(57)【要約】      （修正有）【課題】本発明は、メタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタおよび外部共振器型の波長可変レーザモジュールを提供する。【解決手段】メタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ１０は、ポリマーで光導波路１００を作製する工程において、光導波路１００と同一の温度分布を有する等温線上の位置に温度による金属薄膜の抵抗変化を用いたメタル温度センサ５００を形成することにより、光導波路１００の正確な温度測定を可能とすることで波長安定化を図ることができる。【選択図】図１
2015082116.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光導波路１００と、
前記光導波路１００上に形成される一つ以上のブラッググレーティング２００と、
前記ブラッググレーティング２００が設けられた光導波路１００の上部に形成される波長可変用薄膜ヒータ３００と、
前記光導波路１００の上部に形成され、前記ブラッググレーティング２００から長さ方向に所定距離離間した位置に形成される位相調整用薄膜ヒータ４００と、
前記光導波路１００の上部に形成され、前記波長可変用薄膜ヒータ３００から幅方向に所定距離離間した位置に形成されるメタル温度センサ５００と、
前記光導波路１００およびブラッググレーティング２００が上側に形成された基板２０の下側面に配置される熱電冷却器６００と、を含む、メタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ。
【請求項２】
前記メタル温度センサ５００は、前記光導波路１００のコア１３０と同一の温度分布を有する等温線上に位置することを特徴とする、請求項１に記載のメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ。
【請求項３】
前記メタル温度センサ５００は、前記波長可変用薄膜ヒータ３００の幅方向の両側にそれぞれ形成されることを特徴とする、請求項２に記載のメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ。
【請求項４】
前記メタル温度センサ５００は、前記波長可変用薄膜ヒータ３００と同一材質のメタルからなることを特徴とする、請求項２に記載のメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ。
【請求項５】
前記波長可変用薄膜ヒータ３００の製造工程の際に同一工程を用いて前記メタル温度センサ５００が製造されることを特徴とする、請求項４に記載のメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載のメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタを含む、外部共振器型の波長可変レーザモジュール。
【請求項７】
連続的な波長可変が可能であることを特徴とする、請求項６に記載の外部共振器型の波長可変レーザモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタおよび外部共振器型の波長可変レーザモジュールに関し、より詳細には、ポリマーで光導波路を作製する工程において、光導波路と同一の温度分布を有する等温線上の位置に温度による金属薄膜の抵抗変化を用いたメタル温度センサを形成することにより、光導波路の正確な温度測定を可能とすることで波長安定化を図ることができる、メタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタおよび外部共振器型の波長可変レーザモジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＷＤＭ（Wavelength Division Multiplexing）光通信技術は、現在、ほとんどの基幹ネットワークおよびメトロネットワークに適用される技術であり、一つの光ファイバーからなる光回線に対して波長分割多重化を行い、多数の高速信号を伝送する技術である。ＷＤＭ方式の伝送ネットワークは、光電変換なしに一部の光波長を選択的に分岐／結合することができ、また、一部は通過させることができるＯＡＤＭ（Optical Add／Drop Multiplexer）機能が必須である。ＯＡＤＭは、伝送路に存在する中間ノードの間を波長単位で連結することでネットワークの連結性を確張し、効率性を高めることができる。ＲＯＡＤＭ（Reconfigurable ＯＡＤＭ）は、専門技術者を投入することなく、遠隔地でノードの分岐／結合波長を再構成することができ、全体ネットワークの波長連結状態を効率よく再構成して、トラフィック状況の変化に柔軟に対処することで、ネットワークのメンテナンス費用を著しく低減することができるという利点を有する。
【０００３】
ＲＯＡＤＭは、スイッチに基づく構造と分配選択型（Broadcast and select；ＢＳ）構造とに大別して活用されており、近年、後者の方式が、経路の損失が少なくて多数のノードを収容するために有利なことから、システムにおいてより好ましい方式として認識されている。ＢＳ方式のＲＯＡＤＭシステムは、光分配器、波長多重装置／波長分波装置、光減衰器（ＶＯＡ；Variable Optical Attenuator）、波長可変フィルタおよび波長可変レーザなどがシステムを構成する核心部品である。特に、波長可変レーザと波長可変フィルタが統合された波長可変トランスポンダ（tunable transponder）は、遠隔地で波長を可変させてネットワークを再構成できる機能を提供することから、ネットワーク運営者のバックアップ用光部品の在庫負担を軽減し、ネットワーク管理にかかる時間を短縮することができ、ａｄｄ／ｄｒｏｐの波長選択において任意波長をａｄｄ／ｄｒｏｐすることができ、トラフィック状況の変化に効率よく対処することができ、つまりネットワークのメンテナンス費用を低減する最も効率的なＲＯＡＤＭ技術である。
【０００４】
しかし、波長可変フィルタ技術が向上しておらず、波長可変レーザが非常に高価であることから、波長可変トランスポンダの開発にとって障害となっている。
【０００５】
波長可変フィルタの場合、現在、光ファイバーブラッググレーティングに基づくフィルタが開発されて活用されているが、波長可変応答時間が５秒と非常に遅く、価格をも高くて、商用システムにおいて活用度が低い。
【０００６】
波長可変レーザもまた、ＤＦＢ（Distributed Feed Back）構造を活用したレーザが開発されて活用されているが、ＤＦＢレーザの波長可変範囲が１０ｎｍ以下と狭く、Ｃ‐バンド（１５３５ｎｍ〜１５６５ｎｍ）内の全ての波長を支援するために３〜４セット（set）の波長可変ＤＦＢレーザモジュールを使用しなければならないという欠点がある。また、ＤＦＢレーザを用いた波長可変トランスポンダは、光源が高価であることから多チャネルトランスポンダをバックアップ用に具備しなければならないため、ネットワーク運営者の在庫負担を軽減するための効率的な解決策を提供していない。
【０００７】
したがって、効率的で経済性の高いＲＯＡＤＭシステム用波長可変トランスポンダを実現するために、一つのモジュールで必要なＷＤＭバンド（例えば、Ｃ‐バンド）の全ての波長を可変することができる波長可変フィルタおよび広帯域波長可変機能を提供する波長可変フィルタを用いた外部共振器型の波長可変光源を開発する必要がある。
【０００８】
波長可変フィルタ技術としては、可変ファブリペローフィルタ（Tunable Fabry‐Perot Filter）、微細機械素子（Micro Machined Device）、マッハツェンダー干渉計（Mach‐Zehnder Interferometer）、ファイバブラッググレーティング（Fiber Bragg Gratings）、音響光学可変フィルタ（Acousto‐Optic Tunable Filters）、電気光学可変フィルタ（Electro‐Optic Tunable Filters）、アレイ導波路格子（Arrayed Waveguide Grating；ＡＷＧ）、アクティブフィルタ（Active Filter）、リング共振器可変フィルタ（Ring Resonator Tunable Filters）などが挙げられる。
【０００９】
ブラッググレーティングを用いた光導波路型ポリマー波長可変フィルタ技術が、米国登録特許第６，３０３，０４０号（登録日：２００１年１０月１６日、発明の名称：Method of fabricating thermooptic tunable wavelength filter）に開示されている。
【００１０】
ポリマー光導波路に基づく波長可変フィルタを実現するための従来の技術は、熱光学効果を用いて媒質の屈折率を変化させて、必要とする特定の波長の光を選択的に反射あるいは透過させる技術であり、ポリマー光導波路１２の有効屈折率を変化させてフィルタの動作波長を可変するために光導波路の上端に局所的に熱を発生することができる発熱体１３（通常、金属薄膜）を用いていた（図５参照）。
【００１１】
しかし、金属発熱体を用いた従来技術は、外部温度が変化する際に、金属発熱体から発生する発熱量と必要とするフィルタの動作波長との関係が外部環境に応じて変化するため、外部環境に関係なく、常に一貫したフィルタの動作波長を提供することができないという欠点がある。
【００１２】
したがって、外部環境変化による温度を補償する構成を必ず使用する必要がある。
【００１３】
しかし、一般的に用いる温度測定チップであるサーミスタ１１（thermistor）は、特性上、光が通過する導波路とは距離が離れているウェハーの表面やその側方に位置しなければならないため、実際に温度変化を直接経験する導波路とは当然温度差がある。
【００１４】
この際、温度変化を直接経験して、レーザの波長に影響を与える導波路の温度とサーミスタの温度との差は、波長の安定化に相当悪い影響を与えるという問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】米国登録特許第６，３０３，０４０号（登録日：２００１年１０月１６日、発明の名称：Method of fabricating thermooptic tunable wavelength filter）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明は、前記のような従来技術の問題点を解決するために導き出されたものであり、本発明の目的は、ポリマーで光導波路を作製する工程において、光導波路と同一の温度分布を有する等温線上の位置に温度による金属薄膜の抵抗変化を用いたメタル温度センサを形成することにより、光導波路の正確な温度測定を可能とすることで波長安定化を図ることができる、メタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタを提供することにある。
【００１７】
また、本発明の目的は、メタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタを用いることにより、量産の際に生産性が高く、熱的・電気的・機械的安定性を確保することができる、外部共振器型の波長可変レーザモジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明によるメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタは、光導波路１００と、前記光導波路１００上に形成される一つ以上のブラッググレーティング２００と、前記ブラッググレーティング２００が設けられた光導波路１００の上部に形成される波長可変用薄膜ヒータ３００と、前記光導波路１００の上部に形成され、前記ブラッググレーティング２００から長さ方向に所定距離離間した位置に形成される位相調整用薄膜ヒータ４００と、前記光導波路１００の上部に形成され、前記波長可変用薄膜ヒータ３００から幅方向に所定距離離間した位置に形成されるメタル温度センサ５００と、前記光導波路１００およびブラッググレーティング２００が上側に形成された基板２０の下側面に配置される熱電冷却器６００と、を含んでなり、前記メタル温度センサ５００により測定された温度に基づき、外部環境に関係なく、前記ブラッググレーティング２００の反射帯域が調節されることができる。
【００１９】
前記メタル温度センサ５００は、前記光導波路１００のコア１３０と同一の温度分布を有する等温線上に位置することができる。
【００２０】
この際、前記メタル温度センサ５００は、前記波長可変用薄膜ヒータ３００の幅方向の両側にそれぞれ形成されることができ、前記波長可変用薄膜ヒータ３００と同一材質のメタルからなることができる。
【００２１】
また、前記メタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ１０は、前記波長可変用薄膜ヒータ３００の製造工程の際に同一工程を用いて前記メタル温度センサ５００が製造されることができる。
【００２２】
さらに、本発明による外部共振器型の波長可変レーザモジュールは、メタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ１０を含んで形成されることができ、連続的な波長可変が可能である。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によるメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタは、ポリマーで光導波路を作製する工程において、光導波路と同一の温度分布を有する等温線上の位置に温度による金属薄膜の抵抗変化を用いたメタル温度センサを形成することにより、光導波路の正確な温度測定を可能とすることで波長安定化を図るという利点がある。
【００２４】
また、本発明は、メタル温度センサと、位相調整用薄膜ヒータ、波長可変用薄膜ヒータが同一材質からなるようにすることで、追加の工程がなくても既存の薄膜ヒータ工程を用いて簡単に製造できるという利点がある。
【００２５】
また、本発明による外部共振器型の波長可変レーザモジュールは、上述のメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタを用いることにより、量産の際に生産性が高く、熱的・電気的・機械的安定性を確保できるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明によるメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタを示す斜視図である。
【図２】本発明による外部共振器型の波長可変レーザモジュールを示す平面図である。
【図３】本発明による外部共振器型の波長可変レーザモジュールを示す側面図である。
【図４】本発明によるメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタの縦断面における温度分布等温線を示す図である。
【図５】従来の外部共振器型の波長可変レーザモジュールを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の技術的思想について、添付の図面を参照してより具体的に説明する。
【００２８】
添付の図面は、本発明の技術的思想をより具体的に説明するために示す一例に過ぎず、本発明の技術的思想は添付の図面の形態に限定されるものではない。
【００２９】
図１は本発明によるメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタを示すものであり、図１に示すように、本発明によるメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ１０は、光導波路１００と、ブラッググレーティング２００と、波長可変用薄膜ヒータ３００と、位相調整用薄膜ヒータ４００と、メタル温度センサ５００と、熱電冷却器６００と、を含んでなる。
【００３０】
前記光導波路１００は、通常、光源から出力された光が光学レンズを介して集光されて入力される通路であり、全反射を誘導する上部クラッド１１０と、下部クラッド１２０と、光の伝送が行われるコア１３０（図３参照）と、を含んでなることができる。
【００３１】
この際、前記光学レンズによって集光した光は前記コア１３０に入力されるため、レーザを含むモジュール状態で、前記光導波路１００と対向するレンズ面の焦点は、レンズによって光が入力されるコア１３０の入力面に位置することが好ましい。
【００３２】
前記光導波路１００は、物理的支持のための基板２０上に設けられ、前記基板２０は、シリコン基板２０、ポリマー板またはガラス板などであってもよい。
【００３３】
前記ブラッググレーティング２００は、前記光導波路１００上に形成され、前記光導波路１００に入力される光の波長を温度または強度のような外部条件の変化に応じて変化させる。
【００３４】
本発明では、光導波路１００だけでなく、ブラッググレーティング２００もまたポリマーからなるポリマーブラッググレーティング２００であり、前記光導波路１００またはブラッググレーティング２００を形成するポリマーは、ハロゲン元素を含み、紫外線または熱によって硬化する官能基を含むことができる。
【００３５】
また、前記ブラッググレーティング２００は、一つ以上が長さ方向に所定間隔離間して形成され、前記光導波路１００のコア１３０またはクラッド１１０、１２０に形成されることができる。
【００３６】
この際、前記コア１３０を構成する物質の屈折率は、前記クラッド１１０、１２０を構成する物質の屈折率より高く、前記ブラッググレーティング２００を構成する物質の屈折率は、前記コア１３０を構成する物質の屈折率乃至前記クラッド１１０、１２０を構成する物質の屈折率であることが好ましい。
【００３７】
前記ブラッググレーティング２００は、単一の光導波路１００に周期的に多数個が直列連結されたものであり、前記ブラッググレーティング２００は、１、３、５または７の互いに独立した次数を有する特徴があり、前記光導波路１００の幾何構造は、リブ（rib）構造、リッジ（ridge）構造、逆リブ（inverted rib）構造、逆リッジ（inverted ridge）構造またはチャネル構造であってもよい。
【００３８】
前記波長可変用薄膜ヒータ３００は、前記ブラッググレーティング２００が設けられた光導波路の上部に形成される。また、前記位相調整用薄膜ヒータ４００は、光導波路の上部に形成される、ブラッググレーティング２００から長さ方向に所定距離離間した位置に形成される。
【００３９】
前記波長可変用薄膜ヒータ３００および位相調整用薄膜ヒータ４００は、電力が印加されて熱が発生する通常の金属薄膜ヒータが全て使用可能であるが、好ましくは、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｔｉ、Ａｌ元素およびニクロムのようなこれらの合金からなる積層薄膜からなる群から選択される薄膜型の発熱体が設けられたヒータであることが好適である。
【００４０】
特に、本発明は、前記波長可変用薄膜ヒータ３００と位相調整用薄膜ヒータ４００の周辺温度変化による特性変化を補償するために薄膜ヒータ３００、４００と同一高さに形成され、波長可変用薄膜ヒータ３００から幅方向に所定距離離間した位置に形成されるメタル温度センサ５００と、光導波路１００およびブラッググレーティング２００が上側に形成された基板２０の下側面に配置される熱電冷却器６００と、を含んでなる。
【００４１】
前記熱電冷却器６００は、通常、集積素子または装置を冷却するために用いられる冷却器が全て使用可能であるが、好ましくは、熱電素子が設けられた冷却器であることが好適である。熱電冷却器６００は、所定の電気的信号によって吸熱が生じることにより冷却を行う。
【００４２】
前記のような構成からなる本発明は、薄膜ヒータ３００、４００による熱光学効果により前記ブラッググレーティング２００の反射波長帯域が調節されるが、この際、金属薄膜の抵抗変化を用いて温度を測定するメタル温度センサ５００により測定された温度に基づき、波長可変用薄膜ヒータ３００、位相調整用薄膜ヒータ４００および熱電冷却器６００の吸熱および発熱温度を調節することで、外部環境に関係なく、ブラッググレーティング２００の反射帯域が調節されることができる。
【００４３】
まとめると、本発明のメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ１０は、前記ブラッググレーティング２００が形成された前記光導波路１００の上部に前記波長可変用薄膜ヒータ３００が設けられ、前記波長可変用薄膜ヒータ３００の一側または両側にメタル温度センサ５００が設けられ、ブラッググレーティング２００が形成された光導波路１００の下部に熱電冷却器６００が設けられて、効率的かつ正確な熱光学効果が発生する。
【００４４】
この際、前記光導波路１００の上部に形成されたメタル温度センサ５００は、前記光導波路１００のコア１３０と同一の温度分布を有する等温線上に位置することが好ましい（図５参照）。これにより、従来の温度を測定する位置と光導波路１００との位置がずれて誤差が生じる問題を解決して、前記光導波路１００との温度差を最小化することができ、前記光導波路１００のコア１３０の温度変化を正確にモニタリングすることができる。
【００４５】
また、前記メタル温度センサ５００は、前記光導波路１００のコア１３０と同一の温度分布を有する等温線に位置する二箇所、すなわち、前記波長可変用薄膜ヒータ３００の幅方向の両側にそれぞれ位置することで正確度を向上させることができる。
【００４６】
なお、前記メタル温度センサ５００は、前記波長可変用薄膜ヒータ３００と同一材質のメタルからなることから、追加の工程がなくても既存の薄膜ヒータ工程で同時に製造することができ、追加のサーミスタ（thermistor）およびサーミスタステム（支持層）なしに低コストで温度を調節することができる。
【００４７】
すなわち、本発明は、光導波路１００のコア１３０のような温度分布等温線上に位置するように作製されたメタル温度センサ５００を用いて、ポリマーブラッググレーティング２００の温度を安定的に調節する。メタル温度センサ５００の抵抗変化を用いて温度を測定し、測定した温度に基づき、波長可変用薄膜ヒータ３００、位相調整用薄膜ヒータ４００および熱電冷却器６００の電流値を調節することで波長の安定性を極大化することができる。
【００４８】
図２および図３は本発明による外部共振器型の波長可変レーザモジュールを示す図である。
【００４９】
上述のメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ１０を適用した外部共振器型の波長可変レーザモジュール１は、半導体レーザチップ７００、または集光レンズが設けられたＴＯ‐ｃａｎパッケージ式広帯域光源と、前記メタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ１０を出力カプラ（output coupler）として用い、波長可変用薄膜ヒータ３００、位相調整用薄膜ヒータ４００、メタル温度センサ５００および熱電冷却器６００を同時に用いて、フィルタ動作において、反射帯域の中心波長を外部環境から独立して可変することができる。
【００５０】
本発明による外部共振器型の波長可変レーザモジュール１の作動過程について詳細に説明すると、本発明の外部共振器型の波長可変レーザモジュール１は、前記光導波路１００の熱光学効果を用いてブラッググレーティング２００で反射する波長を調節することによりレーザ出力波長を調節する方法を用いるものであり、より具体的には、光源で出射された広帯域光は、光結合によって光導波路１００のコア１３０に入力され、前記光導波路１００に形成されたブラッググレーティング２００で反射する波長の光が前記光源の出射面に再入力される共振により、前記ブラッググレーティング２００の反射帯域の中心波長を有する発振波長が得られる。
【００５１】
光導波路の上部クラッド１１０上に設けられた波長可変用薄膜ヒータ３００から発生する熱に応じて光導波路１００の有効屈折率が変化することからフィルタ動作の中心波長が可変する。
【００５２】
次に、別の制御部（図示せず）が前記波長可変用薄膜ヒータ３００、メタル温度センサ５００および熱電冷却器６００と電気的に連結され、メタル温度センサ５００から入力される温度に基づき波長可変用薄膜ヒータ３００および熱電冷却器６００の発熱および吸熱を調節することにより、外部環境から独立して発振するレーザの中心波長を可変できる。
【００５３】
なお、前記制御部は、位相調整用薄膜ヒータ４００とも電気的に連結されて、位相調整用薄膜ヒータ４００の温度調節により波長可変レーザ共振器の長さを微細調節することで、発振するレーザモードの位相を調節する機能を果たす。この機能は、主に、波長可変レーザの波長安定性に影響を与えるモードホッピング（laser mode hopping）効果を最小化して波長安定性を向上するために用いられる。
【００５４】
すなわち、本発明の外部共振器型の波長可変レーザモジュールは、モードホッピング（hoping）なしに連続的な波長可変が可能である。通常、レーザは共振器であるため、特定の条件に適合する一連の所定間隔を有する不連続的周波数（または波長）のみが発振する。特定の条件に適合する波長または周波数をモードとし、このようなモード間の遷移をホッピングとする。換言すれば、レーザが、ある一つのモードで発振した後、周辺の温度などの他の要因によって隣接したモードにジャンプする現象をモードホッピングという。
【００５５】
したがって、本発明は、位相調整用薄膜ヒータ４００を用いて共振器全体の長さを自在に調節すると、モード間の間隔を調節することができ、これを用いてホッピングを防止することもでき、連続的な波長可変が可能であるという利点がある。
【００５６】
この際、位相調整用薄膜ヒータ４００と、波長可変機能のために用いられる波長可変用薄膜ヒータ３００との距離が短くて熱的干渉が生じた場合には、波長可変機能と安定機能が互いに影響を与えてレーザ出力が不安となるため、図１から図３に示すように、位相調整用薄膜ヒータ４００は、波長可変用薄膜ヒータ３００と隣接していない位置に形成することが好ましい。
【００５７】
特に、本発明は、図４に示すように、メタル温度センサ５００が、光導波路１００のコア１３０と同一の温度分布を有する等温線上に一体に形成されることにより、従来の外部共振器型レーザモジュール１においてサーミスタが外部に設けられる場合に、サーミスタの温度とレーザの波長に直接影響を与える光導波路１００の温度差によって波長が不安定であった問題を改善して、波長の安定性を極大化することができる。
【００５８】
再度まとめると、本発明によるメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ１０は、ポリマーで光導波路１００を作製する工程において、光導波路１００と同一の温度分布を有する等温線上の位置に温度による金属薄膜の抵抗変化を用いたメタル温度センサ５００を形成することにより、光導波路１００の正確な温度測定を可能とすることで波長安定化を図るという利点がある。
【００５９】
また、本発明は、メタル温度センサ５００と、位相調整用薄膜ヒータ４００、波長可変用薄膜ヒータ３００が同一材質からなるようにすることで、追加の工程がなくても既存の薄膜ヒータ工程を用いて簡単に製造できるという利点がある。
【００６０】
また、本発明による外部共振器型の波長可変レーザモジュール１は、上述のメタル温度センサ内蔵型の波長可変フィルタ１０を用いることにより、量産の際に生産性が高く、熱的・電気的・機械的安定性を確保できるという利点がある。
【００６１】
一方、説明していない符号チップステム８００は、半導体レーザチップ７００の支持層の役割をするものである。
【００６２】
本発明は、上述の実施例に限定されず、適用範囲が多様であることは言うまでもない。例えば、本発明で主張する波長可変フィルタのように熱光学効果を用いる、光信号の強度を減衰する可変光減衰器（ＶＯＡ；Variable optical attenuator）にも用いられることができる。また、請求範囲で請求する本発明の要旨から逸脱することなく、様々な変形実施が可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００６３】
１  外部共振器型の波長可変レーザモジュール
１０  メタルセンサ内蔵型の波長可変フィルタ
２０  基板
１００  光導波路
１１０  上部クラッド
１２０  下部クラッド
２００  ブラッググレーティング
３００  波長可変用薄膜ヒータ
４００  位相調整用薄膜ヒータ
５００  メタル温度センサ
６００  熱電冷却器
７００  半導体レーザチップ
８００  チップステム
【図１】
2015082116.tif 000003
【図２】
2015082116.tif 000004
【図３】
2015082116.tif 000005
【図４】
2015082116.tif 000006
【図５】
2015082116.tif 000007
【外国語明細書】
2015082116000001.pdf