(57)【要約】【課題】検査点に形成される打痕を小さくし、検査端部がずれた際における疑似不良の発生を抑制できるとともに、製造コストの増大を抑制できる検査用接触子を提供する。【解決手段】検査点Ｃと検査装置とを電気的に接続するための検査治具に用いられる、検査点Ｃ側に位置する検査端部２、及び前記検査装置と接続された電極部側に位置する電極端部を両端部に備えたワイヤ状の検査用接触子１であって、検査端部２の形状を検査点Ｃに近づくにつれて縮径する円錐台状とした。検査端部２と検査点Ｃとが面接触するため、検査点Ｃに形成される打痕を小さくできるとともに、疑似不良（断線不良の虚報）の発生を抑制できる。検査点と接触する検査端部の頂面２Ａの面積を小さくしているため、擬似不良（絶縁不良の虚報）の発生を抑制できる。検査端部以外の検査用接触子の殆どの部分の直径Ｄが比較的大きいままであるので、小径化に起因する製造コストの増大を抑制できる。【選択図】図５
2015152391.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物の検査対象部に予め設定された検査点と検査装置とを電気的に接続するための検査治具に用いられる、前記検査点側に位置する検査端部、及び前記検査装置と接続された電極部側に位置する電極端部を両端部に備えた、屈曲可能な弾性を有するワイヤ状の検査用接触子であって、
前記検査端部の形状を、前記検査点に近づくにつれて縮径する円錐台状としてなることを特徴とする検査用接触子。
【請求項２】
前記検査端部の、前記検査点と接触する頂面の直径を、前記検査対象部のパターンと隣接するパターンとの距離以下にしてなる請求項１記載の検査用接触子。
【請求項３】
前記頂面の直径を、前記検査対象部のパターンと隣接するパターンとの距離と同じにしてなる請求項２記載の検査用接触子。
【請求項４】
前記検査端部及び前記電極端部以外の中間部分の直径（Ｄ）が１００μｍ以下であり、前記中間部分の直径（Ｄ）に対する前記検査端部の頂面の直径（ｄ）の比（ｄ／Ｄ）を、０．１〜０．５にしてなる請求項１〜３の何れか１項に記載の検査用接触子。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載の検査用接触子を備えた検査治具。
【請求項６】
被検査物の検査対象部に予め設定された検査点と検査装置とを電気的に接続するための検査治具に用いられる、前記検査点側に位置する検査端部、及び前記検査装置と接続された電極部側に位置する電極端部を両端部に備えた、屈曲可能な弾性を有するワイヤ状の検査用接触子の製造方法であって、
屈曲可能な弾性を有する所要太さの線材に絶縁被膜を形成する絶縁被膜形成工程と、
前記絶縁被膜形成工程を経た前記線材を所要長さに切断する切断工程と、
前記切断工程を経た前記線材の前記検査端部となる部分を、前記検査点に近づくにつれて縮径する円錐台状となるように研磨して前記部分の前記絶縁被膜を除去する研磨工程と
を含むことを特徴とする検査用接触子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物の検査対象部に予め設定された検査点と検査装置とを電気的に接続するための検査治具に用いられる検査用接触子に関する。
【背景技術】
【０００２】
検査用接触子（プローブ、プローブ針、接触ピン等ともいう。以下において単に「接触子」と称することもある。）が取り付けられた状態で使用される検査治具（プローバー）は、被検査物が有する検査対象部に対して、接触子を経由して検査装置から電力を所定検査位置に供給するとともに、検査対象部から電気信号を検出することによって、検査対象部の電気的特性の検出、動作試験の実施等をするために用いられる（例えば、特許文献１〜３参照）。
ここで、被検査物としては、例えば、プリント配線基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリア等の種々の基板、並びに半導体ウェハや半導体チップやCSP(Chip Size Package)等の半導体装置が該当する。これらの被検査物を総称して、本明細書では「被検査物」とする。
なお、被検査物に形成される検査対象部には、この検査対象部の電気的特性を実際に検査するための検査点が予め設定されており、この検査点に接触子を圧接させることにより、検査点が検査装置と電気的に接続される。
【０００３】
近年、回路基板の配線パターンの複雑化や集積回路の高集積化等に伴って、接触子の配列ピッチが縮小されているため、スペース効率が高い、屈曲可能な弾性を有するワイヤ状の接触子が用いられることが多い（例えば、特許文献１〜３参照）。
このような接触子は、使用時において、接触子の一端部である検査端部が検査点に圧接され、接触子の他端部である電極端部が電極部に圧接されるので、検査点及び電極部により押圧されて作用する軸方向荷重により、中間部分が湾曲するように撓んだ状態になる。
よって、このように変形した接触子の弾性復元力により、接触子の検査端部と検査点との接触状態、及び接触子の電極端部と電極部との接触状態が保持される。この状態で、接触子を介して、検査装置から検査対象部の電気的特性を測定するための電流や電圧が供給されるとともに、検査対象部から検出される電気的信号が検査装置へ送信される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−２７４０５４号公報
【特許文献２】特開２００５−１０６８３２号公報
【特許文献３】特開２０１１−２０３２８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の屈曲可能な弾性を有するワイヤ状の接触子の検査端部の形状は、図６の接触子１１Ａの検査端部１２Ａのような円錐状のもの、図７の接触子１１Ｂの検査端部１２Ｂのような半球状等の部分球面状のもの、図８の接触子１１Ｃの検査端部１２Ｃのような平坦状のものがある。
【０００６】
図６のように検査端部１２Ａが円錐状である接触子１１Ａの場合には、図６（ａ）のように、検査端部１２Ａと被検査物Ａの検査対象部Ｂにおける検査点Ｃとが点接触するので、接触子１１Ａの弾性復元力により押圧される荷重が集中するため、検査点Ｃに形成される打痕が大きくなる。
その上、図６（ｂ）の実線のように、検査端部１２Ａが水平方向にずれると、検査対象部ＢであるパターンＰ１から検査端部１２Ａが離間することによる疑似不良（断線不良の虚報）が発生し易いので（図６（ｂ）内の丸囲み部分ａを参照）、高精度の設備が必要になるため、このような接触子１１Ａを用いた検査治具の製造コストが増大する。
【０００７】
また、図７のように検査端部１２Ｂが部分球面状である接触子１１Ｂの場合においても、図７（ａ）のように、検査端部１２Ｂと被検査物Ａの検査対象部Ｂにおける検査点Ｃとが点接触するので、接触子１１Ｂの弾性復元力により押圧される荷重が集中するため、検査点Ｃに形成される打痕が大きくなる。
その上、図７（ｂ）の実線のように、検査端部１２Ｂが水平方向にずれると、検査対象部ＢであるパターンＰ１に隣接するパターンＰ２に検査端部１２Ｂが接触することによる疑似不良（絶縁不良の虚報）が発生し易いので（図７（ｂ）内の丸囲み部分ｂを参照）、高精度の設備が必要になるため、このような接触子１１Ｂを用いた検査治具の製造コストが増大する。
【０００８】
これらに対して、図８のように検査端部１２Ｃが平坦状である接触子１１Ｃの場合には、図８（ａ）のように、検査端部１２Ｃと被検査物Ａの検査対象部Ｂにおける検査点Ｃとが面接触するので、接触子１１Ｃの弾性復元力により押圧される荷重が分散するため、検査点Ｃに形成される打痕を小さくできる。
その上、検査端部１２Ｃと検査点Ｃとが面接触するので、図６（ｂ）のような疑似不良（断線不良の虚報）が発生しにくい。
その上さらに、接触子１１Ｃの直径を小さくして、より細い接触子１１Ｃを使用することにより、図８（ｂ）に示すように、検査対象部ＢであるパターンＰ１に隣接するパターンＰ２に検査端部１２Ｃが接触することによる疑似不良（絶縁不良の虚報）の発生も抑制できる。
【０００９】
しかしながら、より細い接触子１１Ｃを使用することは、例えば直径が１３０μｍの接触子を基準にすると、直径を９０μｍにすると製造コストが約３倍程度になり、直径を５０μｍにすると製造コストが約１０倍程度になるので、大幅なコスト上昇に繋がってしまう。特に検査治具には数百〜数千本という多数の接触子が使用されるので、図８のようにより細い接触子を使用すると、このような接触子を含む検査治具の製造コスト及びメンテナンスコストが大幅に増大する。
【００１０】
そこで、本発明が前述の状況に鑑み、解決しようとするところは、被検査物の検査点に形成される打痕を小さくし、検査端部が水平方向にずれた際における疑似不良（断線不良や絶縁不良の虚報）の発生を抑制できるとともに、製造コストの増大を抑制できる検査用接触子及びそれを備えた検査治具、並びに検査用接触子の製造方法を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る検査用接触子は、前記課題解決のために、被検査物の検査対象部に予め設定された検査点と検査装置とを電気的に接続するための検査治具に用いられる、前記検査点側に位置する検査端部、及び前記検査装置と接続された電極部側に位置する電極端部を両端部に備えた、屈曲可能な弾性を有するワイヤ状の検査用接触子であって、前記検査端部の形状を、前記検査点に近づくにつれて縮径する円錐台状としてなることを特徴とする。
【００１２】
このような構成によれば、検査端部の形状が検査点に近づくにつれて縮径する円錐台状であるので、検査端部と検査点とが面接触することから、検査用接触子の弾性復元力により押圧される荷重が分散するため、被検査物の検査点に形成される打痕を小さくできる。
その上、検査端部の形状が検査点に近づくにつれて縮径する円錐台状であるので、検査端部と検査点とが面接触するため、疑似不良（断線不良の虚報）の発生を抑制できる。
その上さらに、検査端部の形状が検査点に近づくにつれて縮径する円錐台状であるので、検査点と接触する検査端部の頂面の面積を小さくしているため、擬似不良（絶縁不良の虚報）の発生を抑制できる。
その上、検査端部の形状が検査点に近づくにつれて縮径する円錐台状であるので、検査端部以外の検査用接触子の殆どの部分の直径が、検査端部の頂面の直径のように小さくなく、比較的大きいままであるので、小径化に起因する製造コストの増大を抑制できる。
【００１３】
ここで、前記検査端部の、前記検査点と接触する頂面の直径を、前記検査対象部のパターンと隣接するパターンとの距離以下にしてなると好ましい。
このような構成によれば、検査用接触子の検査端部が所定のパターンに接触している状態で、隣接するパターンに接触することがないので、擬似不良（絶縁不良の虚報）の発生を確実に抑制できる。
【００１４】
また、前記頂面の直径を、前記検査対象部のパターンと隣接するパターンとの距離と同じにしてなるとより一層好ましい。
このような構成によれば、擬似不良（絶縁不良の虚報）の発生を確実に抑制しながら、検査端部の形状を円錐台状にするための加工代（研磨における除去加工量）が少なくなるので、加工時間が短縮されるため製造コストを低減できる。
【００１５】
さらに、前記検査端部及び前記電極端部以外の中間部分の直径（Ｄ）が１００μｍ以下であり、前記中間部分の直径（Ｄ）に対する前記検査端部の頂面の直径（ｄ）の比（ｄ／Ｄ）を、０．１〜０．５にしてなると好適である。
このような範囲に前記比（ｄ／Ｄ）を設定することは、線材の直径が１００μｍ以下と比較的細いものに対して前記円錐台状の検査端部を形成する加工精度面から好ましいものである。
【００１６】
本発明に係る検査治具は、前記検査用接触子を備えたものである。
このような検査治具の構成によれば、前記検査用接触子を備えたものであるので、前記検査用接触子と同様の作用効果があるとともに、多数の前記検査用接触子を使用しているので、検査治具の製造コスト及びメンテナンスコストを低減できる。
【００１７】
本発明に係る検査用接触子の製造方法は、前記課題解決のために、被検査物の検査対象部に予め設定された検査点と検査装置とを電気的に接続するための検査治具に用いられる、前記検査点側に位置する検査端部、及び前記検査装置と接続された電極部側に位置する電極端部を両端部に備えた、屈曲可能な弾性を有するワイヤ状の検査用接触子の製造方法であって、屈曲可能な弾性を有する所要太さの線材に絶縁被膜を形成する絶縁被膜形成工程と、前記絶縁被膜形成工程を経た前記線材を所要長さに切断する切断工程と、前記切断工程を経た前記線材の前記検査端部となる部分を、前記検査点に近づくにつれて縮径する円錐台状となるように研磨して前記部分の前記絶縁被膜を除去する研磨工程とを含むことを特徴とする。
【００１８】
このような製造方法によれば、検査用接触子における検査端部以外の殆どの部分の直径に合わせた所要太さの線材に対して絶縁被膜形成工程により絶縁被膜を形成した後、検査端部となる部分のみを円錐台状に研磨する研磨工程により前記部分の絶縁被膜も除去されるので、製造工程が簡素化されるため製造コストの上昇を抑制できる。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように、本発明に係る検査用接触子によれば、検査端部の形状が検査点に近づくにつれて縮径する円錐台状であるので、
（ア）検査端部と検査点とが面接触するため、被検査物の検査点に形成される打痕を小さくできるとともに、疑似不良（断線不良の虚報）の発生を抑制できること、
（イ）検査点と接触する検査端部の頂面の面積を小さくしているため、擬似不良（絶縁不良の虚報）の発生を抑制できること、
（ウ）検査端部以外の検査用接触子の殆どの部分の直径が比較的大きいままであるので、小径化に起因する製造コストの増大を抑制できること、
等の効果がある。
また、本発明に係る検査治具によれば、前記検査用接触子と同様の作用効果があるとともに、多数の前記検査用接触子を使用しているので、検査治具の製造コスト及びメンテナンスコストを低減できる。
さらに、本発明に係る検査用接触子の製造方法によれば、所要太さの線材に対して絶縁被膜を形成した後、検査端部となる部分のみを円錐台状に研磨して本発明に係る検査用接触子を製造するので、製造工程が簡素化されるため製造コストの上昇を抑制できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態に係る検査用接触子が使用された検査治具の例を示す概略縦断正面図であり、非検査時における状態を示している。
【図２】同じく平面図である。
【図３】同じく概略縦断面図であり、検査時における状態を示している。
【図４】本発明の実施の形態に係る検査用接触子を示す正面図であり、（ａ）は全体図、（ｂ）は検査端部まわりの拡大図である。
【図５】検査時における検査端部まわりを拡大して示す正面図であり、（ａ）は検査点に検査端部が接触している状態を、（ｂ）は検査端部が水平方向にずれた状態を示している。
【図６】検査時における従来の検査用接触子の円錐状検査端部まわりを拡大して示す正面図であり、（ａ）は検査点に円錐状検査端部が接触している状態を、（ｂ）は円錐状検査端部が水平方向にずれた状態を示している。
【図７】検査時における従来の検査用接触子の部分球面状検査端部まわりを拡大して示す正面図であり、（ａ）は検査点に部分球面状検査端部が接触している状態を、（ｂ）は部分球面状検査端部が水平方向にずれた状態を示している。
【図８】検査時における従来の検査用接触子の平坦状検査端部まわりを拡大して示す正面図であり、（ａ）は検査点に平坦状検査端部が接触している状態を、（ｂ）は平坦状検査端部が水平方向にずれた状態を示している。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。
本明細書においては、検査端部２を上側、電極端部３を下側にした状態で、検査用接触子１を手前側から見た図を正面図とする。
【００２２】
図１の概略縦断正面図、図２の平面図、及び図３の概略縦断正面図に示すように、本発明の実施の形態に係る検査用接触子１，１，…が使用された検査治具４は、例えばプリント配線基板や半導体集積回路等である被検査物Ａの電気的検査を行う図示しない検査装置に搭載されて使用され、電極部９と検査装置とが図示しないケーブルによって接続される。そして導電性の接触子１の一端部の検査端部２が検査点Ｃ（図５（ａ）参照）に接触し、他端部の電極端部３が電極部９に接触する。これにより、検査対象となる被検査物Ａに設けられる検査点Ｃと被検査物Ａを検査する検査装置とを電気的に接続できる。
【００２３】
検査治具４は、基体であるフレーム４Ａ、電極部９，９，…を備える電極体８、接触子１，１，…、支持ブロックＥ、及び付勢部１０等を備える。
ここで、支持ブロックＥは、検査側支持体５及び電極側支持体６、並びに検査側支持体５と電極側支持体６とを所定距離隔てて平行に保持する連結部材７，７，…からなる。
検査側支持体５は、接触子１，１，…の検査端部２，２，…を検査点Ｃに案内する検査案内孔５Ａ，５Ａ，…（図２参照）を有する。
また、電極側支持体６も、接触子１，１，…の電極端部３，３，…を電極部９，９，…に案内する図示しない電極案内孔を有する。
【００２４】
非検査時における状態を示す図１から、検査時における状態を示す図３のように、支持ブロックＥの被検査物Ａに対向する対向面Ｆに当接するように被検査物Ａが配置され、被検査物Ａにより支持ブロックＥが押圧されると、付勢部１０，１０，…の付勢力に抗して、支持ブロックＥ（検査側支持体５及び電極側支持体６、並びに連結部材７，７，…）が電極体８に向かって相対移動する。
それに伴い、接触子１の電極端部３が電極９により相対的に検査端部２の方向へ押されるので、接触子１の検査端部２が対向面Ｆから突出しようとする。なお、図３においては、説明を容易にするため、接触子１の検査端部２が対向面Ｆから突出した状態を示している。
【００２５】
このような力の作用より、接触子１の検査端部２は被検査物Ａの検査点Ｃ（図５（ａ）参照）に当接して押しとどめられるので、検査側支持体５と電極側支持体６との間で傾斜姿勢にあった接触子１の中間部分は撓む（屈曲する）ことになる。
よって、このように変形した接触子１の弾性復元力により、接触子１の検査端部２が所定の接触圧で検査点Ｃに接触し、接触子１の電極端部３が所定の接触圧で電極部９に接触するので、検査端部２と検査点Ｃとの接触状態、及び電極端部３と電極部９との接触状態が保持される。この状態で、接触子１を介して、検査装置から検査対象部Ｂ（図５（ａ）参照）の電気的特性を測定するための電流や電圧が供給されるとともに、検査対象部Ｂから検出される電気的信号が検査装置へ送信される。
【００２６】
ここで、接触子１は、タングステン（Ｗ）、ハイス鋼（ＳＫＨ）、ベリリウム銅（ＢｅＣｕ）等の靭性に富む金属その他の導電体で形成されるとともに、屈曲可能な弾性（可撓性）を有するワイヤ状（棒状）に形成される。
また、接触子１は、図４（ａ）の正面図に示すように、両端部を検査端部２及び電極端部３とし、検査端部２の形状は、先端側に行くにつれて（検査点Ｃに近づくにつれて）縮径する円錐台状とされる。
なお、電極端部３の形状は、図４（ａ）のような平坦状に限定されるものではなく、部分球面状等の他の形状であってもよい。
【００２７】
本発明は、図４（ｂ）の拡大正面図に示す検査端部２以外の部分の直径（又は、検査端部２及び電極端部３以外の中間部分の直径）Ｄが１００μｍ以下の場合に好適に適用される。
図４（ｂ）の拡大正面図に示すように、接触子１の検査端部２は、頂面２Ａと円錐台の斜面状の側面２Ｂからなり、前記直径Ｄが例えば２０〜７０μｍである場合において、頂面２Ａの直径ｄは例えば５〜３０μｍの範囲に、具体的な寸法としては、前記直径Ｄが２０μｍのとき、頂面２Ａの直径ｄを１０μｍ程度(この場合は、ｄ／Ｄ≒０．５)に形成することができ、直径Ｄが７０μｍのとき、頂面２Ａの直径ｄを２０μｍ程度（この場合は、ｄ／Ｄ≒０．２９）に形成することができる。
ここで、前記直径Ｄに対する頂面２Ａの直径ｄの比（ｄ／Ｄ）は、０．１〜０．５にするのが、前記直径Ｄが１００μｍ以下と比較的細いものに対して前記円錐台状の検査端部２を形成する加工精度面から好ましいものである。
なお、側面２Ｂの軸方向長さＬが短い場合においては、ｄ／Ｄを０．７〜０．８程度にしてもよい。また、後述する研磨工程の加工時間を短縮するためには、側面２Ｂの軸方向長さＬは、可能な範囲で短い方が好ましい。
【００２８】
また、検査端部２の側面２Ｂの「円錐台の斜面状」は、図４（ｂ）のような正面視で直線状の斜面に限定されるものではなく、正面視で曲線状の斜面も含まれる。すなわち、頂面２Ａを平坦面として、（頂面２Ａの直径ｄ）＜（検査端部２以外の部分の直径Ｄ）とし、側面２Ｂは、頂面２Ａの外周縁と直径Ｄの部分の検査端部２側の外周縁とを繋ぐ面であればよい。
【００２９】
接触子１の製造は、先ず、タングステン（Ｗ）等の前記材料からなる所要太さの線材に対し、フッ素樹脂（ＰＴＦＥ）等のコーティングを施す絶縁被膜形成工程により図示しない所要厚さの絶縁被膜を形成する。
次に、前記絶縁被膜形成工程を経た前記線材を、切断工程により所要長さ毎に切断する。
次に、前記切断工程を経た各々の前記線材に対し、それらの検査端部２となる先端部分を研磨工程で研磨することにより、前記部分の前記絶縁被膜を除去しながら、先端側に行くにつれて（検査点に近づくにつれて）縮径する所要の円錐台状にする。
ここで、前記研磨は、絶縁被膜及び線材表面の除去加工を行えるものであればよく、精密研削、化学加工（エッチング）、電解加工等も含むものである。
このような接触子１の製造方法によれば、接触子１における検査端部以外の殆どの部分の直径Ｄに合わせた所要太さの線材に対して絶縁被膜形成工程により絶縁被膜を形成した後、検査端部２となる部分のみを円錐台状に研磨する研磨工程により前記部分の絶縁被膜も除去されるので、製造工程が簡素化されるため製造コストの上昇を抑制できる。
なお、研磨工程で前記絶縁被膜を除去せずに、検査端部２となる先端部分の前記絶縁被膜を別工程で除去した後に、研磨工程で研磨して前記円錐台状の検査端部２を形成するようにしてもよい。
【００３０】
以上のような接触子１によれば、検査端部２の形状が検査点Ｃに近づくにつれて縮径する円錐台状であるので、図５（ａ）の拡大正面図に示すように検査端部２と検査点Ｃとが面接触することから、接触子１の弾性復元力により押圧される荷重が分散するため、被検査物Ａの検査点Ｃに形成される打痕を小さくできる。
また、検査端部２の形状が検査点Ｃに近づくにつれて縮径する円錐台状であるので、検査端部２と検査点Ｃとが面接触するため、疑似不良（断線不良の虚報）の発生を抑制できる。
さらに、検査端部２の形状が検査点Ｃに近づくにつれて縮径する円錐台状であるので、検査点Ｃと接触する検査端部２の頂面２Ａの面積を小さくしているため、擬似不良（絶縁不良の虚報）の発生を抑制できる。
【００３１】
さらにまた、検査端部２の形状が検査点Ｃに近づくにつれて縮径する円錐台状であるので、検査端部２以外の検査用接触子１の殆どの部分の直径Ｄ（図４（ｂ）参照）が、検査端部２の頂面２Ａの直径ｄのように小さくなく、比較的大きいままであるので、小径化に起因する製造コストの増大を抑制できる。
また、図５（ｂ）の拡大正面図に示すように、接触子１の検査端部２の頂面２Ａの直径ｄを、検査対象部ＢのパターンＰ１と隣接するパターンＰ２との距離Ｓ以下にすることにより（ｄ≦Ｓ）、検査端部２が所定のパターンＰ１に接触している状態で、隣接するパターンＰ２に接触することがないので、擬似不良（絶縁不良の虚報）の発生を確実に抑制できる。
さらに、接触子１の検査端部２の頂面２Ａの直径ｄを、検査対象部ＢのパターンＰ１と隣接するパターンＰ２との距離Ｓと同じにすることにより（ｄ＝Ｓ）、擬似不良（絶縁不良の虚報）の発生を確実に抑制しながら、検査端部２の形状を円錐台状にするための加工代（前記研磨における除去加工量）が少なくなるので、加工時間が短縮されるため製造コストを低減できる。
さらにまた、検査端部２の頂面２Ａの直径ｄを、検査対象部ＢのパターンＰ１の幅と略同じとなるように形成することもできる。
【符号の説明】
【００３２】
１  検査用接触子
２  検査端部
２Ａ  頂面
２Ｂ  側面
３  電極端部
４  検査治具
４Ａ  フレーム（基体）
５  検査側支持体
５Ａ  検査案内孔
６  電極側支持体
７  連結部材
８  電極体
９  電極部
１０  付勢部
１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ  従来の接触子
１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ  検査端部
Ａ  被検査物
Ｂ  検査対象部
Ｃ  検査点
ｄ  検査端部の頂面の直径
Ｄ  検査端部以外の部分の直径
Ｅ  支持ブロック
Ｆ  対向面
Ｌ  検査端部の側面の軸方向長さ
Ｐ１，Ｐ２  パターン
Ｓ  検査対象部のパーンと隣接するパターンとの距離
【図１】
2015152391.tif 000003
【図２】
2015152391.tif 000004
【図３】
2015152391.tif 000005
【図４】
2015152391.tif 000006
【図５】
2015152391.tif 000007
【図６】
2015152391.tif 000008
【図７】
2015152391.tif 000009
【図８】
2015152391.tif 000010