(57)【要約】【課題】保持テーブルの表面に形成される大小の凹部に埋まっている加工屑を効果的に除去できるようにすることを目的とする。【解決手段】洗浄機構２０は、太さの異なる毛２３ａを基材２２に植設した洗浄ブラシ２１と、洗浄ブラシ２１を回転させるブラシ回転手段２４と、洗浄ブラシ２１を保持テーブル５の保持面７に対して接近及び離反する方向に移動させる移動手段２６と、を少なくとも備えているため、洗浄ブラシ２１で保持テーブル５の保持面７を洗浄する際には、保持面７に形成された大小の凹部の大きさに対応するいずれかの毛２３ａが、凹部に進入するとともにかき回すことができる。これにより、凹部に埋まっているゴミをすべて掃き出すことが可能となり、保持テーブル５の保持面７を良好な状態にすることができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持面で被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルを回転させるテーブル回転手段と、該保持テーブルで保持する被加工物に対し加工を施す加工手段とを備えた加工装置において、該保持テーブルを洗浄する洗浄機構であって、
太さの異なる毛を基材に植設した洗浄ブラシと、
該洗浄ブラシを回転させるブラシ回転手段と、
該洗浄ブラシを該保持面に対して接近及び離反する方向に移動させる移動手段と、を少なくとも備え、
該太さの異なる毛によって、該保持面に付着したゴミを掃き出すことを特徴とする洗浄機構。
【請求項２】
前記太さの異なる毛を混合させた毛束を前記基材に植設して構成される前記洗浄ブラシを備えた請求項１記載の洗浄機構。
【請求項３】
同一の太さの毛で個々の毛束が構成され、毛束間では毛の太さが異なる複数の毛束を前記基材に植設して構成される洗浄ブラシを備えた請求項１記載の洗浄機構。
【請求項４】
前記毛束は、硬さの異なる毛を混合させて構成される請求項１，２及び３記載の洗浄機構。
【請求項５】
前記太さの異なる毛は、少なくとも直径０．１ｍｍ、直径０．２ｍｍ及び直径０．３ｍｍの毛で構成される請求項１，２，３及び４記載の洗浄機構。
【請求項６】
前記ブラシ回転手段により回転する前記洗浄ブラシの回転方向に毛先が向くように傾けた毛束を前記基材に植設して構成される前記洗浄ブラシを備えた請求項１，２，３，４及び５記載の洗浄機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を保持する保持テーブルを洗浄機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
被加工物を吸引保持する保持テーブルは、被加工物を吸引する保持部を備えており、保持部の表面側が被加工物を吸引保持する保持面となっている。保持部は、例えば多孔質部材により構成されている。このような保持テーブルにおいて被加工物を吸引保持する際には、被加工物の周辺に保持面との間で僅かな隙間ができて被加工物の加工中に該隙間から加工液ととともに加工屑を吸引してしまうことがある。
【０００３】
吸引された加工屑が多孔質部材の凹部に入り込んでしまうと、保持テーブルの吸引を停止するとともに大気開放しても、加工屑が多孔質部材表面の凹部に残存することがある。そのため、保持テーブルの表面を洗浄ブラシで洗浄している。洗浄ブラシは、回転可能な円板状の基台と、基台に配設された複数のブラシ列とを備えている（例えば、下記の特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−０５９８８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、保持テーブルの表面の凹部は大小様々に形成されているため、上記したような洗浄ブラシを構成する個々の毛が、例えば直径０．３ｍｍと均等な太さで構成されていると、毛が凹部に入らない場合があり、凹部に埋まった加工屑などのコンタミをすべて掃き出すことができない。
【０００６】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、保持テーブルの表面に形成される大小の凹部に埋まっている加工屑などのコンタミをすべて除去できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、保持面で被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルを回転させるテーブル回転手段と、該保持テーブルで保持する被加工物に対し加工を施す加工手段とを備えた加工装置において、該保持テーブルを洗浄する洗浄機構であって、太さの異なる毛を基材に植設した洗浄ブラシと、該洗浄ブラシを回転させるブラシ回転手段と、該洗浄ブラシを該保持面に対して接近及び離反する方向に移動させる移動手段と、を少なくとも備え、該太さの異なる毛によって、該保持面に付着したゴミを掃き出すことを特徴とする。
【０００８】
上記洗浄機構は、太さの異なる毛を混合させた毛束を上記基材に植設して構成される洗浄ブラシを備えるようにしてもよい。また、上記洗浄機構は、同一の太さの毛で個々の毛束が構成され、毛束間では毛の太さが異なる複数の毛束を上記基材に植設して構成される洗浄ブラシを備えるようにしてもよい。さらに、上記洗浄機構に備える上記洗浄ブラシの上記毛束は、硬さの異なる毛を混合させて構成してもよい。
【０００９】
上記太さの異なる毛は、少なくとも直径０．１ｍｍ、直径０．２ｍｍ及び直径０．３ｍｍで構成されることが望ましい。
【００１０】
上記洗浄機構は、ブラシ回転手段により回転する上記洗浄ブラシの回転方向に毛先が向くように傾けた毛束を上記基材に植設して構成される上記洗浄ブラシを備えるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明にかかる洗浄機構は、太さの異なる毛を基材に植設した洗浄ブラシと、洗浄ブラシを回転させるブラシ回転手段と、洗浄ブラシを保持テーブルの保持面に対し接近及び離反させる方向に移動させる移動手段とを少なくとも備えているため、洗浄ブラシで保持テーブルの保持面を洗浄する際には、保持面に形成された大小の凹部の大きさに対応するいずれかの毛が、凹部に進入するとともにかき回すことができる。
また、本発明にかかる洗浄機構には、ブラシ回転手段により回転する洗浄ブラシの回転方向に毛先が向くように傾けた毛束を基材に植設させて構成される洗浄ブラシを備えているため、洗浄ブラシの毛先が保持テーブルの保持面に形成された凹部内の側面側に向いて、該側面側に付着したゴミを容易にかき出すことができる。
したがって、太さの異なる毛によって、凹部に埋まっているゴミをすべて掃き出すことが可能となり、保持テーブルの保持面を良好な状態にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】洗浄機構を備える加工装置の一例の構成を示す斜視図である。
【図２】洗浄機構の第１例によって保持テーブルを洗浄する状態を示す断面図である。
【図３】洗浄機構の第１例によって保持テーブルを洗浄する状態を示す平面図である。
【図４】洗浄機構の第１例においてブラシを傾けて基材に植設した状態を示す断面図である。
【図５】洗浄機構の第２例によって保持テーブルを洗浄する状態を示す断面図である。
【図６】洗浄機構の第２例によって保持テーブルを洗浄する状態を示す平面図である。
【図７】洗浄機構の第３例によって保持テーブルを洗浄する状態を示す断面図である。
【図８】洗浄機構の第３例によって保持テーブルを洗浄する状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１に示す加工装置１は、被加工物を加工する加工装置の一例であって、被加工物を保持する保持テーブル５を洗浄する洗浄機構２０を備えている。加工装置１は、Ｙ軸方向にのびる装置ベース２と、装置ベース２のＹ軸方向後部においてＺ軸方向にのびるコラム３とを備えている。装置ベース２の上面中央には、回転可能なターンテーブル４が配設されている。ターンテーブル４の上には、被加工物を保持する保持テーブル５が少なくとも３つ配設されている。装置ベース２のＹ軸方向前部には、加工前の被加工物を収容するカセット１０ａと、加工後の被加工物を収容するカセット１０ｂとが対面して配設されている。
【００１４】
カセット１０ａ及びカセット１０ｂの近傍には、カセット１０ａからの被加工物の搬出及びカセット１０ｂへの被加工物の搬入を行う搬送ロボット１１が配設されている。搬送ロボット１１の可動範囲には、加工前の被加工物を仮置きする仮置きテーブル１２と、加工後の被加工物に付着した加工屑を洗浄する洗浄手段１３とが配設されている。仮置きテーブル１２の近傍には、加工前の被加工物を仮置きテーブル１２から保持テーブル５に搬送する第１の搬送手段１４が配設されている。また、洗浄手段１３の近傍には、加工後の被加工物を保持テーブル５から洗浄手段１３に搬送する第２の搬送手段１５が配設されている。
【００１５】
コラム３の前方には、被加工物の研削を行う第１の加工手段１７が第１の加工送り手段１８によって昇降可能に支持されている。また、第１の加工手段１７に隣接した位置において被加工物の研削を行う第２の加工手段１７ａが第２の加工送り手段１８ａによって昇降可能に支持されている。第１の加工手段１７及び第２の加工手段１７ａには、環状に配設され回転可能な砥石１９を備えている。
【００１６】
保持テーブル５は、図２（ａ）に示すように、被加工物を吸引保持する多孔質部材６を有しており、多孔質部材６の上面が被加工物を下方から支持する保持面７となっている。保持面７には、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの大きさを有する凹部が複数形成されている。複数の凹部は、その大きさが大小様々に形成されている。保持テーブル５には、保持テーブル５を回転させるテーブル回転手段８が接続されている。テーブル回転手段８は、モータであり、中心軸９を中心として保持テーブル５を所定の回転速度で回転させることができる。
【００１７】
図２（ａ）に示す洗浄機構２０は、保持テーブル５を洗浄する洗浄機構の第１例である。洗浄機構２０は、保持テーブル５の保持面７を洗浄する洗浄ブラシ２１と、洗浄ブラシ２１を保持面７に対して水平方向に回転させるブラシ回転手段２４と、洗浄ブラシ２１を保持面７に対して接近及び離反させる方向に移動させる移動手段２６とを備えている。ブラシ回転手段２４はモータであり、回転軸２５を中心軸として洗浄ブラシ２１を所定の回転速度で回転させることができる。
【００１８】
洗浄ブラシ２１は、リング状の基材２２と、基材２２の下面２２ａにおいて植設された複数の毛束２３とにより構成されている。図３に示すように、リング状の基材２２は、少なくとも保持テーブル５の半径以上の外径を有している。複数の毛束２３は、基材２２の中心からずれた位置から放射状に配置されている。なお、毛束２３の配置位置や数は特に限定されるものではない。
【００１９】
図２（ａ）に示す毛束２３は、複数の毛２３ａを束ねて構成されており、個々の毛２３ａの太さはそれぞれ異なっている。例えば、洗浄ブラシ２１は、太さの異なる毛２３ａをそれぞれ同一比率で混合させて１つの毛束２３を構成し、この毛束２３を基材２２の下面２２ａに複数植設して構成してもよい。毛２３ａの太さは、例えば、φ０．１ｍｍ、φ０．２ｍｍ、φ０．３ｍｍで構成されている。このように、毛２３ａの太さを変えて複数備えることにより、保持テーブル５の保持面７に形成された様々な大きさの凹部に毛２３ａの太さが対応し、毛２３ａが凹部に進入しやすくなる。
【００２０】
また、洗浄ブラシ２１は、同じ太さの毛２３ａで１つの毛束２３を構成し、個々の毛２３ａの太さが毛束間で異なる数種の毛束を同一比率で基材２２に植設して構成してもよい。例えば、直径０．１ｍｍの太さの毛で構成された毛束、直径０．２ｍｍの太さの毛で構成された毛束及び直径０．３ｍｍの太さの毛で構成された毛束を同一比率で基材２２に植設するようにしてもよい。なお、毛２３ａは、例えばナイロンで構成されている。また、毛２３ａの長さは、例えば１５ｍｍとなっている。
【００２１】
毛束２３は、硬さの異なる毛２３ａを複数混合させて構成してもよい。ここで、硬い毛だけで毛束２３を構成すると、保持テーブル５の保持面７に形成された凹部内の側面側に毛先が向かないとともに研削屑とからまって保持面７を傷つけることがある。一方で、柔らかいブラシだけで毛束２３を構成すると、凹部内をかき回すことなく凹部内に研削屑を残してしまうことがある。そのため、毛束２３は、硬い毛と柔らかい毛とを混合させて構成することが望ましい。なお、ブラシの硬さは、その材料の混合比を変えることにより適宜調整することができる。
【００２２】
洗浄機構２０は、図１に示すように、ターンテーブル４を跨ぐようにして配設されたＹ軸方向移動手段１６によって支持されている。Ｙ軸方向移動手段１６は、一対の支持部１６ａと、Ｘ軸方向にのびるボールネジ１６ｂと、ボールネジ１６ｂの一端に接続されたモータ１６ｃと、ボールネジ１６ｂと平行にのびるガイドレール１６ｄと、洗浄機構２０に連結された移動基台１６ｅとを少なくとも備えている。移動基台１６ｅは、その内部に形成されたナットにボールネジ１６ｂが螺合するとともに、ガイドレール１６ｄによって支持されている。Ｙ軸移動手段１６は、モータ１６ｃが駆動されてボールネジ１６ｂが回動することにより、移動基台１６ｅとともに洗浄機構２０をＹ軸方向に移動させることができる。
【００２３】
次に、洗浄機構２０によって保持テーブル５を洗浄する動作について説明する。加工装置１においては、第１の加工手段１７及び第２の加工手段１７ａによって保持テーブル５に保持された被加工物に対して研削を施した後、ターンテーブル４が回転し、保持テーブル５を第２の搬送手段１５の近傍に移動させる。次いで、第２の搬送手段１５は、保持テーブル５から研削済みの被加工物を搬出し洗浄手段１３に搬送し、洗浄手段１３によって被加工物を洗浄する。このとき、保持テーブル５の保持面７が露出するため、洗浄機構２０によって保持テーブル５の保持面７を洗浄する。なお、洗浄機構２０によって保持テーブル５を洗浄する時期は特に限定されるものではない。
【００２４】
図２（ａ）に示すように、保持テーブル５が洗浄機構２０の下方に移動後、テーブル回転手段８は、回転軸９を中心として、例えば矢印Ａ方向に保持テーブル５を回転させる。洗浄機構２０は、ブラシ回転手段２４が回転軸２５とともに洗浄ブラシ２１を例えば矢印Ａ方向に回転させつつ、移動手段２６によって洗浄ブラシ２１を保持テーブル５の保持面７に対して接近する方向に下降させる。
【００２５】
図２（ｂ）に示すように、回転する洗浄ブラシ２１が保持テーブル５の保持面７に接触すると、図３に示す複数の毛束２３が円運動しながら、回転する保持テーブル５の保持面７の全面を洗浄する。
【００２６】
保持テーブル５の保持面７の洗浄中は、保持面７に形成された凹部大きさに対応する太さの毛２３ａの毛先が、凹部に進入するとともに、洗浄ブラシ２１及び保持テーブル５の回転にともなって毛２３ａが凹部をかき回す。その結果、凹部７ａに埋まっているゴミをすべて掃き出すことができる。このようにして、洗浄機構２０によって保持テーブル５の保持面７を洗浄する。
【００２７】
洗浄機構２０では、図４に示すように、基材２２の下面２２ａに毛束２７を傾けて植設してもよい。これにより、ブラシ回転手段２４によって回転する洗浄ブラシ２１の回転方向（図示では、矢印Ａ方向）に毛２７ａの毛先が向くとともに、保持面７に形成された凹部の側面側に毛２７ａの毛先が向いた状態となる。したがって、このように構成される毛束２７によって、保持テーブル５の保持面７を洗浄する際には、毛２７ａの毛先が凹部内の側面側に接触しやすくなり、当該側面側に付着したゴミを容易にかき出すことができる。なお、毛束２７は、毛束２３と同様に、複数の毛２７ａを束ねて構成されており、個々の毛２７ａの太さはそれぞれ異なっている。例えば、太さの異なる毛２７ａをそれぞれ同一比率で混合させて１つの毛束２７を構成し、この毛束２７を基材２２の下面２２ａに複数植設して構成してもよい。
【００２８】
このように、洗浄機構２０は、太さの異なる毛２３ａを円盤状の基材２２の下面２２ａに植設して構成される洗浄ブラシ２１を備えているため、洗浄ブラシ２１で保持テーブル５の保持面７を洗浄する際には、保持面７に形成された大小の凹部の大きさに対応するいずれかの毛２３ａが、凹部に進入するとともにかき回すことができる。これにより、凹部に付着しているゴミをすべて掃き出すことが可能となり、保持テーブル５の保持面７を良好な状態にすることができる。
【００２９】
図５（ａ）に示す洗浄機構３０は、保持テーブル５を洗浄する洗浄機構の第２例である。洗浄機構３０は、保持テーブル５の保持面７を洗浄する洗浄ブラシ３１と、保持テーブル５が回転する方向と直交する方向に洗浄ブラシ３１を回転させるブラシ回転手段３４と、洗浄ブラシ３１を回転可能に支持する支持部３６と、洗浄ブラシ３１を保持テーブル５の保持面７に対して接近及び離反させる方向に移動させる移動手段３７とを備えている。なお、洗浄機構３０についても図１に示した加工装置１に適用することができる。
【００３０】
洗浄ブラシ３１は、ロール状の基材３２と、基材３２の外周面において植設された複数の毛束３３とにより構成されている。図６に示すように、基材３２は、中心軸３５の方向に保持テーブル５の直径以上の長さを有する。毛束３３は、洗浄機構２０の毛束２３と同様に、複数の毛３３ａを束ねて構成されており、個々の毛３３ａの太さはそれぞれ異なっている。例えば、太さの異なる毛３３ａをそれぞれ同一比率で混合させて１つの毛束３３を構成し、この毛束３３を基材３２の外周面に複数植設して構成してもよい。また、毛束３３は、基材３２の外周面において所定の間隔設けて配置されているが、毛束３３の配置位置及び毛束３３の数は特に限定されるものではない。
【００３１】
毛束３３は、ブラシ回転手段３４によって回転する洗浄ブラシ３１の回転方向（図示では、矢印Ｃ方向）にブラシ３３ａの毛先が向くように基材３２の外周面において傾けて植設させてもよい。これにより、部分拡大図に示す保持面７に形成された凹部内の側面側にブラシ３３ａの毛先が向いた状態となり、保持面７の洗浄時に当該側面側にブラシ３３ａが接触しやすくなる。
【００３２】
次に、洗浄機構３０によって保持テーブル５を洗浄する動作について説明する。図５（ａ）に示すように、保持テーブル５が洗浄機構３０の下方に移動後、テーブル回転手段８は、回転軸９を中心として例えば矢印Ｂ方向に保持テーブル５を回転させる。ブラシ回転手段３４は、図６に示す中心軸３５を中心として洗浄ブラシ３１を、例えば矢印Ｃ方向に回転させながら、図５（ａ）に示す移動手段３７によって洗浄ブラシ３１を保持テーブル５の保持面７に対して接近する方向に下降させる。
【００３３】
図５（ｂ）に示すように、回転する洗浄ブラシ３１が保持テーブル５の保持面７に接触すると、図６に示すように、基材３２とともに保持テーブル５の回転方向と直交するＣ方向に回転する複数の毛束３３によって、保持テーブル５の保持面７の全面を洗浄する。
【００３４】
保持テーブル５の保持面７の洗浄中は、保持面７に形成された凹部の大きさに対応する太さの毛３３ａの毛先が、凹部にそれぞれ進入するとともに、洗浄ブラシ３１及び保持テーブル５の回転にともなって毛３３ａが凹部をかき回し、凹部に埋まっているゴミをすべて掃き出すことができる。この際、毛３３ａの毛先が凹部の側面側にも接触するため、側部側に付着したゴミをかき出すことも容易に行うことができる。このようにして、洗浄機構３０によって保持テーブル５の保持面７を洗浄する。
【００３５】
図７に示す洗浄機構４０は、保持テーブル５を洗浄する洗浄機構の第３例である。洗浄機構４０は、保持テーブル５の保持面７を洗浄する洗浄ブラシ４１と、洗浄ブラシ４１を回転させるブラシ回転手段４４と、洗浄ブラシ４１を回転可能に支持する支持部４６と、洗浄ブラシ４１を保持テーブル５の保持面７に対して接近及び離反させる方向に移動させる移動手段４７と、洗浄ブラシ４１を保持テーブル５の保持面７に対して水平方向に走査させる走査手段４８とを備えている。なお、洗浄機構４０についても図１に示した加工装置１に適用することができる。
【００３６】
洗浄ブラシ４１は、ロール状の基材４２と、基材４２の外周面において植設された複数の毛束４３とにより構成されている。図８に示すように、基材４２は、中心軸４５の方向に保持テーブル５の直径以上の長さを有する。毛束４３は、洗浄機構２０の毛束２３及び洗浄機構３０の毛束３３と同様に、複数の毛４３ａを束ねて構成されており、個々の毛４３ａの太さはそれぞれ異なっている。例えば、太さの異なる毛４３ａをそれぞれ同一比率で混合させて１つの毛束４３を構成し、この毛束４３を基材４２の外周面に複数植設して構成してもよい。また、毛束４３は、基材４２の外周面において所定の間隔設けて配置されているが、毛束４３の配置位置及び毛束４３の数は特に限定されるものではない。
【００３７】
図７（ａ）に示すように、毛束４３は、ブラシ回転手段４４によって回転する洗浄ブラシ４１の回転方向（図示では、矢印Ｄ方向）に毛４３ａの毛先が向くように基材４２の外周面において傾けて植設させてもよい。これにより、保持面７に形成された凹部内の側面側に毛４３ａの毛先が向いた状態となり、保持面７の洗浄時に当該側面側に毛４３ａが接触しやすくなる。
【００３８】
次に、洗浄機構４０によって保持テーブル５を洗浄する動作について説明する。図７（ａ）に示すように、保持テーブル５が洗浄機構４０の下方に移動後、ブラシ回転手段４４は、図８に示す中心軸４５を中心として洗浄ブラシ４１を、例えば矢印Ｄ方向に回転させながら、図７（ａ）に示す移動手段４７によって洗浄ブラシ４１を保持テーブル５の保持面７に対して接近する方向に下降させる。
【００３９】
図７（ｂ）に示すように、基材４２とともに回転する複数の毛束４３が、保持テーブル５の保持面７に接触したら、走査手段４８によって洗浄ブラシ４１を二点鎖線に示すように保持面７に対して水平方向に走査させつつ、図８に示すように、基材４２とともに矢印Ｄ方向に回転する複数の毛束４３によって、保持テーブル５の保持面７の全面を洗浄する。
【００４０】
保持テーブル５の保持面７上を洗浄ブラシ４１が走査するとき、保持面７に形成された凹部の大きさに対応する太さのブラシ４３ａの毛先が、凹部にそれぞれ進入するとともに、洗浄ブラシ４１の回転にともなって毛４３ａが凹部をかき回し、凹部に埋まっている研削屑をすべて掃き出すことができる。この際、毛４３ａの毛先が凹部の側面側にも接触するため、側部側に付着したゴミをかき出すことも容易に行うことができる。このようにして、洗浄機構４０によって保持テーブル５の保持面７を洗浄する。
【００４１】
このように、洗浄機構３０の洗浄ブラシ３１もしくは洗浄機構４０の洗浄ブラシ４１で保持テーブル５の保持面７を洗浄する際には、保持面７に形成された大小の大小の凹部の大きさに対応するいずれかの毛３３ａもしくはブラシ４３ａが、凹部７ａに進入するとともにかき回すことができる。これにより、凹部に付着しているゴミをすべて掃き出すことが可能となり、保持テーブル５の保持面７を良好な状態にすることができる。
【００４２】
なお、洗浄機構２０，洗浄機構３０及び洗浄機構４０が適用される装置は、加工装置１に限定されるものではなく、被加工物を保持する保持テーブルを備える装置であれば、洗浄機構２０，３０，４０を適用することができる。
【符号の説明】
【００４３】
１：加工装置  ２：装置ベース  ３：コラム  ４：ターンテーブル  ５：保持テーブル
６：多孔質部材  ７：保持面  ７ａ，７ｂ：凹部  ８：テーブル回転手段  ９：中心軸
１０ａ，１０ｂ：カセット  １１：搬送ロボット  １２：仮置き手段  １３：洗浄手段
１４：第１の搬送手段  １５：第２の搬送手段  １６：Ｙ軸方向移動手段
１６ａ：支持部  １６ｂ：ボールネジ  １６ｃ：モータ  １６ｄ：ガイドレール
１６ｅ：移動基台  １７：第１の加工手段  １７ａ：第２の加工手段
１８：第１の加工送り手段  １８ａ：第２の加工送り手段  １９：砥石
２０：洗浄機構  ２１：洗浄ブラシ  ２２：基材  ２３：毛束  ２３ａ：毛
２４：ブラシ回転手段  ２５：回転軸  ２６：移動手段  ２７：毛束  ２７ａ：毛
３０：洗浄機構  ３１：洗浄ブラシ  ３２：基材  ３３：毛束  ３３ａ：毛
３４：ブラシ回転手段  ３５：中心軸  ３６：支持部  ３７：移動手段
４０：洗浄機構  ４１：洗浄ブラシ  ４２：基材  ４３：毛束  ４３ａ：毛
４４：ブラシ回転手段  ４５：中心軸  ４６：支持部  ４７：移動手段  ４８：走査手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2015051408.tif 000007
【図６】
2015051408.tif 000008
【図７】
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【図８】
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