(57)【要約】【課題】  真空シリンダを駆動力とするエッジグリップハンドにおいて、チャック駆動部からの発塵の影響によるウェーハへの異物付着の問題と、チャックのための固定及び可動爪とウェーハとの摺動部からの発塵の影響によるウェーハへの異物付着の問題がある。【解決手段】  シリンダチューブと、往復運動をするピストンと、前記ピストンと前記シリンダチューブ間の気密性を確保するピストンパッキンと、前記ピストンの往復運動をシリンダチューブ外部に伝達するピストンロッドと、前記ピストンと前記シリンダチューブ間に設置されたばねと、前記シリンダチューブに接続され真空引きを行う配管により構成されたシリンダを備えた搬送システムであって、ピストンロッド側のシリンダチューブ端面に、シリンダ内部雰囲気を吐出するための吐出口を持つことを特徴とする搬送システム。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダチューブと、往復運動をするピストンと、前記ピストンと前記シリンダチューブ間の気密性を確保するピストンパッキンと、前記ピストンの往復運動をシリンダチューブ外部に伝達するピストンロッドと、前記ピストンと前記シリンダチューブ間に設置されたばねと、前記シリンダチューブに接続され真空引きを行う配管により構成されたシリンダを備えた搬送システムであって、
ピストンロッド側のシリンダチューブ端面に、シリンダ内部雰囲気を吐出するための吐出口を持つことを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
請求項１の搬送システムにおいて、
前記シリンダのシリンダチューブ端面が、解放されていることを特徴とした搬送システム。
【請求項３】
固定爪と可動爪により試料の端面を把持して試料を搬送する装置において、
試料を置く際に、前記可動爪を開き試料を解放し下降すると共に前記可動爪から見て前記固定爪の方向へ移動しながら、試料を置く動作を行うことを特徴とした搬送システム。
【請求項４】
請求項3において、
前記固定爪のウェーハ接触面に対して、試料を置く際に下降すると共に前記可動爪から見て前記固定爪の方向へ移動しながら、試料を置く動作軌跡の角度が2°以上逃げていることを特徴とした搬送システム。
【請求項５】
試料を保持、開放するスライダーのストロークの前進端及び後進端を2つのフォトセンサにて検出した情報と、真空シリンダへの供給圧力を圧力センサにて検出した情報と、ハンド上の試料の有無を一対の透過センサで検出した情報の組み合わせに基づき、前記ハンド上の試料の搭載状態検出を行うこと
を特徴とした搬送システム
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システムに関し、特にウェーハへの異物付着の低減を可能にする搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハによる半導体の製造プロセスにおいては、ウェーハへの微細な異物が、配線パターンの断線やショート、また半導体の特性の変化などさまざまな不具合を発生させる。そのため清浄なクリーンルーム内で生産が行われている。300ｍｍのウェーハにおいてはＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）と呼ばれる清浄な雰囲気にて満たされた蓋付き密閉容器に収納されて装置間を搬送される。ＦＯＵＰは、ＦＯＵＰシェルとＦＯＵＰ蓋にて構成される。ＦＯＵＰ蓋にはパッキンを備え、ＦＯＵＰ内雰囲気と外気とが遮蔽される。
【０００３】
装置にはロードポートと呼ばれるFOUPの蓋を開閉するオープナが設置される。ロードポートから検査や処理を行うチャンバやステージ間の大気搬送系においては、チャンバにより外気と遮断しファンフィルタユニットによるダウンフローによって局所的に清浄に管理されたミニエンバイロメント空間内を搬送ロボットにより搬送される。FOUPやロードポート,ミニエンバイロメントにより局所的に清浄に管理された雰囲気内を搬送されるため、クリーンルーム自体の清浄度を落とし、クリーンルームの稼動コストを抑えることができる。搬送ロボットでウェーハを搬送する際には、通常工程においては、ウェーハの裏面を吸着して搬送する裏面吸着ハンドと、裏面の異物を気にするベアウェーハを扱う工程においては、ウェーハの端面を保持して搬送するエッジクランプハンドがある。エッジクランプを必要とするベアウェーハを扱う工程は、特にウェーハへ付着する異物を厳しく管理する必要がある。本発明は、ウェーハへの異物付着が特に厳しく要求される、エッジクランプを採用したウェーハを搬送する搬送システムに属する。
【０００４】
エッジグリップハンドは、可動爪のみの構成、または固定爪と可動爪による構成でウェーハを保持する。可動爪を動作させる1つの方法として真空シリンダが使用されている。真空シリンダのピストンとシリンダチューブ間にばねが用意され、シリンダ内部が真空排気されるとばねが縮み、ピストンロッドが後退する。大気解放されるとばねの力でピストンロッドが前進する。大気解放時シリンダロッドが前進した状態でウェーハを保持することで、真空状態ではなくなった場合でも、ばねの力でウェーハ保持を維持できフェールセーフとなる利点がある。圧縮空気を動力源としているシリンダでは、配管からの漏れが発生した場合に、配管内は周囲よりも圧力が高いため、周囲へ異物を噴出してしまうが、真空を動力源としているシリンダは、真空と大気との圧力差により動作するため、周囲雰囲気より配管内の圧力が高くなることが無く、配管からの漏れが発生した場合においても、周囲雰囲気に異物を噴出する危険が低い利点がある。またシリンダ内にばねを設けた方法は1本の配管で動作させることが可能であり、駆動用の真空配管はロボットアーム内部を通すため、スペースを小さくできる利点がある。このような真空シリンダを使用したエッジクランプを採用する事例は特開2007-134526号公報（特許文献1）や特開2006-41423号公報（特許文献2）のように知られている。
【０００５】
真空シリンダ及び可動爪を保持するガイドは防塵カバーで覆い、防塵カバー内部は排気されて動力部及びガイドからの異物の飛散を抑える。防塵カバーを排気する配管は、ロボットアーム内部を通すため配管径に制約が生まれ排気量が制限される。
【０００６】
また状態の検出方法としては、アクチュエータのストローク位置を検出してエッジクランプハンド上のウェーハの状態を判断している。ウェーハを保持した位置までアクチュエータが前進している状態を検出している場合はウェーハ保持状態、ウェーハが無いもしくはウェーハが保持爪から外れてアクチュエータがウェーハ保持位置よりも前進して前進端位置を検出している場合は、保持不良。アクチュエータが後退端位置を検出している場合は、開放状態とする。またそれ以外のストローク位置を異常状態と判断する。ウェーハを搬送する際には、アクチュエータのストローク位置状態をもとに判断して搬送を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開2007-134526号公報
【特許文献２】特開2006-41423号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
真空シリンダを駆動力とするエッジグリップハンドにおいて、チャック駆動部からの発塵の影響によるウェーハへの異物付着の問題と、チャックのための固定及び可動爪とウェーハとの摺動部からの発塵の影響によるウェーハへの異物付着の問題がある。
【０００９】
また、ハンド上のウェーハの状態をアクチュエータの状態をもとに判断しているので、正常に搬送が行われている場合は問題がないが、異常時は搬送状態をアクチュエータのストローク位置状態のみから判断できず、ウェーハを保護した処理ができなくなる問題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は以下の構成を備える。シリンダチューブと、往復運動をするピストンと、前記ピストンと前記シリンダチューブ間の気密性を確保するピストンパッキンと、前記ピストンの往復運動をシリンダチューブ外部に伝達するピストンロッドと、前記ピストンと前記シリンダチューブ間に設置されたばねと、前記シリンダチューブに接続され真空引きを行う配管により構成されたシリンダを備えた搬送システムであって、ピストンロッド側のシリンダチューブ端面に、シリンダ内部雰囲気を吐出するための吐出口を持つことを特徴とする搬送システム。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば真空シリンダを駆動力とするエッジグリップハンドにおいて、チャック駆動部からの発塵及び、ウェーハ摺動部からの発塵によるウェーハへの異物付着を抑えることができる。
【００１２】
また、異常時においてもハンド上のウェーハの状態を正しく判断し、ウェーハを保護した搬送処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明が適用される一般的な半導体ウェーハ処理装置の大気搬送の概略構成を示す側面図である。
【図２】本発明が適用される一般的な半導体ウェーハ処理装置の大気搬送のウェーハ搬出シーケンスを示すフロー図である。
【図３】本発明が適応されるエッジグリップハンドの構成図である。
【図４】従来の真空シリンダのピストンロッド後退時の動作説明図である。
【図５】従来の真空シリンダのピストンロッド前進時の動作説明図である。
【図６】従来の真空シリンダより吐出される流速の状態図である
【図７】従来の真空シリンダの防塵カバー内の流速の状態図である。
【図８】本発明が適応される真空シリンダ1のピストンロッド後退時の動作説明図である。
【図９】本発明が適応される真空シリンダ1のピストンロッド前進時の動作説明図である。
【図１０】本発明が適応される真空シリンダ1より吐出される流速の状態図である
【図１１】本発明が適応される真空シリンダ1の吐出口の形状図である。
【図１２】本発明が適応される真空シリンダ2のピストンロッド後退時の動作説明図である。
【図１３】本発明が適応される真空シリンダ2のピストンロッド前進時の動作説明図である。
【図１４】本発明が適応されるウェーハ搬入時のロボットアームの動作説明図である。
【図１５】本発明が適応されるウェーハ搬入時のロボットアームの固定爪側動作説明図である。
【図１６】本発明が適応されるエッジグリップハンドのグリッパー位置及び状態検出の説明図である。
【図１７】本発明が適応されるエッジグリップハンドの状態検出の判定論理の説明図である。
【図１８】本発明が適応されるエッジグリップハンドのウェーハ有無検出用透過センサの配置図である。
【図１９】本発明が適応されるエッジグリップハンドのウェーハ有無検出用反射センサの配置図である。
【図２０】本発明が適応されるエッジグリップハンドのウェーハ有無検出用近接センサの配置図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、発明の実施例を図面にて説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は本発明が適用される一般的な半導体ウェーハ処理装置の大気搬送の概略構成を示す。図2は本発明が適用される一般的な半導体ウェーハ処理装置の大気搬送の動作シーケンスを示す。ウェーハ1はＦＯＵＰ2と呼ばれる清浄な雰囲気にて満たされた蓋付き密閉容器に収納されている。ＦＯＵＰ2は、ＦＯＵＰシェル3とＦＯＵＰ蓋5にて構成される。ＦＯＵＰ蓋5にはパッキン4を備え、ＦＯＵＰ2内雰囲気と外気とが遮蔽される。装置間の搬送において、ウェーハ1はＦＯＵＰ2に収納されて搬送されるため、クリーンルームの清浄度を落とし、クリーンルームの稼動コストを抑えることができる。ウェーハ1の処理や検査を行なう装置本体は、ファンフィルタユニット9を個々に備え、装置内のウェーハ搬送経路を清浄に維持する。ＦＯＵＰ2はオープナ6のマウントベース7に設置される。オープナ6はドア8によりＦＯＵＰ蓋5を保持開閉し、装置内のウェーハ搬送経路からＦＯＵＰ蓋5を退避させる。装置本体内の搬送ロボット12によりＦＯＵＰ2からウェーハ1が搬出され、処理が行われる。搬送ロボット12は、その先端部にハンド45を装備しておりこのハンド45によってウェーハ1を保持して搬送する。ハンド45にはウェーハ1の裏面部を吸着して保持する裏面吸着ハンドや、ウェーハ裏面部への異物の付着が懸念する工程においては、ウェーハの外周を利用して保持するエッジグリップハンドがある。
【００１６】
搬送ロボット12には、図3に示すエッジグリップハンドが備えられている。エッジグリップハンドは、メインベース15上にグリッパー16を駆動する真空シリンダ17、グリッパー16の動作方向を拘束する直動ガイド18およびハンドベース19が設置されている。スライダー20は、直動ガイド18に設置され、真空シリンダ17とグリッパー16とを接続する。グリッパー16にはウェーハ1端面を保持する可動爪21が備えられる。ハンドベース19にはウェーハ1を置くためのベースコマ22とウェーハを載せて外周を保持する固定爪23が設置されている。ベースコマ22及び固定爪23は傾斜面でウェーハ1と接触し、ウェーハ1裏面と接触せずに、ウェーハ1端面にて接触する。メインベース15上の真空シリンダ17、直動ガイド18、スライダー20は、防塵カバー24に覆われている。防塵カバー24にはグリッパー16の開口部25及び、防塵カバー24内部雰囲気を排出するための排出口26が用意され排気チューブにより排気される。
【００１７】
図4に既存の真空シリンダ17の構成を示す。真空シリンダ17は、シリンダチューブ27、往復運動をするピストン28、ピストン28とシリンダチューブ27間の気密性を確保するピストンパッキン30、ピストン28の往復運動をシリンダチューブ27外部に伝達するピストンロッド29、ピストン28とシリンダチューブ27間に設置されたばね31、駆動用配管を接続する駆動接続口32で構成されている。ばね31はピストン28と駆動接続口32側のシリンダチューブ27の間に設置されている。真空シリンダ17は、駆動用配管が接続され制御弁によりシリンダチューブ27とピストン28で仕切られた領域が真空排気、大気解放される。
【００１８】
真空シリンダ17のピストンロッド29が後退した状態（図4）では、駆動接続口32よりシリンダチューブ27とピストン28で仕切られた領域の大気が真空排気され、ばね31が縮み、ピストンロッド29が後退する。この際、シリンダチューブ27とピストンロッド29の隙間33から周囲雰囲気がシリンダチューブ27内に吸入される。ピストンロッド29の移動に伴い直動ガイド18に設置されたスライダー20が移動、グリッパー16が開く。
【００１９】
真空シリンダ17のピストンロッド29が前進した状態（図5）は、駆動接続口32よりシリンダチューブ27とピストン28で仕切られた領域が大気解放され、ばね31の力でピストン28が押し出されピストンロッド29が前進する。この際シリンダチューブ27とピストンロッド29の隙間33より内部の雰囲気が吐出する。シリンダチューブ27の断面積A1と比較して、シリンダチューブ27とピストンロッド29間の隙間33の断面積A2は非常に小さいため、吐出する流速は、ピストンロッド29の移動速度に対してA1/A2倍と高速となり、防塵カバー24内部に放出される。
【００２０】
図6はピストンロッド29を中心に垂直方向から見た断面図であり、シリンダ移動速度に対して、シリンダチューブ27とピストンロッド29間の隙間33より高速に吐出される様子を示す。排気されている防塵カバー24の開口部25から異物が放出されるリスクが高くなる。
【００２１】
図7はピストンロッド29を中心に水平方向から見た断面図であり、防塵カバー内部の流れの様子を示す。シリンダチューブ27とシリンダロッド29間の隙間33から吐出される高速の流れは防塵カバー24内から開口部25の方向にも流れており、異物が外部に放出する可能性がある。
【００２２】
図8に、本発明品において使用する真空シリンダを示す。新たにシリンダチューブ27端面に、吐出口34を追加する。真空シリンダ17のピストンロッド29が後退した状態（図8）では、駆動接続口32よりシリンダチューブ27とピストン28で仕切られた領域の大気が真空排気され、ばね31が縮み、ピストンロッド29が後退する。この際、シリンダチューブ27とピストンロッド29間の隙間33及び、吐出口34より周囲雰囲気がシリンダチューブ27内に吸入される。ピストンロッド29の後退に伴い直動ガイド18に設置されたスライダー20が移動、グリッパー16が開く。
【００２３】
真空シリンダ17のピストンロッド29が前進した状態（図9）は、駆動接続口32よりシリンダチューブ27とピストン28で仕切られた領域が大気解放され、ばね31の力でピストン28が押し出されピストンロッド29が前進する。この際シリンダチューブ27とピストンロッド29間の隙間33及び吐出口34より内部の雰囲気が吐出する。
【００２４】
吐出口34の断面積をA3とすると、吐出する流速は、ピストンロッド29の移動速度に対してA1/（A2+A3）となり吐出する流速を低下させることが可能となる。そして、駆動部からの異物が防塵カバー24より飛び出すことを低減することができる。図10はピストンロッド29を中心に垂直方向から見た断面図であり、シリンダ移動速度に対して吐出口34より吐出される様子を示す。シリンダチューブ27端面に用意する吐出口34の形状は図11に示すような形でも良い。
【実施例２】
【００２５】
図12および図13に本発明品において使用する真空シリンダ17を示す。搬送ロボット12には、図12に示すエッジグリップハンドが備えられている。エッジグリップハンドは、メインベース15上にグリッパー16を駆動する真空シリンダ17、グリッパー16の動作方向を拘束する直動ガイド18およびハンドベース19が設置されている。スライダー20は、直動ガイド18に設置され、真空シリンダ17とグリッパー16とを接続する。グリッパー16にはウェーハ1端面を保持する可動爪21が備えられる。ハンドベース19にはウェーハ1を置くためのベースコマ22とウェーハ1を載せて外周を保持する固定爪23が設置されている。ベースコマ22及び固定爪23は傾斜面でウェーハ1と接触し、ウェーハ1裏面と接触せずに、ウェーハ1端面にて接触する。メインベース15上の真空シリンダ17、直動ガイド18、スライダー20は、防塵カバー24に覆われている。防塵カバー24にはグリッパー16の開口部25及び、防塵カバー24内部雰囲気を排出するための排出口26が用意され排気チューブより排気が行われる。
【００２６】
真空シリンダ17は、駆動接続口32に接続された制御弁により、真空排気、大気解放される。真空シリンダ17は、シリンダチューブ27、ピストン28、ピストンロッド29、ピストンパッキン30及びばね31で構成されている。シリンダチューブ27には、駆動接続口32がある。ばね31はピストン28と駆動接続口32側のシリンダチューブ27の間に設置されている。駆動接続口32より真空排気されると内部の大気が排出され、ばね31が縮み、ピストンロッド29が後退する。ピストンロッド29の移動に伴い直動ガイド18に設置されたスライダー20が移動、グリッパー16が開く。駆動接続口32より大気解放されると、ばね31の力でピストン28が押し出されピストンロッド29が前進する。
【００２７】
本発明では、新たにピストンロッド29動作側のシリンダチューブ27端面を開放し、吐出口34とする。真空シリンダ17のピストンロッド29が後退した状態（図12）では、駆動接続口32よりシリンダチューブ27とピストン28で仕切られた領域の大気が真空排気され、ばね31が縮み、ピストンロッド29が後退する。この際、シリンダチューブ27の吐出口34より周囲雰囲気がシリンダチューブ27内に吸入される。ピストンロッド29の移動に伴い直動ガイド18に設置されたスライダー20が移動、グリッパー16が開く。
【００２８】
真空シリンダ17のピストンロッド29が前進した状態（図13）は、駆動接続口32よりシリンダチューブ27とピストン28で仕切られた領域が大気解放され、ばね31の力でピストン28が押し出されピストンロッド29が前進する。この際シリンダチューブ27の吐出口34より雰囲気が吐出する。
【００２９】
吐出口34の断面積をA4とすると、吐出する流速は、ピストンロッド29の移動速度に対してA1/A4  A1＝A4となり吐出する流速は、ピストンロッド29の移動速度と等価速度となり防塵カバー24内部に放出される。排気されている防塵カバー24の開口部25から異物が放出されるリスクが小さくなる。
【実施例３】
【００３０】
ウェーハ1を搬入する際の動作を図14に示す。ウェーハ1はグリッパー16によって保持され、固定爪23、可動爪21及びベースコマ22により保持されている。ウェーハ1を置く際にはロボットアーム46が搬送位置へ伸び、グリッパー16を開く。この際、ウェーハ1は固定爪23及びベースコマ22上に保持される。搬送ロボット12は、ウェーハ1を可動爪21から固定爪23の方向にロボットアーム46を伸ばしながら下降させる。ウェーハ1は置き台38に設置される。このとき固定爪23はウェーハ1端面から離れながら、下降することでウェーハ1と接触した固定爪23の端面とウェーハ1端面が擦ることが無い。
【００３１】
固定爪23は、図15に示すように傾斜面でウェーハ1と接触していても良い。固定爪23に傾斜面を設けると、搬送時の非常停止等で急停止した場合にもウェーハ1を安全に保持しやすい等の利点がある。その際に固定爪23から離れる可動爪21から固定爪23の方向にロボットアーム46を伸ばしながら下降する動作軌跡の角度47は、ウェーハ1端面と傾斜面を擦らないように、固定爪23の傾斜面の角度48よりも2°以上小さくなる（図15）。
【実施例４】
【００３２】
エッジグリップハンド（図3）は、メインベース15上にグリッパー16を駆動する真空シリンダ17、グリッパー16の動作方向を拘束する直動ガイド18およびハンドベース19が設置されている。スライダー20は、直動ガイド18に設置され、真空シリンダ17とグリッパー16とを接続する。グリッパー16にはウェーハ1端面を保持する可動爪21が備えられる。ハンドベース19にはウェーハ1を置くためのベースコマ22とウェーハ1を載せて外周を保持する固定爪23が設置されている。ベースコマ22及び固定爪23は傾斜面でウェーハ1と接触し、ウェーハ1裏面と接触せずに、ウェーハ1端面にて接触する。メインベース15上の真空シリンダ17、直動ガイド18、スライダー20は、防塵カバー24に覆われている。防塵カバー24にはグリッパー16の開口部25及び、防塵カバー24内部雰囲気を排出するための排出口26が用意され排気チューブにより排気が行われる。
【００３３】
メインベース15上にフォトセンサA35及びフォトセンサB36が設置され、スライダー20に遮光板37が設置されている。またハンドベース19には、図18に示す透過センサ39が一対配置されて、ハンド45上のウェーハ1の有無を確認する。透過センサ39は、異常時ウェーハ1保持爪への乗り上げ状態においてウェーハ1同一面に配置した場合は検出が不安定となるため、一方をウェーハ1上方に、もう一方をウェーハ1下方に設置し、異常時ウェーハ1保持爪への乗り上げ状態への影響を取り除く。この際ハンド45上にウェーハ1がどこの位置に載せられた場合でも、センサ光軸がウェーハ1に掛る位置とする。基本的には光軸は正常チャック時のウェーハ1の中心を通る。
【００３４】
図16、図17に、スライダー20の位置におけるフォトセンサ検出方法、検出位置及び状態を示す。フォトセンサA35はスライダー20のストロークの前進端及び後進端位置を検出する。フォトセンサB36はスライダー20のストロークの後進端位置及びウェーハ1チャック位置を検出する。フォトセンサA35、フォトセンサB36の組み合わせによりスライダー20の位置及び前進端、ウェーハ保持、後進端位置を判断する。圧力センサ49は真空シリンダ17の大気圧及び真空圧状態を検出する。ウェーハ有無センサは透過でウェーハの有無を検出する。これらのセンサの検出状態の組み合わせにより、グリッパー16が開き、ハンド45上にウェーハ1が置かれた状態を開状態（ウェーハ有）、グリッパー16が開き、ハンド45上にウェーハが無い状態をハンド開状態（ウェーハ無）、グリッパー16が前進しハンド45上でウェーハ1を保持している状態をハンド閉（ウェーハ把持）状態、ハンド45上でウェーハ1がウェーハ保持位置から前進し保持爪より外れている状態をミスクランプ（ウェーハ乗り上げ）状態、それ以外の状態を不定状態として検出する。
【００３５】
図19に、透過センサ39の代わりに反射センサ40を使用した事例を示す。ハンドベース19には、ウェーハ1の下方に反射板41が用意され、ハンドベース19のウェーハ1上方の反射センサ40が設置されている。ウェーハ1がハンドベース19上に載せられている状態において反射センサ40は、ハンドベース19に反射板41と一対で設置される。異常時ウェーハ1保持爪への乗り上げ状態においては、ウェーハ1同一面に配置した場合は、検出が不安定となるため、反射センサ40をウェーハ1上方に、反射板41をウェーハ1下方に設置し、異常時ウェーハ1保持爪への乗り上げ状態の影響を取り除く。反射センサ40自体をウェーハ1下方ハンドベース19内に設置することは、実装上困難となるため、上記の配置方法が有効となる。この際ハンド45上にウェーハ1がどこの位置に載せられた場合でも、センサ光軸がウェーハ1に掛る位置とする。基本的には光軸は正常チャック時のウェーハ1の中心を通る。
【００３６】
図20に、近接センサ50によりウェーハ1の有無を検出する事例を示す。近接センサ50は、ハンドベース19上のウェーハ1の下方に設置される。この際ハンド45上にウェーハ1がどこの位置に載せられた場合でも、センサ光軸がウェーハ1に掛る位置とする。基本的には光軸は正常チャック時のウェーハ1の中心を通る。
【符号の説明】
【００３７】
1：ウェーハ、2：FOUP、3：FOUPシェル、4：パッキン、5：FOUP蓋、6：オープナ、7：マウントベース、8：ドア、9：ファンフィルタユニット、10：ファン、11：フィルタ、12：搬送ロボット、13：処理チャンバ、14：フレーム、15：メインベース、16：グリッパー、17：真空シリンダ、18：直動ガイド、19：ハンドベース、20：スライダー、21：可動爪、22：ベースコマ、23：固定爪、24：防塵カバー、25：開口部、26：排出口、27：シリンダチューブ、28：ピストン、29：ピストンロッド、30：ピストンパッキン、31：ばね、32：駆動接続口、33：隙間、34：吐出口、35：フォトセンサA、36：フォトセンサB、37：遮光板、38：置き台、39：透過センサ、40：反射センサ、41：反射板、42：シリンダの真空排気、43シリンダの大気解放、44：ウェーハ搬出動作、45：ハンド、46：ロボットアーム、47：動作軌跡の角度、48：固定爪テ―パ角度、49：圧力センサ、50：近接センサ、51：ハンド開位置、52：ウェーハ保持位置、53：ハンド閉（ミスクランプ）位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2015026752.tif 000012
【図１１】
2015026752.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2015026752.tif 000017
【図１６】
2015026752.tif 000018
【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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