(57)【要約】【課題】  製造工程の簡略化を図り、製造コストの低減を図ることができるシャーシ構造を有するダイヤフラム真空ポンプを提供する。【解決手段】  ダイヤフラム真空ポンプ１１のシャーシ２１を、合成樹脂で形成した一対のシャーシ半体２２，２３を結合して形成する。各シャーシ半体は、ダイヤフラム取付部を有する基板部２２ａ，２３ａと、該基板部の対向する二辺から他方のシャーシ半体方向に向かってそれぞれ突設した一対の結合板部結合板部とを備え、各結合板部の先端には、両結合板部の先端同士を結合したときに、カムシャフト１２ａの両端部を支持する軸受ユニット２０を挟持する軸受ユニット挟持部２２ｃ，２３ｃが設けられている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータの出力軸と一体に回転するカムシャフトと、該カムシャフトの回転によって作動するクランク機構と、該クランク機構によって前記カムシャフトの軸線に直交する水平方向に往復動するコネクティング部材と、該コネクティング部材の両端部にそれぞれ取り付けられたダイヤフラムと、該ダイヤフラムの作動により容積が拡縮する一対のポンプ室と、各ポンプ室に連通する吸気通路及び排気通路と、前記ポンプ室から前記吸気通路への流体の逆流を規制する吸気側逆止弁と、前記排気通路から前記ポンプ室への流体の逆流を規制する排気側逆止弁とを備え、前記カムシャフト、前記クランク機構及び前記コネクティング部材を直方体状のシャーシに収容するとともに、前記カムシャフトの両端部を軸受ユニットを介して前記シャーシの一対の対向壁にそれぞれ保持したダイヤフラム真空ポンプにおいて、前記シャーシは、合成樹脂で形成した一対のシャーシ半体を結合して形成され、各シャーシ半体は、ダイヤフラム取付部を有する基板部と、該基板部の対向する二辺から他方のシャーシ半体方向に向かってそれぞれ突設した一対の結合板部とを備え、各結合板部の先端には、両結合板部の先端同士を結合したときに、前記軸受ユニットを挟持する軸受ユニット挟持部が設けられていることを特徴とするダイヤフラム真空ポンプ。
【請求項２】
前記各シャーシ半体は、射出圧縮成形法にてそれぞれ形成されることを特徴とする請求項１記載のダイヤフラム真空ポンプ。
【請求項３】
前記合成樹脂は、ＰＣ−ＧＦであることを特徴とする請求項１又は２記載のダイヤフラム真空ポンプ。
【請求項４】
前記各シャーシ半体は、前記各結合板部に、結合時に両結合板部をあらかじめ設定された結合位置にガイドするためのガイド部をそれぞれ備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のダイヤフラム真空ポンプ。
【請求項５】
前記軸受ユニットは、前記カムシャフトを回転可能に支持するベアリングと、該ベアリングの外周を保持する軸受ハウジングとを備え、該軸受ハウジングの外面と前記軸受ユニット挟持部の内面とに、互いに係合して軸受ハウジングの回転及び軸方向の移動を防止する係合部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載のダイヤフラム真空ポンプ。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラム真空ポンプに関し、詳しくは、ダイヤフラム真空ポンプの駆動機構を支持するシャーシの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイヤフラム真空ポンプとして、回転軸に設けたクランク機構によって往復動するコネクティングロッドに取り付けられたダイヤフラムにより拡縮するポンプ室と、該ポンプ室に吸気側逆止弁を介して連通する吸気通路及び排気側逆止弁を介して連通する排気通路とを備えたものがある。このようなダイヤフラム真空ポンプでは、駆動源となるモータをはじめとして回転軸などの駆動機構をシャーシで支持するようにしており、シャーシがケーシングを兼ねているものもある。（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１８５４６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のダイヤフラム真空ポンプにおけるシャーシは、剛性の高い金属製の形材やダイカストなどに機械加工を加えて必要な機構と精度とを有するシャーシを形成していた。このため、機械加工などに要する手間やコスト、さらに、表面処理が必要なこともあり、製造工程が多く、高い加工精度も求められるため、シャーシの製造コストが嵩み、ダイヤフラム真空ポンプの価格を上昇させる要因となっていた。
【０００５】
そこで本発明は、ダイヤフラム真空ポンプのシャーシに要求される要件を確保しつつ、製造工程の簡略化を図り、製造コストの低減を図ることができるシャーシ構造を有するダイヤフラム真空ポンプを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明のダイヤフラム真空ポンプは、モータの出力軸と一体に回転するカムシャフトと、該カムシャフトの回転によって作動するクランク機構と、該クランク機構によって前記カムシャフトの軸線に直交する水平方向に往復動するコネクティング部材と、該コネクティング部材の両端部にそれぞれ取り付けられたダイヤフラムと、該ダイヤフラムの作動により容積が拡縮する一対のポンプ室と、各ポンプ室に連通する吸気通路及び排気通路と、前記ポンプ室から前記吸気通路への流体の逆流を規制する吸気側逆止弁と、前記排気通路から前記ポンプ室への流体の逆流を規制する排気側逆止弁とを備え、前記カムシャフト、前記クランク機構及び前記コネクティング部材を直方体状のシャーシに収容するとともに、前記カムシャフトの両端部を軸受ユニットを介して前記シャーシの一対の対向壁にそれぞれ保持したダイヤフラム真空ポンプにおいて、前記シャーシは、合成樹脂で形成した一対のシャーシ半体を結合して形成され、各シャーシ半体は、ダイヤフラム取付部を有する基板部と、該基板部の対向する二辺から他方のシャーシ半体方向に向かってそれぞれ突設した一対の結合板部とを備え、各結合板部の先端には、両結合板部の先端同士を結合したときに、前記軸受ユニットを挟持する軸受ユニット挟持部が設けられていることを特徴としている。
【０００７】
さらに、本発明のダイヤフラム真空ポンプは、前記各シャーシ半体が射出圧縮成形法にてそれぞれ形成されること、前記合成樹脂がＰＣ−ＧＦであることを特徴としている。また、前記各シャーシ半体は、前記各結合板部に、結合時に両結合板部をあらかじめ設定された結合位置にガイドするためのガイド部をそれぞれ備えていること、前記軸受ユニットは、前記カムシャフトを回転可能に支持するベアリングと、該ベアリングの外周を保持する軸受ハウジングとを備え、該軸受ハウジングの外面と前記軸受ユニット挟持部の内面とに、互いに係合して軸受ハウジングの回転及び軸方向の移動を防止する係合部が設けられていることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のダイヤフラム真空ポンプによれば、ポンプ室形成部を備えた基板部と、軸受ユニット挟持部を備えた結合板部とを有するシャーシ半体を合成樹脂で形成することにより、特に、ＰＣ−ＧＦ（ガラスファイバー強化ポリカーボネート）のような繊維強化樹脂を射出圧縮成形法で形成することにより、寸法精度及び強度に優れたシャーシ半体を形成することができる。このようなシャーシ半体の軸受ユニット挟持部でカムシャフトの軸受ユニットを挟持した状態で両シャーシ半体を結合することにより、駆動機構の一つであるカムシャフトを回転可能に支持するとともに、ポンプ室を形成するためのダイヤフラム取付部を有するシャーシを形成することができ、ダイヤフラム真空ポンプのシャーシに要求される所定の機能を備えたシャーシを機械加工無しで容易に製造することができる。
【０００９】
また、シャーシ半体の結合板部にガイド部を設けておくことにより、両シャーシ半体を所定の位置で確実に結合させることができる。さらに、軸受ユニットの外面と軸受挟持部の内面とに互いに係合する回り止め部を設けておくことにより、軸受ユニットをより確実に軸受挟持部で支持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一形態例を示すダイヤフラム真空ポンプの断面平面図である。
【図２】同じくダイヤフラム真空ポンプの右側面図である。
【図３】同じくダイヤフラム真空ポンプの正面図である。
【図４】要部の分解斜視図である。
【図５】ダイヤフラム真空ポンプの作動状態の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１乃至図４に示すように、本形態例のダイヤフラム真空ポンプ１１は、モータ１２と、該モータ１２から水平方向に突出した出力軸１２ｂに連結されて回転するカムシャフト１２ａと、該カムシャフト１２ａに設けられた偏心カム１３ａにより作動するクランク機構１３と、該クランク機構１３に取り付けられ、カムシャフト１２ａに直交する水平方向に往復動するコネクティング部材１４と、該コネクティング部材１４の両端部にそれぞれ取り付けられたダイヤフラム１５，１６と、該ダイヤフラム１５，１６の進退によって容積が拡縮する一対のポンプ室１７，１８と、各ポンプ室１７，１８に連通する吸気通路１７ａ，１８ａ及び排気通路１７ｂ，１８ｂと、ポンプ室１７，１８から吸気通路１７ａ，１８ａへの空気の逆流を規制する吸気側逆止弁１７ｃ，１８ｃと、排気通路１７ｂ，１８ｂからポンプ室１７，１８への空気の逆流を規制する排気側逆止弁１７ｄ，１８ｄとを備えている。
【００１２】
クランク機構１３は、カムシャフト１２ａに直交して取り付けられるとともに、該カムシャフト１２ａと一体となって回転する偏心カム１３ａと、該偏心カム１３ａの外周に第１ベアリング１３ｂを介して回動可能に連結される従動部材１３ｃと、該従動部材１３ｃに、第２ベアリング１３ｄと連結ピン１３ｅとを介して連結される前記コネクティング部材１４とを備えている。偏心カム１３ａは、カムシャフト１２ａの外周に取り付けられた円形の部材で、偏心カム１３ａの中心軸とカムシャフト１２ａの中心軸とは異なる位置に配置される。従動部材１３ｃは、一端側に形成された大径部１３ｆと、他端側に形成された小径部１３ｇとを有する略ダルマ形状に形成され、大径部１３ｆに形成された取付孔に取り付けられた前記第１ベアリング１３ｂを介して偏心カム１３ａが連結され、小径部１３ｇに形成された取付孔に取り付けられた第２ベアリング１３ｄを介して連結ピン１３ｅが取り付けられ、該連結ピン１３ｅに前記コネクティング部材１４が連結されている。
【００１３】
コネクティング部材１４は、従動部材１３ｃの一側面と両端面とを覆う枠部材１４ａと、従動部材１３ｃの他側面を覆う板部材１４ｂとを、従動部材１３ｃを挟んで接合したもので、一端側には、カムシャフト１２ａを挿通すると共にコネクティング部材１４の水平方向の移動を許容する長孔からなる挿通孔１４ｃが形成され、他端側には、従動部材１３ｃに連結される前記連結ピン１３ｅを嵌合する連結ピン嵌合孔１４ｄが形成されている。さらに、枠部材１４ａの両端部には、ダイヤフラム１５，１６を装着するための装着部１４ｅ，１４ｅが設けられている。また、コネクティング部材１４の水平方向の長さは、一方のダイヤフラム１５が上死点のときに他方のダイヤフラム１６が下死点となり、他方のダイヤフラム１６が上死点のときに一方のダイヤフラム１５が下死点となる長さに形成されている。また、カムシャフト１２ａにおけるクランク機構１３の両側には、クランク機構１３を安定して作動させるためのバランサー（バランシングマス）１９がそれぞれ取り付けられており、カムシャフト１２ａの両端部には、軸受ユニット２０，２０がそれぞれ装着されている。
【００１４】
軸受ユニット２０は、カムシャフト１２ａに外嵌されたベアリング２０ａと、該ベアリング２０ａの外周を保持する筒状の軸受ハウジング２０ｂとで形成されている。軸受ハウジング２０ｂの外面は、六角形の角形部２０ｃと、前記六角形に内接する円形の円形部２０ｄとを有しており、角形部２０ｃの各頂点が円形部２０ｄの外周面から突出した状態になっている。なお、本形態例では、基部側（モータ側）のベアリングに比べて先端側には大きなベアリングを用いてカムシャフト１２ａの先端部をより確実に支持し、歳差運動の発生を防止するようにしている。
【００１５】
このように形成されたクランク機構１３は、直方体状のシャーシ２１内に収容される。シャーシ２１は、ＰＣ−ＧＦ（ガラスファイバー強化ポリカーボネート）のような繊維強化樹脂を射出圧縮成形法で形成した一対のシャーシ半体２２，２３を結合して形成されるもので、各シャーシ半体２２，２３は、前記ダイヤフラム１５，１６を取り付けるダイヤフラム取付部２１ａを有する基板部２２ａ，２３ａと、該基板部２２ａ，２３ａの対向する二辺から他方のシャーシ半体方向に向かってそれぞれ突設した一対の結合板部２２ｂ，２３ｂとを備えている。基板部２２ａ，２３ａは、同一形状で形成されるのに対し、各結合板部２２ｂ，２３ｂの先端には、両結合板部２２ｂ，２３ｂの先端同士を結合したときに、前記カムシャフト１２ａの両端部を回転可能に支持する前記軸受ユニット２０，２０を挟持して固定するための軸受ユニット挟持部２２ｃ，２３ｃがそれぞれ設けられている。
【００１６】
前記各結合板部２２ｂ，２３ｂは、先端面（分割面）２２ｄ，２３ｄが基板部２２ａ，２３ａ間の中央部に位置しており、一方の軸受ユニット挟持部２２ｃは、先端面２２ｄに対して、前記軸受ユニット２０を挿入可能な溝幅を有する凹状に形成されており、溝底部には、前記角形部２０ｃの一半が嵌入する角溝部２２ｅと前記円形部２０ｄの一半が嵌入する半円溝部２２ｆとが設けられている。他方の軸受ユニット挟持部２３ｃは、先端面２３ｄに対して、前記一方の軸受ユニット挟持部２２ｃの凹状部内に嵌入する凸状に形成されており、先端部には、前記角形部２０ｃの他半が嵌入する角溝部２３ｅと前記円形部２０ｄの他半が嵌入する半円溝部２３ｆとが設けられている。さらに、軸受ユニット挟持部２２ｃの凹状部内側面には、結合板部２２ｂ，２３ｂの結合方向に沿ったガイド溝２２ｇが設けられるとともに、軸受ユニット挟持部２３ｃの突状部外側面には、前記ガイド溝２２ｇに嵌入するガイド凸条２３ｇが設けられている。
【００１７】
両結合板部２２ｂ，２３ｂは、あらかじめ組み上げたクランク機構１３におけるカムシャフト１２ａの両端の軸受ユニット２０，２０を、シャーシ半体２２，２３のいずれか、例えば一方のシャーシ半体２２における両結合板部２２ｂの軸受ユニット挟持部２２ｃに、角形部２０ｃの角度を合わせてそれぞれ嵌合させた後、ガイド溝２２ｇとガイド凸条２３ｇとを係合させながら他方のシャーシ半体２３を組み合わせ、両シャーシ半体２２，２３を貫通するようにして設けたボルト挿通部２２ｈ，２３ｈに締結ボルト２２ｉを挿通してナットで締結することにより、クランク機構１３を収容したシャーシ２１が形成される。
【００１８】
このように、カムシャフト１２ａ、従動部材１３ｃ、コネクティング部材１４などを組み付けたクランク機構１３を収容するシャーシ２１を、繊維強化樹脂を射出圧縮成形法であらかじめ設定された形状に形成した一対のシャーシ半体２２，２３を結合して形成することにより、シャーシを金属で形成する場合の機械加工が不要となり、シャーシ２１を製作する際の製造工程を大幅に簡略化することができる。また、シャーシ半体２２，２３に設けた軸受ユニット挟持部２２ｃ，２３ｃでカムシャフト１２ａを支持する軸受ユニット２０，２０を挟持して固定することにより、シャーシ２１へのカムシャフト１２ａの取り付けも容易に行うことができる。
【００１９】
さらに、結合板部２２ｂ，２３ｂの先端部にガイド溝２２ｇとガイド凸条２３ｇとを設けておくことにより、シャーシ半体２２，２３を所定の組み付け状態で確実に結合させることができる。また、軸受ユニット２０の軸受ハウジング２０ｂの外面に角形部２０ｃと円形部２０ｄとを設けるとともに、軸受ユニット挟持部２２ｃ，２３ｃに角溝部２３ｅと半円溝部２３ｆとを設け、これらを互いに係合させた状態にすることにより、両軸受ユニット２０，２０の軸心を合致させることができるとともに、軸受ハウジング２０ｂの回転及び軸方向の移動を防止することができる。
【００２０】
シャーシ２１を組み立てた後、カムシャフト１２ａの一端に出力軸１２ｂを連結したモータ１２をシャーシ２１の外部に設けられているモータ取付部１２ｃに固着した後、ダイヤフラム１５，１６の中央部をコネクティング部材１４の両端部の装着部１４ｅ，１４ｅにそれぞれ装着し、周縁部を前記基板部２２ａ，２３ａの各ダイヤフラム取付部２１ａに取り付けるとともに、各ダイヤフラム取付部２１ａの外側にシール材２４を介してカバー部材２５を取り付け、カバー部材２５に各逆止弁や各通路を取り付ける。また、モータ１２の周囲にモータカバー１２ｄを取り付け、下面にゴムクッション１１ａを有する台板１１ｂを取り付ける。
【００２１】
各基板部２２ａ，２３ａの中央部に開口した前記ダイヤフラム取付部２１ａの開口縁には、外方に突出するリング状の外周突部２１ｂと、外周突部２１ｂの内周側に形成され、前記ダイヤフラム１５の周縁を取り付ける周溝２１ｃとがそれぞれ形成されている。ダイヤフラム１５，１６は、コネクティング部材１４に取り付けられる厚肉の中心部から外周側に向けて薄肉になる円盤状に形成され、外周側の薄肉部１５ａ，１６ａの外周縁に、前記周溝２１ｃに係合する係合突部１５ｂ，１６ｂがそれぞれ形成されている。このように形成されたダイヤフラム１５，１６は、中央部がコネクティング部材１４の装着部１４ｅに取り付けられ、係合突部１５ｂ，１６ｂを前記周溝２１ｃ，２１ｃに嵌着し、外側からカバー部材２５を装着することにより、係合突部１５ｂ，１６ｂが周溝２１ｃ，２１ｃに気密に取り付けられ、ダイヤフラム１５，１６の外面とカバー部材２５の内面との間に前記ポンプ室１７，１８が形成される。
【００２２】
各カバー部材２５は、シャーシ２１の外周突部２１ｂにシール材２４を介して気密に取り付けられるフランジ部２５ａと、周溝２１ｃ，２１ｃに嵌着したダイヤフラム１５，１６の係合突部１５ｂ，１６ｂにそれぞれ当接して係合突部１５ｂ，１６ｂを周溝２１ｃ，２１ｃ内に押圧する押圧部２５ｂと、ダイヤフラム１５，１６の外面との間にポンプ室１７，１８をそれぞれ形成する球面状凹部２５ｃと、吸気通路１７ａ，１８ａをそれぞれ取り付ける吸気通路取付ボス部２５ｄと、排気通路１７ｂ，１８ｂをそれぞれ取り付ける排気通路取付ボス部２５ｅと、吸気通路取付ボス部２５ｄとポンプ室１７，１８とをそれぞれ連通させる吸気孔２５ｆと、排気通路取付ボス部２５ｅとポンプ室１７，１８とをそれぞれ連通させる排気孔２５ｇとを備えている。
【００２３】
吸気通路１７ａ，１８ａは、基端部に、吸気通路取付ボス部２５ｄに嵌入される大径取付部を備えたＬ字管で形成され、大径取付部の内端部中央には、ポンプ室１７，１８から吸気通路１７ａ，１８ａへの空気の逆流をそれぞれ規制する前記吸気側逆止弁１７ｃ，１８ｃがシール材を介してそれぞれ一体に取り付けられている。吸気通路１７ａ，１８ａは、大径取付部を吸気通路取付ボス部２５ｄに嵌入し、抑え板２６によってカバー部材２５に気密に取り付けられ、吸気通路１７ａ，１８ａは、吸気側逆止弁１７ｃ，１８ｃと吸気孔２５ｆ，２５ｆとを介してポンプ室１７，１８に連通する。排気通路１７ｂ，１８ｂは、吸気通路１７ａ，１８ａと同一のＬ字管で形成されており、基端部には、排気通路取付ボス部２５ｅに嵌入される大径取付部を備えている。この大径取付部の内端部中央には、排気通路１７ｂ，１８ｂからポンプ室１７，１８への空気の逆流を規制する前記排気側逆止弁１７ｄ，１８ｄがシール材を介してそれぞれ一体に取り付けられている。排気通路１７ｂ，１８ｂは、大径取付部を排気通路取付ボス部２５ｅに嵌入し、抑え板２６によってカバー部材２５に気密に取り付けられ、排気通路１７ｂ，１８ｂは、排気側逆止弁１７ｄ，１８ｄと排気孔２５ｇ，２５ｇとを介してポンプ室１７，１８に連通する。
【００２４】
一方のポンプ室１７は、モータ側に吸気通路１７ａが、反モータ側に排気通路１７ｂがそれぞれ設けられ、他方のポンプ室１８は、モータ側に排気通路１８ｂが、反モータ側に吸気通路１８ａがそれぞれ設けられ、通常は、一方のポンプ室１７の排気通路１７ｂと他方のポンプ室１８の吸気通路１８ａとを適宜な連結管２７によって連結した状態で用いられる。
【００２５】
上述のダイヤフラム真空ポンプ１１を用いて、減圧対象物からガスを吸引して排気する操作を行う際の作動状態を図５に基づいて説明する。なお，図５では、説明の便宜上、ポンプ室を断面平面図、クランク機構を側面図で表して説明する。ダイヤフラム真空ポンプ１１は、一方のポンプ室１７の排気通路１７ｂと、他方のポンプ室１８の吸気通路１８ａとを連結管２８によって連結し、減圧対象物を一方のポンプ室１７の吸気通路１７ａに連結した状態でモータ１２を作動させる。まず、図５（Ａ）に示されるように、一方のダイヤフラム１５が下死点、他方のダイヤフラム１６が上死点となる状態から、図５（Ｂ）に示されるように、カムシャフト１２ａと共に偏心カム１３ａが時計回りに９０度回動すると、これに伴って従動部材１３ｃが従動し、コネクティング部材１４が一方のポンプ室１７側に水平方向に移動することにより、一方のダイヤフラム１５が一方のポンプ室１７の容積を縮小させて排気行程になると共に、他方のダイヤフラム１６が他方のポンプ室１８の容積を拡大させて吸気行程になる。続いて、図５（Ｃ）に示されるように、偏心カム１３ａが時計回りに１８０度回動すると、一方のダイヤフラム１５が上死点に至ると共に、他方のダイヤフラム１６が下死点に至る。この図５（Ａ）の状態から図５（Ｃ）の状態に至る間、すなわち、一方のダイヤフラム１５が下死点から上死点に至り、他方のダイヤフラム１６が上死点から下死点に至る間は、排気行程中の一方のポンプ室１７内のガスが排気側逆止弁１７ｄから排気され、排気通路１７ｂ、連結管２８、吸気通路１８ａ、吸気側逆止弁１８ｃを通って吸気行程中の他方のポンプ室１８に吸入される。このとき、一方のポンプ室１７では、吸気側逆止弁１７ｃにより、ポンプ室１７から吸気通路１７ａへのガスの排出が抑制され、他方のポンプ室１８では、排気側逆止弁１８ｄにより、排気通路１８ｂからポンプ室１８内へのガスの吸入が抑制される。
【００２６】
さらに、図５（Ｄ）に示されるように、偏心カム１３ａが時計回りに２７０度回動すると、コネクティング部材１４が他方のポンプ室１８側に水平方向に移動することにより、他方のダイヤフラム１６がポンプ室１８の容積を縮小させて排気行程になるとともに、一方のダイヤフラム１５がポンプ室１７の容積を拡大させて吸気行程になる。次いで、偏心カム１３ａが時計回りに３６０度回動すると、図５（Ａ）に示されるように、一方のダイヤフラム１５が下死点に至ると共に、他方のダイヤフラム１６が上死点に至る。この図５（Ｃ）の状態から図５（Ａ）の状態に至る間、すなわち、一方のダイヤフラム１５が上死点から下死点に至り、他方のダイヤフラム１６が下死点から上死点に至る間は、減圧対象物からのガスが吸気通路１７ａから吸気側逆止弁１７ｃを介して吸気行程中の一方のポンプ室１７内に吸入され、排気行程中の他方のポンプ室１８内のガスが排気側逆止弁１８ｄから排気通路１８ｂに排気される。このとき、一方のポンプ室１７では、排気側逆止弁１７ｄにより、排気通路１７ｂからポンプ室１７へのガスの吸入が抑制され、他方のポンプ室１８では、吸気側逆止弁１８ｃにより、ポンプ室１８から吸気通路１８ａへのガスの排出が抑制される。このように、モータ１２によってカムシャフト１２ａを回転させることにより、両ポンプ室１７，１８が交互に吸気行程と排気行程とを繰り返し、両ポンプ室１７，１８を直列に接続した状態で減圧対象物の排気操作を行うことができる。
【００２７】
なお、シャーシ半体を形成する樹脂材料や成形法は、シャーシに要求される強度などの条件に応じて適宜に選択することが可能であり、シャーシ半体同士を結合する際のガイド部は適宜な位置に適宜な形状で設けることができ、省略することもできる。また、軸受ハウジングの回転及び軸方向の移動の防止は、前述の六角形と内接円とに限らず、任意の構造を採用することができ、圧入、嵌合のみでも可能である。さらに、両ポンプ室１７，１８を並列に接続して使用することもできる。
【符号の説明】
【００２８】
１１…ダイヤフラム真空ポンプ、１１ａ…ゴムクッション、１１ｂ…台板、１２…モータ、１２ａ…カムシャフト、１２ｂ…出力軸、１２ｃ…モータ取付部、１２ｄ…モータカバー、１３…クランク機構、１３ａ…偏心カム、１３ｂ…第１ベアリング、１３ｃ…従動部材、１３ｄ…第２ベアリング、１３ｅ…連結ピン、１３ｆ…大径部、１３ｇ…小径部、１４…コネクティング部材、１４ａ…枠部材、１４ｂ…板部材、１４ｃ…挿通孔、１４ｄ…連結ピン挿通孔、１４ｅ…装着部、１５，１６…ダイヤフラム、１５ａ，１６ａ…薄肉部、１５ｂ，１６ｂ…係合突部、１７，１８…ポンプ室、１７ａ，１８ａ…吸気通路、１７ｂ，１８ｂ…排気通路、１７ｃ，１８ｃ…吸気側逆止弁、１７ｄ，１８ｄ…排気側逆止弁、１９…バランサー、２０…軸受ユニット、２０ａ…ベアリング、２０ｂ…軸受ハウジング、２０ｃ…角形部、２０ｄ…円形部、２１…シャーシ、２１ａ…ダイヤフラム取付部、２１ｂ…外周突部、２１ｃ…周溝、２２，２３…シャーシ半体、２２ａ，２３ａ…基板部、２２ｂ，２３ｂ…結合板部、２２ｃ，２３ｃ…軸受ユニット挟持部、２２ｄ，２３ｄ…先端面、２２ｅ，２３ｅ…角溝部、２２ｆ，２３ｆ…半円溝部、２２ｇ…ガイド溝、２３ｇ…ガイド凸条、２２ｈ，２３ｈ…ボルト挿通部、２２ｉ…締結ボルト、２４…シール材、２５…カバー部材、２５ａ…フランジ部、２５ｂ…押圧部、２５ｃ…球面状凹部、２５ｄ…吸気通路用ボス部、２５ｅ…排気通路用ボス部、２５ｆ…吸気孔、２５ｇ…排気孔、２６…抑え板、２７…連結管 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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