(57)【要約】【課題】簡易な構成によって薄板状ワーク搬送時の中央部の撓みを防止した、非接触搬送装置を提供する。【解決手段】周縁部に非製品品質エリアを有し、非製品品質エリアの内側に製品品質エリアを有する薄板状ワークを、製品品質エリアに対して非接触状態で搬送する非接触搬送装置である。薄板状ワークを保持する保持手段と、保持手段を移動させることで薄板状ワークを搬送する搬送手段と、を備える。保持手段は、薄板状ワークの少なくとも相対向する周縁部の非製品品質エリアを把持する把持手段を、各周縁部に対して複数ずつ有する。把持手段には、相対向する把持手段を離間させる方向に付勢する付勢機構が設けられている。【選択図】図１
2015199569.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周縁部に非製品品質エリアを有し、該非製品品質エリアの内側に製品品質エリアを有する薄板状ワークを、前記製品品質エリアに対して非接触状態で搬送する非接触搬送装置であって、
前記薄板状ワークを保持する保持手段と、
前記保持手段を移動させることで前記薄板状ワークを搬送する搬送手段と、を備え、
前記保持手段は、前記薄板状ワークの少なくとも相対向する周縁部の前記非製品品質エリアを把持する把持手段を、前記各周縁部に対して複数ずつ有し、
前記把持手段には、相対向する把持手段を離間させる方向に付勢する付勢機構が設けられていることを特徴とする非接触搬送装置。
【請求項２】
前記薄板状ワークが矩形状であり、
前記搬送手段は前記薄板状ワークの長辺方向あるいは短辺方向に沿って搬送するように構成され、
前記保持手段は、前記薄板状ワークの搬送方向と直交する方向に延在する辺の周縁部を把持するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の非接触搬送装置。
【請求項３】
前記把持手段は、前記薄板状ワークを把持する各辺の、前記薄板状ワークの搬送方向に延びる中心線を挟んでその両側となる位置に、一つずつ配設されており、
前記中心線に対して同じ側に配設された把持手段は、前記薄板状ワークの搬送方向において相対向して配設されていることを特徴とする請求項２記載の非接触搬送装置。
【請求項４】
前記薄板状ワークの搬送方向において相対向して配設された把持手段は、共に、前記薄板状ワークの搬送方向に沿って延在する支持バーに取り付けられていることを特徴とする請求項３記載の非接触搬送装置。
【請求項５】
前記把持手段は、接離可能に形成された下板と上板とを有するクランプ部材によって形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の非接触搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非接触搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えば厚さが１ｍｍ以下の極薄のガラスや樹脂シートなどが、様々な製品に用いられている。このようなガラスや樹脂シートなどの薄板状ワークでは、異物の付着などによる汚染の防止が必要となっており、したがってこれを搬送する際には、特にその中央部に設けられた製品品質エリアについては非接触で搬送することが要求されている。
【０００３】
ところが、中央部に設けられた製品品質エリアについて非接触で行うべく、周縁部に設けられた非製品品質エリアのみを把持して薄板状ワークを搬送しようとした場合、特に薄板状ワークが大判の場合には中央部が大きく撓み、撓んだ部位が搬送路の周辺部などを擦ることで薄板状ワークが損傷してしまうおそれがある。また、撓みによってクラックが生じるおそれもある。
【０００４】
このような搬送装置において、薄板状ワークを搬送する際の撓みを防止した把持装置として、例えば特許文献１に開示された薄板把持装置が知られている。この特許文献１の薄板把持装置では、ワークの相対向する辺の端縁部をクランプで把持するともに、付勢ばねによって相対向する辺を相対的に離反する方向に付勢して薄板に張力を与え、これによって中央部の撓みを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６２−１３６３３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記特許文献１の把持装置では、エアシリンダーとは別に付勢ばねを用いて張力を与えることで、把持装置の構造が複雑になっている。
なお、従来では付勢ばねを用いることなく、単にエアシリンダーによって相対向する辺を相対的に離反する方向に付勢したものもあるが、その場合にはエアシリンダーの付勢力による張力が過剰になり、把持部がワークから外れてしまい、ワークが落下するおそれがある。
【０００７】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、簡易な構成によって薄板状ワーク搬送時の中央部の撓みを防止した、非接触搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の非接触搬送装置は、周縁部に非製品品質エリアを有し、該非製品品質エリアの内側に製品品質エリアを有する薄板状ワークを、前記製品品質エリアに対して非接触状態で搬送する非接触搬送装置であって、前記薄板状ワークを保持する保持手段と、前記保持手段を移動させることで前記薄板状ワークを搬送する搬送手段と、を備え、前記保持手段は、前記薄板状ワークの少なくとも相対向する周縁部の前記非製品品質エリアを把持する把持手段を、前記各周縁部に対して複数ずつ有し、前記把持手段には、相対向する把持手段を離間させる方向に付勢する付勢機構が設けられていることを特徴とする。
【０００９】
また、前記非接触搬送装置において、前記薄板状ワークが矩形状であり、前記搬送手段は前記薄板状ワークの長辺方向あるいは短辺方向に沿って搬送するように構成され、前記保持手段は、前記薄板状ワークの搬送方向と直交する方向に延在する辺の周縁部を把持するように構成されていることが好ましい。
【００１０】
また、前記非接触搬送装置において、前記把持手段は、前記薄板状ワークを把持する各辺の、前記薄板状ワークの搬送方向に延びる中心線を挟んでその両側となる位置に、一つずつ配設されており、前記中心線に対して同じ側に配設された把持手段は、前記薄板状ワークの搬送方向において相対向して配設されていることが好ましい。
【００１１】
また、前記非接触搬送装置において、前記薄板状ワークの搬送方向において相対向して配設された把持手段は、共に、前記薄板状ワークの搬送方向に沿って延在する支持バーに取り付けられていることが好ましい。
【００１２】
また、前記非接触搬送装置において、前記把持手段は、接離可能に形成された下板と上板とを有するクランプ部材によって形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の非接触搬送装置によれば、保持手段が、薄板状ワークの少なくとも相対向する周縁部の非製品品質エリアを把持する把持手段を、各周縁部に対して複数ずつ有しているので、薄板状ワークを回転させることなく、その姿勢を維持した状態に保持することができる。
また、把持手段に、相対向する把持手段を離間させる方向に付勢する付勢機構を設けているので、これら把持手段によって把持された薄板状ワークに対し、付勢機構による付勢力によって張力を付与することができる。したがって、薄板状ワークの中央部の撓みを防止することができる。
よって、本発明の非接触搬送装置にあっては、簡易な構成によって薄板状ワーク搬送時の中央部の撓みを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の非接触搬送装置の一実施形態を示す平面図である。
【図２】本発明の非接触搬送装置の一実施形態を示す側面図である。
【図３】昇降機構部を除いた保持部材の平面図である。
【図４】図２の要部拡大図であって、クランプ部材の側面図である。
【図５】（ａ）は付勢機構に取り付けられたクランプ部材の平面図、（ｂ）は、図４中のＡ−Ａ線矢視方向に見た側面図、（ｃ）は、図４中のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
【図６】（ａ）〜（ｅ）はクランプ部材の動作説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の非接触搬送装置を詳しく説明する。なお、以下の図面においては、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
図１は本発明の非接触搬送装置の一実施形態を示す平面図、図２は図１に示した非接触搬送装置の側面図であり、これらの図において符号１は非接触搬送装置である。
【００１６】
この非接触搬送装置１は、例えば厚さが１ｍｍ以下の極薄のガラスや樹脂シートなどからなる薄板状ワークＷ（図１中に二点鎖線で示す）を非接触状態で搬送する装置である。ただし、ここで言う「非接触」とは、薄板状ワークＷに対して完全に非接触という意味ではなく、薄板状ワークＷの製品品質エリアに対しては非接触である、という意味である。すなわち、通常、薄板状ワークＷはその周縁部に幅５ｍｍ〜１０ｍｍ程度の枠状の非製品品質エリアを有し、該非製品品質エリアに囲まれた内側に製品品質エリアを有している。したがって、最終的に製品に組み込まれる際には、薄板状ワークＷは周縁部の非製品品質エリアが切り落とされて製品品質エリアのみが製品に組み込まれる。このような製品品質エリアは、異物の付着などによる汚染があると良品として採用されないことから、このような汚染の防止が重要となり、したがって製品品質エリアを直接把持しない搬送装置が必要になっている。
【００１７】
本実施形態の非接触搬送装置１は、このように薄板状ワークＷの製品品質エリアを直接把持することなく、幅５ｍｍ〜１０ｍｍ程度の枠状の非製品品質エリアのみを直接把持して搬送する装置である。薄板状ワークＷは、本実施形態では厚さ１ｍｍ以下の矩形状のもので、特に大判のもの、例えば短辺が５００ｍｍ〜１５００ｍｍ程度、長辺が８００ｍｍ〜２０００ｍｍ程度のものである。ただし、このようなサイズより小さいものや大きいものも、本発明の非接触搬送装置１の搬送対象となる。
【００１８】
図１、図２に示すように非接触搬送装置１は、前記薄板状ワークＷを昇降可能に保持する保持部材２（保持手段）と、保持部材２を移動させることでこの保持部材２に保持された薄板状ワークＷを所定方向に搬送する搬送機構３（搬送手段）と、を備えて構成されている。
【００１９】
搬送機構３は、保持部材２を移動可能に懸架し、案内するガイドレール４と、サーボモータからなる駆動源５とを備えている。ガイドレール４は、その一方の側面に保持部材２を移動可能に懸架するレール部４ａを有したもので、その一端側がコンベア等の移送装置Ｃ（図１参照）によって移送されてくる薄板状ワークＷの受け渡し位置の直上に配置され、他端側が薄板状ワークＷの搬送先の直上に配置されている。駆動源５には、その回転軸にベルト等の連結部材（図示せず）が連結されており、この連結部材は、ガイドレール４に懸架された前記保持部材２に連結している。このような構成によって駆動源５は、駆動して回転軸を回転させることにより、保持部材２をガイドレール４に沿って搬送するようになっている。
【００２０】
保持部材２は、ガイドレール４の前記レール部４ａに移動可能に取り付けられた昇降機構部６と、図２に示すように昇降機構部６に昇降可能に懸架された保持基板７と、この保持基板７に一対の支持バー８、支持バー８を介して取り付けられたクランプ部材９（把持手段）と、を備えて構成されている。
【００２１】
昇降機構部６は、前記駆動源５の連結部材に連結されてガイドレール４のレール部４ａに沿って移動するように構成されたもので、複数のエアシリンダー（図示せず）を有し、これらの駆動によって保持基板７を所定のストロークで昇降させるようになっている。すなわち、下降した際に、前記クランプ部材９が薄板状ワークＷに対して予め設定された高さ位置となるように、昇降機構部６はその昇降のストロークが設定されている。
【００２２】
保持基板７は、昇降機構部６を除いた保持部材２の平面図である図３に示すように矩形状の金属板であり、前記昇降機構部６のエアシリンダーに連結し、これの作動に伴って昇降するようになっている。なお、図１に示すようにこの保持基板７は、薄板状ワークＷの中心部の直上に位置するように配置されている。そして、後述するようにこの薄板状ワークＷを保持し上昇させて搬送する際には、保持基板７は薄板状ワークＷの中心部の直上に位置した状態を維持して、搬送機構３に搬送されるようになっている。
【００２３】
支持バー８は、保持基板７の両端部、本実施形態ではその長辺側の側端部に固定されたもので、図１に示すように前記ガイドレール４の長さ方向に沿って配置されている。これら支持バー８は、例えば鋼材など高強度の金属材からなるもので、その長さが薄板状ワークＷの長辺の長さにほぼ等しい長さに形成されている。ここで、前述したように保持基板７は、薄板状ワークＷの搬送時にその中心部の直上に位置することから、この保持基板７の両端部に固定された支持バー８は、薄板状ワークＷの搬送時に、該薄板状ワークＷの搬送方向に延びる中心線を挟んでその両側に位置するようになっている。
【００２４】
これら一対の支持バー８、支持バー８には、それぞれの端部にクランプ部材９が取り付けられている。クランプ部材９は、図２、図３に示すように支持バー８の下面に固定された取付板１０を介して取り付けられ、固定されたものである。ただし、本実施形態では、支持バー８の一端側（図３中右側）に配置されたクランプ部材９は、取付板１０に対してエアシリンダーを有する付勢機構１１を介して取り付けられている。一方、支持バー８の他端側（図３中左側）に配置されたクランプ部材９は、付勢機構１１を介することなく、取付板１０に直接取り付けられ、固定されている。
【００２５】
図４は、図２の要部拡大図であって、付勢機構１１に取り付けられたクランプ部材９の側面図である。また、図５（ａ）は、付勢機構１１に取り付けられたクランプ部材９の平面図、図５（ｂ）は、図４中のＡ−Ａ線矢視方向に見た側面図、図５（ｃ）は、図４中のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
【００２６】
図４、図５（ｂ）に示すように付勢機構１１は、エアシリンダー（図示せず）による伸縮動作により、支持バー８に固定された取付板１０に対してクランプ部材９を支持バー８の長さ方向、すなわち薄板状ワークＷの搬送方向の正逆方向に移動させるように構成されている。そして、後述するようにクランプ部材９によって薄板状ワークＷを把持した状態において、付勢機構１１はエアシリンダーの駆動によってクランプ部材９を支持バー８の中央部側から端部側に向けて付勢するようになっている。すなわち、相対向するクランプ部材９（把持手段）を相対的に離間させる方向に付勢するように構成されている。なお、この付勢機構１１による付勢力は、搬送対象とする薄板状ワークＷの寸法等に応じて予め適宜な強さに設定されている。
【００２７】
クランプ部材９は、図４、図５（ａ）〜（ｃ）に示すように下板１２と上板１３とを有し、これら下板１２と上板１３とをエアシリンダーによって接離可能に形成したものである。すなわち、クランプ部材９は２種類のエアシリンダーを有しており、第１のエアシリンダーは下板１２を昇降動作させるように構成され、第２のエアシリンダーは下板１２を水平動作させるように構成されている。このような構成によって下板１２は、上板１３側に水平移動させられることで互いの先端部が平面視して重なるようになっており、さらに上板１３側に上昇させられることで、後述するように薄板状ワークＷの非製品品質エリアを把持するようになっている。
【００２８】
これら下板１２、上板１３は、前記支持バー８と直交する方向に延在する細板材によって形成されている。これら下板１２、上板１３は、薄板状ワークＷの非製品品質エリアを把持する部位となるため、その長さ方向の全体で把持力を均一に発揮できるよう、強度の高い鋼材等の金属材で形成されている。また、本実施形態では、図１に示すように薄板状ワークＷの短辺の長さを二等分する長さより少し短い長さに形成されている。これにより、隣り合うクランプ部材９、クランプ部材９間において、それぞれの下板１２、上板１３が互いに干渉しないようになっている。また、隣り合う一対のクランプ部材９、クランプ部材９により、薄板状ワークＷの短辺のほぼ全域を把持するようになっている。
【００２９】
また、これら下板１２、上板１３の内面、すなわち図４、図５（ｂ）に示すように下板１２の上面と上板１３の下面には、薄板状ワークＷの非製品品質エリアを直接把持するそれぞれの先端部に、把持部材１４ａ（把持部材１４ｂ）が取り付けられている。把持部材１４ａ（把持部材１４ｂ）は、ゴムや軟質樹脂などの弾性が顕著な高分子材料であるエラストマーからなるもので、比較的大きな摩擦係数を有する。このようなエラストマーのうち、例えばフッ素ゴムが、耐薬品性や耐熱性などに優れるなど化学的に安定であり、汚染するおそれがないことなどから、把持部材１４ａ（把持部材１４ｂ）として好適に用いられる。
【００３０】
なお、図４、図５（ａ）〜（ｃ）では、付勢機構１１を介して取り付けられたクランプ部材９について説明したが、支持バー８の他端側（図３中左側）に配置された、付勢機構１１を介することなく取付板１０に直接取り付けられクランプ部材９も、図４、図５（ａ）〜（ｃ）に示したクランプ部材９と同一の構成を有している。
また、支持バー８の一端側と他端側に配置されたクランプ部材９、クランプ部材９は、支持バー８が非接触搬送装置１の搬送方向に沿って延在しているため、互いに薄板状ワークＷの搬送方向にて相対向して配設されたものとなっている。
【００３１】
次に、このような構成からなる非接触搬送装置１の動作について説明する。
まず、図１に示すように移送装置Ｃによって薄板状ワークＷが非接触搬送装置１の直下に移送されて来る。本実施形態では、移送装置Ｃの移送方向と非接触搬送装置１の搬送方向とは直交するように構成されている。また、移送装置Ｃは、その幅が矩形状の薄板状ワークＷの長辺の長さより僅かに短く形成されている。したがって薄板状ワークＷは、その両方の短辺側が、ほぼ非製品品質エリアの幅に対応する長さ分、すなわち５ｍｍ〜１０ｍｍ程度、移送装置Ｃから外側にはみ出て移送されて来る。なお、移送装置Ｃは薄板状ワークＷを浮上させて移送するもので、したがって薄板状ワークＷの下面に対しても、非接触で移送するようになっている。
【００３２】
このようにして薄板状ワークＷが非接触搬送装置１の直下に移送されて来ると、非接触搬送装置１は搬送機構３によって保持部材２を薄板状ワークＷの直上に移動させる。保持部材２の移動およびその位置決めは、図示しない制御装置によるシーケンスによってサーボモータからなる駆動源５が駆動することで自動的になされる。これにより、保持部材２は予め規定された位置に到達する。
【００３３】
その際、図６（ａ）に示すようにクランプ部材９は、その上板１３の把持部材１４ａが薄板状ワークＷの短辺側の周縁部、すなわち非製品品質エリアの直上に位置するように設定されている。また、下板１２は、前記した第２のエアシリンダーにより、上板１３に対して水平方向に離間した位置に移動させられている。したがって、下板１２は平面視して薄板状ワークＷの外方に位置させられている。
【００３４】
このようにしてクランプ部材９が図６（ａ）に示した位置に到達すると、駆動源５の駆動が停止し、昇降機構部６によって保持部材２が下降させられる。なお、昇降機構部６による保持部材２の下降ストロークも、予め設定されている。また、前記した第１のエアシリンダーにより、下板１２が上板１３より下側に下降する。これにより、図６（ｂ）に示すように上板１３は、その把持部材１４ａを薄板状ワークＷの、移送装置Ｃからはみ出た非製品品質エリアの上面に当接または近接させ、一方、下板１２は、薄板状ワークＷの外方でかつ下方に位置させられる。
【００３５】
このようにして保持部材２を下降させたら、図６（ｃ）に示すように前記した第２のエアシリンダーによって下板１２を上板１３側に水平移動させ、その把持部材１４ｂを薄板状ワークＷの、移送装置Ｃからはみ出た非製品品質エリアの下面の直下に位置させる。これにより、下板１２の把持部材１４ｂは上板１３の把持部材１４ａと平面視して重なるようになる。
【００３６】
続いて、図６（ｄ）に示すように前記した第１のエアシリンダーによって下板１２を上板１３側に上昇させ、把持部材１４ｂを薄板状ワークＷの非製品品質エリアの下面に当接させる。そして、把持部材１４ｂによって薄板状ワークＷの非製品品質エリアを押圧することにより、上板１３の把持部材１４ａと下板１２の把持部材１４ｂとの間に薄板状ワークＷの非製品品質エリアを把持し、挟持する。
【００３７】
そして、このように把持部材１４ａ、把持部材１４ｂ間に薄板状ワークＷを挟持（把持）した状態で、前記の付勢機構１１のエアシリンダーを作動させ、一対の支持バー８、支持バー８のそれぞれの一端側に設けられたクランプ部材９を外方、すなわち支持バー８の中央部側から一端側に向けて付勢する。これにより、支持バー８の両端部にて相対向するクランプ部材９、クランプ部材９を、相対的に離間させる方向に付勢する。すると、これらクランプ部材９、クランプ部材９間に挟持された薄板状ワークＷは、前記した付勢機構１１による付勢力によって張力が付与される。
【００３８】
また、クランプ部材９を、薄板状ワークＷの両短辺のそれぞれの両側に配したので、これらクランプ部材９を介して付勢機構１１による付勢力（張力）を薄板状ワークＷに与えても、薄板状ワークＷを、その鉛直方向の軸を中心にして水平方向に回転させたり、水平方向の軸を中心にして回転させることなく、その姿勢を安定的に維持した状態で保持することができる。
【００３９】
また、クランプ部材９における、非製品品質エリアを直接把持する部位を、エラストマーからなる把持部材１４ａ、把持部材１４ｂによって形成しているので、エラストマーによる高摩擦と弾性力とによって非製品品質エリアを良好に把持することができる。すなわち、エラストマーの弾性力によって把持部材１４ａ、把持部材１４ｂが非製品品質エリアになじんでこれを適切な強さで把持するともに、高摩擦によって非製品品質エリアに対し滑ることなくこれに密着把持することにより、非製品品質エリアを強固に把持することができる。
【００４０】
このようにしてクランプ部材９の把持部材１４ａ、把持部材１４ｂ間に薄板状ワークＷを挟持（把持）し、さらに薄板状ワークＷに対して付勢機構１１による付勢力によって張力を付与したら、図６（ｅ）に示すように昇降機構部６によって保持部材２を上昇させる。これにより、図６（ｅ）中に実線で示すように薄板状ワークＷを移送装置Ｃ上から上昇させる。
【００４１】
その際、前記したようにクランプ部材９によって薄板状ワークＷに張力を付与しているので、薄板状ワークＷの中央部が撓むのを防止することができる。また、たとえ付勢機構１１による付勢力がある程度過剰であっても、前記したようにエラストマーからなる把持部材１４ａ、把持部材１４ｂによって非製品品質エリアを良好に（強固に）把持しているため、把持部材１４ａ、把持部材１４ｂが薄板状ワークＷから外れてしまい、薄板状ワークＷが落下するのを回避することができる。
【００４２】
次いで、搬送機構３を駆動することにより、薄板状ワークＷをガイドレール４に沿って搬送する。また、目的位置まで搬送したら、昇降機構部６によって保持部材２を下降させ、その後下板１２を下降させることで薄板状ワークＷの把持を解除する。そして、その状態から下板１２を水平方向に移動させ、さらに昇降機構部６によって保持部材２を上昇させることにより、薄板状ワークＷの搬送を終了する。
【００４３】
本実施形態の非接触搬送装置１にあっては、クランプ部材９を、薄板状ワークＷの相対向する短辺（周縁部）に対して２つずつ配置しているので、薄板状ワークＷを回転させることなく、その姿勢を維持した状態で安定的に保持することができる。
また、クランプ部材９に付勢機構１１を設けているので、クランプ部材９によって把持された薄板状ワークＷに対して付勢機構１１による付勢力によって張力を付与することができる。したがって、薄板状ワークＷの中央部が撓むのを防止してこの撓みに起因する損傷やクラックの発生などを防止することができる。
【００４４】
また、非製品品質エリアを直接把持する把持部材１４ａ、把持部材１４ｂを、エラストマーによって形成しているので、エラストマーによる高摩擦と弾性力とによって非製品品質エリアを良好に（強固に）把持することができる。これにより、付勢機構１１による付勢力がある程度過剰であっても、把持部材１４ａ、把持部材１４ｂが薄板状ワークＷから外れてしまい、薄板状ワークＷが落下するのを回避することができる。すなわち、付勢機構１１による付勢力を多少過剰にし、薄板状ワークＷに付与する張力を充分に強くすることにより、薄板状ワークＷの中央部の撓みをより確実に防止することができる。
【００４５】
したがって、本実施形態の非接触搬送装置１にあっては、クランプ部材９の薄板状ワークＷを直接把持する把持部材１４ａ、把持部材１４ｂとしてエラストマーを用いるといった簡易な構成により、薄板状ワークＷ搬送時の中央部の撓みや薄板状ワークＷの落下を確実に防止することができる。
【００４６】
また、保持部材２が、薄板状ワークＷの搬送方向と直交する方向に延在する辺の周縁部を把持するように構成されているので、図１に示したように移送装置Ｃの移送方向と非接触搬送装置１の搬送方向とが直交する場合に、移送装置Ｃで移送されてきた薄板状ワークＷの周縁部を容易に把持することができる。
また、薄板状ワークＷの搬送方向に延びる中心線を挟んでその両側となる位置にクランプ部材９一つずつ配設したので、薄板状ワークＷを回転させることなく、その姿勢を維持した状態で安定的に保持することができる。
【００４７】
また、薄板状ワークＷの搬送方向において相対向して配設されたクランプ部材９を、共に、支持バー８に取り付けているので、クランプ部材９に設けられた付勢機構１１によって相対向するクランプ部材９、クランプ部材９が離間する方向に付勢させられた際、その反力を支持バー８によって受けることができる。したがって、このような反力が薄板状ワークＷに影響するのを防止することができる。
【００４８】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、前記実施形態では把持手段としてのクランプ部材９を、薄板状ワークＷの相対向する周縁部（短辺）に対してそれぞれ２つずつ配設し、合計４つクランプ部材９で薄板状ワークＷを把持するようにしたが、特に薄板状ワークＷが大判の場合には、薄板状ワークＷの相対向する周縁部（短辺）に対してそれぞれ３つ以上ずつ配設してもよい。
【００４９】
また、保持部材２を、薄板状ワークＷの搬送方向と直交する方向に延在する辺の周縁部を把持するのに代えて、薄板状ワークＷの搬送方向に平行な辺の周縁部を把持するように構成してもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１…非接触搬送装置、２…保持部材（保持手段）、３…搬送機構（搬送手段）、
８…支持バー、９…クランプ部材（把持手段）、１１…付勢機構、１２…下板、
１３…上板、１４ａ…把持部材、１４ｂ…把持部材、Ｃ…移送装置、Ｗ…薄板状ワーク
【図１】
2015199569.tif 000003
【図２】
2015199569.tif 000004
【図３】
2015199569.tif 000005
【図４】
2015199569.tif 000006
【図５】
2015199569.tif 000007
【図６】
2015199569.tif 000008