(57)【要約】【課題】熱プラズマの高温部を基材に直接曝露するプラズマ処理装置及び方法において、被処理物の加熱性能を評価することができるプラズマ処理装置及び方法を提供することを目的とする。【解決手段】温度測定板１上にクロム膜２が形成されている。誘導結合型プラズマトーチユニットＴにおいて、導体製のコイル３が第一セラミックスブロック４及び第二セラミックスブロック５の近傍に配置される。プラズマガス供給配管１０よりプラズマガスマニホールド９に供給されたガスは、プラズマガス供給穴１１（貫通穴）を介して、長尺チャンバ７に導入される。クロム膜２と温度測定板１の界面から放射される光をレンズ１２にて集め、放射温度計１３まで光ファイバで導くことで、温度測定板１の温度を測定することができる。【選択図】図１
2015026435.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリット状の開口部を備える長尺チャンバと、前記長尺チャンバ内にガスを供給するガス導入口と、前記長尺チャンバ内に高周波電磁界を発生させるコイルと、前記コイルに高周波電力を供給する高周波電源と、基材を保持する基材載置部と備えたプラズマ処理装置において、
前記長尺チャンバの長手方向と前記開口部の長手方向とは平行に配置され、前記開口部の長手方向に対して垂直な向きに、前記長尺チャンバと前記基材とを相対的に移動可能とする移動機構を備え、不透明薄膜を形成した透明薄板を備え、前記不透明薄膜とは反対の側から、前記不透明薄膜と前記透明薄板の界面から放射される光を受光する放射温度計を備えたこと、
を特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
前記放射温度計が温度測定のために受光する光の波長における前記不透明薄膜の透過率が６５％以上であることを特徴とする、請求項１記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記透明薄板が円筒状であり、かつ、円筒の軸を中心として回転可能な構成となっていることを特徴とする、請求項１記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
前記不透明薄膜が複数の孤立パターンであることを特徴とする、請求項１記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記不透明薄膜が複数の短冊状であることを特徴とする、請求項４記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
前記短冊の長手方向が、前記開口部の長手方向に対して垂直な向きに平行であることを特徴とする、請求項５記載のプラズマ処理装置。
【請求項７】
前記円筒状の透明薄板の内側にミラーを備え、前記透明薄板の界面から放射され前記放射温度計が受光する光の光軸が、前記ミラーにより曲げられることを特徴とする、請求項３記載のプラズマ処理装置。
【請求項８】
前記移動機構が基材を保持するトレーを移動させる機構であり、前記トレーの端部が斜面状になっていることを特徴とする、請求項３記載のプラズマ処理装置。
【請求項９】
前記長尺チャンバと前記円筒状の透明薄板との距離が可変であることを特徴とする、請求項８記載のプラズマ処理装置。
【請求項１０】
スリット状の開口部を備えた長尺チャンバ内にガスを供給しつつ、コイルに高周波電力を供給することで、前記長尺チャンバ内に高周波電磁界を発生させてプラズマを発生させ、基材を前記開口部に近接して配置しつつ、前記開口部近傍のプラズマに曝露することにより、前記基材の表面を処理するプラズマ処理方法であって、
前記基材の処理に先立ち、不透明薄膜を形成した透明薄板を前記開口部近傍のプラズマに曝露しつつ、前記不透明薄膜とは反対の側から、前記不透明薄膜と前記透明薄板の界面から放射される光を放射温度計で受光することで、不透明薄膜の温度を測定すること、
を特徴とするプラズマ処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱プラズマを基材に照射して基材を処理する熱プラズマ処理や、反応ガスによるプラズマまたはプラズマと反応ガス流を同時に基材へ照射して基材を処理する低温プラズマ処理などの、プラズマ処理装置及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、多結晶シリコン（ｐｏｌｙ−Ｓｉ）等の半導体薄膜は薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）や太陽電池に広く利用されている。とりわけ、ｐｏｌｙ−ＳｉＴＦＴは、キャリア移動度が高いうえ、ガラス基板のような透明の絶縁基板上に作製できるという特徴を活かして、例えば、液晶表示装置、液晶プロジェクタや有機ＥＬ表示装置などの画素回路を構成するスイッチング素子として、或いは液晶駆動用ドライバの回路素子として広く用いられている。
【０００３】
ガラス基板上に高性能なＴＦＴを作製する方法としては、一般に「高温プロセス」と呼ばれる製造方法がある。ＴＦＴの製造プロセスの中でも、工程中の最高温度が１０００℃程度の高温を用いるプロセスを一般的に「高温プロセス」と呼んでいる。高温プロセスの特徴は、シリコンの固相成長により比較的良質の多結晶シリコンを成膜することができる点、シリコンの熱酸化により良質のゲート絶縁層を得ることができる点、及び清浄な多結晶シリコンとゲート絶縁層との界面を形成できる点である。高温プロセスではこれらの特徴により、高移動度でしかも信頼性の高い高性能ＴＦＴを安定的に製造することができる。
【０００４】
他方、高温プロセスは固相成長によりシリコン膜の結晶化を行うプロセスであるために、６００℃程度の温度で４８時間程度の長時間の熱処理を必要とする。これは大変長時間の工程であり、工程のスループットを高めるためには必然的に熱処理炉を多数必要とし、低コスト化が難しいという点が課題である。加えて、耐熱性の高い絶縁性基板として石英ガラスを使わざるを得ないため基板のコストが高く、大面積化には向かないとされている。
【０００５】
一方、工程中の最高温度を下げ、安価な大面積のガラス基板上にｐｏｌｙ−ＳｉＴＦＴを作製するための技術が「低温プロセス」と呼ばれる技術である。ＴＦＴの製造プロセスの中でも、最高温度が概ね６００℃以下の温度環境下において比較的安価な耐熱性のガラス基板上にｐｏｌｙ−ＳｉＴＦＴを製造するプロセスは、一般に「低温プロセス」と呼ばれている。低温プロセスでは、発振時間が極短時間のパルスレーザーを用いてシリコン膜の結晶化を行うレーザー結晶化技術が広く使われている。レーザー結晶化とは、基板上のシリコン薄膜に高出力のパルスレーザー光を照射することによって瞬時に溶融させ、これが凝固する過程で結晶化する性質を利用する技術である。
【０００６】
しかしながら、このレーザー結晶化技術には幾つかの大きな課題がある。一つは、レーザー結晶化技術によって形成したポリシリコン膜の内部に局在する多量の捕獲準位である。この捕獲準位の存在により、電圧の印加によって本来能動層を移動するはずのキャリアが捕獲され、電気伝導に寄与できず、ＴＦＴの移動度の低下、閾値電圧の増大といった悪影響を及ぼす。更に、レーザー出力の制限によって、ガラス基板のサイズが制限されるといった課題もある。レーザー結晶化工程のスループットを向上させるためには、一回で結晶化できる面積を増やす必要がある。しかしながら、現状のレーザー出力には制限があるため、第７世代（１８００ｍｍ×２１００ｍｍ）といった大型基板にこの結晶化技術を採用する場合には、基板一枚を結晶化するために長時間を要する。
【０００７】
また、レーザー結晶化技術は一般的にライン状に成形されたレーザーが用いられ、これを走査させることによって結晶化を行なう。このラインビームは、レーザー出力に制限があるため基板の幅よりも短く、基板全面を結晶化するためには、レーザーを数回に分けて走査する必要がある。これによって基板内にはラインビームの継ぎ目の領域が発生し、二回走査されてしまう領域ができる。この領域は一回の走査で結晶化した領域とは結晶性が大きく異なる。そのため両者の素子特性は大きく異なり、デバイスのバラツキの大きな要因となる。最後に、レーザー結晶化装置は装置構成が複雑であり且つ、消耗部品のコストが高いため、装置コストおよびランニングコストが高いという課題がある。これによって、レーザー結晶化装置によって結晶化したポリシリコン膜を使用したＴＦＴは製造コストが高い素子になってしまう。
【０００８】
このような基板サイズの制限、装置コストが高いといった課題を克服するため、「熱プラズマジェット結晶化法」と呼ばれる結晶化技術が研究されている（例えば、非特許文献１を参照）。本技術を以下に簡単に説明する。タングステン（Ｗ）陰極と水冷した銅（Ｃｕ）陽極を対向させ、ＤＣ電圧を印加すると両極間にアーク放電が発生する。この電極間に大気圧下でアルゴンガスを流すことによって、銅陽極に空いた噴出孔から熱プラズマが噴出する。
【０００９】
熱プラズマとは、熱平衡プラズマであり、イオン、電子、中性原子などの温度がほぼ等しく、それらの温度が１００００Ｋ程度を有する超高温の熱源である。このことから、熱プラズマは被熱物体を容易に高温に加熱することが可能であり、ａ−Ｓｉ膜を堆積した基板が超高温の熱プラズマ前面を高速走査することによってａ−Ｓｉ膜を結晶化することができる。
【００１０】
このように装置構成が極めて単純であり、且つ大気圧下での結晶化プロセスであるため、装置を密閉チャンバ等の高価な部材で覆う必要が無く、装置コストが極めて安くなることが期待できる。また結晶化に必要なユーティリティは、アルゴンガスと電力と冷却水であるため、ランニングコストも安い結晶化技術である。
【００１１】
図１８は、この熱プラズマを用いた半導体膜の結晶化方法を説明するための模式図である。
【００１２】
同図において、熱プラズマ発生装置３１は、陰極３２と、この陰極３２と所定距離だけ離間して対向配置される陽極３３とを備え構成される。陰極３２は、例えばタングステン等の導電体からなる。陽極３３は、例えば銅などの導電体からなる。また、陽極３３は、中空に形成され、この中空部分に水を通して冷却可能に構成されている。また、陽極３３には噴出孔（ノズル）３４が設けられている。陰極３２と陽極３３の間に直流（ＤＣ）電圧を印加すると両極間にアーク放電が発生する。
【００１３】
この状態において、陰極３２と陽極３３の間に大気圧下でアルゴンガス等のガスを流すことによって、上記の噴出孔３４から熱プラズマ３５を噴出させることができる。ここで「熱プラズマ」とは、熱平衡プラズマであり、イオン、電子、中性原子などの温度がほぼ等しく、それらの温度が１００００Ｋ程度を有する超高温の熱源である。
【００１４】
このような熱プラズマを半導体膜の結晶化のための熱処理に利用することができる。具体的には、基板３６上に半導体膜３７（例えば、アモルファスシリコン膜）を形成しておき、当該半導体膜３７に熱プラズマ（熱プラズマジェット）３５を当てる。このとき、熱プラズマ３５は、半導体膜３７の表面と平行な第１軸（図示の例では左右方向）に沿って相対的に移動させながら半導体膜３７に当てられる。すなわち、熱プラズマ３５は第１軸方向に走査しながら半導体膜３７に当てられる。
【００１５】
ここで「相対的に移動させる」とは、半導体膜３７（及びこれを支持する基板３６）と熱プラズマ３５とを相対的に移動させることを言い、一方のみを移動させる場合と両者をともに移動させる場合のいずれも含まれる。このような熱プラズマ３５の走査により、半導体膜３７が熱プラズマ３５の有する高温によって加熱され、結晶化された半導体膜３８（本例ではポリシリコン膜）が得られる（例えば、特許文献１を参照）。
【００１６】
図１９は、最表面からの深さと温度の関係を示す概念図である。同図に示すように、熱プラズマ３５を高速で移動させることにより、表面近傍のみを高温で処理することができる。熱プラズマ３５が通り過ぎた後、加熱された領域は速やかに冷却されるので、表面近傍はごく短時間だけ高温になる。
【００１７】
このような熱プラズマは、点状領域に発生させるのが一般的である。熱プラズマは、陰極３２からの熱電子放出によって維持されており、プラズマ密度の高い位置では熱電子放出がより盛んになるため、正のフィードバックがかかり、ますますプラズマ密度が高くなる。つまり、アーク放電は陰極の１点に集中して生じることとなり、熱プラズマは点状領域に発生する。
【００１８】
半導体膜の結晶化など、平板状の基材を一様に処理したい場合には、点状の熱プラズマを基材全体に渡って走査する必要があるが、走査回数を減らしてより短時間で処理できるプロセスを構築するには、熱プラズマの照射領域を広くすることが有効である。このため、長尺の熱プラズマを発生させ、一方向にのみ走査する技術が検討されている（例えば、特許文献２〜１４を参照）。
【００１９】
大気圧プラズマトーチにおいては、処理性能などを評価する上で、被処理物の温度測定が重要である。そこで、これまでにも様々な被処理物の温度測定方法が提案されている。円筒型の誘導結合型プラズマトーチにおいて、被処理物たるガラス棒の温度を測定しながら、所望の温度になるようにトーチとの距離を調節するもの（例えば、特許文献１５を参照）、長尺の誘導結合型プラズマトーチにおいて、被処理物の温度を斜め上から測定するもの（例えば、特許文献７を参照）、点状領域を処理するＤＣプラズマトーチにおいて、被処理物の温度を測定するもの（例えば、特許文献１６を参照）が開示されている。これらはいずれも放射温度計を用いるもので、放射温度計の優れた特徴である非接触性、高速応答性などが活かされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２０】
【特許文献１】特開２００８−５３６３４号公報
【特許文献２】国際公開第２０１１／１４２１２５号
【特許文献３】特開２０１２−３８８３９号公報
【特許文献４】特開２０１２−５４１２９号公報
【特許文献５】特開２０１２−５４１３０号公報
【特許文献６】特開２０１２−５４１３１号公報
【特許文献７】特開２０１２−５４１３２号公報
【特許文献８】特開２０１２−１７４４９９号公報
【特許文献９】特開２０１２−１７４５００号公報
【特許文献１０】特開２０１３−３７９７７号公報
【特許文献１１】特開２０１３−９３２６４号公報
【特許文献１２】特開２０１３−９３２６５号公報
【特許文献１３】特開２０１３−９３２６６号公報
【特許文献１４】特開２０１３−９８０６７号公報
【特許文献１５】特開２００５−２００２６５号公報
【特許文献１６】特開昭６２−５７７７０号公報
【非特許文献】
【００２１】
【非特許文献１】Ｓ．Ｈｉｇａｓｈｉ，  Ｈ．Ｋａｋｕ，Ｔ．Ｏｋａｄａ，Ｈ．Ｍｕｒａｋａｍｉ  ａｎｄ  Ｓ．Ｍｉｙａｚａｋｉ，Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．４５，５Ｂ（２００６）ｐｐ．４３１３−４３２０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
しかしながら、半導体の結晶化など、ごく短時間だけ基材の表面近傍を高温処理する用途に対して、従来例に示した特許文献２〜１４に記載の熱プラズマを長尺状に発生させる技術では、プラズマが最も高温になる部分が基材から遠いため、基材の温度を十分に高めることが困難であるという問題点があった。
【００２３】
また、熱プラズマの高温部を基材に直接曝露することにより基材の温度を高めることは可能であるが、誘導結合型プラズマトーチユニットを基材に近接させる必要があるため、基材の表面からの放射光を直接見ることができないので、特許文献７、１５または１６に記載の方法を用いることができなかった。
【００２４】
本発明はこのような課題に鑑みなされたもので、熱プラズマの高温部を基材に直接曝露するプラズマ処理装置及び方法において、被処理物の加熱性能を評価することができるプラズマ処理装置及び方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本願の第１発明のプラズマ処理装置は、スリット状の開口部を備える長尺チャンバと、前記長尺チャンバ内にガスを供給するガス導入口と、前記長尺チャンバ内に高周波電磁界を発生させるコイルと、前記コイルに高周波電力を供給する高周波電源と、基材を保持する基材載置部と備えたプラズマ処理装置である。このプラズマ処理装置において、前記長尺チャンバの長手方向と前記開口部の長手方向とは平行に配置され、前記開口部の長手方向に対して垂直な向きに、前記長尺チャンバと前記基材とを相対的に移動可能とする移動機構を備え、不透明薄膜を形成した透明薄板を備え、前記不透明薄膜とは反対の側から、前記不透明膜と前記透明薄板の界面から放射される光を受光する放射温度計を備えたことを特徴とする。
【００２６】
このような構成により、被処理物の加熱性能を評価することができる。
【００２７】
本願の第１発明のプラズマ処理装置において、好適には、前記放射温度計が温度測定のために受光する光の波長における前記不透明膜の透過率が６５％以上であることが望ましい。
【００２８】
このような構成により、精度よく被処理物の加熱性能を評価することができる。
【００２９】
また、好適には、前記透明薄板が円筒状であり、かつ、円筒の軸を中心として回転可能な構成となっていることが望ましい。
【００３０】
このような構成により、加熱性能評価機能を簡単な構成で装置に組み込むことができる。
【００３１】
また、好適には、前記不透明薄膜が複数の孤立パターンであることが望ましい。
【００３２】
このような構成により、精度よく被処理物の加熱性能を評価することができる。
【００３３】
さらにこの場合、好適には、前記不透明薄膜が複数の短冊状であることが望ましい。
【００３４】
このような構成により、さらに精度よく被処理物の加熱性能を評価することができる。
【００３５】
さらにこの場合、好適には、前記短冊の長手方向が、前記開口部の長手方向に対して垂直な向きに平行であることが望ましい。
【００３６】
このような構成により、さらに精度よく被処理物の加熱性能を評価することができる。
【００３７】
また、前記透明薄板が円筒状であり、かつ、円筒の軸を中心として回転可能な構成とした場合、好適には、前記円筒状の透明薄板の内側にミラーを備え、前記透明薄板の界面から放射され前記放射温度計が受光する光の光軸が、前記ミラーにより曲げられることが望ましい。
【００３８】
このような構成により、加熱性能評価機能をさらに簡単な構成で装置に組み込むことができる。
【００３９】
或いは、前記移動機構が基材を保持するトレーを移動させる機構であり、前記トレーの端部が斜面状になっていることが望ましい。
【００４０】
このような構成により、安定なプラズマ処理が実現できる。
【００４１】
また、この場合、好適には、前記長尺チャンバと前記円筒状の透明薄板との距離が可変であることが望ましい。
【００４２】
このような構成により、さらに安定なプラズマ処理が実現できる。
【００４３】
本願の第２発明のプラズマ処理方法は、スリット状の開口部を備えた長尺チャンバ内にガスを供給しつつ、コイルに高周波電力を供給することで、前記長尺チャンバ内に高周波電磁界を発生させてプラズマを発生させ、基材を前記開口部に近接して配置しつつ、前記開口部近傍のプラズマに曝露することにより、前記基材の表面を処理するプラズマ処理方法である。このプラズマ処理方法において、前記基材の処理に先立ち、不透明薄膜を形成した透明薄板を前記開口部近傍のプラズマに曝露しつつ、前記不透明薄膜とは反対の側から、前記不透明膜と前記透明薄板の界面から放射される光を放射温度計で受光することで、不透明薄膜の温度を測定することを特徴とする。
【００４４】
このような構成により、被処理物の加熱性能を評価することができる。
【発明の効果】
【００４５】
本発明によれば、熱プラズマの高温部を基材に直接曝露するプラズマ処理装置及び方法において、被処理物の加熱性能を評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施の形態１におけるプラズマ処理装置の構成を示す断面図
【図２】本発明の実施の形態１におけるプラズマ処理装置の構成を示す斜視図
【図３】本発明の実施の形態１におけるプラズマ処理装置の構成を示す断面図
【図４】本発明の実施の形態１におけるプラズマ処理装置の構成を示す断面図
【図５】本発明の実施の形態１における温度測定板の構成を示す平面図及び断面図
【図６】本発明の実施の形態２における温度測定板の構成を示す平面図
【図７】本発明の実施の形態３における温度測定板の構成を示す平面図
【図８】本発明の実施の形態４における温度測定板の構成を示す平面図
【図９】本発明の実施の形態５におけるプラズマ処理装置の構成を示す斜視図
【図１０】本発明の実施の形態５におけるプラズマ処理装置の構成を示す断面図
【図１１】本発明の実施の形態５におけるプラズマ処理装置の構成を示す斜視図
【図１２】本発明の実施の形態６におけるプラズマ処理装置の構成を示す斜視図
【図１３】本発明の実施の形態７におけるプラズマ処理装置の構成を示す断面図
【図１４】本発明の実施の形態８におけるプラズマ処理装置の構成を示す断面図
【図１５】本発明の実施の形態９におけるプラズマ処理装置の構成を示す断面図
【図１６】本発明の実施の形態１０におけるプラズマ処理装置の構成を示す断面図
【図１７】本発明の実施の形態１１におけるプラズマ処理装置の構成を示す断面図
【図１８】従来例におけるプラズマ処理装置の構成を示す断面図
【図１９】従来例における最表面からの深さと温度の関係を示す概念図
【発明を実施するための形態】
【００４７】
以下、本発明の実施の形態におけるプラズマ処理装置について図面を用いて説明する。
【００４８】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１について、図１〜図５を参照して説明する。
【００４９】
図１（ａ）は、本発明の実施の形態１におけるプラズマ処理装置の構成を示すもので、誘導結合型プラズマトーチユニットＴの長尺方向に垂直な面で切った断面図である。図１（ｂ）は、誘導結合型プラズマトーチユニットの長尺方向に平行で、かつ、基材に垂直な面で切った断面図である。
【００５０】
図１（ａ）は図１（ｂ）の破線で切った断面図、図１（ｂ）は図１（ａ）の破線で切った断面図、また、図２は、図１に示した誘導結合型プラズマトーチユニットの組立構成図であり、各部品（一部）の斜視図を並べたものである。
【００５１】
図１及び図２において、透明薄板としての温度測定板１上に不透明膜としてのクロム膜２が形成されている。誘導結合型プラズマトーチユニットＴにおいて、導体製のコイル３が誘電体製の第一セラミックスブロック４及び第二セラミックスブロック５の近傍に配置される。コイル３は、断面が円形の銅管を、断面が直方体の銅ブロックに接着したものである。第一セラミックスブロック４、第二セラミックスブロック５及び温度測定板１の表面をなすクロム膜２によって囲まれた空間により、誘電体製の長尺チャンバ７が画定される。長尺チャンバ７は、温度測定板１がなす面に垂直な面に沿って設けられている。
【００５２】
また、コイル３の中心軸は、温度測定板１に平行で、かつ、長尺チャンバ７を含む平面に垂直な向きになるよう構成される。すなわち、コイル３の一巻きが構成する面は基材がなす面に垂直な面に沿って、かつ、長尺チャンバ７を含む平面に沿って設けられている。また、コイル３は、第一セラミックスブロック４の外側、第二セラミックスブロック５の外側に各一つずつ配置され、かつ、長尺チャンバ７から離れた位置で直列に接続され、高周波電力を印加した際に長尺チャンバに発生させる高周波電磁界の向きが互いに等しくなるようになっている。
【００５３】
コイル３は、これら二つのうちのどちらか一方だけでも機能しうるが、本実施の形態のように、長尺チャンバ７を挟んで二つを設けた方が、長尺チャンバ７内に発生する電磁界の強度を強めることができるという利点がある。
【００５４】
誘導結合型プラズマトーチユニットＴは、全体が接地された導体製のシールド部材（図示しない）で囲われ、高周波の漏洩（ノイズ）が効果的に防止できるとともに、好ましくない異常放電などを効果的に防止できる。
【００５５】
長尺チャンバ７は、第一セラミックスブロック４の一つの平面と、第二セラミックスブロック５に設けた溝に囲まれている。また、これらの誘電体部材としての２つの誘電体ブロックは貼り合わされている。つまり、長尺チャンバ７は、開口部８以外が誘電体で囲まれている構成である。また、長尺チャンバ７は環状である。
【００５６】
ここでいう環状とは、一続きの閉じたヒモ状をなす形状を意味し、円形に限定されるものではない。本実施の形態においては、長方形（２つの長辺をなす直線部と、その両端に２つの短辺をなす直線が連結されてなる、一続きの閉じたヒモ状の形状）の長尺チャンバ７を例示している。長尺チャンバ７に発生したプラズマＰは、長尺チャンバ７における長尺で線状の開口部８において、温度測定板１の表面をなすクロム膜２に接触する。また、長尺チャンバ７の長手方向と開口部８の長手方向とは平行に配置されている。
【００５７】
第二セラミックスブロック５の内部にプラズマガスマニホールド９が設けられている。プラズマガス供給配管１０よりプラズマガスマニホールド９に供給されたガスは、第二セラミックスブロック５に設けられたガス導入部としてのプラズマガス供給穴１１（貫通穴）を介して、長尺チャンバ７に導入される。このような構成により、長手方向に均一なガス流れを簡単に実現できる。プラズマガス供給配管１０へ導入するガスの流量は、その上流にマスフローコントローラなどの流量制御装置を備えることにより制御される。
【００５８】
プラズマガス供給穴１１は、長尺のスリットであるが、丸い穴状のものを長手方向に複数設けたものであってもよい。
【００５９】
温度測定板１は、トレーとしての基材ホルダ１５上に載置される。温度測定板１の温度を測定することにより被処理物の加熱性能を評価する際には、このような構成とする。一方、基材を処理する際には、温度測定板１の代わりに、基材を基材ホルダ１５上に載置する。温度測定板１の外形を基材と同一にしておくことにより、このような構成をとることができる。
【００６０】
基材ホルダ１５には、温度測定板１の外形とほぼ相似形でわずかに小さい貫通穴と、温度測定板１の外形とほぼ相似形でわずかに大きい座グリ部とが設けられ、温度測定板１をこの座グリ部に載せることで、基材ホルダ１５の誘導結合型プラズマトーチユニットＴに対向する側の面の座グリ部よりも外側の部分と、温度測定板１の表面とがほぼ同一面を構成するよう、座グリ部の深さは温度測定板１の厚さとほぼ等しく構成される。
【００６１】
このような構成とすることで、基材ホルダ１５を誘導結合型プラズマトーチユニットＴに対して相対的に移動させたとき、基材ホルダ１５の位置にかかわらず、プラズマを発生させる空間たる長尺チャンバ７の形状がほぼ一定となる。つまり、移動にともなうプラズマの揺動を抑えることができる。
【００６２】
コイル３内の銅管の内部は冷媒流路となっている。また、その外側に接着された銅ブロックは、接着剤（図示しない）によって第一セラミックスブロック４または第二セラミックスブロック５に接着されている。このように、コイル３の断面を直方体とすることで、第一セラミックスブロック４または第二セラミックスブロック５との間の接着剤をできるだけ薄くすることができるので、良好な熱伝導が確保される。したがって、コイル３を構成する銅管に水などの冷媒を流すことで、コイル３、第一セラミックスブロック４及び第二セラミックスブロック５の冷却が可能である。
【００６３】
長方形の線状の開口部８が設けられ、温度測定板１（或いは、温度測定板１上のクロム膜２）は、開口部８と対向して配置されている。事前に、長尺チャンバ内にガスを供給しつつ、開口部８からガスを噴出させながら、図示していない高周波電源よりコイル３に例えば１３．５６ＭＨｚの高周波電力を供給することにより、長尺チャンバ７にプラズマＰを発生させておき、その後、温度測定板１を誘導結合型プラズマトーチユニットＴの近傍に移動させ、開口部８付近のプラズマを温度測定板１の表面をなすクロム膜２に曝露する。
【００６４】
このとき、開口部８の長手方向に対して垂直な向きに、長尺チャンバ７と温度測定板１とを相対的に移動させる。つまり、図１（ａ）の左右方向へ、図１（ｂ）の紙面に垂直な方向へ、誘導結合型プラズマトーチユニットＴまたは温度測定板１を動かす。
【００６５】
この相対的な移動の速度が十分に速い場合、温度測定板１の下方よりも上方、或いはクロム膜２の方が高い温度にまで加熱されることとなる。また、温度変化の急激さは、温度測定板１の下方よりも上方、或いはクロム膜２の方が激しくなる。したがって、プラズマ処理装置の加熱性能を評価するためには、温度測定板１の表面側（上方）の温度を測定する必要がある。しかしながら、誘導結合型プラズマトーチユニットＴを温度測定板１に近接させる必要があるため、温度測定板１の表面からの放射光を直接見ることができないので、放射温度計の優れた特徴である非接触性、高速応答性などを活かすことができない。
【００６６】
一方、熱電対などは応答速度が遅すぎて、正確な温度測定は不可能である。そこで、透明な薄板に不透明な薄膜を形成したものを基材に見立て、不透明膜と透明薄板の界面から放射される光を放射温度計で受光することによって、温度測定板１の表面側（上方）の温度を測定する方法を考案した。
【００６７】
図１（ａ）に示すように、不透明膜と透明薄板の界面から放射される光をレンズ１２にて集め、放射温度計１３まで光ファイバで導く。レンズを適切に設計することにより、直径１ｍｍ以下の領域の局所的な温度変化を測定することができる。
【００６８】
温度測定板１として、厚さ０．７ｍｍのガラス基板を用いた。クロム膜２の膜厚は３μｍとした。クロム膜２は、密着性を向上させるためにガラス板の表面をサンドブラスト処理により凹凸を形成した後、スパッタリング法により形成した。
【００６９】
また、放射温度計１３が温度測定のために受光する光の波長を約２μｍとした。我々の測定によれば、クロム膜２の波長：２μｍの光に対する透過率は、膜厚１００ｎｍ以上でほぼゼロであり、また、ガラスの波長：２μｍの光に対する透過率は９０％以上であるので、クロム膜２とガラス板の界面から放射される光を放射温度計１３で捉えることができる。ここで、クロム膜２が波長：２μｍの光を透過してしまうような材質であると、プラズマの強烈な発光が放射温度計１３に導かれてしまい、正確な温度測定ができない。
【００７０】
また、ガラス板が波長：２μｍの光を透過しないような材質であると、クロム膜２とガラス板の界面から放射される光が減衰してしまうため、正確な温度測定ができない。一般に、放射温度計を用いる際の透過窓の材質選定の目安としては、測定波長における透過率≧６５％が推奨されていることから（例えば、ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｈａｚａｍａ−ｓｏｋｋｉ．ｃｏ．ｊｐ／ｋｎｏｗ／ｏｎｅｐｏｉｎｔ／ｏｎｅｐｏｉｎｔ＿０４．ｈｔｍｌを参照）、放射温度計１３が温度測定のために受光する光の波長における不透明膜の透過率は６５％以上であることが望ましいと考えられる。
【００７１】
このようにして得られる温度測定結果は、プラズマ処理の性能を評価する上で有用である。例えば、これに基づいて装置の正常／異常の判定に用いることができる。或いは、モードジャンプ判定に用いることができる。ここで、モードジャンプとは、プラズマが低温・低電子密度の容量結合モードと高温・高電子密度の誘導結合モードとの間で不連続な状態変化を起こす現象を指す。
【００７２】
一般に誘導結合型プラズマトーチにおいては、容量結合モードでプラズマを着火させた後、誘導結合モードへのモードジャンプを経て運転される。温度測定を行うことによりどちらのモードでプラズマが発生しているかを知ることができる（誘導結合モードの方がはるかに高い温度が検出される）ので、装置が正しく誘導結合モードで運転できているかどうかを判定することが可能となる。
【００７３】
或いは、種々の部品等の経時変化などで、同一条件で運転した際の温度測定結果がわずかに異なることがありうるが、このような場合にプラズマ発生条件を変化させて同じ温度測定結果が得られるように調整することが可能である。変化させるパラメータとしては、高周波電力の大きさが簡便さ、制御性に優れる。
【００７４】
長尺チャンバ７内に供給するガスとして種々のものが使用可能だが、プラズマの安定性、着火性、プラズマに暴露される部材の寿命などを考えると、不活性ガス主体であることが望ましい。なかでも、Ａｒガスが典型的に用いられる。Ａｒのみでプラズマを生成させた場合、プラズマは相当高温となる（１０，０００Ｋ以上）。
【００７５】
プラズマ発生の条件としては、走査速度＝５０〜３０００ｍｍ／ｓ、プラズマガス総流量＝１〜１００ＳＬＭ、Ａｒ＋Ｈ2ガス中のＨ2濃度＝０〜１０％、高周波電力＝０．５〜５０ｋＷ程度の値が適切である。ただし、これらの諸量のうち、ガス流量及び電力は、開口部８の長さ１００ｍｍ当たりの値である。ガス流量や電力などのパラメータは、開口部８の長さに比例した量を投入することが適切と考えられるためである。
【００７６】
図３〜図４は、図１〜図２に示した誘導結合型プラズマトーチユニットを搭載したプラズマ処理装置の構成を示す断面図である。図３を拡大表示したものが図１（ａ）である。図３に示すように、レンズ１２を誘導結合型プラズマトーチユニットＴの真下でない位置に配置して、斜めから放射光を捉えてもよいし、図４に示すように、レンズ１２を誘導結合型プラズマトーチユニットＴの真下の位置に配置して、垂直に放射光を捉えてもよい。
【００７７】
図５は、温度測定板１の構成を示す（ａ）平面図及び（ｂ）断面図である。図５において、クロム膜２は複数の短冊状の孤立パターンである。また、短冊の長手方向が、開口部８の長手方向に対して垂直な向きに平行であるように配置する。クロム膜２を温度測定板１の全面に形成すると、温度測定板１が開口部８に近づいた際、コイルによる強い高周波電磁界の影響で、クロム膜２内を渦電流が流れる。場合によっては、渦電流はクロム膜２内を局所的に流れるので、クロム膜２が局所的にジュール損によって加熱され、膜剥がれなどの不良現象が生ずる。クロム膜２を複数の孤立パターンにしておくことで、渦電流が極めて流れにくくなり、膜剥がれなどの不良現象を効果的に抑制できる。
【００７８】
また、渦電流はコイルの素線に沿って強く生じる傾向があるため、長尺方向に流れやすい。したがって、短冊状にするとともに、短冊の長手方向が、開口部８の長手方向に対して垂直な向きに平行であるように配置することで、さらに効果的に渦電流を抑制することができる。
【００７９】
このような構成において、温度を測定しようとしている位置に対して、図３に示すようにレンズ１２を運動の進行方向にずらせて配置して、斜め下から放射光を捉える構成とすることで、プラズマ発光による測定誤差を低減できる。
【００８０】
プラズマの発光は、温度測定板１の裏面（下方のガラスと空気の界面）、表面（クロム膜２とガラスの界面）の他、トレーの表面・裏面や、その他図示していない装置筐体の内壁などでも反射する。クロム膜２を短冊状の孤立パターンとし、短冊の長手方向が、開口部８の長手方向に対して垂直な向きに平行であるようにしておくことで、レンズ１２へ入射する光路を不透明なクロム膜２で分断できるため、プラズマ発光の影響を抑制できる。したがって、温度測定の精度が高まる。
【００８１】
また、複数の短冊としているので、レンズ１２の配置をスライドさせることで、長尺方向の温度分布を測定することができる。
【００８２】
透明薄板としての温度測定板１は、装置の所定位置に格納しておき、必要に応じて取り出して評価することが可能である。或いは、平板状のトレーとしての基材ホルダ１５をガラスなどの透明薄板にしておき、これに直接不透明膜を形成したものを用いてもよい。
【００８３】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２について、図６を参照して説明する。
【００８４】
図６は、温度測定板１の構成を示す平面図である。図６において、クロム膜２はガラス板上に２次元配置された複数の四角形状の孤立パターンである。
【００８５】
このような構成によっても、渦電流の影響低減が可能で、また、レンズ１２の配置をスライドさせることで、長尺方向の温度分布を測定することができる。
【００８６】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３について、図７を参照して説明する。
【００８７】
図７は、温度測定板１の構成を示す平面図である。図７において、クロム膜２は１本の短冊状のパターンである。
【００８８】
このような構成によっても、渦電流の影響低減が可能で、また、プラズマ発光の影響を抑制できる。
【００８９】
（実施の形態４）
以下、本発明の実施の形態４について、図８を参照して説明する。
【００９０】
図８は、温度測定板１の構成を示す平面図である。図８において、クロム膜２はガラス板上に一文字状に配置された複数の四角形状の孤立パターンである。
【００９１】
このような構成によっても、渦電流の影響低減が可能で、また、レンズ１２の配置をスライドさせることで、長尺方向の温度分布を測定することができる。
【００９２】
（実施の形態５）
以下、本発明の実施の形態５について、図９〜図１１を参照して説明する。
【００９３】
図９は、図１〜図２に示した誘導結合型プラズマトーチユニットを搭載したプラズマ処理装置の構成を示す斜視図である。図９において、誘導結合型プラズマトーチユニットＴに対向して、基材１６を保持する基材載置部としてのローラー１８が複数設けられ、ローラー１８の上を、基材ホルダ１５とその上に搭載された基材１６とが、誘導結合型プラズマトーチユニットＴと、これに対向して設けられた対向部としての対向回転体１７との間を通過することで、プラズマ処理が行われる。複数あるローラー１８の全てまたはいくつかを回転駆動することで、基材ホルダ１５の搬送が実現できる。
【００９４】
対向回転体１７は、誘導結合型プラズマトーチユニットＴに対して常に対向して配置されている。対向回転体１７は、長尺チャンバの長手方向に平行な軸を中心として回転可能な円筒である。つまり、対向回転体１７の長尺チャンバと対向した面が、長尺チャンバの長手方向に垂直な向きに運動可能に構成されている。
【００９５】
図１０は、基材ホルダ１５が誘導結合型プラズマトーチユニットＴの真下にない状態における、誘導結合型プラズマトーチユニットＴと対向回転体１７が対向している部分を拡大した断面図である。
【００９６】
図１０において、対向回転体１７を回転運動させながら、誘導結合型プラズマトーチユニットＴ内の長尺チャンバ７内にプラズマガス供給穴１１よりＡｒまたはＡｒ＋Ｈ2ガスを供給しつつ、開口部８から対向回転体１７に向けてガスを噴出させながら、図示していない高周波電源より１３．５６ＭＨｚの高周波電力を、コイル３に供給することにより、長尺チャンバ７内に高周波電磁界を発生させることでプラズマＰを発生させ、開口部８付近のプラズマを対向回転体１７に曝露する。つまり、第一セラミックスブロック４、第二セラミックスブロック５及び対向回転体１７の表面によって囲まれた空間により、誘電体製の長尺チャンバ７が画定された状態で、プラズマを安定的に着火させる。
【００９７】
このとき、開口部８の下方が広く開放されていると、プラズマを発生させる空間たる長尺チャンバ７の形状が画定されず、安定した着火を行うことができない。
【００９８】
このように、基材１６から離れたところでプラズマの着火を行うことで、基材１６に対する着火ステップに伴う不安定なプラズマ照射を避けるとともに、着火後に十分な加速時間を経て移動速度が一定に達した後に基材１６にプラズマ照射することができるので、基材１６の端から端までを均一に処理することができる。
【００９９】
また、対向回転体１７が回転している状態でプラズマを発生させるので、対向回転体１７の一部が長時間に渡って加熱されることで溶融したり損傷・破損したりすることを避けることができる。これは、対向回転体１７の表面における低温部が、次々に開口部８近傍のプラズマ照射部に移動してくる一方、対向回転体１７の表面におけるプラズマ照射によって加熱された高温部が、次々に開口部８近傍のプラズマ照射部から離れていき、速やかに冷却されるからである。
【０１００】
対向回転体１７の表面温度は、開口部８近傍でプラズマ照射された瞬間が最も高く、その後徐々に低下して再び開口部８近傍に戻ってくる直前に最も低くなる。その温度水準は、移動熱容量、放熱性や、主に供給する高周波電力の大きさによって決まるプラズマ照射の強度に依存する。対抗回転体１７の表面にクロム膜２が形成されているが、その詳細は後述する。着火は、誘導結合型プラズマトーチユニットＴがクロム膜２の直上にあるタイミングで行ってもよいし、そうでないタイミングで行ってもよい。
【０１０１】
図１１は、対向回転体１７と温度測定系の構成を示す斜視図である。図１１において、対向回転体１７は、円筒状の薄いガラスで構成され、その表面にクロム膜２を形成している。クロム膜２は複数の短冊状の孤立パターンである。また、短冊の長手方向が、開口部８の長手方向に対して垂直な向きに平行であるように配置されている。
【０１０２】
このようなパターニングの効果については、実施の形態１と同様である。対向回転体の内部にミラー１９が設けられ、クロム膜２とガラス円筒の界面から放射される光をレンズ１２に導くべく、光路２０が曲げられる。ミラー１９とレンズ１２の相対位置を固定したまま、これらを対向回転体１７の回転軸方向に動かすことで、異なる短冊パターンに対応した位置の温度を測定することができる。ミラー１９のみを動かし、レンズ１２の焦点距離を変化させてもよい。或いは、ミラー１９の角度を変化させてもよい。
【０１０３】
対向回転体１７の回転とは無関係にミラー１９の角度を固定しておくことで、誘導結合型プラズマトーチユニットＴの特定の場所に近い位置におけるクロム膜２の温度を測定することができる。この場合、放射温度計１３は、一定温度を指すこととなる。一方、光路２０と対向回転体１７の回転軸を一致させ、かつ、対向回転体１７の回転に合わせてミラー１９を回転させることで、対向回転体１７における常に同一のクロム膜２の温度を測定することができる。この場合、放射温度計１３は、昇温、降温を繰返すこととなる。つまり、誘導結合型プラズマトーチユニットＴの近傍を通過する際の温度プロファイルの取得が可能である。
【０１０４】
クロム膜２からなる短冊は、対向回転体１７がなす円筒の周の一部に設けたが、全周にわたって設けることも可能である。しかし、スパッタリングなどの薄膜形成プロセスでクロム膜２などの不透明膜形成を行う場合は、全周に設けるのは手間がかかるため、周の一部に設ける方がよい。
【０１０５】
また、対向回転体１７の表面に直接、クロム膜２を形成するのではなく、誘電体または導体の円筒に対して、円筒の曲率に合わせて製作した曲面状のガラス板にクロム膜２を形成したものを嵌め込んでもよい。
【０１０６】
（実施の形態６）
以下、本発明の実施の形態６について、図１２を参照して説明する。
【０１０７】
図１２は、対向回転体１７と温度測定系の構成を示す斜視図である。図１２において、対向回転体１７は、円筒状の薄いガラスで構成され、その表面にクロム膜２を形成している。クロム膜２は一本の短冊状の孤立パターンである。長尺方向の温度分布を知る必要がない場合は、このような構成も可能である。
【０１０８】
（実施の形態７）
以下、本発明の実施の形態７について、図１３を参照して説明する。
【０１０９】
図１３は、基材１６を搭載した基材ホルダ１５が、図の左側から誘導結合型プラズマトーチユニットＴと対向回転体１７が対向している部分に近づいていく様子を、（ａ）〜（ｅ）の順に並べた断面図である。
【０１１０】
基材ホルダ１５の端部は斜面２１を構成している。誘導結合型プラズマトーチユニットＴと、その開口部８に対向する部分（図１３（ａ）〜（ｂ）における対向回転体１７）との距離が急激に変化すると、プラズマＰが不安定になったり、場合によっては失火或いは容量結合モード（低密度プラズマ状態）にモード変化を起こすことがある。
【０１１１】
これを避けるためには、図１３（ｃ）に示すように、斜面２１にプラズマＰを照射するタイミングで誘導結合型プラズマトーチユニットＴを徐々に上昇させ、誘導結合型プラズマトーチユニットＴと、その開口部８に対向する部分（図１３（ｃ）における斜面２１）との距離を一定に保つことが有効である。ここでは、誘導結合型プラズマトーチユニットＴを徐々に上昇させる場合を例示したが、対向回転体１７を徐々に下降させてもよい。誘導結合型プラズマトーチユニットＴには、ガス、高周波電力、冷却水など多数の配管、配線を接続する必要があるので、対向回転体１７を下降させる方が簡単な装置構成となる。いずれにせよ、長尺チャンバ７と対向回転体１７との距離が可変であるように構成する。また、斜面２１は平面（断面が直線）である必要はなく、曲面（断面が曲線）であってもよい。
【０１１２】
同様に、基材ホルダ１５が誘導結合型プラズマトーチユニットＴと対向回転体１７が対向している部分を通り過ぎるタイミングにおいても、図示しない基材ホルダ１５の左側の端部をも斜面としておくとともに、誘導結合型プラズマトーチユニットＴを徐々に下降させるか、または、対向回転体１７を徐々に上昇させることで、誘導結合型プラズマトーチユニットＴと、その開口部８に対向する部分との距離を一定に保つことができる。
【０１１３】
なお、基材ホルダ１５などのトレーを用いず、ローラー１８上で直に基材１６を搬送することも可能である。この場合も、長尺チャンバ７と対向回転体１７との距離が可変であることは、プラズマの変動抑制に有効である。また、太陽電池基板などのように極めて薄い（２００μｍ未満）基材１６であれば、長尺チャンバ７と対向回転体１７との距離を可変にする必要がない場合もあり得る。
【０１１４】
また、ローラー１８を用いず、ロボット、リニアスライダなど他の搬送機構を利用してもよい。
【０１１５】
（実施の形態８）
以下、本発明の実施の形態８について、図１４を参照して説明する。
【０１１６】
図１４は本発明の実施の形態８におけるプラズマ処理装置の構成を示すもので、誘導結合型プラズマトーチユニットＴの長尺方向に垂直な面で切った断面図ある。図１４（ａ）は誘導結合型プラズマトーチユニットＴの着火シーケンスまたは準備段階を示し、図１４（ｂ）はプラズマ処理中の段階を示し、図１４（ｃ）は準備段階またはプラズマ処理が完了した後の失火シーケンスを示す。
【０１１７】
本実施の形態においては、実施の形態５において用いたような、基材１６の進行方向に対して誘導結合型プラズマトーチユニットＴとの位置関係が固定された対向回転体を用いるのではなく、トレーとしての基材ホルダ１５とともに搬送される第１移動回転体２２及び第２移動回転体２３を備える。第１移動回転体２２及び第２移動回転体２３は、その上面の高さが、基材ホルダ１５の上面及び基材１６の上面と一致するように配置されており、また、長尺チャンバ７の長手方向に平行な軸を中心として回転可能な円筒である。つまり、第１移動回転体２２及び第２移動回転体２３の長尺チャンバ７と対向した面が、長尺チャンバ７の長手方向に垂直な向きに運動可能に構成されている。
【０１１８】
図１４（ａ）に示すように、第１移動回転体２２を回転させながらプラズマの着火を行うことで、基材１６に対する着火ステップに伴う不安定なプラズマ照射を避けるとともに、着火後に十分な加速時間を経て移動速度が一定に達した後に基材１６にプラズマ照射することができるので、基材１６の端から端までを均一に処理することができる。
【０１１９】
図１４（ａ）は着火シーケンスではなく、準備段階を示すものと考えることもできる。図の右から左へと搬送されプラズマ処理を終えた基材１６を、次に処理すべき未処理の基材１６と交換するタイミングにおいて、プラズマを停止させることなくこれを行いたい場合がある。このような場合は、第１移動回転体２２を回転させながらプラズマを維持しておくことができる。
【０１２０】
一方、図１４（ｃ）に示すように、第２移動回転体２３を回転させながらプラズマの失火を行うことで、不安定なプラズマ状態を経ずに安全に失火シーケンスを行うことができる。
【０１２１】
同様に、図１４（ｃ）は失火シーケンスではなく、準備段階を示すものと考えることもできる。図の左から右へと搬送されプラズマ処理を終えた基材１６を、次に処理すべき未処理の基材１６と交換するタイミングにおいて、プラズマを停止させることなくこれを行いたい場合がある。このような場合は、第２移動回転体２３を回転させながらプラズマを維持しておくことができる。
【０１２２】
第１移動回転体２２または第２移動回転体２３を、実施の形態５〜６に示した対向回転体１７と同様の構造に構成しておくことで、温度測定を行うことができる。
【０１２３】
（実施の形態９）
以下、本発明の実施の形態９について、図１５を参照して説明する。
【０１２４】
図１５は本発明の実施の形態９におけるプラズマ処理装置の構成を示すもので、基材１６を搭載した基材ホルダ１５と、第１移動回転体２２及び第２移動回転体２３の断面図である。
【０１２５】
図１５において、基材ホルダ１５の両端部を、第１移動回転体２２及び第２移動回転体２３と半径がほぼ等しい半円形状に構成している。
【０１２６】
このような構成により、誘導結合型プラズマトーチユニットＴの開口部８が、第１移動回転体２２または第２移動回転体２３から基材ホルダ１５の間を通過する際の、誘導結合型プラズマトーチユニットＴの開口部８とそれに対向する部分との距離の変化を小さくすることが可能となるので、プラズマＰが不安定になったり、場合によっては失火或いは容量結合モード（低密度プラズマ状態）にモード変化を起こすことを効果的に抑制できる。
【０１２７】
（実施の形態１０）
以下、本発明の実施の形態１０について、図１６を参照して説明する。
【０１２８】
図１６は本発明の実施の形態１０におけるプラズマ処理装置の構成を示すもので、基材１６を搭載した基材ホルダ１５と、第１移動回転体２２及び第２移動回転体２３の断面図である。
【０１２９】
図１６において、基材ホルダ１５の両端部のうちの上部を、第１移動回転体２２及び第２移動回転体２３と半径がほぼ等しい半円形状に構成している。
【０１３０】
このような構成によっても、誘導結合型プラズマトーチユニットＴの開口部８が、第１移動回転体２２または第２移動回転体２３から基材ホルダ１５の間を通過する際の、誘導結合型プラズマトーチユニットＴの開口部８とそれに対向する部分との距離の変化を小さくすることが可能となる。その結果、プラズマＰが不安定になったり、場合によっては失火或いは容量結合モード（低密度プラズマ状態）にモード変化を起こすことを効果的に抑制できる。
【０１３１】
（実施の形態１１）
以下、本発明の実施の形態１１について、図１７を参照して説明する。
【０１３２】
図１７は本発明の実施の形態１１におけるプラズマ処理装置の構成を示すもので、誘導結合型プラズマトーチユニットＴの長尺方向に垂直な面で切った断面図である。図１７（ａ）は誘導結合型プラズマトーチユニットＴの着火シーケンスまたは準備段階を示し、図１７（ｂ）はプラズマ処理中の段階を示し、図１７（ｃ）は準備段階またはプラズマ処理が完了した後の失火シーケンスを示す。
【０１３３】
本実施の形態においては、実施の形態５〜１０において用いたような回転体を用いるのではなく、トレーとしての基材ホルダ１５とともに搬送される第１スライド板２４及び第２スライド板２５を備える。第１スライド板２４及び第２スライド板２５は、その上面の高さが、基材ホルダ１５の上面及び基材１６の上面と一致するように配置されており、また、長尺チャンバ７の長手方向に垂直な方向に往復運動可能な平板である。つまり、第１スライド板２４及び第２スライド板２５の長尺チャンバ７と対向した面が、長尺チャンバ７の長手方向に垂直な向きに運動可能に構成されている。
【０１３４】
図１７（ａ）に示すように、第１スライド板２４を往復運動させながらプラズマの着火を行うことで、基材１６に対する着火ステップに伴う不安定なプラズマ照射を避けるとともに、着火後に十分な加速時間を経て移動速度が一定に達した後に基材１６にプラズマ照射することができるので、基材１６の端から端までを均一に処理することができる。
【０１３５】
図１７（ａ）は着火シーケンスではなく、準備段階を示すものと考えることもできる。図の右から左へと搬送されプラズマ処理を終えた基材１６を、次に処理すべき未処理の基材１６と交換するタイミングにおいて、プラズマを停止させることなくこれを行いたい場合がある。このような場合は、第１スライド板２４を往復運動させながらプラズマを維持しておくことができる。
【０１３６】
一方、図１７（ｃ）に示すように、第２スライド板２５を往復運動させながらプラズマの失火を行うことで、不安定なプラズマ状態を経ずに安全に失火シーケンスを行うことができる。
【０１３７】
同様に、図１７（ｃ）は失火シーケンスではなく、準備段階を示すものと考えることもできる。図の左から右へと搬送されプラズマ処理を終えた基材１６を、次に処理すべき未処理の基材１６と交換するタイミングにおいて、プラズマを停止させることなくこれを行いたい場合がある。このような場合は、第２スライド板２５を往復運動させながらプラズマを維持しておくことができる。
【０１３８】
このような構成によれば、往復運動の向きが変わる際に第１スライド板２４及び第２スライド板２５の速度がゼロとなる瞬間があるので、回転体を用いる場合に比べて、第１スライド板２４及び第２スライド板２５がダメージを受ける可能性があるものの、誘導結合型プラズマトーチユニットＴの開口部８が、第１スライド板２４または第２スライド板２５から基材ホルダ１５の間を通過する際の隙間を最小にできる。その結果、誘導結合型プラズマトーチユニットＴの開口部８とそれに対向する部分との距離の変化を小さくすることが可能となり、プラズマＰが不安定になったり、場合によっては失火或いは容量結合モード（低密度プラズマ状態）にモード変化を起こすことをさらに効果的に抑制できる。
【０１３９】
なお、第１スライド板２４及び第２スライド板２５はその上面（誘導結合型プラズマトーチユニットＴに対向することになる面）が平面であればよく、逆の面が平面である必要はない。
【０１４０】
第１スライド板２４または第２スライド板２５を、実施の形態１〜４に示した温度測定板１と同様の構造に構成しておくことで、温度測定を行うことができる。
【０１４１】
以上述べたプラズマ処理装置及び方法は、本発明の適用範囲のうちの典型例を例示したに過ぎない。
【０１４２】
例えば、固定された誘導結合型プラズマトーチユニットＴに対して、基材ホルダ１５を走査するものを例示したが、誘導結合型プラズマトーチユニットＴを、固定された基材載置台に対して走査してもよい。
【０１４３】
また、本発明の種々の構成によって、基材１６の表面近傍を高温処理することが可能となる。例えば、従来例で詳しく述べたＴＦＴ用半導体膜の結晶化や太陽電池用半導体膜の改質に適用可能であることは勿論、プラズマディスプレイパネルの保護層の清浄化や脱ガス低減、シリカ微粒子の集合体からなる誘電体層の表面平坦化や脱ガス低減、種々の電子デバイスのリフロー、固体不純物源を用いたプラズマドーピングなど、様々な表面処理に適用できる。また、太陽電池の製造方法としては、シリコンインゴットを粉砕して得られる粉末を基材上に塗布し、これにプラズマを照射して溶融させ多結晶シリコン膜を得る方法にも適用可能である。
【０１４４】
また、説明においては簡単のため「熱プラズマ」という言葉を用いているが、熱プラズマと低温プラズマの区分けは厳密には難しく、また、例えば、田中康規「熱プラズマにおける非平衡性」プラズマ核融合学会誌、Ｖｏｌ．８２、Ｎｏ．８（２００６）ｐｐ．４７９−４８３において解説されているように、熱的平衡性のみでプラズマの種類を区分することも困難である。
【０１４５】
本発明は、基材を熱処理することを一つの目的としており、熱プラズマ、熱平衡プラズマ、高温プラズマなどの用語にとらわれず、高温のプラズマを照射する技術に関するものに適用可能である。
【０１４６】
また、基材の表面近傍をごく短時間だけ均一に高温熱処理する場合について詳しく例示したが、反応ガスによるプラズマまたはプラズマと反応ガス流を同時に基材へ照射して基材を低温プラズマ処理する場合においても、本発明は適用できる。プラズマガスに反応ガスを混ぜることにより、反応ガスによるプラズマを基材へ照射し、エッチングやＣＶＤが実現できる。
【０１４７】
或いは、プラズマガスとしては希ガスまたは希ガスに少量のＨ2ガスを加えたガスを用いつつ、シールドガスとして反応ガスを含むガスをプラズマガスの周辺に供給することによって、プラズマと反応ガス流を同時に基材へ照射し、エッチング、ＣＶＤ、ドーピングなどのプラズマ処理を実現することもできる。プラズマガスとしてアルゴンを主成分とするガスを用いると、実施例で詳しく例示したように、熱プラズマが発生する。
【０１４８】
一方、プラズマガスとしてヘリウムを主成分とするガスを用いると、比較的低温のプラズマを発生させることができる。このような方法で、基材をあまり加熱することなく、エッチングや成膜などの処理が可能となる。
【０１４９】
エッチングに用いる反応ガスとしては、ハロゲン含有ガス、例えば、ＣxＦy（ｘ、ｙは自然数）、ＳＦ6などがあり、シリコンやシリコン化合物などをエッチングすることができる。反応ガスとしてＯ2を用いれば、有機物の除去、レジストアッシングなどが可能となる。ＣＶＤに用いる反応ガスとしては、モノシラン、ジシランなどがあり、シリコンやシリコン化合物の成膜が可能となる。或いは、ＴＥＯＳ（Ｔｅｔｒａｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ）に代表されるシリコンを含有した有機ガスとＯ2の混合ガスを用いれば、シリコン酸化膜を成膜することができる。
【０１５０】
その他、撥水性・親水性を改質する表面処理など、種々の低温プラズマ処理が可能である。本発明の構成は誘導結合型であるため、単位体積あたり高いパワー密度を投入してもアーク放電に移行しにくいため、より高密度なプラズマが発生可能であり、その結果、速い反応速度が得られ、基材の所望の被処理領域全体を短時間で効率よく処理することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【０１５１】
以上のように本発明は、ＴＦＴ用半導体膜の結晶化や太陽電池用半導体膜の改質に適用可能である。具体的には、プラズマディスプレイパネルの保護層の清浄化や脱ガス低減、シリカ微粒子の集合体からなる誘電体層の表面平坦化や脱ガス低減、種々の電子デバイスのリフロー、固体不純物源を用いたプラズマドーピングなど、様々な表面処理において、基材の表面近傍をごく短時間だけ均一に高温熱処理するに際して、プラズマを安定的かつ効率的に発生させ、基材の所望の被処理領域全体を短時間で効率よく処理する上で有用な発明である。また、種々の電子デバイスなどの製造における、エッチング・成膜・ドーピング・表面改質などの低温プラズマ処理において、基材の所望の被処理領域全体を短時間で効率よく処理する上で有用な発明である。
【符号の説明】
【０１５２】
１  温度測定板
２  クロム膜
Ｔ  誘導結合型プラズマトーチユニット
３  コイル
４  第一セラミックスブロック
５  第二セラミックスブロック
７  長尺チャンバ
８  開口部
９  プラズマガスマニホールド
１０  プラズマガス供給配管
１１  プラズマガス供給穴
１２  レンズ
１３  放射温度計
Ｐ  プラズマ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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