(57)【要約】【課題】検査コストの高騰を招くことなく、第１の基板検査装置による検査結果を第２の基板検査装置において有効利用させる。【解決手段】基板検査装置３０による検査が完了した検査対象基板Ｘをスタック位置Ｐ１ａから基板検査装置２０（搬入搬出位置Ｐ２）に搬送する基板搬送機構１１と、基板Ｘから識別符号を取得するバーコードリーダー１２と、検査装置３０によって基板Ｘについての検査結果が識別符号に関連付けられて記録された検査結果データＤ１を記憶する記憶部１３と、搬送機構１１を制御して基板Ｘを位置Ｐ２に搬送させる第１の処理、リーダー１２を制御して基板Ｘから識別符号を取得させる第２の処理、および識別符号とデータＤ１とに基づいて基板Ｘについての検査結果を特定して対応する基板Ｘの識別符号に関連付けて検査装置２０が認識可能な書式で記述して検査結果データＤ２ａを生成する第３の処理を実行可能な処理部１４とを備えている。【選択図】図１
2015021803.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板検査装置による検査が完了している回路基板を第１の位置から第２の基板検査装置に搬送する基板搬送機構を備えた基板搬送装置であって、
前記回路基板に対して個別的に付与された識別符号を当該回路基板から取得する識別符号取得部と、
前記第１の基板検査装置によって前記回路基板についての検査結果が当該回路基板の前記識別符号に関連付けられて記録された第１の検査結果データを記憶する記憶部と、
前記基板搬送機構を制御して前記回路基板を前記第２の基板検査装置に搬送させる第１の処理、前記識別符号取得部を制御して前記第１の処理によって搬送される前記回路基板の前記識別符号を取得させる第２の処理、および当該第２の処理によって取得された前記識別符号と前記記憶部から読み出した前記第１の検査結果データとに基づいて前記第１の処理によって搬送される前記回路基板についての前記検査結果を特定すると共に、特定した当該検査結果を当該検査結果に対応する前記回路基板の前記識別符号に関連付けて前記第２の基板検査装置による認識が可能な書式で記述して第２の検査結果データを生成する第３の処理を実行可能に構成された処理部とを備えている基板搬送装置。
【請求項２】
前記基板搬送機構は、前記第２の基板検査装置による検査が完了した前記回路基板を当該第２の基板検査装置から第２の位置に搬送可能に構成され、
前記処理部は、前記基板搬送機構を制御して前記回路基板を前記第２の位置に搬送させる第４の処理、および当該第４の処理によって搬送される前記回路基板についての前記第２の基板検査装置による検査結果を取得すると共に、取得した当該検査結果を当該検査結果に対応する前記回路基板の前記識別符号に関連付けて基板処理装置による認識が可能な書式で記述して第３の検査結果データを生成する第５の処理を実行可能に構成されている請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の基板搬送装置と、前記第２の基板検査装置とを備えて構成されている基板検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象の回路基板を基板検査装置に搬送可能に構成された基板搬送装置、および基板搬送装置と基板検査装置とを備えて構成された基板検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
出願人は、被検査基板を電気的に検査可能な基板検査装置を下記の先行出願１に開示している。出願人が開示している基板検査装置は、被検査基板を保持可能な複数の基板着脱部を備えて被検査基板を搬送可能に構成された搬送手段と、被検査基板に配設された自他識別標識から基板固有情報を読み込む基板情報読込部と、基板着脱部による被検査基板の保持位置のずれを検出する基板位置ズレ検出部と、被検査基板を検査する基板検査部と、基板検査装置の各部を総括的に制御する中央処理手段とを備えて構成されている。
【０００３】
この基板検査装置では、搬送手段が、中央処理手段の制御に従い、基板供給部（供給／搬出部）から、基板情報読込部による読込み処理位置、基板位置ズレ検出部による検出処理位置、および基板検査部による検査処理位置を経て基板供給部（供給／搬出部）に被検査基板を順次搬送する構成が採用されている。また、この基板検査装置では、中央処理手段が、基板情報読込部において読み込まれた基板固有情報に基板検査部による検査結果を関連付けて保持することにより、例えば、基板検査部による再検査を要すると検査された基板と、基板検査部による検査を実施していない未検査の基板と混在させた状態で搬送手段に搬送させることが可能となっている。
【先行出願１】
【０００４】
特願２０１２−０３７４９１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、出願人が開示している基板検査装置には、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、出願人が開示している基板検査装置では、被検査基板に配設された自他識別標識から基板固有情報を読み込む基板情報読込部を備えると共に、中央処理手段が、基板情報読込部によって読み込まれた基板固有情報に基板検査部による検査結果を関連付けて保持することによって再検査の基板と新規に検査する基板とを区別し、基板検査部において再検査処理および新規の検査処理のいずれかを実行させる構成が採用されている。
【０００６】
一方、被検査基板の検査に際しては、一例として、出願人が開示している基板検査装置のように被検査基板を電気的に検査する検査装置（以下、「電気的検査装置」ともいう）による検査に先立ち、電気的検査装置とは別個に用意した画像検査装置（被検査基板を撮像した画像データの画像解析によって被検査基板の良否を検査する装置）によって部品の未実装や半田付け不良等の不良箇所の有無を検査し、電気的検査装置による電気的検査に際して画像検査装置によって不良箇所と検査された部位を検査せずに他の部位のみを電気的に検査したり、画像検査装置によって不良箇所と検査された部位を電気的検査装置によって詳細に検査したりすることが広く行われている。
【０００７】
この場合、一例として、画像検査装置によって不良箇所と検査された部位を検査せずに、その他の部位だけを電気的検査装置によって検査する際には、例えば、画像検査装置による検査を完了したときに、検査を完了した被検査基板の基板固有情報と不良箇所を特定可能な情報とを関連付けて記録した検査簿を作成し、検査簿に記録されている事項に基づき、電気的検査装置による検査条件を設定することで、画像検査装置によって不良箇所と検査された部位を除いて電気的検査装置によって検査することが可能となる。しかしながら、そのような手順で両検査装置による検査を行う場合には、検査簿の作成や、検査簿の記録事項に基づく検査条件の設定作業が非常に煩雑となる。
【０００８】
一方、上記のような煩雑な作業を不要とするために、一例として、画像検査装置において被検査基板の基板固有情報と不良箇所に関する情報とを関連付けて記録した検査結果データを生成し、この検査結果データを電気的検査装置において取得して、画像検査装置によって不良箇所と検査された部位を除いて電気的検査装置において検査させる検査方法も考えられる。しかしながら、例えば、画像検査装置の製造メーカと、電気的検査装置の製造メーカとが相違する場合には、画像検査装置において生成された検査結果データに記述されている事項を電気的検査装置において認識することができないことがある。
【０００９】
このため、一例として、画像検査装置によって生成される検査結果データに、「基板固有情報」、「検出した不良の内容」および「基板上における不良箇所の位置」がこの順で記述されているのに対し、電気的検査装置において、「基板固有情報」、「基板上における不良箇所の位置」および「検出した不良の内容」がこの順で記述された検査結果データに基づいて再検査する構成が採用されているときには、画像検査装置における検査結果データの生成手順、および電気的検査装置における検査結果データの生成手順の少なくとも一方を変更して両検査装置における検査手順データの書式を統一する必要がある。
【００１０】
しかしながら、例えば出願人が開示している基板検査装置と併用され得る画像検査装置の種類が多数存在する現状において、利用者の検査環境（利用者が所有する画像検査装置）に応じて基板検査装置の一連の検査手順を変更するのは非常に困難であり、そのような変更作業を実施したときには、検査コストが高騰するおそれがある。したがって、この点を改善するのが好ましい。
【００１１】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、検査コストの高騰を招くことなく、第１の基板検査装置による検査結果を第２の基板検査装置において有効利用させ得る基板搬送装置および基板検査システムを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板搬送装置は、第１の基板検査装置による検査が完了している回路基板を第１の位置から第２の基板検査装置に搬送する基板搬送機構を備えた基板搬送装置であって、前記回路基板に対して個別的に付与された識別符号を当該回路基板から取得する識別符号取得部と、前記第１の基板検査装置によって前記回路基板についての検査結果が当該回路基板の前記識別符号に関連付けられて記録された第１の検査結果データを記憶する記憶部と、前記基板搬送機構を制御して前記回路基板を前記第２の基板検査装置に搬送させる第１の処理、前記識別符号取得部を制御して前記第１の処理によって搬送される前記回路基板の前記識別符号を取得させる第２の処理、および当該第２の処理によって取得された前記識別符号と前記記憶部から読み出した前記第１の検査結果データとに基づいて前記第１の処理によって搬送される前記回路基板についての前記検査結果を特定すると共に、特定した当該検査結果を当該検査結果に対応する前記回路基板の前記識別符号に関連付けて前記第２の基板検査装置による認識が可能な書式で記述して第２の検査結果データを生成する第３の処理を実行可能に構成された処理部とを備えている。
【００１３】
また、請求項２記載の基板搬送装置は、請求項１記載の基板搬送装置において、前記基板搬送機構は、前記第２の基板検査装置による検査が完了した前記回路基板を当該第２の基板検査装置から第２の位置に搬送可能に構成され、前記処理部は、前記基板搬送機構を制御して前記回路基板を前記第２の位置に搬送させる第４の処理、および当該第４の処理によって搬送される前記回路基板についての前記第２の基板検査装置による検査結果を取得すると共に、取得した当該検査結果を当該検査結果に対応する前記回路基板の前記識別符号に関連付けて基板処理装置による認識が可能な書式で記述して第３の検査結果データを生成する第５の処理を実行可能に構成されている。
【００１４】
また、請求項３記載の基板検査システムは、請求項１または２記載の基板搬送装置と、前記第２の基板検査装置とを備えて構成されている。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１記載の基板搬送装置では、基板搬送機構を制御して第１の基板検査装置による検査が完了している回路基板を第２の基板検査装置に搬送させる第１の処理、識別符号取得部を制御して回路基板の識別符号を取得させる第２の処理、および取得された識別符号と第１の基板検査装置によって生成された第１の検査結果データとに基づいて第１の処理によって搬送される回路基板についての検査結果を特定すると共に、特定した検査結果をその回路基板の識別符号に関連付けて第２の基板検査装置による認識が可能な書式で記述して第２の検査結果データを生成する第３の処理を実行可能に構成されている。また、請求項３記載の基板検査システムでは、上記の基板搬送装置と、第２の基板検査装置とを備えて構成されている。
【００１６】
したがって、請求項１記載の基板搬送装置、および請求項３記載の基板検査システムによれば、第１の基板検査装置と、第１の基板検査装置による検査が完了した回路基板を検査する第２の基板検査装置とで検査結果データの書式が相違する場合においても、両基板検査装置については何ら変更することなく、基板搬送装置において、第１の基板検査装置によって生成された第１の検査結果データに基づいて第２の基板検査装置が識別可能な第２の検査結果データを生成することで、第１の基板検査装置による検査結果を第２の基板検査装置に出力して利用させることができる。この結果、両基板検査装置の検査手順に関する仕様を変更せずに、基板搬送装置による処理手順（第１の検査結果データに基づく第２の検査結果データの生成手順）を利用者の検査環境に応じて変更するだけで、各種の基板検査装置の検査結果を低コストで有効利用することができる。
【００１７】
また、請求項２記載の基板搬送装置では、基板搬送機構を制御して回路基板を第２の位置に搬送させる第４の処理、および第４の処理によって搬送される回路基板についての第２の基板検査装置による検査結果を取得すると共に、取得した検査結果を検査結果に対応する回路基板の識別符号に関連付けて基板処理装置による認識が可能な書式で記述して第３の検査結果データを生成する第５の処理を実行可能に構成されている。
【００１８】
したがって、請求項２記載の基板搬送装置によれば、第２の基板検査装置と、第２の基板検査装置による検査が完了した回路基板を処理する基板処理装置とで検査結果データの書式が相違する場合においても、第２の基板検査装置や基板処理装置については何ら変更することなく、基板搬送装置において、第２の基板検査装置による回路基板の検査結果に基づいて基板処理装置が識別可能な第３の検査結果データを生成することで、第２の基板検査装置による検査結果を基板処理装置に出力して利用させることができる。この結果、第２の基板検査装置の検査手順や基板処理装置の処理手順に関する仕様を変更せずに、基板搬送装置による処理手順（第２の基板検査装置による検査結果に基づく第３の検査結果データの生成手順）を利用者の検査環境に応じて変更するだけで、第２の基板検査装置の検査結果を各種の基板処理装置に低コストで有効利用させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】基板検査システム１の構成を示す構成図である。
【図２】検査対象基板Ｘ０００１，Ｘ０００２・・の一例について説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る基板搬送装置および基板検査システムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２１】
図１に示す基板検査システム１は、「基板検査システム」の一例であって、基板搬送装置１０および基板検査装置２０を備え、基板検査装置３０による検査を完了した検査対象基板Ｘ０００１，Ｘ０００２・・（「回路基板」の一例：図２参照：以下、区別しないときには「検査対象基板Ｘ」ともいう）を電気的に検査すると共に、基板検査装置２０による検査結果を各検査対象基板Ｘに関連付けた検査結果データＤ３（「第３の検査結果データ」の一例）を生成して基板検査装置４０に供給可能に構成されている。この場合、図２に示すように、検査対象基板Ｘは、パターン形状や搭載部品等が互いに等しい基板Ｘａ〜Ｘｄの４枚が面付けされた多面取り基板であって、他の検査対象基板Ｘと識別可能に各検査対象基板Ｘ毎に個別的に付与された「識別符号」を示すバーコードラベルＬがそれぞれ貼付されている。
【００２２】
また、基板検査装置３０は、「第１の基板検査装置」に相当し、一例として、画像検査装置で構成されている。この基板検査装置３０は、検査対象基板Ｘに付与されている「識別符号」にその検査対象基板Ｘについての検査結果を関連付けて記録した検査結果データＤ１（「第１の検査結果データ」の一例）を生成可能に構成されている。さらに、基板検査装置４０は、「基板処理装置」に相当し、一例として、複数組の検査用プローブをプローブ移動機構によって別個独立して移動させて検査対象基板Ｘ上の任意の検査ポイントを電気的に検査可能なフライングプローブ式の電気的検査装置で構成されている。この基板検査装置４０は、後述するように基板搬送装置１０によって生成される検査結果データＤ３に基づき、基板検査装置２０によって不良箇所ありと検査された検査対象基板Ｘを再検査可能に構成されている。
【００２３】
なお、基板検査装置３０，４０の構成や検査手順については公知のため、各構成要素や検査手順についての図示および詳細な説明を省略する。また、本例では、一例として、基板検査装置３０，４０が基板検査システム１とは相違する検査場所に設置されると共に、基板検査システム１における基板検査装置２０と基板検査装置４０とが出願人が開発した装置で構成され、かつ、基板検査装置３０が他社製の装置で構成されているものとする。
【００２４】
一方、基板搬送装置１０は、「基板搬送装置」の一例であって、基板搬送機構１１、バーコードリーダー１２、記憶部１３および処理部１４を備えて構成されている。基板搬送機構１１は、「基板搬送機構」の一例であって、後述するように処理部１４の制御に従い、基板検査装置３０による画像検査が完了し、かつ基板検査装置２０による電気的検査を完了していない検査対象基板Ｘをスタック位置Ｐ１ａ（「第１の位置」の一例）から基板検査装置２０における搬入搬出位置Ｐ２に搬送する（基板検査装置２０への検査対象基板Ｘの搬入）と共に、基板検査装置２０による電気的検査を完了した検査対象基板Ｘを、搬入搬出位置Ｐ２からスタック位置Ｐ１ｂ（「第２の位置」の一例）に搬送する（基板検査装置２０からの検査対象基板Ｘの搬出）。
【００２５】
バーコードリーダー１２は、「識別符号取得部」に相当し、一例として、基板搬送機構１１が上記のスタック位置Ｐ１ａから搬入搬出位置Ｐ２に搬送している間に、検査対象基板ＸのバーコードラベルＬから「識別符号」を読み取って識別符号データＤｃを処理部１４に出力するラインカメラを備えて構成されている。記憶部１３は、「記憶部」の一例であって、変換手順データＤ０および制御プログラムＤｐを記憶すると共に、後述するように基板検査装置３０から取得した検査結果データＤ１、処理部１４によって生成される検査結果データＤ２ａ（「第２の検査結果データ」の一例）、基板検査装置２０から取得した検査結果データＤ２ｂ、および処理部１４によって生成されて基板検査装置４０に供給される検査結果データＤ３などを記憶する。
【００２６】
この場合、変換手順データＤ０には、上記したように基板検査装置３０によって生成される検査結果データＤ１を基板検査装置２０によって認識可能な書式に変換したり、後述するように基板検査装置２０によって生成される検査結果データＤ２ｂを基板検査装置４０によって認識可能な書式に変換したりするための変換手順が記録されている。また、制御プログラムＤｐには、処理部１４が、基板搬送機構１１を制御して検査対象基板Ｘを搬送させたり、バーコードリーダー１２を制御して「識別符号」を読み取らせたり、上記の変換手順データＤ０に従って検査結果データＤ１を基板検査装置２０が認識可能な書式に変換して検査結果データＤ２ａを生成したり、変換手順データＤ０および基板検査装置２０によって生成される検査結果データＤ２ｂに基づいて上記の検査結果データＤ３を生成したりする処理手順が記録されている。
【００２７】
処理部１４は、「処理部」に相当し、基板搬送装置１０を総括的に制御する。この場合、本例の基板搬送装置１０では、一例として、制御プログラムＤｐがインストールされた既存の電子端末（パーソナルコンピュータ等）で処理部１４が構成されている。なお、本例では、上記の記憶部１３も上記の既存の電子端末の記憶素子で構成されており、この記憶部１３および処理部１４（電子端末）を基板搬送機構１１やバーコードリーダー１２から切り離して任意の場所に携行することができるように構成されている。
【００２８】
この処理部１４は、制御プログラムＤｐに従い、基板搬送機構１１を制御して検査対象基板Ｘをスタック位置Ｐ１ａから基板検査装置２０の搬入搬出位置Ｐ２に搬送させる処理（「第１の処理」の一例）を実行する。また、処理部１４は、制御プログラムＤｐに従い、基板搬送機構１１によってスタック位置Ｐ１ａから搬入搬出位置Ｐ２に検査対象基板Ｘを搬送させている間に、バーコードリーダー１２を制御して検査対象基板ＸのバーコードラベルＬから「識別符号」を読み取らせる処理（「第２の処理」の一例）を実行する。
【００２９】
さらに、処理部１４は、変換手順データＤ０および制御プログラムＤｐに従い、バーコードリーダー１２から出力された識別符号データＤｃに対応する「識別符号」と、記憶部１３から読み出した検査結果データＤ１とに基づき、基板搬送機構１１が基板検査装置２０に搬送する検査対象基板Ｘについての検査結果を特定すると共に、特定した検査結果を、その検査結果に対応する検査対象基板Ｘの「識別符号」に関連付けて基板検査装置２０による認識が可能な書式で記述して検査結果データＤ２ａを生成し、生成した検査結果データＤ２ａを基板検査装置２０に出力する処理（「第３の処理」の一例）を実行する。
【００３０】
また、処理部１４は、制御プログラムＤｐに従い、基板搬送機構１１を制御して基板検査装置２０による検査を完了した検査対象基板Ｘを搬入搬出位置Ｐ２からスタック位置Ｐ１ｂに搬送させる処理（「第４の処理」を実行する）。さらに、処理部１４は、変換手順データＤ０および制御プログラムＤｐに従い、上記のように搬入搬出位置Ｐ２からスタック位置Ｐ１ｂに搬送される検査対象基板Ｘについての基板検査装置２０による「検査結果」が記録された検査結果データＤ２ｂを取得すると共に、取得した検査結果データＤ２ｂに記録されている「検査結果」を、その「検査結果」に対応する検査対象基板Ｘの「識別符号」に関連付けて基板検査装置４０による認識が可能な書式で記述して検査結果データＤ３を生成する処理（「第５の処理」の一例）を実行する。また、処理部１４は、基板検査装置４０からの要求に応じて検査結果データＤ３を基板検査装置４０に供給する処理を実行する。
【００３１】
一方、基板検査装置２０は、「第２の基板検査装置」の一例であって、基板搬送機構２１、検査処理部２２、記憶部２３および処理部２４を備えて構成されている。基板搬送機構２１は、処理部２４の制御に従い、基板搬送装置１０によって搬入搬出位置Ｐ２に搬送された検査対象基板Ｘを検査処理部２２による検査処理位置Ｐ３に搬送すると共に、検査処理部２２による検査を完了した検査対象基板Ｘを検査処理位置Ｐ３から搬入搬出位置Ｐ２に搬送する。検査処理部２２は、一例として、検査対象基板Ｘにおける各基板Ｘａ〜Ｘｄのパターン形状に応じて規定された複数のプロービングポイントの位置に応じて複数の検査用プローブが植設された検査用治具（図示せず）を備え、処理部２４の制御に従い、検査用治具の各検査用プローブを各基板Ｘａ〜Ｘｄに順次プロービングさせた状態で検査対象基板Ｘを電気的に検査する（基板検査装置２０が「治具型の電気的検査装置」で構成されている例）。記憶部２３は、検査結果データＤ２ａ，Ｄ２ｂや処理部２４の動作プログラム（検査対象基板Ｘの検査手順など）を記憶する。
【００３２】
処理部２４は、基板検査装置２０を総括的に制御する。具体的には、処理部２４は、基板搬送機構２１を制御して搬入搬出位置Ｐ２から検査処理位置Ｐ３に検査対象基板Ｘを搬送させると共に、検査処理部２２を制御して検査対象基板Ｘの電気的検査を実行させる。この際に、処理部２４は、基板搬送装置１０から出力された検査結果データＤ２ａに基づき、検査処理位置Ｐ３に搬送させた検査対象基板Ｘの基板Ｘａ〜Ｘｄに不良箇所が存在するか否かを判別し、一例として、不良箇所が存在する基板については、不良の基板として、検査処理部２２による電気的検査を実行させずに、不良箇所が存在しない基板だけを対象として検査対象基板Ｘを電気的検査を実行させる。
【００３３】
また、処理部２４は、検査処理部２２による検査を完了した検査対象基板Ｘを検査処理位置Ｐ３から搬入搬出位置Ｐ２に搬送させると共に、検査処理部２２による検査対象基板Ｘについての検査結果を、その検査対象基板Ｘの「識別符号」（一例として、検査結果データＤ２ａに基づいて特定した「識別符号」）に関連付けて記録することで検査結果データＤ２ｂを生成し、生成した検査結果データＤ２ｂを基板搬送装置１０に出力する。
【００３４】
この基板検査システム１による検査対象基板Ｘの電気的検査に際しては、まず、上記の変換手順データＤ０を生成し、記憶部１３に記憶させる作業を実行する。
【００３５】
この場合、一例として、上記の基板検査装置３０が他国製の検査装置であったり、基板検査装置３０の設置場所（検査対象基板Ｘの検査処理が実行される場所）が他国であったり、基板検査装置３０の利用者（検査者）が他国の者であったりするときには、検査結果データＤ１を検査結果データＤ２ａに変換するために必要な諸情報を、基板検査装置３０の利用者と電話や電子メールによってやり取りして正確な変換手順データＤ０を生成するのが困難となるおそれがある。したがって、本例の基板検査システム１（基板搬送装置１０）では、記憶部１３および処理部１４を構成する電子端末を基板搬送装置１０（基板検査システム１）から切り離して基板検査装置３０の設置場所（基板検査装置３０の利用者の所在地）に携行し、基板検査装置３０の利用者と直接対話しながら検査結果データＤ１を検査結果データＤ２ａに変換するために必要な諸情報を取得して変換手順データＤ０を生成することで、正確かつスムーズに変換手順データＤ０を生成することが可能となっている。
【００３６】
また、本例では、基板検査システム１の製造者と基板検査装置４０の製造者とが同一であり、上記の検査結果データＤ１を検査結果データＤ２ａに変換するための変換手順データＤ０の生成時とは異なり、検査結果データＤ２ｂを検査結果データＤ３に変換するために必要な諸情報をある程度正確かつ容易に取得することができる。しかしながら、例えば、基板検査装置４０の製造時期が基板検査装置２０の製造時期とは大きく相違するとき（基板検査装置４０が旧式の検査装置のとき）には、基板検査装置４０に施されているカスタマイズの状態等に応じて、基板検査装置４０の設置場所に電子端末を携行し、基板検査装置４０の利用者（検査者）と直接対話しながら基板検査装置４０の現状に即した変換手順データＤ０を生成するのが好ましい。
【００３７】
なお、上記の「変換に必要な諸情報」とは、一例として、各検査対象基板Ｘに付与された「識別符号」、各検査対象基板Ｘにおける「不良箇所の位置」および各検査対象基板Ｘにおける「不良の内容」などの項目の記述の順序や、「検査結果データ」のデータ形式などの各種の「書式情報」を意味する。また、実際の検査結果データＤ１，Ｄ２ａ，Ｄ２ｂ，Ｄ３では、上記のような項目の他にも、「検査結果」に関する各種の項目が記録されているが、基板検査システム１（基板搬送装置１０）による各処理についての理解を容易とするために、それらの項目等についての説明を省略する。また、取得した「諸情報」に基づいて変換手順データＤ０を生成する作業とは、上記の各項目の順序を入れ替えたり、データ形式を変換したりするための情報を、検査結果データＤ１および検査結果データＤ２ａに関連付けて記録したり、検査結果データＤ２ｂおよび検査結果データＤ３に関連付けて記録したりする作業を意味する。
【００３８】
一方、変換手順データＤ０の生成および記憶部１３への記憶を完了した状態において、基板検査装置３０による画像検査を完了した検査対象基板Ｘを基板検査装置２０によって電気的に検査する際には、まず、基板検査装置３０による画像検査を完了している各検査対象基板Ｘをスタック位置Ｐ１ａに載置すると共に、載置した各検査対象基板Ｘについての検査結果データＤ１を基板検査装置３０から取得して記憶部１３に記憶させる。なお、検査結果データＤ１の取得および記憶部１３への記憶については、各種通信網を介して基板検査装置３０から直接（または、所定のデータサーバを経由して）基板搬送装置１０に読み込ませたり、検査結果データＤ１が記憶されたリムーバブルメディアを取得して、このリムーバブルメディアを介して基板搬送装置１０に読み込ませたりすることができる。
【００３９】
この場合、図２に示すように、本例では、一例として、基板Ｘｂに不良箇所が存在するとの「検査結果」が検査対象基板Ｘ０００１の「識別符号」に関連付けられて検査結果データＤ１として記録され、かつ、基板Ｘｄに不良箇所が存在するとの「検査結果」が検査対象基板Ｘ０００２の「識別符号」に関連付けられて検査結果データＤ１として記録されると共に、基板Ｘａ〜Ｘｄのいずれにも不良箇所が存在しないとの「検査結果」が検査対象基板Ｘ０００３の「識別符号」に関連付けられて検査結果データＤ１として記録されているものとする。
【００４０】
なお、同図では、基板Ｘａ〜Ｘｄのうちの基板検査装置３０によって不良箇所が存在すると検査された基板の部位に左下がりの斜線を記して「検査結果」を示している。また、図示および説明を省略するが、検査対象基板Ｘ０００１〜Ｘ０００３以外の検査対象基板Ｘについても、基板検査装置３０によって不良箇所が存在すると検査されたときには、そのような「検査結果」が、不良箇所が存在する位置（基板）と共に「識別符号」に関連付けられて検査結果データＤ１として記録され、基板検査装置３０によって不良箇所が存在しないと検査されたときには、そのような「検査結果」が「識別符号」に関連付けられて検査結果データＤ１として記録されている。
【００４１】
次いで、基板検査装置２０の図示しない処理開始スイッチが操作されたときに、処理部２４は、基板搬送装置１０に対して検査対象基板Ｘの搬送を要求し、これに応じて、基板搬送装置１０の処理部１４が、制御プログラムＤｐに従い、基板搬送機構１１を制御して最初の検査対象基板Ｘ（一例として、検査対象基板Ｘ０００１）をスタック位置Ｐ１ａから搬入搬出位置Ｐ２に搬送する（「第１の処理」の実行）。この際に、処理部１４は、基板搬送機構１１による検査対象基板Ｘの搬送制御と並行してバーコードリーダー１２を制御し、基板搬送機構１１が搬入搬出位置Ｐ２に搬送中の検査対象基板Ｘに貼付されているバーコードラベルＬから「識別符号」を読み取らせる（「第２の処理」の実行）。これに応じて、バーコードリーダー１２は、読み取った「識別符号」を示す識別符号データＤｃを生成して処理部１４に出力する。
【００４２】
また、処理部１４は、バーコードリーダー１２から出力された識別符号データＤｃに基づき、基板搬送機構１１に搬送させている検査対象基板Ｘの「識別符号」を特定すると共に、特定した「識別符号」の検査結果データＤ１を記憶部１３から読み出す。さらに、処理部１４は、読み出した検査結果データＤ１に基づき、基板搬送機構１１によって搬送中の検査対象基板Ｘ（この例では、検査対象基板Ｘ０００１）の「検査結果」を特定すると共に、変換手順データＤ０に従い、識別符号データＤｃに基づいて特定した「識別符号」に、特定した「検査結果」を関連付けて記録して検査結果データＤ２ａを生成する（「第３の処理」の実行）。これにより、本例では、検査対象基板Ｘ０００１の基板Ｘｂに不良箇所が存在するとの検査結果データＤ２ａが基板搬送装置１０から基板検査装置２０（処理部２４）に出力される。
【００４３】
一方、基板検査装置２０では、処理部２４が基板搬送機構２１を制御することにより、基板搬送装置１０によって搬入搬出位置Ｐ２に搬送された検査対象基板Ｘ（この例では、検査対象基板Ｘ０００１）を搬入搬出位置Ｐ２から検査処理位置Ｐ３に搬送させる。また、処理部２４は、検査処理部２２を制御して検査処理位置Ｐ３に搬送させた検査対象基板Ｘ０００１についての電気的検査を実行させる。この際に、処理部２４は、基板搬送装置１０（処理部１４）から出力された検査結果データＤ２ａに基づき、検査処理位置Ｐ３に搬送させた検査対象基板Ｘ０００１の基板Ｘｂに不良箇所が存在し、基板Ｘｂが不良であると判別して、この基板Ｘｂを除く基板Ｘａ，Ｘｃ，Ｘｄの３つについての検査だけを実行させる。これにより、基板検査装置２０によって不良箇所が存在すると検査された不良の基板Ｘｂについての電気的検査を実行しない分だけ、検査対象基板Ｘ０００１についての検査に要する時間が短縮される。
【００４４】
この際に、検査処理部２２は、図２に示すように、一例として、基板Ｘａ，Ｘｃの２つが正常であると検査すると共に、基板Ｘｄに不良箇所が存在すると検査し、その検査結果を処理部２４に出力する。なお、同図では、基板Ｘａ〜Ｘｄのうちの基板検査装置２０によって不良箇所が存在すると検査された基板の部位に右下がりの斜線を記して「検査結果」を示している。
【００４５】
これに応じて、処理部２４は、基板搬送機構２１を制御して検査対象基板Ｘ０００１を検査処理位置Ｐ３から搬入搬出位置Ｐ２に搬送させると共に、検査処理部２２による検査結果（この例では、基板Ｘａ，Ｘｃが正常で、基板Ｘｄに不良箇所が存在するとの検査結果）を、検査結果データＤ２ａに記録されている検査対象基板Ｘ（すなわち、基板搬送装置１０によって搬入搬出位置Ｐ２に搬送され、検査処理部２２による電気的検査を実行した検査対象基板Ｘ０００１）の「識別符号」に関連付けて記録して検査結果データＤ２ｂを生成する。続いて、処理部２４は、生成した検査結果データＤ２ｂを基板搬送装置１０（処理部１４）に出力すると共に、基板搬送装置１０（処理部１４）に対して、検査を完了した検査対象基板Ｘの搬送を要求する。
【００４６】
また、処理部１４は、基板搬送機構２１を制御して、搬入搬出位置Ｐ２からスタック位置Ｐ１ｂに検査対象基板Ｘ０００１を搬送させると共に（「第４の処理」の実行）、変換手順データＤ０に従い、基板検査装置２０から出力された検査結果データＤ２ｂを、基板検査装置４０による認識が可能な検査結果データＤ３に変換して記憶部１３に記憶させる処理を実行する（「第５の処理」の実行）。具体的には、処理部１４は、基板検査装置２０（処理部２４）から出力された検査結果データＤ２ｂに基づき、基板搬送機構１１に搬送させている検査対象基板Ｘの「識別符号」、およびその検査対象基板Ｘについての「検査結果」を特定すると共に、その検査対象基板Ｘ（この例では、検査対象基板Ｘ０００１）の「検査結果」を、特定した「識別符号」に関連付けて記録して検査結果データＤ３を生成する。
【００４７】
この際に、本例の基板検査システム１では、検査結果データＤ３の生成に際して、基板検査装置２０による「検査結果」と併せて、この基板検査装置２０による検査に先立って基板検査装置３０によって検査された際の「検査結果」（この例では、基板Ｘｂに不良箇所が存在するとの「検査結果」）を「識別符号」に関連付けて記録する。これにより、基板検査装置３０によって基板Ｘｂに不良箇所が存在すると検査され、かつ基板検査装置２０によって基板Ｘｄに不良箇所が存在すると検査されたとの「検査結果」が検査対象基板Ｘ０００１の「識別符号」に関連付けて記録された検査結果データＤ３が生成され、最初の検査対象基板Ｘ０００１についての基板検査システム１（基板検査装置２０）による電気的検査が完了する。
【００４８】
次いで、検査対象基板Ｘ０００２の検査に際しては、上記の検査対象基板Ｘ０００１の検査時と同様にして、基板搬送装置１０における処理部１４が基板検査装置２０における処理部２４の要求に従って基板搬送機構１１を制御して検査対象基板Ｘ０００２をスタック位置Ｐ１ａから搬入搬出位置Ｐ２に搬送させ、バーコードリーダー１２を制御して検査対象基板Ｘ０００２に貼付されているバーコードラベルＬを読み取らせると共に、検査対象基板Ｘ０００２についての検査結果データＤ１を検査結果データＤ２ａに変換して基板検査装置２０（処理部２４）に出力する。これに応じて、基板検査装置２０では、処理部２４が基板搬送機構２１を制御して検査対象基板Ｘ０００２を搬入搬出位置Ｐ２から検査処理位置Ｐ３に搬送させ、検査処理部２２を制御して検査対象基板Ｘ０００２についての電気的検査を実行させる。
【００４９】
この際に、処理部２４は、検査結果データＤ２ａに基づき、検査対象基板Ｘ０００２の基板Ｘｄに不良箇所が存在し、基板Ｘｄが不良であると判別して、この基板Ｘｄを除く基板Ｘａ〜Ｘｃの３つについての検査だけを実行させる。また、この際には、図２に示すように、一例として、検査処理部２２によって基板Ｘａ〜Ｘｃのすべてが正常であると検査され、処理部２４によって、そのような「検査結果」が検査対象基板Ｘ０００２の「識別符号」に関連付けられて記録されて検査結果データＤ２ｂが生成されると共に、検査を完了した検査対象基板Ｘ０００２が検査処理位置Ｐ３から搬入搬出位置Ｐ２に搬送される。続いて、処理部２４は、生成した検査結果データＤ２ｂを基板搬送装置１０（処理部１４）に出力すると共に、基板搬送装置１０（処理部１４）に対して、検査を完了した検査対象基板Ｘの搬送を要求する。
【００５０】
これに応じて、処理部１４は、基板搬送機構１１を制御して、搬入搬出位置Ｐ２からスタック位置Ｐ１ｂに検査対象基板Ｘ０００２を搬送させると共に、変換手順データＤ０に従い、検査対象基板Ｘ０００２についての検査結果データＤ２ｂを検査結果データＤ３に変換して記憶部１３に記憶させる。これにより、基板検査装置３０によって基板Ｘｄに不良箇所が存在すると検査され、かつ基板検査装置２０によって基板Ｘａ〜Ｘｃのすべてが正常であると検査されたとの「検査結果」が検査対象基板Ｘ０００２の「識別符号」に関連付けて記録された検査結果データＤ３が生成され、２枚目の検査対象基板Ｘ０００２についての基板検査システム１（基板検査装置２０）による電気的検査が完了する。
【００５１】
この後、検査対象基板Ｘ０００３以降の各検査対象基板Ｘについても、上記の検査対象基板Ｘ０００１や検査対象基板Ｘ０００２についての検査時と同様の手順で電気的検査が実行される。また、スタック位置Ｐ１ａに載置されたすべての検査対象基板Ｘについての検査を完了したときには、スタック位置Ｐ１ｂに載置されたすべての検査対象基板Ｘについての検査結果データＤ３が記憶部１３に記憶された状態となる。これにより、基板検査システム１（基板検査装置２０）による各検査対象基板Ｘの検査が完了する。
【００５２】
一方、一例として、基板検査システム１（基板検査装置２０）による電気的検査において不良箇所が存在すると検査された基板が存在する検査対象基板Ｘを対象として、不良箇所が存在する基板を基板検査装置４０によって再検査する際には、その検査対象基板Ｘを基板検査装置４０による検査場所に搬送する。なお、本例とは相違するが、基板検査装置４０が基板検査システム１の近傍に設置されている場合には、基板搬送装置１０が上記のスタック位置Ｐ１ｂに代えて基板検査装置４０における搬入搬出位置に検査対象基板Ｘを自動搬送する構成を採用することもできる。また、再検査を要する検査対象基板Ｘの搬送と併せて、一例として、記憶部１３に記憶されている検査結果データＤ３を、各種通信網やリムーバブルメディアを介して基板検査装置４０に転送する。
【００５３】
また、基板検査装置４０では、搬送された検査対象基板Ｘ（例えば、検査対象基板Ｘ０００１）の再検査に際して、その検査対象基板Ｘの「識別符号」を特定すると共に、基板検査システム１（基板搬送装置１０）によって生成された検査結果データＤ３に基づき、特定した「識別符号」の検査対象基板Ｘに関して基板検査装置２０によって不良箇所が存在すると検査された基板Ｘｄだけを対象とする再検査が実行される。したがって、基板Ｘａ〜Ｘｄのいずれかに不良箇所が存在する検査対象基板Ｘについて、基板Ｘａ〜Ｘｄのすべてを再検査するのと比較して、検査対象基板Ｘに不良箇所が存在するか否かを短時間で再検査することが可能となっている。
【００５４】
このように、この基板搬送装置１０では、基板搬送機構１１を制御して基板検査装置３０による検査が完了している検査対象基板Ｘを基板検査装置２０の搬入搬出位置Ｐ２に搬送させる「第１の処理」、バーコードリーダー１２を制御して検査対象基板Ｘの「識別符号」を取得させる「第２の処理」、および取得された「識別符号」と基板検査装置３０によって生成された検査結果データＤ１とに基づいて「第１の処理」によって搬送される検査対象基板Ｘについての「検査結果」を特定すると共に、特定した「検査結果」をその検査対象基板Ｘの「識別符号」に関連付けて基板検査装置２０による認識が可能な書式で記述して検査結果データＤ２ａを生成する「第３の処理」を実行可能に構成されている。また、この基板検査システム１では、上記の基板搬送装置１０と、基板検査装置２０とを備えて構成されている。
【００５５】
したがって、この基板搬送装置１０および基板検査システム１によれば、基板検査装置３０と、基板検査装置３０による検査が完了した検査対象基板Ｘを検査する基板検査装置２０とで「検査結果データ」の書式が相違する場合においても、両基板検査装置２０，３０については何ら変更することなく、基板搬送装置１０において、基板検査装置３０によって生成された検査結果データＤ１に基づいて基板検査装置２０が識別可能な検査結果データＤ２ａを生成することで、基板検査装置３０による「検査結果」を基板検査装置２０に出力して利用させることができる。この結果、基板検査装置２０，３０の検査手順に関する仕様を変更せずに、基板搬送装置１０による処理手順（この例では、変換手順データＤ０の内容）を利用者の検査環境（基板検査システム１と併用する「基板検査装置」）に応じて変更するだけで、各種の「基板検査装置」の「検査結果」を低コストで有効利用することができる。
【００５６】
また、この基板搬送装置１０および基板検査システム１では、基板搬送機構１１を制御して検査対象基板Ｘをスタック位置Ｐ１ｂに搬送させる「第４の処理」、および「第４の処理」によって搬送される検査対象基板Ｘについての基板検査装置２０による「検査結果」を取得すると共に、取得した「検査結果」をその検査対象基板Ｘの「識別符号」に関連付けて基板検査装置４０による認識が可能な書式で記述して検査結果データＤ３を生成する「第５の処理」を実行可能に構成されている。
【００５７】
したがって、この基板搬送装置１０および基板検査システム１によれば、基板検査装置２０と、基板検査装置２０による検査が完了した検査対象基板Ｘを処理する「基板処理装置（本例では、基板検査装置４０）」とで「検査結果データ」の書式が相違する場合においても、基板検査装置２０や「基板処理装置」については何ら変更することなく、基板搬送装置１０において、基板検査装置２０によって生成された検査結果データＤ２ｂに基づいて「基板処理装置」が識別可能な検査結果データＤ３を生成することで、基板検査装置２０による「検査結果」を「基板処理装置」に出力して利用させることができる。この結果、基板検査装置２０の検査手順や「基板処理装置」の処理手順に関する仕様を変更せずに、基板搬送装置１０による処理手順（この例では、変換手順データＤ０の内容）を利用者の検査環境（基板検査システム１と併用する「基板処理装置」）に応じて変更するだけで、基板検査装置２０の「検査結果」を各種の「基板処理装置」に低コストで有効利用させることができる。
【００５８】
なお、「基板搬送装置」および「基板検査システム」の構成は、上記の基板検査システム１の構成に限定されない。例えば、基板搬送機構１１によってスタック位置Ｐ１ａから搬入搬出位置Ｐ２に搬送中の検査対象基板Ｘに貼付されているバーコードラベルＬをバーコードリーダー１２によって読み取ることで「識別符号」を取得する構成を例に挙げて説明したが、バーコードラベルＬの読み取り等（「識別符号」の取得）は、基板搬送機構１１による搬送中に限定されるものではなく、例えば、スタック位置Ｐ１ｂに載置されているとき、または、搬入搬出位置Ｐ２に搬送された際に「識別符号」を取得する構成を採用することもできる。
【００５９】
また、「識別符号取得部」としてのバーコードリーダー１２によって検査対象基板ＸのバーコードラベルＬから「識別符号」を取得する構成を例に挙げて説明したが、「識別符号取得部」の構成はこれに限定されず、例えば、各検査対象基板Ｘに対して個別的に付与された「識別符号」がＩＣタグ等に記憶されて検査対象基板Ｘに付されている場合には、このＩＣタグ等から「識別符号」を読み取り可能な各種の装置（ＩＣタグリーダー等）で「識別符号取得部」を構成することができる。
【００６０】
さらに、「第１の基板検査装置」としての基板検査装置３０による検査に際して不良箇所が存在すると検査された基板を基板検査装置２０によって検査しない検査手順を例に挙げて説明したが、基板検査装置３０による検査に際して不良箇所が存在すると検査された基板を基板検査装置２０によって詳細に再検査する検査手順を採用した場合においても、上記の例と同様に、基板検査装置２０において再検査を実行すべき基板や再検査を実行しない基板を検査結果データＤ２ａに基づいて基板検査装置２０に確実に認識させることができる。
【００６１】
また、「第２の基板検査装置」としての基板検査装置２０による検査に際して不良箇所が存在すると検査された基板を「基板処理装置」としての基板検査装置４０によって再検査する検査手順を例に挙げて説明したが、基板検査装置２０による検査に際して不良箇所が存在すると検査された基板を基板検査装置４０によって検査しない検査手順を採用した場合においても、上記の例と同様に、基板検査装置４０において再検査を実行すべき基板や再検査を実行しない基板を検査結果データＤ３に基づいて基板検査装置４０に確実に認識させることができる。
【００６２】
さらに、「基板処理装置」としての基板検査装置４０による認識が可能な書式で検査結果データＤ３を生成する例について説明したが、「基板処理装置」は、基板検査装置４０のような基板検査装置に限定されず、一例として、基板検査装置２０等による検査結果を表示する処理や検査結果を印刷する処理を実行可能な「検査結果表示装置」や「検査結果印刷装置」を「基板処理装置」として「第３の検査結果データ」を生成したり、基板検査装置２０による検査を完了した検査対象基板Ｘを梱包する「基板梱包装置」を「基板処理装置」として「第３の検査結果データ」を生成したりすることもできる。加えて、基板検査装置２０による検査結果に基づいて「第３の検査結果データ」を生成しない構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００６３】
１  基板検査システム
１０  基板搬送装置
１１，２１  基板搬送機構
１２  バーコードリーダー
１３，２３  記憶部
１４，２４  処理部
２０，３０，４０  基板検査装置
２２  検査処理部
Ｄ０  変換手順データ
Ｄ１，Ｄ２ａ，Ｄ２ｂ，Ｄ３  検査結果データ
Ｄｃ  識別符号データ
Ｄｐ  制御プログラム
Ｌ  バーコードラベル
Ｐ１ａ，Ｐ１ｂ  スタック位置
Ｐ２  搬入搬出位置
Ｐ３  検査処理位置
Ｘ  検査対象基板
Ｘａ〜Ｘｄ  基板
【図１】
2015021803.tif 000003
【図２】
2015021803.tif 000004