(57)【要約】【課題】  構造像とそれに対応した分光結果を取得することができる走査透過電子顕微鏡システム、画像処理装置、画像処理方法、および画像処理プログラムを提供する。【解決手段】  走査透過電子顕微鏡システムは、環状暗視野検出器と、前記環状暗視野検出器を抜けた電子ビームから電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得する電子線エネルギー損失分光装置と、前記環状暗視野検出器の出力信号を基に第１ＳＴＥＭ像を生成し、前記電子線エネルギー損失分光スペクトルの積算値を基に第２ＳＴＥＭ像を生成する画像処理装置と、を備える。【選択図】  図３
2015082485.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状暗視野検出器と、
前記環状暗視野検出器を抜けた電子ビームから電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得する電子線エネルギー損失分光装置と、
前記環状暗視野検出器の出力信号を基に第１ＳＴＥＭ像を生成し、前記電子線エネルギー損失分光スペクトルの積算値を基に第２ＳＴＥＭ像を生成する画像処理装置と、を備えることを特徴とする走査透過電子顕微鏡システム。
【請求項２】
前記電子線エネルギー損失分光装置が電子ビームを取り込む取込範囲を制限する遮蔽部材を備えることを特徴とする請求項１記載の走査透過電子顕微鏡システム。
【請求項３】
前記画像処理装置は、前記第１ＳＴＥＭ像と前記第２ＳＴＥＭ像とを異なる色で生成し、前記第１ＳＴＥＭ像と前記第２ＳＴＥＭ像とを重ね合わせることを特徴とする請求項１または２記載の走査透過電子顕微鏡システム。
【請求項４】
前記画像処理装置は、グリーン色とブルー色とで前記第１ＳＴＥＭ像を生成し、レッド色で前記第２ＳＴＥＭ像を生成することを特徴とする請求項３記載の走査透過電子顕微鏡システム。
【請求項５】
前記電子線エネルギー損失分光装置は、試料を構成する元素の内殻励起を含まないエネルギー領域の電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の走査透過電子顕微鏡システム。
【請求項６】
環状暗視野検出器と、前記環状暗視野検出器を抜けた電子ビームから電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得する電子線エネルギー損失分光装置と、を備える走査透過電子顕微鏡において、
前記環状暗視野検出器の出力信号を基に第１ＳＴＥＭ像を生成し、
前記電子線エネルギー損失分光スペクトルの積算値を基に第２ＳＴＥＭ像を生成する、ことを特徴とする画像処理方法。
【請求項７】
環状暗視野検出器と、前記環状暗視野検出器を抜けた電子ビームから電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得する電子線エネルギー損失分光装置と、を備える走査透過電子顕微鏡において、
前記環状暗視野検出器の出力信号を基に第１ＳＴＥＭ像を生成し、
前記電子線エネルギー損失分光スペクトルの積算値を基に第２ＳＴＥＭ像を生成する、処理をコンピュータに実行させることを特徴とする画像処理プログラム。
【請求項８】
環状暗視野検出器と、前記環状暗視野検出器を抜けた電子ビームから電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得する電子線エネルギー損失分光装置と、を備える走査透過電子顕微鏡において、
前記環状暗視野検出器の出力信号を基に第１ＳＴＥＭ像を生成し、前記電子線エネルギー損失分光スペクトルの積算値を基に第２ＳＴＥＭ像を生成する画像処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本件は、走査透過電子顕微鏡システム、画像処理装置、画像処理方法、および画像処理プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡を用いた高分解能像取得技術およびその手法において、古くからの課題として全元素を検出して画像化する技術の開発が挙げられる。高角度環状暗視野走査透過電子顕微鏡（HAADF STEM: High-Angle Annular Dark-Field Scanning Transmission Electron Microscopy）法によって、比較的重い元素の検出が可能となっている。軽い元素と重い元素とをいっしょに検出することは困難であったが、環状明視野走査透過電子顕微鏡（ABF STEM: Annular Bright-Field STEM）法の開発により、重い元素と軽い元素とを同時に原子レベルで画像化することが可能となった。
【０００３】
さらに、画像処理技術を使用することで、従来備え付けられている明視野検出器を使用することによって、ABF STEM像と同様の像を画像処理から得ることができるような技術が開発されている（例えば、特許文献１参照)。また、円板状検出器によって取得される中程度の取り込み角度で取得される明視野像（MABF像: Middle Angle Bright Field STEM像）とHAADF STEM像を異なる色空間で重ね合わせることによって、高い空間識別性を有したまま軽い元素と重い元素とを同時に検出できるdouble detector STEM法も開発されている（例えば、非特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−４１７６１号公報
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】Appl. Phys. Lett. Vol. 101, p. 133107
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
円環状の検出器を使用するメリットとして、構造像と電子エネルギー損失分光（ＥＥＬＳ）とを同時取得できることが挙げられる。ABF STEM像においてもそのメリットは生かされており、構造と電子分光による電子構造を対応することができる。しかしながら、画像処理によって明視野像からABF STEM像を構築する場合、試料を透過した電子は円板状の明視野検出器に検出され、その下の分光器には到達しないため、分光結果を同時取得できない欠点があった。
【０００７】
１つの側面では、本件は、構造像とそれに対応した分光結果を取得することができる走査透過電子顕微鏡システム、画像処理装置、画像処理方法、および画像処理プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
１つの態様では、走査透過電子顕微鏡システムは、環状暗視野検出器と、前記環状暗視野検出器を抜けた電子ビームから電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得する電子線エネルギー損失分光装置と、前記環状暗視野検出器の出力信号を基に第１ＳＴＥＭ像を生成し、前記電子線エネルギー損失分光スペクトルの積算値を基に第２ＳＴＥＭ像を生成する画像処理装置と、を備える。
【発明の効果】
【０００９】
構造像とそれに対応した分光結果を取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施例１に係る走査透過電子顕微鏡システムの全体構成を表す図である。
【図２】図１の要部を表す図である。
【図３】走査透過電子顕微鏡システムが生成する暗視野像およびＥＥＬＳ分光結果を表す図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）はＥＥＬＳ信号によって得られる像と円板状の明視野検出器によって得られる像の比較を行った結果を表す図である。
【図５】画像処理装置のハードウェア構成を説明するためのブロック図である。
【図６】画像処理装置の詳細を表すブロック図である。
【図７】画像処理装置の各部の動作の一例を表すフローチャートである。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は画像処理の例を表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照しつつ、実施例について説明する。
【実施例１】
【００１２】
図１は、実施例１に係る走査透過電子顕微鏡システム１００の全体構成を表す図である。図２は、図１の要部を表す図である。図３は、走査透過電子顕微鏡システム１００が生成する暗視野像およびＥＥＬＳ分光結果を表す図である。図１で例示するように、走査透過電子顕微鏡システム１００は、走査透過電子顕微鏡１０と、走査透過電子顕微鏡１０が取得した暗視野像および分光結果を用いて画像処理を行う画像処理装置３０とを備える。
【００１３】
走査透過電子顕微鏡１０の観察対象の試料Ｓは、一例として、異なる原子番号の複数の元素を含む周期的な構造を有する。原子番号の大きい方の元素は、相対的に質量が大きい重い原子であり、以下、単に重元素ともいう。また、原子番号の小さい方の元素は、相対的に質量が小さい軽い元素であり、以下、単に軽元素ともいう。
【００１４】
走査透過電子顕微鏡１０は、電子線Ｂを出力する電子源１１と、電子源１１が出力した電子線Ｂを収束させる収束レンズ１２と、電子源１１から出力された電子線Ｂの焦点を試料Ｓの位置に合焦させる対物レンズ１４と、を備える。一例として、収束レンズ１２は、電子線Ｂをナノメートル以下に収束させる。また、走査透過電子顕微鏡１０は、電子源１１と対物レンズ１４との間に配置され、電子線Ｂに試料Ｓの表面を走査させる走査コイル１３と、試料Ｓを通過した電子線を結像面に結像させる結像レンズ１５と、を備える。
【００１５】
図２で例示するように、走査透過電子顕微鏡１０は、走査透過電子顕微鏡１０の光軸ＯＡからの第１角度α１と、第１角度α１よりも大きい第２角度α２との間に散乱した電子ビームを検出する検出器１６を備える。検出器１６は、暗視野像が結像する結像面に配置される環状暗視野検出器（Annular Dark Field (ADF） Detector）である。走査透過電子顕微鏡１０の光軸ＯＡは、対物レンズ１４および結像レンズ１５の光軸と一致する。
【００１６】
また、走査透過電子顕微鏡１０は、検出器１６よりも下方において、第１角度α１と、第１角度α１よりも小さい第３角度α３との電子ビームを遮蔽する環状の遮蔽部材１７を備える。また、走査透過電子顕微鏡１０は、第３角度α３以内に散乱した電子に対して電子線エネルギー損失分光（EELS: Electron Energy Loss Spectroscopy）を行うＥＥＬＳ分光器１８を備える。ＥＥＬＳ分光器１８は、ＥＥＬＳスペクトルを取得する電子線エネルギー損失分光装置である。また、走査透過電子顕微鏡１０は、試料Ｓのエネルギー分散Ｘ線分光（EDX: Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）を行うＥＤＸ分光器１９を備えている。ＥＤＸ分光器１９は、ＥＤＸスペクトルを取得する。
【００１７】
さらに、走査透過電子顕微鏡１０は、ユーザによって入力された実験条件に従って、各部の動作を制御する制御部２０を備える。この制御部２０は、検出器１６の検出信号に基づいて暗視野像を生成する画像生成部２１を備え、ＥＥＬＳ分光器１８の分光結果を取得する分光結果取得部２２を備える。画像生成部２１は、生成した暗視野像を画像処理装置３０に出力する。分光結果取得部２２は、取得した分光結果を画像処理装置３０に出力する。
【００１８】
また、走査透過電子顕微鏡１０は、不要な電子線の拡がりをカットする収束レンズ絞り、又は球面収差・非点収差等の収差を補正する補正部を備えていてもよい。すなわち、走査透過電子顕微鏡１０は、球面収差補正走査透過電子顕微鏡であってもよい。
【００１９】
走査透過電子顕微鏡１０は、収束させた電子線Ｂを用いて試料Ｓの表面を走査し、走査する一点毎に、暗視野像を生成しつつ分光結果を取得する。第１角度α１は、検出器１６によって検出され得る電子の最小の散乱角である。第１角度α１は、光軸ＯＡからの電子の進行方向側の角度である。第１角度α１は、大きい程好ましく、少なくとも４０ｍｒａｄ以上であることが好ましい。通常、第１角度α１は、７０ｍｒａｄ程度に設定される。
【００２０】
第２角度α２は、検出器１６によって検出され得る電子の最大の散乱角である。第２角度α２は、光軸ＯＡからの電子の進行方向側の角度である。第２角度α２は、大きい程好ましく、少なくとも７０ｍｒａｄ以上であることが好ましい。通常、第２角度α２は、１８０ｍｒａｄ程度に設定される。
【００２１】
第３角度α３は、試料Ｓが含む重元素および軽元素の原子番号に基づいて設定されることが好ましい。また、第３角度α３の上限値は、ＥＥＬＳ分光器１８の代わりに明視野検出器を配置してdouble detector STEM像を構築する場合に、当該明視野検出器を用いて撮像される明視野像が、検出器１６を用いて撮像される暗視野像の相補像と類似しない範囲に設定されることが好ましい。例えば、軽元素の原子番号が８以下である場合には、第３角度α３は、２００ｋＶの加速電圧の場合において、９〜１１ｍｒａｄの範囲に設定することが好ましい。
【００２２】
画像生成部２１は、検出器１６が検出する電子線の回折像を取得し、その回折像面において電子の数をカウントする。画像生成部２１は、このカウントを入射電子の位置と同期させて像の強度とする。画像生成部２１は、収束電子線の走査によって得られる２次元像から暗視野ＳＴＥＭ像を生成する。この像は、一般的に、high-angle annular dark-field (HAADF) STEM 像と呼ばれる。この像の特徴は、原子柱の位置に原子柱を構成する元素の原子番号に対応した強度が得られることにある。また、電子線を収束させる電磁レンズの焦点や試料の厚さに像のコントラストが極めて鈍感であるため、原子直視性に優れた像を取得することができる。この像形成機構のため、像の空間分解能は収束電子線を収束する径に依存し、球面収差補正装置を用いた場合では、その空間分解能は１ｎｍ以下まで達成することができる。これらの特徴のため、構造解析にも広く利用されている。
【００２３】
図３で例示するように、ＥＥＬＳ分光器１８は、電子線が入射する点ごとに、ＥＥＬＳスペクトルを取得する。ＥＤＸ分光器１９は、電子線が入射する点ごとに、ＥＤＸスペクトルを取得する。それにより、成分分析や電子状態分析を２次元的に行うことができる。特に、近年の電磁レンズの球面収差補正装置の実現によって、大電流の入射プローブを得ることができるようになってきた。それにより、大電流の入射プローブのスペクトルを、原子分解能を有した空間分解能で取得することができるようになっている。
【００２４】
暗視野ＳＴＥＭ像とＥＥＬＳスペクトルとを同時取得することによって、電子線の入射位置毎に原子レベルでのＥＥＬＳ分光結果を取得でき、原子構造とそれに対応した電子状態を解析できる。しかしながら、円板上の明視野検出器を設置して明視野ＳＴＥＭ像を取得すると、軽元素位置を明らかにできる反面、ＥＥＬＳ信号を取得することができなくなるという欠点が指摘されている。
【００２５】
そこで、この欠点を解決するため、まずＥＥＬＳ信号によって得られる像と円板状の明視野検出器によって得られる像の比較を行った結果を図４（ａ）〜図４（ｄ）に示す。図４（ａ）は、Ｓｉ（１１０）によって取得されるＳＴＥＭ−ＥＥＬＳ像である。図４（ｂ）は、ＳｒＴｉＯ３（００１）のＳＴＥＭ  ＥＥＬＳ像である。両者ともに取得されたＥＥＬＳ信号を各入射位置において検出された全てのエネルギーチャネルを積算することによって像を得てある。なお、このときのＥＥＬＳ信号を取得したときの取り込み角度は２０ｍｒａｄとした。図４（ｃ）および図４（ｄ）は、円板状検出器によって取得されたＢＦ  ＳＴＥＭ像である。対応した計算結果を右下の括弧に囲まれた領域に示す。この実験および計算の円板状検出器の取り込み角度は２０ｍｒａｄとした。ＳＴＥＭ  ＥＥＬＳ像の実験結果及び円板状検出器で取得されるＢＦ  ＳＴＥＭ像の実験および計算結果から、原子位置に暗い点が来ることが明らかになった。これらの結果から、全エネルギー領域を積算して得られたＳＴＥＭ  ＥＥＬＳ像はＨＡＢＦ  ＳＴＥＭ像の結果とほぼ同等であることが示される。
【００２６】
この結果の物理的意味は、下記のとおりである。ＥＥＬＳ分光器１８に到達した電子は、エネルギー分光されて異なるエネルギーチャネルの電子として記録される。一方、円板検出器で検出されるＢＦ  ＳＴＥＭの強度は、検出器に到達する電子の総カウント数である。そのため、ＥＥＬＳによって分光された電子であっても、全ての電子をカウントすれば、円板検出器によって検出されたＢＦ  ＳＴＥＭ像強度と等しくなる。
【００２７】
本実施例においては、この原理を利用して、軽元素検出像とＥＥＬＳ分光結果とを同時取得する方法および装置を提案する。軽元素像は、円板状検出器の取り込み角度を９〜１２ｒａｄに設定して得られるＭＡＢＦ  ＳＴＥＭ像を元に構築される。特許文献２では、このＭＡＢＦ  ＳＴＥＭ像と同時取得されたＨＡＡＤＦ  ＳＴＥＭ像を異なる色空間で重ね合わせることによって、重元素と軽元素とを同時に出力するdouble detector STEM法が提案されている。本実施例では、ＳＴＥＭ  ＥＥＬＳ法によってＭＡＢＦ  ＳＴＥＭ像とみなせる像を構築し、同時取得されるＨＡＡＤＦ  ＳＴＥＭ像とによってdouble detector STEM像を構築する。このとき、ＥＥＬＳ信号も同時取得されているため、double detector STEM像とＥＥＬＳ信号とを対応させることができる。なお、ＥＥＬＳ信号の取り込み角度をＭＡＢＦ  ＳＴＥＭ像の取り込み角度と一致するように、遮蔽部材１７を設置するか、倍率を変更することによって取り込み角度を制限することが好ましい。
【００２８】
図５は、画像処理装置３０のハードウェア構成を説明するためのブロック図である。図５で例示されるように、画像処理装置３０は、ＣＰＵ１０１、ＲＡＭ１０２、記憶装置１０３、表示装置１０４、インタフェース１０５等を備える。これらの各装置は、バス等によって接続されている。
【００２９】
ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）１０１は、中央演算処理装置である。ＣＰＵ１０１は、１以上のコアを含む。ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）１０２は、ＣＰＵ１０１が実行するプログラム、ＣＰＵ１０１が処理するデータなどを一時的に記憶する揮発性メモリである。記憶装置１０３は、不揮発性記憶装置である。記憶装置１０３として、例えば、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、フラッシュメモリなどのソリッド・ステート・ドライブ（ＳＳＤ）、ハードディスクドライブに駆動されるハードディスクなどを用いることができる。記憶装置１０３は、本実施例に係る画像処理プログラムを記憶している。表示装置１０４は、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスパネルなどであり、画像処理結果などを表示する。インタフェース１０５は、画像処理装置３０と外部機器との信号送受信を行う装置である。画像処理装置３０の処理結果は、インタフェース１０５を介して外部に出力される。
【００３０】
図６は、画像処理装置３０の詳細を表すブロック図である。図６で例示するように、画像処理装置３０は、画像入出力部３１、ＧＢ像出力部３２、ＲＧＢ像演算部３３、Ｒ像演算部３４、分光結果入力部３５などとして機能する。
【００３１】
図７は、画像処理装置３０の各部の動作の一例を表すフローチャートである。図７で例示するように、まず、ユーザによって実験条件が入力される（ステップＳ１）。実験条件とは、取込角度（範囲）、像解像度、エネルギー分解能等である。入力された実験条件は、走査透過電子顕微鏡１０のメモリ領域等に記憶される。次に、画像生成部２１は、検出器１６の検出結果を基に、構造像（ＨＡＤＤＦ  ＳＴＥＭ像）を生成し、分光結果取得部２２は、ＥＥＬＳ分光器１８の分光結果を取得する（ステップＳ２）。画像生成部２１によって生成された構造像（ＨＡＡＤＦ  ＳＴＥＭ像）は、画像入出力部３１に入力される。分光結果取得部２２によって取得された分光結果は、分光結果入力部３５に入力される。
【００３２】
Ｒ像演算部３４は、分光結果入力部３５に入力された分光結果を各入射位置において全エネルギー領域で積算することによって構築した像をレッド色の像に変換する（ステップＳ３）。ＧＢ像出力部３２は、画像入出力部３１に入力された構造像をシアン色の像に変換する（ステップＳ４）。なお、シアン色の像に変換することは、ＲＧＢ空間においてグリーン色とブルー色のみによって像を出力することを意味する。
【００３３】
次に、ＲＧＢ像演算部３３は、ＧＢ像出力部３２が出力したシアン色像とＲ像演算部３４が出力したレッド色像とからＲＧＢ像を演算する（ステップＳ５）。具体的には、ＲＧＢ像演算部３３は、シアン色像とレッド色像とをＲＧＢ空間で重ね合わせる。それにより、軽元素がレッド色で重元素がシアン色で表示されるdouble detector STEM像が得られる。このとき、分光結果も各入射位置で取得されているため、原子位置と対応した分光測定結果を得ることができる。画像処理装置３０によって、ステップＳ５で演算されたＲＧＢ像を出力される（ステップＳ６）。その後、フローチャートの実行が終了する。
【００３４】
図８（ａ）〜図８（ｄ）は、画像処理の例を表す図である。用いた試料はＳｒＴｉＯ３（００１）の単結晶試料である。図８（ａ）は、取得されたＨＡＡＤＦ  ＳＴＥＭ像を表す。この像が構造像となるため、シアン色に色を置換して表示される。この各画素においてＥＥＬＳ信号が取得されており、そのＥＥＬＳ信号の取り込み角度は１１ｍｒａｄに設定してある。図８（ｂ）は代表的な一点で取得されたＥＥＬＳ信号である。このＥＥＬＳ信号の全エネルギーを積分し、各画素の強度として出力した結果を図８（ｃ）で表す。この結果は、ＭＡＢＦ  ＳＴＥＭ像に対応するため、赤色に色変換して表示してある。この強度が高い位置は酸素位置に対応している。図８（ａ）および図８（ｃ）で表された２つの結果をＲＧＢ空間で積算した結果が図８（ｄ）で表される。図８（ｄ）で例示されるように、軽元素（酸素）の位置と重元素（ストロンチウムおよびチタン）の位置が明確に区別できることがわかる。各画素にはＥＥＬＳ信号の情報も保存されているため、これらの像からＥＥＬＳ信号による電子状態を解析することが可能である。
【００３５】
本実施例によれば、明視野検出器の代わりにＥＥＬＳ分光器を用いることで、ＥＥＬＳ分光と構造像とを同時取得することができる。ＥＥＬＳ分光器の上部に遮蔽部材を配置することによって、取り込み角度を明視野検出器の取り込み角度と同様に設定することができる。なお、遮光部材に限らず、回折像の倍率の変更（カメラ長の変更）によって、取り込み角度を変更してもよい。分光スペクトルを分光結果に含まれる全エネルギー領域で積分して入射プローブに対応した積分強度マップを得ることによって、明視野ＳＴＥＭ像と同様の情報を持つ構造像を取得することができる。それにより、分光スペクトルを取得しながら明視野ＳＴＥＭ像を取得できるため、軽元素から重元素まで含んだ構造像と分光結果とを対応して取得することができる。
【００３６】
また、明視野像はＡＢＦ  ＳＴＥＭ像に比べて軽元素の検出効率が良い。ところで、分光器のエネルギーレンジを適切に設定することによって、多種類の元素マップを得ることができるが、軽元素は電子が原子位置に局在する効果が弱いため、分光測定結果から元素マップを得ることが極めて困難であった。本実施例によれば、軽元素は明視野像によって取得するため、その点も改善される
【００３７】
なお、[００１]方位から観察されたＳｒＴｉＯ３の観察結果に適用し、明視野法で取得した像と同様の酸素の位置が明瞭に検出できる像が得られることが確認された。さらに、分光器のエネルギーレンジをＴｉのＬ遷移が含まれるように設定すれば、酸素を明視野像から、Ｔｉを分光像から、ＳｒをＨＡＤＤＦ  ＳＴＥＭ像から明瞭に区別することができる。すなわち、軽元素から重元素まで含めた構造像と分光結果とを詳細に比較することが可能となる。
【００３８】
なお、内殻励起など元素に特徴的なピークがないエネルギー領域を用いて、エネルギー積算像を取得することが好ましい。すなわち、ＥＥＬＳ分光器１８は、試料Ｓを構成する元素の内殻励起を含まないエネルギー領域の電子線エネルギー損失分光スペクトルを取得することが好ましい。また、上記例では、ＲＧＢ色空間を用いたが、他の色空間を用いてもよい。
【００３９】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１０  走査透過電子顕微鏡
１１  電子源
１２  収束レンズ
１３  走査コイル
１４  対物レンズ
１５  結像レンズ
１６  検出器
１７  遮蔽部材
１８  ＥＥＬＳ分光器
１９  ＥＤＸ分光器
２０  制御部
２１  画像生成部
２２  分光結果取得部
３０  画像処理装置
３１  画像入出力部
３２  ＧＢ像出力部
３３  ＲＧＢ像演算部
３４  Ｒ像演算部
３５  分光結果入力部
１００  走査透過電子顕微鏡システム
【図１】
2015082485.tif 000003
【図２】
2015082485.tif 000004
【図３】
2015082485.tif 000005
【図４】
2015082485.tif 000006
【図５】
2015082485.tif 000007
【図６】
2015082485.tif 000008
【図７】
2015082485.tif 000009
【図８】
2015082485.tif 000010