(57)【要約】【課題】出力誤差を低減することのできる加速度センサを得ることを目的とする。【解決手段】加速度センサは、差動容量型の加速度センサであって、第１の可動電極１１を用いてＸ方向の加速度を検出して出力するＸ検出部１０と、第２の可動電極２１を用いてＹ方向の加速度を検出して出力するＹ検出部２０と、第３の可動電極３１を用いてＺ方向の加速度を検出して出力するＺ検出部３０と、Ｘ検出部１０・Ｙ検出部２０・Ｚ検出部３０から出力される加速度をａ、補正係数をＡ、Ｂ、・・・とすると、３次以上の奇数次の項からなる多項式（Ａａ＾３＋Ｂａ＾５＋・・・）によって表される補正値を加速度ａから引き算する自動補正回路２２０とを備える【選択図】図１１
2015017819.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
差動容量型の加速度センサであって、
外部から与えられた加速度に応じて可動する可動電極と、
前記可動電極を用いて所定方向の加速度を検出して出力する検出部と、
前記検出部から出力される加速度をａ、補正係数をＡ、Ｂ、・・・とすると、３次以上の奇数次の項からなる多項式（Ａａ＾３＋Ｂａ＾５＋・・・）によって表される補正値を加速度ａから引き算する自動補正回路と
を備えることを特徴とする加速度センサ。
【請求項２】
前記自動補正回路は、平行平板型の静電ギャップｄが変化することで加速度を検出する場合、誘電率をε、電極の対向面積をＳ、初期静電ギャップをｄ０、ギャップ変化量をΔｄとすると、前記加速度ａを以下に示すＹとし、前記補正係数を以下に示すＡ、Ｂ・・・Ｎとすることを特徴とする請求項１に記載の加速度センサ。
Ｙ＝εＳ×{−２Δｄ／（ｄ０２−Δｄ２）}
Ａ＝−２・Δｄ３εＳ／ｄ０４
Ｂ＝−２・Δｄ５εＳ／ｄ０６
：
Ｎ＝−２・Δｄ２ｎ＋１εＳ／ｄ０２ｎ＋２
【請求項３】
前記自動補正回路は、トーション方式の静電ギャップｄが変化することで加速度を検出する場合、誘電率をε、電極の対向面積をＳ、初期静電ギャップをｄ０、ギャップ変化量をΔｄとすると、前記加速度ａを以下に示すＹとし、前記補正係数を以下に示すＡ、Ｂ・・・Ｎとすることを特徴とする請求項１に記載の加速度センサ。
Ｙ＝εＳ／Δｄ×ｌｎ{（ｄ０２−Δｄ２）／ｄ０２}
Ａ＝−Δｄ３εＳ／２ｄ０４
Ｂ＝−Δｄ５εＳ／３ｄ０６
：
Ｎ＝−Δｄ２ｎ＋１εＳ／{（ｎ×１）×ｄ０２ｎ＋２}
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、差動容量型の加速度センサの出力を補正する技術が知られている。例えば、特許文献１の段落００４０には、「複数の測定結果および較正サンプルは、ＤＡＣ訂正表を形成するＸ−Ｙ対の表に配列される。Ｘ−Ｙ配列は、三次スプライン補間を使用して正確に設定された較正出力電圧レベルを供給する。」と記載されている。その他、補正機能を備えた加速度センサや角速度センサなどに関する先行技術文献として、特許文献２〜４などがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２０１１−５２０１２８号公報
【特許文献２】特開２００８−１７０２９４号公報
【特許文献３】特開２００５−３０８５３１号公報
【特許文献４】特開平０６−３３１６４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
理想的な加速度センサによれば、印加する加速度に対して出力が比例するが、実際の出力には誤差が含まれるのが現状である。加速度センサの利用分野が増えるに伴い、加速度センサの高精度、高信頼性を実現することが望まれている。
【０００５】
そこで、本発明は、出力誤差を低減することのできる加速度センサを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、差動容量型の加速度センサであって、外部から与えられた加速度に応じて可動する可動電極と、前記可動電極を用いて所定方向の加速度を検出して出力する検出部と、前記検出部から出力される加速度をａ、補正係数をＡ、Ｂ、・・・とすると、３次以上の奇数次の項からなる多項式（Ａａ＾３＋Ｂａ＾５＋・・・）によって表される補正値を加速度ａから引き算する自動補正回路とを備えることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明において、前記自動補正回路は、平行平板型の静電ギャップｄが変化することで加速度を検出する場合、誘電率をε、電極の対向面積をＳ、初期静電ギャップをｄ０、ギャップ変化量をΔｄとすると、前記加速度ａを以下に示すＹとし、前記補正係数を以下に示すＡ、Ｂ・・・Ｎとしてもよい。
【０００８】
Ｙ＝εＳ×{−２Δｄ／（ｄ０２−Δｄ２）}
Ａ＝−２・Δｄ３εＳ／ｄ０４
Ｂ＝−２・Δｄ５εＳ／ｄ０６
：
Ｎ＝−２・Δｄ２ｎ＋１εＳ／ｄ０２ｎ＋２
また、本発明において、前記自動補正回路は、トーション方式の静電ギャップｄが変化することで加速度を検出する場合、誘電率をε、電極の対向面積をＳ、初期静電ギャップをｄ０、ギャップ変化量をΔｄとすると、前記加速度ａを以下に示すＹとし、前記補正係数を以下に示すＡ、Ｂ・・・Ｎとしてもよい。
【０００９】
Ｙ＝εＳ／Δｄ×ｌｎ{（ｄ０２−Δｄ２）／ｄ０２}
Ａ＝−Δｄ３εＳ／２ｄ０４
Ｂ＝−Δｄ５εＳ／３ｄ０６
：
Ｎ＝−Δｄ２ｎ＋１εＳ／{（ｎ×１）×ｄ０２ｎ＋２}
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、出力誤差を低減することのできる加速度センサを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施形態にかかる加速度センサを内蔵したパッケージの内部構成例を示す斜視図である。
【図２】図２は、実施形態にかかる加速度センサの分解斜視図である。
【図３】図３は、実施形態にかかる加速度センサの断面図であって、（ａ）はＸ検出部の断面図、（ｂ）はＺ検出部の断面図である。
【図４】図４は、実施形態にかかる加速度センサにおいて、Ｘ方向の加速度が印加されていない状態におけるＸ検出部の断面図である。
【図５】図５は、図４に示される状態においてＸ方向の加速度を検出する原理を説明するための図である。
【図６】図６は、実施形態にかかる加速度センサにおいて、Ｘ方向に１Ｇの加速度が印加された状態におけるＸ検出部の断面図である。
【図７】図７は、図６に示される状態においてＸ方向の加速度を検出する原理を説明するための図である。
【図８】図８は、実施形態にかかる加速度センサにおいて、Ｚ方向に１Ｇの加速度が印加された状態におけるＺ検出部の断面図である。
【図９】図９は、図８に示される状態においてＺ方向の加速度を検出する原理を説明するための図である。
【図１０】図１０は、理想的な加速度センサと実際の加速度センサ（比較例）の出力特性を示すグラフである。
【図１１】図１１は、実施形態にかかる加速度センサの要部の機能ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下では、同様の構成要素には共通の符号を付与するとともに、重複する説明を省略する。
【００１３】
〔パッケージの内部構成〕
図１は、実施形態にかかる加速度センサを搭載したパッケージ３００の内部構成例を示す斜視図である。ここでは、基板５００に実装されたパッケージ３００の蓋を開けた状態を示している。この図に示すように、パッケージ３００には、センサチップ１００や、センサチップ１００からの出力に基づいて各種の演算を行うＡＳＩＣ２００等が搭載されている。パッケージ３００から端子４００が引き出され、基板５００に接続されている。この加速度センサは静電容量型の加速度センサであり、ＭＥＭＳ技術で製造される。ＸＹＺの３軸方向の加速度を検出するため、各軸個別の重り（可動電極）を形成し、センサチップ１００内に配置している。
【００１４】
〔加速度センサの構成〕
図２は、実施形態にかかる加速度センサ（センサチップ１００）の分解斜視図である。この図に示すように、センサ部１の上下面が上部固定板２ａと下部固定板２ｂにより挟持された構成となっている。センサ部１は、シリコンＳＯＩ基板等により形成され、上部固定板２ａと下部固定板２ｂは、ガラス等の絶縁体により形成されている。
【００１５】
以下、センサ部１のうち、Ｘ方向の加速度を検出する部分を「Ｘ検出部１０」、Ｙ方向の加速度を検出する部分を「Ｙ検出部２０」、Ｚ方向の加速度を検出する部分を「Ｚ検出部３０」と呼ぶことにする。Ｘ方向は、平面方向のうちの一方向である。Ｙ方向は、平面方向のうちの一方向であってＸ方向と直交する方向である。Ｚ方向は、垂直方向である。
【００１６】
Ｘ検出部１０は、一対のビーム部１２ａ，１２ｂを軸にして第１の可動電極１１を揺動させることによりＸ方向の加速度を検出する。すなわち、一対のビーム部１２ａ，１２ｂを結ぶ直線を境界線として第１の可動電極１１の表面の一方側及び他方側に対向させて第１の固定電極１３ａ，１３ｂを配置している。これにより、第１の可動電極１１と第１の固定電極１３ａ，１３ｂとの間の静電容量の変化に基づいてＸ方向の加速度を検出することができる。
【００１７】
Ｙ検出部２０は、一対のビーム部２２ａ，２２ｂを軸にして第２の可動電極２１を揺動させることによりＹ方向の加速度を検出する。すなわち、一対のビーム部２２ａ，２２ｂを結ぶ直線を境界線として第２の可動電極２１の表面の一方側及び他方側に対向させて第２の固定電極２３ａ，２３ｂを配置している。これにより、第２の可動電極２１と第２の固定電極２３ａ，２３ｂとの間の静電容量の変化に基づいてＹ方向の加速度を検出することができる。
【００１８】
Ｚ検出部３０は、二対のビーム部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄにより保持された第３の可動電極３１を垂直方向に平行移動させることによりＺ方向の加速度を検出する。すなわち、第３の可動電極３１の表面及び裏面に対向させて第３の固定電極３３ａ，３３ｂを配置している。これにより、第３の可動電極３１と第３の固定電極３３ａ，３３ｂとの間の静電容量の変化に基づいてＺ方向の加速度を検出することができる。
【００１９】
Ｘ検出部１０とＹ検出部２０は互いに９０°回転させただけの同形状とし、これらを別形状のＺ検出部３０の両側に並べて１チップ内に配置している。すなわち、図２に示すように、フレーム部３には、３つの矩形枠１０ａ，２０ａ，３０ａが直線状に並んで形成されている。矩形枠１０ａには第１の可動電極１１が配置され、矩形枠２０ａには第２の可動電極２１が配置され、矩形枠３０ａには第３の可動電極３１が配置されている。第１〜第３の可動電極１１，２１，３１はいずれも略矩形形状である。第１〜第３の可動電極１１，２１，３１と矩形枠１０ａ，２０ａ，３０ａの側壁部との間には所定サイズの隙間が空いた状態となっている。
【００２０】
図３は、実施形態にかかる加速度センサの断面図であって、（ａ）はＸ検出部１０の断面を示し、（ｂ）はＺ検出部３０の断面を示している。Ｙ検出部２０の断面はＸ検出部１０と同様であるため、ここでは図示を省略している。
【００２１】
まず、Ｘ検出部１０の断面は、図３（ａ）に示す通りである。すなわち、第１の可動電極１１の表面の対向する２辺の略中央部と矩形枠１０ａの側壁部とを一対のビーム部１２ａ，１２ｂで連結することにより、第１の可動電極１１がフレーム部３に対して揺動自在に支持されている。上部固定板２ａの第１の可動電極１１と対向する側には、ビーム部１２ａとビーム部１２ｂを結ぶ直線を境界線として第１の固定電極１３ａ，１３ｂが設けられている。第１の固定電極１３ａ，１３ｂは、第１の貫通電極１４ａ，１４ｂを用いて上部固定板２ａの上面（一方側）に引き出されている。第１の貫通電極１４ａ，１４ｂの材質は、シリコンやタングステン、銅等の導体であり、第１の貫通電極１４ａ，１４ｂを保持する周囲の材質は、ガラス等の絶縁体である。
【００２２】
Ｙ検出部２０についても同様である。すなわち、第２の可動電極２１の表面の対向する２辺の略中央部と矩形枠２０ａの側壁部とを一対のビーム部２２ａ，２２ｂで連結することにより、第２の可動電極２１がフレーム部３に対して揺動自在に支持されている。上部固定板２ａの第２の可動電極２１と対向する側には、ビーム部２２ａとビーム部２２ｂを結ぶ直線を境界線として第２の固定電極２３ａ，２３ｂが設けられている。第２の固定電極２３ａ，２３ｂは、第２の貫通電極２４ａ，２４ｂを用いて上部固定板２ａの上面に引き出されている。第２の貫通電極２４ａ，２４ｂの材質は、シリコンやタングステン、銅等の導体であり、第２の貫通電極２４ａ，２４ｂを保持する周囲の材質は、ガラス等の絶縁体である。
【００２３】
更に、Ｚ検出部３０の断面は、図３（ｂ）に示す通りである。すなわち、第３の可動電極３１の四隅と矩形枠３０ａの側壁部とを二対のＬ字形のビーム部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄで連結することにより、第３の可動電極３１が垂直方向に平行移動可能になっている。ビーム部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄの形状は特に限定されるものではないが、Ｌ字形にすれば、ビーム部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄを長くすることができる。上部固定板２ａの第３の可動電極３１と対向する側には第３の固定電極３３ａが設けられ、下部固定板２ｂの第３の可動電極３１と対向する側には第３の固定電極３３ｂが設けられている。第３の固定電極３３ａは、第３の貫通電極３４ａを用いて上部固定板２ａの上面に引き出されている。第３の固定電極３３ｂは、矩形領域３３ｂ１から突き出した突出領域３３ｂ２を備えている（図２参照）。突出領域３３ｂ２は、第３の可動電極３１とは分離された柱状の固定電極３４ｃに接続され、柱状の固定電極３４ｃは、上部固定板２ａに設けられた第３の貫通電極３４ｂに接続される構成となっている。これにより、柱状の固定電極３４ｃ及び第３の貫通電極３４ｂを用いて第３の固定電極３３ｂを上部固定板２ａの上面に引き出すことができる。第３の貫通電極３４ａ，３４ｂの材質は、シリコンやタングステン、銅等の導体であり、第３の貫通電極３４ａ，３４ｂを保持する周囲の材質は、ガラス等の絶縁体である。
【００２４】
〔Ｘ方向の加速度検出原理〕
次に、Ｘ方向の加速度検出原理について説明する。まず、誘電率をε、電極の対向面積をＳ、電極の対向ギャップをｄとした場合、静電容量Ｃは、Ｃ＝εＳ／ｄにより算出することができる。加速度により可動電極が回転すると、対向ギャップｄが変化するため、静電容量Ｃが変化する。そこで、ＡＳＩＣ２００により差分容量（Ｃ１−Ｃ２）をＣＶ変換する。出力誤差を低減する方法については後述する。
【００２５】
図４は、Ｘ方向の加速度が印加されていない状態におけるＸ検出部１０の断面を示している。この場合、図５に示すように、第１の可動電極１１と第１の固定電極１３ａ，１３ｂとの間の静電容量Ｃ１，Ｃ２は等しくなる。ＡＳＩＣ２００は、静電容量Ｃ１と静電容量Ｃ２の差分値（Ｃ１−Ｃ２＝０）を算出し、Ｘ出力として出力する。
【００２６】
図６は、Ｘ方向に１Ｇの加速度が印加された状態におけるＸ検出部１０の断面を示している。この場合、図７に示すように、第１の可動電極１１と第１の固定電極１３ａとの間の静電容量Ｃ１は寄生容量＋ΔＣとなり、第１の可動電極１１と第１の固定電極１３ｂとの間の静電容量Ｃ２は寄生容量−ΔＣとなる。ＡＳＩＣ２００は、静電容量Ｃ１と静電容量Ｃ２の差分値（Ｃ１−Ｃ２＝２ΔＣ）を算出し、Ｘ出力として出力する。
【００２７】
このように、Ｘ検出部１０は、静電容量の変化に基づいてＸ方向の加速度を検出するようになっている。Ｙ検出部２０がＹ方向の加速度を検出する原理も同様である。
【００２８】
〔Ｚ方向の加速度検出原理〕
図８は、Ｚ方向に１Ｇの加速度が印加された状態におけるＺ検出部３０の断面を示している。この場合、図９に示すように、第３の可動電極３１と第３の固定電極３３ａとの間の静電容量Ｃ５は寄生容量＋ΔＣとなり、第３の可動電極３１と第３の固定電極３３ｂとの間の静電容量Ｃ６は寄生容量−ΔＣとなる。ＡＳＩＣ２００は、静電容量Ｃ５と静電容量Ｃ６の差分値（Ｃ５−Ｃ６＝２ΔＣ）を算出し、Ｚ出力として出力する。このように、Ｚ検出部３０は、静電容量の変化に基づいてＺ方向の加速度を検出するようになっている。
【００２９】
〔出力誤差〕
図１０は、理想的な加速度センサと実際の加速度センサ（比較例）の出力特性を示すグラフである。この図に示すように、理想的な加速度センサの出力（理想出力）Ｏ１は、印加する加速度に比例する。それに対して、実際の加速度センサの出力Ｏ２には、図中の矢印に示すような誤差が含まれるのが現状である。以下、平行平板型の静電ギャップｄが変化することで加速度を検出する場合（図８参照）を例示して説明する。
【００３０】
まず、加速度印加時の第３の可動電極３１の変化量は次式により表すことができる（フックの法則）。ａは印加加速度、ｍは第３の可動電極３１の重さ、ｋはばね定数、Δｄは第３の可動電極３１の変化量（ギャップ変化量）である。
【００３１】
Δｄ＝ｍａ／ｋ
また、加速度印加時の静電容量Ｃ５、Ｃ６は次式により表すことができる。εは誘電率、ｄ０は初期静電ギャップ、Ｓは電極の対向面積である。
【００３２】
Ｃ５＝ε×Ｓ／（ｄ０＋Δｄ）
Ｃ６＝ε×Ｓ／（ｄ０−Δｄ）
そのため、差動容量は次式のようになる。
【００３３】
Ｃ５−Ｃ６＝εＳ×{−２Δｄ／（ｄ０２−Δｄ２）}
このような差動容量は、正確には直線の出力ではなく、誤差を含んでいる。そこで、本実施形態にかかる加速度センサは、出力誤差を低減するため、以下の構成を採用している。
【００３４】
〔機能ブロック図〕
図１１は、実施形態にかかる加速度センサの要部の機能ブロック図である。この図に示すように、ＡＳＩＣ２００は、入力加速度ａから補正値を引き算することで理想出力Ｏ１からのずれ（誤差）を補正する自動補正回路２２０を備える。補正値は、入力加速度ａを変数とする多項式（Ａａ＾３＋Ｂａ＾５＋・・・）から算出するようになっている。
【００３５】
具体的には、演算回路２２１は、Ｘ検出部１０から出力される加速度ａから補正値（Ａａ＾３＋Ｂａ＾５＋・・・）を引き算して出力する。また、演算回路２２２は、Ｙ検出部２０から出力される加速度ａから補正値（Ａａ＾３＋Ｂａ＾５＋・・・）を引き算して出力する。更に、演算回路２２３は、Ｚ検出部３０から出力される加速度ａから補正値（Ａａ＾３＋Ｂａ＾５＋・・・）を引き算して出力する。このように、３次以上の奇数次の項からなる多項式（奇関数）を補正値とすると、直線性の補正を実現することができる。すなわち、従来に比べて加速度センサの出力を理想出力Ｏ１に近づけることができる。
【００３６】
ここで、Ｚ検出部３０がＺ方向の加速度を検出する場合など、平行平板型の静電ギャップｄが変化することで加速度を検出する場合（図８参照）、加速度ａは、以下に示すＹで表すことができる。この場合、補正係数は、以下に示すＡ、Ｂ・・・Ｎとするのが好ましい。これにより、加速度センサの出力を理想出力Ｏ１により近づけることができる。
【００３７】
Ｙ＝εＳ×{−２Δｄ／（ｄ０２−Δｄ２）}
Ａ＝−２・Δｄ３εＳ／ｄ０４
Ｂ＝−２・Δｄ５εＳ／ｄ０６
：
Ｎ＝−２・Δｄ２ｎ＋１εＳ／ｄ０２ｎ＋２
もちろん、補正値は、３次式（Ａａ＾３）であってもよい。この場合も、加速度ａは、上記のＹで表すことができ、補正係数Ａも、上記した通り、Ａ＝−２・Δｄ３εＳ／ｄ０４とする。
【００３８】
一方、Ｘ検出部１０がＸ方向の加速度を検出する場合やＹ検出部２０がＹ方向の加速度を検出する場合など、トーション方式の静電ギャップｄが変化することで加速度を検出する場合（図６参照）、加速度ａは、以下に示すＹで表すことができる。この場合、補正係数は、以下に示すＡ、Ｂ・・・Ｎとするのが好ましい。これにより、加速度センサの出力を理想出力Ｏ１により近づけることができる。
【００３９】
Ｙ＝εＳ／Δｄ×ｌｎ{（ｄ０２−Δｄ２）／ｄ０２}
Ａ＝−Δｄ３εＳ／２ｄ０４
Ｂ＝−Δｄ５εＳ／３ｄ０６
：
Ｎ＝−Δｄ２ｎ＋１εＳ／{（ｎ×１）×ｄ０２ｎ＋２}
もちろん、補正値は、３次式（Ａａ＾３）であってもよい。この場合も、加速度ａは、上記のＹで表すことができ、補正係数Ａも、上記した通り、Ａ＝−Δｄ３εＳ／２ｄ０４とする。
【００４０】
以上説明したように、実施形態にかかる加速度センサは、差動容量型の加速度センサであって、可動電極（第１の可動電極１１、第２の可動電極２１、又は第３の可動電極３１）と、検出部（Ｘ検出部１０、Ｙ検出部２０、又はＺ検出部３０）と、自動補正回路２２０とを備える。可動電極は、外部から与えられた加速度に応じて可動する。検出部は、可動電極を用いて所定方向の加速度を検出して出力する。自動補正回路２２０は、検出部から出力される加速度をａ、補正係数をＡ、Ｂ、・・・とすると、３次以上の奇数次の項からなる多項式（Ａａ＾３＋Ｂａ＾５＋・・・）によって表される補正値を加速度ａから引き算する。これにより、従来に比べて加速度センサの出力を理想出力Ｏ１に近づけることができるため、従来に比べて出力誤差を低減することが可能である。
【００４１】
また、自動補正回路２２０は、平行平板型の静電ギャップｄが変化することで加速度を検出する場合、加速度ａを以下に示すＹとし、前記補正係数を以下に示すＡ、Ｂ・・・Ｎとするのが好ましい。ここでも、誘電率をε、電極の対向面積をＳ、初期静電ギャップをｄ０、ギャップ変化量をΔｄとしている。これにより、加速度センサの出力を理想出力Ｏ１により近づけることができるため、より出力誤差を低減することが可能である。
【００４２】
Ｙ＝εＳ×{−２Δｄ／（ｄ０２−Δｄ２）}
Ａ＝−２・Δｄ３εＳ／ｄ０４
Ｂ＝−２・Δｄ５εＳ／ｄ０６
：
Ｎ＝−２・Δｄ２ｎ＋１εＳ／ｄ０２ｎ＋２
一方、自動補正回路２２０は、トーション方式の静電ギャップｄが変化することで加速度を検出する場合、加速度ａを以下に示すＹとし、前記補正係数を以下に示すＡ、Ｂ・・・Ｎとするのが好ましい。ここでも、誘電率をε、電極の対向面積をＳ、初期静電ギャップをｄ０、ギャップ変化量をΔｄとしている。これにより、加速度センサの出力を理想出力Ｏ１により近づけることができるため、より出力誤差を低減することが可能である。
【００４３】
Ｙ＝εＳ／Δｄ×ｌｎ{（ｄ０２−Δｄ２）／ｄ０２}
Ａ＝−Δｄ３εＳ／２ｄ０４
Ｂ＝−Δｄ５εＳ／３ｄ０６
：
Ｎ＝−Δｄ２ｎ＋１εＳ／{（ｎ×１）×ｄ０２ｎ＋２}
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態には限定されず、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、Ｘ検出部１０とＹ検出部２０とＺ検出部３０とが１チップ内に配置された加速度センサを例示しているが、本発明は、Ｘ検出部１０・Ｙ検出部２０・Ｚ検出部３０のみが１チップ内に配置された加速度センサに適用することもできる。もちろん、センサチップ１００の細部のスペック（形状、大きさ、レイアウト等）も適宜変更することが可能である。
【符号の説明】
【００４４】
１０  Ｘ検出部（検出部）
１１  第１の可動電極（可動電極）
２０  Ｙ検出部（検出部）
２１  第２の可動電極（可動電極）
３０  Ｚ検出部（検出部）
３１  第３の可動電極（可動電極）
２２０  自動補正回路
ε  誘電率
Ｓ  電極の対向面積
ｄ０  初期静電ギャップ
Δｄ  ギャップ変化量
ａ、Ｙ  加速度
Ａ、Ｂ・・・Ｎ  補正係数
【図１】
2015017819.tif 000003
【図２】
2015017819.tif 000004
【図３】
2015017819.tif 000005
【図４】
2015017819.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2015017819.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
2015017819.tif 000012
【図１１】
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