(57)【要約】【課題】飛散した端材等の接触に伴う不具合の発生を防止可能なブレードカバー装置を提供する【解決手段】スピンドルハウジング（３６）に配設され、スピンドルに装着された切削ブレード（３４）を覆うブレードカバー装置（３８）であって、切削水の飛散方向とは反対側に配設され、切削ブレードの外周端面に切削水を噴出するノズルブロック（５６）を備え、ノズルブロックは、切削ブレードの外周端面に切削水を供給する切削水噴出口（５６ｂ）と、切削水噴出口を挟んで配設され、切削ブレードの両側面に切削水を噴射する一対の補助切削水噴出口（５６ｄ）とを備える構成とした。【選択図】図２
2015145046.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングの先端に配設され、該スピンドルに装着された切削ブレードを覆うブレードカバー装置であって、
該切削ブレードに供給された切削水が該切削ブレードの回転によって飛散する側とは反対側に配設され、該切削ブレードの外周端面と対向して切削水を噴出するノズルブロックを備え、
該ノズルブロックは、
該切削ブレードの外周端面に該切削水を供給する切削水噴出口と、
該切削水噴出口を挟んで配設され、該切削ブレードの両側面に該切削水を噴射する一対の補助切削水噴出口とを備えたことを特徴とするブレードカバー装置。
【請求項２】
前記スピンドルハウジングの先端に固定されたベース部をさらに備え、
前記ノズルブロックは、該ベース部に移動可能に取り付けられ、
該ベース部に対し該ノズルブロックの鉛直方向への移動を許容する位置調整手段が配設されたことを特徴とする請求項１記載のブレードカバー装置。
【請求項３】
前記位置調整手段は、
前記ベース部を鉛直方向に貫通する貫通孔と、
該貫通孔に挿入され、頭部が貫通孔の上端に係合し、下端が前記ノズルブロックのネジ孔に螺合する調整ネジと、
該ベース部に対し該ノズルブロックが該調整ネジを回転軸として回転することを規制する回転規制部と、を有し、
該調整ネジを回動させることで、該ベース部に対し該ノズルブロックが鉛直方向に移動することを特徴とする請求項２記載のブレードカバー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置に装着された円環状の切削ブレードを覆うブレードカバー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面にＩＣ等のデバイスが形成された半導体ウェーハや、複数のデバイスチップを樹脂封止したパッケージ基板等の被加工物は、例えば、回転する円環状の切削ブレードを備える切削装置（ダイシング装置）で切削されて、複数のチップへと分割される。この切削装置の切削ブレードを覆うブレードカバー装置には、通常、被加工物や切削ブレードを冷却、洗浄するための切削水を供給するノズルが設けられている。
【０００３】
ところで、上述したパッケージ基板を分割する際には、例えば、分割後のチップに相当する領域のみをチャックテーブルで吸引保持し、不要な端材等を切削と同時に除去するのが効率的である。
【０００４】
そこで、切削によって発生する端材の飛散を促すと共に、飛散した端材と切削ブレードとの接触を防ぐため、切削ブレードの前方（又は後方）から切削水を供給するパイプ状のノズルを備えたブレードカバー装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２８５７６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、飛散した端材等が上述したブレードカバー装置のノズルに接触すると、接触の衝撃で、ノズルの落下、変形、位置ずれ等の不具合が発生してしまう。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、飛散した端材等の接触に伴う不具合の発生を防止可能なブレードカバー装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングの先端に配設され、該スピンドルに装着された切削ブレードを覆うブレードカバー装置であって、該切削ブレードに供給された切削水が該切削ブレードの回転によって飛散する側とは反対側に配設され、該切削ブレードの外周端面と対向して切削水を噴出するノズルブロックを備え、該ノズルブロックは、該切削ブレードの外周端面に該切削水を供給する切削水噴出口と、該切削水噴出口を挟んで配設され、該切削ブレードの両側面に該切削水を噴射する一対の補助切削水噴出口とを備えたことを特徴とするブレードカバー装置が提供される。
【０００８】
また、本発明において、前記スピンドルハウジングの先端に固定されたベース部をさらに備え、前記ノズルブロックは、該ベース部に移動可能に取り付けられ、該ベース部に対し該ノズルブロックの鉛直方向への移動を許容する位置調整手段が配設されたことが好ましい。
【０００９】
また、本発明において、前記位置調整手段は、前記ベース部を鉛直方向に貫通する貫通孔と、該貫通孔に挿入され、頭部が貫通孔の上端に係合し、下端が前記ノズルブロックのネジ孔に螺合する調整ネジと、該ベース部に対し該ノズルブロックが該調整ネジを回転軸として回転することを規制する回転規制部と、を有し、該調整ネジを回動させることで、該ベース部に対し該ノズルブロックが鉛直方向に移動することが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のブレードカバー装置は、切削ブレードの外周端面に切削水を供給する切削水噴出口と、切削ブレードの両側面に切削水を噴射する補助切削水噴出口とが一体に形成されたノズルブロックを備えるので、カバー部材とは別にパイプ状のノズルを設ける場合のように、飛散した端材等との接触によって、ノズルの落下、変形、位置ずれ等の不具合が発生することはない。このように、本発明によれば、飛散した端材等の接触に伴う不具合の発生を防止可能なブレードカバー装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施の形態に係るブレードカバー装置を備えた切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図２】ブレードカバー装置の周辺構造を模式的に示す斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は、ブレードカバー装置の第２ベース部及びノズルブロックの構造を模式的に示す側面図であり、図３（Ｂ）は、第２ベース部及びノズルブロックの構造を模式的に示す背面図である。
【図４】ノズルブロックの構造を模式的に示す背面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係るブレードカバー装置を備えた切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、切削装置２は、各構成を支持する基台４を備えている。
【００１３】
基台４の上面には、前後方向（Ｘ軸方向、加工送り方向）に長い矩形状の開口４ａが形成されている。この開口４ａ内には、Ｘ軸移動テーブル６、Ｘ軸移動テーブル６をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（不図示）、及びＸ軸移動機構を覆う防水カバー８が設けられている。
【００１４】
Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール（不図示）を備えており、Ｘ軸ガイドレールには、Ｘ軸移動テーブル６がスライド可能に設置されている。Ｘ軸移動テーブル６の下面側には、ナット部（不図示）が固定されており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレールと平行なＸ軸ボールネジ（不図示）が螺合されている。
【００１５】
Ｘ軸ボールネジの一端部には、Ｘ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｘ軸パルスモータでＸ軸ボールネジを回転させることで、Ｘ軸移動テーブル６はＸ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。
【００１６】
Ｘ軸移動テーブル６上には、被加工物１１を吸引保持するチャックテーブル１０が設けられている。被加工物１１は、例えば、複数のデバイスチップを樹脂封止した矩形状のパッケージ基板であり、下面側をチャックテーブル１０に吸引保持される。
【００１７】
チャックテーブル１０は、モータ等の回転機構（不図示）と連結されており、鉛直方向（Ｚ軸方向）に伸びる回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１０は、上述のＸ軸移動機構でＸ軸方向に移動する。
【００１８】
チャックテーブル１０の矩形状の上面は、被加工物１１を吸引保持する保持面１０ａとなっている。この保持面１０ａは、チャックテーブル１０の内部に形成された流路（不図示）を通じて吸引源（不図示）と接続されている。
【００１９】
基台４の上面には、切削ユニット１２を支持する門型の支持構造１４が、開口４ａを跨ぐように配置されている。支持構造１４の前面上部には、切削ユニット１２をＹ軸方向（割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる切削ユニット移動機構１６が設けられている。
【００２０】
切削ユニット移動機構１６は、支持構造１４の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール１８を備えている。Ｙ軸ガイドレール１８には、切削ユニット移動機構１６を構成するＹ軸移動テーブル２０がスライド可能に設置されている。
【００２１】
Ｙ軸移動テーブル２０の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が固定されており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール１８と平行なＹ軸ボールネジ２２が螺合されている。Ｙ軸ボールネジ２２の一端部には、Ｙ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｙ軸パルスモータでＹ軸ボールネジ２２を回転させれば、Ｙ軸移動テーブル２０は、Ｙ軸ガイドレール１８に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００２２】
Ｙ軸移動テーブル２０の表面（前面）には、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール２４が設けられている。Ｚ軸ガイドレール２４には、Ｚ軸移動テーブル２６がスライド可能に設置されている。
【００２３】
Ｚ軸移動テーブル２６の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が固定されており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール２４と平行なＺ軸ボールネジ２８が螺合されている。Ｚ軸ボールネジ２８の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３０が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３０でＺ軸ボールネジ２８を回転させれば、Ｚ軸移動テーブル２６は、Ｚ軸ガイドレール２４に沿ってＺ軸方向に移動する。
【００２４】
Ｚ軸移動テーブル２６の下部には、被加工物１１を切削する切削ユニット１２が設けられている。また、切削ユニット１２と隣接する位置には、被加工物１１の加工面を撮像するカメラ３２が設置されている。上述のようにＹ軸移動テーブル２０及びＺ軸移動テーブル２６を移動させることで、切削ユニット１２及びカメラ３２は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２５】
切削ユニット１２は、Ｙ軸の周りに回転するスピンドル（不図示）の一端側に装着された円環状の切削ブレード３４を備えている。スピンドルの他端側にはモータ（不図示）が連結されており、スピンドルに装着された切削ブレード３４を回転させる。このスピンドル及びモータは、Ｚ軸移動テーブル２６の下部に固定されたスピンドルハウジング３６に収容されている。
【００２６】
スピンドルハウジング３６の一端（先端）側には、切削ブレード３４を覆うブレードカバー装置３８が設けられている。図２は、ブレードカバー装置３８の周辺構造を模式的に示す斜視図である。
【００２７】
図２に示すように、切削ブレード３４は、スピンドルの先端部分に取り付けられたフランジ（不図示）と固定ナット４０とで挟み込まれるように装着されており、下端部を前方から後方に向かって移動させるように回転する。すなわち、切削ブレード３４の回転方向は、図２に示す回転方向Ｒである。ただし、被加工物１１の切削方向は、前後方向のいずれでも良い。
【００２８】
この切削ブレード３４は、いわゆるハブブレードであり、円盤状の支持基台４２の外周部分に、被加工物１１を切削するリング状の切り刃４４が固定されている。なお、切削ブレード３４としては、切り刃のみで構成されたワッシャーブレードを用いてもよい。
【００２９】
切削ブレード３４を覆うブレードカバー装置３８は、スピンドルハウジング３６の一端側に固定されたベース部４６を含む。ベース部４６は、切削ブレード３４の後方側に位置付けられた第１ベース部４８と、切削ブレード３４の前方側に位置付けられた第２ベース部５０とで構成されており、切削ブレード３４の上部を覆っている。
【００３０】
第１ベース部４８の後方下部には、切削ブレード３４の後方側を覆うと共に、切削ブレード３４の下部を挟む略Ｌ字状の一対のノズル５２が取り付けられている。各ノズル５２には、上端（基端）に設けられた連結部５４を通じて切削水（純水等）が供給される。
【００３１】
ノズル５２の先端側には、切削ブレード３４の側面と対向する複数のスリット（不図示）が形成されている。複数のスリットを通じて噴出される切削水によって、切削ブレード３４は冷却、洗浄される。
【００３２】
一方、第２ベース部５０の前方下部には、切削ブレード３４の前方側を覆うと共に、後方の切削ブレード３４に向けて切削水を噴出するノズルブロック５６が取り付けられている。
【００３３】
図３（Ａ）は、ブレードカバー装置３８の第２ベース部５０及びノズルブロック５６の構造を模式的に示す側面図であり、図３（Ｂ）は、第２ベース部５０及びノズルブロック５６の構造を模式的に示す背面図である。また、図４は、ノズルブロック５６の構造を模式的に示す背面図である。
【００３４】
図２〜図４に示すように、ノズルブロック５６には、第２ベース部５０の前方下部に位置するガイド部（回転規制部）５０ａに合わせて後方上部を切り欠いた切り欠き部（回転規制部）５６ａが形成されている。ノズルブロック５６は、この切り欠き部５６ａをガイド部５０ａに係合させた状態で、第２ベース部５０に取り付けられている。
【００３５】
ノズルブロック５６の後面（切削ブレード３４側の面）下部には、切削ブレード３４に向けて開口された円形の切削水噴出口５６ｂが形成されている。この切削水噴出口５６ｂは、ノズルブロック５６の内部に形成された供給路５６ｃを介してノズルブロック５６の上面に配置された連結部５８と接続されており、切削水を切削ブレード３４の外周端面に向けて噴射する。
【００３６】
また、ノズルブロック５６の後面下部には、Ｙ軸方向において切削水噴出口５６ｂを挟む一対の矩形状の補助切削水噴出口５６ｄが形成されている。この補助切削水噴出口５６ｄは、ノズルブロック５６の内部に形成された供給路５６ｅを介してノズルブロック５６の上面に配置された連結部６０と接続されており、切削水を切削ブレード３４の両側面に向けて噴射する。
【００３７】
上述のように、切削ブレード３４は回転方向Ｒに回転するので、ノズルブロック５６から切削ブレード３４に供給された切削水も切削ブレード３４と共に回転方向Ｒに回転し、主に、後方のノズル５２及び第１ベース部４８に向かって飛散する。すなわち、ノズルブロック５６は、切削ブレード３４の回転によって切削水が主に飛散する側（後方）とは反対側（前方）に配置されている。
【００３８】
このように構成されたノズルブロック５６は、ノズルブロック５６をＺ軸方向に移動させる位置調整機構（位置調整手段）６２を介して第２ベース部５０に取り付けられている。位置調整機構６２は、第２ベース部５０を鉛直方向に貫通する貫通孔５０ｂと、ノズルブロック５６の切り欠き部５６ａにおいて貫通孔５０ｂと対応する位置に形成されたネジ孔５６ｆとを含んでいる。ネジ孔５６ｆの内周面には、所定のネジ溝が形成されている。
【００３９】
貫通孔５０ｂには、ネジ孔５６ｆのネジ溝に対応するネジ山を備えた調整ネジ６４が挿入される。この調整ネジ６４の全長は、貫通孔５０ｂの全長より長くなっている。そのため、貫通孔５０ｂに調整ネジ６４を挿入し、貫通孔５０ｂの上端に形成された拡径部５０ｃに調整ネジ６４の頭部６４ａを係合させると、調整ネジ６４の下端部は貫通孔５０ｂの下端から下向きに突出する。
【００４０】
貫通孔５０ｂから下向きに突出した調整ネジ６４の下端部は、ノズルブロック５６のネジ孔５６ｆに螺合される。調整ネジ６４の頭部６４ａには六角穴が形成されているので、六角レンチ等の工具で任意に回転させて調整ネジ６４の締め込み量を調整できる。なお、ネジ孔５６ｆは、調整ネジ６４の締め込み量を最大にした状態で調整ネジ６４の下端とネジ孔５６ｆの底とが干渉しない程度に深く形成される。
【００４１】
第２ベース部５０の上面において、貫通孔５０ｂと対応する位置には、調整ネジ６４の上方への抜けを防止する抜け止めプレート６６が固定されている。この抜け止めプレート６６は、第２ベース部５０に対して２本の固定ネジ６８，７０で固定されている。
【００４２】
抜け止めプレート６６において貫通孔５０ｂと対応する位置には、調整ネジ６４の頭部６４ａより小さく、頭部６４ａの六角穴より大きい開口６６ａが形成されている。そのため、開口６６ａから六角レンチ等の工具を差し込むことで、上方への抜けを防止しながら調整ネジ６４を回転させることができる。
【００４３】
このように構成されたブレードカバー装置３８では、位置調整機構６２を構成する調整ネジ６４を回転させて、ネジ孔５６ｆに対する調整ネジ６４の締め込み量を変更することで、ノズルブロック５６のＺ軸方向における位置を調整できる。
【００４４】
例えば、ネジ孔５６ｆに対する調整ネジ６４の締め込み量を多くすれば、ノズルブロック５６は第２ベース部５０に対して上昇する（第２ベース部５０に近づく）。逆に、ネジ孔５６ｆに対する調整ネジ６４の締め込み量を少なくすれば、ノズルブロック５６は第２ベース部５０に対して下降する（第２ベース部５０から離れる）。
【００４５】
ここで、ノズルブロック５６は、切り欠き部５６ａをガイド部５０ａに係合させた状態で、第２ベース部５０に取り付けられているので、調整ネジ６４を回転させても、ノズルブロック５６が第２ベース部５０に対して回転してしまうことはない。
【００４６】
このように、第２ベース部５０のガイド部５０ａとノズルブロック５６の切り欠き部５６ａとは、ノズルブロック５６が調整ネジ６４を回転軸として第２ベース部５０に対して回転するのを規制する回転規制部として機能している。
【００４７】
以上のように、本実施の形態に係るブレードカバー装置３８は、切削ブレード３４の外周端面に切削水を供給する切削水噴出口５６ｂと、切削ブレード３４の両側面に切削水を噴射する補助切削水噴出口５６ｄとが一体に形成されたノズルブロック５６を備えるので、カバー部材とは別にパイプ状のノズルを設ける場合のように、飛散した端材等との接触によって、ノズルの落下、変形、位置ずれ等の不具合が発生することはない。このように、本実施の形態によれば、飛散した端材等の接触に伴う不具合の発生を防止可能なブレードカバー装置３８を提供できる。
【００４８】
また、本実施の形態に係るブレードカバー装置３８では、調整ネジ６４を回転させることで、Ｚ軸方向における切削水噴出口５６ｂ及び一対の補助切削水噴出口５６ｄの位置を一度に調整できるので、ノズルの調整が容易になると共に、ノズルの調整に要する時間を短縮できる。
【００４９】
なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、矩形状のパッケージ基板等を切削する切削装置２にブレードカバー装置３８を適用しているが、一般的な半導体ウェーハ等を切削する切削装置に本発明のブレードカバー装置を適用しても良い。
【００５０】
また、回転規制部として機能するガイド部５０ａ及び切り欠き部５６ａの形状を変更することもできる。例えば、ガイド部５０ａと切り欠き部５６ａとの接触面を、調整ネジ６４の伸びる方向に対して垂直に形成すれば、ガイド部５０ａと切り欠き部５６ａとを回転規制部として機能させることができる。
【００５１】
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００５２】
２  切削装置
４  基台
４ａ  開口
６  Ｘ軸移動テーブル
８  防水カバー
１０  チャックテーブル
１０ａ  保持面
１２  切削ユニット
１４  支持構造
１６  切削ユニット移動機構
１８  Ｙ軸ガイドレール
２０  Ｙ軸移動テーブル
２２  Ｙ軸ボールネジ
２４  Ｚ軸ガイドレール
２６  Ｚ軸移動テーブル
２８  Ｚ軸ボールネジ
３０  Ｚ軸パルスモータ
３２  カメラ
３４  切削ブレード
３６  スピンドルハウジング
３８  ブレードカバー装置
４０  固定ナット
４２  支持基台
４４  切り刃
４６  ベース部
４８  第１ベース部
５０  第２ベース部
５０ａ  ガイド部（回転規制部）
５０ｂ  貫通孔
５０ｃ  拡径部
５２  ノズル
５４  連結部
５６  ノズルブロック
５６ａ  切り欠き部（回転規制部）
５６ｂ  切削水噴出口
５６ｃ  供給路
５６ｄ  補助切削水噴出口
５６ｅ  供給路
５６ｆ  ネジ孔
５８  連結部
６０  連結部
６２  位置調整機構（位置調整手段）
６４  調整ネジ
６４ａ  頭部
６６  抜け止めプレート
６６ａ  開口
６８  固定ネジ
７０  固定ネジ
１１  被加工物
Ｒ  回転方向
【図１】
2015145046.tif 000003
【図２】
2015145046.tif 000004
【図３】
2015145046.tif 000005
【図４】
2015145046.tif 000006