(57)【要約】【課題】本発明は、マスクに付着した有機物や汚れを除去する装置を開示した。【解決手段】金属マスクを放置するための槽体と、前記の金属マスクを固定するための治具とを備えるマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置であって、さらに薬液貯蔵装置に接続され、且つ前記薬液貯蔵装置中の薬液を前記金属マスクに噴霧して洗浄を行う噴霧機構を備え、前記槽体の底部には液体排出口が設けられ、前記噴霧機構から噴霧された薬液は、前記金属マスクを洗浄した後前記液体排出口を介して前記槽体から流出されることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属マスクを放置するための槽体と、
前記金属マスクを固定するための治具と、を備えるマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置であって、
さらに、薬液貯蔵装置に接続され、且つ前記薬液貯蔵装置中の薬液を前記金属マスクに噴霧して前記金属マスクの洗浄を行う噴霧機構を備え、
前記槽体の底部には液体排出口が設けられ、前記噴霧機構から噴霧された薬液は、前記金属マスクを洗浄した後、前記液体排出口を介して前記槽体から流出されることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記装置は、さらに前記噴霧機構に接続され、洗浄処理を行う際に、前記噴霧機構を鉛直方向に沿って上下に移動しながら薬液を噴霧するように制御する第１制御装置を備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記装置は、さらに前記治具に接続され、洗浄を行う際に、前記金属マスクを鉛直方向に沿って上下に移動するように制御する第２制御装置を備え、
前記噴霧機構は、洗浄を行う際に、前記金属マスクの側面に位置し、前記金属マスクの表面に向かって薬液を噴霧する４つの噴霧直管を備え、
前記噴霧直管の長さは、前記金属マスクの側面の長さ以上であり、又は前記噴霧直管の長さは前記金属マスクの長さより短いことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置の分野に関し、特に、マスクに付着した有機物や汚れを除去する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＣＲＴ及びＬＣＤのディスプレイ装置の代替品として、有機エレクトロルミネッセンス（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ、以下“有機ＥＬ”と言える）素子を使用した有機ＥＬディスプレイが注目され、例え、前記有機ＥＬ素子を駆動するための薄膜トランジスタ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ、以下“ＴＦＴ”称する）を備える有機ＥＬディスプレイの研究開発が行われている。
【０００３】
前記有機ＥＬ素子は、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ；インジウムスズ酸化物）などの透明電極からなる陽極と、ＭＴＤＡＴＡ（４，４−ビス（３−メチルフェニルフェニルアミノ）−ビフェニル）などの第１正孔輸送層及びＴＰＤ（４，４，４−トリス（３−メチルフェニルフェニルアミノ）−トリフェニルアミン）などの第２正孔輸送層からなる正孔輸送層と、キナクリドン誘導体を含有するＢｅｂｑ２（ビス（１０−ベンゾキノリノラト）ベリリウム錯体；１０−ｂｅｎｚｏ［ｈ］ｑｕｉｎｏｌｉｎｏｌ−ｂｅｒｙｌｌｉｕｍ  ｃｏｍｐｌｅｘ）からなる発光層と、Ｂｅｂｑ２からなる電子輸送層と、アルミ合金からなる陰極と、を順次に積層してなる構造を有している。
【０００４】
前記の有機ＥＬ素子は、当該有機ＥＬ素子を駆動するための駆動用薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の電流供給により発光される。つまり、陽極から注入した正孔及び陰極から注入した電子が発光層内部で重結合され、発光層を形成するための有機分子を励起して励起子（ｅｘｄｔｏｎ）を生成する。前記励起子が放射及び不活性化される過程において、発光層から発光し、当該光は透明陽極から、透明陽極及びガラス基板などの絶縁性基板を介して外部に出射されて発光することになる。
【０００５】
前記有機ＥＬ素子の各層において、正孔輸送層、発光層及び電子輸送層の形成に用いられる有機材料は、低耐溶剤性、低耐水性の特徴を有している。そのため、前記の有機材料を半導体プロセスのフォトリソグラフィー技術に利用することができない。したがって、例えば、金属薄膜からなる金属マスク（シールド）を採用した蒸着法により、前記有機材料が駆動用ＴＦＴを備えた絶縁性基板の上に選択的に蒸着されて、有機ＥＬ素子の正孔輸送層、発光層、電子輸送層及び陰極のパターンを形成するようにしている。
【０００６】
蒸着処理が終わった後、金属マスクの表面には有機物が付着されているので、後続の使用のため洗浄処理を行う必要がある。現在、金属マスクの洗浄装置は、薬液中に浸漬する方法により、マスクの表面に付着された有機物を溶解し除去している。この方法を採用する場合、金属マスクを浸漬するために浸漬槽には常に大量の薬液が装入されており、薬液の消費量が高く、コストが高いばかりでなく、浸漬槽内に多量の薬液が貯蔵されているため、設備安全の観点からも高いリスクがある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の問題点に鑑みて、本発明は、マスクに付着した有機物や汚れを除去する装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の実施形態によれば、金属マスクを放置するための槽体と、前記の金属マスクを固定するための治具とを備える、マスクに付着した有機物や汚れを除去する装置であって、さらに薬液貯蔵装置に接続され、且つ前記薬液貯蔵装置中の薬液を前記金属マスクに噴霧して洗浄を行う噴霧機構を備え、前記槽体の底部には液体排出口が設けられ、前記噴霧機構から噴霧された薬液は、前記金属マスクを洗浄した後前記液体排出口を介して前記槽体から流出されることを特徴とする。
【０００９】
前記装置は、さらに前記噴霧機構に接続され、洗浄を行う際に、前記噴霧機構を鉛直方向に沿って上下に移動しながら薬液を噴霧するように制御する第１制御装置を備えることが好ましい。
【００１０】
前記装置は、さらに前記治具に接続され、洗浄を行う際に、前記金属マスクを鉛直方向に沿って上下に移動するように制御する第２制御装置を備えることが好ましい。
【００１１】
前記噴霧機構は、洗浄を行う際に、前記金属マスクの側面に位置して、前記金属マスクの表面に向かって薬液を噴霧する複数の噴霧直管を備えることが好ましい。
【００１２】
前記噴霧機構は、洗浄を行う際に、前記金属マスクの両側にそれぞれ位置する２つの噴霧直管を備えることが好ましい。
【００１３】
前記噴霧機構は、４つの噴霧直管を備え、洗浄を行う際に、その中の２つの噴霧直管は前記金属マスクの一方に位置し、他の２つの噴霧直管は前記金属マスクの他方に位置することが好ましい。
【００１４】
前記噴霧直管の長さは、前記金属マスクの側面の長さ以上であり、その噴霧領域が前記金属マスクの表面全体を覆うことが好ましい。
【００１５】
前記噴霧直管の長さは前記金属マスクの長さより短いことが好ましい。
また、前記第１制御装置は、さらに前記噴霧直管を前記金属マスクの側面に沿って水平に移動しながら薬液を噴霧するように制御して、その噴霧領域が前記金属マスクの表面全体を覆うようにすることが好ましい。
【００１６】
また、前記噴霧機構はリング管を備え、洗浄を行う際に、前記金属マスクは、前記リング管の中央に位置することが好ましい。
【００１７】
前記噴霧機構の噴霧方向は、前記金属マスク側に向かって下方に噴霧することが好ましい。
【００１８】
前記噴霧機構の噴霧方向は、前記金属マスク側に向かって上方に噴霧することが好ましい。
【００１９】
また、前記装置は、さらに前記噴霧機構に接続され、前記噴霧機構の自転を制御することにより、その噴霧角度を変更する回転機構を備えることが好ましい。
【００２０】
前記回転機構は、前記噴霧機構の自転可能の角度を180°に制御することが好ましい。
前記噴霧機構は、前記金属マスクに向かって前記薬液を噴霧する複数の噴霧孔を備えることが好ましい。
【００２１】
前記噴霧機構は、前記金属マスクに向かって前記薬液を噴霧する複数の噴霧槽を備えることが好ましい。
【００２２】
前記装置は、さらに前記噴霧機構内の薬液を加熱するための加熱装置を備えることが好ましい。
【００２３】
前記装置は、さらに前記槽体の外部から前記金属マスクに向かって超音波を射出するための超音波射出装置を備えることが好ましい。
【００２４】
前記薬液は有機溶液であることが好ましい。
前記液体排出口からの前記薬液の排出量は、前記噴霧機構の薬液噴霧量より大きいことが好ましい。
【００２５】
また、本発明のもう１つの実施形態によれば、マスクに付着した有機物や汚れを除去する方法を提供し、金属マスクを放置するための槽体と、前記の金属マスクを固定するための治具と、薬液貯蔵装置に接続され、且つ前記薬液貯蔵装置中の薬液を前記金属マスクに噴霧して洗浄を行う噴霧機構と、前記噴霧機構に接続され、洗浄を行う際に、前記噴霧機構を鉛直方向に沿って上下に移動しながら薬液を噴霧するように制御する第１制御装置とを備え、前記槽体の底部には液体排出口が設けられ、前記噴霧機構から噴霧された薬液は、前記金属マスクを洗浄した後前記液体排出口を介して前記槽体から流出される装置を採用したマスクに付着した有機物や汚れを除去する方法であって、治具で金属マスクを固定して槽体に放置する段階と、第１制御装置で噴霧機構を制御して上下に移動させ、前記噴霧機構は上下に移動しながら、それと接続された薬液貯蔵装置の薬液を前記金属マスクに噴霧することにより、前記金属マスクを洗浄する段階と、洗浄に用いられた前記薬液は液体排出口を介して槽体から流出される段階と、を含むことを特徴とする。
【００２６】
また、本発明のもう１つの実施形態によれば、マスクに付着した有機物や汚れを除去する方法を提供し、金属マスクを放置するための槽体と、前記の金属マスクを固定するための治具と、薬液貯蔵装置に接続され、且つ前記薬液貯蔵装置中の薬液を前記金属マスクに噴霧して洗浄を行う噴霧機構と、前記治具と接続され、洗浄を行う際に、前記金属マスクを鉛直方向に沿って上下に移動するように制御する第２制御装置とを備え、前記槽体の底部には液体排出口が設けられて、前記噴霧機構から噴霧された薬液は、前記金属マスクを洗浄した後に前記液体排出口を介して前記槽体から流出される装置を採用したマスクに付着した有機物や汚れを除去する方法であって、治具で金属マスクを固定して槽体に放置する段階と、噴霧機構により、それと接続された薬液貯蔵装置中の薬液を噴霧する段階と、第２制御装置で前記治具が上下に移動するように制御し、前記治具の上下移動により前記金属マスクを上下に移動させる段階と、洗浄に用いられた前記薬液は液体排出口を介して槽体から流出される段階と、を含むことを特徴とする。
【００２７】
本発明に係るマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置によれば、噴霧の方式で薬液をマスクの上に塗布して、マスク上の有機物を溶解させることにより洗浄効果を奏する。このような洗浄方式は、薬液槽内に大量の薬液を充填する必要がなく、薬液消費量が低減され、かつ安全性もより高くなる。
【００２８】
下記の図面に基づいて行った非限定的実施例についての詳細な説明により、本発明の他の特徴、目的及びメリットはより明確になる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第１実施例に係るマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置の正面図である。
【図２】本発明の第１実施例に係るマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置の側面図である。
【図３】本発明の第２実施例に係るマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置の側面図である。
【図４】本発明の第３実施例に係るマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置の側面図である。
【図５】本発明の第４実施例に係るマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置の正面図である。
【図６】本発明の第５実施例に係るマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、図面と実施例を組合わせて本発明の技術方案をさらに詳細に説明する。
図１は、本発明の第１実施例に係るマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置の正面図である。具体的に、前記装置は、槽体１１０と、治具１４０とを備えている。その中で、槽体１１０は、金属マスク１２０を放置するために用いられ、槽体１１０の底部には、槽体１１０内部の液体を排出するための液体排出口１１１が設けられている。この場合、槽体１１０の底部は円錐形を呈し、液体排出口１１１は槽体１１０の最低部に設けられることが好ましい。治具１４０は、金属マスク１２０を固定するために用いられ、固定した金属マスク１２０を槽体１１０に入れて洗浄処理を行う。
【００３１】
さらに、前記装置は、薬液貯蔵装置（図示しない）に接続され、前記薬液貯蔵装置中の薬液を前記金属マスク１２０に噴霧して洗浄を行う噴霧機構を備えている。ここで、前記噴霧機構から噴霧された薬液は、前記金属マスク１２０に対する洗浄が終わった後、液体排出口１１１を介して槽体１１０から流出される。液体排出口１１１からの排出量は前記噴霧機構の薬液噴霧量より大きいことが好ましい。
【００３２】
より具体的に、１つの実施例において、噴霧機構は、金属マスク１２０の側面に配置され、金属マスク１２０の表面に向かって薬液を噴霧して、金属マスク１２０の洗浄を行う複数の噴霧直管１３１を備えている。
【００３３】
図２は、本発明の第１実施例に係るマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置の側面図である。具体的に、図２を参照して、図２に示した実施例において、噴霧機構は金属マスク１２０の両側にそれぞれ配置された２つの噴霧直管１３１を備え、その中の１つの噴霧直管１３１は、金属マスク１２０の一方の面に向かって薬液を噴霧し、他の１つの噴霧直管１３１は、金属マスク１２０の他方の面に向かって薬液を噴霧する。より具体的に、噴霧直管１３１の長さは、金属マスク１２０の長さ以上であり、これにより、その噴霧領域は前記金属マスク１２０の表面全体を覆うようになる。ここで、噴霧直管１３１には複数の噴霧孔が設けられ、薬液は前記噴霧孔から金属マスク１２０に噴霧され、且つ２つの噴霧直管１３１の噴霧方向は、金属マスク１２０側に向かって下方に噴霧処理を行う。さらに、当該実施例において、前記装置は、２つの噴霧直管１３１を鉛直方向に沿って上下に移動させながら金属マスク１２０に薬液を噴霧するように制御する第１制御装置（図示しない）をさらに備えている。
【００３４】
図３は、本発明の第２実施例に係るマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置の側面図である。図３は、前記図１と図２に示した実施例の変形例として理解することができる。具体的に、図３に示すように、前記図２の実施例と異なる点は、本実施例の２つの噴霧直管１３１の噴霧方向は、金属マスク１２０側に向かって上方に薬液を噴霧している。同様に、第１制御装置の制御により、２つの噴霧直管１３１は鉛直方向に沿って上下に移動しながら金属マスク１２０に向かって薬液を噴霧することができる。当業者にとって、前記図１、図２の実施例及び図３の実施例における噴霧直管１３１の噴霧角度が互いに異なるため、金属マスク１２０に対する噴霧範囲も異なるようになり、これによって異なる噴霧効果を奏することは、理解できることである。これらの実施例はすべて実現できるもので、ここで、詳細な説明は省略する。
【００３５】
また、図１、図２及び図３の実施例によれば、当業者にとって、本発明の一実施例において、前記装置は、２つの噴霧直管１３１の自転を制御する回転機構をさらに備えることは、理解できることである。噴霧直管１３１は、鉛直方向で上下に移動しながら回転することもでき、例えば、２つの噴霧直管１３１は上方から槽体１１０の底部まで移動する過程において、図２に示す噴霧方向から、図３に示す噴霧方向に回転することができる。この場合、噴霧直管１３１の自転可能な角度は180°であることが好ましい。噴霧直管１３１の回転噴霧により、金属マスク１２０の全ての領域が噴霧されることができる。
【００３６】
図４は、本発明の第３実施例に係るマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置の側面図である。図４は、前記図２又は図３に示した実施例の変形例として理解することができる。具体的に、前記図２または図３の実施例と異なる点は、噴霧機構が４つの噴霧直管１３１を備え、その中の２つの噴霧直管１３１は金属マスク１２０の一方に配置されて金属マスク１２０の一方の面に向かって噴霧し、他の２つの噴霧直管１３１は金属マスク１２０の他方に配置されて金属マスク１２０の他方の面に向かって噴霧する。かつ、上方に配置された２つの噴霧直管１３１は、金属マスク１２０の下方に向かって薬液を噴霧し、下方に配置された２つの噴霧直管１３１は、金属マスク１２０の上方に向かって薬液を噴霧することが好ましい。即ち、前記の図２及び図３に示した実施例を組合わせたもので、前記第１制御装置は、４つの噴霧直管１３１を鉛直方向の上下に移動するように、同時に制御することができる。
【００３７】
さらに、当業者にとって、図４に示した実施例において、前記装置も同様に回転機構を備えることができ、前記回転機構により、４つの噴霧直管１３１を鉛直方向の上下に移動させながら、その噴霧角度を調整して、金属マスク１２０に対する洗浄処理をより便利にすることは、理解できることである。
【００３８】
また、図１、図２、図３及び図４の実施例によれば、当業者にとって、一部の変形例において、噴霧直管１３１が金属マスクの側面に固定されることは、理解できることである。また、前記装置は、治具１４０に接続されて鉛直方向における治具１４０の上下移動を制御する第２制御装置をさらに備えることができ、治具１４０の上下移動により、治具１４０で固定した金属マスク１２０を鉛直方向の上下に移動させて、金属マスク１２０を洗浄する目的に達することができる。これらの実施例はすべて実現でき、ここで、詳細な説明は省略する。
【００３９】
図５は、本発明の第４実施例に係るマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置の正面図である。図５は、前記図１に示した実施例の変形例として理解することができる。具体的に言えば、前記噴霧機構は、同様に、金属マスク１２０の両側にそれぞれ配置された２つの噴霧直管１３１を備えている。ただし、前記図１の実施例と異なる点は、本実施例において、噴霧直管１３１の長さは金属マスク１２０の長さより短く、前記第１制御装置は、鉛直方向における噴霧直管１３１の上下移動を制御すると共に、噴霧直管１３１が前記金属マスク１２０の側面で水平移動するように制御することで、その噴霧領域が前記金属マスク１２０の表面全体を覆うようになる。ここで、詳細な説明は省略する。
【００４０】
図６は、本発明の第５実施例におけるマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置の平面図である。具体的に、図６に示すように、図１との異なる点は、本実施例において、前記噴霧機構は１つの環状噴霧管１３２を備えることにある。即ち、図１の２つの噴霧直管１３１の代わりに環状噴霧管１３２を使用している。金属マスク１２０は、環状噴霧管１３２の中央に位置し、かつ環状噴霧管１３２に囲まれている。その中で、環状噴霧管１３２の噴霧角度は、図１と同様に、金属マスク１２０の下方に向かって噴霧処理を行う。好ましくは、前記装置も第１制御装置（図示しない）を備え、前記第１制御装置は、環状噴霧管１３２を鉛直方向の上下に移動するように制御して、金属マスク１２０を洗浄する。
【００４１】
さらに、図６の変形例において、環状噴霧管１３２の噴霧方向は、金属マスク１２０側の上方に向かって噴霧してもよい。図６の他の変形例において、環状噴霧管１３２は槽体１１０内に固定されることもでき、前記装置も第２制御装置を備え、当該第２制御装置により、鉛直方向における治具１４０の上下移動を制御し、治具１４０の上下移動により、治具１４０で固定された金属マスク１２０も鉛直方向に沿って上下に移動するようになって、金属マスク１２０を洗浄する目的に達することができる。図６のもう１つの変形例において、前記噴霧機構は２つの環状噴霧管１３２を備えることもでき、金属マスク１２０は２つの環状噴霧管１３２内に位置し、当該２つの環状噴霧管１３２で薬液を噴霧することにより、金属マスク１２０に対する洗浄を連続に行うことができる。当業者にとって、これらの変形例はすべて実現できることは理解でき、ここで詳細な説明は省略する。
【００４２】
また、前記の図１〜図６の実施例を組合わせる場合、当業者にとって、本発明の好ましい実施例において、前記噴霧機構は複数の噴霧孔を備えることは、理解できることである。即ち、図１〜図５中の噴霧直管１３１及び環状噴霧管１３２には、複数の噴霧孔が設けられ、薬液は前記噴霧孔を介して金属マスク１２０の表面に噴霧される。また、本発明の一部の実施例において、前記噴霧機構は噴霧槽を備え、前記の噴霧孔の代わりに当該噴霧槽を採用することができる。当業者にとって、噴霧孔に比べて、噴霧槽を使用する場合の薬液の噴霧量が増大されて水幕のような効果に達して、金属マスク１２０の洗浄処理を促進することは、理解できることである。これらの変形例はすべて実現でき、ここで、詳細な説明は省略する。
【００４３】
また、前記の図１〜図６の実施例を組合わせる場合、当業者にとって、一部の変形例において、前記装置は、さらに前記噴霧機構内の薬液に対し加熱処理を行う加熱装装置を備えることは、理解できることである。加熱処理を経た薬液は、金属マスク１２０に付着した有機物をより効果的に除去できで、洗浄を促進する目的に達することができる。これらの変形例はすべて実現でき、ここで、詳細な説明は省略する。
【００４４】
また、前記の図１〜図６の実施例を組合わせる場合、当業者にとって、一部の変形例において、前記装置は、さらに槽体１１０の外部から前記金属マスクに向かって超音波を射出する超音波射出装置を備えることは、理解できることである。超音波を射出することにより、金属マスク１２０に付着した有機物をより効果的に除去でき、洗浄の目的に達することができる。これらの変形例はすべて実現でき、ここで、詳細な説明は省略する。
【００４５】
また、当業者にとって、一部の変形例において、前記装置は、前記加熱装置及び前記超音波射出装置を同時に含むことができ、２つの洗浄方式を同時に採用することで、金属マスク１２０に付着した有機物をより快速に除去して、洗浄を促進する目的に達することは、理解できることである。これらの変形例はすべて実現できる、ここで、詳細な説明を省略する。
【００４６】
さらに、本発明の一実施例において、マスクに付着した有機物や汚れを除去する方法は、治具１４０で金属マスク１２０を固定して槽体１１０中に放置し、前記第１制御装置により前記噴霧機構を上下に移動するように制御し、上下に移動する前記噴霧機構はそれに接続された薬液貯蔵装置の薬液を金属マスク１２０に噴霧して、金属マスク１２０の洗浄を行い、洗浄に用いられた薬液は液体排出口１１１を介して槽体１１０から流出される。
【００４７】
更に具体的に、治具１４０により金属マスク１２０を固定した後、治具１４０は、金属マスク１２０を垂直に槽体１１０中に放置することが好ましい。
【００４８】
さらに、本発明の他の実施例において、前記噴霧機構は槽体１１０内に固定されることもできる。この場合、金属マスク１２０に対する洗浄が便利になるように、前記噴霧機構が槽体１１０の上半部に配置されることが好ましい。より具体的に、当該実施例において、マスクに付着した有機物や汚れを除去する方法は、治具１４０で金属マスク１２０を固定し、前記噴霧機構からそれに接続された薬液貯蔵装置の薬液を噴霧し、前記第２制御装置は前記治具１４０を上下に移動するように制御し、前記治具１４０の上下移動によって前記金属マスク１２０も上下移動するようになり、薬液が金属マスク１２０に噴霧される。同様に、洗浄に用いられた薬液は液体排出口１１１を介して槽体１１０から流出される。
【００４９】
さらに、本発明はマスクに付着した有機物や汚れを除去する装置を提供する。前記装置は、噴霧の方式で薬液をマスクの上に塗布して、マスク上の有機物を溶解させることにより洗浄効果に達する。このような洗浄方式によれば、薬液槽内に大量の薬液を装入しておく必要がなく、薬液消費量を低減させ、かつ安全性もより高くなる。
【００５０】
以上、本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、本発明は上記の実施例に限定されるものではない。当業者にとって、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更を行い得る。従って、本発明の保護範囲は、特許請求の範囲に記載された範囲を基準としなければならない。
【図１】
2015017320.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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