(57)【要約】【課題】高いエキシマ発光効率を維持しながら複数本のエキシマランプを同時点灯する場合にも、ノイズ対策が容易で、可聴域の音鳴りを低減すること。【解決手段】トランスとスイッチ素子とを有し、急峻な変化を行う波形を呈する高電圧を発生して、エキシマランプの電極に印加するための、他励式のインバータと、インバータスイッチ制御回路と、を含んで構成されたエキシマ光源セットの複数個と、スイッチ素子のオン遷移またはオフ遷移のうちの、高電圧の急峻な変化を誘起する遷移タイミングを規定する、統合タイミング生成回路と、を具備する。エキシマ光源セットのそれぞれは、複数設けた光源駆動グループの何れかに属しており、統合タイミング生成回路は、光源駆動グループの全てに対して遷移タイミングの周波数が同一で、かつ光源駆動グループの何れの２個に対しても遷移タイミングが同時にならないよう、駆動タイミング信号を生成する。【選択図】図２
2015072881.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間（Ｙｇ）を有し、この放電用ガスに放電を誘起せしめるための一対の電極（Ｙｅ１，Ｙｅ２）のうちの少なくとも一方と前記放電空間（Ｙｇ）との間に誘電体（Ｙｂ）が介在するように構成されたエキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２ａ，Ｙ２ｂ，…）と、
トランス（Ｌｔｂ，Ｌｔｆ）と少なくとも１個のスイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）とを有し、急峻な変化を行う波形を呈する高電圧を発生して、前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２ａ，Ｙ２ｂ，…）の前記電極（Ｙｅ１，Ｙｅ２）に印加するための、他励式のインバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）と、
前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）を制御するインバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）と、
を含んで構成されたエキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）の複数個と、
前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）のオン遷移またはオフ遷移のうちの、前記した高電圧の急峻な変化を誘起する遷移タイミングを規定する、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）を駆動するための信号であって、前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）それぞれに対して送信される駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を生成する統合タイミング生成回路（Ｆｔ）と、
を具備するエキシマ光源装置であって、
前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）のそれぞれは、それが含む前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２ａ，Ｙ２ｂ，…）への供給電力を、前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）毎に独立に調整可能であり、
前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）のそれぞれは、複数設けた光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の何れかに属しており、同じ前記光源駆動グループに属する前記エキシマ光源セットのそれぞれは、同じ前記駆動タイミング信号を受信するよう構成されており、
前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）は、前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の全てに対して前記した遷移タイミングの周波数が同一で、かつ前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の何れの２個に対しても前記した遷移タイミングが同時にならない前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を生成することを特徴とするエキシマ光源装置。  
【請求項２】
前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）に含まれる前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）は、前記トランス（Ｌｔｂ）の１次側巻線（Ｌｐｕ，Ｌｐｖ）に接続された前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ）がオン遷移するときに、前記トランス（Ｌｔｂ）の２次側巻線（Ｌｓ）において極性反転が生じることにより急峻な変化を行う波形を呈する高電圧を発生するよう構成されており、さらに前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）は、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）の前段に、ＤＣ電源（Ｍｘ）の電圧を昇圧または降圧して出力し、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）に供給するためのＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）を具備しており、前記ＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）は、前記エキシマランプ（Ｙ１）への供給電力が目標値になるよう出力電圧を調整することが可能であることを特徴とする請求項１に記載のエキシマ光源装置。  
【請求項３】
前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）は、前記スイッチ素子（Ｑｗ）が前記トランス（Ｌｔｂ，Ｌｔｆ）の１次側巻線（Ｌｐ）に直列に接続され、前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオン期間に蓄積された磁気エネルギーを、前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオフ遷移時に２次側巻線（Ｌｓ）に解放することにより、急峻な変化を行う波形を呈する高電圧パルスを発生する、フライバック回路によって構成されるとともに、前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）は、前記した高電圧パルスの強度に相関する出力強度信号（Ｓｏ）を生成する出力強度検出回路（Ｖｏ）をさらに具備し、前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）は、一定の時間幅（Ｔｗ）を有するパルスの繰返しとして前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を生成し、前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）は、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）のパルス開始タイミングからある待機期間（Ｔｘ）の遅延を伴って前記スイッチ素子（Ｑｗ）をオン遷移させた後、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）のパルス終了タイミングに同期して前記スイッチ素子（Ｑｗ）をオフ遷移させるよう構成されており、前記待機期間（Ｔｘ）が可変である可変遅延回路（Ｕｊｄ）を具備するとともに、前記出力強度信号（Ｓｏ）を所定の大きさに維持するよう、前記待機期間（Ｔｘ）の長さをフィードバック制御することを特徴とする請求項１に記載のエキシマ光源装置。  
【請求項４】
前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）の複数個が属する前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）に属する、少なくとも１個の前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）の前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）には、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）に対し、前記した遷移タイミングを遅延させるための遷移タイミング遅延回路（Ｕｄ２Ｂ）を前置したことを特徴とする請求項１から３に記載のエキシマ光源装置。  
【請求項５】
前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の個数をＮとするとき、前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）は、
所定の周波数で発振してクロックパルス信号（Ｓｃｋ）を生成する発振回路（Ｏｓｃ）と、
前記クロックパルス信号（Ｓｃｋ）が入力され、前記クロックパルス信号（Ｓｃｋ）の周波数が１／Ｍに分周された周波数を有する分周信号（Ｓｄｖ）を生成する分周回路（Ｕｆｎ）と、
前記クロックパルス信号（Ｓｃｋ）が入力され、前記クロックパルス信号（Ｓｃｋ）のタイミングに従って前記分周信号（Ｓｄｖ）をシフトする、複数段の遅延フリップフロップ（Ｆｓ１，Ｆｓ２，…，Ｆｓ６）を有するシフトレジスタ（Ｕｆｓ）と、
を具備し、前記分周信号（Ｓｄｖ）および前記遅延フリップフロップ（Ｆｓ１，Ｆｓ２，…，Ｆｓ６）の各段の出力信号のうちから選択された、相異なるＮ個の信号を前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）として生成するよう構成され、ＭはＮ以上であることを特徴とする請求項１から４に記載のエキシマ光源装置。  
【請求項６】
前記エキシマ光源セットのうちの前記エキシマランプを除いた部分をそれぞれ構成要素として含む駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）を、前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，…）それぞれに対応して設け、前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）に含まれる前記インバータの前記スイッチ素子を、発生した熱を逃がすためのヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）に固着し、かつ前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）内の回路素子をプリント配線板に実装するとともに、該プリント配線板を前記ヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）に固定して、前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）と前記ヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）とを一体のモジュールを成すように構成し、前記モジュールが、放熱体（Ｂ１）の上に、これと前記ヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）との間で熱的接触を形成する固定方法で並べて配置されることを特徴とする請求項１から５に記載のエキシマ光源装置。    
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、ＵＶオゾン洗浄、ＵＶ表面改質、ＵＶ硬化、ＵＶ殺菌、ＵＶ治療などの分野において利用可能なＵＶ（紫外域の）光を発生して、もしくは発生したＵＶ光を他の波長に変換して、それを照射する装置を構成する際に好適な光源であるエキシマランプの、その複数本を同時点灯するエキシマ光源装置に関する。  
【背景技術】
【０００２】
エキシマ光源装置は、エキシマランプと、それを点灯する給電装置を含んで構成される。  
図１は、エキシマランプ（Ｙ）の構成を簡略化して示したもので、放電用ガスが充填された放電空間（Ｙｇ）が、石英ガラス等を用いて構成されたバルブ（Ｙｔ）の中に封じられている様子を表している。  
前記放電空間（Ｙｇ）に高電圧を印加して、放電を誘起せしめるための両極の電極（Ｙｅ１，Ｙｅ２）のうち、少なくともその片方と前記放電空間（Ｙｇ）との間に誘電体（Ｙｂ）が介在する。  
本図では、前記電極（Ｙｅ１，Ｙｅ２）は、両極とも前記バルブ（Ｙｔ）の外部に設けた外部電極とした場合を描いてあるが、何れか一方を前記バルブ（Ｙｔ）の内部に設け、前記放電空間（Ｙｇ）と接するように構成することも可能である。  
【０００３】
放電用ガスとしては、キセノンやクリプトンなどの希ガス、フッ素や塩素などのハロゲン等、もしくはそれらの混合物が、発生させたい光の波長に応じて選択して用いられる。  
放電によって発生した光を直接利用する場合だけでなく、例えば前記バルブ（Ｙｔ）の内面に、蛍光体などの被膜を設け、発生したＵＶ光を波長変換して、長い波長のＵＶ光や可視光として外部に取出し、利用する場合もある。  
前記バルブ（Ｙｔ）としては、石英ガラスなどを用いることが多いが、例えばフッ素など、反応性が高い放電用ガスを用いる場合には、サファイアなどの耐腐食性の材料を使用する場合もある。  
さらに、例えばキセノンエキシマなどの真空紫外域の光を取出す場合は、その波長に透過率を有する合成石英を用いたり、蛍光体でＵＶから可視光に変換した光を取出し、元のＵＶ光自体は放射したくない場合は、ホウ珪酸ガラスを用いるなど、発生する光の波長に着目して、好適な材料が選ばれる。  
また、本図のように、前記バルブ（Ｙｔ）が前記誘電体（Ｙｂ）を兼ねる場合が多いが、そうでないような構成、例えば、前記バルブ（Ｙｔ）の内面に前記電極（Ｙｅ１，Ｙｅ２）の電極を設け、これら電極の片方もしくは両方と放電用ガスとの間に誘電体被膜を設けるようにすることもできる。  
なお、前記電極（Ｙｅ１，Ｙｅ２）は、金属板、金属蒸着膜、金属ペースト等を前記バルブ（Ｙｔ）に被着もしくは形成せしめて構成することができるが、電極を通して光を取り出したい場合は、透明導電膜や金網、網状パターンに印刷した金属ペーストの固化体などによって構成してもよい。  
【０００４】
エキシマランプは、交流の高電圧で点灯する必要があるため、それを点灯するための給電装置は、普通、昇圧トランスを含み、その１次側を、例えばハーフブリッジ等の回路で駆動し、２次側に接続されたランプに給電する、インバータとして構成される。  
なお、以下においては、昇圧トランスは、インバータのなかに含まれるものとして記載する。  
【０００５】
近来の環境汚染問題への関心の高まりのなかで、ＵＶ光化学反応を応用した無公害処理は、エキシマ光源装置の最も重要な応用のひとつであり、様々な用途への利用が検討されている。  
そして用途によっては、エキシマ光源装置に対し、ＵＶ照射パワー密度の増大、照射面積の広大化を強く要求される。  
他の放電ランプと異なり、エキシマランプの場合、１個のインバータに対して、複数本のランプを単に並列接続するだけで、全てを同時に安定点灯できるという特長を有している。  
そのため、前記したＵＶ照射パワー密度の増大、照射面積の広大化の要求に対応するためには、インバータの大電力化、および接続するエキシマランプの本数の増大を行えば達成できるように見える（例えば、特開平０８−０９６７６６号公報、特開平１０−０９７８９８号公報）。  
【０００６】
しかしながら、エキシマ発光効率の高い条件でエキシマランプを点灯させたい場合は、急峻な変化を行う波形を呈する高電圧の交流で駆動する必要がある事が判明している（例えば、特開平１１−２０４２８０号公報）。  
エキシマランプは容量性の負荷であるため、多数のそれらを並列接続すると、全体の静電容量が増大し、また、インバータの大電力化を行うと、インバータのトランスのインダクタンスが増大することにより、高電圧の急峻な変化が困難になるため、エキシマ発光効率が低下してしまう。  
したがって、高効率を維持したままＵＶ照射パワー密度の増大、照射面積の広大化を達成するためには、理想的には、１本のランプと１個のインバータとを組として、この組の数を増すことが有利となる。  
【０００７】
この方針に沿って開発された技術として、特開平１１−２３３０７１号公報には、誘電体バリア放電ランプとインバータとの組を複数組設け、各インバータの前段に共通に設けたＤＣ・ＤＣコンバータ（降圧チョッパ）によって共通の点灯制御を行い、各インバータの周波数を独立に調整することにより、各ランプを独立に調光して、例えばランプ毎の明るさバラツキを補正する技術が記載されている。  
ところが、このように、インバータの周波数を独立に調整する場合、複数あるインバータうちから任意に選んだ２個から成る組に注目すると、その動作周波数の差周波数に対応する頻度で、それぞれのインバータに属する２個のスイッチ素子が近いタイミングで（ほぼ同時に）オン遷移またはオフ遷移する事象が発生する。  
この事象が発生すると、２個のインバータがほぼ同時にＤＣ・ＤＣコンバータから電流を引出そうとするため、ＤＣ・ＤＣコンバータの出力電圧が低下し、またＤＣ・ＤＣコンバータは出力電圧の低下を防ぐための補正制御を行うため、制御の乱れが生じる。  
【０００８】
複数あるインバータうちから注目する２個一組の選び方には多数の組合わせがあり、それぞれで差周波数が異なるため、前記した２個のスイッチ素子のほぼ同時のオン遷移またはオフ遷移に伴う電磁放射および伝導ノイズ（以下単にノイズと記載する）発生と、それに伴うＤＣ・ＤＣコンバータ制御の擾乱とからなる現象が、非常に複雑な周期的繰返しを伴って発生することになる。  
そして調光のために、各インバータの周波数が独立に調整されると、前記した現象の周期性が乱れて、むしろ非周期的となるため、ノイズ対策が非常に困難となる。  
また、それぞれのインバータの動作周波数が、例えば数十ｋＨｚ以上の高周波である場合は、これが人間の耳に聞こえることは無いが、差周波数については可聴域に入る場合があるため、光源装置全体が、時間的に変化する奇妙な音鳴りを発する問題がある。  
なお、音鳴りの原因となる振動は、インバータのトランスの磁歪に起因するものの他に、ランプの放電空間における放電発生時のガスの膨張に起因するものの両方がある。  
【０００９】
なお、一般に、ノイズがスイッチ素子のオン遷移またはオフ遷移の何れにおいて発生し易いかについては、インバータ回路の法式によって異なる。  
例えば、プッシュプル方式、ハーフブリッジ方式、フルブリッジ方式等の場合は、オン遷移時に高電圧の急峻な変化が生じ、またトランスの１次側回路の電流が急激に流れるため、ノイズが発生し易い。  
しかし例えば、フライバック方式等の場合は、オフ遷移時に高電圧の急峻な変化が生じ、またトランスの１次側回路の電流が急激に停止するため、ノイズが発生し易い。  
【００１０】
この問題と関連する提案として、特開平０８−１４６１９８号公報には、誘電体バリア放電ランプとインバータとの組を複数組設け、１個の発振器で生成された発振信号から、それぞれ異なる分周比で分周することにより、互いに異なる（それぞれが固定された）周波数の信号を生成し、この信号により各インバータを動作させる技術が記載されている。  
これによれば、ノイズの周波数分散を行うことができるが、前記した２個のスイッチ素子のほぼ同時のオン遷移またはオフ遷移に伴うノイズ発生と、それに伴うＤＣ・ＤＣコンバータ制御の擾乱とからなる現象の問題、および差周波数が可聴域に入る問題は解決できなかった。  
【００１１】
また、特開２００２−３４３５９２号公報には、誘電体バリア放電ランプとインバータとの組の２組を一対として、その一対に含まれる２個のインバータは、同じ周波数かつ１８０°反転した位相関係で動作させ、そのような一対の複数対によって光源を構成する技術が記載されている。  
一対に含まれる２個のインバータが逆位相で動作するため、ノイズを打消し合わせることができ、結果として低ノイズ化の達成を図るものであり、例えばトランス等から放射される漏洩磁束に起因する電磁ノイズについては、打消し合いが期待できるが、逆に、２個のインバータのスイッチ素子の同時のオン遷移またはオフ遷移が確実に起きる事になるため、これに伴う大電流に起因するノイズやＤＣ・ＤＣコンバータ制御の擾乱については、むしろ悪化の懸念があるし、複数対のそれぞれの動作周波数に関する差周波数が可聴域に入る問題には配慮されていない。  
【００１２】
さらに、特開２００３−３０３６９４号公報には、複数のエキシマランプを同一ランプ管軸上に近接配置し、各エキシマランプを点灯させるに際し、ランプの間で電位差が生じて不所望の放電が生じないよう、各エキシマランプに給電するインバータの周波数と位相とを同期させるべく、各インバータは１個の基準信号に追従して動作するように構成し、また周波数を変化させる場合には基準信号を変化させる技術が記載されている。  
しかし、この技術についても前記のものと同じく、２個のインバータのスイッチ素子の同時のオン遷移またはオフ遷移が確実に起きる事になるため、これに伴う大電流に起因するノイズやＤＣ・ＤＣコンバータ制御の擾乱については、むしろ悪化の懸念がある点は同様である。  
【００１３】
さらに、特開２００４−２０７０４５号公報には、誘電体バリア放電ランプとインバータとの組を複数組設け、インバータトランスの２次側を並列接続する、あるいはインバータトランスの２次側とランプとの間に同期用トランスを挿入することにより、複数組のインバータの発振を同期させることにより、複数本のランプをチラツキ無く点灯する技術が記載されている。  
しかし、この技術についても前記のものと同じく、２個のインバータのスイッチ素子の同時のオン遷移またはオフ遷移が確実に起きる事になるため、これに伴う大電流に起因するノイズやＤＣ・ＤＣコンバータ制御の擾乱については、むしろ悪化の懸念がある点は同様である。  
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開平１１−２３３０７１号
【特許文献２】特開平０８−１４６１９８号
【特許文献３】特開２００２−３４３５９２号
【特許文献４】特開２００３−３０３６９４号
【特許文献５】特開２００４−２０７０４５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明が解決しようとする課題は、高いエキシマ発光効率を維持しながら複数本のエキシマランプを同時点灯する場合にも、ノイズ対策が容易で、可聴域の音鳴りを低減したエキシマ光源装置を提供することにある。  
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明における第１の発明のエキシマ光源装置は、エキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間（Ｙｇ）を有し、この放電用ガスに放電を誘起せしめるための一対の電極（Ｙｅ１，Ｙｅ２）のうちの少なくとも一方と前記放電空間（Ｙｇ）との間に誘電体（Ｙｂ）が介在するように構成されたエキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２ａ，Ｙ２ｂ，…）と、
トランス（Ｌｔｂ，Ｌｔｆ）と少なくとも１個のスイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）とを有し、急峻な変化を行う波形を呈する高電圧を発生して、前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２ａ，Ｙ２ｂ，…）の前記電極（Ｙｅ１，Ｙｅ２）に印加するための、他励式のインバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）と、
前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）を制御するインバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）と、
を含んで構成されたエキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）の複数個と、
前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）のオン遷移またはオフ遷移のうちの、前記した高電圧の急峻な変化を誘起する遷移タイミングを規定する、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）を駆動するための信号であって、前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）それぞれに対して送信される駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を生成する統合タイミング生成回路（Ｆｔ）と、
を具備するエキシマ光源装置であって、
前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）のそれぞれは、それが含む前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２ａ，Ｙ２ｂ，…）への供給電力を、前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）毎に独立に調整可能であり、
前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）のそれぞれは、複数設けた光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の何れかに属しており、同じ前記光源駆動グループに属する前記エキシマ光源セットのそれぞれは、同じ前記駆動タイミング信号を受信するよう構成されており、
前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）は、前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の全てに対して前記した遷移タイミングの周波数が同一で、かつ前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の何れの２個に対しても前記した遷移タイミングが同時にならない前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を生成することを特徴とするものである。  
【００１７】
本発明における第２の発明のエキシマ光源装置は、前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）に含まれる前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）は、前記トランス（Ｌｔｂ）の１次側巻線（Ｌｐｕ，Ｌｐｖ）に接続された前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ）がオン遷移するときに、前記トランス（Ｌｔｂ）の２次側巻線（Ｌｓ）において極性反転が生じることにより急峻な変化を行う波形を呈する高電圧を発生するよう構成されており、さらに前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）は、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）の前段に、ＤＣ電源（Ｍｘ）の電圧を昇圧または降圧して出力し、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）に供給するためのＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）を具備しており、前記ＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）は、前記エキシマランプ（Ｙ１）への供給電力が目標値になるよう出力電圧を調整することが可能であることを特徴とするものである。  
【００１８】
本発明における第３の発明のエキシマ光源装置は、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）は、前記スイッチ素子（Ｑｗ）が前記トランス（Ｌｔｂ，Ｌｔｆ）の１次側巻線（Ｌｐ）に直列に接続され、前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオン期間に蓄積された磁気エネルギーを、前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオフ遷移時に２次側巻線（Ｌｓ）に解放することにより、急峻な変化を行う波形を呈する高電圧パルスを発生する、フライバック回路によって構成されるとともに、前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）は、前記した高電圧パルスの強度に相関する出力強度信号（Ｓｏ）を生成する出力強度検出回路（Ｖｏ）をさらに具備し、前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）は、一定の時間幅（Ｔｗ）を有するパルスの繰返しとして前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を生成し、前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）は、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）のパルス開始タイミングからある待機期間（Ｔｘ）の遅延を伴って前記スイッチ素子（Ｑｗ）をオン遷移させた後、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）のパルス終了タイミングに同期して前記スイッチ素子（Ｑｗ）をオフ遷移させるよう構成されており、前記待機期間（Ｔｘ）が可変である可変遅延回路（Ｕｊｄ）を具備するとともに、前記出力強度信号（Ｓｏ）を所定の大きさに維持するよう、前記待機期間（Ｔｘ）の長さをフィードバック制御することを特徴とするものである。  
【００１９】
本発明における第４の発明のエキシマ光源装置は、前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）の複数個が属する前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）に属する、少なくとも１個の前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）の前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）には、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）に対し、前記した遷移タイミングを遅延させるための遷移タイミング遅延回路（Ｕｄ２Ｂ）を前置したことを特徴とするものである。  
【００２０】
本発明における第５の発明のエキシマ光源装置は、前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の個数をＮとするとき、前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）は、
所定の周波数で発振してクロックパルス信号（Ｓｃｋ）を生成する発振回路（Ｏｓｃ）と、
前記クロックパルス信号（Ｓｃｋ）が入力され、前記クロックパルス信号（Ｓｃｋ）の周波数が１／Ｍに分周された周波数を有する分周信号（Ｓｄｖ）を生成する分周回路（Ｕｆｎ）と、
前記クロックパルス信号（Ｓｃｋ）が入力され、前記クロックパルス信号（Ｓｃｋ）のタイミングに従って前記分周信号（Ｓｄｖ）をシフトする、複数段の遅延フリップフロップ（Ｆｓ１，Ｆｓ２，…，Ｆｓ６）を有するシフトレジスタ（Ｕｆｓ）と、
を具備し、前記分周信号（Ｓｄｖ）および前記遅延フリップフロップ（Ｆｓ１，Ｆｓ２，…，Ｆｓ６）の各段の出力信号のうちから選択された、相異なるＮ個の信号を前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）として生成するよう構成され、ＭはＮ以上であることを特徴とするものである。  
【００２１】
本発明における第６の発明のエキシマ光源装置は、前記エキシマ光源セットのうちの前記エキシマランプを除いた部分をそれぞれ構成要素として含む駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）を、前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，…）それぞれに対応して設け、前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）に含まれる前記インバータの前記スイッチ素子を、発生した熱を逃がすためのヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）に固着し、かつ前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）内の回路素子をプリント配線板に実装するとともに、該プリント配線板を前記ヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）に固定して、前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）と前記ヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）とを一体のモジュールを成すように構成し、前記モジュールが、放熱体（Ｂ１）の上に、これと前記ヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）との間で熱的接触を形成する固定方法で並べて配置されることを特徴とするものである。  
【発明の効果】
【００２２】
高いエキシマ発光効率を維持しながら複数本のエキシマランプを同時点灯する場合にも、ノイズ対策が容易で、可聴域の音鳴りを低減したエキシマ光源装置を提供することができる。  
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明のエキシマ光源装置の一部を簡略化して示す模式図を表す。
【図２】本発明のエキシマ光源装置を簡略化して示すブロック図を表す。
【図３】本発明のエキシマ光源装置の一部の動作を簡略化して示すタイミング図を表す。
【図４】本発明のエキシマ光源装置の一部の構成を簡略化して示す回路図を表す。
【図５】本発明のエキシマ光源装置の技術に関連する一部の構成を簡略化して示す回路図を表す。
【図６】本発明のエキシマ光源装置の一部の動作を簡略化して示すタイミング図を表す。
【図７】本発明のエキシマ光源装置の一部の構成を簡略化して示す回路図を表す。
【図８】本発明のエキシマ光源装置の一部の動作を簡略化して示すタイミング図を表す。
【図９】本発明のエキシマ光源装置の一部の構成を簡略化して示す回路図を表す。
【図１０】本発明のエキシマ光源装置の一部の構成を簡略化して示す回路図を表す。
【図１１】本発明のエキシマ光源装置の一部の動作を簡略化して示すタイミング図を表す。
【図１２】本発明のエキシマ光源装置の一部の構成を簡略化して示す回路図を表す。
【図１３】本発明のエキシマ光源装置の一部の動作を簡略化して示すタイミング図を表す。
【図１４】本発明のエキシマ光源装置の実施例の一形態を簡略化して示す図を表す。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
先ず、本発明のエキシマ光源装置を簡略化して示すブロック図である図２を用いて、本発明を実施するための形態について説明する。  
本発明のエキシマ光源装置は、複数のエキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２ａ，Ｙ２ｂ，…）を備えており、前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２ａ，Ｙ２ｂ，…）それぞれに対応して、それらを独立に駆動するためのインバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）が設けられている。  
後述するように、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）は、前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２ａ，Ｙ２ｂ，…）にエキシマ発光効率の高い条件の放電を誘起するよう、急峻な変化を行う波形を呈する高電圧を印加するために、トランス（Ｌｔｂ，Ｌｔｆ）と、少なくとも１個のスイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）を具備している。  
さらに前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）を制御するためのインバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）が設けられ、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）に接続される。  
【００２５】
そして、前記エキシマランプ（Ｙ１）と前記インバータ（Ｕｉ１）と前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１）との組によって、一つのエキシマ光源セット（Ｕ１）が構成されている。  
すなわち、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）の１個に対し、それに接続される前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２ａ，Ｙ２ｂ，…）と前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）とが組を成し、それぞれエキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）を構成している。  
ここで、前記エキシマ光源セットの「セット」とは、必ずしも一体物にまとめられたものに限定されず、機能的に「組合わせられたもの」を意味する、観念上のセットを指す。  
さらに、前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）は、それぞれ光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）に所属しており、図においては、前記光源駆動グループ（Ｐ１）には１個の前記エキシマ光源セット（Ｕ１）を、前記光源駆動グループ（Ｐ２）には２個の前記エキシマ光源セット（Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ）を配置する例を示している。  
【００２６】
統合タイミング生成回路（Ｆｔ）は、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）を駆動するための駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を生成し、前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）の前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）それぞれに対して送信する。  
前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）は、前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）のオン遷移またはオフ遷移のタイミングのうち、前記した高電圧の急峻な変化を誘起する方の遷移タイミングを規定する信号である。  
前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）は、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を受信すると、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）にある前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）のゲートを駆動するスイッチゲート信号（Ｓｈ１，Ｓｈ２，Ｓｈ２’，…）を前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）に送信し、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）は、直ちに、もしくは短時間の遅延時間の後に前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）をオン遷移またはオフ遷移させて、前記した高電圧の急峻な変化を誘起するよう構成されている。  
なお、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）が、ハイまたはローの何れかのレベルをとる２値のパルス信号である場合、その立上りタイミングと立下りタイミングについて、その何れが高電圧の急峻な変化に対応するか、あるいは前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）のオン遷移またはオフ遷移とどのように対応するか、については、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）の回路方式や、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）の論理のとり方（正論理または負論理）に依存する。  
【００２７】
そして前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）は、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を生成するに際しては、前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の全てに対して、前記した高電圧の急峻な変化を誘起する遷移タイミングの周波数が同一であり、かつ前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の何れの２個に対しても、前記した高電圧の急峻な変化を誘起する遷移タイミングが同時にならないように信号を生成する。  
これについて、本発明のエキシマ光源装置の一部の動作を簡略化して示すタイミング図である図３を用い、以下において説明する。  
【００２８】
いま、簡単のため、前記エキシマ光源セットを１個づつ具備する前記光源駆動グループが４個あり、それぞれに１個づつ所属する前記エキシマランプが、合計４個あるとし、図は、このときの駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，Ｓｔ４）、およびランプ電圧波形（Ｖｄ１，Ｖｄ２，Ｖｄ３，Ｖｄ４）の関係について、その一例を表すものである。  
時点（ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４）において、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，Ｓｔ４）は、それぞれハイレベルに移行し、それらのタイミングを受けて前記ランプ電圧波形（Ｖｄ１，Ｖｄ２，Ｖｄ３，Ｖｄ４）は、それぞれ急峻な電圧変化を呈している。  
その後、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，Ｓｔ４）は、それぞれ一旦ローレベルに戻り、再度、時点（ｔ１’，ｔ２’，ｔ３’，ｔ４’）において、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，Ｓｔ４）は、それぞれハイレベルに移行し、それらのタイミングを受けて前記ランプ電圧波形（Ｖｄ１，Ｖｄ２，Ｖｄ３，Ｖｄ４）は、それぞれ先とは逆の急峻な電圧変化を呈している。  
【００２９】
ここで、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，Ｓｔ４）それぞれのハイレベル移行のタイミングに注目すると、その周波数は全て同じであるが、タイミング自体は、全て相違している。  
前記したように、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，Ｓｔ４）それぞれのハイレベル移行のタイミングで前記ランプ電圧波形（Ｖｄ１，Ｖｄ２，Ｖｄ３，Ｖｄ４）が急峻な電圧変化を呈し、その瞬間、ランプで放電が発生し、また前記インバータがその前段の回路から引出す電流が急変する。  
そのため、前記した瞬間にノイズが発生し易く、また、後述する、前記インバータの前段の回路であるＤＣ・ＤＣコンバータやＤＣ電源において、制御の擾乱が発生し易い。  
しかし、前記した瞬間が前記光源駆動グループの全てにおいて、意図的に相違させられているため、同時に重なって発生することが無く、ノイズの発生タイミングが分散される。  
また、前記した瞬間の発生周波数が前記光源駆動グループの全てで同じであるため、ノイズの発生タイミングが分散された状態が常に維持される。  
【００３０】
その結果、発生するノイズのレベルが低く抑えられ、またノイズ発生のタイミングが重なることに起因する高いレベルのノイズが突発的に生ずることも防止される。  
さらに、前記した瞬間に発生する回路電流の急変に起因した振動、例えば、前記インバータに含まれる、後述するトランスにおける、コアの磁歪の急変に起因した振動の発生周波数が前記光源駆動グループの全てで同じであるため、前記したような、周波数が同じでない場合に差周波数が可聴域に入って音鳴りを生ずることも無い。  
【００３１】
なお、補足しておくと、図３では、前記ランプ電圧波形（Ｖｄ１，Ｖｄ２，Ｖｄ３，Ｖｄ４）は、上のものから順に下へ向かって急峻な電圧変化のタイミングが遅延するように描いてあるが、前記ランプ電圧波形（Ｖｄ４）のみについては、上のものからの遅延に加えて、極性が常に逆になっているように描いてある。  
これは、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，Ｓｔ４）が、前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）のオン遷移またはオフ遷移のうちの、前記した高電圧の急峻な変化を誘起する遷移タイミングのみを規定し、位相を規定しない形式の信号である場合には、インバータの初期状態が不定であれば実際に起こり得る事であるが、このような事が起こっていても何ら問題は無い。  
また、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，Ｓｔ４）は、前記時点（ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４）と前記時点（ｔ１’，ｔ２’，ｔ３’，ｔ４’）の両方においてそれぞれハイレベルに移行するように記載したが、例えば、前記時点（ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４）においてはハイレベルに移行し、前記時点（ｔ１’，ｔ２’，ｔ３’，ｔ４’）においてはローレベルに移行するように構成しても構わない。  
【００３２】
また、前記した本発明の特徴であるノイズの発生タイミングが分散された状態が常に維持され、差周波数が可聴域に入って音鳴りを生ずることも無いという利点は、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）で規定される前記した遷移タイミングの周波数の一定性を拠所としていない。  
したがって、この周波数が、状況に応じて変化したり、揺らいだりするように構成しても構わない。  
あるいは、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）で規定される前記した遷移タイミングそれぞれについての相互の時間間隔が、状況に応じて変化したり、揺らいだりするように構成しても構わない。  
【００３３】
次に、本発明のエキシマ光源装置の一部の構成を簡略化して示す回路図である図４を用いて、先に図２に基づいて述べた前記エキシマ光源セット（Ｕ１）の具体的構成につき、以下において説明する。  
なお、前記エキシマ光源セット（Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ）など、他のエキシマ光源セットの構成についても以下の記載するものと同様にすることができる。  
【００３４】
図においては、インバータ（Ｕｉ１）にＤＣ電圧を供給する回路として、昇圧チョッパ型のＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）を備えるものを描いてある。  
該ＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）は、ＤＣ電源（Ｍｘ）より電圧の供給を受けて動作し、ランプに印加される電圧を決定する。  
前記ＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）においては、ＦＥＴ等のスイッチ素子（Ｑｘ）が、オン状態とオフ状態とを交互に繰り返すよう、コンバータ制御回路（Ｕｃｘ）が生成するゲート信号（Ｓｇｘ）によって、ゲート駆動回路（Ｇｘ）を介して駆動されている。  
前記スイッチ素子（Ｑｘ）がオン状態の期間では、前記ＤＣ電源（Ｍｘ）よりインダクタ（Ｌｘ）に電流が流されて、該インダクタ（Ｌｘ）に磁気エネルギーが蓄積され、前記スイッチ素子（Ｑｘ）がオフ遷移すると、前記インダクタ（Ｌｘ）に蓄積された磁気エネルギーが解放されて、ダイオード（Ｄｘ）を介して平滑コンデンサ（Ｃｘ）に充電されることにより、前記ＤＣ電源（Ｍｘ）の電圧よりも高い電圧を、後段のインバータ（Ｕｉ１）のノード（Ｔ１，Ｔ２）に供給できるよう構成されている。  
【００３５】
前記ＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）の出力電圧、すなわち、前記平滑コンデンサ（Ｃｘ）の充電電圧は、分圧抵抗等を用いて構成された電圧検出手段（Ｖｘ）により検出され、チョッパ電圧検出信号（Ｓｖ）が前記コンバータ制御回路（Ｕｃｘ）に送られる。  
前記コンバータ制御回路（Ｕｃｘ）には、その内部において、例えばトリマ抵抗を含む分圧回路（図示を省略）が設けられて、該トリマ抵抗を調整することにより、出力電圧の目標値に相関させる電圧を設定できるようにしてあり、前記コンバータ制御回路（Ｕｃｘ）は、この電圧と前記チョッパ電圧検出信号（Ｓｖ）の電圧とを比較し、もし前記チョッパ電圧検出信号（Ｓｖ）の電圧の方が低ければ、前記スイッチ素子（Ｑｘ）がオン状態の期間の割合を増し、逆に前記チョッパ電圧検出信号（Ｓｖ）の電圧の方が高ければ、前記スイッチ素子（Ｑｘ）がオン状態の期間の割合を減ずるよう、前記ゲート信号（Ｓｇｘ）のデューティサイクル比をフィードバック制御するように構成することにより、前記ＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）の出力電圧を目標値に維持することができる。  
前記ＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）は前記エキシマ光源セット毎に設けられ、出力電圧の目標値に相関させる電圧を設定できるため、前記エキシマランプ（Ｙ１）への供給電力を独立に調整可能となる。  
【００３６】
なお、ここでは、一例として最も簡単な、前記ＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）の出力電圧を電圧検出手段（Ｖｘ）によって検出し、それを目標値に維持するものについて記載したが、他の量、例えば前記ＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）の出力電流や前記エキシマランプ（Ｙ１）の出力電流の、ピーク値や平均値などを検出するための検出手段を設けて検出し、それを目標値に維持するように構成することもできる。  
また、ここでは、前記ＤＣ電源（Ｍｘ）が、例えばメカトロニクス系で普通に用いられるＤＣ２４Ｖ電源の場合を想定して、前記ＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）として、昇圧チョッパ型のものを記載したが、前記ＤＣ電源（Ｍｘ）が、例えばＡＣ２００Ｖの商用ラインに直結したＤＣ３７０ＶのＰＦＣ等の場合は、降圧チョッパ型のものを用いることができるし、前記ＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）の回路方式は、本エキシマ光源装置の設置環境等に応じて、昇降圧チョッパや反転チョッパ等の他のチョッパ類や、トランスとインバータを用いるものなど、適当なものを採用すればよい。  
【００３７】
図４においては、インバータ（Ｕｉ１）の回路方式としてプッシュプル方式のものを記載してある。  
トランス（Ｌｔｂ）の１次側巻線（Ｌｐｕ，Ｌｐｖ）に対し、前記ＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）からの電圧と、スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ）とを接続し、ゲート駆動回路（Ｇｕ，Ｇｖ）を介して前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ）が交互にオン状態とオフ状態とを繰り返すように制御することにより、２次側巻線（Ｌｓ）に極性反転を繰り返す電圧を誘起し、特に前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ）がオン遷移するときには、急峻な変化を行う波形を呈する高電圧を発生して、前記２次側巻線（Ｌｓ）に接続されたエキシマランプ（Ｙ１）に印加することができる。  
ただし、一般に、前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ）のオン状態の切り替わりの間に、デッドタイムと呼ばれる前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ）の両方がオフ状態の期間が設けられるが、前記エキシマランプ（Ｙ１）が容量性の負荷であることに起因して、負荷電流は極性反転直後の短時間しか流れないため、本質的な回路動作はデッドタイムの長さにあまり依存せず、長いデッドタイムを設けることができる。  
【００３８】
なお、本図においては、前記インバータ（Ｕｉ１）の回路方式としてプッシュプル方式のものを記載したが、前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ）がオン遷移するときに、前記トランス（Ｌｔｂ）の２次側巻線（Ｌｓ）において極性反転が生じることにより急峻な変化を行う波形を呈する高電圧を発生する回路方式であれば、何れでも採用することができ、例えば図５のａに記載のハーフブリッジ方式や、ｂに記載のフルブリッジ方式のものに置き換えても良好に動作する。  
【００３９】
いま述べたような動作を前記インバータ（Ｕｉ１）に行わせるため、前記ゲート駆動回路（Ｇｕ，Ｇｖ）に入力されるスイッチゲート信号（Ｓｈ１）は、前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）から送られて来た駆動タイミング信号（Ｓｔ１）を受けて、インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１）が生成する。  
前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）は遅延フリップフロップ（Ｆｈ）の負論理クロックの入力端子に接続され、また前記遅延フリップフロップ（Ｆｈ）においては、遅延入力Ｄの端子に出力Ｑの反転出力Ｑバーが入力される。  
前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１）および前記インバータ（Ｕｉ１）の動作を説明するための、本発明のエキシマ光源装置の一部の動作を簡略化して示すタイミング図である図６に記載のように、前記遅延フリップフロップ（Ｆｈ）の出力および反転出力であるフリップフロップ出力信号（Ｓｄ，Ｓｄ＊）は、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）の立下りの度毎に、それぞれが反転する。  
【００４０】
ＡＮＤ論理ゲート（Ｈｕ，Ｈｖ）それぞれの一方の入力端子には、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）が接続され、前記ＡＮＤ論理ゲート（Ｈｕ，Ｈｖ）それぞれの他方の入力端子には、前記フリップフロップ出力信号（Ｓｄ，Ｓｄ＊）が接続されて、それぞれ、両方がハイレベルのときにハイレベルとなる極性別スイッチゲート信号（Ｓｈｕ，Ｓｈｖ）が前記スイッチゲート信号（Ｓｈ１）として出力される。  
そして、前記極性別スイッチゲート信号（Ｓｈｕ，Ｓｈｖ）がハイレベルのときに前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ）がオン状態になるよう前記インバータ（Ｕｉ１）が動作する結果、急峻な変化を行う波形を呈する高電圧であるランプ電圧波形（Ｖｄ１）を生ずる。  
【００４１】
図６を見れば容易に確認できるように、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）のハイレベルへの移行のタイミングを受けて前記ランプ電圧波形（Ｖｄ１）は急峻な電圧変化を呈しており、したがって、図４に記載の前記エキシマ光源セット（Ｕ１）は、図２および図３について述べた本発明のエキシマ光源装置を実現するものであることが判る。  
【００４２】
ここで、重要な点を補足しておく。  
エキシマランプではなく、抵抗負荷などに電力供給する通常の応用においては、ここで述べたプッシュプル方式、ハーフブリッジ方式、フルブリッジ方式などのインバータであっても、前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ）のオン状態期間が１周期の長さに占める割合、即ちデューティサイクル比を調整することによって、負荷への供給電力を調整することが可能である。  
しかしエキシマランプにおいては、前記したように負荷電流は極性反転直後の短時間しか流れないため、デューティサイクル比を調整することによっては、負荷への供給電力を調整することができない。  
その代わりに、エキシマランプへの供給電力は、印加電圧波形の振幅を意図的に変化させない場合でも、インバータの極性反転周波数を変化させれば、周波数に概ね比例的に調整することができ、この調整によって、例えばランプ毎の明るさバラツキを補正したりすることができる。  
実際、前記した特開平１１−２３３０７１号公報に記載の装置では、この技術を利用している。  
【００４３】
ところが、本発明のエキシマ光源装置においては、インバータの周波数は、エキシマ光源セットの全てに対して同一のものを統合タイミング生成回路（Ｆｔ）が規定するのであって、エキシマ光源セット毎に調整することができないという大きな問題に直面する。  
本発明では、コスト増という犠牲を払って、前記インバータ（Ｕｉ１）の前段に、このエキシマ光源セット（Ｕ１）に専用の前記ＤＣ・ＤＣコンバータ（Ｕｃ１）を設け、その出力電圧を設定することによってエキシマランプ（Ｙ１）への供給電力を調整可能ならしめ、この問題を解決しており、此処が本発明の巧妙な点である。  
なお、前記ＤＣ電源（Ｍｘ）については、前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，…）の全てに共通のものを用いることが可能である。  
【００４４】
因みに、前記ランプ電圧波形（Ｖｄ１）に見られる、高電圧の急峻な変化直後のリンギング状の振動は、前記トランス（Ｌｔｂ）の前記１次側巻線（Ｌｐｕ，Ｌｐｖ）および前記２次側巻線（Ｌｓ）の間の漏洩インダクタンスと、主として前記エキシマランプ（Ｙ１）の静電容量とで構成されるＬＣ共振に起因するものと考えられる。  
【００４５】
次に、本発明のエキシマ光源装置の一部の構成を簡略化して示す回路図である図７を用いて、先に図２に基づいて述べた前記エキシマ光源セット（Ｕ１）の更なる具体的構成につき、以下において説明する。  
なお、前記エキシマ光源セット（Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ）など、他のエキシマ光源セットの構成についても以下の記載するものと同様にすることができる。  
【００４６】
本図では、インバータ（Ｕｉ１）の回路方式として、スイッチ素子（Ｑｗ）がトランス（Ｌｔｆ）の１次側巻線（Ｌｐ）に直列に接続され、前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオン期間にＤＣ電源（Ｍｘ）から流れ込む電流により前記トランス（Ｌｔｆ）に蓄積された磁気エネルギーを、前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオフ遷移時に２次側巻線（Ｌｓ）に解放することにより、急峻な変化を行う波形を呈する高電圧パルスを発生する、フライバック方式のものを記載してある。  
エキシマランプ（Ｙ１）は、前記トランス（Ｌｔｆ）の２次側に接続するが、前記した高電圧パルスの強度に相関する量として、前記エキシマランプ（Ｙ１）に流れる電流のピーク値を検出するための出力強度検出回路（Ｖｏ）を、その電流経路に挿入してある。  
【００４７】
前記スイッチ素子（Ｑｗ）のゲート駆動回路（Ｇｗ）に入力されるスイッチゲート信号（Ｓｈ１）は、前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）から送られて来た駆動タイミング信号（Ｓｔ１）を受けて、インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１）が生成する。  
前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１）では、駆動タイミング信号（Ｓｔ１）のハイレベルの期間中にバッファ（Ｈｊ１）およびダイオード（Ｄｊ１）を介してコンデンサ（Ｃｊ１）に充電されていた電荷が、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）のパルス開始タイミングである前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）の立下りの時点（ｔｊ１）より、抵抗（Ｒｊ１）を介して放電されることにより、前記コンデンサ（Ｃｊ１）の端子電圧であるコンデンサ電圧信号（Ｓｊｖ）は、指数関数的な時間変化で低下して行く。  
この様子、および以降において述べる動作の様子は、前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１）および前記インバータ（Ｕｉ１）の動作を説明するための、本発明のエキシマ光源装置の一部の動作を簡略化して示すタイミング図である図８に記載のようである。  
【００４８】
比較器（Ａｊ１）は、前記コンデンサ電圧信号（Ｓｊｖ）と、後述するように生成される閾値電圧信号（Ｓｊｔ）とを比較し、前者の方が後者より低くなるとローレベルになる比較信号（Ｓｊａ）を出力する。  
したがって、前記時点（ｔｊ１）以降、前記比較信号（Ｓｊａ）がローレベルになる時点（ｔｊ２）までの待機期間（Ｔｘ）は可変であり、前記閾値電圧信号（Ｓｊｔ）が高いほど短くなる。  
したがって、いま前記バッファ（Ｈｊ１）から前記比較器（Ａｊ１）に至るまで述べた回路は、可変遅延回路（Ｕｊｄ）を構成している。  
【００４９】
前記スイッチゲート信号（Ｓｈ１）は負論理ＡＮＤゲート（Ｈｊ２）の出力信号として生成され、この信号は、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）と前記比較信号（Ｓｊａ）の両方がローレベルである場合にハイレベルとなる。  
そのため結局、前記スイッチゲート信号（Ｓｈ１）は、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）のパルス開始タイミングである前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）の立下りの前記時点（ｔｊ１）より、前記待機期間（Ｔｘ）だけ遅延してハイレベルとなり、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）のパルス終了タイミングである前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）の立上りの時点（ｔｊ３）においてローレベルに戻る信号となる。  
ただし、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）のローレベルの時間幅（Ｔｗ）は一定である。  
【００５０】
前記したように、前記スイッチゲート信号（Ｓｈ１）がハイレベルである期間に前記トランス（Ｌｔｆ）に磁気エネルギーを蓄積し、前記スイッチゲート信号（Ｓｈ１）がローレベルに戻った時にそれを解放して前記２次側巻線（Ｌｓ）に急峻な変化を行う波形を呈する高電圧パルスを発生するため、前記インバータ（Ｕｉ１）における、概念的なランプ電圧波形（Ｖｄ１）は、図８に記載のようになる。  
本図を見れば容易に確認できるように、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）のハイレベルへの移行のタイミングを受けて前記ランプ電圧波形（Ｖｄ１）は急峻な電圧変化を呈しており、したがって、図４に記載の前記エキシマ光源セット（Ｕ１）は、図２および図３について述べた本発明のエキシマ光源装置を実現するものであることが判る。  
【００５１】
一方、前記出力強度検出回路（Ｖｏ）においては、前記時点（ｔｊ３）の直後に前記エキシマランプ（Ｙ１）に流れる電流によってシャント抵抗で発生する電圧を保持するための、ダイオードとコンデンサによる簡単なピークホールド回路を構成しており、保持された電圧を出力強度信号（Ｓｏ）として出力する。  
【００５２】
前記出力強度信号（Ｓｏ）は、抵抗（Ｒｊ２）を介して演算増幅器（Ａｊ２）の反転入力端子に接続される。  
前記出力強度信号（Ｓｏ）の目標値に相関する、負電圧を発生する電圧源（Ｖｊ）の電圧が抵抗（Ｒｊ３）を介して、同じく前記演算増幅器（Ａｊ２）の反転入力端子に接続される。  
さらに、前記演算増幅器（Ａｊ２）の反転入力端子には、その出力が積分コンデンサ（Ｃｊ２）を介してフィードバックされているため、前記演算増幅器（Ａｊ２）の出力信号である前記閾値電圧信号（Ｓｊｔ）は、前記出力強度信号（Ｓｏ）の目標値からの誤差を積分した誤差積分信号としての情報を有することが判る。  
【００５３】
したがって、もし前記出力強度信号（Ｓｏ）が目標値より小さい場合は、前記閾値電圧信号（Ｓｊｔ）が上昇し、これがが上昇すると前記待機期間（Ｔｘ）は短くなる。  
一方、前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオン期間（Ｔｙ）は、前記スイッチゲート信号（Ｓｈ１）のハイレベル時間幅に等しく、これは前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）がローレベルである期間から前記待機期間（Ｔｘ）を差し引いたものである。  
よって、前記待機期間（Ｔｘ）が短くなるほど前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオン期間（Ｔｙ）は長くなり、前記トランス（Ｌｔｆ）に蓄積される磁気エネルギーが増加するため、前記スイッチゲート信号（Ｓｈ１）がローレベルに戻った時に発生するパルス電圧が高くなる。  
その結果、前記エキシマランプ（Ｙ１）に流れる電流も増加し、前記出力強度信号（Ｓｏ）が大きくなって目標値に近づくことになる。  
当然、前記出力強度信号（Ｓｏ）が目標値より大きい場合は、逆の動作を行って、前記出力強度信号（Ｓｏ）が小さくなって目標値に近づくことになり、前記出力強度信号（Ｓｏ）が目標値に維持されるよう、前記待機期間（Ｔｘ）の長さを介してフィードバック制御が達成されることが判る。  
ただし、前記オン期間（Ｔｙ）の、生じ得る時間長さの最大値に対し、それよりも長く前記時間幅（Ｔｗ）を設定する必要がある。  
【００５４】
なお、図７に記載の回路のままでは、ランプの消灯状態から点灯を開始する直前の時点では、前記出力強度信号（Ｓｏ）が検出されていないことに起因して、前記演算増幅器（Ａｊ２）による誤差積分信号回路が高電圧パルスの強度を増す方向に飽和しているため、最大電力状態から点灯を開始し、その後、フィードバック制御により、目標電力まで低下するように動作することになる。  
しかし、この動作はあまり好ましくないため、例えば、消灯状態では、前記演算増幅器（Ａｊ２）の反転入力端子に、前記電圧源（Ｖｊ）からの電流を打消すような電流を流し込む回路を追加したり、あるいは、前記電圧源（Ｖｊ）が、消灯状態では、前記出力強度信号（Ｓｏ）の目標値として負の値に相当する電圧を発生させるようにしたりすることにより、前記誤差積分信号回路が高電圧パルスの強度を減ずる方向に飽和するようにしておくことにより、最低電力状態から点灯を開始し、その後、フィードバック制御により、目標電力まで上昇するように構成することが好適である。  
【００５５】
ところで、図７に記載の前記エキシマ光源セット（Ｕ１）においては、前記した高電圧パルスの強度に相関する前記出力強度信号（Ｓｏ）を、前記エキシマランプ（Ｙ１）に流れる電流から生成するもの示したが、例えば前記スイッチ素子（Ｑｗ）のソース・ドレイン間電圧、すなわち前記スイッチ素子（Ｑｗ）と前記１次側巻線（Ｌｐ）との接続ノードの電位を検出するよう出力強度検出回路（Ｖｏ）を設けるようにしてもよく、各部の具体的波形に鑑みて、高電圧パルスの強度への相関の良い出力強度信号（Ｓｏ）を生成するよう工夫することができる。  
【００５６】
ここで、重要な点を補足しておく。  
フライバック回路の場合、前記したように、前記スイッチ素子（Ｑｗ）がオン状態である期間に前記トランス（Ｌｔｆ）に磁気エネルギーが蓄積されるため、前記エキシマランプ（Ｙ１）への供給電力を前記エキシマ光源セット（Ｕ１）毎に独立に調整できるためには、前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオン遷移とオフ遷移の両方のタイミングを、外部の回路である前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）が規定することは不可能である。  
急峻な変化を行う波形を呈する高電圧パルスを発生するのは、前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオフ遷移のタイミングであるから、このタイミングを前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）によって、前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）から前記エキシマ光源セット（Ｕ１）に伝える必要がある。  
しかし、そのタイミングよりも前に、前記エキシマ光源セット（Ｕ１）自身が前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオン遷移を発生させ、丁度良い磁気エネルギーが蓄積された時点で、前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）から前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオフ遷移のタイミングが伝えられるようにしなければならず、一見すると、これは因果律に反する要求のように見える。  
本発明では、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）を一定の時間幅（Ｔｗ）を有するパルスとし、その開始タイミングから待機期間（Ｔｘ）の遅延を伴って前記スイッチ素子（Ｑｗ）をオン遷移させた後、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１）のパルス終了タイミングで前記スイッチ素子（Ｑｗ）をオフ遷移させるよう構成し、前記待機期間（Ｔｘ）が可変で、フィードバック制御によって自動調整されるようにする、という非常に巧妙な方法により、前記した不可能とも思える要求を満足させたものである。  
【００５７】
なお、いま述べたような、前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオン期間（Ｔｙ）の適正値は予め決めておくことが出来ないにも係わらず、前記スイッチ素子（Ｑｗ）をオフ遷移させるタイミングを、前記エキシマ光源セット（Ｕ１）の外部からの前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）のパルス終了タイミングで規定できる構成とすることの利点は、もし、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）のパルス開始タイミングで前記スイッチ素子（Ｑｗ）をオン遷移させた後、前記トランス（Ｌｔｆ）に蓄積された磁気エネルギーが適正値になった時点で、前記スイッチ素子（Ｑｗ）を自動的にオフ遷移するように構成されていたならば、前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオン期間（Ｔｙ）の長さの、インバータ毎のバラツキが大きい場合には、駆動タイミング信号（Ｓｔ１）のパルス開始タイミングで先にオン遷移させた、あるスイッチ素子のオン期間（Ｔｙ）が長く、一方、駆動タイミング信号（Ｓｔ２）のパルス開始タイミングで後からオン遷移させた、他のスイッチ素子のオン期間（Ｔｙ）が短く、そのため例えば、両方のスイッチ素子がほとんど同時にオフ遷移してしまう、というような事象の発生を回避できることである。  
したがって、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）がフライバック回路である場合でも、前記スイッチ素子（Ｑｗ）のオン期間（Ｔｙ）の長さのインバータ毎のバラツキの最大値が、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）の相互間の時間間隔の最小値よりも小さく、したがって先にオン遷移させたスイッチ素子と後からオン遷移させたスイッチ素子とが同時にオフ遷移することが起こり得ない場合は、高電圧の急峻な変化のタイミングを正確に制御できない点を厭わなければ、前記したように、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）のパルス開始タイミングで前記スイッチ素子（Ｑｗ）をオン遷移させた後、前記トランス（Ｌｔｆ）に蓄積された磁気エネルギーが適正値になった時点で、前記スイッチ素子（Ｑｗ）を自動的にオフ遷移するように構成しても構わない。  
【００５８】
そのようなエキシマ光源セット（Ｕ１）の構成例を、本発明のエキシマ光源装置の一部の構成を簡略化して示す回路図である図９に示してあり、その動作は以下のようである。  
駆動タイミング信号（Ｓｔ１）は、時間幅の短いローレベルのパルス信号であるとして、これがＲＳフリップフロップ（Ｈｋ）のセット端子に入力されると、直ちにスイッチゲート信号（Ｓｈ１）がハイレベルにセットされ、ゲート駆動回路（Ｇｗ）を介してスイッチ素子（Ｑｗ）がオン状態になってトランス（Ｌｔｆ）への磁気エネルギーの蓄積が開始される。  
蓄積エネルギーは、トランス（Ｌｔｆ）の１次側巻線（Ｌｐ）に流れる電流の大きさに相関するから、その電流を電流検出抵抗（Ｒｋ）によって電圧に変換した電流検出信号（Ｓｋｉ）として検出し、これと、トランス（Ｌｔｆ）に蓄積されたエネルギー量の規定値に相当する閾値信号電圧源（Ｖｋ）の電圧とを比較できるよう比較器（Ａｋ）を設けてある。  
そして、前記電流検出信号（Ｓｋｉ）が前記閾値信号電圧源（Ｖｋ）の電圧を超過すると、前記比較器（Ａｋ）の比較結果出力である蓄積完了信号（Ｓｋｅ）がローレベルになり、この信号が前記ＲＳフリップフロップ（Ｈｋ）のリセット端子に入力されると、直ちに前記スイッチゲート信号（Ｓｈ１）がローレベルにリセットされ、前記スイッチ素子（Ｑｗ）がオフ状態になって、２次側巻線（Ｌｓ）に急峻な変化を行う波形を呈する高電圧パルスを発生する。  
【００５９】
次に、本発明のエキシマ光源装置の一部の構成を簡略化して示す回路図である図１０を用いて、改良した本エキシマ光源装置の構成について説明する。  
図２に記載した前記光源駆動グループ（Ｐ２）には、２個の前記エキシマ光源セット（Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ）が含まれる場合を例示した。  
両方の前記エキシマ光源セット（Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ）の構成が、同じ（例えば、両方とも図４に記載のもの、または両方とも図７に記載のもの）であっても、あるいは相違したもの（例えば、一方が図４に記載のもので、他方が図７に記載のもの）であっても、前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）からは、両方に対して同じ駆動タイミング信号（Ｓｔ２）が供給されているため、この信号で規定された同じタイミングで前記した高電圧の急峻な変化を誘起するスイッチ素子の遷移が、前記エキシマ光源セット（Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ）の両方で生じる。  
そうであっても、その結果生ずるノイズが、規定の許容水準未満であれば何も問題は無いが、その場合でも、可能な限りノイズ水準を下げることが望ましい。  
【００６０】
図１０は前記駆動タイミング信号（Ｓｔ２）の立上りおよび立下りのタイミングに遅延を与える遷移タイミング遅延回路（Ｕｄ２Ｂ）の一例を示したもので、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ２）をバッファ（Ｂｄ１）で受け、抵抗（Ｒｄ１）とコンデンサ（Ｃｄ１）とを用いて信号の立上りと立下りにアナログ的な遅延を与え、シュミットトリガバッファ（Ｂｄ２）でディジタル信号に戻す簡単な回路である。  
図２に破線で記載したように、この回路を前記エキシマ光源セット（Ｕ２ｂ）に入力される前記駆動タイミング信号（Ｓｔ２）に対して挿入することにより、前記した高電圧の急峻な変化を誘起するスイッチ素子の遷移タイミングについて、前記エキシマ光源セット（Ｕ２ａ）におけるものに対し、前記エキシマ光源セット（Ｕ２ｂ）におけるものには遅延が生じる。  
【００６１】
この様子を本発明のエキシマ光源装置の一部の動作を簡略化して示すタイミング図である図１１に示す。  
この図は、図２に対応して、前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の前記エキシマ光源セット（Ｕ１，Ｕ２ａ，Ｕ２ｂ，Ｕ３）における前記スイッチゲート信号（Ｓｈ１，Ｓｈ２，Ｓｈ２’，Ｓｈ３）とランプ電圧波形（Ｖｄ１，Ｖｄ２ａ，Ｖｄ２ｂ，Ｖｄ３）とを描いてある。  
前記エキシマ光源セット（Ｕ２ａ）における前記スイッチゲート信号（Ｓｈ２）に対し、前記エキシマ光源セット（Ｕ２ｂ）における前記スイッチゲート信号（Ｓｈ２’）には、遅延時間（Ｔｄ）だけのタイミングのずれが付与されており、その結果、スイッチ素子の遷移タイミングがずれて、前記ランプ電圧波形（Ｖｄ１，Ｖｄ２ａ，Ｖｄ２ｂ，Ｖｄ３）の高電圧の急峻な変化のタイミングが全て分散され、ノイズ水準の低減が可能となる。  
【００６２】
ここでは、光源駆動グループに２個のエキシマ光源セットが所属している場合に、そのうちの１個に遷移タイミング遅延回路を挿入する例を示したが、例えば、光源駆動グループに３個のエキシマ光源セットが所属している場合には、そのうちの２個に、遅延時間が異なる遷移タイミング遅延回路を挿入するようにすればよく、さらに個数が増えた場合でも同様に構成すればよい。  
なお、遷移タイミング遅延回路が付与する遅延時間は、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）のうちの、タイミングが隣り合うものの時間差よりも小さくすべきである。  
【００６３】
次に、本発明のエキシマ光源装置の一部の構成を簡略化して示す回路図である図１２を用いて、前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）の構成方法の一例について説明する。  
前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）の機能は、前記したように前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の全てに対して前記した遷移タイミングの周波数が同一で、かつ前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の何れの２個に対しても前記した遷移タイミングが同時にならない前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を生成することであり、例えば、光源駆動グループの数が４程度までであれば、マイクロプロセッサにタイマ割込みを掛けるようにして前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を生成することは容易である。  
しかし、光源駆動グループの数がそれより有意に大きくなると、この方法による実現は困難になり、以下に述べるような構成方法が有利となる。  
【００６４】
いま、前記光源駆動グループの数が７個あるとして、７チャンネルの駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，…，Ｓｔ７）を生成する場合を想定する。  
このとき、Ｔ入力が真（ここではハイレベルＶｃｃ）であるときにクロックパルス信号の立上りで出力が反転するＴフリップフロップ（Ｆｃ１，Ｆｃ２，Ｆｃ３）、およびＡＮＤ論理ゲート（Ｈｃ１）を接続して構成された、同期８進カウンタ構成の分周回路（Ｕｆｎ）に対し、水晶振動子などを含んで構成される発振回路（Ｏｓｃ）からのクロックパルス信号（Ｓｃｋ）を供給することにより、前記クロックパルス信号（Ｓｃｋ）が８分周された分周信号（Ｓｄｖ）を生成することができる。  
また、６段の遅延フリップフロップ（Ｆｓ１，Ｆｓ２，…，Ｆｓ６）を接続して構成されたシフトレジスタ（Ｕｆｓ）にも前記クロックパルス信号（Ｓｃｋ）を供給し、これによって前記分周信号（Ｓｄｖ）を順次シフトすることにより、前記した７チャンネルの駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，…，Ｓｔ７）を生成する統合タイミング生成回路（Ｆｔ）を構成することができる。  
【００６５】
前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，…，Ｓｔ７）の様子は本発明のエキシマ光源装置の一部の動作を簡略化して示すタイミング図である図１３に示すようである。  
前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，…，Ｓｔ７）の立上りの時点（ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４，ｔ５，ｔ６，ｔ７）および時点（ｔ１’，ｔ２’，ｔ３’，ｔ４’，ｔ５’，ｔ６’，ｔ７’）、時点（ｔ１”，ｔ２”，…）をまとめて並べた、本図の最下段のチャートを見れば判るように、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，…，Ｓｔ７）の立上りまたは立下りタイミングが不均等に発生している。  
このような不均等が生じたのは、前記分周信号（Ｓｄｖ）および前記遅延フリップフロップ（Ｆｓ１，Ｆｓ２，…，Ｆｓ６）の各段の出力を合わせた信号の数が、前記分周回路（Ｕｆｎ）の分周比より小さい事が原因であるが、このように不均等であっても何ら問題は無い。  
もし、均等にしたい場合は、前記遅延フリップフロップ（Ｆｓ１，Ｆｓ２，…，Ｆｓ６）の各段の出力を合わせた信号の数と同じになるよう、前記分周回路（Ｕｆｎ）の分周比を設定すればよい。  
【００６６】
先の例で、前記分周回路（Ｕｆｎ）をＴフリップフロップで構成するものを示したのは、単に記載の簡略化のためであり、他の形式のフリップフロップを用いてもよく、さらにプリセッタブルカウンタＩＣを用いて、任意の分周比を設定可能なように構成することもできる。  
因みに、Ｔフリップフロップは、ＪＫフリップフロップのＪ端子とＫ端子とを接続して１個の入力端子、すなわちＴ端子としたものと等価である。  
なお、図１３における時点（ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４）および時点（ｔ１’，ｔ２’，ｔ３’，ｔ４’）は、図３における同じ記号のものとは直接の関係は無い。  
【００６７】
次に、本発明のエキシマ光源装置の実施例の一形態を簡略化して示す図である図１４を用いて、本エキシマ光源装置の構成について説明する。  
前記した網状パターンに印刷した金属ペーストの固化体等による光透過性の電極を有するエキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，…）が、高輝アルミニウム等の光反射率の高い金属板等を材料とする、１枚の大きな光反射体（Ｂ２）の前に並べて配置されている。  
前記光反射体（Ｂ２）は電気的に接地されており、前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，…）の一方の電極は前記光反射体（Ｂ２）に接続されている。  
前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，…）で発生した光は、窓（Ｂ３）を通して外部に取り出される。  
【００６８】
前記エキシマ光源セットのうちのランプを除いた電気回路部（前記インバータスイッチ制御回路および、前記インバータなどで、図４に記載の方式のものの場合はさらに前記ＤＣ・ＤＣコンバータ）をそれぞれ構成要素として含む駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）が、前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，…）それぞれに対応して設けられる。  
ただし、前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）のそれぞれに含まれる前記インバータの前記スイッチ素子は、発生した熱を逃がすためのヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）に固着される。  
前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）内の全ての回路素子は１枚のプリント配線板に実装され、さらにネジ止め等により、それを前記ヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）に固定するようにすることにより、前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）と前記ヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）とが一体のモジュールを成し、前記ヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）が前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）のホルダを兼ねるように構成することが、前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）の個数が多い場合にとりわけ好適である。  
そして前記ヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）に載せられた前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）からなる前記モジュールは、固定板を兼ねた１枚の大きな放熱体（Ｂ１）の上に、これと前記ヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）との間で良好な熱的接触を形成するような強固な固定方法で、並べて配置されている。  
【００６９】
前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）それぞれに含まれる前記トランスの前記２次側巻線の一端は前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，…）の一方の電極にケーブル等によって接続され、前記２次側巻線の他端は接地されることにより、前記光反射体（Ｂ２）を介して前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，…）への給電経路が確保される。  
ＤＣ電源（Ｍｘ）は、前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）の全体に共通のものが設置される。  
また、統合タイミング生成回路（Ｆｔ）からは、駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）が前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）のそれぞれに向けて送信される。  
【００７０】
前記したように、主としてトランスのコアの磁歪に起因する振動が前記駆動回路部（Ｕｅ１，Ｕｅ２，Ｕｅ３，…）で発生し、それが前記ヒートシンク（Ｂｈ１，Ｂｈ２，Ｂｈ３，…）を介して伝えられて前記放熱体（Ｂ１）が振動する。  
また、前記エキシマランプ（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，…）のそれぞれの放電空間において発生する、放電時の急峻なガスの膨張による振動が伝えられて前記光反射体（Ｂ２）が振動する。  
前記放熱体（Ｂ１）や前記光反射体（Ｂ２）がそれぞれ１枚の大きな板状のものであるため、スピーカのように働いて振動を助長する。  
【００７１】
もし、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）のなかに周波数の異なるものが含まれている形態の場合、その差周波数が可聴域に入る可能性があり、非常に耳障りな音鳴りを発することになる。  
さらにこの形態の場合、前記したように、前記した２個のスイッチ素子のほぼ同時のオン遷移またはオフ遷移に伴うノイズ発生と、それに伴うＤＣ・ＤＣコンバータ制御の擾乱とからなる現象が発生する不都合がある。  
【００７２】
しかし本発明に従ってエキシマ光源装置を構成すれば、前記したように、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）は、前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の全てに対して前記した遷移タイミングの周波数が同一で、かつ前記光源駆動グループ（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…）の何れの２個に対しても前記した遷移タイミングが同時にならないように生成されるため、差周波数というものがそもそも存在せず、発生する振動は、基本周波数およびその高調波のみで、全て可聴域よりも高いため、音鳴りが最低限に抑えられる。  
また、前記した２個のスイッチ素子のほぼ同時のオン遷移またはオフ遷移に伴うノイズ発生と、それに伴うＤＣ・ＤＣコンバータ制御の擾乱とからなる現象が発生しないため、ノイズ対策や回路動作の安定化対策が容易となる。  
【００７３】
本発明を利用して実用的なエキシマ光源装置を実現させる際の補足を述べる。  
本発明のエキシマ光源装置に含まれる前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）は、前記したように他励式である必要があり、そのため、もし何らかの事情により前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）から前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を正常に受信できなかった場合は、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）が全く動かないため、本エキシマ光源装置が機能しないだけでなく、条件によっては前記トランス（Ｌｔｂ，Ｌｔｆ）のコアが磁気飽和を起こして前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）に過電流が流れ、破損に至る可能性もある。  
【００７４】
このような事態を避けるため、本発明の範囲内の事項として実施できる工夫の一例して、前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）は、経過時間を測定するタイマ回路であって、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を受信すると経過時間情報がリセットされるタイマ回路を有し、該タイマ回路は、所定上限時間の計時を満了したときには、前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）を受信した際に前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）が行う動作を前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）に行わせしめるとともに、経過時間情報をリセットするように構成し、かつ前記所定上限時間として、前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）の正常な活動状態における前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）の最大周期よりも長い時間を設定するとよい。  
【００７５】
このように前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）を構成しておけば、前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）の正常な活動状態においては、前記所定上限時間よりも短い時間間隔で前記駆動タイミング信号（Ｓｔ１，Ｓｔ２，Ｓｔ３，…）が到来するため、前記タイマ回路は、前記所定上限時間の計時を満了することなく経過時間情報のリセットが繰り返されるだけであるが、もし前記統合タイミング生成回路（Ｆｔ）が停止してしまったり、信号伝達に不具合が生じた場合には、前記インバータスイッチ制御回路（Ｕｈ１，Ｕｈ２ａ，Ｕｈ２ｂ，…）はあたかも前記所定上限時間を周期とする駆動タイミング信号を受信しているかの如く前記スイッチゲート信号（Ｓｈ１，Ｓｈ２，Ｓｈ２’，…）を生成し、前記インバータ（Ｕｉ１，Ｕｉ２ａ，Ｕｉ２ｂ，…）が動作するため、所期の性能には達しないまでも、本エキシマ光源装置は最低限の機能を果たすことができ、少なくとも前記したような前記スイッチ素子（Ｑｕ，Ｑｖ，Ｑｗ）の破損を回避することができる。  
【００７６】
本明細書に記載の回路構成は、本発明の光源装置の動作や機能、作用を説明することを目的として、必要最少限のものを記載したものである。  
したがって、説明した回路構成や動作の詳細事項、例えば、信号の極性であるとか、具体的な回路素子の選択や追加、省略、或いは素子の入手の便や経済的理由に基づく変更などの創意工夫は、実際の装置の設計時に遂行されることを前提としている。  
【００７７】
とりわけ過電圧や過電流、過熱などの破損要因から給電装置のＦＥＴ等のスイッチ素子などの回路素子を保護するための機構、または、給電装置の回路素子の動作に伴って発生する放射ノイズや伝導ノイズの発生を低減したり、発生したノイズを外部に出さないための機構、例えば、スナバ回路やバリスタ、クランプダイオード、（パルスバイパルス方式を含む）電流制限回路、コモンモードまたはノーマルモードのノイズフィルタチョークコイル、ノイズフィルタコンデンサなどは、必要に応じて、実施例に記載の回路構成の各部に追加されることを前提としている。  
【００７８】
本発明になるエキシマ光源装置の構成は、本明細書に記載の回路方式のものに限定されるものではなく、また、記載の波形やタイミング図に限定されるものではない。  
特に波形の極性や、信号を正論理とするか負論理とするか、あるいは動作させるタイミングを信号の立上りとするか立ち下がりとするか、等々については、設計上の都合に合わせて任意に決めればよいことである。  
【００７９】
また、１個のエキシマランプを１個のインバータで駆動することが有利である旨を述べたが、本発明の範囲内の事項として実施できる工夫の一例して、１個のインバータで好適に駆動することが可能な１個のエキシマランプであっても、例えば寸法制約等の事情に合わせて、複数のランプに分割してもよい。  
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明は、ＵＶオゾン洗浄、ＵＶ表面改質、ＵＶ硬化、ＵＶ殺菌、ＵＶ治療などの分野において利用可能なＵＶ（紫外域の）光を発生して、もしくは発生したＵＶ光を他の波長に変換して、それを照射する装置を構成する際に好適な光源であるエキシマランプの、その複数本を同時点灯するエキシマ光源装置を設計・製造する産業において利用可能である。  
【符号の説明】
【００８１】
Ａｊ１    比較器
Ａｊ２    演算増幅器
Ａｋ      比較器
Ｂ１      放熱体
Ｂ２      光反射体
Ｂ３      窓
Ｂｄ１    バッファ
Ｂｄ２    シュミットトリガバッファ
Ｂｈ１    ヒートシンク
Ｂｈ２    ヒートシンク
Ｂｈ３    ヒートシンク
Ｃｄ１    コンデンサ
Ｃｊ１    コンデンサ
Ｃｊ２    積分コンデンサ
Ｃｘ      平滑コンデンサ
Ｄｊ１    ダイオード
Ｄｘ      ダイオード
Ｆｃ１    Ｔフリップフロップ
Ｆｃ２    Ｔフリップフロップ
Ｆｃ３    Ｔフリップフロップ
Ｆｈ      遅延フリップフロップ
Ｆｓ１    遅延フリップフロップ
Ｆｓ２    遅延フリップフロップ
Ｆｓ６    遅延フリップフロップ
Ｆｔ      統合タイミング生成回路
Ｇｕ      ゲート駆動回路
Ｇｕ’    ゲート駆動回路
Ｇｖ      ゲート駆動回路
Ｇｖ’    ゲート駆動回路
Ｇｗ      ゲート駆動回路
Ｇｘ      ゲート駆動回路
Ｈｃ１    ＡＮＤ論理ゲート
Ｈｊ１    バッファ
Ｈｊ２    負論理ＡＮＤゲート
Ｈｋ      ＲＳフリップフロップ
Ｈｕ      ＡＮＤ論理ゲート
Ｈｖ      ＡＮＤ論理ゲート
Ｌｐ      １次側巻線
Ｌｐｕ    １次側巻線
Ｌｐｖ    １次側巻線
Ｌｓ      ２次側巻線
Ｌｔ      トランス
Ｌｔｂ    トランス
Ｌｔｆ    トランス
Ｌｘ      インダクタ
Ｍｘ      ＤＣ電源
Ｏｓｃ    発振回路
Ｐ１      光源駆動グループ
Ｐ２      光源駆動グループ
Ｐ３      光源駆動グループ
Ｑｕ      スイッチ素子
Ｑｕ’    スイッチ素子
Ｑｖ      スイッチ素子
Ｑｖ’    スイッチ素子
Ｑｗ      スイッチ素子
Ｑｘ      スイッチ素子
Ｒｄ１    抵抗
Ｒｊ１    抵抗
Ｒｊ２    抵抗
Ｒｊ３    抵抗
Ｒｋ      電流検出抵抗
Ｓｃｋ    クロックパルス信号
Ｓｄ      フリップフロップ出力信号
Ｓｄ＊    フリップフロップ出力信号
Ｓｄｖ    分周信号
Ｓｇｘ    ゲート信号
Ｓｈ１    スイッチゲート信号
Ｓｈ２    スイッチゲート信号
Ｓｈ２’  スイッチゲート信号
Ｓｈ３    スイッチゲート信号
Ｓｈｕ    極性別スイッチゲート信号
Ｓｈｖ    極性別スイッチゲート信号
Ｓｊａ    比較信号
Ｓｊｔ    閾値電圧信号
Ｓｊｖ    コンデンサ電圧信号
Ｓｋｅ    蓄積完了信号
Ｓｋｉ    電流検出信号
Ｓｏ      出力強度信号
Ｓｔ１    駆動タイミング信号
Ｓｔ２    駆動タイミング信号
Ｓｔ３    駆動タイミング信号
Ｓｔ４    駆動タイミング信号
Ｓｔ７    駆動タイミング信号
Ｓｖ      チョッパ電圧検出信号
ｔ１      時点
Ｔ１      ノード
ｔ１’    時点
ｔ１”    時点
ｔ２      時点
Ｔ２      ノード
ｔ２’    時点
ｔ２”    時点
ｔ３      時点
ｔ３’    時点
ｔ４      時点
ｔ４’    時点
ｔ５      時点
ｔ５’    時点
ｔ６      時点
ｔ６’    時点
ｔ７      時点
ｔ７’    時点
Ｔｄ      遅延時間
ｔｊ１    時点
ｔｊ２    時点
ｔｊ３    時点
Ｔｗ      時間幅
Ｔｘ      待機期間
Ｔｙ      オン期間
Ｕ１      エキシマ光源セット
Ｕ２ａ    エキシマ光源セット
Ｕ２ｂ    エキシマ光源セット
Ｕ３      エキシマ光源セット
Ｕｃ１    ＤＣコンバータ
Ｕｃｘ    コンバータ制御回路
Ｕｄ２Ｂ  遷移タイミング遅延回路
Ｕｅ１    駆動回路部
Ｕｅ２    駆動回路部
Ｕｅ３    駆動回路部
Ｕｆｎ    分周回路
Ｕｆｓ    シフトレジスタ
Ｕｈ１    インバータスイッチ制御回路
Ｕｈ２ａ  インバータスイッチ制御回路
Ｕｈ２ｂ  インバータスイッチ制御回路
Ｕｉ１    インバータ
Ｕｉ２ａ  インバータ
Ｕｉ２ｂ  インバータ
Ｕｊｄ    可変遅延回路
Ｖｄ１    ランプ電圧波形
Ｖｄ２    ランプ電圧波形
Ｖｄ２ａ  ランプ電圧波形
Ｖｄ２ｂ  ランプ電圧波形
Ｖｄ３    ランプ電圧波形
Ｖｄ４    ランプ電圧波形
Ｖｊ      電圧源
Ｖｋ      閾値信号電圧源
Ｖｏ      出力強度検出回路
Ｖｘ      電圧検出手段
Ｙ        エキシマランプ
Ｙ１      エキシマランプ
Ｙ２      エキシマランプ
Ｙ２ａ    エキシマランプ
Ｙ２ｂ    エキシマランプ
Ｙ３      エキシマランプ
Ｙｂ      誘電体
Ｙｅ１    電極
Ｙｅ２    電極
Ｙｇ      放電空間
Ｙｔ      バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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