(57)【要約】      （修正有）【課題】試料の観察対象の面の切り出しと、切り出された面の観察を容易にする手段及び方法の提供。【解決手段】光軸に対して傾斜する第１の保持面３７ｄと、第１の保持面３７ｄの端に接続された第１の案内面３７ｅと、を有する第１の保持体と、第１の保持面３７ｄとの間で試料を挟んで保持可能な第２の保持面４２ｄと、第２の保持面４２ｄの光軸側の端に接続され且つ第１の案内面３７ｅの延長上に延びて形成された第２の案内面４２ｅであって、第１の保持面３７ｄと第２の保持面４２ｄとの間に保持された試料を切断して観察対象の面を作成する切断部材を、第１の案内面３７ｅおよび第２の案内面４２ｅとで案内可能な第２の案内面４２ｅと、を有する第２の保持体と、を備えた試料ホルダ。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微分析装置のステージに着脱可能に支持されるホルダの本体部と、
前記ホルダの本体部に支持され、顕微分析装置の光軸に対して傾斜する第１の保持面と、前記第１の保持面の光軸側の端に接続され且つ顕微分析対象の試料の観察対象の面の面方向に広がる第１の案内面と、を有する第１の保持体と、
前記第１の保持面に対向して形成されて前記第１の保持面との間で前記試料を挟んで保持可能な第２の保持面と、前記第２の保持面の前記光軸側の端に接続され且つ前記第１の案内面の延長上に広がる第２の案内面であって、前記第１の保持面と前記第２の保持面との間に保持された試料を切断して観察対象の面を作成する切断部材を、前記第１の案内面および前記第２の案内面とで案内可能な前記第２の案内面と、を有する第２の保持体と、
を備えたことを特徴とする試料ホルダ。
【請求項２】
前記第１の保持体および前記第２の保持体の少なくとも一方に支持されて、前記第１の保持体および前記第２の保持体の他方に接触して、前記第１の案内面と前記第２の案内面とを互いに延長上となる位置に位置決めする位置決め部材、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の試料ホルダ。
【請求項３】
前記ホルダの本体部に支持され、前記第１の保持体および前記第２の保持体を互いに接近する方向および離れる方向に移動可能に支持する移動部材、
を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の試料ホルダ。
【請求項４】
前記各保持面が前記光軸に対して沿った位置と、前記各保持面が前記光軸に対して傾斜した位置との間で移動させる移動機構、
を備え、
前記第１の保持体と前記第２の保持体との間に試料が保持される場合には、前記保持面が前記光軸に対して沿った位置に移動され、且つ、前記試料が観察される場合には、前記保持面が前記光軸に対して傾斜した位置に移動される
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の試料ホルダ。
【請求項５】
前記各案内面に着脱可能に支持され、上面に前記切断部材を案内する案内面を有する隙間部材、
を備え、
前記隙間部材が装着された状態で前記切断部材で試料を切断して観察後に、前記隙間部材を取り外した状態で前記切断部材で試料を切断して、再度観察が可能である
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の試料ホルダ。
【請求項６】
試料ホルダの互いに対向する保持面の間に試料を挟んで保持する保持工程と、
前記保持面に接続され且つ試料の観察対象の面の面方向に沿って延びる案内面に沿って、切断部材を操作して、前記試料を切断して観察対象の面を作成する切断工程と、
前記観察対象の面が作成された試料を保持する試料ホルダを、顕微分析装置にセットして、分析を行う分析工程と、
を実行することを特徴とする顕微分析方法。
【請求項７】
試料ホルダの互いに対向する保持面の間に試料を挟んで保持する保持工程であって、前記保持面に接続され且つ試料の観察対象の面の面方向に沿って延びる案内面に、予め設定された薄さの隙間部材が装着された状態で、前記保持面の間に試料を挟んで保持する前記保持工程と、
前記隙間部材に形成され且つ前記案内面に平行する隙間部材の案内面に沿って、切断部材を操作して、前記試料を切断する第１の切断工程と、
前記第１の切断工程で試料を切断後に、前記隙間部材を前記試料ホルダの案内面から取り外す取り外し工程と、
前記試料ホルダの案内面に沿って、切断部材を操作して、前記試料を切断して、前記隙間部材の薄さに対応する薄さの切片を作成する第２の切断工程と、
を実行することを特徴とする試料作成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微分析が行われる試料を保持する試料ホルダおよび前記試料ホルダを使用した顕微分析方法および試料作成方法に関し、特に、薄い切片状の試料の断面を分析可能な試料ホルダ、顕微分析方法および試料作成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学顕微鏡や電子顕微鏡を使用した観察や、赤外分光測定やラマン分光測定等の顕微分析において、試料の薄い切片を作成する方法として、特許文献１，２に記載の技術が従来公知である。
特許文献１としての特開２００７−１７８２８７号公報では、人体や動物等から取り出した生体試料を、パラフィン等の包埋剤によって包埋して、包埋ブロックから厚さ数μmの極薄の切片を切り出し、包埋剤を溶かして試料を観察する方法が記載されている。特許文献１に記載の構成では、カッター（３）で包埋ブロック（Ｂ）から切り出された切片を、ベルト（２３）で搬送して、液槽（９）に切片を浮かべ、次の工程、すなわち、包埋剤を溶かしたり、ホルダにセットする工程に引き渡している。
【０００３】
特許文献２としての特開２００５−２６５５３３号公報には、試料ステージ（１４）に保持された試料（Ｓ）に対して、切削バイト（２２）を、試料（Ｓ）の表面から内部に切り込みながら同時に切削を行う角度で移動させることで、傾斜切削面（Ｋ）を有する試料（Ｓ）を作成する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１７８２８７号公報（「０００２」、「００２２」〜「００２９」）
【特許文献２】特開２００５−２６５５３３号公報（「００４４」〜「００５７」）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
（従来技術の問題点）
多層の薄膜フィルムの各層の材料や層構造、フィルム内の異物などの観察を行う場合、測定に必要な広さの試料面を確保するために、特許文献２に記載の技術のように断面を斜めに切り出すことが行われている。
しかしながら、特許文献１，２に記載の技術のような従来の技術では、試料の塊から薄い切片の試料を切り出すだけであり、別に切り出された試料を、分析装置の試料ステージに取り付ける必要がある。このとき、試料は極薄の切片であるため、切片が破断、破損等しやすい。したがって、切り出された試料を試料ステージに取り付ける際に、試料が破損等しないよう、切片の取り扱いを十分に時間をかけて慎重に行う必要がある。
【０００６】
また、特許文献１，２に記載の技術のように切り出した試料の切片は、カールしやすい。特許文献１に記載の技術では、ベルト（２３）の表面に液槽（９）の液体を付着させることで、ベルト（２３）の搬送中にカールしにくくしているが、言い換えると、試料のカールを防止するには、液槽（９）やベルト（２３）といった大がかりで、高価格な装置が必要になる問題がある。そして、特許文献２に記載の技術で切り出された試料がカールした場合、カールした試料を試料ステージに平らに取り付けるために、繊細で注意深く手間の掛かる操作が必要になる。
【０００７】
特に、特許文献２に記載の技術のように、傾斜切削面（Ｋ）の観察、分析を行う場合、検査対象面の面積を広げるために傾斜する傾斜切削面（Ｋ）を形成しているため、試料保持板ごと傾けて、試料を平らに調整する必要がある。
さらに、特許文献１，２に記載の構成では、試料の切片を切り出すために、カッターを移動させる機構に高精度が要求され、切り出す装置が高コストになると共に、装置が大がかりなものになる問題がある。
【０００８】
本発明は、試料の観察対象の面の切り出しと、切り出された面の観察を容易にすることを第１の技術的課題とする。
また、本発明は、簡易な構成で切片の切り出しも可能とすることを第２の技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記技術的課題を解決するために、請求項１に記載の発明の試料ホルダは、
顕微分析装置のステージに着脱可能に支持されるホルダの本体部と、
前記ホルダの本体部に支持され、顕微分析装置の光軸に対して傾斜する第１の保持面と、前記第１の保持面の光軸側の端に接続され且つ顕微分析対象の試料の観察対象の面の面方向に広がる第１の案内面と、を有する第１の保持体と、
前記第１の保持面に対向して形成されて前記第１の保持面との間で前記試料を挟んで保持可能な第２の保持面と、前記第２の保持面の前記光軸側の端に接続され且つ前記第１の案内面の延長上に広がる第２の案内面であって、前記第１の保持面と前記第２の保持面との間に保持された試料を切断して観察対象の面を作成する切断部材を、前記第１の案内面および前記第２の案内面とで案内可能な前記第２の案内面と、を有する第２の保持体と、
を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の試料ホルダにおいて、
前記第１の保持体および前記第２の保持体の少なくとも一方に支持されて、前記第１の保持体および前記第２の保持体の他方に接触して、前記第１の案内面と前記第２の案内面とを互いに延長上となる位置に位置決めする位置決め部材、
を備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の試料ホルダにおいて、
前記ホルダの本体部に支持され、前記第１の保持体および前記第２の保持体を互いに接近する方向および離れる方向に移動可能に支持する移動部材、
を備えたことを特徴とする。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の試料ホルダにおいて、
前記各保持面が前記光軸に対して沿った位置と、前記各保持面が前記光軸に対して傾斜した位置との間で移動させる移動機構、
を備え、
前記第１の保持体と前記第２の保持体との間に試料が保持される場合には、前記保持面が前記光軸に対して沿った位置に移動され、且つ、前記試料が観察される場合には、前記保持面が前記光軸に対して傾斜した位置に移動される
ことを特徴とする。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載の試料ホルダにおいて、
前記各案内面に着脱可能に支持され、上面に前記切断部材を案内する案内面を有する隙間部材、
を備え、
前記隙間部材が装着された状態で前記切断部材で試料を切断して観察後に、前記隙間部材を取り外した状態で前記切断部材で試料を切断して、再度観察が可能である
ことを特徴とする。
【００１４】
前記技術的課題を解決するために、請求項６に記載の発明の顕微分析方法は、
試料ホルダの互いに対向する保持面の間に試料を挟んで保持する保持工程と、
前記保持面に接続され且つ試料の観察対象の面の面方向に沿って延びる案内面に沿って、切断部材を操作して、前記試料を切断して観察対象の面を作成する切断工程と、
前記観察対象の面が作成された試料を保持する試料ホルダを、顕微分析装置にセットして、分析を行う分析工程と、
を実行することを特徴とする。
【００１５】
前記技術的課題を解決するために、請求項７に記載の発明の試料作成方法は、
試料ホルダの互いに対向する保持面の間に試料を挟んで保持する保持工程であって、前記保持面に接続され且つ試料の観察対象の面の面方向に沿って延びる案内面に、予め設定された薄さの隙間部材が装着された状態で、前記保持面の間に試料を挟んで保持する前記保持工程と、
前記隙間部材に形成され且つ前記案内面に平行する隙間部材の案内面に沿って、切断部材を操作して、前記試料を切断する第１の切断工程と、
前記第１の切断工程で試料を切断後に、前記隙間部材を前記試料ホルダの案内面から取り外す取り外し工程と、
前記試料ホルダの案内面に沿って、切断部材を操作して、前記試料を切断して、前記隙間部材の薄さに対応する薄さの切片を作成する第２の切断工程と、
を実行することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１，６に記載の発明によれば、本発明の構成を有しない場合に比べて、試料の観察対象の面の切り出しと、切り出された面の観察を容易にすることができる。
請求項２に記載の発明によれば、位置決め部材を有しない場合に比べて、観察対象の面の作成不良を低減できる。
請求項３に記載の発明によれば、移動部材を有しない場合に比べて、試料を挟む作業を容易に行うことができる。
請求項４に記載の発明によれば、保持面が光軸に沿った状態で試料を挟み、観察時には傾斜させることができる。
請求項５に記載の発明によれば、隙間部材を着脱することで、試料の異なる位置を、容易に切り出して観察することができる。
請求項７に記載の発明によれば、隙間部材の薄さに対応して、切片を作成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は本発明の実施例１の試料ホルダを顕微分析装置のステージに装着した状態の縦断面図である。
【図２】図２は実施例１の試料ホルダの分解斜視図である。
【図３】図３は実施例１の試料ホルダの平面図である。
【図４】図４は実施例１の試料ホルダの保持体を含む要部説明図であり、図４Ａは保持体どうしが離間した状態の平面図、図４Ｂは図４Ａの側面図、図４Ｃは図４Ｂに示す状態から保持体どうしが接触した状態の説明図である。
【図５】図５は実施例１の作用説明図であり、図５Ａは試料を保持する前の状態の説明図、図５Ｂは試料が保持された状態の説明図、図５Ｃは試料が切断された状態の説明図、図５Ｄは図５Ｃの要部拡大図である。
【図６】図６は実施例１の保持体の変更例の説明図であり、図６Ａは傾斜角が３０度の保持体の説明図、図６Ｂは傾斜角が１５度の保持体の説明図である。
【図７】図７は実施例２の試料ホルダの説明図であり、図７Ａは実施例１の図４Ａに対応する平面図、図７Ｂは実施例１の図４Ｂに対応する側面図、図７Ｃは実施例１の図４Ｃに対応する説明図である。
【図８】図８は位置決め部材が設けられていない場合のホルダの説明図である。
【図９】図９は実施例３の高摩擦部が設けられていない場合の説明図であり、図９Ａは試料が切断される前の状態の説明図、図９Ｂは図９Ａで試料が切断された後の状態の説明図である。
【図１０】図１０は実施例４の試料ホルダの説明図であり、図１０Ａは実施例１の図４Ａに対応する平面図、図１０Ｂは実施例１の図４Ｂに対応する側面図、図１０Ｃは実施例１の図４Ｃに対応する説明図、図１０Ｄは実施例１の図６Ａに対応する説明図、図１０Ｅは実施例１の図６Ｂに対応する説明図である。
【図１１】図１１は実施例５の試料ホルダの説明図であり、図１１Ａは実施例１の図４Ｂに対応する側面図、図１１Ｂは実施例１の図４Ｃに対応する説明図、図１１Ｃは挟持部どうしが固定された状態の説明図、図１１Ｄは図１１Ｃに示す状態から挟持部が回転した状態の説明図である。
【図１２】図１２は実施例６の試料ホルダの説明図であり、図１２Ａは実施例４の図１０Ａに対応する平面図、図１２Ｂは実施例４の図１０Ｂに対応する側面図、図１２Ｃは実施例４の図１０Ｃに対応する説明図、図１２Ｄは図１２Ｃの要部拡大図である。
【図１３】図１３は実施例６の作用説明図であり、図１３Ａはスペーサが装着され且つ試料が切断される前の状態の説明図、図１３Ｂは図１３Ａに示す状態から試料が切断された状態の説明図、図１３Ｃは図１３Ｂに示す状態からスペーサが取り外された状態の説明図、図１３Ｄは図１３Ｃに示す状態から試料が切断された状態の説明図である。
【図１４】図１４は実施例６の変更例の説明図であり、図１４Ａは複数枚のスペーサが装着された状態の説明図、図１４Ｂは実施例６とは異なる厚さのスペーサが装着された状態の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態の具体例としての実施例を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
なお、以下の図面を使用した説明において、理解の容易のために説明に必要な部材以外の図示は適宜省略されている。
【実施例１】
【００１９】
図１は本発明の実施例１の試料ホルダを顕微分析装置のステージに装着した状態の縦断面図である。
図２は実施例１の試料ホルダの分解斜視図である。
図３は実施例１の試料ホルダの平面図である。
図１において、顕微分析装置のステージＴには、光軸Ｋ１を中心とするリング状凹部Ｔ１が形成されている。
図１〜３において、顕微分析用の試料ホルダＨは、ドーナツ状のリングプレート１を有している。リングプレート１は、後述のホルダの本体部を支持するとともに、ステージＴのリング状凹部Ｔ1に着脱自在に装着される被位置決め部材としての機能を有している。
リングプレート１の上面には１個の姿勢調節用突起２が設けられている。また、リングプレート１の内周面には３箇所のバネ貫通溝３が設けられている。この３箇所のバネ貫通溝３の下面部分にはそれぞれそのバネ貫通溝３を横切る１本の溝３ａが形成されている。
【００２０】
リングプレート１の上方に配置されるホルダの本体部４は、外形は平面図でほぼ長方形であり、その中央部に円形の孔４ａ（図２参照）が形成されている。ホルダの本体部４の上面には前記孔４ａの左右（Ｙ軸方向の両側）に浅い溝６，６が形成されている。溝６，６の外周部分には複数のネジ貫通孔６ａが形成されている。
また、ホルダの本体部４の前記孔４ａの周囲には、３個のバネ貫通孔７が形成されている。このバネ貫通孔７は前記リングプレート１のバネ貫通溝３に対応して配置されており、リングプレート１およびホルダの本体部４を重ねたとき、それらのバネ貫通溝３およびバネ貫通孔７は接続するようになっている。このバネ貫通孔７の上端部にはそれぞれバネ貫通孔７を横切る１本の溝７ａが形成されている。また、ホルダの本体部４の前記孔４ａの周囲には姿勢調整ネジ孔８，９が形成されている。
【００２１】
前記３個の各バネ貫通孔７およびバネ貫通溝３にはそれぞれコイル状の引張バネ１１が収容されている。その引張バネ１１の下端を支持する下端係止バー１１ａは、前記バネ貫通溝３の下端の溝３ａに係止され、引張バネ１１の上端を支持する上端係止バー１１ｂは、前記バネ貫通孔７の上端の溝７ａに係止される。
前記３本の引張バネ１１、下端係止バー１１ａ、および上端係止バー１１ｂにより、前記リングプレート１およびホルダの本体部４は密着状態で保持される。
前記姿勢調整ネジ孔８，９には、それぞれ姿勢調整ネジ１２，１３がホルダの本体部４の上方からねじ込まれており、その下端はリングプレート１の上面に達している。前記姿勢調整ネジ孔８は前記リングプレート１上面の姿勢調整用突起２の後方（−Ｘ方向）に配置されており、前記姿勢調整ネジ孔９は姿勢調整用突起２の右方（−Ｙ方向）に配置されている。
前記符号２，３，７〜１３等で示された要素から姿勢調節機構Ａ（図１参照）が構成されている。
【００２２】
前記ホルダの本体部４の上面の浅い溝６には、その外端部に操作部材支持枠１６が配置され、操作部材支持枠１６は、前記ネジ貫通孔６ａを貫通する固定ネジ１７（図２参照）により固定されている。
また、前記ホルダの本体部４の上面の浅い溝６には、平行な一対のガイド枠１８，１８が前記ネジ貫通孔６ａを貫通する固定ネジ（図示せず）により固定されている。この一対のガイド枠１８，１８の対向する面は図２から分かるように、下方に行くに従って間隔が広がるガイド面１８ａ，１８ａを形成している。
【００２３】
前記ガイド面１８ａ，１８ａにガイドされて左右（Ｙ軸方向）に移動する移動部材２１の被ガイド面２１ａ，２１ａは、前記ガイド面１８ａ，１８ａとスライド可能に係合する形状を有している。移動部材２１にはその外端側部分に左右に延びる移動用ネジ孔２１ｂが形成されている。また、移動部材２１にはその内端側部分に顕微分析用試料を保持するための保持部材（後述）を着脱可能に装着するための装着部２１ｃが設けられている。装着部２１ｃは他の部分よりも低く形成されており、保持部材固着用ネジ孔２１ｄ，２１ｄが形成されている。
前記操作部材支持枠１６には棒状の操作部材２２が回転自在に支持されている。操作部材２２の外端部には手でつまんで回転させるためのツマミ２２ａが形成されている。操作部材２２の内端部にはネジ２２ｂが形成されている。このネジ２２ｂは前記移動部材２１の移動用ネジ孔２１ｂと螺合している。したがって、前記ツマミ２２ａを摘んで操作部材２２を回転させると、移動部材２１は前記ガイド面１８ａ，１８ａにガイドされて左右（Ｙ軸方向）に移動するようになっている。
【００２４】
図４は実施例１の試料ホルダの保持体を含む要部説明図であり、図４Ａは保持体どうしが離間した状態の平面図、図４Ｂは図４Ａの側面図、図４Ｃは図４Ｂに示す状態から保持体どうしが接触した状態の説明図である。
左側の装着部２１ｃの上面には、第１の保持体の一例としての第１の挟持パーツ３７が支持されている。第１の挟持パーツ３７は、左側の装着部２１ｃの上面に支持される板状の被固定部３７ａを有する。被固定部３７ａには、保持部材固着用ネジ孔２１ｄに対応する位置に、螺子止め用の貫通孔３７ｂが形成されている。したがって、第１の挟持パーツ３７は、貫通口３７ｂを貫通して、保持部材固着用ネジ孔２１ｄに螺合する装着用ネジ２６によって、前記装着部２１ｃに着脱自在に装着される。
被固定部３７ａの右端には、前後方向に延びる三角柱状の第１の挟持部３７ｃが一体的に形成されている。第１の挟持部３７ｃは、第１の保持面の一例として、光軸Ｋ１に対して傾斜する第１の傾斜面３７ｄを有する。実施例１の第１の傾斜面３７ｄは、下端から上端に行くに連れて右方、すなわち、光軸Ｋ１に近づく方向に傾斜している。
【００２５】
なお、実施例１では、第１の傾斜面３７ｄの水平に対する傾斜角αは、４５度に設定されている。
さらに、第１の傾斜面３７ｄの上端には、左方に延びる第１の案内面３７ｅの右端が接続されている。実施例１の第１の案内面３７ｅは、光軸Ｋ１に対して９０度に交差する面により構成されている。
右側の装着部２１ｃの上面には、第２の保持体の一例としての第２の挟持パーツ４２が支持されている。第２の挟持パーツ４２は、右側の装着部２１ｃの上面に支持される板状の被固定部４２ａを有する。被固定部４２ａには、保持部材固着用ネジ孔２１ｄに対応する位置に、螺子止め用の貫通孔４２ｂが形成されている。よって、第２の挟持パーツ４２は、貫通口４２ｂを貫通して、保持部材固着用ネジ孔２１ｄに螺合する装着用ネジ２６によって、前記装着部２１ｃに着脱自在に装着される。
【００２６】
被固定部４２ａの左端には、前後方向に延びる台形状の第２の挟持部４２ｃが一体的に形成されている。第２の挟持部４２ｃは、第２の保持面の一例として、光軸Ｋ１に対して傾斜する第２の傾斜面４２ｄを有する。実施例１の第２の傾斜面４２ｄは、第１の傾斜面３７ｄに対向する形状に形成されている。したがって、第２の傾斜面４２ｄは、下端から上端に行くに連れて右方に傾斜している。
また、第２の傾斜面４２ｄの上端には、右方に延びる第２の案内面４２ｅの左端が接続されている。実施例１の第２の案内面４２ｅは、第１の案内面３７ｅの延長上に形成されており、第１の案内面３７ｅと第２の案内面４２ｅとは面一となるように設定されている。
【００２７】
（実施例１の作用）
図５は実施例１の作用説明図であり、図５Ａは試料を保持する前の状態の説明図、図５Ｂは試料が保持された状態の説明図、図５Ｃは試料が切断された状態の説明図、図５Ｄは図５Ｃの要部拡大図である。
前記構成を備えた実施例１の試料ホルダＨでは、試料Ｓを保持する場合、先ず、操作部材２２が操作されて、図５Ａに示すように、挟持部材３１，３２どうしが離間される。そして、挟持部材３１，３２の間に、膜状（フィルム状）、帯状、板状等の検査対象の試料Ｓが配置される。
次に、操作部材２２が再操作されて、図５Ｂに示すように、挟持部材３１，３２どうしが接近する。したがって、図５Ｂに示すように、傾斜面３７ｄ，４２ｄの間に、試料Ｓが挟まれる。
【００２８】
次に、第１の案内面３７ｅおよび第２の案内面４２ｅの上面に沿って、切断部材の一例としてのカミソリの刃５１が滑らせるように移動されて、試料Ｓが切断される。したがって、図５Ｃ、図５Ｄに示すように、試料Ｓの観察対象面Ｓ１が形成される。なお、観察対象面Ｓ１の長さＬ２は、傾斜面３７ｄ，４２ｄが傾斜している分だけ、試料Ｓの厚さＬ１よりも長くなっている。すなわち、Ｌ２＝Ｌ１／sinα、となる。
そして、観察対象面（試料面、観察面）Ｓ１が形成された試料ホルダＨは、顕微分析装置のステージＴにセットされ、分析が行われる。
【００２９】
なお、実施例１の試料ホルダＨでは、ステージＴに装着されたホルダの本体部４の汎用ステージＴに対する姿勢は姿勢調節機構Ａにより調節できる。すなわち、姿勢調整ネジ１２により姿勢調整用突起２を中心とするホルダの本体部４のＸ軸方向に沿う傾斜姿勢を調節することができ、また、姿勢調整ネジ１３により姿勢調整用突起２を中心とするホルダの本体部４のＹ軸方向に沿う傾斜姿勢を調節することができる。よって、姿勢調節機構Ａにより、ホルダの本体部４上の前記一対の移動部材２１，２１を用いて保持した顕微分析用の試料Ｓを所望の姿勢（顕微分析を行うのに適切な姿勢）に保持することができる。
【００３０】
したがって、実施例１では、従来技術のように、切断した後に試料をホルダに設置するのではなく、試料Ｓを試料ホルダＨの挟持部材３１，３２で保持された状態で、切断部材５１で切断が行われる。したがって、カールした試料を取り扱う必要が無くなり、試料Ｓの取り扱いが容易になる。また、観察対象面Ｓ１が作成された後、試料Ｓを操作する必要が無く、ホルダＨを顕微分析装置のステージＴに取り付けるだけで、観察対象面Ｓ１の観察が可能である。よって、従来の技術に比べて、観察対象面Ｓ１が破損したり汚れたりすることが低減され、試料Ｓの取り扱いが容易になっている。
また、実施例１のホルダＨでは、傾斜面３７ｄ，４２ｄの端に、案内面３７ｅ，４２ｅが形成され、案内面３７ｅ，４２ｅが面一に形成されている。したがって、案内面３７ｅ，４２ｅに沿って、切断部材５１を滑らせるように移動するだけで、簡単に傾斜角αだけ傾斜した観察対象面Ｓ１を作成することが可能である。よって、特許文献２に記載の技術のような大がかりな装置を必要とせず、低コスト且つ容易な操作で、傾斜する観察対象面Ｓ１を作成することが可能である。すなわち、低コスト且つ容易に、傾斜していない場合に比べて、広い面積に拡大して観察することが可能である。
【００３１】
図６は実施例１の保持体の変更例の説明図であり、図６Ａは傾斜角が３０度の保持体の説明図、図６Ｂは傾斜角が１５度の保持体の説明図である。
図５において、実施例１の挟持部材３１，３２では、傾斜角αが４５°の構成を例示したが、図６Ａに示すような傾斜角αが３０°の構成や、図６Ｂに示すような傾斜角αが１５°の構成とすることも可能である。なお、傾斜角αが小さくなるほど、試料Ｓの厚さＬ１に対する観察対象面Ｓ１の長さＬ２を大きくすることができる。また、実施例１の挟持部材３１，３２は、ネジ２６により着脱可能に構成されている。したがって、傾斜角αが異なる挟持部材３１，３２を交換部品として用意しておき、検査対象の試料Ｓや用途等に応じて、交換して、対応することが可能である。
【実施例２】
【００３２】
図７は実施例２の試料ホルダの説明図であり、図７Ａは実施例１の図４Ａに対応する平面図、図７Ｂは実施例１の図４Ｂに対応する側面図、図７Ｃは実施例１の図４Ｃに対応する説明図である。
次に本発明の実施例２の説明をするが、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成される。
【００３３】
図７において、実施例２の試料ホルダＨでは、左側の装着部２１ｃと第１の挟持パーツ３７の被固定部３７ａとの間には、位置決め部材の一例としての第１の固定部材３６が配置されている。実施例２の第１の固定部材３６は、板状に形成されており、保持部材固着用ネジ孔２１ｄに対応して、図示しない貫通口が形成されている。従って、第１の固定部材３６は、左側の装着部２１ｃと第１の挟持パーツ３７に挟まれた状態で、ネジ２６により装着される。なお、実施例２の第１の固定部材３６の右端は、第１の傾斜面３７ｄの下端よりも右方に配置されている。したがって、第１の固定板３６の上面と、第１の傾斜面３７ｄとの間には、楔状の空間３８が形成される。
また、右側の装着部２１ｃと第２の挟持パーツ４２との間にも、位置決め部材の一例として、板状の第２の固定部材４１が配置されている。第２の固定部材４１は、第１の固定部材３６と同様に構成されており、第１の固定部材３６の厚さに対応する厚さの板により構成されている。
【００３４】
（実施例２の作用）
前記構成を備えた実施例２の試料ホルダＨでは、実施例１と異なり、第１の固定部材３６と第１の傾斜面３７ｄとの間に楔状の空間３８が形成されている。したがって、ツマミ２２ａが操作されて、挟持パーツ３７，４２どうしが接近すると、第２の挟持パーツ４２の先端が楔状の空間３８に進入し、嵌った状態となる。したがって、挟持パーツ３７，４２どうしが位置決めされる。
【００３５】
図８は位置決め部材が設けられていない場合のホルダの説明図である。
図８において、実施例１のように、第１の固定板３６が設けられていない構成では、空間３８が存在しない。したがって、操作者が操作を誤って、挟持部材３１，３２が左右から過剰に押された場合、傾斜面３７ｄ，４２ｄに沿って、第１の挟持部材３１が第２の挟持部材３２に対して乗り上げるように上方にずれる恐れがある。この場合、第１の案内面３７ｅと第２の案内面４２ｅとが面一とならずに段差が形成される恐れがある。段差が発生すると、試料Ｓの切断時に、図８において右側から切断部材５１を移動させると段差に引っ掛かり、左側から切断部材５１を移動させると段差で落ちることとなり、試料Ｓの切断不良や、観察対象面Ｓ１の角度が変化する等の問題が発生する恐れがある。また、乗り上げた第１の挟持部材３１の端部が、光軸Ｋ１内に差し掛かり、観察の妨げになる問題もある。
【００３６】
実施例２のホルダＨでは、第１の固定板３６の上面と、第１の傾斜面３７ｄとの間には、第２の挟持部４２ｃの左下端の形状に対応する楔状の空間３８が形成されている。したがって、挟持部材３１，３２が互いに接近した場合に、楔状の空間３８に第２の挟持部４２ｃが接触して挟む方向である左右方向の位置決めがされる。この状態では、第１の挟持パーツ３７が上方に乗り上げようとしても一体的に固定されている第１の固定板３６が第２の挟持部４２ｃの下面に抑えられて、上方への移動が妨げられる。また、第２の挟持パーツ４２が下方に沈み込もうとしても、第２の固定板３６の上面に接触して下方への移動が妨げられる。よって、各挟持部材３１，３２は互いに上下方向への移動を規制する。よって、位置決め部材の一例としての第１の固定部材３６を有しない場合に比べて、段差が発生することが低減され、試料Ｓの切断不良等の問題の発生を低減できる。
【実施例３】
【００３７】
次に本発明の実施例３の説明をするが、この実施例３の説明において、前記実施例１、２の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１、２と相違しているが、他の点では前記実施例１、２と同様に構成される。
【００３８】
実施例３の試料ホルダＨでは、第２の傾斜面４２ｄの表面には、高摩擦部の一例として、吹付型の糊が塗布されている。なお、高摩擦部としては、吹付型の糊に限定されず、第２の傾斜面４２ｄと試料Ｓとの間の摩擦力が高くなる任意の構成を採用可能であり、接着性の材料を塗布したり、摩擦力が高くなるような表面加工（サンドブラスト等）を行うことも可能である。
【００３９】
（実施例３の作用）
図９は実施例３の高摩擦部が設けられていない場合の説明図であり、図９Ａは試料が切断される前の状態の説明図、図９Ｂは図９Ａで試料が切断された後の状態の説明図である。
図９において、第２の傾斜面４２ｄの表面に高摩擦部が設けられていない構成では、第２の案内面４２ｅ側から第１の案内面３７ｅ側に向けて切断部材５１を移動させた場合、切断部材５１の切断能力が低い、いわゆる切れ味が悪いと、切断部材５１の先端が試料Ｓに接触した場合に、試料Ｓが直ぐに切断されず、図９Ａの破線で示すように、一時的に試料Ｓが撓むことがある。このとき、第２の傾斜面４２ｄと第２の案内面４２ｅとの傾斜角が鈍角である第２の挟持部４２ｃ側で、試料Ｓの表面Ｓ２が弾性的に伸びる。したがって、切断部材５１で切断後、試料Ｓが弾性復元すると、図９Ｂに示すように、第２の挟持部４２ｃ側で、試料Ｓの観察対象面Ｓ１が第２の案内面４２ｅよりも窪んだ状態となる場合がある。いわゆる、深剃りした状態となる場合がある。図９Ｂに示すように、試料Ｓの観察対象面Ｓ１が窪むと、観察対象面Ｓ２の長さが、窪んでいない場合に比べて、短くなり、観察可能な面積が減少する問題がある。ＡＴＲ測定の場合、ＡＴＲ結晶の試料接触面が試料に接触できなくなるため、測定が困難になる問題がある。
【００４０】
これに対して、実施例３では、第２の傾斜面４２ｄの表面に高摩擦部が設けられている。したがって、試料Ｓが撓もうとした場合に、試料Ｓの表面との間の摩擦で、試料Ｓが撓んで伸びることを妨げ、抵抗する。したがって、高摩擦部が設けられていない場合に比べて、試料Ｓを切断した場合に、観察対象面Ｓ２の長さが短くなることを低減できる。
なお、いわゆる深剃りを防止するためには、各傾斜面３７ｄ，４２ｄと、各案内面３７ｅ，４２ｅとの接続部、すなわち、エッジ部分は、Ｃ面等の面取りをせず、エッジを立てる処理を行うことが望ましい。
【実施例４】
【００４１】
図１０は実施例４の試料ホルダの説明図であり、図１０Ａは実施例１の図４Ａに対応する平面図、図１０Ｂは実施例１の図４Ｂに対応する側面図、図１０Ｃは実施例１の図４Ｃに対応する説明図、図１０Ｄは実施例１の図６Ａに対応する説明図、図１０Ｅは実施例１の図６Ｂに対応する説明図である。
次に本発明の実施例４の説明をするが、この実施例４の説明において、前記実施例１、２の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１、２と相違しているが、他の点では前記実施例１、２と同様に構成される。
【００４２】
図１０Ａ〜図１０Ｃにおいて、実施例４の試料ホルダＨでは、実施例２における第１の固定板３６および第２の固定板４１が省略されている。実施例４の試料ホルダＨでは、実施例２の第１の固定板３６に替えて、位置決め部材の一例としてのストッパブロック６１が配置されている。実施例４のストッパブロック６１は、被固定部の一例として、上下方向に貫通する貫通孔６１ａが形成されている。また、第２の案内面４２ｅの後部には、貫通孔６１ａに対応するネジ孔４２ｆが形成されている。したがって、貫通孔６１ａを貫通し、ネジ孔４２ｆに螺子止めされるネジ６２により、ストッパブロック６１が第２の案内面４２ｅに支持される。なお、このとき、図１０Ｂ、図１０Ｃに示すように、ストッパブロック６１の左端（第１の挟持部材３１側の端）は、第２の傾斜面４２ｄの上端よりも左方に突出した状態で配置される。したがって、ストッパブロック６１の下面と第２の傾斜面４２ｄとの間に楔状の空間６３が形成される。
【００４３】
（実施例４の作用）
前記構成を備えた実施例４の試料ホルダＨでは、挟持パーツ３７，４２の下面で位置決めがされていた実施例２と異なり、挟持パーツ３７，４２の上面で位置決めがされる。実施例２では、第１の固定板３６が配置されているために、傾斜面３７ｄ，４２ｄに挟まれる試料Ｓの下端が第１の固定板３６に接触するまでの高さの観察対象面Ｓ２しか観察することが困難であった。これに対して、実施例４では、傾斜面３７ｄ，４２ｄの下方が開放されると共に、ストッパブロック６１が前後方向の後部のみに配置されており、傾斜面３７ｄ，４２ｄの上方もほとんどが開放されている。したがって、試料Ｓの任意の位置で切断して観察することを容易に実現可能である。
【００４４】
また、固定板３６，４１を使用して、案内面３７ｅ，４２ｅを面一にする構成では、固定板３６，４１の厚さに製造誤差が含まれたり、取り付け時の誤差等により、面一にならない場合がある問題もある。これに対して、実施例４では、上面である第１の案内面３７ｅがストッパブロック６１に直接位置決めされており、案内面３７ｅ，４２ｅどうしを面一にしやすい。
なお、実施例２の構成でも、図１０Ｄ、図１０Ｅに示すように、傾斜角αの異なる複数の交換部品（アタッチメント）を用意することが可能である。
【実施例５】
【００４５】
図１１は実施例５の試料ホルダの説明図であり、図１１Ａは実施例１の図４Ｂに対応する側面図、図１１Ｂは実施例１の図４Ｃに対応する説明図、図１１Ｃは挟持部どうしが固定された状態の説明図、図１１Ｄは図１１Ｃに示す状態から挟持部が回転した状態の説明図である。
次に本発明の実施例５の説明をするが、この実施例５の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成される。
【００４６】
図１１Ａ、図１１Ｂにおいて、実施例５の試料ホルダＨでは、第１の挟持パーツ７１は、左側の装着部２１ｃの上面に支持される板状の被固定部７１ａを有する。被固定部７１ａには、保持部材固着用ネジ孔２１ｄに対応する位置に、螺子止め用の貫通孔７１ｂが形成されている。したがって、第１の挟持パーツ７１は、貫通口７１ｂを貫通して、保持部材固着用ネジ孔２１ｄに螺合する装着用ネジ２６によって、装着部２１ｃに着脱可能に装着される。
【００４７】
被固定部７１ａの右端には、上方に延びる板状の第１の挟持部７１ｃが一体的に形成されている。第１の挟持部７１ｃは、第１の保持面の一例として、光軸Ｋ１に対して沿った第１の傾斜面７１ｄを有する。
さらに、第１の傾斜面７１ｄの上端には、左下方に延びる第１の案内面７１ｅの右端が接続されている。実施例５の第１の案内面７１ｅは、図１１Ａ、図１１Ｂに示す状態では、光軸Ｋ１に対して４５度に交差する面により構成されている。
なお、実施例５の第１の挟持部７１ｃには、図１１Ａ、図１１Ｂに示す状態で、第１の挟持部７１ｃを左右方向に貫通する貫通孔７１ｆが、前後方向の端部に形成されている。
前記第１の挟持パーツ７１により、第１の保持体の一例としての実施例５の第１の挟持部材が構成されている。
【００４８】
右側の装着部２１ｃの上面には、第２の保持体の本体である実施例５の第２の挟持パーツ７６が支持されている。第２の挟持パーツ７６は、装着部２１ｃの上面に支持される板状の被固定部７６ａを有する。被固定部７６ａには、保持部材固着用ネジ孔２１ｄに対応する位置に、螺子止め用の貫通孔７６ｂが形成されている。よって、第２の挟持パーツ７６は、貫通口７６ｂを貫通して、保持部材固着用ネジ孔２１ｄに螺合する装着用ネジ２６によって、装着部２１ｃに着脱自在に装着される。
【００４９】
被固定部７６ａの左端には、移動機構の一例としてのヒンジ７７が支持されている。実施例５のヒンジ７７は、被固定部７６ａに固定される第１のヒンジ板７７ａと、前後方向に延びるヒンジ軸７７ｂと、ヒンジ軸７７ｂを中心として第１のヒンジ板７７ａに対して回転移動可能に支持された第２のヒンジ板７７ｃとを有する。なお、実施例５のヒンジ７７は、図１１Ａ〜図１１Ｃに示す位置と、図１１Ｄに示す位置との間で移動可能に構成されている。
第２のヒンジ板７７ｃには、上方に延びる第２の挟持部７６ｃが支持されている。第２の挟持部７６ｃは、第２の保持面の一例として、図１１Ａ、図１１Ｂに示す状態では、光軸Ｋ１に対して沿った第２の傾斜面７６ｄを有する。したがって、実施例５の第２の傾斜面７６ｄは、第１の傾斜面７１ｄに対向する形状に形成されている。
【００５０】
また、第２の傾斜面７６ｄの上端には、右上方に延びる第２の案内面７６ｅの左端が接続されている。実施例５の第２の案内面７６ｅは、第１の案内面７１ｅの延長上に形成されており、第１の案内面７１ｅと第２の案内面７６ｅとは面一となるように設定されている。
また、実施例５の第２の挟持部７６ｃには、図１１Ａ、図１１Ｂに示す状態で、第２の挟持部７６ｃを左右方向に貫通するネジ孔７６ｆが、貫通孔７１ｆに対応する位置に形成されている。
前記第２の挟持パーツ７６により、第２の保持体の一例としての実施例５の第２の挟持部材が構成されている。
【００５１】
（実施例５の作用）
前記構成を備えた実施例５の試料ホルダＨでは、試料Ｓを試料ホルダＨに保持する場合、図１１Ａ、図１１Ｂに示すように、保持面（傾斜面７１ｄ，７６ｄ）が上下方向に沿った状態で挟むことが可能である。したがって、試料Ｓを重力方向に対して傾斜する傾斜面３７ｄ，４２ｄに沿わせて設置する実施例１〜４の構成に比べて、試料Ｓを垂らすだけで、容易に挟むことが可能である。
保持面に試料Ｓが挟まれた状態で、図１１Ｃに示すように、貫通孔７１ｆを貫通してネジ孔７６ｆに螺子止めされるネジ７８により挟持パーツ７１，７６どうしが固定される。
【００５２】
そして、第１の挟持パーツ７１を装着部２１ｃに留めていた装着用ネジ２６を外すことで、第１の挟持パーツ７１が装着部２１ｃに対して離脱可能な状態となる。よって、挟持パーツ７１，７６が一体的に、ヒンジ軸７７ｂを中心として回転可能になる。したがって、挟持パーツ７１，７６は、図１１Ａ〜図１１Ｃに示す保持面（傾斜面７１ｄ，７６ｄ）が光軸Ｋ１に沿った位置と、図１１Ｄに示す保持面（傾斜面７１ｄ，７６ｄ）が光軸Ｋ１に対して傾斜した位置と、の間で移動可能である。
よって、図１１Ｄに示す位置で、試料Ｓの観察対象面Ｓ２が光軸に対して最も面積が広い状態となる。よって、操作部材２２を操作して、観察対象面Ｓ２の位置が光軸Ｋ１の位置に一致するように位置調整して、観察対象面Ｓ２が観察可能である。
なお、試料Ｓの切断は、図１１Ｄに示す状態（案内面７１ｅ，７６ｅが水平な状態）が切断部材５１を水平方向に滑らせるため、切断部材５１を移動させる際に安定しやすいため好適であるが、図１１Ｂに示す状態（保持面どうしで挟んだ状態）、図１１Ｃに示す状態（挟持パーツ７１，７６を固定した状態）のいずれにおいても可能である。
【００５３】
したがって、実施例５の試料ホルダＨでは、試料を挟む際に、保持面（傾斜面７１ｄ，７６ｄ）が傾斜しておらず、セットが容易である。また、保持面（傾斜面７１ｄ，７６ｄ）どうしが上下方向に延びており、水平に対して傾斜していないため、位置決め部材を設けなくても、乗り上げの心配がない。よって、位置決め部材を省略できると共に、案内面７１ｅ，７６ｅの間に段差ができることが抑制される。
なお、図示は省略するが、実施例１，２と同様に、実施例５でも、傾斜角αに応じたアタッチメントを準備して交換することで、任意の傾斜角αに対応可能である。
【実施例６】
【００５４】
図１２は実施例６の試料ホルダの説明図であり、図１２Ａは実施例４の図１０Ａに対応する平面図、図１２Ｂは実施例４の図１０Ｂに対応する側面図、図１２Ｃは実施例４の図１０Ｃに対応する説明図、図１２Ｄは図１２Ｃの要部拡大図である。
次に本発明の実施例６の説明をするが、この実施例６の説明において、前記実施例１、４の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
この実施例は下記の点で、前記実施例１、４と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成される。
【００５５】
図１２Ａ、図１２Ｂにおいて、実施例６の試料ホルダＨでは、第１の案内面３７ｅには、ネジ孔３７ｆが形成されている。また、各案内面３７ｅ，４２ｅの上面には、隙間部材の一例としてのスペーサ８１，８２が支持されている。実施例１のスペーサ８１，８２は、厚さが同一に設定された薄膜状の部材により構成されている。したがって、スペーサ８１，８２の上面のスペーサ案内面８１ａ，８２ａどうしも、挟持パーツ３７，４２の案内面３７ｅ，４２ｅと同様に、面一に構成されている。
【００５６】
各スペーサ８１，８２には、ネジ孔３７ｆ，４２ｆやストッパブロック６１の貫通孔６１ａに対応する位置に、被固定部の一例としての固定用の貫通孔８１ｂ，８２ｂが形成されている。したがって、貫通孔８１ｂを貫通してネジ孔３７ｆにネジ止めされるネジにより、左側のスペーサ８１が第１の案内面３７ｅに着脱可能に支持されるとともに、貫通孔６１ａ，８２ｂを貫通してネジ孔４２ｆにネジ止めされるネジ６２により、右側のスペーサ８２が第２の案内面４２ｅに着脱可能に支持される。
また、各スペーサ８１，８２の内端面８１ｃ，８２ｃは、各傾斜面３７ｄ，４２ｄの延長上の傾斜面により構成されている。
【００５７】
図１３は実施例６の作用説明図であり、図１３Ａはスペーサが装着され且つ試料が切断される前の状態の説明図、図１３Ｂは図１３Ａに示す状態から試料が切断された状態の説明図、図１３Ｃは図１３Ｂに示す状態からスペーサが取り外された状態の説明図、図１３Ｄは図１３Ｃに示す状態から試料が切断された状態の説明図である。
（実施例６の作用）
図１２、図１３において、前記構成を備えた実施例６の試料ホルダＨでは、スペーサ８１，８２が挟持パーツ３７，４２に装着された状態で、スペーサ案内面８１ａ，８２ａに沿って切断部材５１で試料Ｓを切断可能である。したがって、図１３Ｂに示すように、スペーサ案内面８１ａ，８２ａに沿った試料面を有する状態で試料Ｓを切断して、観察、分析が可能である。
【００５８】
次に、スペーサ８１,８２の厚さ分、試料Ｓの異なる位置を観察・分析する場合、スペーサ８１，８２を取り外すと、図１３Ｃに示す状態になる。そして、案内面３７ｅ，４２ｅに沿って切断部材５１を移動させて、試料Ｓを切断することで、スペーサ８１,８２の厚さ分ずれた位置に試料面（観察対象面）Ｓ１が形成され、観察・分析が可能である。
したがって、スペーサ８１，８２を着脱するだけで、試料Ｓの異なる位置を容易に切り出すことができ、観察・分析が可能である。
なお、実施例６の試料ホルダＨでは、透過型の観察が困難であるが、図１３Ｄにおいて切断された試料Ｓａは、スペーサ８１，８２の厚さ分の薄片Ｓａとなっている。したがって、試料ホルダＨとスペーサ８１，８２を使用することで、極薄の薄片Ｓａを切り出すことができ、薄片Ｓａに対して透過型の分析も可能である。したがって、特許文献１，２に記載の構成のような高価で精密かつ大がかりな機器を使用して薄片を切り出す構成に比べて、きわめて低コスト且つ簡単な操作で薄片Ｓａを切り出すことができる。
【００５９】
図１４は実施例６の変更例の説明図であり、図１４Ａは複数枚のスペーサが装着された状態の説明図、図１４Ｂは実施例６とは異なる厚さのスペーサが装着された状態の説明図である。
図１４Ａにおいて、前記実施例６のスペーサ８１，８２と同様に構成された複数のスペーサ８３，８４，８５，８６を積層する形で装着することも可能である。なお、このとき、各スペーサ８３〜８６の内端面は、傾斜面３７ｄ，４２ｄの延長上とする必要がある。
図１４Ａに示すように、スペーサ８１〜８６を積層した場合、全てのスペーサ８１〜８６を装着した状態で、試料面Ｓ１の切り出し、観察後、１層分のスペーサ８５，８６を取り外して、切り出し、観察し、次の１層分のスペーサ８３，８４を切り出し、観察し…、というように、多段階の切り出し、観察も容易に行うことも可能である。
【００６０】
また、薄片Ｓａの切り出しの観点から見れば、３層分のスペーサ８１〜８６を装着した状態で試料Ｓを切断後、全てのスペーサ８１〜８６を外して、試料Ｓを切り出すことで、３層分の厚さを有する薄片Ｓａを切り出すことが可能である。すなわち、スペーサ８１〜８６の層の数を増減させることで任意の厚さの薄片Ｓａを容易に切り出すことも可能である。
したがって、スペーサ８１〜８６の枚数は、実施例６や図１４Ａに例示した構成に限定されず、任意の枚数に増減可能である。
図１４Ｂにおいて、スペーサ８１〜８４とは厚さの異なるスペーサ８１′〜８４′を用意しておき、切り出したい試料Ｓの位置や、薄片Ｓａの厚さに応じて、対応する厚さのスペーサ８１′〜８４′を選択、交換して、切り出すことも可能である。
【００６１】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施例を下記に例示する。
（Ｈ01）前記実施例において、移動部材２１を左右両側に設け、左右の挟持部材３１，３２，７１，７６が、それぞれ独立して左右方向に移動可能に構成したが、これに限定されない。例えば、一方を固定して、他方のみを移動可能とすることで、挟持部材３１，３２，７１，７６の一方が左右方向に移動不能、且つ、他方が左右方向に移動可能な構成とすることも可能である。
【００６２】
（Ｈ02）前記実施例において、顕微分析装置として、従来公知の任意の装置に使用可能である。例えば、光学顕微鏡や、赤外分光分析装置、ラマン分光分析装置、ＳＥＭ等の電子顕微鏡等で使用可能である。
（Ｈ03）前記実施例において、移動部材２１自体に傾斜面や案内面を設ける、すなわち、移動部材２１と挟持部材３１，３２，７１，７６を一体化することも可能である。
（Ｈ04）前記実施例において、被位置決め部材１は、リングプレート１以外の形状で、汎用ステージＴ上に位置決め固定可能な構造を採用することが可能である。
（Ｈ05）前記実施例において、リングプレート１を省略して、ホルダの本体部４自体に被位置決め構造を持たせることが可能である。この場合、ホルダの本体部４のステージＴに対する姿勢調節（傾斜姿勢の調節）は、リングプレート１に対して行う代わりにステージＴに対して行うように構成することが可能である。
【００６３】
（Ｈ06）前記実施例において、移動部材２１を有する構成が望ましいが、例えば、一方の挟持部材３１，３２，７１，７６を、長孔で装着部２１ｃに対してネジで支持しておき、挟む際にネジを緩めて、長孔に沿って挟持部材３１，３２，７１，７６をスライドさせて、挟む構成とすることも可能である。逆に、移動部材２１をモータ等で駆動して、自動的に挟む構成とすることも可能である。
（Ｈ07）前記実施例２，４において、位置決め部材３６，６１を設ける構成が望ましいが、例えば、移動部材２１の位置をコンピュータで制御する等して、挟持部材３１，３２どうしが過剰に押されないことが担保されている場合、位置決め部材３６，６１を省略することも可能である。
【符号の説明】
【００６４】
４…ホルダの本体部、
２１…移動部材、
３１，７１…第１の保持体、
３２，７２…第２の保持体、
３６，６１…位置決め部材、
３７ｄ，７１ｄ…第１の保持面、
３７ｅ，７１ｅ…第１の案内面、
４２ｄ，７６ｄ…第２の保持面、
４２ｅ，７６ｅ…第２の案内面、
５１…切断部材、
Ｈ…試料ホルダ、
Ｋ１…光軸、
Ｓ…試料、
Ｓ１…観察対象の面、
Ｔ…ステージ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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