(57)【要約】【課題】紫外線照射後の紫外線硬化型粘着シートからの素子の剥がれを抑制することができる電子部品の製造方法を提供する。【解決手段】紫外線硬化型粘着シート２２の粘着性を有する主面２２ａに親基板１０を貼り付ける。次いで、親基板１０を、紫外線硬化型粘着シート２２の主面２２ａに貼り付けられた状態のまま分割して、紫外線硬化型粘着シート２２の主面２２ａに貼り付けられた複数個の素子１４を形成する。次いで、主面２２ａに複数個の素子１４が貼り付けられた紫外線硬化型粘着シート２２を加温して軟化させる。次いで、紫外線硬化型粘着シート２２に紫外線を照射して、紫外線硬化型粘着シート２２の主面２２ａの粘着力を低下させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する表面と裏面とを有する親基板を複数個の素子に分割する第１の工程と、
前記複数個の素子の前記裏面を紫外線硬化型粘着シートの主面に貼り付ける第２の工程と、
前記主面に前記複数個の素子が貼り付けられた前記紫外線硬化型粘着シートを加温して、前記紫外線硬化型粘着シートの前記主面を軟化させる第３の工程と、
前記第３の工程の後に、前記紫外線硬化型粘着シートに紫外線を照射して、前記紫外線硬化型粘着シートの前記主面の粘着力を低下させる第４工程と、
を備えたことを特徴とする、電子部品の製造方法。
【請求項２】
前記第１及び第２の工程は、前記親基板の前記裏面を、前記紫外線硬化型粘着シートの前記主面に貼り付けられた状態のまま分割して、前記紫外線硬化型粘着シートの前記主面に貼り付けられた前記複数個の素子を形成することを特徴とする、請求項１に記載の電子部品の製造方法。
【請求項３】
前記第１の工程は、前記親基板の前記表面に複数の溝を前記裏面に至らないように形成する工程と、前記親基板の前記表面に保護テープを貼った状態のままで、前記親基板の前記裏面側を前記複数の溝に達するまで研削して前記複数個の素子に分割する工程とを含むことを特徴とする、請求項１に記載の電子部品の製造方法。
【請求項４】
前記第３の工程は、前記主面に前記複数個の素子が貼り付けられた前記紫外線硬化型粘着シートを加温した後に、前記紫外線硬化型粘着シートの前記主面と前記複数の素子の前記裏面との接触面積を増加させるように、前記複数の素子を押圧する工程を含むことを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の電子部品の製造方法。
【請求項５】
前記第３の工程において、前記紫外線硬化型粘着シートの変質点の温度より２０℃以上低い温度で加温することを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載の電子部品の製造方法。
【請求項６】
前記第３の工程において、前記紫外線硬化型粘着シートを、５０℃以下の温度で１０秒以上の条件で加温することを特徴とする、請求項１から５のいずれか１項に記載の電子部品の製造方法。
【請求項７】
前記第３の工程において、前記紫外線硬化型粘着シートを、略４５℃で略１分以上の条件で加温することを特徴とする、請求項１から６のいずれか１項に記載の電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の製造方法に関し、詳しくは、紫外線硬化型粘着シートを用いた電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品を製造する際に、紫外線硬化型粘着シートが用いられている。
【０００３】
例えば図３の断面図に示すように、親基板を紫外線硬化型粘着シート８０に貼付けてレーザスクライブ溝を形成することによって、親基板を素子１に個片化した後、エクスパンド装置９１を用いて紫外線硬化型粘着シート８０を延伸して、隣接する素子１の間隔を広げる。このとき、ヒーターパネル９３で紫外線硬化型粘着シート８０を５０℃以上に加熱することによって、紫外線硬化型粘着シート８０は軟化し延伸しやすくなる。その後、紫外線を照射して、紫外線硬化型粘着シート８０の粘着力を低下させ、素子１を取り出す（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−４６５８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
紫外線硬化型粘着シートを用いて親基板を保持し、個片化後に紫外線を照射して、紫外線硬化型粘着シートの粘着力を低下させて素子を取り出す場合、紫外線照射後の素子保持力はごく小さい。そのため、素子は、所定の操作によって紫外線硬化型粘着シートから剥がされる前に、紫外線照射後の紫外線硬化型粘着シートから剥がれてしまうことがある。
【０００６】
特に、紫外線硬化型粘着シート側からピン等で素子を突き上げてピックアップするような場合には、紫外線硬化型粘着シートのたわみによって周辺の素子が剥がれて、位置がずれやすい。紫外線硬化型粘着シートから剥がれた素子は、不良品として廃棄されるだけでなく、ピックアップノズルと正規位置の素子との間に入り込んで素子を割ったり、設備の可動部に入り不具合を起こすなど、別の不具合を引き起こす要因にもなる。
【０００７】
本発明は、かかる実情に鑑み、紫外線照射後の紫外線硬化型粘着シートからの素子の剥がれを抑制することができる電子部品の製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品の製造方法を提供する。
【０００９】
電子部品の製造方法は、（ｉ）互いに対向する表面と裏面とを有する親基板を複数個の素子に分割する第１の工程と、（ii）前記複数個の素子の前記裏面を紫外線硬化型粘着シートの主面に貼り付ける第２の工程と、（iii）前記主面に前記複数個の素子が貼り付けられた前記紫外線硬化型粘着シートを加温して、前記紫外線硬化型粘着シートの前記主面を軟化させる第３の工程と、（iv）前記第３の工程の後に、前記紫外線硬化型粘着シートに紫外線を照射して、前記紫外線硬化型粘着シートの前記主面の粘着力を低下させる第４工程と、
を備える。
【００１０】
上記方法によれば、第３の工程において、紫外線硬化型粘着シートの粘着性を有する主面は素子の微小凹凸に沿って軟化し、素子の微小凹凸に形状が追従する。次いで、第４の工程において紫外線が照射されることによって、紫外線硬化型粘着シートの粘着性を有する主面は、粘着力は低下するが、素子の微小凹凸に追従する形状のまま硬化するため、アンカー効果によって、素子の剥がれを抑制することができる。
【００１１】
好ましくは、前記第１及び第２の工程は、前記親基板の前記裏面を、前記紫外線硬化型粘着シートの前記主面に貼り付けられた状態のまま分割して、前記紫外線硬化型粘着シートの前記主面に貼り付けられた前記複数個の素子を形成する。
【００１２】
この場合、複数個の素子を整列させた状態で、素子の剥がれを抑制することができる。
【００１３】
好ましくは、前記第１の工程は、前記親基板の前記表面に複数の溝を前記裏面に至らないように形成する工程と、前記親基板の前記表面に保護テープを貼った状態のままで、前記親基板の前記裏面側を前記複数の溝に達するまで研削して前記複数個の素子に分割する工程とを含む。
【００１４】
この場合、研削において、親基板の表面が保護テープで守られるため、親基板の表面の損傷を抑制できる。
【００１５】
好ましくは、前記第３の工程は、前記主面に前記複数個の素子が貼り付けられた前記紫外線硬化型粘着シートを加温した後に、前記紫外線硬化型粘着シートの前記主面と前記複数の素子の前記裏面との接触面積を増加させるように、前記複数の素子を押圧する工程を含む
【００１６】
この場合、紫外線硬化型粘着シートの粘着性を有する主面は、素子の微小凹凸により追従する。
【００１７】
好ましくは、前記第３の工程において、前記紫外線硬化型粘着シートの変質点の温度より２０℃以上低い以下の温度で加温する。
【００１８】
この場合、粘着シートの変質による劣化を抑制できる。
【００１９】
好ましくは、前記第３工程において、前記紫外線硬化型粘着シートを、５０℃以下の温度で１０秒以上の条件で加温する。
【００２０】
この場合、紫外線硬化型粘着シートの粘着剤が変質することなく、紫外線硬化型粘着シートが軟化し、紫外線硬化型粘着シートの形状が素子の微小凹凸に追従するため、硬化後の紫外線硬化型粘着シートからの素子の剥がれを抑制する効果を得ることができる。
【００２１】
より好ましくは、前記第３工程において、前記紫外線硬化型粘着シートを、略４５℃で略１分以上の条件で加温する。
【００２２】
この場合、紫外線硬化型粘着シートの粘着剤が変質を開始することなく、紫外線硬化型粘着シートは軟化し、紫外線硬化型粘着シートの形状が素子の微小凹凸に十分に追従するため、硬化後の紫外線硬化型粘着シートからの素子の剥がれを抑制する効果が高い。
【００２３】
なお、略４５℃とは、４５±５℃であり、好ましくは、４５±２℃である。略１分とは、１±０．５分（３０〜９０秒）であり、好ましくは、１±０．２５分（４５〜７５秒）である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、紫外線照射後の紫外線硬化型粘着シートからの素子の剥がれを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】電子部品の製造工程を示す断面図である。（実施例１）
【図２】電子部品の製造工程を示す要部拡大断面図である。（実施例１）
【図３】電子部品の製造工程を示す断面図である。（従来例１）
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２７】
＜実施例１＞  実施例１の電子部品の製造方法について、図１及び図２を参照しながら説明する。図１は、電子部品の製造工程を示す断面図である。図２は、電子部品の製造工程を示す要部拡大断面図である。
【００２８】
電子部品は、以下の（１）〜（５）の工程に従って、製造する。
【００２９】
（１）まず、図１（ａ）に示すように、紫外線硬化型粘着シート２２（以下、「粘着シート２２」ともいう。）の粘着性を有する主面である表面２２ａに、親基板であるシリコン（Ｓｉ）やタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）などのウエハ１０の表面１０aを貼り付けて、ウエハ１０を保持する。このとき、粘着シート２２の表面２２ａに、リング状ないし枠状のフレーム２０を貼り付け、ウエハ１０をフレーム２０の略中央に配置すると、その後の取り扱いが容易になり、好ましい。粘着シート２２の表面２２ａには、紫外線が照射されると粘着力が低下する粘着剤が塗布されている。
【００３０】
（２）次いで、図１（ｂ）に示すように、粘着シート２２を（フレーム２０が貼り付けられている場合は、フレーム２０が貼り付けられた状態のまま）ダイシング装置やスクライブ装置に取り付けて、ウエハ１０を分割して複数個の素子１４に個片化する。すなわち、粘着シート２２の表面２２ａに、個片化された複数個の素子１４が貼り付いている状態にする。
【００３１】
（２'）いわゆる先ダイシングプロセスの場合は、図２（ａ）に示すようにウエハ１０の表面１０ａに溝１２を形成した後に、図２（ｂ）に示すように、ウエハ１０の表面１０ａに保護テープ４０を貼ってウエハ１０の裏面１０ｂ側を研削する。図２（ｃ）に示すように、溝１２に達するまでウエハ１０を研削することによって、ウエハ１０の薄化と個片化を行う。次いで、フレーム２０に粘着シート２２の粘着性を有する表面２２ａを貼り付けた後、図２（ｄ）に示すように、粘着シート２２の粘着性を有する表面２２ａに、個片化された素子１４の裏面１４ｂを貼り付けてから、図２（ｅ）に示すように、ウエハ１０の表面１０ａに貼り付けられていた保護テープ４０を剥がす。これで上記（２）と同じ状態になる。
【００３２】
（３）次いで、図１（ｃ）に示すように、個片化された複数個の素子１４が貼り付いている状態の粘着シート２２を、加温したホットプレート２４に載置し、粘着シート２２の表面２２ａの粘着剤を軟化させ、素子１４の表面１４aの形状になじませる。このとき、素子１４を上から押圧し、粘着シート２２の粘着性を有する表面２２ａが、強制的に、素子１４の裏面１４ｂの形状になじむようにしても構わない。
【００３３】
ただし、粘着シート２２の温度が５５℃以上になると、粘着シート２２の表面２２ａの粘着剤が変質（例えば、ガラス転移点７０〜９０℃）を生じ始めるため、５０℃以下に保つことが望ましく、工程安定性あるいは運搬などでの作業の安全性を考えると４５℃程度がより望ましい。
【００３４】
一方、粘着剤の軟化と形状追従には、ある程度の時間が必要である。次の表１に、紫外線硬化型粘着シート２２にデンカアドテックスのＵＤＶ−８０Ｊを用い、４５℃に加温したホットプレートに載置した時間と、後述する紫外線照射後のピックアップ工程での素子剥がれ率（素子総個数に対する不所望の剥がれが生じた素子個数の割合）とを調べた実験結果を示す。このとき、加温の温度が、紫外線硬化型粘着シート２２の変質点より低いことが好ましい。具体的には、紫外線硬化型粘着シート２２のガラス転移点の温度より２０℃以上低いことが好ましい。
【表１】
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【００３５】
表１から、ホットプレートに載置した時間が１０秒でも素子の剥がれ抑制効果が出始めているが、１分以上で効果が高く安定していることが分かる。なお、１０分ではさらに効果が高いが、生産性面なども考慮して載置時間を１〜１０分の範囲で管理することが望ましい。
【００３６】
（４）次いで、図１（ｄ）において矢印２６で示すように、粘着シート２２に紫外線を照射し、粘着シート２２の表面２２ａの粘着剤を硬化させて、表面２２ａの粘着力を低下させる。
【００３７】
（５）次いで、図１（ｅ）に示すように、粘着シート２２をピックアップ装置に取り付け、各素子１４を粘着シート２２の裏面２２ｂ側から、矢印３１で示すようにピン３０で突き上げるとともに、粘着シート２２の表面２２ａ側から、素子１４をノズル３２で吸引することによって、素子１４を取り出し、テーピングや基板実装を行う。
【００３８】
以上のように、紫外線を照射する工程（４）の前に、粘着シート２２を加温する工程（３）を追加することにより、粘着シート２２の表面２２ａの粘着剤が柔らかくなって、粘着剤が素子１４の裏面１４ｂの微小凹凸に追従し食い込む、あるいは素子１４の表面１４ａと裏面１４ｂとに接続する側面に接触する。これによって、粘着シート２２と素子１４の裏面１４ｂとの接触面積が増加する。そして、紫外線を照射する工程（４）によって、粘着シート２２の表面２２ａの粘着剤は、素子１４の表面１４ａの微小凹凸に食い込んだ状態のまま硬化する。そのため、硬化した粘着剤のアンカー効果により、粘着シート２２の表面２２ａの粘着剤が硬化して粘着力が低下した後も、粘着シート２２は素子１４に対する一定の保持力を持つ。その結果、その後のピックアップ工程で周辺の素子が剥がれるなど、不所望の素子の剥がれが抑制され、歩留まり向上や設備の安定稼働を達成することができる。なお、紫外線照射後の粘着シート２２の保持力自体は小さいため、ピール試験等では測定誤差と区別できず、差異が見られなかった。
【００３９】
＜まとめ＞  以上に説明したように、外線硬化型粘着シートに紫外線を照射して粘着力を低下させる前に、粘着シートを加温して粘着剤を軟化させることによって、紫外線照射後の外線硬化型粘着シートからの素子の剥がれを抑制することができる。
【００４０】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  ウエハ（親基板）
１０ａ  表面
１０ｂ  裏面
１２  溝
１４  素子
１４ａ  表面
２０  フレーム
２２  紫外線硬化型粘着シート
２２ａ  表面（粘着性を有する主面）
２２ｂ  裏面
２４  ホットプレート
３０  ピン
３２  ノズル
４０  保護テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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