(57)【要約】【課題】伝送効率を低下させることなくテラヘルツ帯域の電磁波を伝送可能でかつ容易に製造することが可能な導波管およびその製造方法を提供する。【解決手段】導波管１００は、外側金属層１０、絶縁層２０および内側金属層３０からなる積層体Ｌ２を含む。積層体Ｌ２には、折曲部Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３が設けられる。内側金属層３０が内側になるように、外側金属層１０が折曲部Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に沿って筒状に折曲される。この場合、積層体Ｌ２が折曲部Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に沿って一体的に折曲された状態で保持される。積層体Ｌ２の一端部と他端部とは、接着剤層４０を介して互いに接着される。これにより、内側金属層３０により囲まれた中空の導波路１が形成される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テラヘルツ帯域内の電磁波を伝送する導波路を有する導波管であって、
支持層と、
前記支持層の一面上に形成される絶縁層と、
前記絶縁層の一面上に形成される導電層とを備え、
前記支持層は、前記絶縁層および前記導電層よりも高い剛性を有し、
前記導電層が内側になるように前記支持層が筒状に折曲されることにより、前記導電層により囲まれた前記導波路が形成される、導波管。
【請求項２】
前記支持層の他面に、一方向に平行に延びる複数の溝部が形成され、
前記複数の溝部に沿って前記支持層が折曲されることにより、前記導波路が形成される、請求項１記載の導波管。
【請求項３】
前記支持層は、前記一方向に対して垂直な面上において矩形状をなすように折曲される、請求項２記載の導波管。
【請求項４】
前記支持層、前記絶縁層および前記導電層は、一方向に平行な端面をそれぞれ有し、
前記支持層、前記絶縁層および前記導電層の少なくとも１つは、前記一方向に平行に延びる接着部を有し、
前記導波路が形成されるように前記支持層が折曲された状態で、前記支持層、前記絶縁層および前記導電層の前記端面が、接着剤層を介して前記接着部に接着される、請求項１〜３のいずれか一項に記載の導波管。
【請求項５】
前記接着剤層の導電率は、１０５［Ｓ／ｍ］以上である、請求項４記載の導波管。
【請求項６】
前記支持層は、前記導波路が延びる方向に並ぶように複数の部分に分離される、請求項１〜５のいずれか一項に記載の導波管。
【請求項７】
前記絶縁層は、樹脂により形成される、請求項１〜６のいずれか一項に記載の導波管。
【請求項８】
テラヘルツ帯域内の電磁波を伝送する導波路を有する導波管の製造方法であって、
支持層の一面上に前記支持体よりも低い剛性を有する絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層の一面上に前記支持体よりも低い剛性を有する導電層を形成する工程と、
前記導電層が内側になるように前記支持層を筒状に折曲することにより、前記導電層により囲まれた前記導波路を形成する工程とを備える、導波管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テラヘルツ帯域、例えば０．０５ＴＨｚ以上１０ＴＨｚ以下の周波数の電磁波を伝送する導波管およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
テラヘルツ帯域の電磁波を用いたテラヘルツ通信は、短距離超高速通信、および非圧縮・無遅延の超高精細映像伝送等の種々の用途への応用が期待されている。テラヘルツ帯域の電磁波を伝送するために導波管が用いられる。特許文献１に記載される導波管は、屈曲可能なジャバラ部を有し、ジャバラ部の両端に矩形状の管部が設けられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−３２６５０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のフレキシブル導波管は、４０ＧＨｚ帯で使用可能に設計されている。テラヘルツ帯域の電磁波を伝送するためには、導波管の断面の寸法を１ｍｍ以下と極めて小さくする必要がある。特許文献１の導波管をこのような寸法で製造することは極めて困難である。
【０００５】
また、特許文献１の導波管では、使用可能な周波数帯を高くするため、管内に誘電体が設けられる。しかしながら、誘電体を通して電磁波が伝送される場合、誘電損失により伝送効率が低下する。
【０００６】
本発明の目的は、伝送効率を低下させることなくテラヘルツ帯域の電磁波を伝送可能でかつ容易に製造することが可能な導波管およびその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）第１の発明に係る導波管は、テラヘルツ帯域内の電磁波を伝送する導波路を有する導波管であって、支持層と、支持層の一面上に形成される絶縁層と、絶縁層の一面上に形成される導電層とを備え、支持層は、絶縁層および導電層よりも高い剛性を有し、導電層が内側になるように支持層が筒状に折曲されることにより、導電層により囲まれた導波路が形成される。
【０００８】
この導波管においては、支持層の一面上に絶縁層が形成され、絶縁層の一面上に導電層が形成される。導電層が内側になるように支持層が筒状に折曲されることにより、導電層により囲まれた導波路が形成される。
【０００９】
この場合、絶縁層および導電層よりも高い剛性を有する支持層によって導波路の形状および寸法が維持される。そのため、支持層の折曲位置および折曲角度を調整することにより、導波路の形状および寸法を容易に調整することができる。したがって、導波路の断面の寸法を極めて小さい値に容易に設定することができる。その結果、テラヘルツ帯域内の電磁波を伝送可能な導波管を容易に製造することができる。
【００１０】
また、導電層により囲まれた中空の導波路が形成されるので、導波路の誘電正接が空気と等しくなる。そのため、誘電損失による伝送効率の低下が防止される。
【００１１】
（２）支持層の他面に、一方向に平行に延びる複数の溝部が形成され、複数の溝部に沿って支持層が折曲されることにより、導波路が形成されてもよい。
【００１２】
この場合、支持層を容易に折曲することができる。それにより、導波路の断面を予め定められた形状および寸法に容易に形成することができる。
【００１３】
（３）支持層は、一方向に対して垂直な面上において矩形状をなすように折曲されてもよい。
【００１４】
この場合、矩形状の断面を有する導波路が形成される。そのため、テラヘルツ帯域の電磁波を良好に伝送することができる。
【００１５】
（４）支持層、絶縁層および導電層は、一方向に平行な端面をそれぞれ有し、支持層、絶縁層および導電層の少なくとも１つは、一方向に平行に延びる接着部を有し、導波路が形成されるように支持層が折曲された状態で、支持層、絶縁層および導電層の端面が、接着剤層を介して接着部に接着されてもよい。
【００１６】
この場合、折曲された状態の支持層の形状を容易に維持することができる。
【００１７】
（５）接着剤層の導電率は、１０５［Ｓ／ｍ］以上であってもよい。
【００１８】
この場合、接着剤層に起因する電磁波の伝送損失が低減される。
【００１９】
（６）支持層は、導波路が延びる方向に並ぶように複数の部分に分離されてもよい。
【００２０】
この場合、支持層が分離された部分で、絶縁層および導電層を屈曲させることができる。それにより、導波管のフレキシブル性が高くなる。したがって、電磁波の伝送方向を任意に調整することができる。
【００２１】
（７）絶縁層は、樹脂により形成されてもよい。
【００２２】
この場合、絶縁層の可撓性を高めることができる。それにより、導波管のフレキシブル性が高くなり、電磁波の伝送方向を容易に調整することができる。
【００２３】
（８）第２の発明に係る導波管の製造方法は、テラヘルツ帯域内の電磁波を伝送する導波路を有する導波管の製造方法であって、支持層の一面上に支持体よりも低い剛性を有する絶縁層を形成する工程と、絶縁層の一面上に支持体よりも低い剛性を有する導電層を形成する工程と、導電層が内側になるように支持層を筒状に折曲することにより、導電層により囲まれた導波路を形成する工程とを備える。
【００２４】
この製造方法においては、支持層の一面上に絶縁層が形成され、絶縁層の一面上に導電層が形成される。導電層が内側になるように支持層が筒状に折曲されることにより、導電層により囲まれた導波路が形成される。
【００２５】
この場合、絶縁層および導電層よりも高い剛性を有する支持層によって導波路の形状および寸法が維持される。そのため、支持層の折曲位置および折曲角度を調整することにより、導波路の形状および寸法を容易に調整することができる。したがって、導波路の断面の寸法を極めて小さい値に容易に設定することができる。その結果、テラヘルツ帯域内の電磁波を伝送可能な導波管を容易に製造することができる。
【００２６】
また、導電層により囲まれた中空の導波路が形成されるので、導波路の誘電正接が空気と等しくなる。そのため、誘電損失による伝送効率の低下が防止される。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、伝送効率の低下が防止されつつテラヘルツ帯域の電磁波を伝送可能な導波管を容易に製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る導波管の外観斜視図である。
【図２】図１の導波管の断面図である。
【図３】図１および図２の導波管の製造工程を示す図である。
【図４】図１および図２の導波管の製造工程を示す図である。
【図５】図１および図２の導波管の製造工程を示す図である。
【図６】図１および図２の導波管の製造工程を示す図である。
【図７】積層体の他の折曲例について説明するための図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る導波管の外観斜視図である。
【図９】図８の導波管の模式的平面図である。
【図１０】図８および図９の導波管の製造工程について説明するための図である。
【図１１】図１および図２の導波管の変形例を示す断面図である。
【図１２】他の実施の形態における導波管の断面図である。
【図１３】実施例に係る導波管の断面図である。
【図１４】実施例におけるシミュレーション結果を示す図である。
【図１５】実施例におけるシミュレーション結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態に係る導波管およびその製造方法について説明する。以下の説明では、０．０５ＴＨｚ〜１０ＴＨｚの周波数帯域をテラヘルツ帯域と呼ぶ。本実施の形態に係る導波管は、テラヘルツ帯域内の少なくとも特定の周波数を有する電磁波の伝送が可能である。
【００３０】
（Ａ）第１の実施の形態
（１）導波管の構成
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る導波管の外観斜視図である。図２は、図１の導波管の断面図である。図１および図２に示すように、導波管１００は矩形状の断面を有する筒体であり、筒体により囲まれる空間に電磁波が伝送される導波路１が形成される。導波管１００は、外側金属層１０、絶縁層２０および内側金属層３０からなる積層体Ｌ２を含む。
【００３１】
外側金属層１０は例えばステンレス鋼からなり、絶縁層２０は例えばポリイミドからなり、内側金属層３０は例えば銅からなる。外側金属層１０の一面上に絶縁層２０が形成され、絶縁層２０の一面上に内側金属層３０が形成される。図２に示すように、積層体Ｌ２には、折曲部Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３が設けられる。内側金属層３０が内側になるように、外側金属層１０が折曲部Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に沿って筒状に折曲される。この場合、積層体Ｌ２が折曲部Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に沿って一体的に折曲された状態で保持される。積層体Ｌ２の一端部と他端部とは、接着剤層４０を介して互いに接着される。これにより、内側金属層３０により囲まれた中空の導波路１が形成される。
【００３２】
（２）導波管の製造方法
図１の導波管１００の製造方法について説明する。図３〜図７は、図１の導波管１００の製造工程を示す図である。図３（ａ）、図４（ａ）および図５（ａ）は、製造過程にある導波管１００の平面図である。図３（ｂ）、図４（ｂ）および図５（ｂ）には、図３（ａ）、図４（ａ）および図５（ａ）のＡ１−Ａ１線断面、Ａ２−Ａ２線断面、およびＡ３−Ａ３線断面がそれぞれ示される。
【００３３】
図３に示すように、例えばステンレス鋼からなる外側金属層１０の一面（図４では下面）上に例えばポリイミドからなる絶縁層２０が形成されることにより、長尺状の積層体Ｌ１が形成される。絶縁層２０は、例えばラミネートまたは塗布により形成される。外側金属層１０の厚みｔ１は、例えば２０μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましい。絶縁層２０の厚みｔ２は、例えば１μｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましい。
【００３４】
外側金属層１０は、絶縁層２０および内側金属層３０よりも高い剛性を有し、かつ折曲可能な材料からなる。外側金属層１０の材料は、ステンレス鋼に限らず、アルミニウム（Ａｌ）等の他の金属、またはアルミニウム合金等の合金であってもよい。絶縁層２０の材料は、ポリイミドに限らず、エポキシ等の他の樹脂材料であってもよい。
【００３５】
次に、図４に示すように、絶縁層２０と反対側の外側金属層１０の面（図４では上面）に例えばハーフエッチングにより複数（本例では３つ）の溝部Ｃが形成される。ハーフエッチングは、例えば所定のパターンを有するフォトレジストマスクおよび塩化鉄溶液を用いたウェットエッチングにより行うことができる。複数の溝部Ｃは、図２の折曲部Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に対応する位置に形成される。ハーフエッチングの代わりに、例えばＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）レーザを用いた機械的加工により複数の溝部Ｃが形成されてもよい。
【００３６】
次に、図５に示すように、絶縁層２０の一面（図５では下面）上に例えば銅からなる内側金属層３０が形成されることにより、積層体Ｌ２が形成される。内側金属層３０は、例えば蒸着により形成される。内側金属層３０の厚みｔ３は、例えば０．２μｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましい。内側金属層３０の厚みｔ３は、表皮効果により電磁波が集中する厚み以上であることが好ましい。内側金属層３０の材料は、銅に限らず、金（Ａｕ）、アルミニウム等の他の金属、または銅合金、アルミニウム合金等の合金、あるいはその他の導電性材料であってもよい。
【００３７】
図６に示すように、内側金属層３０が内側になるように外側金属層１０が折曲部Ｆ１〜Ｆ３に沿って折曲される。各折曲部Ｆ１〜Ｆ３における外側金属層１０の折り曲げ角度は略９０°である。その状態で、積層体Ｌ２の一端部と他端部とが接着剤層４０により互いに接着される。本例では、積層体Ｌ２の一端部における外側金属層１０、絶縁層２０および内側金属層３０の端面が、積層体Ｌ２の他端部における内側金属層３０の一面に接着される。この場合、積層体Ｌ２の他端部における内側金属層３０の一面が、接着部に相当する。
【００３８】
接着剤層４０は導電性を有することが好ましい。接着剤層４０の導電率は、１０３［Ｓ／ｍ］以上であることが好ましく、１０５［Ｓ／ｍ］以上であることがより好ましい。接着剤層４０の材料として、例えば、導電性フィラーを含有する粘着剤が用いられる。
【００３９】
これにより、図１および図２の導波管１００が完成する。導波管１００の内側の幅方向の寸法（導波路１の幅方向の寸法）Ｄ１（図２）は、３０μｍ以上５７００μｍ以下であることが好ましい。導波管１００の内側の厚み方向の寸法（導波路１の厚み方向の寸法）Ｄ２（図２）は、３０μｍ以上５７００μｍ以下であることが好ましい。
【００４０】
（３）他の折曲例
外側金属層１０の折曲位置は上記の例に限定されない。図７は、外側金属層１０の他の折曲例について説明するための図である。図７の例について、図１および図２の例と異なる点を説明する。図７の例では、内側金属層３０が内側になるように、外側金属層１０が折曲部Ｆ１ａ，Ｆ２ａ，Ｆ３ａ，Ｆ４ａに沿って折曲される。各折曲部Ｆ１ａ〜Ｆ４ａにおける外側金属層１０の折り曲げ角度は略９０°である。その状態で、外側金属層１０、絶縁層２０および内側金属層３０の一端面と他端面とが接着剤層４０により互いに接着される。この場合、外側金属層１０、絶縁層２０および内側金属層３０の他端面が接着部に相当する。
【００４１】
（４）効果
第１の実施の形態では、外側金属層１０、絶縁層２０および内側金属層３０からなる積層体Ｌ２が形成され、内側金属層３０が内側になるように外側金属層１０が筒状に折曲されることにより、内側金属層３０により囲まれた導波路１が形成される。この場合、絶縁層２０および内側金属層３０よりも高い剛性を有する外側金属層１０によって導波路１の形状および寸法が維持される。そのため、外側金属層１０の折曲位置をおよび折曲角度を調整することにより、導波路１の形状および寸法を容易に調整することができる。したがって、導波路１の断面の寸法を極めて小さい値に容易に設定することができる。その結果、テラヘルツ帯域内の電磁波を伝送可能な導波管１００を容易に製造することができる。
【００４２】
また、本実施の形態では、外側金属層１０の他面に複数の溝部Ｃが形成され、その複数の溝部Ｃに沿って外側金属層１０が折曲される。これにより、外側金属層１０を容易に折曲することができる。それにより、導波路１の断面を予め定められた形状および寸法に容易に形成することができる。
【００４３】
また、本実施の形態では、積層体Ｌ２の一端部と他端部とが導電性を有する接着剤層４０を介して互いに接着される。これにより、接着剤層４０に起因する電磁波の伝送損失の増大を抑制しつつ、積層体Ｌ２の形状を容易に維持することができる。
【００４４】
（Ｂ）第２の実施の形態
（１）導波管の構成
図８は、本発明の第２の実施の形態に係る導波管の外観斜視図である。図９は、図８の導波管の模式的平面図である。図８および図９の導波管１００ａについて、図１および図２の導波管１００と異なる点を説明する。
【００４５】
本実施の形態に係る導波管１００ａにおいては、外側金属層１０に複数のスリットＳＬが形成されることにより、外側金属層１０が複数の領域１０ａに分離される。各スリットＳＬは、導波路１が延びる方向（以下、導波方向と呼ぶ）ＤＲに対して垂直な面に沿うように形成される。本例において、複数のスリットＳＬは、それぞれ同じ幅を有し、かつ導波方向ＤＲにおいて等間隔に形成される。それにより、複数の領域１０ａは、導波方向ＤＲにおいてそれぞれ同じ幅を有し、かつ等間隔で配置される。
【００４６】
（２）導波管の製造方法
図８および図９の導波管１００ａの製造工程について、図３〜図６の例と異なる点を説明する。図１０は、図８および図９の導波管１００ａの製造工程について説明するための図である。図１０（ａ）は、製造過程にある導波管１００ａの平面図である。図１０（ｂ）には、図１０（ａ）のＡ４−Ａ４線断面が示され、図１０（ｃ）には、図１０（ａ）のＡ５−Ａ５線断面が示される。
【００４７】
まず、図３および図４の工程と同様に、外側金属層１０の一面上に絶縁層２０が形成され、外側金属層１０の他面に複数の溝部Ｃが形成される。続いて、図１０に示すように、外側金属層１０に複数のスリットＳＬが溝部Ｃに対して垂直にかつ等間隔で形成される。これにより、外側金属層１０が複数の領域１０ａに分離される。複数のスリットＳＬは、溝部Ｃと同様に、ハーフエッチングにより形成されてもよく、またはＹＡＧレーザ等を用いた機械的加工により形成されてもよい。
【００４８】
各スリットＳＬの幅は、１００μｍ以上１００００μｍ以下であることが好ましい。隣り合うスリットＳＬの間隔は、５０μｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましい。
【００４９】
その後、図５および図６の工程と同様に、絶縁層２０の一面上に内側金属層３０が形成され、外側金属層１０が折曲部Ｆ１〜Ｆ３に沿って折曲されるとともに積層体Ｌ２の一端部と他端部とが接着剤層４０により互いに接着される。これにより、図８および図９の導波管１００ａが完成する。
【００５０】
なお、外側金属層１０の折曲位置は、図８および図９の例に限定されない。図７の例と同様に外側金属層１０が折曲されてもよく、または他の位置で外側金属層１０が折曲されてもよい。
【００５１】
（３）効果
第２の実施の形態においても、上記第１の実施の形態と同様に、外側金属層１０が折曲されることによって内側金属層３０により囲まれた導波路１が形成される。そのため、外側金属層１０の折曲位置および折曲角度を調整することにより、導波路１の形状および寸法を容易に調整することができる。したがって、導波路１の断面の寸法を極めて小さい値に容易に設定することができる。その結果、テラヘルツ帯域内の電磁波を伝送可能な導波管１００ａを容易に製造することができる。
【００５２】
また、本実施の形態では、外側金属層１０が複数の領域１０ａに分離されるので、導波管１００ａを容易に屈曲させることができる。それにより、電磁波の伝送方向を任意に調整することができる。
【００５３】
（４）スリットの他の例
図８および図９の例では、複数のスリットＳＬが導波方向ＤＲに対して垂直な面に沿うようにかつ等間隔で形成されるが、スリットＳＬの位置および角度はこれに限定されない。導波管１００ａを所望の方向に屈曲可能であれば、複数のスリットＳＬが導波方向ＤＲに対して傾斜する面に沿うように形成されてもよく、または導波方向ＤＲの周りに螺旋状に形成されてもよい。また、スリットＳＬの間隔が一定でなくてもよい。
【００５４】
（Ｃ）他の変形例
図１１および図１２は、導波管１００の変形例を示す断面図である。図８および図９の導波管１００ａにおいても図１１または図１２の例と同様に変形させることができる。
【００５５】
図１１の導波管１００においては、積層体Ｌ２の両端面が、中央に向かって傾斜するように設けられる。この場合、外側金属層１０、絶縁層２０および内側金属層３０の一端面と他端面とを容易に接着することができる。
【００５６】
図１２（ａ）の例においては、導波管１００は三角形状の断面を有する。この場合、外側金属層１０が折曲部Ｆ１ｂ，Ｆ２ｂに沿って折曲され、積層体Ｌ２の一端部と他端部とが接着剤層４０を介して接着される。図１２（ｂ）の例においては、導波管１００は五角形状の断面を有する。この場合、外側金属層１０が折曲部Ｆ１ｃ，Ｆ２ｃ，Ｆ３ｃ，Ｆ４ｃに沿って折曲され、積層体Ｌ２の一端部と他端部とが接着剤層４０を介して接着される。図１２（ｃ）の例においては、導波管１００は円形状の断面を有する。この場合、外側金属層１０が円形に折曲され、積層体Ｌ２の一端部と他端部とが接着剤層４０を介して接着される。
【００５７】
このように、導波管１００，１００ａは矩形以外の多角形状の断面を有してもよく、または円形状の断面を有してもよく、または他の形状の断面を有してもよい。
【００５８】
また、上記実施の形態では、折曲部に対応する外側金属層１０の位置に溝部Ｃが形成されるが、本発明はこれに限らない。外側金属層１０を折曲可能である場合には、折曲部に対応する位置に溝部でなくミシン目が形成されてもよく、または単にインク等による印のみが付されてもよく、あるいは何も設けられなくてもよい。
【００５９】
また、上記実施の形態では、接着剤層４０を介して積層体Ｌ２の一端部と他端部とが接着されることにより積層体Ｌ２の形状が保持されるが、本発明はこれに限らない。融着等の他の方法により積層体Ｌ２の一端部と他端部とが接合されてもよい。また、積層体Ｌ２の形状が保持可能であれば、外側金属層１０が折曲された状態で積層体Ｌ２が接着および接合されなくてもよい。
【００６０】
（Ｄ）請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【００６１】
上記実施の形態においては、外側金属層１０が支持層の例であり、絶縁層２０が絶縁層の例であり、内側金属層３０が導電層の例であり、導波路１が導波路の例である。
【００６２】
請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。
【００６３】
（Ｅ）実施例
接着剤層４０の有無およびその導電性の高低と電磁波の伝送効率との関係をシミュレーションにより解析した。図１３は、実施例に係る導波管１００の断面図である。図１３（ａ）には、実施例１〜５に係る導波管１００が示され、図１３（ｂ）には、実施例６に係る導波管１００が示される。
【００６４】
図１３（ａ）に示すように、実施例１〜５の導波管１００は、図１および図２の導波管１００と同じ構成を有する。外側金属層１０の厚みｔ１を５０μｍとし、絶縁層２０の厚みｔ２を２５μｍとし、内側金属層３０の厚みｔ３を１６μｍとした。また、導波路１の幅方向の寸法Ｄ１を８６４μｍとし、導波路１の厚み方向の寸法Ｄ２を４３２μｍとした。また、外側金属層１０の材料をステンレスとし、その導電率を１．１×１０６［Ｓ／ｍ］とした。内側金属層３０の材料を銅とし、その導電率を５．９×１０７［Ｓ／ｍ］とした。
【００６５】
実施例１における接着剤層４０の導電率を１０３［Ｓ／ｍ］とし、実施例２における接着剤層４０の導電率を１０４［Ｓ／ｍ］とし、実施例３における接着剤層４０の導電率を１０５［Ｓ／ｍ］とし、実施例４における接着剤層４０の導電率を１０６［Ｓ／ｍ］とし、実施例５における接着剤層４０の導電率を１０７［Ｓ／ｍ］とした。
【００６６】
図１３（ｂ）に示すように、実施例６では、接着剤層４０が設けられず、外側金属層１０、絶縁層２０および内側金属層３０がそれぞれ無端の筒状に設けられる。これらの点を除いて、実施例６に係る導波管１００は、実施例１〜５の導波管１００と同じ構成を有する。実施例６の構成は、シミュレーション上の仮想的な構成である。
【００６７】
実施例１〜６の導波管１００において、テラヘルツ帯域の電磁波が伝送されるときの透過特性をシミュレーションにより求めた。図１４および図１５は、実施例１〜６におけるシミュレーション結果を示す図である。図１４において、横軸は電磁波の周波数［ＴＨｚ］を示し、縦軸は伝送損失［ｄＢ／ｍｍ］を示す。図１５において、横軸は接着剤層４０の導電率［Ｓ／ｍ］を示し、縦軸は伝送損失［ｄＢ／ｍｍ］を示す。
【００６８】
図１４および図１５に示すように、接着剤層４０の導電率が高いほど、伝送損失が小さいことがわかった。接着剤層４０の導電率が１０６［Ｓ／ｍ］以上である実施例４および実施例５においては、接着剤層４０が設けられない実施例６と伝送損失がほぼ同じであることがわかった。
【００６９】
また、図１５に示すように、電磁波の周波数が低い場合、接着剤層４０の導電率の差による電磁波の伝送損失の差が大きい。接着剤層４０の導電率が１０５［Ｓ／ｍ］以上である実施例３〜５では、電磁波の周波数が０．２２［ＴＨｚ］または０．２５［ＴＨｚ］である場合でも、接着剤層４０が設けられない実施例６との伝送損失の差が小さい。そのため、接着剤層４０の導電率が１０５［Ｓ／ｍ］以上であることが好ましいことがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明は、テラヘルツ帯域の周波数を有する電磁波の伝送に利用することができる。
【符号の説明】
【００７１】
１  導波路
１０  外側金属層
２０  絶縁層
３０  内側金属層
４０  接着剤層
１００  導波管
Ｃ  溝部
ＳＬ  スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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