(57)【要約】【課題】端部をカットした柔軟物を所定位置に精度良く貼り付けられるようにする。【解決手段】第１の吸着ヘッド７１でテープ５を吸着した状態で、テープカッター４でテープ５をカットする。この後、第２の吸着ヘッド７２によるテープ５の吸着を行うと共に、蛇腹部７６を収縮させることによって第２の吸着ヘッド７２を第１の吸着ヘッド７１かは離れる方向に移動させる。テープ５がスライドし、テープ５の端部が第１の吸着ヘッド７１の下方に移動するので、撮像装置１４でテープ５の位置ずれを検出し、ロボットハンド１２の位置を修正する。【選択図】図７
2015047677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
柔軟物を吸着保持する第１の吸着ヘッドと、
前記第１の吸着ヘッドに対して移動可能で、前記柔軟物を吸着保持する第２の吸着ヘッドと、
前記第２の吸着ヘッドを前記第１の吸着ヘッドに対して所定距離だけ移動させる駆動部と、
前記柔軟物を吸着保持した前記第２の吸着ヘッドを所定距離だけ前記第１の吸着ヘッドから引き離した後に前記第１の吸着ヘッドに吸着された前記柔軟物の端部を撮影する撮像装置と、
前記撮像装置で撮影した前記柔軟物の端部の基準位置からの位置ずれを算出し、位置ずれを補正する制御装置と、
を含むことを特徴とする柔軟物の位置合わせ装置。
【請求項２】
前記駆動部は、前記第１の吸着ヘッドの外側に配置された前記柔軟物の端部を前記第１の吸着ヘッドの下方に引き込む位置まで前記第２の吸着ヘッドを前記第１の吸着ヘッドに対して移動させるように構成したことを特徴とする請求項１に記載の柔軟物の位置合わせ装置。
【請求項３】
前記制御装置は、前記駆動部で前記第２の吸着ヘッドを移動させるときに、前記第１の吸着ヘッドにおける前記柔軟物の吸着力を前記第２の吸着ヘッドにおける前記柔軟物の吸着力より小さく設定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の柔軟物の位置合わせ装置。
【請求項４】
前記駆動部は、前記第２の吸着ヘッドに接続され、前記第２の吸着ヘッドに吸着力を発生させる配管の一部に設けられ、前記配管を減圧したときに収縮する蛇腹部を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の柔軟物の位置合わせ装置。
【請求項５】
吸着ヘッドに柔軟物を吸着保持し、
前記吸着ヘッドに吸着保持した柔軟物を前記吸着ヘッドから離れた位置に配置されたカッターで切断し、
吸着ヘッドの一部を移動させて前記柔軟物の切断により生じた端部を吸着ヘッドの下方まで移動させ、
前記吸着ヘッドの下方に配置された前記柔軟物の端部を撮像し、基準位置からの位置ずれを算出し、
前記柔軟物の基準位置からの位置ずれを補正し、前記吸着ヘッドで前記柔軟物をワークの所定位置に押し当てることを特徴とする柔軟物の位置合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、柔軟物の位置合わせ装置及び柔軟物の位置合わせ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話や情報処理装置の製造工程では、テープなどの柔軟物をＩＣ（Integrated Circuit）の表面に貼り付けて絶縁を確保したり、テープで電池をケースに貼り付けて電池の脱落を防止したりしている。ここで、テープを貼り付けるときには、テープ貼り付け装置を使用し、ＩＣなどのワークの所定位置に自動でテープを貼り付けている。従来のテープ貼り付け装置は、移動自在なクランプ部材を有し、クランプ部材でテープロールから延びるテープの先端を挟み、テープをテープロールから引き出す。続いて、引き出したテープに吸着保持部材を押し当てて、テープを吸着保持する。さらに、カッターでテープを切断した後、クランプ部材をテープから離脱させ、吸着保持部材のみでテープを保持する。この後、吸着保持部材をワークに向けて移動させ、テープをワークの表面に押し付ける。これによって、テープがワークに貼り付けられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１３２９１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、図１３に一例を示すように、従来のテープ貼り付け装置１０１では、カッター１５１の作業領域を確保するために、カッター１５１によるテープ１０５の切断面と、吸着保持部材１０２の端面とを一致させることはできなかった。ここで、テープ１０５をワークに位置決めして貼り付ける場合には、切断後のテープ１０５の端部１０５Ａの位置を撮像装置１１４で撮影して確認する必要がある。しかしながら、テープ１０５の端部１０５Ａが吸着保持部材１０２からはみ出していることから、柔軟物であるテープ１０５の端部１０５Ａの姿勢が安定せず、カットされたテープ１０５の端部１０５Ａを撮像装置１１４で正確な検出できなかった。このために、テープ１０５をワークの所定位置に正確に貼り付けることが困難であった。
このような事情を鑑み、１つの側面として、端部をカットした柔軟物を所定位置に精度良く貼り付けられるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態の一観点によれば、柔軟物を吸着保持する第１の吸着ヘッドと、前記第１の吸着ヘッドに対して移動可能で、前記柔軟物を吸着保持する第２の吸着ヘッドと、前記第２の吸着ヘッドを前記第１の吸着ヘッドに対して所定距離だけ移動させる駆動部と、前記柔軟物を吸着保持した前記第２の吸着ヘッドを所定距離だけ前記第１の吸着ヘッドから引き離した後に前記第１の吸着ヘッドに吸着された前記柔軟物の端部を撮影する撮像装置と、前記撮像装置で撮影した前記柔軟物の端部の基準位置からの位置ずれを算出し、位置ずれを補正する制御装置と、を含むことを特徴とする柔軟物の位置合わせ装置が提供される。
【０００６】
また、装置の別の観点によれば、吸着ヘッドに柔軟物を吸着保持し、前記吸着ヘッドに吸着保持した柔軟物を前記吸着ヘッドから離れた位置に配置されたカッターで切断し、吸着ヘッドの一部を移動させて前記柔軟物の切断により生じた端部を吸着ヘッドの下方まで移動させ、前記吸着ヘッドの下方に配置された前記柔軟物の端部を撮像し、基準位置からの位置ずれを算出し、前記柔軟物の基準位置からの位置ずれを補正し、前記吸着ヘッドで前記柔軟物をワークの所定位置に押し当てることを特徴とする柔軟物の位置合わせ方法が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
柔軟物を吸着保持しながらスライド移動させ、柔軟物の端部を撮像領域内で吸着保持する。これによって、柔軟物の位置を正確に計測することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態に係る柔軟物の位置合わせ装置の概略構成の一例を示す図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態に係る柔軟物の位置合わせ装置の一例の一部を拡大して示す図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施の形態に係る柔軟物の位置合わせ装置の吸着ヘッドの一例を撮像装置側から見た底面図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施の形態に係る柔軟物の位置合わせ装置を用いた柔軟物の位置合わせ方法及び貼り付け方法の一例を示すフローチャートである。
【図５】図５は、本発明の第１の実施の形態に係る柔軟物の位置合わせ装置を用いた柔軟物の位置合わせ工程の一例を説明する図である。（その１）
【図６】図６は、本発明の第１の実施の形態に係る柔軟物の位置合わせ装置を用いた柔軟物の位置合わせ工程の一例を説明する図である。（その２）
【図７】図７は、本発明の第１の実施の形態に係る柔軟物の位置合わせ装置を用いた柔軟物の位置合わせ工程の一例を説明する図である。（その３）
【図８】図８は、本発明の第１の実施の形態に係る柔軟物の位置合わせ装置の吸着ヘッドで柔軟物の端部を吸着した状態の一例を示す底面図である。
【図９】図９は、本発明の第１の実施の形態に係る柔軟物の位置合わせ装置を用いて柔軟物をワークに貼り付けた状態の一例を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の第２の実施の形態に係る柔軟物の位置合わせ装置の概略構成の一例及び柔軟物の位置合わせ工程の一例を説明する図である。
【図１１】図１１は、本発明の第２の実施の形態に係る柔軟物の位置合わせ装置を用いた柔軟物の位置合わせ工程の一例を説明する図である。
【図１２】図１２は、本発明の第２の実施の形態に係る柔軟物の位置合わせ装置を用いて柔軟物をワークに貼り付けた状態の一例を示す図である。
【図１３】図１３は、従来の柔軟物の貼り付け装置の概略構成の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
発明の目的及び利点は、請求の範囲に具体的に記載された構成要素及び組み合わせによって実現され達成される。
前述の一般的な説明及び以下の詳細な説明は、典型例及び説明のためのものであって、本発明を限定するためのものではない。
【００１０】
（第１の実施の形態）
図１に貼り付け装置の概略構成を示す。
貼り付け装置１は、柔軟物であるテープ５の位置合わせ装置２と、テープ５を貼り付けるワークＷを保持するテーブル装置３とを有する。ここで、この実施の形態における位置決め対象物である柔軟物は、テープカッター４に装着されたテープ５である。テープ５は、絶縁性を有する樹脂材料の一面に接着層が形成されている。また、テープ５は、細長で帯状の部材であるが、必ずしも細長でなくても良い。また、テープ５は、吸着保持されている部分以外は重力によって垂れ下がる程度の剛性を有する。なお、絶縁体は、テープ５に限定されない。また、ワークＷには、ＩＣや基板、電池を装着したケースなど、任意の部品、又は部品の組み合わせを使用できる。
【００１１】
位置合わせ装置２は、制御装置１０によって制御される多関節ロボット１１を有する。多関節ロボット１１の先端のロボットハンド１２には、テープ吸着部１３が取り付けられている。さらに、テープ吸着部１３の下方には、撮像装置１４が配置されている。
【００１２】
図２に一部を拡大して示すように、テープ吸着部１３は、ロボットハンド１２の底部に固定された第１の吸着ヘッド２１と、第１の吸着ヘッド２１に対してスライド移動可能な第２の吸着ヘッド２２とを有する。第１の吸着ヘッド２１は、底面が平坦になっており、複数の吸着孔２３が配列されている。例えば、図３に底面を示すように、第１の吸着ヘッド２１の複数の吸着孔２３は、テープ５の幅より狭い幅で２列に配列される。図１及び図２に示すように、各吸着孔２３は、第１の吸着ライン２４に接続されている。第１の吸着ライン２４は、ロボットハンド１２に近い方から順番に、配管に負圧を発生させるエジェクタ２５と、圧力調整用のレギュレータ２６とが接続されている。
【００１３】
第２の吸着ヘッド２２は、スライド機構３１を介してロボットハンド１２の底面に連結されている。スライド機構３１には、例えば、リニアガイドが用いられる。第２の吸着ヘッド２２の移動方向は、矢印に示すように、第１の吸着ヘッド２１に接近又は離れる方法である。この方向は、テープカッター４からテープ５が引き出される方向と略一致する。第２の吸着ヘッド２２は、底面が平坦になっており、複数の吸着孔３２が配列されている。例えば、図３に底面を示すように、第２の吸着ヘッド２２の複数の吸着孔３２は、例えばテープ５の幅より狭い幅で２列に配列される。図１及び図２に示すように、各吸着孔３２は、第２の吸着ライン３５に接続されている。第２の吸着ライン３５は、ロボットハンド１２に近い方から順番に配管に負圧を発生させるエジェクタ３７と、圧力調整用のレギュレータ３８と接続されている。
【００１４】
さらに、テープ吸着部１３は、第２の吸着ヘッド２２の駆動装置として、駆動部であるアクチュエータ４１を有する。アクチュエータ４１は、ロッド４３がケースに進退自在に支持されている。アクチュエータ４１のケースは、ロボットハンド１２に固定されており、電磁弁４２からの信号によってロッド４３を進退させることができる。ロッド４３の先端は、第２の吸着ヘッド２２に固定されている。ロッド４３の進退方向は、第１の吸着ヘッド２１の中心と第２の吸着ヘッド２２の中心を結ぶ線分と平行に設定されており、テープカッター４からテープ５が引き出される方向と略一致する。
【００１５】
撮像装置１４は、第１の吸着ヘッド２１に吸着されたテープ５の端部を撮像可能に配置されている。図１に示す例では、撮像装置１４は、下側から第１の吸着ヘッド２１の底部を撮像可能に配置されている。しかしながら、撮像装置１４の向きは、これに限定されない。また、撮像装置１４は、テープカッター４から離れた位置に配置しても良い。この場合、撮像装置１４は、テープカッター４からワークＷまでの間に配置されることが好ましい。
【００１６】
制御装置１０は、ハンド制御部４５と、吸着制御部４６と、位置制御部４７と、データ処理部４８とに機能分割できる。ハンド制御部４５は、ロボットハンド１２の駆動を制御する。吸着制御部４６は、吸着ヘッド２１，２２に接続される吸着ライン２４，３５を制御する。位置制御部４７は、第２の吸着ヘッド２２の位置を制御する。データ処理部４８は、撮像装置１４で取得した画像を処理すると共に、画像処理の結果に基づいてロボットハンド１２の位置の補正値を算出する。
【００１７】
テーブル装置３は、ワークＷを位置決めして支持する載置部５５がガイド５６に沿って移動可能に取り付けられている。
【００１８】
テープカッター４は、ロールに巻き回したテープ５と、上下に配置した一対のカッター５１と、制御装置５３を有する。テープ５を一対のカッター５１の間に通した後、制御装置５３が一対のカッター５１を移動させてテープ５を挟み込ませると、一対のカッター５１の間でテープ５が切断される。
【００１９】
次に、図４のフローチャートを主に参照し、テープ５の位置合わせ方法及びテープ５の貼り付け方法について説明する。
最初に、ステップＳ１０１では、制御装置１０のハンド制御部４５の指令によって多関節ロボット１１が駆動し、ロボットハンド１２をテープカッター４の近傍に配置する。図５に示すように、初期状態では、電磁弁４２は開いており、アクチュエータ４１のロッド４３は、第１の吸着ヘッド２１に向けて突出している。この結果、第２の吸着ヘッド２２は、第１の吸着ヘッド２１に近接又は接触した第１の位置に配置されている。
【００２０】
続いて、ステップＳ１０２で、一対のカッター５１の間を通って引き出されたテープ５の上面を第１の吸着ヘッド２１で吸着する。より詳細には、テープ５は、例えば、不図示のクランプ部材に保持されて吸着ヘッド２１，２２の下方まで引き出される。さらに、制御装置１０の吸着制御部４６は、第１の吸着ライン２４のエジェクタ２５を駆動させて負圧を発生させ、第１の吸着ヘッド２１の吸着孔２３でテープ５を吸着保持する。
【００２１】
この後、ステップＳ１０３で、図６に示すように、テープカッター４がテープ５をカットする。この状態では、テープ５の端部５Ａは、第１の吸着ヘッド２１の外側に飛び出しており、端部５Ａ自身の重量によって下方に垂れ下がっている。この状態では、撮像装置１４でテープ５を撮像しても端部５Ａの位置を正確に判定することは困難である。そこで、この位置合わせ装置２では、以降の工程によってテープ５の端部５Ａの位置を正確に把握できるようにする。
【００２２】
まず、ステップＳ１０４では、第２の吸着ヘッド２２でテープ５の上面を吸着する。具体的には、制御装置１０の吸着制御部４６が第２の吸着ライン３５のエジェクタ３７を駆動さて負圧を発生させ、第２の吸着ヘッド２２の吸着孔３２でテープ５を吸着保持する。
【００２３】
次に、ステップＳ１０５では、制御装置１０の位置制御部４７が、第２の吸着ヘッド２２をスライドさせ、第２の吸着ヘッド２２を第１の吸着ヘッド２１から引き離す。第２の吸着ヘッド２２をスライド移動させる前に、制御装置１０の吸着制御部４６は、第１の吸着ライン２４のレギュレータ２６を制御し、第１の吸着ヘッド２１の吸着力を第２の吸着ヘッド２２の吸着力より相対的に小さくする。具体的には、第１の吸着ヘッド２１は、テープ５を吸着するが、テープ５と第１の吸着ヘッド２１の間の相対的な移動は許容する程度の吸着力に設定される。なお、吸着制御部４６は、第１の吸着ライン２４の吸着力を維持した状態で、第２の吸着ライン３５の吸着力を相対的に大きくしても良い。
【００２４】
この後、制御装置１０は、電磁弁４２を閉じてアクチュエータ４１のロッド４３を後退させる。これにより、図７に矢印で示すように、第２の吸着ヘッド２２が第１の吸着ヘッド２１から所定距離だけ離れた第２の位置に移動する。この結果、テープ５は、吸着力が相対的に大きい第２の吸着ヘッド２２に引っ張られるように、第２の吸着ヘッド２２と共に矢印で示す方向に移動する。このとき、第１の吸着ヘッド２１は、テープ５の吸着状態を保持しつつ、テープ５の移動を許容することから、第２の吸着ヘッド２２によってテープ５がテープカッター４から離れる方向に引っ張られ、テープ５の端部５Ａが第１の吸着ヘッド２１の下方で、かつテープ５を吸着可能な領域まで引き込まれる。ここで、第２の位置は、テープ５の端部５Ａが第１の吸着ヘッド２１の下方で、かつ吸着されるような位置である。これによって、第１の吸着ヘッド２１の下方に引き込まれたテープ５の端部５Ａが、第１の吸着ヘッド２１に吸着保持される。
【００２５】
続くステップＳ１０６では、撮像装置１４が下方からテープ５の端部５Ａを撮影する。これによって、例えば、図８に一例を示すような画像が得られる。さらに、ステップＳ１０７で、制御装置１０のデータ処理部４８が、画像処理でテープ５のエッジを抽出するなどしてテープ５の端部５Ａの位置の補正値を算出する。例えば、図８に破線で示すようにテープ５の基準位置が設定されていた場合、基準位置から実際のテープ５の端部５Ａのずれ量ｄｘ，ｄｙを算出する。さらに、制御装置１０のデータ処理部４８は、ずれ量ｄｘ，ｄｙを打ち消すような補正値を作成する。そして、ステップＳ１０８では、補正値で補正した位置にテープ５を移動させ、テープ５をワークＷに貼り付ける。具体的には、ハンド制御部４５が、補正値で補正した駆動指令を作成し、駆動指令に基づいて多関節ロボット１１を駆動させる。これによって、図９に示すように、ロボットハンド１２によってテープ５がワークＷの所定位置に押し付けられ、テープ５の粘着層によってテープ５がワークＷに貼り付けられる。
【００２６】
その後、ステップＳ１０９で、テープ５の吸着解除と、ロボットハンド１２の初期位置への復帰を実行する。最初に、制御装置１０の吸着制御部４６が、２つの吸着ライン２４，３５を停止させ、各吸着ヘッド２１，２２によるテープ５の吸着を解除する。これによって、テープ５を貼り付けたワークＷの上方からロボットハンド１２が退避可能になる。また、ロボットハンド１２をワークＷから退避させた状態で、位置制御部４７が電磁弁４２を閉じる。これによって、アクチュエータ４１のロッド４３が突出して第２の吸着ヘッド２２が第１の吸着ヘッド２１の近くの第１の位置まで移動する。この後、ハンド制御部４５が、初期位置までロボットハンド１２を移動させる。
【００２７】
以上、説明したように、テープ貼り付け装置１では、切断後のテープ５を吸着保持しながらスライド移動させることにより、テープ５の端部５Ａを撮像領域に移動させ。かつ吸着保持することが可能になる。これによって、テープ５の位置を正確に計測することが可能になり、ワークＷの所定位置にテープ５を貼り付けることができる。
【００２８】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。第１の実施の形態と同じ構成要素には同じ符号を付してある。また、第１の実施の形態と重複する説明は省略する。
図１０に概略構成を示すように、貼り付け装置６１は、位置合わせ装置６２とテーブル装置３とを有する。
位置合わせ装置６２は、多関節ロボット１１の先端のロボットハンド１２に２つの吸着ヘッド７１，７２が配置されている。第１の吸着ヘッド７１は、ロボットハンド１２に固定されており、複数の吸着孔２３が配列されている。吸着孔２３は、吸着ライン２４に接続されている。
【００２９】
第２の吸着ヘッド７２は、スライド機構３１を介してスライド移動可能にロボットハンド１２に取り付けられている。第２の吸着ヘッド７２は、複数の吸着孔３２を有し、これら吸着孔３２が第２の吸着ライン３５に接続されている。第２の吸着ライン３５は、配管を有し、配管の途中にエジェクタ３７とレギュレータ３８が設けられている。さらに、配管は、ロボットハンド１２の底部において、スライド機構３１であるリニアガイドと平行に延びつつ第２の吸着ヘッド７２に接続されている。ロボットハンド１２の底部に配置される第２の吸着ライン３５の配管７５は、一端が第２の吸着ライン３５に接続され、他端がロボットハンド１２に固定されている。そして、配管７５の一端から他端に至るまでの間に、駆動部として機能する蛇腹部７６が設けられている。蛇腹部７６は、エジェクタ３７が停止しているときは、所定の長さを有する。さらに、蛇腹部７６は、エジェクタ３７が駆動して配管７５内に負圧が発生すると、所定の長さに収縮する。配管７５の内圧変化に伴う蛇腹部７６の伸縮方向は、矢印に示すように、第１の吸着ヘッド７１に対して第２の吸着ヘッド７２が近接又は離れる方向である。この方向は、テープカッター４からテープ５が引き出される方向と略一致する。
【００３０】
次に、テープ５の位置合わせ方法及びテープ５の貼り付け方法について説明する。テープ貼り付け装置６１におけるテープ５の位置合わせ方法及びテープ５の貼り付け方法は、図４のフローチャートに従って実行される。
即ち、ステップＳ１０１でロボットハンド１２を移動させたら、ステップＳ１０２で第１の吸着ヘッド７１でテープ５を吸着する。このとき、図１０に示す位置合わせ装置６２の第２の吸着ライン７２が閉じており、第２の吸着パッド７２はテープ５を吸着しない。第２の吸着ライン３５が閉じていることから、蛇腹部７６は伸びており、第２の吸着ヘッド７２は蛇腹部７６のバネ力によって第１の位置、即ち第１の吸着ヘッド７１に密着する位置に待機している。
【００３１】
ステップＳ１０３でテープ５をカットしたら、ステップＳ１０４において、第２の吸着ライン３５のエジェクタ３７を稼動させ、第２の吸着ヘッド７２によるテープ５の吸着を開始する。このとき、制御装置１０の吸着制御部４６は、第１の吸着ライン２４のレギュレータ２６を制御し、第１の吸着ヘッド７１の吸着力を第２の吸着ヘッド７２の吸着力より相対的に小さくする。例えば、第１の吸着ヘッド７１は、テープ５の吸着は維持するが、第１の吸着ヘッド７１とテープ５の間の相対的な移動は許容する程度の吸着力に設定される。
【００３２】
ここで、第１の吸着ヘッド７１と第２の吸着ヘッド７２の吸着力の一例について以下に説明する。
図３に示す第１の吸着ヘッド７１は、長さＬ１が８ｍｍで、幅がＤ１が１４ｍｍとし、直径１ｍｍの吸着孔２３を８個配置する。また、第２の吸着ヘッド７２は、長さＬ２が１６ｍｍで幅Ｄ２が１４ｍｍとし、直径１ｍｍの吸着孔３２を１６個配置する。従って、第１の吸着ヘッド７１と第２の吸着ヘッド７２の吸着孔２３，３２の面積比は、以下のようになる。
（第１の吸着ヘッド７１）：（第２の吸着ヘッド７２）＝２５．１２：０．２４＝１：２
【００３３】
さらに、第１の吸着ヘッド７１の吸着圧力は、０．０４ＭＰａに設定する。これに対して、第２の吸着ヘッド７２の吸着圧力は、０．０８ＭＰａに設定する。これらの吸着力は、レギュレータ２６，３８で調整する。従って、第１の吸着ヘッド７１と第２の吸着ヘッド７２の吸着孔２３，３２の吸着圧力比は、以下のようになる。
（第１の吸着ヘッド７１）：（第２の吸着ヘッド７２）＝０．０４：０．０８＝１：２
【００３４】
吸着力は、吸着孔２３，３２の面積の総和と吸着圧力のこの結果、第１の吸着ヘッド７１と第２の吸着ヘッド７２の吸着孔２３，３２の吸着圧力比は、以下のようになる。
（第１の吸着ヘッド７１）：（第２の吸着ヘッド７２）＝１．００４８：４．０１９２＝１：４
このように、２つの吸着ヘッド７１，７２の吸着力に差を設けることによって、テープ５の吸着を維持しながら、第１の吸着ヘッド７１上でテープ５を移動させることが可能になる。
【００３５】
この位置合わせ装置６２では、ステップＳ１０４において第２の吸着ヘッド７２によるテープ５の吸着を開始すると同時に、ステップＳ１０５に示す第２の吸着ヘッド７２のスライド移動工程が実行される。即ち、テープ５で閉塞された吸着孔３２とエジェクタ３７の間の配管の圧力が下がることにより、蛇腹部７６が収縮する。これによって、図１１に矢印で示すように、第２の吸着ヘッド７２が第１の吸着ヘッド７１から離れる方向にスライド移動し、第１の吸着ヘッド７１から所定距離だけ離れた第２の位置に移動する。この結果、テープ５は、吸着力が相対的に大きい第２の吸着ヘッド７２に引っ張られるように、第２の吸着ヘッド７２と共に矢印で示す方向に移動する。このとき、第１の吸着ヘッド７１は、テープ５の吸着状態を保持しつつ、テープ５の移動を許容することから、第２の吸着ヘッド７２によってテープ５がテープカッター４から離れる方向に引っ張られ、テープ５の端部５Ａが第１の吸着ヘッド７１の下方で、かつテープ５を吸着可能な領域まで引き込まれる。ここで、第２の位置は、テープ５の端部５Ａが第１の吸着ヘッド７１の下方で、かつ吸着可能になるような位置である。そして、このとき、第１の吸着ヘッド７１の下方に引き込まれたテープ５の端部５Ａが、第１の吸着ヘッド７１に吸着保持される。
【００３６】
続く、ステップＳ１０６では、撮像装置１４が下方からテープ５の端部を撮影する。これによって、例えば、図８に示すような画像が得られる。さらに、ステップＳ１０７で、制御装置１０のデータ処理部４８が画像処理によってテープ５のエッジを抽出し、テープ５の端部５Ａの位置を算出する。例えば、図８に破線で示すように、テープ５の基準位置が設定されていた場合、基準位置から実際のテープ５の端部のずれ量ｄｘ，ｄｙを算出する。さらに、制御装置１０のデータ処理部４８は、ずれ量ｄｘ，ｄｙを打ち消すような補正値を作成する。そして、ステップＳ１０８では、補正値で補正した位置にテープ５を移動させ、テープ５をワークＷに貼り付ける。具体的には、ハンド制御部４５が、補正値で補正した駆動指令を作成し、駆動指令に基づいて多関節ロボット１１を駆動させる。これによって、図１２に示すように、ワークＷの所定位置にテープ５が貼り付けられる。
【００３７】
その後、ステップＳ１０９で、吸着の解除と初期位置への復帰を実行する。制御装置１０の吸着制御部４６が、２つの吸着ライン２４，３５を停止させ、各吸着ヘッド２１，２２によるテープ５の吸着を解除する。このとき、蛇腹部７６の長さが初期状態に戻り、第２の吸着ヘッド７２が第１の吸着ヘッド７１に当接する第１の位置に移動する。この後、ハンド制御部４５が、初期位置までロボットハンド１２を移動させる。
【００３８】
以上、説明したように、貼り付け装置６１では、第２の吸着ヘッド７２の吸着を開始することにより、切断後のテープ５をスライドさせることが可能になる。これにより、テープ５を吸着しながら、その端部５Ａを撮像領域に移動させることが可能になる。これによって、ワークＷの所定位置にテープ５を貼り付けることができる。
【００３９】
なお、上記の各実施の形態において、貼り付け装置１，６１は、テーブル装置３を有しない構成でも良い。また、貼り付け装置１，６１は、テープカッター４を含んで構成しても良い。さらに、第１の吸着ヘッドを移動させても良い。貼り付け装置１，６１は、図５から図７に示すように水平に配置しても良いし、図１０及び図１１に示すように傾斜して配置しても良い。
【００４０】
ここで挙げた全ての例及び条件的表現は、発明者が技術促進に貢献した発明及び概念を読者が理解するのを助けるためのものであり、ここで具体的に挙げたそのような例及び条件に限定することなく解釈するものであり、また、明細書におけるそのような例の編成は本発明の優劣を示すこととは関係ない。本発明の実施形態を詳細に説明したが、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、それに対して種々の変更、置換及び変形を施すことができる。
【００４１】
以下に、前記の実施の形態の特徴を付記する。
（付記１）  柔軟物を吸着保持する第１の吸着ヘッドと、前記第１の吸着ヘッドに対して移動可能で、前記柔軟物を吸着保持する第２の吸着ヘッドと、前記第２の吸着ヘッドを前記第１の吸着ヘッドに対して所定距離だけ移動させる駆動部と、前記柔軟物を吸着保持した前記第２の吸着ヘッドを所定距離だけ前記第１の吸着ヘッドから引き離した後に前記第１の吸着ヘッドに吸着された前記柔軟物の端部を撮影する撮像装置と、前記撮像装置で撮影した前記柔軟物の端部の基準位置からの位置ずれを算出し、位置ずれを補正する制御装置と、を含むことを特徴とする柔軟物の位置合わせ装置。
（付記２）  前記駆動部は、前記第１の吸着ヘッドの外側に配置された前記柔軟物の端部を前記第１の吸着ヘッドの下方に引き込む位置まで前記第２の吸着ヘッドを前記第１の吸着ヘッドに対して移動させるように構成したことを特徴とする請求項１に記載の柔軟物の位置合わせ装置。
（付記３）  前記制御装置は、前記駆動部で前記第２の吸着ヘッドを移動させるときに、前記第１の吸着ヘッドにおける前記柔軟物の吸着力を前記第２の吸着ヘッドにおける前記柔軟物の吸着力より小さく設定することを特徴とする付記１又は付記２に記載の柔軟物の位置合わせ装置。
（付記４）  前記駆動部は、前記第２の吸着ヘッドに接続され、前記第２の吸着ヘッドに吸着力を発生させる配管の一部に設けられ、前記配管を減圧したときに収縮する蛇腹部を有することを特徴とする付記１乃至付記３のいずれか一項に記載の柔軟物の位置合わせ装置。
（付記５）  前記駆動部は、ロッドを進退可能なアクチュエータを有し、前記ロッドを後退させることにより前記第２の吸着ヘッドを前記第１の吸着ヘッドに対して所定距離だけ移動させるように構成されていることを特徴とする付記１乃至付記３のいずれか一項に記載の柔軟物の位置合わせ装置。
（付記６）  吸着ヘッドに柔軟物を吸着保持し、前記吸着ヘッドに吸着保持した柔軟物を前記吸着ヘッドから離れた位置に配置されたカッターで切断し、吸着ヘッドの一部を移動させて前記柔軟物の切断により生じた端部を吸着ヘッドの下方まで移動させ、前記吸着ヘッドの下方に配置された前記柔軟物の端部を撮像し、基準位置からの位置ずれを算出し、前記柔軟物の基準位置からの位置ずれを補正し、前記吸着ヘッドで前記柔軟物をワークの所定位置に押し当てることを特徴とする柔軟物の位置合わせ方法。
（付記７）  前記吸着ヘッドの一部を移動させるときは、前記吸着ヘッドの移動しない部分における前記柔軟物の吸着力を、前記吸着ヘッドの移動する部分における前記柔軟物の吸着力より小さくすることを特徴とする付記６に記載の柔軟物の位置合わせ方法。
（付記８）  前記吸着ヘッドの一部を移動させることは、前記吸着ヘッドの移動する部分の吸引ラインを減圧することによって配管の一部を収縮させることを含むことを特徴とする付記６又は付記７に記載の柔軟物の位置合わせ方法。
【符号の説明】
【００４２】
１，６１  貼り付け装置
２，６２  位置合わせ装置
５  テープ（柔軟物）
５Ａ  端部
１４  撮像装置
２１，７１  第１の吸着ヘッド
２２，７２  第２の吸着ヘッド
４１  アクチュエータ（駆動部）
５１  カッター
７６  蛇腹部（駆動部）
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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