(57)【要約】【課題】  位置決め精度を向上できるアライメントマークと、このアライメントマークを使用する成形品を提供する。【解決手段】  基準マーク要素１１とその周囲に位置する側部マーク要素１２とが形成されている。基準マーク要素１１と側部マーク要素１２は凸球面である。基準マーク要素１１と側部マーク要素１２とが交差しているため、交差部に正方形の第１の交差線１３と放射状の第２の交差部１４が形成されている。第１の交差線１３の正方形と、第２の交差線１４の放射線の図形を利用することで、基準マーク要素１１の中心Ｏ１を求めることができる。【選択図】図２
2015202608.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
凸球面の一部または凹球面の一部で形成されたマーク要素が複数個組み合わされており、
前記マーク要素は、基準マーク要素と、前記基準マーク要素を挟んで配置された複数の側部マーク要素とに区分され、複数の前記側部マーク要素が同じ曲率半径で形成されていることを特徴とするアライメントマーク。
【請求項２】
前記基準マーク要素と前記側部マーク要素は、曲率半径が互いに等しい請求項１記載のアライメントマーク。
【請求項３】
前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）からそれぞれの前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）までの距離（Ｌ）が、前記基準マーク要素の輪郭線として現れる円の半径（ｒ１）と前記側部マーク要素の輪郭線として現れる円の半径（ｒ２）との和よりも短く、前記基準マーク要素と前記側部マーク要素との交差部に交差線が現れている請求項１または２記載のアライメントマーク。
【請求項４】
前記側部マーク要素が偶数個設けられ、対を成す前記側部マーク要素のそれぞれの中心（Ｏ２）が、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）から等距離にあり、その側部マーク要素の中心（Ｏ２）を結ぶ線が、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）を通り、前記交差線で偶数角形が形成されている請求項３記載のアライメントマーク。
【請求項５】
４個設けられた前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）が、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）を通る直交線（Ｘ−Ｙ）上に位置している請求項４記載のアライメントマーク。
【請求項６】
前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）から、前記中心（Ｏ１）を挟んで第１の方向（Ｘ）の両側に位置する前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）までの距離と、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）から、前記中心（Ｏ１）を挟んで第２の方向（Ｙ）の両側に位置する前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）までの距離と、が等しい請求項５記載のアライメントマーク。
【請求項７】
前記基準マーク要素と、それぞれの前記側部要素との交差部に形成される前記交差線で正方形または正方形の一部が形成されている請求項６記載のアライメントマーク。
【請求項８】
前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）から、前記中心（Ｏ１）を挟んで第１の方向（Ｘ）の両側に位置する前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）までの距離と、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）から、前記中心（Ｏ１）を挟んで第２の方向（Ｙ）の両側に位置する前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）までの距離と、が相違している請求項５記載のアライメントマーク。
【請求項９】
前記基準マーク要素と、それぞれの前記側部要素との交差部に形成される前記交差線で長方形または長方形の一部が形成されている請求項８記載のアライメントマーク。
【請求項１０】
前記側部マーク要素どうしが交差しており、その交差部に形成される第２の交差線が、前記基準マークの中心（Ｏ１）から延びる放射線上に位置している請求項５ないし９のいずれかに記載のアライメントマーク。
【請求項１１】
前記側部マーク要素が奇数個設けられ、前記交差線で奇数角形が形成されている請求項３記載のアライメントマーク。
【請求項１２】
前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）からそれぞれの側部マーク要素（Ｏ２）の中心までの距離が等しく、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）と前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）とを結ぶ線が、前記基準マーク要素（Ｏ１）を中心として等角度に位置している請求項１１記載のアライメントマーク。
【請求項１３】
前記基準マーク要素が３個設けられ、前記交差線が正三角形または正三角形の一部を形成している請求項１２記載のアライメントマーク。
【請求項１４】
前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）からそれぞれの前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）までの距離（Ｌ）が、前記基準マーク要素の輪郭線として現れる円（ｒ１）の半径と前記側部マーク要素の輪郭線として現れる円の半径（ｒ２）との和よりも長い請求項１または２記載のアライメントマーク。
【請求項１５】
前記側部マーク要素が偶数個設けられ、対を成す前記側部マーク要素のそれぞれの中心（Ｏ２）が、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）から等距離にあり、その側部マーク要素の中心（Ｏ２）を結ぶ線が、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）を通っている請求項１４記載のアライメントマーク。
【請求項１６】
前記側マーク要素が奇数個設けられ、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）からそれぞれの側部マーク要素（Ｏ２）の中心までの距離が等しく、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）と前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）とを結ぶ線が、前記基準マーク要素（Ｏ１）を中心として等角度に位置している請求項１４記載のアライメントマーク。
【請求項１７】
請求項１ないし１６のいずれかに記載されたアライメントマークを有することを特徴とする成形品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス成形品や樹脂成形品の加工や組み立ての基準となるアライメントマークならびに前記アライメントマークを有する成形品に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、成形金型とこの成形金型で成形される光学部品に関する発明が記載されている。
【０００３】
この発明は、球面アレイや非球面アレイを有する光学部品が成形金型によって成形されるが、円錐工具を使用したプレス加工で前記成形金型に凹部を形成しておくことで、光学部品にアライメントマークが転写される。この光学部品は、アライメントマークを位置決め基準としてプリンタヘッドに取り付けられる。
【０００４】
前記円錐工具を使用することで、前記アライメントマークは、直径が０．２から０．５ｍｍ程度の球面となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−０８９１２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載された成形品に形成されるアライメントマークは、単一の球面であり、その輪郭線は単一な円形状である。
【０００７】
成形品は、アライメントマークの中心点を基準としてプリンタヘッドなどへ位置決めされるが、アライメントマークの輪郭線が単一の円である場合には、その中心点を正確に求めるのが困難である。例えば、成形金型の表面に歪みや傾きや面粗れがあると、成形金型に円錐工具によるプレス加工や、切削工具や砥石による研削加工によって、アライメントマークを転写するための凹球面を形成する際に、凹球面の輪郭線が正確な真円にならず、歪みやすくなる。また、成形金型からガラス成形品や樹脂成形品にアライメントマークが転写されるときに、ガラス材料や樹脂材料の収縮などによりアライメントマークの輪郭線が正確な真円にならないことがある。
【０００８】
輪郭線が真円にならない状態であると、アライメントマークの輪郭線を基準として中心を求めたとしても、その中心が、本来の位置決め基準と位置ずれすることになり、アライメントマークを使用しても、成形品の位置決めを正確に行うことができなくなる。
【０００９】
本発明は上記従来の課題を解決するものであり、製品へ組み込むときの位置決めや加工時の位置決めを高精度に行うことができるアライメントマークおよび前記アライメントマークを使用した成形品を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のアライメントマークは、凸球面の一部または凹球面の一部で形成されたマーク要素が複数個組み合わされており、
前記マーク要素は、基準マーク要素と、前記基準マーク要素を挟んで配置された複数の側部マーク要素とに区分され、複数の前記側部マーク要素が同じ曲率半径で形成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明は、前記基準マーク要素と前記側部マーク要素は、曲率半径が互いに等しいことが好ましい。
【００１２】
本発明のアライメントマークは、複数の側部マーク要素の輪郭線などを測定基準として基準マーク要素の中心点を求めることで、単一のマーク要素を基準とする従来例に比較して、アライメントマークの中心点を正確に求めることができるようになり、成形品の位置決め作業の精度を高めることができる。
【００１３】
本発明は、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）からそれぞれの前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）までの距離（Ｌ）が、前記基準マーク要素の輪郭線として現れる円の半径（ｒ１）と前記側部マーク要素の輪郭線として現れる円の半径（ｒ２）との和よりも短く、前記基準マーク要素と前記側部マーク要素との交差部に交差線が現れているものが好ましい。
【００１４】
上記発明では、基準マーク要素の球面と側部マーク要素の球面との交差部に直線状の交差線が現れる。この交差線の形状は、基準マーク要素と側部マーク要素の球面形状に依存する。球面は輪郭線のように成形金型の表面の歪みなどの影響を受けにくいため、球面どうしの交差線を基準とすることで、アライメントマークの中点を比較的正確に求めることができるようになる。
【００１５】
例えば、前記側部マーク要素が偶数個設けられ、対を成す前記側部マーク要素のそれぞれの中心（Ｏ２）が、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）から等距離にあり、その側部マーク要素の中心（Ｏ２）を結ぶ線が、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）を通り、前記交差線で偶数角形が形成されている。
【００１６】
本発明のアライメントマークは、４個設けられた前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）が、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）を通る直交線（Ｘ−Ｙ）上に位置しているものとして構成できる。
【００１７】
例えば、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）から、前記中心（Ｏ１）を挟んで第１の方向（Ｘ）の両側に位置する前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）までの距離と、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）から、前記中心（Ｏ１）を挟んで第２の方向（Ｙ）の両側に位置する前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）までの距離と、が等しい。
【００１８】
この場合は、前記基準マーク要素と、それぞれの前記側部要素との交差部に形成される前記交差線で正方形または正方形の一部が形成されている。
【００１９】
あるいは、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）から、前記中心（Ｏ１）を挟んで第１の方向（Ｘ）の両側に位置する前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）までの距離と、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）から、前記中心（Ｏ１）を挟んで第２の方向（Ｙ）の両側に位置する前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）までの距離と、が相違している。
【００２０】
この場合は、前記基準マーク要素と、それぞれの前記側部要素との交差部に形成される前記交差線で長方形または長方形の一部が形成されている。
【００２１】
本発明のアライメントマークは、交差線で形成される正方形またはその一部、あるいは長方形またはその一部を利用し、例えば重心を算出するなどによって、アライメントマークの中心が算出される。
【００２２】
さらに、本発明は、前記側部マーク要素どうしが交差しており、その交差部に形成される第２の交差線が、前記基準マークの中心（Ｏ１）から延びる放射線上に位置しているものとして構成できる。
【００２３】
この発明では、第２の交差線の交点を求めることで、アライメントマークの中心を求めることができる。
【００２４】
本発明のアライメントマークは、前記側部マーク要素が奇数個設けられ、前記交差線で奇数角形が形成されているものであってもよい。
【００２５】
この場合に、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）からそれぞれの側部マーク要素（Ｏ２）の中心までの距離が等しく、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）と前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）とを結ぶ線が、前記基準マーク要素（Ｏ１）を中心として等角度に位置していることが好ましい。
【００２６】
例えば、前記基準マーク要素が３個設けられ、前記交差線が正三角形または正三角形の一部を形成している。
【００２７】
または、本発明のアライメントマークは、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）からそれぞれの前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）までの距離（Ｌ）が、前記基準マーク要素の輪郭線として現れる円（ｒ１）の半径と前記側部マーク要素の輪郭線として現れる円の半径（ｒ２）との和よりも長いものである。
【００２８】
この場合は、基準マーク要素と側部マーク要素との間に交差線が形成されないが、複数の側部マーク要素の位置や形状を利用してアライメントマークの中心を求めることができる。
【００２９】
場合も、前記側部マーク要素が偶数個設けられ、対を成す前記側部マーク要素のそれぞれの中心（Ｏ２）が、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）から等距離にあり、その側部マーク要素の中心（Ｏ２）を結ぶ線が、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）を通っているものとなる。
【００３０】
あるいは、前記側マーク要素が奇数個設けられ、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）からそれぞれの側部マーク要素（Ｏ２）の中心までの距離が等しく、前記基準マーク要素の中心（Ｏ１）と前記側部マーク要素の中心（Ｏ２）とを結ぶ線が、前記基準マーク要素（Ｏ１）を中心として等角度に位置しているものとなる。
【００３１】
本発明の成形品は、前記いずれかに記載のアライメントマークを有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００３２】
本発明のアライメントマークは、基準マーク要素と、この基準マーク要素の中心点から等距離に位置する複数の側部マーク要素とで構成され、それぞれのマーク要素が球面の一部で形成されている。複数の側部マーク要素を測定基準とすることで、基準マーク要素の中心点を高精度に求めることができる。よって、このアライメントマークを使用して、成形品を高精度に位置決めすることができる。
【００３３】
また、基準マークと側部マークとを交差させて交差線を形成すると、さらにアライメントマークによる位置決め精度を高めることができる。この交差線の形状は、基準マーク要素と側部マーク要素の球面形状に依存する。球面は輪郭線のように成形金型の表面の歪みなどの影響を受けにくいため、球面どうしの交差線を基準とすることで、アライメントマークの中点を比較的正確に求めることができるようになる。 
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の第１の実施の形態のアライメントマークを備えた成形品の正面図、
【図２】（Ａ）は図１に示すアライメントマークの拡大正面図、（Ｂ）はそのＢ−Ｂ線の断面図、
【図３】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、第１の実施の形態の変形例のアライメントマークを示す拡大正面図、
【図４】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、アライメントマークの第２の実施の形態を示す拡大正面図、
【図５】（Ａ）（Ｂ）は、アライメントマークの第３の実施の形態を示す拡大正面図、
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
図１に成形品１が示されている。成形品１はガラス材料で形成されている。例えば、固体のガラス素材を一対の金型で挟み、ガラス素材をガラス転移点以上の温度に加熱し、金型でガラス材料を加圧するいわゆるプレス加工で前記成形品１が成形される。
【００３６】
または、成形品１が合成樹脂製であり、金型のキャビティ内に溶融樹脂が射出されるいわゆる射出成形品であってもよい。さらには、成形品１が合成樹脂シートであり、シートを軟化点に加熱して金型に倣うように密着させて形状を成形するいわゆる真空成形品や圧空成形品であってもよい。
【００３７】
図１に示す実施の形態の成形品１は、ガラス素材からプレス加工されたものであり、中央部の主たる成形領域２にレンズアレイが形成されている。また、主たる成形領域２と並ぶ位置にアライメントマーク１０が形成されている。アライメントマーク１０は、成形品１と他の部品とを組み合わせる際の位置決めに使用される。実施の形態の成形品１では、カメラに組み込む際に、アライメントマーク１０を基準として、レンズアレイが他の光学部品に対して位置決めされる。
【００３８】
前記アライメントマーク１０は、金型の加工の基準を求めるために使用されることもある。例えば、金型の製造過程において、成形領域２を転写するためのキャビティ構造を複数段階の工程で加工する場合に、それぞれの加工工程で、加工中の金型と工具とを位置決めする必要があり、そのために金型に位置決めマークが設けられることがある。この場合には、成形品に、前記位置決めマークが転写されてアライメントマーク１０が残留する。
【００３９】
このように、アライメントマーク１０は、金型加工のために使用されることもあり、成形品の位置決めのために使用されることもある。さらに、双方に使用されることもある。
【００４０】
図２（Ａ）（Ｂ）には、図１に示す成形品１のアライメントマーク１０が拡大して示されている。
【００４１】
図２（Ａ）に示すように、アライメントマーク１０は、基準マーク要素１１と、この基準マーク要素１１を囲む複数の側部マーク要素１２とが組み合わされて構成されている。第１の実施の形態では、４個の側部マーク要素１２が組み合わされている。図２（Ｂ）示すように、基準マーク要素１１と側部マーク要素１２は、球面の一部であり凸球面である。基準マーク要素１１の球面の曲率半径Ｒ１と、４個の側部マーク要素１２の球面の曲率半径Ｒ２は全て同じであり、図２（Ｂ）に示すように、成形品１の表面１ａからの基準マーク要素１１と４個の側部マーク要素１２の突出高さ寸法ｈは全て同じである。高さ寸法ｈは、前記曲率半径Ｒ１，Ｒ２と同じかまたはそれよりも小さい寸法である。
【００４２】
図２（Ａ）に示すアライメントマーク１０の正面図では、側部マーク要素１２の円形の輪郭線１２ａの一部が現れている。基準マーク要素１１の円形の輪郭線は現れないが、図２（Ａ）では、図形の説明を容易にするために、基準マーク要素１１を構成する凸球面と前記表面１ａとの仮想の交線が、仮想の円形の輪郭線１１ａとして破線で示されている。
【００４３】
図２（Ｂ）に示す突出高さ寸法ｈが、マーク要素１１，１２の球面の曲率半径Ｒ１，Ｒ２に一致しているときは、図２（Ａ）に現れる基準マーク要素１１の仮想上の輪郭線１１ａの円形の半径ｒ１と、側部マーク要素１２の輪郭線１２ａの円形の半径ｒ２が前記曲率半径Ｒ１，Ｒ２に一致する。前記高さ寸法ｈが球の曲率半径Ｒ１，Ｒ２よりも小さいと、図２（Ａ）に現れる基準マーク要素１１と側部マーク要素１２の輪郭線１１ａ，１２ａの円形の半径ｒ１，ｒ２は、球の曲率半径Ｒ１，Ｒ２よりも小さくなる。
【００４４】
図２（Ａ）には、基準マーク要素１１の中心Ｏ１と、それぞれの側部マーク要素１２の中心Ｏ２が示されている。図２（Ｂ）に示すように、ここでの中心Ｏ１，Ｏ２は、マーク要素１１，１２を構成する球面の曲率中心である。また、図２（Ａ）では、中心Ｏ１は、基準マーク要素１１の仮想上の輪郭線１１ａの曲率中心であり、中心Ｏ２は、側部マーク要素１２の輪郭線１２ａの曲率中心である。
【００４５】
基準マーク要素１１の中心Ｏ１からそれぞれの側部マーク要素１２の中心Ｏ２までの距離は、全て同一である。また、側部マーク要素１２の中心Ｏ２は、基準マーク要素１１の中心Ｏ１を中心として互いに直交するＸ−Ｙ線上に位置している。
【００４６】
図２（Ａ）に示すように、基準マーク要素１１の中心Ｏ１から側部マーク要素１２の中心Ｏ２までの距離Ｌが、基準マーク要素１１の仮想上の円形の輪郭線１１ａの半径ｒ１と、側部マーク要素１２の円形の輪郭線１２ａの半径ｒ２との和よりも短いとき（Ｌ＜ｒ１＋ｒ２）、基準マーク要素１１と側部マーク要素１２との交差部に第１の交差線１３が現れる。
【００４７】
基準マーク要素１１と側部マーク要素１２は、共に球面であるため、立体的に見たときの第１の交差線１３は、円弧の一部であるが、図２（Ａ）に示す正面図では、第１の交差線１３が直線として現れる。図２（Ａ）に示す例では、基準マーク要素１１とすべての側部マーク要素１２とが交差部を有し、且つ側部マーク要素１２どうしも交差部を有している。したがって、４本の第１の交差線１３により正方形が形成されている。
【００４８】
図２（Ａ）（Ｂ）に示すアライメントマーク１０は、第１の交差線１３で形成される正方形の中心が、基準マーク要素１１の中心Ｏ１に理論的には一致する。そのため、成形品１を、製品の筐体や他の部品と位置合わせするときに、正方形の交差線１３をカメラで取得して画像処理を施し、正方形の中心を算出することで、基準マーク要素１１の中心Ｏ１を高精度に検出することができる。
【００４９】
これに対し、従来のアライメントマークは、単一の基準マーク要素１１のみで中心Ｏ１を検出する必要があるため、金型の表面の歪みや傾き、面粗れの影響、あるいは成形品１の表面の歪みなど成形時の寸法誤差の影響で、基準マーク要素１１の輪郭線が真円にならないことがある。よって、１つの基準マーク要素１１の中心を輪郭線のみから正確に求めるのが難しい。これに対し、図２に示すアライメントマーク１０では、正面図に現れる正方形の交差線１３を利用してその中心を求めることにより、基準マーク要素１１の中心Ｏ１を高精度に検出することができる。
【００５０】
この場合に、基準マーク要素１１と側部マーク要素１２の成形に歪みなどが有ったとしても、正方形の第１の交差線１３を使用することで、個々のマーク要素１１，１２の歪みなどによる影響を大幅に低減させることができる。
【００５１】
なお、交差線１３で形成された正方形の中心を求める算出方法は、４本の交差線１３の対向距離の中心をＸ，Ｙ方向の双方で求める方法、正方形の角部の対角線方向の距離の中心を求める方法、交差線１３で囲まれた図面の重心（図心）を求める方法などである。
【００５２】
図２（Ａ）に示すアライメントマーク１０は、隣り合う側部マーク要素１２どうしが交差している。そのため、側部マーク要素１２どうしの交差部に第２の交差線１４が現れる。図２（Ａ）の正面図では、第２の交差線１４は、基準マーク要素１１の中心Ｏ１を中心点として放射状に延びる直線である。したがって、アライメントマーク１０の画像を取得したときに、４本現れている第２の交差線１４の交点を推測して、その交点を中心Ｏ１として検出し、または第１の交差線１３の正方形と、第２の交差点１４の放射線の双方から中心Ｏ１を検出することもできる。
【００５３】
図３（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、アライメントマーク１０の変形例を示している。
図３（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示す変形例は、図２（Ａ）（Ｂ）に示す第１の実施の形態において、基準マーク要素１１の球面の曲率半径Ｒ１と、側部マーク要素１２の球面の曲率半径Ｒ２を変えることなく、基準マーク要素１１と側部マーク要素１２の表面１ａからの突出高さ寸法ｈを低くしたものに相当している。または、基準マーク要素１１の中心Ｏ１と側部マーク要素１２の中心Ｏ２との距離を、図２（Ａ）（Ｂ）に示す実施の形態よりも長くしたものに相当している。
【００５４】
図３（Ａ）に示すアライメントマーク１０の変形例は、基準マーク要素１１とそれぞれの側部マーク要素１２とが交差部を有しているが、隣接する側部マーク要素１２どうしがちょうど接している。よって、第１の交差線１３で正方形が形成されるが、第２の交差線１４は現れない。
【００５５】
図３（Ａ）に示す変形例では、正面図に現れる第１の交差線１３の正方形を基準として、図２（Ａ）のアライメントマーク１０と同じ手法で基準マーク要素１１の中心Ｏ１を求めることができる。
【００５６】
図３（Ｂ）に示す変形例は、基準マーク要素１１とそれぞれの側部マーク要素１２とが交差部を有しているが、隣接する側部マーク要素１２どうしが離れている。そのため、交差部に直線の第１の交差線１３が現れ、さらに、隣接する側部マーク要素１２の間に、基準マーク要素１１の円弧軌跡の輪郭線１１ａの一部が現れている。円弧軌跡の輪郭線１１ａは、直線の交差線１３と連続して現れる。
【００５７】
図３（Ｂ）に示すアライメントマーク１０は、直線状の第１の交差線１３が残されているため、第１の交差線１３を使用して基準マーク要素１１の中心Ｏ１を求めることができる。あるいは、アライメントマーク１０の画像を取得したときに、４本の第１の交差線１３から仮想上の正方形を作成し、この正方形を基準として中心Ｏ１を求めることができる。または、第１の交差線１３と輪郭線１１ａとで囲まれた図形の重心（図心）を算出して中心Ｏ１を推定することができる。
【００５８】
図３（Ｃ）に示す変形例では、基準マーク要素１１の中心Ｏ１から側部マーク要素１２の中心Ｏ２までの距離が、正面図に現れる基準マーク要素１１の円の半径ｒ１と側部マーク要素１２の円の半径ｒ２との和よりも長くなっている（Ｌ１＞ｒ１＋ｒ２）。したがって、基準マーク要素１１と側部マーク要素１２との交差部に交差線が現れていない。
【００５９】
図３（Ｃ）に示すアライメントマーク１０では、基準マーク要素１１の周囲に側部マーク要素１２が存在しており、側部マーク要素１２の中心Ｏ２が、基準マーク要素１１の中心Ｏ１で直交するＸ−Ｙ線上に位置している。
【００６０】
このアライメントマーク１０では、例えば、側部マーク要素１２の円形の輪郭線１２ａからそれぞれの側部マーク要素１２の中心Ｏ２を求め、４箇所の中心Ｏ２の配置の中心点を計算することを基準マーク１１の中心Ｏ１を求める。また、基準マーク要素１１の円形の輪郭線１１ａからその中心Ｏ１を算出し、この中心Ｏ１の位置を、４箇所の中心Ｏ２の配置の中心点として算出した値で補正してもよい。あるいは、基準マーク要素１１と４個の側部マーク要素１２の全ての図形からその重心を算出して、その重心（図心）を中心Ｏ１と想定することができる。
【００６１】
図３（Ｃ）に示す変形例においても、基準マーク要素１１の周囲に位置する側部マーク要素１２が中心Ｏ１を算出するために使用されるため、単一の基準マーク要素１１のみでその中心Ｏ１を求める従来例に比べて、中心Ｏ１の検出精度を高くできる。すなわち、マーク要素１１，１２の円形の輪郭線１１ａ，１２ａに歪みなどがあったとしても、基準マーク要素１１と側部マーク要素１２の双方を使用することで、円形の輪郭線の歪みによる誤差を平均化でき、中心Ｏ１の検出精度を高めることができるようになる。
【００６２】
なお、図２ならびに図３に示す実施の形態では、基準マーク要素１１の中心Ｏ１に対して、側部マーク要素１２の中心Ｏ２が、Ｘ方向とＹ方向へ等間隔であり、その結果、４本の第１の交差線１３が、正方形を形成し、または正方形の一部を構成している。しかし、本発明では、中心Ｏ１と中心Ｏ２との距離がＸ方向とＹ方向で相違していてもよい。例えば、中心Ｏ１からＸ方向の２つの中心Ｏ２までの距離よりも、中心Ｏ１からＹ方向の２つの中心Ｏ２までの距離を短くすることが可能である。この場合には、４本の第１の交差線１３が長方形となり、または長方形の一部を構成する。
【００６３】
この変形例においても、第１の交差線１３で形成される長方形から、アライメントマーク１０の中心を求めることができる。
【００６４】
すなわち、側部マーク要素１２が４個設けられている場合に、中心Ｏ１に対してＸ方向の両側に位置する中心Ｏ２に関しては、Ｏ１−Ｏ２間の距離が互いに等しく、中心Ｏ１に対してＹ方向の両側に位置する中心Ｏ２に関しても、Ｏ１−Ｏ２間の距離が互いに等しい。ただし、Ｘ方向でのＯ１−Ｏ２間の距離と、Ｙ方向でのＶＯ１−Ｏ２間の距離は、互いに相違していてもよい。
【００６５】
図４（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示す第２の実施の形態のアライメントマーク２０は、基準マーク要素２１の周囲に３個の側部マーク要素２２が設けられている。側部マーク要素２２の中心Ｏ２は、基準マーク要素２１の中心Ｏ１に対して１２０度の角度で配置されている。
【００６６】
図４（Ａ）に示す実施の形態は、基準マーク要素２１と３個の側部マーク要素２２とが交差し、さらに側部マーク要素２２どうしも交差している。基準マーク要素２１とそれぞれの側部マーク要素２２との交差部に直線の交差線２３が現れている。交差線２３は、正三角形を構成している。
【００６７】
図４（Ｂ）に示す変形例は、基準マーク要素２１と側部マーク要素２２とが交差しているが、側部マーク要素２２どうしは交差していない。そのため、交差線２３と交差線２３と非連続部に、基準マーク要素２１の輪郭線２１ａが現れている。
【００６８】
図４（Ａ）（Ｂ）に示す変形例では、正三角形の構成要素である第１の交差線２３を基本として、その重心を求めることで、基準マーク要素２１の中心Ｏ１を検出することができる。
【００６９】
図４（Ｃ）に示す変形例は、基準マーク要素２１と側部マーク要素２２とが全て交差部を有していない。この変形例でも、図３（Ｃ）に示したのと同じ算出方法により、側部マーク要素２２を使用して基準マーク要素２１の中心Ｏ１を検出することができる。
【００７０】
図５（Ａ）（Ｂ）に示す第２の実施の形態のアライメントマーク３０は、基準マーク要素３１と２つの側部マーク要素３２とが組み合わされている。
【００７１】
図５（Ａ）に示す実施の形態では、基準マーク要素３１と、２つの側部マーク要素３２とが交差部を有しており、交差部に交差線３３が現れている。交差線３３は２本現れ、共に直線であり互い平行である。
【００７２】
図５（Ａ）に示す実施の形態は、２本の交差線３３を使用することで主にＸ方向での位置決めを行うことができるので、例えば、図５（Ａ）に示すアライメントマーク１０を２組設け、互いに直交する向きに配置することで、Ｘ−Ｙ方向の双方の位置決めが可能になる。
【００７３】
図５（Ｂ）に示す変形例は、基準マーク要素３１と側部マーク要素３２とが交差していない。この変形例では、図３（Ｃ）や図４（Ｃ）に示す形態と同様の手法で、Ｘ方向の位置決め基準を算出することができる。例えば、図５（Ｂ）に示すアライメントマーク１０を２組設け、互いに直交する向きに配置することで、Ｘ−Ｙ方向の双方の位置決めが可能になる。
【００７４】
なお、前記の基準マーク要素１１，２１，３１と、側部マーク要素２２，２２，３２は、凹球面であってよい。また、基準マーク要素１１，２１，３１の曲率半径と、側部マーク要素１２，２２，３２の曲率半径とが相違してもよい。
【００７５】
また、前記実施の形態は、側部マーク要素１２が偶数個の例として２個と４個について説明したら、これら側部マーク要素１２が２個、４個以外の偶数個であってもよい。また、側部マーク要素１２が奇数個の例として３個について説明したら、これら側部マーク要素１２が３個以外の奇数個であってもよい。 
【符号の説明】
【００７６】
１  成形品
２  成形領域
１０  アライメントマーク
１１  基準マーク要素
１１ａ  輪郭線
１２  側部マーク要素
１２ａ  輪郭線
１３  第１の交差線
１４  第２の交差線
２０  アライメントマーク
２１  基準マーク要素
２２  側部マーク要素
３０  アライメントマーク
３１  基準マーク要素
３２  側部マーク要素
【図１】
2015202608.tif 000003
【図２】
2015202608.tif 000004
【図３】
2015202608.tif 000005
【図４】
2015202608.tif 000006
【図５】
2015202608.tif 000007