(57)【要約】【課題】サーボバースト信号を検出した磁気ヘッドからの信号の振幅を安定させ、磁気ディスク上での磁気ヘッドの位置決め誤差を低減させる。【解決手段】磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置を、スピンドルモータと、磁気ディスク上の所望の位置に磁気ヘッドを設定する磁気ヘッド位置決め機構と、磁気ディスクにサーボパターン及びデータを書き込むことと、書き込んだサーボパターンを読み取った信号に基づいて磁気ディスクに書き込んだデータを読み取った信号を処理して検査を行う制御回路部とを備えて構成し、制御回路部は、磁気ディスク上で所望の位置に設定された磁気ヘッドにより磁気ディスクにサーボパターンを書き込む前に磁気ヘッドにダミー信号を印加して磁気ヘッドを発熱させ、この発熱させた磁気ヘッドで磁気ディスクにサーボパターンを書き込むようにした。【選択図】  図１
2015060615.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクを搭載して回転可能なスピンドルモータと、
該スピンドルモータにより回転駆動されている前記磁気ディスク上の半径方向の所望の位置に磁気ヘッドを設定する磁気ヘッド位置決め機構と、
該磁気ヘッド位置決め機構により前記回転駆動されている前記磁気ディスク上で前記所望の位置に設定された前記磁気ヘッドにより前記磁気ディスクにサーボパターン及び所望のデータを書き込むことと、該磁気ディスクに書き込んだ前記サーボパターンを前記磁気ヘッドで読み取った信号に基づいて該磁気ディスクに書き込んだ所望のデータを前記磁気ヘッドで読み取った信号を処理して前記磁気ディスク又は前記磁気ヘッドの検査を行う制御回路部と
を備えた磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置であって、
前記制御回路部は、前記磁気ディスク上で前記所望の位置に設定された前記磁気ヘッドにより前記磁気ディスクに前記サーボパターンを書き込む前に前記磁気ヘッドにダミー信号を印加して前記磁気ヘッドを発熱させ、該発熱させた磁気ヘッドで前記磁気ディスクにサーボパターンを書き込むことを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置であって、前記制御回路部は、前記磁気ディスク上で前記所望の位置に設定された前記磁気ヘッドにより前記磁気ディスクに前記サーボパターンを書き込む前に前記磁気ヘッドにダミー信号を印加して前記磁気ヘッドを発熱させ、次に前記磁気ヘッドへの前記ダミー信号の印加を一定の期間停止し、その後に前記磁気ヘッドで前記磁気ディスクに前記サーボパターンを書き込むことを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置。
【請求項３】
請求項２記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置であって、前記磁気ヘッドへの前記ダミー信号の印加を停止する一定の期間は、前記磁気ヘッドが前記磁気ディスクに書き込まれるサーボパターン書込み領域の最初のサーボパターンに到達してから前記サーボパターン書込み領域の最後のサーボパターンに到達するまでの時間か、それよりも長い時間であることを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置であって、前記制御回路部は、前記磁気ヘッドにより前記磁気ディスクに前記サーボパターンを書き込む前に、前記磁気ヘッドが前記磁気ディスクのデータ書き込み領域の上に位置するときに前記磁気ヘッドにダミー信号を印加して前記磁気ヘッドを発熱させることを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置。
【請求項５】
スピンドルモータに磁気ディスクを搭載して回転させ、
磁気ヘッド位置決め機構を制御して前記スピンドルモータにより回転駆動されている前記磁気ディスク上の半径方向の所望の位置に磁気ヘッドを設定し、
前記磁気ヘッド位置決め機構により前記回転駆動されている磁気ディスク上で前記所望の位置に設定された磁気ヘッドにより前記磁気ディスクにサーボパターン及び所望のデータを書き込み、
該磁気ディスクに書き込んだ前記サーボパターンに基づいて該磁気ディスクに書き込んだ所望のデータを前記磁気ヘッドで読み取り、
該磁気ヘッドで読み取った信号を処理して前記磁気ディスク又は前記磁気ヘッドの検査を行う方法であって、
前記磁気ディスク上で前記所望の位置に設定された前記磁気ヘッドにより前記磁気ディスクに前記サーボパターンを書き込む前に前記磁気ヘッドにダミー信号を印加して前記磁気ヘッドを発熱させ、該発熱させた磁気ヘッドで前記磁気ディスクに前記サーボパターンを書き込むことを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法。
【請求項６】
請求項５記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法であって、前記磁気ディスク上の前記所望の位置に設定された前記磁気ヘッドにより前記磁気ディスクに前記サーボパターンを書き込む前に前記磁気ヘッドにダミー信号を印加して前記磁気ヘッドを発熱させ、次に前記磁気ヘッドへの前記ダミー信号の印加を一定の期間停止し、その後に前記磁気ヘッドで前記磁気ディスクにサーボパターンを書き込むことを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法。
【請求項７】
請求項６記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法であって、前記磁気ヘッドへの前記ダミー信号の印加を停止する一定の期間は、前記磁気ヘッドが前記磁気ディスクに書き込まれるサーボパターン書込み領域の最初のサーボパターンに到達してから前記サーボパターン書込み領域の最後のサーボパターンに到達するまでの時間か、それよりも長い時間であることを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法。
【請求項８】
請求項５又は６に記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法であって、前記磁気ヘッドにより前記磁気ディスクに前記サーボパターンを書き込む前に、前記磁気ヘッドが前記磁気ディスクのデータ書き込み領域の上に位置するときに前記磁気ヘッドに前記ダミー信号を印加して前記磁気ヘッドを発熱させることを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッド若しくは磁気ディスク検査装置及びその検査方法に関する。特に、磁気ヘッドをプリヒートする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置及びその検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載された磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置では、バーストデータをＡ／Ｄ変換器でデジタルデータに変換し、セクタ信号に同期した任意の開始信号を起点として２ｎ（ｎは整数）個の同デジタルデータに対してＦＦＴ演算を実施し、必要であればＦＦＴ演算前にバーストデータ信号成分の周波数に相当するデータを中心に設定した窓関数演算し、それらの結果に基づきバーストデータの検出値としてヘッド位置決めを行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−０４０１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
磁気ヘッド又は磁気ディスク検査装置では、サーボバースト信号を書込む際にライト電流によりライト素子が熱を持ち、ライト素子とディスク表面の距離が変化し、ディスク上へ書込まれる信号の出力に影響する。この熱が安定していない状態でサーボバーストの書込みを行うため、サーボバーストの信号振幅が不安定になり、位置情報を検出する際に位置誤差として表れる。特許文献１に記載された発明では、ライト電流によりライト素子が熱を持つことについては配慮されていない。
【０００５】
サーボエリアを短縮するときはサーボバーストの時間を短くする必要があるが、同じ周波数でサーボバーストの書込みを行った場合、時間幅の短縮によりサンプリングできるバーストの周期の数が減り、前に述べた位置誤差がより顕著に表れる。
本発明は、上記した従来技術の課題を解決して、サーボバースト信号を検出した磁気ヘッドからの信号の振幅を安定させ、磁気ディスク上での磁気ヘッドの位置決め誤差を低減した磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置及びその検査方法を提供するものである。    
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記した課題を解決するために、本発明では、磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置を、磁気ディスクを搭載して回転可能なスピンドルモータと、このスピンドルモータにより回転駆動されている磁気ディスク上の半径方向の所望の位置に磁気ヘッドを設定する磁気ヘッド位置決め機構と、この磁気ヘッド位置決め機構により回転駆動されている磁気ディスク上で所望の位置に設定された磁気ヘッドにより磁気ディスクにサーボパターン及び所望のデータを書き込むことと、磁気ディスクに書き込んだサーボパターンを磁気ヘッドで読み取った信号に基づいて磁気ディスクに書き込んだ所望のデータを磁気ヘッドで読み取った信号を処理して磁気ディスク又は磁気ヘッドの検査を行う制御回路部とを備えて構成し、制御回路部は、磁気ディスク上で所望の位置に設定された磁気ヘッドにより磁気ディスクにサーボパターンを書き込む前に磁気ヘッドにダミー信号を印加して磁気ヘッドを発熱させ、この発熱させた磁気ヘッドで磁気ディスクにサーボパターンを書き込むようにした。
【０００７】
また、上記した課題を解決するために、本発明では、スピンドルモータに磁気ディスクを搭載して回転させ、磁気ヘッド位置決め機構を制御してスピンドルモータにより回転駆動されている磁気ディスク上の半径方向の所望の位置に磁気ヘッドを設定し、磁気ヘッド位置決め機構により回転駆動されている磁気ディスク上で所望の位置に設定された磁気ヘッドにより磁気ディスクにサーボパターン及び所望のデータを書き込み、磁気ディスクに書き込んだサーボパターンに基づいて磁気ディスクに書き込んだ所望のデータを磁気ヘッドで読み取り、磁気ヘッドで読み取った信号を処理して磁気ディスク又は磁気ヘッドの検査を行う方法において、磁気ディスク上で所望の位置に設定された磁気ヘッドにより磁気ディスクにサーボパターンを書き込む前に磁気ヘッドにダミー信号を印加して磁気ヘッドを発熱させ、この発熱させた磁気ヘッドで磁気ディスクにサーボパターンを書き込むようにした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、磁気ヘッドと磁気ディスクとの間隔をほぼ一定に保った状態で磁気ディスクにサーボバースト信号を書き込むことができるので、磁気ヘッドでサーボバースト信号を検出して得られる信号の振幅が安定になり、ヘッド位置決めの際の位置誤差を減らす事ができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施例に係る磁気ヘッド検査装置の概略の構成を示すブロック図である。
【図２】所定のトラック幅領域とサーボパターン書込み領域、データ書き込み領域とを表示した磁気ディスクの正面図である。
【図３】本発明の実施例におけるサーボバースト書込み時のプリヒートのタイミングを示したグラフである。
【図４】本発明の実施例における磁気ディスクに書き込まれたサーボバースト信号を磁気ヘッドで読み取って得られた検出信号の波形を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明は、リードアンドライトテスト時に、磁気ヘッドをプリヒートさせてからこの磁気ヘッドを用いて磁気ディスク上にサーボバースト信号を書き込むようにした事により、サーボバースト信号を書込む時の磁気ヘッドのライト素子と磁気ディスク間の距離を安定させ、磁気ヘッドのリード素子でサーボバースト信号を読み取って有られる信号の振幅を安定させるようにしたものである。
【００１１】
以下に、本発明における実施の態様について図面を用いて説明する。  
図１は、本実施例に係る磁気ヘッド検査装置１０の概略の構成を示すブロック図である。ここでは、磁気ヘッドを検査対象とするものである。   
磁気ヘッド検査装置１０は、機械動作を行う機構部で構成される検査用キャリッジ３０とそれに繋がる制御回路部２０を備える。
【００１２】
検査用キャリッジ３０は、磁気ディスク１を回転させるスピンドルモータ２と、ジンバルスプリング４の先端部分に取り付けた磁気ヘッド３を磁気ディスク１上の半径方向の所望の位置に位置決めするための磁気ヘッド位置決め機構として、ヘッドカートリッジ５、ピエゾアクチュエータ５１、カートリッジ取付ベース６、微動ステージ７、Ｘ軸粗動ステージ８とＹ軸粗動ステージ９を備えている。磁気ヘッド３は、ディスク１にデータを書き込むためのライト素子（図示せず）と磁気ディスクに書き込まれたデータを読み出すリード素子（図示せず）とを有している。
【００１３】
検査用キャリッジ３０のＸ軸粗動ステージ８とＹ軸粗動ステージ９は、ジンバルスプリング４とジンバルスプリング４の先端部分に取り付けた磁気ヘッド３を磁気ディスク１から外れた場所から磁気ディスク１上へ移動させるもので、Ｘ軸粗動ステージ８は磁気ディスク１の半径方向へ、Ｙ軸粗動ステージ９は磁気ディスク１の円周方向へ移動させる。Ｘ軸粗動ステージ８の上にはＹ軸粗動ステージ９が、Ｙ軸粗動ステージ９の上にはＸ方向の微小位置決めが可能な微動ステージ７が搭載されている。微動ステージ７にはカートリッジ取付けベース６が固定されており、カートリッジ取付けベース６には、磁気ヘッド３をθ方向に駆動するピエゾアクチュエータ５１を搭載したジンバルスプリング４を備えたヘッドカートリッジ５が取り付けられている。
【００１４】
上記した検査用キャリッジ３０の構成において、検査を行う際に、Ｘ軸粗動ステージ８とＹ軸粗動ステージ９とを駆動して磁気ヘッド３を磁気ディスク１の所望の位置に概略の位置決めをした後に、微動ステージ７を駆動して磁気ヘッド３をＸ方向に移動させて磁気ディスク１上の所望のトラック位置（磁気ディスク１上の半径方向の位置）に位置決めし、磁気ディスク１の回転速度の変動に追従させてピエゾアクチュエータ５１でジンバルスプリング４に実装した磁気ヘッド３のθ方向の位置を微調整しながら磁気ヘッド３のリード・ライト特性を測定する（パラメトリック測定ともいう）。
【００１５】
次に、制御回路部２０の構成を説明する。制御回路部２０は、サーボ制御回路１１、サーボ信号・データ書込み回路１２、データ検出回路１３、ヘッドアクセス制御回路１４、データ処理・制御回路１５、書込みデータ信号発生回路１６、モータ制御回路１７を備えている。
【００１６】
データ処理・制御回路１５は、サーボ制御回路１１、サーボ信号・データ書込み回路１２、データ検出回路１３、ヘッドアクセス制御回路１４、書込みデータ信号発生回路１６、モータ制御回路１７の各回路に対し動作条件等の必要なパラメータを発行する。
【００１７】
モータ制御回路１７は、データ処理・制御回路１５からの命令に従い適切な速度でスピンドルモータ２の回転制御を行う。ヘッドアクセス制御回路１４は、Ｘ軸粗動ステージ８とＹ軸粗動ステージ９と微動ステージ７とピエゾアクチュエータ５１を動作させ、磁気ヘッド３を、スピンドルモータ２により高速に回転している磁気ディスク１上へロードして所望のトラック上に位置決めさせる。 
書込みデータ信号発生回路１６とサーボ信号・データ書込み回路１２は、磁気ヘッド３に形成されたライト素子(図示せず)により磁気ディスク１上へパラメトリック測定用のデータとサーボ信号の書込みを行う(以下、簡略化して、磁気ヘッド３により書込みを行うと記す)。サーボ信号は、磁気ヘッド３が磁気ディスク１上へサーボ追従するために必要な情報であり、サーボ信号・データ書込み回路１２からの信号を受けて、図２に示すように、磁気ヘッド３に形成されたライト素子から磁気ディスク１上の所定のトラック幅領域１０１に所定のピッチで設けた複数のサーボパターン書込み領域１００にサーボバースト信号Ａ〜Ｆとして書き込まれる。
【００１８】
このとき、スピンドルモータ２を回転駆動して磁気ディスク１を回転させながら微動ステージ７及び/又はピエゾアクチュエータ５１を作動させて、磁気ディスク１上の所定のトラック幅領域１０１に所定のピッチで設けた各サーボパターン書込み領域１００に、先ず、サーボバースト信号Ａを順次書き込む。
【００１９】
次に、微動ステージ７及び/又はピエゾアクチュエータ５１を作動させて、磁気ディスク１上の所定のトラック幅領域１０１に所定のピッチで設けた各サーボパターン書込み領域１００にサーボバースト信号Ｂを順次書き込む。この操作を繰り返して、各サーボパターン書込み領域１００にサーボバースト信号Ａ〜Ｆを順次書き込んでいく。
【００２０】
また、磁気ディスク１の所定のトラック幅領域１０１に所定のピッチで設けたサーボパターン書込み領域１００の間の領域(データ書き込み領域１０２)には、データ処理・制御回路１５より生成される情報(検査用データ)が磁気ヘッド３に形成されたライト素子から書き込まれる。
【００２１】
サーボ制御回路１１は、磁気ヘッド３に形成されたリード素子（ＧＭＲヘッド、又はＴＭＲヘッド：図示せず）により読み出された(以下、簡略化して、磁気ヘッド３により読み出されたと記す)磁気ディスク１上のサーボパターン書込み領域１００に書き込まれたサーボバースト信号Ａ〜Ｆの検出信号を処理し、微動ステージ７及びピエゾアクチュエータ５１へ制御信号を送ることによりサーボ追従を行う。サーボ追従を行う際の指令はデータ処理・制御回路１５から発行される。
【００２２】
データ検出回路１３は、磁気ヘッド３により読み出された磁気ディスク１上のサーボパターン書込み領域１００のサーボバースト信号Ａ〜Ｆ(サーボパターン)と、データ書き込み領域１０２に書き込まれたデータが検出される。この磁気ヘッド３で検出された検出信号は、データ処理・制御回路１５に送られて磁気ヘッド３の測定データとして処理される。
【００２３】
サーボバースト信号Ａ〜Ｆを磁気ディスク１に書き込むとき、磁気ヘッド３の図示していないライト素子にはライト電流が流れるが、ライト素子はこのライト電流により発熱し膨張する。上記したように所定のトラック幅領域１０１の全領域におけるサーボパターン書込み領域１００にサーボバースト信号Ａ〜Ｆを順次書き込んでいくと、磁気ヘッド３の図示していないライト素子に徐々に熱が蓄積されて温度が上昇し、あるところで飽和して温度が一定になる。ライト素子に徐々に熱が蓄積されているときには、ライト素子の膨張量が次第に大きくなる。その結果、サーボバースト信号Ａ〜Ｆを順次書き込んでいる間に磁気ヘッド３のライト素子と磁気ディスク１の表面との間隔が変化し、磁気ヘッド３のライト素子から磁気ディスク１へ書込まれるサーボバースト信号Ａ〜Ｆの強度が変化する。
【００２４】
このような、場所により強度が異なるサーボバースト信号Ａ〜Ｆが書き込まれた磁気ディスク１から、このサーボバースト信号Ａ〜Ｆを磁気ヘッド３の図示していないリード素子で読みだすと、サーボバーストＡ〜Ｆを検出した検出信号の強度（信号の振幅）が不安定になり、位置情報を検出する際に位置誤差として表れてしまう。
【００２５】
本実施例においては、各サーボパターン書込み領域１００にサーボバースト信号Ａ〜Ｆを順次書き込むときに、例えば、あるサーボパターン書込み領域１００にサーボバースト信号Ａを書き込み、次に隣のサーボパターン書込み領域１００にサーボバースト信号Ａを書き込むときに、このサーボバースト信号Ａを書き込み始めるよりも少し前のタイミングで磁気ヘッド３にダミーの書込み信号を印加して、このダミーの書込み信号により磁気ヘッド３（ライト素子：図示せず）を加熱（プリヒート）するようにした。
【００２６】
これにより、回転している磁気ディスク１に磁気ヘッド３からサーボバースト信号Ａ〜Ｆを順次書き込むときに、最初のサーボバースト信号Ａを書き込むときと最後のサーボバースト信号Ｆを書き込むときにおける磁気ヘッド３と磁気ディスク１とのギャップ（間隔）の変化量がより少なくなるようにし、磁気ディスク１上のサーボパターン書込み領域１００全体に亘ってほぼ同じ値となるようにした。
【００２７】
図３は、サーボバースト書込み時のプリヒートのタイミングを示した図である。図３で、横軸は時間、縦軸は磁気ヘッド３のライト素子（図示せず）の表面の温度を示す。また、図３には、各時刻における磁気ヘッド３と磁気ディスク１に形成されたサーボパターンとの関係（各時刻において磁気ヘッド３の直下に位置する磁気ディスク上のサーボパターン）を示す。上段の（ａ）にサーボバースト信号Ａを書き込む場合、下段の（ｂ）にサーボバースト信号Ｆを書き込む場合との２種類の書込み方を示す。
【００２８】
磁気ヘッド３をプリヒートしているときに、磁気ヘッド３に印加するダミー信号が既に記録したサーボバースト信号に影響を与えないようにしなければならない。このために、磁気ヘッド３のプリヒートを切る（磁気ヘッド３に印加するダミー信号を切る）タイミングｔ１として、例えばサーボバースト信号Ｆを書き込む場合に、磁気ヘッド３がサーボバースト信号Ａを書き込んだ位置に到達するよりも前に設定する。
【００２９】
従って、本実施例の場合には、図３（ｂ）に示すように、サーボバースト信号Ｆを書き込む場合であっても、その手前の既に５つのサーボバーストパターンＡ〜Ｅが書き込まれた領域分前の位置でプリヒートを切るようにタイミングｔ１を設定する。即ち、プリヒートをオフにするタイミングｔ１は、回転する磁気ディスク１上で、磁気ヘッド３が磁気ディスク１のサーボバーストパターンを書き込む領域のうち、連続する５つのサーボバーストパターンを通過する時間Ｔ２よりも長く設定する。
即ち、磁気ヘッド３に印加するダミー信号は、磁気ヘッド３がデータ書き込み領域１０２の上にあるときに印加し、サーボパターン書込み領域１００に到達する前で、連続する５つのサーボバーストパターンを通過する時間よりも長い時間Ｔ２前にオフにする。プリヒートの時間Ｔ１は、磁気ヘッドの種類やダミー信号を発生させるライト電流値に応じて設定する。
【００３０】
このときの磁気ヘッド３のライト素子（図示せず）の表面の温度は、図３（ａ）及び（ｂ）に示したような変化をする。即ち、回転している磁気ディスク１上で、磁気ヘッド３がデータ書き込み領域１０２の上にある期間（プリヒート時間）Ｔ１にライト素子にダミー信号を印加することにより、ライト素子はプリヒートされてライト素子の温度は３０１のように上昇する（図３（ａ）及び（ｂ）では、温度を示す縦軸で、下側になるほど温度が高くなるように表示してある）。
【００３１】
次に、磁気ヘッド３がサーボパターン書込み領域１００のサーボバーストパターンＡを書き込む位置に到達するよりも所定の時間（ウェイト時間）Ｔ２前のタイミングｔ１（図３の場合には、磁気ヘッド３が５つのサーボバーストパターンが書き込まれた領域を通過するのに要する時間に相当する時間だけ早いタイミング）にライト素子に印加していたダミー信号をオフにする。このようにライト素子へのダミー信号の印加を停止すると、ライト素子の温度は３０２のように下降する。
【００３２】
次に、磁気ヘッド３のライト素子がサーボパターン書込み領域１００の上に到達すると、データ処理・制御回路１５により制御されたサーボ信号・データ書き込み回路１２からの信号を受けて、一定の時間Ｔ３だけ磁気ヘッド３のライト素子からサーボバーストパターンが磁気ディスク１に書き込まれる。このとき、ライト信号が印加されることにより磁気ヘッド３のライト素子は加熱されて、その温度は３０３のように上昇する。
【００３３】
所定のバーストパターンの書込みが終わると、サーボ信号・データ書き込み回路１２からの信号が遮断されてライト素子へのライト信号の印加が停止され、ライト素子の温度は３０４のように低下する。このライト素子へのライト信号の印加を一定の時間Ｔ４だけ停止した後、磁気ヘッド３が次のサーボパターン書込み領域１００に到達する前に一定の時間Ｔ１ライト素子にダミー信号を印加してライト素子をプレヒートしてライト素子の温度を３０１のように上昇させる。
【００３４】
磁気ディスク１の所定のトラック幅領域１０１の全てのサーボパターン書込み領域１００へのサーボバーストパターンＡの書込みを終了したら、次に、全てのサーボパターン書込み領域１００に同様にしてサーボバーストパターンＢの書込みを行い、これを順次サーボバーストパターンＦの書込みまで繰返して実行する。
【００３５】
図３の３１１と３１２は、それぞれサーボバーストＡ，サーボバーストＦを書き込むときのライト素子の温度の変化を視覚的に表示したものである。３１１と３１２において、ハッチングの密度の濃い部分は温度が比較的高い状態、ハッチングの密度の薄い部分は温度が比較的低い状態を示している。
このプリヒート時間Ｔ１とウェイト時間Ｔ２を、サーボバーストパターンＡ〜Ｆを書き込む期間通して一定に設けることで、磁気ヘッド３のライト素子からサーボバーストパターンを磁気ディスク１に書き込むための一定の時間Ｔ３における磁気ヘッド３のライト素子が上昇する温度をほぼ一定に維持することができるようになる。その結果、毎回の時間Ｔ３における磁気ヘッド３のライト素子の熱膨張量をほぼ一定にすることができ、ライト素子と磁気ディスク１の間隔を一定に保ち、バースト間の信号のばらつきを低減することが可能になる。
【００３６】
図４は、磁気ディスク１に書き込まれたサーボバースト信号を磁気ヘッド３のリード素子で読み取って得られた検出信号の波形を示した図である。（ａ）は、プリヒート時間Ｔ１を設けていない状態でライト素子から磁気ディスク１に書き込まれたサーボバースト信号をリード素子で読み取って得られた検出信号波形ｗ１、（ｂ）は、プリヒート時間Ｔ１を設けた状態でライト素子から磁気ディスク１に書き込まれたサーボバースト信号をリード素子で読み取って得られた検出信号波形ｗ２である。
【００３７】
（ａ）に示したように、プリヒート時間Ｔ１を設けずにサーボバースト信号Ａ〜Ｆを順次書き込んだ場合には、サーボバースト信号を書き込み時のライト素子の温度が一定になるまでに時間がかかり、その間に書き込まれたサーボバースト信号をリード素子で読み取って得られた信号波形は波高値が徐々に大きくなっており、検出信号レベルの差（波高値の最小値ｈ０１と最大値ｈ０２との差）が大きい。
【００３８】
これに対して（ｂ）に示すように、プリヒート時間Ｔ１とプリヒートオフ時間Ｔ２を設けてサーボバースト信号Ａ〜Ｆを書き込んだ場合には、サーボバースト信号を書き込み時のライト素子の温度が一定になるまでの時間が比較的短く、かつ、その間に書き込まれたサーボバースト信号をリード素子で読み取って得られた信号波形は波高値の差（波高値の最小値ｈ１１と最大値ｈ１２との差）が比較的小さく、安定したレベルの信号を検出することができる。このようにサーボバースト信号を安定して検出することができるようになったことにより、ヘッド位置決めの際の位置誤差を低減する事ができ、より高精度なヘッド位置決めを実現することが可能になった。
【００３９】
上記実施例においては、検査用キャリッジ３０のＹ軸粗動ステージ９の上に微動ステージ７を備えた構成について説明したが、ヘッドカートリッジ５に取り付けられたピエゾアクチュエータ５１を制御することで磁気ディスク１に書き込まれたサーボパターンへの磁気ヘッド３の追従が十分な精度で行われる場合には、微動ステージ７は必ずしも必要ではない。
【００４０】
なお、上記実施例では、磁気ヘッド検査装置の例を示したが、本発明はこれに限られるものではなく、検査対象を磁気ディスクとする磁気ディスク検査装置にも適用することができる。
【００４１】
以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４２】
１・・・磁気ディスク    ２・・・スピンドルモータ    ３・・・磁気ヘッド    ４・・・ジンバルスプリング    ５・・・ヘッドカートリッジ    ６・・・カートリッジ取付ベース    ７・・・微動ステージ    ８・・・Ｘ軸粗動ステージ    ９・・・Ｙ軸粗動ステージ    １０・・・磁気ヘッド検査装置    １１・・・サーボ制御回路    １２・・・サーボ信号・データ書き込み回路    １３・・・データ検出回路    １４・・・ヘッドアクセス制御回路    １５・・・データ処理・制御回路    １６・・・書込みデータ信号発生回路    １７・・・モータ制御回路    ２０・・・制御回路部    ３０・・・検査用キャリッジ    ５１・・・ピエゾアクチュエータ。
【図１】
2015060615.tif 000003
【図２】
2015060615.tif 000004
【図３】
2015060615.tif 000005
【図４】
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