(57)【要約】【課題】セットアップに要する時間を短縮して生産性の低下を防ぐことができるバイト切削装置のセットアップ方法を提供する。【解決手段】第１のバイト工具（４０）の突き当て面（４０ｄ）から切り刃（４０ｃ）の先端までの距離を測定する第１のバイト工具測定ステップと、バイトホイール（３８）に装着された第１のバイト工具の切り刃の先端の位置を設定するセットアップステップと、第２のバイト工具（７０）の突き当て面（７０ｄ）から切り刃（７０ｃ）の先端までの距離を測定する第２のバイト工具測定ステップと、第１のバイト工具測定ステップで測定された距離（ｄ１）と、第２のバイト工具測定ステップで測定された距離（ｄ２）との差を補正値として用い、バイトホイールに装着された第２のバイト工具の切り刃の先端の位置を設定するセットアップ補正ステップと、を備える構成とした。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持面で被加工物を保持するチャックテーブルと、該保持面に直交する回転軸を有するスピンドルに固定され、切り刃を有するバイト工具が装着されたバイトホイールで該チャックテーブルに保持された被加工物の上面を切削するバイト切削手段と、該バイト切削手段を該回転軸の方向に移動させる移動手段と、を具備するバイト切削装置において、該切り刃の先端の高さ位置を検出するバイト切削装置のセットアップ方法であって、
第１のバイト工具を準備する第１のバイト工具準備ステップと、
該バイトホイールの装着面に突き当てて固定される該第１のバイト工具の一端である突き当て面から、該第１のバイト工具の他端である切り刃の先端までの距離を測定する第１のバイト工具測定ステップと、
該第１のバイト工具測定ステップを経た該第１のバイト工具を該バイトホイールに装着する第１のバイト工具装着ステップと、
上端に検出センサを有する基台の下面を該バイト切削装置の該チャックテーブルの該保持面に当接させて載置し、該移動手段で該第１のバイト工具の該切り刃の先端を該検出センサに近接させて該切り刃の先端の位置を検出し、該回転軸の方向における該切り刃の先端の位置を設定するセットアップステップと、
該第１のバイト工具とは別の第２のバイト工具を準備する第２のバイト工具準備ステップと、
該第２のバイト工具の該突き当て面から該切り刃の先端までの距離を測定する第２のバイト工具測定ステップと、
該セットアップステップを経た該第１のバイト工具を該バイトホイールから取り外し、該第２のバイト工具測定ステップを経た該第２のバイト工具を該バイトホイールに装着する第２のバイト工具装着ステップと、
該第１のバイト工具測定ステップで測定された距離と、該第２のバイト工具測定ステップで測定された距離との差を補正値として用い、該セットアップステップで設定された該第１のバイト工具の該切り刃の先端の位置を補正して、該第２のバイト工具の該切り刃の先端の位置を設定するセットアップ補正ステップと、を備えることを特徴とするバイト切削装置のセットアップ方法。
【請求項２】
前記第１のバイト工具及び前記第２のバイト工具とは別の第３のバイト工具を準備する第３のバイト工具準備ステップと、
該第３のバイト工具の該突き当て面から該切り刃の先端までの距離を測定する第３のバイト工具測定ステップと、
該第２の該バイト工具を該バイトホイールから取り外し、該第３のバイト工具測定ステップを経た該第３のバイト工具を該バイトホイールに装着する第３のバイト工具装着ステップと、
該第２のバイト工具測定ステップで測定された距離と、該第３のバイト工具測定ステップで測定された距離との差を補正値として用い、該セットアップ補正ステップで設定された該第２のバイト工具の該切り刃の先端の位置を補正して、該第３のバイト工具の該切り刃の先端の位置を設定するセットアップ再補正ステップと、をさらに備えることを特徴とする請求項１記載のバイト切削装置のセットアップ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物をバイト切削するバイト切削装置のセットアップ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面側にデバイスが設けられたウェーハ等の裏面を加工する際には、表面側を保護する保護テープを用いることがある（例えば、特許文献１参照）。保護テープは、基材と、基材上の糊層とで構成されており、糊層に含まれる糊の粘着力によってウェーハ等の表面側に貼着される。
【０００３】
ところで、保護テープを構成する基材や糊層の厚みはある程度ばらついているので、例えば、ウェーハの表面側に、糊層が設けられた保護テープの表面側を貼着すると、保護テープの裏面からウェーハの裏面までの距離は一定でなくなる。
【０００４】
このように、保護テープの裏面からウェーハの裏面までの距離が一定でないと、加工装置のチャックテーブルに保持された状態で、ウェーハの裏面の高さ位置にばらつきが生じてしまう。例えば、加工対象面となる裏面の高さ位置にばらつきのある状態でウェーハを研削加工すると、ウェーハの仕上がり厚みを均一にできない。
【０００５】
そこで、ウェーハを加工する前には、保護テープの裏面からウェーハの裏面までの距離が一定になるように、ウェーハに貼着された保護テープの裏面を、切削用のバイト工具を備えたバイト切削装置（例えば、特許文献２参照）で切削（バイト切削）している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−１９８５４２号公報
【特許文献２】特開２０１２−２４８７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したバイト切削装置において、バイト工具の切り込み深さは、切削前又は切削中に実施されるセットアップで調整されている。このセットアップでは、まず、被加工物を保持するチャックテーブルの上面（保持面）に接触式のセンサ（接触センサ）を配置する。
【０００８】
次に、バイト工具が装着されたバイトホイールを、回転させないように作業者が押さえた状態で下降させ、バイト工具の下端に設けられた単結晶ダイヤモンド等でなる切り刃を接触センサに接触させる。これにより、切り刃の高さ位置が検出される。
【０００９】
接触センサの厚み（高さ）は既知なので、検出された切り刃の高さ位置と接触センサの厚みとに基づいて保持面の高さ位置を算出することができる。このようにして得られる切り刃及び保持面の高さ位置に基づいて、バイト工具の切り込み深さが適切に制御されている。
【００１０】
しかしながら、バイト工具の寸法は製造誤差等によってある程度ばらついているので、バイト工具を交換した場合には、セットアップを実施して切り込み深さを調整する必要がある。上述のように、セットアップは、作業者の手作業を多く含み、煩雑で手間が掛かるので、バイト工具の交換の度にセットアップを実施していると、バイト切削の中断時間が長くなって生産性に問題が生じてしまう。
【００１１】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、セットアップに要する時間を短縮して生産性の低下を防ぐことができるバイト切削装置のセットアップ方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明によれば、保持面で被加工物を保持するチャックテーブルと、該保持面に直交する回転軸を有するスピンドルに固定され、切り刃を有するバイト工具が装着されたバイトホイールで該チャックテーブルに保持された被加工物の上面を切削するバイト切削手段と、該バイト切削手段を該回転軸の方向に移動させる移動手段と、を具備するバイト切削装置において、該切り刃の先端の高さ位置を検出するバイト切削装置のセットアップ方法であって、第１のバイト工具を準備する第１のバイト工具準備ステップと、該バイトホイールの装着面に突き当てて固定される該第１のバイト工具の一端である突き当て面から、該第１のバイト工具の他端である切り刃の先端までの距離を測定する第１のバイト工具測定ステップと、該第１のバイト工具測定ステップを経た該第１のバイト工具を該バイトホイールに装着する第１のバイト工具装着ステップと、上端に検出センサを有する基台の下面を該バイト切削装置の該チャックテーブルの該保持面に当接させて載置し、該移動手段で該第１のバイト工具の該切り刃の先端を該検出センサに近接させて該切り刃の先端の位置を検出し、該回転軸の方向における該切り刃の先端の位置を設定するセットアップステップと、該第１のバイト工具とは別の第２のバイト工具を準備する第２のバイト工具準備ステップと、該第２のバイト工具の該突き当て面から該切り刃の先端までの距離を測定する第２のバイト工具測定ステップと、該セットアップステップを経た該第１のバイト工具を該バイトホイールから取り外し、該第２のバイト工具測定ステップを経た該第２のバイト工具を該バイトホイールに装着する第２のバイト工具装着ステップと、該第１のバイト工具測定ステップで測定された距離と、該第２のバイト工具測定ステップで測定された距離との差を補正値として用い、該セットアップステップで設定された該第１のバイト工具の該切り刃の先端の位置を補正して、該第２のバイト工具の該切り刃の先端の位置を設定するセットアップ補正ステップと、を備えることを特徴とするバイト切削装置のセットアップ方法が提供される。
【００１３】
本発明において、前記第１のバイト工具及び前記第２のバイト工具とは別の第３のバイト工具を準備する第３のバイト工具準備ステップと、該第３のバイト工具の該突き当て面から該切り刃の先端までの距離を測定する第３のバイト工具測定ステップと、該第２の該バイト工具を該バイトホイールから取り外し、該第３のバイト工具測定ステップを経た該第３のバイト工具を該バイトホイールに装着する第３のバイト工具装着ステップと、該第２のバイト工具測定ステップで測定された距離と、該第３のバイト工具測定ステップで測定された距離との差を補正値として用い、該セットアップ補正ステップで設定された該第２のバイト工具の該切り刃の先端の位置を補正して、該第３のバイト工具の該切り刃の先端の位置を設定するセットアップ再補正ステップと、をさらに備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るバイト切削装置のセットアップ方法では、第１のバイト工具測定ステップを経て突き当て面から切り刃の先端までの距離が測定され、セットアップステップを経て切り刃の先端の位置が設定された第１のバイト工具を、バイトホイールから取り外すとともに、第２のバイト工具測定ステップを経て突き当て面から切り刃の先端までの距離が測定された第２のバイト工具を、バイトホイールに装着している。
【００１５】
これにより、第１のバイト工具測定ステップで測定された距離と、第２のバイト工具測定ステップで測定された距離との差を補正値として用い、セットアップステップで設定された第１のバイト工具の切り刃の先端の位置を補正するだけで、第２のバイト工具の切り刃の先端の位置を新たに設定できる。
【００１６】
すなわち、第２のバイト工具への交換後には、煩雑で手間の掛かるセットアップステップを実施せずに切り刃の先端の位置を設定できる。よって、本発明に係るバイト切削装置のセットアップ方法によれば、セットアップに要する時間を短縮して生産性の低下を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施の形態に係るバイト切削装置の構成例を模式的に示す図である。
【図２】図２（Ａ）は、バイトホイール及びバイト工具の構成例を模式的に示す拡大斜視図であり、図２（Ｂ）は、バイトホイールからバイト工具を取り外した状態を模式的に示す分解斜視図である。
【図３】図３は、測定装置の構成例を模式的に示す正面図である。
【図４】図４（Ａ）は、第１のバイト工具測定ステップを模式的に示す正面図であり、図４（Ｂ）は、セットアップステップを模式的に示す正面図である。
【図５】図５（Ａ）は、第２のバイト工具測定ステップを模式的に示す正面図であり、図５（Ｂ）は、第２のバイト工具装着ステップを模式的に示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。はじめに、本実施の形態に係るセットアップ方法が実施されるバイト切削装置について説明する。図１は、本実施の形態に係るバイト切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、本実施の形態に係るバイト切削装置２は、各種の構成が搭載される直方体状の基台４を備えている。基台４の後端には、上方に伸びる支持壁６が立設されている。
【００１９】
基台４の上面前側には、開口４ａが形成されており、この開口４ａ内には、円盤状の被加工物１１を搬送する搬送機構８が設けられている。また、開口４ａの側方の領域には、被加工物１１を収容するカセット１０ａ，１０ｂが載置される。
【００２０】
被加工物１１は、例えば、半導体ウェーハ等に貼着された保護テープである。ただし、被加工物１１の構成は、これに限定されない。例えば、バンプ電極が配置された半導体ウェーハ等を被加工物１１としても良い。本実施の形態に係るバイト切削装置２は、半導体ウェーハ等に配置されたバンプ電極等を切削する用途にも使用できる。
【００２１】
カセット１０ａが載置される載置領域の後方には、仮置きされた被加工物１１の位置合わせを行う位置合わせ機構１２が設けられている。例えば、カセット１０ａから搬送機構８で搬送された被加工物１１は、位置合わせ機構１２に載置されて中心を位置合わせされる。
【００２２】
位置合わせ機構１２の後方には、被加工物１１を吸引保持して旋回する搬入機構１４が設けられている。搬入機構１４の後方には、開口４ｂが形成されている。この開口４ｂ内には、Ｘ軸移動テーブル１６、Ｘ軸移動テーブル１６をＸ軸方向（前後方向）に移動させるＸ軸移動機構（不図示）、及びＸ軸移動機構を覆う防水カバー１８が配置されている。
【００２３】
Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール（不図示）を備えており、Ｘ軸ガイドレールには、Ｘ軸移動テーブル１６がスライド可能に設置されている。Ｘ軸移動テーブル１６の下面側には、ナット部（不図示）が固定されており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレールと平行なＸ軸ボールネジ（不図示）が螺合されている。
【００２４】
Ｘ軸ボールネジの一端部には、Ｘ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｘ軸パルスモータでＸ軸ボールネジを回転させることにより、Ｘ軸移動テーブル１６はＸ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。
【００２５】
Ｘ軸移動テーブル１６上には、被加工物１１を吸引保持するチャックテーブル２０が設けられている。チャックテーブル２０は、モータ等の回転駆動源（不図示）と連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に伸びる回転軸の周りに回転する。
【００２６】
また、チャックテーブル２０は、上述のＸ軸移動機構により、被加工物１１が搬入搬出される前方の搬入搬出位置と、被加工物１１が切削される後方の切削位置との間を移動する。
【００２７】
チャックテーブル２０の上面は、被加工物１１を吸引保持する保持面２０ａ（図４，５参照）となっている。この保持面２０ａは、チャックテーブル２０の内部に形成された流路（不図示）を通じて吸引源（不図示）と接続されている。搬入機構１４で搬入された被加工物１１は、保持面２０ａに作用する吸引源の負圧でチャックテーブル２０に吸引保持される。
【００２８】
支持壁６の前面には、Ｚ軸移動機構２２が設けられている。Ｚ軸移動機構２２は、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール２４を備えており、このＺ軸ガイドレール２４には、Ｚ軸移動テーブル２６がスライド可能に設置されている。
【００２９】
Ｚ軸移動テーブル２６の後面側（裏面側）には、ナット部（不図示）が固定されており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール２４と平行なＺ軸ボールネジ２８が螺合されている。
【００３０】
Ｚ軸ボールネジ２８の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３０が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３０でＺ軸ボールネジ２８を回転させることにより、Ｚ軸移動テーブル２６はＺ軸ガイドレール２４に沿ってＺ軸方向に移動する。
【００３１】
Ｚ軸ガイドレール２４と近接する位置には、Ｚ軸方向におけるＺ軸移動テーブル２６の位置（高さ位置）を示すＺ軸スケール（不図示）が付設されている。Ｚ軸方向におけるＺ軸移動テーブル２６の位置は、Ｚ軸移動テーブル２６が備えるＺ軸スケール読み取り機構（不図示）で読み取られる。
【００３２】
Ｚ軸移動テーブル２６の前面（表面）には、被加工物１１をバイト切削する切削機構（バイト切削手段）３２が設けられている。切削機構３２は、Ｚ軸移動テーブル２６に固定されたスピンドルハウジング３４を備えている。スピンドルハウジング３４には、Ｚ軸方向に伸びる回転軸の周りに回転可能なスピンドル３６が支持されている。
【００３３】
スピンドル３６の下端側には、円盤状のバイトホイール３８が連結されており、このバイトホイール３８には、単結晶ダイヤモンド等でなる切り刃４０ｃ（７０ｃ）（図２等参照）を含むバイト工具４０（７０）が装着される。スピンドル３６の上端側には、モータ等の回転駆動源４２が連結されており、バイトホイール３８及びバイト工具４０は、回転駆動源４２から伝達される回転力で回転する。
【００３４】
また、バイト工具４０は、上述のＺ軸移動機構２２により、チャックテーブル２０に吸引保持された被加工物１１に接近され、又は離反される。これにより、バイト工具４０の切り刃４０ｃを任意の高さに位置付けて、被加工物１１の上面を切削できる。
【００３５】
Ｙ軸方向（左右方向）において搬入機構１４と隣接する位置には、被加工物１１を吸引保持して旋回する搬出機構４４が設けられている。搬出機構４４の前方、かつカセット１０ｂが載置される載置領域の後方には、切削後の被加工物１１を洗浄する洗浄機構４６が配置されている。
【００３６】
洗浄機構４６で洗浄された被加工物１１は、搬送機構８で搬送され、カセット１０ｂに収容される。開口４ａの前方には、切削条件等を入力するための操作パネル４８が設けられている。
【００３７】
基台４と隣接する位置には、バイト工具４０の寸法を測定する測定装置５０が配置されている。この測定装置５０は、バイト切削装置２と共通の制御装置５２に接続されており、測定装置５０で測定されたバイト工具４０の寸法は、バイト切削装置２の制御に利用される。
【００３８】
図２（Ａ）は、バイトホイール３８及びバイト工具４０の構成例を模式的に示す拡大斜視図であり、図２（Ｂ）は、バイトホイール３８からバイト工具４０を取り外した状態を模式的に示す分解斜視図である。
【００３９】
図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、バイトホイール３８は、アルミニウム、ステンレス等の金属材料で円盤状に形成されており、上面３８ａには、スピンドル３６を挿通する円形の開口３８ｂが形成されている。バイトホイール３８は、この開口３８ｂにおいてスピンドル３６と連結される。
【００４０】
バイト工具４０は、直方体状の固定部４０ａと、固定部４０ａから突出した切り刃支持部４０ｂとを含む。切り刃支持部４０ｂの先端側には、単結晶ダイヤモンド等でなる切り刃４０ｃが固定されている。
【００４１】
バイトホイール３８の外周面３８ｃには、バイト工具４０の固定部４０ａの形状に対応する凹部３８ｄが形成されている。固定部４０ａを凹部３８ｄに係合させて、ネジ等の固定部材（不図示）を締め込むことで、バイト工具４０はバイトホイール３８に装着される。
【００４２】
バイト工具４０をバイトホイール３８に装着すると、切り刃支持部４０ｂの反対側に位置する固定部４０ａの突き当て面４０ｄが、凹部３８ｄの上端に位置する装着面３８ｅに当接される。
【００４３】
図３は、測定装置５０の構成例を模式的に示す正面図である。なお、図３では、バイト工具４０が載置された状態の測定装置５０を示している。図３に示すように、測定装置５０は、各種の構成を支持する支持台５４を備えている。支持台５４の上面は、平坦に形成されており、バイト工具４０を支持する支持面５４ａとなっている。この支持面５４ａには、バイト工具４０の突き当て面４０ｄが当接される。
【００４４】
支持台５４の後部には、上方に伸びる支持柱５６が立設されており、この支持柱５６には、センサ移動機構５８が設けられている。センサ移動機構５８は、支持柱５６の前面に形成されたＺ軸方向に伸びるガイド溝５６ａを備えている。ガイド溝５６ａには、センサ支持テーブル６０がスライド可能に設置されている。
【００４５】
ガイド溝５６ａと係合されたセンサ支持テーブル６０の後部には、ナット部（不図示）が設けられている。このナット部には、ガイド溝５６ａ内に収容されたＺ軸方向に伸びるボールネジ６２が螺合されている。
【００４６】
ボールネジ６２の一端部には、パルスモータ６４が連結されている。パルスモータ６４でボールネジ６２を回転させることにより、センサ支持テーブル６０はガイド溝５６ａに沿ってＺ軸方向に移動する。
【００４７】
センサ支持テーブル６０の底面（下面）には、接触式のセンサ（タッチセンサ）６６が配置されている。センサ６６の下端面は検出面となっており、この検出面に物体が接触すると、センサ６６は電気信号を出力する。センサ６６から出力される電気信号は、配線（不図示）等を通じて制御装置５２（図１）に送られる。
【００４８】
支持柱５６には、Ｚ軸方向におけるセンサ支持テーブル６０の位置（高さ位置）を示すスケール（不図示）が付設されている。Ｚ軸方向におけるセンサ支持テーブル６０の位置は、センサ支持テーブル６０が備えるスケール読み取り機構（不図示）で読み取られる。
【００４９】
このように構成された測定装置５０において、支持面５４ａにバイト工具４０を載置した状態でセンサ支持テーブル６０を下降させ、切り刃４０ｃにセンサ６６の検出面を接触させる。その結果、センサ６６から電気信号が出力される。
【００５０】
制御装置５２は、センサ６６から出力される電気信号に基づいて、Ｚ軸方向におけるセンサ支持テーブル６０の位置をスケール読み取り機構に読み取らせ、バイト工具４０の突き当て面４０ｄから切り刃４０ｃの先端までの距離を算出する。
【００５１】
次に、上述したバイト切削装置２のセットアップ方法について説明する。本実施の形態のセットアップ方法では、まず、バイトホイール３８に装着されるバイト工具（第１のバイト工具）４０を準備する第１のバイト工具準備ステップを実施する。
【００５２】
このバイト工具４０の寸法は、製造誤差等によってある程度ばらついているので、切り込み深さを適切に制御するためには、バイトホイール３８にバイト工具４０を装着した後に切り刃４０ｃの先端の位置を設定するセットアップを実施する必要がある。
【００５３】
本実施の形態のセットアップ方法では、バイトホイール３８にバイト工具４０を装着する前に、バイト工具４０の突き当て面４０ｄから、切り刃４０ｃの先端までの距離を測定する第１のバイト工具測定ステップを実施する。図４（Ａ）は、第１のバイト工具測定ステップを模式的に示す正面図である。
【００５４】
図４（Ａ）に示すように、第１のバイト工具測定ステップは測定装置５０で実施される。第１のバイト工具測定ステップでは、まず、支持台５４の支持面５４ａとバイト工具４０の突き当て面４０ｄとを当接させるように、バイト工具４０を支持面５４ａに載置する。この時、切り刃４０ｃを、センサ６６の下方に位置付けるようにする。
【００５５】
次に、センサ支持テーブル６０を下降させて、切り刃４０ｃの先端にセンサ６６の検出面を接触させる。その結果、センサ６６から切り刃４０ｃの検出を示す電気信号が出力される。制御装置５２は、センサ６６から出力される電気信号に基づいて、Ｚ軸方向におけるセンサ支持テーブル６０の位置をスケール読み取り機構に読み取らせる。
【００５６】
スケール読み取り機構で読み取られるセンサ支持テーブル６０の位置は、支持面５４ａを基準とするセンサ６６の検出面の高さに対応している。よって、このセンサ支持テーブル６０の位置を読み取ることで、バイト工具４０の突き当て面４０ｄから切り刃４０ｃの先端までの距離ｄ１を測定できる。測定された距離ｄ１は、制御装置５２のメモリ（不図示）に記憶される。
【００５７】
第１のバイト工具測定ステップを実施した後には、バイトホイール３８にバイト工具４０を装着する第１のバイト工具装着ステップを実施する。第１のバイト工具装着ステップでは、バイトホイール３８に形成された凹部３８ｄの装着面３８ｅに、バイト工具４０の突き当て面４０ｄを突き当てるようにしてバイト工具４０を凹部３８ｄに係合させる（図４（Ｂ）参照）。この状態で、ネジ等の固定部材（不図示）を締め込むことで、バイト工具４０はバイトホイール３８に装着される。
【００５８】
第１のバイト工具装着ステップを実施した後には、バイト工具４０の切り刃４０ｃの先端の位置を設定するセットアップステップを実施する。図４（Ｂ）は、セットアップステップを模式的に示す正面図である。
【００５９】
セットアップステップでは、まず、接触式のセンサユニット６８をチャックテーブル２０の保持面２０ａに載置する。図４（Ｂ）に示すように、センサユニット６８は、センサ基台（基台）６８ａと、センサ基台６８ａの上面に配置されたセンサ（検出センサ）６８ｂと、を備えている。
【００６０】
センサ６８ｂは、測定装置５０のセンサ６６と同等に構成されており、上方の検出面に物体が接触すると制御装置５２に電気信号を送る。このセットアップステップでは、センサ６８ｂを切り刃４０ｃの下方に位置付けるとともに、センサ基台６８ａの下面を保持面２０ａに当接させる。
【００６１】
次に、バイトホイール３８を下降させて、切り刃４０ｃの先端をセンサ６８ｂの検出面に接触させる。この時、バイトホイール３８を押さえる等してバイトホイール３８が回転しないようにする。切り刃４０ｃの先端がセンサ６８ｂの検出面に接触すると、センサ６８ｂから切り刃４０ｃの検出を示す電気信号が出力される。
【００６２】
制御装置５２は、センサ６８ｂから出力される電気信号に基づいて、Ｚ軸方向におけるＺ軸移動テーブル２６の位置をＺ軸スケール読み取り機構に読み取らせる。これにより、切り刃４０ｃの高さ位置が検出される。
【００６３】
センサユニット６８の厚み（高さ）は既知なので、検出された切り刃４０ｃの高さ位置とセンサユニット６８の厚みとから、切り刃４０ｃの高さ位置を基準とする保持面２０ａの高さ位置を算出できる。
【００６４】
制御装置５２は、検出した切り刃４０ｃの高さ位置及び算出した保持面２０ａの高さ位置をメモリに記憶（設定）する。このように、切り刃４０ｃの高さ位置及び保持面２０ａの高さ位置を設定することで、制御装置５２は、バイト工具４０の切り込み深さを適切に制御できる。
【００６５】
セットアップステップを実施した後には、被加工物１１等を切削する切削ステップ等を任意に実施する。切削ステップ等を実施して、例えば、バイト工具４０の切り刃４０ｃが摩耗（又は破損）すると、バイト工具４０を交換する必要が生じる。
【００６６】
そのため、本実施の形態に係るセットアップ方法では、任意のタイミングにおいて、バイト工具４０とは別のバイト工具（第２のバイト工具）７０（図５参照）を準備する第２のバイト工具準備ステップを実施しておく。バイト工具７０の構成は、バイト工具４０と同じである。ただし、製造誤差等の影響によって、各部の寸法は必ずしも同じにならない。
【００６７】
すなわち、バイト工具７０は、直方体状の固定部７０ａと、固定部７０ａから突出した切り刃支持部７０ｂとを含む。切り刃支持部７０ｂの先端側には、単結晶ダイヤモンド等でなる切り刃７０ｃが固定されている。また、固定部７０ａにおいて、切り刃支持部７０ｂの反対側の面は突き当て面７０ｄとなっている。
【００６８】
この第２のバイト工具準備ステップを実施した後には、バイト工具７０の突き当て面７０ｄから、切り刃７０ｃの先端までの距離を測定する第２のバイト工具測定ステップを実施する。図５（Ａ）は、第２のバイト工具測定ステップを模式的に示す正面図である。
【００６９】
第２のバイト工具測定ステップは、第１のバイト工具測定ステップと同じ手順で実施される。バイト工具７０の突き当て面７０ｄから切り刃７０ｃの先端までの距離ｄ２が測定されると、制御装置５２は、距離ｄ２をメモリに記憶する。
【００７０】
この第２のバイト工具測定ステップは、被加工物１１を切削する切削ステップ等を中断することなく、切削ステップ等と並行して実施できる。すなわち、第２のバイト工具測定ステップに起因するバイト切削装置２の停止時間はない（又は極めて短い）ので、この第２のバイト工具測定ステップによって生産性が低下することもない。
【００７１】
バイト工具４０の交換が必要になった段階で、新たなバイト工具７０をバイトホイール３８に装着する第２のバイト工具装着ステップを実施する。図５（Ｂ）は、第２のバイト工具装着ステップを模式的に示す正面図である。
【００７２】
第２のバイト工具装着ステップでは、まず、バイトホイール３８の凹部３８ｄに固定されているバイト工具４０を取り外す。次に、凹部３８ｄの装着面３８ｅに、バイト工具７０の突き当て面７０ｄを突き当てるように、バイト工具７０を凹部３８ｄに係合させる。この状態で、ネジ等の固定部材を締め込むことで、バイト工具７０はバイトホイール３８に装着される。
【００７３】
第２のバイト工具装着ステップを実施した後には、セットアップステップで設定された切り刃４０ｃの先端の位置を補正して、切り刃７０ｃの先端の位置を設定するセットアップ補正ステップを実施する。
【００７４】
上述のように、制御装置５２には、第１のバイト工具測定ステップで測定された距離ｄ１と、第２のバイト工具測定ステップで測定された距離ｄ２とが記憶されている。そのため、距離ｄ１と距離ｄ２との差を補正値として用いることで、セットアップステップで設定された切り刃４０ｃの先端の位置を補正して、切り刃７０ｃの先端の位置を設定できる。
【００７５】
具体的には、例えば、距離ｄ１と距離ｄ２との差（ｄ１−ｄ２）を、セットアップステップで設定された切り刃４０ｃの先端の位置（座標）に加え、又は切り刃４０ｃの先端の位置から減じることで、切り刃７０ｃの先端の位置を新たに設定できる。
【００７６】
以上のように、本実施の形態に係るバイト切削装置２のセットアップ方法では、第１のバイト工具測定ステップを経て突き当て面４０ｄから切り刃４０ｃの先端までの距離ｄ１が測定され、セットアップステップを経て切り刃４０ｃの先端の位置が設定されたバイト工具（第１のバイト工具）４０を、バイトホイール３８から取り外すとともに、第２のバイト工具測定ステップを経て突き当て面７０ｄから切り刃７０ｃの先端までの距離ｄ２が測定されたバイト工具（第２のバイト工具）７０を、バイトホイール３８に装着している。
【００７７】
これにより、第１のバイト工具測定ステップで測定された距離ｄ１と、第２のバイト工具測定ステップで測定された距離ｄ２との差（例えば、ｄ１−ｄ２）を補正値として用い、セットアップステップで設定されたバイト工具４０の切り刃４０ｃの先端の位置を補正するだけで、バイト工具７０の切り刃７０ｃの先端の位置を新たに設定できる。
【００７８】
すなわち、バイト工具７０への交換後には、煩雑で手間の掛かるセットアップステップを実施せずに切り刃７０ｃの先端の位置を設定できる。よって、本実施の形態に係るバイト切削装置２のセットアップ方法によれば、セットアップに要する時間を短縮して生産性の低下を防ぐことができる。
【００７９】
なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、バイト工具（第２のバイト工具）７０を、さらに別のバイト工具（第３のバイト工具）に交換する場合にも、同様のセットアップ方法を用いることができる。
【００８０】
この場合、バイト工具７０を交換する前に、バイト工具（第１のバイト工具）４０及びバイト工具７０とは別のバイト工具を準備する第３のバイト工具準備ステップと、このバイト工具の突き当て面から切り刃の先端までの距離を測定する第３のバイト工具測定ステップとを実施しておく。この第３のバイト工具測定ステップも、第２のバイト工具測定ステップと同様、被加工物１１を切削する切削ステップ等を中断することなく、切削ステップ等と並行して実施できる。
【００８１】
そして、バイト工具７０の交換が必要になった段階で、バイト工具７０をバイトホイール３８から取り外して新たなバイト工具をバイトホイール３８に装着する第３のバイト工具装着ステップを実施する。
【００８２】
また、第３のバイト工具装着ステップの後には、新たに装着されたバイト工具の切り刃の先端の位置を設定するセットアップ再補正ステップを実施する。このセットアップ再補正ステップは、例えば、次の２態様のいずれかで実施できる。
【００８３】
第１の態様は、第１のバイト工具測定ステップで測定された距離ｄ１を補正の基準値として用いる方法である。すなわち、この方法では、距離ｄ１と、第３のバイト工具測定ステップで測定された新たなバイト工具の突き当て面から切り刃の先端までの距離との差を補正値として用い、セットアップステップで設定されたバイト工具４０の切り刃４０ｃの先端の位置を補正して、新たに装着されたバイト工具の切り刃の先端の位置を設定する。
【００８４】
第２の態様は、交換直前のバイト工具（ここでは、バイト工具７０）に関する突き当て面から切り刃の先端までの距離を補正の基準値として用いる方法である。すなわち、この方法では、交換直前のバイト工具に関する突き当て面から切り刃の先端までの距離（ここでは、距離ｄ２）と、第３のバイト工具測定ステップで測定された新たなバイト工具の突き当て面から切り刃の先端までの距離との差を補正値として用い、直前に設定されたバイト工具の切り刃の先端の位置（ここでは、セットアップ補正ステップで設定されたバイト工具７０の切り刃７０ｃの先端の位置）を補正して、新たに装着されたバイト工具の切り刃の先端の位置を設定する。
【００８５】
この方法によれば、煩雑で手間の掛かるセットアップステップを、最初に一度実施するだけで良いので、セットアップに要する時間を短縮して生産性の低下を防ぐことができる。
【００８６】
また、上記実施の形態では、第１のバイト工具装着ステップを実施した後にセットアップステップを実施しているが、セットアップステップを実施するタイミングはこれに限定されない。例えば、チャックテーブル２０を交換した後や、チャックテーブル２０を切削するセルフカットの後にセットアップステップを実施しても良い。
【００８７】
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００８８】
２  バイト切削装置
４  基台
４ａ，４ｂ  開口
６  支持壁
８  搬送機構
１０ａ，１０ｂ  カセット
１２  位置合わせ機構
１４  搬入機構
１６  Ｘ軸移動テーブル
１８  防水カバー
２０  チャックテーブル
２０ａ  保持面
２２  Ｚ軸移動機構
２４  Ｚ軸ガイドレール
２６  Ｚ軸移動テーブル
２８  Ｚ軸ボールネジ
３０  Ｚ軸パルスモータ
３２  切削機構（バイト切削手段）
３４  スピンドルハウジング
３６  スピンドル
３８  バイトホイール
３８ａ  上面
３８ｂ  開口
３８ｃ  外周面
３８ｄ  凹部
３８ｅ  装着面
４０  バイト工具（第１のバイト工具）
４０ａ  固定部
４０ｂ  切り刃支持部
４０ｃ  切り刃
４０ｄ  突き当て面
４２  回転駆動源
４４  搬出機構
４６  洗浄機構
４８  操作パネル
５０  測定装置
５２  制御装置
５４  支持台
５４ａ  支持面
５６  支持柱
５６ａ  ガイド溝
５８  センサ移動機構
６０  センサ支持テーブル
６２  ボールネジ
６４  パルスモータ
６６  センサ
６８  センサユニット
６８ａ  センサ基台（基台）
６８ｂ  センサ（検出センサ）
７０  バイト工具（第２のバイト工具）
７０ａ  固定部
７０ｂ  切り刃支持部
７０ｃ  切り刃
７０ｄ  突き当て面
１１  被加工物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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