(57)【要約】【課題】  スイッチ本体ＳＢと絞り本体ＯＢとを別々にし、それらを異なった箇所に設置できるようにして、当該差圧式圧力スイッチの取り付けの自由度を確保する【解決手段】スイッチ本体ＳＢと絞り本体ＯＢとを別々に設ける。そして、上記スイッチ本体ＳＢには、上記比較側通路２７における圧力保持絞り２８、上記差圧検出手段３０及び上記調整圧生成可変絞り２９を設け、上記絞り本体ＯＢには、検出側通路３６における圧力保持絞り３７を設ける。このようにスイッチ本体ＳＢと絞り本体ＯＢとを別々に設けたので、例えば、当該差圧式圧力スイッチが大型化しても、それらの取り付けの自由度を確保できる。【選択図】  図１
2015026440.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力流体供給源に接続した流体を供給する通路に対して並列にした比較側通路及び検出側通路と、
上記比較側通路の比較側圧力を設定する比較側圧力設定手段と、
検出側通路に導かれた圧力流体を流出させる検出ノズルと、
上記比較側圧力設定手段で設定された比較側通路における比較側圧力と検出ノズルから流出する圧力流体の圧力損失で決まる検出側通路の検出側圧力との差圧を検出する差圧検出手段と、
上記差圧検出手段と比較側通路とを接続する接点よりも上流側に設けた第１の圧力保持絞りと
上記差圧検出手段と検出側通路とを接続する接点よりも上流側に設けた第２の圧力保持絞りと
を備えた差圧式圧力スイッチにおいて、
上記第１の圧力保持絞りを上記圧力源に接続する配管接続部と、第２の圧力保持絞りを上記圧力源に接続する配管接続部とを別々に設けた差圧式圧力スイッチ。
【請求項２】
少なくとも上記第１の圧力保持絞りに接続した上記配管接続部の上流に開閉弁を設けた請求項１に記載の差圧式圧力スイッチ。
【請求項３】
少なくとも上記第２の圧力保持絞りに接続した上記配管接続部の上流にレギュレータを設けた請求項１又は２に記載の差圧式圧力スイッチ。
【請求項４】
上記第１の圧力保持絞り、比較側通路及び比較側圧力設定手段を設けた一方の本体と、上記第２の圧力保持絞りを設けた他方の本体とを別々に設けるとともに、上記差圧検出手段を一方の本体あるいは他方の本体のいずれか一方に設けた請求項１〜３のいずれか１に記載の差圧式圧力スイッチ。
【請求項５】
上記比較側圧力設定手段と第２の圧力保持絞りのいずれか一方もしくは双方を可変絞りにした請求項１〜４のいずれか１に記載された差圧式圧力スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、加工テーブルに加工対象物が正確に載せられているかどうかを確認する差圧式圧力スイッチに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の差圧式圧力スイッチとして、図１２に示したものが従来から知られている。
この従来の差圧式圧力スイッチは、スイッチ本体ＳＢに流入ポート１を形成し、この流入ポート１は、供給通路２を介して圧力源Ｐに接続されている。そして、上記供給通路２には、全開位置あるいは微小開度位置のいずれかに切り換え可能にした電磁制御弁３を設けている。
なお、図中符号４は、上記電磁制御弁３と圧力源Ｐとの間に設けたレギュレータである。
【０００３】
上記スイッチ本体ＳＢには、比較側通路５と検出側通路６とを上記流入ポート１に対して並列に設けている。言い換えると、比較側通路５及び検出側通路６は、流入ポート１を共通にしている。
そして、比較側通路５には、上記流入ポート１から下流に向かって順に、圧力保持絞り７、比較側圧力設定手段である調整圧生成可変絞り８及び流出ポート９を設けている。また、検出側通路６には圧力保持絞り１０及び流出ポート１１を設けるとともに、この流出ポート１１には検査対象物１２との間の距離よって開度が決まる検出ノズル１３を設けている。
【０００４】
さらに、スイッチ本体ＳＢには、比較側通路５における圧力保持絞り７と調整圧生成可変絞り８との間の圧力と、検出側通路６における圧力保持絞り１０と検出ノズル１３との間の圧力との差圧を検出する差圧検出手段１４を設けている。
【０００５】
上記差圧式圧力スイッチを用いて検査対象物と検出ノズル１３との間のすき間が正確に保たれているかを検出するときには、先ず、電磁制御弁３を開位置に保つとともに、調整圧生成可変絞り８の開度を、その上流の圧力が設定圧になるように調整しておく。
上記のようにして圧力源Ｐから圧力流体を供給すると、この圧力流体は、流入ポート１から比較側通路５と検出側通路６とに流入する。
【０００６】
比較側通路５に流入した圧力流体は、圧力保持絞り７及び調整圧生成可変絞り８を経由して流出ポート９から流出する。このときには、圧力保持絞り７と調整圧生成可変絞り８との間には、設定された調整圧生成可変絞り８の開度に応じた圧力が発生するとともに、その圧力が差圧検出手段１４の一方の側に作用する。
また、検出側通路６に流入した圧力流体は、圧力保持絞り１０及び流出ポート１１を経由して検出ノズル１３から流出する。このときには、圧力保持絞り１０と検出ノズル１３との間には、検出ノズル１３と検査対象物１２との間の距離よってきまる圧力が発生するが、このときの圧力が、差圧検出手段１４の他方の側に作用する。
【０００７】
このようにして差圧検出手段１４の両側には、比較側通路５側の圧力と検出側通路６側の圧力とが作用するが、調整圧生成可変絞り８で設定した設定圧と、上記検出ノズル１３の上流側に発生する圧力とが等しくなれば、検出ノズル１３と検査対象物とのすき間が設定どおり維持されていることになる。
【０００８】
また、検査対象物１２がない状態では、電磁制御弁３を図示の微小開度位置に切り換える。電磁制御弁３が微小開度位置に切り換えられれば、圧力源Ｐからの圧力流体は、少量に絞られて流入ポート１に供給されるので、その分、圧力流体の流量が少なくなり、省エネルギーを達成できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０００−１５６１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記のようにした従来の差圧式圧力スイッチでは、比較側通路５と検出側通路６とを共通のスイッチ本体ＳＢに設けるとともに、それら両通路５，６を共通の流入ポート１に連通させているので、比較側通路５と検出側通路６とを分離することができなかった。そのために、比較側通路５と検出側通路６とを分離するような設計の自由度が得られないという問題があった。
また、当該差圧式圧力スイッチを多連にして、しかも、その多連数が多くなったとき、取り付けスペースが限定されたりして、設置の自由度も損なわれるという問題があった。
【００１１】
この発明の目的は、比較側通路と検出側通路とを別々に設けることができるようにして、取り付けや設計の自由度を保った差圧式圧力スイッチを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明は、圧力流体供給源に接続した流体供給通路に対して並列にした比較側通路及び検出側通路と、上記比較側通路の比較側圧力を設定する比較側圧力設定手段と、検出側通路から圧力流体を流出させる検出ノズルと、上記比較側圧力設定手段で設定された比較側圧力と検出ノズルから流出する圧力流体の圧力損失で決まる検出側通路の検出側圧力との差圧を検出する差圧検出手段と、上記差圧検出手段と比較側通路とを接続する接点よりも上流側に設けた第１の圧力保持絞りと上記差圧検出手段と検出側通路とを接続する接点よりも上流側に設けた第２の圧力保持絞りとを備えた差圧式圧力スイッチに関する。
そして、第１の発明は、上記第１の圧力保持絞りを上記圧力源に接続する配管接続部と、第２の圧力保持絞りを上記圧力源に接続する配管接続部とを別々にした点に特徴を有する。
【００１３】
第２の発明は、少なくとも上記第１の圧力保持絞りに接続した上記配管接続部の上流に開閉弁を設けた点に特徴を有する。
第３の発明は、少なくとも上記第２の圧力保持絞りに接続した上記配管接続部の上流にレギュレータを設けた点に特徴を有する。
【００１４】
第４の発明は、上記第１の圧力保持絞り、比較側通路及び比較側圧力設定手段を設けた一方の本体と、上記第２の圧力保持絞りを設けた他方の本体とを別々に設けるとともに、上記差圧検出手段を一方の本体あるいは他方の本体のいずれか一方に設けた点に特徴を有する。
第５の発明は、上記比較側圧力設定手段と第２の圧力保持絞りのいずれか一方もしくは双方を可変絞りにした点に特徴を有する。
【発明の効果】
【００１５】
第１の発明によれば、上記第１の圧力保持絞りの上流側と圧力源とを接続する配管接続部と、第２の圧力保持絞りの上流側と圧力源とを接続する配管接続部とを別々にしたので、比較側通路と検出側通路とを分離した設計も可能になるとともに、分離可能な分、設計及び取り付けの自由度も増すことになる。
【００１６】
第２の発明によれば、少なくとも上記第１の圧力保持絞りに接続した上記配管接続部の上流に開閉弁を設けたので、例えば、検査対象物と検出ノズルとの間のすき間の検出が不要なときに、上記開閉弁を閉じてしまえば、比較側圧力検出手段からの圧力流体の漏れを止めることができる。したがって、その漏れを止めた分、エネルギーロスを小さくできる。また、当然のことであるが、上記比較側圧力検出手段から圧力流体が漏れるときに発する流出音も無くなる。
【００１７】
第３の発明によれば、少なくとも上記第２の圧力保持絞りに接続した上記配管接続部の上流にレギュレータを設けたので、レギュレータを調整して、検出側通路に供給される流量を制御し、検出距離をある程度自由に調整できる。
例えば、比較側圧力設定手段の開度を一定にして、検出側通路に流れる流量を調整することによって、検出ノズルと検査対象物との検出距離を自由に調整することもできる。
また、比較側圧力設定手段の開度を最大に設定して、レギュレータによって検出側通路における流量を制御すれば、最大検出距離も大きく設定できる。
【００１８】
第４の発明によれば、一方の本体と他方の本体とを別々に設けたので、一方の本体と他方の本体とを切り離して、劣悪な環境を避けて一方の本体を設置することができる。したがって、環境が良い場所で一方の本体に設けた比較圧力設定手段の調整をすることができ、その調整作業もやりやすくなる。
第５の発明によれば、上記比較側圧力設定手段と第２の圧力保持絞りのいずれか一方もしくは双方を可変絞りにしたので、これら可変絞りの開度を調整することによって、検出距離の設定変更が簡単にできるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１実施形態を示す回路図である。
【図２】第２実施形態を示す回路図である。
【図３】第３実施形態を示す回路図である。
【図４】第４実施形態を示す回路図である。
【図５】スイッチ本体と絞り本体とを分離した実施形態を示す断面図である。
【図６】他の実施形態を示す断面図である。
【図７】他の実施形態を示す断面図である。
【図８】他の実施形態を示す断面図である。
【図９】他の実施形態を示す断面図である。
【図１０】他の実施形態を示す断面図である。
【図１１】他の実施形態を示す断面図である。
【図１２】従来の差圧式圧力スイッチを示す回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１に示した第１実施形態は、この発明の一方の本体であるスイッチ本体ＳＢと他方の本体である絞り本体ＯＢとを別々に設けている。
上記スイッチ本体ＳＢには、この発明の配管接続部である流入ポート２１を形成するとともに、この流入ポート２１は通路２２を介して圧力源Ｐに接続している。そして、上記通路２２には、上記圧力源Ｐから流入ポート２１に向かって順に、レギュレータ２３、電磁制御弁２４及び電磁開閉弁２５を設けている。
【００２１】
上記レギュレータ２３は、圧力源Ｐから供給される圧力流体の流量を制御するものである。また、電磁制御弁２４は、可変絞り位置ａと全開位置ｂとに切り換え可能にしたものであり、ノーマル位置である可変絞り位置ａにおいて最小開度を保ち、励磁状態において全開位置ｂを保つ構成にしている。さらに、電磁開閉弁２５はノーマル位置において全閉位置ａを保ち、励磁状態において全開位置ｂを保つ構成にしている。
【００２２】
流入ポート２１を通路２２に接続したスイッチ本体ＳＢには、この流入ポート２１と流出ポート２６とを接続する比較側通路２７を設けるとともに、この比較側通路２７には、流入ポート２１から流出ポート２６に向かって順に、圧力保持絞り２８及びこの発明の比較側圧力設定手段である調整圧生成可変絞り２９を設けている。
【００２３】
さらにこのスイッチ本体ＳＢには、差圧検出手段３０を設けているが、この差圧検出手段３０の一方の圧力室３０ａを、上記圧力保持絞り２８と調整圧生成可変絞り２９との間に接続している。言い換えると、上記一方の圧力室３０ａには、圧力保持絞り２８と調整圧生成可変絞り２９との間に発生する圧力が導かれる構成にしている。
【００２４】
また、差圧検出手段３０は、上記一方の圧力室３０ａに対向する他方の圧力室３０ｂを設けているが、この他方の圧力室３０ｂは、圧力導入ポート３１に連通している。
そして、上記他方の圧力室３０ｂは、後で説明する検出ノズル３２に連通され、従来と同様に、圧力流体が調整圧生成可変絞り２９を通過するときの圧力損失によって決まる圧力と、検出ノズル３２と検査対象物３３との間を通過するときの圧力損失で決まる圧力とを比較するものである。
【００２５】
一方、上記通路２２には分岐通路３４を接続しているが、この分岐通路３４は、上記電磁制御弁２４と電磁開閉弁２５との間を、通路２２に対する分岐点としている。
この分岐通路３４は絞り本体ＯＢに形成した流入ポート３５に接続している。なお、上記流入ポート３５は、この発明の管接続部を構成するものである。
【００２６】
上記のように流入ポート３５に分岐通路３４を接続した絞り本体ＯＢには、上記流入ポート３５に連通する検出側通路３６を形成するとともに、この検出側通路３６には圧力保持絞り３７を設けている。さらに、上記検出側通路３６は、流出ポート３８を介して上記検出ノズル３２に接続するとともに、連通ポート３９を介して上記圧力導入ポート３１に連通している。
【００２７】
したがって、検査対象物３３と検出ノズル３２とのすき間を検出するときには、調整圧生成可変絞り２９の開度をあらかじめ設定した状態で、電磁制御弁２４及び電磁開閉弁２５を全開させる。これら電磁制御弁２４及び電磁開閉弁２５が全開すれば、圧力源Ｐからの圧力流体が、レギュレータ２３を経由して流入ポート２１と３５に流入する。
【００２８】
上記流入ポート２１を経由して上記比較側通路２７に流入した圧力流体は、調整圧生成可変絞り２９を通って流出ポート２６から流出するが、このときに調整圧生成可変絞り２９を通る圧力流体に生じた圧力損失で決まる圧力が、差圧検出手段３０の一方の圧力室３０ａに作用する。
【００２９】
また、流入ポート３５から検出側通路３６に流入した圧力流体は、絞り本体ＯＢに設けた圧力保持絞り３７を経由して検出ノズル３２から流出する。このときに検出ノズル３２と検査対象物３３とのすき間を通る圧力流体には圧力損失が発生するが、その圧力損失で決まる圧力が、絞り本体ＯＢに設けた連通ポート３９及びスイッチ本体ＳＢに設けた圧力導入ポート３１を介して、差圧検出手段３０の他方の圧力室３０ｂに作用する。
【００３０】
したがって、差圧検出手段３０は、圧力流体が調整圧生成可変絞り２９を通過するときの圧力損失で決まる圧力と、検出ノズル３２と検査対象物３３との間を通過するときの圧力損失で決まる圧力とを比較することができる。
そして、上記第１実施形態では、スイッチ本体ＳＢと絞り本体ＯＢとを別々にしたので、それらの設計及び取り付けの自由度を確保することができる。
【００３１】
また、絞り本体ＯＢを上記スイッチ本体ＳＢと離れた箇所に設置することができる。このようにスイッチ本体ＳＢに対して絞り本体ＯＢを離れた箇所に設置できるので、例えば、スイッチ本体ＳＢのみを、作業環境が良い箇所に設置することができ、調整圧生成可変絞り２９の絞り調整もやりやすくなる。
【００３２】
また、検査対象物３３とのすき間検出の作業を中断するときには、電磁開閉弁２５を全閉位置ａに保持するとともに、電磁制御弁２４を可変絞り位置ａの最小開度位置に保つ。
これによって比較側通路２７に圧力流体が供給されなくなるので、流出ポート２６から圧力流体が流出することがなく、その分、省エネルギーを実現できるとともに、流出ポート２６から圧力流体が流出する流出音も防ぐことができる。また、検出ノズル３２には、微小開度にした電磁制御弁２４を経由して圧力流体が常時供給されるので、検出ノズル３２の目詰まりが防止されるとともに、周りの流体が検出ノズル３２に流れ込むことがなくなる。
【００３３】
図２に示した第２実施形態では、スイッチ本体ＳＢに接続ポート４０を形成し、この接続ポート４０を、検出ノズル３２に接続するとともに、スイッチ本体ＳＢに設けた連通路４１を介して差圧検出手段３０の他方の圧力室３０ｂにも接続している。したがって、検出ノズル３２と検査対象物３３との間を通過するときの圧力損失で決まる圧力が、他方の圧力室３０ｂに作用することになる。
【００３４】
なお、図中符号４２は、スイッチ本体ＳＢに形成した接続ポートで、上記連通路４１に連通させている。
また、符号２３は通路２２に設けたレギュレータ、２５は電磁開閉弁で、これらはいずれも図１に示した第１実施形態におけるレギュレータ２３及び電磁開閉弁２５と同じである。
【００３５】
そして、上記通路２２には分岐通路３４を接続しているが、この分岐通路３４は、上記レギュレータ２３と電磁開閉弁２５との間を、通路２２に対する分岐点としている。このようにした分岐通路３４は絞り本体ＯＢに形成した流入ポート３５に接続するとともに、その接続過程に電磁開閉弁４３を設けている。
なお、上記流入ポート３５は、この発明の配管接続部を構成することは第１実施形態と同じである。
【００３６】
上記絞り本体ＯＢには、可変絞りからなる圧力保持絞り４４を設けるとともに、この圧力保持絞り４４を上記接続ポート４２に連通させている。
なお、上記圧力保持絞り４４、接続ポート４２、連通路４１がこの発明の検出側通路を構成するものである。
【００３７】
上記第２実施形態においても、差圧検出手段３０の圧力室３０ａ，３０ｂの差圧を検出することができること第１実施形態と同様である。
そして、第２実施形態では、電磁開閉弁２５，４３を操作して、比較側通路２７と検出側通路とを、別々に開閉することができる。
例えば、電磁開閉弁２５を閉じれば、第１実施形態と同様に流出ポート２６から無駄な圧力流体の漏出を防止できる。
【００３８】
また、上記のように電磁開閉弁２５を閉じて、検出側通路の電磁開閉弁４３を全開状態に保つとともに、レギュレータ２３を制御して検出側通路に供給される圧力流体の流量を最少に保つこともできる。
さらに、電磁開閉弁２５及び４３を開くとともに圧力保持絞り４４の開度を制御することによって、検出ノズル３２と検査対象物３３との間に発生する圧力損失を制御できる。
【００３９】
したがって、作業者が身近なところにある調整圧生成可変絞り２９あるいは圧力保持絞り４４のいずれか一方の開度を制御することよって、設定圧を調整できることになる。
また、調整圧生成可変絞り２９あるいは圧力保持絞り４４の双方の開度を調整することによって、検出距離の制御範囲を大きくすることができる。例えば、調整圧生成可変絞り２９あるいは圧力保持絞り４４の双方の開度を最大にしたときから、双方の開度を最小にしたときまで、上記検出距離の制御範囲を大きくできる。
【００４０】
図３に示した第３実施形態は、第２実施形態のスイッチ本体ＳＢに、固定絞りからなる圧力保持絞り３７を組み込んだもので、その他は第２実施形態と同じである。
そして、この第３実施形態におけるスイッチ本体ＳＢであって、上記圧力保持絞り３７の上流側に、この発明の配管接続部である流入ポート３５を形成しているが、この流入ポート３５と接続ポート４０とを連通させる連通路４１がこの発明の検出側通路を構成し、この検出側通路に上記圧力保持絞り３７を設けている。
【００４１】
図４に示した第４実施形態は、第３実施形態の電磁開閉弁２５，４３に代えてレギュレータ４５，４６を設けた点が第３実施形態と異なる。
そして、上記レギュレータ４５，４６の開度を調整することによって、比較側通路及び検出側通路への供給流量を制御できる。したがって、これらレギュレータ４５，４６のいずれか一方もしくは双方を制御して、供給流量を調整することによって、検出ノズル３２と検査対象物３３との間の検出距離の調整範囲を広く取ることができる。
【００４２】
また、レギュレータ４５，４６のいずれか一方を調整して、上記検出距離を調整できるので、身近のレギュレータを用いて、上記検出距離の調整が可能になる。
なお、レギュレータ４５，４６を開閉することによって、上記電磁開閉弁２５あるいは４３と同様の機能を発揮させることもできる。
ただし、この第４実施形態においては、レギュレータ４６を閉じることなく、最小開度に保つことによって、検出ノズル３２から常時圧力流体を流出させて、異物の混入を防止できる。
また、上記レギュレータ４６は、第２実施形態の可変絞りからなる圧力保持絞りと同様な機能を発揮させることもできる。
【００４３】
次に、図５〜図１１においてそれぞれ異なる実施形態を具体的な断面図に基づいて説明する。
図５は、第１実施形態のスイッチ本体ＳＢと絞り本体ＯＢとを具体的な断面で示したもので、差圧検出手段３０を境にして一方の圧力室３０ａと他方の圧力室３０ｂとに区画している。そして、流入ポート２１と流出ポート２６とは、一方の圧力室３０ａを介して連通し、一方の圧力室３０ａが比較側通路の一部を構成している。
【００４４】
したがって、流入ポート２１から流入した圧力流体は、圧力保持絞り２８、一方の圧力室３０ａ及び調整圧生成可変絞り２９を経由して流出ポート２６から流出するとともに、一方の圧力室３０ａには調整圧生成可変絞り２９の上流側の圧力が作用することになる。
また、絞り本体ＯＢの流入ポート３５から流入した圧力流体は、検出側通路３６及び流出ポート３８を経由して検出ノズル３２に供給される。したがって、検出ノズル３２と検査対象物３３との間に発生する圧力損失で決まる圧力が他方の圧力室３０ｂに作用する。
【００４５】
なお、この実施形態において、上記流入ポート３５がこの発明の配管接続部を構成する。また、スイッチ本体ＳＢと絞り本体ＯＢとを分離して、圧力導入ポート３１と連通ポート３９とを配管を介して接続してもよいこと当然である。さらに、この実施形態においても、第１〜４実施形態における圧力源Ｐ、通路２２、分岐通路３４を備え、さらに、それら通路にレギュレータ、電磁制御弁および電磁開閉弁等を設けることになる。
【００４６】
図６に示した実施形態におけるスイッチ本体ＳＢの比較側通路の構成は図５に示した実施形態と同じである。
しかし、上記他方の圧力室３０ｂは、スイッチ本体ＳＢに設けた接続ポート４０を介して検出ノズル３２に直接連通させるとともに、接続ポート４２を介して、圧力保持絞り３７を設けた絞り本体ＯＢの通路４８に連通させている。
【００４７】
そして、上記通路４８、他方の圧力室３０ｂ及び接続ポート４０を連通させる通路が、この発明の検出側通路を構成するとともに、通路４８の流入ポート３５がこの発明の配管接続部を構成する。
なお、スイッチ本体ＳＢと絞り本体ＯＢとを分離し、上記接続ポート４２と通路４８とを配管を介して接続してもよい。
【００４８】
図７に示した実施形態は、図５に示した実施形態の他方の圧力室３０ｂに検出ポート４９を形成し、この検出ポート４９に圧力計５０を接続し、他方の圧力室３０ｂの圧力を計測できるようにした点が図５に示す実施形態と相違し、その他は、図５の実施形態と同じである。
なお、図７の実施形態においても、スイッチ本体ＳＢと絞り本体ＯＢとを分離し、圧力導入ポート３１と連通ポート３９とを配管を介して接続してもよい。
【００４９】
図８に示した実施形態は、絞り本体ＯＢであって、圧力保持絞り３７の下流側における検出側通路３６に、上記流出ポート３８とともに検出ポート５１を並列に接続し、この検出ポート５１に圧力計５０を設けたもので、その他は図５の実施形態と同じである。
なお、図８の実施形態においても、スイッチ本体ＳＢと絞り本体ＯＢとを分離し、圧力導入ポート３１と連通ポート３９とを配管を介して接続してもよい。
【００５０】
図９に示した実施形態は、図６に示した実施形態にさらに通路ブロック５２を設け、この通路ブロック５２に互いに連通する三つのポート５３〜５５を形成している。そして、ポート５３をスイッチ本体ＳＢの接続ポート４０に連通するとともに、ポート５４を検出ノズル３２に連通し、ポート５５には圧力計５０を接続している。
なお、図９の実施形態においても、スイッチ本体ＳＢ、絞り本体ＯＢ及び通路ブロック５２を分離し、圧力導入ポート３１と連通ポート３９、接続ポート４０とポート５３のそれぞれを、配管を介して接続してもよい。
【００５１】
図１０に示した実施形態は、図７に示した実施形態と同様であるが、絞り本体ＯＢに流出ポート３８とは別の流出ポート５６を設け、この流出ポート５６に、上記検出ノズル３２とは別の検出ノズル５７を設け、検出ノズル３２，５７を検出側通路３６に対して並列に設けたものである。
上記のように二つの検出ノズル３２，５７を並列に設けることによって、大きな検査対象物３３に対しても正確な検査が可能になる。
なお、図１０の実施形態においても、スイッチ本体ＳＢと絞り本体ＯＢとを分離し、圧力導入ポート３１と連通ポート３９とを配管を介して接続してもよい。
【００５２】
図１１に示した実施形態は、図５に示した絞り本体ＯＢ側に差圧検出手段３０を設けるとともに、スイッチ本体ＳＢ側には、調整圧生成可変絞り２９のみを設けたものである。
つまり、一方の本体ＳＢには、流入ポート２１、圧力保持絞り２８、比較側通路２７、流出ポート２６及びこの流出ポート２６に調整圧生成可変絞り２９を設けている。また、他方の本体ＯＢには、流入ポート３５、圧力保持絞り２８、検出側通路３６、流出ポート３８及び差圧検出手段３０を設けている。
【００５３】
そして、差圧検出手段３０の一方の圧力室３０ａを上記他方の本体ＳＢの比較側通路２７に連通させ、他方の圧力室３０ｂを検出側通路３６に連通させたものである。
なお、図１１の実施形態においても、一方の本体ＳＢと他方の本体ＯＢとを分離し、比較側通路２７と一方の圧力室３０ａとを配管を介して接続してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
加工テーブルに加工対象物が正確に載せられているかどうかをチェックする着座スイッチ装置として最適である。
【符号の説明】
【００５５】
Ｐ      圧力源
２１      流入ポート
２２      通路
ＳＢ      スイッチ本体
２５      電磁開閉弁
２７      比較側通路
２８      圧力保持絞り
２９      比較側圧力設定手段である調整圧生成可変絞り
３０      差圧検出手段
３２      検出ノズル
ＯＢ      絞り本体
３６      検出側通路
３７      圧力保持絞り
４６      レギュレータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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