(57)【要約】      （修正有）【課題】記録素子基板及び支持部材に応力が残留したとしても、これによって強度が影響を受けることを抑えることができる液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供する。【解決手段】記録素子基板１１０、１１１には、供給路が形成されている。支持部材２ａ、２ｂは、記録素子基板１１０、１１１と接合されて記録素子基板１１０、１１１を支持する。支持部材２ａ、２ｂには、供給路にインクを供給することが可能なインク連通流路が形成されている。記録素子基板１１０、１１１における幅方向の長さは、支持部材２ａ、２ｂにおける幅方向の長さよりも長い。【選択図】図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留することが可能な液室と、前記液室の内部に液体が貯留された際に液体にエネルギーを付与する記録素子と、前記記録素子によってエネルギーの付与された液体を吐出する吐出口と、を複数備えると共に、複数の前記吐出口が第１の方向に沿って並べられた吐出口列を備え、複数の前記液室に液体を供給するために、前記第１の方向に沿って延びる基板側供給路の形成された記録素子基板と、
前記基板側供給路に液体を供給することが可能であって前記第１の方向に沿って延びる支持部材側供給路を備え、前記記録素子基板と接合されて前記記録素子基板を支持する支持部材と、を備え、
前記記録素子基板における前記第１の方向に交差する第２の方向に沿う長さが、前記支持部材における前記第２の方向に沿う長さよりも長いことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記記録素子基板は、シリコンを含むシリコン基板を備え、
前記支持部材は、樹脂によって形成され、
前記記録素子基板における前記シリコン基板と前記支持部材とが接合されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記支持部材は、フィラーを含む樹脂によって形成され、前記フィラーが、前記第１の方向に沿って配向されていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記支持部材は、前記支持部材を支持するベース部材に形成された凹部の内部に配置され、前記記録素子基板における前記第２の方向の端部と前記凹部の側面との間に隙間が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記記録素子基板には、前記吐出口列が前記第２の方向に複数形成されると共に、前記基板側供給路が前記第２の方向に複数形成され、
前記支持部材には、前記基板側供給路に対応して、前記支持部材側供給路が前記第２の方向に複数形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記支持部材に形成された少なくとも３つ以上の複数の前記支持部材側供給路のうち、前記第２の方向に関して外側に位置する第１の支持部材側供給路の前記第２の方向への長さが、前記第２の方向に関して内側に位置する第２の支持部材側供給路の前記第２の方向への長さよりも長いことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第１の支持部材側供給路は、少なくとも３つ以上の前記支持部材側供給路のうち、前記第２の方向に関して最も外側に位置していることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
液体を貯留することが可能な液室と、前記液室の内部に液体が貯留された際に液体にエネルギーを付与する記録素子と、前記記録素子によってエネルギーの付与された液体を吐出する吐出口と、を複数備えると共に、複数の前記吐出口が第１の方向に沿って並べられた吐出口列を備え、複数の前記液室に液体を供給するために、前記第１の方向に沿って延びる基板側供給路の形成された記録素子基板と、
前記基板側供給路に液体を供給することが可能であって前記第１の方向に沿って延びる支持部材側供給路を備え、前記記録素子基板と接合されて前記記録素子基板を支持する支持部材と
を備えた液体吐出ヘッドを有し、前記吐出口から液体を媒体に吐出する液体吐出装置であって、
前記記録素子基板における前記第１の方向に交差する第２の方向に沿う長さが、前記支持部材における前記第２の方向に沿う長さよりも長いことを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置に搭載される記録ヘッドには、記録ヘッド内部に貯留されたインクにエネルギーを付与する記録素子の配置された記録素子基板が支持部材に貼り付けられて形成される形式のものがある。この場合、記録素子基板と、支持部材との間で線膨張率が異なる可能性がある。線膨張率の異なる記録素子基板と、支持部材とが、例えば、熱硬化型の接着剤によって貼り付けられる際には、接着剤の加熱硬化工程で加熱された際に膨張する量及び加熱終了後に収縮する量が記録素子基板と支持部材との間で異なる。これによって、記録素子基板と支持部材との間の接着面に大きな応力が残留する可能性があり、この応力により記録素子基板が変形する虞がある。
【０００３】
このように記録素子基板と支持部材との間の接着面に残留する応力を小さく抑えるために、特許文献１に開示されたような記録ヘッドが提案されている。特許文献１には、ブラックインクを吐出するための記録素子基板及び支持部材と、他の色のインクを吐出するための記録素子基板及び支持部材と、が別々に設けられた記録ヘッドが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第７，７５８，１６３号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の記録ヘッドでは、ブラックインクを吐出するための記録素子基板及び支持部材と、他の色のインクを吐出するための記録素子基板及び支持部材と、が別々に設けられることにより、記録素子基板と支持部材との間の接着面がそれぞれに分離される。そのため、それぞれの接着面では、記録素子基板と支持部材との間の接着面の面積が小さくなることから、加熱された際の膨張及び加熱終了後の収縮によって加熱が終わった後に残留する応力を小さくすることができる。
【０００６】
しかしながら、それぞれの記録素子基板及び支持部材の幅の長さが長くなると、記録素子基板と支持部材との間の接着面の面積が増加する可能性がある。そのため、加熱された際の膨張及び加熱終了後の収縮によって、加熱が終わった後に、記録素子基板と支持部材との間に比較的大きな応力が生じる可能性がある。過度の応力は記録素子基板を変形させ、記録素子基板の割れを発生させる。また、記録素子基板がシリコン等の無機材料とエポキシ樹脂など有機材料からなる流路形成部材の接合体の場合、流路形成部材の剥離を発生させる。
【０００７】
そこで、本発明は上記の事情に鑑み、加熱後に、記録素子基板及び支持部材に応力が残留したとしても、これによって強度が影響を受けることを抑えることができる液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を貯留することが可能な液室と、前記液室の内部に液体が貯留された際に液体にエネルギーを付与する記録素子と、前記記録素子によってエネルギーの付与された液体を吐出する吐出口と、を複数備えると共に、複数の前記吐出口が第１の方向に沿って並べられた吐出口列を備え、複数の前記液室に液体を供給するために、前記第１の方向に沿って延びる基板側供給路の形成された記録素子基板と、前記基板側供給路に液体を供給することが可能であって前記第１の方向に沿って延びる支持部材側供給路を備え、前記記録素子基板と接合されて前記記録素子基板を支持する支持部材と、を備え、前記記録素子基板における前記第１の方向に交差する第２の方向に沿う長さが、前記支持部材における前記第２の方向に沿う長さよりも長いことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、記録素子基板と支持部材との間に応力が残留したとしても、強度が影響を受けることが抑えられるので、耐久性や信頼性を向上させることのできる液体吐出ヘッド及びその液体吐出ヘッドの搭載された液体吐出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】図１の記録ヘッドにおける記録素子ユニットについて示した斜視図である。
【図３】（ａ）は、図２の記録素子ユニットにおけるＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ線に沿う断面図であり、（ｂ）は、ＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う断面図である。
【図４】図２の記録素子ユニットについての分解斜視図である。
【図５】図１の記録ヘッドの搭載される記録装置の斜視図である。
【図６】（ａ）は、図４の記録素子ユニットにおけるカラー記録素子基板について一部を破断して示した斜視図であり、（ｂ）は、ブラック記録素子基板について一部を破断して示した斜視図である。
【図７】（ａ）は、図４の記録素子ユニットにおけるカラー記録素子基板に対応する支持部材について、カラー記録素子基板側から見た斜視図であり、（ｂ）は、ベース部材に取り付けられる側から見た斜視図である。
【図８】図４の記録素子ユニットにおけるブラック記録素子基板に対応する支持部材についての斜視図である。
【図９】図４の記録素子ユニットの製造工程で、支持部材へ記録素子基板が取り付けられる際の、支持部材及び記録素子基板の斜視図である。
【図１０】図４の記録素子ユニットの製造工程で、記録素子基板と電気配線テープとの間に封止材の塗布が行われている際の、記録素子基板の周辺部分についての斜視図を示す。
【図１１】（ａ）は、図４の記録素子ユニットにおけるカラー記録素子基板とそれに対応する支持部材であり、（ｂ）は、ブラック記録素子基板とそれに対応する支持部材である。
【図１２】図４の記録素子ユニットにおける記録素子基板に作用する応力の方向について説明するための記録素子基板の平面図である。
【図１３】（ａ）は、図１１（ａ）のカラー記録素子基板と支持部材との間の接合部についての幅方向外側端部の断面図であり、（ｂ）はカラー記録素子基板の幅方向長さを変化させた場合の比較例であり、（ｃ）は支持部材の幅方向長さを変化させた場合の比較例である。
【図１４】（ａ）は、本発明の第２実施形態に係る記録ヘッドで用いられるカラー記録素子基板に対応する支持部材の斜視図であり、（ｂ）はカラー記録素子基板と支持部材との間の接合部についての断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドについて説明する。
【００１２】
図１に、本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドとしての記録ヘッド１００の分解斜視図を示す。記録ヘッド１００は、記録素子ユニット１０１が取り付けられたインク供給ユニット１０５とタンクホルダー１０６とが、互いに係合されて組み立てられる。記録素子ユニット１０１は、Ｂｋ（ブラック）のインクを吐出する記録素子が形成された記録素子基板１１０及びカラーインクを吐出する記録素子が形成された記録素子基板１１１を備えている。記録素子ユニット１０１は、ビス１０２によって、インク供給ユニット１０５に取り付けられる。タンクホルダー１０６にセットされる各色のインクタンク（図示せず）からのインクは、供給ユニット１０５を介し、それぞれの記録素子基板１１０、１１１へ供給される。
【００１３】
次に、記録素子ユニット１０１の構成について説明する。図２に、記録ヘッド１００における記録素子ユニット１０１についての斜視図を示す。また、図２の記録素子ユニット１０１におけるＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ線に沿う断面図を図３（ａ）に示し、ＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う断面を図３（ｂ）に示す。記録素子ユニット１０１は、ベース部材１と、支持部材２と、記録素子基板１１０、１１１とを有して構成されている。
【００１４】
図３（ａ）に示されるように、ベース部材１に形成されている凹部の内部に支持部材２が配置されている。支持部材２の上部に、記録素子基板１１０、１１１が配置されている。ベース部材１と支持部材２との間には、接着剤１４が塗布されている。支持部材２は、ベース部材１に対して、接着剤１４によって固定されて取り付けられている。また、支持部材２と記録素子基板１１０、１１１との間においても、接着剤１３が塗布されている。記録素子基板１１０、１１１が、支持部材２に対して、接着剤１３によって固定されて取り付けられている。ベース部材１における、凹部を画成する壁面と、支持部材２の壁面との間には、隙間５が形成されている。
【００１５】
図４には、ベース部材１、ベース部材１の内部に配置される支持部材２、支持部材２に貼り付けられる記録素子基板１１０、１１１について、それぞれ示した記録素子ユニット１０１についての分解斜視図が示されている。ベース部材１には、Ｂｋインクを吐出する記録素子基板１１０を支持する支持部材２ａを配置するために形成された凹部４ａと、カラーインクを吐出する記録素子基板１１１を支持する支持部材２ｂを配置するために形成された凹部４ｂとが形成されている。凹部４ａ、４ｂの底面４ｃ、４ｄに、それぞれの支持部材２ａ、２ｂが接着剤を介して貼り付けられる。また、支持部材２ａには、記録素子基板１１０が貼り付けられ、支持部材２ｂには、記録素子基板１１１が貼り付けられる。ベース部材１における凹部４ａ、４ｂのそれぞれの底面には、後述する支持部材２ａ、２ｂの裏面連通口に対応した位置に３つの開口部（図示せず）が設けられている。それぞれの開口部は、図１のシールゴム１０４のインク供給穴に対応している。
【００１６】
図５に、本実施形態における記録ヘッド１００の搭載されるインクジェット記録装置１０００についての斜視図を示す。インクジェット記録装置１０００のキャリッジ２００には、液体吐出ヘッドとしての記録ヘッド１００と共に、記録ヘッド１００に供給するインクを貯留するインクカートリッジ２６が搭載可能に構成されている。インクカートリッジ２６は、キャリッジ２００に対して着脱自在になっている。なお、記録ヘッド１００とインクカートリッジ２６とは、一体に形成されていても良い。
【００１７】
インクジェット記録装置１０００は、カラー記録が可能であり、キャリッジ２０にはマゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、イエロー（Ｙ）、ブラック（Ｋ）のそれぞれの色のインクを収容した４つのインクカートリッジ２６を搭載している。これら４つのインクカートリッジ２６は、それぞれ独立に着脱可能である。
【００１８】
キャリッジ２００と記録ヘッド１００との間が、電気的に接続されている。記録ヘッド１００は、記録信号に応じてエネルギーを印加することにより、複数の吐出口からインクを記録媒体（媒体）に選択的に吐出して記録を行う。特に、本実施形態の記録ヘッド１００は、熱エネルギーを利用してインクを吐出するインクジェット方式を採用している。インクジェット記録装置１０００には、キャリッジ２００の主走査方向に沿って延びるように、ガイドシャフト１３が配置されている。キャリッジ２０は、ガイドシャフト１３によって貫通されて支持されている。これにより、キャリッジ２００は、ガイドシャフト１３に沿って矢印Ａ方向に摺動自在に案内支持されるようになっている。
【００１９】
キャリッジ２００はキャリッジモータからの駆動力を伝達するための伝達機構としての駆動ベルト７の一部に連結されている。記録ヘッド１００を搭載したキャリッジ２００は、キャリッジモータの駆動力によって往復移動される。このように、キャリッジ２００は、キャリッジモータの正転及び逆転によってシャフト１３に沿って、記録媒体の搬送方向に交差する主走査方向に往復移動する。また、インクジェット記録装置１０００には、キャリッジ２００の移動方向（矢印Ａ方向）に沿ったキャリッジ２００の位置を示すための不図示のスケールが備えられている。記録ヘッド１００が主走査方向へ走査しながらインクの吐出が行われることで、記録媒体Ｐの全幅にわたって記録が行われる。また、インクジェット記録装置１０００には、記録ヘッド１００の吐出口が形成された吐出口面に対向してプラテンが設けられている。
【００２０】
インクジェット記録装置１０００は、記録媒体Ｐを搬送するために不図示の搬送モータによって駆動される搬送ローラ１４を有している。また、インクジェット記録装置１０００は、バネ（不図示）により記録媒体Ｐを搬送ローラ１４に当接するピンチローラ１５、ピンチローラ１５を回転自在に支持する不図示のピンチローラホルダ、搬送ローラ１４に接続された不図示の搬送ローラギアを有している。搬送モータが回転を行うと、搬送モータの回転駆動による駆動力が搬送ローラギアを介して搬送ローラ１４に伝達され、搬送ローラ１４が駆動される。このように、インクジェット記録装置１０００は、記録媒体を搬送させる搬送手段を有している。搬送ローラ１４とピンチローラ１５との間に記録媒体Ｐが挟まれた状態で搬送ローラ１４が回転駆動されることによって、記録媒体Ｐが搬送方向に沿って搬送される。
【００２１】
また、インクジェット記録装置１０００には、記録ヘッド１００の吐出口をキャッピングして、記録ヘッド１００から吐出されるインクを受容可能なキャップ２２６が配置されている。キャップ２２６によって記録ヘッド１００の吐出口をキャッピングした状態で予備吐出が行われ、キャップ内でインクが吸引されることで、予備吐出で吐出されたインクを回収することが可能である。また、記録媒体Ｐの外側には、プラテン上で予備吐出が行われた際に吐出されたインクを受容できるプラテン予備吐出位置ホーム２２４及びプラテン予備吐出位置アウェイ２２５が配置されている。
【００２２】
次に、記録素子基板の構成について、図６を用いて説明する。図６（ａ）に、カラーのインクを吐出するためのカラー記録素子基板１１１の斜視図を示し、図６（ｂ）に、ブラックのインクを吐出するためのブラック記録素子基板１１０の斜視図を示す。
【００２３】
図６（ａ）に示されるカラー記録素子基板１１１について説明する。カラー記録素子基板１１１は、シリコン基板１１２ｂと、シリコン基板１１２ｂに接合される流路形成部材１１９ｂとを備えている。シリコン基板１１２ｂには、シアン、マゼンタ、イエローの３種のインクに対応し、それぞれのインクを共通液室１２０ｂに供給する３つの供給路（基板側供給路）１１３ｂが形成されている。シリコン基板１１２ｂにおける、流路形成部材１１９ｂに接する主面からその反対側の裏面にかけてカラー記録素子基板１１１を貫通するように、供給路１１３ｂが形成されている。それぞれの供給路１１３ｂは、シリコン基板１１２ｂの表面から裏面に向けて断面積が大きくなるように形成されている。
【００２４】
シリコン基板１１２ｂと、流路形成部材１１９ｂの間には、供給路１１３ｂに連通する共通液室１２０ｂが形成されている。シリコン基板１１２ｂと流路形成部材１１９ｂとの間には、共通液室１２０ｂと連通するように、複数の流路が形成されている。複数の流路は、シリコン基板１１２ｂに形成された流路壁１１６ｂによってそれぞれ隔てられている。流路壁１１６ｂは、フォトリソグラフィーが用いられることにより、エポキシ樹脂によって形成される。
【００２５】
流路形成部材１１９ｂには、インクの液滴を吐出する複数の吐出口１１７ｂが形成されている。従って、カラー記録素子基板１１１は、吐出口１１７ｂを複数備えている。１つの供給路１１３ｂには、２つの吐出口列１１８ｂが設けられている。吐出口列１１８ｂでは、色ごとに２列の吐出口列１１８ｂが配列されている。各色の吐出口列１１８ｂでは、それぞれ吐出口１１７ｂが千鳥状に配置されている。また、２列の吐出口列１１８ｂによって、供給路１１３ｂが挟まれるように、それぞれの色の吐出口列１１８ｂが設けられている。
【００２６】
シリコン基板１１２ｂと流路形成部材１１９ｂとが接合されることによって、これらの間に吐出口１１７ｂに連通する複数の液室及びこれに連通する複数の流路が形成されている。インクは、供給路１１３ｂを介して共通液室１２０ｂ内に供給される。共通液室１２０ｂ内のインクは、複数の流路に供給され、その流路の先端の液室に連通する吐出口１１７ｂにてメニスカスを形成することにより、安定に保持される。液室内のそれぞれには、記録素子としての発熱素子（記録素子）１１４ｂが備えられている。配線を通して発熱素子１１４ｂに通電し、その発熱素子１１４ｂで発熱させることにより、流路内のインクが加熱されて膜沸騰により発泡する。そのときの発泡エネルギーによって吐出口１１７ｂからインク滴が吐出される。このように、発熱素子１１４ｂの駆動によって液室の内部に貯留されたインクにエネルギーが付与され、吐出口１１７ｂからインク滴が吐出される。
【００２７】
カラー記録素子基板１１１における供給路１１３ｂの延びる方向に沿った両方の端部付近の位置には、端面に沿って、供給路１１３ｂの延びる方向に交差する方向に電極部１１５ｂが設けられている。
【００２８】
本実施形態では、カラー記録素子基板１１１のマウント後に電気配線テープ１２１と電極部１１５との間の電気的な接続を行う。電気配線テープ１２１と電極部１１５との間の電気的な接続は、ワイヤーボンディング、インナーリードボンディングなど、条件に応じた方法が選択されればよい。その際に、個々の電極部１１５の直下に支持部材がないと信頼性の高い接続が困難である。そこで、電極部１１５の領域の幅が、カラー記録素子基板１１１が接合される支持部材２の幅方向からはみ出さないように、支持部材２の幅方向の寸法Ｗに収まるように、カラー記録素子基板１１１が配置される。
【００２９】
カラー記録素子基板１１１は、供給路１１３ｂの開口部分が支持部材２ｂの連通口６ｂに対応する位置に配置されるように、支持部材２ｂに取り付けられる。
【００３０】
次に、図６（ｂ）に示されるブラック記録素子基板１１０について説明する。ブラックインクを吐出するためのブラック記録素子基板１１０の構成については、図６（ａ）に示されるカラー記録素子基板１１１と概ね同様である。図６（ｂ）に示されるブラック記録素子基板１１０では、一つのインクに対応した一つの供給路１１３のみがシリコン基板１１２に形成されている。ブラック記録素子基板１１０は、一つのインクに対応した一つの供給路１１３に対応して、一つの供給路１１３を挟んだ二列の吐出口列のみが、流路形成部材１１９に形成されている。
【００３１】
次に支持部材について図７、８を参照して説明する。図７（ａ）に、カラー記録素子基板１１１に対応した支持部材２ｂについて、カラー記録素子基板１１１の貼り付けられる側から見た斜視図を示し、図７（ｂ）に、支持部材２ｂにおけるベース部材１と接着される側から見た斜視図を示す。支持部材２ｂは、カラー記録素子基板１１１の３つの供給路１１３ｂに対応して、スリット状の連通口６ｂを３つ有している。３つの連通口６ｂ同士の配列ピッチは、対応するカラー記録素子基板の供給路１１３ｂ同士の配列ピッチと略同じである。
【００３２】
支持部材２ａ、２ｂは、繊維状のガラスフィラーを含むＰＥＴ樹脂により、射出成型によって形成される。樹脂によって形成された支持部材２ａ、２ｂは、加熱された後に、元の温度に戻されると、樹脂の温度変化に応じて、膨張、収縮を行う。樹脂の熱による変形の大きさは、部材の長さに比例して大きくなる。そのため、図６に示されたような形状の支持部材の場合には、連通口６の延びる長手方向への変形を低減することが重要になる。そこで支持部材２における長手方向の端部に位置する側面にそれぞれゲート３０を設け、支持部材の製造の際には、ゲート３０からフィラーを含む樹脂を流し込むことによって支持部材２が製造される。連通口６の延びる支持部材２の長手方向に沿って樹脂を注入することにより、フィラーを長手方向に配向させることができる。これにより、吐出口列の延びる方向（第１の方向）に対しフィラーを配向させて支持部材２を製造することができる。その結果、製造された支持部材２においてフィラーが長手方向に配向されているので、支持部材２において連通口６の延びる長手方向への変形減少効果が得られる。
【００３３】
連通口６ｂと裏面連通口７ｂとを結ぶ支持部材２ｂのインク連通流路（支持部材側供給路）１６ｂは、カラー記録素子基板１１１と接着される面（表面）８ｂからベース部材１に接着される裏面９ｂに向けて断面積が小さくなるテーパ形状に形成されている。支持部材２ｂに３つの連通口６ｂを設けるため、支持部材２ｂには、それぞれの連通口６ｂ同士の間及び連通口６ｂの外側にリブ状の壁が形成され、４つのリブ状の壁が形成されている。リブ状の壁としては、隣接する連通口６ｂ同士を仕切る２つの色間壁１０ｂと、連通口６ｂと支持部材２ｂの側方の壁面との間の外壁１１ｂがある。
【００３４】
支持部材２ｂにおけるカラー記録素子基板１１１を取り付ける取り付け面８ｂには、カラー記録素子基板１１１と支持部材２ｂとの間のクリアランスを管理するための突起１２ｂが設けられている。カラー記録素子基板１１１の支持部材２ｂへの接着の際には、カラー記録素子基板１１１をこれらの突起１２ｂに突き当てることにより、カラー記録素子基板１１１と支持部材２ｂとの間の所定のクリアランスを確保することができる。
【００３５】
図８に、ブラック記録素子基板１１０に対応した支持部材２ａについて、ブラック記録素子基板１１０の貼り付けられる側から見た斜視図を示す。支持部材２ａは、ブラック記録素子基板１１０の供給路１１３ａに対応して、連通口６ａが形成されている。連通口６ａと裏面連通口７ａとを結ぶ支持部材２ａのインク連通流路１６ａは、ブラック記録素子基板１１０と接着される面８ａからベース部材１に接着される裏面９ａに向けて断面積が小さくなるテーパ形状に形成されている。支持部材２ａには、連通口６ａの外側にリブ状の外壁１１ａが形成されている。支持部材２ａにおけるブラック記録素子基板１１０を取り付ける取り付け面８ａには、カラー記録素子基板１１０と支持部材２ａとの間のクリアランスを管理するための突起１２ａが設けられている。ブラック記録素子基板１１０の支持部材２ａへの接着の際には、ブラック記録素子基板１１０をこれらの突起１２ａに突き当てることにより、ブラック記録素子基板１１０と支持部材２ａとの間の所定のクリアランスを確保することができる。
【００３６】
以下、本実施形態の記録ヘッド１００の製造工程における記録素子基板１１０、１１１と支持部材２との間の取り付け工程及び支持部材２とベース部材１との間の取り付け工程について説明する。
【００３７】
記録ヘッド１００の製造の際には、図４に示されるように、ベース部材１の凹部４に支持部材２が接着され、支持部材２に記録素子基板１１０、１１１が接着される。接着の際に熱硬化型の接着材が使用される場合には、記録素子基板１１０、１１１に余分な熱応力がかかることを防ぐため、支持部材２をベース部材１に接着した後に記録素子基板１１０、１１１の取り付け工程が行われる。
【００３８】
支持部材２をベース部材１に接合することにより、ベース部材１上に記録素子基板１１０、１１１のための取り付け面が形成される。支持部材２の周囲には隙間５が設けられており、支持部材２とベース部材１とが離されて配置されている。そのため、ベース部材１表面付近の熱変形の影響は、支持部材２上の記録素子基板１１０、１１１に直接作用しない。
【００３９】
図９に、支持部材２ａ、２ｂへ記録素子基板１１０、１１１が取り付けられる際の、支持部材２及び記録素子基板１１０、１１１の斜視図を示す。記録素子基板１１０、１１１を支持部材２ａ、２ｂに取り付ける際には、支持部材２ａ、２ｂにおける記録素子基板１１０、１１１を取り付けるための取り付け面８にＵＶ光熱硬化型のエポキシ接着材が塗布される。支持部材２ａ、２ｂの取り付け面８に接着剤が塗布されると、そこにブラック記録素子基板１１０、カラー記録素子基板１１１が、それぞれ所定の位置に接着剤を介して配置される。これにより、図９に示されるように、支持部材２ａへのブラック記録素子基板１１０の取り付け及び支持部材２ｂへの記録素子基板１１１の取り付けが、それぞれ行われる。
【００４０】
支持部材２ａへのブラック記録素子基板１１０の取り付け及び支持部材２ｂへのカラー記録素子基板１１１の取り付けが行われると、記録素子基板１１０、１１１の周囲にＵＶ光を照射し、接着剤を部分的に硬化させる。これによって、記録素子基板１１０、１１１による支持部材２ａ、２ｂへの仮止めが行われる。記録素子基板１１０、１１１を支持部材２ａ、２ｂに仮止めすると、その後、支持部材２及び記録素子基板１１０、１１１の取り付けられたベース部材１の全体を加熱炉に入れ、接着材を全体に亘って硬化させる。接着剤の全体に亘っての硬化が終了すると、支持部材２及び記録素子基板１１０、１１１の取り付け工程が完了する。
【００４１】
次に、ブラック記録素子基板１１０、カラー記録素子基板１１１に電気信号を与える電気配線テープ１２１ａ、１２１ｂが、ベース部材１に接合される。電気配線テープ１２１ａがブラック記録素子基板１１０に電気信号を与え、電気配線テープ１２１ｂがカラー記録素子基板１１０に電気信号を与える。電気配線テープ１２１ａ、１２１ｂをベース部材１に接合する際には、それぞれの電気配線テープ１２１ａ、１２１ｂに形成されたデバイスホール１２２ａ、１２２ｂ内にそれぞれの記録素子基板１１０、１１１が収まるように接合が行われる。その後、電気配線テープ１２１と、記録素子１００、１１１との間の電気的な接続が行われる。
【００４２】
電気配線テープ１２１と記録素子１００、１１１との間の電気的な接続が行われると、電気配線テープ１２１と記録素子基板１１０、１１１との電気接続部に、封止材３が塗布される。図１０に、封止材３の塗布が行われている際の、記録素子基板１１０、１１１の周辺部分についての斜視図を示す。封止材３の塗布は、図１０に示されるように、ニードルによって封止材を電気配線テープ１２１と記録素子基板１１０、１１１との電気接続部に供給することにより行われる。その後、塗布された封止材が、硬化処理される。最後に、ブラック、カラーの電気配線テープ１２１のそれぞれを共通のコンタクト基板１０３に接合することで、図１の記録素子ユニット１０１が完成する。
【００４３】
次に記録素子基板１１０、１１１と支持部材２ａ、２ｂの接合について説明する。図１１（ａ）に、カラー記録素子基板１１１と支持部材２ｂとが接着された接着部分についての斜視図を示し、図１１（ｂ）に、ブラック記録素子基板１１０と支持部材２ａとが接着された接着部分についての斜視図が示されている。図１１（ａ）、（ｂ）では、説明を容易にするため、ベース部材１など、記録素子基板１１０、１１１及び支持部材２ａ、２ｂ以外の構成については省略している。
【００４４】
カラー記録素子基板１１１と支持部材２ｂとの間では、熱硬化型あるいは光熱硬化型の接着材によって、図１１（ａ）に示される姿勢で接着が行われる。カラー記録素子基板１１１による支持部材２ｂへの取り付けの際の接着は、接着材の耐薬品性を考慮し、また、生産性に優れていることから、熱硬化型あるいは光熱硬化型のエポキシ接着材によって行われる。
【００４５】
また、ブラック記録素子基板１１０と支持部材２ａとの間では、熱硬化型あるいは光熱硬化型の接着材によって、図１１（ｂ）に示される姿勢で接着が行われる。ブラック記録素子基板１１０による支持部材２ａへの取り付けの際の接着についても、熱硬化型あるいは光熱硬化型のエポキシ接着材によって行われる。
【００４６】
図１１に示されるように、ブラック記録素子基板１１０およびカラー記録素子基板１１１において、吐出口列１１８ｂの配列された配列方向に交差する幅方向（第２の方向）の長さＷｃは、支持部材２ｂにおける幅方向の長さＷよりも長い。そのため、記録素子基板１１０、１１１の幅方向の両側の端部１５が支持部材２ａ、２ｂから突出した構造となる。
【００４７】
また、記録素子基板１１０、１１１の幅方向の両側の端部１５が支持部材２ａ、２ｂの幅方向の端部よりも幅方向に突出しているので、記録素子基板１１０、１１１の一部が支持部材２ａ、２ｂによって支持されていない状態になる。支持部材２ａ、２ｂの幅方向の全体に亘って、記録素子基板１１０、１１１に接着されるので、接合時に少しの位置ずれが生じても、記録素子基板と支持部材との接合面積は一定に保たれる。従って、記録素子基板１１０、１１１から支持部材２ａ、２ｂへの放熱面積がほぼ一定に確保される。
【００４８】
電極部１１５ａ、１１５ｂを電気配線テープ１２１ａ、１２１ｂに電気的に接続させるため、電極部１１５ａ、１１５ｂの下部が支持部材２ａ、２ｂによって支持されている。電極部１１５ａ、１１５ｂが支持部材２によって支持された状態で電極部１１５ａ、１１５ｂと電気配線テープ１２１ａ、１２１ｂとの間の電気的な接続を行うことにより、信頼性の高い接続を行うことができる。
【００４９】
次に、図１２を用いて、カラー記録素子基板１１１の幅方向の端部１５が支持部材２の幅方向の端部よりも幅方向の外側に突出していることによりカラー記録素子基板１１１上の流路形成部材の剥がれを防止することについて説明する。図１２に、カラー記録素子基板１１１へかかる応力の方向について示したカラー記録素子基板１１１の平面図を示す。
【００５０】
カラー記録素子基板１１１は、内部に供給路１１３ｂが複数形成されていることにより、カラー記録素子基板１１１の内部が部分的に中抜きされた構造を有している。そのため、図１２に示されるように、供給路１１３ｂの並ぶ幅方向への変形応力が生じたときに、カラー記録素子基板１１１が変形しやすい。
【００５１】
記録ヘッド１００の製造の際に、カラー記録素子基板１１１及び支持部材２ｂをベース部材１に取り付けるために、接着材を介してカラー記録素子基板１１１及び支持部材２ｂがベース部材１に配置された状態でこれらが加熱される。カラー記録素子基板１１１及び支持部材２ｂが加熱されると、これらが膨張し、加熱が終了するとこれらが収縮する。このとき、カラー記録素子基板１１１と支持部材２ｂとの間の熱膨張係数の違いにより、加熱後に収縮する量が異なる。カラー記録素子基板１１１と支持部材２ｂとが接着材によって接着されているので、ここに応力が生じる可能性がある。
【００５２】
仮にＷｃ＜Ｗとし、カラー記録素子基板１１１全体を支持部材２ｂに接合すると、加熱終了後の支持部材２ｂの収縮で、カラー記録素子基板１１１には、中抜き構造のため、図１２に示されるような、鼓状変形（２点鎖線）する応力が生じる。また、ここで生じる応力は、流路形成部材１１９ｂをシリコン基板１１２ｂから剥離させるように作用する。応力は、カラー記録素子基板１１１の幅方向の中央から外側に向かうに従い大きくなる。幅方向中央の吐出口列１１８Ｂでの位置よりも、幅方向の最も外側に位置する供給路１１３ｂの端面側の吐出口列（最外吐出口列）１１８Ａ、１１８Ｃの位置の方が、記録素子基板の変形により最もカラー記録素子基板１１１の剥がれが生じやすい。幅方向の外側に位置する吐出口列１１８Ａ、１１８Ｃでは、配列方向の中央付近が、カラー記録素子基板１１１の剥がれが生じやすい。カラー記録素子基板１１１は、色数が増え、並列する供給路１１３ｂの数が増えるに従い、幅方向の長さが長くなるので、外側の位置で変形が生じやすくなる。また、カラー記録素子基板１１１は、吐出口列の配列方向の長さが長くなるほど変形しやすくなる。
【００５３】
また、ブラック記録素子基板１１０では、一つの供給路１１３ａのみが形成されているだけなので、ブラック記録素子基板１１０は、カラー記録素子基板１１１に比べると、比較的変形し難い。しかしながら、ブラック記録素子基板１１０であっても、支持部材２ａとの間で熱膨張係数が異なるので、そこで応力が生じ、ブラック記録素子基板１１０が変形する可能性がある。
【００５４】
そのため、本実施形態では、記録素子基板１１０、１１１の幅方向の外側端部が、支持部材２ａ、２ｂの幅方向の外側の端部よりも幅方向の外側に突出するように、記録素子基板１１０、１１１及び支持部材２ａ、２ｂが構成されている。カラー記録素子基板１１１とブラック記録素子基板１１０との両方で、幅方向の外側端部が、支持部材２ａ、２ｂの幅方向の外側の端部よりも幅方向の外側に突出している。つまり、支持部材２ａ、２ｂの幅方向の長さＷは、記録素子基板１１０、１１１の幅方向への長さＷｃよりも小さい。支持部材２ａ、２ｂの幅が記録素子基板１１０、１１１の幅より小さいことで、Ｗ＞Ｗｃの構造よりも支持部材の収縮および応力は小さい。そのため、加熱後の記録素子基板の変形も小さくなり、流路形成部材の剥れを防止することができる。
【００５５】
これにより、接着材を硬化させるために、記録素子基板１１０、１１１及び支持部材２ａ、２ｂを加熱した際の膨張、収縮に起因する記録素子基板１１０、１１１の変形が生じることを抑えることができる。また、記録素子基板１１０、１１１の変形が抑えられるので、流路形成部材１１９ａ、１１９ｂによるシリコン基板１１２ａ、１１２ｂからの剥離が生じることを抑えることができる。
【００５６】
図１３に、カラー記録素子基板１１１の幅方向の外側に位置するインク供給路１１３ｂの外側の端部とカラー記録素子基板１１１の幅方向の端部との間の距離を変化させた場合の、カラー記録素子基板１１１と支持部材２ｂとの間の接合部の断面図を示す。
【００５７】
図１３（ａ）は、本実施形態のカラー記録素子基板１１１の構成であり、カラー記録素子基板１１１の幅方向の外側の端部が、支持部材２ｂの幅方向の外側の端部から突出している。図１３（ｂ）、（ｃ）は比較例のカラー記録素子基板の構成であり、カラー記録素子基板の幅方向の外側の端部が支持部材の外側の端部よりも内側に位置している。図１３（ａ）と（ｃ）の記録素子基板１１１と１１１’’は同寸法であり、支持部材の幅方向の長さのみが異なる。図１３（ａ）〜（ｃ）のいずれの例についても、記録素子基板の回路レイアウトは同じである。
【００５８】
図１３（ｂ）に示される比較例のカラー記録素子基板１１１’では、支持部材の幅方向の長さが本実施形態の支持部材２ｂの幅方向の長さと同じである。また、カラー記録素子基板１１１’の幅方向の長さが、本実施形態のカラー記録素子基板１１１の幅方向の長さよりも小さく形成されている。この比較例によれば、カラー記録素子基板１１１’を小型化できるため、記録ヘッドを小型化することができる。また、製造の際の半導体工程で、１枚のウェハーからより多くの記録素子基板を取り出すことができる。そのため、記録ヘッドの製造コストを低く抑えることができる。しかしながら、図１３（ｂ）に示される比較例の記録ヘッドでは、図１３（ａ）に示される記録ヘッドよりも、外側に位置する供給路の外側の端部と記録素子基板の外側の端部との間の距離が小さい。そのため、支持部材の膨張、収縮に伴い記録素子基板が変形し、流路形成部材がシリコン基板から剥れる可能性がある。
【００５９】
図１３（ｃ）に示される比較例のカラー記録素子基板１１１’’では、カラー記録素子基板１１１’’の幅方向の長さが本実施形態のカラー記録素子基板１１１の幅よりも長く形成されている。また、それ以上に、カラー記録素子基板１１１’’と接合される支持部材の幅方向の長さが、本実施形態の支持部材２ｂの幅方向の長さよりも長く形成されている。図１３（ｃ）に示される比較例では、図１３（ａ）に示される形態よりも、カラー記録素子基板１１１’’における外側の供給路と、カラー記録素子基板１１１’’の幅方向の外側の端部との間の距離が大きい。従って、カラー記録素子基板１１１’’の周縁の領域の剛性を高くすることができる。しかしながら、図１３（ｃ）に示される比較例では、カラー記録素子基板１１１’’の幅方向の長さの増加以上に、支持部材の幅方向の長さが長くなる。そのため、カラー記録素子基板１１１’’及び支持部材の接着材を硬化させるためにこれらを加熱したときに、支持部材の膨張、収縮する量が大きくなり、カラー記録素子基板１１１’’に作用する変形応力も大きくなる。そのため、カラー記録素子基板１１１’’の外側に位置する供給路からカラー記録素子基板１１１’’の外側の端部までの距離が長くなることによる剛性の向上分が、応力の増加分と相殺される可能性がある。また、応力の増加分がさらに大きくなると、その応力によってカラー記録素子基板１１１’’が変形する可能性がある。
【００６０】
図１３（ａ）に示される本実施形態のカラー記録素子基板１１１では、外側に位置する供給路１１３ｂの幅方向端部からカラー記録素子基板１１１における幅方向の端部までの距離が長く取られる。また、支持部材２ｂにおける幅方向の長さが短く設定される。従って、カラー記録素子基板１１１の剛性が高く保たれると共に、支持部材の変位量が小さいので、カラー記録素子基板１１１の変形を少なく抑えることができる。従って、シリコン基板１１２ｂからの流路形成部材１１９ｂの剥がれが生じることを抑えることができる。
【００６１】
また、本実施形態では、支持部材２ｂにおける幅方向の外側に位置するインク連通流路１６ｂの外側の端部と支持部材２ｂにおける幅方向の外側の端部との間の外壁１１の幅は、幅方向に隣り合うインク連通流路１６ｂ同士の間の色間壁１０の幅より大きくしている。カラー記録素子基板１１１がこのように形成されることにより、外壁１１の剛性を色間壁１０の剛性よりも大きくすることができ、外壁１１の変形を比較的小さくできる。これにより外壁１１に近い最も外側に位置する吐出口列の近傍に集中する応力を低減させることが可能である。これにより、カラー記録素子基板１１１における最も外側に位置する吐出口列周辺で変形が生じることを抑えることができる。そのため、カラー記録素子基板１１１の剛性が高く維持され、カラー記録素子基板１１１の強度が影響を受けることが抑えられる。また、カラー記録素子基板１１１における最も外側に位置する吐出口列周辺で、シリコン基板１１２ｂからの流路形成部材１１９ｂの剥れが生じることを抑えることができる。なお、外壁１１の幅方向の長さと色間壁１０の幅方向の長さが略同じであっても、本発明の効果を得ることができる。また、ブラック記録素子基板１１０についても、剛性が高く維持され、ブラック記録素子基板１１０の強度が影響を受けることが抑えられる。このように、記録素子基板１１０、１１１に応力が生じたとしても、記録素子基板１１０、１１１の強度が影響を受けることが抑えられるので、記録素子基板１１０、１１１の耐久性や信頼性を向上させることができる。従って、耐久性及び信頼性の高い記録ヘッドを提供することができる。
【００６２】
本実施形態では、記録素子基板１１０、１１１に変形が生じることをより確実に抑えるために、ベース部材１と記録素子基板１１０、１１１の幅方向の端部１５との間に隙間４０が設けられている。図３（ｂ）に、カラー記録素子基板１１１と、支持部材２ｂとの間に、幅方向に沿って設けられた隙間４０が示されている。カラー記録素子基板１１１と、支持部材２ｂとの間に、幅方向に、隙間４０が設けられているので、応力によってカラー記録素子基板１１１にわずかな変形が生じたとしても、カラー記録素子基板１１１がベース部材１に接触せずに済む。
【００６３】
図３では、支持部材２とベース部材１の隙間５があるが、樹脂封止材を充填してもかまわない。また支持部材２と記録素子基板１１１の隙間４０に樹脂封止材を塗布してもよいが、樹脂封止材の硬化収縮の応力による記録素子基板１１１の変形の影響を低減するため、完全な充填は好ましくない。
【００６４】
また、外壁１１における変形応力の一部が、記録素子基板１１０、１１１と支持部材２ａ、２ｂとの間に塗布されている接着材に吸収されるように、外壁１１上の接着材の厚さを色間壁１０の厚さより厚くするために、接着材の塗布面に段差が設けられてもよい。これにより、応力による記録素子基板１１０、１１１の変形を接着材に逃がすことができるので、より強度が高く、信頼性の高い記録ヘッドを提供することができる。また、接着材の塗布をより適切な塗布量で行うことができる。
【００６５】
なお、本実施形態では、記録ヘッド１００が３色のインクを吐出する。そのため、流路形成部材１１９ｂには、３色のインクに対応するように、３つの吐出口列１１８ｂが形成され、それに伴いカラー記録素子基板１１１に３つの供給路１１３ｂが形成されている。しかしながら、本発明はこれに限定されず、記録ヘッドは４色以上の色のインクを吐出する形態であってもよいし、２色あるいは１色のインクを吐出する形態であってもよい。そのため、流路形成部材には３つ以外の数の吐出口列が形成されていてもよく、また、記録素子基板に３つ以外の数の供給路が形成されていてもよい。
【００６６】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る記録ヘッドについて説明する。なお、上記第１実施形態と同様に構成される部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【００６７】
第２実施形態の記録ヘッドでは、カラー記録素子基板１１１’’’において、支持部材２における幅方向の外側に位置する連通口６ｂ’の幅方向の長さが、幅方向の内側に位置する連通口６ｂの幅方向の長さよりも長く形成されている。また、連通口６ｂ、６ｂ’同士の間に形成された壁面の幅方向の長さにおいて、外側に位置する壁面の幅方向の長さｐ’が、内側に位置する壁面の幅方向の長さｐよりも長く形成されている。
【００６８】
図１４（ａ）に、第２実施形態における記録ヘッドに用いられるカラー記録素子基板１１１’’’に対応する支持部材２ｂ’’’についての斜視図を示す。図１４（ｂ）に、第２実施形態の記録ヘッドにおけるカラー記録素子基板１１１’’’と支持部材２ｂ’’’との間の接合部について示した断面図を示す。
【００６９】
第２実施形態では、支持部材２ｂ’’’は、４色のインクを吐出可能なように、４つの連通口６ｂ、６ｂ’を有している。４つの連通口６ｂ、６ｂ’のうち、両方の外側に位置する連通口を連通口６ｂ’とし、内側に位置する連通口を連通口６ｂとする。つまり、４つの連通口６ｂ、６ｂ’は、幅方向の外側に位置する２つの連通口６ｂ’と、幅方向の内側に位置する２つの連通口６ｂとを有している。
【００７０】
図１４（ａ）に示されるように、支持部材２ｂ’’’の幅方向の外側に位置する連通口６ｂ’と幅方向の内側に位置する連通口６ｂとの間の間隔ｐ’は、幅方向の内側に位置する連通口６ｂ同士の間隔ｐよりも長く形成されている。また、図１４（ｂ）に示されるように、支持部材２ｂに貼り付けられるカラー記録素子基板１１１’’’は、４つの連通口６ｂ、６ｂ’に対応する４つのインク供給路１１３ｂが形成されている。４つのインク供給路１１３ｂは、カラー記録素子基板１１１に、幅方向に沿って略等間隔に設けられている。また、本実施形態では、支持部材２ｂの幅方向の外側に位置するインク連通流路１６’の幅方向の長さが、幅方向の内側に位置するインク連通流路１６の幅方向の長さよりも長くなるように、それぞれのインク連通流路１６、１６’が形成されている。
【００７１】
また、本実施形態では、支持部材２ｂ’’’に形成された４つの連通口６ｂ、６ｂ’において、外側の連通口６ｂ’と内側の連通口６ｂとの間の間隔ｐ’が、内側の連通口６ｂ同士の間隔ｐよりも長くなるように形成されている。外側に位置する連通口６ｂ’の流路幅ｑ’が、内側に位置する連通口６ｂの流路幅ｑよりも長くなるように、それぞれの連通口６ｂ、６ｂ’が形成されている。内側の連通口６ｂ同士の間隔ｐは、カラー記録素子基板１１１における供給路１１３ｂ同士の間隔と略同じである。内側の連通口６ｂと外側の連通口６ｂ’との間の間隔ｐ’は、カラー記録素子基板１１１における供給路１１３ｂ同士の間隔よりも長く形成されている。
【００７２】
このように、支持部材２ｂの幅方向の外側に位置する連通路１６’の幅方向の長さが、幅方向の内側に位置する連通路１６の幅方向の長さよりも長くなるように、それぞれの連通路１６、１６’が形成されている。従って、支持部材２ｂの幅方向の外側の領域で多くの部分が肉抜きされるので、幅方向の外側の領域で、カラー記録素子基板１１１及び支持部材２ｂの加熱が行われた際の膨張、収縮に伴う変形を抑えることができる。従って、記録素子基板の変形を生じ難くすることができ、記録ヘッドの信頼性をより向上させることができる。
【００７３】
なお、本実施形態では、支持部材２ｂ’’’が４色のインクを吐出可能なように、４つの連通口６ｂ、６ｂ’を有している。支持部材２ｂ’’’における幅方向の最も外側に位置する連通口６ｂ’の流路幅が、支持部材２ｂ’’’における幅方向の側に位置する連通口６ｂよりも大きく形成されている。しかしながら、本発明はこれに限定されず、支持部材２ｂ’’’における幅方向の外側に位置する連通口の流路幅が、それよりも支持部材２ｂ’’’における幅方向の内側に位置する連通口の流路幅よりも大きく形成されていればよい。つまり、支持部材２ｂ’’’における幅方向の外側に位置する連通口は、幅方向の最も外側に位置する連通口でなくてもよい。また、支持部材に形成された連通口の数は４つに限定されず、５以上の数の連通口が形成されてもよい。その場合、支持部材２ｂ’’’における幅方向の最も外側に位置する連通口の流路幅を大きくし、そこから幅方向の内側に向かうにつれて徐々に流路幅が小さくなる構成であってもよい。外側に位置する連通口、内側に位置する連通口が存在するように、連通口は支持部材２ｂ’’’に少なくとも３つ形成されていればよい。支持部材２ｂ’’’における幅方向の外側に位置する連通口の流路幅が、それよりも支持部材２ｂ’’’における幅方向の内側に位置する連通口の流路幅よりも大きく形成される関係を有して支持部材２ｂ’’’が構成されていればよい。
【００７４】
なお、上記実施形態の記録ヘッドは発熱素子により膜沸騰を発生させて発泡させインク滴を吐出する方式としたが、本発明はこれに限定されない。圧電素子を変形させ、これによって記録ヘッド内部の液体を吐出する形式の記録ヘッドが記録装置に適用されても良く、また、他の形式の記録ヘッドが本発明の記録装置に適用されても良い。
【００７５】
また、本明細書において、「記録」とは、文字、図形等有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わずに用いられる。また、人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広く記録媒体上に画像、模様、パターン等を形成する、または記録媒体の加工を行う場合も表すものとする。
【００７６】
また、「記録装置」とは、プリンタ、プリンタ複合機、複写機、ファクシミリ装置などのプリント機能を有する装置、ならびにインクジェット技術を用いて物品の製造を行なう製造装置を含む。
【００７７】
また、「記録媒体」とは、一般的な記録装置で用いられる紙のみならず、広く、布、プラスチック・フィルム、金属板、ガラス、セラミックス、木材、皮革等、インクを受容可能なものを表すものとする。
【００７８】
さらに、「インク」（「液体」と言う場合もある）とは、上記「記録」の定義と同様広く解釈されるべきものである。記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成または記録媒体の加工、或いはインクの処理（例えば記録媒体に付与されるインク中の色剤の凝固または不溶化）に供され得る液体を表すものとする。
【符号の説明】
【００７９】
２  支持部材
１６  インク連通流路１６
１１０、１１１  記録素子基板
１１３  供給路
１１４  発熱素子
１１７  吐出口
１１８  吐出口列
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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