(57)【要約】【課題】小型で簡易な構成により高い品質の印刷パターンを実現することができるインク乾燥装置、パターン印刷装置及びパターン印刷方法を提供する。【解決手段】被印刷物を載置するステージと、ステージに載置された被印刷物にインクでパターン印刷する印刷ユニットと、被印刷物及びステージを覆い密閉空間を形成する乾燥ユニットと、印刷ユニットと乾燥ユニットとを被印刷物の上方で入れ替える入替機構とを備える。乾燥ユニットは、密閉空間への給気及び密閉空間からの排気を行う給排気機構、密閉空間内を加熱する赤外線ランプ及び遠赤外線カットフィルタ、及びステージを加熱又は冷却するステージ温度制御機構を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクが塗布された被印刷物を載置するステージと、
前記被印刷物及び前記ステージを覆い密閉空間を形成する乾燥ユニットと
を備えるインク乾燥装置であって、
前記乾燥ユニットは、前記密閉空間への給気及び前記密閉空間からの排気を行う給排気機構を備えることを特徴とするインク乾燥装置。
【請求項２】
前記乾燥ユニットは、前記密閉空間内を加熱する赤外線ランプ、及び遠赤外線カットフィルタを備えることを特徴とする請求項１に記載のインク乾燥装置。
【請求項３】
前記乾燥ユニットは、前記ステージを加熱又は冷却するステージ温度制御機構を備えることを特徴とする請求項２に記載のインク乾燥装置。
【請求項４】
被印刷物を載置するステージと、
該ステージに載置された被印刷物にインクでパターン印刷する印刷ユニットと、
前記被印刷物及び前記ステージを覆い密閉空間を形成する乾燥ユニットと、
前記印刷ユニットと前記乾燥ユニットとを前記被印刷物の上方で入れ替える入替機構と
を備えるパターン印刷装置であって、
前記乾燥ユニットは、前記密閉空間への給気及び前記密閉空間からの排気を行う給排気機構を備えることを特徴とするパターン印刷装置。
【請求項５】
前記乾燥ユニットは、前記密閉空間内を加熱する赤外線ランプ、及び遠赤外線カットフィルタを備えることを特徴とする請求項４に記載のパターン印刷装置。
【請求項６】
前記乾燥ユニットは、前記ステージを加熱又は冷却するステージ温度制御機構を備えることを特徴とする請求項５に記載のパターン印刷装置。
【請求項７】
被印刷物を載置するステージと、
該ステージに載置された被印刷物にインクでパターン印刷する印刷ユニットと、
前記被印刷物及び前記ステージを覆い密閉空間を形成する乾燥ユニットと、
前記印刷ユニットと前記乾燥ユニットとを前記被印刷物の上方で入れ替える入替機構と
を備えるパターン印刷装置で実行することが可能なパターン印刷方法であって、
前記パターン印刷装置は、前記密閉空間への給気及び前記密閉空間からの排気を行うことを特徴とするパターン印刷方法。
【請求項８】
前記パターン印刷装置は、赤外線ランプにより前記密閉空間内を加熱することを特徴とする請求項７に記載のパターン印刷方法。
【請求項９】
前記パターン印刷装置は、前記ステージを加熱又は冷却することを特徴とする請求項８に記載のパターン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷パターンの品質を維持しつつ、短時間でインクを効率的に乾燥させることができるインク乾燥装置、パターン印刷装置及びパターン印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子デバイスの製造工程において、セラミックグリーンシートにパターン印刷をする場合、例えばスクリーン印刷により回路パターン等を印刷して乾燥させる。最近では、印刷工程の簡素化を図るべく、インクジェット方式により回路パターンを基板（セラミックグリーンシート）に印刷するケースも増えている。
【０００３】
特許文献１には、インクジェット方式で印刷された記録媒体（セラミックグリーンシート）上のインクを効果的に乾燥させ、印刷画像の光沢性を向上するインクジェットプリンタが開示されている。図６は、従来のインクジェットプリンタの構成を示す模式図である。
【０００４】
図６に示すように、印刷前のセラミックグリーンシート１１を複数のローラ４２で矢印方向に搬送し、インク吐出部（印刷ユニット）１７で回路パターン等を印刷する。印刷後、セラミックグリーンシート１１を再度ローラ４２で矢印方向に搬送して、乾燥部４のファン４１によりインクを乾燥させる。ファン４１からの送風により、インク吐出部１７のノズル内のインクが乾燥することを回避するために、風向きを制御する防護部材４３を設けている。
【０００５】
また、特許文献２には、レジスト液等が塗布された基板を不活性ガス供給チャンバ内へ移動させ、不活性ガス供給チャンバ内で不活性ガスの供給量と排気量とを調整しながら基板に熱処理を行う基板熱処理装置が開示されている。不活性ガスを基板上の塗布膜の上方から吹き付けるので、現像後のパターンの線が滲む等の現象は起こりにくい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２３７０４４号公報
【特許文献２】特開２０００−０９１１８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１のインクジェットプリンタでは、防護部材４３がファン４１の風向きを完全に制御することはできず、一部はインク吐出部１７側へと吹き出す。したがって、インク吐出部１７のノズル内のインクが乾燥することによるノズル欠を引き起こすおそれがある。また、ファン４１からの送風によるインク滴の着弾（滴下）位置の変動、あるいはセラミックグリーンシート１１のように比較的薄い被印刷物のバタつきによる印刷品質の低下が生じるおそれもある。したがって、印刷パターンの品質を高めることが困難であるという問題点があった。
【０００８】
また、インク吐出部１７とファン４１を備える乾燥部４とを離して配置することも考えられるが、その場合には装置全体として小型化することができない。さらに、乾燥部４において揮発した溶剤が、ファン４１からの送風とともにインク吐出部１７へ入り込むおそれもある。この場合、インク吐出部１７内が汚れるとともに、揮発した溶剤が可燃性であるときには、火災が発生する危険も生じる。
【０００９】
また、特許文献２に開示されている基板熱処理装置では、不活性ガスが基板上の塗布膜の直上から吹き付けるので、現像後のパターンの線が滲む等の現象は起こりにくい。しかし、レジスト液を塗布してから、基板を不活性ガス供給チャンバ内へと移動させるまでは基板上の塗布膜は未乾燥であり、取り扱い次第では未乾燥の塗布膜が流れ出すおそれがあることから、印刷パターンの品質を高めることが困難であるという問題点があった。
【００１０】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、小型で簡易な構成により高い品質の印刷パターンを実現することができるインク乾燥装置、パターン印刷装置及びパターン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために本発明に係るインク乾燥装置は、インクが塗布された被印刷物を載置するステージと、前記被印刷物及び前記ステージを覆い密閉空間を形成する乾燥ユニットとを備えるインク乾燥装置であって、前記乾燥ユニットは、前記密閉空間への給気及び前記密閉空間からの排気を行う給排気機構を備えることを特徴とする。
【００１２】
上記構成では、密閉空間内だけで気流を発生させるので、乾燥ユニットの外部に空気が漏れることがない。したがって、セラミックグリーンシートのような比較的薄い被印刷物のバタつきによる印刷品質の低下が生じることがなく、印刷パターンの品質を高めることが可能となる。
【００１３】
さらに、気流の発生は密閉空間内に限定されるので、給気量を増大させても乾燥ユニットの外部に空気が漏れることがない。したがって、給気量を増大させることにより乾燥時間を短縮することも可能となる。また、揮発した溶剤が可燃性であっても、乾燥中は密閉空間の外部へ漏れ出ることがないので火災の心配もない。
【００１４】
また、本発明に係るインク乾燥装置は、前記乾燥ユニットが、前記密閉空間内を加熱する赤外線ランプ、及び遠赤外線カットフィルタを備えることが好ましい。
【００１５】
上記構成では、給気に加えて赤外線ランプによる加熱によっても乾燥させることができるので、インクの表面の乾燥だけでなく、インクの内部の乾燥も促進することが可能となる。特に有機溶媒系のインクには近赤外線が有効であり、比較的短時間で乾燥させることができる。また、遠赤外線カットフィルタで遠赤外線をカットすることができるので、ステージの加熱を抑制することができる。
【００１６】
また、本発明に係るインク乾燥装置は、前記乾燥ユニットが、前記ステージを加熱又は冷却するステージ温度制御機構を備えることが好ましい。
【００１７】
上記構成では、遠赤外線を完全にカットできなかった場合であっても、ステージ温度制御機構でステージを加熱又は冷却することにより、ステージ表面の温度分布のバラツキに起因するインクの乾燥ムラの発生を未然に防止することができる。
【００１８】
次に、上記目的を達成するために本発明に係るパターン印刷装置は、被印刷物を載置するステージと、該ステージに載置された被印刷物にインクでパターン印刷する印刷ユニットと、前記被印刷物及び前記ステージを覆い密閉空間を形成する乾燥ユニットと、前記印刷ユニットと前記乾燥ユニットとを前記被印刷物の上方で入れ替える入替機構とを備えるパターン印刷装置であって、前記乾燥ユニットは、前記密閉空間への給気及び前記密閉空間からの排気を行う給排気機構を備えることを特徴とする。
【００１９】
上記構成では、一度ステージに被印刷物を載置すれば、パターン印刷から乾燥までの工程を、被印刷物の載せ換えを行うことなく実行することができる。したがって、未乾燥のインクの流動を抑制することができ、セラミックグリーンシートのような薄い被印刷物であっても、取り扱い時に発生する静電気等により変形して、印刷されたパターンに乱れが生じることもない。また、密閉空間内だけで気流を発生させるので、乾燥ユニットの外部に空気が漏れることがない。したがって、いわゆるノズル欠、インクの滴下位置の変動、あるいはセラミックグリーンシートのような比較的薄い被印刷物のバタつきによる印刷品質の低下が生じることがなく、印刷パターンの品質を高めることが可能となる。
【００２０】
さらに、気流の発生は密閉空間内に限定されるので、給気量を増大させても乾燥ユニットの外部に空気が漏れることがない。したがって、印刷ユニットと乾燥ユニットとを近接させることによりパターン印刷装置を小型化することができるとともに、給気量を増大させることにより乾燥時間を短縮することも可能となる。また、揮発した溶剤が可燃性であっても、乾燥中は密閉空間の外部へ漏れ出ることがないので火災の心配もない。
【００２１】
また、本発明に係るパターン印刷装置は、前記乾燥ユニットが、前記密閉空間内を加熱する赤外線ランプ、及び遠赤外線カットフィルタを備えることが好ましい。
【００２２】
上記構成では、給気に加えて赤外線ランプによる加熱によっても乾燥させることができるので、インクの表面の乾燥だけでなく、インクの内部の乾燥も促進することが可能となる。特に有機溶媒系のインクには近赤外線が有効であり、比較的短時間で乾燥させることができる。また、遠赤外線カットフィルタで遠赤外線をカットすることができるので、ステージの加熱を抑制することができる。
【００２３】
また、本発明に係るパターン印刷装置は、前記乾燥ユニットが、前記ステージを加熱又は冷却するステージ温度制御機構を備えることが好ましい。
【００２４】
上記構成では、遠赤外線を完全にカットできなかった場合であっても、ステージ温度制御機構でステージを加熱又は冷却することにより、ステージ表面の温度分布のバラツキに起因するインクの乾燥ムラの発生を未然に防止することができる。
【００２５】
次に、上記目的を達成するために本発明に係るパターン印刷方法は、被印刷物を載置するステージと、該ステージに載置された被印刷物にインクでパターン印刷する印刷ユニットと、前記被印刷物及び前記ステージを覆い密閉空間を形成する乾燥ユニットと、前記印刷ユニットと前記乾燥ユニットとを前記被印刷物の上方で入れ替える入替機構とを備えるパターン印刷装置で実行することが可能なパターン印刷方法であって、前記パターン印刷装置は、前記密閉空間への給気及び前記密閉空間からの排気を行うことを特徴とする。
【００２６】
上記構成では、一度ステージに被印刷物を載置すれば、パターン印刷から乾燥までの工程を、被印刷物の載せ換えを行うことなく実行することができる。したがって、未乾燥のインクの流動を抑制することができ、セラミックグリーンシートのような薄い被印刷物であっても、取り扱い時に発生する静電気等により変形して、印刷されたパターンに乱れが生じることもない。また、密閉空間内だけで気流を発生させるので、乾燥ユニットの外部に空気が漏れることがない。したがって、いわゆるノズル欠、インクの滴下位置の変動、あるいはセラミックグリーンシートのような比較的薄い被印刷物のバタつきによる印刷品質の低下が生じることがなく、印刷パターンの品質を高めることが可能となる。
【００２７】
さらに、気流の発生は密閉空間内に限定されるので、給気量を増大させても乾燥ユニットの外部に空気が漏れることがない。したがって、印刷ユニットと乾燥ユニットとを近接させることによりパターン印刷装置を小型化することができるとともに、給気量を増大させることにより乾燥時間を短縮することも可能となる。また、揮発した溶剤が可燃性であっても、乾燥中は密閉空間の外部へ漏れ出ることがないので火災の心配もない。
【００２８】
また、本発明に係るパターン印刷方法は、前記パターン印刷装置が、赤外線ランプにより前記密閉空間内を加熱することが好ましい。
【００２９】
上記構成では、給気に加えて赤外線ランプによる加熱によっても乾燥させることができるので、インクの表面の乾燥だけでなく、インクの内部の乾燥も促進することが可能となる。特に有機溶媒系のインクには近赤外線が有効であり、比較的短時間で乾燥させることができる。
【００３０】
また、本発明に係るパターン印刷方法は、前記パターン印刷装置が、前記ステージを加熱又は冷却することが好ましい。
【００３１】
上記構成では、遠赤外線を完全にカットできなかった場合であっても、ステージを加熱又は冷却することにより、ステージ表面の温度分布のバラツキに起因するインクの乾燥ムラの発生を未然に防止することができる。
【発明の効果】
【００３２】
上記構成では、密閉空間内だけで気流を発生させるので、乾燥ユニットの外部に空気が漏れることがない。したがって、セラミックグリーンシートのような比較的薄い被印刷物のバタつきによる印刷品質の低下が生じることがなく、印刷パターンの品質を高めることが可能となる。
【００３３】
さらに、気流の発生は密閉空間内に限定されるので、給気量を増大させても乾燥ユニットの外部に空気が漏れることがない。したがって、給気量を増大させることにより乾燥時間を短縮することも可能となる。また、揮発した溶剤が可燃性であっても、乾燥中は密閉空間の外部へ漏れ出ることがないので火災の心配もない。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施の形態に係るインク乾燥装置及びパターン印刷装置の構成を印刷工程と共に模式的に示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るパターン印刷装置の入替機構の構成の一例を示す模式図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るパターン印刷装置の入替機構の構成の他の例を示す模式図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るインク乾燥装置及びパターン印刷装置の他の構成を印刷工程と共に模式的に示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るパターン印刷装置の各機構の動作源のオンオフ状態を示すタイムチャートである。
【図６】従来のインクジェットプリンタの構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本発明の実施の形態に係るインク乾燥装置及びパターン印刷装置について、図面に基づいて具体的に説明する。
【００３６】
図１は、本発明の実施の形態に係るインク乾燥装置及びパターン印刷装置の構成を印刷工程と共に模式的に示す断面図である。図１（ａ）は、パターン印刷工程を、図１（ｂ）はユニット入替工程を、図１（ｃ）は乾燥工程を、それぞれ示している。
【００３７】
本実施の形態に係るパターン印刷装置は、まず図１（ａ）に示すように、ステージ１５上に、被印刷物であるセラミックグリーンシート１１を載置し、印刷ユニット（インク吐出部）１７がパターンに応じてインク１６を吐出して、セラミックグリーンシート１１にインク１６でパターン印刷する。なお、印刷ユニット１７には、例えばインクを吐出するインクヘッド、インクを貯留するインクタンク等で構成されるインクジェット装置を用いることができ、図示しない入替機構、例えば回転するアームに装着することにより、印刷時にのみセラミックグリーンシート１１の直上に移動させることができる。ステージ１５は、例えばセラミックグリーンシート１１を固定できる吸引機構（図示せず）を備えることが好ましい。これにより、以下で説明する乾燥時に発生する気流により、セラミックグリーンシート１１がステージ１５上を移動するおそれが少なくなる。
【００３８】
次に、図１（ｂ）に示すように、入替機構（図２参照）により印刷ユニット１７と乾燥ユニット２１とを入れ替え、乾燥ユニット２１をセラミックグリーンシート１１の直上に移動させる。乾燥ユニット２１は、セラミックグリーンシート１１及びステージ１５を覆って後述する密閉空間を形成する蓋状の密閉部２３、密閉部２３の内側に配置された赤外線ヒータ（赤外線ランプ）２２、密閉空間へ気体を供給（給気）する供給パイプ２６、及び密閉空間内の空気を吸引して排出（排気）する排出パイプ２４で構成されている。供給パイプ２６の一端は、密閉部２３の側面から密閉空間に連結されており、供給パイプ２６の他端は、後述する給排気制御装置に接続されている。排出パイプ２４の一端は、密閉部２３の中央近傍で密閉空間に連結されており、排出パイプ２４の他端は、後述する給排気制御装置に接続されている。供給パイプ２６及び排出パイプ２４は、ともに給排気機構４０を構成している。
【００３９】
なお、揮発溶剤を排出するためには、排出パイプ２４は密閉部２３の天面の中央から密閉空間に連結されることが好ましい。ただし、あくまでも一例であり、排出パイプ２４が密閉部２３の側面に連結されていても良いし、供給パイプ２６が密閉部２３の天面に連結されていても良い。また、排出パイプ２４及び供給パイプ２６をそれぞれ複数設け、複数の排出パイプ２４及び複数の供給パイプ２６が密閉部２３に連結されていても良い。
【００４０】
図２は、本発明の実施の形態に係るパターン印刷装置の入替機構の構成の一例を示す模式図である。図２に示すように、入替機構２０は、略直交する方向に印刷ユニット１７及び乾燥ユニット２１を支持するアーム部５１と、アーム部５１を回転させるモータ５２とで構成されている。ステージ１５の上方には、印刷ユニット１７又は乾燥ユニット２１を上昇及び下降させるための昇降機構（図示せず）が設けられている。モータ５２によりアーム部５１を回転させることにより、位置が固定されているステージ１５に載置されているセラミックグリーンシート１１の直上へ印刷ユニット１７又は乾燥ユニット２１を移動させ、パターン印刷又は乾燥を行う。
【００４１】
図３は、本発明の実施の形態に係るパターン印刷装置の入替機構の構成の他の例を示す模式図である。図３に示すように、入替機構２０Ａは、所定の位置に固定された印刷ユニット１７及び乾燥ユニット２１と、ステージ１５を支持するアーム部５１と、アーム部５１を回転させるモータ５２とで構成されている。印刷ユニット１７及び乾燥ユニット２１の上方には、印刷ユニット１７あるいは乾燥ユニット２１を下降及び上昇させるための昇降機構（図示せず）が設けられている。モータ５２によりアーム部５１を回転させることにより、印刷ユニット１７及び乾燥ユニット２１の直下へステージ１５を移動させ、パターン印刷又は乾燥を行う。
【００４２】
図１に戻って、乾燥時には、乾燥ユニット２１を図１（ｂ）の白抜き矢印方向にステージ１５に接するまで下降させる。乾燥ユニット２１の密閉部２３の下端の周縁部には、弾性体からなるパッキン２７を設けている。図１（ｃ）に示すように、乾燥ユニット２１をステージ１５に接するまで下降させて、ステージ１５のセラミックグリーンシート１１が載置されている側の面と接することで、押圧によりパッキン２７が変形し、密閉部２３の内側に密閉空間３０が形成される。そして、インク１６でパターン印刷されたセラミックグリーンシート１１が、形成された密閉空間３０に内蔵される。
【００４３】
この状態で、図１（ｃ）の矢印方向に、供給パイプ２６を通して密閉空間３０へ気体を供給（給気）し、排出パイプ２４を通して密閉空間３０内の空気を吸引して排出（排気）することで、密閉空間３０内に気流を発生させる。これにより、セラミックグリーンシート１１上のインク１６を乾燥させることができる。
【００４４】
以上のように本実施の形態によれば、一度ステージ１５に被印刷物であるセラミックグリーンシート１１を載置すれば、パターン印刷から乾燥までの工程を、セラミックグリーンシート１１の載せ換えをせずに実行することができる。パターン印刷後のセラミックグリーンシート１１をステージ１５に対して載せ換えた場合、セラミックグリーンシート１１が湾曲したり、傾いたりすることによりインク１６の流動が起きやすくなる。しかし、本実施の形態によれば、パターン印刷から乾燥までの間にセラミックグリーンシート１１の載せ換えがないので、未乾燥のインク１６の流動を抑制できる。また、セラミックグリーンシート１１のような薄い被印刷物であっても、取り扱い時に発生する静電気等により変形して、印刷されたパターンに乱れが生じることもない。また、密閉空間３０内だけで気流を発生させるので、乾燥ユニット２１の外部に空気が漏れることがない。したがって、いわゆるノズル欠、インク１６の滴下位置の変動、あるいはセラミックグリーンシート１１のバタつきによる印刷品質の低下が生じることがなく、印刷パターンの品質を高めることが可能となる。
【００４５】
さらに、気流の発生は密閉空間３０内に限定されるので、給気量を増大させても乾燥ユニット２１の外部に空気が漏れることがない。したがって、印刷ユニット１７と乾燥ユニット２１とを近接させることによりパターン印刷装置を小型化することができるとともに、給気量を増大させることにより乾燥時間を短縮することも可能となる。また、揮発した溶剤が可燃性であっても、乾燥中は密閉空間３０の外部へ漏れ出ることがないので火災の心配もない。
【００４６】
また、図１（ｃ）の状態において、密閉空間３０への給気と赤外線ヒータ２２による加熱とを併用することもできる。
【００４７】
図４は、本発明の実施の形態に係るインク乾燥装置及びパターン印刷装置の他の構成を印刷工程と共に模式的に示す断面図である。図４（ａ）は、パターン印刷工程を、図４（ｂ）はユニット入替工程を、それぞれ示している。図４の構成では、密閉空間３０への給気と赤外線ヒータ２２による加熱とを併用している。
【００４８】
まず図４（ａ）に示すように、ステージ１５上に、被印刷物であるセラミックグリーンシート１１を載置し、印刷ユニット（インク吐出部）１７がパターンに応じてインク１６を吐出して、セラミックグリーンシート１１にインク１６でパターン印刷する。ステージ１５の温度は、ステージ温度制御装置（ステージ温度制御機構）３２で、加熱又は冷却することにより、インク１６が滲むことなく印刷することができるように制御される。
【００４９】
次に、図４（ｂ）に示すように、入替機構２０により印刷ユニット１７と乾燥ユニット２１とを入れ替え、乾燥ユニット２１をセラミックグリーンシート１１の直上に移動させる。乾燥ユニット２１の給排気機構４０は、給排気制御装置３１に供給パイプ２６及び排出パイプ２４が接続されており、供給パイプ２６を通して密閉空間３０へ気体を供給（給気）し、同時に排出パイプ２４を通して密閉空間３０内の空気を吸引して排出（排気）することで、密閉空間３０に気流を発生させる。
【００５０】
また、気流を発生させるとともに赤外線ヒータ２２により、乾燥ユニット２１の密閉空間３０内のインク１６を加熱する。この場合、発生した気流のみで乾燥させる場合と比べて、乾燥の効率をさらに向上させることができ、印刷時の「滲み」を極力抑制することができる。気流のみで十分に乾燥できる場合は、特に赤外線ヒータ２２による加熱を行なう必要はないが、印刷パターンが高密度である場合、印刷されたインク１６の厚みが厚い場合等、より積極的な乾燥を行なう必要がある場合には効果的である。
【００５１】
したがって、密閉空間３０への給気に加えて赤外線ヒータ２２による加熱によっても乾燥させることができるので、インク１６の表面の乾燥だけでなく、インク１６の内部の乾燥も促進することが可能となる。特に有機溶媒系のインク１６には近赤外線が有効であり、比較的短時間で乾燥させることができる。
【００５２】
しかし、近赤外線を発生させる場合には、同時に遠赤外線も発生する。遠赤外線により、ステージ１５が加熱されるので、ステージ１５表面に温度分布のバラツキが生じ、インク１６に乾燥ムラが発生するおそれがある。そこで、本実施の形態に係るパターン印刷装置では、赤外線ヒータ２２の下部に、乾燥には不要な波長（４μｍ以上）の赤外線をカットする遠赤外線カットフィルタ２５を備えることが好ましい。遠赤外線カットフィルタ２５は、密閉部２３の内側に耐熱性接着剤により固定される。遠赤外線カットフィルタ２５として、例えば石英ガラス製の板部材等を備えることにより、遠赤外線をカットすることができる。
【００５３】
また、ステージ１５をステージ温度制御装置３２により冷却しても良い。遠赤外線カットフィルタ２５で完全にカットできなかった遠赤外線が残った場合であっても、ステージ温度制御装置３２の冷却により、ステージ１５の加熱を抑制することができるからである。また、冷却に限らず加熱することにより、ステージ１５表面の温度が均一となるように導いても良い。これにより、ステージ１５表面の温度分布のバラツキに起因するインク１６の乾燥ムラの発生を未然に防止することが可能となる。
【００５４】
図５は、本発明の実施の形態に係るパターン印刷装置の各機構の動作源のオンオフ状態を示すタイムチャートである。図５では、ｔ＝０が計時開始時を示し、右へ行くほど時間が経過したことを示している。また、図５のハッチング部分は、各機能がオン状態又は実行されていることを示している。
【００５５】
まず図５に示すように、「ステージの加熱／冷却」は、ステージ１５の温度が一定に維持されるよう常時オン状態となっている。そして、パターン印刷して（「印刷」オン状態）、乾燥ユニット２１をセラミックグリーンシート１１の直上へ移動させる（「移動」オン状態）。
【００５６】
そして、乾燥ユニット２１をステージ１５に接するまで下降させ、密閉空間３０を形成する（「密閉空間」オン状態）。さらに、密閉空間３０内の空気を吸引して排気を開始し（「排気」オン状態）、ほぼ同時に赤外線ヒータ２２による加熱を開始する（「ランプ」オン状態）ことにより、乾燥を開始する。もちろん、密閉空間３からの排気と赤外線ヒータ２２による加熱とは同時に開始しなくても良い。
【００５７】
次に、少しタイミングを遅らせて密閉空間３０への給気を開始し（「給気」オン状態）、気流を発生させる。この際、給気と排気とのバランスにより密閉空間３０内を一定の圧力（例えば−２０ｋＰａ）に維持する。この負圧状態をしばらく維持し、インク１６の乾燥を行なう。
【００５８】
そして、乾燥を終了する場合には、密閉空間３０からの排気を停止し（「排気」オフ状態）、ほぼ同時に赤外線ヒータ２２による加熱を停止する（「ランプ」オフ状態）。そして、少しタイミングを遅らせて密閉空間３０への給気を停止する（「給気」オフ状態）。排気停止より給気停止のタイミングが遅れるので、密閉空間３０内の負圧状態が解消されて常圧に近付く。その後、乾燥ユニット２１をステージ１５から離間するように上昇させ、密閉空間３０を解放する（「密閉空間」オフ状態）が、この際、密閉空間３０内が常圧に近いため、容易に解放できる。
【００５９】
このように、密閉空間３０への給気と赤外線ヒータ２２による加熱とを併用することにより、未乾燥のインク１６を効率的に乾燥させることができ、印刷パターンの品質を高めることが可能となる。
【００６０】
その他、上述した実施の形態は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更することができることは言うまでもない。上述した実施の形態では、被印刷物としてセラミックグリーンシート１１を用いる場合について説明しているが、本発明は特にこれに限定されるものではなく、例えばエポキシ樹脂等からなる樹脂基板、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート等からなる樹脂フィルム、アルミナ等からなるセラミック基板等、種々の被印刷物に対しても適用することができる。また、上述した実施の形態では、印刷ユニット１７としてインクジェット装置を用いる場合について説明しているが、本発明は特にこれに限定されるものではなく、例えばディスペンサ、マイクロピペット等のインクジェット装置以外の非接触型印刷装置、スクリーン印刷、スタンプ装置等の接触型印刷装置等、種々の印刷装置を用いることができる。
【符号の説明】
【００６１】
１１  セラミックグリーンシート(被印刷物)
１５  ステージ
１６  インク
１７  インク吐出部（印刷ユニット）
２０  入替機構
２１  乾燥ユニット
２２  赤外線ヒータ（赤外線ランプ）
２３  密閉部
２４  排出パイプ
２５  遠赤外線カットフィルタ
２６  供給パイプ
２７  パッキン
３０  密閉空間
３１  給排気制御装置
３２  ステージ温度制御装置（ステージ温度制御機構）
４０  給排気機構
【図１】
2015074139.tif 000003
【図２】
2015074139.tif 000004
【図３】
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【図４】
2015074139.tif 000006
【図５】
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【図６】
2015074139.tif 000008