(57)【要約】【課題】  ポケット内に正しい姿勢で電子部品が配置されなかった場合に、新たな機構を設けることなく従来からある機構を利用して、回転搬送体又は移動搬送体を振動又は移動させて電子部品をポケット内に正しい姿勢で配置できるようにすることを目的とする。【解決手段】  電子部品姿勢修正装置１は、電子部品６を吸着保持して第１ポケット１６と第２ポケット６０との間に搬送するロボットハンド３１と、第２の位置において第２ポケットに収納された電子部品６が正しい姿勢で配置されているか否かを検出する姿勢検出器３８と、回転搬送体を第２の位置と、電子部品の良否を検査する回転測定ロボット７１との間に移動するデーブル駆動機構３７と、姿勢検出器３８の検出結果に応じて電子部品が正しい姿勢で配置されていないときに、テーブル駆動機構を動作させて回転搬送体３３を振動させる姿勢修正機構を設けた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を第１の位置におけるトレイの第１ポケットと、第２の位置における回転搬送体又は移動搬送体の第２ポケットとの間に搬送するＩＣハンドラであって、
前記電子部品を吸着保持して前記第１ポケットと前記第２ポケットとの間に搬送するロボットハンドと、
前記第２の位置において前記第２ポケットに収納された前記電子部品が正しい姿勢で配置されているか否かを検出する姿勢検出器と、
前記回転搬送体又は前記移動搬送体を前記第２の位置と、前記電子部品の良否を検査する回転測定ロボットとの間に移動する移動機構と、
前記姿勢検出器の検出結果に応じて前記電子部品が正しい姿勢で配置されていないときに、前記移動機構を動作させて前記回転搬送体を振動させ又は前記移動搬送体を往復動作させる姿勢修正機構と、を設けた
ことを特徴とするＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置。
【請求項２】
前記回転搬送体の前記移動機構は、前記回転搬送体を、前記第２の位置を通る軌道上に巡回させる回転テーブルと、
前記回転テーブルを回転駆動するテーブル駆動機構と、を備え、
前記姿勢修正機構は、前記テーブル駆動機構により前記回転テーブルを微振動させるようにした
ことを特徴とする請求項１記載のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置。
【請求項３】
前記移動搬送体の前記移動機構は、前記移動搬送体を、前記第２の位置を通る軌道上に往復移動させる往復移動機構を備え、
前記姿勢修正機構は、前記往復移動機構により前記移動搬送体を往復移動させて微振動させるようにした
ことを特徴とする請求項１記載のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置。
【請求項４】
前記姿勢修正機構による前記回転搬送体又は前記移動搬送体の微振動は、振幅を０．５ｍｍから１．０ｍｍの範囲内とし、振動時間を０．５秒から２．０秒の範囲内に設定した
ことを特徴とする請求項２又は３記載のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置。
【請求項５】
電子部品をトレイの第１ポケットと回転搬送体又は移動搬送体の第２ポケットとの間に搬送するＩＣハンドラであって、
ロボットハンドにより吸着保持されて回転搬送体又は移動搬送体のポケットに収納された電子部品の姿勢を姿勢検出器で検出して姿勢の良否を判定し、
前記判定結果に応じて前記電子部品が前記ポケットに対して正しい姿勢で配置されていないときに、前記回転搬送体又は前記移動搬送体を微振動させて前記電子部品を前記ポケットに正しい姿勢で配置するように修正する
ことを特徴とするＩＣハンドラの電子部品姿勢修正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップ等の電子部品をトレイと測定部との間に搬送させるＩＣハンドラに関し、特に、搬送ミスによるポケット（収納部）に対する電子部品の姿勢の不良を修正してポケットに正しい姿勢で配置させる電子部品姿勢修正装置及び電子部品姿勢修正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体チップ等の電子部品の良否を検査する電子部品検査装置には、検査する電子部品をトレイから測定部まで搬送するためのＩＣハンドラ（搬送用ロボット）と、測定検査後に、電子部品を測定部からトレイに戻すためのＩＣハンドラが使用されている。
【０００３】
このようなＩＣハンドラとしては、例えば、特許文献１に記載されているようなものがある。特許文献１には、トレイと電子部品検査装置との間で電子部品を移動させるＩＣハンドラに関するものが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３３７０４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この特許文献１に記載されたＩＣハンドラは、多数の電子部品が収納されたトレイが位置付けられる部品領域と、電子部品が装填される検査用ソケットを有する検査領域と、この検査領域と部品領域との間で電子部品を移動させる部品移動装置とを備えている。部品領域は、平面視において検査領域から離間する方向とは直交する方向に複数並べて設けられ、部品移動装置は、部品領域のトレイと検査用ソケットとの間で電子部品を放すことなく吸着しながら移動する吸着ノズルを備えていることを特徴としている。
【０００６】
このＩＣハンドラによれば、部品移動装置がトレイを越えて検査用ソケット側から離間する方向に移動することなく、全ての電子部品をトレイと検査用ソケットとの間で移動させることができる。そのため、従来のＩＣハンドラに比べてタクトタイムを短縮することができる。
【０００７】
しかしながら、このようなＩＣハンドラを備えた電子部品検査装置においては、ＩＣハンドラによる電子部品の搬送ミスが生じると、その搬送ミスを自動的に修正する機構・装置が存在せず、その搬送ミスを作業者が手作業で修正する必要があった。
【０００８】
この点を説明すると、次のようなことである。
一般に、半導体チップ等の電子部品の検査装置には、電子部品を搬送するための複数のＩＣハンドラが備えられている。このＩＣハンドラは電子部品を吸着して保持するための吸着ノズルを有しており、この吸着ノズルを用いて複数のＩＣハンドラによる電子部品の受け渡しが、トレイと回転搬送体との間で行われる。そして、測定前の電子部品は、回転搬送体から測定を行うための測定部のテストソケットに搬送され、測定が済んだ後、電子部品はテストソケットから回転搬送体を経て回収トレイに回収されるようになっている。
【０００９】
具体的には、供給トレイのポケットに収納された電子部品は、ＩＣハンドラの供給ロボットハンドの吸着ノズルにより吸着保持され、回転搬送体又は移動搬送体に搬送されて、凹陥部からなるポケットに収納される。回転搬送体又は移動搬送体のポケットに収納された電子部品は、搬送ロボットにより吸着保持され、測定部のテストソケットに搬送され、そのテストソケットのポケットで所定の測定が行われる。その測定後、測定済の電子部品は、再び搬送ロボットにより吸着保持され、回転搬送体又は移動搬送体のポケットに搬送される。そして、所定位置において、回収ロボットハンドにより吸着保持され、測定部における測定結果に応じて所定の回収トレイのポケットに離脱して収納されるようになっている。
【００１０】
この場合、供給ロボットハンド又は回収ロボットハンドによって搬送される電子部品は、回転搬送体又は移動搬送体のいずれの場合にも、ポケットの所定位置に正しい姿勢で配置される必要がある。ポケットに電子部品が正しい姿勢で配置されていない場合には、吸着ノズルで電子部品を吸着して保持することができなくなり、その電子部品を回転搬送体又は移動搬送体のポケットまで搬送することができないからである。
【００１１】
一般に、回転搬送体及び移動搬送体のポケットは、検査対象である電子部品よりも少し大きな四角形の凹陥部として形成されている。そして、ポケットの縁には内側に傾斜したテーパ部が設けられており、このテーパ部で電子部品の各辺をガイドして、ポケット内に電子部品が正しい姿勢で配置されるようにしている。
【００１２】
しかしながら、稀に数千から数万回に１回程度の割合で電子部品が、回転搬送体又は移動搬送体のポケットのテーパ部に引っ掛かり、電子部品がポケット内に正しい姿勢で配置されないという問題が生じていた。このような場合は、その電子部品を吸着ノズルによって吸着することができなくて電子部品の搬送ミスとなり、ＩＣハンドラの動作が停止される原因となっていた。この搬送ミスを解消するためには、作業者が人手によって電子部品を取り除くか、或いは、人手によってポケット内に電子部品を挿入して正しい姿勢に置き直す必要があり、いずれの場合においても、電子部品検査装置の稼働が一時的に停止されるという問題があった。
【００１３】
このような電子部品検査装置の稼働が停止されるのを防止する手段としては、例えば、次のような方法が考えられる。その方法の１は、回転搬送体又は移動搬送体のポケットの大きさを、検査する電子部品よりも十分に大きくあけて電子部品の縁がポケットの縁に接触することなくポケットに収納されるようにし、その後、ポケットを狭めて電子部品がポケットの中央部に正しい姿勢で配置されるようにする場合である。また、その方法の２は、電子部品をカメラで撮像してその位置及び姿勢を算出し、その位置及び姿勢の良否を判定して、正しい姿勢で所定の位置に配置されていない場合に、その位置及び姿勢を修正する方法が考えられる。
【００１４】
しかしながら、方法１による場合では、ポケットの大きさを広狭変化させるための機構が必要となり、方法２ではカメラが必要となる。そのため、方法１及び方法２のいずれの場合においても、それらの機構を実現するために回転搬送体及び移動搬送体その他の構造が複雑なものとなり、回転搬送体等を含むＩＣハンドラの機構が複雑なものとなって電子部品検査装置のコストアップを招くという課題があった。
【００１５】
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであり、新たな機構を設けることなく従来からある機構を利用して、電子部品が回転搬送体又は移動搬送体のポケットのテーパ部に引っ掛かり、ポケット内に正しい姿勢で電子部品が配置されなかった場合には、回転搬送体又は移動搬送体を振動又は移動させて電子部品をポケット内に正しい姿勢で配置できるようにする。これにより、ＩＣハンドラによる電子部品の搬送ミスを解消し、電子部品の搬送効率を高めて検査効率を向上させることができるＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置及び電子部品姿勢修正方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、電子部品を第１の位置におけるトレイの第１ポケットと、第２の位置における回転搬送体又は移動搬送体の第２ポケットとの間に搬送するＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置に関する。この電子部品姿勢修正装置は、電子部品を吸着保持して第１ポケットと第２ポケットとの間に搬送するロボットハンドと、第２の位置において第２ポケットに収納された電子部品が正しい姿勢で配置されているか否かを検出する姿勢検出器と、回転搬送体又は移動搬送体を第２の位置と、電子部品の良否を検査する回転測定ロボットとの間に移動する移動機構と、姿勢検出器の検出結果に応じて電子部品が正しい姿勢で配置されていないときに、移動機構を動作させて回転搬送体を振動させ又は移動搬送体を往復移動させる姿勢修正機構を設けたことを特徴としている。
【００１７】
回転搬送体の移動機構は、回転搬送体を、第２の位置を通る軌道上に巡回させる回転テーブルと、回転テーブルを回転駆動するテーブル駆動機構を備え、姿勢修正機構は、テーブル駆動機構により回転テーブルを微振動させるように構成するとよい。
【００１８】
移動搬送体の移動機構は、移動搬送体を、第２の位置を通る軌道上に往復移動させる往復移動機構を備え、姿勢修正機構は、往復移動機構により移動搬送体を往復移動させて微振動させるように構成するとよい。
【００１９】
姿勢修正機構による回転搬送体又は移動搬送体の微振動は、振幅を０．５ｍｍから１．０ｍｍの範囲内とし、振動時間を０．５秒から２．０秒の範囲内に設定することが好ましい。
【００２０】
また、本発明は、電子部品をトレイの第１ポケットと回転搬送体又は移動搬送体の第２ポケットとの間に搬送するＩＣハンドラの電子部品姿勢修正方法に関する。この電子部品姿勢修正方法は、ロボットハンドにより吸着保持されて回転搬送体又は移動搬送体のポケットに収納された電子部品の姿勢を姿勢検出器で検出して姿勢の良否を判定し、判定結果に応じて電子部品がポケットに対して正しい姿勢で配置されていないときに、回転搬送体又は移動搬送体を微振動させて電子部品をポケットに正しい姿勢で配置するように修正するようにしたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置及び電子部品姿勢修正方法によれば、電子部品の姿勢を修正するための複雑な構造・機構をＩＣハンドラに追加したり、より正確な電子部品の位置決め制御を行うことなく、電子部品が収納されるポケットを有する回転搬送体又は移動搬送体を振動又は移動させるだけの簡単な機構・方法により、電子部品の搬送ミスを修正してポケットに正しい姿勢で配置させることができるという効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置の第１の実施例の概略構成を示す説明図である。
【図２】図１に示す電子部品検査装置のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を説明するための断面図である。
【図３】図１に示す電子部品検査装置のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置に用いた回転搬送体を説明するもので、図３Ａは回転搬送体のポケットに電子部品が正しい姿勢で配置された状態を示す平面部、図３Ｂは図３ＡのＶ−Ｖ線断面図、図３Ｃは回転搬送体のポケットに電子部品が不正に配置された状態を示す平面部、図３Ｄは図３ＣのＷ−Ｗ線断面図である。
【図４】本発明のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置の第１の実施例の概略構成を示すブロック図である。
【図５】本発明のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置の第１の実施例の動作を説明するフローチャートである。
【図６】図５に示すフローチャート内の微振動の動作を説明するフローチャートである。
【図７】本発明のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置の第２の実施例の概略構成を示す説明図である。
【図８】図７に示す電子部品検査装置のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を説明するための説明図である。
【図９】図７に示す電子部品検査装置のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置に用いた移動搬送体を説明するもので、図９Ａは移動搬送体のポケットに電子部品が正しい姿勢で配置された状態を示す平面部、図９Ｂは図９ＡのＸ−Ｘ線断面図、図９Ｃは移動搬送体のポケットに電子部品が不正に配置された状態を示す平面部、図９Ｄは図９ＣのＹ−Ｙ線断面図である。
【図１０】本発明のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置の第２の実施例の概略構成を示すブロック図である。
【図１１】本発明のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置の第２の実施例の動作を説明するフローチャートである。
【図１２】図１１に示すフローチャート内の往復移動による微振動を説明するフローチャートである。
【図１３】本発明のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置の制御部の概略構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に、図１乃至図１３を参照して、本発明のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置の実施の例を説明する。
まず、本発明のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置の第１の実施例について、図１乃至図６及び図１３を参照して説明する。
【００２４】
図１に示すように、本発明の第１の実施例に係るＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置１は、トレイ部２と、ＩＣハンドラ３と、測定部４と、制御部５とを備えて構成されている。
【００２５】
まず、電子部品検査装置１によって製品の良否が検査される検査対象である製品としての電子部品６について説明する。この電子部品６としては、例えば、ＱＦＰ（Quad Flat Package）やＱＦＮ（Quad Flat No-lead Package）を挙げることができる。この第１の実施例においては、外形寸法が４ｍｍの角型をなすパッケージを有するＱＦＰ、ＱＦＮを適用している。
【００２６】
図１に示すように、トレイ部２は、供給トレイ１０と回収第一トレイ１１と回収第二トレイ１２と回収第三トレイ１３と回収用空トレイ１４と、トレイ搬送器１５とを備えている。供給トレイ１０は十数枚が重ね合されて用いられており、収納されている電子部品６が空になった状態において、上側から順番に自動的に１枚ずつ取り出し可能とされている。各トレイ１０〜１４の単体は同一のものが使用されており、長方形をなす平板状の板体からなっている。
【００２７】
各トレイ１０〜１４は、その上面に電子部品６を個別に収納することができる多数の収納部であるポケット１６が碁盤の目のように整列されて設けられている。各ポケット１６は、適用される電子部品６よりも少し大きな相似形をなす四角形の凹陥部として形成されている。各ポケット１６の四辺の縁には内向きに傾斜されたテーパ部が設けられており、そのテーパ部で電子部品６の対応する辺をガイドして、電子部品６がポケット１６に正しい姿勢で配置されるように構成されている。
【００２８】
供給トレイ１０と回収第一トレイ１１と回収第二トレイ１２と回収用空トレイ１４は横並びに整列されて配置されており、回収用空トレイ１４と向き合う位置に回収第三トレイ１３が配置されていて、全体としてＬ字状の配置構造となっている。供給トレイ１０には、電子部品６が所定の機能・性能を有しているか否かを測定する検査対象としての多数の電子部品６が、１つのポケットに１個ずつそれぞれ収納されている。回収第一トレイ１１は、測定済の電子部品のうち測定結果が所定の機能・性能を有していると判定された良品である電子部品６を収納するためのものである。
【００２９】
回収第二トレイ１２は、測定済の電子部品のうち測定結果が所定の機能・性能を有していないが、その不備な点が軽度であると判定された電子部品６を収納するためのものである。ここで「軽度の不良品」としては、例えば、測定値が合否の判断基準から若干劣っており、測定のやり直しが必要と考えられる電子部品等が該当する。この回収第二トレイ１２に回収された電子部品６は、測定結果としての不具合が軽微であることから再検査に回され、再度の測定が行われる。
【００３０】
回収第三トレイ１３は、測定済の電子部品のうち測定結果が所定の機能・性能を有しておらず、その不備な点が重大は事項であると判定された電子部品６を収納するためのものである。ここで「重度の不良品」としては、例えば、パッケージに大きな傷があって製品として不適当である場合、或いは、測定値が合否の判定基準から大きく外れており、若しくは、測定不能であって、明らかに不具合な製品であると考えられる電子部品等が該当する。この回収第三トレイ１３に回収された電子部品６は、再度の測定を行うことなく不良品として処理される。
【００３１】
回収用空トレイ１４は、回収第一トレイ１１から回収第三トレイ１３までのいずれかのトレイに対して必要に応じて補充されるもので、トレイの全てのポケット１６に電子部品６が回収された場合等に交換用のトレイとして使用される。この回収用空トレイ１４のポケットは、当初はすべて空になっている。
【００３２】
トレイ搬送器１５は、トレイを１枚ずつ吸着及び離脱することができる吸着パッド２０と、その吸着パッド２０を搬送するためのパッド支持アーム２１とを備えている。パッド支持アーム２１は、横並びに配置された供給トレイ１０、回収第一トレイ１１、回収第二トレイ１２及び回収用空トレイ１４の４種類のトレイ間を移動できるように第１の方向（以下「X軸方向」という。）に移動可能に構成されている。
【００３３】
このパッド支持アーム２１によって移動される吸着パッド２０は、通常は、各トレイ１０〜１２，１４に対して、その略中央部に配置される構成となっているが、平面方向においてX軸方向と直交する第２の方向であるＹ軸方向へ位置調整可能に構成されている。このトレイ搬送器１５は、電子部品６がすべて搬送されて空になった供給トレイ１０を回収用空トレイ１４に搬送したり、空になった供給トレイ１０を、すべてのポケット１６が電子部品６で満杯になった回収第一トレイ１１〜回収第三トレイ１３上に搬送し、そのトレイ上に重ね合わせる。このように搬送された供給トレイは、新たな回収トレイとして使用される。
【００３４】
また、平面から見てＬ字状に配置された５組のトレイ１０〜１４に関連してＩＣハンドラ３が配設されている。ＩＣハンドラ３は、電子部品６を吸着保持して搬送する供給ロボットハンド３１及び回収ロボットハンド３２と、３個の回転搬送体３３，３４，３５を備えた回転テーブル３６と、この回転テーブル３６を回転駆動するテーブル駆動機構３７と、３個の回転搬送体３３，３４，３５のポケット６０に配置された電子部品６の姿勢の良否を検出する２組の姿勢検出器３８、３９等を備えている。
【００３５】
ここで、供給トレイ１０及び回収第一トレイ１１と回収第二トレイ１２と回収第三トレイ１３の各ポケット１６を第１ポケットと定義し、３個の回転搬送体３３〜３５のポケット６０を第２ポケットと定義して使用する。また、供給ロボットハンド３１が供給トレイ１０の第１ポケット６０から電子部品６を吸着保持する位置のすべてと、回収ロボットハンド３２が回収第一トレイ１０〜回収第三トレイ１３の第１ポケット６０に電子部品６を収納する位置のすべてを第１の位置と定義する。そして、供給ロボットハンド３１が電子部品６を各回転搬送体３３〜３５の第２ポケット６０に配置する位置と、回収ロボットハンド３２が第２ポケット６０から電子部品６を吸着保持する位置を第２の位置と定義するものとする。
【００３６】
供給ロボットハンド３１と回収ロボットハンド３２は、ロボットアーム４１の長手方向の両端に設けられている。両ロボットハンド３１，３２は、電子部品６を吸着して保持したり、保持している電子部品６を離脱することができる吸着ノズル４２をそれぞれ備えている。２つの吸着ノズル４２，４２は、Ｘ軸とＹ軸を有する平面方向と垂直をなす第３の方向であるＺ軸方向へ別個独立に移動可能であって、電子部品６を別個独立に吸着・離脱可能に構成されている。
【００３７】
移動ベース４４は、図示しないタイミングベルトによってＸ軸方向へ移動可能に構成されている。そのタイミングベルトは、Ｘ軸方向に延在されているガイドレール４５にガイドされてその長手方向へ無端状に走行可能とされている。この移動ベース４４がＸ軸方向へ移動することにより、供給ロボットハンド３１が供給トレイ１０の幅方向の一端から他端まで移動可能であり、回収ロボットハンド３２は回収第一トレイ１１の一端から回収第二トレイ１２を経て回収第三トレイ１３の他端まで移動可能とされている。
【００３８】
ガイドレール４５の長手方向の両端にはスライド軸受４６が夫々取り付けられている。各スライド軸受４６には、Ｙ軸方向へ延在されたガイドバー４７が夫々貫通されている。図１において、符号４８は、ガイドレール４５をＹ軸方向へ往復移動させるための駆動モータであり、この駆動モータ４８の回転軸４８aがＸ軸方向に延在されている。回転軸４８aの軸方向の両端にはベルト車４９が取り付けられている。各ベルト車４９には伝動ベルト４９aの一端が掛け止められており、伝動ベルト４９aの他端はＹ軸方向に延在されて図示しないベルト車に掛け止められている。この一対の伝動ベルト４９aに一対のスライド軸受４６が夫々固定されている。
【００３９】
かくして、駆動モータ４８の駆動によって回転軸４８aが回転駆動されると、その回転力が左右のベルト車４９から左右の伝動ベルト４９aに伝達される。その結果、駆動モータ４８の回転方向に応じて、一対のガイドバー４７にガイドされてガイドレール４５がＹ軸方向へ移動される。このガイドレール４５によるＹ軸方向への移動と、ガイドレール４５の長手方向に沿って移動する移動ベース４４の動作を介して、供給ロボットハンド３１及び回収ロボットハンド３２が、供給トレイ１０及び回収第一トレイ１１から回収第三トレイ１３までの全てのポケットの上方、並びに、回転テーブル３６の上方に移動可能とされている。
【００４０】
図１及び図２に示すように、回転テーブル３６は水平方向へ回転自在に支持されていると共に、テーブル駆動機構３７によって回転自在に構成されている。テーブル駆動機構３７は、駆動モータ５０と駆動プーリ５１と伝動ベルト５２等を備えている。駆動モータ５０は、モータブラケット５３を介して装置フレーム５４に回転軸５０aの軸方向を上下方向へ向けた状態で固定されている。その駆動モータ５０の回転軸５０aに駆動プーリ５１が固定されており、その駆動プーリ５０aに伝動ベルト５２の一端が掛け止められている。伝動ベルト５２の他端は、回転テーブル３６に設けたプーリ部３６aに掛け止められている。
【００４１】
駆動モータ５０としては、例えば、ステッピングモータを適用することができ、入力信号に応じて、回転テーブル３６を１２０度連続回転させたり、微小角度を往復させて微振動を生じさせることができるものである。回転テーブル３６の上面には３個の回転搬送体３３，３４，３５が、周方向に等角度（１２０度）間隔をあけて回転自在に支持されている。３個の回転搬送体３３〜３５は、遊星ギア列５５によって同一位相で回転するようになっている。遊星ギア列５５は、回転テーブル３６と同一の回転中心を有する太陽ギア５６と、この太陽ギア５６の外周に等角度間隔で配置された３個の遊星ギア５７と、３個の回転搬送体３３〜３５に夫々設けられたギア部５８とによって構成されている。
【００４２】
遊星ギア列５５の太陽ギア５６は回転テーブル３６の回転中心部に一体的に設けられており、この太陽ギア５６の外周に３個の遊星ギア５７が噛合されていて、その３個の遊星ギア５７が３個の回転搬送体３３〜３５の各ギア部５８に噛合されている。３個の遊星ギア５７は、回転テーブル３６の上面に立設された枢軸によって回転テーブル３６に回転自在に支持されている。
【００４３】
かくして、テーブル駆動機構３７によって回転テーブル３６を回転すると、これと一体の太陽ギア５６が同じ角度だけ回転し、その回転力が３個の遊星ギア５７を介して３個のギア部５８に伝達される。これにより、３個の回転搬送体３３〜３５が、回転テーブル３６の回転角度と等しい角度だけ太陽ギア５６の外側を公転しつつ、その回転角度に応じた角度だけ遊星ギア５７の外側で自転する。この３個の回転搬送体３３〜３５の回転比率は、回転テーブル３６が１２０度回転したときに、３個の回転搬送体３３〜３５が１回転自転するように構成されている。
【００４４】
３個の回転搬送体３３〜３５の回転移動に関して、いずれか２個の回転搬送体を結ぶ線がＸ軸と平行をなすように配置され、かつ、残り１個の回転搬送体が、その結ぶ線の中間部においてＹ軸方向の延長線上に位置するとき、この位置を本実施例において「第２の位置」と定義するものとする。３個の回転搬送体３３〜３５は、通常では、この第２の位置を確保するように１２０度を単位として回転移動される。
【００４５】
３個の回転搬送体３３〜３５は、同一の形状・構造を有するものであり、円盤状をなす本体の上面の中央部に四角形をなす凹陥部からなるポケット６０が設けられている。図３Ａ〜３Ｄに示すように、回転搬送体３３〜３５のポケット６０は、検査対象である電子部品６よりも少し大きな四角形の凹陥部として形成されている。そして、ポケット６０の四辺の縁には内側に傾斜したテーパ部６１がそれぞれ設けられており、これらのテーパ部６１で電子部品６の各辺をガイドすることにより、ポケット６０内の所定位置に電子部品６が正しい姿勢で配置される（図３Ａ〜３Ｂの状態）ように構成している。
【００４６】
電子部品６を収納するポケット６０の形状及び寸法は、測定する電子部品６の形状や大きさ（サイズ）によって異なるが、その開口部の大きさは、その電子部品６を載置させるために必要な載置部の寸法に約０．５ｍｍから０．６mmの許容値を加えた寸法に設定することが好ましい。このように開口部の大きさを、電子部品６の大きさに０．５ｍｍ〜０．６ｍｍの許容値を加えたものに設定すれば、電子部品６がポケット６０に完全に収納されることにより、電子部品６のすべての端子を所定の端子に接続させて測定を行うことが可能となるからである。
【００４７】
なお、電子部品６のテーパ部６１の傾斜角度は、１８度から２５度の範囲内に設定することが好ましい。テーパ部６１の傾斜角度が１８°以上２５°以下の範囲内であれば、高い搬送位置精度を必要とすることがなく、電子部品６がポケット６０のテーパ部６１に引っ掛かるように配置された場合であっても、電子部品６の自重によって載置部に滑り込み、所定の載置部に正しい姿勢で配置させることができるというメリットがある。
【００４８】
３個の回転搬送体３３〜３５の上面には、中央部に形成されたポケット６０を貫通して直径方向の一端から他端まで連続する測光溝６２が設けられている。測光溝６２は、ポケット６０に収納された電子部品６の姿勢の良否を検出するために使用されるもので、ポケット６０の一方に対向する二辺の中央部において、その辺と直交する方向に延在されている。３個の回転搬送体３３〜３５の測光溝６２は、第２の位置においてＸ軸と平行する方向に延在されている。更に、第２の位置において、供給トレイ１０に対して最も近い場所に位置する回転搬送体と、回収第二トレイ１２に対して最も近い場所に位置する回転搬送体に関連して、各回転搬送体に配置されている電子部品６の姿勢の良否を測定する姿勢検出器３８，３９が設けられている。
【００４９】
図２及び図３Ａ〜３Ｄに示すように、姿勢検出器３８，３９は同一の構成を有する光電センサであり、回転搬送体を挟んで測光溝６２の一側の外側に配置される発光素子６４と、回転搬送体を挟んで測光溝６２の他側の外側に配置される受光素子６５とによって構成されている。発光素子６４としては、例えば発光ダイオードを適用することができ、受光素子６５としては例えばフォトダイオードを適用することができる。発光素子６４は、その発光部を測光溝６２の一側に臨ませるように配置されており、受光素子６５は、その受光部を測光溝６２の他側に臨ませるように配置されている。
【００５０】
発光素子６４と受光素子６５は、図１及び図２に示すように、回転テーブル３６を回転自在に支持する装置フレーム５４に固定されており、発光素子６４と受光素子６５が移動することはない。同図において、符号６６は発光素子６４を固定支持するブラケットであり、符号６７は受光素子６５を固定支持するブラケットである。
【００５１】
図３Ａ及び図３Ｂは、電子部品６が回転搬送体３３〜３５のポケット６０に正しい姿勢で配置されている状態を示すものである。この場合には、発光素子６４から放射された光は電子部品の上方を通過することができ、その光は電子部品６で進行を邪魔されることなく受光素子６５によって受光される。これに対して、図３Ｃ及び図３Ｄは、電子部品６が回転搬送体３３〜３５のポケット６０に正しくない姿勢で配置されている状態を示すものである。この場合には、発光素子６４から放射された光は電子部品によって進行が遮断されるため、その光が受光素子６５によって受光されることがない。この受光素子６５が光信号を受ける場合には姿勢検出器３８，３９からオン信号が出力され、受けない場合にはオフ信号が出力される。
【００５２】
このように回転動作する回転テーブル３６に搭載されている３個の回転搬送体３３〜３５に関連して、その側方に位置するように測定部４が設けられている。測定部４は、電子部品６の良否を測定するテストソケット７０と、このテストソケット７０と回転搬送体との間に電子部品６を搬送する回転測定ロボット７１を備えている。
【００５３】
テストソケット７０は、電子部品６の性能の良否を測定するものである。このテストソケット７０の所定位置に電子部品６を配置することにより、その配線回路に電子部品６の端子が接続され、その電子部品６が所定の性能・機能を有しているか否かを測定することが可能に構成されている。
【００５４】
回転測定ロボット７１は、装置フレーム５４に立設された回転枢軸７２と、この回転枢軸７２に回転自在に支持された円筒状をなす回転体７３と、この回転体７３に設けられた一対の搬送ロボット７４，７５と、各搬送ロボット７４，７５に設けられた吸着ノズル７６等を備えて構成されている。
【００５５】
回転体７３は、図示しない駆動モータの駆動力により、回転枢軸７２を回転中心として１８０度往復回転可能に構成されている。一対の搬送ロボット７４，７５は、回転体７３の外周面であって、１８０度回転変位した位置において半径方向外側へ突出するように配置されており、更に、それぞれが別個独立に上下方向へ昇降移動可能に構成されている。一対の搬送ロボット７４，７５は、３個の回転搬送体３３〜３５のいずれかとテストソケット７０との間に電子部品６を搬送するもので、回転枢軸７２を中心として第２の位置に位置する一の回転搬送体に対して１８０度回転変位した位置であって、第２の搬送ロボット７５の下方にテストソケット７０が配設されている。
【００５６】
各搬送ロボット７４，７５の中心部には、電子部品６を吸着保持することが可能な吸引口を下方へ向けた状態で吸着ノズル７６が保持されている。一対の搬送ロボット７４，７５のうち、一方の搬送ロボットの吸着ノズル７６は回転搬送体のポケット６０に対向され、他方の搬送ロボットの吸着ノズル７６はテストソケット７０のポケットに対向される。これら一対の搬送ロボット７４，７５のうち、第１の搬送ロボット７４は、回転搬送体のポケット６０に収納されている電子部品を吸引保持して搬送し、テストソケット７０のポケットに収納するもので、第２の搬送ロボット７５は、テストソケット７０のポケットに収納されている電子部品を吸引保持して搬送し、回転搬送体のポケット６０に離脱収納するものである。上述した構成を備えた電子部品検査装置１の概略構成を図４のブロック図として示している。
【００５７】
このような構成を有する電子部品検査装置１の測定部４、ＩＣハンドラ３及びトレイ部２の動作は、制御部５により制御されて所定の動作を実行する。制御部５は、図１３に示すような構成を有している。即ち、図１３に示すように、制御部５は、制御装置８０と表示装置８１と入力装置８２等を備えて構成されている。
【００５８】
表示装置８１は、例えば、液晶ディスプレイ等の画像を表示することが可能な装置によって構成される。この表示装置８１には、例えば、電子機器６の測定結果その他の情報を表示することができる。入力装置８２は、例えば、タッチパネル等の情報を入力することが可能な装置によって構成される。この入力装置８２には、制御装置８０を制御するためにオペレータの操作によって制御情報が入力される。制御装置８０は、ＣＰＵ８３とハードディスクドライブ８４とＩＯ制御基板８５と表示処理部８６とモータ制御基板８７と入力インタフェース８８とＲＡＭ８９等を備えており、これらがバス９０を介してそれぞれ電気的に接続されている。
【００５９】
この制御装置８０には、姿勢検出器３８，３９及びその他各種のセンサからなるセンサ類９１と、電源スイッチ及びその他各種のスイッチからなるスイッチ類９２と、吸着ノズル４２や吸着ノズル７６等の電磁シリンダ類９３と、回転テーブル３６を駆動する駆動モータ５０や回転測定ロボット７１を回転動作するモータその他のモータ類９４を駆動するモータドライバ類９５が接続されている。ＣＰＵ８３は、ＩＯ制御基板８５を介してセンサ類９１及びスイッチ類９２の状態を監視しながら、モータ制御基板８５の作動を介して、該当するモータ類９４や電磁シリンダ類９３を駆動することにより、供給ロボットハンド３１及び回収ロボットハンド３２を動作させて電子部品６を搬送する。
【００６０】
ハードディスクドライブ８４は、この電子部品検査装置１の動作を制御するためのＯＳ（オペレーションシステム）や、ＩＣハンドラ３の各種データに基づき当該ＩＣハンドラ３の動作を制御するためのＩＣハンドラ制御プログラム等を読み出し可能に記憶している。ハードディスクドライブ８４に記憶されたハンドラ制御プログラムは、ＲＡＭ８９に読み出される。ＩＯ制御基板８５は、ＩＣハンドラ３のセンサ類９１の状態やスイッチ類９２の状態を読み込んだり、電磁シリンダ類９３の動作の制御を行う。表示処理部８６には表示装置８１が接続されており、入力情報や演算情報等を処理して表示装置８１に表示する。
【００６１】
モータ制御基板８７は、モータ類９４の複数のモータの制御が可能である。入力インタフェース８８には入力装置８２が接続されており、入力装置８２に入力された信号をＣＰＵ８３やＲＡＭ８９に渡す。この入力装置８２への情報入力、或いは、ＩＯ制御基板８５を介したセンサ類９１及びスイッチ類９２からの情報入力により、ＩＣハンドラ３の起動及び停止操作が行われる。ＲＡＭ８９は、プログラムやデータを記憶する領域として、或いは、ＣＰＵ８３による処理に使用するデータを格納する作業領域として利用される。
【００６２】
このような構成を有する電子部品検査装置１の動作の概略は、次のようなものである。
供給ロボットハンド３１は、供給トレイ１０の先頭に移動し、上下動作を行って供給トレイ１０の第１の位置にある電子部品６を吸着保持する。そして、供給ロボットハンド３１が電子部品６を第１の回転搬送体３３まで搬送し、上下動作してそのポケット６０に電子部品６を収納する。同時に、回収ロボットハンド３２は上下動作し、第３の回転搬送体３５のポケット６０に収納されている測定後の電子部品６を吸着保持する。そして、回収ロボットハンド３２は測定の結果に応じて、回収第一トレイ１１と回収第二トレイ１２と回収第三トレイ１３のいずれかの位置まで搬送し、上下動作してそのポケット１６に電子部品６を離脱して収納する。
【００６３】
次に、供給ロボットハンド３１は、供給トレイ１０の次のポケット１６の位置に移動する。このように供給ロボット３１は、指定された供給トレイ１０の電子部品６が無くなるまで、この電子部品６の供給動作を繰り返す。
【００６４】
第１の回転搬送体３３のポケット６０に配置された電子部品６は、回転テーブル３６を１２０度回転させることによって第２の回転搬送体３４の位置に移動する。この位置にある第２の回転搬送体３４のポケット６０には、すでに測定が行われた後の電子部品６がある場合にはその電子部品６が収納されており、回転テーブル３６の１２０度回転によって第３の回転搬送体３５の位置まで搬送される。そして、第３の回転搬送体３５の位置に移動してきた回収ロボットハンド３２により、電子部品６が吸着保持され、測定結果に応じて、対応する回収トレイまで搬送され、そのポケット１６に離脱収納することにより回収が行われる。
【００６５】
一方、回転測定ロボット７１は、第２の回転搬送体３４のポケット６０に配置された電子部品６を第１の搬送ロボット７４によって吸着保持する。次に、回転測定ロボット７１は、回転体７３を１８０度回転し、テストソケット７０の所定位置に電子部品を載置して測定を開始する。これと同時に、測定後の電子部品６が第２の搬送ロボット７５により吸着保持された後、回転体７３の１８０度回転によって第２の回転搬送体３４の位置に移動し、そのポケット６０に測定後の電子部品６を離脱して収納する。この第２の回転搬送体３４のポケット６０に収納された電子部品６が、回転テーブル３６の１２０度回転によって第３の回転搬送体３５の位置まで移動し、この位置から回収ロボットハンド３２によって該当する回収トレイに回収される。
【００６６】
このような構成を有する電子部品検査装置１の詳細な動作は、例えば、次のようなものである。図５及び図６は、電子部品検査装置１における制御部５の動作のフローチャートを示すものである。この場合、予め、供給トレイ１０には、測定対象である電子部品のポケット１６に収納されているトレイを十数枚重ねて配置させておくようにする。これに対して、回収第一トレイ１１と回収第二トレイ１２と回収第三トレイ１３には、ポケットが空となっているトレイを夫々配置し、回収用空トレイ１４にはポケットが空となっているトレイを数枚重ねて配置させておく。一般に、このようなトレイの配置状態において、電子部品６の性能・機能の測定が開始される。
【００６７】
図５に示すように、電子部品６の供給収納が開始されると、まず、ステップＳ１において、供給ロボットハンド３１が供給トレイ１０へ移動する。これは、ガイドレール４５をＹ軸方向へ移動させると共に移動ベース４４をＸ軸方向へ移動させて、供給ロボットハンド３１の吸着ノズル４２を供給トレイ１０の第１の位置にあるポケット１６の上方へ位置させることによって実行される。次に、ステップＳ２に移行して、供給ロボットハンド３１の吸着ノズル４２によって製品である電子部品６を吸着して保持する。次に、ステップＳ３に移行して、供給ロボットハンド３１を第２の位置にある第１の回転搬送体３３まで搬送する。この動作も、ガイドレール４５をＹ軸方向へ移動させると共に移動ベース４４をＸ軸方向へ移動させることによって実行される。
【００６８】
次に、ステップＳ４に移行して、供給ロボットハンド３１の吸着ノズル４２で保持している電子部品６を、第１の回転搬送体３３のポケット６０に収納する。これは、吸着ノズル４２の吸引力を開放し、電子部品６の自重でポケット６０内に落下させることによって実行される。これと同時に、回収ロボットハンド３２の吸着ノズル４２により、第２の位置に位置する第３の回転搬送体３５のポケット６０に測定済の電子部品６が収納されている場合には、その電子部品６を吸着して保持する。この際、検査開始初期のように、第３の回転搬送体３５のポケット６０に電子部品６が収納されていない場合には、その吸着ノズル４２が電子部品６を保持することはない。
【００６９】
次に、ステップＳ５に移行して、第１の回転搬送体３３のポケット６０に収納されている電子部品６が、正しい姿勢で載置部に配置されているか否かを判定する。この電子部品６の姿勢の良否は、第３の回転搬送体３５に収納されている電子部品６に対しても行われるが、その判定手法は第１の回転搬送体３３の電子部品６に対するものと同一であるため、その説明は省略する。このステップＳ５の判定は、姿勢検出器３８（第３の回転搬送体３５の電子部品６に対するものは姿勢検出器３９による。）の検出信号に基づいて行われる。
【００７０】
即ち、図３Ａ及び３Ｂに示すように、電子部品６がポケット６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されている場合には、回転搬送体３３の測光溝６２の一側に配置されている姿勢検出器３８の発光素子６４から放射された光が電子部品６の上方を通過し、測光溝６２の他側に配置されている受光素子６５に入力される。これにより、電子部品６がポケット６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されていることを知ることができる。この場合には、次に、ステップＳ８に移行する。
【００７１】
これに対して、図３Ｃ及び３Ｄに示すように、電子部品６の一辺がポケット６０の縁に引っ掛かってしまい、ポケット６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されていない場合には、測光溝６２の一側に配置されている発光素子６４から放射された光が電子部品６に衝突し、測光溝６２の他側に配置されている受光素子６５に入力されることがない。これにより、電子部品６がポケット６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されていないことを知ることができる。この場合には、次に、ステップＳ６に移行する。
【００７２】
ステップＳ６では、姿勢検出器３８による検出結果により、電子部品６がポケット６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されていないときには、回転搬送体３３を微振動させて電子部品６の姿勢を修正する。そして、ステップＳ７に移行して、電子部品６がポケット６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されているか否かを再度判定する。このステップＳ５からステップＳ７までの動作の詳細を図６に示す。
【００７３】
図６において、ステップＳ５Ａにより、光電センサである姿勢検出器３８の検出結果に基づいて、電子部品６がポケット６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されているか否かを判定する。この判定に際し、発光素子６４から放射された光が受光素子６５に入力された場合には、電子部品６がポケット６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されていると判定して、ステップＳ９に移行する。このステップＳ９では、テーブル駆動機構３７を動作させることによって回転テーブル３６を１２０度回転させる。
【００７４】
これに対して、発光素子６４から放射された光が受光素子６５に入力されない場合には、ステップＳ５Ｂに移行して、受光素子６５に光が入力されない時間が、発光素子６４から光が放射された時から所定時間を経過したか否かを判定する。この判定において、所定時間が経過していない場合には、ステップＳ５Ａに戻って、所定時間が経過するまで、この判定を繰り返す。一方、所定時間が経過している場合には、ステップＳ６Ａ及びステップＳ６Ｂに移行して、電子部品６の姿勢を正しくする姿勢修正操作を実行する。
【００７５】
ステップＳ６Ａでは、回転テーブル３６の動作を介して回転搬送体３３を微小時間正転させる。続いて、ステップＳ６Ｂに移行して、回転テーブル３６の動作を介して回転搬送体３３を微小時間逆転させる。そして、ステップＳ６Ｃに移行して、回転搬送体３３の正転動作と逆転動作とが所定時間以上行われたか否かを判定する。この判定において、回転搬送体３３を正逆転操作する時間が所定時間経過しない場合には、ステップＳ６Ａに戻り、所定時間が経過するまで微振動操作を繰り返す。これに対して、回転搬送体３３を正逆転操作する時間が所定時間経過した場合には、ステップＳ７Ａに移行する。
【００７６】
このステップＳ６に基づく回転搬送体３３の正逆転動作を繰り返す微振動の振幅は、０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下の範囲内が好ましい。ポケット６０微振動の振幅が０．５ｍｍ〜１．０ｍｍの範囲内であれば、その微振動によって電子部品６がポケット６０の載置部に配置される時間が実用的な範囲に収まり、電子部品６がポケット６０の開口縁から外側に飛び出すのを防ぐことができるというメリットがある。
【００７７】
回転搬送体３３の振動時間は、０．５秒以上２．０秒以下の範囲内であって、微振動の周波数が１００Ｈｚ以上２００Ｈｚ以下の範囲内が好ましい。ポケット微振動時間が０．５秒〜２．０秒の範囲内であれば、ポケット振動時間によるＩＣハンドラ３の搬送動作の低下を実用的な範囲内に収めることができる。そして、回転搬送体３３の振動周波数が１００Ｈｚ〜２００Ｈｚの範囲内であれば、電子部品がＩＣ、ＬＳＩ等であった場合に、微振動により電子部品内部の機能・特性等にダメージを与えることがないというメリットがある。
【００７８】
なお、常時、微振動を与えて電子部品を搬送する方法も考えられるが、その場合には、複数の搬送ロボットその他に過度の負担を与えるおそれがある。そのため、回転搬送体３３〜３５及び後述する移動搬送体のポケットへの収納ミスが生じた場合にのみ、微振動動作を与える方法が好ましい。
【００７９】
ステップＳ７Ａでは、姿勢検出器３８の検出結果に基づいて、電子部品６がポケット６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されているか否かを再度判定する。この判定により、発光素子６４から放射された光が受光素子６５に入力された場合には、電子部品６がポケット６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されていると判定して、ステップＳ９に移行する。これに対して、発光素子６４から放射された光が受光素子６５に入力されない場合には、ステップＳ７Ｂに移行して、受光素子６５に光が入力されない時間が、発光素子６４から光が放射された時から所定時間を経過したか否かを判定する。
【００８０】
この判定において、所定時間が経過していない場合には、ステップＳ７Ａに戻って、所定時間が経過するまで、この判定を繰り返す。一方、所定時間が経過している場合には、この微振動方法によっても電子部品６を正しい姿勢に修正できなかったものと判定し、警告メッセージを表示してＩＣハンドラ３の搬送動作を一時停止させる。そして、電子部品検査装置１の操作オペレータによって搬送ミスした電子部品６を取り除くか、電子部品の配置状態を改善し、再度搬送動作を繰り返すようにする。
【００８１】
次に、図５において、ステップＳ８に移行して、回転搬送体３４のポケット６０側に位置する回転測定ロボット７１の第１の搬送ロボット７４が上昇した位置にあるか否かと、テストソケット７０側に位置する第２の搬送ロボット７５が上昇した位置にあるか否かを判定する。この判定は、回転テーブル３６を回転させてもよいか否かを判定するもので、いずれか一方又は両方の搬送ロボット７４，７５が上昇した位置にない場合には、搬送ロボット７４，７５による上下動作が行われている途中か、或いは、テストソケット７０に配置されている電子部品６の測定中であると判定し、回転テーブル３６が回転していない状態を維持する。そして、第１の搬送ロボット７４及び第２の搬送ロボット７５が共に上昇した位置に位置するまでステップＳ８の判定を繰り返す。
【００８２】
これに対して、ステップＳ８の判定が、第１の搬送ロボット７４及び第２の搬送ロボット７５が共に上昇した位置にあると判定された場合には、ステップＳ１０に移行して、テーブル駆動装置３７を動作させて回転テーブル３６を１２０度回転させる。この際、ステップＳ４において第２の位置に位置する第３の回転搬送体３５のポケット６０に収納されていた測定済の電子部品６を回収ロボットハンド３２の吸着ノズル４２で吸着保持している場合には、ステップＳ１１に移行し、回転測定ロボット７１による電子部品６の測定結果に応じて、回収ロボットハンド３２を回収第一トレイ１１、回収第二トレイ１２又は回収第三トレイ１３のいずれかに移動させる。
【００８３】
次いで、ステップＳ１２に移行して、対応するトレイのポケット１６に、その吸着ノズル４２で吸着保持している電子部品６を該当するトレイのポケット１６に収納する。次に、ステップＳ１３に移行して、電子部品６の測定を継続させるか否かを判定する。この判定は、測定済の電子部品６の数が、測定開始前に入力される測定数に達しているか否かを見ることによって行われる。このステップＳ１３において、測定数が予め入力された数値に達していない場合には、運転を継続すると判定して、ステップＳ１に戻り、以上の処理を繰り返す。これに対して、測定数が予め入力された数値に達している場合には、これで処理を終了する。
【００８４】
一方、上記ステップＳ１１の処理と平行して、ステップＳ１４に移行して、回転テーブル３６が１２０度回転して第２の回転搬送体３４の位置に移動したところで、回転測定ロボット７１の回転搬送体側に位置する第１の搬送ロボット７４によって第２の回転搬送体３４のポケット６０に収納されている電子部品６を吸着保持し、第１の搬送ロボット７４を上昇させる。そして、ステップＳ１５に移行して、回転測定ロボット７１による電子部品６の測定動作が行われているか否かを判定する。
【００８５】
このステップＳ１５において、電子部品６の測定動作中であると判定された場合には、その測定動作が終了するまでステップＳ１５の処理を繰り返す。これに対して、電子部品６の測定動作中でないと判定された場合には、ステップＳ１６に移行して、回転測定ロボット７１のソケット側に位置する第２の搬送ロボット７５を上昇させる。そして、ステップＳ１７に移行する。
【００８６】
ステップＳ１７では、回転測定ロボット７１の回転体７３を１８０度回転させ、第２の搬送ロボット７５を回転搬送体側に移動し、第１の搬送ロボット７４をソケット側に移動する。次に、ステップＳ１８に移行して、第２の搬送ロボット７５の吸着ノズル７６を下降させる。そして、ステップＳ１９に移行して、第２の搬送ロボット７５の吸着ノズル７６に保持されている測定済の電子部品６を第２の回転搬送体３４のポケット６０に離脱して収納する。続いて、ステップＳ２０に移行して、第２の搬送ロボット７５の吸着ノズル７６を上昇させる。
【００８７】
このようなステップＳ１８以下の処理と同時に、ステップＳ２１の処理を実行し、第１の搬送ロボット７４の吸着ノズル７６を下降させてテストソケット７０のポケットに測定前の電子部品６を収納する。次に、ステップＳ２２に移行して、テストソケット７０の所定位置に載置された電子部品６の測定を開始する。そして、ステップＳ８に戻り、これ以下の処理を繰り返す。以上のような処理を経ることにより、電子部品６の性能・特性等を検査することができる。
【００８８】
上述したような電子部品６の測定に際して、ＩＣハンドラ３による搬送ミスが生じた場合にも、上記微振動による修正操作を行うことにより、搬送ミスを修正してポケットの所定位置に正しい姿勢で配置することができ、測定作業に停滞を生じることなく、効率よく電子部品６の検査を実行することが可能となる。
【００８９】
次に、本発明のＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置の第２の実施例について、図７乃至図１２及び図１３を参照して説明する。
【００９０】
図７に示すように、本発明の第２の実施例に係るＩＣハンドラの電子部品姿勢修正装置を備えた電子部品検査装置１０１は、トレイ部１０２と、ＩＣハンドラ１０３と、測定部１０４と、上記制御部５と同様の構成を有する制御部１０５とを備えて構成されている。
【００９１】
まず、電子部品検査装置１０１によって製品の良否が検査される検査対象である製品としての電子部品１０６について説明する。この電子部品１０６としては、例えば、ＱＦＰやＱＦＮを挙げることができ、この第２の実施例においては、外形寸法が１５ｍｍの角型をなすパッケージを有するＱＦＰ，ＱＦＮを適用している。
【００９２】
図７に示すように、トレイ部１０２は、供給トレイ１１０と供給空トレイ１０９と回収第一トレイ１１１と回収第二トレイ１１２と回収第三トレイ１１３と回収用空トレイ１１４と、トレイ搬送器１１５とを備えている。供給トレイ１１０は十数枚が重ね合されて用いられており、収納されている電子部品１０６が空になった状態において、上側から順番に自動的に１枚ずつ取り出し可能とされている。供給空トレイ１０９は、供給トレイ１１０において全ての電子部品１０６が取り出されて空になったトレイが搬送されてきて積み重ねられるものである。
【００９３】
各トレイ１０９〜１１４の単体は同一のものが使用されており、長方形をなす平板状の板体からなっている。各トレイ１０９〜１１４は、その上面に電子部品１０６を個別に収納することができる多数の収納部であるポケット１１６が碁盤の目のように整列されて設けられている。各ポケット１１６は、適用される電子部品１０６よりも少し大きな相似形をなす四角形の凹陥部として形成されている。そして、各ポケット１１６の四辺の縁には内向きに傾斜されたテーパ部が設けられており、そのテーパ部で電子部品１０６の対応する辺をガイドして、電子部品１０６がポケット１１６に正しい姿勢で配置されるように構成されている。
【００９４】
供給トレイ１１０と供給空トレイ１０９と回収用空トレイ１１４と回収第一トレイ１１１と回収第二トレイ１１２とは横並びに整列されて配置されており、回収第二トレイ１１２と向き合う位置に回収第三トレイ１１３が配置されていて、全体としてL字状の配置構造となっている。供給トレイ１１０には、電子部品１０６が所定の機能・性能を有しているか否かを測定する検査対象としての多数の電子部品１０６が、１つのポケットに１個ずつそれぞれ収納されている。回収第一トレイ１１１は、測定済の電子部品のうち測定結果が所定の機能・性能を有していると判定された良品である電子部品１０６を収納するためのものである。
【００９５】
回収第二トレイ１１２は、測定済の電子部品のうち測定結果が所定の機能・性能を有していないが、その不備な点が軽度であると判定された電子部品１０６を収納するためのものである。ここで「軽度の不良品」としては、例えば、測定値が合否の判断基準から若干劣っており、測定のやり直しが必要と考えられる電子部品等が該当する。この回収第二トレイ１１２に回収された電子部品１０６は、測定結果としての不具合が軽微であることから再検査に回され、再度の測定が行われる。
【００９６】
回収第三トレイ１１３は、測定済の電子部品のうち測定結果が所定の機能・性能を有しておらず、その不備な点が重大は事項であると判定された電子部品１０６を収納するためのものである。ここで「重度の不良品」としては、例えば、パッケージに大きな傷があって製品として不適当である場合、或いは、測定値が合否の判定基準から大きく外れており、若しくは、測定不能であって、明らかに不具合な製品であると考えられる電子部品が該当する。この回収第三トレイ１１３に回収された電子部品１０６は、再度の測定を行うことなく不良品として処理される。
【００９７】
回収用空トレイ１１４は、回収第一トレイ１１１から回収第三トレイ１１３までのいずれかのトレイに対して必要に応じて補充されるもので、トレイの全てのポケット１１６に電子部品１０６が回収された場合等に交換用のトレイとして使用される。この回収用空トレイ１１４のポケットは、当初はすべて空になっている。
【００９８】
トレイ搬送器１１５は、トレイを１枚ずつ吸着及び離脱することができる吸着パッド１２０と、その吸着パッド１２０を搬送するためのパッド支持アーム１２１とを備えている。パッド支持アーム１２１は、横並びに配置された供給トレイ１１０、供給空トレイ１０９、回収用空トレイ１１４、回収第一トレイ１１１及び回収第二トレイ１１２の５種類のトレイ間を移動できるように第１の方向（以下「Ｘ軸方向」という。）に移動可能に構成されている。
【００９９】
このパッド支持アーム１２１によって移動される吸着パッド１２０は、通常は、各トレイ１０９〜１１２，１１４に対して、その略中央部に配置される構成となっているが、平面方向においてＸ軸方向と直交する第２の方向であるＹ軸方向へ位置調整可能に構成されている。このトレイ搬送器１１５は、電子部品１０６がすべて搬送されて空になった供給トレイ１０を供給空トレイ１０９に搬送したり、空になっている回収用トレイ１１４を、すべてのポケット１１６が電子部品１０６で満杯になった回収第一トレイ１１１〜回収第三トレイ１１３のいずれかに搬送し、そのトレイの上に重ね合わせる。
【０１００】
また、平面から見てＬ字状に配置された６組のトレイ１０９〜１１４に関連してＩＣハンドラ１０３が配設されている。ＩＣハンドラ１０３は、回転測定ロボット１７１に測定前の電子部品１０６を搬送する供給搬送体１３３と、測定後の電子部品１０６を回転測定ロボット１７１から回収する回収搬送体１３４と、電子部品１０６を吸着保持して供給トレイ１１０と供給搬送体１３２との間に搬送する供給ロボットハンド１３１と、電子部品１０６を吸着保持して回収搬送体１３４と回収第一トレイ１１１、回収第二トレイ１１２又は回収第三トレイ１１３のいずれかとの間に搬送する回収ロボットハンド１３２と、供給搬送体１３３及び回収搬送体１３４を各トレイから電子部品１０６を受け取る位置と回転測定ロボット１７１との間に搬送する往復移動機構１３７と、供給搬送体１３３及び回収搬送体１３４の各ポケット１６０に配置された電子部品１０６の姿勢の良否を検出する２組の姿勢検出器１３８、１３９等を備えている。
【０１０１】
ここで、供給トレイ１１０及び回収第一トレイ１１１と回収第二トレイ１１２と回収第三トレイ１１３の各ポケット１１６を第１ポケットと定義し、供給搬送体１３３及び回収搬送体１３４の各ポケット１６０を第２ポケットと定義して使用する。また、供給ロボットハンド１３１が供給トレイ１１０の第１ポケット１６０から電子部品１０６を吸着保持する位置のすべてと、回収ロボットハンド１３２が回収第一トレイ１１０〜回収第三トレイ１１３の第１ポケット１６０に電子部品１０６を収納する位置のすべてを第１の位置と定義する。そして、供給ロボットハンド１３１が電子部品１０６を供給搬送体１３３の第２ポケット１６０に配置する位置と、回収ロボットハンド１３２が第２ポケット１６０から電子部品１０６を吸着保持する位置を第２の位置と定義するものとする。
【０１０２】
供給ロボットハンド１３１と回収ロボットハンド１３２は、ガイドバー１４１にガイドされてＸ軸方向へ個別に移動可能に構成されている。供給ロボットハンド１３１は供給トレイ１１０と供給空トレイ１０９の上方の全範囲をカバーするようにその範囲内において移動可能とされており、回収ロボットハンド１３２は回収用空トレイ１１４と回収第一トレイ一１１から回収第三トレイ１１３までの上方の全範囲をカバーするようにその範囲内において移動可能とされている。
【０１０３】
両ロボットハンド１３１，１３２は、電子部品１０６を吸着して保持したり、保持している電子部品１０６を離脱することができる２個の吸着ノズル１４２Ａ，１４２Ｂをそれぞれ備えている。２つの吸着ノズル１４２Ａ，１４２Ｂは、Ｘ軸方向へ間隔調整可能とされていると共に、Ｘ軸とＹ軸を有する平面方向と垂直をなす第３の方向であるＺ軸方向へ別個独立に昇降可能とされていて、電子部品１０６を別個独立に吸着・離脱可能に構成されている。
【０１０４】
両ロボットハンド１３１，１３２は、図示しないタイミングベルトによってＸ軸方向へ個別に移動可能に構成されている。そのタイミングベルトは、Ｘ軸方向に延在されている図示しないガイドレールにガイドされてＸ軸方向へ無端状に走行可能とされており、このタイミングベルトの作動を介して、供給ロボットハンド１３１が供給トレイ１１０から供給空トレイ１０９の幅方向の一端から他端まで移動可能とされており、回収ロボットハンド１３２は回収用空トレイ１１４の一端から回収第一トレイ１１１を経て回収第二トレイ１１２の他端まで移動可能とされている。
【０１０５】
図７及び図８に示すように、ガイドバー１４１の長手方向の両端は、Ｙ軸方向に延在された一対の伝動ベルト１４７，１４７に夫々取り付けられている。各伝動ベルト１４７は、Ｙ軸方向へ所定距離隔てて配置された一対のベルト車１４８，１４８に架け渡されている。そして、一方の各ベルト車１４８には駆動モータ１４９が夫々動力伝達可能に連結されており、一対の駆動モータ１４９，１４９の駆動力が一対のベルト車１４８，１４８を介して、一対の伝動ベルト１４７，１４７に夫々動力伝達可能とされている。
【０１０６】
かくして、左右の駆動モータ１４９，１４９が駆動されると、一対の伝動ベルト１４７．１４７がＹ軸方向へ走行される。これにより、ガイドバー１４１に保持されている供給ロボットハンド１３１及び回収ロボットハンド１３２が、夫々駆動モータ１４９の回転方向に応じて、回転測定ロボット１７１に近づく方向、又は、回転測定ロボット１７１から遠ざかる方向へ個別に移動される。このガイドバー１４１によるＹ軸方向への移動と、ガイドバー１４１の軸方向への移動を介して、回転測定ロボット１７１に近づく方向へ移動するときに供給ロボットハンド１３１の２個の吸着ノズル１４２Ａ，１４２Ａが、供給トレイ１１０で吸着保持した測定前の２個の電子部品１０６，１０６を供給搬送体１３３に搬送する。これに対して、回転測定ロボット１７１から遠ざかる方向へ移動するときに、回収ロボットハンド１３２の２個の吸着ノズル１４２Ｂ，１４２Ｂに吸着保持されている測定後の２個の電子部品１０６，１０６が３つの回収トレイのいずれかに搬送される。
【０１０７】
回転測定ロボット１７１は、前述した第１の実施例における回転測定ロボット７１と同様のものであり、異なるところは電子部品の大きさ・形状に対応してそれに関連する部分の形状、大きさを異にした点である。そのため、ここでは回転測定ロボット１７１の詳細な説明は、上記回転測定ロボット７１の説明を援用し、その概略を記載するに留める。即ち、回転測定ロボット１７１は、装置フレーム１５４に立設された回転枢軸と、この回転枢軸に回転自在に支持された円筒状をなす回転体１７３と、この回転体１７３に設けられた一対の搬送ロボット１７４，１７５と、各搬送ロボット１７４，１７５に設けられた吸着ノズル等を備えて構成されている。
【０１０８】
回転体１７３は、駆動モータの駆動力により、回転枢軸を回転中心として１８０度往復回転可能に構成されている。一対の搬送ロボット１７４，１７５は、回転体１７３の外周面であって、１８０度回転変位した位置において半径方向外側へ突出するように配置されていると共に、別個独立に上下方向へ昇降移動可能に構成されている。第１の搬送ロボット１７４は、供給搬送体１３３とテストソケット１７０との間に測定前の電子部品１０６を搬送し、第２の搬送ロボット１７５は、テストソケット１７０と回収搬送体１３４との間に測定後の電子部品１０６を搬送する。
【０１０９】
供給搬送体１３３と回収搬送体１３４は、回転体１７３を挟んでテストソケット１７０と反対側の位置に対向可能に配置されている。更に、供給搬送体１３３と回収搬送体１３４は、Ｘ軸方向に延在された一対のガイドレール１５５，１５５上に載置されていて、夫々Ｘ軸方向へ移動可能に構成されている。そして、図７に示すように、供給搬送体１３３は、常時は供給トレイ１１０と対向する位置に配置されており、第一駆動モータ１５６の作動により回転測定ロボット１７１の電子部品搬送側に位置する第一搬送ロボット１７４の位置との間に搬送される。また、回収搬送体１３４は、常時は回収第一トレイ１１１と対向する位置に配置されており、第二駆動モータ１５７の作動により回転測定ロボット１７１の電子部品搬送側に位置する第二搬送ロボット１７５の位置との間に搬送される。
【０１１０】
第一駆動モータ１５６及び第二駆動モータ１５７としては、例えば、ステッピングモータを適用することができ、入力信号に応じて、供給搬送体１３３及び回収搬送体１３４をＸ軸方向へ所定距離移動させ、又は、微小距離を往復移動させて微振動を生じさせることができるものである。
【０１１１】
供給搬送体１３３と回収搬送体１３４は、同一の形状・構造を有するものであり、角形をなす本体の上面に四角形をなす凹陥部からなる４個のポケット１６０が縦横２列に配置されて設けられている。図９Ａ〜９Ｄに示すように、両搬送体１３３，１３４の各ポケット１６０は、検査対象である電子部品１０６よりも少し大きな四角形の凹陥部として形成されている。そして、ポケット１６０の四辺の縁には内側に傾斜したテーパ部１６１が夫々設けられており、これらのテーパ部１６１〜１６１で電子部品１０６の各辺をガイドすることにより、ポケット１６０内の所定位置に電子部品１０６が正しい姿勢で配置される（図９Ａ〜９Ｂの状態）ように構成している。
【０１１２】
電子部品１０６を収納するポケット１６０の形状及び寸法は、測定する電子部品１０６の形状や大きさ（サイズ）によって異なるが、その開口部の大きさは、その電子部品１０６を載置させるために必要な載置部の寸法に約０．５ｍｍから０．６ｍｍの許容値を加えた寸法に設定することが好ましい。このように開口部の大きさを、電子部品１０６の大きさに０．５〜０．６ｍｍの許容値を加えたものに設定すれば、電子部品１０６がポケット１６０に完全に収納されることにより、電子部品１０６のすべての端子を所定の端子に接続させて測定を行うことが可能となるからである。
【０１１３】
なお、電子部品１０６のテーパ部１６１の傾斜角度は、１８度から２５度の範囲内に設定することが好ましい。テーパ部１６１の傾斜角度が１８°以上２５°以下の範囲内であれば、高い搬送位置精度を必要とすることがなく、電子部品１０６がポケット１６０のテーパ部１６１に引っ掛かるように配置された場合であっても、電子部品１０６の自重によって載置部に滑り込み、所定の載置部に正しい姿勢で配置されるというメリットがある。
【０１１４】
供給搬送体１３３及び回収搬送体１３４の底面の中央部には、各搬送体１３３，１３４を上下方向に貫通する吸引穴１６５が設けられている。吸引穴１６５は、ポケット１６０に収納された電子部品１０６の姿勢の良否を検出するために使用されるもので、この吸引穴１６５と、この吸引穴１６５に連通された図示しない吸引装置と、吸引穴１６５の圧力を検出する図示しない圧力検出器とによって姿勢検出器１３８，１３９が構成されている。この姿勢検出器１３８，１３９による姿勢良否の判定は、電子部品１０６が収納されたポケット１６０の吸引圧力を見ることで行うことができる。
【０１１５】
即ち、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、電子部品１０６が所定位置に正しく配置された場合には、吸引穴１６５が電子部品１０６で塞がれる。そのため、この場合には、吸引圧力が大きい（負圧大）ことから、電子部品１０６が所定位置に正しく配置されていることを知ることができる。これに対して、図９Ｃ及び図９Ｄに示すように、電子部品１０６がポケット１６０の縁に引っ掛かり、所定位置に正しく配置されていない場合には、吸引穴１６５が電子部品１０６で塞がれることがない。そのため、この場合には、吸引圧力が小さい（負圧小）ことから、電子部品１０６が所定位置に正しく配置されていないことを知ることができる。この姿勢検出器１３８，１３９の検出信号が制御部１０５に供給される。
【０１１６】
上述した構成を備えた電子部品検査装置１０１の概略構成を図１０のブロック図として示している。
この電子部品検査装置１０１の測定部１０４、ＩＣハンドラ１０３及びトレイ部１０２の動作は、制御部１０５により制御されて所定の動作を実行する。制御部１０５は、前述した第１の実施例における制御部５と同様のものであり、図１３に示すような構成を有している。従って、ここでは制御部１０５の説明は省略する。
【０１１７】
このような構成を有する電子部品検査装置１０１の動作の概略は、次のようなものである。
供給ロボットハンド１３１は、供給トレイ１１０の先頭位置に移動し、上下動作を行って供給トレイ１１０の第１の位置にある２個の電子部品１０６，１０６を吸着保持する。そして、供給ロボットハンド１３１が２個の電子部品１０６，１０６を供給搬送体１３３の最初の収納位置に搬送し、上下動作を行って供給搬送体１３３の２つのポケット１６０，１６０に夫々離脱して収納する。更に、供給ロボットハンド１３１は、供給トレイ１１０の次の位置に移動し、上下動作を行って２個の電子部品１０６，１０６を吸着保持し、その２個の電子部品１０６，１０６を供給搬送体１３３の２つのポケット１６０，１６０に夫々離脱して収納する。これにより、４個の電子部品１０６〜１０６が供給搬送体１３３の４つのポケット１６０〜１６０に夫々１個ずつ配置され、その供給搬送体１３３が回転測定ロボット１７１の第一搬送ロボット１７４が位置する電子部品搬送位置に移動される。
【０１１８】
これを受けて回転測定ロボット１７１の第一搬送ロボット１７４が、供給搬送体１３３の４つのポケット１６０〜１６０に収納されている４個の電子部品１０６〜１０６を吸着保持した後、回転体１７３を１８０度回転させる。これにより、第一搬送ロボット１７４がテスト側位置に移動し、第二搬送ロボット１７５が製品搬送位置に移動する。これと同時に、供給搬送体１３３は、供給ロボットハンド１３１と対向する最初の位置に戻る。
【０１１９】
回転測定ロボット１７１が１８０度回転動作した後、第一搬送ロボット１７４が４個の電子部品１０６〜１０６をテストソケット１７０の所定位置に配置し、４個の電子部品１０６〜１０６の測定を開始する。これと同時に、回収搬送体１３４が回転測定ロボット１７１の製品搬送位置に移動し、第二搬送ロボット１７５が測定終了後の４個の電子部品１０６〜１０６を回収搬送体１３４の４つのポケット１６０〜１６０に離脱して収納する。その後、回収搬送体１３４が最初の位置に戻り、その位置に回収ロボットハンド１３２が移動する。
【０１２０】
回収ロボットハンド１３２は、上下動作を行って測定後の２個の電子部品１０６，１０６を吸着保持し、測定結果に応じて、回収第一トレイ１１１、回収第二トレイ１１２又は回収第三トレイ１１３のいずれかの位置に移動する。そして、回収ロボットハンド１３２の吸着ノズル１４２Ｂを上下動作させて、そのトレイの２つのポケット１１６に２個の電子部品１０６，１０６を離脱配置する。再度、回収ロボットハンド１３２は、回収搬送体１３４の位置まで移動し、上下動作を行って２個の電子部品１０６，１０６を吸着保持し、測定結果に応じて、回収第一トレイ１１１、回収第二トレイ１１２又は回収第三トレイ１１３のいずれかの位置に移動する。そして、回収ロボットハンド１３２の吸着ノズルを上下動作させて、そのトレイの２つのポケット１１６に２個の電子部品１０６，１０６を離脱配置する。
【０１２１】
このように供給ロボットハンド１３１と供給搬送体１３３と回転測定ロボット１７１と回収搬送体１３４と回収ロボットハンド１３２との間の受け渡しにより、供給トレイ１１０に収納されている測定前の電子部品１０６が、その性能・特性等の測定結果に応じて、回収第一トレイ１１１から回収第三トレイ１１３までのいずれかの回収トレイに順次搬送されてそのポケット１１６に離脱配置される。
【０１２２】
このような構成を有する電子部品検査装置１０１の詳細な動作は、例えば、次のようなものである。図１１及び図１２は、電子部品検査装置１０１における制御部１０５の動作のフローチャートを示すものである。この場合、予め、供給トレイ１１０には、測定対象である電子部品１０６がポケット１１６に収納されているトレイを十数枚重ねて配置させておくようにする。これに対して、回収第一トレイ１１１と回収第二トレイ１１２と回収第三トレイ１１３には、ポケットが空となっているトレイを夫々配置し、回収用空トレイ１１４にはポケット１１６が空となっているトレイを十数枚重ねて配置させておく。一般に、このようなトレイの配置状態において、電子部品１０６の性能・機能の測定が開始される。
【０１２３】
図１１に示すように、電子部品１０６の供給収納が開始されると、まず、ステップＳ３１において、供給ロボットハンド１３１が供給トレイ１１０へ移動する。これは、ガイドバー１４１をＹ軸方向へ移動させると共に供給ロボットハンド１３１をＸ軸方向へ移動させ、供給ロボットハンド１３１の吸着ノズル１４２Ａを供給トレイ１１０の第１の位置にあるポケット１１６の上方へ位置させることによって実行される。次に、ステップＳ３２に移行して、供給ロボットハンド１３１の吸着ノズル１４２Ａによって製品である電子部品１０６を吸着して保持する。次に、ステップＳ３３に移行して、供給ロボットハンド１３１を第２の位置にある供給搬送体１３３まで搬送する。この動作も、ガイドバー１４１をＹ軸方向へ移動させると共に供給ロボットハンド１３１をＸ軸方向へ移動させることによって実行される。
【０１２４】
次に、ステップＳ３４に移行して、供給ロボットハンド３１の２個の吸着ノズル１４２Ａ、１４２Ａで保持している２個の電子部品１０６，１０６を、供給搬送体１３３の２つのポケット１６０，１６０に離脱収納する。これは、吸着ノズル１４２Ａの吸引力を開放し、電子部品１０６の自重でポケット１６０内に落下させることによって実行される。
【０１２５】
次に、ステップＳ３５に移行して、供給搬送体１３３のポケット１６０に収納されている各電子部品１０６が、正しい姿勢で載置部に配置されているか否かを判定する。この電子部品１０６の姿勢の良否は、回収搬送体１３４に収納されている各電子部品１０６に対しても行われるが、その判定手法は供給搬送体１３３の電子部品１０６に対するものと同一であるため、その説明は省略する。このステップＳ３５の判定は、姿勢検出器１３８（回収搬送体１３４の電子部品１０６に対するものは姿勢検出器１３９による。）の検出信号に基づいて行われる。
【０１２６】
即ち、図９Ａ及び９Ｂに示すように、電子部品１０６がポケット１６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されている場合には、姿勢検出器１３８でポケット１６０に電子部品１６０を吸着する際の吸引力を見ることによって知ることができる。即ち、姿勢検出器１３８の圧力検出器で検出される圧力値が大きな値であれば図９Ａ及び９Ｂに示す正しい姿勢で配置されていると判定し、検出される圧力値が小さい値であれば図９Ｃ及び９Ｄに示す正しくない姿勢で配置されていると判定する。このステップＳ３５により、電子部品１０６がポケット１６０に正しい姿勢で配置されていると判定された場合にはステップＳ３８に移行し、正しくない姿勢で配置されていると判定された場合にはステップＳ３６に移行する。
【０１２７】
ステップＳ３６では、電子部品１０６がポケット１６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されていないために、供給搬送体１３３を微振動させて電子部品１０６の姿勢を修正する。そして、ステップＳ３７に移行して、電子部品１０６がポケット１６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されているか否かを再度判定する。このステップＳ３５からステップＳ３７までの微振動の動作の詳細を図１２に示す。
【０１２８】
図１２において、ステップＳ３５Ａにより、姿勢検出器１３８の吸引装置による吸引圧力を検出し、その圧力値が大きな値（負圧大）である場合には、電子部品１０６がポケット１６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されていると判定して、ステップＳ３８に移行する。これに対して、吸引装置による吸引圧力の値が小さい値（負圧小）である場合には、電子部品１０６がポケット１６０内の所定位置に正しくない姿勢で配置されていると判定して、ステップＳ３５Ｂに移行する。
【０１２９】
ステップＳ３５Ｂでは、吸引装置による負圧の検出時間が所定時間を経過したか否かを判定する。この判定において、所定の検出時間が経過していない場合には、ステップＳ３５Ａに戻り、ステップＳ３５Ｂ及びステップＳ３５Ｂの処理を繰り返す。これに対して、ステップＳ３５Ｂの判定において、所定の検出時間が経過している場合には、ステップＳ３６Ａ及びステップＳ３６Ｂに移行して、電子部品１０６の姿勢を正しくする姿勢修正操作を実行する。
【０１３０】
即ち、ステップＳ３６Ａでは、搬送体駆動機構１３７の動作を介して供給搬送体１３３をＸ軸方向の一方に移動（正転移動）し、続いて、ステップＳ３６Ｂに移行して、搬送体駆動機構１３７の動作を介して供給搬送体１３３をＸ軸方向の他方に移動（逆転移動）する。そして、ステップＳ３６Ｃに移行して、供給搬送体１３３の正転移動と逆転移動とが所定の回数行われたか否かを判定する。この判定において、供給搬送体１３３の正転移動と逆転移動が所定回数行われていない場合には、ステップＳ３６Ａに戻り、所定回数行われるまでステップＳ３６ＡとステップＳ３６Ｂによる微振動操作を繰り返す。これに対して、供給搬送体１３３の正転移動と逆転移動が所定回数行われている場合には、ステップＳ３７Ａに移行する。
【０１３１】
このステップＳ３６に基づく供給搬送体１３３の正転移動及び逆転移動を繰り返す微振動の振幅は、０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下の範囲内が好ましい。この微振動の振幅が０．５ｍｍ〜１．０ｍｍの範囲内であれば、その微振動によって電子部品１０６がポケット１６０の載置部に配置される時間が実用的な範囲に収まり、電子部品１０６がポケット１６０の開口縁から外側に飛び出すのを防ぐことができるというメリットがある。
【０１３２】
供給搬送体１３３の振動時間は、０．５秒以上２．０秒以下の範囲内であって、微振動の周波数が１００Ｈｚ以上２００Ｈｚ以下の範囲内が好ましい。この微振動時間が０．５秒〜２．０秒の範囲内であれば、振動時間によるＩＣハンドラ１０３の搬送動作の低下を実用的な範囲内に収めることができる。そして、供給搬送体１３３の振動周波数が１００Ｈｚ〜２００Ｈｚの範囲内であれば、電子部品がＩＣ、ＬＳＩ等であった場合に、微振動により電子部品内部の機能・特性等にダメージを与えることがないというメリットがある。
【０１３３】
なお、常時、微振動を与えて電子部品を搬送する方法も考えられるが、その場合には、複数の搬送ロボットその他に過度の負担を与えるおそれがある。そのため、供給搬送体１３３（回収搬送体１３４の場合も同様）のポケットへの収納ミスが生じた場合にのみ、微振動動作を与える方法が好ましい。
【０１３４】
ステップＳ３７Ａでは、姿勢検出器１３８の検出結果に基づいて、電子部品１０６がポケット１６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されているか否かを再度判定する。この判定において、姿勢検出器１３８の吸引装置による吸引圧力の値が大きな負圧である場合には、電子部品１０６がポケット１６０内の所定位置に正しい姿勢で配置されていると判定して、ステップＳ３８に移行する。これに対して、吸引装置による吸引圧力の値が小さい負圧である場合には、電子部品１０６がポケット１６０内の所定位置に正しくない姿勢で配置されていると判定して、ステップＳ３７Ｂに移行する。
【０１３５】
ステップＳ３７Ｂでは、吸引装置による負圧の検出時間が所定時間を経過したか否かを判定する。この判定において、所定の検出時間が経過していない場合には、ステップＳ３７Ａに戻り、ステップＳ３７Ａ及びステップＳ３７Ｂの処理を繰り返す。これに対して、ステップＳ３７Ｂの判定において、所定の検出時間が経過している場合には、この微振動方法によっても電子部品１０６を正しい姿勢に修正できなかったものと判定し、警告メッセージを表示してＩＣハンドラ１０３の搬送動作を一時停止させる。そして、電子部品検査装置１０１の操作オペレータによって搬送ミスした電子部品１０６を取り除くか、電子部品１０６の配置状態を改善して再度搬送動作を繰り返すようにする。
【０１３６】
次に、図１１において、ステップＳ３８では、供給ロボットハンド１３１を供給搬送体１３３の最初の位置に移動した後、回転測定ロボット１７１の電子部品供給側の位置に移動する。次いで、ステップＳ３９に移行して、電子部品供給側に位置する回転測定ロボット１７１の第１の搬送ロボット１７４で電子部品１０６を吸着保持する。そして、ステップＳ４０に移行し、供給搬送体１３３を最初の位置に戻す。次に、ステップＳ４１に移行して、回収搬送体１３４を電子部品供給側の位置に移動する。そして、ステップ３１に戻る。
【０１３７】
一方、上記ステップＳ４０の処理と平行して、ステップＳ４２に移行して、回転測定ロボット１７１による電子部品１０６の測定動作が行われているか否かを判定する。このステップＳ４２において、電子部品１０６の測定動作中であると判定された場合には、その測定動作が終了するまでステップＳ４２の処理を繰り返す。これに対して、電子部品１０６の測定動作中でないと判定された場合には、ステップＳ４３に移行して、回転測定ロボット１７１のソケット側に位置する第２の搬送ロボット７５を上昇させた後、回転測定ロボット１７１の回転体１７３を１８０度回転させ、第２の搬送ロボット１７５を電子部品供給側に移動し、第１の搬送ロボット１７４をテストソケット側に移動する。
【０１３８】
次に、ステップＳ４４に移行して、第２の搬送ロボット１７５の吸着ノズルを下降させて測定前の電子部品１０６を吸着保持し、その電子部品１０６をテストソケット１７０にセットし、その電子部品１０６の測定を開始する。そして、電子部品１０６の測定が終了した後、ステップＳ３９に戻る。このステップＳ４４の処理と平行して、ステップＳ４５に移行して、第２の搬送ロボット１７５の吸着ノズルに保持されている測定済の電子部品１０６を回収搬送体１３４のポケット１６０に収納する。続いて、ステップＳ４６に移行して、回収搬送体１３４を最初の位置に戻す。
【０１３９】
次に、ステップＳ４７に移行して、回収ロボットハンド１３２を回収搬送体１３４の位置まで移動する。次いで、ステップＳ４８に移行して、回収ロボットハンド１３２の吸着ノズル１４２Ｂによって測定済の電子部品１０６を吸着保持する。そして、ステップＳ４９に移行して、回収ロボットハンド１３２を、測定済の電子部品の測定結果に応じて、対応する回収トレイの位置に移動する。その後、ステップＳ５０に移行して、回収ロボットハンド１３２の吸着ノズル１４２Ｂを下降させ、回収トレイのポケット１１６に測定済の電子部品１０６を離脱して収納する。
【０１４０】
次に、ステップＳ５１に移行して、電子部品１０６の測定を継続させるか否かを判定する。この判定は、測定済の電子部品１０６の数が、測定開始前に入力される測定数に達しているか否かを見ることによって行われる。このステップＳ５１において、測定数が予め入力された数値に達していない場合には、運転を継続すると判定して、ステップＳ４１に戻り、以上の処理を繰り返す。これに対して、測定数が予め入力された数値に達している場合には、これで処理を終了する。以上のような処理を経ることにより、電子部品１０６の性能・特性等を検査することができる。
【０１４１】
上述したような電子部品１０６の測定に際して、ＩＣハンドラ１０３による搬送ミスが生じた場合にも、上記微振動による修正操作を行うことにより、搬送ミスを修正してポケット１６０の所定位置に正しい姿勢で電子部品１０６を配置することができ、測定作業に停滞を生じることなく、効率よく電子部品１０６の検査を実行することが可能となる。
【０１４２】
以上説明したが、本発明は上記第１の実施例及び第２の実施例に限定されるものではなく、均等の範囲内で種々の変形が可能であり、特許請求の範囲に記載された発明の範囲において様々な変更が可能であることは、当業者によって容易に理解されよう。
【符号の説明】
【０１４３】
１,１０１…電子部品検査装置、  ２，１０２…トレイ部、  ３，１０３…ＩＣハンドラ、  ４，１０４…測定部、  ５，１０５…制御部、  ６，１０６…電子部品、  １０，１１０…供給トレイ、  １１，１１１…回収第一トレイ、  １２，１１２…回収第二トレイ、  １３，１１３…回収第三トレイ、  １４，１１４…回収用空トレイ、  １５，１１５…トレイ搬送器、  ２０，１２０…吸着パッド、  ３１，１３１…供給ロボットハンド、  ３２，１３２…回収ロボットハンド、  ３３，３４，３５…回転搬送体、  ３６…回転テーブル、  ３７…テーブル駆動機構（移動機構）、  ３８，３９，１３８，１３９…姿勢検出器、  ５０…駆動モータ、  ５２…伝動ベルト、  ６０，１６０…ポケット、  ６１，１６１…テーパ部、  ６２…測光溝、  ７０，１７０…テストソケット、  ７１，１７１…回転測定ロボット、  ７４，７５，１７４，１７５…搬送ロボット、  ７６…吸着ノズル、  ８０…制御装置、  １０９…供給空トレイ、  １３３…供給搬送体（移動搬送体）、  １３４…回収搬送体（移動搬送体）、  １３７…往復移動機構、  １６５…吸引穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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