(57)【要約】【課題】ダイシングテープにおける基板とダイシングフレームとに挟まれた領域を吸引する保持装置において、ダイシングフレームの歪みに起因するダイシングテープの吸引の失敗を抑制する。【解決手段】保持装置１０では、第一吸引口１３が設けられた部位からダイシングフレーム載置部１２が設けられた部位までの間に屈曲部１５が形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周にダイシングフレームが取り付けられたダイシングテープの中央部に基板が接着されてなる保持対象を載置する載置面を備え、
該載置面には、該ダイシングテープにおける該基板と該ダイシングフレームとに挟まれた領域を吸引する第一吸引口と、該ダイシングフレームを載置するダイシングフレーム載置部と、が設けられ、
該載置面における第一吸引口が設けられた部位から該ダイシングフレーム載置部が設けられた部位までの間に、該載置対象が載置される側とは反対方向に当該載置面が屈曲するように、屈曲部が形成されていることを特徴とする保持装置。
【請求項２】
第一吸引口は、上記ダイシングテープにおける、上記基板よりも上記ダイシングフレームに近い位置を吸引することを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
上記載置面から上記基板に向かう方向を上方としたとき、第一吸引口に対し上記ダイシングフレーム載置部が下方に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の保持装置。
【請求項４】
上記載置面における第一吸引口が設けられた部位から上記ダイシングフレーム載置部が設けられた部位までの間に、上記屈曲部を含んで段差が形成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の保持装置。
【請求項５】
上記載置面には、上記基板を吸引する第二吸引口が設けられていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の保持装置。
【請求項６】
上記載置面における第一吸引口が設けられた部位と第二吸引口が設けられた部位とが面一であることを特徴とする請求項５に記載の保持装置。
【請求項７】
上記載置面から上記基板に向かう方向を上方としたとき、上記載置面における第二吸引口が設けられた部位から、第一吸引口が設けられた部位までの間に、下方に傾斜する面が含まれていることを特徴とする請求項５に記載の保持装置。
【請求項８】
上記載置面は、上記ダイシングテープにおける、上記基板と、第一吸引口によって吸引される部位と、に挟まれた領域を密閉するようになっていることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の保持装置。
【請求項９】
請求項１〜８の何れか一項に記載の保持装置によって、上記保持対象を保持することを特徴とする保持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外周にダイシングフレームが取り付けられたダイシングテープの中央部に基板が接着されてなる保持対象を保持する保持技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば薄板化されたウエハ基板等の基板に適用し得る処理技法の一つとして、外周にダイシングフレームが取り付けられたダイシングテープの中央部に基板を接着した状態で、当該基板の処理を行う方法がある。この方法を好適に実行するためのツールとして、特許文献１には、外周にダイシングフレームを備えているダイシングテープの中央部に接着された基板を保持する保持装置が開示されている。特許文献１には、保持装置の一態様として、ダイシングテープにおける基板とダイシングフレームとに挟まれた領域を吸引する保持装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−４６６６号公報（２０１３年１月７日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ダイシングテープにおける基板とダイシングフレームとに挟まれた領域を吸引する保持装置は、ダイシングフレームが歪んでいると、ダイシングテープの吸引に失敗する場合がある。なぜなら、ダイシングフレームの歪みに起因してダイシングテープも変形する場合があるからである。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、ダイシングテープにおける基板とダイシングフレームとに挟まれた領域を吸引する保持装置において、ダイシングフレームの歪みに起因するダイシングテープの吸引の失敗を抑制するための技術を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明に係る保持装置は、外周にダイシングフレームが取り付けられたダイシングテープの中央部に基板が接着されてなる保持対象を載置する載置面を備え、該載置面には、該ダイシングテープにおける該基板と該ダイシングフレームとに挟まれた領域を吸引する第一吸引口と、該ダイシングフレームを載置するダイシングフレーム載置部と、が設けられ、該載置面における第一吸引口が設けられた部位から該ダイシングフレーム載置部が設けられた部位までの間に、該載置対象が載置される側とは反対方向に当該載置面が屈曲するように、屈曲部が形成されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、第一吸引口が設けられた部位からダイシングフレーム載置部が設けられた部位までの間に屈曲部が設けられ、当該屈曲部においてダイシングテープが支持されるため、第一吸引口上のダイシングテープがダイシングフレームの歪みに起因して変形することを抑制し、ダイシングテープの吸引の失敗を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態１に係る保持装置の概略構成を模式的に示す側方断面図であり、（ａ）は保持対象を保持していない状態を示し、（ｂ）は保持対象を保持している状態を示す。
【図２】本発明の実施形態１に係る保持装置の概略構成を模式的に示す上面図であり、（ａ）は保持対象を保持していない状態を示し、（ｂ）は保持対象を保持している状態を示す。
【図３】本発明の実施形態１に係る保持装置が、歪んだダイシングフレームを有する保持対象を保持している状態を模式的に示す側方断面図である。
【図４】本発明の実施形態２に係る保持装置の概略構成を模式的に示す側方断面図であり、（ａ）は保持対象を保持していない状態を示し、（ｂ）は保持対象を保持している状態を示す。
【図５】本発明の実施形態２に係る保持装置が、歪んだダイシングフレームを有する保持対象を保持している状態を模式的に示す側方断面図である。
【図６】本発明の実施形態１および実施形態２に係る保持装置が、硬めのダイシングテープを有する保持対象を保持している状態を模式的に示す側方断面図であり、（ａ）は実施形態１に係る保持装置を示し、（ｂ）は実施形態２に係る保持装置を示す。
【図７】参考として示す屈曲部を有さない保持装置の概略構成を模式的に示す側方断面図であり、（ａ）は歪んでいないダイシングフレームを有する保持対象を保持している状態を示し、（ｂ）は歪んだダイシングフレームを有する保持対象を保持している状態を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明は、外周にダイシングフレームが取り付けられたダイシングテープの中央部に基板が接着されてなる保持対象を載置する載置面を備え、該載置面には、該ダイシングテープにおける該基板と該ダイシングフレームとに挟まれた領域を吸引する第一吸引口と、該ダイシングフレームを載置するダイシングフレーム載置部と、が設けられ、該載置面における第一吸引口が設けられた部位から該ダイシングフレーム載置部が設けられた部位までの間に、該載置対象が載置される側とは反対方向に当該載置面が屈曲するように、屈曲部が形成されている保持装置を提供する。
【００１０】
〔実施形態１〕
図１は、本発明の実施形態１に係る保持装置１０の概略構成を模式的に示す側方断面図であり、（ａ）は保持対象１を保持していない状態を示し、（ｂ）は保持対象１を保持している状態を示す。また、図２は、保持装置１０の概略構成を模式的に示す上面図であり、（ａ）は保持対象１を保持していない状態を示し、（ｂ）は保持対象１を保持している状態を示す。
【００１１】
（保持対象）
保持装置１００が保持する対象である保持対象１は、外周にダイシングフレーム２が取り付けられたダイシングテープ３の中央部に基板４が接着されてなるものである（図１および図２の（ｂ）参照）。
【００１２】
基板４は、ウエハ基板に限定されず、例えば、セラミックス基板、薄いフィルム基板、フレキシブル基板等の任意の基板であってもよい。
【００１３】
ダイシングテープ３は、基板４の強度を補強するために基板４の片面に接着される。本実施形態において、保持対象１における基板４は、その外周にダイシングフレーム２が取り付けられたダイシングテープ３の中央部に貼着されている。
【００１４】
ダイシングテープ３としては、例えばベースフィルムに粘着層が形成された構成のダイシングテープを用いることができる。ベースフィルムとしては、例えば、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ポリオレフィン又はポリプロピレン等の樹脂フィルムを用いることができる。ダイシングテープ３の外径は基板４の外径よりも大きく、これらを貼り合わせると基板４の外縁部分にダイシングテープ３の一部が露出した状態になっている。
【００１５】
ダイシングテープ３の露出面のさらに外周には、ダイシングテープ３の撓みを防止するためのダイシングフレーム２が取り付けられている。すなわち、ダイシングテープ３の外縁部分では、ダイシングフレーム２が露出した状態になっている。ダイシングフレーム２としては、例えば、アルミニウム等の金属製のダイシングフレーム、ステンレススチール（ＳＵＳ）等の合金製のダイシングフレーム、及び樹脂製のダイシングフレームが挙げられる。樹脂製のダイシングフレームとしては、例えば、信越ポリマー株式会社製又は株式会社ディスコ製の樹脂製ダイシングフレーム等が挙げられる。
【００１６】
ダイシングフレーム２として、金属製又は合金製のダイシングフレームを用いれば、剛性があり、歪みにくい上に安価であるが、樹脂製のダイシングフレームと比較すると重いため、搬送時に作業者又は搬送ロボットに負担が掛かる。近年、平坦で剛性のある樹脂製のダイシングフレームが開発されており、従来広く用いられている金属製又は合金製のダイシングフレームと比較して軽量であるという利点がある。樹脂製のダイシングフレームは、軽量であるため搬送が容易であり、さらに金属製のフレームカセットに出し入れするときに、摩擦による発塵が少ないという利点がある。
【００１７】
（保持装置）
保持装置１０は、保持対象１を載置する載置面１１を備えており、載置面１１には、外周から中央に向かって、ダイシングフレーム載置部１２、屈曲部１５、第一吸引口１３および第二吸引口１４がこの順に設けられている（図１および図２の（ａ）参照）。一実施形態において、保持装置１０は、例えば、回転駆動手段（図示せず）を備え、スピンチャックとして機能するものであり得る。
【００１８】
なお、以下では、保持対象１が載置面１１に載置されたときの載置面１１から基板４に向かう方向を上方とし、その反対方向を下方として説明する。本実施形態において、保持対象１は、基板４に対してダイシングテープ３が下になるように載置面１１に載置される（図１および図２の（ｂ）参照）。
【００１９】
載置面１１は、第二吸引口１４が設けられた部位が頂部となっており、当該部位から屈曲部１５までの間には、下方に傾斜する面（テーパー面）が形成されている。また、屈曲部１５は、載置面１１上において、第一吸引口１３が設けられた部位に対してダイシングフレーム載置部１２が低くなる段差を構成しており、ダイシングフレーム載置部１２は、平坦になっている（図１の（ａ）参照）。但し、この形状はあくまでも一例であって、本発明はこれに限定されない。
【００２０】
ダイシングフレーム載置部１２は、載置面１１において、保持対象１が載置されたときに、ダイシングフレーム２が載置される部分である。また、保持対象１においてダイシングフレーム２は外周に配置されているため、ダイシングフレーム載置部１２も同様に、載置面１１の外周に設置され得る。
【００２１】
第二吸引口１４は、基板４を吸引する吸引口である。詳細には、第二吸引口１４は、保持対象１が載置面１１に載置されたときに、基板４の下に位置するように配置されており、基板４が接着されているダイシングテープ３と第二吸引口１４との間の気体を吸い出すことによって、基板４を載置面１１に吸引保持する（図１および図２の（ｂ）参照）。一実施形態において、第二吸引口１４は、配管１６を介して図示しない減圧手段に接続されている。
【００２２】
一実施形態において、第二吸引口１４は、載置面１１の中央部に設けられており、気体が流通し得る多孔質体によって構成された台（ポーラスステージ）であり得る（図２の（ａ）参照）。但し、本発明は、これに限定されず、公知の吸引口の構成を採用することができる。
【００２３】
第一吸引口１３は、ダイシングテープ３における基板４とダイシングフレーム２とに挟まれた領域を吸引する吸引口である。詳細には、第一吸引口１３は、保持対象１が載置面１１に載置されたときに、ダイシングテープ３における基板４とダイシングフレーム２とに挟まれた領域の下に位置するように配置されており、ダイシングテープ３と第一吸引口１３との間の気体を吸い出すことによって、ダイシングテープ３を載置面１１に吸引保持する（図１および図２の（ｂ）参照）。一実施形態において、第一吸引口１３は、配管１６を介して図示しない減圧手段に接続されている。
【００２４】
一実施形態において、第一吸引口１３は、載置面１１における第二吸引口１４とダイシングフレーム載置部１２とに挟まれた領域に複数個設けられており、好ましくは、ダイシングテープ３を均一に吸引し得るように、同一円周上に略等間隔に配置されている（図２の（ａ）参照）。但し、本発明はこれに限定されず、同一円周上に配置されていなくともよく、互いの間隔は一定でなくともよい。
【００２５】
また、一実施形態において、第一吸引口１３は、第二吸引口１４が設けられた部位から屈曲部１５までの間に形成された下方に傾斜する面（テーパー面）上に設けられ得る。
【００２６】
以上のように、保持対象１が載置面１１に載置されたとき、基板４が第二吸引口１４に吸引され、ダイシングテープ３における基板４とダイシングフレーム２とに挟まれた領域が第一吸引口１３に吸引され、ダイシングフレーム２がダイシングフレーム載置部１２に載置されることにより、保持対象１が載置面１１に保持される。
【００２７】
特に、ダイシングテープ３における基板４とダイシングフレーム２とに挟まれた領域は、保持対象１の中でも可撓性を有し、変形し易い部分である。ダイシングテープ３における当該領域を第一吸引口１３によって吸引保持することにより、保持対象１を安定して保持することができる。また、ダイシングテープ３における当該領域が載置面１１から離れてしまうと、当該領域と載置面１１との間に、保持対象１の処理のときに発生する溶剤雰囲気が入り込み、ダイシングテープ３が撓むことがある。ダイシングテープ３における当該領域を、第一吸引口１３によって吸引保持することにより、当該領域が載置面１１から離れることを抑制し、溶剤雰囲気によってダイシングテープ３が撓むことを抑制することができる。
【００２８】
（屈曲部）
載置面１１における第一吸引口１３が設けられた部位からダイシングフレーム載置部１２が設けられた部位までの間に、保持対象１が載置される側とは反対方向に載置面１１が屈曲するように、屈曲部１５が形成されている（図１の（ａ）参照）。これにより、ダイシングテープにおける屈曲部１５上の部位３ａは、屈曲部１５を支点として突っ張る状態になる。屈曲部１５によってダイシングテープを突っ張らせることによって、当該ダイシングテープの撓みを防止することができる。
【００２９】
屈曲部１５は、載置面１１における第一吸引口１３が設けられた部位からダイシングフレーム載置部１２が設けられた部位までの間に設けられ、かつ、保持対象１が載置される側とは反対方向に載置面１１が屈曲するように設けられていればよく、特に形状は限定されないが、例えば、面取り（例えば、Ｒ面取りまたはＣ面取り等）されていてもよい。また、全ての第一吸引口１３とダイシングフレーム載置部１２との間を分断するように設けられていることがより好ましく、円形であることが特に好ましい。また、屈曲の角度は特に限定されないが、４５度以上、９０度以下であることがより好ましく、８０度以上、９０度以下であることが特に好ましい。いずれにせよ、載置面１１は、屈曲部１５において、載置面１１からダイシングテープ３に向かう方向に凸になるように形成されており、これによって、上述したような、ダイシングテープ３が部位３ａにおいて、屈曲部１５を支点として突っ張る状態を実現することができる。
【００３０】
なお、本発明をこれに限定するものではないが、第一吸引口１３に対しダイシングフレーム載置部１２が下方に設けられていることで（図１参照）、屈曲部１５上の部位３ａにおいてダイシングテープ３が突っ張る状態をより好適に実現することができる。
【００３１】
また、同じく本発明をこれに限定するものではないが、載置面１１における第一吸引口１３が設けられた部位からダイシングフレーム載置部１２が設けられた部位までの間に、屈曲部１５を含んで段差を形成することで（図１参照）、屈曲部１５上の部位３ａにおいてダイシングテープ３が突っ張る状態を特に好適に実現することができる。
【００３２】
ここで、屈曲部１５を設けたことの効果を説明するために、まず、保持装置が屈曲部を有さない場合について説明する。図７は、参考として示す屈曲部を有さない保持装置９０の概略構成を模式的に示す側方断面図であり、（ａ）は歪んでいないダイシングフレーム２を有する保持対象１を保持している状態を示し、（ｂ）は歪んだダイシングフレーム２を有する保持対象１を保持している状態を示す。
【００３３】
保持装置９０は、ダイシングフレーム載置部９１、第一吸引口９３および第二吸引口９４を備え、歪んでいないダイシングフレーム２を有する保持対象１が載置されたとき、ダイシングフレーム載置部９１にダイシングフレーム２が載置され、第一吸引口９３がダイシングテープ３における基板４とダイシングフレーム２とに挟まれた領域を吸引し、第二吸引口９４が、基板４を吸引することにより、保持対象１を保持する（図７の（ａ）参照）。
【００３４】
ところが、保持装置９０が、歪んだダイシングフレーム２を有する保持対象１を保持する場合、ダイシングフレーム２の歪みによって、ダイシングテープ３が変形し、第一吸引口９３がダイシングテープ３を吸引することができない場合がある（図７の（ｂ）参照）。なぜなら、ダイシングテープ３が変形して、第一吸引口９３に密着していない状態では、第一吸引口９３とダイシングテープ３との間に周囲から気体が流入し得るからである。
【００３５】
以上のように、屈曲部を有さない保持装置９０では、ダイシングフレーム２の歪みに起因して、第一吸引口９３がダイシングテープ３の吸引に失敗する場合がある。
【００３６】
これに対し、屈曲部１５を有する保持装置１０では、ダイシングフレーム２の歪みに起因するダイシングテープ３の吸引の失敗を抑制することができる。図３は、保持装置１０が、歪んだダイシングフレーム２を有する保持対象１を保持している状態を模式的に示す側方断面図である。
【００３７】
保持装置１０では、ダイシングフレーム２の歪みに起因して、ダイシングテープ３における部位３ａよりダイシングフレーム２側の部分は変形する。しかし、ダイシングテープ３における部位３ａより基板４側の部分は変形が抑制される。なぜなら、上述したように、ダイシングテープ３は部位３ａにおいて屈曲部１５を支点として突っ張る状態であり、部位３ａの位置が固定されるため、ダイシングフレーム２の歪みに起因する変形が部位３ａを超えて生じないからである。ダイシングテープ３における部位３ａより基板４側の部分は変形が抑制されるため、第一吸引口１３は、ダイシングテープ３を首尾よく吸引保持することができる（図３参照）。
【００３８】
以上のように、保持装置１０では、第一吸引口１３が設けられた部位からダイシングフレーム載置部１２が設けられた部位までの間に屈曲部１５が設けられ、当該屈曲部１５においてダイシングテープ３（の部位３ａ）が支持されるため、第一吸引口１３上のダイシングテープ３がダイシングフレーム２の歪みに起因して変形することを抑制し、ダイシングテープ３の吸引の失敗を抑制することができる。
【００３９】
なお、本実施形態において、第一吸引口１３が設けられる位置は、保持対象１が載置面１１に載置されたときに、ダイシングテープ３における基板４とダイシングフレーム２とに挟まれた領域の下になるような位置であれば特に限定されない。ただし、第一吸引口１３は、基板４よりもダイシングフレーム２に近い位置を吸引することがより好ましく、ダイシングフレーム２の直前の位置を吸引することが特に好ましい。第一吸引口１３が、基板４よりもダイシングフレーム２に近い位置を吸引することによって、保持対象１の処理のときに発生する溶剤雰囲気が、外周側から、ダイシングテープ３と載置面１１との間に入り込むことを抑制し、ダイシングテープ３が撓むことをより抑制することができる。
【００４０】
また、本発明をこれに限定するものではないが、ダイシングフレーム２が基板４よりも下側に位置するように載置面１１に載置されることにより（図１の（ｂ）参照）、ダイシングテープ３が下向きに引っ張られるようになる。これにより、基板４の反りおよびダイシングテープ３のしわの影響を軽減することができる。
【００４１】
なお、ダイシングフレーム２が基板４よりも下側に位置する場合、ダイシングテープ３における基板４とダイシングフレーム２とに挟まれた領域は、載置面１１の形状に応じて折れ曲がることになる。本発明をこれに限定するものではないが、載置面１１における第二吸引口１４が設けられた部位から、第一吸引口１３が設けられた部位までの間に、下方に傾斜する面が含まれていることにより（図１の（ａ）参照）、ダイシングテープ３における基板４とダイシングフレーム２とに挟まれた領域の折れ曲がり方がなだらかになり、載置面１１とダイシングテープ３との接触面におけるダイシングテープ３の破損を抑制することができる。
【００４２】
また、本発明をこれに限定するものではないが、載置面１１は、ダイシングテープ３における、基板４と、第一吸引口１３によって吸引される部位と、に挟まれた領域を密閉するようになっている。これにより、当該領域と載置面１１との間に、保持対象１の処理のときに発生する溶剤雰囲気が入り込み、ダイシングテープ３が撓むことを抑制することができる。
【００４３】
なお、溶剤雰囲気を形成する溶剤としては、特に限定されないが、例えば、基板４の洗浄のための洗浄液であり得る。そのような洗浄液としては、非水溶媒を含む限り特に限定されるものではなく、例えば、ｐ−メンタン等のテルペン系溶剤を用いた公知の洗浄液を用いることができる。テルペン系溶剤としては、例えば、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、メチルオクタン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン等の直鎖状の炭化水素、炭素数４から１５の分岐状の炭化水素；ゲラニオール、ネロール、リナロール、シトラール、シトロネロール、ｐ−メンタン、ｏ−メンタン、ｍ−メンタン、ジフェニルメンタン、メントール、イソメントール、ネオメントール、リモネン、α−テルピネン、β−テルピネン、γ−テルピネン、α−テルピネオール、β−テルピネオール、γ−テルピネオール、テルピネン−１−オール、テルピネン−４−オール、１，４−テルピン、１，８−テルピン、カルボン、ヨノン、ツヨン、カンファー、ボルナン、ボルネオール、ノルボルナン、ピナン、α−ピネン、β−ピネン、ツジャン、α−ツジョン、β−ツジョン、カラン、ショウノウ、ロンギホレン、１，４−シネオール、１，８−シネオール等のモノテルペン類、アビエタン、アビエチン酸等のジテルペン類、等の環状の炭化水素（テルペン類）が挙げられる。
【００４４】
また、保持対象１の処理のために特に溶剤を使用しない場合であっても、隣接する加工装置または洗浄装置等によって溶剤雰囲気が形成される場合もあり、保持装置１０は、その場合にも好適に使用することができる。
【００４５】
〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態について、図４〜図６に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００４６】
図４は、本発明の実施形態２に係る保持装置２０の概略構成を模式的に示す側方断面図であり、（ａ）は保持対象１を保持していない状態を示し、（ｂ）は保持対象１を保持している状態を示す。また、図３は、保持装置２０が、歪んだダイシングフレーム２を有する保持対象１を保持している状態を模式的に示す側方断面図である。
【００４７】
保持装置２０は、載置面１１に対応する載置面２１、ダイシングフレーム載置部１２に対応するダイシングフレーム載置部２２、第一吸引口１３に対応する第一吸引口２３、第二吸引口１４に対応する第二吸引口２４、屈曲部１５に対応する屈曲部２５、および、配管１６に対応する配管２６を備えている。保持装置２０は、載置面２１における第一吸引口２３が設けられた部位と第二吸引口２４が設けられた部位とが面一である点において、保持装置１０と異なっている（図４の（ａ）参照）。
【００４８】
保持装置２０は、保持装置１０と同様、第一吸引口２３が設けられた部位からダイシングフレーム載置部２２が設けられた部位までの間に屈曲部２５が設けられ、当該屈曲部２５においてダイシングテープ３（の部位３ａ）が支持されるため、第一吸引口２３上のダイシングテープ３がダイシングフレーム２の歪みに起因して変形することを抑制し、ダイシングテープ３の吸引の失敗を抑制することができる（図５参照）。
【００４９】
次に、保持装置１０と保持装置２０との比較について説明する。図６は、保持装置１０および保持装置２０が、硬めのダイシングテープ３を有する保持対象１を保持している状態を模式的に示す側方断面図であり、（ａ）は保持装置１０を示し、（ｂ）は保持装置２０を示す。
【００５０】
保持装置１０では、載置面１１における第二吸引口１４が設けられた部位から、第一吸引口１３が設けられた部位までの間に下方に傾斜する面が含まれている。ダイシングテープ３が比較的硬い（折れ曲がりにくい）場合、基板４の下から延出したダイシングテープ３は、この下方に傾斜する面に追従せず、載置面１１に対して浮くことがある（図６の（ａ）参照）。その場合、第一吸引口１３はダイシングテープ３の吸引に失敗する。
【００５１】
これに対し、保持装置２０のように、載置面２１における第二吸引口２４が設けられた部位と、第一吸引口２３が設けられた部位とが面一であれば、硬めの（比較的硬い）ダイシングテープ３であっても、この平坦な載置面２１から浮くことはない（図６の（ｂ）参照）。そのため、第一吸引口２３はダイシングテープ３を首尾よく吸引することができる。
【００５２】
但し、保持装置２０を用いた場合の部位３ａにおけるダイシングテープ３の折れ曲がり角度は、保持装置１０を用いた場合の部位３ａにおけるダイシングテープ３の折れ曲がり角度よりも大きくなる。そのため、ダイシングテープ３が比較的柔らかい場合に保持装置２０を用いると、ダイシングテープ３の部位３ａに線状の跡が残ることがある。
【００５３】
そのため、ダイシングテープ３の硬さに応じて、保持装置１０および保持装置２０を使い分けることが好ましい。使い分けの基準は特に限定されず、例えば、準備したダイシングテープ３を用いて保持処理を数回実施して、保持装置１０および保持装置２０の何れが好ましい結果をもたらすかを判別した上で、使用する保持装置を選定してもよい。
【００５４】
また、上述した各実施形態に係る保持装置によって、保持対象を保持する保持方法もまた本発明の範疇である。
【００５５】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明は、例えば、薄板化ウエハの表面処理等に利用することができる。
【符号の説明】
【００５７】
１    保持対象
２    ダイシングフレーム
３    ダイシングテープ
４    基板
１０、２０    保持装置
１１、２１    載置面
１２、２２    ダイシングフレーム載置部
１３、２３    第一吸引口
１４、２４    第二吸引口
１５、２５    屈曲部
１６、２６    配管
【図１】
2015088565.tif 000003
【図２】
2015088565.tif 000004
【図３】
2015088565.tif 000005
【図４】
2015088565.tif 000006
【図５】
2015088565.tif 000007
【図６】
2015088565.tif 000008
【図７】
2015088565.tif 000009