(57)【要約】【課題】どの方向から見た場合にもモアレを見え難くすることが可能な技術を提供することを目的とする。【解決手段】タッチパネル１は、透明基板２と、複数の検出用行配線４を含む行方向束配線７と、透明基板２と行方向束配線７とを覆うように形成された絶縁膜２７と、複数の検出用列配線３を含む列方向束配線６と、絶縁膜２７と列方向束配線６とを覆うように形成された絶縁膜２８とを備えている。さらにタッチパネル１は、交差領域Ｒにおいて、検出用行配線４上の絶縁膜２７，２８の合計膜厚および検出用列配線３上の絶縁膜２８の膜厚を、複数の露光対象部位８において薄くすることで、当該露光対象部位８の透過率を変化させている。【選択図】図３
2015026301.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板と、
前記透明基板上に形成され、かつ、行方向に延伸し当該行方向に交差する列方向に間隔をおいて配列された複数の第１配線を含む行方向束配線と、
前記透明基板と前記行方向束配線とを覆うように形成された第１絶縁膜と、
前記第１絶縁膜上に形成され、かつ、前記列方向に延伸し前記行方向に間隔をおいて配列された複数の第２配線を含む列方向束配線と、
前記第１絶縁膜と、前記列方向束配線とを覆うように形成された第２絶縁膜と、
を備え、
前記行および列方向束配線の交差領域において、前記第１配線上の前記第１および第２絶縁膜の合計膜厚および前記第２配線上の前記第２絶縁膜の膜厚を、複数の局所部位において薄くすることで、当該局所部位の透過率を変化させた、タッチパネル。
【請求項２】
隣接する複数の前記交差領域に渡って、前記行方向または前記列方向に、各前記交差領域における前記複数の局所部位の数を変化させた、請求項１記載のタッチパネル。
【請求項３】
各前記交差領域における前記複数の局所部位について、それぞれの面積および形状、ならびにパターンレイアウトの少なくとも１つをも変化させた、請求項２記載のタッチパネル。
【請求項４】
各前記交差領域における前記複数の局所部位について、それぞれの面積および形状、ならびにそれらの数およびパターンレイアウトの少なくとも１つは、前記交差領域の前記行および列方向のアドレスに応じて変更された、請求項１記載のタッチパネル。
【請求項５】
前記タッチパネルの検出領域を複数に分割した分割領域ごとの、各前記交差領域における前記複数の局所部位について、それぞれの面積および形状、ならびにそれらの数およびパターンレイアウトの少なくとも１つは、前記交差領域の前記行および列方向のアドレスに応じて変更された、請求項１記載のタッチパネル。
【請求項６】
前記複数の局所部位に対してグレイトーン露光を行うことで、当該複数の局所部位の膜厚を薄くした、請求項１〜５のいずれか１つに記載のタッチパネル。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１つに記載のタッチパネルを備えた、表示装置。
【請求項８】
請求項４または請求項５記載のタッチパネルの製造方法であって、
（ａ）各前記交差領域に前記複数の局所部位をグレイトーン露光により形成するための露光用マスクパターンを、前記交差領域の前記行および列方向のアドレスに応じて、かつ、露光操作の種類ごとに用意する工程と、
（ｂ）前記露光操作の種類に応じかつ前記アドレスに応じた前記露光用マスクパターンを用いてグレイトーン露光を行う工程と、
を備えた、タッチパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネル、それを備えた表示装置およびタッチパネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、指などの指示体が触れた位置を検出し、その触れた位置の座標を特定することで入力操作を受け付けるタッチパネルが知られている。このようなタッチパネルは、優れたインターフェース手段の１つとして注目されている。指示体が触れた位置の検出方法として、抵抗膜方式または静電容量方式など様々な方式を用いたタッチパネルが製品化されている。
【０００３】
従来のタッチパネルは、薄い透明な誘電膜の表面に間隔をおいて平行に配列された検出用列配線と、当該誘電膜の裏面に間隔をおいて平行に配列されかつ検出用列配線と直交する検出用行配線とを備える構成が知られている。検出用列配線および検出用行配線（以下まとめて「検出用配線」と呼ぶこともある）は、例えば特許文献１，２に開示されているように、酸化インジウムなどの透明な導電材料、または、銀などの不透明な導電材料を用いて構成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表平９−５１１０８６号公報
【特許文献２】特開２０１０−９７５３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のタッチパネルにおいて、検出用配線を透明の導電材料を用いて構成した場合、視認性の高いタッチパネルを得ることができる。その反面、当該導電材料は電気抵抗が高いため、応答速度が低下するという問題があった。この問題点を解消するため、透明の導電材料に代わって、電気抵抗が低い不透明の導電材料を用いて検出用配線を構成することが提案されている。
【０００６】
しかし、この場合には、検出用配線が存在する部分と存在しない部分とで光の透過率に差が生じ、タッチパネル面において光の透過率が周期的に変化することになる。一方、液晶表示装置などの表示装置では、画素が存在する部分と存在しない部分とで光の輝度に差が生じており、表示パネル面において光の輝度が周期的に変化している。このため、不透明の導電材料を用いて構成されたタッチパネルを、表示パネルに装着すると、周期的に変化する光の透過率と、周期的に変化する輝度とが干渉してモアレが発生するという問題があった。
【０００７】
検出用配線パターンを密にすることで、モアレの大きさを小さくすることが考えられる。これにより、モアレを見え難くすることが可能となるが、単純に検出用配線パターンを密にするだけでは、検出用配線間の寄生容量が増加し、指などの指示体でタッチしたときの応答速度が低下するという問題があった。
【０００８】
また、モアレを見え難くするための代替手段として、ダミーパターンを形成する構造も知られている。しかし、特許文献２に記載の技術のように、一方向のダミーパターンを形成する構成では、モアレを見え難くする効果は、特定方向から見た場合にしか得られないという問題があった。
【０００９】
そこで、本発明は、どの方向から見た場合にもモアレを見え難くすることが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るタッチパネルは、透明基板と、前記透明基板上に形成され、かつ、行方向に延伸し当該行方向に交差する列方向に間隔をおいて配列された複数の第１配線を含む行方向束配線と、前記透明基板と前記行方向束配線とを覆うように形成された第１絶縁膜と、前記第１絶縁膜上に形成され、かつ、前記列方向に延伸し前記行方向に間隔をおいて配列された複数の第２配線を含む列方向束配線と、前記第１絶縁膜と、前記列方向束配線とを覆うように形成された第２絶縁膜とを備え、前記行および列方向束配線の交差領域において、前記第１配線上の前記第１および第２絶縁膜の合計膜厚および前記第２配線上の前記第２絶縁膜の膜厚を、複数の局所部位において薄くすることで、当該局所部位の透過率を変化させたものである。
【００１１】
また、本発明に係る表示装置は、タッチパネルを備えたものである。
【００１２】
また、本発明に係るタッチパネルの製造方法は、各前記交差領域に前記複数の局所部位をグレイトーン露光により形成するための露光用マスクパターンを、前記交差領域の前記行および列方向のアドレスに応じて、かつ、露光操作の種類ごとに用意する工程（ａ）と、前記露光操作の種類に応じかつ前記アドレスに応じた前記露光用マスクパターンを用いてグレイトーン露光を行う工程（ｂ）とを備えたものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、行および列方向束配線の交差領域において、第１配線上の第１および第２絶縁膜の合計膜厚および第２配線上の第２絶縁膜の膜厚を、複数の局所部位において薄くすることで、当該局所部位の透過率を変化させた。したがって、第１配線上の第１および第２絶縁膜の合計膜厚および第２配線上の第２絶縁膜の膜厚は局所的に薄膜化され、薄膜化した部位は薄膜化していない部位と比較した場合に光の透過率が異なる。そして、薄膜化した部位における光の透過率を、タッチパネルにおいて行および列方向束配線が存在しない部位における光の透過率に近づけることで、行および列方向束配線が存在する部位と存在しない部位とで生じる光の透過率の差を小さくすることができる。このため、タッチパネルにおいて、どの方向から見た場合にもモアレが見え難くすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施の形態１に係るタッチパネルの構成を示す平面図である。
【図２】実施の形態１に係るタッチパネルを備えた表示装置の構成を示す平面図である。
【図３】実施の形態１に係るタッチパネルにおいて、列方向束配線と行方向束配線とが交差する交差領域Ｒの拡大平面図である。
【図４】実施の形態１に係るタッチパネルにおいて、交差領域Ｒの断面図である。
【図５】実施の形態１に係るタッチパネルにおいて、グレイトーン露光を行う際に用いられるパターンレイアウトの一例を示す平面図である。
【図６】実施の形態１に係るタッチパネルにおいて、グレイトーン露光を行う際に用いられるパターンレイアウトの他の例を示す平面図である。
【図７】実施の形態１に係るタッチパネルの交差領域Ｒにおいて、グレイトーン露光を行う局所部位の一例を示す平面図である。
【図８】実施の形態１に係るタッチパネルの交差領域Ｒにおいて、グレイトーン露光を行う局所部位の他の例を示す平面図である。
【図９】実施の形態１に係るタッチパネルにおいて、露光操作の種類とグレイトーン露光の実施領域の配分比率との関係を示す図である。
【図１０】実施の形態２に係るタッチパネルにおいて、検出領域を２分割した場合の露光操作の種類とグレイトーン露光の実施領域の配分比率との関係を示す図である。
【図１１】実施の形態２に係るタッチパネルにおいて、検出領域を４分割した場合の露光操作の種類とグレイトーン露光の実施領域の配分比率との関係を示すグラフを図示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
＜実施の形態１＞
本発明の実施の形態１について、図面を用いて以下に説明する。図１は、実施の形態１に係るタッチパネル１の構成を示す平面図である。図１に示すように、タッチパネル１は、透明なガラスまたは樹脂を用いて形成された透明基板２と、検出用列配線３（第２配線）と、検出用行配線４（第１配線）と、接続用配線５ａ，５ｂと、引き出し配線１６と、端子１７とを備えている。なお、検出用列配線３、検出用行配線４、接続用配線５ａ，５ｂ、引き出し配線１６、および端子１７は、透明基板２上に積層されて形成されている。この積層構造については後述することとする。
【００１６】
検出用列配線３は、列方向（図１中のＹ方向）に直線状に延設されており、列方向と直交する行方向（図１中のＸ方向）に所定間隔をおいて複数配列されている。検出用列配線３は、銀などの不透明な導電材料を用いて形成されている。
【００１７】
検出用行配線４は、行方向（図１中のＸ方向）に直線状に延設されており、列方向（図１中のＹ方向）に所定間隔をおいて複数配列されている。検出用行配線４は、銀などの不透明な導電材料を用いて形成されており、検出用列配線３と異なる層に形成されている。なお、検出用行配線４は行方向に延伸し、検出用列配線３は行方向と直交する列方向に延伸するとしているが、これに限定されることなく、検出用列配線３および検出用行配線４は、互いに交差する方向に延伸していればよい。
【００１８】
所定本数（例えば５本）の検出用列配線３の両端は、２本の接続用配線５ａでそれぞれ電気的に接続されており、この接続によって一束の列方向束配線６が構成されている。すなわち、列方向束配線６は、複数の検出用列配線３を含んでいる。同様に、所定本数（例えば５本）の検出用行配線４の両端は、２本の接続用配線５ｂでそれぞれ電気的に接続されており、この接続によって一束の行方向束配線７が構成されている。すなわち、行方向束配線７は、複数の検出用行配線４を含んでいる。
【００１９】
ここでは、所定本数の列方向束配線６が行方向に間隔をおいて平行に配列され、同様に、所定本数の行方向束配線７が列方向に間隔をおいて平行に配列されている。このような形態で所定本数の列方向束配線６および行方向束配線７が配列されることで、透明基板２上が複数のエリアに分割されている。なお、列方向束配線６および行方向束配線７の所定本数、列方向束配線６を構成する検出用列配線３の所定本数、並びに、行方向束配線７を構成する検出用行配線４の所定本数のそれぞれは、タッチパネル１の要求分解能から適宜決定される。
【００２０】
引き出し配線１６は、接続用配線５ａ，５ｂと、端子１７とを電気的に接続する配線である。すなわち、列方向束配線６は、接続用配線５ａおよび引き出し配線１６を介して端子１７にそれぞれ電気的に接続されており、行方向束配線７は、接続用配線５ｂおよび引き出し配線１６を介して端子１７にそれぞれ電気的に接続されている。また、図１には、列方向束配線６と行方向束配線７とが交差する交差領域Ｒが示されているが、タッチパネル１の交差領域Ｒの構造については、後述することとする。
【００２１】
次に、タッチパネル１を備えた表示装置について説明する。図２は、タッチパネル１を備えた表示装置の構成を示す平面図であり、タッチパネル１と、タッチパネル１の制御を行うコントローラ基板２１との接続が示されている。なお、図２においてタッチパネル１は模式的に示されている。
【００２２】
表示装置は、表示パネル２６と、表示パネル２６上に配設されたタッチパネル１と、コントローラ基板２１とを備えている。なお、表示装置は、表示パネル２６に液晶パネルを用いた液晶表示装置であってもよいし、表示パネル２６に有機ＥＬ（Electro-Luminescence）パネルを用いた有機ＥＬ表示装置であってもよい。
【００２３】
タッチパネル１の端子１７（図１参照）は、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）２２の一端側に設けられている端子と電気的に接続されており、コントローラ基板２１は、ＦＰＣ２２の他端側に設けられている端子と電気的に接続されている。
【００２４】
図２に示すように、コントローラ基板２１には、スイッチ回路２３と、発振回路２４と、タッチ位置演算回路２５とが実装されている。スイッチ回路２３は、列方向束配線６および行方向束配線７を順次選択して、当該選択した検出用配線を発振回路２４に接続する。発振回路２４は、スイッチ回路２３が接続した検出用配線と、指などの指示体との間に形成される静電容量に応じて、発振信号の発振周期を変化させる。タッチ位置演算回路２５は、発振回路２４の発振周期に基づいて、スイッチ回路２３が接続した検出用配線と、指などの指示体との間の静電容量を検出する。そして、タッチ位置演算回路２５は、当該検出結果に基づいて指示体のタッチ位置を算出する。
【００２５】
次に、タッチパネル１の交差領域Ｒの構造について説明する。図３は、図１に示した列方向束配線６と行方向束配線７とが交差する交差領域Ｒの拡大平面図であり、図４は、交差領域Ｒの断面図であり、図５は、グレイトーン露光を行う際に用いられるパターンレイアウトの一例を示す平面図であり、図６は、グレイトーン露光を行う際に用いられるパターンレイアウトの他の例を示す平面図である。
【００２６】
最初に、図４を用いてタッチパネル１の積層構造について説明する。タッチパネル１は、上記で説明した構成に加えて、絶縁膜２７（第１絶縁膜）と、絶縁膜２８（第２絶縁膜）とを備えている。行方向束配線７（複数の検出用行配線４）は、透明基板２上に形成されている。絶縁膜２７は、透明基板２の主面と行方向束配線７とを覆うように形成されている。列方向束配線６（複数の検出用列配線３）は、絶縁膜２７上に形成されている。絶縁膜２８は、絶縁膜２７上に形成され、絶縁膜２７と列方向束配線６とを覆うように形成されている。
【００２７】
図３に示すように、検出用列配線３上において予め定められた箇所は、露光対象部位８（局所部位）として複数設定されている。また、検出用行配線４上において予め定められた箇所は、露光対象部位８として複数設定されている。
【００２８】
図３と図４に示すように、露光対象部位８において、絶縁膜２７および絶縁膜２８の膜厚は、グレイトーン露光を用いて薄く形成されている。ここで、グレイトーン露光とは、絶縁膜２８の上側に、間隔をおいてパターンレイアウトを複数配置することで、露光量を変化させる手法である。例えば、図５（ａ）に示すように、行方向に延びるパターンレイアウト３０を用いてもよいし、図５（ｂ）に示すように、列方向に延びるパターンレイアウト３０を用いてもよい。パターンレイアウト３０の幅をＬ、間隔をＳとした場合に、パターンレイアウト３０のピッチが、（Ｌ＋Ｓ）＜２．８μｍとなるように配置されている。
【００２９】
パターンレイアウト３０の配置領域の形状は、例えば、図５（ａ），（ｂ）に示した正方形、または、図６（ａ）に示す長方形、図６（ｂ）に示す十字形、図６（ｃ）に示す八角形、図６（ｄ）に示す台形、図６（ｅ）に示す平行四辺形とする。このようなパターンレイアウト３０は、後述する露光用マスクパターンに設定され、露光操作の種類（種類については後述する）に応じて複数の露光用マスクパターンが用意されている。
【００３０】
上記で説明したグレイトーン露光を行うことで、図３と図４に示すように、露光対象部位８において、検出用列配線３上の絶縁膜２８の膜厚は薄くなっている。また、露光対象部位８において、検出用行配線４上の絶縁膜２７と絶縁膜２８の膜厚の合計は薄くなっている。
【００３１】
ここで、露光対象部位８においてグレイトーン露光を行ったことで、検出用行配線４上の絶縁膜２７および絶縁膜２８の合計膜厚、および検出用列配線３上の絶縁膜２８の膜厚が薄くなった部位を薄膜部位３１と称す。薄膜部位３１においては、絶縁膜２８の膜厚が薄くすることで、光の透過率を変化させている。すなわち、薄膜部位３１は、薄膜化していない部位と比較した場合に光の透過率が異なっている。
【００３２】
次に、図７と図８を用いて露光用マスクパターンについて説明する。図７は、交差領域Ｒにおいて、グレイトーン露光を行う局所部位の一例を示す平面図であり、換言すると、「左から右方向用または上から下方向用」の露光用マスクパターンを示す平面図である。図８は、交差領域Ｒにおいて、グレイトーン露光を行う局所部位の他の例を示す平面図であり、換言すると、「右から左方向用または下から上方向用」の露光用マスクパターンを示す平面図である。
【００３３】
露光用マスクパターンには、複数の露光対象部位８の位置だけでなく、複数の露光対象部位８について、それぞれの面積および形状、ならびにそれらの数およびパターンレイアウト３０も設定されている。
【００３４】
露光用マスクパターンは、露光操作の種類ごとに用意されている。ここで、露光操作の種類とは、グレイトーン露光を行う方向に関連する種類をいう。露光操作の種類として、「左から右方向用または上から下方向用」と、「右から左方向用または下から上方向用」の２種類が存在する。なお、露光操作の種類は、２種類に限定されることなく、２種類以上であればよい。
【００３５】
実施の形態１では、タッチパネル１の検出領域全体で露光操作の種類が設定されている。露光操作の種類が「左から右方向用または上から下方向用」である場合、図７（ａ）〜（ｄ）に示す露光用マスクパターンのうちのいずれかが選択される。他方、露光操作の種類が「右から左方向用または下から上方向用」である場合、図８（ａ）〜（ｄ）に示す露光用マスクパターンのうちのいずれかが選択される。
【００３６】
次に、図７と図８を用いて、交差領域Ｒごとに選択される露光用マスクパターンについて説明する。図７は、露光操作の種類が「左から右方向用または上から下方向用」である場合の、交差領域Ｒにおける露光対象部位８の位置を示す平面図であり、換言すると、露光操作の種類が「左から右方向用または上から下方向用」である場合の露光用マスクパターンを示す平面図である。ここで、図７（ａ）は（Ｘ，Ｙ）＝（ＸM，ＹN）用、図７（ｂ）は（Ｘ，Ｙ）＝（ＸM，ＹN+1）用、図７（ｃ）は（Ｘ，Ｙ）＝（ＸM+1，ＹN）用、図７（ｄ）は（Ｘ，Ｙ）＝（ＸM+1，ＹN+1）用である。但し、Ｍ＝１，３，５，・・・ｍ、Ｎ＝１，３，５，・・・ｎである。
【００３７】
図８は、露光操作の種類が「右から左方向用または下から上方向用」である場合の、交差領域Ｒにおける露光対象部位８の位置を示す平面図であり、換言すると、露光操作の種類が「右から左方向用または下から上方向用」である場合の露光用マスクパターンを示す平面図である。ここで、図８（ａ）は（Ｘ，Ｙ）＝（ＸM，ＹN）用、図８（ｂ）は（Ｘ，Ｙ）＝（ＸM，ＹN+1）用、図８（ｃ）は（Ｘ，Ｙ）＝（ＸM+1，ＹN）用、図８（ｄ）は（Ｘ，Ｙ）＝（ＸM+1，ＹN+1）用である。但し、Ｍ＝１，３，５，・・・ｍ、Ｎ＝１，３，５，・・・ｎである。
【００３８】
すなわち、露光用マスクパターンには、「左から右方向用または上から下方向用」が４種類、「右から左方向用または下から上方向用」が４種類存在するため、合計８種類が存在する。「左から右方向用または上から下方向用」と「右から左方向用または下から上方向用」とでは、複数の露光対象部位８の位置およびそれらの数は同じであるが、複数の露光対象部位８について、それぞれの面積および形状、ならびにそれらのパターンレイアウト３０が異なっている。
【００３９】
パターンレイアウト３０においては、「左から右方向用または上から下方向用」と「右から左方向用または下から上方向用」とで、形状、面積およびピッチが異なっている。これについて説明すると、図７と図８に示すように、露光対象部位８に配置されるパターンレイアウト３０の位置はそれぞれ同じ位置である。また、露光対象部位８に配置されるパターンレイアウト３０の形状が正方形と台形とで異なっており、それに伴って、パターンレイアウト３０の面積およびピッチが異なっている。
【００４０】
露光用マスクパターンの選択について、露光操作の種類が「左から右方向用または上から下方向用」の場合を例に説明する。交差領域Ｒの行および列方向のアドレスに応じて、図７（ａ）〜図７（ｄ）に示す露光用マスクパターンのうちのいずれかが選択される。すなわち、交差領域Ｒの行および列方向のアドレスに応じて、複数の露光対象部位８について、それぞれの面積および形状、ならびにそれらの数およびパターンレイアウトが変更される。ここで、アドレスとは、交差領域Ｒにおける基準となる座標のことであり、交差領域Ｒごとに１つのアドレスが割り当てられている。
【００４１】
図１を用いて、交差領域Ｒのアドレスの具体例について説明する。Ｍ，Ｎ＝１の場合、交差領域Ｒ１のアドレスは（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘ1，Ｙ1）、交差領域Ｒ２のアドレスは（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘ2，Ｙ1）、交差領域Ｒ３のアドレス（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘ1，Ｙ2）、交差領域Ｒ４のアドレスは（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘ2，Ｙ2）となる。このため、交差領域Ｒ１に対して図７（ａ）に示す露光用マスクパターン、交差領域Ｒ２に対して図７（ｃ）に示す露光用マスクパターン、交差領域Ｒ３に対して図７（ｂ）に示す露光用マスクパターン、交差領域Ｒ４に対して図７（ｄ）に示す露光用マスクパターンがそれぞれ選択される。続いて、Ｍ＝３，５，・・・ｍ、Ｎ＝３，５，・・・ｎの場合も同様に露光用マスクパターンがそれぞれ選択される。
【００４２】
他方、露光操作の種類が「右から左方向用または下から上方向用」の場合も、交差領域Ｒのアドレスに応じて、図８（ａ）〜（ｄ）に示す露光用マスクパターンのうちのいずれかが選択される。すなわち、交差領域Ｒのアドレスに応じて、複数の露光対象部位８について、それぞれの面積および形状、ならびにそれらの数およびパターンレイアウト３０が変更される。そして、選択された露光用マスクパターンを用いてグレイトーン露光が行われる。
【００４３】
なお、露光操作の種類ごとに４種類の露光用マスクパターンを用意したが、露光用マスクパターンは、４種類に限定されることなく、２種類以上であればよい。また、露光対象部位８（パターンレイアウト３０）の形状は、図６（ａ）〜（ｅ）に示した他の形状を採用することも可能であり、さらに、露光対象部位８（パターンレイアウト３０）の面積についても変更可能である。
【００４４】
また、露光操作の種類ごとの露光用マスクパターンは、複数の露光対象部位８について、それぞれの面積および形状、ならびにそれらの数およびパターンレイアウト３０の全てが変更されているが、これに限定されることなく、これらのうちの少なくとも１つだけ変更されていればよい。
【００４５】
次に、露光操作の種類とグレイトーン露光の実施領域の配分比率との関係について説明する。図９（ａ）は、露光操作の種類を説明するためのタッチパネル１の平面図であり、図９（ｂ）は、露光操作の種類とグレイトーン露光の実施領域の配分比率との関係を示すグラフを図示した図である。
【００４６】
図９（ａ）の矢印に示す方向が、露光操作における「左から右方向または上から下方向」であり、矢印と反対方向が、露光操作における「右から左方向または下から上方向」である。図９（ｂ）に示すように、「左から右方向または上から下方向」に進むにつれて配分比率が減少、すなわち、露光対象部位８の数が減少（変化）するように、露光用マスクパターンは設定されている。また、「右から左方向または下から上方向」に進むにつれて配分比率が増加、すなわち、露光対象部位８の数が増加（変化）するように、露光用マスクパターンは設定されている。
【００４７】
例えば、露光操作の種類が「左から右方向用または上から下方向用」の場合、隣接する複数の交差領域Ｒ１，Ｒ２（図１参照）に渡って、行方向に（具体的には、検出用行配線４上に配置された）、各交差領域Ｒにおける露光対象部位８の数が６から４に減少（変化）するように、図７（ａ），（ｃ）に示す露光用マスクパターンは設定されている。また、隣接する複数の交差領域Ｒ１，Ｒ３（図１参照）に渡って、列方向に（具体的には、検出用列配線３上に配置された）、各交差領域Ｒにおける露光対象部位８の数が６から４に減少（変化）するように、図７（ａ），（ｂ）に示す露光用マスクパターンは設定されている。
【００４８】
露光操作の種類が「右から左方向用または下から上方向用」の場合、隣接する複数の交差領域Ｒ２，Ｒ１（図１参照）に渡って、行方向に（具体的には、検出用行配線４上に配置された）、各交差領域Ｒにおける露光対象部位８の数が４から６に増加（変化）するように、図８（ｃ），（ａ）に示す露光用マスクパターンは設定されている。また、隣接する複数の交差領域Ｒ３，Ｒ１（図１参照）に渡って、列方向に（具体的には、検出用列配線３上に配置された）、各交差領域Ｒにおける露光対象部位８の数が４から６に増加（変化）するように、図８（ｂ），（ａ）に示す露光用マスクパターンは設定されている。なお、図９（ｂ）において、露光対象部位８の数の変化は線形で示され、上記で説明した露光対象部位８の数はそれぞれグラフ上の一点である。
【００４９】
以上のように、実施の形態１に係るタッチパネル１では、行方向束配線７および列方向束配線６の交差領域Ｒにおいて、検出用行配線４上の絶縁膜２７，２８の合計膜厚および検出用列配線３上の絶縁膜２８の膜厚を、複数の露光対象部位８において薄くすることで、当該露光対象部位８の透過率を変化させた。したがって、検出用行配線４上の絶縁膜２７，２８の合計膜厚および検出用列配線３上の絶縁膜２８の膜厚は局所的に薄膜化され、薄膜化した部位は薄膜化していない部位と比較した場合に光の透過率が異なる。
【００５０】
そして、薄膜化した部位における光の透過率を、タッチパネル１において行方向束配線７および列方向束配線６が存在しない部位における光の透過率に近づけることで、行方向束配線７および列方向束配線６が存在する部位と存在しない部位とで生じる光の透過率の差を小さくすることができる。このため、タッチパネル１において、どの方向から見た場合にもモアレが見え難くすることが可能となる。
【００５１】
隣接する複数の交差領域Ｒに渡って、行方向または列方向に、各交差領域Ｒにおける複数の露光対象部位８の数を変化させたため、光の透過率を不規則に変化させることができる。このため、タッチパネル１において、どの方向から見た場合にもモアレが見え難くすることが可能となる。
【００５２】
各交差領域Ｒにおける複数の露光対象部位８について、それぞれの面積および形状、ならびにパターンレイアウト３０の少なくとも１つをも変化させたため、光の透過率を一層不規則に変化させることができる。このため、タッチパネル１において、どの方向から見た場合にも一層モアレが見え難くすることが可能となる。
【００５３】
各交差領域Ｒにおける複数の露光対象部位８について、それぞれの面積および形状、ならびにそれらの数およびパターンレイアウト３０の少なくとも１つは、交差領域Ｒの行および列方向のアドレスに応じて変更されたため、光の透過率を不規則に変化させることができる。
【００５４】
さらに、これらは交差領域Ｒの行および列方向のアドレスに応じて変更されたため、交差領域Ｒごとに、複数の露光対象部位８について、それぞれの面積および形状、ならびにそれらの数およびパターンレイアウト３０の少なくとも１つを異ならせることができる。このため、光の透過率を一層不規則に変化させることができる。
【００５５】
複数の露光対象部位８に対してグレイトーン露光を行うことで、当該複数の露光対象部位８の膜厚を薄くした。このように、既存の露光方法を用いることができるため、タッチパネル１の製造工程が複雑化することを抑制できる。
【００５６】
なお、グレイトーン露光に代えて、ハーフトーン露光など他の露光方法を複数の露光対象部位８に対して用いることも可能である。この場合も、ハーフトーン露光など既存の露光方法を用いることで、タッチパネル１の製造工程が複雑化することを抑制できる。
【００５７】
また、タッチパネル１の製造方法は、各交差領域Ｒに複数の露光対象部位８をグレイトーン露光により形成するための露光用マスクパターンを、交差領域Ｒの行および列方向のアドレスに応じて、かつ、露光操作の種類ごとに用意する工程と、露光操作の種類に応じかつアドレスに応じた露光用マスクパターンを用いてグレイトーン露光を行う工程とを備えた。したがって、容易に光の透過率を不規則に変化させることができ、タッチパネル１において、どの方向から見た場合にもモアレが見え難くすることが可能となる。
【００５８】
さらに、表示装置は、上記で説明したタッチパネル１を備えたため、上記の効果を備えた表示装置を実現できる。
【００５９】
＜実施の形態２＞
次に、実施の形態２に係るタッチパネル１について説明する。図１０（ａ）は、露光操作の種類を説明するためのタッチパネル１の平面図であり、図１０（ｂ）は、検出領域を２分割した場合の露光操作の種類とグレイトーン露光の実施領域の配分比率との関係を示すグラフを図示した図である。なお、実施の形態２において、実施の形態１で説明したものと同一の構成要素については同一符号を付して説明は省略する。
【００６０】
実施の形態１においては、タッチパネル１の検出領域全体で露光操作の種類が設定され、タッチパネル１の検出領域全体で「左から右方向用または上から下方向用」または「右から左方向用または下から上方向用」の露光用マスクパターンが選択された。そして、タッチパネル１の検出領域全体でグレイトーン露光の実施領域の配分比率を変化させていた。
【００６１】
これに対して、実施の形態２においては、タッチパネル１の検出領域を複数に分割した分割領域ごとに露光操作の種類が設定され、タッチパネル１の検出領域を複数に分割した分割領域ごとに「左から右方向用または上から下方向用」または「右から左方向用または下から上方向用」の露光用マスクパターンが選択される。そして、タッチパネル１の分割領域ごとにグレイトーン露光の実施領域の配分比率を変化させている。
【００６２】
図１０（ａ），（ｂ）に示すように、タッチパネル１の検出領域を、左側部分と右側部分の２つの分割領域Ｓ１，Ｓ２に分割した場合、分割領域Ｓ１に関するグラフは実線のように示され、分割領域Ｓ２に関するグラフは鎖線のように示される。
【００６３】
分割領域Ｓ１を対象に配分比率を変化させ、グレイトーン露光を用いて絶縁膜２７および絶縁膜２８（図４参照）の膜厚を薄くする。加えて、分割領域Ｓ２を対象に配分比率を変化させ、グレイトーン露光を用いて絶縁膜２７および絶縁膜２８（図４参照）の膜厚を薄くする。
【００６４】
ここで、露光操作の種類は、分割領域ごとに、「左から右方向用または上から下方向用」と「右から左方向用または下から上方向用」の２種類存在する。すなわち、露光用マスクパターンは、各露光操作の種類について４種類存在するため、合計では、１６種類存在する。
【００６５】
この場合、分割領域Ｓ１に用いられる露光用マスクパターンと、分割領域Ｓ２に用いられる露光用マスクパターンとが異なる露光操作の種類の露光用マスクパターンから選択されるため、実施の形態１の場合よりも光の透過率を一層不規則に変化させることができる。
【００６６】
次に、タッチパネル１の検出領域を４つの分割領域Ｓ１〜Ｓ４に分割した場合について説明する。図１１（ａ）は、露光操作の種類を説明するためのタッチパネル１の平面図であり、図１１（ｂ），（ｃ）は、検出領域を４分割した場合の露光操作の種類とグレイトーン露光の実施領域の配分比率との関係を示すグラフを図示した図である。
【００６７】
図１１（ａ）〜（ｃ）に示すように、タッチパネル１の検出領域を、左上部分、右上部分、左下部分および左下部分の４つの分割領域Ｓ１〜Ｓ４に分割した場合、分割領域Ｓ１に関するグラフは実線のように示され、分割領域Ｓ２に関するグラフは鎖線のように示され、分割領域Ｓ３に関するグラフは一点鎖線のように示され、分割領域Ｓ４に関するグラフは二点鎖線のように示される。なお、分割領域Ｓ１と分割領域Ｓ３においては配分比率が同じ変化傾向となるように設定され、また、分割領域Ｓ２と分割領域Ｓ４においても、配分比率が同じ変化傾向となるように設定されている。
【００６８】
分割領域Ｓ１を対象に配分比率を変化させ、グレイトーン露光を用いて絶縁膜２７および絶縁膜２８（図４参照）の膜厚を薄くする。加えて、分割領域Ｓ２を対象に配分比率を変化させ、グレイトーン露光を用いて絶縁膜２７および絶縁膜２８（図４参照）の膜厚を薄くする。同様に分割領域Ｓ３を対象に配分比率を変化させ、グレイトーン露光を用いて絶縁膜２７および絶縁膜２８（図４参照）の膜厚を薄くする。加えて、分割領域Ｓ４を対象に配分比率を変化させ、グレイトーン露光を用いて絶縁膜２７および絶縁膜２８（図４参照）の膜厚を薄くする。
【００６９】
ここで、露光操作の種類は、分割領域ごとに、「左から右方向用または上から下方向用」と「右から左方向用または下から上方向用」の２種類存在する。すなわち、露光用マスクパターンは、各露光操作の種類について４種類存在するため、合計では、３２種類存在する。
【００７０】
この場合、分割領域Ｓ１に用いられる露光用マスクパターンと、分割領域Ｓ２に用いられる露光用マスクパターンと、分割領域Ｓ３に用いられる露光用マスクパターンと、分割領域Ｓ４に用いられる露光用マスクパターンとが、それぞれ異なる露光操作の種類の露光用マスクパターンから選択されるため、光の透過率を２分割の場合よりも一層不規則に変化させることができる。
【００７１】
以上のように、実施の形態２に係るタッチパネル１では、タッチパネル１の検出領域を複数に分割した分割領域ごとの、各交差領域Ｒにおける複数の露光対象部位８について、それぞれの面積および形状、ならびにそれらの数およびパターンレイアウト３０の少なくとも１つは、交差領域Ｒの行および列方向のアドレスに応じて変更された。したがって、実施の形態１の場合よりも光の透過率を一層不規則に変化させることができる。
【００７２】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００７３】
１  タッチパネル、２  透明基板、３  検出用列配線、４  検出用行配線、６  列方向束配線、７  行方向束配線、８  露光対象部位、２７  絶縁膜、２８  絶縁膜、Ｒ  交差領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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