(57)【要約】【課題】テーブル上に保持された脆性材料基板をスクライブするスクライブ装置において、テーブルの平面度を向上させること。【解決手段】モータ１１上にフランジ１２を介してテーブル１３を固定する。フランジ１２は上面が平面を構成する円板状の部材であり、その外周部に環状突起２６及び２８を設けておく。そしてテーブル１３の上面が平坦でない場合には、環状突起２６又は２８の一部分を研磨する。そしてねじ止めによってフランジ１２の上面にテーブル１３を固定する。こうすればテーブル１３の上面の平面度を修正して平坦にすることができ、スクライブ精度を向上させることができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
脆性材料基板が設置されるテーブルと、
前記テーブルの下方に設けられたフランジと、
前記テーブルの面に平行に架設されたビームに沿って摺動自在に設けられたスライドベースと、
前記スライドベースに保持され、一端にスクライビングホイールを保持するスクライブヘッドと、を具備するスクライブ装置であって、
前記フランジは、上面が平面を構成する円板状の部材であり、その外周部に少なくとも２条の凸部を有するスクライブ装置。
【請求項２】
前記スクライブ装置は、前記脆性材料基板を回転させるモータを具備し、
前記フランジは、前記モータとテーブルとの間に取付けられたものである請求項１記載のスクライブ装置。
【請求項３】
前記フランジの少なくとも２条の凸部は、夫々前記フランジの円周方向に連続する環状突起である請求項１または２記載のスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は脆性材料基板にスクライブラインを形成するスクライブ装置に関し、特にテーブルの平面度を向上させるようにしたスクライブ装置の構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネルや液晶プロジェクタ基板等のフラットパネルディスプレイ等では、製造過程において脆性材料基板が貼り合わされた後に所定の大きさの単個のパネルに成るように分断される。この脆性材料基板の分断には、スクライブ工程とブレイク工程があり、スクライブ工程ではスクライブ装置が用いられる。
【０００３】
図１は、特許文献１，２などに示されるスクライブ装置の一例を示す概略斜視図、図２はその側面図である。このスクライブ装置１００は、移動台１０１が一対の案内レール１０２ａ、１０２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ１０３は移動台１０１と螺合している。ボールネジ１０３はモータ１０４の駆動により回転し、移動台１０１を案内レール１０２ａ，１０２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台１０１の上面にはモータ１０５が設けられている。モータ１０５はテーブル１０６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１０７はこのテーブル１０６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置の上部には、脆性材料基板１０７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１０８が設けられている。
【０００４】
スクライブ装置１００には、移動台１０１とその上部のテーブル１０６をまたぐようにブリッジ１１０がｘ軸方向に沿って支柱１１１ａ，１１１ｂにより架設されている。ブリッジ１１０は横方向にビーム１１２が設けられ、ビーム１１２には駆動部１１３が設けられる。駆動部１１３はスライドベース１１４をｘ軸方向に沿って移動させるものであって、モータ１１５とモータ１１５に連結されビーム１１２の側面の中央に回転自在に保持された送りねじ１１６から成り立っている。そして図２に示すように、スライドベース１１４にはスクライブヘッド１１７が取付けられている。スクライブヘッド１１７の下端部には、チップホルダ１１８が取付けられている。チップホルダ１１８は下部に円板状のスクライビングホイール１１９を回転可能に保持するものである。スクライブヘッド１１７の内部には、チップホルダ１１８の昇降動作を可能とする昇降部、たとえば空気圧制御されるエアシリンダや電動制御されるリニアモータなどが設けられている。スクライビングホイール１１９は脆性材料基板に適切な荷重にて圧接しながら転動してスクライブラインを形成する。
【０００５】
又図２に示すように、モータ１０５上にテーブル１０６が設けられ、モータ１０５によってテーブル１０６を回転させている。このテーブル１０６上には脆性材料基板１０７が保持されており、テーブルの回転によってスクライブする方向を変化させるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００９／１５７４４０号
【特許文献２】特開２００１−３２８８３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかるにこのような従来のスクライブ装置では、テーブルの平面度が低いとその上に搭載されている脆性材料基板、例えばガラス板の平面度にも影響する。特にガラス板が薄型の場合には可撓性が高いため、テーブルの平面度の影響を大きく受ける。テーブルは外周部分の平面度が低くなることがあり、テーブルの平面度が低いと良好なスクライブができないことがあるという問題点があった。
【０００８】
本発明はこのような従来のスクライブ装置の問題点に鑑みてなされたものであって、テーブルの平面度が低い場合にも脆性材料基板の平面度を向上できるようにすることを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この課題を解決するために、本発明のスクライブ装置は、脆性材料基板が設置されるテーブルと、前記テーブルの下方に設けられたフランジと、前記テーブルの面に平行に架設されたビームに沿って摺動自在に設けられたスライドベースと、前記スライドベースに保持され、一端にスクライビングホイールを保持するスクライブヘッドと、を具備するスクライブ装置であって、前記フランジは、上面が平面を構成する円板状の部材であり、その外周部に少なくとも２条の凸部を有するものである。
【００１０】
ここで前記スクライブ装置は、前記脆性材料基板を回転させるモータを具備し、前記フランジは、前記モータとテーブルとの間に取付けられたものとしてもよい。
【００１１】
前記フランジの少なくとも２条の凸部は、夫々前記フランジの円周方向に連続する環状突起としてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
このような特徴を有する本発明によれば、フランジの上にテーブルを配置しており、フランジには少なくとも２条の凸部を設けている。そして必要に応じて凸部の一部の領域を研磨することでテーブルの上面の平面度を向上させることができ、テーブル上の脆性材料基板を正確にスクライブすることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は従来のスクライブ装置の概略斜視図である。
【図２】図２は従来のスクライブ装置の側面図である。
【図３】図３は本発明の実施の形態のスクライブ装置の側面図である。
【図４】図４はこの実施の形態に用いられるフランジの斜視図である。
【図５】図５はフランジの部分断面図である。
【図６】図６はフランジ上のテーブルの湾曲と修正を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に本発明の実施の形態によるスクライブ装置について説明する。図３はこのスクライブ装置の側面図である。本実施の形態のスクライブ装置において、前述した従来例と同一部分は同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態によるスクライブ装置１０も、図１に示す従来のスクライブ装置１００と同様に、移動台１０１が一対の案内レール１０２ａ，１０２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ１０３は移動台１０１と螺合している。ボールネジ１０３はモータ１０４の駆動により回転し、移動台１０１を案内レール１０２ａ，１０２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。
【００１５】
次にこの実施の形態では移動台１０１の上面にはモータ１１が設けられ、モータ１１上にフランジ１２が設けられる。このフランジ１２の上部には長方形のテーブル１３が固定されている。このフランジ１２はモータ１１とテーブル１３との間に装着してねじ止めによって固定されている。フランジ１２は円形の部材であり、モータ１１の回転により中心軸に沿って回転する。テーブル１３はサブテーブル１３ａとメインテーブル１３ｂの２段から構成されている。
【００１６】
モータ１１はテーブル１３をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１４はこのテーブル１３上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。
【００１７】
さて図４はフランジ１２の斜視図、図５はその部分断面図である。これらの図に示すようにフランジ１２は円板状の部材であって、中心に貫通孔２１が設けられ、中心部からその外側に向けて一定の幅の同心円部２２を有している。同心円部２２にはモータ１１に連結するためのねじ溝２３とテーブル１３に連結するためのねじ溝２４とが所定角度の間隔を隔てて交互に設けられている。又同心円部２２の外側には幅広の環状溝２５が形成される。溝２５の外周部には環状突起２６が形成される。又環状突起２６の外側には環状溝２７が形成され、更にその外側に環状突起２８が形成されている。そして環状溝２７には一定の角度間隔でテーブル１３を連結するためのねじ溝２９が形成されている。中央の同心円部２２の上面と内側の環状突起２６、外側の環状突起２８の上面とは同一面を形成している。環状溝２５，２７は２条の環状突起２６，２８を形成するためのものである。
【００１８】
このようにモータ１１とテーブル１３の間にフランジ１２を設けておくことにより、テーブル１３の平面度が悪い場合にはフランジ１２の環状突起２６又は２８の一部分をわずかに研磨することによってテーブル１３の上面を平坦にすることができる。例えば図６（ａ）に示すようにフランジ１２の上部に配置されたテーブル１３の右側がわずかに下がっており、テーブル１３の平面度が低くなっているとする。この場合には、図６（ｂ）に示すように内周の環状突起２６の一部の領域２６ａを研磨する。そしてフランジ１２とテーブル１３とをねじ止めすることによってテーブル１３の上面の一部をわずかに湾曲させ、結果的に上面が平坦になるように修正することができる。
【００１９】
又逆にテーブル１３の端部がわずかに上昇している場合には、その上昇している部分を支持する外側の環状突起２８の一部を研磨し、その後テーブル１３をフランジ１２にねじ止めすることによってテーブル１３の上面の一部を湾曲させ、結果的に上面が平坦になるように修正することができる。
【００２０】
尚この実施の形態では突起を環状突起としているが、一定間隔毎に多数の突起を断続させた形状の凸部であってもよい。この場合にも突起となっている部分を研磨することでテーブルの上面を平坦にすることができる。
【００２１】
この実施の形態ではフランジを円形とし、その外周周辺に２条の環状突起を凸部として形成しているが、少なくとも２条の突起であればよく、突起を３条又はそれ以上としてもよい。
【００２２】
又この実施の形態では脆性材料基板を回転させるため、モータの上方にフランジを介してテーブルを配置しているが、テーブルを回転させる必要がなければ固定したフランジ上にテーブルを保持するものであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明はスクライブ装置においてテーブルの平面度が低い場合、フランジを介してテーブルの平面度を調整することができるので、脆性材料基板を精密にスクライブするスクライブ装置に好適である。
【符号の説明】
【００２４】
１０  スクライブ装置
１１  モータ
１２  フランジ
１３  テーブル
１４  脆性材料基板
２１  貫通孔
２２  同心円部
２３，２４，２９  ねじ溝
２５，２７  環状溝部
２６，２８  環状突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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