(57)【要約】【課題】高現像性であり、かつ硬化物が優れた弾性回復特性と密着性を有し、高精細なスペーサーの形成が可能な感光性樹脂組成物を提供すること。  【解決手段】親水親油バランスが８以上３０以下の多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）を５０〜１００重量％含有する多官能（メタ）アクリレート（Ａ）と光重合開始剤（Ｂ）を含有する感光性樹脂組成物。（Ａ１）は、オキシアルキレン基を有することが好ましい。該組成物は、さらに２個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシラン化合物、親水性バインダー樹脂（Ｄ）、親水性バインダー樹脂（Ｄ）、溶剤（Ｅ）等を含有することが好ましい。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
親水親油バランスが８以上３０以下の多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）を５０〜１００重量％含有する多官能（メタ）アクリレート（Ａ）と光重合開始剤（Ｂ）を含有する感光性樹脂組成物。
【請求項２】
親水親油バランスが８以上３０以下の多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）が、オキシアルキレン基を有する請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
さらに、２個以上の加水分解性アルコキシ基を有し下記一般式（１）で表されるシラン化合物（Ｃ１）、および／またはシラン化合物（Ｃ１）を重縮合してなるポリシロキサン（Ｃ２）を含有する請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【化１】
2015152726.tif 000004
［式中、Ｒ１は、（メタ）アクリロイロキシ基、グリシジルオキシ基、メルカプト基及びアミノ基からなる群から選ばれる１種以上の官能基を有する炭素数が１〜６の炭化水素基を表す。Ｒ２は、アルキル基、脂環式飽和炭化水素基、または芳香族炭化水素基を表す。Ｒ３は炭素数が１〜４のアルキル基を表す。ｍは０または１の整数である。］
【請求項４】
さらに、親水性バインダー樹脂（Ｄ）を含有する請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
さらに、溶剤（Ｅ）を含有する請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を光照射の後、アルカリ現像してパターンを形成し、さらにポストベークを行って形成されたフォトスペーサー。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を光照射の後、アルカリ現像してパターンを形成し、さらにポストベークを行って形成されたカラーフィルター用保護膜。
【請求項８】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を光照射の後、アルカリ現像してパターンを形成し、さらにポストベークを行って形成されたタッチパネルの保護膜もしくは絶縁膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は感光性樹脂組成物に関する。詳しくは、フォトスペーサー、カラーフィルタ保護膜、タッチパネル保護膜またはタッチパネル絶縁膜用に適した感光性樹脂組成物に関する。  
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置が脚光をあびており、その製造プロセスにおいて感光性樹脂が多用されている。例えば、カラーフィルター上の画素に相当する部分には、着色顔料を分散させた感光性樹脂が用いられており、ブラックマトリックスにも感光性樹脂が用いられている。
【０００３】
従来、液晶表示パネルには所定の粒径を有するビーズをフォトスペーサーとして用い２枚の基板間に間隔を設けていた。しかし、これらのビーズはランダムに分散するため、色表示画素上に分布することにより光漏れ、入射光の散乱などが発生し液晶パネルのコントラストが低下するという問題があった。
【０００４】
これらの問題を解消するため、感光性樹脂を用い、部分的なパターン露光、現像というフォトリソグラフィー法により画素間に位置するブラックマトリックス上に、柱状の樹脂性スペーサーを形成する方法が提案されている。このフォトスペーサーは画素を避けた位置に配置することができるので、上記のような表示品質に悪影響を及ぼすことがなくなり、表示品質の向上が望める。
【０００５】
そして、さらなる表示品質の向上のために上記フォトスペーサーの高精細化が望まれている。しかし、高精細化に伴い高感度化が必要になるが、通常の光重合開始剤では感度が低く、さらに形成された高精細化されたフォトスペーサーの弾性回復特性の低下、さらには、基板と密着性が低下しフォトスペーサーが剥離する現象が生じていた。
高精細化の方法として、硫黄原子含有化合物を添加する方法（例えば特許文献１）が開示されているが、微細なフォトスペーサーを形成すると密着性が著しく低下する。
【０００６】
一方、近年、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）製造のためのマザーガラスが大きくなるに従い、従来の液晶流入方法（真空吸引方式）に代わって、滴下方式（ＯＤＦ方式）（ＯＤＦ：Ｏｎｅ  Ｄｒｏｐ  Ｆｉｌｌ）が提案されている。このＯＤＦ方式では所定量の液晶を滴下した後に２枚の基板で挟持することによって液晶を注入するため、従来の真空吸引方式に比べ、工程数および工程時間の短縮が可能である。
しかし、ＯＤＦ方式においては、セルギャップから計算して見積もった所定量の液晶を滴下して狭持するため、その際にガラス基板上に配置されたフォトスペーサーに圧力変化がかかる。この圧力変化に対して、形状が塑性変形しないよう、高い弾性回復特性を有することがフォトスペーサーに対して望まれる。
【０００７】
このような高い弾性回復特性を得るためには、オルガノシリカゾルなどの無機微粒子をナノ分散させる方法（例えば特許文献２）や、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートのような多官能モノマーの含有比率を５０％以上に高めることによって高弾性を得る方法（例えば特許文献３）が知られている。
しかし、いずれの方法でも、樹脂組成物は疎水性になるため、現像時間が長くなり、生産性が低下するという問題があり、高弾性と高現像性が両立し得る感光性樹脂組成物は得られていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１０−２７４８５３号公報
【特許文献２】特開２００７−１０８８５号公報
【特許文献３】特開２００２−１７４８１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、高現像性であり、かつ硬化物が優れた弾性回復特性と密着性を有したスペーサー、カラーフィルター用保護膜、タッチパネル用保護膜もしくは絶縁膜などの硬化物の形成が可能な感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。  
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、上記の目的を達成するべく検討を行った結果、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、親水親油バランスが８以上３０以下の多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）を５０〜１００重量％含有する多官能（メタ）アクリレート（Ａ）と光重合開始剤（Ｂ）を含有する感光性樹脂組成物；並びに該感光性樹脂組成物を用いてなるフォトスペーサー、該感光性樹脂組成物を用いてなるカラーフィルタ用保護膜、該感光性樹脂組成物を用いてなるタッチパネルの保護膜もしくは絶縁膜である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の感光性樹脂組成物は、高い現像性を有し、硬化物が優れた弾性回復特性を有し、ガラス基板との密着性に優れたスペーサー、カラーフィルター用保護膜、タッチパネル用保護膜もしくは絶縁膜などの硬化物を形成することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の感光性樹脂組成物は、親水親油バランスが８以上３０以下の多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）を５０〜１００重量％含有する多官能（メタ）アクリレート（Ａ）と光重合開始剤（Ｂ）を必須成分として含有することを特徴とする。
【００１３】
なお、本明細書において、「（メタ）アクリレート」とは「アクリレートまたはメタクリレート」を、「（メタ）アクリル酸」とは「アクリル酸またはメタクリル酸」を、「（メタ）アクリル樹脂」とは「アクリル樹脂またはメタクリル樹脂」を、「（メタ）アクリロイル基」とは「アクリロイル基またはメタクリロイル基」を、「（メタ）アクリロイロキシ基」とは「アクリロイロキシ基またはメタクリロイロキシ基」を意味する。
【００１４】
以下において、本発明の感光性樹脂組成物の必須構成成分である（Ａ）および（Ｂ）について順に説明する。
【００１５】
本発明の感光性樹脂組成物は、必須成分として親水親油バランスが８以上３０以下の多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）を５０〜１００重量％含有する多官能（メタ）アクリレート（Ａ）を含む。（Ａ１）の含有量が５０重量％未満である場合は現像性が不十分となる。
【００１６】
本発明における「親水親油バランス(以下、ＨＬＢと記すことがある。)」とは、親水性と親油性のバランスを示す指標であって、例えば「界面活性剤入門」〔２００７年三洋化成工業株式会社発行、藤本武彦著〕２１２頁に記載されている小田法による計算値として知られているものであり、グリフィン法による計算値ではない。
ＨＬＢ値は有機化合物の有機性の値と無機性の値との比率から計算することができる。
ＨＬＢ＝１０×無機性／有機性
ＨＬＢを導き出すための有機性の値及び無機性の値については有機性の数値として、炭素原子１個あたり２０と定め、無機性の数値としては前記「界面活性剤入門」２１３頁に記載の表の値を用いて算出する。算出例として、−ＣＨ３基：有機性値２０、無機性値０、−ＣＨ２−基：有機性値２０、無機性値０、＝ＣＨ２基：有機性値２０、無機性値１、＝ＣＨ−基：有機性値１０、無機性値１、ベンゼン環：有機性値１２０、無機性値１５、−Ｏ−基：無機性値２０、−ＣＯＯ−：有機性値２０、無機性値６０、−ＯＨ基：無機性値１００、−ＣＯＯＨ基：有機性値２０、無機性値１５０が挙げられる。ただし、オキシエチレン基（−ＣＨ２ＣＨ２Ｏ−）は特別扱いをして、有機性値４０、無機性値７５を用いて算出する。
【００１７】
本発明の感光性樹脂組成物中の必須成分として含まれる多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）としては、２官能（メタ）アクリレート（Ａ１１）、３官能（メタ）アクリレート（Ａ１２）及び４〜６官能（メタ）アクリレート（Ａ１３）等が挙げられる。
例えば２官能（メタ）アクリレートとは、（メタ）アクリロイル基の数が２個であることを意味し、以下同様の記載法を用いる。
【００１８】
２官能（メタ）アクリレート（Ａ１１）としては、炭素数２〜３０の２価以上のアルコールのエチレンオキサイド０〜３０モル付加物と（メタ）アクリル酸のエステル化物、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド４〜３０モル付加物のジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。このような化合物として、トリメチロールプロパンジアクリレート(ＨＬＢ値：１０．２)、トリメチロールプロパンの１０モルエチレンオキサイド付加物のジ（メタ）アクリレート（ＨＬＢ値：１５．７）、トリメチロールプロパンの２０モルエチレンオキサイド付加物のジ（メタ）アクリレート（ＨＬＢ値：１６．９）、トリメチロールプロパンの３０モルエチレンオキサイド付加物のジアクリレート（ＨＬＢ値：１７．４）、グリセリンジアクリレート（ＨＬＢ値：１３．２）、グリセリンの１０モルエチレンオキサイド付加物のジ（メタ）アクリレート（ＨＬＢ値：１７．２）、グリセリンの２０モルエチレンオキサイド付加物のジ（メタ）アクリレート（ＨＬＢ値：１７．８）、グリセリンの３０モルエチレンオキサイド付加物のジ（メタ）アクリレート（ＨＬＢ値：１８．１）、ビスフェノールＡの４モルエチレンオキサイド付加物のジ（メタ）アクリレート（ＨＬＢ値：８．１）、ビスフェノールＡの１０モルエチレンオキサイド付加物のジ（メタ）アクリレート（ＨＬＢ値：１１．３）、ビスフェノールＡの３０モルエチレンオキサイド付加物のジ（メタ）アクリレート（ＨＬＢ値：１５．０）等が挙げられる。
【００１９】
３官能（メタ）アクリレート（Ａ１２）としては、炭素数３〜３０の３価以上（好ましくは３〜８価）アルコールと（メタ）アクリル酸のエステル化物、炭素数３〜３０の３価以上（好ましくは３〜８価）のアルコールのエチレンオキサイド１〜３０モル付加物と（メタ）アクリル酸のエステル化物等が挙げられる。このような化合物として、グリセリンのトリアクリレート（ＨＬＢ値：８．１）、ペンタエリスリトールトリアクリレート（ＨＬＢ値：１１．０）、トリメチロールプロパンの３モルエチレンオキサイド付加物のトリアクリレート（ＨＬＢ値：１０．３）、トリメチロールプロパンの６モルエチレンオキサイド付加物のトリアクリレート（ＨＬＢ値：１２．２）、トリメチロールプロパンの９モルエチレンオキサイド付加物のトリアクリレート（ＨＬＢ値：１３．５）、トリメチロールプロパンの１５モルエチレンオキサイド付加物のトリアクリレート（ＨＬＢ値：１４．９）、トリメチロールプロパンの２０モルエチレンオキサイド付加物のトリアクリレート（ＨＬＢ値：１５．６）、グリセリンの９モルエチレンオキサイド付加物のトリアクリレート（ＨＬＢ値：１４．６）等が挙げられる。
【００２０】
４〜６官能（メタ）アクリレート（Ａ１３）としては、炭素数５〜３０の４価以上（好ましくは４〜８価）アルコールと（メタ）アクリル酸のエステル化物、炭素数５〜３０の４価以上（好ましくは４〜８価）のアルコールのエチレンオキサイド１〜３０モル付加物と（メタ）アクリル酸のエステル化物等が挙げられる。これらの化合物として、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（ＨＬＢ値：９．４）、ペンタエリスリトールの４モルエチレンオキサイド付加物テトラアクリレート（ＨＬＢ値：１１．４）、ジペンタエリスリトールの３モルエチレンオキサイド付加物のヘキサアクリレート（ＨＬＢ値：９．６）などが挙げられる。
【００２１】
多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）のうち、弾性回復特性の点から、好ましいものは（Ａ１２）及び（Ａ１３）である。
【００２２】
多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）のうち、現像性の点から、好ましいものはオキシアルキレン基を有するものであり、さらに好ましくはオキシエチレン基を有するものであり、特に好ましくは多価アルコールのエチレンオキサイド付加物の（メタ）アクリル酸のエステル化物である。
【００２３】
多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）のＨＬＢは、８以上３０以下である。（Ａ１）のＨＬＢは現像性の観点から好ましくは９以上２５以下、特に好ましくは１０以上２０以下である。
【００２４】
本発明の感光性樹脂組成物に含有される多官能（メタ）アクリレート（Ａ）は、親水親油バランスが８以上３０以下の多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）を５０〜１００重量％、（Ａ１）以外の多官能（メタ）アクリレート（Ａ２）を０〜５０重量％含有する。
【００２５】
多官能（メタ）アクリレート（Ａ２）としては炭素数５〜３０の４価以上（好ましくは４〜８価）アルコールのアルコール部分を全て（メタ）アクリル酸でエステル化した化合物等が挙げられる。具体例としてはペンタエリスリトールテトラアクリレート（ＨＬＢ値：７．８）、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＨＬＢ値：７．５）などが挙げられる。
【００２６】
本発明の感光性樹脂組成物中の多官能（メタ）アクリレート（Ａ）の合計重量に基づくＨＬＢが８以上３０以下の多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）の含有量は、５０重量％以上であり、好ましくは５５重量％以上、特に好ましくは６０重量％、最も好ましくは６５重量％以上である。
【００２７】
本発明の感光性樹脂組成物中の（Ａ）および（Ｂ）の合計重量に基づく多官能（メタ）アクリレート（Ａ）の含有量は、７０〜９８重量％が好ましく、さらに好ましくは７５〜９８重量％である。７０重量％以上であれば硬化反応性および弾性回復特性がさらに良好に発揮できる。
【００２８】
本発明の感光性樹脂組成物中に用いる光重合開始剤（Ｂ）は、可視光線、紫外線、遠赤外線、荷電粒子線、Ｘ線などの放射線の露光により、重合性不飽和化合物の重合を開始しうるラジカルを発生する成分であればどのようなものでもよい。
【００２９】
このような光重合開始剤（Ｂ）としては、例えば、アセトフェノン誘導体（Ｂ１）、アシルフォスフィンオキサイド誘導体（Ｂ２）、チタノセン誘導体（Ｂ３）、トリアジン誘導体（Ｂ４）、ビスイミダゾール誘導体（Ｂ５）、Ｏ−アシルオキシム（オキシムエステル）誘導体（Ｂ６）、ベンゾフェノン誘導体（Ｂ７）、チオキサントン誘導体（Ｂ８）、α−ジケトン誘導体（Ｂ９）、アントラキノン誘導体（Ｂ１０）、アクリジン誘導体（Ｂ１１）、およびこれらを２種以上含有する混合物が挙げられる。
【００３０】
アセトフェノン誘導体（Ｂ１）としては、例えば、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、アセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、４−イソプロピル−２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、２−メチル−１−（４−（メチルチオ）フェニル）−２−モルフォリノ−１−プロパノン、ジメチルベンジルケタール、メチルベンゾイルフォーメート、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン］が挙げられる。
【００３１】
アシルフォスフィンオキサイド誘導体（Ｂ２）としては、例えば、トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイドが挙げられる。
【００３２】
チタノセン誘導体（Ｂ３）としては、例えば、ビス（η５−２，４−シクロペンタジエンー１―イル)−ビス（２，６ージフルオロー３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）−フェニル）チタニウムが挙げられる。
【００３３】
トリアジン誘導体（Ｂ４）としては、例えば、トリクロロメチルトリアジン、ベンジル−２，４，６−（トリハロメチル）トリアジンが挙げられる。
【００３４】
ビスイミダゾール誘導体（Ｂ５）としては、例えば、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体が挙げられる。
【００３５】
Ｏ−アシルオキシム（オキシムエステル）誘導体（Ｂ６）としては、例えば、１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏーベンゾイルオキシム）］、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）が挙げられる。
【００３６】
ベンゾフェノン誘導体（Ｂ７）としては、例えば、ベンゾフェノン、４，４−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、３，３−ジメチル−４−メトキシ−ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンが挙げられる。
【００３７】
チオキサントン誘導体（Ｂ８）としては、例えば、イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントンが挙げられる。
【００３８】
α−ジケトン誘導体（Ｂ９）としては、例えば、カンファーキノンが挙げられる。
【００３９】
アントラキノン誘導体（Ｂ１０）としては、例えば、アントラキノン、２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノンが挙げられる。
【００４０】
アクリジン誘導体（Ｂ１１）としては、例えば、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９ーアクリジニル）ヘプタン、１，５−ビス（９−アクリジニル）ペンタン、１，３−ビス（９−アクリジニル）プロパンが挙げられる。
【００４１】
これら（Ｂ１）〜（Ｂ１１）のうち、合成の容易さの観点から（Ｂ１）、（Ｂ２）、および（Ｂ８）が好ましく、２−メチル−１−（４−（メチルチオ）フェニル）−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイドおよびジエチルチオキサントンがさらに好ましく、反応性の観点から２−メチル−１−（４−（メチルチオ）フェニル）−２−モルフォリノ−１−プロパノンおよびビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイドが特に好ましい。
【００４２】
光重合開始剤（Ｂ）は、市販のものが容易に入手することができ、例えば２−メチル−１−（４−（メチルチオ）フェニル）−２−モルフォリノ−１−プロパノンとしては、イルガキュア９０７（ＢＡＳＦ社製）、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オンとしては、イルガキュア３６９（ＢＡＳＦ社製）、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイドとしては、イルガキュア８１９（ＢＡＳＦ社製）等が挙げられる。
【００４３】
本発明の感光性樹脂組成物中の（Ａ）および（Ｂ）の合計重量に基づく光重合開始剤（Ｂ）の含有量は、２〜３０重量％が好ましく、さらに好ましくは２〜２５重量％である。２重量％以上であれば硬化反応性および弾性回復特性がさらに良好に発揮でき、３０重量％以下であれば光露光時のマスク汚れの低減がさらに良好に発揮できる。
【００４４】
本発明の感光性樹脂組成物は、密着性をさらに向上させる目的で、２個以上の加水分解性アルコキシ基を有し、下記一般式（１）で表されるシラン化合物（Ｃ１）またはシラン化合物（Ｃ１）を重縮合してなるポリシロキサン（Ｃ２）をさらに含有することが好ましい。
【００４５】
【化１】
2015152726.tif 000002
【００４６】
［式中、Ｒ１は、アルキレン基部分の炭素数が１〜６である（メタ）アクリロイロキシアルキル基、グリシジルオキシ基、メルカプトアルキル基及びアミノアルキル基からなる群から選ばれる１種以上の有機基を表す。Ｒ２は、アルキル基、脂環式飽和炭化水素基、または芳香族炭化水素基を表す。Ｒ３は炭素数が１〜４のアルキル基を表す。ｍは０または１の整数である。］
【００４７】
ここでいう「加水分解性アルコキシ基」とは、炭素数１〜８のアルコキシ基で、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ブチルオキシ基、ｓｅｃ−ブチルオキシ基、ｔ−ブチルオキシ基、ペンチルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基が挙げられる。
２種以上の（Ｃ１）、２種以上の（Ｃ２）を使用してもよいし、また、（Ｃ１）と（Ｃ２）を併用してもよい。
【００４８】
式中のＲ２は、アルキル基、脂環式飽和炭化水素基、または芳香族炭化水素基を表す。
Ｒ２のうち、アルキル基としては、直鎖アルキル基および分岐アルキル基挙げられる。
直鎖アルキル基としては、メチル、エチル、ｎ−プロピル、ｎ−ブチル、ｎ−オクチルおよびｎ−ドデシル基が挙げられ、分岐アルキル基としてはイソプロピル、イソブチル、ｓｅｃ−ブチルおよび２−エチルヘキシル基などが挙げられる。
【００４９】
Ｒ２のうち、脂環式炭化水素基としては、シクロヘキシル基、シクロオクチル基、シクロヘキシルメチル基およびメチルシクロヘキシル基などが挙げられる。
【００５０】
Ｒ２のうち、芳香族炭化水素基としては、アリール基、アラルキル基およびアルキルアリール基が挙げられる。
アリール基としてはフェニル基、ビフェニル基、ナフチル基；アラルキル基としてはトリル基、キシリル基、メシチル基；並びに、アルキルアリール基としてはメチルフェニル基およびエチルフェニル基などが挙げられる。
【００５１】
Ｒ２のうち好ましいのは、硬化反応性の観点から、直鎖アルキル基、分岐アルキル基およびアリール基であり、さらに好ましいのは直鎖アルキル基およびアリール基である。
好ましいのはメチル基、エチル基、フェニル基、およびこれらの併用である。
【００５２】
式中のＲ３は炭素数が１〜４のアルキル基を表し、具体的にはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基およびｓｅｃ−ブチル基などが挙げられ、好ましいのは熱硬化反応性の観点からメチル基およびエチル基である。
【００５３】
式中のｍは０または１の整数である。
【００５４】
一般式（１）において、Ｒ1として（メタ）アクリロイロキシアルキル基を有するシラン化合物（Ｃ１）としては、以下の化合物等が挙げられる。
ｍが０、すなわちアルコキシ基を３個有する３官能シラン化合物としては、３−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイロキシプロピルトリエトキシシラン、３−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、３−アクリロイロキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
【００５５】
ｍが１、すなわちアルコキシ基を２個有する３官能シラン化合物としては、３−メタクリロイロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−メタクリロイロキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−アクリロイロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−アクリロイロキシプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。
【００５６】
Ｒ1としてグリシジルオキシ基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
ｍが０、すなわちアルコキシ基を３個有する３官能シラン化合物としては、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
【００５７】
ｍが１、すなわちアルコキシ基を２個有する３官能シラン化合物としては、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。
【００５８】
Ｒ1としてメルカプトアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
ｍが０、すなわちアルコキシ基を３個有する３官能シラン化合物としては、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
【００５９】
ｍが１、すなわちアルコキシ基を２個有する３官能シラン化合物としては、３−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、３−メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。
【００６０】
Ｒ1としてアミノアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
ｍが０、すなわちアルコキシ基を３個有する３官能シラン化合物としては、Ｎ−２アミノエチルγーアミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２アミノエチルγーアミノプロピルトリエトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
【００６１】
ｍが１、すなわちアルコキシ基を２個有する３官能シラン化合物としては、Ｎ−２アミノエチルγ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−２アミノエチルγ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、３−アミノプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。
【００６２】
上記一般式（１）で表される（Ｃ１）のうち、硬化反応性の観点から好ましいのは、一般式（１）中のＲ1が（メタ）アクリロイロキシアルキル基又はグリシジルオキシ基を有するシラン化合物である。
さらに好ましいのは、アルコキシ基を３個有する（メタ）アクリロイロキシアルキル基含有３官能シラン化合物、およびアルコキシ基を３個有するグリシドキシアルキル基含有３官能シラン化合物である。特に好ましいのは、３−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシランおよび３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランである。
【００６３】
上記一般式（１）で表されるシラン化合物（Ｃ１）を必須構成単位として含むポリシロキサン（Ｃ２）としては、上記一般式（１）で表されるシラン化合物（Ｃ１）のみからなる単独縮合重合体、並びに（Ｃ１）と共縮合可能な他のシラン化合物（Ｃ３）と（Ｃ１）との共縮合体が挙げられる。
（Ｃ１）と共縮合可能なシラン化合物（Ｃ３）としては、下記一般式（２）で表されるシラン化合物が挙げられる。
【００６４】
Ｒ4nＳｉ（ＯＲ5）4−n                （２）
【００６５】
式（２）中、Ｒ４はアルキル基または芳香族炭化水素基であり、Ｒ５は炭素数１〜４のアルキル基であり、ｎは０〜２の整数である。
【００６６】
式（２）中のＲ４およびＲ５は、式（１）中のＲ２およびＲ３で例示したものが挙げられる。
Ｒ４のうち好ましいのは直鎖アルキル基、分岐アルキル基およびアリール基である。Ｒ５として好ましいのはメチル基およびエチル基である。
【００６７】
一般式（２）において、ｎが０、すなわちアルコキシ基を４個有する４官能シラン化合物としては、テトラメトキシシランおよびテトラエトキシシラン等が挙げられる。
ｎが１、すなわちアルコキシ基を３個有する３官能シラン化合物としては、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシランおよびメチルトリエトキシシラン等が挙げられる。
ｎが２、すなわちアルコキシ基を２個有する２官能シラン化合物としては、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルメチルジメトキシシランおよびフェニルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。
ポリシロキサン（Ｃ２）の均一なネットワークの形成の観点から、ｎが１、すなわち３官能シラン化合物が好ましい。
【００６８】
シラン化合物（Ｃ１）と他のシラン化合物（Ｃ３）の合計量との仕込み比（Ｃ１）／（Ｃ３）は、硬化反応性の観点から、１／０．１〜１／６．０モル、好ましくは、１／０．２〜１／４．０モルが良好である。
【００６９】
本発明のポリシロキサン（Ｃ２）は、例えば、乾燥雰囲気下で、シラン化合物（Ｃ１）および必要により使用される他のシラン化合物（Ｃ３）中に所定量の水および必要により触媒を攪拌しながら２０〜１００℃で約１０分〜６０分かけて滴下し、その後副生するアルコールの沸点以下の温度（例えば０〜１５０℃）で１〜１２時間かけて熟成することにより縮合反応して得ることができる。
【００７０】
縮合反応において添加する水の量をＸモル、シラン化合物（Ｃ１）および他のシラン化合物（Ｃ３）中のアルコキシ基のモル数をＹとした場合、Ｘ／Ｙが小さすぎると縮合物の収量と分子量が低下する。一方、Ｘ／Ｙが大きすぎる場合は分子量が大きくなりすぎて保存安定性が低下する傾向にある。
このことから、０．１＜Ｘ／Ｙ＜５の範囲、好ましくは０．３＜Ｘ／Ｙ＜３の範囲で行うことが好ましい。
添加する水は通常イオン交換水または蒸留水を用いる。
【００７１】
また、分子量調整の目的で、１個のアルコキシ基を有するシラン化合物を共縮合することもできる。１個のアルコキシ基を有するシラン化合物としては、例えばトリフェニルメトキシシラン、トリメチルメトキシシラン等が挙げられる。
【００７２】
本発明の感光性樹脂組成物の（Ａ）および（Ｂ）の合計重量に対する（Ｃ１）と（Ｃ２）の合計含有量は、０〜１０重量％が好ましく、さらに好ましくは１〜８重量％である。
【００７３】
本発明の感光性樹脂組成物は、必要によりさらにその他の成分を含有していても良く、無機微粒子、界面活性剤、酸化防止剤、重合禁止剤、親水性バインダー樹脂（Ｄ）などが挙げられる。
【００７４】
無機微粒子としては、金属酸化物及び金属塩が使用できる。金属酸化物としては、例えば、酸化チタン、酸化ケイ素及び酸化アルミニウム等が挙げられる。金属塩としては、例えば、炭酸カルシウム及び硫酸バリウム等が挙げられる。これらのうちで耐熱透明性及び耐薬品性の観点から、金属酸化物が好ましく、さらに好ましくは酸化ケイ素が好ましい。また無機微粒子は、体積平均一次粒子径が１〜２００ｎｍのものが好ましい。
【００７５】
界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、非イオン系、両性、フッ素系、シリコン系等の界面活性剤各種のものが使用できる。これらのうちで塗布性の観点から、フッ素系及びシリコン系界面活性剤が好ましい。
【００７６】
酸化防止剤としては、２，６−ジーｔ−ブチル−４−メチルフェノール、２−ｔ−ブチル−６−（３−ｔ−ブチル−２−ヒドロキシ−５−メチルベンジル）−４−メチルフェニルアクリレート、２−［１−（２−ヒドロキシ−３，５−ジ−ｔ−ペンチルフェニル）エチル］−４、６−ジ−ｔ−ペンチルフェニルアクリレート、６−［３−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロポキシ］−２，４，６，１０−テトラ−ブチルジベンズ［ｄ，ｆ］［１，３，２］ジオキサフォスフェピン、３−４’−ヒドロキシ−３’−５’−ジ−ｔ−ブチルフェニル）プロピオン酸−ｎ−オクタデシル、オクタデシル−３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）−プロピオネート、３，９−ビス［２−〔３−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオニルオキシ〕−１，１ジメチルエチル］−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ［５・５］ウンデカン、２，２’−メチレンビス（６−ｔ−ブチル−４−メチルフェノール）、４，４’ブチリデンビス（６−ｔ−ブチル−３−メチルフェノール）、３，６−ジオキサオクタメチレン＝ビス［３−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオナート］、４，４’−チオビス（２−ｔ−ブチル−５−メチルフェノール）、４，４’−チオビス（６−ｔ−ブチル−３−メチルフェノール）、チオジエチエレンビス［３−（３，５−ジーｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオナート、１，３，５−トリス（３’，５’−ジ−ｔ−ブチル−４’−ヒドロキシベンジル）イソシアヌル酸、１，１，３−トリス（２−メチル−４−ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニル）ブタン、ペンタエリスリチル・テトラキス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、１，３，５−トリメチル−２，４，６−トリス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）ベンゼン等が挙げられる。
【００７７】
重合禁止剤としては、ｐ−メトキシフェノール、ヒドロキノン、ナフチルアミン、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、２，３−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレゾール等が挙げられる。
【００７８】
本発明の感光性樹脂組成物には、現像性付与と硬化膜の強度向上の目的で、親水性バインダー樹脂を配合することが好ましい。このような目的で配合する親水性バインダー樹脂（Ｄ）としては、親水性ビニル樹脂（Ｄ１）および親水性エポキシ樹脂（Ｄ２）が好ましい。
【００７９】
親水性ビニル樹脂（Ｄ１）としては、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、アミド基、ポリエーテル基、スルホン酸基、硫酸エステル基及びリン酸エステル基などの親水基をビニル系ポリマー分子の側鎖及び／又は末端に有するものが挙げられる。  
親水性ビニル樹脂の好ましい製造方法は、親水基を有するビニルモノマー（ａ）と、必要により疎水基含有ビニルモノマー（ｂ）とをビニル重合する方法である。
【００８０】
親水基を有するビニルモノマー（ａ）としては、以下の（ａ１）〜（ａ７）のビニルモノマーが挙げられる。
【００８１】
（ａ１）水酸基含有ビニルモノマー：
ヒドロキシアルキル基の炭素数が１〜３０のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート［２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート及び３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等］、ポリアルキレン（アルキレン基の炭素数１〜８）グリコール（重合度２〜４０）モノ（メタ）アクリレート［ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等］、アルキロール（メタ）アクリルアミド［Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド等］、ヒドロキシスチレン及び２−ヒドロキシエチルプロペニルエーテル等が挙げられる。
【００８２】
（ａ２）カルボキシル基含有ビニルモノマー：
炭素数３〜３０の不飽和モノカルボン酸［（メタ）アクリル酸、クロトン酸及び桂皮酸等］、炭素数４〜３０の不飽和多価（２〜４価）カルボン酸［（無水）マレイン酸、イタコン酸、フマル酸及びシトラコン酸等］、炭素数４〜３０の不飽和多価カルボン酸のアルキル（炭素数１〜１０のアルキル基）エステル［マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸モノアルキルエステル及びシトラコン酸モノアルキルエステル等］、並びにこれらの塩［アルカリ金属塩（ナトリウム塩及びカリウム塩等）、アルカリ土類金属塩（カルシウム塩及びマグネシウム塩等）、アミン塩及びアンモニウム塩等］が挙げられる。
【００８３】
（ａ３）スルホン酸基含有ビニルモノマー：
ビニルスルホン酸、（メタ）アリルスルホン酸、スチレンスルホン酸、α−メチルスチレンスルホン酸、２−（メタ）アクリロイルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸及びこれらの塩が挙げられる。塩としてはアルカリ金属（ナトリウム及びカリウム等）塩、アルカリ土類金属（カルシウム及びマグネシウム等）塩、第１〜３級アミン塩、アンモニウム塩及び第４級アンモニウム塩等が挙げられる。
【００８４】
（ａ４）アミノ基含有ビニルモノマー：
３級アミノ基含有（メタ）アクリレート［ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート及びジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート等のジアルキルアミノアルキル（メタ）アクリレート］等が挙げられる。
【００８５】
（ａ５）アミド基含有ビニルモノマー：
（メタ）アクリルアミド、Ｎ−アルキル（炭素数１〜６）（メタ）アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、Ｎ，Ｎ’−メチレン−ビス（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジアルキル（炭素数１〜６）又はＮ，Ｎ−ジアラルキル（炭素数７〜１５）（メタ）アクリルアミド（例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド及びＮ，Ｎ−ジベンジルアクリルアミド等）、メタクリルホルムアミド、Ｎ−メチル−Ｎ−ビニルアセトアミド、桂皮酸アミド及び環状アミド（Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−アリルピロリドン等）が挙げられる。
【００８６】
（ａ６）第４級アンモニウム塩基含有ビニルモノマー：
炭素数６〜５０（好ましくは８〜２０）の第３級アミノ基含有ビニルモノマーの４級化物（４級化剤としては、メチルクロライド、ジメチル硫酸、ベンジルクロライド及びジメチルカーボネート等）、例えば、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレートの４級化物、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレートの４級化物、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリルアミドの４級化物及びジエチルアミノエチル（メタ）アクリルアミドの４級化物等が挙げられる。
【００８７】
（ａ７）（ポリ）エーテル基含有ビニルモノマー：
アルコキシ（アルコキシ基の炭素数１〜８）アルキレン（アルキレン基の炭素数１〜８）グリコールモノ（メタ）アクリレート［メトキシエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート及びメトキシプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート等］、アルコキシ（アルコキシ基の炭素数１〜８）ポリアルキレン（アルキレン基の炭素数２〜４）グリコールモノ（メタ）アクリレート［メトキシポリエチレングリコール（重合度２〜４０）モノ（メタ）アクリレート及びメトキシポリプロピレングリコール（重合度２〜３０）モノ（メタ）アクリレート等］等が挙げられる。
【００８８】
親水性ビニル樹脂で親水基含有ビニルモノマー（ａ）と必要により併用される疎水基含有ビニルモノマー（ｂ）としては、以下の非イオン性のモノマー（ｂ１）〜（ｂ６）が挙げられる。
【００８９】
（ｂ１）（メタ）アクリル酸エステル：
アルキル基の炭素数１〜２０のアルキル（メタ）アクリレートとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレート及び２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート等が挙げられる。また、脂環基含有（メタ）アクリレートとしては、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、シジクロペンテニル（メタ）アクリレート及びイソボルニル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００９０】
（ｂ２）芳香族炭化水素モノマー：
スチレン骨格を有する炭化水素モノマーとしては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、２，４−ジメチルスチレン、エチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、フェニルスチレン、シクロヘキシルスチレン、ベンジルスチレン及びビニルナフタレン等が挙げられる。
【００９１】
（ｂ３）カルボン酸ビニルエステル：
炭素数４〜５０のものとしては、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル及び酪酸ビニル等が挙げられる。
【００９２】
（ｂ４）ビニルエーテル系モノマー：
炭素数３〜５０（好ましくは６〜２０）のものとしては、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ビニルプロピルエーテル及びビニルブチルエーテル等が挙げられる。
【００９３】
（ｂ５）ビニルケトン系モノマー：
炭素数４〜５０のものとしては、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトン及びビニルフェニルケトン等が挙げられる。
【００９４】
親水性ビニル樹脂は、上記の（ａ）及び必要により（ｂ）を構成単量体とする重合体に、さらに感度を向上させる目的で必要により（メタ）アクリロイル基を側鎖又は末端に含有させてもよい。
【００９５】
側鎖に（メタ）アクリロイル基を含有させる方法としては、例えば下記の（１）及び（２）の方法が挙げられる。
【００９６】
（１）；（ａ）のうちの少なくとも一部にイソシアネート基と反応しうる基（水酸基又は１級若しくは２級アミノ基など）を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後（メタ）アクリロイル基とイソシアネート基を有する化合物（アクリロイルエチルイソシアネート等）を反応させる方法。
【００９７】
（２）；（ａ）のうちの少なくとも一部にエポキシ基と反応しうる基（水酸基、カルボキシル基又は１級若しくは２級アミノ基など）を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後（メタ）アクリロイル基とエポキシ基を有する化合物（グリシジルアクリレート等）を反応させる方法。
【００９８】
親水性エポキシ樹脂（Ｄ２）とは、水酸基、カルボキシル基、オキシエチレン基等の親水性の官能基を分子内に含むエポキシ樹脂である。親水性エポキシ樹脂としては、感度の観点から、さらに分子中に（メタ）アクリロイル基を有するほうが好ましい。
好ましい親水性エポキシ樹脂としては、酸変性脂肪族エポキシ（メタ）アクリレート樹脂、酸変性脂環式エポキシ（メタ）アクリレート樹脂、酸変性芳香族エポキシ（メタ）アクリレート樹脂などが挙げられる。
【００９９】
本発明の感光性樹脂組成物中の（Ａ）および（Ｂ）の合計重量に対する親水性バインダー樹脂（Ｄ）の含有量は、０〜１１０重量％が好ましく、さらに好ましくは２〜９０重量％、特に好ましくは５〜７０重量％である。１１０重量％以下であれば硬化反応性および弾性回復特性がさらに良好に発揮できる。
【０１００】
本発明の感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物中の固形分を溶剤（Ｅ）に溶解または分散させた状態で使用されることが好ましい。
【０１０１】
溶剤（Ｅ）としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどのエーテル系溶剤；メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶剤；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテートなどのエステル系溶剤などが挙げられる。
【０１０２】
本発明の感光性樹脂組成物中の（Ａ）および（Ｂ）の合計重量に対する溶剤（Ｅ）の含有量は、０〜６００重量％が好ましく、さらに好ましくは２５〜４００重量％である。６００％以下であれば塗布特性がさらに良好に発揮できる。
【０１０３】
上記溶剤は、各成分を溶解または分散させることができるもので、本発明の感光性樹脂組成物の使用方法に応じて選択されるが、沸点が６０〜２８０℃の範囲のものを選択するのが好ましい。
【０１０４】
本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、プラネタリーミキサー等の公知の混合装置により、上記の各成分を混合等することにより得ることができる。また感光性樹脂組成物は、通常、室温で液状であり、その粘度は２５℃で０．１〜１０，０００ｍＰａ・ｓ、好ましくは１〜８，０００ｍＰａ・ｓである。
【０１０５】
本発明の感光性樹脂組成物は、弾性回復特性と高現像性に優れており、高解像性を有しているため、フォトスペーサー、カラーフィルター保護膜、タッチパネル保護膜またはタッチパネル絶縁膜およびマイクロレンズのスペーサ形成用感光性樹脂組成物として適している。
【０１０６】
本発明の感光性樹脂組成物から硬化物を得る好ましい形成工程は、感光性樹脂組成物を基板上に塗布後、光照射し、アルカリ現像してパターン形成し、さらにポストベークを行う工程である。
硬化物の形成は、通常、以下（１）〜（５）の工程で行われる。
【０１０７】
（１）基板の上に本発明の感光性樹脂組成物を塗布する工程。塗布方法としては、ロールコート、スピンコート、スプレーコートおよびスリットコート等が挙げられ、塗布装置としては、スピンコーター、エアーナイフコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、カーテンコーター、グラビアコーター及びコンマコーター等が挙げられる。
膜厚は、好ましくは０．５〜２００μｍである。
【０１０８】
（２）塗布された感光性樹脂組成物層を、必要に応じて熱を加えて乾燥させる（プリベーク）工程。乾燥温度としては、好ましくは２０〜１２０℃、さらに好ましくは３０〜１１０℃である。乾燥時間は、好ましくは０．５〜１０分、さらに好ましくは１〜８分、特に好ましくは１〜５分である。乾燥は減圧、常圧どちらでもよい。
【０１０９】
（３）所定のフォトマスクを介して、活性光線により感光性樹脂組成物層の露光を行う工程。活性光線としては、例えば、可視光線、紫外線、およびレーザー光線が挙げられる。光線源としては、例えば、太陽光、高圧水銀灯、低圧水銀灯、メタルハライドランプ、および半導体レーザーが挙げられる。露光量としては、特に限定されないが、好ましくは２０〜３００ｍＪ／ｃｍ２、生産コストの観点から２０〜１００ｍＪ／ｃｍ２がさらに好ましい。露光を行う工程においては、感光性樹脂組成物中の（メタ）アクリロイル基を有する成分が反応して光硬化反応する。
【０１１０】
（４）光照射後、未露光部を現像液で除去し、現像を行う工程。現像液は、通常、アルカリ水溶液を用いる。アルカリ水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウムおよび水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物の水溶液；炭酸ナトリウム、炭酸カリウムおよび炭酸水素ナトリウム等の炭酸塩の水溶液；ヒドロキシテトラメチルアンモニウム、およびヒドロキシテトラエチルアンモニウム等の有機アルカリの水溶液が挙げられる。これらを単独又は２種以上組み合わせて用いることもでき、また、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、両性界面活性剤、ノニオン界面活性剤等の界面活性剤を添加して用いることもできる。
現像方法としては、ディップ方式とシャワー方式があるが、シャワー方式の方が好ましい。現像液の温度は、好ましくは２０〜４５℃である。現像時間は、膜厚や感光性樹脂組成物の溶解性に応じて適宜決定される。
【０１１１】
（５）後加熱（ポストベーク）工程。ポストベークの温度としては５０〜２８０℃、好ましくは１００〜２５０℃、さらに好ましくは１５０〜２４０℃である。ポストベークの時間は、５分〜２時間、好ましくは１０分〜１時間、さらに好ましくは１５分〜４５分である。
【実施例】
【０１１２】
以下、実施例及び比較例により本発明をさらに説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。以下、特に定めない限り、％は重量％、部は重量部を示す。
【０１１３】
製造例１
［２個以上の加水分解性アルコキシ基を有する化合物（Ｃ−１）の製造］  
加熱冷却・攪拌装置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製フラスコに、３−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン４６部（０．２モル部）、ジフェニルジメトキシシラン１６０部（０．６５モル部）とイオン交換水４５ｇ（２．５モル部）と、シュウ酸０．１部（０．００１モル部）を仕込み、６０℃、６時間の条件で加熱撹拌し、さらにエバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを減圧下で２時間かけて除去し、アクリル変性アルコキシポリシロキサン（Ｃ−１）（Ｍｎ：２，１００）を得た。
【０１１４】
製造例２
加熱冷却・撹拌装置、還流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えたガラス製フラスコに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂「ＥＯＣＮ−１０２Ｓ」（日本化薬（株）製エポキシ当量２００）２００部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１４５部を仕込み、９０℃まで加熱して均一に溶解させた。続いて、アクリル酸７６部、トリフェニルホスフィン２部及びｐ−メトキシフェノール０．２部を仕込み、９０℃にて１０時間反応させた。
この反応物にさらにテトラヒドロ無水フタル酸９１部を仕込み、さらに９０℃にて５時間反応させ、その後プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで親水性エポキシ樹脂（Ｄ２−１）の含有量が６０％になるように希釈し、親水性エポキシ樹脂の６０％プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(Ｆ−３)を得た。
親水性エポキシ樹脂の固形分換算した酸価は８８．４であった。ＧＰＣによるＭｎは２，２００であった。なお、ＳＰ値は１１．３、ＨＬＢ値は９．８であった。
【０１１５】
製造例３
加熱冷却・撹拌装置、還流冷却管、窒素導入管を備えたガラス製フラスコに、スチレン９０部、メタクリル酸メチル１０部、メタクリル酸３０部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３２７部を仕込んだ。系内の気相部分を窒素で置換したのち、２、２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）８部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３０部に溶解した溶液３８部を添加し、９０℃に加熱し、さらに同温度で４時間反応させた。さらに得られた溶液にメタクリル酸グリシジル１５部、トリエチルアミン１部を添加し、９０℃で６時間反応させ、親水性ビニル樹脂（Ｄ１−１）の３０％プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(Ｆ−４)を得た。
親水性ビニル樹脂の固形分換算した酸価は９６．１であった。ＧＰＣによるＭｎは４，５００であった。なお、ＳＰ値は１１．１、ＨＬＢ値は６．８であった。
実施例１〜１２および比較例１〜５  
【０１１６】
表１の配合部数に従い、各原料を仕込み、均一になるまで攪拌し、実施例１〜１２および比較例１〜５の感光性樹脂組成物を得た。
【０１１７】
【表１】
2015152726.tif 000003
【０１１８】
なお、表１中の略称の化学品の詳細は以下の通りである。
（Ａ１−１）：トリメチロールプロパンの２．６モルエチレンオキシド付加物のトリアクリレート（三洋化成工業社製「ネオマーＴＡ−４０１」）（ＨＬＢ値：９．９）
（Ａ１−２）：トリメチロールプロパンの２０モルエチレンオキシド付加物のトリアクリレート（サートマー社製「ＳＲ４１５」）（ＨＬＢ値：１５．６）
（Ａ１−３）：ペンタエリスリトールの４モルエチレンオキシド付加物テトラアクリレート（サートマー社製「ＳＲ４９４」）（ＨＬＢ値：１１．４）
（Ａ１−４）：グリセリンの９モルエチレンオキシド付加物のトリアクリレート（新中村化学社製「ＮＫエステル  Ａ−ＧＬＹ−９Ｅ」）（ＨＬＢ値：１４．６）
（Ａ１−５）：ペンタエリスリトールトリアクリレート（共栄社化学社製「ライトアクリレート  ＰＥ−３Ａ」）（ＨＬＢ値：１１．０）
（Ａ２−１）：ペンタエリスリトールテトラアクリレート（三洋化成工業社製「ネオマーＥＡ−３００」）（ＨＬＢ値：７．８）
【０１１９】
（Ｂ−１）：（ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド（ＢＡＳＦ社製「イルガキュア８１９」）
（Ｂ−２）：（２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン（ＢＡＳＦ社製「イルガキュア９０７」）
（Ｂ−３）：２，４−ジエチルチオキサントン：日本化薬（株）製「カヤキュアーＤＥＴＸ−Ｓ」）
（Ｂ−４）：〔エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）（ＢＡＳＦ社製「イルガキュアＯＸＥ０２」）
【０１２０】
（Ｃ−２）：アクリル基およびメチル基含有メトキシシロキサン（アクリル変性アルコキシポリシロキサン）（信越化学社製「ＫＲ−５１３」）
（Ｃ−３）：３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学社製「ＫＢＭ−５１０３」）
（Ｃ−４）：３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学社製「ＫＢＭ−４０２」）
（Ｄ−３）：ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン（界面活性剤）（信越化学社製「ＫＦ−３５２Ａ」）
（Ｄ−４）：ポリエーテル変性フッ素化合物（界面活性剤）（ＤＩＣ社製「メガファックＴＦ−２０６６」）
（Ｆ−１）プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
（Ｆ−２）ジエチレングリコールジメチルエーテル
【０１２１】
以下に性能評価の方法を説明する。
【０１２２】
［現像性の評価］
１０ｃｍ×１０ｃｍ四方のガラス基板上にスピンコーターにより感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥し、乾燥膜厚５μｍの塗膜を形成した。この塗膜をホットプレート上で８０℃、３分間加熱し、その後０．０５％ＫＯＨ水溶液を用いて３０秒間現像を行い、現像性を評価した。評価基準は以下の通りである。
◎：目視により残留物無し。
○：目視により残留物わずかにあり。
△：目視により残留物が多い。
×：現像できない。
【０１２３】
［弾性回復特性の評価］
１０ｃｍ×１０ｃｍ四方のガラス基板上にスピンコーターにより感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥し、乾燥膜厚５μｍの塗膜を形成した。この塗膜をホットプレート上で８０℃、３分間加熱した。
得られた塗膜に対し、フォトスペーサー形成用のマスクを通して超高圧水銀灯の光を６０ｍＪ／ｃｍ２照射した（ｉ線換算で照度２２ｍＷ／ｃｍ２）。
なお、マスクと基板の間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。
その後０．０５％ＫＯＨ水溶液を用いてアルカリ現像した。水洗したのち、２３０℃で３０分間ポストベークを行い、ガラス基板上にフォトスペーサーを形成した。
【０１２４】
フォトスペーサーの弾性回復特性は、下記数式（１）で定義された一定の圧力がかかった時の「弾性回復率」によって評価することができる。弾性回復率（％）の値の高い方が弾性回復特性に優れ、７２％以上であれば、弾性回復特性は良好であると言える。
弾性回復特性は０．５ｍＮ／μｍ２の圧力条件下での弾性回復率を測定して評価した。
【０１２５】
（１）ガラス基板上に形成したフォトスペーサーのうち任意に選択した１個のフォトスペーサーに対し、微小硬度計（フィッシャーインストルメンツ社製；「フィッシャースコープＨ−１００」）と断面が正方形の平面圧子（５０μｍ×５０μｍ）を用いて、荷重をかけたときと戻したときの変形量を測定した。  
この際に、０．０１７ｍＮ／μｍ２・秒の負荷速度で、３０秒かけて０．５ｍＮ／μｍ２まで荷重をかけ、５秒間保持した。
荷重がかかった状態でのフォトスペーサーの初期位置からの変形量を測定した。このときの変化量を総変形量Ｔ０（μｍ）とする。
（２）次に、０．０１７ｍＮ／μｍ２・秒の除荷速度で３０秒かけて荷重を０まで解除し、その状態で５秒間保持した。この時のフォトスペーサーの変形量を塑性変形量Ｔ１（μｍ）とする。
（３）上記のようにして測定したＴ０とＴ１から、下記数式（１）を用いて弾性回復率を算出した。
【０１２６】
弾性回復率（％）＝［（Ｔ０−Ｔ１）／Ｔ０］×１００      （１）
【０１２７】
［解像度の評価］
弾性回復特性と同様の操作得られたフォトスペーサーのうち、フォトマスクの開口径が直径１０μｍのフォトスペーサーをレーザー顕微鏡にて下底径を測定し、これを解像度の評価とした。下底形が小さいほど解像度が高いといえ、１０．８μｍ以下であれば、解像度は良好であると言える。
【０１２８】
［現像密着性の評価］
１０ｃｍ×１０ｃｍ四方のガラス基板上にスピンコーターにより感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥し、乾燥膜厚５μｍの塗膜を形成した。この塗膜をホットプレート上で８０℃、３分間加熱した。得られた塗膜に対し、フォトスペーサー形成用のマスクを通して超高圧水銀灯の光を６０ｍＪ／ｃｍ２照射した（ｉ線換算で照度２２ｍＷ／ｃｍ２）。なお、マスクと基板の間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。その後０．０５％ＫＯＨ水溶液を用いて９０秒間現像を行い、現像密着性を評価した。評価基準は以下の通りである。◎または○であれば、現像密着性は良好であると言える。
◎：フォトマスク開口径１０μｍで剥れなし
○：フォトマスク開口径１２μｍで剥れなし（１０μｍでは剥れあり）
△：フォトマスク開口径１６μｍで剥れなし（１０μｍ、１２μｍでは剥れあり）
×：フォトマスク開口径１６μｍで剥れあり
【０１２９】
［透明性の評価］
感光性樹脂組成物を透明ガラス基板（厚さ０．７ｍｍ）上にスピンコーターで塗布し、乾燥して、塗膜を形成した。この塗膜を８０℃で３分間加熱した。
得られた塗膜に超高圧水銀灯の光を６０ｍＪ／ｃｍ２（ｉ線換算で照度２２ｍＷ／ｃｍ２）照射した。
その後０．０５％ＫＯＨ水溶液を用いてアルカリ現像した。水洗したのち、２３０℃で３０分間ポストベークを行い、膜厚２μｍの保護膜を形成した。
上記のようにして得られた保護膜について、紫外可視分光光度計ＵＶ−２４００（島津製作所社製）を用いて４００ｎｍの透過率を測定した。
４００ｎｍの透過率を表１に示した。この値が９７％以上の場合に、保護膜の透明性は良好といえる。
【０１３０】
［密着性の評価］
透明性の評価と同様の操作で  得られた保護膜について、ＪＩＳ  Ｋ５６００−５−６の付着性（クロスカット法）により保護膜の密着性について評価した。
表１に碁盤目１００（１０×１０）個中、ガラス基板上に残ったクロスカットした保護膜の碁盤目の数を示した。
【０１３１】
［鉛筆硬度の評価］
透明性の評価と同様の操作で、得られた保護膜について、ＪＩＳ  Ｋ５６００−５−４の引っかき硬度（鉛筆法）により保護膜の鉛筆硬度について評価した。
鉛筆硬度を表１に示した。
この値が３Ｈ以上の場合に、保護膜の硬度は良好といえる。
【０１３２】
実施例１〜８の本発明の感光性樹脂組成物は、表１に示す通り現像性、弾性回復特性、解像度、現像密着性、透明性、密着性、および鉛筆硬度のすべての点で優れている。
その一方で、比較例１〜３は、ＨＬＢが８以上３０以下の多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）を含有していないため、現像性が悪い。比較例４および５はＨＬＢが８以上３０以下の多官能（メタ）アクリレート（Ａ１）の多官能（メタ）アクリレート（Ａ）に対する比率が５０重量％以下のため、現像性が悪い。比較例６は光重合開始剤（Ｂ）を含有していないため、硬化しない。
【産業上の利用可能性】
【０１３３】
本発明の感光性樹脂組成物は、現像性および硬化後の弾性回復特性とガラス基板に対する密着性に優れるため、表示素子用フォトスペーサー、カラーフィルタ保護膜、タッチパネル保護膜またはタッチパネル絶縁膜形成レジストとして好適に使用できる。さらに、その他にも各種のレジスト材料、例えば、フォトソルダーレジスト、感光性レジストフィルム、感光性樹脂凸版、スクリーン版、光接着剤又はハードコート材などの用途の感光性樹脂組成物として好適である。