(57)【要約】【課題】ダイヘッドの吐出口周辺を効率よく洗浄液できるようにする。【解決手段】ダイヘッド３の先端の傾斜面７ｅ，９ｅに、洗浄キャップ２５の上壁２５ｂ及び下壁２５ｃを当接させて内部空間２５ｇを密閉し、流体供給ノズル３５，３７から洗浄液を供給して満杯にする。流体供給ノズル３５，３７から流出した洗浄液同士は衝突し、一部が傾斜面７ｅ，９ｅに沿って流れてから、流体供給ノズル３５，３７から流出する洗浄液に引き込まれるようにして渦流が発生し、この渦流によってダイヘッド３の先端に付着した塗工液による付着物を除去する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗工剤を吐出する吐出口と、
前記吐出口の両側に設けられ、吐出口から該吐出口の奥側に向けて互いの間隔が広くなるように傾斜する一対の傾斜面と、を備えるダイヘッドを有し、
前記ダイヘッドの前記吐出口周辺を洗浄するダイヘッド洗浄装置であって、
前記ダイヘッドの一対の傾斜面に先端がそれぞれ当接する、互いに対向する一対の壁部と、
前記一対の壁部の先端が前記一対の傾斜面にそれぞれ当接した状態で密閉される内部空間と、を有する洗浄部材を備え、
前記洗浄部材の一対の壁部に、前記内部空間に流体を供給する一対の流体流出部がそれぞれ設けられ、
前記一対の流体流出部の流体流出口は互いに対向していることを特徴とするダイヘッド洗浄装置。
【請求項２】
前記一対の壁部は互いに平行であり、この互いに平行な一対の壁部に対し、前記一対の流体流出部の流体流出口からの流体の流出方向が直交していることを特徴とする請求項１に記載のダイヘッド洗浄装置。
【請求項３】
前記一対の流体流出部の流体流出口は、前記一対の壁部の先端が前記一対の傾斜面にそれぞれ当接した状態で、前記ダイヘッドの吐出口よりも前記塗工剤の吐出方向前方に位置していることを特徴とする請求項１または２に記載のダイヘッド洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄部材は、前記内部空間の流体を排出する排出口を備えていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のダイヘッド洗浄装置。
【請求項５】
前記一対の流体流出部と前記排出口とは、前記一対の流体流出部に流体を送出する送出手段を備える循環流路を介して互いに連通していることを特徴とする請求項４に記載のダイヘッド洗浄装置。
【請求項６】
前記一対の流体流出部と前記送出手段との間の循環流路に、流体の濾過手段が設けられていることを特徴とする請求項５に記載のダイヘッド洗浄装置。
【請求項７】
先端側が開口し内部空間を有する洗浄部材の先端を、ダイヘッドの塗工剤を吐出する吐出口の両側に設けられている一対の傾斜面に当接させて、前記洗浄部材の内部空間を密閉する密閉工程と、
前記洗浄部材の内部空間を密閉した状態で、前記洗浄部材の互いに対向する一対の壁部にそれぞれ設けた一対の流体流出部から流体を流出させて、前記内部空間に流体を供給する流体供給工程と、
前記一対の流体流出部からそれぞれ流体した流体が互いに衝突して渦流を発生させ、該渦流によって前記ダイヘッドの吐出口周辺を洗浄する洗浄工程と、を有することを特徴とするダイヘッド洗浄方法。
【請求項８】
前記洗浄工程は、前記流体供給工程で前記流体流出部から流出した流体が前記内部空間に満たされたときに、前記流体流出部から流出する流体の流出量と同量の流体を前記内部空間の外部に排出口から排出する流体排出工程を含み、
前記流体排出工程で流体を排出してから所定時間経過後に、前記流体流出部からの流体の供給を停止する流体供給停止工程と、
前記流体供給停止工程で前記流体流出部からの流体の供給を停止した後に、前記内部空間内の流体が前記吐出口を覆う状態が確保される所定量未満となったときに、前記ダイヘッドの吐出口から塗工剤を微量吐出する塗工剤吐出工程と、
前記塗工剤吐出工程で塗工剤を微量吐出した後に、前記流体排出工程による流体の排出が完了した時点で、前記洗浄部材を前記ダイヘッドから離反させる洗浄部材離反工程と、を有することを特徴とする請求項７に記載のダイヘッド洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヘッドの吐出口周辺を洗浄するダイヘッド洗浄装置及びダイヘッド洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイヘッドの塗工剤を吐出する吐出口周辺を洗浄する装置としては、特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１に記載された洗浄装置は、ダイヘッドの吐出口を両側から挟み込むようにして洗浄薬液噴射ヘッドを配置し、洗浄薬液噴射ヘッドの噴射ノズルから薬液と窒素ガスとの混合流体を洗浄液として噴射して洗浄する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３５５５９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記した従来の洗浄装置では、噴射ノズルから噴射した混合流体のスプレー打力によって、吐出口周辺の塗工剤による付着物を除去するようにしている。このため、洗浄薬液に窒素ガスを混入したとしても、付着物をより効率よく除去するには相当量の洗浄液が必要となる恐れがある。
【０００５】
そこで、本発明は、ダイヘッドの吐出口周辺を効率よく洗浄できるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、互いに対向する一対の壁部の先端がダイヘッドの一対の傾斜面にそれぞれ当接した状態で内部空間が密閉される洗浄部材を備え、洗浄部材の一対の壁部に設けた一対の流体流出部の流体流出口が互いに対向していることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、流体流出口から流出する流体を密閉される内部空間内に満たすことができ、この内部空間内で、一対の流体流出部の流体流出口から流出する流体は、互いに衝突してから傾斜面に沿って流れるようにして渦流が発生し、この渦流によってダイヘッドの吐出口周辺を効率よく洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係わるダイヘッド洗浄装置の全体構成図である。
【図２】図２は、（ａ）がダイヘッドの斜視図、（ｂ）がダイヘッドの断面図である。
【図３】図３は、図２のダイヘッドにより塗工膜を形成している状態を示す動作説明図である。
【図４】図４は、ダイヘッド及び洗浄キャップの斜視図である。
【図５】図５は、ダイヘッド先端の吐出口周辺に汚れが付着した状態を示す説明図である。
【図６】図６は、図１のダイヘッド洗浄装置の制御回路による処理手順を示すフローチャートである。
【図７】図７は、洗浄キャップをダイヘッドに当接させた状態を示す作用説明図である。
【図８】図８は、図７の状態から洗浄キャップ内に洗浄液を供給して満杯にした状態を示す作用説明図である。
【図９】図９は、図８の状態から、洗浄液の供給を継続したまま、洗浄液を排出させている状態を示す作用説明図である。
【図１０】図１０は、図９の状態でさらに洗浄液を供給して渦流を発生させている状態を示す作用説明図である。
【図１１】図１１は、図１０の状態で所定時間洗浄した後、洗浄液の供給を停止して洗浄液の排出のみを行っている状態を示す作用説明図である。
【図１２】図１２は、図１１の状態で洗浄液を排出しつつダイヘッドから塗工液を微量吐出している状態を示す作用説明図である。
【図１３】図１３は、図１２の状態で洗浄液の排出後に洗浄キャップを後退させる状態を示す作用説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。図１に示す本発明の一実施形態に係わるダイヘッド洗浄装置１は、図２に示すようなダイヘッド３の吐出口５の周辺に対して洗浄を実施する。
【００１０】
ダイヘッド３は、ダイヘッド上型７とダイヘッド下型９とを、吐出口５と反対側の後端側にシム１１を介して互いに重ね合わせて固定している。これにより、ダイヘッド上型７とダイヘッド下型９との間に、ギャップ１３が幅方向（図２（ｂ）中で紙面に直交する方向）全長にわたり形成される。シム１１の厚さを変更することで、ギャップ１３の間隔を調整できる。ダイヘッド３の材質は、ＳＵＳ（ステンレス）系、ＡＬ（アルミニウム）系とする。また、ダイヘッド３の吐出口５の周辺を別部材の、例えば超硬材とすることで、ギャップ１３の寸法ばらつきを小さく抑えることができる。
【００１１】
ギャップ１３は塗工剤である塗工液が流れる流路を構成し、このギャップ１３のシム１１側には塗工液が供給されて溜められるマニホールド１５が形成される。このマニホールド１５も、ギャップ１３と同様に幅方向全長にわたり形成される。互いに重ね合わされた状態のダイヘッド上型７及びダイヘッド下型９の幅方向両側には側板１７を取り付けて、ギャップ１３の側部を閉塞している。
【００１２】
ダイヘッド上型７は、上面７ａと、上面７ａに対して平行でダイヘッド下型９に対向するギャップ形成面７ｂと、側板１７に覆われる図示しない幅方向両側面と、吐出口５と反対側の後面７ｄと、吐出口５側の傾斜面７ｅとを備えている。ギャップ形成面７ｂは、上面７ａよりも吐出口５側に突出しており、この突出した端部と上面７ａの端部とを、傾斜面７ｅが接続している。傾斜面７ｅの先端とギャップ形成面７ｂの先端とは、上下方向に接続する吐出口端面７ｆが形成されている。
【００１３】
ダイヘッド下型９は、下面９ａと、下面９ａに対して平行でダイヘッド上型７に対向するギャップ形成面９ｂと、側板１７に覆われる図示しない幅方向両側面と、吐出口５と反対側の後面９ｄと、吐出口５側の傾斜面９ｅとを備えている。ギャップ形成面９ｂは下面９ａよりも吐出口５側に突出しており、この突出した端部と下面９ａの端部とを、傾斜面９ｅが接続している。傾斜面９ｅの先端とギャップ形成面９ｂの先端とは上下方向に接続する吐出口端面９ｆが形成されている。マニホールド１５は、ギャップ形成面９ｂに断面ほぼ半円弧形状に形成した凹部によって形成される。
【００１４】
ダイヘッド上型７の吐出口端面７ｆと、ダイヘッド下型９の吐出口端面９ｆとは、同一面上に位置しており、これら吐出口端面７ｆと吐出口端面９ｆとの間に吐出口５が形成されている。また、ダイヘッド上型７及びダイヘッド下型９の各傾斜面７ｅ，９ｅは、吐出口５の上下両側に設けられ、吐出口５から該吐出口５の奥側に向けて互いの間隔が広くなるように傾斜する一対の傾斜面を構成している。
【００１５】
図３に示すように、マニホールド１５に外部から塗工液Ｒが供給されてギャップ１３内にも塗工液Ｒが進入すると、塗工液Ｒはギャップ１３の先端の吐出口５から外部に吐出される。塗工液Ｒがマニホールド１５に一端溜められることで、塗工液Ｒの圧力が均一化し、吐出口５に向かって均一な液の流れを形成でき、塗工膜厚を均一にできる。
【００１６】
吐出口５の前方には、バックアップロール１９が配置されている。バックアップロール１９が矢印Ａ方向に向けて回転し、矢印Ｂ方向に搬送される被塗工材２１の表面に塗布液Ｒが一定厚に塗布され、塗工膜２３が形成される。塗工膜２３の膜厚は、バックアップロール１９と吐出口５との間の間隔に依存する。
【００１７】
被塗工材２１としては、例えばリチウムイオンバッテリでは、アルミニウムや銅などの金属箔、燃料電池では、ＰＴＦＥなどの樹脂フィルムや電界質膜が挙げられる。例えば、リチウムイオンバッテリの金属箔や燃料電池の電界質膜上に、塗工液Ｒとしてペースト状の電極材料を塗布して電極層を形成する。
【００１８】
ダイヘッド３の吐出口５から塗工液Ｒを吐出して、被塗工材２１の表面に塗工膜２３を形成する過程では、吐出口５の周辺、特に吐出口端面７ｆ，９ｆに塗工液Ｒが付着して堆積しやすい。この堆積した汚れである付着物を、以下に説明するダイヘッド洗浄装置１によって洗浄して取り除く。
【００１９】
ダイヘッド洗浄装置１は、図４に示すような洗浄部材としての洗浄キャップ２５を備えている。洗浄キャップ２５は、全体としてほぼ直方体形状であり、ダイヘッド３の幅方向（図１中で紙面に直交する方向）の長さにほぼ対応しており、ダイヘッド３に対向する側のみが開放する開口部２５ａを有している。
【００２０】
洗浄キャップ２５は、上壁２５ｂ及び下壁２５ｃと、開口部２５ａと反対側に位置して上壁２５ｂ及び下壁２５ｃ相互を接続する後壁２５ｄと、幅方向（図１中で紙面に直交する方向）の両側に位置する側壁２５ｅ，２５ｆと、を備えている。上壁２５ｂ及び下壁２５ｃは、互いに平行であって、互いに対向する一対の壁部を構成する。後壁２５ｄは、上壁２５ｂ、下壁２５ｃ及び側壁２５ｅ，２５ｆに対して直角である。
【００２１】
ここで、図１に示すように、上壁２５ｂの内面と下壁２５ｃの内面との間の間隔Ｃは、ダイヘッド３の上下方向の高さＤよりも小さくしている。このため、図４のように洗浄キャップ２５がダイヘッド３に対して離反した状態から、洗浄キャップ２５をダイヘッド３に接近させると、図１に示すように、上壁２５ｂ及び下壁２５ｃの先端が傾斜面７ｅ及び傾斜面９ｅにそれぞれ当接する。このとき、洗浄キャップ２５及びダイヘッド３のそれぞれの上下方向の中心を合わせた状態とする。また、上壁２５ｂ及び下壁２５ｃの先端の内側には、シール材となる液封パッキン２７を取り付けているので、液封パッキン２７が傾斜面７ｅ及び傾斜面９ｅに密着する。
【００２２】
液封パッキン２７は、洗浄キャップ２５の矩形状の開口部２５ａに合わせて矩形に形成してあり、開口部２５ａの全周にわたり取り付けている。つまり、液封パッキン２７は、洗浄キャップ２５の側壁２５ｅ，２５ｆの先端内側にも連続して設けている。このため、側壁２５ｅ，２５ｆ相互の間隔は、ダイヘッド３の幅方向の長さに対してやや広くしてある。このような液封パッキン２７の材質は、パーフロ（エア・ウォーター・マッハ株式会社の商品名）やＰＴＦＥなどとする。
【００２３】
図１のように、洗浄キャップ２５の上壁２５ｂ及び下壁２５ｃの先端を、ダイヘッド３の傾斜面７ｅ及び傾斜面９ｅにそれぞれ当接させた状態では、ダイヘッド３の先端が洗浄キャップ２５の開口部２５ａ内に入り込むことになる。その際、液封パッキン２７が、ダイヘッド３の傾斜面７ｅ及び傾斜面９ｅに密着するとともに、ダイヘッド３の側板１７にも密着し、開口部２５ａの全周にわたり液封パッキン２７によって密閉することになる。
【００２４】
すなわち、洗浄キャップ２５は、上壁２５ｂ及び下壁２５ｃのそれぞれの先端が傾斜面７ｅ及び傾斜面９ｅにそれぞれ当接した状態で密閉される内部空間２５ｇを備えている。
【００２５】
このような洗浄キャップ２５の材質は、ＳＵＳ３１６やＳＵＳ３０４が望ましく、かつ、汚れの剥離性の観点から内面は鏡面仕上げがよい。
【００２６】
また、ダイヘッド洗浄装置１は、洗浄キャップ２５をダイヘッド３に対して接近離反移動させる駆動機構２９を備えている。駆動機構２９は、例えばサーボモータ３１と、サーボモータ３１の駆動によって洗浄キャップ２５を、ダイヘッド３に対して離反した状態と、接近して図１のように先端がダイヘッド３に当接した状態とに移動変位させる可動部３３とを備えている。可動部３３としては、例えばボールねじ機構やエアシリンダなどの流体圧シリンダを用いることができる。
【００２７】
洗浄キャップ２５の上壁２５ｂ及び下壁２５ｃには、流体としての洗浄液を内部空間２５ｇに供給するための流体供給部としての流体供給ノズル３５，３７をそれぞれ複数（ここでは３本ずつ）取り付けている。流体供給ノズル３５，３７は、図１に示すように、内部空間２５ｇに露出する先端側の流体流出口３５ａ，３７ａが互いに対向している。また、流体供給ノズル３５，３７は、互いに平行な上壁２５ｂ及び下壁２５ｃに対し、洗浄液の流出方向が直交するように、上壁２５ｂ及び下壁２５ｃに取り付けている。
【００２８】
流体供給ノズル３５，３７の流体流出口３５ａ，３７ａは、洗浄キャップ２５の上壁２５ｂ及び下壁２５ｃの先端が図１のように傾斜面７ｅ，９ｅに当接した状態で、ダイヘッド３の吐出口５よりも吐出方向前方の後壁２５ｄ側に位置している。
【００２９】
流体供給ノズル３５，３７は、分岐流路３９，４１及び共通流路４３を介して洗浄液リザーバタンク４５に接続している。共通流路４３には、洗浄液リザーバタンク４５側から送出手段としてのポンプ４７及び、濾過手段としてのフィルタ４９をそれぞれ設けている。分岐流路３９，４１及び共通流路４３は、循環流路を構成しており、したがって、流体供給ノズル３５，３７とポンプ４７との間の循環流路に、フィルタ４９が設けられていることになる。
【００３０】
洗浄液リザーバタンク４５内の洗浄液は、ポンプ４７により送られ、フィルタ４９を通った後、分岐部５１で分岐流路３９，４１に分流し、流体供給ノズル３５，３７に達する。洗浄液リザーバタンク４５の材質は、洗浄キャップ２５と同様に、ＳＵＳ３１６やＳＵＳ３０４が望ましく、かつ、汚れの剥離性の観点から内面など洗浄液が触れる部位は鏡面仕上げがよい。
【００３１】
洗浄キャップ２５の下壁２５ｃの後壁２５ｄ近傍には、内部空間２５ｇ内の洗浄液を外部に排出する排出口５３を設けている。排出口５３は、排出流路５５を介して洗浄液リザーバタンク４５に接続され、排出流路５５には自動開閉弁５７を設けている。排出流路５５も循環流路を構成している。したがって、一対の流体供給ノズル３５，３７と排出口５３とは、一対の流体供給ノズル３５，３７に洗浄液を送出するポンプ４７を備える循環流路を介して互いに連通していることになる。
【００３２】
また、洗浄キャップ２５の上壁２５ｂの後壁２５ｄ近傍には、液量センサ５９を取り付けている。液量センサ５９は、図１の状態で洗浄キャップ２５の内部空間２５ｇに洗浄液が満杯となったことを検知し、これに基づき図示しない制御回路が自動開閉弁５７を閉状態から開状態にする。液量センサ５９は、フロート式、静電容量式、超音波式などを使用する。
【００３３】
開状態となったときの自動開閉弁５７を流れる洗浄液の量、言い換えれば、排出口５３から排出される洗浄液の量は、二つの流体供給ノズル３５，３７から内部空間２５ｇに供給される洗浄液の量と同等となるようにする。つまり、内部空間２５ｇに流入する洗浄液の量と、内部空間２５ｇから排出される洗浄液の量とが同等であり、内部空間２５ｇが洗浄液で満杯となった状態が確保される。このとき洗浄液は、洗浄キャップ２５の内部空間２５ｇと洗浄液リザーバタンク４５との間を、循環流路を介して循環する。
【００３４】
また、制御回路は、洗浄液が循環している時間、すなわち洗浄を行っている時間が所定時間経過した後に、流体供給ノズル３５，３７からの洗浄液の供給を停止するようポンプ４７の作動を停止させるなど、ポンプ４７や自動開閉弁５７の動作を制御する。
【００３５】
次に作用を説明する。まず、図３のように、被塗工材２１の表面に塗工液を一定厚に塗布して塗工膜２３を形成すると、その作業過程で、図５に示すように、ダイヘッド３の吐出口５の周辺に、塗工液による付着物Ｈが汚れとして発生する。そこで、以下の方法によって付着物Ｈを除去すべく洗浄作業を実施する。洗浄作業については、図６に示す制御回路による処理手順を示すフローチャートに基づき説明する。
【００３６】
まず、図１に示すサーボモータ３１を駆動することで、図７に示すように、洗浄キャップ２５をダイヘッド３に接近移動させ、上壁２５ｂ、下壁２５ｃの先端を、ダイヘッド３の傾斜面７ｅ,９ｅに液封パッキン２７を介してそれぞれ当接させる（ステップＳ１）。このとき、ダイヘッド３の吐出口５を含む先端部は、洗浄キャップ２５の開口部２５ａから内部空間２５ｇに入り込んだ状態となる。
【００３７】
この状態で、上壁２５ｂ、下壁２５ｃの先端を含む開口部２５ａの周縁に設けてある液封パッキン２７が、傾斜面７ｅ,９ｅに密着するとともに、ダイヘッド３の側板１７（図２、図４）に密着し、開口部２５ａの全周にわたり液封パッキン２７によって密閉することになる。これにより、内部空間２５ｇに充満させる洗浄液の漏れを抑えることができる。
【００３８】
次に、図１に示すポンプ４７を作動させて洗浄液リザーバタンク４５内の洗浄液を、流体供給ノズル３５，３７から内部空間２５ｇに供給し、図８に示すように内部空間２５ｇを洗浄液Ｅで充満させる（ステップＳ２）。このとき、図１の自動開閉弁５７は閉であり、ポンプ４７から吐出された洗浄液はフィルタ４９を通して浄化された後、分岐部５１で分岐流路３９，４１に分岐して流体供給ノズル３５，３７に達する。
【００３９】
内部空間２５ｇが洗浄液Ｅで満杯になったことは、液量センサ５９で検知し、満杯を検知した時点で（ステップＳ３）、自動開閉弁５７を開き、図９のように洗浄液Ｅを排出口５３から排出する。ここで、内部空間２５ｇが洗浄液Ｅで満杯になるまでは、ポンプ４７に対してインバータ制御して洗浄液の送出量を最大として、時間短縮を図る。満杯後は、ポンプ４７に対してインバータ制御して洗浄液の送出量を減少させ、流体排出口５３からの排出量と同等とする（ステップＳ４）。
【００４０】
内部空間２５ｇが洗浄液Ｅにより満杯の状態で、流体供給ノズル３５，３７による洗浄液の供給を継続して行うが、このとき、流体供給ノズル３５，３７の流体流出口３５ａ，３７ａから流出する洗浄液は、図１０に示すように互いに衝突する。この際、衝突した洗浄液は、一部がダイヘッド３の吐出口５側に向けて流れ、ダイヘッド３の傾斜面７ｅ,９ｅに沿って互いに離反するようにして流れ、渦流Ｆが発生する。
【００４１】
上記した渦流Ｆは、次のようにして生成される。流体流出口３５ａ，３７ａから流出する洗浄液が傾斜面７ｅ,９ｅに沿って流れた後、上壁２５ｂ、下壁２５ｃの内面に沿って流体供給ノズル３５，３７に向けて流れる。上壁２５ｂ、下壁２５ｃの内面に沿って流れる洗浄液は、流体流出口３５ａ，３７ａから流出する洗浄液の流れに乗って、再度吐出口５側に向けて流れる。これの流れが繰り返されることで、渦流Ｆが生成される。
【００４２】
このような渦流Ｆが吐出口５の周辺に生成されることで、付着物Ｈが、流れの勢いによって剥ぎ取られるようにして除去される。その際、本実施形態では、洗浄液Ｅを内部空間２５ｇに満たした状態で、洗浄液リザーバタンク４５との間を循環させている。このため、洗浄液の使用量を抑制して、ダイヘッド３の吐出口５の周辺を効率よく洗浄することができる。
【００４３】
排出口５３から洗浄液Ｅの排出を開始した後、所定時間経過して付着物Ｈを除去できたら（ステップＳ５）、ポンプ４７を停止して洗浄液Ｅの供給を停止し、図１１のように、洗浄液Ｅの排出のみを行う（ステップＳ６）。このとき、吐出口５の内部のギャップ１３内にも洗浄液Ｅが若干入り込み、塗工液Ｒが洗浄液Ｅによって薄まった混合液Ｇが、塗工液Ｒと洗浄液Ｅとの間に発生する。なお、付着物Ｈの除去を実施する上記した所定時間としては、１０秒以上が望ましい。
【００４４】
次に、内部空間２５ｇ内の洗浄液Ｅの排出のみを行っている過程で、液量センサ５９が洗浄液Ｅの量が所定量未満まで減少したことを検出したら（ステップＳ７）、図１２に示すように、ダイヘッド３の吐出口５から塗工液Ｒを微量吐出する。これにより、図１１に示してあるギャップ１３内の混合液Ｇが、図１２のように塗工液Ｒにより押し出されて、洗浄液Ｅ中に排出される（ステップＳ８）。
【００４５】
なお、塗工液Ｒを微量吐出する状態では、内部空間２５ｇ内の洗浄液Ｅの液面は、少なくとも吐出口５より上にあればよく、洗浄液Ｅが吐出口５を覆う状態が確保されていればよい。
【００４６】
ポンプ４７の停止後、一定時間経過して、内部空間２５ｇ内の洗浄液Ｅの排出が完了したら（ステップＳ９）、サーボモータ３１を逆回転駆動し、洗浄キャップ２５を図１３のように後退移動させてダイヘッド３から離反させる（ステップＳ１０）。これにより、ダイヘッド３の吐出口５周辺の洗浄作業が完了する。
【００４７】
以上のように、本実施形態によれば、流体流出口３５ａ，３７ａから流出する洗浄液が互いに衝突して発生する渦流Ｆ（図１０）によって、ダイヘッド３の吐出口５の周辺の付着物Ｈを除去している。このため、洗浄液Ｅを内部空間２５ｇに満たした状態で、洗浄液リザーバタンク４５との間を循環させることもあって、洗浄液Ｅの使用量を抑制しつつ、ダイヘッド３の吐出口５周辺を効率よく洗浄液することができる。
【００４８】
また、本実施形態によれば、洗浄キャップ２５の一対の壁部である上壁２５ｂ及び下壁２５ｃは互いに平行で、この一対の壁部に対し、一対の流体流出部である流体供給ノズル３５，３７の流体流出口３５ａ，３７ａからの洗浄液の流出方向が直交している。このため、二つの流体流出口３５ａ，３７ａから流出した洗浄液が最短距離で衝突することになり、渦流Ｆをより大きな勢いのあるものとすることができ、洗浄効果をより高めることができる。
【００４９】
また、本実施形態によれば、図１に示すように、流体供給ノズル３５，３７の流体流出口３５ａ，３７ａは、上壁２５ｂ及び下壁２５ｃの先端が傾斜面７ｅ及び傾斜面９ｅに当接した状態で、ダイヘッド３の吐出口５よりも塗工液の吐出方向前方に位置している。この場合、流体流出口３５ａ，３７ａから流出した洗浄液が吐出口５の周辺に衝突することが抑制され、渦流Ｆをより確実に発生させることができる。
【００５０】
また、本実施形態によれば、洗浄キャップ２５は、内部空間２５ｇの洗浄液を排出する排出口５３を備えている。このため、吐出口５周辺を洗浄した後に、洗浄キャップ２５内の使用済みの洗浄液を外部に排出することができる。内部空間２５ｇの洗浄液は重力によって排出されるので、洗浄液リザーバタンク４５を排出口５３よりも鉛直方向下方に配置する必要がある。
【００５１】
また、本実施形態によれば、流体供給ノズル３５，３７と排出口５３とは、流体供給ノズル３５，３７に洗浄液を送出するポンプ４７を備える循環流路を介して互いに連通している。このため、洗浄液は、循環流路を循環することで繰り返し使用することができ、洗浄液の使用量を抑えることができる。
【００５２】
また、本実施形態によれば、流体供給ノズル３５，３７とポンプ４７との間の循環流路である共通流路４３に、洗浄液を濾過するフィルタ４９を設けて、吐出口５周辺の洗浄により除去された汚れ成分をフィルタ４９によって捕捉している。このため、洗浄液Ｅを洗浄キャップ２５と洗浄液リザーバタンク４５との間で循環して使用する際に、汚れ成分の吐出口５周辺への再付着を抑制でき、信頼性の高いダイヘッド洗浄装置１が得られる。
【００５３】
また、本実施形態は、洗浄キャップ２５の内部空間２５ｇを密閉する密閉工程と、内部空間２５ｇに洗浄液Ｅを供給する流体供給工程と、内部空間２５ｇ内での洗浄液Ｅの衝突により発生する渦流Ｆでダイヘッド３の吐出口５周辺を洗浄する洗浄工程と、を有するダイヘッド洗浄方法としている。
【００５４】
これにより、洗浄液Ｅを内部空間２５ｇに満たすことができ、この内部空間２５ｇ内で、流体供給ノズル３５，３７の流体流出口３５ａ，３７ａから流出する洗浄液Ｅは、互いに衝突してから傾斜面７ｅ，９ｅに沿って流れるようにして渦流Ｆが発生する。そして、この渦流Ｆによってダイヘッド３の吐出口５の周辺を効率よく洗浄することができる。
【００５５】
また、上記した洗浄工程は、流体供給工程で流体供給ノズル３５，３７から流出した洗浄液Ｅが内部空間２５ｇに満たされたときに、流体供給ノズル３５，３７から流出する洗浄液Ｅの流出量と同量の洗浄液Ｅを排出口５３から排出する流体排出工程を含んでいる。これにより、内部空間２５ｇに洗浄液Ｅが満たされた状態で、ダイヘッド３の吐出口５周辺を効率よく洗浄することができる。
【００５６】
また、本実施形態では、流体供給停止工程で内部空間２５ｇ内の洗浄液Ｅが所定量未満となったときに、ダイヘッド３の吐出口５から塗工液Ｒを微量吐出する塗工剤吐出工程を備えている。このため、図１１に示してあるギャップ１３内の混合液Ｇを塗工液Ｒにより押し出して洗浄液Ｅ中に排出できる。これにより、洗浄後に図３のようにして形成する塗工膜２３の品質を高めることができる。
【００５７】
さらに、塗工剤吐出工程で塗工液Ｒを微量吐出した後に、流体排出工程による洗浄液Ｅの排出が完了した時点で、洗浄キャップ２５をダイヘッド３から離反させる洗浄部材離反工程を備えている。これにより、洗浄液Ｅの外部への漏れを抑制しつつ洗浄キャップ２５をダイヘッド３から離反させることができる。
【００５８】
以上、本発明の実施形態について説明したが、これらの実施形態は本発明の理解を容易にするために記載された単なる例示に過ぎず、本発明は当該実施形態に限定されるものではない。本発明の技術的範囲は、上記実施形態で開示した具体的な技術事項に限らず、そこから容易に導きうる様々な変形、変更、代替技術なども含むものである。
【００５９】
例えば、上記した実施形態では、リチウムイオンバッテリや燃料電池における電極材料などを基材に塗工するためのダイヘッドについて説明したが、基材に塗工膜を形成するダイヘッドであれば、どのようなものでも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１  ダイヘッド洗浄装置
３  ダイヘッド
５  ダイヘッドの吐出口
７ｅ，９ｅ  ダイヘッドの傾斜面
２５  洗浄キャップ（洗浄部材）
２５ｂ  洗浄キャップの上壁（壁部）
２５ｃ  洗浄キャップの下壁（壁部）
２５ｇ  洗浄キャップの内部空間
３５，３７  流体供給ノズル（流体流出部）
３５ａ，３７ａ  流体供給ノズルの流体流出口
３９，４１  分岐流路（循環流路）
４３  共通流路（循環流路）
４７  ポンプ（送出手段）
４９  フィルタ（濾過手段）
５３  洗浄キャップの排出口
５５  排出流路（循環流路）
Ｅ  洗浄液（流体）
Ｆ  渦流
Ｒ  塗工液（塗工剤）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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