(57)【要約】【課題】光走査型内視鏡のスキャナで使用され、光ファイバを駆動するための圧電素子において、保持部材と圧電素子との間の固定部における耐久性を向上させることができる圧電素子を得る。【解決手段】円筒状圧電素子５０の内部に光ファイバが挿入され、圧電素子５０の前端面から光ファイバの先端が突出する。圧電素子５０の後端近傍の外周面に挿入部５５が形成され、挿入部５５は環状の保持部材に挿入される。挿入部５５と保持部材との間には接着剤層が設けられる。圧電素子５０の外周側面には、圧電素子５０に電圧を印加するための外面電極５１Ｘ、５１Ｙが形成される。挿入部５５の全面において外面電極５１Ｘ、５１Ｙが形成されない。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に挿通されて前端面から突出した光ファイバの先端を変位させるための円筒形圧電素子であって、
前記圧電素子の後端近傍の外周面に形成され、環状の保持部材に挿入されるとともに接着剤層により前記保持部材に支持される挿入部と、
前記圧電素子の外周側面に形成され、前記圧電素子に電圧を印加するための電極とを備え、
前記挿入部の少なくとも一部は、前記電極が形成されないことを特徴とする圧電素子。
【請求項２】
前記挿入部の後側端部が前記圧電素子の後端面よりも前方に位置し、
前記挿入部に形成された挿入部導電層と、
前記圧電素子の外周側面における、前記後端面および前記後側端部の間に形成される端部導電層とをさらに備え、
前記端部導電層が前記挿入部導電層により前記電極に導通されることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。
【請求項３】
前記圧電素子の外周側面に、長手方向に延びる２以上の長手溝が形成され、
前記長手溝において前記電極が形成されないことを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。
【請求項４】
前記挿入部は、前記長手溝に並列して設けられる短溝と、一端が前記短溝の両端部に接続され周方向に並列して設けられる２つの周溝と、前記２つの周溝の他端が接続され前記長手溝に隣り合う長手溝とを有し、
前記短溝および前記周溝において前記電極が形成されないことを特徴とする請求項３に記載の圧電素子。
【請求項５】
前記長手溝が前記圧電素子の横断面の周方向において位相が９０°ずつ離れた位置に４つ設けられることを特徴とする請求項３に記載の圧電素子。
【請求項６】
前記挿入部の全面において前記電極が形成されないことを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。
【請求項７】
前記挿入部の後側端部が前記圧電素子の後端面よりも前方に位置し、
前記圧電素子の外周側面における、前記後端面および前記後側端部の間に形成される端部導電層をさらに備えることを特徴とする請求項６に記載の圧電素子。
【請求項８】
内部に挿通されて前端面から突出した光ファイバの先端を変位させるための円筒形圧電素子であって、
前記圧電素子の外周側面に形成され、前記圧電素子に電圧を印加するための電極を備え、
前記圧電素子の外周側面に、長手方向に延びる２以上の長手溝が形成され、
前記長手溝において前記電極が形成されないことを特徴とする圧電素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば光走査型内視鏡のスキャナで使用され、光ファイバを駆動するための圧電素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバを駆動するための圧電素子は、内部に光ファイバが挿通されるように円筒形に成形される。この円筒形圧電素子について特許文献１に記載されている技術では、圧電素子の外周側面における長手方向全長にわたって４つの駆動用電極が形成される。光ファイバの先端は圧電素子の前端面から突出する。光ファイバの先端は長手方向の軸に直交する平面内で変位し、この変位は長手方向から見ると渦巻き状をなす。圧電素子の後端近傍が環状の保持部材に挿入されて、圧電素子は片持ち梁状態で固定される。
【０００３】
また特許文献２に記載されている技術では、保持部材の内径が円筒形圧電素子の外径よりも若干大きく、圧電素子の外周面と保持部材の内周面との間に設けられた接着剤層により圧電素子が保持部材に固定される。また圧電素子に形成された電極に電圧が印加されることにより、圧電素子の横断面においてほぼ対角線上に位置する２つの部分のうち、一方が長手方向に伸長し、他方が長手方向に縮む。これにより光ファイバの先端が渦巻き状に変位する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２１２５１９号公報
【特許文献２】特表２００８−５０４５５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし特許文献１に記載された圧電素子は、外周側面における長手方向全長にわたって電極が形成される。そのため、電極に電圧が印加されると、該圧電素子における保持部材への挿入部も、光ファイバの駆動には実質的に寄与しないにも関わらず、長手方向に伸縮しようとする。ここで特許文献２に記載されているように、圧電素子の外周面と保持部材の内周面との間に接着剤層が設けられる場合、この接着剤層にせん断応力が働く。圧電素子の外周側面における長手方向全長にわたって電極が形成される場合、この接着剤層が繰り返し応力を受けるとともにその接着境界部に応力の集中が起こる。その結果、接着剤層またはその接着剤層と保持部材もしくは圧電素子との界面が破壊されて、保持部材と圧電素子との間の固定部の耐久性が低下する可能性がある。
【０００６】
本発明は、光走査型内視鏡のスキャナで使用され、光ファイバを駆動するための圧電素子であって、保持部材と圧電素子との間の固定部における耐久性を向上させることができる圧電素子を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る圧電素子は、内部に挿通されて前端面から突出した光ファイバの先端を変位させるための円筒形圧電素子であって、圧電素子の後端近傍の外周面に形成され、環状の保持部材に挿入されるとともに接着剤層により前記保持部材に支持される挿入部と、圧電素子の外周側面に形成され、圧電素子に電圧を印加するための電極とを備え、挿入部の少なくとも一部は、電極が形成されないことを特徴としている。
【０００８】
好ましくは、挿入部の後側端部が圧電素子の後端面よりも前方に位置し、挿入部に形成された挿入部導電層と、圧電素子の外周側面における、後端面および後側端部の間に形成される端部導電層とをさらに備え、端部導電層が挿入部導電層により電極に導通される。また、好ましくは、圧電素子の外周側面に、長手方向に延びる２以上の長手溝が形成され、長手溝において電極が形成されない。また、好ましくは、挿入部は、長手溝に並列して設けられる短溝と、一端が短溝の両端部に接続され周方向に並列して設けられる２つの周溝と、２つの周溝の他端が接続され長手溝に隣り合う長手溝とを有し、短溝および周溝において電極が形成されない。また、好ましくは、長手溝が圧電素子の横断面の周方向において位相が９０°ずつ離れた位置に４つ設けられる。
【０００９】
また、好ましくは、挿入部の全面において電極が形成されない。また、好ましくは、挿入部の後側端部が圧電素子の後端面よりも前方に位置し、圧電素子の外周側面における、後端面および後側端部の間に形成される端部導電層をさらに備える。
【００１０】
また、本発明に係る圧電素子は、内部に挿通されて前端面から突出した光ファイバの先端を変位させるための円筒形圧電素子であって、圧電素子の外周側面に形成され、圧電素子に電圧を印加するための電極を備え、圧電素子の外周側面に、長手方向に延びる２以上の長手溝が形成され、長手溝において電極が形成されないことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、光走査型内視鏡のスキャナで使用され、光ファイバを駆動するための圧電素子であって、保持部材と圧電素子との間の固定部における耐久性を向上させることができる圧電素子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施形態における光ファイバスキャナの構成を示す図である。
【図２】操作部材と圧電素子との間に設けられる接着剤層を示す図である。
【図３】図１のＡ−Ａ断面を示す断面図である。
【図４】圧電素子を示す斜視図である。
【図５】めっきされる前の圧電素子の長手溝に接着剤が塗布される様子を示す図である。
【図６】めっきされる前の圧電素子の長手溝に塗布された接着剤が硬化した様子を示す図である。
【図７】めっきされた後の圧電素子の断面の一部を示す図である。
【図８】めっき後に長手溝から硬化した接着剤が剥離される様子を示す図である。
【図９】圧電素子の端面を示す図である。
【図１０】電圧が印加されていない状態における圧電素子の断面図である。
【図１１】電圧が印加された状態における圧電素子の断面図である。
【図１２】第２の実施形態における圧電素子を示す斜視図である。
【図１３】第３の実施形態に係る光ファイバスキャナの構成を示す図である。
【図１４】圧電素子を示す斜視図である。
【図１５】図１４の矢視Ｄの詳細図である。
【図１６】第４の実施形態における圧電素子を示す斜視図である。
【図１７】図１６の矢視Ｆの詳細図である。
【図１８】図１６の矢視Ｇの詳細図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の第１の実施形態である圧電素子の構成を説明する。まず光走査型内視鏡の先端部に搭載される光ファイバスキャナの概要について説明する。図１に示されるように、光ファイバスキャナ１０は、円環状のハウジング２０を備える。ハウジング２０の内部には円環状の保持部材３０が固定され、またハウジング２０にはレンズユニット４０が設けられる。保持部材３０には円筒形の圧電素子５０が挿入されて後述する接着剤層により固定される。圧電素子５０の内部には光ファイバ６０が挿通される。光ファイバ６０は圧電素子５０の前端面から先端が突出し片持ち梁状態で保持される。光ファイバ６０の突出部は接着剤７０により固定される。光ファイバ６０は図示しない光源に接続される。なお、本明細書では光ファイバ６０の先端側に向かう向きを前方とする。
【００１４】
圧電素子５０の後端近傍の外周面には挿入部５５が形成される。図２に示されるように、挿入部５５は、接着剤層５８により保持部材３０に支持される。挿入部５５の長手方向の幅は、保持部材３０の幅以上である。
【００１５】
圧電素子５０の外周側面には、挿入部５５よりも先端側に複数の外面電極５１Ｘ、５１Ｙが形成される。複数の外面電極５１Ｘ、５１Ｙは長手方向の全体にわたって周方向に分離される。なお、説明の便宜上、図面に示されるように、外面電極のうち、Ｘ方向の湾曲に使用されるものを特に外面電極５１Ｘと表し、Ｙ方向の湾曲に使用されるものを特に外面電極５１Ｙと表す。図１に示されるように、分離された各外面電極５１Ｘ、５１Ｙのうち、保持部材３０の前端近傍の部分には、それぞれワイヤ８０がはんだ付けされる。図３に示されるように、円環状の保持部材３０の外周面には切り欠き部３１が形成される。切り欠き部３１とハウジング２０の内周面との隙間にワイヤ８０が挿通され、ワイヤ８０は保持部材３０の前方から後方に引き回される。各ワイヤ８０は図示しない電力供給部に接続される。なお、光ファイバ６０は、管９０を介して圧電素子５０に固定される。
【００１６】
光源から伝達された照明光Ｌは、光ファイバ６０とレンズユニット４０を介して被写体に対して出射される。圧電素子５０は保持部材３０から前方の部分が自身の径方向に曲げられる。この曲げの周波数は光ファイバ６０の先端部のたわみ振動の共振周波数に一致するように制御される。これにより、光ファイバ６０の先端部は、Ｘ、Ｙ方向に、圧電素子５０近傍の光ファイバ６０の変位に比べて大きく変位する。この変位の軌跡はＺ方向から見ると渦巻き状をなす。例えば接着剤７０近傍の光ファイバ６０の変位量が数μｍでも、光ファイバ６０の先端の変位量は約０．５ｍｍである。なお各図において、Ｚ方向とはレンズユニット４０の光軸に沿う方向であり、光ファイバ６０の先端側に向かう向き、すなわち前方を正とする。また、Ｘ、Ｙの各方向（図９参照）は、Ｚ方向に直交しかつ互いに直交する方向である。なお、圧電素子５０の長さは例えば１〜１０ｍｍである。外面電極５１Ｘ、５１Ｙの極数は例えば４極である。
【００１７】
図４に示されるように、圧電素子５０は圧電部材５２の外周側面に外面電極５１Ｘ、５１Ｙを含む導電層が形成されることにより製造される。圧電部材５２は、周方向４か所に長手方向に延びる長手溝５３が形成された円筒状に成形される。すなわち長手溝５３が圧電素子５０の横断面の周方向において位相が９０°ずつ離れた位置に４つ設けられる。なお、横断面は、圧電素子５０を長手方向に垂直な平面で切断した際の切断面を表す。圧電部材５２は圧電材料とバインダの粉体から成る。成形方法は例えば押出成形である。圧電材料は例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）である。
【００１８】
圧電素子５０には長手方向に延びる貫通孔５４が形成される。貫通孔５４の表面には内面電極５６が形成される。挿入部５５は、圧電素子５０の後端近傍に位置する。このため挿入部５５の後側端部は圧電素子５０の後端面よりも前方に位置する。
【００１９】
圧電素子５０の外周側面において、圧電素子５０の後端面および挿入部５５の後側端部の間には端部導電層５７Ｘ、５７Ｙが形成される。外面電極５１Ｘ、５１Ｙおよび端部導電層５７Ｘ、５７Ｙは単一のめっき工程により形成される。このめっき工程において、挿入部５５は、例えばテープによりマスキングされるため導電層が形成されない。すなわち挿入部５５の全面において電極が形成されない。圧電素子５０の外周側面に形成された外面電極５１Ｘ、５１Ｙは圧電部材５２に電圧を印加するために使用される。端部導電層５７Ｘ、５７Ｙは圧電部材５２に電圧を印加するために使用されない。なお、図面においてドットパターンは電極を含む導電層が設けられないことを示す。
【００２０】
次に図５〜図８を用いて長手溝５３を電極が形成されないように加工する方法について説明する。まず長手溝５３に接着剤１００（図５では模式的に示される）が塗布される。例えば、長手溝５３の幅よりも小さい外径を有するワイヤの先端に、接着剤１００を付着させ、そのワイヤの先端を、長手溝５３の中に挿入し、この溝に沿って移動させることにより接着剤１００が塗布される。接着剤１００は、例えば熱可塑性樹脂で、硬化後にゴムのような弾性を有する。図６に示されるように接着剤１００は硬化するとともに長手溝５３の開口よりも膨出する。
【００２１】
続いてめっき処理が行われ、図７に示されるように圧電部材５２の外周側面および接着剤１００の露出面に導電層１１０が形成される。ここで、接着剤１００が圧電部材５２に密着しているため、長手溝５３には直接導電層１１０が形成されることはない。導電層１１０の形成方法はめっき処理以外に銀粉を含有する導電性接着剤の硬化によるものでもよい。最後に図８に示されるように、接着剤１００が圧電部材５２から剥離される。これにより外面電極５１Ｘ、５１Ｙが分離した状態で形成される。なお、長手溝５３の幅は必要な空間距離が確保でき、圧電部材５２を適切に分極できるように設定される。
【００２２】
外面電極５１Ｘ、５１Ｙと異なり、内面電極５６は、図９に示されるように複数の極に分離されない。なお、圧電素子５０の横断面における外径は例えば０．１〜１ｍｍである。
【００２３】
めっき処理の後、各外面電極５１Ｘ、５１Ｙと内面電極５６との間に高電圧が印加されて圧電部材５２が分極され、圧電素子５０が完成する。すなわち図４における電圧印加範囲５９に高電圧が印加される。全ての外面電極５１Ｘ、５１Ｙに対応する部分の圧電部材５２がそれぞれ適切に変位するように分極される。
【００２４】
次に、圧電素子５０が走査型内視鏡の光ファイバスキャナに使用される際の駆動制御について説明する。図１０、１１は、それぞれ、図９に示す圧電素子５０のＡ−Ａ断面を示す。２つの外面電極５１Ｘ、５１Ｘの間、および、図示しない２つの外面電極５１Ｙ、５１Ｙの間に、それぞれ交流電圧が印加される。これにより外面電極５１Ｘ、５１Ｙに印加する電圧を制御することにより、光ファイバの先端部が渦巻き状に駆動させられる。
【００２５】
続いて圧電素子５０が曲がるメカニズムについて説明する。外面電極５１Ｘ、５１Ｘの間に交流電圧が印加されると、図１１に示されるように、圧電逆効果により、圧電素子５０の左の断面部分のうち外面電極５１Ｘに対応する部分が長手方向に伸長し、右の断面部分のうち外面電極５１Ｘに対応する部分が長手方向に縮む。これにより圧電素子５０のうち外面電極５１Ｘに対応する部分は図１１に示される矢印Ｂの向き、すなわちＸ方向の方へ曲がる。一方、圧電素子５０のうち、挿入部５５、および、端部導電層５７Ｘ、５７Ｙに対応する部分は電圧が印加されないため曲がらない。
【００２６】
以上のように本実施形態では、挿入部５５の全面において外面電極５１Ｘ、５１Ｙが形成されない。これにより、光ファイバ６０の先端を渦巻き状に駆動する際、外面電極５１Ｘ、５１Ｙに電圧が印加されるが、接着剤層５８が接する挿入部５５は長手方向に伸縮しないため、接着剤層５８は挿入部５５の伸縮に起因するせん断応力を受けない。よって、このせん断応力による繰り返し応力が生じないため、接着剤層５８またはその界面が破壊されて、保持部材と圧電素子との間の固定部の耐久性が低下することを回避することができる。
【００２７】
また本実施形態では、接着剤１００が長手溝５３に塗布されて硬化し、圧電部材５２の外周側面および接着剤１００の露出面に導電層１１０が形成された後、接着剤１００が長手溝５３から剥離されることにより、外面電極５１Ｘ、５１Ｙが形成される。これにより容易に各外面電極５１Ｘ、５１Ｙが周方向に分離した状態で配置され得る。一方、従来技術では、外面電極を周方向に分離する際、まず成形工程において円筒形状の外面に長手方向に延在する凸部が形成される。次に外面全体に導電層が形成され、最後に凸部が除去される。しかしこの場合、凸部を安定して形成することが困難である。これに対して本実施形態では、成形工程において円筒形状の外面に長手方向に延びる凸部を設ける必要がないため、安定的に各外面電極５１Ｘ、５１Ｙが周方向に分離して配置され得る。
【００２８】
図１２は、挿入部１５５が圧電素子１５０の外周面における後端まで形成される第２の実施形態の圧電素子１５０の構成を示している。図４における端部導電層５７Ｘ、５７Ｙが形成されないことを除き、図１２の圧電素子１５０の構成は第１の実施形態と共通である。このように第２の実施形態では、挿入部１５５が圧電素子１５０の外周面における後端まで形成されるので、めっき処理におけるマスキングが比較的容易になるとともに、圧電素子１５０を保持部材３０に固定する際における長手方向の位置決めが容易になる。
【００２９】
図１３は第３の実施形態に係る光ファイバスキャナ１８０の構成を示し、圧電素子２００では、挿入部において挿入部導電層２０１Ｘ、２０１Ｙが形成される。また、保持部材２３０は、図３における保持部材３０の切り欠き部３１が形成されない。また、ワイヤ８０は保持部材２３０の後方で圧電素子５０の後端近傍における外周面にはんだ付けされる。これ以外の光ファイバスキャナ１８０の構成は第１の実施形態と共通である。
【００３０】
図１４、１５に示されるように、圧電素子２００の挿入部には長手溝５３に並列に挿入部導電層２０１Ｘ、２０１Ｙが形成される。また圧電素子２００の挿入部には圧電部材露出部２０３Ｘ、２０３Ｙが形成される。外面電極５１Ｘ、５１Ｙと、端部導電層５７Ｘ、５７Ｙと、挿入部導電層２０１Ｘ、２０１Ｙは、単一のめっき工程により形成される。このめっき工程において、圧電部材露出部２０３Ｘ、２０３Ｙは、例えばテープによりマスキングされるため導電層が形成されない。挿入部導電層２０１Ｘ、２０１Ｙは、図１４に示されているものの他、その裏側、すなわち、圧電素子２００の外周方向に１８０°だけ位相がずれた位置にも形成される。挿入部において挿入部導電層２０１Ｘ、２０１Ｙが形成される部分以外の部分は、マスキングされる。なお図１４における矢視Ｄは、圧電素子２００の長手方向に直交するとともに、Ｘ方向とＹ方向の中間の方向から圧電素子２００を視認する向きを示す。また図１４に示されるように、分極処理において、長手方向に分離された２つの電圧印加範囲２０５、２０５に高電圧が印加される。
【００３１】
第３の実施形態では、挿入部において挿入部導電層２０１Ｘ、２０１Ｙが形成されるため、ワイヤ８０を保持部材２３０の後方で圧電素子５０の後端近傍の外周面にはんだ付けすることができる。このため保持部材２３０の前方ではんだ付けされる場合と比較して作業性を向上させることができるとともに、ワイヤ８０を保持部材３０の後方から引き出すことができるため、ワイヤ８０の引き回しが容易になる。また、圧電部材露出部２０３Ｘ、２０３Ｙには電圧が印加されないため、第１の実施形態と同様の効果を奏する。
【００３２】
図１６は、挿入部に挿入部導電層２０１Ｘ、２０１Ｙが形成される圧電素子の別の構成からなる第４の実施形態の圧電素子を示す。図１７に示されるように、圧電素子３００では、第３の実施形態の圧電部材露出部２０３Ｘ、２０３Ｙの代わりに、別のマスキング方法が行われる。すなわち挿入部５５は、短溝３０３Ｘ、３０３Ｙと、極ごとに２つの周溝３０５Ｘ、３０５Ｘ、３０５Ｙ、３０５Ｙとを有する。短溝３０３Ｘ、３０３Ｙは、長手溝５３に並列して設けられる。極ごとに２つの周溝３０５Ｘ、３０５Ｘ、３０５Ｙ、３０５Ｙは、それらの一端が短溝３０３Ｘ、３０３Ｙの両端部に接続され周方向に並列して設けられる。挿入部導電層２０１Ｘ、２０１Ｙは、図１７に示されているものの他、その裏側、すなわち、圧電素子３００の外周方向に１８０°だけ位相がずれた位置にも形成される。図１８に示されるように、周溝３０５Ｘ、３０５Ｙの他端は、長手溝５３に接続される。なお図１６における矢視Ｆは、圧電素子３００の長手方向に直交するとともに、Ｘ方向とＹ方向の中間の方向から圧電素子３００を視認する向きを示す。矢視Ｇは、矢視Ｆの方向から圧電素子３００の周方向に９０°だけ位相がずれた方向から圧電素子３００を視認する向きを示す。
【００３３】
短溝３０３Ｘ、３０３Ｙおよび周溝３０５Ｘ、３０５Ｙには、第１の実施形態における長手溝５３と同様の工程により電極が形成されない。なお、短溝３０３Ｘ、３０３Ｙおよび周溝３０５Ｘ、３０５Ｙの成形は押出成形では困難なため、例えば射出成形により圧電素子３００が成形される。短溝３０３Ｘ、３０３Ｙおよび周溝３０５Ｘ、３０５Ｙおよび長手溝５３により囲まれた不使用導電層３０１Ｘ、３０１Ｙは挿入部導電層２０１Ｘ、２０１Ｙ等と同一のめっき工程により形成される。これ以外の圧電素子の構成は第３の実施形態と共通である。
【００３４】
第４の実施形態では、短溝３０３Ｘ、３０３Ｙおよび周溝３０５Ｘ、３０５Ｙには、長手溝５３と同様の工程により電極が形成されないため、めっき処理におけるマスキングを接着剤だけで行うことができる。また第２の実施形態と同様、はんだ付けの作業性を向上させることができるとともに、ワイヤ８０を保持部材３０の後方から引き出すことができるため、ワイヤ８０の引き回しが容易になる。また、不使用導電層３０１Ｘ、３０１Ｙには電圧が印加されないため、第１の実施形態と同様の効果を奏する。
【００３５】
以上が本発明の実施形態の説明である。なお、第１〜第４の実施形態では、４つの長手溝が形成されたが、２以上の長手溝が形成されればよい。また第４の実施形態では圧電素子が射出成形により成形されたが、押出成形により圧電素子が成形された後、短溝および周溝がレーザー加工機により形成されてもよい。
【符号の説明】
【００３６】
１０、１８０  光ファイバスキャナ
３０、２３０  保持部材
５０、１５０、２００、３００  圧電素子
５１Ｘ、５１Ｙ  外面電極
５３  長手溝
５５、１５５  挿入部
５７Ｘ、５７Ｙ  端部導電層
５８  接着剤層
２０１Ｘ、２０１Ｙ  挿入部導電層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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