(57)【要約】【課題】検査に要する時間を短縮し、生産タクトを向上させる。【解決手段】演算部は、画像処理の処理時間に対する閾値を設定する（ステップＳ１）。演算部は、カメラから画像データを取得する（ステップＳ２）。演算部は、画像処理の開始時点から経過時間を計測する（ステップＳ４）。演算部は、計測した経過時間が閾値を超えたときに画像処理を完了していない場合（ステップＳ５：ＹＥＳ、又はステップＳ８：ＹＥＳ）には、被検査物を不良品と判定する（ステップＳ１３）。【選択図】図３
2015021876.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物を撮像する撮像部と、
前記撮像部から前記被検査物を撮像した画像データを取得して、前記被検査物を検査するための画像処理を行う演算部と、を備え、
前記演算部は、
前記画像処理の処理時間に対する閾値を設定し、
前記画像処理の開始時点から経過時間を計測し、
計測した経過時間が前記閾値を超えたときに前記画像処理を完了していない場合には、前記被検査物を不良品と判定することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記演算部は、計測した経過時間が前記閾値に達するまでに前記画像処理を完了した場合には、前記画像処理の結果に基づいて、前記被検査物の良否を判定することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記演算部は、前記画像処理が完了していない場合における前記被検査物の不良の判定に際して、前記画像処理を強制終了することを特徴とする請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記画像処理が、複数種の画像処理からなり、
前記演算部は、前記画像処理を強制終了したとき、前記複数種の画像処理のうちのいずれの画像処理で強制終了したかを判定することを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記複数種の画像処理のうちのいずれの画像処理で強制終了したかの判定結果を記憶する記憶部を更に備えたことを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記画像処理が、順次実行される複数種の画像処理からなり、
前記演算部は、
前記閾値を、前記複数種の画像処理の合計の処理時間に対応して設定し、
前記複数種の画像処理のうち最初に行う画像処理の開始時点から経過時間を計測し、
計測した経過時間が前記閾値を超えたときに前記複数種の画像処理の一連の処理を完了していない場合には、前記被検査物を不良品と判定することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項７】
前記画像処理が、順次実行される複数種の画像処理からなり、
前記演算部は、
前記閾値を、前記複数種の画像処理のそれぞれの処理時間に対応して複数設定し、
前記複数種の画像処理のそれぞれの開始時点から経過時間を計測し、
前記複数種の画像処理のうちのいずれかの画像処理について、計測した経過時間が前記閾値を超えた場合には、前記被検査物を不良品と判定することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記演算部は、前記画像処理に先立って、前記撮像部から取得した画像データを、前記画像処理に用いるデータに変換する前処理を行うことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項９】
前記画像処理は、前記被検査物における欠陥候補の箇所の個数及び面積のうち少なくとも一方が増大するに連れて処理時間が長くなる処理であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記画像処理は、２値化した画像の中から欠陥候補の輪郭の抽出を行い、各輪郭に対してラベルを付与するラベリング処理であることを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記演算部による前記被検査物の良否の結果を表示する表示部を更に備えたことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１２】
被検査物を撮像する撮像部と、前記撮像部から前記被検査物を撮像した画像データを取得して、前記被検査物を検査するための画像処理を行う演算部と、を有する検査装置による検査方法であって、
前記演算部が、前記画像処理の処理時間に対する閾値を設定するステップと、
前記演算部が、前記画像処理の開始時点から経過時間の計測を開始するステップと、
前記演算部が、計測した経過時間が前記閾値を超えたときに前記画像処理を完了していない場合には、前記被検査物を不良品と判定するステップと、を備えたことを特徴とする検査方法。
【請求項１３】
コンピュータに、請求項１２に記載の検査方法の各ステップを実行させるためのプログラム。
【請求項１４】
請求項１３に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物の品質を画像処理によって検査するための検査装置、検査方法、プログラム及び記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レンズなどの透過光学部材に存在する傷等の欠陥の検査には、目視によるものと共に、カメラ等のイメージング装置を用いた種々の検査装置が用いられ、撮像された画像データを基に、画像処理を行って良否判定を行ってきた。画像処理を行う検査方法として、特許文献１に記載されたものがある。
【０００３】
特許文献１では、画像処理装置は被検査物を撮像して得られた被検査画像に存在する欠陥候補の輪郭を抽出し、輪郭抽出によって得られた２値化画像に対してラベリング処理を行って、輪郭の特徴量を解析して検査対象の良否判定を行っていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−９１３６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ラベリング処理のような画像処理は、欠陥候補の個数や面積に依存して、処理時間が変動する。つまり、画像データから抽出した欠陥候補が多くなるほど、又は欠陥候補の面積が大きくなるほど、画像処理にかかる時間が長くなる。したがって、検査装置において想定されていない程度に画像処理にかかる時間が長くなると、生産タクトに影響が出る可能性がある。
【０００６】
そこで、本発明は、検査に要する時間を短縮し、生産タクトを向上させる検査装置、検査方法、プログラム及び記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の検査装置は、被検査物を撮像する撮像部と、前記撮像部から前記被検査物を撮像した画像データを取得して、前記被検査物を検査するための画像処理を行う演算部と、を備え、前記演算部は、前記画像処理の処理時間に対する閾値を設定し、前記画像処理の開始時点から経過時間を計測し、計測した経過時間が前記閾値を超えたときに前記画像処理を完了していない場合には、前記被検査物を不良品と判定することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、画像処理の処理時間が長くなるほど被検査物が不良品である割合が高くなることから、画像処理に費やすことができる処理時間に閾値を設け、画像処理に要した時間が閾値を超えた場合は被検査物を不良品と判定している。したがって、被検査物の検査に要する時間が短縮され、生産タクトが向上する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る検査装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】画像処理装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る検査装置において行われる処理手順を示すフローチャートである。
【図４】本発明の第２実施形態に係る検査装置において行われる処理手順を示すフローチャートである。
【図５】本発明の第３実施形態に係る検査装置において行われる処理手順を示すフローチャートである。
【図６】本発明の第４実施形態に係る検査装置において行われる処理手順を示すフローチャートである。
【図７】本発明の第５実施形態に係る検査装置において行われる処理手順を示すフローチャートである。
【図８】本発明の第６実施形態に係る検査装置の概略構成を示すブロック図である。
【図９】本発明の第６実施形態に係る検査装置の表示部の表示画面を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を実施するための形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１１】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る検査装置の概略構成を示すブロック図である。検査装置１００は、被検査物Ｗの外観を検査するためのものである。被検査物Ｗとしては、例えばレンズ等の透光性を有する光学素子である。なお、被検査物Ｗは、光学素子以外であってもよい。
【００１２】
検査装置１００は、撮像部としてのカメラ２００と、画像処理装置３００と、光源４００と、を有している。カメラ２００は、被検査物Ｗを撮像するためのものであり、例えばＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサ等の撮像素子を有するデジタルカメラである。なお、撮像部は、カメラ２００以外に、エリアセンサやラインセンサであってもよい。画像処理装置３００は、カメラ２００を用いて撮像された画像データを処理するためのものである。光源４００は、被検査物Ｗに光を照射するものである。この光源４００は、カメラ２００に被検査物Ｗを介して対向するように配置してもよいし、カメラ２００に隣接して配置してもよく、カメラ２００が被検査物Ｗを撮像するのに必要な光を被検査物Ｗに照射できればよい。
【００１３】
次に、画像処理装置３００について説明する。図２は、画像処理装置３００の構成を示すブロック図である。画像処理装置３００は、コンピュータで構成されており、演算部としてのＣＰＵ（Central  Processing  Unit）３０１を有している。また画像処理装置３００は、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）３０２及びＲＡＭ（Random  Access  Memory：以下、「メモリ」ともいう）３０３を有している。また、画像処理装置３００は、ＨＤＤ（Hard  Disk  Drive）３０４、記録ディスクドライブ３０５及び各種のインタフェース３０７を備えている。
【００１４】
ＣＰＵ３０１には、ＲＯＭ３０２、ＲＡＭ３０３、ＨＤＤ３０４、記録ディスクドライブ３０５及び各種のインタフェース３０７が、バス３０６を介して接続されている。ＲＯＭ３０２には、ＢＩＯＳ等の基本プログラムが格納されている。ＲＡＭ３０３は、ＣＰＵ３０１の演算処理結果を一時的に記憶する記憶部である。
【００１５】
ＨＤＤ３０４は、ＣＰＵ３０１の演算処理結果である各種のデータ等を記憶する記憶部であると共に、ＣＰＵ３０１に、後述する各種演算処理を実行させるためのプログラム３２１を記録する記録媒体でもある。ＣＰＵ３０１は、ＨＤＤ３０４に記録されたプログラム３２１に基づいて各種演算処理を実行する。
【００１６】
記録ディスクドライブ３０５は、記録ディスク３２２に記録された各種データやプログラム等を読み出すことができる。
【００１７】
インタフェース３０７には、カメラ２００が接続されている。カメラ２００により撮像された画像データを示す信号は、ＣＰＵ３０１の制御の下、インタフェース３０７及びバス３０６を介してＲＡＭ３０３に伝送され、ＲＡＭ３０３に画像データが記憶される。ＣＰＵ３０１は、ＲＡＭ３０３にアクセスしてＲＡＭ３０３に記憶された画像データを読み出すことができる。
【００１８】
ここで、画像処理装置３００のＣＰＵ３０１は、ＨＤＤ３０４から読み出したプログラム３２１を実行することにより、図１に示す各部３３１〜３３５として機能する。具体的に説明すると、プログラム３２１は、図２に示すように、画像取得プログラム３４１、画像処理プログラム３４２、閾値設定プログラム３４３、時間計測プログラム３４４及び良否判定プログラム３４５を有している。そして、ＣＰＵ３０１がＨＤＤ３０４からプログラム３２１を読み出して、各プログラム３４１〜３４５を実行することにより、図１に示す各部３３１〜３３５として機能する。つまり、ＣＰＵ３０１が画像取得プログラム３４１を実行することにより、画像取得部３３１として機能する。また、ＣＰＵ３０１が画像処理プログラム３４２を実行することにより、画像処理部３３２として機能する。また、ＣＰＵ３０１が閾値設定プログラム３４３を実行することにより、閾値設定部３３３として機能する。
【００１９】
また、ＣＰＵ３０１が時間計測プログラム３４４を実行することにより、時間計測部３３４として機能する。なお、ＣＰＵ３０１は、不図示の水晶発振器を有しており、水晶発振器のクロック周波数に基づいて計時を行う。したがって、時間計測プログラム３４４には、計時開始及び計時終了のタイミングが規定されている。
【００２０】
また、ＣＰＵ３０１が良否判定プログラム３４５を実行することにより、良否判定部３３５として機能する。
【００２１】
以下、各部３３１〜３３５の機能について説明する。画像取得部３３１は、カメラ２００で被検査物Ｗを撮像した画像データを取得し、メモリ３０３に格納する。画像処理部３３２は、メモリ３０３に格納された画像データを読み出して、被検査物Ｗを検査するための画像処理を行う。時間計測部３３４は、画像処理部３３２によって行われる画像処理に費やした時間、即ち、画像処理の開始時点から経過時間を計測する。閾値設定部３３３は、画像処理の処理時間に対する閾値を設定する。良否判定部３３５は、被検査物Ｗを良品か不良品かのどちらにするか、即ち良否を判定する。画像処理部３３２を実行するための各種パラメータはメモリ３０３に格納され、閾値設定部３３３によって時間計測部３３４に対して設けられる時間の閾値もメモリ３０３に格納される。
【００２２】
ここで、画像処理部３３２に対して時間の閾値を設ける理由について説明する。画像処理部３３２において、メモリ３０３に保存された画像データに、ラプラシアンフィルタ処理や２値化処理などのフィルタ処理が施される。２値化された画像データには、欠陥の候補となるデータが現れる。この欠陥候補の座標や大きさなどを計算するために、一般的に知られているラベリング処理などの画像処理が更に施される。例として挙げた、ラプラシアンフィルタ処理や２値化処理は、画像処理が施される画像データ全体に対して同じ処理が施される。よって、ラプラシアンフィルタ処理や２値化処理は、処理時間が被検査物Ｗ上に存在する欠陥候補の数や面積に依存しない。ここで想定する２値化処理はルックアップテーブルを用いた２値化処理であり、画素毎にｉｆ文を使用するような条件式を用いた２値化処理ではない。
【００２３】
一方、例として挙げたラベリング処理は、２値化した画像の中から欠陥候補の輪郭の抽出を行い、各輪郭に対してラベルを付与する処理である。このラベリング処理では、ラスタスキャンを行う途中、注目画素に欠陥候補が含まれる場合と含まれない場合で別の処理系統を辿る。あるいは、注目画素が欠陥候補の一部ではない場合は何もせずに次の注目画素へ遷移する。従って、ラベリング処理は欠陥候補の数や面積に依存して画像処理に要する時間が変動し、欠陥候補が多ければ多いほど画像処理に要する時間が長くなる。
【００２４】
従って、上述のことを考慮すると、処理時間を計測することで、欠陥候補が画像全体に占める量がある程度推測できる。一方、被検査物Ｗの検査工程では、欠陥候補の数は多ければ多いほど、面積は大きければ大きいほど、被検査物Ｗは不良品と判定される傾向がある。
【００２５】
よって、メモリ３０３に格納される時間の閾値は、検査システム上許容された画像処理部３３２に割り当てることが可能な時間以下で、かつ不良品となる欠陥候補の数や面積を基に割り出された時間以上に設定すればよい。
【００２６】
つまり、ラベリング処理など欠陥候補の数と面積に依存して画像処理時間が変動する画像処理を含んだ画像処理に対して、時間的な閾値を設けることは、被検査物Ｗ上に存在する欠陥候補の数や面積に対して閾値を設けることとほぼ等価となる。
【００２７】
なお本実施形態では、欠陥候補の数や面積に依存して画像処理に要する時間が変動する画像処理の具体例としてラベリング処理を挙げたが、ラベリング処理だけではなく、欠陥候補の数と面積に依存して時間が変動するような画像処理であれば何でもよい。
【００２８】
例えば、特徴量計算処理のような欠陥候補の数に依存して計算時間が変動する画像処理であってもよい。また、画像データ全体に対して同じ処理が施されるような画像処理の具体例として、ここではラプラシアンフィルタ処理や２値化処理を挙げたが、画像データ全体に対して同じ処理が施される画像処理であれば何であってもよい。
【００２９】
以下、本発明の第１実施形態に係る検査装置１００による検査方法の各ステップについて詳細に説明する。図３は、本発明の第１実施形態に係る検査装置において行われる処理手順を示すフローチャートである。ここで、画像処理部３３２にて行われる画像処理が、順次実行される複数種の画像処理Ａ，Ｂからなる場合について説明する。画像処理Ａ，Ｂは、被検査物Ｗにおける欠陥候補の箇所の個数及び面積のうち少なくとも一方が増大するに連れて処理時間が長くなる画像処理である。
【００３０】
まず、閾値設定部３３３は、画像処理部３３２にて行う画像処理の処理時間に対する閾値を設定する（ステップＳ１）。具体的には、画像処理は複数種の画像処理Ａ，Ｂからなるので、閾値を、複数種の画像処理の合計の処理時間に対応して設定する。
【００３１】
ここで、閾値を設定するとは、ＣＰＵ３０１（画像処理部３３２）にて閾値のデータを使用可能な状態にすることであり、例えば閾値のデータをメモリ３０３に格納してもよい。なお、閾値のデータは、外部装置からの入力を受けて取得してもよいし、ＨＤＤ３０４等の記憶部に予め格納されていてもよいし、予めプログラム３２１に組み込まれていてもよい。
【００３２】
画像取得部３３１は、カメラ２００から被検査物Ｗを撮像した画像データを取得する（ステップＳ２）。この画像データは、メモリ３０３に一時的に格納される。
【００３３】
次に、画像処理部３３２は、画像処理Ａを開始する（ステップＳ３）。画像処理部３３２が画像処理Ａを開始すると同時に、時間計測部３３４は、画像処理の開始時点から経過時間（画像処理に費やされた時間）を計測する（ステップＳ４）。即ち、時間計測部３３４は、複数種の画像処理Ａ，Ｂのうち最初に行う画像処理Ａの開始時点から経過時間を計測する。
【００３４】
次に、画像処理部３３２は、時間計測部３３４による経過時間の計測が開始された後、計測した経過時間が閾値を超えたか否かを判断する（ステップＳ５）。画像処理部３３２は、時間計測部３３４により計測した経過時間が閾値を超えていない場合（Ｓ５：ＮＯ）、画像処理Ａが完了したか否かを判断する（ステップＳ６）。
【００３５】
画像処理部３３２は、画像処理Ａが完了していない場合（Ｓ６：ＮＯ）は、再びステップＳ５の処理に移行し、画像処理Ａを続行する。画像処理部３３２は、画像処理Ａが完了した場合（Ｓ６：ＹＥＳ）、次の画像処理Ｂを開始する（ステップＳ７）。
【００３６】
次に、画像処理部３３２は、画像処理Ｂが開始された後、計測した経過時間が閾値を超えたか否かを判断する（ステップＳ８）。画像処理部３３２は、時間計測部３３４により計測した経過時間が閾値を超えていない場合（Ｓ８：ＮＯ）、画像処理Ｂが完了したか否かを判断する（ステップＳ９）。
【００３７】
画像処理部３３２は、画像処理Ｂが完了していない場合（Ｓ９：ＮＯ）は、再びステップＳ８の処理に移行し、画像処理Ｂを続行する。画像処理部３３２は、画像処理Ｂが完了した場合（Ｓ９：ＹＥＳ）、時間計測を終了する（ステップＳ１０）。そして、良否判定部３３５は、複数種の画像処理Ａ，Ｂによる最終的な処理結果に基づいて、被検査物Ｗの良否（良品か不良品か）を判定する良否判定処理を実行する（ステップＳ１１）。即ち、良否判定部３３５は、計測した経過時間が閾値に達するまでに画像処理を完了した場合、具体的には複数種の画像処理Ａ，Ｂの一連の処理を、計測した経過時間が閾値に達するまでに完了した場合には、ステップＳ１１を実行する。
【００３８】
また、画像処理部３３２は、ステップＳ５において、計測した経過時間が閾値を超えた場合（Ｓ５：ＹＥＳ）、時間計測部３３４は時間計測を終了し（ステップＳ１２）、良否判定部３３５は被検査物Ｗを不良品と判定する（ステップＳ１３）。同様に、画像処理部３３２は、ステップＳ８において、計測した経過時間が閾値を超えた場合（Ｓ８：ＹＥＳ）、時間計測部３３４は時間計測を終了し（ステップＳ１２）、良否判定部３３５は被検査物Ｗを不良品と判定する（ステップＳ１３）。つまり、計測した経過時間が閾値を超えたときに画像処理Ａ若しくは画像処理Ｂ（即ち、一連の画像処理Ａ，Ｂ）を完了していない場合には、被検査物Ｗを不良品と判定する。なお、本第１実施形態では、ステップＳ５，Ｓ８で経過時間が閾値を超えたと判断しても、画像処理Ａ，Ｂ自体は続行する。
【００３９】
以上のステップで、被検査物Ｗを良品か不良品のどちらかに分別することが可能となる。すなわち、被検査物Ｗを撮像した画像データに対して画像処理を行う上で、画像処理に費やされた時間（経過時間）が事前に設定された閾値を超えた場合であっても、被検査物Ｗを後工程においてどのように扱えば良いかが明確になる。
【００４０】
即ち、画像処理に要する処理時間に対して閾値を設けることにより、画像処理におけるタクトを、システム上のタクト以下に抑えることができる効果がある。また、画像処理にかかる時間が、設定された閾値を超えた場合は、被検査物を不良品と判定するので、後工程で被検査物を不良品として扱うことができる効果がある。
【００４１】
そして、一連の画像処理Ａ，Ｂにおける時間が閾値を超えた場合は被検査物Ｗを不良品と判定しているので、被検査物Ｗの検査に要する時間が短縮され、生産タクトが向上する。
【００４２】
なお、本実施形態では、経過時間の閾値による判定は、画像処理Ａ，Ｂ中に含まれる繰り返し構文内で複数回呼び出されるようにしたが、これに限定するものではない。例えば、画像処理Ａにおいては、画像処理Ａが終了した後に経過時間の閾値の判定が行われるようにしてもよい。
【００４３】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係る検査装置による検査方法について説明する。なお、本第２実施形態における検査装置の装置構成は、上記第１実施形態と同様であるが、図２に示す演算部であるＣＰＵ３０１の動作、即ちプログラム（検査方法）３２１が上記第１実施形態と異なる。したがって、本第２実施形態において、装置構成の説明は省略し、ＣＰＵ（演算部）３０１の動作（即ち、検査方法の各ステップ）について説明する。図４は、本発明の第２実施形態に係る検査装置において行われる処理手順を示すフローチャートである。本第２実施形態において、上記第１実施形態と異なるのは、画像処理に費やされた経過時間が事前に設定された閾値を超えた場合、画像処理部３３２（図１）において行われている画像処理を中断（強制終了）させる点にある。
【００４４】
なお、図４において、ステップＳ２１〜ステップＳ３２及びステップＳ３４の処理は、上記第１実施形態の図３のステップＳ１〜Ｓ１２及びステップＳ１３の処理と同じであり、説明を省略する。
【００４５】
演算部としてのＣＰＵ３０１は、画像処理が完了していない場合における被検査物Ｗの不良の判定の際、本実施形態では、ステップＳ３４の処理に先立って、画像処理を途中で強制終了する（ステップＳ３３）。すなわち、画像処理に費やされた時間が事前に設定された閾値を超えた場合、画像処理時間を計測するための時間計測を終了し、更に画像処理を終了し、被検査物Ｗを不良品と判定する。これにより、画像処理装置３００（図１参照）における余分な計算リソースを使用せずに済み、複数の被検査物Ｗが連続して検査装置１００に投入された場合であっても、検査装置１００は被検査物Ｗを滞りなく検査することが可能となる。
【００４６】
［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態に係る検査装置による検査方法について説明する。なお、本第３実施形態における検査装置の装置構成は、上記第１及び第２実施形態と同様であるが、図２に示す演算部であるＣＰＵ３０１の動作、即ちプログラム（検査方法）３２１が上記第１及び第２実施形態と異なる。したがって、本第３実施形態において、装置構成の説明は省略し、ＣＰＵ（演算部）３０１の動作（即ち、検査方法の各ステップ）について説明する。図５は、本発明の第３実施形態に係る検査装置において行われる処理手順を示すフローチャートである。本第３実施形態において、上記第２実施形態と異なるのは、画像処理に費やされた時間が事前に設定された閾値を超えた場合、どの画像処理で閾値を超えたのかを記録する点である。
【００４７】
なお、図５において、ステップＳ４１〜ステップＳ５２及びステップＳ５５の処理は、上記第２実施形態の図４のステップＳ２１〜Ｓ３２及びステップＳ３４の処理と同じであり、説明を省略する。ここで、本第３実施形態においても、画像処理は、複数種の画像処理Ａ，Ｂからなる。
【００４８】
演算部としてのＣＰＵ３０１は、ステップＳ５３において、画像処理を強制終了したとき、複数種の画像処理Ａ，Ｂのうちのいずれの画像処理で強制終了したかを判定する。次いで、ＣＰＵ３０１は、ステップＳ５４において、複数種の画像処理Ａ，Ｂのうちのいずれの画像処理で強制終了したかの判定結果を記憶部であるメモリ３０３に記憶させる。
【００４９】
すなわち、画像処理に費やされた時間が事前に設定された閾値を超えた場合、画像処理時間を計測するための時間計測を終了し、更に画像処理を終了する。次いで、画像処理Ａで強制終了したのか、画像処理Ｂで強制終了したのかを、メモリ３０３に一時的に記憶させ、被検査物Ｗを不良品と判定する。
【００５０】
ここで、メモリ３０３に保存された閾値を超えた場所の情報は、その後、ＨＤＤ３０４などの記録媒体にデータとして記録されても良いし、ユーザーに明示しても良い。これにより、どの画像処理で時間閾値を超えたのかが分かる。なお、本第３実施形態では、データをメモリ３０３に記憶させたが、メモリ３０３に記憶させずに、データを外部機器に送信してもよい。
【００５１】
［第４実施形態］
次に、本発明の第４実施形態に係る検査装置による検査方法について説明する。なお、本第４実施形態における検査装置の装置構成は、上記第１〜第３実施形態と同様であるが、図２に示す演算部であるＣＰＵ３０１の動作、即ちプログラム（検査方法）３２１が上記第１〜第３実施形態と異なる。したがって、本第４実施形態において、装置構成の説明は省略し、ＣＰＵ（演算部）３０１の動作（即ち、検査方法の各ステップ）について説明する。図６は、本発明の第４実施形態に係る検査装置において行われる処理手順を示すフローチャートである。
【００５２】
本第４実施形態において、上記第１実施形態と異なるのは、画像処理部３３２において行われる各々の処理の中、被検査物Ｗ上に存在する欠陥候補の面積と数に依存して処理時間が変動する画像処理に対してのみ、閾値の判定を設けることにある。
【００５３】
まず、閾値設定部３３３は、画像処理部３３２にて行う画像処理の処理時間に対する閾値を設定する（ステップＳ６１）。ここでいう画像処理には、画像全体に対して施すフィルタ処理は含まない。次に、画像取得部３３１は、カメラ２００から被検査物Ｗを撮像した画像データを取得する（ステップＳ６２）。次に、画像処理部３３２は、フィルタ処理を開始する（ステップＳ６３）。このフィルタ処理は、例えば２値化処理であり、後の画像処理（ラベリング処理）に先立って、カメラ２００から取得した画像データを、画像処理に用いるデータに変換する前処理である。
【００５４】
画像処理部３３２は、フィルタ処理が完了したか否かを判断する（ステップＳ６４）。画像処理部３３２は、フィルタ処理が完了していない場合（Ｓ６４：ＮＯ）は、フィルタ処理を続行する。画像処理部３３２は、フィルタ処理が完了した場合（Ｓ６４：ＹＥＳ）、次のラベリング処理を開始する（ステップＳ６５）。ラベリング処理は、被検査物Ｗ上に欠陥候補が存在することがあった場合初めて行われるような画像処理である。つまり、ステップＳ６１では、このラベリング処理に対して閾値を設定している。
【００５５】
画像処理部３３２によるラベリング処理の開始と同時に、時間計測部３３４はラベリング処理の開始時点から経過時間を計測する（ステップＳ６６）。画像処理部３３２は、計測した経過時間が閾値を超えたか否かを判断する（ステップＳ６７）。
【００５６】
画像処理部３３２は、時間計測部３３４により計測した経過時間が閾値を超えていない場合（Ｓ６７：ＮＯ）、ラベリング処理が完了したか否かを判断する（ステップＳ６８）。
【００５７】
画像処理部３３２は、ラベリング処理が完了していない場合（Ｓ６８：ＮＯ）は、再びステップＳ６７の処理に移行し、ラベリング処理を続行する。画像処理部３３２は、ラベリング処理が完了した場合（Ｓ６８：ＹＥＳ）、時間計測を終了する（ステップＳ６９）。そして、良否判定部３３５は、ラベリング処理の結果に基づいて、被検査物Ｗの良否（良品か不良品か）を判定する良否判定処理を実行する（ステップＳ７０）。即ち、良否判定部３３５は、計測した経過時間が閾値に達するまでにラベリング処理を完了した場合には、ステップＳ７０を実行する。
【００５８】
また、画像処理部３３２は、ステップＳ６７において、計測した経過時間が閾値を超えた場合（Ｓ６７：ＹＥＳ）、時間計測部３３４は時間計測を終了し（ステップＳ７１）、良否判定部３３５は被検査物Ｗを不良品と判定する（ステップＳ７２）。
【００５９】
以上、本第４実施形態によれば、経過時間の閾値判定を行うこと自体の時間ロスを最小限に食い止めることが可能となり、更に処理時間が変動しやすい画像処理に対して集中的に経過時間の閾値判定を行うことが可能となる。
【００６０】
すなわち、ラベリング処理に存在する繰り返し構文内に時間の閾値判定を組み込むことがより容易になり、経過時間が閾値を超えた場合に即座に被検査物Ｗを不良品と判定することができる。
【００６１】
更に、経過時間が閾値を超えた場合にラベリング処理を終了させることで、より余分な計算リソースを使用せずに済む。
【００６２】
［第５実施形態］
次に、本発明の第５実施形態に係る検査装置による検査方法について説明する。なお、本第５実施形態における検査装置の装置構成は、上記第１〜第４実施形態と同様であるが、図２に示す演算部であるＣＰＵ３０１の動作、即ちプログラム（検査方法）３２１が上記第１〜第４実施形態と異なる。したがって、本第５実施形態において、装置構成の説明は省略し、ＣＰＵ（演算部）３０１の動作（即ち、検査方法の各ステップ）について説明する。図７は、本発明の第５実施形態に係る検査装置において行われる処理手順を示すフローチャートである。
【００６３】
本第５実施形態において、上記第１実施形態と異なるのは、画像処理部３３２において行われる各々の画像処理Ａ，Ｂに対して時間の閾値を設ける点である。
【００６４】
以下、具体的に説明すると、まず、閾値設定部３３３は、複数種の画像処理Ａ，Ｂのそれぞれの処理時間に対応して閾値を複数設定する（ステップＳ８１）。画像取得部３３１は、カメラ２００から被検査物Ｗを撮像した画像データを取得する（ステップＳ８２）。
【００６５】
次に、画像処理部３３２は、画像処理Ａを開始する（ステップＳ８３）。画像処理部３３２が画像処理Ａを開始すると同時に、時間計測部３３４は、画像処理Ａの開始時点から経過時間（画像処理に費やされた時間）を計測する（ステップＳ８４）。
【００６６】
次に、画像処理部３３２は、時間計測部３３４による経過時間の計測が開始された後、計測した経過時間が閾値を超えたか否かを判断する（ステップＳ８５）。画像処理部３３２は、時間計測部３３４により計測した経過時間が閾値を超えていない場合（Ｓ８５：ＮＯ）、画像処理Ａが完了したか否かを判断する（ステップＳ８６）。
【００６７】
画像処理部３３２は、画像処理Ａが完了していない場合（Ｓ８６：ＮＯ）は、再びステップＳ８５の処理に移行し、画像処理Ａを続行する。画像処理部３３２が画像処理Ａを完了した場合（Ｓ８６：ＹＥＳ）、時間計測部３３４は、時間計測を終了する（ステップＳ８７）。
【００６８】
続いて、画像処理部３３２は、次の画像処理Ｂを開始する（ステップＳ８８）。画像処理部３３２が画像処理Ｂを開始すると同時に、時間計測部３３４は、画像処理Ｂの開始時点から経過時間を計測する（ステップＳ８９）。
【００６９】
次に、画像処理部３３２は、時間計測部３３４による経過時間の計測が開始された後、計測した経過時間が閾値を超えたか否かを判断する（ステップＳ９０）。画像処理部３３２は、時間計測部３３４により計測した経過時間が閾値を超えていない場合（Ｓ９０：ＮＯ）、画像処理Ｂが完了したか否かを判断する（ステップＳ９１）。
【００７０】
画像処理部３３２は、画像処理Ｂが完了していない場合（Ｓ９１：ＮＯ）は、再びステップＳ９０の処理に移行し、画像処理Ｂを続行する。画像処理部３３２が画像処理Ｂを完了した場合（Ｓ９１：ＹＥＳ）、時間計測部３３４は、時間計測を終了する（ステップＳ９２）。そして、良否判定部３３５は、複数種の画像処理Ａ，Ｂの結果に基づいて、被検査物Ｗの良否（良品か不良品か）を判定する良否判定処理を実行する（ステップＳ９３）。
【００７１】
また、画像処理部３３２は、ステップＳ８５において、計測した経過時間が閾値を超えた場合（Ｓ８５：ＹＥＳ）、時間計測部３３４は時間計測を終了し（ステップＳ９４）、良否判定部３３５は被検査物Ｗを不良品と判定する（ステップＳ９５）。同様に、画像処理部３３２は、ステップＳ９０において、計測した経過時間が閾値を超えた場合（Ｓ９０：ＹＥＳ）、時間計測部３３４は時間計測を終了し（ステップＳ９４）、良否判定部３３５は被検査物Ｗを不良品と判定する（ステップＳ９５）。即ち、複数種の画像処理Ａ，Ｂのそれぞれの開始時点から経過時間を計測し、複数種の画像処理Ａ，Ｂのうちのいずれかの画像処理について、計測した経過時間が閾値を超えた場合には、被検査物Ｗを不良品と判定する。
【００７２】
以上、本第５実施形態によれば、各々の画像処理Ａ，Ｂに対して時間の閾値を設けることにより、余分な計算リソースを使用せずに済む。
【００７３】
［第６実施形態］
次に、本発明の第６実施形態に係る検査装置について説明する。図８は、本発明の第６実施形態に係る検査装置の概略構成を示すブロック図である。
【００７４】
図８に示す検査装置１００Ａは、上記第１実施形態と同様、カメラ２００、画像処理装置３００及び光源４００を備えており、更に、本第６実施形態では、表示部５００を備えている。
【００７５】
この表示部５００は、良否判定部３３５による被検査物Ｗの良否の結果を表示する。ここで表示部５００は、液晶ディスプレイなどのディスプレイ機器であってもよいし、良品不良品を色で示すＬＥＤの様な発光素子であってもよく、人が見て良否がわかればどのような表示機器であってもよい。
【００７６】
図９は、本発明の第６実施形態に係る検査装置の表示部の表示画面を示す模式図である。表示部５００は、欠陥表示画面１０と検査結果表示画面１１とを有する。欠陥表示画面１０には、画像処理部３３２で行われた画像処理の結果と共に欠陥候補が表示される。ここで、欠陥として判定された欠陥候補に対して矩形や円によるマーキング、または色をつけるなどの行為によって、欠陥をよりわかりやすく表示してもよい。また、検査された被検査物Ｗが良品だったのか不良品だったのかは、検査結果表示画面１１において表示され、検査装置１００Ａのオペレーターに対して明示されるようになっている。これにより、被検査物Ｗが良品だったの不良品だったのかが一目瞭然となり、オペレーターは、その場で良否結果を確認することができる。
【００７７】
なお、本発明は、以上説明した実施形態に限定されるものではなく、多くの変形が本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により可能である。
【００７８】
上記実施形態の各処理動作は具体的には演算部としてのＣＰＵ３０１により実行されるものである。従って上述した機能を実現するプログラムを記録した記録媒体を制御装置に供給し、制御装置のコンピュータ（ＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に格納されたプログラムを読み出し実行することによって達成されるようにしてもよい。この場合、記録媒体から読み出されたプログラム自体が上述した実施形態の機能を実現することになり、プログラム自体及びそのプログラムを記録した記録媒体は本発明を構成することになる。
【００７９】
また、上記実施形態では、コンピュータ読み取り可能な記録媒体がＨＤＤ３０４であり、ＨＤＤ３０４にプログラム３２１が格納される場合について説明したが、これに限定するものではない。プログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体であれば、いかなる記録媒体に記録されていてもよい。例えば、プログラムを供給するための記録媒体としては、図２に示すＲＯＭ３０２、記録ディスク３２２、不図示の外部記憶装置等を用いてもよい。具体例を挙げて説明すると、記録媒体として、フレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、磁気テープ、書き換え可能な不揮発性のメモリ（例えばＵＳＢメモリ）、ＲＯＭ等を用いることができる。
【００８０】
また、上記実施形態におけるプログラムを、ネットワークを介してダウンロードしてコンピュータにより実行するようにしてもよい。
【００８１】
また、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行することにより、上記実施形態の機能が実現されるだけに限定するものではない。そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれる。
【００８２】
さらに、記録媒体から読み出されたプログラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれてもよい。そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって上記実施形態の機能が実現される場合も含まれる。
【００８３】
また、上記実施形態では、コンピュータがＨＤＤ等の記録媒体に記録されたプログラムを実行することにより、図１に示す各部３３１〜３３５の機能を果たす場合について説明したが、これに限定するものではない。図１に示す各部３３１〜３３５の一部又は全部をＡＳＩＣやＦＰＧＡ等の専用ＬＳＩで構成してもよい。なお、ＡＳＩＣはApplication  Specific  Integrated  Circuit、ＦＰＧＡはField-Programmable  Gate  Arrayの頭字語である。
【符号の説明】
【００８４】
１００…検査装置、２００…カメラ（撮像部）、３００…画像処理装置、３０１…ＣＰＵ（演算部）、３２１…プログラム
【図１】
2015021876.tif 000003
【図２】
2015021876.tif 000004
【図３】
2015021876.tif 000005
【図４】
2015021876.tif 000006
【図５】
2015021876.tif 000007
【図６】
2015021876.tif 000008
【図７】
2015021876.tif 000009
【図８】
2015021876.tif 000010
【図９】
2015021876.tif 000011