(57)【要約】【課題】  ２つのプローブを１つの外部端子に接触させる場合において、各プローブの接触抵抗のばらつきを抑制することが可能な技術を提供する。【解決手段】  電池の製造方法であって、外部端子を圧縮する工程と、集電端子を外部端子に接続する工程と、集電端子を電極体に接続する工程と、外部端子を圧縮する工程、集電端子を外部端子に接続する工程、及び、集電端子を電極体に接続する工程を実施した後に、少なくとも２つのプローブを外部端子の圧縮された表面に接触させることによって電極体に通電する工程を有する。【選択図】図４
2015072746.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電池の製造方法であって、
外部端子を圧縮する工程と、
集電端子を外部端子に接続する工程と、
集電端子を電極体に接続する工程と、
外部端子を圧縮する工程、集電端子を外部端子に接続する工程、及び、集電端子を電極体に接続する工程を実施した後に、少なくとも２つのプローブを外部端子の圧縮された表面に接触させることによって電極体に通電する工程、
を有する電池の製造方法。
【請求項２】
集電端子を外部端子にかしめることによって、集電端子を外部端子に接続する請求項１の製造方法。
【請求項３】
外部端子を圧縮により固定している間に、集電端子を外部端子にかしめる請求項２の製造方法。
【請求項４】
外部端子の圧縮された表面の表面粗さが、圧縮前の表面の表面粗さよりも低い請求項１〜３の何れか一項の製造方法。
【請求項５】
複数の電池を製造する場合に、外部端子の圧縮された表面の圧縮方向における位置ばらつきを示す標準偏差が、０．００１６ｍｍ以下である請求項１〜４の何れか一項の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書が開示する技術は、電池の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、二次電池の充放電装置が開示されている。この技術では、二次電池の端子（正極端子と負極端子）に電源側端子を接触させることで二次電池に通電する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１４０８４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電池の１つの外部端子に、２つのプローブを接触させて電池に通電することがある。例えば、電圧印加用のプローブと、電流検出用のプローブを１つの外部端子に接触させる場合がある。このような場合に、外部端子の形状のばらつきにより、プローブの接触抵抗にばらつきが生じ易い。より詳細に説明すると、２つのプローブを有する測定器具を外部端子に接近させていく場合には、一方のプローブが先に外部端子と接触する。その後、測定器具をさらに外部端子に向かって移動させると、他方のプローブが外部端子と接触する。この場合、先に外部端子と接触したプローブの接触圧力は、後に外部端子と接触したプローブの接触圧力よりも大きくなる。このため、２つのプローブを用いる場合には、外部端子の形状バラつきに起因して、測定毎に各プローブの接触圧力（すなわち、接触抵抗）にばらつきが生じ、問題となる。したがって、本明細書では、２つのプローブを１つの外部端子に接触させる場合において、各プローブの接触抵抗のばらつきを抑制することが可能な技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本明細書が開示する電池の製造方法は、外部端子を圧縮する工程と、集電端子を外部端子に接続する工程と、集電端子を電池に接続する工程と、少なくとも２つのプローブを外部端子の圧縮された表面に接触させることによって電池に通電する工程を有する。
【０００６】
この製造方法では、電池に通電する前の何れかの段階で、外部端子を圧縮する。このように外部端子を圧縮加工することで、圧縮された表面の形状精度を向上させることができる。その後、圧縮された表面に、少なくとも２つのプローブを接触させることによって、電池に通電する。圧縮された表面の形状精度が高いので、各プローブの接触圧力のばらつきが抑制される。すなわち、各プローブの接触抵抗のばらつきが抑制される。
【０００７】
なお、外部端子を圧縮する工程と、集電端子を外部端子に接続する工程と、集電端子を電池に接続する工程は、どのような順序で行ってもよい。また、これらの工程のうちの２つ以上の工程を同時に行ってもよい。
【０００８】
上記の製造方法においては、集電端子を外部端子にかしめることによって、集電端子を外部端子に接続してもよい。
【０００９】
また、かしめによる接続を採用する場合には、外部端子を圧縮により固定している間に、集電端子を外部端子にかしめてもよい。
【００１０】
このような構成によれば、かしめ時に外部端子を固定する作業と、外部端子を圧縮する作業を同時に実施することができる。このため、通常のかしめ工程に比べて新たな工程を追加することなく外部端子を圧縮することが可能であり、効率的に電池を製造することが可能となる。
【００１１】
上記の何れかの製造方法においては、外部端子の圧縮された表面の表面粗さが、圧縮前の表面の表面粗さよりも低くてもよい。
【００１２】
このように、圧縮により表面粗さが小さくなると、圧縮された表面と接触するプローブが摩耗し難くなり、プローブの寿命が延びる。
【００１３】
上記の何れかの製造方法においては、複数の電池を製造する場合に、外部端子の圧縮された表面の圧縮方向における位置ばらつきを示す標準偏差が、０．００１６ｍｍ以下であってもよい。
【００１４】
圧縮された表面において上記の形状精度が得られていれば、プローブの接触抵抗のばらつきを効果的に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】二次電池１０のケース内部の構造を示す側面図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線におけるかしめ部１５の断面図。
【図３】かしめ工程前の図２に対応する断面図。
【図４】外部端子２２を圧縮する工程の説明図。
【図５】初期充電工程の説明図。
【図６】プローブの接触抵抗とサイクル数の関係を示すグラフ。
【図７】実施例１の凹部の形状精度を示すグラフ。
【図８】従来技術の外部端子のプローブ接触箇所の形状精度を示すグラフ。
【図９】プローブの接触抵抗とサイクル数の関係を示すグラフ。
【図１０】実施例３のかしめ部１５の断面図。
【図１１】外部端子２２に加える荷重と、外部端子２２のストロークの関係を示すグラフ。
【図１２】実施例４のかしめ部１５の断面図。
【図１３】かしめ工程前の図１２に対応する断面図。
【図１４】ボルト２２ｄを持ち上げた場合の説明図。
【図１５】ビード２２ｅを示す斜視図。
【図１６】かしめ部浮き高さとボルト持ち上げ量の関係を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１６】
図１に示す二次電池１０は、電極体１２、負極集電端子１４、陽極集電端子１６、カバー１８、及び、ケース２０を有している。ケース２０はカバー１８に溶接されており、これによってケース２０内に密閉した空間が形成されている。ケース２０内には、電極体１２、負極集電端子１４、及び、陽極集電端子１６が収容されている。電極体１２は、多数の陽極極板と負極極板を互いに絶縁した状態で積層し、その積層体を巻回することにより形成されたものである。電極体１２の一方の端部（図１の左側）には、各負極極板が束ねられることによって構成されている芯体露出部１２ａが形成されている。電極体１２の他方の端部（図１の右側）には、各陽極極板が束ねられることによって構成されている芯体露出部１２ｂが形成されている。負極集電端子１４は、その下端近傍において、芯体露出部１２ａに溶接されている。負極集電端子１４の上端は、カバー１８に設けられた外部端子２２に接続されている。これによって、芯体露出部１２ａの電位が外部端子２２に出力されるようになっている。陽極集電端子１６は、その下端近傍において、芯体露出部１２ｂに溶接されている。陽極集電端子１６の上端は、カバー１８に設けられた外部端子２４に接続されている。これによって、芯体露出部１２ｂの電位が外部端子２４に出力されるようになっている。また、ケース２０内は、電解液で満たされている。
【００１７】
図２は、負極集電端子１４と外部端子２２との接続部（図１のＩＩ−ＩＩ線）の拡大断面図である。負極集電端子１４の上端部には、かしめ部１５が形成されている。かしめ部１５は、カバー１８と略平行に伸びる基部１４ａと、基部１４ａから上方に伸びる柱状部１４ｂと、柱状部１４ｂの先端から傘状に広がるかしめ頭部１４ｃを有している。基部１４ａ上には、ガスケット３２、カバー１８、インシュレータ３４、及び、外部端子２２が順に積層されている。ガスケット３２、カバー１８、インシュレータ３４、及び、外部端子２２には、それぞれ、貫通孔が形成されている。それらの貫通孔に負極集電端子１４の柱状部１４ｂが挿通されている。ガスケット３２、カバー１８、インシュレータ３４、及び、外部端子２２は、かしめ頭部１４ｃと基部１４ａによって両側から挟まれている（すなわち、かしめられている）。これによって、負極集電端子１４、ガスケット３２、カバー１８、インシュレータ３４、及び、外部端子２２が互いに固定されている。ガスケット３２は、ゴム等の弾性部材により構成されており、かしめ部１５の気密性を確保している。インシュレータ３４は、外部端子２２とカバー１８との間を絶縁している。かしめ頭部１４ｃは外部端子２２と密着している。このため、外部端子２２と負極集電端子１４は互いに導通している。かしめ頭部１４ｃの両側の外部端子２２の上面には、２つの凹部２２ａ、２２ｂが形成されている。凹部２２ａ、２２ｂは、その周囲の外部端子２２の表面よりもわずかに凹んでいる。図示していないが、陽極集電端子１６と外部端子２４も、図２と同様の構造により接続されている。
【００１８】
次に、二次電池１０の製造工程について説明する。最初に、負極集電端子１４を、外部端子２２等にかしめにより接続する工程を実施する。このかしめ工程の実施前においては、負極集電端子１４の上端には、図３に示すように、基部１４ａと柱状部１４ｂ（リベット）が形成されている。柱状部１４ｂの先端にはかしめ頭部１４ｃが形成されておらず、柱状部１４ｂの先端が筒状となっている。かしめ工程では、図３に示すように、ガスケット３２、カバー１８、インシュレータ３４、及び、外部端子２２を積層する。また、これらの部材に形成されている各貫通孔内に負極集電端子１４の柱状部１４ｂを挿入されるように負極集電端子１４を配置する。このように各部材を配置した状態で、図４に示すように、圧縮工具４０によって外部端子２２の上面を押圧する。圧縮工具４０は２つの圧縮面４０ａ、４０ｂを有している。ここでは、柱状部１４ｂの両側で圧縮面４０ａ、４０ｂを外部端子２２と接触させる。また、圧縮工具４０に印加される荷重は、外部端子２２が塑性変形するように調節されている。これによって、圧縮面４０ａ、４０ｂと接触している位置において外部端子２２が圧縮され、外部端子２２の上面に凹部２２ａ、２２ｂが形成される。ここでは、凹部２２ａの底面と凹部２２ｂの底面が略同一平面上を伸びるように、凹部２２ａ、２２ｂが形成される。次に、圧縮工具４０によって外部端子２２を圧縮した状態を維持しながら、柱状部１４ｂの筒状部を塑性変形させることによって、かしめ頭部１４ｃを形成する。すなわち、負極集電端子１４によって、ガスケット３２、カバー１８、インシュレータ３４、及び、外部端子２２をかしめる。このとき、圧縮工具４０による加圧によって負極集電端子１４、ガスケット３２、カバー１８、インシュレータ３４、及び、外部端子２２が固定されているので、容易にかしめを実施することができる。なお、かしめは、プレス方式で行ってもよいし、ロータリー方式で行ってもよい。以上のかしめ工程によって、図２の構造が得られる。
【００１９】
負極集電端子１４を外部端子２２等に接続したら、陽極集電端子１６を外部端子２４に接続する。陽極集電端子１６のかしめ工程は、負極集電端子１４のかしめ工程と同様の方法によって行う。次に、負極集電端子１４を電極体１２の芯体露出部１２ａに溶接し、陽極集電端子１６を電極体１２の芯体露出部１２ｂに溶接する。次に、ケース２０内に電極体１２を収容し、ケース２０をカバー１８に溶接する。次に、図示しない注液口からケース２０内に電解液を注入し、その後、注液口を閉じる。これによって、ケース２０内が密閉される。以上によって、図１に示す構造が完成する。
【００２０】
図１に示す構造が完成したら、次に、電極体１２に対して初期充電工程を実施する。初期充電工程では、図５に示すように測定ユニット５０を負極側の外部端子２２に接触させる。測定ユニット５０は、２つのプローブ５０ａ、５０ｂを有する。プローブ５０ａ、５０ｂは互いに固定されている。プローブ５０ａは外部端子２２に電圧を印加するためのプローブであり、プローブ５０ｂは外部端子２２の電流を測定するためのプローブである。ここでは、プローブ５０ａを外部端子２２の凹部２２ａに接触させ、プローブ５０ｂを外部端子２２の凹部２２ｂに接触させる。プローブ５０ａ、５０ｂの先端は尖っている。また、プローブ５０ａ、５０ｂは、所定の荷重により外部端子２２に対して押し付けられる。このため、プローブ５０ａ、５０ｂの先端が外部端子２２の表面の酸化被膜を貫通し、プローブ５０ａ、５０ｂが外部端子２２と低抵抗で接触する。陽極側の外部端子２４にも、負極型の外部端子２２と同様にして、測定ユニットを接触させる。そして、陽極側と負極側の電圧印加用のプローブ間に電圧を印加することによって、電極体１２に通電する。このとき、陽極側と負極側の電流測定用のプローブによって電流を測定し、測定された電流に基づいて電極体１２への印加電圧を制御する。これによって、電極体１２の特性を調整しながら初期充電を実施する。
【００２１】
上述したように、プローブ５０ａ、５０ｂは互いに固定されている。このため、外部端子２２のプローブ接触位置の形状精度が悪いと、以下の問題が発生する。すなわち、プローブ５０ａ、５０ｂを接触させるために測定ユニット５０を外部端子２２に向かって移動させていくと、プローブ５０ａ、５０ｂの何れか一方が外部端子２２と接触する。そのまま、さらに測定ユニット５０を外部端子２２に向かって移動させると、他方のプローブが外部端子２２に接触する。このとき、先に外部端子２２に接触したプローブには高い荷重が加わる。したがって、先に接触したプローブには、後に接触したプローブよりも高い荷重が加わることになる。この荷重の差によって、プローブと外部端子２２との間の接触抵抗にも差が生じる。この接触抵抗の差は、外部端子２２のプローブ接触位置の形状精度に応じて変化する。このため、電池を量産する際には、プローブ接触位置の形状精度が悪いほど、初期充電工程において接触抵抗のばらつきが大きくなる。
【００２２】
しかしながら、上述したように、実施例１の製造方法では、プローブ５０ａ、５０ｂが凹部２２ａ、２２ｂに接触する。凹部２２ａ、２２ｂは、圧縮工具４０による圧縮により形成された領域であり、凹部２２ａ、２２ｂ外の外部端子２２の表面よりも高い形状精度を有している。このため、プローブ５０ａの凹部２２ａに対する接触抵抗にばらつきが生じ難く、プローブ５０ｂの凹部２２ｂに対する接触抵抗にばらつきが生じ難い。また、プローブ５０ａとプローブ５０ｂの間で接触抵抗に差が生じ難い。このため、初期充電工程において接触抵抗のばらつきの影響を受け難く、電極体１２の特性をより正確に調節することができる。
【００２３】
図６は、プローブと外部端子の間の接触抵抗の経時変化（サイクル数（プローブの使用回数）に対する変化）を示している。なお、図６の丸ドットは、実施例１の方法（凹部２２ａ、２２ｂを形成した場合）の結果を示しており、図５の四角ドットは、従来の方法（凹部２２ａ、２２ｂを形成せずに、外部端子の表面にプローブを接触させた場合）の結果を示している。なお、各結果には、２つのプローブのそれぞれの接触抵抗が含まれている。図６から明らかなように、何れのサイクル数においても、実施例１の方法では、従来の方法に比べて接触抵抗のばらつきが抑えられる。
【００２４】
また、図７は、凹部２２ａ、２２ｂの底面に垂直な方向（かしめ工程で圧縮される方向）における凹部２２ａ、２２ｂの底面の位置（高さ）を表している。なお、図７は、外部端子２２の所定の基準高さから測定した位置を表している。図７では、凹部２２ａ、２２ｂの位置ばらつきを示す標準偏差σは０．００１６ｍｍであった。また、図８は、従来の方法におけるプローブの接触箇所の位置精度を表している。図８も、図７と同様の基準高さからの位置を表している。図８では、プローブの接触位置のばらつき（基準高さからの位置のばらつき）を示す標準偏差σは０．００２４ｍｍであった。この結果から、少なくとも凹部の底面の位置精度σが０．００１６ｍｍ以下であれば、図６の効果が得られることが分かる。
【実施例２】
【００２５】
実施例２の製造方法では、実施例１よりも圧縮工具４０の圧縮面４０ａ、４０ｂの表面粗さが低い圧縮工具４０を用いてかしめ工程を実施する。実施例２のその他の構成は、実施例１と等しい。実施例１では、圧縮面４０ａ、４０ｂの表面粗さＲｚが、０．８２μｍであった。これに対し、実施例２では、圧縮面４０ａ、４０ｂの表面粗さＲｚが、０．４５である。このように、実施例２では、圧縮工具４０の圧縮面４０ａ、４０ｂの表面粗さが低いので、圧縮された凹部２２ａ、２２ｂの底面の表面粗さも低くなる。実施例２では、圧縮工具４０による圧縮により、凹部２２ａ、２２ｂの底面は、圧縮前よりも表面粗さが低くなる。
【００２６】
上述したように、初期充電工程に使用するプローブ５０ａ、５０ｂは、先端が尖っている。プローブ５０ａ、５０ｂの先端は、使用する毎に摩耗する。このため、プローブ５０ａ、５０ｂの接触抵抗は、使用回数と共に上昇する。しかしながら、実施例２の製造方法では、プローブ５０ａ、５０ｂに接触する凹部２２ａ、２２ｂの表面粗さが低いため、プローブ５０ａ、５０ｂの摩耗が抑制される。図９は、プローブ５０ａ、５０ｂの接触抵抗とサイクル数との関係を示している。なお、図９において、丸ドットは実施例１の方法による結果を示しており、三角ドットは実施例２の方法による結果を示している。図９から明らかなように、実施例２の方法によれば、プローブ５０ａ、５０ｂの摩耗が抑制されるため、接触抵抗が上昇し難い。
【実施例３】
【００２７】
実施例３では、図１０に示すようにかしめ工程を行う。図１０では、カバー１８の貫通孔（柱状部１４ｂが挿通されている貫通孔）の周囲に、ガスケット３２側に突出する凸部１８ａが形成されている。このような構成によれば、かしめ工程において、凸部１８ａによってガスケット３２が容易に圧縮される。これによって、かしめ部１５における適切な気密性を得ることができる。また、ガスケット３２に所定以上の荷重が加わると、凸部１８ａと共に凸部１８ａの周囲のカバー１８（すなわち、カバー１８の平坦な表面）もガスケット３２と接触する。これによって、ガスケット３２が過圧縮されることが抑制される。図１１は、かしめ工程においてカバー１８からガスケット３２に加わる荷重と、カバー１８のストローク（ガスケット３２側に移動する量）を示している。図１１から明らかなように、低荷重時（荷重が１０００Ｎ以下の領域）においては、荷重の増加とともにストロークが増加し、ガスケット３２が容易に圧縮されていることが分かる。また、高荷重時（荷重が１０００Ｎより大きい領域）においては、荷重の増加量に対するストロークの増加量が少なくなっており、ガスケット３２が圧縮され難くなっている。すなわち、ガスケット３２の過圧縮が抑制されている。実施例３によれば、ガスケット３２の圧縮量を容易に最適化することができる。
【実施例４】
【００２８】
実施例４では、図１２、１３に示すようにかしめ工程を行う。実施例１の製造方法では、柱状部１４ｂの裏側の負極集電端子１４の表面に凹部１４ｄが形成されていた（図２参照）。これに対し、実施例４では、図１２、１３に示すように凹部１４ｄが形成されていない。
【００２９】
実施例１のように凹部１４ｄが設けられていても、外部端子２２に対して負極集電端子１４が十分に硬い場合には、かしめ部１５に問題は生じない。しかしながら、実施例１の構成では、外部端子２２のヤング率が負極集電端子１４のヤング率の２倍以上である場合には、負極集電端子１４の柱状部１４ｂが変形しやすくなるため、問題が生じる。すなわち、かしめ時に、負極集電端子１４の柱状部１４ｂが凹部１４ｄ側に移動するように変形してしまう。このような変形が生じると、柱状部１４ｂの変形により、柱状部１４ｂからガスケット３２に荷重が加わり難くなる。このため、ガスケット３２の圧縮量が少なくなる場合があり、ガスケット３２の圧縮量が安定しなくなる。
【００３０】
実施例４の構成では、凹部１４ｄが形成されていないので、このような問題は生じない。ガスケット３２の圧縮量を安定化させることができる。厚みが０．６ｍｍのガスケットを０．３ｍｍに圧縮するかしめ工程においてデータを取得したところ、凹部１４ｄが存在する場合にはガスケットの圧縮後の厚みのばらつき（標準偏差）は０．０１７ｍｍであったのに対し、凹部１４ｄが存在しない場合にはガスケットの圧縮後の厚みのばらつきは０．００６ｍｍであった。
【実施例５】
【００３１】
実施例５の構成について説明する前に、外部端子２２の機能について説明する。図１に示すように、外部端子２２は、かしめ部１５近傍においてはカバー１８の表面に沿って伸びており、かしめ部１５から離れた位置ではカバー１８から離れて浮き上がり部２２ｃを形成している。浮き上がり部２２ｃの端部には、ボルト２２ｄが設置されている。二次電池１０の外部端子２２は、他の多数の二次電池１０と共に、ボルト２２ｄによって共通の端子台に締結される。ボルト締結時には各二次電池１０の製造誤差等に起因して、外部端子２２に応力が加わる。浮き上がり部２２ｃは弾性変形可能とされており、これによって、ボルト締結時に外部端子２２に加わる応力を吸収する。しかしながら、図１４に示すように、ボルト締結時に浮き上がり部２２ｃが大きく持ち上げられると、かしめ部１５に高い応力が加わり、問題となる。
【００３２】
実施例５の二次電池は、図１５に示すように、かしめ部１５と浮き上がり部２２ｃの間の外部端子２２の表面にビード２２ｅが形成されている。ビード２２ｅは、外部端子２２の長さ方向に沿って伸び、外部端子２２の幅方向に沿って凹凸を繰り返す形状を有している。このようにビード２２ｅが形成されていることで、ビード２２ｅにおける外部端子２２の強度が向上されている。このため、ボルト締結時に浮き上がり部２２ｃが大きく持ち上げられても、ビード２２ｅによってビード２２ｅよりもかしめ部１５側の外部端子２２が変形することが抑制される。これによって、かしめ部１５に高い応力が加わることが抑制される。
【００３３】
実施例５の二次電池の製造方法では、かしめ工程後の初期充電工程において、ビード２２ｅに対応する形状を有するプローブが用いられる。このプローブは、ビード２２ｅに相当する位置に押し付けられる。これによって、外部端子２２が圧縮され、ビード２２ｅが形成される。プローブをそのまま押し付けた状態で、そのプローブを用いて初期充電工程が実施される。このように、この方法では、初期充電工程においてプローブを外部端子２２に押圧することで、外部端子２２にビード２２ｅが形成される。工程を追加することなくビード２２ｅを形成することが可能であり、この方法によれば効率的に実施例５の二次電池を製造することができる。
【００３４】
図１６は、ボルト２２ｄの持ち上げ量とかしめ部１５の浮き高さａ（図１４参照）の関係を示している。なお、図１６において、四角ドットがビードありの場合の結果を示しており、三角ドットがビードなしの場合の結果を示している。図１６から明らかなように、ビードによってかしめ部の浮き上がりが抑制される。
【００３５】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例をさまざまに変形、変更したものが含まれる。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００３６】
１０：二次電池
１２：電極体
１４：負極集電端子
１５：かしめ部
１６：陽極集電端子
１８：カバー
２０：ケース
２２：外部端子
２４：外部端子
３２：ガスケット
３４：インシュレータ
４０：圧縮工具
５０：測定ユニット
５０ａ：プローブ
５０ｂ：プローブ
【図１】
2015072746.tif 000003
【図２】
2015072746.tif 000004
【図３】
2015072746.tif 000005
【図４】
2015072746.tif 000006
【図５】
2015072746.tif 000007
【図６】
2015072746.tif 000008
【図７】
2015072746.tif 000009
【図８】
2015072746.tif 000010
【図９】
2015072746.tif 000011
【図１０】
2015072746.tif 000012
【図１１】
2015072746.tif 000013
【図１２】
2015072746.tif 000014
【図１３】
2015072746.tif 000015
【図１４】
2015072746.tif 000016
【図１５】
2015072746.tif 000017
【図１６】
2015072746.tif 000018