(57)【要約】【課題】切削ブレードが装着されるスピンドルの向きを容易に調整できるようにする。【解決手段】切削手段１２ａは、先端に切削ブレード２０が装着されるスピンドル２１と、スピンドル２１を回転可能に支持するスピンドルハウジング２２とを備える。支持手段１３ａは、スピンドルハウジング２２の取付け面２２１に当接する支持プレート３１と、支持プレート３１とスピンドルハウジング２２との位置関係を調整する調整部３３とを備える。調整部３３は、操作レバー３３３により回動可能な円柱状の案内部３３２と、案内部３３２の軸と平行かつ案内部３３２の軸と異なる軸を中心とする円柱状で案内部３３２に接続し作用孔２２２と係合する作用部３３１とを備える。案内部３３２を回動させることにより、ねじ３４ｄを支点として支持プレート３１と取付け面２２１とを摺動させ、スピンドル２１の向きを調整することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持手段と、
先端に切削ブレードが装着されるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、を備える切削手段と、
該保持手段に保持された被加工物に切込み可能に該切削手段を支持する支持手段と、
該保持手段と該支持手段とを相対的にＸ軸方向に切削送りする切削送り手段と、
該支持手段を該Ｘ軸方向に対して直交するＹ軸方向に割出し送りする割出し送り手段と、
該支持手段を該Ｘ軸方向及び該Ｙ軸方向に対して直交するＺ軸方向に切込み送りする切込み送り手段と
を備えた切削装置であって、
該スピンドルハウジングは、該支持手段に当接する取付け面と、該取付け面に設けられた円孔の作用孔と、該取付け面に設けられた少なくとも３つのねじ孔と、を備え、
該支持手段は、該スピンドルハウジングの該取付け面に当接する支持プレートと、該支持プレートと該スピンドルハウジングとの位置関係を調整する調整部と、を備え、
該調整部は、操作レバーにより回動可能な円柱状の案内部と、該案内部の軸と平行かつ該案内部の軸と異なる軸を中心として円柱状に形成され該案内部に連結され該作用孔と係合する作用部と、を備え、
該支持プレートは、該スピンドルハウジングの各ねじ孔に螺合するねじが貫通する少なくとも３つのねじ貫通孔と、該Ｙ軸方向を長手方向とする長円状で該案内部と係合する案内孔と、を備え、
該案内部を回動させることにより、該ねじ孔のいずれかに螺合したねじを支点として該支持プレートと該取付け面とが摺動し、該スピンドルの向きを調整可能である、切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードにより被加工物を切削する切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被加工物を保持する保持手段と、保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段と、保持手段と切削手段とを相対的に切削送りする切削送り手段とを備える切削装置における切削手段において、切削ブレードが装着されるスピンドルの向きは、切削送り手段が切削送りする方向に対して垂直であることが必要である。
【０００３】
このため、スピンドルを支持するスピンドルハウジングを、スピンドルホルダーなどの支持部にねじなどで固定する構成とし、ねじを緩めてスピンドルユニットをハンマーで叩くことにより、スピンドルの向きを調整する方法が採用されている。
【０００４】
また、スピンドルの向きを調整する機構として、特許文献１には、角度設定ブロックによりスピンドルの向きを変えること機構が記載されており、また、特許文献２には、２つの部材を位置決め固定する位置決め固定部材の上側と下側とを偏心させて位置を調整する機構が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１２４１５５号公報
【特許文献２】特開２００８−８９１５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、スピンドルユニットをハンマーで叩いてスピンドルの向きを調整する方法では、スピンドルの向きを正しく調整することが難しく、熟練が必要である。また、特許文献１に記載された機構では、スピンドルの向きが角度設定ブロックによって定まるので、スピンドルの向きを微調整することができない。さらに、特許文献２に記載された機構では、２つの部材の位置のずれが、位置決め固定部材の偏心量によって定まり、位置決め固定部材を回動させても、ずれる方向が変化するだけで、ずれ量は変わらない。このため、スピンドルの向きを微調整する用途に用いることはできない。
【０００７】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、切削装置において、切削ブレードが装着されるスピンドルの向きを容易に調整できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る切削装置は、被加工物を保持する保持手段と、先端に切削ブレードが装着されるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、を備える切削手段と、該保持手段に保持された被加工物に切込み可能に該切削手段を支持する支持手段と、該保持手段に保持された被加工物に対して平行なＸ軸方向に、該保持手段と該支持手段とを相対的に移動させる切削送り手段と、該保持手段に保持された被加工物に対して平行、かつ、該Ｘ軸方向に対して垂直なＹ軸方向に、該保持手段と該支持手段とを相対的に移動させる割出し送り手段と、該Ｘ軸方向及び該Ｙ軸方向に対して垂直なＺ軸方向に、該保持手段と該支持手段とを相対的に移動させる切込み送り手段と、を備えた切削装置であって、該スピンドルハウジングは、該支持手段に当接する取付け面と、該取付け面に設けられた円孔の作用孔と、該取付け面に設けられた少なくとも３つのねじ孔と、を備え、該支持手段は、該スピンドルハウジングの該取付け面に当接する支持プレートと、該支持プレートと該スピンドルハウジングとの位置関係を調整する調整部と、を備え、該調整部は、操作レバーにより回動可能な円柱状の案内部と、該案内部の軸と平行かつ該案内部の軸と異なる軸を中心として円柱状に形成され該案内部に連結され該作用孔と係合する作用部と、を備え、該支持プレートは、該スピンドルハウジングの各ねじ孔に螺合するねじが貫通する少なくとも３つのねじ貫通孔と、該Ｙ軸方向を長手方向とする長円状で該案内部と係合する案内孔と、を備え、該案内部を回動させることにより、該ねじ孔のいずれかに螺合したねじを支点として該支持プレートと該取付け面とが摺動し、これにより該スピンドルの向きを調整可能である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る切削装置によれば、操作レバーを操作して案内部を回動させることにより、支持プレートと取付け面とを摺動させることができ、これにより、スピンドルの向きを容易に調整することができる。このため、容易に、スピンドルを切削送り方向に対して垂直にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】切削装置を示す斜視図。
【図２】切削手段及び支持手段を示す分解斜視図。
【図３】案内部及び操作レバーの別の例を示す斜視図。
【図４】切削手段と支持手段との位置関係の第一例を示す一部破断図。
【図５】切削手段と支持手段との位置関係の第二例を示す一部破断図。
【図６】切削手段と支持手段との位置関係の第三例を示す一部破断図。
【図７】切削手段と支持手段との位置関係の第四例を示す一部破断図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１に示す切削装置１０は、被加工物を保持する保持手段１１と、保持手段１１に保持された被加工物を切削する２つの切削手段１２ａ，１２ｂと、各切削手段１２ａ，１２ｂを支持する２つの支持手段１３ａ，１３ｂと、保持手段１１を±Ｘ方向に移動させる切削送り手段１４と、各支持手段１３ａ，１３ｂを±Ｚ方向に移動させる２つの切込み送り手段１５ａ，１５ｂと、各切込み送り手段１５ａ，１５ｂを±Ｙ方向に移動させる２つの割出し送り手段１６ａ，１６ｂとを備えている。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、互いに直交し、Ｘ軸及びＹ軸は水平、Ｚ軸は鉛直である。
【００１２】
保持手段１１は、ＸＹ平面に平行な保持面に載置された被加工物を、図示しない吸引源で吸引して保持する。被加工物は、例えば円板状のウェーハである。
【００１３】
切削送り手段１４は、保持手段１１を±Ｘ方向に移動させることにより、保持手段１１と支持手段１３ａ，１３ｂとを相対的にＸ軸方向に切削送りする。切削送り手段１４は、±Ｘ方向に平行なねじ軸１４２をモータ１４１が回転させることにより、ねじ軸１４２と係合した移動台１４５が、ねじ軸１４２に平行な２本のガイドレール１４３，１４４にガイドされて、±Ｘ方向に移動する構成となっている。保持手段１１は、移動台１４５に支持されており、移動台１４５の移動に伴って±Ｘ方向に移動する。
【００１４】
切込み送り手段１５ａは、支持手段１３ａを±Ｚ方向に移動させることにより、保持手段１１と支持手段１３ａとを相対的にＺ軸方向に切込み送りする。一方、切込み送り手段１５ｂは、支持手段１３ｂを±Ｚ方向に移動させることにより、保持手段１１と支持手段１３ｂとを相対的にＺ軸方向に切込み送りする。各切込み送り手段１５ａ，１５ｂは、±Ｚ方向に平行なねじ軸１５２をモータ１５１が回転させることにより、ねじ軸１５２と係合した移動台１５５が、ねじ軸１５２に平行な２本のガイドレール１５３，１５４にガイドされて、±Ｚ方向に移動する構成となっている。支持手段１３ａ及び切削手段１２ａは、移動台１５５の移動に伴って、±Ｚ方向に切込み送りされる。また、支持手段１３ｂ及び切削手段１２ｂは、移動台１５５の移動に伴って、±Ｚ方向に切込み送りされる。
【００１５】
割出し送り手段１６ａは、切込み送り手段１５ａを±Ｙ方向に移動させることにより、保持手段１１と支持手段１３ａとを相対的にＹ軸方向に割出し送りする。一方、割出し送り手段１６ｂは、切込み送り手段１５ｂを±Ｙ方向に移動させることにより、保持手段１１と支持手段１３ｂとを相対的にＹ軸方向に割出し送りする。各割出し送り手段１６ａ，１６ｂは、±Ｙ方向に平行なねじ軸１６２をモータ１６１が回転させることにより、ねじ軸１６２と係合した移動台１６５が、ねじ軸１６２に平行な２本のガイドレール１６３，１６４にガイドされて、±Ｙ方向に移動する構成となっている。割出し送り手段１６ａの移動台１６５は、切込み送り手段１５ａを支持しており、切込み送り手段１５ａ、支持手段１３ａ及び切削手段１２ａは、割出し送り手段１６ａの移動台１６５のＹ軸方向の移動に伴ってＹ軸方向に移動する構成となっている。同様に、割出し送り手段１６ｂの移動台１６５は、切込み送り手段１５ｂを支持しており、切込み送り手段１５ｂ、支持手段１３ｂ及び切削手段１２ｂは、割出し送り手段１６ｂの移動台１６５のＹ軸方向の移動に伴ってＹ軸方向に移動する構成となっている。
【００１６】
図２に示すように、切削手段１２ａは、回転するスピンドル２１と、スピンドル２１を回転可能に支持するスピンドルハウジング２２とを備える。スピンドル２１の先端には、スピンドル２１の回転軸に対して面方向が垂直になるように切削ブレード２０が装着され、回転する切削ブレード２０を図１に示した保持手段１１に保持された被加工物に切り込ませて切削を行う。切削手段１２ｂの細部は、切削手段１２ａと同様である。
【００１７】
スピンドルハウジング２２の上部（＋Ｚ方向側）には、スピンドル２１の回転軸に対して平行な平面状の取付け面２２１が設けられている。取付け面２２１は、支持手段１３ａと当接する。取付け面２２１には、円柱形状の作用孔２２２と、４つのねじ孔２２３ａ〜２２３ｄとが設けられている。
【００１８】
支持手段１３ａは、保持手段１１に保持された被加工物に切込み可能に切削手段１２ａを吊り下げ支持しており、板状の支持プレート３１と、支持プレート３１から＋Ｚ方向に立設し支持プレート３１を支持する支持柱３２と、支持プレート３１とスピンドルハウジング２２との位置関係を調整する調整部３３と、支持プレート３１とスピンドルハウジング２２とを固定する４つのねじ３４ａ〜３４ｄとを備えている。
【００１９】
支持プレート３１は、各ねじ３４ａ〜３４ｄが貫通する４つのねじ貫通孔３１１ａ〜３１１ｄと、調整部３３と係合する案内孔３１２と、案内孔３１２の底から支持面３１４（図４参照）まで貫通する調整貫通孔３１３とを備えている。
【００２０】
支持面３１４は、支持プレート３１の下面（−Ｚ方向側の面）であり、ＸＹ平面に平行であって、スピンドルハウジング２２の取付け面２２１と当接する。ねじ貫通孔３１１ａ〜３１１ｄは、ねじ孔２２３ａ〜２２３ｄに対応する位置に設けられている。ねじ貫通孔３１１ａ〜３１１ｄの内径は、ねじ３４ａ〜３４ｄの軸部の径よりもやや大きく、調整部３３によって支持プレート３１とスピンドルハウジング２２との位置関係を調整できるように、遊びが設けられている。
【００２１】
案内孔３１２と調整貫通孔３１３との重心は一致している。案内孔３１２は、±Ｙ方向を長手方向とする長円状に形成されている。なお、「長円」とは、長方形の２つの対辺に半円が結合した形状を意味する。また、調整貫通孔３１３は、±Ｘ方向を長手方向とする長円状であっても良いし、重心を中心として長円の最外周を外径とする円孔でも良く、案内孔３１２の中央に設けられている。
【００２２】
調整部３３は、円柱状の作用部３３１と、作用部３３１と連結された円柱状の案内部３３２と、案内部３３２を回動させるための操作レバー３３３とを備えている。作用部３３１は、調整貫通孔３１３に挿通され、先端が作用孔２２２と係合する。作用部３３１の径は、作用孔２２２の径より僅かに小さく作用孔２２２の中で作用部３３１は回動可能となっている。案内部３３２は、案内孔３１２と係合する。案内部３３２の高さは、案内孔３１２の深さとほぼ同じか、案内孔３１２の深さより小さい。これにより、案内部３３２が案内孔３１２に挿入されたとき、支持プレート３１の＋Ｚ方向に案内部３３２が突出しない。案内部３３２の外径は、作用部３３１の外径よりも大きく、案内孔３１２の円弧部分の径より僅かに小さく案内孔３１２の中で案内部３３２は回動および摺動可能となっている。
【００２３】
作用部３３１の＋Ｚ方向側の底面と、案内部３３２の−Ｚ方向側の底面とは連結されている。作用部３３１の中心軸は、案内部３３２の中心軸と平行であり、案内部３３２の中心軸から所定の距離ずれた位置に配置されている。操作レバー３３３は、例えばＬ字状に曲げられた六角棒状の六角レンチである。
【００２４】
案内部３３２を案内孔３１２に挿入したときに露出する案内部３３２の＋Ｚ方向側の上面には、操作レバー３３３と嵌合する六角穴が設けられている。これにより、操作レバー３３３は、案内部３３２に着脱自在に装着される。操作レバー３３３を案内部３３２に装着し、作業員が操作レバー３３３を回動させることにより、案内部３３２を回動させることができる。
なお、図３に示すように、案内部３３２ａの高さを案内孔３１２ａの深さより高く形成している場合、案内部３３２ａを案内孔３１２ａに挿入したときに露出する案内部３３２ａの側面３３２ｂに操作レバー３３３ａを挿入する挿入穴３３２ｃを設け、挿入穴３３２ｃに操作レバー３３３ａを挿入し、図３（ｂ），（ｃ）に示すように作業員が操作レバー３３３ａにより案内部３３２ａを回動させることができる。
【００２５】
ねじ３４ａ〜３４ｄは、切削手段１２ａと支持手段１３ａとを締結して、回動しないように固定する。ねじ３４ａは、ねじ貫通孔３１１ａに挿通され、ねじ孔２２３ａに螺合する。ねじ３４ｂは、ねじ貫通孔３１１ｂに挿通され、ねじ孔２２３ｂに螺合する。ねじ３４ｃは、ねじ貫通孔３１１ｃに挿通され、ねじ孔２２３ｃに螺合する。ねじ３４ｄは、ねじ貫通孔３１１ｄに挿通され、ねじ孔２２３ｄに螺合する。
なお、支持手段１３ｂの細部は支持手段１３ａと同様であり、支持手段１３ｂは、保持手段１１に保持された被加工物に切込み可能に切削手段１２ｂを吊り下げ支持している。
【００２６】
切削ブレード２０はスピンドル２１の回転軸に対して垂直に装着され、切削送り手段１４は保持手段１１を±Ｘ方向に切削送りをするので、スピンドル２１の回転軸は、±Ｘ方向に対して垂直であることが必要である。支持プレート３１はＸＹ平面に平行であり、支持プレート３１に当接する取付け面２２１はスピンドル２１の回転軸に平行であるから、スピンドル２１の回転軸は、ＸＹ平面に平行である。そこで、スピンドル２１の回転軸が、ＸＹ平面内で、±Ｘ方向に対して垂直になるように、切削手段１２ａを支持手段１３ａに固定する。
【００２７】
例えば、ねじ３４ａ〜３４ｄをねじ貫通孔３１１ａ〜３１１ｄに挿通し、ねじ３４ａ〜３４ｄの先端をねじ孔２２３ａ〜２２３ｄに螺合させて、支持プレート３１と取付け面２２１とを当接させる。このとき、ねじ３４ａ〜３４ｃは、支持プレート３１と取付け面２２１とが摺動可能なように、比較的小さいトルクで仮締めする。残る１つのねじ３４ｄは、回動の支点とするため、他のねじ３４ａ〜３４ｃよりも大きいトルクで仮締めする。
【００２８】
この状態で、スピンドル２１の回転軸の向きを測定する。例えば、スピンドル２１の先端に、切削ブレード２０ではなく、ダイヤルゲージをスピンドル２１の回転軸から離れた位置に装着し、ストレッチを、長手方向が±Ｘ方向と平行になるように、保持手段１１に保持して、ダイヤルゲージの測定子をストレッチに接触させる。スピンドル２１を回転させてもダイヤルゲージの目盛りが変化しなければ、スピンドル２１の回転軸が±Ｘ方向に垂直になっている。
【００２９】
スピンドル２１の回転軸が±Ｘ方向に垂直でない場合は、調整部３３を回動させることにより、スピンドル２１の回転軸の向きを調整して、スピンドル２１の回転軸を±Ｘ方向に垂直にする。そして、スピンドル２１の回転軸が±Ｘ方向に垂直になった場合は、ねじ３４ａ〜３４ｄを所定のトルクで本締めし、切削手段１２ａと支持手段１３ａとを固定する。
【００３０】
図４に示すように、操作レバー３３３を操作することにより、案内部３３２を回動させて、作用部３３１の中心軸を、案内部３３２の中心軸から見て−Ｙ方向に配置した場合、作用部３３１は、調整貫通孔３１３の±Ｘ方向における中央に位置する。作用部３３１の先端が作用孔２２２に挿入されて係合しているので、作用孔２２２は、調整貫通孔３１３の±Ｘ方向における中央に位置している。
【００３１】
図４に示した状態から、図５に示すように、操作レバー３３３を時計回りに回転させる操作をすることにより、案内部３３２を回動させて、作用部３３１の中心軸を、案内部３３２の中心軸から見て−Ｘ方向に配置した場合、作用部３３１は、調整貫通孔３１３の−Ｘ方向における端に位置する。作用部３３１の先端が作用孔２２２に係合しているので、作用孔２２２は、調整貫通孔３１３の−Ｘ方向における端に位置することとなり、回転軸２１１は、ＸＹ平面内で、図４の状態よりも反時計回りに回動した向きになる。
【００３２】
図５に示した状態から、図６に示すように、操作レバー３３３を時計回りに回転させる操作をすることにより、案内部３３２を更に回動させて、作用部３３１の中心軸を、案内部３３２の中心軸から見て＋Ｙ方向に配置した場合、作用部３３１は、調整貫通孔３１３の±Ｘ方向における中央に位置する。作用部３３１の先端が作用孔２２２に係合しているので、作用孔２２２は、調整貫通孔３１３の±Ｘ方向における中央に位置することとなり、回転軸２１１は、ＸＹ平面内で、図４の状態と同じ向きに戻る。
【００３３】
図６に示した状態から、図７に示すように、操作レバー３３３を時計回りに回転させる操作をすることにより、案内部３３２を更に回動させて、作用部３３１の中心軸を、案内部３３２の中心軸から見て＋Ｘ方向に配置した場合、作用部３３１は、調整貫通孔３１３の＋Ｘ方向における端に位置する。作用部３３１の先端が作用孔２２２に係合しているので、作用孔２２２は、調整貫通孔３１３の＋Ｘ方向における端に位置することとなり、回転軸２１１は、ＸＹ平面内で、図４及び図６の状態よりも時計回りに回動した向きになる。
【００３４】
このように、調整部３３を回動させることにより、作用孔２２２の位置を±Ｘ方向に移動させることができる。図４〜図７の例では、調整部３３を９０度ずつ回動させた場合について説明したが、調整部３３を回動させる向きを細かく調整すれば、作用孔２２２の位置を、調整貫通孔３１３の±Ｘ方向における任意の位置に配置することができるので、回転軸２１１の向きを、図５に示した向きと図７に示した向きとの間で任意の向きに調整することができる。
【００３５】
また、操作レバー３３３を操作して案内部３３２を回動させることにより、支持プレート３１と取付け面２２１とを摺動させることができ、これにより、熟練を要することなく、簡単にスピンドル２１の向きを微調整することができる。このため、スピンドル２１を切削送り方向に対して垂直にすることが容易にでき、調整作業にかかる時間を短縮することができる。
【００３６】
スピンドル２１の向きの調整が終わったのち、操作レバー３３３を案内部３３２に装着したままにしておくと、誤って操作レバー３３３を動かし、スピンドル２１の向きが変わってしまう可能性があるので、操作レバー３３３を案内部３３２から外しておく。これにより、誤って操作レバー３３３を動かし、スピンドル２１の向きが変わるのを防ぐことができる。
【００３７】
なお、取付け面２２１を、スピンドルハウジング２２の＋Ｚ方向の側ではなく、−Ｘ方向の側あるいは＋Ｘ方向の側に設け、これに伴って、支持プレート３１の支持面３１４を、ＸＹ平面に平行ではなく、ＹＺ平面に平行に設ける構成であってもよい。その場合、スピンドル２１の回転軸２１１の向きを、ＹＺ平面内で調整することができる。このため、切削ブレード２０が被加工物に対して切り込む角度を調整することができ、例えば、切削ブレード２０が被加工物に対して垂直に切り込むように調整することができる。
【００３８】
さらに、取付け面２２１及び支持面３１４の向きを、他の任意の向きとする構成であってもよい。その場合、支持面３１４と平行な平面内で、スピンドル２１の回転軸２１１の向きを調整することができる。
【００３９】
以上説明した実施形態は、一例であり、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、以下のように、本質的でない部分の構成を、他の構成に置き換えてもよい。
【００４０】
ねじ、ねじ孔及びねじ貫通孔の数は、４つに限らない。切削手段と支持手段とを回動しないようにしっかりと固定するためには、３つ以上のねじで固定することが望ましい。
【００４１】
また、案内孔３１２は、支持プレート３１の±Ｘ方向における中央に配置される必要はなく、＋Ｘ方向あるいは−Ｘ方向に偏った位置に配置される構成であってもよい。さらに、案内孔３１２は、支持プレートの＋Ｙ方向の側に配置される必要はなく、−Ｙ方向の側に配置される構成であってもよい。
【００４２】
また、調整貫通孔３１３を設けず、案内孔３１２が支持プレート３１を貫通している構成であってもよい。また、案内孔３１２をもっと支持柱３２に近い位置に設けてもよい。操作レバー３３３が取り外し可能なので、案内孔３１２を支持柱３２に近い位置に設けても、操作レバー３３３が支持柱２１に干渉することなく、案内部３３２を回動させることができる。なお、操作レバー３３３は、取り外し可能でなく、案内部３３２に固定された構成であってもよい。
【００４３】
スピンドル２１の向きを調整するときに支点とするねじは、どのねじであってもよいが、案内孔３１２から見て±Ｙ方向に離れた位置のねじであることが望ましい。支点とするねじと案内孔３１２との間の距離が遠いほど、作用部３３１の移動によるスピンドル２１の向きの変化が小さくなるので、微調整が可能となる。したがって、案内孔３１２が支持プレート３１の＋Ｙ方向の側に配置されている場合には、−Ｙ方向の側に設けられたねじ貫通孔のいずれかを貫通するねじを支点とすることが望ましく、案内孔３１２が支持プレート３１の−Ｙ方向の側に配置されている場合には、＋Ｙ方向の側に設けられたねじ貫通孔のいずれかを貫通するねじを支点とすることが望ましい。
【００４４】
案内孔３１２の長手方向は、必ずしも±Ｙ方向に平行でなくてもよい。ただし、調整部３３の作用部３３１は、案内孔３１２の長手方向に対して直角の方向に移動するので、案内孔３１２の長手方向は、支点とするねじと案内孔３１２とを結ぶ直線の向きに近い向きであることが望ましい。
【００４５】
調整部３３の数は、１つに限らず、２つ以上であってもよい。例えば、支持プレート３１の＋Ｙ方向側と−Ｙ方向側との２箇所に案内孔を設け、取付け面２２１の対応する位置にそれぞれ作用孔を設ける。この場合、いずれかのねじを支点とするのではなく、一方の調整部の作用部を支点とし、もう一方の調整部を回動させることにより、スピンドルの向きを調整する構成であってもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１０  切削装置、１１  保持手段、
１２ａ，１２ｂ  切削手段、
２０  切削ブレード、２１  スピンドル、２１１  回転軸、
２２  スピンドルハウジング、２２１  取付け面、２２２  作用孔、
２２３ａ〜２２３ｄ  ねじ孔、
１３ａ，１３ｂ  支持手段、
３１  支持プレート、
３１１ａ〜３１１ｄ  ねじ貫通孔、３１２  案内孔、３１３  調整貫通孔、
３１４  支持面、３２  支持柱、３３  調整部、３３１  作用部、３３２  案内部、
３３３  操作レバー、３４ａ〜３４ｄ  ねじ
１４  切削送り手段、
１４１  モータ、１４２  ねじ軸、１４３，１４４  ガイドレール、１４５  移動台
１５ａ，１５ｂ  切込み送り手段、
１５１  モータ、１５２  ねじ軸、１５３，１５４  ガイドレール、１５５  移動台
１６ａ，１６ｂ  割出し送り手段、
１６１  モータ、１６２  ねじ軸、１６３，１６４  ガイドレール、１６５  移動台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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