(57)【要約】【課題】１つの研削装置で、板状ワーク全体を薄く研削することができるとともに、外周部分を残して研削することもできるようにする。【解決手段】第１の研削手段１４ａ，１４ｂは、保持テーブル１２ａ〜１２ｃに保持された板状ワークの中央エリアを研削する。板状ワーク全体を薄く研削する場合は、進退手段１８が第２の研削手段１５ａ，１５ｂを第１の研削位置に位置付け、第２の研削手段１５ａ，１５ｂが板状ワークの外周エリアを研削する。板状ワークの外周部分を残して研削する場合は、進退手段１８が第２の研削手段１５ａ，１５ｂを第２の研削位置に位置付け、第２の研削手段１５ａ，１５ｂが板状ワークの中間エリアを研削する。第１の研削手段１４ａ，１４ｂと、研削位置を変えることができる第２の研削手段１５ａ，１５ｂとを用いることで、板状ワーク全体の研削と、外周部分を残す研削とを可能とする。【選択図】図１
2015074042.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板状の板状ワークを保持し、保持した板状ワークを回転させる保持テーブルと、
複数の研削砥石が環状に配置された第１の研削ホイールが装着され、装着された第１の研削ホイールを回転させる第１の研削スピンドルを有し、該保持テーブルに保持された該板状ワークを研削する第１の研削手段と、
複数の研削砥石が環状に配置された第２の研削ホイールが装着され、装着された第２の研削ホイールを回転させる第２の研削スピンドルを有し、該保持テーブルに保持された該板状ワークを研削する第２の研削手段と、
該第１の研削手段と該保持テーブルとを研削送り方向に相対的に接近及び離間させる第１の研削送り手段と、
該第２の研削手段と該保持テーブルとを該研削送り方向に相対的に接近及び離間させる第２の研削送り手段と、
該第２の研削手段と該保持テーブルとを該保持テーブルの径方向に相対的に移動させる進退手段と、
を備えた研削装置であって、
該第１の研削スピンドルに装着される該第１の研削ホイールは、環状に配置された該複数の環状砥石の外径が該板状ワークの半径よりも小さく、
該第１の研削手段は、該保持テーブルに保持された該板状ワークの中心を含み、該板状ワークの外周を含まない中央エリアを研削し、
該第２の研削スピンドルに装着される該第２の研削ホイールは、環状に配置された該複数の環状砥石の外径が該板状ワークの半径よりも小さく、
該進退手段が該第２の研削手段と該保持テーブルとを相対的に移動させて該第２の研削手段を第１の研削位置に位置付けることにより、該第２の研削手段が該板状ワークの外周を含む外周エリアを研削し、
該進退手段が該第２の研削手段と該保持テーブルとを相対的に移動させて該第２の研削手段を第２の研削位置に位置付けることにより、該第２の研削手段が該板状ワークの外周を含まない中間エリアを研削する、研削装置。
【請求項２】
前記第１の研削ホイールに環状に配置された前記複数の研削砥石の外径は、前記板状ワークの半径の２分の１以上であり、
前記第２の研削ホイールに環状に配置された前記複数の研削砥石の外径は、前記第１の研削ホイールに環状に配置された前記複数の研削砥石の外径と等しい、請求項１の研削装置。
【請求項３】
前記第１の研削ホイールに環状に配置された前記複数の研削砥石の外径は、前記板状ワークの半径の２分の１以上であり、
前記第２の研削ホイールに環状に配置された前記複数の研削砥石の外径は、前記第１の研削ホイールに環状に配置された前記複数の研削砥石の外径よりも小さい、請求項１の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを研削する研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
円板状の板状ワークを研削する研削方式には、板状ワーク全体を薄く研削する研削方式と、板状ワークの外周部分を残して研削することにより中央部分に円形凹部を形成するとともに外周部分に環状凸部を形成する研削方式とがある。いずれの研削方式においても、研削手段の回転軸と保持テーブルの回転軸とを平行ではなく、僅かに傾けることにより、面焼けなどの発生を防いでいる。このため、板状ワークを保持する保持テーブルの保持面をあらかじめ研削することにより、研削砥石の研削面と保持テーブルの保持面とを平行とし、その状態で板状ワークを研削することで、板状ワークの厚さが均一になるようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−６０４７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、板状ワーク全体を薄く研削する場合と、外周部分を残して研削する場合とでは、研削される部分の径が異なるため、環状に配置された研削砥石の外径が異なる研削ホイールを用いる必要がある。また、研削手段の回転軸と保持テーブルの回転軸とが平行でないため、研削砥石の外径が変わると、板状ワークの厚さを均一にするために、それに対応して保持テーブルの保持面の形状も変える必要がある。
【０００５】
一方、保持面の形状を変えずに、保持テーブル又は研削砥石の回転軸を傾けることで、板状ワークの厚さを均一にしようとしても、高い精度で板状ワークの厚さを均一にすることはできない。このため、板状ワーク全体を薄く研削するための研削装置と、外周部分を残して研削するための研削装置とを別々に用意する必要がある。
【０００６】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、１つの研削装置で、板状ワーク全体を薄く研削することができるとともに、外周部分を残して研削することもでき、かつ、板状ワークの厚さを高い精度で均一にできるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る研削装置は、円板状の板状ワークを保持し、保持した板状ワークを回転させる保持テーブルと、複数の研削砥石が環状に配置された第１の研削ホイールが装着され、装着された第１の研削ホイールを回転させる第１の研削スピンドルを有し、該保持テーブルに保持された該板状ワークを研削する第１の研削手段と、複数の研削砥石が環状に配置された第２の研削ホイールが装着され、装着された第２の研削ホイールを回転させる第２の研削スピンドルを有し、該保持テーブルに保持された該板状ワークを研削する第２の研削手段と、該第１の研削手段と該保持テーブルとを研削送り方向に相対的に接近／離間させる第１の研削送り手段と、該第２の研削手段と該保持テーブルとを該研削送り方向に相対的に接近／離間させる第２の研削送り手段と、該第２の研削手段と該保持テーブルとを該保持テーブルの径方向に相対的に移動させる進退手段と、を備えた研削装置であって、該第１の研削スピンドルに装着される該第１の研削ホイールは、環状に配置された該複数の環状砥石の外径が該板状ワークの半径よりも小さく、該第１の研削手段は、該保持テーブルに保持された該板状ワークの中心を含み、該板状ワークの外周を含まない中央エリアを研削し、該第２の研削スピンドルに装着される該第２の研削ホイールは、環状に配置された該複数の環状砥石の外径が該板状ワークの半径よりも小さく、該進退手段が該第２の研削手段と該保持テーブルとを相対的に移動させて該第２の研削手段を第１の研削位置に位置付けることにより、該第２の研削手段が該板状ワークの外周を含む外周エリアを研削し、該進退手段が該第２の研削手段と該保持テーブルとを相対的に移動させて該第２の研削手段を第２の研削位置に位置付けることにより、該第２の研削手段が該板状ワークの外周を含まない中間エリアを研削する。
前記第１の研削ホイールに環状に配置された前記複数の研削砥石の外径は、前記板状ワークの半径の２分の１以上であり、前記第２の研削ホイールに環状に配置された前記複数の研削砥石の外径は、前記第１の研削ホイールに環状に配置された前記複数の研削砥石の外径以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る研削装置によれば、進退手段が第２の研削手段と保持テーブルとを第１の研削位置に位置付けることにより、板状ワーク全体を薄く研削することができ、進退手段が第２の研削手段と保持テーブルとを第２の研削位置に位置付けることにより、板状ワークの外周部分を残して研削することができる。したがって、１つの研削装置で板状ワーク全体を薄く研削することができるとともに、外周部分を残して研削することもできる。また、どちらの研削の場合も、第１の研削手段の位置は変わらないため、板状ワークを高い精度で均一の厚さに研削することができる。
第２の研削ホイールとして、研削砥石の外径が第１の研削ホイールと同じ研削ホイールを使う構成であれば、研削ホイールを２種類用意する必要がないため、在庫コストを削減することができる。
また、第２の研削ホイールとして、研削砥石の外径が第１の研削ホイールよりも小さい研削ホイールを使う構成であれば、交換頻度の高い第２の研削ホイールを交換する手間がかからず、作業負荷を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】研削装置を示す平面図。
【図２】薄仕上げ研削処理時における図１のＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄ線断面図。
【図３】ＴＡＩＫＯ研削処理時における図１のＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄ線断面図。
【図４】別の研削装置を示す正面図。
【図５】研削範囲を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示す研削装置１０は、円板状の板状ワーク全体を薄く研削する研削（以下、「薄仕上げ研削」という。）と、板状ワークの外周部分を残して研削することにより中央部分に円形凹部を形成し外周部分に環状凸部を形成する研削（以下、「ＴＡＩＫＯ研削」という。）との両方を、１つの研削装置で実行することができる装置である。研削装置１０は、±Ｚ方向に平行な回転軸１１９を中心として回転するターンテーブル１１と、ターンテーブル１１の上に配置された３つの保持テーブル１２ａ〜１２ｃと、固定された２つの支持部１３ａ，１３ｂと、保持テーブル１２ａ〜１２ｃに保持された板状ワークを研削する４つの研削手段１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂと、研削手段１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂを±Ｚ方向に移動させることにより各研削手段を保持テーブル１２ａ〜１２ｃに対して接近及び離間させる４つの研削送り手段１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂと、研削手段１５ａ，１５ｂを±Ｘ方向に移動させる２つの進退手段１８ａ，１８ｂとを備える。
【００１１】
各保持テーブル１２ａ〜１２ｃは、保持面１２１ａ〜１２１ｃに載置された円板状の板状ワークを吸引して保持し、±Ｚ方向に平行な回転軸１２９ａ〜１２９ｃを中心として、基部１２２ａ〜１２２ｃが保持面１２１ａ〜１２１ｃとともに回転することにより、保持した板状ワークを回転させる。ターンテーブル１１が回転することにより、保持テーブル１２ａ〜１２ｃは、ターンテーブル１１の円周に沿って移動し、保持した板状ワークが研削手段１４ａ，１５ａによって研削される粗研削位置と、保持した板状ワークが研削手段１４ｂ，１５ｂによって研削される仕上げ研削位置に位置付けられる。
【００１２】
各研削手段１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂは、研削スピンドルの先端に装着される研削ホイールを、回転軸１４９ａ，１４９ｂ，１５９ａ，１５９ｂを中心として回転させる。各研削手段１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂに装着される研削ホイール２１ａ，２１ｂ，２２ａ、２２ｂは、円板状の基部の下面に複数の研削砥石２１１ａ，２１１ｂ，２２１ａ，２２１ｂが環状に配設されている。
【００１３】
第１の研削送り手段１６ａが第１の研削手段１４ａを−Ｚ方向に研削送りし、第１の研削スピンドルの先端に装着され回転している第１の研削ホイール２１ａの研削砥石２１１ａを、粗研削位置に位置付けられた保持テーブル１２ａ〜１２ｃに保持された板状ワークに押し付けることにより、板状ワークの中央エリア３３（図２及び図３参照）を粗研削することができる。板状ワークの中央エリア３３とは、保持テーブル１２ａ〜１２ｃの回転軸１２９ａ〜１２９ｃ上に位置付けられた板状ワークの中心を含み、板状ワークの外周を含まない円形の領域のことである。
【００１４】
第２の研削送り手段１７ａが第２の研削手段１５ａを−Ｚ方向に研削送りし、第２の研削スピンドルの先端に装着され回転している第２の研削ホイール２２ａ研削砥石２２１ａを、粗研削位置に位置付けられた保持テーブル１２ａ〜１２ｃに保持された板状ワークに押し付けることにより、板状ワークの外周エリア３４（図２参照）あるいは中間エリア３５（図３参照）を粗研削することができる。板状ワークの外周エリア３４とは、板状ワークの外周を含み、板状ワークの中心を含まないドーナツ形の領域のことである。また、板状ワークの中間エリア３５とは、板状ワークの外周を含まず、板状ワークの中心も含まないドーナツ形の領域のことである。
【００１５】
進退手段１８ａが第２の研削手段１５ａを±Ｘ方向に進退させることにより、粗研削位置に位置付けられた保持テーブル１２ａ〜１２ｃの回転軸１２９ａ〜１２９ｃと、第２の研削手段１５ａの回転軸１５９ａとの間の距離が変化して、第２の研削手段１５ａによって研削される板状ワーク上の範囲が変化する。これにより、第２の研削手段１５ａは、板状ワークの外周エリア３４を研削することもできるし、板状ワークの中間エリア３５を研削することもできる。
【００１６】
第１の研削送り手段１６ｂが第１の研削手段１４ｂを−Ｚ方向に研削送りし、第１の研削スピンドルの先端に装着され回転している第１の研削ホイール２１ｂ研削砥石２１１ｂを、仕上げ研削位置に位置付けられた保持テーブル１２ａ〜１２ｃに保持された板状ワークに押し付けることにより、板状ワークの中央エリア３３を仕上げ研削することができる。
【００１７】
第２の研削送り手段１７ｂが第２の研削手段１５ｂを−Ｚ方向に研削送りし、第２の研削スピンドルの先端に装着され回転している第２の研削ホイール２２ｂの研削砥石２２１ｂを、仕上げ研削位置に位置付けられた保持テーブル１２ａ〜１２ｃに保持された板状ワークに押し付けることにより、板状ワークの外周エリア３４あるいは中間エリア３５を仕上げ研削することができる。
【００１８】
進退手段１８ｂが第２の研削手段１５ｂを±Ｘ方向に進退させることにより、仕上げ研削位置に位置付けられた保持テーブル１２ａ〜１２ｃの回転軸１２９ａ〜１２９ｃと、第２の研削手段１５ｂの回転軸１５９ｂとの間の距離が変化して、第２の研削手段１５ｂによって研削される板状ワーク上の範囲が変化する。これにより、第２の研削手段１５ｂは、板状ワークの外周エリア３４を研削することもできるし、板状ワークの中間エリア３５を研削することもできる。
【００１９】
図１に示した研削装置１０においては、保持テーブル１２１ａ〜１２１ｃが反時計周りに回転することにより、各保持テーブルに保持された板状ワークが粗研削位置及び仕上げ研削に順次位置付けされ、粗研削位置においては第１の研削手段１４ａ及び第２の研削手段１５ａによって粗研削され、第１の研削手段１４ｂ及び第２の研削手段１５ｂによって仕上げ研削される。以下では、粗研削された後の板状ワークが仕上げ研削される場合について説明する。なお、保持テーブル１２ａ〜１２ｃは同様に構成されるため、以下では、保持テーブル１２ａ〜１２ｃを保持テーブル１２と総称し、保持面１２１ａ〜１２１ｃを保持面１２１と総称し、基部１２２ａ〜１２２ｃを基部１２２と総称し、回転軸１２９ａ〜１２９ｃを回転軸１２９と総称する。
【００２０】
図２に示すように、第１の研削手段１４ｂの回転軸１４９ｂは、保持テーブル１２の回転軸１２９と平行ではなく、±Ｚ方向に対して僅かに傾いている。このように、第１の研削手段１４ｂの回転軸１４９ｂが傾いているため、保持テーブル１２の回転軸１２９からの距離によって、第１の研削手段１４ｂによって研削される深さが異なる。また、第２の研削手段１５ｂの回転軸１５９ｂも、保持テーブル１２の回転軸１２９と平行ではなく、±Ｚ方向に対して僅かに傾いている。第２の研削手段１５ｂの回転軸１５９ｂが傾いているため、保持テーブル１２の回転軸１２９からの距離によって、第２の研削手段１５ｂによって研削される深さが異なる。そこで、保持テーブル１２の保持面１２１には、研削される深さに応じた断面円弧状の凹凸が設けてある。保持面１２１に載置された板状ワーク３０は、吸引されることにより、保持面１２１の凹凸に沿って変形する。この状態で研削を実行することにより、中心からの距離にかかわらず、板状ワークを高い精度で均一の厚さに研削することができる。なお、図２では、仕上げ研削位置に位置する保持テーブル１２と第１の研削手段１４ｂの回転軸１４９ｂ及び第２の研削手段１５ｂの回転軸１５９ｂとの関係について図示しているが、粗研削位置に位置する保持テーブル１２と第１の研削手段１４ａの回転軸１４９ａｂ及び第２の研削手段１５ａの回転軸１５９ａとの関係も同様である。
【００２１】
図２に示すように、薄仕上げ研削を行う場合は、第１の研削手段１４ｂの研削砥石２１１ｂの軌跡の最外周が、保持テーブル１２の回転軸１２９を通るようにする。一方、第２の研削手段１５ｂは、研削砥石２２１ｂの軌跡の最外周が板状ワーク３０の外周縁を通るようにする。このときの第２の研削手段１５ｂの位置を、第１の研削位置とする。第２の研削手段１５ｂの±Ｘ方向の位置は、進退手段１８ｂが調整する。
【００２２】
このような位置関係の下で、保持テーブル１２を回転させるとともに、研削砥石２１１ｂ及び研削砥石２２１ｂを回転させながら板状ワーク３０の上面に接触させることにより、板状ワーク３０の中央エリア３３及び外周エリア３４を薄仕上げ研削することができる。また、保持面１２１は、研削砥石２１１ｂ及び研削砥石２２１ｂのそれぞれの研削面と平行に整形されているため、板状ワーク３０を均一な厚さに仕上げることができる。さらに、第１の研削手段１４ｂによる研削と第２の研削手段１５ｂによる研削とは、同時に行うことができるため、１つの研削手段のみによる研削と比較しても生産性は劣らない。なお、第１の研削手段１４ｂによる研削と第２の研削手段１５ｂによる研削とを、時間差をおいて行うこともできる。
【００２３】
図３に示すように、ＴＡＩＫＯ研削をする場合、第１の研削手段１４ｂと保持テーブル１２との位置関係は、薄仕上げ研削の場合と同じである。一方、進退手段１８ｂは、第２の研削手段１５ｂを、図２に示した薄仕上げ研削時よりも保持テーブル１２の回転軸１２９に近い位置に位置付け、研削砥石２２１ｂの軌跡の最外周が板状ワーク３０の外周縁よりも内周側に位置するようにする。このときの第２の研削手段１５ｂの位置を、第２の研削位置とする。
【００２４】
このような位置関係の下では、第１の研削手段１４ｂの研削砥石２１１ｂは、板状ワーク３０の中央エリア３３を研削し、第２の研削手段１５ｂの研削砥石２２１ｂは、板状ワーク３０の中間エリア３５を研削する。このようにして研削を行うと、中間エリア３５の外周側に環状凸部３１が残存する。環状凸部３１よりも内周側の領域である中央エリア３３と中間エリア３５は、研削されて円形凹部３２となる。保持面１２１は、研削砥石２１１ｂ及び研削砥石２２１ｂのそれぞれの研削面と平行に整形されているため、円形凹部３２を均一な厚さに仕上げることができる。また、第１の研削手段１４ｂによる研削と第２の研削手段１５ｂによる研削とは、同時に行うことができ、１つの研削手段のみによる研削と比較しても生産性は劣らない。なお、第１の研削手段１４ｂによる研削と第２の研削手段１５ｂによる研削とを、時間差をおいて行うこともできる。
【００２５】
このように、保持テーブル１２の回転軸１２９に対する第１の研削手段１４ｂの位置や、研削手段１４ｂ，１５ｂに装着される研削ホイール２１ｂ，２２ｂの研削砥石２１１ｂ，２２１ｂの外径２１６，２２６は変えずに、第２の研削手段１５ｂの位置だけを変えることにより、１つの研削装置１０で、薄仕上げ研削とＴＡＩＫＯ研削との両方を実行することができる。
【００２６】
なお、第１の研削手段１４ｂで研削できる領域と、第２の研削手段１５ｂで研削できる領域とが重なるためには、少なくとも、第１の研削手段１４ｂに装着される第１の研削ホイール２１ｂの研削砥石２１１ｂの外径と、第２の研削手段１５ｂに装着される第２の研削ホイール２２ｂの研削砥石２２１ｂの外径との和が、板状ワーク３０の半径よりも大きいことが必要である。研削砥石２２１ｂの外径が研削砥石２１１ｂの外径よりも小さいため、研削砥石２１１ｂの外径は、板状ワーク３０の半径３０８の２分の１よりも大きいことが必要である。
【００２７】
薄仕上げ研削を行う場合とＴＡＩＫＯ研削を行う場合とで、第１の研削手段１４ｂの位置や、第１の研削手段１４ｂに装着された第１の研削ホイール２１ｂの研削砥石２１１ｂの外径を変えずに済むため、中央エリア３３において、板状ワーク３０を高い精度で均一の厚さに仕上げることができる。さらに、薄仕上げ研削とＴＡＩＫＯ研削とで第２の研削手段１５ｂの回転軸１５９ｂの傾きを変えず、研削砥石２２１ｂも変えずに済むため、中間エリア３５及び外周エリア３４においても板状ワーク３０を高い精度で均一の厚さにすることができる。
【００２８】
１回の研削を、第１の研削手段１４ｂと第２の研削手段１５ｂとの２つの研削手段を用いて行うため、１つの研削手段を用いて研削する場合と比べて、研削砥石の外径を小さくすることができる。したがって、研削スピンドルのトルクを小さくすることができ、小型のスピンドルモータを使用することができる。このため、研削手段の数が増えるにもかかわらず、研削装置１０を小型化することができる。
【００２９】
第２の研削ホイール２２ｂは、ＴＡＩＫＯ研削時に研削砥石２２１ｂの側面が板状ワーク３０と接触するため、第１の研削ホイール２１と比べて、側面の磨耗が大きくなり、交換頻度が高くなるが、第２の研削手段１５ｂに装着される第２の研削ホイール２２ｂの研削砥石２２１ｂの外径は、第１の研削手段１４ａに装着される第１の研削ホイール２１ｂの研削砥石２１１ｂの外径よりも小さいため、第２の研削ホイール２２ｂを交換する手間がかからず、作業負荷を軽減することができる。
【００３０】
なお、第２の研削手段１５ｂに装着される第２の研削ホイール２２ｂの研削砥石２２１ｂの外径は、第１の研削手段１４ａに装着される第１の研削ホイール２１ｂの研削砥石２１１ｂの外径と等しい構成であってもよい。そのような構成とすれば、２種類の研削ホイールを用意する必要がなく、交換用の研削ホイールの在庫を少なくでき、在庫コストを削減することができる。
【００３１】
粗研削用の第１の研削手段１４ａに装着される第１の研削ホイールの研削砥石２１１ａの外径は、仕上げ研削用の第１の研削手段１４ｂに装着される第１の研削ホイール２１ｂの研削砥石２１１ｂの外径と等しい。また、粗研削用の第１の研削手段１４ａの回転軸１４９ａと、粗研削位置に位置付けられた保持テーブル１２の回転軸１２９との間の距離は、仕上げ研削用の第１の研削手段１４ｂの回転軸１４９ｂと、仕上げ研削位置に位置付けられた保持テーブル１２の回転軸１２９との間の距離と等しい。さらに、粗研削用の第１の研削手段１４ａの回転軸１４９ａの傾きは、仕上げ研削用の第１の研削手段１４ｂの回転軸１４９ｂの傾きと等しい。
また、粗研削用の第２の研削手段１５ａに装着される第２の研削ホイールの研削砥石２１１ａの外径は、仕上げ研削用の第２の研削手段１５ｂに装着される第２の研削ホイール２２ｂの研削砥石２２１ｂの外径と等しい。また、薄仕上げ研削時における粗研削用の第２の研削手段１５ａの回転軸１５９ａと、粗研削位置に位置付けられた保持テーブル１２の回転軸１２９との間の距離は、薄仕上げ研削時における仕上げ研削用の第２の研削手段１５ｂの回転軸１５９ｂと、仕上げ研削位置に位置付けられた保持テーブル１２の回転軸１２９との間の距離と等しい。ＴＡＩＫＯ研削時における粗研削用の第２の研削手段１５ａの回転軸１５９ａと、粗研削位置に位置付けられた保持テーブル１２の回転軸１２９との間の距離は、ＴＡＩＫＯ研削時における仕上げ研削用の第２の研削手段１５ｂの回転軸１５９ｂと、仕上げ研削位置に位置付けられた保持テーブル１２の回転軸１２９との間の距離と等しい。更に、粗研削用の第２の研削手段１５ａの回転軸１５９ａの傾きは、仕上げ研削用の第２の研削手段１５ｂの回転軸１５９ｂの傾きと等しい。
したがって、粗研削においても、仕上げ研削と同様の効果を奏する。
【００３２】
図４に示す別の研削装置１０Ａは、板状ワークを保持する保持テーブル１２と、保持テーブル１２を所定の研削位置に位置付ける位置付け手段１１Ａと、回転軸１２９を中心として保持テーブル１２を回転させる回転機構１２３と、保持テーブル１２の傾きを調整する傾き調整機構１２４と、保持テーブル１２の上方に配置された門型コラム１３と、保持テーブル１２に保持された板状ワークを研削する２つの研削手段１４，１５と、研削手段１４，１５を±Ｚ方向に移動させる２つの研削送り手段１６，１７と、第２の研削手段１５を±Ｘ方向に移動させる進退手段１８と、研削装置１０Ａを制御する制御手段１９とを備えている。
【００３３】
傾き調整機構１２４が保持テーブル１２の傾きを調整することにより、保持テーブル１２の回転軸１２９の向きが変化する。制御手段１９は、回転軸１２９が±Ｚ方向に対してなす角度が所定の角度となるよう、傾き調整機構１２４を制御する。
【００３４】
第１の研削手段１４は、第１の研削スピンドル１４１の先端に装着される第１の研削ホイール２１を、±Ｚ方向に平行な回転軸１４９を中心として回転させる。第１の研削手段１４に装着される第１の研削ホイール２１は、円板状の基部２１２の下面に複数の研削砥石２１１が環状に配設されている。一方、第２の研削手段１５は、第２の研削スピンドル１５１の先端に装着される第２の研削ホイール２２を、±Ｚ方向に平行な回転軸１５９を中心として回転させる。第２の研削手段１５に装着される第２の研削ホイール２２は、円板状の基部２２２の下面に複数の研削砥石２２１が環状に配設されている。
【００３５】
第１の研削手段１４に装着される第１の研削ホイール２１の研削砥石２１１の外径と、第２の研削手段１５に装着される第２の研削ホイール２２の研削砥石２２１の外径とは等しく、板状ワークの半径よりも小さい。
【００３６】
図５に示すように、第１の研削手段１４の回転軸１４９は、保持テーブル１２の回転軸１２９の−Ｘ方向に位置し、回転軸１４９と回転軸１２９との間の距離は、一定である。これに対し、第２の研削手段１５の回転軸１５９は、保持テーブル１２の回転軸１２９の＋Ｘ方向に位置し、図４に示した進退手段１８が第２の研削手段１５を±Ｘ方向に移動させることにより、回転軸１５９と回転軸１２９との間の距離は変化する。
【００３７】
薄仕上げ研削をする場合、制御手段１９は、第２の研削手段１５による研削範囲が外周エリアになる第１の研削位置に第２の研削手段１５を位置付けるよう、進退手段１８を制御する。一方、ＴＡＩＫＯ研削をする場合、制御手段１９は、第２の研削手段１５による研削範囲が中間エリアになる第２の研削位置に第２の研削手段１５を位置付けるよう、進退手段１８を制御する。このようにして、１つの研削装置１０Ａで、薄仕上げ研削と、ＴＡＩＫＯ研削との両方を実行することができ、どちらの場合も、板状ワークを高い精度で均一の厚さに研削することができる。
【００３８】
第２の研削手段１５に装着される第２の研削ホイール２２の研削砥石２２１の外径と、第１の研削手段１４に装着される第１の研削ホイール２１の研削砥石２１１の外径とが等しいため、２種類の研削ホイールを用意する必要がなく、交換用の研削ホイールの在庫を少なくでき、在庫コストを削減することができる。なお、第２の研削手段１５に装着される第２の研削ホイール２２の研削砥石２２１の外径は、第１の研削手段１４に装着される第１の研削ホイール２１の研削砥石２１１の外径よりも小さい構成であってもよい。そうすれば、第２の研削ホイール２２を交換する作業負荷を軽減することができる。
【００３９】
第１の研削手段１４で研削できる領域と、第２の研削手段１５で研削できる領域とが重なるためには、少なくとも、第１の研削手段１４に装着される第１の研削ホイール２１の研削砥石２１１の外径と、第２の研削手段１５に装着される第２の研削ホイール２２の研削砥石２２１の外径との和が、板状ワークの半径よりも大きいことが必要である。研削砥石２１１の外径と研削砥石２２１の外径とが等しいため、研削砥石２１１，２２１の外径は、板状ワークの半径の２分の１よりも大きいことが必要である。
【００４０】
また、１つの保持テーブルに保持された板状ワークを第１の研削手段と第２の研削手段とが同時に研削できる構成であれば、研削装置１０のように複数の保持テーブルがあってもよいし、研削装置１０Ａのように保持テーブルが１つだけであってもよい。
【符号の説明】
【００４１】
１０，１０Ａ  研削装置、
１１  ターンテーブル、１１Ａ  位置付け手段、１１９  回転軸
１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ  保持テーブル、
１２１，１２１ａ，１２１ｂ，１２１ｃ  保持面、
１２２，１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃ  基部、
１２３  回転機構、１２４  傾き調整機構、
１２９，１２９ａ，１２９ｂ，１２９ｃ  回転軸
１３  門型コラム、１３ａ，１３ｂ  支持部、
１４，１４ａ，１４ｂ  第１の研削手段、１４１  第１の研削スピンドル、
１４９，１４９ａ，１４９ｂ  回転軸
１５，１５ａ，１５ｂ  第２の研削手段、１５１  第２の研削スピンドル、
１５９，１５９ａ，１５９ｂ  回転軸、
１６，１６ａ，１６ｂ  第１の研削送り手段、
１７，１７ａ，１７ｂ  第２の研削送り手段、
１８，１８ａ，１８ｂ  進退手段、１９  制御手段、
２１，２１ａ，２１ｂ  第１の研削ホイール、
２２，２２ａ，２２ｂ  第２の研削ホイール、
２１１，２１１ａ，２１１ｂ，２２１，２２１ａ，２２１ｂ  研削砥石、
２１２，２１２ａ，２１２ｂ，２２２，２２２ａ，２２２ｂ  基部、
３０  板状ワーク、３１  環状凸部、３２  円形凹部、
３３  中央エリア、３４  外周エリア、３５  中間エリア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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