(57)【要約】【課題】搬送すべき位置への位置誤差を除去することが可能であると共に、安価に作製可能なチップ保持具を提供する。【解決手段】負圧によってチップ部品５０を保持して所望の搬送部位に移動させるためのチップ保持具１であって、ボディ部１０と、ボディ部１０の端部側に設けられていると共に、端面４２ａ側にチップ部品５０を入り込ませるための窪み部４５を有する吸着ヘッド４０と、吸着ヘッド４０に設けられている位置決め手段４８と、を具備し、位置決め手段４８は、固定治具６０のチップ部品５０を保持する保持部位に対する窪み部４５の位置合わせを行う。【選択図】図１
2015026632.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧によってチップ部品を保持して所望の搬送部位に移動させるためのチップ保持具であって、
ボディ部と、
前記ボディ部の端部側に設けられていると共に、端面側に前記チップ部品を入り込ませるための窪み部を有する吸着ヘッドと、
前記吸着ヘッドに設けられている位置決め手段と、
を具備し、
前記位置決め手段は、固定治具の前記チップ部品を保持する保持部位に対する前記窪み部の位置合わせを行う、
ことを特徴とするチップ保持具。
【請求項２】
請求項１記載のチップ保持具であって、
前記吸着ヘッドは、前記ボディ部に取り付けられる管体部と、前記管体部に連続すると共に前記窪み部および前記位置決め手段が設けられているヘッド部とを有していて、
前記位置決め手段は、前記ヘッド部を貫く位置決め孔部であり、当該位置決め孔部は、少なくとも一対設けられている、
ことを特徴とするチップ保持具。
【請求項３】
請求項２記載のチップ保持具であって、
一対の前記位置決め孔部のうち一方の位置決め孔部は、長孔形状に設けられている、
ことを特徴とするチップ保持具。
【請求項４】
請求項２記載のチップ保持具であって、
前記窪み部は、前記チップ部品を前記ヘッド部の外周側から当該窪み部に導入するためのガイド溝部と連続して設けられていて、
前記窪み部には、前記チップ部品を当接させて、当該チップ部品の位置決めを行うための突当部が設けられている、
ことを特徴とするチップ保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小なチップ部品を保持しつつ所望の位置まで搬送するためのチップ保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンデンサやインダクタや抵抗等の電子部品においては、微小化が進展しているが、かかる微小なチップ部品の中には、手作業にて保持したり位置決めを行うことが困難なものもある。このような微小なチップ部品を整列させて所望の部位に供給する装置としては、たとえば特許文献１に示すものがある。
【０００３】
特許文献１に示す構成では、チップ部品が搭載されるステージを備え、そのステージはＸＹテーブルによってＸＹ方向に移動可能となっている。また、ステージには位置規制手段が設けられているが、その位置規制手段は、ステージ上で吸着手段によって吸着される。そして、ステージがＸＹ方向に移動し、押当子をチップ部品に押し当てることで、チップ部品の位置決めを可能としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平４−３５０９５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に示すような位置決め装置によってチップ部品の位置決めを行い、その後に位置決めされたチップ部品を別途の検査用治具等のような部位に搬送する場合、そのチップ部品の保持や保持解除の際に、僅かな位置ずれが発生することがある。すなわち、特許文献１の構成では、位置補正後にチップ部品を所望の部位に搬送しても、その搬送後には、チップ部品の位置補正は行っていない。そのため、チップ部品の保持や保持解除の際に、チップ部品に位置ずれが生じてしまい、その位置ずれが解消できない場合がある。
【０００６】
特に、微小なチップ部品においては、保持解除の際に、位置ずれによるチップ部品の搭載位置の誤差が生じ易いが、チップ部品が微小であることも相俟って、その位置誤差を取り除くことは容易ではない。
【０００７】
また、特許文献１に開示の位置決め装置は、装置構成が複雑であり、そのため高価となってしまう。したがって、大量生産されるチップ部品の中から個別に抜き取り検査を行うような用途には、特許文献１に開示の位置決め装置は適さない。
【０００８】
本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、搬送すべき位置への位置誤差を除去することが可能であると共に、安価に作製可能なチップ保持具を提供しよう、とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の第１の観点によると、負圧によってチップ部品を保持して所望の搬送部位に移動させるためのチップ保持具であって、ボディ部と、ボディ部の端部側に設けられていると共に、端面側にチップ部品を入り込ませるための窪み部を有する吸着ヘッドと、吸着ヘッドに設けられている位置決め手段と、を具備し、位置決め手段は、固定治具のチップ部品を保持する保持部位に対する前記窪み部の位置合わせを行う、ことを特徴とするチップ保持具が提供される。
【００１０】
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、吸着ヘッドは、ボディ部に取り付けられる管体部と、管体部に連続すると共に窪み部および位置決め手段が設けられているヘッド部とを有していて、位置決め手段は、ヘッド部を貫く位置決め孔部であり、当該位置決め孔部は、少なくとも一対設けられている、ことが好ましい。
【００１１】
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、一対の位置決め孔部のうち一方の位置決め孔部は、長孔形状に設けられている、ことが好ましい。
【００１２】
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、窪み部は、チップ部品をヘッド部の外周側から当該窪み部に導入するためのガイド溝部と連続して設けられていて、窪み部には、チップ部品を当接させて、当該チップ部品の位置決めを行うための突当部が設けられている、ことが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のチップ保持具によると、搬送すべき位置への位置誤差を除去することが可能であると共に、安価に作製可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施の形態に係るチップ保持具の全体構成を示す側面図である。
【図２】図１のチップ保持具の全体的な側断面図である。
【図３】図１のチップ保持具の吸着ヘッドを、その底面側から見た状態を拡大して示す斜視図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線に沿ってヘッド部を切断した状態を示す側断面図であり、ヘッド管路を拡大して示す図である。
【図５】図１のチップ保持具の突当面にチップ部品を突き当てた状態を示す部分的な斜視図である。
【図６】図１のチップ部品を搬送するチップ保持具と、固定治具の形状を示す部分的な斜視図である。
【図７】図１のチップ保持具における吸着ヘッドの位置決め孔部と、固定治具の突出ピンの位置関係を拡大して示す部分的な斜視図である。
【図８】図１のチップ保持具と、固定治具の断面形状を示す部分的な斜視図である。
【図９】固定治具の構成を拡大して示す部分的な斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態に係るチップ保持具１について、図面に基づいて説明する。なお、以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を用いて説明する場合があるものとし、Ｘ方向をチップ保持具１の長手方向とし、Ｘ１側は図１において右側、Ｘ２側は図１において左側とする。また図１においてＸ方向と直交する方向をチップ保持具１のＹ方向とし、Ｙ１側は図１における上側、Ｙ２側は下側とする。またＺ方向はＸ方向およびＹ方向に直交する方向とし、Ｚ１側は図３において右側、Ｚ２側はそれとは逆の左側とする。
【００１６】
＜チップ保持具１の構成について＞
図１は、チップ保持具１の全体構成を示す側面図である。また、図２は、チップ保持具１の全体的な側断面図である。チップ保持具１は、ボディ部１０と、配管継手２０と、配管３０と、吸着ヘッド４０とを有している。
【００１７】
図２に示すように、ボディ部１０は、空気が流れる流通路１１を覆う中空の筒状部材である。すなわち、ボディ部１０は、Ｘ方向に貫く流通路１１を覆うように設けられている。図１および図２に示すように、ボディ部１０のうち他端寄り（Ｘ２寄り）の外周側には、リング状の凹凸から構成されるグリップ部１２が設けられていて、使用者の把持性を向上させている。このボディ部１０の一端側（Ｘ１側）には、配管継手２０が取り付けられるが、その取り付けに対応して、一端側（Ｘ１側）の流通路１１の内壁面には、雌ネジ部１３が設けられている。
【００１８】
また、ボディ部１０の他端側（Ｘ２側）には、吸着ヘッド４０が取り付けられている。かかる吸着ヘッド４０の取り付けのために、当該ボディ部１０の他端側（Ｘ２側）には、流通路１１と一体的に連通する管体挿入部１４が設けられている。管体挿入部１４では、後述する管体部４１が嵌め込まれるが、その管体部４１の挿入位置決めのために、他端側（Ｘ２側）の流通路１１の内壁面には、段差部１５が設けられている。ここで、ボディ部１０のうち吸着ヘッド４０が取り付けられている側には、Ｘ２側に向かうにつれて徐々に細くなるテーパ部１６が設けられている。かかるテーパ部１６の存在により、ボディ部１０は筆記具と同様に握り易くなり、細かな作業を行い易くなっている。
【００１９】
なお、ボディ部１０は、たとえば金属の切削によって形成されているが、金属以外の材質（たとえば樹脂の射出成形・切削加工やセラミックス等）を材質としていても良い。
【００２０】
図１および図２に示すように、配管継手２０は、ボディ部１０と配管３０とを接続するための継手である。配管継手２０の他端側（Ｘ２側）には、ボディ部１０のＸ１側の端部に捻じ込むためのネジ部２１が設けられると共に、ボディ部１０のＸ１側の端面に当接するフランジ部２２も設けられている。また、配管継手２０の一端側（Ｘ１側）には、配管３０の内管部３１に挿入される挿入係止部２３が設けられている。また、配管継手２０には、Ｘ方向に全体を貫く継手管路２４が設けられていて、その継手管路２４が流通路１１や内管部３１と連通している。
【００２１】
なお、配管３０は、柔軟なホースであり、その内管部３１が挿入係止部２３に係止されている。ただし、配管３０は、柔軟に曲がらない金属や樹脂のパイプであっても良い。
【００２２】
次に、吸着ヘッド４０について説明する。図１および図２に示すように、吸着ヘッド４０は、管体部４１と、ヘッド部４２とを有している。管体部４１のうちＸ１寄りの部位は、上述した管体挿入部１４に圧入状態で挿入される。また、管体部４１の一端側（Ｘ１側）の端面は、段差部１５に当接し、それによって管体挿入部１４に対する管体部４１の位置決めがなされる。
【００２３】
ヘッド部４２は、管体部４１に連なる円盤状の部分である。図３は、吸着ヘッド４０を、その底面側から見た状態を拡大して示す斜視図である。この図３に示すように、ヘッド部４２の外周側には、円盤状の一部を平面状に形成した切欠部４３が設けられていて、かかる切欠部４３によって、吸着ヘッド４０およびチップ保持具１全体の回転方向の位置が定められる。
【００２４】
また、図２に示すように、吸着ヘッド４０には、管体部４１およびヘッド部４２に亘って、空気を流通させるためのヘッド管路４４が設けられている。図４は、図３のＡ−Ａ線に沿ってヘッド部４２を切断した状態を示す側断面図であり、ヘッド管路４４を拡大して示す図である。
【００２５】
図４に示すように、ヘッド管路４４には、管体部４１およびヘッド部４２に跨る内径の大きな大径管路部４４１が設けられている。大径管路部４４１には、他端側（Ｘ２側）に向かうにつれてテーパ状に縮径される縮径部４４２が連通している。また、縮径部４４２には、小径部４４３が連通しているが、その小径部４４３の内径は、大径管路部４４１および縮径部４４２のＸ２側の部位よりも小さく設けられている。
【００２６】
また、図３および図４に示すように、小径部４４３の他端側（Ｘ２側）は、その開口部４４３ａを介して窪み部４５に連通している。窪み部４５は、ヘッド部４２の底面４２ａ（端面に対応）よりも窪んで設けられている部分である。また、窪み部４５は、チップ部品５０が位置する部分であるが、その窪み部４５の幅（Ｚ方向の寸法）は、チップ部品５０の幅よりも僅かに大きく設けられている。具体的には、窪み部４５の幅は、チップ部品５０の幅よりも、１０％以下の程度だけ大きく設けられている。しかしながら、チップ部品５０の幅は、この範囲を超えない範囲で、種々の寸法に設定可能である。
【００２７】
また、開口部４４３ａの幅（Ｚ方向の寸法）は、窪み部４５の幅（Ｚ方向の寸法）よりも幅狭に設けられている。そのため、開口部４４３ａの周囲の凹底部４５ａには、チップ部品５０が位置可能となっている。なお、開口部４４３ａのＹ方向の寸法は、チップ部品５０の全長（Ｙ方向の長さ）よりも小さく設けられている。
【００２８】
図３に示すように、窪み部４５のうちＹ２側の端面は、突当面４６となっている。突当面４６は、チップ部品５０を突き当てて、そのチップ部品５０の位置決めを行う部分であり、突当部に対応する。図５は、突当面４６にチップ部品５０を突き当てた状態を示す部分的な斜視図である。この図５に示すように、チップ部品５０が突当面４６に突き当てられた状態では、当該チップ部品５０のＹ方向における位置が定まる。加えて、チップ部品５０は、突当面４６と窪み部４５の両壁面とにより、その長手方向がＹ方向に沿うように、向きが規制される。それにより、チップ部品５０の姿勢も定まる。
【００２９】
また、突当面４６にチップ部品５０が当接している状態では、チップ部品５０の表面は、窪み部４５の凹底部４５ａに当接しつつ、開口部４４３ａを塞ぐ状態となる。特に、チップ部品５０の表面は、開口部４４３ａの周囲の凹底部４５ａに途切れなく接触する状態となる。そのため、ヘッド管路４４に負圧を及ぼすと、その負圧の作用によって、チップ部品５０が保持される。
【００３０】
なお、突当面４６は、Ｚ方向に沿っていることが好ましいが、窪み部４５の幅が非常に狭い場合には、Ｚ方向に沿わなく湾曲していても良い。
【００３１】
また、図３に示すように、窪み部４５は、ガイド溝部４７と一体的に設けられている。窪み部４５は、上述のようにチップ部品５０を位置させて、その位置決めおよび保持を行う部分である。これに対して、ガイド溝部４７は、チップ部品５０をヘッド部４２の外部から窪み部４５に向けて導入する部分である。そのため、底面４２ａには窪み部４５が存在するもののガイド溝部４７が存在しない構成を採用しても良い。
【００３２】
なお、ガイド溝部４７の外径側の端部は、ヘッド部４２の外周側を平面状に切り欠いた切欠部４３に差し掛かっている。そのため、切欠部４３は、ガイド溝部４７の開口位置を示す役割も有している。また、ガイド溝部４７は、ヘッド部４２の径方向の外側の方が、径方向の中心側よりも幅広に設けられている。それにより、切欠部４３側のガイド溝部４７の開口部分から、チップ部品５０を挿入し易くなっている。
【００３３】
図６は、チップ部品５０を搬送するチップ保持具１と、固定治具６０の形状を示す部分的な斜視図である。図７は、吸着ヘッド４０の位置決め孔部４８と、固定治具６０の突出ピン６１の位置関係を拡大して示す部分的な斜視図である。図８は、チップ部品５０を搬送するチップ保持具１と、固定治具６０の断面形状を示す部分的な斜視図である。また、図９は、固定治具６０の構成を拡大して示す部分的な斜視図である。
【００３４】
図３に示すように、ヘッド部４２には、位置決め手段に対応する位置決め孔部４８が設けられている。位置決め孔部４８は、図６〜図９に示すような固定治具６０に対して、位置決めを行うための孔部分であり、その固定治具６０の突出ピン６１が挿入される部分である。すなわち、チップ部品５０が突当面４６に当接する状態となると、当該チップ部品５０の位置決め孔部４８に対する位置が定まる。
【００３５】
また、固定治具６０においては、突出ピン６１以外に、チップ部品５０を入れ込む凹部である嵌入凹部６２（保持部位に対応）も設けられている。ここで、突出ピン６１に対する嵌入凹部６２の位置は、高精度に設けられている。この位置は、位置決め孔部４８に突出ピン６１が挿入された際に、窪み部４５が嵌入凹部６２に対してＹ方向およびＺ方向でずれるのを抑える位置に設けられている。そのため、窪み部４５内でチップ部品５０が位置決めされた状態で、位置決め孔部４８に突出ピン６１が挿入され、窪み部４５でのチップ部品５０の保持状態を解除すると、チップ部品５０が位置ずれすることなく、嵌入凹部６２に入れ込むことを可能としている。
【００３６】
ここで、本実施の形態では、位置決め孔部４８は、窪み部４５を挟んで一対設けられている。また、図３においては、Ｚ１側の位置決め孔部４８（以下、位置決め孔部４８ａとする）は、円孔形状に設けられていて、かつ位置決め孔部４８ａの直径は、突出ピン６１の直径に対して、高精度に設けられている。そのため、突出ピン６１が位置決め孔部４８ａに挿入された後には、当該突出ピン６１は、位置決め孔部４８ａに対して、ほとんどガタ付かない状態となっている。
【００３７】
一方、Ｚ２側の位置決め孔部４８（以下、位置決め孔部４８ｂとする）は、長円形状に設けられている。ただし、この位置決め孔部４８ｂのＹ方向の寸法は、突出ピン６１の直径に対して高精度に設けられている。そして、位置決め孔部４８ｂへ突出ピン６１を挿入した場合には、突出ピン６１はＹ方向へはほとんど移動しないものの、Ｚ方向には移動可能となる。それにより、一対の位置決め孔部４８の間隔と、一対の突出ピン６１の間隔が若干相違していても、その相違を吸収可能となっている。
【００３８】
＜作用について＞
以上のような構成のチップ保持具１を用いる場合、先ず、チップ部品５０の位置決めを行うための不図示の位置決め用治具を用いて、チップ部品５０の位置決めを行う。そして、この位置決め用治具にて位置決めされているチップ部品５０に対して、吸着ヘッド４０を位置合わせして、窪み部４５がチップ部品５０とＸ方向に対して位置ずれしない状態で重ね合わせる。なお、位置決め用治具には、位置決め孔部４８に挿入されるピン部分が存在すると、位置ずれを防ぐことができるので、好ましい。
【００３９】
そして、かかる重ね合せ状態で、チップ保持具１の配管３０に連結されている不図示のポンプや電空レギュレータといった圧力調整手段を、不図示の制御部での制御に基づいて作動させると、ヘッド管路４４に負圧が及ぼされ、その負圧により開口部４４３ａからは窪み部４５に存在する空気を吸引する。すると、この負圧により、位置決め用治具に存在するチップ部品５０は、窪み部４５にて保持される。なお、圧力調整手段、制御部は、チップ保持具１と共に、チップ保持装置を構成するものとしても良い。
【００４０】
ここで、チップ部品５０を窪み部４５に位置させる場合、不図示の位置決め用治具を用いずに、手動にて、チップ部品５０を窪み部４５にセットするようにしても良い。この場合、チップ部品５０をガイド溝部４７に位置させ、その後にチップ部品５０をガイド溝部４７に沿ってヘッド部４２の径方向の中心側に移動させる。そして、チップ部品５０を突当面４６に突き当てる。また、上述した位置決め用治具、手動以外に、チップ部品５０が所定の向きに揃うように整列させた状態でチップ部品５０を供給する、整列装置を用いるようにしても良い。
【００４１】
かかる窪み部４５での保持状態では、突当面４６にチップ部品５０が当接していることが好ましく、位置決め用治具に存在するチップ部品５０と、窪み部４５との位置関係がそのように規定されていることが好ましい。しかし、チップ部品５０が若干位置ずれしている場合には、ピンセットのような先端が尖形状の部材を用いてチップ部品５０を移動させ、突当面４６にチップ部品５０を当接させる。
【００４２】
上述のように、窪み部４５内にて、負圧の作用によってチップ部品５０が保持された後に、使用者は、チップ保持具１を把持して、固定治具６０に向けて移動させる。そして、固定治具６０の突出ピン６１と位置合わせして、位置決め孔部４８に突出ピン６１を挿入し、ヘッド部４２の底面４２ａが、固定治具６０の表面と平行に突き合わされる状態とする。すると、チップ部品５０の外側に対して、嵌入凹部６２の内壁が僅かな隙間を持って配置される状態となる。
【００４３】
この状態で、ポンプの作動を停止させて、負圧が窪み部４５に及ぼされるのを停止させて、大気開放する。
【００４４】
しかし、負圧が及ぼされない状態でも、たとえば静電気の作用によって、窪み部４５からチップ部品５０が離れない場合がある。そこで、コンプレッサや電空レギュレータのような圧力調整手段を作動させ、それと共に電磁弁のような弁部材を作動させて開口部４４３ａから空気が排出されるような正圧を、ヘッド管路４４に及ぼす状態とする。なお、かかる正圧は、たとえば０．５秒等のように、短い時間だけ印加するようにする。すると、窪み部４５の凹底部４５ａに密着しているチップ部品５０が離れ、固定治具６０の嵌入凹部６２にチップ部品５０が入り込む。
【００４５】
以上のようにして、チップ保持具１を用いてチップ部品５０を固定治具６０の嵌入凹部６２に入り込ませることが可能となる。なお、この後には、チップ部品５０の上面側からプッシャー等で加圧して、不図示のプローブピンをチップ部品５０に突き当てる等によって、チップ部品５０に対する電気的接続を確保して、その電気的な特性の測定を行うようにしても良い。
【００４６】
また、上記とは逆に、固定治具６０（嵌入凹部６２）からチップ部品５０を取り外す場合、突出ピン６１を位置決め孔部４８に挿入して、固定治具６０に対するチップ保持具１の位置決めをしながら、吸着ヘッド４０の底面４２ａが固定治具６０の上面に接触させるまで、チップ保持具１を移動させる。
【００４７】
次に、チップ保持具１の配管３０に連結されている不図示のポンプや電空レギュレータといった圧力調整手段を、不図示の制御部での制御に基づいて作動させる。すると、負圧の作用によってチップ部品５０が吸着ヘッド４０の窪み部４５に入り込み、チップ部品５０が吸着ヘッド４０で吸着される。続いて、チップ保持具１を持ち上げて、位置決め孔部４８への突出ピン６１の差し込みを解除して、固定治具６０からチップ保持具１を取り外す。
【００４８】
その次に、チップ保持具１をチップ部品５０の保管場所へと移動させ、その移動の後に配管内を大気に開放する。なお、かかる大気開放によっても、チップ部品５０が吸着ヘッド４０（窪み部４５）から離れない場合には、上述したような短い時間だけ、正圧を印加して、チップ部品５０を吸着ヘッド４０から離すようにする。
【００４９】
＜効果について＞
以上のような構成のチップ保持具１では、チップ部品５０を保持し、その保持を解除する際にも位置ずれが生じるのを防止可能となる。特に、本実施の形態では、ヘッド部４２には位置決め孔部４８が設けられていて、その位置決め孔部４８が、固定治具６０の突出ピン６１に挿入されることで、固定治具６０の嵌入凹部６２と、窪み部４５との間の位置ずれを防いでいる。そのため、窪み部４５に位置するチップ部品５０の保持を解除する場合でも、チップ部品５０が位置ずれするのを防ぐ状態で、嵌入凹部６２に位置させることが可能となる。
【００５０】
また、本実施の形態のチップ保持具１では、位置決め孔部４８に突出ピン６１を挿入するだけで、吸着ヘッド４０（窪み部４５）と固定治具６０（嵌入凹部６２）との間の位置合わせが行われ、その位置合わせによって両者の間の位置誤差を取り除くことができる。
【００５１】
さらに、本実施の形態のチップ保持具１では、固定治具６０においては、突出ピン６１に対する嵌入凹部６２の位置を定めることで、チップ部品５０の最終的な位置決めを行うことが可能となる。そして、チップ部品５０の位置決め精度は、チップ部品５０と嵌入凹部６２の間のガタ付きの範囲内に収めることが可能となり、精度的なバラ付きを小さくすることが可能となる。
【００５２】
また、本実施の形態のチップ保持具１では、位置決めに必要な、整列装置の制御装置等を必要としないため占有面積が小さくて済む。また、チップ保持具１は、整列装置とは異なり、大掛かりな装置にはならないため、設置場所の制約を少なくすることができる。
【００５３】
さらに、本実施の形態では、手作業にて保持および整列させて、測定を行うことが困難な程度に微細化されたチップ部品５０（たとえば、０．４ｍｍ×０．２ｍｍ、０．６ｍｍ×０．３ｍｍのサイズのもの）についても、チップ保持具１と共に、固定治具６０を用いることで、容易に測定を行うことが可能となる。
【００５４】
また、本実施の形態のチップ保持具１の構成は、簡素であるため、安価に製作可能であり、チップ保持具１のコストが上昇するのを抑えることが可能となる。特に、大量生産用ではなく、チップ部品５０を抜き取る等して、個別のチップ部品５０に対して検査等を行う用途において、チップ保持具１は好適である。また、チップ保持具１は、簡素な構成であり、安価に製作可能であるため、種々のチップ部品５０に対応させるべく形状を多様化させても、トータルのコストを安価にすることが可能となる。
【００５５】
また、本実施の形態では、ヘッド部４２には、そのヘッド部４２を貫く一対の位置決め孔部４８が設けられている。そのため、一対の位置決め孔部４８に、一対の突出ピン６１を挿入することにより、吸着ヘッド４０（窪み部４５）と固定治具６０（嵌入凹部６２）との間での、ＹＺ方向の位置ずれのみならず、回転方向の位置ずれも防ぐことが可能となる。
【００５６】
また、本実施の形態では、一対の位置決め孔部４８のうち一方の位置決め孔部４８ｂは、長孔形状に設けられている。このため、一対の位置決め孔部４８の間の間隔が、一対の突出ピン６１の間の間隔と多少異なっていても、一対の突出ピン６１の両方を位置決め孔部４８に良好に挿入可能となる。それにより、吸着ヘッド４０（窪み部４５）と固定治具６０（嵌入凹部６２）との間で良好に位置合わせを行うことが可能となり、その位置合わせによって両者の間の位置誤差を取り除くことができる。
【００５７】
また、本実施の形態では、窪み部４５は、チップ部品５０をヘッド部４２の外周側から窪み部４５に導入するためのガイド溝部４７と連続して設けられている。そのため、ガイド溝部４７が存在しない場合と比較して、手作業にてチップ部品５０を窪み部４５に導入し易くなる。加えて、窪み部４５には、チップ部品５０を当接させて、当該チップ部品５０の位置決めを行うための突当面４６が設けられている。そのため、窪み部４５においてチップ部品５０の位置決めを正確に行うことが可能となる。したがって、チップ部品５０と位置決め孔部４８との間の位置が高精度に定まり、嵌入凹部６２に対して、位置ずれのない状態でチップ部品５０を搬送可能となる。
【００５８】
＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。
【００５９】
上述の実施の形態においては、位置決め孔部４８が位置決め手段に対応するものとして説明している。しかしながら、位置決め手段は、位置決め孔部４８には限られず、たとえば突起状の部分であっても良い。なお、位置決め手段が突起状の部分である場合には、固定治具６０には、その突起状の部分を挿入するための孔部（または凹部）が存在する構成となる。
【００６０】
また、上述の実施の形態においては、ヘッド部４２の底面４２ａには、窪み部４５が設けられているものとしている。しかしながら、底面４２ａに凸部を形成し、その凸部で囲まれる部分が、上述した窪み部と同様の機能を果たすものとしても良い。この場合でも、凸部で囲まれた部分は、上述の窪み部に対応する。
【００６１】
また、上述の実施の形態では、ヘッド部４２には、１つの窪み部４５が存在する場合について述べている。しかしながら、ヘッド部４２には、複数の窪み部４５が存在する構成を採用しても良い。また、複数の窪み部４５には、それぞれ、同一のサイズのチップ部品５０を入れ込むものであっても良く、異なるサイズのチップ部品５０を入れ込むものであっても良い。
【００６２】
また、上述の実施の形態では、位置決め孔部４８は、一対設けられている。しかしながら、位置決め孔部は、１つだけ設けるように構成しても良く、３つ以上設ける構成としても良い。なお、位置決め孔部を１つのみ設ける場合、その位置決め孔部の断面形状が、多角形状、長円形状等のような、回転方向の位置が定まる形状とするのが好ましい。
【００６３】
なお、上述の実施の形態では、配管３０等を介して与えられる負圧によって、チップ部品５０を保持する構成としている。しかしながら、たとえばボディ部１０を、注射器のようなピストンおよびシリンダから構成し、ピストンの操作によって負圧を与えてチップ部品５０を吸着保持する構成としても良い。
【符号の説明】
【００６４】
１…チップ保持具、１０…ボディ部、１１…流通路、１２…グリップ部、１３…雌ネジ部、１４…管体挿入部、１５…段差部、１６…テーパ部、２０…配管継手、２１…ネジ部、２２…フランジ部、２３…挿入係止部、２４…継手管路、３０…配管、３１…内管部、４０…吸着ヘッド、４１…管体部、４２…ヘッド部、４２ａ…底面（端面に対応）、４３…切欠部、４４…ヘッド管路、４５…窪み部、４５ａ…凹底部、４６…突当面、４７…ガイド溝部、４８，４８ａ，４８ｂ…位置決め孔部（位置決め手段に対応）、５０…チップ部品、６０…固定治具、６１…突出ピン、６２…嵌入凹部（保持部位に対応）、４４１…大径管路部、４４２…縮径部、４４３…小径部、４４３ａ…開口部、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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