(57)【要約】【課題】開口部の口径が異なる検査対象に対応可能であるジョイント装置を提供する。【解決手段】ジョイント装置１は、漏れ検査の検査対象が備える筒状の開口部２０１に接続されるものであり、開口部２０１に挿入される管部１１と、管部１１の外周を囲むように配置された膨張封止体２１と、ハウジング部１３、３３とを備えている。ハウジング部１３、３３は、管部１１に検査ガスを供給するためのガス流路１３３と、膨張封止体２１に流体を供給するための流体流路１３４、３３１とを有する。膨張封止体２１は、内部に流体を供給されることによって膨張し、管部１１の先端部分１１１の外周面１１２と開口部２０１の内周面２０５との間を気密に封止可能である。【選択図】図２
2015148586.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
漏れ検査が行われる検査対象（２００）に検査ガスを供給するために、当該検査対象が有する筒状の開口部（２０１）に接続されるジョイント装置（１）であって、
一端が前記開口部に挿入される管部（１１）と、
前記管部の外周を囲むように配置され、内部に流体を供給されることによって膨張し、前記管部の前記一端の外周面（１１２）と前記開口部の内周面（２０５）との間を気密に封止可能な膨張封止体（２０）と、
前記管部に検査ガスを供給するためのガス流路（１３３）、および、前記膨張封止体に流体を供給するための流体流路（１３４、３３１）を有するハウジング部（１３、３３）と、
を備えていることを特徴とするジョイント装置。
【請求項２】
前記管部の前記一端が前記開口部に挿入された状態で前記開口部の外周面に当接可能な当接部（４５１、６５２）を有しており、前記管部の径方向における前記当接部の位置は可変である、３つ以上の回動可能な爪部（４５、６５）と、
前記管部の軸方向に移動可能であり、前記軸方向に沿って前記管部の軸心（ａ）からの距離が異なっている傾斜面（４６１、６５１）を有しており、前記傾斜面が前記爪部と係合することで前記当接部の位置を保持するガイド部（４６、６５）と、
をさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載のジョイント装置。
【請求項３】
前記ガイド部は、前記傾斜面において前記軸方向および前記径方向の異なる位置に形成された複数の弧状溝（４６２）を有していること
を特徴とする請求項２に記載のジョイント装置。
【請求項４】
前記傾斜面は平面であり、
前記爪部は、前記当接部よりも回動軸に近い位置に配置された、前記傾斜面と係合している係合部（６５３）をさらに有していること
を特徴とする請求項２に記載のジョイント装置。
【請求項５】
前記ガイド部を前記軸方向に付勢している第１付勢手段（４３、４８）と、
前記爪部を前記傾斜面に向かって付勢している第２付勢手段（４７、６７）と、をさらに備えており、
互いに係合している前記爪部及び前記ガイド部において、前記ガイド部が受ける前記第１付勢手段の付勢力は、前記爪部が受ける前記第２付勢手段の付勢力よりも大きいこと
を特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載のジョイント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、漏れ検査が行われる検査対象に検査ガスを供給するためのジョイント装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体を内部に流通させるための気密性を要する製品に対しては、漏れ検査が行われている。漏れ検査としては、検査対象にＨｅガス等の検査ガスを充填し、検査対象から漏れ出た検査ガスを検出する方法が知られている。
【０００３】
特許文献１は、熱交換器に検査ガスを供給するために、熱交換器が有する筒状の開口部に接続されるジョイント装置を開示している。特許文献１のジョイント装置は、熱交換器の開口部に挿入され、先端から検査ガスを送り出す管部を備えている。また、特許文献１のジョイント装置では、熱交換器の開口部と管部との間の気密性を確保するために、管部の外径は開口部の口径と等しく、管部の周りにはＯリングが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２５４９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、開口部の口径が異なる複数の検査対象に対し、特許文献１に開示されたような技術では１つのジョイント装置で対応できない。この場合、検査対象の開口部の口径に合わせて、それぞれ外径の異なる管部を有するジョイント装置を準備する必要があり、管理の手間やコスト等がかかる。
【０００６】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、その目的は、開口部の口径が異なる複数の検査対象に対応可能であるジョイント装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のジョイント装置は、漏れ検査が行われる検査対象に検査ガスを供給するために、当該検査対象が備える筒状の開口部に取り付けられるジョイント装置であって、一端が開口部に挿入される管部と、管部の外周を囲んで配置されており、内部に流体を供給されることによって膨張し、管部の一端の外周面と開口部の内周面との間を気密に封止可能な膨張封止体と、管部に検査ガスを供給するためのガス流路、および、膨張封止体に流体を供給するための流体流路を有するハウジング部と、を備えている。
【０００８】
上記構成では、管部の一端が開口部に挿入された状態で、膨張封止体は管部の外周面と開口部の内周面との間に配置される。ハウジング部の流体流路を介して膨張封止体に流体が供給されると、膨張封止体は膨張して、管部の外周面と開口部の内周面との間を気密に封止する。また、ハウジング部のガス流路を介して管部に検査ガスが供給されると、検査ガスは、管部の一端から開口部を介して検査対象内に送り出される。
【０００９】
したがって、本発明のジョイント装置は、開口部の口径が異なる複数の検査対象において、膨張封止体に供給される流体の量を調整することによって、検査対象と管部との間の気密を保つことができる。よって、本発明のジョイント装置は、開口部の口径が異なる複数の検査対象に対応可能である。
【００１０】
また、本発明のジョイント装置は、管部の一端が開口部に挿入された状態で開口部の外周面に当接可能な当接部を有する３つ以上の回動可能な爪部と、管部の軸方向に移動可能であり、軸方向に沿って管部の軸心からの距離が異なっている傾斜面を有する外部と、をさらに備えている。爪部の当接部は、管部の径方向における位置が可変であり、ガイド部の傾斜面は、爪部と係合することで当接部位の位置を保持する。
【００１１】
複数の検査対象の開口部の口径が異なるとき、その外径も異なる場合が多いが、本発明のジョイント装置の爪部は、様々な外径の開口部を外側から把持することができる。したがって、本発明のジョイント装置は、検査対象の開口部が様々な口径および外径を有する場合であっても、検査対象と管部との間の気密を保ちつつ、管部の抜け止めを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】漏れ検査装置の概要を示す模式図である。
【図２】本発明の第１実施形態によるジョイント装置を示す断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態によるジョイント装置を先端側から見た図である。
【図４】本発明の第１実施形態によるジョイント装置を後端側から見た図である。
【図５】本発明の第１実施形態によるジョイント装置を示す部分断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態によるジョイント装置を示す部分断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態によるジョイント装置を示す部分断面図である。
【図８】本発明の第２実施形態によるジョイント装置を示す部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の各実施形態について、図面に基づいて説明する。各実施形態のジョイント装置は、漏れ検査を行うとき、検査対象への検査ガスの供給口である筒状の開口部に接続されるものである。
【００１４】
［第１実施形態］
（漏れ検査装置１００）
まず、本実施形態のジョイント装置１を用いる漏れ検査装置１００の概要について、図１を参照して説明する。なお、検査対象２００は、例えばコンデンサやラジエータ等の熱交換器であり、検査ガスの供給口となる筒状の開口部２０１を有している。
【００１５】
検査対象２００は、固定治具１０１にセットされ、開口部２０１にジョイント装置１が接続された状態でチャンバ１０２内に配置される。ジョイント装置１は、ガス供給管１０３を介してガス供給源１０５に接続され、エア供給管１０４を介してエア供給源１０６に接続されている。ガス供給源１０５は、例えばＨｅガス等の検査ガスを供給し、エア供給源１０６は適度な圧力のエアを供給する。また、ジョイント装置１は、ガス供給管１０３を介して真空ポンプ１０９に接続されている。真空ポンプ１０９は、検査対象２００内の空気を排気することができる。
【００１６】
チャンバ１０２には、真空ポンプ１０７及びガス検出器１０８が接続されている。真空ポンプ１０７は、密閉されたチャンバ１０２内を適度な真空状態にすることができる。ガス検出器１０８は、検査対象２００からチャンバ１０２内に漏れ出た検査ガスを検出することができる。
【００１７】
（ジョイント装置１の構成）
次に、本実施形態のジョイント装置１の構成について、図２〜図４を参照して説明する。なお、図２は、検査対象２００の開口部２０１に、ジョイント装置１が接続された状態を示している。また、図３は、ジョイント装置１にガス供給管１０３及びエア供給管１０４が接続された状態を示している。
【００１８】
まず、本実施形態のジョイント装置１が接続される検査対象２００の開口部２０１は、筒形状である。ジョイント装置１は、管部１１、第１ハウジング部１３、膨張封止体２１、封止体係止部３１及び３２、第２ハウジング部３３、抜け止め機構４０、並びに、ストッパ機構５０等を備えている。
【００１９】
管部１１は、ジョイント装置１の略中心に配置される管状の部材である。以下では、管部１１の軸心ａが延びる方向を「軸方向」と称し、管部１１の径方向を単に「径方向」と称する。また、ジョイント装置１のうち、軸心ａに近い側を「内側」と称し、軸心ａから遠い側を「外側」と称する。
【００２０】
管部１１は、その一端である先端部分１１１が開口部２０１に挿入される。管部１１の内側は、検査ガスが流通するための流路であり、検査ガスは、先端部分１１１の開口から検査対象２００内に送り出される。また、管部１１の先端側には、テーパ部１２が設けられている。以下では、ジョイント装置１のうち、管部１１の先端部分１１１側を「先端側」と称し、その反対側を「後端側」と称する。
【００２１】
第１ハウジング部１３は、管部１１の後端側に配置されており、ガス供給管１０３が接続されるガス供給管接続孔１３１と、エア供給管１０４が接続されるエア供給管接続孔１３２とを有している（図４参照）。また、第１ハウジング部１３は、ガス供給管接続孔１３１と管部１１の内側とを連通しているガス流路１３３、及び、エア供給管接続孔１３２と後述する第２エア流路３３１とを連通している第１エア流路１３４を有している。
【００２２】
第１ハウジング部１３の後端側には、芯出し部１４が設けられている。芯出し部１４は、軸心ａを基準とするジョイント装置１の芯出しを行うためのテーパ面１４１を有している。
【００２３】
膨張封止体２１は、軸心ａを中心とする管部１１の外側を囲うように配置されており、例えばゴムやシリコン等の弾性及び柔軟性を有する材料から形成されている。膨張封止体２１は、概略的には、筒形状を内外に折り返すことによって形成され得る有底の中空環状を呈しており、その内側にはエアが吹き込まれる環状の内部空間２１１を有している。言い換えると、膨張封止体２１は、エアが吹き込まれることによって膨らむ環状の風船である。
【００２４】
膨張封止体２１は、内外に２つの環状の端部２１３、２１４を有している。これらの端部２１３、２１４は、封止体係止部３１、３２によって、管部１１及び第２ハウジング部３３にそれぞれ押さえつけられている。封止体係止部３１、３２は、膨張封止体２１にエアが吹き込まれるための吹き込み口３１１、３２１を有している。
【００２５】
膨張封止体２１の底部分２１５の内径は、管部１１の先端部分１１１の外径よりも若干小さい。このため、膨張封止体２１の底部分２１５は、管部１１の先端部分１１１に係止されている。
【００２６】
第２ハウジング部３３は、管部１１及び膨張封止体２１の外側を囲うように配置された環状の部材であり、第１ハウジング部１３に固定されている。第２ハウジング部３３と管部１１との間には、第１エア流路１３４から吹き込み口３１１までを連通する第２エア流路３３１が形成されている。第１エア流路１３４及び第２エア流路３３１は、特許請求の範囲に記載の「エア流路」に相当する。
【００２７】
また、第２ハウジング部３３は、開口部２０１の先端２０３に当接可能な当接面３３３を有している。なお、管部１１及び膨張封止体２１のうち、第２ハウジング部３３の当接面３３３よりも先端側に配置される部分は、開口部２０１に挿入される挿入部１５を構成する。
【００２８】
また、第２ハウジング部３３は、後述の爪部４５の回転アーム４５２を支持するために、外側に突出した壁部３３２を有している（図３参照）。
【００２９】
次に、抜け止め機構４０について説明する。抜け止め機構４０は、検査対象２００の開口部２０１を外側から把持することにより、挿入部１５が開口部２０１に挿入された状態を保持する機構である。抜け止め機構４０は、ガイド保持部４１、バネ台４２、ガイドスプリング４３、及び、３組の抜け止め部４４（図３参照）を備えている。
【００３０】
ガイド保持部４１は、第２ハウジング部３３の外側を囲うように配置され、軸方向に摺動可能な環状の部材である。なお、図２では、ガイド保持部４１が先端側に位置する場合を実線で示しており、ガイド保持部４１が後端側に位置する場合を点線で示している。
【００３１】
バネ台４２は、第２ハウジング部３３の外側を囲うように配置された環状の部材である。ガイドスプリング４３は、第２ハウジング部３３に挿通されて、ガイド保持部４１とバネ台４２との間に設置されており、ガイド保持部４１を先端側に付勢している。
【００３２】
３組の抜け止め部４４は、それぞれ、爪部４５、ガイド部４６、及び爪スプリング４７を備えている。爪部４５は、管部１１の周囲に配置されており、開口部２０１の外周面２０６に当接可能なピン４５１と、ピン４５１の両端を支持する２つの回転アーム４５２とから構成されている。ピン４５１は、軸方向および径方向に対して垂直な方向に沿って配置されている。２つの回転アーム４５２は、第２ハウジング部３３の壁部３３２によって、支軸４５３を中心に回動可能に支持されている。回転アーム４５２が支軸４５３を中心に回動することにより、径方向におけるピン４５１の位置は可変である。
【００３３】
ガイド部４６は、爪部４５の外側に配置され、ガイド保持部４１に固定されている。このため、ガイド部４６は、ガイド保持部４１と共に軸方向に移動可能である。また、ガイド部４６は、内側に面する傾斜面としての多段傾斜面４６１を有している。多段傾斜面４６１は、先端側に向かうに従って軸心ａから離れるように配置されている。
【００３４】
多段傾斜面４６１には、軸方向の位置が異なる複数の弧状溝４６２が形成されている。弧状溝４６２は、軸方向及び径方向に対して垂直な方向に延びており、断面は弧状である。本実施形態では、９つの弧状溝４６２が形成されている。
【００３５】
爪スプリング４７は、回転アーム４５２と第２ハウジング部３３との間に設置され、回転アーム４５２を外側に付勢している。爪スプリング４７の付勢力により、ピン４５１は常に多段傾斜面４６１に当接した状態になる。
【００３６】
なお、抜け止め部４４では、ガイドスプリング４３からガイド部４６が受ける付勢力は、爪スプリング４７からピン４５１が受ける付勢力よりも大きい。よって、ガイドスプリング４３は、爪スプリング４７の付勢力に抗して、ガイド部４６を軸方向に移動させることが可能である。
【００３７】
以上の構成を有する抜け止め機構４０では、ピン４５１が開口部２０１の外周面２０６に当接したとき、ピン４５１はガイド部４６のいずれかの弧状溝４６２に嵌った状態で保持される。このため、３つの爪部４５により、検査対象２００の開口部２０１を外側から把持することができる。
【００３８】
次にストッパ機構５０について説明する。ストッパ機構５０は、ストッパ保持部５１、ストッパ部５２、及びストッパスプリング５３を備えている。
【００３９】
ストッパ保持部５１は、第１ハウジング部１３の外側に固定されており、先端側のガイド保持部４１に向かって延びている。ストッパ部５２は、ストッパ保持部５１によって、支軸５２１を中心に回転可能に支持されており、外側に押し部５２２を有する。ストッパスプリング５３は、ストッパ保持部５１と押し部５２２との間に設置され、押部５２２を外側に付勢している。
【００４０】
また、ストッパ部５２は、支軸５２１に対してストッパスプリング５３とは反対側において内側に突出している凸部５２３を有している。図２中の点線で示すように、ストッパ部５２の凸部５２３は、ガイド保持部４１に係合することにより、ガイド保持部４１の位置を後端側に留め置くことができる。
【００４１】
（漏れ検査）
次に、ジョイント装置１の作動を含めた漏れ検査の概要について、さらに図５及び図６を参照して説明する。なお、以下では、ガス供給管１０３及びエア供給管１０４がジョイント装置１に接続されているものとする。
【００４２】
まず、ジョイント装置１が、検査対象２００の開口部２０１に接続される。具体的には、芯押し台のセンタ（不図示）が芯出し部１４のテーパ面１４１に押し当てられながら、挿入部１５が開口部２０１に挿入される。このとき、膨張封止体２１の内部空間２１１のエアは抜かれており、膨張封止体１０の外側部分２３と開口部２０１の内周面２０５との間には隙間が存在する。また、ガイド保持部４１は、後端側に係止された状態であり、ピン４５１と開口部２０１の外周面２０６のとの間には隙間が存在する（図５参照）。
【００４３】
次いで、ストッパ部５２の押部５２２が内側へ押されることにより、凸部５２３とガイド保持部４１との係合が外れ、ガイド保持部４１はガイドスプリング４３の付勢力により先端側に移動する。ガイド保持部４１と共にガイド部４６が先端側に移動すると、多段傾斜面４６１はピン４５１に対して押し圧をかける。このとき、多段傾斜面４６１の傾斜によって、ピン４５１は多段傾斜面４６１に対して摺動しながら内側に移動し、回転アーム４５２は支軸４２３を中心に回動する。
【００４４】
内側に移動したピン４５１は、開口部２０１の外周面２０６に当接して止まり、その位置で多段傾斜面４６１の弧状溝４６２に嵌合する。このようにして、３つの爪部４５は開口部２０１を外側から把持し、挿入部１５の抜け止めを行う。
【００４５】
次いで、エア供給源１０６からエア供給管１０４を介してジョイント装置１にエアが供給される。ジョイント装置１に供給されたエアは、第１エア流路１３４及び第２エア流路３３１を経由して、膨張封止体２１の内部空間２１１に吹き込まれる。すると、膨張封止体２１は膨張し、管部１１の先端部分１１１の外周面１１２及び開口部２０１の内周面２０５にそれぞれ密着する。これによって、管部１１の先端部分１１１の外周面１１２と開口部２０１の内周面２０５との間は気密に封止される。気密可能な量のエアが膨張封止体２１に吹き込まれた後、エアの供給は停止される。以上によって、検査対象２００とジョイント装置１との接続が完了する（図６参照）。
【００４６】
ジョイント装置１が接続された検査対象２００は、図１に示す漏れ検査装置１００のチャンバ１０２内に搬入される。その後、チャンバ１０２は密閉され、真空ポンプ１０５がチャンバ１０２内を真空状態にする。
【００４７】
また、検査を正確に行うために、真空ポンプ１０９が、ガス供給管１０３を介して検査対象２００内の空気を排気する。その後、ガス供給源１０６が、ガス供給管１０３を介してジョイント装置１に検査ガスを供給する。ジョイント装置１に供給された検査ガスは、ガス流路１３３及び管部１１の内側を経由して、先端部分１１１の開口から検査対象２００内に送り出される。
【００４８】
その後、ガス検出器１０６は、チャンバ１０２内に所定量以上の検査ガスを検出した場合に、検査対象２００の漏れがあると判定する。以上によって、検査対象２００の漏れ検査が行われる。
【００４９】
（効果）
本実施形態のジョイント装置１によれば、開口部２０１の口径が異なる検査対象２００に接続される場合であっても、膨張封止体２１に供給されるエアの量を調整することによって、開口部２０１とジョイント装置１の挿入部１５との間の気密を保つことができる。よって、本実施形態のジョイント装置１は、開口部２０１の口径が異なる複数の検査対象２００に対応することができる。
【００５０】
また、本実施形態のジョイント装置１では、３つの爪部４５が開口部２０１を外側から把持することによって、挿入部１５が開口部２０１に挿入された状態が保持される。この構成では、爪部４５が回動可能であるため、ピン４５１は径方向の位置が可変である。また、ガイド部４６は軸方向に軸心ａからの距離が異なる多段傾斜面４６１を有しているため、ピン４５１が開口部２０１の外周面２０６に当接する位置に、ピン４５１を保持することができる。したがって、爪部４５及びガイド部４６によれば、開口部２０１の外径が異なる検査対象２００に対して、挿入部１５の抜け止めを行うことが可能である。
【００５１】
また、本実施形態のジョイント装置１の多段傾斜面４６１には、軸方向および径方向の異なる位置に複数の弧状溝４６２が形成されている。ピン４５１が弧状溝４６２に嵌合することにより、ピン４５１が開口部２０１の外周面２０６との当接位置からずれることを抑制することができる。本実施形態では、９つの弧状溝４６２が形成されているため、９サイズの外径の開口部２０１を有する検査対象２００に対応することができる。また、弧状溝４６２の弧状形状は、開口部２０１の外径の公差を吸収するため、爪部４５が開口部２０１を把持した状態を安定的に保つことが可能である。
【００５２】
また、本実施形態のジョイント装置１は、ガイド部４６を軸方向に付勢しているガイドスプリングと、爪部４５を多段傾斜面４６１に向かって付勢している爪スプリング４７とを備えており、互いに係合している爪部４５及びガイド部４６において、ガイド部４６が受けるガイドスプリング４３の付勢力は、爪部４５が受ける爪スプリング４７の付勢力よりも大きい。このため、挿入部１５が開口部２０１に挿入された状態において、ガイドスプリング４３を係止しているストッパ部５２を外すという動作によって、ピン４５１は開口部２０１の外周面２０６に当接する位置に自動で調節される。
【００５３】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態のジョイント装置について図７及び図８を参照して説明する。第２実施形態では、第１実施形態とは異なる構成の爪部６５及びガイド部６６を備えている。なお、第１実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００５４】
爪部６５は、第２ハウジング部３３の壁部３３２によって、支軸６５１を中心に回動可能に支持されている。また、爪部６５は、内側に突出するように形成された当接部６５２と、外側に突出するように形成された係合部６５３とを有している。当接部６５２は、開口部２０１の外周面２０６に当接可能であり、係合部６５３は、後述するガイド部６６の傾斜面６６１に係合可能である。爪部６５が支軸６５１を中心に回動することにより、径方向における当接部６５２の位置は可変である。なお、係合部６５３は、当接部６５２よりも支軸６５１の近くに配置されている。
【００５５】
ガイド部６６は、爪部６５の外側に配置されている。ガイド部６６は、ガイド保持部４１に固定されているため、ガイド保持部４１と共に軸方向に移動可能である。また、ガイド部６６は、内側に面する平面状の傾斜面６６１を有している。傾斜面６６１は、先端側に向かうに従って軸心ａから離れるように配置されており、第１実施形態のような弧状溝４６２は形成されていない。
【００５６】
以上の構成によれば、第１実施形態のような弧状溝４６２がなくとも、爪部６５が開口部２０１の外周面２０６に当接した状態を好適に保持することができる。また、傾斜面６６１によれば、開口部２０１の外径に対して無段階で対応することが可能である。
【００５７】
なお、本実施形態では、ガイド部６６に対する付勢力を補強するために、ガイドスプリング４３の他に、もう一つのガイドスプリング４８が設けられていてもよい。
【００５８】
［その他の実施形態］
上述では、膨張封止体２１の内部に供給される流体がエアである場合を説明しているが、本発明はこれに限られず、膨張封止体２１を膨張させることが可能な流体であれば、どのような気体及び液体であってもよい。
【００５９】
ジョイント装置１が接続される検査対象２００としては、検査ガスを供給するための筒状の開口部２０１を有するものであれば特に限定されない。また、筒形の開口部２０１を外側から把持するためには、ジョイント装置１が３つの爪部４５、６５を有することが好ましいが、それ以上の爪部４５、６５を有していてもよい。
【００６０】
以上、本発明はこのような実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の形態で実施することができる。
【符号の説明】
【００６１】
１    ・・・ジョイント装置
１１  ・・・管部
１３  ・・・第１ハウジング部（ハウジング部）
１３３・・・ガス流路
１３４・・・第１エア流路（流体流路）
２０  ・・・膨張封止体
３３  ・・・第２ハウジング部（ハウジング部）
３３１・・・第２エア流路（流体流路）
【図１】
2015148586.tif 000003
【図２】
2015148586.tif 000004
【図３】
2015148586.tif 000005
【図４】
2015148586.tif 000006
【図５】
2015148586.tif 000007
【図６】
2015148586.tif 000008
【図７】
2015148586.tif 000009
【図８】
2015148586.tif 000010