(57)【要約】【課題】研削ホイールを再度装着した際のドレッシング加工による研削砥石の消耗量を削減することができる研削装置を提供すること。【解決手段】研削装置は、チャックテーブルと研削手段とを備える。研削手段は、スピンドル２２とホイールマウント２３と研削ホイール２４とを有する。ホイールマウント２３の外周側面２３ａには第１の目印Ｍ１が形成され、研削ホイール２４の環状基台２４１の外周面２４１ｃには、ホイールマウント２３に研削ホイール２４を固定する際に第１の目印Ｍ１と位置合わせするための第２の目印Ｍ２が形成され、第１の目印Ｍ１と第２の目印Ｍ２が所定の位置に位置づけられた時だけホイールマウント２３に研削ホイール２４を固定する締結ネジＳが螺合するよう、ホイールマウント２３の下面２３ｃと研削ホイール２４の装着部２４１ａに形成された複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈは、円周方向に不等間隔に形成されている。【選択図】図２
2015178149.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段と、を備えた研削装置であって、
前記研削手段は、
スピンドルハウジング中に回転可能に収容されたスピンドルと、
前記スピンドルハウジングから露出したスピンドル先端部に固定されるホイールマウントと、
前記ホイールマウントに装着される装着部を有する環状基台と、前記環状基台の自由端部に配設される環状の研削砥石とを備えた研削ホイールと、を有し、
前記ホイールマウントの外周側面、又は前記ホイールマウントの上面には第１の目印が形成され、
前記研削ホイールの前記環状基台の外周面には、前記ホイールマウントに前記研削ホイールを固定する際に前記第１の目印と位置合わせするための第２の目印が形成され、
前記第１の目印と前記第２の目印が所定の位置に位置づけられた時だけ前記ホイールマウントに前記研削ホイールを固定する締結ネジが螺合するよう、前記ホイールマウントの下面と前記研削ホイールの前記装着部に形成された複数の雌ネジは、円周方向に不等間隔、又は回転中心から不等距離に形成されている研削装置。
【請求項２】
前記研削ホイールは、前記スピンドルに前記雌ネジを用いて締結され回転した際に回転バランスが取れるよう、前記環状基台の重量が調整されている請求項１記載の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種の被加工物の面を平坦化する際には、砥石（研削砥石）を用いた研削が行われる。例えば表面にデバイスが形成された半導体ウェーハの裏面を研削して所望の厚さに仕上げようとする際には、研削手段を備えた研削装置が用いられる。
【０００３】
研削手段は、スピンドルの先端に固定されたホイールマウントに、研削ホイールの環状基台をネジで締結して構成される（例えば、特許文献１、２参照）。研削ホイールは、研削砥石をチャックテーブルの保持面に対して平行にし、平坦な半導体ウェーハが研削できるようチャックテーブルに吸着固定されたドレッシングボードを研削することで、研削砥石を消耗させ形状を整える。
【０００４】
このような研削装置では、研削ホイールは、研削砥石の種類と研削する半導体ウェーハの種類によって適宜交換される。また、このような研削装置では、使用した研削ホイールを再度装着することも少なくない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−８９０６５号公報
【特許文献２】特開２００６−５５９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、使用した研削ホイールを再度装着する場合、研削砥石をチャックテーブルの保持面に対して平行に形成するため、ドレッシング加工を行うが、ドレッシング加工で消耗した量はそのまま研削ホイールの使用限界の短縮につながるため、極力ドレッシング加工による消耗量を削減したいという要望がある。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、研削ホイールを再度装着した際のドレッシング加工による研削砥石の消耗量を削減することができる研削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、板状の被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段と、を備えた研削装置であって、研削手段は、スピンドルハウジング中に回転可能に収容されたスピンドルと、スピンドルハウジングから露出したスピンドル先端部に固定されるホイールマウントと、ホイールマウントに装着される装着部を有する環状基台と、環状基台の自由端部に配設される環状の研削砥石とを備えた研削ホイールと、を有し、ホイールマウントの外周側面、又はホイールマウントの上面には第１の目印が形成され、研削ホイールの環状基台の外周面には、ホイールマウントに研削ホイールを固定する際に第１の目印と位置合わせするための第２の目印が形成され、第１の目印と第２の目印が所定の位置に位置づけられた時だけホイールマウントに研削ホイールを固定する締結ネジが螺合するよう、ホイールマウントの下面と研削ホイールの装着部に形成された複数の雌ネジは、円周方向に不等間隔、又は回転中心から不等距離に形成されていることを特徴とする。
【０００９】
また、上記研削装置において、研削ホイールは、スピンドルに雌ネジを用いて締結され回転した際に回転バランスが取れるよう、環状基台の重量が調整されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、第１の目印と第２の目印とを所定の位置に位置づけると、締結ネジをホイールマウントに螺合させることができるので、所定の位置で研削ホイールをホイールマウントに固定することができる。つまり、本発明によれば、ホイールマウントに対して研削ホイールを所定の位置で固定することができるので、研削ホイールをホイールマウントに再度装着しても、チャックテーブルの保持面に対して研削砥石が平行となる。したがって、本発明によれば、研削ホイールを再度装着した際のドレッシング加工による研削砥石の消耗量を削減することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施形態に係る研削装置の概略構成例を示す斜視図である。
【図２】図２は、実施形態に係る研削装置のホイールマウントおよび研削ホイールの構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１３】
〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る研削装置の概略構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態に係る研削装置のホイールマウントおよび研削ホイールの構成例を示す図である。図１に示す実施形態に係る研削装置１は、被加工物Ｗの面を平坦化する加工装置である。研削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と、研削手段２０と、往復送り手段３０と、研削送り手段４０と、を含んで構成されている。ここで、被加工物Ｗは、特に限定されないが、例えば、一方の面にデバイスが形成された半導体ウェーハや光デバイスウェーハ、無機材料基板、延性樹脂材料基板等、各種加工材料である。本実施形態では、被加工物Ｗは、平坦な円形状の板状（円板状）に形成されている。
【００１４】
チャックテーブル１０は、板状の被加工物Ｗを保持面１０ａで保持するものである。チャックテーブル１０は、水平面に対してほぼ平坦な円盤状に形成されている。チャックテーブル１０は、後述する往復送り移動基台３１に対して、回転可能に支持されており、図示しないモータ等の駆動源により回転される。保持面１０ａは、チャックテーブル１０の鉛直方向の上面を形成しており、略平坦に形成されている。保持面１０ａは、例えばポーラスセラミック等で構成されており、図示しない真空吸引源の負圧により被加工物Ｗ、又は図示しないドレッシングボードを吸引保持する。ドレッシングボードとしては、特に限定されないが、例えば、ダイヤモンド砥粒やＣＢＮ（立方晶窒化ホウ素）砥粒等の研磨材をレジンボンドやビトリファイボンド等の結合材に分散させ、被加工物Ｗと同様の円板状に形成されたものが用いられる。
【００１５】
研削手段２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗを研削するものである。研削手段２０は、スピンドルハウジング２１と、スピンドル２２と、ホイールマウント２３と、研削ホイール２４と、駆動手段２５と、を備えている。
【００１６】
スピンドルハウジング２１は、鉛直方向に延びる筒状に形成されており、内挿されるスピンドル２２を回転可能に支持している。スピンドルハウジング２１は、研削送り手段４０の後述する支持部４６により研削送り移動基台４５に支持されている。
【００１７】
スピンドル２２は、スピンドルハウジング２１中に回転可能に収容されている。スピンドル２２は、駆動手段２５により回転駆動される。
【００１８】
ホイールマウント２３は、図２に示すように、スピンドルハウジング２１の鉛直方向の下方から露出したスピンドル先端部２２ａに固定されている。ホイールマウント２３は、例えばボルト等により、スピンドル先端部２２ａに対して着脱可能に固定されている。ホイールマウント２３は、水平面に対して平行な円板状に形成されている。ホイールマウント２３の上面２３ｂと下面２３ｃとは、水平面に対して平行で平坦に形成されている。ホイールマウント２３は、スピンドル２２により水平面内で回転駆動される。また、ホイールマウント２３は、第１の目印Ｍ１を有している。第１の目印Ｍ１は、ホイールマウント２３に研削ホイール２４を固定する際に、作業員が視認しやすい箇所に形成されていることが好ましい。本実施形態では、第１の目印Ｍ１は、作業員が視認しやすい箇所として、ホイールマウント２３の外周側面２３ａに形成されている。つまり、ホイールマウント２３の外周側面２３ａには、第１の目印Ｍ１が形成されている。第１の目印Ｍ１は、例えばレーザーを用いた、いわゆるレーザーマーキング加工等により形成されている。第１の目印Ｍ１は、特に限定されないが、例えば、水平方向視において、鉛直方向の下方に頂点が位置する三角形状となっている。
【００１９】
また、ホイールマウント２３は、上面２３ｂと下面２３ｃとを鉛直方向に対して平行に貫通する複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈを有している。つまり、ホイールマウント２３の下面２３ｃには、複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈが形成されている。
【００２０】
複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈは、締結ネジＳの軸部Ｓａが挿通される貫通穴である。複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈの穴径は、同じ大きさの穴径であり、締結ネジＳの軸部Ｓａより大きく、かつ締結ネジＳの頭部Ｓｂより小さい穴径である。複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈは、回転中心から同じ距離、つまり回転中心を中心とする一つの円周上に形成されており、ホイールマウント２３の周方向に間隔をおいて形成されている。本実施形態では、周方向において、隣り合う雌ネジＮ１ａ、Ｎ１ｂ同士の間隔は、隣り合う雌ネジＮ１ｂ、Ｎ１ｃ同士の間隔より狭い間隔であり、隣り合う雌ネジＮ１ａ、Ｎ１ｈ同士の間隔は、隣り合う雌ネジＮ１ｂ、Ｎ１ｃ同士の間隔より広い間隔である。つまり、本実施形態では、第１の目印Ｍ１の直近の雌ネジＮ１ａは、雌ネジＮ１ｂ側にずれて形成されている。一方、周方向において、隣り合う雌ネジＮ１ｂ、Ｎ１ｃ同士の間隔、隣り合う雌ネジＮ１ｃ、Ｎ１ｄ同士の間隔、隣り合う雌ネジＮ１ｄ、Ｎ１ｅ同士の間隔、隣り合う雌ネジＮ１ｅ、Ｎ１ｆ同士の間隔、隣り合う雌ネジＮ１ｆ、Ｎ１ｇ同士の間隔、隣り合う雌ネジＮ１ｇ、Ｎ１ｈ同士の間隔は、同じ間隔（等間隔）である。つまり、周方向において、隣り合う雌ネジＮ１ａ、Ｎ１ｂ同士の間隔、および隣り合う雌ネジＮ１ａ、Ｎ１ｈ同士の間隔は、互いに不等間隔であり、他の隣り合う雌ネジＮ１ｂ〜Ｎ１ｈ同士の間隔に対しても不等間隔である。すなわち、複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈは、円周方向に不等間隔に形成されている。なお、複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈが円周方向に不等間隔に形成されているとは、周方向に隣り合う複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈと回転中心とからなされる複数の角度のうち、少なくとも二つの角度が異なることである。
【００２１】
研削ホイール２４は、ホイールマウント２３に対して、締結ネジＳにより着脱可能に装着されている。研削ホイール２４は、鉛直方向視において、ホイールマウント２３と同軸で重なり合っている。研削ホイール２４は、環状基台２４１と、研削砥石２４２と、を備えている。
【００２２】
環状基台２４１は、ホイールマウント２３に装着される装着部２４１ａを有している。装着部２４１ａは、環状基台２４１の鉛直方向の上面を形成している。装着部２４１ａは、ホイールマウント２３の下面２３ｃと対向して、下面２３ｃに対してほぼ平坦に形成されている。装着部２４１ａは、鉛直方向視で、中央に開口を有する環状に形成されている。装着部２４１ａの外径の大きさは、ホイールマウント２３の外径の大きさに対応する大きさである。装着部２４１ａの内径の大きさは、ホイールマウント２３の複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈの回転中心からの距離より小さい大きさである。つまり、装着部２４１ａは、鉛直方向視において、ホイールマウント２３に装着される際に、ホイールマウント２３の複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈと重なる幅の円環状に形成されている。また、装着部２４１ａには、複数の雌ネジＮ２ａ〜Ｎ２ｈが形成されている。
【００２３】
複数の雌ネジＮ２ａ〜Ｎ２ｈは、締結ネジＳに嵌り合う溝が切られたネジ穴である。複数の雌ネジＮ２ａ〜Ｎ２ｈは、研削ホイール２４の装着部２４１ａの周方向に間隔をおいて形成されている。複数の雌ネジＮ２ａ〜Ｎ２ｈは、ホイールマウント２３の複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈに対応する位置に形成されている。つまり、複数の雌ネジＮ２ａ〜Ｎ２ｈは、ホイールマウント２３に研削ホイール２４を同軸で固定する際に、鉛直方向視において、複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈと重なり合って連通する位置に形成されている。このため、本実施形態では、第２の目印Ｍ２の直近の雌ネジＮ２ａは、雌ネジＮ２ｂ側にずれて形成されている。したがって、複数の雌ネジＮ２ａ〜Ｎ２ｈは、複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈと同様に、円周方向に不等間隔に形成されている。
【００２４】
また、環状基台２４１は、第２の目印Ｍ２を有している。第２の目印Ｍ２は、ホイールマウント２３に研削ホイール２４を固定する際に、第１の目印Ｍ１と位置合わせするための目印である。第２の目印Ｍ２は、ホイールマウント２３に研削ホイール２４を固定する際に、作業員が目視しやすい箇所に形成されていることが好ましい。本実施形態では、第２の目印Ｍ２は、作業員が視認しやすい箇所として、環状基台２４１の外周面２４１ｃに形成されている。つまり、環状基台２４１の外周面２４１ｃには、第２の目印Ｍ２が形成されている。第２の目印Ｍ２は、第１の目印Ｍ１と同様に、いわゆるレーザーマーキング加工等により形成されている。第２の目印Ｍ２は、特に限定されないが、例えば、水平方向視において、鉛直方向の上方に頂点が位置する三角形状となっている。つまり、本実施形態では、第２の目印Ｍ２は、第１の目印Ｍ１に対して、水平線を軸とする線対称な形状に形成されている。
【００２５】
また、環状基台２４１は、ホイールマウント２３に締結ネジＳで締結され固定され研削ホイール２４がスピンドル２２により回転される際に、回転に伴う振動を抑制するため、重量が調整されている。環状基台２４１の重量の調整は、例えば、研削ホイール２４に対する釣合い試験機（いわゆるバランシングマシン）等の測定値に基づいて、研削ホイール２４の回転中心軸に対する質量中心軸のズレが許容される範囲に収まるように、外周面２４１ｃに研削加工等を施すことで実施される。つまり、研削ホイール２４は、スピンドル２２に雌ネジＮ２ａ〜Ｎ２ｈを用いて締結され回転した際に回転バランスが取れるよう、環状基台２４１の重量が調整されている。
【００２６】
ここで、締結ネジＳは、丸棒状の軸部Ｓａの外周に螺旋状の溝が刻まれた雄ネジである。締結ネジＳは、第１の目印Ｍ１と第２の目印Ｍ２とが所定の位置に位置づけられた時だけ、軸部Ｓａがホイールマウント２３の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈに挿通され、軸部Ｓａが研削ホイール２４の雌ネジＮ２ａ〜Ｎ２ｈと螺合する。つまり、締結ネジＳは、第１の目印Ｍ１と第２の目印Ｍ２とが所定の位置に位置づけられた時だけ、ホイールマウント２３に研削ホイール２４を固定する。
【００２７】
ここで、第１の目印Ｍ１と第２の目印Ｍ２とは、作業員により所定の位置に位置づけられる目印である。所定の位置とは、ホイールマウント２３に研削ホイール２４を同軸で固定する際に第１の目印Ｍ１に対して第２の目印Ｍ２が位置合わせされる位置であり、第１の目印Ｍ１の頂点と第２の目印Ｍ２の頂点とが鉛直線上に位置する位置である。本実施形態では、作業員がホイールマウント２３と研削ホイール２４とを鉛直方向視で重なり合う同軸上に配置し、作業員が第１の目印Ｍ１に対して第２の目印Ｍ２を位置合わせし、締結ネジＳにより研削ホイール２４をホイールマウント２３に締結することで、第１の目印Ｍ１と第２の目印Ｍ２とが所定の位置に位置づけられる。つまり、第１の目印Ｍ１と第２の目印Ｍ２とが所定の位置に位置づけられた時だけホイールマウント２３に研削ホイール２４を固定する締結ネジＳが螺合するよう、ホイールマウント２３の下面２３ｃと研削ホイール２４の装着部２４１ａとに形成された複数の各雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈは、円周方向に不等間隔に形成される。
【００２８】
研削砥石２４２は、チャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗを研削する環状の砥石である。研削砥石２４２は、例えば、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドやレジンボンド等の結合材で固めたダイヤモンド砥石で構成されている。研削砥石２４２は、鉛直方向視で、環状基台２４１の径方向に厚みを有する円弧状に形成されている。研削砥石２４２は、環状基台２４１の自由端部２４１ｄ、つまりホイールマウント２３の下面２３ｃと対向する装着部２４１ａとは反対側の面（すなわち鉛直方向の下面）に配設されている。研削砥石２４２は、周方向に等間隔をおいて複数配設されることで、鉛直方向視で環状に形成されている。研削砥石２４２は、例えば接着剤等により、自由端部２４１ｄに固着している。なお、自由端部２４１ｄは、装着部２４１ａに対してほぼ平行且つ平坦に形成されている。
【００２９】
駆動手段２５は、図１に示すように、スピンドルハウジング２１中に収容されたスピンドル２２を回転駆動する。駆動手段２５は、例えばサーボモータ等で構成されている。
【００３０】
往復送り手段３０は、装置本体２に対してチャックテーブル１０を水平方向に平行に相対移動させるものである。往復送り手段３０は、ボールネジとナット、ガイドレールやパルスモータ等を含んで構成されている。往復送り手段３０は、装置本体２に対して、往復送り移動基台３１を水平方向に平行に往復動可能に支持している。往復送り移動基台３１は、チャックテーブル１０を回転可能に支持している。往復送り移動基台３１は、研削手段２０により被加工物Ｗに対して研削加工が施される研削加工位置（装置本体２に対して研削手段２０側の位置）と、作業員や搬出入手段によりチャックテーブル１０に対して被加工物Ｗが着脱（つまり搬出入）される搬出入位置（装置本体２に対して研削手段２０とは反対側の位置）との間で、チャックテーブル１０を往復動（同図に示す矢印ａ、ｂ）させる。
【００３１】
研削送り手段４０は、装置本体２に対して研削手段２０を鉛直方向に平行に相対移動させるものである。研削送り手段４０は、ボールネジ４１と図示しないナット、ガイドレール４２やパルスモータ４３等を含んで構成されている。研削送り手段４０は、装置本体２から立設される支持基台３に対して、研削送り移動基台４５を鉛直方向に平行に昇降可能に支持している。研削送り移動基台４５は、支持部４６を介して、研削手段２０を支持している。支持部４６は、スピンドルハウジング２１の外周に配設され、スピンドルハウジング２１を支持しており、研削送り移動基台４５に支持されている。つまり、研削送り移動基台４５は、研削手段２０を昇降（同図に示す矢印ｃ、ｄ）させる。
【００３２】
次に、以上のように構成された研削装置１の動作について説明する。なお、本実施形態では、チャックテーブル１０の回転軸とスピンドル２２の回転軸とが研削加工において許容される範囲内で僅かに傾いている場合、かつ、装着部２４１ａと自由端部２４１ｄとがほぼ平坦であり、環状基台２４１の鉛直方向の面内厚さばらつきによって研削ホイール２４全体の鉛直方向の高さ（環状基台２４１と研削砥石２４２とを合わせた鉛直方向の厚さ）が面内で均一ではない場合を想定している。
【００３３】
被加工物Ｗの面を平坦化する場合、研削装置１は、作業員による研削加工の指示入力に基づいて、チャックテーブル１０を搬出入位置に移動（図１に示す矢印ｂ）させ、作業員や搬出入手段により被加工物Ｗをチャックテーブル１０の保持面１０ａに載置させた後、真空吸引源の負圧により被加工物Ｗを保持面１０ａで吸引保持する。
【００３４】
被加工物Ｗが保持面１０ａで吸引保持された後、研削装置１は、被加工物Ｗを吸引保持しつつチャックテーブル１０を研削加工位置に移動（図１に示す矢印ａ）させ、研削手段２０により被加工物Ｗに対して研削加工を施して、被加工物Ｗの面を平坦化する。ここで、研削装置１では、各目印Ｍ１、Ｍ２同士が位置合わせされた状態でホイールマウント２３に研削ホイール２４が固定されており、研削加工を実施する前に予め、研削砥石２４２に対してドレッシング加工が施され、ホイールマウント２３に装着された状態で研削砥石２４２の下面の面内厚さばらつきが許容される範囲内となる平坦に形成されている。
【００３５】
被加工物Ｗの面が平坦化された後、研削装置１は、研削加工が施された被加工物Ｗを吸引保持しつつチャックテーブル１０を搬出入位置に移動（図１に示す矢印ｂ）させ、真空吸引源による吸引保持を解除した後、作業員や搬出入手段により被加工物Ｗをチャックテーブル１０の保持面１０ａから取り外し、後工程（例えば、洗浄工程や乾燥工程、収容工程など）へ搬出する。
【００３６】
次に、新しい研削ホイール２４を装着する場合について説明する。研削装置１は、作業員による研削ホイール２４の交換のための指示入力に基づいて、スピンドル２２の回転を停止させ、研削送り手段４０により、作業員が研削ホイール２４の交換作業をしやすい高さまで、研削手段２０を上昇（図１に示す矢印ｃ）させる。
【００３７】
研削手段２０が上昇された後、作業員は、複数の締結ネジＳを緩めてホイールマウント２３から研削ホイール２４を取り外し、鉛直方向視でホイールマウント２３の外径と新しい研削ホイール２４の外径とが重なり合って、ホイールマウント２３に対して新しい研削ホイール２４が同軸上に位置するよう、ホイールマウント２３の鉛直方向の下方に新しい研削ホイール２４を配置する。
【００３８】
ホイールマウント２３の下方に新しい研削ホイール２４を配置しつつ、作業員は、ホイールマウント２３の第１の目印Ｍ１に対して、新しい研削ホイール２４を周方向に回転させることで、新しい研削ホイール２４の第２の目印Ｍ２を位置合わせし、締結ネジＳを締め付けて、ホイールマウント２３に対して新しい研削ホイール２４を取り付ける。ここで、研削装置１では、ホイールマウント２３の複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈと新しい研削ホイール２４の雌ネジＮ２ａ〜Ｎ２ｈとが鉛直方向に連通され、締結ネジＳの軸部Ｓａが雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈに挿通され、締結ネジＳの軸部Ｓａが雌ネジＮ２ａ〜Ｎ２ｈに螺合される。
【００３９】
ホイールマウント２３に対して新しい研削ホイール２４が取り付けられた後、研削装置１は、作業員による研削砥石２４２に対するドレッシング加工のための指示入力に基づいて、チャックテーブル１０に吸引保持されたドレッシングボードに対して研削加工を施すことで、新しい研削ホイール２４の研削砥石２４２に対してドレッシング加工を施す。ここで、研削装置１では、一般に、新しい研削ホイール２４を装着する場合、又はすでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４であっても、環状基台２４１と研削砥石２４２とを合わせた鉛直方向の厚さが面内で均一ではないため、ホイールマウント２３との位置が所定の位置に位置づけられない場合、ホイールマウント２３と環状基台２４１との寸法公差が累積されるため、研削砥石２４２が数百μｍ程度消耗されることで、研削砥石２４２がチャックテーブル１０の保持面１０ａに対して平行となる。
【００４０】
次に、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４（使用済み研削ホイールも含む）を再度装着する場合について説明する。研削装置１では、作業員による研削ホイール２４の交換のための指示入力に基づいて、スピンドル２２の回転を停止させた後、作業員により複数の締結ネジＳが緩められ、ホイールマウント２３から研削ホイール２４が取り外される。
【００４１】
ホイールマウント２３から研削ホイール２４が取り外された後、作業員は、鉛直方向視でホイールマウント２３の外径とすでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４の外径とが重なり合って、ホイールマウント２３に対してすでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４が同軸上に位置するよう、ホイールマウント２３の鉛直方向の下方にすでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４を配置する。
【００４２】
ホイールマウント２３の下方にすでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４を配置しつつ、作業員は、ホイールマウント２３の第１の目印Ｍ１に対して、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４を周方向に回転させることで、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４の第２の目印Ｍ２を位置合わせし、締結ネジＳを締め付けて、ホイールマウント２３にすでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４を取り付ける。ここで、研削装置１では、第１の目印Ｍ１に対して第２の目印Ｍ２が位置合わせされた状態で、ホイールマウント２３に、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４が再度装着される。つまり、研削装置１では、ホイールマウント２３に対して、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４が所定の位置で固定される。このため、研削装置１では、環状基台２４１と研削砥石２４２とを合わせた鉛直方向の厚さが面内で均一ではなくても、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４が所定の位置で固定されると、研削砥石２４２がチャックテーブル１０の保持面１０ａに対してほぼ平行となる。
【００４３】
ホイールマウント２３にすでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４が取り付けられた後、研削装置１は、作業員による研削砥石２４２に対するドレッシング加工のための指示入力に基づいて、チャックテーブル１０に吸引保持されたドレッシングボードに対して研削加工を施すことで、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４の研削砥石２４２に対してドレッシング加工を施す。ここで、研削装置１では、研削砥石２４２が数十μｍ程度消耗されることで、研削砥石２４２がチャックテーブル１０の保持面１０ａに対して平行となる。
【００４４】
以上のように、実施形態に係る研削装置１によれば、第１の目印Ｍ１と第２の目印Ｍ２とを位置合わせすることで、円周方向に不等間隔で形成された複数の各雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈ同士を鉛直方向に連通させることができる。このため、研削装置１によれば、締結ネジＳを研削ホイール２４の雌ネジＮ２ａ〜Ｎ２ｈに締結することにより、第１の目印Ｍ１と第２の目印Ｍ２とを所定の位置に位置づけることができ、所定の位置で研削ホイール２４をホイールマウント２３に固定することができる。また、研削装置１によれば、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４では、チャックテーブル１０の回転軸とスピンドル２２の回転軸との僅かな傾き、および研削ホイール２４全体の面内厚さばらつきを所定の位置で累積させた状態で、研削砥石２４２の鉛直方向の下面がチャックテーブル１０の保持面１０ａに対して平行となっている。つまり、研削装置１によれば、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４を所定の位置でホイールマウント２３に再度装着すると、チャックテーブル１０の保持面１０ａに対して研削砥石２４２をほぼ平行とすることができる。そして、研削装置１によれば、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４をホイールマウント２３に所定の位置で固定しない場合の研削砥石２４２の消耗量が数百μｍであるのに対して、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４をホイールマウント２３に所定の位置で固定する場合の研削砥石２４２の消耗量を数十μｍにすることができる。したがって、研削装置１によれば、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４を再度装着した際のドレッシング加工による研削砥石２４２の消耗量を削減することができるという効果を奏する。
【００４５】
また、実施形態に係る研削装置１によれば、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４を再度装着した際のドレッシング加工による研削砥石２４２の消耗量を削減することで、研削ホイール２４の使用限界を延長することができる。
【００４６】
また、実施形態に係る研削装置１によれば、締結ネジＳによりホイールマウント２３に固定された研削ホイール２４は、スピンドル２２により回転される際に回転バランスが取れるよう、環状基台２４１の重量が調整されているので、回転時の振動を抑制することができる。したがって、研削装置１によれば、被加工物Ｗに対して安定した研削加工を施すことができる。
【００４７】
なお、上記の実施形態では、第１の目印Ｍ１の直近の雌ネジＮ１ａを雌ネジＮ１ｂ側に形成することで、複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈを円周方向に不等間隔に形成したが、第１の目印Ｍ１から離れた雌ネジＮ１ｄ〜Ｎ１ｆの位置をずらしてもよいし、いくつかの雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈの位置をずらすことで複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈを円周方向に不等間隔に形成してもよい。
【００４８】
また、上記の実施形態では、複数の各雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈは、円周方向に不等間隔で形成されるものであったが、回転中心から不等距離に形成されているものであってもよい。なお、複数の各雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈが回転中心から不等距離に形成されているとは、周方向に隣り合う複数の各雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈと回転中心とからなされる複数の角度は同じで、回転中心からの距離が少なくとも一つ異なることである。このように複数の各雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈを回転中心から不等距離に形成した場合であっても、各目印Ｍ１、Ｍ２同士を位置合わせすると、複数の各雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈ同士が鉛直方向に連通し、締結ネジＳにより締結可能となるように構成することで、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４を再度装着しても、チャックテーブル１０の保持面１０ａに対して研削砥石２４２を平行にすることができる。
【００４９】
また、複数の各雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈは、円周方向に不等間隔かつ回転中心から不等距離に形成されていてもよい。なお、複数の各雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈが円周方向に不等間隔かつ回転中心から不等距離で形成されているとは、周方向に隣り合う複数の雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈと回転中心とからなされる複数の角度のうち、少なくとも二つの角度が異なり、回転中心からの距離が少なくとも一つ異なることである。このように複数の各雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈを円周方向に不等間隔かつ回転中心から不等距離に形成した場合であっても、各目印Ｍ１、Ｍ２同士を位置合わせすると、複数の各雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈ同士が鉛直方向に連通し、締結ネジＳにより締結可能となるように構成することで、すでにドレッシング加工が施された研削ホイール２４を再度装着しても、チャックテーブル１０の保持面１０ａに対して研削砥石２４２を平行にすることができる。
【００５０】
また、上記の実施形態では、円周方向に不等間隔又は回転中心から不等距離で形成されるものであったが、これに限定されず、例えば、一つ、又は複数の各雌ネジＮ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈを不等穴径で形成し、不等穴径に対応する軸部Ｓａを有する締結ネジＳでホイールマウント２３に研削ホイール２４を固定するようにしてもよい。このような場合、不等穴径に対応しない締結ネジＳが雌ネジＮ２ａ〜Ｎ２ｈと螺合しないように構成することで、各目印Ｍ１、Ｍ２同士が所定の位置に位置づけられた時だけホイールマウント２３に研削ホイール２４を固定することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１  研削装置
１０  チャックテーブル
１０ａ  保持面
２０  研削手段
２１  スピンドルハウジング
２２  スピンドル
２２ａ  スピンドル先端部
２３  ホイールマウント
２３ａ  外周側面
２３ｂ  上面
２３ｃ  下面
２４  研削ホイール
２４１  環状基台
２４１ａ  装着部
２４１ｃ  外周面
２４１ｄ  自由端部
２４２  研削砥石
Ｍ１  第１の目印
Ｍ２  第２の目印
Ｎ１ａ〜Ｎ１ｈ、Ｎ２ａ〜Ｎ２ｈ  雌ネジ
Ｓ  締結ネジ
Ｗ  被加工物
【図１】
2015178149.tif 000003
【図２】
2015178149.tif 000004