(57)【要約】【課題】発塵を抑制することが可能なインク供給装置を提供する。また、発塵を抑制することが可能なインクカートリッジ、インクカートリッジ取付け方法および製造システムを提供する。【解決手段】インクの液滴を吐出する液滴吐出装置に対し、インクが貯留された未使用のインクカートリッジ１５０を搬送してインクを供給するインク供給装置であって、インクカートリッジ１５０と、インクカートリッジ１５０を搬送する台車２００Ａと、を有し、台車２００Ａは電磁石２１１を有し、インクカートリッジ１５０は磁石１５２を有するインク供給装置。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクの液滴を吐出する液滴吐出装置に対し、前記インクが貯留された未使用のインクカートリッジを搬送して前記インクを供給するインク供給装置であって、
前記インクカートリッジと、
前記インクカートリッジを搬送する搬送手段と、を有し、
前記インクカートリッジおよび前記搬送手段のいずれか一方は第１磁力発生手段を有し、他方は前記第１磁力発生手段から発生する磁力に吸引される第１被吸引部を有するインク供給装置。
【請求項２】
前記第１磁力発生手段が電磁石である請求項１に記載のインク供給装置。
【請求項３】
前記第１被吸引部が永久磁石である請求項１または２に記載のインク供給装置。
【請求項４】
前記インクカートリッジおよび前記搬送手段の少なくとも一方は、永久磁石を含む第２磁力発生手段を有し、他方は前記第２磁力発生手段から発生する磁力に吸引される第２被吸引部を有する請求項１から３のいずれか１項に記載のインク供給装置。
【請求項５】
前記インクカートリッジおよび前記搬送手段の載置面のいずれか一方に凹部が設けられ、他方に前記凹部と係合する凸部が設けられている請求項１から４のいずれか１項に記載のインク供給装置。
【請求項６】
前記凹部および前記凸部のいずれか一方は、永久磁石を含む第２磁力発生手段を有し、他方は前記第２磁力発生手段から発生する磁力に吸引される第２被吸引部である請求項５に記載のインク供給装置。
【請求項７】
前記インクカートリッジは、前記インクを貯留する貯留部を有する容器と、前記容器の下方に設けられ前記第１磁力発生手段を有する載置台と、を含む請求項１から６のいずれか１項に記載のインク供給装置。
【請求項８】
基板に対してインクの液滴を吐出し電子部品を製造する液滴吐出装置において交換可能に設けられ、前記インクを貯留するインクカートリッジであって、
前記インクを貯留する貯留部と、
前記貯留部の下方に設けられた磁力発生手段と、を有するインクカートリッジ。
【請求項９】
前記貯留部を有する容器と、
前記磁力発生手段を有し、前記容器が載置される載置台と、を有する請求項８に記載のインクカートリッジ。
【請求項１０】
インクカートリッジの搬送手段からインクカートリッジを持ち上げる工程と、
前記インクカートリッジを、インクの液滴を吐出する液滴吐出装置における所定位置まで移送し、前記所定位置に取り付ける工程と、を有し、
前記インクカートリッジおよび前記搬送手段のいずれか一方が電磁石を有し、他方が磁石を有しており、
前記持ち上げる工程では、前記電磁石と前記磁石との間で生じる磁力により前記インクカートリッジを制震するインクカートリッジ取付け方法。
【請求項１１】
前記持ち上げる工程では、前記インクカートリッジを持ち上げるときに、前記電磁石との間で斥力を生じるように前記電磁石に磁力を発生させる請求項１０に記載のインクカートリッジ取付け方法。
【請求項１２】
前記持ち上げる工程では、持ち上げた前記インクカートリッジの揺れを検知したときに、前記電磁石との間で引力を生じるように前記電磁石に磁力を発生させる請求項１０または１１に記載のインクカートリッジ取付け方法。
【請求項１３】
インクカートリッジに貯留されたインクの液滴を吐出し前記インクの塗膜を成膜する液滴吐出装置と、
請求項１から７のいずれか１項のインク供給装置と、
前記インク供給装置が搬送する前記インクカートリッジを保持し、前記液滴吐出装置における所定位置まで前記インクカートリッジを移送する移送手段と、
前記液滴吐出装置において使用する前記インクカートリッジにおいて、貯留する前記インクの量が予め設定した閾値を下回ったときに、前記インク供給装置と前記移送手段とにより、前記液滴吐出装置において使用していた前記インクカートリッジと、前記インク供給装置において搬送する前記インクカートリッジとを交換するように、前記液滴吐出装置と前記インク供給装置と前記移送手段とを制御する制御手段と、を有する成膜システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク供給装置、インクカートリッジ、インクカートリッジ取付け方法および成膜システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッドが備える複数のノズルからインクの液滴を吐出させ、基板の成膜面にインクを配置する液滴吐出装置が知られている。このような装置では、基板上の近接した位置に異なる種類の任意のインクを吐出し、基板上を塗り分けることが可能である。そのため、例えば、カラーフィルターや有機エレクトロニクス装置の画素に対応した複数種のインクを用い、基板上にインクを成膜することで、カラーフィルターや有機エレクトロニクス装置を製造する製造装置として用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−０４９２８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のような液滴吐出装置を用いた製造工程では、インクを少量ずつインクカートリッジ（以下、カートリッジ）に密封保存し、使用時には開封したカートリッジから液滴吐出装置にインクを供給する、というインクの供給方法を採用することがある。このようにすることで、例えばインク（インク）が劣化しやすい場合に、インクが過度に劣化する前にインクを使い切ることが可能となり、インクの品質を担保することが可能となる。また、インクが不足した場合には、カートリッジを交換することで容易にインクを供給することが可能となる。
【０００５】
しかし、カートリッジに貯留するインクが少量である場合、カートリッジの交換が頻発することが考えられる。そのため、製造工程においては、例えばロボットアームのような装置を用いて、カートリッジの交換を自動化することがある。
【０００６】
このように自動化されたシステムでは、ロボットアームがカートリッジの保存位置からカートリッジを持ち上げる際、ロボットアームごとカートリッジが揺れ、周囲のカートリッジに接触し、擦れ合うおそれがある。
【０００７】
また、カートリッジは、転倒防止のための枠状の治具（ガイド）に囲まれて保存されることがあるが、この場合には、ロボットアームがカートリッジを持ち上げる際に、カートリッジが周囲のガイドに接触するおそれがある。
【０００８】
このような接触により、小さなゴミ（塵）が発生する（発塵する）と、塵は、空調が発生させる気流により移動してインクの塗布面である基板上に付着し、塗膜の品質を低下させるおそれがある。
そのため、このような発塵を抑制可能な技術が求められていた。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、発塵を抑制することが可能なインク供給装置を提供することを目的とする。また、発塵を抑制することが可能なインクカートリッジ、インクカートリッジ取付け方法および製造システムを提供することをあわせて目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明の一態様は、インクの液滴を吐出する液滴吐出装置に対し、前記インクが貯留された未使用のインクカートリッジを搬送して前記インクを供給するインク供給装置であって、前記インクカートリッジと、前記インクカートリッジを搬送する搬送手段と、を有し、前記インクカートリッジおよび前記搬送手段のいずれか一方は第１磁力発生手段を有し、他方は前記第１磁力発生手段から発生する磁力に吸引される第１被吸引部を有するインク供給装置を提供する。
この構成によれば、第１磁力発生手段と第１被吸引部との間の引力により、搬送中のインクカートリッジの転倒を防止することができる。そのため、転倒防止のためにインクカートリッジの周囲に設けている構造を減らす、またはなくすことも可能となり、これらの構造とインクカートリッジとの接触による発塵を抑制することが可能となる。
【００１１】
本発明の一態様においては前記第１磁力発生手段が電磁石である構成としてもよい。
この構成によれば、第１被吸引部との間に生じる磁力の強度、磁力を発生させるタイミングを変更制御可能となる。そのため、使用場面に応じて適切な強度、タイミングで磁力を生じさせ、インクカートリッジの転倒を好適に防止することができ、発塵を抑制することができる。また、第１被吸引部が永久磁石である場合、斥力を発生させることもでき、インクカートリッジの交換時にインクカートリッジを制震することができる。
【００１２】
本発明の一態様においては、前記第１被吸引部が永久磁石である構成としてもよい。
この構成によれば、第１磁力発生手段との間に生じる引力により、インクカートリッジの転倒を防止することができ、発塵を抑制することができる。
【００１３】
本発明の一態様においては、前記インクカートリッジおよび前記搬送手段の少なくとも一方は、永久磁石を含む第２磁力発生手段を有し、他方は前記第２磁力発生手段から発生する磁力に吸引される第２被吸引部を有する構成としてもよい。
この構成によれば、インクカートリッジの転倒防止を補助することができる。
【００１４】
本発明の一態様においては、前記インクカートリッジおよび前記搬送手段の載置面のいずれか一方に凹部が設けられ、他方に前記凹部と係合する凸部が設けられている構成としてもよい。
この構成によれば、凹部と凸部とが係合することでインクカートリッジが搬送手段に係止される。そのため、インクカートリッジの転倒防止を補助することができる。
【００１５】
本発明の一態様においては、前記凹部および前記凸部のいずれか一方は、永久磁石を含む第２磁力発生手段を有し、他方は前記第２磁力発生手段から発生する磁力に吸引される第２被吸引部である構成としてもよい。
この構成によれば、インクカートリッジの転倒防止を補助することができる。
【００１６】
本発明の一態様においては、前記インクカートリッジは、前記インクを貯留する貯留部を有する容器と、前記容器の下方に設けられ前記第１磁力発生手段を有する載置台と、を含む構成としてもよい。
この構成によれば、通常用いられているインクカートリッジについても転倒を防止することができ、発塵を抑制することができる。
【００１７】
本発明の一態様においては、基板に対してインクの液滴を吐出し電子部品を製造する液滴吐出装置において交換可能に設けられ、前記インクを貯留するインクカートリッジであって、前記インクを貯留する貯留部と、前記貯留部の下方に設けられた磁力発生手段と、を有するインクカートリッジを提供する。
この構成によれば、磁力発生手段が形成する磁界によりインクカートリッジと周囲の構造との間に引力を生じさせ、当該引力により自身の転倒を抑制することができ、発塵を抑制することができる。
【００１８】
本発明の一態様においては、前記貯留部を有する容器と、前記磁力発生手段を有し、前記容器が載置される載置台と、を有する構成としてもよい。
この構成によれば、通常用いられているインクカートリッジについても転倒を防止することができ、発塵を抑制することができる。
【００１９】
また、本発明の一態様は、インクカートリッジの搬送手段からインクカートリッジを持ち上げる工程と、前記インクカートリッジを、インクの液滴を吐出する液滴吐出装置における所定位置まで移送し、前記所定位置に取り付ける工程と、を有し、前記インクカートリッジおよび前記搬送手段のいずれか一方が電磁石を有し、他方が磁石を有しており、前記持ち上げる工程では、前記電磁石と前記磁石との間で生じる磁力により前記インクカートリッジを制震するインクカートリッジ取付け方法を提供する。
この構成によれば、電磁石を駆動させて磁石との間に磁力を発生させ、生じる磁力によりインクカートリッジの制震が可能となる。すなわち、インクカートリッジを液滴吐出装置に取り付ける際、インクカートリッジを持ち上げる操作においてインクカートリッジが揺れ、周囲の構造と接触して発塵するおそれがあるが、電磁石を用いることにより、磁力の強度、磁力を発生させるタイミング、磁極の向きを適宜制御し、インクカートリッジを制震することができる。
【００２０】
本発明の一態様においては、前記持ち上げる工程では、前記インクカートリッジを持ち上げるときに、前記電磁石との間で斥力を生じるように前記電磁石に磁力を発生させる方法としてもよい。
この構成によれば、インクカートリッジを持ち上げる際に持ち上げ動作を補助することができるため、スムーズに持ち上げることができ、インクカートリッジの揺れを抑えることが可能となる。
【００２１】
本発明の一態様においては、前記持ち上げる工程では、持ち上げた前記インクカートリッジの揺れを検知したときに、前記電磁石との間で引力を生じるように前記電磁石に磁力を発生させる方法としてもよい。
この構成によれば、インクカートリッジが揺れていたとしても、インクカートリッジは下方に引かれるため、揺れが低減する。
【００２２】
また、本発明の一態様は、インクカートリッジに貯留されたインクの液滴を吐出し前記インクの塗膜を成膜する液滴吐出装置と、上述のインク供給装置と、前記インク供給装置が搬送する前記インクカートリッジを保持し、前記液滴吐出装置における所定位置まで前記インクカートリッジを移送する移送手段と、前記液滴吐出装置において使用する前記インクカートリッジにおいて、貯留する前記インクの量が予め設定した閾値を下回ったときに、前記インク供給装置と前記移送手段とにより、前記液滴吐出装置において使用していた前記インクカートリッジと、前記インク供給装置において搬送する前記インクカートリッジとを交換するように、前記液滴吐出装置と前記インク供給装置と前記移送手段とを制御する制御手段と、を有する成膜システムを提供する。
この構成によれば、発塵を抑制し、高品質の成膜が可能な成膜システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本実施形態に係る成膜システムについて説明する模式図である。
【図２】本実施形態に係るインク供給装置の説明図である。
【図３】インクカートリッジ取付け方法について説明する説明図である。
【図４】本実施形態に係るインクカートリッジの変形例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図を参照しながら、本実施形態に係るインク供給装置、インクカートリッジ、インクカートリッジ取付け方法および成膜システムについて説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。
【００２５】
図１は、本実施形態に係る成膜システムについて説明する模式図である。本実施形態に係る成膜システム１０００は、例えば、インクジェット方式により基板Ｐ上の所定位置に有機ＥＬ材料の液滴（インク）を吐出して有機ＥＬ層を形成し、有機ＥＬパネル（電子部品）を製造する際に用いられる。
【００２６】
図に示すように、本実施形態の成膜システム１０００は、液滴吐出装置１００、インク供給装置２００、ロボットアーム（移送手段）３００、制御部（制御手段）４００を有している。
【００２７】
液滴吐出装置１００は、ステージ１１０、ステージ移動装置１２０、キャリッジ１３０、キャリッジ移動装置１４０、インクカートリッジ１５０、チューブ１６０、架台１７０を有している。
【００２８】
ステージ１１０は、上面に基板Ｐを載置し、載置した基板Ｐをキャリッジ１３０に対して相対的に移動させる。
【００２９】
ステージ移動装置１２０は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を有し、一方向に帯状に延在した一対のレール１２１を備えている。ステージ移動装置１２０は、ステージ１１０をレール１２１の延在方向に移動させる。
【００３０】
キャリッジ１３０は、ステージ移動装置１２０により移動される基板Ｐに対向する下面に、複数の液滴吐出ヘッド（不図示）を保持している。液滴吐出ヘッドは、基板Ｐに対してインクの液滴Ｄを吐出する。
【００３１】
キャリッジ移動装置１４０は、一対のレール１２１両側に設けられた一対の橋脚１４１と、レール１２１の上方を跨ぐよう一対の橋脚１４１に掛け渡されたガイド１４２と、を有している。キャリッジ移動装置１４０は、キャリッジ１３０をガイド１４２に沿って、基板Ｐの搬送方向と交差する方向に移動可能に設けられている。また、キャリッジ移動装置１４０は、キャリッジ１３０を液滴Ｄの吐出方向に上下移動可能に設けられている。
【００３２】
インクカートリッジ１５０は、例えば赤色発光材料、緑色発光材料、青色発光材料など各々の材料を含むインクに対応して、インクの種類ごとに設けられている。インクカートリッジ１５０は、それぞれチューブ１６０を介して、キャリッジ１３０が備える液滴吐出ヘッドと接続されている。
【００３３】
架台１７０は、上面に複数のインクカートリッジ１５０を載置する載置台である。架台１７０上にインクカートリッジ１５０を載置し、キャリッジ１３０よりもインクカートリッジ１５０内の液面を高くしておくことで、インクの塗布時にインクカートリッジ１５０からインクを吸い出すための動力を抑制することができる。
【００３４】
インク供給装置２００は、未使用のインクカートリッジ１５０と、インクカートリッジ１５０を搬送する台車（搬送手段）２００Ａとを有している。インク供給装置２００は、インクカートリッジ１５０の保管場所から未使用のインクカートリッジ１５０を液滴吐出装置１００の近傍まで搬送する。また、液滴吐出装置１００において使用した使用済みのインクカートリッジ１５０を載置し、適宜所定の保管場所に搬送する。
【００３５】
インク供給装置２００の動作は、制御部４００から供給される制御信号に基づいて自動化されている。もちろん、搬送動作については、作業者が人の手で行ってもよい。インク供給装置２００の構成については、後に詳述する。
【００３６】
ロボットアーム３００は、インクカートリッジ１５０を把持可能な把持部３１０と、把持部３１０が接続された多関節のアーム３２０と、アーム３２０が接続された基台３３０とを有している。アーム３２０は、円筒状の軸部３２１と、軸部３２１を連結する複数の関節部３２２とを有している。関節部３２２は、軸部３２１の延在方向に沿って設定された回転軸の回りを回転可能に設けられている。また、関節部３２２は、連結する２つの軸部３２１の開き角を変更可能となっている。
【００３７】
このようなロボットアーム３００は、架台１７０上のインクカートリッジ１５０を持ち上げ台車２００Ａ上に載置する。また、インク供給装置２００が搬送する未使用のインクカートリッジ１５０を持ち上げ、架台１７０上の所定の位置にインクカートリッジ１５０を載置する。
【００３８】
制御部４００は、液滴吐出装置１００、インク供給装置２００およびロボットアーム３００の動作を制御する。制御部４００には、液滴吐出装置１００、インク供給装置２００およびロボットアーム３００に設けられたセンサーからの信号や、使用者の入力装置による指示が入力され、これらの入力信号に基づいて、各装置のそれぞれの動作、および各装置の連動した動作を制御する制御信号を、各装置に供給する。液滴吐出装置１００、インク供給装置２００およびロボットアーム３００においては、供給される制御信号に基づいて、インクの塗布、インクカートリッジの搬送、移送などの動作を行う。
【００３９】
例えば、制御部４００は、液滴吐出装置１００において使用するインクカートリッジ１５０において、貯留するインクの内容量が予め設定した閾値を下回ったときに、液滴吐出装置１００、インク供給装置２００およびロボットアーム３００に、インクカートリッジ１５０交換の指示を出す。すなわち、液滴吐出装置１００において使用していたインクカートリッジ１５０と、インク供給装置２００において搬送するインクカートリッジ１５０とを交換するように、液滴吐出装置１００とインク供給装置２００とロボットアーム３００とを制御し、ロボットアーム３００でインクカートリッジ１５０を持ち上げて交換する。
【００４０】
図２は、本実施形態に係るインク供給装置２００の説明図である。図２（ａ）はインクカートリッジ１５０の説明図であり、図２（ｂ）は台車２００Ａの説明図である。
【００４１】
図２（ａ）に示すように、インクカートリッジ１５０は、筐体１５１と、筐体１５１内部の下方に配置された磁石（磁力発生手段）１５２と、筐体１５１の下面１５１ｘに設けられた複数（図では４つ）の凸部１５３と、を有している。
【００４２】
ここで、「下方」「下面」との記載における「下」とは、インクカートリッジ１５０を台車２００Ａで搬送する時、およびインクカートリッジ１５０を液滴吐出装置１００に設置した時の重力方向下方のことを指す。
【００４３】
筐体１５１は、インクカートリッジ１５０の外形を規定する。図では、筐体１５１は、高さ方向に長い直方体状の形状を呈することとしている。筐体の形成材料は、ロボットアーム３００で無理なく把持可能であれば、金属材料であってもよく、樹脂材料であってもよい。
【００４４】
筐体１５１内には、インクを貯留する空間である貯留部１５１ａが設けられている。貯留部１５１ａでは、インクを直接貯留することとしてもよく、ガスバリア性を有するフィルム材料で形成された袋状のインクバックにインクを収容し、当該インクバックを貯留部１５１ａに収容することとしてもよい。
【００４５】
磁石１５２は、貯留部１５１ａの下方に設けられている。磁石１５２は永久磁石であり、Ｎ極とＳ極とのいずれか一方の極が貯留部１５１ａに面し、他方の極が下面１５１ｘに面している。
【００４６】
凸部１５３は、下面１５１ｘの四隅に設けられた半球状の形状を呈する部分である。４つの凸部１５３は、下面１５１ｘから下方に同じ高さだけ突出している。これにより、インクカートリッジ１５０は、平らな床面等においても、ガタ付きなく安定に保管することができる。また、４つの凸部１５３は、それぞれ鉄など磁力に吸引される材料で形成されている。
【００４７】
図２（ｂ）に示すように、台車２００Ａは、上面にインクカートリッジ１５０を載置する載置面２１０ａを有する載置部２１０と、載置面２１０ａに設けられ載置面２１０ａを複数（図では４つ）の区画２０１に分割するガイド２２０と、載置部２１０の下面（載置面２１０ａとは反対側の面）に設けられた車輪２３０と、を有している。
【００４８】
このような台車２００Ａは、４つの区画２０１にそれぞれ１対１でインクカートリッジ１５０を収容して搬送する。
【００４９】
載置部２１０は、平面視において４つの区画２０１それぞれの中央位置に、電磁石２１１を有している。また、載置面２１０ａには、４つの区画２０１のそれぞれに、４つの凹部２１２が設けられている。
【００５０】
電磁石２１１は、区画２０１にインクカートリッジ１５０を収容したときに、インクカートリッジ１５０が有する磁石１５２と対向する位置に設けられている。電磁石２１１には不図示の電流供給部が接続され、制御部４００からの入力信号に基づいて、載置面２１０ａ側にＮ極またはＳ極のいずれか一方の磁極が生じるように設けられている。
【００５１】
凹部２１２は、区画２０１にインクカートリッジ１５０を収容したときに、インクカートリッジ１５０が有する凸部１５３と係合する位置に設けられた、平面視円形の椀型の窪みである。これにより、台車２００Ａは、載置されたインクカートリッジ１５０を安定に搬送することができる。
【００５２】
また、凹部２１２には、永久磁石が設けられている。そのため、区画２０１にインクカートリッジ１５０を収容したときに、凹部２１２内の永久磁石は、インクカートリッジ１５０が有する凸部１５３を吸引し、インクカートリッジを固定する。これにより、台車２００Ａは、載置されたインクカートリッジ１５０を安定に搬送することができる。
【００５３】
なお、図では、凹部２１２が平面視円形の椀型の窪みであることとしたが、凸部１５３を収容可能であれば、凹部２１２の形状は他の形状であってもよい。
【００５４】
ガイド２２０は、載置面２１０ａに載置されたインクカートリッジ１５０の周囲を囲むように設けられる。ガイド２２０は、インクカートリッジ１５０の転倒を防止する機能を有する。図では、ガイド２２０が板状の部材であり、連続した構造として示したが、これに限らず、例えば、板状部材の代わりに複数のピンを枠状に立てるような不連続な構造であってもよい。
【００５５】
車輪２３０は、不図示のモーターと接続されており、制御部４００の指示に基づいて台車２００Ａを移動させる。
【００５６】
本実施形態において、インクカートリッジ１５０が有する磁石１５２は、本発明における第１被吸引部に該当する。また、台車２００Ａが有する電磁石は、本発明における第１磁力発生手段に該当する。
【００５７】
また、本実施形態において、凹部２１２に設けられた永久磁石は、本発明における第２磁力発生手段に該当し、磁力に吸引される材料で形成された凸部１５３は、本発明における第２被吸引部に該当する。
本実施形態の成膜システム１０００、インクカートリッジ１５０およびインク供給装置２００は、以上のような構成となっている。
【００５８】
図３は、上述のインク供給装置２００を用いたインクカートリッジ取付け方法について説明する説明図であり、図１の線分III−IIIにおける矢視断面図である。
【００５９】
本実施形態のインクカートリッジ取付け方法は、インク供給装置２００を用いて搬送したインクカートリッジを、ロボットアーム３００を用いて持ち上げ（持ち上げる工程）、インクカートリッジ１５０を液滴吐出装置１００の架台（所定位置）１０７に取り付ける（取り付ける工程）を有する。
【００６０】
まず、インク供給装置２００を用いて、不図示の保管場所からインクカートリッジ１５０をロボットアーム３００の近傍にまで搬送する。インクカートリッジ１５０の搬送中には、インクカートリッジ１５０の磁石１５２と台車２００Ａの電磁石２１１との間に引力を生じるように電磁石２１１に磁力を発生させていてもよい。これにより、インクカートリッジ１５０を下方に引き寄せ、搬送中の転倒を防止することができる。
【００６１】
次いで、ロボットアーム３００を用いて、インクカートリッジ１５０を持ち上げる。この際、インクカートリッジ１５０に設けられた磁石１５２と、台車２００Ａに設けられた電磁石２１１とは、インクカートリッジ１５０を持ち上げる際の制震手段として用いることができる。
【００６２】
図３（ａ）は、インクカートリッジ１５０を持ち上げるときの揺れを抑える制御方法について示す図である。図に示すように、インク供給装置２００がインクカートリッジ１５０を所定の位置まで搬送すると、ロボットアーム３００が動作し、把持部３１０でインクカートリッジ１５０の上方側面を把持する。このとき、インクカートリッジ１５０の凸部１５３は、台車２００Ａの凹部２１２に係合し、凹部２１２に設けられた永久磁石が凸部１５３を磁力で吸引している。図では、磁力を符号Ｆ１で示している。
【００６３】
ロボットアーム３００は、インクカートリッジ１５０に加わる重力Ｇと磁力Ｆ１との合力を超える力Ｆをインクカートリッジ１５０に加えることで、インクカートリッジ１５０を持ち上げることが可能である。本実施形態のインク供給装置２００においては、インクカートリッジ１５０を持ち上げる時に、電磁石２１１と磁石１５２との間に斥力Ｆ２を生じるように電磁石２１１に磁力を発生させる。これにより、ロボットアーム３００の補助をすることができ、インクカートリッジ１５０をスムーズに持ち上げることができ、インクカートリッジ１５０の揺れを抑えることが可能となる。
【００６４】
斥力Ｆ２の強さは、適宜設定することができる。例えば、磁力Ｆ１を相殺する程度の強度としてもよく、磁力Ｆ１よりも大きい強度としてもよい。また、ロボットアーム３００でインクカートリッジ１５０を持ち上げるまでの間、一定の強度の斥力Ｆ２を発生させてもよく、持ち上げ動作の開始時からインクカートリッジ１５０が浮き上がるまで斥力Ｆ２を漸減させてもよい。
【００６５】
図３（ｂ）は、インクカートリッジ１５０を持ち上げる後に揺れを低減させる制御方法について示す図である。図に示すように、持ち上げたインクカートリッジ１５０が揺れてしまった場合（揺れたインクカートリッジ１５０を二点鎖線で示す）、電磁石２１１と磁石１５２との間に引力Ｆ３を生じるように電磁石２１１に磁力を発生させる。これにより、インクカートリッジ１５０は下方に引かれ、揺れが低減する。
【００６６】
電磁石２１１は、インクカートリッジ１５０の揺れを検知した時に引力Ｆ３を生じるように動作させる。インクカートリッジ１５０の揺れは、通常知られた方法により検知することができる。例えば、ロボットアーム３００に取り付けられたカメラなどの光学的なセンサーにより揺れを検出することとしてもよく、把持部３１０に設けられた加速度センサーにより把持部３１０の揺れを検知し、間接的にインクカートリッジ１５０の揺れを検出することとしてもよい。制御部４００は、検知した揺れに基づいて電磁石２１１を動作させる制御信号を供給する。
【００６７】
引力Ｆ３の強さは、適宜設定することができる。例えば、検知するインクカートリッジ１５０の揺れが収まるまで一定強度の引力Ｆ３を発生させてもよく、揺れが収まるまでの間に引力Ｆ３を漸減させてもよい。
【００６８】
その後、ロボットアーム３００は、持ち上げたインクカートリッジ１５０を液滴吐出装置１００の架台１７０に配置する。架台１７０には、インクカートリッジ１５０の凸部１５３が係合する凹部が設けられていてもよい。
【００６９】
なお、上記図３（ａ）の制御と図３（ｂ）の制御は、それぞれ一方のみ行ってもよく、インクカートリッジ１５０を持ち上げ始めてから、持ち上げたインクカートリッジ１５０の揺れが収まるまでの連続した制御して両方を行ってもよい。
本実施形態のインクカートリッジ取付け方法は、以上のような構成となっている。
【００７０】
以上のような構成のインク供給装置２００によれば、電磁石２１１によって発生する磁力で、搬送中のインクカートリッジ１５０の転倒を防止することができる。そのため、転倒防止のために設けているガイド２２０を減らす、またはガイド２２０をなくすことも可能となる。
【００７１】
また、インク供給装置２００において、磁石１５２と電磁石２１１との間に生じる斥力により、インクカートリッジ１５０を持ち上げる動作を補助し、スムーズな持ち上げ動作を実現することができる。これにより、インクカートリッジ１５０を持ち上げる際の揺れを抑制し、インクカートリッジ１５０とガイド２２０との衝突・擦れによる発塵を抑制することができる。
【００７２】
さらに、インク供給装置２００において、磁石１５２と電磁石２１１との間に生じる引力により、インクカートリッジ１５０を持ち上げた後のインクカートリッジ１５０の揺れを抑制し、インクカートリッジ１５０とガイド２２０との衝突・擦れによる発塵を抑制することができる。
【００７３】
以上により、本実施形態のインク供給装置２００によれば、発塵を抑制することが可能となる。
【００７４】
また、本実施形態のインクカートリッジ１５０によれば、発塵を抑制することが可能となる。
【００７５】
また、本実施形態の成膜システム１０００によれば、発塵を抑制し、高品質の成膜が可能となる。
【００７６】
なお、本実施形態においては、第１磁力発生手段が電磁石２１１であることとしたが、第１磁力発生手段が永久磁石であってもよい。また、第１被吸引部が磁石１５２であることとしたが、第１被吸引部が第１磁力発生手段から発生する磁力に吸引される磁石または鉄などの金属材料であることとしてもよい。このような構成であっても、搬送中のインクカートリッジ１５０の転倒を抑制することができ、発塵を抑制することができる。これらの採用可能な構成は、適宜組み合わせて採用することができる。
【００７７】
第１被吸引部が、永久磁石や磁力に吸引される材料で形成され、台車２００Ａに設けられる場合、第１被吸引部は区画２０１ごとに設けられることなく、隣り合う区画２０１にまたがって形成されていてもよい。
【００７８】
また、本実施形態においては、第１磁力発生手段が台車２００Ａに設けられ、第１被吸引部がインクカートリッジ１５０に設けられることとしたが、これは逆でもよい。インクカートリッジ１５０に第１磁力発生手段として電磁石を設ける場合、インクカートリッジ１５０にはバッテリーを搭載することが望ましく、また、電磁石を操作するための通信手段や操作手段を有することが望ましい。
【００７９】
また、本実施形態においては、凸部１５３および凸部１５３に係合する凹部２１２を設けることとしたが、これらはなくてもよい。凸部１５３および凹部２１２を設けない場合であっても、台車２００Ａにインクカートリッジ１５０を磁力で吸引するための構成として、例えば凸部１５３および凹部２１２と同じ位置に永久磁石（第２磁力発生手段）と、永久磁石や鉄など磁力に吸引される材料で形成される部材（第２被吸引部）を設けてもよい。
【００８０】
また、本実施形態においては、凹部２１２に設けられた第２磁力発生手段が永久磁石であることとしたが、第１磁力発生手段は電磁石であっても機能する。まだ凸部１５３は、鉄など磁力に吸引される材料で形成されることとしたが、永久磁石や電磁石であっても機能する。
【００８１】
また、本実施形態においては、インクカートリッジ１５０に凸部１５３を設け、台車２００Ａに凹部２１２を設けることとしたが、互いに係合する位置に設けられて入れば、インクカートリッジ１５０が凹部を有し、台車２００Ａが凸部を有することとしてもよい。インクカートリッジ１５０が凹部を有する構成では、凹部の位置や形成位置によらず、平らな床面等において、ガタ付きなく安定に保管することができる。
【００８２】
また、本実施形態においては、インクカートリッジ１５０は、貯留部１５１ａを有する筐体１５１が磁石１５２と凸部１５３とを有することとして示したが、これに限らない。
【００８３】
図４は、インクカートリッジの変形例を示す説明図であり、図２（ａ）に対応する図である。
【００８４】
図４（ａ）に示すように、変形例のインクカートリッジ１５５は、容器１５６と、容器１５６が載置される載置台１５７と、を有している。
【００８５】
容器１５６は、インクを貯留する貯留部１５６ａを有している。容器１５６としては、例えば従来用いられていたインクカートリッジを流用することが可能である。
【００８６】
載置台１５７は、磁石（磁力発生手段）１５８を有し、下面に４つの凸部１５９を有している。磁石１５８は、上述の磁石１５２に対応し、凸部１５９は、上述の凸部１５３に対応する構成であり、同様の構成を採用することができる。
【００８７】
このような載置台１５７には、上面の載置面１５７ａに容器１５６を載置し（図４（ａ））、容器１５６と載置台１５７とを一体に固定する。これにより、貯留部１５６ａと、貯留部１５６ａの下方に設けられた磁力発生手段である磁石１５８を有するインクカートリッジ１５５として用いることができる（図４（ｂ））。
【００８８】
このような構成のインクカートリッジ１５５においては、汎用のインクカートリッジを容器１５６として用いることで、従来のインクカートリッジを用いても発塵を抑制することが可能となる。
【００８９】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００９０】
例えば、本実施形態においては、成膜システム１０００を用いて有機ＥＬパネルを製造することとしたが、これに限らず、例えばカラーフィルター（電子部品）も製造することができる。
【符号の説明】
【００９１】
１００…液滴吐出装置、１５０，１５５…インクカートリッジ、１５１ａ，１５６ａ…貯留部、１５２，１５８…磁石（磁力発生手段）、１５３，１５９…凸部、１５６…容器、１５７…載置台、１７０…架台（所定位置）、２１０ａ…載置面、２００…インク供給装置、２００Ａ…台車（搬送手段）、２１１…電磁石、２１２…凹部、３００…ロボットアーム（移送手段）、４００…制御部（制御手段）、１０００…成膜システム、Ｄ…液滴、Ｆ…力、Ｐ…基板、Ｆ２…斥力、Ｆ３…引力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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