(57)【要約】      （修正有）【課題】切断工程において第２剥離シートと樹脂含有シートとの間に隙間を生じることを抑制できるシートの製造方法、該シートの第１剥離シートを剥離して、粒子含有樹脂シートによって封止電子装置の製造方法を提供する。【解決手段】粒子含有樹脂シート７０と、粒子含有樹脂シート７０の下面に設けられる第１セパレータ８と、粒子含有樹脂シート７０の上面に設けられる第２セパレータ９とを備えるシート１００を作製するシート作製工程、および、シート１００を、上側から下側に切断する切断工程を備えるシート１００の製造方法であり、第１セパレータ８の粒子含有樹脂シート７０に対する第１密着力Ｆ１が、第２セパレータ９の粒子含有樹脂シート７０に対する第２密着力Ｆ２より小さいか、あるいは、第１密着力Ｆ１および第２密着力Ｆ２が、０．０４Ｎ／２０ｍｍ以上において、同一であり、第１セパレータ８の厚みＴ１が、第２セパレータ９の厚みＴ２より薄い。【選択図】図１０
2015074153.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子および樹脂成分を含有する粒子含有樹脂シートと、前記粒子含有樹脂シートの厚み方向一方面に設けられる第１剥離シートと、前記粒子含有樹脂シートの前記厚み方向他方面に設けられる第２剥離シートとを備えるシートを作製するシート作製工程、および、
前記シートを、前記厚み方向他方側から前記厚み方向一方側に切断する切断工程
を備えるシートの製造方法であり、
前記第１剥離シートの前記粒子含有樹脂シートに対する第１密着力が、前記第２剥離シートの前記粒子含有樹脂シートに対する第２密着力より小さいか、あるいは、
前記第１密着力および前記第２密着力が、０．０４Ｎ／２０ｍｍ以上において、同一であり、前記第１剥離シートの厚みが、前記第２剥離シートの厚みより薄い
ことを特徴とする、シートの製造方法。
【請求項２】
前記第１密着力が、前記第２密着力より小さいことを特徴とする、請求項１に記載のシートの製造方法。
【請求項３】
前記シートは、電子素子を封止するように使用されることを特徴とする、請求項１または２に記載のシートの製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載のシートの製造方法に製造される前記シートにおける前記第１剥離シートを前記粒子含有樹脂シートから剥離する第１剥離工程、および、
第１剥離工程の後に、前記粒子含有樹脂シートによって電子素子を封止する封止工程
を備えることを特徴とする、電子装置の製造方法。
【請求項５】
前記封止工程の後に、前記第２剥離シートを前記粒子含有樹脂シートから剥離する第２剥離工程をさらに備えることを特徴とする、請求項４に記載の電子装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートおよび電子装置の製造方法、詳しくは、粒子含有樹脂シート、それに設けられる第１剥離シートおよび第２剥離シートを備えるシートを作製して切断するシートの製造方法、および、それによって得られるシートの第１剥離シートを剥離して、粒子含有樹脂シートによって電子素子を封止する電子装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、粒子と樹脂成分とを含有する組成物から、それらを含有するシートを製造する方法が種々検討されている。
【０００３】
例えば、第１剥離ライナー（下側剥離ライナー）および第２剥離ライナー（上側剥離ライナー）の間において、粒子を含有する熱伝導性グリースを含有する物品が提案されている（例えば、下記特許文献１参照。）。特許文献１に記載の物品を使用するときには、まず、第１剥離ライナーを熱伝導性グリースから剥離し、次いで、熱伝導性グリースの剥離面（露出面）を電子部品に接触させて、それらを接着する。その後、必要に応じて、第２剥離ライナーを熱伝導性グリースから剥離する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２０１０−５２４２３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかるに、特許文献１に記載の物品を電子部品の形状などに応じて所望の大きさに切断するときに、第２剥離ライナーと熱伝導性グリースとの切断端部（切断によって端部となる部分）に大きい応力が生じ易く、そのため、第２剥離ライナーが浮くこと、具体的には、切断端部における第２剥離ライナーと熱伝導性グリースとの界面に隙間を生じることが考えられる。その場合には、熱伝導性グリースを加熱して電子部品に接着するときに、上記した隙間が熱膨張によって大きいボイドとなり、そのため、熱伝導性グリースに凹みなどの変形を生じるという不具合がある。
【０００６】
本発明の目的は、切断工程において第２剥離シートと樹脂含有シートとの間に隙間を生じることを抑制することのできる、シートの製造方法、および、それによって得られるシートの第１剥離シートを剥離して、粒子含有樹脂シートによって電子素子を封止する電子装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明のシートの製造方法は、粒子および樹脂成分を含有する粒子含有樹脂シートと、前記粒子含有樹脂シートの厚み方向一方面に設けられる第１剥離シートと、前記粒子含有樹脂シートの前記厚み方向他方面に設けられる第２剥離シートとを備えるシートを作製するシート作製工程、および、前記シートを、前記厚み方向他方側から前記厚み方向一方側に切断する切断工程を備えるシートの製造方法であり、前記第１剥離シートの前記粒子含有樹脂シートに対する第１密着力が、前記第２剥離シートの前記粒子含有樹脂シートに対する第２密着力より小さいか、あるいは、前記第１密着力および前記第２密着力が、０．０４Ｎ／２０ｍｍ以上において、同一であり、前記第１剥離シートの厚みが、前記第２剥離シートの厚みより薄いことを特徴としている。
【０００８】
この方法によれば、第１剥離シートの粒子含有樹脂シートに対する第１密着力が、第２剥離シートの粒子含有樹脂シートに対する第２密着力より小さいか、あるいは、第１密着力および第２密着力が、０．０４Ｎ／２０ｍｍ以上において、同一であり、第１剥離シートの厚みが、第２剥離シートの厚みより薄い。そのため、切断工程において、第２剥離シートおよび粒子含有樹脂シートの切断端部に大きい応力が生じる場合に、切断端部における第２剥離シートおよび粒子含有樹脂シートの界面剥離を生じることを抑制することができる。つまり、切断工程において切断端部における第２剥離シートおよび粒子含有樹脂シートの界面に隙間を生じることを抑制することができる。
【０００９】
また、本発明のシートの製造方法では、前記第１密着力が、前記第２密着力より小さいことが好適である。
【００１０】
第１密着力および第２密着力が、０．０４Ｎ／２０ｍｍ以上において、同一であり、第１剥離シートの厚みが、第２剥離シートの厚みより薄い場合には、切断工程において、第２剥離シートが、切断に伴う応力に基づく粒子含有樹脂シートの変形に追従しながら、第２剥離シートと粒子含有樹脂シートとの間に隙間ができることを抑制できる一方、第１剥離工程を円滑に実施することが困難となる場合がある。つまり、第１密着力および第２密着力が、同一であるので、第１剥離工程において、第１剥離シートのみを粒子含有樹脂シートから剥離することが困難となる場合がある。すなわち、第１剥離シートではなく、第２剥離シートが粒子含有樹脂シートから意図せずに剥離されてしまう場合がある。
【００１１】
しかしながら、この方法では、第１密着力が、第２密着力より小さいので、第１剥離工程において、第１剥離シートのみを粒子含有樹脂シートから確実に剥離することができる。
【００１２】
本発明のシートの製造方法では、前記シートは、電子素子を封止するように使用されることが好適である。
【００１３】
この方法によれば、第１剥離シートを剥離した後の粒子含有樹脂シートによって電子素子を封止するときに、粒子含有樹脂シートを加熱しても、上記した隙間に起因する大きいボイドの生成を抑制することができる。
【００１４】
また、本発明の電子装置の製造方法は、上記したシートの製造方法に製造される前記シートにおける前記第１剥離シートを前記粒子含有樹脂シートから剥離する第１剥離工程、および、第１剥離工程の後に、前記粒子含有樹脂シートによって電子素子を封止する封止程を備えることを特徴としている。
【００１５】
この方法によれば、封止工程において、粒子含有樹脂シートを加熱しても、上記した隙間に起因する大きいボイドの生成を抑制することができるので、粒子含有樹脂シートにおける上記したボイドに起因する変形を防止でき、信頼性に優れる電子装置を製造することができる。
【００１６】
また、本発明の電子装置の製造方法は、前記封止工程の後に、前記第２剥離シートを前記粒子含有樹脂シートから剥離する第２剥離工程をさらに備えることが好適である。
【００１７】
また、この方法によれば、第２剥離工程によって、電子装置における粒子含有樹脂シートの構成を簡易にすることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のシートの製造方法によれば、切断工程において第２  剥離シートおよび粒子含有樹脂シートの間に隙間を生じることを抑制することができる。
【００１９】
本発明の電子装置の製造方法によれば、信頼性に優れる電子装置を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明のシートの製造方法に使用するシート製造装置の一実施形態の一部切欠平面図を示す。
【図２】図２は、図１の側断面図を示す。
【図３】図３は、図１の部分拡大図を示す。
【図４】図４は、図１に示すギヤ構造体の１対のギヤの分解斜視図を示す。
【図５】図５は、図１に示す１対のギヤの噛み合いを説明する側断面図であり、図５Ａは、第１ギヤの斜歯の凸面の下流側端部と、第２ギヤの斜歯の凹面の下流側端部とが噛み合う状態、図５Ｂは、第１ギヤの斜歯の凸面の途中部と、第２ギヤの斜歯の凹面の途中部とが噛み合う状態、図５Ｃは、第１ギヤの斜歯の凸面の上流側端部と、第２ギヤの斜歯の凹面の上流側端部とが噛み合う状態を示す。
【図６】図６は、図１の第１ギヤをケーシングの上側面から見たときの展開図を示す。
【図７】図７は、図１の切断部付近の部分拡大平面図であり、図７Ａは、チャッキングアームが切断部付近でシートを把持している状態、図７Ｂは、チャッキングアームが積層シートを搬送方向下流側に移動している状態を示す。
【図８】図８は、図１の収容ケース付近の部分拡大側断面図であり、図８Ａは、枚葉シートが、搬送コンベアの上側に位置する状態、図８Ｂは、枚葉シートが、可動体上に移動し始める状態、図８Ｃは、枚葉シートが、可動体上に移動している状態、図８Ｄは、枚葉シートが、収容ケースに収容される状態を示す。
【図９】図９は、切断工程の拡大側面図を示す。
【図１０】図１０は、本発明の電子装置の製造方法の一実施形態の製造工程図であり、図１０Ａは、第１剥離工程、図１０Ｂおよび図１０Ｃは、封止工程、図１０Ｄは、第２剥離工程を示す。
【図１１】図１１は、切断工程における第１セパレータおよび第２セパレータの態様１（第２セパレータが粒子含有樹脂シートに隙間なく追従する一方、第１セパレータは、粒子含有樹脂シートに追従しない態様）を示す。
【図１２】図１２は、切断工程における第１セパレータおよび第２セパレータの態様２（第２セパレータおよび第１セパレータが粒子含有樹脂シートに隙間なく追従する態様）を示す。
【図１３】図１３は、切断工程における第１セパレータおよび第２セパレータの態様３（第２セパレータおよび第１セパレータと粒子含有樹脂シートとの間に界面剥離が生じる態様）を示す。
【図１４】図１４は、切断工程における第１セパレータおよび第２セパレータの態様４（第２セパレータおよび第１セパレータと粒子含有樹脂シートとの間に界面剥離が生じる態様）を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図２において、紙面上側を上側（第１方向一方側）、紙面下側を下側（第１方向他方側）とし、また、紙面右側を前側（第１方向に対して直交する第２方向一方側）、紙面左側を後側（第２方向他方側）とし、さらに、紙面手前側を左側（第１方向および第２方向に対して直交する第３方向一方側）とし、また、紙面奥側を右側（第３方向他方側）として、方向矢印で示して説明する。また、図２において、上側は、シート（積層シート、後述）の切断方向上流側（厚み方向他方側）であり、下側は、シートの切断方向下流側（厚み方向一方側）であり、また、後側は、シート（積層シート）の搬送方向上流側であり、前側は、シート（積層シート）の搬送方向下流側であり、さらに、右側は、１対のギヤ（後述）の回転軸線方向一方側であり、左側は、回転軸線方向他方側である。図２以外の図面の方向については、図２で説明する方向に準じる。
【００２２】
＜本発明の一実施形態の基本工程＞
本発明のシートの製造方法の一実施形態は、図９に示すように、粒子および樹脂成分を含有する粒子含有樹脂シート７０と、粒子含有樹脂シート７０の下面（厚み方向一方面）に設けられる第１剥離シートとしての第１セパレータ８と、粒子含有樹脂シート７０の上面（厚み方向他方面）に設けられる第２剥離シートとしての第２セパレータ９とを備えるシート１００を作製するシート作製工程、および、シート１００を、上側から下側に（厚み方向他方側から厚み方向一方側に）切断する切断工程を備える。
【００２３】
［シート作製工程］
（粒子含有樹脂シート７０）
粒子は、粉体、粒体、粉粒体、粉末を含んでおり、粒子を形成する材料としては、例えば、無機材料、有機材料などが挙げられる。好ましくは、無機材料が挙げられる。
【００２４】
無機材料としては、例えば、炭化物、窒化物、酸化物、炭酸塩、硫酸塩、金属、粘土鉱物、炭素系材料などが挙げられる。
【００２５】
炭化物としては、例えば、炭化ケイ素、炭化ホウ素、炭化アルミニウム、炭化チタン、炭化タングステンなどが挙げられる。
【００２６】
窒化物としては、例えば、窒化ケイ素、窒化ホウ素（ＢＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、窒化ガリウム、窒化クロム、窒化タングステン、窒化マグネシウム、窒化モリブデン、窒化リチウムなどが挙げられる。
【００２７】
酸化物としては、例えば、酸化ケイ素（シリカ。球状溶融シリカ粉末、破砕溶融シリカ粉末などを含む。）、酸化アルミニウム（アルミナ、Ａｌ２Ｏ３）、酸化マグネシウム（マグネシア）、酸化チタン、酸化セリウム、酸化鉄、酸化ベリリウムなどが挙げられる。さらに、酸化物として、金属イオンがドーピングされている、例えば、酸化インジウムスズ、酸化アンチモンスズが挙げられる。
【００２８】
炭酸塩としては、例えば、炭酸カルシウムなどが挙げられる。
【００２９】
硫酸塩としては、例えば、硫酸カルシウム（石膏）などが挙げられる。
【００３０】
金属としては、例えば、銅（Ｃｕ）、銀、金、ニッケル、クロム、鉛、亜鉛、錫、鉄、パラジウム、または、それらの合金（はんだなど）が挙げられる。
【００３１】
粘土鉱物としては、例えば、モンモリロン石、マグネシアンモンモリロン石、テツモンモリロン石、テツマグネシアンモンモリロン石、バイデライト、アルミニアンバイデライト、ノントロン石、アルミニアンノントロナイト、サポー石、アルミニアンサポー石、ヘクトライト、ソーコナイト、スチーブンサイトなどが挙げられる。
【００３２】
炭素系材料としては、例えば、カーボンブラック、黒鉛、ダイヤモンド、フラーレン、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、ナノホーン、カーボンマイクロコイル、ナノコイルなどが挙げられる。
【００３３】
また、材料として、特定物性を有する材料も挙げられ、熱伝導性材料（例えば、炭化物、窒化物、酸化物および金属から選択される熱伝導性材料、具体的には、ＢＮ、ＡｌＮ、Ａｌ２Ｏ３など）、電気伝導性材料（例えば、金属、炭素系材料から選択される電気伝導性材料、具体的には、Ｃｕなど）、絶縁材料（例えば、窒化物、酸化物など、具体的には、ＢＮ、シリカなど）、磁性材料（例えば、酸化物、金属、具体的には、フェライト（軟質磁性フェライト、硬質磁性）、鉄など）なども挙げられる。特定物性を有する材料は、上記で例示した材料と重複してもよい。
【００３４】
なお、熱伝導性材料の熱伝導率は、例えば、１０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、好ましくは、３０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、また、例えば、２０００Ｗ／ｍ・Ｋ以下である。
【００３５】
また、電気伝導性材料の電気伝導率は、例えば、１０６Ｓ／ｍ以上、好ましくは、１０８Ｓ／ｍ以上、通常、１０１０Ｓ／ｍ以下である。
【００３６】
また、絶縁材料の体積抵抗は、１×１０１０Ω・ｃｍ以上、好ましくは、１×１０１２Ω・ｃｍ以上であり、また、例えば、１×１０２０Ω・ｃｍ以下である。
【００３７】
また、磁性材料の透磁率（波長２．４５ＧＨｚにおけるμ’’）は、例えば、０．１〜１０である。
【００３８】
また、粒子の形状は、特に限定されず、例えば、板状、鱗片状、粒子状（不定形状）、球形状などが挙げられる。好ましくは、粒子状、球形状が挙げられ、より好ましくは、球形状が挙げられる。
【００３９】
粒子の最大長さの平均値（球形状である場合には、平均粒子径）は、例えば、０．１μｍ以上、好ましくは、１μｍ以上であり、また、例えば、１０００μｍ以下、好ましくは、１００μｍ以下である。
【００４０】
また、粒子のアスペクト比は、例えば、２以上、好ましくは、１０以上であり、また、例えば、１００００以下、好ましくは、５０００以下である。
【００４１】
また、粒子の比重は、例えば、０．１ｇ／ｃｍ３以上、好ましくは、０．２ｇ／ｃｍ３以上であり、また、例えば、２０ｇ／ｃｍ３以下、好ましくは、１０ｇ／ｃｍ３以下である。
【００４２】
これら粒子は、単独使用または２種類以上併用することができる。
【００４３】
樹脂成分は、粒子を分散できるもの、つまり、粒子が分散される分散媒体（マトリックス）であって、絶縁成分を含有し、例えば、熱硬化性樹脂成分、熱可塑性樹脂成分などの樹脂成分が挙げられる。
【００４４】
熱硬化性樹脂成分としては、例えば、エポキシ樹脂、熱硬化性ポリイミド、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、熱硬化性ウレタン樹脂などが挙げられる。
【００４５】
熱可塑性樹脂成分としては、例えば、アクリル樹脂、ポリオレフィン（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体など）、ポリ酢酸ビニル、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンオキシド、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアリルスルホン、熱可塑性ポリイミド、熱可塑性ウレタン樹脂、ポリアミノビスマレイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ビスマレイミドトリアジン樹脂、ポリメチルペンテン、フッ化樹脂、液晶ポリマー、オレフィン−ビニルアルコール共重合体、アイオノマー、ポリアリレート、アクリロニトリル−エチレン−スチレン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、アクリロニトリル−スチレン共重合体などが挙げられる。
【００４６】
これら樹脂成分は、単独使用または２種類以上併用することができる。
【００４７】
樹脂成分のうち、熱硬化性樹脂成分として、好ましくは、エポキシ樹脂が挙げられ、また、熱可塑性樹脂成分として、好ましくは、アクリル樹脂が挙げられる。
【００４８】
エポキシ樹脂は、常温において、液状、半固形状および固形状のいずれかの形態である。
【００４９】
具体的には、エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノール型エポキシ樹脂（例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、水素添加ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ダイマー酸変性ビスフェノール型エポキシ樹脂など）、ノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂（例えば、ビスアリールフルオレン型エポキシ樹脂など）、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂（例えば、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂など）などの芳香族系エポキシ樹脂、例えば、トリエポキシプロピルイソシアヌレート、ヒダントインエポキシ樹脂などの含窒素環エポキシ樹脂、例えば、脂肪族系エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂などが挙げられる。
【００５０】
これらエポキシ樹脂は、単独使用または２種以上併用することができる。
【００５１】
エポキシ樹脂のエポキシ当量は、例えば、１００〜１０００ｇ／ｅｑ．、好ましくは、１８０〜７００ｇ／ｅｑ．である。また、エポキシ樹脂が、常温固形状である場合には、軟化点が、例えば、２０〜９０℃である。
【００５２】
また、エポキシ樹脂には、例えば、硬化剤および硬化促進剤を含有させて、エポキシ樹脂組成物として調製することができる。
【００５３】
硬化剤は、加熱によりエポキシ樹脂を硬化させることができる潜在性硬化剤（エポキシ樹脂硬化剤）であって、例えば、フェノール化合物、アミン化合物、酸無水物化合物、アミド化合物、ヒドラジド化合物、イミダゾリン化合物などが挙げられる。また、上記の他に、ユリア化合物、ポリスルフィド化合物なども挙げられる。
【００５４】
フェノール化合物は、フェノール樹脂を含み、例えば、フェノールとホルムアルデヒドとを酸性触媒下で縮合させて得られるノボラック型フェノール樹脂、例えば、フェノールとジメトキシパラキシレンまたはビス（メトキシメチル）ビフェニルから合成されるフェノール・アラルキル樹脂、例えば、ビフェニル・アラルキル樹脂、例えば、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、例えば、クレゾールノボラック樹脂、例えば、レゾール樹脂などが挙げられる。
【００５５】
アミン化合物としては、例えば、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミンなどのポリアミン、または、これらのアミンアダクトなど、例えば、メタフェニレンジアミン、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルスルホンなどが挙げられる。
【００５６】
酸無水物化合物としては、例えば、無水フタル酸、無水マレイン酸、テトラヒドロフタル酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、４−メチル−ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルナジック酸無水物、ピロメリット酸無水物、ドデセニルコハク酸無水物、ジクロロコハク酸無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、クロレンディック酸無水物などが挙げられる。
【００５７】
アミド化合物としては、例えば、ジシアンジアミド、ポリアミドなどが挙げられる。  
【００５８】
ヒドラジド化合物としては、例えば、アジピン酸ジヒドラジドなどが挙げられる。
【００５９】
イミダゾリン化合物としては、例えば、メチルイミダゾリン、２−エチル−４−メチルイミダゾリン、エチルイミダゾリン、イソプロピルイミダゾリン、２，４−ジメチルイミダゾリン、フェニルイミダゾリン、ウンデシルイミダゾリン、ヘプタデシルイミダゾリン、２−フェニル−４−メチルイミダゾリンなどが挙げられる。
【００６０】
これら硬化剤は、単独使用または２種類以上併用することができる。
【００６１】
硬化促進剤は、硬化触媒であって、例えば、２−フェニルイミダゾール、２−メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾールなどのイミダゾール化合物、例えば、トリエチレンジアミン、トリ−２，４，６−ジメチルアミノメチルフェノールなどの３級アミン化合物、例えば、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラ−ｎ−ブチルホスホニウム−ｏ，ｏ−ジエチルホスホロジチオエートなどのリン化合物、例えば、４級アンモニウム塩化合物、例えば、有機金属塩化合物、例えば、それらの誘導体などが挙げられる。これら硬化促進剤は、単独使用または２種類以上併用することができる。
【００６２】
エポキシ樹脂組成物における硬化剤の配合割合は、エポキシ樹脂１００質量部に対して、例えば、０．５〜２００質量部、好ましくは、１〜１５０質量部であり、硬化促進剤の配合割合は、例えば、０．１〜１０質量部、好ましくは、０．２〜５質量部である。また、硬化剤がフェノール樹脂を含有する場合には、エポキシ樹脂組成物において、エポキシ樹脂のエポキシ基１モルに対して、フェノール樹脂の水酸基が、例えば、０．５〜２．０モル、好ましくは、０．８〜１．２モルとなるように調整される。
【００６３】
上記した硬化剤および／または硬化促進剤は、必要により、溶媒により溶解および／または分散された溶媒溶液および／または溶媒分散液として調製して用いることができる。
【００６４】
溶媒としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）などケトン、例えば、酢酸エチルなどのエステル、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドなどのアミドなどの有機溶媒などが挙げられる。また、溶媒として、例えば、水、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノールなどのアルコールなどの水系溶媒も挙げられる。
【００６５】
アクリル樹脂は、アクリルゴムを含み、具体的には、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含むモノマーの重合により得られる。
【００６６】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、メタクリル酸アルキルエステルおよび／またはアクリル酸アルキルエステルであって、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸オクタドデシルなどの、アルキル部分が炭素数３０以下の直鎖状または分岐状の（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられ、好ましくは、アルキル部分が炭素数１〜１８の直鎖状の（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。
【００６７】
これら（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、単独使用または２種以上併用することができる。
【００６８】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルの配合割合は、モノマーに対して、例えば、５０質量％以上、好ましくは、７５質量％以上であり、例えば、９９質量％以下である。
【００６９】
モノマーは、（メタ）アクリル酸アルキルエステルと重合可能な共重合性モノマーを含むこともできる。
【００７０】
共重合性モノマーは、ビニル基を含有し、例えば、（メタ）アクリロニトリルなどのシアノ基含有ビニルモノマー、例えば、（メタ）アクリル酸グリシジルなどのグリシジル基含有ビニルモノマー（エポキシ基含有ビニルモノマー）例えば、スチレンなどの芳香族ビニルモノマーなどが挙げられる。
【００７１】
共重合性モノマーの配合割合は、モノマーに対して、例えば、５０質量％以下、好ましくは、２５質量％以下であり、例えば、１質量％以上である。
【００７２】
これら共重合性モノマーは、単独または２種以上併用することができる。
【００７３】
共重合性モノマーがシアノ基含有ビニルモノマーおよび／またはエポキシ基含有ビニルモノマーである場合には、得られるアクリル樹脂は、主鎖の末端または途中に結合するエポキシ基および／またはシアノ基などの官能基が導入された、官能基変性アクリル樹脂（具体的には、シアノ変性アクリル樹脂、エポキシ変性アクリル樹脂、シアノ・エポキシ変性アクリル樹脂）とされる。
【００７４】
樹脂成分（熱硬化性樹脂成分を含有する場合には、熱硬化性樹脂成分がＡステージ状態である樹脂成分）の８０℃における溶融粘度は、例えば、１０ｍＰａ・ｓ以上、好ましくは、５０ｍＰａ・ｓ以上であり、また、例えば、１００００ｍＰａ・ｓ以下である。
【００７５】
また、樹脂成分の軟化温度（環球法）は、例えば、８０℃以下、好ましくは、７０℃以下であり、また、例えば、２０℃以上、好ましくは、３５℃以上である。
【００７６】
具体的には、粒子および樹脂成分の配合割合は、粒子含有樹脂シート７０における粒子の体積割合が、例えば、３０体積％を超過し、好ましくは、３５体積％以上、好ましくは、４０体積％以上、より好ましくは、６０体積％以上、さらに好ましくは、７０体積％以上であり、例えば、９８体積％以下、好ましくは、９５体積％以下となるように、設定される。
【００７７】
粒子および樹脂成分の質量基準の配合割合は、上記した粒子含有樹脂シート７０における粒子の体積割合となるように、設定される。
【００７８】
なお、樹脂成分には、上記した各成分（重合物）の他に、例えば、ポリマー前駆体（例えば、オリゴマーを含む低分子量ポリマーなど）、および／または、モノマーが含まれる。
【００７９】
これら樹脂成分は、単独使用また併用することができる。
【００８０】
粒子含有樹脂シート７０は、粒子および樹脂成分を含有する組成物から、面方向（厚み方向対する直交方向）に延びるシート状に形成されている。
【００８１】
（第１セパレータ８）
第１セパレータ８は、図９に示すように、粒子含有樹脂シート７０の下（厚み方向一方側）に、粒子含有樹脂シート７０の下面に接触するように設けられている。詳しくは、第１セパレータ８は、粒子含有樹脂シート７０との下面と隙間を形成することなく、粒子含有樹脂シート７０の下に設けられている。
【００８２】
第１セパレータ８としては、例えば、ポリプロピレンフィルム、エチレン−プロピレン共重合体フィルム、ポリエステルフィルム（ＰＥＴなど）、ポリ塩化ビニルなどのプラスチックフィルム類、例えば、クラフト紙などの紙類、例えば、綿布、スフ布などの布類、例えば、ポリエステル不織布、ビニロン不織布などの不織布類、例えば、金属箔などが挙げられる。好ましくは、プラスチックフィルム類、より好ましくは、ポリエステルフィルムが挙げられる。
【００８３】
第１セパレータ８の表面（図９における上面、具体的には、粒子含有樹脂シート７０に対する対向面。）に、表面処理を施すこともできる。具体的には、第１セパレータ８の表面に、エンボス加工（凹凸加工）などの成形加工（アンカー加工）、および／または、フッ素化やアルキル化処理などの剥離処理を、施す。
【００８４】
第１セパレータ８の厚みは、例えば、１０μｍ以上、また、例えば、５００μｍ以下である。
【００８５】
（第２セパレータ９）
第２セパレータ９は、図９に示すように、粒子含有樹脂シート７０の上（厚み方向他方側）に、粒子含有樹脂シート７０の上面に接触するように設けられている。詳しくは、第２セパレータ９は、粒子含有樹脂シート７０との上面と隙間を形成することなく、粒子含有樹脂シート７０の上に設けられている。
【００８６】
第２セパレータ９を構成する材料としては、第１セパレータ８と同様のものが挙げられる。また、第２セパレータ９の表面（図９における下面、具体的には、粒子含有樹脂シート７０に対する対向面。）に、表面処理を施すこともできる。具体的には、第２セパレータ９の表面に、エンボス加工（凹凸加工）などの成形加工、および／または、フッ素化やアルキル化処理などの化学処理を、施す。
【００８７】
第２セパレータ９の厚みは、例えば、１０μｍ以上、また、例えば、５００μｍ以下である。
【００８８】
（第１セパレータ８および第２セパレータ９の密着力）
そして、シート１００では、
（１）第１セパレータ８の粒子含有樹脂シート７０に対する第１密着力Ｆ１が、第２セパレータ９の粒子含有樹脂シート７０に対する第２密着力Ｆ２より小さいか、あるいは、
（２）第１密着力Ｆ１および第２密着力Ｆ２が、０．０４Ｎ／２０ｍｍ以上において、同一であり、第１セパレータ８の厚みＴ１が、第２セパレータ９の厚みＴ２より薄い。
【００８９】
［（１）の場合］
第１密着力Ｆ１は、後の実施例にて詳述されるが、第１セパレータ８および粒子含有樹脂シート７０を幅２０ｍｍに外形加工した後に、第１セパレータ８を、剥離角度１８０度、剥離速度３００ｍｍ／分で、粒子含有樹脂シート７０から剥離したときの剥離強度として算出される。また、第２密着力Ｆ２は、後の実施例にて詳述されるが、第２セパレータ９および粒子含有樹脂シート７０を幅２０ｍｍに外形加工した後に、第２セパレータ９を、剥離角度１８０度、剥離速度３００ｍｍ／分で、粒子含有樹脂シート７０から剥離したときの剥離強度として算出される。
【００９０】
第１密着力Ｆ１の第２密着力Ｆ２に対する比（Ｆ１／Ｆ２）は、例えば、１未満、好ましくは、０．８以下、より好ましくは、０．６以下、さらに好ましくは、０．４以下、とりわけ好ましくは、０．２以下であり、また、例えば、０．００１以上である。また、第２密着力Ｆ２から第１密着力Ｆ１を差し引いた差は、例えば、０Ｎ／２０ｍｍを超え、好ましくは、０．０１Ｎ／２０ｍｍ以上、より好ましくは、０．０３Ｎ／２０ｍｍ以上、さらに好ましくは、０．０５Ｎ／２０ｍｍ以上であり、また、例えば、１．０Ｎ／２０ｍｍ以下である。具体的には、第２密着力Ｆ２は、例えば、０．０３Ｎ／２０ｍｍ以上、好ましくは、０．０４Ｎ／２０ｍｍ以上、より好ましくは、０．０５Ｎ／２０ｍｍ以上であり、また、例えば、１．０Ｎ／２０ｍｍ以下である。一方、第１密着力Ｆ１は、例えば、０．０３Ｎ／２０ｍｍ未満、好ましくは、０．０１５Ｎ／２０ｍｍ以下であり、また、例えば、０．００１Ｎ／２０ｍｍ以上である。
【００９１】
上記した密着力の比が上記上限下限を上回れば、あるいは、上記した密着力の差が上記下限を下回れば、上記（１）の関係を満足させることができず、そのため、次に説明する切断工程において、切断端部における第１セパレータ８と粒子含有樹脂シート７０との界面に隙間を生じる場合がある。
【００９２】
上記（１）の関係を満足するためには、例えば、第１セパレータ８の表面状態を異ならせる。具体的には、第１セパレータ８の表面を剥離処理する一方、第２セパレータ９の表面に剥離処理を施さないように、調整する。
【００９３】
さらには、第１セパレータ８の剥離処理を施すとともに、第１セパレータ８および第２セパレータ９の表面粗さを調整することもできる。
【００９４】
［（２）の場合］
第１密着力Ｆ１および第２密着力Ｆ２は、ともに同一であり、具体的には、ともに、好ましくは、０．０５Ｎ／２０ｍｍ以上、より好ましくは、０．０６Ｎ／２０ｍｍ以上であり、また、例えば、１．０Ｎ／２０ｍｍ以下である。
【００９５】
上記（２）における第１密着力Ｆ１および第２密着力Ｆ２の関係を満足するためには、上記と同様に、第１セパレータ８および第２セパレータ９の表面状態を、上記と同様に処理して、具体的には、第１セパレータ８および第２セパレータ９の表面状態を、同一状態にする。
【００９６】
また、第１セパレータ８の厚みＴ１の、第２セパレータ９の厚みＴ２に対する比（Ｔ１／Ｔ２）は、例えば、１．０未満、好ましくは、０．９以下、より好ましくは、０．８以下、さらに好ましくは、０．７以下、とりわけ好ましくは、０．５以下、最も好ましくは、０．４以下であり、また、例えば、０．０１以上でもある。また、第２セパレータ９の厚みＴ２から第１セパレータ８の厚みＴ１を差し引いた厚み（第２セパレータ９の厚みＴ２−第１セパレータ８の厚みＴ１）は、例えば、０μｍを超過し、好ましくは、５μｍ以上、より好ましくは、１０μｍ以上、さらに好ましくは、１５μｍ以上、とりわけ好ましくは、２０μｍ以上であり、また、例えば、５００μｍ以下である。
【００９７】
具体的には、第１セパレータ８の厚みＴ１は、例えば、６０μｍ未満、好ましくは、４０μｍ未満、より好ましくは、３０μｍ未満であり、また、１０μｍ以上である。一方、第２セパレータ９の厚みＴ２は、例えば、３０μｍ以上、好ましくは、４０μｍ以上、より好ましくは、６０μｍ以上であり、また、５００μｍ以下である。
【００９８】
上記した厚みの比が上記上限を上回れば、あるいは、上記した厚みの差が上記下限を下回れば、上記（２）の関係を満足させることができず、そのため、次に説明する切断工程において、切断端部における第１セパレータ８と粒子含有樹脂シート７０との界面に隙間を生じる場合がある。
【００９９】
そして、このシート１００では、好ましくは、上記（１）の関係を満足する。これによって、次に説明する切断工程において、切断端部における第１セパレータ８および粒子含有樹脂シート７０の界面剥離を生じることに比べて、切断端部における第２セパレータ９および粒子含有樹脂シート７０の界面剥離を生じることをより抑制することができる。
【０１００】
［切断工程］
切断工程は、例えば、切断刃８５によって、実施される。切断刃８５は、その切断方向が、シート１００の厚み方向となるように、構成されている。切断刃８５としては、例えば、シート１００において左右方向に沿って切断できる刃、例えば、トムソン刃２２（図９参照）、ピナクル刃（腐食刃）、ギロチン刃などの帯刃などが挙げられる。
【０１０１】
切断工程における詳細な動作や条件などについては、後述する。
【０１０２】
＜シート製造装置＞
次に、図９に示すシート１００を、積層シート１０として作製するためのシート製造装置について、図１〜図９を参照して説明する。
【０１０３】
図１および図２において、シート製造装置１は、後述する粒子と樹脂成分を含有する組成物から調製される粒子含有樹脂シート７０と、それを挟む第１セパレータ８および第２セパレータ９とを備える積層シート１０（シート１００）を製造し、かかる積層シート１０を切断して、枚葉シート１８を収容するように構成されている。シート製造装置１は、作製部２１と、切断部３と、収容部６とを備えている。作製部２１と切断部３と収容部６とは、シート製造装置１において、直列に整列配置されている。つまり、シート製造装置１は、後述する組成物またはシートを直線状に搬送するように、構成されている。
【０１０４】
作製部２１は、組成物（後述）から積層シート１０を製造するように構成されており、シート製造装置１の後側に設けられている。作製部２１は、混練押出機２と、ギヤ構造体４と、シート形成部５と、張力調整部２０とを備えている。
【０１０５】
混練押出機２は、作製部２１の後側部分に設けられている。混練押出機２は、例えば、２軸ニーダーなどであって、具体的には、シリンダ１１と、シリンダ１１内に収容される混練スクリュー１２とを備えている。
【０１０６】
シリンダ１１は、軸線が前後方向に延びる略円筒形状にされている。また、シリンダ１１の後端は閉塞されている。
【０１０７】
図２に示すように、シリンダ１１の後端部の上壁には、上方に開口する混練押出機入口１４が形成されている。混練押出機入口１４には、ホッパ１６が接続されている。
【０１０８】
シリンダ１１の前端部には、前方に開口する混練押出機出口１５が形成されている。混練押出機出口１５には、連結管１７が接続されている。
【０１０９】
連結管１７は、シリンダ１１の軸線と共通する軸線を有する略円筒形状に形成されている。
【０１１０】
なお、シリンダ１１には、ブロックヒータ（図示せず）が前後方向に沿って複数分割して設けられている。
【０１１１】
混練スクリュー１２は、シリンダ１１の軸線に平行する回転軸線を有している。混練スクリュー１２は、シリンダ１１内において、前後方向に沿って設けられている。
【０１１２】
なお、混練押出機２には、シリンダ１１の後側において、混練スクリュー１２に接続されるモータ（図示せず）が設けられている。
【０１１３】
これによって、混練押出機２は、粒子と樹脂成分とを混練押出するように構成されている。
【０１１４】
ギヤ構造体４は、混練押出機２の前側に設けられている。ギヤ構造体４は、ケーシング３１と、１対のギヤ３２とを備えている。なお、ギヤ構造体４は、混練押出機２から供給される組成物をシート形成部５に搬送するギヤポンプである。
【０１１５】
ケーシング３１は、連結管１７と一体的に形成されており、混練押出機２の前側に連結管１７を介して接続されている。ケーシング３１は、左右方向に延びる平面視略矩形状をなし、前側が、左右方向にわたって開口されている。
【０１１６】
ケーシング３１は、図３に示すように、下側ケーシング３１ａと、下側ケーシング３１ａに対して上方に間隔を隔てて配置されている上側ケーシング３１ｂとを備えており、下側ケーシング３１ａと上側ケーシング３１ｂとの左右方向両端部は、図１に示す側壁３１ｃによって、連結されている。また、図３に示すように、下側ケーシング３１ａは、下部６１（後述）と、下側壁４７（後述）とを備えており、上側ケーシング３１ｂは、上部６２（後述）と、上側壁４８（後述）とを備えている。
【０１１７】
下側ケーシング３１ａと上側ケーシング３１ｂとの間において、後端部には、第１貯留部２７が設けられ、前後方向中央部には、１対のギヤを収容するギヤ収容部４０が設けられ、前端部には、吐出口４６が設けられている。また、ギヤ収容部４０と吐出口４６との間には、それらに連通する第２貯留部２８および吐出通路４４が形成されている。また、ケーシング３１の外側表面には、図示しないヒータが複数（４つ）設けられている。
【０１１８】
第１貯留部２７は、図１および図２に示すように、左右方向中央において、連結管１７の前側に連通し、平面視において略矩形状に形成されている。また、側断面視において、後端部から前端部にかけて、略直線状に形成され、前端部において、前方に向かって大きくなる略テーパ状に形成されている。
【０１１９】
ギヤ収容部４０は、図３に示すように、第１貯留部２７の前側に連通しており、下部６１と、下部６１の上側に連通する上部６２とを備えている。
【０１２０】
また、下部６１の上側面（内側面）７１、および、上部６２の下側面（内側面）７２は、円弧面状（２分割された半円周面状）に形成され、１対のギヤ３２を収容する収容空間７３を区画する。収容空間７３は、第１貯留部２７に連通し、断面視において上下方向に延びるように形成されている。なお、下部６１および上部６２は、ケーシング３１において、左右方向にわたって形成されている。また、収容空間７３の上端部および下端部には、後述する密閉空間７４が設けられる。
【０１２１】
吐出口４６は、上下方向に互いに間隔を隔てて形成される２つの吐出壁４５によって区画されており、前方に開口されるように形成されている。吐出壁４５は、ケーシング３１の前端部に設けられており、下側壁４７および上側壁４８を備えている。
【０１２２】
下側壁４７は、左右方向および上下方向に延びる厚肉平板形状をなし、その前面および上面のそれぞれが、平坦状に形成されている。
【０１２３】
上側壁４８は、下面が平坦状に形成されている。また、上側壁４８は、側断面視略Ｌ字形状をなし、上側壁下部の前端部が上側壁上部の前面に対して前方に突出するように形成されている。つまり、上側壁４８において、上側壁下部の前端部が、側断面視略矩形状のドクターとしての突出部６３とされている。突出部６３の突出長さ（つまり、前後方向長さ）は、例えば、２ｍｍ以上であり、また、例えば、１５０ｍｍ以下、好ましくは、５０ｍｍ以下である。また、突出部６３の厚み（つまり、上下方向長さ）は、例えば、２ｍｍ以上であり、また、例えば、１００ｍｍ以下、好ましくは、５０ｍｍ以下である。突出部６３の前面と、下側壁４７の前面とは、上下方向に投影したときに、同一位置となるように、形成されている。
【０１２４】
第２貯留部２８は、ギヤ収容部４０の前側に連通しており、後方が開放される側断面視略Ｕ字形状に形成されている。また、第２貯留部２８は、後述する密閉空間７４に対する搬送方向下流側の下流空間とされる。
【０１２５】
吐出通路４４は、第２貯留部２８の前側に連通するとともに、吐出口４６の後側に連通している。吐出通路４４は、側断面視において、前方に向かって延びる略直線状に形成されている。
【０１２６】
図４に示すように、１対のギヤ３２は、例えば、ダブルヘリカルギヤであって、具体的には、第１ギヤ３３および第２ギヤ３４を備えている。
【０１２７】
第１ギヤ３３の回転軸である第１軸２５は、ケーシング３１（図１参照）において、左右方向に延び、回転自在となるように設けられている。
【０１２８】
第２ギヤ３４の回転軸である第２軸２６は、ケーシング３１において、第１軸２５と平行して延び、回転自在となるように設けられている。また、第２軸２６は、第１軸２５に対して上方に対向配置されている。
【０１２９】
第１ギヤ３３および第２ギヤ３４のそれぞれは、下部６１および上部６２（図３参照）のそれぞれに収容されている。また、第１ギヤ３３の下半分部分における径方向端部は、下部６１の上側面７１（後述）に嵌合されるとともに、第２ギヤ３４の上半分部分における径方向端部は、上部６２の下側面７２（後述）に嵌合される。
【０１３０】
そして、第１ギヤ３３および第２ギヤ３４のそれぞれは、具体的には、互いに噛み合う
斜歯３５を備えている。
【０１３１】
第１ギヤ３３において、斜歯３５の歯筋は、第１ギヤ３３の回転方向Ｒ２の下流側から回転方向Ｒ２の上流側に向かうに従って、回転軸線方向Ａ１の外側に傾斜している。また、斜歯３５は、歯筋が互いに異なる第１右斜歯３６および第１左斜歯３７を一体的に備えている。第１ギヤ３３において、第１右斜歯３６は、第１ギヤ３３の軸線方向中央に対して右側に形成され、第１左斜歯３７は、第１右斜歯３６の軸線方向中央に対して左側に形成されている。
【０１３２】
詳しくは、第１右斜歯３６の歯筋は、回転方向Ｒ２の下流側から回転方向Ｒ２の上流側に向かうに従って、左側（中央部側）から右側（右端部側）に傾斜している。一方、第１左斜歯３７の歯筋は、第１右斜歯３６の歯筋に対して第１ギヤ３３の左右方向中央部を基準として左右対称に形成されており、具体的には、回転方向Ｒ２の下流側から回転方向Ｒ２の上流側に向かうに従って、右側（中央部側）から左側（左端部側）に傾斜している。
【０１３３】
第２ギヤ３４は、第１ギヤ３３に対して上下対称に形成されており、第１ギヤ３３と噛み合うように構成されており、具体的には、第１右斜歯３６と噛み合う第２右斜歯３８と、第１左斜歯３７と噛み合う第２左斜歯３９とを一体的に備えている。
【０１３４】
図５に示すように、１対のギヤ３２は、黒丸で示される噛み合い部分が、側断面視において、第１ギヤ３３および第２ギヤ３４が点状に接触するように構成されることから、側断面点接触タイプとされている。また、１対のギヤ３２は、噛み合い部分が、１対のギヤ３２の歯筋に沿って、第１ギヤ３３および第２ギヤ３４の弦巻（つるまき）線状に形成されることから、線接触タイプともされる。
【０１３５】
１対のギヤ３２のそれぞれの斜歯３５は、回転方向Ｒ２において間隔を隔てて設けられ、径方向内方に湾曲するように形成される凹面４２と、各凹面４２を連結し、凹面４２の周方向両端部から径方向外方に湾曲するように形成される凸面４３とを一体的に備える曲面４１を備えている。
【０１３６】
また、斜歯３５の歯筋間、つまり、凸面４３の頂点間には、凹面４２を含む歯溝７５が形成されている。
【０１３７】
また、図３に示すように、ケーシング３１には、１対のギヤ３２を、第１ギヤ３３の斜歯３５と下部６１の上側面７１との間、および、第２ギヤ３４の斜歯３５と上部６２の下側面７２との間に密閉空間７４が形成されるように、収容する収容空間７３が設けられている。
【０１３８】
つまり、上側面７１および下側面７２は、１対のギヤ３２の直径と同一の曲率を有する断面視円弧状に形成されており、１対のギヤ３２の径方向端部（凸面４３の頂点、図５参照。）の回転軌跡と同一の断面視略円弧状に形成されている。これによって、密閉空間７４は、斜歯３５の歯筋間の歯溝７５を、上側面７１および下側面７２によって、被覆する。
【０１３９】
また、密閉空間７４は、歯溝７５と、上側面７１および下側面７２とによって、区画される。
【０１４０】
そして、この１対のギヤ３２は、第１貯留部２７と、第２貯留部２８とが、斜歯３５の歯筋間の歯溝７５を介して連通しないように、１対のギヤ３２が構成されている。
【０１４１】
図４および図６に示すように、第１右斜歯３６の歯溝７５、および、第１左斜歯３７の歯溝７５は、それぞれ互いに連通する。また、第１右斜歯３６の歯溝７５、および、第１右斜歯３６の歯溝７５には、回転軸線方向Ａ１の全てにわたって、回転軸線Ａ１から径方向に投影したときに、密閉空間７４の内側面、つまり、上側面７１（図３参照）と重複する複数（２つ）の重複歯溝７６が形成される。
【０１４２】
重複歯溝７６のうち、最前側（最下流側）の重複歯溝７６Ａでは、第１右斜歯３６の左端部および第１左斜歯３７の右端部（つまり、第１ギヤ３３の左右方向中央部、つまり、それらの連絡部分）が、上側面７１（図６参照）の前端部（回転方向下流側端部）に対向配置されるときには、対応する第１右斜歯３６の右端部および第１左斜歯３７の左端部（つまり、第１ギヤ３３の左右方向両端部）は、第１貯留部２７（図６参照）に臨むことなく、上側面７１の前後方向（回転方向）途中に対向配置される。
【０１４３】
また、重複歯溝７６のうち、最後側（最上流側）の重複歯溝７６Ｂでは、第１右斜歯３６の右端部および第１左斜歯３７の左端部（つまり、第１ギヤ３３の左右方向両端部）が、上側面７１（図６参照）の後端部（回転方向上流側端部）に対向配置されるときには、対応する第１右斜歯３６の左端部および第１左斜歯３７の右端部（つまり、第１ギヤ３３の左右方向中央部、つまり、連絡部分）は、第２貯留部２８に臨むことなく、上側面７１の前後方向（回転方向）途中に対向配置される。
【０１４４】
そして、これら複数の重複歯溝７６は、第１ギヤ３３の回転によって、その回転方向上
流側に向かう歯溝７５へと移行する。
【０１４５】
また、第２ギヤ３４の重複歯溝７６および下側面７２は、第１ギヤ３３の重複歯溝７６および上側面７１と同様の構成であり、具体的には、噛み合い部分に対して上下対称の構成とされる。すなわち、歯溝７５には、下側面７２と重複する重複歯溝７６が複数形成される。重複歯溝７６は、第２ギヤ３４の回転によって、回転方向上流側に向かう歯溝７５へと移行する。
【０１４６】
なお、ギヤ構造体４の右側には、１対のギヤ３２の第１軸２５および第２軸２６に接続されるモータ（図示せず）が設けられている。
【０１４７】
次に、１対のギヤ３２の曲面４１における噛み合いを図５Ａ〜図５Ｃを参照して説明する。
【０１４８】
まず、図５Ａに示すように、第１ギヤ３３の凸面４３の回転方向Ｒ２の下流側端部と、第２ギヤ３４の凹面４２の回転方向Ｒ２の下流側端部とが噛み合っている場合において、図５Ａ矢印および図５Ｂに示すように、第１ギヤ３３および第２ギヤ３４が回転方向Ｒ２に回転すると、第１ギヤ３３の凸面４３の回転方向Ｒ２の途中部と、第２ギヤ３４の凹面４２の回転方向Ｒ２の途中部とが噛み合う。続いて、図５Ｂ矢印および図５Ｃに示すように、第１ギヤ３３および第２ギヤ３４が回転方向Ｒ２に回転すると、第１ギヤ３３の凸面４３の回転方向Ｒ２の上流側端部と、第２ギヤ３４の凹面４２の回転方向Ｒ２の上流側端部とが噛み合う。つまり、第１ギヤ３３の凸面４３と、第２ギヤ３４の凹面４２との噛合部分が、各面における回転方向Ｒ２の下流側端部、途中部および上流側端部に順次連続的に移動する。
【０１４９】
続いて、図示しないが、第１ギヤ３３の凹面４２と、第２ギヤ３４の凸面４３との噛合部分も、各面における回転方向Ｒ２の下流側端部、途中部および上流側端部に順次連続的に移動する。
【０１５０】
従って、第１ギヤ３３の曲面４１と、第２ギヤ３４の曲面４１との噛合部分が、回転方向Ｒ２に沿って連続して移動する。この噛合部分の移動は、組成物の搬送において、組成物が溜まる貯留部分（図示せず）が歯筋間の歯溝７５に形成されることを防止する。
【０１５１】
シート形成部５は、図１および図３に示すように、ギヤ構造体４の前側において上側壁４８の突出部６３を含むように設けられており、例えば、ギヤ構造体４における突出部６３と、移動支持体としての支持ロール５１と、圧延ロール５４とを備えている。また、シート形成部５は、図２に示すように、第２送出ロール５９と、第１送出ロール５６とを備えている。
【０１５２】
突出部６３は、図３に示すように、ギヤ構造体４におけるケーシング３１の吐出口４６を区画する壁の役割と、シート形成部５における吐出口４６から吐出される組成物の厚みを調整するドクター（あるいはナイフ）の役割との両方の役割を有する。
【０１５３】
支持ロール５１は、突出部６３に対して、隙間としての第１隙間５０が設けられるように対向配置されている。支持ロール５１は、ステンレス（ＳＵＳ３０４）の周面にクロムメッキが処理された金属から形成されている。支持ロール５１の回転軸線は、１対のギヤ３２の第１軸２５および第２軸２６と平行しており、具体的には、左右方向に延びている。また、支持ロール５１の回転軸線は、前後方向に投影したときに、吐出口４６および突出部６３と重なるように、配置されている。また、支持ロール５１は、組成物を支持して搬送するように構成されている。従って、支持ロール５１は、組成物を第１隙間５０に通過させるように構成されている。なお、支持ロール５１は、図示しないヒータが設けられている。
【０１５４】
図２に示すように、第１送出ロール５６は、支持ロール５１の下方に間隔を隔てて設けられている。第１送出ロール５６の回転軸線は、左右方向に延びており、第１送出ロール５６の周面には、第１セパレータ８がロール状に巻回されている。
【０１５５】
図３に示すように、圧延ロール５４は、第１隙間５０に対して搬送方向下流に位置し、支持ロール５１に対して第２隙間６０が設けられるように対向配置されている。圧延ロール５４の回転軸線は、１対のギヤ３２の第１軸２５、第２軸２６および支持ロール５１と平行しており、具体的には、左右方向に延びている。また、圧延ロール５４の回転軸線は、上下方向に投影したときに、支持ロール５１と重なるように、配置されている。圧延ロール５４は、第１隙間５０を通過してくる圧延化前シート７ａ（シート状組成物）に対して、シート厚みのばらつきを調整するように構成されている。圧延ロール５４は、鉄の周面にクロムメッキが処理された金属から形成されている。圧延ロール５４は、支持ロール５１との対向部分（ニップ部分）において、支持ロール５１と逆方向に回転する。
【０１５６】
圧延ロール５４の上方には、エアポンプ（図示せず）が設けられている。エアポンプは、圧延ロール５４に対して空気圧を作用させることにより、圧延ロール５４に下方へ向かう圧力（すなわち、圧延化前シート７ａに対する圧力）を与えるように構成されている。
【０１５７】
図２に示すように、第２送出ロール５９は、圧延ロール５４の上方やや前方に間隔を隔てて対向配置されている。第２送出ロール５９の回転軸線は、左右方向に延びており、第２送出ロール５９の周面には、第２セパレータ９がロール状に巻回されている。
【０１５８】
張力調整部２０は、図１および２に示すように、第１テンションロール８１、ダンサーロール８０および第２テンションロール８２を備えている。
【０１５９】
第１テンションロール８１は、支持ロール５１に対して水平（上下方向高さが略同一）であって、搬送方向下流側に設けられている。第１テンションロール８１の回転軸線は、１対のギヤ３２の第１軸２５および第２軸２６と平行しており、具体的には、左右方向に延びている。
【０１６０】
ダンサーロール８０は、第１テンションロール８１の搬送方向下流側に、上下方向に移動可能に設けられている。詳しくは、上下方向に投影したときに、ダンサーロール８０の後端（搬送方向上側端部）が、第１テンションロール８１の先端（搬送方向下流側端部）と、略一致するように設けられている。ダンサーロール８０の回転軸線は、１対のギヤ３２の第１軸２５および第２軸２６と平行しており、具体的には、左右方向に延びている。ダンサーロール８０は、図示しないヒータを備える。ダンサーロール８０は、上下方向に移動することにより、搬送される積層シート１０にかかる張力を調整し、その結果、積層シート１０の搬送速度および位置を調節するように構成されている。
【０１６１】
第２テンションロール８２は、ダンサーロール８０の搬送方向下流側で、第１テンションロール８１に対して水平（上下方向高さが略同一）となるように、設けられている。第２テンションロール８２は、上下方向に投影したときに、ダンサーロール８０の先端（搬送方向下側端部）が、第２テンションロール８２の後端（搬送方向上流側端部）と、略一致するように設けられている。第２テンションロール８２の回転軸線は、１対のギヤ３２の第１軸２５および第２軸２６と平行しており、具体的には、左右方向に延びている。
【０１６２】
切断部３は、本発明のシート作製工程で作製されるシートの一例である積層シート１０（シート１００）を切断可能に構成されており、作製部２１における張力調整部２０の搬送方向下流側に設けられる。切断部３は、１対の搬送ロール８３、１対の切断押え部材８４、切断刃８５、載置部材８６および１対の把持移動部８７（図７参照）を備えている。
【０１６３】
図２に示すように、１対の搬送ロール８３は、第１搬送ロール８３ａと、第１搬送ロール８３ａに対して上側に対向配置される第２搬送ロール８３ｂとを備えており、第２テンションロール８２の搬送方向下流側に配置されている。
【０１６４】
第１搬送ロール８３ａの上端面は、第２テンションロール８２の上端面と水平となるように配置されている。第１搬送ロール８３ａおよび第２搬送ロール８３ｂの回転軸線は、１対のギヤ３２の第１軸２５および第２軸２６と平行しており、具体的には、左右方向に延びている。１対の搬送ロール８３は、搬送方向上流から搬送されてくる積層シート１０を押圧しながら搬送方向下流側に搬送させるように構成されている。
【０１６５】
１対の切断押え部材８４は、積層シート１０を次に説明する切断刃８５が積層シート１０を切断する際に、積層シート１０における切断箇所より後側（搬送方向上流側）部分を押さえるように構成されている。１対の切断押え部材８４は、第１押え部材８４ａと、第１押え部材８４ａに対して上側に対向配置される第２押え部材８４ｂとを備えており、１対の搬送ロール８３の搬送方向下流側に配置されている。
【０１６６】
第１押え部材８４ａは、その上端面が平坦面となる断面視略矩形状で、左右方向にわたって長尺に形成されている。すなわち、第１押え部材８４ａは、左右方向に延びるように設けられている。第１押え部材８４ａの上端面は、第１搬送ロール８３ａの上端縁と、水平となるよう設計されている。
【０１６７】
第２押え部材８４ｂは、第１押え部材８４ａの上側に、上下方向に移動可能なように、対向配置されている。第２押え部材８４ｂは、第１押え部材８４ａと、搬送されるシートの面に対して上下方向対称で略同一形状となるように形成されている。具体的には、その下端面が平坦面となる断面視略矩形状で、左右方向にわたって長尺に形成されている。第２押え部材８４ｂは、上方から下方に向かって可動し、その下端面が積層シート１０を押圧することにより、積層シート１０の搬送方向下流への移動を一時的に規制するように構成されている。
【０１６８】
切断刃８５は、切断押え部材８４の搬送方向下流側に設けられている。切断刃８５は、図７に示すように、左右方向に沿って配置されている。詳しくは、切断刃８５は、その切断方向が、積層シート１０の搬送方向と直交する方向、すなわち、上下方向となるように、構成されている。切断刃８５としては、例えば、積層シート１０において左右方向に沿って切断できる刃、例えば、トムソン刃２２（図９参照）、ピナクル刃（腐食刃）、刃先が左右方向一方から他方に向かって上下方向に傾斜するギロチン刃などの、左右方向に延びる帯刃などが挙げられる。切断刃８５として、好ましくは、刃先が左右方向一方から他方に向かって上下方向に傾斜せず、積層シート１０を左右方向に一度に切断できるトムソン刃２２およびピナクル刃が挙げられ、さらに好ましくは、ピナクル刃の刃長が通常１ｍｍ以下であることから、十分な長さ刃長を確保できるトムソン刃２２が挙げられる。
【０１６９】
図９に示すように、切断刃８５の一例であるトムソン刃２２は、側面視において、左右方向に延び、下方に向かって尖る帯刃であって、下端部に刃先２３が形成されている。また、図９のトムソン刃２２は、両刃に形成されている。具体的には、図９のトムソン刃２２は、前後方向に互いに対向する２つの傾斜面２４を備えており、断面視において、２つの傾斜面２４が交わる部分が、稜線として刃先２３を構成する。刃先２３は、左右方向に沿うように形成される。
【０１７０】
２つの傾斜面２４は、センター面５５（刃先２３を上下方向に通過する面５５）に対して傾斜して形成されている。２つの傾斜面２４は、前傾斜面５７、および、前傾斜面５７の後側に形成される後傾斜面５８を備える。前傾斜面５７は、下方に向かうに従って後側に傾斜するように形成されている。一方、後傾斜面５８は、下方に向かうに従って前側に傾斜するように形成されている。具体的には、前傾斜面５７および後傾斜面５８は、センター面５５を基準にして、面対称に形成されている。
【０１７１】
また、切断部３において、上記した切断刃８５、具体的には、トムソン刃２２やピナクル刃の下方には、それと間隔を隔てて配置される支持台７７が設けられている。支持台７７は、上面が積層シート１０を載置および支持可能に構成されており、具体的には、図７に示すように、支持台７７の上面は、左右方向に延びる平坦状に形成されている。また、支持台７７は、厚み方向に投影したときに、切断刃８５を含むように形成されている。切断刃８５は、トムソン刃２２やピナクル刃の刃先２３が、下方に移動したときに、支持台７７の上面の近傍に到達できるように構成されている。
【０１７２】
切断刃８５を形成する材料としては、特に限定されず、例えば、ステンレス鋼、炭素工具鋼、高速度鋼、超硬合金などの合金、例えば、セラミック、例えば、ダイヤモンドなどが挙げられる。
【０１７３】
なお、張力調整部２０および切断部３において、積層シート１０を切断する時に、積層シート１０において所定温度Ｔが確保されるように、シート製造装置１には、温度調節装置が設けられており、具体的には、支持台７７に、ヒータ７８が設けられている。ヒータ７８は、支持台７７に、積層シート１０を加熱可能に内蔵されている。
【０１７４】
載置部材８６は、切断刃８５の搬送方向下流側に、配置されている。載置部材８６は、その上端面が平坦面となる断面視略矩形状で、左右方向にわたって長尺に形成されている。載置部材８６の上端面は、支持台７７に対して水平となるように配置されている。
【０１７５】
把持移動部８７は、図７に示すように、１対のキャタピラ８９と、１対のチャッキングアーム８８とを備えている。
【０１７６】
１対のキャタピラ８９は、載置部材８６に対して右側に配置される第１キャタピラ８９ａと、第１キャタピラ８９ａに対して、載置部材８６および搬送コンベア９０（後述）を挟んで左右方向に対向配置される第２キャタピラ８９ｂとを備えている。
【０１７７】
第１キャタピラ８９ａおよび第２キャタピラ８９ｂは、前後方向に沿って配置され、左右方向に投影したときに、その前端部が載置部材８６と重なり、その後端部が搬送コンベア９０（後述）と重なるように、設けられている。
【０１７８】
第１キャタピラ８９ａおよび第２キャタピラ８９ｂは、両者等速で正逆回転可能に構成されており、正回転時には、右側面視において反時計回りに周回移動し、つまり、平面視において視認できる上側のキャタピラが前側から後側に移動し、逆回転時には、右側面視において時計回りに周回移動し、つまり、平面視において視認できる上側のキャタピラが後側から前側に移動する。
【０１７９】
１対のチャッキングアーム８８は、第１キャタピラ８９ａに固定される第１チャッキングアーム８８ａと、第２キャタピラ８９ｂに固定される第２チャッキングアーム８８ｂとを備えている。
【０１８０】
第１チャッキングアーム８８ａおよび第２チャッキングアーム８８ｂは、左右方向に投影したときに、同一位置となるように、第１キャタピラ８９ａおよび第２キャタピラ８９ｂに、それぞれ固定されている。
【０１８１】
第１チャッキングアーム８８ａは、空気圧によって作動し、シートの右側端部を上下方向から把持可能に構成されており、第２チャッキングアーム８８ｂは、空気圧によって作動し、シートの左側端部を上下方向から把持可能に構成されている。
【０１８２】
そして、把持移動部８７では、１対のチャッキングアーム８８が、左右方向において載置部材８６と対向する位置（以下、把持位置とする。）と、左右方向において搬送コンベア９０の前後方向途中部分と対向する位置（以下、解放位置とする。）との間を移動するように、１対のキャタピラ８９が正逆回転される。
【０１８３】
収容部６は、図１および図２に示すように、搬送支持体としての搬送コンベア９０と、検知センサー９１と、可動支持体としての可動板９２と、シート収容部としての収容ケース９３とを備えている。
【０１８４】
図７に示すように、搬送コンベア９０は、載置部材８６の搬送方向下流側に配置され、左右方向において、第１キャタピラ８９ａと第２キャタピラ８９ｂとの間に配置されている。図１に示すように、搬送コンベア９０は、前後方向において、載置部材８６と、収容ケース９３との間に配置されている。搬送コンベア９０は、切断されたシート（枚葉シート１８）を、載置部材８６から収容ケース９３に搬送するように構成されている。
【０１８５】
図２に示すように、検知センサー９１は、搬送コンベア９０の搬送方向下流側であって、搬送コンベア９０の上方に間隔を隔てて対向配置されている。検知センサー９１は、反射式光センサーからなり、検知センサー９１の下方を通過する搬送コンベア９０上の枚葉シート１８を検知するように構成されている。
【０１８６】
可動板９２は、搬送コンベア９０の下方に配置され、前後方向に移動可能に構成されている。具体的には、可動板９２は、前後方向長さが、枚葉シート１８の前後方向長さより、やや短い平面視略矩形平板形状に形成されている。可動板９２の左右方向両側には、図示しない１対のフレームが設けられており、１対のフレームには、前後方向に沿うガイドレールが設けられている。
【０１８７】
可動板９２の左右方向両端部は、１対のフレームのガイドレールにそれぞれスライド自在に嵌合されている。
【０１８８】
これによって、可動板９２は、図８Ａに示すように、搬送コンベア９０から、その前端部がわずかに露出する退避位置と、図８Ｃに示すように、搬送コンベア９０から、その前端部から後端部にわたってすべてが露出する進出位置とに、前後方向に沿って移動する。
【０１８９】
収容ケース９３は、搬送コンベア９０の搬送方向下流側および下側に配置されている。収容ケース９３は、左右方向長さおよび上下方向長さにおいて、枚葉シート１８よりもやや大きく形成されている。上下方向に投影したときに、収容ケース９３の後端縁は、搬送コンベア９０の前端縁と略一致する。収容ケース９３は、搬送コンベア９０から搬送される枚葉シート１８を、積層させながら収容するように構成されている。
【０１９０】
シート製造装置１の寸法は、用いる粒子および樹脂成分の種類および配合割合と、目的とするシートの幅および厚みに対応して適宜設定される。
【０１９１】
図４に示すように、１対のギヤ３２（第１ギヤ３３、第２ギヤ３４）の回転軸線方向長さＷ２は、例えば、２００ｍｍ以上、好ましくは、３００ｍｍ以上であり、また、例えば、２０００ｍｍ以下である。
【０１９２】
１対のギヤ３２のギヤ径（ギヤ３２の直径（外径）、詳しくは、刃先円の直径）は、組成物の搬送時の圧力で１対のギヤ３２が歪まないように設定され、例えば、１０ｍｍ以上、好ましくは、２０ｍｍ以上であり、また、例えば、２００ｍｍ以下、好ましくは、８０ｍｍ以下である。また、１対のギヤ３２の歯底円の直径（ギヤ径から次に説明する歯たけＬ３を差し引いた値）は、例えば、８ｍｍ以上、好ましくは、１０ｍｍ以上であり、また、例えば、１９８ｍｍ以下、好ましくは、１９４ｍｍ以下である。
【０１９３】
図４に示すように、１対のギヤ３２の歯たけＬ３は、例えば、１ｍｍ以上、好ましくは、３ｍｍ以上であり、また、例えば、３０ｍｍ以下、好ましくは、２０ｍｍ以下である。
【０１９４】
斜歯３５の回転軸線方向Ａ１におけるピッチ間隔は、例えば、５ｍｍ以上、好ましくは、１０ｍｍ以上であり、また、例えば、３０ｍｍ以下、好ましくは、２５ｍｍ以下である。また、斜歯３５の歯筋の、１対のギヤ３２の回転軸線に対する角度（傾斜角）は、例えば、０度を超過し、好ましくは、５度以上、より好ましくは、１５度以上であり、また、例えば、７５度未満、好ましくは、７０度以下、より好ましくは、６０度以下である。傾斜角が上記下限以上であれば、組成物を回転軸線Ａ１の両外側に広げて、幅広のシートを確実に形成することができる。一方、傾斜角が上記上限以下であれば、重複歯溝７６を確実に形成して、組成物の搬送効率を向上させることができる。
【０１９５】
図６に示すように、１対のギヤ３２の回転軌跡において、第１ギヤ３３と上側面７１とが対向する回転方向長さＷ１、および、第２ギヤ３４と下側面７２とが対向する回転方向長さ（図６において図示せず）は、例えば、２ｍｍ以上、好ましくは、３ｍｍ以上、好ましくは、５ｍｍ以上であり、また、例えば、３２４ｍｍ以下、好ましくは、３１５ｍｍ以下である。上記した長さが上記下限以上であれば、複数の重複歯溝７６を確実に形成して、組成物の搬送効率を向上させることができる。一方、上記した長さが上記上限以下であれば、組成物の搬送効率を向上させることができる。
【０１９６】
支持ロール５１の回転軸線方向長さ（左右方向長さ）は、例えば、２１０ｍｍ以上、好ましくは、３１０ｍｍ以上であり、また、例えば、２０４０ｍｍ以下である。支持ロール５１の直径（外径）は、例えば、３００ｍｍ以下、好ましくは、１５０ｍｍ以下である。また、例えば、３０ｍｍ以上、好ましくは、５０ｍｍ以上である。圧延ロール５４の回転軸方向長さは、例えば、支持ロール５１の回転軸方向長さの９５〜１２０％であり、好ましくは、支持ロール５１の回転軸方向長さと略同一である。圧延ロール５４の直径は、例えば、支持ロール５１の直径の８０〜１２０％であり、好ましくは、支持ロール５１の直径と略同一である。
【０１９７】
ダンサーロール８０の回転軸線方向長さ（左右方向長さ）は、例えば、２１０ｍｍ以上、好ましくは、３１０ｍｍ以上であり、また、例えば、２０４０ｍｍ以下である。
【０１９８】
ダンサーロール８０の直径（外径）は、例えば、３００ｍｍ以下、好ましくは、１５０ｍｍ以下である。また、例えば、３０ｍｍ以上、好ましくは、５０ｍｍ以上である。
【０１９９】
第１搬送ロール８３ａの回転軸線方向長さ（左右方向長さ）は、例えば、２１０ｍｍ以上、好ましくは、３１０ｍｍ以上であり、また、例えば、２０４０ｍｍ以下である。
【０２００】
第１搬送ロール８３ａの直径（外径）は、例えば、３００ｍｍ以下、好ましくは、１５０ｍｍ以下である。また、例えば、３０ｍｍ以上、好ましくは、５０ｍｍ以上である。
【０２０１】
第２搬送ロール８３ｂの回転軸方向長さは、２１０ｍｍ以上、好ましくは、３１０ｍｍ以上であり、また、２０４０ｍｍ以下であり、好ましくは、第１搬送ロール８３ａの回転軸方向長さと略同一である。第２搬送ロールの直径は、例えば、３００ｍｍ以下、好ましくは、１５０ｍｍ以下である。また、例えば、３０ｍｍ以上、好ましくは、５０ｍｍ以上である。好ましくは、第１搬送ロール８３ａの直径と略同一である。
【０２０２】
また、図３に示すように、第１隙間５０の前後方向距離Ｌ１は、第１セパレータ８の厚みおよび所望する圧延化前シート７ａの厚みに応じて適宜設定され、例えば、６０μｍ以上、好ましくは、１００μｍ以上であり、また、例えば、３５００μｍ以下、好ましくは、２５００μｍ以下である。
【０２０３】
第２隙間６０の上下方向距離Ｌ２は、第１隙間５０の距離Ｌ１の寸法、第２セパレータ９の厚さなどに応じて適宜設定され、詳しくは、第１隙間５０の距離Ｌ１よりもわずかに狭くするように設定される。これにより、圧延ロール５４が、シートに押し込み、シートの厚みのばらつきを調整する。具体的には、例えば、第１隙間５０よりも狭める距離（ロール押し込み量：Ｌ１−Ｌ２の値）は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。より具体的には、第２隙間６０の上下方向距離Ｌ２は、例えば、６５μｍ以上、好ましくは、７０μｍ以上であり、また、例えば、３６００μｍ以下、好ましくは、３５５０μｍ以下である。
【０２０４】
図９に示すように、切断刃８５の刃先角α、具体的には、トムソン刃２２の刃先角αは、トムソン刃２２が両刃である場合には、鋭角であって、例えば、５度以上、好ましくは、１０度以上、より好ましくは、１５度以上であり、また、例えば、６０度以下、好ましくは、５０度以下、より好ましくは、４２度未満、さらに好ましくは、４０度以下である。
【０２０５】
なお、刃先角αは、２つの傾斜面２４が互いに交差する交点より上側（切断方向上流側）に形成される角度である。また、刃先角αは、前傾斜面５７とセンター面５５との成す角度α１と、後傾斜面５８とセンター面５５との成す角度α２との合計角度（α１＋α２）である。
また、トムソン刃２２の刃長、すなわち、トムソン刃２２の上下方向（切断方向）長さは、特に限定されず、例えば、８ｍｍ以上、好ましくは、１２ｍｍ以上、より好ましくは、２３．６ｍｍ以上であり、また、例えば、１００ｍｍ以下である。また、トムソン刃２２の刃厚、すなわち、トムソン刃２２の前後方向の最大長さは、特に限定されず、例えば、４５０μｍ以上、好ましくは、７００μｍ以上であり、また、例えば、１５００μｍ以下、好ましくは、１０００μｍ以下である。
【０２０６】
押え部材８４と載置部材８６との前後隙間は、切断刃８５のトムソン刃２２の刃厚などによって適宜選定される。
【０２０７】
可動板９２の左右方向長さは、枚葉シート１８の左右方向長さに対して、例えば、５０％以上、好ましくは、７０％以上であり、また、１５０％以下、好ましくは、１００％以下である。また、可動板９２の前後方向長さは、枚葉シート１８の搬送方向長さに対して、例えば、７０％以上、好ましくは、１００％以上であり、また、３００％以下、好ましくは、１５０％以下である。
【０２０８】
＜枚葉シートの製造方法＞
次に、このシート製造装置１を用いる、枚葉シート１８の製造方法について詳説する。
【０２０９】
枚葉シート１８の製造方法は、シート作製工程、切断工程および収容工程を備える。以下、各工程について詳述する。
【０２１０】
［シート作製工程］
シート作製工程では、粒子および樹脂成分を含有する組成物から圧延シート７（粒子含有樹脂シートの一例）を作製するとともに、圧延シート７を第１セパレータ８および第２セパレータ９で挟み込む。つまり、シート作製工程では、圧延シート７と、圧延シート７の下面（厚み方向一方面）に設けられる第１セパレータ８と、圧延シート７の上面（厚み方向他方面）に設けられる第２セパレータ９とを備える積層シート１０を作製する。
【０２１１】
具体的には、まず、図２に示すように、ホッパ１６に、粒子および樹脂成分を含有する組成物を仕込む。
【０２１２】
また、シート製造装置１の作製部２１において、混練押出機２、ギヤ構造体４、シート形成部５（特に、支持ロール５１、圧延ロール５４）および張力調整部２０（特に、ダンサーロール８２）を所定の温度および／または回転速度に調整する。なお、混練押出機２、ギヤ構造体４およびシート形成部５の温度は、例えば、樹脂成分が熱可塑性樹脂成分を含有する場合には、その軟化温度以上であり、また、樹脂成分が熱硬化性樹脂成分を含有する場合には、その硬化温度未満である。具体的には、混練押出機２、ギヤ構造体４、シート形成部５の温度は、それぞれ、例えば、５０℃以上、好ましくは、７０℃以上であり、また、例えば、２００℃以下、好ましくは、１５０℃以下である。
【０２１３】
特に、支持ロール５１および圧延ロール５４の温度は、ギヤ構造体４の温度よりも高く設定され、その温度差は、例えば、５℃以上、好ましくは、１０℃以上であり、また、例えば、５０℃以下、好ましくは、３０℃以下とする。支持ロール５１と圧延ロール５４との温度差は、例えば、５０℃以下であり、好ましくは、略等温である。
【０２１４】
支持ロール５１の回転速度は、例えば、０．０５ｍ／ｍｉｎ以上、好ましくは、０．１０ｍ／ｍｉｎ以上であり、例えば、１０．００ｍ／ｍｉｎ以下、好ましくは、５．００ｍ／ｍｉｎである。圧延ロール５４の回転速度は、支持ロール５１の回転速度に対して、略等速である。
【０２１５】
また、エアポンプの圧延ロール５４に対する空気圧は、例えば、０．１ＭＰａ以上、好ましくは、０．３ＭＰａ以上であり、また、例えば、５．０ＭＰａ以下、好ましくは、２．０ＭＰａ以下である。
【０２１６】
張力調整部２０（特に、ダンサーロール８２）の温度は、室温以上、例えば、２５℃以上、好ましくは、４０℃以上であり、また、例えば、９０℃以下、好ましくは、６０℃以下である。この範囲とすることにより、シートとして、シリカおよび熱硬化性樹脂（好ましくは、エポキシ樹脂）を含有する場合において、ダンサーロール８０による張力によって生じるシート表面の割れを抑制することできる。
【０２１７】
また、切断部３において、支持台７７の温度を所定温度Ｔに設定する。具体的には、所定温度Ｔは、圧延シート７の後述する軟化開始温度ＳＰ以上、かつ、圧延シート７の後述するガラス転移温度Ｔｇ以下である。具体的には、ヒータ７８の温度を、上記した所定温度Ｔに設定する。
【０２１８】
所定温度Ｔは、圧延シート７における粒子の種類および／または配合割合などに対応しており、圧延シート７における粒子の配合割合が７０体積％未満であれば、例えば、３０℃以上であり、また、例えば、４０℃未満、好ましくは、３５℃以下である。また、圧延シート７における粒子の配合割合が７０体積％以上であれば、所定温度Ｔは、例えば、３０℃以上であり、また、例えば、５０℃未満、好ましくは、４６℃以下、より好ましくは、４５℃以下である。
【０２１９】
図７に示す把持移動部８７の１対のキャタピラ８９の移動速度および搬送コンベア９０の搬送速度は、１対の搬送ロール８３に対して、それぞれ、６０〜２００％であり、好ましくは、略等速である。
【０２２０】
また、図２に示すように、第１送出ロール５６に、第１セパレータ８を予め巻回する。
【０２２１】
さらに、第２送出ロール５９に、第２セパレータ９を予め巻回する。
【０２２２】
次いで、組成物をホッパ１６から、シリンダ１１の混練押出機入口１４を介してシリンダ１１内に投入する。
【０２２３】
混練押出機２では、組成物が、ブロックヒータによって加熱されながら、混練スクリュー１２の回転によって混練押出されて、組成物が、混練押出機出口１５から連結管１７を介して、図２に示すように、第１貯留部２７に至る（混練押出工程）。
【０２２４】
その後、組成物は、ギヤ構造体４において、１対のギヤ３２の回転軸線方向Ａ１に変形
されながら、前方に搬送される（変形搬送工程）。
【０２２５】
具体的には、組成物は、１対のギヤ３２の噛み合いによって、回転軸線方向Ａ１の中央部から両端部に押し広げられながら搬送される。
【０２２６】
詳しくは、図３に示すように、組成物は、第１貯留部２７の前側部分の上端部および下端部から、収容空間７３における１対のギヤ３２の噛み合い部分より後側部分に至り、その後、１対のギヤ３２の斜歯３５に剪断されながら、歯溝７５内に取り巻き込まれ、続いて、密閉空間７４に至る。そして、密閉空間７４において、組成物が、重複歯溝７６となる歯溝７５によって、第１貯留部２７および第２貯留部２８間の連通、つまり、斜歯３５の歯筋に沿って移動することが阻止されながら、１対のギヤ３２の回転方向Ｒ２への回転によって、１対のギヤ３２の回転方向Ｒ２の下流側、つまり、前方に搬送される。これによって、組成物は、１対のギヤ３２の前側に押し出され、収容空間７３における１対のギヤ３２の噛み合い部分より前側部分に至る。
【０２２７】
このとき、組成物は、斜歯３５の噛み合い部分（図５参照）を介して第１貯留部２７に逆流する（後方に戻る）ことが斜歯３５の噛み合い部分によって防止されながら、左右方向に押し広げられる。
【０２２８】
具体的には、図３に示すように、ギヤ構造体４の右側部分においては、第１右斜歯３６と第２右斜歯３８との噛み合いによって、１対のギヤ３２における回転軸線方向Ａ１の中央部から右端部に向けて押し広げられる。一方、ギヤ構造体４の左側部分においては、第１左斜歯３７と第２左斜歯３９との噛み合いによって、１対のギヤ３２における回転軸線方向Ａ１の中央部から左端部に向けて押し広げられる。
【０２２９】
続いて、図３に示すように、組成物は、第２貯留部２８および吐出通路４４を介して吐出口４６に至り、次いで、吐出口４６から支持ロール５１に向かって吐出（搬送）される。
【０２３０】
具体的には、支持ロール５１の周面には、第１送出ロール５６（図２参照）から送り出された第１セパレータ８が積層されており、組成物は、その第１セパレータ８を介して支持ロール５１に支持されながら、支持ロール５１の回転方向に搬送される。
【０２３１】
吐出口４６から吐出された組成物は、一旦、支持ロール５１の後方に、第１セパレータ８を介して吐出され、直ちに、第１隙間５０（すなわち、突出部６３と支持ロール５１の周面との間）によって厚みが調整される。具体的には、余分な組成物は、突出部６３によって掻き取られ、所望厚みおよび所望幅のシート状組成物（以下、圧延化前シート７ａとする。）として形成される。そして、圧延化前シート７ａは、圧延化前シート７ａが第１セパレータ８に積層された第１セパレータ付シート１３として、第２隙間６０に搬送される（隙間通過工程）。
【０２３２】
この第１隙間５０の距離Ｌ１により、詳しくは、第１隙間５０の距離Ｌ１および第１セパレータ付シート１３の厚みを調整することにより、圧延化前シート７ａの厚みや、第２隙間通過工程により得られる圧延シート７の厚みが決定される。
【０２３３】
第１セパレータ付シート１３の厚みは、例えば、６０μｍ以上、好ましくは、１１０μｍ以上であり、また、例えば、２５００μｍ以下、好ましくは、１５００μｍ以下である。
【０２３４】
圧延化前シート７ａの厚みは、例えば、５０μｍ以上、好ましくは、１００μｍ以上であり、また、例えば、２０００μｍ以下、好ましくは、１０００μｍ以下である。
【０２３５】
続いて、図２に示すように、圧延化前シート７ａは、支持ロール５１の後端から支持ロール５１の外周を沿って支持ロール５１の上端に搬送され、その後、第２隙間６０（すなわち、圧延ロール５４と支持ロール５１との間）において、圧延化前シート７ａの上面に第２セパレータ９が積層されると同時に、圧延される。具体的には、第２隙間６０において、第１隙間５０によってシート状に形成された圧延化前シート７ａは、その直後に、圧延ロール５４によって、第２セパレータ９を介して、上方向から圧力が印加される。圧力は、例えば、０．０５ＭＰａ以上、好ましくは、０．１ＭＰａ以上であり、また、例えば、１．０ＭＰａ以下、好ましくは、０．５ＭＰａ以下である。そのため、圧延化前シート７ａは、その表面を平坦に変形させられ、シート表面の厚みのばらつきが抑制されたシート（以下、圧延シート７とする。）となる。その結果、第１セパレータ８および第２セパレータ９が圧延シート７の両面に積層された積層シート１０が得られる。つまり、積層シート１０は、圧延シート７と、第１セパレータ８および第２セパレータ９とを備えており、搬送方向に長い長尺シートとして形成される。
【０２３６】
積層シート１０の厚みは、例えば、５０μｍ以上、好ましくは、８０μｍ以上であり、また、例えば、２９００μｍ以下、好ましくは、１９５０μｍ以下である。
【０２３７】
積層シート１０における圧延シート７の厚みは、第１隙間５０を通過したときの圧延化前シート７ａの厚みに対して、例えば、６０％以上、また、例えば、９５％以下である。具体的には、例えば、３０μｍ以上、好ましくは、６０μｍ以上であり、また、例えば、１９００μｍ以下、好ましくは、９５０μｍ以下である。
【０２３８】
圧延シート７の軟化開始温度ＳＰは、例えば、２５℃以上、好ましくは、３０℃以上であり、また、例えば、４５℃以下、好ましくは、３５℃以下である。圧延シート７の軟化開始温度ＳＰは、周波数１Ｈｚ、昇温速度１０℃／分、温度範囲−１０〜６５℃の圧延シート７の動的粘弾性測定（ＤＭＡ）で得られる引張貯蔵弾性率Ｅ’から得られる。具体的には、圧延シート７のＤＭＡにおいて、ガラス領域から転移領域へ移行し始める温度であって、引張貯蔵弾性率Ｅ’の温度に対する変化率が−１．５×１０７Ｐａ／℃以下となる温度である。
【０２３９】
圧延シート７のガラス転移温度Ｔｇは、例えば、４０℃以上、好ましくは、４５℃以上であり、また、例えば、５０℃以下、好ましくは、４６℃以下である。圧延シート７のガラス転移温度Ｔｇは、上記した条件の圧延シート７の動的粘弾性測定（ＴＭＡ）で得られるｔａｎδのピーク値として得られる。
【０２４０】
また、圧延シート７の上記した所定温度Ｔ（すなわち、切断刃８５の設定温度）における引張貯蔵弾性率Ｅ’は、例えば、圧延シート７における樹脂成分の種類および／または配合割合などに応じて適宜調整され、とりわけ、樹脂成分の配合割合に応じて適宜調整される。圧延シート７の所定温度Ｔにおける引張貯蔵弾性率Ｅ’は、例えば、１．０×１０８Ｐａ以上、１．５×１０９Ｐａ以下である。具体的には、圧延シート７における粒子の配合割合が７０体積％未満であれば、圧延シート７の引張貯蔵弾性率Ｅ’は、例えば、１．０×１０８Ｐａ以上であり、また、例えば、１．２×１０９Ｐａ以下、好ましくは、８．０×１０８Ｐａ以下である。また、圧延シート７における粒子の配合割合が７０体積％以上であれば、圧延シート７の引張貯蔵弾性率Ｅ’は、例えば、１．０×１０８Ｐａ以上であり、また、例えば、１．５×１０９Ｐａ以下、好ましくは、１．３×１０９Ｐａ以下である。
【０２４１】
その後、積層シート１０は、第１テンションロール８１の上端から前端を通過し下方に向かって搬送され、ダンサーロール８０の後端から周縁に沿って下端に搬送され、さらに、ダンサーロール８０の下端から周縁に沿って前端に搬送され、その後、上方に向かって、第２テンションロール８２まで搬送される。
【０２４２】
このとき、ダンサーロール８０が積層シート１０を下側に押圧することにより、積層シート１０に一定の張力が加わるように設定されている。積層シート１０に加わる張力は、シートの幅、シートの材質（抗張力）により適宜選定されるが、例えば、１０Ｎ以上２００Ｎ以下である。
【０２４３】
第２テンションロール８２の後端から上端を通過した積層シート１０は、前方に水平に搬送され、第１搬送ロール８３ａおよび第２搬送ロール８３ｂの間を通過する。
【０２４４】
積層シート１０は、１対の搬送ロール８３の間において、上下方向から押圧される。その圧力は、例えば、０．１ＭＰａ以上、好ましくは、０．３ＭＰａ以上であり、また、例えば、２．０ＭＰａ以下、好ましくは、１．０ＭＰａ以下である。
【０２４５】
［切断工程］
次いで、積層シート１０は、第１押え部材８４ａおよび第２押え部材８４ｂの間を通過し、切断刃８５の下側を通過し、載置部材８６の上面に到達する。
【０２４６】
このとき、図７Ａに示すように、１対のチャッキングアーム８８は、把持位置に位置しており、積層シート１０の前端部の左右方向（幅方向）両端部は、１対のチャッキングアーム８８によって把持される。
【０２４７】
より具体的には、１対のチャッキングアーム８８は、積層シート１０の左右方向両端縁から左右方向内側に５〜１０ｍｍまでの部分を把持する。
【０２４８】
その後、図７Ｂに示すように、１対のキャタピラ８９が、１対の搬送ロール８３と連動するように正回転して、１対のチャッキングアーム８８が積層シート１０の前端部の左右方向両端部を把持したまま、解放位置まで移動される。これによって、積層シート１０の前端部は、切断刃８５から所定長さ（枚葉シート１８の長さ）離間する。
【０２４９】
本実施形態において、シート１００が上記（１）の関係を満足する場合には、切断工程において、図１１に示されるように、粒子含有樹脂シート７０が変形し、これに第２セパレータ９が隙間なく追従する。つまり、第２セパレータ９および粒子含有樹脂シート７０の間に、界面剥離が生じない態様となる。一方、第１セパレータ８は、粒子含有樹脂シート７０に追従せず、支持台７７の上面に位置する。つまり、第１セパレータ８および粒子含有樹脂シート７０の間に、界面剥離が生じる態様となる。
【０２５０】
あるいは、本実施形態において、シート１００が上記（２）の関係を満足する場合には、図１２に示されるように、粒子含有樹脂シート７０が変形し、これに第２セパレータ９および第１セパレータ８が隙間なく追従する。つまり、第２セパレータ９および粒子含有樹脂シート７０の間と、第１セパレータ８および粒子含有樹脂シート７０の間とに、界面剥離が生じない態様となる。
【０２５１】
本実施形態では、図１１および図１２に示されるように、粒子含有樹脂シート７０および第２セパレータ９の界面剥離がない態様となる。とりわけ、図１１に示されるように、粒子含有樹脂シート７０および第２セパレータ９の界面剥離がなく、かつ、粒子含有樹脂シート７０および第１セパレータ８の界面剥離がある態様が好適である。
【０２５２】
これらに対して、図１３および図１４に示すように、粒子含有樹脂シート７０が変形する一方、第２セパレータ９および第１セパレータ８がこれに追従せず、第２セパレータ９および粒子含有樹脂シート７０の間と、第１セパレータ８および粒子含有樹脂シート７０の間とに、界面剥離が生じる態様、つまり、少なくとも、第２セパレータ９および粒子含有樹脂シート７０の間に界面剥離が生じる態様は、本実施形態において、好ましくない。
【０２５３】
すなわち、本実施形態では、図１１および図１２に示すように、少なくとも、粒子含有樹脂シート７０および第２セパレータ９の界面剥離がないことが好適であり、換言すれば、図１３および図１４に示すように、粒子含有樹脂シート７０および第２セパレータ９の界面剥離があることが好ましくない。
【０２５４】
そして、図２の点線矢印で示すように、第２押え部材８４ｂおよび切断刃８５が下方に移動し、まず、第２押え部材８４ｂが積層シート１０の表面を押圧して、積層シート１０が第１押え部材８４ａと第２押え部材８４ｂとによって挟まれた後、切断刃８５により、積層シート１０が左右方向に沿って一度に切断される。また、切断刃８５によって、積層シート１０が上側（厚み方向他方側）から下側（厚み方向一方側）に向かって切断される。また、この切断工程では、積層シート１０が、ヒータ７８によって加熱されながら、切断される。
【０２５５】
切断工程において、切断刃８５の切断速度Ｖは、例えば、１ｍｍ／秒以上、好ましくは、５ｍｍ／秒以上、より好ましくは、１０ｍｍ／秒以上であり、また、１００ｍｍ／秒以下、好ましくは、８０ｍｍ／秒以下、より好ましくは、５０ｍｍ／秒以下である。切断刃８５の切断速度Ｖは、切断刃８５が積層シート１０の厚み方向を通過して切断する速度である。具体的には、切断刃８５の切断速度Ｖは、圧延シート７の厚みを、刃先２３が圧延シート７の厚み方向を通過するのに要する時間で除した値（単位は、例えば、ｍｍ／秒）として求められる。
【０２５６】
ヒータ７８の加熱温度は、上記したように、圧延シート７の軟化開始温度ＳＰ以上、かつ、圧延シート７のガラス転移温度Ｔｇ以下に設定される。
【０２５７】
また、切断後の積層シート１０（以下、枚葉シート１８とする。）の寸法は、用途および目的に応じて適宜調節され、例えば、次に説明する複数の電子素子９６をまとめて被覆できる寸法に調節される。
【０２５８】
その後、１対のチャッキングアーム８８は、積層シート１０の把持を解放し、枚葉シート１８が、搬送コンベア９０上に載置され、搬送コンベア９０によって前方へ搬送される。
【０２５９】
切断後、第２押え部材８４ｂおよび切断刃８５は、直ちに上方に移動し、枚葉シート１８の解放後、１対のチャッキングアーム８８は、１対のキャタピラ８９の逆回転により、直ちに把持位置まで移動される。
【０２６０】
そして、１対の搬送ロール８３によって、切断前の積層シート１０が、再び載置部材８６の上面まで搬送される。その後、上記した切断工程が繰り返される。
【０２６１】
このような切断工程において、積層シート１０が第１押え部材８４ａと第２押え部材８４ｂとによって挟まれて、切断刃８５によって切断されるため、積層シート１０の連続搬送は断続的となる（一時的に停止される）。
【０２６２】
一方、張力調整部２０よりも後方（搬送方向上流側）での、混練押出工程、変形搬送工程、隙間通過工程は、連続的に実施されており、張力調整部２０には、積層シート１０が連続的に搬送されてくる。
【０２６３】
そして、張力調整部２０では、それよりも前方（搬送方向下流側）での断続的な搬送に対応して、ダンサーロール８０が上下方向に移動することにより、張力調整部２０よりも前方（搬送方向下流側）において断続的に搬送される一方、張力調整部２０よりも後方（搬送方向上流側）において連続的に搬送されることにより、張力調整部２０において余剰となる積層シート１０の張力を一定に維持している。これにより、積層シート１０にしわが発生することを抑制することができる。
【０２６４】
ダンサーロール８０における積層シート１０の張力は、例えば、１０〜５０Ｎである。
【０２６５】
［収容工程］
次いで、１対のチャッキングアーム８８から解放された枚葉シート１８は、搬送コンベア９０によって、前方（搬送方向下流側）に搬送される。その後、枚葉シート１８は、搬送コンベア９０から可動板９２の上に移動し、その可動板９２の上から収容ケース９３の内部に収容される。
【０２６６】
詳しくは、図８Ａに示すように、搬送コンベア９０に搬送される枚葉シート１８の前端部が、検知センサー９１の下方にくると、検知センサー９１が枚葉シート１８を検知する。すると、その検知に基づいて、可動板９２は、退避位置から前方に向かって移動する。
【０２６７】
次いで、図８Ｂに示すように、枚葉シート１８の後端部が、搬送コンベア９０の前端部までくると、枚葉シート１８の前端部は、搬送コンベア９０の前端から搬送方向下流側かつ下側に向かって落下し、進出途中の可動板９２の上面に当接される。
【０２６８】
次いで、図８Ｃに示すように、搬送コンベア９０が進出位置に至ると同時に、枚葉シート１８は、搬送コンベア９０から完全に離れ、可動板９２上に載置される。その後、枚葉シート１８が載置された可動板９２は、退避位置に向かって後方（図８Ｃ）の矢印方向）に移動する。
【０２６９】
すると、可動板９２上の枚葉シート１８の後端部は、搬送コンベア９０の前端部（下前端部９４）に当接し、枚葉シート１８の後方への移動が規制される。その一方、可動板９２は、枚葉シート１８と摺動しながら後方に向かって移動し続ける。そして、可動板９２が、退避位置に至ると、枚葉シート１８は、可動板９２から落下し、収容ケース９３の内部に収容される（図８Ｄ）。
【０２７０】
このように、枚葉シート１８を、搬送コンベア９０から、可動板９２に一旦受けた後に、収容ケース９３に収容するため、枚葉シート１８は、搬送コンベア９０からの落下速度や搬送速度を低減することができ、緩やかに収容ケース９３に収容することができる。そのため、枚葉シート１８のしわの発生を抑制することができる。
【０２７１】
なお、このシート製造装置１において、樹脂成分が熱硬化性樹脂成分を含有する場合には、混練押出機２で加熱された後、収容ケース９３に収容されるまで、組成物における熱硬化性樹脂成分は、Ｂステージ状態であり、枚葉シート１８における熱硬化性樹脂成分も、Ｂステージ状態とされる。
【０２７２】
この枚葉シート１８は、例えば、次に説明する電子素子９６を封止するように使用される。
【０２７３】
＜電子装置の製造方法＞
次に、上記した枚葉シート１８を用いて、電子素子９６を封止する電子装置９５の製造方法について図１０を参照して説明する。
【０２７４】
電子装置９５の製造方法は、第１剥離工程（図１０Ａ参照）、封止工程（図１０Ｂおよび図１０Ｃ参照）、および、第２剥離工程（図１０Ｄ参照）を備える。以下、各工程について詳述する。
【０２７５】
（第１剥離工程）
第１剥離工程では、図１０Ａの矢印で示すように、まず、第１セパレータ８を粒子含有樹脂シート７０から剥離する。
【０２７６】
第１セパレータ８を粒子含有樹脂シート７０から剥離するには、具体的には、第１セパレータ８の端部（図１０Ａにおいて右端部、面方向一端部。）を把持し、続いて、第１セパレータ８を下方（厚み方向一方側）および／または左側（面方向他端側）に引っ張る。第１セパレータ８の剥離速度は、特に限定されず、例えば、１００ｍｍ／分以上、好ましくは、２００ｍｍ／分以上であり、また、例えば、５００ｍｍ／分以下、好ましくは、３００ｍｍ／分以下である。
【０２７７】
次いで、図１０Ｂに示すように、別途、電子素子９６が実装された基板９７を用意する。
【０２７８】
基板９７は、例えば、面方向に延びる絶縁基板からなる。なお、基板９７の上面には、電極を含む導体パターン（図示せず）が形成されている。
【０２７９】
電子素子９６は、基板９７に対して複数実装されており、複数の電子素子９６は、面方向に間隔を隔てて配置されている。各電子素子９６の端子（図示せず）は、基板９７の電極（図示せず）に対して電気的に接続されている。電子素子９６としては、具体的には、ＩＣ（集積回路）チップ、コンデンサ、コイル、抵抗器、発光ダイオードなどが挙げられる。電子素子９６の厚みは、特に限定されず、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、５０μｍ以上であり、また、例えば、２００μｍ以下、好ましくは、１５０μｍ以下である。
【０２８０】
封止工程を、第１剥離工程の後に実施する。封止工程では、図１０Ｂおよび図１０Ｃに示すように、粒子含有樹脂シート７０によって電子素子９６を封止する。
【０２８１】
まず、電子素子９６が実装された基板９７を、プレス装置１０７に配置する。
【０２８２】
プレス装置１０７は、上下方向に互いに対向配置される上板１０８および下板１０９を備える。また、上板１０８および下板１０９のそれぞれは、面方向に延びるように設けられており、電子素子９６が実装された基板９７および粒子含有樹脂シート７０を上下方向（厚み方向）に熱プレス可能に構成されている。
【０２８３】
この方法では、図１０Ｂに示すように、具体的には、基板９７を下板１０９の上面に、電子素子９６が上側を向くように、載置する。
【０２８４】
続いて、この方法では、第１セパレータ８が剥離された粒子含有樹脂シート７０の剥離面、すなわち、下面（第２セパレータ９が積層される積層面に対する対向面）を電子素子９６の上面に載置する。具体的には、粒子含有樹脂シート７０によって、複数の電子素子９６の上面を被覆する。
【０２８５】
その後、上記したプレス装置１０７によって、粒子含有樹脂シート７０を基板９７に圧接させる。具体的には、上板１０８を、下板１０９に対して相対的に近接させる（降下させる）。これによって、粒子含有樹脂シート７０は、互いに隣接する電子素子９６間に充填されて、電子素子９６から露出する基板９７の上面を被覆する。また、粒子含有樹脂シート７０は、電子素子９６の全側面を被覆する。
【０２８６】
また、上記した粒子含有樹脂シート７０の基板９７への圧接では、上板１０８および下板１０９に内蔵されるヒータ（図示せず）によって、粒子含有樹脂シート７０を加熱する。加熱温度は、例えば、３０℃以上、好ましくは、３５℃以上であり、また、例えば、４５℃以下、好ましくは、４０℃以下である。
これによって、Ｂステージである粒子含有樹脂シート７０がＣステージ化する。
【０２８７】
これによって、基板９７に実装された電子素子９６が、粒子含有樹脂シート７０によって封止される。そして、基板９７、電子素子９６、粒子含有樹脂シート７０および第２セパレータ９を備える電子装置９５を得る。
【０２８８】
（第２剥離工程）
第２剥離工程を、封止工程の後に実施する。第２剥離工程では、図１０Ｄに示すように、第２セパレータ９を粒子含有樹脂シート７０から剥離する。
【０２８９】
第２セパレータ９を粒子含有樹脂シート７０から剥離するには、具体的には、第２セパレータ９の端部（図１０Ａにおいて右端部、面方向一端部。）を把持しながら、第２セパレータ９を上方（厚み方向他方側）および／または左側（面方向他方側）に引っ張る。第２セパレータ９の剥離速度は、特に限定されず、例えば、１００ｍｍ／分以上、好ましくは、２００ｍｍ／分以上であり、また、例えば、５００ｍｍ／分以下、好ましくは、３００ｍｍ／分以下である。
【０２９０】
これによって、基板９７、電子素子９６および粒子含有樹脂シート７０を備え、第２セパレータ９が剥離された電子装置９５を得る。
【０２９１】
［作用効果］
そして、この方法によれば、第１セパレータ８の粒子含有樹脂シート７０に対する第１密着力Ｆ１が、第２セパレータ９の粒子含有樹脂シート７０に対する第２密着力Ｆ２より小さいか、あるいは、第１密着力Ｆ１および第２密着力Ｆ２が、０．０４Ｎ／２０ｍｍ以上において、同一であり、第１セパレータ８の厚みＴ１が、第２セパレータ９の厚みＴ２より薄い。そのため、切断工程において、第２セパレータ９および粒子含有樹脂シート７０の切断端部に応力が生じる場合に、切断端部における第２セパレータ９および粒子含有樹脂シート７０の界面剥離を生じること（図１３および図１４参照）を抑制することができる（図１１および図１２参照）。つまり、切断工程において切断端部における第２セパレータ９および粒子含有樹脂シート７０の界面に隙間を生じること（図１３および図１４参照）を抑制することができる（図１１および図１２参照）。
【０２９２】
なお、第１密着力Ｆ１および第２密着力Ｆ２が、０．０４Ｎ／２０ｍｍ以上において、同一であり、第１セパレータ８の厚みＴ１が、第２セパレータ９の厚みＴ２より薄い場合には、切断工程において、第２セパレータ９が、切断に伴う応力に基づく粒子含有樹脂シート７０の変形に追従しながら、第２セパレータ９と粒子含有樹脂シート７０との間に隙間ができることを抑制できる（図１２参照）。一方、第１剥離工程を円滑に実施することが困難となる場合がある。つまり、第１密着力Ｆ１および第２密着力Ｆ２が、同一であるので、第１剥離工程において、第１セパレータ８のみを粒子含有樹脂シート７０から剥離することが困難となる場合がある。すなわち、第１セパレータ８ではなく、第２セパレータ９が粒子含有樹脂シート７０から意図せずに剥離されてしまう場合がある。
【０２９３】
しかしながら、この方法では、第１密着力Ｆ１が、第２密着力Ｆ２より小さい場合には、第１剥離工程において、第１セパレータ８のみを粒子含有樹脂シート７０から確実に剥離することができる（図１１参照）。
【０２９４】
また、この方法によれば、第１セパレータ８を剥離した後の粒子含有樹脂シート７０によって電子素子９６を封止するときに、粒子含有樹脂シート７０を加熱しても、上記した隙間に起因する大きいボイド（図１０Ｃの符号１１０を参照）の生成を抑制することができる。
【０２９５】
また、この方法によれば、封止工程において、粒子含有樹脂シート７０を加熱しても、隙間に起因する大きいボイド図１０Ｃの符号１１０を参照）の生成を抑制することができるので、粒子含有樹脂シート７０における上記したボイド１１０に起因する変形を防止でき、信頼性に優れる電子装置９５を製造することができる。
【０２９６】
また、この方法によれば、第２剥離工程によって、電子装置９５における粒子含有樹脂シート７０の構成を簡易にすることができる。
【０２９７】
（変形例）
図１〜図９の実施形態では、本発明のシート作製工程を、図１に示すシート製造装置１の作製部２１において実施しているが、これに限定されず、図示しないが、公知のシート作製装置の作製部によって、シート作製工程を実施することができる。具体的には、図示しないが、圧延ロール５４や張力調整部２０を備えないシート製造装置１などによって、上面および下面にそれぞれ第１セパレータ８および第２セパレータ９が設けられた圧延化前シート７ａ（シート１００）を得、これを、切断工程に供することもできる。
【０２９８】
また、図１〜図１１の実施形態では、図１１Ｄに示すように、第２剥離工程を実施しているが、例えば、第２剥離工程を実施せず、図１１Ｃの電子装置９５を製品として得ることもできる。
【０２９９】
また、図１〜図９の実施形態では、シート作製工程において、積層シート１０を作製し、切断工程において、積層シート１０を切断して、枚葉シート１８を製造しているが、例えば、図示しないが、シート作製工程において、積層シート１０を作製し、続いて、これを切断して、枚葉シート１８を作製、その後、切断工程において、枚葉シート１８を切断して、外形加工することもできる。
【０３００】
なお、本発明において、シートは、テープまたはフィルムの概念を含む。
【実施例】
【０３０１】
以下に示す実施例の数値は、上記の実施形態において記載される数値（すなわち、上限値または下限値）に代替することができる。
【０３０２】
実施例１〜４２および比較例１〜３４
下記の配合処方に準拠して、各成分（粒子および樹脂成分）を配合して攪拌して、半固形状の混合物（組成物）を調製した。
【０３０３】
（配合処方）
・球状溶融シリカ粉末（商品名「ＦＢ−９４５４」、電気化学工業社製、球形状、平均粒子径１７μｍ、比重２．２ｇ／ｃｍ３）：８３．８５質量％
・ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂（熱硬化性樹脂、商品名「ＹＳＬＶ−８０ＸＹ
」、新日鐵化学社製、エポキシ当量２００ｇ／ｅｑ．、軟化点８０℃）：６質量％
・フェノール・アラルキル樹脂（硬化剤、商品名「ＭＥＨ７８５１ＳＳ」、明和化成社製、水酸基当量２０３ｇ／ｅｑ．、軟化点６７℃）：６質量％
・２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾール（硬化促進剤、商品名「２ＰＨＺ」、四国化成工業社製）：０．１５質量％
・アクリル酸ブチル−アクリロニトリル−メタクリル酸グリシジル共重合体（熱可塑性樹脂、シアノ・エポキシ変性アクリル樹脂）：４質量％
別途、表１〜表３の処方および条件で、図１〜図９に記載の装置構成を有するシート製造装置１を用意した。
【０３０４】
このシート製造装置１では、表１に記載の種類の第１セパレータ８（種類Ａまたは種類Ｂ）および第２セパレータ９（種類Ｃまたは種類Ｄ）のそれぞれを第１送出ロール５６および第２送出ロール５６に巻回した。
【０３０５】
なお、このシート製造装置１について、切断部３において、トムソン刃２２を用意した。トムソン刃２２は両刃であり、刃長は２３．６ｍｍ、刃厚は７００μｍであった。また、１対のチャッキングアーム８８および１対のキャタピラ８９を、搬送方向に３００ｍｍ長さで、切断できるように設定した。
【０３０６】
このシート製造装置１によって、搬送方向３００ｍｍ×幅方向５００ｍｍである枚葉シート１８（熱硬化性絶縁樹脂シート）を製造し、収容ケース９３内に５０枚積層させた。
【０３０７】
実施例１の枚葉シート１８において、シート中の粒子の体積基準の比率は、７９体積％であった。
【０３０８】
その後、枚葉シート１８を用いて、第１剥離工程、封止工程および第２剥離工程を備える電子装置９５の製造方法を実施した。
【０３０９】
詳しくは、第１剥離工程では、図１０Ａの矢印で示すように、まず、第１セパレータ８を粒子含有樹脂シート７０から、剥離速度３００ｍｍ／分で剥離した。
【０３１０】
封止工程では、まず、図１０Ｂに示すように、別途、厚み１５０μｍの電子素子９６が実装された基板９７を用意した。続いて、用意した基板９７を、プレス装置１０７に配置した。続いて、第１セパレータ８が剥離された粒子含有樹脂シート７０の下面を電子素子９６の上面に載置した。
【０３１１】
その後、図１０Ｃに示すように、上記したプレス装置１０７によって、粒子含有樹脂シート７０を、加熱温度４０℃で、基板９７に圧接させた。次いで、粒子含有樹脂シート７０をＣステージ化した。
【０３１２】
第２剥離工程では、図１０Ｄに示すように、その後、第２セパレータ９を粒子含有樹脂シート７０から、剥離速度３００ｍｍ／分で剥離した。
【０３１３】
（評価）
１．  セパレータと粒子含有樹脂シートとの密着力
セパレータと粒子含有樹脂シートとの密着力を測定した。
【０３１４】
具体的には、第１セパレータ８と粒子含有樹脂シート７０との積層体を、幅２０ｍｍに外形加工した後に、第１セパレータ８を、常温（２５℃）で、剥離角度１８０度、剥離速度３００ｍｍ／分で、粒子含有樹脂シート７０から剥離したときの剥離強度として第１密着力Ｆ１を算出した。また、第２セパレータ９と粒子含有樹脂シート７０との積層体を、幅２０ｍｍに外形加工した後に、第２セパレータ９を、常温（２５℃）で、剥離角度１８０度、剥離速度３００ｍｍ／分で、粒子含有樹脂シート７０から剥離したときの剥離強度として第２密着力Ｆ２を算出した。
２．  切断工程時の外観
切断工程時の枚葉シート１８（シート１００）を観察し、それらの状態を下記の態様に分類した。
【０３１５】
態様１：図１１で例示されるように、粒子含有樹脂シート７０が変形し、これに第２セパレータ９が隙間なく追従した。一方、第１セパレータ８は、粒子含有樹脂シート７０に追従せず、支持台７７の上面に位置していた。つまり、第１セパレータ８および粒子含有樹脂シート７０の間に、界面剥離が生じた。
【０３１６】
態様２：図１２で例示されるように、粒子含有樹脂シート７０が変形し、これに第２セパレータ９および第１セパレータ８が隙間なく追従した。つまり、第２セパレータ９および粒子含有樹脂シート７０の間と、第１セパレータ８および粒子含有樹脂シート７０の間とに、界面剥離が生じなかった。
【０３１７】
態様３：図１３で例示されるように、粒子含有樹脂シート７０が変形する一方、第２セパレータ９および第１セパレータ８がこれに追従せず、第２セパレータ９および粒子含有樹脂シート７０の間と、第１セパレータ８および粒子含有樹脂シート７０の間とに、界面剥離が生じた。また、第１セパレータ８は、支持台７７の上面に位置していた。
【０３１８】
態様４：図１４で例示されるように、粒子含有樹脂シート７０が変形する一方、第２セパレータ９および第１セパレータ８がこれに追従せず、第２セパレータ９および粒子含有樹脂シート７０の間と、第１セパレータ８および粒子含有樹脂シート７０の間とに、界面剥離が生じた。また、第１セパレータ８は、支持台７７の上面に位置していた。特に、切断端部では、第２セパレータ９および粒子含有樹脂シート７０の間と、第１セパレータ８および粒子含有樹脂シート７０の間とに、大きな隙間が生じた。
３．  評価
第１剥離工程および第２剥離工程の評価を、下記の表４に従って、実施した。
【０３１９】
【表１】
2015074153.tif 000003
【０３２０】
【表２】
2015074153.tif 000004
【０３２１】
【表３】
2015074153.tif 000005
【０３２２】
【表４】
2015074153.tif 000006
【符号の説明】
【０３２３】
７     圧延シート
８     第１セパレータ
９     第２セパレータ
１０   積層シート
１８   枚葉シート
５０   シート
７０   粒子含有樹脂シート
９５   電子装置
９６   電子素子
９７   基板
Ｔ１   第１セパレータ８の厚み
Ｔ２   第２セパレータ９の厚み
Ｆ１   第１密着力
Ｆ２   第２密着力
【図１】
2015074153.tif 000007
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2015074153.tif 000012
【図７】
2015074153.tif 000013
【図８】
2015074153.tif 000014
【図９】
2015074153.tif 000015
【図１０】
2015074153.tif 000016
【図１１】
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【図１２】
2015074153.tif 000018
【図１３】
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【図１４】
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