(57)【要約】      （修正有）【課題】被塗布部材上の製品領域のマトリックス状多面取り配置の列数に関係なく、全ての製品領域に、塗布液１種ごとに１台のノズルで多数種の塗布液の塗布膜を形成することを、１台の塗布装置で一挙に行えるようにして、生産性および効率の向上と製造コストの低減が可能な手段および製造方法を提供する。【解決手段】複数枚の被塗布部材を配列して吸着保持可能な載置台と、塗布液の種類と同数のノズルと、載置台上の被塗布部材を塗布方向と直交する方向に搬送する被塗布部材移動手段と、被塗布部材の製品領域とノズルの相対位置を調整する被塗布部材位置調整手段と、複数のノズルを塗布方向に同時に移動させるノズル移動手段と、複数のノズルに塗布液を個別に供給する塗布液供給装置と、を備え、さらに複数のノズルが、それぞれのノズルの吐出口が占める塗布範囲がお互いに重ならないよう、搬送方向に順に配列されている塗布装置。【選択図】図１
2015201367.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１枚の被塗布部材上で、マトリックス状に塗布方向にｉ行、塗布方向と直交する搬送方向にｊ列配置されている製品領域に、ｎ種の塗布液をそれぞれに対応するｎ台のノズルから吐出してｎ種の塗布膜を形成する塗布装置であって、前記製品領域が前記搬送方向にｎ列配列できるように複数枚の被塗布部材を配列して吸着保持可能な載置台と、前記載置台上の前記被塗布部材を前記搬送方向に移動させる被塗布部材移動手段と、前記被塗布部材上の製品領域と前記ｎ台のノズルの吐出口との相対位置を調整する被塗布部材位置調整手段と、前記被塗布部材移動手段による前記被塗布部材の移動と並行して前記ｎ台のノズルを同時に前記塗布方向に移動させることが可能な構成のノズル移動手段と、前記ｎ台のノズルのそれぞれに対応して前記ｎ種の塗布液を個別に供給するｎ台の塗布液供給装置と、を備え、さらに前記ｎ台のノズルは、１台のノズルの吐出口が前記搬送方向に占める塗布範囲がお互いに前記搬送方向に重ならないように、前記搬送方向に順に配列されていることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布装置を用いて、前記被塗布部材上の製品領域にｎ種の塗布膜を形成する塗布方法であって、前記載置台上に配列された前記複数枚の被塗布部材によって前記搬送方向に前記ｎ列配列された製品領域と、前記ｎ台のノズルの吐出口とを１対１で相対位置を調整してから、前記ｎ台のノズルを同時に前記塗布方向に移動させながら、前記ｎ台のノズルから前記ｎ種の塗布液を吐出して塗布し、前記搬送方向に前記ｎ列配列された製品領域に、１列あたり１種で、ｎ種の塗布膜を形成することを特徴とする塗布方法。
【請求項３】
前記ｎ台のノズルで前記ｎ列配列された製品領域に前記ｎ種の塗布液を１回塗布するごとに、前記１列の製品領域が、前記搬送方向下流側に隣り合うノズルの吐出口が占める前記搬送方向の塗布範囲と重なるように、前記被塗布部材を前記搬送方向下流側に移動させてから、前記ｎ台のノズルで前記ｎ列配列された製品領域に前記ｎ種の塗布液を塗布して塗布膜を形成することを特徴とする請求項２に記載の塗布方法。
【請求項４】
請求項２または３に記載の塗布方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば有機ＥＬやカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ等のディスプレイ用部材を製造する分野に主として使用されるものであり、詳しくは大型のガラス基板などの被塗布部材表面に多数区分けされた製品領域に、ストライプ状や面状に異なる数種の塗布膜を、効率的かつ生産性高く安定して形成できる塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から知られているように、有機ＥＬ、カラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ等には、等ピッチに配置されたポリイミドやブラックマトリックス等のバンク間にある画素部に赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各塗布液を充填し、直線ストライプ状に塗布膜を形成する工程がある。単色のストライプ状の塗布膜をガラス基板等の被塗布部材上に形成する手段としては、ストライプの配置ピッチにあわせて設けられた多数の吐出口を有するノズルから、塗布液を連続して吐出しながら、相対的に走行する被塗布部材に塗布する連続吐出ノズル法（例えば特許文献１）があり、それを具現化したコータが実用に供されている。そして通常は、ディスプレイの１画面サイズの大きさに対応したコータを、赤色、緑色、青色用に３台並べて、逐次的にＲＧＢ３色のストライプ状の塗布膜を形成して、ディスプレイ製品が製造される。さらに生産性を向上させてディスプレイ製品製造の低コスト化を図るには、２ｍ角以上の超大型基板１枚に、ディスプレイ製品の画面サイズのものを多数並べて、１枚の基板から多数の製品を製造できる、いわゆる多面取り配置が必要となる。
【０００３】
例えば２ｍ角を越える１枚の基板で、画面サイズが４０インチのディスプレイ製品を６台分配分しようとすると、４０インチサイズに相当する面積の製品領域をマトリックス状に、ストライプを塗布して形成する方向に３行、ストライプ塗布方向に直交する方向、すなわち幅方向に２列配置して、３×２＝６領域を確保することになる。このような製品領域配置に対応して、ストライプ状の塗布膜を形成するには、多面取り配置の幅方向の列数にあわせて幅方向にノズルを２台並べるコータが必要となる（例えば特許文献２）。ノズルを１台にして、吐出口を製品２面の位置に合わせて形成するということも可能であるが、ノズルが長尺になると吐出口の配置精度が低下するため、画素部との位置合わせの点から実現困難である。独立したノズル２台で高精度に塗布しようとすると、それぞれのノズルに塗布液を供給する独立した塗布液供給装置も２台必要となる。したがって、赤色、緑色、青色、のストライプ状の塗布膜を逐次的に形成して、１枚の基板で画面サイズ４０インチのディスプレイ製品を６台製造するには、画面サイズ４０インチの幅の大型ノズル２台と、それに塗布液を供給する２台の塗布液供給装置と、２ｍ角を越える基板を保持できる大型テーブルを備えた大型のコータを、赤色、緑色、青色用に合計３台用意することが必要となる。
【０００４】
以上のような多数種の塗布液の塗布膜を形成する製品多面取り配置用のコータでは、塗布液の種類数だけノズルを用意し、それを１台のコータ内に並べれば、特許文献２のようにコータは１台にすることができる。しかし高価なストライプ用ノズルについては、上記の塗布液の種類数に加えて製品多面取り配置の列数にも比例して多数必要となるために、設備費が非常に高価となる。さらにノズルでは、塗布液をあらかじめ充填する等の準備作業が必要となるが、ノズル数が増加するのに比例して、作業時間が増えてしまう。これによって、コータの稼働時間が減少してしまい、生産性が低下してしまう。ノズル数が増加するのにあわせて作業人数を増やせば、並行作業となるために作業時間を増やさなくても済むが、人的コストが増えてしまう。いずれにせよ、多数種の塗布液の塗布膜を形成する製品多面取り用のコータでは、設備コストや人的コストの増加および稼働時間の減少による生産性の低下によって、製品の多面取り配置によってもともと意図していた生産性の向上とそれに伴う製品製造コストの低減が、思うように実現できていない。
【０００５】
以上の多数種の塗布液の塗布膜を形成する製品多面取り用コータの不都合は、塗布液の品種数や製品多面取り配置の列数が多ければ多いほど指数的に増大してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１８７９４８号公報
【特許文献２】特開２００４−１４３９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
この発明は、上記の従来の多数種の塗布液の塗布膜を形成する製品多面取り用コータの問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、１枚の被塗布部材上の製品領域のマトリックス状多面取り配置の列数に関係なく、全ての製品領域に、塗布液１種ごとに１台のノズルで多数種の塗布液の塗布膜を形成することを、１台の塗布装置で一挙に行えるようにして、生産性および効率の向上と製造コストの低減が可能な塗布装置と塗布方法を実現することにある。さらにはこの塗布方法を用いて、多数種の塗布液の塗布膜が形成された高品質のディスプレイ用部材を高い生産性と低コストで製造できるディスプレイ用部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の目的は、以下に述べる手段によって達成される。
【０００９】
本発明の塗布装置は、１枚の被塗布部材上で、マトリックス状に塗布方向にｉ行、塗布方向と直交する搬送方向にｊ列配置されている製品領域に、ｎ種の塗布液をそれぞれに対応するｎ台のノズルから吐出してｎ種の塗布膜を形成する塗布装置であって、上記製品領域が上記搬送方向にｎ列配列できるように複数枚の被塗布部材を配列して吸着保持可能な載置台と、上記載置台上の上記被塗布部材を上記搬送方向に移動させる被塗布部材移動手段と、上記被塗布部材上の製品領域と上記ｎ台のノズルの吐出口との相対位置を調整する被塗布部材位置調整手段と、上記被塗布部材移動手段による上記被塗布部材の移動と並行して上記ｎ台のノズルを同時に上記塗布方向に移動させることが可能な構成のノズル移動手段と、上記ｎ台のノズルのそれぞれに対応して上記ｎ種の塗布液を個別に供給するｎ台の塗布液供給装置と、を備え、さらに上記ｎ台のノズルは、１台のノズルの吐出口が上記搬送方向に占める塗布範囲がお互いに上記搬送方向に重ならないように、上記搬送方向に順に配列されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明の塗布方法は、請求項１に記載の塗布装置を用いて、上記被塗布部材上の製品領域にｎ種の塗布膜を形成する塗布方法であって、上記載置台上に配列された上記複数枚の被塗布部材によって上記搬送方向に上記ｎ列配列された製品領域と、上記ｎ台のノズルの吐出口とを１対１で相対位置を調整してから、上記ｎ台のノズルを同時に上記塗布方向に移動させながら、上記ｎ台のノズルから上記ｎ種の塗布液を吐出して塗布し、上記搬送方向に上記ｎ列配列された製品領域に、１列あたり１種で、ｎ種の塗布膜を形成することを特徴とする。
【００１１】
ここで、上記ｎ台のノズルで上記ｎ列配列された製品領域に上記ｎ種の塗布液を１回塗布するごとに、上記１列の製品領域が、上記搬送方向下流側に隣り合うノズルの吐出口が占める上記搬送方向の塗布範囲と重なるように、上記被塗布部材を上記搬送方向下流側に移動させてから、上記ｎ台のノズルで上記ｎ列配列された製品領域に上記ｎ種の塗布液を塗布して塗布膜を形成すること、が好ましい。
【００１２】
本発明のディスプレイ用部材の製造方法は、上記の塗布方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の塗布装置と塗布方法によれば、製品領域が多数マトリックス状に多面取り配置された被塗布部材を、載置台上に複数枚配列することで搬送方向にｎ列に製品領域を配列し、さらにｎ列の製品領域に対応して搬送方向に順に配列したｎ台のノズルから、１台１種でｎ種の塗布液を吐出して塗布するので、ｎ列に配列した製品領域に１列１種でｎ種の塗布液の塗布膜を同時に形成することが可能となる。さらに、ｎ列の製品領域に対応して搬送方向に配列したｎ台のノズルに対して、１回の塗布ごとに、ｎ列の製品領域が１列の製品領域分だけ順次搬送方向下流側に移動するように被塗布部材を移動させてから、次の塗布を行うようにしたので、全ての製品領域にｎ種の塗布液の塗布膜を逐次形成することができる。すなわち、被塗布部材上の製品領域のマトリックス状の多面取り配置の列数や塗布液の種類数に関係なく、塗布液１種ごとに１台のノズルを備える１台の塗布装置だけで、全製品領域に多数種の塗布膜を効率よく形成することが可能となる。その結果、高価なノズルが塗布液１種ごとに１台でよいためにノズル台数が最小となり、関連する設備もノズル台数に比例して減じるために、大幅に設備費用を減じることが可能となり、製造コストを低減することができる。またノズル台数に比例する塗布前の準備作業時間も、ノズル台数が最小となるために大幅に減じ、その結果設備の稼働時間が飛躍的に向上し、生産性が顕著に向上する。
【００１４】
さらに本発明によれば、１台の塗布装置で多数種の塗布膜を全製品領域に一挙に形成でき、しかも１枚の被塗布部材上の製品領域数にも制限がないので、多数種の塗布膜のある高品質の製品を、効率よく多数製造することが可能となり、生産性の向上とそれに伴う製造コストの大幅な低減が実現できる。
【００１５】
本発明のディスプレイ用部材の製造方法によれば、上記の優れた塗布方法を用いてディスプレイ用部材を製造するのであるから、多数種の塗布膜が形成された高品質のディスプレイ用部材を、高い生産性でしかも低コストで製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る塗布装置１の概略平面図である。
【図２】塗布装置１の概略側面図である。
【図３】塗布装置１の概略正面図である。
【図４】ストライプノズル２０Ｂの内部流路を示す概略正面断面図である。
【図５】塗布液供給装置８０Ｂの詳細を示す概略正面図である。
【図６】本発明に係る塗布方法の前半をステップ的に示す説明図である。
【図７】本発明に係る塗布方法の後半をステップ的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明に係る塗布装置１の概略平面図である。
【００１８】
この図１を参照すると、本発明に係る塗布装置１は、ｎ＝３種ある塗布液をそれぞれに対応するｎ＝３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂから吐出して、基板Ａの６箇所の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３と製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３にストライプ状に塗布して、ｎ＝３種の塗布膜を形成する塗布機本体１０と、塗布機本体１０に前工程より搬入した基板Ａを供給する基板搬入部１５０と、塗布機本体１０で塗布した基板Ａを次の工程へ搬出する基板搬出部２００と、より構成されている。１枚の被塗布部材である基板Ａには、製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３と製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３が、マトリックス状に塗布方向であるＹ方向にはｉ＝３行、塗布方向に直交する搬送方向であるＸ方向にはｊ＝２列に、配置されている。そして列ごとに、１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３と、２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３と、区分しており、区分した領域ごとに塗布が行われる。
【００１９】
以上の塗布装置１を構成する各部分について詳述する。まず基板搬入部１５０は、基板Ａが搬入される搬入載置台１５２、基板Ａのアライメントマークを検知するアライメントカメラユニット１６０、アライメントカメラユニット１６０が取り付けられている門型フレーム１５６、基板Ａを搬入載置台１５２上で下流側に移動させる搬入部基板移動機１７０、より構成されている。なお門型フレーム１５６は、板Ａの搬入方向（矢印の方向）に見て、門型形状をしている。
【００２０】
搬入載置台１５２には、表面１５４に図示されない多数の吸着孔が設けられており、真空源からの吸引により、表面１５４に載置された基板Ａを吸着保持することができる。また吸着孔は圧空源にも接続されており、基板Ａの吸着保持を解除する時には、吸着孔から空気を吹き出せる。さらに搬入載置台１５２の内部には、図示されていないリフトピンが収納されている。基板受け渡し時にはこのリフトピンを上昇させ、表面１５４より上にリフトピンの先端部を突き出し、ここに基板Ａを図示されないローダにより一旦載置する。続いてリフトピンを下降させて、基板Ａを搬入載置台１５２上に載せ替えることができる。
【００２１】
搬入載置台１５２上の基板Ａを搬送する搬入部基板移動機１７０は、これを構成する機器が搬入載置台１５２の幅方向すなわちＹ方向の両側に１対設けられている。すなわち、片側に２個ずつの搬送体１７２と、搬送体１７２を基板Ａの搬送方向、すなわちＸ方向に案内する１対のガイドレール１７４が設けられている。搬送体１７２にはＹ方向に自在に伸縮するロッド１７６があり、ロッド１７６の先端に円形の把持体１７８が上下方向（Ｚ方向）に移動自在に取り付けられている。把持体１７８はＸ方向に見ると高さの低い円筒形となっており、搬入載置台１５２の表面１５４と対面する円形面から空気を噴出して、数μｍの高さで表面１５４上に浮上している。またロッド１７６を伸ばすと、４個ある把持体１７８はＹ方向に基板Ａの中央に向かって移動するので、基板ＡのＹ方向両端の側面を挟み込んで把持することができる。そして把持体１７８によって基板Ａを把持している状態で、搬入載置台１５２の表面１５４の図示されない吸着孔から空気を吹き出すと、基板Ａは搬入載置台の幅方向（Ｙ方向）と搬送方向（Ｘ方向）に拘束された状態で、上下方向（Ｚ方向）に空気膜の厚さ分だけ浮上する。この状態で搬送体１７２をＸ方向に移動させれば、基板Ａを搬入載置台１５２の表面１５４上をすべるように移動させることができる。また把持体１７８の挟み込みで基板Ａを把持している状態で、４個あるロッド１７６の伸縮量を個別に調整すると、基板Ａを搬入載置台１５２上で回転させることができる。以上の搬入部基板移動機１７０による基板Ａの移動や回転は、基板Ａの高精度位置決めに使用される。具体的には、基板Ａのアライメントマークを１対あるアライメントカメラユニット１６０のカメラ１６２で検知し、その位置情報を基に、例えば基板Ａの製品領域Ｃ１をノズル２０Ｒと平行に位置決めする、等である。なお、アライメントカメラユニット１６０で、カメラ１６２はＹ方向に往復動可能なスライダー１６４に固定されており、さらにスライダー１６４の固定レール部分が門型フレーム１５６に固定されている。この構成によって１対あるカメラ１６２は、基板Ａの２ヶ所あるアライメントマークの位置に合わせて、門型フレーム１５６上のＹ方向に、個別に移動させることができる。
【００２２】
以上説明した搬入部基板移動機１７０と同じ構造の搬出部基板移動機２２０が、基板搬出部２００に設けられている。すなわち、搬出部基板移動機２２０は、基板Ａを吸着保持できる搬出載置台２０２の幅方向（Ｙ方向）の両側に１対設けられたガイドレール２２４と、ガイドレール２２４上にＸ方向に往復動自在に取り付けられている片側２個ずつの搬送体２２２、より構成されている。そして４個の搬送体２２２のそれぞれにはＹ方向に伸縮自在なロッド２２６が設けられ、ロッド２２６の先端には円形の把持体２２８が上下方向（Ｚ方向）に移動自在に取り付けられている。そして基板Ａが搬出載置台２０２上の表面２０４に吸着保持されている状態で、ロッド２２６を伸ばすと、円形の把持体２２８で基板ＡのＹ方向の両側面を挟み込んで把持することができる。この状態で、搬出載置台２０２の表面２０４の図示されていない吸着孔から空気を噴出して、搬出載置台２０２上で基板Ａを浮上させてから、搬送体２２２をＸ方向に移動させれば基板ＡをＸ方向に移動できるし、４個あるロッド２２６の伸縮量を個別に調整すると基板Ａを回転させることもできる。すなわち搬出部基板移動機２２０も、搬出載置台２０２上で基板Ａの移動と回転を自在に行なうことができる。また搬出載置台２０２内にはリフトピンが内蔵されており、リフトピンを上昇させて基板Ａを持ち上げることで、図示されないアンローダに基板Ａを受け渡すことができる。アンローダによって基板Ａは次工程に搬出される。
【００２３】
次に、図１の中央にある塗布機本体１０は、基板搬入部１５０より搬入基板移動機１７０で供給される基板Ａに、３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂで順次塗布するものである。この塗布機本体１０は主として、供給される基板Ａを吸着保持する塗布載置台１２、ｎ＝３台あるストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂを同時に塗布方向であるＹ方向に移動させることができるノズル移動手段であるノズルガントリー部４０、ｎ＝３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂのそれぞれに対応してＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各色の塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを個別に供給するｎ＝３台の塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇ、Ｂ、塗布前に基板Ａのストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂに対する位置調整を行なう基板移動機１１０、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの塗布前後のメンテナンスを行なうメンテナンス部１２０、より構成される。図１ではまた、ストライプノズル２０Ｒで塗布液２Ｒのストライプ塗布膜ＭＲ（実線）、ストライプノズル２０Ｇで塗布液２Ｇのストライプ塗布膜ＭＧ（破線）、ストライプノズル２０Ｂで塗布液２Ｂのストライプ塗布膜ＭＢ（小破線）、をそれぞれ基板上に形成している状況も示している。
【００２４】
以上の塗布機本体１０の主構成部分については、図１に加えて、図２、図３、図４を用いて詳述する。図２は塗布装置１の概略側面図、図３は塗布装置１の概略正面図、図４はストライプノズル２０Ｂの内部流路を示す概略正面断面図、である。
【００２５】
まず図１で、塗布載置台１２は基板Ａを１．５枚分載置可能である。１枚の基板Ａ上では、製品領域が、マトリックス状に塗布方向であるＹ方向にｉ＝３行、搬送方向にｊ＝２列配置されているので、塗布載置台１２上に基板Ａを２枚配列することで、製品領域を搬送方向であるＸ方向にｎ＝３列配列できる。これはｎ＝３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂにも対応している。そして塗布載置台１２の表面１４には、図示されない吸着孔が多数備えられている。この吸着孔は真空源に接続されているので、吸着孔から基板Ａの下側を吸引して、複数枚の基板Ａを表面１４に吸着保持することができる。すなわち塗布載置台１２は、製品領域が搬送方向であるＸ方向にｎ＝３列配列できるように、複数枚である２枚の基板Ａを配列して吸着保持可能な載置台となる。また吸着孔は圧空源にも接続されており、吸着孔から空気を噴出することにより、基板Ａを塗布載置台１２上で空気の厚さ分だけ浮上させることもできる。この浮上状態の基板Ａを搬送するのが、基板移動機１１０である。基板移動機１１０は、塗布載置台１２の幅方向（Ｙ方向）両側に１対設けられているガイドレール１１４、ガイドレール１１４上に片側２個ずつあってＸ方向に往復動自在な搬送体１１２、４個の搬送体１１２のそれぞれに取り付けられて幅方向に伸縮自在なロッド１１６、ロッド１１６の先端に上下方向（Ｚ方向）に移動自在に取り付けられている円筒形形状の把持体１１８、より構成されている。そして基板Ａが塗布載置台１２上に吸着保持されている状態で、ロッド１１６を伸張させると、円形の把持体１１８で基板ＡのＹ方向の両側面を挟み込んで把持することができる。この状態で、上記したように、塗布載置台１２の表面１４の図示されていない吸着孔から空気を噴出して、塗布載置台１２上で基板Ａを浮上させてから、搬送体１１２をＸ方向に移動させれば基板ＡはＸ方向に移動し、４個あるロッド１１６の伸縮量を個別に調整すると基板Ａを回転させることができる。このように基板移動機１１０は、塗布載置台１２上で基板Ａを自在にＸ方向に移動させたり回転させたりすることができるので、例えば基板Ａ上の製品領域Ｃ１等を、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの直下で位置合わせすることができる。
【００２６】
以上説明した塗布載置台１２の表面１４は、搬入載置台１５２の表面１５４および搬出載置台２０２の表面２０４と、上下方向（Ｚ方向）に略同一高さとしているので、基板Ａを搬入載置台１５２から塗布載置台１２、搬出載置台２０２へと次々と容易に受け渡していくことができる。また表面１４と表面１５４、および表面１４と表面２０４、の間にはＸ方向にすきまがあるが、搬入部基板移動機１７０の把持体１７８、基板移動機１１０の把持体１１８、搬出部基板移動機２２０の把持体２２８が、そのすきまをより大きな円形面を備えているので、隣り合う表面に容易に載り替わっていく。以上より、搬入部基板移動機１７０、基板移動機１１０、搬出部基板移動機２２０は、塗布載置台１２上の基板Ａを搬送方向であるＸ方向に移動させる被塗布部材移動手段となる。
【００２７】
次に図１の中央を見ると、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂを３台同時にＹ方向に移動させるノズルガントリー部４０がある。このノズルガントリー部４０は、ノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂと塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇ、Ｂとを一括して保持するステー部４２を、Ｘ方向の両端に１対ある門型フレーム４４上のＹ軸スライダー５０で支持する構成となっている。ここで１対のＹ軸スライダー５０は、門型フレーム４４の頂上部に固定されてＹ方向に伸びるＹ軸レール５２と、図示されていないリニアモータによってＹ軸レール５２上を自在に移動し、ステー部４２のＸ方向両端が接続されているＹ軸可動体５４と、から構成されている。Ｙ軸スライダー５０は、以上の構成により、ステー部４２と共に、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂと塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇ、Ｂを、Ｙ方向に自在に往復動させることができる。さらに、ステー部４２のＸ方向両端と、１対のＹ軸可動体５４との接続は、片側はＸ−Ｙ平面内に回転可能に、反対側はＸ−Ｙ平面内に回転可能に加えて、Ｘ方向に移動可能に、接続することが好ましい。これによって１対のＹ軸可動体５４はそれぞれが係合するＹ軸レール５２上を、独立して移動させることが可能となり、これによってステー部４２とストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂを基板Ａに対して傾ける（Ｘ−Ｙ平面内での回転が可能）ことができるようになる。
【００２８】
続いて図２を見ると、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂ（図示されているのはＲ、Ｇ、ＢのうちＢのものだけ。以降他の符号についても同じ）は１台ごとに、紙面に直交するＸ方向に往復動自在なＸ軸スライダー６０Ｒ、Ｇ、Ｂと、上下方向であるＺ方向に往復動自在なＺ軸スライダー７０Ｒ、Ｇ、Ｂとを介して、ステー部４２に取り付けられている。ここでＸ軸スライダー６０Ｒ、Ｇ、Ｂは、Ｘ軸レール６２Ｒ、Ｇ、Ｂと、Ｘ軸レール６２Ｒ、Ｇ、Ｂ上を図示されないリニアモータによってＸ方向に移動自在なＸ軸可動体６４Ｒ、Ｇ、Ｂと、で構成されており、Ｘ軸可動体６４Ｒ、Ｇ、Ｂにストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂが取り付けられている。
【００２９】
またＺ軸スライダー７０Ｒ、Ｇ、Ｂはストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの１台ごとにあり、ステー部４２の垂直面４６に固定されているそれぞれ１対のＺ軸レール７２Ｒ、Ｇ、Ｂと、図示されていない駆動装置、例えばモータとボールネジによって、Ｚ軸レール７２上を移動する１対のＺ軸可動体７４Ｒ、Ｇ、Ｂと、から構成されている。そして１対のＺ軸可動体７４Ｒ、Ｇ、Ｂのそれぞれと、Ｘ軸スライダー６０Ｒ、Ｇ、ＢのＸ軸レール６２Ｒ、Ｇ、ＢのＸ方向（紙面に直交する方向）両端とが接続されている。この接続は片側ではＸ−Ｚ平面内で回転可能に、その反対側では、Ｘ−Ｚ平面内で回転可能に加えて、Ｘ方向に移動可能に連結されている。
【００３０】
以上の１対のＺ軸可動体７４Ｒ、Ｇ、Ｂと、Ｘ軸レール６２Ｒ、Ｇ、Ｂとの接続構成によって、Ｚ軸スライダー７０Ｒ、Ｇ、Ｂは、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂに対応してそれぞれ１対あるＺ軸可動体７４Ｒ、Ｇ、Ｂを、それぞれ独立してＺ方向に動作させることが可能となる。その結果を図３で見てみると、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂをそのまま上下方向であるＺ方向に自在に移動させることもできるし、紙面（Ｘ−Ｚ平面）内で回転させることもできる。このＺ軸スライダー７０Ｒ、Ｇ、Ｂの移動と回転の作用により、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの最下端部と基板Ａの上面の間に平行で一定の間隔のすきまを設けることができる。このすきまの一定の間隔（大きさ）がクリアランス量ＣＬである。一方Ｘ軸スライダー６０Ｒ、Ｇ、Ｂは、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂをそれぞれ独立して、Ｘ方向に自在に移動させることができるので、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、ＢのＸ方向の塗布位置を微調整することができる。ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの塗布のために塗布液を吐出する吐出口３０Ｒ、Ｇ、Ｂは、図４に示されるように、最下端部に設けられている。したがってＸ軸スライダー６０Ｒ、Ｇ、Ｂは、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの吐出口３０Ｒ、Ｇ、Ｂと、基板Ａの１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３や２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３との相対位置を微調整することができる。すなわち、Ｘ軸スライダー６０Ｒ、Ｇ、Ｂは、上記の搬入部基板移動機１７０、基板移動機１１０、搬出部基板移動機２２０とあわせて、基板Ａ上の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３や製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３と、ｎ＝３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの吐出口３０Ｒ、Ｇ、Ｂとの相対位置を調整する被塗布部材調整手段となる。
【００３１】
再び図２を見ると、基板Ａと基板Ａを搬送方向に移動させる基板移動機１１０等は、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂとストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂを塗布方向であるＹ方向に同時に移動させるノズルガントリー部４０と、位置的に全く干渉していない。これによって、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂを動作させながら、基板Ａの位置決め調整や搬送方向の移動を並行して行わせることができる。逆にいうと、基板Ａがどこにあろうとも、例えば基板Ａの一部が塗布機本体１０の塗布載置台１２よりはみ出して、搬送方向に隣接する搬入載置台１５２や搬出載置台２０２に載っていても、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂを塗布方向に自在に移動させることができる。このことは、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、ＢをＹ方向に移動させるノズルガントリー部４０のＹ軸スライダー５０が、基板Ａや基板移動機１１０等と全く干渉しない上方にある構成によるものである。すなわちノズルガントリー部４０は、被塗布部材移動手段である基板移動機１１０等による基板Ａの移動と並行して、ｎ＝３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂを同時に塗布方向であるＹ方向に移動させることが可能な構成のノズル移動手段といえる。
【００３２】
また図２の塗布載置台１２の左側には、メンテナンス部１２０を構成するトレイ１２２と、それを支える架台１２４が示されている。ノズルガントリー部４０のＹ軸スライダー５０を駆動して、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂをトレイ１２２の直上まで移動させると、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂからトレイ１２２に向かって塗布液を吐出させるなど、塗布前準備を行わせることができる。さらに、ストライプノズル２０から塗布液を吐出後に、ストライプノズル２０の先端部から残存塗布液を拭取る拭取り装置や、基板Ａに塗布する前の予備塗布を行うプライミングプレートを、トレイ１２２に干渉しないように配置させてもよい。以上の塗布液の吐出、拭取り、予備塗布等の準備が、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂのメンテナンスとなる。
【００３３】
再び図３を見ると、ステー部４２の前側で３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂが保持されている。またステー部４２の頂上部には、ｎ＝３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂのそれぞれに対応して、ｎ＝３種の塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを個別に供給するｎ＝３台の塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇ、Ｂが、設けられている。そして塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇ、Ｂのコネクター８２Ｒ、Ｇ、Ｂから供給チューブ８４Ｒ、Ｇ、Ｂが、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂに取り付けられたノズルコネクター８６Ｒ、Ｇ、Ｂに１対１に接続されている。これらのストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂと塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇ、Ｂの詳細は、図４と図５にそれぞれ示されている。
【００３４】
ここで図４は上記したように、ストライプノズル２０Ｂの内部流路を示す概略正面断面図であり、図５は塗布液供給装置８０Ｂの詳細を示す概略正面図である。なお図４で示されるストライプノズル２０Ｂの構成は、図示されていないストライプノズル２０Ｒ、Ｇの構成と全く同じである。同じく図５で示される塗布液供給装置８０Ｂの構成は、図示されていない塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇの構成と全く同じである。
【００３５】
ストライプノズル２０Ｂは、図２でフロントリップ２２Ｂとバックアップリップ２４ＢをＹ方向に重ね合わせて構成されているのが示されているが、そのバックアップリップ２４Ｂ内に設けられた内部流路が、図４に示されている。図４ではまた基板Ａに、ストライプノズル２０Ｂで塗布液２Ｂをストライプ状に塗布している状況も示している。バックアップリップ２４Ｂの中央部を見ると、ストライプノズル２０Ｂの長手方向（Ｘ方向）に伸びるマニホールド２８Ｂが形成されている。このマニホールド２８Ｂは大きな溝になっており、ここに塗布液２Ｂが充満している。そしてマニホールド２８Ｂの中央部上方は、内部流路２６Ｂを介してノズルコネクター８６Ｂに連通している。そしてノズルコネクター８６Ｂには、塗布液供給装置８０Ｂに達する供給チューブ８４Ｂが接続されている。マニホールド２８Ｂの下方には、貫通溝３２Ｂがマニホールド２８Ｂと連通して形成されている。この貫通溝３２Ｂの下端がストライプノズル２０Ｂの最下端部である吐出口面３６Ｂで開口して、吐出口３０Ｂを形成する。したがって吐出口３０Ｂは塗布液供給装置８０Ｂと流体的に連通しているので、塗布液２Ｂが塗布液供給装置８０Ｂから供給されれば、吐出口３０Ｂから下向きに吐出される。なお吐出口３０Ｂの形状については、塗布液２Ｂの吐出方向に見て矩形となっているが、円形等他の形状でもよい。幅ＬＤの吐出口面３６Ｂは下向きに突出し、その両隣に連なる傾斜部３８Ｂとともに、突出部３４Ｂを形成している。吐出口３０Ｂはストライプノズル２０Ｂの長手方向にピッチＬＰで複数個設けられているので、突出部３４Ｂも同じく長手方向にピッチＬＰで複数個設けられる。以上の構成のストライプノズル２０Ｂで、クリアランス量ＣＬだけ離れた基板Ａに塗布を行うと、ピッチがＬＰで線幅がほぼＬＤのストライプ状の塗布膜を、１台のストライプノズル２０Ｂの吐出口３０Ｂが搬送方向のＸ方向に占める塗布範囲である長さＬＷにわたって、形成することができる。なお、この長さＬＷで表される搬送方向に占める塗布範囲は、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂのそれぞれに規定される。本発明では、ｎ＝３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂが、それぞれの吐出口３０Ｒ、Ｇ、Ｂが搬送方向に占める塗布範囲がお互いに搬送方向に重ならないように、ステー部４２に搬送方向に順に配列されて取り付けられている。これによって異なる列の塗布領域が同時に塗布できることが保証される。
【００３６】
次にストライプノズル２０Ｂに塗布液２Ｂを供給する塗布液供給装置８０Ｂは、上記したように図５にその構成が示されている。図５で、塗布液供給装置８０Ｂのボックス８８Ｂの内部には、コネクター８２Ｂに接続されているチューブ９０Ｂ、チューブ９０Ｂの上流側に接続されている供給バルブ９２Ｂ、シリンジポンプ１００Ｂ、吸引バルブ９４Ｂ、フィルター９６Ｂ、タンク９８Ｂ、がある。タンク９８Ｂには塗布液２Ｂが蓄えられており、圧空源９９（共用）に連結されて任意の大きさの背圧を塗布液２Ｂに付加することができる。タンク９８Ｂ内の塗布液２Ｂは、チューブ９０Ｂ内を伝わって、フィルター９６Ｂ、吸引バルブ９４Ｂを通過してシリンジポンプ１００Ｂに供給される。シリンジポンプ１００Ｂでは、シリンジ１０２Ｂ、ピストン１０４Ｂが本体１０６Ｂに取り付けられている。ここでピストン１０４Ｂは図示しない駆動源によって水平方向に自在に往復動できる。シリンジポンプ１００Ｂは、一定の内径を有するシリンジ１０２Ｂ内に塗布液２Ｂを充填し、それをピストン１０４Ｂにより押し出して、ストライプノズル２０Ｂに基板Ａを一枚塗布する容量分だけ供給する間欠駆動定容量型のポンプである。シリンジ１０２Ｂ内に塗布液２Ｂを充填するときは、吸引バルブ９４Ｂを開、供給バルブ９２Ｂを閉として、ピストン１０４Ｂを左側に移動させる。またシリンジ１０２Ｂ内に充填された塗布液２Ｂをストライプノズル２０Ｂに向かって供給するときは、吸引バルブ９４Ｂを閉、供給バルブ９２Ｂを開とし、ピストン１０４Ｂを右側に移動させることで、ピストン１０４Ｂでシリンジ１０２Ｂ内部の塗布液２Ｂを排出する。
【００３７】
さて次に図６と図７を参照しながら、塗布装置１を用いて基板Ａ上の一列状にある製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３に、ｎ＝３種の塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂのストライプ塗布膜ＭＲ、ＭＧ、ＭＧを順次形成する本発明による塗布方法を、ステップを追って説明する。図６は本発明に係る塗布方法の前半をステップ的に示す説明図、図７は本発明に係る塗布方法の後半をステップ的に示す説明図である。
図６と図７を見ると、塗布装置１の概略平面図の一部が示されている。すなわち、搬入載置台１５２、搬入部基板移動機１７０（把持体１７８とロッド１７６と搬送体１７２で代表）、アライメントカメラユニット１６０（カメラ１６２とスライダー１６４で代表）、塗布載置台１２、塗布液２Ｒ塗布用のストライプノズル２０Ｒ、塗布液２Ｇ塗布用のストライプノズル２０Ｇ、塗布液２Ｂ塗布用のストライプノズル２０Ｂ、基板移動機１１０（把持体１１８とロッド１１６と搬送体１１２で代表）、トレイ１２２、搬出載置台２０２、搬出部基板移動機２２０（把持体２２８とロッド２２６と搬送体２２２で代表）、基板Ａ１、２、３（１、２、３枚目に対応）が示されている。そして基板Ａ１、２、３の移動に伴って、各ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂでストライプ塗布膜ＭＲ（実線）、ストライプ塗布膜ＭＧ（破線）、ストライプ塗布膜ＭＢ（小破線）の各色のストライプ塗布膜が各基板の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３上に順次形成されていく状況を図６と７の（ａ）から（ｊ）のステップで示している。なお以下の説明で、番号の末尾にＲ、Ｇ、Ｂが付けられているものは、複数あるものでそれぞれストライプノズル２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂに専用化されているものを指す。Ｙ方向の座標値Ｙ＝Ｙｉ（ｉ：整数）については、ゼロ点位置からのストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの吐出口３０Ｒ、Ｇ、ＢまでのＹ方向での長さを示している。またＺ方向の座標値Ｚ＝Ｚｉ（ｉ：整数）については、塗布載置台１２の表面１４をゼロ点位置として、そこからのストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの吐出口面３６Ｒ、Ｇ、ＢまでのＺ方向での長さを示している。
【００３８】
まず塗布前の準備作業として、図３と図５に示す３台の塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇ、Ｂのタンク９８Ｒ、Ｇ、Ｂから、３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの吐出口３０Ｒ、Ｇ、Ｂまでの経路にＲ、Ｇ、Ｂ色の塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂをそれぞれ充填させるとともに、経路内の残留エアーも排出するいわゆるエアー抜き作業も終了させている。この時の塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇ、Ｂの状態は、シリンジ１０２Ｒ、Ｇ、Ｂに塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂが充填、吸引バルブ９４Ｒ、Ｇ、Ｂは開、供給バルブ９２Ｒ、Ｇ、Ｂは閉、そしてピストン１０４Ｒ、Ｇ、Ｂは最左端の位置にあり、いつでも始動開始できるようになっている。以降は以下の工程１〜１４にしたがって塗布を行う
＜工程１＞（図６（ａ）の状況）
塗布装置１の各動作部の原点復帰を行い、ノズルガントリー部４０を動作させて、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの吐出口３０Ｒ、Ｇ、Ｂを、Ｙ方向の原点位置（Ｙ＝Ｙ０）であるトレイ１２２の直上位置に移動させるとともに、吐出口面３６Ｒ、Ｇ、ＢをＺ方向の原点位置（Ｚ＝Ｚ０）位置である上下方向の最高位置に移動させて、静止させる。同時に搬入部基板移動機１７０、基板移動機１１０、搬出部基板移動機２２０の原点復帰も行ない、搬送体１７２、搬送体１１２、搬送体２２２は、それぞれの左端に移動する。
【００３９】
＜工程２＞（図６（ｂ）の状況）
次に基板搬入部１５０の搬入載置台１５２で図示しないリフトピンを上昇させ、図示しないローダから、１枚目の基板Ａ１がリフトピン上部に載置される。次にリフトピンを下降させて基板Ａ１を搬入載置台１５２の表面１５４に載置する。続いて搬入部基板移動機１７０のロッド１７６を伸張させて、４個の把持体１７８で基板Ａ１をＹ方向に挟み込む。そして表面１５４の図示しない吸着孔から空気を吹き出し、把持体１７８で保持されている基板Ａ１をそのまま表面１５４上で浮上させる。この時に、もともと表面１５４で浮上している把持体１７８も、基板Ａ１の浮上量だけ上方向に移動し、浮上量が大きくなる。この状態で、搬送体１７２をＸ方向に移動開始し、基板Ａ１のアライメントマークがアライメントカメラユニット１６０のカメラ１６２の直下に来たら停止し、吸着孔からの空気吹き出しを停止するとともに、吸着孔からの吸引を開始して基板Ａ１を搬入載置台１５２上で吸着保持する。この時に、浮上している把持体１７８も、吸着保持される基板Ａ１とともに、搬入載置台１５２の表面１５４に向かって下降する。基板Ａ１が静止している状態で、カメラ１６２で基板Ａ１のアライメントマーク位置を検知して位置情報ＩＡ１（基板Ａ１の位置情報）を取得するとともに、図示しない高さセンサーによって、表面１５４からの基板Ａ１の高さＨが測定され、基板Ａ１の厚さが算出される。
【００４０】
＜工程３＞（図６（Ｃ１）の状況）
続いて搬入載置台１５２の吸着孔からの吸引を停止するとともに、逆に吸着孔から空気を吹き出して、把持体１７８で基板Ａ１を挟持した状態で相方ともに浮上させる。そして塗布載置台１２の表面１４にある図示されていない吸着孔からも空気を吹き出してから、搬入部基板移動機１７０の搬送体１７２をＸ方向に移動開始して、基板Ａ１の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３がストライプノズル２０Ｒで塗布できる塗布載置台１２上の位置まで、基板Ａ１を搬送方向（Ｘ方向）下流側に移動させる。この時基板移動機１１０の搬送体１１２と搬出部基板移動機２２０の搬送体２２２も、搬送体１７２と相対位置関係を保って平行移動させる。先に取得した基板Ａ１の位置情報ＩＡ１を基に、基板Ａ１で塗布すべき方向と、ストライプノズル２０Ｒの移動方向すなわちＹ方向が一致するように、搬入部基板移動機１７０のロッド１７６を伸縮させて基板Ａ１を回転させる。さらに基板Ａ１の位置情報ＩＡ１を基に、基板Ａ１上の塗布すべきＸ方向位置と、ストライプノズル２０Ｒの吐出口３０Ｒが一致するように、搬入部基板移動機１７０で基板Ａ１をＸ方向に微細に移動させる。この時基板Ａ１を移動させないで、ストライプノズル２０Ｒが装着されているＸ軸スライダー６０Ｒを駆動して、ストライプノズル２０ＲをＸ方向に微細に移動させてもよい。Ｘ方向の位置合わせが完了したら、搬入載置台１５２の吸着孔からと、塗布載置台１２の吸着孔からの空気の吹き出しを停止し、それぞれの吸着孔から吸引を開始して、位置合わせが完了した基板Ａ１を、搬入載置台１５２と塗布載置台１２に吸着保持する。
【００４１】
＜工程４＞（図６（Ｃ２）の状況）
ストライプノズル２０Ｒが装着されているＺ軸スライダー７０Ｒを駆動して、Ｚ方向の塗布準備位置（Ｚ＝Ｚ１）まで、ストライプノズル２０Ｒを下降させる。この位置に下降しても、ストライプノズル２０Ｒの先端部である吐出口面３６Ｒは、搬入部基板移動機１７０を構成する部分（搬送体１７２、ロッド１７６、把持体１７８）には干渉しない。次に先に測定した基板Ａ１の厚さ情報をもとに、ストライプノズル２０Ｒの吐出口面３６Ｒから基板Ａ１の表面との間のすきまの大きさであるクリアランス量ＣＬが、所定値となるＺ方向の座標値ＺＡ１を算出する。
【００４２】
そしてノズルガントリー部４０のＹ軸スライダー５０を駆動開始し、ストライプノズル２０ＲをＹ方向に塗布速度Ｖで走行開始させる。製品領域Ｃ１→Ｃ２→Ｃ３と向うのを順方向、その逆を逆方向と定義する。また同時に塗布液供給装置８０Ｒのピストン１０４Ｒを、吐出流量ＱＲに対応した所定速度にて図５での右側（液排出方向）へ移動開始させ、シリンジ１０２Ｒ内の塗布液２Ｒを吐出流量ＱＲでタンク９８Ｒへ戻すことで、シリンジポンプ１００Ｒを立ち上げる。次にストライプノズル２０Ｒが基板Ａ１のＹ方向端部と製品領域Ｃ１の間にある順方向ノズル下降位置（Ｙ＝Ｙ１）に来たら、ストライプノズル２０Ｒが装着されているＺ軸スライダー７０Ｒを駆動してストライプノズル２０ＲをＺ＝ＺＡ１の位置まで下降させて、基板Ａ１と吐出口面３６Ｒとの間でクリアランス量ＣＬのすきまを設ける。この間もストライプノズル２０ＲはＹ方向に塗布速度Ｖにて走行を続けており、基板Ａ１の製品領域Ｃ１の順方向塗布開始位置Ｙ＝Ｙ２に達したらストライプノズル２０Ｒから塗布液２Ｒを吐出開始し、製品領域Ｃ１の順方向塗布終了位置Ｙ＝Ｙ３に達したら、ストライプノズル２０Ｒからの塗布液２Ｒの吐出を停止する。これによって製品領域Ｃ１にＲ色の塗布液２Ｒがストライプ状に塗布され、ストライプ塗布膜ＭＲが形成される。ストライプノズル２０Ｒから塗布液２Ｒを吐出開始する時は、塗布液供給装置８０Ｒの供給バルブ９２Ｒの開と吸引バルブ９４Ｒの閉を同時に行う。これによって、タンク９８Ｒに向かって吐出流量ＱＲで流れている塗布液２Ｒが、方向転換して、ストライプノズル２０Ｒに向かって吐出流量ＱＲで流れるようになる。またストライプノズル２０Ｒからの塗布液２Ｒの吐出を停止する時は、塗布液供給装置８０Ｒの供給バルブ９２Ｒの閉と吸引バルブ９４Ｒの開を同時に行う。これによってストライプノズル２０Ｒに向かって吐出流量ＱＲで流れている塗布液２Ｒが、また方向転換して、タンク９８Ｒに向かって吐出流量ＱＲで流れる。この時、ストライプノズル２０Ｒには全く塗布液２Ｒは供給されないことになるので、ストライプノズル２０Ｒからの塗布液２Ｒの吐出は完全に停止する。
【００４３】
引き続いてＹ軸スライダー５０の順方向の駆動は継続し、ストライプノズル２０Ｒは塗布速度ＶでＹ方向に移動をつづける。その間にストライプノズル２０Ｒが、基板Ａ１の製品領域Ｃ２の順方向塗布開始位置Ｙ＝Ｙ４に達したらストライプノズル２０Ｒから塗布液２Ｒを吐出開始し、製品領域Ｃ２の順方向塗布終了位置Ｙ＝Ｙ５に達したら、ストライプノズル２０Ｒからの塗布液２Ｒの吐出を停止する。さらには製品領域Ｃ３の順方向塗布開始位置Ｙ＝Ｙ６に達したらストライプノズル２０Ｒから塗布液２Ｒを吐出開始し、製品領域Ｃ３の順方向塗布終了位置Ｙ＝Ｙ７に達したら、ストライプノズル２０Ｒからの塗布液２Ｒの吐出を停止する。以上によって、製品領域Ｃ１に加えて、製品領域Ｃ２、Ｃ３でもＲ用の塗布液２Ｒがストライプ状に塗布され、ストライプ塗布膜ＭＲが形成される。その後もストライプノズル２０Ｒは塗布速度ＶでＹ方向に移動をつづけ、ストライプノズル２０Ｒが製品領域Ｃ３から基板Ａ１の端部までにある順方向ノズル上昇位置（Ｙ＝Ｙ８）に達したら、Ｚ軸スライダー７０Ｒを駆動して、ストライプノズル２０ＲをＺ方向に塗布準備位置（Ｚ＝Ｚ１）まで上昇させる。この時同時に塗布液供給装置８０Ｒのビストン１０４Ｒを停止させる。引き続いてピストン１０４Ｒを逆方向（図５の左側方向）に向けて始動開始し、新たに塗布液２Ｒをシリンジ１０２Ｒ内に充填し、所定量充填したらピストン１０４Ｒの逆方向の移動は停止する。この間もＹ方向に塗布速度Ｖにて移動を続けるストライプノズル２０Ｒが、搬入部基板移動機１７０、基板移動機１１０、搬出部基板移動機２２０をのり越えた終点位置（Ｙ＝Ｙ９）に達したら、Ｙ軸スライダー５０を停止し、ストライプノズル２０Ｒの移動も停止する。
【００４４】
＜工程５＞（図６（ｄ）の状況）
続いて搬入載置台１５２と塗布載置台１２の吸着孔からの吸引を停止するとともに、逆にそれらの吸着孔から空気を吹き出して、把持体１７８で基板Ａ１を挟持した状態で相方ともに浮上させる。そして搬入部基板移動機１７０の搬送体１７２をＸ方向に移動開始して、基板Ａ１の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３がストライプノズル２０Ｇで塗布できる位置、２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３がストライプノズル２０Ｒで塗布できる位置まで、基板Ａ１を搬入載置台１５２と塗布載置台１２上で移動させる。この移動によって基板Ａ１は、搬入載置台１５２を離れて、塗布載置台１２上に全面載ることになる。この時基板移動機１１０の搬送体１１２と搬出部基板移動機２２０の搬送体２２２も、搬入部基板移動機１７０の搬送体１７２と相対位置関係を保って、Ｘ方向に平行移動させる。基板Ａ１で塗布すべき方向と、ストライプノズル２０Ｒの移動方向はすでに＜工程３＞で一致させており、それを保ったままＸ方向に基板Ａ１を平行移動させているので、ストライプノズル２０Ｇの移動方向に対しても、基板Ａ１の塗布すべき方向は一致している。さらに基板Ａ１の位置情報ＩＡ１を基に、基板Ａ１の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３上の塗布すべきＸ方向位置と、ストライプノズル２０Ｇの吐出口３０Ｇが一致するように、搬入部基板移動機１７０で基板Ａ１をＸ方向に微細に移動させる。この時基板Ａ１を移動させないで、ストライプノズル２０Ｇが装着されているＸ軸スライダー６０Ｇを駆動して、ストライプノズル２０ＧをＸ方向に微細に移動させてもよい。これと同時に、基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３上の塗布すべきＸ方向位置と、ストライプノズル２０Ｒの吐出口３０Ｒが一致するように、ストライプノズル２０ＲのＸ軸スライダー６０Ｒを駆動して、ストライプノズル２０ＲをＸ方向に微細に移動させる。搬入載置台１５２の吸着孔からと、塗布載置台１２の吸着孔からの空気の吹き出しを停止し、塗布載置台１２の吸着孔からの吸引のみを開始して、位置合わせが完了した基板Ａ１を、塗布載置台１２に吸着保持する。
【００４５】
＜工程６＞（図６（ｅ１）の状況）
続いて搬入部基板移動機１７０のロッド１７６を縮小させて把持体１７８による基板Ａ１の挟持を解除してから、搬入部基板移動機１７０、基板移動機１１０を逆方向に駆動して、搬送体１７２、１１２、ともに原点位置（いずれの場合も一番左端の位置）に戻る。この時搬出部基板移動機２２０は駆動せず、搬送体２２２は退避位置（図示の位置）に留まる。
【００４６】
これと並行して、搬入載置台１５２でリフトピンを上昇させ、ローダから２枚目の基板Ａ２をリフトピン上におく。そのままリフトピンを下降させて基板Ａ２を搬入載置台１５２の表面１５４に載置する。続いて搬入部基板移動機１７０のロッド１７６を伸張させて、４個の把持体１７８で基板Ａ２をＹ方向に挟み込む。そして表面１５４の図示しない吸着孔から空気を吹き出し、把持体１７８で保持されている基板Ａ２をそのまま搬入載置台１５２の表面１５４上で浮上させる。この状態で、搬送体１７２をＸ方向に移動開始し、基板Ａ２のアライメントマークがカメラ１６２の直下に来たら停止し、吸着孔からの空気吹き出しを停止するとともに、吸着孔からの吸引を開始して基板Ａ２を搬入載置台１５２上で吸着保持する。この状態で、カメラ１６２で基板Ａ２のアライメントマーク位置を検知して位置情報ＩＡ２（基板Ａ２の位置情報）を取得するとともに、高さセンサーによって、表面１５４からの基板Ａ２の高さＨが測定され、基板Ａ２の厚さが算出される。
【００４７】
＜工程７＞（図６（ｅ２）の状況）
Ｚ軸スライダー７０Ｇを駆動して、Ｚ方向の塗布準備位置（Ｚ＝Ｚ１）まで、ストライプノズル２０Ｇを下降させて、すでにＺ方向のその位置にあるストライプノズル２０Ｒととともに、塗布前準備を行わせる。並行して先に測定した基板Ａ２の厚さ情報をもとに、基板Ａ２とストライプノズル２０Ｒとのクリアランス量ＣＬが所定値となるＺ方向の座標値ＺＡ２を算出する。
【００４８】
そしてノズルガントリー部４０のＹ軸スライダー５０を駆動開始し、原点位置Ｙ＝Ｙ０の方に向かって、すなわちＹ方向の逆方向にストライプノズル２０Ｒ、２０Ｇを塗布速度Ｖで走行開始させる。これと同時に塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇのピストン１０４Ｒ、Ｇを吐出流量ＱＲ、ＱＧに対応した所定速度にて図５の右側（排出側）へ移動開始させ、シリンジ１０２Ｒ，Ｇ内の塗布液２Ｒ、２Ｇを吐出流量ＱＲ、ＱＧでタンク９８Ｒ、Ｇへ戻すことで、シリンジポンプ１００Ｒ、Ｇを立ち上げる。次にストライプノズル２０Ｒ、Ｇが基板Ａ１の製品領域Ｄ３、Ｃ３の進行方向手前にある逆方向ノズル下降位置（Ｙ＝Ｙ８）に来たら、Ｚ軸スライダー７０Ｒ、Ｇを駆動してストライプノズル２０Ｒ、２０ＧをＺ＝ＺＡ１の位置まで下降させて、基板Ａ１と吐出口面３６Ｒ、Ｇとの間でクリアランス量ＣＬのすきまを設ける。この間もストライプノズル２０Ｒ、ＧはＹ方向に塗布速度Ｖにて走行を続けており、基板Ａ１の製品領域Ｄ３、Ｃ３の逆方向塗布開始位置Ｙ＝Ｙ７に達したらストライプノズル２０Ｒ、Ｇから塗布液２Ｒ、２Ｇを吐出開始し、製品領域Ｄ３、Ｃ３の逆方向塗布終了位置Ｙ＝Ｙ６に達したら、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇからの塗布液２Ｒ、２Ｇの吐出を停止する。これによって製品領域Ｄ３にＲ色の塗布液２Ｒがストライプ状に塗布されてストライプ塗布膜ＭＲが形成され、製品領域Ｃ３には、塗布液２Ｒのストライプ状塗布膜であるトライプ膜ＭＲの隣に、Ｇ色の塗布液２Ｇがストライプ状に塗布されてストライプ塗布膜ＭＧが形成される。ストライプノズル２０Ｇからの塗布液の吐出開始と停止はストライプノズル２０Ｒの時と同じようにする。すなわち、塗布液２Ｇを吐出開始する時は、塗布液供給装置８０Ｇの供給バルブ９２Ｇの開と吸引バルブ９４Ｇの閉を同時に行うことによって、タンク９８Ｇに向かって吐出流量ＱＧで流れている塗布液２Ｇを、方向転換して、ストライプノズル２０Ｇに向かって吐出流量ＱＧで流れるようにする。また塗布液２Ｇの吐出を停止する時は、塗布液供給装置８０Ｇの供給バルブ９２Ｇの閉と吸引バルブ９４Ｇの開を同時に行う。これによってストライプノズル２０Ｇに向かって吐出流量ＱＧで流れている塗布液２Ｇを、方向転換して、タンク９８Ｇに向かって吐出流量ＱＧで流れるようにする。ストライプノズル２０Ｇには全く塗布液２Ｇは供給されないことになるので、ストライプノズル２０Ｇからの塗布液２Ｇの吐出は完全に停止する。
【００４９】
引き続きＹ軸スライダー５０の逆方向の駆動は続けられ、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇは塗布速度Ｖで移動をつづける。その間ストライプノズル２０Ｒ、Ｇが、基板Ａ１の製品領域Ｄ２、Ｃ２の逆方向塗布開始位置Ｙ＝Ｙ５に達したらストライプノズル２０Ｒ、Ｇから塗布液２Ｒ、２Ｇを吐出開始し、製品領域Ｄ２、Ｃ２の逆方向塗布終了位置Ｙ＝Ｙ４に達したら、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇからの塗布液２Ｒ、２Ｇの吐出を停止する。さらには製品領域Ｄ１、Ｃ１の逆方向塗布開始位置Ｙ＝Ｙ３に達したらストライプノズル２０Ｒ、Ｇから塗布液２Ｒ、２Ｇを吐出開始し、製品領域Ｄ１、Ｃ１の逆方向塗布終了位置Ｙ＝Ｙ２に達したら、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇからの塗布液２Ｒ、２Ｇの吐出を停止する。以上によって、基板Ａ１の製品領域Ｄ３に加えて、製品領域Ｄ２、Ｄ１でもＲ色の塗布液２Ｒがストライプ状に塗布されてストライプ塗布膜ＭＲが形成され、製品領域Ｃ３に加えて製品領域Ｃ２、Ｃ１でも、塗布液２Ｒのストライプ塗布膜ＭＲの隣に、Ｇ色の塗布液２Ｇがストライプ状に塗布されて、ストライプ塗布膜ＭＧが形成される。その後もストライプノズル２０Ｒ、Ｇは塗布速度ＶでＹ方向の逆方向に移動をつづけ、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇが逆方向ノズル上昇位置（Ｙ＝Ｙ１）に達したら、Ｚ軸スライダー７０Ｒ、Ｇを駆動して、ストライプノズル２０Ｒ、ＧをＺ方向に塗布準備位置（Ｚ＝Ｚ１）まで上昇させる。この時同時に塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇのビストン１０４Ｒ、Ｇを停止させる。引き続いてピストン１０４Ｒ、Ｇを逆方向（図５の左側方向）に向けて始動開始し、塗布液２Ｒ、２Ｇをシリンジ１０２Ｒ、Ｇ内に充填し、所定量充填したらピストン１０４Ｒ、Ｇの逆方向への移動は停止する。この間もＹ方向に塗布速度Ｖにて移動を続けるストライプノズル２０Ｒ、Ｇが、搬入部基板移動機１７０、基板移動機１１０、搬出部基板移動機２２０をのり越えた原点位置（Ｙ＝Ｙ０）に達したら、Ｙ軸スライダー５０を停止し、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇの逆方向移動も停止する。
【００５０】
＜工程８＞（図７（ｆ１）の状況
続いて基板移動機１１０のロッド１１６を伸ばして前進させ、４個の把持体１１８で、塗布載置台１２に吸着保持されている基板Ａ１を挟持して保持する。そして搬入載置台１５２と塗布載置台１２の吸着孔からの吸引を停止するとともに、逆にそれらの吸着孔から空気を吹き出し、搬入移載台１５２上では、把持体１７８で基板Ａ２を挟持した状態で相方ともに浮上させ、塗布移載台１２上では、把持体１１８で基板Ａ１を挟持した状態で相方ともに浮上させる。続いて、基板移動機１１０の搬送体１１２をＸ方向に移動開始して、基板Ａ１の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３がストライプノズル２０Ｂで塗布できる位置、２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３がストライプノズル２０Ｇで塗布できる位置まで、基板Ａ１を塗布載置台１２上で移動させる。これで基板Ａ１とストライプノズル２０Ｇ、Ｂとのおおまかな位置合わせができたので、次に微細な位置合わせを行う。基板Ａ１については、塗布すべき方向と、ストライプノズル２０Ｇの移動方向はすでに一致させており、それを保ったままＸ方向に基板Ａ１を平行移動させているので、ストライプノズル２０Ｂの移動方向に対しても、基板Ａ１の塗布すべき方向と一致している。さらに基板Ａ１の位置情報ＩＡ１を基に、基板Ａ１の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３上の塗布すべきＸ方向位置と、ストライプノズル２０Ｂの吐出口３０Ｂが一致するように、Ｘ軸スライダー６０Ｂを駆動してストライプノズル２０ＢをＸ方向に微細に移動させる。これと同時に、基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３上の塗布すべきＸ方向位置と、ストライプノズル２０Ｇの吐出口３０Ｇが一致するように、ストライプノズル２０ＧのＸ軸スライダー６０Ｇを駆動して、ストライプノズル２０ＧをＸ方向に微細に移動させる。
【００５１】
以上の基板Ａ１の操作と並行して、搬入部基板移動機１７０の搬送体１７２をＸ方向に移動開始して、基板Ａ２の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３がストライプノズル２０Ｒで塗布できる塗布載置台１２上の位置まで移動させる。先に取得した基板Ａ２の位置情報ＩＡ２を基に、基板Ａ２で塗布すべき方向と、ストライプノズル２０Ｒの移動方向すなわちＹ方向が一致するように、搬入部基板移動機１７０のロッド１７６を伸縮させて基板Ａ２を回転させる。さらに基板Ａ２の位置情報ＩＡ２を基に、基板Ａ２上の塗布すべきＸ方向位置と、ストライプノズル２０Ｒの吐出口３０Ｒが一致するように、搬入部基板移動機１７０で基板Ａ２をＸ方向に微細に移動させる。Ｘ方向の位置合わせが完了したら、搬入載置台１５２の吸着孔からと、塗布載置台１２の吸着孔からの空気の吹き出しを停止し、それぞれの吸着孔から吸引を開始して、位置合わせが完了した基板Ａ２を、搬入載置台１５２と塗布載置台１２に吸着保持するとともに、塗布載置台１２上での位置合わせが完了して基板Ａ２と並んで静止している基板Ａ１も吸着保持する。なお、基板Ａ２は搬入部基板移動機１７０の把持体１７８で、基板Ａ１は基板移動機１１０の把持体１１８で、挟持されて保持が行われている状態のまま、搬入載置台１５２と塗布載置台１２とに吸着保持される。
【００５２】
続いてＺ軸スライダー７０Ｂを駆動して、Ｚ方向の塗布準備位置（Ｚ＝Ｚ１）まで、ストライプノズル２０Ｂを下降させて、すでにＺ方向のその位置にあるストライプノズル２０Ｒ、Ｇととともに、次の塗布前準備を行わせる。
【００５３】
＜工程９＞（図７（ｆ２）の状況）
ノズルガントリー部４０のＹ軸スライダー５０を駆動開始し、終点位置Ｙ＝Ｙ９の方に向かって、すなわちＹ方向の順方向にストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂを塗布速度Ｖで走行開始させる。これと同時に塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇ、Ｂのピストン１０４Ｒ、Ｇ、Ｂを吐出流量ＱＲ、ＱＧ、ＱＢに対応した所定速度にて図５の右側（液排出側）へ移動開始して、シリンジ１０２Ｒ、Ｇ、Ｂ内の塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを吐出流量ＱＲ、ＱＧ、ＱＢでタンク９８Ｒ、Ｇ、Ｂへ戻すことで、シリンジポンプ１００Ｒ、Ｇ、Ｂを立ち上げる。次にストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂが順方向ノズル下降位置（Ｙ＝Ｙ１）に来たら、Ｚ軸スライダー７０Ｒを駆動してストライプノズル２０ＲをＺ＝ＺＡ２の位置まで下降させて、ストライプノズル２０Ｒの吐出口面３６Ｒと基板Ａ２との間でクリアランス量ＣＬのすきまを設ける。これと同時にＺ軸スライダー７０Ｇ、Ｂも駆動してストライプノズル２０Ｇ、ＢをＺ＝ＺＡ１の位置まで下降させて、ストライプノズル２０Ｇ、Ｂの吐出口面３６Ｇ、Ｂと基板Ａ１との間でクリアランス量ＣＬのすきまを設ける。Ｚ軸スライダー７０Ｒ、Ｇ、Ｂを動作させている間もストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、ＢはＹ方向の順方向に塗布速度Ｖにて走行を続けており、基板Ａ２の製品領域Ｃ１、基板Ａ１の製品領域Ｄ１、Ｃ１の順方向塗布開始位置Ｙ＝Ｙ２に達したらストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂから塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを吐出開始し、基板Ａ２の製品領域Ｃ１、基板Ａ１の製品領域Ｄ１、Ｃ１の順方向塗布終了位置Ｙ＝Ｙ３に達したら、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂからの塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの吐出を停止する。これによって基板Ａ２の製品領域Ｃ１にＲ色の塗布液２Ｒがストライプ状に塗布されて、ストライプ塗布膜ＭＲが形成される。これと同時に、基板Ａ１の製品領域Ｄ１には、塗布液２Ｒのストライプ塗布膜ＭＲの隣に、Ｇ色の塗布液２Ｇがストライプ状に塗布されてストライプ塗布膜ＭＧが形成され、また基板Ａ１の製品領域Ｃ１には、塗布液２Ｒ、２Ｇのストライプ塗布膜ＭＲ、ＭＧと並んだ隣に、Ｂ色の塗布液２Ｂがストライプ状に塗布されてストライプ塗布膜ＭＢが形成される。すなわち基板Ａ１の製品領域Ｃ１には、塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂがストライプ状に３色塗布され、３色のストライプ塗布膜ＭＲ、ＭＧ、ＭＢが形成される。ストライプノズル２０Ｂからの塗布液の吐出と停止は、ストライプノズル２０Ｇの時と同じようにする。すなわち、塗布液２Ｂを吐出開始する時は、塗布液供給装置８０Ｂの供給バルブ９２Ｂの開と吸引バルブ９４Ｂの閉を同時に行うことによって、タンク９８Ｂに向かって吐出流量ＱＢで流れている塗布液２Ｂを、方向転換して、ストライプノズル２０Ｂに向かって吐出流量ＱＢで流れるようにする。また塗布液２Ｂの吐出を停止する時は、塗布液供給装置８０Ｂの供給バルブ９２Ｂの閉と吸引バルブ９４Ｂの開を同時に行う。これによってストライプノズル２０Ｂに向かって吐出流量ＱＢで流れている塗布液２Ｂを、方向転換して、タンク９８Ｂに向かって吐出流量ＱＢで流れるようにする。
【００５４】
引き続きＹ軸スライダー５０の順方向の駆動は続けられ、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂは塗布速度Ｖで移動をつづける。その間ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂが、基板Ａ２の製品領域Ｃ２、基板Ａ１の製品領域Ｄ２、Ｃ２の順方向塗布開始位置Ｙ＝Ｙ４に達したらストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂから塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを吐出開始し、基板Ａ２の製品領域Ｃ２、基板Ａ１の製品領域Ｄ２、Ｃ２の順方向塗布終了位置Ｙ＝Ｙ５に達したら、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂからの塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの吐出を停止する。さらには基板Ａ２の製品領域Ｃ３、基板１の製品領域Ｄ３、Ｃ３の順方向塗布開始位置Ｙ＝Ｙ６に達したらストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂから塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを吐出開始し、その後にそれぞれの順方向塗布終了位置Ｙ＝Ｙ７に達したら、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂからの塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの吐出を停止する。以上によって、基板Ａ２の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３では、Ｒ色の塗布液２Ｒのみがストライプ状に塗布されてストライプ塗布膜ＭＲが形成され、基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３では、塗布液２Ｒのストライプ塗布膜ＭＲの隣に、Ｇ色の塗布液２Ｇがストライプ状に塗布されて、ストライプ塗布膜ＭＧが形成される。さらに基板Ａ１の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３では、塗布液２Ｂがストライプ塗布膜ＭＲ、ＭＧと並んだ隣にストライプ状に塗布されてストライプ塗布膜ＭＢが形成され、塗布を完了する。その後もストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂは順方向に移動をつづけ、順方向ノズル上昇位置（Ｙ＝Ｙ８）に達したら、Ｚ軸スライダー７０Ｒ、Ｇ、Ｂを駆動して、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、ＢをＺ方向に塗布準備位置（Ｚ＝Ｚ１）まで上昇させる。この時同時に塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇ、Ｂのビストン１０４Ｒ、Ｇ、Ｂを停止させる。引き続いてピストン１０４Ｒ、Ｇ、Ｂを逆方向（図５の左側方向）に向けて始動開始し、塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂをシリンジ１０２Ｒ、Ｇ、Ｂ内に充填し、所定量充填したらピストン１０４Ｒ、Ｇ、Ｂの逆方向の移動は停止する。この間もＹ方向に塗布速度Ｖにて移動を続けるストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂが、終点位置（Ｙ＝Ｙ９）に達したら、Ｙ軸スライダー５０を停止し、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの順方向移動も停止する。
【００５５】
以上、一つ前の工程８で、塗布載置台１２上に配列された２枚の基板Ａ１と基板Ａ２によって、搬送方向のＸ方向にｎ＝３列に配列された基板Ａ１の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、基板Ａ２の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３と、ｎ＝３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの吐出口３０Ｒ、Ｇ、Ｂとを、それぞれ１対１で相対位置を調整してから、本工程でｎ＝３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂを同時に塗布方向であるＹ方向に移動させながら、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂからｎ＝３種の塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを吐出して塗布することで、搬送方向にｎ＝３列配列された上記の製品領域に、１列あたり１種で、ｎ＝３種の塗布膜を形成することができる。
【００５６】
＜工程１０＞（図７（ｇ）の状況）
続いて搬入載置台１５２と塗布載置台１２の吸着孔からの吸引を停止するとともに、逆にそれらの吸着孔から空気を吹き出し、搬入移載台１５２上と塗布移載台１２上で、把持体１７８で基板Ａ２を挟持した状態で相方ともに浮上させるのと同時に、把持体１１８で基板Ａ１を挟持した状態で相方ともに浮上させる。そして、基板搬出部２００の搬出載置台２０２の図示されていない吸着孔からも空気を吹き出してから、基板移動機１１０の搬送体１１２をＸ方向に移動開始して、基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３がストライプノズル２０Ｂで塗布できる位置まで、基板Ａ１を移動させる。この時、基板Ａ１の１列目の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３は、塗布載置台１２から搬出載置台２０２に載り替わって、搬出載置台２０２上を移動する。なお、搬出部基板移動機２２０の搬送体２２２は、工程５より退避位置（一番右端の位置）にあり、基板移動機１１０の搬送体１１２等が基板Ａ１とともに移動してきても、干渉しない。また基板移動機１１０の搬送体１１２の移動と合わせて、搬入部基板移動機１７０の搬送体１７２もＸ方向に移動させ、基板Ａ２の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３がストライプノズル２０Ｇで塗布できる位置、２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３がストライプノズル２０Ｒで塗布できる位置まで、基板Ａ２を搬入載置台１５２と塗布載置台１２上で移動させる。この移動によって基板Ａ２は、搬入載置台１５２を離れて、塗布載置台１２上に全面載ることになる。さらに基板Ａ２の位置情報ＩＡ２を基に、基板Ａ２の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３上の塗布すべきＸ方向位置と、ストライプノズル２０Ｇの吐出口３０Ｇが一致するように、搬入部基板移動機１７０で基板Ａ２をＸ方向に微細に移動させる。続いて、搬入載置台１５２、塗布載置台１２、搬出載置台２０２のそれぞれの吸着孔からの空気の吹き出しを停止し、塗布載置台１２と搬出載置台２０２のそれぞれの吸着孔から吸引を開始して、基板Ａ１を塗布載置台１２と搬出載置台２０２に吸着保持するとともに、基板Ａ２を塗布載置台１２に吸着保持する。この状態で、基板Ａ２の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３上の塗布すべきＸ方向位置と、ストライプノズル２０Ｒの吐出口３０Ｒが一致するように、ストライプノズル２０ＲのＸ軸スライダー６０Ｒを駆動して、ストライプノズル２０ＲをＸ方向に微細に移動させる。同時に基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３上の塗布すべきＸ方向位置と、ストライプノズル２０Ｂの吐出口３０Ｂが一致するように、Ｘ軸スライダー６０Ｂを駆動してストライプノズル２０ＢをＸ方向に微細に移動させる。
【００５７】
＜工程１１＞（図７（ｈ１）の状況）
続いて搬入部基板移動機１７０のロッド１７６を縮小させて把持体１７８による基板Ａ２の保持を解除するとともに、基板移動機１１０のロッド１１６を縮小させて把持体１１８による基板Ａ１の保持も解除する。そして、搬入部基板移動機１７０、基板移動機１１０、搬出部基板移動機２２０を逆方向に駆動して、搬送体１７２、１１２、２２２ともに原点位置（いずれの場合も一番左端の位置）に戻る。
【００５８】
これと並行して、搬入載置台１５２でリフトピンを上昇させ、ローダから３枚目の基板Ａ３をリフトピン上におく。そのままリフトピンを下降させて基板Ａ３を搬入載置台１５２の表面１５４に載置する。続いて搬入部基板移動機１７０のロッド１７６を伸張させて、４個の把持体１７８で基板Ａ３をＹ方向に挟み込む。そして表面１５４の図示しない吸着孔から空気を吹き出し、把持体１７８で挟持して保持されている基板Ａ３をそのまま搬入載置台１５２の表面１５４上で浮上させる。この状態で、搬送体１７２をＸ方向に移動開始し、基板Ａ３のアライメントマークがカメラ１６２の直下に来たら停止し、吸着孔からの空気吹き出しを停止するとともに、吸着孔からの吸引を開始して基板Ａ３を搬入載置台１５２上で吸着保持する。そしてカメラ１６２で基板Ａ３のアライメントマーク位置を検知して位置情報ＩＡ３（基板Ａ３の位置情報）を取得するとともに、高さセンサーによって、表面１５４からの基板Ａ３の高さＨが測定され、基板Ａ３の厚さが算出される。
【００５９】
＜工程１２＞（図７（ｈ２）の状況）
まず先に測定した基板Ａ３の厚さ情報をもとに、基板Ａ３とストライプノズル２０Ｒとのクリアランス量ＣＬが所定値となるＺ方向の座標値ＺＡ３を算出する。
【００６０】
そしてＹ軸スライダー５０を駆動開始し、原点位置Ｙ＝Ｙ０の方に向かうＹ方向の逆方向に、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂを塗布速度Ｖで走行開始させる。これと同時に塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇ、Ｂのピストン１０４Ｒ、Ｇ、Ｂを吐出流量ＱＲ、ＱＧ、ＱＢに対応した所定速度にて右側へ移動開始して、シリンジ１０２Ｒ、Ｇ、Ｂ内の塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを吐出流量ＱＲ、ＱＧ、ＱＢでタンク９８Ｒ、Ｇ、Ｂへ戻すことで、シリンジポンプ１００Ｒ、Ｇ、Ｂを立ち上げる。次にストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂが逆方向ノズル下降位置（Ｙ＝Ｙ８）に来たら、Ｚ軸スライダー７０Ｒ、Ｇ、Ｂを駆動して、基板Ａ２に塗布をするストライプノズル２０Ｒ、２０ＧをＺ＝ＺＡ２の位置に、基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３に塗布をするストライプノズル２０ＢはＺ＝ＺＡ１の位置まで下降させて、ストライプノズル２０Ｒ、２０Ｇと基板Ａ２間と、ストライプノズル２０Ｂと基板Ａ１間にクリアランス量ＣＬのすきまを設ける。この間もストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、ＢはＹ方向に塗布速度Ｖにて走行を続けており、基板Ａ１の製品領域Ｄ３と基板Ａ２の製品領域Ｄ３、Ｃ３の逆方向塗布開始位置Ｙ＝Ｙ７に達したらストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂから塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを吐出開始し、基板Ａ１の製品領域Ｄ３と基板Ａ２の製品領域Ｄ３、Ｃ３の逆方向塗布終了位置Ｙ＝Ｙ６に達したら、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂからの塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの吐出を停止する。これによって基板Ａ２の製品領域Ｄ３にＲ色の塗布液２Ｒがストライプ状に塗布されてストライプ塗布膜ＭＲが形成され、製品領域Ｃ３には、塗布液２Ｒのストライプ塗布膜ＭＲの隣に、Ｇ色の塗布液２Ｇがストライプ状に塗布されてストライプ塗布膜ＭＧが形成される。そして基板Ａ１の製品領域Ｄ３には、塗布液２Ｒ、２Ｇのストライプ塗布膜ＭＲ、ＭＧと並んだ隣に、Ｂ色の塗布液２Ｂがストライプ状に塗布されてストライプ塗布膜ＭＢが形成される。すなわち塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂがストライプ状に３色塗布され、３色のストライプ塗布膜ＭＲ、ＭＧ、ＭＢが形成される。
【００６１】
引き続きＹ軸スライダー５０の逆方向の駆動は続けられ、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂは塗布速度Ｖで移動をつづける。その間ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂが、基板Ａ２の製品領域Ｄ２、Ｃ２と基板Ａ１の製品領域Ｄ２の逆方向塗布開始位置Ｙ＝Ｙ５に達したらストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂから塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを吐出開始し、基板Ａ２の製品領域Ｄ２、Ｃ２と基板Ａ１の製品領域Ｄ２の逆方向塗布終了位置Ｙ＝Ｙ４に達したら、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂからの塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの吐出を停止する。さらには基板Ａ２の製品領域Ｄ１、Ｃ１と基板Ａ１の製品領域Ｄ１の逆方向塗布開始位置Ｙ＝Ｙ３に達したらストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂから塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを吐出開始し、基板Ａ２の製品領域Ｄ１、Ｃ１と基板Ａ１の製品領域Ｄ１の逆方向塗布終了位置Ｙ＝Ｙ２に達したら、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂからの塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの吐出を停止する。以上によって、基板Ａ２の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３にＲ色の塗布液２Ｒがストライプ状に塗布されてストライプ塗布膜ＭＲが形成され、１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３に、塗布液２Ｒのストライプ塗布膜ＭＲの隣に、Ｇ色の塗布液２Ｇがストライプ状に塗布されてストライプ塗布膜ＭＧが形成される。さらに基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３では、塗布液２Ｒ、Ｇ、のストライプ塗布膜ＭＲ、ＭＧと並んだ隣に、Ｂ色の塗布液２Ｂがストライプ状に塗布されてストライプ塗布膜ＭＢが形成される。すなわち、基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３には、塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂがストライプ状に３色塗布され、３色のストライプ塗布膜ＭＲ、ＭＧ、ＭＢが形成される。以上で、基板Ａ１、基板Ａ２への塗布を完了する。その後もストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂは塗布速度ＶでＹ方向の逆方向に移動をつづけ、逆方向ノズル上昇位置（Ｙ＝Ｙ１）に達したら、Ｚ軸スライダー７０Ｒ、Ｇ、Ｂを駆動して、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、ＢをＺ方向に塗布準備位置（Ｚ＝Ｚ１）まで上昇させる。この時同時に塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇのビストン１０４Ｒ、Ｇ、Ｂを停止させる。引き続いてピストン１０４Ｒ、Ｇ、Ｂを逆方向（図５の左側方向）に向けて始動開始し、塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂをシリンジ１０２Ｒ、２Ｇ、２Ｂ内に充填し、所定量充填したらピストン１０４Ｒ、Ｇ、Ｂの逆方向への移動は停止する。この間もＹ方向に塗布速度Ｖにて移動を続けるストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂが、原点位置（Ｙ＝Ｙ０）に達したら、Ｙ軸スライダー５０を停止し、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの逆方向移動も停止する。
【００６２】
＜工程１３＞（図７（ｉ）の状況）
続いて基板移動機１１０のロッド１１６を伸張させて前進させ、４個の把持体１１８で、塗布載置台１２に吸着保持されている基板Ａ２を挟持して保持する。同時に搬出部基板移動機２２０のロッド２２６も伸張させて前進させ、４個の把持体２２８で、塗布載置台１２と搬出載置台２０２に吸着保持されている基板Ａ１を、挟持して保持する。そして搬入載置台１５２、塗布載置台１２、搬出載置台２０２の吸着孔からの吸引を停止するとともに、逆にそれらの吸着孔から空気を吹き出し、搬入移載台１５２上では、把持体１７８で基板Ａ３を挟持した状態で相方ともに浮上させ、塗布移載台１２と搬出載置台２０２上では、把持体１１８で基板Ａ２を挟持した状態で相方ともに浮上させ、さらには把持体２２８で基板Ａ１を挟持した状態で相方ともに浮上させる。
【００６３】
続いて、まず搬出部基板移動機２２０を駆動して搬送体２２２をＸ方向に移動開始し、基板Ａ１全体を搬出載置台２０２上の所定位置まで移動させる。これと同時か少し遅れて、基板移動機１１０の搬送体１１２をＸ方向に移動開始して、基板Ａ２の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３がストライプノズル２０Ｂで塗布できる位置、２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３がストライプノズル２０Ｇで塗布できる位置まで、塗布載置台１２上で基板Ａ２を移動させる。さらにこれと同時か少し遅れて搬入部基板移動機１７０の搬送体１７２をＸ方向に移動開始して、基板Ａ３の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３がストライプノズル２０Ｒで塗布できる塗布載置台１２上の位置まで基板Ａ３を移動させる。先に取得した基板Ａ３の位置情報ＩＡ３を基に、基板Ａ３で塗布すべき方向と、ストライプノズル２０Ｒの移動方向すなわちＹ方向が一致するように、搬入部基板移動機１７０のロッド１７６を伸縮させて基板Ａ３を回転させる。さらに基板Ａ３の位置情報ＩＡ３を基に、基板Ａ３上の塗布すべきＸ方向位置と、ストライプノズル２０Ｒの吐出口３０Ｒが一致するように、搬入部基板移動機１７０で基板Ａ３をＸ方向に微細に移動させる。Ｘ方向の位置合わせが完了したら、搬入載置台１５２、塗布載置台１２、搬出載置台２０２の吸着孔からの空気の吹き出しを停止し、搬入載置台１５２と塗布載置台１２の吸着孔から吸引を開始して、位置合わせが完了した基板Ａ３を、搬入載置台１５２と塗布載置台１２に吸着保持するとともに、塗布載置台１２上に基板Ａ３と並んでいる基板Ａ２も吸着保持する。さらに基板Ａ２の位置情報ＩＡ２を基に、基板Ａ２の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３上の塗布すべきＸ方向位置と、ストライプノズル２０Ｂの吐出口３０Ｂが一致するように、Ｘ軸スライダー６０Ｂを駆動してストライプノズル２０ＢをＸ方向に微細に移動させる。これと同時に、基板Ａ２の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３上の塗布すべきＸ方向位置と、ストライプノズル２０Ｇの吐出口３０Ｇが一致するように、ストライプノズル２０ＧのＸ軸スライダー６０Ｇを駆動して、ストライプノズル２０ＧをＸ方向に微細に移動させる。
【００６４】
＜工程１４＞（図７（ｊ）の状況）。
【００６５】
搬出載置台２０２上にある基板Ａ１に対して、搬出部基板移動機２２０のロッド２２６を縮小させて、４個の把持体２２８の挟持による保持を解除する。続いて図示されていないリフトピンを上昇させて基板Ａ１を持ち上げ、図示されないアンローダによって基板Ａ１の下面が保持され、次工程に基板Ａ１が搬出される。リフトピン上の基板Ａ１の搬出後に、リフトピンを下降させる。そして搬出部基板移動機２２０を駆動して、搬送体２２２を一番右側の退避位置に移動させる。
【００６６】
以下工程９〜１４を繰り返す。
【００６７】
上記の工程で、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂが原点位置であるＹ＝Ｙ０にある時に、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂからトレイ１２２に向かって塗布液を吐出させた後に、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの吐出口３０Ｒ、Ｇ、Ｂとその周辺から残存塗布液を拭取る拭取りを行わせてもよい。またこの位置で、基板Ａに塗布する前の予備塗布を行うようにしてもよい。また以上の拭取りや予備塗布は、ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの位置に関係なく、塗布を行う前に行ってもよい。
【００６８】
さらに本発明ではＹ方向の往復でストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂによる塗布を行うようにしたが、塗布方向を定めて、片方向のみにストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂによる塗布を行ってもよい。
【００６９】
なお本発明の塗布方法では、例えば工程９で、ｎ＝３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂで、ｎ＝３列に配列された基板Ａ１の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、基板Ａ２の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３に、ｎ＝３種の塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを１回塗布し、それごとにつづく工程１０で、例えば１列の製品領域である基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３が、現在のストライプノズル２０Ｇの吐出口３０Ｇに対応した位置にあるのを、搬送方向下流側に隣り合うノズルとなるストライプノズル２０Ｂの吐出口３０Ｂに対応する位置にくるように、基板Ａ１を搬送方向下流側に移動させている。そしてそれから工程１２で、ｎ＝３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂで、新たにｎ＝３列に配列された基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、基板Ａ２の１列目の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、基板Ａ２の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３に、ｎ＝３種の塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを塗布して塗布膜を形成している。以上のように１回の塗布ごとに基板を搬送方向下流側に製品領域１列分移動させることにより、１つの製品領域に異なる種類の塗布膜を順次形成することになり、最終的にすべての製品領域に全ての種類の塗布膜を形成することが可能となる。なお上記で、基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３が、搬送方向の下流側に隣り合うノズルとなるストライプノズル２０Ｂの吐出口３０Ｂに対応する位置にくるように、基板Ａ１を搬送方向下流側に移動させるというのは、具体的には、基板Ａ１の２列目の製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３が、搬送方向下流側に隣り合うノズルとなるストライプノズル２０Ｂの吐出口３０Ｂが占める搬送方向の塗布範囲である長さＬＷの領域と重なるように、基板Ａ１を搬送方向下流側に移動させることになる。なお搬送方向下流側は、基板Ａが搬送されて行く側であり、図１では右側となる。
【００７０】
以上のように本発明の塗布方法では、搬送方向に１列の製品領域で１種類の塗布液を塗布し、それをすべての列に対して逐次的に行うようにしている。そしてこの塗布方法を実際に行えるように具現化したのが本発明の塗布装置１である。それゆえ、１種類の塗布液に対して１台のノズルしかなくても、１種１台のノズルによる１列の製品領域での塗布を、順番に逐次的に全ての列の製品領域で行い、さらにそれをｎ種ｎ台のノズルに拡大しているので、製品領域数や塗布液の種類数が膨大な数になっても、全ての製品領域でｎ種の塗布液を確実に、しかも１種１台のノズルで効率的に塗布することができる。それゆえ、高価なノズルは塗布液種類ごとに１台でよく、設備コストを大きく減じることが可能となる。またノズル台数が最小となるので、ノズルの使用に要する作業時間や作業人数も最小となり、それによって装置の稼働時間が大幅に増加するので、生産性を高めて製造コストも大きく減じることが可能となる。また、塗布液の種類がいくらあっても、１台の塗布装置で、最終的に全ての製品領域に多数種の塗布膜形成を行うことができ、非常に効率的である。
【００７１】
上記の実施態様で、３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂを、１種の塗布液を区画された製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３の全面に塗布する１台のスリットノズルにしてもよい。この場合、従来なら２台のスリットノズルで製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３と製品領域Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３ごとに全面塗布していたものが、１台のスリットノズルで効率的に塗布することが可能となる。
【００７２】
また上記の実施態様例では、ｎ＝３台のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂは、搬送方向であるＹ方向に一直線状に、ステー部４２で配列したが、それぞれの吐出口３０Ｒ、Ｇ、Ｂが占める長さＬＷで規定される搬送方向の塗布範囲が、搬送方向でお互いに重ならないなら、千鳥状に配列してもよい。
【００７３】
また上記の実施態様例では間欠駆動定容量型ポンプとしてシリンジポンプを使用したが、間欠的に定容量の塗布液の供給と吸引が行われるのならこれに限定されることはなく、ベロフラム型ポンプ（商品名ＣＴポンプ）、ダイヤフラムポンプ等が好適に用いることができる。
【００７４】
さらに本発明の塗布装置と塗布方法は、ストライプノズルを製品領域の全面に塗布可能なスリットノズルに置き換えて、基板内の同じ位置で異なる種類の塗布膜を重ねる積層塗布に使用してもよい。
【００７５】
以上説明した本発明が適用できる塗布液としては粘度が１〜１０００００ｍＰａ・ｓであり、ニュートニアンであることが塗布性から好ましいが、チキソ性を有する塗布液にも適用できる。具体的に適用できる塗布液の例としては、液晶ディスプレイの着色層用塗布液、有機ＥＬディスプレイの画素用塗布液、等がある。基板である被塗布部材としては、ガラスやシリコンウェハーの他にアルミ等の金属板、セラミック板、フィルム等を用いてもよい。さらに使用する塗布条件としては、塗布速度が１〜４００ｍｍ／ｓ、より好ましくは５〜２００ｍｍ／ｓ、塗布厚さはウェット状態で０．２〜１００μｍ、より好ましくは１〜２０μｍである。
【実施例】
【００７６】
以下実施例により本発明を具体的に説明する。
【００７７】
塗布装置として、図１に示す塗布装置１を用いて、有機ＥＬディスプレイ用部材を作製した。具体的には、ディスプレイ用部材の基材となる基板Ａ内の複数の製品領域に、３種の塗布液を塗布して３種のストライプ状塗布膜を形成した。基板Ａは５５０ｍｍ（幅）×６５０ｍｍ（長）×０．７ｍｍ（厚）の無アルカリガラスで、２４０ｍｍ（幅）×１８０ｍｍ（長）の製品領域を基板Ａの長手方向（塗布方向）にｉ＝３行、短手方向（搬送方向）にｊ＝２列の合計６個配置したものであった。なお、基板Ａ内の製品領域の配置は、図１の基板Ａ内の製品領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３と同じ形態にした。すなわち基板Ａの短手方向には、基板Ａの両端から２０ｍｍの位置に、幅２４０ｍｍの製品領域が２列並ぶようにし、２列の製品領域間に３０ｍｍの非製品領域ができるようにした。また基板Ａの長手方向には、基板Ａの片端から２０ｍｍの位置を始点として、長さ１８０ｍｍの製品領域が３５ｍｍの間（非製品領域）をおいて３行並ぶようにし、反対側の端部からも製品領域まで２０ｍｍの非製品領域ができるようにした。また個々の製品領域には、厚さ２μｍ、幅２０μｍ、長さ１８０ｍｍのポリイミド膜がバンクとして、製品領域幅方向（基板Ａの短手方向）にピッチ１００μｍで２４０１本配置されていた。さらにバンクとしてのポリイミド膜の間にはＩＴＯ透明電極が陽極としてガラス基板上に０．１μｍ、その上に正孔注入輸送層が０．２μｍ形成されていた。正孔注入輸送層はポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸が混合されたものを主成分とするものであった。また厚さ２μｍ、幅５０μｍ、長さ５００μｍのポリイミド膜を、左右上下対称の十字に形成して、これを２個のアライメントマークとして基板Ａ上に配置した。この２個のアライメントマークの配置位置は、図１の基板Ａの右端から１０ｍｍの位置のＹ方向に平行なライン上で、基板ＡのＹ方向両端から１０ｍｍの位置に、十字の交点が位置するようにした。
【００７８】
そして有機ＥＬディスプレイを製造するために、上記の製品領域内のバンク間の正孔注入輸送層の上に塗布するＲ色、Ｇ色、Ｂ色発光材を準備した。これらの発光材はいずれもポリフェニレンビニレン系高分子であり、Ｒ色発光材は固形分濃度１％で粘度が２ｍＰａ・ｓ、Ｇ色発光材は固形分濃度１％で粘度が１．５ｍＰａ・ｓ、Ｂ色発光材は固形分濃度１％で粘度が５ｍＰａ・ｓであった。さらに図１に示す塗布装置１でストライプ状の塗布を行うために、Ｒ色、Ｇ色、Ｂ色発光材ごとに、専用のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂを準備した。
【００７９】
ストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂはすべて同じ構成、寸法になっていて、吐出口３０Ｒ、Ｇ、Ｂについては、ノズル長手方向の長さ４０μｍ、塗布方向長さ１００μｍの矩形状にした。そしてこの形状の吐出口３０Ｒ、Ｇ、Ｂを、ピッチＬＰ＝３００μｍで８００個配置した。また吐出口面３６Ｒ、Ｇ、Ｂは幅ＬＤ＝６０μｍで、塗布方向長さが５００μｍであり、上下方向に２００μｍ突出させた。
以上のストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂを図１の塗布装置１に取り付け、上記のＲ色発光材、Ｇ色発光材、Ｂ色発光材をそれぞれ塗布液２Ｒ、２Ｇ、２Ｂとして、塗布液供給装置８０Ｒ、Ｇ、Ｂのタンク９８Ｒ、Ｇ、Ｂからストライプノズル２０Ｒ、Ｇ、Ｂの吐出口３０Ｒ、Ｇ、Ｂまで充填した。そして上記の工程１〜１４にしたがって、各製品領域のポリイミドのバンクに囲まれた８０μｍ幅の画素部に、幅８０μｍ、長さ１８０ｍｍ、ウェット厚さ５μｍのストライプ塗布膜ＭＲ、ＭＧ、ＭＢが、１００μｍピッチで交互に並んで８００画素分、Ｒ、Ｇ、Ｂのストライプ塗布膜としては合計２４００本並んだものを、６個の製品領域で、基板１００枚分形成した。この時の塗布速度Ｖは５０ｍｍ／ｓ、吐出流量ＱＲ＝ＱＧ＝ＱＢ＝１６μＬ／ｓ、クリアランス量ＣＬ＝５０μｍ、Ｚ１＝２０ｍｍ、Ｙ１＝２１０ｍｍ、Ｙ２＝２２０ｍｍ、Ｙ３＝５００ｍｍ、Ｙ４＝５３５ｍｍ、Ｙ５＝７１５ｍｍ、Ｙ６＝７５０ｍｍ、Ｙ７＝９３０ｍｍ、Ｙ８＝９４０ｍｍ、Ｙ９＝１１５０ｍｍ、であった。
【００８０】
この時、バンク上に乗り上げるＲ色、Ｇ色、Ｂ色発光材はなく、Ｒ色、Ｇ色、Ｂ色発光材が充填されていない部分もなかった。以上のＲ色、Ｇ色、Ｂ色発光材の塗布を、上記のように１００枚の基板Ａに対して行った後に、順次ホットプレートで１２０℃、１０分の乾燥を行った。乾燥後に膜厚を測定したところ、塗布開始から５ｍｍで５０ｎｍとなっており、塗布開始と終了部から５ｍｍずつ除いた２５０ｍｍの範囲、すなわちポリイミド膜のバンクが形成されている範囲で、膜厚むらは±５％以下となって非常に良好であった。
【００８１】
そして最後に塗布したＲＧＢ発光材とバンクの上を覆うように陰電極を蒸着して有機ＥＬ素子を作製した。この有機ＥＬ素子を製品領域ごとにカットし、さらに後工程で所定の処理をして表示装置に形成したところ、Ｒ色、Ｇ色、Ｂ色が基板全面にわたって均一に表示され、品質的に申し分ない有機ＥＬディスプレイが、６００台製造できた。
【符号の説明】
【００８２】
１  塗布装置
２Ｒ  塗布液（Ｒ色）
２Ｇ  塗布液（Ｇ色）
２Ｂ  塗布液（Ｂ色）
１０  塗布機本体
１２  塗布載置台
１４  表面
２０Ｒ、Ｇ、Ｂ  ストライプノズル
２２Ｒ、Ｇ、Ｂ  フロントリップ
２４Ｒ、Ｇ、Ｂ  バックアップリップ
２６Ｒ、Ｇ、Ｂ  内部流路
２８Ｒ、Ｇ、Ｂ  マニホールド
３０Ｒ、Ｇ、Ｂ  吐出口
３２Ｒ、Ｇ、Ｂ  貫通溝
３４Ｒ、Ｇ、Ｂ  突出部
３６Ｒ、Ｇ、Ｂ  吐出口面
３８Ｒ、Ｇ、Ｂ  傾斜部
４０  ノズルガントリー部
４２  ステー部
４４  門型フレーム
４６  垂直面
５０  Ｙ軸スライダー
５２  Ｙ軸レール
５４  Ｙ軸可動体
６０Ｒ、Ｇ、Ｂ  Ｘ軸スライダー
６２Ｒ、Ｇ、Ｂ  Ｘ軸レール
６４Ｒ、Ｇ、Ｂ  Ｘ軸可動体
７０Ｒ、Ｇ、Ｂ  Ｚ軸スライダー
７２Ｒ、Ｇ、Ｂ  Ｚ軸レール
７４Ｒ、Ｇ、Ｂ  Ｚ軸可動体
８０Ｒ、Ｇ、Ｂ  塗布液供給装置
８２Ｒ、Ｇ、Ｂ  コネクター
８４Ｒ、Ｇ、Ｂ  供給チューブ
８６Ｒ、Ｇ、Ｂ  ノズルコネクター
８８Ｒ、Ｇ、Ｂ  ボックス
９０Ｒ、Ｇ、Ｂ  チューブ
９２Ｒ、Ｇ、Ｂ  供給バルブ
９４Ｒ、Ｇ、Ｂ  吸引バルブ
９６Ｒ、Ｇ、Ｂ  フィルター
９８Ｒ、Ｇ、Ｂ  タンク
９９    圧空源
１００Ｒ、Ｇ、Ｂ  シリンジポンプ
１０２Ｒ、Ｇ、Ｂ  シリンジ
１０４Ｒ、Ｇ、Ｂ  ピストン
１０６Ｒ、Ｇ、Ｂ  本体
１１０  基板移動機
１１２  搬送体
１１４  ガイドレール
１１６  ロッド
１１８  把持体
１２０  メンテナンス部
１２２  トレイ
１２４  架台
１５０  基板搬入部
１５２  搬入載置台
１５４  表面
１５６  門型フレーム
１６０  アライメントカメラユニット
１６２  カメラ
１６４  スライダー
１７０  搬入部基板移動機
１７２  搬送体
１７４  ガイドレール
１７６  ロッド
１７８  把持体
２００  基板搬出部
２０２  搬出載置台
２０４  表面
２２０  搬出部基板移動機
２２２  搬送体
２２４  ガイドレール
２２６  ロッド
２２８  把持体
Ａ  基板（被塗布部材）
Ａ１、Ａ２、Ａ３  基板
Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３  製品領域（１列目）
ＣＬ  クリアランス量（クリアランス（すきま）の大きさ（長さの単位））
Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３  製品領域（２列目）
ＬＤ  吐出口面３６の幅
ＬＰ  ピッチ
ＬＷ  長さ（塗布範囲）
ＭＲ  ストライプ塗布膜（Ｒ色）
ＭＧ  ストライプ塗布膜（Ｇ色）
ＭＢ  ストライプ塗布膜（Ｂ色
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本発明は主に、有機ＥＬ、カラーフィルタ等の基板上の面に多数種のストライプ状の塗布膜を形成する各種ディスプレイ用部材の製造に利用可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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