(57)【要約】【課題】磁気ヘッドの検査において、磁気ヘッドから発生される磁力の大きさに関わらず、磁気ヘッドの実行トラック幅を精度良く測定することを可能にする。【解決手段】磁気ヘッド検査方法において、磁気ヘッド素子をテーブルに載置して磁気ヘッド素子に励磁信号を印加した状態でテーブルにより平面内で一方向に移動させ、先端部付近に磁性探針が形成されたカンチレバーを励振部で駆動して所定の周波数で振動させながらテーブルにより一方向に移動する磁気ヘッド素子上を走査し、磁気ヘッド素子の移動の途中においてカンチレバーの振動の振幅が一定となるように励振部を制御し、励振部でカンチレバーの振動の振幅が一定となるように制御された状態で磁気ヘッドの実効トラック幅を求めるようにした。【選択図】  図１Ａ
2015026410.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッド素子を載置して平面内で移動可能なテーブル手段と、
先端部付近に磁性探針が形成されたカンチレバーと、
該カンチレバーを所定の周波数で振動させる励振部と、
前記テーブル手段に載置された磁気ヘッド素子に励磁信号を印加する信号印加手段と、
前記信号印加手段から前記磁気ヘッド素子に励磁信号を印加し、前記励振部で前記カンチレバーを所定の周波数で振動させた状態で、前記テーブル手段で前記磁気ヘッド素子を一方向に移動させ、該移動の途中において前記カンチレバーの振動の振幅が一定となるように前記励振部を制御する振幅フィードバック制御部と、
該フィードバック制御部により前記カンチレバーの振動の振幅が一定となるように制御された状態で前記磁気ヘッドの実効トラック幅を求める演算手段と、
を備えたことを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の磁気ヘッド検査装置であって、前記振幅フィードバック制御部は、前記カンチレバーを所定の周波数で振動させた状態で前記テーブル手段で前記磁気ヘッド素子を一方向に移動させ、該移動の途中において前記カンチレバーの先端部付近に形成された磁性探針の振動の最下端部の前記磁気ヘッド素子の表面に対する高さが一定となるように前記励振部を制御することを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
【請求項３】
請求項１記載の磁気ヘッド検査装置であって、前記振幅フィードバック制御部は、前記信号印加手段で前記磁気ヘッド素子に励磁信号を印加して前記磁気ヘッド素子から磁界が発生した状態で、前記磁性探針が振動しながら前記発生した磁界を通過するときに前記磁界の作用により前記振動の振幅が変化するのを抑える制御を行うことを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
【請求項４】
請求項１記載の磁気ヘッド検査装置であって、前記演算手段は、前記カンチレバーの振動の振幅が一定となるように制御する前記フィードバック制御部の制御信号を用いて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を求めることを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
【請求項５】
磁気ヘッド素子をテーブルに載置して該磁気ヘッド素子に励磁信号を印加した状態で前記テーブルにより平面内で一方向に移動させ、
先端部付近に磁性探針が形成されたカンチレバーを励振部で駆動して所定の周波数で振動させながら前記テーブルにより一方向に移動する磁気ヘッド素子上を走査し、
前記磁気ヘッド素子の移動の途中において前記カンチレバーの振動の振幅が一定となるように前記励振部を制御し、
該励振部で前記カンチレバーの振動の振幅が一定となるように制御された状態で前記磁気ヘッドの実効トラック幅を求める、
ことを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
【請求項６】
請求項５記載の磁気ヘッド検査方法であって、前記励振部を制御することが、前記カンチレバーを所定の周波数で振動させた状態で前記テーブルで前記磁気ヘッド素子を一方向に移動させ、該移動の途中において前記カンチレバーの先端部付近に形成された磁性探針の振動の最下端部の前記磁気ヘッド素子の表面に対する高さが一定となるように前記励振部を制御することを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
【請求項７】
請求項５記載の磁気ヘッド検査方法であって、前記励振部を制御することが、前記磁気ヘッド素子に励磁信号を印加して前記磁気ヘッド素子から磁界が発生した状態で、前記磁性探針が振動しながら前記発生した磁界を通過するときに前記磁界の作用により前記振動の振幅が変化するのを抑えるように制御することを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
【請求項８】
請求項５記載の磁気ヘッド検査方法であって、前記磁気ヘッドの実効トラック幅を、前記カンチレバーの振動の振幅が一定となるように制御する信号を用いて求めることを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜磁気ヘッドの磁界形状により実効トラック幅等を検査する磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、薄膜磁気ヘッドの発生磁界形状を測定し磁気的な実効トラック幅等を検査するために、原子サイズレベルの高分解能を有する磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）などを組み込んだ磁気ヘッド検査装置が用いられている。磁気力顕微鏡では磁界検出用の磁性探針を取り付けたカンチレバーを有し、これを磁気ヘッド上で走査移動し、探針の変位量を検出することで磁界形状を測定するものである。特許文献１には、ウエハ上に形成された複数のヘッド素子が連なっているローバー状態の薄膜磁気ヘッドを対象とし、ボンディングパッドにより各ヘッド素子に記録信号を入力し、各ヘッド素子から発生される磁界の様子を、上記カンチレバーにて測定する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２３０８４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
磁気ヘッド検査機では、磁気力顕微鏡にて測定した磁界分布形状から磁気ヘッド素子の実効トラック幅を検査する。その際カンチレバーの探針は、磁気ヘッド素子の表面から浮上高さ相当分だけ離れた位置を走査する。よって、磁気ヘッド素子の表面に傾斜や段差がある場合は、カンチレバーの高さ位置を表面形状に合わせて補正し、常にヘッド表面から一定の高さで測定することが必要である。カンチレバーの高さ補正は、カンチレバーを保持し高さ方向に調整可能なＺステージにて行う。ヘッド表面に生じる通常の傾斜や段差は、Ｚステージで補正できる。
【０００５】
しかし、特許文献１に記載されている磁気ヘッド検査装置におけるカンチレバーは、磁気ヘッド素子から発生する磁力の大きさにより、振動しているカンチレバーの振幅値が変化してしまう。すなわち、磁気ヘッドから発生する磁力が大きくなりすぎるとカンチレバーの振幅が小さくなってしまう。そのため、磁気ヘッド表面からのカンチレバーの探針の高さ(磁気ヘッド素子の表面とカンチレバーの探針の先端部分とのギャップ)に変動が生じて、磁気ヘッドの実効トラック幅の測定精度が悪化してしまう。
【０００６】
本発明は、磁気ヘッドから発生される磁力の大きさに関わらず、磁気ヘッドの実行トラック幅を精度良く測定することを可能にした磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記した課題を解決するために、本発明では、磁気ヘッド検査装置を、磁気ヘッド素子を載置して平面内で移動可能なテーブル手段と、先端部付近に磁性探針が形成されたカンチレバーと、このカンチレバーを所定の周波数で振動させる励振部と、テーブル手段に載置された磁気ヘッド素子に励磁信号を印加する信号印加手段と、信号印加手段から磁気ヘッド素子に励磁信号を印加して励振部でカンチレバーを所定の周波数で振動させた状態でテーブル手段で磁気ヘッド素子を一方向に移動させてこの移動の途中においてカンチレバーの振動の振幅が一定となるように励振部を制御する振幅フィードバック制御部と、このフィードバック制御部によりカンチレバーの振動の振幅が一定となるように制御された状態で磁気ヘッドの実効トラック幅を求める演算手段とを備えて構成した。
【０００８】
また、上記した課題を解決するために、本発明では、磁気ヘッド検査方法において、磁気ヘッド素子をテーブルに載置して磁気ヘッド素子に励磁信号を印加した状態でテーブルにより平面内で一方向に移動させ、先端部付近に磁性探針が形成されたカンチレバーを励振部で駆動して所定の周波数で振動させながらテーブルにより一方向に移動する磁気ヘッド素子上を走査し、磁気ヘッド素子の移動の途中においてカンチレバーの振動の振幅が一定となるように励振部を制御し、励振部でカンチレバーの振動の振幅が一定となるように制御された状態で磁気ヘッドの実効トラック幅を求めるようにした。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、磁気ヘッドから発生される磁力の大きさに関わらず、磁気ヘッドの実効トラック幅を精度良く測定することが可能になった。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１Ａ】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１Ｂ】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置のカンチレバーと変位検出部及び磁気ヘッド素子との関係を示す部分断面図である。
【図１Ｃ】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置の磁気ヘッド素子とカンチレバー及びプローブカードとの位置関係を示す正面図である。
【図２】振幅フィードバック制御部を作動させない場合の磁気ヘッド素子から発生する磁界とカンチレバーの変位と浮上高の関係を示すグラフである。
【図３】本発明の一実施の形態に係る、振幅フィードバック制御部を作動させた場合の磁気ヘッド素子から発生する磁界とカンチレバーの変位と浮上高の関係を示すグラフである。
【図４】カンチレバーの共振特性を示すグラフである。
【図５】カンチレバーの走査方向に対する位相差信号の変化から実効トラック幅の領域を求める位相差信号のグラフである。
【図６】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査における、カンチレバーの振幅値を一定に制御する振幅フィードバック制御のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明は、磁気ヘッド検査方法及び装置において、磁気ヘッド素子に励磁信号を印加した状態でカンチレバーを所定の周波数で振動させながら表面を走査するときに、カンチレバーの振動の振幅が一定となりカンチレバーの磁性探針が磁気ヘッド素子の表面と一定の間隔を保って走査するように制御することにより、磁気ヘッドの実効トラック幅を正確に求めるようにしたものである。
【００１２】
図１Ａは、本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置１００の概略構成を示す図である。磁気ヘッド検査装置１００は、磁気力顕微鏡（Magnetic Force Microscope:ＭＦＭ）を用いて、磁気ヘッド単体に切り出す前工程のローバー状態の磁気ヘッド（ＭＲヘッド、ＧＭＲヘッド、ＴＭＲヘッドなど）の素子について実効トラック幅などを測定するものである。ローバー１は、通常、３ｃｍ〜５ｃｍ程度の細長いブロック体としてウエハから切り出されたもので、４０個〜６０個程度の磁気ヘッド素子が配列された構成となっている。
【００１３】
本実施例による磁気ヘッド検査装置１００は、検査ステージ部１０、カンチレバー７、ピエゾドライバ２０、制御部（ＰＣ）３０、カンチレバー７の変位を検出する変位検出部４０、差動アンプ５０、ＤＣコンバータ６０、フィードバックコントローラ７０、発振器８０、振幅フィードバック制御部９０を備えて構成されている。
【００１４】
検査ステージ部１０は、ローバー１をＸ，Ｙ方向に移動可能なＸステージ１１、Ｙステージ１２、カンチレバーの高さを制御するＺステージ１３を備えて構成されている。Ｙステージ１２の上面には、ローバー１の載置部１２１が設けられて、ローバー１は載置部１２１の上面に形成された段差部に当接されることで、その長軸がＸ軸に平行に位置決めされる。
【００１５】
Ｚステージ１３は、図１Ｂに示すように、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）のカンチレバー７を保持し、Ｚ方向に移動させるものである。カンチレバー７の先端部付近には探針(プローブ)７１がおり、探針７１の表面には磁性体材料の薄膜(磁性薄膜)７１０が形成されている(以下、表面に磁性薄膜７１０が形成された探針７１を、磁性探針７１と記す)。
【００１６】
検査ステージ部１０を構成するＸステージ１１，Ｙステージ１２、Ｚステージ１３は、それぞれピエゾ素子(図示せず)で駆動されるピエゾステージで構成されている。
【００１７】
図示していないが、Ｙステージ１２の上方には、載置部１２１に載置されたローバー１の位置を確認するための位置ずれ量測定用のカメラが設けられている。ローバー１を検査ステージ１０上で所定の位置に設置する決めが終了すると、ローバー１は載置部１２１に設けられた吸着用の穴(図示せず)から真空吸引されて吸着保持される。この状態で図１Ｃに示すように、プローブカード１４を図示していない駆動手段で駆動してプローブカード１４の１対のプローブ１４１と１４２とをローバー１の側面に形成された端子１００３と１００４とに接続し、制御部(ＰＣ)３０で制御してローバー１に形成された磁気ヘッドの記録用コイル(図示せず)に励磁用信号（ＡＣ励磁信号）を供給することができる。
【００１８】
ピエゾドライバ２０は、Ｘステージ１１、Ｙステージ１２、Ｚステージ１３及びカンチレバー７をそれぞれ駆動制御する。
【００１９】
制御部３０は、モニターを含むパーソナルコンピュータ（ＰＣ）で構成され、ピエゾドライバ２０と、図１Ｃに示すようなプローブカード１４の１対のプローブ１４１と１４２とからをローバー１の側面に形成された１対の端子１００３と１００４とに印加する磁気ヘッドの記録用コイル(図示せず)の励磁用信号を制御する。Ｙステージ１２上に載置されたローバー１の上方には、先端を自由端としてこの自由端に近い部分に先端が尖った磁性探針７１カンチレバー７が対向して配置されている。
【００２０】
カンチレバー７は、図１Ｂに示すように、Ｚステージ１３の下側に設けられた励振部材１３１に取り付けられている。励振部材１３１はピエゾ素子で構成され、ピエゾドライバ２０からの励振電圧によって機械的共振周波数近傍の周波数の交流電圧が印加され、カンチレバー７とともに、その先端部分に形成された磁性探針７１は加振されて上下方向（Ｚ方向）に振動する。
【００２１】
一方、図１Ｃに示すように、プローブカード１４の１対のプローブ１４１と１４２からローバー１の側面に形成された端子１００３と１００４に磁気ヘッドの記録用コイル(図示せず)の励磁用信号（ＡＣ励磁信号）を印加することにより、ローバー１に形成された磁気ヘッド素子１００１の磁性体部１００２から磁界が発生する。この状態でＹステージ１２を駆動して磁気ヘッド素子１００１とカンチレバー７とをＹ方向に一定の速度で移動させることにより、磁性探針７１が磁気ヘッド素子１００１の磁界発生領域に入って磁気ヘッド素子１００１で発生した磁界の作用を受けると、磁性探針７１に引力又は斥力の磁気力が生じ、カンチレバー７のＺ方向の変位量（Ｚ方向の振動及び振幅）が変化する。
【００２２】
なお、プローブカード１４は、図示していない手段により駆動されて、１対のプローブ１４１と１４２がローバー１の側面に形成された端子１００３と１００４との接触、切り離しを行うことにより、磁気ヘッド素子１００１の記録用コイル(図示せず)の励磁用信号のオン・オフが行われる。また、１対の端子１４１と１４２とは、図示していない信号線で制御部３０と電気的に接続されている。
【００２３】
磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）においてカンチレバー７の変位量を検出する変位検出部４０は、半導体レーザ素子４１と、反射ミラー４２，４３と、２分割光ディテクタ素子（図示せず）からなる変位センサ４４とで構成される。図１Ｂに示すように、半導体レーザ素子４１から出射した光は、反射ミラー４２で反射されカンチレバー７の磁性探針７１が形成された側と反対の側（以下、上面と記す）に照射される。カンチレバー７の上面で反射された反射光は、反射ミラー４３でさらに反射されて変位センサ４４に導かれる。ここで、変位検出部４０は、カンチレバー７が振動していない状態で半導体レーザ素子４１から出射して、反射ミラー４２で反射されカンチレバー７の上面で反射され、反射ミラー４３でさらに反射された光が変位センサ４４の２分割光ディテクタ素子の各受光面に均等に入射するように調整されている。
【００２４】
変位センサ４４からは、２分割光ディテクタ素子のそれぞれの受光量に対応して２つの検出信号が出力され、差動アンプ５０は２つの信号の差分信号からカンチレバー７の変位信号を生成する。差動アンプ５０から出力される変位信号は、カンチレバー７の変位に応じた信号であり、カンチレバー７は振動しているので交流信号となる。ＤＣコンバータ６０は、ＲＭＳ−ＤＣコンバータ（Root Mean Squared value to Direct Current converter）で構成され、差動アンプ５０から出力される変位信号を実効値の直流信号に変換する。ＤＣコンバータ６０から出力される変位信号は、フィードバックコントローラ７０に出力される。
【００２５】
フィードバックコントローラ７０は、ＤＣコンバータから入力した現在のカンチレバー７の変位信号を目標値と比較しその差分信号を算出する。そして、算出した現在のカンチレバー７の変位信号と目標値との差分信号を制御部３０に出力する。
【００２６】
制御部（ＰＣ）３０は、ＤＣコンバータから入力した現在のカンチレバー７の変位信号よりカンチレバー７の振動の大きさをモニタするとともに、以下に説明するような、カンチレバー７の振動の大きさが一定になるように制御したときの位相差信号から磁気ヘッドの実効トラック幅を演算する。また制御部３０は、カンチレバー７の変位信号に応じた信号（フィードバックコントローラ７０から入力した差分信号）をピエゾドライバ２０に対し、Ｚステージ１３の制御信号として送る。すなわち、検査時のカンチレバー７の先端部分に形成された磁性探針７１の振動における最下点がローバー１の表面から所定の高さに位置するよう、Ｚステージ１３のＺ方向位置を調整する。これにより、カンチレバー７の振動の大きさが最適化され、測定精度が確保される。
【００２７】
カンチレバー７の高さ位置（磁性探針７１の振動における最下点の位置）としては、ハードディスクドライブのヘッド浮上高さ相当する高さに設定するのが好ましい。このようにカンチレバー７の高さを所定値に保持することで、測定された位相信号の変化（すなわち磁界形状）から磁気ヘッドの実効トラック幅を求めることができる。カンチレバー７の高さがヘッド浮上高さと異なる場合は、高さずれに応じて実効トラック幅を補正すればよい。
【００２８】
発振器８０は、カンチレバー７を励振するための発振信号を振幅フィードバック制御部９０を介してピエゾドライバ２０に供給する。
【００２９】
振幅フィードバック制御部９０は磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）において、ＤＣコンバータ６０から出力される変位信号が一定になるように、発振器８０から入力する信号の振幅を増減させて、ピエゾドライバ２０に供給する。
【００３０】
ピエゾドライバ２０は、振幅フィードバック制御部９０からの出力に基づいた所定の周波数、振幅でカンチレバー７を振動させるように、Ｚステージ１３の下側に設けられた励振部材１３１を駆動する。
【００３１】
図２と図３は走査時の磁力とカンチレバー７の変位と浮上高の関係を示す図、図４はカンチレバーの周波数特性を説明する図である。図２は、振幅フィードバック制御部９０を作動させずにカンチレバー７の変位振幅値を一定としなかった場合の関係を示す図である。一方、図３は、振幅フィードバック制御部９０を作動させてカンチレバー７の変位振幅値を一定に保持した場合の関係を示す図である。
【００３２】
図２は比較用に、振幅フィードバック制御部９０を作動させずにカンチレバーの変位振幅値を一定にしなかった場合で、（ａ）は磁気ヘッド素子１００１の磁性体部１００２から磁界を発生させたときの磁気ヘッド素子１００１の表面から一定の高さ（磁気ヘッド浮上量：ｈ０に相当する高さ）における磁場強度の分布：２０１、（ｂ）は振幅Ａ０でカンチレバー７を駆動した場合のカンチレバー７の振動を検出して求めた磁性探針７１の先端部分の振動における振幅の上側包絡線２０２と下側包絡線２０３、（ｃ）は（ｂ）の下側包絡線２０３と磁気ヘッド素子１００１の表面との関係を拡大して表示した図でカンチレバー７の磁性探針７１の先端部分の振動における振幅の下側包絡線２０３と磁気ヘッド素子１００１の表面との１距離ｈ：２０４の変化を示す、（ｄ）は（ｂ）におけるカンチレバー７の振動の振幅Ａ：２０５の変化を示す図、（ｅ）はカンチレバー７を加振させる信号の振幅値Ｄ：２０６の関係を示す図である。
【００３３】
図２において、カンチレバー７を（ｅ）に示すような一定の加振振幅で駆動（振動）させながら、（ａ）に示すような磁気ヘッド素子１００１の磁性体部１００２による磁界が発生している領域Ｂを含む領域を（ｂ）に示すように磁界の作用が無い領域でカンチレバー７を周波数ｆ０、振幅Ａ０で振動させ、カンチレバー７の先端部分の磁性探針７１の振幅の下端が磁気ヘッド素子１００１の表面からｈ０（磁気ヘッド浮上量に相当する高さ）の高さとなるようにして走査した場合、カンチレバー７の磁性探針７１が（ａ）に示すような磁気ヘッド素子１００１の磁性体部１００２から発生する磁界が大きい領域Ｂを通過するときに、磁性探針７１は磁力によって、（ｄ）に示すようにカンチレバー７の変位信号の振幅値がΔAだけ小さくなる。カンチレバー７の変位信号の振幅値が小さくなると、（ｂ）のカンチレバー変位信号と磁気ヘッド表面の高さに示すようにカンチレバー７と磁気ヘッド表面の距離がΔｈだけ増加してしまう。その結果、浮上高がΔｈずれた部分の磁界分布を測定することになり、実行トラック幅の正確な情報を得ることができなくなる。
【００３４】
図４には、磁界の有無によるカンチレバー７の共振特性を示している。カンチレバー７の振動に影響を与えるような強さの磁界が無い領域においてカンチレバー７は、波形３０１に示すように周波数ｆ０で最大となるような共振特性を有しているとする。このような共振特性を有するカンチレバー７を、先端部分に形成された磁性探針７１が磁気ヘッド素子１００１の磁性体部１００２による磁界が発生している領域Ｂに持っていくと、カンチレバー７の共振特性は磁界の影響を受けて、例えば波形３０２のように変動する。即ち、カンチレバー７の共振特性は振幅がピークになる周波数がｆ０からずれて、カンチレバー７を加振する周波数ｆ０においては振幅が減少してしまう。図２の（ｂ）は、このような状態におけるカンチレバー７の周波数ｆ０における変位信号の変化を示している。
【００３５】
これに対して、図３は、本実施例による実行トラック幅の正確な情報を得る方法を説明する図である。図３は、振幅フィードバック制御部９０を作動させカンチレバーの変位振幅値を一定にした場合で、（ａ）は磁気ヘッド素子１００１の磁性体部１００２から磁界を発生させたときの磁気ヘッド素子１００１の表面から一定の高さ（磁気ヘッド浮上量：ｈ０に相当する高さ）における磁場強度の分布：２１１、（ｂ）は振幅Ａ０でカンチレバー７を駆動した場合のカンチレバー７の振動を検出して求めた磁性探針７１の先端部分の振動における振幅の上側包絡線２１２と下側包絡線２１３、（ｃ）は（ｂ）の下側包絡線２１３と磁気ヘッド素子１００１の表面との関係を拡大して表示した図でカンチレバー７の磁性探針７１の先端部分の振動における振幅の下側包絡線２１３と磁気ヘッド素子１００１の表面との距離ｈ：２１４の変化を示す、（ｄ）は（ｂ）におけるカンチレバー７の振動の振幅Ａ：２１５の変化を示す図、（ｅ）はカンチレバー７を加振させる信号の振幅値Ｄ：２１６の関係を示す図である。
【００３６】
図３において、（ａ）に示すような磁気ヘッド素子１００１の磁性体部１００２による磁界が発生している領域Ｂを含む領域をカンチレバー７を振動させながら走査させる場合に、カンチレバー７が磁界の強い領域Ｂを走査する場合でも、カンチレバー７の変位信号における振幅が磁界の無い領域を走査している場合の振幅Ａ0と同じ値となるように、（ｅ）に示すように、カンチレバー７を加振させる信号の振幅ＤをΔＤ増加させる。カンチレバー７を加振させる信号の振幅をΔＤ増加させるにはＰＩＤ制御を用いることで、カンチレバー７の振幅をΔＡ増加させて振幅Ａ0となるようにする。なお、磁気ヘッド素子１００１の磁性体部１００２により発生する磁界の強さは、磁気ヘッド素子１００１が良品であればほぼ一定であるので、予め良品の磁気ヘッドを用いて磁性体部１００２により発生する磁界の強さを測定して、増加させるΔＤの値を決めておくようにしても良い。
【００３７】
即ち、（ａ）に示すような磁気ヘッド素子１００１の磁性体部１００２による磁界が発生している領域Ｂを含む領域を（ｅ）に示すような、領域Ｂを走査するときには予め設定したΔＤの補正を加えた加振信号でカンチレバー７を振幅Ａ０で振動させ、カンチレバー７の先端部分の磁性探針７１の振幅の下端が磁気ヘッド素子１００１の表面からｈ０（磁気ヘッド浮上量に相当する高さ）の高さとなるようにして走査した場合、カンチレバー７の磁性探針７１が（ａ）に示すような磁気ヘッド素子１００１の磁性体部１００２から発生する磁界が大きい領域Ｂを通過するときであっても、磁性探針７１が受ける磁力による振幅の変動が相殺されて、（ｂ）のカンチレバー変位信号と磁気ヘッド表面の高さに示すようにカンチレバー７と磁気ヘッド表面の距離をｈ０に維持した状態で磁気ヘッド素子１００１の磁性体部１００２による磁界が発生している領域Ｂを含む領域を走査することができる。その結果、（ｄ）に示すように、変位検出部４０で検出されるカンチレバー７の変位信号の振幅Ａ０は一定の値として検出されるので、浮上高の検出値に誤差を発生させずに磁気ヘッドを検査することができる。
【００３８】
図３の説明における加振周波数ｆ０におけるカンチレバー７の振幅の変化について、図４を用いて説明する。
【００３９】
先にも説明したように、カンチレバー７の振動に影響を与えるような強さの磁界が無い領域において波形３０１に示すように周波数ｆ０で最大となるような共振特性を有しているカンチレバー７を、磁界が発生している領域Ｂに持っていくと、カンチレバー７の共振特性は磁界の影響を受けて、波形３０２のように変動する。その結果、カンチレバー７の共振特性は振幅がピークになる周波数がｆ０からずれて、カンチレバー７を加振する周波数ｆ０においては振幅が減少してしまう。
【００４０】
ここで、カンチレバー７の加振振幅Ｄを図３の（ｅ）に示すように制御して、共振特性が図４の（ａ）の３０３の波形のように変化させることにより、周波数ｆ０における振幅３５０が、磁界の影響を受けない場合の共振周波数特性の波形３０１の場合と同じ３５０となるようにする。
【００４１】
このように、カンチレバー７の加振振幅Ｄを制御して、周波数ｆ０における振幅が３５０となるようにすることで、カンチレバー７の変位信号を図３の（ｂ）に示すように、磁界が発生している領域Ｂを走査している場合でも一定の振幅Ａ０を維持することができる。
【００４２】
一方、カンチレバー７の振動の位相特性は、図４の（ａ）の磁界の影響を受けない場合の波形３０１に対応する（ｂ）のグラフの位相特性を示す波形３１１に対して、図４の（ａ）の磁界の影響を受ける領域で加振振幅Ｄを制御した波形３０３に対応する位相特性を示す波形は３１３のようになる。なお、波形３１２は、（ａ）の波形３０２に対応している。このグラフからわかるように、周波数ｆ０における波形３１１の位相３６１に対して、周波数ｆ０において波形３０１の振幅に合わせるように制御した波形３０３の位相は３６２となる。すなわち、カンチレバー７が振幅Ａ０を一定に保つように制御しながら磁気ヘッドの表面を走査した場合、カンチレバー７の振動の位相をモニタすることで磁界の強さとその分布の情報から、磁気ヘッド浮上高さにおける磁気ヘッド素子９０から発生する磁界による実効トラック幅を求めることができる。
【００４３】
図５は、カンチレバー７を加振させながらＹステージ１２を一定の速度で駆動したときに検出したカンチレバー７の振動の位相信号５０１の変化を示すグラフである。このとき、制御部３０で制御されて、プローブカード１４の１対のプローブ１４１と１４２とからローバー１の側面に形成された１対の端子１００３と１００４とに磁気ヘッドの記録用コイル(図示せず)の励磁用信号が印加されており、磁性体部１００２からは磁界が発生している。カンチレバー７の加振振幅Ｄを図３及び図４を用いて説明したように制御することにより、磁性体部１００２から発生された磁界領域を磁性探針７１が走査するときに、磁界領域から外れた領域を走査するとき（図５のグラフで平坦な部分：位相差０）と比べてカンチレバー７の振動に位相差が生じる。この位相差が発生している領域５０２を実効トラック幅として求めることができる。この実効トラック幅を求める処理は、制御部３０で実行される。
【００４４】
図６は、磁気ヘッド検査におけるカンチレバーの振幅値を一定に制御する振幅フィードバック制御部を示すフローチャートである。
Ｓ１０１において、磁気ヘッド（ローバー１）を検査ステージ１０に載置し、２次元走査ステージ（Ｘステージ１１又はＹステージ１２）を駆動し、カンチレバー７に対して磁気ヘッド（ローバー１）を走査する。Ｚステージ１３は、加振振幅値Ｄ０で励振されたカンチレバー７の先端部分の磁性探針７１の振動における下端が磁気ヘッド素子１００１の表面から所定の高さになるよう位置決め調整する。
【００４５】
Ｓ１０２において、変位検出部４０は、磁気ヘッド素子１００１の磁性体部１００２から発生する磁界によるカンチレバー７の振動の大きさ（変位量振幅値）を検出し、変位信号Ａを生成する。
【００４６】
Ｓ１０３において、振幅フィードバック制御部９０は、Ｓ１０２で生成した現在のカンチレバー７の変位信号Ａを目標値Ａｏと比較しその差分信号ΔＡを算出する。
【００４７】
Ｓ１０４において、振幅フィードバック制御部９０は、Ｓ１０３で算出した差分信号ΔＡに基づいて、カンチレバー７の加振振幅値をＤ１に変更する。この決定にはＰＩＤ制御（Proportional Integral Derivative Control）を用いる。
【００４８】
Ｓ１０５において、磁気ヘッドを走査し、磁気ヘッドの検査（図３乃至５を用いて説明した原理に基づく磁界形状の測定）を行う。
Ｓ１０６において、走査が終了したかどうか判定し、終了していないときはＳ１０２に戻り走査速度の制御を繰り返す。
このように本実施例によれば、カンチレバーの変位信号の振幅値が常にＡ0値と一定になるようにカンチレバーの加振振幅値を制御するようにした。これにより、カンチレバーと磁気ヘッドの距離を常に一定に維持することが可能になるため、磁気ヘッド浮上面における磁気ヘッドの実効トラック幅の測定を精度良く行うことが可能となった。
【符号の説明】
【００４９】
１・・・ローバー（磁気ヘッドが配列されたブロック）    ７・・・カンチレバー    １０・・・検査ステージ部    １１・・・Ｘステージ    １２・・・Ｙステージ    １３・・・Ｚステージ    ２０・・・ピエゾドライバ    ３０・・・制御部（ＰＣ）    ４１・・・半導体レーザ素子    ４２，４３・・・反射ミラー    ４４・・・変位センサ    ５０・・・差動アンプ    ６０・・・ＤＣコンバータ    ７０・・・フィードバックコントローラ    ８０・・・発振器    ９０・・・振幅フィードバック制御部    １００・・・磁気ヘッド検査装置。
【図１Ａ】
2015026410.tif 000003
【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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