(57)【要約】【課題】接着剤の塗布ムラを防ぐことが可能なフィルム、フィルムの製造方法、貼付装置及び貼付方法を提供すること。【解決手段】帯状に形成され、表裏に配置される第一面及び第二面を有する第一フィルム部材と、前記第一フィルム部材の第一面に対向して配置され、前記第一フィルム部材との対向面に粘着層を有し、前記粘着層を介して前記第一面に粘着された第二フィルム部材とを備え、前記第一フィルム部材の前記第二面に液状の接着剤が塗布され、前記接着剤を介して所定の基板に貼り合わされるフィルムであって、前記第一フィルム部材の短手方向である所定方向において、前記粘着層の端面は、前記第一面の内側に配置されている。【選択図】図１
2015047765.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状に形成され、表裏に配置される第一面及び第二面を有する第一フィルム部材と、
前記第一フィルム部材の第一面に対向して配置され、前記第一フィルム部材との対向面に粘着層を有し、前記粘着層を介して前記第一面に粘着された第二フィルム部材と
を備え、前記第一フィルム部材の前記第二面に液状の接着剤が塗布され、前記接着剤を介して所定の基板に貼り合わされるフィルムであって、
前記第一フィルム部材の短手方向である所定方向において、前記粘着層の端面は、前記第一面の内側に配置されている
フィルム。
【請求項２】
前記所定方向において、前記第二フィルム部材の端面は、前記第一面の内側に配置されている
請求項１に記載のフィルム。
【請求項３】
前記粘着層の前記端面と前記第二フィルム部材の前記端面とが、面一状態となっている
請求項２に記載のフィルム。
【請求項４】
帯状に形成され、表裏に配置される第一面及び第二面を有する第一フィルム部材と、
前記第一フィルム部材の第一面に対向して配置され、前記第一フィルム部材との対向面に粘着層を有し、前記粘着層を介して前記第一面に粘着された第二フィルム部材と
を備え、前記第一フィルム部材の前記第二面に液状の接着剤が塗布され、前記接着剤を介して所定の基板に貼り合わされるフィルムの製造方法であって、
前記第一フィルム部材の短手方向である所定方向において前記粘着層の端面が前記第一面の内側に配置されるように前記第二フィルム部材に前記粘着層を配置する工程と、
前記粘着層を配置した後、前記粘着層を前記第一フィルム部材の前記第一面に粘着させる工程と
を含むフィルムの製造方法。
【請求項５】
前記粘着層を配置する工程は、前記第二フィルム部材のほぼ全面に前記粘着層を塗布した後、前記所定方向における前記粘着層の端部を除去することを含む
請求項４に記載のフィルムの製造方法。
【請求項６】
前記粘着層を配置する工程は、前記所定方向において前記第二フィルム部材の端部を空けるように前記粘着層を塗布することを含む
請求項４又は請求項５に記載のフィルムの製造方法。
【請求項７】
帯状に形成され、表裏に配置される第一面及び第二面を有する第一フィルム部材と、
前記第一フィルム部材の第一面に対向して配置され、前記第一フィルム部材との対向面に粘着層を有し、前記粘着層を介して前記第一面に粘着された第二フィルム部材と
を備えるフィルムを基板に貼り付ける貼付装置であって、
前記フィルムとして、前記第一フィルム部材の短手方向である第一方向において、前記粘着層の端面が前記第一面の内側に配置されているフィルムが用いられ、
前記第一方向に交差する第二方向に前記フィルムを搬送する搬送部と、
前記搬送部によって前記フィルムが搬送された状態で、前記第一フィルム部材の前記第一面及び前記第一面の前記所定方向の両端からはみ出す部分に液状の接着剤を吐出することで前記第一面に前記接着剤を塗布する塗布部と、
前記接着剤が塗布された前記第一フィルム部材の前記第一面を前記基板に貼り付ける貼付部と
を備える貼付装置。
【請求項８】
前記塗布部は、ミスト状の前記接着剤を吐出するノズルを有する
請求項７に記載の貼付装置。
【請求項９】
帯状に形成され、表裏に配置される第一面及び第二面を有する第一フィルム部材と、
前記第一フィルム部材の第一面に対向して配置され、前記第一フィルム部材との対向面に粘着層を有し、前記粘着層を介して前記第一面に粘着された第二フィルム部材と
を備えるフィルムを基板に貼り付ける貼付方法であって、
前記フィルムとして、前記第一フィルム部材の短手方向である第一方向において、前記粘着層の端面が前記第一面の内側に配置されているフィルムを用いることとし、
前記第一方向に交差する第二方向に前記フィルムを搬送する搬送工程と、
前記フィルムが搬送された状態で、前記第一フィルム部材の前記第一面及び前記第一面の前記所定方向の両端からはみ出す部分に液状の接着剤を吐出することで前記第一面に前記接着剤を塗布する塗布工程と、
前記接着剤が塗布された前記第一フィルム部材の前記第一面を前記基板に貼り付ける貼付工程と
を含む貼付方法。
【請求項１０】
前記塗布工程は、ミスト状の前記接着剤を吐出することを含む
請求項９に記載の貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム、フィルムの製造方法、貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フィルムを搬送しつつ、基板に貼り付ける貼り付け装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このようなフィルムとして、基板に貼り付けられる貼付用シートと、搬送時に当該貼付用シートの表面を保護する保護シートとが粘着層を介して貼り合わされた構成となっている。
【０００３】
このフィルムを基板に貼り付ける場合、貼り付け動作を行う前に貼付用シートの表面に接着剤を塗布する必要がある。この場合の塗布技術として、例えばミスト状の接着剤を塗布するスプレー法が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４５６８３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、スプレー法によって接着剤を塗布する場合、貼付用シートの端部において塗布ムラが発生する場合があった。接着剤の塗布ムラが発生すると、貼付用シートの端部の一部が基板に対して剥がれる場合があるため、対策が求められていた。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明は、接着剤の塗布ムラを防ぐことが可能なフィルム、フィルムの製造方法、貼付装置及び貼付方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第一の態様に係るフィルムは、帯状に形成され、表裏に配置される第一面及び第二面を有する第一フィルム部材と、前記第一フィルム部材の第一面に対向して配置され、前記第一フィルム部材との対向面に粘着層を有し、前記粘着層を介して前記第一面に粘着された第二フィルム部材とを備え、前記第一フィルム部材の前記第二面に液状の接着剤が塗布され、前記接着剤を介して所定の基板に貼り合わされるフィルムであって、前記第一フィルム部材の短手方向である所定方向において、前記粘着層の端面は、前記第一面の内側に配置されている。
【０００８】
本発明の発明者により、第一フィルム部材の端部で接着剤と粘着層とが干渉することで塗布ムラが発生しやすくなることが見出された。これに対して、本発明によれば、第一フィルム部材の短手方向である所定方向において、粘着層の端面が第一面の内側に配置されているため、第一フィルム部材の第二面に液状の接着剤を塗布する場合、第一フィルム部材の端部で接着剤と粘着層とが干渉するのを防ぐことができる。これにより、接着剤の塗布ムラを防ぐことができる。
【０００９】
上記フィルムにおいて、前記所定方向において、前記第二フィルム部材の端面は、前記第一面の内側に配置されている。  
本発明によれば、所定方向において、接着層と同様に第二フィルム部材の端面が第一面の内側に配置されているため、第二フィルム部材上に接着層を配置しやすい構成となる。
【００１０】
上記フィルムにおいて、前記粘着層の前記端面と前記第二フィルム部材の前記端面とが、面一状態となっている。  
本発明によれば、粘着層の端面と第二フィルム部材の端面とが面一状態となっているため、第二フィルム部材上に接着層を配置しやすい構成となる。
【００１１】
本発明の第二の態様に係るフィルムの製造方法は、帯状に形成され、表裏に配置される第一面及び第二面を有する第一フィルム部材と、前記第一フィルム部材の第一面に対向して配置され、前記第一フィルム部材との対向面に粘着層を有し、前記粘着層を介して前記第一面に粘着された第二フィルム部材とを備え、前記第一フィルム部材の前記第二面に液状の接着剤が塗布され、前記接着剤を介して所定の基板に貼り合わされるフィルムの製造方法であって、前記第一フィルム部材の短手方向である所定方向において前記粘着層の端面が前記第一面の内側に配置されるように前記第二フィルム部材に前記粘着層を配置する工程と、前記粘着層を配置した後、前記粘着層を前記第一フィルム部材の前記第一面に粘着させる工程とを含む。
【００１２】
本発明によれば、第一フィルム部材の短手方向である所定方向において粘着層の端面が第一面の内側に配置されるように第二フィルム部材に粘着層を配置し、粘着層を配置した後、粘着層を第一フィルム部材の第一面に粘着させることとしたので、第一フィルム部材の第二面に液状の接着剤を塗布する場合、第一フィルム部材の端部で接着剤と粘着層とが干渉するのを防ぐことができる。これにより、接着剤の塗布ムラを防ぐことができる。
【００１３】
上記フィルムの製造方法において、前記粘着層を配置する工程は、前記第二フィルム部材のほぼ全面に前記粘着層を塗布した後、前記所定方向における前記粘着層の端部を除去することを含む。  
本発明によれば、第二フィルム部材のほぼ全面に粘着層を塗布した後、所定方向における粘着層の端部を除去することにより、粘着層を第二フィルム部材上に容易に配置することができる。
【００１４】
上記フィルムの製造方法において、前記粘着層を配置する工程は、前記所定方向において前記第二フィルム部材の端部を空けるように前記粘着層を塗布することを含む。  
本発明によれば、所定方向において第二フィルム部材の端部を空けるように粘着層を塗布することにより、粘着層を第二フィルム部材上に容易に配置することができる。
【００１５】
本発明の第三の態様に係る貼付装置は、帯状に形成され、表裏に配置される第一面及び第二面を有する第一フィルム部材と、前記第一フィルム部材の第一面に対向して配置され、前記第一フィルム部材との対向面に粘着層を有し、前記粘着層を介して前記第一面に粘着された第二フィルム部材とを備えるフィルムを基板に貼り付ける貼付装置であって、前記フィルムとして、前記第一フィルム部材の短手方向である第一方向において、前記粘着層の端面が前記第一面の内側に配置されているフィルムが用いられ、前記第一方向に交差する第二方向に前記フィルムを搬送する搬送部と、前記搬送部によって前記フィルムが搬送された状態で、前記第一フィルム部材の前記第一面及び前記第一面の前記所定方向の両端からはみ出す部分に液状の接着剤を吐出することで前記第一面に前記接着剤を塗布する塗布部と、前記接着剤が塗布された前記第一フィルム部材の前記第一面を前記基板に貼り付ける貼付部とを備える。
【００１６】
本発明によれば、第一フィルム部材の短手方向である第一方向において粘着層の端面が第一面の内側に配置されているフィルムを基板に貼り付ける貼付装置において、第一フィルム部材の第二面に液状の接着剤を塗布する場合、第一フィルム部材の端部で接着剤と粘着層とが干渉するのを防ぐことができる。これにより、接着剤の塗布ムラを防ぐことができる。したがって、その後、接着剤が塗布された第一フィルム部材の第二面を基板に貼り付ける場合、ムラ無く均一にフィルムを基板に貼り付けることができる。
【００１７】
上記の貼付装置において、前記塗布部は、ミスト状の前記接着剤を吐出するノズルを有する。  
本発明によれば、ノズルからフィルムに対してミスト状の接着剤を吐出する場合であっても、第一フィルム部材の端部で接着剤と粘着層とが干渉するのを防ぐことができるため、高速度で塗布動作を行うことが可能となる。
【００１８】
本発明の第四の態様に係る貼り付け方法は、帯状に形成され、表裏に配置される第一面及び第二面を有する第一フィルム部材と、前記第一フィルム部材の第一面に対向して配置され、前記第一フィルム部材との対向面に粘着層を有し、前記粘着層を介して前記第一面に粘着された第二フィルム部材とを備えるフィルムを基板に貼り付ける貼付方法であって、前記フィルムとして、前記第一フィルム部材の短手方向である第一方向において、前記粘着層の端面が前記第一面の内側に配置されているフィルムを用いることとし、前記第一方向に交差する第二方向に前記フィルムを搬送する搬送工程と、前記フィルムが搬送された状態で、前記第一フィルム部材の前記第一面及び前記第一面の前記所定方向の両端からはみ出す部分に液状の接着剤を吐出することで前記第一面に前記接着剤を塗布する塗布工程と、前記接着剤が塗布された前記第一フィルム部材の前記第一面を前記基板に貼り付ける貼付工程とを含む。
【００１９】
本発明によれば、第一フィルム部材の短手方向である第一方向において粘着層の端面が第一面の内側に配置されているフィルムを基板に貼り付けるときに、第一フィルム部材の第二面に液状の接着剤を塗布する場合、第一フィルム部材の端部で接着剤と粘着層とが干渉するのを防ぐことができる。これにより、接着剤の塗布ムラを防ぐことができる。したがって、その後、接着剤が塗布された第一フィルム部材の第二面を基板に貼り付ける場合、ムラ無く均一にフィルムを基板に貼り付けることができる。
【００２０】
上記の貼付方法において、前記塗布工程は、ミスト状の前記接着剤を吐出することを含む。  
本発明によれば、ノズルからフィルムに対してミスト状の接着剤を吐出する場合であっても、第一フィルム部材の端部で接着剤と粘着層とが干渉するのを防ぐことができるため、高速度で塗布動作を行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、接着剤の塗布ムラを防ぐことが可能なフィルム、フィルムの製造方法、貼付装置及び貼付方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施形態に係るフィルムの構成を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図２】本実施形態に係るフィルムの製造過程を示す断面図である。
【図３】本実施形態に係るフィルムの他の構成を示す断面図である。
【図４】図３に記載のフィルムの製造過程を示す断面図である。
【図５】実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す側面図。
【図６】第１吸着ローラーおよび第２吸着ローラーの概略構成を示す断面図。
【図７】カッター部の概略構成を及びフィルムの積層構造を示す図。
【図８】塗布部の要部構成を示す概略図。
【図９】本実施形態におけるフィルムに対するノズル先端の動きを表した図。
【図１０】回動部を有しない場合のノズル先端の動きを表した図。
【図１１】塗布部の周辺構成を示す概略図。
【図１２】ミスト回収機構の構成を示す概略図。
【図１３】膜厚調整機構の周辺構成を示す図。
【図１４】フィルムに接着剤を塗布して基板に貼り付ける様子を示す断面図。
【図１５】貼付装置によるフィルムの貼付工程を説明するフロー図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。  
図１（ａ）は、本実施形態に係るフィルム６０の構成を示す斜視図である。  
図１（ａ）に示すように、フィルム６０は、一の方向（第一方向）Ｄ１に長手となるように帯状に形成されており、所定の芯部材に巻かれたロール体Ｒとして形成されている。
【００２４】
図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ断面に沿った構成を示す図である。  
図１（ａ）に示すように、フィルム６０は、第一フィルム部材６１と、第二フィルム部材６２と、粘着層６３とを有している。フィルム６０は、第一フィルム部材６１と第二フィルム部材６２とが粘着層６３によって貼り合わされた構成となっている
第一フィルム部材６１は、例えばポリイミドなどの樹脂材料を用いて形成されている。第一フィルム部材６１は、表裏に形成された第一面６１ａ及び第二面６１ｂを有している。第二フィルム部材６２は、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）などの樹脂材料を用いて形成されている。第二フィルム部材６２は、表裏に形成された第一面６２ａ及び第二面６２ｂを有している。第二フィルム部材６２の第一面６２ａは、第一フィルム部材６１の第一面６１ａに対向して配置されている。
【００２５】
粘着層６３は、第一フィルム部材６１の第一面６１ａと第二フィルム部材６２の第一面６２ａとを貼り合わせている。粘着層６３のうちフィルム６０の短手方向（第二方向）Ｄ２の両端面６３ｃ、６３ｄは、第一フィルム部材６１ａの内側に配置されている。したがって、第一フィルム部材６１のうち第二方向Ｄ２の両端面６１ｃ、６１ｄは、接着層６３の端面６３ｃ、６３ｄに対して、それぞれ第二方向にはみ出すように配置されている。このため、第一フィルム部材６１の第一面６１ａの周縁部は、接着層６３に対して露出した状態となっている。
【００２６】
第二フィルム部材６２のうち第二方向Ｄ２の両端面６２ｃ、６２ｄは、接着層６３の端面６３ｃ、６３ｄと面一状態となっている。このため、第二フィルム部材６２の第一面６２ａは、略全面が接着層６３によって覆われた構成となっている。また、第二方向Ｄ２において、第二フィルム部材６２の端面６２ｃ、６２ｄは、第一フィルム部材６１の第一面６１ａの内側に配置されている。
【００２７】
図２は、上記のように構成されたフィルム６０の製造過程を示す図である。  
図２（ａ）に示すように、まず、第二フィルム材６２の第一面６２ａ上に粘着層６３を形成する。このとき、第二方向Ｄ２において粘着層６３の端面６３ｃ、６３ｄが第二フィルム材６２の端面６２ｃ、６２ｄと面一状態となるように粘着層６３を配置する。
【００２８】
次に、図２（ｂ）に示すように、粘着層６３に第一フィルム材６１を貼り合わせるまでの間、粘着層６３の表面にカバーフィルム６４を貼り合わせて粘着層６３の表面を保護する。カバーフィルム６４は、第二フィルム材６２と同一の材料を用いて、第二フィルム材６２と同一の形状及び寸法に形成されている。このようなカバーフィルム６４を粘着層６３に貼り合わせることにより、粘着層６３の表面に埃などの不純物が付着するのを防ぐことができる。カバーフィルム６４を貼り合わせた状態で、第一フィルム材６１を貼り合わせる所定の貼合装置まで第二フィルム材６２及び粘着層６３を搬送する。
【００２９】
次に、第二フィルム材６２及び粘着層６３を貼合装置まで搬送した後、図２（ｃ）に示すように、カバーフィルム６４を粘着層６３から引き剥がす。その後、図２（ｄ）に示すように、粘着層６３の表面に第一フィルム材６１を貼り合わせる。このとき、第二方向Ｄ２において粘着層６３の端面６３ｃ、６３ｄが第一フィルム材６１の第一面６１ａの内側に配置されるように位置合わせを行う。これにより、第一フィルム材６１と第二フィルム材６２とが粘着層６３によって貼り合わされた状態で、フィルム６０が形成される。このフィルム６０は、ロールＲの状態で搬送される。
【００３０】
図３は、本実施形態に係るフィルム６０Ａの構成を示す斜視図である。  
図３に示すように、フィルム６０Ａは、第二方向Ｄ２における第二フィルム材６２Ａの寸法がフィルム６０の第二フィルム材６２よりも大きくなっている。つまり、第二方向Ｄ２における第二フィルム材６２Ａの端面６２Ａｃ、６２Ａｄは、接着層６３の端面６３ｃ、６３ｄよりも外側に配置されている。なお、図３において、第二フィルム材６２Ａの端面６２Ａｃ、６２Ａｄは、第一フィルム材６１の第一面６１ａの内側に配置されているが、これに限られることは無く、例えば第２フィルム６２Ａの端面６２Ａｃ、６２Ａｄが第一フィルム材６１の端面６１ｃ、６１ｄと面一状態となっていてもよい。
【００３１】
図４は、フィルム６０Ａの製造過程を示す図である。  
図４（ａ）に示すように、第二フィルム材６２Ａの第一面６２Ａａの略全面に粘着部６３Ａを形成する。その後、図４（ｂ）に示すように、第二方向Ｄ２における粘着部６３Ａの両端部を内側に除去することにより、粘着層６３が形成される。第二方向Ｄ２における粘着層６３の両端面６３ｃ、６３ｄは、第二フィルム材６２Ａの第一面６２Ａａの内側に配置される。次に、図４（ｃ）に示すように、第一フィルム材６１を粘着層６３の表面に貼り合わせる。このとき、第二方向Ｄ２において粘着層６３の端面６３ｃ、６３ｄが第一フィルム材６１の第一面６１ａの内側に配置されるように位置合わせを行う。これにより、第一フィルム材６１と第二フィルム材６２Ａとが粘着層６３によって貼り合わされた状態で、フィルム６０Ａが形成される。このフィルム６０Ａは、フィルム６０と同様にロールの状態で搬送される。
【００３２】
次に、上記のフィルム（６０、６０Ａ）を基板に貼り付ける貼付装置に係る一実施形態について説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内におけるフィルムの搬送方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。本実施形態に係る貼付装置は、長尺状の保護材及び主フィルム材が貼り合わされてなるフィルムをロール状に巻回したロール体から巻き解いたフィルムを搬送しながらフィルムから保護材と主フィルム材とを分離し、主フィルム材を基板に貼り付ける装置に関するものである。
【００３３】
図５は本実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す側面図である。  
図５に示すように、貼付装置１００は、装置筐体１０１、基板供給部１０２、基板移動部１０３、フィルム搬送部１０４、フィルム貼付部１０５、貼付補助部１３５、塗布部１０６、及び加熱部１０７を備えている。
【００３４】
基板供給部１０２は、装置筐体１０１内に基板１を移動させることで供給するためのものである。基板供給部１０２は、フィルム貼付前の基板１を複数保持するカセット１０２ａと、該カセット１０２ａの内部から基板１を引き出し可能な駆動部１０２ｂと、を有している。なお、カセット１０２ａは、内部に保持する基板１を駆動部１０２ｂに引き渡し可能な位置まで下降可能な構成となっている。これにより、基板供給部１０２は、駆動部１０２ｂによってカセット１０２ａ内から複数の基板１を順次装置筐体１０１側に供給可能となっている。
【００３５】
基板移動部１０３は、基板１を所定位置（フィルム貼り付け位置）まで移動させるとともに、フィルムの貼り付け後に基板１を装置筐体１０１から搬出するための搬出位置まで移動させる。基板移動部１０３は、第１基板搬送ローラー部３０、第２基板搬送ローラー部３１、第３基板搬送ローラー部３２、第４基板搬送ローラー部３３、及び第５基板搬送ローラー部３４を有している。
【００３６】
第３基板搬送ローラー部３２は、不図示の駆動モーターにより駆動される搬送ローラー（第１搬送ローラー）３２ａから構成されるものである。搬送ローラー３２ａはフィルム搬送部１０４におけるフィルムの貼付作業を行うためのフィルム貼付ローラー４０との間で基板１を挟持する構成となっている。これにより、搬送ローラー３２ａ上の基板１にフィルムを貼り付け可能となっている。すなわち、搬送ローラー３２ａ及びフィルム貼付ローラー４０は、本発明に係るフィルム貼付部１０５を構成している。
【００３７】
第１基板搬送ローラー部３０は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー３０ａを有している。これにより、第１基板搬送ローラー部３０は、基板供給部１０２から供給された基板１を受け取って装置筐体１０１内へと導くようになっている。
【００３８】
第２基板搬送ローラー部３１は、フィルム貼付部１０５を介して、第３基板搬送ローラー部３３と対向するように配置されている。
【００３９】
第２基板搬送ローラー部３１は、複数（本実施形態では３つ）のローラー対１３１を有している。各ローラー対１３１は、下側ローラー３１ａ及び上側ローラー３１ｂを有している。基板１は、これらローラー３１ａ，３１ｂ間に挟持された状態で搬送されるようになっている。
【００４０】
第４基板搬送ローラー部３３は、フィルム搬送部１０４でフィルムが貼り付けられた基板１を受け取るようになっている。第４基板搬送ローラー部３３は、複数（本実施形態では２つ）のローラー対１３３を有している。各ローラー対１３３は、下側ローラー３３ａ及び上側ローラー３３ｂを有している。基板１は、これらローラー３３ａ，３３ｂ間に挟持された状態で搬送されるようになっている。
【００４１】
第３基板搬送ローラー部３２及び第４基板搬送ローラー部３３との間には、貼付補助部１３５が配置されている。貼付補助部１３５は、搬送ローラー（第２搬送ローラー）１３５ａと、貼付補助ローラー１３５ｂと、を有している。貼付補助ローラー１３５ｂは、搬送ローラー１３５ａに対して進退可能とされている。
【００４２】
貼付補助部１３５は、基板１を搬送する搬送ローラー１３５ａに対して貼付補助ローラー１３５ｂを近づけることで該貼付補助ローラー１３５ｂ及び搬送ローラー１３５ａ間に基板１を挟むことが可能となっている。なお、貼付補助ローラー１３５ｂを昇降させる駆動部は、搬送ローラー１３５ａとの間で基板１に押し付け力を付与する。上記駆動部は、例えばシリンダーやモーター等から構成され、該駆動部を制御することで上記押し付け力が制御される。上記駆動部は、基板１のサイズと搬送時間に基づいて貼付補助ローラー１３５ｂを昇降させるタイミングを規定する。
【００４３】
貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向（＋Ｘ方向）における後端に当接し、後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟む。
なお、貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向における後端の時点で当接していればよく、基板１の当接開始位置は特に限定されない。すなわち、貼付補助ローラー１３５ｂは、基板１の半分から当接を開始してもよいし、基板１の搬送方向先端から当接を開始してもよい。
【００４４】
このようにフィルム貼付部１０５がフィルムの搬送方向（＋Ｘ方向）における後端のエッジ部を抑えることでフィルムの後端の切断部分を確実に基板１に接着し、基板１の全面に亘ってフィルムを良好に接着することができる。
【００４５】
第５基板搬送ローラー部３４は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー３４ａを有している。これにより、第５基板搬送ローラー部３４は、第４基板搬送ローラー部３３から搬送された基板１を受け取って不図示の基板搬出用カセット内に収容するように移動させる。
【００４６】
フィルム搬送部１０４は、基板１に対する貼り付け位置までフィルムを搬送するためのものである。フィルム搬送部１０４で搬送されたフィルムは、フィルム貼付部１０５によって基板１に貼り付けられる。
【００４７】
フィルム搬送部１０４は、フィルム繰出部４１と、搬送経路調整部４２と、フィルム保持ローラー４３と、第１吸着ローラー４４と、カッター部４８と、タイミング調整部４７と、中継ローラー部４５と、第２吸着ローラー４９と、フィルム貼付ローラー４０と、フィルム巻取部５１と、中継ローラー２，３とを有する。
【００４８】
フィルム繰出部４１は、上記のフィルム６０（またはフィルム６０Ａ）をロール状に巻回したロール体Ｒを保持するとともに回転する回転駆動部４１ａを有する。なお、フィルム６０は、第一フィルム材６１と、第二フィルム材６２と、これら第一フィルム材６１および第二フィルム材６２を貼り合せる粘着層６３とを有している（図７参照）。これにより、フィルム搬送部１０４はロール体Ｒからフィルム６０を巻き解くことで搬送するようになっている。
【００４９】
搬送経路調整部４２は、回転駆動部４１ａに回動可能に取り付けられるレバー部１４１と、レバー部１４１の先端に回動可能に取り付けられてフィルム６０に当接する当接ローラー１４２と、を有する。レバー部１４１は、回転駆動部４１ａにロール体Ｒと同軸上で回転するようになっている。
【００５０】
ロール体Ｒから巻き解かれたフィルム６０は、ロール体Ｒの残量に応じて搬送経路（搬送距離）が変化する。このようにフィルム６０の搬送経路（搬送距離）が変化すると、フィルム６０の搬送速度を一定に保つために回転駆動部４１ａの駆動条件を変更する必要がある。
【００５１】
これに対し、本実施形態に係るフィルム搬送部１０４は、搬送経路調整部４２がレバー部１４１を所定位置に回動させることでフィルム６０の搬送距離（搬送経路）を変化させるようにしている。例えば、フィルム搬送部１０４は、ロール体Ｒの残量が少なくなると当接ローラー１４２を下降させるようにレバー部１４１を回動させることでロール体Ｒの外形が小さくなることで短くなった搬送距離を延ばすことができる。このように搬送経路調整部４２によれば回転駆動部４１ａの駆動条件（回転速度）を変更することなく、フィルム６０の搬送速度を一定に保つことができる。
【００５２】
フィルム保持ローラー４３は、後述する第１吸着ローラー４４との間でフィルム６０が略鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って搬送されるように保持するためのものである。これにより、フィルム６０は鉛直方向に沿って搬送されるようになっている。
【００５３】
第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９はフィルム６０を吸着した状態で回転することで該フィルム６０を定速で搬送を可能とするものである。図６は第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９の概略構成を示す断面図である。なお、第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９は同一の構成から構成されていることから、以下の説明では第１吸着ローラー４４の構成について説明する。
【００５４】
図６に示されるように、第１吸着ローラー４４は、表面に複数の貫通孔１４４ａが形成されたローラー本体１４４と、ローラー本体１４４の内部に設けられる吸引部１４５と、を有する。吸引部１４５は回転するローラー本体１４４の内面に摺接可能な箱状からなる箱体１４５ａを有し、該箱体１４５ａは真空チャンバ（不図示）に接続されている。
【００５５】
箱体１４５ａはローラー本体１４４の内面に当接することで貫通孔１４４ａを介してローラー表面側の空気を吸引可能となっている。第１吸着ローラー４４では、箱体１４５ａの開口部に対向する領域Ａの貫通孔１４４ａのみから空気を吸引可能となる。箱体１４５ａは固定されており、ローラー本体１４４のみが回転駆動する。
【００５６】
この構成により、第１吸着ローラー４４では、ローラー本体１４４が所定の回転位置において貫通孔１４４ａから空気が吸引される構成とされている。よって、第１吸着ローラー４４は貫通孔１４４ａを介して吸着したフィルム６０をローラー本体１４４の回転方向に沿って良好に搬送することができる。なお、吸引部１４５はローラー本体１４４の内面に必ずしも当接している必要はなく、貫通孔１４４ａを介して吸引可能な構成であれば隙間が空いていてもよい。
【００５７】
また、第１吸着ローラー４４は吸着によりフィルム６０を保持するため、ローラー本体１４４とフィルム６０との間での摩擦が生じることが防止され、静電気の発生を抑制することができる。以上、第１吸着ローラー４４の構成について説明したが、第２吸着ローラー４９についても同様である。
【００５８】
図７はカッター部４８の概略構成を及びフィルム６０の積層構造を示す図である。
【００５９】
カッター部４８は、図７に示すようにフィルム６０を切断（カット）するための刃４８ａと、刃４８ａに対向配置される台座部４８ｂとを有する。カッター部４８は、台座部４８ｂ上のフィルム６０に対して刃４８ａを押し付けることでフィルム６０を切断可能となっている。具体的にカッター部４８は、図７に示すようにフィルム６０のうち、第一フィルム材６１のみを切断可能な位置まで刃４８ａを押し付ける。これにより、フィルム６０は第一フィルム材６１が所定の長さにカットした状態で粘着層６３により第二フィルム材６２に貼り付けられた状態とされている。なお、図７においてはフィルム６０の第一フィルム材６１上に塗布された接着剤Ｎを図示している。
【００６０】
具体的にカッター部４８は、第一フィルム材６１を切断する際、基板１に貼り付けられる貼付部分と、基板に貼り付けられない非貼付部分とを形成する。したがって、第二フィルム材６２には、粘着層６３により上記貼付部分を構成する第一フィルム材６１と、上記非貼付部分を構成する第一フィルム材６１とが貼り付けられた状態とされている。ここで、貼付部分の長さとは基板１の長さに対応するものである。また、非貼付部分の長さとは、ある基板１に対するフィルムの貼付終了後、次の基板１に対するフィルムの貼付を開始するまでに基板１が搬送される距離に対応する。すなわち、非貼付部分の長さは、基板１の搬送速度、フィルム貼付ローラー４０の昇降速度等に応じて適宜設定される。このように貼付部分及び非貼付部分を含むフィルムを用いることでフィルム搬送部１０４によって搬送されるフィルム（貼付部分）の先端と、基板移動部１０３によって搬送される基板１の搬送方向先端との位置合わせを容易にできるようにしている。
【００６１】
ここで、カッター部４８はフィルム搬送部１０４によって搬送された状態のフィルム６０をカットする。カッター部４８がフィルム６０を切断する際、フィルム６０の搬送が一時的に停止される。このとき、フィルム６０の搬送は切断部分以外において継続されているため、カッター部４８による切断部分とそれ以外とでフィルム６０の搬送速度に差が生じてしまう。すると搬送速度にバラツキが生じ、搬送されるフィルム６０にダブつきが生じ、フィルム６０の搬送不良が生じてしまう。
【００６２】
これに対し、本実施形態に係るフィルム搬送部１０４は、カッター部４８により切断される際にフィルム６０に生じる搬送速度のバラツキを調整するための手段として上記タイミング調整部４７を備えている。タイミング調整部４７は、フィルム６０の裏面側に当接する当接ローラー部１４７と、該当接ローラー部１４７を保持する保持部１４８と、該保持部１４８をフィルム６０の搬送方向（Ｘ方向）に沿って移動可能な駆動部１４９と、を有している。
【００６３】
タイミング調整部４７は、フィルム６０がカッター部４８により切断される際、フィルム６０が一度停止する部分と他の搬送途中の部分とで搬送速度を合わせるべく、当接ローラー部１４７を搬送方向上流側（＋Ｘ方向）に移動させる。これにより、カッター部４８とタイミング調整部４７（当接ローラー部１４７）との距離が長くなるので、見掛け上のフィルム６０のカッター部４８までの搬送速度を低くすることができ、フィルム６０の搬送速度を合わせることで搬送速度のバラツキに起因するフィルム６０のダブつきを防止できる。
【００６４】
このようにフィルム搬送部１０４は搬送不良を生じさせることなく、フィルム６０を搬送した状態のままでカッター部４８による切断を行うことができる。よって、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮することができる。
【００６５】
フィルム貼付ローラー４０は、上下方向（Ｚ方向）に沿って移動可能とされている。フィルム貼付ローラー４０は、基板移動部１０３の搬送ローラー３２ａ（第３基板搬送ローラー部３２）上に位置する基板１に対してフィルム６０を押し付け可能な位置まで下降する。
【００６６】
フィルム貼付ローラー４０及び搬送ローラー３２ａは、フィルム６０及び基板１を挟持することでフィルム６０の貼付を行う。このようにフィルム貼付ローラー４０は、フィルム搬送部１０４の一部をなすとともにフィルム貼付部１０５を構成している。
【００６７】
フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の貼付を行う場合、該フィルム６０における貼付部分の第一フィルム材６１を基板１に貼り付ける。フィルム６０は搬送された状態で基板１に貼り付けられるため、例えばフィルム貼付ローラー４０が基板１の搬送方向における後端まで基板１に当接していると、貼付部分に続いて搬送されてくる非貼付部分を搬送ローラー３２ａとの間で抑えつけてしまう。すると、本来、貼り付けられずに廃棄されるはずである非貼付部分の第一フィルム材６１が基板１或いは搬送ローラー３２ａに貼り付けられてしまうおそれがある。
【００６８】
本実施形態では、このような不具合を防止すべく、フィルム貼付ローラー４０が基板１を搬送方向における後端まで当接しない構成を採用している。すなわち、フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の貼付部分に相当する第一フィルム材６１の搬送方向先端部と基板１の搬送方向先端とを一致させるタイミング（すなわち、第一フィルム材６１の搬送方向先端がフィルム貼り付け位置に到達するタイミング）で下降し、当接部分が貼付部分に相当する第一フィルム材６１の搬送方向後端部（基板１の搬送方向後端）に到達する前のタイミング（すなわち、第一フィルム材６１の搬送方向後端がフィルム貼り付け位置に到達する前のタイミング）で上昇を開始するようになっている。これによれば、上述したようにフィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の非貼付部分における搬送ローラー３２ａとの間で挟み込みを防止することができる。従って、フィルム貼付ローラー４０は、基板１に対するフィルム６０の貼付作業毎に昇降動作を繰り返すようになっている。
【００６９】
ところで、フィルム貼付ローラー４０は、上述のように基板１の搬送方向後端に当接するよりも先に上昇するため、搬送方向後端側においてフィルム６０を基板１に十分に押し付けることができず、フィルム６０の貼付が不十分となるおそれがある。
【００７０】
これに対し、本実施形態では、上述した貼付補助部１３５（貼付補助ローラー１３５ｂ）を備えた構成となっている。貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向における後端に当接し、後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟むことでフィルム貼付ローラー４０のみでは不十分となるフィルム６０の後端の切断部分を確実に基板１に接着することができる。従って、本実施形態によれば、基板１の全面に亘ってフィルム６０を良好に接着することが可能となっている。
【００７１】
フィルム巻取部５１は、フィルム貼付部１０５による貼付作業後にフィルム６０から分離された第二フィルム材６２を巻き取るための巻取軸５１ａ及び該巻取軸５１ａを駆動する駆動部５１ｂを有している。
【００７２】
中継ローラー５２，５３は、フィルム貼付ローラー４０とフィルム巻取部５１との間でフィルム６０の搬送を中継するものである。中継ローラー５２はフィルム貼付ローラー４０によるフィルム貼り付け位置よりも上方（Ｚ方向）に位置している。また、中継ローラー５２は、基板１の搬送方向において貼付補助部１３５よりもフィルム貼付部１０５よりも上方に配置される。これにより、フィルム貼付ローラー４０を経由したフィルム６０は上方に向かって急峻に折り曲げられることで後述するようにカットされた第一フィルム材６１のみが基板１に貼り付けられ、第一フィルム材６１から第二フィルム材６２が分離されるようになっている。
【００７３】
塗布部１０６は、フィルム６０を基板１に接着可能とするための塗布液として接着剤Ｎを該基板１に対して塗布する。塗布部１０６は、フィルム保持ローラー４３によって鉛直方向に搬送されるフィルム６０に対して接着剤を塗布する。なお、塗布部１０６が塗布する塗布液としては、少なくとも加熱部１０７による乾燥後にフィルム６０を基板１に接着可能な程度の粘着性を有する液体が用いられる。
【００７４】
塗布部１０６は、接着剤を基板１に対して塗布機構７０と、ミスト回収機構７１と、フィルム６０に塗布される接着剤の厚みを調整する膜厚調整機構７２と、を含む（図５参照）。
【００７５】
図８（ａ）は塗布機構７０の要部構成を示す概略図であり、図８（ｂ）はノズル７３の先端７３ａの動きを概念的に示した図である。
【００７６】
図８（ａ）に示されるように塗布機構７０は、接着剤を噴射するノズル７３と、本体部７４と、本体部７４をＸ軸回りで回動させる回動部７５とを含む。ノズル７３としては、接着剤をスプレー噴射するスプレーノズルが用いられる。本体部７４は、ノズル７３をフィルム６０の幅方向に沿って移動可能とする移動機構７９を有している。移動機構７９は、ノズル７３の移動をガイドするガイド部７９ａと、該ガイド部７９ａに対してノズル７３を移動させる駆動力を伝達する駆動部７９ｂとを含む。ノズル７３は、取付アーム７８を介してガイド部７９ａに接続されている。
【００７７】
駆動部７９ｂは、例えばラックアンドピニオン機構によりガイド部７９ａ側に駆動力を伝達するようになっている。これにより、ノズル７３は同図矢印Ｂで示されるようにフィルム６０の幅方向に沿って移動可能となっている。よって、ノズル７３はフィルム６０の幅方向の全域に亘って接着剤を噴射可能となっている。
【００７８】
回動部７５はモーター等から構成されている。本体部７４は、その中央部において回動部７５に取り付けられている。これにより、本体部７４は、回動部７５により中央部を基準に揺動可能とされている。ノズル７３は本体部７４の揺動動作とは独立して本体部７４の移動機構７９によって移動可能とされている。なお、以下では、説明の便宜上、ノズル７３の先端７３ａの中心と回動部７５の回転中心とが一致しているものとする。
【００７９】
このような構成に基づき、ノズル７３の先端７３ａは、図８（ｂ）に示すように回動部７５の回転中心を基準として略８の字状に移動する。具体的に、ノズル７３の先端は、回動部７５の回転中心Ｃを基準としてＹＺ軸を設定すると、第４象限から第２象限へと至り、円弧を描いて第３象限を経て第１象限へと至り、円弧を描いて第４象限へと至った後、繰り返し同じ軌跡を描くように移動する。なお、本説明ではノズル７３の先端７３ａが第２象限から第３象限に至る際および第１象限から第４象限に至る際、円弧を描いて戻る場合を例に挙げたが、本発明はこれに限定されない。例えば、Ｚ軸方向に沿ってＹ軸を跨ぐように折り返すことで第２象限から第３象限および第１象限から第４象限へと移動する構成であっても構わない。この場合、塗布機構７０は、回動部７５の代わりに本体部７４をＹＺ方向に移動させる移動部を有する。
【００８０】
図９は本実施形態に係る塗布部１０６が接着剤を塗布する際のフィルム６０に対するノズル７３の先端７３ａの動きを表した図である。また、図１０は比較として回動部７５を有しない塗布部１０６が接着剤を塗布する際のフィルム６０に対するノズル７３の先端７３ａの動きを表した図である。本実施形態に係る塗布部１０６は、上述のようにノズル７３が回動部７５の回転中心Ｃを基準として略８の字状に移動することから、フィルム６０の搬送速度及びノズル７３の移動速度を調整して図９に示すようにノズル７３の先端を所定方向に搬送されるフィルム６０の表面の幅方向に沿って移動させることができる。一方、回動部７５を有しない場合、ノズル７３がフィルム６０の幅方向に移動する間に該フィルム６０自体も搬送されてしまうため、図１０に示すようにノズル７３の先端７３ａはフィルム６０の表面に対してジグザグに移動する。
【００８１】
以上述べたように、本実施形態に係る塗布部１０６は、回動部７５を備えることでノズル７３の先端７３ａをフィルム６０の幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることができるので、接着剤をフィルム６０の全面に亘って均一に塗布することができる。
【００８２】
図５に戻って加熱部１０７は、塗布部１０６で接着剤が塗布されたフィルム６０を加熱する（ベーク処理）ことで接着剤を硬化させるためのものである。加熱部１０７は、第１加熱部７６及び第２加熱部７７を有している。第１加熱部７６及び第２加熱部７７の加熱温度は、それぞれ異なる値に設定されている。
【００８３】
第１加熱部７６は、フィルム６０に対して第１ベーク処理を行うことで接着剤を仮硬化させるためのものである。第２加熱部７７は、フィルム６０に対して第２ベーク処理を行うことで接着剤を本硬化させるためのものである。
【００８４】
このような構成に基づき、加熱部１０７はフィルム６０を段階的（２段階）に加熱することで接着剤を良好に硬化させることができるようになっている。なお、接着剤が複数（例えば、２種類）の溶剤を含む場合、第１加熱部７６による第１ベーク処理（第１段階目の加熱処理）で接着剤中の第１溶剤を蒸発させ、第２加熱部７７による第２ベーク処理（第２段階目の加熱処理）で接着剤中の第２溶剤を蒸発させて接着剤を乾燥させ、良好に硬化させることができる。
【００８５】
また、加熱部１０７は、第１加熱部７６及び第２加熱部７７を用いて１枚のフィルム６０の加熱処理を行うので、１つの加熱部のみでフィルム６０の加熱処理を行う構成のように先のフィルム６０の乾燥処理が終了するまで次のフィルム６０の乾燥処理を開始することができないといった問題が生じることが無い。よって、順次加熱部１０７内にフィルム６０を搬送することができるので、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。
【００８６】
図１１は塗布部１０６の周辺構成を示す概略図である。図１２はミスト回収機構７１の構成を示す概略図である。ミスト回収機構７１は塗布機構７０のノズル７３から接着剤を塗布する際に生じるミストを回収するためのものである。
【００８７】
ミスト回収機構７１は、図１１に示すように本体部８０と、ミスト洗浄部８１と、洗浄液循環部８２と、を有している。本体部８０は、塗布部１０６による接着剤Ｑ（図）の塗布処理が行われる処理チャンバーを構成している。本体部８０は、フィルム搬送部１０４により搬送されるフィルム６０を内部に搬入或いは内部から搬出させるための開口部８０ａが設けられている。
【００８８】
図１２に示されるように、ミスト洗浄部８１はフィルム６０における接着剤Ｑが塗布される面と反対の裏面６０ａ、及び側面６０ｂを覆うように本体部８０内に設置される。ミスト洗浄部８１は、図１１に示したように洗浄液Ｗを貯留する洗浄液貯留部８３と、該洗浄液貯留部８３から溢れ出した洗浄液Ｗが流れる洗浄部８４と、洗浄液受け部８５と、を有している。なお、図１１においては、図を見やすくするため、フィルム６０の裏面６０ａ側に配置されたミスト洗浄部８１のみを図示しているものの、フィルム６０の側面６０ｂ側にも図１２に示したようにミスト洗浄部８１は配置されている。フィルム６０の側面６０ｂ側に配置されるミスト洗浄部８１についても、裏面６０ａ側のミスト洗浄部８１と同一の構成を有している。
【００８９】
洗浄部８４はフィルム６０の搬送方向（Ｚ方向）に沿って延びるブラシ部材から構成され、該ブラシ部材の表面を伝って下方へと洗浄液が流れる構成となっている。洗浄液受け部８５は、洗浄部８４を伝って流れた下方へと流れた洗浄液を受ける容器として機能するものである。
【００９０】
洗浄液受け部８５の下方には、洗浄液Ｗを本体部８０内に連通させる連通部８５ａが設けられ、該連通部８５ａを介して洗浄液受け部８５内の洗浄液が本体部８０の底部８９へと流れ込むようになっている。洗浄液循環部８２は、本体部８０の底部８９に溜まった洗浄液を連通部８９ａを介し、ポンプＰの駆動力によって洗浄部８４の洗浄液貯留部８３に循環させるものである。洗浄液循環部８２はフィルターＦを有しており、該フィルターＦを介して洗浄液を循環させる。これにより、洗浄後に洗浄液に含まれる異物を除去することで洗浄液を再利用することができる。
【００９１】
本実施形態に係る塗布部１０６によれば、ノズル７３からフィルム６０に対して接着剤Ｑを塗布する際に生じたミストをミスト回収機構７１により回収できるので、ミストが付着することで貼付装置１００内が汚れるといった不具合の発生を防止できる。
【００９２】
膜厚調整機構７２は、フィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤Ｑの厚みが均一になるように調整するものである。図１３は膜厚調整機構７２の周辺構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。
【００９３】
図１３（ａ），（ｂ）に示すように膜厚調整機構７２は、フィルム６０のフィルム端の近傍に設置されるダミーローラー９０と、駆動ローラー９１と、従動ローラー９２と、該ダミーローラー９０、駆動ローラー９１、及び従動ローラー９２に架け渡されるベルト９３と、を備えている。ベルト９３は、フィルム６０と同じ材質であるポリイミドから構成されている。
【００９４】
ダミーローラー９０は、鉛直方向に向けてフィルム６０を搬送するフィルム保持ローラー４３と同軸で回転する。ダミーローラー９０の外径は、該ダミーローラー９０に掛け渡されたベルト９３の表面がフィルム保持ローラー４３に掛け渡されるフィルム６０の表面と略同じ高さとなる大きさに設定されている。また、塗布部１０６は、ベルト９３の表面とフィルム６０の表面が略同じ高さとなる領域において、ノズル７３の先端がフィルム６０の表面に対して接着剤Ｑを塗布するように位置合わせされている。
【００９５】
ここで、フィルム６０のフィルム端に膜厚調整機構７２のベルト９３が設けられていない場合、接着剤の飛散条件が変化するフィルム端において接着剤の膜厚が薄くなってしまう。これにより、フィルム６０の幅方向において接着剤の膜厚にバラつきが生じてしまうおそれがある。
【００９６】
これに対し、本実施形態によれば、ノズル７３が対向するフィルム６０のフィルム端の表面と略同じ高さに膜厚調整機構７２のベルト９３の表面が位置するので、接着剤Ｑの飛散条件をフィルム端とフィルム中央部とで合わせることができる。よって、フィルム６０の幅方向における接着剤の成膜条件を揃えることで接着剤を均一な膜厚で塗布することが可能となっている。
【００９７】
ところで、本実施形態に係るノズル７３のようなスプレーノズルを用いた場合の塗布面にはムラが生じることがある。  
これに対し、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ方向）に沿って搬送されるフィルム６０に対してノズル７３から接着剤Ｑを塗布する構成を採用している。
【００９８】
なお、先端７３ａの開口端がフィルム６０の表面に対向した状態となるようにノズル７３とフィルム６０とが配置されていれば、フィルム６０が必ずしも鉛直方向に沿って搬送されていなくても上述したムラ抑制効果を得ることができる。すなわち、フィルム６０は水平面と交差する方向に沿って搬送されていればよい。このようにフィルム６０が水平面と交差する方向、すなわち水平面に対して傾いた状態に搬送されていれば、ノズル７３の先端７３ａとフィルム６０の表面とは水平方向に所定距離だけ常に離間した状態となるので、上述した接着剤の塗布面におけるムラの発生を抑制できる。
【００９９】
これによれば、ノズル７３の先端とフィルム６０の表面とは水平方向に所定距離だけ離間した状態とされるので、ノズル７３から塗布された接着剤Ｑの粒子のうち、粒子が荒いもの（粒の大きいもの）はフィルム６０の表面に到達する前に落下し、フィルム６０に塗布されることがない。一方、ノズル７３から塗布された接着剤Ｑの粒子のうち、粒子が細かいもの（粒の小さいもの）はノズル７３の先端から所定距離離間した位置に配置されるフィルム６０の表面に到達し、フィルム６０に塗布されることとなる。よって、フィルム６０に均一な粒子を含んだ接着剤Ｑを塗布することができるので、接着剤Ｑの塗布面に上述したようなムラが発生するのを抑制できる。
【０１００】
なお、ベルト９３の表面に付着した接着剤Ｑを洗浄する洗浄装置を設けてもよい。洗浄装置の構成としては、ベルト９３に洗浄液を噴射する構成、或いはベルト９３を洗浄液貯留部にディップさせる構成のいずれであってもよい。これによれば、ベルト９３の表面を常に綺麗な状態に保持することができるので、フィルム６０のフィルム端における接着剤の成膜条件の調整を長期に亘って精度良く行うことができる。
【０１０１】
続いて、本実施形態に係る貼付装置１００の動作として、フィルム６０を基板１に貼り付ける動作について説明する。
【０１０２】
図１５は貼付装置１００によるフィルム６０の貼付工程を説明するフロー図である。
【０１０３】
初めに貼付装置１００ではフィルム繰出部４１にロール体Ｒが取り付けられる（ステップＳ１）。
【０１０４】
ロール体Ｒが取り付けられた後、貼付装置１００はフィルム搬送部１０４が駆動し、フィルム６０の巻出しを行う（ステップＳ２）。具体的にフィルム搬送部１０４は、フィルム繰出部４１及びフィルム巻取部５１を回転駆動させ、フィルム６０を所定方向に沿って搬送する。
【０１０５】
貼付装置１００は、フィルム搬送部１０４によるフィルム６０の搬送に合わせて、塗布部１０６を駆動し、接着剤の塗布を行う（ステップＳ３）。具体的に塗布部１０６は、上述のようにノズル７３が回動部７５の回転中心を基準として略８の字状に移動しながらフィルム搬送部１０４によって搬送されるフィルム６０に対して接着剤Ｑを塗布する。塗布部１０６は、ノズル７３を移動機構７９によって移動させつつ、回動部７５によってノズル７３を保持する本体部７４をＸ軸回りに回動させることでノズル７３の先端をフィルム６０の幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることができる（図９参照）。よって、図１４（ａ）に示すように、接着剤Ｑをフィルム６０の幅方向に亘る全面に均一に塗布することができる。
【０１０６】
ところで、フィルム６０に対して接着剤Ｑを塗布する際、フィルム６０の幅方向のフィルム端では接着剤Ｑの飛散条件が変化するため、フィルム端における接着剤Ｑの厚みが中央部に比べて薄くなってしまう。これに対して、本実施形態に係る塗布部１０６はノズル７３からフィルム６０に対して接着剤Ｑを塗布する際、膜厚調整機構７２を機能させてフィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤Ｑの厚みが均一になるように調整する。
【０１０７】
具体的に膜厚調整機構７２は、フィルム６０を搬送するフィルム保持ローラー４３の回転と同期させてダミーローラー９０を回転させる。このとき、ダミーローラー９０の表面に掛け渡されたベルト９３の表面とフィルム保持ローラー４３に掛け渡されたフィルム６０の表面とが同じ高さとなっている。
【０１０８】
これによれば、フィルム端近傍においてフィルム６０の表面と同じ高さにベルト９３の表面が位置するので、実質的にフィルム端における接着剤Ｑの飛散条件を中央部に合わせることができる。
【０１０９】
よって、ノズル７３から塗布された接着剤Ｑはフィルム６０のフィルム端においても接着剤Ｑの飛散条件が変化することがなく、接着剤Ｑの成膜条件がフィルム６０の幅方向で安定することで接着剤を均一な条件で塗布することができる。
【０１１０】
ノズル７３からフィルム６０に接着剤Ｑを塗布する際、ノズル７３からミストが周囲に飛散してしまう。これに対して本実施形態に係る塗布部１０６では、ミスト回収機構７１によりミストを回収することができる。具体的にノズル７３から飛散したミストは、フィルム６０の裏面６０ａ及び側面６０ｂを覆うように設けられたミスト洗浄部８１（ミスト回収機構７１）の洗浄部８４によって捕捉される。
【０１１１】
洗浄部８４は上述したようにブラシ部材の表面を伝って下方へと洗浄液が流れる構成となっているため、捕捉されたミストは洗浄液とともに下方に排出される。これによれば、捕捉したミストが洗浄部８４に蓄積してしまうといったことがなく、安定的にミストを回収することができる。
【０１１２】
ミストを回収した洗浄液は洗浄液受け部８５から本体部８０の底部へと流れ込み、洗浄液循環部８２のフィルターＦで異物が除去された後、洗浄部８４に再度循環される。
【０１１３】
また、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ方向）に沿って搬送されるフィルム６０に対してノズル７３から接着剤を塗布するので、ノズル７３から塗布された接着剤の粒子のうち、粒子が荒いもの（粒の大きいもの）がフィルム６０に塗布されるのを防止し、粒子が細かいもの（粒の小さいもの）のみをフィルム６０に塗布することができる。このようにして塗布された接着剤は均一な粒子を含むので、ムラの発生が抑制された状態で塗布されたものとなる。この接着剤は表面のムラが少ないため、後工程で行われる基板１に貼り付けられた場合であっても第一フィルム材６１の平面度を低下させるといった不具合の発生を防止できる。
【０１１４】
また、フィルム６０の幅方向の両端部に接着剤Ｑを塗布した場合、フィルム６０の幅方向の両端部に配置された粘着層が接着剤Ｑと混ざることがあり、これにより接着剤Ｑの塗布ムラが発生しやすくなることが見出された。これに対して、本実施形態では、図１４（ａ）に示すように、フィルム６０を構成する第一フィルム部材６１の幅方向Ｄ２において、粘着層６３の端面６３ｃ、６３ｄが第一フィルム部材６１の第一面６１ａの内側に配置されている。このため、第一フィルム部材６１の第二面６２ａ（フィルム６０の表面）に液状の接着剤Ｑを塗布する場合、第一フィルム部材６１の幅方向Ｄ２の端部６１ｃ、６１ｄで接着剤Ｑと粘着層６３とが干渉するのを防ぐことができる。これにより、接着剤Ｑの塗布ムラを防ぐことができる。
【０１１５】
フィルム搬送部１０４は、塗布部１０６によって接着剤Ｑが塗布されたフィルム６０を加熱部１０７へと搬送し、フィルム６０を加熱する（ベーク処理）ことで接着剤Ｑを硬化させる（ステップＳ４，Ｓ５）。具体的に加熱部１０７は、まず第１加熱部７６によってフィルム６０に対して第１（１ｓｔ）ベーク処理を行う（ステップＳ４）。続いて、加熱部１０７は、第２加熱部７７によってフィルム６０に対して第２（２ｎｄ）ベーク処理を行う（ステップＳ５）。第１加熱部７６及び第２加熱部７７における加熱温度は、接着剤の種類、膜厚等の条件により適宜変更される。
【０１１６】
このように本実施形態では、加熱部１０７が第１加熱部７６及び第２加熱部７７を用いて１枚のフィルム６０の加熱処理を行うので、順次加熱部１０７内にフィルム６０を搬送することができ、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。
【０１１７】
フィルム搬送部１０４は、加熱部１０７による加熱処理後のフィルム６０をカッター部４８へと搬送し、フィルム６０をカットする（ステップＳ６）。カッター部４８は、図７に示したように台座部４８ｂ上のフィルム６０に対して刃４８ａを押し付け、フィルム６０のうち、第一フィルム材６１のみを切断する。カッター部４８によるカット後のフィルム６０は、第一フィルム材６１が所定の長さに切断された状態で粘着層６３により第二フィルム材６２に貼り付けられた状態となる。  
具体的にカッター部４８は、上述のように貼付部分及び非貼付部分を含むように第一フィルム材６１のみを切断する。
【０１１８】
ここで、フィルム６０の切断時、フィルム６０の搬送が一時的に停止される。一方、フィルム６０は、切断部分以外においてフィルム搬送部１０４による搬送が継続されている。そのため、カッター部４８を介してフィルム６０の搬送速度に差が生じ、搬送速度のバラツキに起因してフィルム６０がダブつくことで結果的に搬送不良が生じてしまう。
【０１１９】
これに対し、本実施形態では、タイミング調整部４７がフィルム６０の切断時に生じる搬送速度のバラツキを調整する。タイミング調整部４７は、フィルム６０が切断されるタイミングに合わせて当接ローラー部１４７を搬送方向上流側（＋Ｘ方向）に移動させる。
すると、カッター部４８とタイミング調整部４７（当接ローラー部１４７）との距離が長くなって、カッター部４８に向かうフィルム６０の見掛け上の搬送速度が低くなる。よって、フィルム６０の搬送速度を合わせることでフィルム６０にダブつきが生じるのを防止できる。
【０１２０】
よって、フィルム搬送部１０４はフィルム６０の搬送不良を生じさせることなく、搬送状態のままでフィルム６０をカッター部４８によって良好に切断することができる。また、フィルム搬送部１０４は、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮できる。
【０１２１】
続いて、カットしたフィルム６０の貼付工程を行う。貼付装置１００は、フィルム６０の貼付を行うに先立ち、基板供給部１０２のカセット１０２ａ内から引き出し、基板移動部１０３によって基板１の搬送を開始する（ステップＳ７，Ｓ８）。
【０１２２】
基板移動部１０３は、基板１をフィルム貼付部１０５まで移動させる。フィルム貼付部１０５は、基板移動部１０３によって搬送される基板１に対してフィルム６０の貼付を行う（ステップＳ９）。なお、基板移動部１０３は、基板１の搬送方向先端がフィルム貼付部１０５に到達するタイミングを、フィルム搬送部１０４に搬送されるフィルム６０の貼付部分がフィルム貼付部１０５に到達する同期させるように基板１の搬送速度を制御する。
【０１２３】
具体的に基板１は、第１基板搬送ローラー部３０及び第２基板搬送ローラー部３１を経て、第３基板搬送ローラー部３２（搬送ローラー３２ａ）へと搬送される。フィルム搬送部１０４は、第３基板搬送ローラー部３２に基板１が到達するタイミングに合わせてフィルム貼付ローラー４０を下降させる。これにより、フィルム貼付ローラー４０は、基板移動部１０３の搬送ローラー３２ａ（第３基板搬送ローラー部３２）上に位置する基板１に対してフィルム６０（貼付部分）の押し付けを開始する。
【０１２４】
フィルム貼付ローラー４０は、図１４（ｂ）に示すように、フィルム６０における貼付部分の第一フィルム材６１を基板１に貼り付ける。フィルム６０はカッター部４８による切断工程によって、第一フィルム材６１が所定の長さ（貼付部分又は非貼付部分）に切断された状態で粘着層６３により第二フィルム材６２に貼り付けられた状態となっている。
【０１２５】
具体的にフィルム貼付ローラー４０は、上述のようにフィルム６０の貼付部分に相当する第一フィルム材６１の搬送方向先端部と基板１の搬送方向先端とを一致させるタイミングで下降する。貼付部分の第一フィルム材６１は、フィルム貼付ローラー４０と搬送ローラー３２ａとの間で基板１とともに挟持され、第一フィルム材６１が接着剤Ｎを介して基板１に接着される。
【０１２６】
フィルム貼付ローラー４０を経由したフィルム６０は中継ローラー５２、５３を経由してフィルム巻取部５１によって巻き取られる。ここで、中継ローラー５２はフィルム貼付ローラー４０によるフィルム貼り付け位置よりも上方（Ｚ方向）に位置しているため、フィルム６０はフィルム貼付ローラー４０を経て上方に向かって急峻に折り曲げられる。
【０１２７】
よって、中継ローラー５２により上方に折り曲げられたフィルム６０は、第一フィルム材６１のみが接着剤Ｎを介して基板１に残り、第二フィルム材６２のみが中継ローラー５２側に搬送されることで、図１４（ｃ）に示すように、第一フィルム材６１と第二フィルム材６２とが分離される（ステップＳ１０）。フィルム６０から分離された第二フィルム材６２は、中継ローラー５２，５３を介してフィルム巻取部５１に巻き取られる（ステップＳ１１）。
【０１２８】
フィルム貼付部１０５によって第一フィルム材６１の貼付部分が貼り付けられた基板１は、第４基板搬送ローラー部３３へと搬送される。ここで、フィルム貼付ローラー４０は、非貼付部分における搬送ローラー３２ａとの間で挟み込みを防止すべく、上述のように基板１の搬送方向後端に当接する前に上昇していることから、搬送方向後端側におけるフィルム６０の基板１に対する押し付けが足りず、フィルム６０の貼付が不十分となっている。
【０１２９】
本実施形態では、第４基板搬送ローラー部３３において、貼付補助部１３５（貼付補助ローラー１３５）が基板１の搬送方向における後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟むことで貼り付けが不十分となっているフィルム６０の後端の切断部分を確実に基板１に接着する。従って、基板１の全面に亘ってフィルム６０を良好に接着することができる。
【０１３０】
第一フィルム材６１が貼り付けられた基板１はローラー対１３３及び第５基板搬送ローラー部３４を経て不図示の基板搬出用カセット内へと収容される（ステップＳ１２）。
【０１３１】
貼付装置１００は基板供給部１０２内の所定枚数の基板１に対して第一フィルム材６１（フィルム６０）の貼付が終了するまで、上述したステップＳ１乃至ステップＳ１２に係るフィルム貼付処理工程ＳＳ１を繰り返す（ステップＳ１３）。以上により、貼付装置１００は所定枚数の基板１に対してフィルム６０を良好に貼り付けることができる。
【０１３２】
以上のように、本実施形態によれば、第一フィルム部材６１の短手方向Ｄ２である第一方向において粘着層６３の端面６３ｃ、６３ｄが第一面６１の内側に配置されているフィルム６０を基板１に貼り付けるときに、第一フィルム部材６１の第二面６１ｂに液状の接着剤Ｑを塗布する場合、第一フィルム部材６１の端部６１ｃ、６１ｄで接着剤Ｑと粘着層６３とが干渉するのを防ぐことができる。これにより、接着剤Ｑの塗布ムラを防ぐことができる。したがって、その後、接着剤Ｑが塗布された第一フィルム部材６１の第二面６１ｂを基板に貼り付ける場合、ムラ無く均一にフィルム６０を基板１に貼り付けることができる。
【符号の説明】
【０１３３】
１…基板、Ｎ…接着剤、Ｒ…ロール体、４７…タイミング調整部、６０…フィルム、６０ａ…裏面、６０ｂ…側面、６１…第一フィルム材、６２…第二フィルム材、６３…粘着層、６３ｃ、６３ｄ…端面、７２…膜厚調整機構（膜厚調整部）、７３…ノズル、８４…洗浄部、１００…貼付装置、１０６…塗布部、１０７…加熱部、１０８…冷却部
【図１】
2015047765.tif 000003
【図２】
2015047765.tif 000004
【図３】
2015047765.tif 000005
【図４】
2015047765.tif 000006
【図５】
2015047765.tif 000007
【図６】
2015047765.tif 000008
【図７】
2015047765.tif 000009
【図８】
2015047765.tif 000010
【図９】
2015047765.tif 000011
【図１０】
2015047765.tif 000012
【図１１】
2015047765.tif 000013
【図１２】
2015047765.tif 000014
【図１３】
2015047765.tif 000015
【図１４】
2015047765.tif 000016
【図１５】
2015047765.tif 000017