(57)【要約】      （修正有）【課題】絞りを設けるための加工作業を追加することなく、液圧アクチュエータのぎくしゃくした動きを抑制することができるポンプ装置及び液圧アクチュエータを提供する。【解決手段】オイルを吐出するポンプと、ピストンによって内部が、伸張行程で伸びる第１室と圧縮行程で伸びる第２室とに区画されたシリンダ装置の第１室又は第２室に供給するオイルの流れの向きを切り替える切替弁（第１開放弁５１ａ及び第２開放弁５２ａ）とを一体的に備えたポンプ装置の、第２開放弁５２ａにおける第２逆止弁室２２ｎと第２弁室５２ｆとを通じさせる流路を形成する開口部分２２ｑが、第１開放弁５１ａにおける第１逆止弁室２２ｍと第１弁室５１ｆとを通じさせる流路を形成する開口部分２２ｐよりも狭い絞りとして形成されている。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動液を吐出するポンプと、ピストンによって内部が、伸張行程で伸びる第１室と圧縮行程で伸びる第２室とに区画されたシリンダ装置の前記第１室又は前記第２室に供給する前記作動液の流れの向きを切り替える切替弁とを一体的に備え、
前記切替弁における、前記第２室に接続される側の流路に、前記第１室に接続される流路よりも狭い絞りが形成されたポンプ装置。
【請求項２】
前記切替弁は作動弁と逆止弁とを備え、
前記絞りは、前記作動弁と前記逆止弁との間の流路の一部として形成されている請求項１に記載のポンプ装置。
【請求項３】
前記ポンプを収容するケースが第１ケースと第２ケースとが重ねられて形成され、
前記第１ケースに、前記逆止弁の逆止弁本体が収容される逆止弁室が形成され、
前記第２ケースに、前記作動弁の作動弁本体が収容される作動弁室が形成され、
前記絞りは、前記逆止弁室と前記作動弁室とを通じさせる流路の一部として形成されている請求項２に記載のポンプ装置。
【請求項４】
ピストンによって内部が、伸張行程で伸びる第１室と圧縮行程で伸びる第２室とに区画されたシリンダ装置と、
作動液を吐出するポンプ及び前記第１室又は前記第２室に供給する前記作動液の流れの向きを切り替える切替弁を一体的に有し、前記切替弁における、前記第２室に接続される側の流路に、前記第１室に接続される流路よりも狭い絞りが形成されたポンプ装置と、を備えた液圧アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプ装置及び液圧アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
船体に対して船外機の傾きを変化させる等に用いられる液圧アクチュエータには、ピストンによって内部が下室（第１室）と上室（第２室）とに区画されたシリンダ装置とポンプとの間の流路に、下室又は上室に作動液の流れを切り替える切替弁が設けられている。この切替弁は、下室に通じる側の開放弁と上室に通じる側の開放弁とが連動するように構成されており、各開放弁は弁室内で摺動する作動弁と逆止弁とが組み合わされている。
【０００３】
ここで、切替弁は以下のように動作する。ポンプから、下室に通じる側の開放弁の弁室に作動液が流入すると、その下室の側の逆止弁が作動液の圧力を受けて開放され、作動液が下室に流れる。この逆止弁の動作と並行して、作動液の流入により圧力を受けた下室の側の作動弁が弁室内で変位し、変位した作動弁の圧力が、連通路を介して上室に通じる側の開放弁の作動弁を弁室内で変位させる。そして、変位した上室側の作動弁が上室の側の逆止弁を押して逆止弁を開かせ、上室からの作動液をポンプに戻す。この動作により、縮んでいたシリンダ装置が伸び、船外機の傾きを大きくする。
一方、ポンプから、上室に通じる側に開放弁の弁室に作動液が流入すると、上記とは逆の動作により、上室に作動液を送り、下室からの作動液をポンプに戻す。この動作により、伸びていたシリンダ装置が縮み、船外機の傾きを小さくする。
【０００４】
ここで、船外機の重量が想定された重量よりも重いときや、シリンダ装置の上室に通じる側の逆止弁と上室との間の流路に空気が混入した場合、チルトアップしていた船外機を下すときにぎくしゃくした動きとなることがある。これは、シリンダ装置が縮む過程で上記の流路の圧力が過度に低くなり、上室側の作動弁が変位した状態を維持できなくなって、下室に通じる逆止弁が開閉を繰り返すことによって生じる。
そこで、このぎくしゃくした動きを抑えるために、上記の流路に絞りを設けることが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１１９８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記の流路は、ポンプとシリンダ装置との間を繋ぐマニホールド（ハウジング）に形成されているため、絞りを形成するためのマニホールドへの加工作業が必要であった。
本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、絞りを設けるための加工作業を追加することなく、液圧アクチュエータのぎくしゃくした動きを抑制することができるポンプ装置及び液圧アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、作動液を吐出するポンプと、ピストンによって内部が、伸張行程で伸びる第１室と圧縮行程で伸びる第２室とに区画されたシリンダ装置の前記第１室又は前記第２室に供給する前記作動液の流れの向きを切り替える切替弁とを一体的に備え、前記切替弁における、前記第２室に接続される側の流路に、前記第１室に接続される流路よりも狭い絞りが形成されたポンプ装置である。
この発明のポンプ装置は、前記切替弁は作動弁と逆止弁とを備え、前記絞りは、前記作動弁と前記逆止弁との間の流路の一部として形成されていてもよい。
この発明のポンプ装置は、前記ポンプを収容するケースが第１ケースと第２ケースとが重ねられて形成され、前記第１ケースに、前記逆止弁の逆止弁本体が収容される逆止弁室が形成され、前記第２ケースに、前記作動弁の作動弁本体が収容される作動弁室が形成され、前記絞りは、前記逆止弁室と前記作動弁室とを通じさせる流路の一部として形成されていてもよい。
本発明は、ピストンによって内部が、伸張行程で伸びる第１室と圧縮行程で伸びる第２室とに区画されたシリンダ装置と、作動液を吐出するポンプ及び前記第１室又は前記第２室に供給する前記作動液の流れの向きを切り替える切替弁を一体的に有し、前記切替弁における、前記第２室に接続される側の流路に、前記第１室に接続される流路よりも狭い絞りが形成されたポンプ装置と、を備えた液圧アクチュエータである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係るポンプ装置によれば、絞りを設けるための加工作業を追加することなく、液圧アクチュエータのぎくしゃくした動きを抑制することができる。
本発明に係る液圧アクチュエータによれば、絞りを設けるための加工作業を追加することなく、液圧アクチュエータのぎくしゃくした動きを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施の形態に係るポンプ装置を含むトリム・チルト装置の外観を示す斜視図である。
【図２】トリム・チルト装置の要部断面図である。
【図３】トリム・チルト装置のハウジング及びシリンダを示す斜視図である。
【図４】トリム・チルト装置が用いられる、船体と船舶推進機との配置を示す側方視の模式図である。
【図５】トリム・チルト装置の油圧回路を示す図である。
【図６】ポンプ装置の外観を示す図である。
【図７】ポンプ装置を構成部品に分解した分解斜視図である。
【図８】図６におけるVIII−VIII線に沿った、アップブローバルブ及びダウンブローバルブを含む面による断面図である。
【図９】図６におけるIX−IX線に沿った、切替弁の第１開放弁、第２開放弁及び第３リリーフ弁を含む面による断面図である。
【図１０】（Ａ）は第１逆止弁室における開口部分を示す断面図、（Ｂ）は第２逆止弁室における開口部分を示す断面図である。
【図１１】実施形態２のポンプ装置及びトリム・チルト装置における、（Ａ）は第１逆止弁室における開口部分を示す断面図、（Ｂ）は第２逆止弁室における開口部分を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
<<実施形態１>>
図１は本発明の一実施の形態（実施形態１）に係るポンプ装置２０を含むトリム・チルト装置１００（液圧アクチュエータの一例）の外観を示す斜視図、図２はトリム・チルト装置１００の要部断面図、図３はトリム・チルト装置１００のハウジング８１及びシリンダ１１を示す斜視図である。
【００１１】
＜トリム・チルト装置１００の概略構成＞
トリム・チルト装置１００は、図１，２に示すように、作動液の一例であるオイルの供給、排出によって伸縮するシリンダ装置１０と、オイルを送出するポンプ装置２０と、ポンプ装置２０を駆動するモータ４０と、オイルを貯めるタンク８０とを備えている。
【００１２】
（シリンダ装置１０）
シリンダ装置１０は、図２に示すように、軸Ｃ方向に延びたシリンダ１１と、シリンダ１１の内部に配置され、シリンダ１１の軸Ｃ方向に沿って摺動するピストン１２と、ピストン１２を一端に固定してピストン１２と一体的に変位し、シリンダ１１に対して軸Ｃ方向に進退するピストンロッド１３とを備えている。
シリンダ装置１０は、ピストン１２によって内部が第１室Ｙ１と第２室Ｙ２とに区画されていて、第１室Ｙ１にオイルが供給されるとシリンダ装置１０は伸び、第２室Ｙ２にオイルが供給されるとシリンダ装置１０は縮む。ここで、シリンダ装置１０が伸びるときは第２室Ｙ２からオイルが排出され、シリンダ装置１０が縮むときは第１室Ｙ１からオイルが排出される。
シリンダ１１の図示下端には、後述する船舶推進機３００（後述する図４参照）のスターンブラケット３４０に接続するためのピン（図示省略）が挿入されるピン孔１１ａが形成されている。一方、ピストンロッド１３の図示上端には、船舶推進機３００（図４参照）のスイベルケース３３０に接続するためのピン（図示省略）が挿入されるピン孔１３ａが形成されている。
【００１３】
（タンク８０）
タンク８０は、ハウジング８１と、ハウジング８１によって囲まれた空間であるタンク室８２によって構成されている。ハウジング８１はシリンダ１１と一体的に形成されている。そして、図３に示すように、ハウジング８１及びシリンダ１１には、ポンプ装置２０とシリンダ装置１０の第１室Ｙ１及び第２室Ｙ２とを結ぶオイルの流路として、シリンダ側第１室側流路７１Ａの一部とシリンダ側第２室側流路７２Ａの一部との２つだけが形成されている。
【００１４】
ここで、シリンダ側第１室側流路７１Ａの一部は、ハウジング第１孔８１ａと、ハウジング第２孔８１ｂと、ハウジング第３孔８１ｃと、シリンダ第１孔８１ｄと、シリンダ第２孔８１ｅとが接続されて形成されている。
ハウジング第１孔８１ａは、ハウジング８１の底面から下方に、ハウジング８１の底部を貫通しないように延びて形成されている。ハウジング第２孔８１ｂは、ハウジング８１の底部の側面からハウジング第１孔８１ａに交差するようにシリンダ１１に向けて水平に延びて形成されている。ハウジング第３孔８１ｃは、ハウジング８１とシリンダ１１との境界部分の側面からハウジング第２孔８１ｂに直交するように水平に延びて形成されている。シリンダ第１孔８１ｄは、シリンダ１１の側面からハウジング第３孔８１ｃに交差するように斜め上方に延びて形成されている。シリンダ第２孔８１ｅは、シリンダ１１の側面からシリンダ第１孔８１ｄに交差し、第１室Ｙ１に開口するように水平に延びて形成されている。
なお、ハウジング第２孔８１ｂ、ハウジング第３孔８１ｃ、シリンダ第１孔８１ｄ及びシリンダ第２孔８１ｅは、それぞれハウジング８１の外部に臨んだ部分及びシリンダ１１の外部に臨んだ部分が図示を略した栓などによって塞がれている。
【００１５】
シリンダ側第２室側流路７２Ａの一部は、ハウジング第４孔８１ｆと、ハウジング第５孔８１ｇと、ハウジング第６孔８１ｈと、シリンダ第３孔８１ｉと、シリンダ第４孔８１ｊとが接続されて形成されている。
ハウジング第４孔８１ｆは、ハウジング８１の底面から下方に、ハウジング８１の底部を貫通しないように延びて形成されている。ハウジング第５孔８１ｇは、ハウジング８１の底部の側面からハウジング第４孔８１ｆに交差するように水平に延びて形成されている。ハウジング第６孔８１ｈは、ハウジング８１の底部の側面からシリンダ１１に向けて、ハウジング第５孔８１ｇに直交するように水平に延びて形成されている。シリンダ第３孔８１ｉは、シリンダ１１の上面からハウジング第６孔８１ｈに直交するように下方に延びて形成されている。シリンダ第４孔８１ｊは、第２室Ｙ２からシリンダ第３孔８１ｉに交差するように斜め下方に延びて形成されている。
なお、ハウジング第５孔８１ｇ、ハウジング第６孔８１ｈ及びシリンダ第３孔８１ｉは、それぞれハウジング８１の外部に臨んだ部分及びシリンダ１１の外部に臨んだ部分が図示を略した栓などによって塞がれている。
タンク室８２の底部にはポンプ装置２０が配置されている。タンク室８２にはオイルが貯められているため、ポンプ装置２０はオイルに浸漬されている。
【００１６】
（モータ４０）
モータ４０は、タンク室８２の上部開口を液密に塞ぐようにハウジング８１に載せられて、ハウジング８１に固定されている。この状態で、モータ４０の駆動軸４１（図２参照）が、タンク室８２に配置されたポンプ装置２０のギヤポンプ２１（後述する図７参照）に連結されて、モータ４０によりギヤポンプ２１を駆動することができる。
ポンプ装置２０については後述する。
【００１７】
図４はトリム・チルト装置１００が用いられる、船体２００と船舶推進機３００との配置を示す側方視の模式図である。
図４に示すように、船舶推進機３００は推進力を発生する船舶推進機本体３１０を備え、船舶推進機本体３１０は、垂直方向（上下方向）に設けられたスイベルシャフト（図示省略）と、水面に対して水平方向に設けられた水平軸３２０と、スイベルシャフトが回動自在に収容されるスイベルケース３３０と、スイベルケース３３０を船体２００に接続するスターンブラケット３４０と、を有している。
そして、スイベルケース３３０とトリム・チルト装置１００のシリンダ１１のピン孔１１ａとがピンにより連結され、スターンブラケット３４０とピストンロッド１３のピン孔１３ａとがピンにより連結される。シリンダ装置１０が伸縮することで、スターンブラケット３４０とスイベルケース３３０との間の距離が変化して、船体２００に対する船舶推進機３００の傾斜角度θを変化させる。
【００１８】
＜トリム・チルト装置１００の油圧回路＞
図５は、トリム・チルト装置１００の油圧回路である。まず、トリム・チルト装置１００の油圧回路について、図５を参照して説明する。
シリンダ装置１０は、ピストン１２によって、内部が第１室Ｙ１と第２室Ｙ２とに区画されていて、第１室Ｙ１にオイルが供給されるとシリンダ装置１０は伸び、第２室Ｙ２にオイルが供給されるとシリンダ装置１０は縮む。ここで、シリンダ装置１０が伸びるときは第２室Ｙ２からオイルが排出され、シリンダ装置１０が縮むときは第１室Ｙ１からオイルが排出される。
この油圧回路は、第１室Ｙ１及び第２室Ｙ２へのオイルの供給、排出を制御する回路である。
ポンプ装置２０に備えられた一対のギヤからなるギヤポンプ２１とシリンダ装置１０との間には、第１室Ｙ１に通じた第１室側流路７１と第２室Ｙ２に通じた第２室側流路７２とが形成されている。第１室側流路７１及び第２室側流路７２には、これら第１室側流路７１と第２室側流路７２とに跨がるように、切替弁５１が配置されている。
【００１９】
（切替弁５１）
切替弁５１は、第１室Ｙ１又は第２室Ｙ２へのオイルの流れの向きを切り替える。切替弁５１は、第１室側流路７１上に設けられた第１開放弁５１ａと第２室側流路７２上に設けられた第２開放弁５２ａとを備えている。
第１開放弁５１ａは、第１作動弁５１ｂと第１逆止弁５１ｅ（逆止弁本体）とを備えている。第１作動弁５１ｂは、第１弁室５１ｆ（作動弁室）内を摺動するスプール５１ｃ（作動弁本体）と、スプール５１ｃに内蔵された作動弁ボール５１ｄ（作動弁本体）とを備えている。第１弁室５１ｆはスプール５１ｃによって、第１逆止弁５１ｅに通じる側のメイン油室５１ｇと反対側のサブ油室５１ｈとに仕切られている。第１室側流路７１のうちギヤポンプ２１から第１開放弁５１ａに通じるポンプ側第１室側流路７１Ｂは、第１開放弁５１ａのメイン油室５１ｇに接続されている。
【００２０】
スプール５１ｃには、第１逆止弁５１ｅに向かって突出し、第１逆止弁５１ｅの側に変位したとき第１逆止弁５１ｅを押す突起５１ｉが備えられている。また、スプール５１ｃには、後述する図９に示すように、メイン油室５１ｇとサブ油室５１ｈとを通じさせる第１孔５１ｊ及びサブ油室５１ｈと後述する連通路５１Ｒとを通じさせる第２孔５１ｋが形成されている。
作動弁ボール５１ｄは、メイン油室５１ｇの圧力がサブ油室５１ｈの圧力より高いときは第１孔５１ｊを開き、メイン油室５１ｇの圧力がサブ油室５１ｈの圧力より低いときは第１孔５１ｊを閉じる。
【００２１】
第２開放弁５２ａについても第１開放弁５１ａと同様の構成である。すなわち、第２開放弁５２ａは、第２作動弁５２ｂと第２逆止弁５２ｅ（逆止弁本体）とを備えている。第２作動弁５２ｂは、第２弁室５２ｆ（作動弁室）内を摺動し、第１逆止弁５１ｅを押す突起５１ｉが備えられているとともに第１孔５２ｊ及び第２孔５２ｋが形成されたスプール５２ｃ（作動弁本体）と、スプール５２ｃに内蔵されメイン油室５２ｇとサブ油室５２ｈとの圧力の高低関係に応じて第１孔５２ｊを開閉する作動弁ボール５２ｄ（作動弁本体）とを備えている。第２弁室５２ｆはスプール５２ｃによって、第２逆止弁５２ｅに通じる側のメイン油室５２ｇと反対側のサブ油室５２ｈとに仕切られ、第２室側流路７２のうちギヤポンプ２１から第２開放弁５２ａに通じるポンプ側第２室側流路７２Ｂは、第２開放弁５２ａのメイン油室５２ｇに接続されている。
【００２２】
第１開放弁５１ａのサブ油室５１ｈと第２開放弁５２ａのサブ油室５２ｈとは連通路５１Ｒによって通じている。
ここで、例えば、ギヤポンプ２１を正回転することでギヤポンプ２１からポンプ側第１室側流路７１Ｂに送出されたオイルは、第１開放弁５１ａのメイン油室５１ｇへ流入する。メイン油室５１ｇの圧力が高くなることで第１逆止弁５１ｅが開き、オイルは、第１室側流路７１のうち第１開放弁５１ａからシリンダ装置１０の第１室Ｙ１に通じるシリンダ側第１室側流路７１Ａに流れ、シリンダ装置１０の第１室Ｙ１に流入し、ピストン１２を第２室Ｙ２に向けて押す。
【００２３】
また、第１開放弁５１ａのメイン油室５１ｇに流入したオイルは、第１作動弁５１ｂのスプール５１ｃ内の作動弁ボール５１ｄを開いてサブ油室５１ｈに流入する。そして、サブ油室５１ｈに流入したオイルは、連通路５１Ｒを通じて第２開放弁５２ａのサブ油室５２ｈに到達する。第２作動弁５２ｂの作動弁ボール５２ｄは閉じているため、サブ油室５２ｈのオイルは、スプール５２ｃをメイン油室５２ｇ側に押圧する。
第２作動弁５２ｂがメイン油室５２ｇ側に移動することで、第２逆止弁５２ｅが押されて開き、第２室側流路７２のうち第２開放弁５２ａからシリンダ装置１０の第２室Ｙ２に通じるシリンダ側第２室側流路７２Ａとポンプ側第２室側流路７２Ｂとが通じる。これにより、ピストン１２によって押された側の第２室Ｙ２のオイルは、第２室側流路７２に排出され、第２室側流路７２を通ってギヤポンプ２１に戻る。
【００２４】
一方、ギヤポンプ２１を逆回転することでギヤポンプ２１からポンプ側第２室側流路７２Ｂに送出されたオイルの流れも、ギヤポンプ２１の正回転の場合と同様である。すなわち、オイルは、第２開放弁５２ａのメイン油室５２ｇへ流入し、第２逆止弁５２ｅを開弁させてシリンダ側第２室側流路７２Ａに流れ、シリンダ装置１０の第２室Ｙ２に流入し、ピストン１２を第１室Ｙ１に向けて押す。
【００２５】
また、第２開放弁５２ａのメイン油室５２ｇに流入したオイルは、第２作動弁５２ｂのスプール５２ｃ内の作動弁ボール５２ｄを開いてサブ油室５２ｈに流入し、連通路５１Ｒを通じて第１開放弁５１ａのサブ油室５１ｈに到達し、第１作動弁５１ｂのスプール５１ｃをメイン油室５１ｇ側に押圧する。押圧されたスプール５１ｃは第１逆止弁５１ｅを押して開き、シリンダ側第１室側流路７１Ａとポンプ側第１室側流路７１Ｂとが通じ、ピストン１２によって押された側の第１室Ｙ１のオイルが第１室側流路７１に排出され、第１室側流路７１を通ってギヤポンプ２１に戻る。
【００２６】
このように、第１作動弁５１ｂ及び第２作動弁５２ｂは、ギヤポンプ２１からのオイルの圧力を受けて変位し、この変位により、変位方向の第２逆止弁５２ｅ又は第１逆止弁５１ｅを開かせる機能を有する。
第１逆止弁５１ｅ及び第２逆止弁５２ｅは、第２作動弁５２ｂ又は第１作動弁５１ｂの変位により開かれてシリンダ装置１０からオイルを戻す機能と、第１弁室５１ｆ又は第２弁室５２ｆに作用する圧力により開かれてシリンダ装置１０にオイルを供給する機能とを有する。
【００２７】
（アップブローバルブ５３）
ここで、ポンプ側第１室側流路７１Ｂには、アップブローバルブ５３（第１室側リリーフ弁）が接続されている。アップブローバルブ５３は、通常閉じていて、ポンプ側第１室側流路７１Ｂの圧力が予め設定された圧力以上になったときに開き、ポンプ側第１室側流路７１Ｂのオイルを、タンク８０に通じる第１開放流路７３に逃がす。
ポンプ側第１室側流路７１Ｂの圧力が予め設定された圧力以上になる場合としては、例えば、以下のような場合がある。すなわち、シリンダ装置１０の第１室Ｙ１にオイルが供給されてシリンダ装置１０が伸縮範囲の最大限まで伸びた後も、ギヤポンプ２１の回転が止まらずに、第１室側流路７１にオイルが供給され続ける場合である。この場合、アップブローバルブ５３が開いて、ポンプ側第１室側流路７１Ｂに供給されるオイルを、第１開放流路７３を通じてタンク８０に戻す。
【００２８】
（ダウンブローバルブ５４）
また、ポンプ側第２室側流路７２Ｂには、ダウンブローバルブ５４（第２室側リリーフ弁）が接続されている。ダウンブローバルブ５４は、通常閉じていて、ポンプ側第２室側流路７２Ｂの圧力が予め設定された圧力以上になったときに開き、ポンプ側第２室側流路７２Ｂのオイルを、タンク８０に通じる第２開放流路７４に逃がす。
ポンプ側第２室側流路７２Ｂの圧力が予め設定された圧力以上になる場合としては、例えば、以下のような場合がある。すなわち、シリンダ装置１０が縮むときに第２室Ｙ２に進入してくるピストンロッド１３の体積の増加分による第２室側流路７２の圧力の増大や、シリンダ装置１０の第２室Ｙ２にオイルが供給されてシリンダ装置１０が伸縮範囲の最小限まで縮んだ後もギヤポンプ２１の回転が止まらずに、第２室側流路７２にオイルが供給され続ける場合などである。この場合、ダウンブローバルブ５４が開いて、ポンプ側第２室側流路７２Ｂに供給されるオイルを、第２開放流路７４を通じてタンク８０に戻す。
【００２９】
なお、シリンダ装置１０の伸縮の際、第１室Ｙ１のオイルと第２室Ｙ２のオイルとは、切替弁５１及びギヤポンプ２１を介して、大部分が循環しているだけである。しかし、前述したように、第２室Ｙ２へのピストンロッド１３の進入量に応じて第１室Ｙ１のオイルと第２室Ｙ２のオイルとの総量が変化するため、第１室Ｙ１又は第２室Ｙ２へ送出するオイルの量が不足する場合は、それぞれチェック弁５７，５８が設けられた第１供給流路７７又は第２供給流路７８を通じて、不足分に対応した量のオイルが、タンク８０からギヤポンプ２１に供給される。タンク８０からギヤポンプ２１にオイルが供給される流路が第１供給流路７７となるか又は第２供給流路７８となるかは、ギヤポンプ２１の回転方向に応じて決まる。
【００３０】
（第３リリーフ弁５５）
また、シリンダ側第１室側流路７１Ａには、第３リリーフ弁５５（第３のリリーフ弁）が接続されている。第３リリーフ弁５５は、通常閉じていて、シリンダ側第１室側流路７１Ａの圧力が予め設定された圧力（アップブローバルブ５３が開放される圧力よりも高い圧力）以上になったときに開き、シリンダ側第１室側流路７１Ａのオイルを、タンク８０に通じる第３開放流路７５に逃がす。
シリンダ側第１室側流路７１Ａの圧力が予め設定された圧力以上になる場合としては、例えば、以下のような場合がある。すなわち、シリンダ装置１０が伸びている状態で、シリンダ装置１０を縮ませる方向への衝撃等荷重が掛った場合や、オイルの温度が上昇することによりシリンダ側第１室側流路７１Ａの圧力が上昇した場合などである。この場合、第３リリーフ弁５５が開いて、シリンダ側第１室側流路７１Ａに供給されるオイルを、第３開放流路７５を介してタンク８０に戻す。
なお、タンク８０に通じる流路にはフィルタ８３が設けられていて、タンク８０内のオイルに混じった異物等が、上述した各流路に流入するのを防止している。
【００３１】
＜ポンプ装置２０＞
図６はポンプ装置２０の外観を示す図、図７はポンプ装置２０を構成部品に分解した分解斜視図、図８はアップブローバルブ５３及びダウンブローバルブ５４を含む面による断面図、図９は切替弁５１の第１開放弁５１ａ及び第２開放弁５２ａを含む面による断面図である。
【００３２】
ポンプ装置２０は、図７に示すように、ポンプケース２５と、ギヤポンプ２１と、切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５及び２つのチェック弁５７，５８と備えている。ポンプケース２５は、図示の下から第１ケース２２、第２ケース２３及び覆い板２４（覆い部材）がこの順序で重ねられ、５本の締結部材２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄ，２８ｅで一体化された、いわゆる三体構造となっている。なお、５本の締結部材２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄ，２８ｅのうち一部の締結部材は、ポンプ装置２０をハウジング８１（図１参照）に固定する機能も果たしている。
そして、ポンプ装置２０は、ポンプケース２５の内部に、ギヤポンプ２１、油圧回路に用いられている切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５及び２つのチェック弁５７，５８が収容されて、図６に示すように一体的に構成されている。
【００３３】
第１ケース２２は、底面に溝２２ｂが形成されている。また、第１ケース２２には、ギヤポンプ２１が収容されるポンプ室２２ａ、チェック弁５７，５８が収容されるチェック弁室２２ｇ，２２ｈ並びに第１逆止弁５１ｅ及び第２逆止弁５２ｅが収容される第１逆止弁室２２ｍ（図９参照）及び第２逆止弁室２２ｎが形成されている。
第１逆止弁室２２ｍ及び第２逆止弁室２２ｎはそれぞれ、第１ケース２２と第２ケース２３とが重ねられた方向に貫通して形成されている。
また、第２ケース２３には、第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆが形成されている。第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆもそれぞれ、第２ケース２３を厚さ方向に貫通して形成されている。また、第２ケース２３には、アップブローバルブ５３が収容されるアップブローバルブ室２３ａと、ダウンブローバルブ５４が収容されるダウンブローバルブ室２３ｂと、第３リリーフ弁５５が収容される第３リリーフ弁室２３ｃとが形成されている。
覆い板２４は例えば鉄板であり、第２ケース２３に形成された第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆの開口２３ｘ（後述する図１０参照）を塞いでいる。
【００３４】
図８に示すように、ギヤポンプ２１はポンプ室２２ａに配置されている。
また、アップブローバルブ５３はアップブローバルブ室２３ａに、ダウンブローバルブ５４はダウンブローバルブ室２３ｂにそれぞれ配置されている。アップブローバルブ５３は、チェック弁室２２ｇに連なるポンプ側第１室側流路７１Ｂとタンク室８２に連なる第１開放流路７３との間を開閉する弁ボール５３ｄと、弁ボール５３ｄに上方から接触するプッシュピン５３ｃと、プッシュピン５３ｃと同軸で、アップブローバルブ室２３ａにねじ結合し、工具用の溝５３ｅが形成された上部が第２ケース２３の上方に突出した調整ねじ５３ａと、プッシュピン５３ｃと調整ねじ５３ａとの間に配置されて、プッシュピン５３ｃに対して、プッシュピン５３ｃと調整ねじ５３ａとの間の距離に応じた軸方向の弾性力を作用させるコイルばね５３ｂとを備えている。
【００３５】
このように構成されたアップブローバルブ５３は、第２ケース２３の外部に突出した調整ねじ５３ａの溝５３ｅに、例えばマイナスドライバー等入手容易な工具を挿入して、工具を軸回りに回転させることで、第２ケース２３に対する調整ねじ５３ａのねじ込み深さを変化させることができる。
そして、調整ねじ５３ａのねじ込み深さが深くなるにしたがって、プッシュピン５３ｃと調整ねじ５３ａとの間の距離が短くなり、コイルばね５３ｂの初期圧縮量が増加してコイルばね５３ｂがプッシュピン５３ｃを下方に押圧する弾性力が強くなり、プッシュピン５３ｃに接触している弁ボール５３ｄが、ポンプ側第１室側流路７１Ｂを塞いでいる荷重が強くなる。このことは、閉じているアップブローバルブ５３が開く動作に移行するときの、ポンプ側第１室側流路７１Ｂの圧力が、より高く設定されたことになる。
【００３６】
一方、調整ねじ５３ａのねじ込み深さが浅くなるにしたがって、プッシュピン５３ｃと調整ねじ５３ａとの間の距離が長くなり、コイルばね５３ｂの初期圧縮量が減少してコイルばね５３ｂがプッシュピン５３ｃを下方に押圧する弾性力が弱くなり、プッシュピン５３ｃに接触している弁ボール５３ｄが、ポンプ側第１室側流路７１Ｂを塞いでいる荷重が弱くなる。このことは、閉じているアップブローバルブ５３が開く動作に移行するときの、ポンプ側第１室側流路７１Ｂの圧力が、より低く設定されたことになる。
このように、アップブローバルブ５３の調整ねじ５３ａは、アップブローバルブ５３が作動する（閉状態から開状態へ移行する）際の圧力（作動圧力）を調整する圧力調整機構となっている。
【００３７】
ダウンブローバルブ５４もアップブローバルブ５３と同様に、チェック弁室２２ｈに連なるポンプ側第２室側流路７２Ｂとタンク室８２に連なる第２開放流路７４との間を開閉する弁ボール５４ｄと、弁ボール５４ｄに上方から接触するプッシュピン５４ｃと、プッシュピン５４ｃと同軸で、ダウンブローバルブ室２３ｂにねじ結合し、工具用の溝５４ｅが形成された上部が第２ケース２３の上方に突出した調整ねじ５４ａと、プッシュピン５４ｃと調整ねじ５４ａとの間に配置されて、プッシュピン５４ｃに対して、プッシュピン５４ｃと調整ねじ５４ａとの間の距離に応じた軸方向の弾性力を作用させるコイルばね５４ｂとを備えている。ダウンブローバルブ５４の調整ねじ５４ａも、アップブローバルブ５３の調整ねじ５３ａと同様に圧力調整機構となっている。
ダウンブローバルブ５４の作動圧力の調整作用はアップブローバルブ５３による調整作用と同じであるため、説明を省略する。
【００３８】
チェック弁５７，５８は第１ケース２２に形成されたチェック弁室２２ｇ，２２ｈにそれぞれ配置されている。これらチェック弁５７，５８は、第１ケース２２と第２ケース２３とが重ね合わされる以前の工程で、各チェック弁室２２ｇ，２２ｈに配置される。
チェック弁室２２ｇ，２２ｈは、下方に延びた孔２２ｃ，２２ｄに連通している。この孔２２ｃ，２２ｄは、チェック弁５７，５８によって塞がれる大きさで形成され、ポンプケース２５の下面に形成された溝２２ｂに連なる。ポンプ装置２０は、タンク室８２においてオイルに浸漬されているため、溝２２ｂはオイルで満たされ、孔２２ｃ及び２２ｄが油圧回路における第１供給流路７７及び第２供給流路７８に相当する。
【００３９】
図９に示すように、切替弁５１の第１開放弁５１ａ及び第２開放弁５２ａのうち第１作動弁５１ｂ及び第２作動弁５２ｂは、第２ケース２３に形成された第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆに配置されている。これら第１作動弁５１ｂ及び第２作動弁５２ｂは、第２ケース２３と覆い板２４とが重ね合わされる以前の工程で、それぞれ第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆに配置される。
第１弁室５１ｆに第１作動弁５１ｂが配置され、第２弁室５２ｆに第２作動弁５２ｂが配置された状態で、第２ケース２３に覆い板２４が重ね合わされて固定されることで、第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆの上面が塞がれる。このとき、第１弁室５１ｆと覆い板２４との間及び第２弁室５２ｆと覆い板２４との間にはそれぞれＯリング２４ａ，２４ｂが装着され、第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆの液密が確保されている。
【００４０】
第１弁室５１ｆ及び第２弁室５２ｆはそれぞれ、第２ケース２３を厚さ方向に貫通して形成されているため、収容された第１作動弁５１ｂ及び第２作動弁５２ｂはいずれも、第１ケース２２と第２ケース２３とが重ねられた方向に沿って摺動する。
なお、第２ケース２３には、油圧回路において説明した連通路５１Ｒが形成されていて、第１弁室５１ｆのサブ油室５１ｈと第２弁室５２ｆのサブ油室５１ｈとを接続している。
第１弁室５１ｆのメイン油室５１ｇの、第１ケース２２に臨む部分及び第２弁室５２ｆのメイン油室５２ｇの、第１ケース２２に臨む部分はいずれも、後述する図１０（Ａ），（Ｂ）に示すように、内径Ｄ２で形成されている。
【００４１】
第１ケース２２に形成された第１逆止弁室２２ｍは、第１ケース２２と第２ケース２３とを重ね合わせた状態で、第１弁室５１ｆに対向する部分に形成されている。また、第１ケース２２に形成された第２逆止弁室２２ｎは、第１ケース２２と第２ケース２３とを重ね合わせた状態で、第２弁室５２ｆに対向する部分に形成されている。
図１０（Ａ）は第１逆止弁室２２ｍの詳細を示す断面図、図１０（Ｂ）は第２逆止弁室２２ｎの詳細を示す断面図である。前述したように、第１逆止弁室２２ｍ及び第２逆止弁室２２ｎは、第１ケース２２の厚さ方向に貫通して形成されている。
図１０（Ａ）に示すように、第１逆止弁室２２ｍのうち第２ケース２３に面する側で開口した部分２２ｐ（以下、開口部分２２ｐという）は、第２ケース２３に形成された第１弁室５１ｆのメイン油室５１ｇに臨んでいる。したがって、この開口部分２２ｐは、第１作動弁５１ｂと第１逆止弁５１ｅとの間の流路の一部として構成されている。また、この開口部分２２ｐは、第１開放弁５１ａにおける、第１室側流路７１（図５参照）の一部でもある。
図１０（Ｂ）に示すように、第２逆止弁室２２ｎのうち第２ケース２３に面する側で開口した部分２２ｑ（以下、開口部分２２ｑという）も、第２ケース２３に形成された第２弁室５２ｆのメイン油室５２ｇに臨んでいる。したがって、この開口部分２２ｑは、第２作動弁５２ｂと第２逆止弁５２ｅとの間の流路の一部として構成され、第２開放弁５２ａにおける、第２室側流路７２（図５参照）の一部でもある。
【００４２】
ここで、第１逆止弁室２２ｍの開口部分２２ｐは、第１弁室５１ｆのメイン油室５１ｇの、第１ケース２２に臨む部分における内径Ｄ２よりも小さく、かつ第１作動弁５１ｂに設けられた、第１逆止弁５１ｅを押す突起５１ｉの直径ｄ０よりも大きい直径ｄ１（ｄ０＜ｄ１＜Ｄ２）で形成されている。
一方、第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑは、第２弁室５２ｆのメイン油室５２ｇの、第１ケース２２に臨む部分における内径Ｄ２よりも小さく、かつ第２作動弁５２ｂに設けられた、第２逆止弁５２ｅを押す突起５２ｉの直径ｄ０よりも大きい直径ｄ２（ｄ０＜ｄ２＜Ｄ２）で形成されている。
さらに、第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑの直径ｄ２は、第１逆止弁室２２ｍの開口部分２２ｐの直径ｄ１よりも小さい（ｄ２＜ｄ１）。
【００４３】
図９に示すように、第１逆止弁５１ｅは、Ｏリング５１ｍと、弁ケース５１ｎと、弁ボール５１ｐと、プッシュピン５１ｑと、コイルばね５１ｒと、ばね押え５１ｏと、Ｏリング５１ｔとを備えた構成である。
弁ケース５１ｎはＯリング５１ｍを介して第１逆止弁室２２ｍに嵌めこまれている。弁ケース５１ｎには、上部に、対向する第１作動弁５１ｂの突起５１ｉを通過させる小孔５１ｕが形成されている。この小孔５１ｕは、第１逆止弁室２２ｍの開口部分２２ｐの直径ｄ１と一致する。
弁ボール５１ｐ、プッシュピン５１ｑ及びコイルばね５１ｒは、弁ケース５１ｎの内側に形成されたケース内室５１ｓに配置されている。
弁ボール５１ｐは、弁ケース５１ｎに形成された小孔５１ｕを塞ぐ大きさに形成されている。プッシュピン５１ｑは、上面に弁ボール５１ｐが接するように弁ボール５１ｐの下に配置されている。ばね押え５１ｏは、第１逆止弁室２２ｍの下部に嵌めこまれ、弁ケース５１ｎを下から支持している。Ｏリング５１ｔは、ばね押え５１ｏの周囲に配置されている。コイルばね５１ｒは、プッシュピン５１ｑとばね押え５１ｏとの間に配置され、プッシュピン５１ｑに対して軸方向の弾性力を作用させる。
図２に示すようにポンプ装置２０がハウジング８１に固定された状態では、ばね押え５１ｏの中央部に形成された開口２２ｅが、ケース内室５１ｓとハウジング８１に形成されたハウジング第１孔８１ａとを通じさせる。このとき、Ｏリング５１ｔによって、ケース内室５１ｓ及びハウジング第１孔８１ａと、タンク室８２との間の液密が確保される。
【００４４】
このように構成された第１逆止弁５１ｅは、コイルばね５１ｒの弾性力により上方に持ち上げられたプッシュピン５１ｑが弁ボール５１ｐを上方に押し上げ、弁ボール５１ｐが弁ケース５１ｎの小孔５１ｕを閉じる。これにより、第１作動弁５１ｂのメイン油室５１ｇと、第１逆止弁５１ｅのケース内室５１ｓとの間は閉じられる。
ここで、第１作動弁５１ｂのメイン油室５１ｇにオイルが供給されてメイン油室５１ｇの圧力が上昇すると、メイン油室５１ｇの圧力が小孔５１ｕを通じて弁ボール５１ｐに作用し、弁ボール５１ｐがコイルばね５１ｒの弾性力に抗して下方に押し下げられ、メイン油室５１ｇとケース内室５１ｓとが通じ、メイン油室５１ｇのオイルが、ケース内室５１ｓを通じてハウジング第１孔８１ａに供給される。
【００４５】
また、第２作動弁５２ｂのメイン油室５２ｇにオイルが供給されてメイン油室５２ｇの圧力が上昇すると、メイン油室５２ｇのオイルがスプール５２ｃの第２孔５２ｋを通じてサブ油室５２ｈ、第１孔５２ｊ、連通路５１Ｒの順で流れ、さらに、第１作動弁５１ｂの第１孔５１ｊを通じて第１作動弁５１ｂのサブ油室５１ｈに流入する。
第１作動弁５１ｂのサブ油室５１ｈは、圧力の上昇により作動弁ボール５１ｄがサブ油室５１ｈとメイン油室５１ｇとの連通を遮断し、これにより、第１作動弁５１ｂのスプール５１ｃがメイン油室５１ｇの側に移動する。スプール５１ｃの移動により、スプール５１ｃに備えられた突起５１ｉが弁ボール５１ｐに作用し、コイルばね５１ｒの弾性力に抗して下方に押し下げられ、メイン油室５１ｇとケース内室５１ｓとが通じ、ハウジング第１孔８１ａからケース内室５１ｓに戻ったオイルがメイン油室５１ｇに戻される。
【００４６】
第２逆止弁室２２ｎに収容された第２逆止弁５２ｅは、第１逆止弁５１ｅと同様の構成であり、Ｏリング５２ｍと、弁ケース５２ｎと、弁ボール５２ｐと、プッシュピン５２ｑと、コイルばね５２ｒと、ばね押え５２ｏと、Ｏリング５２ｔとを備えている。
弁ケース５２ｎには、上部に、対向する第２作動弁５２ｂの突起５２ｉを通過させる小孔５２ｕが形成されている。この小孔５２ｕは、第１逆止弁５１ｅの弁ケース５１ｎにおける小孔５１ｕと同じ大きさである。
第２逆止弁５２ｅの作用は第１逆止弁５１ｅと同じであるため、説明を省略する。
なお、ポンプ装置２０がハウジング８１に固定された状態（図２参照）では、ばね押え５２ｏの中央部に形成された開口２２ｆが、ケース内室５２ｓとハウジング８１に形成されたハウジング第４孔８１ｆとを通じさせる。このとき、Ｏリング５２ｔによって、ケース内室５２ｓ及びハウジング第４孔８１ｆと、タンク室８２との間の液密が確保される。
【００４７】
第３リリーフ弁５５は、第１ケース２２と第２ケース２３とに跨って配置されている。第３リリーフ弁５５もアップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４と同様に、第１逆止弁５１ｅのケース内室５１ｓに通じるシリンダ側第１室側流路７１Ａと第３開放流路７５との間を開閉する弁ボール５５ｄと、弁ボール５５ｄに上方から接触するプッシュピン５５ｃと、プッシュピン５５ｃと同軸で、第２ケース２３にねじ結合し、ねじ溝５５ｅが形成された上部が第２ケース２３の上方に突出した調整ねじ５５ａと、プッシュピン５５ｃと調整ねじ５５ａとの間に配置されて、プッシュピン５５ｃに対して、プッシュピン５５ｃと調整ねじ５５ａとの間の距離に応じた軸方向の弾性力を作用させるコイルばね５５ｂとを備えている。第３リリーフ弁５５の調整ねじ５５ａも、アップブローバルブ５３の調整ねじ５３ａと同様に圧力調整機構となっている。
第３リリーフ弁５５の作動圧力の調整作用はアップブローバルブ５３やダウンブローバルブ５４による調整作用と同じであるため、説明を省略する。
【００４８】
＜ポンプ装置２０の作用、効果＞
以上のように構成された本実施の形態のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００によると、図１０（Ｂ）に示すように、第２弁室５２ｆのメイン油室５２ｇの内径Ｄ２に対して第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑの直径ｄ２が小さいため、この開口部分２２ｑは第２室側流路７２における絞りとして機能する。
ここで、絞りは、シリンダ装置１０が縮む圧縮行程において、第２室側流路７２のうち絞りよりギヤポンプ２１側の流路（ポンプ側第２室側流路７２Ｂ）の圧力を、第２室側流路７２のうち絞りよりシリンダ装置１０側の流路（シリンダ側第２室側流路７２Ａ）の圧力よりも高くするように形成されたものである。
つまり、第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑは、シリンダ装置１０を縮める際のぎくしゃくした動きを抑制する絞りとして機能し、本実施形態のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００は、シリンダ装置１０を縮める際のぎくしゃくした動きを抑制することができる。
そして、本実施形態のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００は、シリンダ装置１０を縮める際のぎくしゃくした動きを抑制する絞りを、ハウジング８１やシリンダ１１に独立して形成する必要がない。
【００４９】
ここで、絞りとして機能する第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑは、第２弁室５２ｆのメイン油室５２ｇと第２逆止弁室２２ｎとを通じさせる流路としては既存の部分である。したがって、開口部分２２ｑを形成する加工作業の際に、形成する開口部分２２ｑの直径を小さくするだけで、絞りとしての機能を発揮させることができ、絞りを形成する加工作業が増加することはない。
したがって、本実施形態のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００によれば、絞りを形成するための加工作業が発生せず、加工工数を低減することができる。
【００５０】
また、本実施形態のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００は、第２逆止弁室２２ｎが第１ケース２２に形成され、第２弁室５２ｆが第２ケース２３に形成されて、これら第１ケース２２と第２ケース２３とが重ね合わされる。そして、絞りとして機能する第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑは、第２ケース２３との重ね合わせの面２２Ａからの加工によって形成することができるため、容易な加工作業によって形成することができる。
【００５１】
なお、本実施形態のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００は、第１逆止弁室２２ｍの開口部分２２ｐも、その直径ｄ１が第１弁室５１ｆのメイン油室５１ｇの内径Ｄ２に対して小さいため、第１室側流路７１における絞りとして機能し得る。しかし、本発明のポンプ装置及び液圧アクチュエータは、第１室側流路７１に絞りを設けるか否かは必須ではない。したがって、本実施形態のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００においても、第１逆止弁室２２ｍの開口部分２２ｐを、第１弁室５１ｆのメイン油室５１ｇより小径に形成しなくてもよい。
本実施形態においては、第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑが、第１逆止弁室２２ｍの開口部分２２ｐよりも流路面積が狭いため、絞りとしての効用は第１逆止弁室２２ｍの開口部分２２ｐよりも強い。したがって、第１逆止弁室２２ｍの開口部分２２ｐが絞りとして強い効用を示さない場合であっても、第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑを、絞りとして相対的に強い効用を発揮させることができ、シリンダ装置１０を縮める際のぎくしゃくした動きを抑制することができる。
【００５２】
また、本実施形態のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００は、シリンダ装置１０に接続される油圧回路に含まれる切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５、チェック弁５７，５８及び絞りとしての第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑがポンプ装置２０に一体的に備えられている。
したがって、ポンプ装置２０をシリンダ装置１０に組み付ける以前の単体の状態で、ギヤポンプ２１のオイル圧送能力等性能を測定する工程において、切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５、チェック弁５７，５８及び絞りとしての第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑが組み込まれた油圧回路全体での性能も測定することができる。
これにより、ポンプ装置２０及び油圧回路の性能測定による工数を低減することができる。
【００５３】
また、油圧回路における切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５、チェック弁５７，５８及び絞りとしての第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑが、ポンプ装置２０に一体的に備えられていることで、ハウジング８１には油圧回路のバルブや弁や絞りが配置されない。
したがって、本実施の形態におけるハウジング８１は、バルブや弁や絞りが配置されている従来におけるトリム・チルト装置のハウジングと比較して、形成される流路（シリンダ側第１室側流路７１Ａとシリンダ側第２室側流路７２Ａ）を単純化することができる。この結果、ハウジング８１に形成される流路（シリンダ側第１室側流路７１Ａとシリンダ側第２室側流路７２Ａ）においては、流路となる孔同士の交差によって繋がれる部分を低減することができる。
孔同士が交差する部分では、孔を穿孔して加工した際に生じるバリが残留し易い傾向があり、孔同士が交差する部分が低減されることで、流路にバリが残りにくくすることもできる。
【００５４】
なお、本発明に係るポンプ装置及び油圧アクチュエータは、油圧回路における油圧を制御する切替弁５１、アップブローバルブ５３、ダウンブローバルブ５４、第３リリーフ弁５５、チェック弁５７，５８及び絞りとしての第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑが、ポンプ装置２０に一体的に備えられている形態に限定されるものではなく、切替弁５１を除く他のバルブや弁はポンプ装置２０とは別体に、例えばハウジング８１に設けられていてもよい。
【００５５】
<<実施形態２>>
実施形態１のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００は、第１ケース２２の第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑを絞りとして形成したものであるが、本発明は、この形態に限定されるものではない。
図１１は、本発明の他の実施の形態（実施形態２）のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００における第１弁室５１ｆの、第１逆止弁５１ｅとの通じる部分及び第２弁室５２ｆの、第２逆止弁５２ｅとの通じる部分をそれぞれ示す断面図である。実施形態２は、第１ケース２２の第２逆止弁室２２ｎに絞りを形成するのに代えて、第２ケース２３に形成された第２弁室５２ｆのメイン油室５２ｇにおける、第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑに対向する部分５２ｖ（第２逆止弁５２ｅに通じる部分）を、例えば図１１に示すように、直径ｄ２に絞って形成することで、第２室側流路７２における絞りとした例である。
この場合、第２逆止弁室２２ｎの開口部分２２ｑは、図１１（Ａ）に示す第１逆止弁室２２ｍの開口部分２２ｐと同一の直径ｄ１としてもよい。
このように構成された実施形態２のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００によっても、実施形態１によって奏される効果と同じ効果を発揮することができる。
【００５６】
各実施形態のポンプ装置２０及びトリム・チルト装置１００は、図５に示すように、シリンダ装置１０の第１室Ｙ１に通じる第１室側流路７１に、アップブローバルブ５３と第３リリーフ弁５５という２つのリリーフ弁が設けられたものであるが、本発明に係るポンプ装置及び液圧アクチュエータは、この形態に限定されるものではない。
また、本実施形態は、液圧アクチュエータの一例として、トリム・チルト装置を適用したものであるが、本発明の液圧アクチュエータはこれらトリム・チルト装置に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００５７】
２２…第１ケース、２２ｍ…第１逆止弁室、２２ｎ…第２逆止弁室、２２ｐ，２２ｑ…開口部分、５１…切替弁、５１ａ…第１開放弁、５１ｂ…第１作動弁、５１ｅ…第１逆止弁、５１ｆ…第１弁室、５２ａ…第２開放弁、５２ｂ…第２作動弁、５２ｅ…第２逆止弁、、５２ｆ…第２弁室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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