(57)【要約】      （修正有）【課題】製品の出来栄えのばらつきを抑制することができる生産支援システム、生産支援方法、および生産支援プログラムを提供する。【解決手段】生産支援システムは、生産数に関するデータと、製造装置に関するデータと、から製造装置当たりの予定生産数を演算し、生産数に関するデータと、検査装置または計測装置に関するデータと、から検査・計測割合を演算し、前記製造装置当たりの予定生産数と、前記検査・計測割合と、から出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算し、前記出来栄え制御の対象製品数と、予め求められたフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った際の製品の数と、出来栄えのばらつきと、の関係と、前記フィードフォワード型のＡＰＣを行った際の出来栄えのばらつきと、前記フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行わなかった際の出来栄えのばらつきと、から適切な制御態様を演算する。【選択図】図１
2015060473.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産数に関するデータを格納する生産情報格納部と、
製造装置に関するデータを格納する製造装置情報格納部と、
検査装置または計測装置に関するデータを格納する検査・計測装置情報格納部と、
予定ロット数演算部であって、
前記生産数に関するデータと、前記製造装置に関するデータと、から製造装置当たりの予定生産数を演算し、
前記生産数に関するデータと、前記検査装置または前記計測装置に関するデータと、から検査・計測割合を演算し、
前記製造装置当たりの予定生産数と、前記検査・計測割合と、から出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算する予定ロット数演算部と、
第１の制御態様演算部であって、
前記出来栄えの制御の対象となる製品の数と、
予め求められたフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った際の製品の数と、出来栄えのばらつきと、の関係と、
前記フィードフォワード型のＡＰＣを行った際の出来栄えのばらつきと、
前記フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行わなかった際の出来栄えのばらつきと、から適切な制御態様を演算する第１の制御態様演算部と、  を備えた生産支援システム。
【請求項２】
生産数に関するデータを格納する生産情報格納部と、
製造装置に関するデータを格納する製造装置情報格納部と、
検査装置または計測装置に関するデータを格納する検査・計測装置情報格納部と、
予定ロット数演算部であって、
前記生産数に関するデータと、前記製造装置に関するデータと、から製造装置当たりの予定生産数を演算し、
前記生産数に関するデータと、前記検査装置または前記計測装置に関するデータと、から検査・計測割合を演算し、
前記製造装置当たりの予定生産数と、前記検査・計測割合と、から出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算する予定ロット数演算部と、
検査結果または計測結果に関するデータを格納する検査・計測情報格納部と、
ＡＰＣ計算式に関するデータを格納するＡＰＣ情報格納部と、
前記検査結果または前記計測結果に関するデータと、前記ＡＰＣ計算式に関するデータと、前記出来栄えの制御の対象となる製品の数と、から、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合と、行わなかった場合における出来栄えのばらつきをそれぞれ演算する第２の制御態様演算部と、
を備えた生産支援システム。
【請求項３】
複数の前記製造装置における統計値を演算する第１の補助部をさらに備え、
前記予定ロット数演算部は、前記統計値に基づいて選択された前記製造装置を用いた場合における前記出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算する請求項２記載の生産支援システム。
【請求項４】
前記製品の移動平均数を変化させる第２の補助部をさらに備え、
前記予定ロット数演算部は、前記変化させた製品の移動平均数毎に前記出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算し、
前記第２の制御態様演算部は、前記変化させた製品の移動平均数毎に前記フィードバック型と前記フィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合における前記出来栄えのばらつきを演算し、前記出来栄えのばらつきが最小となる前記製品の移動平均数を演算する請求項２または３に記載の生産支援システム。
【請求項５】
前記ＡＰＣ計算式における補正係数を変化させる第３の補助部をさらに備え、
前記第２の制御態様演算部は、前記変化させた前記補正係数毎に前記フィードバック型と前記フィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合における前記出来栄えのばらつきを演算し、前記出来栄えのばらつきが最小となる前記補正係数を演算する請求項２〜４のいずれか１つに記載の生産支援システム。
【請求項６】
グループ製品に関するデータを提供する第４の補助部をさらに備え、
前記予定ロット数演算部は、選択された前記グループ製品について、前記出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算し、
前記第２の制御態様演算部は、前記選択された前記グループ製品について、前記フィードバック型と前記フィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合と、行わなかった場合における出来栄えのばらつきをそれぞれ演算する請求項２〜５のいずれか１つに記載の生産支援システム。
【請求項７】
生産数に関するデータと、製造装置に関するデータと、から製造装置当たりの予定生産数を演算する工程と、
前記生産数に関するデータと、検査装置または計測装置に関するデータと、から検査・計測割合を演算する工程と、
前記製造装置当たりの予定生産数と、前記検査・計測割合と、から出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算する工程と、
前記出来栄えの制御の対象となる製品の数と、
予め求められたフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った際の製品の数と、出来栄えのばらつきと、の関係と、
前記フィードフォワード型のＡＰＣを行った際の出来栄えのばらつきと、
前記フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行わなかった際の出来栄えのばらつきと、から適切な制御態様を演算する工程と、を備えた生産支援方法。
【請求項８】
生産数に関するデータと、製造装置に関するデータと、から製造装置当たりの予定生産数を演算する工程と、
前記生産数に関するデータと、検査装置または計測装置に関するデータと、から検査・計測割合を演算する工程と、
前記製造装置当たりの予定生産数と、前記検査・計測割合と、から出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算する工程と、
検査結果または計測結果に関するデータと、ＡＰＣ計算式に関するデータと、前記出来栄えの制御の対象となる製品の数と、から、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合と、行わなかった場合における出来栄えのばらつきをそれぞれ演算する工程と、
を備えた生産支援方法。
【請求項９】
コンピューターに、
生産数に関するデータと、製造装置に関するデータと、から製造装置当たりの予定生産数を演算させることと、
前記生産数に関するデータと、検査装置または計測装置に関するデータと、から検査・計測割合を演算させることと、
前記製造装置当たりの予定生産数と、前記検査・計測割合と、から出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算させることと、
前記出来栄えの制御の対象となる製品の数と、
予め求められたフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った際の製品の数と、出来栄えのばらつきと、の関係と、
前記フィードフォワード型のＡＰＣを行った際の出来栄えのばらつきと、
前記フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行わなかった際の出来栄えのばらつきと、から適切な制御態様を演算させることと、を実行させる生産支援プログラム。
【請求項１０】
コンピューターに、
生産数に関するデータと、製造装置に関するデータと、から製造装置当たりの予定生産数を演算させることと、
前記生産数に関するデータと、検査装置または計測装置に関するデータと、から検査・計測割合を演算させることと、
前記製造装置当たりの予定生産数と、前記検査・計測割合と、から出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算させることと、
検査結果または計測結果に関するデータと、ＡＰＣ計算式に関するデータと、前記出来栄えの制御の対象となる製品の数と、から、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合と、行わなかった場合における出来栄えのばらつきをそれぞれ演算させることと、を実行させる生産支援プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
後述する実施形態は、概ね、生産支援システム、生産支援方法、および生産支援プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、製品の出来栄えに対する管理が厳しくなってきている。例えば、半導体装置などの電子デバイスの製造においては、微細化の進行にともないプロセス加工後の寸法に対する管理が非常に厳しくなってきている。  
ここで、量産段階における製品の出来栄えを制御する技術として、ＡＰＣ(Advanced Process Control)が知られている。  
ＡＰＣにより製造装置の操業条件を調整すれば、製品の出来栄えを一定の水準内に揃えることができる。  
ところが、ＡＰＣは、一般的には生産数量が多い場合（例えば、フル生産時）にその効果(寸法ばらつきの抑制や工程能力向上など)が最大となる。  
そのため、生産数量が少ない場合（例えば、製品の世代交代に伴う新製品の量産開始時や、製品の世代交代に伴う旧製品の減産時など）には、製品の出来栄えのばらつきがかえって大きくなるおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２５８３５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、製品の出来栄えのばらつきを抑制することができる生産支援システム、生産支援方法、および生産支援プログラムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態に係る生産支援システムは、生産数に関するデータを格納する生産情報格納部と、製造装置に関するデータを格納する製造装置情報格納部と、検査装置または計測装置に関するデータを格納する検査・計測装置情報格納部と、前記生産数に関するデータと、前記製造装置に関するデータと、から製造装置当たりの予定生産数を演算し、前記生産数に関するデータと、前記検査装置または前記計測装置に関するデータと、から検査・計測割合を演算し、前記製造装置当たりの予定生産数と、前記検査・計測割合と、から出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算する予定ロット数演算部と、前記出来栄えの制御の対象となる製品の数と、予め求められたフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った際の製品の数と、出来栄えのばらつきと、の関係と、前記フィードフォワード型のＡＰＣを行った際の出来栄えのばらつきと、前記フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行わなかった際の出来栄えのばらつきと、から適切な制御態様を演算する第１の制御態様演算部と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１の実施形態に係る生産支援システム１００を例示するためのブロック図である。
【図２】制御態様演算部５による制御態様の選択を例示するための模式グラフ図である。
【図３】第２の実施形態に係る生産支援システム１０１を例示するためのブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
[第１の実施形態]  
図１は、第１の実施形態に係る生産支援システム１００を例示するためのブロック図である。  
図１に示すように、生産支援システム１００には、入力部１、生産情報格納部２ａ、製造装置情報格納部２ｂ、検査・計測装置情報格納部２ｃ、予定ロット数演算部３、出来栄え情報格納部４、制御態様演算部５（第１の制御態様演算部に一例に相当する）、管理情報演算部６、出力部７が設けられている。
【０００８】
入力部１は、対象となる製品を特定するためのデータ、および制約条件に関するデータを入力するためのものである。  
対象となる製品を特定するためのデータは、例えば、品種、工程、対象期間、工程条件などである。  
制約条件に関するデータについては後述する。  
入力部１は、データを入力するものであってもよいし、表示されたデータ名などを選択することで入力するものであってもよい。  
例えば、入力部１は、キーボードやバーコードリーダなどの各種のデータ入力機器や、表示部と選択スイッチを備えたものなどとすることができる。  
入力部１は、入力されたデータを予定ロット数演算部３に提供する。
【０００９】
生産情報格納部２ａは、過去における生産実績に関するデータ、および生産計画におけるデータを各製品毎に格納する。  
過去における生産実績に関するデータは、例えば、過去における各製品毎の生産数などとすることができる。
【００１０】
生産計画におけるデータは、例えば、現在生産中あるいは新たに生産を開始する各製品毎の生産数などとすることができる。  
生産情報格納部２ａは、格納されているデータを予定ロット数演算部３に提供する。
【００１１】
製造装置情報格納部２ｂは、製造装置に関するデータを格納する。  
製造装置に関するデータは、例えば、製造ラインに設けられた製造装置の台数（例えば、台数や処理室（チャンバー）の数など）、製造装置の種類（例えば、エッチング装置や成膜装置など）、各製造装置における処理能力（例えば、処理に要する時間など）などとすることができる。  
製造装置情報格納部２ｂは、格納されているデータを予定ロット数演算部３に提供する。
【００１２】
検査・計測装置情報格納部２ｃは、検査装置または計測装置に関するデータを格納する。
検査装置または計測装置に関するデータは、例えば、製造ラインに設けられた検査装置または計測装置の台数、検査装置または計測装置の種類、検査装置の検査能力または計測装置の計測能力（例えば、検査または計測に要する時間など）などとすることができる。
検査装置または計測装置は、例えば、製品の寸法、形状、重さ、反射光強度、および発光強度などの製品の出来栄えの検査または計測を行うものとすることができる。  
検査・計測装置情報格納部２ｃは、格納されているデータを予定ロット数演算部３に提供する。
【００１３】
予定ロット数演算部３は、出来栄えの制御の対象となる製品の数を以下のようにして求める。  
まず、予定ロット数演算部３は、入力部１から入力されたデータに基づいて、生産情報格納部２ａに格納されているデータから所望の製品の生産数を抽出する。  
この場合、生産情報格納部２ａに生産計画におけるデータが格納されている場合には、予定ロット数演算部３は、生産計画におけるデータから所望の製品の予定生産数を抽出する。  
生産情報格納部２ａに生産計画におけるデータが格納されていない場合には、予定ロット数演算部３は、過去における生産実績に関するデータから所望の製品の予定生産数を抽出する。
【００１４】
次に、予定ロット数演算部３は、入力部１から入力されたデータに基づいて、製造装置情報格納部２ｂに格納されているデータから、製造装置の台数や製造装置における処理能力を抽出する。  
そして、予定ロット数演算部３は、抽出された製品の予定生産数と、製造装置の台数（処理室の数）および製造装置における処理能力から、各製造装置（各処理室）当たりの予定生産数を求める。
【００１５】
次に、予定ロット数演算部３は、入力部１から入力されたデータに基づいて、検査・計測装置情報格納部２ｃに格納されているデータから、検査装置または計測装置の台数および検査装置の検査能力または計測装置の計測能力を抽出する。  
そして、予定ロット数演算部３は、抽出された製品の予定生産数と、検査装置または計測装置の台数および検査装置の検査能力または計測装置の計測能力から、検査・計測割合（検査・計測頻度）を求める。  
この場合、検査装置や計測装置の台数が多かったり、検査装置の検査能力や計測装置の計測能力が高かったりした場合には、すべての製品の検査や計測が行われることになる。そして、すべての製品が出来栄えの制御の対象となる。  
一方、検査装置や計測装置の台数が少なかったり、検査装置の検査能力や計測装置の計測能力が低かったりした場合は、一部の製品の検査や計測が行われることになる。そして、検査や計測が行われた製品が出来栄えの制御の対象となる。
【００１６】
そのため、予定ロット数演算部３は、以下の式（１）に基づいて、出来栄えの制御の対象となる製品の数Ｎを求める。  
Ｎ＝ｎ×Ｓ  ・・・（１）  
ここで、Ｎは、出来栄えの制御の対象となる製品の数である。ｎは、各製造装置（各処理室）当たりの予定生産数である。Ｓは、検査・計測割合である。  
なお、本明細書の実施の形態においては、例えば、出来栄えの制御の対象となる製品の数Ｎは、ＡＰＣを行った際の製品の数、または、製造装置（処理室）１つ当たりの生産数(ある一定期間内に各製造装置(各処理室)において処理される製品の数）であるとする。  予定ロット数演算部３は、求められた出来栄えの制御の対象となる製品の数Ｎを、制御態様演算部５に提供する。
【００１７】
出来栄え情報格納部４は、出来栄えに関するデータを各製品毎に格納する。  
出来栄えに関するデータは、例えば、各製造装置（各処理室）においてフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った際の製品の数と、出来栄えのばらつきとの関係とすることができる。  
また、出来栄えに関するデータは、例えば、フィードフォワード型のＡＰＣを行った際の出来栄えのばらつきＣ１、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行わなかった際の出来栄えのばらつきＣ２を含むものとすることができる。  
出来栄え情報格納部４は、格納されているデータを制御態様演算部５および管理情報演算部６に提供する。
【００１８】
制御態様演算部５は、出来栄えの制御の対象となる製品の数Ｎと、各製造装置（各処理室）においてフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った際の製品の数と、出来栄えのばらつきとの関係と、フィードフォワード型のＡＰＣを行った際の出来栄えのばらつきＣ１と、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行わなかった際の出来栄えのばらつきＣ２と、から適切な制御態様を演算する。
【００１９】
図２は、制御態様演算部５による制御態様の選択を例示するための模式グラフ図である。
図中のＹ＝ｆ（Ｘ）は、各製造装置（各処理室）においてフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った際の製品の数と、出来栄えのばらつきとの関係を表す関係式である。  
Ｙ＝ｆ（Ｘ）は、例えば、同じ製品または類似製品の実績データなどを用いてシミュレーションを行うことで求めることができる。  
なお、図２においては、線形となるＹ＝ｆ（Ｘ）を例示したがこれに限定されるわけではない。  
また、フィードフォワード型のＡＰＣを行った際の出来栄えのばらつきＣ１と、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行わなかった際の出来栄えのばらつきＣ２とは、過去における実績から求めることができる。
【００２０】
まず、制御態様演算部５は、Ｙ＝ｆ（Ｘ）と出来栄えのばらつきＣ１とから製品の数Ｎ１を求める。  
また、制御態様演算部５は、Ｙ＝ｆ（Ｘ）と出来栄えのばらつきＣ２とから、製品の数Ｎ２を求める。  
なお、製品の数Ｎ１と製品の数Ｎ２は、予め求めたものを出来栄え情報格納部４に格納しておいてもよい。
【００２１】
ここで、０〜Ｎ２の間においては、出来栄えのばらつきはＣ２より大きくなる。すなわち、０〜Ｎ２の間においては、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行うと出来栄えのばらつきがかえって大きくなる。そのため、０〜Ｎ２の間においては、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行わないことが適切となる。この場合、実績データなどから求められた各製造装置（各処理室）の操業条件により生産を行うようにすればよい。
【００２２】
また、Ｎ２〜Ｎ１の間においては、出来栄えのばらつきはＣ１より大きくなる。すなわち、Ｎ２〜Ｎ１の間においては、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行うと出来栄えのばらつきがかえって大きくなる。  
すなわち、Ｎ２〜Ｎ１の間においては、フィードフォワード型のＡＰＣを行うことが適切となる。  
また、Ｎ１を超えた場合には、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行うことが適切となる。
【００２３】
そのため、制御態様演算部５は、出来栄えの制御の対象となる製品の数Ｎが、０〜Ｎ２の範囲、Ｎ２〜Ｎ１の範囲、Ｎ１を超えた範囲のいずれにあるかを判定することで、適切な制御態様を選択することができる。
【００２４】
管理情報演算部６は、各製造装置（各処理室）においてフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った際の製品の数と、出来栄えのばらつきとの関係（例えば、Ｙ＝ｆ（Ｘ））と、出来栄えの制御の対象となる製品の数Ｎとから、ＡＰＣの効果、例えば、出来栄えのばらつきや工程能力を求める。  
工程能力は、例えば、製造装置の台数、製造装置１台当たりの生産数、検査装置の台数、検査割合、出来栄えの制御の対象となる製品の数Ｎ、ＡＰＣの方式（フィードバック型のＡＰＣ、フィードフォワード型のＡＰＣ）、工程能力見込みなどとすることができる。
工程能力は、規格値の幅に対し、現状のばらつきが相対的にどの程度の大きさとなっているかを表したものであり、数値が大きくなるほど優秀な製造工程であるとして用いることができる。  
【００２５】
出力部７は、予定ロット数演算部３、制御態様演算部５、および管理情報演算部６において用いた各種のデータや、求められた結果を出力する。  
出力部７は、例えば、製造装置の台数、製造装置１台当たりの生産数、検査装置の台数、計測装置の台数、検査・計測割合、出来栄えの制御の対象となる製品の数Ｎ、ＡＰＣの方式（フィードバック型のＡＰＣ、フィードフォワード型のＡＰＣ）、工程能力見込みなどを出力する。
出力先は、例えば、作業者が用いる表示装置や、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）、フラッシュメモリ、フロッピディスクなどの各種データ記憶媒体などとすることができる。
【００２６】
また、出力部７により出力されたデータなどを参照して、入力部１に制約条件に関するデータを入力して、前記の演算を再度行うようにすることもできる。  
制約条件に関するデータは、例えば、製造装置の台数の範囲、製造装置1台当たりの処理量の範囲、検査装置または計測装置の台数の範囲、検査・計測割合の範囲などとすることができる。  
入力部１から制約条件に関するデータが入力されると、製造装置情報格納部２ｂおよび検査・計測装置情報格納部２ｃに格納されているデータや、予定ロット数演算部３により求められた検査・計測割合などに代わり入力されたデータが優先的に用いられる。
【００２７】
この場合、入力部１から所定の範囲を有するデータを入力することもできる。入力部１から所定の範囲を有するデータが入力されると、その範囲内において自動的に条件振りを行い、前述した演算を複数回繰り返し行う（ループ処理）ようにすることができる。そして、得られた複数の結果のうち、上位のＮ件を出力部７により出力することもできる。
【００２８】
以上に例示をしたように、本実施の形態に係る生産支援方法は以下の工程を含むものとすることができる。  
生産数に関するデータと、製造装置に関するデータと、から製造装置当たりの予定生産数を演算する工程。  
生産数に関するデータと、検査装置または計測装置に関するデータと、から検査・計測割合を演算する工程。  
製造装置当たりの予定生産数と、検査・計測割合と、から出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算する工程。  
出来栄えの制御の対象となる製品の数と、予め求められたフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った際の製品の数と、出来栄えのばらつきとの関係と、フィードフォワード型のＡＰＣを行った際の出来栄えのばらつきと、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行わなかった際の出来栄えのばらつきと、から適切な制御態様を演算する工程。  
なお、各工程における内容は、前述したものと同様とすることができる。そのため、各工程における内容の説明は省略する。
【００２９】
[第２の実施形態]  
図３は、第２の実施形態に係る生産支援システム１０１を例示するためのブロック図である。  
図３に示すように、生産支援システム１０１には、入力部１１、生産情報格納部２ａ、製造装置情報格納部２ｂ、検査・計測装置情報格納部２ｃ、予定ロット数演算部３、検査・計測情報格納部１２ａ、ＡＰＣ情報格納部１２ｂ、制御態様演算部１４（第２の制御態様演算部の一例に相当する）、出力部７、第１の補助部１５ａ、第２の補助部１５ｂ、第３の補助部１５ｃ、および第４の補助部１５ｄが設けられている。
【００３０】
入力部１１は、前述した入力部１と同様とすることができる。  
ただし、入力部１１は、後述する第１の補助部１５ａ、第２の補助部１５ｂ、第３の補助部１５ｃ、および第４の補助部１５ｄのいずれかを選択するためのスイッチをさらに有している。
【００３１】
検査・計測情報格納部１２ａは、検査結果または計測結果に関するデータを格納する。  検査結果または計測結果に関するデータは、例えば、製品の寸法、形状、重さ、反射光強度、および発光強度などである。  
検査・計測情報格納部１２ａは、格納されているデータを制御態様演算部１４に提供する。  
ＡＰＣ情報格納部１２ｂは、ＡＰＣ計算式に関するデータを格納する。  
ＡＰＣ情報格納部１２ｂは、格納されているデータを制御態様演算部１４に提供する。
【００３２】
制御態様演算部１４は、検査・計測情報格納部１２ａから抽出した検査結果または計測結果に関するデータ（例えば、製品の寸法）と、ＡＰＣ情報格納部１２ｂから抽出したＡＰＣ計算式に関するデータと、予定ロット数演算部３により求められた各製造装置（各処理室）における出来栄えの制御の対象となる製品の数Ｎとから、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合と、行わなかった場合における出来栄えのばらつきをそれぞれ演算する。    
制御態様演算部１４は、例えば、１２ヶ月分のデータを一ヶ月ずつずらして繰り返し演算するようにすることができる。なお、期間などは適宜変更することができる。
【００３３】
次に、制御態様演算部１４は、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合と、行わなかった場合における出来栄えのばらつきが等しくなる製品の数を演算する。  
出来栄えのばらつきが等しくなる製品の数は、出力部７に提供される。  
出力部７は、出来栄えのばらつきが等しくなる製品の数を、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行わないことが適切となる時期として表示する。  すなわち、制御態様演算部１４は、実際のデータを用いてシミュレーションを行い、適切な制御態様の選択を示唆する。
【００３４】
また、作業者は、入力部１１から以下の補助機能を選択することができる。  
第１の補助部１５ａは、製造装置情報格納部２ｂ、検査・計測装置情報格納部２ｃ、および検査・計測情報格納部１２ａから抽出したデータに基づいて、各製造装置（各処理室）毎の統計値(例えば、平均値、ばらつき、最大値、最小値など)を演算する。演算結果は、例えば、各製造装置（各処理室）と検査・計測割合と出来栄えの制御の対象となる製品の数Ｎとが記入されたマトリックス表や、統計値をベースとした製造装置（処理室）のポテンシャルをランキング形式で表した表などとして、出力部７などに表示することができる。
【００３５】
作業者は、各製造装置（各処理室）に関する統計値のデータから、ＡＰＣを行うのに適した製造装置（処理室）を選択し、入力部１１から選択した製造装置（処理室）に関するデータ（例えば、製造装置（処理室）の名称）を入力する。  
予定ロット数演算部３は、求められた統計値に基づいて入力された製造装置（処理室）を用いた場合における出来栄えの制御の対象となる製品の数Ｎを演算する。  
制御態様演算部１４は、入力された製造装置（処理室）を用いた場合におけるフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合と、行わなかった場合における出来栄えのばらつきをそれぞれ演算する。  
制御態様演算部１４は、例えば、１２ヶ月分のデータを一ヶ月ずつずらして繰り返し演算するようにすることができる。なお、期間などは適宜変更することができる。  
次に、制御態様演算部１４は、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合と、行わなかった場合における出来栄えのばらつきが等しくなる製品の数を演算する。  
出来栄えのばらつきが等しくなる製品の数は、出力部７に提供される。  
出力部７は、出来栄えのばらつきが等しくなる製品の数を、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行わないことが適切となる時期として表示する。
【００３６】
第２の補助部１５ｂは、製造装置情報格納部２ｂ、検査・計測装置情報格納部２ｃ、および検査・計測情報格納部１２ａから抽出したデータに基づいて、各製造装置（各処理室）毎の製品の移動平均数を演算する。  
そして、第２の補助部１５ｂは、製品の移動平均数を変化させる。  
予定ロット数演算部３は、変化させた製品の移動平均数毎に出来栄えの制御の対象となる製品の数Ｎを演算する。  
制御態様演算部１４は、変化させた製品の移動平均数毎にフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合における出来栄えのばらつきを演算し、出来栄えのばらつきが最小となる製品の移動平均数を演算する。  
制御態様演算部１４は、例えば、１２ヶ月分のデータを一ヶ月ずつずらして繰り返し演算するようにすることができる。なお、期間などは適宜変更することができる。  
演算結果は、出力部７などに表示される。  
出力部７は、出来栄えのばらつきが最小となる製品の移動平均数を表示する。
【００３７】
第３の補助部１５ｃは、ＡＰＣ情報格納部１２ｂに格納されているＡＰＣ計算式における補正係数（例えば、フィードバック型ＡＰＣの補正係数）を変化させる。  
制御態様演算部１４は、変化させた補正係数毎にフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合における出来栄えのばらつきを演算し、出来栄えのばらつきが最小となる補正係数を演算する。  
制御態様演算部１４は、例えば、１２ヶ月分のデータを一ヶ月ずつずらして繰り返し演算するようにすることができる。なお、期間などは適宜変更することができる。  
演算結果は、出力部７などに表示される。  
出力部７は、出来栄えのばらつきが最小となるＡＰＣ計算式における補正係数を表示する。
【００３８】
第４の補助部１５ｄは、グループ製品に関するデータを出力部７などに提供する。  
グループ製品に関するデータは、例えば、対象製品と類似した他製品である。  
グループ製品に関するデータは、例えば、生産情報格納部２ａに格納されているデータから抽出することができる。  
作業者は、入力部１１からグループ製品に関するデータ（例えば、製品名など）を入力することができる。  
予定ロット数演算部３は、入力されたグループ製品について、出来栄えの制御の対象となる製品の数Ｎを演算する。  
制御態様演算部１４は、入力されたグループ製品について、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合と、行わなかった場合における出来栄えのばらつきをそれぞれ演算する。  
演算結果は、出力部７などに表示される。  
出力部７は、入力されたグループ製品について、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合と、行わなかった場合における出来栄えのばらつきをそれぞれ表示する。
【００３９】
以上に例示をしたように、本実施の形態に係る生産支援方法は、以下の工程を含むものとすることができる。  
生産数に関するデータと、製造装置に関するデータと、から製造装置当たりの予定生産数を演算する工程。  
生産数に関するデータと、検査装置または計測装置に関するデータと、から検査・計測割合を演算する工程。
製造装置当たりの予定生産数と、検査・計測割合とから出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算する工程。  
検査結果または計測結果に関するデータと、ＡＰＣ計算式に関するデータと、出来栄えの制御の対象となる製品の数とからフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合と、行わなかった場合における出来栄えのばらつきをそれぞれ演算する工程。  
なお、各工程における内容は、前述したものと同様とすることができる。そのため、各工程における内容の説明は省略する。
【００４０】
[第３の実施形態]  
次に、本実施の形態に係る生産支援プログラムについて例示をする。  
本実施の形態に係る生産支援プログラムは、コンピュータに、前述した生産支援方法を実行させるものである。  
一連の生産支援を実行させるために、本実施の形態に係る生産支援プログラムが、例えば、生産支援システム１００、１０１に設けられた図示しないプログラム格納手段に格納される。生産支援プログラムは、例えば、図示しない記録媒体を介して図示しないプログラム格納手段に格納されたり、ＭＥＳ（Manufacturing Execution System）系ＬＡＮ（Local Area Network）などを介して図示しないプログラム格納手段に格納されたりすることができる。  
そして、このプログラムを実行することで、前述した予定ロット数演算部３、制御態様演算部５、制御態様演算部１４などにおける抽出や演算が実行される。
【００４１】
生産支援プログラムは、以下のことを実行させるものとすることができる。  
生産数に関するデータと、製造装置に関するデータと、から製造装置当たりの予定生産数を演算させること。  
生産数に関するデータと、検査装置または計測装置に関するデータと、から検査・計測割合を演算させること。
製造装置当たりの予定生産数と、検査・計測割合と、から出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算させること。  
出来栄えの制御の対象となる製品の数と、予め求められたフィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った際の製品の数と、出来栄えのばらつきと、の関係と、フィードフォワード型のＡＰＣを行った際の出来栄えのばらつきと、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行わなかった際の出来栄えのばらつきと、から適切な制御態様を演算させること。
【００４２】
また、生産支援プログラムは、以下のことを実行させるものとすることもできる。  
生産数に関するデータと、製造装置に関するデータと、から製造装置当たりの予定生産数を演算させること。  
生産数に関するデータと、検査装置または計測装置に関するデータと、から検査・計測割合を演算させること。
製造装置当たりの予定生産数と、検査・計測割合と、から出来栄えの制御の対象となる製品の数を演算させること。  
検査結果または計測結果に関するデータと、ＡＰＣ計算式に関するデータと、出来栄えの制御の対象となる製品の数と、から、フィードバック型とフィードフォワード型を組み合わせたＡＰＣを行った場合と、行わなかった場合における出来栄えのばらつきをそれぞれ演算させること。
【００４３】
なお、生産支援プログラムに基づいて実行される手順は、前述の順序に従って時系列的に実行されるようにしてもよいし、必ずしも時系列的に実行されなくとも並列的あるいは選別的に実行されるようにしてもよい。
【００４４】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１  入力部、２ａ  生産情報格納部、２ｂ  製造装置情報格納部、２ｃ  検査・計測装置情報格納部、３  予定ロット数演算部、４  出来栄え情報格納部、５  制御態様演算部、６  管理情報演算部、７  出力部、１１  入力部、１２ａ  検査・計測情報格納部、１２ｂ  ＡＰＣ情報格納部、１４  制御態様演算部、１５ａ  第１の補助部、１５ｂ  第２の補助部、１５ｃ  第３の補助部、１５ｄ  第４の補助部、１００  生産支援システム、１０１  生産支援システム
【図１】
2015060473.tif 000003
【図２】
2015060473.tif 000004
【図３】
2015060473.tif 000005