(57)【要約】【課題】データキャリアとループアンテナとの間の交信を安定して行うことができる帯状シートの支持装置および帯状シートの管理方法を提供すること。【解決手段】中空筒状の軸芯部材２４に巻回された帯状シートを繰出可能に支持する帯状シートの支持装置において、軸芯部材２４の中空部に挿入可能な支持軸２２１と、支持軸２２１を支えるフレームと、支持軸２２１の軸線Ｃと直交するアンテナ面２７３と、アンテナ面２７３に設けられたループアンテナ２７４と、を備え、軸芯部材２４には、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能な非接触式のデータキャリア２６が設けられ、ループアンテナ２７４は、軸線Ｃを囲むループ状に巻かれたループ部２７４ａを有し、ループアンテナ２７４側から軸芯部材２４を軸線Ｃに沿う方向で見た際に、軸芯部材２４の近傍にループアンテナ２７４のループ部２７４ａが配置されていることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空筒状の軸芯部材に巻回された帯状シートを繰出可能に支持する帯状シートの支持装置において、
前記軸芯部材の中空部に挿入可能な支持軸と、
前記支持軸を支えるフレームと、
前記支持軸の軸線と直交するアンテナ面と、
前記アンテナ面に設けられたループアンテナと、を備え、
前記軸芯部材には、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能な非接触式のデータキャリアが設けられ、
前記ループアンテナは、前記軸線を囲むループ状に巻かれたループ部を有し、
前記ループアンテナ側から前記軸芯部材を前記軸線に沿う方向で見た際に、前記軸芯部材の近傍に前記ループアンテナのループ部が配置されていることを特徴とする帯状シートの支持装置。
【請求項２】
請求項１に記載の帯状シートの支持装置において、
前記軸芯部材は、軸方向で一端側に第一端部を備え、軸方向で他端側に第二端部を備え、
前記フレームは、前記第一端部側に配置され、
前記アンテナ面は、前記第二端部側に配置されていることを特徴とする帯状シートの支持装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の帯状シートの支持装置において、
前記ループアンテナ側から前記軸芯部材を前記軸線に沿う方向で見た際に、前記軸芯部材の形状と、前記ループアンテナの前記ループ部の形状とが重なることを特徴とする帯状シートの支持装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の帯状シートの支持装置において、
前記軸芯部材は、中空の円筒状であり、
前記ループ部は、円形であり、
前記軸芯部材の円筒の直径と前記ループ部の直径とが同じであることを特徴とする帯状シートの支持装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の帯状シートの支持装置において、
前記データキャリアは、コイル状のアンテナを有し、
前記コイル状のアンテナの長手方向が、前記軸線方向に沿って延びていることを特徴とする帯状シートの支持装置。
【請求項６】
支持装置に繰出可能に支持される帯状シートを管理する帯状シートの管理方法において、
前記帯状シートは、中空筒状の軸芯部材に巻回され、
前記支持装置は、前記軸芯部材の中空部に挿入可能な支持軸と、前記支持軸を支えるフレームと、前記支持軸の軸線と直交するアンテナ面と、前記アンテナ面に設けられ、前記軸線を囲むループ状に巻かれたループ部を有するループアンテナと、を備え、
前記軸芯部材には、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能なデータキャリアを設け、
前記ループアンテナ側から前記軸芯部材を前記軸線に沿う方向で見た際に、前記軸芯部材の近傍に前記ループアンテナのループ部を配置し、
前記データキャリアと前記ループアンテナとの間で、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方を行うことを特徴とする帯状シートの管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状シートの支持装置および帯状シートの管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯状の接着シートを繰り出してウェハに貼付する貼付装置において、接着シートが巻回された軸芯部材にデータキャリアを設け、当該データキャリアに書き込まれたデータを読み取って、貼付条件を適切に設定する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載された支持装置では、軸芯部材を支持する支持軸の軸線と直交するアンテナ面に当該軸線を囲むループアンテナを設け、軸芯部材に設けられたデータキャリアとループアンテナとの間で交信させる構成を採用している。特許文献１によれば、当該支持装置によって、交信を行うための軸芯部材を支持する際の正確な位置合わせが不要になる旨が記載されている。
その他、金属製のフレームの近傍にループアンテナやデータキャリアが配置された支持装置や、金属製の筐体内にて帯状シートを支持する貼付装置等がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１６５４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ループアンテナやデータキャリアの近傍に金属製の部材や筐体等が配置されていると、データキャリアとループアンテナとの間の交信が不安定になるおそれがある。そのため、金属製の部材等が配置されていてもより安定的に交信を行うことのできる技術が要望されている。
【０００５】
本発明の目的は、データキャリアとループアンテナとの間の交信を安定して行うことができる帯状シートの支持装置および帯状シートの管理方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る帯状シートの支持装置は、中空筒状の軸芯部材に巻回された帯状シートを繰出可能に支持する帯状シートの支持装置において、前記軸芯部材の中空部に挿入可能な支持軸と、前記支持軸を支えるフレームと、前記支持軸の軸線と直交するアンテナ面と、前記アンテナ面に設けられたループアンテナと、を備え、前記軸芯部材には、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能な非接触式のデータキャリアが設けられ、前記ループアンテナは、前記軸線を囲むループ状に巻かれたループ部を有し、前記ループアンテナ側から前記軸芯部材を前記軸線に沿う方向で見た際に、前記軸芯部材の近傍に前記ループアンテナのループ部が配置されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明の一態様に係る帯状シートの支持装置において、前記軸芯部材は、軸方向で一端側に第一端部を備え、軸方向で他端側に第二端部を備え、前記フレームは、前記第一端部側に配置され、前記アンテナ面は、前記第二端部側に配置されていることが好ましい。
【０００８】
本発明の一態様に係る帯状シートの支持装置において、前記ループアンテナ側から前記軸芯部材を前記軸線に沿う方向で見た際に、前記軸芯部材の形状と、前記ループアンテナの前記ループ部の形状とが重なることが好ましい。
【０００９】
本発明の一態様に係る帯状シートの支持装置において、前記軸芯部材は、中空の円筒状であり、前記ループ部は、円形であり、前記軸芯部材の円筒の直径と前記ループ部の直径とが同じであることが好ましい。
【００１０】
本発明の一態様に係る帯状シートの支持装置において、前記データキャリアは、コイル状のアンテナを有し、前記コイル状のアンテナの長手方向が、前記軸線方向に沿って延びていることが好ましい。
【００１１】
本発明の一態様に係る帯状シートの管理方法は、支持装置に繰出可能に支持される帯状シートを管理する帯状シートの管理方法において、前記帯状シートは、中空筒状の軸芯部材に巻回され、前記支持装置は、前記軸芯部材の中空部に挿入可能な支持軸と、前記支持軸を支えるフレームと、前記支持軸の軸線と直交するアンテナ面と、前記アンテナ面に設けられ、前記軸線を囲むループ状に巻かれたループ部を有するループアンテナと、を備え、前記軸芯部材には、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能なデータキャリアを設け、前記ループアンテナ側から前記軸芯部材を前記軸線に沿う方向で見た際に、前記軸芯部材の近傍に前記ループアンテナのループ部を配置し、前記データキャリアと前記ループアンテナとの間で、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一態様に係る帯状シートの支持装置によれば、ループアンテナ側から軸芯部材を軸線に沿う方向で見た際に、軸芯部材の近傍にループアンテナのループ部が配置されているので、ループアンテナから放射される磁束がデータキャリアを通過し易くなる。その結果、データキャリアとループアンテナとの間の交信を安定して行うことができる。ここで、近傍とは、ループアンテナにて発生した磁束が前記データキャリアを通過可能な位置に配置されていることをいうものとする。
【００１３】
本発明の一態様に係る帯状シートの支持装置において、軸芯部材の第一端部側にフレームが配置され、軸芯部材の第二端部側にアンテナ面が配置されていれば、金属製のフレームから離れた位置にループアンテナを設けることができる。そのため、データキャリアとループアンテナとの間の交信をより安定させることができる。さらに、データキャリアが設けられた軸芯部材を支持軸に設置する際に、データキャリアは第二端部側に位置されるため、データキャリアに設けられたＩＣチップなどが、支持軸に接触して破損するおそれが低減する。
【００１４】
本発明の一態様に係る帯状シートの支持装置において、ループアンテナ側から軸芯部材を軸線に沿う方向で見た際に、軸芯部材の形状と、ループアンテナのループ部の形状とが重なっていれば、データキャリアを通過する磁束が多くなる。そのため、データキャリアとループアンテナとの間の交信をより安定させることができる。
【００１５】
本発明の一態様に係る帯状シートの支持装置において、軸芯部材は、中空の円筒状であり、ループアンテナのループ部は、円形であり、軸芯部材の円筒の直径とループ部の直径とが同じであれば、データキャリアを通過する磁束をさらに増やすことができる。また、軸芯部材が軸線回りで回転しても、軸芯部材の形状と、ループアンテナのループ部の形状との重なりの程度の変動が抑制される。そのため、データキャリアとループアンテナとの間の交信精度をさらに向上させることができ、さらには帯状シートの供給時等の軸芯部材が回転している間も安定して交信を行うことができる。
【００１６】
本発明の一態様に係る帯状シートの支持装置において、データキャリアは、コイル状のアンテナを有し、コイル状のアンテナの長手方向が、軸芯部材の軸線方向に沿って延びていれば、ループアンテナから軸線方向に向かって放射されたより多くの磁束がコイル状のアンテナを通過する。つまり、データキャリアのコイル状のアンテナを通過する磁束をさらに増やすことができる。そのため、データキャリアとループアンテナとの間の交信精度をさらに向上させることができる。
【００１７】
本発明の一態様に係る帯状シートの管理方法によれば、ループアンテナ側から軸芯部材を前記軸線に沿う方向で見た際に、軸芯部材の近傍にループアンテナのループ部を配置する。そして、データキャリアとループアンテナとの間で、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方を行う。そのため、ループアンテナから放射される磁束がデータキャリアを通過し易くなる。ゆえに、データキャリアとループアンテナとの間の交信を安定させることができ、帯状シートの管理精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る貼付装置の側面図である。
【図２】前記貼付装置の支持装置におけるループアンテナとデータキャリアとの配置を示す部分拡大図である。
【図３】第二実施形態に係る支持装置の部分断面図である。
【図４】第三実施形態に係るループアンテナとデータキャリアとの配置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。また、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を基準としている。
【００２０】
〔第一実施形態〕
図１において、貼付装置１は、半導体ウェハ（以下「ウェハ」と称す）Ｗに接着シートＳを貼付する。
接着シートＳは、基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤと、当該接着剤層ＡＤを介して仮着された剥離シートＲＬとを備えた帯状シートである。接着シートＳは、原反Ｒとして、中空円筒状の軸芯部材２４の外周に巻回されて予め準備されている。
そして、貼付装置１は、接着シートＳを繰出可能に支持する支持装置２と、接着シートＳを繰り出す繰出手段３と、繰り出された接着シートＳをウェハＷに押圧して貼付する押圧手段４と、ウェハＷと押圧手段４とを相対移動させる移動手段５とを備える。貼付装置１は、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段６によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。
【００２１】
支持装置２は、フレーム２１と、このフレーム２１の一方の面２１Ａに設けられた支持部２２とを備えている。支持部２２は、支持軸２２１を備えている。軸芯部材２４における中空部の一端側から支持軸２２１が挿入されることで、支持部２２は、軸芯部材２４を支持する。
繰出手段３は、その全体がフレーム２１に支持されている。繰出手段３は、原反Ｒを案内する複数のガイドローラ３２，ガイドローラ３３と、原反Ｒの剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離する剥離板３４と、駆動機器としての回動モータ３５によって駆動する駆動ローラ３６と、駆動ローラ３６との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ３７と、駆動機器としての回動モータ３９によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３８とを備えている。
押圧手段４は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成されている。押圧手段４は、図示しない支持部材により回転自在に支持され、駆動機器としての図示しない直動モータにより昇降可能に設けられている。
移動手段５は、ウェハＷが載置され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸着保持手段によって当該ウェハＷを吸着保持可能なテーブル５１と、テーブル５１の下面にスライダ５２が固定された駆動機器としての単軸ロボット５３とを備える。移動手段５は、スライダ５２をスライド駆動することで、テーブル５１を左右方向に移動可能に構成されている。
【００２２】
次に、支持装置２について説明する。
フレーム２１の一方の面２１Ａ（図１参照）側に位置する支持部２２は、図２に示すように、円柱状の支持軸２２１と、支持軸２２１の軸線Ｃと同軸の基端軸２２２と、を備える。なお、図２においては、フレーム２１の図示が省略されている。基端軸２２２は、支持軸２２１の一端側の第一端部２２１Ａから延びる。基端軸２２２は、フレーム２１に回転可能に支持されている。支持軸２２１は磁束が通過可能な材質で構成されていることが好ましい。
【００２３】
軸芯部材２４は磁束が通過可能な材質で構成されていることが好ましい。軸芯部材２４の材質としては、例えば、紙製や樹脂製が挙げられる。軸芯部材２４用の樹脂としては、ポリプロピレン、アクリロニトリルブタジエンスチレン共重合体、アクリロニトリルエチレンプロピレンゴムスチレン共重合体、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリアリレート、ポリフェニレンオキサイド、ポリメチルメタクリレート、ポリ塩化ビニル、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、フッ素樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等を例示することができる。軸芯部材２４の材質は、これらの樹脂に特に限定されることはない。
【００２４】
軸芯部材２４には、データキャリア２６が設けられている。
本実施形態で用いるデータキャリア２６は、軸芯部材２４の材質の影響を受けない電磁波を通信媒体とし、非接触でデータを読み取って記憶したり、非接触でデータを送信したりすることができる。このような非接触型のデータキャリア２６としては、例えば、ＩＣチップと、このＩＣチップに接続された送受信用のコイル状のアンテナとから構成されるいわゆるＩＣカードやＩＣタグ等を挙げることができる。
【００２５】
ＩＣタグとしては、データを記憶可能なラベル状のＩＣタグが用いられる。ＩＣタグは、電磁波を通信媒体としてデータを読み取って記憶したり、データを送信したりすることができる。ＩＣタグは、ＩＣインレットと、表面シートと、両面粘着シートとを備える。ＩＣタグは、両面粘着シートを介して軸芯部材２４に貼付される。
【００２６】
ＩＣインレットは、所定の共振周波数（例えば、１３５ｋＨｚ、１３．５６ＭＨｚ）で動作するＩＣチップと、コイル状のアンテナと、ＩＣチップおよびコイル状のアンテナを保持する回路基材とで構成される。
表面シートのＩＣインレットと反対側の面には、上記データに関連する情報を印字したり、バーコードや２次元コードを併記したりすることも可能である。回路基材および表面シートとしては、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリウレタン（ＰＵ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリイミド等の合成樹脂フィルムや、上質紙、コート紙、クラフト紙、グラシン紙等の紙材や、不織布等のシート材料を用いることができる。
回路基材および表面シートの厚さ寸法は、特に限定されるものではなく、用途に合わせて適宜設定することができ、例えば、５μｍ以上２０００μｍ以下が好ましく、１０μｍ以上５００μｍ以下がより好ましい。
両面粘着シートは、例えば、アクリル系、シリコーン系、ゴム系、ポリエステル系、ポリウレタン系等の粘着剤を用いて形成することができる。中でも、アクリル系粘着剤は、粘着力が制御しやすい点で優れているので、好ましい。両面粘着シートの厚さ寸法は、特に限定されるものではなく、用途に合わせて適宜設定でき、例えば、１μｍ以上３００μｍ以下が好ましく、５μｍ以上１５０μｍ以下がより好ましい。両面粘着シートは、更に中芯を備えていてもよい。
【００２７】
また、ＩＣタグは、金属の影響を低減するために、ＩＣインレットの回路基材面（表面シート側の面）およびその反対面（両面粘着シート側の面）のいずれか一方に、磁性体層を更に備えてもよい。磁性体層の厚さ寸法は、特に限定されるものではなく、用途に合わせて適宜設定でき、例えば、２０μｍ以上３０００μｍ以下が好ましく、特に５０μｍ以上１０００μｍ以下が好ましい。
【００２８】
データキャリア２６は、軸芯部材２４の内周面側に設けられていてもよいし、外周面側に設けられていてもよい。また、軸芯部材２４の内周面側や外周面側に、凹部を設け、当該凹部にデータキャリア２６を収容させてもよい。例えば、軸芯部材２４の内周面側に設けた凹部にデータキャリア２６を収容させれば、軸芯部材２４の中空部に支持軸２２１が挿入される際に、支持軸２２１とデータキャリア２６との接触を防止し、データキャリア２６の破損を防止できる。また、軸芯部材２４の外周面側に設けた凹部にデータキャリア２６を収容させれば、軸芯部材２４に巻回された接着シートＳの押圧によるデータキャリア２６の破損を防止できる。データキャリア２６がＩＣチップを備える場合、ＩＣチップは、外部からの応力によって壊れ易いので、支持軸２２１との接触や、接着シートＳの巻き付けによる押圧を避ける態様が有効である。
【００２９】
フレーム２１の一方の面２１Ａには、アンテナ部２７が取り付けられている。アンテナ部２７は、基板２７１を備えている。基板２７１は、面２１Ａに着脱可能に固定されている。基板２７１は、基板開口部２７２を有する。基板開口部２７２の内径は、支持軸２２１の直径よりも大きい。
基板２７１は、円環状のアンテナが配置される部材である。基板２７１の一面は、図示しない回路が形成されたアンテナ面２７３である。アンテナ面２７３には、ループアンテナ２７４が設けられている。ループアンテナ２７４は、導電体をループ状に巻回形成したループ部２７４ａを有する。本実施形態では、ループ部２７４ａは、円形に巻回形成されている。
ループアンテナ２７４は、保護部材によって保護されていてもよい。例えば、ループ部２７４ａを保護部材としてのカバーで覆うことができる。
【００３０】
本実施形態において、基板２７１は、基板開口部２７２に基端軸２２２が挿通され、支持軸２２１の軸線Ｃとアンテナ面２７３とが直交し、かつ、軸線Ｃとループアンテナ２７４の中心とが一致するように位置が調整されている。
前述のとおり、本実施形態では、軸芯部材２４は、中空円筒状であり、ループアンテナ２７４のループ部２７４ａは、円形である。そのため、ループアンテナ２７４側から軸芯部材２４を軸線Ｃに沿う方向で見た際に、軸芯部材２４の近傍にループ部２７４ａが配置されている。
また、本実施形態では、軸芯部材２４の円筒の直径（内径）ＬＤとループ部２７４ａの直径（内径）ＬＡとが同じ寸法である。そのため、ループアンテナ２７４側から軸芯部材２４を軸線Ｃに沿う方向で見た際に、軸芯部材２４の円筒の円と、ループ部２７４ａの円とが重なる。
図２に示すようなループアンテナ２７４とデータキャリア２６との配置の下で、ループアンテナ２７４から磁束Ｍが放射され、磁束Ｍは、データキャリア２６を通過する。本実施形態では、基板２７１の基板開口部２７２側に軸芯部材２４の位置決めをするための部材が設けられていないため、アンテナ面２７３におけるループアンテナ２７４の設置位置の自由度が増す。ループアンテナ２７４を基板開口部２７２側に設置できるようになり、データキャリア２６に対してより近傍に設置できるようになる。
【００３１】
データキャリア２６が、前述のようにＩＣチップと、コイル状のアンテナとを備える非接触型データキャリアである場合、コイル状のアンテナの配置位置としては、ループアンテナ２７４から発生する磁束Ｍが通過する位置であればよい。例えば、コイル状のアンテナが支持軸２２１の外周面と対向する対向面２６１に配置されていてもよいし、支持軸２２１の外周面と直交する直交面２６２に配置されていてもよい。コイル状のアンテナの形状は、特に限定されないが、例えば、円形状、楕円形状、正方形状、長方形状、多角形状、不定形状などが挙げられる。コイル状のアンテナは、楕円形状や長方形状のような長手方向を有する形状の場合は、長手方向が軸線Ｃの方向に沿って延びるように配置されていることが好ましい。
本実施形態では、図２に示すように、データキャリア２６が、コイル状のアンテナ２６ａを有し、コイル状のアンテナ２６ａは、通過する磁束Ｍが多くなるように、対向面２６１に沿って配置されている。さらに、コイル状のアンテナ２６ａは、その長手方向が軸線Ｃの方向に沿って配置されている。
【００３２】
アンテナ部２７には、図１に示すリーダライタ７が接続されている。リーダライタ７は、制御手段６による制御に基づき、データキャリア２６に記憶されたデータを読み取ったり、データキャリア２６にデータを書き込んだりすることが可能である。
データキャリア２６とループアンテナ２７４とで通信するデータとしては、ＩＣチップのＩＤ、接着シートＳの種類、材質、品名、コード、厚さ、長さ、幅、直径などの規格寸法、さらには、原反Ｒのロットナンバー、原反Ｒを使用した長さ、原反Ｒの残りの長さ、接着シートＳの品質保証期限、繰出開始前後の接着シートＳの残数、繰り出された接着シートＳの枚数、接着シートＳを最適に繰り出すことのできる推奨繰出速度、接着シートＳを最適に貼付することができる推奨貼付張力や推奨押圧力などの接着シートＳの貼付条件、接着シートＳや原反Ｒについての相談窓口の連絡先などが例示できる。そして、貼付装置１に設けられた図示しないモニタにデータキャリア２６から読み取ったデータを表示させたり、読み取ったデータを基に当該貼付装置１の貼付条件を設定したりすることができる。
【００３３】
本実施形態に係る帯状シートの管理方法は、本実施形態に係る支持装置２を用いて実施することが可能である。
まず、軸芯部材２４を支持軸２２１で支持させる。その際、ループアンテナ２７４側から軸芯部材２４を軸線Ｃに沿う方向で見た際に、軸芯部材２４の近傍にループ部２７４ａが配置されるように調整する。
本実施形態では、軸芯部材２４の円筒の直径（内径）ＬＤとループ部２７４ａの直径（内径）ＬＡとが同じ寸法であるため、軸芯部材２４の円筒の円と、ループ部２７４ａの円とが重なる。また、軸芯部材２４を支持する際、位置決めを行ってアンテナ部２７とデータキャリア２６との距離をデータの読み書きを適切に行える長さに設定する。その後、ループアンテナ２７４に電流を流すことで磁束Ｍを発生させ、データキャリア２６とループアンテナ２７４との間で、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方を行う。交信の制御は、制御手段６によって行われる。
【００３４】
本実施形態に係る貼付方法は、本実施形態に係る貼付装置１を用いて実施することができる。貼付装置１において、ウェハＷに接着シートＳを貼付する際には、まず、軸芯部材２４を支持軸２２１で支持させる。その際、軸芯部材２４の位置決めを行い、アンテナ部２７とデータキャリア２６との距離をデータの読み書きを適切に行える長さに設定する。
そして、回動モータ３５および回動モータ３９の駆動により、軸芯部材２４を支持軸２２１とともに回転させることで接着シートＳを繰り出し、当該接着シートＳを移動手段５により搬送されるウェハＷに貼付する。
【００３５】
ここで、制御手段６は、貼付開始前にリーダライタ７を制御し、ループアンテナ２７４に電流を流すことで磁束Ｍを発生させ、データキャリア２６に書き込まれたデータを読み取り、当該読み取ったデータに基づいて、貼付装置１全体を制御する。この制御は、例えば、データキャリア２６に書き込まれたデータのうち、接着シートＳの推奨繰出速度を基にして、回動モータ３５および回動モータ３９の回転速度や、単軸ロボット５３でテーブル５１を移動させる移動速度を決定したり、推奨押圧力を基にして、押圧手段４を昇降させる図示しない直動モータの昇降量を決定し、押圧力を設定したりすることができる。このとき、支持軸２２１の軸線Ｃとアンテナ面２７３とが直交するようにアンテナ部２７の位置が調整されているため、軸芯部材２４を支持軸２２１で支持させる際の軸線Ｃ回りの角度によらず、データキャリア２６が磁束Ｍの通過位置に存在することとなり、リーダライタ７は、軸芯部材２４の取り付け角度によらず、データキャリア２６のデータを適切に読み取ることができる。
【００３６】
また、制御手段６は、貼付開始後の軸芯部材２４の回転中に、リーダライタ７を制御して磁束Ｍを発生させ、データキャリア２６にデータを書き込むこともできる。このように軸芯部材２４が回転している場合であっても、データキャリア２６が磁束Ｍの通過位置に常時存在することとなり、リーダライタ７は、データキャリア２６にデータを適切に書き込むことができる。このときに書き込むデータとしては、例えば、接着シートＳを使用した枚数や、原反Ｒを使用した長さ等が例示できる。なお、原反Ｒを使用した長さは、回動モータ３５の回転数やパルスによって算出することができる。
そして、所定枚数のウェハＷに接着シートＳが貼付し終わると、リーダライタ７を制御してデータキャリア２６にデータを書き込むこともできる。このときに書き込むデータとしては、例えば、繰出開始前の接着シートＳの残数から接着シートＳを使用した枚数を差し引いた繰出開始後の接着シートＳの残数や、原反Ｒの残りの長さ等が例示できる。
【００３７】
本実施形態に係る支持装置２によれば、ループアンテナ２７４側から軸芯部材２４を軸線Ｃに沿う方向で見た際に、軸芯部材２４の近傍にループ部２７４ａが配置されている。そのため、ループアンテナ２７４から放射される磁束Ｍがデータキャリア２６のコイル状のアンテナ２６ａを通過し易くなる。その結果、データキャリア２６とループアンテナ２７４との間の交信を安定して行うことができる。
なお、基板２７１の基板開口部２７２側に軸芯部材２４の移動を規制するための固定当て板が設けられていると、ループアンテナ２７４を基板開口部２７２側に設置し難く、データキャリア２６の近傍にループアンテナ２７４を設置し難い。
【００３８】
支持装置２によれば、軸芯部材２４は、中空の円筒状であり、ループアンテナ２７４のループ部２７４ａは、円形であり、軸芯部材２４の円筒の直径ＬＤとループ部の直径ＬＡとが同じである。そのため、ループアンテナ２７４側から軸芯部材２４を軸線Ｃに沿う方向で見た際に、軸芯部材２４の円筒の内径または外径の円と、ループ部２７４ａの最外周または最内周の円とが重なり、データキャリア２６を通過する磁束Ｍをさらに増やすことができる。また、軸芯部材２４が軸線Ｃの回りで回転しても、軸芯部材２４の形状と、ループ部２７４ａの形状との重なりの程度の変動が抑制される。そのため、データキャリア２６とループアンテナ２７４との間の交信精度をさらに向上させることができ、さらには軸芯部材２４が回転している間も安定して交信を行うことができる。
【００３９】
支持装置２において、データキャリア２６は、コイル状のアンテナ２６ａを有し、アンテナ２６ａの長手方向が、軸芯部材２４の軸線Ｃ方向に沿って延びている。ループアンテナ２７４から軸線Ｃ方向に向かって放射された磁束Ｍは、アンテナ２６ａをより多く通過する。つまり、データキャリア２６のアンテナ２６ａを通過する磁束Ｍをさらに増やすことができる。そのため、データキャリア２６とループアンテナ２７４との間の交信精度をさらに向上させることができる。
【００４０】
〔第二実施形態〕
次に、本発明の第二実施形態について説明する。なお、以下の説明では、既に説明したものと、同一の部材、構成、手段等については、同一符号を付して説明を簡略または省略する。
【００４１】
図３は、本実施形態に係る支持装置２Ａの部分断面図である。
支持装置２Ａは、金属製の筐体１００の内部に収容されている。フレーム２１が筐体１００の内部で固定されている。
本実施形態のアンテナ部２７Ａは、筐体１００の扉１０１の内側に配置されている点で、第一実施形態のようにフレーム２１側に配置されているアンテナ部２７とは相違する。アンテナ部２７Ａは、円環状のアンテナが配置される基板２７５を備えている。基板２７５は、筐体１００の扉１０１の内側に固定されている。基板２７５は、扉１０１の内側に対向する第一の面と、第一の面とは反対側の第二の面とを有し、この第二の面が、本実施形態ではアンテナ面２７３である。アンテナ面２７３には、ループアンテナ２７４が設けられている。ループアンテナ２７４は、導電体をループ状に巻回形成したループ部２７４ａを有する。本実施形態では、ループ部２７４ａは、円形に巻回形成されている。
【００４２】
本実施形態において、支持部２２Ａは、円柱状の支持軸２２３と、支持軸２２３の軸線Ｃと同軸の基端軸２２２と、を備える。基端軸２２２は、支持軸２２３の一端側の第一端部２２３Ａ（図３中左端）から延びる。基端軸２２２は、回転軸受２３により、回転可能に支持されている。支持軸２２３は磁束が通過可能な材質で構成されていることが好ましい。
【００４３】
本実施形態において、支持装置２Ａは、上述のような構成を備えているため、軸芯部材２４の支持態様が、第一実施形態とは異なる。
軸芯部材２４は、軸方向で一端側に第一端部２４Ａを備え、軸方向で他端側に第二端部２４Ｂを備える。本実施形態では、第一端部２４Ａがフレーム２１側に配置され、第二端部２４Ｂが扉１０１側に配置されるように、軸芯部材２４は支持軸２２３に支持される。
データキャリア２６は、第二端部２４Ｂ側に設けられているため、扉１０１の内側に配置されたループアンテナ２７４から放射される磁束Ｍが通過し得る。
【００４４】
本実施形態に係る調整手段２８Ａは、フレーム２１に挿通される２本のボルト２８１と、それぞれのボルト２８１に２個ずつ螺合される４個のナット２８２と、２本のボルト２８１に固定された当て板２８３とを備える。当て板２８３は、支持軸２２３の第一端部２２３Ａ側に配置され、軸芯部材２４の移動を規制する。調整手段２８Ａは、第一端部２４Ａの位置を支持軸２２３の軸線Ｃに沿って調整可能に構成されている。軸芯部材２４は、第一端部２４Ａを当て板２８３に当接させることで、移動が規制される。
【００４５】
本実施形態に係る支持装置２Ａによれば、第一実施形態と同様、ループアンテナ２７４側から軸芯部材２４を軸線Ｃに沿う方向で見た際に、軸芯部材２４の近傍にループ部２７４ａが配置されている。そのため、ループアンテナ２７４から放射される磁束Ｍがデータキャリア２６のコイル状のアンテナ２６ａを通過し易くなる。ゆえに、データキャリア２６とループアンテナ２７４との間の交信を安定して行うことができる。なお、図３においては、アンテナ２６ａの図示が省略されている。
【００４６】
また、支持装置２Ａによれば、第一実施形態と同様、ループアンテナ２７４側から軸芯部材２４を軸線Ｃに沿う方向で見た際に、軸芯部材２４の円筒の内径または外径の円と、ループ部２７４ａの最外周または最内周の円とが重なる。その結果、支持装置２Ａによっても、データキャリア２６とループアンテナ２７４との間の交信をさらに安定向上させることができ、さらには軸芯部材２４が回転している間も安定して交信を行うことができる。
【００４７】
また、支持装置２Ａによれば、扉１０１側にアンテナ部２７Ａが配置されるため、ループアンテナ２７４を設ける位置の自由度が高まり、データキャリア２６との交信を行い易い位置にループアンテナ２７４を設置し易くなる。さらに、データキャリア２６が設けられた軸芯部材２４を支持軸２２３に設置する際に、データキャリア２６は、第二端部２４Ｂ側に配置されるため、データキャリア２６が支持軸２２３に接触してＩＣチップが破損するおそれが低減する。
【００４８】
また、支持装置２Ａによれば、扉１０１側にアンテナ部２７Ａが配置され、軸芯部材２４およびアンテナ部２７Ａの配置を軸線Ｃに沿う方向で移動させ易いので、金属製部材の影響を受け難くすることができる。例えば、調整手段２８Ａによって当て板２８３をフレーム２１側に移動させることで、軸芯部材２４をフレーム２１側へ移動可能になり、扉１０１の内側と第二端部２４Ｂとの間のスペースが拡がる。軸芯部材２４の移動に合わせて、ループアンテナ２７４も扉１０１から離れた位置に設置できるようになる。このように、フレーム２１からも扉１０１からも離れた位置にループアンテナ２７４およびデータキャリア２６を配置できるようになるので、フレーム２１や扉１０１が金属製であっても、交信をより安定的に行うことができる。
【００４９】
〔第三実施形態〕
次に、本発明の第三実施形態について説明する。なお、以下の説明では、既に説明したものと、同一の部材、構成、手段等については、同一符号を付して説明を簡略または省略する。
【００５０】
本実施形態に係る支持装置は、ループアンテナの形状や設置位置が、第一実施形態または第二実施形態におけるループアンテナ２７４の形状と異なる他は、第一実施形態または第二実施形態の支持装置と同様に構成される。
【００５１】
図４には、本実施形態に係るループアンテナ２７６と、軸芯部材２４との配置関係を示す概略図が示されている。具体的には、ループアンテナ２７６側から軸芯部材２４を軸線Ｃに沿う方向で見た際の配置が示されている。
本実施形態においても、ループアンテナ２７６は、導電体をループ状に巻回形成したループ部２７６ａを有する。本実施形態では、ループ部２７６ａは、図４に示すように、略矩形状に巻回形成されている。また、図４に示すように、ループ部２７６ａのループの中に軸芯部材２４が位置し、軸芯部材２４の近傍にループ部２７６ａが配置されている。そのため、データキャリア２６とループアンテナ２７４との間の交信を安定して行うことができる。
軸芯部材２４の内周側であってデータキャリア２６が設けられた位置から、ループ部２７６ａのループ内周側までの距離Ｄは、軸芯部材２４が軸線Ｃ回りで回転する間に変化する。図４に示すように、近い場合は距離Ｄ１で表され、遠い場合は距離Ｄ２で表される。データキャリア２６にループアンテナ２７６で発生した磁束を通過させるためには、距離Ｄ２が８０ｍｍ以下であることが好ましく、７０ｍｍ以下であることがより好ましい。８０ｍｍを超えると、ループアンテナ２７６とデータキャリア２６とが交信不能になるおそれがある。
【００５２】
〔実施形態の変形〕
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができる。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００５３】
前記実施形態では、軸芯部材２４の内周面側にデータキャリア２６を配置していたが、本発明はこのような配置に限定されない。例えば、軸芯部材２４の外周面側にデータキャリア２６を配置する態様であってもよい。この態様であるとき、軸芯部材２４の円筒の直径（外径）とループ部２７４ａの直径（内径）とが同じ寸法であることが好ましい。このように寸法が同じであれば、ループアンテナ２７４側から軸芯部材２４を軸線Ｃに沿う方向で見た際に、軸芯部材２４の円筒の円と、ループ部２７４ａの円とが重なる。その結果、通過する磁束Ｍが増えるので交信を安定して行うことができる。
【００５４】
第二実施形態では、基板２７５が筐体１００の扉１０１の内側に固定されている態様を例に挙げて説明したが、本発明はこのような態様に限定されない。例えば、基板２７５は、扉１０１に固定されておらず、搬送手段によって軸芯部材２４の近傍に搬送される態様としてもよい。この場合、軸芯部材２４を支持軸２２３で支持させた後に、搬送手段によって基板２７５が移動し、ループ部２７４ａと軸芯部材２４とが第二実施形態で述べた配置となるように位置調整されることが好ましい。
【００５５】
前記実施形態では、ループアンテナのループ部は、円形や略矩形状であったが、本発明はこれらのような形状に限定されない。例えば、楕円形、正方形、多角形、不定形等であってもよい。さらに、ループアンテナ２７４の中心と、支持軸２２１の軸線Ｃと一致させなくてもよい。
また、データキャリア２６は、データの記憶のみが可能であってもよいし、データの送信のみが可能であってもよい。
【００５６】
また、本発明における接着シートＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、接着シートＳは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
また、押圧手段４は、前記実施形態で示したもの以外のもので構成してもよく、押圧手段４は板状部材に接着シートが貼付できる限りにおいて何ら限定されるものではなく、例えば、ブレード材、エア噴き付け、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができる。
【００５７】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００５８】
前記実施形態では、半導体ウェハに接着シートを貼付する態様を例に挙げて説明したが、本発明はこのような態様に限定されない。
【符号の説明】
【００５９】
２，２Ａ…支持装置、２１…フレーム、２２１，２２３…支持軸、２４…軸芯部材、２４Ａ…第一端部、２４Ｂ…第二端部、２６…データキャリア、２６ａ…コイル状のアンテナ、２７４，２７６…ループアンテナ、２７４ａ，２７６ａ…ループ部、Ｃ…軸線。
【図１】
2015201692.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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