(57)【要約】【課題】強くて均一な電磁波を測定対象物である電子機器などに印加することが可能な電磁波印加装置を提供する。【解決手段】グランド電極１と、上部電極２と、コネクタ３とを備えている。上部電極２はグランド電極１に対向するように配置され、コネクタ３は上部電極２と接続されている。上部電極２は、平面視における延在方向に交差する幅方向の１対の縁部のうち少なくとも一方の縁部において延在方向に対して傾いた方向に延びる第１テーパ５ａ，５ｂを有する。上部電極２は、グランド電極１に対する高さが延在方向における端部側に近づくにつれて変化する第１テーパ形状部５と、第１テーパ形状部５よりも端部側に配置され幅方向の１対の縁部のうち少なくとも一方の縁部において延在方向に対して傾いた方向に延びる第２テーパ６ａ，６ｂを有する。上部電極２は第２テーパ６ａ，６ｂ形状部を含む。第２テーパ形状部６の延在方向における長さは第１テーパ形状部５の延在方向における長さよりも短い。【選択図】図２
2015148505.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
グランド電極と、
前記グランド電極に対向するように配置された上部電極と、
前記上部電極と接続されたコネクタとを備え、
前記上部電極は、平面視における延在方向に交差する幅方向の１対の縁部のうち少なくとも一方の縁部において前記延在方向に対して傾いた方向に延びる第１テーパを有し、かつ前記グランド電極に対する高さが前記延在方向における端部側に近づくにつれて変化する第１テーパ形状部と、前記第１テーパ形状部よりも前記端部側に配置され前記幅方向の１対の縁部のうち少なくとも一方の縁部において前記延在方向に対して傾いた方向に延びる第２テーパを有する第２テーパ形状部とを含み、
前記第２テーパ形状部の前記延在方向における長さは前記第１テーパ形状部の前記延在方向における長さよりも短い、電磁波印加装置。
【請求項２】
前記第２テーパ形状部における前記端部側で平面視において前記幅方向に延びるコネクタ接続部分と前記第２テーパとのなす端部角度は、前記第１テーパ形状部と前記第２テーパ形状部との境界線と前記第１テーパとのなす内側角度よりも大きい、請求項１に記載の電磁波印加装置。
【請求項３】
前記端部角度は１２０°以上１５０°以下である請求項２に記載の電磁波印加装置。
【請求項４】
前記コネクタ接続部分の前記幅方向における長さを、前記グランド電極と前記上部電極との間に印加される電磁波の波長で除した値が０．２５以下である、請求項２または３に記載の電磁波印加装置。
【請求項５】
前記第１テーパ形状部は、前記幅方向の１対の縁部のうち一方の前記縁部のみが前記第１テーパを有し、
前記第２テーパ形状部は、前記幅方向の１対の縁部のうち一方の前記縁部のみが前記第２テーパを有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の電磁波印加装置。
【請求項６】
前記第１テーパ形状部は、前記幅方向の１対の縁部の双方が前記第１テーパを有し、
前記第２テーパ形状部は、前記幅方向の１対の縁部の双方が前記第２テーパを有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の電磁波印加装置。
【請求項７】
前記第２テーパ形状部と前記グランド電極との間に誘電体が配置された、請求項１〜６のいずれか１項に記載の電磁波印加装置。
【請求項８】
前記第２テーパ形状部は前記グランド電極に対する前記高さが一定である、請求項１〜７のいずれか１項に記載の電磁波印加装置。
【請求項９】
前記上部電極は、平面視における前記第１テーパ形状部の前記第２テーパ形状部と反対側に、前記グランド電極に対する前記高さが一定である平坦部をさらに含む、請求項１〜８のいずれか１項に記載の電磁波印加装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電磁波印加装置に関し、特に高い周波数の電磁波を均一に印加するための電磁波印加装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電磁波印加装置は、電子機器に高周波の電磁波を印加し、電子機器が誤動作しないかを測定する装置である。具体的には、電磁波印加装置に備えられる１対の電極の間に高周波電磁波を発生させることにより、当該１対の電極間に配置された電子機器の当該電磁波に対する耐性が試験される。通常、１対の電極のうち一方の電極には１対のコネクタが接続される。電磁波印加装置に高周波の電磁波を発生させるために、上記１対のコネクタのうち一方のコネクタにはパワーアンプが接続され、高周波電圧が印加される。上記１対のコネクタのうち上記一方のコネクタとは異なる他方のコネクタには終端抵抗が接続される。
【０００３】
たとえば特許文献１の電磁波印加装置においては、１対の電極間の電磁波強度が均一で強くなるようにするために、１対のうち一方の電極が平面視において幅が漸次変化するテーパを有し、かつ当該一方の電極の他方の電極に対する高さが漸次変化する構成が用いられる。このようにすれば、１対の電極間の特性インピーダンスがほぼ一定になるため、電磁波の反射および共振の発生が抑制され、電磁波強度が均一で強くなる。またたとえば特許文献２の電磁波印加装置においては、コネクタ部における高周波信号の反射による電磁波強度の低下を抑制するために、コネクタピン取り付け部のマイクロストリップ線路の線路幅が徐々に細くされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１３５８２号公報
【特許文献２】特開２００４−２００２４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の各種電磁波印加装置を用いて１対の電極間にたとえば１ｋＶ／ｍ以上の大きな電磁波を発生させるためには、１対の電極間に高電圧を印加し、１対の電極間に大電流を流すことが必要である。電磁波印加装置に用いられるコネクタと、１対の電極のうちの一方であるグランド電極との間の高い絶縁性能を確保し、かつコネクタに流れる高い電流の性能を確保するために、コネクタピンとグランド電極との間隔が広いコネクタを用いることが必要である。たとえば標準的に用いられるＮコネクタでは、コネクタピンとグランド電極との間隔は１３ｍｍとなる。
【０００６】
電磁波印加装置の１対の電極のうち高電位が印加される（グランド電極に対向する）電極の、平面視において延在方向に交差する方向の幅が、印加される電磁波の波長の１／２以上になると当該電極の延在方向に関する端部にて特性インピーダンスの不整合が発生することがある。その結果、当該端部にて電磁波が反射して共振し、１対の電極間の電界強度が低下したり、１対の電極間の電界分布が不均一になったりする問題がある。具体的には、たとえば特許文献１の電磁波印加装置は、印加される電磁波の周波数が２ＧＨｚを超えると、高電位が印加される電極の延在方向における端部において電磁波が共振する場合がある。つまり進行する電磁波の強度が低下するため、１対の電極間にたとえば１ｋＶ／ｍ以上の大きな電磁波を発生させることが困難である。
【０００７】
特許文献２に示すコネクタは半導体パッケージに用いる微小な電気信号の供給用であるため小型コネクタとなっている。小型コネクタはコネクタピンとグランド電極との間隔が狭いため、マイクロストリップ線路幅も狭くなる。この条件でコネクタピンがマイクロストリップ線路に接続されれば、マイクロストリップ線路の特性インピーダンスの値が変動する。このため線路幅を徐々に狭くすることにより特性インピーダンスが一定になるように制御されている。しかしながら特許文献２のマイクロストリップ線路は微小な電気信号用であるため、ここに大電流を流すことにより電極の端部に共振が発生する可能性が排除できない。
【０００８】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、強くて均一な電磁波を測定対象物である電子機器などに印加することが可能な電磁波印加装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の電磁波印加装置は、グランド電極と、上部電極と、コネクタとを備えている。上部電極はグランド電極に対向するように配置され、コネクタは上部電極と接続されている。上部電極は、第１テーパを有する第１テーパ形状部と、第１テーパ形状部よりも端部側に配置され第２テーパを有する第２テーパ形状部とを含む。第２テーパ形状部の延在方向における長さは第１テーパ形状部の延在方向における長さよりも短い。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、上部電極の端部側における特性インピーダンスの不整合が抑制される。これにより上部電極の端部側における電磁波の反射による共振、および共振による測定対象物への印加電界の低下が抑制され、測定対象物に高い強度の電界を安定に印加することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施の形態１の電磁波印加装置の概略斜視図である。
【図２】実施の形態１の電磁波印加装置の概略平面図である。
【図３】図１中のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う、実施の形態１の電磁波印加装置の概略断面図である。
【図４】第２テーパ形状部の幅の変化有無と、上部電極とグランド電極との間の電界強度との関係を示すグラフである。
【図５】端部角度αと、上部電極とグランド電極との間の電界強度との関係を示すグラフである。
【図６】コネクタ接続部分の幅を上部電極に印加する電磁波の波長で除した値と、上部電極とグランド電極との間の電界強度との関係を示すグラフである。
【図７】実施の形態２の電磁波印加装置の概略斜視図である。
【図８】図７中のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う、実施の形態２の電磁波印加装置の概略断面図である。
【図９】実施の形態３の第１例の電磁波印加装置の概略平面図である。
【図１０】実施の形態３の第２例の電磁波印加装置の概略平面図である。
【図１１】実施の形態３の第３例の電磁波印加装置の概略平面図である。
【図１２】実施の形態３の第４例の電磁波印加装置の概略平面図である。
【図１３】実施の形態４の電磁波印加装置の概略断面図である。
【図１４】実施の形態５の電磁波印加装置の概略断面図である。
【図１５】実施の形態６の第１例の電磁波印加装置の概略平面図である。
【図１６】実施の形態６の第２例の電磁波印加装置の概略平面図である。
【図１７】実施の形態６の第３例の電磁波印加装置の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
（実施の形態１）
まず本実施の形態の電磁波印加装置の構成について図１〜図３を用いて説明する。
【００１３】
図１〜図３を参照して、本実施の形態の電磁波印加装置１００は、グランド電極１と、上部電極２と、コネクタ３とを有している。グランド電極１は、電磁波印加装置１００に接地電位を印加するための電極である。上部電極２は、電磁波印加装置１００においてグランド電極１との間に高周波電圧を印加するための電極であり、グランド電極１と対向するように、グランド電極１と互いに間隔をあけて配置されている。コネクタ３は、上部電極２の１対の端部のそれぞれに取り付けられており、ここに図示されないパワーアンプまたは終端抵抗などを接続することが可能である。なおここで端部とは、上部電極２の長手方向が延在する図の左右方向に関する１対の端部を意味している。
【００１４】
上部電極２は、平坦部４と、第１テーパ形状部５と、第２テーパ形状部６とを有している。平坦部４は、上部電極２の長手方向が延びる延在方向に関する中央部に配置されており、たとえば図３に示すようにグランド電極１に対してほぼ一定の間隔を保つように広がるたとえば矩形状の領域である。言い換えれば平坦部４はグランド電極１に対する距離である高さが一定となった領域である。なおここで高さが一定とは平坦部４のすべての領域においてグランド電極１に対する高さが完全に同一である必要はなく、たとえば平坦部４の領域間で当該高さの平均値に対して最大１０％程度の高さの数値のずれが生じてもよいものとする。より具体的には、高さの平均値が１０ｍｍであれば１ｍｍ程度の高さの誤差が存在してもよい。
【００１５】
第１テーパ形状部５は、上部電極２の延在方向に関して平坦部４の１対の端部側のそれぞれに隣り合うようにたとえば１対設けられた領域である。第１テーパ形状部５は、平面視において延在方向に交差する幅方向（たとえば図２の上下方向）に関する最外部に１対の縁部５ａ，５ｂを有している。この１対の縁部５ａ，５ｂは第１テーパ５ａ，５ｂを有している。
【００１６】
ここで第１テーパ５ａ，５ｂとは、上部電極２の延在方向に延びるのではなく当該延在方向に対して傾いた方向に延びる縁部を意味するものとする。第１テーパ５ａ，５ｂは、第１テーパ形状部５の（図の上下方向の）幅が、上部電極２の延在方向における端部側に向けて変化（たとえば減少）するように形成されている。ここで上部電極２の延在方向における端部側とは、上部電極２に１対存在する端部のうち、当該部材から近いほうの端部を意味するものとする。たとえば図１の左側の第１テーパ形状部５の端部側とは図１の左側の端部を意味し、図１の右側の第１テーパ形状部５の端部側とは図１の右側の端部を意味するものとする。
【００１７】
また第１テーパ形状部５は、グランド電極１との距離である高さｂが、上部電極２の延在する方向における端部側に近づくにつれて変化（たとえば減少）するように形成されている。
【００１８】
第２テーパ形状部６は、上部電極２の延在方向に関して１対の第１テーパ形状部５のそれぞれの、平坦部４と反対側（すなわち端部側）に隣り合うようにたとえば１対設けられた領域である。第２テーパ形状部６は、平面視において延在方向に交差する幅方向（たとえば図２の上下方向）に関する最外部に１対の縁部６ａ，６ｂを有している。この１対の縁部６ａ，６ｂは第２テーパ６ａ，６ｂを有してする。
【００１９】
ここで第２テーパ６ａ，６ｂとは、上部電極２の延在方向に延びるのではなく当該延在方向に対して傾いた方向に延びる縁部を意味するものとする。第２テーパ６ａ，６ｂは、第２テーパ形状部６の（図の上下方向の）幅が、上部電極２の延在方向における端部側に向けて変化（たとえば減少）するように形成されている。
【００２０】
第１テーパ５ａ，５ｂおよび第２テーパ６ａ，６ｂは、図１〜図３においては上部電極２の端部側に向けて単調変化（減少）するように示されているが、これらは上部電極２の端部側に向けてたとえば階段状に変化（減少）してもよい。
【００２１】
本実施の形態においては、第２テーパ形状部６は、グランド電極１との距離である高さｂが、上部電極２の延在する方向における端部側に近づくにつれて変化（たとえば減少）するように形成されている。
【００２２】
本実施の形態の上部電極２は、平面視において第１テーパ形状部５の第２テーパ形状部６と反対側（図の延在方向に関する中央側）に、グランド電極１に対する高さが一定である平坦部４をさらに含んでいる。また本実施の形態においては、第１テーパ形状部５は幅方向の１対の縁部５ａ，５ｂの双方が第１テーパ５ａ，５ｂを有しており、第２テーパ形状部６は幅方向の１対の縁部６ａ，６ｂの双方が第２テーパ６ａ，６ｂを有している。
【００２３】
グランド電極１および上部電極２は、たとえばアルミニウムおよび銅などの金属板により構成されていることが好ましく、それらの厚みは０．２ｍｍ以上３ｍｍ以下であることが好ましい。
【００２４】
またコネクタ３としては、たとえばいわゆるＢＮＣコネクタ、ＳＭＡコネクタなどの同軸コネクタを用いることができる。コネクタ３は、第１の本体３ａと、第１の本体３ａよりも平面積の大きい第２の本体３ｂと、第１および第２の本体３ａ，３ｂの中央部を貫通するように延びるコネクタピン３ｃとを有している。上部電極２を構成する第２テーパ形状部６の端部側はコネクタ３を構成するコネクタピン３ｃと接続されており、これにより上部電極２に高周波電圧などを印加することが可能になる。なおコネクタ３は第１の本体３ａまたは第２の本体３ｂがグランド電極１と接続するように固定されていてもよい。
【００２５】
上部電極２はたとえば平坦部４において支柱７によりグランド電極１と一定の間隔を保つようにグランド電極１に対して固定可能に支持されている。支柱７により上部電極２の特性インピーダンスが変化すると、電子機器８が配置される領域の電界Ｅの分布が不均一になる可能性がある。そこで支柱７は、その誘電率が空気の誘電率である１に近く、電磁波の反射損失などを生じにくい材料により形成されることが好ましい。たとえば支柱７は発泡スチロール、テフロン（登録商標）、ナイロン、ＭＣナイロンからなる群から選択されるいずれか１種により形成されることが好ましい。
【００２６】
上部電極２の平坦部４とグランド電極１との間隔部分にはノイズ耐性の測定対象物であるたとえば電子機器８が配置され、この電子機器８に対して上部電極２とグランド電極１との間の高周波電圧が印加される。
【００２７】
その他、本実施の形態においては、第２テーパ形状部６の延在方向に関する長さＬ６（図２参照）は第１テーパ形状部５の延在方向に関する長さＬ５よりも短くなっている。
【００２８】
本実施の形態においては、１対の第２テーパ形状部６のそれぞれにおける端部側で平面視において幅方向に延び、コネクタ３（特にコネクタピン３ｃ）と接続されるコネクタ接続部分６ｃと、第２テーパ６ａ（または第２テーパ６ｂ）とのなす端部角度αは、第１テーパ形状部５と第２テーパ形状部６との境界線（第１テーパ形状部５の最も端部側の線）と、第１テーパ５ａ（または第１テーパ５ｂ）とのなす内側角度βよりも大きい。つまり本実施の形態においては、第１テーパ形状部５の第１テーパよりも第２テーパ形状部６の第２テーパの方が、上部電極２の延在方向に対する傾斜角度が大きくなっている。
【００２９】
なおここでの角度α、βは、上部電極２を平面視したときの角度ではなく、第１テーパ形状部５および第２テーパ形状部６自身に形成される（第１テーパ形状部５および第２テーパ形状部６のそれぞれのみを平面視したときの）角度α、βを意味している。
【００３０】
次に本実施の形態の作用効果および特に好ましい数値範囲について説明する。
上部電極２の特性インピーダンスを、たとえば上部電極２の端部のコネクタ３に接続された図示されないパワーアンプの特性インピーダンス５０Ωとほぼ同じ値とするために、第１テーパ形状部５と第２テーパ形状部６との幅およびグランド電極１からの高さは次の数式の関係を満たしている。
【００３１】
【数１】
2015148505.tif 000003
【００３２】
ただしａは第１テーパ形状部５または第２テーパ形状部６の幅を表し、ｂは第１テーパ形状部５または第２テーパ形状部６のグランド電極１からの高さを表している。したがってたとえばａが小さくなればｂもその分小さくすることにより、上記数式の中央の辺の値すなわち上部電極２の特性インピーダンスを一定にすることができる。ただしここで特性インピーダンスが一定であるとは、完全に同一である場合に限らず、たとえば数式に示すように、特性インピーダンスが５０Ωで一定であるとは、特性インピーダンスが４０Ω以上６０Ω以下の範囲に存在することを意味している。
【００３３】
このため本実施の形態においては、第１テーパ形状部５および第２テーパ形状部６の幅ａ（図２参照）が上部電極２の端部側に近づくにつれ減少するように第１および第２テーパが傾斜する場合、第１テーパ形状部５および第２テーパ形状部６の高さｂ（図３参照）も上部電極２の端部側に近づくにつれ減少するように設計されている。
【００３４】
たとえば上記の数式を満足する電極幅ａおよび電極高さｂの値としては、平坦部４における高さｂを４０ｍｍとすれば１５１ｍｍ＜ａ＜２６５ｍｍとなり、第２テーパ形状部６の端部の、コネクタ３が取り付けられるコネクタ接続部分６ｃにおける高さｂを１３ｍｍとすれば４９ｍｍ＜ａ＜８６ｍｍとなる。
【００３５】
上部電極２の特性インピーダンスの値がその全体にわたってほぼ一定になれば、当該電磁波印加装置における（上部電極２の端部からの）高周波信号の反射を抑制することができる。このため上部電極２の特に１対の端部における共振の発生を抑制し、その結果上部電極２とグランド電極１との間（特に電子機器８が配置される平坦部４とグランド電極１との間）における電界Ｅを安定して強くすることができる。
【００３６】
一方、第２テーパ形状部６の端部に相当するコネクタ接続部分６ｃの幅が大きくなり、当該装置に印加される高周波電磁波の波長の１／２以上になれば、上部電極２の端部（コネクタ接続部分６ｃ）において電磁波の反射が顕著になり共振が起き、平坦部４の真下（電子機器８が配置される領域）における電界Ｅ（図３参照）が低下したり電界Ｅの分布が不均一になる場合がある。
【００３７】
たとえば第１テーパ形状部５のみを設置し第２テーパ形状部６を設けなくても、当該第１テーパ形状部５の幅を端部側に向けてある程度急激に減少させることにより第１テーパ形状部５の端部としてのコネクタ接続部分の幅を小さくすることはできる。しかしこの場合、第１テーパ形状部５の特性インピーダンスを一定に保つために第１テーパ形状部５のグランド電極１に対する高さを急激に減少させる必要がある。このようにすれば第１テーパ形状部５のグランド電極１に対する傾斜が大きくなり、第１テーパ形状部５の端部においてコネクタ３との接続が困難になる可能性がある。
【００３８】
そこで本実施の形態においては、第１テーパ形状部５と第２テーパ形状部６との２つのテーパ形状部を設けることにより、コネクタ３との接続を良好に保ち、かつコネクタ接続部分６ｃの幅を小さくすることを可能としている。
【００３９】
すなわち第１テーパ形状部５は特性インピーダンスを一定に保つべくある程度急激に高さｂを変化（端部に向けて減少）させ、これに対応するように幅ａも変化（端部に向けて減少させる）領域である。一方第２テーパ形状部６はコネクタ接続部分６ｃにおける共振の発生が十分に抑制できる程度にコネクタ接続部分６ｃの幅ａを十分小さくできるだけの傾斜を有する第２テーパ６ａ，６ｂが形成された領域であり、その高さｂの変化はコネクタ３との良好な接続が可能な程度となっている。
【００４０】
第２テーパ形状部６の端部角度αは第１テーパ形状部５の内側角度βよりも大きいため、コネクタ接続部分６ｃの幅Ｗ６（図２参照）を十分小さくすることができ、上部電極６の端部における電磁波反射および共振を抑制する効果が高められる。
【００４１】
一方、第２テーパ形状部６は第１テーパ形状部５に比べて端部側に向けて幅ａが減少する割合が大きいが、コネクタ３と第２テーパ形状部６との接続を良好に行なうために、第２テーパ形状部６の高さｂの減少する割合は第１テーパ形状部５の高さｂの減少する割合より小さい場合がある。この場合上記の数式の関係が第２テーパ形状部６において成立しなくなり、第２テーパ形状部６において特性インピーダンスの変化および電磁波の反射、共振が発生し電界Ｅ（図３参照）が低下する可能性がある。
【００４２】
また第２テーパ形状部６の高さｂの減少する割合が第１テーパ形状部５の高さｂの減少する割合と同じであるかまたは大きい場合においても、コネクタ接続部分６ｃの幅Ｗ６（図２参照）をコネクタの第２の本体３ｂの幅に合わせようとすれば、上記の数式の関係が第２テーパ形状部６において成立しにくくなる。したがってこの場合も第２テーパ形状部６において特性インピーダンスの変化および電磁波の反射、共振が発生し電界Ｅ（図３参照）が低下する可能性がある。
【００４３】
そこで本実施の形態においては第２テーパ形状部６の延在方向における長さＬ６を第１テーパ形状部５の延在方向に関する長さＬ５よりも短くしている。このようにすれば、特性インピーダンスの不均一が起こり得る領域である第２テーパ形状部６を極力狭くすることができるため、特性インピーダンスの変化を最小限にすることができる。このため上部電極２に入力される電磁波の反射、共振を抑制し、さらに電界Ｅの低下を抑制することができる。すなわち本実施の形態においては上部電極２の特性インピーダンスの均一化と上部電極２の端部の共振の抑制とを両立させることができ、その結果、上部電極２の中央部におけるグランド電極１との間の電界強度を強くし、電界分布を均一にすることができる。
【００４４】
次に図４〜図６を用いて、上記の作用効果を裏付けるデータおよびより好ましい数値範囲について説明する。
【００４５】
図４を参照して、当該グラフの横軸は、上部電極２の平坦部４の中央部において上部電極２に印加される高周波信号の周波数を示しており、グラフの縦軸は平坦部４の中央部における上部電極２とグランド電極１との間の電界強度Ｅ（図３参照）を示している。このグラフより、電極幅ａをその高さｂに併せて変化させた（第２テーパ形状部６に第２テーパが存在する）実線のデータの方が電極幅ａを一定とした（第２テーパ形状部６に第２テーパが存在しない）点線のデータよりも平坦部４の中央部における電極間の電界強度Ｅが高くなっていることがわかる。これは上記の数式により、たとえば電極幅ａの減少に応じて電極高さｂを減少させることにより上部電極２の特性インピーダンスを一定にすることができるからである。点線のデータは高周波信号の周波数が約４ＧＨｚ以上になれば急激に電界強度が低下するのに対し、実線のデータは高周波信号の周波数が約１０ＧＨｚになるまで徐々に電界強度が低下するのみである。
【００４６】
なお、たとえば上部電極２の中央部に１ｋＶ／ｍ以上の大きな電磁波を発生させるためには、上部電極２に高電圧および大電流が印加される必要がある。このため図４の測定においてはコネクタピン３ｃとグランド電極１との距離（高さｂ）が比較的広いＮコネクタが用いられている。
【００４７】
図５を参照して、当該グラフの横軸は図２に示す第２テーパ形状部６の端部角度αを示しており、グラフの縦軸は上部電極２の平坦部４の中央部における上部電極２とグランド電極１との間の電界強度Ｅを示している。このグラフより、端部角度αを１２０°以上１５０°以下とすることにより、平坦部４の中央部における電極間の電界強度Ｅを非常に大きくすることができることがわかる。これは端部角度αを上記の角度範囲とすることにより、コネクタ接続部分６ｃの幅Ｗ６と第２テーパ形状部６の延在方向の長さＬ６との双方を短くすることができるためである。
【００４８】
図６を参照して、当該グラフの横軸はコネクタ接続部分６ｃの幅方向における長さＷ６を、上部電極２に印加される電磁波の波長で除した値を示している。また当該グラフの縦軸は上部電極２の平坦部４の中央部における上部電極２とグランド電極１との間の電界強度Ｅを示している。このグラフより、長さＷ６を電磁波の波長で除した値が０．２５以下であれば、平坦部４の中央部における電極間の電界強度Ｅを非常に大きくすることができることがわかる。
【００４９】
つまり図５および図６に示す数値範囲とすることにより、電子機器８に加わる電界強度Ｅをさらに大きくすることができる。
【００５０】
以上の他、本実施の形態においては、第１テーパ形状部５における幅方向の１対の縁部５ａ，５ｂの双方が第１テーパを有し、第２テーパ形状部６における幅方向の１対の縁部６ａ，６ｂの双方が第２テーパを有している。このようにすれば、第１テーパ形状部５および第２テーパ形状部６は幅方向に関して対称な形状となる。このため上部電極２内の電磁界の分布が対称になりいわゆる高次モードが発生しにくくなる。したがって印加される電磁波等の周波数が高く（たとえば２ＧＨｚ以上に）なっても均一な電界を電子機器８などに印加することができる。
【００５１】
さらに本実施の形態においては平面積の広い平坦部４が存在することにより、電磁波印加装置１００全体に加えられる電界の分布がより均一になるという作用効果も奏することができる。
【００５２】
（実施の形態２）
図７および図８を参照して、本実施の形態の電磁波印加装置２００は、実施の形態１の電磁波印加装置１００と基本的に同様の構成を備えている。しかし本実施の形態においては、第２テーパ形状部６はグランド電極１にほぼ平行となるようにほぼ水平に設置されている。すなわち第２テーパ形状部６のグランド電極１に対する高さｂはほぼ一定となっている。なおここでも高さｂが一定とは完全に一定である場合に限らず、たとえば第２テーパ形状部６のグランド電極１に対する高さｂの平均値に対して最大１０％程度の高さの数値のずれが生じてもよいものとする。
【００５３】
なお、これ以外の本実施の形態の構成は、実施の形態１の構成とほぼ同じであるため同一の要素については同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【００５４】
本実施の形態においては上記のようにすれば、たとえばグランド電極１にほぼ平行となるようにほぼ水平方向に延びるコネクタピン３ｃがコネクタ接続部分６ｃにおいて第２テーパ形状部６に安定に接続される。このため上部電極２の電気特性にノイズが発生する可能性をいっそう低減することができる。
【００５５】
ただし本実施の形態においては第２テーパ形状部６の高さｂが一定であるため、第２テーパ形状部６における特性インピーダンスを一定にするためには第２テーパ形状部６の幅ａも一定にする必要がある。しかしこのようにすればコネクタ接続部分６ｃの幅Ｗ６を十分に小さくすることができず、電磁波の反射および共振を発生させる可能性がある。
【００５６】
そこで本実施の形態においても実施の形態１と同様に、第２テーパ形状部６の長さＬ６を第１テーパ形状部５の長さＬ５よりも（十分に）小さくすることにより、特性インピーダンスの不整合が起こり得る領域をなるべく小さくすることで、電磁波の反射および共振の発生を低減することができる。すなわち本実施の形態においても上部電極２の特性インピーダンスの均一化と上部電極２の端部の共振の抑制とを両立させることができ、その結果、上部電極２の中央部におけるグランド電極１との間の電界強度を強くし、電界分布を均一にすることができる。
【００５７】
本実施の形態においてもコネクタ接続部分６ｃの幅を十分小さくする観点から、端部角度αを内側角度βよりも大きくすることが好ましく、当該端部角度αを１２０°以上１５０°以下とすることがより好ましい。
【００５８】
（実施の形態３）
図９を参照して、本実施の形態の第１例の電磁波印加装置３０１は、基本的に実施の形態１，２の電磁波印加装置と同様の構成を備えている。しかし電磁波印加装置３０１は、第２テーパ形状部６において、１対のうち一方の縁部６ａは第２テーパ６ａを有しており端部に向けてその幅が狭くなるように延びているが、１対のうち他方の縁部６ｂは第２テーパを有しておらず、縁部６ｂは上部電極２の延在方向に沿って延びている。このように第２テーパ形状部６が１対の縁部のうち一方の縁部６ｂのみに第２テーパを有する形状となっている。
【００５９】
図１０を参照して、本実施の形態の第２例の電磁波印加装置３０２は、基本的に実施の形態１，２の電磁波印加装置と同様の構成を備えている。しかし電磁波印加装置３０２は、第２テーパ形状部６において、１対のうち一方の縁部６ｂは第２テーパ６ｂを有しており端部に向けてその幅が狭くなるように延びているが、１対のうち他方の縁部６ａは第２テーパを有しておらず、縁部６ａは上部電極２の延在方向に沿って延びている。このように第２テーパ形状部６が１対の縁部のうち一方の縁部６ａのみに第２テーパを有する形状となっている。
【００６０】
図１１を参照して、本実施の形態の第３例の電磁波印加装置３０３は、基本的に実施の形態１，２の電磁波印加装置と同様の構成を備えている。しかし電磁波印加装置３０３は、第２テーパ形状部６において、１対のうち一方の縁部６ａのみに第２テーパを有する形状となっているとともに、第１テーパ形状部５においても、１対のうち一方の縁部５ａのみに第１テーパを有する形状となっている。
【００６１】
図１２を参照して、本実施の形態の第４例の電磁波印加装置３０４は、基本的に実施の形態１，２の電磁波印加装置と同様の構成を備えている。しかし電磁波印加装置３０４は、第２テーパ形状部６において、１対のうち一方の縁部６ｂのみに第２テーパを有する形状となっているとともに、第１テーパ形状部５においても、１対のうち一方の縁部５ｂのみに第１テーパを有する形状となっている。
【００６２】
以上の本実施の形態のように、第１テーパおよび／または第２テーパは、第１テーパ形状部５および／または第２テーパ形状部６の１対の端部のうち少なくとも一方の縁部のみに有していてもよい。ただしこの場合においても、少なくともテーパが形成された側の縁部においては端部角度αが内側角度βよりも大きくなるように形成されることが好ましい。
【００６３】
なお、これ以外の本実施の形態の構成は、実施の形態１の構成とほぼ同じであるため同一の要素については同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【００６４】
このようにすれば、他の実施の形態と同様に、コネクタ接続部分６ｃの幅を十分に小さくすることができ、上部電極２の特性インピーダンスの均一化と上部電極２の端部の共振の抑制とを両立させることができる。その結果、上部電極２の中央部におけるグランド電極１との間の電界強度を強くし、電界分布を均一にすることができる。
【００６５】
また本実施の形態のように１対のうち一方の縁部のみにテーパを設けることにより、１対のうち双方の縁部にテーパを設ける場合に比べて、テーパ加工のコストを削減することができる。
【００６６】
また１対のうち一方の縁部のみにテーパを設ければ、１対の双方の縁部にテーパを設ける場合に比べて端部角度αを大きくすることが容易になる。このためコネクタ接続部分６ｃの幅Ｗ６をより小さくすることが容易になり、電磁波の共振を抑制する効果が容易に高められる。
【００６７】
（実施の形態４）
図１３を参照して、本実施の形態の電磁波印加装置４００は、実施の形態１の電磁波印加装置１００と基本的に同様の構成を有している。しかし本実施の形態においては、第２テーパ形状部６とグランド電極１との間に誘電体３０が配置されている。
【００６８】
ここで誘電体３０とは空気以外の材質を意味しており、具体的にはたとえばいわゆるＦＲ４、テフロン（登録商標）、樹脂を用いることができる。
【００６９】
なお、これ以外の本実施の形態の構成は、実施の形態１の構成とほぼ同じであるため同一の要素については同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【００７０】
上記のように誘電体３０を設けることにより、たとえコネクタ接続部分の幅Ｗ６および第１テーパ形状部５と第２テーパ形状部６との境界線の幅Ｗ５（図２参照）が小さくなっても上記の数式を満たすことができるようになる。このため、他の実施の形態と同様に上部電極２の端部における共振の発生および電界Ｅの強度低下の可能性をさらに低減することができる。また第２テーパ形状部６とグランド電極１との間に誘電体３０が設置されることにより、コネクタ３のコネクタピン３ｃとグランド電極１との間に放電が発生する可能性が低減される。これによりコネクタ３とこれに接続される部材との間の絶縁性能を向上させることができる。
【００７１】
（実施の形態５）
上記の各実施の形態においては、コネクタピン３ｃは上部電極２の特に第２テーパ形状部６の下側において上部電極２に接続されている。これに対して図１４を参照して、本実施の形態の電磁波印加装置５００においては、コネクタピン３ｃは上部電極２の特に第２テーパ形状部６の上側において上部電極２に接続されている。
【００７２】
なお、これ以外の本実施の形態の構成は、実施の形態１の構成とほぼ同じであるため同一の要素については同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【００７３】
上記のようにすれば、本実施の形態においては、コネクタピン３ｃと第２テーパ形状部６との間の放電の発生をより確実に抑制することができる。その結果、特にコネクタ３とこれに接続される部材との間における電磁波印加装置１００の絶縁性能を大幅に向上させることができる。
【００７４】
（実施の形態６）
上記の各実施の形態においては、上部電極２は平坦部４を有する構成となっている。これに対して本実施の形態の電磁波印加装置６００においては、図１５〜図１７を参照して、上部電極２は平坦部４を有さず、１対の第１テーパ形状部５と１対の第２テーパ形状部６とのみを有している。電磁波印加装置６００のように、１対の第１テーパ形状部５同士が第１テーパ形状部５の第２テーパ形状部６と反対側の境界部において接続された構成を有していてもよい。この場合、第１テーパ形状部５が支柱７により支持されていることが好ましい。
【００７５】
なお、これ以外の本実施の形態の構成は、実施の形態１の構成とほぼ同じであるため同一の要素については同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【００７６】
仮に上記のように１対の第１テーパ形状部５同士が接続された構成を有し、かつ第１テーパ形状部５の高さが端部側に向けて変化（減少）する構成を有していても、上部電極２とグランド電極１との間の領域の電界強度Ｅをある程度一定に保つことができるのであれば、本実施の形態の電磁波印加装置６００のような構成を採用することもできる。
【００７７】
（実施の形態７）
上記の各実施の形態においては、ノイズ耐性を測定する対象物としての電子機器８として、パソコンまたは通信機器などに用いられる小型電子機器が想定されている。しかし自動車または飛行機などの大型システムに用いられる大型電子機器の測定用の電磁波印加装置に上記の各実施の形態の構成を適用することもできる。
【００７８】
この場合、上部電極２の（平坦部４の）中央部のグランド電極１に対する高さｂがたとえば１ｍ以上と非常に高くなるため、上部電極２の中央部に必要な電界強度Ｅを発生させるためには上部電極２に非常に大きな電圧を印加する必要がある。このため上部電極２に接続されるコネクタ３は上記のＮコネクタよりも大きなコネクタとする必要がある。このようにコネクタ３としてＮコネクタ以外の同軸コネクタを用いれば、上部電極２とグランド電極１との間の距離が非常に大きくなった場合においても当該領域における電界強度Ｅを大きくすることができる。
【００７９】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００８０】
１  グランド電極、２  上部電極、３  コネクタ、３ａ  第１の本体、３ｂ  第２の本体、３ｃ  コネクタピン、４  平坦部、５  第１テーパ形状部、５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ  縁部、６  第２テーパ形状部、６ｃ  コネクタ接続部分、７  支柱、８  電子機器、３０  誘電体、１００，２００，３０１，３０２，３０３，３０４，４００，５００，６００  電磁波印加装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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