００２６】
融点が５０℃以上１５０℃以下であるイオン性液体としては、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムメタンスルフォネート（融点７５〜８０℃）、１−エチル−２，３−ジメチルイミダゾリウムエチルサルファート（融点６７℃）、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムクロライド（融点８０℃）、１−メチルイミダゾリウムクロライド（融点７５℃）、トリブチルエチラモニウムメチルサルファート（融点６２℃）、１，２，３−トリメチルイミダゾリウムメチルサルファート（融点１１３℃）、テトラブチルアンモニウムビス（トリフルオロメチルスルフォニ）イミド（融点９４℃）、１−アリル−３−メチルイミダゾリウムクロライド（融点５５℃）、１−ベンジル−３−メチルイミダゾリウムクロライド（融点７０℃）、１−ブチル−１−（３，３，４，４，５，５，６，６，７，７，８，８，８−トリデカフルオロクチル）イミダゾリウムヘキサフルオロフォスフォン（融点１２０℃）、１−ブチル−２，３−ジメチルイミダゾリウムクロライド（融点８９℃）、１−ベンジル−３−メチルイミダゾリウムヘキサフルオロフォスフォネート（融点１３６℃）、１−ベンジル−３−メチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート（融点７７℃）、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムブロマイド（融点７７℃）、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムブロマイド（融点５３℃）、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムヘキサフルオロフォスフォネート（融点６２℃）、１−メチル−３−（３，３，４，４，５，５，６，６，７，７，８，８，８−トリデカフルオロクチル）イミダゾリウムヘキサフルオロフォスフォネート（融点８０℃）、１−ブチルピリジミウムブロマイド（融点１０５℃）、１−ブチル−４−メチルピリジニムブロマイド（融点１３５℃）、１−ブチル−１−メチルピロリジニウムクロライド（融点１１４℃）、テトラブチルアンモニウムベンゾネート（融点６４℃）、テトラブチルアンモニウムメタンスルフォネート（融点７８℃）、テトラブチルアンモニウムノナフルオロブタンスルフォネート（融点５０℃）、テトラヘキシルアンモニウムテトラフルオロボレート（融点９０℃）、テトラオクチルアンモニウムクロライド（融点５０℃）、テトラブチルアンモニウムブロマイド（融点１０２℃）、テトラエチルアンモニウムトリフルオロアセテート（融点７４℃）、テトラヘプチルアンモニウムブロマイド（融点８９℃）、テトラヘキシルアンモニウムブロマイド（融点９７℃）、テトラヘキシルアンモニウムイオダイド（融点９９℃）、テトラオクチルアンモニウムブロマイド（融点９５℃）、テトラブチルフォスフォニウムメタンスルフォネート（融点５９℃）、テトラペンチルアンモニウムブロマイド（融点９９℃）、テトラブチルフォスフォニウムテトラフルオロボレート（融点９６℃）、テトラブチルフォスフォニウム−ｐ−トルエンスルフォネート（融点５４℃）、テトラブチルフォスフォニウムブロマイド（融点１０２℃）、テトラブチルフォスフォニウムクロライド（融点６２℃）、トリブチルヘキサデシルフォスフォニウムブロマイド（融点５７℃）などが、好適なイオン性液体として挙げられる。
【００２７】
エンドレスベルト１１の表面にイオン性液体を形成する方法としては、上記した図１の製造装置の塗布手段１３により行う。塗布手段１３としては、加熱ロール２４により加熱され融点以上の温度に保たれたイオン性液体２６を蓄えた浴槽２７からエンドレスベルト１１を引き上げることにより行う。そして、エンドレスベルト１１の表面に塗布されたイオン性液体２６は、ワイヤバー２５により所望の厚さに調整された後、冷却ドラム２１により冷却されて、固体状の塗膜として形成される。
【００２８】
形成するイオン性液体の厚さとしては、５０ｎｍ〜５０００ｎｍの範囲が好ましい。５０ｎｍ未満ではイオン性液体の固体状塗膜に被覆欠陥が発生しやすく、この上に形成する金属または金属化合物の薄膜の回収率が低下し、５０００ｎｍを超えると、イオン性液体の固体状塗膜が剥離しやすくなり、同様に回収率が低下するからである。
【００２９】
次に、鱗片状微粉体の製造方法における成膜工程について説明する。成膜工程においては、エンドレスベルト１１上のイオン性液体２６の表面に金属または金属化合物の薄膜を形成する。
【００３０】
イオン性液体の表面に形成する薄膜の材料は、本発明において製造の目的とする鱗片状微粉体の材料の種類であり、金属または金属化合物である。金属または金属化合物は、特に限定されるものではないが、金属としては、例えば、金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケル、インジウム、アルミニウム、鉄、ロジウム、ルテニウム、オスミウム、コバルト、モリブデン、亜鉛、バナジウム、タングステン、チタン、マンガン、クロム、ケイ素などが挙げられる。また、金属化合物としては、例えば、ＩＴＯ、Ｉｎ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＳｎＯ２、Ｔａ２Ｏ５、ＴｉＯ２、ＢａＴｉＯ３などの酸化物、ＺｎＳ、ＣｄＳなどの硫化物が挙げられる。また、これらの物質は、単体のほか複合物または積層物として形成することもできる。
【００３１】
金属または金属化合物の薄膜を形成する成膜方法は、目的とする鱗片状微粉体の材料の種類や厚みによって選択することが好ましく、周知の化学蒸着法（ＣＶＤ法）や物理蒸着法（ＰＶＤ法）などの乾式成膜法が利用できる。これらのうち、薄膜をバルク材料から比較的簡単な系で直接形成できるので、例えば、真空蒸着法やイオンプレーティング法、スパッタリング法などの物理蒸着法（ＰＶＤ法）が好ましい。そして、成膜時の雰囲気の温度がイオン性液体の融点以下であれば、薄膜が得られ、回収される粉体は、鱗片状となる。
【００３２】
成膜する薄膜の厚みは、１０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下の厚みであることが本発明の趣旨から好ましい。これは、１０ｎｍ以下であると、得られる微粉体が略粒状となってしまい、所望する鱗片状の微粉体を得ることができないからであり、１０００ｎｍを超えてしまうと、得られる粉体のサイズが大きくなりすぎ、微粉体により得られる種々の効果を得られないからである。
【００３３】
次に、鱗片状微粉体の製造方法における剥離工程について説明する。剥離工程においては、上記の成膜工程で得た金属または金属化合物の薄膜を、エンドレスベルト１１からイオン性液体２６とともに剥離する。
【００３４】
薄膜を、エンドレスベルト１１からイオン性液体２６とともに剥離する方法としては、上記した図１の製造装置の剥離手段１５により行う。剥離手段１５としては、上記塗布工程における塗布手段１３と同一のイオン性液体２６を蓄えた浴槽２７を用い、この浴槽２７にエンドレスベルト１１を浸漬することにより、エンドレスベルト１１上の固体状塗膜であるイオン性液体２６が液状化するので、金属または金属化合物の薄膜は、エンドレスベルト１１から剥離してイオン性液体２６とともに回収される。
【００３５】
そして、本発明の鱗片状微粉体の製造方法においては、上記の、イオン性液体を形成する塗布工程、金属または金属化合物の薄膜を形成する成膜工程、および、エンドレスベルトからイオン性液体と薄膜とを剥離する剥離工程を、連続して複数回繰り返して行う。これにより、純度の高い鱗片状微粉体の高濃縮液を高収率で生産性良く製造することができる。
【００３６】
以上説明したように、本発明の鱗片状微粉体の製造方法によれば、薄膜を積層する下地の剥離層として、融点が５０℃以上１５０℃以下のイオン性液体を用いることにより、このイオン性液体は薄膜の形成時には固体状であるので、容易に金属または金属化合物の薄膜が形成できる。そして、塗布工程と成膜工程と剥離工程とを連続して複数回繰り返して行うので、純度の高い鱗片状微粉体の高濃縮液を高収率で生産性良く製造することができる。また、溶剤を使用しないので、剥離層として用いたイオン性液体は、容易に回収し再利用することが可能である。
【００３７】
また、本発明の鱗片状微粉体の製造装置によれば、比較的コンパクトな構造で、上記の本発明の鱗片状微粉体の製造方法が実現でき、純度の高い鱗片状微粉体の高濃縮液を高収率で生産性良く製造することができる。
【００３８】
なお、本発明の鱗片状微粉体の製造方法においては、上記の塗布工程、成膜工程、および剥離工程を複数回繰り返して、鱗片状微粉体の高濃縮液を得た後に、イオン性液体と薄膜とを分離して薄膜を回収する分離回収工程を備えることが好ましい。薄膜の分離および回収は、上記の鱗片状微粉体の高濃縮液中に分散した薄膜を、例えば、遠心分離法等によって分離回収することができる。
【００３９】
また、本発明の鱗片状微粉体の製造方法においては、上記の分離回収工程の後に、薄膜を粉砕する粉砕工程を備えることが好ましい。粉砕工程では、上記の剥離工程または分離回収工程で得られた粗粉状の薄膜をさらに粉砕することにより、所望の寸法形状の鱗片状微粉体とすることができる。
【００４０】
本発明の製造方法により得られる鱗片状微粉体の寸法形状としては、面における最も長い端から端の長さの平均値である平均長径が０．１μｍ以上５０μｍ以下であることが好ましく、上記のように厚みは１０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下が好ましい。そして、平均長径および厚みがこれらの範囲であって、かつ、厚みに対する平均長径の比であるアスペクト比が２０以上であるものとすると、好ましい鱗片状微粉体となる。この寸法形状の鱗片状微粉体は、例えば、インクや塗料、化粧料等に含有させて使用した場合、表面に微粉体が浮き出てしまうこともなくその表面は滑らかで、塗料であれば滑らかな鏡面状の金属光沢等を付与でき、化粧料では高級ラメ感等を呈することができる。
【００４１】
粉砕工程における薄膜を粉砕する方法としては、一般的な機械的粉砕方法が使用でき、例えば、超音波ホモジナイザー、ジェットミル、ビーズミル等による機械的粉砕方法が挙げられる。この粉砕は、水中またはアルコール等の溶媒中で行ってもよい。
【００４２】
以上説明した本発明の鱗片状微粉体の製造方法により、純度の高い鱗片状の微粉体を高収率で生産性良く製造することができる。また、インクや塗料、化粧料等に含有させて使用した場合、望ましい効果が得られる形状の鱗片状微粉体を製造することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明に係る鱗片状微粉体の製造方法は、純度の高い鱗片状の微粉体を高収率で生産性良く製造することができ、また、溶剤を使用しないので、剥離層として用いたイオン性液体は容易に回収し再利用することが可能になるので、鱗片状微粉体の製造方法として、産業上有用である。
【符号の説明】
【００４４】
１０  真空槽
１１  エンドレスベルト
１２  搬送手段
１３  塗布手段
１４  成膜手段
１５  剥離手段
１６  仕切り板
１７  イオン性液体室
１８  成膜室
２０、２１  冷却ドラム
２２  搬送ロール
２３  回転ドラム
２４  加熱ロール
２５  ワイヤバー
２６  イオン性液体
２７  浴槽
２８  クライオパネル
２９  熱交換ガス導入口
３０  蒸着源
【図１】
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