(57)【要約】【課題】検査対象基板の検査に要する時間を充分に短縮可能な検査手順データを生成する。【解決手段】検査対象基板１０に形成された各導体パターン１１〜１３間の絶縁状態を検査する各絶縁検査ステップの検査対象とする導体パターン１１，１２、および導体パターン１２，１３毎にプローブをプロービングさせ得るプロービングポイントＰ，Ｐの組合せのすべてを特定する第１の処理と、特定した複数の組合せを選択候補として選択候補のなかから予め規定された選択基準に従って任意の組合せを選択すると共に選択した組合せにプロービングさせた状態で絶縁状態を検査し得る他の組合せを選択候補から除外する処理を選択候補がなくなるまで繰り返し実行する第２の処理とを実行し、第２の処理における各組合せの選択順序に基づいて各絶縁検査ステップの実行順序を決定して検査手順データを生成する。【選択図】図２
2015072213.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象基板に形成された複数の導体パターン間の絶縁状態をそれぞれ検査する絶縁検査処理に際して当該各導体パターン毎に複数規定されているプロービングポイントのうちの２つに一対のプローブをプロービングさせて一対の当該導体パターン間の第１の電気的パラメータを測定すると共に測定した当該第１の電気的パラメータに基づいて当該一対の導体パターン間の絶縁状態を検査する絶縁検査ステップを当該一対の導体パターンを変更して順次実行する際の当該各絶縁検査ステップの実行順序を特定可能な検査手順データを生成する処理部を備えた検査手順データ生成装置であって、
前記処理部は、前記各絶縁検査ステップの検査対象とする前記一対の導体パターン毎に前記プローブをプロービングさせ得る前記プロービングポイントの組合せのすべてをそれぞれ特定する第１の処理と、当該第１の処理によって特定した複数の前記組合せを選択候補として当該選択候補のなかから予め規定された選択基準に従って任意の当該組合せを選択すると共に選択した当該組合せに前記プローブをプロービングさせた状態で前記絶縁状態を検査し得る前記一対の導体パターンについての他の当該組合せを当該選択候補から除外する処理を当該選択候補がなくなるまで繰り返し実行する第２の処理とを実行し、当該第２の処理における前記各組合せの選択順序に基づいて前記絶縁検査ステップの実行順序を決定して前記検査手順データを生成する検査手順データ生成装置。
【請求項２】
前記処理部は、前記各導体パターン毎の前記各プロービングポイント間の導通状態をそれぞれ検査する導通検査処理に際して当該各プロービングポイントのうちの２つに一対の前記プローブをプロービングさせていずれかの前記導体パターン上の一対の当該プロービングポイント間の第２の電気的パラメータを測定すると共に測定した当該第２の電気的パラメータに基づいて当該一対のプロービングポイント間の導通状態を検査する導通検査ステップを当該一対のプロービングポイントを変更して順次実行する際の当該各導通検査ステップの実行順序を特定可能な前記検査手順データを生成する際に、前記各導通検査ステップの検査対象とする前記一対のプロービングポイントの組合せのすべてをそれぞれ特定する第３の処理を前記第２の処理に先立って実行すると共に、前記第２の処理において前記第１の処理によって特定した前記各絶縁検査ステップについての前記組合せ、および前記第３の処理によって特定した前記各導通検査ステップについての前記組合せを前記選択候補として当該選択候補のなかから前記選択基準に従って任意の当該組合せを選択することで当該絶縁検査ステップおよび当該導通検査ステップを混在させて実行順序を決定する請求項１記載の検査手順データ生成装置。
【請求項３】
請求項１記載の検査手順データ生成装置と、前記プローブと、当該プローブを移動させる移動機構と、前記プローブを介して前記プロービングポイントに対して入出力させた電気信号に基づいて前記第１の電気的パラメータを測定する測定部と、前記検査手順データに従って前記移動機構を制御して前記プローブを前記プロービングポイントにプロービングさせると共に前記測定部によって測定された前記第１の電気的パラメータに基づいて前記一対の導体パターン間の絶縁状態を検査する検査処理部とを備えている基板検査装置。
【請求項４】
請求項２記載の検査手順データ生成装置と、前記プローブと、当該プローブを移動させる移動機構と、前記プローブを介して前記プロービングポイントに対して入出力させた電気信号に基づいて前記第１の電気的パラメータおよび前記第２の電気的パラメータを測定する測定部と、前記検査手順データに従って前記移動機構を制御して前記プローブを前記プロービングポイントにプロービングさせると共に前記測定部によって測定された前記第１の電気的パラメータに基づいて前記一対の導体パターン間の絶縁状態を検査し、かつ当該測定部によって測定された前記第２の電気的パラメータに基づいて前記一対のプロービングポイント間の導通状態を検査する検査処理部とを備えている基板検査装置。
【請求項５】
検査対象基板に形成された複数の導体パターン間の絶縁状態をそれぞれ検査する絶縁検査処理に際して当該各導体パターン毎に複数規定されているプロービングポイントのうちの２つに一対のプローブをプロービングさせて一対の当該導体パターン間の第１の電気的パラメータを測定すると共に測定した当該第１の電気的パラメータに基づいて当該一対の導体パターン間の絶縁状態を検査する絶縁検査ステップを当該一対の導体パターンを変更して順次実行する際の当該各絶縁検査ステップの実行順序を特定可能な検査手順データを生成する検査手順データ生成方法であって、
前記各絶縁検査ステップの検査対象とする前記一対の導体パターン毎に前記プローブをプロービングさせ得る前記プロービングポイントの組合せのすべてをそれぞれ特定する第１の処理と、当該第１の処理によって特定した複数の前記組合せを選択候補として当該選択候補のなかから予め規定された選択基準に従って任意の当該組合せを選択すると共に選択した当該組合せに前記プローブをプロービングさせた状態で前記絶縁状態を検査し得る前記一対の導体パターンについての他の当該組合せを当該選択候補から除外する処理を当該選択候補がなくなるまで繰り返し実行する第２の処理とを実行し、当該第２の処理における前記各組合せの選択順序に基づいて前記絶縁検査ステップの実行順序を決定して前記検査手順データを生成する検査手順データ生成方法。
【請求項６】
前記各導体パターン毎の前記各プロービングポイント間の導通状態をそれぞれ検査する導通検査処理に際して当該各プロービングポイントのうちの２つに一対の前記プローブをプロービングさせていずれかの前記導体パターン上の一対の当該プロービングポイント間の第２の電気的パラメータを測定すると共に測定した当該第２の電気的パラメータに基づいて当該一対のプロービングポイント間の導通状態を検査する導通検査ステップを当該一対のプロービングポイントを変更して順次実行する際の当該各導通検査ステップの実行順序を特定可能な前記検査手順データを生成する際に、前記各導通検査ステップの検査対象とする前記一対のプロービングポイントの組合せのすべてをそれぞれ特定する第３の処理を前記第２の処理に先立って実行すると共に、前記第２の処理において前記第１の処理によって特定した前記各絶縁検査ステップについての前記組合せ、および前記第３の処理によって特定した前記各導通検査ステップについての前記組合せを前記選択候補として当該選択候補のなかから前記選択基準に従って任意の当該組合せを選択することで当該絶縁検査ステップおよび当該導通検査ステップを混在させて実行順序を決定する請求項５記載の検査手順データ生成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査ステップの実行順序を決定して検査手順データを生成する検査手順データ生成装置、基板検査装置および検査手順データ生成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査手順データ生成方法に従って検査手順データを生成する検査手順データ生成装置、および生成した検査手順データに従って検査対象基板を検査する基板検査装置として、出願人は、プローブ移動式インサーキットテスタ（以下、単に「インサーキットテスタ」ともいう）を下記の特許文献１に開示している。出願人が開示しているインサーキットテスタは、信号源、測定回路およびアースのいずれかにスキャナを介して接続される３つのプローブと、Ｘ−Ｙユニットを駆動させて各プローブを任意の測定点（プロービングポイント）にプロービングさせるＸ−Ｙ−Ｚ駆動回路と、スキャナ、信号源、測定回路およびＸ−Ｙ−Ｚ駆動回路などを制御するコントローラ（ＣＰＵ）と、ＣＰＵの動作プログラムや被検査基板上に規定された各測定点のＸ−Ｙ座標データなどを記憶する記憶部（ＲＡＭ）などを備え、ステップ検査順設定処理プログラムに従って決定した順序で各測定点にプローブをプロービングさせて被検査基板を電気的に検査することができるように構成されている。
【０００３】
このインサーキットテスタによる被検査基板の検査に際しては、まず、実行すべき各検査ステップの実行順序（各測定点に対するプロービングの順序）を決定する。具体的には、実行すべきすべての検査ステップのなかから最初に実行する検査ステップの番号をキー操作によって指定する。これにより、基準ステップとして最初の（１番目の）検査ステップが確定する。次いで、ＣＰＵが、１番目の検査ステップの測定点と、実行順序が確定していない他の検査ステップの測定点との間の距離をそれぞれ演算し、１番目の検査ステップの測定点に対して最短の距離に位置する測定点の検査ステップを特定する。これにより、２番目の検査ステップが確定する。続いて、ＣＰＵは、３番目以降の各検査ステップについても、上記の２番目の検査ステップの決定手順と同様にして、直前に決定した検査ステップの測定点に対して最短の距離に位置する測定点の検査ステップを特定し、特定した検査ステップを次の検査ステップとして確定する。この後、ＣＰＵは、実行順番が確定していない検査ステップがなくなるまで、上記の処理を繰り返し実行する。これにより、全検査ステップの検査順が決定される。
【０００４】
一方、被検査基板の検査時には、上記の処理によって決定した実行順序で各検査ステップ毎の検査が順次実行される。この場合、出願人が開示しているインサーキットテスタでは、各検査ステップ毎にプローブをプロービングすべき測定点間の距離が最も短い検査ステップを順に実行するように検査順序（検査ステップの実行順序）が決定されている。したがって、出願人が開示しているインサーキットテスタでは、１枚の被検査基板の検査を完了するまでにプローブを移動させる距離が短いため、プローブの移動に要する時間が短い分だけ、検査に要する時間が短縮されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３０３４５８３号公報（第３−５頁、第１−１３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、出願人が開示しているインサーキットテスタには、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、出願人が開示しているインサーキットテスタでは、１枚の被検査基板の検査を完了するまでにプローブを移動させる総移動距離を短くして（プローブの移動に要する時間を短くして）検査時間を短縮するために、実行すべき各検査ステップに関し、プローブをプロービングさせるべき測定点（プロービングポイント）が最も近くに位置する検査ステップを順に実行するように実行順序を決定する構成・方法を採用している。また、出願人が開示しているインサーキットテスタなどの基板検査装置では、検査対象基板（被検査基板）に形成された複数の導体パターンに関し、一対の導体パターン間の絶縁状態を検査する絶縁検査処理を実行して両導体パターン間に絶縁不良が生じているときに、その検査対象基板を不良と判定する構成が採用されている。
【０００７】
この場合、検査対象基板（被検査基板）の各導体パターン上には、絶縁検査処理時にプローブをプロービングさせるプロービングポイント（測定点）が複数箇所規定されている。しかしながら、一対の導体パターン間の絶縁状態を検査するには、一方の導体パターン上の各プロービングポイントのうちのいずれか１つと、他方の導体パターン上の各プロービングポイントのうちのいずれか１つとの間の絶縁状態を検査するだけでよいため、この種の基板検査装置では、各導体パターン毎の複数のプロービングポイントのうちの１つを予め規定された基準に従ってその導体パターンの代表点として規定しておき、絶縁検査処理時には、一対の導体パターンにおける代表点間の絶縁状態を検査する構成・方法が一般的に採用されている。したがって、出願人が開示しているインサーキットテスタにおいて各導体パターン間の絶縁状態を検査するときには、代表点へのプローブの移動距離が最も短くなる順序で各検査ステップ毎の検査が実行されることとなる。
【０００８】
具体的な、一例として、図２に示す検査対象基板１０のように、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ１ｂが存在する導体パターン１１、プロービングポイントＰ２ａ〜Ｐ２ｃが存在する導体パターン１２、およびプロービングポイントＰ３ａ〜Ｐ３ｄが存在する導体パターン１３が存在し、導体パターン１１，１２の間の絶縁状態、導体パターン１２，１３の間の絶縁状態、および導体パターン１１，１３の間の絶縁状態をそれぞれ検査するものとする。この場合、プロービングポイントＰ１ａが導体パターン１１の代表点として規定され、プロービングポイントＰ２ａが導体パターン１２の代表点として規定され、かつプロービングポイントＰ３ａが導体パターン１３の代表点として規定されているときに、出願人が開示しているインサーキットテスタでは、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ａ間の絶縁状態の検査、プロービングポイントＰ２ａ，Ｐ３ａ間の絶縁状態の検査、およびプロービングポイントＰ３ａ，Ｐ１ａ間の絶縁状態の検査をこの順で実行するように各導体パターン間の絶縁状態を検査する検査ステップの実行順序が規定される。
【０００９】
しかしながら、そのような順序での各検査ステップの検査を実行する場合には、例えば、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ３ａが大きく離間していることに起因してプロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ａ間の絶縁状態の検査後にプロービングポイントＰ１ａからプロービングポイントＰ３ａにプローブを移動させるのに要する時間が長く、プロービングポイントＰ２ａ，Ｐ１ａも大きく離間していることに起因してプロービングポイントＰ２ａ，Ｐ３ａ間の絶縁状態の検査後にプロービングポイントＰ２ａからプロービングポイントＰ１ａにプローブを移動させるのに要する時間も長くなっている。このため、検査時間を一層短縮するのが困難となっており、この点を改善するのが好ましい。
【００１０】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、検査対象基板の検査に要する時間を充分に短縮可能な検査手順データを生成し得る検査手順データ生成装置、基板検査装置および検査手順データ生成方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成すべく請求項１記載の検査手順データ生成装置は、検査対象基板に形成された複数の導体パターン間の絶縁状態をそれぞれ検査する絶縁検査処理に際して当該各導体パターン毎に複数規定されているプロービングポイントのうちの２つに一対のプローブをプロービングさせて一対の当該導体パターン間の第１の電気的パラメータを測定すると共に測定した当該第１の電気的パラメータに基づいて当該一対の導体パターン間の絶縁状態を検査する絶縁検査ステップを当該一対の導体パターンを変更して順次実行する際の当該各絶縁検査ステップの実行順序を特定可能な検査手順データを生成する処理部を備えた検査手順データ生成装置であって、前記処理部は、前記各絶縁検査ステップの検査対象とする前記一対の導体パターン毎に前記プローブをプロービングさせ得る前記プロービングポイントの組合せのすべてをそれぞれ特定する第１の処理と、当該第１の処理によって特定した複数の前記組合せを選択候補として当該選択候補のなかから予め規定された選択基準に従って任意の当該組合せを選択すると共に選択した当該組合せに前記プローブをプロービングさせた状態で前記絶縁状態を検査し得る前記一対の導体パターンについての他の当該組合せを当該選択候補から除外する処理を当該選択候補がなくなるまで繰り返し実行する第２の処理とを実行し、当該第２の処理における前記各組合せの選択順序に基づいて前記絶縁検査ステップの実行順序を決定して前記検査手順データを生成する。
【００１２】
また、請求項２記載の検査手順データ生成装置は、請求項１記載の検査手順データ生成装置において、前記処理部は、前記各導体パターン毎の前記各プロービングポイント間の導通状態をそれぞれ検査する導通検査処理に際して当該各プロービングポイントのうちの２つに一対の前記プローブをプロービングさせていずれかの前記導体パターン上の一対の当該プロービングポイント間の第２の電気的パラメータを測定すると共に測定した当該第２の電気的パラメータに基づいて当該一対のプロービングポイント間の導通状態を検査する導通検査ステップを当該一対のプロービングポイントを変更して順次実行する際の当該各導通検査ステップの実行順序を特定可能な前記検査手順データを生成する際に、前記各導通検査ステップの検査対象とする前記一対のプロービングポイントの組合せのすべてをそれぞれ特定する第３の処理を前記第２の処理に先立って実行すると共に、前記第２の処理において前記第１の処理によって特定した前記各絶縁検査ステップについての前記組合せ、および前記第３の処理によって特定した前記各導通検査ステップについての前記組合せを前記選択候補として当該選択候補のなかから前記選択基準に従って任意の当該組合せを選択することで当該絶縁検査ステップおよび当該導通検査ステップを混在させて実行順序を決定する。
【００１３】
また、請求項３記載の基板検査装置は、請求項１記載の検査手順データ生成装置と、前記プローブと、当該プローブを移動させる移動機構と、前記プローブを介して前記プロービングポイントに対して入出力させた電気信号に基づいて前記第１の電気的パラメータを測定する測定部と、前記検査手順データに従って前記移動機構を制御して前記プローブを前記プロービングポイントにプロービングさせると共に前記測定部によって測定された前記第１の電気的パラメータに基づいて前記一対の導体パターン間の絶縁状態を検査する検査処理部とを備えている。
【００１４】
さらに、請求項４記載の基板検査装置は、請求項３記載の基板検査装置において、請求項２記載の検査手順データ生成装置と、前記プローブと、当該プローブを移動させる移動機構と、前記プローブを介して前記プロービングポイントに対して入出力させた電気信号に基づいて前記第１の電気的パラメータおよび前記第２の電気的パラメータを測定する測定部と、前記検査手順データに従って前記移動機構を制御して前記プローブを前記プロービングポイントにプロービングさせると共に前記測定部によって測定された前記第１の電気的パラメータに基づいて前記一対の導体パターン間の絶縁状態を検査し、かつ当該測定部によって測定された前記第２の電気的パラメータに基づいて前記一対のプロービングポイント間の導通状態を検査する検査処理部とを備えている。
【００１５】
また、請求項５記載の検査手順データ生成方法は、検査対象基板に形成された複数の導体パターン間の絶縁状態をそれぞれ検査する絶縁検査処理に際して当該各導体パターン毎に複数規定されているプロービングポイントのうちの２つに一対のプローブをプロービングさせて一対の当該導体パターン間の第１の電気的パラメータを測定すると共に測定した当該第１の電気的パラメータに基づいて当該一対の導体パターン間の絶縁状態を検査する絶縁検査ステップを当該一対の導体パターンを変更して順次実行する際の当該各絶縁検査ステップの実行順序を特定可能な検査手順データを生成する検査手順データ生成方法であって、前記各絶縁検査ステップの検査対象とする前記一対の導体パターン毎に前記プローブをプロービングさせ得る前記プロービングポイントの組合せのすべてをそれぞれ特定する第１の処理と、当該第１の処理によって特定した複数の前記組合せを選択候補として当該選択候補のなかから予め規定された選択基準に従って任意の当該組合せを選択すると共に選択した当該組合せに前記プローブをプロービングさせた状態で前記絶縁状態を検査し得る前記一対の導体パターンについての他の当該組合せを当該選択候補から除外する処理を当該選択候補がなくなるまで繰り返し実行する第２の処理とを実行し、当該第２の処理における前記各組合せの選択順序に基づいて前記絶縁検査ステップの実行順序を決定して前記検査手順データを生成する。
【００１６】
さらに、請求項６記載の検査手順データ生成方法は、請求項５記載の検査手順データ生成方法において、前記各導体パターン毎の前記各プロービングポイント間の導通状態をそれぞれ検査する導通検査処理に際して当該各プロービングポイントのうちの２つに一対の前記プローブをプロービングさせていずれかの前記導体パターン上の一対の当該プロービングポイント間の第２の電気的パラメータを測定すると共に測定した当該第２の電気的パラメータに基づいて当該一対のプロービングポイント間の導通状態を検査する導通検査ステップを当該一対のプロービングポイントを変更して順次実行する際の当該各導通検査ステップの実行順序を特定可能な前記検査手順データを生成する際に、前記各導通検査ステップの検査対象とする前記一対のプロービングポイントの組合せのすべてをそれぞれ特定する第３の処理を前記第２の処理に先立って実行すると共に、前記第２の処理において前記第１の処理によって特定した前記各絶縁検査ステップについての前記組合せ、および前記第３の処理によって特定した前記各導通検査ステップについての前記組合せを前記選択候補として当該選択候補のなかから前記選択基準に従って任意の当該組合せを選択することで当該絶縁検査ステップおよび当該導通検査ステップを混在させて実行順序を決定する。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１記載の検査手順データ生成装置、および請求項５記載の検査手順データ生成方法では、各絶縁検査ステップの検査対象とする一対の導体パターン毎にプローブをプロービングさせ得るプロービングポイントの組合せのすべてをそれぞれ特定する第１の処理と、第１の処理によって特定した複数の組合せを選択候補として選択候補のなかから予め規定された選択基準に従って任意の組合せを選択すると共に選択した組合せにプローブをプロービングさせた状態で絶縁状態を検査し得る一対の導体パターンについての他の組合せを選択候補から除外する処理を選択候補がなくなるまで繰り返し実行する第２の処理とを実行し、第２の処理における各組合せの選択順序に基づいて絶縁検査ステップの実行順序を決定して検査手順データを生成する。
【００１８】
したがって、請求項１記載の検査手順データ生成装置、および請求項５記載の検査手順データ生成方法によれば、各導体パターン上に規定された複数のプロービングポイントのうちのいずれか１つを代表点として規定して絶縁検査ステップ時に代表点間の絶縁状態を検査するように検査手順データを生成する構成・方法、すなわち、代表点から代表点にプローブを移動させるように検査手順データを生成する構成・方法と比較して、絶縁検査ステップの検査対象とする一対の導体パターン毎にプローブをプロービングさせ得るプロービングポイントの組合せのすべてのなかからプローブの移動距離が最も短くなる組合せを選択することができるため、プローブの移動に要する時間を短縮して検査対象基板の検査に要する時間を充分に短縮し得る検査手順データを提供することができる。
【００１９】
また、請求項３記載の基板検査装置によれば、請求項１記載の検査手順データ生成装置を備えると共に、生成した検査手順データに従って移動機構を制御してプローブをプロービングポイントにプロービングさせると共に測定部によって測定された第１の電気的パラメータに基づいて一対の導体パターン間の絶縁状態を検査する検査処理部を備えたことにより、各検査ステップ毎のプローブの移動に要する時間を充分に短縮して検査対象基板の検査に要する時間を充分に短縮することができる。
【００２０】
請求項２記載の検査手順データ生成装置、および請求項６記載の検査手順データ生成方法では、各導通検査ステップの検査対象とする一対のプロービングポイントの組合せのすべてをそれぞれ特定する第３の処理を第２の処理に先立って実行すると共に、第２の処理において第１の処理によって特定した各絶縁検査ステップについての組合せ、および第３の処理によって特定した各導通検査ステップについての組合せを選択候補として選択候補のなかから選択基準に従って任意の組合せを選択することで絶縁検査ステップおよび導通検査ステップを混在させて実行順序を決定する。
【００２１】
したがって、請求項２記載の検査手順データ生成装置、および請求項６記載の検査手順データ生成方法によれば、絶縁検査ステップ時のプロービングポイントの組合せ、および導通検査ステップ時のプロービングポイントの組合せのなかからプローブの移動距離が最も短くなる組合せを選択することができるため、プローブの移動に要する時間を一層短縮して検査対象基板の検査に要する時間を一層短縮し得る検査手順データを提供することができる。
【００２２】
また、請求項４記載の基板検査装置によれば、請求項２記載の検査手順データ生成装置を備えると共に、生成した検査手順データに従って移動機構を制御してプローブをプロービングポイントにプロービングさせると共に測定部によって測定された第２の電気的パラメータに基づいて一対のプロービングポイント間の導通状態を検査する検査処理部を備えたことにより、絶縁検査および導通検査の各検査ステップ毎のプローブの移動に要する時間を一層短縮して検査対象基板の検査に要する時間を一層短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】検査対象基板１０の一例を示す平面図である。
【図３】各検査ステップの実行順序を決定する際に生成される導通検査ステップデータＤ３ａについて説明するための説明図である。
【図４】各検査ステップの実行順序を決定する際に生成される絶縁検査ステップデータＤ３ｂについて説明するための説明図である。
【図５】導通検査ステップデータＤ３ａおよび絶縁検査ステップデータＤ３ｂに基づいて生成される検査ステップデータＤ３について説明するための説明図である。
【図６】決定された実行順序に従って生成される検査手順データＤ４について説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明に係る検査手順データ生成装置、基板検査装置および検査手順データ生成方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２５】
図１に示す基板検査装置１は、「検査手順データ生成装置」を備えた「基板検査装置」の一例であって、基板保持部２、移動機構３ａ，３ｂ、プローブ４ａ，４ｂ、測定部５、操作部６、表示部７、制御部８および記憶部９を備え、後述する「検査手順データ生成方法」に従って検査対象基板１０を検査するための検査手順データＤ４を生成すると共に、生成した検査手順データＤ４に従って検査対象基板１０を電気的に検査可能に構成されている。この場合、本例の基板検査装置１では、操作部６、表示部７、制御部８および記憶部９によって「検査手順データ生成装置」が構成されている。
【００２６】
また、検査対象基板１０は、「検査対象基板」の一例であって、前述したように、導体パターン１１〜１３が形成されている。なお、実際の検査対象基板１０には、上記の導体パターン１１〜１３以外の各種導体パターンが形成されているが、「検査手順データ生成装置」、「基板検査装置」および「検査手順データ生成方法」についての理解を容易とするために、導体パターン１１〜１３以外の導体パターンに関する図示および説明を省略する。さらに、導体パターン１１〜１３には、導通状態を検査する際にプローブ４ａ，４ｂをプロービングさせる複数のプロービングポイントが規定されている。
【００２７】
具体的には、本例の検査対象基板１０では、導体パターン１１にプロービングポイントＰ１ａ，Ｐ１ｂが規定され、導体パターン１２にプロービングポイントＰ２ａ〜Ｐ２ｃが規定され、かつ導体パターン１３にプロービングポイントＰ３ａ〜Ｐ３ｄが規定されている。なお、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ１ｂ，Ｐ２ａ〜Ｐ２ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｄ（以下、区別しないときには「プロービングポイントＰ」ともいう）は、一例として、検査対象基板１０の設計データに基づいて予め規定されるが、このプロービングポイントＰの規定方法については、公知のため、詳細な説明を省略する。
【００２８】
一方、基板保持部２は、検査対象基板１０を吸着または挟持して検査位置に保持する。移動機構３ａ，３ｂ（以下、区別しないときには「移動機構３」ともいう）は、「移動機構」の一例であって、制御部８の制御に従ってプローブ４ａ，４ｂを移動させて基板保持部２によって保持されている検査対象基板１０の導体パターン１１〜１３における各プロービングポイントＰにプロービングさせる。プローブ４ａ，４ｂ（以下、区別しないときには「プローブ４」ともいう）は、「プローブ」の一例であって、移動機構３に取り付けられると共に、測定部５に接続されている。
【００２９】
測定部５は、制御部８の制御に従い、両プローブ４ａ，４ｂを介して検査対象基板１０の各プロービングポイントＰ，Ｐに対して入出力させた電気信号に基づき、各プロービングポイントＰ，Ｐの間の電気的パラメータ（電流値、電圧値、抵抗値および位相等：「第１の電気的パラメータ」および「第２の電気的パラメータ」の一例）を測定して測定データＤｓを出力する。操作部６は、基板検査装置１の動作条件を設定するための操作スイッチや、検査処理の開始／停止を指示する操作スイッチ等を備え（図示せず）、スイッチ操作に応じた操作信号を制御部８に出力する。表示部７は、制御部８の制御に従って検査対象基板１０についての検査結果などを表示する。
【００３０】
制御部８は、基板検査装置１を総括的に制御する。具体的には、制御部８は、「処理部」に相当し、後述するようにして、プロービングポイントデータＤ１等に基づき、検査対象基板１０の各導体パターン１１〜１３について実行すべき導通検査ステップや絶縁検査ステップなどの各検査ステップの実行順序を決定して検査手順データＤ４を生成する。また、制御部８は、「検査処理部」に相当し、検査手順データＤ４に従って移動機構３ａ，３ｂを制御して各検査ステップに対応付けられているプロービングポイントＰ，Ｐにプローブ４ａ，４ｂをプロービングさせると共に、測定部５を制御して測定処理を実行させる。さらに、制御部８は、測定部５から出力された測定データＤｓと、記憶部９に記憶されている検査用基準データＤ２とに基づき、プローブ４ａ，４ｂをプロービングさせているプロービングポイントＰ，Ｐ間の導通状態（導通検査ステップの検査）や、絶縁状態（絶縁検査ステップの検査）の良否を検査する。
【００３１】
次に、基板検査装置１による検査手順データＤ４の生成方法、および検査手順データＤ４に従って検査対象基板１０を検査する検査方法について、添付図面を参照して説明する。
【００３２】
制御部８は、操作部６のスイッチ操作によって検査手順データＤ４の生成を指示されたときに、動作プログラムに従い、検査手順データ生成処理を開始する。具体的には、制御部８は、まず、記憶部９からプロービングポイントデータＤ１を読み出す。このプロービングポイントデータＤ１は、一例として、検査対象基板１０の設計データ等に基づいて生成されるデータであって、検査対象基板１０上に規定された各プロービングポイントＰの位置と、各プロービングポイントＰがいずれの導体パターン上に規定されているかを特定可能な情報（一例として、各導体パターンを個別的に識別可能な番号：ネットワーク番号）とが対応付けられて記録されている。
【００３３】
次いで、制御部８は、一例として、各導体パターン１１〜１３の導通状態を検査する導通検査ステップの検査対象とする一対のプロービングポイントＰ，Ｐの組合せのすべてをそれぞれ特定する処理（「第３の処理」の一例）を開始する。具体的には、図２に示すように、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ１ｂの２つが規定されている導体パターン１１については、このプロービングポイントＰ１ａ，Ｐ１ｂの間の導通状態を検査することで導通状態を検査できる。したがって、制御部８は、プロービングポイントデータＤ１に基づき、図３に示すように、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ１ｂの組合せを導体パターン１１に関する導通検査ステップ時のプロービングポイントとして特定し、導通検査ステップデータＤ３ａとして記憶部９に記憶させる。
【００３４】
一方、プロービングポイントＰ２ａ〜Ｐ２ｃの３つが規定されている導体パターン１２については、プロービングポイントＰ２ａ，Ｐ２ｂの間の導通状態を検査することで導通状態を検査できる。しかしながら、プロービングポイントデータＤ１には、プロービングポイントＰ２ａ〜Ｐ２ｃの３つが導体パターン１２上に規定されたプロービングポイントＰであると特定できる情報や、各プロービングポイントＰの位置（座標）を特定できる情報が記録されているものの、この３つのプロービングポイントＰ２ａ〜Ｐ２ｃの接続関係を特定可能な情報（プロービングポイントＰ２ａがプロービングポイントＰ２ｃに接続され、かつプロービングポイントＰ２ｃがプロービングポイントＰ２ｂに接続されていると特定し得る情報）が記録されていないため、プロービングポイントＰ２ａ，Ｐ２ｂが導体パターン１２の両端部に位置するプロービングポイントＰであると特定することができない。
【００３５】
このため、本例の基板検査装置１では、１つの導体パターン上に３つ以上のプロービングポイントＰが規定されているときに、一例として、各プロービングポイントＰのうちのいずれか１つを基準として規定すると共に、その１つのプロービングポイントＰと他のプロービングポイントＰとの間の導通状態をそれぞれ検査する構成が採用されている。したがって、制御部８は、プロービングポイントＰ２ａ〜Ｐ２ｃの３つが規定されている導体パターン１２について、一例として、プロービングポイントＰ２ａを基準のプロービングポイントＰとして規定し、プロービングポイントＰ２ａ，Ｐ２ｂの組合せ、およびプロービングポイントＰ２ａ，Ｐ２ｃの組合せの２つを導通検査ステップ時のプロービングポイントとして特定し、導通検査ステップデータＤ３ａとして記憶部９に記憶させる。
【００３６】
同様にして、制御部８は、プロービングポイントＰ３ａ〜Ｐ３ｄの４つが規定されている導体パターン１３について、一例として、プロービングポイントＰ３ａを基準のプロービングポイントＰとして規定し、プロービングポイントＰ３ａ，Ｐ３ｂの組合せ、プロービングポイントＰ３ａ，Ｐ３ｃの組合せ、およびプロービングポイントＰ３ａ，Ｐ３ｄの組合せの３つを導通検査ステップ時のプロービングポイントとして特定し、導通検査ステップデータＤ３ａとして記憶部９に記憶させる。以上により、「第３の処理」が完了する。
【００３７】
次いで、制御部８は、各導体パターン１１〜１３の間の絶縁状態を検査する絶縁検査ステップの検査対象とする一対のプロービングポイントＰ，Ｐの組合せのすべてをそれぞれ特定する処理（「第１の処理」の一例）を開始する。なお、実際の検査手順データＤ４の生成時には、絶縁検査ステップの検査対象とするプロービングポイントＰ，Ｐの特定に際して、検査ステップ数の少数化を目的として、絶縁不良が生じる可能性が低い距離に位置する導体パターン同士のプロービングポイントＰ，Ｐや、他の導体パターンを挟んで位置する導体パターン同士のプロービングポイントＰ，Ｐを対象から除外する処理が実行されるが、このような処理の手順については公知のため、詳細な説明を省略する。
【００３８】
例えば、導体パターン１１については、導体パターン１２との間の絶縁状態を検査する必要がある。したがって、制御部８は、図４に示すように、導体パターン１１，１２間の絶縁検査ステップ時のプロービングポイントＰ，Ｐとして、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ａの組合せ、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ｂの組合せ、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ｃの組合せ、プロービングポイントＰ１ｂ，Ｐ２ａの組合せ、プロービングポイントＰ１ｂ，Ｐ２ｂの組合せ、およびプロービングポイントＰ１ｂ，Ｐ２ｃの組合せの６つを絶縁検査ステップ時のプロービングポイントとして特定し、絶縁検査ステップデータＤ３ｂとして記憶部９に記憶させる。
【００３９】
また、導体パターン１２については、上記の導体パターン１１の他に導体パターン１３との間の絶縁状態を検査する必要がある。したがって、制御部８は、導体パターン１２，１３間の絶縁検査ステップ時のプロービングポイントＰ，Ｐとして、プロービングポイントＰ２ａ，Ｐ３ａの組合せ、プロービングポイントＰ２ａ，Ｐ３ｂの組合せ、プロービングポイントＰ２ａ，Ｐ３ｃの組合せ、プロービングポイントＰ２ａ，Ｐ３ｄの組合せ、プロービングポイントＰ２ｂ，Ｐ３ａの組合せ、プロービングポイントＰ２ｂ，Ｐ３ｂの組合せ、プロービングポイントＰ２ｂ，Ｐ３ｃの組合せ、プロービングポイントＰ２ｂ，Ｐ３ｄの組合せ、プロービングポイントＰ２ｃ，Ｐ３ａの組合せ、プロービングポイントＰ２ｃ，Ｐ３ｂの組合せ、プロービングポイントＰ２ｃ，Ｐ３ｃの組合せ、およびプロービングポイントＰ２ｃ，Ｐ３ｄの組合せの１２個を絶縁検査ステップ時のプロービングポイントとして特定し、絶縁検査ステップデータＤ３ｂとして記憶部９に記憶させる。以上により、「第１の処理」が完了する。
【００４０】
続いて、制御部８は、図５に示すように、上記の導通検査ステップデータＤ３ａおよび絶縁検査ステップデータＤ３ｂを合成して検査ステップデータＤ３を生成する。この際に、制御部８は、導通検査ステップに関する組合せと、絶縁検査ステップに関する組合せとを識別可能とするために、一例として、導通検査ステップに関する組合せに関して絶縁検査フラグの値を「０」とし、絶縁検査ステップに関する組合せに関して絶縁検査フラグの値を「１」とする。これにより、検査対象基板１０について実施すべきすべての検査ステップに関するプロービングポイントＰ，Ｐの組合せの特定が完了する。
【００４１】
次いで、制御部８は、検査ステップデータＤ３の各組合せの実行順序を最適化する「第２の処理」を実行する。具体的には、制御部８は、上記の「第３の処理」によって特定した各導通検査ステップ時のプロービングポイントＰ，Ｐの組合せ、および上記の「第１の処理」によって特定した各絶縁検査ステップ時のプロービングポイントＰ，Ｐの組合せを選択候補として、各選択候補のなかからプローブ４ａ，４ｂの移動距離が最も短くなる任意のプロービングポイントＰ，Ｐの組合せを選択する。この際に、制御部８は、一例として、最近近傍法に従い、直前に決定した検査ステップのプロービングポイントＰ，Ｐに最も近いプロービングポイントＰ，Ｐの組合せを特定し、特定したプロービングポイントＰ，Ｐの検査ステップを、次に実行する検査ステップとして選択する（「予め規定された選択基準」の一例である最近近傍法による検査手順の決定）。
【００４２】
より具体的には、一例として、最初に実行すべき検査ステップ時のプロービングポイントＰ，Ｐとして、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ１ｂが操作部６のスイッチ操作によって選択されたときに（オペレータが最初の組合せを選択する例）、制御部８は、このプロービングポイントＰ１ａ，Ｐ１ｂを最初に実行する検査ステップ時のプロービングポイントＰ，Ｐの組合せとして検査手順データＤ４を生成して記憶部９に記憶させると共に、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ１ｂからのプローブ４ａ，４ｂの移動距離が最も短いプロービングポイントＰ，Ｐの組合せとして、プローブ４ｂだけを僅かに移動させるだけで済むプロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ｃの組合せを選択し、図６に示すように、選択した組合せを検査手順データＤ４に追記する。
【００４３】
次いで、制御部８は、選択した組合せの絶縁検査フラグが「０」か「１」かを判別し、「１」のとき（絶縁検査ステップに関するプロービングポイントＰ，Ｐの組合せのとき）には、そのプロービングポイントＰ，Ｐの組合せにプローブ４ａ，４ｂをプロービングさせた状態で絶縁状態を検査し得る他の絶縁検査ステップに関するプロービングポイントＰ，Ｐの組合せを、上記の選択候補から除外する。具体的には、制御部８は、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ｃの組合せによって絶縁状態を検査し得る導体パターン１１，１２についてのプロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ｃ以外の組合せ、すなわち、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ａの組合せ、およびプロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ｂの組合せの２つを、次の検査ステップに関する選択候補から除外する。
【００４４】
続いて、制御部８は、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ｃからの移動距離が最も短いプロービングポイントＰ，Ｐの組合せとして、プローブ４ａだけを僅かに移動させるだけで済むプロービングポイントＰ２ａ，Ｐ２ｃの組合せを選択し、図６に示すように、選択した組合せを検査手順データＤ４に追記する。次いで、制御部８は、選択した組合せの絶縁検査フラグが「０」である（導通検査ステップに関するプロービングポイントＰ，Ｐの組合せである）ため、プロービングポイントＰ２ａ，Ｐ２ｃからの移動距離が最も短いプロービングポイントＰ，Ｐの組合せとして、プローブ４ｂだけを僅かに移動させるだけで済むプロービングポイントＰ２ａ，Ｐ２ｂの組合せを選択し、図６に示すように、選択した組合せを検査手順データＤ４に追記する。
【００４５】
続いて、制御部８は、選択した組合せの絶縁検査フラグが「０」であるため、プロービングポイントＰ２ａ，Ｐ２ｂからの移動距離が最も短いプロービングポイントＰ，Ｐの組合せとして、プローブ４ａだけを僅かに移動させるだけで済むプロービングポイントＰ３ｃ，Ｐ２ｂの組合せを選択し、図６に示すように、選択した組合せを検査手順データＤ４に追記する。この際には、選択した組合せの絶縁検査フラグが「１」であるため、制御部８は、プロービングポイントＰ３ｃ，Ｐ２ｂの組合せによって絶縁状態を検査し得る導体パターン１３，１２についてのプロービングポイントＰ３ｃ，Ｐ２ｂ以外の組合せを、次の検査ステップに関する選択候補から除外する。
【００４６】
この後、制御部８は、次に実行すべき検査ステップについてのプロービングポイントＰ，Ｐの組合せに関する選択候補がなくなるまで、上記の処理を繰り返して実行する。これにより、選択候補がなくなったときには、検査対象基板１０について実行すべきすべての導通検査ステップおよび絶縁検査ステップ毎のプロービングポイントＰ，Ｐの組合せに関し、プローブ４ａ，４ｂの移動距離が最も短くなるような順序で各組合せが記録された検査手順データＤ４が完成する。以上により、検査手順データＤ４の生成処理が完了する。
【００４７】
一方、検査対象基板１０の検査に際しては、制御部８は、検査手順データＤ４に従い、各導通検査ステップおよび各絶縁検査ステップを混在させて順次実行する。具体的には、制御部８は、各検査ステップ毎に、移動機構３ａ，３ｂを制御してプローブ４ａ，４ｂを規定されたプロービングポイントＰ，Ｐにプロービングさせると共に、検査手順データＤ４における絶縁検査フラグが「０」のときには、測定部５から出力される測定データＤｓと記憶部９に記憶されている検査用基準データＤ２とに基づき、プロービングポイントＰ，Ｐ間の導通状態を検査する。また、制御部８は、検査手順データＤ４における絶縁検査フラグが「１」のときには、測定部５から出力される測定データＤｓと記憶部９に記憶されている検査用基準データＤ２とに基づき、プロービングポイントＰ，Ｐ間の絶縁状態を検査する。
【００４８】
より具体的には、制御部８は、検査手順データＤ４における最初の検査ステップのデータに従い、移動機構３ａを制御してプローブ４ａをプロービングポイントＰ１ａにプロービングさせ、かつ移動機構３ｂを制御してプローブ４ｂをプロービングポイントＰ１ｂにプロービングさせると共に、測定部５を制御して測定処理を実行させ、絶縁検査フラグが「０」のため、測定部５から出力される測定データＤｓと記憶部９に記憶されている検査用基準データＤ２とに基づき、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ１ｂ間の導通状態（すなわち、導体パターン１１の導通状態）を検査する。
【００４９】
次いで、制御部８は、検査手順データＤ４における２番目の検査ステップのデータに従い、移動機構３ａを制御してプローブ４ａをプロービングポイントＰ１ａにプロービングさせた状態を維持しつつ、移動機構３ｂを制御してプローブ４ｂをプロービングポイントＰ１ｂからプロービングポイントＰ２ｃに移動させてプロービングさせると共に、測定部５を制御して測定処理を実行させ、絶縁検査フラグが「１」のため、測定部５から出力される測定データＤｓと記憶部９に記憶されている検査用基準データＤ２とに基づき、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ｃ間の絶縁状態（すなわち、導体パターン１１，１２間の絶縁状態）を検査する。
【００５０】
この際に、本例では、前述した検査手順データＤ４の生成に際して、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ｃの組合せを選択したときに、このプロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ｃの組合せによって絶縁状態を検査し得る導体パターン１１，１２についてのプロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ｃ以外の組合せを、次の検査ステップに関する選択候補から除外している。このため、この検査手順データＤ４では、導体パターン１１，１２間の絶縁状態の検査に関して、プロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ｃ以外の組合せによる絶縁検査ステップが規定されることがないため、プローブ４ａ，４ｂをプロービングポイントＰ１ａ，Ｐ２ｃにプロービングさせた状態で行われる上記の絶縁検査ステップが完了した時点において、導体パターン１１，１２の間の絶縁状態の検査が完了する。
【００５１】
続いて、制御部８は、検査手順データＤ４における３番目以降の検査ステップのデータに従い、プロービングポイントＰ２ａ，Ｐ２ｃにプローブ４ａ，４ｂをプロービングさせた状態における導通検査ステップ、プロービングポイントＰ２ａ，Ｐ２ｂにプローブ４ａ，４ｂをプロービングさせた状態における導通検査ステップ、およびプロービングポイントＰ３ｃ，Ｐ２ｂにプローブ４ａ，４ｂをプロービングさせた状態における絶縁検査ステップなどを順次実行する。これにより、検査対象基板１０の良否が電気的に検査される。
【００５２】
このように、この基板検査装置１、および基板検査装置１による検査手順データＤ４の生成方法では、各絶縁検査ステップの検査対象とする一対の導体パターン毎にプローブ４をプロービングさせ得るプロービングポイントＰの組合せのすべてをそれぞれ特定する「第１の処理」と、「第１の処理」によって特定した複数の組合せを選択候補として選択候補のなかから予め規定された選択基準に従って任意の組合せを選択すると共に選択した組合せにプローブ４をプロービングさせた状態で絶縁状態を検査し得る一対の導体パターンについての他の組合せを選択候補から除外する処理を選択候補がなくなるまで繰り返し実行する「第２の処理」とを実行し、「第２の処理」における各組合せの選択順序に基づいて絶縁検査ステップの実行順序を決定して検査手順データＤ４を生成する。
【００５３】
したがって、この基板検査装置１、および基板検査装置１による検査手順データＤ４の生成方法によれば、各導体パターン上に規定された複数のプロービングポイントのうちのいずれか１つを代表点として規定して絶縁検査ステップ時に代表点間の絶縁状態を検査するように検査手順データを生成する構成・方法、すなわち、代表点から代表点にプローブを移動させるように検査手順データを生成する構成・方法と比較して、絶縁検査ステップの検査対象とする一対の導体パターン毎にプローブ４ａ，４ｂをプロービングさせ得るプロービングポイントＰ，Ｐの組合せのすべてのなかからプローブ４ａ，４ｂの移動距離が最も短くなる組合せを選択することができるため、プローブ４ａ，４ｂの移動に要する時間を短縮して検査対象基板１０の検査に要する時間を充分に短縮し得る検査手順データＤ４を提供することができる。
【００５４】
また、この基板検査装置１によれば、操作部６、表示部７、制御部８および記憶部９を有する「検査手順データ生成装置」を備えると共に、生成した検査手順データＤ４に従って移動機構３ａ，３ｂを制御してプローブ４ａ，４ｂをプロービングポイントＰにプロービングさせると共に測定部５によって測定された「第１の電気的パラメータ」に基づいて一対の導体パターン間の絶縁状態を検査可能に検査処理部としての制御部８を構成したことにより、各検査ステップ毎のプローブ４ａ，４ｂの移動に要する時間を充分に短縮して検査対象基板１０の検査に要する時間を充分に短縮することができる。
【００５５】
さらに、この基板検査装置１、および基板検査装置１による検査手順データＤ４の生成方法では、各導通検査ステップの検査対象とする一対のプロービングポイントＰ，Ｐの組合せのすべてをそれぞれ特定する「第３の処理」を「第２の処理」に先立って実行すると共に、「第２の処理」において「第１の処理」によって特定した各絶縁検査ステップについての組合せ、および「第３の処理」によって特定した各導通検査ステップについての組合せを選択候補として選択候補のなかから選択基準に従って任意の組合せを選択することで絶縁検査ステップおよび導通検査ステップを混在させて実行順序を決定する。
【００５６】
したがって、この基板検査装置１、および基板検査装置１による検査手順データＤ４の生成方法によれば、絶縁検査ステップ時のプロービングポイントＰ，Ｐの組合せ、および導通検査ステップ時のプロービングポイントＰ，Ｐの組合せのなかからプローブ４ａ，４ｂの移動距離が最も短くなる組合せを選択することができるため、プローブ４ａ，４ｂの移動に要する時間を一層短縮して検査対象基板１０の検査に要する時間を一層短縮し得る検査手順データＤ４を提供することができる。
【００５７】
また、この基板検査装置１によれば、操作部６、表示部７、制御部８および記憶部９を有する「検査手順データ生成装置」を備えると共に、生成した検査手順データＤ４に従って移動機構３ａ，３ｂを制御してプローブ４ａ，４ｂをプロービングポイントＰにプロービングさせると共に測定部５によって測定された「第２の電気的パラメータ」に基づいて一対のプロービングポイントＰ，Ｐ間の導通状態を検査可能に検査処理部としての制御部８を構成したことにより、絶縁検査および導通検査の各検査ステップ毎のプローブ４ａ，４ｂの移動に要する時間を一層短縮して検査対象基板１０の検査に要する時間を一層短縮することができる。
【００５８】
なお、「検査手順データ生成装置」および「基板検査装置」の構成や、「検査手順データ生成方法」の具体的な手順については、上記の基板検査装置１の構成、およびその「検査手順データ生成方法」の手順に限定されない。例えば、「予め規定された選択基準」は、「最近近傍法によって特定された組合せ」に限定されず、空間充填法、２−ｏｐｔ法および３−ｏｐｔ法などの公知の決定手順を採用することができる。また、プローブ４ａ，４ｂの２本を使用して検査対象基板１０を検査するための検査手順データＤ４の生成について説明したが、検査対象基板１０の検査時に使用する「プローブ」の本数はこれに限定されず、３本以上の複数本の「プローブ」を使用して「検査対象基板」を検査するための検査手順データについても、上記の基板検査装置１による検査手順データＤ４の生成手順と同様の手順で生成することができる。
【００５９】
さらに、各導体パターンの導通状態を検査する導通検査ステップ、および各導体パターン間の絶縁状態を検査する絶縁検査ステップを混在させて順次実行する検査手順データＤ４を生成する構成・方法や、検査手順データＤ４に従って導通検査ステップおよび絶縁検査ステップを混在させて順次実行する構成・方法を例に挙げて説明したが、各導通検査ステップを順次実行した後に各絶縁検査ステップを順次実行する検査手順データＤ４を生成したり、各絶縁検査ステップを順次実行した後に各導通検査ステップを順次実行する検査手順データＤ４を生成したりする構成・方法や、検査手順データＤ４に従って各導通検査ステップを順次実行した後に各絶縁検査ステップを順次実行したり、検査手順データＤ４に従って各絶縁検査ステップを順次実行した後に各導通検査ステップを順次実行したりする構成・方法を採用することもできる。これらの構成・方法を採用する際に、「第１の処理」および「第２の処理」をこの順で実行して各絶縁検査ステップの実行順序を規定することにより、すべての絶縁検査ステップ（絶縁検査処理）を実行するのに要する時間を充分に短縮することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１  基板検査装置
３ａ，３ｂ  移動機構
４ａ，４ｂ  プローブ
５  測定部
８  制御部
９  記憶部
１０  検査対象基板
１１〜１３  導体パターン
Ｄ１  プロービングポイントデータ
Ｄ２  検査用基準データ
Ｄ３  検査ステップデータ
Ｄ３ａ  導通検査ステップデータ
Ｄ３ｂ  絶縁検査ステップデータ
Ｄ４  検査手順データ
Ｄｓ  測定データ
Ｐ１ａ，Ｐ１ｂ，Ｐ２ａ〜Ｐ２ｃ，Ｐ３ａ〜Ｐ３ｄ  プロービングポイント
【図１】
2015072213.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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