(57)【要約】      （修正有）【課題】励振電極への金属ろう材の流出を抑制するより信頼性の高い小型化に対応した圧電振動デバイスを提供する。【解決手段】圧電振動板２の両主面２１１、２１２に金属ろう材（封止材１１）を介して封止部材３，４を接合し気密封止する圧電振動デバイスであって、圧電振動板の振動部に励振電極と引出電極、圧電振動板の封止部に封止パターンとが形成され、封止パターンのうち引出電極に近接する部分では封止パターンから離隔した浮島パターンが形成され、当該浮島パターンの一部は、前記封止部の内側にて、前記金属ろう材とのぬれ性が低い金属膜により、前記浮島パターンと前記引出電極と接続しており、各封止部材の封止側封止パターンと記圧電振動板の各主面の封止パターンおよび浮島パターンとを金属ろう材で接合することで、各励振電極を各封止側封止パターンあるいは各封止パターンを介して外部へ各々導出した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動部と当該振動部の周囲に封止部が一体形成した圧電振動板と、
前記圧電振動板の両主面の封止部と金属ろう材を介して接合し気密封止する板状の一対の封止部材とからなる圧電振動デバイスであって、
前記圧電振動板の各主面には、前記振動部に励振電極と、前記封止部に封止パターンと、前記励振電極を前記封止パターンに引き出す引出電極とが形成され、
前記封止パターンのうち前記引出電極に近接する部分では、前記封止パターンの一部が当該封止パターンから離隔した浮島パターンを形成し、
前記封止部の内側にて前記浮島パターンと前記引出電極の間には分断部が形成され、
当該分断部の上部には、前記金属ろう材とのぬれ性が低い金属膜により、前記浮島パターンと前記引出電極とを接続しており、
前記各封止部材には、前記圧電振動板の封止パターンと接合するための封止側封止パターンが形成され、
前記各封止部材の封止側封止パターンと、前記圧電振動板の各主面の封止パターンおよび浮島パターンとを金属ろう材で接合し、前記各励振電極を前記各封止側封止パターンあるいは前記各封止パターンを介して外部へ各々導出する接続経路の一部を構成したことを特徴とする圧電振動デバイス。
【請求項２】
金属ろう材が、錫を含有する合金であることを特徴とする特許請求項１記載の圧電振動デバイス。
【請求項３】
圧電振動板の封止部の最上層に錫を含有する合金膜を電解めっきにより形成したことを特徴とする特許請求項１、または特許請求項２記載の圧電振動デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器に用いられる水晶振動子等の圧電振動デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種電子機器の動作周波数の高周波化や、パッケージの小型化（特に低背化）が進んでいる。そのため、高周波化やパッケージの小型化にともなって、圧電振動デバイスも高周波化やパッケージの小型化への対応が求められている。
【０００３】
この種の圧電振動デバイスでは、その筐体が直方体のパッケージで構成されている。このパッケージは、ガラスなどからなる第１封止部材および第２封止部材と、水晶からなり両主面に励振電極が形成された圧電振動板とから構成され、第１封止部材と第２封止部材とが圧電振動板を介して積層して金属ろう材により接合され、パッケージの内部に配された圧電振動板の励振電極が気密封止されている（例えば、下記する特許文献１ご参照）。以下、このような圧電振動デバイスの積層形態をサンドイッチ構造という。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−３０１９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、このようなサンドイッチ構造の圧電振動デバイスでは、封止部と励振電極の一部が同様の配線パターンで接続されているため、金属ろう材を加熱溶融して接合する際に、封止部から励振電極への金属ろう材が流入するのを防ぐ必要がある。封止部から励振電極へ金属ろう材が流れ出すと圧電振動デバイスの電気的な特性を阻害するだけでなく、封止部の金属ろう材が不足して接合強度が低下し、気密不良が生じる原因となる。
【０００６】
そこで、特許文献１に示す圧電振動デバイスでは、金属膜（本発明でいう封止パターン）と励振電極とを接続する導電路（本発明でいう引出電極）に酸化金属膜などからなる遮断膜（本発明でいう金属膜）を形成することで、金属ろう材の流入を抑えたものが開示されている。
【０００７】
しかしながら、特許文献１に示す圧電振動デバイスであっても、金属ろう材の流入を十分に抑えるには不十分であった。特に、金属ろう材として錫を含有したものを使用した場合、何らかの電極材料が存在する導電路上部に遮断膜を形成しても、励振電極へ錫が拡散することを抑えることは困難であった。このような錫の拡散現象により励振電極が浸食されると、いわゆるＣＩ値と呼ばれる共振抵抗値などが劣化して、圧電振動デバイスとしての電気的特性の悪化を招いているのが現状である。特に、小型化された圧電振動デバイスでは、励振電極が小さく、このような錫の拡散による影響も甚大なものとなるため、致命的な欠陥に繋がることがあった。また、圧電振動デバイスに金属ろう材を形成する際、電解めっきによる手法では封止部と励振部電極が電気的に接続されるため、封止部だけに金属ろう材を形成することはできない。印刷・無電解めっきによる手法では小型のものや発振器等の接続端子が多く電極パターンが複雑なものに対しては、難易度が高くコスト高になるという問題があった。
【０００８】
そこで、上記課題を解決するために、本発明は、サンドイッチ構造の圧電振動デバイスにおいて、気密封止を保ちながら、励振電極への金属ろう材の流出を抑制するより信頼性の高い小型化に対応した安価な圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明では、上記目的を達成するために、振動部と当該振動部の周囲に封止部が一体形成した圧電振動板と、前記圧電振動板の両主面の封止部と金属ろう材を介して接合し気密封止する板状の一対の封止部材とからなる圧電振動デバイスであって、前記圧電振動板の各主面には、前記振動部に励振電極と、前記封止部に封止パターンと、前記励振電極を前記封止パターンに引き出す引出電極とが形成され、前記封止パターンのうち前記引出電極に近接する部分では、前記封止パターンの一部が当該封止パターンから離隔した浮島パターンを形成し、前記封止部の内側にて前記浮島パターンと前記引出電極の間には分断部が形成され、当該分断部の上部には、前記金属ろう材とのぬれ性が低い金属膜により、前記浮島パターンと前記引出電極とを接続しており、前記各封止部材には、前記圧電振動板の封止パターンと接合するための封止側封止パターンが形成され、前記各封止部材の封止側封止パターンと、前記圧電振動板の各主面の封止パターンおよび浮島パターンとを金属ろう材で接合し、前記各励振電極を前記各封止側封止パターンあるいは前記各封止パターンを介して外部へ各々導出する接続経路の一部を構成したことを特徴とする。
【００１０】
上記構成により、圧電振動板の両主面の各励振電極の引出電極から各封止パターンまでの接続経路には、電極が形成されない分断部の上部の金属ろう材とのぬれ性が低い金属膜と、封止パターンから離隔した浮島パターンとが各々介在している。このため、封止パターンと浮島パターンの間では、圧電振動板の封止パターンから直接溶融した金属ろう材が流れ出すことができず、対面する封止部の封止側封止パターンを介することでのみ溶融した金属ろう材が流れ出すことができる。従って、溶融した金属ろう材の流れ出しを遅延させながら抑制することができ、その流れ出し量も浮島パターンに直接接触した金属ろう材のみとすることができるので、全体としての流れ出し量を減らすことができる。つまり、金属ろう材の接合が完了するまでに、封止パターンから浮島パターンへ流れ出そうとする金属ろう材の流れ出しを抑制しながら、その流れ出しの絶対量を減らすことができる。
【００１１】
また、前述のように、金属ろう材の流れ出しの絶対量が少ない状態で、浮島パターンから流れ出した金属ろう材は、さらに金属ろう材とのぬれ性が低い金属膜により確実にせき止めることができる。具体的には、分断部により電極が形成されず、その上部の金属ろう材とのぬれ性が低い金属膜以外には接続経路が存在しないため、励振電極の引出電極の方へ金属ろう材が流れ出すことがなくなるだけでなく、金属ろう材の成分が励振電極の引出電極の方へ拡散することも一切なくなる。
【００１２】
以上のように、封止パターンと浮島パターン、および金属ろう材とのぬれ性の低い金属膜の各構成要素を組み合わせることで、従来に比較して飛躍的に金属ろう材の流れ出しとその成分の拡散を抑制するのに有効な構成とすることができる。
【００１３】
また、最終的に金属ろう材で接合された後は、各封止部材の封止側封止パターンもしくは圧電振動板の両主面の封止パターンを活用して、圧電振動板の各励振電極を各々の外部端子へ導出する接続経路の一部が、小型化に対応した省スペースな状態で有効的に形成することができる。
【００１４】
また、金属ろう材が、錫を含有する合金であってもよい。この構成では、上述の作用効果に加えて、低融点の金属ろう材が構成できるため、圧電振動デバイスに対して熱的な悪影響を極力抑えることができるとともに、金属ろう材の錫成分が励振電極に拡散することがなくなる。
【００１５】
また、圧電振動板の封止部の最上層に錫を含有する合金膜を電解めっきにより形成してもよい。この構成では、上述の作用効果に加え、封止パターンから離隔した浮島パターンが存在しているので、錫を含有する合金膜を電解めっきにより安価で小型化され複雑化された電極パターンであっても容易に圧電振動板の封止パターンだけに金属ろう材を形成することができる。加えて、励振電極に上記合金膜が形成されて電気的特性に悪影響を与えることも一切ない。また、圧電振動板の両主面に形成された封止パターンだけに上記合金膜を電解めっき形成することで、一度のめっき加工だけで封止用の上記合金膜が一括で形成することができる。
【発明の効果】
【００１６】
サンドイッチ構造の圧電振動デバイスにおいて、気密封止を保ちながら、励振電極への金属ろう材の流出を抑制するより信頼性の高い小型化に対応した安価な圧電振動デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本実施の形態にかかる水晶振動子の各構成を示した概略構成図である。
【図２】図２は、本実施の形態にかかる水晶振動子の第１封止部材の概略平面図である。
【図３】図３は、本実施の形態にかかる水晶振動子の第１封止部材の概略裏面図である。
【図４】図４は、本実施の形態にかかる水晶振動子の水晶振動板の概略平面図である。
【図５】図５は、本実施の形態にかかる水晶振動子の水晶振動板の概略裏面図である。
【図６】図６は、本実施の形態にかかる水晶振動子の第２封止部材の概略平面図である。
【図７】図７は、本実施の形態にかかる水晶振動子の第２封止部材の概略裏面図である。
【図８】図８は、図２〜図７の構成部材を組み立てた状態でのＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下に示す実施の形態では、圧電振動を行う圧電振動デバイスとして表面実装型水晶振動子に本発明を適用した場合を示す。
【００１９】
本実施の形態にかかる水晶振動子１０１では、図１に示すように、水晶振動板２（本発明でいう圧電振動板）と、水晶振動板２の第１励振電極２２１（図４参照）を覆い、水晶振動板２の一主面２１１に形成された第１励振電極２２１を気密封止する第１封止部材３と、この水晶振動板２の他主面２１２に、水晶振動板２の第２励振電極２２２（図５参照）を覆い、第１励振電極２２１と対になって形成された第２励振電極２２２を気密封止する第２封止部材４が設けられている。
【００２０】
この水晶振動子１０１では、水晶振動板２と第１封止部材３とが接合され、水晶振動板２と第２封止部材４とが接合されてサンドイッチ構造のパッケージ１２が構成される。そして、水晶振動板２を介して第１封止部材３と第２封止部材４とが接合されることで、パッケージ１２の内部空間１３が形成され、このパッケージ１２の内部空間１３に、水晶振動板２の両主面２１１，２１２に形成された第１励振電極２２１および第２励振電極２２２を含む振動部２３が気密封止されている。なお、内部空間１３は、図１に示すようにパッケージ１２の平面視一端側（平面視左側）に偏って位置する。
【００２１】
本実施の形態にかかる水晶振動子１０１は、１．０×０．８ｍｍのパッケージサイズであり、小型化と低背化とを図ったものである。また、小型化に伴い、本パッケージ１２では、キャスタレーションを形成せずに、貫通孔（第１貫通孔２６１，第２貫通孔４４１，第３貫通孔４４２参照）を用いて電極の導通を図っている。
【００２２】
次に、上記した水晶振動子１０１の各構成について図１〜８を用いて説明する。なお、ここでは、水晶振動板２と第１封止部材３と第２封止部材４が接合されていない夫々単体として構成されている各部材について説明を行う。
【００２３】
水晶振動板２は、図４，５に示すように、圧電材料である水晶からなる。
【００２４】
また、水晶振動板２の両主面２１１，２１２（一主面２１１，他主面２１２）に一対の（対となる）励振電極（第１励振電極２２１，第２励振電極２２２）が形成されている。そして、両主面２１１，２１２には、一対の第１励振電極２２１，第２励振電極２２２を囲うように２つの切り欠き部２４（貫通形状）が形成されて振動部２３が構成されている。
【００２５】
この水晶振動板２では、両主面２１１，２１２の振動部２３に沿った外方に、振動部２３を囲むように第１封止部材３と第２封止部材４とを接合するための振動側封止部２５（枠部）が枠部２６の上部にそれぞれ設けられている。振動側封止部２５は、図４，５に示すように両主面２１１，２１２の平面視左側に偏って位置する。
【００２６】
切り欠き部２４は、平面視凹形状体２４１（１つの平面視長方形の両端から２つの長方形夫々が、長方形の長手方向に対して直角方向に延出して成形された３つの平面視長方形からなる平面視体）と、平面視長方形状体２４２とからなり、平面視凹形状体２４１と平面視長方形状体２４２との間が、前記振動部２３と振動側封止部２５が形成される枠部２６とを連結するブリッジ部２７１，２７２となっている。
【００２７】
水晶振動板２の一主面２１１の枠部２６のうち振動側封止部２５には、第１封止部材３に接合するための振動側第１接合パターン２５１（第１封止パターン）が形成され、水晶振動板２の他主面２１２の枠部２６のうち振動側封止部２５には、第２封止部材４に接合するための振動側第２接合パターン２５２（第２封止パターン）が形成される。
【００２８】
内部空間１３は、振動側第１接合パターン２５１および振動側第２接合パターン２５２の内方（内側）に形成されることになる。
【００２９】
これらの電極パターンに関して、第１励振電極２２１からブリッジ部２７１に近接する位置に引き出された第１引出電極２２３と、振動側第１接合パターン２５１のうち前記ブリッジ部２７１に近接する部分（振動子側接合パターン２５１のうち第１引出電極２２３と近接する部分）では、振動側第１接合パターン２５１の一部の幅が狭い第１幅狭部２５１３が形成され、第１幅狭部２５１３に隣接して振動側第１接合パターン２５１の一部が当該振動側第１接合パターン２５１から離隔しブリッジ部２７１の方へ突出した第１浮島パターン２５３とが形成される。ブリッジ部２７１の位置では、第１引出電極２２３と第１浮島パターン２５３の間に第１分断部２５５が形成されており、当該第１分断部２５５の上部には、第１浮島パターン２５３の上端部の一部と第１引出電極２２３の上端部の一部とを接続するとともに、後述する金属ろう材からなる封止材１１とのぬれ性が低い第１金属膜２５７が形成されている。なお、金属ろう材の最終的な流れ防止部分である第１浮島パターン２５３と第１分断部２５５と第１金属膜２５７については、ブリッジ部２７１のうち枠部２６寄りの位置か、枠部２６の位置のみに形成することが望ましい。この様に構成することで、流れ出した金属ろう材による振動部２３への悪影響がより一層軽減される。
【００３０】
また、第２励振電極２２２から前記ブリッジ部２７２に近接する位置に引き出された第２引出電極２２４と、振動側第２接合パターン２５２のうちブリッジ部２７２に近接する部分（振動子側接合パターン２５２のうち第２引出電極２２４と近接する部分）では、振動側第２接合パターン２５２の一部の幅が狭い第２幅狭部２５２３が形成され、第２幅狭部２５２３に隣接して振動側第２接合パターン２５２の一部が当該振動側第２接合パターン２５２から離隔しブリッジ部２７２の方へ突出した第２浮島パターン２５４とが形成される。ブリッジ部２７２の位置では、第２引出電極２２４と第２浮島パターン２５４の間に第２分断部２５６が形成されており、当該第２分断部２５６の上部には、第２浮島パターン２５４の上端部の一部と第２引出電極２２４の上端部の一部とを接続するとともに、後述する金属ろう材からなる封止材１１とのぬれ性が低い第２金属膜２５８が形成されている。なお、金属ろう材の最終的な流れ防止部分である第２浮島パターン２５４と第２分断部２５６と第２金属膜２５８については、ブリッジ部２７２のうち枠部２６寄りの位置か、枠部２６の位置のみに形成することが望ましい。この様に構成することで、流れ出した金属ろう材による振動部２３への悪影響がより一層軽減される。
【００３１】
以上の電極パターン構成により、水晶振動板２の一主面２１１の振動側第１接合パターン２５１と第１励振電極２２１とは、第１幅狭部２５１３と第１浮島パターン２５３との間の第１ギャップ部分２５１４以外の箇所で、第１浮島パターン２５３と第１金属膜２５７と引出電極２２３からなる導通経路が形成され、水晶振動板２の他主面２１２の振動側第２接合パターン２５２と第２励振電極２２２とは、第２幅狭部２５２３と第２浮島パターン２５４との間の第２ギャップ部分２５２４以外の箇所で、第２浮島パターン２５４と第２金属膜２５８と引出電極２２４からなる導通経路が形成される。
【００３２】
なお、第１ギャップ部分２５１４における導通遮断部分は、水晶振動板２の振動側第１接合パターン２５１と第１浮島パターン２５３と後述する第１封止部材３の封止側第１接合パターン３２１とを後述する金属ろう材からなる接合材１１を介して接合し、水晶振動板２と第１封止部材３とを貼り合わせて封止することで、振動子側第１接合パターン２５１と封止側第１接合パターン３２１を介して導通される。第２ギャップ部分２５２４における導通遮断部分は、水晶振動板２の振動側第２接合パターン２５２と第２浮島パターン２５４と後述する第２封止部材４の封止側第２接合パターン４２１とを後述する接合材１１を介して接合し、水晶振動板２と第２封止部材４とを貼り合わせて封止することで、振動子側第２接合パターン２５２と封止側第２接合パターン４２１を介して導通される。以上により、第１励振電極２２１から振動側第１接合パターン２５１までの導通経路および第２励振電極２２２から振動側第２接合パターン２５２までの導通経路が確保される。最終的には、振動側第１接合パターン２５１および振動側第２接合パターン２５２は、第２封止部材４の圧電振動板とは面しない他主面側４１２に形成された外部回路基板と接合される外部電極端子（一外部電極端子４３１，他外部電極端子４３２）に電気的に接続されている。
【００３３】
振動側第１接合パターン２５１は、一主面２１１上に物理的気相成長させて形成された下地ＰＶＤ膜２５１１と、下地ＰＶＤ膜２５１１上に物理的気相成長させて積層形成された電極ＰＶＤ膜２５１２とからなり、同様に、振動側第２接合パターン２５２は、他主面２１２上に物理的気相成長させて形成された下地ＰＶＤ膜２５２１と、下地ＰＶＤ膜２５２１上に物理的気相成長させて積層形成された電極ＰＶＤ膜２５２２とからなる。つまり、振動側第１接合パターン２５１と振動側第２接合パターン２５２とは、同一構成からなり、複数の層が両主面２１１，２１２の振動側封止部２５上に積層して構成され、その最下層側からＣｒ層とＡｕ層とが蒸着形成されている。このように、振動側第１接合パターン２５１と振動側第２接合パターン２５２とでは、下地ＰＶＤ膜２５１１，２５２１が単一の材料（Ｃｒ）からなり、電極ＰＶＤ膜２５１２，２５２２が単一の材料（Ａｕ）からなり、下地ＰＶＤ膜２５１１，２５２１よりも電極ＰＶＤ膜２５１２，２５２２の方が厚い。
【００３４】
また、水晶振動板２の一主面２１１に形成された第１励振電極２２１、第１引出電極２２３、第１浮島パターン２５３、振動側第１接合パターン２５１は同一厚みを有し、第１励振電極２２１、第１引出電極２２３、第１浮島パターン２５３、振動側第１接合パターン２５１との表面（主面）が同一金属の振動子用第１ＰＶＤ膜群からなる。水晶振動板２の他主面２１２に形成された第２励振電極２２２、第２引出電極２２４、第２浮島パターン２５４、振動側第２接合パターン２５２とは同一厚みを有し、第２励振電極２２２、第２引出電極２２４、第２浮島パターン２５４、振動側第２接合パターン２５２との表面（主面）が同一金属の振動子用第２ＰＶＤ膜群からなる。
【００３５】
また、水晶振動板２の一主面２１１に形成された第１金属膜２５７と他主面２１２に形成された第２金属膜２５８とは、後述する金錫ろう材からなる封止材１１とのぬれ性が低い単一の材料（Ｃｒ単層）のみからなるＰＶＤ膜で構成されており、上記振動子用第１ＰＶＤ膜群と振動子用第２ＰＶＤ膜群の形成後、その一部のパターンや電極の上部に重畳させて形成している。
【００３６】
また、振動側第１接合パターン２５１と振動側第２接合パターン２５２は、非Ｓｎパターンである。
【００３７】
また、水晶振動板２には、図４，５に示すように、第１貫通孔２６１が形成され、第１貫通孔２６１を介して、第１励振電極２２１に繋がった振動側第１接合パターン２５１が他主面２１２側に引き出されている。第１貫通孔２６１は、内部空間１３の外方に配され、図４に示すように両主面２１１，２１２の平面視他端側（平面視右側）に偏って位置し、第１貫通孔２６１は内部空間１３の内方に形成されない。ここでいう内部空間１３の内方とは、接合材１１上を含まずに厳密に接合材１１の内周面の内側のことをいう。
【００３８】
第１封止部材３には、曲げ剛性（断面二次モーメント×ヤング率）が１０００［Ｎ・ｍｍ2］以下の材料が用いられている。具体的には、第１封止部材３は、図２，３に示すように、１枚のガラスウエハから形成された直方体の基板であり、この第１封止部材３の他主面３１２（水晶振動板２に接合する面）は平坦平滑面として成形されている。
【００３９】
この第１封止部材３の他主面３１２には、水晶振動板２に接合するための封止側第１封止部３２が設けられている。封止側第１封止部３２は、図３に示すように第１封止部材３の他主面３１２の平面視左側に偏って位置する。
【００４０】
第１封止部材３の封止側第１封止部３２に、水晶振動板２に接合するための封止側第１接合パターン３２１が形成されている。封止側第１接合パターン３２１は、第１封止部材３の封止側第１封止部３２上の全ての位置において同一幅とされる。
【００４１】
この封止側第１接合パターン３２１は、第１封止部材３上に物理的気相成長させて形成された下地ＰＶＤ膜３２１１と、下地ＰＶＤ膜３２１１上に物理的気相成長させて積層形成された電極ＰＶＤ膜３２１２とからなる。なお、本実施の形態では、下地ＰＶＤ膜３２１１には、Ｃｒ用いられ、電極ＰＶＤ膜３２１２にはＡｕが用いられている。また、封止側第１接合パターン３２１は、非Ｓｎパターンである。具体的には、封止側第１接合パターン３２１は、複数の層が他主面３１２の封止側第１封止部３２上に積層して構成され、その最下層側からＣｒ層とＡｕ層とが蒸着形成されている。
【００４２】
第２封止部材４には、曲げ剛性（断面二次モーメント×ヤング率）が１０００［Ｎ・ｍｍ2］以下の材料が用いられている。具体的には、第２封止部材４は、図６に示すように、１枚のガラスウエハから形成された直方体の基板であり、この第２封止部材４の一主面４１１（水晶振動板２に接合する面）は平坦平滑面として成形されている。
この第２封止部材４の一主面４１１には、水晶振動板２に接合するための封止側第２封止部４２が設けられている。封止側第２封止部４２は、図６に示すように第２封止部材４の一主面４１１の平面視左側に偏って位置する。
【００４３】
また、第２封止部材４の他主面４１２（水晶振動板２に面しない外方の主面）には、外部に電気的に接続する一対の外部電極端子（一外部電極端子４３１，他外部電極端子４３２）が設けられている。一外部電極端子４３１は、振動側第１接合パターン２５１を介して第１励振電極２２１に電気的に直接接続され、他外部電極端子４３２は、振動側第２接合パターン２５２を介して第２励振電極２２２に電気的に直接接続される。一外部電極端子４３１，他外部電極端子４３２は、図７に示すように第２封止部材４の他主面４１２の平面視長手方向両端にそれぞれ位置する。これら一対の外部電極端子（一外部電極端子４３１，他外部電極端子４３２）は、他主面４１２上に物理的気相成長させて形成された下地ＰＶＤ膜４３１１，４３２１と、下地ＰＶＤ膜４３１１，４３２１上に物理的気相成長させて積層形成された電極ＰＶＤ膜４３１２，４３２２とからなる。また、上記の振動側第１接合パターン２５１と振動側第２接合パターン２５２と封止側第１接合パターン３２１と封止側第２接合パターン４２１との各下地ＰＶＤ膜２５１１，２５２１，３２１１，４２１１の厚みに対して、外部電極端子（一外部電極端子４３１，他外部電極端子４３２）の下地ＰＶＤ膜４３１１，４３２１の厚みが厚い。また、一外部電極端子４３１および他外部電極端子４３２は、第２封止部材４の他主面４１２のうち１／３以上の領域をそれぞれ占めている。
【００４４】
また、第２封止部材４の封止側第２封止部４２に、水晶振動板２に接合するための封止側第２接合パターン４２１が形成されている。封止側第２接合パターン４２１は、第２封止部材４の封止側第２封止部４２上の全ての位置において同一幅とされる。
【００４５】
この封止側第２接合パターン４２１は、第２封止部材４上に物理的気相成長させて形成された下地ＰＶＤ膜４２１１と、下地ＰＶＤ膜４２１１上に物理的気相成長させて積層形成された電極ＰＶＤ膜４２１２とからなる。なお、本実施の形態では、下地ＰＶＤ膜４２１１には、Ｃｒが用いられ、電極ＰＶＤ膜４２１２にはＡｕが用いられている。また、封止側第２接合パターン４２１は、非Ｓｎパターンである。具体的には、封止側第２接合パターン４２１は、複数の層が他主面４１２の封止側第２封止部４２上に積層して構成され、その最下層側からＣｒ層とＡｕ層とが物理的気相成長法（蒸着やスパッタリング等）により形成されている。
【００４６】
また、第２封止部材４には、図１，６，７に示すように、２つの貫通孔（第２貫通孔４４１と第３貫通孔４４２）が形成されている。第２貫通孔４４１および第３貫通孔４４２は、内部空間１３の外方に配され、図６，７に示すように第２貫通孔４４１は両主面（一主面４１１，他主面４１２）の平面視右側に偏って位置し、第３貫通孔４４２は、平面視左上側に位置し、第２貫通孔４４１および第３貫通孔４４２は、内部空間１３の内方に形成されない。ここでいう内部空間１３の内方とは、接合材１１上を含まずに厳密に接合材１１の内周面の内側のことをいう。そして、水晶振動板２の第１貫通孔２６１と第２貫通孔４４１を介して、水晶振動板２の第１励振電極２２１に繋がった振動側第１接合パターン２５１と他外部電極端子４３２とが導通される。第２貫通孔４４１および封止側第２接合パターン４２１を介して、水晶振動板２の第２励振電極２２２に繋がった振動側第２接合パターン２５２が、他外部電極端子４３２に導通される。
【００４７】
上記構成からなる水晶振動子１０１では、金錫などの金属ろう材からなる接合材１１を用い、水晶振動板２と第１封止部材３とが振動側第１接合パターン２５１および封止側第１接合パターン３２１を重ね合わせた状態で接合され、水晶振動板２と第２封止部材４とが振動側第２接合パターン２５２および封止側第２接合パターン４２１を重ね合わせた状態で接合されて、図１に示すサンドイッチ構造のパッケージ１２が製造される。
【００４８】
なお、上述の金錫などの金属ろう材からなる接合材１１については、図４，図５に示すように、水晶振動板２の振動子側封止パターン２５１，２５２（封止部）の最上層に対して、金錫合金膜Ｍを電解めっきすることにより予め形成している。この構成では、振動側第１接合パターン２５１から離隔した第１浮島パターン２５３、振動側第２接合パターン２５２から離隔した第２浮島パターン２５４が両主面でそれぞれ存在しているので、電解めっきによる手法で金錫合金膜を形成しても、振動側第１接合パターン２５１と振動側第２接合パターン２５２だけに金錫合金膜（金属ろう材）を形成することができ、第１励振電極２２１と第２励振電極２２２に金錫合金膜が形成されて電気的特性に悪影響を与えることも一切ない。また、水晶振動板２の両主面の振動側第１接合パターン２５１と振動側第２接合パターン２５２だけに金錫合金膜を電解めっき形成することで、一度のめっき加工だけで封止用の上記金錫合金膜が一括で形成することができる。但し、本実施形態に限らず、第１封止部材３の封止側第１接合パターン３２１と第２封止部材４の封止側第２接合パターン４２１のみ、あるいは水晶振動板２の振動子側封止パターン２５１，２５２（封止部）と組み合わせて、それらの最上層に対して、金錫合金膜を電解めっきしてもよい。
【００４９】
本実施の形態により、水晶振動板２の両主面（一主面２１１，他主面２１２）の各励振電極の引出電極（第１引出電極２２３と第２引出電極２２４）から各封止パターン（振動側第１接合パターン２５１と振動側第２接合パターン２５２）までの接続経路には、電極が形成されない各分断部（第１分断部２５５と第２分断部２５６）の上部の金錫ろう材（封止材１１）とのぬれ性が低いＣｒ単層の金属膜（第１金属膜２５７と第２金属膜２５８）と、浮島パターン（第１浮島パターン２５３と第２浮島パターン２５４）とが各々介在している。
【００５０】
このため、前記各封止パターンと前記各浮島パターンの間では、水晶振動板の前記各封止パターンから直接溶融した金錫ろう材（封止材１１）が流れ出すことができず、対面する封止部材（第１封止部材３と第２封止部材４）の封止側封止パターン（封止側第１接合パターン３２１と封止側第２接合パターン４２１）を介することでのみ溶融した金錫ろう材（封止材１１）が流れ出すことができる。
【００５１】
従って、溶融した金錫ろう材（封止材１１）の流れ出しを遅延させながらその流れ出し抑制することができ、その流れ出し量も浮島パターン（第１浮島パターン２５３と第２浮島パターン２５４）に直接接触した金錫ろう材（封止材１１）のみとすることができるので、全体としての流れ出し量を減らすことができる。つまり、金錫ろう材（封止材１１）の接合が完了するまでに、各封止パターン（振動側第１接合パターン２５１と振動側第２接合パターン２５２）から浮島パターン（第１浮島パターン２５３と第２浮島パターン２５４）へ流れ出そうとする金錫ろう材（封止材１１）の流れ出しを抑制しながら、その流れ出しの絶対量を減らすことができる。
【００５２】
また、前述のように、金錫ろう材（封止材１１）の流れ出しの絶対量が少ない状態で、浮島パターン（第１浮島パターン２５３と第２浮島パターン２５４）から流れ出した金錫ろう材（封止材１１）は、さらに金錫ろう材（封止材１１）とのぬれ性が低いＣｒ単層の金属膜（第１金属膜２５７と第２金属膜２５８）により確実にせき止めることができる。具体的には、各分断部（第１分断部２５５と第２分断部２５６）により電極が形成されず、その上部の金錫ろう材（封止材１１）とのぬれ性が低いＣｒ単層の金属膜（第１金属膜２５７と第２金属膜２５８）以外には接続経路が存在しないため、励振電極の引出電極（第１引出電極２２３と第２引出電極２２４）の方へ金錫ろう材（封止材１１）が流れ出すことがなくなるだけでなく、金錫ろう材（封止材１１）の錫成分が励振電極の引出電極（第１引出電極２２３と第２引出電極２２４）の方へ拡散することも一切なくなる。
【００５３】
以上のように、各封止パターン（振動側第１接合パターン２５１と振動側第２接合パターン２５２）と浮島パターン（第１浮島パターン２５３と第２浮島パターン２５４）、および金錫ろう材（封止材１１）とのぬれ性が低いＣｒ単層の金属膜（第１金属膜２５７と第２金属膜２５８）の各構成要素を組み合わせることで、従来に比較して飛躍的に金錫ろう材（封止材１１）の流れ出しとその錫成分の拡散を抑制するのに有効な構成とすることができる。
【００５４】
また、最終的に金錫ろう材（封止材１１）で接合された後は、各封止部材（第１封止部材３と第２封止部材４）の封止側封止パターン（封止側第１接合パターン３２１と封止側第２接合パターン４２１）もしくは水晶振動板２の両主面の各封止パターン（振動側第１接合パターン２５１と振動側第２接合パターン２５２）を活用して、水晶振動板２の各励振電極（第１励振電極２２１と第２励振電極２２２）を各々の外部電極端子（一外部電極端子４３１，他外部電極端子４３２）へ導出する接続経路の一部が、小型化に対応した省スペースな状態で有効的に形成することができる。
【００５５】
また、製造工程において、金錫ろう材（封止材１１）の加熱溶融接合を行う前までは、第１引出電極２２３，第２引出電極２２４と、振動側第１接合パターン２５１，振動側第２接合パターン２５２とが電気接続されないことになる。その結果、振動検査を行う検査工程において励振電極（第１励振電極２２１、第２励振電極２２２）のみを対象とした様々な検査を行うことができ、振動検査の自由度が増す。
【００５６】
また、ここで製造されたパッケージ１２では、図１〜７に示すように、内部空間１３が平面視左側に偏って位置する。また、第１封止部材３に形成された封止側第１接合パターン３２１と、第２封止部材４に形成された封止側第２接合パターン４２１とは、平面視において重畳しない。具体的には、封止側第１接合パターン３２１内における平面視領域が、封止側第２接合パターン４２１内における平面視領域より広い。なお、本実施の形態では、封止側第１接合パターン３２１内における平面視領域が、封止側第２接合パターン４２１内における平面視領域より広いが、これに限定されるものでなく、封止側第２接合パターン４２１内における平面視領域が、封止側第１接合パターン３２１内における平面視領域より広くてもよい。しかしながら、第２封止部材に、一外部電極端子４３１，他外部電極端子４３２を形成しているため、封止側第１接合パターン３２１内における平面視領域が、封止側第２接合パターン４２１内における平面視領域より広く、配線パターンの引き回し（導通経路の確保）が容易になり、さらに配線パターンの引き回し領域（導通確保領域）を多くとることが可能となる。
【００５７】
また、水晶振動板２に形成された振動側第１接合パターン２５１および振動側第２接合パターン２５２に比べて、第１封止部材３に形成された封止側第１接合パターン３２１、および第２封止部材４に形成された封止側第２接合パターン４２１は、幅が広い。
【００５８】
また、第２封止部材４において内部空間１３の外方に配された貫通孔（第２貫通孔４４１，第３貫通孔４４２）が形成されるので、第２貫通孔４４１，第３貫通孔４４２の影響が内部空間１３に及ぶことなく、第２貫通孔４４１，第３貫通孔４４２が内部空間１３の内方に配された構成に比べて、第２貫通孔４４１，第３貫通孔４４２が原因となる気密不良を避けることができる。
【００５９】
また、本実施の形態と異なり、貫通孔を内部空間内に配置した場合、内部空間の気密を確保する必要があり、内部空間内の貫通孔を金属等により埋める工程が必要となる。これに対して、本実施の形態によれば、貫通孔（第２貫通孔４４１，第３貫通孔４４２）が内部空間１３の外方に形成されるので、振動側第１接合パターン２５１と振動側第２接合パターン２５２と封止側第１接合パターン３２１と封止側第２接合パターン４２１とのパターン形成と同じ工程で配線パターンの引き回しができ、製造コストを抑えることができる。
【００６０】
また、内部空間１３は、平面視一端側（本実施の形態では平面視左側）に偏って位置するので、平面視他端側（本実施の形態では平面視右側）に貫通孔（第２貫通孔４４１）や電極パターンを形成し易くなり、内部空間１３に配された第１励振電極２２１および第２励振電極２２２に影響が及ぶ電極パターンの形成を容易にすることができる。さらに、内部空間１３の気密封止に影響が及ぶ貫通孔（第２貫通孔４４１，第３貫通孔４４２）の配置を容易にすることもできる。
【００６１】
また、第１封止部材３に、全ての位置において同一幅とされた封止側第１接合パターン３２１が形成され、第２封止部材４に、全ての位置において同一幅とされた封止側第２接合パターン４２１が形成され、第２封止部材４に、内部空間１３の外方に配された貫通孔（第２貫通孔４４１，第３貫通孔４４２）が形成されるので、パターンの幅が異なることによってパターンの幅の広い方に接合材１１が流れるのを抑制することができ、その結果、水晶振動板２への第１封止部材３および第２封止部材４の接合状態を安定させることができる。さらに、第２封止部材４において内部空間１３の外方に配された貫通孔（第２貫通孔４４１，第３貫通孔４４２）が形成されるので、貫通孔（第２貫通孔４４１，第３貫通孔４４２）の影響が内部空間１３に及ぶことなく、貫通孔（第２貫通孔４４１，第３貫通孔４４２）が内部空間１３の内方に配された構成に比べて、貫通孔（第２貫通孔４４１，第３貫通孔４４２）が原因となる気密不良を避けることができる。
【００６２】
なお、本実施の形態では、第１封止部材３および第２封止部材４にガラスを用いているが、これに限定されるものではなく、水晶など他の脆性材料であってもよい。
【００６３】
また、本実施の形態では、圧電振動板に水晶を用いているが、これに限定されるものではなく、圧電材料であれば他の材料であってもよく、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム等であってもよい。
【００６４】
また、本実施の形態では、接合材１１として、金錫の金属ろう材を用いているが、これに限定されるものではなく、他の材料も含有された錫系合金の金属ろう材から構成してもよい。このような金属ろう材では、低融点とすることができるため、圧電振動デバイスに対して熱的な悪影響を極力抑えることができる。
【００６５】
また、本実施の形態では、引出電極（２２３，２２４）と浮島パターン（２５３，２５４）の間に分断部（２５５，２５６）を形成し、当該分断部の上部には、浮島パターンの上端部の一部と引出電極の上端部の一部とを接続する金属ろう材からなる封止材１１とのぬれ性が低い金属膜（２５７，２５８）を形成することで、金属ろう材からなる封止材１１の流れ防止部分としている。この構成に限らず、引出電極（２２３，２２４）の一部の領域だけをぬれ性が低いＣｒ単層の下地電極のみとして構成することで、その下地電極の露出部分を封止材１１の流れ防止部分としてもよい。また、金錫などの金属ろう材とのぬれ性が低い金属膜（２５７，２５８）としては、Ｃｒに限らずＴｉなどでもよく、特に錫の拡散を防止するのに好ましい材料であれば、他の材料であってもよい。
【００６６】
また、本実施の形態では、振動側第１接合パターン２５１と振動側第２接合パターン２５２と封止側第１接合パターン３２１と封止側第２接合パターン４２１に、ＣｒとＡｕが含まれているが、これに限定されるものではなく、Ｃｕ（Ｃｕ単体かＣｕ合金）が含まれてもよい。この場合、Ｃｕ（Ｃｕ単体かＣｕ合金）が含まれた場合、製造時（接合時、加圧などの外力が発生することによる衝撃時など）や使用時（落下などの外力が発生することによる衝撃時、はんだ実装時など）の応力緩和に寄与することができる。つまり、振動側第１接合パターン２５１と振動側第２接合パターン２５２と封止側第１接合パターン３２１と封止側第２接合パターン４２１にＣｕが含まれることにより機械的強度が向上する。
【００６７】
また、下地ＰＶＤ膜２５１１，２５２１，３２１１，４２１１にＣｒを用いた場合、Ｃｒが電極ＰＶＤ膜２５１２，２５２２，３２１２，４２１２に拡散するのを、Ｃｕを下地ＰＶＤ膜２５１１，２５２１，３２１１，４２１１に含むことで抑制することができる。その結果、Ｃｒを用いた層を厚くしても、Ｃｒが電極ＰＶＤ膜２５１２，２５２２，３２１２，４２１２に拡散するのを抑制することができ、Ｃｒを用いた層を厚くすることができて製造ばらつきを抑えることができる。実際に、Ｃｒの層を０．２μｍとしてもＣｒが電極ＰＶＤ膜２５１２，２５２２，３２１２，４２１２に拡散するのを抑制することができる。この構成では、Ｃｒが電極表面に拡散することで金錫などの金属ろう材からなる接合材１１のぬれ性が悪くなることがない。封止部（振動子側封止パターンと封止部側封止パターン等）を構成する電極表面にＣｒが拡散すると、当該封止部における接合材のぬれ性が悪くなり接合材の塗布状態にむらができるため、結果として封止部を接合材で接合して気密封止した後に、その気密封止性に悪影響を及ぼすことがある。本構成ではこのような不具合が生じことがない。
【００６８】
また、本実施の形態では、第２封止部材４が１枚のガラスウエハから成形された直方体の基板であるが、これに限定されるものではなく、ガラスウエハから成形された２つの直方体であってもよい。この場合、１つの直方体の基板に、封止側第２接合パターン４２１と第３貫通孔４４２と他外部電極端子４３２とを形成し、この基板により気密封止を行い、もう一方の直方体の基板に、第２貫通孔４４１と一外部電極端子４３１を形成する構成となる。本構成によれば、一対の外部電極端子（一外部電極端子４３１，他外部電極端子４３２）を完全に分離させることができ、短絡を防ぐことができる。また、ガラスウエハではなく、金属材料により２つの直方体の第２封止部材４を成形した場合、さらに第３貫通孔４４２を形成する必要もなく、貫通孔の数を少なくして小型化に寄与できる。
【００６９】
上記実施形態では、圧電振動デバイスとして、表面実装型水晶振動子を例にしているが、水晶フィルタ、水晶発振器など他の圧電振動デバイスにも適用でき、表面実装型のものの限るものでもない。
【００７０】
なお、本発明は、その精神や主旨または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明は、圧電振動板の基板の材料に水晶を用いた水晶振動デバイスに好適である。
【符号の説明】
【００７２】
１０１  水晶振動子
１１  接合材
１２  パッケージ
１３  内部空間
２  水晶振動板
２１１  一主面
２１２  他主面
２１３  導通路
２２１  第１励振電極
２２２  第２励振電極
２２３  第１引出電極
２２４  第２引出電極
２３  振動部
２４  切り欠き部
２４１  平面視凹形状体
２４２  平面視長方形状体
２５  振動側封止部
２５１  振動側第１接合パターン
２５１１  下地ＰＶＤ膜
２５１２  電極ＰＶＤ膜
２５２  振動側第２接合パターン
２５２１  下地ＰＶＤ膜
２５２２  電極ＰＶＤ膜
２６１  第１貫通孔
３  第１封止部材
３１１  一主面
３１２  他主面
３２  封止側第１封止部
３２１  封止側第１接合パターン
３２１１  下地ＰＶＤ膜
３２１２  電極ＰＶＤ膜
４  第２封止部材
４１１  一主面
４１２  他主面
４２  封止側第２封止部
４２１  封止側第２接合パターン
４２１１  下地ＰＶＤ膜
４２１２  電極ＰＶＤ膜
４３１  一外部電極端子
４３１１  下地ＰＶＤ膜
４３１２  電極ＰＶＤ膜
４３２  他外部電極端子
４３２１  下地ＰＶＤ膜
４３２２  電極ＰＶＤ膜
４４１  第２貫通孔
４４２  第３貫通孔
【図１】
2015156583.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2015156583.tif 000008
【図７】
2015156583.tif 000009
【図８】
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