(57)【要約】      （修正有）【課題】構造的により簡単でコスト面でも安価な真空ポンプと真空チャンバーの間のより簡単な接続組立と、接続要素のねじれに対する信頼性の高い保護を保証する、真空ポンプ装置と接続要素を提供する。【解決手段】ターボ分子真空ポンプ装置であって、一つのローター、一つのステータ、および一つのハウジングを有し、この真空ポンプ３８が、少なくとも一つの接続要素１８を介して真空チャンバー４０と接続可能であり、その際、接続要素１８が、ポンプハウジングに付設されたポンプフランジと係合状態とすることが可能であり、真空チャンバー４０に付設された対向フランジ２０に固定可能でって、接続要素１８に少なくとも一つの歯部２２が設けられており、この歯部が対向フランジ２０に固定された接続要素１８において、ねじれに対する保護の為に対向フランジ２０内へと押し込まれるか、または対向フランジ２０に設けられた収容くぼみに係合する特徴を有する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプ装置、特にターボ分子ポンプ装置であって、一つのローター、一つのステータ、および一つのハウジングを有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプを有し、この真空ポンプが、少なくとも一つの接続要素（１８）を介して真空チャンバーと接続可能であり、その際、接続要素（１８）が、ポンプハウジングに付設されたポンプフランジと係合状態とすることが可能であり、そして真空チャンバーに付設された対向フランジに固定可能である真空ポンプ装置において、
接続要素（１８）が、少なくとも一つの歯部（１８）を設けられており、この歯部が、対向フランジ（２０）に固定された接続要素（１８）において、ねじれに対するその保護の為に対向フランジ（２０）内へと押し込まれるか、または対向フランジ（２０）に設けられた収容くぼみに係合することを特徴とする真空ポンプ装置。
【請求項２】
接続要素（１８）が、互いに間隔をあけている少なくとも二つの歯部（２２）を設けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ装置。
【請求項３】
接続要素（１８）が、リブ状に延長された歯部（２２）を設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ装置。
【請求項４】
接続要素（１８）が、固定要素（２８）、特に固定ねじのための少なくとも一つの貫通開口部（２６）を設けられており、この固定要素を介して対向フランジ（２０）に固定可能であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置。
【請求項５】
固定要素（２８）として固定ねじが設けられ、そして対抗フランジ（２０）がねじ穴（３０）を設けられており、このねじ穴内に固定ねじが係合することを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ装置。
【請求項６】
接続要素（１８）が、ちょうど一つの固定要素（２８）のみを介して、特に、ちょうど一つの固定ねじのみを介して対抗フランジ（２０）に固定可能であることを特徴とする請求項４または５に記載の真空ポンプ装置。
【請求項７】
対抗フランジ（２０）がアルミから成ることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置。
【請求項８】
接続要素（１８）がクランプ要素または突出部として形成されているか、または突出部形式のベースボディ（３２）を有することを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置。
【請求項９】
ポンプフランジは、特に円環形状の溝部を有し、この溝部内に接続要素（１８）の延長部分（３４）が係合することを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置。
【請求項１０】
対抗フランジ（２０）が、独立した、特にはめ込みリングとして形成された中間要素（４２）を有し、この中間要素と接続要素（１８）が固定された状態で相互作用することを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置。
【請求項１１】
中間要素（４２）内に、少なくとも一つの収容くぼみ（４４）が形成されており、この収容くぼみ内に、接続要素（１８）が固定された状態で係合し、その際、収容くぼみ（４４）が周囲方向で境界づけられているか、または周回する溝部として形成されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置。
【請求項１２】
接続要素（１８）が、クランプ要素または突出部として形成されており、または突出部形式のベースボディ（３２）を有すること、および接続要素（１８）が、ねじれに対する保護の為に、真空チャンバーの対抗フランジ（２０）と係合状態とすることが可能である少なくとも一つの歯部を設けられていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置の為の接続要素。
【請求項１３】
中間要素（４２）が、固定された状態で接続要素（１８）と相互作用するよう形成されており、その際、特に、中間要素（４２）がはめ込みリングとして形成されていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置の為の中間要素。
【請求項１４】
システムが、請求項１２に記載の少なくとも一つの接続要素（１８）を有し、請求項１３に記載の少なくとも一つの中間要素（４２）を有することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空ポンプ装置の為のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一つのローター、一つのステータ、および一つのハウジングを有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプを有する真空ポンプ装置、特にターボ分子ポンプ装置に関する。これは、少なくとも一つの接続要素を介して真空チャンバーと接続可能であり、その際接続要素は、ポンプハウジングに付設されたポンプフランジでもって係合状態とすることが可能であり、そして真空チャンバーに付設された対向フランジに固定可能である。更に、そのような真空ポンプ装置の為の接続要素に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばターボ分子ポンプのような真空ポンプは、真空チャンバー内またはレシーバー内の真空の発生の為に、接続要素を介して、特にいわゆる突出部（独語：Ｐｒａｔｚｅｎ）のようなものを介して、真空チャンバーと接続されることが可能である。ここで話に上っている形式の突出部は、基本的に公知のクランプ要素である。これによって複数の部材が互いに固定されることが可能である。
【０００３】
各突出部を真空チャンバーハウジングへ固定することは、特に、クランプねじを介して行われる。真空ポンプの比較的高い重量、および高いローター速度という観点から、操作者が危険にさらされるということを高い確実性でもって補償するために、真空ポンプの真空チャンバーハウジングへの確実な固定が保証されるべきである。特に、ブロックされたローターの場合、急激に高いトルクが発生する。このトルクは、ローターからステータを介してポンプハウジングへと、そしてこれから突出部を介して真空チャンバーハウジングへと伝達される。その際、高いトルクに基づいて、真空チャンバーに対するポンプハウジングのねじれが生じる可能性がある。このことは、突出部の固定の領域における真空チャンバーハウジングの損傷を引き起こす可能性がある。そのような突出部を使用する際には、更に、これらが破損の場合にねじれ、そしてポンプフランジがその際発生する切り込みによって、真空ポンプが引き剥がされるように損傷を受けるという危険が存在する。
【０００４】
冒頭に記載した形式の特許文献１から公知の真空ポンプにおいては、接続要素はそのねじれに対する安全のため、それぞれ、ポンプフランジの周囲方向において互いに間隔を有する二つのスクリューを介して、真空チャンバーハウジングに固定されている。そのような真空ポンプ装置は、しかし比較的高価であり、よってコストがかかる。更に、より高い組立コストが生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】独国特許出願公開第１０  ２００５  ０２０  ９０４  Ａ１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
よって本発明の課題は、冒頭に記載した形式の改善された真空ポンプ装置および改善された接続要素を提供することである。これらは、構造的により簡単で、よってコスト面でも安価な真空ポンプと真空チャンバーの間の接続と、相応してより簡単な組立、接続要素のねじれに対する信頼性の高い保護を保証する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題は、請求項１に記載の特徴を有する真空ポンプ装置によって、および請求項１０に記載の特徴を有する接続要素によって解決される。本発明に係る真空ポンプ装置の好ましい実施形は、従属請求項に表されている。
【０００８】
発明に係る真空ポンプ装置は、接続要素が少なくとも一つの歯部を設けられており、この歯部が、対向フランジに固定された接続要素においてねじれに対するその保護の為に、対向フランジ内へと押し込まれるか、または対向フランジ内に設けられた収容くぼみ内に介入する点で際立っている。その際、接続要素は好ましくは、互いに間隔を有している少なくとも二つの歯部を設けられている。代替として、少なくとも一つのリブ状に形成された延伸された歯部が設けられていることが可能である。
【０００９】
この構造に基づいて、特に真空ポンプと真空チャンバーの間の接続に関してのみならず、構造的により簡易な構造が生じる。これは相応して組立も簡単にする。各接続要素の対抗フランジへの固定によって、直接、一または複数の歯部も対抗フランジの材料内へと押し込まれるか、またはこの中に設けられる収容くぼみ内へと係合することによって、同時に、接続要素が負荷のもと対向フランジに対してねじれることが防止される。
【００１０】
本発明に係る真空ポンプ装置の有利な実践的な実施形に従い、接続要素は少なくとも一つのリブ状の延長された歯部を設けられている。その際、接続要素は、ねじれに対する保護の為に、ちょうど一つのそのようなリブ状の延長された歯部のみを有することが可能である。
【００１１】
好ましくは、接続要素は、固定要素、特にクランプねじのための少なくとも一つの貫通開口部を設けられており、この固定要素を介して対抗フランジに固定可能である。固定要素としてクランプねじが設けられているとき、対向フランジは、目的にかなってねじ穴を設けられ、このねじ穴内に固定ねじが係合する。
【００１２】
対向フランジ内に押し込まれるか、またはこの中に設けられる収容くぼみ内に係合する少なくとも一つの歯部が、ねじれに対する保護の為に各接続要素に設けられているので、接続要素を対向フランジに固定するために、唯一の固定要素または唯一のねじが十分であり、これによって特に組立が簡単となる。
【００１３】
本発明に係る真空ポンプ装置の好ましい実施形に従い、対向フランジはアルミから成っている。代替として、接続要素の少なくとも一つの歯部を、他の材料から成る対向フランジ内に押し込むことも可能である。
【００１４】
接続要素は、特にクランプ要素としてまたは突出部として形成されていることが可能であり、または突出部形式のベースボディを有することが可能である。
【００１５】
ポンプフランジは、好ましくは、特に円環形状の溝部を有する。この溝部内に接続要素の延長部分が係合する。
【００１６】
発明に係る接続要素は、これが、クランプ要素としてまたは突出部として形成されており、または突出部形式のベースボディを有し、その際、接続要素がねじれに対する保護のために、真空チャンバーの対抗フランジと係合状態となることが可能である少なくとも一つの歯部を設けられている点で際立っている。
【００１７】
以下に本発明を、図面を参照しつつ実施例に基づき詳細に説明する。図面は以下を示している。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】従来の突出部形式の接続要素の斜視図。
【図２】発明に係る接続要素の一つの例示的な実施形の簡略図。
【図３】発明に係る接続要素の別の例示的な実施形の簡略図。
【図４】真空ポンプ装置の対抗フランジの簡略部分図。
【図５】真空ポンプおよびレシーバーから成る発明に係る装置の簡略図。真空ポンプおよびレシーバーは発明に係る突出部によって互いに接続されている。
【図６】発明に係る別の実施形。
【図７】発明に係る別の実施形。
【図８】発明に係る別の実施形。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１は、従来の突出部形式の接続要素１０の斜視図を示す。そのような接続要素１０は、ローターおよびステータを有する真空ポンプを真空チャンバーまたはレシーバーと接続するために使用される。
【００２０】
接続要素１０は、延長部分１２を設けられており、これが、ポンプフランジの円形の溝部内へと係合する。そのため、接続要素１０は、固定ねじ１６の為の貫通開口部１４を設けられている。この貫通開口部を介して、真空チャンバーの対抗フランジが固定可能である。
【００２１】
真空ポンプは、そのような複数の接続要素１０を介して真空チャンバーに接続されている。しかし、そのような接続要素によって、冒頭に記載したようにこれらが負荷の下ねじれる危険性が存在する。
【００２２】
図２は、発明に係る真空ポンプ装置の発明に係る接続要素の一つの例示的実施形の簡略図を示す。これは特にターボ分子ポンプ装置であることが可能である。
【００２３】
該真空ポンプ装置は、一つのローター、一つのステータおよび一つのハウジングを有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプを有している。これは、少なくとも一つのそのような接続要素１８を介して真空チャンバーと接続可能である。その際、接続要素１８は、ポンプハウジングに付設されたポンプフランジでもって係合状態とすることが可能であり、そして、真空チャンバーに付設された対向フランジ２０に固定可能である（図４も参照のこと）。
【００２４】
一般に、接続要素１８は、少なくとも一つの歯部２２を設けられている。この歯部は、対向フランジ２０に固定された接続要素１８のもと、ねじれに対するその保護のため、対向フランジ２０内へと押し込まれるか、または対向フランジ２０内に設けられた収容くぼみ内へと係合する。前者の場合、収容くぼみは省略されることができる。
【００２５】
接続要素１８は、特に、互いに間隔を有する少なくとも二つの歯部２２を設けられていることが可能である。その際、接続要素は図２に表された実施例に従い、ちょうど二つのそのような歯部２２を有している。図２に基づいてわかるように、歯部２２はとがった形状を有していることが可能である。これによって、容易に対抗フランジ２０内へと押し込まれることが可能である。
【００２６】
接続要素１８は、特にクランプねじ等のような固定要素２８の為の貫通開口部２６を設けられていることが可能である。この固定要素を介して対向フランジ２０に固定可能である。
【００２７】
固定要素２８としてそのようなクランプねじが設けられているとき、対向フランジ２０はねじ穴３０（図４参照）を設けられていることが可能である。このねじ穴の中に固定ねじが係合する。
【００２８】
図２から４に見て取れるように、接続要素１８は、ちょうど一つの固定要素２８のみを介して、またはちょうど一つのクランプねじのみを介して対抗フランジ２０に固定可能である。これによって組立が本質的に簡易化される。負荷の下での接続要素１８のねじれは、対向フランジ２０と係合状態にある歯部２２によって防止される。
【００２９】
接続要素１８は、特に突出部形式のベースボディ３２を有し、そして延長部分３４を設けられていることが可能である。この延長部分は、ポンプフランジの特に円形状の溝部内へと係合する。
【００３０】
図３は、発明に係る接続要素１８の別の例示的実施形の簡略図を示す。この接続要素は、貫通開口部２６の長手方向に横断する方向にリブ状に延長された歯部２２を設けられている。その際、このリブ状に延長された歯部２２は、対向フランジに向かって先細となる断面を有している。これによって、対向フランジ２０の方に向かって狭くなるエッジ部が生じ、このエッジ部が対向フランジ２０内への入り込みを簡単にする。その他の点では、図３に表されたこの接続要素１８は、多くの場合基本的に、図２に表された接続要素と同じように形成されていることが可能である。
【００３１】
すでに述べたように、各接続要素１８の歯部２２は、ねじれに対するその保護の為に、対向フランジ２０に設けられた収容くぼみ内へも係合する。この場合、歯部はもはやこれら対向フランジ２０に押し込まれる必要はなく、そして歯部は先端または狭いエッジ部を設けられている必要が無い。その際、ねじれに対する保護は、収容くぼみ内への係合によってすでに保証されている。
【００３２】
図４は、発明に係る真空ポンプ装置の一つの例示的実施形の対向フランジ２０の簡略部分図を示す。その際、対抗フランジ２０は、延伸されたくぼみ２４を有する。このくぼみは、図３の押し込まれた長い歯部２２の刻印を意味する。つまりこのくぼみは、発明に係るクランプ突出部１８のリブ状の歯部２２の押し込みによって発生させられる。
【００３３】
代替として、対向フランジ２０は、この目的の為につくられた、少なくとも一つの歯部２２の係合の為の収容くぼみを設けられていることが可能である。
【００３４】
特に、歯部２２が対向フランジ２０内に押し込まれるとき、この対向フランジ２０は、アルミから成ることが可能である。これによって歯部２２の押し込みは簡単になる。しかし対抗フランジ２０のために他の材料も、可能である。
【００３５】
さらに図４には、真空チャンバーの一つの開口部３６が見て取れる。その領域内で、真空ポンプが真空チャンバーに接続される。
【００３６】
図５では、発明に係る複数のクランプ突出部１８によって互いに接続されている真空ポンプ３８とレシーバー４０が発明に係る真空ポンプ装置を形成している。
【００３７】
図６の実施例においては、複数のクランプ突出部１８が其々その歯部２２でもって収容くぼみ４４内に係合している。くぼみ４４は、其々、周囲方向で境界づけられた、みぞ状またはスリット状の切欠き部として対向フランジ２０内に形成されている。これによって放射方向の保持が達成される。その上、突出部１８のねじれが防止される。
【００３８】
図７の実施形は、これとは、すべてのクランプ突出部１８の為の収容くぼみ４４が、周回する溝部の形式で対抗フランジ２０内に形成されている点で異なっている。この態様によっても、放射方向の保持が達成される。
【００３９】
図８は、対抗フランジが、はめ込みリングの形式の独立した中間要素４２を有する、代替的な態様を示す。このはめ込みリングは、（図示されていない）真空チャンバーのフランジ内、または真空チャンバーに付設されたフランジ内にはめ込まれることが可能である。
【００４０】
全般的に、つまり一般的におよび具体的な実施形と関係なく、そのような中間要素を使用する際には、真空チャンバーまたはそのフランジは、適合される必要がなく、そして直接接続要素の歯部と協働（または相互作用、独語：ｚｕｓａｍｍｅｎｚｕｗｉｒｋｅｎ）しない。その替わり、歯部は中間要素内へと押し込まれるか、または、図８に示されるように、歯部２２は其々、中間要素４２内に形成された収容くぼみ４４内に係合する。
【００４１】
中間要素４２は、対向フランジ２０の構成要素としてみなされることが可能である。中間要素４２が当接している、真空チャンバーまたは真空チャンバーに付設された別のフランジ部分（図示されていない）への接続要素１８の固定は、ここでもまたねじ留めによって行われることが可能である。固定ねじは、突出部１８内の貫通開口部２６を貫通し、そして中間要素４２内に形成された開口部４６を貫通して延在している。
【符号の説明】
【００４２】
１０    接続要素
１２    延長部分
１４    貫通開口部
１６    固定ねじ
１８    接続要素
２０    対向フランジ
２２    歯部
２４    くぼみ（刻印）
２６    貫通開口部
２８    固定要素
３０    ねじ穴
３２    ベースボディ
３４    延長部分
３６    開口部
３８    真空ポンプ
４０    真空チャンバー、レシーバー
４２    中間要素、はめ込みリング
４４    収容くぼみ
４６    開口部
【図１】
2015165134.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2015165134.tif 000009
【図８】
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