(57)【要約】【課題】圧電体基板２の表面ＫＨの外周端近傍に形成する電極が圧電体基板２のクラックや欠けによって断線することを防止する。【解決手段】液体噴射ヘッド１は、液体が充填される吐出溝３と液体が充填されない非吐出溝４とが表面ＫＨに交互に配列する圧電体基板２を備え、吐出溝３の一方側は圧電体基板２の一方側の側面ＫＳの手前において終端し、非吐出溝４の一方側は圧電体基板２の一方側の側面ＫＳまで延設され、吐出溝３を挟んで隣接する２つの非吐出溝４の間の側面と表面ＫＨとの角部Ｒが切除される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が充填される吐出溝と液体が充填されない非吐出溝とが表面に交互に配列する圧電体基板を備え、
前記吐出溝の一方側は前記圧電体基板の一方側の側面の手前において終端し、
前記非吐出溝の一方側は前記圧電体基板の一方側の側面近傍まで延設され、
前記吐出溝を挟んで隣接する２つの前記非吐出溝の間の前記側面と前記表面との角部が切除される液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記角部が階段状に切除される請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記角部がテーパー状に切除される請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記角部が前記非吐出溝の底面に達する深さに切除される請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記階段状に切除されて成る段差面にジャンパー電極が設置され、前記ジャンパー電極は前記段差面を挟む２つの前記非吐出溝の前記吐出溝の側の側面に設置される駆動電極を電気的に接続する請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記テーパー状に切除されて成る傾斜面にジャンパー電極が設置され、前記ジャンパー電極は前記傾斜面を挟む２つの前記非吐出溝の前記吐出溝の側の側面に設置される駆動電極を電気的に接続する請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記吐出溝の一方側の端部と前記圧電体基板の一方側の側面との間であり、隣接する前記非吐出溝の間の前記圧電体基板の表面に、前記吐出溝の側面に設置される駆動電極に電気的に接続する共通端子と、前記非吐出溝の側面に設置される駆動電極に電気的に接続する個別端子とが設置される請求項１〜６のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記圧電体基板の一方側の側面近傍の表面を露出して前記圧電体基板の表面に接合されるカバープレートと、前記吐出溝の他方側が前記圧電体基板の他方側の側面に開口し、前記吐出溝が開口する側面に接合されるノズルプレートと、を備える請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記吐出溝の他方側は前記圧電体基板の他方側の側面の手前において終端し、前記吐出溝は前記圧電体基板の板厚方向に貫通し、
前記圧電体基板の一方側の側面近傍の表面を露出して前記圧電体基板の表面に接合されるカバープレートと、前記圧電体基板の表面とは反対側の裏面に接合されるノズルプレートと、を備える請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
前記圧電体基板の一方側の側面の近傍の前記圧電体基板の表面にフレキシブル回路基板が接続される請求項１〜９のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被記録媒体に液滴を噴射して記録する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字や図形を記録する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料などの液体を液体タンクから供給管を介してチャンネルに導き、チャンネルに充填される液体に圧力を印加してチャンネルに連通するノズルから液滴として吐出する。液滴の吐出の際には、液体噴射ヘッドや被記録媒体を移動させて文字や図形を記録する、或いは所定形状の機能性薄膜や三次元構造を形成する。
【０００３】
この種の液体噴射ヘッドとして、圧電体基板の表面に並列に多数の溝を形成し、溝と溝の間の側壁を厚みすべり変形させて、溝に充填される液体に圧力変化を誘起し、溝に連通するノズルから液滴を吐出するシアモード（Ｓｈｅａｒ  ｍｏｄｅ）方式が実用化されている。例えば、特許文献１にはこの種の液体噴射ヘッドが記載される。図７（特許文献１の図３）は液体噴射ヘッドの圧電セラミックプレート１１６の部分斜視図である。図７に示すように、圧電セラミックプレート１１６の表面に、液滴を吐出するチャンバ１１７と、液滴を吐出しないダミーチャンバ１１８とが並列に交互に配列する。チャンバ１１７とダミーチャンバ１１８を区画する側壁１１９の側面には側壁を厚みすべり変形させるため共通電極１２０ａと個別電極１２０ｂが形成される。共通電極１２０ａと個別電極１２０ｂは圧電セラミックプレート１１６の端部表面に形成される共通電極用配線パターン１８０や個別電極用配線パターン１８１に電気的に接続される。圧電セラミックプレート１１６の端部表面にボンディングワイヤ１２８を接続し、外部回路で生成した駆動信号を駆動電極に供給することができるように構成される。
【０００４】
特許文献２には、液体を加圧する圧力室の開口を可撓板により閉塞し、可撓板の上面に圧電素子を設置し、圧電素子の上面に導電性皮膜を形成したユニモルフ型の圧電アクチュエーターが記載される。ここでは、セラミックスからなる圧電素子はクラックが入りやすく、機械的に脆い性質を有することが記載される。
【０００５】
特許文献３には、基板の表面に駆動部を連接した構造の圧力発生手段を樹脂部材にインサートした構造の液体噴射ヘッドが記載される。図８（特許文献３の図３）は液体噴射ヘッド（インクジェットプリントヘッド）２１２の断面模式図である。図８に示すように、液体噴射ヘッド２１２は、流路プレート２１３と圧電性部材２２７と本体プレート２１４とが積層する構造を備える。流路プレート２１３の圧電性部材２２７側の表面には複数の並列する凹部２１９が形成され、この凹部２１９は液体（インク）が充填されて圧力室２１６として機能する。本体プレート２１４は絶縁性材料から成り、表面に並列に複数の浅い溝が形成される。この複数の浅い溝の間の凸部に駆動部２２２が設置され、浅い溝及び駆動部２２２の間の隙間に樹脂部材２２４が充填されて圧電性部材２２７が構成される。圧電性部材２２７は、各凹部２１９の開口を覆って流路プレート２１３の凹部２１９側の表面に接合され、圧電性部材２２７の上端部が各凹部２１９にわずかに挿入される。本体プレート２１４の溝方向の長さは圧電性部材２２７の溝方向の長さより長く、本体プレート２１４の溝方向の端部は圧電性部材２２７の溝方向の端部よりも突出する。本体プレート２１４の浅い溝の間の凸部には個々の圧電性部材２２７を駆動するための個別電極２２８が形成され、圧電性部材２２７の流路プレート２１３側の表面には各圧電性部材２２７に接続する共通電極（金属膜）２２５が設置される。従って、圧電性部材２２７を駆動するための個別電極２２８と共通電極２２５とは、本体プレート２１４、つまり絶縁性材料の表面に引出されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３６１８６１号公報
【特許文献２】特開平６−３１６０７０号公報
【特許文献３】特開平８−３９７９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献２に記載されるように、セラミックスからなる圧電体材料は機械的に脆い性質を有する。そのため、図７に示すように、圧電セラミックプレート１１６の端部表面に電極を形成した場合に、端部表面の角部は欠けやクラックが入りやすく、欠けやクラックが入ることによって共通電極用配線パターン１８０や個別電極用配線パターン１８１が断線することがある。また、特許文献３のように、絶縁性基板２２６（本体プレート２１４）の表面に個別電極２２８を引出すことにより機械的強度が確保されるとしても、絶縁性基板２２６に圧電性部材２２７を積層し、圧電性部材２２７に形成した駆動用電極を絶縁性基板に引き回すことになるので、圧電性部材２２７に直接電極端子を形成する場合よりも構造が複雑となり、生産性が低下する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドは、液体が充填される吐出溝と液体が充填されない非吐出溝とが表面に交互に配列する圧電体基板を備え、前記吐出溝の一方側は前記圧電体基板の一方側の側面の手前において終端し、前記非吐出溝の一方側は前記圧電体基板の一方側の側面近傍まで延設され、前記吐出溝を挟んで隣接する２つの前記非吐出溝の間の前記側面と前記表面との角部が切除されることとした。
【０００９】
また、前記角部が階段状に切除されることとした。
【００１０】
また、前記角部がテーパー状に切除されることとした。
【００１１】
また、前記角部が前記非吐出溝の底面に達する深さに切除されることとした。
【００１２】
また、前記階段状に切除されて成る段差面にジャンパー電極が設置され、前記ジャンパー電極は前記段差面を挟む２つの前記非吐出溝の前記吐出溝の側の側面に設置される駆動電極を電気的に接続することとした。
【００１３】
また、前記テーパー状に切除されて成る傾斜面にジャンパー電極が設置され、前記ジャンパー電極は前記傾斜面を挟む２つの前記非吐出溝の前記吐出溝の側の側面に設置される駆動電極を電気的に接続することとした。
【００１４】
また、前記吐出溝の一方側の端部と前記圧電体基板の一方側の側面との間であり、隣接する前記非吐出溝の間の前記圧電体基板の表面に、前記吐出溝の側面に設置される駆動電極に電気的に接続する共通端子と、前記非吐出溝の側面に設置される駆動電極に電気的に接続する個別端子とが設置されることとした。
【００１５】
また、前記圧電体基板の一方側の側面近傍の表面を露出して前記圧電体基板の表面に接合されるカバープレートと、前記吐出溝の他方側が前記圧電体基板の他方側の側面に開口し、前記吐出溝が開口する側面に接合されるノズルプレートと、を備えることとした。
【００１６】
また、前記吐出溝の他方側は前記圧電体基板の他方側の側面の手前において終端し、前記吐出溝は前記圧電体基板の板厚方向に貫通し、前記圧電体基板の一方側の側面近傍の表面を露出して前記圧電体基板の表面に接合されるカバープレートと、前記圧電体基板の表面とは反対側の裏面に接合されるノズルプレートと、を備えることとした。
【００１７】
また、前記圧電体基板の一方側の側面の近傍の前記圧電体基板の表面にフレキシブル回路基板が接続されることとした。
【００１８】
本発明の液体噴射装置は、上記の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。
【発明の効果】
【００１９】
本発明による液体噴射ヘッドは、液体が充填される吐出溝と液体が充填されない非吐出溝とが表面に交互に配列する圧電体基板を備え、吐出溝の一方側は圧電体基板の一方側の側面の手前において終端し、非吐出溝の一方側は圧電体基板の一方側の側面まで延設され、吐出溝を挟んで隣接する２つの非吐出溝の間の側面と前記表面との角部が切除される。これにより、圧電体基板の表面の外周端は、圧電体基板の側面よりも内側に移動して治具等に当たり難くなり、圧電体基板の表面の外周端近傍に形成する電極がクラックや欠けによって断線することを低減する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの圧電体基板の模式的な部分斜視図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの断面模式図である。
【図３】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの圧電体基板の模式的な部分斜視図である。
【図４】本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの圧電体基板の模式的な部分斜視図である。
【図５】本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッドの断面模式図である。
【図６】本発明の第五実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。
【図７】従来公知の液体噴射ヘッドの部分斜視図である。
【図８】従来公知の液体噴射ヘッドの断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（第一実施形態）
図１は、本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド１を構成する圧電体基板２の模式的な部分斜視図である。図２は、本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド１の断面模式図である。図２（ａ）は液体噴射ヘッド１の吐出溝３に沿う断面模式図であり、図２（ｂ）は液体噴射ヘッド１の非吐出溝４に沿う断面模式図である。
【００２２】
図１に示すように、液体噴射ヘッド１を構成する圧電体基板２は、液体が充填される吐出溝３と液体が充填されない非吐出溝４とが表面ＫＨに交互に配列する。吐出溝３の一方側は圧電体基板２の一方側の側面ＫＳの手前において終端する。非吐出溝４の一方側は圧電体基板２の一方側の側面ＫＳ近傍まで延設される。そして、吐出溝３を挟んで隣接する２つの非吐出溝４の間の側面ＫＳと表面ＫＨとの角部Ｒが切除される。ここで、角部Ｒは、表面ＫＨから非吐出溝４の底面ＢＳに達する深さに切除され、圧電体基板２の一方側の端部は階段形状を有する。その結果、圧電体基板２の表面ＫＨの角部Ｒは内側に移動するので、表面ＫＨに新たに形成される外周端Ｇには治工具やウエハー収納用のカセット等が当たり難くなり、クラックや欠けが入り難くなる。従って、この表面ＫＨの外周端Ｇの近傍に形成する電極は、切除する前の角部Ｒ近傍に形成する電極よりも欠けやクラックによる断線が低減する。
【００２３】
具体的に説明する。図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、液体噴射ヘッド１は、圧電体基板２と、圧電体基板２の表面ＫＨに接合されるカバープレート９と、圧電体基板２の他方側の側面ＫＳに接合されるノズルプレート１０とを備える。圧電体基板２は、吐出溝３と非吐出溝４とが表面ＫＨに交互に配列する。吐出溝３の一方側の端部と圧電体基板２の一方側の側面ＫＳとの間であり、隣接する非吐出溝４の間の圧電体基板２の表面ＫＨに電極端子７が設置される。電極端子７は共通端子７ａと個別端子７ｂを含み、共通端子７ａは吐出溝３の側面に設置される駆動電極６に電気的に接続し、個別端子７ｂは非吐出溝４の側面に設置される駆動電極６に電気的に接続する。電極端子７が設置される表面ＫＨの領域と表面ＫＨの外周端Ｇとの間には、溝方向に直交する方向に浅溝１５が形成される。更に、浅溝１５と外周端Ｇとの間の表面ＫＨにはジャンパー電極８が設置される。ジャンパー電極８は、吐出溝３を挟む２つの非吐出溝４の吐出溝３側の側面に設置される駆動電極６を電気的に接続する。
【００２４】
カバープレート９は液室１２を備え、共通端子７ａ及び個別端子７ｂが露出するようにして圧電体基板２の表面ＫＨに接合される。液室１２にはスリット１３が形成され、液室１２と吐出溝３とはスリット１３を介して連通する。非吐出溝４はカバープレート９により覆われて液室１２とは連通しない。従って、液室１２に流入する液体は吐出溝３には流入するが非吐出溝４には流入しない。ノズルプレート１０は、圧電体基板２の他方側の側面ＫＳに接合される。ノズルプレート１０は複数のノズル１４を備え、複数のノズル１４それぞれが吐出溝３に連通する。
【００２５】
フレキシブル回路基板１１は、圧電体基板２の一方側の側面ＫＳの近傍の圧電体基板２の表面ＫＨに接続される。フレキシブル回路基板１１は配線パターン１１ａを備え、配線パターン１１ａと共通端子７ａ及び個別端子７ｂとが電気的に接続される。これにより、外部回路から駆動電極６に駆動信号を供給することができる。なお、浅溝１５は、フレキシブル回路基板１１を共通端子７ａや個別端子７ｂが形成される表面ＫＨの領域に接続したときに、フレキシブル回路基板１１に設置される配線パターンと非吐出溝４の側面に形成される駆動電極６とが短絡するのを防止するために設けてある。
【００２６】
液体噴射ヘッド１は次のように駆動される。まず、カバープレート９の液室１２に液体が供給される。液体はスリット１３を介して各吐出溝３に充填される。そして、外部で生成される駆動信号が共通端子７ａと個別端子７ｂに与えられ、吐出溝３の両側壁が厚みすべり変形し、吐出溝３の容積を急激に変化させる。その結果、吐出溝３に充填される液体に圧力が印加されてノズル１４から液滴が吐出される。
【００２７】
このように、圧電体基板２の側面ＫＳと表面ＫＨとの間の角部Ｒを切除したことにより、新たに表面ＫＨに形成される外周端Ｇは側面ＫＳよりも圧電体基板２の内側に移動する。その結果、外周端Ｇに治工具やウエハー収納用のカセット等が当たり難くなり、圧電体基板２として機械的に脆いＰＺＴセラミックスやその他の圧電体材料を使用しても、表面ＫＨの外周端Ｇに欠けやクラックが発生し難く、ジャンパー電極８や電極端子７の断線を防ぐことができる。なお、ジャンパー電極８はフレキシブル回路基板に接続するための個別端子として利用することができる。この場合は、吐出溝３の一方側の端部と浅溝１５の間であり、隣接する非吐出溝４の間の圧電体基板２の表面には共通端子７ａのみを形成し、個別端子７ｂは形成しない。これにより、共通端子７ａと個別端子７ｂが隣接して設置されないので、フレキシブル回路基板１１の配線パターン１１ａと電極端子７との位置合わせが容易になる。
【００２８】
（第二実施形態）
図３は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１の圧電体基板２の模式的な部分斜視図である。第一実施形態と異なる点は、角部Ｒが階段状に切除される点であり、その他の構成は第一実施形態と同様である。従って、以下、第一実施形態と異なる点について説明し、同一の部分については説明を省略する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００２９】
図３に示しように、吐出溝３を挟んで隣接する２つの非吐出溝４の間の一方側の側面ＫＳと表面ＫＨとの角部Ｒが、階段状に切除される。そして、階段状に切除されて形成されて成る２つの段差面Ｄａ、Ｄｂの内、表面ＫＨに近い上方の段差面Ｄａにジャンパー電極８が設置され、ジャンパー電極８は段差面Ｄａ、Ｄｂを挟む２つの非吐出溝４の吐出溝３側の側面に設置される駆動電極６に電気的に接続する。
【００３０】
このように、角部Ｒを段差状に切除したことにより、表面ＫＨに新たに形成される外周端Ｇや、段差面Ｄａに形成される外周端Ｇ’や、段差面Ｄｂに形成される外周端Ｇ’’は側面ＫＳよりも圧電体基板２の内側に位置する。その結果、新たに形成される外周端Ｇ、Ｇ’、Ｇ’’に治工具等が当たり難くなり、圧電体基板２として機械的に脆いＰＺＴセラミックスやその他の圧電体材料を使用しても、外周端Ｇ、Ｇ’、Ｇ’’に欠けやクラックが発生し難く、ジャンパー電極８の断線を防ぐことができる。また、ジャンパー電極８が形成される段差面Ｄａは表面ＫＨよりも低いので、表面ＫＨに図示しないフレキシブル回路基板を接続したときに、フレキシブル回路基板に設置される配線パターンとジャンパー電極８や２つの非吐出溝４の側面に設置される駆動電極６と短絡しない。そのために、第一実施形態のように溝方向と直交する方向に浅溝１５を形成する必要がない。
【００３１】
（第三実施形態）
図４は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド１の圧電体基板２の模式的な部分斜視図である。第一又は第二実施形態と異なる点は、角部Ｒがテーパー状に切除される点であり、その他の構成は第一実施形態とほぼ同様である。従って、以下、第一実施形態と異なる点について説明し、同一の部分については説明を省略する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００３２】
図４に示すように、吐出溝３を挟んで隣接する２つの非吐出溝４の間の一方側の側面ＫＳと表面ＫＨとの角部Ｒがテーパー状に切除されて傾斜面ＩＳを成す。テーパー状に切除されて成る傾斜面ＩＳを挟む２つの非吐出溝４の吐出溝３の側の側面に設置される駆動電極６を電気的に接続する。テーパー状に切除した後の傾斜面ＩＳと側面ＫＳとの角部の高さは非吐出溝４の底面ＢＳの高さ程度とする。また、傾斜面ＩＳの表面ＫＨ側の上部にはジャンパー電極８が設置され、隣接する２つの非吐出溝４の吐出溝３側の側面に設置される駆動電極６に電気的に接続する。これにより、表面ＫＨと傾斜面ＩＳとの交差角や傾斜面ＩＳと側面ＫＳとの交差角が鈍角となり、欠けやクラックが発生し難く、ジャンパー電極８の断線を防ぐことができる。また、電極端子７と表面ＫＨの外周端Ｇとの間の表面ＫＨに電極が形成されないので、フレキシブル回路基板を電極端子７の領域に接続したときに、配線パターンはジャンパー電極８や非吐出溝４の側面に形成した駆動電極６と短絡しない。
【００３３】
（第四実施形態）
図５は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド１の断面模式図である。図５（ａ）は吐出溝３の溝方向の断面模式図であり、図５（ｂ）は非吐出溝４の溝方向の断面模式図である。本実施形態の液体噴射ヘッド１は、液滴を圧電体基板２の基板面に垂直方向に吐出するサイドシュート型である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００３４】
図５に示すように、液体噴射ヘッド１は、圧電体基板２と、圧電体基板２の表面ＫＨに接合されるカバープレート９と、圧電体基板２の表面ＫＨとは反対側の裏面ＫＲに接合されるノズルプレート１０とを備える。圧電体基板２は、液体が充填される吐出溝３と液体が充填されない非吐出溝４とが表面ＫＨに交互に配列する。吐出溝３の一方側は圧電体基板２の一方側の側面ＫＳの手前において終端し、吐出溝３の他方側は圧電体基板２の他方側の側面ＫＳの手前において終端する。吐出溝３は圧電体基板２の板厚方向に貫通する。非吐出溝４の一方側は圧電体基板２の一方側の側面ＫＳ近傍まで延設される。非吐出溝４は圧電体基板２の板厚方向に貫通するが、貫通させないで底部に圧電体基板２を残してもよい。そして、吐出溝３を挟んで隣接する２つの非吐出溝４の間の側面ＫＳと表面ＫＨとの角部Ｒが階段状に切除される。
【００３５】
吐出溝３の一方側の端部と圧電体基板２の一方側の側面ＫＳとの間であり、隣接する非吐出溝４の間の圧電体基板２の表面ＫＨに電極端子７が設置される。電極端子７は共通端子７ａと個別端子７ｂを含み、共通端子７ａは吐出溝３の側面に設置される駆動電極６に電気的に接続し、個別端子７ｂは非吐出溝４の側面に設置される駆動電極６に電気的に接続する。階段状に切除されて形成される２つの段差面の内、表面ＫＨに近い上方の段差面Ｄａにジャンパー電極８が設置され、ジャンパー電極８は段差面Ｄａ、Ｄｂを挟む２つの非吐出溝４の吐出溝３側の側面に設置される駆動電極６に電気的に接続する。
【００３６】
このように角部Ｒを段差状に切除したことにより、新たに形成される表面ＫＨの外周端Ｇや、段差面Ｄａに形成される外周端Ｇ’は側面ＫＳよりも圧電体基板２の内側に位置する。その結果、外周端Ｇ、Ｇ’に治工具等が当たり難くなり、圧電体基板２として機械的に脆いＰＺＴセラミックスやその他の圧電体材料を使用しても、外周端Ｇ、Ｇ’に欠けやクラックが発生し難く、ジャンパー電極８の断線を防ぐことができる。また、ジャンパー電極８が形成される段差面Ｄａは表面ＫＨよりも低いので、表面ＫＨに接続するフレキシブル回路基板１１の配線パターン１１ａとジャンパー電極８や２つの非吐出溝４の側面に設置される駆動電極６とは短絡しない。
【００３７】
カバープレート９は２つの液室１２を備え、共通端子７ａ及び個別端子７ｂが露出するようにして圧電体基板２の表面ＫＨに接合される。２つの液室１２それぞれにスリット１３が形成され、吐出溝３の一方側と他方側の各端部においてそれぞれスリット１３を介して連通する。非吐出溝４はカバープレート９により覆われて液室１２とは連通しない。ノズルプレート１０は、圧電体基板２の表面ＫＨとは反対側の裏面ＫＲに接合される。ノズルプレート１０は複数のノズル１４を備え、複数のノズル１４それぞれが吐出溝３に連通する。
【００３８】
液体噴射ヘッド１は次のように駆動される。まず、カバープレート９の一方の液室１２に液体を供給すると、液体はスリット１３を介して各吐出溝３に充填され、更に、他方の液室１２に排出され、図示しない液体ポンプ等により循環される。そして、外部で生成した駆動信号を、フレキシブル回路基板１１から共通端子７ａと個別端子７ｂを介して吐出溝３の両側壁の駆動電極６に与える。すると、吐出溝３の両側壁が厚みすべり変形して吐出溝３の容積が急激に変化し、内部に充填される液体に圧力が印加されてノズル１４から液滴が吐出される。なお、本実施形態のように角部Ｒを段差形状に切除することに代えて、テーパー状に斜めに切削してもよいし、円弧状に切削してもよい。
【００３９】
（第五実施形態）
図６は本発明の第五実施形態に係る液体噴射装置３０の模式的な斜視図である。液体噴射装置３０は、液体噴射ヘッド１、１’を往復移動させる移動機構４０と、液体噴射ヘッド１、１’に液体を供給し、液体噴射ヘッド１、１’から液体を排出する流路部３５、３５’と、流路部３５、３５’に連通する液体ポンプ３３、３３’及び液体タンク３４、３４’とを備えている。各液体噴射ヘッド１、１’は複数の溝列を備え、一方側の溝列に含まれる吐出溝の他方側の端部と、他方側の溝列に含まれる非吐出溝の一方側の端部とは離間し、かつ、圧電体基板の厚さ方向において重なる。液体噴射ヘッド１、１’は既に説明した第一〜第四実施形態のいずれかを使用する。
【００４０】
液体噴射装置３０は、紙等の被記録媒体４４を主走査方向に搬送する一対の搬送手段４１、４２と、被記録媒体４４に液体を吐出する液体噴射ヘッド１、１’と、液体噴射ヘッド１、１’を載置するキャリッジユニット４３と、液体タンク３４、３４’に貯留した液体を流路部３５、３５’に押圧して供給する液体ポンプ３３、３３’と、液体噴射ヘッド１、１’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構４０とを備えている。図示しない制御部は液体噴射ヘッド１、１’、移動機構４０、搬送手段４１、４２を制御して駆動する。
【００４１】
一対の搬送手段４１、４２は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体４４を主走査方向に搬送する。移動機構４０は、副走査方向に延びた一対のガイドレール３６、３７と、一対のガイドレール３６、３７に沿って摺動可能なキャリッジユニット４３と、キャリッジユニット４３を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト３８と、この無端ベルト３８を図示しないプーリを介して周回させるモータ３９とを備えている。
【００４２】
キャリッジユニット４３は、複数の液体噴射ヘッド１、１’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類の液滴を吐出する。液体タンク３４、３４’は対応する色の液体を貯留し、液体ポンプ３３、３３’、流路部３５、３５’を介して液体噴射ヘッド１、１’に供給する。各液体噴射ヘッド１、１’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド１、１’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット４３を駆動するモータ３９の回転及び被記録媒体４４の搬送速度を制御することにより、被記録媒体４４上に任意のパターンを記録することできる。
【００４３】
なお、本実施形態は、移動機構４０がキャリッジユニット４３と被記録媒体４４を移動させて記録する液体噴射装置３０であるが、これに代えて、キャリッジユニットを固定し、移動機構が被記録媒体を２次元的に移動させて記録する液体噴射装置であってもよい。つまり、移動機構は液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させるものであればよい。
【符号の説明】
【００４４】
１  液体噴射ヘッド
２  圧電体基板
３  吐出溝
４  非吐出溝
５  面取り部
６  駆動電極
７  端子、７ａ  共通端子、７ｂ  個別端子
８  ジャンパー電極
９  カバープレート
１０  ノズルプレート
１１  フレキシブル回路基板、１１ａ  配線パターン
１２  液室
１３  スリット
１４  ノズル
１５  浅溝
Ｄａ、Ｄｂ  段差面、Ｇ、Ｇ’、Ｇ’’  外周端、Ｒ  角部、ＫＳ  側面、ＫＨ  表面、ＫＲ  裏面、ＢＳ  底面、ＴＰ  テーパー部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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