(57)【要約】【課題】薬液濃度計において、管路内の流体の温度または圧力が変動した場合であっても、薬液濃度計の測定値を精度よく保つことができること。【解決手段】薬液濃度計において、電極プレート１２Ｒおよび１２Ｑ相互間に配されるライナー部材２０は、電極プレート１２Ｒおよび１２Ｑに隣接して一対の補強ブロック１４Ｂ相互間に挟持され、電極プレート１２Ｐおよび１２Ｑ相互間に配されるライナー部材１８は、電極プレート１２Ｐおよび１２Ｑに隣接して一対の補強ブロック１４Ａ相互間に挟持されるもの。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬液が流れる流路に該薬液の流れ方向に沿って所定の間隔をもって配される少なくとも一対の電極であって、電極相互間を流れる電流に基づいて該薬液の濃度に応じて出力を送出する該電極を収容する電極収容部を有するハウジングと、
前記複数の電極からの出力に基づいて前記薬液の濃度をあらわす信号を形成する信号処理部と、を備え、
前記ハウジングの電極収容部は、前記薬液の温度または圧力の変化に基づく前記電極相互間距離、および、前記電流が通過する通路の横断面積の変化が抑制されることを特徴とする薬液濃度計。
【請求項２】
前記ハウジングの電極収容部は、前記電極相互間距離および電極相互間を流れる電流の通路の横断面積の変化を制限する補強部材を前記電極相互間に備えることを特徴とする請求項１記載の薬液濃度計。
【請求項３】
前記補強部材の嵌合部は、前記電極収容部内の流路を形成するライナー部材の被嵌合部に嵌合されることを特徴とする請求項２記載の薬液濃度計。
【請求項４】
前記補強部材の嵌合部は、前記電極収容部内の流路を形成する接続パイプの被嵌合部に、嵌合されることを特徴とする請求項２記載の薬液濃度計。
【請求項５】
前記ハウジングの電極収容部は、少なくとも一対の電極を離隔して両端に一体に有するガラスカーボン製円筒体を備えることを特徴とする請求項１記載の薬液濃度計。
【請求項６】
前記ハウジングの電極収容部は、前記少なくとも一対の電極の相互間距離を規制する絶縁パイプが前記流路の内周面に対し隙間をもって位置決めされていることを特徴とする請求項１記載の薬液濃度計。
【請求項７】
前記補強部材は、前記少なくとも一対の電極の相互間に配される筒状部材の線膨張率よりも小なる線膨張率を有することを特徴とする請求項２記載の薬液濃度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薬液濃度計に関する。
【背景技術】
【０００２】
薬液の濃度を計測する薬液濃度計としては、流体の導電率を計測する導電率計が、実用に供されている。直接印加式導電率計は、例えば、特許文献１乃至特許文献３にも示されるように、計測される流体が流れる管路内に、流体の流れ方向に沿って所定の間隔をもって３つの環状の電極が、流体と接触するように配置されている。３つの電極のうち中間の電極がアンプに接続され、残りの２つの電極が交流電源に接続されている。斯かる直接印加式導電率計の構成においては、交流電圧が、中間の電極と一方の端に位置する電極、および、中間の電極と他方の端に位置する電極とに並列に印加されるので並列合成抵抗が形成される。この並列合成抵抗を流れる電流が上述のアンプにより検出され電圧に変換されることによって、その流体の導電率がその電圧値に基づいて求められている。
【０００３】
また、例えば、特許文献４にも示されるように、一対の電極を管路内の液体にさらすことなく管路の外側の対向する位置に設け、一対の基準電圧電源から周波数の異なる交流電圧を電極に与え、得られた２種類の電流値と、基準電圧値と、その周波数値とにより演算処理部において演算して流体の導電率を求めるものも提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−３２９６３３号公報
【特許文献２】特開２００４−２０２３１号公報
【特許文献３】特開２００５−２４１５９０号公報
【特許文献４】特開平３−２６１８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述のような導電率計により測定される流体の導電率は、複数の電極が所定の間隔をもって管路に配されるもとで、管路内の流体を介して電極相互間に検査電流を流し、その抵抗を流れた電流に基づいて検出される。即ち、複数の電極相互間の距離が、管路内の流体の温度または圧力に起因して変動した場合、得られた導電率の精度が低下する虞がある。
【０００６】
以上の問題点を考慮し、本発明は、薬液濃度計であって、管路内の流体の温度または圧力が変動した場合であっても、薬液濃度計の測定値を精度よく保つことができる薬液濃度計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的を達成するために、本発明に係る薬液濃度計は、薬液が流れる流路に薬液の流れ方向に沿って所定の間隔をもって配される少なくとも一対の電極であって、電極相互間を流れる電流に基づいて薬液の濃度に応じて出力を送出する電極を収容する電極収容部を有するハウジングと、複数の電極からの出力に基づいて薬液の濃度をあらわす信号を形成する信号処理部と、を備え、ハウジングの電極収容部は、薬液の温度または圧力の変化に基づく電極相互間距離、および、電流が通過する通路の横断面積の変化が抑制されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る薬液濃度計によれば、ハウジングの電極収容部は、薬液の温度または圧力の変化に基づく電極相互間距離、および、電流が通過する通路の横断面積の変化が抑制されるので管路内の流体の温度または圧力が変動した場合であっても、薬液濃度計の測定値を精度よく保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に係る薬液濃度計の第１実施例の要部を示す断面図である。
【図２】（Ａ）は、図１におけるＩＩＡ−ＩＩＡ線に沿って示される断面図であり、（Ｂ）は、図１におけるＩＩＢ−ＩＩＢ線に沿って示される断面図であり、（Ｃ）は、図１におけるＩＩＣ−ＩＩＣ線に沿って示される断面図である。
【図３】本発明に係る薬液濃度計の第２実施例の要部を示す断面図である。
【図４】（Ａ）は、図３におけるＩＶＡ−ＩＶＡ線に沿って示される断面図であり、（Ｂ）は、図３におけるＩＶＢ−ＩＶＢ線に沿って示される断面図であり、（Ｃ）は、図３におけるＩＶＣ−ＩＶＣ線に沿って示される断面図である。
【図５】本発明に係る薬液濃度計の第３実施例の要部を示す断面図である。
【図６】（Ａ）は、図５におけるＶＩＡ−ＶＩＡ線に沿って示される断面図であり、（Ｂ）は、図５におけるＶＩＢ−ＶＩＢ線に沿って示される断面図である。
【図７】本発明に係る薬液濃度計の第４実施例の要部を示す断面図である。
【図８】（Ａ）は、図７におけるＶＩＩＩＡ−ＶＩＩＩＡ線に沿って示される断面図であり、（Ｂ）は、図８（Ａ）におけるＶＩＩＩＢ−ＶＩＩＩＢ線に沿って示される断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、本発明に係る薬液濃度計の第１実施例を示す。
【００１１】
図１に示される薬液濃度計は、例えば、矢印が示す方向に沿って所定の溶液ＳＯが供給される配管Ｄｕの所定の中継地点に接続されている。薬液濃度計は、外郭部を形成するハウジング１０と、ハウジング１０内に配され上述の配管ＤＵに一端が接続されるテフロン（登録商標）製の接続パイプ１６および２２と、３つの電極プレート１２Ｐ、１２Ｑ，および、１２Ｒと、電極プレート１２Ｐと電極プレート１２Ｑとの間、電極プレート１２Ｑと電極プレート１２Ｒとの間にそれぞれ、共通の軸線上に配される円筒状のライナー部材１８および２０と、ライナー部材１８および２０の外周部を取り囲みライナー部材１８および２０を補強する一対の補強ブロック１４Ａおよび１４Ｂと、を主な要素として含んで構成されている。
【００１２】
薬液濃度計において、配管Ｄｕ内に連通する溶液ＳＯの流路は、後述する接続パイプ１６および２２の内周部、電極プレート１２Ｐ、１２Ｑ，および、１２Ｒの孔、ライナー部材１８および２０の内周部と、により形成されている。
【００１３】
ハウジング１０は、例えば、樹脂材料で作られ、図１に示されるように、電極プレート１２Ｑに対応する位置で二つに分割されたハウジング部１０Ａとハウジング部１０Ｂとから構成されている。ハウジング部１０Ａとハウジング部１０Ｂとは、互いに同一の構成を有するのでハウジング部１０Ａについて説明し、ハウジング部１０Ｂの説明を省略する。
【００１４】
ハウジング部１０Ａは、接続パイプ１６が通過する開口部１０Ｈを、横断面の中央部に有している。開口部１０Ｈは、ハウジング部１０Ａの内側に溶液ＳＯの流れ方向に沿って延びる凹部に連通している。その凹部は、電極プレート１２Ｐと電極プレート１２Ｑと、補強ブロック１４Ａと、ライナー部材１８と、接続パイプ１６とを収容するものとされる。
【００１５】
また、開口部１０Ｈの周囲には、図２（Ｂ）に示されるように、後述する４本の締結ボルト２４がそれぞれ挿入される貫通孔１０ｄが４箇所に形成されている。貫通孔１０ｄの一端の周縁には、締結ボルト２４の頭部および皿ばね２６が挿入される凹部が形成されている。その凹部の座面部には、図２（Ａ）に示されるように、締結ボルト２４が挿入される複数の皿ばね２６が重ね合わされて配されている。締結ボルト２４は、図２（Ｂ）に示されるように、ハウジング部１０Ａおよびハウジング部１０Ｂの貫通孔を貫通しており、対応するハウジング部１０Ｂの凹部に配されるナットＮｕ１により締結されている。
【００１６】
これにより、複数の皿ばね２６の弾性力に応じた締結ボルト２４の軸線方向に沿った所定の押圧力が、ハウジング部１０Ａおよび１０Ｂ、接続パイプ１６および２２、補強ブロック１４Ａおよび１４Ｂを介して電極プレート１２Ｐ、電極プレート１２Ｑ、および、電極プレート１２Ｒに作用するので電極プレート１２Ｐ、電極プレート１２Ｑ、および、電極プレート１２Ｒが所定位置に拘束されることとなる。従って、溶液ＳＯの温度、圧力の変化に起因した電極プレート１２Ｐ、電極プレート１２Ｑ、および、電極プレート１２Ｒの相互間距離の変動も、抑制されることとなる。
【００１７】
ハウジング部１０Ａにおける電極プレート１２Ｐと電極プレート１２Ｑとに対応する位置には、図１に示されるように、溶液ＳＯの流れ方向に直交するように貫通孔１０ａおよび１０ｂが形成されている。貫通孔１０ａおよび１０ｂには、それぞれ、図示が省略されるが、電極プレート１２Ｐおよび電極プレート１２Ｑに接続されるリード線が配される。その各リード線は、電極プレート１２Ｐおよび電極プレート１２Ｑと制御部における導電率演算部（不図示）とを接続する。
【００１８】
ハウジング１０の内側に所定の間隔をもって溶液ＳＯの流れ方向に沿って配される電極プレート１２Ｐ、電極プレート１２Ｑ、および、電極プレート１２Ｒは、図２（Ｃ）に示されるように、例えば、ガラスカーボンで作られ、それぞれ、横断面中央部に溶液ＳＯが通過する孔１２ｐ、１２ｑ、および１２ｒを有している。電極プレート１２Ｐにおける両端面には、それぞれ、接続パイプ１６のフランジ部１６Ｆの端面と、ライナー部材１８のフランジ部の端面とが当接する当接面が形成されている。そのような当接面には、その端面を密封するＯリングが挿入される環状のＯリング溝が形成されている。電極プレート１２Ｑにおける両端面には、それぞれ、ライナー部材１８のフランジ部１８Ｆの端面と、それに向かい合うライナー部材２０のフランジ部２０Ｆの端面とが当接する当接面が形成されている。そのような当接面には、その端面を密封するＯリングが挿入される環状のＯリング溝が形成されている。電極プレート１２Ｒにおける両端面には、それぞれ、接続パイプ２２のフランジ部２２Ｆの端面と、ライナー部材２０のフランジ部２０Ｆの端面とが当接する当接面が形成されている。そのような当接面には、その端面を密封するＯリングが挿入される環状のＯリング溝が形成されている。
【００１９】
電極プレート１２Ｑは、例えば、所謂、プラス電極とされ、一方、電極プレート１２Ｐ、および、電極プレート１２Ｒは、それぞれ、マイナス電極とされる。電極プレート１２Ｑは、図示が省略されるが、交流発生回路に接続された交流増幅回路に接続されている。電極プレート１２Ｐ、および、電極プレート１２Ｒは、接地されている。なお、その交流増幅回路は、溶液ＳＯの導電率をあらわす信号を形成する信号処理回路（不図示）内に設けられている。これにより、交流増幅回路が作動状態とされる場合、図１に矢印で示されるように、所定の検査電流が、電極プレート１２Ｑから電極プレート１２Ｐ、および、電極プレート１２Ｒに溶液ＳＯを介して流れるとき、交流増幅回路により、並列合成抵抗に流れる電流が検出され電圧に変換されることとなる。従って、信号処理回路において、その電圧値に基づいて導電率をあらわす信号が形成されることとなる。
【００２０】
例えば、テフロン（登録商標）で作られるライナー部材１８および２０は、互いに同一の構成を有するのでライナー部材２０について説明し、ライナー部材１８の説明を省略する。フランジ部２０Ｆを両端に有するライナー部材２０は、円筒状に成形され、横断面中央に通路２０ａを有している。これにより、ライナー部材２０における円筒状部およびフランジ部２０Ｆの外周部が、後述する一対の補強ブロック１４Ｂの嵌合部に嵌合される被嵌合部を形成することとなる。
【００２１】
ライナー部材２０は、図２（Ｂ）に示されるように、電極プレート１２Ｒおよび１２Ｑに隣接して一対の補強ブロック１４Ｂ相互間に挟持されている。
【００２２】
一対の補強ブロック１４Ｂは、例えば、セラミックで作られ、それぞれ、ライナー部材２０の外周部が嵌合される凹部を内側に有している。各補強ブロック１４Ｂにおける嵌合部としての凹部は、ライナー部材２０の両端のフランジ部２０Ｆの外周部がそれぞれ嵌合する一対の円弧部と、その一対の円弧部を連結するＵ字形のトンネル部とからなる。一対の補強ブロック１４Ｂは、図２（Ｂ）に示されるように、その貫通孔に挿入される小ネジＢＳ１およびナットにより締結されている。これにより、溶液ＳＯの温度および圧力が仮に上昇した場合、ライナー部材２０は、一対の補強ブロック１４Ｂにより挟持されているのでライナー部材２０の半径方向および軸線方向の変形が抑制されることとなる。従って、検査電流が通過する横断面積、および、電極プレート１２Ｐ、１２Ｑおよび１２Ｒの相互間距離の変動も抑制されるので薬液濃度計の測定値を精度よく保つことができる。
【００２３】
また、ライナー部材１８および２０を含んで構成される流路内に突起物がないので溶液ＳＯの一部が滞留する虞もない。
【００２４】
図３および図４（Ａ）、（Ｂ）、および、（Ｃ）は、それぞれ、本発明に係る薬液濃度計の第２実施例を示す。
【００２５】
図３に示される薬液濃度計は、例えば、矢印が示す方向に沿って所定の溶液ＳＯが供給される配管Ｄｕの所定の中継地点に接続されている。薬液濃度計は、外郭部を形成するハウジング３０と、ハウジング３０内に配され上述の配管ＤＵに両端が接続されるテフロン（登録商標）製の１本の接続パイプ３６と、３つの棒電極３２Ｐ、３２Ｑ，および、３２Ｒと、棒電極３２Ｐと棒電極３２Ｑとの間、棒電極３２Ｑと棒電極３２Ｒとの間にそれぞれ、その外周部分を取り囲み接続パイプ３６を補強する一対の補強ブロック４６Ａおよび４６Ｂと、を主な要素として含んで構成されている。
【００２６】
薬液濃度計において、配管Ｄｕ内に連通する溶液ＳＯの流路は、後述する接続パイプ３６の内周部により形成されている。
【００２７】
ハウジング３０は、金属材料、例えば、ステンレス鋼で作られ、図４（Ａ）に示されるように、棒電極３２Ｐ、３２Ｑ、および、３２Ｒにそれぞれ対応する位置で分割され隣接して配されるハウジング部３０Ａと、ハウジング部３０Ｂ１および３０Ｂ２と、ハウジング部３０Ｃとから構成されている。ハウジング部３０Ａとハウジング部３０Ｃとは、締結ボルト４４が挿入される孔、および、雌ねじ孔を除き、互いに同一の構成を有するのでハウジング部３０Ａについて説明し、ハウジング部３０Ｃの説明を省略する。
【００２８】
ハウジング部３０Ａは、接続パイプ３６の外周部が嵌合される開口部３０Ｈを、横断面の中央部に有している。開口部３０Ｈは、ハウジング部３０Ａの内側に溶液ＳＯの流れ方向に沿って延びる凹部に連通している。その凹部は、接続パイプ３６の大径部を収容するものとされる。
【００２９】
また、開口部３０Ｈの周囲には、図４（Ｂ）に示されるように、後述する４本の締結ボルト４４がそれぞれ挿入される貫通孔が４箇所に形成されている。貫通孔の一端の周縁には、図４（Ａ）に示されるように、締結ボルト４４の頭部が挿入される凹部が形成されている。締結ボルト４４は、図４（Ａ）に示されるように、ハウジング部３０Ａの貫通孔、ハウジング部３０Ｂ１および３０Ｂ２の貫通孔を通過し、ハウジング部３０Ｃの雌ねじ孔にねじ込まれている。
【００３０】
ハウジング部３０Ａにおける棒電極３２Ｐに対応する位置には、図３に示されるように、板ばね３８および棒電極３２Ｐの端部を凹部内で挟持するセラミック製の一対の棒電極支持ブロック３４Ａおよび３４Ｆが設けられている。その凹部は、溶液ＳＯの流れ方向に直交するように形成されている。ハウジング部３０Ｂ１における棒電極３２Ｑに対応する位置には、板ばね３８および棒電極３２Ｑの端部を凹部内で挟持するセラミック製の一対の棒電極支持ブロック３４Ｂおよび３４Ｅが設けられている。その凹部は、溶液ＳＯの流れ方向に直交するように形成されている。また、ハウジング部３０Ｂ２における棒電極３２Ｒに対応する位置には、板ばね３８および棒電極３２Ｒの端部を凹部内で挟持するセラミック製の一対の棒電極支持ブロック３４Ｃおよび３４Ｄが設けられている。その凹部は、溶液ＳＯの流れ方向に直交するように形成されている。
【００３１】
ハウジング３０に所定の間隔をもって溶液ＳＯの流れ方向に沿って配される棒電極３２Ｐ，３２Ｑ，および、３２Ｒは、例えば、ガラスカーボンで作られている。
【００３２】
棒電極３２Ｑは、例えば、所謂、プラス電極とされ、一方、棒電極３２Ｐ、および、棒電極３２Ｒは、それぞれ、マイナス電極とされる。棒電極３２Ｑは、上述した交流発生回路と同様な交流発生回路に接続された交流増幅回路に接続されている。棒電極３２Ｐ、および、３２Ｒは、接地されている。なお、その交流増幅回路は、溶液ＳＯの導電率をあらわす信号を形成する信号処理回路（不図示）内に設けられている。これにより、交流増幅回路が作動状態とされる場合、図３に矢印で示されるように、所定の検査電流が、棒電極３２Ｑから棒電極３２Ｐ、および、棒電極３２Ｒに溶液ＳＯを介して流れるとき、交流増幅回路により、並列合成抵抗に流れる電流が検出され電圧に変換されることとなる。従って、信号処理回路において、その電圧値に基づいて導電率をあらわす信号が形成されることとなる。
【００３３】
例えば、テフロン（登録商標）で作られる接続パイプ３６は、円筒状に成形され、横断面中央に通路３６ａを有している。接続パイプ３６は、溶液のＳＯの流れ方向に沿って両端、および、中間部に厚肉部を有している。その厚肉部相互間には、薄肉部が形成されている。これにより、接続パイプ３６の厚肉部および薄肉部の外周部が、後述する各補強ブロック４６Ａおよび４６Ｂの嵌合部としての凹部に嵌合される被嵌合部を形成することとなる。接続パイプ３６は、図４（Ｂ）に示されるように、一対の補強ブロック４６Ａおよび４６Ｂ相互間に挟持されている。接続パイプ３６には、棒電極３２Ｐ、３２Ｑ、および、３２Ｒが、それぞれ、溶液ＳＯの流れ方向に対し略直交する方向に貫通する一対の貫通孔が、その厚肉部に形成されている。各貫通孔の内周部には、棒電極３２Ｐ、３２Ｑ、および、３２Ｒの外周部を密封するＯリングおよびテフロンパッキンが設けられている。
【００３４】
互いに向かい合う一対の補強ブロック４６Ａおよび４６Ｂは、例えば、セラミックで作られ、それぞれ、接続パイプ３６の外周部が嵌合される凹部を内側に有している。各補強ブロック４６Ａおよび４６Ｂの嵌合部としての凹部は、それぞれ、接続パイプ３６のフランジ部の外周部がそれぞれ嵌合する円弧部と、その円弧部を連結するＵ字形のトンネル部とからなる。一対の補強ブロック４６Ａおよび４６Ｂは、図４（Ｂ）に示されるように、その貫通孔に挿入される小ネジＢＳ１およびナットにより締結されている。これにより、溶液ＳＯの温度および圧力が仮に上昇した場合、接続パイプ３６は、一対の補強ブロック４８Ａおよび４８Ｂにより挟持されているので接続パイプ３６の半径方向および軸線方向の変形が抑制されることとなる。また、棒電極３２Ｐ、棒電極３２Ｑ、および、棒電極３２Ｒ相互間にあっては、各板ばね３８の弾性力、および、締結ボルト４４の締結力に応じた軸線方向の一対の棒電極支持ブロック３４Ａ〜３４Ｆに作用する押圧力が、棒電極３２Ｐ、棒電極３２Ｑ、および、棒電極３２Ｒの位置を所定位置に維持するように作用することとなる。
【００３５】
従って、検査電流が通過する横断面積、および、棒電極３２Ｐ、３２Ｑ、および、３２Ｒの相互間距離の変動も抑制されるので薬液濃度計の測定値を精度よく保つことができる。
【００３６】
図５および図６（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ、本発明に係る薬液濃度計の第３実施例を示す。
【００３７】
図５に示される薬液濃度計は、例えば、矢印が示す方向に沿って所定の溶液ＳＯが供給される配管Ｄｕの所定の中継地点に接続されている。薬液濃度計は、外郭部を形成するハウジング５０と、ハウジング５０内に配される一本の棒電極５２Ｑと、一体に形成される環状の電極５２Ｐ、および、電極５２Ｒと、を主な要素として含んで構成されている。
【００３８】
薬液濃度計において、配管Ｄｕ内に連通する溶液ＳＯの流路は、後述するハウジング５０の内周部、および、環状の電極５２Ｐ、および、電極５２Ｒの内周部により形成されている。
【００３９】
ハウジング５０は、例えば、テフロン（登録商標）で作られ、図６（Ａ）に示されるように、電極５２Ｐ、および、電極５２Ｒの中間部にそれぞれ対応する位置で分割され隣接して配されるハウジング部５０Ａと、ハウジング部５０Ｂと、ハウジング部５０Ｃとから構成されている。ハウジング部５０Ａとハウジング部５０Ｃとは、締結ボルト５４が挿入される孔、および、雌ねじ孔を除き、互いに同一の構成を有するのでハウジング部５０Ａについて説明し、ハウジング部５０Ｃの説明を省略する。
【００４０】
ハウジング部５０Ａは、配管Ｄｕに接続される円筒状部を横断面の中央部に有している。円筒状部の内周部は、ハウジング部５０Ａの内側に溶液ＳＯの流れ方向に沿って延びる凹部に連通している。その凹部は、後述する電極５２Ｐを収容するものとされる。また、凹部内における電極５２Ｐの外周部が嵌合される部分には、Ｏリングが挿入されるＯリング溝が形成されている。
【００４１】
また、ハウジング部５０Ａの円筒状部の周囲には、図６（Ａ）に示されるように、後述する４本の締結ボルト５４がそれぞれ挿入される貫通孔が４箇所に形成されている。貫通孔の一端の周縁には、図６（Ａ）に示されるように、締結ボルト５４の頭部および複数の皿ばね２６が挿入される凹部が形成されている。各締結ボルト５４は、図６（Ａ）に示されるように、ハウジング部５０Ａの貫通孔、ハウジング部５０Ｂの貫通孔を通過し、ハウジング部５０Ｃの貫通孔を貫通しナットＮｕ２で締結されている。
【００４２】
ハウジング部５０Ａとハウジング部５０Ｃとの間に挟持されるハウジング部５０Ｂは、溶液ＳＯの流れ方向に沿った中央部分に設けられる支持ブロック部５０ＢＳに、棒電極５２Ｑが挿入される孔５０ｂｓが形成されている。溶液ＳＯの流れ方向に直交する方向に形成される孔５０ｂｓに挿入された棒電極５２Ｑの外周部には、Ｏリングおよびテフロンパッキンが挿入されている。支持ブロック部５０ＢＳは、ハウジング部５０Ｂの他の部分に対しＯリングを介して小ネジで固定されている。
【００４３】
ハウジング部５０Ａ、ハウジング部５０Ｂ、および、ハウジング部５０Ｃの内周部を貫通する電極５２Ｐ、および、電極５２Ｒは、それぞれ、図６に示されるように、ガラスカーボンにより、一体に成形された円筒体の両端に露出した形で形成されている。即ち、円筒体の中間部分の内周部は、テフロン製のライナー５６で被覆されている。また、ライナー５６の内周部５６ａにおける電極５２Ｑに対応する位置には、ライナー５６および円筒体を貫通する孔５６ｂが形成されている。円筒体の外周部には、所定の間隔をもって４箇所にＯリングが設けられている。
【００４４】
ガラスカーボンで作られる電極５２Ｑは、例えば、所謂、プラス電極とされ、一方、電極５２Ｐ、および、電極５２Ｒは、それぞれ、マイナス電極とされる。電極５２Ｑは、上述した交流発生回路と同様な交流発生回路に接続された交流増幅回路に接続されている。電極５２Ｐ、および、５２Ｒは、接地されている。なお、その交流増幅回路は、溶液ＳＯの導電率をあらわす信号を形成する信号処理回路（不図示）内に設けられている。これにより、交流増幅回路が作動状態とされる場合、図５に矢印で示されるように、所定の検査電流が、電極５２Ｑから電極５２Ｐ、および、電極５２Ｒに溶液ＳＯを介して流れるとき、交流増幅回路により、並列合成抵抗に流れる電流が検出され電圧に変換されることとなる。従って、信号処理回路において、その電圧値に基づいて導電率をあらわす信号が形成されることとなる。
【００４５】
これにより、溶液ＳＯの温度および圧力が仮に上昇した場合、電極５２Ｐ、および、電極５２Ｒは、一体に成形された円筒体の両端に露出した形で形成されているので電極５２Ｐ、および、電極５２Ｒの半径方向および軸線方向の変形が抑制されることとなる。従って、検査電流が通過する横断面積、および、電極５２Ｐ、５２Ｑ、および、５２Ｒの相互間距離の変動も抑制されるので薬液濃度計の測定値を精度よく保つことができる。
【００４６】
図７および図８（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ、本発明に係る薬液濃度計の第４実施例を示す。
【００４７】
図７に示される薬液濃度計は、例えば、矢印が示す方向に沿って所定の溶液ＳＯが供給される配管Ｄｕの所定の中継地点に接続されている。薬液濃度計は、外郭部を形成するハウジング６０と、ハウジング６０の内周部内に配され流路の一部を形成する接液部としてのインナーブロック６７と、ハウジング６０の内側に溶液ＳＯの流れ方向に沿って所定の間隔をもって配される３本の棒電極６２Ｐ、６２Ｑ，および、６２Ｒと、棒電極６２Ｐと棒電極６２Ｑとの間、棒電極６２Ｑと棒電極６２Ｒとの間にそれぞれ、支持される絶縁パイプ６６と、を主な要素として含んで構成されている。
【００４８】
薬液濃度計において、配管Ｄｕ内に連通する溶液ＳＯの流路は、テフロン製のインナーブロック６７の両端にそれぞれ、接続されたテフロン製の接続パイプ６８Ａおよび６８Ｂの内周部と、インナーブロック６７の内周部６７ａ、６７ｂ、６７ｃと、により形成されている。
【００４９】
ハウジング６０は、金属材料、例えば、ステンレス鋼で作られ、図８（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、ハウジング部６０Ａと、ハウジング部６０Ｂと、ハウジング部６０Ｃ、および、ハウジング部６０Ｄとから構成されている。
【００５０】
ハウジング部６０Ａは、インナーブロック６７の外周部が接合される内周部を横断面の中央部に有している。
【００５１】
また、ハウジング部６０Ａおよび６０Ｃにおける接続パイプ６８Ａ側のインナーブロック６７が接合される端部には、図８（Ｂ）に示されるように、４本の小ネジＢＳ２がそれぞれ挿入される貫通孔が４箇所に形成されている。貫通孔の一端の周縁には、図８（Ｂ）に示されるように、各小ネジＢＳ２の頭部が挿入される凹部が形成されている。各小ネジＢＳ２は、図８（Ｂ）に示されるように、ハウジング部６０Ａおよび６０Ｃの貫通孔を通過し、ハウジング部６０Ｂおよび６０Ｄの雌ねじ孔にねじ込まれている。
【００５２】
ハウジング部６０Ｂにおける棒電極６２Ｐに対応する位置には、図８（Ｂ）に示されるように、板ばね６４および棒電極６２Ｐの一方の端部を凹部内で挟持するセラミック製の棒電極支持ブロック７２Ａ、および、７２Ｂが設けられている。ハウジング部６０Ｄにおける棒電極６２Ｐに対応する位置には、板ばね６４および棒電極６２Ｐの他方の端部を凹部内で挟持するセラミック製の棒電極支持ブロック７２Ａ´、および、７２Ｂ´が設けられている。その凹部は、溶液ＳＯの流れ方向に直交するように形成されている。
【００５３】
ハウジング部６０Ｂにおける棒電極６２Ｑに対応する位置には、板ばね６４および棒電極６２Ｑの一方の端部を凹部内で挟持するセラミック製の一対の棒電極支持ブロック７２Ｂおよび７２Ｃが設けられている。ハウジング部６０Ｄにおける棒電極６２Ｑに対応する位置には、板ばね６４および棒電極６２Ｑの他方の端部を凹部内で挟持するセラミック製の一対の棒電極支持ブロック７２Ｂ´および７２Ｃ´が設けられている。その凹部は、溶液ＳＯの流れ方向に直交するように形成されている。
【００５４】
また、ハウジング部６０Ｂにおける棒電極６２Ｒに対応する位置には、板ばね６４および棒電極６２Ｒの一方の端部を凹部内で挟持するセラミック製の一対の棒電極支持ブロック７２Ｃおよび７２Ｄが設けられている。ハウジング部６０Ｄにおける棒電極６２Ｒに対応する位置には、板ばね６４および棒電極６２Ｒの他方の端部を凹部内で挟持するセラミック製の一対の棒電極支持ブロック７２Ｃ´および７２Ｄ´が設けられている。
【００５５】
その凹部は、溶液ＳＯの流れ方向に直交するように形成されている。これにより、各小ネジＢＳ２の締結力に応じて一対の棒電極支持ブロック７２Ａ〜７２Ｄ，７２Ａ´〜７２Ｄ´に作用する軸線方向の押圧力、板ばね６４の弾性力によって棒電極６２Ｐ，６２Ｑ，および、６２Ｒの相互間距離は、溶液ＳＯの温度、圧力変化に影響されることなく所定の距離に維持されることとなる。
【００５６】
ハウジング６０に所定の間隔をもって溶液ＳＯの流れ方向に沿って互いに平行に配される棒電極６２Ｐ，６２Ｑ，および、６２Ｒは、例えば、ガラスカーボンで作られている。
【００５７】
棒電極６２Ｑは、例えば、所謂、プラス電極とされ、一方、棒電極６２Ｐ、および、棒電極６２Ｒは、それぞれ、マイナス電極とされる。棒電極６２Ｑは、上述した交流発生回路と同様な交流発生回路に接続された交流増幅回路に接続されている。棒電極６２Ｐ、および、６２Ｒは、接地されている。なお、その交流増幅回路は、溶液ＳＯの導電率をあらわす信号を形成する信号処理回路（不図示）内に設けられている。これにより、交流増幅回路が作動状態とされる場合、図７に矢印で示されるように、所定の検査電流が、棒電極６２Ｑから棒電極６２Ｐ、および、棒電極６２Ｒに溶液ＳＯを介して流れるとき、交流増幅回路により、並列合成抵抗に流れる電流が検出され電圧に変換されることとなる。従って、信号処理回路において、その電圧値に基づいて導電率をあらわす信号が形成されることとなる。
【００５８】
補強部材としての絶縁パイプ６６は、例えば、円筒状のセラミック全体にテフロンコーティングが施されたものとされる。なお、絶縁パイプ６６は、斯かる例に限られることなく、例えば、線膨張係数が比較的小さいガラスカーボンをテフロンの中にインサート成形したものであってもよい。
【００５９】
絶縁パイプ６６は、棒電極６２Ｐ，６２Ｑ，および、６２Ｒがそれぞれ、溶液ＳＯの流れ方向に直交する方向に貫通する孔を所定の間隔で有している。また、その孔の周縁には、テフロン（登録商標）製のスペーサ７０が棒電極６２Ｐ，６２Ｑ，および、６２Ｒの外周部に巻装されている。スペーサ７０は、絶縁パイプ６６をインナーブロック６７の内周部６７ａ，６７ｂ，および、６７ｃに対し所定の隙間ＣＬをもって位置決めするものとされる。また、スペーサ７０、インナーブロック６７、および、絶縁パイプ６６は、一体成形により形成されているので棒電極６２Ｑから棒電極６２Ｐ、棒電極６２Ｒに、溶液ＳＯを介して流れる検査電流が、上述した隙間ＣＬに流れないものとされる。なお、スペーサ７０、インナーブロック６７、および、絶縁パイプ６６は、斯かる例に限られることなく、一体成形されることなく、例えば、棒電極６２Ｑから棒電極６２Ｐ、棒電極６２Ｒに、溶液ＳＯを介して流れる検査電流が、上述した隙間ＣＬ内に流れ込まないように、スペーサ７０が、絶縁パイプ６６およびインナーブロック６７の孔の内周部と棒電極６２Ｑ、棒電極６２Ｐ、棒電極６２Ｒの外周部との間の隙間を遮断するとともに、絶縁パイプ６６の外周部から上述した隙間ＣＬ内に露出した棒電極６２Ｑ、棒電極６２Ｐ、棒電極６２Ｒの外周部を溶液ＳＯと遮断するように構成されるものであってもよい。
【００６０】
絶縁パイプ６６の外周部とインナーブロック６７の内周部６７ａ，６７ｂ，および、６７ｃとの間の圧力と、絶縁パイプ６６の内周部の圧力とは、同一となる。
【００６１】
これにより、溶液ＳＯの温度および圧力が仮に上昇した場合、棒電極６２Ｐ，６２Ｑ，および、６２Ｒは、絶縁パイプ６６により補強されるとともに、絶縁パイプ６６の外周部とインナーブロック６７の内周部６７ａ，６７ｂ，および、６７ｃの内周部との間の圧力と、絶縁パイプ６６の内周部の圧力とは、同一となるので絶縁パイプ６６自体が圧力上昇により変形する虞がなく、棒電極６２Ｐ，６２Ｑ，および、６２Ｒ相互間距離も変化することが抑制されることとなる。従って、検査電流が通過する横断面積、および、棒電極６２Ｐ、６２Ｑ、および、６２Ｒの相互間距離の変動も抑制されるので薬液濃度計の測定値を精度よく保つことができる。
【００６２】
また、上述したように検査電流が隙間ＣＬに流れないので棒電極６２Ｑから棒電極６２Ｐ、棒電極６２Ｒに、溶液ＳＯを介して流れる検査電流が通過する横断面積は、絶縁パイプ６６の内周部に限られる。仮に、絶縁パイプ６６がない場合、検査電流が通過する横断面積は、インナーブロック６７の内周部により形成される流路となり大となる。
【００６３】
本願発明の第４実施例においては、このような場合に比して、所定のセル定数（電流流路長／電流通過横断面積）を得るのに電流通過横断面積がより小となることによって比較的短い電流流路長で済む。従って、薬液濃度計の小型化が図られるうえに、溶液SOが、絶縁パイプ６６の内周部と上述の隙間CLに流れるので絶縁パイプ６６がない場合とほぼ同一の圧力損失（損失水頭）を保つことができる。
【００６４】
なお、上述の各実施例において、信号処理回路において、その電圧値に基づいて導電率をあらわす信号が形成される場合、管路内に配される温度センサ、例えば、サーミスタ、超音波式温度計からの出力に基づいて導電率をあらわす信号が温度補償されてもよい。また、上述の各実施例において、耐食性材料としてテフロン（登録商標）、セラミック、ガラスカーボン等が使用されているが、斯かる例に限られることなく、他の耐食性材料が適宜選択され用いられてもよいことは勿論である。さらに、上述の例において、ハウジング部６０Ａおよび６０Ｃが分離して形成されているが、斯かる例に限られることなく、例えば、ハウジング部６０Ａおよび６０Ｃが一体に形成されてもよい。
【符号の説明】
【００６５】
１０、３０、５０、６０    ハウジング
１２Ｐ，１２Ｑ，１２Ｒ    電極プレート
１４Ａ，１４Ｂ、４６Ａ、４６Ｂ    補強ブロック
３２Ｐ，３２Ｑ，３２Ｒ，５２Ｑ，６２Ｐ，６２Ｑ，６２Ｒ    棒電極
５２Ｐ、５２Ｒ    電極
６６    絶縁パイプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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