(57)【要約】【課題】実装した際に、振動腕部の振動がパッケージに漏れることを抑制できる圧電振動片、及びそのような圧電振動片を備えた圧電振動子を提供する。【解決手段】本発明の圧電振動片の一つの態様は、幅方向に並んで配置された一対の振動腕部と、一対の振動腕部の間に配置された支持腕部と、一対の振動腕部と支持腕部とが接続された基部と、支持腕部に設けられたマウント部と、を備え、支持腕部の長手方向においいてマウント部と基部との間には溝部が形成されていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
幅方向に並んで配置された一対の振動腕部と、
前記一対の振動腕部の間に配置された支持腕部と、
前記一対の振動腕部と前記支持腕部とが接続された基部と、
前記支持腕部に設けられたマウント部と、
を備え、
前記支持腕部の長手方向において、前記マウント部と前記基部との間には溝部が形成されていることを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記溝部は、前記支持腕部の幅方向の全体にわたって形成されている、請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記溝部の少なくとも一部は、前記マウント部に形成されている請求項１または２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記溝部は、前記支持腕部の根元近傍に形成されている請求項１から３のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記一対の振動腕部には、前記溝部と略同一な深さを有する溝部が形成されている請求項１から４のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記支持腕部の質量は、前記一対の振動腕部のうちの一つの前記振動腕部の質量以上である、請求項１から５のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項７】
ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージと、
前記ベース部材における実装面にマウントされ、前記キャビティ内に収容された請求項１から６のいずれか一項に記載の圧電振動片と、を備えることを特徴とする圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片、及び圧電振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等として水晶等を利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが知られており、例えば、その１つとして、一対の振動腕部の端部を連結する基部から、一対の振動腕部の間に振動腕部と同じ方向に延びる支持腕部を備えた圧電振動片を有するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４２５９８４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような圧電振動片は、支持腕部に設けられたマウント部を介して、パッケージのベース基板上に設置される。そのため、振動腕部の振動がベース基板と接触するマウント部からベース基板に漏れてしまうという問題があった。
【０００５】
本発明の一つの態様は、上記問題点に鑑みて成されたものであって、実装した際に、振動腕部の振動がパッケージに漏れることを抑制できる圧電振動片、及びそのような圧電振動片を備えた圧電振動子を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の圧電振動片の一つの態様は、幅方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部の間に配置された支持腕部と、前記一対の振動腕部と前記支持腕部とが接続された基部と、前記支持腕部に設けられたマウント部と、を備え、前記支持腕部の長手方向において、前記マウント部と前記基部との間には溝部が形成されていることを特徴とする。
【０００７】
前記溝部は、前記支持腕部の幅方向の全体に亘って形成されている構成としてもよい。
【０００８】
前記溝部の少なくとも一部は、前記マウント部に形成されている構成としてもよい。
【０００９】
前記溝部は、前記支持腕部の根元近傍に形成されている構成としてもよい。
【００１０】
前記一対の振動腕部には、前記溝部と略同一な深さを有する溝部が形成されている構成としてもよい。
【００１１】
前記支持腕部の質量は、前記一対の振動腕部のうちの一つの前記振動腕部の質量以上である構成としてもよい。
【００１２】
本発明の圧電振動子の一つの態様は、ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージと、前記ベース部材における実装面にマウントされ、前記キャビティ内に収容された上記の圧電振動片と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の一つの態様によれば、実装した際に、振動腕部の振動がパッケージに漏れることを抑制できる圧電振動片、及びそのような圧電振動片を備えた圧電振動子が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態の圧電振動子を示す分解斜視図である。
【図２】第１実施形態の圧電振動片を示す平面図である。
【図３】第１実施形態の圧電振動片を示す図であって、図２におけるIII−III断面図である。
【図４】第１実施形態の圧電振動片の製造方法を示すフローチャートである。
【図５】第１実施形態の圧電振動片の効果を説明する説明図である。
【図６】第２実施形態の圧電振動片を示す平面図である。
【図７】第３実施形態の圧電振動片を示す平面図である。
【図８】第３実施形態の圧電振動片の効果を説明する説明図である。
【図９】第４実施形態の圧電振動片を示す平面図である。
【図１０】発振器の実施形態の一例を示す図である。
【図１１】電子機器の実施形態の一例を示す図である。
【図１２】電波時計の実施形態の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図を参照しながら、本発明の実施形態に係る圧電振動片、及び圧電振動子について説明する。
なお、本発明の範囲は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせる場合がある。
【００１６】
（第１実施形態）
［圧電振動子］
図１は、本実施形態の圧電振動子１を示す分解斜視図である。
本実施形態の圧電振動子１は、図１に示すように、外形が略直方体状のいわゆるセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。圧電振動子１は、気密に封止されたキャビティＣを有するパッケージ２と、キャビティＣに収容された圧電振動片５０とを備える。
【００１７】
なお、以下の説明においては、ＸＹＺ軸を設定し、このＸＹＺ座標系を参照しつつ各部材の位置関係を説明する。この際、圧電振動片５０（図１参照）の厚み方向と平行な方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向と垂直で、圧電振動子１（図１参照）の長さ方向と平行な方向をＸ軸方向、Ｚ軸方向及びＸ軸方向と垂直で、圧電振動子１の幅方向と平行な方向をＹ軸方向とする。
【００１８】
パッケージ２は、パッケージ本体（ベース部材）３と、封口板（リッド部材）４とを備える。パッケージ本体３は、有底の凹部３ａを有する部材である。封口板４は、パッケージ本体３の凹部３ａの開口を塞いでおり、パッケージ本体３と接合されている。キャビティＣは、パッケージ本体３の凹部３ａの内側に相当する内部空間であり、パッケージ本体３と封口板４とによって、パッケージ２の外部と仕切られている。
【００１９】
パッケージ本体３は、第１ベース基板１０と、第１ベース基板１０上に配置された第２ベース基板１１と、第２ベース基板１１上に配置されたシールリング１２とを含む。
【００２０】
第１ベース基板１０と第２ベース基板１１とは、それぞれ、平面視（ＸＹ面視）において外形が概ね長方形の板状部材である。第２ベース基板１１は、平面視（ＸＹ面視）において外形寸法が第１ベース基板１０とほぼ同じである。
【００２１】
第１ベース基板１０と第２ベース基板１１とは、それぞれ、セラミックス製である。第１ベース基板１０と第２ベース基板１１との形成材料は、例えば、アルミナを主成分とする高温焼成セラミックス（ＨＴＣＣ：Ｈｉｇｈ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）であってもよいし、ガラスセラミックス等の低温焼成セラミックス（ＬＴＣＣ：Ｌｏｗ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）であってもよい。
【００２２】
第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０に重ねられており、第１ベース基板１０と焼結などで結合されている。すなわち、第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０と一体化されている。第２ベース基板１１において、第１ベース基板１０と反対を向く面は、パッケージ本体３の凹部３ａの底面に相当し、圧電振動片５０がマウントされる実装面１１ａである。
【００２３】
シールリング１２は、平面視（ＸＹ面視）で矩形状の枠状部材であり、パッケージ本体３の凹部３ａの側壁を含む。シールリング１２は、平面視（ＸＹ面視）における外形寸法が、第２ベース基板１１よりも一回り小さい。シールリング１２は、銀ロウ等のロウ材や半田材等を用いた焼付けによって、実装面１１ａに接合されている。シールリング１２は、実装面１１ａ上に形成された金属接合層に対する溶着等によって、実装面１１ａと接合されていてもよい。この金属接合層は、電解メッキ法、無電解メッキ法、蒸着法、スパッタ法の少なくとも１つを用いて形成されていてもよい。
【００２４】
シールリング１２は、導電性の部材であり、例えば、ニッケル基合金を含む。このニッケル基合金は、コバール、エリンバー、インバー、４２−アロイのうち１種または２種以上を含んでいてもよい。シールリング１２の形成材料は、第１ベース基板１０及び第２ベース基板１１と熱膨張係数が近い材料から選択されていてもよい。例えば、第１ベース基板１０及び第２ベース基板１１の形成材料として、熱膨張係数が６．８×１０-6／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング１２の形成材料は、熱膨張係数が５．２×１０-6／℃のコバールであってもよいし、熱膨張係数が４．５〜６．５×１０-6／℃の４２−アロイであってもよい。
【００２５】
封口板４は、シールリング１２上に重ねられており、シールリング１２の開口（凹部３ａの開口）を塞いでいる。上述のキャビティＣは、第２ベース基板１１とシールリング１２と封口板４とに囲まれる空間である。すなわち、圧電振動片５０は、平面視（ＸＹ面視）で、シールリング１２の内側に収容されている。
【００２６】
封口板４は、導電性の基板であり、シールリング１２と接合されている。シールリング１２は、例えば、ローラ電極を接触させることによるシーム溶接、レーザ溶接、超音波溶接などの溶接によって、封口板４と接合される。封口板４とシールリング１２とを溶接する場合に、封口板４の下面（−Ｚ側の面）とシールリング１２の上面（＋Ｚ側の面）との一方または双方にニッケル、金等の接合層が設けられていると、溶接による接合の信頼性が向上し、例えば、キャビティＣの気密性を確保しやすくなる。
【００２７】
シールリング１２の内側における第２ベース基板１１の実装面１１ａ上には、電極パッド１４及び電極パッド１５が設けられている。電極パッド１４と電極パッド１５とは、圧電振動片５０と電気的に接続される一対の端子である。電極パッド１４及び電極パッド１５は、例えば、バンプ電極である。
【００２８】
詳しくは後述するが、圧電振動片５０には、基板実装用のマウント部１６及びマウント部１７が設けられている。電極パッド１４は、圧電振動片５０のマウント部１６に形成されたマウント電極と電気的に接続され、電極パッド１５は、圧電振動片５０のマウント部１７に形成されたマウント電極と電気的に接続される。
【００２９】
第１ベース基板１０の下方側（−Ｚ側）の面には、外部電極１８及び外部電極１９が設けられている。
外部電極１８及び外部電極１９は、圧電振動子１の外部のデバイス、例えば、圧電振動子１が実装されるデバイスからの電力の供給を受ける端子である。
【００３０】
パッケージ本体３には、電極パッド１４と外部電極１８とを電気的に接続する第１配線（図示せず）と、電極パッド１５と外部電極１９とを電気的に接続する第２配線（図示せず）とが設けられている。すなわち、外部電極１８に印加された電位は、第１配線および電極パッド１４を介して、圧電振動片５０のマウント部１６に形成されたマウント電極に印加される。また、外部電極１９に印加された電位は、第２配線及び電極パッド１５を介して、圧電振動片５０のマウント部１７に形成されたマウント電極に印加される。圧電振動片５０は、各マウント電極に供給される電力によって、振動する。
【００３１】
なお、第１配線は、例えば、第１ベース基板１０を厚み方向（Ｚ軸方向）に貫通して外部電極１８と導通する第１貫通電極と、第２ベース基板１１を厚み方向（Ｚ軸方向）に貫通して電極パッド１４と導通する第２貫通電極と、第１ベース基板１０と第２ベース基板との間に設けられ、第１貫通電極と第２貫通電極とを電気的に接続する接続配線とを含む。電極パッド１５と外部電極１９とを電気的に接続する第２配線は、第１配線と同様の構成である。第１配線と第２配線の構成は、適宜変更できる。
【００３２】
［圧電振動片］
次に、本実施形態の圧電振動片５０について説明する。
図２及び図３は、本実施形態の圧電振動片５０を示す図である。図２は、平面図（ＸＹ面図）である。図３は、図２におけるIII−III断面図である。
圧電振動片５０は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電体に、電極あるいは配線として機能する導電膜パターンなどの付帯物が形成された板状の部品である。本実施形態の圧電振動片５０は、いわゆるセンターアーム型の圧電振動片である。
【００３３】
圧電振動片５０は、図２に示すように、幅方向（Ｙ軸方向）に並んで配置された一対の振動腕部２０（振動腕部２３，２４）と、一対の振動腕部２０の間に配置された支持腕部２１と、一対の振動腕部２０と支持腕部２１とが接続された基部２２と、支持腕部２１に設けられたマウント部１６，１７とを備える。本実施形態において、一対の振動腕部２０と支持腕部２１と基部２２とは、一体的に形成されており、隣接する各部が界面なく連続している。図２においては、各部の範囲を示すために、各部の基端あるいは先端を２点鎖線で示している。
【００３４】
基部２２は、支持腕部２１と振動腕部２０（振動腕部２３，２４）とを接続している。
基部２２は、図２に示すように、支持腕部２１の長さ方向と交差する方向（Ｙ軸方向）に延びている。基部２２は、平面視（ＸＹ面視）で外形が矩形状である。
【００３５】
基部２２の図示右側（＋Ｘ側）における図示上側（＋Ｙ側）の端部には、振動腕部２３が接続されている。基部２２の図示右側（＋Ｘ側）における図示下側（−Ｙ側）の端部には、振動腕部２４が接続されている。基部２２の図示右側（＋Ｘ側）における中央部には、支持腕部２１が接続されている。
【００３６】
一対の振動腕部２０は、図２に示すように、振動腕部２３と振動腕部２４とを含む。
振動腕部２３，２４は、それぞれ長さ方向の一方側（−Ｘ側）の端部で基部２２と接続されている。振動腕部２３と振動腕部２４とは、圧電振動片５０の幅方向（Ｙ軸方向）における中心を通り、長さ方向（Ｘ軸方向）に平行な線に対して、線対称に設けられている。振動腕部２３と振動腕部２４とは、形状及び寸法が同一であるため、以下の説明においては、代表して、振動腕部２３についてのみ説明する場合がある。
【００３７】
振動腕部２３は、略均一な幅で直線的に延びる帯状部２５と、幅（Ｙ軸方向長さ）が帯状部２５よりも広いハンマー部２６とを備える。同様にして、振動腕部２４は、帯状部２９と、ハンマー部３０とを備える。なお、ここでは振動腕部２３がハンマー部３０を有する構成について説明しているが、本発明の実施形態はこれに限られるものではなく、ハンマー部を有さないタイプであってもよい。
【００３８】
振動腕部２３の帯状部２５は、基部２２から、圧電振動子１の長さ方向（Ｘ軸方向）に沿って、支持腕部２１と同じ側（＋Ｘ側）に直線的に延びている。すなわち、帯状部２５（振動腕部２３）の長さ方向は、圧電振動子１の長さ方向（Ｘ軸方向）とほぼ平行であり、支持腕部２１の長さ方向（Ｘ軸方向）ともほぼ平行である。
【００３９】
帯状部２５には、溝部（振動腕部の溝部）２７が形成されている。溝部２７は、振動腕部２３の長さ方向（Ｘ軸方向）とほぼ平行に延びている。溝部２７は、図３に示すように、圧電振動片５０の表面（＋Ｚ側の面，他面）５０ａ及び裏面（−Ｚ側の面，一面）５０ｂに形成されており、その深さ方向が圧電振動片５０の厚さ方向（Ｚ軸方向）とほぼ平行である。同様にして、振動腕部２４の帯状部２９には、溝部（第２溝部）２８が形成されている。
【００４０】
ハンマー部２６は、帯状部２５における基部２２と接続されている側と逆側（＋Ｘ側）の端部に設けられている。同様にして、ハンマー部３０は、帯状部２９における基部２２と接続されている側と逆側（＋Ｘ側）の端部に設けられている。
【００４１】
振動腕部２３の表面には、図３に示すように、励振電極３２と、励振電極３３とが形成されている。
励振電極３２は、溝部２７における振動腕部２３の表面と、溝部２７の周囲における振動腕部２３の表面とに連続して形成されている。励振電極３２は、基部２２及び支持腕部２１に設けられた引き出し電極（図示せず）を介して、後述するマウント部１６に形成されたマウント電極と電気的に接続されている。すなわち、励振電極３２は、図１に示した外部電極１８と電気的に接続されている。
【００４２】
励振電極３３は、励振電極３２と不連続に形成されており、励振電極３２と絶縁である。励振電極３３は、振動腕部２３のうち、圧電振動片５０の表面５０ａと、圧電振動片５０の表面５０ａと交差する側面（Ｙ軸方向に垂直な面）と、圧電振動片５０の裏面５０ｂとに連続して形成されている。
励振電極３３は、基部２２及び支持腕部２１に設けられた引き出し電極（図示せず）を介して、後述するマウント部１７に形成されたマウント電極と電気的に接続されている。すなわち、励振電極３３は、図１に示した外部電極１９と電気的に接続されている。
【００４３】
励振電極３２及び励振電極３３は、外部電極１８及び外部電極１９から電力の供給を受けて、振動腕部２３を構成する圧電体に電界を印加する。振動腕部２３は、励振電極３２及び励振電極３３から電界が印加されると、支持腕部２１に近づく向きと離れる向きとに、基部２２との接続端を起点として振動する。
【００４４】
振動腕部２４の表面には、励振電極３４と、励振電極３５とが形成されている。
励振電極３４は、振動腕部２３における励振電極３３に対応する位置に形成されている。励振電極３４は、基部２２及び支持腕部２１に設けられた引き出し電極（図示せず）を介して、後述するマウント部１６に形成されたマウント電極と電気的に接続されている。
【００４５】
励振電極３５は、振動腕部２３における励振電極３２に対応する位置に形成されている。励振電極３５は、基部２２及び支持腕部２１に設けられた引き出し電極（図示せず）を介して、後述するマウント部１７に形成されたマウント電極と電気的に接続されている。
【００４６】
振動腕部２４は、振動腕部２３と同様に、外部電極１８及び外部電極１９から供給される電力によって、励振電極３２及び励振電極３３から振動腕部を構成する圧電体に電界が印加され、支持腕部２１に近づく向きと離れる向きとに、基部２２との接続端を起点として振動する。
【００４７】
支持腕部２１は、平面視（ＸＹ面視）で外形が矩形状であり、その長さ方向が圧電振動子１の長さ方向（Ｘ軸方向）とほぼ平行である。支持腕部２１は、基部２２から、圧電振動子１の長さ方向（Ｘ軸方向）に沿って、振動腕部２０と同じ側（＋Ｘ側）に直線的に延びている。本実施形態において、支持腕部２１の質量は、一対の振動腕部２０のうちの一つの振動腕部２３，２４の質量以上である。本実施形態では、振動腕部２３と振動腕部２４とは、形状及び寸法が同一であるため、質量が同一である。したがって、支持腕部２１の質量は、振動腕部２３，２４のいずれか一方の質量以上である。
【００４８】
支持腕部２１には、図３に示すように、表面溝部（溝部）４０ａと、裏面溝部（溝部）４０ｂとが形成されている。なお、ここでは表面と裏面の両面に溝部がある形態について説明しているが、溝部は表面と裏面のいずれか一方にあればよい。
表面溝部４０ａと裏面溝部４０ｂとは、図２に示すように、支持腕部２１の長さ方向（Ｘ軸方向）のマウント部１６（マウント部１７）と基部２２との間に形成されている。本実施形態においては、表面溝部４０ａと裏面溝部４０ｂとは、支持腕部２１における基部２２側（−Ｘ側）の端部近傍（根元近傍）に形成されている。
【００４９】
ここで、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂが、支持腕部２１の長さ方向（Ｘ軸方向）のマウント部１６と基部２２との間に形成されている、とは、支持腕部２１における、支持腕部２１の長さ方向（Ｘ軸方向）に関して、少なくともマウント部１６と基部２２との間に溝が形成されていることを意味し、該溝が、支持腕部２１の長さ方向（Ｘ軸方向）のマウント部１６と基部２２との間以外の範囲まで伸びていることも許容される。
すなわち、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂが、支持腕部２１の長さ方向（Ｘ軸方向）のマウント部１６と基部２２との間に形成されている、とは、例えば、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂが、支持腕部２１の長さ方向（Ｘ軸方向）におけるマウント部１６，１７よりも基部２２側（−Ｘ側）から、マウント部１６，１７よりも先端側（＋Ｘ側）まで形成されているような場合も含むものとする。
【００５０】
表面溝部４０ａは、圧電振動片５０の表面５０ａに形成されている。裏面溝部４０ｂは、圧電振動片５０の裏面５０ｂに形成されている。表面溝部４０ａと裏面溝部４０ｂとは、本実施形態においては、平面視（ＸＹ面視）において、矩形状であり、互いに重なるようにして設けられている。表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂの平面視（ＸＹ面視）における大きさは、特に限定されない。
【００５１】
図３に示すように、本実施形態においては、表面溝部４０ａと裏面溝部４０ｂとの深さＴ２は、振動腕部２０に形成された溝部２７，２８の深さＴ１と同一である。
ここで、本明細書において「同一である」とは、正確に同一でなくてもよく、例えば、深さＴ１と深さＴ２との比が０．９以上、１．１以下程度の比率である範囲を含むものとする。他の種々の寸法についても同様である。
【００５２】
表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂの深さとしては、例えば、圧電振動片５０の厚みが９０μｍ以上、１５０μｍ以下程度である場合、３０μｍ以上、７２μｍ以下程度である。
【００５３】
マウント部１６，１７は、図２に示すように、支持腕部２１における裏面５０ｂ側に、支持腕部２１の長さ方向（Ｘ軸方向）に沿って、並んで設けられている。マウント部１６は、マウント部１７よりも基部２２側（−Ｘ側）に設けられている。
【００５４】
マウント部１６には、マウント電極（図示せず）が形成されている。マウント部１６に形成されたマウント電極は、図１に示した電極パッド１４と電気的に接続される。例えば、マウント部１６が電極パッド１４と導電性接着剤を介して接触することで、マウント部１６に形成されたマウント電極は、電極パッド１４と導通する。
【００５５】
同様にして、マウント部１７には、マウント電極（図示せず）が形成されている。マウント部１７に形成されたマウント電極は、マウント部１６と同様にして、電極パッド１５と電気的に接続される。
【００５６】
なお、マウント部１６は、電極パッド１４と導電性接着剤を介することなく直接的に接触していてもよい。また、マウント部１６と電極パッド１４との電気的な接続には、バンプ電極以外の接続方法が用いられていてもよい。
【００５７】
［圧電振動片の製造方法］
次に、本実施形態の圧電振動片５０の製造方法について説明する。
図４は、圧電振動片５０の製造方法を示すフローチャートである。
【００５８】
図４に示すように、まずポリッシングが終了し、所定の厚みに高精度に仕上げられたウエハを準備する（Ｓ１）。次いで、このウエハをフォトリソグラフィー技術によってエッチングして、該ウエハに複数の圧電振動片５０の外形形状を形成する外形形成工程を行う（Ｓ２）。この工程について、具体的に説明する。
【００５９】
まず、ウエハの両面にエッチング保護膜をそれぞれ成膜する（Ｓ２ａ）。このエッチング保護膜としては、例えば、クロム（Ｃｒ）を数μｍ成膜する。次いで、エッチング保護膜上にフォトレジスト膜を、フォトリソグラフィー技術によってパターニングする。この際、図２に示す、支持腕部２１と、基部２２と、一対の振動腕部２３，２４とを備える圧電振動片５０の周囲を囲むような形状にパターニングする。そして、このフォトレジスト膜をマスクとしてエッチング加工を行い、マスクされていないエッチング保護膜を選択的に除去する。そして、エッチング加工後にフォトレジスト膜を除去する。
【００６０】
これにより、圧電振動片５０の外形形状、すなわち、支持腕部２１、基部２２及び一対の振動腕部２３，２４の外形形状に沿ってパターニングされた、エッチング保護膜が形成される（Ｓ２ｂ）。この際、製造する圧電振動片５０の数だけパターニングを行う。
【００６１】
次いで、パターニングされたエッチング保護膜をマスクとして、ウエハの両面をそれぞれエッチング加工する（Ｓ２ｃ）。これにより、エッチング保護膜でマスクされていない領域を選択的に除去して、圧電振動片５０の外形形状を形作ることができる。
以上により、外形形成工程（Ｓ２）が終了し、圧電振動片５０の外形形状を有する圧電板が複数形成される。
【００６２】
続いて、図２に示す一対の振動腕部２３，２４の主面上に溝部２７，２８を形成するとともに、支持腕部２１の主面上に表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂを形成する溝部形成工程を行う（Ｓ３）。具体的には、前述した外形形成時と同様に、パターニングされたエッチング保護膜上にフォトレジスト膜を成膜する。そして、フォトリソグラフィー技術によって、溝部２７，２８、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂの領域を空けるようにフォトレジスト膜をパターニングする。そして、パターニングされたフォトレジスト膜をマスクとしてエッチング加工を行い、エッチング保護膜を選択的に除去する。その後、フォトレジスト膜を除去することで、既にパターニングされたエッチング保護膜を、溝部２７，２８、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂの領域を空けた状態でさらにパターニングすることができる。
【００６３】
次いで、この再度パターニングされたエッチング保護膜をマスクとして、ウエハをエッチング加工した後、マスクとしていたエッチング保護膜を除去する。これにより、一対の振動腕部２３，２４の主面上に溝部２７，２８を形成するとともに、支持腕部２１の主面上に表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂを形成することができる。
なお、複数の圧電板は、後に行う切断工程を行うまで、連結部を介してウエハに連結された状態となっている。
【００６４】
次いで、マスクを通した露光を行うことで、複数の圧電板の外表面上に電極膜をパターニングして、励振電極３２，３３，３４，３５、マウント電極及び引き出し電極をそれぞれ形成する電極形成工程を行う（Ｓ４）。この工程について、詳細に説明する。
【００６５】
電極形成工程では、まず、圧電板の外表面に電極膜を、蒸着やスパッタリング等により成膜する（Ｓ４ａ）。成膜する電極膜としては、たとえば、前述した、クロムと金の積層構造とすることができる。
【００６６】
次に、電極膜上にフォトレジスト膜を成膜するフォトレジスト膜形成工程を行う（Ｓ４ｂ）。このフォトレジストは紫外光に感光感度を持つ樹脂をベースとした化合物であり、本実施形態ではポジ型のフォトレジストを採用している。
この工程により、電極膜上にフォトレジスト膜が形成される。
【００６７】
続いて、励振電極３２，３３，３４，３５、マウント電極及び引き出し電極の形成領域以外の領域が開口したフォトマスクにより、フォトレジスト膜に対して紫外光を露光する露光工程を行う（Ｓ４ｃ）。この工程により、電極膜を残しておきたい部分が、フォトレジスト膜によって被膜されるように、フォトレジスト膜がパターニングされる。
露光条件としては、たとえば、露光量が積算量で９００Ｊｍ／ｃｍ2とできる。
【００６８】
露光後、現像液により不要部分を除去して加熱工程等を経てフォトレジスト膜を固化させる（Ｓ４ｄ）。そして、メタルエッチング（Ｓ４ｅ）により、電極形成部分に対応する形状のフォトレジスト膜によるフォトレジストパターンを形成する。こうして、フォトレジスト膜を除去することによって（Ｓ４ｆ）、励振電極３２，３３，３４，３５、マウント電極及び引き出し電極を形成して電極形成工程（Ｓ４）を終了する。
【００６９】
最後に、ウエハと複数の圧電板とを連結していた連結部を切断して、複数の圧電板をウエハから切り離して小片化する切断工程を行う（Ｓ５）。これにより、１枚のウエハから、センターアーム型の圧電振動片５０を一度に複数製造することができる。この時点で、圧電振動片５０の製造工程が終了し、図２に示す圧電振動片５０を得る。
【００７０】
本実施形態の圧電振動片５０によれば、支持腕部２１における、支持腕部２１の長さ方向（Ｘ軸方向）のマウント部１６と基部２２との間に表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂが形成されている。そのため、基部２２を介して、振動腕部２３，２４から支持腕部２１に伝わる振動が、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂが形成されている箇所において減衰される。したがって、本実施形態によれば、マウント部１６及びマウント部１７が設けられている位置に伝わる振動が減衰され、圧電振動片５０をパッケージ２に実装した際に、振動腕部２０の振動が、第２ベース基板１１と接触するマウント部１６及びマウント部１７から、パッケージ２に漏れることを抑制できる。なお、上述したように支持腕部２１の表面と裏面の少なくとも一方に溝部が形成されていればよいので、例えば表面溝部４０ａのみを設ける場合であっても、同様の効果を得ることが可能である。
【００７１】
また、本実施形態の圧電振動子１によれば、上記の圧電振動片５０が実装されているため、圧電振動片５０の振動がパッケージ２に漏れることを抑制でき、信頼性に優れた圧電振動子が得られる。
【００７２】
また、本実施形態の圧電振動片５０によれば、振動腕部２３，２４が振動する際に、振動腕部２３，２４が支持腕部２１と接触することを抑制することができる。以下、詳細に説明する。
【００７３】
図５は、本実施形態の圧電振動片５０の効果を説明する断面図である。
本実施形態のようなセンターアーム型の圧電振動片においては、一対の振動腕部の間に支持腕部が配置されているため、振動腕部が振動する際に、振動腕部が支持腕部と接触してしまう虞があった。
【００７４】
これに対して、本実施形態によれば、支持腕部２１に表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂが形成されているため、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂが形成されている箇所において曲げ剛性が低くなる。そのため、図５に示すように、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂが形成されている支持腕部２１の箇所を支点として、圧電振動片５０が曲げ変形しやすい。より詳細には、基部２２が支持腕部２１に対して第２ベース基板１１に接近する向き（−Ｚ向き）に傾き、これに伴って、振動腕部２０の先端が支持腕部２１に対して第２ベース基板１１から離間する向き（＋Ｚ向き）に傾く。これにより、第２ベース基板１１の実装面１１ａに対する振動腕部２０の傾きと支持腕部２１の傾きとが異なる状態となる。すなわち、側面視（ＺＸ面視）において、振動腕部２０と支持腕部２１との厚み方向（Ｚ軸方向）の位置が互いにずれた状態となる。したがって、振動腕部２０が幅方向（Ｙ軸方向）に振動する際に、振動腕部２０と支持腕部２１とが接触することを抑制できる。なお、支持腕部２１の表面、裏面の少なくとも一方における根元付近に溝を形成した場合は、圧電振動片５０の曲げ変形度合いをより大きくすることができる。即ち、支持腕部２１に対する振動腕部２０の変位をより大きくすることが可能になる、
【００７５】
また、本実施形態の圧電振動片５０によれば、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂの深さＴ２が、振動腕部２３，２４に形成された溝部２７，２８の深さＴ１と略同一である。各溝部をエッチングによって形成する場合においては、エッチングする時間に応じて、形成する各溝部の深さが決定される。そのため、各溝部をエッチングによって形成する場合において、溝部２７，２８を形成するためのエッチングに要する時間と、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂを形成するためのエッチングに要する時間とが略同一となる。したがって、本実施形態によれば、溝部２７，２８と、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂとを同一工程（Ｓ３，図４参照）で同時に形成することができ、簡便である。
【００７６】
また、本実施形態においては、支持腕部２１の質量が、一対の振動腕部２０のうちの一つの振動腕部２３，２４の質量以上である。支持腕部２１の質量を大きくとることで、振動腕部２０で生じた振動が支持腕部２１へ伝播することをより効果的に低減できる。
【００７７】
なお、本実施形態においては、下記の構成を採用することもできる。
【００７８】
上記実施形態においては、圧電振動片５０の表面５０ａと裏面５０ｂとの両方に、各溝部（表面溝部４０ａ，裏面溝部４０ｂ）が形成されているが、これに限られない。本実施形態においては、例えば、表面５０ａと裏面５０ｂとのうちいずれか一方のみに溝部が形成されているような構成としてもよい。
【００７９】
また、本実施形態においては、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂの深さＴ２が、それぞれ異なるような構成としてもよい。
【００８０】
また、本実施形態においては、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂの平面視形状は、矩形状であるが、これに限られない。表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂの平面視形状は、円形状であっても、その他の形状であってもよい。
【００８１】
また、本実施形態においては、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂは、側面（ＺＸ面）に開口しないで形成されているが、これに限られない。本実施形態においては、例えば、表面溝部４０ａ及び裏面溝部４０ｂは、圧電振動子１の幅方向（Ｙ軸方向）における一方の端部、または両方の端部において開口するように形成されてもよい。
【００８２】
また、本実施形態においては、圧電振動片５０を用いた圧電振動子１として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明したが、圧電振動片５０を、ガラス材によって形成されるベース基板およびリッド基板が陽極接合によって接合されるガラスパッケージタイプの圧電振動子に適用することも可能である。
【００８３】
（第２実施形態）
第２実施形態の圧電振動片は、第１実施形態の圧電振動片５０に対して、各溝部が支持腕部の幅方向全体に亘って形成されている点において異なる。
なお、以下の説明においては、上記実施形態と同様の構成については、同一の符号を付す等により、説明を省略する場合がある。
【００８４】
図６は、本実施形態の圧電振動片１５０を示す平面図である。
本実施形態の圧電振動片１５０は、図６に示すように、一対の振動腕部２０と、支持腕部１２１と、基部２２と、マウント部１１６，１１７とを備える。
【００８５】
支持腕部１２１には、表面溝部１４０ａと、裏面溝部１４０ｂとが形成されている。表面溝部１４０ａは、圧電振動片１５０の表面１５０ａに形成されている。裏面溝部１４０ｂは、圧電振動片１５０の裏面１５０ｂに形成されている。
表面溝部１４０ａ及び裏面溝部１４０ｂは、それぞれ支持腕部１２１の幅方向（Ｙ軸方向）の全体に亘って形成されている。すなわち、表面溝部１４０ａ及び裏面溝部１４０ｂは、圧電振動子１の幅方向（Ｙ軸方向）の両端部において、圧電振動片５０の側面（ＺＸ面）に開口している。表面溝部１４０ａと裏面溝部１４０ｂとは、平面視（ＸＹ面視）で、互いに全体が重なるように形成されている。
【００８６】
本実施形態によれば、表面溝部１４０ａ及び裏面溝部１４０ｂが、それぞれ支持腕部１２１の幅方向（Ｙ軸方向）の全体に亘って形成されているため、支持腕部１２１における表面溝部１４０ａ及び裏面溝部１４０ｂが形成されている箇所の曲げ剛性が、第１実施形態に対して、より小さくなる。これにより、本実施形態によれば、圧電振動片１５０を第２ベース基板１１上に設置した際に、圧電振動片１５０がより曲げ変形しやすく、振動腕部２０が支持腕部１２１と接触することを、より抑制できる。
【００８７】
（第３実施形態）
第３実施形態の圧電振動片は、第１実施形態の圧電振動片５０に対して、裏面溝部の形成されている位置が異なる。
なお、以下の説明においては、上記実施形態と同様の構成については、同一の符号を付す等により、説明を省略する場合がある。
【００８８】
図７は、本実施形態の圧電振動片２５０を示す平面図である。
本実施形態の圧電振動片２５０は、図７に示すように、一対の振動腕部２０と、支持腕部２２１と、基部２２と、マウント部２１６，２１７とを備える。
【００８９】
支持腕部２２１には、表面溝部２４０ａと、裏面溝部２４０ｂとが形成されている。表面溝部２４０ａ及び裏面溝部２４０ｂの平面視（ＸＹ面視）における形状は、矩形状である。
表面溝部２４０ａは、圧電振動片２５０の表面２５０ａに形成されている。支持腕部２２１における表面溝部２４０ａが形成されている位置は、第１実施形態の表面溝部４０ａと同様である。
【００９０】
裏面溝部２４０ｂは、圧電振動片２５０の裏面２５０ｂに形成されている。裏面溝部２４０ｂの一部は、マウント部２１６に形成されている。言い換えると、裏面溝部２４０ｂの一部は、マウント部２１６の一部と平面視（ＸＹ面視）において重なっている。
すなわち、裏面溝部２４０ｂの少なくとも一部がマウント部２１６に形成されているとよい。これに伴って、マウント部２１６に形成されているマウント電極は、裏面溝部２４０ｂの底面に形成されている。
【００９１】
本実施形態によれば、裏面溝部２４０ｂの一部がマウント部２１６の一部に形成されているため、圧電振動片２５０を第２ベース基板１１の実装面１１ａ上に設置した際に、接着強度を向上できる。以下、詳細に説明する。
【００９２】
図８は、本実施形態の圧電振動片２５０を第２ベース基板１１の実装面１１ａに実装した状態を示す断面図である。
図８に示すように、例えば、本実施形態においては電極パッド１４，１５とマウント部２１６，２１７とが、導電性接着剤６０を介して接着される。ここで、マウント部２１６の一部には、裏面溝部２４０ｂが形成されているため、導電性接着剤６０は、裏面溝部２４０ｂ内に入り込む。これにより、本実施形態によれば、導電性接着剤６０が支持腕部２２１と接触する面積を、裏面溝部２４０ｂの内壁の分だけ大きくすることができ、圧電振動片２５０と、第２ベース基板１１との接着をより強固なものとすることができる。
【００９３】
（第４実施形態）
第４実施形態の圧電振動片は、表面溝部及び裏面溝部が、それぞれ複数個ずつ形成されている点において異なる。
なお、以下の説明においては、上記実施形態と同様の構成については、同一の符号を付す等により、説明を省略する場合がある。
【００９４】
図９は、本実施形態の圧電振動片３５０を示す平面図である。
本実施形態の圧電振動片３５０は、図９に示すように、一対の振動腕部２０と、支持腕部３２１と、基部２２と、マウント部３１６，３１７とを備える。
【００９５】
支持腕部３２１には、表面溝部３４０ａ，３４１ａ，３４２ａと、裏面溝部３４０ｂ，３４１ｂ，３４２ｂとが、それぞれ、支持腕部３２１の長さ方向（Ｘ軸方向）に並んで形成されている。
各表面溝部は、圧電振動片３５０の表面３５０ａに形成されている。各裏面溝部は、圧電振動片３５０の裏面３５０ｂに形成されている。各表面溝部と各裏面溝部とは、それぞれ平面視（ＸＹ面視）において、互いに重なって形成されている。
【００９６】
表面溝部３４０ａ及び裏面溝部３４０ｂは、本実施形態においては、それぞれ３つずつ形成されている。表面溝部３４０ａ及び裏面溝部３４０ｂは、支持腕部３２１の長さ方向（Ｘ軸方向）のマウント部３１６と基部２２との間に形成されている。裏面溝部３４０ｂのうち、最も基部２２から離間する側（＋Ｘ側）に形成された裏面溝部３４０ｂの一部は、マウント部３１６の一部に形成されている。
【００９７】
表面溝部３４１ａ及び裏面溝部３４１ｂは、支持腕部３２１の長さ方向（Ｘ軸方向）のマウント部３１６とマウント部３１７との間に形成されている。裏面溝部３４１ｂの一部は、マウント部３１７の一部に形成されている。
表面溝部３４２ａ及び裏面溝部３４２ｂは、マウント部３１７よりも支持腕部３２１の先端側（＋Ｘ側）に形成されている。裏面溝部３４２ｂの一部は、マウント部３１７の一部に形成されている。
【００９８】
本実施形態によれば、支持腕部３２１の長さ方向（Ｘ軸方向）のマウント部３１６と基部２２との間に、複数の表面溝部３４０ａ及び裏面溝部３４０ｂが形成されているため、マウント部３１６に伝わる振動をより減衰することができる。
【００９９】
また、本実施形態によれば、支持腕部３２１の長さ方向（Ｘ軸方向）のマウント部３１６とマウント部３１７との間に、表面溝部３４１ａ及び裏面溝部３４１ｂが形成されているため、複数の表面溝部３４０ａ及び裏面溝部３４０ｂによって減衰された振動をさらに減衰させることができ、マウント部３１７に伝わる振動をより減衰することができる。
【０１００】
また、本実施形態によれば、複数の表面溝部及び裏面溝部が形成されていることにより、支持腕部３２１の質量を容易に小さくすることができ、圧電振動片３５０の軽量化が容易である。
【０１０１】
また、本実施形態によれば、裏面溝部３４０ｂのうちの一部が、マウント部３１６の一部に形成され、裏面溝部３４１ｂ及び裏面溝部３４２ｂの一部が、マウント部３１７の一部に形成されているため、より圧電振動片３５０と、第２ベース基板１１との接着強度を強固なものにすることができる。
【０１０２】
なお、本実施形態においては、複数の表面溝部及び裏面溝部が、支持腕部３２１の長さ方向（Ｘ軸方向）に並んで形成されているが、これに限られない。本実施形態においては、例えば、複数の表面溝部及び裏面溝部が、支持腕部３２１の幅方向（Ｙ軸方向）に並んで形成されていてもよい。
【０１０３】
なお、上記説明した第１実施形態から第４実施形態の圧電振動片においては、表面溝部及び裏面溝部がそれぞれ１つずつ、または５つずつ設けられている例について説明したが、これに限られない。本発明の圧電振動片の一つの態様においては、表面溝部及び裏面溝部が、それぞれ２つ以上、４つ以下ずつ設けられていてもよいし、６つ以上ずつ設けられていてもよい。
【０１０４】
また、本発明の圧電振動片の一つの態様においては、表面溝部と裏面溝部とで、形成されている数、平面視における形状及び大きさ、形成されている位置等が、それぞれ異なっていてもよい。
【０１０５】
（圧電振動子を備える機器の実施形態）
［発振器］
次に、圧電振動子１を備える本実施形態の発振器について説明する。
図１０は、本実施形態の発振器１０００を示す図である。
発振器１０００は、基板１０１０と、集積回路１０２０と、電子部品１０３０と、圧電振動子１とを備える。
電子部品１０３０は、例えば、キャパシタなどであり、基板１０１０に実装されている。集積回路１０２０は、発振器用であり、基板１０１０に実装されている。
【０１０６】
集積回路１０２０は、圧電振動子１と電子部品１０３０とのそれぞれと、図示略の配線を介して電気的に接続されている。圧電振動子１は、例えば、基板１０１０において集積回路１０２０の近傍に実装される。圧電振動子１は、図１などを参照して上記説明した実施形態の圧電振動子であり、発振子として機能する。発振器１０００の少なくとも一部は、適宜、図示しない樹脂によりモールドされていてもよい。
【０１０７】
発振器１０００は、圧電振動子１に電力が供給されると、圧電振動子１の圧電振動片が振動する。圧電振動片の振動は、圧電振動片が有する圧電特性により、電気信号へ変換される。この電気信号は、圧電振動子１から集積回路１０２０へ出力される。集積回路１０２０は、圧電振動子１から出力された電気信号に各種処理を実行することで、周波数信号を生成する。
【０１０８】
発振器１０００は、例えば、時計用の単機能発振器、コンピューターなどの各種装置の動作タイミングを制御するタイミング制御装置、時刻あるいはカレンダーなどを提供する装置などに応用できる。集積回路１０２０は、発振器１０００に要求される機能に応じて構成され、いわゆるＲＴＣ（リアルタイムクロック）モジュールを含んでいてもよい。
【０１０９】
本実施形態によれば、圧電振動子１を備えているため、上述したのと同様にして、信頼性に優れた発振器１０００が得られる。
【０１１０】
［電子機器］
次に、圧電振動子１を備える本実施形態の電子機器の一つの形態として、携帯情報機器について説明する。
この携帯情報機器は、腕時計のような形態であり、一般的な携帯電話よりも格段に小型かつ軽量であるが、携帯電話と同様の通信が可能である。この携帯情報機器は、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイなどの表示部が配置されており、表示部に時刻情報などを表示可能である。また、この携帯情報機器は、バンドの内側部分にスピーカ、マイクロフォンなどの入出力部が設けられており、入出力部を利用して通話などが可能である。
【０１１１】
図１１は、本実施形態の携帯情報機器１１００の一例を示す図である。
図１１に示す携帯情報機器１１００は、計時部１１１０と、表示部１１２０と、通信部１１３０と、制御部１１４０と、電源部１１５０と、電圧検出部１１６０と、電源遮断部１１７０とを備える。
【０１１２】
制御部１１４０は、携帯情報機器１１００の各部を総括的に制御する。例えば、制御部１１４０は、計時部１１１０による時刻の計測、表示部１１２０による情報の表示、通信部１１３０による外部との通信などを制御する。制御部１１４０は、例えば、予めプログラムが書き込まれたＲＯＭと、このＲＯＭに書き込まれたプログラムを読み出し、このプログラムに従って各種処理を実行するＣＰＵと、このＣＰＵのワークエリアとして使用されるＲＡＭとを含む。
【０１１３】
計時部１１１０は、集積回路と、圧電振動子１とを備える。この集積回路は、発振回路と、レジスタ回路と、カウンタ回路と、インターフェース回路とを含む。圧電振動子１は、上記説明した実施形態に係る圧電振動子である。圧電振動子１は、電力の供給を受けて圧電振動片が振動し、この振動を、圧電振動片が有する圧電特性に応じた電気信号に変換する。圧電振動子１から出力された電気信号は、集積回路の発振回路へ入力される。
【０１１４】
計時部１１１０の集積回路において、発振回路の出力は、二値化されてレジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。この計数結果は、インターフェース回路を介して制御部１１４０に供給される。制御部１１４０は、集積回路からの計数結果に基づいて各種演算などを実行することで時刻や日付などを算出し、その算出結果に基づいて、表示部１１２０に時刻、日付、カレンダーなどの各種情報を表示させる。
【０１１５】
通信部１１３０は、外部との通信、すなわち外部へのデータの送信および外部からのデータの受信を行う。通信部１１３０は、無線部１２００と、音声処理部１２１０と、切替部１２２０と、増幅部１２３０と、音声入出力部１２４０と、電話番号入力部１２５０と、着信音発生部１２６０と、呼制御メモリ部１２７０とを含む。
【０１１６】
無線部１２００は、符号化された音声データ等の各種データを、アンテナ１２８０を介して基地局とやりとりする。音声処理部１２１０は、無線部１２００から入力されたデータを、復号化して増幅部１２３０へ出力する。また、音声処理部１２１０は、増幅部１２３０から入力されたデータを、符号化して無線部１２００へ出力する。増幅部１２３０は、音声処理部１２１０と音声入出力部１２４０との間の信号の受け渡しを行うとともに、受け渡される信号を適宜、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部１２４０は、スピーカおよびマイクロフォンなどを含み、増幅部１２３０からの信号に応じた音声を外部へ出力し、外部から音声の入力を受け付ける。
【０１１７】
また、切替部１２２０は、基地局からの呼び出しなどに応じた制御部１１４０からの指令により、着信音発生部１２６０を増幅部１２３０と接続する。着信音発生部１２６０は、基地局からの呼び出しに応じた制御部１１４０からの指令により、着信音のデータを切替部１２２０に出力する。すなわち、制御部１１４０は、基地局からの呼び出しなどに応じて、着信音のデータを増幅部１２３０へ出力させることにより、音声入出力部１２４０によって着信音を出力させる。
【０１１８】
呼制御メモリ部１２７０は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部１２５０は、例えば０から９の番号キー及びその他のキーを備え、これら番号キー等の押下により、通話先の電話番号等の入力に利用される。
【０１１９】
電源部１１５０は、例えば、リチウムイオン二次電池を含み、携帯情報機器１１００の各部へ電力を供給する。電圧検出部１１６０は、電源部１１５０から携帯情報機器１１００の各部へ供給されている電圧を検出する。電圧検出部１１６０は、検出した電圧が所定値以下になった場合に、電圧が所定値以下であることを制御部１１４０に通知する。この所定値は、通信部１１３０を安定して動作させるために必要とされる電圧として予め設定されている値であり、例えば、３Ｖ程度である。電圧検出部１１６０から電圧降下の通知を受けた制御部１１４０は、無線部１２００、音声処理部１２１０、切替部１２２０、及び着信音発生部１２６０を含む複数の機能部の少なくとも一部の動作を、禁止または制限する。この場合に、制御部１１４０は、複数の機能部のうち相対的に消費電力が大きい機能部の動作を、複数の機能部のうち相対的に消費電力が小さい機能部よりも先に禁止または制限する。制御部１１４０は、供給電力の低下によって機能が停止または制限されていることを示す情報を、表示部１１２０に表示させる。この表示は、文字を含んでいてもよいし、記号を含んでいてもよく、例えば、表示部１１２０に表示された電話アイコンに×（バツ）印を付ける態様でもよい。電源遮断部１１７０は、複数の機能部のうち、電圧低下により機能が停止する機能部への電力の供給を選択的に停止する。
【０１２０】
本実施形態によれば、圧電振動子１を備えているため、上述したのと同様にして、信頼性に優れた携帯情報機器１１００が得られる。
【０１２１】
［電波時計］
次に、圧電振動子１を備える本実施形態の電波時計について説明する。
電波時計は、表示する時刻を、標準電波から取得される時刻に合わせる機能を有する。標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を含む変調信号によって、所定周波数の搬送波にＡＭ変調をかけたものである。標準電波は、例えば日本国内では、福島県の送信所と佐賀県の送信所とから送信されている。福島県の送信所から送信される標準電波は、搬送波の周波数が４０ｋＨｚであり、佐賀県の送信所から送信される標準電波は、搬送波の周波数が６０ｋＨｚである。
【０１２２】
図１２は、本実施形態の電波時計１３００を示す図である。この電波時計１３００は、アンテナ１３１０と、アンプ１３２０と、フィルタ部１３３０と、検波整流回路１３４０と、波形整形回路１３５０と、ＣＰＵ１３６０と、ＲＴＣ１３７０とを備える。
【０１２３】
アンテナ１３１０は、標準電波を受信する。アンプ１３２０は、アンテナ１３１０が受信した標準電波の信号を、増幅してフィルタ部１３３０へ出力する。フィルタ部１３３０は、アンプ１３２０からの信号を、濾波、同調して検波整流回路１３４０へ出力する。検波整流回路１３４０は、フィルタ部１３３０からの信号を、検波復調して波形整形回路１３５０へ出力する。波形整形回路１３５０は、検波整流回路１３４０からの信号からタイムコードを取得し、このタイムコードをＣＰＵ１３６０へ供給する。ＣＰＵ１３６０は、タイムコードから現在の年、積算日、曜日、時刻等の時刻に関する情報を取得する。ＲＴＣ１３７０は、いわゆるリアルタイムクロックであり、現在の年、月、日、時、分、秒などの情報を保持している。ＣＰＵ１３６０は、タイムコードから取得した時刻に関する情報を、ＲＴＣ１３７０が保持する情報に反映させる。ＲＴＣ１３７０が保持する情報は、適宜読みだされて、時刻の表示に利用される。
【０１２４】
フィルタ部１３３０は、濾波する信号の周波数に相当する共振周波数の圧電振動子を含む。フィルタ部１３３０において、圧電振動子は、共振子として機能する。例えば、図１２の電波時計１３００は、日本国内での使用が想定されたものであり、フィルタ部１３３０は、共振周波数が４０ｋＨｚの圧電振動子１ａと、共振周波数が６０ｋＨｚの圧電振動子１ｂとを含む。なお、日本国内以外の地域での使用が想定される電波時計１３００は、使用される地域に対応した標準電波の搬送波の周波数に応じて、フィルタ部１３３０の圧電振動子の共振周波数が設定される。
本実施形態において、フィルタ部１３３０の圧電振動子１ａと圧電振動子１ｂとは、それぞれ、上記説明した実施形態の圧電振動子１と同様の圧電振動子である。
【０１２５】
本実施形態によれば、圧電振動子１と同様の構成を有する圧電振動子１ａ，１ｂを備えているため、上述したのと同様にして、信頼性に優れた電波時計１３００が得られる。
【０１２６】
なお、上記の説明においては、発振器、電子機器及び電波時計の例として、第１実施形態の圧電振動片５０が実装された圧電振動子１を備える例を示したが、これに限られない。発振器、電子機器及び電波時計の実施形態としては、例えば、第２実施形態から第４実施形態までに示した圧電振動片が実装された圧電振動子を備える構成であってもよい。
【符号の説明】
【０１２７】
１，１ａ，１ｂ…圧電振動子、２…パッケージ、３…パッケージ本体（ベース部材）、４…封口板（リッド部材）、１１ａ…実装面、１６，１７，１１６，１１７，２１６，２１７，３１６，３１７…マウント部、２０，２３，２４…振動腕部、２１，１２１，２２１，３２１…支持腕部、２２…基部、２７，２８…溝部（第２溝部）、４０ａ，１４０ａ，２４０ａ，３４０ａ，３４１ａ…表面溝部（溝部）、４０ｂ，１４０ｂ，２４０ｂ，３４０ｂ，３４１ｂ…裏面溝部（溝部）、５０，１５０，２５０，３５０…圧電振動片、５０ａ，１５０ａ，２５０ａ，３５０ａ…表面（他面）、５０ｂ，１５０ｂ，２５０ｂ，３５０ｂ…裏面（一面）、Ｃ…キャビティ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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