(57)【要約】【課題】耐熱性と機械的強度を向上させることができる半導体装置及びその製造方法を提供することである。【解決手段】半導体素子と、銅を含む配線層を有する実装基板と、前記半導体素子と前記配線層との間に設けられた銅と銅以外の金属との合金を含み、前記合金の融点が、前記金属の融点よりも高い接合層と、を備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体素子と、
銅を含む配線層を有する実装基板と、
前記半導体素子と前記配線層との間に設けられた銅と銅以外の金属との合金を含み、前記合金の融点が、前記金属の融点よりも高い接合層と、
を備えた半導体装置。
【請求項２】
前記金属は亜鉛であり、前記合金は銅が４０ｗｔ％以上、亜鉛が６０ｗｔ％以下である請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記金属は亜鉛及びアルミニウムであり、前記合金は銅が４０ｗｔ％以上、亜鉛が６０ｗｔ％以下、アルミニウムが亜鉛の２０ｗｔ％以下である請求項１に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記接合層の厚さは１μｍ以上１００μｍ以下である請求項２または３に記載の半導体装置。
【請求項５】
銅を含む配線層の上に銅以外の金属を設ける工程と、
前記金属の上に半導体素子を搭載する工程と、
前記金属を前記金属の融点よりも高い温度に加熱して、前記半導体素子と前記配線層との間で前記金属の融点よりも高く、銅と前記金属から成る合金を形成する工程と、
を備えた半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記金属は亜鉛であり、前記合金は銅が４０ｗｔ％以上、亜鉛が６０ｗｔ％以下である請求項５に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記金属は亜鉛及びアルミニウムであり、前記合金は銅が４０ｗｔ％以上、亜鉛が６０ｗｔ％以下、アルミニウムが亜鉛の２０ｗｔ％以下である請求項５に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記接合層の厚さを１μｍ以上１００μｍ以下に形成する請求項６または７に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、半導体装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置において、例えば、半導体素子と実装基板との接合材料として、はんだ接合が用いられている。接合材料は、半導体装置の耐熱温度よりも低い温度で接合することができ、接合後は半導体装置の動作温度以上の耐熱性を持つものが必要である。また、接合材料は、破断しない疲労寿命も必要である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−７１３４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、耐熱性と疲労寿命を向上させることができる半導体装置及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態の半導体装置は、半導体素子と、銅を含む配線層を有する実装基板と、前記半導体素子と前記配線層との間に設けられた銅と銅以外の金属との合金を含み、前記合金の融点が、前記金属の融点よりも高い接合層と、を備えることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１の実施形態に係る半導体装置の模式的平面図。
【図２】同じく半導体装置のＡ−Ａ’線における断面図。
【図３】同じく半導体装置のＡ−Ａ’線における接合前の断面図。
【図４】Ｃｕ‐Ｚｎ二元系平衡状態図。
【図５】Ｃｕ‐Ｚｎ二元系合金の機械的性質。
【図６】Ｃｕ‐Ｓｎ二元系合金の機械的性質。
【図７】Ａｌ‐Ｚｎ二元系平衡状態図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、実施形態の半導体装置について図面を参照して説明する。なお、本実施形態は、本発明を限定するものではない。
【０００８】
（第１の実施形態）
第１の実施形態の半導体装置１の構造について図１及び図２を参照して説明する。図１は第１の実施形態に係る半導体装置１の一例を示す模式的平面図であり、図２は図１のＡ−Ａ’における断面図を示している。
【０００９】
半導体装置１は半導体素子１１、接合層１２、実装基板１６を有する。実装基板１６は第１配線層１３、絶縁基板１４、第２配線層１５、第１面１４ａ、第１面１４ａとは反対の第１面１４ｂを有する。
【００１０】
第１配線層１３は、絶縁基板１４の第１面１４ａに設けられる。第２配線層１５は、絶縁基板１４の第２面１４ｂに設けられる。接合層１２は、第１配線層１３に設けられる。半導体素子１１は、接合層１２を介して実装基板１６に設けられる。
【００１１】
半導体素子１１の半導体材料は、例えばシリコン（Ｓｉ）、炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）などが用いられる。絶縁基板１４は、例えば窒化シリコン（ＳｉＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などが用いられる。第１配線層１３及び第２配線層１５は、銅（Ｃｕ）が用いられる。接合層１２は、Ｃｕが４０ｗｔ％以上、亜鉛（Ｚｎ）が６０ｗｔ％以下のＣｕ‐Ｚｎ合金が用いられる。
【００１２】
接合層１２の厚さは、例えば１μｍ以上１００μｍ以下程度である。１００μｍを超えると接合層１２が形成されるまでの時間が長くなり、量産性が著しく低下する。好ましい接合層１２の厚さは、５μｍ以上５０μｍ以下であり、さらに好ましい接合層１２の厚さは、５μｍ以上２０μｍ以下である。接合層１２の厚さを薄くすると、熱抵抗が低減され、効率のよい放熱が行われる。
【００１３】
次に半導体装置１の製造方法について説明する。図３に示すように、絶縁基板１４の第１面１４ａに設けられたＣｕから成る第１配線層１３上の所定位置に、Ｚｎから成る金属層１７をめっき法により形成する。そして、金属層１７の上に半導体素子１１を載置する。めっき法は一例であり、スパッタ法、真空蒸着法、塗布法などの薄膜形成技術を用いて形成することもできる。
【００１４】
実装基板１６及び半導体素子１１に、不活性雰囲気中で、所定の圧力を印加しながら、金属層１７の融点（Ｚｎの融点：４１９℃）以上、かつ、半導体素子１１及び実装基板１６の耐熱温度以下の温度で保持する。金属層１７を液相状態として所定時間保持することにより、第１配線層１３の成分（Ｃｕ）と金属層１７の成分（Ｚｎ）が相互に拡散する。そして、図２に示すＣｕ−Ｚｎ合金から成る接合層１２が形成され、実装基板１６と半導体素子１１が接合される。なお、純Ｚｎは蒸気圧が高いため真空中で融点付近まで加熱すると溶融する前に昇華してしまう。このため、真空雰囲気以外が望ましい。
【００１５】
第１配線層１３と金属層１７間の相互拡散量は接合時の保持温度、保持時間、雰囲気、印加圧力、金属層１７の厚さに依存する。そのため、接合層１２の組成は、Ｃｕが４０ｗｔ％以上、Ｚｎが６０ｗｔ％以下のＣｕ‐Ｚｎ合金となるような条件下にて行なう。形成された接合層１２は、約８３０℃以上の高融点を持つＣｕ‐Ｚｎ合金となる。
【００１６】
次に半導体装置１の効果について説明する。図４は、Ｃｕ‐Ｚｎ二元系平衡状態図である。接合前の金属層１７の融点（Ｚｎの融点：４１９℃）に比べて、Ｃｕ−Ｚｎ合金から成る接合層１２の融点（Ｃｕが４０ｗｔ％以上、Ｚｎが６０ｗｔ％以下のＣｕ‐Ｚｎ合金の融点：約８３０℃以上）が高くなる。そのため、接合時の保持温度が半導体装置１に及ぼす熱的な影響を抑制し、接合後の高い耐熱性を得ることが可能である。
【００１７】
図５にＣｕ‐Ｚｎ二元合金の機械的性質を示す（１．５ｍｍ焼きなまし板）。Ｃｕ‐Ｚｎ二元合金では、Ｚｎ成分量を増やすと純Ｃｕに比べて引張強さと伸びが増加するため、半導体装置１使用時の熱応力が接合層に形成されたＣｕ-Ｚｎ合金の変形によって吸収されやすくなり、接合層に高い耐ヒートサイクル性を付与することが可能である。しかしながら、Ｚn成分量を増やしすぎると伸びが減少し、変形しにくくなるため、耐ヒートサイクル性が低下する。そのため、Ｃｕが４０ｗｔ％以上、Ｚｎが６０ｗｔ％以下のＣｕ−Ｚｎ合金が望ましい。
【００１８】
比較のために、ＣｕとＳｎの合金であるＣｕ-Ｓｎ二元合金を用いた場合を従来例として説明する。図６にＣｕ-Ｓｎ二元系合金の機械的性質を示す（Ａ：焼きなました鋳物、Ｂ：鋳物）。Ｃｕ‐Ｓｎ二元系合金は、Ｓｎ成分量が増加するにつれて伸び（図中、Ａδ及びＢδ）が急激に低下し、外力によって変形しにくくなる。このため、半導体装置１使用時の熱応力を変形によって吸収することができない。例えば、ＳｉＣを主材料として含む半導体素子１１とＣｕを主材料として含む実装基板１６とを接合層１２を介して接合した場合には、大きな温度差のヒートサイクル環境下での使用により半導体素子１１が破壊に至る可能性が高くなる。このように、接合層１２としてＣｕ-Ｚｎ二元系合金を用いることにより、耐熱性と疲労寿命の大幅な向上が期待できる。
【００１９】
（第２の実施形態）
以下に、図２を用いて第２の実施形態について説明する。なお、第２の実施形態について、第１の実施形態と同様の点については説明を省略し、異なる点について説明する。
【００２０】
第２の実施形態が第１の実施形態と異なる点は、接合層１２にＣｕが４０ｗｔ％以上、Ｚｎが６０ｗｔ％以下、アルミニウム（Ａｌ）がＺｎの２０ｗｔ％以下のＣｕ‐Ｚｎ‐Ａｌ合金が用いられることである。
【００２１】
次に半導体装置１の製造方法について説明する。金属層１７には、Ｚｎ‐Ａｌ合金を用い、金属層１７の融点（Ｚｎ‐Ａｌの融点：３８２℃）以上の温度で保持する。金属層１７を液相状態として所定時間保持することにより、第１配線層１３の成分（Ｃｕ）と金属層１７の成分（Ｚｎ‐Ａｌ）が相互に拡散し、Ｃｕ−Ｚｎ‐Ａｌ合金から成る接合層１２が形成され、実装基板１６と半導体素子１１が接合される。
【００２２】
次に半導体装置１の効果について説明する。図７は、Ａｌ‐Ｚｎ二元系平衡状態図である。Ｚｎの融点（４１９℃）に比べて、Ａｌを添加することで３８２℃まで低くすることが可能である。そのため、金属層１７としてＺｎに代えてＺｎ‐Ａｌを用いることにより接合時の保持温度をさらに低くでき、半導体装置１に及ぼす熱的な影響を抑制することが可能となる。しかしながら、Ａｌ成分量を増やしすぎると融点が上昇してしまう。そのため、Ｃｕが４０ｗｔ％以上、Ｚｎが６０ｗｔ％以下、ＡｌがＺｎの２０ｗｔ％以下のＣｕ‐Ｚｎ‐Ａｌ合金が望ましい。
【００２３】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００２４】
１１…半導体素子、１２…接合層、１３…第１配線層、１４…絶縁基板、１４ａ…第１面、１４ｂ…第２面、１５…第２配線層、１６…実装基板、１７…金属層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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