(57)【要約】【課題】製作が容易で小型化できる流体制御モジュールを提供する。【解決手段】流体制御モジュール１は、直線方向に配列した複数の流体制御機器を接合して構成される。流体制御機器は、上側に設けられて固定部１３〜７３を有する本体部１１〜７１と、下側に設けられて本体部１１〜７１の固定部１３〜７３が固定される基部１２〜７２とから構成される。基部１２〜７２の上流側に向いた外面には上流側管状部１２Ａ〜７２Ａが、下流側に向いた外面には下流側管状部１２Ｂ〜７２Ｂがそれぞれ突設されており、複数の流体制御機器には、基部１２〜７２の上流側に向いた外面が本体部１１〜７１の固定部１３〜７３の外面に対して内側に後退した流体制御機器が含まれている。隣接する一対の流体制御機器は、一方の上流側管状部１２Ａ〜６２Ａと他方の下流側管状部２２Ｂ〜７２Ｂとが溶接にて接合されている。【選択図】図１
2015148248.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線方向に配列した複数の流体制御機器を接合してモジュール化するとともに、一方向に流れる流体を制御する流体制御モジュールであって、
前記流体制御機器は、上側に設けられて固定部を有する本体部と、下側に設けられて前記本体部の前記固定部が固定される基部とから構成され、
前記基部の上流側に向いた外面には流体の流入路としての上流側管状部が、下流側に向いた外面には流体の流出路としての下流側管状部がそれぞれ突設されており、
複数の前記流体制御機器には、前記基部の上流側に向いた外面および下流側に向いた外面の少なくとも一方が前記本体部の前記固定部の外面に対して内側に後退した流体制御機器が含まれており、
隣接する一対の前記流体制御機器は、一方の前記上流側管状部と他方の前記下流側管状部とが溶接により接合されている
ことを特徴とする流体制御モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の流体制御モジュールにおいて、
隣接する前記流体制御機器の前記基部間には、前記上流側管状部と前記下流側管状部との接合部を覆うスペーサが取り付けられている
ことを特徴とする流体制御モジュール。
【請求項３】
請求項２に記載の流体制御モジュールにおいて、
前記スペーサの厚さは隣接する前記流体制御機器の前記基部間の間隔にほぼ等しく、前記スペーサの高さは隣接する前記流体制御機器の前記基部の高さにほぼ等しく、前記スペーサの幅は隣接する前記流体制御機器の前記基部の幅にほぼ等しい
ことを特徴とする流体制御モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の流体制御機器を直線方向に接合してモジュール化した流体制御モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造設備などにおいて、ガスなどの流体の流量や圧力等を制御する装置として、複数の流体制御機器を直線方向に接合してモジュール化した流体制御モジュールが知られている。流体制御モジュールは、例えば、ベース上に複数個並設されて用いられる。
【０００３】
従来の流体制御モジュールとして、例えば、特許文献１に記載のものが知られている。この流体制御モジュールでは、隣接する流体制御機器がこれらを跨ぐ共通のブロック状部材上にボルトで締結されている。ブロック状部材には内部流路が形成されており、内部流路の入口は上流側の流体制御機器の流出口に、流路の出口は下流側の流体制御機器の流入口に、それぞれ上下に重ねられて連通している。上流側の流体制御機器から流出した流体は、ブロック状部材の流路を通って下流側に隣接する流体制御機器に流入する。
【０００４】
上述の流体制御モジュールと異なるタイプの従来の流体制御モジュールとして、例えば、特許文献２に記載のものが知られている。この流体制御モジュールでは、各流体制御機器が共通のベースプレートにボルトで締結されている。各流体制御機器の上流側に向いた面および下流側に向いた面には流体の流入出路としての管状部が突出している。管状部の端部はフランジ状に形成されており、隣接する流体制御機器は管状部フランジ部が管継手でクランプされることで接合されている。上流側の流体制御機器の管状部から流出した流体は、下流側に隣接する流体制御機器の管状部に流入する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−９７７５２号公報
【特許文献２】実用新案登録第３１７４２１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載の流体制御モジュールでは、ブロック状部材に複雑な流路を形成することから、ブロック状部材を製作するために手間がかかり製作コストが高い。特許文献２に記載の流体制御モジュールでは、流体制御機器の側面から管状部が突出しており、流体制御モジュールの全長が長くなっている。
一方で、流体制御モジュールの全長を短くするために、管状部の長さを短くした場合には、管状部の管継手による接合が困難になってしまう。なお、管状部を溶接により接合する場合でも、管状部の長さを短くすることで溶接トーチを差し入れ難くなるため、やはりその接合が困難である。
【０００７】
本発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、製作が容易で小型化できる流体制御モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の流体制御モジュールは、直線方向に配列した複数の流体制御機器を接合してモジュール化するとともに、一方向に流れる流体を制御する流体制御モジュールであって、前記流体制御機器は、上側に設けられて固定部を有する本体部と、下側に設けられて前記本体部の前記固定部が固定される基部とから構成され、前記基部の上流側に向いた外面には流体の流入路としての上流側管状部が、下流側に向いた外面には流体の流出路としての下流側管状部がそれぞれ突設されており、複数の前記流体制御機器には、前記基部の上流側に向いた外面および下流側に向いた外面の少なくとも一方が前記本体部の前記固定部の外面に対して内側に後退した流体制御機器が含まれており、隣接する一対の前記流体制御機器は、一方の前記上流側管状部と他方の前記下流側管状部とが溶接により接合されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、複数の流体制御機器には、基部の上流側に向いた外面および下流側に向いた外面の少なくとも一方が本体部の固定部の外面に対して内側に後退した流体制御機器が含まれているので、後退した外面を有する流体制御機器と隣接する流体制御機器との間においては、基部間の間隔を確保しつつ、流体制御機器間の間隔を詰めることができる。その結果、流体制御モジュールの全長を短くすることができる。すなわち、流体制御モジュールを小型化することができる。
また、そのように流体制御モジュールの全長を短くした場合でも、基部間の間隔は確保されているので、基部間において行われる上流側管状部と下流側管状部との溶接において、溶接トーチの差し入れや取り回しを容易に行うことができる。すなわち、流体制御モジュールの製作が容易である。
【００１０】
本発明の流体制御モジュールでは、隣接する前記流体制御機器の前記基部間には、前記上流側管状部と前記下流側管状部とを覆うスペーサが取り付けられていることが好ましい。
本発明によれば、隣接する流体制御機器の基部間にスペーサが設けられるので、本体部を固定するにあたっては、固定部を基部とスペーサとに確実に固定でき、固定箇所が偏るのを防止して本体部の固定状態を良好にできる。また、上流側管状部と下流側管状部とがスペーサにより覆われるので、流体制御モジュールの審美性を向上させることができる。
【００１１】
本発明に係る流体制御モジュールでは、前記スペーサの厚さは隣接する前記流体制御機器の前記基部間の間隔にほぼ等しく、前記スペーサの高さは隣接する前記流体制御機器の前記基部の高さにほぼ等しく、前記スペーサの幅は隣接する前記流体制御機器の前記基部の幅にほぼ等しいことが好ましい。
本発明によれば、スペーサの厚さおよび高さが隣接する流体制御機器の基部間の隙間にほぼ一致するので、流体制御機器をスペーサでより強固に支持することができる。また、スペーサが隙間の大きさとほぼ一致することで、流体制御モジュールからスペーサがはみ出したりへこんだりせず、流体制御モジュールの審美性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態に係る流体制御モジュールの正面図。
【図２】流体制御モジュールの平面図。
【図３】流体制御機器の拡大図。
【図４】スペーサの全体斜視図。
【図５】変形例に係る流体制御モジュールの側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の実施形態に係る流体制御モジュール１を、図１〜図４を参照して説明する。図１および図２に記載の矢印Ａは、流体の流れ方向を示すものである。実施形態における流体は、例えば、ガスである。以下の説明において、図１における上下方向の長さを「高さ」といい、図１における左右方向の長さを「厚さ」といい、図２における上下方向の長さを「幅」という。
【００１４】
［流体モジュールの概略説明］
図１、図２において、流体制御モジュール１は、１つのベースプレート２上に２列に設けられており、各流体制御モジュール１は、直線方向に一列に配列された複数の流体制御機器を備えている。本実施形態では、流体制御モジュール１を構成する流体制御機器は、上流側から順にマニュアルバルブ１０、レギュレータ２０、圧力トランスミッタ３０、フィルタ４０、第１エアバルブ５０、マスフローコントローラ６０、および第２エアバルブ７０である。流体制御機器の種類、配列および数量は一例であり、これに限られるものではない。流体制御機器の種類、配列および数量は、流体の種類や流体制御の内容に応じて適宜変更することが可能である。
【００１５】
また、隣接する流体制御機器の間にはスペーサ３が配置されている。ベースプレート２は両端が段状に折り曲げられた金属製の板体であり、ベースプレート２には表裏を貫通する複数の貫通孔が形成されている。ベースプレート２には、貫通孔として、ベースプレート２の両端を所定の固定箇所に固定するための貫通孔２Ａの他、流体制御機器や後述するスペーサ３をベースプレート２に固定するための貫通孔（図示せず）が設けられている。
【００１６】
［流体制御機器の説明］
次に、各流体制御機器について上流側から順に説明する。
最も上流側に設けられたマニュアルバルブ１０は、流体の開閉を制御するためのものであり、上側の本体部１１と下側の基部１２とから構成されている。本体部１１の上部は回転自在のダイヤル部１１Ａとなっており、ダイヤル部１１Ａを回転させると、それに応じて内部に設けられた弁座（図示せず）が上下動し、弁の開閉が行われる。
【００１７】
レギュレータ２０は、上流側から流入した流体の圧力を設定圧まで減圧してから下流側に流出させるものであり、上側の本体部２１と下側の基部２２とから構成されている。本体部２１の上部にはダイヤル部２１Ａが回転自在に設けられており、ダイヤル部２１Ａを回転させると、それに応じて減圧の度合いが調整される。
【００１８】
圧力トランスミッタ３０は、流入した流体の圧力を電気信号（電圧または電流）に変換して外部に伝送するためのものであり、上側の本体部３１と下側の基部３２とから構成されている。
フィルタ４０は、流入した流体内に含まれている異物をエレメント（図示せず）によりろ過するためのものであり、上側の本体部４１と下側の基部４２とから構成されている。
【００１９】
第１エアバルブ５０は、上側の本体部５１と下側の基部５２とから構成されており、弁を開閉するもので、マスフローコントローラ６０等のメンテナンス時に弁を閉めて、配管内を外気から遮断する。
マスフローコントローラ６０は、流体の質量流量を計測するとともに流量制御を行うためのものであり、上側の本体部６１と下側の一対の基部６２とから構成されている。
第２エアバルブ７０は、上側の本体部７１と下側の基部７２とから構成されており、弁を開閉するもので、マスフローコントローラ６０等のメンテナンス時に弁を閉めて、配管内を外気から遮断する。
【００２０】
これらの流体制御機器は、上流側に向けて延設された上流側管状部１２Ａ，２２Ａ，３２Ａ，４２Ａ，５２Ａ，６２Ａ，７２Ａと、下流側に向けて延設された下流側管状部１２Ｂ，２２Ｂ，３２Ｂ，４２Ｂ，５２Ｂ，６２Ｂ，７２Ｂとを有している。これらのうち円管である上流側管状部２２Ａ，３２Ａ，４２Ａ，５２Ａ，６２Ａ，７２Ａの長さと、円管である下流側管状部１２Ｂ，２２Ｂ，３２Ｂ，４２Ｂ，５２Ｂ，６２Ｂの長さとは同じで、互いの突き合わせ部分がティグ溶接によって接合されている。これらの接合により、上流側管状部１２Ａから下流側管状部７２Ｂまでの一連の流路が形成される。
【００２１】
なお、上流側管状部１２Ａは、外周部に雄ねじが刻設された管継手であり、流体制御モジュール１全体の流入路として機能する。上流側管状部１２Ａには、袋ナット４が螺合され、この袋ナット４により流体制御モジュール１にガスを供給する供給管（図示せず）が接合される。下流側管状部７２Ｂも、外周部に雄ねじが刻設された管継手であり、流体制御モジュール１全体の流出路として機能する。下流側管状部７２Ｂには、袋ナット４が螺合され、この袋ナット４により流体制御モジュール１からのガスを半導体製造設備等に供給する供給管（図示せず）が接合される。
【００２２】
［流体制御機器の詳細説明］
図３の拡大図に基づき、流体制御機器の外観上の構造、ベースプレート２またはスペーサ３との固定構造について、代表してマニュアルバルブ１０、レギュレータ２０、および圧力トランスミッタ３０を以下に説明する。以下の説明によって理解できる他の流体制御機器の外観構造や固定構造については、説明を省略または簡略化する。以下の説明と異なる説明が必要な構造については、以下の説明に引き続いて説明する。
【００２３】
マニュアルバルブ１０、レギュレータ２０、および圧力トランスミッタ３０において、本体部１１，２１，３１の下端部には、角フランジ状の固定部１３，２３，３３が形成されている。固定部１３，２３，３３の四隅には、上下方向に貫通する貫通孔（図示せず）が形成されている。これらの貫通孔には、本体部１１，２１，３１を基部１２，２２，３２またはスペーサ３と締結するためのボルト５が上方から挿入される。下方からベースプレート２を貫通するボルト５により、スペーサ３および基部１２がベースプレート２に締結される。本体部１１，２１，３１が基部１２，２２，３２またはスペーサ３に固定された状態では、ガスの流れ方向に沿ったそれらの鉛直な側面同士が面一となるうえ（図２参照）、前述した上流側管状部２２Ａ，３２Ａおよび下流側管状部１２Ｂ，２２Ｂの長さが等しいことから、基部１２，２２，３２間の間隔も等しくなる。
【００２４】
固定部１３，２３，３３の構成、本体部１１，２１，３１と基部１２，２２，３２またはスペーサ３との固定構造については、フィルタ４０、第１エアバルブ５０、マスフローコントローラ６０、および第２エアバルブ７０についても同じである。
【００２５】
基部１２，２２，３２は、ブロック状部材として形成されている。基部１２，２２，３２の内部には、流体の流路である流入路８１と流出路８６とが形成されている。マニュアルバルブ１０の基部１２について代表して説明すると、流入路８１はＬ字形状の流路であり、基部１２の上流側に向いた外面８８（図１参照）から右方向に延びる水平流入路８２と、水平流入路８２と連続し上方向に基部１２の上端面まで延びる垂直流入路８３とで構成されている。流出路８６もＬ字形状の流路であり、基部１２の上端面から下方向に延びる垂直流出路８４と、垂直流出路８４と連続し基部１２の下流側に向いた外面８９まで延びる水平流出路８５とで構成されている。
【００２６】
基部１２の流入路８１の上流端は、外面８８から延設された上流側管状部１２Ａ（図１参照）の下流端と連通し、流入路８１の上向に開口した下流端は、本体部１１内に設けられた内部流路（符号省略）に連通している。また、基部１２の流出路８６の上向きに開口した上流端は、本体部１１内に設けられた別の内部流路（符号省略）に連通し、流出路８６の下流端は、外面８９から延設された下流側管状部１２Ｂの上流端と連通している。
【００２７】
同様に、基部２２，３２についても、流入路８１の上流端が外面８８から延設された上流側管状部２２Ａ，３２Ａの下流端と連通し、流入路８１の下流端および流出路８６の上流端が本体部２１，３１側と連通し、流出路８６の下流端が外面８９から延設された下流側管状部２２Ｂ，３２Ｂ（３２Ｂについては図１参照）の上流端と連通している。
【００２８】
所定間隔で設けられた流入路８１および流出路８６の間の中間位置（図３に一点鎖線で図示）は、本体部１１，２１，３１の厚さ方向の中心に対して下流側に寄せて位置している。ただし、レギュレータ２０および圧力トランスミッタ３０においては、この一点鎖線で示す中間位置は、基部２２，３２の中で厚さ方向の中心に位置する。すなわち、基部２２，３２においては、当該中間位置を下流側にずらすことで、上流側の一部を流入路８１および流出路８６に影響を及ぼすことなく、従来の基部本来の形状から削除し、この削除部分を利用してスペーサ３が配置されているのである。スペーサ３については後述する。
【００２９】
従って、基部２２，３２では、上流側に向いた外面８８は、本体部２１の固定部２３の上流側に向いた外面８７に対して内側（下流側）に後退し、互いにオフセットしている。これに対して、基部２２の下流側に向いた外面８９は、固定部２３の下流側に向いた外面９１と面一になっている。下流側が面一であるのは、固定部１３，３３および基部１２，３２でも同じである。
【００３０】
以上に説明した流入路８１、流出路８６の構成、上流側に向いた外面８７，８８がオフセットされている構成、下流側に向いた外面８９，９１が面一になっている構成については、フィルタ４０、第１エアバルブ５０、および第２エアバルブ７０でも同じである。そして、前記の基部２２，３２での削除部分が複数の流体制御機器に存在することで、全長の短い流体制御モジュール１が実現されている。
【００３１】
ところで、図１および図２に示すように、マスフローコントローラ６０の構成は、他の流体制御機器と異なる。つまり、マスフローコントローラ６０のガスの流れ方向の長さは、他の流体制御機器よりも長いために、基部６２がガスの流れ方向に間隔を空けて一対設けられている。上流側の基部６２の内部には、上流側管状部６２Ａと連通した流入路が形成され、下流側の基部６２の内部には、下流側管状部６２Ｂと連通した流出路が形成されている。また、上流側の基部６２の上流側に向いた外面は、固定部６３の上流側に向いた外面と面一である。一対の基部６２間および固定部６３で区画される領域には、長さの長いスペーサ６が配置されている。
【００３２】
［スペーサの説明］
図３では、スペーサ３のみを断面図で示している。図４は、スペーサ３の全体斜視図を示している。
図３および図４に示すように、スペーサ３は、門型のブロック状部材である。従って、スペーサ３の幅方向中心の中央には、下方に向けて開放した丸スリット３Ａが形成されている。スペーサ３は、上流側管状部２２Ａ，３２Ａおよび下流側管状部１２Ｂ，２２Ｂが丸スリット３Ａ内に収容されるように取り付けられる。スペーサ３の厚さは隣接する基部１２，２２，３２間の間隔に等しく、スペーサ３の高さは基部１２，２２，３２の高さと等しく、スペーサ３の幅は基部の幅と等しくなっている。このため、スペーサ３を取り付けると、基部１２，２２，３２間の間隔が埋まるとともに、前述したように、流体制御モジュール１の流れ方向に沿った鉛直な両側面は面一となる。
【００３３】
スペーサ３には、内周面に雌ねじが刻設された２つのボルト貫通孔３Ｂが上下に貫通して形成されている。このようなスペーサ３は、２つのボルト貫通孔３Ｂが固定部２３，３３の貫通孔およびベースプレート２の貫通孔と重なるように配置される。固定部２３，３３とスペーサ３とは、固定部２３，３３を上方から貫通し、ボルト貫通孔３Ｂの上部側に螺入されるボルト５により締結される。ベースプレート２とスペーサ３とは、下方からベースプレート２を貫通し、ボルト貫通孔３Ｂの下部側に螺入されるボルト５により締結される。
【００３４】
このようなスペーサ３は、上流側管状部２２Ａ，３２Ａ，４２Ａ，５２Ａ，６２Ａ，７２Ａの長さと、下流側管状部１２Ｂ，２２Ｂ，３２Ｂ，４２Ｂ，５２Ｂ，６２Ｂの長さとが同じであることから、隣り合う全ての流体制御機器の間で同じ大きさのものが用いられる。
【００３５】
［実施形態の効果］
本実施形態に係る流体制御モジュール１によれば、レギュレータ２０、圧力トランスミッタ３０、フィルタ４０、第１エアバルブ５０、および第２エアバルブ７０では、基部２２，３２，４２，５２，７２の上流側に向いた外面８８が本体部２１，３１，４１，５１，７１の固定部２３，３３，４３，５３，７３の外面８７に対して内側（下流側）に後退している。このため、後退分を累積した分だけ流体制御モジュール１の全長を短縮して小型化することができる。
【００３６】
また、流体制御モジュール１の全長を短縮しても、基部１２〜７２間の間隔は確保されているので、上流側管状部２２Ａ，３２Ａ，４２Ａ，５２Ａ，６２Ａ，７２Ａと下流側管状部１２Ｂ，２２Ｂ，３２Ｂ，４２Ｂ，５２Ｂ，６２Ｂとをティグ溶接する際に、溶接トーチの取り回しを容易に行うことができる。すなわち、流体制御モジュール１の製作を容易に行うことができる。さらに、基部１２〜７２の流入路８１および流出路８６はＬ字K形状の簡素な形状の内部流路なので、製作を容易に行うことができる。
【００３７】
さらに、基部１２〜７２間にはスペーサ３が取り付けられて、スペーサ３がベースプレート２と固定部２３，３３，４３，５３，７３との間の空間を埋めるので、流体制御機器の本体部２１，３１，４１，５１，７１を締結するにあたっては、固定部２３，３３，４３，５３，７３の四隅を基部２２，３２，４２，５２，７２およびスペーサ３に確実に締結できる。このため、締付箇所が偏ったりしないから、本体部２１，３１，４１，５１，７１の締結状態を良好に維持できる。
【００３８】
また、スペーサ３が上流側管状部２２Ａ，３２Ａ，４２Ａ，５２Ａ，６２Ａ，７２Ａと下流側管状部１２Ｂ，２２Ｂ，３２Ｂ，４２Ｂ，５２Ｂ，６２Ｂとを覆い隠し、スペーサ３が基部１２〜７２と同じ高さ、幅に形成されているので、スペーサ３が取り付けられると、基部１２〜７２間の隙間が体裁よく埋まり、流体制御モジュール１の下側は一つのブロックとして一体的に見える。このように、スペーサ３を取り付けることにより、流体制御モジュール１の審美性を向上させることができる。
【００３９】
そして、スペーサ３を取り付けることで、流体制御モジュール１の側面全体が均一（面一）な平面となる。このため、ガス種により加熱が必要なものにおいては、側面にヒータを装着するが、その場合、流体制御モジュール１を均熱化でき、部分的にガスが液化して漏れ出す等の不具合が生じるのを防止できる。
【００４０】
また、上述のとおり、基部１２〜７２間の間隔は等しいので、各々の基部１２〜７２間の隙間に共通のスペーサ３を取り付けることができ、部品の共通化によりコストダウンを図ることができる。
【００４１】
［変形例］
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものでなく、本考案の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
例えば、流体制御モジュール１はスペーサ３を備えていなくてもよい。図５には、スペーサ３を備えていない流体制御モジュールが示されている。スペーサ３を備えていなくても、全長を短くできること変わりなく、本発明の目的を達成することができる。また、流体制御機器の接合はティグ溶接に限られるものではなく、他の溶接方法であってもよい。
【００４２】
実施形態では、基部２２〜５２，７２の上流側に向いた外面８８が本体部２１〜５１，７１の固定部２３〜５３，７３の外面８７に対して内側に後退しているが、基部１２〜５２の下流側に向いた外面８９が固定部２３〜５３，７３の外面９１に対して内側に後退していてもよい。その場合には、それに応じて流入路８１および流出路８６間の中間位置を上流側に寄るように形成すればよい。
また、流入路８１および流出路８６に影響を及ぼさない範囲で、上流側に向いた外面および下流側に向いた外面の両方を内側に後退させてもよい。この場合、流入路８１および流出路８６の中間位置を、基部２２〜５２，７２においても、固定部２３〜５３，７３に対しても、ガスの流れ方向の中心に位置させればよい。
さらに、基部２２〜５２，７２において後退させる面は、上流側または下流側に統一されていなくてもよい。
【００４３】
実施形態では、マスフローコントローラ６０の基部６２の上流側の外面は、固定部６３の上流側の外面に対して後退していないが、そのような基部６２の外面を後退させても勿論構わない。どの流体制御機器の基部１２〜７２の外面８８を後退させるかは任意であり、全ての流体制御機器の外面８８を後退させるのが好ましいが、少なくとも１つの流体制御機器の外面８８を後退させれば本発明の目的を達成することができ、本発明に含まれる。
【００４４】
実施形態のスペーサ３の形状は門型であるが、スペーサ３の形状はこれに限られず、例えば、スペーサを左右または上下に分割する半割構造として、２つを合わせることで中央に管状部を通すための貫通孔が形成されるようなものであってもよい。
また、スペーサのボルト貫通孔３Ｂの内周面には、雌ねじが刻設されていなくともよい。その場合には、長さのより長いボルト５を用い、スペーサ３と流体制御機器とをベースプレート２に共締めすればよく、ベースプレート２の貫通孔には雌ねじが刻設されるか、ベースプレート２の下面に裏ナットを設けておけばよい。
【００４５】
また、実施形態では流体がガス（気体）であったが、水や油などの液体であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、例えば、半導体製造設備などにおいて、流体の流量を制御する装置や、流体の圧力を制御する装置などに利用できる。
【符号の説明】
【００４７】
１…流体制御モジュール、３…スペーサ、１１，２１，３１，４１，５１，６１，７１…本体部、１２，２２，３２，４２，５２，６２，７２…基部、１３，２３，３３，４３，５３，６３，７３…固定部、１２Ａ、２２Ａ，３２Ａ，４２Ａ，５２Ａ，６２Ａ，７２Ａ…上流側管状部、１２Ｂ、２２Ｂ，３２Ｂ，４２Ｂ，５２Ｂ，６２Ｂ，７２Ｂ…下流側管状部。
【図１】
2015148248.tif 000003
【図２】
2015148248.tif 000004
【図３】
2015148248.tif 000005
【図４】
2015148248.tif 000006
【図５】
2015148248.tif 000007