(57)【要約】【課題】本発明は、１つの距離センサからの光を分離することにより、装置を大型化せずに測定精度を向上させた形状計測装置および方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、「測定対象へレーザを照射し、反射光を検出して測定点までの距離を算出する距離センサと、前記距離センサからの光を複数に分離する分離部と、前記距離センサと前記測定対象とを相対的に回転させる回転部と、前記距離センサから得た複数の測定点までの距離の測定結果を統合するデータ処理部とを備える形状計測装置」を提供する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象へレーザを照射し、反射光を検出して測定点までの距離を算出する距離センサと、
前記距離センサからの光を複数に分離する分離部と、
前記距離センサと前記測定対象とを相対的に回転させる回転部と、
前記距離センサから得た複数の測定点までの距離の測定結果を統合するデータ処理部とを備える形状計測装置。
【請求項２】
前記分離部は前記距離センサからの光を光の進行方向に複数に分離することを特徴とする請求項１記載の形状計測装置。
【請求項３】
前記分離部は前記距離センサからの光を光の進行方向とは異なる方向に複数に分離することを特徴とする請求項１記載の形状計測装置。
【請求項４】
前記データ処理部は、前記距離センサから得た複数の測定点までの距離の測定結果を統合し、前記距離センサの前記測定対象に対する中心軸の傾きを補正することを特徴とする請求項１記載の形状計測装置。
【請求項５】
前記データ処理部は、前記距離センサから得た複数の測定点までの距離の測定結果を統合し、前記回転部の回転による軸ブレを補正することを特徴とする請求項１記載の形状計測装置。
【請求項６】
前記測定対象を加工する加工機を設けた請求項１記載の形状計測装置。
【請求項７】
前記距離センサを移動する移動機構を備え、前記データ処理部は前記距離センサの移動量を算出することを特徴とする請求項１記載の形状計測装置。
【請求項８】
距離センサから照射されるレーザ光を複数の光に分離し、
分離した光を測定対象の複数の測定点に照射し、
前記距離センサを前記測定対象に対して相対的に回転させ、
複数の前記測定点からの反射光を前記距離センサにより検出して複数の前記測定点までの距離を算出し、
複数の前記測定点までの距離の測定結果を統合することを特徴とする形状計測方法。
【請求項９】
前記レーザ光を光の進行方向に複数の光に分離することを特徴とする請求項８記載の形状計測方法。
【請求項１０】
前記レーザ光を光の進行方向とは異なる方向に複数の光に分離することを特徴とする請求項８記載の形状計測方法。
【請求項１１】
複数の前記測定点までの距離の測定結果を統合した結果を用いて、前記レーザ光の進行方向の前記測定対象に対する傾きを補正することを特徴とする請求項８記載の形状計測方法。
【請求項１２】
前記距離センサの前記測定対象に対する回転の軸ブレを補正することを特徴とする請求項８記載の形状計測方法。
【請求項１３】
前記距離センサを前記測定対象に対して相対的に移動させ、移動量を算出することを特徴とする請求項８に記載の形状計測方法。
【請求項１４】
前記距離センサを前記測定対象の外部と内部に移動させ、前記測定対象の外部と内部の形状を計測することを特徴とする請求項１３に記載の形状計測方法。
【請求項１５】
形状が既知の参照物までの距離を前記距離センサにより検出し、前記測定対象までの距離の測定結果と統合することを特徴とする請求項１４に記載の形状計測方法。
【請求項１６】
請求項８の形状計測方法による計測結果が目標範囲内に入るまで前記測定対象の加工を行うことを特徴とする加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、形状計測方法と装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
本技術分野の背景技術として、特開２００８−３０４４０７号公報（特許文献１）がある。この公報には、「プリズムの反射面を、レーザ変位計から発せられるレーザ光の軸線上に固設したことによって、測定対象物を変更したり、測定する内周面の形状が変化した場合であっても、レーザ変位計およびプリズムの配置を調整するという操作が不要となり、簡単な操作で内径Ｄを測定することができる。また、プリズムの反射面は、支持体から突出するように配設されているので、測定対象物の内周面の径が小さく、内周面の中に測定部全体を案内できない場合でも、プリズムの反射面を案内して、内周面の内径を測定することができる」と記載されている。
【０００３】
また、特開２０１１−１９６８９９号公報（特許文献２）がある。この公報には、「先端側が管体に挿入されるアームの基端側に、周方向の３箇所でレーザ光を管体の軸方向に管体内へ向けて発射する発光部と、管体内から戻る反射光を受光する受光部を備えたレーザ変位センサを取り付け、アームの先端側に、各レーザ変位センサと同じ周方向で、各発光部から発射されたレーザ光を、外方の管体の内径面に向けて直角に方向転換し、外方に向けられたレーザ光の管体の内径面での反射光の一部をアームの基端側へ向けて方向転換するプリズムを取り付け、各レーザ変位センサの検出値から管体の内径面でのレーザ光の反射位置を求め、求めた３点の反射位置から管体の内径を演算する演算手段を設けたものとした」と記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−３０４４０７号公報
【特許文献２】特開２０１１−１９６８９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の内径測定装置においては、内径計測装置が回転し内径を測定するため、結果が回転の精度に依存すること、測定対象の中心軸と測定装置の中心軸とが傾いたか測定対象が変形したかを区別ができないため、中心軸が傾かないように調整するため設置が容易でないといった問題がある。
【０００６】
特許文献２の内径測定装置においては３つの変位計を用いて３点の距離を測定し、三角形の正弦定理と余弦定理に基づいて、管体の内径寸法を演算するようにしている。この内径測定装置は、回転部がないため結果が回転の精度に依存するといった問題はない。しかし、測定箇所の数だけ変位計を用いるため、装置が大型になる上、多点を測定するためには更に変位計を用意しなければならないため、多点測定による内径測定精度の向上、真円度の測定、円形でない管体の形状を測定することが容易でない。また、測定対象の中心軸と測定装置の中心軸とが傾いたか測定対象が変形したかを区別ができないため、中心軸が傾かないように調整するため設置が容易でないといった問題がある。
【０００７】
上記問題点に鑑み、本発明は、１つの距離センサからの光を分離することにより、装置を大型化せずに測定精度を向上させた形状計測装置および方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は、「測定対象へレーザを照射し、反射光を検出して測定点までの距離を算出する距離センサと、前記距離センサからの光を複数に分離する分離部と、前記距離センサと前記測定対象とを相対的に回転させる回転部と、前記距離センサから得た複数の測定点までの距離の測定結果を統合するデータ処理部とを備える形状計測装置」を提供する。また、本発明は、「距離センサから照射されるレーザ光を複数の光に分離し、分離した光を測定対象の複数の測定点に照射し、前記距離センサを前記測定対象に対して相対的に回転させ、複数の前記測定点からの反射光を前記距離センサにより検出して複数の前記測定点までの距離を算出し、複数の前記測定点までの距離の測定結果を統合することを特徴とする形状計測方法」を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、装置を大型化せずに測定精度を向上させた形状計測装置および方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施例１における管体内面の形状計測装置１００の構成図である。
【図２】実施例１における計測装置１００の構成図である。
【図３】実施例１における中心軸が傾いた場合の内面形状計測装置と、管体１９０の関係を示した模式図である。
【図４】実施例１における計測結果を平面Ｈ３へ射影した模式図である。
【図５】実施例１における管体内面の形状計測装置１００を用いた加工フローである。
【図６】実施例１における管体内面の形状計測装置１００を用いた加工ツールを取り外さない加工フローである。
【図７】実施例１における管体内面の形状計測装置１００を用いた加工ツールを取り外さない加工フローである。
【図８】実施例１における計測装置１００を回転ベース１２６に設置する構成図である。
【図９】実施例２における形状計測装置２００を示す構成図である。
【図１０】図９の平面２４０における断面図を示す。
【図１１】実施例２における軸ブレがある場合の計測結果の模式図である。
【図１２】実施例３における管体外面の形状計測方法の例である。
【図１３】図１２の平面２４０における断面図の例である。
【図１４】実施例３における管体外面の形状計測方法の計測フローの例である。
【図１５】実施例４おける管体外面の形状計測方法の例である。
【図１６】実施例４おける管体外面の形状計測フローの例である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、実施例を図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１２】
本実施例では、管体内面の形状計測装置の例と、管体内面の形状計測装置を用いた管体の加工方法の例を説明する。
【００１３】
図１は、本実施例の管体内面の形状計測装置１００の構成図の例である。
【００１４】
管体内面の形状計測装置１００は、計測装置１００と加工機１２０を接続するためのアダプタ１３０と、制御・データ処理・電源回路を含む回路ユニット１４１とケーブル１４２と表示画面１４３とから成る制御部１４０と、中継ケーブル１５０とから成る。回路ユニット１４１は中継ケーブル１５０を通して、計測装置１００へ制御信号を送信する、計測装置１００への電源供給、計測装置１００から送信された信号を収録し、データ処理する役割を果たす。表示画面は測定条件、測定結果を表示する。
【００１５】
図２は、計測装置１００の構成図の例である。
【００１６】
計測装置１００は、距離センサ１１１、距離センサの出力１１２、コリメートレンズ１１６、コリメートレンズマウンタ１１５、ハーフミラー１７４、ハーフミラー１７４を取り付ける穴あきマウント１７５と、回転ステージ１７３の回転部１７３Ａと、回転ステージ１７３の非回転部１７３Ｂと、プリズム１７７と、これらを回転ステージ１７３の回転部１７３Ａに固定するマウンタ１７６と、非回転部１７３Ｂをケース１１３に固定するケース１７１から成る。
【００１７】
距離センサ１１１は、測定対象にレーザを照射し測定対象からの反射光によって測定点までの距離を算出する。距離測定方式は限定されない。例えば、Ｐｈａｓｅ−Ｓｈｉｆｔ法、ＴＯＦ（Ｔｉｍｅ−ｏｆ−Ｆｌｉｇｈｔ）法、ＦＭＣＷ（Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙーｍｏｄｕｌａｔｅｄ Ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ−ｗａｖｅ）法などがある。
【００１８】
ハーフミラー１７４は、距離センサ１１１からの光である出力１１２を光の進行方向に複数の光に分離する分離部としての役割を果たす。出力１１２がハーフミラー１７４に当たる点を点１ＡＯとし、出力１１２のハーフミラー１７４を透過した光がプリズム１７７に当たる点を１ＢＯとする。また、
距離センサ１１１の出力１１２はハーフミラー１７４で反射光１１１ａと透過光１１１ｂに分けられ、反射光１１１ａは測定対象の点１Ａに照射されその戻り光はハーフミラー１７４で再び反射し距離センサ１１１で検出し点１ＡＯと点１Ａの距離rａを算出し、透過光１１１ｂは測定対象の点１Ｂに照射されその戻り光はハーフミラー１７４を再び透過し距離センサ１１１で検出し点１ＢＯと点１Ｂの距離rｂを算出する。
【００１９】
図３は、中心軸が傾いた場合の内面形状計測装置と、管体１９０の関係を示した模式図の例である。
【００２０】
回転ステージ１７３の回転部１７３Ａを回転させながら距離ｒａを算出することにより、回転角度と距離ｒａから管体１９０の、回転に伴う点Ａの軌跡を通る断面形状１６０を計測できる。
【００２１】
回転ステージ１７３の回転部１７３Ａを回転させながら距離ｒｂを算出することにより、回転角度と距離ｒｂから管体１９０の、回転に伴う点Ｂの軌跡を通る断面形状１６１を計測できる。
【００２２】
なお、本実施例では、回転ステージ１７３の回転部１７３Ａによって距離センサ１１１を回転させているが、距離センサ１１１は固定し、管体１９０を回転させる回転部を設けてもよい。
【００２３】
ここで、データ処理部である回路ユニット１４１で行われるデータ処理について説明する。回路ユニット１４１では、距離センサから得た複数の測定点における測定結果を統合することにより、高精度に管体１９０の内面形状を計測する。
【００２４】
管体１９０の中心軸Ｃ１と内面形状計測装置の中心軸Ｃ２が傾いていると、管体１９０が真円である場合にも、計測結果は楕円となる。このとき、計測結果を平面Ｈ３へ射影した場合、図４に示すように、断面形状１６０の楕円Ｅ１の中心点Ｏ１と、断面１６１上の楕円Ｅ２の中心Ｏ２は異なる位置にある。
【００２５】
断面１６０と中心軸Ｃ２の交点Ｎ１と、断面形状１６１と中心軸Ｃ２の交点Ｎ２の距離Ｌは既定値であるため、Ｏ１とＯ２の距離△Ｃから、中心軸の傾きを、次式（１）で求めることができる。
θ＝ａｒｃｓｉｎ（△Ｃ／Ｌ）      （１）
【００２６】
断面形状１６０と断面形状１６１の位置関係と、Ｏ１とＯ２の位置関係と、中心軸間の傾きθを用いて、楕円の方程式（２）を補正することにより、中心軸の傾きの影響を低減した、管体の内面形状求めることができるため、内径計測装置３００と、管体１９０の中心軸の傾きを調整することなく、高精度に管体１９０の内面形状を計測することができ、設置が容易となる。
Ａｘ２＋Ｂｘｙ＋Ｃｙ２＋Ｄｘ＋Ｅｙ＋1＝０      （２）
【００２７】
本実施例による管体内面の形状計測装置１００を用いた、管体の加工方法の例を説明する。
【００２８】
図５は、管体内面の形状計測装置１００を用いた加工フローの例である。
【００２９】
加工機にツールを取り付けておく。管体１９０を、回転ベース１２６に固定し、目標内径の範囲を入力し（Ｓ１０１）、加工し（Ｓ１０２）、加工ツールを取り外し（Ｓ１０３）、計測装置１００を取り付け（Ｓ１０４）、回転ステージ１７３を回転させ（Ｓ１０５）、距離を測定し（Ｓ１０６）、回転ステージ１７３の回転が終了していか判定し（Ｓ１０７）、回転が終了していない場合には距離測定を継続し、回転が終了したら、内径を算出し（Ｓ１０８）、内径が標内径の範囲に入っているかを判定し（Ｓ１０９）入っていない場合には、形状計測装置１００を取り外し、加工ツールを取り付け加工を行い、内径が目標内径の範囲に入ったら、加工を終了する（Ｓ１１０）。
【００３０】
管体１９０を、加工機の回転ベース１２６から取り外すことなく加工することができる。
【００３１】
本実施例では、加工機に搭載するためにアダプタ１３０を用いたが、図８に示すように、三脚１８０を用いて管体１９０もしくは、回転ベース１２６に設置し管体内面の形状を計測してもよい。
【００３２】
本実施例では、図５のフローに示したように加工ツールを取り外して計測装置１００を取り付けたが、図６に示すように刃物代１２８に加工ツール１２９を取り付け、アダプタ１３１を用いて加工ツール１２９を取り外すことなく、計測装置１００を取り付ける構造としても良い。加工機から加工ツール１２９を取り外すことなく計測装置１００を取り付け、管体内面の形状計測装置１００を用いた加工フローの例を図７に示す。加工機に加工ツール１２９を取り付けておく。管体１９０を、回転ベース１２６に固定し、目標内径の範囲を入力し（Ｓ１０１）、計測装置を取り付け（Ｓ１１１）、加工（Ｓ１０２）し、回転ステージ１７３を回転させ（Ｓ１０５）、距離を測定し（Ｓ１０６）、回転ステージ１７３の回転が終了していか判定し（Ｓ１０７）、回転が終了していない場合には距離測定を継続し、回転が終了したら、内径を算出し（Ｓ１０８）、内径が標内径の範囲に入っているかを判定し（Ｓ１０９）入っていない場合には、加工を行い（Ｓ１０２）、内径が目標内径の範囲に入ったら、加工を終了する（Ｓ１１０）。加工機から加工ツール１２９を取り外すことなく加工することができ高精度に加工することができる。
【００３３】
以上より、本実施例によれば、距離センサ１１１からの光を分離部であるハーフミラー１７４で光の進行方向に複数に分離することによって、中心軸の傾きを測定し、補正することができるので、装置を大型化せず、測定精度を向上させることができる。
【実施例２】
【００３４】
実施例２では、回転精度に形状計測精度が依存しない管体内面の形状計測装置及び方法の例を説明する。本実施例では距離センサ１１１からの光を分離する分離部として、光ファイバ２１１〜２１３を用いた点に特徴がある。
【００３５】
図９は、本実施例における形状計測装置２００を示す構成図の例である。図１０は、図９の平面２４０における断面図を示す。既に説明した図１から図８に示された同一の符号を付された構成と、同一の機能を有する部分については、説明を省略する。
【００３６】
距離センサ１１１の出力を光スイッチ２０２に接続された光ファイバ２１０に導く。回路ユニット１４１が中継ケーブル１５０を通して、光スイッチ２０２が光ファイバ２１１〜２１３の何れを接続するかを決定する。光ファイバ２１１〜２１３を通る距離センサ２００の出力はコリメートレンズ２３１〜２３３を用いてそれぞれ測定対象１９０に照射される。照射された点から同様の経路を逆に通り距離センサまで戻る光を検出することにより距離センサ１１１は測定対象までの距離を測定する。コリメートレンズ２３１〜２３３を搭載した、コリメートレンズマウンタ２２１〜２２３はそれぞれ同一平面内の異なる方向に配置する。これにより、分離部である光ファイバ２１１〜２１３によって距離センサの光を光の進行方向とは異なる方向に複数に分離することができる。
【００３７】
コリメートレンズマウンタ２２１〜２２３の中心をＯ、コリメートレンズ２３１〜２３３を通る光が測定対象１９０に当たる点をそれぞれ、Ａ、Ｂ、Ｃとすると光ファイバ２１０〜２１３の光学距離と、光スイッチ２０２の内部の光学距離と、コリメートレンズ２３１〜２３３の位置関係と、距離センサ１１１の測定結果から点Ｏと点Ａ〜Ｃとのそれぞれの間の距離を求めることができる。
【００３８】
データ処理部である回路ユニット１４１は、光スイッチ２０２の制御信号と、距離センサ１１１の距離測定結果と、回転ステージ１７３の角度とから測定対象の内面形状２Ａ〜２Ｃをそれぞれ得る。測定対象が真円の場合でも、回転ステージ１７３に軸ブレがある場合には測定結果２Ａ〜２Ｃは図１１に示すように楕円になるが、２Ａ〜２Ｃの計測結果を統合することにより、軸ブレの影響を排除した計測結果を得ることができる。∠ＡＯＣ＝∠ＣＯＢ＝∠ＢＯＡ＝１２０°となるように配置した場合、点Ｏを中心とする座標系において２Ａ、２Ｂ、２Ｃの平均値を取ることにより、軸ブレの影響を排除することができ、計算が容易になる。
【００３９】
本実施例では、回転ステージ１７３を回転させたが、測定対象１９０を例えば加工機回転ベース１２６を用いて回転させて測定しても同様に回転ブレの影響を排除した測定が可能である。
【００４０】
以上より、本実施例によれば、距離センサ１１１からの光を分離部である光ファイバ２１１〜２１３によって光の進行方向とは異なる方向に複数に分離することによって、軸ぶれの影響を排除した測定を行うことができるので、装置を大型化せず、測定精度を向上させることができる。
【実施例３】
【００４１】
実施例３では、実施例２による形状計測装置を用いて管体内外面の両方を計測する形状計測装置及び方法の例を説明する。
【００４２】
図１２に、本実施例における管体外面の形状計測装置を示す。図１３に、図１２の平面２４０における断面図の例を示す。図１４に、本実施例における管体外面の形状計測方法の計測フローを示す。
【００４３】
図１２、１３、１４を用いて本実施例における形状計測について説明する。本実施例では、回転ステージ１７３を回転させて測定対象１９０の内面形状を計測（Ｓ２０２）する。次に、測定対象１９０を例えば加工機回転ベース１２６を用いて回転させて内面形状を計測（Ｓ２０３）する。Ｓ２０２、Ｓ２０３の手順で計測した内面形状の計測結果から加工機回転ベース１２６の軸ブレを算出（Ｓ２０４）する。このとき、回転ステージ１７３の回転精度があらかじめ分かっている場合には内面形状２Ａ〜２Ｃのいずれか一つを用いて計測した結果を用いても良い。
【００４４】
測定装置２００を管体の外部に移動し（Ｓ２０５）、回転ステージ１７３を回転し測定対象１９０の外面形状を計測する（Ｓ２０６）。図１３に示すように計測できる外面は一部であるため、回転ベース１２６を回転させ外周を分割して計測する。回転ベース１２６を回転（Ｓ２０７）し、Ｓ２０４で算出した回転ベース１２６の軸ブレの結果を用いて、外面形状を結合（Ｓ２１０）し外面の全形状を計測する。
【００４５】
本実施例によれば、管体内面に加え、管体外面も装置を大型化せず、高い測定精度で測定することができる。なお、本実施例では実施例２による形状計測装置を用いたが、実施例１による形状計測装置を用いてもよい。
【実施例４】
【００４６】
実施例３の変形例である実施例４について説明する。本実施例では、管体内外面の形状計測装置及び方法の例を説明する。
【００４７】
図１５に本実施例おける管体外面の形状計測装置を示す。図１６に本実施例おける管体外面の形状計測フローを示す。本実施例の特徴は形状が既知の参照円柱２５０の形状を測定することにより、管体の内部から外部に移動するときの移動量を求め、移動量と管体の中心座標から管体の外径を算出する点である。
【００４８】
図１５、１６を用いて、本実施例における形状計測について説明する。本実施例では、回転ステージ１７３を回転させて測定対象１９０の内面形状を計測（Ｓ２０２）する。次に、測定対象１９０を例えば加工機回転ベース１２６を用いて回転させて内面形状を計測（Ｓ２０３）する。Ｓ２０２、Ｓ２０３の手順で計測した内面形状の計測結果から加工機回転ベース１２６の軸ブレと管体１９０の中心座標を算出（Ｓ４２０）する。測定装置２００を送り機構１２３で上方に移動し（Ｓ４０２）、参照円柱２５０の形状を測定し（Ｓ４０３）、参照円柱２５０の中心座標を算出し（Ｓ４０４）、測定装置２００を送り機構１２４で管体１２６の外部に移動し（Ｓ４０５）、再び参照円柱２５０の形状を測定し（Ｓ４０６）、参照円柱２５０の中心座標を算出し（Ｓ４０７）、Ｓ４０４とＳ４０７での測定結果からＳ４０５の移動量を算出し（Ｓ４０８）、測定装置２００を送り機構１２３で下方に移動し（Ｓ４０９）、管体１９０の外面にレーザを照射し距離を計測し（Ｓ４１０）、回転ベース１２６を回転（Ｓ２０７）し、Ｓ４２０で算出した回転ベース１２６の軸ブレの結果を用いて距離計測結果を統合し、Ｓ４０８で求めた移動量とＳ４２０で求めた管体１９０の中心座標から管体の外面形状を算出（Ｓ４１１）する。
【００４９】
本実施例によれば、参照円柱２５０を用いて移動量を算出（Ｓ４０８）しているため外面測定時に回転ステージ１７３を回転させることなく、外周を分割して計測する必要もなく、外面形状を算出することができ、手順が簡便になる。
【００５０】
なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１００  実施例１における形状計測装置
１１１  距離センサ
１２０  加工機
１４０  制御部
１９０  管体
２００  実施例２における形状計測装置
【図１】
2015017811.tif 000003
【図２】
2015017811.tif 000004
【図３】
2015017811.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2015017811.tif 000009
【図８】
2015017811.tif 000010
【図９】
2015017811.tif 000011
【図１０】
2015017811.tif 000012
【図１１】
2015017811.tif 000013
【図１２】
2015017811.tif 000014
【図１３】
2015017811.tif 000015
【図１４】
2015017811.tif 000016
【図１５】
2015017811.tif 000017
【図１６】
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