(57)【要約】      （修正有）【課題】塗布領域以外の部分に付着したインク（液体）を効率に除去する塗膜除去方法およびそれを用いた塗膜除去装置を提供する。【解決手段】空隙１２２を有する拭取部１２を、被除去部材２１に押し当てることと、前記拭取部の前記空隙を介して液体を吸収することとを含む塗膜除去方法。【選択図】図５
2015188803.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空隙を有する拭取部を、被除去部材に押し当てることと、
前記拭取部の前記空隙を介して液体を吸収することと
を含む塗膜除去方法。
【請求項２】
前記拭取部を、前記被除去部材に押し当てた後、前記拭取部の前記被除去部材に押し当てられた面を解放する
請求項１に記載の塗膜除去方法。
【請求項３】
前記拭取部は、複数の前記空隙を有し、
前記拭取部を前記被除去部材に押し当てることにより、少なくとも一部の前記空隙の大きさが変化する
請求項１に記載の塗膜除去方法。
【請求項４】
前記拭取部では、複数の前記空隙が連通している
請求項１に記載の塗膜除去方法。
【請求項５】
前記空隙の径は、前記液体により形成された塗膜の厚みよりも小さい
請求項１に記載の塗膜除去方法。
【請求項６】
前記空隙の径は３０μｍ以下である
請求項１に記載の塗膜除去方法。
【請求項７】
前記空隙の径は１０μｍ以下である
請求項１に記載の塗膜除去方法。
【請求項８】
前記拭取部は回転可能な曲面を有し、
前記拭取部の曲面を回転させながら前記被除去部材に押し当てる
請求項１に記載の塗膜除去方法。
【請求項９】
前記拭取部は円筒状であり、
前記拭取部の曲面を回転させながら前記被除去部材に押し当てる
請求項１に記載の塗膜除去方法。
【請求項１０】
前記拭取部の中心部には貫通孔が設けられ、
前記貫通孔に設けられた棒状部材を回転させることにより、前記拭取部を回転させる
請求項９に記載の塗膜除去方法。
【請求項１１】
前記拭取部は、外周部および前記外周部の内側の内周部を有し、
前記外周部に設けられた空隙の径の平均と、前記内周部に設けられた空隙の径の平均とが異なる
請求項１に記載の塗膜除去方法。
【請求項１２】
前記拭取部に吸収された前記液体を回収する
請求項１に記載の塗膜除去方法。
【請求項１３】
前記拭取部には、吸引部材が接続され、
前記吸引部材を介して前記液体を回収する
請求項１２に記載の塗膜除去方法。
【請求項１４】
前記拭取部は、ポリオレフィン系樹脂を含む
請求項１に記載の塗膜除去方法。
【請求項１５】
前記液体は、有機ＥＬ表示装置の形成に用いられる
請求項１に記載の塗膜除去方法。
【請求項１６】
空隙を有し、前記空隙を介して液体を吸収可能な拭取部と、
前記拭取部を、被除去部材に押し当てるように動作させる制御部と
を備えた塗膜除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、例えばインク等の液体を除去するための塗膜除去方法および塗膜除去装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
塗布法は、所望の材料を溶媒に分散させたインクを基板等に塗布する方法であり、様々な分野で用いられている。例えば、有機ＥＬ（Electroluminescence）表示装置の製造では、正孔輸送材料および有機ＥＬ材料等をパターン化して成膜する際に塗布法が用いられる（例えば、特許文献１）。塗布法の方式には、例えばダイコーター法、インクジェット法およびノズル法等がある。
【０００３】
このように塗布法は有用な方法である。しかしながら塗布法では、インクの塗布が必要な領域（塗布領域）以外の部分にもインクが付着しやすい。例えば、ダイコーター法では、塗布開始部にビードと呼ばれる液だまりを形成することが必要となる。また、インクを塗布した領域のうち、外周部の厚みが大きくなりやすいので、塗布領域を一定の厚みで形成するためには、より広い面積にわたってインクを塗布しなければならない。インクジェット法では、インク液滴の着弾精度の低下、およびサテライトと呼ばれる飛沫の発生等により塗布領域以外の部分にインクが付着する虞がある。ノズル法では、インクの吐出および停止を短時間で制御することが困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１５１２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このため、塗布領域以外の部分に付着したインク（液体）を効率的に除去することが望まれている。
【０００６】
本技術はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、効率的な塗膜除去方法およびそれを用いた塗膜除去装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本技術による塗膜除去方法は、空隙を有する拭取部を、被除去部材に押し当てることと、拭取部の空隙を介して液体を吸収することとを含むものである。
【０００８】
本技術による塗膜除去装置は、空隙を有し、空隙を介して液体を吸収可能な拭取部と、拭取部を、被除去部材に押し当てるように動作させる制御部とを備えたものである。
【０００９】
本技術の塗膜除去方法または塗膜除去装置では、空隙を有する拭取部が被除去部材に押し当てられるので、被除去部材近傍の空隙が変形する。これにより、空隙を介して液体が吸収されやすくなる。
【発明の効果】
【００１０】
本技術の塗膜除去方法および塗膜除去装置によれば、拭取部を被除去部材に押し当てるようにしたので、拭取部が空隙を介して液体を効率よく吸収する。よって、液体を効率的に除去することが可能となる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれの効果であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本技術の第１の実施の形態に係る塗膜除去装置の全体構成を表す模式図である。
【図２】図１に示した拭取部の構成を説明するための斜視図である。
【図３】図２に示した拭取部の構成を表す断面図である。
【図４Ａ】図１に示した塗膜除去装置を用いた塗膜除去方法の工程を表す平面図である。
【図４Ｂ】図４Ａに続く工程を表す平面図である。
【図４Ｃ】図４Ｂに続く工程を表す平面図である。
【図５】図２に示した拭取部が基板に押し当てられた状態を表す断面図である。
【図６】変形例に係る拭取部の構成を表す断面図である。
【図７】本技術の第２の実施の形態に係る塗膜除去装置の要部の構成を表す斜視図である。
【図８】図１等に示した塗膜除去装置を用いて製造した表示装置の構成を表す断面図である。
【図９】図８に示した表示装置の全体構成を表す図である。
【図１０】図９に示した画素駆動回路の一例を表す回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本技術の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明
は以下の順序で行う。
１．第１の実施の形態（塗膜除去装置）
２．変形例（外周部および内周部を有する拭取部の例）
３．第２の実施の形態（拭取部に吸引部材が接続されている例）
【００１３】
＜第１の実施の形態＞
図１は、本技術の第１の実施の形態に係る塗膜除去装置（塗膜除去装置１）の構成を表したものである。この塗膜除去装置１は、ステージ１１、拭取部１２、駆動部１３および制御部１４を含んでいる。ステージ１１上に載置された被除去部材２０に、拭取部１２が接触して液体（塗膜２２）が除去される。駆動部１３は、制御部１４からの信号に基づいて動作する。この駆動部１３の動作に伴って、拭取部１２が移動するようになっている。
【００１４】
ステージ１１の例えば上面に、被除去部材２０が載置される。被除去部材２０は、例えば基板２１上に塗膜２２を設けたものである。塗膜２２は、例えば有機材料を含む液体（インク）が塗布されたものであり、有機ＥＬ表示装置（例えば後述の図８の表示装置９０）の製造に用いられる。塗膜２２は、例えば、ダイコーター法、インクジェット法およびノズル法等の塗布法を用いて形成されている。この塗膜２２が拭取部１２に対向するようにして被除去部材２０が設けられる。
【００１５】
図２は、拭取部１２を被除去部材２０と共に表したものである。拭取部１２は、円筒状の形状を有しており、円筒の曲面（円筒周面）が被除去部材２０に接するように配置されている。即ち、拭取部１２は回転可能な曲面を有している。この拭取部１２の曲面が被除去部材２０（基板２１）上を回転（例えば図１の矢印Ａ方向）することにより、拭取部１２がステージ１１上を移動する。円筒状の拭取部１２の中心部には、円筒の上面から下面までを貫通する孔が設けられており、この貫通孔にシャフト１５（棒状部材）が挿入されている。シャフト１５の回転動作（例えば図２の矢印Ｂ方向）により、拭取部１２が回転するようになっている。
【００１６】
図３は、拭取部１２の断面構成を模式的に表している。拭取部１２は、ベース部材１２１に複数の空隙１２２が設けられたものである。複数の空隙１２２は、拭取部１２全体にわたり分散して設けられている。ベース部材１２１には、熱可塑性樹脂あるいは熱硬化性樹脂等を用いることができる。熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリピロピレンおよびポリエステル等が挙げられる。熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂およびポリイミド等が挙げられる。ベース部材１２１には、有機溶剤に対する耐性の高い樹脂材料を用いることが好ましく、例えばポリエチレンおよびポリピロピレン等のポリオレフィン系の樹脂材料を用いることが好ましい。
【００１７】
空隙１２２は、例えば略球状の形状を有している。この空隙１２２を介した毛細管現象により、塗膜２２が拭取部１２に吸収される。空隙１２２の占める最大長さを径ｄとすると、空隙１２２の径ｄは、例えば３０μｍ以下であり、１０μｍ以下であることが好ましい。略球状の空隙１２２では、径ｄは直径であり、例えば楕円状の空隙１２２では、長径である。拭取部１２では、隣り合う空隙１２２が互いに接しており、複数の空隙１２２が連通している。
【００１８】
このような空隙１２２を有する拭取部１２は、例えばベース部材１２１の構成材料に、水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料を混合した後、水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料を水で抽出して除去することにより、形成される。即ち、水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料の存在していた部分が、これらを抽出することにより、空隙１２２となる。
【００１９】
ベース部材１２１には、水に不溶の樹脂材料を用いればよく、例えば上記の樹脂材料を用いることが可能である。ポリオレフィン系の樹脂材料をベース部材１２１に用いると、空隙１２２の形成が容易になる。水溶性有機化合物材料は、水又は温水に対し溶解性のある化合物である。この水溶性有機化合物材料には、融点を有する化合物を使用する。このような水溶性有機化合物としては、尿素、チオ尿素、ジシアノジアミド、ペンタエリスリトール、アクリノール、アコニット酸、アコン酸、アセチル安息香酸、アセチルチオ尿素、アセチレンカルボン酸、アセチアミドフェノール、アトロピン硫酸塩、アニス酸、アニリン塩酸塩、アミノアセトアニリド、アミノ安息香酸、アミノ吉草酸、アミノケイ皮酸、アミノ酪酸、アラニン、アルサニル酸、アルブチン、アレカイジン、アロキサン酸、安息香酸ナトリウム、アントラニル酸、イサチン、イサチン＝オキシム、イソカンホロン酸、イソ糖酸、イソニコチン酸、イソニコチン酸ヒドラジド、イソバレルアミド、イソフタロニトリル、イソプロテレノール塩酸塩、イタコン酸、インダゾール、ウラシル、エチルアミン臭化水素酸塩、エピカテキン、エフェドリン塩酸塩、エメチン塩酸塩、エルゴノビン、オイキサンチン酸、オキサニル酸、オキサロ酢酸、オキシニ酢酸、オピアン酸、オレイン酸カリウム、カテキン、カフェイン、カルバミド酸アンモニウム、カルボノヒドラジド、カルミン酸、ギ酸カリウム、ギ酸ナトリウム、キナ酸、キヌクリジン、キノリノール、キノロン、キンヒドロン、グアニジン炭酸塩、グリオキシム、グリコシアミジン、グリコシアミン、グリシン、グルタコン酸、クロコン酸、クロロ安息香酸、クロロフマール酸、クロロプロマジン塩酸塩、コウジ酸、コカイン塩酸塩、コデイン＝リン酸塩、コハク酸、酢酸亜鉛、酢酸カリウム、酢酸ナトリウム、酢酸鉛、サリシン、サルコシン、シアニジン＝クロリド、シアヌル酸トリメチル、ジアルル酸、ジエチルアミン塩酸塩、シクロバルビタール、シチシン、ジフェニル酢酸、ジメチルアミン塩酸塩、ジメチルパラバン酸、ジメチルマロン酸、ショウノウキノン、ジリツル酸、スクシンアミド、スクシンアミド酸、スタキドリン、ステアリン酸カリウム、ステアリン酸ナトリウム、スルファジアジン、スルファメチゾール、セミカルバジド塩酸塩、タウリン、タルトロン酸、テトラエチルアンモニウム＝ヨージド、テトラゾール、テトロン酸、デルフィニジン＝クロリド、テルペニル酸、テレビン酸、トリエチルアミン塩酸塩、トリメチルアミン塩酸塩、トリメチルアミンオキシド、トロピン酸、ニコチン酸、ニトログアニジン、ニトロテレフタル酸、ニトロン、ニンヒドリン、馬尿酸、ビウレット、ビオルル酸、ヒダントイン、ヒダントイン酸、ヒドロキノン、ピラゾロン、ピロカルピン塩酸塩、フェニルアルソン酸、フェニルコハク酸、フェニル尿素、フェニルヒドラジン塩酸塩、フェニルプロピオル酸、フェニルボロン酸、フタルアミド酸、フタロン酸、フラビアン酸、プリン、フルミヌル酸、プロカイン塩酸塩、プロマジン塩酸塩、ブロモコハク酸、ブロモフマール酸、ブロモマレイン酸、ブロモワレリル尿素、ヘキサメチルリン酸トリアミド、ヘキサメチレンテトラミン、ヘキソバルビタール、ヘスペレチン酸、ベタイン、ペチジン塩酸塩、ヘマトキシリン、ヘミン、ペラルゴニジン＝クロリド、ベンジリデンマロン酸、ベンジル酸、ベンゼンヘキサカルボン酸、ベンゼンペンタカルボン酸、ベンゾイミダゾール、没食子酸エチル、マイトマイシンＣ、メサコン酸、メチルアミン塩酸塩、メチルアルソン酸、メルカプトコハク酸、モルヒネ塩酸塩、ヨードシアンおよびロイコン酸などが挙げられる。マンニトール、フルクトースあるいはグルコース等の糖類を水溶性有機化合物材料として用いるようにしてもよい。
【００２０】
水溶性高分子材料には、水溶性有機化合物材料とともに水あるいは温水によって容易に抽出可能なものを用いることができる。このような水溶性高分子材料としては、例えば、界面活性剤、ポリアミンサルホン、ポリビニルアルコール、ポリビニルメチルエーテルおよびポリアリルアミン等が挙げられる。界面活性剤としては、ポリエチレングリコール、ポリエチレングリコール・ポリプロピレングリコール共重合体およびポリオキシエチレンアルキルエーテル等が挙げられる。ポリエチレングリコールまたはポリエチレングリコール・ポリプロピレングリコール共重合体にアルコールを付加した非イオン系界面活性剤を水溶性高分子材料として用いるようにしてもよい。水溶性高分子材料には、ポリエチレングリコールを用いることが好ましい。ポリエチレングリコールは、水溶性が高く、水溶性有機化合物材料の抽出を促進するためである。
【００２１】
ベース部材１２１の構成材料、水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料の混合物では、ベース部材１２１の構成材料が２０体積％〜４０体積％、水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料が合わせて６０体積％〜８０体積％となっていることが好ましい。ベース部材１２１の構成材料が多いと、水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料が十分に抽出できない虞がある。ベース部材１２１の構成材料が少ないと、拭取部１２の機械的強度が低下する虞がある。ベース部材１２１の構成材料、水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料の混合比を上記のように調整することにより、微細な空隙１２２を有する均質な拭取部１２を形成することができる。
【００２２】
ベース部材１２１の構成材料、水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料の混合には、一般的な装置を用いればよく、例えば、ローター型ミキサー、ニーダー、混練ロール、バンバリーミキサーあるいは二軸押出機等を用いればよい。ローター型ミキサーを用いて混合を行う際には、ローターの回転数を例えば、１００ｒｐｍ〜３００ｒｐｍ、好ましくは１２０ｒｐｍ〜２００ｒｐｍ程度に調整する。高速での撹拌を行うことなく、ベース部材１２１の構成材料、水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料は十分に撹拌される。混合時間は、十分な撹拌が行われるように、適宜調整すればよい。ベース部材１２１の構成材料、水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料は、加熱しながら混合するようにしてもよい。加熱温度は、例えば１００℃程度である。
【００２３】
ベース部材１２１の構成材料、水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料の混合物を、例えば水中に浸漬させることにより、水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料を水に抽出する。これにより、容易に、かつ、確実に混合物中から水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料を除去することができる。水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料の除去には、他の方法を用いるようにしてもよい。抽出時の水の温度は２０℃〜３０℃程度であってもよいが、加温することにより、より水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料を抽出しやすくなる。水溶性有機化合物材料および水溶性高分子材料を除去した後、ベース部材１２１を乾燥させることにより拭取部１２が形成される。
【００２４】
本実施の形態では、このような空隙１２２を有する拭取部１２が、被除去部材２０に押し当てられながら被除去部材２０上を移動する。詳細は後述するが、これにより、効率的に塗膜２２が拭取部１２に吸収される。
【００２５】
被除去部材２０に対する拭取部１２の濡れ性を向上させるため、拭取部１２に界面活性剤等を含ませるようにしてもよい。この界面活性剤としては、例えば、フッ素系界面活性剤を用いることができる。界面活性剤とともに、有機溶剤を拭取部１２に含ませるようにしてもよい。
【００２６】
駆動部１３は、例えばモーターなどの駆動源および加圧部等を含んでいる。この駆動部１３により拭取部１２は被除去部材２０に押し当てられるとともに、ステージ１１の面（ＸＹ平面）方向に移動可能となっている。制御部１４では、圧力制御（Ｚ方向）および面内移動方向の制御が行われ、拭取部１２が被除去部材２０に圧着しながら、被除去部材２０の拭取領域（後述の図４Ｂの拭取領域２３）を走査するように制御がなされる。
【００２７】
このような塗膜除去装置１を用いた塗膜２２の除去は、例えば以下のようにして行われる（図４Ａ〜図４Ｃ）。
【００２８】
まず、ステージ１１（図１）に塗膜２２が形成された被除去部材２０を載せる（図４Ａ）。次いで、この被除去部材２０の拭取領域２３を拭取部１２（図１）に走査させ、拭取領域２３の塗膜２２を拭取部１２に吸収させる（図４Ｂ）。拭取部１２は、回転しながら拭取領域２３を移動する。拭取領域２３は、塗膜２２が不要な領域、あるいは塗膜２２が存在することにより不具合等が生じる虞のある領域である。拭取領域２３は、例えば基板２１から複数の有機ＥＬ表示装置を製造する際には、格子状に設けられる（図４Ｂ）。基板２１の周辺に額縁状の拭取領域２３が設けられていてもよい（図示せず）。
【００２９】
ここでは、図５に示したように、拭取部１２を基板２１（被除去部材２０）に押し当てるようして圧着させるので、拭取部１２の基板２１との接触面が基板２１の上面に倣って変形する。これに伴い、拭取部１２の基板２１との接触面近傍の空隙１２２も変形する。空隙１２２の径ｄは、塗膜２２の厚み（Ｚ方向の距離）よりも小さいことが好ましく、変形時の空隙１２２の最大径が、塗膜２２の厚みよりも小さいことがより好ましい。拭取部１２が回転しながら移動すると、拭取部１２の基板２１との接触面は基板２１から離れて押圧状態から解放され、変形した空隙１２２も元の形状に戻る。これにより、拭取部１２が液体（塗膜２２）を効率よく吸収する。拭取部１２は、例えば数ｇ〜数百ｇ程度の荷重で基板２１に押し当てる。基板２１を損傷させない程度の力で拭取部１２を押し当てるようにすればよい。
【００３０】
このようにして、拭取部１２が被除去部材２０の拭取領域２３を移動することにより、拭取領域２３の塗膜２２が除去される（図４Ｃ）。
【００３１】
本実施の形態では、空隙１２２を有する拭取部１２が被除去部材２０に押し当てられるので、拭取部１２が塗膜２２（液体）を効率良く吸収することができる。以下、これについて説明する。
【００３２】
空隙１２２を有する拭取部１２を、単に被除去部材２０に接触させるのみでは、空隙１２２を介した毛細管現象は進行しにくい。不織布等を用いて拭取部を構成することも考え得るが、不織布では繊維間の隙間の大きさを揃えることが困難であり、また、隙間の大きさを小さく調整することも技術的に困難である。このため塗膜１２２を十分に吸収することができない。
【００３３】
塗膜１２２を除去することに代えて、予め塗膜１２２の付着を防止しておくことも考え得る（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、マスキングテープを用いることにより、有機ＥＬ表示装置を製造する際の塗膜の付着を防止している。マスキングテープには粘着剤が設けられており、この粘着剤を介して被除去部材にマスキングテープを貼り合わせる。しかしながら、このような方法はコストおよび信頼性等の点で不利である。例えば、マスキングテープは貼り直しができないため、位置精度の高い装置を用いて、貼り合わせなければならない。また、マスキングテープを剥離する装置も必要である。更に、マスキングテープは、粘着力の低下のため、繰り返しの使用が困難である。このような理由により、マスキングテープの使用はコストが高くなりやすい。また、マスキングテープを剥がした後、粘着剤が有機ＥＬ表示装置に残存する虞がある。この残存した粘着剤は有機ＥＬ表示装置の信頼性を低下させる。例えば、一対の基板の間に有機ＥＬ材料を封止する際に、残存した粘着剤が封止を阻害する虞がある。
【００３４】
これに対し、塗膜除去装置１では、空隙１２２を有する拭取部１２を用い、これを被除去部材２０に押し当てるように回転させながら、塗膜２２を吸収している。この拭取部１２の動きに伴い、被除去部材２０との接触面近傍の空隙１２２は一旦変形し、回転動作により被除去部材２０から離れると元の形状に戻る。この一連の空隙１２２の形状の変化により、空隙１２２を介した毛細管現象が促進され、塗膜２２が吸収されやすくなる。また、拭取部１２を回転させることで、次々と新たな空隙１２２が塗膜２２に接することになるので、これによっても塗膜２２が吸収されやすくなる。
【００３５】
更に、発泡により形成された気泡に比べて、空隙１２２ではその大きさを小さくすることができる。このため、塗膜１２２の厚みが小さい場合にも、塗膜１２２を除去しやすい。変形時の空隙１２２の径ｄを、塗膜１２２の厚みよりも小さくすることにより、より効率的に塗膜１２２を吸収することができる。
【００３６】
また、拭取部１２を用いた塗膜２２の除去は簡便な方法で行うことができ、コストの増加を抑えることができる。粘着剤を使用しないので、被除去部材２０を用いて形成したデバイス（例えば有機ＥＬ表示装置）の信頼性も維持される。
【００３７】
以上のように、本実施の形態では、拭取部１２を被除去部材２０に押し当てて塗膜２２を吸収するようにしたので、塗膜２２を効率的に除去することが可能となる。
【００３８】
以下、上記実施の形態の変形例および他の実施の形態について説明するが、上記実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００３９】
＜変形例＞
図６は、変形例に係る拭取部（拭取部１２Ａ）の断面構成を表したものである。この拭取部１２Ａは、外周部１２０Ａおよび内周部１２０Ｂを有している。この点を除き、拭取部１２Ａは拭取部１２と同様の構成を有し、その作用および効果も同様である。
【００４０】
外周部１２０Ａは、円筒状の拭取部１２Ａのうち、外側に設けられ、被除去部材２０（図１）との接触面を有している。外周部１２０Ａではベース部材１２１Ａ中に空隙１２２Ａが設けられている。空隙１２２Ａは、径ｄＡを有している。
【００４１】
内周部１２０Ｂは、外周部１２０Ａよりも内側に設けられている。例えば内周部１２０Ｂは、外周部１２０とシャフト１５（拭取部１２Ａの中心部）との間に配置されている。この内周部１２０Ｂでは、ベース部材１２１Ｂ中に空隙１２２Ｂが設けられている。空隙１２２Ｂは、径ｄＢを有している。
【００４２】
外周部１２０Ａの空隙１２２Ａの径ｄＡの平均と、内周部１２０Ｂの空隙１２２Ｂの径ｄＢの平均とは異なり、例えば、空隙１２２Ａの径ｄＡの平均が空隙１２２Ｂの径ｄＢの平均よりも大きくなっている（図６）。拭取部１２Ａを、このように空隙（空隙１２２Ａ，１２２Ｂ）の径（径ｄＡ，ｄＢ）の平均が互いに異なる外周部１２０Ａおよび内周部１２０Ｂにより構成することにより、外周部１２０Ａと内周部１２０Ｂとの接触面近傍で力の向きが変化する。これにより、拭取部１２Ａのより広い部分にわたって液体が吸収され、液体の吸収量が向上する。空隙１２２Ａの径ｄＡの平均が空隙１２２Ｂの径ｄＢの平均よりも小さくなっていてもよい（図示せず）。
【００４３】
外周部１２０Ａのベース部材１２１Ａの構成材料と、内周部１２０Ｂのベース部材１２１Ｂの構成材料とは同じであってもよく、異なっていてもよい。
【００４４】
＜第２の実施の形態＞
図７は、本技術の第２の実施の形態に係る塗膜除去装置（塗膜除去装置２）の要部の構成を表したものである。この塗膜除去装置２の拭取部（拭取部３２）には、吸引部材３３が接続されている。この点を除き、塗膜除去装置２は塗膜除去装置１と同様の構成を有し、その作用および効果も同様である。
【００４５】
拭取部３２は、ベース部材に複数の空隙が設けられたものであり、上記第１の実施の形態の拭取部１２（図２）と同様の構成を有している。この円筒状の拭取部３２の中心に設けられた貫通孔に吸引部材３３が挿入されている。
【００４６】
吸引部材３３には、例えば複数の吸引口３４が設けられ、この吸引口３４が拭取部３２に接している。拭取部３２に吸収された液体は、吸引部材３３を減圧することにより吸引口３４を介して吸引部材３３内に移動し、回収されるようになっている。このような、拭取部３２に吸収された液体の回収機構を設けることにより、拭取部３２の塗膜除去量を増加させることができる。シャフト（例えば図２のシャフト１５）に吸引口３４を設けるようにしてもよく、シャフトとは別に吸引部材３３を設けるようにしてもよい。
【００４７】
＜適用例＞
このような塗膜除去装置（塗膜除去装置１，２）を用いて、例えば図８に示した表示装置（表示装置９０）を製造することが可能である。この表示装置９０は、複数の有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂを備えた自発光型の表示装置であり、基板２１の上に、画素駆動回路形成層Ｌ１、有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂを含む発光素子形成層Ｌ２および対向基板（図示せず）をこの順に有している。
【００４８】
図９は、表示装置９０の全体構成を表すものである。表示装置９０は、基板２１の上に表示領域９０Ｄを有し、極薄型の有機発光カラーディスプレイ装置などとして用いられる。基板２１上の表示領域９０Ｄの周辺には、例えば映像表示用のドライバである信号線駆動回路９６および走査線駆動回路９７が設けられている。
【００４９】
表示領域９０Ｄには、マトリクス状に二次元配置された複数の有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂと、それらを駆動するための画素駆動回路９８とが形成されている。画素駆動回路９８において、列方向には複数の信号線９６Ａが配置され、行方向には複数の走査線９７Ａが配置されている。各信号線９６Ａと各走査線９７Ａとの各交差点に、有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂが対応して設けられている。各信号線９６Ａは信号線駆動回路９６に、各走査線９７Ａは走査線駆動回路９７にそれぞれ接続されている。
【００５０】
信号線駆動回路９６は、信号供給源（図示せず）から供給される輝度情報に応じた映像信号の信号電圧を、信号線９６Ａを介して選択された有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂに供給するものである。信号線９６Ａには信号線駆動回路９６からの信号電圧が印加される。
【００５１】
走査線駆動回路９７は、入力されるクロックパルスに同期してスタートパルスを順にシフト（転送）するシフトレジスタなどによって構成されている。走査線駆動回路９７は、有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂへの映像信号の書き込みに際し行単位でそれらを走査し、各走査線９７Ａに走査信号を順次供給するものである。走査線９７Ａには、走査線駆動回路９７からの走査信号が供給される。
【００５２】
画素駆動回路９８は、基板２１と有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂとの間の階層、すなわち画素駆動回路形成層Ｌ１に設けられている。この画素駆動回路９８は、図１０に示したように、駆動トランジスタＴｒ１および書込トランジスタＴｒ２と、その間の保持容量Ｃｓと、有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂとを有するアクティブ型の駆動回路である。
【００５３】
次に、再び図８を参照して、画素駆動回路形成層Ｌ１および発光素子形成層Ｌ２などの詳細な構成について説明する。
【００５４】
画素駆動回路形成層Ｌ１には、画素駆動回路９８を構成するトランジスタ８０（駆動トランジスタＴｒ１および書込トランジスタＴｒ２）が形成されており、さらに、信号線９６Ａおよび走査線９７Ａも埋設されている。詳細には基板２１の上に、トランジスタ８０および平坦化層９１がこの順に設けられている。トランジスタ８０は、例えば、基板２１側からゲート電極８１、ゲート絶縁膜８２および半導体膜８３をこの順に有するボトムゲート型のトランジスタであり、半導体膜８３にはソース・ドレイン電極８５Ａ，８５Ｂが電気的に接続されている。半導体膜８３のチャネル領域はチャネル保護膜８４で覆われ、このチャネル保護膜８４上およびソース・ドレイン電極８５Ａ，８５Ｂ上に平坦化層９１が設けられている。平坦化層９１は、主に画素駆動回路形成層Ｌ１の表面を平坦化するために設けられるものであり、例えば、ポリイミドなどの絶縁性樹脂材料により形成されている。
【００５５】
発光素子形成層Ｌ２には、有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂおよび素子分離膜９３と、それらを覆う封止層（図示せず）とが設けられている。有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂは、基板２１の側から、アノード電極としての第１電極９２、発光層を含む有機層９４およびカソード電極としての第２電極９５が各々順に積層されたものである。有機層９４は第１電極９２側から例えば正孔注入層、正孔輸送層、発光層および電子輸送層をこの順に有している。この発光層は素子毎に設けられたものでもよく（図１４）、各素子に共通して設けられていてもよい（図示せず）。ここでは、この有機層６４の発光層が上記印刷装置１により製造されている。発光層以外の層は、必要に応じて設ければよい。素子分離膜９３は絶縁材料からなり、各有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂを素子毎に分離すると共に、有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂの発光領域を画定するためのものである。有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂは保護層（図示せず）で覆われ、この保護層上に接着層（図示せず）を間にして対向基板（図示せず）が設けられている。対向基板は、例えば、有機発光素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂに対応するカラーフィルタを有している。
【００５６】
この表示装置９０は、例えば次のように製造することができる。
【００５７】
まず、例えばガラスからなる基板２１にトランジスタ８０を含む画素駆動回路９８および平坦化層９１を形成する。これにより、画素駆動回路形成層Ｌ１が形成される。
【００５８】
続いて、例えばスパッタリング法によりチタン膜およびアルミニウム合金膜を成膜した後、例えばフォトリソグラフィ法およびドライエッチングにより所定の形状に成形して第１電極９２を形成する。次いで、平坦化層９１上および第１電極９２上にポリイミド等の感光性絶縁材料を塗布し、フォトリソグラフィによる露光および現像を行って、素子分離膜９３を形成する。
【００５９】
素子分離膜９３を形成した後、例えば塗布法を用いて有機層９４を形成する。このとき、上記塗膜除去装置１，２を用いて基板２１上の表示領域９０Ｄ以外の部分に付着したインクを除去する。続いて、有機層９４上に例えば、蒸着法により第２電極９５を形成する。これにより発光素子形成層Ｌ２が形成される。
【００６０】
必要に応じて、例えばＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法またはスパッタ法により、有機ＥＬ素子９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂの上に保護膜（図示せず）を形成する。また、カラーフィルタ等を形成した対向基板（図示せず）を用意し、この対向基板を、保護膜の上に、接着層（図示せず）により貼り合わせる。以上により、図８乃至図１０に示した表示装置９０が完成する。
【実施例】
【００６１】
更に、本技術の具体的な実施例について説明する。
【００６２】
（実験例１）
以下のようにして空隙を有する拭取部を作製した。まず、ベース部材の構成材料としてポリプロピレン、水溶性有機化合物として尿素、水溶性高分子材料としてポリエチレングリコールを用い、これらを混合した。各材料の混合比は、ポリプロピレン４０体積％、尿素３０体積％、ポリエチレングリコール３０体積％とした。材料の混合は、ローター型ミキサーを用いて行った。材料を混合した後、混合物を円筒状に成形した。次いで、これを７０℃に加温した水に２時間浸漬して尿素およびポリエチレングリコールを混合物から除去した。続いて、これを水から取り出し、常温で４時間乾燥させた。これにより、径３０μｍの空隙を有する拭取部が得られた。
【００６３】
（実験例２）
ローター型ミキサーの撹拌回転速度および撹拌時間を変えたこと以外は、実験例１と同様にして拭取部を作製した。これにより、径１０μｍの空隙を有する拭取部が得られた。
【００６４】
（実験例３）
ローター型ミキサーの撹拌回転速度および撹拌時間を変えたこと以外は、実験例１と同様にして拭取部を作製した。これにより、径５μｍの空隙を有する拭取部が得られた。
【００６５】
（実験例４）
外周部を実験例２と、内周部を実験例１と同様にして拭取部を作製した。即ち、外周部が径１０μｍの空隙を、内周部が径３０μｍの空隙をそれぞれ有する拭取部が得られた。
【００６６】
（実験例５）
不織布（ベンコット（登録商標））を用いて拭取部を作製した。
【００６７】
（実験例６）
実験例１と同様にして拭取部を作製した。
【００６８】
実験例１〜６で作製した拭取部を用いて厚み３０μｍおよび厚み１０μｍの塗膜を除去した。塗膜は、有機ＥＬ溶液を基板に塗布することにより形成した。実験例１〜４では、基板に拭取部を押し当てながら回転させて塗膜の除去を行い、実験例５では不織布を押し当てて塗膜の除去を行った。実験例６では、拭取部を押し当てず、単に接触させて塗膜の除去を行った。なお、実験例４では厚み１０μｍの塗膜の除去は行わなかった。このような塗膜除去の状況を観察した結果を表１に示す。表１中、「残存なし」は、塗膜が完全に除去された状態を表し、「残存あり」は塗膜の除去が不十分である状態を表している。
【００６９】
【表１】
2015188803.tif 000003
【００７０】
実験例５，６では、厚み３０μｍの塗膜に対しても十分に除去できなかったのに対し、実験例１〜４では完全に除去することができた。これにより、不織布で構成した拭取部よりも空隙を有する拭取部の方が塗膜を効率よく吸収することが確認された。また、単に拭取部を基板に接触させるだけでなく、基板に押し当てることにより、塗膜が効率よく吸収されることが明らかとなった。
【００７１】
実験例４では、実験例１〜３と比較して、１．５倍の回数使用することができた。即ち、外周部および内周部を有する実験例４は、実験例１〜３よりも多くの塗膜を吸収することができることが確認された。
【００７２】
実験例１〜３を比較すると、実験例１では厚み１０μｍの塗膜を十分に除去することができないのに対し、実験例２，３では厚み１０μｍの塗膜であっても完全に除去できることがわかる。これにより、塗膜の厚みよりも小さな径を有する空隙を形成しておくことにより、塗膜を効率的に除去できることが明らかとなった。
【００７３】
（実験例７）
防傷テープ（ポリエチレンベースフィルム―アクリル系粘着剤）をマスキングテープとして用いた実験も行った。マスキングテープを基板に張り合わせた後、有機ＥＬ溶液を塗布した。その後、マスキングテープを基板から剥離した。この結果、マスキングテープを貼り合わせた部分に有機ＥＬ溶液は付着しなかったが、マスキングテープの粘着剤が基板に残存した。
【００７４】
以上、実施の形態および変形例を挙げて本技術を説明したが、本技術は上記実施の形態等に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば上記実施の形態等において説明した各部の材料および製造方法などは限定されるものではなく、他の材料および製造方法としてもよい。
【００７５】
また、上記実施の形態等では、円筒状の拭取部を図示して説明したが、拭取部は回転可能な形状であればよく、例えば球状であってもよい。
【００７６】
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であってこれに限定されるものではなく、また他の効果があってもよい。
【００７７】
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
（１）空隙を有する拭取部を、被除去部材に押し当てることと、前記拭取部の前記空隙を介して液体を吸収することとを含む塗膜除去方法。
（２）前記拭取部を、前記被除去部材に押し当てた後、前記拭取部の前記被除去部材に押し当てられた面を解放する前記（１）に記載の塗膜除去方法。
（３）前記拭取部は、複数の前記空隙を有し、前記拭取部を前記被除去部材に押し当てることにより、少なくとも一部の前記空隙の大きさが変化する前記（１）または（２）に記載の塗膜除去方法。
（４）前記拭取部では、複数の前記空隙が連通している前記（１）乃至（３）のうちいずれか１つに記載の塗膜除去方法。
（５）前記空隙の径は、前記液体により形成された塗膜の厚みよりも小さい前記（１）乃至（４）のうちいずれか１つに記載の塗膜除去方法。
（６）前記空隙の径は３０μｍ以下である前記（１）乃至（５）のうちいずれか１つに記載の塗膜除去方法。
（７）前記空隙の径は１０μｍ以下である前記（１）乃至（６）のうちいずれか１つに記載の塗膜除去方法。
（８）前記拭取部は回転可能な曲面を有し、前記拭取部の曲面を回転させながら前記被除去部材に押し当てる前記（１）乃至（７）のうちいずれか１つに記載の塗膜除去方法。
（９）前記拭取部は円筒状であり、前記拭取部の曲面を回転させながら前記被除去部材に押し当てる前記（１）乃至（８）のうちいずれか１つに記載の塗膜除去方法。
（１０）前記拭取部の中心部には貫通孔が設けられ、前記貫通孔に設けられた棒状部材を回転させることにより、前記拭取部を回転させる前記（９）に記載の塗膜除去方法。
（１１）前記拭取部は、外周部および前記外周部の内側の内周部を有し、前記外周部に設けられた空隙の径の平均と、前記内周部に設けられた空隙の径の平均とが異なる前記（１）乃至（１０）のうちいずれか１つに記載の塗膜除去方法。
（１２）前記拭取部に吸収された前記液体を回収する前記（１）乃至（１１）のうちいずれか１つに記載の塗膜除去方法。
（１３）前記拭取部には、吸引部材が接続され、前記吸引部材を介して前記液体を回収する前記（１２）に記載の塗膜除去方法。
（１４）前記拭取部は、ポリオレフィン系樹脂を含む前記（１）乃至（１３）のうちいずれか１つに記載の塗膜除去方法。
（１５）前記液体は、有機ＥＬ表示装置の形成に用いられる前記（１）乃至（１４）のうちいずれか１つに記載の塗膜除去方法。
（１６）空隙を有し、前記空隙を介して液体を吸収可能な拭取部と、前記拭取部を、被除去部材に押し当てるように動作させる制御部とを備えた塗膜除去装置。
【符号の説明】
【００７８】
１，２…塗膜除去装置、１１…ステージ、１２，１２Ａ，３２…拭取部、１３…駆動部、１４…制御部、１５…シャフト、１２１，１２１Ａ，１２１Ｂ…ベース部材、１２２，１２２Ａ，１２２Ｂ…空隙、１２０Ａ…外周部、１２０Ｂ…内周部、３３…吸引部材、３４・・・吸引口。
【図１】
2015188803.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2015188803.tif 000013
【図９】
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【図１０】
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