(57)【要約】【課題】位置が一定していない被搬送物を搬送するために保持する搬送チャックにおいて、簡素な構成で被搬送物を保持する。【解決手段】被搬送物２０７を保持する搬送チャック保持部５と、被搬送物２０７が支持されている被搬送物支持体２０５に当接する当接部９を備え、被搬送物２０７が支持されている被搬送物支持体２０５に当接部８が当接することで、被搬送物２０７に対する搬送チャック保持部５の位置決めをする搬送チャック位置決め部７とを有する搬送チャック１である。【選択図】図３
2015047665.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を保持する搬送チャック保持部と、
前記被搬送物、前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体の少なくともいずれかに当接する当接部を備え、前記被搬送物、前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体の少なくともいずれかに前記当接部が当接することで、前記被搬送物に対する前記搬送チャック保持部の位置決めをする搬送チャック位置決め部と、
を有することを特徴とする搬送チャック。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送チャックにおいて、
前記搬送チャック保持部は、ベース体に対して回動自在である搬送チャック保持部設置体に設置されており、
前記搬送チャック位置決め部の当接部は、前記搬送チャック保持部設置体に設置されており、
前記ベース体を移動して、前記被搬送物、前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体の少なくともいずれかに前記当接部を当接させることで、前記ベース体に対して前記搬送チャック保持部設置体が回動し、前記搬送チャック位置決め部による前記搬送チャック保持部の位置決めがなされるように構成されていることを特徴とする搬送チャック。
【請求項３】
請求項２に記載の搬送チャックにおいて、
前記搬送チャック位置決め部の当接部は、一対のローラと突き当て体とを備えて構成されており、
前記ベース体を前記被搬送物もしくは前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体に近づけると、前記一対のローラのうちの一方のローラが前記被搬送物、前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体の少なくともいずれかに当接して前記搬送チャック保持部設置体が前記ベース体に対して回動し、前記一対のローラで前記被搬送物、前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体の少なくともいずれかを挟み込むとともに、前記突き当て体が前記被搬送物もしくは前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体に突き当たることで、前記搬送チャック位置決め部による前記搬送チャック保持部の位置決めがなされるように構成されていることを特徴とする搬送チャック。
【請求項４】
請求項３に記載の搬送チャックにおいて、
前記搬送チャック保持部設置体が前記ベース体に対して所定の回動位置になるようにするための回動付勢位置決め部が設けられており、
前記搬送チャック位置決め部による前記搬送チャック保持部の位置決めがなされたときには、前記回動付勢位置決め部による付勢がなされているにもかかわらず、前記搬送チャック保持部設置体がベース体に対して前記所定の回動位置から回動するように構成されていることを特徴とする搬送チャック。
【請求項５】
請求項４に記載の搬送チャックにおいて、
前記被搬送物が前記被搬送物支持体に支持されている状態では、前記被搬送物支持体の中心軸と前記被搬送物の中心軸とがお互いに一致しているとともに前記被搬送物支持体の上に前記被搬送物が載置されており、
前記ベース体に対する前記搬送チャック保持部設置体の回動中心軸は上下方向に延びており、
前記搬送チャック保持部設置体は、水平な所定の一方向で、前記ベース体に対して移動自在になっており、
前記搬送チャック保持部設置体が前記ベース体に対して所定の移動位置になるようにするための移動付勢位置決め部が設けられており、
前記搬送チャック位置決め部による前記搬送チャック保持部の位置決めがなされたときには、前記移動付勢位置決め部による付勢がなされているにもかかわらず、前記搬送チャック保持部設置体がベース体に対して前記所定の移動位置から移動するように構成されていることを特徴とする搬送チャック。
【請求項６】
請求項５に記載の搬送チャックにおいて、
前記搬送チャック位置決め部による前記搬送チャック保持部の位置決めは、前記一対のローラで前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体を挟み込むとともに前記突き当て体を前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体に当接させることでなされるように構成されており、
前記一対のローラと突き当て体とは、前記搬送チャック保持部設置体に対して上下方向で移動自在になっており、
前記搬送チャック位置決め部による前記搬送チャック保持部の位置決めがなされた後前記搬送チャック保持部で前記被搬送物の保持をするときには、前記一対のローラと突き当て体とが前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体に当接している状態を維持したまま、前記搬送チャック保持部設置体が下降するように構成されていることを特徴とする搬送チャック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送チャックに係り、特に、位置が一定しない被搬送物を保持するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
研磨機（研磨装置）２０１は、フェルール（図示せず）の端面を研磨するための装置であり、図１（ａ）で示すように、ベッド構成体２０３と研磨用テーブル２０５とを備えて構成されている。研磨用テーブル２０５の上に研磨材（研磨盤）２０７が設置されるようになっており、研磨盤２０７の上面２０９が研磨面になっている。
【０００３】
フェルールの端面を研磨するときには、フェルールの端面を研磨面２０９に当接させて、研磨盤２０７（研磨用テーブル２０５）を稼動させている。
【０００４】
研磨用テーブル２０５（研磨盤２０７）の稼動について説明する。研磨用テーブル２０５は、図１（ｂ）で示すように、遊星運動をしている。すなわち、軸Ｃ１を中心にして自転していると同時に、軸Ｃ１とは異なる軸Ｃ２を中心にして公転している。
【０００５】
フェルールの端面の研磨は、荒加工、中加工、仕上げ加工の工程を経てなされる。その際、研磨機２０１に設置されている研磨盤２０７を、図１（ｃ）で示すように、研磨用テーブル２０５から取り外して、砥粒の異なるものに交換する必要がある。たとえば、荒加工が終了した後、荒加工用の研磨盤２０７を研磨用テーブル２０５から取り外して、研磨用テーブル２０５に中加工用の研磨盤２０７を設置するようになっている。
【０００６】
搬送装置（図示せず）を用い、研磨盤２０７を研磨用テーブル２０５から取り外して搬送する場合、搬送装置の研磨材保持部を研磨盤２０７のところにもって行き、研磨盤２０７を研磨材保持部で保持している。
【０００７】
なお、従来の技術に関する特許文献として、たとえば、特許文献１を掲げることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−１１３６５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上述したように、研磨用テーブル２０５が遊星運動をしているので、研磨用テーブル２０５（研磨盤２０７）の停止位置は一定にはならない。すなわち、図１（ｂ）で示す位置Ｐ１のところで常に停止するわけではなく、位置Ｐ２や位置Ｐ３やその他の位置で停止してしまう。
【００１０】
そこで、搬送装置を用いて、研磨盤２０７を研磨用テーブル２０５から取り外して搬送する場合、たとえば、センサーによって研磨用テーブル２０５の停止位置を検出し、この検出結果に応じて、搬送装置の研磨材保持部を位置決めし、研磨盤２０７を研磨材保持部で保持している。
【００１１】
しかし、この方式では、センサーや搬送装置の研磨材保持部を位置決めするためのサーボ機構等が必要になり、装置の構成が煩雑になってしまうという問題がある。
【００１２】
なお、この問題は、研磨盤を搬送する場合だけでなく、位置が一定しない他の被搬送物を搬送する場合にも同様に発生する問題である。
【００１３】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、位置が一定していない被搬送物を搬送するために保持する搬送チャックにおいて、簡素な構成で被搬送物を保持することができるものを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１に記載の発明は、被搬送物を保持する搬送チャック保持部と、前記被搬送物、前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体の少なくともいずれかに当接する当接部を備え、前記被搬送物、前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体の少なくともいずれかに前記当接部が当接することで、前記被搬送物に対する前記搬送チャック保持部の位置決めをする搬送チャック位置決め部とを有する搬送チャックである。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の搬送チャックにおいて、前記搬送チャック保持部は、ベース体に対して回動自在である搬送チャック保持部設置体に設置されており、前記搬送チャック位置決め部の当接部は、前記搬送チャック保持部設置体に設置されており、前記ベース体を移動して、前記被搬送物、前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体の少なくともいずれかに前記当接部を当接させることで、前記ベース体に対して前記搬送チャック保持部設置体が回動し、前記搬送チャック位置決め部による前記搬送チャック保持部の位置決めがなされるように構成されている搬送チャックである。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の搬送チャックにおいて、前記搬送チャック位置決め部の当接部は、一対のローラと突き当て体とを備えて構成されており、前記ベース体を前記被搬送物もしくは前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体に近づけると、前記一対のローラのうちの一方のローラが前記被搬送物、前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体の少なくともいずれかに当接して前記搬送チャック保持部設置体が前記ベース体に対して回動し、前記一対のローラで前記被搬送物、前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体の少なくともいずれかを挟み込むとともに、前記突き当て体が前記被搬送物もしくは前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体に突き当たることで、前記搬送チャック位置決め部による前記搬送チャック保持部の位置決めがなされるように構成されている搬送チャックである。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の搬送チャックにおいて、前記搬送チャック保持部設置体が前記ベース体に対して所定の回動位置になるようにするための回動付勢位置決め部が設けられており、前記搬送チャック位置決め部による前記搬送チャック保持部の位置決めがなされたときには、前記回動付勢位置決め部による付勢がなされているにもかかわらず、前記搬送チャック保持部設置体がベース体に対して前記所定の回動位置から回動するように構成されている搬送チャックである。
【００１８】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の搬送チャックにおいて、前記被搬送物が前記被搬送物支持体に支持されている状態では、前記被搬送物支持体の中心軸と前記被搬送物の中心軸とがお互いに一致しているとともに前記被搬送物支持体の上に前記被搬送物が載置されており、前記ベース体に対する前記搬送チャック保持部設置体の回動中心軸は上下方向に延びており、前記搬送チャック保持部設置体は、水平な所定の一方向で、前記ベース体に対して移動自在になっており、前記搬送チャック保持部設置体が前記ベース体に対して所定の移動位置になるようにするための移動付勢位置決め部が設けられており、前記搬送チャック位置決め部による前記搬送チャック保持部の位置決めがなされたときには、前記移動付勢位置決め部による付勢がなされているにもかかわらず、前記搬送チャック保持部設置体がベース体に対して前記所定の移動位置から移動するように構成されている搬送チャックである。
【００１９】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の搬送チャックにおいて、前記搬送チャック位置決め部による前記搬送チャック保持部の位置決めは、前記一対のローラで前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体を挟み込むとともに前記突き当て体を前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体に当接させることでなされるように構成されており、前記一対のローラと突き当て体とは、前記搬送チャック保持部設置体に対して上下方向で移動自在になっており、前記搬送チャック位置決め部による前記搬送チャック保持部の位置決めがなされた後前記搬送チャック保持部で前記被搬送物の保持をするときには、前記一対のローラと突き当て体とが前記被搬送物が支持されている被搬送物支持体に当接している状態を維持したまま、前記搬送チャック保持部設置体が下降するように構成されている搬送チャックである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、位置が一定していない被搬送物を搬送するために保持する搬送チャックにおいて、簡素な構成で被搬送物を保持することができるものを提供することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】（ａ）は研磨装置の要部を示す正面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＩＢ矢視図であり、（ｃ）は（ａ）において研磨用テーブルから研磨盤を取り外した状態を示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る搬送チャックの平面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る搬送チャックの正面図であって図２におけるＩＩＩ矢視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る搬送チャックの側面図であって図３におけるＩＶ矢視図である。
【図５】図２におけるＶ−ＶＯ−Ｖの断面図である。
【図６】図３におけるＶＩ―ＶＩの断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る搬送チャックの動作を示す図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＶＩＩＢ矢視図であり、（ｃ）は（ｂ）におけるＶＩＩＣ―ＶＩＩＣ断面矢視図である。
【図８】本発明の実施形態に係る搬送チャックの動作を示す図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＶＩＩＩＢ―ＶＩＩＩＢの断面矢視図である。
【図９】本発明の実施形態に係る搬送チャックの動作を示す図であって、図７（ｃ）や図８（ｂ）に対応する図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る搬送チャックの動作を示す図であって、（ａ）は図７（ｃ）や図８（ｂ）に対応する図であり、（ｂ）は図７（ａ）や図８（ａ）に対応する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
搬送チャック（搬送用チャック）１は、存在位置が一定しない被搬送物（停止位置が一定せず所定の範囲内でばらつく被搬送物）を搬送するために保持するものであり、たとえば、従来と同様に、研磨装置２０１の研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤（研磨板；研磨具）２０７を、ロボット（図示せず）等の搬送装置を用いて搬送するときに保持するものである。
【００２３】
搬送チャック１は、図２等で示すように、搬送装置のハンド（たとえばロボットハンド）３に設置されて使用されるものであり、搬送チャック保持部５と搬送チャック位置決め部７とを備えて構成されている。搬送チャック保持部５は、研磨盤２０７を保持するものである。
【００２４】
搬送チャック位置決め部７は、当接部９を備えて構成されている。当接部９は、研磨盤２０７が支持されている被搬送物支持体（研磨盤２０７が設置されている研磨用テーブル）２０５に当接するものである。なお、当接部９が、研磨用テーブル２０５に当接することに代えてもしくは加えて、研磨盤２０７に当接するようになっていてもよい。すなわち、当接部９が、研磨盤２０７、研磨盤２０７が設置されている研磨用テーブル２０５の少なくともいずれかに当接するようになっていてもよい。
【００２５】
当接部９が、研磨盤２０７が設置されている研磨用テーブル２０５に当接することで、研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤２０７に対する搬送チャック保持部５の位置決め（搬送チャック保持部５が研磨盤２０７を保持するための位置決め）がなされるように構成されている。
【００２６】
研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤２０７に対する搬送チャック保持部５の位置決めは、搬送チャック保持部５が研磨盤２０７を保持する前になされるようになっている。すなわち、搬送チャック位置決め部７による搬送チャック保持部５の位置決めがなされた後、搬送チャック保持部５による研磨盤２０７の保持がなされるようになっている。
【００２７】
搬送チャック保持部５は、搬送チャック保持部設置体１１に設置されている。搬送チャック位置決め部７の当接部９も、搬送チャック保持部設置体１１に設置されている。搬送チャック保持部設置体１１は、ベース体１３に対し、所定の回動中心軸Ｃ３を中心にして回動自在になっている。
【００２８】
そして、ベース体１３を移動して、研磨盤２０７が設置されている研磨用テーブル２０５に当接部９を当接させることで、ベース体１３に対して搬送チャック保持部設置体１１が回動し、搬送チャック位置決め部７による搬送チャック保持部５の位置決め（研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤２０７に対する位置決め）がなされるように構成されている。
【００２９】
搬送チャック位置決め部７の当接部９は、たとえば、一対のローラ１５と１つの突き当て体１７とを備えて構成されている。
【００３０】
そして、搬送チャック位置決め部７による搬送チャック保持部５の研磨盤２０７に対する位置決めをすべくベース体１３を研磨盤２０７が設置されている研磨用テーブル（停止している研磨用テーブル）２０５に近づけると、次のような挙動をするように構成されている。
【００３１】
一対のローラ１５のうちの一方のローラが、研磨盤２０７が設置されている研磨用テーブル２０５に当接して、搬送チャック保持部設置体１１がベース体１３に対し中心軸Ｃ３を中心にして回動する。その後、一対のローラ１５で研磨盤２０７が設置されている研磨用テーブル２０５を挟み込むとともに、突き当て体１７が、研磨盤２０７が設置されている研磨用テーブル２０５に突き当たる。そして、搬送チャック位置決め部７による搬送チャック保持部５の位置決めがなされるように構成されている。この位置決めがなされたとき、ベース体１３は、停止している研磨用テーブル２０５に対して停止している。
【００３２】
また、搬送チャック１には、回動付勢位置決め部１９が設けられている。回動付勢位置決め部１９は、搬送チャック保持部設置体１１（より精確には詳細を後述する回動体２１）がベース体１３に対して所定の回動位置に位置するようにするものである。
【００３３】
そして、搬送チャック位置決め部７による搬送チャック保持部５の研磨盤（研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤）２０７に対する位置決めがなされたときには、回動付勢位置決め部１９による付勢がなされているにもかかわらず、搬送チャック保持部設置体１１（回動体２１）がベース体１３に対して上記所定の回動位置からたとえば回動している（図８（ａ）参照）。
【００３４】
ここで、説明の便宜のために、水平な所定の一方向を前後方向とし、水平な所定の他の一方向であって前後方向に対して直交する方向を横方向とし、前後方向と横方向とに対して直交する方向を上下方向とする。
【００３５】
研磨盤２０７は円板状に形成されており、研磨用テーブル２０５は円柱状に形成されている。研磨盤２０７が研磨用テーブル２０５に設置されている状態では、研磨用テーブル２０５の中心軸（上下方向に延びている中心軸）Ｃ１と研磨盤２０７の中心軸Ｃ１とがお互いに一致しているとともに研磨用テーブル２０５の上に研磨盤２０７が一体的に載置されている。搬送チャック保持部設置体１１（回動体２１）の回動中心軸Ｃ３は上下方向に延びている（図１等参照）。
【００３６】
搬送チャック保持部設置体１１は、水平な所定の一方向（回動中心軸Ｃ３の延伸方向に対して直交する所定の一方向；前後方向）で、ベース体１３に対して直線的に移動自在になっている。なお、搬送チャック１がロボットハンド３に設置されることで、ベース体１３も、たとえば研磨装置２０１に対し前後方向（研磨盤２０７と研磨盤２０７が設置されている研磨用テーブル２０５とに対して接近し離反する方向）に移動自在になっている。
【００３７】
さらに説明すると、図２や図３や図８（ａ）等で示すように、搬送チャック保持部設置体１１は、回動体２１を介してベース体１３に支持されている。回動体２１の一端部がベース体１３に係合しており、回動体２１は回動中心軸Ｃ３を中心にしてベース体１３に対して回動自在になっている。回動体２１の他端部には搬送チャック保持部設置体１１が係合しており、搬送チャック保持部設置体１１は、回動体２１に対し図３等の左右方向で直線的に移動自在になっている。これにより、搬送チャック保持部設置体１１は、ベース体１３に対して回動自在であるとともに移動自在になっている。
【００３８】
また、搬送チャック１には、移動付勢位置決め部２３が設けられている。移動付勢位置決め部２３は、常態で（重力以外の何ら外力が加わっていない状態で）、搬送チャック保持部設置体１１がベース体１３（回動体２１）に対して所定の移動位置になるようにするためのものである。
【００３９】
回動付勢位置決め部１９は、常態で、上述したように、搬送チャック保持部設置体１１（回動体２１）がベース体１３に対して所定の回動位置に位置決めされるようにするものである。
【００４０】
すなわち、回動付勢位置決め部１９により、常態では、搬送チャック保持部設置体１１（回動体２１）はベース体１３に対して一定の回動位置を保つようになっている（図２等参照）。
【００４１】
たとえば、ベース体１３に対して搬送チャック保持部設置体１１を回動させる回転モーメント（たとえば平面視における反時計まわりの回転モーメント）が搬送チャック保持部設置体１１（回動体２１）に加わると、搬送チャック保持部設置体１１（回動体２１）は、上記反時計まわりの回転モーメントに応じた反時計まわりの角度だけベース体１３に対して回動する（図８（ａ）参照）。また、上記反時計まわりの回転モーメントを取り去ると、搬送チャック保持部設置体１１（回動体２１）は、時計まわりに回動し一定の回動位置（図２等参照）に復帰するようになっている。
【００４２】
また、逆に、ベース体１３に対して搬送チャック保持部設置体１１を回動させる時計まわりの回転モーメントが搬送チャック保持部設置体１１（回動体２１）に加わると、搬送チャック保持部設置体１１（回動体２１）は、上記時計まわりの回転モーメントに応じた時計まわりの角度だけベース体１３に対して回動するが、上記時計まわりの回転モーメントを取り去ると、反時計まわりに回動し上記一定の回動位置に復帰するようになっている。
【００４３】
移動付勢位置決め部２３は、常態で、上述したように、搬送チャック保持部設置体１１が回動体２１（ベース体１３）に対して所定の移動位置（図２参照）になるようにするためのものである。
【００４４】
すなわち、移動付勢位置決め部２３により、常態では、搬送チャック保持部設置体１１は、ベース体１３（回動体２１）に対して、ベース体か１３ら最も離れた側に位置している（最も前側の位置を保つようになっている；図２、図７（ｂ）等参照）。そして、搬送チャック保持部設置体１１をベース体１３に近づける力が搬送チャック保持部設置体１１に加わると、搬送チャック保持部設置体は、上記力に応じた距離だけ後側に移動してベース体１３に近づく（図８（ａ）参照）が、上記力を取り去ると、ベース体１３から最も離れた側に位置に復帰するようになっている。
【００４５】
そして、すでに理解されるように、搬送チャック位置決め部７による搬送チャック保持部５の研磨盤（研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤）２０７に対する位置決めがなされたときには、移動付勢位置決め部２３による付勢がなされているにもかかわらず、搬送チャック保持部設置体１１（回動体２１）がベース体１３に対して上記所定の移動位置から移動している（図２、図８（ａ）参照）。
【００４６】
また、搬送チャック位置決め部７による搬送チャック保持部５の研磨盤（研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤）２０７に対する位置決めは、搬送チャック位置決め部７の一対のローラ１５で研磨盤２０７が設置されている研磨用テーブル２０５を挟み込むとともに、突き当て体１７を研磨盤２０７が設置されている研磨用テーブル２０５に当接させることでなされるように構成されている。
【００４７】
搬送チャック位置決め部７の一対のローラ１５と突き当て体１７とは、搬送チャック保持部設置体１１に対して上下方向で移動自在になっている。
【００４８】
そして、搬送チャック位置決め部７による搬送チャック保持部５の研磨盤（研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤）２０７に対する位置決めがなされた後、搬送チャック保持部で研磨盤２０７の保持がなされるときには、搬送チャック位置決め部７の一対のローラ１５と突き当て体１７とが研磨盤２０７が設置されている研磨用テーブル２０５に当接している状態を維持したまま、搬送チャック保持部設置体１１が下降するように構成されている。
【００４９】
ここで、搬送チャック１についてさらに詳しく説明する。
【００５０】
ロボットハンド３は、研磨用テーブル２０５の上方後側で研磨用テーブル２０５から離れている。ロボットハンド３は、少なくとも前後方向で移動自在になっている。
【００５１】
ベース体１３は、横方向でロボットハンド３や研磨用テーブル２０５とほぼ同じところに位置しており、前後方向でロボットハンド３と研磨用テーブル２０５との間でロボットハンド３側に位置しており、リニアガイドベアリング２５を介してロボットハンド３に支持されていることで、ロボットハンド３に対して上下方向で移動自在になっている。また、ベース体１３は、空気圧シリンダ等のアクチュエータ２７で、ロボットハンド３に対して所定のストロークだけ上下方向で移動するようになっている
ベース体１３が上昇端に位置しているときには、図７（ｂ）等で示すように、搬送チャック保持部５を構成している研磨盤把持体２９が、研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤２０７の上方で研磨盤２０７から僅かに離れている。一方、ベース体１３が下降端に位置しているときには、図９（ｂ）で示すように、研磨盤把持体２９が、研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤２０７と同じ高さに位置して研磨盤２０７を把持することができるようになっている。
【００５２】
回動体２１は、図２や図３等で示すように、前後方向でベース体１３と研磨用テーブル２０５との間でロボットハンド３側に位置しており、上下方向に延びた軸Ｃ３を回動中心にしてロボットハンド３に対し回動するようになっている。
【００５３】
回動付勢位置決め部１９は、一対の板バネ３１を備えて構成されている。図２等で示すように、一方の板バネ３１は、ベース体１３の横方向の一方の面で、基端側（後側）の部位が、ベース体１３に一体的に設置されている。一方の板バネ３１の先端側（前側）の部位は、回動体２１の横方向の一方の面に接している。
【００５４】
他方の板バネ３１は、ベース体１３の横方向の他方の面で、基端側（後側）の部位が、ベース体１３に一体的に設置されている。他方の板バネ３１の先端側（前側）の部位は、回動体２１の横方向の他方の面に接している。
【００５５】
そして、常態においては、図３等で示すように、回動体２１が前後方向にまっすぐ延びている。一方、回動体２１に回転モーメントが加わると、図８（ａ）で示すように、回動体２１が斜めになり、一方の板バネ（図８（ａ）の下側の板バネ）３１が弾性変形して撓むようになっている。
【００５６】
搬送チャック保持部設置体１１は、前後方向で回動体２１の前端部から研磨用テーブル２０５のところにわたって位置しており、上下方向で研磨用テーブル２０５から離れて上方に位置しており、また、回動体２１の上方に位置しており、横方向で回動体２１とほぼ同じところに位置している。
【００５７】
搬送チャック保持部設置体１１の後側の部位は、リニアガイドベアリング３３を介して、回動体２１の前側の部位に支持されており、搬送チャック保持部設置体１１は、回動体２１に対して前後方向に移動自在になっている。搬送チャック保持部設置体１１は、図示しないストッパにより、所定のストロークだけ前後方向で移動するようになっている。
【００５８】
移動付勢位置決め部２３は、一対の圧縮コイルバネ３５を備えて構成されている。圧縮コイルバネ３５は、伸縮方向が前後方向になっており、後端がベース体１３に当接し、前端が搬送チャック保持部設置体１１に当接している。
【００５９】
そして、常態では、図７（ａ），（ｂ）で示ように、圧縮コイルバネ３５の付勢力により、搬送チャック保持部設置体１１が回動体２１に対して最も前側に位置している。搬送チャック保持部設置体１１に後向きの力が加わると、搬送チャック保持部設置体１１が後方に移動し、圧縮コイルバネ３５が圧縮されて弾性変形するようになっている。
【００６０】
搬送チャック位置決め部７の突き当て体１７は、上下方向では、研磨用テーブル２０５の下側の部位とほぼ同じところに位置しており、前後方向では、研磨用テーブル２０５の後方に位置している。また、突き当て体１７は、常態では、左右方向で中心軸Ｃ３とほぼ同じところに位置しており、
突き当て体１７は、突き当て体支持体３７に一体的に設置されている。突き当て体支持体３７は、突き当て体１７から上方に延びており、回動体２１に設けられた貫通孔３９と搬送チャック保持部設置体１１に設けられた貫通孔４１とを通って、上端部が搬送チャック保持部設置体１１の上方に突出している。
【００６１】
また、突き当て体支持体３７は、リニアガイドベアリング４３とブラケット４５とを介して搬送チャック保持部設置体１１に支持されており、搬送チャック保持部設置体１１に対して上下方向で移動自在になっている。突き当て体支持体３７は、常態では、重力の作用により、また、ストッパ４７により、下降端に位置している。
【００６２】
なお、突き当て体支持体３７が、重力に代えてもしくは加えて、図示しないバネ等の弾性体の付勢力により、また、ストッパ４７により、常態において、下降端に位置している構成であってもよい。
【００６３】
ローラ１５は、上下方向では、研磨用テーブル２０５の下側の部位とほぼ同じところに位置しており、前後方向では、突き当て体１７よりも前側（研磨用テーブル２０５の下側の部位の半径と同程度だけ前側）に位置している。また、一対のローラ１５間の横方向の寸法は、一対のローラ１５が挟み込み研磨用テーブル２０５の下側の部位の直径と等しいかごく僅かに大きくなっており、横方向では、一対のローラ１５の中心が中心軸Ｃ３のところに位置している。
【００６４】
また、ローラ１５は、ローラ支持体４９に支持されており、上下方向に延びた軸Ｃ４を回転中心にしてローラ支持体４９に対して回転するようになっている。ローラ支持体４９は、ローラ１５から上方に延びており、リニアガイドベアリング５１を介して搬送チャック保持部設置体１１に支持されており、搬送チャック保持部設置体１１に対して上下方向で移動自在になっている。ローラ支持体４９は、常態では、図示しないバネ等の弾性体の付勢力により、また、ストッパ５３により、下降端に位置している。
【００６５】
なお、ローラ支持体４９が図示しないバネ等の弾性体に代えてもしくは加えて、重力の作用により、また、ストッパ５３により、下降端に位置している構成であってもよい。
【００６６】
搬送チャック保持部（研磨盤保持部）５は、上述したように、一対の研磨盤把持体２９を備えて構成されている。一対の研磨盤把持体２９は、横方向では、研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤２０７の両側に位置しており、前後方向では、ローラ１５とほぼ同じところに位置している。
【００６７】
一対の研磨盤把持体２９は、リニアガイドベアリング５５を介して搬送チャック保持部設置体１１に支持されていることで、搬送チャック保持部設置体１１に対して横方向で移動自在になっている。また、一対の研磨盤把持体２９は、空気圧シリンダ等のアクチュエータ５７で、搬送チャック保持部設置体１１に対して所定のストロークだけ横方向で移動するようになっている。
【００６８】
さらに、一対の研磨盤把持体２９は、図示しないリンク機構もしくはラック＆ピニオン等の機構によって、横方向では対称に移動するようになっている（開閉するようになっている）。
【００６９】
一対の研磨盤把持体２９が開いているときには、一対の研磨盤把持体２９同士の距離がもっとも広がっており、一方、一対の研磨盤把持体２９が閉じているときには、一対の研磨盤把持体２９同士の距離がもっとも狭くなっている。一対の研磨盤把持体２９が閉じているとき、一対の研磨盤把持体２９で研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤２０７の把持（保持）をすることができるようになっている。
【００７０】
なお、一対の研磨盤把持体２９のそれぞれには、ローラ支持体４９との干渉を避けるための切り欠き５９が設けられている。
【００７１】
また、搬送チャック位置決め部７は、既に理解されるように、ベース体３と回動体２１と搬送チャック保持部設置体１１と当接部９（ローラ１５、突き当て体１７）とを備えて構成されている。
【００７２】
ここで、搬送チャック１やロボットハンド３等の動作について説明する。
【００７３】
搬送チャック１やロボットハンド３等は、図示しない制御装置（ＣＰＵを含む制御装置）の制御の下、次の動作をするようになっている。
【００７４】
初期状態として、図７で示すように、研磨盤２０７が設置されている研磨用テーブル２０５が停止しており、搬送チャック１やロボットハンド３が、研磨用テーブル２０５（研磨盤２０７）から離れて研磨用テーブル２０５（研磨盤２０７）の後側に位置しているものとする。
【００７５】
また、初期状態では、一対の研磨盤把持体２９が開いていて、上下方向で研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤２０７の上方に位置しているものとする。
【００７６】
また、初期状態では、横方向で、搬送チャック１の中心位置に対して研磨用テーブル２０５の中心位置が僅かにずれているものとする（図７（ａ）では研磨用テーブル２０５の中心位置が下側にずれており、図７（ｃ）では寸法Ｌ１だけずれているものとする）。
【００７７】
上記初期状態において、ロボットハンド３（搬送チャック１）を前側に移動すると、図８（ａ）で示すように、一対のローラ１９が研磨用テーブル２０５を挟み込み、突き当て体１７が研磨用テーブル２０５の当接することで、搬送チャック保持部設置体１１（一対の研磨盤把持体２９）の位置決めがなされる。このとき、図８（ａ）で示すように、搬送チャック保持部設置体１１等が、軸Ｃ３を中心にして反時計まわりに僅かに回動し、一対板バネのうち一方の板バネ（下側の板バネ）３１が片持ち梁の態様で弾性変形する。また、圧縮コイルバネ３５も、図２等で示す状態よりも圧縮されている。
【００７８】
この位置決めがなされた後、図９（ａ）で示すように、ベース体１３（搬送チャック保持部設置体１１、研磨盤把持体２９）を、アクチュエータ２７で下降させ、続いて、図９（ｂ）で示すように、一対の研磨盤把持体２９を閉じて、研磨盤２０７を把持する。
【００７９】
なお、リニアガイドベアリング４３やリニアガイドベアリング５１を介して搬送チャック保持部設置体１１に突き当て体１７やローラ１５が支持されており、また、一対の圧縮コイルバネ３５で付勢されているので、ベース体１３を下降することで搬送チャック保持部設置体１１が下降しても、突き当て体１７やローラ１５は下降せず、研磨用テーブル２０５に当接しつづけている。
【００８０】
一対の研磨盤把持体２９による把持の後、アクチュエータ２７でベース体１３（搬送チャック保持部設置体１１、研磨盤把持体２９）を上昇させ、ロボットハンド３（搬送チャック１）を後側に移動すると、図１０で示すようになり、研磨盤２０７の取り外しが終了する。
【００８１】
なお、上記説明は、研磨用テーブル２０５に設置されている研磨盤２０７を取り外す場合についてのものであるが、停止位置が一定でない研磨用テーブル２０５に研磨盤２０７を設置する場合にも、搬送チャック１を使用することができる。
【００８２】
搬送チャック１によれば、搬送チャック位置決め部７の当接部９が研磨盤に当接することで研磨盤２０７に対する搬送チャック保持部５の位置決めがなされるので、研磨盤２０７の停止位置が一定していなくても、センサーを用いて研磨盤２０７の位置を測定等する必要がなく、簡素な構成で研磨盤２０７を保持することができる。
【００８３】
また、搬送チャック１によれば、搬送チャック位置決め部７の当接部９が、ベース体１３に対して回動自在である搬送チャック保持部設置体１１に設置されており、また、ベース体１３を移動して、研磨用テーブル２０５に当接部９を当接させることで、ベース体１３に対して搬送チャック保持部設置体１１がころがり対偶をなして回動し、搬送チャック位置決め部７による搬送チャック保持部５の位置決めがなされるように構成されているので、ベース体１３の移動方向の延長線上から研磨盤２０７の中心位置がはずれていても（図７（ａ）、（ｃ）参照）、搬送チャック保持部５の位置決めを容易に行うことができる。
【００８４】
また、搬送チャック１によれば、ベース体１３を研磨用テーブル２０５に近づけると、一対のローラ１５のうちの一方のローラが研磨用テーブル２０５に当接して搬送チャック保持部設置体１１がベース体１３に対して回動し、一対のローラ１５で研磨用テーブル２０５を挟み込むとともに、突き当て体１７が研磨盤２０７に突き当たることで、搬送チャック位置決め部７による搬送チャック保持部５の位置決めがなされるので、研磨用テーブル２０５に擦り傷等をつけることなく、搬送チャック保持部５の位置決めをすることができる。
【００８５】
また、搬送チャック１によれば、回動付勢位置決め部１９が設けられているので、研磨盤２０７を保持して研磨用テーブル２０５から取り出したとき、搬送チャック保持部５で保持されている研磨盤２０７がベース体１３に対して一定の位置に位置するようになる。これにより、搬送チャック保持部５で保持して研磨用テーブル２０５から取り出した研磨盤２０７を他の場所に置くとき、ベース体１３の位置を一定にすれば研磨盤２０７の位置を一定の位置にすることができる。
【００８６】
また、搬送チャック１によれば、搬送チャック保持部設置体１１が所定の一方向でベース体１３に対して移動自在になっているので、搬送チャック位置決め部７による搬送チャック保持部５の研磨盤２０７に対する位置決めをすべくベース体１３を研磨盤２０７に近づけ突き当て体１７が研磨盤２０７に突き当たったとき、この突き当たりの衝撃を無くすことができる。
【００８７】
また、搬送チャック１によれば、移動付勢位置決め部２３が設けられているので、回動付勢位置決め部１９の場合と同様にして、搬送チャック保持部５で保持して研磨用テーブル２０５から取り出した研磨盤２０７を他の場所に置くとき、ベース体１３の位置を一定にすれば研磨盤２０７の位置を一定の位置にすることができる。
【００８８】
また、搬送チャック１によれば、搬送チャック位置決め部７による搬送チャック保持部５の位置決めが一対のローラ１５と突き当て体１７とを研磨用テーブル２０５に当接させることでなされるようになっており、一対のローラ１５と突き当て体１７とが搬送チャック保持部設置体１１に対して上下方向で移動自在になっており、搬送チャック保持部５の位置決めがなされた後搬送チャック保持部５で研磨盤２０７を保持するとき、一対のローラ１５と突き当て体１７とが研磨用テーブル２０５に当接している状態を維持したまま、搬送チャック保持部設置体１１が下降するようになっているので、搬送チャック保持部設置体１１の研磨用テーブル２０５と研磨盤２０７とに対する位置を確実に維持したまま、搬送チャック保持部５による研磨盤２０７の保持をすることができる。
【符号の説明】
【００８９】
１  搬送チャック
５  搬送チャック保持部
７  搬送チャック位置決め部
９  当接部
１１  搬送チャック保持部設置体
１３  ベース体
１５  ローラ
１７  突き当て体
１９  回動付勢位置決め部
２３  移動付勢位置決め部
２０７  被搬送物（研磨盤）
２０５  被搬送物支持体（研磨用テーブル）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2015047665.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2015047665.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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