(57)【要約】      （修正有）【課題】絞りの位置を高速で移動可能なアイリスユニットを提供する。【解決手段】アイリスユニットは、光学系の光軸方向に開口５１１を有する固定絞り部５１と、軸を中心に回転し、かつ、周方向における位置及び前記軸からの距離が互いに異なる複数のスリット５２３を含むスリット群５２２が形成されるアイリス盤５２と、アイリス盤５２を回転させる駆動手段とを備える。アイリス盤５２の周方向において各スリット５２３の長さは開口の長さよりも長く、各スリット５２３は、アイリス盤５２の回転時に光軸方向において少なくとも一部が開口５１１と重なるように配置され、スリット５２３及び開口５１１が重なった部分が光学系の絞りを形成する。【選択図】図２
2015021733.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系の移動可能な絞りを提供するアイリスユニット（５）であって、
前記光学系の光軸方向に開口（５１１）を有する固定絞り部（５１）と、
回転軸（５２１）を中心に回転し、かつ、周方向における位置及び前記回転軸からの距離が互いに異なる複数のスリット（５２３）を含むスリット群（５２２）が形成されるアイリス盤（５２）と、
前記アイリス盤を回転させる駆動手段（５３）と、を備え、
前記アイリス盤の周方向において前記スリットの長さ（Ｌｓ）は前記開口の長さ（Ｄｐｙ）よりも長く、
前記スリットは、前記アイリス盤の回転時に前記光軸方向において少なくとも一部が前記開口と重なるように配置されることを特徴とするアイリスユニット。
【請求項２】
前記アイリス盤は、径方向における前記スリットの幅が前記光学系の出射側から入射側に向けて広がっていることを特徴とする請求項１に記載のアイリスユニット。
【請求項３】
前記アイリス盤は、前記スリットの周方向の長さ（Ｌｓ）が、前記スリットの径方向の幅（Ｗｓ）よりも長いことを特徴とする請求項１または２に記載のアイリスユニット。
【請求項４】
長さ及び幅を観念可能な形状の被測定物（１０）に光を照射する照射手段（２）と、
前記被測定物の像を形成するテレセントリック光学系（３）と、
前記テレセントリック光学系の移動可能な絞りを提供する請求項１から３のいずれか１項に記載のアイリスユニットと、
前記アイリス盤の前記スリットと前記固定絞り部の前記開口とを通過した光によって形成される複数の像をそれぞれ撮像する撮像手段（６）と、
前記撮像手段が撮像した複数の像に基づいて撮像画像を取得し、当該撮像画像における像の最小の幅を前記被測定物の幅として測定する画像処理手段（８）と、を備える寸法測定装置。
【請求項５】
テレセントリック光学系と、当該テレセントリック光学系の移動可能な絞りを提供する請求項１から３のいずれか１項に記載のアイリスユニットとを用いて、長さ及び幅を観念可能な形状の被測定物の幅寸法を測定する寸法測定方法であって、
前記テレセントリック光学系によって前記被測定物の像が形成されるように、前記被測定物に光を照射する照射工程（Ｓ１）と、
前記アイリス盤を回転させる回転工程（Ｓ２）と、
前記アイリス盤の回転中に、前記アイリス盤の前記スリットと前記固定絞り部の前記開口とを通過した光によって形成される複数の像をそれぞれ撮像する撮像工程（Ｓ３）と、
前記撮像工程において撮像された複数の像に基づいて撮像画像を取得する画像取得工程（Ｓ４）と、
前記撮像画像における像の最小の幅を、前記対被測定物の幅として測定する測定工程（Ｓ５）と、を含むことを特徴とする寸法測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学系の絞りを提供するアイリスユニット、並びに、当該アイリスユニットを用いた寸法測定装置及び寸法測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レンズの焦点位置に小さな開口の絞りが配置され、レンズ主軸に対して平行な主光線を選択的に結像することが可能なテレセントリック光学系が知られている。このようなテレセントリックレンズ光学系では、主光線がレンズ主軸に対して平行であるため、物体の位置が移動しても像の大きさは変わらない。この性質を利用して、奥行きのある物体の寸法測定にはテレセントリック光学系が利用されている。
【０００３】
通常、テレセントリック光学系を利用した寸法測定は、レンズ主軸に対して直交する方向の寸法を測定する。この寸法測定を行う際には、レンズ主軸に奥行方向が平行になるように被測定物が正しく配置されることが前提となる。例えば被測定物が傾いて配置された場合、像として捉えられる形状が異なってしまい、正確な寸法測定は不可能となる。この場合、被測定物の傾きを直すか、または被測定物の傾きに対してレンズの角度を物理的に一致させるか等の補正操作が必要になる。特に、工業製品の測定工程では、上記補正操作を行うために、装置が煩雑になったり、測定サイクル時間が長くなったりといった問題が顕著になる。
【０００４】
そこで、特許文献１に記載の寸法測定システムでは、テレセントリック光学系において第１レンズの焦点位置に配置された小さな開口の絞りが、レンズ主軸に直交する平面上で移動可能なように構成されている。この寸法測定システムでは、絞りに入射する光線のレンズ主軸に対する傾きを選択することにより、像の角度が補正された画像を取得することができる。これによって、レンズ、被測定物、及び撮像手段を動かすことなく、傾斜した被測定物の正確な寸法測定が可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−９２５９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の寸法測定システムでは、撮像毎に絞りの位置を移動させる操作が必要であり、当該操作に時間がかかるため、測定サイクル時間が長くなってしまう。
【０００７】
本発明は、このような点に鑑みて創作されたものであり、その目的は、光軸に直交する平面上において絞りの位置を高速で移動可能なアイリスユニットを提供することにある。また、別の目的は、傾いた被測定物であっても、本発明のアイリスユニットを用いて正確な寸法を高速で測定できる寸法測定装置及び寸法測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るアイリスユニットは、光学系の移動可能な絞りを提供するアイリスユニットであって、光学系の光軸方向に開口を有する固定絞り部と、回転軸を中心に回転し、かつ、周方向における位置及び前記回転軸からの距離が互いに異なる複数のスリットを含むスリット群が形成されるアイリス盤と、アイリス盤を回転させる駆動手段と、を備える。アイリス盤の周方向において各スリットの長さは開口の長さよりも長く、各スリットは、アイリス盤の回転時に光軸方向において少なくとも一部が開口と重なるように配置される。
【０００９】
上記構成によれば、駆動手段がアイリス盤を回転させることによって、スリット群に含まれる複数のスリットは、固定絞り部の開口と順に重なる。アイリス盤の各スリットと固定絞り部の開口とが重なった部分が光学系の絞りとして機能する。したがって、本発明に係るアイリスユニットは、光軸に直交する平面上において絞りの位置を高速で移動可能である。
【００１０】
また、本発明に係る寸法測定装置は、長さ及び幅を観念可能な形状の被測定物に光を照射する照射手段と、被測定物の像を形成するテレセントリック光学系と、テレセントリック光学系の移動可能な絞りを提供する本発明のアイリスユニットと、アイリス盤の各スリットと固定絞り部の開口とを通過した光によってそれぞれ形成される複数の像をそれぞれ撮像する撮像手段と、撮像手段が撮像した複数の像に基づいて撮像画像を取得し、当該撮像画像における像の最小の幅を被測定物の幅として測定する画像処理手段と、を備える。
【００１１】
上記構成によれば、被測定物がテレセントリック光学系に対して傾いて配置された場合であっても、取得された撮像画像における像の最小の幅を測定することによって、テレセントリック光学系に正しく配置された場合と同様の測定値を得ることができる。したがって、本発明に係る寸法測定装置によれば、傾いた被測定物であっても、本発明のアイリスユニットを用いて正確な寸法を高速で測定することができる。本発明に係る寸法測定方法も同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態に係る寸法測定装置を示す模式的な構成説明図である。
【図２】本実施形態に係るアイリス盤を像側から視た平面図である。
【図３】本実施形態に係るアイリス盤を物体側から視た斜視図である。
【図４】図３に示すアイリス盤をＩＶ−ＩＶ線で切断した部分断面図である。
【図５】本実施形態に係る寸法測定方法を説明するフローチャートである。
【図６】バックライトに対して垂直にセットされた被測定物と、得られる撮像画像とを示す模式図である。
【図７】バックライトに対して斜めにセットされた被測定物と、得られる撮像画像とを示す模式図である。
【図８】被測定物としての熱交換器を模式的に示す断面図である。
【図９】本実施形態の変形例に係るアイリス盤の像側を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態による寸法測定装置１を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、本実施形態の寸法測定装置１は、バックライト２、テレセントリック光学系３、銅鏡４、アイリスユニット５、ＣＣＤカメラ６、フォトインタラプタ７及び画像処理部８を備える。
【００１４】
バックライト２は、例えば測定台に設置された面光源である。バックライト２上には被測定物１０が配置される。本実施形態では、寸法測定を簡便に行うために被測定物１０を影絵として結像させる。また本実施形態では、説明の便宜のために、被測定物１０が略直方体であると仮定し、バックライト２上に垂直に配置される。
【００１５】
テレセントリック光学系３は、両側テレセントリックを実現する複数のレンズから構成され、略円錐形に形成された鏡筒４に収容される。本実施形態では、テレセントリック光学系３は、模式的に、バックライト２に対向する比較的大口径の第１レンズ３１と、第１レンズに比較して小口径の第２レンズ３２とを有する。第１レンズ３１と第２レンズ３２とは互いの光軸が一致し、この一致する光軸をレンズ主軸Ｚとする。
以下、説明の便宜のため、レンズ主軸Ｚの方向をｚ方向と称する。ｚ方向は、図１の上下方向に相当する。また、ｚ方向に直交し、図１の左右方向に相当する方向をｘ方向と称し、図１の紙面に直交する方向をｙ方向と称する。
【００１６】
また、第１レンズ３１の像側焦点と第２レンズ３２の物体側焦点とは一致する。ｚ方向において、第１レンズ３１の像側焦点と第２レンズ３２の物体側焦点とが一致する位置を焦点位置９とする。
【００１７】
アイリスユニット５は、後述にて詳細に説明するように、固定絞り部５１と、アイリス盤５２と、駆動手段としてのサーボモータ５３とを備えており、テレセントリック光学系３において焦点位置９を通過する光を調整する。固定絞り部５１は焦点位置９に配置され、アイリス盤５２は固定絞り部５１よりも物体側に設けられる。アイリス盤５２は、円板状であり、サーボモータ５３によって一定の速度で中心を軸として回転可能である。アイリス盤５２の回転軸５２１はレンズ主軸Ｚと平行である。
【００１８】
撮像手段としてのＣＣＤカメラ６は、ＣＣＤイメージセンサを備えるラインセンサカメラである。ＣＣＤイメージセンサは、結像位置においてｘ方向に沿って配置され、その中心はレンズ主軸Ｚに一致する。これによって、ＣＣＤカメラ６は、ｘ方向における明るさの違いを認識する。また、ＣＣＤカメラ６は、被測定物１０を撮像し、その撮像情報を画像処理部８に出力する。
【００１９】
バックライト２から発射した光は、第１レンズ３１を通過する時に集光され、アイリスユニット５の固定絞り部５１及びアイリス盤５２を通過し、第２レンズ３１を通過して平行光となり、ＣＣＤカメラ６に投影される。
【００２０】
フォトインタラプタ７は、アイリス盤５２の外周側の一部を挟むように対向して配置された発光部７１と受光部７２とを備えている。フォトインタラプタ７は、発光部７１からの光を受光部７２が検出したタイミングを、タイミング情報として画像処理部８に出力する。
【００２１】
画像処理部８は、周知のデスクトップパソコンを用いることが可能である。画像処理部８は、フォトインタラプタ７及びＣＣＤカメラ６にそれぞれ電気的に接続されており、フォトインタラプタ７から取得したタイミング情報に基づいて、ＣＣＤカメラ６の撮像タイミングを制御する。また、画像処理部８は、ＣＣＤカメラ６から出力された撮像情報に基づいて撮像画像を取得し、取得した撮像画像から被測定物１０の寸法を測定する。また、画像処理部８は撮像画像をディスプレイに表示可能であり、ユーザが表示された画像を確認することも可能である。
なお、図１における画像処理部８の図示は、フォトインタラプタ７及びＣＣＤカメラ６との電気的接続を示しているにすぎず、寸法測定装置１における他の構成要素との物理的な位置関係を示すものではない。
【００２２】
次に、アイリスユニット５の固定絞り部５１及びアイリス盤５２について図２を参照して説明する。
図２に示すように、固定絞り部５１は、ｚ方向に開口した矩形の開口５１１を有する。開口５１１の長辺はｘ方向に延びており、短辺はｙ方向に延びている。開口５１１の中心はレンズ主軸Ｚに一致する。
【００２３】
アイリス盤５２は、ｚ方向に延びる回転軸５２１を中心に回転可能な円盤であり、像側の面が固定絞り部５１に対向するように配置される。回転軸５２１は、ｙ方向における位置が固定絞り部５１の開口５１１の中心と一致する。
【００２４】
アイリス盤５２には、複数のスリット５２３から構成されたスリット群５２２が形成される。本実施形態のアイリス盤５２には、１３個のスリット５２３から構成された４個のスリット群５２２が形成されている。
【００２５】
アイリス盤５２の像側を回転軸５２１方向から見たとき、各スリット５２３の形状は、アイリス盤５２の径方向に短辺を有し、かつ周方向に弧を描く長辺を有する略矩形である。具体的には、アイリス盤５２の径方向において、各スリット５２３の幅Ｗｓは、固定絞り部５１の開口５１１の長辺の長さＤｐｘよりも短い。また、アイリス盤５１の周方向において、各スリット５２３の長さＬｓは、固定絞り部５１の開口５１１の短辺の長さＤｐｙよりも長い。
【００２６】
本実施形態において、４個のスリット群５２２は周方向に並んでおり、各スリット群５２２はアイリス盤５２の中心角９０°の範囲にそれぞれ形成されている。各スリット群５２２における１３個のスリット５２３は、アイリス盤５２の周方向に連続的に並んで形成されている。
【００２７】
また、各スリット群５２２における１３個のスリット５２３は、回転軸５２１からの距離が段階的に異なるように形成されている。例えば、各スリット群５２２において、中心軸５２１から見て反時計回り側端部のスリット５２３と回転軸５２１との距離Ｒ０１が最も短く、時計回り方向のスリット５２３である程回転軸５２１との距離が長くなり、時計回り側端部のスリット５２３と回転軸５２１との距離Ｒ１３が最も長い。ここで、スリット５２３と回転軸５２１との最短距離である距離Ｒ０１は、固定絞り部５１の開口５１１と回転軸５２１との最短距離Ｒｍｉｎよりも長い。また、スリット５２３と回転軸５２１との最長距離である距離Ｒ１３は、固定絞り部５１の開口５１１と回転軸５２１との最長距離Ｒｍａｘ よりも短い。
【００２８】
以上の構成によって、アイリス盤５２に形成された全てのスリット５２３は、アイリス盤５２の回転に伴って、１個ずつ順に、ｚ方向において開口５１１と部分的に重なることが可能である。スリット５２３と開口５１１とが重なって形成されるｚ方向の開口が、テレセントリック光学系３の絞り５５となる。
【００２９】
また、各スリット５２３と開口５１１とにより形成される絞り５５のｘ方向の位置は、アイリス盤５２の回転に伴って変化する。ここで、１つの位置を「１水準」とすると、本実施形態では、絞り５５のｘ方向の位置は１３水準で変化する。このため、絞り５５に入射する光線のｚ方向に対する傾きは１３水準で変化する。なお、本実施形態では、各スリット群５２２における１３個のスリット５２３のうち中央（７番目）のスリット５２３が開口５１１と重なったとき、絞り５５がレンズ主軸Ｚに一致する。
【００３０】
次に、各スリット５２３の形状について、図３及び図４を参照して詳細に説明する。
図３に示すように、アイリス盤５２の半径方向における各スリット５２３の幅は、テレセントリック光学系３の出射側である像側から、入射側である物体側に向かって広がっている。具体的には、図４に示すように、各スリット５２３の幅を形成する壁部５２５のｚ方向に対する角度α１は、絞り５５に入射する光線がｚ方向に対して最大に傾く角度α２よりも大きくなるように設定されている。
【００３１】
なお、絞り５５に入射する光線のｚ方向に対する角度は、スリット群５２２のうちいずれのスリット５２３が開口５１１と共に絞り５５を形成しているのかによって決定される。レンズ主軸Ｚから最もずれた位置で開口５１１と重なるスリット５２３が絞り５５を形成する際、絞り５５に入射する光線がｚ方向に対して最大に傾く。
【００３２】
アイリス盤５２の外周側の端部には、フォトインタラプタ７の光が通過するためのトリガ穴５２４が形成されている。トリガ穴５２４は、各スリット５２３に対応して形成され、撮像タイミングを提供する。各トリガ穴５２４は、対応するスリット５２３とはアイリス盤５２の回転軸を挟んで反対側に形成される。
【００３３】
（寸法測定装置１による寸法測定方法）
次に、図１に示す寸法測定装置１による被測定物１０の寸法測定方法について、図５に示すフローチャートを参照しながら説明する。フローチャートの説明において記号「Ｓ」はステップを示す。
【００３４】
まず、略直方体状の被測定物１０がバックライト２上に垂直にセットされる。ここで、図６（ｂ）に示すように、被測定物１０は、高さ方向の中心軸がレンズ主軸Ｚに一致するようにセットされると仮定する。本実施形態において、被測定物１０のｘ方向の寸法を「幅」と称する。寸法測定装置１は被測定物１０の「幅」を測定する。
【００３５】
被測定物１０のセットの後、バックライト２が照射を開始し（Ｓ１）、サーボモータ６がアイリス盤５２を一定の速度で回転させる（Ｓ２）。Ｓ１及びＳ２の前後は逆であってもよい。Ｓ１及びＳ２の後、フォトインタラプタ７は、発光部７１からトリガ穴５１３を介して受光部７２に入射した光を検出し、タイミング情報を映像処理部８に出力する。映像処理部８は、入力されたタイミング情報に基づいて、ＣＣＤカメラ６にトリガ情報を出力する。
【００３６】
ＣＣＤカメラ６は、入力されたトリガ情報に基づいて、被測定物１０の撮像を行う（Ｓ３）。ここで、アイリス盤５２の回転によって、１つのスリット群５２２に属する１３個全てのスリット５２３が固定絞り部５１の開口５１１を通過する間を１サイクルとする。Ｓ３において、ＣＣＤカメラ６は１サイクルの間に１３回の撮像を行う。１回の撮像は、１つのスリット５２３と開口５１１とが重なっている間に行われる。なお、スリット群５２２のうちの中央に位置するスリット５２３と開口５１１が重なっているとき、被測定物１０の幅に対応する平行光線２１による像が撮像される。
【００３７】
画像処理部８は、ＣＣＤカメラ６から出力された１サイクル分（１３回分）の撮像情報に基づいて、図６（ａ）に示すような撮像画像８１を取得する（Ｓ４）。図６（ａ）において、撮像画像８１のうち点線で囲った部分は１回の撮像に対応する単位画像である。各撮像により得られる単位画像は画角がそれぞれ異なっているため、得られる撮像画像８１では、像８２の長さ方向における幅が異なる。
【００３８】
撮像画像８１の像８２のうち最小の幅Ｗは、被測定物１０の真の幅に最も近い値に相当する。そこで、画像処理部８は、最小幅Ｗを被測定物１０の幅寸法として測定する（Ｓ５）。
【００３９】
一方、図７（ｂ）に示すように、被測定物１０の高さ方向の中心軸がレンズ主軸Ｚに対して傾斜してセットされる場合を仮定する。この場合、被測定物１０の両傾斜端面に沿って傾斜した平行光線２２は、スリット群５２２のうち中央以外のいずれかのスリット５２３と開口５１１とを通過し、ＣＣＤカメラ６に結像する。よって、Ｓ４において、画像処理部８は、図７（ａ）に示すような撮像画像８３を取得する。Ｓ５において、画像処理部８は、上述の場合と同様に、取得した撮像画像８３の像８４のうち、最小の幅Ｗを被測定物１０の幅寸法として測定する。
【００４０】
寸法測定装置１は、Ｓ２からＳ５までのステップを繰り返すことによって、複数回の測定を連続的に行うことができる。本実施形態では、アイリス盤５２が１回転する間に、４つのスリット群５２２を用いて４回の測定を行うことができる。
【００４１】
（効果）
上述したように、本実施形態の寸法測定装置１によれば、被測定物１０がテレセントリック光学系３に対して傾いている場合であっても、補正操作等を行わずに正確な測定を行うことができる。また、アイリス盤５２の回転によって連続的に多水準の撮像を行うことが可能であるため、特許文献１の従来技術に比べて、測定を短時間で行うことができる。
【００４２】
また、本実施形態のアイリス盤５２では、上述したように、各スリット５２３が円周方向に一定の長さを有しているため、各スリット５２３は開口５１１と一定の時間重なることができる。よって、撮像を高速で行う場合でも、撮像タイミングのズレをある程度許容することができる。
【００４３】
また、本実施形態のアイリス盤５２は、一般的な絞り部よりも大きな形状を有しており、剛性を確保するために、ある程度の厚みを必要とする。板厚が大きくなると、傾いて入射された光の一部がスリットの内壁に干渉し、視野が妨げられる可能性がある。しかし、本実施形態では、上述したように、スリット５２３の幅が像側から物体側に向かって広がっているため、絞り５５に入射する光線がレンズ主軸Ｚに対して傾いている場合であっても、スリット５２３の壁部に妨げられない。よって、撮像画像８１の視野範囲が狭窄化するのを防ぐことができる。
【００４４】
（寸法測定方法の変形例）
上述にて説明した寸法測定方法では、バックライト２上の固定位置に被測定物１０をセットしているが、本発明はこれに限られない。すなわち、寸法測定装置１は、被測定物１０がテレセントリック光学系３の下をｙ方向に移動する間に、寸法測定を行ってもよい。
【００４５】
例えば、図８に示すように、フィン・チューブ式熱交換器１００の扁平チューブ１１０の幅Ｔを測定する場合を例にして説明する。
まず、扁平チューブ１１０の高さ方向をｚ方向に合わせ、ｘ方向において幅Ｔの中心をレンズ主軸Ｚに合わせる。また、後の測定工程の間、扁平チューブ１１０がテレセントリック光学系３の下をｙ方向に一定の速度で移動するように、扁平チューブ１１０の移動を開始する。次に、バックライト２が照射を開始し、アイリス盤５２が回転を開始する。
【００４６】
次に、ＣＣＤカメラ６は、扁平チューブ１１０のｙ方向に異なる１３箇所を、１サイクルの間に角度を変えながら撮像する。次に、画像処理部８は、上述の場合と同様に、１３回分の撮像情報に基づいて撮像画像８１を取得し、撮像画像８１のうち最も狭い幅Ｗを幅寸法として測定する。なお、得られた撮像画像８１において、各撮像に対応する単位画像は、扁平チューブ１１０のｙ方向に異なる箇所を撮像したものである。
【００４７】
本変形例では、扁平チューブ１１０がテレセントリック光学系３の下をｙ方向に一定の速度で移動する間、撮像と測定を繰り返すことにより、扁平チューブ１１０の幅Ｔをｙ方向において一定の間隔で測定することができる。ここで、一定の間隔は、扁平チューブ１１０が１サイクルの間に移動する距離に対応する。
【００４８】
また、本変形例では、扁平チューブ１１０が傾いている場合であっても幅Ｔを正確に測定することができる。よって、画像処理部８は、測定した値が所定範囲に含まれているか否かを判定することによって、扁平チューブ１１０が規格に適合するものであるかを検査することができる。
【００４９】
また、本変形例は、ｙ方向の位置決めを必要としないため、複数の寸法測定をより高速で行うことを可能にする。例えば、サーボモータ５３がアイリス盤５２を３０００ｒｐｍで回転させる場合、アイリス盤５２は２０ｍｓで一回転する。よって、被測定物１０の１サイクル分の撮像は５ｍｓで行われる。
【００５０】
（その他の構成等）
アイリス盤５２に形成するスリット群５２２及びスリット５２３の各々の数は、本実施形態で示すものに限られない。被測定物１０の規格、移動速度、及び測定間隔、サーボモータ７の回転数、ＣＣＤカメラ６のシャッタ速度、並びに全体のタクトタイム等に基づいて適宜設定可能である。例えば、１回転の間に１サイクルの撮像を行う場合、図９に示すようなアイリス盤５４を用いることができる。アイリス盤５４には、１３個のスリット５４３を含む１つのスリット群５４２が形成されている。
【００５１】
１つのスリット群５２２が含むスリット５２３の数は、測定の水準数に対応し、少なくとも２つ以上であればよい。１つのスリット群５２２におけるスリット５２３の数が多くなれば、より精度の高い測定を行うことができる。
【００５２】
以上、本発明はこのような実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の形態で実施することができる。
【符号の説明】
【００５３】
１    ・・・寸法測定装置
２    ・・・バックライト（照射手段）
３    ・・・テレセントリック光学系
５    ・・・アイリスユニット
５１  ・・・固定絞り部
５２  ・・・アイリス盤
５２１・・・回転軸
５２２・・・スリット群
５２３・・・スリット
５３  ・・・サーボモータ（駆動手段）
５５  ・・・絞り
６    ・・・ＣＣＤカメラ
８    ・・・画像処理部
【図１】
2015021733.tif 000003
【図２】
2015021733.tif 000004
【図３】
2015021733.tif 000005
【図４】
2015021733.tif 000006
【図５】
2015021733.tif 000007
【図６】
2015021733.tif 000008
【図７】
2015021733.tif 000009
【図８】
2015021733.tif 000010
【図９】
2015021733.tif 000011