(57)【要約】【課題】  表面プラズモン共鳴を利用して得られた高効率な発光を、基板とは逆側の端面側から効率よく取り出すことができる半導体発光素子を提供する。【解決手段】  この半導体発光素子３０は、基板１上に複数の層を積層してなり、これら複数の層は、ｎ型半導体層２およびｐ型半導体層４と、これら２つの半導体層２、４の間に配された活性層３と、この活性層３の光取出側（基板１側とは逆側）の面の近傍に配された、金属材料からなる表面プラズモン層５と、を含み、さらに、活性層３よりも基板１側の所定の位置に設けられ、活性層３の発光部１０から、基板１方向に射出された光を、光取出方向に反射する金属反射層９を含む。【選択図】図１
2015026691.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に複数の層を積層してなる半導体発光素子であって、
前記複数の層は、ｎ型半導体層およびｐ型半導体層と、これら２つの半導体層の間に配された活性層と、この活性層よりも光取出側の界面の近傍に配された、表面プラズモン層と、を含み、
前記活性層よりも前記基板側の所定の位置に設けられ、前記活性層から前記基板側に放出される光を、該光取出方向に反射する光反射層を含むことを特徴とする半導体発光素子。
【請求項２】
前記光反射層が円環状の透孔部を備えるとともに、当該透孔部よりも光取出側に位置する前記表面プラズモン層が円環状とされ、該透孔部と該表面プラズモン層とが、前記積層方向に互いに重なり合うように構成されていることを特徴とする請求項１記載の半導体発光素子。
【請求項３】
前記活性層と前記表面プラズモン層の間に、５ｎｍ以上で５０ｎｍ以下の厚みのスペーサー層が挟持されるようにして配設され、該スペーサー層が、前記ｎ型半導体層および前記ｐ型半導体層のうち、前記活性層よりも光取出側に配された半導体層よりなることを特徴とする請求項１または２記載の半導体発光素子。
【請求項４】
前記基板側から順に、前記ｎ型半導体層、前記活性層、前記ｐ型半導体層および絶縁体層が積層され、該ｎ型半導体層中に、前記円環状の透孔部を有する前記光反射層が配設され、前記ｐ型半導体層の領域に、この円環状の透孔部とは積層方向に重なり合う前記表面プラズモン層およびｐ型電極がこの順に積層されてなることを特徴とする請求項２または３記載の半導体発光素子。
【請求項５】
前記光反射層が金属反射層からなり、全体として円板状に形成されてなることを特徴とする請求項１〜４のうちいずれか１項記載の半導体発光素子。
【請求項６】
前記光反射層と前記活性層の対向する面の距離が、５０ｎｍ以上で２００ｎｍ以下に設定されてなることを特徴とする請求項１〜５のうちいずれか１項記載の半導体発光素子。
【請求項７】
前記表面プラズモン層は、Ａｕ，Ａｇ，Ｐｔ，ＣｕおよびＡｌから選択される、金属薄膜または金属微粒子により形成されてなることを特徴とする請求項１〜６のうちいずれか１項記載の半導体発光素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体発光素子に関するもので、特に、表面プラズモン共鳴を利用して発光効率を高め得る半導体発光素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、窒化物発光素子の活用範囲が高電流・高出力分野へと拡大されつつあることから、発光素子の発光効率を向上させるため、多重量子井戸構造（ＭＱＷ）の成長条件、あるいは量子井戸層や量子障壁層における結晶性の向上に焦点をあてた研究がなされている。これらの研究は、量子井戸層と量子障壁層の間のエネルギーバンドギャップ内に拘束されたキャリアーによる発光効果を向上させることを目的としているが、現段階から、さらに内部量子効率を大幅に高めていくことは難しい。
【０００３】
一方、ＩｎＧａＮ量子井戸層（活性層）のごく近傍（50nm以内）にＡｇ、Ａｌ、Ａｕなどの金属からなる極薄蒸着フィルム（金属原子が一様に配列された構造をもつ層）を配置した場合、量子井戸−金属表面プラズモン結合の効果により、フォトルミネセンス（ＰＬ）からの発光効率が向上するとの報告がなされている（例えば、非特許文献１、２参照）。
また、例えば、下記特許文献１（図３に示す従来技術１を参照）、および下記特許文献２（図４に示す従来技術２を参照）においては、量子井戸−金属表面プラズモン結合の効果を利用して、ＩｎＧａＮ量子井戸層（活性層）を有する発光素子の発光効率を電流注入により上昇させる技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１７１３９１号公報
【特許文献２】特開２０１１−２１６５５５号公報
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】Nature  Mater．誌、3巻、601頁、2004年
【非特許文献２】Applied Physics Letters誌、87巻、7110、2頁、2005年
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記特許文献１においては、活性層１０３のうち実際に発光可能な領域は、図３に示すように、半導体結晶成長基板１０１からの結晶成長が可能な、表面プラズモン層１０５にある導電性のビア（導電性スルーホール）１０５Ａの直上に位置する部分に限られる。
そのため、表面プラズモン層１０５のエッジ部分しか発光効率の向上に寄与することができず、放射された光の多くが、ビア１０５Ａの部分から基板（半導体結晶成長基板：以下同じ）１０１方向へ向かってしまい、ｐ型電極１０７側から取出可能な光がわずかとなってしまう（図２（Ｂ）を参照）。
また、上記特許文献２においては、図４に示すように、プラズモンが発生する金属微細構造２１８が、ＩｎＧａＮ量子井戸層（活性層）２０６の上部（ｐ型電極２１２）の近傍に位置し、増強された光は、その大部分がｎ型基板２０２方向に向かってしまう。
【０００７】
実際に素子外部に光を取り出す場合、厚みが大きい基板を介して取り出すよりも、その逆側の電極側（一般にはｐ型電極側）から取り出す方が効率が良いので好ましい。特に、高精細で、発光領域を電極により選択する表示装置においては、基板とは逆側の電極側から効率よく光を取り出せるか否かが重要なポイントとなる。
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、表面プラズモン共鳴を利用して得られた高効率な発光を、基板とは逆側の端面側から効率よく取り出すことができる半導体発光素子を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る半導体発光素子は、
基板上に複数の層を積層してなる半導体発光素子であって、
前記複数の層は、ｎ型半導体層およびｐ型半導体層と、これら２つの半導体層の間に配された活性層と、この活性層よりも光取出側の界面の近傍に配された、表面プラズモン層と、を含み、
前記活性層よりも前記基板側の所定の位置に設けられ、前記活性層から前記基板側に放出される光を、該光取出方向に反射する光反射層を含むことを特徴とするものである。
【０００９】
また、前記光反射層が円環状の透孔部を備えるとともに、当該透孔部よりも光取出側に位置する前記表面プラズモン層が円環状とされ、該透孔部と該表面プラズモン層とが、前記積層方向に互いに重なり合うように構成されていることが好ましい。
【００１０】
また、前記活性層と前記表面プラズモン層の間に、５ｎｍ以上で５０ｎｍ以下の厚みのスペーサー層が挟持されるようにして配設され、該スペーサー層が、前記ｎ型半導体層および前記ｐ型半導体層のうち、前記活性層よりも光取出側に配された半導体層よりなることが好ましい。
【００１１】
また、前記基板側から順に、前記ｎ型半導体層、前記活性層、前記ｐ型半導体層および絶縁体層が積層され、該ｎ型半導体層中に、前記円環状の透孔部を有する前記光反射層が配設され、この円環状の透孔部とは積層方向に重なり合う前記ｐ型半導体層の領域に、前記表面プラズモン層およびｐ型電極がこの順に積層されてなることが好ましい。
【００１２】
また、前記光反射層が金属反射層からなり、全体として円板状に形成されてなることが好ましい。
【００１３】
また、前記光反射層と前記活性層の対向する面の距離が、５０ｎｍ以上で２００ｎｍ以下に設定されてなることが好ましい。
【００１４】
また、前記表面プラズモン層は、Ａｕ，Ａｇ，Ｐｔ，ＣｕおよびＡｌから選択される、金属薄膜または金属微粒子により形成されてなることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の半導体発光素子によれば、発光層として機能する活性層から、光取出側とは逆側である基板方向に出力された光を反射する金属層を、該活性層に対して光取出側とは逆側の所定の位置に設けているので、前記活性層から、前記基板方向に放出される光を、該光取出側に反射することができ、表面プラズモン共鳴を利用して得られた発光を光取出側から、従来よりも高い割合で効率よく取り出すことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係る半導体発光素子の概略を示す、光取出側から見たときの一部透視図（Ａ）および断面図（Ｂ）である。
【図２】半導体発光素子から光取出側に放出される光エネルギーの割合を、本発明の実施例（Ａ）および比較例（Ｂ）について示すものである。
【図３】従来技術１に係る半導体発光素子を示す概略図である。
【図４】従来技術２に係る半導体発光素子を示す概略図である。
【図５】本発明の実施形態における、層間で屈折、反射された光線の様子を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態に係る半導体発光素子について図面を用いて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態による半導体発光素子を示す部分透視図（Ａ）および断面図（Ｂ）を示すものである。
【００１８】
図示するように、本実施形態による半導体発光素子３０は、半導体単結晶成長用基板（以下、単に基板と称する）１、ｎ型半導体層２、活性層３、ｐ型半導体層４および絶縁体層８を設けてなるとともに、上記ｎ型半導体層２中に金属反射層９を、また上記絶縁体層８中に表面プラズモン層５を設けるようにしている。さらに、ｎ型半導体層２の露出表面にはｎ型電極６を、絶縁体層８中であって表面プラズモン層５上にはｐ型電極７を設けるようにしている。
なお、活性層３中であって、表面プラズモン層５の直下近傍が発光部１０となる。
【００１９】
また、金属反射層９は、積層方向から見て、全体として円形形状をなし、その領域の内周部にリング状の透孔部９Ａが設けられており、この透孔部９Ａと積層方向に対応する位置に表面プラズモン層５およびｐ型電極７がリング状に設けられている。
【００２０】
上記基板１としては、サファイア、Ｓｉ、ＺｎＯ、ＧａＡｓ、ＳｉＣ、ＭｇＡｌ２Ｏ４、ＭｇＯ、ＬｉＡｌＯ２、ＬｉＧａＯ２、ＧａＮ等の材料を用いることができる。この場合、サファイアは六角−菱面形（Ｈｅｘａ−Ｒｈｏｍｂｏ  Ｒ３ｃ）対称性を有する結晶体で、ｃ軸及びａ軸方向の格子定数がそれぞれ１３．００１Åと４．７５８Åであり、Ｃ（０００１）面、Ａ（１１２０）面、Ｒ（１１０２）面等を有する。また、上記Ｃ面は比較的窒化物薄膜の成長が容易であり、高温において安定しており、特に、窒化物半導体の成長用基板として有用である。
【００２１】
また、上記ｎ型半導体層２およびｐ型半導体層４を、窒化物半導体、即ち、組成式ＡｌｘＩｎｙＧａ（１−ｘ−ｙ）Ｎ（ここで、０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、０≦ｘ＋ｙ≦１）によって表わされるものとし、ｎ型半導体層２はｎ型不純物を、ｐ型半導体層４はｐ型不純物を各々ドーピングされた半導体物質からなるものとすることができる。ｎ型半導体層２の厚みは、例えば２〜５μｍとすることができ、ｐ型半導体層４の厚みは、例えば5〜50nmとすることができる。
【００２２】
上記ＡｌｘＩｎｙＧａ（１−ｘ−ｙ）Ｎの組成を示す材料の代表例としては、ＧａＮ、ＡｌＧａＮ、ＩｎＧａＮ等が挙げられる。また、上記ｎ型不純物としては、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ等を用いることができ、上記ｐ型不純物としてはＭｇ、Ｚｎ、Ｂｅ等を用いることができる。
【００２３】
また、ｎ型半導体層２およびｐ型半導体層４の間に形成された活性層３は、電子と正孔の再結合により所定のエネルギーを有する光を放出し、例えばインジウムの含有量（含有割合）に応じてバンドギャップエネルギーを調節し得るようになっており、具体的にはＩｎｘＧａ（１−ｘ）Ｎ（０≦ｘ≦１）等の物質から構成することが可能である。この活性層３の厚みは、例えば単一量子井戸構造の場合は３ｎｍ、多重量子井戸構造の場合は、ＩｎＧａＮ(３ｎｍ)/ＧａＮ(１０ｎｍ)の重層を５周期分積層した厚さである６５ｎｍとする。
【００２４】
ところで、上記表面プラズモン層５は、例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、ＣｕおよびＡｌ等の金属のうちから選択される、金属薄膜または金属微粒子により形成されることが好ましい。
また、表面プラズモン層５は、上記活性層３の近傍（例えば、上記活性層３から、５nm以上50nm以下の距離範囲）に配置され、本実施形態においては、この間隔を確保するために、活性層３と表面プラズモン層５との間に、上記距離範囲を厚みとされたスペーサー層を介在させるようにしている。
【００２５】
上述した「近傍」とは、物理的には、表面プラズモン層５の表面に形成される表面プラズモンの電界がおよぶ範囲、換言すれば、表面プラズモン層５の表面に形成される表面プラズモンによって、活性層３からの発光強度が増強されるという効果が実質的に得られる範囲、をいうものである。
【００２６】
したがって、本実施形態では、このスペーサー層を5nm以上50nm以下の厚みとされたｐ型半導体層４により構成している。
表面プラズモン層５と活性層３との距離を50nm以下とすることにより、活性層３におけるＩｎＧａＮ量子井戸中の電子−正孔対を再結合させて消滅させ、表面プラズモン層５の表面プラズモンを容易に励起させることができる。そして、この表面プラズモン効果によって活性層３からの発光強度を増強することができる。
一方、上記数値において、5nm以上とすることにより、ｐ型半導体層４の厚みが薄くなりすぎて本来の機能を発揮できなくなる等の不都合を防止することができる。
【００２７】
また、前述したように、本実施形態においては、活性層３から放射される光の振動数と、表面プラズモン層５の表面プラズモンの振動数とが概ね一致するように設定されている。すなわち、活性層３にキャリアーが注入された際に発生するゲインスペクトルの波長と、表面プラズモン層５の表面プラズモンの振動スペクトル（表面プラズモンの分散曲線）の波長とが概ね一致するように設定されている。ここで「概ね一致」とは、物理的には、上記ゲインスペクトルと上記表面プラズモン振動スペクトルとが波長軸上で重なりあうことを意味する。
【００２８】
すなわち、表面プラズモンの振動スペクトルは、表面プラズモンの振動数に相当する波長において無限大に発散し、それよりも長波長側に減衰していく傾向を示すことから、上記ゲインスペクトルのピーク位置が表面プラズモンの振動数に一致するか、やや長波長側にシフトした範囲に収まっていることを表す。なお、具体的に「概ね一致」の範囲としては、上記ゲインスペクトルのピーク波長が、表面プラズモン層５の表面プラズモンの振動数に相当する波長から、それより100nm以下だけ長い波長までの範囲に設定することが好ましく、さらには、50nm以下だけ長い波長までの範囲に設定することがより好ましい。
【００２９】
また、表面プラズモン層５は、表面プラズモン共鳴による発光効率の向上を考慮して、上記表面プラズモン層５の厚さを、約10〜500nmの範囲内となるように設定することが好ましい。
また、前述した金属反射層９の透孔部９Ａは、図１（Ａ）に示されるように、円環状をなす表面プラズモン層５の直下（基板１側）において、上記表面プラズモン層５に対し、積層方向から見て、丁度対応する円環状をなして重畳するように（いわゆるネガパターンの関係に）形成されている。
【００３０】
この金属反射層９の大きさの一例としては、その円板の外径を2000nm、リング状の透孔部９Ａの外径を700nm、リング状の透孔部９Ａの内径を400nmとする。このようにすると、表面プラズモン層５およびｐ型電極７の、各々のリングの外径および内径も700nmおよび400nmとなる。また、上記透孔部９Ａ、表面プラズモン層５およびｐ型電極７の各リング幅は150nmとなる。
なお、リング状に構成される発光部１０の外径および内径、さらにはそのリング幅も上記透孔部９Ａと同様な値となる。
【００３１】
このように、上記透孔部９Ａと、上記表面プラズモン層５および上記ｐ型電極７との位置関係が、上下方向に互いに対応する位置であって、互いに同一のリング径に設定すれば、発光部１０からの発光効率を良好に維持しつつ、光反射効率を良好なものとすることができる。
【００３２】
すなわち、上記透孔部９Ａは、ｎ型半導体層２の結晶成長を可能とするための、いわば通路としての機能を有し、この透孔部９Ａを通して成長したｎ型半導体層２とｐ型半導体層４の、キャリアーとアクセプターが活性層３において再結合して発光が生じる。これに対し、金属反射層９のその他の部分においては、ｎ型半導体層２の成長が妨げられるので、透孔部９Ａ上を除き、金属反射層９よりも上方において、ｎ型半導体層２が良好な結晶性を有することが難しいので、透孔部９Ａの上方に位置する活性層３の発光部１０においてのみ発光が生じる。したがって、光のプラズモン増強もこの透孔部９Ａの上方に位置する表面プラズモン層５の近傍に位置する領域において行われる。なお、透孔部９Ａ以外の金属反射層９の領域の上方においては、その位置から再びｎ型半導体層２を形成するようにしてもよいし、ｎ型半導体層２の構成材料以外の透明な材料、例えばSiO2等により構成してもよい。
【００３３】
ここで、この活性層３と金属反射層９の間隔における好ましい範囲について説明する。
すなわち、この間隔が小さ過ぎると発光部１０からの光の、透孔部９Ａを通過する割合が多くなり過ぎてしまい、その一方、この間隔が大き過ぎると発光部１０からの光の拡散範囲が広くなり過ぎて金属反射層９に照射される割合が小さくなり過ぎてしまう。そのため、金属反射層９の外側のリングの外径の半分をＲ，表面プラズモン層５のリングの外径および内径の各半分をそれぞれro、riとすれば、取得し得る光のエネルギーが約50％を超えるためには活性層３と金属反射層９の間隔Dは例えば以下に示す数式（１）の範囲に設定することが望ましい。
すなわち、
0.28(ro-ri)<D<0.58(R-ri)      （1）
ただし、D<R-riの範囲であれば、取得し得る光のエネルギーの改善が期待できる。
【００３４】
また、活性層３と金属反射層９との間の領域（ただし、透孔部９Ａの上方以外の領域）を、SiO2等の、ｎ型半導体層２の構成材料よりも小さい屈折率の材料により形成した場合には、金属反射層９から反射された光の発散割合を大きくさせないようにすることが可能となる。
すなわち、図５に示すように、発光部１０の所定の点Ｐから所定方向に射出された光線Ｌは、ｎ型半導体材料であるGaN（屈折率は2.38）２ＡとSiO2（屈折率は1.45）１２の界面において、その両面の材料の屈折率の違いから、スネルの法則に基づき、図示するように、入射角θ１に比べて出射角θ２が大きくなるように屈折する。この後、SiO2  １２と金属反射層９の界面に達した光線Ｌは、この界面において正反射し、光取出方向に向かう。したがって、このSiO2  １２からなる部分に、上記GaN  ２Ａからなる材料を用いた場合と比べて、光線Ｌの光取出方向への収束作用を付与することができ、さらに光取出効率を向上させることができる。
【００３５】
また、上記ｐ型半導体層４の上面は、シリコン酸化物またはシリコン窒化物等からなる絶縁体層８によって密封されることが望ましく、これにより、ｐ型半導体層４の大気中への露出が防止される。
【００３６】
また、上記各層は、例えば、以下のような成膜方法によって形成することができる。
すなわち、上記ｎ型半導体層２およびｐ型半導体層４は、従来より知られているＭＯＣＶＤ（Metal  Organic  Chemical  Vapor  Deposition）法やＨＶＰＥ（Hydride  Vapor  Phase  Epitaxy）法等を用いて成長させることができる。
また、上記金属反射層９や表面プラズモン層５などを形成する場合には、当該層の直下層上に蒸着やスパッタ等の成膜手法を用いて、金属薄膜の層を形成した後、当該金属薄膜の層をドライエッチングやＥＢ描画（電子線描画）等の手法を用いて、層表面を微細に加工する。
【００３７】
なお、金属反射層９を形成する際には、ｎ型半導体層２を所定の厚さまで形成した後、金属反射層９を蒸着やスパッタによって、所定の層厚となるように形成し、次にこの金属反射層９を、ドライエッチングやＥＢ描画（電子線描画）によって、図１（Ａ）に示すような円板形状となるように、かつ透孔部９Ａが円環状に穿設されるように形成する。
【００３８】
続いて再び、上述したＭＯＣＶＤ法やＨＶＰＥ法を用いてｎ型半導体層２を成長させて、金属反射層９の全体がｎ型半導体層２内に埋め込まれるように形成する。このｎ型半導体層２の上方への成長は、円環状の透孔部９Ａを通して行われる。
【００３９】
なお、表面プラズモン層５の表面における表面プラズモンのエネルギーは、表面プラズモン層５を構成する金属材料に応じて相違する。例えば、そのｐ型半導体層４と上記金属材料との界面における表面プラズモン振動の振動数は、上記金属材料がＡｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ａｌの場合、それぞれ下記表１に示すとおりである。
【００４０】
【表１】
2015026691.tif 000003
【００４１】
また、上記表面プラズモン層５は、金属薄膜または金属微粒子から構成されることが好ましい。この場合、何れにしても金属表面には凹凸が形成されることになり、この表面プラズモン層５の表面の凹凸からなる金属微細構造により生成される表面プラズモンの振動数と、発光部１０からの光の振動数とを略一致させるように構成することによって、共鳴現象が生じ、発光部１０からの光が増強されて、下方（基板１方向）に射出されることになる。
【００４２】
ただし、前述したように、発光部１０と表面プラズモン層５の表面とを5〜50nmの近傍位置に配するために、これら両者間に、この距離を確保し得る、ｐ型半導体層４が設けられる。
ここで、発光部からの発光が緑〜赤色（発射される光の発光波長が537nm〜637nm）である場合には、上記表面プラズモン層５を構成する金属材料がＡｕである場合に強い相互作用が生じると考えられる。
【００４３】
また、発光部１０からの発光が青から青緑色（発射される光の発光波長が437nm〜537nm）である場合には、上記表面プラズモン層５を構成する金属材料がＡｇである場合に強い相互作用が生じると考えられる。
さらに、発光部１０からの発光が波長が長めな赤色（発射される光の発光波長が574nm〜674nm）である場合には、上記表面プラズモン層５を構成する金属材料がＣｕである場合にも強い相互作用が生じると考えられる。
【００４４】
さらに、前述したように、上記ｐ型電極７は、円環状をなす表面プラズモン層５の直上において、積層方向から見て、互いに対応する円環状をなして重畳するように（いわゆるポジパターンの関係に）形成されている。互いにこのように重畳させることで、表面プラズモン層５の近傍直下に位置する活性層３の領域が発光部１０となるため、効率的に電流を注入することが可能となる。
【００４５】
また、表面プラズモン層５に、NiおよびPdのうち少なくとも一方を10〜50原子量％程度添加することにより、ｐ型電極７とオーミックコンタクトをとることができる。
このNiやPdの材料の添加を行わない場合には、表面プラズモン層５内に、NiやPdのうちの少なくとも一方からなるビアを形成し、これによりｐ型電極７とｐ型半導体層４を接続する構造とすることにより、活性層３へ効率的に電流を注入することが可能である。
なお、本発明の半導体発光素子としては、上記実施形態のものに限られるものではないことは勿論であり、例えば、上記実施形態におけるｎ型半導体層とＰ型半導体層の配置や、ｎ型電極とＰ型電極の配置を入れ替えることも可能である。
【００４６】
（効果確認試験）
本実施例に係る半導体発光素子の効果を確認するためにFDTD(Finit-Difference  Time-Domain)法を用いてシミュレーションを行った。以下、本実施例に係る半導体発光素子の構成について説明する。
【００４７】
図１に示すように、サファイアからなる基板１上に、ｎ型半導体層２、活性層３、ｐ型半導体層４、表面プラズモン層５、ｎ型電極６、ｐ型電極７、絶縁体層８および金属反射層９を形成した。
すなわち、基板１の上に3μm厚のｎ−ＧａＮ（Ｓｉ添加）からなるｎ型半導体層２（例えば、基板１とｎ型半導体層２であるｎ−ＧａＮの間に、2μm厚程度のＧａＮ（無添加）が形成されている）を形成し、このｎ型半導体層２の上にはＩｎＧａＮ(3nm)／ＧａＮ(10nm)の重層の５周期分である65nmの活性層３（3nm厚の単層ＩｎＧａＮだけでも良い）を形成し、その上に、ｐ−ＧａＮ（Ｍｇ添加）40nm厚からなるｐ型半導体層４（ただし、活性層３との間にＧａＮあるいはｐ−ＡｌＧａＮ（Ｍｇ添加）などの薄膜を含むとキャリアーが注入されやすくなるので好ましい）を形成した。また、ｐ型半導体層４の上に、50nm厚のＡｇからなる円環状の表面プラズモン層５、および200nm厚のSiO2からなる絶縁体層８を形成し、表面プラズモン層５上には、150nm厚のＡｕからなる円環状のｐ型電極７を形成した。また、ｎ型半導体層２の露出面上に、200nm厚のＴｉ(5nm)／Ａl(195nm)からなるｎ型電極６を形成した。
【００４８】
また、金属反射層９は、ｎ型半導体層２の内部において150nm厚のＡｕにより形成した。
また、円環状のｐ型電極７および表面プラズモン層５において、そのリング外径は700nmとし、そのリング内径は400nmとした。
さらに、活性層３と、金属反射層９の対向面間の距離は100nmとし、円板状をなす金属反射層９の外径は2000nmとし、円環状の透孔部９Ａの外側の径は700nmとし、円環状の透孔部９Ａの内側の径は400nmとした。
このようにして実施例に係る半導体発光素子を作製した。
【００４９】
一方、金属反射層９を設けなかったこと以外は、上記実施例と同様の構成にて比較例に係る半導体発光素子を作製した。
上述したように構成された実施例および比較例に係る半導体発光素子において、それぞれの発光部から自由空間に470nmの波長をもつ光を放射した場合の結果を図２に示す。
【００５０】
すなわち、図２は、本実施例（Ａ）と比較例（Ｂ）における、光の放射分布を図示するものであり、素子の発光領域から放射される全光エネルギーに対して、基板１とは反対側の素子表面（光取得側）において取得し得る光のエネルギーは、金属反射層を設けていない比較例においては２４％であったのに対し、金属反射層９を設けた本実施例においては８２％となった。この結果から、本実施例においては光の取得効率を大幅に改善できることが明らかである。
【符号の説明】
【００５１】
１、１０１      基板（半導体単結晶成長用基板）
２、１０２      ｎ型半導体層
３、１０３      活性層
４、１０４      ｐ型半導体層
５、１０５      表面プラズモン層
６、１０６      ｎ型電極
７、１０７      ｐ型電極
８      絶縁体層
９      金属反射層
９Ａ      透孔部
１０、１２０、２２０      発光部
３０、１３０、２３０      半導体発光素子
１０５Ａ      ビア
２０２      ｎ型基板
２０４、２１０      p‐AlInGaNクラッド層
２０６      InGaN量子井戸層
２０８      p‐InGaNスペーサ層
２１２      オーム性電極（P電極）
２１４      オーム性電極（N電極）
２１６      結晶欠陥
２１８      金属微細構造
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図１】
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【図２】
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