(57)【要約】      （修正有）【課題】基板からの吐出口形成部材の剥離が抑制された耐久性の高い液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】基板２と、基板２との間に液体の流路８を形成し、液体を吐出する吐出口６を有する吐出口形成部材５とを備える液体吐出ヘッドであって、吐出口形成部材５には流路８の外側を囲む溝９が形成されており、吐出口形成部材５の溝９の内周と接する縁部の厚さが、吐出口形成部材５の他の部分に比べて薄い液体吐出ヘッド。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、該基板との間に液体の流路を形成し、液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材とを備える液体吐出ヘッドであって、
前記吐出口形成部材には前記流路の外側を囲む溝が形成されており、
前記吐出口形成部材の前記溝の内周と接する縁部の厚さが、前記吐出口形成部材の他の部分に比べて薄い液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記吐出口形成部材の前記溝の内周と接する縁部に段差が設けられている請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記吐出口形成部材の前記溝の外周と接する縁部の厚さが、前記吐出口形成部材の前記溝の内周と接する縁部以外の、前記吐出口形成部材の他の部分に比べて薄い請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記吐出口形成部材の前記溝の外周と接する縁部に段差が設けられている請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記吐出口形成部材の前記段差が設けられている部分の厚さが、前記流路の高さと同じである請求項２または４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記吐出口形成部材の前記段差が設けられている部分の形状が、基板面に対し垂直な方向から見て鋸歯状である請求項２、４および５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
基板上に、流路となるパターンと、該流路となるパターンの外側を囲む土台となるパターンとを形成する工程と、
前記基板上に第１の被覆層を形成する工程と、
前記第１の被覆層の、前記土台となるパターンの内周と接する、前記第１の被覆層の段差となる部分を露光する工程と、
前記第１の被覆層上に第２の被覆層を形成する工程と、
前記第１の被覆層及び前記第２の被覆層に吐出口を形成する工程と、
前記第１の被覆層及び前記第２の被覆層の、前記段差となる部分の上部および前記土台となるパターンの上部を除去する工程と、
前記流路となるパターンおよび前記土台となるパターンを除去して、流路および溝を形成する工程と、
を含む液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記段差となる部分を露光する工程において、前記第１の被覆層の、前記土台となるパターンの内周と接する部分、および、前記土台となるパターンの外周と接する部分を露光する請求項７に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記第１の被覆層を形成する工程において、前記第１の被覆層の厚さが前記流路となるパターンの厚さと同じになるように、前記第１の被覆層を形成する請求項７または８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記段差となる部分を露光する工程において、段差の形状が基板面に対し垂直な方向から見た際に鋸歯状となるように露光する請求項７から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プリンタの出力速度の向上が益々要求されている。これは、コンピューターの処理速度が向上したことや、より高精彩の画像を出力するためにインク滴が微小化され、より高密度のインク滴密度が要求されることにも関係している。また、大判プリンタやネットワークにつながれたプリンタでは、その要求はさらに顕著である。プリンタの出力速度の向上は、時間当りのインク滴発生数、すなわち、インク吐出周波数を向上することと、吐出口の数を増やすことの二つによって達成される。通常は、この両方を行うことでより高速出力を可能としている。吐出口の数を増やすことは液体吐出ヘッドの長尺化につながる。
【０００３】
前記液体吐出ヘッドは、例えば特許文献１に開示された方法により製造できる。特許文献１には、吐出口形成部材の厚さの均一性を保つため、溶解可能な樹脂層で流路のパターンの外周部に土台となるパターンを形成し、吐出口形成部材となる被覆層でこれらのパターンを被覆する方法が開示されている。この場合、土台となるパターンを形成する樹脂の熱変形温度が１１０℃であるため、土台となるパターンの形成以降の被覆層の硬化工程等において、この温度を超える加熱により被覆層が変形したり、破損したりする可能性がある。そこで、土台となるパターンを除去するために、被覆層の流路が形成された領域の外周に開口部を形成する方法が挙げられる。土台となるパターンを除去した結果として開口部を設ける理由は、前記理由以外に以下のことを避けるためである。
【０００４】
まず、吐出口や電気的接続部分以外の全てを樹脂で被覆してしまうと、被覆層の硬化や、温度変化により生じる応力により、基板の変形が生じたり、応力が被覆層の端部、すなわち流路壁に集中し、基板との間で剥れが生じる場合がある。特に土台となるパターンを残したままだと、熱による変形が大きくなる。また、吐出口及び流路が形成された領域の周囲のみに被覆層を残し、その外側の被覆層を全て無くしてしまうと、基板の縁部の表面が剥き出しとなり、液体吐出ヘッドを実装する際、またはプリンタに装着して使用する際に、基板表面に傷が付く発生する可能性がある。これらの問題を回避するために被覆層の吐出口及び流路が形成された領域の周囲に開口部を設け、土台となるパターンを除去することで、被覆層中の流路壁にかかる応力をできるだけ小さくすると共に、傷から基板表面を守っている。
【０００５】
液体吐出ヘッドの長尺化に伴い、被覆層の硬化や温度変化により生じる応力は大きくなるため、吐出口形成部材の剥離の発生する頻度もより高くなる。図６に、特許文献１に記載の液体吐出ヘッドが示されている。溝９の輪郭、すなわち溝９の内壁を構成する吐出口形成部材５の縁部は、溝９が伸びる方向添った直線状の辺として形成されておらず、微細な凹凸形状を有する鋸歯状に形成されている。特許文献１では、この形状により、溝９の縁部、すなわち吐出口形成部材５の縁部が剥離することを防いでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−０８０７１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に開示された方法は、吐出口形成部材の剥がれを抑制する方法として有効であるが、溝９の縁部の尖端に応力が集中し、剥がれの起点となる場合があった。例えば、液体吐出ヘッドの製造方法として、一つのシリコン基板を共通基板として多数の液体吐出ヘッドチップを作り込み、分割により液体吐出ヘッドの多数個取りを行う方法が用いられている。この方法における更なるコストダウンの方法として、各液体吐出ヘッドチップにおけるエネルギー発生素子が形成された基板上の部分の面積を低減し、共通基板上に形成される液体吐出ヘッドチップの個数を増やす方法が挙げられる。そのためには、各液体吐出ヘッドチップにおける吐出口から溝までの距離を短くする必要があり、そのような場合においても吐出口形成部材の剥がれをより抑制できる方法の開発が望まれている。
【０００８】
本発明の目的は、基板からの吐出口形成部材の剥離が抑制された耐久性の高い液体吐出ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、基板と、該基板との間に液体の流路を形成し、液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材とを備える液体吐出ヘッドであって、前記吐出口形成部材には前記流路の外側を囲む溝が形成されており、前記吐出口形成部材の前記溝の内周と接する縁部の厚さは、前記吐出口形成部材の他の部分に比べて薄く形成されている。
【００１０】
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、基板上に、流路となるパターンと、該流路となるパターンの外側を囲む土台となるパターンとを形成する工程と、前記基板上に第１の被覆層を形成する工程と、前記第１の被覆層の、前記土台となるパターンの内周と接する、前記第１の被覆層の段差となる部分を露光する工程と、前記第１の被覆層上に第２の被覆層を形成する工程と、前記第１の被覆層及び前記第２の被覆層に吐出口を形成する工程と、前記第１の被覆層及び前記第２の被覆層の、前記段差となる部分の上部および前記土台となるパターンの上部を除去する工程と、前記流路となるパターンおよび前記土台となるパターンを除去して、流路および溝を形成する工程と、を含む。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、基板からの吐出口形成部材の剥離が抑制された耐久性の高い液体吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（ａ）第１の実施形態の液体吐出ヘッドを示す斜視図、（ｂ）第１の実施形態の基板を示す斜視図、（ｃ）第１の実施形態の液体吐出ヘッドを示す断面図、（ｄ）第１の実施形態の液体吐出ヘッドを示す上面図である。
【図２】第１の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図３】（ａ）第２の実施形態の液体吐出ヘッドを示す断面図、（ｂ）第２の実施形態の液体吐出ヘッドを示す上面図である。
【図４】（ａ）第３の実施形態の液体吐出ヘッドを示す断面図、（ｂ）第３の実施形態の液体吐出ヘッドを示す上面図である。
【図５】（ａ）第４の実施形態の液体吐出ヘッドを示す断面図、（ｂ）第４の実施形態の液体吐出ヘッドを示す上面図である。
【図６】（ａ）従来の液体吐出ヘッドを示す斜視図、（ｂ）従来の基板を示す斜視図、（ｃ）従来の液体吐出ヘッドを示す断面図、（ｄ）従来の液体吐出ヘッドを示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、基板と、該基板との間に液体の流路を形成し、液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材とを備える液体吐出ヘッドであって、前記吐出口形成部材には前記流路の外側を囲む溝が形成されており、前記吐出口形成部材の前記溝の内周と接する縁部の厚さは、前記吐出口形成部材の他の部分に比べて薄く形成されている。
【００１４】
本発明に係る液体吐出ヘッドでは、吐出口形成部材の溝の内周と接する縁部の厚さが、吐出口形成部材の他の部分に比べて薄いため、溝の内周部分には、吐出口形成部材の他の部分と同じ高さの縁部が存在しない。これにより、該縁部への応力の集中による、該縁部を起点とする基板からの吐出口形成部材の剥がれを抑制することができ、耐久性の高い液体吐出ヘッドを提供できる。また、長時間の使用を行っても、安定的に良好な液体吐出を維持できるため、本発明に係る液体吐出ヘッドは信頼性が高い。なお、吐出口形成部材の縁部以外の他の部分の厚さとは、吐出口形成部材の吐出口や流路を含まない縁部以外の部分、すなわち、その底面が基板と接する部分における表面から基板までの長さを示す。
【００１５】
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、基板上に、流路となるパターンと、該流路となるパターンの外側を囲む土台となるパターンとを形成する工程と、前記基板上に第１の被覆層を形成する工程と、前記第１の被覆層の、前記土台となるパターンの内周と接する、前記第１の被覆層の段差となる部分を露光する工程と、前記第１の被覆層上に第２の被覆層を形成する工程と、前記第１の被覆層及び前記第２の被覆層に吐出口を形成する工程と、前記第１の被覆層及び前記第２の被覆層の、前記段差となる部分の上部および前記土台となるパターンの上部を除去する工程と、前記流路となるパターンおよび前記土台となるパターンを除去して、流路および溝を形成する工程と、を含む。
【００１６】
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを容易に精度よく製造することができる。
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明では、同一の機能を有する構成には図面中に同一の番号を付与し、その説明を省略する場合がある。また、本発明に係る液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わされた産業記録装置に搭載可能である。本発明に係る液体吐出ヘッドを例えばインクジェット記録ヘッドとして用いると、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど種々の被記録媒体に記録を行うことができる。なお、「記録」とは、文字や図形などの意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターンなどの意味を持たない画像を付与することも意味する。また、本発明に係る液体吐出ヘッドは、記録紙の全幅にわたり同時に記録ができるフルラインタイプのインクジェット記録ヘッドにも適用できる。さらに、本発明に係る液体吐出ヘッドは、複数のインクジェット記録ヘッドを一体的に形成した構成や、別々に形成したインクジェット記録ヘッドを複数個組み合わせた構成のカラー記録ヘッドとしても、有効に用いることができる。
【００１８】
［第１の実施形態］
図１（ａ）から（ｄ）に、本実施形態に係る液体吐出ヘッドが示されている。図１に示される液体吐出ヘッドでは、複数の吐出口６を有する吐出口形成部材５が、基板２に接合されている。基板２には液体を流路に供給する供給口７が開口されており、流路形成部材５と接合される面には、吐出口６と対応する位置に複数のエネルギー発生素子１が配設されている。基板２と吐出口形成部材５との間には、供給口７からエネルギー発生素子１の上方の吐出口６まで連通する液体の流路８が形成されている。吐出口形成部材５には、吐出口６及び流路８を有する部分の外側を取り囲み、基板２まで達する溝９が形成されている。
【００１９】
本実施形態に係る液体吐出ヘッドでは、溝９の内周と接する、すなわち溝９の内周側内壁を構成する吐出口形成部材５の縁部に、吐出口６及び流路８を有する内側部分から溝９へ向けて低くなる、すなわち基板２表面からの厚さが薄くなる段差が設けられている。この段差は、吐出口形成部材５の内側部分の平面状の表面からなる上段部分と、それよりも厚さが薄く、表面が平面状の中段部分とを有する。具体的には、図１（ｃ）に示されるように、吐出口形成部材５の溝９の内周に接する縁部に段差が設けられており、該段差の有する中段部分では吐出口形成部材５の厚さが他の部分に比べて薄くなっている。したがって、吐出口形成部材５に作用する応力が小さく、基板２からの吐出口形成部材５の剥がれを抑制することができる。中段部分の厚みは、吐出口形成部材５の厚みの３０〜９０％であることが好ましく、３５〜５０％であることがより好ましい。中段部分の厚みが吐出口形成部材５の厚みの３５％以上であることにより、吐出口形成部材５の強度が向上する。また、中段部分の厚みが吐出口形成部材５の厚みの５０％以下であることにより、吐出口形成部材５の溝９の内周と接する縁部を起点とする基板２からの吐出口形成部材５の剥がれを十分に抑制することができる。中段部分の幅は、基板２からの吐出口形成部材５の剥がれをより抑制できる観点から、溝９と段差部の幅の合計（開口部の幅）の２０〜８０％であることが好ましく、４０〜６０％であることがより好ましい。なお、中段部分の幅、溝９の幅、開口部の幅は、いずれも溝９が直線状に伸びる方向に対して直交する方向における長さである。
【００２０】
なお、本実施形態に係る液体吐出ヘッドでは、吐出口形成部材５の溝９の内周と接する縁部に中段部分を有する段差が設けられているが、例えば吐出口形成部材５の溝９の内周と接する縁部が傾斜を有することで厚みが徐々に薄くなる構成であってもよい。本実施形態によれば、吐出口形成部材５の溝９の内周と接する縁部に傾斜が設けられている場合においても、縁部の溝９の底面と接続する端部は、溝９の直線状に伸びる部分に添って直線状に伸びる辺として形成される。
【００２１】
しかしながら、本実施形態のように段差を設けることで吐出口形成部材５の溝９の内周と接する縁部の厚みを薄くすることが、容易に吐出口形成部材５の溝９の内周と接する縁部の厚みを薄くすることができるため好ましい。段差を設ける場合には、段差は１段設けてもよく、２段以上設けてもよい。また、吐出口形成部材５は、溝９によって流路８を形成する内側部分と、その外側部分とに分離されるが、両者を合わせて吐出口形成部材５と称する。本実施形態に係る液体吐出ヘッドでは、供給口７から流路８にインク等の液体が供給され、エネルギー発生素子１が駆動されると、流路８内の液体が加熱され発泡し、吐出口６から外部に液滴が吐出される。
【００２２】
以下、本実施形態に係る液体噴射記録ヘッドの製造方法について、図２を参照して説明する。
【００２３】
まず、図２（ａ）に示されるように、基板２上にエネルギー発生素子１を２列で所定位置に所定個数配置する。基板２としてはＳｉからなる基板等が挙げられる。エネルギー発生素子１としては、電気熱変換素子等の発熱抵抗体が挙げられる。次いで、エネルギー発生素子１を備える基板２上に、溶解可能な樹脂層３を形成する。樹脂層３は、流路となるパターン３ａと、土台となるパターン３ｂからなる。樹脂層３は、例えばドライフィルムのラミネート、レジストのスピンコート等による塗布等の後、Ｄｅｅｐ−ＵＶ光等の紫外線によるパターン露光を行い、現像することで形成される。該レジストとしては、例えばポリメチルイソプロペニルケトン等が挙げられる。
【００２４】
次に、図２（ｂ）に示されるように、基板２上に吐出口形成部材となる第１の被覆層５ａをスピンコート等により形成する。樹脂層である第１の被覆層５ａとしてはネガ型レジストを用いることができる。この際、土台となるパターン３ｂが形成されていることにより、第１の被覆層５ａを流路となるパターン３ａの上方に平坦に形成できる。
【００２５】
次に、図２（ｃ）に示されるように、第１の被覆層５ａを、Ｄｅｅｐ−ＵＶ光等の紫外線等でパターン露光し、加熱することで段差部となる感光部１０を形成する。
【００２６】
次に、図２（ｄ）に示されるように、第１の被覆層５ａ上に、吐出口形成部材となる第２の被覆層５ｂをスピンコート等により形成する。第２の樹脂層５ｂは、第１の樹脂層５ａと同じ材料を用いることができる。この際、土台となるパターン３ｂが形成されていることにより、第２の被覆層５ｂも流路となるパターン３ａの上方に平坦に形成できる。第１の被覆層５ａと第２の樹脂層５ｂとを合わせて被覆層５と示す。
【００２７】
次に、図２（ｅ）に示されるように、被覆層５に吐出口６を形成する。また、土台となるパターン３ｂを除去するための開口部４も同時に、または異時に、吐出口６の形成と同じ方法により形成する。吐出口６および開口部４の形成は、例えばＤｅｅｐ−ＵＶ光等の紫外線等によるパターン露光および現像により行うことができる。
【００２８】
次に、図２（ｆ）に示されるように、基板２を化学的にエッチングして供給口７を形成する。例えば、基板２としてＳｉからなる基板を用いる場合、ＫＯＨ、ＮａＯＨ、ＴＭＡＨなどの強アルカリ溶液による異方性エッチングにより供給口７を形成することができる。より具体的な例としては、結晶方位が＜１１０＞のＳｉからなる基板２上に形成された熱酸化膜をパターニングし、該熱酸化膜を介して加熱したＴＭＡＨ溶液でエッチングすることにより供給口７を形成できる。なお、供給口７の形成は、樹脂層３の形成前や、吐出口６および開口部４の形成前に行うこともできる。続いて、樹脂層３を溶解して、流路８とその周囲を取り囲む溝９を形成する。樹脂層３の除去は、例えばＤｅｅｐ−ＵＶ光等の紫外線等により全面露光を行った後、樹脂層３を溶媒等に溶解し、乾燥することにより行うことができる。さらに、樹脂層３の溶解の際に超音波処理を行えば、樹脂層３の除去をより確実に短時間で行うことができる。
【００２９】
その後、液体吐出ヘッドチップ１つ分の基板２をダイシングソー等により分離切断してチップ化し、エネルギー発生素子１を駆動するための電気接続等を行った後、液体供給のためのチップタンク等の部材を接合することで、液体吐出ヘッドが完成する。本実施形態に係る方法により製造される液体吐出ヘッドは、高精細な記録を実現するための小液滴による記録を安定的に行うことができ、基板２の表面を傷から守るとともに、基板２からの吐出口形成部材５の剥離を抑制することができる。
【００３０】
［第２の実施形態］
本実施形態では、図２（ｃ）に示される工程において、土台となるパターン３ｂの内側部分だけでなく、土台となるパターン３ｂの外側部分にも段差部となる感光部１０を形成する以外は、第１の実施形態と同様に液体吐出ヘッドを製造する。これにより、図３に示されるように、吐出口形成部材の溝と接する両縁部、すなわち、溝９の内周側と外周側の内壁面の両方に段差が設けられた液体吐出ヘッドが得られる。該液体吐出ヘッドでは吐出口形成部材の溝と接する両縁部に段差が設けられているため、該両縁部の端部への応力の集中による、該端部を起点とする基板２からの吐出口形成部材５の剥離を抑制することができる。なお、図３では吐出口形成部材の溝の外周と接する縁部に設けられた段差の厚みおよび幅は、吐出口形成部材の溝の内周と接する縁部に設けられた段差の厚みおよび幅と同じであるが、これらは異なっていてもよい。
【００３１】
［第３の実施形態］
本実施形態では、図２（ｂ）に示される工程において、第１の被覆層５ａの厚さが流路となるパターン３ａの厚さと同じになるように、基板２上に第１の被覆層５ａの材料を塗布する以外は、第１の実施形態と同様に液体吐出ヘッドを製造する。これにより、図４に示されるように、段差部の厚さが、流路の高さと同じ液体吐出ヘッドが得られる。該液体吐出ヘッドでは段差部の厚さが流路の高さと同じであるため、図２（ｂ）に示される工程において、第１の被覆層５ａの材料を容易に均一に塗布することができる。
【００３２】
［第４の実施形態］
本実施形態では、図２（ｃ）に示される工程において、基板面に対し垂直な方向から見た際に鋸歯状である感光部１０を形成する以外は、第１の実施形態と同様に液体吐出ヘッドを製造する。これにより、図５に示されるように、段差部１０の形状が基板面に対し垂直な方向から見て鋸歯状である、すなわち、基板２の上方から見た平（上）面図に表れる流路形成部材５の内側部分の縁部の平面形状が鋸歯状である液体吐出ヘッドが得られる。ここで、鋸歯状とは微細な凹凸形状であり、突出した角部と窪んだ角部とが交互に配置されている形状を示す。段差部１０の形状が基板面に対し垂直な方向から見て鋸歯状であることにより、被覆層の硬化や温度変化により生じる応力による吐出口形成部材５の剥離を抑制することができる。なお、第２の実施形態において、吐出口形成部材の溝と接する両縁部に設けられた段差部１０の形状を、基板面に対し垂直な方向から見て鋸歯状にしてもよい。
【実施例】
【００３３】
以下、本発明の実施例を示すが、本発明はこれらに限定されない。液体吐出ヘッドの吐出口形成部材の剥離性の評価は、以下に示す方法により行った。
【００３４】
［吐出口形成部材の剥離性の評価］
液体吐出ヘッドの基板を含むチップ部分にゴムのキャップをした状態で、以下に示す温湿度サイクル試験を行った。まず、相対湿度を９５％に保ち、２５℃から６５℃まで２時間３０分かけて等速度で昇温させた。温度を６５℃で３時間保持した後、２５℃まで２時間３０分かけて等速度で降温させた。その後、２５℃から６５℃まで２時間３０分かけて等速度で再昇温させた。温度を６５℃で３時間保持した後、２５℃まで２時間３０分かけて等速度で再降温させた。その後、温度を２５℃で１時間３０分保持してから、相対湿度を０％、温度を−１０℃にして３時間３０分保持した。その後、相対湿度を９５％、温度を２５℃にして３時間保持した。以上の工程を１サイクルとして、これを１０サイクル行った。該温湿度サイクル試験後の液体吐出ヘッドについて、吐出口形成部材の溝と接する縁部の剥離の有無を確認した。
【００３５】
［実施例１］
図２を参照して、本実施例における印字幅が広く高速印字が可能な、吐出口列の幅が１ｉｎｃｈ（２．５４ｃｍ）の液体吐出ヘッドの製造方法を示す。
【００３６】
まず、図２（ａ）に示されるように、Ｓｉからなる基板２上に発熱抵抗体であるエネルギー発生素子１を、１ｉｎｃｈ（２．５４ｃｍ）当たり６００個の密度で、６４０個を２列に配置した。次いで、ポリメチルイソプロペニルケトン（商品名：ＯＤＵＲ−１０１０、東京応化工業（株）製）を基板２上にスピンコートにより塗布して乾燥した後、Ｄｅｅｐ−ＵＶ光によりパターン露光し、現像した。これにより、基板２上に、流路となるパターン３ａと、土台となるパターン３ｂからなる溶解可能な樹脂層３を形成した。
【００３７】
次に、図２（ｂ）に示されるように、基板２上にネガ型レジストをスピンコートにより塗布し、吐出口形成部材となる第１の被覆層５ａを形成した。
【００３８】
次に、図２（ｃ）に示されるように、第１の被覆層５ａを、Ｄｅｅｐ−ＵＶ光でパターン露光し、加熱することで段差部となる感光部１０を形成した。
【００３９】
次に、図２（ｄ）に示されるように、第１の被覆層５ａ上に前記ネガ型レジストをスピンコートにより塗布し、第２の被覆層５ｂを形成した。なお、第２の被覆層５ｂの表面は平坦であった。
【００４０】
次に、図２（ｅ）に示されるように、被覆層５にＤｅｅｐ−ＵＶ光をパターン照射し、現像することにより吐出口６および開口部４を形成した。
【００４１】
次に、図２（ｆ）に示されるように、結晶方位が＜１１０＞の基板２の裏面上に形成された熱酸化膜（不図示）をパターニングし、該熱酸化膜を介して８０℃の２２質量％のＴＭＡＨ溶液で基板２を十数時間エッチングすることで、供給口７を形成した。続いて、Ｄｅｅｐ−ＵＶ光により全面露光を行った後、超音波処理を行いながら樹脂層３を溶解し乾燥することで、流路８とその外側を取り囲む溝９を形成した。
【００４２】
その後、基板２をダイシングソーにより分離切断してチップ化し、エネルギー発生素子１を駆動するための電気接続等を行った後、液体供給のためのチップタンク等の部材を接合することで、液体吐出ヘッドを完成させた。得られた液体吐出ヘッドについて、前記吐出口形成部材の剥離性の評価を行ったところ、吐出口形成部材の溝と接する縁部の剥離は確認されなかった。
【００４３】
［実施例２］
本実施例では、図３に示されるように、吐出口形成部材の溝９と接する両縁部に段差が設けられた液体吐出ヘッドを製造した。具体的には、実施例１の図２（ｃ）に示される工程において、土台となるパターン３ｂの内側部分だけでなく、土台となるパターン３ｂの外側部分にも段差部となる感光部１０を形成した以外は、実施例１と同様に液体吐出ヘッドを製造した。得られた液体吐出ヘッドについて、前記吐出口形成部材の剥離性の評価を行ったところ、吐出口形成部材の溝と接する縁部の剥離は確認されなかった。
【００４４】
［実施例３］
本実施例では、図４に示されるように、段差部の厚さが、流路の高さと同じ液体吐出ヘッドを製造した。具体的には、実施例１の図２（ｂ）に示される工程において、第１の被覆層５ａの厚さが流路となるパターン３ａの厚さと同じになるように、基板２上に前記ネガ型レジストを塗布した以外は、実施例１と同様に液体吐出ヘッドを製造した。この時、基板２上に前記ネガ型レジストを容易に均一に塗布することができた。得られた液体吐出ヘッドについて、前記吐出口形成部材の剥離性の評価を行ったところ、吐出口形成部材の溝と接する縁部の剥離は確認されなかった。
【００４５】
［実施例４］
本実施例では、図５に示されるように、段差部の形状が基板面に対し垂直な方向から見て鋸歯状である液体吐出ヘッドを製造した。具体的には、実施例１の図２（ｃ）に示される工程において、基板面に対し垂直な方向から見た際に鋸歯状である感光部１０を形成した以外は、実施例１と同様に液体吐出ヘッドを製造した。得られた液体吐出ヘッドについて、前記吐出口形成部材の剥離性の評価を行ったところ、吐出口形成部材の溝と接する縁部の剥離は確認されなかった。
【００４６】
［比較例１］
本比較例では、図６に示されるように、段差部を有さない液体吐出ヘッドを製造した。具体的には、実施例１の図２（ｃ）に示される工程を行わなかったこと以外は、実施例１と同様に液体吐出ヘッドを製造した。得られた液体吐出ヘッドについて、前記吐出口形成部材の剥離性の評価を行ったところ、吐出口形成部材の溝と接する縁部の剥離が確認された。
【符号の説明】
【００４７】
１      エネルギー発生素子
２      基板
３      樹脂層
３ａ    流路となるパターン
３ｂ    土台となるパターン
４      開口部
５      吐出口形成部材（被覆層）
５ａ    第１の被覆層
５ｂ    第２の被覆層
６      吐出口
７      供給口
８      流路
９      溝
１０    段差部（感光部）
【図１】
2015202587.tif 000003
【図２】
2015202587.tif 000004
【図３】
2015202587.tif 000005
【図４】
2015202587.tif 000006
【図５】
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【図６】
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