(57)【要約】      （修正有）【課題】真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ、並びに方法であって、ステータディスクが、実現可能な幾何に関する高い柔軟性のもと、可能な限り簡単かつ相応して安価に製造可能であるものを提供する。【解決手段】周囲方向に連続する複数の薄板翼部を有する、部分リング形状の少なくとも二つのステータディスク部分９２、好ましくは二つのステータディスク半部を有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ８４のステータディスク８６であって、部分リング形状の複数のステータディスク部分９２が、其々、複数の個々の薄板部分セグメント９４から形成されており、部分リング形状の各ステータディスク部分９２の個々の薄板部分セグメント９４が、その内周９６及び／又は外周９８の領域において、共通の一つの射出成形体１００を介して互いに接続されていることを特徴とするステータディスクである。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
周囲方向に連続する複数の薄板翼部を有する、部分リング形状の少なくとも二つのステータディスク部分（９２）、好ましくは二つのステータディスク半部を有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ（１０，８４）のステータディスク（８６）であって、
その際、部分リング形状の複数のステータディスク部分（９２）が、其々、複数の個々の薄板部分セグメント（９４）から形成されており、そして部分リング形状の各ステータディスク部分（９２）の個々の薄板部分セグメント（９４）が、その内周及び／又は外周（９６または９８）の領域において、共通の一つの射出成形体（１００）を介して互いに接続されていることを特徴とするステータディスク。
【請求項２】
個々の薄板部分セグメント（９４）が、其々、少なくとも一つの薄板翼部を有することを特徴とする請求項１に記載のステータディスク。
【請求項３】
射出成形体（１００）の材料が、少なくとも一つのポリマーを含むことを特徴とする請求項１または２に記載のステータディスク。
【請求項４】
射出成形体（１００）の材料が、少なくとも一つのＬＣＰポリマーを含むことを特徴とする請求項３に記載のステータディスク。
【請求項５】
射出成形体（１００）が、強化剤を有する少なくとも一つのポリマーを含むことを特徴とする請求項３または４に記載のステータディスク。
【請求項６】
射出成形体（１００）の材料が、少なくとも一つの充填材含み、特に高い熱伝導性を有する少なくとも一つの充填材を含むことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のステータディスク。
【請求項７】
部分リング形状の各ステータディスク部分（９２）の個々の薄板部分セグメント（９４）が、内周及び／又は外周（９６または９８）の領域において、形状結合的な一つの共通な射出成形体（１００）を介して互いに接続されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のステータディスク。
【請求項８】
部分リング形状のステータディスク部分（９２）の個々の薄板部分セグメント（９４）が、その内周の領域において、特に軸方向において射出成形体（９６）によって及び／又は追加的な射出成形材料によって補強されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のステータディスク。
【請求項９】
射出成形体及び／又は追加的な射出成形材料の表面が、少なくとも領域的に構造化されており、特に一つのポンプ構造を設けられていることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載のステータディスク。
【請求項１０】
羽根又は個々の薄板部分セグメント（９４）が、追加的に硬化されており、特に、曲げプロセス、打ち抜きプロセス及び／又は切断プロセスによって製造された一または複数の硬化要素、特にビードによって硬化されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載のステータディスク。
【請求項１１】
真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、請求項１から１０の少なくとも一項に記載の、少なくとも一つのステータディスク（８６）を有することを特徴とする真空ポンプ。
【請求項１２】
個々の薄板部分セグメント（９４）が、その外周（９８）の領域において金属のスペーサリング（１０４）と金属的に接続されていることを特徴とする請求項１１に記載の真空ポンプ。
【請求項１３】
周囲方向に連続する各複数の薄板翼部を有する部分リング形状の少なくとも二つのステータディスク部分（９２）、好ましくは二つのステータディスク部分を有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプのステータディスク（８６）の製造の為の方法であって、その際、部分リング形状のステータ部分（９２）が、個々の複数の薄板部分セグメント（９４）から形成されており、かつ、部分リング形状の各ステータディスク部分（９２）の個々の薄板部分セグメント（９４）が、射出成形方法で互いに接続されることを特徴とする方法。
【請求項１４】
各部分リング形状のステータディスク部分（９２）の個々の薄板部分セグメント（９４）が、内周及び／又は外周（９６または９８）の領域において、一つの共通な射出成形体（１００）を介して互いに接続されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
個々の薄板部分セグメント（９４）が、其々、曲げプロセス、打ち抜きプロセス、及び／又は切断プロセスによって形成されることを特徴とする請求項１３または１４に記載の方法。
【請求項１６】
羽根または個々の薄板部分セグメント（９４）が、追加的に硬化され、特に、曲げプロセス、打ち抜きプロセス及び／又は切断プロセスによって製造された一または複数の硬化要素、特にビードによって硬化されることを特徴とする請求項１３から１５のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの為のステータディスクに関する。本発明は更に、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、少なくとも一つのそのようなステータディスクを有するもの、およびそのようなステータディスクの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばターボ分子ポンプのような真空ポンプは、例えば電子顕微鏡や質量分析計の為の真空の発生の為に使用される。その際、ガス部分はターボ分子ポンプのローターディスクによって加速され、そしてステータディスクによって所望の方向へ向きを変えられる。これによって真空を発生する流れが生じる。この目的のため、ローターディスクもステータディスクも、ローター軸に対して垂直に推移する平面に対して、傾斜させられた羽根を有する。これらは、ガス部分を加速させ、そして他の方向へとそらす。
【０００３】
ローターディスクは、高速に回転する軸と回転不能に接続されており、その回転軸は、ターボ分子ポンプの軸方向を定義する。他方でステータディスクは、軸と連結されておらず、ターボ分子ポンプのハウジングと固定されている。ローターディスクおよびステータディスクは、軸方向において交互に配置されており、そしてスペーサリングによって互いに間隔をあけている。
【０００４】
ターボ分子ポンプの組立の際に、ローターディスクおよびステータディスク並びにスペーサリングは、軸上に配置され、そしてそのようにして生じるパケットがターボ分子ポンプのハウジング内に挿入される。その際、特にステータディスクは、パケットから側方に外へと動かず、ハウジング内への挿入の際に、これに食い込むことが防止されることが望まれる。
【０００５】
ステータディスクは、通常、曲げ、打ち抜き、及び／又は切断成型プロセスによって薄板部材からつくられる。その様な方法はすでにステータディスクの切削的製造に対して本質的に経済的なメリットを有している。しかしここで、ステータディスクの寸法が増加することは多くのデメリットを有する。よって、必要なツールは比較的高価である。薄板厚さが薄い場合、ステータディスクの強度は低すぎる。よって、より厚い薄板が使用される必要があるが、しかしこれによってより劣悪なアドミタンス（独語：Ｌｅｉｔｗｅｒｔｅ）が生じ、そして形成は明らかに困難となる。更に、生じ得る幾何は著しく制限される。というのは、薄板平面からの羽根が曲がること（独語：Ａｕｆｂｉｅｇｅｎ）によって開放された羽根の中間空間が生じるからである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】独国特許第１５０３７０４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
よって、本発明の課題は、上述した問題を解消する、冒頭に記載した形式のステータディスク、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ、並びに方法を提供することである。その際、ステータディスクは、実現可能なステータディスクの幾何に関する高い柔軟性のもと、可能な限り簡単かつ相応して安価に製造可能であるべきである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
発明に従いこの課題は、請求項１に記載の特徴を有するステータディスク、請求項１０に記載の特徴を有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ、並びに請求項１２に記載の特徴を有する方法によって解決される。発明に係るステータディスクおよび発明に係るポンプの好ましい実施形は、並びに発明に係る方法の好ましい態様は、下位の請求項より生じる。
【０００９】
発明に係るステータディスクは、周囲方向に連続する各複数の薄板翼部（独語：Ｂｌｅｃｈｓｃｈａｕｆｅｌｎ）を有する、部分リング形状の少なくとも二つのステータディスク部分、好ましくは二つのステータ半部を有する。その際、部分リング形状のステータディスク部分は、其々、個々の複数の薄板部分セグメントより形成されており、その際、部分リング形状の各ステータディスク部分の個々の薄板部分セグメントは、内周及び／又は外周の領域において、一つの共通の射出成形体を介して互いに接続されており、特に形状結合的に接続されている。
【００１０】
主として射出成形技術によって内周及び／又は外周の領域で互いに接続される個々の薄板部材からステータディスクがまとめられた後、その製造の為、より低い複雑度の形成ツールが使用されることが可能である。というのは、個々の薄板部材によって、相応してより簡易な幾何が生じるからである。
【００１１】
ステータディスクの実現可能な幾何に関する柔軟性は明らかに高められる。
【００１２】
個々の薄板部分セグメントは、其々唯一の薄板翼部を有するか、または其々複数の薄板翼部を有することが可能である。
【００１３】
好ましくは、射出成形体の材料は、少なくとも一つのポリマーを含む。その際、この材料は、特に少なくとも一つの液晶ポリマー（ＬＣＰポリマー）を含むことが可能である。
【００１４】
射出成形体の材料は、強化剤を有する少なくとも一つのポリマー、及び／又は強化剤を有さない少なくとも一つのポリマーを含みうる。
【００１５】
射出成形体の材料が、少なくとも一つの充填材、特に、高い熱伝導性を有する少なくとも一つの充填材を含むとき有利である。
【００１６】
好ましくは、部分リング形状の各ステータディスク部分の個々の薄板部分セグメントは、内周及び／又は外周の領域において、形状結合的な一つの共通の射出成形体を介して互いに接続されている。
【００１７】
本発明に係るステータディスクの別の好ましい実践的な実施形に従い、部分リング形状の各ステータディスク部分の個々の薄板部分セグメントは、その内周の領域において、特に軸方向において、射出成形体によって又は追加的な射出成形体によって補強されている。このようにして、ステータディスクの内周の領域における軸方向の間隙は、ステータディスクを取り囲むローターディスクと関連して減少されることができ、その際、ステータディスクがこの為により厚く形成される必要がない。
【００１８】
射出成形体及び／又は射出成形材料の表面は、ポンプ構造又はポンプ効果を有する構造を表面上に形成するために、少なくとも領域的に構造化されていることが可能である。その際、対応する構造によって、特にポンプ内部での逆流に反作用が与えられることが可能である。
【００１９】
発明に係る真空ポンプ、特にターボ分子ポンプは、発明に係る少なくとも一つのステータディスクを有する点で際立っている。
【００２０】
本発明に係る真空ポンプの好ましい実践的な実施形に従い、個々の薄板部分セグメントは、その外周の領域において金属のスペーサリングと金属的に接続されている。そのような金属的なスペーサリングは、特に、薄板部分セグメントの熱的連結と、ポンプ内へのそのより良好な統合の為に使用される。薄板部分セグメントが、スペーサリングと金属的に接続されていることによって、これはポンプの外側スリーブに熱をより良好に放出することができる。
【００２１】
其々、周囲方向に連続する複数の薄板翼部を有する部分リング形状の少なくとも二つのステータディスク部分、好ましくは二つのステータディスク半部を有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプのステータディスクを製造する為の発明に係る方法は、部分リング形状の複数のステータディスク部分が、其々、複数の個々の薄板部分セグメントから形成されており、そして各部分リング形状のステータディスク部分の個々の薄板部分セグメントが、射出形成法により互いに接続され、特にこれが形状結合的に行われている点で際立っている。
【００２２】
本発明に係る方法の好ましい実践的な形態に従い、各部分リング形状のステータディスク部分の個々の薄板部分セグメントは、その内周及び／又は外周の領域において、一つの共通な射出成形体を介して互いに接続される。
【００２３】
個々の薄板部分セグメントは、其々特に、曲げプロセス、打ち抜きプロセス及び／又は切断プロセスによって形成されることが可能である。
【００２４】
ステータディスクは、つまり、主として外周及び／又は内周の領域における射出形成技術によって互いに接続される個々の薄板部材からまとめられている。ステータディスクの製造の為に必要な形成ツールの複雑性は、個々の薄板部材の簡単な幾何によって明らかに減少される。製造された薄板部材は、射出形成機械内に挿入され、そして射出形成方法によって互いに接続される。その際、薄板部材は個々の羽根であることができ、ステータディスクでもあることができる。
【００２５】
ステータディスクの実現可能な幾何に関する複雑性は、明らかに高められる。オーバーラップおよびアンダーカットは問題無く実現可能である。射出形成方向によって、特に、硬化を行う要素も羽根に取り付けられることができ、これによって、その製造の為に必要なプレス圧力が、完全なステータディスクまたはステータディスク半部の製造と比較して本質的に減少される。相応して、より小さなプレスが使用されることができる。更に、ステータディスクがポンプ軸方向において有利な射出形成幾何によって明らかに硬く形成されることができ、その際、この為に薄板厚さが大きくされる必要が無い。
【００２６】
更に、上面および下面の間の差圧によって充填過程（独語：Ｆｌｕｔｖｏｒｇａｎｇ）の間に発生するステータディスクの曲げが減少されることが可能である。真空出力能力の為に、真空ポンプのローター／ステータ遊びの減少も可能である。
【００２７】
打ち抜きツールと関連するコスト減少の結果として、射出形成技術の発明に係る適用は、少ない数量においても既に経済的に可能である。
【００２８】
射出成形材料として、強化剤を有する又は有さない様々なポリマーが使用されることができる。その際、特にＬＣＰポリマーが、その耐性および真空適正に基づいて極めて好適である。更に、高い熱伝導性を有する充填材の使用も考え得る。
【００２９】
羽根の熱的な連結の為、およびそのより良好な真空ポンプ内への組込みの為に、追加的に、一つの金属的なスペーサリングが使用されることが可能である。羽根部材が金属のスペーサリングと金属的に接続されていることによって、これは、熱をより良好にターボ分子ポンプの外側のスリーブへと放出することができる。羽根部材、又は個々の薄板部分セグメントは、射出形成方法によって互いに固定される。その際、特に形状結合的な接続要素が使用されることができる。
【００３０】
従来の、薄板材料からの打ち抜きによる完全なステータディスク半部が、これを取り囲むローターディスクとの組み合わせにおいて、内周の領域に比較的大きな二つの軸方向の間隙（形成の観点から見て可能な限り低く選択されるべき薄板厚さに起因し、そしてポンプ過程の間ガス分子の優位な逆流に基づいてポンプの真空出力能力に悪影響をおよぼす間隙）を有する一方で、これら間隙は、本発明に従い適用された射出形成技術の結果明らかに減少されることができる。よって発明に係る製造方法によって、軸方向の間隙を可能な限り小さく保つために、ステータディスクをその内周の領域において射出成形材料によって厚みを増すことが可能である。追加的に、逆流に反作用するポンプ構造が、射出形成された表面に取り付けられることが可能である。
【００３１】
羽根又は個々の薄板部分セグメントは、発明に従い、追加的に硬化されている、又はされることが可能である。これは特に、曲げ、打ち抜き及び／又は切断プロセスによって製造された硬化要素、特にビード（又は条溝、独語：Ｓｉｃｋｅｎ）によって硬化されることが可能である。
【００３２】
以下に、本発明を図面を参照しつつ実施例に基づいて説明する。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】ターボ分子ポンプの一つの例示的な実施形の簡略断面図。そのようなターボ分子ポンプの基本原理の説明の為の図。
【図２】発明に係る少なくとも一つのステータディスクを有する、発明に係るターボ分子ポンプの一つの例示的な実施形の一部の簡略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
図１に示されたターボ分子ポンプ１０は、インレットフランジ１２によって取り囲まれたポンプインレット１４と、ポンプインレット１４におよぶ（又は滞留する、独語：ａｎｓｔｅｈｅｎｄ）ガスを、図１に示されていないポンプアウトレットに搬送するための複数のポンプステージを有している。ターボ分子ポンプ１０のハウジング１６内には、一つの回転軸２０を中心として回転可能に支承された回転シャフト２２を有するローター１８が配置されている。
【００３５】
ポンプ効果を発生させるために、ターボ分子ポンプ１０は、回転シャフト２２に固定された複数のローターディスク２４と、軸方向でローターディスク２４の間に配置された複数のステータディスク２６を有し、互いに直列に接続され、ポンプ作用を奏するターボ分子的な複数のポンプステージを有している。これらステータディスク２６は、スペーサリング２８によってお互いに所望の軸方向間隔に保持されている。
【００３６】
更に、放射方向で相互に入り込んで配置され、そして互いに直列に接続されたポンプ作用を奏する三つのホルベックポンプステージが設けられている。ホルベックポンプステージのローター側の部材は、回転シャフト２２と接続された一つのローターハブ３０と、ローターハブ３０に固定され、そしてこれによって担持される、シリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ３２，３４を有している。これらは、回転軸２２に対して同軸に向けられており、そして放射方向で相互に入り込んで接続されている。更に、シリンダー側面形状の二つのホルベックステータスリーブ３６，３８が設けられている。これらは同様に、回転軸２２に対して同軸に向けられており、そして放射方向で相互に入り込んで接続されている。
【００３７】
ホルベックポンプステージのポンプ効果を奏する表面は、それぞれ、放射方向の狭いホルベック間隙を形成しつつ互いに向かい合って位置している、ホルベックロータースリーブ３２，３４とホルベックステータスリーブ３６，３８の放射方向の側面によって形成されている。その際、ポンプ効果を有する表面（主としてホルベックロータースリーブ３２，３４の表面）は、滑らかに形成されており、他方で向かい側のホルベックステータスリーブ３６，３８のポンプ効果を有する表面は、回転軸２２の周りをねじ線形状に軸方向に推移する複数の溝部を有する構造下部を有している。これら溝の中を、ローター１８の回転の際にガスが促進され（独語：ｖｏｒａｎｇｅｔｒｉｅｂｅｎ）そしてこれによってポンピングされる。
【００３８】
回転シャフト２２の回転可能な支承は、ポンプアウトレットの領域のローラー支承部４０によって、そして永久磁石支承部４２はポンプインレット１４の領域に実現される。
【００３９】
永久磁石支承部４２は、ローター側の支承半部４４とステータ側の支承半部４６を有している。これらは其々、軸方向で互いに積層された永久磁石のリング４８，５０から成るリング積層部を有している。その際、マグネットリング４８，５０は、放射方向の支承間隙５２を形成しつつ互いに重なり合っている。
【００４０】
マグネット支承部４２の内部には、緊急用又は安全用支承部５４が設けられている。これは、潤滑されていないまたはドライ潤滑式のローラー支承部として形成されており、そしてターボ分子ポンプ１０の通常運転中は、非接触で空転し、そしてローター１８がステータに対して放射方向で過剰に偏向（独語：Ａｕｓｌｅｎｋｕｎｇ）した際に初めて干渉するに至り、ローター１８の為の放射方向のストッパーを形成する。このストッパーは、ローター側の構造がステータ側の構造と衝突するのを防止する。緊急用支承部５４は、よってローター１８の放射方向の最大の偏向を定める。
【００４１】
ローラー支承部４０の領域では、ローラー支承部４０の方に向かって増加する外直径を有する円すい形（独語：ｋｏｎｉｓｃｈ）のスプラッシュナット５６が回転シャフト２２に設けられている。スプラッシュナット５６は、互いに積層された吸収性の複数のディスク５８を有する作動媒体貯蔵部のスキマーと接触している。これら（ディスク）は、例えば潤滑媒体のような作動媒体を染み込ませられている。
【００４２】
ターボ分子ポンプ１０の運転中、作動媒体は毛細管効果によって作動媒体貯蔵部からスキマーを介してローター側のスプラッシュナット５６へと伝達され、そしてその後、遠心力によってスプラッシュナットに沿って、スプラッシュナット５６の大きくなる外直径の方向へローラー支承部４０に向かって搬送される。そこで例えば潤滑機能を発揮する。
【００４３】
ターボ分子ポンプ１０は、モーター室６０を有している。この中に入るよう回転シャフト２２が延在している。モーター室６０は、回転シャフト２２の進入の領域において、ジーグバーンステージ６２（独語：Ｓｉｅｇｂａｈｎｓｔｕｆｅ）によって、ターボ分子ポンプ１０の作動室または吸い込み室（独語：Ｓｃｈoｐｆｒａｕｍ）対してシールされている。代替として、または追加的に、シールはラビリンスシールにより行われる。遮断ガスインレット６４は、遮断ガスのモーター室６０内への供給を可能とする。
【００４４】
モーター室６０内には、駆動モーター６６が配置されている。この駆動モーターは、ローター１８の回転駆動の為に使用される。駆動モーター６６は、コア７０と図１には簡略的にのみ表された複数のコイル７２を有する一つのモーターステーター６８を有する。当該コイルは、コア７０の放射方向内側に設けられた、コア７０の複数の溝部内に固定されている。コア７０は、軟磁性の材料から成り、かつ軸方向に互いに積層されている複数の薄板ディスクを有する薄板パケットから成る。
【００４５】
駆動モーター７７の回転子は、電機子（独語：Ａｎｋｅｒ）とも称されるが、回転シャフト２２によって形成されている。回転シャフトは、モーターステーター６８を貫通して延在している。回転シャフト２２の、モーターステーター６８を貫通して延在する部分には、放射方向外側に、一つの永久磁石装置７４が固定されている。モーターステーター６８と、回転シャフト２２の、モーターステーター６８を貫通して延在する部分の間には、放射方向のモーター間隙７６が形成されている。このモーター間隙を介して、モーターステーター６８と永久磁石装置７４が、駆動トルクの伝達の為に磁気的に影響を及ぼしている。
【００４６】
永久磁石支承部７４は、回転シャフト２２に接着及び／又は収縮及び／又はしまり嵌め（独語：Ａｕｆｐｒｅｓｓｅｎ）によって固定されている。永久磁石装置７４は、鉄薄板または中実の鉄からなる軟磁性のバックキー（独語：Ｒｕｅｃｋｓｃｈｌｕｓｓ）７５ａと永久磁石７５ｂを有している。ＣＦＫスリーブまたはステンレススリーブとして形成されているカプセル８０は、永久磁石７４をその放射方向外側で取り囲んでおり、そしてこれをモーター間隙７６に対してシールしている。回転シャフト２２には、更に、バランスリング（独語：Ｗｕｃｈｔｒｉｎｇ）７８が接着及び／又は収縮及び／又はしまり嵌めによって取り付けられている。このバランスリングは、バランスウェイトを収容するためのねじ穴を有している。軸方向の強制力を永久磁石装置７４に伝達しないよう、バランスリング７８は、永久磁石装置７４に対する直接の機械的な接続を有していない。
【００４７】
ターボ分子ポンプ１０の運転の間に駆動モーター６６に電気エネルギーを供給するために、制御兼電源供給ユニット８２が設けられている。
【００４８】
図２は、発明に係る少なくとも一つのステータディスク８６を有する発明に係るターボ分子ポンプ８４の例示的な一つの実施形の一部の簡略断面図を示す。
【００４９】
図２には、発明に係るステータディスク８６の例示的な一つの実施形が見て取れる。これは、回転シャフト８８に固定された二つのローターディスク９０の間に配置されている。矢印１０６によってポンプ方向が記載されている。ＨＶによって、ポンプの高真空側が示され、そしてＶＶによって予真空側（又は前真空側、独語：Ｖｏｒｖａｋｕｕｍｓｅｉｔｅ）が示されている。
【００５０】
ステータディスク８６は、周囲方向で互いに連続する複数の薄板翼部を有し、かつ部分リング形状の少なくとも二つのステータディスク部分９２、好ましくは二つのステータディスク半部を有している。
【００５１】
部分リング形状のステータディスク部分９２は、其々、複数の個々の薄板部分セグメント９４から形成されている。その際、部分リング形状のステータディスク部分９２の個々の薄板部分セグメント９４は、其々、その内周及び／又は外周９６又は９８の領域において、この場合例えば内周９６の領域において、共通の射出成形体（独語：Ｓｐｒｉｔｚｇｕｓｓｆｏｒｍｔｅｉｌ）１００によって互いに接続されている。
【００５２】
個々の薄板部分セグメント９４は、其々、少なくとも一つの薄板翼部、または複数の薄板翼部を有していることが可能である。
【００５３】
射出成形体１００の材料は、少なくとも一つのポリマー、特に少なくとも一つのＬＣＰポリマーを含むことが可能である。
【００５４】
その際、射出成形体１００の材料は、強化剤を有する少なくとも一つのポリマー、及び／又は強化剤を有さない少なくとも一つのポリマーを含むことができる。
【００５５】
射出成形体１００の材料は、特に少なくとも一つの充填剤、特に高い熱伝導性を有する少なくとも一つの充填剤を含むことが可能である。
【００５６】
射出成形体１００によって、隣接するローターディスク９０と共に形成される軸方向の各間隙が減少される。
【００５７】
射出成形体１００は、ポンプ効果を有する構造を有する領域１０２内に設けられる。その作用方向は、矢印１０８によって示されており、そしてこれは特にジーグバーン幾何（独語：Ｓｉｅｇｂａｈｎｇｅｏｍｅｔｒｉｅ）を有している。
【００５８】
図２内に表されているように、個々の薄板部分セグメント９４は、その外周９８の領域において、金属のスペーサリング１０４と金属的に接続されていることが可能である。
【００５９】
ターボ分子ポンプ８４は、少なくとも基本的に、図１のターボ分子ポンプ１０のように形成されていることが可能である。
【００６０】
本発明は、そのようなステータディスク８６の製造に関する。そして、相応して、部分リング形状のステータディスク部分９２が、個々の複数の薄板部分セグメント９４から形成されており、そして個々の薄板部分セグメント９４が一つの共通な射出成形体１００によって互いに接続される点で際立っている。
【００６１】
個々の薄板部分セグメント９４は、其々、曲げ、打ち抜き、及び／又は切断プロセスにより形成されることが可能である。
【符号の説明】
【００６２】
１０      ターボ分子ポンプ
１２      インレットフランジ
１４      ポンプインレット
１６      ハウジング
１８      ローター
２０      ローター軸
２２      回転シャフト
２４      ローターディスク
２６      ステータディスク
２８      スペーサリング
３０      ローターハブ
３２      ホルベックロータースリーブ
３４      ホルベックロータースリーブ
３６      ホルベックステータスリーブ
３８      ホルベックステータスリーブ
４０      ローラー支承部
４２      永久磁石支承部
４４      ローター側の支承半部
４６      ステータ側の支承半部
４８      マグネットリング
５０      マグネットリング
５２      支承間隙
５４      安全用支承部
５６      スプラッシュナット
５８      吸収性のディスク
６０      モーター室
６２      ジーグバーンステージ
６４      遮断ガスインレット
６６      駆動モーター
６８      モーターステーター
７０      コア
７２      コイル
７４      永久磁石装置
７５ａ    軟磁性のバックキー
７５ｂ    永久磁石
７６      モーター間隙
７８      バランスリング
８０      カプセル
８２      制御兼電源供給ユニット
８４      ターボ分子ポンプ
８６      ステータディスク
８８      回転シャフト
９０      ローターディスク
９２      ステータディスク部分
９４      薄板部分セグメント
９６      内周
９８      外周
１００    射出成形体
１０２    構造化された領域
１０４    金属のスペーサリング
１０６    ポンプ方向
１０８    作用方向
【図１】
2015165135.tif 000003
【図２】
2015165135.tif 000004