(57)【要約】【課題】メタルマスクシートをシワや破れのない状態で固定枠へ固定し、次工程に受け渡すことが可能なメタルマスクシートハンドリング治具およびメタルマスクシートの搬送装置を提供することを課題とする。【解決手段】矩形のメタルマスクシートを張力の掛かった状態で保持するため、フレーム枠と、メタルマスクシートの所定の位置を吸着して保持する様に配置した吸着手段と、前記メタルマスクシートに張力を掛ける一対のベースプレートと、前記吸着手段がメタルマスクシートを保持した状態で、前記ベースプレートの一方または、両方が前記フレーム枠に沿って、移動させる架張手段と、を有するメタルマスクシートのハンドリング治具であって、前記フレーム枠に前記メタルマスクシート上に設けたアライメントマークを読取る撮像手段を備えることを特徴とするメタルマスクシートのハンドリング治具。【選択図】図１
2015199607.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形のメタルマスクシートを張力の掛かった状態で保持するため、
フレーム枠と、
メタルマスクシートの所定の位置を吸着して保持する様に配置した吸着手段と、
前記メタルマスクシートに張力を掛ける一対のベースプレートと、
前記吸着手段がメタルマスクシートを保持した状態で、前記ベースプレートの一方または、両方が前記フレーム枠に沿って、移動させる架張手段と、
を有するメタルマスクシートハンドリング治具であって、
前記フレーム枠に前記メタルマスクシート上に設けたアライメントマークを読取る撮像手段を備えることを特徴とするメタルマスクシートハンドリング治具。
【請求項２】
請求項１のメタルマスクシートのハンドリング治具の吸着手段のうち、メタルマスクの四隅にあたる位置の吸着手段について、前記ベースプレート平面に対して個別にスライド移動するスライド機構を備えることを特徴とするメタルマスクシートハンドリング治具。
【請求項３】
請求項１または２に記載のメタルマスクシートハンドリング治具でメタルマスクシートを吸着し、張力を掛けた状態で、前記メタルマスクシートハンドリング治具を移動する手段を備えたメタルマスクシートの搬送装置であって、
メタルマスクシートを吸着する直前に読取ったアライメントマークの情報から、吸着手段が前記メタルマスクシートを吸着する位置までのズレ量を求め、前記ズレ量から補正値を取得する補正値取得手段と、
前記補正値を元にメタルマスクシートハンドリング治具の位置を移動させる手段を備えることを特徴とするメタルマスクシートの搬送装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体関連製品の製造工程において、蒸着、スパッタリング、ＣＶＤ等の方法で行われる成膜工程で使用するメタルマスクシートを製造する工程内でメタルマスクシートを搬送するため用いるハンドリング治具および搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬ）ディスプレイは発光体となる有機発光ダイオードを有機系の発光材料を蒸着して形成している。この発光材料はパターン状に成膜する必要があり、そのための型（メタルマスク）が必要である。このメタルマスクは、板厚３０μｍ以下の金属の薄板に、パターンとする部分を腐食（エッチング）工程で金属を除去する加工を施したものである。このメタルマスクの製造手順は薄板の金属をロールから連続的に供給し、フォトリソグラフィ法にて、エッチングの不要な部分をマスクした後、金属エッチング工程に投入して金属部分をパターン状に除去している。そしてエッチングされた金属薄板はシート状に断裁され、メタルマスクシートとなる。そして、メタルマスクシートは工程に応じて、固定枠や検査用パレット等へ取り付けられて工程に投入され、さらにはメタルマスクシートにキズ、シワ、凹みを発生しないようにするため、また、加工の寸法精度を低下させないために、工程中では常に張力をかけておくことが求められている。
【０００３】
上記した工程では、固定枠やパレットへの取り付け作業は人が行うことが多く、張力の掛け方のわずかな違いにより、張力のかけ方が弱い場合にはシワが発生し、逆に強すぎた場合には最悪の場合、破れが発生して、製品が不良となっていた。
【０００４】
図１０はメタルマスクシートを検査パレットに固定するための従来から知られている一方法を示す図である。メタルマスクフレーム４は、メタルマスクシート３を取付けるための金属製のフレームであり、外形が短冊状のメタルマスクシート３は、辺の短い方の端をメタルマスクフレーム４に取付ける。
【０００５】
また、図１０（ａ）に示すメタルマスクシート３の両端を挟持して長手方向に張力を付与する一対の外部張力装置６は、メタルマスクシート３をメタルマスクフレーム４に取付ける際に、メタルマスクシート３を歪みや弛みのなく平坦に張った状態を保つための装置である。
【０００６】
図１０（ｂ）に示す外部張力装置６は、メタルマスクシート３の端部３ａを挟持する挟持部８、挟持部８により挟持されたメタルマスクシート３に矢印Ａの方向の張力を付与する張力部１０、張力部１０を固定する固定部材１２、固定部材１２を支持し、かつ、プレート１４上を矢印Ｂの方向に移動可能な台車部１６、矢印Ｂの方向に移動した台車部１６をメタルマスクフレーム４の側面４ａに当接する当接部１８を備えている。
【０００７】
その張力を付与しつつ挟持する方法を説明すると、まず、一対の外部張力装置６がメタルマスクフレーム４の両側部の所定の位置に配置され、挟持部８によりメタルマスクシート３の両端部３ａが挟持される。そして、外部張力装置６は、当接部１８がメタルマスクフレーム４の側面４ａに接触するまでプレート１４上を矢印Ｂの方向に移動する。
【０００８】
当接部１８がメタルマスクフレーム４の側面４ａに接触し、メタルマスクフレーム４が２つの外部張力装置６により挟まれると、張力部１０により、メタルマスクシート３に対
して矢印Ａの方向に張力が加えられる。これにより、メタルマスクシート３は、歪みや弛みのない平坦に張った状態に保たれる。
【０００９】
また、メタルマスクシート３に張力が加えられると、外部張力装置６がメタルマスクシート３から受ける反力が当接部１８を介してメタルマスクフレーム４の両側部の側面４ａに伝達される。これにより、メタルマスクフレーム４の両側部の側面４ａは、それぞれ内側に僅かに撓んだ状態となる。
【００１０】
次に、メタルマスクフレーム４の両側部の側面４ａが僅かに撓んだ状態において、メタルマスクシート３がメタルマスクフレーム４に取付けられた後、メタルマスクシート３がメタルマスクフレーム４の両側部の表面に溶接されて固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２０１３−２０６５７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上記したメタルマスクシート３をメタルマスクフレーム４に固定する従来方法では、挟持部８によってメタルマスクシート３の長辺の両端を挟持し張力部１０で引っ張ることによって張力を加えているだけであるため、メタルマスクシート３の張力がシート毎に均一とならない場合があり、その結果、シワや破れ等の製品不良が発生するといった問題があった。又、メタルマスクシートが不正確な位置になっていると、固定のための吸着が効かず、結果として受け渡しができないという問題があった。
【００１３】
そこで本発明は上記問題点に鑑みて、メタルマスクシート３をシワや破れのない状態で固定枠へ固定する工程、あるいは検査のためのパレットへの貼付け工程に受け渡すことが可能なメタルマスクシートハンドリング治具およびメタルマスクシートの搬送装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の課題を解決する手段として、本発明の請求項１に記載の発明は、矩形のメタルマスクシートを張力の掛かった状態で保持するため、
フレーム枠と、
メタルマスクシートの所定の位置を吸着して保持する様に配置した吸着手段と、
前記メタルマスクシートに張力を掛ける一対のベースプレートと、
前記吸着手段がメタルマスクシートを保持した状態で、前記ベースプレートの一方または、両方が前記フレーム枠に沿って、移動させる架張手段と、
を有するメタルマスクシートハンドリング治具であって、
前記フレーム枠に前記メタルマスクシート上に設けたアライメントマークを読取る撮像手段を備えることを特徴とするメタルマスクシートハンドリング治具である。
【００１５】
また、本発明の請求項２に記載の発明は、請求項１のメタルマスクシートのハンドリング治具の吸着手段のうち、メタルマスクの四隅にあたる位置の吸着手段について、前記ベースプレート平面に対して個別にスライド移動するスライド機構を備えることを特徴とするメタルマスクシートハンドリング治具である。
【００１６】
また、本発明の請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のメタルマスクシートハンドリング治具でメタルマスクシートを吸着し、張力を掛けた状態で、前記メタルマスクシートハンドリング治具を移動する手段を備えたメタルマスクシートの搬送装置であって、
メタルマスクシートを吸着する直前に読取ったアライメントマークの情報から、吸着手段が前記メタルマスクシートを吸着する位置までのズレ量を求め、前記ズレ量から補正値を取得する補正値取得手段と、
前記補正値を元にメタルマスクシートハンドリング治具の位置を移動させる手段を備えることを特徴とするメタルマスクシートの搬送装置である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の請求項１または２に記載のメタルマスクシートのハンドリング治具によれば、メタルマスクシートに設けられたアライメントマークを撮像してメタルマスクシートハンドリング治具の姿勢をθ方向に回転して補正した後に、吸着手段によってメタルマスクシートを吸着し、更にメタルマスクシートの張力を張力計測手段によって計測しながら張架手段によって張力を付与し、更に張力を解除した後に次工程に受け渡すことによって、人手または従来行なわれていたメタルマスクシートをメタルマスクフレームに固定する場合に発生していたシワや破れの製品不良の発生を防ぐことが出来る。
【００１８】
本発明の請求項３に記載のメタルマスクシートの搬送装置によれば、吸着手段は複数の吸着パッドを有しており、その吸着パッドの位置をメタルマスクシートに対応して変更することが可能であるために、メタルマスクシートの形状や寸法が異なるものの加工を行う場合でも、最適な位置で吸着して張架することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第一の実施例のメタルマスクシートハンドリング治具の概略構成を示す図。（ａ）は平面図。（ｂ）は側面図。
【図２】本発明の第一の実施例に係る回転ずれ算出部によってメタルマスクシートのθ方向の回転ずれを算出する方法を示す図。（ａ）はメタルマスクシートが回転ずれを起こしていない場合のアライメントマークの撮像画像を示す図。（ｂ）メタルマスクシートが時計反対方向に角度θ１の回転ずれを起こしている場合のアライメントマークの撮像画像を示す図。（ｃ）はメタルマスクシートが時計方向に角度θ２の回転ずれを起こしている場合のアライメントマークの撮像画像を示す図。
【図３】本発明の第一の実施例に係る吸着パッドでメタルマスクシートの端部を吸着したことを示す図。（ａ）はメタルマスクシートハンドリング治具をメタルマスクシート上に降下させる直前の状態を示す図。（ｂ）は吸着パッドがメタルマスクシートの端部を吸着した状態を示す図。（ｃ）は張架手段によりメタルマスクシートをＸ方向に張架した状態を示す図。
【図４】本発明の第一の実施例にて、メタルマスクシートを張架した状態でメタルマスクシートハンドリング治具を上昇させた状態を示す図。
【図５】本発明の第二の実施例のメタルマスクシートハンドリング治具の概略構成を示す図。（ａ）は平面図。（ｂ）は側面図。
【図６】本発明の第二の実施例に係る回転ずれ算出部によってメタルマスクシートの回転ずれを算出する方法を示す図。（ａ）メタルマスクシートが回転ずれを起こしていない場合の撮像カメラで撮像されたアライメントマークの撮像画像を示す図。（ｂ）メタルマスクシートが時計反対方向に角度θ１の回転ずれを起こしている場合のアライメントマークの撮像画像を示す図。（ｃ）はメタルマスクシートが時計方向に角度θ２の回転ずれを起こしている場合のアライメントマークの撮像画像を示す図。
【図７】本発明の第二の実施例に係るメタルマスクシートを吸着パッドで保持した後、張架するまでの手順の一例を示す側面図。（ａ）メタルマスクシートハンドリング治具をメタルマスクシートに降下させることを示す図。（ｂ）メタルマスクシートを吸着することを示す図。（ｃ）メタルマスクシートを張架することを示す図。
【図８】本発明第二の実施例に係る図９（ｃ）に示したメタルマスクシートの四隅を吸着した吸着パッドがＸＹ方向に移動することで張架することを示す平面図。（ａ）メタルマスクシートの四隅を広げるように、張架することを示す図。（ｂ）メタルマスクシート全体をθ方向に回すように、張架することを示す図。
【図９】本発明のメタルマスクシートハンドリング治具を搬送する搬送装置の概要を示す側面図。
【図１０】従来のメタルマスクシートハンドリング治具の概要とメタルマスクシートを張架する概要を示す図。（ａ）は平面図。（ｂ）は側面図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
＜第一の実施の形態＞
本発明の第一の実施の形態について説明する。
以下、図面を参照して本発明のメタルマスクシートハンドリング治具を実施するための形態を検査のためのパレットへの貼付け工程に受け渡す場合を例として説明する。
【００２１】
図１は本発明のメタルマスクシートハンドリング治具３０の概略構成を示す図で、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は側面図である。本発明のメタルマスクシートハンドリング治具３０は、フレーム枠４０に撮像手段３２−１〜３２−３と、治具把持手段３３と、吸着手段３１ａ、３１ｂと、張架手段３４と、図示しない張力計測手段と、を備えている。
【００２２】
撮像手段３２−１〜３２−３はメタルマスクシート２０に設けられたアライメントマーク２０ｂ−１〜２０ｂ−３を撮像する手段であって、２次元撮像カメラを用いることが出来る。
【００２３】
治具把持手段３３は、撮像手段３２−１〜３２−３で撮像されたアライメントマークの撮像画像情報に基づいてフレーム４０を角度θの回転をさせてアライメントマーク２０ｂ−１〜２０ｂ−３を予め設定した位置となる様に補正する手段であって、それぞれの撮像カメラ３２−１〜３２−３で撮像されたアライメントマークの撮像位置（座標）によってフレーム４０の回転ずれ量を算出する図示しない図示しない回転ずれ量算出部と、算出結果に基づいてフレーム４０を回転させる図示しない回転補正部で構成されている。
【００２４】
吸着手段３１ａ、３１ｂはメタルマスクシート２０の対向する２つの端部２１ａと２１ｂを吸着する手段であって、例えば真空ポンプ（図示しない）に繋がれた複数の吸着パッドで構成されている。吸着手段３１ａ、３１ｂはベースプレート３８ａ、３８ｂに取り付けられ、そのベースプレート３８ａ、３８ｂは、それぞれブラケット３６ａ、３６ｂによってフレーム枠４０に取り付けられている。また、３１ｂの複数の吸着パッドが取り付けられたベースプレート３８ｂは、張架手段３４により、その位置をＸ方向の任意の位置に移動することが出来る構造となっている。ここで、本実施例の張架手段３４は、ボールネジ３４ａとモーター３４ｂとすべりネジ３４ｃからなり、モーター３４ｂがボールネジ３４ａを回転することにより、すべりネジ３４ｃがＹ軸方向に移動し、そのすべりネジ３４ｃはブラケット３６ｂに取り付けられているので、モーター３４ａを駆動することにより、吸着手段３１ｂの複数の吸着パッドを取り付けたベースプレート３８を移動することができる。本実施例ではモーター３４ａとして、パルスモーターを用いた。この様にしてメタルマスクシート２０の蒸着マスク用シートをフレーム４０上で、Ｘ方向に引っ張った状態で保持することが出来る。
【００２５】
次に、図示しない回転ずれ量算出部について説明する。図３は図示しない回転ずれ量算出部によってメタルマスクシート２０の回転ずれ量を算出する方法を示したものである。メタルマスクシート２０は予めメタルマスクシート載せ台に載せられ、メタルマスクシートハンドリング治具３０の下方に供給される。図２（ａ）はメタルマスクシート２０が回転ずれを起こしていない場合の撮像カメラ３２−１〜３２−３で撮像されたアライメントマークの撮像画像３２ａ、３２ｂ、３２ｃを示す図である。撮像カメラ３２−１〜３２−３は予めアライメントマークの十字交点が画像の中心にくるように配置される（即ちこの場合のアライメントマークの十字交点の座標を（Ｘ、Ｙ）＝（０、０）とする）。そして図３（ｂ）はメタルマスクシート２０が時計反対方向に例えば角度θ１の回転ずれを起こしている状態を撮像カメラ３２−１〜３２−３で撮像したアライメントマークの撮像画像３２ａ−１、３２ｂ−１、３２ｃ−１を示す。図２（ｂ）は撮像カメラ３２−１で撮像したアライメントマークの撮像画像３２ａ−１の十字交点のＹ軸座標は、撮像カメラ３２−２、３２−３で撮像されたアライメントマークの撮像画像３２ｂ−１、３２ｃ−１の十字交点のＹ軸座標よりマイナス側の方向にあるので、この場合はメタルマスクシート２０が時計反対方向に角度θ１の回転ずれを起こしていると判定される。
【００２６】
図２（ｃ）はメタルマスクシート２０が時計方向に例えば角度θ２の回転ずれを起こしている場合の撮像カメラ３２−１〜３２−３で撮像されたアライメントマークの撮像画像３２ａ−２、３２ｂ−２、３２ｃ−２を示す。図２（ｃ）の場合は撮像カメラ３２−１で撮像されたアライメントマークの撮像画像３２ａ−２の十字交点のＹ軸座標は、撮像カメラ３２−２、３２−３で撮像されたアライメントマークの撮像画像３２ｂ−２、３２ｃ−２の十字交点のＹ軸座標よりプラス方向であって、この場合はメタルマスクシート２０が時計方向に角度θ２の回転ずれを起こしていると判定される。
【００２７】
回転ずれの補正はメタルマスクシート２０の上記回転ずれの角度θ１、θ２にあわせてメタルマスクシートハンドリング治具３０を回転して回転ずれを補正する。具体的には吸着手段３１ａ、３１ｂを備えたフレーム枠４０（図１）を、治具保持部３３を支点として回転させて回転ずれを補正する。即ち図２（ｂ）の場合はフレーム枠４０を角度θ１の回転により回転ずれを補正し、図２（ｃ）の場合はフレーム枠４０を角度θ２の回転により、メタルマスクシート２０とフレーム枠４０の回転ずれを解消することが出来る。
【００２８】
この回転補正は治具保持部３３を掴んで図９の様に吊り上げた状態で行い、回転動作は、治具保持部３３に組み込んだダイレクトドライブ（ＤＤ）モーターとデジタル制御可能な回転ステージを使って行った。
【００２９】
図３はメタルマスクシートハンドリング治具３０を矢印４１で示す方向に下降し（図３（ａ））、吸着手段３１ａ、３１ｂでメタルマスクシートの端部２１ａと２１ｂを吸着する（図３（ｂ））。
【００３０】
次にモーター３４ｂを駆動してベースプレート３８を矢印３６の方向に移動することで、メタルマスクシート２０がＸ方向に引っ張られる。ここで、メタルマスクシート２０に掛かる張力を図示しない張力計測手段で測定し、所定の張力になるまで、モーター３４ｂを駆動する。
【００３１】
ここで、図示しない張力計測手段は、ローラーをメタルマスクシート２０に接触させて張力を計測するローラー型の張力計測器を用いることが出来る。
【００３２】
図４は、図３で張架した結果、計測された張力が予め設定した目標値に達した後、メタルマスクシートハンドリング治具３０を搬送装置５０により吊り上げた状態を示している。この搬送装置により、次工程（この場合は検査工程）へと搬送され、次工程の装置にメタルマスクシート２０が次工程の装置の図示しないシート載せ台に、受け渡される。この時、上記メタルマスクシート２０は付与された張力を保ったまま受け渡しが行われる。
【００３３】
このようにしてメタルマスクシートを受け渡すので、従来メタルマスクシートを検査枠に固定する際に発生していたシワや破れといった問題が発生しにくくなる。
【００３４】
以上のように本発明のメタルマスクシートハンドリング治具を用いて搬送することにより、メタルマスクシートにシワや破れ等の製品不良を発生することなしに、検査枠に固定して検査することが出来る。
【００３５】
＜第二の実施の形態＞
次に、本発明の第二の実施の形態について説明する。
第一の実施の形態における張架手段は、図１におけるＸ方向にのみ張力を加えるため、すべてのしわの発生を抑制できていなかった。
【００３６】
そのため、本発明の第二の実施の形態における張架手段は、Ｘ方向（対向する２つの吸着手段の一方から他方に向う方向）に加えて、Ｙ方向にも張力を付与することが可能な張架手段を設けた。
【００３７】
以下、具体的に説明する。
図５は本発明の第二の実施の形態におけるメタルマスクシートハンドリング治具３０´の概略構成を示す図であり、図５（ａ）は平面図、図５（ｂ）は側面図である。
【００３８】
本発明のメタルマスクシートのハンドリング治具３０´は、矩形のメタルマスクシート２０´を張力の掛かった状態で保持するため、支持体であるフレーム枠４０´と、メタルマスクシートの所定の位置を吸着して保持する様に配置した吸着手段３１´ａおよび３１´ｂを有している。この吸着手段３１´ａおよび３１´ｂは、一対のベースプレート３８´に対して、そのまま取り付けられているものと、ＸＹステージ３７を介して取り付けられているものの２種類がある。このＸＹステージ３７を介して取り付けられている吸着手段３１´ｂは、メタルマスクシートの四隅の各隅部に近い合計４点である。
また、前記一対のベースプレート３８´は、前記吸着手段３１´ａによりメタルマスクシートを保持した状態で、ベースプレートの一方または、両方がフレーム枠に沿って、移動させる架張することが可能なメタルマスクシートのハンドリング治具であり、さらにフレーム枠４０´にメタルマスクシート２０´上に設けたアライメントマークを読取る撮像手段３２´−１、３２´−２、３２´−３と図示しない張力測定手段を備えたメタルマスクシートのハンドリング治具である。
【００３９】
撮像手段３２´−１〜３２´−３は、２次元撮像カメラを用いることが出来る。
【００４０】
治具把持手段３３´は前記撮像された３つのアライメントマークの撮像画像情報に基づいて吸着手段３１´ａ、３１´ｂをメタルマスクシート２０´の回転ずれ量にあわせてその治具把持手段３３´を回転して回転補正する手段であって、それぞれの撮像カメラ３２
´−１〜３２´−３で撮像されたアライメントマークの撮像位置（座標）によってメタルマスクシート２０´の回転ずれ量を算出する図示しない回転ずれ量算出部と、算出結果に基づいてメタルマスクシートハンドリング治具の回転ずれを補正する図示しない回転補正部で構成されている。
【００４１】
吸着手段３１´ａ、３１´ｂは、メタルマスクシート２０´の対向する２つの端部２１´ａと２１´ｂを吸着する手段であって、例えば真空ポンプ（図示しない）に繋がれた複数の吸着パッドで構成されている。吸着手段３１´ａ、３１´ｂはブラケット３６´ａ、３６´ｂによってフレーム枠４０に、Ｘ方向に移動可能に取り付けられている。また、吸着手段３１ａ、３１ｂの複数の吸着パッドは、その位置がＹ軸方向の任意の位置に移動可能な構造となっている。このことによりメタルマスクシート２０´の蒸着マスク用シートの設置位置や設置枚数が変更になった場合であってもメタルマスクシート２０´を変形しない位置で吸着することが出来るようになる。ここで、Ｘ方向とは、対向する２つの吸着手段３１´ａ、３１´ｂの一方から他方に向う方向（または吸着手段３１´ａが支持されたブラケット３６´ａから吸着手段３１´ｂが支持されたブラケット３６´ｂに向かう方向）を指し、Ｙ方向とはＸ方向と直交する方向のうち、メタルマスクシート２０´と平行な平面に含まれるものを指す。また、平行や直交とは、平行や直交であると見なせるものも含む。
【００４２】
図６は図示しない回転ずれ量算出部にてメタルマスクシート２０´の回転ずれ量を算出する方法を示す。  まず、メタルマスクシート２０´は予めメタルマスクシート載せ台に載せられ、メタルマスクシートハンドリング治具３０´の下方に供給される。図６（ａ）はメタルマスクシート２０´が回転ずれを起こしていない場合の撮像カメラ３２´−１〜３２´−３で撮像されたアライメントマークの撮像画像３２´ａ、３２´ｂ、３２´ｃを示す図である。撮像カメラ３２´−１〜３２´−３は予めアライメントマークの十字交点が画像の中心にくるように配置される（即ちこの場合のアライメントマークの十字交点の座標を（Ｘ、Ｙ）＝（０、０）とする）。そして図６（ｂ）はメタルマスクシート２０´が時計反対方向に例えば角度θ１の回転ずれを起こしている場合の撮像カメラ３２´−１〜３２´−３で撮像されたアライメントマークの撮像画像３２´ａ−１、３２´ｂ−１、３２´ｃ−１を示す。図６（ｂ）の場合は撮像カメラ３２´−１で撮像されたアライメントマークの撮像画像３２´ａ−１の十字交点のＹ軸座標は、撮像カメラ３２´−２、３２´−３で撮像されたアライメントマークの撮像画像３２´ｂ−１、３２´ｃ−１の十字交点のＹ軸座標よりマイナス方向であって、この場合はメタルマスクシート２０´が時計反対方向にθ１回転ずれを起こしていると判定される。
【００４３】
図６（ｃ）はメタルマスクシート２０´が時計方向に例えば角度θ２の回転ずれを起こしている場合の撮像カメラ３２´−１〜３２´−３で撮像されたアライメントマークの撮像画像３２´ａ−２、３２´ｂ−２、３２´ｃ−２を示す。図６（ｃ）の場合は撮像カメラ３２´−１で撮像されたアライメントマークの撮像画像３２´ａ−２の十字交点のＹ軸座標は、撮像カメラ３２´−２、３２´−３で撮像されたアライメントマークの撮像画像３２´ｂ−２、３２´ｃ−２の十字交点のＹ軸座標よりプラス方向であって、この場合はメタルマスクシート２０´が時計方向に角度θ２の回転ずれを起こしていると判定される。
【００４４】
回転補正はメタルマスクシート２０´の上記回転ずれの角度θ１、θ２にあわせて吸着手段３１´ａ、３１´ｂを角度θ方向に回転して補正する。具体的には吸着手段３１´ａ、３１´ｂを備えたフレーム枠４０´（図５）を位置補正する。即ち図６（ｂ）の場合はフレーム枠４０´を角度θ１の方向に回転して補正し、図６（ｃ）の場合はフレーム枠４０´を角度θ２の方向に回転して補正することによって、メタルマスクシート２０´と吸着手段３１´ａ、３１´ｂを回転ずれを解消することが出来る。
【００４５】
この場合の回転補正はダイレクトドライブ（ＤＤ）モーターとデジタル制御可能な回転ステージ用いて行った。図５では、治具保持部３３の固定方法は示されていないが、図９の様に吊るす様にしてあけばよい。
【００４６】
図７は、メタルマスクシートハンドリング治具３０´の回転補正が行なわれた後に、メタルマスクシート２０´に降下し（図７（ａ））、続けてメタルマスクシート２０´を張架することを示したものである。
メタルマスクシートハンドリング治具３０´がメタルマスクシート２０´に達すると、ＸＹステージ３７に設置した吸着手段３１´ｂがメタルマスクシート２０の端部２１´ａと２１´ｂを吸着する（図７（ｂ））。この時、その他の吸着手段３１´ａは吸着を行わない。
【００４７】
次に、ＸＹステージ３７を図８（ａ）または（ｂ）に示す所定の方向３６´´、３６´´´に動かして張架する。
【００４８】
次に、ベースプレート３８に直接設置された吸着手段３１´ａ、３１´ｂの両方でメタルマスクシート２０吸着した後、モーター３４ｂを駆動して吸着手段３１ｂの複数の吸着パッドを取り付けたベースプレート３８を移動することで、吸着したメタルマスクシート２０をＸ方向に引っ張り、図示しない張力計測手段で得られる張力を元に、モーター３４ｂを駆動する量を制御することで張力を調整する。
【００４９】
図９は、本発明の実施形態におけるメタルマスクシートの搬送装置を側面から見た概略図である。
【００５０】
前記説明した様に、メタルマスクシート予め設定した張力の目標値まで張力が達した後、メタルマスクシートの搬送装置５０はメタルマスクシートハンドリング治具３０´を搬送するため、上昇させている。
【００５１】
そのメタルマスクシートの搬送装置５０は、メタルマスクシートハンドリング治具３０´を把持するための治具把持部３３‘を掴む治具受け部５５と、それら全てを昇降させ、かつ、回転補正するために水平に回転させるための昇降・回転機構５４に連接されており、更にその昇降・回転機構５４はタルマスクシートハンドリング治具３０´を平行に移動可能な支柱部５２´に連接されており、その支柱部５２´は支柱部伸縮機構５３に連接している。支柱部５２´はこの支柱部伸縮機構５３により垂直方向に移動することで、高さを調整可能である。そして、その支柱部伸縮機構５３は、支柱部５２によって台車部５１によって支持されている。
【００５２】
また、メタルマスクシートの搬送装置５０は、以上の様な構成により、メタルマスクシートハンドリング治具３０´でメタルマスクシート２０´を吸着し、張力を掛けた状態で、そのメタルマスクシートハンドリング治具３０´を移動することができる。
【００５３】
そして、所定の位置まで搬送した後、上記メタルマスクシート２０´を吸着していた吸着手段３１´ａ、および３１´ｂの吸着を解除することで、次工程にメタルマスクシート２０´の受け渡しを行う。その後、メタルマスクシート２０´はシート載せ台に載せられ検査装置の下方に搬送された後に検査される。
【００５４】
このようにしてメタルマスクシート２０´は張力が掛かったまま、検査装置の検査枠に受け渡しが行われ、検査装置にて検査が行われる。
【００５５】
以上のように本発明によるメタルマスクシートハンドリング治具によれば、メタルマスクシートにシワや破れ等の製品不良を発生することなしに検査枠に受け渡すことができるので、検査装置でメタルマスクシートの張力の調整をすることなく検査を始めることが出来る。
【符号の説明】
【００５６】
２・・・メタルマスクシート
２ａ・・・有機ＥＬメタルマスクの蒸着マスク用シート
３・・・メタルマスクシート
３ａ・・・メタルマスクシート端部
４・・・メタルマスクフレーム
４ａ・・・メタルマスクフレームの側面
６・・・外部張力装置
８・・・挟持部
１０・・・張力部
１２・・・固定部材
１４・・・プレート
１６・・・台車部
１８・・・当接部
２０、２０´・・・メタルマスクシート
２０ｂ−１、２０ｂ−２、２０ｂ−３、２０´ｂ−１、２０´ｂ−２、２０´ｂ−３・・・アライメントマーク
２１ａ、２１ｂ、２１´ａ、２１´ｂ・・・メタルマスクシートの対向する２つの端部
３０、３０´・・・メタルマスクシートハンドリング治具
３１ａ、３１ｂ、３１´ａ、３１´ｂ・・・吸着手段
３２−１、３２−２、３２−３、３２´−１、３２´−２、３２´−３・・・撮像手段
３２ａ−１、３２ｂ−１、３２ｃ−１、３２´ａ−１、３２´ｂ−１、３２´ｃ−１・・・アライメントマークの撮像画像
３２ａ−２、３２ｂ−２、３２ｃ−２、３２´ａ−２、３２´ｂ−２、３２´ｃ−２・・・アライメントマークの撮像画像
３３、３３´・・・治具把持部
３４、３４´・・・張架手段
３４ａ、３４´ａ・・・ボールネジ
３４ｂ、３４´ｂ・・・モーター
３４ｃ、３４´ｃ・・・すべりネジ
３６、３６´、３６´´、３６´´´・・・吸着手段の移動方向
３６ａ、３６ｂ、３６´ａ、３６´ｂ・・・ブラケット
３７・・・ＸＹステージ
３８、３８´・・・ベースプレート
３９・・・治具把持部
４０、４０´・・・フレーム枠
４１、４１´・・・メタルマスクシートハンドリング治具の下降方向
４２、４２´・・・載せ台
４３、４３´・・・メタルマスクシートハンドリング治具の上昇方向
５０・・・メタルマスクシートの搬送装置
５１・・・台車部
５２、５２´・・・支柱部
５３・・・支柱伸縮機構
５４・・・昇降・回転機構
５５・・・治具受け部
６０・・・メタルマスク製造関連装置（検査装置など）
【図２】
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【図３】
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【図６】
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【図１０】
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【図１】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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