(57)【要約】【課題】透光体からなる被測定物の寸法を精度よく非接触で測定することができる寸法測定方法及び寸法測定装置を提供する。【解決手段】被測定物１の影を投影可能な載置面５１上に被測定物１を載置する。載置面５１に対して被測定物１が載置される側と同じ側に設けられた光源３を用いて、載置面５１に直交する方向に対して傾斜する方向に沿って、平面視において被測定物１よりも外側から、被測定物１の中心側に向かって光を照射する。載置面５１に対して被測定物１が載置される側と同じ側に設けられた撮像部４を用いて、載置面５１に投影された被測定物１の影を撮像する。これにより、透光体からなる被測定物１の外縁に沿った影を載置面５１上に明確に投影して撮像することができるため、撮像された画像に基づいて被測定物１の寸法を測定することにより、透光体からなる被測定物１の寸法を精度よく非接触で測定することができる。【選択図】  図１
2015021830.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光体からなる被測定物の寸法を測定するための寸法測定方法であって、
被測定物の影を投影可能な載置面上に被測定物を載置する載置ステップと、
前記載置面に対して被測定物が載置される側と同じ側に設けられた光源を用いて、前記載置面に直交する方向に対して傾斜する方向に沿って、平面視において被測定物よりも外側から、被測定物の中心側に向かって光を照射する照射ステップと、
前記載置面に対して被測定物が載置される側と同じ側に設けられた撮像部を用いて、前記載置面に投影された被測定物の影を撮像する撮像ステップと、
撮像された画像に基づいて被測定物の寸法を測定する寸法測定ステップとを含むことを特徴とする寸法測定方法。
【請求項２】
被測定物は、少なくとも側面が非透光面により形成されていることを特徴とする請求項１に記載の寸法測定方法。
【請求項３】
被測定物を載置するための透光性の載置台上に、非透光性のシート部材を設置するシート部材設置ステップをさらに含み、
前記載置ステップでは、前記シート部材により形成される載置面上に被測定物を載置することを特徴とする請求項１又は２に記載の寸法測定方法。
【請求項４】
透光体からなる被測定物の寸法を測定するための寸法測定装置であって、
被測定物が載置され、被測定物の影を投影可能な載置面と、
前記載置面に対して被測定物が載置される側と同じ側に設けられ、前記載置面に直交する方向に対して傾斜する方向に沿って、平面視において被測定物よりも外側から、被測定物の中心側に向かって光を照射する光源と、
前記載置面に対して被測定物が載置される側と同じ側に設けられ、前記載置面に投影された被測定物の影を撮像する撮像部と、
撮像された画像に基づいて被測定物の寸法を測定する寸法測定処理部とを備えたことを特徴とする寸法測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透光体からなる被測定物の寸法を測定するための寸法測定方法及び寸法測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被測定物の寸法を測定する方法としては、ノギスやマイクロメータなどの測定器具を用いた方法が従来から知られている。このような方法の場合、寸法を測定できる範囲が制限されるだけでなく、測定器具を被測定物に接触させて寸法を測定するため、接触時に被測定物が破損するおそれがある。
【０００３】
上記のような問題を回避するために、画像測定機や投影機などを用いて、非接触で被測定物の寸法を測定するような方法も知られている（例えば、下記特許文献１参照）。この種の方法では、透光性を有する載置台上に被測定物を載置し、載置台に対して被測定物が載置される側とは反対側から光を照射することにより、載置台を透過した光の一部が被測定物で遮られることにより生じる影を撮像し、撮像された画像に基づいて被測定物の寸法を測定することができる。
【０００４】
図６は、寸法測定装置の従来例を示した概略側面図である。この寸法測定装置には、被測定物１０１を載置するための載置台１０２と、載置台１０２に向かって光を照射する光源１０３と、被測定物１０１を撮像するための撮像部１０４とが備えられている。
【０００５】
被測定物１０１は、例えば平面視で矩形状の平板部材からなり、透光性を有する載置台１０２上に水平に載置される。光源１０３は、載置台１０２に対して被測定物１０１が載置される側とは反対側に設けられており、透光性を有する載置台１０２に向かって光を照射することにより、載置台１０２を透過した光を被測定物１０１に照射することができるようになっている。
【０００６】
撮像部１０４は、載置台１０２に対して被測定物１０１が載置される側と同じ側に設けられている。被測定物１０１は、載置台１０２上に載置されることにより、光源１０３と撮像部１０４との間に位置する状態となる。この状態で、光源１０３から光が照射された場合には、載置台１０２を透過した光の一部が被測定物１０１により遮られて影が生じるため、その影を撮像部１０４により撮像することができる。
【０００７】
図７は、図６の撮像部１０４により撮像される画像の一例を示した図であり、（ａ）は被測定物１０１として非透光体を用いた場合、（ｂ）は被測定物１０１として透光体を用いた場合をそれぞれ示している。
【０００８】
図７（ａ）に示すように、被測定物１０１として金属などの非透光体を用いた場合には、載置台１０２を透過した光が被測定物１０１全体で遮られるため、被測定物１０１の領域全体が矩形状の影１１１となって撮像される。一方、図７（ｂ）に示すように、被測定物１０１としてガラスなどの透光体を用いた場合には、載置台１０２を透過した光が被測定物１０１でも透過されるため、被測定物１０１の外縁にのみ、不明確ではあるが矩形状に縁取られた影１１２が撮像されることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００９−１２１９００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記の図７（ｂ）のように、従来の方法では、透光体からなる被測定物の寸法を測定する場合に、撮像される影の領域と影以外の領域との境界が不明確となりやすく、寸法を精度よく測定できない場合があった。特に、透光体からなる被測定物の表面が滑らかに形成されておらず、欠けが生じている場合などには、撮像される影の領域と影以外の領域との境界がさらに不明確となるため、上記のような問題が生じやすい。
【００１１】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、透光体からなる被測定物の寸法を精度よく非接触で測定することができる寸法測定方法及び寸法測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る寸法測定方法は、透光体からなる被測定物の寸法を測定するための寸法測定方法であって、被測定物の影を投影可能な載置面上に被測定物を載置する載置ステップと、前記載置面に対して被測定物が載置される側と同じ側に設けられた光源を用いて、前記載置面に直交する方向に対して傾斜する方向に沿って、平面視において被測定物よりも外側から、被測定物の中心側に向かって光を照射する照射ステップと、前記載置面に対して被測定物が載置される側と同じ側に設けられた撮像部を用いて、前記載置面に投影された被測定物の影を撮像する撮像ステップと、撮像された画像に基づいて被測定物の寸法を測定する寸法測定ステップとを含むことを特徴とする。
【００１３】
このような構成によれば、載置面に対して被測定物が載置される側と同じ側に設けられた光源から、載置面に直交する方向に対して傾斜する方向に沿って光を照射することにより、被測定物の外縁に沿った影を載置面に対して良好に投影することができる。このようにして載置面に投影された被測定物の影を撮像し、撮像された画像に基づいて被測定物の寸法を測定することにより、透光体からなる被測定物の寸法を精度よく非接触で測定することができる。
【００１４】
特に、平面視において被測定物よりも外側から、被測定物の中心側に向かって光を照射することにより、載置面上における被測定物の内側に、被測定物の外縁に沿った影を投影し、当該影を透光体からなる被測定物を介して撮像することができる。これにより、平面視において被測定物の中心側から外側に向かって光を照射し、載置面上における被測定物よりも外側に影を投影するような構成と比較して、被測定物の表面に欠けが生じている場合などであっても、透光体からなる被測定物の外縁に沿った影を載置面上に明確に投影して撮像することができる。
【００１５】
被測定物は、少なくとも側面が非透光面により形成されていてもよい。
【００１６】
このような構成によれば、非透光面により形成された被測定物の側面の影が、載置面上に良好に投影される。これにより、被測定物の外縁に沿った影を良好に撮像することができるため、透光体からなる被測定物の寸法をより精度よく非接触で測定することができる。このように、本発明は、少なくとも側面が非透光面により形成された被測定物の寸法を測定する場合に、特に有効である。
【００１７】
前記寸法測定方法は、被測定物を載置するための透光性の載置台上に、非透光性のシート部材を設置するシート部材設置ステップをさらに含んでいてもよい。この場合、前記載置ステップでは、前記シート部材により形成される載置面上に被測定物を載置してもよい。
【００１８】
このような構成によれば、透光性の載置台上に被測定物を載置するような構成であっても、非透光性のシート部材を載置台上に設置し、シート部材により形成される載置面上に被測定物を載置することにより、被測定物の影をシート部材上（載置面上）に良好に投影して撮像することができる。
【００１９】
画像測定機や投影機などの装置においては、載置台が透光性を有する部材により形成されていることが多い。そのような構成であっても、本発明のように非透光性のシート部材を載置台上に設置すれば、被測定物の影をシート部材上（載置面上）に良好に投影することができる。
【００２０】
本発明に係る寸法測定装置は、透光体からなる被測定物の寸法を測定するための寸法測定装置であって、被測定物が載置され、被測定物の影を投影可能な載置面と、前記載置面に対して被測定物が載置される側と同じ側に設けられ、前記載置面に直交する方向に対して傾斜する方向に沿って、平面視において被測定物よりも外側から、被測定物の中心側に向かって光を照射する光源と、前記載置面に対して被測定物が載置される側と同じ側に設けられ、前記載置面に投影された被測定物の影を撮像する撮像部と、撮像された画像に基づいて被測定物の寸法を測定する寸法測定処理部とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、透光体からなる被測定物の外縁に沿った影を載置面上に明確に投影して撮像することができるため、撮像された画像に基づいて被測定物の寸法を測定することにより、透光体からなる被測定物の寸法を精度よく非接触で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態に係る寸法測定装置の構成例を示した概略側面図である。
【図２】図１の撮像部により撮像される画像の一例を示した図である。
【図３】図１の寸法測定装置における電気的構成の一例を示したブロック図である。
【図４】図１の寸法測定装置により被測定物の寸法を測定する際の流れを示したフローチャートである。
【図５】被測定物の表面に欠けが生じている場合に載置面に投影される影の態様について説明するための図である。
【図６】寸法測定装置の従来例を示した概略側面図である。
【図７】図６の撮像部により撮像される画像の一例を示した図であり、（ａ）は被測定物として非透光体を用いた場合、（ｂ）は被測定物として透光体を用いた場合をそれぞれ示している。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
図１は、本発明の一実施形態に係る寸法測定装置の構成例を示した概略側面図である。この寸法測定装置は、例えば画像測定機により構成されており、被測定物１を載置するための載置台２と、載置台２に向かって光を照射する光源３と、被測定物１を撮像するための撮像部４とを備えている。
【００２４】
本実施形態に係る寸法測定装置は、光を透過可能な透光体からなる被測定物１の寸法を測定するためのものである。被測定物１は、例えばガラスなどの透光性を有する材料により形成されており、光を１００％透過するものに限らず、ある程度の光を透過可能なものであればよい。
【００２５】
透光体からなる被測定物１としては、光学フィルタや光学レンズなどの光学素子を例示することができる。ただし、被測定物１の種類は、これらに限られるものではなく、透光体からなる任意の被測定物１の寸法を当該寸法測定装置により測定することが可能である。
【００２６】
この例において、被測定物１は、平面視で矩形状の平板部材からなり、その表面１１が水平となるように載置台２上に載置される。被測定物１の側面１２は、例えば光を透過しない非透光面により形成されている。ただし、被測定物１の形状及び構成は、これらに限られるものではない。
【００２７】
載置台２は、例えば透光性を有する部材により形成されている。この例では、非透光性のシート部材５を載置台２上に設置した状態で、当該シート部材５の表面（上面）により形成される載置面５１上に被測定物１が載置されるようになっている。シート部材５は、例えば白色の紙などで形成されることにより、載置面５１上に被測定物１の影を投影可能となっている。
【００２８】
このように、透光性の載置台２上に被測定物１を載置するような構成であっても、非透光性のシート部材５を載置台２上に設置し、シート部材５により形成される載置面５１上に被測定物１を載置することにより、被測定物１の影をシート部材５上（載置面５１上）に良好に投影して撮像することができる。
【００２９】
画像測定機や投影機などの装置においては、載置台２が透光性を有する部材により形成されていることが多い。そのような構成であっても、本実施形態のように非透光性のシート部材５を載置台２上に設置すれば、被測定物１の影をシート部材５上（載置面５１上）に良好に投影することができる。
【００３０】
載置面５１を構成するシート部材５の表面は、できるだけ滑らかであることが好ましい。ただし、シート部材５は、載置面５１上に被測定物１の影を投影可能なものであれば、白色に限られるものではなく、紙以外の材料で形成されていてもよい。また、載置台２が透光性ではなく、載置台２上に被測定物１の影を投影可能なものである場合には、シート部材５を省略し、載置台２の上面により形成される載置面上に被測定物１が載置されるような構成であってもよい。
【００３１】
光源３は、例えば白色ＬＥＤ（Light Emitting Diode）などにより構成することができる。光源３は、載置台２の上方に配置されることにより、載置面５１に対して被測定物１が載置される側と同じ側に設けられている。光源３からの光は、載置面５１に直交する方向（例えば、垂直方向）に対して所定の照射角度θで傾斜する方向に沿って、被測定物１に照射されるようになっている。上記照射角度θは、０°よりも大きく、９０°よりも小さい値であり、例えば４５°程度であることが好ましい。
【００３２】
具体的には、光源３は、被測定物１の真上に位置しないように、平面視において被測定物１に重ならない位置に配置されている。これにより、光源３からの光は、平面視において被測定物１よりも外側から、被測定物１の中心側に向かって照射されることとなる。そのため、光源３からの光が、被測定物１の表面１１だけでなく、側面１２の一部にも斜め上方から照射されるようになっている。
【００３３】
撮像部４は、例えばカメラなどにより構成することができる。撮像部４は、載置台２の上方に配置されることにより、載置面５１に対して被測定物１が載置される側と同じ側に設けられている。具体的には、撮像部４は、被測定物１の真上に位置するように、平面視において被測定物１に重なる位置に配置されている。この撮像部４により、載置面５１に投影された被測定物１の影を撮像することができる。
【００３４】
図２は、図１の撮像部４により撮像される画像の一例を示した図である。本実施形態では、被測定物１に対する光源３の位置を移動させることにより、被測定物１に対して異なる照射方向で光を照射し、各照射方向において載置面５１に投影された被測定物１の影を撮像部４で撮像することができるようになっている。
【００３５】
図２（ａ）は、被測定物１の４つの角部のうち、１つの角部１３側から斜め方向Ｄ１に光を照射した場合の画像の一例である。これに対して、図２（ｂ）は、被測定物１の４つの角部のうち、上記角部１３に対して対角線上に位置する角部１４側から斜め方向Ｄ２に光を照射した場合の画像の一例である。
【００３６】
本実施形態では、被測定物１の側面１２が非透光面により形成されているため、図２（ａ）の場合には、角部１３を挟んで両側の側面１２１、１２２の影１３１が、載置面５１上における被測定物１の内側にＬ字状に投影されることとなる。また、図２（ａ）の場合、角部１４を挟んで両側の側面１２３、１２４の影１４１が、載置面５１上における被測定物１の外側にＬ字状に投影される。
【００３７】
一方、図２（ｂ）の場合には、角部１４を挟んで両側の側面１２３、１２４の影１４２が、載置面５１上における被測定物１の内側にＬ字状に投影されることとなる。また、図２（ｂ）の場合、角部１３を挟んで両側の側面１２１、１２２の影１３２が、載置面５１上における被測定物１の外側にＬ字状に投影される。
【００３８】
このようにして撮像された画像を組み合わせれば、被測定物１の寸法を測定することができる。具体的には、図２（ａ）における側面１２１、１２２の影１３１と、図２（ｂ）における側面１２３、１２４の影１４２とに基づいて、被測定物１の外縁（側面１２１、１２２、１２３、１２４）を明確に特定することができるため、被測定物１の寸法を測定することができる。
【００３９】
図２の例では、被測定物１に対して２つの方向Ｄ１、Ｄ２から光を照射する場合について説明したが、被測定物１に対して光を照射する方向は２つに限らず、３つ以上の方向から光を照射して、それぞれの照射時に撮像された画像に基づいて被測定物１の寸法を測定するような構成であってもよい。
【００４０】
例えば、被測定物１が、平面視で円形状の円板部材からなる場合には、被測定物１の中心に対して光の照射角度を所定角度ずつ周方向にずらして撮像することにより、撮像された複数の画像に基づいて被測定物１の寸法を測定することができる。
【００４１】
図３は、図１の寸法測定装置における電気的構成の一例を示したブロック図である。本実施形態に係る寸法測定装置の動作は、制御部６により制御される。制御部６は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を含む構成であり、当該ＣＰＵがプログラムを実行することにより、照射処理部６１、撮像処理部６２、画像処理部６３及び寸法測定処理部６４などの各種機能部として機能するようになっている。
【００４２】
照射処理部６１は、光源３を制御することにより、被測定物１に光を照射するための処理を行う。被測定物１に対する光の照射方向は、照射処理部６１の制御により自動で調整されるような構成であってもよいし、作業者が手動で光源３の位置を移動させることにより調整されるような構成であってもよい。ただし、照射処理部６１を省略し、光源３による光の照射を作業者が手動で行うような構成となっていてもよい。
【００４３】
撮像処理部６２は、撮像部４を制御することにより、載置面５１に投影された被測定物１の影を撮像するための処理を行う。光源３から被測定物１に光が照射された状態で、撮像処理部６２から撮像部４に撮像を指示するための信号が出力されることにより、撮像部４において被測定物１の周辺の静止画像が撮像される。ただし、撮像処理部６２を省略し、撮像部４による撮像を作業者が手動で行うような構成となっていてもよい。
【００４４】
画像処理部６３は、撮像部４により撮像された画像に対する処理を行う。画像処理部６３による処理としては、例えば撮像部４により撮像された画像に基づいて被測定物１の外縁を特定するための処理などを例示することができる。このような処理を行う場合には、例えば当該寸法測定装置に備えられた操作部７を作業者が操作することにより、いずれの影に基づいて被測定物１の外縁を特定すべきかを指定できるような構成となっていてもよい。
【００４５】
寸法測定処理部６４は、撮像部４により撮像された画像に基づいて、被測定物１の寸法を測定するための処理を行う。例えば、撮像部４により撮像された画像において、画像処理部６３により特定された被測定物１の外縁の寸法（各辺の長さなど）を画素数から算出するような構成であってもよい。
【００４６】
図４は、図１の寸法測定装置により被測定物１の寸法を測定する際の流れを示したフローチャートである。被測定物１の寸法を測定する際には、まず、被測定物１が載置面５１上に載置され（ステップＳ１０１：載置ステップ）、平面視において被測定物１よりも外側から、被測定物１の中心側に向かって、光源３の光が斜め方向に照射される（ステップＳ１０２：照射ステップ）。
【００４７】
このようにして被測定物１に光が照射された状態で、撮像部４により被測定物１の周辺が撮像されることにより、載置面５１に投影された被測定物１の影が撮像される（ステップＳ１０３：撮像ステップ）。そして、撮像された画像に対する処理が、画像処理部６３により行われる（ステップＳ１０４：画像処理ステップ）。
【００４８】
その後、光源３からの光の照射方向が切り替えられて、上記のようなステップＳ１０２〜Ｓ１０４の処理が繰り返されることにより、撮像部４により撮像された画像が複数得られる。そして、被測定物１の寸法を測定するために必要な所定数の画像が得られた場合には（ステップＳ１０５でＹｅｓ）、それらの画像に基づいて被測定物１の寸法が測定される（ステップＳ１０６：寸法測定ステップ）。
【００４９】
図５は、被測定物１の表面１１に欠けが生じている場合に載置面５１に投影される影の態様について説明するための図である。この例では、被測定物１の角部が面取りされて、テーパ面１５が形成されることにより、被測定物１の表面１１に欠けが生じている場合について説明する。被測定物１の側面１２及びテーパ面１５は、例えば非透光面により形成されている。
【００５０】
図５（ａ）及び（ｂ）においては、載置面５１に対して被測定物１が載置される側と同じ側（上側）から、被測定物１に向かって光が照射される点が共通している。一方で、図５（ａ）においては、矢印Ｄ３で示すように、平面視において被測定物１よりも外側から、被測定物１の中心側に向かって光が照射されるのに対して、図５（ｂ）においては、矢印Ｄ４で示すように、平面視において被測定物１の中心側から外側に向かって光が照射されるようになっている。
【００５１】
図５（ａ）では、被測定物１に向かって照射された光の一部が、被測定物１の側面１２及びテーパ面１５で遮られることにより、図５（ａ）にハッチングで示すように、被測定物１の内側に影が投影される。この場合、撮像部４により真上から撮像される載置面５１上には、被測定物１の側面１２から内側に向かって延びる領域Ｒ１に影が生じることとなる。したがって、領域Ｒ１の境界線Ｌ１を被測定物１の外縁（側面１２）として明確に特定することができる。
【００５２】
図５（ｂ）では、被測定物１に向かって照射された光の一部が、被測定物１の側面１２及びテーパ面１５で遮られることにより、図５（ｂ）にハッチングで示すように、被測定物１の外側に影が投影される。この場合、撮像部４により真上から撮像される載置面５１上には、被測定物１の側面１２から外側に向かって延びる領域Ｒ２と、被測定物１のテーパ面１５の下方に位置する領域Ｒ３とに影が生じることとなる。そのため、領域Ｒ３の境界線Ｌ２を被測定物１の外縁（側面１２）と誤って特定してしまうおそれがある。
【００５３】
本実施形態では、載置面５１に対して被測定物１が載置される側と同じ側に設けられた光源３から、載置面５１に直交する方向に対して傾斜する方向に沿って光を照射することにより、被測定物１の外縁に沿った影を載置面５１に対して良好に投影することができる。このようにして載置面５１に投影された被測定物１の影を撮像し、撮像された画像に基づいて被測定物１の寸法を測定することにより、透光体からなる被測定物１の寸法を精度よく非接触で測定することができる。
【００５４】
特に、平面視において被測定物１よりも外側から、被測定物１の中心側に向かって光を照射することにより、図５（ａ）に示すように、載置面５１上における被測定物１の内側に、被測定物１の外縁に沿った影を投影し、当該影を透光体からなる被測定物１を介して撮像することができる。これにより、平面視において被測定物１の中心側から外側に向かって光を照射し、載置面５１上における被測定物１よりも外側に影を投影するような構成（図５（ｂ）参照）と比較して、被測定物１の表面に欠けが生じている場合などであっても、透光体からなる被測定物１の外縁に沿った影を載置面５１上に明確に投影して撮像することができる。
【００５５】
また、本実施形態では、非透光面により形成された被測定物１の側面１２の影が、載置面５１上に良好に投影される。これにより、被測定物１の外縁に沿った影を良好に撮像することができるため、透光体からなる被測定物１の寸法をより精度よく非接触で測定することができる。ただし、被測定物１には、側面１２以外にも非透光面により形成されている部分があってもよいし、側面１２も含めて全ての面が透光面により形成されていてもよい。
【００５６】
以下では、同一の被測定物１の寸法を異なる方法で測定した場合の実施例について説明する。被測定物１としては、平面視で２５ｍｍ×２０ｍｍの矩形状であって、厚みが６ｍｍの平板部材からなる光学素子を用いた。測定方法としては、マイクロメータを被測定物１に接触させて直接測定する方法の他、画像測定機を用いて、図６のように透過光を用いて非接触で測定する方法、及び、図１のように斜め上方（照射角度θ＝４５°）からの照射光を用いて非接触で測定する方法を採用した。
【００５７】
まず、被測定物１の長辺について各測定方法で寸法を測定した。その結果は、下記表１の通りである。マイクロメータを用いて被測定物１の長辺の寸法を測定したところ、２４．９８９０ｍｍであった。一方、画像測定機により、図６のように透過光を用いて被測定物１の長辺の寸法を測定したところ、２４．９０１０ｍｍとなり、マイクロメータを用いた場合との誤差は−０．０８８０ｍｍであった。
【００５８】
これに対して、画像測定機により、図１のように斜め上方からの照射光を用いて被測定物１の長辺の寸法を測定したところ、２４．９５３０ｍｍとなり、マイクロメータを用いた場合との誤差は−０．０３６０ｍｍであった。このように、図１に例示されるような本発明に係る測定方法を用いれば、測定された被測定物１の寸法の誤差が小さく、より精度よく寸法を測定できていることが分かる。
【表１】
2015021830.tif 000003
【００５９】
次に、被測定物１の短辺について各測定方法で寸法を測定した。その結果は、下記表２の通りである。マイクロメータを用いて被測定物１の短辺の寸法を測定したところ、１９．９８５９ｍｍであった。一方、画像測定機により、図６のように透過光を用いて被測定物１の短辺の寸法を測定したところ、１９．９２６０ｍｍとなり、マイクロメータを用いた場合との誤差は−０．０５９９ｍｍであった。
【００６０】
これに対して、画像測定機により、図１のように斜め上方からの照射光を用いて被測定物１の短辺の寸法を測定したところ、１９．９６９０ｍｍとなり、マイクロメータを用いた場合との誤差は−０．０１６９ｍｍであった。この結果からも、図１に例示されるような本発明に係る測定方法を用いれば、測定された被測定物１の寸法の誤差が小さく、より精度よく寸法を測定できていることが分かる。
【表２】
2015021830.tif 000004
【符号の説明】
【００６１】
１    被測定物
２    載置台
３    光源
４    撮像部
５    シート部材
６    制御部
７    操作部
１１    表面
１２    側面
１３    角部
１４    角部
１５    テーパ面
５１    載置面
６１    照射処理部
６２    撮像処理部
６３    画像処理部
６４    寸法測定処理部
１２１    側面
１２２    側面
１２３    側面
１２４    側面
１３１    影
１３２    影
１４１    影
１４２    影
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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