(57)【要約】【課題】ステータ同士の重なりを防止するターボ分子ポンプの提供。【解決手段】外周リブ部４５ａの周方向端部４５ａ１、４５ａ２にはプレス加工により凸部Ｐ１、Ｐ２が突設されている。外周リブ部４５ｂの周方向端部４５ｂ１、４５ｂ２にはプレス加工により凸部Ｐ３、Ｐ４が突設されている。スペーサ５８の面５８Ｕには、凹部５８ａおよび凹部５８ｂが設けられている。凸部Ｐ２、Ｐ３は、凹部５８ａに係合し、凸部Ｐ１、Ｐ４は、凹部５８ｂに係合している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステータ翼が形成され周方向に分割された複数の分割ステータから成るステータと、
前記ステータ翼と協働して排気するロータ翼が形成されたロータと、
前記分割ステータの外周リブ部を挟持して前記ステータを固定するスペーサと、を備え、
前記外周リブ部の２つある周方向端部のうちの少なくとも一方において、前記周方向端部の前記スペーサに挟持される挟持面から凸部が突設され、
前記凸部が突設されている側の前記挟持面が当接する前記スペーサの面には、前記凸部が係合するための凹部が形成されているターボ分子ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記周方向端部の両方に、前記凸部が突設されているターボ分子ポンプ。
【請求項３】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記周方向端部の一方にのみ、前記凸部が突設されているターボ分子ポンプ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記凸部は、前記挟持面に対して垂直または略垂直に突設されているターボ分子ポンプ。
【請求項５】
請求項３に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記凸部は、前記挟持面に垂直または略垂直に前記周方向端部から突設される突設部と、前記突設部から周方向または略周方向に延設される周方向延設部とから成るターボ分子ポンプ。
【請求項６】
請求項５に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記凸部が突設されていない側の前記周方向端部は、周方向に隣り合う他の前記分割ステータの前記周方向延設部と、前記凹部において重なるように配置されているターボ分子ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ターボ分子ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプに代表される真空ポンプは、ドライエッチング装置やＣＶＤ装置などの真空チャンバに取り付けられる。ターボ分子ポンプ内では、ロータ翼とロータ円筒部が形成されたロータが毎分数万回転という高速回転で回転し、ロータ翼とステータ翼とが協働し、ロータ円筒部とネジステータが協働して、その真空チャンバ内の気体を排気することで、高真空状態を作り出す。
【０００３】
ステータ翼はロータ翼の間に配設されるため、各段のステータは周方向に分割されている。分割されたステータのそれぞれは、ポンプケーシングの内周面に配設されたスペーサに挟持されることで固定される。
【０００４】
上述のように各段のステータは周方向に分割されており、かつ、スペーサが挟持するステータの外周リブ部は薄いため、ターボ分子ポンプを組み立てる際、同一段の分割されたステータの外周リブ部が重なり合うことがあった。
【０００５】
特許文献１には、ステータの内周リブ部に舌部を設け、外周リブ部が同一平面となるように、その舌部を用いてステータ翼同士を連結する発明が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平４−２１９４９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、プレス加工で作製されるステータの板は、切削加工によるステータの板よりも一般的に薄い。このような場合、特許文献１に記載の発明を実施するのは困難である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明の好ましい実施形態によるターボ分子ポンプは、ステータ翼が形成され周方向に分割された複数の分割ステータから成るステータと、ステータ翼と協働して排気するロータ翼が形成されたロータと、分割ステータの外周リブ部を挟持してステータを固定するスペーサと、を備え、外周リブ部の２つある周方向端部のうちの少なくとも一方において、周方向端部のスペーサに挟持される挟持面から凸部が突設され、凸部が突設されている側の挟持面が当接するスペーサの面には、凸部が係合するための凹部が形成されていることを特徴とする。
（２）さらに好ましい実施形態では、周方向端部の両方に、凸部が突設されていることを特徴とする。
（３）さらに好ましい実施形態では、周方向端部の一方にのみ、凸部が突設されていることを特徴とする。
（４）さらに好ましい実施形態では、凸部は、挟持面に対して垂直または略垂直に突設されていることを特徴とする。
（５）さらに好ましい実施形態では、凸部は、挟持面に垂直または略垂直に周方向端部から突設される突設部と、突設部から周方向または略周方向に延設される周方向延設部とから成ることを特徴とする。
（６）さらに好ましい実施形態では、凸部が突設されていない側の周方向端部は、周方向に隣り合う他の分割ステータの周方向延設部と、凹部において重なるように配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、分割ステータが薄い板材で構成されていても、同一段の分割ステータの外周リブ部の端部同士が重なることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明のターボ分子ポンプを示す図。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は第１実施形態におけるステータの外周リブ部を説明する図、（ｄ）はスペーサを示す図。
【図３】第１実施形態における上下のスペーサに挟持されたステータの外周リブ部を説明する断面図。
【図４】（ａ）は第２実施形態におけるステータの外周リブ部を説明する図、（ｂ）はスペーサを示す図。
【図５】第２実施形態における上下のスペーサに挟持されたステータの外周リブ部を説明する断面図。
【図６】（ａ）は第３実施形態におけるステータの外周リブ部を説明する図，（ｂ）はスペーサを示す図。
【図７】第３実施形態における上下のスペーサに挟持されたステータの外周リブ部を説明する断面図。
【図８】第３実施形態におけるスペーサの凹部と分割ステータの寸法を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
―第１実施形態―
図１は、ターボ分子ポンプ１００の概略構成を示す断面図である。ターボ分子ポンプ１００のポンプケーシング５２内にはロータ組立体１０が回転自在に設けられている。ロータ組立体１０は、ロータ４と、シャフト５と、ロータディスク６から構成されている。ターボ分子ポンプ１００は磁気軸受式のポンプであり、ロータ組立体１０は、上部ラジアル電磁石６２、下部ラジアル電磁石６４、スラスト電磁石６６によって非接触支持される。
【００１２】
ロータ４には、複数段のロータ翼２０とロータ円筒部８とが設けられている。複数段のロータ翼２０の間には、軸方向に対して複数段のステータ４４が設けられている。ロータ円筒部８の外周側にはネジステータ１１が設けられ、ネジステータ１１はボルト３０でベース５０に取り付けられている。
【００１３】
ステータ４４には、外周リブ部４５、内周リブ部４６、および、それらを接続するステータ翼４７がプレス加工により設けられている。ステータ４４のそれぞれは、環状のスペーサ５８を介してベース５０上に配設されている。ポンプケーシング５２をベース５０に固定すると、積層されたスペーサ５８がベース５０とポンプケーシング５２との間に挟持され、それに伴って、ステータ４４の外周リブ部４５がスペーサ５８に挟持される。
【００１４】
ベース５０には排気口５６が設けられ、この排気口５６にバックポンプが接続される。ロータ組立体１０は、上部ラジアル電磁石６２、下部ラジアル電磁石６４、スラスト電磁石６６によって磁気浮上されつつ、モータ４０により高速回転駆動される。これによって、ロータ翼２０およびステータ翼４７が協働し、また、ロータ円筒部８およびネジステータ１１が協働して、吸気口３１側の気体分子が排気口５６側へと排気される。
【００１５】
図２（ａ）〜（ｃ）は、第１実施形態におけるステータ４４の外周リブ部４５を示す図である。図２（ｄ）はスペーサ５８を示す図である。
図２（ｄ）に示すように、スペーサ５８の面５８Ｕには、凹部５８ａおよび凹部５８ｂが設けられている。一方、スペーサ５８の面５８Ｌには凹部は形成されていない。面５８Ｕのうち、凹部５８ａ、５８ｂを除いた面（以下、面５８ＵＡ）は平坦である。スペーサ５８の面５８Ｌも平坦な面である。面５８ＵＡ，５８Ｌは互いに平行である。なお、スペーサ５８の凹部５８ａ、５８ｂの底面は、必ずしも平坦である必要はないが、組立作業性などを考慮すると平坦であることが好ましい。
【００１６】
ステータ４４は、周方向に２分割されている。以下では、２つに分割されたステータのそれぞれを分割ステータと呼ぶ。分割ステータのそれぞれは同様の形状をしているが、説明の都合上、図２（ａ）の図示左方の分割ステータを分割ステータ４４Ａと呼び、図示右方の分割ステータを分割ステータ４４Ｂと呼ぶ。すなわち、各段のステータ４４は、分割ステータ４４Ａおよび分割ステータ４４Ｂによって構成されている。ここで、図２（ａ）の左方に示す分割ステータ４４Ａの外周リブ部４５に符号４５ａを付し、図２（ａ）の右方に示す分割ステータ４４Ｂの外周リブ部４５に符号４５ｂを付す。また、外周リブ部４５ａのスペーサ５８によって挟持される図示上方の面を挟持面４５１、図示下方の面を挟持面４５２とする。さらに、外周リブ部４５ｂのスペーサ５８によって挟持される図示上方の面を挟持面４５３、図示下方の面を挟持面４５４とする。挟持面４５１、４５２、４５３、４５４は、平坦な面である。なお、挟持面４５１と挟持面４５２は互いに平行であり、挟持面４５３と挟持面４５４は互いに平行である。以上の設定は、以降でも同様である。
【００１７】
図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、外周リブ部４５ａの周方向端部４５ａ１には、プレス加工により外周リブ部４５ａの挟持面４５２から垂直に凸部Ｐ１が突設されている。また、外周リブ部４５ａの周方向端部４５ａ２に、プレス加工による曲げ加工を施すことで、外周リブ部４５ａの挟持面４５２から垂直に凸部Ｐ２が突設されている。すなわち、凸部Ｐ１と凸部Ｐ２は、互いに同じ向きに突設されている。
【００１８】
同様に、外周リブ部４５ｂの周方向端部４５ｂ１には、プレス加工により外周リブ部４５ｂの挟持面４５４から垂直に凸部Ｐ３が突設されている。また、外周リブ部４５ｂの周方向端部４５ｂ２にもプレス加工により外周リブ部４５ｂの挟持面４５４から垂直に凸部Ｐ４が突設されている。すなわち、凸部Ｐ３と凸部Ｐ４は、互いに同じ向きに突設されている。
【００１９】
分割ステータ４４Ａ、４４Ｂをプレス加工にて作製する工程は例えば以下のとおりである。
（ａ）たとえば、０．５ｍｍ〜２ｍｍ程度の厚さの薄い平板状の素材から半割円環状の分割ステータ母材を２枚形成する工程
（ｂ）半割円環状の２枚の分割ステータ母材にステータ翼を形成するための切り込みを形成する工程
（ｃ）プレス機械のポンチとダイとの間に（ｂ）の工程で切り込みが形成された半割円環状の分割ステータ母材をセットする工程
（ｄ）プレス機械を動作させて、ステータ翼、外周リブ部、内周リブ部を一括成型する工程
なお、（ｄ）の工程で凸部Ｐ１、Ｐ２（Ｐ３，Ｐ４）を同時に成型する。
【００２０】
図３は、上下のスペーサ５８に挟持された分割ステータ４４Ａ、４４Ｂの外周リブ部４５ａ、４５ｂを説明する図である。図３における図示上方のスペーサ５８を上スペーサ５８１とし、図示下方のスペーサ５８を下スペーサ５８２と呼ぶ。外周リブ部４５ａおよび外周リブ部４５ｂは、上スペーサ５８１と下スペーサ５８２に挟持されている。また、外周リブ部４５ａの周方向端部４５ａ２に突設された凸部Ｐ２、および、外周リブ部４５ｂの周方向端部４５ｂ１に突設された凸部Ｐ３のそれぞれは、スペーサ５８の凹部５８ａに係合している。
【００２１】
図３を用いて、外周リブ部４５ａとスペーサ５８の積層構造について詳細に説明する。なお、外周リブ部４５ｂとスペーサ５８の積層構造については、外周リブ部４５ａとスペーサ５８の積層構造と同様であるので、説明を省略する。
【００２２】
上スペーサ５８１の下面５８０ｂは、外周リブ部４５ａの図示上方の挟持面４５１と当接している。下スペーサ５８２の上面５８０ａは、外周リブ部４５ａの図示下方の挟持面４５２と当接している。一方、凸部Ｐ２の下端面Ｐ２２は、凹部５８ａの底面５８ａ１と離間し、凸部Ｐ２の図示左方の側面Ｐ２３は、凹部５８ａの図示左方の側面５８ａ２と所定の距離で離間している。 
これは、下端面Ｐ２２と底面５８ａ１が当接したり、側面Ｐ２３と側面５８ａ２が当接したりすると、場合によっては、外周リブ部４５ａに撓みなどが生じるおそれがあること回避するための構成である。
【００２３】
外周リブ部４５ａの周方向端面であり凸部Ｐ２の図示右方の側面である側面Ｐ２１は、外周リブ部４５ｂの周方向端面であり凸部Ｐ３の図示左方の側面である側面Ｐ３１と、所定の距離で離間している。
これは、凸部Ｐ２の側面Ｐ２１と凸部Ｐ３の側面Ｐ３１が当接していると、外周リブ部４５ａや外周リブ部４５ｂに撓みが生じるおそれがあること回避するための構成である。
【００２４】
なお、上記と同様であるので詳細な説明を省略するが、外周リブ部４５ａの周方向端部４５ａ１に突設された凸部Ｐ１、および、外周リブ部４５ｂの周方向端部４５ｂ２に突設された凸部Ｐ４のそれぞれは、スペーサ５８の凹部５８ｂに係合している。また、凸部Ｐ１、凸部Ｐ４、および、凹部５８ｂのそれぞれは、上述した凸部Ｐ２，Ｐ３と同様に互いに離間している。
【００２５】
すなわち、このような隙間を設けるため、スペーサ５８と分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの各部の寸法は次の（Ａ）〜（Ｄ）で示すように決定することができる。
（Ａ）スペーサ５８の凹部５８ａと５８ｂの間の上面、すなわち、面５８ＵＡの距離である周長Ｌ１（図２（ｄ）参照）は、外周リブ部４５ａの下面４５２における凸部Ｐ１とＰ２の間の距離である周長Ｌ２（図２（ｂ）、（ｃ）参照）よりも短く設定されている。この寸法設定は、凸部Ｐ３とＰ４を有する外周リブ部４５ｂについても同様である。
【００２６】
（Ｂ）外周リブ部４５ａの周長Ｌ２とスペーサ５８の周長Ｌ１の差ΔＬ（＝Ｌ２−Ｌ１）を適切に定めることにより、凸部Ｐ１、Ｐ２と、凹部５８ｂ、５８ａとの周方向の間隔が適切に設定される。
（Ｃ）スペーサ５８の一周の長さの半分の値に基づいて分割ステータ４４Ａ，４４Ｂのそれぞれの周長Ｌ２を適切に定めることにより、分割ステータ４４Ａの凸部と分割ステータ４４Ｂの凸部の対向距離が適切に設定される。
【００２７】
（Ｄ）凹部５８ａ、５８ｂの周方向幅は、少なくとも、分割ステータ４４Ａ板厚と分割ステータ４４Ｂの板厚の和よりも大きく設定する必要があり、その上で、凹部５８ａ、５８ｂの周方向幅の最大値は、スペーサ５８上で分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの位置決めが適切に行われるような値として決定される。凹部５８ａ、５８ｂの周方向幅がむやみに大きいと、分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの周方向の位置決めを正しく行うことができないばかりか、上下のスペーサ５８と分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５ａ、４５ｂとの接触面積も小さくなり、ポンプ性能に悪影響を与える。
【００２８】
以上のように、凹部５８ａの側面５８ａ２と凸部Ｐ２の側面Ｐ２３との隙間に代表される周方向における凹部５８と凸部Ｐ２の隙間を適切に設定する。これによって、分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５の凸部Ｐ１〜Ｐ４はスペーサ５８の凹部５８ａ、５８ｂに遊嵌、すなわち緩く嵌入することができ、分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５が両端で拘束されて上面が凸になるような歪みが防止される。
【００２９】
分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５の周方向端部同士の間隔、図３では凸部Ｐ２とＰ３の対向距離が大きくなると気体分子が漏れやすくなり、ポンプ性能に悪影響が出る。したがって、分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５の周長とスペーサ上面の凹部間の周長を適切に定めるとともに、凹部５８ａ，５８ｂの周方向の幅を適切に定める。これによって、気体分子が漏れにくいように分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５の周方向端部同士の隙間を適切に定めることができる。
【００３０】
以上、第１実施形態によれば、以下のような作用効果を奏する。
（１）分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５ａ，４５ｂの周方向両端部に、凸部Ｐ１〜Ｐ４が外周リブ部４５の挟持面に対して垂直に設けられ、スペーサ５８の面５８Ｕに凹部５８ａおよび凹部５８ｂが設けられ、凸部Ｐ１〜Ｐ４が凹部５８ａ、５８ｂに係合した状態で上下のスペーサ５８に分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５が挟持されるようにした。
これによって、ステータ４４の分割ステータ４４Ａ，４４Ｂが位置決めされ、分割ステータ４４Ａの外周リブ部４５ａと分割ステータ４４Ｂの外周リブ部４５ｂの重なりを防止できる。その結果、ターボ分子ポンプ１００の組立て時に、分割ステータ４４Ａと分割ステータ４４Ｂの重なりに注意せずに作業できるので、作業時間を短縮できる。
【００３１】
（２）分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５ａ、４５ｂの上下挟持面は平坦であり、互いに平行である。また、スペーサ５８の面５８ＵＡは平坦である。スペーサ５８の面５８Ｌも平坦である。そして、面５８ＵＡと面５８Ｌとは、互いに平行である。分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５の凸部の下端面（例えば、下端面Ｐ２２）と、スペーサ５８の凹部の底面（例えば、底面５８ａ１）は、離間している。外周リブ部４５の凸部の側面（例えば、側面Ｐ２３）と、スペーサ凹部の側面（例えば、側面５８ａ２）は、所定の距離で離間している。分割ステータ４４Ａの外周リブ部４５ａと分割ステータ４４Ｂの外周リブ部４５ｂの周方向の側面（例えば、側面Ｐ２１、側面Ｐ３１）は、互いに所定の距離で離間している。
これによって、分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの位置決めがより正確なものにできる。また、外周リブ部４５が撓むことがないようにすることができる。さらに、スペーサ５８が外周リブ部４５の挟持面を隙間なしに挟持することができる。
その結果、ロータ翼２０とステータ４４との間に設計通りのクリアランスを設けることができる。また、スペーサ５８およびステータ４４を歪みなく一方向に積層させることができる。
【００３２】
―第２実施形態―
第１実施形態と同様の構成については、説明を省略する。図４および図５は、第２実施形態における分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５とスペーサ５８を示す図である。
【００３３】
図４（ａ）に示すように、外周リブ部４５ａの周方向端部４５ａ１には、プレス加工により外周リブ部４５ａの挟持面４５２から垂直に凸部Ｐ１が突設されている。一方、外周リブ部４５ａの周方向端部４５ａ２には、プレス加工により平坦な面が形成されている。
【００３４】
外周リブ部４５ｂの周方向端部４５ｂ１には、プレス加工により外周リブ部４５ｂの挟持面４５４から垂直に凸部Ｐ３が突設されている。一方、外周リブ部４５ｂの周方向端部４５ｂ２には、プレス加工により平坦な面が形成されている。
【００３５】
図４（ｂ）に示すように、スペーサ５８の面５８Ｕには、第１実施形態と同様に凹部５８ａおよび凹部５８ｂが形成されている。ただし、第１実施形態と異なり、１つの凹部に対して、１つの分割ステータの凸部だけが係合するため、第２実施形態の凹部５８ａおよび凹部５８ｂの周方向幅は、第１実施形態よりも狭くなっている。
【００３６】
図５を用いて、第２実施形態における外周リブ部４５ａとスペーサ５８の積層構造について、第１実施形態と相違する点について主に説明する。なお、外周リブ部４５ｂとスペーサ５８の積層構造については、外周リブ部４５ａとスペーサ５８の積層構造と同様であるので、説明を省略する。図５は、凸部Ｐ３が凹部５８ａに係合している様子を示す図である。なお、説明を省略するが、凸部Ｐ１が凹部５８ｂに係合している様子も同様である。
【００３７】
図５において、凸部Ｐ３の下端面Ｐ３２は、凹部５８ａの底面５８ａ１と離間している。凸部Ｐ３の図示右方の側面Ｐ３３は、凹部５８ａの図示右方の側面５８ａ３と所定の距離で離間している。凸部Ｐ３の図示左方の側面Ｐ３１は、凹部５８ａの図示左方の側面５８ａ２と所定の距離で離間している。また、凸部Ｐ３の図示左方の側面Ｐ３１は、外周リブ部４５ａの周方向端部４５ａ２の周方向端面Ｐ２４とも所定の距離で離間している。
以上より、第２実施形態も第１実施形態と同様の作用効果を奏する。
【００３８】
なお、第２実施形態においても、第１実施形態で説明したのと同様の各部の隙間を設けるため、スペーサ５８と分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの各部の寸法は次の（Ａ）〜（Ｄ）で示すように決定することができる。
（Ａ）スペーサ５８の凹部５８ａと５８ｂの間の上面の距離である周長Ｌ１（図２（ｄ）参照）は、分割ステータ４４Ａの外周リブ部４５ａにおける凸部Ｐ１が設けられている一端から切断面が設けられている他端までの距離である周長Ｌ３（図４（ａ）参照）よりも短く設定されている。この寸法設定は、凸部Ｐ３を有する分割ステータ４４Ｂについても同様である。
【００３９】
（Ｂ）スペーサ５８の一周の長さの半分の値に対して分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの周長Ｌ３を適切に定めることにより、分割ステータ４４Ａと、分割ステータ４４Ｂのとの対向距離が適切に設定される。
【００４０】
（Ｃ）分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５の周長Ｌ３とスペーサ５８の周長Ｌ１の差ΔＬ（＝Ｌ２−Ｌ１）を適切に定めることにより、凸部Ｐ１、Ｐ３と凹部５８ｂ、５８ａとの周方向の間隔が適切に設定される。
【００４１】
（Ｄ）凹部５８ａ，５８ｂの周方向の幅は、少なくとも分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの板厚よりも大きく設定する必要があり、その上で、凹部５８ａ，５８ｂの周方向の幅の最大値は、スペーサ５８上で分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの位置決めが適切に行われるような値として決定される。凹部５８ａ，５８ｂの周方向の幅がむやみに大きいと、分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの周方向の位置決めを正しく行うことができないばかりか、上下のスペーサ５８と分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５との接触面積も小さくなり、ポンプ性能に悪影響を与える。
【００４２】
―第３実施形態―
第１実施形態と同様の構成については、説明を省略する。図６および図７は、第３実施形態におけるステータ４４の外周リブ部４５とスペーサ５８を示す図である。
【００４３】
図６（ａ）に示すように、外周リブ部４５ａの周方向端部４５ａ２には、プレス加工により凸部Ｐ５が設けられている。凸部Ｐ５は、突設部Ｐ５ａと周方向延設部Ｐ５ｂによって構成されている。周方向端部４５ａ２の挟持面４５２から垂直に突設部Ｐ５ａが突設され、突設部Ｐ５ａの図示下端から周方向に周方向延設部Ｐ５ｂが延設されている。一方、外周リブ部４５ａの周方向端部４５ａ１には、プレス加工により平坦な面が形成されている。
【００４４】
外周リブ部４５ｂの周方向端部４５ｂ２にも同様に、プレス加工により凸部Ｐ６が設けられている。凸部Ｐ６は、突設部Ｐ６ａと、周方向延設部Ｐ６ｂによって構成されている。周方向端部４５ａ２の挟持面４５４から垂直に突設部Ｐ６ａが突設され、突設部Ｐ６ａの図示下端から周方向に周方向延設部Ｐ６ｂが延設されている。一方、外周リブ部４５ｂの周方向端部４５ｂ１には、プレス加工により平坦な面が形成されている。
【００４５】
図６（ｂ）に示すように、スペーサ５８の面５８Ｕには、第１実施形態と同様に凹部５８ａおよび凹部５８ｂが形成されている。凹部５８ａ、５８ｂの周方向幅は、周方向延設部Ｐ５ｂ、Ｐ６ｂの周方向幅よりもやや広く設けられている。
【００４６】
図７を用いて、第３実施形態における外周リブ部４５ａとスペーサ５８の積層構造について、第１実施形態と相違する点について主に説明する。なお、外周リブ部４５ｂとスペーサ５８の積層構造については、外周リブ部４５ａとスペーサ５８の積層構造と同様であるので、説明を省略する。図７は、凸部Ｐ５が凹部５８ａに係合している様子を示す図である。なお、説明を省略するが、凸部Ｐ６が凹部５８ｂに係合している様子も同様である。
【００４７】
上述のとおり、突設部Ｐ５ａと周方向延設部Ｐ５ｂによって構成されている凸部Ｐ５の各面は、周囲と離間している。具体的に述べると、周方向延設部Ｐ５ｂの図示右方の側面Ｐ５１は、凹部５８ａの図示右方の側面５８ａ３と所定の距離で離間し、周方向延設部Ｐ５ｂの下端面Ｐ５２は、凹部５８ａの底面５８ａ１と離間している。突設部Ｐ５ａおよび周方向延設部Ｐ５ｂの図示左方の側面Ｐ５３は、凹部５８ａの図示左方の側面５８ａ２と所定の距離で離間している。周方向延設部Ｐ５ｂの上端面Ｐ５４は、外周リブ部４５ｂの挟持面４５４と離間している。突設部Ｐ５ａの図示右方の側面Ｐ５５は、外周リブ部４５ｂの周方向端部４５ｂ１の周方向端面Ｓ４５ｂ１と所定の距離で離間している。  
以上より、第３実施形態も第１実施形態と同様の作用効果を奏する。
【００４８】
なお、第３実施形態においても、第１実施形態で説明したのと同様の各部の隙間を設けるため、スペーサ５８と分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの各部の寸法は次の（Ａ）、（Ｂ）で示すように決定することができる。
（Ａ）  図８（ａ）は、凸部Ｐ５が係合した凹部５８ａの周辺を示す図である。なお、凸部Ｐ６が係合した凹部５８ｂにおいても同様である。図８（ａ）に示すように、凹部５８ａの周方向の幅Ｌ１２は、少なくとも分割ステータ４４Ａの外周リブ部４５ａの周方向延設部Ｐ５ｂの周方向の長さＬ１１よりも大きく設定する必要がある。幅Ｌ１２と長さＬ１１との差が分割ステータ４４Ａのスペーサ５８上での周方向の遊びとなる。幅Ｌ１２が長さＬ１１よりもむやみに大きいと、分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの周方向の位置決めを正しく行うことができないばかりか、上下のスペーサ５８と分割ステータ４４Ａ，４４Ｂの外周リブ部４５との接触面積も小さくなり、ポンプ性能に悪影響を与える。
【００４９】
（Ｂ）  図８（ｂ）は、凸部Ｐ５が係合した凹部５８ａの周辺を示す図である。図８（ｃ）は、凸部Ｐ６が係合した凹部５８ｂの周辺を示す図である。いずれも外周側から見た図である。
図８（ｂ）、（ｃ）、および、図６（ａ）に示す周長Ｌ３１と周長Ｌ３２に関して、周長Ｌ３１と周長Ｌ３２の和を、スペーサ５８の一周の長さに対して適切に定める。
なお、周長Ｌ３１は、外周リブ部４５ａにおける突設部Ｐ５ａの側面Ｐ５５（図８（ｂ））から周方向端部４５ａ１の周方向端面Ｓ４５ａ１（図８（ｃ））までの周長である（図６（ａ））。
また、周長Ｌ３２は、外周リブ部４５ｂにおける突設部Ｐ６ａの側面Ｐ６５（図８（ｃ））から周方向端部４５ｂ１の周方向端面Ｓ４５ｂ１（図８（ｂ））までの周長である（図６（ａ））。
これによって、外周リブ部４５ａの側面Ｐ５５と、外周リブ部４５ｂの周方向端面Ｓ４５ｂ１との対向距離が適切に設定される（図８（ｂ））。同様に、外周リブ部４５ｂの側面Ｐ６５と、外周リブ部４５ａの周方向端面Ｓ４５ａ１との対向距離も適切に設定される（図８（ｃ））。
【００５０】
本発明は次のように変形して実施することができる。
（１）以上に示す実施形態では、ステータ４４をプレス加工によって作製したが、切削加工で作製することも可能である。
（２）以上に示す実施形態では、ステータ４４の分割数を２としたが、他の分割数でもよい。
（３）上記の実施形態同士を種々の形態で組み合わせることも可能である。
【００５１】
以上では、外周リブ部４５に設けられる凸部は、挟持面に対して垂直に設けられるとしたが、挟持面に対して略垂直に設けられるとしても同様の効果を奏する。また、第３実施形態における周方向延設部は、突設部に対して周方向に延設されるとしたが、突設部に対して略周方向に延設されるとしても同様の効果を奏する。
【００５２】
以上の説明はあくまで一例であり、発明は、上記の実施形態に何ら限定されるものではない。
【符号の説明】
【００５３】
４：ロータ                    ５：シャフト
６：ロータディスク            ８：ロータ円筒部
１０：ロータ組立体            １１：ネジステータ
２０：ロータ翼                ３０：ボルト
３１：吸気口                  ４０：モータ
４４：ステータ              ４４Ａ，４４Ｂ：分割ステータ
４５、４５ａ、４５ｂ：外周リブ部
４５ａ１、４５ａ２、４５ｂ１、４５ｂ２：周方向端部  
４６：内周リブ部              ４７：ステータ翼
５０：ベース                  ５２：ポンプケーシング
５６：排気口                  ５８：スペーサ
５８ａ、５８ｂ：凹部      ５８ａ１：底面
５８ａ２、５８ａ３：側面      ５８Ｕ、５８ＵＡ：面
５８Ｌ：面                ６２：上部ラジアル電磁石
６４：下部ラジアル電磁石      ６６：スラスト電磁石
１００：ターボ分子ポンプ      ４５１〜４５４：挟持面
５８０ａ、５８０ｂ：面        ５８１、５８２：スペーサ
Ｐ１〜Ｐ６：凸部              Ｐ５ａ、Ｐ６ａ：突設部
Ｐ５ｂ、Ｐ６ｂ：周方向延設部          Ｐ２１：側面
Ｐ２２：下端面                Ｐ２３：側面
Ｐ２４：周方向端面            Ｐ３１：側面
Ｐ３２：下端面                Ｐ３３：側面
Ｐ５１：側面                  Ｐ５２：下端面
Ｐ５３：側面                  Ｐ５４：上端面    
Ｐ５５：側面                  Ｐ６５：側面
Ｓ４５ａ１：周方向端面        Ｓ４５ｂ１：周方向端面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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