(57)【要約】【課題】検出特性を向上させることが可能な角速度センサー、この角速度センサーを備えている電子機器及び移動体の提供。【解決手段】角速度センサー１は、互いに直交する３本の仮想軸を、それぞれＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸としたときに、Ｘ軸とＹ軸とで規定されるＸＹ平面に沿って、Ｚ軸方向から見てＸ軸とＹ軸との交点Ｏを中心とする円環状に延在している環部２０と、交点ＯからＸ軸とＹ軸とで区切られた４つの仮想領域のそれぞれに放射状に延びる４本の仮想線Ｌ１〜Ｌ４と環部２０との交差部のそれぞれから、環部２０の内側に延びている４本の第１腕部２１，２３，２４，２６と、Ｙ軸と環部２０との交差部のそれぞれから、Ｙ軸に沿って環部２０の内側に延びている２本の第２腕部２２，２５と、を備え、４本の第１腕部２１，２３，２４，２６が、駆動部４０であり、２本の第２腕部２２，２５が、Ｚ軸回りの角速度ωを検出する検出部６０であることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直交する３本の仮想軸を、それぞれＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸としたときに、
Ｘ軸とＹ軸とで規定されるＸＹ平面に沿って、
Ｚ軸方向から見てＸ軸とＹ軸との交点を中心とする円環状に延在している環部と、
前記交点からＸ軸とＹ軸とで区切られた４つの仮想領域のそれぞれに放射状に延びる４本の仮想線と前記環部との交差部のそれぞれから、前記環部の内側に延びている４本の第１腕部と、
Ｙ軸と前記環部との交差部のそれぞれから、Ｙ軸に沿って前記環部の内側に延びている２本の第２腕部と、を備え、
前記４本の第１腕部が、駆動部であり、
前記２本の第２腕部が、Ｚ軸回りの角速度を検出する検出部であることを特徴とする角速度センサー。
【請求項２】
請求項１に記載の角速度センサーにおいて、
前記４本の仮想線は、それぞれＸ軸またはＹ軸に対して４５度の角度であることを特徴とする角速度センサー。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の角速度センサーにおいて、
Ｚ軸方向から見て前記交点を含んで前記環部の内側に延在している基部と、
前記基部の＋Ｘ側の端部及び−Ｘ側の端部から、それぞれＸ軸上に延び、前記基部と前記環部とを接続する支持部と、を更に備えていることを特徴とする角速度センサー。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の角速度センサーにおいて、
前記４本の第１腕部は、それぞれ対応する前記仮想線上に延びていることを特徴とする角速度センサー。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の角速度センサーにおいて、
前記各構成要素の主要材料は、水晶であることを特徴とする角速度センサー。
【請求項６】
請求項５に記載の角速度センサーにおいて、
前記水晶の機械軸である結晶Ｙ軸が、前記仮想軸のＹ軸に沿っていることを特徴とする角速度センサー。
【請求項７】
請求項６に記載の角速度センサーにおいて、
前記仮想線は、それぞれＸ軸またはＹ軸に対して４５度の角度であり、
前記駆動部である前記４本の第１腕部のうち、Ｘ軸を挟んで＋Ｙ側にある２本の第１腕部は、対応する前記仮想線に対してそれぞれ＋Ｙ側に１５度の角度を有して延び、−Ｙ側にある２本の第１腕部は、対応する前記仮想線に対してそれぞれ−Ｙ側に１５度の角度を有して延びていることを特徴とする角速度センサー。
【請求項８】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の角速度センサーにおいて、
前記各構成要素の主要材料はシリコンであり、前記駆動部及び前記検出部には、圧電層が設けられていることを特徴とする角速度センサー。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の角速度センサーにおいて、
前記各腕部の先端に錘部が設けられていることを特徴とする角速度センサー。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載の角速度センサーにおいて、
前記各腕部は、前記ＸＹ平面に沿った２つの面の少なくとも一方に、前記各腕部の延在方向に沿って延びる溝部が設けられていることを特徴とする角速度センサー。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のいずれか一項に記載の角速度センサーにおいて、
前記駆動部である前記４本の第１腕部のうち、少なくとも２本の第１腕部の固有振動数が互いに異なり、少なくとも前記２本の第１腕部の前記固有振動数の異なる量が調整可能であることを特徴とする角速度センサー。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項１１のいずれか一項に記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１３】
請求項１ないし請求項１１のいずれか一項に記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、角速度センサー、この角速度センサーを備えている電子機器及び移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、角速度を検出する角速度センサーとして、リング状の圧電体の両面に駆動用電極と検出電極とを設けて振動子を構成した振動ジャイロが知られている（例えば、特許文献１参照）。
また、発振用の電極を有する第１の振動子と、角速度検出用の電極を有する第２の振動子と、支持部と、第１の振動子の振動の節と第２の振動子とを接続する第１の接合部と、第２の振動子と支持部とを接続する第２の接合部とからなり、第１の振動子と第２の振動子が同心のリング状に形成されている構成の振動ジャイロが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
特許文献１の振動ジャイロは、リング状の圧電体を用いることにより、駆動、検出周波数が低くなり、検出感度が向上することから、同一感度にすれば他の構成より小型化できるとされている。
特許文献２の振動ジャイロは、第１の接合部及び第２の接合部が、それぞれ第１の振動子及び第２の振動子の面内振動（リングの径方向の振動）の節の位置にあることから、第１の振動子及び第２の振動子の面内振動が支持部に伝わらず、支持部から外部への振動漏れのない構造であるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−３０４４９４号公報
【特許文献２】特開２００１−１１６５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１及び特許文献２の振動ジャイロは、圧電体及び振動子が面内振動する振動モードを用いていることから、圧電体及び振動子がリング状である構造的要因（例えば、電極などによりリングが幅広くなり、径方向への変形がし難い）によって面内振動が阻害され、充分な振幅を伴う駆動振動及び検出振動を得ることができない虞がある。
この結果、特許文献１及び特許文献２の振動ジャイロは、インピーダンスや角速度の検出感度などを含む検出特性に改善の余地がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる角速度センサーは、互いに直交する３本の仮想軸を、それぞれＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸としたときに、Ｘ軸とＹ軸とで規定されるＸＹ平面に沿って、Ｚ軸方向から見てＸ軸とＹ軸との交点を中心とする円環状に延在している環部と、前記交点からＸ軸とＹ軸とで区切られた４つの仮想領域のそれぞれに放射状に延びる４本の仮想線と前記環部との交差部のそれぞれから、前記環部の内側に延びている４本の第１腕部と、Ｙ軸と前記環部との交差部のそれぞれから、Ｙ軸に沿って前記環部の内側に延びている２本の第２腕部と、を備え、前記４本の第１腕部が、駆動部であり、前記２本の第２腕部が、Ｚ軸回りの角速度を検出する検出部であることを特徴とする。
【０００８】
これによれば、角速度センサーは、円環状の環部と、４本の仮想線と環部との交差部から環部の内側に延びている４本の第１腕部と、Ｙ軸と環部との交差部から環部の内側に延びている２本の第２腕部と、を備え、４本の第１腕部が駆動部であり、２本の第２腕部がＺ軸回りの角速度を検出する検出部である。
これにより、角速度センサーは、片持ち梁状の、４本の第１腕部を駆動部とし、２本の第２腕部を検出部としていることから、従来（例えば、特許文献１及び特許文献２、以下同様）のような、環部（リング状の圧電体及び振動子に相当）を駆動振動させる必要がない。
この結果、角速度センサーは、振動し易く振幅が大きい６本の各腕部の駆動振動及び検出振動によって角速度を検出することができることから、インピーダンスの低減及び検出感度を向上させることができる。
【０００９】
また、角速度センサーは、４本の第１腕部を駆動部としていることから、例えば、２本の第１腕部のみを駆動部とする場合と比較して、インピーダンスを低減できるとともに駆動振動のバランスがよくなり、駆動振動時の環部の径方向への変位を抑制できる。
この結果、角速度センサーは、駆動振動時における環部の変位に起因する検出部の誤検出などを抑制できることから、検出特性（特に検出精度）を向上させることができる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例にかかる角速度センサーにおいて、前記４本の仮想線は、それぞれＸ軸またはＹ軸に対して４５度の角度であることが好ましい。
【００１１】
これによれば、角速度センサーは、４本の仮想線が、それぞれＸ軸またはＹ軸に対して４５度の角度であることから、４本の第１腕部をＸ軸またはＹ軸に対して対称形状とすることが可能となる。
この結果、角速度センサーは、駆動振動のバランスが良好となることから、検出時における不要振動の発生を抑制でき、検出特性を向上させることができる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例にかかる角速度センサーにおいて、Ｚ軸方向から見て前記交点を含んで前記環部の内側に延在している基部と、前記基部の＋Ｘ側の端部及び−Ｘ側の端部から、それぞれＸ軸上に延び、前記基部と前記環部とを接続する支持部と、を更に備えていることが好ましい。
【００１３】
これによれば、角速度センサーは、環部の内側に延在している基部と、基部と環部とを接続する支持部と、を更に備えていることから、各腕部の駆動振動及び検出振動が基部にまで伝播しにくい。
この結果、角速度センサーは、基部を外部部材に固定することにより、振動エネルギーの外部への漏洩を抑制できることから、Ｑ値（振動の状態を現す無次元数であって、この値が大きいほど振動が安定であることを意味する）が向上し検出感度を向上させることができる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例にかかる角速度センサーにおいて、前記４本の第１腕部は、それぞれ対応する前記仮想線上に延びていることが好ましい。
【００１５】
これによれば、角速度センサーは、４本の第１腕部が、それぞれ対応する仮想線上に延びていることから、各第１腕部の駆動振動のバランスがよく、検出時における不要振動の発生を抑制でき、検出特性を向上させることができる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例にかかる角速度センサーにおいて、前記各構成要素の主要材料は、水晶であることが好ましい。
【００１７】
これによれば、角速度センサーは、各構成要素の主要材料が水晶であることから、その物性により高いＱ値が得られるとともに、温度特性に優れる（具体的には、環境温度の変化に対する検出特性の変化を、他の材料と比較して小さくできる）。
【００１８】
［適用例６］上記適用例にかかる角速度センサーにおいて、前記水晶の機械軸である結晶Ｙ軸が、前記仮想軸のＹ軸に沿っていることが好ましい。
【００１９】
これによれば、角速度センサーは、水晶の機械軸である結晶Ｙ軸が、仮想軸のＹ軸に沿っていることから、例えば、角速度検出時に生じる電界の方向が第２腕部の延在方向と略直交し、検出部における電荷（検出信号）の取り出しを効率よく行うことができる。
この結果、角速度センサーは、Ｚ軸回りの検出感度を向上させることができる。
また、角速度センサーは、駆動部の４本の第１腕部を、結晶Ｙ軸に対して対称位置に設ける構成が可能なことから、例えば、４本の第１腕部の振動特性を互いに近似または一致させ易く、駆動部の駆動振動が安定し、Ｑ値を向上させることができる。
【００２０】
［適用例７］上記適用例にかかる角速度センサーにおいて、前記仮想線は、それぞれＸ軸またはＹ軸に対して４５度の角度であり、前記駆動部である前記４本の第１腕部のうち、Ｘ軸を挟んで＋Ｙ側にある２本の第１腕部は、対応する前記仮想線に対してそれぞれ＋Ｙ側に１５度の角度を有して延び、−Ｙ側にある２本の第１腕部は、対応する前記仮想線に対してそれぞれ−Ｙ側に１５度の角度を有して延びていることが好ましい。
【００２１】
これによれば、角速度センサーは、仮想線が、それぞれＸ軸またはＹ軸に対して４５度の角度であり、駆動部である４本の第１腕部のうち、Ｘ軸を挟んで＋Ｙ側にある２本の第１腕部が、仮想線に対して＋Ｙ側に１５度の角度を有して延び、−Ｙ側にある２本の第１腕部が、仮想線に対して−Ｙ側に１５度の角度を有して延びていることから、４本の第１腕部が水晶の他の結晶Ｙ軸に沿って延びていることになる。
この結果、角速度センサーは、例えば、駆動振動時に印加される電界の方向が第１腕部の延在方向と略直交することから、駆動部の駆動振動を更に効率よく行う（換言すれば、駆動振動の振幅を大きくする）ことができる。
【００２２】
［適用例８］上記適用例にかかる角速度センサーにおいて、前記各構成要素の主要材料はシリコンであり、前記駆動部及び前記検出部には、圧電層が設けられていることが好ましい。
【００２３】
これによれば、角速度センサーは、各構成要素の主要材料がシリコンであり、駆動部及び検出部には、圧電層が設けられていることから、シリコンの物性により高いエッチング加工性が得られるとともに、圧電定数の高い圧電層による駆動・検出によりインピーダンスの低減及び検出感度の向上を図ることができる。
【００２４】
［適用例９］上記適用例にかかる角速度センサーにおいて、前記各腕部の先端に錘部が設けられていることが好ましい。
【００２５】
これによれば、角速度センサーは、各腕部の先端に錘部が設けられていることから、錘部の質量付加効果によって、Ｑ値を維持しながら各腕部の小型化が可能となり、環部を含めた外形サイズの小型化を図ることができる。
【００２６】
［適用例１０］上記適用例にかかる角速度センサーにおいて、前記各腕部は、前記ＸＹ平面に沿った２つの面の少なくとも一方に、前記各腕部の延在方向に沿って延びる溝部が設けられていることが好ましい。
【００２７】
これによれば、角速度センサーは、各腕部のＸＹ平面に沿った２つの面の少なくとも一方に、各腕部の延在方向に沿って延びる溝部が設けられていることから、例えば、各腕部の振動効率の向上や、熱弾性損失（屈曲振動する各腕部の圧縮部と伸張部との間で発生する熱伝導により生じる振動エネルギーの損失）の低下によるＱ値の向上を図ることができる。
【００２８】
［適用例１１］上記適用例にかかる角速度センサーにおいて、前記駆動部である前記４本の第１腕部のうち、少なくとも２本の第１腕部の固有振動数が互いに異なり、少なくとも前記２本の第１腕部の前記固有振動数の異なる量が調整可能であることが好ましい。
【００２９】
これによれば、角速度センサーは、駆動部である４本の第１腕部のうち、少なくとも２本の第１腕部の固有振動数が互いに異なり、少なくとも２本の第１腕部の固有振動数の異なる量が調整可能であることから、例えば、意図的に駆動部から検出部に駆動振動を自己振動成分として漏洩させ、検出部で本来の角速度成分とは別に自己振動成分の変化を検出することによって、例えば、配線パターンの断線や異物の付着などの故障診断が可能となる。
【００３０】
［適用例１２］本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれかに記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする。
【００３１】
これによれば、本構成の電子機器は、上記適用例のいずれかに記載の角速度センサーを備えていることから、上記適用例のいずれかに記載の効果を奏する電子機器を提供できる。
【００３２】
［適用例１３］本適用例にかかる移動体は、上記適用例のいずれかに記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする。
【００３３】
これによれば、本構成の移動体は、上記適用例のいずれかに記載の角速度センサーを備えていることから、上記適用例のいずれかに記載の効果を奏する移動体を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】第１実施形態の角速度センサーの概略構成を示す模式斜視図。
【図２】図１の模式断面図であり、（ａ）は図１のＡ−Ａ線での模式断面図、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ線での模式断面図。
【図３】角速度センサーの駆動振動状態を示す模式斜視図。
【図４】角速度センサーのＺ軸回りの角速度を検出する検出振動状態を示す模式平面図。
【図５】変形例１の角速度センサーの概略構成を示す模式平面図。
【図６】変形例２の角速度センサーの各腕部の模式断面図。
【図７】角速度センサーを備えている電子機器としてのモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す模式斜視図。
【図８】角速度センサーを備えている電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す模式斜視図。
【図９】角速度センサーを備えている電子機器としてのデジタルスチルカメラの構成を示す模式斜視図。
【図１０】角速度センサーを備えている移動体の一例としての自動車を示す模式斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。
【００３６】
（第１実施形態）
最初に、第１実施形態の角速度センサーについて説明する。
図１は、第１実施形態の角速度センサーの概略構成を示す模式斜視図である。図２は、図１の模式断面図であり、図２（ａ）は、図１のＡ−Ａ線での模式断面図であり、図２（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ線での模式断面図である。なお、図１では、電極及び配線パターンを省略してある。また、各図において、わかり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。
【００３７】
図１、図２に示すように、角速度センサー１は、互いに直交する３本の仮想軸を、それぞれＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸としたときに、Ｘ軸とＹ軸とで規定されるＸＹ平面に沿って、Ｚ軸方向（Ｚ軸に沿った方向）から見てＸ軸とＹ軸との交点Ｏを中心とする円環状に延在している環部２０と、交点ＯからＸ軸とＹ軸とで区切られた４つの仮想領域のそれぞれに、放射状に延びる４本の仮想線Ｌ１〜Ｌ４と環部２０との交差部のそれぞれから、環部２０の内側に延びている４本の第１腕部２１，２３，２４，２６と、Ｙ軸と環部２０との交差部のそれぞれから、Ｙ軸に沿って環部２０の内側に延びている２本の第２腕部２２，２５と、を備えている。
【００３８】
仮想線Ｌ１〜Ｌ４は、それぞれＸ軸またはＹ軸に対して４５度の角度であり、図１では、仮想線Ｌ２，Ｌ４はＺ軸と重なって見えている。
角速度センサー１は、４本の第１腕部２１，２３，２４，２６が駆動部４０であり、２本の第２腕部２２，２５が、Ｚ軸回りの角速度を検出する検出部６０である。
なお、４本の第１腕部２１，２３，２４，２６は、それぞれ対応する仮想線Ｌ１〜Ｌ４上に延び、２本の第２腕部２２，２５は、Ｙ軸上に延びている。
角速度センサー１は、Ｚ軸方向から見て交点Ｏを含んで環部２０の内側に延在している基部１０と、基部１０の＋Ｘ側の端部及び−Ｘ側の端部から、それぞれＸ軸上に延び、基部１０と環部２０とを接続する支持部３０と、を更に備えている。
【００３９】
角速度センサー１は、上記各構成要素が一体で平板状に形成され、その主要材料には、水晶が用いられている。角速度センサー１は、フォトリソグラフィー技術、エッチング技術などを用いて精度よく形成されている。
角速度センサー１は、水晶の原石などから、水晶の光軸である結晶Ｚ軸に対して略直交する面に沿って切り出され、結晶Ｚ軸が仮想軸のＺ軸に略沿い、水晶の機械軸である結晶Ｙ軸が、仮想軸のＹ軸に沿うように形成されている。
なお、角速度センサー１を構成する平板は、水晶からの切り出し角度の誤差を、結晶Ｘ軸、結晶Ｙ軸及び結晶Ｚ軸の各々につき多少の範囲で許容できる。例えば、平板は、結晶Ｘ軸を中心に０度から７度の範囲で回転して切り出したものを使用することができる。これは、結晶Ｙ軸及び結晶Ｚ軸についても同様である。
【００４０】
角速度センサー１の第１腕部２１，２３，２４，２６及び第２腕部２２，２５（以下、各腕部２１〜２６ともいう）は、略角柱状に形成され、その先端には、錘部Ｍが設けられている。
詳述すると、錘部Ｍは、各腕部２１〜２６の腕幅（Ｚ軸方向から見て各腕部２１〜２６の延在方向と直交する方向の大きさ）より幅広く、ハンマー状に形成されている。なお、錘部ＭのＺ軸方向の大きさ（厚さ）は、各腕部２１〜２６と同じに形成されている。
各腕部２１〜２６は、ＸＹ平面に沿った２つの面である主面Ｆ１，Ｆ２の少なくとも一方（ここでは両方）に、各腕部２１〜２６の延在方向に沿って延びる溝部Ｕが設けられている。
詳述すると、図２に示すように、溝部Ｕは、各切断線（Ａ−Ａ線など）に沿った各腕部２１〜２６の断面形状がＨ字状になるように形成されている。
なお、溝部Ｕは、各腕部２１〜２６の根元から、錘部Ｍの付け根まで設けられていることが好ましい。
【００４１】
図２に示すように、角速度センサー１の各腕部２１〜２６には、駆動用及び検出用の電極が設けられている。
図２（ａ）に示すように、駆動部４０である第１腕部２１，２３，２４，２６には、主面Ｆ１に駆動電極４１、主面Ｆ２に駆動電極４２が設けられ、主面Ｆ１と主面Ｆ２とをつなぐ側面Ｓ１，Ｓ２に駆動電極４３，４４がそれぞれ設けられている。なお、駆動電極４１，４２は、溝部Ｕ内にも設けられている。
駆動電極４１及び駆動電極４２は、互いに電気的に接続され、駆動電極４３及び駆動電極４４は、互いに電気的に接続されている。
なお、図示のように、駆動電極４３及び駆動電極４４は、製造上の都合などによって、主面Ｆ１，Ｆ２に若干回り込んでもよい。
【００４２】
図２（ｂ）に示すように、Ｚ軸回りの角速度を検出する検出部６０である第２腕部２２，２５には、主面Ｆ１に検出電極６１、主面Ｆ２に検出電極６２が設けられ、側面Ｓ１，Ｓ２に検出電極６３，６４がそれぞれ設けられている。なお、検出電極６１，６２は、溝部Ｕ内にも設けられている。
ここで、検出電極６１及び検出電極６２は、互いに電気的に接続され、検出電極６３及び検出電極６４は、互いに電気的に接続されている。
なお、図示のように、検出電極６３及び検出電極６４は、製造上の都合などによって、主面Ｆ１，Ｆ２に若干回り込んでもよい。
【００４３】
駆動電極４１〜４４、検出電極６１〜６４は、図示しない配線パターンにより環部２０、支持部３０を経由して、図１に示す基部１０の主面Ｆ１に設けられている複数の接続端子Ｐと接続されている。
駆動電極４１〜４４、検出電極６１〜６４、配線パターン、接続端子Ｐは、蒸着法、スパッタリング法などの成膜技術、フォトリソグラフィー技術、エッチング技術などを用いて、例えば、Ｃｒを下地層とし、その上にＡｕが積層された構成の金属被膜からなる。
なお、駆動電極４１〜４４、検出電極６１〜６４は、各腕部２１〜２６の根元から、各腕部２１〜２６の長さの半分以上に亘って設けられていることが、効率的な駆動及び検出の観点から好ましい。
【００４４】
角速度センサー１は、基部１０の主面Ｆ２が、例えば、水平面に沿うように外部部材に固定され、接続端子Ｐと外部部材の端子とが、図示しない金属ワイヤーなどで電気的に接続された状態で、外部から印加されるＺ軸回りの角速度を検出する。
【００４５】
ここで、角速度センサー１の動作について説明する。
図３、図４は、角速度センサーの動作について説明する模式図である。図３は、角速度センサーの駆動振動状態を示す模式斜視図であり、図４は、角速度センサーのＺ軸回りの角速度を検出する検出振動状態を示す模式平面図である。
【００４６】
図３に示すように、角速度センサー１は、外部からの駆動信号（交番電圧）の、駆動部４０である第１腕部２１，２３，２４，２６の図２（ａ）に示す駆動電極４１〜４４への入力により、第１腕部２１，２３，２４，２６が、逆圧電効果によって主面Ｆ１（ＸＹ平面）に沿って黒矢印方向及び白矢印方向へ交互に所定の周波数で屈曲振動する。
この際、第１腕部２１と第１腕部２３及び第１腕部２４と第１腕部２６は、互いに逆方向へ屈曲振動する（逆相で屈曲振動する）。詳述すると、第１腕部２１と第１腕部２３及び第１腕部２４と第１腕部２６は、互いに離れる方向（黒矢印方向）と、互いに近づく方向（白矢印方向）とに交互に屈曲振動する。
【００４７】
図４に示すように、この駆動振動状態で、Ｚ軸回りに角速度ωが印加されると、コリオリ力により、環部２０が仮想線Ｌ２（Ｌ４）に沿った方向と、仮想線Ｌ１（Ｌ３）に沿った方向とに交互に伸縮振動する。具体的には、環部２０が黒矢印方向と、白矢印方向とに交互に略楕円状に変形する振動である伸縮振動をする。
これに連動して、検出部６０である第２腕部２２，２５が主面Ｆ１に沿って黒矢印方向及び白矢印方向へ屈曲振動する。詳述すると、第２腕部２２が−Ｘ方向へ振動したときに、第２腕部２５は＋Ｘ方向へ振動し（黒矢印）、第２腕部２２が＋Ｘ方向へ振動したときに、第２腕部２５は−Ｘ方向へ振動する（白矢印）。
換言すれば、環部２０が仮想線Ｌ２（Ｌ４）に沿った方向へ伸長したときに、第２腕部２２は−Ｘ方向、第２腕部２５は＋Ｘ方向へ振動し（黒矢印）、環部２０が仮想線Ｌ１（Ｌ３）に沿った方向へ伸長したときに、第２腕部２２は＋Ｘ方向、第２腕部２５は−Ｘ方向へ振動する（白矢印）。
【００４８】
角速度センサー１は、検出部６０である第２腕部２２，２５が互いに逆相で屈曲振動することから、第２腕部２２，２５の振動による圧電効果に伴って、図２（ｂ）に示す第２腕部２２の検出電極６１−６３，６１−６４，６２−６３，６２−６４間に生じる電荷と、第２腕部２５の検出電極６１−６３，６１−６４，６２−６３，６２−６４間に生じる電荷との差を取り出すことにより、Ｚ軸回りの角速度ωを導出することができる。
なお、図４の１点鎖線は、駆動振動状態における伸縮振動前の円環状の環部２０を示す。
【００４９】
ここで、環部２０の伸縮振動の際に、支持部３０と環部２０との接続部、及び第２腕部２２，２５と環部２０との接続部は、伸縮振動の節（ふし）となっており殆ど変位しない。これにより、角速度センサー１は、環部２０の伸縮振動が、支持部３０を介して基部１０に伝播することが抑制され、基部１０から外部部材への振動エネルギーの漏洩が回避されている。
【００５０】
上述したように、第１実施形態の角速度センサー１は、円環状の環部２０と、４本の仮想線Ｌ１〜Ｌ４と環部２０との交差部から環部２０の内側に延びている４本の第１腕部２１，２３，２４，２６と、Ｙ軸と環部２０との交差部から環部２０の内側に延びている２本の第２腕部２２，２５と、を備え、４本の第１腕部２１，２３，２４，２６が駆動部４０であり、２本の第２腕部２２，２５がＺ軸回りの角速度ωを検出する検出部６０である。
【００５１】
これにより、角速度センサー１は、片持ち梁状の、４本の第１腕部２１，２３，２４，２６を駆動部４０とし、２本の第２腕部２２，２５を検出部６０としていることから、従来のような、環部２０を駆動振動させる必要がない。
この結果、角速度センサー１は、振動し易く振幅が大きい６本の各腕部２１〜２６の駆動振動及び検出振動によって角速度を検出することができることから、インピーダンスの低減及び検出感度を向上させることができる。
【００５２】
また、角速度センサー１は、４本の第１腕部２１，２３，２４，２６を駆動部４０としていることから、例えば、２本の第１腕部２１，２３のみを駆動部４０とする場合と比較して、インピーダンスを低減できるとともに駆動振動のバランスがよくなり、駆動振動時の環部２０の径方向への変位を抑制できる。
この結果、角速度センサー１は、駆動振動時における環部２０の変位に起因する検出部６０の誤検出などを抑制できることから、検出特性（特に検出精度）を向上させることができる。
【００５３】
また、角速度センサー１は、４本の仮想線Ｌ１〜Ｌ４が、それぞれＸ軸またはＹ軸に対して４５度の角度であることから、４本の第１腕部２１，２３，２４，２６をＸ軸またはＹ軸に対して対称形状とすることが可能となる。
この結果、角速度センサー１は、駆動振動のバランスが良好となることから、検出時における不要振動の発生を抑制でき、検出特性を向上させることができる。
なお、角速度センサー１は、４本の仮想線Ｌ１〜Ｌ４が、それぞれＸ軸またはＹ軸に対して４５度の角度でなくてもよいが、４本の第１腕部２１，２３，２４，２６をＸ軸またはＹ軸に対して対称形状とすることが、駆動振動のバランスを取る上で好ましい。
【００５４】
また、角速度センサー１は、環部２０の内側に延在している基部１０と、基部１０と環部２０とを接続する支持部３０と、を更に備えていることから、各腕部２１〜２６の駆動振動及び検出振動が基部１０にまで伝播しにくい。
この結果、角速度センサー１は、基部１０を外部部材に固定することにより、振動エネルギーの外部への漏洩を抑制できることから、Ｑ値が向上し検出感度を向上させることができる。
【００５５】
また、角速度センサー１は、４本の第１腕部２１，２３，２４，２６が、それぞれ対応する仮想線Ｌ１〜Ｌ４上に延びていることから、第１腕部２１，２３，２４，２６の駆動振動のバランスがよく、検出時における不要振動の発生を抑制でき、検出特性を向上させることができる。
【００５６】
また、角速度センサー１は、各構成要素の主要材料が水晶であることから、その物性により高いＱ値が得られるとともに、温度特性に優れる（具体的には、環境温度の変化に対する検出特性の変化を、他の材料と比較して小さくできる）。
【００５７】
また、角速度センサー１は、水晶の機械軸である結晶Ｙ軸が、仮想軸のＹ軸に沿っていることから、例えば、角速度検出時に生じる電界の方向が第２腕部２２，２５の延在方向と略直交し、検出部６０における電荷（検出信号）の取り出しを効率よく行うことができる。
この結果、角速度センサー１は、Ｚ軸回りの検出感度を向上させることができる。
また、角速度センサー１は、駆動部４０の４本の第１腕部２１，２３，２４，２６を、結晶Ｙ軸に対して対称位置に設ける構成が可能なことから、例えば、４本の第１腕部２１，２３，２４，２６の振動特性を互いに近似または一致させ易く、駆動部４０の駆動振動が安定し、Ｑ値を向上させることができる。
【００５８】
また、角速度センサー１は、各腕部２１〜２６の先端に錘部Ｍが設けられていることから、錘部Ｍの質量付加効果によって、Ｑ値を維持しながら各腕部２１〜２６の小型化が可能となり、環部２０を含めた外形サイズの小型化を図ることができる。
【００５９】
また、角速度センサー１は、各腕部２１〜２６のＸＹ平面に沿った主面Ｆ１，Ｆ２の少なくとも一方（ここでは両方）に、各腕部２１〜２６の延在方向に沿って延びる溝部Ｕが設けられていることから、例えば、各腕部２１〜２６の振動効率の向上や、熱弾性損失の低下によるＱ値の向上を図ることができる。
なお、角速度センサー１は、性能に支障がなければ、錘部Ｍ及び溝部Ｕを設けなくてもよい。また、溝部Ｕは、主面Ｆ１，Ｆ２のいずれか一方のみに設けてもよい。
【００６０】
なお、角速度センサー１は、基部１０及び支持部３０を除去し、環部２０とＸ軸との交差部及び環部２０とＹ軸との交差部の少なくとも１箇所の主面Ｆ１に接続端子Ｐを設け、上記各交差部の主面Ｆ２側を外部部材へ固定する構成としてもよい。
ここで、上記各交差部は、前述したように環部２０の伸縮振動の節であり、駆動振動時はもちろんのこと検出振動時でも殆ど振動しないことから、外部部材へ固定しても振動エネルギーの漏洩を回避できる。
この構成においても、角速度センサー１は、上述した効果を奏することができる。
【００６１】
角速度センサー１は、通常、駆動部４０である４本の第１腕部２１，２３，２４，２６の駆動振動が検出部６０に漏洩（伝播）しないように、４本の第１腕部２１，２３，２４，２６の固有振動数（共振周波数）が略一致している。
一方で、角速度センサー１は、駆動部４０である４本の第１腕部２１，２３，２４，２６のうち、少なくとも２本の第１腕部（例えば、２１，２６）の固有振動数が互いに異なり、少なくとも２本の第１腕部２１，２６の固有振動数の異なる量が調整可能であってもよい。
【００６２】
これによれば、角速度センサー１は、駆動部４０である４本の第１腕部２１，２３，２４，２６のうち、少なくとも２本の第１腕部（例えば、２１，２６）の固有振動数が互いに異なり、少なくとも２本の第１腕部２１，２６の固有振動数の異なる量が調整可能であることから、例えば、意図的に駆動部４０から検出部６０に駆動振動を自己振動成分として漏洩させ、検出部６０で本来の角速度成分とは別に自己振動成分の変化を検出することによって、例えば、配線パターンの断線や異物の付着などの故障診断が可能となる。
【００６３】
なお、自己振動成分の具体的な検出方法は、特許第５３６０６７６号公報、特許第５３６０３６１号公報などに開示された方法を用いることができる。
また、第１腕部（例えば、２１，２６など）の固有振動数の調整（バランスチューニング）は、例えば、錘部Ｍに設けられたＣｒ、Ａｕなどの金属被膜を、レーザービーム照射やイオンミリングなどの技術を用いて除去する（質量を変化させる）ことにより行われる。
【００６４】
次に、第１実施形態の変形例について説明する。
（変形例１）
図５は、変形例１の角速度センサーの概略構成を示す模式平面図である。なお、第１実施形態との共通部分には同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。なお、接続端子Ｐは省略してある。
【００６５】
図５に示すように、変形例１の角速度センサー２は、第１実施形態と比較して、駆動部４０である４本の第１腕部２１，２３，２４，２６の延在方向が異なる。
詳述すると、角速度センサー２は、駆動部４０である４本の第１腕部２１，２３，２４，２６のうち、Ｘ軸を挟んで＋Ｙ側にある２本の第１腕部２１，２３が、対応する仮想線Ｌ１，Ｌ２に対して、それぞれ＋Ｙ側に１５度の角度を有して延び、−Ｙ側にある２本の第１腕部２４，２６が、対応する仮想線Ｌ３，Ｌ４に対して、それぞれ−Ｙ側に１５度の角度を有して延びている。
【００６６】
これによれば、角速度センサー２は、仮想線Ｌ１〜Ｌ４が、それぞれＸ軸またはＹ軸に対して４５度の角度であり、Ｘ軸を挟んで＋Ｙ側にある２本の第１腕部２１，２３が、仮想線Ｌ１，Ｌ２に対して＋Ｙ側に１５度の角度を有して延び、−Ｙ側にある２本の第１腕部２４，２６が、仮想線Ｌ３，Ｌ４に対して−Ｙ側に１５度の角度を有して延びていることから、４本の第１腕部２１，２３，２４，２６が水晶の他の結晶Ｙ軸に沿って延びていることになる。
【００６７】
具体的には、角速度センサー２は、第１腕部２１，２４が他の結晶Ｙ軸であるＹ２軸（図５でＸ軸に対して−Ｘ側から反時計回りに３０度の角度）に沿って延び、第１腕部２３，２６が他の結晶Ｙ軸であるＹ３軸（図５でＸ軸に対して＋Ｘ側から時計回りに３０度の角度）に沿って延びていることになる。
この結果、角速度センサー２は、例えば、駆動振動時に印加される電界の方向が第１腕部２１，２３，２４，２６の延在方向と略直交することから、駆動部４０である第１腕部２１，２３，２４，２６の駆動振動を更に効率よく行う（換言すれば、駆動振動の振幅を大きくする）ことができる。
【００６８】
なお、角速度センサー２は、仮想線Ｌ１〜Ｌ４のＸ軸またはＹ軸に対する角度が４５度でない場合には、４本の第１腕部２１，２３，２４，２６が水晶の他の結晶Ｙ軸であるＹ２軸、Ｙ３軸に沿って延びるように、仮想線Ｌ１〜Ｌ４に対する角度を変えることが好ましい。
なお、角速度センサー２の動作については、角速度センサー１に準じるので説明を省略する。
【００６９】
（変形例２）
図６は、変形例２の角速度センサーの各腕部の模式断面図である。図６（ａ）、（ｂ）の各断面位置は、図２と同様である。なお、第１実施形態との共通部分には同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
なお、ここでは、腕部に溝部が設けられていない構成としている。
【００７０】
変形例２の角速度センサー３は、第１実施形態と比較して、各構成要素の主要材料が異なっている。角速度センサー３は、各構成要素の主要材料に、例えば、ポリシリコン（多結晶シリコン）、アモルファスシリコン（非晶質シリコン）などのシリコンが用いられている。
そして、図６に示すように、角速度センサー３は、駆動部４０及び検出部６０に圧電層Ｄが設けられている。
詳述すると、図６（ａ）に示すように、駆動部４０である第１腕部２１，２３，２４，２６には、主面Ｆ１の両端側に、第１腕部２１，２３，２４，２６の延在方向に沿って延びる駆動体１４１，１４２が設けられている。
【００７１】
駆動体１４１は、主面Ｆ１側から順に第１電極１４１ａ、圧電層Ｄ、第２電極１４１ｂが積層され、駆動体１４２は、主面Ｆ１側から順に第１電極１４２ａ、圧電層Ｄ、第２電極１４２ｂが積層されている。
駆動体１４１の第１電極１４１ａと駆動体１４２の第２電極１４２ｂとは、互いに電気的に接続され、駆動体１４１の第２電極１４１ｂと駆動体１４２の第１電極１４２ａとは、互いに電気的に接続されている。
なお、第１腕部２１（第１腕部２６）と第１腕部２３（第１腕部２４）とでは、駆動体１４１，１４２の配置が逆になる。
【００７２】
図６（ｂ）に示すように、Ｚ軸回りの角速度を検出する検出部６０である第２腕部２２，２５には、主面Ｆ１の両端側に、第２腕部２２，２５の延在方向に沿って延びる検出体１６１，１６２が設けられている。
検出体１６１は、主面Ｆ１側から順に第１電極１６１ａ、圧電層Ｄ、第２電極１６１ｂが積層され、検出体１６２は、主面Ｆ１側から順に第１電極１６２ａ、圧電層Ｄ、第２電極１６２ｂが積層されている。
検出体１６１の第１電極１６１ａと検出体１６２の第２電極１６２ｂとは、互いに電気的に接続され、検出体１６１の第２電極１６１ｂと検出体１６２の第１電極１６２ａとは、互いに電気的に接続されている。
【００７３】
各電極（第１電極１４１ａ、第２電極１４１ｂなど）は、図示しない配線パターンにより環部２０、支持部３０を経由して、図１に示す基部１０の主面Ｆ１に設けられている複数の接続端子Ｐと接続されている。
各電極（第１電極１４１ａ、第２電極１４１ｂなど）、配線パターンの材料としては、特に制限されないがＴｉＮ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｗ、Ｔａなどが挙げられる。また、圧電層Ｄの材料としては、特に制限されないが、圧電定数の高い（圧電特性に優れる）ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）、ＡｌＮ（窒化アルミニウム）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、ＬｉＮｂＯ3（ニオブ酸リチウム）、ＫＮｂＯ3（ニオブ酸カリウム）などが挙げられる。
【００７４】
駆動体１４１，１４２、検出体１６１，１６２、配線パターンは、蒸着法、スパッタリング法などの成膜技術、フォトリソグラフィー技術、エッチング技術などを用いて精度よく形成されている。
なお、駆動体１４１，１４２、検出体１６１，１６２は、各腕部２１〜２６の根元から、各腕部２１〜２６の長さの半分以上に亘って設けられていることが、効率的な駆動及び検出の観点から好ましい。
【００７５】
ここで、角速度センサー３の動作について第１実施形態と異なる点を中心に説明する。
なお、便宜的に第１実施形態の図３、図４を用いて説明する。
角速度センサー３は、外部からの駆動信号（交番電圧）の、図６（ａ）に示す第１腕部２１，２３，２４，２６の駆動体１４１，１４２（第１電極１４１ａ，１４２ａ、第２電極１４１ｂ，１４２ｂ）への入力により、駆動体１４１，１４２に電界が生じ、圧電層Ｄの逆圧電効果によって駆動体１４１，１４２が第１腕部２１，２３，２４，２６の延在方向に伸縮する。
【００７６】
この際、駆動体１４１の電界の方向と、駆動体１４２の電界の方向とが互いに逆方向になっており、駆動体１４１が伸長したときには駆動体１４２が収縮し、駆動体１４１が収縮したときには駆動体１４２が伸長する。
この繰り返しにより、第１腕部２１，２３，２４，２６は、主面Ｆ１に沿って所定の周波数で屈曲振動する。ここで、第１腕部２１（第１腕部２６）と第１腕部２３（第１腕部２４）とでは、駆動体１４１，１４２の配置が逆であることから、第１腕部２１，２３（第１腕部２６，２４）は、図３に示すように、互いに逆相で黒矢印方向及び白矢印方向へ交互に所定の周波数で屈曲振動する。
【００７７】
図４に示すように、この駆動振動状態で、Ｚ軸回りの角速度ωが印加されると、コリオリ力により第２腕部２２，２５が互いに逆相で主面Ｆ１に沿って屈曲振動する。
これにより、図６（ｂ）に示す検出体１６１，１６２が、第２腕部２２，２５の延在方向に伸縮する。この伸縮に伴う圧電層Ｄの圧電効果によって、検出体１６１，１６２に電荷が生じる。
角速度センサー３は、第２腕部２２の検出体１６１（１６２）の第１電極１６１ａ（１６２ａ）、第２電極１６１ｂ（１６２ｂ）間に生じる電荷と、第２腕部２５の検出体１６１（１６２）の第１電極１６１ａ（１６２ａ）、第２電極１６１ｂ（１６２ｂ）間に生じる電荷との差を取り出すことにより、Ｚ軸回りの角速度ωを導出することができる。
【００７８】
上述したように、変形例２の角速度センサー３は、各構成要素の主要材料がシリコンであることから、シリコンの物性により高いエッチング加工性が得られ、各構成要素の形状を精度よく形成することができる。
また、角速度センサー３は、駆動部４０及び検出部６０に圧電層Ｄが設けられていることから、圧電定数の高い（圧電特性に優れる）圧電層Ｄを含んで構成されている駆動体１４１，１４２、検出体１６１，１６２による効率的な駆動及び検出によって、インピーダンスの低減及び検出感度の向上を図ることができる。
【００７９】
なお、角速度センサー３は、駆動体１４１，１４２、検出体１６１，１６２が、主面Ｆ１に代えて主面Ｆ２に設けられてもよく、主面Ｆ１，Ｆ２の両方に設けられてもよい。
また、角速度センサー３は、各腕部２１〜２６に溝部Ｕが設けられてもよい。
また、角速度センサー３は、検出に支障がなければ、検出体１６１，１６２を、いずれか一方のみとしてもよい。
【００８０】
（電子機器）
次に、上述した角速度センサーを備えている電子機器について説明する。
図７は、角速度センサーを備えている電子機器としてのモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す模式斜視図である。
図７に示すように、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０１を有する表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピューター１１００には、角速度センサー１（または２，３のいずれか）が内蔵されている。
【００８１】
図８は、角速度センサーを備えている電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す模式斜視図である。
図８に示すように、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０１が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、角速度センサー１（または２，３のいずれか）が内蔵されている。
【００８２】
図９は、角速度センサーを備えている電子機器としてのデジタルスチルカメラの構成を示す模式斜視図である。なお、この図９には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
デジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面（図中手前側）には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
また、ケース１３０２の正面側（図中奥側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００８３】
撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。
また、このデジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子１３１２には、テレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４には、パーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。更に、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
このようなデジタルスチルカメラ１３００には、角速度センサー１（または２，３のいずれか）が内蔵されている。
【００８４】
このような電子機器は、上述した角速度センサーを備えていることから、上記第１実施形態及び各変形例で説明した効果が奏され、優れた性能を発揮する。
なお、上述した角速度センサーを備えている電子機器としては、これら以外に、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類、フライトシミュレーターなどが挙げられる。
【００８５】
（移動体）
次に、上述した角速度センサーを備えている移動体について説明する。
図１０は、角速度センサーを備えている移動体の一例としての自動車を示す模式斜視図である。
自動車１５００は、角速度センサー１（または２，３のいずれか）を、例えば、搭載されているナビゲーション装置、姿勢制御装置などの姿勢検出センサーとして用いている。
これによれば、自動車１５００は、上述した角速度センサーを備えていることから、上記第１実施形態及び各変形例で説明した効果が奏され、優れた性能を発揮する。
【００８６】
上述した角速度センサーは、上記自動車１５００に限らず、自走式ロボット、自走式搬送機器、列車、船舶、飛行機、人工衛星などを含む移動体の姿勢検出センサーなどとして好適に用いることができ、いずれの場合にも、上記第１実施形態及び各変形例で説明した効果が奏され、優れた性能を発揮する移動体を提供することができる。
【符号の説明】
【００８７】
１，２，３…角速度センサー、１０…基部、２０…環部、２１，２３，２４，２６…第１腕部、２２，２５…第２腕部、３０…支持部、４０…駆動部、４１，４２，４３，４４…駆動電極、６０…検出部、６１，６２，６３，６４…検出電極、１４１，１４２…駆動体、１４１ａ，１４２ａ…第１電極、１４１ｂ，１４２ｂ…第２電極、１６１，１６２…検出体、１６１ａ，１６２ａ…第１電極、１６１ｂ，１６２ｂ…第２電極、１１００…電子機器としてのパーソナルコンピューター、１１０１…表示部、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１２００…電子機器としての携帯電話機、１２０１…表示部、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１３００…電子機器としてのデジタルスチルカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１３１２…ビデオ信号出力端子、１３１４…入出力端子、１４３０…テレビモニター、１４４０…パーソナルコンピューター、１５００…移動体としての自動車、Ｄ…圧電層、Ｆ１，Ｆ２…ＸＹ平面に沿った２つの面としての主面、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４…仮想線、Ｍ…錘部、Ｏ…交点、Ｐ…接続端子、Ｓ１，Ｓ２…側面、Ｕ…溝部、Ｙ２，Ｙ３…他の結晶Ｙ軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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