(57)【要約】【課題】 上段の流体制御機器の大きさや配置に変更があった場合でも、継手部材の取付け位置を変更せずに済み、これにより、ベース部材の変更を不要とする流体制御装置用継手部材およびこのような継手部材を備えていることでめねじのピッチの統一が可能とされた流体制御装置を提供する。【解決手段】  継手部材33は、第１通路ブロック35および第２通路ブロック36からなる。第１通路ブロック35は、第２通路ブロック36を収納する凹所42と、第１通路43とを有している。第２通路ブロック36は、斜め上方にのびて上面に開口する第２通路45を有している。第２通路ブロック36の第１通路ブロック35への配置位置として、第２通路45の上面開口が第１通路43の上面開口に近い第１の位置と、第１の位置から１８０°回転させられた位置であって第２通路45の上面開口が第１通路43の上面開口から遠い第２の位置とが選択可能とされている。【選択図】    図４
2015021524.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、下段に配置された継手部材がベース部材におねじ部材によって取り付けられる流体制御装置において使用される継手部材であって、
第１通路ブロックおよび第２通路ブロックからなり、
第１通路ブロックは、上面に対して凹まされて第２通路ブロックを収納する凹所を有するとともに、一端が凹所の底面に開口して他端が上面に開口する第１通路を有しており、
第２通路ブロックは、ライン方向の中央部が第１通路の凹所側の開口に対応するように第１通路ブロックの凹所に収納されるとともに、一端がライン方向の中央部において下面に開口して第１通路に連通し、他端がライン方向に対して斜め上方にのびて上面に開口する第２通路を有しており、
第２通路ブロックの第１通路ブロックへの配置位置として、第２通路の上面開口が第１通路の上面開口に近い第１の位置と、第１の位置から１８０°回転させられた位置であって第２通路の上面開口が第１通路の上面開口から遠い第２の位置とが選択可能とされていることを特徴とする流体制御装置用継手部材。
【請求項２】
１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、下段に配置された継手部材がベース部材におねじ部材によって取り付けられる流体制御装置において、
流体制御機器として、ラインを流れる流体の流量を調整する流量調整器と、流量調整器の流体の通路を遮断開放する遮断開放器とを備えており、
流量調整器と遮断開放器との間に配された継手部材が請求項１の継手部材とされており、
継手部材は、その第１通路ブロックが遮断開放器を、その第２通路ブロックが流量調整器を支持するようにベース部材に取り付けられていることを特徴とする流体制御装置。
【請求項３】
ベース部材に設けられるめねじのピッチが等間隔とされていることを特徴とする請求項２の流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、流体制御装置用継手部材および流体制御装置に関し、特に、「集積化流体制御装置」と称されている流体制御装置での使用に適した継手部材およびこのような継手部材を備えた流体制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置などで使用される流体制御装置においては、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数のブロック状継手部材とによって形成されており、複数のラインが、その入口および出口を同じ方向に向けて並列状に配置されることにより、パイプや管継手を介さずに流体制御装置を構成する集積化が進んでいる（特許文献１など）。
【０００３】
従来の集積化流体制御装置は、例えば図９に示すように、複数のプロセスガスライン(A)(B)(C)(D)(E)とパージガスライン(P)とを備えている。各ライン(A)(B)(C)(D)(E)(P)は、複数の細長い板状のライン支持部材(3)と方形板状の主基板(2)とによって形成されたベース部材に支持されている。
【０００４】
各ライン(A)(B)(C)(D)(E)(P)は、所定の機能を有する流体制御機器(61)(62)(63)(64)(65)(66)(67)(68)(69)(70)(71)(72)(73)(74)およびこれを支持する継手部材（図示略）がライン支持部材(3)上に載せられることにより形成されている。
【０００５】
この流体制御装置では、マスフローコントローラ(66)(73)などの流量調整器が基本構成要素として使用され、この入口側と出口側とにそれぞれ開閉弁(61)(64)(65)(67)(72)(74)およびその他の流体制御機器(62)(63)(68)(69)(70)(71)が配置される。流体制御機器(61)(62)(63)(64)(65)(66)(67)(68)(69)(70)(71)(72)(73)(74)の配置は、プロセスガスライン(A)'B)(C)(D)(E)とパージガスライン(P)とでは大きく異なっており、また、プロセスガスライン(A)'B)(C)(D)(E)間においても、一部で異なるものとなっている。
【０００６】
上記流体制御装置では、例えばある流体制御機器を入口ポートと出口ポートとの距離が大きいものに変更する場合、この流体制御機器を支持している継手部材同士の間隔が広げられ、これにより、変更される流体制御機器以外の部品は同じものを使用して対応することができる。ここで、継手部材は、ベース部材を構成するライン支持部材におねじ部材で固定されることから、ライン支持部材には、おねじ部材にねじ合わされるめねじが必要であり、流体制御機器の変更に伴って、めねじのピッチの変更が必要となる。
【０００７】
流体制御機器の配置がプロセスガスラインによって、またはプロセスガスラインとパージガスラインとで異なっていること、流量調整器の大きさが他の流体制御機器の大きさと異なることなどのため、本発明が対象とする流体制御装置においては、従来、図８に示すように、めねじ(87)のピッチが異なる複数種類（ここでは６種類）のライン支持部材(81)(82)(83)(84)(85)(86)が使用されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−２５４９００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記従来の流体制御装置において、流体制御機器の大きさを変更したり、流体制御機器の配置を変更したりする際には、めねじのピッチの変更が必要となり、元のベース部材を使用することができないために、新たにめねじを設けたベース部材が必要になり、変更に手間がかかるという問題があった。
【００１０】
この発明の目的は、上段の流体制御機器の大きさや配置に変更があった場合でも、継手部材の取付け位置を変更せずに済み、これにより、ベース部材の変更を不要とする流体制御装置用継手部材およびこのような継手部材を備えていることでめねじのピッチの統一が可能とされた流体制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明による流体制御装置用継手部材は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、下段に配置された継手部材がベース部材におねじ部材によって取り付けられる流体制御装置において使用される継手部材であって、第１通路ブロックおよび第２通路ブロックからなり、第１通路ブロックは、上面に対して凹まされて第２通路ブロックを収納する凹所を有するとともに、一端が凹所の底面に開口して他端が上面に開口する第１通路を有しており、第２通路ブロックは、ライン方向の中央部が第１通路の凹所側の開口に対応するように第１通路ブロックの凹所に収納されるとともに、一端がライン方向の中央部において下面に開口して第１通路に連通し、他端がライン方向に対して斜め上方にのびて上面に開口する第２通路を有しており、第２通路ブロックの第１通路ブロックへの配置位置として、第２通路の上面開口が第１通路の上面開口に近い第１の位置と、第１の位置から１８０°回転させられた位置であって第２通路の上面開口が第１通路の上面開口から遠い第２の位置とが選択可能とされていることを特徴とするものである。
【００１２】
１つのラインは、ベース部材に取り付けられた複数の継手部材のうちの隣り合う継手部材にまたがって配置された流体制御機器が上方からのおねじ部材によって継手部材に取り付けられることで形成される。ベース部材は、板状で、各継手部材が直接取付け可能なものとされていてもよく、ベース部材は、また、複数の細長い板状のライン支持部材が方形の主基板上に取り付けられているものとされてもよい。また、ベース部材は、方形の枠状に形成され枠体と、各ラインごとに継手部材および流体制御機器を支持する複数のライン支持部材からなるものとされてもよい。さらにベース部材は、複数のラインが１つのベース部材上に取り付けられるように、複数のめねじが並列に並べられていてもよい。
【００１３】
従来の継手部材は、通常、１つの通路ブロックで形成されている１ブロック継手部材とされており、例えば、隣り合う２つの流体制御機器の一方の出口通路と他方の入口通路とが下段に配されたＶ字状通路を有する１ブロック継手部材によって接続されている。
【００１４】
この発明の流体制御装置用継手部材は、２つの通路ブロックで形成されている２ブロック継手部材とされている。通路ブロックのうち、第２通路ブロックは、第１通路ブロックに対し、２種類の位置に配置できるようになされており、これらの位置として、第２通路の上面開口が第１通路の上面開口に近い第１の位置、すなわち、２ブロック継手部材の開口同士の距離が小の位置と、第２通路の上面開口が第１通路の上面開口から遠い第２の位置、すなわち、２ブロック継手部材の開口同士の距離が大の位置とが設定されている。
【００１５】
したがって、同じ２ブロック継手部材を使用して、異なる大きさの流体制御機器の接続が可能となる。具体的には、隣り合う２つの流体制御機器の一方の出口通路と他方の入口通路とが開口同士の距離が小の位置とされた２ブロック継手部材によって接続されている場合において、いずれか一方の流体制御機器が小さくなされて一方の出口通路の端と他方の入口通路の端との間隔を大きくする必要が生じた場合、隣り合う２つの流体制御機器の一方の出口通路と他方の入口通路とが開口同士の距離が大の位置とされた２ブロック継手部材によって接続されるようにすることで、同じ２ブロック継手部材を使用しての接続が可能となる。
【００１６】
斜め上方にのびて上面に開口する第２通路の傾斜角度および大きさは、適宜変更することができ、これによって、第１通路ブロックの大きさを同じとして、種々の流体制御器同士の接続が可能となる。
【００１７】
２ブロック継手部材は、おねじ挿通孔が形成された第２通路ブロックが第１通路ブロックにおねじ部材によって固定されることで予め１つの継手部材として形成し、他の継手部材と同様にして、２ブロック継手部材をベース部材に取り付けて、２ブロック継手部材に流体制御機器を取り付けるようにしてもよく、また、第１通路ブロックおよび第２通路ブロックに対応するおねじ挿通孔を設けておいて、おねじ部材を両通路ブロックの挿通孔に挿通して、ベース部材のめねじにねじ合わせるようにしてもよい。
【００１８】
この発明による流体制御装置は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、下段に配置された継手部材がベース部材におねじ部材によって取り付けられる流体制御装置において、流体制御機器として、ラインを流れる流体の流量を調整する流量調整器と、流量調整器の流体の通路を遮断開放する遮断開放器とを備えており、流量調整器と遮断開放器との間に配された継手部材が上記の２ブロック継手部材とされており、継手部材は、その第１通路ブロックが遮断開放器を、その第２通路ブロックが流量調整器を支持するようにベース部材に取り付けられていることを特徴とするものである。
【００１９】
流量調整器は、マスフローコントローラのような熱式質量流量制御装置であってもよく、圧力式流量制御装置であってもよい。遮断開放器は、１つの開閉弁からなるものであってもよく、２つの開閉弁（および必要に応じて他のラインとの接続に使用される部材）が１つのブロックに取り付けられることで形成されたものであってもよい。
【００２０】
流量調整器としては、規格上複数種類のサイズがあり、従来は、異なる流量調整器を有するラインに対しては、下段部材が異なる配置とされることで対応していた。上記の流体制御装置用２ブロック継手部材によると、第２通路ブロックの配置位置を変更することで、隣り合う２つの流体制御機器の一方の出口通路と他方の入口通路との距離が大および小のいずれにも対応できるので、異なる流量調整器を有するラインに対しても、同じ２ブロック継手部材で対応することができる。したがって、２ブロック継手部材の取付け位置の変更が不要であり、ベース部材に設けるめねじのピッチの変更も不要とできる。
【００２１】
２ブロック継手部材は、複数のラインのうちの全てのラインに使用されてもよく、複数のラインのうちのいくつかのラインに使用されてもよい。また、１つのラインに複数の２ブロック継手部材が使用されてもよい。
【００２２】
上記の流体制御装置において、ベース部材に設けられるめねじのピッチが等間隔とされていることが好ましい。
【００２３】
不等間隔で配置された流体制御機器の接続に際して、上記の２ブロック継手部材を使用することで、上段の流体制御機器の大きさや配置に変更があった場合でも、下段に配置された全ての継手部材の取付け位置を変更せずに済み、これにより、ベース部材の変更を不要とすることができる。そして、ベース部材に設けられるめねじのピッチが等間隔とされていることで、どのラインに対しても同じライン支持部材での対応が可能となり、ラインの組立てや変更にかかる手間を大幅に削減することができる。
【発明の効果】
【００２４】
この発明によると、第２通路ブロックの第１通路ブロックへの配置位置として、第１の位置および第２の位置のいずれかを選択することで、隣り合う２つの流体制御機器の一方の出口通路と他方の入口通路との距離が大および小のいずれにも対応できるので、上段の流体制御機器の配置や大きさが異なる場合であっても、同じ継手部材で対応することができる。したがって、継手部材の取付け位置の変更が不要であり、ベース部材に設けるめねじのピッチの変更も不要とできる。それによって、特定のベース部材（等間隔ピッチが設けられたベース部材）のみを準備しておけばよく、また、設計変更等によって流体制御機器の配置等が変更となっても、既設のベース部材（等間隔ピッチが設けられたベース部材）をそのまま流用することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
図１は、この発明による流体制御装置用継手部材および流体制御装置の第１実施形態を示す側面図である。
【図２】図２は、第１実施形態から流量調整器だけが変更された実施形態を示す側面図である。
【図３】図３は、この発明による流体制御装置の実施形態で使用されるベース部材を示す平面図である。
【図４】図４は、図１の流体制御装置用継手部材を示す拡大断面図である。
【図５】図５は、図２の流体制御装置用継手部材を示す拡大断面図である。
【図６】図６は、流体制御装置用継手部材の第１通路ブロックを示す斜視図である。
【図７】図７は、流体制御装置用継手部材の第２通路ブロックを示す斜視図である。
【図８】図８は、従来の流体制御装置で使用されるベース部材を示す平面図である。
【図９】図９は、従来の流体制御装置の１例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【００２７】
図１および図２は、複数のラインを備えた流体制御装置のうちの１つのライン(10)(11)を示している。
【００２８】
図１のライン(10)においては、上段に配された複数の流体制御機器として、手動弁(12)、フィルタ(13)、プレッシャレギュレータ(14)、入口側遮断開放器(15)、マスフローコントローラ（流量調整器）(16)および出口側遮断開放器(17)が使用されている。
【００２９】
図２のライン(11)も同様の構成であり、上段に配された複数の流体制御機器として、手動弁(12)、フィルタ(13)、プレッシャレギュレータ(14)、入口側遮断開放器(15)、マスフローコントローラ（流量調整器）(18)および出口側遮断開放器(17)が使用されている。
【００３０】
図１に示すライン(10)と図２に示すライン(11)とでは、マスフローコントローラ(16)(18)の大きさが相違しており、図１に示すライン(10)のマスフローコントローラ(16)は、その面間距離がＷ１とされており、図２に示すライン(11)のマスフローコントローラ(18)は、その面間距離がＷ２（＜Ｗ１）とされている。
【００３１】
各入口側遮断開放器(15)は、ライン間接続用継手(15b)、入口側３ポート開閉弁(15c)および入口側２ポート開閉弁(15d)がブロック状本体(15a)に取り付けられることで形成されている。
【００３２】
各マスフローコントローラ(16)(18)は、下方に開口する通路が形成された入口側張出しブロック(21)(23)および出口側張出しブロック(22)(24)を有している。
【００３３】
図１に示すライン(10)のマスフローコントローラ(16)の入口側張出しブロック(21)は、図２に示すライン(11)のマスフローコントローラ(18)の入口側張出しブロック(23)よりも大きくなされている。出口側張出しブロック(22)(24)は、互いに同じ大きさとされている。いずれの入口側張出しブロック(21)(23)も、出口側張出しブロック(22)(24)に対しては大きくなされている。
【００３４】
各出口側遮断開放器(17)は、ライン間接続用継手(17b)、出口側３ポート開閉弁(17c)および出口側２ポート開閉弁(17d)がブロック状本体(17a)に取り付けられることで形成されている。
【００３５】
各流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)は、上方から締め付けられるおねじ部材(20)によって、対応する下段のブロック状継手部材(31)(32)(33)(34)に上方に取り出し可能に取り付けられる。
【００３６】
下段の継手部材(31)(32)(33)(34)として、各ラインごとに設けられた入口側端部の管継手付きブロック状単列用継手(31)と、各ラインごとに設けられた複数のＶ字状の通路付きのブロック状単列用継手(32)と、各ラインごとに設けられてマスフローコントローラ(16)の出口側部分と出口側遮断開放器(17)の入口側部分とを支持している継手部材(33)と、出口側遮断開放器(17)の出口側部分を支持している継手部材(34)とを備えている。
【００３７】
ここで、マスフローコントローラ(16)(18)の出口側部分と出口側遮断開放器(17)の入口側部分とを支持している継手部材(33)は、この発明による継手部材であって、第１通路ブロック(35)および第２通路ブロック(36)からなる２ブロック継手部材(33)とされている。
【００３８】
各ライン(10)(11)は、図３に示すライン支持部材(19)に取り付けられており、このライン支持部材(19)としては、図１のライン(10)と図２のライン(11)とで共通のものが使用されている。各ライン支持部材(19)には、等間隔でめねじ(19a)が設けられている。これらのめねじ(19a)は、下段の継手部材(31)(32)(33)(34)を取り付けるためのもので、下段の継手部材(31)(32)(33)(34)を貫通したおねじ部材（図示略）がこれらのめねじ(19a)にねじ合わされることで、各継手部材(31)(32)(33)(34)がライン支持部材(19)に固定される。なお、図１および図２において、等間隔で設けられているめねじ(19a)のピッチが○で示されている。
【００３９】
図４および図５に２ブロック継手部材(33)の断面図が示されている。図４は、図１に示すライン(10)で使用されている状態に対応しており、図５は、図２に示すライン(11)で使用されている状態に対応している。
【００４０】
この２ブロック継手部材(33)によると、第１通路ブロック(35)は、第２通路ブロック(36)に対し、図１および図４に示す第１の位置と、第１の位置から１８０°回転させられた図２および図５に示す第２の位置とのいずれにも配置可能とされている。
【００４１】
図４および図５に示すように、第１通路ブロック(35)は、垂直断面がＬ字状の本体(41)を有しており、上面(41a)に対して凹まされて第２通路ブロック(36)を収納する凹所(42)を有している。本体(41)の上面(41a)は、他の継手部材(31)(32)(34)の上面と面一になるように形成されている。本体(41)には、一端（この例では入口側の端）が凹所(42)の底面に開口して、他端（この例では出口側の端）が上面に開口する第１通路(43)が形成されている。第１通路(43)の入口側部分(43a)は、略Ｌ字状とされ、第１通路(43)の出口側部分(43b)は、斜め上方にのびる傾斜状とされている。
【００４２】
第２通路ブロック(36)は、直方体状の本体(44)を有しており、本体(44)は、上面(44a)が第１通路ブロック(35)の本体(41)の上面(41a)と面一とされて、第１通路ブロック(35)の凹所(42)に収納されている。本体(41)のライン方向の中央部は、第１通路(43)の入口側部分(43a)の開口に対応する位置とされている。本体(44)には、ライン方向の中央部において下面に開口して第１通路(43)の入口側部分(43a)に連通するとともに、ライン方向に対して斜め上方にのびて上面に開口する第２通路(45)が形成されている。
【００４３】
第２通路ブロック(36)は、第１通路ブロック(35)に対し、上記のように、第１の位置および第２の位置のいずれかに配置可能とされている。いずれの配置位置においても、本体(44)のライン方向の中央部が第１通路(43)の入口側部分(43a)の開口に対応する位置とされていることで、第１通路(43)と第２通路(45)とが連通する。第１通路(43)および第２通路(45)の突き合わせ面には、ガスケットを配置するためのシール部(46)がそれぞれ設けられている。第１通路(43)および第２通路(45)の上面開口にもシール部(46)が設けられている。
【００４４】
第１通路ブロック(35)の本体(41)の上面(41a)には、図６に示すように、上段の出口側遮断開放器(17)のブロック状本体(17a)を取り付けるための２つのめねじ(47)が設けられている。第１通路ブロック(35)の本体(41)の上面には、また、２ブロック継手部材(33)をライン支持部材(19)に取り付けるためのボルト（おねじ部材）を挿通させる貫通孔(48)が２つ設けられている。また、第１通路ブロック(35)の本体(41)の凹所(42)の底面には、第２通路ブロック(36)を取り付けるための２つのめねじ(49)が設けられている。
【００４５】
第２通路ブロック(36)の本体(44)の上面(44a)には、図７に示すように、上段のマスフローコントローラ(16)(18)の出口側張出しブロック(22)(24)を取り付けるための２つのめねじ(50)が設けられている。また、第２通路ブロック(36)の本体(44)には、第１通路ブロック(35)の本体(41)の凹所(42)のめねじ(49)に連なる貫通孔(51)が設けられている。
【００４６】
第２通路ブロック(36)は、その貫通孔(51)に挿通されたボルト（おねじ部材）が第１通路ブロック(35)の本体(41)の凹所(42)のめねじ(49)にねじ合わされることで、第１通路ブロック(35)に一体化される。
【００４７】
２ブロック継手部材(33)は、第２通路ブロック(36)が一体化された第１通路ブロック(35)の本体(41)の貫通孔(48)に挿通されたボルトがライン支持部材(19)のめねじ(19a)にねじ合わされることで、ライン支持部材(19)に固定される。
【００４８】
図４においては、第２通路(45)の上面開口が第１通路(43)の上面開口に近い第１の位置に配置されている。この状態では、第２通路(45)は、上面開口から下面開口に向かうに連れて、入口側に近づくようになっている。また、図５においては、第２通路ブロック(36)は、第２通路(45)の上面開口が第１通路(43)の上面開口から遠い第２の位置に配置されている。この状態では、第２通路(45)は、上面開口から下面開口に向かうに連れて、出口側に近づくようになっている。
【００４９】
２ブロック継手部材(33)が図４に示す断面形状とされている状態に対応する図１のライン(10)においては、マスフローコントローラ(16)は、その面間距離Ｗ１が相対的に大きくなされており、その出口側張出しブロック(22)は、相対的に出口側（図の右側）にある。したがって、従来の流体制御装置であれば、マスフローコントローラ(16)の出口側に配置されている継手部材を出口側に移動させることで対応することになる。これに対し、この発明においては、２ブロック継手部材(33)の第２通路ブロック(36)が第１の位置に配置されることにより、マスフローコントローラ(16)の出口側張出しブロック(22)から出た流体が一旦入口側に戻ってから出口側に向かうようになされ、これにより、マスフローコントローラ(16)の面間距離Ｗ１が相対的に大きくなされていることが吸収されている。
【００５０】
一方、２ブロック継手部材(33)が図５に示す断面形状とされている状態に対応する図２のライン(11)においては、マスフローコントローラ(18)は、その面間距離Ｗ２が相対的に小さくなされており、その出口側張出しブロック(24)は、相対的に入口側（図の左側）にある。したがって、従来の流体制御装置であれば、マスフローコントローラ(18)の出口側に配置されている継手部材を入口側に移動させることで対応することになる。これに対し、この発明においては、２ブロック継手部材(33)の第２通路ブロック(36)が第２の位置に配置されるとともに、マスフローコントローラ(18)の出口側張出しブロック(24)と出口側遮断開放器(17)のブロック状本体(17a)との間の隙間が相対的に大きくなされることにより、マスフローコントローラ(18)の面間距離Ｗ２が相対的に小さくなされていることが吸収されている。
【００５１】
こうして、図１に示すライン(10)のマスフローコントローラ(16)と図２に示すライン(11)のマスフローコントローラ(18)とで大きさが異なっていることに対し、２ブロック継手部材(33)は、第２通路ブロック(36)の配置位置が変更されることで、同じものが使用されている。そして、２ブロック継手部材(33)が同じものが使用されていることにより、ライン支持部材(19)のめねじ(19a)のピッチを変更する必要はなく、図１のライン(10)と図２のライン(11)とで共通のライン支持部材(19)の使用が可能となっている。また、大きさが違うマスフローコントローラ(16)(18)に対し、同じ継手部材(31)(32)(33)(34)をその位置を変更することなく使用できることにより、ライン支持部材(19)のめねじ(19a)のピッチを等間隔とすることができる。
【００５２】
上記実施形態によると、２ブロック継手部材(33)を１つ使用することで、２種類の大きさのマスフローコントローラ(16)(18)に対応することができる。例えば、この２ブロック継手部材(33)をマスフローコントローラ(16)(18)の入口側においても使用すると、さらに２種類の大きさのマスフローコントローラに対応することができる。また、この２ブロック継手部材(33)によってプレッシャレギュレータ(14)および入口側遮断開放器(15)を支持するようにすることで、同じライン支持部材(19)を使用して、プレッシャレギュレータ(14)および／または入口側遮断開放器(15)のライン方向の寸法を変更することもできる。
【００５３】
２ブロック継手部材(33)を他の部分で使用するに際しては、第１通路ブロック(35)の形状を同じとして、第２通路ブロック(36)に設けられている斜め上方にのびて上面に開口する第２通路(45)の傾斜角度および大きさだけを変更するようにしてもよく、また、第１通路ブロックおよび第２通路ブロックの両方の形状および通路を変更するようにしてもよい。
【００５４】
なお、第１通路ブロック(35)の本体(41)の凹所(42)の底面の２つのめねじ(49)は、これを貫通孔としてもよく、このようにすると、上部の流体制御機器(22)を固定する長いボルト（おねじ部材）が、流体制御機器(22)、第２通路ブロック(36)および第１通路ブロック(35)を通って、ライン支持部材(19)のめねじ(19a)にねじ込まれることで、部材全部をまとめて２本のボルトで締め付けることもできる。
【符号の説明】
【００５５】
(16)(18)：マスフローコントローラ（流量調整器）、(33)：２ブロック継手部材（継手部材）、(35)：第１通路ブロック、(36)：第２通路ブロック、(41)：本体、(41a)：上面、(42)：凹所、(43)：第１通路、(44)：本体、(44a)：上面、(45)：第２通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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