(57)【要約】【課題】より多くの種類の出力特性が得られるアクチュエータ等を提供する。【解決手段】アクチュエータ１は、複数のモータ１０，２０と、複数のモータ１０，２０の少なくともいずれか一つの駆動により回転される回転シャフト３０と、回転シャフト３０に複数のモータ１０，２０の一部又は全部の駆動力を伝達させるように回転シャフト３０と複数のモータ１０，２０の各々との間の動力伝達経路の接続と非接続とを切り替える制御部５０とを備える。【選択図】図２
2015178842.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のモータと、
前記複数のモータの少なくともいずれか一つの駆動により回転される回転シャフトと、
前記回転シャフトに前記複数のモータの一部又は全部の駆動力を伝達させるように前記回転シャフトと前記複数のモータの各々との間の動力伝達経路の接続と非接続とを切り替える切替部と
を備えるアクチュエータ。
【請求項２】
前記複数のモータの各々から前記回転シャフトに駆動力を伝達する複数の動力伝達経路の各々に設けられた複数のクラッチを有し、
前記切替部は、前記複数のクラッチの各々の接続状態を切り替える
請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記回転シャフトの回転中心軸線と同一の回転中心軸線で回転可能に設けられた複数の歯車を有し、
前記複数のクラッチは、前記複数の歯車の各々と前記回転シャフトとの接続状態を切り替え、
前記複数のモータの各々の回転子に設けられた歯車は、前記複数の歯車のうちそれぞれ異なる歯車と接続される
請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記クラッチは、前記複数のモータの各々の回転子に直接回転駆動される歯車と前記回転子との接続状態を切り替える
請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記複数のモータの一部の回転中心軸線又は全部の回転中心軸線と前記回転シャフトの回転中心軸線とは平行でない
請求項３又は４に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記複数のモータには同一の特性を有するモータが二つ以上含まれ、
前記同一の特性を有するモータは、前記動力伝達経路においてそれぞれ異なる歯車比で前記回転シャフトと接続される
請求項１から５のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記複数のモータの数をｎ（ｎ≧２）とした場合の前記回転シャフトと前記複数のモータとの接続状態の組み合わせのパターン数が２ｎである
請求項１から６のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載のアクチュエータを備え、
前記回転シャフトの回転により搬送物を搬送する
搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ及び搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図８は、従来の搬送装置を示す説明図である。同図は、従来の搬送装置の一例として、ステージ駆動装置１００を示している。
【０００３】
ステージ駆動装置１００は、真空チャンバ内に配置されたステージを所定の方向に移動させて位置決めするための装置であり、例えば、半導体露光装置などに用いられる。このステージ駆動装置１００は、ワークを載せるステージ１０１と、ステージ１０１を移動させるボールネジ１０２と、ボールネジ１０２に連結されたトルク伝達機構１０３と、トルク伝達機構１０３に連結されたアクチュエータ１０４と、ステージ１０１を収容するチャンバ１０５とを備える。また、ボールネジ１０２は、チャンバ１０５内にてシャフト受ユニット１０６により軸方向に回転移動可能に支持される。また、トルク伝達機構１０３は、チャンバ１０５の壁面に開けられた開口部１０５１に挿入され、ベース部材１０９を介して開口部の縁部に固定される。また、アクチュエータ１０４は、チャンバ１０５の壁面に取り付けられて固定される。
【０００４】
このステージ駆動装置１００では、アクチュエータ１０４が駆動力を発生すると、この駆動力がトルク伝達機構１０３を介してボールネジ１０２に伝達され、ボールネジ１０２が回転してステージ１０１をシャフト方向に送る。これにより、ステージ１０１が移動できる。また、例えば、一組のステージ駆動装置１００がｘ軸方向およびｙ軸方向（図示省略）にそれぞれ設置されることにより、ステージ１０１がｘｙ平面方向に移動できる。
【０００５】
アクチュエータ１０４には複数の種類の特性が要求される。例えば、ステージ１０１を意図した場所に移動させる動作では精密動作のためのより低速な回転出力及び搬送を確実に行うための高トルク等が求められる。一方、ステージ１０１の原点復帰動作ではより高速な回転出力等が求められる。このような要求に対する構成として、性能が異なる二つのモータのいずれか一方の回転に応じた出力を取り出し可能に設けられたアクチュエータが知られている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−１２４５７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載のアクチュエータでは、二つのモータの各々の特性に応じた出力しか得られない。このため、アクチュエータに対して３種類の特性が要求される場合に対応することができない。
【０００８】
本発明は、より多くの種類の出力特性が得られるアクチュエータ及び搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するための本発明のアクチュエータは、複数のモータと、前記複数のモータの少なくともいずれか一つの駆動により回転される回転シャフトと、前記回転シャフトに前記複数のモータの一部又は全部の駆動力を伝達させるように前記回転シャフトと前記複数のモータの各々との間の動力伝達経路の接続と非接続とを切り替える切替部とを備える。
【００１０】
従って、回転シャフトに接続されるモータの組み合わせに応じてより多くの種類の出力特性が得られる。
【００１１】
本発明のアクチュエータでは、前記複数のモータの各々から前記回転シャフトに駆動力を伝達する複数の動力伝達経路の各々に設けられた複数のクラッチを有し、前記切替部は、前記複数のクラッチの各々の接続状態を切り替える。
【００１２】
従って、クラッチを用いることでより確実に各動力伝達経路の接続と非接続とを切り替えることができる。
【００１３】
本発明のアクチュエータでは、前記回転シャフトの回転中心軸線と同一の回転中心軸線で回転可能に設けられた複数の歯車を有し、前記複数のクラッチは、前記複数の歯車の各々と前記回転シャフトとの接続状態を切り替え、前記複数のモータの各々の回転子に設けられた歯車は、前記複数の歯車のうちそれぞれ異なる歯車と接続される。
【００１４】
従って、複数のクラッチを回転シャフトの回転中心軸線上に集中配置することができる。
【００１５】
本発明のアクチュエータでは、前記クラッチは、前記複数のモータの各々の回転子に直接回転駆動される歯車と前記回転子との接続状態を切り替える。
【００１６】
従って、回転シャフトに設けるギアの数を一つにすることができるので、部品点数をより少なくすることができる。
【００１７】
本発明のアクチュエータでは、前記複数のモータの一部の回転中心軸線又は全部の回転中心軸線と前記回転シャフトの回転中心軸線とは平行でない。
【００１８】
従って、回転シャフトに対するモータの配置の自由度がより向上する。
【００１９】
本発明のアクチュエータでは、前記複数のモータには同一の特性を有するモータが二つ以上含まれ、前記同一の特性を有するモータは、前記動力伝達経路においてそれぞれ異なる歯車比で前記回転シャフトと接続される。
【００２０】
従って、同一の特性を有する複数のモータから多様な出力を得ることができる。
【００２１】
本発明のアクチュエータでは、前記複数のモータの数をｎ（ｎ≧２）とした場合の前記回転シャフトと前記複数のモータとの接続状態の組み合わせのパターン数が２ｎである。
【００２２】
従って、モータの数を超えたより多くのパターン数の出力特性を得ることができる。
【００２３】
上記の目的を達成するための本発明の搬送装置は、上記のアクチュエータを備え、前記回転シャフトの回転により搬送物を搬送する。
【００２４】
従って、アクチュエータの回転シャフトに接続されるモータの組み合わせに応じてより多くの種類の出力特性が得られる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明のアクチュエータ及び搬送装置によれば、より多くの種類の出力特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、本発明の一実施形態による搬送装置の主要構成を示す図である。
【図２】図２は、アクチュエータの主要構成を示す図である。
【図３】図３は、二つのモータの各々の特性の一例を示す図である。
【図４】図４は、回転シャフトから得られるアクチュエータの出力特性の一例を示す図である。
【図５】図５は、第１の変形例によるアクチュエータの主要構成を示す図である。
【図６】図６は、第２の変形例によるアクチュエータの主要構成を示す図である。
【図７】図７は、第３の変形例によるアクチュエータの主要構成を示す図である。
【図８】図８は、従来の搬送装置を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。
【００２８】
図１は、本発明の一実施形態による搬送装置２００の主要構成を示す図である。従来の搬送装置１００と同様の構成については、同じ符号を付して説明を省略する。搬送装置２００は、ステージ１０１と、ボールネジ１０２と、トルク伝達機構１０３と、アクチュエータ１と、チャンバ１０５とを備える。アクチュエータ１は、トルク伝達機構１０３に連結される。アクチュエータ１が駆動力を発生すると、この駆動力がトルク伝達機構１０３を介してボールネジ１０２に伝達され、ボールネジ１０２が回転してステージ１０１を軸方向に送る。これにより、ステージ１０１が移動できる。また、例えば、一組の搬送装置２００がｘ軸方向およびｙ軸方向（図示省略）にそれぞれ設置されることにより、ステージ１０１がｘｙ平面方向に移動できる。
【００２９】
図２は、アクチュエータ１の主要構成を示す図である。アクチュエータ１は、例えば、複数のモータ（例えば二つのモータ１０，２０）と、回転シャフト３０と、複数の歯車（例えば四つの歯車１１，１２，２１，２２）と、複数のクラッチ（例えば二つのクラッチ４１，４２）と、制御部５０とを備える。
【００３０】
図３は、二つのモータ１０，２０の各々の特性の一例を示す図である。図３における線ａ，ｂは、それぞれモータ１０，２０の特性を示す。複数のモータの各々は、例えば電動機であり、制御部５０の制御下で動作する。具体的には、本実施形態のアクチュエータ１は、二つのモータ１０，２０を有する。図３に示すように、モータ１０，２０は異なる特性を有する。すなわち、モータ１０，２０は、時間単位の回転数及びトルク等の原動機としての性能が異なる。
【００３１】
回転シャフト３０は、複数のモータの少なくともいずれか一つの駆動により回転される。具体的には、回転シャフト３０は例えば円柱状のシャフトである。回転シャフト３０は、アクチュエータ１の筐体６０により回転可能に支持されている。
【００３２】
複数の歯車は、複数のモータの駆動に応じて回転する。具体的には、本実施形態のアクチュエータ１は、四つの歯車１１，１２，２１，２２を有する。歯車１１，２１は、複数のモータの各々の回転子の回転中心から延設された出力シャフトに設けられる。歯車１２，２２は、回転シャフト３０の回転中心軸線と同一の回転中心軸線で回転可能に設けられている。歯車１１と歯車１２とは噛み合っている。すなわち、モータ１０の駆動に応じて歯車１１及び歯車１２が回転する。歯車２１と歯車２２とは噛み合っている。すなわち、モータ２０の駆動に応じて歯車２１及び歯車２２が回転する。このように、複数のモータの各々の回転子に設けられた歯車は、複数の歯車（例えば歯車１２，２２）のうちそれぞれ異なる歯車と接続される。歯車１１と歯車１２との歯車比と、歯車２１と歯車２２との歯車比は異なる。
【００３３】
複数のクラッチは、回転シャフトの回転中心軸線と同一の回転中心軸線で回転可能に設けられた複数の歯車の各々と回転シャフトとの接続状態を切り替える。具体的には、本実施形態のアクチュエータ１は、二つのクラッチ４１，４２を有する。
【００３４】
クラッチ４１は、歯車１２と回転シャフト３０との間に介在して、歯車１２と回転シャフト３０との物理的な接続と非接続とを切り替える。すなわち、クラッチ４１により歯車１２と回転シャフト３０とが接続されている場合、歯車１２の回転と回転シャフト３０との回転とは連動する。一方、クラッチ４１により歯車１２と回転シャフト３０とが接続されていない場合、歯車１２の回転と回転シャフト３０との回転とは連動しない。このため、クラッチ４１により歯車１２と回転シャフト３０とが接続されている場合、モータ１０の駆動による回転力が歯車１１，１２を介して回転シャフト３０に伝達される。この場合、モータ１０から回転シャフト３０への動力伝達経路が成立する。一方、クラッチ４１により歯車１２と回転シャフト３０とが接続されていない場合、モータ１０の回転力は回転シャフト３０に伝達されない。この場合、モータ１０から回転シャフト３０への動力伝達経路は成立しない。
【００３５】
クラッチ４２は、歯車２２と回転シャフト３０との間に介在して、歯車２２と回転シャフト３０との物理的な接続と非接続とを切り替える。すなわち、クラッチ４２により歯車２２と回転シャフト３０とが接続されている場合、歯車２２の回転と回転シャフト３０との回転とは連動する。一方、クラッチ４２により歯車２２と回転シャフト３０とが接続されていない場合、歯車２２の回転と回転シャフト３０との回転とは連動しない。このため、クラッチ４２により歯車２２と回転シャフト３０とが接続されている場合、モータ２０の駆動による回転力が歯車２１，２２を介して回転シャフト３０に伝達される。この場合、モータ２０から回転シャフト３０への動力伝達経路が成立する。一方、クラッチ４２により歯車２２と回転シャフト３０とが接続されていない場合、モータ２０の回転力は回転シャフト３０に伝達されない。この場合、モータ２０から回転シャフト３０への動力伝達経路は成立しない。
【００３６】
このように、複数のクラッチは、複数のモータの各々から回転シャフト３０に駆動力を伝達する複数の動力伝達経路の各々に設けられる。なお、クラッチ４１，４２の具体的構成は、周知のものが適用可能である。クラッチ４１，４２の具体的構成は、例えば円板同士の板面の当接又は離間により接続と非接続とを切り替え可能に設けられた摩擦クラッチであってもよいし、その他の形状（例えば円錐クラッチ）であってもよい。摩擦クラッチの具体的構成は、乾式でも湿式でもよい。また、クラッチ４１，４２の具体的構成は、噛み合いクラッチ、遠心クラッチ、電磁クラッチ、流体クラッチその他のクラッチであってもよい。
【００３７】
制御部５０は、複数のモータ及び複数のクラッチの動作を制御する。具体的には、制御部５０は、例えばエレクトロニックコントロールユニット（Electronic  Control  Unit：ＥＣＵ）である。
【００３８】
制御部５０は、回転シャフト３０に複数のモータの一部又は全部の駆動力を伝達させるように回転シャフト３０と複数のモータの各々との間の動力伝達経路の接続と非接続とを切り替える切替部として機能する。そして、制御部５０は、回転シャフト３０に接続されたモータを動作させる。具体的には、モータ１０の駆動により回転シャフト３０を回転させる場合、制御部５０は、クラッチ４１により歯車２１と回転シャフト３０とを接続状態にするとともに、クラッチ４２により歯車２２と回転シャフト３０とを非接続状態にする。また、モータ２０の駆動により回転シャフト３０を回転させる場合、制御部５０は、クラッチ４２により歯車２２と回転シャフト３０とを接続状態にするとともに、クラッチ４１により歯車１２と回転シャフト３０とを非接続状態にする。アクチュエータ１は、モータ１０及びモータ２０の両方を回転シャフト３０に接続することもできる。この場合、制御部５０は、クラッチ４１，４２により歯車１２，２２と回転シャフト３０とを接続状態にする。いずれの場合においても、制御部５０は、回転シャフト３０への動力伝達経路が成立したモータを動作させる。このように、制御部５０は、複数のモータの各々から回転シャフト３０に駆動力を伝達する複数の動力伝達経路の各々に設けられた複数のクラッチの各々の接続状態を切り替える。
【００３９】
図４は、回転シャフト３０から得られるアクチュエータ１の出力特性の一例を示す図である。図４に含まれる線Ａ，Ｂ，Ｃはそれぞれ、回転シャフト３０に接続されたモータの組み合わせが異なる。線Ａは、モータ１０のみが回転シャフト３０に接続された第１のパターンにおける回転数及びトルクの関係を示す線である。線Ｂは、モータ２０のみが回転シャフト３０に接続された第２のパターンにおける回転数及びトルクの関係を示す線である。線Ｃは、モータ１０及びモータ２０が回転シャフト３０に接続された第３のパターンにおける回転数及びトルクの関係を示す線である。
【００４０】
図３に示すように、二つのモータ１０，２０の特性は異なる。また、歯車１１と歯車１２との歯車比と、歯車２１と歯車２２との歯車比は異なる。このため、図４の線Ａ，Ｂで示すように、第１のパターンにおける出力特性と第２のパターンにおける出力特性は異なる。また、第３のパターンにおける出力特性は、第１のパターンと第２のパターンの出力特性が合成された出力特性になる。具体的には、図４の線Ｃで示すように、第３のパターンにおける出力特性は、時間単位の回転数がより小さい回転数（例えば第１パターンの回転数）になると共に、トルクが第１のパターンのトルクと第２のパターンのトルクを足し合わせたトルクになる。このように、複数のモータの数をｎ（ｎは２以上の整数（ｎ≧２）、例えばｎ＝２）とした場合の回転シャフト３０と複数のモータとの接続状態の組み合わせのパターン数は、２ｎ（例えば２２＝４）である。２ｎのパターン数には、いずれのモータも回転シャフト３０に接続されない場合を含む。一つ以上のモータが回転シャフト３０に接続されて回転シャフト３０から出力が得られる場合のパターン数は、２ｎ−１である。
【００４１】
このようなアクチュエータ１を備える搬送装置２００は、アクチュエータ１の出力特性に応じた動作を行うことができる。具体的には、例えばステージ１０１を意図した場所に移動させる動作において、アクチュエータ１は、モータ１０が回転シャフト３０に接続されたパターン（第１のパターン等）で動作する。これにより、高トルクを得られる。ここで、より高いトルクが求められる場合には、アクチュエータ１は、モータ１０及びモータ２０が回転シャフト３０に接続された第３のパターンで動作することもできる。また、ステージ１０１の原点復帰動作において、アクチュエータ１は、モータ２０のみが回転シャフト３０に接続された第２のパターンで動作する。これにより、より迅速にステージ１０１を原点復帰させることができる。
【００４２】
以上説明したように、本実施形態によれば、回転シャフト３０に複数のモータの一部又は全部の駆動力を伝達させるように回転シャフト３０と複数のモータの各々との間の動力伝達経路の接続と非接続とを切り替える。このため、回転シャフト３０に接続されるモータの組み合わせに応じてより多くの種類の出力特性が得られる。
【００４３】
また、複数のモータの各々から回転シャフト３０に駆動力を伝達する複数の動力伝達経路の各々に設けられた複数のクラッチの各々の接続状態を切り替える。このように、クラッチを用いることでより確実に各動力伝達経路の接続と非接続とを切り替えることができる。
【００４４】
また、複数のクラッチは、回転シャフト３０の回転中心軸線と同一の回転中心軸線で回転可能に設けられた複数の歯車の各々と回転シャフト３０との接続状態を切り替え、複数のモータの各々の回転子に設けられた歯車は、複数の歯車のうちそれぞれ異なる歯車と接続される。このため、複数のクラッチを回転シャフト３０の回転中心軸線上に集中配置することができる。
【００４５】
また、複数のモータの数をｎとした場合の回転シャフト３０と複数のモータとの接続状態の組み合わせのパターン数が２ｎであるので、モータの数を超えたパターン数に応じたより多くの出力特性を得ることができる。
【００４６】
（変形例）
以下、アクチュエータ１の変形例について、図５〜図７を参照して説明する。各変形例によるアクチュエータは、特筆する構成及び特徴を除いて上記の実施形態におけるアクチュエータ１と同様の構成を有する。各変形例における上記の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付して説明を省略する。各変形例のアクチュエータは、上記の実施形態におけるアクチュエータ１と同様、搬送装置２００に用いることができる。
【００４７】
図５は、第１の変形例によるアクチュエータ１Ａの主要構成を示す図である。第１の変形例におけるクラッチは、複数のモータの各々の回転子に直接回転駆動される歯車（例えば歯車１１又は歯車２１）と回転子との接続状態を切り替える。具体的には、クラッチ４１Ａは、モータ１０の回転子と歯車１１の接続状態を切り替える。クラッチ４１Ａによりモータ１０の回転子と歯車１１が接続されている場合に、歯車１１はモータ１０の駆動に応じて回転する。クラッチ４２Ａは、モータ２０の回転子と歯車２１の接続状態を切り替える。クラッチ４２によりモータ２０の回転子と歯車２１が接続されている場合に、歯車２１はモータ２０の駆動に応じて回転する。
【００４８】
また、第１の変形例では、回転シャフト３０に一つの歯車３１が設けられている。歯車１１，２１は共に歯車３１と噛み合う。第１の変形例では、歯車１１と歯車２１の歯数を異ならせることで、モータ１０と回転シャフト３０との動力伝達経路における歯車比とモータ２０と回転シャフト３０との動力伝達経路における歯車比とを異ならせることができる。
【００４９】
第１の変形例における制御部５０は、クラッチ４１Ａ，４２Ａの動作を制御することで、複数のモータの各々から回転シャフト３０に駆動力を伝達する複数の動力伝達経路の各々に設けられた複数のクラッチの各々の接続状態を切り替える。
【００５０】
以上、第１の変形例によれば、上記の実施形態と同様の効果を奏する。また、回転シャフト３０に設けるギアの数を一つにすることができるので、部品点数をより少なくすることができる。
【００５１】
図６は、第２の変形例によるアクチュエータ１Ｂの主要構成を示す図である。第２の変形例におけるモータ１０は、かさ歯車１１Ａ，１２Ａを介して回転シャフト３０と接続される。第２の変形例におけるモータ１０の回転子の出力シャフトと回転シャフト３０とは平行でなく、例えば直交している。第２の変形例におけるクラッチ４１は、かさ歯車１２Ａと回転シャフト３０との間に介在して、かさ歯車１２Ａと回転シャフト３０との物理的な接続と非接続とを切り替える。
【００５２】
図７は、第３の変形例によるアクチュエータ１Ｃの主要構成を示す図である。第３の変形例におけるモータ１０は、第２の変形例と同様、かさ歯車１１Ａ，１２Ａを介して回転シャフト３０と接続される。また、第３の変形例におけるモータ２０は、かさ歯車２１Ａ，２２Ａを介して回転シャフト３０と接続される。第３の変形例におけるモータ１０，２０の回転子の出力シャフトと回転シャフト３０とは平行でなく、例えば直交している。第３の変形例におけるクラッチ４１は、かさ歯車１２Ａと回転シャフト３０との間に介在して、かさ歯車１２Ａと回転シャフト３０との物理的な接続と非接続とを切り替える。第３の変形例におけるクラッチ４２は、かさ歯車２２Ａと回転シャフト３０との間に介在して、かさ歯車２２Ａと回転シャフト３０との物理的な接続と非接続とを切り替える。
【００５３】
以上、第２の変形例及び第３の変形例によれば、上記実施形態の効果に加えて、モータの回転子の出力シャフトと回転シャフト３０とが平行に限られないので、回転シャフト３０に対するモータの配置の自由度がより向上する。
【００５４】
なお、第２の変形例及び第３の変形例のように、平行でないシャフト同士を接続する歯車は、かさ歯車に限られない。例えば冠歯車、ハイポイドギヤ、ねじ歯車、ウォームギヤ等、他の歯車であってもよい。
【００５５】
また、上記実施形態等における回転シャフト３０はシャフトであるが、これは回転シャフト３０の一例であってこれに限られるものでない。例えば、回転シャフト３０はボールネジであってもよい。この場合、ボールネジに螺合するネジ構造を回転シャフト３０の軸方向に沿って直動させることができる。すなわち、アクチュエータから直動出力を得ることができる。
【００５６】
また、上記の実施形態等では複数のモータの各々に設けられた歯車と回転シャフト３０に設けられた歯車とが直接噛み合っているが、これは動力伝達経路の具体的構成の一例であって、これに限られるものでない。例えば、複数のモータの各々に設けられた歯車と回転シャフト３０に設けられた歯車との間に一つ以上の別の歯車が介在してもよい。また、複数のモータの各々に設けられた歯車と回転シャフト３０に設けられた歯車をスプロケットとし、ローラーチェーンや環状のベルト等により動力を伝達するようにしてもよい。
【００５７】
また、上記実施形態等におけるアクチュエータが備えるモータの数（ｎ）は２であるが、３以上であってもよい。この場合、より多くのパターン数（２ｎ）の出力特性を得ることができる。
【００５８】
複数のモータのうち一部又は全部は、同一の特性を有するモータでもよい。すなわち、アクチュエータが備える複数のモータのうち二つ以上は、時間単位の回転数及びトルク等の原動機としての性能が同一であるか、モータ同士の性能の差が無視できるほどに小さい同一種類のモータであってもよい。この場合、同一の特性を有するモータは、動力伝達経路においてそれぞれ異なる歯車比で回転シャフトと接続される。これにより、トルクや時間単位の回転数をモータごとに異なるものにすることができる。このため、同一の特性を有する複数のモータから多様な出力を得ることができる。
【００５９】
特性が異なるモータの各々と回転シャフトとの動力伝達経路における歯車比は同一であってもよい。
【００６０】
モータは、電動機に限らない。例えば気体、液体等の流体の流れにより生じる圧力から回転力を出力する圧力モータ、熱機関（例えばレシプロエンジン等）その他のあらゆる原動機が本実施形態におけるモータとして採用され得る。
【００６１】
制御部５０は、ＥＣＵに限られない。本実施形態における制御部の特徴を満たす構成であれば、その具体的構成は問われない。
【００６２】
また、制御部５０は、動力伝達経路が回転シャフト３０に接続された複数のモータのうち一部又は全部を駆動しなくてもよい。この場合、駆動されないモータが回転シャフト３０の回転運動における負荷として働き、回転シャフト３０がより回転しにくくなる。この負荷を意図的に利用したい場合、制御部５０によるこのような動作制御が行われる。
【００６３】
本実施形態による搬送装置は、ステージ駆動装置に限られない。本実施形態による搬送装置は、アクチュエータの回転シャフトの回転により搬送物を搬送する機構を有する他の搬送装置を含む。
【符号の説明】
【００６４】
１  アクチュエータ
１０，２０  モータ
１１，１２，２１，２２  歯車
３０  回転シャフト
４１，４２  クラッチ
５０  制御部
６０  筐体
【図１】
2015178842.tif 000003
【図２】
2015178842.tif 000004
【図３】
2015178842.tif 000005
【図４】
2015178842.tif 000006
【図５】
2015178842.tif 000007
【図６】
2015178842.tif 000008
【図７】
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【図８】
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