(57)【要約】      （修正有）【課題】超小型の水晶振動子のようなワークであっても高精度で電気的特性を計測することができる水晶振動子計測装置を提供する。【解決手段】パレット３に設けられた搭載孔３２に搭載された水晶振動子の電気的特性を計測する水晶振動子計測装置であって、パレットの上部に載置され、水晶振動子の対角線上に配置された一対の導通部８２を設けたコンタクトブロック８を備え、一対の導通部のそれぞれは、二以上の電極ピン８３から構成する。【選択図】図７
2015021772.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パレットに設けられた搭載孔に搭載された水晶振動子の電気的特性を計測する水晶振動子計測装置であって、
前記パレットの上部に載置され、前記水晶振動子の対角線上に配置された一対の導通部を設けたコンタクトブロックを備え、
前記一対の導通部のそれぞれは、二以上配された電極ピンから構成された
ことを特徴とする、水晶振動子計測装置。
【請求項２】
前記一対の導通部のそれぞれは、水晶振動子の短辺方向に隣接して配された二つの電極ピンから構成された
ことを特徴とする、請求項１記載の水晶振動子計測装置。
【請求項３】
前記一対の導通部のそれぞれは、水晶振動子の長辺方向に隣接して配された二つの電極ピンから構成された
ことを特徴とする、請求項１記載の水晶振動子計測装置。
【請求項４】
前記電極ピンは、外筒に摺動自在に挿入された接触ピンを備えたポゴピンである
ことを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の水晶振動子計測装置。
【請求項５】
前記搭載孔は前記パレット上にマトリクス状に設けられ、前記一対の導通部は、前記コンタクトブロックに前記搭載孔に対応してマトリクス状に設けられた
ことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の水晶振動子計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は水晶振動子計測装置に関し、具体的には、水晶振動子のように超小型のワークであっても高精度で電気的特性を計測することができる水晶振動子計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶振動子の周波数特性等、超小型の電子部品を計測する装置として、例えば特許文献１の電子部品計測装置が知られている。
【０００３】
この装置は、可撓性幕に取り付けられたコンタクトリテーナをパレットに搭載されたワークと該ワーク上方に載置するコンタクトブロックの間に挟み、コンタクトリテーナを介してコンタクトブロックが備える電極ピンによってワークを押圧して固定することにより、ワークのずれを防止するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２５５７００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
パレット上に設けられた搭載孔の大きさは、当該搭載孔に搭載されるワークよりも大きくされることが通常であるが、この搭載孔とワークの大きさの差、すなわち搭載孔のクリアランスはワークが小さいほど相対的に大きなものとなる。
【０００６】
図９（ａ）〜（ｅ）は、従来の水晶振動子計測装置における電極ピンＰと、ワークＷと、該ワークＷに電極ピンＰを接触させる所定の計測領域Ａと、ワークＷを搭載するパレットの搭載孔Ｈの位置関係を模式的に示した平面図であり、図９（ａ）はワークＷが搭載孔Ｈの中央に搭載された場合、図９（ｂ）〜（ｅ）はワークＷが搭載孔Ｈの中央からそれぞれ左方向、右方向、上方向、下方向にずれて搭載された場合である。ワークＷを搭載孔Ｈに搭載するためには、ワークＷよりも搭載孔Ｈが大きく形成されていなければならないが、水晶振動子のように超小型の電子部品の場合には、ワークＷと搭載孔Ｈのわずかな大きさの差異がワークＷの位置に大きな影響を与え得る。そのため、搭載孔３２に搭載されたワークＷの位置によってはワークＷと電極ピンＰが所定の計測領域Ａで接触せず、計測が不正確或は不能になるという問題があった。
【０００７】
本発明は上記の問題に鑑み、パレットの搭載孔内におけるワークの位置がずれても高精度で計測を行うことが可能な水晶振動子計測装置を提供することを、その目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述の課題を解決するためになされた本発明は、パレットに設けられた搭載孔に搭載された水晶振動子の電気的特性を計測する水晶振動子計測装置であって、前記パレットの上部に載置され、前記水晶振動子の対角線上に配置された一対の導通部を設けたコンタクトブロックを備え、前記一対の導通部のそれぞれは、二以上の電極ピンから構成されたことを特徴としている。
【０００９】
本発明に係る水晶振動子計測装置における一対の導通部のそれぞれは、水晶振動子の短辺方向に隣接して配された二つの電極ピンから構成しても良いし、水晶振動子の長辺方向に隣接して配された二つの電極ピンから構成しても良い。
【００１０】
本発明に係る水晶振動子計測装置は、電極ピンを外筒に摺動自在に挿入された接触ピンを備えたポゴピンとしてもよく、また、搭載孔を前記パレット上にマトリクス状に設け、前記一対の導通部は前記コンタクトブロックに前記搭載孔に対応してマトリクス状に設けてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、水晶振動子の対角線上に設けた一対の導通部のそれぞれが、二以上の電極ピンを備えた構成となっている。この構成により、一の導通部と水晶振動子は点ではなく擬似的な線により導通するので、搭載孔内で水晶振動子の位置がずれていても確実に導通することができ、高精度で計測を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態における搬送ボードを示す斜視図。
【図２】同実施形態におけるパレットを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は部分断面図。
【図３】同実施形態におけるフレームリテーナを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は背面図。
【図４】同実施形態におけるフレームリテーナ、パレット、及びアパーチャの孔の位置関係を模式的に示した平面図。
【図５】同実施形態におけるコンタクトブロックを示す斜視図。
【図６】同実施形態におけるフレームリテーナ、パレット、搬送ボード、及びシャッタの位置関係を示す断面図。
【図７】同実施形態におけるコンタクトブロック、フレームリテーナ、ワーク、パレット、及び搬送ボードの位置関係を示す部分断面図。
【図８】同実施形態における電極ピンとワーク、及びパレットの位置関係を示す模式図。
【図９】従来の電子部品計測装置における電極ピンとワーク、及びパレットの位置関係を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、本実施形態に係る水晶振動子計測装置を備えたエッチング装置の搬送ボード１の斜視図である。図１で示すように、搬送ボード１はマトリクス状に多数の入射孔２１が形成されたアパーチャ２と、アパーチャ２の外縁部分に設けられた側板４を備えている。
【００１４】
アパーチャ２の周囲４辺には突縁２２が形成されており、突縁２２によってアパーチャ２の入射孔２１の上方には凹部２３が形成されている。当該凹部２３の内寸は、後述のパレット３の外寸と略同一に形成されており、パレット３を凹部２３に嵌め込むことができる。また、パレット３のノックピン孔３３及びフレームリテーナ９のノックピン孔９３のそれぞれに対応する位置にはノックピン７が設けられており、当該ノックピン７、ノックピン孔３３、９３によりパレット３及びフレームリテーナ９は搬送ボード１の所定の位置に位置決めされる。
【００１５】
側板４は、アパーチャ２の突縁２２と上面を面一とする部材である。側板４の外側側面には複数の垂直ガイドローラ６が設けられており、上面には複数の水平ガイドローラ５が設けられている。この垂直ガイドローラ６及び水平ガイドローラ５は、エッチング装置のガイドレール（図示しない）に沿って転動することにより、エッチング装置上に搬送される。
【００１６】
図２（ａ）（ｂ）は、前述の搬送ボード１に嵌め込まれるパレット３を示した図であり、図２（ｃ）は、パレット３の拡大断面図である。図２（ａ）（ｂ）で示すように、パレット３は、外寸を上記凹部２３の内寸と略同一とした板状のパレット本体３１に、アパーチャ２の入射孔２１と対応する位置に搭載孔３２が形成されている。
【００１７】
搭載孔３２は、本実施形態におけるワークＷである水晶振動子をパレット３に搭載するための孔である。この搭載孔３１は、図２（ｃ）で示すように、ワークＷの形状に合わせた平面開口部３２ａと、パレット底面から照射されるイオンビームを所定の形状にマスクするための底面開口部３２ｂ及び中央開口部３２ｃから構成されている。
【００１８】
搭載孔３２は、パレット３に複数のワークＷを搭載可能とするため、パレット３を凹部２３に嵌め込んだ際に入射孔２１と同位置となる位置に複数設けられている。これにより、ワークＷはパレット３上にマトリクス状、すなわち縦横に格子状に搭載される。
【００１９】
本実施形態のワークＷである水晶振動子は、パレット３の搭載孔３２に搭載された状態で搬送ボード１をエッチング装置（図示せず）に送り込み、ワークＷ下面側からのイオンビームの照射によりエッチング加工される。
【００２０】
本実施形態では、搬送ボード１に嵌め込まれたパレット３に搭載されるワークＷは、図３で示すフレームリテーナ９によって固定される。図３で示すように、フレームリテーナ９は、パレットの略長方形状の外枠９１と、外枠９１の内側に嵌め込まれるうち枠９２から構成されている。内枠９２のワークＷに対応する位置には、一のワークＷに対して二つの内枠開口部９２ａが形成されている。
【００２１】
図４は、前述の搬送ボード１の入射孔２１と、パレット３の搭載孔３２と、フレームリテーナ９の内枠開口部９２ａの位置関係を示した図である。図４で示すように、搭載孔３２における平面開口部３２ａ、すなわちワークとなる水晶振動子が載置される孔の中央付近には、フレームリテーナ９の内枠開口部９２ａの間の枠が位置する。これにより、ワークは当該内枠開口部９２ａ間の枠によってパレット３の搭載孔３２に固定される。一方、アパーチャ２の入射孔２１は、パレット３の搭載孔３２よりも大きく形成されており、ワークの形状や大きさが異なる場合であってもパレット３を交換することにより、搬送ボード１はそのまま使用することができる。
【００２２】
本実施形態では、上記マトリクス状に搭載されたワークＷを２列ずつエッチング加工される。同時に加工される２列のワークＷすべてについてエッチング加工が終了するたびに搬送ボード１をワーク２列ずつ送り出すことにより、未加工のワークＷが新たに加工される。このとき、加工中のワークの上方には多数の電極ピンを備えたコンタクトブロックが載置され、電極ピンを介してワークの電気的特性を計測し、計測値が所定の値を示したワークについては加工を終了する。
【００２３】
図５は、前述のコンタクトブロック８の斜視図である。図３で示すように、コンタクトブロック８は平面を略Ｉ字状に形成したブロック本体８１と、ブロック本体８１の底面側に突出して取り付けられた導通部８２から構成されている。
【００２４】
導通部８２は、コンタクトブロック８をパレット３の上方に載置した際に当該パレット３に搭載されるワークＷに対応するように、一対の導通部８２が縦２列、横１６行となるマトリクス状に配置されている。
【００２５】
一対の導通部８２は、それぞれがワークの短辺方向に隣接した２つの電極ピン８３によって構成されており、ワークＷの対角線上に位置するように配置されている。
【００２６】
図６は本実施形態におけるエッチング装置の要部の断面図であり、図７はその一部、すなわちアパーチャ２、パレット３、フレームリテーナ８、コンタクトブロック８、及びワークＷの位置関係を示した部分断面図である。図６及び図７で示すように、アパーチャ２、パレット３、ワークＷ、フレームリテーナ９、コンタクトブロック８が下方から上方に向けて順に載置され、アパーチャ２の入射孔２１及びパレット３の搭載孔３２を通してイオンビームＩがワークＷの底面側に照射される。なお、本実施形態では２つの電極ピン８３をワークの短辺方向に隣接して配置しているが、ワークの形状やフレームリテーナの位置等により、これを長辺方向に隣接して配置してもよい。また、本実施形態では２つの電極ピン８３を隣接させて配しているが、電極ピン８３同士の間隔を離してもよい。
【００２７】
このとき、コンタクトブロック８に設けられた導通部８２はフレームリテーナ９の内枠９２を避けるようにワークＷと接触し、該導通部８２がワークＷと導通することにより電気特性が計測される。所定の値が検出されると、アパーチャ２の下方に位置するシャッタ１０を閉じることによりイオンビームが遮断され、エッチング加工が終了する。
【００２８】
本実施形態では一の導通部８２が隣接した２つの電極ピン８３から構成されており、合計で最大４つの電極ピン８３によりワークＷと導通する。なお、本実施形態における電極ピン８３は、ブロック本体８１に取り付けられた外筒８３ａと、外筒８３ａに摺動自在に挿入された接触子８３ｂと、接触子８３ｂを支持するばね８３ｃから構成されるポゴピンである。この導通部８２をポゴピンである電極ピン８３とすることで、ポゴピンの接触子８３ｂが適宜伸縮することにより確実にワークＷとの導通を確保することができる。また、ワークＷとの導通を確保する上で必要以上の応力がワークＷに印加されることを防止することができる。
【００２９】
図８（ａ）〜（ｅ）は、本実施形態における搭載孔３２と、導通部８２と、ワークＷ、及び導通部８２をワークＷに接触させる所定の接触領域Ａの位置関係を示した模式図であり、図８（ａ）は搭載孔３２の中央にワークＷが搭載された場合、図８（ｂ）〜（ｅ）はワークＷが搭載孔３２の中央からそれぞれ左方向、右方向、上方向、下方向にずれて搭載された場合である。
【００３０】
従来の電子部品計測装置では、図９（ａ）〜（ｅ）で示すように一対の電極ピンＰによってワークとの導通を確保しているため、ワークＷが搭載孔Ｈの中央からずれて搭載された場合には、電極ピンＰが所定の接触領域Ａに正しく接触しない状態が発生する。これにより、従来の電子部品計測装置ではワークＷのずれにより、ワークＷの電気的特性の計測が不正確になったり、或は計測できない状況が発生していた。
【００３１】
一方、本実施形態の水晶振動子計測装置では、一の導通部８２をワークＷ短辺方向２本の電極ピン８３により構成しているので、当該２本の電極ピン８３により接触領域Ａと擬似的に線接触となる。そのため、ワークＷが搭載孔３２中央からずれて搭載されていても２本のいずれかの電極ピン８３が接触領域Ａに接触することにより確実に導通することができる。導通部８２を実際に線接触となる構成とした場合は、ワークＷのわずかな傾きによって導通部とワークＷの接触は点接触になってしまうが、本実施形態では導通部８２をポゴピンである電極ピン８３を複数設けた擬似的な線接触となるように構成しているため、ワークＷが傾いて搭載された場合でも確実に導通させることができる。
【００３２】
また、本実施形態は従来から使用されている電極ピン８３の数を増やすのみで足りるので、従来の部品や製造設備に大きな変更は必要なく、最小限のコストで高精度な計測器を製造することができる。
【００３３】
本発明に係る実施形態の説明は以上であるが、本発明の形態は前述に限られない。例えば、本実施形態における一の導通部８２は２つの電極ピン８３から構成しているが、スペース等の限りにおいてこれを３以上の電極ピン８３から構成してもよい。
【００３４】
また、本実施形態のコンタクトブロック８は一対の導通部８２を横２列×縦１６行の合計３２個設けているが、一対の導通部８２をコンタクトブロック８にどれだけ設けるかはエッチング装置やパレット３、ワークＷの大きさによって適宜変更してもよい。
【００３５】
また、本実施形態ではパレット３とコンタクトブロック８の間にフレームリテーナ９を配置しているがこれを用いることは必須ではなく、フレームリテーナ９を廃してもよい。
【００３６】
その他の構成についても、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能である。
【符号の説明】
【００３７】
１      搬送ボード
２      アパーチャ
２１    入射孔
３      パレット
３２    搭載孔
８      コンタクトブロック
８１    ブロック本体
８２    導通部
８３    電極ピン
９      フレームリテーナ
Ｗ      ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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