(57)【要約】【課題】被写体の詳細な温度分布を検出するのに適した検出温度範囲に容易かつ迅速に設定できる赤外線撮像装置を提供する。【解決手段】本発明による赤外線撮像装置は、光学系２１、２２を介して被写体Ｓを撮像する際に低温側および高温側の基準温度で規定された検出温度範囲で温度検出を行う赤外線カメラ１０を有している。本赤外線撮像装置は、光学系２１、２２と赤外線カメラ１０との間に配置され、低温側および高温側の基準温度の一方に設定され、光チョッパ１６を介して被写体Ｓと交互に赤外線カメラ１０によって撮像される第１の黒体光源３１と、光学系２１、２２の外部に配置され、低温側および高温側の基準温度の他方に設定され、被写体Ｓと代替に赤外線カメラ１０によって撮像される第２の黒体光源３２と、被写体Ｓと第２の黒体光源３２とを位置的に入れ替える黒体光源挿入手段としての可動ステージ４２とを有している。【選択図】図１
2015203637.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系を介して被写体を撮像する際に低温側および高温側の基準温度で規定された検出温度範囲で温度検出を行う赤外線カメラを有する赤外線撮像装置であって、
前記光学系と前記赤外線カメラとの間に配置され、前記低温側および前記高温側の基準温度の一方に設定され、光チョッパを介して被写体と交互に前記赤外線カメラによって撮像される第１の黒体光源と、
前記光学系の外部に配置され、前記低温側および前記高温側の基準温度の他方に設定され、被写体と代替に前記赤外線カメラによって撮像される第２の黒体光源と、
被写体と前記第２の黒体光源とを位置的または光学経路的に入れ替える黒体光源挿入手段とを有することを特徴とする赤外線撮像装置。
【請求項２】
前記黒体光源挿入手段は、被写体と前記第２の黒体光源との位置を入れ替える可動ステージである請求項１に記載の赤外線撮像装置。
【請求項３】
前記黒体光源挿入手段は、前記光学系と被写体との間の光学経路と、該光学系と前記第２の黒体光源との間の光学経路とを切り替える構成を有している請求項１に記載の赤外線撮像装置。
【請求項４】
被写体と、前記第２の黒体光源とを収容し、被写体と該第２の黒体光源とを同じ雰囲気下に曝すチャンバをさらに有し、
前記チャンバは、前記光学系と被写体との間に形成される光学経路を横切る部分にゲルマニウム結晶から成る窓を備えている請求項１乃至３のいずれか一項に記載の赤外線撮像装置。
【請求項５】
前記赤外線カメラは、複数の撮像画素が二次元状に配列されてなる赤外線撮像素子を備え、
前記低温側および前記高温側の基準温度に基づいて前記赤外線撮像素子によって温度検出を行うことによって各撮像画素の正常／欠陥を判定し、欠陥画素に隣接する正常画素によって温度検出を代替させて補正をなす感度不均一補正回路をさらに有する請求項１乃至４のいずれか一項に記載の赤外線撮像装置。
【請求項６】
前記第１の黒体光源および前記第２の黒体光源の前記低温側および前記高温側の基準温度で規定される検出温度範囲は、被写体がとり得る温度範囲よりも僅かに広く設定される請求項１乃至５のいずれか一項に記載の赤外線撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、赤外線撮像装置に関し、特に、撮像結果の温度分布を表すサーモグラフを表示するサーモグラフィを行う赤外線撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の赤外線撮像装置は、複数の撮像画素が二次元状に配列されてなる赤外線撮像素子を有し、この赤外線撮像素子によって被写体を撮像する際に、各画素毎に低温側および高温側の基準温度で規定された検出温度範囲で温度検出を行う。
【０００３】
この基準温度は、一般に、製品出荷前、即ち、赤外線撮像装置の製造段階にて、所定の温度に設定可能な黒体光源を用い、低温側、高温側に温度設定された黒体光源を赤外線撮像素子によって撮像することによって黒体光源の温度を検出し、検出した温度を低温側、高温側それぞれの基準温度として装置に具備させたメモリに記憶される。同工程において、全体に亘り均一な温度に設定される黒体光源を使うため、赤外線撮像素子の感度の不均一補正も行われる。
【０００４】
製品出荷前にはまた、黒体光源を用い、赤外線撮像素子における欠陥画素を判定し、欠陥画素に隣接する正常な画素によって温度検出を代替させるべく、欠陥画素補正がなされた上で製品出荷される。
【０００５】
この種の赤外線撮像装置として、非特許文献１、非特許文献２に開示されたものがある。非特許文献１、非特許文献２に開示された赤外線撮像装置が計測する温度範囲を調べると、−４０℃から５００℃程度が最も多く、温度範囲の広いもので−４０℃から２０００℃、温度範囲が狭いもので−２０℃から１００℃である。また、温度範囲を−２０℃から１５０℃または１００℃から６５０℃を選ぶことができるカメラもある。
【０００６】
また、赤外線やテラヘルツ波での画像を取得する際、黒体光源を備え、光チョッパのＯＮ／ＯＦＦに同期させて画像を取得する同期整流イメージング技術が開発されている。同期整流イメージング技術は、例えば、非特許文献３に開示されている。
【０００７】
非特許文献３に開示された撮像装置は、主鏡と副鏡から成る望遠鏡、光チョッパ、黒体光源、３５０ＧＨｚ検出用の単素子ヘテロダインレシーバーを有し、被写体からの３５０ＧＨｚ輻射と参照光源からの３５０ＧＨｚの輻射を光チョッパによって切り替え、ロックイン増幅器で同期整流することにより、被写体と参照光源の差画像を取得する撮像装置に関する。
【０００８】
図７を参照して、本発明の関連技術として、非特許文献３に記載されたパッシブ撮像装置の技術について説明する。主鏡６００と副鏡６０１から成る望遠鏡から約５ｍ離れた被写体（図７には、示されていない）からの電磁波は、同主鏡と同副鏡により集められ、光チョッパ６０２に入射する。光チョッパは、光チョッパ制御器６０３により周期的に回転しており、光チョッパ６０２の鏡面部が集光部に来た時、被写体からの電磁波はレンズ６０５に入射し、単素子ヘテロダインレシーバー６０６上に集光される。光チョッパ６０２の透過部が集光部に来た時は、温度可変の黒体光源６０４からの電磁波がレンズ６０５に入射し、単素子ヘテロダインレシーバー６０６上に集光される。同レシーバーの信号は中間周波数増幅器６０７を通って、光チョッパ制御器６０３の出力と共にロックイン増幅器６０８に入力される。同増幅器の信号は、画像表示装置６０９に表示される。使用しているレシーバーが単素子であるため、二次元画像を得るために副鏡６０１を１０°傾けて毎分２０００回回転させて、副鏡６０１から約５ｍの距離で直径約１ｍの領域を画像化している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平９−１６３２２８号公報
【非特許文献】
【００１０】
【非特許文献１】ＦＬＩＲ社の製品カタログ（http://www.flir.com/JP/)
【非特許文献２】日本アビオニクス社の製品カタログ（http://www.avio.co.jp/products/infrared/index.html）
【非特許文献３】S. Augustin等、The 38th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, Extended abstract, WE9-3, (2013).
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、例えば生体が電磁波等の外部から受けるエネルギーの影響を調べる上で、その影響が、生体組織が加熱されることに因るものか、あるいは、生体組織が原子・分子レベルで変質することに因るものかを検証する技術が本発明者等によって提案されている。その加熱起因の影響を検証する際には、例えば、生体組織を被写体として、この生体組織に局所的にレーザ光を照射して加熱しつつ赤外線撮像装置によって撮像し、詳細な温度分布を検出する必要がある。
【００１２】
他方、赤外線撮像装置において、低温側基準温度および高温側基準温度によって規定される検出温度範囲は、被写体がとり得る温度範囲に近い方が、より正確かつ詳細な温度分布を検出できる。
【００１３】
上記のような用途に赤外線撮像装置を供する場合、生体組織の温度範囲は通常、約３６℃から約４２℃であるため、上記非特許文献１、２に開示された赤外線撮像装置は、検出温度範囲が不必要に大きく、細かい温度分布を捉えることが困難である。また、非特許文献１、２に開示された赤外線撮像装置は、製品出荷前に予め基準温度が設定されているため、ユーザが比較的狭い範囲で詳細な温度に基準温度を設定することはできない。
【００１４】
一方、非特許文献３に開示されたもののように、温度可変の黒体光源を備えた撮像装置では、ユーザサイドにて、黒体光源の温度を調整可能ではあるが、黒体光源の温度調整手段は、通常、ヒータやペルチェ素子等によって構成されているため、単一の黒体光源を短時間に低温側、高温側の基準温度に変化させて低温側、高温側の両基準温度を得ることは困難である。
【００１５】
それ故、本発明の目的は、ユーザが被写体の詳細な温度分布を検出するのに適した検出温度範囲に容易かつ迅速に設定できる赤外線撮像装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明によれば、光学系を介して被写体を撮像する際に低温側および高温側の基準温度で規定された検出温度範囲で温度検出を行う赤外線カメラを有する赤外線撮像装置であって、前記光学系と前記赤外線カメラとの間に配置され、前記低温側および前記高温側の基準温度の一方に設定され、光チョッパを介して被写体と交互に前記赤外線カメラによって撮像される第１の黒体光源と、前記光学系の外部に配置され、前記低温側および前記高温側の基準温度の他方に設定され、被写体と代替に前記赤外線カメラによって撮像される第２の黒体光源と、被写体と前記第２の黒体光源とを位置的または光学経路的に入れ替える黒体光源挿入手段とを有することを特徴とする赤外線撮像装置が得られる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明による赤外線撮像装置は、ユーザが被写体の詳細な温度分布を検出するのに適した検出温度範囲に容易かつ迅速に設定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態１に係る赤外線撮像装置の構成を示す図である。
【図２】図１に示された赤外線撮像装置における赤外線カメラの構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施形態に係る赤外線撮像装置に具備可能な、感度不均一補正回路の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施形態２に係る赤外線撮像装置の構成を示す図である。
【図５】本発明の実施例（検出温度範囲を３４℃〜６４℃に設定）を説明するための図であり、（ａ）は赤外線画像を示す図であり、（ｂ）は本赤外線画像に対応した温度分布図である。
【図６】本発明の実施例（検出温度範囲を３４℃〜４４℃に設定）を説明するための図であり、（ａ）は赤外線画像を示す図であり、（ｂ）は本赤外線画像に対応した温度分布図である。
【図７】関連技術による撮像装置の構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明による赤外線撮像装置は、光学系を介して被写体を撮像する際に低温側および高温側の基準温度で規定された検出温度範囲で温度検出を行う赤外線カメラを有している。
【００２０】
特に、本赤外線撮像装置は、第１の黒体光源と、第２の黒体光源と、黒体光源挿入手段とを有している。
【００２１】
第１の黒体光源は、光学系と赤外線カメラとの間に配置され、低温側および高温側の基準温度の一方に設定され、光チョッパを介して被写体と交互に赤外線カメラによって撮像される。
【００２２】
第２の黒体光源は、光学系の外部に配置され、低温側および高温側の基準温度の他方に設定され、被写体と代替に赤外線カメラによって撮像される。
【００２３】
黒体光源挿入手段は、被写体と第２の黒体光源とを位置的または光学経路的に入れ替える。
【００２４】
本発明による赤外線撮像装置は、上記構成により、ユーザが任意の基準温度に設定できると共に、低温側および高温側の基準温度それぞれ専用に黒体光源を備えているため、黒体光源の温度調整に長時間を要することなく短時間に温度分布を検出できる。さらに、第２の黒体光源が、光学系外の被写体と同じ位置にあるか、あるいは、光学系外の被写体と同じ光学経路を通って撮像されるため、基準温度に対する被写体の温度を正確かつ精密に測定することができる。
【００２５】
以下、図面を参照して、本発明をさらに詳細に説明する。
【００２６】
［実施形態１］
図１および図２を参照すると、本発明の実施形態１による赤外線撮像装置は、被写体支持部４１に支持された生体組織である被写体Ｓにレーザ光を照射しながら、主鏡２１および副鏡２２を含む光学系を介して、被写体Ｓを撮像する際に低温側および高温側の基準温度で規定された検出温度範囲で温度検出を行う赤外線カメラ１０を有している。図１中、符号１４は、ゲルマニウム結晶から成る赤外線レンズである。
【００２７】
赤外線カメラ１０は、図２に示されるように、赤外線撮像素子１３と、後述する第１の黒体光源３１と、第２の黒体光源３２とによる低温側および高温側の温度基準とに基づいて、被写体Ｓの温度分布を検出すると共に、赤外線カメラ１０の動作全般を司る制御・信号処理部１１と、必要に応じて、低温側および高温側の基準温度を記憶するメモリ１２とを備えている。図中、符号１５は、液晶ディスプレイ等の表示部を示し、表示部１５は、赤外線カメラ１０による撮像結果をサーモグラフとして表示する。
【００２８】
また、制御・信号処理部１１は、図２に示されるように、チョッパ１６を駆動するモータ１７に対して同期信号を送出すると共に、後述する可動ステージ４２に対する制御信号を送出する。さらに、制御・信号処理部１１は、図３に示された後述する感度不均一補正回路５０からの補正信号を取得するものであってもよい。
【００２９】
特に、本赤外線撮像装置は、第１の黒体光源３１と、第２の黒体光源３２と、黒体光源挿入手段としての可動ステージ４２とを有している。
【００３０】
第１の黒体光源３１は、主鏡２１および副鏡２２を含む光学系と赤外線カメラ１０との間に配置され、第１の黒体光源３１に取り付けられた図示しないペルチェ素子等により、低温側および高温側の基準温度の一方（本例では、低温側の基準温度）に設定され、光チョッパ１６を介して被写体Ｓと交互に赤外線カメラ１０によって撮像される。
【００３１】
一方、第２の黒体光源３２は、主鏡２１および副鏡２２を含む光学系の外部に配置され、第２の黒体光源３２に取り付けられた図示しないペルチェ素子等により、低温側および高温側の基準温度の他方（本例では、高温側の基準温度）に設定され、被写体Ｓと代替に赤外線カメラ１０によって撮像される。
【００３２】
また、黒体光源挿入手段は、被写体Ｓと第２の黒体光源３２とを位置的または光学経路的に入れ替えるものであり、本実施形態においては、赤外線カメラ１０の制御・信号処理部１１からの制御信号に基づいて被写体支持部４１に支持された被写体Ｓと第２の黒体光源３２との位置を入れ替える可動ステージ４２である。尚、本発明においては、被写体Ｓと第２の黒体光源３２を移動させる可動ステージではなく、被写体Ｓと第２の黒体光源３２は移動させない一方、赤外線カメラ１０の制御・信号処理部１１からの制御信号に基づいて赤外線カメラ１０自体と光学系側を移動させる構成としてもよい。
【００３３】
さらに、本赤外線撮像装置は、被写体Ｓと、第２の黒体光源３２とを収容し、被写体Ｓと第２の黒体光源３２とを同じ雰囲気下（本例では、所定湿度に保たれた水蒸気雰囲気）に曝すチャンバＣをさらに有している。尚、図示はしないが、チャンバＣのうち光学経路を横切る部分には窓が備えられており、この窓は、赤外線を透過するゲルマニウム結晶から成っている。
【００３４】
第１の黒体光源３１および第２の黒体光源３２の低温側および高温側の基準温度で規定される検出温度範囲は、被写体がとり得る温度範囲よりも僅かに広い程度に設定されることが好ましい。
【００３５】
本発明においては、赤外線撮像素子が本例の赤外線撮像素子１３のごとく、複数の撮像画素が二次元状に配列されて成っている場合、本赤外線撮像装置は、図３に示された感度不均一補正回路５０を有していてもよい。
【００３６】
感度不均一補正回路は、赤外線撮像素子１３における各画素の感度不均一性を検出および補正する回路である。本赤外線装置に感度不均一補正回路５０を具備させることにより、製造者だけではなく、ユーザが感度不均一補正を実施することが可能である。
【００３７】
図３を参照すると、感度不均一補正回路５０は、赤外線カメラ１０の制御・信号処理部１１からの信号を切り替える信号切替器５１と、演算前メモリ５２Ｕ、５２Ｌと、演算部５３と、演算後メモリ５４Ｕ、５４Ｌとを備えている。
【００３８】
感度不均一補正回路５０は、低温側の基準温度および高温側の基準温度に基づいて二次元アレイ状の赤外線撮像素子１３によって温度検出を行うことにより、各撮像画素の正常／欠陥を判定し、欠陥画素に隣接する正常画素によって温度検出を代替させるような補正をなす回路である。
【００３９】
一般に、感度不均一補正回路に相当する装置は赤外線撮像装置の製造者側に用意され、製造者側にて感度不均一補正が実施された後に製品出荷されるが、本発明においては、赤外線撮像装置が感度不均一補正回路を備えることにより、ユーザサイドにて感度不均一補正を実施できる。
【００４０】
以下、被写体Ｓに適した検出温度範囲をユーザが設定し、赤外線撮像素子１３における各画素の感度不均一補正を行うことによって、より精密な温度計測を行うことができる手順を説明する。
【００４１】
（１）まず、温度可変の黒体光源３２の温度を被写体（生体組織サンプル）Ｓよりも高い温度Ｔ１に設定する一方、黒体光源３１の温度を被写体Ｓよりも低い温度Ｔ２に設定する。
【００４２】
（２）黒体光源３２（温度Ｔ１）を見せ、アレイ状の赤外線撮像素子１３の各画素の出力信号Ｏ１（ｉ，ｊ）を演算前メモリ５２Ｕに格納する。赤外線撮像素子１３が３２０×２４０画素の二次元アレイである場合、ｉ＝１，２，・・・，３２０、ｊ＝１，２，・・・，２４０である。
【００４３】
（３）黒体光源３１（温度Ｔ２）を赤外線撮像素子１３に見せ、赤外線撮像素子１３の各画素の出力信号Ｏ２（ｉ，ｊ）を演算前メモリ５２Ｌに格納する。出力信号Ｏ１、出力信号Ｏ２は、以下の数式１、２のとおりである。
【数１】
2015203637.tif 000003
【数２】
2015203637.tif 000004
【００４４】
（４）演算部５３によって、以下の数式３、４の演算を行う。両式より、不均一補正テーブルの比例係数ａ（ｉ，ｊ）、切片ｂ（ｉ，ｊ）が得られる。
【数３】
2015203637.tif 000005
【数４】
2015203637.tif 000006
【００４５】
比例係数ａ（ｉ，ｊ）と切片ｂ（ｉ，ｊ）を、演算後メモリ５４Ｕと、演算後メモリ５４Ｌに格納する。ａ（ｉ，ｊ）とｂ（ｉ，ｊ）の表を赤外線カメラ１０の制御・信号処理部１１内のメモリ１２に格納して、画像処理時間を短縮することもできる。
【００４６】
カメラの信号に関する固定された分解能（例えば、１４ビット）でデータ取得を行う場合、ダイナミックレンジを温度Ｔ１と温度Ｔ２のうち（Ｔ１＞Ｔ２とする）、Ｔ１を被写体Ｓが取り得る温度よりも少し高め、Ｔ２を被写体Ｓが取り得る温度よりも少し低めに設定することにより、所望の温度範囲に対して細かく温度計測を行うことができる。
【００４７】
尚、制御・信号処理部１１や感度不均一補正回路５０は、その一部または全部をパーソナルコンピュータを用いて構成してもよい。また、表示部１５が、赤外線カメラ１０の筐体に搭載されるように構成してもよい。
【００４８】
［実施形態２］
本発明の実施形態２に係る赤外線撮像装置は、黒体光源挿入手段として、光学系と被写体との間の本来の光学経路中に介在して、光学系と第２の黒体光源との間に代替の光学経路を形成するミラー等の光学素子と、本来の光学経路と代替の光学経路とを切り替えるべくミラー等の光学素子を移動する機構とによって構成されている点が、実施形態１と異なる。このため、実施形態１と同一または同様の部分については、実施形態１における説明および図面を援用することとし、詳細な説明は省略する。
【００４９】
図４を参照すると、本発明の実施形態２に係る赤外線撮像装置は、実施形態１と同様に、被写体支持部４１に支持された生体組織である被写体Ｓにレーザ光を照射しながら、主鏡２１および副鏡２２を含む光学系を介して、被写体Ｓを撮像する際に低温側および高温側の基準温度で規定された検出温度範囲で温度検出を行う赤外線カメラ１０を有している。図４中、符号１４は、ゲルマニウム結晶から成る赤外線レンズである。
【００５０】
赤外線カメラ１０は、実施形態１の図２を援用参照すると、赤外線撮像素子１３と、第１の黒体光源３１と第２の黒体光源３２とによる低温側および高温側の温度基準とに基づいて、被写体Ｓの温度分布を検出すると共に、赤外線カメラ１０の動作全般を司る制御・信号処理部１１と、必要に応じて、低温側および高温側の基準温度を記憶するメモリ１２とを備えている。図中、符号１５は、液晶ディスプレイ等の表示部を示し、表示部１５は、赤外線カメラ１０による撮像結果をサーモグラフとして表示する。
【００５１】
また、制御・信号処理部１１は、チョッパ１６を駆動するモータ１７に対して同期信号を送出すると共に、後述するミラー移動機構４８に対する制御信号を送出する。さらに、制御・信号処理部１１は、実施形態１の図３に示された感度不均一補正回路５０からの補正信号を取得するものであってもよい。
【００５２】
特に、本赤外線撮像装置は、第１の黒体光源３１と、第２の黒体光源３２と、黒体光源挿入手段としてのミラー移動機構４８とを有している。
【００５３】
第１の黒体光源３１は、主鏡２１および副鏡２２を含む光学系と赤外線カメラ１０との間に配置され、第１の黒体光源３１に取り付けられた図示しないペルチェ素子等により、低温側および高温側の基準温度の一方（本例では、低温側の基準温度）に設定され、光チョッパ１６を介して被写体Ｓと交互に赤外線カメラ１０によって撮像される。
【００５４】
一方、第２の黒体光源３２は、主鏡２１および副鏡２２を含む光学系の外部に配置され、第２の黒体光源３２に取り付けられた図示しないペルチェ素子等により、低温側および高温側の基準温度の他方（本例では、高温側の基準温度）に設定され、被写体Ｓと代替に赤外線カメラ１０によって撮像される。
【００５５】
また、黒体光源挿入手段は、被写体Ｓと第２の黒体光源３２とを位置的または光学経路的に入れ替えるものであり、本実施形態においては、主鏡２１および副鏡２２を含む光学系と被写体Ｓとの間の本来の光学経路中に介在して、光学系と第２の黒体光源３２との間に代替の光学経路を形成する光学素子としての第１ミラー４６、第２ミラー４７と、赤外線カメラ１０の制御・信号処理部１１からの制御信号に基づいて本来の光学経路と代替の光学経路とを切り替えるべく第１ミラー４６、第２ミラー４７を移動するミラー移動機構４８とによって構成されている。
【００５６】
尚、本発明においては、ミラー移動機構４８が第１ミラー４６、第２ミラー４７と共にさらに第２の黒体光源３２をも一緒に移動するようにしてもよい。本発明においてはまた、ミラー移動機構に代えて、赤外線カメラの制御・信号処理部からの制御信号に基づいて被写体と第２の黒体光源とを光学経路的に入れ替える第２の光チョッパを黒体光源挿入手段として備えていてもよい。
【００５７】
さらに、本赤外線撮像装置は、被写体Ｓと、第２の黒体光源３２とを収容し、被写体Ｓと第２の黒体光源３２とを同じ雰囲気下（本例では、所定湿度に保たれた水蒸気雰囲気）に曝すチャンバＣをさらに有している。尚、図示はしないが、チャンバＣには窓が備えられており、この窓は赤外線を透過するゲルマニウム結晶から成っている。
【００５８】
第１の黒体光源３１および第２の黒体光源３２の低温側および高温側の基準温度で規定される検出温度範囲は、被写体がとり得る温度範囲よりも僅かに広い程度に設定されることが好ましい。
【００５９】
さらにまた、本発明においては、赤外線撮像素子が本例の赤外線撮像素子１３のごとく、複数の撮像画素が二次元状に配列されて成っている場合、本赤外線撮像装置は、図３に示された感度不均一補正回路５０を有していてもよい。
【実施例】
【００６０】
以下、本発明の実施形態による赤外線撮像装置の具体的な実施例を説明する。
【００６１】
［第１の検出温度範囲］
まず、比較的広範囲である第１の検出温度範囲に設定した例を説明する。
【００６２】
実施形態１または２の構成において、黒体光源３２の温度Ｔ１を、生体組織サンプルである被写体Ｓが取り得る上限よりかなり高めの６４℃に設定し、黒体光源３１の温度Ｔ２を被写体Ｓが取り得る下限よりも少し低めの３４℃に設定した。つまり、検出温度範囲をかなり広範囲に設定した。
【００６３】
その時に得られた被写体Ｓと黒体光源３１の差画像を図５に示す。同図を見れば分るように、画像は背景となる低温度領域と高温度領域の２種類から成り、非常に単純な分布を示している。
【００６４】
［第２の検出温度範囲］
次に、比較的狭範囲である第２の検出温度範囲に設定した例を説明する。
【００６５】
本発明の実施例は、黒体光源３２の温度Ｔ１を、生体組織サンプルである被写体Ｓが取り得る上限よりも少し高めの温度に設定した点が、比較例と異なる。
【００６６】
実施形態１または２の構成において、黒体光源３２の温度Ｔ１を被写体Ｓが取り得る上限よりも少し高めの４４℃に設定し、黒体光源３１の温度Ｔ２を被写体Ｓが取り得る下限よりも少し低めの３４℃に設定した。つまり、検出温度範囲を被写体Ｓが取り得る温度範囲程度の狭範囲に設定した。
【００６７】
その時に得られた被写体Ｓと黒体光源３１の差画像を図６に示す。同図を見れば分るように、画像は背景となる低温度領域と高温度領域以外に中間温度領域から成っている。このように、ダイナミックレンジを被写体Ｓが取り得る温度範囲付近に設定することにより、より細かい温度分布を見出すことが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
以上説明した実施例に限定されることなく、本発明は、特許請求の範囲に記載された技術範囲内であれば、種々の変形が可能であることは云うまでもない。
【符号の説明】
【００６９】
１０  赤外線カメラ
１１  制御・信号処理部
１２  メモリ
１３  赤外線撮像素子
１４  赤外線レンズ
１５  表示部
１６  光チョッパ
１７  モータ
２１  主鏡
２２  副鏡
３１  第１の黒体光源
３２  第２の黒体光源
４１  被写体支持部
４２  可動ステージ
４６  第１ミラー
４７  第２ミラー
４８  ミラー移動機構
５０  感度不均一補正回路
５２Ｕ、５２Ｌ  演算前メモリ
５３  演算部
５４Ｕ、５４Ｌ  演算後メモリ
Ｃ  チャンバ
Ｓ  被写体（生体組織サンプル）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図７】
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【図５】
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【図６】
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