(57)【要約】  【課題】仮想高精度浮上ラインにおける搬送対象物の浮上量を高精度に安定させる。  【解決手段】浮上搬送装置１は、搬送対象物を搬送方向Ｘに非接触で搬送する搬送用レール２を備える。搬送用レール２は、気体を噴出する給気孔２２および気体を吸引するバキューム孔２３が搬送方向Ｘに対して垂直な方向に一定間隔で交互に配置された孔アレイ２１が、搬送方向Ｘに複数配列された搬送面２０を備えており、搬送方向Ｘに対して垂直な方向に沿って設定された仮想高精度浮上ラインＬが、搬送方向Ｘに複数配列された孔アレイ２１のうち、所定の隣接する孔アレイ２１ａと孔アレイ２１ｂとの間の上方に位置し、かつ、少なくともこれらの孔アレイ２１a、２１ｂ各々を構成する給気孔２２およびバキューム孔２３が仮想高精度浮上ラインＬに対して線対称となるように配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体を用いて搬送対象物を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する搬送用レールであって、
前記気体を噴出する給気孔および気体を吸引するバキューム孔が前記搬送方向に対して垂直な方向に沿って一定間隔で交互に配置された孔アレイが、前記搬送方向に複数配列された搬送面を備え、
前記搬送方向に対して垂直な方向に沿って設定された仮想高精度浮上ラインが、前記搬送方向に複数配列された前記孔アレイのうち、搬送方向において隣接する所定の孔アレイと孔アレイとの間の上方に位置するとともに、少なくとも当該隣接する所定の孔アレイのうちの一方を構成する給気孔が他方を構成する給気孔と前記仮想高精度浮上ラインを挟んで対向し、かつ当該隣接する所定の孔アレイのうちの一方を構成するバキューム孔が他方を構成するバキューム孔と前記仮想高精度浮上ラインを挟んで対向する位置に配置されている
ことを特徴とする搬送用レール。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送用レールであって、
前記隣接する所定の孔アレイ各々を構成する給気孔およびバキューム孔は、前記仮想高精度浮上ラインに対して線対称となる位置に配置されている
ことを特徴とする搬送用レール。
【請求項３】
請求項１または２に記載の搬送用レールであって、
前記仮想高精度浮上ラインに対して前記搬送方向の上流側に配置された複数の孔アレイ、および前記仮想高精度浮上ラインに対して前記搬送方向の下流側に配置された複数の孔アレイは、それぞれ、各孔アレイを構成する給気孔およびバキューム孔が前記搬送方向において一定間隔で交互に配置されている
ことを特徴とする搬送用レール。
【請求項４】
気体を用いて搬送対象物を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する浮上搬送装置であって、
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の搬送用レールと、
前記搬送用レールの前記搬送面の前記給気孔から噴出する圧縮気体を供給するための給気ポンプと、
前記搬送用レールの前記搬送面の前記バキューム孔に気体を吸引するための吸引ポンプと、を備える
ことを特徴とする浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送対象物を浮上させて非接触で搬送する浮上搬送技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
製造ライン等において、搬送対象物を搬送用レールの搬送面から浮上させて非接触で搬送する浮上搬送装置が知られている。例えば、特許文献１には、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル、有機ＥＬパネル等のフラットディスプレイパネルに用いられるガラス基板の光学検査に用いる搬送装置として、ガラス基板を浮上させる搬送用レール（浮上ステージ）と、搬送用レール上に浮上しているガラス基板を搬送する搬送機構と、を備えた浮上搬送装置が開示されている。この浮上搬送装置の搬送用レールには、気体を噴出する給気孔（噴出穴）および気体を吸引するバキューム孔（吸引孔）が、千鳥状、すなわち搬送方向および搬送方向に対して垂直な方向のそれぞれにおいて、一定間隔で交互に配置されている。このように、給気孔とバキューム孔とを均等に配置して、搬送用レールの搬送面から気体の噴出と吸引とを同時に行うことにより、搬送用レールの搬送面からの搬送対象物の浮上高さを一定に保つことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２８１６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光学検査装置の光学検査位置、レジスト塗布装置のレジスト塗布位置など、搬送用レール上の、搬送対象物の搬送方向に対して垂直な方向に沿って設定された所定のラインにおいて、搬送対象物の搬送用レールからの浮上量に高い精度を求められる場合がある（以下、このようなラインを仮想高精度浮上ラインと呼ぶ）。しかしながら、給気孔およびバキューム孔が千鳥状に均等配置された従来の搬送用レールでは、仮想高精度浮上ラインにおける搬送対象物の浮上量を高精度に安定させることが困難であった。
【０００５】
すなわち、搬送対象物の搬送方向に対して垂直な方向に一定間隔で交互に配置された給気孔およびバキューム孔（以下、孔アレイと呼ぶ）の上に仮想高精度浮上ラインを設定した場合、搬送対象物が仮想高精度浮上ラインを通過する際、仮想高精度浮上ラインの真下に位置する孔アレイの給気孔から噴出する圧縮気体およびこの孔アレイのバキューム孔に吸引される気体の影響を受け、搬送対象物の搬送用レールからの浮上量を高精度に維持し、安定させることができない。
【０００６】
また、隣接する孔アレイの間の上に仮想高精度浮上ラインを設定した場合、仮想高精度浮上ラインを挟んで隣接する孔アレイ各々の給気孔およびバキューム孔の並び順が互いに異なるため、搬送対象物が仮想高精度浮上ラインへ進入直前に受ける気体の流れと、搬送対象物が仮想高精度浮上ラインから離脱直後に受ける気体の流れとが異なる。これにより、孔アレイ上に仮想高精度浮上ラインを設定した場合と同様に、搬送対象物の搬送用レールからの浮上量を高精度に維持し、安定させることができない。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、仮想高精度浮上ラインにおける搬送対象物の浮上量を高精度に維持し、安定させることができる搬送レールおよび浮上搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明では、所定の隣接する孔アレイと孔アレイとの間の上方に仮想高精度浮上ラインを設定するとともに、少なくとも仮想高精度浮上ラインを挟んで隣接する孔アレイ各々の給気孔およびバキューム孔の並び順を、給気孔同士およびバキューム孔同士がそれぞれ仮想高精度浮上ラインを挟んで対向する順番とした。
【０００９】
例えば、本発明の搬送用レールは、気体を用いて搬送対象物を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する搬送用レールであって、
前記気体を噴出する給気孔および気体を吸引するバキューム孔が前記搬送方向に対して垂直な方向に沿って一定間隔で交互に配置された孔アレイが、前記搬送方向に複数配列された搬送面を備え、
前記搬送方向に対して垂直な方向に沿って設定された仮想高精度浮上ラインが、前記搬送方向に複数配列された前記孔アレイのうち、搬送方向において隣接する所定の孔アレイと孔アレイとの間の上方に位置するとともに、少なくとも当該隣接する所定の孔アレイのうちの一方を構成する給気孔が他方を構成する給気孔と前記仮想高精度浮上ラインを挟んで対向し、かつ当該隣接する所定の孔アレイのうちの一方を構成するバキューム孔が他方を構成するバキューム孔と前記仮想高精度浮上ラインを挟んで対向する位置に配置されている。
【００１０】
ここで、前記隣接する所定の孔アレイ各々を構成する給気孔およびバキューム孔は、前記仮想高精度浮上ラインに対して線対称となる位置に配置されていてもよい。また、前記仮想高精度浮上ラインに対して前記搬送方向の上流側に配置された複数の孔アレイ、および前記仮想高精度浮上ラインに対して前記搬送方向の下流側に配置された複数の孔アレイは、それぞれ、各孔アレイを構成する給気孔およびバキューム孔が前記搬送方向において一定間隔で交互に配置されていてもよい。
【００１１】
また、例えば、本発明の浮上搬送装置は、気体を用いて搬送対象物を浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する浮上搬送装置であって、
前記搬送用レールと、
前記搬送用レールの前記搬送面の前記給気孔から噴出する圧縮気体を供給するための給気ポンプと、
前記搬送用レールの前記搬送面の前記バキューム孔に気体を吸引するための吸引ポンプと、を備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、隣接する孔アレイと孔アレイとの間の上方に仮想高精度浮上ラインが位置しているので、搬送対象物がこの仮想高精度浮上ラインを通過する際、この仮想高精度浮上ラインの下方に孔アレイは存在せず、したがって給気孔から噴出する圧縮気体およびバキューム孔に吸引される気体の影響を受けない。また、少なくとも仮想高精度浮上ラインを挟んで隣接する孔アレイ各々を構成する給気孔およびバキューム孔の並び順を、給気孔同士およびバキューム孔同士がそれぞれ仮想高精度浮上ラインを挟んで対向する順番としたので、搬送対象物が仮想高精度浮上ラインへ進入直前に受ける気体の流れと、搬送対象物が仮想高精度浮上ラインから離脱直後に受ける気体の流れとが同じになる。このため、仮想高精度浮上ラインにおける気体の流れの変動を小さくできるので、仮想高精度浮上ラインにおける搬送対象物の浮上量を高精度に維持し、安定させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置１の概略構成図である。
【図２】図２は、図１に示す浮上搬送装置１のＡ部拡大図である。
【図３】図３（Ａ）は、搬送対象物７が仮想高精度浮上ラインＬ内のＢ点を通過する際の状態を説明するための図であり、図３（Ｂ）は、搬送対象物７が仮想高精度浮上ラインＬ内のＣ点を通過する際の状態を説明するための図である。
【図４】図４（Ａ）は、搬送対象物７が仮想高精度浮上ラインＬを挟んで隣接する孔アレイ２１ａ、２１ｂ以外の孔アレイ２１上に設定されたラインＭ内のＤ点を通過する際の状態を説明するための図であり、図４（Ｂ）は、搬送対象物７が仮想高精度浮上ラインＬを挟んで隣接する孔アレイ２１ａ、２１ｂ以外の隣接する孔アレイ２１と孔アレイ２１との間の上に設定されたラインＮ内のＥ点を通過する際の状態を説明するための図である。
【図５】図５は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置１において、搬送対象物７の、搬送用レール２の搬送面２０からの浮上量の測定結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１５】
図１は、本実施の形態に係る浮上搬送装置１の概略構成図である。また、図２は、図１に示す浮上搬送装置１のＡ部拡大図である。
【００１６】
図示するように、本実施の形態に係る浮上搬送装置１は、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル、有機ＥＬパネル等のフラットディスプレイパネルに用いられるガラス基板等の搬送対象物７（図３参照）を非接触で搬送するための搬送面２０を備えた搬送用レール２と、給気ポンプ３と、給気ポンプ３を搬送レール２の給気ポンプ接続口（不図示）に接続するための給気用ホース４と、吸引ポンプ５と、吸引ポンプ５を搬送レール２の吸引ポンプ接続口（不図示）に接続するための吸引用ホース６と、を備えている。
【００１７】
搬送レール２の搬送面２０には、搬送対象物７の搬送方向Ｘにおいて一定間隔Ｐ１で配列された孔アレイ２１が形成されている。各孔アレイ２１は、圧縮気体を噴出する給気孔２２および気体を吸引するバキューム孔２３が搬送方向Ｘに対して垂直な方向Ｙに沿って一定間隔Ｐ２（例えばＰ２＝Ｐ１）で交互に配置されて構成されている。なお、図の簡略化のため、一部の給気孔２２およびバキューム孔２３にのみ符号を付している。
【００１８】
搬送方向Ｘに複数配列された孔アレイ２１のうち、所定の隣接する孔アレイ２１ａ、２１ｂの間の上方には、搬送方向Ｘに対して垂直な方向Ｙに沿って仮想高精度浮上ラインＬが設定されている。仮想高精度浮上ラインＬは、搬送対象物７の搬送用レール２からの浮上量に高い精度を求められる位置を示すラインであり、光学検査装置の光学検査位置、レジスト塗布装置のレジスト塗布位置などが該当する。
【００１９】
仮想高精度浮上ラインＬを搬送方向Ｘに対して挟んで隣接する孔アレイ２１ａ、２１ｂは、これらの孔アレイ２１ａ、２１ｂを構成する給気孔２２およびバキューム孔２３のそれぞれが仮想高精度浮上ラインＬに対して線対称となるように配置されている。また、仮想高精度浮上ラインＬに対して搬送方向Ｘの上流側２４ａに配置された複数の孔アレイ２１を構成する給気孔２２およびバキューム孔２３は、搬送方向Ｘにおいて一定間隔Ｐ１で交互に配置されている。同様に、仮想高精度浮上ラインＬに対して搬送方向Ｘの下流側２４ｂに配置された複数の孔アレイ２１を構成する給気孔２２およびバキューム孔２３も、搬送方向Ｘにおいて一定間隔Ｐ１で交互に配置されている。
【００２０】
搬送レール２の内部には、給気ポンプ接続口を各孔アレイ２１の給気孔２２に繋ぐ給気用通気路（不図示）、および吸引ポンプ接続口を各孔アレイ２１のバキューム孔２３に繋ぐバキューム用通気路（不図示）が形成されている。
【００２１】
図３（Ａ）は、搬送対象物７が仮想高精度浮上ラインＬ内のＢ点（図２参照）を通過する際の状態を説明するための図であり、図３（Ｂ）は、搬送対象物７が図２に示す仮想高精度浮上ラインＬ内のＣ点（図２参照）を通過する際の状態を説明するための図である。また、図４（Ａ）は、搬送対象物７が仮想高精度浮上ラインＬを挟んで隣接する孔アレイ２１ａ、２１ｂ以外の孔アレイ２１上に設定されたラインＭ内のＤ点（図２参照）を通過する際の状態を説明するための図であり、図４（Ｂ）は、搬送対象物７が仮想高精度浮上ラインＬを挟んで隣接する孔アレイ２１ａ、２１ｂ以外の隣接する孔アレイ２１と孔アレイ２１との間の上に設定されたラインＮ内のＥ点（図２参照）を通過する際の状態を説明するための図である。
【００２２】
図４（Ａ）に示すように、搬送対象物７が孔アレイ２１ａ、２１ｂ以外の孔アレイ２１上に設定されたラインＭを通知する際、仮想高精度浮上ラインの真下に位置する孔アレイ２１の給気孔２２から噴出する圧縮気体およびこの孔アレイ２１のバキューム孔２３に吸引される気体の影響を受け、ラインＭにおける搬送対象物７の搬送用レール２からの浮上量を高精度に維持し、安定させることができない。
【００２３】
また、図４（Ｂ）に示すように、搬送対象物７が孔アレイ２１ａ、２１ｂ以外の隣接する孔アレイ２１と孔アレイ２１との間の上に設定されたラインＮを通過する際、このラインＮを挟んで隣接する孔アレイ２１各々の給気孔２２およびバキューム孔２３の並び順が互いに異なるため、搬送対象物７がラインＮへ進入直前に受ける気体の流れと、搬送対象物７がラインＮから離脱直後に受ける気体の流れとが異なる。具体的には、搬送対象物７がラインＮへ進入直前に受ける気体の流れおよび搬送対象物７がラインＮから離脱直後に受ける気体の流れの一方が給気孔２２から噴出される圧縮気体の流れとなり、他方がバキューム孔２３に吸引される気体の流れになる。このため、ラインＮにおける搬送対象物７の搬送用レール２からの浮上量を高精度に維持し、安定させることができない。
【００２４】
しかし、本実施の形態に係る浮上搬送装置１では、隣接する孔アレイ２１ａと孔アレイ２１ｂとの間の上に仮想高精度浮上ラインＬを設定しているので、図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すように、搬送対象物７がこの仮想高精度浮上ラインＬを通過する際、この仮想高精度浮上ラインＬの真下に給気孔２２およびバキューム孔２３は存在せず、したがって給気孔から噴出する圧縮気体およびバキューム孔に吸引される気体の影響を受けない。
【００２５】
また、仮想高精度浮上ラインＬを挟んで隣接する孔アレイ２１ａ、２１ｂをそれぞれ構成する給気孔２２およびバキューム孔２３が、仮想高精度浮上ラインＬに対して線対称となるように配置されているので、搬送対象物７が仮想高精度浮上ラインＬへ進入直前に受ける気体の流れと、搬送対象物７が仮想高精度浮上ラインＬから離脱直後に受ける気体の流れとが同じになる。具体的には、図３（Ａ）に示すように、ともに給気孔２２から噴出される圧縮気体の流れになるか、あるいは、図３（Ｂ）に示すように、ともにバキューム孔２３に吸引される気体の流れになる。このため、仮想高精度浮上ラインＬにおける気体の流れの変動を小さくできるので、仮想高精度浮上ラインＬにおける搬送対象物７の浮上量を高精度に維持し、安定させることができる。
【００２６】
図５は、本実施の形態に係る浮上搬送装置１において、搬送対象物７の、搬送用レール２の搬送面２０からの浮上量の測定結果を示す図である。
【００２７】
ここで、実線のグラフ８０は、図２に示す仮想高精度浮上ラインＬ内のＢ点における測定結果を示すグラフであり、点線のグラフ８１は、図２に示すラインＭのＤ点における測定結果を示すグラフであり、一点鎖線のグラフ８２は、図２に示すラインＮ内のＥ点における測定結果を示すグラフである。
【００２８】
また、縦軸は、搬送対象物７の搬送面２０からの浮上量（μｍ）を示しており、横軸は、搬送対象物７の先端部の、搬送方向Ｘにおける各測定点（グラフ８０はＢ点、グラフ８１はＤ点、グラフ８２はＥ点）からの移動距離（ｍｍ）を示している。なお、搬送対象物７には、長さ２００ｍｍのガラス基板を用いた。
【００２９】
グラフ８１に示すように、搬送対象物７が孔アレイ２１ａ、２１ｂ以外の孔アレイ２１上に設定されたラインＭを通過する場合、搬送対象物７の先端部のラインＭへの進入時（領域Ｆ）および搬送対象部７の後端部のラインＭからの離脱時（領域Ｇ）において、浮上量が大きく変動している。また、グラフ８２に示すように、搬送対象物７が孔アレイ２１ａ、２１ｂ以外の隣接する孔アレイ２１と孔アレイ２１との間の上に設定されたラインＮを通過する場合も、搬送対象物７の先端部のラインＮへの進入時（領域Ｆ）および搬送対象部７の後端部のラインＮからの離脱時（領域Ｇ）において、浮上量が大きく変動している。
【００３０】
一方、グラフ８０に示すように、搬送対象物７が仮想高精度浮上ラインＬを通過する場合、搬送対象物７の先端部の仮想高精度浮上ラインＬへの進入時（領域Ｆ）および搬送対象部７の後端部の仮想高精度浮上ラインＬからの離脱時（領域Ｇ）における浮上量の変動が、搬送対象物７がラインＭを通過する場合（グラフ８１）および搬送対象物７がラインＮを通過する場合（グラフ８２）に比べて小さく、仮想高精度浮上ラインＬにおける搬送対象物７の浮上量を高精度に維持し、安定させることが可能であることが証明された。
【００３１】
なお、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
【００３２】
例えば、上記の実施の形態では、仮想高精度浮上ラインＬを搬送方向Ｘに対して挟んで隣接する孔アレイ２１ａ、２１ｂを構成する給気孔２２およびバキューム孔２３のそれぞれを、仮想高精度浮上ラインＬに対して線対称となる位置に配置した。しかし、本発明はこれに限定されない。少なくとも、給気孔２２同士およびバキューム孔２３同士がそれぞれ仮想高精度浮上ラインＬを挟んで対向する位置に、孔アレイ２１ａ、２１ｂを構成する給気孔２２およびバキューム孔２３のそれぞれを配置すればよい。この場合でも上記の実施の形態と同様の効果が期待できる。
【００３３】
また、上記の実施の形態に係る浮上搬送装置１において、搬送対象物７の搬送方向Ｘに搬送用レールを複数配置してもよい。この場合、仮想高精度浮上ラインＬが設定される搬送用レールにのみ上述の搬送用レール２を用い、仮想高精度浮上ラインＬが設定されない搬送用レールには、従来の搬送用レール、すなわち給気孔およびバキューム孔が搬送方向Ｘおよび搬送方向に対して垂直な方向Ｙのそれぞれにおいて、一定間隔で交互に配置された搬送用レールを用いてもよい。
【００３４】
また、上記の実施の形態では、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルに用いられるガラス基板等の搬送対象物７を搬送対象とする場合を例に挙げたが、本発明は、撓みやすいシート状の搬送対象物を浮上搬送する浮上搬送装置に広く適用できる。
【符号の説明】
【００３５】
１：浮上搬送装置、  ２：搬送用レール、  ３：給気ポンプ、  ４：給気用ホース、  ５：吸引ポンプ、  ６：吸引用ホース、  ７：搬送対象物、  ２０：搬送面、  ２１、２１ａ、２１ｂ：孔アレイ、  ２２：給気孔、  ２３：バキューム孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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