(57)【要約】【課題】ボールねじのねじ軸を支持する軸受装置又は軸受装置近傍を効率良く冷却できる冷却機構を備えたボールねじ装置を提供する。【解決手段】ボールねじ装置１は、ボールねじ１０と、そのねじ軸１１０の端部を支持する軸受装置１０１とを有する。軸受装置１０１は、ねじ軸１１０を回転可能に支持するハウジング１３０を有する。ハウジング１３０には、径方向に貫通し、冷却媒体を通過させる第１冷却用貫通孔１７１が設けられる。ねじ軸１１０内には、ねじ軸の軸方向に沿って冷却媒体を通過させる第２冷却用貫通孔１７２と、第１冷却用貫通孔１７１と第２冷却用貫通孔１７２とを連結する第３冷却用貫通孔１７３とが形成される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、前記ナットの螺旋溝と前記ねじ軸の螺旋溝とで形成される軌道に配置されたボールとを備えたボールねじと、
前記ねじ軸の端部を支持する軸受装置とを有し、
その軸受装置は、前記端部に嵌合して前記ねじ軸と一体に回転する内輪と、該内輪の外周面に配設された複数の転動体を介して前記内輪を回転可能に支持する外輪とにより形成された複数の軸受と、
前記外輪の外周面と当接する内周面を有して前記ねじ軸を回転可能に支持するハウジングとを備え、
前記ハウジングの外周面と内周面とを貫通し、冷却媒体を通過させる第１冷却用貫通孔が前記ハウジングの径方向に沿って１つ以上形成され、
前記ねじ軸の軸方向に沿って冷却媒体を通過させる第２冷却用貫通孔が前記ねじ軸内に形成され、
第１冷却用貫通孔と第２冷却用貫通孔とを連結する第３冷却用貫通孔が前記ねじ軸内に形成されたことを特徴とするボールねじ装置。
【請求項２】
第１冷却用貫通孔が、前記軸受と前記ナットとの間に配設された請求項１に記載のボールねじ装置。
【請求項３】
第１冷却用貫通孔が、前記軸受の前記ナットと反対側に配置された請求項１に記載のボールねじ装置。
【請求項４】
前記軸受装置が前記ねじ軸の一方の端部を支持する請求項１に記載のボールねじ装置。
【請求項５】
前記軸受装置が前記ねじ軸の両方の端部を支持する請求項１に記載のボールねじ装置。
【請求項６】
前記複数の軸受はＤＢ形である請求項１に記載のボールねじ装置。
【請求項７】
前記軸受が、単列アンギュラ玉軸受、単列円すいころ軸受、複列アンギュラ玉軸受、複列円すいころ軸受のいずれかである請求項１に記載のボールねじ装置。
【請求項８】
第１冷却用貫通孔が、継手部材を介して配管によりハウジングの外部で連結されている請求項１に記載のボールねじ装置。
【請求項９】
第１冷却用貫通孔が、前記ハウジングの径方向に沿って均等に配設された請求項１に記載のボールねじ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ボールねじと、そのボールねじのねじ軸の端部を回転自在に支持する軸受装置とを有するボールねじ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ボールねじは、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝とで形成される軌道に配置されたボールと、を備えている。
工作機械、射出成形機、半導体素子製造装置等の精密送り機構として使用されるボールねじは、高速、高サイクルで使用されると高温になり、ねじ軸やナットに熱変形が生じる（ねじ軸は熱膨張により伸びる）。これに伴い、ボールの負荷分布異常や作動性の悪化が生じて、送り機構としての位置決め精度が悪化する。そのため、高い位置決め精度が要求されるボールねじでは、ねじ軸、ナット、及びねじ軸の端部に配置された軸受装置を冷却する対策が施されている。
【０００３】
特許文献１には、ボールねじと転がり軸受を冷却する構成が開示されている。具体的には、図５に示すように、ねじ軸１００６の端部を回転自在に支持する転がり軸受１００５の外輪が内嵌されるハウジング１００３と、移動体１００２がナット１００７に固定されたボールねじとが特許文献１に開示されている。そして、ハウジング１００３と本体フレーム１００１との隙間δ１、及びナット１００７と移動体１００２との隙間δ２に断熱材としての機能を備えたスペーサ（断熱カラー）がそれぞれ設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開平０１−１１７８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の技術には、転がり軸受の冷却効率の点で改善の余地がある。具体的には、ハウジングの外周部を冷却しており、発熱源である軸受装置及びその近傍ではないため、効率的な冷却がなされないという点である。
そこで、本発明は上記の問題点に着目してなされたものであり、その目的は、ボールねじのねじ軸の端部を回転自在に支持する転がり軸受、又は軸受装置の近傍を効率的に冷却できるボールねじ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明のある態様のボールねじ装置は、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、上記ナットの螺旋溝と上記ねじ軸の螺旋溝とで形成される軌道に配置されたボールとを備えたボールねじと、
上記ねじ軸の端部を支持する軸受装置とを有し、
その軸受装置は、上記端部に嵌合して上記ねじ軸と一体に回転する内輪と、該内輪の外周面に配設された複数の転動体を介して上記内輪を回転可能に支持する外輪とにより形成された複数の軸受と、
上記外輪の外周面と当接する内周面を有して上記ねじ軸を回転可能に支持するハウジングとを備え、
上記ハウジングの外周面と内周面とを貫通し、冷却媒体を通過させる第１冷却用貫通孔が上記ハウジングの径方向に沿って１つ以上形成され、
上記ねじ軸の軸方向に沿って冷却媒体を通過させる第２冷却用貫通孔が上記ねじ軸内に形成され、
第１冷却用貫通孔と第２冷却用貫通孔とを連結する第３冷却用貫通孔が上記ねじ軸内に形成されている。
【０００７】
第１〜第３冷却用貫通孔を配設することにより、ハウジングの外側よりも転がり軸受に近いハウジングの内部に設けた冷却用貫通孔を使用してハウジングの円周方向で均一な冷却を行うことができる。よって、ハウジングの外側を空冷する特許文献１の方法よりも、ボールねじのねじ軸の端部を回転自在に支持する転がり軸受を効率良く冷却できる。
ここで、上記ボールねじ装置においては、第１冷却用貫通孔が、上記軸受と上記ナットとの間に配設されてもよく、上記軸受の上記ナットと反対側に配置されてもよい。
【０００８】
また、上記ボールねじ装置においては、上記軸受装置が上記ねじ軸の一方の端部を支持されてもよい。
また、上記ボールねじ装置においては、上記軸受装置が上記ねじ軸の両方の端部を支持されてもよい。
また、上記ボールねじ装置においては、上記複数の軸受はＤＢ形であってもよい。
また、上記ボールねじ装置においては、上記軸受が、単列アンギュラ玉軸受、単列円すいころ軸受、複列アンギュラ玉軸受、複列円すいころ軸受のいずれかであってもよい。
また、上記ボールねじ装置においては、第１冷却用貫通孔が、継手部材を介して配管によりハウジングの外部で連結されてもよい。
また、上記ボールねじ装置においては、第１冷却用貫通孔が、上記ハウジングの径方向に沿って均等に配設されてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のボールねじ装置によれば、ボールねじのねじ軸の端部を回転自在に支持する転がり軸受又は軸受装置の近傍を効率良く冷却することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】ボールねじ装置の第１実施形態における構成を示す正面図である。
【図２】ボールねじ装置の第１実施形態における軸受装置の構成を示す図であり、（ａ）は部分断面図、（ｂ）は（ａ）のIIｂで示した部分の要部拡大図である。
【図３】ボールねじ装置の第２実施形態における軸受装置の構成を示す図であり、（ａ）は部分断面図、（ｂ）は（ａ）のIIIｂで示した部分の要部拡大図である。
【図４】ボールねじ装置の第３実施形態における構成を示す正面図である。
【図５】従来のボールねじ装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（第１実施形態）
以下、ボールねじ装置の第１実施形態について、図面を参照して説明する。
この実施形態のボールねじ装置１は、図１に示すように、ボールねじ１０と、このボールねじ１０のねじ軸１１０を支持する軸受装置１０１とを有する。
ここで、ねじ軸１１０の一方の端部（同図右側の軸端）には、駆動プーリ５０が装着され、電動モータ（図示せず）の回転運動が動力伝達機構を介してこの駆動プーリ５０に伝達されて、ボールねじ１０が駆動されるようになっている。以下、駆動プーリ５０に近い側（図示しない電動モータに近い側）の軸受装置１０１Ｂを「モータ側の軸受装置１０１Ｂ」、駆動プーリ５０から遠い側（図示しない電動モータから遠い側）の軸受装置１０１Ａを「非モータ側の軸受装置１０１Ａ」ということがある。
【００１２】
＜ボールねじ＞
ボールねじ１０は、ねじ軸１１０と、ナット２０と、ねじ軸１１０の外周面及びナット２０の内周面それぞれに対向して形成された螺旋溝に転動自在に充填されたボール（図示せず）とを有してなる。そして、ボールを介してねじ軸１１０に螺合されているナット２０とねじ軸１１０とを相対回転運動させると、ボールの転動を介してねじ軸１１０とナット２０とが軸方向に相対移動するようになっている。
すなわち、ボールねじ装置１は、ボールねじ１０のねじ軸１１０の少なくとも一方の端部が軸受装置１０１Ａ，１０１Ｂを介してブラケット３０に回転自在に支持されるとともに、ナット２０が図示しないテーブルに対して固定されている。
【００１３】
＜軸受装置＞
軸受装置１０１は、図２（ａ）に示すように、ボールねじ１０のねじ軸１１０の少なくとも一方の軸受嵌合部１１２を回転自在に支持する二個の転がり軸受１２０Ａ，１２０Ｂと、両転がり軸受１２０Ａ，１２０Ｂの外輪１２３Ａ，１２３Ｂが内嵌されるハウジング１３０とを有する。また、軸受装置１０１は、転がり軸受１２０Ａ，１２０Ｂの内輪１２１Ａ，１２１Ｂの軸方向への移動を制限するスペーサ１５０及びロックナット１４０と、外輪１２３Ａ，１２３Ｂの軸方向への移動を制限する押え蓋１６０とを有する。さらに、軸受装置１０１は、図１，２（ａ）に示すように、継手部材１７０と、配管１８０と、押え蓋１６０をハウジング１３０に固定するボルト１９５とを有する。
【００１４】
ねじ軸１１０の端部１１２は小径部となっていて、その段差部と一方の転がり軸受１２０Ａの内輪１２１Ａとの間に、スペーサ１５０が配置されている。他方の転がり軸受１２０Ｂの内輪１２１Ｂの外側（他方の転がり軸受１２０Ｂを基準として一方の転がり軸受１２０Ａが設けられた側と反対側）にもスペーサ１５０が配置され、さらにその外側にロックナット１４０が配置されている。転がり軸受１２０Ａ，１２０Ｂの外輪１２３Ａ，１２３Ｂは、ハウジング１３０の内周面の大径部に配置されている。一方の転がり軸受１２０Ａの外輪１２３Ａの端面が段差面に当接し、他方の転がり軸受１２０Ｂの外輪１２３Ｂが押え蓋１６０の端面に当接している。
図２（ａ）に示すように、ハウジング１３０の軸方向の一端にはフランジ１３２が形成されている。フランジ部１３２には、ボルト１９５を螺合させる雌ねじ１３２ａと、取付用のボルトを挿入するボルト穴１３２ｂが形成されている。
【００１５】
［冷却用貫通孔］
ここで、ハウジング１３０には、継手部材１７０に接続され、ハウジング１３０の内周面と外周面とを貫通する第１冷却用貫通孔１７１が設けられている。この第１貫通孔１７１は、ハウジングの径方向に沿って１つ以上形成される。また、本実施形態では、第１冷却用貫通孔１７１が、軸受１２０を基準として、ナット２０とは反対側に配置されている。この第１貫通孔１７１内に冷却媒体が通過する。
【００１６】
また、ねじ軸１１０内には、そのねじ軸１１０の軸方向に沿って冷却媒体を通過させる第２冷却用貫通孔１７２が設けられている。また、ねじ軸１１０内には、第１冷却用貫通孔１７１と第２冷却用貫通孔１７２とを連結する第３冷却用貫通孔１７３が形成されている。例えば、第２冷却用貫通孔１７２がねじ軸１１０の軸方向の中心に穿設され、この第２冷却用貫通孔１７２の一端部１７２ａに連結する第３冷却用貫通孔１７３がねじ軸１１０の径方向にねじ軸１１０を貫通して１つ以上設けられている。なお、冷却用媒体は、第２冷却用貫通孔１７２の他端部１７２ｂに接続されたポンプ（図示せず）などにより、第１冷却用貫通孔１７１のハウジング１３０の外周面側の開口部１７１ａから導入され、第２冷却用貫通孔１７２の他端部１７２ｂから排出される。
【００１７】
ここで、スペーサ１５０には、第１冷却用貫通孔１７１、及び第３冷却用貫通孔１７３に連通する貫通孔１５１が設けられている。すなわち、第１冷却用貫通孔１７１は、スペーサ１５０に設けられた貫通孔１５１を介して第３冷却用貫通孔１７３に連結されている。また、第１冷却用貫通孔１７１は、ハウジング１３０の内周面側の開口部１７１ａ付近に１対のシール部材１９０が設けられている。これら１対のシール部材１９０，１９０は、背面配置されている。このような構成により冷却媒体がハウジング１３０からねじ軸１１０側に流れたり、ねじ軸１１０からハウジング１３０側へ流れても、シールリップ部１９０ａによって、冷却媒体が漏れることがないため、効率よく冷却することができる。
【００１８】
シール部材１９０の材料としては、熱伝達率、耐摩耗性、含水性（耐薬品性）を考慮すると、ニトリルゴム、アクリルゴム、シリコンゴム、フッ素ゴム等のゴム材料が挙げられ、これらの中でも、ニトリルゴムが好ましい。
また、シール部材１９０の他の材料として、熱伝達率、耐摩耗性、含水性（耐薬品性）を考慮すると、ポリスチレン系、ポリオレフイン系、塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系などの熱可塑性エラストマ材料が挙げられる。これらの中でも、塩化ビニル系が好ましい。
【００１９】
ここで、本実施形態のボールねじ装置は、ボールねじを支持する両端の軸受の組合せをＤＢ形（ＤＢ組合せ）としている。このような構成とすることにより、ねじ軸が撓まないという効果を奏する。また、モータ側の軸受装置１０１Ｂはモータの発熱によって軸受の温度が高くなるため、モータ側の軸受装置１０１Ｂの軸受の温度を低くする必要がある。よって、冷却水の冷媒の温度を非モータ側の軸受装置１０１Ａより低くするか、あるいは、冷媒量を増加させる。
【００２０】
また、軸受の組み合わせとして、モータ側の軸受装置１０１Ｂを、ＤＢ形（ＤＢ組合せ）、及びＤＴ形（ＤＴ組合せ）とし、非モータ側の軸受装置１０１Ａを、ＤＢ形（ＤＢ組合せ）、ＤＴ形（ＤＴ組合せ）、ＤＦ形（ＤＦ組合せ）、又は単列とする。
さらに、本実施形態のボールねじ装置において支持されるボールねじとしては、エンドデフレクタ式、チューブ式、こま式、エンドキャップ式が挙げられる。特に、モータ側の軸受装置の軸受をＤＢ形（ＤＢ組合せ）とすることにより、ねじ軸が振れ回らないという効果を奏する。
【００２１】
ここで、本実施形態のボールねじ装置に使用される軸受１２０はラジアル方向（径方向）だけでなくアキシアル方向（軸方向）の荷重も負荷する必要があるため、アンギュラ玉軸受や円すいころ軸受が使われる。しかし、反モータ側では軸受１２０の組合せをＤＢ形（背面組合せ）として、軸受１２０の内輪１２１側に軸方向の圧縮力が加わり、予圧を与える。一方、アンギュラ玉軸受を２個使った場合であるが、軸受１２０の組合せがＤＢ形（背面組合せ）であれば、軸受１２０の内輪１２１側に軸方向の圧縮力が加えられ、予圧を与えることができるので、いくつ使用してもよい。
【００２２】
本実施形態では、ハウジング１３０を冷却するため、軸受１２０の外輪１２３側の温度が軸受１２０の内輪１２１側の温度に比べて低くなる。このため、軸受１２０の外輪１２３側が径方向に収縮すると共に軸方向にも収縮する。
ＤＢ形（背面組合せ）では、軸受１２０の内輪１２１側に軸方向の圧縮力が加わり、予圧を与えているが、冷却による軸受１２０の外輪１２３側の径方向への収縮は予圧の増加につながるものの、軸方向への収縮は予圧を減少する方向にはたらく。その結果、軸受１２０の外輪１２３側では、冷却されても予圧量が径方向と軸方向で相殺され、予圧が変わらないため効果的な冷却が可能となる。
【００２３】
一方、モータ側に示すＤＦ形（正面組合せ）では、軸受１２０の外輪１２３側に軸方向の圧縮力が加わり、予圧を与えているが、冷却による軸受１２０の外輪１２３側の径方向と軸方向への収縮は共に予圧を増加する方向にはたらく。よって、この配置で軸受１２０が冷却されると予圧が上がり、発熱量が大きくなるため冷却効果が損なわれる可能性がある。
【００２４】
［冷却媒体］
本実施形態に用いられる冷却媒体としては、流体として各種の気体、液体が使用できる。気体としては、空気あるいは圧縮空気の他、窒素、不活性ガス（アルゴン等）、炭化水素（ブタン、イソブタン等）、ヘリウム、アンモニア、二酸化炭素等、更にはこれらの混合物が使用できる。液体としては、水の他、水に防錆剤を加えたクーラント、水に各種添加剤を加えたクーラント、もしくは冷媒油として各種の油も使用できる。具体的には鉱油、動植物油、合成油が使用できる。これらは使用環境等に応じて適宜選択すれば良い。更に、冷却媒体は温度管理されており、流量も管理されていることが好ましい。特に、冷却媒体を乱流状態で使用するのが好ましい。
【００２５】
（第２実施形態）
次に、ボールねじ装置の第２実施形態について図面を参照して説明する。図３は、ボールねじの第２実施形態における構成を示す軸方向に沿った断面図である。本実施形態のボールねじ装置１は、ハウジング１３０における第１冷却用貫通孔１７１の設置位置が異なる以外は第１実施形態と同様の構成である。以下、第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略又は簡略にし、異なる構成を中心に説明する。
【００２６】
図３（ａ）に示すように、ボールねじ装置１は、ハウジング１３０の内周面と外周面とを貫通する第１冷却用貫通孔１７１がハウジング１３０に設けられている。この第１貫通孔１７１は、ハウジングの径方向に沿って１つ以上形成される。また、本実施形態では、第１冷却用貫通孔１７１が、軸受１２０とナット２０との間に配置されている。この第１貫通孔１７１内に冷却媒体が通過する。
【００２７】
また、ねじ軸１１０内には、そのねじ軸１１０の軸方向に沿って冷却媒体を通過させる第２冷却用貫通孔１７２が設けられている。また、ねじ軸１１０内には、第１冷却用貫通孔１７１と第２冷却用貫通孔１７２とを連結する第３冷却用貫通孔１７３が形成されている。例えば、第２冷却用貫通孔１７２がねじ軸１１０の軸方向の中心に穿設され、この第２冷却用貫通孔１７２の一端部１７２ａに連結する第３冷却用貫通孔１７３がねじ軸１１０の径方向にねじ軸１１０を貫通して１つ以上設けられている。なお、冷却用媒体は、第２冷却用貫通孔１７２の他端部１７２ｂに接続されたポンプ（図示せず）などにより、第１冷却用貫通孔１７１のハウジング１３０の外周面側の開口部１７１ａから導入され、第２冷却用貫通孔１７２の他端部１７２ｂから排出される。
【００２８】
ここで、スペーサ１５０には、第１冷却用貫通孔１７１、及び第３冷却用貫通孔１７３に連通する貫通孔１５１が設けられている。すなわち、第１冷却用貫通孔１７１は、スペーサ１５０に設けられた貫通孔１５１を介して第３冷却用貫通孔１７３に連結されている。また、第１冷却用貫通孔１７１は、ハウジング１３０の内周面側の開口部１７１ａ付近に１対のシール部材１９０が設けられている。これら１対のシール部材１９０，１９０は、背面配置されている。
このような構成とすることにより、冷却媒体が発熱量が高いボールの下を通過するため、軸受全体の冷却効果を向上させることができる。
【００２９】
（第３実施形態）
次に、ボールねじ装置の第３実施形態について図面を参照して説明する。図４は、ボールねじの第３実施形態における構成を示す軸方向に沿った断面図である。本実施形態のボールねじ装置１は、ナットの冷却機能を備えた以外は第１実施形態及び第２実施形態と同様の構成である。以下、第１実施形態及び第２実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略又は簡略にし、異なる構成を中心に説明する。
【００３０】
図４に示すように、ボールねじ装置１は、ボールねじ１０と、このボールねじ１０のねじ軸１１０を支持する上述の軸受装置１０１とを有する。
ここで、ボールねじ１０のナット２０には、ナット２０を軸方向に貫通する複数の冷却用貫通孔２１ａ〜２１ｄが円周方向に等間隔で形成されている。ナット２０の各冷却用貫通孔２１ａ〜２１ｄの両端には、それぞれ継手部材３１ａ〜３１ｄ，３２ａ〜３２ｄが連結されている。
そして、フランジ２２側の継手部材３１ａと継手部材３１ｄとが配管３３で連結されている。また、フランジ２２側の継手部材３１ｂに冷却液導入用配管３４が接続されている。また、フランジ２２側の継手部材３１ｃには冷却液排出用配管３５が接続されている。
【００３１】
一方、ナット２０のフランジ２２が形成されていない側の端部では、継手部材３２ａと継手部材３２ｂとが配管３６で連結され、継手部材３２ｃと継手部材３２ｄとが配管３７で連結されている。
このような構成をなすボールねじ１０は、冷却液導入用配管３４から冷却液が導入されることによって、その冷却液が、
継手部材３１ｂ→冷却用貫通孔２１ｂ→配管３６→継手部材３２ａ→冷却用貫通孔２１ａ→継手部材３１ａ→配管３３→継手部材３１ｄ→冷却用貫通孔２１ｄ→配管３７→冷却用貫通孔２１ｃ→継手部材３１ｃ→冷却液排出用配管３５の順に流れる。その結果、この冷却液の流れによりナット２０が冷却される。
【００３２】
以上、ボールねじ装置の各実施形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されずに、種々の変更、改良を行うことができる。例えば、上述した実施形態ではボールねじのねじ軸を支持する軸受として複列転がり軸受を例示したが、これに限定されるものではなく、単列転がり軸受であってもよい。また、各実施形態のボールねじ装置は、ナットを冷却するナット冷却装置と併用されることが好ましい。ボールねじの軸芯冷却では、ねじ軸内部に冷却経路が形成されるため軸受も冷却されるが、ナット冷却の場合にはナットが移動する部分しか冷却されず、軸受に対する冷却効果は期待できない場合に有効だからである。このため、ナット冷却では軸受の冷却も必要となる。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００３３】
１  ボールねじ装置
１０  ボールねじ
１０１  軸受装置
１１０  ねじ軸
１２０  転がり軸受
１２１  内輪
１２２  転動体
１２３  外輪
１３０  ハウジング
１５０  スペーサ
１７１  第１冷却用貫通孔
１７２  第２冷却用貫通孔
１７３  第３冷却用貫通孔
１９０  冷却管
【図１】
2015218860.tif 000003
【図２】
2015218860.tif 000004
【図３】
2015218860.tif 000005
【図４】
2015218860.tif 000006
【図５】
2015218860.tif 000007