(57)【要約】【課題】厳しい管理を行うことなく、圧力センサなどの機器の封液室へ気泡を含まない封入液を注入する。【解決手段】２重槽構造の封入ポット８を使用する。内輪８−２の外側の槽を封入液貯留槽８−３とし、内輪８−２の内側の槽を封入液注入槽８−４とする。配管５を通して送られてくる封入液を封入液貯留槽８−３で一旦貯留し、封入液貯留槽８−３の受容量を超えて溢れ出た封入液を封入液注入槽８−４に入れ、導出路８−５を通して、圧力センサ７の封液室７−１に導く。オイルの流量を小さくするなどして、封入液貯留槽８−３の受容量を超えるまでの時間を長くし、その間も継続して行われる真空引きにより、封入液貯留槽８−３に貯留されたオイルに含まれている気泡を脱気する。【選択図】  図１
2015178994.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管を通して送られてくる封入液を真空引きされている機器の封液室に封入ポットを介して注入する封入液注入装置において、
前記封入ポットは、
前記配管を通して送られてくる封入液を貯留する封入液貯留槽と、
前記封入液貯留槽の受容量を超えて溢れ出た封入液を受け入れて前記機器の封液室に導く封入液注入部と
を備えることを特徴とする封入液注入装置。
【請求項２】
請求項１に記載された封入液注入装置において、
前記封入ポットは、前記封入液注入部を複数備えている
ことを特徴とする封入液注入装置。
【請求項３】
請求項１に記載された封入液注入装置において、
前記封入液注入部の前記溢れ出た封入液が乗り越える面を封入液注入部の乗越面とし、この封入液注入部の乗越面と前記封入液貯留槽の底面との間にその下端が位置し、前記封入液注入部の乗越面よりも高い位置にその上端が位置する仕切壁を備え、
前記仕切壁で仕切られる前記封入液貯留槽の前記封入液注入部の乗越面がある側とは反対側の槽内に前記配管を通して送られてくる封入液が流入される
ことを特徴とする封入液注入装置。
【請求項４】
請求項２に記載された封入液注入装置において、
前記封入液注入部の前記溢れ出た封入液が乗り越える面を封入液注入部の乗越面とし、前記複数の封入液注入部の乗越面と前記封入液貯留槽の底面との間にその下端開口が位置し、前記複数の封入液注入部の乗越面よりも高い位置にその上端開口が位置する筒状の仕切壁を備え、
前記筒状の仕切壁の上端開口より下端開口を通して前記封入液貯留槽の槽内に前記配管を通して送られてくる封入液が流入される
ことを特徴とする封入液注入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、配管を通して送られてくる封入液を真空引きされている機器の封液室に封入ポットを介して注入する封入液注入装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、内部に封液室を備えた機器の一例として、圧力センサがある。この圧力センサでは、製造過程において、ダイアフラムで形成された封液室に封入液として圧力伝達用のオイルを封入するようにしている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００３】
図１４に圧力センサへのオイル封入工程で使用する従来の封入液注入装置の要部を示す。同図において、１は真空チャンバ、２−１，２−２は真空ポンプ、３はオイルタンク、４はバルブ、５は配管、６は封入ポットであり、これらによって封入液注入装置１００が構成されている。７は真空チャンバ１内に配置された圧力センサであり、内部に封液室７−１を備えている。
【０００４】
この封入液注入装置１００を用いたオイル封入工程では、真空ポンプ２−１によりオイルタンク３を真空引きし、オイルタンク３内のオイルを脱気する。また、真空ポンプ２−２により真空チャンバ１内を真空とし、圧力センサ７の封液室７−１の真空引きを行う。その後、バルブ４を開いて、オイルタンク３で脱気したオイルをバルブ４を通して配管５へ送り、配管５に送った封入液を封入ポット６を介して圧力センサ７の封液室７−１に注入する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３３１３８５号公報
【特許文献２】特開２００４−２８６０６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の封入液注入装置１００において、封入ポット６は漏斗状とされており、封入ポット６に入ったオイルはすぐに圧力センサ７の封液室７−１に流れ込む。このため、オイルタンク３と真空チャンバ１との間のバルブ４や配管５内に気泡が残っていると、その気泡が注入時にオイルとともに圧力センサ７の封液室７−１に入り込み、そのまま封入されてしまうため、出力異常を招くことがある。このため、従来においては、オイルタンク３で脱気したオイルに、圧力センサ７までの封入経路の途中で気泡が入らないように、厳しい管理が必要であった。
【０００７】
なお、バルブ４や配管５に気泡が残る原因は、以下のようなことが考えられる。
・バルブ４の構造に起因するもので、小さな気泡がバルブ４内に引っかかり抜けない 。
・バルブ４や配管５には真空引き後オイルを流すため、オイル封入を繰り返すと、バルブ４や配管５内にオイルが付着する。その付着したオイルが邪魔をして、小さな気泡が抜けない。
・配管継手部分の漏れにより、大気中の空気が配管内に混入する。
【０００８】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、厳しい管理を行うことなく、圧力センサなどの機器の封液室へ気泡を含まない封入液を注入することが可能な封入液注入装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような目的を達成するために本発明は、配管を通して送られてくる封入液を真空引きされている機器の封液室に封入ポットを介して注入する封入液注入装置において、封入ポットは、配管を通して送られてくる封入液を貯留する封入液貯留槽と、封入液貯留槽の受容量を超えて溢れ出た封入液を受け入れて機器の封液室に導く封入液注入部とを備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明において、配管を通して送られてくる封入液は、封入ポットの封入液貯留槽に貯留される。配管を通して送られてくる封入液には、最初に送られてくる封入液に多くの気泡が含まれている。この多くの気泡を含む封入液は、封入ポットの封入液貯留槽に一旦貯留され、封入液貯留槽の受容量を超えると溢れ出る。
【００１１】
本発明では、封入液の流量を小さくするなどして、封入液貯留槽の受容量を超えるまでの時間を長くすることにより、その間も継続して行われる真空引きにより、封入液貯留槽に貯留された封入液に含まれている気泡が脱気されるものとなる。そして、封入液の貯留量が封入液貯留槽の受容量を超えると、封入液貯留槽に貯留された封入液が溢れ出る。すなわち、封入液貯留槽の受容量を超えるまでの間に脱気された封入液が溢れ出る。この溢れ出た封入液は、封入ポットの封入液注入部に入り、機器の封液室に導かれる。なお、封入液貯留槽には、封入液が溢れ出ている間も配管を通して送られてくる封入液が注ぎ込まれるが、この注ぎ込まれる封入液に含まれてる気泡は最初に送られてくる封入液に含まれる気泡よりも遙かに少ない。
【００１２】
本発明において、封入ポットは、封入液注入部を複数備えていてもよい。封入液注入部を複数設けることによって、複数の機器の封液室に封入液を同時に注入することが可能となる。
【００１３】
また、本発明において、封入液注入部の溢れ出た封入液が乗り越える面（封入液注入部の乗越面）と封入液貯留槽の底面との間にその下端が位置し、封入液注入部の乗越面よりも高い位置にその上端が位置する仕切壁を設け、仕切壁で仕切られる封入液貯留槽の封入液注入部の乗越面がある側とは反対側の槽内に、配管を通して送られてくる封入液を流入させるようにしてもよい。
【００１４】
このような構造とすると、封入液貯留槽の封入液注入部の乗越面がある側とは反対側の槽（外側の槽）内に封入液が注ぎ込まれ、この注ぎ込まれた封入液が仕切壁の下端を潜るようにして、封入液貯留槽の封入液注入部の乗越面がある側の槽（内側の槽）内に入り込む。この場合、封入液貯留槽に注ぎ込まれる封入液に含まれる気泡は外側の槽内で真空引きにより脱気され、この脱気された封入液が仕切壁の下端を潜るようにして内側の槽内に入り込んで、封入液注入部の乗越面を乗り越えて溢れ出る。これにより、配管を通して送られてくる封入液に継続的に気泡が含まれていても、その気泡を封入液貯留槽の外側の槽内で脱気させ、機器の封液室に入り込まないようにすることが可能となる。
【００１５】
また、本発明において、封入ポットに封入液注入部を複数設ける場合、複数の封入液注入部の乗越面と封入液貯留槽の底面との間にその下端開口が位置し、複数の封入液注入部の乗越面よりも高い位置にその上端開口が位置する筒状の仕切壁を設け、筒状の仕切壁の上端開口より下端開口を通して封入液貯留槽の槽内に配管を通して送られてくる封入液を流入されるようにしてもよい。
【００１６】
このような構造とすると、封入液貯留槽の筒状の仕切壁の下端開口に面する槽（内側の槽）内に封入液が注ぎ込まれ、この注ぎ込まれた封入液が筒状の仕切壁の下端を潜るようにして、封入液貯留槽の筒状の仕切壁の下端開口に面していない槽（外側の槽）内に入り込む。この場合、封入液貯留槽に注ぎ込まれる封入液に含まれる気泡は内側の槽内で真空引きにより脱気され、この脱気された封入液が筒状の仕切壁の下端を潜るようにして外側の槽内に入り込んで、複数の封入液注入部の乗越面を乗り越えて溢れ出る。これにより、配管を通して送られてくる封入液に継続的に気泡が含まれていても、その気泡を封入液貯留槽の内側の槽内で脱気させ、複数の機器の封液室に入り込まないようにすることが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、封入ポットに、配管を通して送られてくる封入液を貯留する封入液貯留槽と、封入液貯留槽の受容量を超えて溢れ出た封入液を受け入れて機器の封液室に導く封入液注入部とを設けるようにしたので、封入液の流量を小さくするなどして、封入液貯留槽の受容量を超えるまでの時間を長くすることにより、その間も継続して行われる真空引きにより、封入液貯留槽に貯留された封入液に含まれている気泡を脱気させるようにして、厳しい管理を行うことなく、圧力センサなどの機器の封液室へ気泡を含まない封入液を注入することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る封入液注入装置の一実施の形態（実施の形態１）の要部を示す図である。
【図２】実施の形態１の封入液注入装置で使用する封入ポットの平面図である。
【図３】実施の形態１の変形例（実施の形態２）を示す図である。
【図４】実施の形態２の封入液注入装置で使用する仕切壁が配置された封入ポットの平面図である。
【図５】実施の形態１の封入液注入装置で使用する封入ポットの変形例を示す図である。
【図６】実施の形態２の封入液注入装置で使用する仕切壁が配置された封入ポットの変形例を示す平面図である。
【図７】実施の形態２の封入液注入装置で使用する仕切壁が配置された封入ポットの変形例を示す平面図である。
【図８】本発明に係る封入液注入装置の他の実施の形態（実施の形態３）の要部を示す図である。
【図９】実施の形態３の封入液注入装置で使用する封入ポットの平面図である。
【図１０】実施の形態３の変形例（実施の形態４）を示す図である。
【図１１】実施の形態４の封入液注入装置で使用する仕切壁が配置された封入ポットの平面図である。
【図１２】実施の形態３の封入液注入装置で使用する封入ポットの変形例を示す図である。
【図１３】実施の形態４の封入液注入装置で使用する仕切壁が配置された封入ポットの変形例を示す平面図である。
【図１４】圧力センサへのオイル封入工程で使用する従来の封入液注入装置の要部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２０】
〔実施の形態１〕
図１は本発明に係る封入液注入装置の一実施の形態（実施の形態１）の要部を示す図である。同図において、図１４と同一符号は図１４を参照して説明した構成要素と同一或いは同等の構成要素を示し、その説明は省略する。
【００２１】
この実施の形態１の封入液注入装置１０１では、従来の封入液注入装置１００において使用していた漏斗状の封入ポット６に代えて、２重槽構造の封入ポット８を使用している。
【００２２】
封入ポット８は、図２にその平面図を示すように、外輪８−１で囲まれた円形の槽内に内輪８−２で囲まれた円形の槽を有する２重槽構造とされており、内輪８−２の高さは外輪８−１の高さよりも低くされている。
【００２３】
この封入ポット８において、内輪８−２の外側の槽（外輪８−１と内輪８−２とで囲まれたリング状の槽）は封入液貯留槽８−３とされ、内輪８−２の内側の槽（内輪８−２で囲まれた円形の槽）は封入液注入槽８−４とされている。封入液注入槽８−４は圧力センサ７の封液室７−１にオイルを導く導出路８−５と連通している。この封入液注入槽８−４と、封入液注入槽８−４を囲む内輪８−２と、導出路８−５とで、封入液注入部８−６が構成されている。
【００２４】
この封入液注入装置１０１を用いたオイル封入工程では、真空ポンプ２−１によりオイルタンク３を真空引きし、オイルタンク３内のオイルを脱気する。また、真空ポンプ２−２により真空チャンバ１内を真空とし、圧力センサ７の封液室７−１の真空引きを行う。
【００２５】
その後、バルブ４を開いて、オイルタンク３で脱気したオイルをバルブ４を通して配管５へ送り、封入ポット８の封入液貯留槽８−３に流入させる。これにより、配管５を通して送られてくるオイルは、封入ポット８の封入液貯留槽８−３に貯留される。
【００２６】
配管５を通して送られてくるオイルには、最初に送られてくるオイルに多くの気泡が含まれている。この多くの気泡を含むオイルは、封入ポット８の封入液貯留槽８−３に一旦貯留され、封入液貯留槽８−３の受容量を超えると溢れ出る。
【００２７】
本実施の形態では、オイルの流量を小さくするなどして、封入液貯留槽８−３の受容量を超えるまでの時間を長くする。この場合、オイルの貯留量が封入液貯留槽８−３の受容量を超えるまでの間も継続して真空ポンプ２−２による真空引きが行われているため、封入液貯留槽８−３に貯留されたオイルに含まれている気泡が脱気されるものとなる。
【００２８】
すなわち、本実施の形態では、封入液貯留槽８−３でのオイル脱気時間を稼ぐために、封入液貯留槽８−３の受容量を超えるまでの時間を長くしている。封入液貯留槽８−３でのオイル脱気時間を稼ぐためには、気泡の入ったオイルの流量は小さい程望ましい。この場合のオイルの流量は、封入液貯留槽８−３の受容量などの条件と兼ね合わせ、オイル脱気に十分な時間が得られる流量として事前に定めておく。
【００２９】
オイルの貯留量が封入液貯留槽８−３の受容量を超えると、封入液貯留槽８−３に貯留されたオイルが溢れ出る。すなわち、封入液貯留槽８−３の受容量を超えるまでの間に脱気されたオイルが溢れ出る。この溢れ出たオイルは、内輪８−２の上面８−２ａを乗り越え、封入液注入槽８−４に入り、導出路８−５を通して、圧力センサ７の封液室７−１に導かれる。
【００３０】
なお、封入液貯留槽８−３には、オイルが溢れ出ている間も配管５を通して送られてくるオイルが注ぎ込まれるが、この注ぎ込まれるオイルに含まれてる気泡は最初に送られてくるオイルに含まれる気泡よりも遙かに少ない。
【００３１】
このようにして、本実施の形態では、封入液貯留槽８−３の受容量を超えるまでの時間を長くすることにより、その間も継続して行われる真空引きにより、封入液貯留槽８−３に貯留されたオイルに含まれている気泡を脱気させるようにして、厳しい管理を行うことなく、圧力センサ７の封液室７−１へ気泡を含まないオイルを注入することができるようになる。これにより、圧力センサ７を製造する際の歩留まりの向上、品質の向上が期待できる。
【００３２】
〔実施の形態２〕
図３に実施の形態１の変形例を実施の形態２として示す。この実施の形態２の封入液注入装置１０２では、２重槽構造の封入ポット８に対して、円筒状の仕切壁９をその下端開口９−１を封入液貯留槽８−３の槽内に入り込ませるようにして配置している。
【００３３】
すなわち、内輪８−２の上面８−２ａを封入液注入部８−６の乗越面とし、この封入液注入部８−６の乗越面８−２ａと封入液貯留槽８−３の底面８−３ａとの間にその下端開口９−１を位置させて、また封入液注入部８−６の乗越面８−２ａよりも高い位置にその上端開口９−２を位置させて円筒状の仕切壁９を設けている。
【００３４】
そして、円筒状の仕切壁９で仕切られる封入液貯留槽８−３の封入液注入部８−６の乗越面８−２ａがある側とは反対側の槽（外側の槽）８−３１内に配管５を通して送られてくるオイルを流入させるようにしている。図４に円筒状の仕切壁９を配置した封入ポット８の平面図を示す。
【００３５】
この実施の形態２の封入液注入装置１０２では、封入液貯留槽８−３の外側の槽８−３１内にオイルが注ぎ込まれ、この注ぎ込まれたオイルが円筒状の仕切壁９の下端を潜るようにして、封入液貯留槽８−３の封入液注入部８−６の乗越面８−２ａがある側の槽（内側の槽）８−３２内に入り込む。
【００３６】
この場合、封入液貯留槽８−３に注ぎ込まれるオイルに含まれる気泡は外側の槽８−３１内で真空引きにより脱気され、この脱気されたオイルが円筒状の仕切壁９の下端を潜るようにして内側の槽８−３２内に入り込んで、封入液注入部８−６の乗越面を８−２ａを乗り越えて溢れ出て、封入液注入槽８−４に入り込む。
【００３７】
これにより、配管５を通して送られてくるオイルに継続的に気泡が含まれていても、その気泡を封入液貯留槽８−３の外側の槽８−３１内で脱気させ、圧力センサ７の封液室７−１に入り込まないようにすることができるようになる。
【００３８】
なお、上述した実施の形態１，２では、封入ポット８の外輪８−１や内輪８−２で囲まれた槽を円形としたが、図５や図６に示すように四角形とするなどしてもよい。また、仕切壁９も円筒状に限られるものではなく、四角筒状としたりしてもよい（図６参照）。また、仕切壁９はこの仕切壁９を内を通してオイルを注入する訳ではないので、例えば図７に示すように、半円筒状の仕切壁１０−１，１０−２を隙間を設けて対向配置するなどしてもよい。
【００３９】
〔実施の形態３〕
図８に本発明に係る封入液注入装置の他の実施の形態（実施の形態３）の要部を示す。この実施の形態３の封入液注入装置１０３は、複数の圧力センサ７にオイルを同時に注入することができるような構造としたものであり、この例では２つの圧力センサ７Ａ，７Ｂに同時にオイルを注入することができるような構造としている。
【００４０】
この封入液注入装置１０３において、封入ポット１１は、実施の形態１で用いた封入ポット８と同様に２重槽構造とされており、外輪１１−１で囲まれた円形の槽内に内輪１１−２で囲まれた円形の槽を有し、内輪１１−２の高さは外輪１１−１の高さよりも低くされている。図９に封入ポット１１の平面図を示す。
【００４１】
この封入ポット１１において、内輪１１−２の外側の槽（外輪１１−１と内輪１１−２とで囲まれたリング状の槽）は封入液注入槽１１−３とされており、内輪１１−２の内側の槽（内輪１１−２で囲まれた円形の槽）は封入液貯留槽１１−４とされている。封入液注入槽１１−３は圧力センサ７Ａ，７Ｂの封液室７−１，７−１にオイルを導く導出路１１−５，１１−６と連通している。
【００４２】
この封入液注入槽１１−３と、封入液注入槽１１−３を囲む外輪１１−１および内輪１１−２と、導出路１１−５，１１−６とで、封入液注入部１１−７が構成されている。この例では、導出路１１−５側が圧力センサ７Ａに対する封入液注入部１１−７１とされ、導出路１１−６側が圧力センサ７Ｂに対する封入液注入部１１−７２とされている。
【００４３】
この封入液注入装置１０３を用いたオイル封入工程では、真空ポンプ２−１によりオイルタンク３を真空引きし、オイルタンク３内のオイルを脱気する。また、真空ポンプ２−２により真空チャンバ１内を真空とし、圧力センサ７Ａ，７Ｂの封液室７−１，７−１の真空引きを行う。その後、バルブ４を開いて、オイルタンク３で脱気したオイルをバルブ４を通して配管５へ送り、封入ポット１１の封入液貯留槽１１−４に流入させる。封入液貯留槽１１−４は封入ポット１１の中心部にある。
【００４４】
配管５を通して送られてくるオイルには、最初に送られてくるオイルに多くの気泡が含まれている。この多くの気泡を含むオイルは、封入ポット１１の封入液貯留槽１１−４に一旦貯留され、封入液貯留槽１１−４の受容量を超えると溢れ出る。
【００４５】
本実施の形態においても、実施の形態１と同様、オイルの流量を小さくするなどして、封入液貯留槽１１−４の受容量を超えるまでの時間を長くしており、その間も継続して真空ポンプ２−２による真空引きが行われているため、封入液貯留槽１１−４に貯留されたオイルに含まれている気泡が脱気されるものとなる。
【００４６】
すなわち、本実施の形態においても、封入液貯留槽１１−４でのオイル脱気時間を稼ぐために、封入液貯留槽１１−４の受容量を超えるまでの時間を長くしている。封入液貯留槽１１−４でのオイル脱気時間を稼ぐためには、気泡の入ったオイルの流量は小さい程望ましい。この場合のオイルの流量は、封入液貯留槽１１−４の受容量などの条件と兼ね合わせ、オイル脱気に十分な時間が得られる流量として事前に定めておく。
【００４７】
オイルの貯留量が封入液貯留槽１１−４の受容量を超えると、封入液貯留槽１１−４に貯留されたオイルが溢れ出る。すなわち、封入液貯留槽１１−４の受容量を超えるまでの間に脱気されたオイルが溢れ出る。この溢れ出たオイルは、内輪１１−２の上面１１−２ａを乗り越え、封入液注入槽１１−３に入り、導出路１１−５，１１−６を通して、圧力センサ７Ａ，７Ｂの封液室７−１，７−１に導かれる。
【００４８】
なお、封入液貯留槽１１−４には、オイルが溢れ出ている間も配管５を通して送られてくるオイルが注ぎ込まれるが、この注ぎ込まれるオイルに含まれてる気泡は最初に送られてくるオイルに含まれる気泡よりも遙かに少ない。
【００４９】
このようにして、実施の形態３においても、封入液貯留槽１１−４の受容量を超えるまでの時間を長くすることにより、その間も継続して行われる真空引きにより、封入液貯留槽１１−４に貯留されたオイルに含まれている気泡を脱気させるようにして、厳しい管理を行うことなく、圧力センサ７Ａ，７Ｂの封液室７−１，７−１へ気泡を含まないオイルを注入することができるようになる。これにより、圧力センサ７を製造する際の歩留まりの向上、品質の向上が期待できる。しかも、この実施の形態３では、同時に圧力センサ７Ａ，７Ｂへのオイルの注入ができるので、生産効率が高まる。
【００５０】
〔実施の形態４〕
図１０に実施の形態３の変形例を実施の形態４として示す。この実施の形態４の封入液注入装置１０４では、２重槽構造の封入ポット１１に対して、円筒状の仕切壁１２をその下端開口１２−１を封入液貯留槽１１−４の槽内に入り込ませるようにして配置している。
【００５１】
すなわち、内輪１１−２の上面１１−２ａを封入液注入部１１−７（１１−７１，１１−７２）の乗越面とし、この封入液注入部１１−７（１１−７１，１１−７２）の乗越面１１−２ａと封入液貯留槽１１−４の底面１１−４ａとの間にその下端開口１２−１を位置させて、また封入液注入部１１−７（１１−７１，１１−７２）の乗越面１１−２ａよりも高い位置にその上端開口１２−２を位置させて円筒状の仕切壁１２を設けている。
【００５２】
そして、円筒状の仕切壁１２の上端開口１２−２より下端開口１２−１を通して封入液貯留槽１１−４の槽内に配管５を通して送られてくるオイルを流入させるようにしている。図１１に円筒状の仕切壁１２を配置した封入ポット１１の平面図を示す。
【００５３】
この実施の形態４の封入液注入装置１０４では、封入液貯留槽１１−４の円筒状の仕切壁１２の下端開口１２−１に面する槽（内側の槽）１１−４１内にオイルが注ぎ込まれ、この注ぎ込まれたオイルが円筒状の仕切壁１２の下端を潜るようにして、封入液貯留槽１１−４の円筒状の仕切壁１２の下端開口１２−１に面していない槽（外側の槽）１１−４２内に入り込む。
【００５４】
この場合、封入液貯留槽１１−４に注ぎ込まれるオイルに含まれる気泡は内側の槽１１−４１内で真空引きにより脱気され、この脱気されたオイルが筒状の仕切壁１２の下端を潜るようにして外側の槽１１−４２内に入り込んで、封入液注入部１１−７（１１−７１，１１−７２）の乗越面１１−２ａを乗り越えて溢れ出て、封入液注入槽１１−３に入り込む。
【００５５】
これにより、配管５を通して送られてくるオイルに継続的に気泡が含まれていても、その気泡を封入液貯留槽１１−４の内側の槽１１−４１内で脱気させ、圧力センサ７Ａ，７Ｂの封液室７−１，７−１に入り込まないようにすることができるようになる。
【００５６】
なお、上述した実施の形態３，４では、封入ポット１１の外輪１１−１や内輪１１−２で囲まれた槽を円形としたが、図１２や図１３に示すように四角形とするなどしてもよい。また、仕切壁１２も円筒状に限られるものではなく、四角筒状としたりしてもよい（図１３参照）。また、仕切壁１２をオイルの注入管と兼用させるようにしてもよい。
【００５７】
また、上述した実施の形態１〜４では、封液室を備える機器を圧力センサとして説明したが、封液室を備える機器は圧力センサに限られるものでないことは言うまでもない。また、本発明において、封液室に注入する封入液はオイルに限られるものでもない。
【００５８】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００５９】
１…真空チャンバ、２−１，２−２…真空ポンプ、３…オイルタンク、４…バルブ、５…配管、７（７Ａ，７Ｂ）…圧力センサ、７−１…封液室、８…封入ポット、８−１…外輪、８−２…内輪、８−２ａ…上面（乗越面）、８−３…封入液貯留槽、８−３ａ…底面、８−３１…外側の槽、８−３２…内側の槽、８−４…封入液注入槽、８−５…導出路、８−６…封入液注入部、９…仕切壁、９−１…下端開口、９−２…上端開口、１０−１，１０−２…仕切壁、１１…封入ポット、１１−１…外輪、１１−２…内輪、１１−２ａ…上面（乗越面）、１１−３…封入液注入槽、１１−４…封入液貯留槽、１１−４ａ…底面、１１−４１…外側の槽、１１−４２…内側の槽、１１−５，１１−６…導出路、１１−７（１１−７１，１１−７２）…封入液注入部、１２…仕切壁、１２−１…下端開口、１２−２…上端開口、１０１〜１０４…封入液注入装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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