(57)【要約】【課題】スクライブヘッドをスライドベースを介してビームに沿って移動させるスクライブ装置において、スライドベースの傾きを抑えること。【解決手段】スライドベースを複数のブロック１１，１２，１３を介してガイドレール１２０ａ，１２０ｂに取付ける。そしてスクライブヘッドが取付けられる側のブロックの幅を他のブロックの幅よりも広くする。こうすればスライドベースの姿勢を安定化させ、スクライブする際の位置精度を向上させることができる。【選択図】図４Ｂ
2015051502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
脆性材料基板が設置されるテーブルと、
前記テーブルの面に平行に架設されたビームに設けられた第１，第２のガイドレールと、
一端にスクライビングホイールを保持するスクライブヘッドと、
前記スクライブヘッドを保持するとともに、前記第１，第２のガイドレールに沿って摺動自在に設けられたスライドベースと、
を具備するスクライブ装置であって、
前記スライドベースは、前記第１のガイドレールと前記第２のガイドレールの少なくとも２箇所の取付部において前記ビームに取付けられており、
前記取付部のうち前記スクライビングホイールが取付けられている一端に最も近い取付部の長手方向の幅を、他の取付部の長手方向の幅より広くしたスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は脆性材料基板にスクライブラインを形成するスクライブ装置に関し、特にスクライブヘッドを高精度で保持する構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネルや液晶プロジェクタ基板等のフラットパネルディスプレイでは、製造過程において脆性材料基板が貼り合わされた後に所定の大きさの単個のパネルに成るように分断される。この脆性材料基板の分断には、スクライブ工程とブレイク工程があり、スクライブ工程ではスクライブ装置が用いられる。
【０００３】
図１は、特許文献１，２などに示されるスクライブ装置の一例を示す概略斜視図である。このスクライブ装置１００は、移動台１０１が一対の案内レール１０２ａ、１０２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ１０３は移動台１０１と螺合している。ボールネジ１０３はモータ１０４の駆動により回転し、移動台１０１を案内レール１０２ａ，１０２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台１０１の上面にはモータ１０５が設けられている。モータ１０５はテーブル１０６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１０７はこのテーブル１０６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置の上部には、脆性材料基板１０７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１０８が設けられている。
【０００４】
スクライブ装置１００には、移動台１０１とその上部のテーブル１０６をまたぐようにブリッジ１１０がｘ軸方向に沿って支柱１１１ａ，１１１ｂにより架設されている。ブリッジ１１０は横方向にビーム１１２が設けられ、ビーム１１２には駆動部１１３が設けられる。駆動部１１３はスライドベース１１４をｘ軸方向に沿って移動させるものであって、モータ１１５とモータ１１５に連結されビーム１１２の側面の中央に回転自在に保持された送りねじ１１６から成り立っている。図２Ａは支柱１１１ａ，１１１ｂに張架されたビーム１１２とその周辺部分を示す概略図である。本図に示すようにスライドベース１１４にはスクライブヘッド１１７が取付けられている。スクライブヘッド１１７の下端部には、チップホルダ１１８が取付けられている。チップホルダ１１８は下部に円板状のスクライビングホイール１１９を回転可能に保持するものである。スクライブヘッド１１７の内部には、チップホルダ１１８の昇降動作を可能とする昇降部、たとえば空気圧制御されるエアシリンダや電動制御されるリニアモータなどが設けられている。スクライビングホイール１１９は脆性材料基板に適切な荷重にて圧接しながら転動してスクライブラインを形成する。
【０００５】
そしてビーム１１２の側面には、上下一対のガイドレール１２０ａ，１２０ｂとその中心に送りねじ１１６が配置され、モータ１１５を駆動して送りねじ１１６を回転させることで、ガイドレール１２０ａ，１２０ｂに沿ってスライドベース１１４をｘ方向に移動させることができる。
【０００６】
図２Ｂ，図２Ｃはスライドベース１１４の構造を明確にするため、スクライブヘッド１１７を省略して示す図である。図２Ｂに示すようにスライドベース１１４には上部のガイドレール１２０ａに連結されるブロック１２１と、下部のガイドレール１２０ｂに連結されるブロック１２２とが設けられ、これらのブロックが取付部となってｘ軸方向に摺動自在となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００９／１５７４４０号
【特許文献２】特開２００４−１０４５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかるにこのような従来のスクライブ装置では、スライドベース１１４には配線コードや空気を流入、流出させるチューブ等が接続されているため、スライドベース１１４の移動に伴いコード等の引っ張り力が加わる。スライドベース１１４に引っ張り力が加わると、スライドベース１１４をガイドレール１２０ａ、１２０ｂに取り付けているブロックは幅が狭く上下に一対のみが使用されているため、ブロック内のボールの接触で駆動力が変化する。その結果、上下のブロックの駆動力にアンバランスが生じ、例えば図２Ｃに示すようにスライドベースが傾く可能性があった。このような傾きが生じると、スクライビング時にスクライビングホイールの位置がずれるため、スクライブ精度が低下するという問題点があった。
【０００９】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであって、スライドベースのガイドレールへの取付部を変更することによって高精度でスクライブヘッドを保持し移動できるようにすることを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この課題を解決するために、本発明のスクライブ装置は、脆性材料基板が設置されるテーブルと、前記テーブルの面に平行に架設されたビームに設けられた第１，第２のガイドレールと、一端にスクライビングホイールを保持するスクライブヘッドと、前記スクライブヘッドを保持するとともに、前記第１，第２のガイドレールに沿って摺動自在に設けられたスライドベースと、を具備するスクライブ装置であって、前記スライドベースは、前記第１のガイドレールと前記第２のガイドレールの少なくとも２箇所の取付部において前記ビームに取付けられており、前記取付部のうち前記スクライビングホイールが取付けられている一端に最も近い取付部の長手方向の幅を、他の取付部の長手方向の幅より広くしたものである。
【発明の効果】
【００１１】
このような特徴を有する本発明によれば、複数のブロックのうちスクライビングホイールに最も近いブロックの幅を他のブロックの幅よりも広くしている。これによって上下のブロックの駆動力にアンバランスが生じることがなく、スクライブ精度を高めることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は従来のスクライブ装置の概略斜視図である。
【図２Ａ】図２Ａは従来のスクライブ装置のビームの周辺部分を示す概略図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは従来のスクライブ装置のスライドベースの周辺部分を示す概略図である。
【図２Ｃ】図２Ｃは従来のスクライブ装置のスライドベースの傾きを示す概略図である。
【図３】図３は本発明の実施の形態によるスクライブ装置の概略斜視図である。
【図４Ａ】図４Ａは本発明の実施の形態に用いられるビームとその周辺部分を示す概略図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは本実施の形態のスクライブ装置のスライドベースの周辺部分を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図３は本発明の実施の形態によるスクライブ装置を示す斜視図である。このスクライブ装置において、前述した従来例と同一部分は同一符号を付している。本実施の形態によるスクライブ装置１０も、移動台１０１が一対の案内レール１０２ａ、１０２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ１０３は移動台１０１と螺合している。ボールネジ１０３はモータ１０４の駆動により回転し、移動台１０１を案内レール１０２ａ，１０２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台１０１の上面にはモータ１０５が設けられている。モータ１０５はテーブル１０６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１０７はこのテーブル１０６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置１の上部には、脆性材料基板１０７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１０８が設けられている。
【００１４】
スクライブ装置１には、移動台１０１とその上部のテーブル１０６をまたぐようにブリッジ１１０がｘ軸方向に沿って架設されている。ブリッジ１１０は左右の一対の支柱１１１ａ，１１１ｂとその間のビーム１１２から成り、ビーム１１２はテーブル１０６から所定間隔を隔ててテーブル１０６の面に平行に設けられている。ビーム１１２は細長い板状の部材であり、駆動部１１３が設けられる。駆動部１１３はスライドベース１１をｘ軸方向に沿って移動させる駆動源である。スライドベース１１には、スクライブヘッド１１７が取付けられている。スクライブヘッド１１７やチップホルダ１１８及びスクライビングホイール１１９は従来のものと同様である。
【００１５】
図４Ａはスクライブ装置１のスライドベース１１が取付けられるビーム１１２とその周辺部分を示している。本図に示されるように、ガイドレール１２０ａ，１２０ｂの間にスライドベース１１が取付けられることは従来と同様である。そしてスライドベース１１にはスクライブヘッド１１７が取付けられている。そしてこのスクライブヘッド１１７の下方にはスクライビングホイール１１９を取付けるチップホルダ１１８が設けられている。
【００１６】
図４Ｂはこのスライドベース１１の構造を明確に示すためスクライブヘッド１１７を除いた構成を示す図である。この図に示されるように、スライドベース１１は従来のスライドベース１１４より幅広としている。そしてガイドレール１２０ａに取付部として１つのブロック１２が取付けられ、ガイドレール１２０ｂには取付部として２つのブロック１３，１４が隣接して取付けられている。これらのブロック１２〜１４はその内部に収納された多数のボールにより摺動抵抗を小さくしてｘ軸方向に自在に移動できるようにしたものである。
【００１７】
ここで上部のブロック１２は従来と同一ものを用いてもよいが、ここではブロック１２の幅ｗ１を従来より幅広のものとしている。又図示のように下部のブロック１３，１４の左右端の距離を幅ｗ２とすると、幅ｗ２はブロック１２の幅ｗ１よりも広くされている。
【００１８】
次に本実施の形態によるスクライブ装置の動作について説明する。スクライブ時にはモータ１１５によりスライドベース１１を摺動させる。このときスライドベース１１の摺動に伴い各ブロックの内部のボールが夫々回動するため、スライドベース１１の移動に伴う摺動抵抗が軽減されることとなり、ビーム１１２に沿って容易に直線移動させることができる。そしてこの移動中にチップホルダ１１８が下降し、脆性材料基板に対してスクライビングホイール１１９を転動させてスクライブが行われる。ここでブロック１３，１４の左右端の距離である幅ｗ２をブロック１２の幅ｗ１よりも広くすることで、ガイドレール上をｘ軸方向に摺動したときに、スライドベース１１及びスクライブヘッド１１７の傾きを少なくすることができる。これにより脆性材料基板１０７に対するスクライブ精度を向上させることができる。
【００１９】
ここでブロック１２，１３，１４は内部にボールを有するものを用いているが、多数のローラを封入したブロックを用いてもよい。又ボールを用いたブロックではボール同士が接触しないようにリテーナを有するものとしてもよい。こうすれば摺動時の騒音を小さくすることができる。
【００２０】
尚この実施の形態ではガイドレール１２０ａに１つのブロック１２を設けているが、ガイドレール１２０ａにも２つのブロックを並列に設けてもよい。又この実施の形態ではガイドレール１２０ｂに２つのブロック１３，１４を設けているが、幅広の１つのブロックを設けるようにしてもよい。その場合には、ガイドレール１２０ｂに取付けられるブロックの幅をガイドレール１２０ａに取り付けられるブロックの幅よりも広くしておくものとする。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明はビームに沿ってブロックを介して直線状にスクライブヘッドを移動させる際に、スクライブヘッドのガイドレールに対する傾きを抑え、スクライブ位置の精度を向上することができるので、脆性材料基板を精密にスクライブするスクライブ装置に好適である。
【符号の説明】
【００２２】
１１０  ブリッジ
１１  スライドベース
１２，１３，１４  ブロック
１１１ａ，１１１ｂ  支柱
１１２  ビーム
１１３  駆動部
１１４  スライドベース
１１５  モータ
１１６  送りねじ
１１７  スクライブヘッド
１１８  チップホルダ
１１９  スクライビングホイール
１２０ａ，１２０ｂ  ガイドレール
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
2015051502.tif 000006
【図３】
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【図４Ａ】
2015051502.tif 000008
【図４Ｂ】
2015051502.tif 000009