(57)【要約】【課題】十字ばねで支持する振り子の変位を安定して利用可能とする。【解決手段】振り子１３０と、十字ばね１１０と、支持部材１２２、１２６と、を有する傾斜検出器１００において、支持部材１２２、１２６及び振り子１３０はそれぞれ、十字ばね１１０の軸方向Ｏで内径が拡大又は縮小するテーパ開口部１２２Ａ、１２６Ａ、１３０Ａを備え、テーパ開口部１２２Ａ、１２６Ａ、１３０Ａにそれぞれ適合可能な第１テーパ外面１２４Ａ、１２８Ａ、１３２Ａが一端側に設けられ、軸方向Ｏで十字ばね１１０の外面１１２Ａ、１１４Ａ、１１６Ａに平行な内面１２４Ｂ、１２８Ｂ、１３２Ｂを有し、十字ばね１１０に外嵌するリング部材１２４、１２８、１３２を有し、リング部材１２４、１２８、１３２の軸方向Ｏへの移動により、十字ばね１１０がリング部材１２４、１２８、１３２を介して支持部材１２２、１２６及び振り子１３０に保持固定される。【選択図】図３
2015021908.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振り子と、該振り子を回動自在に支持する円筒形状の十字ばねと、該十字ばねを保持固定する支持部材と、を有する検出器において、
前記支持部材及び前記振り子はそれぞれ、前記十字ばねの軸方向で内径が拡大又は縮小するテーパ開口部を備え、
該テーパ開口部にそれぞれ適合可能な第１テーパ外面が一端側に設けられ、前記軸方向で前記十字ばねの外面に平行な内面を有し、該十字ばねに外嵌するリング部材を有し、
該リング部材の前記軸方向への移動により、前記十字ばねが該リング部材を介して前記支持部材及び前記振り子に保持固定されることを特徴とする検出器。
【請求項２】
前記リング部材の他の一端側にも該他の一端側から外径が拡大する第２テーパ外面が設けられ、
互いに前記テーパ開口部の周方向で等間隔に配置されるとともに、前記支持部材又は前記振り子に前記軸方向と直交する方向から螺合する複数の螺子を備え、
該複数の螺子の先端部が前記第２テーパ外面を押圧することで、前記リング部材を前記軸方向に移動させることを特徴とする請求項１に記載の検出器。
【請求項３】
前記複数の螺子の先端部及び前記第２テーパ外面には、硬化処理が施されていることを特徴とする請求項２に記載の検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は検出器に係り、特に、十字ばねで支持する振り子の変位を安定して利用可能な検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１に示すような、地震等による地殻の傾斜等の微小な傾斜を測定するための傾斜検出器が知られている。かかる傾斜検出器は、振り子と、振り子を回動自在に支持する円筒形状の十字ばね１０（例えば図５に示す）と、十字ばね１０を保持固定する支持部材２２と、を有している。そして、傾斜検出器は振り子の変位から傾斜を求める（出力する）ようになっている。ここで、十字ばね１０は、支持部材２２に保持固定される。支持部材２２には、十字ばね１０の嵌入可能な貫通孔が設けられ、その貫通孔から径方向外側に向かうスリットＳが形成されている。そして、スリットＳで分離された支持部材２２の部分同士を螺子３４の螺合で接近させることで、十字ばね１０を支持部材２２の貫通孔で挟み、支持部材２２で十字ばね１０を保持固定するようにしている。なお、十字ばね１０は、回転支持部材として摩擦ロスが極端に少なく且つ軸ぶれが少ないので、振り子の極めて微小な変位さえも有効な出力とすることが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３３２４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、図５で示す十字ばね１０の保持固定の手法では、円筒形状の十字ばね１０全周に対して均一な力を及ぼすことはできず、その力は図５であれば左右方向及び上側に偏在することとなる。このため、図５で示す手法では、支持部材２２に保持固定された際に十字ばね１０には偏在した内部応力が蓄積されるので、時間が経つにつれ十字ばね１０からその内部応力が徐々に解放されたり、何らかの外力により瞬間的にその内部応力が解放されたりするおそれがある。つまり、十字ばね１０で支持された振り子の変位がドリフトしたり、オフセットしたりすることで、傾斜検出器の出力が不安定になるおそれがあった。
【０００５】
本発明は、前記の問題点を解決するべくなされたもので、十字ばねで支持する振り子の変位を安定して利用可能な検出器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願の請求項１に係る発明は、振り子と、該振り子を回動自在に支持する円筒形状の十字ばねと、該十字ばねを保持固定する支持部材と、を有する検出器において、前記支持部材及び前記振り子はそれぞれ、前記十字ばねの軸方向で内径が拡大又は縮小するテーパ開口部を備え、該テーパ開口部にそれぞれ適合可能な第１テーパ外面が一端側に設けられ、前記軸方向で前記十字ばねの外面に平行な内面を有し、該十字ばねに外嵌するリング部材を有し、該リング部材の前記軸方向への移動により、前記十字ばねが該リング部材を介して前記支持部材及び前記振り子に保持固定されたことにより、前記課題を解決したものである。
【０００７】
本願の請求項２に係る発明は、前記リング部材の他の一端側にも該他の一端側から外径が拡大する第２テーパ外面を設け、互いに前記テーパ開口部の周方向で等間隔に配置されるとともに、前記支持部材又は前記振り子に前記軸方向と直交する方向から螺合する複数の螺子を備え、該複数の螺子の先端部で前記第２テーパ外面を押圧することで、前記リング部材を前記軸方向に移動させるようにしたものである。
【０００８】
本願の請求項３に係る発明は、前記複数の螺子の先端部及び前記第２テーパ外面に、硬化処理を施したものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、十字ばねで支持する振り子の変位が安定して利用可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係る傾斜検出器の一例を示す模式図
【図２】図１の軸支持機構の一例を示す模式図（側面断面図（Ａ）、正面図（Ｂ））
【図３】図２（Ａ）の十字ばね付近の模式図
【図４】図１の十字ばねの構成を示す模式図（斜視断面図（Ａ）、正面図（Ｂ））
【図５】従来の軸支持機構における十字ばねの保持固定の手段を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を好適に実施するための形態（以下、実施形態という）につき、詳細に説明する。尚、本発明は以下の実施形態及び実施例に記載した内容に限定されるものではない。また、以下に記載した実施形態及び実施例における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。更に、以下に記載した実施形態及び実施例で開示した構成要素は適宜組み合わせてもよいし、適宜選択して用いてもよい。
【００１２】
本発明に係る実施形態について、図１から図４を用いて説明する。
【００１３】
最初に、本実施形態に係る傾斜検出器１００全体の構成を概略的に説明する。
【００１４】
傾斜検出器（検出器）１００は、図１に示す如く、検出器本体１０２と、制御部１０４と、傾斜測定部１０６と、を有する。この傾斜検出器１００は、例えば、測定しようとする場所に設置され、長期間（年単位）に亘りメンテナンスしない状態で用いられることを想定している。
【００１５】
前記検出器本体１０２は、図１または図４に示す如く、ケーシング１０８の内部に軸支持機構１２０と振り子１３０とを収納している。ケーシング１０８の内部上端部１０８Ａでは、１つの十字ばね１１０を介して軸支持機構１２０を回動可能に支持している。そして、軸支持機構１２０は、もう１つの十字ばね１１０を介して、振り子１３０を回動可能に支持している。即ち、２つの十字ばね１１０は、互いに軸方向Ｏが直交するように配置されている。振り子１３０は、２つの十字ばね１１０の軸方向Ｏに直交する垂線上の位置に設けられている。なお、軸支持機構１２０については後述する。
【００１６】
振り子１３０には、図１に示す如く、その両側部に磁気回路部が設けられ、更にその下端部に静電容量検出部（可動側）１４０が設けられている。磁気回路部は図示しないマグネットを備え、２つの対向磁極１３６とポールピース１３８とにより左右２段の磁気回路が構成されている。対向電極１３６とポールピース１３８とは、透磁率の高い磁性材料で構成されている。なお、磁気回路部以外の検出器本体１０２を構成する部材は、非磁性材料で形成されている。対向磁極１３６とポールピース１３８との間には、ケーシング１０８の内壁から突出する電磁コイル１４２がそれぞれ配置されている。この電磁コイル１４２と対向磁極１３６とにより、振り子１３０の変位を矯正可能なフォースモータが構成されている。
【００１７】
静電容量検出部（可動側）１４０は、図１に示す如く、振り子１３０の下端部に設けられ、静電容量検出部（固定側）１４４に対して対向配置されている。静電容量検出部（固定側）１４４は、ケーシング１０８に支持されている。静電容量検出部（可動側）１４０と静電容量検出部（固定側）１４４とにより、変位検出用のコンデンサＣが構成されており、コンデンサＣの電気容量の変化に応じ、振り子１３０の左右及び前後の変位が検出されるようになっている。
【００１８】
前記制御部１０４は、図１に示す如く、電磁コイル１４２に接続されており、検出器本体１０２の傾斜により生じるコンデンサＣの電気量から求められた振り子１３０の変位を打ち消すように電磁コイル１４２にフィードバック電流を流してフォースモータを制御する。
【００１９】
前記傾斜測定部１０６は、図１に示す如く、制御部１０４に接続されており、電磁コイル１４２に流されたフィードバック電流に基づき検出器本体１０２の傾斜を求める構成とされている。
【００２０】
次に、十字ばね１１０について、図４（Ａ）、（Ｂ）を用いて簡単に説明する。
【００２１】
十字ばね１１０は、例えば、米国特許第３，８０７，０２９号などにすでに開示されている。十字ばね１１０は、主に、２層の円筒部材とその内側に配置される二枚の板ばね１１８Ａ、１１８Ｂとを有する。
【００２２】
図４（Ａ）に示す如く、２層の円筒部材のうち、径方向外側に配置される外側円筒部材１１１は、可動リング１１６と、固定リング１１２、１１４と、を有している。固定リング１１２、１１４は、可動リング１１６を挟むように軸方向Ｏでそれぞれ所定の隙間Ｐを介して可動リング１１６と並んで配置されている。即ち、各リング１１２、１１４、１１６は、軸方向Ｏで互いに非接触状態とされている。なお、本実施形態では、外側円筒部材１１１の直径は１ｃｍ程度で、隙間Ｐは１ｍｍ若しくはそれ以下とされている。
【００２３】
外側円筒部材１１１の径方向内側には、図４（Ｂ）に示す如く、内側円筒部材１１７として２つの円弧部材１１７Ａ、１１７Ｂが配置されている。円弧部材１１７Ａ、１１７Ｂは共に、軸方向Ｏに直交する断面では円弧角度α（例えば９０度＜α＜１８０度）である円弧形状であり、軸方向Ｏでは固定リング１１２から固定リング１１４まで延在された長さとされている。円弧部材１１７Ａ、１１７Ｂは、互いに外側円筒部材１１１の内側で対向して配置されている。そして、円弧部材１１７Ａは可動リング１１６と一体化され、且つ円弧部材１１７Ｂは固定リング１１２、１１４と一体化されている。円弧部材１１７Ａと固定リング１１２、１１４との間には径方向で隙間Ｇが設けられ、且つ円弧部材１１７Ｂと可動リング１１６との間には径方向で隙間Ｇが設けられている。
【００２４】
２つの円弧部材１１７Ａ、１１７Ｂには、図４（Ａ）、（Ｂ）に示す如く、十字形状となるように軸心Ｏで交差した状態の２枚の板ばね１１８Ａ、１１８Ｂがそれぞれ一体化されている。板ばね１１８Ａには開口部１１８ＡＢが設けられており、そこを板ばね１１８Ｂが貫通して、板ばね１１８Ａ、１１８Ｂは互いに非接触状態とされている。このため、板ばね１１８Ａ、１１８Ｂが軸心Ｏを中心に撓むことで、摩擦摺動することなく、固定リング１１２、１１４に対して可動リング１１６が相対的に回動することができる。なお、可動リング１１６は、２つの円弧部材１１７Ａ、１１７Ｂの端部１１７ＡＡと１１７ＢＡとが当接するまで固定リング１１２、１１４に対して回動することができる。
【００２５】
即ち、軸支持機構１２０をコンパクトに構成しながら、十字ばね１１０は微小な回転量を安定して再現することができ、振り子１３０の極めて微小な変位さえも有効な出力とすることが可能である。
【００２６】
逆に言うならば、外側円筒部材１１１に局所的に力が加わった状態となると、２つの板ばね１１８Ａ、１１８Ｂに局所的な撓みが生じて塑性変形したり、２層の円筒部材の間に隙間Ｇがなくなり互いに接触したりする。このため、十字ばね１１０の上記機能を最大限に発揮させるために、本実施形態では外側円筒部材１１１（固定リング１１２、１１４、及び可動リング１１６）に対しては、全周であって軸方向Ｏの長さ全てに均一な力をかけて十字ばね１１０を保持固定するようにしている。
【００２７】
次に、十字ばね１１０を支持する軸支持機構１２０について、図２（Ａ）、（Ｂ）、図３を用いて説明する。
【００２８】
軸支持機構１２０は、図２（Ａ）、図３に示す如く、十字ばね１１０と、十字ばね１１０を介して振り子１３０を支持する２つの支持部材１２２、１２６と、を有する。十字ばね１１０は、振り子１３０を回動自在に支持している。そして、支持部材１２２、１２６は、その十字ばね１１０を保持固定している。
【００２９】
支持部材１２２、１２６及び振り子１３０はそれぞれ、図３に示す如く、十字ばね１１０の軸方向Ｏで内径が単調に拡大又は縮小するテーパ形状のテーパ開口部１２２Ａ、１２６Ａ、１３０Ａを備えている。なお、振り子１３０には、互いにテーパ開口部１３０Ａの周方向で等間隔に３つの雌螺子部１３０Ｂが軸方向Ｏと直交する方向から形成されている。このため、外周に雄螺子部１３４Ｂが設けられた３つの螺子１３４をそれぞれ、３つの雌螺子部１３０Ｂに螺合させることで、３つの螺子１３４は互いにテーパ開口部１３０Ａの周方向で等間隔に配置されることとなる（本実施形態では螺子１３４の数は３つなので、図２（Ｂ）に示す如く、螺子１３４は互いに１２０度間隔で配置されている）。なお、螺子１３４の螺合量を調整することで、螺子１３４の先端部１３４Ａのテーパ開口部１３０Ａへの侵入量（押し込み量）を調整することが可能とされている。テーパ開口部１２２Ａ、１２６Ａ、１３０Ａに対応して、リング部材１２４、１２８、１３２がそれぞれ、テーパ開口部１２２Ａ、１２６Ａ、１３０Ａと十字ばね１１０の外面１１２Ａ、１１４Ａ、１１６Ａとの間に配置されている。
【００３０】
リング部材１２４、１２８、１３２は、図３に示す如く、断面が楔形状であり、その外面１２４Ａ、１２８Ａ、１３２Ａが一端側から外径が単調に拡大するテーパ形状の第１テーパ外面とされている。即ち、リング部材１２４、１２８、１３２は、テーパ開口部１２２Ａ、１２６Ａ、１３０Ａにそれぞれ適合可能な第１テーパ外面１２４Ａ、１２８Ａ、１３２Ａが一端側に設けられ軸方向Ｏで十字ばね１１０の外面１１２Ａ、１１４Ａ、１１６Ａに平行な内面１２４Ｂ、１２８Ｂ、１３２Ｂを有している。そして、リング部材１２４、１２８、１３２は、その内面１２４Ｂ、１２８Ｂ、１３２Ｂで十字ばね１１０の外面１１２Ａ、１１４Ａ、１１６Ａに接して、十字ばね１１０に外嵌している。ここで、テーパ開口部１２２Ａ、１２６Ａ、１３０Ａにそれぞれ「適合可能」な第１テーパ外面１２４Ａ、１２８Ａ、１３２Ａとは、十字ばね１１０の外面１１２Ａ、１１４Ａ、１１６Ａ（軸方向Ｏと平行）に対するテーパ開口部１２２Ａ、１２６Ａ、１３０Ａの傾斜角度θ１、θ２、θ３と、第１テーパ外面１２４Ａ、１２８Ａ、１３２Ａの傾斜角度がそれぞれほぼ同一とされていることをいう。
【００３１】
リング部材１３２には、図３に示す如く、他の一端側にも、該他の一端側から外径が単調に拡大する第２テーパ外面１３２Ｃが設けられている。このため、振り子１３０の雌螺子部１３０Ｂに螺合する螺子１３４の先端部１３４Ａは、第２テーパ外面１３２Ｃを押圧可能とされている。ここで、螺子１３４の先端部１３４Ａの外面１１６Ａに対する傾斜角度βは、第２テーパ外面１３２Ｃの傾斜角度θ４とほぼ同一とされている（β≒θ４）。このため、螺子１３４の先端部１３４Ａで第２テーパ外面１３２Ｃを押し込む際には、互いに絶えず（即ち、リング部材１３２が軸方向Ｏに移動しても）点ではなく線接触するようにされている。
【００３２】
複数の螺子１３４の先端部１３４Ａ及び第２テーパ外面１３２Ｃには、熱処理による硬化処理が施されている（硬化処理は熱処理に限定されず、コーティングなどで実現してもよい）。なお、図３では、螺子１３４の先端部１３４Ａは角を備える台形で描かれているが、実際は先端部１３４Ａの下端は角の取れた曲面形状とされている（なお、これに限らず、先端部１３４Ａ自体が球形とされていてもよい）。なお、支持部材１２２（１２６）、振り子１３０、リング部材１２４（１２８、１３２）、及び螺子１３４は全て、真鍮等の同一の線膨張長係数となる非磁性材料で形成されている。
【００３３】
次に、十字ばね１１０の保持固定の手順について主に図３に基づいて以下に説明する。
【００３４】
十字ばね１１０を、リング部材１２４、１２８、１３２を介して支持部材１２２、１２６、及び振り子１３０に保持固定させるには、リング部材１２４、１２８、１３２を軸方向Ｏへ移動させることで実現することができる。即ち、支持部材１２２で説明すると、支持部材１２２に対して十字ばね１１０を嵌合させたリング部材１２４を軸方向Ｏで右側に移動させる。つまり、テーパ開口部１２２Ａに対して第１テーパ外面１２４Ａを当接させ、その第１テーパ外面１２４Ａをテーパ開口部１２２Ａの内側に押し込む。このとき、リング部材１２４の内面１２４Ｂは、十字ばね１１０の外面１１２Ａに対して平行とされている。このため、第１テーパ外面１２４Ａのテーパ開口部１２２Ａの内側への押し込みにより、リング部材１２４の内面１２４Ｂは十字ばね１１０の外面１１２Ａに対して平行とされたままで、リング部材１２４を径方向内側に均一に収縮させることができる。即ち、十字ばね１１０（の固定リング１１２）の外面１１２Ａ全周であってリング部材１２４の嵌合する軸方向Ｏの長さ全てに均一な力をかけることができる。振り子１３０及び支持部材１２２でも同様におこなうことができる。
【００３５】
なお、支持部材１２２において、第１テーパ外面１２４Ａをテーパ開口部１２２Ａの内側に押し込むには、直接的にリング状の治具をリング部材１２４に軸方向Ｏから押し当ててその治具を軸方向Ｏに移動させることで容易に実現することができる（支持部材１２６も同様）。振り子１３０の場合には、３つの螺子１３４を振り子１３０の雌螺子部１３０Ｂに螺合させ、螺子１３４の先端部１３４Ａでリング部材１３２の第２テーパ外面１３２Ｃを押圧することで、リング部材１３２をテーパ開口部１３０Ａの内側に押し込むことができる。具体的には、３つの螺子１３４を順番に適量螺合させ、リング部材１３２が傾かない程度にリング部材１３２を適当な距離ずつ移動させる。そして、最終的には、適切な保持力で十字ばね１１０（の可動リング１１６）が振り子１３０に保持固定されるようにリング部材１３２を移動させ、３つの螺子１３４の先端部１３４Ａにほぼ同じ力がかかるように３つの螺子１３４の螺合量を調整する。即ち、リング部材１３２の移動に対しては螺子１３４を用いることで、軸方向Ｏに作業スペースが取れない支持部材１２２、１２６の間に位置する振り子１３０への十字ばね１１０の保持固定を安定して実現することができる（なお、振り子１３０に対する十字ばね１１０の保持固定方法を支持部材１２２、１２６にも適用してもよい。その場合には、十字ばね１１０の保持固定に対する軸方向Ｏの作業スペースを省くことができ、十字ばね１１０の適用対象を増やすことも可能となる）。
【００３６】
なお、リング部材１２４、１２８、１３２を用いずに、直接的に十字ばね１１０を支持部材１２２、１２６及び振り子１３０に接着剤で保持固定することも考えられる。しかしその場合には、接着剤の十字ばね１１０の隙間Ｐへの回り込みで十字ばね１１０の回動機能を損なうおそれが出てくる。また、接着剤が固まる際に接着剤の局所的なひけで十字ばね１１０に偏在した内部応力が生じるおそれもある。また、十字ばね１１０を保持固定するための支持部材１２２、１２６及び振り子１３０の開口部を十字ばね１１０の外径よりも大きくする必要があることから、支持部材１２２、１２６及び振り子１３０が軸方向Ｏから傾いた状態で保持固定されるおそれもあり、且つ支持部材１２２、１２６及び振り子１３０の軸心と十字ばね１１０との軸心とがずれてしまうおそれもある。
【００３７】
これに対して、本実施形態においては、リング部材１２４、１２８、１３２が径方向内側に均一に収縮させられるので、十字ばね１１０の全周であって軸方向Ｏの長さ全て（リング部材１２４、１２８、１３２の部分）に均一な力がかかり、十字ばね１１０は支持部材１２２、１２６、振り子１３０に保持固定される。このため、上述した十字ばね１１０の機能を最大限に発揮させることができる。即ち、支持部材１２２、１２６及び振り子１３０が軸方向Ｏから傾きにくくかつ支持部材１２２、１２６及び振り子１３０の軸心と十字ばね１１０との軸心Ｏとを高精度に合せることが容易である。もちろん、内部応力が偏在しないので振り子１３０のドリフトやオフセットが生じることを防止することができる。なお、接着剤を、支持部材１２２、１２６、及び振り子１３０に対するリング部材１２４、１２８、１３２のゆるみ止め（固定）の位置づけで使用することは可能である。
【００３８】
また、本実施形態においては、リング部材１３２の他の一端側にも第２テーパ外面１３２Ｃが設けられ、また、３つの螺子１３４を備え、３つの螺子１３４の先端部１３４Ａが第２テーパ外面１３２Ｃを押圧することで、リング部材１３２を軸方向Ｏに移動させている。このため、振り子１３０が軸方向Ｏで狭い間隔Ｐで支持部材１２２、１２６に挟まれて配置されていても、軸方向Ｏに作業スペースを設ける必要がなく、振り子１３０のテーパ開口部１３０Ａにリング部材１３２を確実に押し込むことができる。なお、螺子１３４の数は３つに限定されず、２つ以上であればよい。ただし、螺子１３４の数が多いほど安定したリング部材１３２の移動を実現することができる。もちろん、振り子においても螺子を用いずにリング部材を移動させて振り子に十字ばねを保持固定させるようにしてもよい。
【００３９】
また、本実施形態においては、３つの螺子１３４の先端部１３４Ａ及び第２テーパ外面１３２Ｃが硬化処理されている。このため、螺子１３４で第２テーパ外面１３２Ｃに凹みをつけにくく、より安定して螺子１３４でリング部材１３２を移動させることができる。もちろん、必ずしも螺子の先端部及び第２テーパ外面に硬化処理を施す必要はない。
【００４０】
また、本実施形態においては、支持部材１２２（１２６）、振り子１３０、リング部材１２４（１２８、１３２）、螺子１３４の全てが同一の非磁性材料で同一の線膨張係数とされている。このため、高温環境下となっても偏在した内部応力が十字ばね１１０に生じることを防止することができる。同時に、流体や樹脂などの異種材料を介して十字ばね１１０を支持部材１２２、１２６、及び振り子１３０に保持固定させていないので、経時変化の予測が容易であり、且つその耐久性も長期間とすることができる。このため、長期にわたってメンテナンスフリーを実現することが可能となる。
【００４１】
また、本実施形態においては、螺子１３４の先端部１３４Ａの傾斜角度βが第２テーパ外面１３２Ｃの傾斜角度θ４とほぼ同一である（β≒θ４）。即ち、螺子１３４の先端部１３４Ａと第２テーパ外面１３２Ｃとは線接触するので、第２テーパ外面１３２Ｃを変形させにくく、リング部材１３２を安定して移動させることができる。
【００４２】
即ち、本実施形態においては、十字ばね１１０で支持する振り子１３０の変位を安定して利用することが可能となる。
【００４３】
なお、上記実施形態においては、非磁性材料として主に真鍮を想定していたが、本発明では、これに限定されず、アルミや銅（リン青銅などの銅合金を含む）や非磁性のステンレス等であってもよい。
【００４４】
また、上記実施形態においては、適用される検出器としては傾斜検出器であったが、本発明はこれに限定されない。例えば、適用される検出器としてはサーボ型の速度検出器やサーボ型の加速度検出器であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明は、振り子と、該振り子を回動自在に支持する円筒形状の十字ばねと、該十字ばねを保持固定する支持部材と、を有する検出器に広く適用することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１０、１１０…十字ばね
２２、１２２、１２６…支持部材
３４、１３４…螺子
１００…傾斜検出器
１０２…検出器本体
１０４…制御部
１０６…傾斜測定部
１０８…ケーシング
１１１…外側円筒部材
１１２、１１４…固定リング
１１６…可動リング
１１７…内側円筒部材
１１７Ａ、１１７Ｂ…円弧部材
１１８Ａ、１１８Ｂ…板ばね
１２０…軸支持機構
１２２Ａ、１２６Ａ、１３０Ａ…テーパ開口部
１２４、１２８、１３２…リング部材
１２４Ａ、１２８Ａ、１３２Ａ…第１テーパ外面
１２４Ｂ、１２８Ｂ、１３２Ｂ…内面
１３０…振り子
１３２Ｃ…第２テーパ外面
１３６…対向磁極
１３８…ポールピース
１４０…静電容量検出部（可動側）
１４２…電磁コイル
１４４…静電容量検出部（固定側）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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