(57)【要約】【課題】本発明は、冷却装置において、製造バラツキや外力の影響を軽減し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持することを目的とするものである。【解決手段】発熱体２を設置する受熱板１０を備えた受熱部３、放熱経路５、放熱部４、帰還経路６を順に連結して前記作動流体の循環経路を形成するとともに、前記帰還経路６の前記受熱部３近傍または前記受熱部３内に逆止弁１３を介在させ、前記逆止弁１３下流に導入管１４と、前記導入管１４と前記受熱板１０との間に前記作動流体が流通可能な隙間１５を有し、前記隙間１５の間隔を保持するための支持部１６を設ける構成とした。【選択図】図３
2015183903.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動流体の相変化によって冷却する冷却装置において、発熱体を設置する受熱板を備えた受熱部、放熱経路、放熱部、帰還経路を順に連結して前記作動流体の循環経路を形成するとともに、前記帰還経路の前記受熱部近傍または前記受熱部内に逆止弁を介在させ、前記逆止弁下流に導入管と、前記導入管と前記受熱板との間に前記作動流体が流通可能な隙間を有し、前記隙間の間隔を保持するための支持部を設けたことを特徴とした冷却装置。
【請求項２】
前記支持部は、前記導入管の前記受熱板と対向する端面に設けられた一つまた複数の突出する突起としたことを特徴とした請求項１記載の冷却装置。
【請求項３】
前記支持部は、前記受熱板の前記導入管と対向する面に設けられた一つまた複数の突出する突起としたことを特徴とした請求項１記載の冷却装置。
【請求項４】
前記突起の水平断面形状は円形をしていることを特徴とした請求項２または３記載の冷却装置。
【請求項５】
前記受熱部は、前記受熱部と前記放熱経路とを接続する排出口を備え、前記突起とその突起に隣接する他の突起の間に作動流体が流通可能な開口を備えたものであって、前記排出口側半分に配置する前記開口の総面積を、前記排出口とは反対側半分に配置する前記開口の総面積よりも大きくしたことを特徴とした請求項２〜４記載の冷却装置。
【請求項６】
請求項１〜５いずれか一つに記載の冷却装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、大規模集積回路（ＬＳＩ）、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ）等の電子部品を搭載した電子機器の冷却装置およびこれを搭載した電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の冷却装置は、以下のような構成となっていた。
【０００３】
すなわち、受熱部と、この受熱部の排出口と放熱経路を介して接続した放熱部と、この放熱部と前記受熱部の流入口とを接続する帰還経路とを備え、前記受熱部は、発熱体に接触させて熱を吸収する受熱板と、この受熱板の表面を覆うとともに表面に流れ込んだ冷媒を蒸発させる受熱空間を形成する受熱カバーとを備え、前記帰還経路には、前記流入口に凝縮して停留した前記冷媒の水頭圧と前記帰還経路内と前記受熱空間内との圧力バランスによって開動する逆止弁と、前記流入口の上流側には、凝縮した前記冷媒を前記逆止弁の上流側に停留させる流入管を備え、前記受熱空間において、前記受熱板は、中心に冷媒流入部と、この冷媒流入部の外周に向けて放射状の溝を設けた拡散板を備え、前記流入口から前記冷媒流入部に向けて延設し、凝縮した冷媒を流入させる導入管を備え、前記受熱部の受熱板は、略鉛直方向に配置され、前記導入管は、前記受熱板に対して略垂直方向に配置され、前記導入管と前記受熱部との間に前記作動流体が流通可能な隙間を備える構成となっていた。
【０００４】
例えば、これに類似する先行文献として下記特許文献１参照。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４９７８４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に示された冷却装置は、作動流体である冷媒を循環し液相と気相の相変化によって冷却する冷却装置である。逆止弁を解して導入管内に供給される液体状態の冷媒が受熱板に接触することで冷媒が気化し、導入管内の気化した冷媒と液体状態の冷媒が、導入管と受熱板との僅かな隙間から受熱部内に拡散し、結果として受熱板上に液体状態の冷媒が流動しながら薄膜を形成することで飛躍的に熱伝達率を向上させたものである。しかしながら、仮に、導入管と受熱板との僅かな隙間が、設計寸法よりも小さくなり略閉塞状態となった場合、受熱部への冷媒供給量が減少し、冷却性能が低下するという課題を有していた。すなわち、特許文献１に示された冷却装置において、安定して飛躍的に熱伝達率を向上させるためには、導入管と受熱板との僅かな隙間が長期間保持されることが重要となる。
【０００７】
しかしながら、導入管と受熱板との僅かな隙間の間隔は、製造誤差によりバラツキ、設計通りの性能を確保することが困難である。また、製造時に設計通りの性能を確保することができても、隙間の間隔を長期間保持するにあたり、仮に、受熱部に外部から力が加わり受熱部が変形した場合、導入管と受熱部との僅かな隙間が潰されることで、その隙間が略閉塞状態になると、受熱部への冷媒供給量が著しく低下し、冷却性能が大幅に低下し、かつ動作が不安定になるという課題があった。
【０００８】
そこで、本発明は、上記の課題を解決するものであり、製造誤差によるバラツキと受熱部に対する外力の影響を軽減し、導入管と受熱板との最適な隙間を長期間保持し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持できる冷却装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そして、この目的を達成するために、本発明は、作動流体の相変化によって冷却する冷却装置において、発熱体を設置する受熱板を備えた受熱部、放熱経路、放熱部、帰還経路を順に連結して前記作動流体の循環経路を形成するとともに、前記帰還経路の前記受熱部近傍または前記受熱部内に逆止弁を介在させ、前記逆止弁下流に導入管と、前記導入管と前記受熱部との間に前記作動流体が流通可能な隙間を有し、前記隙間の間隔を保持するための支持部を設けたことを特徴とする冷却装置であり、これにより所期の目的を達成するものである。
【発明の効果】
【００１０】
以上のように本発明の冷却装置は、作動流体の相変化によって冷却する冷却装置において、発熱体を設置する受熱板を備えた受熱部、放熱経路、放熱部、帰還経路を順に連結して前記作動流体の循環経路を形成するとともに、前記帰還経路の前記受熱部近傍または前記受熱部内に逆止弁を介在させ、前記逆止弁下流に導入管と、前記導入管と前記受熱部との間に前記作動流体が流通可能な隙間を有し、前記隙間の間隔を保持するための支持部を設けたことを特徴とする冷却装置である。
【００１１】
仮に、導入管と受熱部との間に支持部を設けていない場合、製造誤差によるバラツキ、すなわち、導入管を受熱部に組付ける工程にて、組付金具によって導入管を受熱部に締め付けて固定する際に、締め付けバラツキなどによって導入管が受熱部から僅かに浮き、導入管と受熱板との隙間の間隔が小さくなり、受熱部への冷媒供給量が減少し、冷却性能が低下し、動作も不安定となる。また、受熱部に外部から力が加わった場合、導入管と受熱部との僅かな隙間が潰され、その隙間が略閉塞状態になると、受熱部への冷媒供給量が著しく低減し、冷却性能が大幅に低下し、かつ動作が不安定になる。
【００１２】
本発明によれば、導入管と受熱部との間に支持部を設けることで、冷却装置の製造において導入管を受熱部に組付け際に組付金具の締め付けバラつきが発生した場合において、導入管と受熱板との隙間を支持部が保持することができ、受熱部に外部から力が加わった場合においても、導入管と受熱部との僅かな隙間を支持部が保持することができるので、冷媒が適切な流量で受熱部へ供給することができ、導入管と受熱板との最適な隙間を長期間保持し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持できる冷却装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態１の冷却装置を搭載した電子機器の概略図
【図２】同冷却装置の受熱部の構成を示す図
【図３】（ａ）同冷却装置の受熱部のＡ−Ａ‘断面を示す図、（ｂ）同冷却装置の受熱部のＢ−Ｂ‘断面を示す図
【図４】（ａ）同冷却装置の受熱部のＣ−Ｃ‘断面を示す図、（ｂ）同冷却装置の受熱部のＤ拡大図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の冷却装置は、作動流体の相変化によって冷却する冷却装置において、発熱体を設置する受熱板を備えた受熱部、放熱経路、放熱部、帰還経路を順に連結して前記作動流体の循環経路を形成するとともに、前記帰還経路の前記受熱部近傍または前記受熱部内に逆止弁を介在させ、前記逆止弁下流に導入管と、前記導入管と前記受熱部との間に前記作動流体が流通可能な隙間を有し、前記隙間の間隔を保持するための支持部を設ける構成とすることにより、導入管と受熱板との僅かな隙間を長期間保持し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持できる冷却装置を提供するものである。
【００１５】
仮に、導入管と受熱部との間に支持部を設けていない場合、製造誤差によるバラツキ、すなわち、導入管を受熱部に組付ける工程にて、組付金具によって導入管を受熱部に締め付けて固定する際に、締め付けバラツキなどによって導入管が受熱部から僅かに浮き、導入管と受熱板との隙間の間隔が小さくなり、受熱部への冷媒供給量が減少し、冷却性能が低下し、動作も不安定となる。また、受熱部に外部から力が加わった場合、導入管と受熱部との僅かな隙間が潰され、その隙間が略閉塞状態になると、受熱部への冷媒供給量が著しく低減し、冷却性能が大幅に低下し、かつ動作が不安定になる。
【００１６】
本発明によれば、導入管と受熱部との間に支持部を設けることで、冷却装置の製造において導入管を受熱部に組付け際に組付金具の締め付けバラツキが発生した場合において、導入管と受熱板との隙間を支持部が保持することができ、受熱部に外部から力が加わった場合においても、導入管と受熱部との僅かな隙間を支持部が保持することができるので、冷媒が適切な流量で受熱部へ供給することができ、導入管と受熱板との最適な隙間を長期間保持し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持できる冷却装置を提供することができる。
【００１７】
また、支持部は、導入管の受熱板と対向する端面に設けられた一つまた複数の突出する突起とした、という構成にしてもよい。これにより、導入管と受熱板との隙間が導入管の端面に設けられた突起によって保持され、製造誤差によるバラツキと受熱部に対する外力の影響を軽減し、導入管と受熱板との最適な隙間を長期間保持し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持できる冷却装置を提供することができる、という効果を奏する。
【００１８】
また、支持部は、受熱板の導入管と対向する面に設けられた一つまた複数の突出する突起としたこと、という構成にしてもよい。これにより、導入管と受熱板との隙間が受熱板に設けられた突起によって保持され、製造誤差によるバラツキと受熱部に対する外力の影響を軽減し、導入管と受熱板との最適な隙間を長期間保持し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持できる冷却装置を提供することができる、という効果を奏する。
【００１９】
また、突起の水平断面形状を円形にとした、という構成にしてもよい。これにより、突起は、多角形等の他の形状に対し、より小さな突起にて隙間の間隔を保持することができ、突起側面の冷媒流れと接触する面も小さくなるとともに、突起形状のなだらかな曲面が冷媒の流れを阻害しにくくなるため、導入管と受熱板との僅かな隙間から受熱部内に拡散する冷媒が突起に当たる際に生じる抵抗を少なくすることができる。また、突起の水平断面を円形とした支持部を導入管と受熱板との間に設けることで、隙間が突起によって保持され、製造誤差によるバラツキと受熱部に対する外力の影響を軽減し、導入管と受熱板との最適な隙間を長期間保持し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持できる冷却装置を提供することができる、という効果を奏する。
【００２０】
また、受熱部は、受熱部と放熱経路とを接続する排出口を備え、突起とその突起に隣接する他の突起の間に作動流体が流通可能な開口を備えたものであって、排出口側半分に配置する開口の総面積を、排出口とは反対側半分に配置する開口の総面積よりも大きくした、という構成にしてもよい。これにより、導入管と受熱板との僅かな隙間から受熱部内に拡散する冷媒が排出口に流れしやすくなるので、冷媒の流れの干渉を低減することができ、高い冷却性能を実現できる。また、導入管と受熱板との隙間が突起によって保持され、製造誤差によるバラツキと受熱部に対する外力の影響を軽減し、導入管と受熱板との最適な隙間を長期間保持し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持できる冷却装置を提供することができる、という効果を奏する。
【００２１】
また、本発明の冷却装置を搭載した電子機器という構成にしてもよい。これにより、電子機器を高い冷却性能と安定した動作で長期間冷却できるという効果を奏する。
【００２２】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１について、図面を参照しながら説明する。
【００２３】
図１は、本発明の実施の形態１の冷却装置を搭載した電子機器の概略図である。
【００２４】
図１に示すように、電子機器５０は、ケース５１内に発熱体２となる電力用半導体素子と冷却装置１とが備えられている。
【００２５】
冷却装置１は、発熱体２を冷却するための受熱部３と、放熱部４を備えており、放熱経路５と帰還経路６とにより受熱部３と放熱部４が連結されている。この構成により、冷却装置１は内部が密閉空間となり、図１では図示していないが、冷却装置１内は、減圧した上で、冷媒である作動流体が封入されている。作動流体としては、純水、エタノール、フロン類、フッ素系溶剤類などが用いられる。
【００２６】
また、冷却装置１は、放熱部４に冷媒により輸送した熱を最終的に外気に放熱するためのファン７を備えている。
【００２７】
次に、図２、図３（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。図２は本発明の実施の形態１の冷却装置１の受熱部３の構成を示す図、図３（ａ）は本発明の実施の形態１の冷却装置１の受熱部３のＡ−Ａ‘断面を示す図、図３（ｂ）は本発明の実施の形態１の冷却装置１の受熱部３のＢ−Ｂ‘断面を示す図である。
【００２８】
図３（ａ）に示すように、受熱部３は、発熱体２に接触させて熱を吸収する受熱板１０と、この受熱板１０の表面を覆うとともに表面に流れ込んだ冷媒を蒸発させる受熱空間１２を形成する受熱板カバー１１とを備えている。
【００２９】
この受熱板カバー１１には、発熱体２と対向する受熱板カバー１１の天面に冷媒の流入口８を設ける。この流入口８は、帰還経路６に接続される。これにより、放熱部４は、帰還経路６、流入口８を介して、受熱部３と接続される。
【００３０】
帰還経路６には、流入口８に凝縮して停留した冷媒の水頭圧と帰還経路６内と導入管１４内との圧力バランスによって開動する逆止弁１３を設ける。
【００３１】
さらに、受熱板カバー１１には、発熱体２と対向する受熱板カバー１１の天面の側壁に近い位置に冷媒の排出口９を設ける。この排出口９は、放熱経路５に接続される。受熱部３は、排出口９、放熱経路５を介して、放熱部４に接続される。
【００３２】
流入口８は、排出口９を設けた受熱部３の側壁と対面する側壁に沿う辺の中央付近に設ける。
【００３３】
受熱部３には、冷媒の流入口８から受熱板１０の近傍まで延びるとともに受熱板１０に対向して開口する導入管１４を設ける。また、導入管１４と受熱板１０との間には、冷媒が流通可能な隙間１５を有し、この隙間１５には、隙間１５の間隔を保持するための支持部１６を設ける。
【００３４】
受熱板１０には、受熱板１０から突出する複数の板状のフィン１７を設ける。このフィン１７の先端は、受熱板カバー１１には接しない高さとし、フィン１７の先端から受熱板カバー１１までは、空間が存在する。また、このフィンの間に冷媒流路が形成されている。
【００３５】
次に、図４（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。図４（ａ）は本発明の実施の形態１の冷却装置１の受熱部３のＣ−Ｃ‘断面を示す図、図４（ｂ）は本発明の実施の形態１の冷却装置１の受熱部３のＤ拡大図である。
【００３６】
図４に示すように、受熱部３は、流入口８と排出口９を備える。冷媒は導入管１４から受熱部３に供給し、流入口８から排出口９に向かって流れる。支持部１６は、導入管１４の受熱板１０と対向する端面に一体となって設けられた突起１８である。また、この支持部１６である突起１８の水平断面形状は円形をしている。さらに、突起１８とその突起１８に隣接する他の突起１８との間に作動流体が流通可能な開口１９を備えたものであって、排出口９側半分に配置する開口１９の総面積を、排出口９とは反対側半分に配置する開口１９の総面積よりも大きくしたものである。
【００３７】
次に、上記構成における冷却装置１の基本的な仕組みについて説明する。
【００３８】
冷却装置１は、内部を減圧した後に冷媒である作動流体を封入したものであり、冷却装置１内は、冷媒の作用により外部温度に応じた冷媒の飽和圧力となる。発熱体２の熱は受熱部３の受熱板１０を介して冷媒に伝わり、冷媒が液相から気相へと変化することで、発熱体２が冷却される。受熱部３内にて気化した冷媒は、放熱経路５を通過し放熱部４へと移動し、ファン７により冷やされ再び液化し液相の冷媒となり逆止弁１３の上流に位置する帰還経路６内部に溜まる。
【００３９】
逆止弁１３は、導入管１４の内部圧力が、帰還経路６に溜まった液相の作動流体の水頭圧よりも大きくなった場合に閉まることで、受熱部３内にて気化した作動流体が帰還経路６へ逆流することを防止する。また、逆止弁１３は、導入管１４の内部圧力よりも、帰還経路６に溜まった液相の作動流体の水頭圧が大きくなった場合に開くことで、帰還経路６から導入管１４に液相の作動流体が供給される。すなわち、導入管１４の内部圧力と帰還経路６に溜まった液相の作動流体の水頭圧とのバランスにより、自動的に受熱部３内に液相の作動流体が供給される仕組みとなっている。
【００４０】
よって、受熱部３内にて作動流体が気化し、気化した作動流体が放熱経路５を通過し放熱部４にて液化し、液化した作動流体が帰還経路６を通過し再び受熱部３内に供給されるサイクルが繰り返されることで、発熱体２を冷却している。
【００４１】
本実施の形態では、発熱体２に接する受熱板１０に受熱板１０から突出する板状のフィン１７を複数、隣接して並列に設ける。これにより、発熱体２から受熱板１０に受熱した熱をフィン１７の広い表面から放熱して冷媒に熱を伝達することができるので、効率的に発熱体２の熱を冷媒に伝達することができる。
【００４２】
受熱部３への冷媒の流入口８は、受熱板カバー１１の発熱体２の投影面の内側であり、受熱板カバー１１の一方の側壁の近傍である。なお、側壁の近傍ではあるが、側壁からある程度の距離をおいて設ける。これにより、流入口８に連結された帰還経路６から受熱部３に流入した冷媒が、拡散されるスペースを確保することができるので、冷媒を受熱板１０上に効率よく拡散して、受熱板１０からフィン１７を介して冷媒に熱を伝達することができる。
【００４３】
さらに、流入口８は、発熱体２の側壁に沿う辺の中央付近に設ける。これにより、流入口８の側壁に沿う辺の両側にスペースを確保することができるので、流入口８に連結された帰還経路６から受熱部３に流入した冷媒が、拡散されるスペースを確保することができるので、冷媒を受熱板１０上に効率よく拡散して、受熱板１０からフィン１７を介して冷媒に熱を伝達することができる。
【００４４】
受熱部３からの冷媒の排出口９は、流入口８を設けた側の側壁とは反対側の側壁の近傍に設ける。これにより、流入口８に連結された帰還経路６から流入した冷媒が、流入口８が位置する一方の側壁の近傍から、排出口９が位置する反対側の側壁の近傍までの広い範囲に流れて拡散されるので、受熱板１０からフィン１７を介して効率よく冷媒に熱を伝達することができる。
【００４５】
なお、排出口９は冷媒を吸い込んで放熱経路５に排出するものであるので、受熱部３の側壁から距離をおく必要はなく、できるだけ側壁に近い位置に設ける。排出口９は、流入口８のように、冷媒を拡散させるペースは必要なく、前述のとおり流入口８から距離が離れている方が効率よく熱を冷媒に伝達できるからである。
【００４６】
支持部１６は、導入管１４と受熱板１０との間の隙間１５に設ける。これにより、冷却装置の製造において導入管１４を受熱部３に組付け際に組付金具の締め付けバラツキが発生した場合において、導入管１４と受熱板１０との隙間１５を支持部１６が保持することができ、受熱部３に外部から力が加わった場合においても、導入管１４と受熱部３との僅かな隙間１５を支持部１６が保持することができるので、冷媒が適切な流量で受熱部３へ供給することができ、導入管１４と受熱板１０との最適な隙間を長期間保持し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持できる冷却装置１を提供することができる。
【００４７】
また、支持部１６は、導入管１４の受熱板１０と対向する端面に設けられた一つまた複数の突出する突起１８とした構成である。これにより、導入管１４と受熱板１０との隙間１５が導入管１４の端面に設けられた支持部である突起１８によって保持され、製造誤差によるバラツキと受熱部に対する外力の影響を軽減し、導入管１４と受熱板１０との最適な隙間を長期間保持し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持できる冷却装置１を提供することができる。
【００４８】
また、支持部１６は、水平断面形状を円形にとした突起１８であり、これにより、突起１８は、多角形等の他の形状に対し、より小さな突起にて隙間１５の間隔を保持することができ、突起１８側面の冷媒流れと接触する面も小さくなるとともに、突起１８形状のなだらかな曲面が冷媒の流れを阻害しにくくなるため、導入管１４と受熱板１０との僅かな隙間１５から受熱部３内に拡散する冷媒が突起１８に当たる際に生じる抵抗を少なくすることができる。また、突起１８の水平断面を円形とした支持部１６を導入管１４と受熱板１０との間に設けることで、隙間１５が突起１８によって保持され、製造誤差によるバラツキと受熱部に対する外力の影響を軽減し、導入管１４と受熱板１０との最適な隙間１５を長期間保持し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持できる冷却装置１を提供することができる。
【００４９】
また、受熱部３は、受熱部３と放熱経路５とを接続する排出口９を備え、突起１８とその突起１８に隣接する他の突起１８の間に作動流体が流通可能な開口１９を備えたものであって、排出口９側半分に配置する開口１９の総面積を、排出口９とは反対側半分に配置する開口１９の総面積よりも大きくした構成であり、これにより、導入管１４と受熱板１０との僅かな隙間１５、すなわち突起１８の間に形成される開口１９から受熱部３内に拡散する冷媒の割合が、排出口９側の方が多くなり、受熱空間１２内に均一に冷媒を流すことができるので、冷媒の流れの干渉を低減することができ、高い冷却性能を実現できる。また、導入管１４と受熱板１０との隙間１５が突起によって保持され、製造誤差によるバラツキと受熱部３に対する外力の影響を軽減し、導入管１４と受熱板１０との最適な隙間１５を長期間保持し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持できる冷却装置１を提供することができる。
【００５０】
本実施の形態において、支持部１６は、導入管１４の受熱板１０と対向する端面に一体となって設けられたものであるが、支持部１６が、受熱板１０の導入管１４と対向する面に設けられたものであっても、同様の作用と効果を有するものである。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
以上のように本発明にかかる冷却装置は、製造バラツキや外力による影響を軽減することで、導入管と受熱板との最適な隙間を長期間保持し、高い冷却性能と安定した動作を長期間維持するものであるので、電子機器等の冷却装置として有用である。
【符号の説明】
【００５２】
１    冷却装置
２    発熱体
３    受熱部
４    放熱部
５    放熱経路
６    帰還経路
７    ファン
８    流入口
９    排出口
１０    受熱板
１１    受熱板カバー
１２    受熱空間
１３    逆止弁
１４    導入管
１５    隙間
１６    支持部
１７    フィン
１８    突起
１９    開口
５０    電子機器
５１    ケース
【図１】
2015183903.tif 000003
【図２】
2015183903.tif 000004
【図３】
2015183903.tif 000005
【図４】
2015183903.tif 000006