(57)【要約】【課題】接着状態の判別を高精度に行うことができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】シリコンで形成された大きさの異なる部材同士を接着剤で積層すると共に、ノズル開口から液体を噴射させる液体噴射ヘッドの製造方法であって、接合面側の面の形状が相対的に小さい第１の部材と、接合面側の面の形状が前記第１の部材よりも大きい第２の部材１５と、を接着剤２５を介して接着した状態で、積層方向の一方側から赤外線による撮像を行う撮像手段２２０によって前記第１の部材１０又は前記第２の部材１５に赤外線を透過させて前記接合面を撮像する際に、前記撮像手段２２０に対して積層方向において位置決めされた基準点と、前記第２の部材１５の前記接合面から延びる面と、の距離ｌ１を測定し、測定した距離ｌ１と、前記撮像手段２２０と前記基準点との距離ｌ２と、に基づいて、前記撮像手段２２０の焦点距離ｌｆを算出して前記接合面を撮像する。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンで形成された大きさの異なる部材同士を接着剤で積層すると共に、ノズル開口から液体を噴射させる液体噴射ヘッドの製造方法であって、
接合面側の面の形状が相対的に小さい第１の部材と、接合面側の面の形状が前記第１の部材よりも大きい第２の部材と、を接着剤で接着した状態で、
積層方向の一方側から赤外線による撮像を行う撮像手段によって前記第１の部材又は前記第２の部材に赤外線を透過させて前記接合面を撮像する際に、
前記撮像手段に対して積層方向において位置決めされた基準点と、前記第２の部材の前記接合面から延びる面と、の距離を測定し、
測定した距離と、前記撮像手段と前記基準点との距離と、に基づいて、前記撮像手段の焦点距離を算出して前記接合面を撮像することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記撮像手段によって、前記第１の部材に赤外線を透過させて前記接合面を撮像することを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記撮像手段によって、前記第２の部材に赤外線を透過させて前記接合面を撮像することを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記基準点が、積層された前記第１の部材及び前記第２の部材の積層方向の前記撮像手段側に配置されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記基準点が、積層された前記第１の部材及び前記第２の部材の積層方向の前記撮像手段とは反対側に配置されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記基準点と、前記第２の部材の接合面から延びる面との距離の測定は、非接触式の測定手段によって行うことを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記測定手段がレーザー式の距離計であることを特徴とする請求項６記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドには、液体としてインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドがある。インクジェット式記録ヘッドは、流路を高密度に且つ高精度に形成するために、シリコンからなる部材を積層して形成されている。
【０００３】
ここで、シリコンからなる部材を接着剤を介して積層した際に、接合面を非破壊にて確認する必要がある。このため、シリコンが赤外線を透過する性質を利用して、赤外線顕微鏡を用いてシリコンの部材を透過して接合面を確認することにより、接合面を非破壊にて確認するようにした製造方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１８３７９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、赤外線顕微鏡で接合面を確認しようとすると、焦点距離が不明なことから接合面の接着状態の判別を高精度に行えないという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドの製造方法だけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法においても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、接着状態の判別を高精度に行うことができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、シリコンで形成された大きさの異なる部材同士を接着剤で積層すると共に、ノズル開口から液体を噴射させる液体噴射ヘッドの製造方法であって、接合面側の面の形状が相対的に小さい第１の部材と、接合面側の面の形状が前記第１の部材よりも大きい第２の部材と、を接着剤で接着した状態で、積層方向の一方側から赤外線による撮像を行う撮像手段によって前記第１の部材又は前記第２の部材に赤外線を透過させて前記接合面を撮像する際に、前記撮像手段に対して積層方向において位置決めされた基準点と、前記第２の部材の前記接合面から延びる面と、の距離を測定し、測定した距離と、前記撮像手段と前記基準点との距離と、に基づいて、前記撮像手段の焦点距離を算出して前記接合面を撮像することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる態様では、撮像手段の焦点距離を高精度に測定することができるため、撮像手段は、焦点距離に基づいて高精度な画像を撮像することができる。したがって、接合面の状態を高精度に確認することができ、接合不良による不具合を抑制することができる。
【０００９】
ここで、前記撮像手段によって、前記第１の部材に赤外線を透過させて前記接合面を撮像してもよく、前記撮像手段によって、前記第２の部材に赤外線を透過させて前記接合面を撮像してもよい。
【００１０】
また、前記基準点が、積層された前記第１の部材及び前記第２の部材の積層方向の前記撮像手段側に配置されていてもよく、前記基準点が、積層された前記第１の部材及び前記第２の部材の積層方向の前記撮像手段とは反対側に配置されていてもよい。
【００１１】
また、前記基準点と、前記第２の部材の接合面から延びる面との距離の測定は、非接触式の測定手段によって行うことが好ましい。これによれば、第２の部材に接触することによる傷や欠けの発生を抑制することができる。
【００１２】
また、前記測定手段がレーザー式の距離計であることが好ましい。これによれば、さらに高精度に焦点距離を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００１５】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００１６】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１は、ヘッド本体１１、ケース部材４０等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。本実施形態では、ヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、連通板１５と、ノズルプレート２０と、保護基板３０と、コンプライアンス基板４５と、を具備する。
【００１７】
ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。さらに、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０が積層された方向を、以降、第３の方向Ｚと称する。
【００１８】
また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。
【００１９】
また、流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５が接合されている。また、連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接合されている。
【００２０】
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。
【００２１】
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。
【００２２】
第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。
【００２３】
また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。
【００２４】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。
【００２５】
このような連通板１５は、シリコン単結晶基板で形成されている。このように連通板１５として、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料を用いることで、加熱や冷却により反りが生じるのを抑制することができる。また、流路形成基板１０や連通板１５にシリコン単結晶基板を用いることで、高密度な流路を高精度で容易に形成することができる。
【００２６】
また、本実施形態では、流路形成基板１０と連通板１５とは、接着剤２５を介して接着した。
【００２７】
また、ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズル開口２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。
【００２８】
このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。また、本実施形態では、詳しくは後述するが、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０に赤外線を透過させてノズルプレート２０と連通板１５との接合面を赤外線を用いる撮像を行う撮像手段で撮像して、接合面の確認を行うことができる。
【００２９】
また、本実施形態では、連通板１５とノズルプレート２０とは、接着剤２６を介して接着した。
【００３０】
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板が形成されている。また、振動板上には、第１電極と圧電体層と第２電極とが順次積層されることで、本実施形態の圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００が構成されている。一般的には圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。
【００３１】
また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には、厚さ方向（流路形成基板１０と保護基板３０との積層方向）に貫通する貫通孔３２が設けられている。第２電極から引き出されたリード電極の端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極と駆動ＩＣ等の駆動回路１２０を実装した配線基板１２１とが、貫通孔３２内で電気的に接続されている。
【００３２】
保護基板３０としてシリコン単結晶基板を用いることで、保護基板３０と流路形成基板１０との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。また、本実施形態では、流路形成基板１０と保護基板３０とが接合された接合体をアクチュエーターユニットと称する。
【００３３】
また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。
【００３４】
なお、ケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。
【００３５】
また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の開口を封止している。
【００３６】
このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部となっている。
【００３７】
なお、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４３が設けられている。
【００３８】
このような構成のインクジェット式記録ヘッド１では、インクを噴射する際に、インクカートリッジ等の貯留手段から導入路４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。なお、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１では、接続口４３からノズル開口２１までを液体流路と称する。すなわち、液体流路は、接続口４３、マニホールド１００、供給連通路１９、圧力発生室１２、ノズル連通路１６及びノズル開口２１で構成されている。
【００３９】
ここで、このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１の製造方法について、図３及び図４を参照して説明する。なお、図３及び図４は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【００４０】
まず、本実施形態では、流路形成基板１０を第１の部材とし、第１の部材との接合面側が第１の部材よりも大きな面積を有する連通板１５を第２の部材とし、これら第１の部材と第２の部材とを接着剤２５を介して接着した際の接合面を撮像して、接着状態を確認する。
【００４１】
本実施形態の流路形成基板１０には、予め圧電アクチュエーター３００及び圧力発生室１２等が形成されており、また、流路形成基板１０には保護基板３０が接合されている。また、連通板１５には、予めノズル連通路１６、第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８等が形成されている。
【００４２】
このような流路形成基板１０と連通板１５とを接着剤２５で接着した後、流路形成基板１０と連通板１５との接合面を赤外線を用いる撮像を行う撮像手段によって撮像する。すなわち、シリコンは赤外線を透過する性質を有するため、シリコンで形成された流路形成基板１０や連通板１５を透過する赤外線を用いて、流路形成基板１０と連通板１５との接合面を撮像する。また、本実施形態では、流路形成基板１０には保護基板３０が接合されているが、本実施形態の保護基板３０はシリコンで形成されているため、保護基板３０も赤外線を透過する。ただし、流路形成基板１０と保護基板３０とを接着剤等で接合した場合には、当該接着剤が赤外線を反射するため、流路形成基板１０と保護基板３０との接合領域に重なる領域は撮像することができない。また、流路形成基板１０と保護基板３０との間に金属等の赤外線を透過しない層が存在する場合にも同様に重なる領域は撮像することができない。
【００４３】
このような流路形成基板１０と連通板１５との接合面を撮像する装置は、図３に示すように、ベース２００を有する。
【００４４】
ベース２００は、一方面に流路形成基板１０と連通板１５との接合体を保持するものであり、厚さ方向に貫通する開口部２０１を有する。開口部２０１は、連通板１５よりも小さく、流路形成基板１０よりも大きな開口面積で形成されている。本実施形態では、ベース２００の一方面に接合体の連通板１５側を保持する。
【００４５】
このようなベース２００の他方面側には、本実施形態の撮像手段２１０が配置されている。すなわち、本実施形態では、ベース２００の接合体を保持する一方面とは反対側の他方面側に撮像手段２１０を配置した。なお、撮像手段２１０は、赤外線を照射光学系を介して対象に照射し、対象に反射された赤外線を対物光学系で集光して行うものである。このような赤外線を用いて撮像を行う撮像手段２１０としては、例えば、赤外線顕微鏡や赤外線カメラが挙げられる。本実施形態では、撮像手段２１０として赤外線カメラを用いた。
【００４６】
このようにベース２００の一方面側に連通板をベース２００側として接合体を保持させた状態で、ベース２００の他方面側に撮像手段２１０を配置することで、撮像手段２１０は、連通板１５に赤外線を透過させて連通板１５の流路形成基板１０との接合面を撮像することができる。
【００４７】
また、ベース２００の一方面側には、測定手段２２０が設けられている。測定手段２２０は、連通板１５の流路形成基板１０との接合面から延びる面、すなわち、連通板１５の接合面のうち、流路形成基板１０によって覆われていない領域に第３の方向Ｚで相対向する位置に設けられている。
【００４８】
ここで、測定手段２２０は、撮像手段２１０に対して第３の方向Ｚに位置決めされた基準点と、連通板１５の接合面から延びる面と、の距離ｌ１を測定するものである。すなわち、測定手段２２０は、連通板１５と流路形成基板１０との接合面と基準点とを直接測定することはできないが、連通板１５の流路形成基板１０との接合面側は当該流路形成基板１０よりも大きな面積を有するため、連通板１５の流路形成基板１０と接合される接合面と第３の方向Ｚで同じ位置となる接合面から延びる面と基準点との距離ｌ１を測定することで、基準点から連通板１５の流路形成基板１０との接合面との距離を測定している。
【００４９】
このような測定手段２２０としては、例えば、光学式、超音波式及びレーザー式等の非接触の距離計（距離測定器）や、ノギスなどの接触式の距離計（距離測定器）などが挙げられる。ちなみに、測定手段２２０として接触式の距離計を用いた場合、測定手段２２０が連通板１５に接触することにより連通板１５に傷や欠け等が生じる虞があることから、測定手段２２０としては、非接触式の距離計を用いるのが好ましく、特に精度の高いレーザー式の距離計（レーザー距離測定器）を用いるのが好適である。
【００５０】
本実施形態では、測定手段２２０の測定基準となる位置を基準点とし、基準点と連通板１５の接合面から延びる面との距離ｌ１を測定する。なお、第３の方向Ｚにおける測定手段２２０の基準点は、上述のように撮像手段２１０に対して第３の方向Ｚに位置決めされている。この測定手段２２０の基準点と撮像手段２１０との距離をｌ２とする。
【００５１】
そして、測定手段２２０が測定した、基準点から連通板１５の接合面から延びる面との距離ｌ１と、測定手段２２０の基準点と撮像手段２１０との距離ｌ２と、に基づいて撮像手段２１０の焦点距離ｌｆを算出する。すなわち、本実施形態では、撮像手段２１０の焦点距離ｌｆは、ｌｆ＝ｌ２−ｌ１の式で算出することができる。
【００５２】
そして、このような焦点距離ｌｆに基づいて、撮像手段２１０は、連通板１５の流路形成基板１０との接合面を撮像する。ちなみに、算出した焦点距離ｌｆに基づいて、撮像手段２１０の対物光学系を調整することで焦点を合わせるようにしてもよいし、撮像手段２１０を第３の方向Ｚに移動することで、焦点を合わせるようにしてもよい。
【００５３】
このように撮像した画像は、撮像手段２１０の焦点距離ｌｆを正確に測定していることから、高精度な画像とすることができる。そして、このように撮像した画像から流路形成基板１０と連通板１５との接合面の状態を確認することができる。すなわち、接着剤２５が存在する領域は赤外線が反射し、接着剤が存在しない領域は、赤外線が透過する。このような赤外線の反射の有無によって撮像した画像には、接合面が表される。そして、このように撮像した画像から接合面の状態を確認することで、接合不良を確認して、製品としての合否判定を行うことができる。
【００５４】
以上説明したように、撮像手段２１０と対象となる連通板１５の流路形成基板１０との接合面との焦点距離ｌｆを、接合面側の面積の大きな第２の部材である連通板１５の接合面から延びる面を用いて測定することで、高精度に測定することができる。したがって、撮像手段２１０によって接合面を焦点が合わない状態で撮像することなく、接合面を撮像した画像を高精度にすることができ、接合面の状態を高精度に判別することができる。つまり、撮像手段２１０によって撮像した画像に基づいて流路形成基板１０と連通板１５との接合状態を確認することができる。なお、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が高密度に形成されており、連通板１５との接着時に圧力発生室１２を画成する画壁と連通板１５との接着不良が生じると、インク滴を正常に吐出することができなくなってしまうなどの不具合が生じる。本実施形態では、接着不良を高精度に判別することができるため、吐出不良等の不具合の発生を抑制することができる。
【００５５】
なお、このような撮像手段２１０と測定手段２２０とを用いて焦点距離を測定して、シリコンで形成された２つの部材の接合面を撮像する方法は、インクジェット式記録ヘッド１を構成する他の部材においても同様に用いることができる。
【００５６】
例えば、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１において、ノズルプレート２０がシリコンで形成されている場合には、ノズルプレート２０を第１の部材とし、第１の部材との接合面側が第１の部材よりも大きな面積を有する連通板１５を第２の部材とし、これら第１の部材（ノズルプレート２０）と第２の部材（連通板１５）とが接着剤２６で接合された接合面を撮像手段２１０で撮像すればよい。
【００５７】
なお、ノズルプレート２０と連通板１５との接合面は図３と同様の装置である図４に示す装置を用いて撮像することができる。なお、図３と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００５８】
図４に示すように、ベース２００の一方面に流路形成基板１０等が接合された連通板１５とノズルプレート２０とが接着剤２６を介して接着された接合体を保持させる。このとき、ベース２００側にノズルプレート２０が配置されるように接合体を保持する。
【００５９】
ベース２００の他方面側には、撮像手段２１０が配置されている。また、ベース２００の他方面側には、測定手段２２０が配置されている。
【００６０】
測定手段２２０は、基準点と連通板１５のノズルプレート２０との接合面から延びる面、すなわち、連通板１５のノズルプレート２０と第３の方向Ｚで同じ位置となる面との距離ｌ３を測定する。
【００６１】
また、測定手段２２０の基準点は、撮像手段２１０に対して第３の方向Ｚに位置決めされており、測定手段２２０の基準点と撮像手段２１０の焦点距離の基準となる位置との距離をｌ４とすると、測定手段２２０が測定した距離ｌ３と、基準点と撮像手段２１０との距離ｌ４とに基づいて、撮像手段２１０の焦点距離ｌｆを算出することができる。なお、図４に示すように、測定手段２２０が撮像手段２１０よりも連通板１５から離れた位置に配置されている場合には、焦点距離ｌｆは、ｌｆ＝ｌ３−ｌ４で算出できる。また、測定手段２２０が撮像手段２１０よりも連通板１５に近い側に配置されている場合には、焦点距離ｌｆ＝ｌ３＋ｌ４で算出できる。
【００６２】
このように、撮像手段２１０と撮像する接合面との焦点距離ｌｆを、接合面側の面積の大きな第２の部材である連通板１５の接合面から延びる面を用いて測定することで、高精度に測定することができる。したがって、撮像手段２１０によって接合面を焦点が合わない状態で撮像することなく、撮像手段２１０によって接合面を焦点が合った状態で高精度に撮像して、ノズルプレート２０と連通板１５との接合面の状態を高精度に判別することができる。
【００６３】
なお、このようなベース２００、撮像手段２１０は、上述した図３と同じ配置となるため、連通板１５と流路形成基板１０との接合面を撮像する撮像手段２１０と、連通板１５とノズルプレート２０との接合面を撮像する撮像手段２１０とを１台で兼用することができる。これにより、高額な撮像手段２１０を２台用いる必要がなくなり、コストを低減することができる。
【００６４】
また、図４に示す例では、撮像手段２１０と測定手段２２０とがベース２００（撮像対象）に対して同じ面側に配置されているため、測定手段２２０は、基準点として撮像手段２１０の焦点距離の基点と、連通板１５の接合面から延びる面との距離を測定するようにしてもよい。これにより測定手段２２０の測定結果をそのまま撮像手段２１０の焦点距離とすることができる。したがって、焦点距離を算出する必要がなく、焦点距離を容易に且つ短時間で測定することができる。
【００６５】
また、撮像手段２１０が撮像した接合面の画像は、例えば、画像処理によって合否判定を行うことで、接合面の撮像と接合状態の合否判定とを自動化することができる。また、接合状態の合否判定を自動化することができるため、例えば、各部材の組み立てを自動化し、この自動組み立ての接合状態の確認を自動（無人）で行うことができる。したがって、組み立てから検査まで容易に自動化することができる。もちろん、検査員が、接合面を撮像した画像から接合状態の確認を行うようにしてもよい。
【００６６】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００６７】
例えば、上述した実施形態１では、流路形成基板１０又はノズルプレート２０を第１の部材とし、連通板１５を第２の部材として説明したが、インクジェット式記録ヘッド１が他のシリコンで形成された部材を有する場合には、その部材が第１の部材又は第２の部材に相当してもよい。すなわち、本願発明の第１の部材及び第２の部材は、シリコンで形成されていて大きさの異なる部材であって、接着剤で接着されたものであれば、特に限定されるものではない。
【００６８】
また、上述した実施形態１では、流路形成基板１０と連通板１５との接合面を撮像する撮像手段２１０と、連通板１５とノズルプレート２０との接合面を撮像する撮像手段２１０とを１台の撮像手段２１０で兼用してもよいが、特にこれに限定されず、例えば、撮像手段２１０をベースを挟んで両側にそれぞれ設けるようにしてもよい。これにより、ノズルプレート２０側がベースとは反対側となるように配置しても、ノズルプレート２０と連通板１５との接合面を撮像することが可能となる。
【００６９】
また、上述した実施形態１では、流路形成基板１０と連通板１５との接合面は、赤外線を連通板１５に透過させて撮像するようにしたが、特にこれに限定されず、第１の部材である流路形成基板１０に赤外線を透過させて、接合面の撮像を行うようにしてもよい。なお、上述した実施形態１のように予め流路形成基板１０に保護基板３０が接合されている場合、保護基板３０と流路形成基板１０とに赤外線を透過させる必要があるが、流路形成基板１０と保護基板３０とを接着した接着領域では、保護基板３０を透過した赤外線が反射してしまうため、流路形成基板１０と保護基板３０との接着領域に重なる部分は撮像することができない。
【００７０】
また、上述した実施形態１では、連通板１５とノズルプレート２０との接合面は、ノズルプレート２０に赤外線を透過させて撮像するようにしたが、特にこれに限定されず、連通板１５に赤外線を透過させて接合面を撮像するようにしてもよい。
【００７１】
さらに、上述した実施形態１では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００７２】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【符号の説明】
【００７３】
１  液体噴射ヘッド（インクジェット式記録ヘッド）、  １０  流路形成基板（第１の部材）、  １２  圧力発生室、  １５  連通板（第２の部材）、  ２０  ノズルプレート（第１の部材）、  ２１  ノズル開口、  ２２  接着剤、  ３０  保護基板、  ４０  ケース部材、  １２０  駆動回路、  １２１  配線基板、  ２００  ベース、  ２１０  撮像手段、  ２２０  測定手段、  ３００  圧電アクチュエーター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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