(57)【要約】【課題】テストパッドおよび金属リード線のパネル上の占有面積を減少させ、ガラスの利用率を向上させ、テスト・キーのモニター項目を増加させる。【解決手段】  表示パネルＴＥＧテスト素子であって、順次に表示パネルに設けられる複数のテストパッドと、複数の金属リード線とを備え、第１のテストパッドから引き出された第１本の金属リード線と、第３のテストパッドから引き出された第３本の金属とを接続させて、第１のテスト・キーが形成され、第２のテストパッドから引き出された第２本の金属リード線と、第５のテストパッドから引き出された第５本の金属とを接続させて、第２のテスト・キーが形成され、第３のテストパッドから引き出された第３本の金属リード線と、第６のテストパッドから引き出された第６本の金属に接続させて、第３のテスト・キーが形成され、第１と第２のテスト・キーとが交差し、第２と第３のテスト・キーとが交差する。【選択図】図２
2015152929.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルＴＥＧテスト素子であって、
順次に前記表示パネルに設けられる複数のテストパッドと、
互いに電気的に隔離され、かつ複数のテストパッドに一つずつ対応して、各テストパッドから１本の金属リード線を引き出すように設けられた複数の金属リード線と、
を備え、
第１のテストパッドから引き出された第１本の金属リード線と、第３のテストパッドから引き出された第３本の金属とを接続させて、第１のテスト・キーが形成され、第２のテストパッドから引き出された第２本の金属リード線と、第５のテストパッドから引き出された第５本の金属とを接続させて、第２のテスト・キーが形成され、かつ、第３のテストパッドから引き出された第３本の金属リード線と、第６のテストパッドから引き出された第６本の金属に接続させて、第３のテスト・キーが形成され、および
前記第１のテスト・キーと前記第２のテスト・キーとを交差し、かつ前記第２のテスト・キーと前記第３のテスト・キーとを交差する、
表示パネルＴＥＧテスト素子。
【請求項２】
前記表示パネルＴＥＧテスト素子は、さらに前記複数の金属リード線の各２本の間に設けられた複数の絶縁層を備え、
その中、第１の絶縁層の、前記第１のテスト・キーと前記第２のテスト・キーとの交差点に対応する位置に第１のスルーホールが設けられ、かつ第２の絶縁層の、前記第２のテスト・キーと前記第３のテスト・キーとの交差点に対応する位置に、第２のスルーホールが設けられる、
請求項１に記載の表示パネルＴＥＧテスト素子。
【請求項３】
前記第１のスルーホールに、第１の電気伝導性経路を挿入して第１のテスト・キー・グループを形成し、
前記第２のスルーホールに、第２の電気伝導性経路を挿入して第２のテスト・キー・グループを形成し、および、
前記第１のスルーホールおよび前記の第２のスルーホールに、前記第１の電気伝導性経路および前記第２の電気伝導性経路を挿入して、第３のテスト・キー・グループを形成する、
請求項２に記載の表示パネルＴＥＧテスト素子。
【請求項４】
前記複数のテストパッドの数量は６個であり、かつ前記複数の金属リード線の数量は６本である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の表示パネルＴＥＧテスト素子。
【請求項５】
表示パネルＴＥＧテスト素子のテスト方法であって、
請求項１〜４のいずれか一項に記載のＴＥＧテスト素子を利用して、前記表示パネルのＲＣ特性に対してテストを行い、
当該テスト方法は、
パネル製品の製造工程において、機械作業台を使用しパネル製品のＲＣ特性に対してオンライン／オフラインのテストを行うステップと、
上記のテスト結果を、製品に関するＲＣ特性の指標規格に比べて、製品の品質基準の要求を満たすか否かを判断するステップと、
要求を満たす場合、続けて当該製品の製造工程を用いて後続の製品製造を行うステップと、
要求を満たさない場合、当該製品を廃棄して製品製造工程の改善を行うステップと、
を含み、
機械作業台を使用して行うテストは、
第１のスルーホール内に、第１の電気伝導性経路を挿入して第１のテスト・キー・グループを形成し、４つの探針をそれぞれ第１のテストパッド、第２のテストパッド、第３のテストパッド、および第５のテストパッドに設けて、これらの４つのテストパッドの間の回路の接触抵抗をテストするステップと、
第２のスルーホール内に、第２の電気伝導性経路を挿入して第２のテスト・キー・グループを形成し、４つの探針をそれぞれ第２のテストパッド、第４のテストパッド、第５のテストパッド、および第６のテストパッドに設けて、これらの４つのテストパッドの間の回路の接触抵抗をテストするステップと、および／または、
第１のスルーホールおよび第２のスルーホール内に、同時に第１の電気伝導性経路および第２の電気伝導性経路を挿入して第３のテスト・キー・グループを形成し、４つの探針をそれぞれ第１のテストパッド、第２のテストパッド、第５のテストパッド、および第６のテストパッドに設けて、これらの４つのテストパッドの間の回路の接触抵抗をテストするステップと、
を含む、
表示パネルＴＥＧテスト素子のテスト方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示および／またはＯＬＥＤ表示技術分野に関し、特に、表示パネルの回路におけるＲＣ（接触抵抗、Ｃｏｎｔａｃｔ  Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）特性のテストに用いるＴＥＧ（Ｔｅｓｔ  Ｅｌｅｍｅｎｔ  Ｇｒｏｕｐ）テスト・キー・グループ（または、テスト素子ともいう）、およびその形成方法とテスト方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、表示パネル（ｄｉｓｐｌａｙ  ｐａｎｅｌ）の製品を製造する段階では、表示パネル製品の有効な発光区域（ＡＡ区域、Ａｃｔｉｖｅ  Ａｒｅａ）の特性値をモニタリングするために、表示パネルの大きな板の周り、またはパネルの周りに若干のＴＥＧテスト・キー（Ｔｅｓｔｋｅｙ）を設計することができる。これらのテスト・キーは、例えば、表示パネルの回路におけるＴＦＴ（薄膜トランジスタ）／Ｒｓ（線抵抗または表面抵抗）／Ｒｃ（異なる導体間の接触抵抗）／Ｃ（電気容量）などの各種の素子のＲＣ特性をモニタリングするために用いられる。製品の基板（ガラス）の有効利用率から考慮すると、テスト・キーは、そのモニタリングの要求を満たす場合に、その占有面積が小さいほどよくなるべきである。
【０００３】
図１は、従来技術における表示パネルＴＥＧテスト素子の基本的な配置および構成を示す図である。既存のＲＣテスト・キーは、四探針の独立パッド（ＰＡＤ）の設計法により設計され、少なくとも、８個のパッドＰＡＤ１〜ＰＡＤ８、および８本の金属リード線から２個のテスト・キー・グループＲ（Ｍｅｔａｌ１、Ｍｅｔａｌ２）およびＲ（Ｍｅｔａｌ２、Ｍｅｔａｌ３）を構成する必要がある。その中、四探針の独立パッド（ＰＡＤ）設計法とは、各テスト・キー・グループＲ（Ｍｅｔａｌ１、Ｍｅｔａｌ２）またはＲ（Ｍｅｔａｌ２、Ｍｅｔａｌ３）に対しては、それぞれ、四つの探針（４つのプローブ）をＰＡＤ１、ＰＡＤ２、ＰＡＤ３およびＰＡＤ４に設け、または、ＰＡＤ５、ＰＡＤ６、ＰＡＤ７およびＰＡＤ８に設けて四探針式抵抗テストを行うことを指す。
【０００４】
従って、表示パネルのＲＣ特性を有効にテストすることを保証する前提で、如何に、パッドおよびリード線の数とその占有面積を減少させることは、現在の業界が至急に解决する必要がある問題である。
【発明の開示】
【０００５】
本発明は、従来技術の欠陥を克服するために、表示パネルＴＥＧテスト素子およびそのテスト方法を提供し、ＲＣ特性に対するテストの設計において、テストパッドおよび金属リード線の使用を減少することにより、テストパッドおよび金属リード線がパネルにおける占有面積を減少して、ガラス利用率を向上させる。
【０００６】
さらに、本発明は、テスト・キーのパッドの占有面積を減少する前提で、テスト・キーのモニター項目を増加する。
【０００７】
本発明に用いられた技術案は、次の通りであり、
本発明の一つの態様では、表示パネルＴＥＧテスト素子であって、順次に前記表示パネルに設けられる複数のテストパッドと、互いに電気的に隔離され、かつ複数のテストパッドに一つずつ対応していることにより、各テストパッドから１本の金属リード線を引き出すように設けられた複数の金属リード線とを備え、その中、第１のテストパッドから引き出された第１本の金属リード線と、第３のテストパッドから引き出された第３本の金属とを接続させて、第１のテスト・キーが形成され、第２のテストパッドから引き出された第２本の金属リード線と、第５のテストパッドから引き出された第５本の金属とを接続させて、第２のテスト・キーが形成され、かつ、第３のテストパッドから引き出された第３本の金属リード線と、第６のテストパッドから引き出された第６本の金属に接続させて、第３のテスト・キーが形成され、および、前記第１のテスト・キーと前記第２のテスト・キーとが交差し、かつ前記第２のテスト・キーと前記第３のテスト・キーとが交差する。
【０００８】
本発明のもう一つの様態では、表示パネルＴＥＧテスト素子のテスト方法であって、上記のようなＴＥＧテスト素子を利用して、前記表示パネルのＲＣ特性に対してテストを行い、当該テスト方法は、パネル製品の製造工程において、機械作業台を使用しパネル製品のＲＣ特性に対してオンライン／オフラインのテストを行うステップと、上記のテスト結果を、製品に関するＲＣ特性の指標規格に比べて、製品の品質基準の要求を満たすか否かと判断するステップと、要求を満たす場合、続けて当該製品の製造工程を用いて後続の製品製造を行うステップと、要求を満たさない場合、当該製品を廃棄して製品製造工程の改善を行うステップと、を含む。
【０００９】
本発明は、ＴＥＧテスト素子の配置および構成を最適化する設計により、２個のテストパッドおよび２本の金属リード線を減少することができ、表示パネルにおける占有面積を１／４減少させ、そして、このような設計は、また、元の四探針の独立パッドと、２個のテスト・キー・グループＲ（メタル１、メタル２）およびＲ（メタル２、メタル３）に対するモニターを保障した上で、その他の一つのグループのテスト・キー・グループＲ（メタル１、メタル２、メタル３）によるモニターを増加することで、さらに、全面的に有効発光区域の特性に対するモニターを行うことができ、モニターの結果としても、さらに有効表示区域のＲＣ特性の真実の状況に近接する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
下記の図面を参照して配置および実施例を詳細に説明し、その中、同一の図面の符号で同一の素子を表示する。
【図１】従来技術における表示パネルＴＥＧテスト素子の基本的な配置および構成を示す図である。
【図２】本発明の実施例による表示パネルＴＥＧテスト素子の基本的な配置および構成を示す図である。
【図３】本発明の実施例による表示パネルＴＥＧテスト素子の具体的な構成および形成方法を示す図である。
【図４】本発明の実施例による表示パネルＴＥＧテストの方法を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付した図面に基づき、本願の複数の実施形態について具体的に説明する。より明確に説明するために、複数の実施例の詳細について、以下の説明において合せて説明する。しかしながら、これらの実施例の詳細内容は、本願を制限するものに用いられるべきではない。
【００１２】
図２は、本発明の実施例による表示パネルＴＥＧテスト素子の基本的な配置および構成を示す図である。
【００１３】
図２に示すように、本発明の実施例では、表示パネルＴＥＧテスト素子は、順次に前記表示パネルに設けられた６個のテストパッドＰＡＤ１〜ＰＡＤ６と、６個のテストパッドに一つずつ対応し、各テストパッドから１本の金属リード線を引き出すように設けられた６本の金属リード線と、を備え、その中、第１のテストパッドから引き出された第１本の金属リード線と、第３のテストパッドから引き出された第３本の金属とを接続させて、第１のテスト・キーメタル１（ｍｅｔａｌ）が形成され、第２のテストパッドから引き出された第２本の金属リード線と、第５のテストパッドから引き出された第５本の金属とを接続させて、第２のテスト・キーメタル（ｍｅｔａｌ）２が形成され、かつ、第３のテストパッドから引き出された第３本の金属リード線と、第６のテストパッドから引き出された第６本の金属に接続させて、第３のテスト・キーメタル（ｍｅｔａｌ）３が形成される。
【００１４】
前記第１のテスト・キーメタル１と前記第２のテスト・キーメタル２とは交差し、かつ前記第２のテスト・キーメタル２と前記第３のテスト・キーメタル３とは交差する。
【００１５】
その中、前記表示パネルＴＥＧテスト素子は、さらに、前記複数の金属リード線の中の各２本の間に設けられた複数の絶縁層を備え、その中、第１の絶縁層における前記第１のテスト・キーメタル１と前記第２のテスト・キーメタル２との交差点に対応する位置に第１のスルーホールＨ１が設けられ、かつ第２の絶縁層における前記第２のテスト・キーメタル２と前記第３のテスト・キーメタル３との交差点に対応する位置に、第２のスルーホールＨ２が設けられる。
【００１６】
前記第１のテスト・キーメタル１と、前記第２のテスト・キーメタル２との交差点におけるスルーホールＨ１に、第１の電気伝導性経路Ｖ１を挿入して、第１のテスト・キー・グループＲ（メタル１、メタル２）を形成し、前記第２のテスト・キーメタル２と、前記第３のテスト・キーメタル３との交差点におけるスルーホールＨ２に、第２の電気伝導性経路Ｖ２を挿入して、第２のテスト・キー・グループＲ（メタル２、メタル３）を形成し、および、前記第１のテスト・キーメタル１と、前記第２のテスト・キーメタル２との交差点におけるスルーホールＨ１に、および前記第２のテスト・キーメタル２と、前記第３のテスト・キーメタル３との交差点におけるスルーホールＨ２に、同時に第１および第２の電気伝導性経路Ｖ１およびＶ２を挿入して、第３のテスト・キー・グループＲ（メタル１、メタル２、メタル３）を形成する。
【００１７】
下記のことに注意すべきである。すなわち、第１のテスト・キーメタル１と第２のテスト・キーメタル２との間、および第２のテスト・キーメタル２と第３のテスト・キーメタル３との間の交差は、いずれも、電気的に隔離する交差形態であり、すなわち、前記交差点におけるこれらのスルーホールに電気伝導性経路が挿入されていない場合、これらのテスト・キー同士の間は電気的に隔離されている。これによって類推すれば、テストしようとする製品の機能または性能の指標に従って、表示パネルに設けられるテストパッドの数量は、６個に制限されなくてもよい。
【００１８】
以下、具体的に、本発明に係る表示パネルＴＥＧテスト素子の形成プロセスおよびテスト方法を説明する。
【００１９】
上記に説明したように、本発明に係る表示パネルＴＥＧテスト素子の設計案は、表示パネルの製品の製造過程において、６個のテストパッドＰＡＤ１〜ＰＡＤ６を表示パネルの周りに設けられ、それぞれ、三つのテスト・キー・グループＲ（メタル１、メタル２）、Ｒ（メタル２、メタル３）およびＲ（メタル１、メタル２、メタル３）の回路をテストし、モニターするために用いられ、その中で、テストパッドＰＡＤ１およびＰＡＤ３の金属リード線を接続してテスト・キーメタル１を形成し、テストパッドＰＡＤ４およびＰＡＤ６の金属リード線を接続してテスト・キーメタル３を形成し、かつテストパッドＰＡＤ２およびＰＡＤ５の金属リード線を接続してテスト・キーメタル２を形成する。テスト・キーメタル２は、テスト・キーメタル１およびテスト・キーメタル３と、それぞれ交差し、かつ、２つの交差点にそれぞれに対応する２つの接触スルーホールおよびそれに挿入された電気伝導性経路により、互いに接触させることができる。
【００２０】
テストパッドＰＡＤ１〜ＰＡＤ６およびその金属リード線が表示パネルに配置された形態は、図２に示すものに限定されておらず、基板（ガラス）の実際の利用可能なスペースに従って決めることができる。
【００２１】
図３は、本発明の実施例による表示パネルＴＥＧテスト素子の具体的な構成および形成方法を例を挙げて示す図である。
【００２２】
図３に示すように、本発明に係る１つの実施例では、テスト・キー・グループＲ（メタル１、メタル２）の形成方法は、以下の通りである。すなわち、
ステップ１．１：  必要に応じて第１の金属層のメタル１のパターンを形成するように、第１の金属層のメタル１に対してコーティング、露光、およびエッチングなどの工程を行い、
ステップ１．２：  前記第１の金属層のメタル１のパターンの上に、全層の第１の絶縁層を堆積し、かつ、当該第１の絶縁層の、設計案における第１のテスト・キーと前記第２のテスト・キーとの交差点に対応する位置に、第１のスルーホールを掘って設け、
ステップ１．３：  当該第１の絶縁層の上に、第１の金属層メタル１のパターンを形成する工程と類似する工程で第２の金属層メタル２のパターンを形成し、
ステップ１．４：  この時、第１のスルーホール内に第１の電気伝導性経路Ｖ１を挿入して第１のテスト・キー・グループＲ（メタル１、メタル２）を形成し、四つの探針により抵抗をテストする方法で行うテストに用い、その中、四つの探針は、例えば、図２に示すパッドＰＡＤ１、ＰＡＤ２、ＰＡＤ３およびＰＡＤ５に設けられる。
【００２３】
同様に、図３を参照して、本発明に係る１つの実施例では、テスト・キー・グループＲ（メタル２、メタル３）の形成方法は、以下の通りである。すなわち、
ステップ２．１：  上記プロセスによって形成された第２の金属層メタル２のパターンの上に、全層の第２の絶縁層を堆積し、かつ、当該第２の絶縁層の、設計案における第２のテスト・キーと前記の第３のテスト・キーとの交差点に対応する位置に第２のスルーホールを掘って設け、
ステップ２．２：  当該第２の絶縁層の上に、第１の金属層メタル１のパターンを形成する工程と類似する工程で第３の金属層メタル３のパターンを形成し、
ステップ２．３：  この時、第２のスルーホール内に第２の電気伝導性経路Ｖ２を挿入して第２のテスト・キー・グループＲ（メタル２、メタル３）を形成し、かつ、第１および第２のスルーホール内に同時に第１および第２の電気伝導性経路Ｖ１およびＶ２を挿入して第３のテスト・キー・グループＲ（メタル１、メタル２、メタル３）を形成し、それぞれ、四つの探針で抵抗をテストする方法で行うテストに用いられ、その中、第２のテスト・キー・グループＲ（メタル２、メタル３）の四つの探針は、図２に示すパッドＰＡＤ２、ＰＡＤ４、ＰＡＤ５およびＰＡＤ６に置かれ、第３のテスト・キー・グループＲ（メタル１、メタル２、メタル３）の四つの探針は、図２に示すパッドＰＡＤ１、ＰＡＤ２、ＰＡＤ５およびＰＡＤ６に置かれる。
【００２４】
図４は、本発明の実施例による表示パネルＴＥＧテストの方法を示すフロー図である。
図４に示すように、本発明に係る１つの実施例によれば、本発明の表示パネルＴＥＧテスト素子のテスト方法の基本原理は、テスト機械作業台を用いて四探針式抵抗テストを行うことであり、具体的には、次のモニターまたはテストステップを含み、すなわち、
パネル製品の製造工程において、機械作業台を用いてパネル製品のＲＣ特性に対してオンライン／オフラインのテストを行い、具体的なテストの作業は下記の通りである。
【００２５】
１）  第１のスルーホール内に、第１の電気伝導性経路を挿入して第１のテスト・キー・グループＲ（メタル１、メタル２）を形成し、４つの探針をそれぞれテストパッドＰＡＤ１、ＰＡＤ２、ＰＡＤ３およびＰＡＤ５に設けて、これらの４つのテストパッドの間の回路の接触抵抗をテストする、
２）  第２のスルーホール内に、第２の電気伝導性経路を挿入して第２のテスト・キー・グループＲ（メタル２、メタル３）を形成し、４つの探針をそれぞれテストパッドＰＡＤ２、ＰＡＤ４、ＰＡＤ５およびＰＡＤ６に設けて、これらの４つのテストパッドの間の回路の接触抵抗をテストする、および／または、
３）  第１および第２のスルーホール内に、第１および第２の電気伝導性経路を挿入して第３のテスト・キー・グループＲ（メタル１、メタル２、メタル３）を形成し、４つの探針をそれぞれテストパッドＰＡＤ１、ＰＡＤ２、ＰＡＤ５およびＰＡＤ６に設けて、これらの４つのテストパッドの間の回路の接触抵抗をテストする。
【００２６】
上記のテスト結果を、製品に関するＲＣ特性の指標規格に比べて、製品の品質基準の要求を満たすか否かと判断し、
要求を満たす場合、続けて当該製品の製造工程を用いて後続の製品製造を行い、
要求を満たさない場合、当該製品を廃棄して製品製造工程の改善を行い、その後、上記のステップを繰り返す。
【００２７】
このようにして設計すれば、表示パネル製品の基板（ガラス）が有効に使用するスペースを大幅に節約することができ、２個のテストパッドおよび２本の金属リード線を減少することにより、表示パネルにおける占有面積を約１／４節約させた。同時に、その他の１つのグループのテスト・キー・グループＲ（メタル１、メタル２、メタル３）のモニターを増加した（即ち、テスト・キーのモニター項目を増加した）。さらに、全面的にパネルの発光区域の特性に対するモニターを行うことができ、モニターの結果としても、さらに有効表示区域のＲＣ特性の真実の状況に近接する。これにより、テスト・キーのモニターは、さらに有意義なことになる。
【００２８】
当業者にとって、本願の要旨および範囲を逸脱しない範囲において本願に対する各種の変更および修正を行うことができるとは明らかである。従って、本願は、本発明に対する各種の修正および変更を、例えば、添付された請求項およびその同等の発明の保護範囲に入る修正および変更であれば全てのものを含むべきである。
【図１】
2015152929.tif 000003
【図２】
2015152929.tif 000004
【図３】
2015152929.tif 000005
【図４】
2015152929.tif 000006