(57)【要約】【課題】水を用いて、被洗浄物を短時間で洗浄でき、かつ短時間で乾燥できる洗浄乾燥方法と、これを可能にする洗浄乾燥装置を提供することができる。【解決手段】表面に有機物が付着した被洗浄物２と、水４とをケース３に入れて、該ケース３内において被洗浄物２を水４に浸漬させる（浸漬行程）。その後、水４を、ケース３内に密閉した状態で加熱して亜臨界水４’にし、被洗浄物２の表面に付着した有機物を亜臨界水４’に溶解させる。これにより、被洗浄物２を洗浄する（加熱洗浄行程）。その後、ケース３の底部３８に形成された排水口３１を開放して、該排水口３１から亜臨界水４’を、突沸させつつ重力方向下方へ排出する（排出行程）。そして、被洗浄物２の表面に付着した亜臨界水４’を蒸発させて、表面を乾燥させる（乾燥行程）。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に有機物が付着した被洗浄物（２）を洗浄し、乾燥する方法であって、
上記被洗浄物（２）と水（４）とをケース（３）に入れて、該ケース（３）内において上記被洗浄物（２）を水（４）に浸漬させる浸漬行程と、
上記水（４）を、上記ケース（３）内に密閉した状態で加熱して亜臨界水（４’）にし、上記被洗浄物（２）の表面に付着した上記有機物を上記亜臨界水（４’）に溶解させることにより、上記被洗浄物（２）を洗浄する加熱洗浄行程と、
上記ケース（３）の底部（３８）に形成された排水口（３１）を開放することにより、該排水口（３１）から、上記亜臨界水（４’）を突沸させつつ重力方向下方へ排出する排出行程と、
上記被洗浄物（２）の表面に付着した上記亜臨界水（４’）を蒸発させて、上記表面を乾燥させる乾燥行程と、
を順次行うことを特徴とする洗浄乾燥方法。
【請求項２】
上記浸漬行程において、上記有機物の質量に対して１００〜１０００倍の質量の上記水（４）を、上記ケースに入れることを特徴とする請求項１に記載の洗浄乾燥方法。
【請求項３】
上記加熱洗浄行程における上記亜臨界水（４’）の温度は、２００〜３５０℃であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄乾燥方法。
【請求項４】
表面に有機物が付着した被洗浄物（２）を洗浄し、乾燥する洗浄乾燥装置（１）であって、
水（４）を貯留すると共に、上記被洗浄物（２）を上記水（４）に浸漬した状態で収容する収容空間（Ｓ）を有し、該収容空間（Ｓ）を密閉可能に構成されたケース（３）と、
該ケース（３）内に密閉された上記水（４）を加熱して亜臨界水（４’）にする加熱手段（５）とを備え、
上記ケース（３）の底部（３８）に、開閉可能な排水口（３１）を形成してあり、該排水口（３１）を開放することにより、上記ケース（３）内の上記亜臨界水（４’）を、突沸させつつ重力方向下方に排出することができるよう構成されていることを特徴とする洗浄乾燥装置（１）。
【請求項５】
上記収容空間（Ｓ）は、上記有機物の質量に対して１００〜１０００倍の質量の上記水（４）を収容する大きさに形成されていることを特徴とする、請求項４に記載の洗浄乾燥装置（１）。
【請求項６】
上記加熱手段（５）により、上記水（４）を２００〜３５０℃に加熱することにより、該水（４）を上記亜臨界水（４’）にするよう構成されていることを特徴とする、請求項４または請求項５に記載の洗浄乾燥装置（１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面に加工油等が付着した被洗浄物を洗浄し、乾燥する方法と、該方法に用いる洗浄乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば自動車のインジェクタやポンプ等には、表面に微細な凹凸を有する、複雑な形状の部品が必要となる。これらの部品は、例えば、金属材料に研削加工や切削加工等を行うことにより製造される。
研削加工や切削加工は、上記金属材料と加工具との間の摩擦を低減する等の目的のため、金属材料に予め加工油を塗布した状態で行うことが多い。そのため、研削加工等を行った直後の上記部品には、その表面に加工油が付着していることが多い。また、この加工油に、加工時に生じた金属屑が付着していることもある。そのため、上記部品を製造する際には、研削加工等を行った後、洗浄して、表面に付着した加工油を除去する工程を行う必要がある。
【０００３】
加工油が付着した部品（以下、被洗浄物とも記す）を洗浄する際には、例えば、ハイドロフルオロカーボン等の有機溶媒が、洗浄液として用いられる（下記特許文献１参照）。有機溶媒は非極性物質であるため、加工油等の有機物質に対する親和性が高い。そのため、有機溶媒を用いれば、加工油を早く溶解でき、洗浄工程を短時間で完了することができる。また、有機溶媒は沸点が低いため、洗浄後に被洗浄物の表面に残った有機溶媒を、早く蒸発させることができ、短時間で表面を乾燥できるというメリットもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１６０７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、有機溶媒は比較的高価であるため、有機溶媒を用いると、洗浄工程に必要なコストが高くなりやすい。また、有機溶媒は、環境負荷が高いという問題や、作業を行う者の健康にも良くないという問題がある。そのため、可能な限り洗浄液として水を用いたいという要求がある。
【０００６】
しかし、水は極性物質であるため、アルコール等を添加しない限り、水は殆ど加工油を溶解しない。そのため、水の含有率が高い洗浄剤を用いると、被洗浄物を短時間で洗浄しにくくなる。また、水は沸点が高いため、水を主成分とした洗浄剤を用いると、洗浄後に被洗浄物の表面に残った水滴を、短時間で蒸発させにくくなる。そのため、被洗浄物を早く乾燥できないという問題もある。
【０００７】
本発明は、かかる背景に鑑みてなされたもので、水を用いて、被洗浄物を短時間で洗浄でき、かつ短時間で乾燥できる洗浄乾燥方法と、これを可能にする洗浄乾燥装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様は、表面に有機物が付着した被洗浄物を洗浄し、乾燥する方法であって、
上記被洗浄物と水とをケースに入れて、該ケース内において上記被洗浄物を水に浸漬させる浸漬行程と、
上記水を、上記ケース内に密閉した状態で加熱して亜臨界水にし、上記被洗浄物の表面に付着した上記有機物を上記亜臨界水に溶解させることにより、上記被洗浄物を洗浄する加熱洗浄行程と、
上記ケースの底部に形成された排水口を開放することにより、該排水口から、上記亜臨界水を突沸させつつ重力方向下方へ排出する排出行程と、
上記被洗浄物の表面に付着した上記亜臨界水を蒸発させて、上記表面を乾燥させる乾燥行程と、
を順次行うことを特徴とする洗浄乾燥方法にある。
【０００９】
また、本発明の第２の態様は、表面に有機物が付着した被洗浄物を洗浄し、乾燥する洗浄乾燥装置であって、
水を貯留すると共に、上記被洗浄物を上記水に浸漬した状態で収容する収容空間を有し、該収容空間を密閉可能に構成されたケースと、
該ケース内に密閉された上記水を加熱して亜臨界水にする加熱手段とを備え、
上記ケースの底部に、開閉可能な排水口を形成してあり、該排水口を開放することにより、上記ケース内の上記亜臨界水を、突沸させつつ重力方向下方に排出することができるよう構成されていることを特徴とする洗浄乾燥装置にある。
【発明の効果】
【００１０】
上記洗浄乾燥方法においては、上記ケース内に上記被洗浄物と水とを入れて、被洗浄物を水に浸漬させる。そして、ケースを密閉し、ケース内の水を加熱して、水を亜臨界水にする。
このようにすると、水を用いて、被洗浄物の表面に付着した加工油等の有機物を、短時間で洗浄することができる。すなわち、水を加熱して亜臨界水にすると、比誘電率が低下して、常温常圧のメタノールやアセトン程度になる。つまり、水を亜臨界水にすれば、親油性を、有機溶媒と同程度にすることができる。そのため、この亜臨界水を用いれば、加工油等の有機物を短時間で溶解することができる。また、亜臨界水は、常温常圧の水よりも水素イオン濃度と水酸化物イオン濃度が高い。したがって、亜臨界水を用いれば、水素イオン等によって、被洗浄物の表面に付着した有機物を加水分解することもできる。
このように、亜臨界水は、親油性が高く、かつ有機物を加水分解しやすいため、亜臨界水を用いれば、被洗浄物の表面に付着した有機物を短時間で洗浄することができる。
【００１１】
また、上記洗浄乾燥方法においては、洗浄が完了した後、上記ケースの底部に形成した排水口を開放することにより、この排水口から、上記亜臨界水を突沸させつつ重力方向下方に排出する。
そのため、被洗浄物の表面を早く乾燥させることができる。すなわち、亜臨界水をケース外に排出するときには、亜臨界水は大気に曝されて突沸する。このとき、亜臨界水は気化熱を奪われて、温度が急激に低下する。そのため、仮に、亜臨界水をゆっくり排出したとすると、排出している間に温度が１００℃以下になり、排出を完了した時点で、被洗浄物の表面に、１００℃以下の水滴が付着している可能性がある。温度が１００℃以下の水滴は蒸発に時間がかかるため、被洗浄物を短時間で乾燥できなくなる。
しかしながら、上記洗浄乾燥方法のように、亜臨界水を、ケースの底部に形成した排水口から排出すれば、亜臨界水が冷める前に、重力を利用して、下方へ一気に排出することが可能になる。そのため、排出が完了した時点で被洗浄物の表面に付着している水滴の温度を、１００℃よりも高くすることができる。温度が１００℃よりも高い水（亜臨界水）は、大気中で突沸するため、短時間で蒸発する。そのため、被洗浄物の表面を短時間で乾燥させることができる。
【００１２】
また、上記洗浄乾燥装置は、上記ケースと上記加熱手段とを備え、上記ケースの底部に、開閉可能な上記排水口を形成してある。そのため、この洗浄乾燥装置を用いれば、上記洗浄乾燥方法を行うことが可能になる。
【００１３】
以上のごとく、本発明によれば、水を用いて、被洗浄物を早く洗浄でき、かつ早く乾燥できる洗浄乾燥方法と、これを可能にする洗浄乾燥装置を提供することができる。
【００１４】
なお、上記「亜臨界水」とは、温度が１００〜３７４℃であり、かつ液体状態を保った水を意味する。
【００１５】
また、上記「水」には、純水に限らず、カルシウムや塩素等の、不可避的不純物を含有するものも含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例１における、浸漬行程の説明図。
【図２】図１に続く、浸漬行程の説明図。
【図３】図２に続く、浸漬行程の説明図。
【図４】実施例１における、密閉行程の説明図。
【図５】実施例１における、加熱洗浄行程の説明図。
【図６】実施例１における、排出行程の説明図。
【図７】実施例１における、乾燥行程の説明図。
【図８】実施例１における、加熱手段を除いた洗浄乾燥装置の斜視図。
【図９】実施例２における、浸漬行程の説明図。
【図１０】実施例２における、密閉行程の説明図。
【図１１】実施例２における、加熱洗浄行程の説明図。
【図１２】実施例２における、排出行程の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
上記被洗浄物は、金属材料に、加工油を塗布しつつ研削加工や切削加工を施して製造した精密部品とすることができる。
【実施例】
【００１８】
（実施例１）
上記洗浄乾燥方法および上記洗浄乾燥装置に係る実施例について、図１〜図８を用いて説明する。図５に示すごとく、本例の洗浄乾燥装置１は、ケース３と、加熱手段５とを備える。ケース３には、収容空間Ｓを形成してある。この収容空間Ｓに、水４を貯留すると共に、被洗浄物２を水４に浸漬した状態で収容する。また、ケース３は、収容空間Ｓを密閉できるように構成されている。
【００１９】
また、本例では、ケース３内に密閉された水４を、加熱手段５を用いて加熱し、亜臨界水４’にしている。これにより、被洗浄物２の表面に付着した有機物を亜臨界水４’に溶解させ、被洗浄物２を洗浄している。
【００２０】
図５、図６に示すごとく、ケース３の底部３８に、開閉可能な排水口３１を形成してある。この排水口３１を開放することにより、該排水口３１から、被洗浄物２の洗浄が完了した亜臨界水４’を、突沸させつつ重力方向下方に排出することができるよう構成されている。
【００２１】
本例の被洗浄物２は、金属材料に、加工油を塗布しつつ研削加工や切削加工を施して製造した精密部品である。この精密部品は、例えば自動車のインジェクタやポンプに用いられる。また、上記有機物は、研削加工等を行った後に、被洗浄物２の表面に残留した加工油である。
【００２２】
図８に示すごとく、本例のケース３は、ケース本体部３０と、排水カバー３２と、注水カバー３４とから構成されている。ケース本体部３０は円柱状を呈している。このケース本体部３０内に、収容空間Ｓを形成してある。収容空間Ｓの下方には、上記排水口３１が形成されている。この排水口３１に、排水カバー３２を嵌合してある。排水カバー３２を嵌合したり取り外したりすることにより、排水口３１を開閉するようになっている。また、収容空間Ｓの上方には、収容空間Ｓに水４を注入するための注水孔３３を形成してある。この注水孔３３の開口部３３０を、注水カバー３４を使って塞ぐようになっている。
【００２３】
このように、排水カバー３２を排水口３１に嵌合し、注水孔３３の開口部３３０を注水カバー３４によって塞ぐことにより、ケース本体部３０の収容空間Ｓを密閉するよう構成してある。
【００２４】
図１に示すごとく、排水カバー３２は、被洗浄物２を載置するための載置台を兼ねている。注水孔３３と収容空間Ｓと排水口３１とは、それぞれ円柱状（図８参照）に形成されている。また、図２に示すごとく、被洗浄物２が収容空間Ｓの内周面３９に接触しないように、収容空間Ｓの大きさが定められている。
【００２５】
ケース本体部３０の周囲には、電熱線５０を巻回してある。この電熱線５０が、本例の加熱手段５である。ケース本体部３０は、金属によって形成されている。このケース本体部３０に、図示しない温度センサや圧力センサを設けてある。これらのセンサを用いて、加熱された水４の温度および圧力を検出し、水４が亜臨界水４’になっているか否かを確認できるようになっている。
【００２６】
次に、本例の洗浄乾燥方法について説明する。本例では、浸漬行程（図１〜図３参照）と、密閉行程（図４参照）と、加熱洗浄行程（図５参照）と、排出行程（図６参照）と、乾燥行程（図７参照）とを行う。
【００２７】
図１に示すごとく、浸漬行程では、まず、被洗浄物２を排水カバー３２上に載置する。そして、図２に示すごとく、被洗浄物２を収容空間Ｓに収容しつつ、排水カバー３２を排水口３１に嵌合する。この後、図３に示すごとく、注水孔３３から水４を注入して、被洗浄物２が水４によって完全に浸漬されるようにする。水４には、水道水や蒸留水を用いることができる。
以上のようにして、浸漬行程を行う。なお、ケース３に注入する水４の質量は、被洗浄物２の表面に付着している有機物（加工油）の質量に対して、１００〜１０００倍にすることが好ましい。
【００２８】
上記浸漬行程を行った後、図４に示すごとく、注水カバー３４を使って、注水孔３３の開口部３３０を塞ぐ。これにより、収容空間Ｓを密閉する（密閉行程）。後述する加熱洗浄行程（図５参照）において水４を加熱すると、収容空間Ｓ内の圧力が上昇するため、密閉行程では、注水カバー３４と排水カバー３２とを、強い力でケース本体部３０に押し当てる。
【００２９】
その後、図５に示すごとく、加熱手段５に電流を流して発熱させ、水４を加熱する（加熱洗浄行程）。これにより、ケース３内に密閉された水４を亜臨界水４’にする。
【００３０】
水４は、臨界温度（３７４℃）に近づくにつれて、比誘電率が低下することが知られている。比誘電率が低いということは、親油性が高いことを意味する。そのため、亜臨界水４’を用いると、加工油等の有機物を溶解しやすくなる。また、亜臨界水４’は、常温常圧の水に比べてイオン積が大きい。すなわち、水素イオン濃度および水酸化物イオン濃度が高い。そのため、亜臨界水４’は、有機物に対して酸または塩基として作用しやすくなる。つまり、亜臨界水４’によって有機物を分解し、水に溶解させることが可能になる。このように、亜臨界水４’は、親油性が高く、また有機物を分解する速度が高いため、亜臨界水４’を用いれば、被洗浄物２の表面に付着した有機物を速やかに溶解することができる。
【００３１】
加熱洗浄行程においては、亜臨界水４’の温度を、１５０〜３５０℃にすることが好ましい。亜臨界水４’の温度が１５０℃以上であれば、後述する排出行程（図６参照）において、被洗浄物２の表面に残った水滴４０を速やかに蒸発させることができる。そのため、被洗浄物２をより短時間で乾燥させることができる。また、亜臨界水４’の温度が３５０℃を超えると水のイオン積が小さくなり、有機物の加水分解能力が低下する。そのため、亜臨界水４’の温度は３５０℃以下にすることが好ましい。
【００３２】
また、亜臨界水４’の温度は、さらに好ましくは、２００〜３５０℃である。温度がこの範囲内であるときは、亜臨界水４’の比誘電率が著しく低下し、また、イオン積が特に高くなる。そのため、亜臨界水４’の温度を２００〜３５０℃にすれば、被洗浄物２の洗浄効率をより高めることが可能になる。
【００３３】
本例では、加熱洗浄行程において、水４を加熱して亜臨界水４’にし、温度が２００℃に達した後、数秒間で、加熱手段５の発熱を停止する。数秒程度で、有機物質を充分に洗浄することができる。
【００３４】
加熱洗浄行程を終了した後、速やかに、排出行程を行う。排出行程では、図６に示すごとく、排水カバー３２をケース本体部３０から取り外す。これにより、排水口３１を開放する。排水口３１を開放すると、ケース３内の圧力（２００℃で約１．５ＭＰａになる）と重力とによって、亜臨界水４は下方へ一気に排出される。このとき、上記加熱洗浄行程（図５参照）において洗浄した有機物も、一緒に排出される。
【００３５】
排出行程を行った直後には、被洗浄物２の表面に、亜臨界水４’の水滴４０が付着している。本例の加熱洗浄行程では、収容空間Ｓ内の亜臨界水４’を短時間で排出するため、排出直後の水滴４０の温度は高く、１００℃以上になっている。そのため、水滴４０は突沸し、短時間で、被洗浄物２の表面は乾燥する（乾燥行程：図７参照）。乾燥行程を行うと、水滴４０が突沸したときの気化熱によって、被洗浄物２の温度は低下する。そのため、乾燥行程を行った後、被洗浄物２を冷却する行程は、特に行う必要はない。
【００３６】
また、本例では、排水カバー３２に被洗浄物２を載置している。そして図６に示すごとく、排出行程において、排水カバー３２を取り外して亜臨界水４’を排出すると同時に、被洗浄物２をケース本体部３０の外へ取り出すようにしている。これにより、図７に示すごとく、被洗浄物２を早くケース本体部３０の外へ出して、ここで被洗浄物２を乾燥させるようにしている。
【００３７】
本例の作用効果について説明する。図１〜図３に示すごとく、本例では、ケース３内に被洗浄物２と水４とを入れて、被洗浄物２を水４に浸漬させる。そして、図４、図５に示すごとく、ケース３を密閉し、ケース３内の水４を加熱して、水４を亜臨界水４’にする。
このようにすると、水４を用いて、被洗浄物２の表面に付着した加工油等の有機物を、短時間で洗浄することができる。すなわち、水４を加熱して亜臨界水４’にすると、上述したように比誘電率が低下して、常温常圧のメタノールやアセトン程度になる。つまり、水４を亜臨界水４’にすれば、親油性を、有機溶媒と同程度にすることができる。そのため、この亜臨界水４’を用いれば、加工油等の有機物を短時間で溶解することができる。また、亜臨界水４’は、常温常圧の水４よりも水素イオン濃度と水酸化物イオン濃度が高い。したがって、亜臨界水４’を用いれば、水素イオン等によって、被洗浄物２の表面に付着した有機物を加水分解することもできる。
このように、亜臨界水４’は、親油性が高く、かつ有機物を加水分解しやすいため、亜臨界水４’を用いれば、被洗浄物２の表面に付着した有機物を短時間で洗浄することができる。
【００３８】
また、本例では図６に示すごとく、被洗浄物２の洗浄が完了した後、亜臨界水４’を、ケース３の底部３８に形成した排水口３１から、突沸させつつ重力方向下方に排出している。
そのため、被洗浄物２の表面を早く乾燥させることができる。すなわち、亜臨界水４’をケース外に排出するときには、亜臨界水４’は大気に曝されて突沸する。このとき、亜臨界水４’は気化熱を奪われて、温度が急激に低下する。そのため、仮に、亜臨界水４’をゆっくり排出したとすると、排出している間に温度が１００℃以下になり、排出を完了した時点で、被洗浄物２の表面に、１００℃以下の水滴が付着している可能性がある。温度が１００℃以下の水滴は蒸発に時間がかかるため、被洗浄物２を短時間で乾燥できなくなる。
しかしながら、本例のように、亜臨界水４’を、ケース３の底部３８に形成した排水口３１から排出すれば、亜臨界水４’が冷める前に、重力を利用して、下方へ一気に排出することが可能になる。そのため、排出が完了した時点で被洗浄物２の表面に付着している水滴４０の温度を、１００℃よりも高くすることができる。温度が１００℃よりも高い水（亜臨界水）は、大気中で突沸するため、短時間で蒸発する。そのため、被洗浄物２の表面を短時間で乾燥させることができる。
【００３９】
また、本例では図６に示すごとく、排水カバー３２に被洗浄物２を載置している。そのため、排水カバー３２を取り外して亜臨界水４’を排出すると同時に、被洗浄物２をケース本体部３０の外へ取り出すことができる。したがって、被洗浄物２をケース本体部３０の外で乾燥させることができ、乾燥速度をより高めることができる。
【００４０】
また本例では、加熱洗浄行程（図５参照）において、亜臨界水４’の温度を２００〜３５０℃にしている。亜臨界水４’の温度を２００〜３５０℃にすると、親油性を特に高めることができ、また、水のイオン積も特に高くなるため、被洗浄物２の表面に付着した有機物を、より短時間で洗浄することが可能になる。
【００４１】
また、本例では、収容空間Ｓに、被洗浄物２に付着した有機物の質量に対して１００〜１０００倍の質量の水を注入する。
このようにすると、被洗浄物２の洗浄効率を特に高めることができる。すなわち、水の質量が有機物の質量の１００倍未満の場合は、水の量が少なすぎるため、有機物を完全に溶解できない可能性がある。また、亜臨界水４’によって有機物を溶解しても、この有機物が、被洗浄物２の表面に再付着する可能性がある。
また、水の質量が有機物の質量に対して１０００倍を超える場合は、水の量が多すぎるため、水を加熱するために長時間を要することになると共に、加熱に必要なエネルギーが増大する。したがって、作業の短時間化、及び省エネルギー化の観点から、水の質量は、有機物の質量の１０００倍を超えないことが好ましい。
【００４２】
また、本例では、図５に示すごとく、被洗浄物２が、収容空間Ｓの内周面３９に接触しないように、収容空間Ｓの大きさが定められている。
そのため、被洗浄物２の表面をむらなく洗浄することができる。すなわち、仮に、被洗浄物２が内周面３９に接触したとすると、その接触した部位には亜臨界水４’が届かなくなり、当該部位の有機物を洗浄できない可能性が生じる。しかしながら、本例のように、被洗浄物２が内周面３９に接触しないようにすれば、このような問題は生じなくなり、被洗浄物２の表面をむらなく洗浄することが可能になる。
【００４３】
以上のごとく、本例によれば、水を用いて、被洗浄物を短時間で洗浄でき、かつ短時間で乾燥できる洗浄乾燥方法と、これを可能にする洗浄乾燥装置を提供することができる。
【００４４】
（実験例）
本発明の効果を確認するために実験を行った。まず、金属材料に研削加工を行って、自動車のインジェクタに用いる部品を製造した。この部品には、加工時に用いた加工油が残っているため、従来の洗浄方法を用いて、一旦、この加工油を除去した。
【００４５】
その後、上記部品に、ユシロ化学工業社製の不水溶性油ユシロンカットアーバスＫＺ２１６を約５０ｍｇ付着させて、被洗浄物２のサンプルとした。また、ステンレスからなり、内径３０ｍｍ、深さ８０ｍｍ、内容積約５５ｍＬの圧力容器（ケース３）を用意し、この圧力容器に、上記被洗浄物２のサンプルを収納した。そして、２５℃における比抵抗が０．１ＭΩ・ｃｍである水（脱イオン水）を約３０ｇ注入し、圧力容器を密閉した。
【００４６】
注入した水の質量を３０ｇにした理由は、この質量（３０ｇ）が、被洗浄物２に付着させた加工油の質量である５０ｍｇの６００倍だからであり、上述した好ましい範囲（１００〜１０００倍）に含まれるからである。
【００４７】
圧力容器を密閉した後、圧力容器を加熱し、水の温度を２００℃まで上昇させて、亜臨界水にした。その後、圧力容器の底部に形成したリリーフ弁を解放し、亜臨界水を排出した。リリーフ弁からは、わずかに白色に懸濁した水が約２５ｇ排出された。
【００４８】
その後、圧力容器内の被洗浄物２を取り出し、紫外線吸収法を用いて、被洗浄物２の表面に付着した加工油の量を測定した。その結果、０．１ｍｇ／ｄｍ２以下であり、加工油が充分に洗浄されていることを確認できた。
【００４９】
（実施例２）
本例は、ケース３の形状を変更した例である。本例では図９に示すごとく、ケース本体部３０に排水口３１のみ形成してあり、注水孔３３（図１参照）は形成していない。本例のケース３は、ケース本体部３０と、排水カバー３２から構成されている。本例では、ケース本体部３０を、排水口３１が重力方向上側を向くように配置して、収容空間Ｓに水４を貯留する。また、排水カバー３２にチャック治具（図示しない）等を形成しておき、このチャック治具に被洗浄物２を取り付ける。そして図１０に示すごとく、この被洗浄物２を収容空間Ｓに入れ、被洗浄物２を水４に浸漬させつつ、排水カバー３２を排水口３１に嵌合させる。
【００５０】
その後、図１１に示すごとく、ケース３の上下を逆にし、加熱手段５に電流を流して発熱させる。これにより、水４を亜臨界水４’にし、被洗浄物２の表面に付着した有機物を、亜臨界水４’に溶解させる。
【００５１】
次いで、図１２に示すごとく、排水カバー３２を取り外し、亜臨界水４’を収容空間Ｓから一気に排出する。そして、被洗浄物２の表面に付着した水滴４０を突沸させ、乾燥させる。
【００５２】
本例の作用効果について説明する。本例では、ケース本体部３０に注水孔３３を形成していないため、ケース３の構造を簡素にすることができる。そのため、ケース３の製造コストを低減することができる。
【００５３】
その他は、実施例１と同様である。また、本例に関する図面に用いた符号のうち、実施例１において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、実施例１と同様の構成要素等を表す。
【００５４】
なお、本例において「底部３８」とは、図１２に示すごとく、排出行程を行うときにおける、ケース３の底部を意味する。
【符号の説明】
【００５５】
１  洗浄乾燥装置
２  被洗浄物
３  ケース
３８  底部
３１  排水口
４  水
４’  亜臨界水
５  加熱手段
Ｓ  収容空間
【図１】
2015107458.tif 000003
【図２】
2015107458.tif 000004
【図３】
2015107458.tif 000005
【図４】
2015107458.tif 000006
【図５】
2015107458.tif 000007
【図６】
2015107458.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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