(57)【要約】【課題】アナライザーに相当する偏光板を回転させるための駆動機構を備え、検査者が手動で回転させることなく検査を行うことが可能な歪検査器を提供する。【解決手段】歪検査器１００は、カメラ１４０と、第二偏光板１４１と、１／４波長板１４２と、第一偏光板１４３と、拡散板１４４と、光源１４５と、第二偏光板を任意の角度で段階的に回転させるための駆動機構とを備えている。カメラ１４０、第二偏光板１４１、１／４波長板１４２、第一偏光板１４３、拡散板１４４及び光源１４５は同一の軸（検査軸）上に配設されており、駆動機構がアナライザーに相当する第二偏光板１４１を自動的に回転させることにより、位相差や光軸方位を測定する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を透過する物体の内部に存在する歪を検査する歪検査器であって、該検査器は、
光源と、
前記光源に近接して又は密着して設けられる拡散板と、
前記拡散板の前記光源側とは反対側の面に近接して又は密着して設けられる第一偏光板と、
前記第一偏光板の前記拡散板側とは反対側の面に近接して又は密着して、前記第一偏光板の偏光軸に対して軸方向を４５度ずらして設けられる１／４波長板と、
前記１／４波長板と任意の距離をおいて対面的に設けられ、前記１／４波長板との間に検査領域を形成する第二偏光板と、
前記第二偏光板の前記１／４波長板側とは反対側に近接して設けられる撮像装置と、
前記第二偏光板を任意の角度で段階的に又は連続的に回転させるための駆動機構とを備えることを特徴とする歪検査器。
【請求項２】
前記駆動機構が、ステッピングモータから構成されることを特徴とする請求項１に記載の歪検査器。
【請求項３】
前記光源が、上面が開放した有底箱状部材と、該箱状部材の内側底面中央部に設けられる発光体と、該発光体の上方に設けられる半透明部材とから構成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の歪検査器。
【請求項４】
前記半透明部材が、７ミリメートル厚の円板状に形成された発泡プラスチックから構成されることを特徴とする請求項３に記載の歪検査器。
【請求項５】
前記発光体が、１つの発光ダイオード又は複数の発光ダイオードの集合体から構成されることを特徴とする請求項３に記載の歪検査器。
【請求項６】
前記発光ダイオードが、青色から赤色の範囲に属する単色の可視光を発するものであることを特徴とする請求項５に記載の歪検査器。
【請求項７】
前記発光ダイオードが、表面実装型であることを特徴とする請求項５に記載の歪検査器。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の歪検査器と、該歪検査器と通信手段を介して相互に通信可能な解析装置とから構成される歪検査システムであって、該解析装置は、
操作者の入力指示を受け付ける入力部と、
前記入力指示に基づいて前記歪検査器より送信された検査データを演算する演算部と、
前記演算部により演算された値に基づいて画像を生成する画像生成部と、
前記画像生成部により生成された画像を表示する表示部とを備えることを特徴とする歪検査システム。
【請求項９】
前記演算部が、前記検査データに基づいて歪の強弱を示す階調値を演算する階調値演算部を有することを特徴とする請求項８に記載の歪検査システム。
【請求項１０】
前記画像生成部が、前記階調値演算部により演算された値に基づいて３次元画像を生成することを特徴とする請求項９に記載の歪検査システム。
【請求項１１】
前記演算部が、前記検査データに基づいて歪の軸方位を示す軸方位値を演算する軸方位値演算部を有することを特徴とする請求項８に記載の歪検査システム。
【請求項１２】
前記演算部が、前記検査データ中の任意の範囲を抽出する検査データ抽出部を有することを特徴とする請求項８に記載の歪検査システム。
【請求項１３】
前記演算部が、前記検査データ中又は前記検査データ抽出部によって抽出された検査データにおける、任意の直線上の歪の強弱又は軸方位を演算する直線演算部を有することを特徴とする請求項８又は請求項１２に記載の歪検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学測定機器に関し、具体的には、光を透過する被検査体の位相差や光軸方位を測定し、被検査体の内部に存在する歪を検査する機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ガラス製品やアクリルをはじめとする樹脂製品等は、加工時の熱分布の不均衡等によって歪が生じる場合があり、この歪は強度低下や自然破壊等を引き起こす要因となる。そのため、品質管理や安全等の面を考慮すると、製品製造時や製品出荷時等においては製品内の残留応力に基準値を設けて検査を行い、基準値を超えたものを排除する等、品質検査や製品管理を行う必要がある。
【０００３】
より具体的な例としては、直交ニコル法やセナルモン法を用いた検査手法が挙げられる。
【０００４】
セナルモン法は、歪の定量測定を行うためのものである。セナルモン法を用いた一般的な測定手法は、まず、発光体からの光を偏光板（ポラライザー）によって直線偏光とし、これを試料に照射する。試料に照射された光は、試料中の歪がある部分では位相差が生じ、楕円偏光となる。そして、この楕円偏光は、光学軸を適宜ずらした１／４波長板を透過すると、もとの向きと異なる偏光軸を持った直線偏光となる。そして、この直線偏光に対して偏光板（アナライザー）を回転させて、もとの直線偏光からの偏光軸の角度の変化量を測定する。この偏光軸の変化量は歪による位相差と比例関係にあるため、計算式によって位相差を求めることができる。
【０００５】
セナルモン法を用いた検査器としては、非特許文献１に開示されるような検査器が知られている。しかしながら、非特許文献１に開示されるような従来の検査器は、アナライザーに相当する偏光板を手動で回転させなければならず、検査工程が煩雑となる。そのため、アナライザーに相当する偏光板を検査者が手動で操作することなく検査することが可能な歪検査器が求められていた。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】セミオートセナルモンLSM-7002  ＜URL: http://www.luceo.co.jp/news/lsm-7002.html＞
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものである。即ち、本発明は、アナライザーに相当する偏光板を回転させるための駆動機構を備え、検査者が手動で回転させることなく検査を行うことが可能な歪検査器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以上の課題を解決するために、本発明に係る歪検査器は、光を透過する物体の内部に存在する歪を検査する歪検査器であって、光源と、光源に近接して又は密着して設けられる拡散板と、拡散板の光源側とは反対側の面に近接して又は密着して設けられる第一偏光板と、第一偏光板の拡散板側とは反対側の面に近接して又は密着して、第一偏光板の偏光軸に対して軸方向を４５度ずらして設けられる１／４波長板と、１／４波長板と任意の距離をおいて対面的に設けられ、１／４波長板との間に検査領域を形成する第二偏光板と、第二偏光板の１／４波長板側とは反対側に近接して設けられる撮像装置と、第二偏光板を任意の角度で段階的に又は連続的に回転させるための駆動機構とを備えることを特徴とする。
【０００９】
駆動機構は、ステッピングモータから構成されても良い。
【００１０】
光源は、上面が開放した有底箱状部材と、該箱状部材の内側底面中央部に設けられる発光体と、該発光体の上方に設けられる半透明部材とから構成されても良い。
【００１１】
半透明部材は、７ミリメートル厚の円板状に形成された発泡プラスチックから構成されても良い。
【００１２】
発光体は、１つの発光ダイオード又は複数の発光ダイオードの集合体から構成されても良い。
【００１３】
発光ダイオードは、青色から赤色の範囲に属する単色の可視光を発するものであっても良い。
【００１４】
発光ダイオードは、表面実装型であっても良い。
【００１５】
また、本発明に係る歪検査システムは、歪検査器と、該歪検査器と通信手段を介して相互に通信可能な解析装置とから構成される歪検査システムであって、該解析装置が、操作者の入力指示を受け付ける入力部と、入力指示に基づいて歪検査器より送信された検査データを演算する演算部と、演算部により演算された値に基づいて画像を生成する画像生成部と、画像生成部により生成された画像を表示する表示部とを備えることを特徴とする。
【００１６】
演算部は、検査データに基づいて歪の強弱を示す階調値を演算する階調値演算部を有しても良い。
【００１７】
画像生成部は、階調値演算部により演算された値に基づいて３次元画像を生成しても良い。
【００１８】
演算部は、検査データに基づいて歪の軸方位を示す軸方位値を演算する軸方位値演算部を有しても良い。
【００１９】
演算部は、検査データ中の任意の範囲を抽出する検査データ抽出部を有しても良い。
【００２０】
演算部は、検査データ中又は検査データ抽出部によって抽出された検査データにおける、任意の直線上の歪の強弱又は軸方位を演算する直線演算部を有しても良い。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、アナライザーに相当する偏光板を回転させるための駆動機構を備え、検査者が手動で回転させることなく検査を行うことが可能な歪検査器を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態に係る歪検査器の全体構成を示した図である。
【図２】歪検査器の内部構成を示した図である。
【図３】カメラ、第二偏光板、１／４波長板、第一偏光板、拡散板及び光源の関係を示した分解図である。
【図４】第二偏光板の周辺構成を示した断面図である。
【図５】光源の構成を示した斜視図である。
【図６】光源の構成を断面により示した図である。
【図７】歪検査システムの全体構成を示した図である。
【図８】解析装置の構成を示したブロック図である。
【図９】演算部が備える各演算処理部を示したブロック図である。
【図１０】解析装置の画面表示の一例を示した図である。
【図１１】解析装置の画面表示の一例を示した図である。
【図１２】解析装置の画面表示の一例を示した図である。
【図１３】解析装置の画面表示の一例を示した図である。
【図１４】解析装置の画面表示の一例を示した図である。
【図１５】解析装置の画面表示の一例を示した図である。
【図１６】解析装置の画面表示の一例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら本発明に係る歪検査器の一実施形態を詳細に説明する。
【００２４】
図１は、本発明に係る歪検査器１００の全体構成を示した図である。図示されるように、歪検査器１００は、歪検査器１００を構成する各要素を内部に収納するケース１０１と、検査対象となる試料を置く際に上下に開閉するスライドカバー１０２と、スライドカバー１０２を上下に開閉する際に用いる取っ手１０３とから構成されている。
【００２５】
ケース１０１およびスライドカバー１０２の素材については特に限定されず、ポリカーボネート素材やＦＲＰ素材等、種々の素材から任意に決定して良いが、検査に影響を及ぼす外光を遮断するという観点では、光が透過しない素材を用いることが望ましい。スライドカバー１０２を上下に開閉させるための機構については特に限定されず、ベルトによって上下に開閉する機構の他、ワイヤーを用いた機構等、任意に決定して良い。
【００２６】
スライドカバー１０２は、その閉状態を検出するリミットスイッチや光電素子などの感知器（図示せず）に関連付けられている。これにより、スライドカバー１０２が閉状態のときのみ歪検査器１００が作動するよう設定することができる。
【００２７】
次に、図２を参照しながら歪検査器１００の構成について説明する。
【００２８】
図２は、歪検査器１００の内部構成を示した図である。図示されるように、歪検査器１００は、矩形状の板状部材１２１と、第二偏光板１４１と、第二偏光板１４１の上部に設けられたカメラ１４０と、板状部材１２１を支持する支柱１２２と、支柱１２２の土台を兼ねた本体１２０と、本体１２０の内部に設けられた１／４波長板１４２と、本体１２０の内部に設けられた第一偏光板１４３（図示せず）と、本体１２０の内部に設けられた拡散板１４４（図示せず）と、本体１２０の内部に設けられた光源１４５（図示せず）とから構成されている。
【００２９】
撮像装置としてのカメラ１４０は、光源１４５より照射され、拡散板１４４、第一偏光板１４３、１／４波長板１４２、試料及び第二偏光板１４１を透過した光を受光するカメラである。カメラ１４０の具体例としては、ＣＣＤカメラが挙げられる。カメラ１４０は、図２に示すような固定具によって第二偏光板１４１の上部に固定されている。
【００３０】
拡散板１４４は、光源１４５から放射される光の不均一を解消するためのディフューザーである。
【００３１】
歪検査器１００における検査領域は、１／４波長板１４２と第二偏光板１４１との間に構成され、通常、１／４波長板１４２の上面に試料を置いて検査を行う。上述のとおり、歪検査器１００は、１／４波長板１４２の上面に試料を置いたり取り除いたりする際にはスライドカバー１０２を上にスライドさせて開くことが可能な構成となっている。
【００３２】
次に、図３を参照しながら、歪検査器１００が備えるカメラ１４０、第二偏光板１４１、１／４波長板１４２、第一偏光板１４３、拡散板１４４及び光源１４５の光学的な関係について説明する。
【００３３】
図３は、歪検査器１００が備えるカメラ１４０、第二偏光板１４１、１／４波長板１４２、第一偏光板１４３、拡散板１４４及び光源１４５の関係を示した分解図である。図示されるように、カメラ１４０、第二偏光板１４１、１／４波長板１４２、第一偏光板１４３、拡散板１４４及び光源１４５は同一の軸（検査軸）上に配設されている。第二偏光板１４１と１／４波長板１４２の間の距離については特に限定されず、検査対象である試料の大きさ等に応じて任意に決定することができる。
【００３４】
第一偏光板１４３と１／４波長板１４２とは、それぞれの光学軸を相対的に４５度ずらした関係、即ち、偏光軸の軸方向を相対的に４５度ずらした関係で配置されている。これにより、光源１４５から放射され、第一偏光板１４３及び１／４波長板１４２を透過した光を円偏光とすることができる。
【００３５】
光源１４５の構成については、図５を参照しながら後述する。
【００３６】
次に、図４を参照しながら、第二偏光板１４１の周辺構成について説明する。
【００３７】
図４は、第二偏光板１４１の周辺構成を示した断面図である。図示されるように、第二偏光板１４１は板状部材１２１に設けられた円形状の穴の内部で回転可能な円筒形状の回転部材１６０に嵌入されており、回転部材１６０は、板状部材１２１に設けられた穴に嵌入するように固定された軸受１６１に固定されて回転する構成となっている。
【００３８】
回転部材１６０の下部には歯車１６４が形成されており、この歯車１６４は、中間歯車１６５を介して、駆動機構としてのモータ１６７の軸に設けられた駆動歯車１６６と噛み合っている。なお、歯車の種類は特に限定されず、例えば、平歯車やはすば歯車であって良い。また、中間歯車１６５については必須ではなく、慣性負荷や減速比が仕様を満たす限り、歪検査器１００を小型化等する場合において省略して良い。
【００３９】
モータ１６７としては、種々のモータを適用することができるが、正確かつ迅速な回転制御を実現するため、ステッピングモータを使用するとより好ましい。
【００４０】
歪検査器１００において第二偏光板１４１の回転量は回転部材１６０の回転量と同一になるが、回転部材１６０の回転量を算出するためには、回転部材１６０の回転基準位置を決定する必要がある。このため、歪検査器１００は、回転部材１６０が回転基準位置に存在するか否かを検知するための光センサ１６３を回転部材１６０の近傍に備えており、回転部材１６０には、光センサの発光部と受光部の間を透過可能な突起部１６２が設けられている。
【００４１】
光センサ１６３としては、フォトダイオードを用いたフォトインタラプタ型のセンサ等、種々のセンサを適用することができ、特に限定されない。
【００４２】
次に、図５を参照しながら、光源１４５の構成について説明する。
【００４３】
図５は、光源１４５の構成を示した斜視図である。図示されるように、光源１４５は、４つの側面板と底面板からなる有底の箱状部材１８０と、底面板の中央に設けられた発光体１８３と、発光体１８３の上方に設けられた半透明部材１８１と、半透明部材１８１を発光体１８３の上方で固定するための透明部材１８２とから構成されている。
【００４４】
箱状部材１８０の素材については特に限定されず、アルミニウムやポリカーボネート等、種々の素材から任意に決定して良い。
【００４５】
半透明部材１８１は、発光体１８３が設けられている中央付近の光量を制限し、中央付近以外の光量との均衡を図るための部材であり、半透明な素材によって構成されている。半透明部材１８１の具体的な素材については特に限定されず、発泡プラスチック等、種々の素材から任意に決定して良い。本実施形態においては、半透明部材１８１の検査軸方向の厚さが７ミリメートルの発泡プラスチックとしているが、半透明部材１８１の検査軸方向の厚さについてはこれに限定されず、発光体１８３の光量等に応じて任意に決定して良い。
【００４６】
透明部材１８２は、半透明部材１８１を発光体１８３の上方で固定するためのものである。本実施形態においては、図示されるように断面が円形の円筒形状としているが、透明部材１８２の形状はこれに限定されず、例えば、断面が矩形であっても良い。透明部材１８２の素材については特に限定されず、ポリカーボネート等、種々の素材から任意に決定して良い。
【００４７】
発光体１８３は、一つの発光ダイオード又は複数の発光ダイオードの集合体から構成されている。発光ダイオードが放射する光の色については特に限定されず、一般的には青色から赤色の範囲に属する単色の可視光が使用されるが、赤外光であっても良い。
【００４８】
発光体１８３を構成する発光ダイオードの種類としては、砲弾型と表面実装型のいずれであっても良いが、放射光の指向性等を考慮すると、表面実装型がより好ましい。
【００４９】
次に、図６を参照しながら、光源１４５の作用について説明する。
【００５０】
図６は、光源１４５の構成を断面により示した図である。図示されるように、発光体１８３から光が放射されると、発光体１８３の上方に放射された光についてはその一部が半透明部材１８１を透過し、発光体１８３の上方以外に放射された光及び半透明部材１８１にて反射した光は透明部材１８２を透過する。透明部材１８２を透過した光は、箱状部材１８０の内側の４つの側面２００及び底面２０１にて反射し、最終的に箱状部材１８０の上面から拡散板１４４へ放射される（灰色の矢印記号）。
【００５１】
以上説明した本発明に係る歪検査器１００は、次のように作用する。即ち、光源１４５から放射された光は、拡散板１４４を透過した後、第一偏光板１４３及び１／４波長板１４２を透過すると、円偏光に変化する。円偏光となった光が試料を透過すると、歪が存在する部分では、複屈折の遅軸と速軸との間に位相差（リタデーション）が生じ、楕円偏光となる。楕円偏光となった光は、第二偏光板１４１を透過すると、偏光透過軸と平行な成分の光のみが直線偏光として透過する。ここで、第二偏光板１４１を透過した光の強度は、第二偏光板１４１の回転角度の変化に伴い、位相差と遅軸の方位に依存した特定の変化を示す。そこで、歪検査器１００は、第二偏光板１４１の初期位置を含む少なくとも４箇所の異なる回転角度においてカメラ１４０による撮影を行い、試料を配置しないときと配置したときとを比較して、それぞれの回転角度における光強度から、偏光状態、即ち、楕円率と楕円の傾きを演算する。
【００５２】
カメラ１４０は、多数の撮像素子の集合体であって、これによって第二偏光板１４１を透過してきた光を検出する。各撮像素子が捉えた情報は、後述するように、ケーブル２２２といった通信手段を介して解析装置等へ送られ、適宜処理される。
【００５３】
ここで、上述した４箇所の異なる回転角度とは、初期位置を回転角度０度とした場合、好適には０度、４５度、９０度、１３５度である。
【００５４】
以上のとおり、本発明に係る歪検査器１００は、歪や複屈折を有する、光を透過する物体の内部のリタデーションの大きさ及び遅軸の方位を定量測定することができる。
【００５５】
次に、図７乃至図９を参照しながら、本発明に係る歪検査器と、歪検査器と通信手段を介して相互に通信可能な解析装置とから構成される歪検査器システムについて説明する。
【００５６】
図７は、本発明に係る歪検査システム２２０の全体構成を示した図である。図示されるように、歪検査システム２２０は、歪検査器１００と解析装置２２１とを備えている。歪検査器２２０と解析装置２２１とは、通信手段としてのケーブル２２２を介して相互に通信可能な構成となっている。
【００５７】
ここで、ケーブル２２２の具体的な種類や構成については特に限定されず、例えば、ＬＡＮケーブルやシールドケーブル等、種々の通信ケーブルを使用することができる。また、歪検査器１００と解析装置２２１とを接続する手段は物理的なケーブルである必要はなく、無線ＬＡＮや赤外線通信等の無線通信によって歪検査器１００と解析装置２２１とを接続しても良い。
【００５８】
次に、図８を参照しながら、解析装置２２１の構成について説明する。
【００５９】
図８は、解析装置２２１の構成を示したブロック図である。図示されるように、解析装置２２１は、バス２４０を介して、制御部２４１、記憶部２４２、演算部２４３、通信部２４４、入力部２４５、表示部２４６及び画像生成部２４７を備えている。なお、演算部２４３及び画像生成部２４７はソフトウェア的に構成されていても良く、ハードウェア的に構成されていても良い。
【００６０】
制御部２４１は、解析装置２２１の中枢として機能する中央演算処理装置(Central Processing Unit)であり、記憶部２４２等に記憶されたプログラムを実行することにより、解析装置２２１の各構成要素を制御する。
【００６１】
記憶部２４２は、ＲＯＭ(Read Only Memory)やＲＡＭ(Random Access Memory)で構成され、歪検査器１００から送信される検査データや制御部２４１によって実行されるプログラム等を記憶するとともに、各種の作業用記憶領域を形成している。なお、記憶部２４２の一部または全部は、解析装置２２１の物理的な内部に構成されている必要はなく、解析装置２２１に接続された、いわゆる外部記憶装置であっても良い。
【００６２】
演算部２４３は、制御部２４１の指示により、歪検査器１００から送信される検査データを演算する機能を備えている。なお、演算部２４３は必ずしも単体で構成されていなくて良く、制御部２４１が演算部２４３の一部又は全部を兼ねても良い。
【００６３】
通信部２４４は、制御部２４１の制御の下、歪検査器１００との間で検査データや各種の指示等を送受信する通信手段である。ここで、通信２４４によって送受信される指示の具体例としては、解析装置２２１から歪検査器１００が備えるカメラ１４０へ送信される、第二偏光板１４１の回転角度を制御するための制御信号が挙げられる。
【００６４】
入力部２４５は、解析装置２２１の操作者による入力操作を受け付ける機能を備えており、例えば、キーボード、カメラ、マウス、音声入力を受け付けるマイク、表示部２４６の表示面に設けられたタッチパネル等で構成されている。
【００６５】
表示部２４６は、例えば、液晶表示素子や有機ＥＬ等の平面表示素子を用いて構成されているディスプレイである。
【００６６】
画像生成部２４７は、制御部２４１の指示の下、演算部２４３によって演算された検査データや各種の値に基づいて画像を生成し、出力する。
【００６７】
次に、図９を参照しながら、演算部２４３が備える各演算処理部について説明する。
【００６８】
図９は、演算部２４３が備える各演算処理部を示したブロック図である。図示されるように、演算部２４３は、階調値演算部２６０、軸方位演算部２６１、検査データ抽出部２６２及び直線演算部２６３とを備えている。
【００６９】
階調値演算部２６０は、歪検査器１００から送信された検査データ又は後述する検査データ抽出部２６２によって抽出された検査データに基づいて、歪の強弱を示す階調値をピクセル単位で演算する。階調値演算部２６０で演算された階調値は、最終的に画像生成部２４７において歪の強弱を色の変化（一例として、本実施形態のような青色から赤色への変化）で示す画像を生成する際に使用される。
【００７０】
軸方位演算部２６１は、歪検査器１００から送信された検査データ又は後述する検査データ抽出部２６２によって抽出された検査データに基づいて、遅軸の方位をピクセル単位で演算する。軸方位演算部２６１で演算された軸方位値は、最終的に画像生成部２４７において軸方位を示す画像を生成する際に使用される。
【００７１】
検査データ抽出部２６２は、歪検査器１００から送信された検査データの内、任意の範囲の検査データを抽出する。抽出する範囲については、解析装置２２１の操作者による入力部２４５からの指示に基づいて決定される。検査データ抽出部２６２によって抽出された検査データは、続いて、階調値演算部２６０や軸方位演算部２６１によって演算が行われる。
【００７２】
直線演算部２６３は、歪検査器１００から送信された検査データ又は上述した検査データ抽出部２６２によって抽出された検査データの内、任意の直線（例えば、図１１のやや上方に示されるような直線）上の検査データに基づいて、歪の強弱を示す階調値又は遅軸の方位をピクセル単位で演算する。直線演算部２６３で演算された階調値又は軸方位値は、最終的に画像生成部２４７において、決定された直線上における歪の強弱又は軸方位の変化を示すグラフ画像を生成する際に使用される。
【００７３】
次に、図１０乃至図１６を参照しながら、解析装置２２１の画像生成部２４７によって生成された画像の形態について説明する。
【００７４】
図１０は、歪検査器１００から送信されたデータそのものを表示した状態を示した図である。
【００７５】
図１１は、歪検査器１００から送信されたデータを階調値演算部２４０が演算して得られた階調値に基づいて、歪の強弱を色の変化（一例として、図示されるような青色から赤色への変化）で表示した状態を示した図である。なお、図１１の右側上部に表示されている２つの数字は歪の量を示す数値であり、それぞれ右側に表示されている上向き及び下向きの矢印をクリックすることにより、色の変化によって表示する歪の範囲を任意に変更することができる。
【００７６】
図１２は、歪検査器１００から送信されたデータを軸方位演算部２４１が演算して得られた軸方位値に基づいて、軸方位を示す画像を線で表示した状態を示した図である。図示されるように、一定の間隔を置いて配置された各線は、その線の位置における遅軸の方位をそれぞれ示している。
【００７７】
図１３は、歪検査器１００から送信されたデータの内、任意に選択された範囲の検査データを検査データ抽出部２４２が抽出し、抽出された検査データを階調値演算２４０が演算して得られた階調値に基づいて、歪の強弱を色の変化で表示した状態を示した図である。
【００７８】
図１４は、歪検査器１００から送信されたデータの内、任意に決定された直線上の検査データを直線演算部２４３が演算して得られた階調値及び軸方位値に基づいて、決定された直線状における歪の強弱及び軸方位値の変化をグラフで表示した状態を示した図である。
【００７９】
図１５は、検査データ抽出部２４２によって抽出された検査データの範囲における歪の強弱の分布をヒストグラムで表示した状態を示した図である。
【００８０】
図１６は、検査データ抽出部２４２によって抽出された検査データを階調値演算部２４０が演算して得られた階調値を３次元的に表示した状態を示した図である。
【００８１】
以上のとおり、本発明に係る歪検査システム２２０は、歪や複屈折を有する、光を透過する物体の内部のリタデーションの大きさ及び遅軸の方位を自動的に定量測定することができる。
【００８２】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の改変が可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００８３】
１００    歪検査器
１０１    ケース
１０２    スライドカバー
１０３    取っ手
１２０    本体
１２１    板状部材
１２２    支柱
１４０    カメラ
１４１    第二偏光板
１４２    １／４波長板
１４３    第一偏光板
１４４    拡散板
１４５    光源
１６０    回転部材
１６１    軸受
１６２    突起部
１６３    光センサ
１６４    歯車
１６５    中間歯車
１６６    駆動歯車
１６７    モータ
１８０    箱状部材
１８１    半透明部材
１８２    透明部材
１８３    発光体
２００    側面
２０１    底面
２２０    歪検査システム
２２１    解析装置
２２２    ケーブル
２４０    バス
２４１    制御部
２４２    記憶部
２４３    演算部
２４４    通信部
２４５    入力部
２４６    表示部
２４７    画像生成部
２６０    階調値演算部
２６１    軸方位演算部
２６２    検査データ抽出部
２６３    直線演算部
【図１】
2015148572.tif 000003
【図２】
2015148572.tif 000004
【図３】
2015148572.tif 000005
【図４】
2015148572.tif 000006
【図５】
2015148572.tif 000007
【図６】
2015148572.tif 000008
【図７】
2015148572.tif 000009
【図８】
2015148572.tif 000010
【図９】
2015148572.tif 000011
【図１０】
2015148572.tif 000012
【図１１】
2015148572.tif 000013
【図１２】
2015148572.tif 000014
【図１３】
2015148572.tif 000015
【図１４】
2015148572.tif 000016
【図１５】
2015148572.tif 000017
【図１６】
2015148572.tif 000018
【手続補正書】
【提出日】平成26年7月25日(2014.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
歪検査器１００において第二偏光板１４１の回転量は回転部材１６０の回転量と同一になるが、回転部材１６０の回転量を算出するためには、回転部材１６０の回転基準位置を決定する必要がある。このため、歪検査器１００は、回転部材１６０が回転基準位置に存在するか否かを検知するための光センサ１６３を回転部材１６０の近傍に備えており、回転部材１６０には、光センサの発光部と受光部の間を通過可能な突起部１６２が設けられている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
図１１は、歪検査器１００から送信されたデータを階調値演算部２６０が演算して得られた階調値に基づいて、歪の強弱を色の変化（一例として、図示されるような青色から赤色への変化）で表示した状態を示した図である。なお、図１１の右側上部に表示されている２つの数字は歪の量を示す数値であり、それぞれ右側に表示されている上向き及び下向きの矢印をクリックすることにより、色の変化によって表示する歪の範囲を任意に変更することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
図１２は、歪検査器１００から送信されたデータを軸方位演算部２６１が演算して得られた軸方位値に基づいて、軸方位を示す画像を線で表示した状態を示した図である。図示されるように、一定の間隔を置いて配置された各線は、その線の位置における遅軸の方位をそれぞれ示している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
図１３は、歪検査器１００から送信されたデータの内、任意に選択された範囲の検査データを検査データ抽出部２６２が抽出し、抽出された検査データを階調値演算部２６０が演算して得られた階調値に基づいて、歪の強弱を色の変化で表示した状態を示した図である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
図１４は、歪検査器１００から送信されたデータの内、任意に決定された直線上の検査データを直線演算部２６３が演算して得られた階調値及び軸方位値に基づいて、決定された直線状における歪の強弱及び軸方位値の変化をグラフで表示した状態を示した図である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
図１５は、検査データ抽出部２６２によって抽出された検査データの範囲における歪の強弱の分布をヒストグラムで表示した状態を示した図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
図１６は、検査データ抽出部２６２によって抽出された検査データを階調値演算部２６０が演算して得られた階調値を３次元的に表示した状態を示した図である。