(57)【要約】【課題】スライダに接続される配線部材の空中配線部の揺れを抑制できるディスク装置用サスペンションを提供する。【解決手段】メタルベース４０を有するフレキシャ２２のジンバル部３０に、スライダ１１と、マイクロアクチュエータ素子３１，３２とが配置されている。配線部材４１は、メタルベース４０と重なるタング配線部４１ｂ，４１ｃと、メタルベース４０とは重ならない空中配線部４１ｄ，４１ｅとを含んでいる。空中配線部４１ｄ，４１ｅは、アウトリガー部５５のアーム５１，５２間に位置している。空中配線部４１ｄ，４１ｅに、曲げ剛性を小さくするための撓み部４１ｆ，４１ｇが形成されている。素子３１，３２の端部３１ａ，３２ａは、タング９０の支持部７０，７１に固定されている。空中配線部４１ｄ，４１ｅの撓み部４１ｆ，４１ｇとタング９０の支持部７０，７１との間に、ブリッジ部材１００，１０１が設けられている。【選択図】図７
2015041394.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロードビームと、
前記ロードビームによって支持されるメタルベースを有しかつスライダを搭載するタングおよび該タングの両側に形成された一対のアームを含むアウトリガー部を備えたフレキシャと、
前記スライダに接続される配線部材と、
を具備したディスク装置用サスペンションであって、
前記配線部材は、
電気絶縁性の樹脂からなる絶縁層と該絶縁層上に形成された導体とを含みかつ前記メタルベースと重なる部分および前記メタルベースと重ならない空中配線部を有し、
前記空中配線部と前記タングとの間に、これら空中配線部とタングとを互いにつなぐブリッジ部材を具備したことを特徴とするディスク装置用サスペンション。
【請求項２】
前記ブリッジ部材が前記絶縁層と共通の樹脂からなることを特徴とする請求項１に記載のディスク装置用サスペンション。
【請求項３】
前記空中配線部が前記アウトリガー部に向かって凸の湾曲した形状の撓み部を有し、該撓み部に前記ブリッジ部材が接続されたことを特徴とする請求項１または２に記載のディスク装置用サスペンション。
【請求項４】
前記ブリッジ部材が、
前記アウトリガー部の前記アームに沿うブリッジ本体と、該ブリッジ部材の一端から前記タングに向かって延びる一方の端部と、前記ブリッジ本体の他端から前記空中配線部に向かって延びる他方の端部とを備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のディスク装置用サスペンション。
【請求項５】
前記ブリッジ本体と前記空中配線部との間に開口部を有したことを特徴とする請求項４に記載のディスク装置用サスペンション。
【請求項６】
前記タングに配置された一対のマイクロアクチュエータ素子を有し、
前記タングは、前記各マイクロアクチュエータ素子のそれぞれの端部が固定される一対の支持部を有し、
前記ブリッジ部材が前記支持部に接続されたことを特徴とする請求項５に記載のディスク装置用サスペンション。
【請求項７】
前記タングが、
前記スライダのリーディング側部分が配置される第１タング部と、
前記スライダのトレーリング側部分が配置される第２タング部と、
前記第１タング部と前記第２タング部との間に形成され、これらタング部よりも幅が狭く、前記第１タング部と前記第２タング部とを回動可能につなぐヒンジ部と、
を具備したことを特徴とする請求項６に記載のディスク装置用サスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、スライダが搭載されるタングと前記スライダに接続される配線部材とを備えたディスク装置用サスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータ等の情報処理装置に、ハードディスク装置（ＨＤＤ）が使用されている。ハードディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクと、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジはアクチュエータアームを有し、ボイスコイルモータ等のポジショニング用モータによって、ピボット軸を中心にディスクのトラック幅方向に旋回する。
【０００３】
前記アクチュエータアームにサスペンションが取付けられている。サスペンションは、ロードビーム(load beam)と、ロードビームに重ねて配置されたフレキシャ(flexure)などを含んでいる。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部のタングに、磁気ヘッドを構成するスライダが取付けられている。スライダには、データの読取りあるいは書込み等のアクセスを行なうための素子（トランスジューサ）が設けられている。スライダに配線部材が接続されている。これらロードビーム、フレキシャ、スライダ、配線部材などによって、ヘッドジンバルアセンブリが構成されている。
【０００４】
特許文献１あるいは特許文献２に記載されているように、タングの外側に一対のアームからなるアウトリガー部を備えたヘッドジンバルアセンブリが知られている。この種のヘッドジンバルアセンブリにおいて、アウトリガー部の内側、すなわちアームとタングとの間に配線部材が配置されることもある。
【０００５】
ディスクの高記録密度化に対応するためには、ディスクの記録面に対して磁気ヘッドをさらに高精度に位置決めできるようにすることが必要である。そのために、ポジショニング用モータ（ボイスコイルモータ）と、ＰＺＴ（ジルコンチタン酸鉛）等の圧電体からなるマイクロアクチュエータ素子とを併用するデュアルステージアクチュエータ（Dual Stage Actuator）タイプのサスペンション（ＤＳＡサスペンション）が開発されている。また、特許文献３や特許文献４に開示されているように、フレキシャのジンバル部にマイクロアクチュエータ素子を搭載したＤＳＡサスペンションも知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】米国特許第６９６５４９９号明細書
【特許文献２】米国特許第８００００６１号明細書
【特許文献３】特開２０１０−１４６６３１号公報
【特許文献４】特開２０１０−２１８６２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ヘッドジンバルアセンブリのタングに搭載されたスライダは、ディスクの記録面に対して所定の姿勢に保たれている必要がある。このため、タングのピッチ剛性とロール剛性が適正である必要がある。特許文献１，２に開示されているように、アウトリガー部の内側に配線部材が配置されている場合、タングの動きが配線部材の剛性によって影響されやすい。例えば配線部材の曲げ剛性が大きいと、タングのピッチ剛性とロール剛性が高くなる傾向がある。
【０００８】
そこで、配線部材の一部に撓み部を形成することにより、配線部材の曲げ剛性を小さくすることが考えられた。しかしながら撓み部を有した配線部材は、剛性が小さいため揺れやすいという問題がある。特に、特許文献３，４のようにジンバル部にマイクロアクチュエータ素子を搭載したＤＳＡサスペンションでは、マイクロアクチュエータ素子が作動したときにタングと配線部材が揺れやすいという問題が生じた。
【０００９】
例えば特許文献２のように、アウトリガー部の一部に形成された突起に配線部材を固定すれば、配線部材の揺れを小さくすることができる可能性がある。しかし配線部材の撓み部をアウトリガー部に固定すると、アウトリガー部の振動モードと配線部材の振動モードとのカップリングによって振動が増幅し、ジンバル部に大きな振動が発生するおそれがあった。
【００１０】
従ってこの発明の目的は、ジンバル部と配線部材の揺れを抑制することができるディスク装置用サスペンションを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の１つの実施形態のディスク装置用サスペンションは、ロードビームと、該ロードビームによって支持されるメタルベースを有しかつスライダを搭載するタングおよび該タングの両側に形成された一対のアームを含むアウトリガー部を備えたフレキシャと、前記スライダに接続される配線部材とを具備している。この配線部材は、電気絶縁性の樹脂からなる絶縁層と該絶縁層上に形成された導体とを含みかつ前記メタルベースと重なる部分および前記メタルベースと重ならない空中配線部を有している。さらにこの空中配線部と前記タングとの間に、空中配線部とタングとを互いにつなぐブリッジ部材を具備している。
【００１２】
好ましい実施形態では、前記ブリッジ部材が前記絶縁層と共通の樹脂からなる。また前記空中配線部が前記アウトリガー部に向かって凸の湾曲した形状の撓み部を有し、該撓み部に前記ブリッジ部材が接続されてもよい。前記ブリッジ部材の一例は、前記アウトリガー部の前記アームに沿うブリッジ本体と、該ブリッジ部材の一端から前記タングに向かって延びる一方の端部と、前記ブリッジ本体の他端から前記空中配線部に向かって延びる他方の端部とを備えている。前記ブリッジ本体と前記空中配線部との間に開口部を有していてもよい。
【００１３】
また本発明の１つの実施形態は、前記タングに配置された一対のマイクロアクチュエータ素子を有し、前記タングは、前記各マイクロアクチュエータ素子のそれぞれの端部が固定される一対の支持部を有し、前記ブリッジ部材が前記支持部に接続されていてもよい。前記タングの一例は、前記スライダのリーディング側部分が配置される第１タング部と、前記スライダのトレーリング側部分が配置される第２タング部と、前記第１タング部と第２タング部との間に形成されたヒンジ部とを具備している。ヒンジ部は、第１タング部および第２タング部よりも幅が狭く、第１タング部と第２タング部とを回動可能につないでいる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、配線部材の空中配線部の撓み部等の揺れをブリッジ部材によって抑制することができるとともに、ジンバル部のタングのヨー剛性(yaw stiffness)が向上する。またアウトリガー部と空中配線部とのカップリングによる振動の増幅も回避されるなど、ジンバル部の振動特性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】ディスク装置の一例を示す斜視図。
【図２】図１に示されたディスク装置の一部の断面図。
【図３】１つの実施形態に係るディスク装置用サスペンションの斜視図。
【図４】図３に示されたサスペンションのマイクロアクチュエータ搭載部の斜視図。
【図５】図４に示されたマイクロアクチュエータ搭載部を図４とは反対側から見た斜視図。
【図６】図５に示されたマイクロアクチュエータ搭載部の平面図。
【図７】図５に示されたマイクロアクチュエータ搭載部を図５とは反対側から見た底面図。
【図８】図７に示されたマイクロアクチュエータ搭載部の一部の拡大図。
【図９】前記サスペンションの配線部材の一部の断面図。
【図１０】図４に示されたマイクロアクチュエータ搭載部の一部の断面図。
【図１１】ロードビームとジンバル部の一部を示す断面図。
【図１２】図５に示されたマイクロアクチュエータ搭載部のフレキシャの平面図。
【図１３】マイクロアクチュエータ素子が作動したときのマイクロアクチュエータ搭載部を模式的に示す平面図。
【図１４】前記マイクロアクチュエータ搭載部の振動特性を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明の１つの実施形態に係るディスク装置用サスペンションについて、図１から図１４を参照して説明する。  
図１に示すディスク装置（ＨＤＤ）１は、ケース２と、スピンドル３を中心に回転するディスク４と、ピボット軸５を中心に旋回可能なキャリッジ６と、キャリッジ６を駆動するためのポジショニング用モータ（ボイスコイルモータ）７などを有している。ケース２は、図示しない蓋によって密閉される。
【００１７】
図２はディスク装置１の一部を模式的に示す断面図である。図１と図２に示されるように、キャリッジ６にアーム（キャリッジアーム）８が設けられている。アーム８の先端部にサスペンション１０が取付けられている。サスペンション１０の先端部に、磁気ヘッドを構成するスライダ１１が設けられている。ディスク４が高速で回転すると、ディスク４とスライダ１１との間に空気が流入することによって、エアベアリングが形成される。
【００１８】
ポジショニング用モータ７によってキャリッジ６が旋回すると、サスペンション１０がディスク４の径方向に移動することにより、スライダ１１がディスク４の所望トラックまで移動する。
【００１９】
図３は、デュアルステージアクチュエータ（Dual Stage Actuator）タイプのサスペンション１０を示している。このサスペンション１０は、キャリッジ６のアーム８（図１と図２に示す）に固定されるベースプレート２０と、ロードビーム２１と、配線付きフレキシャ(flexure with conductors)２２と、サスペンション１０の先端付近に配置されたマイクロアクチュエータ搭載部２３などを備えている。ベースプレート２０には、前記アーム８に形成された孔８ａ（図２に示す）に挿入されるボス部２０ａが形成されている。
【００２０】
図３に矢印Ｘで示す方向がロードビーム２１の長手方向すなわちサスペンション１０の長手方向（前後方向）である。矢印Ｙがスウェイ方向（スライダ１１の幅方向）である。ロードビーム２１の基部（後端部）には、厚さ方向に弾性的に撓むことができるばね部２５が形成されている。フレキシャ２２はロードビーム２１に沿って配置されている。
【００２１】
図４は、サスペンション１０の先端部に配置されたマイクロアクチュエータ搭載部２３をスライダ１１側から見た斜視図である。磁気ヘッドをなすスライダ１１の端部には、例えばＭＲ素子のように磁気信号と電気信号とを変換可能な素子２８が設けられている。これらの素子２８によって、ディスク４に対するデータの書込みあるいは読取り等のアクセスが行なわれる。スライダ１１と、ロードビーム２１と、フレキシャ２２などによって、ヘッドジンバルアセンブリ（head gimbal assembly）が構成されている。
【００２２】
マイクロアクチュエータ搭載部２３は、フレキシャ２２の先端部に形成されたジンバル部３０と、スライダ１１の両側に配置された一対のマイクロアクチュエータ素子３１，３２とを含んでいる。マイクロアクチュエータ素子３１，３２は、スライダ１１をスウェイ方向に微少量回動させる機能を有している。
【００２３】
図５は、マイクロアクチュエータ搭載部２３を図４とは反対側から見た斜視図である。図６は、マイクロアクチュエータ搭載部２３の平面図である。図７は、マイクロアクチュエータ搭載部２３を図６とは反対側から見た底面図である。図８は図７の一部の拡大図である。
【００２４】
ジンバル部３０は、ロードビーム２１と対向する第１の面３０ａ（図５と図１１に示す）と、第１の面３０ａとは反対側の第２の面３０ｂ（図４と図１１に示す）とを有している。ジンバル部３０の第２の面３０ｂに、スライダ１１とマイクロアクチュエータ素子３１，３２とが配置されている。
【００２５】
フレキシャ２２は、ステンレス鋼の薄い板からなるメタルベース４０と、メタルベース４０に沿って配置された配線部材４１とを有している。メタルベース４０の厚さの一例は２０μｍ（１２〜２５μｍ）である。メタルベース４０は、第１の溶接部Ｗ１（図３と図６等に示す）と、第２の溶接部Ｗ２（図３〜図７に示す）等の固定手段によって、ロードビーム２１に固定されている。溶接部Ｗ１，Ｗ２は、例えばレーザ溶接によって形成されている。すなわちこのフレキシャ２２は、サスペンション１０の前後方向の中間部において溶接部Ｗ１によってロードビーム２１に固定された第１の固定側部分２２ａと、フレキシャ２２の先端寄りの位置において溶接部Ｗ２によってロードビーム２１に固定された第２の固定側部分２２ｂとを含んでいる。フレキシャ２２の後部２２ｃ（図３に示す）はベースプレート２０の後方に延びている。
【００２６】
図５から図７に示されるように、フレキシャ２２のメタルベース４０は、第１の固定側部分２２ａに連なる一対の第１アーム（第１アウトリガー）５１，５２と、第２の固定側部分２２ｂに連なる一対の第２アーム（第２アウトリガー）５３，５４とを有している。第１アーム５１，５２と第２アーム５３，５４とによって、スライダ１１を弾性的に支持するためのアウトリガー部５５が構成されている。
【００２７】
図８に示されるように、配線部材４１の両側にマイクロアクチュエータ素子３１，３２用の導体５７，５８が設けられている。各導体５７，５８の先端に、端子５７ａ，５８ａが設けられている。端子５７ａ，５８ａは、それぞれマイクロアクチュエータ素子３１，３２に電気的に接続されている。
【００２８】
図９はメタルベース４０と配線部材４１の断面の一例を示している。配線部材４１は、ポリイミド等の電気絶縁性の樹脂からなる絶縁層６０と、絶縁層６０上に形成された書込用導体６１および読取用導体６２と、ポリイミド等の電気絶縁性の樹脂からなるカバー層６３を含んでいる。なお、図７と図８に示された配線部材４１は、カバー層６３を省略して描いている。
【００２９】
書込用導体６１と読取用導体６２は、スライダ１１の素子２８（図４に示す）に接続されている。絶縁層６０の厚さの一例は１０μｍ（５〜２０μｍ）、導体６１，６２の厚さの一例は９μｍ（４〜１５μｍ）、カバー層６３の厚さの一例は５μｍ（２〜１０μｍ）である。メタルベース４０の厚さは例えば１２〜２５μｍであり、ロードビーム２１の厚さ（例えば３０μｍ）よりも小さい。
【００３０】
マイクロアクチュエータ素子３１，３２は、それぞれ第１の端部３１ａ，３２ａと、第２の端部３１ｂ，３２ｂとを有している。図４と図６および図７に矢印Ｘ１で示す方向が素子３１，３２の前側、矢印Ｘ２が後側である。素子３１，３２の第１の端部３１ａ，３２ａは、ジンバル部３０の一部をなす一対の第１の支持部７０，７１に固定されている。素子３１，３２の第２の端部３１ｂ，３２ｂは、ジンバル部３０の一部をなす一対の第２の支持部７２，７３に固定されている。
【００３１】
第１の支持部７０，７１は、アウトリガー部５５の第１アーム５１，５２と第２アーム５３，５４とを介して、フレキシャ２２の固定側部分２２ａ，２２ｂ（ロードビーム２１に固定されている部分）に支持されている。第２の支持部７２，７３は、ジンバル部３０の先端に形成されている。
【００３２】
図１０は、一方のマイクロアクチュエータ素子３１の端部３１ａ，３１ｂの機械的な固定と電気的接続をなすジョイント部分の断面を示している。他方のマイクロアクチュエータ素子３２の端部３２ａ，３２ｂのジョイント部分も図１０と同様の構成であるため、以下に一方のマイクロアクチュエータ素子３１を代表して説明する。
【００３３】
図１０に示されるように、マイクロアクチュエータ素子３１は、ＰＺＴ８０と、ＰＺＴ８０の周面に形成された第１の電極８１と、第２の電極８２とを有している。第１の電極８１は、ＰＺＴ８０の一方の端面から下面にわたって形成されている。第２の電極８２は、ＰＺＴ８０の他方の端面から上面にわたって形成されている。マイクロアクチュエータ素子３１の第１の端部３１ａは、電気絶縁性の接着材８５によって、第１の支持部７０に固定されている。マイクロアクチュエータ素子３１の第２の端部３１ｂは、電気絶縁性の接着材８５によって第２の支持部７２に固定されている。
【００３４】
図１０に示された第１の電極８１は、支持部７０上に設けられた導電性接着材（例えば銀ペースト）８６を介して、マイクロアクチュエータ素子３１用の導体５７の端子５７ａに導通している。第２の電極８２は、支持部７２上に設けられた導電性接着材（例えば銀ペースト）８６を介して、グランド側の導体８８に導通している。グランド側の導体８８はメタルベース４０に導通している。
【００３５】
図５と図６等に示されるようにジンバル部３０は、固定側の第１タング部９１と、移動側の第２タング部９２と、これらタング部９１，９２間に形成されたヒンジ部９３とを含んでいる。第１タング部９１は第１の支持部７０，７１間に形成されている。第２タング部９２は第２の支持部７２，７３間に形成されている。第２タング部９２にスライダ１１用の端子４１ａ（図４と図７に示す）が形成されている。これらの端子４１ａは、配線部材４１の導体（例えば導体６１，６２）に導通している。
【００３６】
ヒンジ部９３は、第１タング部９１と第２タング部９２との間に形成されている。支持部７０，７１，７２，７３と、タング部９１，９２と、ヒンジ部９３とは、いずれもメタルベース４０の一部であり、例えばエッチングによって、それぞれの輪郭が形成されている。第１タング部９１と第２タング部９２およびヒンジ部９３は、スライダ１１を搭載するタング９０を構成している。
【００３７】
図１１は、ロードビーム２１の一部とジンバル部３０の一部を、ヒンジ部９３のところで切断した断面図である。図１２は、ジンバル部３０を示す平面図である。ヒンジ部９３の幅Ｌ１は、第１および第２のタング部９１，９２の幅Ｌ２よりも十分小さい。ヒンジ部９３によって、第１タング部９１と第２タング部９２とが互いに回動可能につながれている。ヒンジ部９３の両側にスリット９４，９５が形成されている。移動側の第２タング部９２は、固定側の第１タング部９１に対して、図１２に矢印Ａ，Ｂで示す方向に回動することができる。
【００３８】
第１タング部９１にスライダ１１のリーディング側部分１１ａが配置されている。リーディング側部分１１ａは、第１タング部９１に対して移動可能に配置されている。第２タング部９２にスライダ１１のトレーリング側部分１１ｂが配置されている。トレーリング側部分１１ｂは、第２タング部９２に固定されている。この明細書で言う「リーディング側」とは、ディスク４が回転したときにスライダ１１とディスク４との間に流入する空気の流入側である。これに対し「トレーリング側」とは、スライダ１１とディスク４との間に流入した空気の流出側である。ヒンジ部９３は、スライダ１１の中心、例えばスライダ１１の重心位置あるいは幅方向の中央と長さ方向の中央に形成されている。
【００３９】
ロードビーム２１の先端付近にディンプル９７（図１１に示す）が形成されている。ディンプル９７は支持凸部の一例であり、フレキシャ２２のジンバル部３０に向かって突出する凸側の面を有している。この凸側の面の頂部（ディンプル９７の先端）がヒンジ部９３に当接している。ジンバル部３０は、ディンプル９７の先端とヒンジ部９３との接点Ｐ１を中心として、ロードビーム２１に対して揺動可能に支持されている。
【００４０】
なお、ディンプルをヒンジ部９３に形成し、このディンプルの先端をロードビーム２１に当接させてもよい。要するにディンプル等の支持凸部は、ロードビーム２１とヒンジ部９３との対向面の一方の面に形成され、他方の面に前記支持凸部の先端が当接するように構成されていればよい。
【００４１】
配線部材４１は、タング９０上において左右に分かれている一対のタング配線部４１ｂ，４１ｃと、タング配線部４１ｂ，４１ｃの後方に延びる空中配線部４１ｄ，４１ｅと、空中配線部４１ｄ，４１ｅの後方においてメタルベース４０と重なる部分４１ｈ，４１ｉ（図７に示す）とを有している。タング配線部４１ｂ，４１ｃは、配線部材４１全体のうち、メタルベース４０と重なる部分である。タング配線部４１ｂ，４１ｃは、素子３１，３２間において、第１タング部９１と第２タング部９２とに固定されている。空中配線部４１ｄ，４１ｅは、配線部材４１全体のうち、メタルベース４０とは重ならない部分である。
【００４２】
空中配線部４１ｄ，４１ｅは、配線部材４１の長手方向の一部に形成された撓み部４１ｆ，４１ｇを含んでいる。撓み部４１ｆ，４１ｇは、第１アーム５１，５２に向かって凸となる湾曲した形状であり、アウトリガー部５５の第１アーム５１，５２間に配置されている。空中配線部４１ｄ，４１ｅに撓み部４１ｆ，４１ｇを設けたことにより、空中配線部４１ｄ，４１ｅの曲げ剛性をさらに小さくすることができている。
【００４３】
図８は、図７に示されたマイクロアクチュエータ搭載部２３の一部を拡大して示している。本実施形態のマイクロアクチュエータ搭載部２３は、ブリッジ部材１００，１０１を備えている。ブリッジ部材１００，１０１は、配線部材４１の空中配線部４１ｄ，４１ｅと第１の支持部７０，７１とを互いにつないでいる。
【００４４】
ブリッジ部材１００，１０１は、配線部材４１の絶縁層６０（図９と図１０に示す）と共通の樹脂（例えばポリイミド）からなる。これらブリッジ部材１００，１０１は、絶縁層６０が形成される際に、絶縁層６０と共にエッチングを行なうことによって、所定の形状に形成されている。ブリッジ部材１００，１０１を形成する他の方法として、例えば、マスキングされたメタルベース上に樹脂を塗布することによって、所定形状のブリッジ部材１００，１０１を形成してもよい。
【００４５】
図７と図８において左側に位置する第１のブリッジ部材１００は、ブリッジ本体１１０と、一方の端部１１１と、他方の端部１１２とを有している。ブリッジ本体１１０は、アーム５１に沿って空中配線部４１ｄの長さ方向に延びている。図８等に示すように、一方の端部１１１は、ブリッジ本体１１０から左側の支持部７０に向かって曲がった形状の曲がり部１１３を有し、支持部７０上の絶縁層６０に接続されている。他方の端部１１２は、ブリッジ本体１１０から空中配線部４１ｄに向かって曲がった形状の曲がり部１１４を有し、撓み部４１ｆの湾曲の外側において絶縁層６０に接続されている。
【００４６】
この第１のブリッジ部材１００によって、空中配線部４１ｄの撓み部４１ｆと支持部７０とが互いにつながれている。第１のブリッジ部材１００と空中配線部４１ｄとの間に、第１の開口部１１５が形成されている。なお、ブリッジ本体１１０や曲がり部１１３，１１４の具体的な形状についてはこの実施形態に限ることなく、種々の形態を採用することができる。
【００４７】
図７と図８において右側に位置する第２のブリッジ部材１０１は、ブリッジ本体１２０と、一方の端部１２１と、他方の端部１２２とを有している。ブリッジ本体１２０は、アーム５２に沿って空中配線部４１ｅの長さ方向に延びている。一方の端部１２１は、ブリッジ本体１１０から右側の支持部７１に向かって曲がった形状の曲がり部１２３を有し、支持部７１上の絶縁層６０に接続されている。他方の端部１２２は、ブリッジ本体１２０から空中配線部４１ｅに向かって曲がった形状の曲がり部１２４を有し、撓み部４１ｇの湾曲の外側において絶縁層６０に接続されている。
【００４８】
この第２のブリッジ部材１０１によって、空中配線部４１ｅの撓み部４１ｇと支持部７１とが互いにつながれている。第２のブリッジ部材１０１と空中配線部４１ｅとの間に、第２の開口部１２５が形成されている。なお、ブリッジ本体１２０や曲がり部１２３，１２４の具体的な形状についてはこの実施形態に限ることなく、種々の形態を採用することができる。
【００４９】
本実施形態のマイクロアクチュエータ搭載部２３は、リミッタ部材１３０，１３１を備えている。これらリミッタ部材１３０，１３１は、サスペンション１０に外部から機械的な衝撃が入力したときに、タング９０が過剰に揺れたり、ディンプル９７がタング９０から離れること（ディンプルセパレーション）を抑制する機能を有している。リミッタ部材１３０，１３１は、ブリッジ部材１００，１０１と同様に、配線部材４１の絶縁層６０と共通の樹脂（例えばポリイミド）からなる。図４等に示されるように、リミッタ部材１３０，１３１の一端１３０ａ，１３１ａは、それぞれ、支持部７２，７３の近傍に接続されている。リミッタ部材１３０，１３１の他端１３０ｂ，１３１ｂは、それぞれ、フレキシャ２２の固定側部分２２ｂの近傍に接続されている。
【００５０】
以下に本実施形態のサスペンション１０の動作について説明する。  
ポジショニング用モータ７によってキャリッジ６（図１と図２に示す）が旋回すると、サスペンション１０がディスク４の径方向に移動することにより、磁気ヘッドのスライダ１１がディスク４の記録面の所望トラックまで移動する。マイクロアクチュエータ素子３１，３２に電圧が印加されると、電圧に応じてマイクロアクチュエータ素子３１，３２が互いに反対方向に歪むことにより、ロードビーム２１をスウェイ方向（図３に矢印Ｙで示す方向）に微小量移動させることができる。すなわちマイクロアクチュエータ素子３１，３２が電圧によって作動すると、固定側の第１タング部９１に対して、移動側の第２タング部９２がヒンジ部９３を境に回動する。
【００５１】
例えば図１３に模式的に示すように、一方のマイクロアクチュエータ素子３１が縮み、他方のマイクロアクチュエータ素子３２が伸びることにより、第２タング部９２が矢印Ａで示す方向に移動する。このためスライダ１１に設けられている素子２８（図４に示す）をスウェイ方向に高速かつ高精度に位置決めすることができる。スライダ１１がスウェイ方向に移動する距離は、実際には数ナノメートルから数十ナノメートル程度であるが、図１３ではスライダ１１と第２タング部９２の動きを理解しやすくするためにジンバル部３０の変形の度合いを誇張して描いている。
【００５２】
タング配線部４１ｂ，４１ｃは、素子３１，３２が作動する際の動きが小さいヒンジ部９３の接点Ｐ１付近を通っている。タング配線部４１ｂ，４１ｃの後方に、撓み部４１ｆ，４１ｇを有する空中配線部４１ｄ，４１ｅが連なっている。この空中配線部４１ｄ，４１ｅの撓み部４１ｆ，４１ｇが、ブリッジ部材１００，１０１を介して、第１タング部９１の支持部７０，７１に接続されている。しかもブリッジ部材１００，１０１と空中配線部４１ｄ，４１ｅとの間に開口部１１５，１２５が形成されている。
【００５３】
本実施形態の配線部材４１は、アウトリガー部５５のアーム５１，５２の内側に配置された空中配線部４１ｄ，４１ｅを有し、しかもこの空中配線部４１ｄ，４１ｅに撓み部４１ｆ，４１ｇが形成されている。このため空中配線部４１ｄ，４１ｅの曲げ剛性を小さくすることができ、タング９０のロール剛性とピッチ剛性も小さくすることができた。
【００５４】
また、空中配線部４１ｄ，４１ｅの撓み部４１ｆ，４１ｇとタング９０とがブリッジ部材１００，１０１によってつながれているため、撓み部４１ｆ，４１ｇとタング９０の揺れが抑制され、タング９０のヨー剛性（ディンプル９７との接点Ｐ１まわりの剛性）も向上するため、素子３１，３２が作動する際に配線部材４１がばたつくことを抑制できる。撓み部４１ｆ，４１ｇはアウトリガー部５５に接続されていないため、アウトリガー部５５と空中配線部４１ｄ，４１ｅとのカップリングによる揺れの増幅を生じないという利点もある。
【００５５】
図１４は、ブリッジ部材１００，１０１を有するマイクロアクチュエータ搭載部２３のスウェイ方向の振動特性を示している。ブリッジ部材１００，１０１を有するマイクロアクチュエータ搭載部２３は、１７ｋＨｚ付近に小さな共振モードＭ１が現れている。しかしこの共振モードＭ１は、アウトリガー部の共振モードＭ３から離れているため、アウトリガー部とのカップリングによる振動の増幅が回避されている。
【００５６】
これに対しブリッジ部材１００，１０１を有しない比較例のマイクロアクチュエータ搭載部は、ブリッジ部材１００，１０１を有するマイクロアクチュエータ搭載部２３よりも低い周波数の１６ｋＨｚ付近に振幅（ゲイン）の大きな共振モードＭ２が現れており、比較的低い周波数域でカップリングによる共振を生じやすいものとなっている。
【００５７】
なお本発明を実施するに当たって、ブリッジ部材や配線部材の形状や配置などの具体的な態様をはじめとして、ヘッドジンバルアセンブリを構成するフレキシャのタングやアウトリガー部等の具体的な態様を種々に変更して実施できることは言うまでもない。また本発明に係るブリッジ部材は、マイクロアクチュエータ素子を有しないサスペンションのジンバル部に適用することもできる。
【符号の説明】
【００５８】
１…ディスク装置、１０…サスペンション、１１…スライダ、２１…ロードビーム、２２…フレキシャ、２３…マイクロアクチュエータ搭載部、３０…ジンバル部、３１，３２…マイクロアクチュエータ素子、３１ａ，３２ａ…第１の端部、３１ｂ，３２ｂ…第２の端部、４０…メタルベース、４１…配線部材、４１ｂ，４１ｃ…タング配線部、４１ｄ，４１ｅ…空中配線部、４１ｆ，４１ｇ…撓み部、５１，５２…アーム、５５…アウトリガー部、６０…絶縁層、７０，７１…第１の支持部、７２，７３…第２の支持部、９０…タング、９１…第１タング部、９２…第２タング部、９３…ヒンジ部、９７…ディンプル（支持凸部）、１００，１０１…ブリッジ部材、１１０…ブリッジ本体、１１１，１１２…端部、１１３，１１４…曲がり部、１１５…開口部、１２０…ブリッジ本体、１２１，１２２…端部、１２３，１２４…曲がり部、１２５…開口部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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