(57)【要約】【課題】使用される粘着テープの大きさに関わらず、貼着時のしわの発生を抑制できる粘着テープ貼着装置を提供する。【解決手段】ウェーハ（２１）及び環状フレーム（３３）に粘着テープ（１１）を貼着する粘着テープ貼着装置（２）であって、粘着テープをチャックテーブル（２２）の保持面と平行に位置付けるとともに、粘着テープの送り方向（Ｄ１）に沿った張力（Ｆ１）を粘着テープに付加する複数のローラーから構成された第１の張力付加手段と、粘着テープの外縁部（１１ａ，１１ｂ）を挟持する一対の粘着テープ挟持部（４４ａ，４４ｂ）を含み、第１の張力付加手段によって張力が付加された粘着テープに対して、粘着テープの送り方向に直交するとともにチャックテーブルの保持面に平行な方向に張力（Ｆ２）を付加する第２の張力付加手段と、を備える構成とした。【選択図】図１
2015082642.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハと環状フレームとを粘着テープを介して一体とする粘着テープ貼着装置であって、
ウェーハと環状フレームとを該環状フレームがウェーハを囲繞した状態で保持する保持面を有するチャックテーブルと、
該環状フレームの直径よりも長い幅を有するとともに粘着面に該粘着面を保護する剥離シートが貼着された粘着テープがロール状に巻かれた状態でセットされ、該剥離シート側が下側になる向きで該粘着テープを送り出すテープ送り出し部と、
該テープ送り出し部から送り出された該粘着テープから該剥離シートを剥離するシート剥離部と、
該シート剥離部で剥離された該剥離シートを巻き取る剥離シート巻き取り部と、
複数のローラーから構成され、該剥離シートが剥離された該粘着テープの該粘着面を、該チャックテーブルの保持面と平行に対向させて位置付けるとともに、該粘着テープの送り方向に沿った張力を該粘着テープに付加する第１の張力付加手段と、
該チャックテーブルを挟んで該粘着テープの幅方向両側に配設され該粘着テープの外縁部を挟持する一対の粘着テープ挟持部から構成され、該第１の張力付加手段によって張力が付加された該粘着テープに対して、該粘着テープの送り方向に直交するとともに該チャックテーブルの保持面に平行な方向に張力を付加する第２の張力付加手段と、
該第１の張力付加手段と該第２の張力付加手段とによって直交する２方向に張力が付加された該粘着テープの該粘着面と逆側の面を押圧しながら移動して該粘着テープを該チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハと該環状フレームとに貼着する押圧ローラーと、
ウェーハと該環状フレームとに貼着された該粘着テープを該環状フレームに沿って切断するテープカッターと、
該テープカッターによってウェーハと該環状フレームとに貼着された部分を切断した後の該粘着テープを巻き取るテープ巻き取り部と、を少なくとも有することを特徴とする粘着テープ貼着装置。
【請求項２】
該チャックテーブルを該保持面に垂直な方向に移動させるチャックテーブル位置付け手段を有し、
該チャックテーブル位置付け手段は、該押圧ローラーが該粘着テープを該チャックテーブルに保持されたウェーハと該環状フレームとに貼着する前に、該チャックテーブルを該粘着テープ近傍のテープ貼着位置に位置付けるとともに、該粘着テープが該チャックテーブルに保持されたウェーハと該環状フレームとに貼着され、該テープカッターが該粘着テープを該環状フレームに沿って切断した後に、該チャックテーブルを該テープ貼着位置の下方の待機位置に位置付けることを特徴とする請求項１に記載の粘着テープ貼着装置。
【請求項３】
該第１の張力付加手段は、該チャックテーブルと該シート剥離部との間に配設された第１のドライブローラーと、該チャックテーブルと該テープ巻き取り部との間に配設された第２のドライブローラーとを有し、該第１のドライブローラーと該第２のドライブローラーとが互いに順方向に回転する事で該テープ送り出し部から該粘着テープが送り出され、次いで該第１のドライブローラーと該第２のドライブローラーとが停止する事によって該粘着テープの送り出しが停止し、該粘着テープの送り出しが停止した後に該第２のドライブローラーが順方向に回転するとともに該第１のドライブローラーが順方向とは逆の方向に回転する事によって該チャックテーブルの上方において該粘着テープに対して粘着テープの送り方向に沿った張力を付加することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の粘着テープ貼着装置。
【請求項４】
該粘着テープ挟持部は、下面に該粘着テープを挟持する略矩形の挟持面を有する第１の挟持ブロックと、上面に該粘着テープを挟持する略矩形の挟持面を有する第２の挟持ブロックとを有し、
該第１の挟持ブロックの挟持面の長軸と該第２の挟持ブロックの挟持面の長軸とは、該粘着テープの外縁部と平行に配設され、
該長軸の長さは、該チャックテーブルに保持された環状フレームの直径よりも長く、該第１のドライブローラーと該第２のドライブローラーとの間の距離よりも短く形成され、
該第１の挟持ブロックと該第２の挟持ブロックとが相対的に上下に移動することによって該粘着テープを挟持するように構成されていることを特徴とする請求項３に記載の粘着テープ貼着装置。
【請求項５】
該第２の張力付加手段は、該チャックテーブルを挟んで該粘着テープの幅方向両側に配設された一対の該粘着テープ挟持部を、該粘着テープの外縁部を挟持する挟持位置と、該挟持位置から該粘着テープの幅方向外側に離間した離間位置とに位置付ける挟持部位置付け手段を有し、
該一対の粘着テープ挟持部が、該粘着テープの幅方向両側において該粘着テープの外縁部をそれぞれ挟持した状態で該挟持部位置付け手段が該粘着テープ挟持部を挟持位置から離間位置に向けて移動させる事によって、該粘着テープに対して、該粘着テープの送り方向に直交するとともに該チャックテーブルの該保持面に平行な方向に張力を付加することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の粘着テープ貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシング前のウェーハ及びウェーハを囲むフレームに粘着テープを貼着する粘着テープ貼着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面にＩＣ等のデバイスが形成された円盤状のウェーハは、例えば、回転可能な円形の切削ブレードを備える切削装置や、レーザー照射用の加工ヘッドを備えるレーザー加工装置でダイシングされて、各デバイスに対応する複数のチップへと分割される。
【０００３】
ウェーハをダイシングする際には、あらかじめウェーハの裏面に粘着テープを貼着するとともに、粘着テープの外周部分にウェーハを囲む環状のフレームを固定しておく。これにより、ダイシング後におけるチップの分散を防いで、ハンドリング性を維持できる。
【０００４】
ウェーハ及びフレームへの粘着テープの貼着には、例えば、ウェーハ及びフレームに対応する大きさの円形の粘着テープを剥離シート上に配置したテープ体が用いられる。このテープ体は、ロール状に巻回された状態で、粘着テープを貼着する粘着テープ貼着装置の送り出しローラーにセットされる（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
上述した粘着テープ貼着装置は、送り出しローラーで送り出されたテープ体の剥離シートを鋭角に折り返す剥離プレートを備えている。この剥離プレートによって粘着テープを支持する剥離シートのみを折り返すことで、粘着テープから剥離シートを剥離して、ウェーハ及びフレームに粘着テープを貼着できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１５８０３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上述した粘着テープ貼着装置では、粘着テープに対して、送り出し方向と平行な方向の張力を加えることで、ウェーハ又はフレームに粘着テープをしわなく貼着している。
【０００８】
しかしながら、近年では、ウェーハの大型化とともに粘着テープも大面積化されており、送り出し方向と平行な方向の張力を加える上述の粘着テープ貼着装置を用いても、貼着時のしわの発生を十分に抑制できないという問題が生じていた。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、使用される粘着テープの大きさに関わらず、貼着時のしわの発生を抑制できる粘着テープ貼着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、ウェーハと環状フレームとを粘着テープを介して一体とする粘着テープ貼着装置であって、ウェーハと環状フレームとを該環状フレームがウェーハを囲繞した状態で保持する保持面を有するチャックテーブルと、該環状フレームの直径よりも長い幅を有するとともに粘着面に該粘着面を保護する剥離シートが貼着された粘着テープがロール状に巻かれた状態でセットされ、該剥離シート側が下側になる向きで該粘着テープを送り出すテープ送り出し部と、該テープ送り出し部から送り出された該粘着テープから該剥離シートを剥離するシート剥離部と、該シート剥離部で剥離された該剥離シートを巻き取る剥離シート巻き取り部と、複数のローラーから構成され、該剥離シートが剥離された該粘着テープの該粘着面を、該チャックテーブルの保持面と平行に対向させて位置付けるとともに、該粘着テープの送り方向に沿った張力を該粘着テープに付加する第１の張力付加手段と、該チャックテーブルを挟んで該粘着テープの幅方向両側に配設され該粘着テープの外縁部を挟持する一対の粘着テープ挟持部から構成され、該第１の張力付加手段によって張力が付加された該粘着テープに対して、該粘着テープの送り方向に直交するとともに該チャックテーブルの保持面に平行な方向に張力を付加する第２の張力付加手段と、該第１の張力付加手段と該第２の張力付加手段とによって直交する２方向に張力が付加された該粘着テープの該粘着面と逆側の面を押圧しながら移動して該粘着テープを該チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハと該環状フレームとに貼着する押圧ローラーと、ウェーハと該環状フレームとに貼着された該粘着テープを該環状フレームに沿って切断するテープカッターと、該テープカッターによってウェーハと該環状フレームとに貼着された部分を切断した後の該粘着テープを巻き取るテープ巻き取り部と、を少なくとも有することを特徴とする粘着テープ貼着装置が提供される。
【００１１】
本発明において、該チャックテーブルを該保持面に垂直な方向に移動させるチャックテーブル位置付け手段を有し、該チャックテーブル位置付け手段は、該押圧ローラーが該粘着テープを該チャックテーブルに保持されたウェーハと該環状フレームとに貼着する前に、該チャックテーブルを該粘着テープ近傍のテープ貼着位置に位置付けるとともに、該粘着テープが該チャックテーブルに保持されたウェーハと該環状フレームとに貼着され、該テープカッターが該粘着テープを該環状フレームに沿って切断した後に、該チャックテーブルを該テープ貼着位置の下方の待機位置に位置付けることが好ましい。
【００１２】
また、本発明において、該第１の張力付加手段は、該チャックテーブルと該シート剥離部との間に配設された第１のドライブローラーと、該チャックテーブルと該テープ巻き取り部との間に配設された第２のドライブローラーとを有し、該第１のドライブローラーと該第２のドライブローラーとが互いに順方向に回転する事で該テープ送り出し部から該粘着テープが送り出され、次いで該第１のドライブローラーと該第２のドライブローラーとが停止する事によって該粘着テープの送り出しが停止し、該粘着テープの送り出しが停止した後に該第２のドライブローラーが順方向に回転するとともに該第１のドライブローラーが順方向とは逆の方向に回転する事によって該チャックテーブルの上方において該粘着テープに対して粘着テープの送り方向に沿った張力を付加することが好ましい。
【００１３】
また、本発明において、該粘着テープ挟持部は、下面に該粘着テープを挟持する略矩形の挟持面を有する第１の挟持ブロックと、上面に該粘着テープを挟持する略矩形の挟持面を有する第２の挟持ブロックとを有し、該第１の挟持ブロックの挟持面の長軸と該第２の挟持ブロックの挟持面の長軸とは、該粘着テープの外縁部と平行に配設され、該長軸の長さは、該チャックテーブルに保持された環状フレームの直径よりも長く、該第１のドライブローラーと該第２のドライブローラーとの間の距離よりも短く形成され、該第１の挟持ブロックと該第２の挟持ブロックとが相対的に上下に移動することによって該粘着テープを挟持するように構成されていることが好ましい。
【００１４】
また、本発明において、該第２の張力付加手段は、該チャックテーブルを挟んで該粘着テープの幅方向両側に配設された一対の該粘着テープ挟持部を、該粘着テープの外縁部を挟持する挟持位置と、該挟持位置から該粘着テープの幅方向外側に離間した離間位置とに位置付ける挟持部位置付け手段を有し、該一対の粘着テープ挟持部が、該粘着テープの幅方向両側において該粘着テープの外縁部をそれぞれ挟持した状態で該挟持部位置付け手段が該粘着テープ挟持部を挟持位置から離間位置に向けて移動させる事によって、該粘着テープに対して、該粘着テープの送り方向に直交するとともに該チャックテーブルの該保持面に平行な方向に張力を付加することが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の粘着テープ貼着装置は、送り方向に沿った張力を粘着テープに付加する第１の張力付加手段に加え、チャックテーブルの保持面と平行かつ送り方向に直交する方向に張力を付加する第２の張力付加手段を備えるので、使用される粘着テープの大きさに関わらず、貼着時のしわの発生を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】粘着テープ貼着装置の構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】粘着テープ貼着装置の構成を模式的に示す一部断面側面図である。
【図３】粘着テープ貼着装置の構成を模式的に示す図である。
【図４】粘着テープ貼着装置において粘着テープが貼着されるウェーハ等の構成を模式的に示す斜視図である。
【図５】粘着テープに張力を付加する様子を模式的に示す側面図である。
【図６】粘着テープが円形にカットされる様子を模式的に示す一部断面側面図である。
【図７】マウンターの構成を模式的に示す平面図である。
【図８】ウェーハ加工システムの構成を模式的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係る粘着テープ貼着装置の構成を模式的に示す斜視図であり、図２は、粘着テープ貼着装置の構成を模式的に示す一部断面側面図である。
【００１８】
図３は、粘着テープ貼着装置の構成を模式的に示す図であり、図４は、粘着テープ貼着装置において粘着テープが貼着されるウェーハ等の構成を模式的に示す斜視図である。なお、図１から図３の各図においては、粘着テープ貼着装置の構成の一部が省略されている。
【００１９】
図１から図３に示すように、本実施の形態に係る粘着テープ貼着装置２は、各構成を支持する基台４を備えている。基台４の上方には、ロール状に巻回された粘着テープ１１がセットされて送り出される送り出しローラー（テープ送り出し部）６が配置されている。
【００２０】
送り出しローラー６にセットされる粘着テープ１１は、柔軟性のある樹脂製のフィルム状基材と、フィルム状基材の片面に設けられた糊層とで構成されており、糊層によって形成される粘着面に剥離シート１３が貼着された状態でロール状に巻回されている。
【００２１】
剥離シート１３は、粘着テープ１１をウェーハ２１及び環状のフレーム（環状フレーム）３３へと貼着する際に剥離される。この剥離シート１３によって、貼着前の粘着テープ１１の粘着面は保護されている。
【００２２】
図４（Ａ）に示すように、本実施の形態の粘着テープ貼着装置２において粘着テープ１１が貼着されるウェーハ２１は、例えば、円盤状の外形を有する半導体ウェーハであり、その表面２１ａは、中央のデバイス領域２３と、デバイス領域２３を囲む外周余剰領域２５とに分けられている。
【００２３】
デバイス領域２３は、格子状に配列されたストリート（分割予定ライン）２７でさらに複数の領域に区画されており、各領域にはＩＣ等のデバイス２９が形成されている。ウェーハ２１の外周面は面取り加工されており、その断面形状は円弧状である。
【００２４】
このウェーハ２１の表面２１ａ側には、裏面２１ｂ側を研削、研磨する際にデバイス２９を保護するための保護部材３１が貼着されている。保護部材３１は、例えば、柔軟性のある樹脂製のフィルムであり、表面３１ａ側には、ウェーハ２１に対して接着性を示す糊層が設けられている。
【００２５】
図４（Ａ）に示すように、糊層が設けられた保護部材３１の表面３１ａ側をウェーハ２１の表面２１ａ側に密着させることで、保護部材３１はウェーハ２１に貼着される。ウェーハ２１を研削、研磨する際には、この保護部材３１の裏面３１ｂ側を、研削装置、研磨装置の保持テーブルに吸引保持させる。ただし、デバイス２９の保護が不要な場合等には、ウェーハ２１に保護部材３１を貼着しなくても良い。
【００２６】
本実施の形態の粘着テープ貼着装置２では、例えば、研削、研磨後のウェーハ２１の裏面２１ｂ側に粘着テープ１１を貼着する。具体的には、ウェーハ２１の周囲にウェーハ２１を囲む環状のフレーム３３を配置した状態で、ウェーハ２１の裏面２１ｂ及びフレーム３３の裏面３３ｂに粘着テープ１１を貼着し、当該粘着テープ１１をフレーム３３の大きさに合わせて円形にカットする。
【００２７】
その結果、図４（Ｂ）に示すように、ウェーハ２１は、粘着テープ１１を介してフレーム３３に支持される。言い換えれば、ウェーハ２１とフレーム３３とが、粘着テープ１１を介して一体となる。なお、カット前の粘着テープ１１は、フレーム３３の裏面３３ｂ全体に貼着できるように、フレーム３３の直径より幅広に構成されている。
【００２８】
図１及び図２に示すように、ロール状の粘着テープ１１がセットされる送り出しローラー６の下方には、剥離シート１３を粘着テープ１１から剥離する剥離ローラー（シート剥離部）８と、粘着テープ１１から剥離された剥離シート１３を巻き取る剥離シート巻き取りローラー（剥離シート巻き取り部）１０とが配置されている。
【００２９】
剥離ローラー８は、鉛直方向において互いに接するように配置された２個のローラー８ａ，８ｂを備える。この２個のローラー８ａ，８ｂの間には、送り出しローラー６から送り出された粘着テープ１１及び剥離シート１３が挿通されている。
【００３０】
すなわち、２個のローラー８ａ，８ｂは、粘着テープ１１及び剥離シート１３を介して接している。なお、粘着テープ１１は、粘着面側（剥離シート１３側）を下側に位置付けるように送り出しローラー６から送り出される。
【００３１】
剥離ローラー８において剥離シート１３を剥離された粘着テープ１１は、剥離ローラー８の下方に送られる。一方、粘着テープ１１から剥離された剥離シート１３は、水平方向に送られ、剥離ローラー８と同等の高さに位置付けられた剥離シート巻き取りローラー１０によって巻き取られる。
【００３２】
図１から図３に示すように、剥離ローラー８の下方には、第１のドライブローラー１２が配置されている。第１のドライブローラー１２は、モータ等の駆動機構（不図示）と連結されており、粘着テープ１１の送り方向Ｄ１（図２）と垂直な回転軸の周りに回転する。
【００３３】
第１のドライブローラー１２と近接する水平位置には、粘着テープ１１を介して第１のドライブローラー１２と接する第１の従動ローラー１４が配置されている。すなわち、剥離ローラー８から送られた粘着テープ１１は、第１のドライブローラー１２と第１の従動ローラー１４との間に挿通される。
【００３４】
第１のドライブローラー１２と第１の従動ローラー１４とは、円筒状の外周面において間接的に接しており、第１の従動ローラー１４は、第１のドライブローラー１２の回転に従い回転する。
【００３５】
第１のドライブローラー１２及び第１の従動ローラー１４から、水平方向においてフレーム３３の直径以上離れた位置には、第２のドライブローラー１６が配置されている。第２のドライブローラー１６は、モータ等の駆動機構（不図示）と連結されており、粘着テープ１１の送り方向Ｄ１と垂直な回転軸の周りに回転する。
【００３６】
第２のドライブローラー１６と近接する水平位置には、粘着テープ１１を介して第２のドライブローラー１６と接する第２の従動ローラー１８が配置されている。すなわち、第１のドライブローラー１２から送られた粘着テープ１１は、第２のドライブローラー１６と第２の従動ローラー１８との間に挿通される。
【００３７】
第２のドライブローラー１６と第２の従動ローラー１８とは、円筒状の外周面において間接的に接しており、第２の従動ローラー１８は、第２のドライブローラー１６の回転に従い回転する。
【００３８】
上述した第１のドライブローラー１２を粘着テープ１１の送り方向Ｄ１に対応する順方向Ｒ１（図２）に回転させるとともに、第２のドライブローラー１６を粘着テープ１１の送り方向Ｄ１に対応する順方向Ｒ１（図２）に回転させることで、粘着テープ１１は送り方向Ｄ１に送られる。
【００３９】
なお、第１のドライブローラー１２と第２のドライブローラー１６との回転を停止させることで、粘着テープ１１の送り方向Ｄ１への送り出しは停止する。ここで、第１のドライブローラー１２は、回転方向を切り替えることができるように構成されている。
【００４０】
図５は、粘着テープ１１に張力を付加する様子を模式的に示す側面図である。図５に示すように、第１のドライブローラー１２を逆方向Ｒ２に回転させつつ、第２のドライブローラー１６を順方向Ｒ１に回転させることで、送り方向Ｄ１に沿う張力Ｆ１を粘着テープ１１に付加できる。
【００４１】
このように、第１のドライブローラー１２と第２のドライブローラー１６とは、粘着テープ１１の送り出しを制御するとともに、粘着テープ１１に張力を付加する第１の張力付加機構（第１の張力付加手段）として機能する。
【００４２】
また、第１のドライブローラー１２と第２のドライブローラー１６とによって、後述するように、粘着テープ１１の粘着面を、ウェーハ２１及びフレーム３３と平行に位置付けることができる。
【００４３】
図１及び図２に示すように、第２のドライブローラー１６及び第２の従動ローラー１８の上方には、第２のドライブローラー１６から送られた粘着テープ１１を巻き取る粘着テープ巻き取りローラー（テープ巻き取り部）２０が配置されている。ウェーハ２１及びフレーム３３に貼着されて円形に切り出された残りの粘着テープ１１は、この粘着テープ巻き取りローラー２０で巻き取られる。
【００４４】
第１のドライブローラー１２及び第２のドライブローラー１６の下方の位置には、ウェーハ２１、及びウェーハ２１を囲繞するフレーム３３を吸引保持するチャックテーブル２２が配置されている。
【００４５】
このチャックテーブル２２は、第１のドライブローラー１２と第２のドライブローラー１６との間に位置付けられている。第１のドライブローラー１２は、チャックテーブル２２と剥離ローラー８との間に配設されており、第２のドライブローラー１６は、チャックテーブル２２と粘着テープ巻き取りローラー２０との間に配設されている。
【００４６】
チャックテーブル２２の上面は、ウェーハ２１及びフレーム３３を吸引保持する保持面となっている。この保持面は、チャックテーブル２２の内部に形成された流路（不図示）を通じて吸引源（不図示）と接続されている。ウェーハ２１及びフレーム３３は、保持面に作用する吸引源の負圧でチャックテーブル２２に吸引保持される。
【００４７】
第１のドライブローラー１２及び第２のドライブローラー１６は、チャックテーブル２２の保持面に対して粘着面を対向させるように粘着テープ１１を平行に位置付ける。これにより、粘着テープ１１を、チャックテーブル２２に吸引保持されたウェーハ２１及びフレーム３３に貼着できるようになる。
【００４８】
図２及び図３（Ｂ）に示すように、チャックテーブル２２の下方には、保持面と垂直な方向にチャックテーブル２２を移動させるチャックテーブル移動機構（チャックテーブル位置付け手段）２４が設けられている。
【００４９】
チャックテーブル移動機構２４は、例えば、圧縮空気によって動作するエアシリンダであり、基台４に固定されたシリンダケース２６と、シリンダケース２６に挿通されたピストンロッド２８とを備えている。
【００５０】
チャックテーブル２２は、このチャックテーブル移動機構２４によって、粘着テープ１１に近いテープ貼着位置、及びテープ貼着位置から下方に離れた待機位置に位置付けられる。なお、チャックテーブル移動機構２４は、チャックテーブル２２の保持面の傾斜を調整できるように複数（例えば、３組）のエアシリンダで構成されることが好ましい。
【００５１】
チャックテーブル２２は、ウェーハ２１及びフレーム３３に粘着テープ１１を貼着する際に、待機位置からテープ貼着位置へと移動される。また、チャックテーブル２２は、粘着テープ１１を貼着してカットした後に、テープ貼着位置から待機位置へと移動される。
【００５２】
粘着テープ１１の送り方向Ｄ１と直交する方向においてチャックテーブル２２と隣接する位置には、図３（Ｂ）に示すように、一対の水平移動機構（挟持部位置付け手段）３０ａ，３０ｂが配置されている。
【００５３】
水平移動機構３０ａ，３０ｂは、例えば、エアシリンダであり、基台４に固定されたシリンダケース３２ａ，３２ｂと、シリンダケース３２ａ，３２ｂに挿通されたピストンロッド３４ａ，３４ｂと、をそれぞれ備えている。
【００５４】
ピストンロッド３４ａ，３４ｂのチャックテーブル２２側には、移動テーブル３６ａ，３６ｂが固定されている。この移動テーブル３６ａ，３６ｂは、水平移動機構３０ａ，３０ｂによって水平方向に移動する。
【００５５】
移動テーブル３６ａ，３６ｂの上面には、垂直移動機構３８ａ，３８ｂが配置されている。垂直移動機構３８ａ，３８ｂは、例えば、エアシリンダであり、移動テーブル３６ａ，３６ｂに固定されたシリンダケース４０ａ，４０ｂと、シリンダケース４０ａ，４０ｂに挿通されたピストンロッド４２ａ，４２ｂと、をそれぞれ備えている。
【００５６】
垂直移動機構３８ａ，３８ｂの上方には、粘着テープ１１の幅方向における外縁部１１ａ，１１ｂ（図３（Ａ）、図３（Ｂ））を上下に挟持する粘着テープ挟持機構（粘着テープ挟持部）４４ａ，４４ｂが配置されている。すなわち、粘着テープ挟持機構４４ａ，４４ｂは、水平方向においてチャックテーブル２２を挟むように、粘着テープ１１の幅方向両側に相当する位置に設けられている。
【００５７】
粘着テープ挟持機構４４ａ，４４ｂは、上方に位置する第１の挟持ブロック４６ａ，４６ｂと、下方に位置する第２の挟持ブロック４８ａ，４８ｂと、を備える。第２の挟持ブロック４８ａ，４８ｂの下面には、ピストンロッド４２ａ，４２ｂの上端部が連結されている。
【００５８】
第１の挟持ブロック４６ａ，４６ｂは、移動テーブル３６ａ，３６ｂの上面に立設されたガイド部材５０ａ，５０ｂの上部に固定されている。一方、第２の挟持ブロック４８ａ，４８ｂは、鉛直方向に貫通する開口部においてガイド部材５０ａ，５０ｂと係合されており、下面に連結された垂直移動機構３８ａ，３８ｂによって上下に移動する。
【００５９】
第１の挟持ブロック４６ａ，４６ｂの矩形状の下面は、粘着テープ１１の上面（粘着面とは逆側の面）と当接する当接面（挟持面）となる。また、第２の挟持ブロック４８ａ，４８ｂの矩形状の上面は、粘着テープ１１の下面（粘着面）と当接する当接面（挟持面）となる。
【００６０】
なお、第２の挟持ブロック４８ａ，４８ｂの矩形状の当接面は、粘着テープ１１の粘着面が貼着され難くなるように、テフロン（登録商標）等で表面加工されていることが好ましい。また、第２の挟持ブロック４８ａ，４８ｂの矩形状の当接面には、粘着テープ１１を容易に剥離できるように、上方にエアを噴射する噴射口を設けることが好ましい。
【００６１】
上述した当接面の長辺（長軸）は、チャックテーブル２２に保持されるフレーム３３の直径より長くなっている。一方、当接面の長辺は、第１のドライブローラー１２と第２のドライブローラー１６との距離より短くなっている。
【００６２】
第１の挟持ブロック４６ａ，４６ｂ及び第２の挟持ブロック４８ａ，４８ｂは、粘着テープ１１の外縁部１１ａ，１１ｂに対して当接面の長辺が平行になるように配置されている。
【００６３】
このように構成された粘着テープ挟持機構４４ａ，４４ｂは、水平移動機構３０ａ，３０ｂによって、粘着テープ１１の外縁部１１ａ，１１ｂを挟持可能な挟持位置、及び挟持位置より粘着テープ１１の幅方向において外側に位置する離間位置に位置付けられる。
【００６４】
粘着テープ挟持機構４４ａ，４４ｂを挟持位置に位置付け、垂直移動機構３８ａ，３８ｂで第２の挟持ブロック４８ａ，４８ｂを上方に移動させると、粘着テープ１１は、第１の挟持ブロック４６ａ，４６ｂと第２の挟持ブロック４８ａ，４８ｂとで挟持される。
【００６５】
この状態において、粘着テープ挟持機構４４ａ，４４ｂを離間位置に位置付けると、粘着テープ１１には、粘着テープ１１の送り方向Ｄ１に直交するとともに、チャックテーブル２２の保持面に平行な方向の張力Ｆ２（図３（Ａ））が付加される。このように、粘着テープ挟持機構４４ａ，４４ｂは、粘着テープ１１に張力を付加する第２の張力付加機構（第２の張力付加手段）として機能する。
【００６６】
図１及び図２に示すように、第１のドライブローラー１２及び第２のドライブローラー１６の上方の位置には、直交する２方向の張力Ｆ１，Ｆ２が付加された粘着テープ１１を上方から押圧してウェーハ２１及びフレーム３３に貼着する押圧ローラー５２が配置されている。
【００６７】
この押圧ローラー５２は、移動機構（不図示）を備えており、上下方向及び水平方向に移動できる。押圧ローラー５２で粘着テープ１１の上面（粘着面と逆側の面）を押圧しながら、押圧ローラー５２を水平方向に移動させることで、粘着テープ１１はウェーハ２１及びフレーム３３に貼着される。
【００６８】
図６は、粘着テープ１１が円形にカットされる様子を模式的に示す一部断面側面図である。図６に示すように、第１のドライブローラー１２及び第２のドライブローラー１６の上方において、押圧ローラー５２（図６において不図示）と干渉しない位置には、粘着テープ１１を円形に切断するカッターアセンブリ５４が設けられている。
【００６９】
カッターアセンブリ５４は、移動機構（不図示）によって上下方向に移動するカッターベース（不図示）を備える。カッターベースの下部には、回転機構（不図示）によって回転する回転軸５６が設けられており、この回転軸５６にはアーム５８が連結されている。
【００７０】
アーム５８の下部には、テープカッター６０が取り付けられている。テープカッター６０は、回転軸５６を中心とするアーム５８の旋回によって、円を描くように移動する。このテープカッター６０により、ウェーハ２１とフレーム３３とに貼着された粘着テープ１１をフレーム３３に沿って切断できる。なお、テープカッター６０の取り付け位置は、フレーム３３の径に応じて調整される。
【００７１】
このように構成された粘着テープ貼着装置２は、例えば、各種搬送機構等と組み合わせて用いることができる。図７は、本実施の形態に係る粘着テープ貼着装置２を含むマウンター７０の構成を模式的に示す平面図である。
【００７２】
マウンター７０の送り出しローラー６側には、複数のフレーム３３を収容したフレームカセット７２を載置するカセット載置機構７４が設けられている。カセット載置機構７４と隣接する位置には、フレームカセット７２に収容されたフレーム３３を搬出するフレーム搬出機構７６が配置されている。
【００７３】
このマウンター７０において、チャックテーブル２２は、水平方向に移動可能に構成されている。これにより、チャックテーブル２２を、送り出しローラー６側のフレーム載置位置と、粘着テープ巻き取りローラー２０側のウェーハ載置位置と、中央の粘着テープ貼着位置とに位置付けることができる。
【００７４】
粘着テープ１１の貼着工程においては、まず、チャックテーブル２２にフレーム３３を載置するフレーム載置ステップを実施する。フレーム載置ステップでは、チャックテーブル２２をフレーム載置位置に位置付け、このチャックテーブル２２上にフレームカセット７２から搬出されたフレーム３３を載置する。
【００７５】
フレーム載置ステップの後には、チャックテーブル２２にウェーハ２１を載置するウェーハ載置ステップを実施する。ウェーハ載置ステップでは、チャックテーブル２２をウェーハ載置位置に位置付け、フレーム３３によって囲繞される領域にウェーハ２１を載置する。
【００７６】
ウェーハ載置ステップの後には、ウェーハ２１及びフレーム３３に粘着テープ１１を貼着する粘着テープ貼着ステップを実施する。粘着テープ貼着ステップでは、まず、第１のドライブローラー１２及び第２のドライブローラー１６を順方向Ｒ１に回転させて、粘着テープ１１を送り方向Ｄ１に送る。
【００７７】
次に、第１のドライブローラー１２及び第２のドライブローラー１６の回転を停止させて、粘着テープ１１をウェーハ２１及びフレーム３３の上方に位置付ける。また、この状態で、第２のドライブローラー１６を順方向Ｒ１に回転させるとともに、第１のドライブローラー１２を逆方向Ｒ２に回転させ、送り方向Ｄ１に沿う張力Ｆ１を粘着テープ１１に付加する。
【００７８】
次に、粘着テープ挟持機構４４ａ，４４ｂを挟持位置に位置付け、粘着テープ挟持機構４４ａ，４４ｂに粘着テープ１１を挟持させる。そして、粘着テープ挟持機構４４ａ，４４ｂを離間位置に移動させ、粘着テープ１１の送り方向Ｄ１に直交するとともに、チャックテーブル２２の保持面に平行な方向の張力Ｆ２を粘着テープ１１に付加する。
【００７９】
その後、チャックテーブル２２を待機位置からテープ貼着位置へと移動させ、直交する２方向の張力Ｆ１，Ｆ２が付加された粘着テープ１１を押圧ローラー５２で押圧する。これにより、粘着テープ１１は、ウェーハ２１及びフレーム３３に貼着される。
【００８０】
また、テープカッター６０を用い、粘着テープ１１をフレーム３３に対応した円形に切断する。粘着テープ１１を切断した後には、チャックテーブル２２をテープ貼着位置から待機位置へと移動させる。
【００８１】
上述した粘着テープ貼着ステップの後には、粘着テープ１１が貼着されたウェーハ２１及びフレーム３３を搬出する搬出ステップを実施する。搬出ステップでは、チャックテーブル２２をウェーハ載置位置に位置付け、粘着テープ１１が貼着されたウェーハ２１及びフレーム３３をマウンター７０外に搬出する。
【００８２】
上述した粘着テープ貼着装置２（又はマウンター７０）は、単独で用いられても良いし、ウェーハ２１を加工するウェーハ加工システム（クラスタ加工装置）に組み込まれても良い。図８は、粘着テープ貼着装置２（マウンター７０）が組み込まれたウェーハ加工システムの構成を模式的に示す平面図である。
【００８３】
図８に示すように、ウェーハ加工システム８０は、それぞれ複数のウェーハ２１を収容したカセット８２を載置する複数のカセット載置機構８４を備えている。各カセット載置機構８４は、互いに独立して昇降できるように構成されており、各カセット８２に収容されたウェーハ２１の高さを調整する。なお、ウェーハ２１の表面２１ａ側には、保護部材３１が貼着されている（図４）。
【００８４】
カセット載置機構８４と隣接する位置には、各カセット８２からウェーハ２１を搬出し、又は、ウェーハ２１を各カセット８２に搬入するウェーハ搬出入機構８６が配置されている。このウェーハ搬出入機構８６は、カセット載置機構８４の配列方向と平行なガイドレール８８に沿って移動する。
【００８５】
ウェーハ搬出入機構８６及びガイドレール８８と近接する位置には、ウェーハ２１の中心位置を合せる位置合わせテーブル９０が配置されている。この位置合わせテーブル９０は、載置されるウェーハ２１の半径方向に移動する複数の位置合わせピンを備えている。
【００８６】
ウェーハ搬出入機構８６によってカセット８２から搬出されたウェーハ２１が位置合わせテーブル９０に載置されると、ウェーハ２１の中心に向かって複数の位置合わせピンが同時に移動する。これにより、ウェーハ２１の中心位置が合わせられる。なお、ウェーハ２１は、裏面２１ｂ側が上方に露出するように位置合わせテーブル９０に載置される。
【００８７】
位置合わせテーブル９０と近接する位置には、ウェーハ２１を搬送するウェーハ搬送機構９２が配置されている。このウェーハ搬送機構９２は、ガイドレール８８に対して垂直なガイドレール９４に沿って移動し、移動経路（搬送経路）に隣接する各種装置にウェーハ２１を搬送する。
【００８８】
ウェーハ搬送機構９２の移動経路を挟んで位置合わせテーブル９０と対面する位置には、ウェーハ２１を研削する研削装置９６が配置されている。位置合わせテーブル９０によって位置合わせされたウェーハ２１は、ウェーハ搬送機構９２で搬送され、研削装置９６で研削される。
【００８９】
ウェーハ搬送機構９２の移動経路及び研削装置９６と隣接する位置には、ウェーハ２１を研磨する研磨装置９８が配置されている。研削装置９６で研削されたウェーハ２１は、ウェーハ搬送機構９２で搬送され、研磨装置９８で研磨される。
【００９０】
ウェーハ搬送機構９２の移動経路及び研磨装置９８と隣接する位置には、ウェーハ２１を洗浄する洗浄装置１００が配置されている。研磨装置９８で研磨されたウェーハ２１は、ウェーハ搬送機構９２で搬送され、洗浄装置１００で洗浄される。
【００９１】
ウェーハ搬送機構９２の移動経路を挟んで研磨装置９８及び洗浄装置１００と対面する位置には、本実施の形態に係る粘着テープ貼着装置２（マウンター７０）が配置されている。洗浄装置１００で洗浄されたウェーハ２１は、ウェーハ搬送機構９２で搬送され、粘着テープ貼着装置２（マウンター７０）のチャックテーブル２２に載置される。
【００９２】
ウェーハ搬送機構９２の移動経路及び粘着テープ貼着装置２（マウンター７０）と隣接する位置には、ウェーハ２１に貼着された保護部材３１を剥離する剥離装置１０２が配置されている。
【００９３】
粘着テープ１１が貼着されたウェーハ２１及びフレーム３３は、ウェーハ２１の表面２１ａ（図４（Ａ））及びフレーム３３の表面３３ａ（図４（Ｂ））を上方に位置付けるように上下を反転され、ウェーハ搬送機構９２で搬送された後に、剥離装置１０２で保護部材３１を剥離される。保護部材３１が剥離されたウェーハ２１及びフレーム３３は、ウェーハ搬出入機構８６等によりカセット８２に搬入される。
【００９４】
以上のように、本実施の形態に係る粘着テープ貼着装置２は、送り方向Ｄ１に沿った張力Ｆ１を粘着テープ１１に付加する第１の張力付加機構（第１の張力付加手段）に加え、チャックテーブル２２の保持面と平行かつ送り方向Ｄ１に直交する方向に張力Ｆ２を付加する第２の張力付加機構（第２の張力付加手段）を備えるので、使用される粘着テープ１１の大きさに関わらず、貼着時のしわの発生を抑制できる。
【００９５】
上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００９６】
２  粘着テープ貼着装置
４  基台
６  送り出しローラー（テープ送り出し部）
８  剥離ローラー（シート剥離部）
８ａ  ローラー
８ｂ  ローラー
１０  剥離シート巻き取りローラー（剥離シート巻き取り部）
１２  第１のドライブローラー
１４  第１の従動ローラー
１６  第２のドライブローラー
１８  第２の従動ローラー
２０  粘着テープ巻き取りローラー（テープ巻き取り部）
２２  チャックテーブル
２４  チャックテーブル移動機構（チャックテーブル位置付け手段）
２６  シリンダケース
２８  ピストンロッド
３０ａ  水平移動機構（挟持部位置付け手段）
３０ｂ  水平移動機構（挟持部位置付け手段）
３２ａ  シリンダケース
３２ｂ  シリンダケース
３４ａ  ピストンロッド
３４ｂ  ピストンロッド
３６ａ  移動テーブル
３６ｂ  移動テーブル
３８ａ  垂直移動機構
３８ｂ  垂直移動機構
４０ａ  シリンダケース
４０ｂ  シリンダケース
４２ａ  ピストンロッド
４２ｂ  ピストンロッド
４４ａ  粘着テープ挟持機構（粘着テープ挟持部）
４４ｂ  粘着テープ挟持機構（粘着テープ挟持部）
４６ａ  第１の挟持ブロック
４６ｂ  第１の挟持ブロック
４８ａ  第２の挟持ブロック
４８ｂ  第２の挟持ブロック
５０ａ  ガイド部材
５０ｂ  ガイド部材
５２  押圧ローラー
５４  カッターアセンブリ
５６  回転軸
５８  アーム
６０  テープカッター
７０  マウンター
７２  フレームカセット
７４  カセット載置機構
７６  フレーム搬出機構
８０  ウェーハ加工システム
８２  カセット
８４  カセット載置機構
８６  ウェーハ搬出入機構
８８  ガイドレール
９０  位置合わせテーブル
９２  ウェーハ搬送機構
９４  ガイドレール
９６  研削装置
９８  研磨装置
１００  洗浄装置
１０２  剥離装置
１１  粘着テープ
１３  剥離シート
２１  ウェーハ
２１ａ  表面
２１ｂ  裏面
２３  デバイス領域
２５  外周余剰領域
２７  ストリート（分割予定ライン）
２９  デバイス
３１  保護部材
３１ａ  表面
３１ｂ  裏面
３３  フレーム（環状フレーム）
３３ａ  表面
３３ｂ  裏面
Ｄ１  送り方向
Ｆ１  張力
Ｆ２  張力
Ｒ１  順方向
Ｒ２  逆方向
【図１】
2015082642.tif 000003
【図２】
2015082642.tif 000004
【図３】
2015082642.tif 000005
【図４】
2015082642.tif 000006
【図５】
2015082642.tif 000007
【図６】
2015082642.tif 000008
【図７】
2015082642.tif 000009
【図８】
2015082642.tif 000010