(57)【要約】【課題】本構成を有さない場合と比較してより効果的にスクライビングホイールの回転軸方向への移動を抑制するホルダユニット、スクライブ装置及びホルダを提供する。【解決手段】ホルダユニット３０は、円板状のスクライビングホイール３２と、このスクライビングホイール３２の側面を貫通するようにしてスクライビングホイール３２を回転自在に支持するピン３３と、位置決め部材３４と、スクライビングホイール３２に対して位置決め部材３４の自重によってピン３３に沿う方向に力が加わるように、この位置決め部材３４を支持するホルダ３１と、を有する。【選択図】図２
2015047718.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板状のスクライビングホイールと、
前記スクライビングホイールの側面を貫通するようにして前記スクライビングホイールを回転自在に支持するピンと、
位置決め部材と、
前記ピン及び前記位置決め部材を支持するホルダと、
を有し、
前記ホルダは、前記スクライビングホイールに対して前記位置決め部材の自重によって前記ピンに沿う方向に力を加え前記スクライビングホイールが前記ホルダに接触するように前記位置決め部材を支持する支持部を備えるホルダユニット。
【請求項２】
前記ホルダは、前記スクライビングホイールを挟むホルダ溝を備え、
前記支持部は、前記ホルダ溝に挟まれた前記スクライビングホイールに向かって傾斜しており、
前記位置決め部材は、前記支持部に摺動自在に支持されている請求項１に記載のホルダユニット。
【請求項３】
前記位置決め部材の自重によって前記スクライビングホイールを前記ホルダ溝の壁面に接触させる請求項２に記載のホルダユニット。
【請求項４】
前記位置決め部材は、前記スクライビングホイールの側面に接触する請求項１〜３いずれか１項に記載のホルダユニット。
【請求項５】
前記位置決め部材は、
第一部分と、
前記第一部分よりも径が大きい第二部分と、
を備える請求項１〜４いずれか１項に記載のホルダユニット。
【請求項６】
前記支持部は、
第一の開口部と、
前記第一の開口部よりも前記スクライビングホイールから離れて設けられ、前記第一の開口部よりも径の大きい第二の開口部と、
が形成され、
前記位置決め部材の前記第一部分は前記第一の開口部に挿入自在であり、前記第二部分は前記第二の開口部に挿入自在である請求項５に記載のホルダユニット。
【請求項７】
前記位置決め部材は、先細に形成された先端部を備え、前記先端部で前記スクライビングホイールと接触する請求項４〜６いずれか１項に記載のホルダユニット。
【請求項８】
前記第一部分は、前記第一の開口部よりも長い請求項６又は７いずれか１項に記載のホルダユニット。
【請求項９】
前記位置決め部材は、前記スクライビングホイールの中心を通り、前記スクライビングホイールの下端における接線を底辺とした垂線上において、前記スクライビングホイールの側面と接触する請求項１〜８いずれか１項に記載のホルダユニット。
【請求項１０】
前記位置決め部材と前記ホルダ溝の壁面とは、同一の材質で形成されている請求項３〜９いずれか１項に記載のホルダユニット。
【請求項１１】
前記位置決め部材の質量は、前記スクライビングホイールの質量よりも大きい請求項１〜１０いずれか１項に記載のホルダユニット。
【請求項１２】
請求項１〜１１いずれか１項に記載のホルダユニットと、
前記ホルダユニットを取り付け及び取り外し自在なジョイント部と、
を有するスクライブ装置。
【請求項１３】
前記ホルダは、前記位置決め部を挿入する挿入口が形成され、
前記ジョイント部は、前記ホルダユニットが取り付けられた場合に、前記挿入口を塞ぐ請求項１２に記載のスクライブ装置。
【請求項１４】
円板状のスクライビングホイールの側面を貫通するようにして前記スクライビングホイールを回転自在に支持するピンを支持するピン孔と、
前記スクライビングホイールに対して位置決め部材の自重によって前記ピンに沿う方向に力を加わるように、前記位置決め部材を支持する支持部と、
が形成されたホルダ。
【請求項１５】
前記スクライビングホイールを挟むホルダ溝、
がさらに形成され、
前記支持部は、前記位置決め部材が前記スクライビングホイールの中心を通り、前記スクライビングホイールの下端における接線を底辺とした垂線上に位置するように前記ホルダ溝に向けて開口している請求項１４に記載のホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ホルダユニット、スクライブ装置及びホルダに関する。
【背景技術】
【０００２】
脆性材料基板を分断するスクライブ装置として、一定の幅をもつ溝（ホルダ溝）に挿入されたスクライブホイールが、ピンによって回転自在に保持されている構成のものがある。ホルダ溝の幅はスクライビングホイールの厚みよりも広く（例えば０．０２ｍｍ）、これらホルダ溝とスクライビングホイールとの間には間隔が設けられている。
【０００３】
ホルダ溝とスクライビングホイールとの間に間隔が設けられていると、スクライブホイールがピンに沿って移動する場合がある。これは、脆性材料基板に形成されるスクライブラインの安定性の低下につながる。これに対して、スクライビングホイールの保持位置を安定させるようにした構成のものがある。
【０００４】
特許文献１には、スパイラル溝が設けられたピンをスクライビングホイールの貫通孔に挿入し、このスクライビングホイールの回転によってスクライビングホイールをホルダ溝の一方の側面に移動させ当接させるチップホルダが開示されている。
【０００５】
特許文献２には、ホルダの一対の支持部に同軸に形成され、支持部の一方に貫通孔、他方にねじ溝を有する間隔調整孔と、この間隔調整孔の貫通孔より挿入され、ホルダ溝とスクライビングホイールとの間隔を調整する調整ねじと、を有するチップホルダユニットが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−５９７４号公報
【特許文献２】特開２０１１−９３１８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に開示されているチップホルダによれば、スクライビングホイールの回転時にはこのスクライビングホイールをホルダ溝の一方の側面に当接させることができるので、スクライビングホイールの位置が安定する。しかし、スクライビングホイールの静止時にはスクライビングホイールの位置は一義には定まらないため、スクライビングホイールの静止時と回転時とでスクライビングホイールの位置に差異が生じる場合がある。
【０００８】
特許文献２に開示されているチップホルダユニットによれば、調整ねじによってホルダ溝のクリアランスを小さくすることができるので、スクライビングホイールの保持位置を正確に規定できる。しかし、スクライビングホイールとホルダ溝の側面との間の摩擦が大きくなるとともに、製品毎にスクライビングホイールとホルダ溝の側面との間の摩擦にばらつきが生じるという課題が存在する。
【０００９】
そこで本発明は、本構成を有さない場合と比較してより効果的にスクライビングホイールの回転軸方向への移動を抑制するホルダユニット、スクライブ装置及びホルダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の一つの態様に係るホルダユニットは、
円板状のスクライビングホイールと、
前記スクライビングホイールの側面を貫通するようにして前記スクライビングホイールを回転自在に支持するピンと、
位置決め部材と、
前記ピン及び前記位置決め部材を支持するホルダと、
を有し、
前記ホルダは、前記スクライビングホイールに対して前記位置決め部材の自重によって前記ピンに沿う方向に力を加え前記スクライビングホイールが前記ホルダに接触するように前記位置決め部材を支持する支持部を備えるホルダユニット。
【００１１】
このため、スクライビングホイールの回転軸方向への移動をより効果的に抑制するホルダユニットを提供することができる。
【００１２】
本発明の他の態様に係るスクライブ装置は、
前記ホルダユニットと、
前記ホルダユニットを取り付け及び取り外し自在なジョイント部と、
を有する。
【００１３】
このため、スクライビングホイールの回転軸方向への移動をより効果的に抑制するスクライブ装置を提供することができる。
【００１４】
本発明の他の態様に係るホルダは、
円板状のスクライビングホイールの側面を貫通するようにして前記スクライビングホイールを回転自在に支持するピンを支持するピン孔と、
前記スクライビングホイールに対して位置決め部材の自重によって前記ピンに沿う方向に力を加わるように、前記位置決め部材を支持する支持部と、
が形成されている。
【００１５】
このため、スクライビングホイールの回転軸方向への移動をより効果的に抑制するホルダを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態が適用されるスクライブ装置の概略図である。
【図２】本発明の一実施形態が適用されるホルダユニットの概略図である。
【図３】本発明の一実施形態が適用されるスクライビングホイールの概略図である。
【図４】本発明の一実施形態が適用される位置決め部材の概略図である。
【図５】スクライビングホイールを位置決めする動作の模式図である
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための一例を示すものであり、本発明をこの実施形態に特定することを意図するものではない。本発明は、特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態にも適応できるものである。
この明細書において「下方」とは、ホルダユニットを通常に用いる際にスクライビングホイールが露出している側を示し、「上方」とはその反対側を示す。
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態に係るスクライブ装置１０の概略図を示す。
スクライブ装置１０は、移動台１１を備えている。移動台１１は、ボールネジ１３と螺合されており、モータ１４の駆動によりこのボールネジ１３が回転することで、一対の案内レール１２ａ、１２ｂに沿ってｙ軸方向に移動するようになっている。
【００１９】
移動台１１の上面には、モータ１５が設置されている。モータ１５は、上部に位置するテーブル１６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めする。分断（スクライブ）対象物としての脆性材料基板１７は、テーブル１６上に載置され、図示しない真空吸引手段等によって保持される。
【００２０】
脆性材料基板１７としては、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスからなるセラミック基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等が挙げられる。脆性材料基板１７には、その表面又は内部に、薄膜あるいは半導体材料が付着したり含有したりしているものも含まれる。また、脆性材料基板１７は、その表面に脆性材料に該当しない薄膜等が付着されているものも含む。
【００２１】
スクライブ装置１０は、テーブル１６に載置された脆性材料基板１７の上方に、この脆性材料基板１７の表面に形成されたアライメントマークを撮像する二台のＣＣＤカメラ１８を備えている。移動台１１とその上部のテーブル１６とを跨ぐように、ブリッジ１９がｘ軸方向に沿うようにして支柱２０ａ、２０ｂに架設されている。
【００２２】
ブリッジ１９にはガイド２２が取り付けられており、スクライブヘッド２１はこのガイド２２に案内されてｘ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド２１には、ジョイント部としてのホルダジョイント２３を介してホルダユニット３０が取り付けられている。
【００２３】
次に、ホルダユニット３０の詳細について説明する。
図２（ａ）はホルダユニット３０の側面図を示し、図２（ｂ）はホルダユニット３０の正面図を示す。
図３（ａ）はスクライビングホイール３２の側面図を示し、図３（ｂ）はスクライビングホイール３２の正面図を示す。
図４（ａ）は位置決め部材３４を側方からみた図を示し、図４（ｂ）は図４（ａ）の矢印Ａ方向からみた図を示す。
【００２４】
ホルダユニット３０は、ホルダ３１と、スクライビングホイール３２と、ピン３３と、位置決め部材３４とを備える。
ホルダ３１は、例えばＳＵＳ等のステンレス鋼からなるホルダ本体部３１ａと、例えば超硬合金からなりスクライビングホイール３２と接触する接触対象部３１ｂとにより構成される。ホルダ本体部３１ａと接触対象部３１ｂとは、例えばろう付けにより接合されている。この構成によれば、全体が超硬合金により形成されている場合と比較して、成形性の低下が抑制される。
【００２５】
ホルダ３１は、このホルダ３１をホルダジョイント２３に対して固定する際に用いられる固定孔４１と、スクライビングホイール３２を挟むようにして保持するホルダ溝４２と、ピン３３を支持するピン孔４３と、位置決め部材３４を支持する支持部４４とを備える。
固定孔４１は、ホルダ３１を貫通するようにして形成されている。支持部４４は、ホルダ本体部３１ａに形成されている。
【００２６】
ホルダ溝４２の壁面４２ａの一部は、接触対象部３１ｂによって形成されている。接触対象部３１ｂは、スクライビングホイール３２が接触した場合に、このスクライビングホイール３２が回転軸方向に対してホルダ３１の中央に位置するように配置されている。接触対象部３１ｂとホルダ本体部３１ａとにより構成される壁面４２ａは、接触対象部３１ｂが内側に突出した形状であってもよいし、面一であってもよい。これらは、適宜設定することができる。
【００２７】
ホルダ溝４２の幅は、スクライビングホイール３２の厚みよりも広くなっている。このため、スクライビングホイール３２をホルダ溝４２で挟むようにして配置した場合、これらスクライビングホイール３２とホルダ溝４２との間には間隔（クリアランス）が形成される。
例えば、ホルダ溝４２の幅は０．６７ｍｍであり、スクライビングホイール３２の厚さは０．６５ｍｍであり、これらの間のクリアランスは０．０２ｍｍである。
【００２８】
ピン孔４３は、ホルダ溝４２の両側に形成されている。ピン孔４３及びスクライビングホイール３２にピン３３を貫通させることで、このスクライビングホイール３２がホルダ３１に対して回転自在に取り付けられる。
ピン孔４３の両端を開閉自在な開閉部材を、ホルダ３１の外側に設けるようにしてもよい。ピン孔４３の両端を開閉部材により塞ぐことで、このピン孔４３からピン３３が意図せずに外れる等の不具合が防止される。また、ピン孔４３の一端をピン３３の外径よりも小さくしたり、一端をホルダ３１を貫通しないよう形成したりして、ピン３３がピン孔４３から脱落することを防止するようにしてもよい。
【００２９】
支持部４４は、位置決め部材３４が挿入自在であり、ホルダ溝４２に向けて開口している。支持部４４は、ホルダ３１に回転自在に取り付けられたスクライビングホイール３２に対して位置決め部材３４の自重が加わるように、この位置決め部材３４を支持する。
支持部４４は、ホルダユニット３０をホルダジョイント２３に装着した場合に、このホルダジョイント２３がホルダ３１の外側を覆うようにして配置されることで、外側の端部（図２において左側）が塞がれるようになっている。このため、位置決め部材３４が支持部４４から意図せずに外れる等の不具合が防止される。
【００３０】
本実施形態において支持部４４は、ホルダ３１に取り付けられたスクライビングホイール３２に対して上方から下方に向かうように傾斜してホルダ本体３１ａをホルダ溝４２の壁面４２ａまで貫通する開口となっている。
支持部４４は、スクライビングホイール３２の回転軸に対してなす角度θ１が４０〜６０度、好ましくは４５〜５５度となるように傾斜している。
【００３１】
支持部４４は、第一の開口部４４ａと第二の開口部４４ｂとが傾斜面４４ｃを介して連続するようにして構成されている。第一の開口部４４ａはホルダ溝４２とつながっており、第二の開口部４４ｂはこの第一の開口部４４ａよりもスクライビングホイール３２（あるいはホルダ溝４２）から離れた側（図２（ａ）において左側）に設けられている。
第二の開口部４４ｂは、第一の開口部４４ａよりも径が大きくなっている。第一の開口部４４ａの径Ｒ１と第二の開口部４４ｂの径Ｒ２とは、Ｒ１＜Ｒ２となる。第二の開口部４４ｂは、位置決め部材３４が挿入される挿入口（外側に向けて形成された開口）を構成する。
第一の開口部４４ａの径Ｒ１は例えば０．５ｍｍであり、第二の開口部４４ｂの径Ｒ２は例えば１．５ｍｍである。
【００３２】
スクライビングホイール３２は、脆性材料基板１７と接触してこの脆性材料基板１７を分断する。
図３に示すように、スクライビングホイール３２は円板状であり、ホイール本体部５１と、刃５２と、刃先５３とを備える。
【００３３】
ホイール本体部５１の中心付近には、このホイール本体部５１を回転軸方向に貫通する貫通孔５４が形成されている。貫通孔５４にピン３３が挿入されることで、スクライビングホイール３２はこのピン３３を介してホルダ３１に回転自在に保持される。
【００３４】
刃５２は、ホイール本体部５１の外周に円環状に形成されている。回転軸方向に対する刃５２の厚さは、稜線部分となる刃先５３に向かうに従って徐々に小さくなっている。
刃先５３は、刃５２の最外周部に沿って設けられている。
【００３５】
スクライビングホイール３２は、焼結ダイヤモンド（Ｐｏｌｙ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  Ｄｉａｍｏｎｄ）や超硬合金、単結晶ダイヤモンド又は多結晶ダイヤモンド等から形成される。スクライビングホイール３２は、超硬合金等の基材にダイヤモンド等の硬質材料の膜をコーティングしたものを用いることもできる。
【００３６】
例えば、焼結ダイヤモンド製のスクライビングホイール３２は主に、ダイヤモンド粒子と、残部の添加剤及び結合材からなる結合相とから調製される。
ダイヤモンド粒子の平均粒子径は１．５μｍ以下のものが用いられる。焼結ダイヤモンド中におけるダイヤモンドの含有量は、７５．０〜９０．０ｖｏｌ％の範囲とすることが好ましい。
【００３７】
添加剤としては例えば、タングステン、チタン、ニオブ、タンタルより選ばれる少なくとも１種以上の元素の超微粒子炭化物が好適に用いられる。焼結ダイヤモンド中における超微粒子炭化物の含有量は３．０〜１０．０ｖｏｌ％の範囲であり、この超微粒子炭化物は１．０〜４．０ｖｏｌ％の炭化チタンと、残部の炭化タングステンとを含む。
【００３８】
結合材としては、通常、鉄族元素が好適に用いられる。鉄族元素としては、例えばコバルトやニッケル、鉄等が挙げられ、この中でもコバルトが好適である。焼結ダイヤモンド中における結合材の含有量は、好ましくはダイヤモンド及び超微粒子炭化物の残部であり、さらに好ましくは３．０〜２０．５ｖｏｌ％の範囲である。
【００３９】
ダイヤモンド粒子、添加剤及び結合材を混合し、ダイヤモンドが熱力学的に安定となる高温及び超高圧下において、これらの混合物を焼結させことで、焼結ダイヤモンドが製造される。この焼結時において、超高圧発生装置の金型内の圧力は５．０〜８．０ＧＰａの範囲であり、金型内の温度は１５００〜１９００℃の範囲である。
このようにして製造された焼結ダイヤモンドから所望する半径となる円板を切り取り、この円板の周縁部の両面側それぞれを削ることで刃先５３の形成されたスクライビングホイール３２が製造される。
【００４０】
スクライビングホイール３２の寸法について説明する。
スクライビングホイール３２の外径Ｄｍは１．０〜１０．０ｍｍ、好ましくは１．０〜５．０ｍｍの範囲である。スクライビングホイール３２の外径Ｄｍが１．０ｍｍより小さい場合には、スクライビングホイール３２の取り扱い性が低下する。一方、スクライビングホイール３２の外径Ｄｍが１０．０ｍｍより大きい場合には、スクライブ時の垂直クラックが脆性材料基板１７に対して十分に深く形成されないことがある。
【００４１】
スクライビングホイール３２の厚さＴｈは、０．４〜１．２ｍｍ、好ましくは０．４〜１．１ｍｍの範囲である。スクライビングホイール３２の厚さＴｈが０．４ｍｍより小さい場合には、加工性及び取り扱い性が低下することがある。一方、スクライビングホイール３２の厚さＴｈが１．２ｍｍより大きい場合には、スクライビングホイール３２の材料及び製造のためのコストが高くなる。
貫通孔５４の孔径は、例えば０．８ｍｍである。
【００４２】
刃５２の刃先角θ２は通常鈍角であり、９０≦θ２≦１６０（ｄｅｇ）、好ましくは９０≦θ２≦１４０（ｄｅｇ）の範囲である。なお、刃先角θ２の具体的角度は、切断する脆性材料基板１７の材質、厚さ等から適宜設定される。
スクライビングホイール３２の質量は、例えば１８〜２２ｍｇである。
【００４３】
ピン３３（図２参照）の材料としては、スクライビングホイール３２と同様に、焼結ダイヤモンドや超硬合金等が用いられる。ピン３３は、例えば、焼結ダイヤモンドを製造してこれから所望の長さの円柱を切り取り、この円柱の一端を尖頭形状に削ることで製造される。
【００４４】
位置決め部材３４は、スクライビングホイール３２に対して回転軸方向へ力を加えるのに十分質量が大きく、ホルダ３１の支持部４４に対して挿入自在に支持される。位置決め部材３４は、比重の高い超硬合金により形成されることが好ましい。位置決め部材３４は、ホルダ３１の接触対象部３１ｂと同様の材質により構成されていることが好ましい。
【００４５】
図４に示すように、位置決め部材３４は、第一部分３４ａと、この第一部分３４ａよりも径の大きい第二部分３４ｂとにより構成される。第一部分３４ａの径ｒ１と第二部分３４ｂの径ｒ２とは、ｒ１＜ｒ２となる。
第一部分３４ａは支持部４４の第一の開口部４４ａに挿入自在となっており、第二部分３４ｂは支持部４４の第二の開口部４４ｂに挿入自在となっている。
位置決め部材３４の先端部は、先細に形成されている。より具体的には、第一部分３４ａは、第二部分３４ｂと接続してしない側（図４（ｂ）において左側）が尖った形状となっている。
【００４６】
第一部分３４ａの寸法は、例えば、径ｒ１が０．５ｍｍであり、先端からの長さｍ１が２ｍｍであり、先端の角度θ３が４５度である。
第二部分３４ｂの寸法は、例えば、径ｒ２が１．５ｍｍであり、長さｍ２が１ｍｍである。
位置決め部材３４の質量は、本実施形態においてはスクライビングホイール３２よりも大きく、例えば３０〜３５ｍｇである。
【００４７】
次に、位置決め部材３４を支持部４４に挿入した場合の作用について説明する。
図５は、スクライビングホイール３２を位置決めする動作を模式的に表した図を示す。
【００４８】
図５（ａ）に示すように、スクライビングホイール３２は、位置決め部材３４と接触していない場合、ピン３３に沿って（図５において左右方向）移動しうる状態にある。スクライビングホイール３２は、ホルダ溝４２との間に形成されるクリアランスの分、移動する余地がある。
支持部４４に位置決め部材３４が挿入されると、この位置決め部材３４は、自重によってこの支持部４４に沿ってホルダ溝４２側に移動する。
【００４９】
図５（ｂ）に示すように、自重によって移動した位置決め部材３４は、その先端（図５（ｂ）において右側）がスクライビングホイール３２の一方の側面（同、左側の側面）に接触する。位置決め部材３４が支持部４４に沿ってさらに移動すると、これに伴ってスクライビングホイール３２がピン３３に沿って反対側（同、右側）へ移動する。位置決め部材３４は、スクライビングホイール３２を、ホルダ３１の接触対象部３１ｂに接触するまで移動させる。
位置決め部材３４をスクライビングホイール３２の側面に接触させるようにすることで、このスクライビングホイール３２の回転を阻害しにくくしつつ、回転軸方向へより効果的に力を加えやすくなる。
【００５０】
本実施形態において位置決め部材３４は、ピン３２の回転軸の真上、すなわち、スクライビングホイール３２の中心を通り、このスクライビングホイールの下端における接線を底辺とした垂線上において、スクライビングホイールの側面と接触するようになっている。これにより、回転時のスクライビングホイール３２のがたつきが少なくなり、脆性材料基板１７に形成されるスクライブラインの安定性が向上する。
【００５１】
スクライビングホイール３２は、一方の側面（同、左側の側面）に位置決め部材３４から力が加わるとともに、他方の側面（同、右側の側面）に接触対象部３１ｂが接触した状態となる。スクライビングホイール３２は、位置決め部材３４と接触対象部３１ｂとに挟まれることで、ホルダ３１に対して位置が決められる。
このため、スクライビングホイール３２は、回転軸方向（ピン３３に沿う方向）への移動が抑制されることとなる。したがって、スクライビングホイール３２によって脆性材料基板１７をスクライブする際、この脆性材料基板１７に形成されるスクライブラインの安定性が向上する。
【００５２】
また、スクライビングホイール３２は、超硬合金により構成された部材（位置決め部材３４及び接触対象部３１ｂ）と接触するようになっている。このため、スクライビングホイール３２の回転に伴う摩耗等の不具合が抑制される。
【００５３】
支持部４４について、位置決め部材３４と接触する部分（面積）が大きくなると、これら支持部４４と位置決め部材３４との間で摩擦や障害等が増加して、位置決め部材３４の自重がスクライビングホイール３２に加わりにくくなる。
本実施形態においては、位置決め部材３４の第一部分３４ａは、支持部４４の第一の開口部４４ａよりも長く、スクライビングホイール３２の位置が決められている場合に、位置決め部材３４の第二部分３４ｂが、支持部４４の傾斜面４４ｃと接触しないようになっている。このため、第二部分３４ｂが傾斜面４４ｃと接触する場合と比較して、位置決め部材３４の自重が阻害されることなくスクライビングホイール３２に加わりやすい。
【００５４】
位置決め部材３４が支持部４４に対して過度に動きやすい状態にあると、この位置決め部材３４が接触するスクライビングホイール３２に振動等の不具合を与える場合がある。
本実施形態においては、位置決め部材３４と支持部４４との間の間隔（遊び）が比較的小さくなるように形成されている。位置決め部材３４と支持部４４とは、この位置決め部材３４が支持部４４に沿う方向へ移動するよう規制された形状となっている。このため、本構成を有さない場合と比較して、位置決め部材３４が接触するスクライビングホイール３２の位置決めがより安定する。
【００５５】
スクライビングホイール３２は、他の部材と接触する部分（面積）が大きくなると、回転が阻害されやすくなる。一方で、位置決め部材３４は、スクライビングホイール３２に効果的に力を加えるために、所定の質量（大きさ）が必要となる。径に差異のないストレートな形状にあっては、必要な質量が確保しにくい。
本実施形態において位置決め部材３４は、スクライビングホイール３２と接触する側の第一部分３４ａの径が小さく、形状の制約を比較的受けにくい側の第二部分３４ｂの径が大きくなるように構成されている。具体的には、位置決め部材３４は、先細に形成された先端部でスクライビングホイール３２と接触するようになっている。このため、スクライビングホイール３２に対して比較的大きな面で接触することを回避しつつ、このスクライビングホイール３２に対して回転軸方向へ力を加えるのに必要な質量が確保されやすくなる。
【００５６】
なお、位置決め部材の第一部材３４ａの先端は、スクライビングホイール３２に対して常に当接することとなるため、磨耗しやすい。そこで、第一部材３４ａの先端に例えばダイヤモンドライクカーボン（以下、ＤＬＣという）のような耐磨耗性の高い素材の被膜を形成することで、磨耗を防止することができる。ＤＬＣ被膜は位置決め部材の第一部材３４ａの先端にのみ形成してもよく、位置決め部材全体をＤＬＣでコーティングしてもよい。また、ＤＬＣ被膜を形成することで、スクライビングホイール３２と位置決め部材３４との摩擦を小さくすることができ、スクライビングホイール３２の回転抵抗を小さくすることができる。
【００５７】
支持部４４に支持された位置決め部材３４がスクライビングホイール３２に加える力に関連する（影響する）構成（例えば、支持部４４の傾斜する角度θ１や、位置決め部材３４の質量、位置決め部材３４とホルダ本体部３１ａとの摩擦、スクライビングホイール３２とピン３３との摩擦等）は、形状や材質を選択することで適宜調整することができる。
【００５８】
上記実施形態においては、位置決め部材３４がスクライビングホイール３２の側面に対してピン３３の上方（図２において上側）で接触する構成について説明したが、これに限らず、ピン３３の前方又は後方（図２（ｂ）において左右側）で接触する構成としてもよいし、ピン３３の前後２か所等、複数の位置で接触するようにしてもよい。なお、位置決め部材３４がスクライビングホイール３２の貫通孔５４に近い部分、すなわちスクライビングホイール３２の中心近くに接触するほど、ホルダ溝４２内でのスクライビングホイール３２の傾きが抑制され、スクライビングホイール３２の側面全体がホルダ３１の接触対象部３１ｂに接触しやすく、位置決めが容易になる。
【００５９】
上記実施形態においては、スクライビングホイール３２の一方の側面に位置決め部材３４を配置する構成について説明したが、これに限らず、スクライビングホイール３２の両側に位置決め部材３４及び支持部４４を配置するようにしてもよい。この構成によれば、スクライビングホイール３２は、両側を位置決め部材３４で挟まれるようにして位置決めされることとなる。このため、位置決めに際して、スクライビングホイール３２が他の部材と接触する部分（面積）がより低減し、このスクライビングホイール３２の回転性が良好となる。
また、位置決め部材３４に限らず、ホルダ３１の接触対象部３１ｂのスクライビングホイール３２に接する面やピン孔４３、ピン３３等にＤＬＣをコーティングしても、スクライビングホイール３２の回転抵抗を小さくすることができる。
【００６０】
上記実施形態においては、ホルダ３１がホルダジョイント２３を介してスクライブヘッド２１に取り付けられる構成について説明したが、これに限らず、ホルダ３１がスクライブヘッド２１に直接取り付けられる構成としてもよい。
【００６１】
また、スクライブ装置１０として、スクライブヘッド２１を移動させるガイド２２やブリッジ１９が設けられていたり、脆性材料基板１７が載置されるテーブル１６を回転させる移動台１１が備わっていたりする構成について説明したが、スクライブ装置１０はこのような構成に限定されるものではない。
ホルダ３１が取り付けられたスクライブヘッド２１の一部を柄の形状とし、ユーザがこの柄を持って移動させることで脆性材料基板１７の分断するような、手動式のスクライブ装置についても適用することができる。
【符号の説明】
【００６２】
１０    スクライブ装置
１１    移動台
１２ａ    案内レール
１３    ボールネジ
１４    モータ
１５    モータ
１６    テーブル
１７    脆性材料基板
１８    カメラ
１９    ブリッジ
２０ａ    支柱
２１    スクライブヘッド
２２    ガイド
２３    ホルダジョイント
２４    部材
３０    ホルダユニット
３１    ホルダ
３１ａ    ホルダ本体部
３１ｂ    接触対象部
３２    スクライビングホイール
３３    ピン
３４    位置決め部材
３４ａ    第一部分
３４ｂ    第二部分
４１    固定孔
４２    ホルダ溝
４２ａ    壁面
４３    ピン孔
４４    支持部
４４ａ    第一の開口部
４４ｂ    第二の開口部
４４ｃ    傾斜面
５１    ホイール本体部
５２    刃
５３    刃先
５４    貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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