(57)【要約】【課題】変形しやすいプレートにおいても、加工処理中のプレートの歪みを低減することが可能なプレート吊り下げ具を提供する。【解決手段】プレートを吊り下げた状態で保持するプレート吊り下げ具は、プレートを保持する２つの保持部を備え、２つの保持部のうちの一方の保持部は、他方の保持部と共にプレートを保持する第１の保持状態から、第１の保持状態における保持位置よりも鉛直方向下側の位置、かつ、第１の保持状態よりも他方の保持部からの距離が異なる位置で、プレートを保持する第２の保持状態へと変化することができる。【選択図】図６
2015199590.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プレートを吊り下げた状態で保持するプレート吊り下げ具であって、
前記プレートを保持する２つの保持部を備え、
前記２つの保持部のうちの一方の保持部は、
他方の保持部と共に前記プレートを保持する第１の保持状態から、
前記第１の保持状態における保持位置よりも鉛直方向下側の位置、かつ、前記第１の保持状態よりも前記他方の保持部からの距離が異なる位置で、前記プレートを保持する第２の保持状態へと変化することができる、プレート吊り下げ具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プレート吊り下げ具に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばプラスチック、金属、合板等で形成されているプレートに対して、例えばプラズマＣＶＤ（plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition）処理、メッキ処理、各種の剤の塗布処理、水洗処理等の加工処理を施す際に、処理室内へのプレートの搬入および搬出と、処理室内でのプレートの保持と、のために用いられるプレート吊り下げ具が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−７５２２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図１は、従来のプレート吊り下げ具について説明するための説明図である。プレート吊り下げ具１ｘは、プレート５０を保持するための複数の保持部２０ｘ、３０ｘを備えている。保持部２０ｘは、プレート５０を保持すると共に、時計回りＲＤに回転可能に形成されている。保持部３０ｘは、プレート５０を保持すると共に、反時計回りＯＲＤに回転可能に形成されている。
【０００５】
図２は、プレートが膨張した際の一例について説明するための説明図である。図３は、プレートが膨張した際の他の例について説明するための説明図である。加工処理に際してプレート５０は、温度や湿度が異なる様々な環境下に晒される。このような周囲の温度や湿度の変化に伴って、プレート５０が外向き方向ＨＲに向かって膨張することがある。従来のプレート吊り下げ具１ｘは、プレート５０の膨張に伴って、保持部２０ｘが時計回りＲＤに回転し、保持部３０ｘが反時計回りＯＲＤに回転することで、保持部２０ｘがプレート５０を保持する部分と保持部３０ｘがプレート５０を保持する部分との間隔を広げていた（図２）。また、この際、プレート５０は、図２の矢印に示すように、鉛直方向上側に上がっていた。このようにして、従来のプレート吊り下げ具１ｘは、プレート５０の膨張を吸収し、プレート５０に生じる歪みを低減していた。しかし、例えば薄板等の変形しやすいプレート５０の場合、プレート５０は、自身の膨張に伴って保持部２０ｘ、３０ｘを回転させるほどの剛性を持たない場合がある。このような場合、プレート吊り下げ具１ｘは、図２のように動作することができず、結果として、プレート５０に反り等の大きな歪みが生じてしまうという課題があった（図３）。
【０００６】
このため、変形しやすいプレートにおいても、加工処理中のプレートの歪みを低減することが可能なプレート吊り下げ具が望まれていた。そのほか、従来の技術では、プレート吊り下げ具のプレート保持性能の向上、耐久性の向上、製造の容易化、低コスト化等が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００８】
（１）本発明の一形態によれば、プレートを吊り下げた状態で保持するプレート吊り下げ具が提供される。このプレート吊り下げ具は；前記プレートを保持する２つの保持部を備え；前記２つの保持部のうちの一方の保持部は；他方の保持部と共に前記プレートを保持する第１の保持状態から；前記第１の保持状態における保持位置よりも鉛直方向下側の位置、かつ、前記第１の保持状態よりも前記他方の保持部からの距離が異なる位置で、前記プレートを保持する第２の保持状態へと変化することができる。この形態のプレート吊り下げ具によれば、プレート吊り下げ具の一方の保持部は、第１の保持状態から第２の保持状態へと変化することができる。第２の保持状態において一方の保持部は、第１の保持状態における保持位置よりも鉛直方向下側の位置でプレートを保持するため、第１の保持状態から第２の保持状態への変化は、プレートの自重を利用して実現することができる。また、第２の保持状態において一方の保持部は、他方の保持部からの距離が異なる位置でプレートを保持するため、プレートの伸縮に伴うプレートの歪みを低減することができる。この結果、本形態のプレート吊り下げ具によれば、自重を持ち上げることができない薄板等の変形しやすいプレートにおいても、加工処理中のプレートの伸縮に伴うプレートの歪みを低減することができる。
【０００９】
なお、本発明は、種々の形態で実現することが可能である。例えば、プレート吊り下げ具、プレート吊り下げ具の保持部、プレート吊り下げ具を備える加工処理装置、プレート吊り下げ方法等の態様で実現することができる。また、本発明は、上述した種々の特徴を必ずしも全て備えている必要はなく、その一部を省略して構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】従来のプレート吊り下げ具について説明するための説明図である。
【図２】プレートが膨張した際の一例について説明するための説明図である。
【図３】プレートが膨張した際の他の例について説明するための説明図である。
【図４】本発明の一実施形態としてのプレート吊り下げ具１の概略構成を示す説明図である。
【図５】保持部２０の構成について説明するための説明図である。
【図６】プレート膨張時におけるプレート吊り下げ具１の変化について説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
Ａ．実施形態：
図４は、本発明の一実施形態としてのプレート吊り下げ具１の概略構成を示す説明図である。プレート吊り下げ具１は、プレートに対して例えばプラズマＣＶＤ（plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition）処理、メッキ処理、各種の剤の塗布処理、水洗処理等の加工処理を施す際に、処理室内へのプレート５０の搬入および搬出と、処理室内でのプレート５０の保持と、のために用いられる。本実施形態において、プレート５０は、例えば、厚さ１ｍｍ以下の金属板や、柔らかい材質で形成された薄板等、変形しやすい性質を有している。
【００１２】
プレート吊り下げ具１は、搬送部１０と、保持部２０と、保持部３０と、を備えている。搬送部１０は、搬送方向に延びる棒状の部材であり、プレート５０と共に処理室内へ入る。保持部２０と、保持部３０とは、それぞれ、プレート５０を保持する。保持部２０と、保持部３０とは、搬送部１０に対して、搬送部１０の延伸方向（図４における左右方向）に所定の距離を空けて取り付けられている。本実施形態では、搬送部１０、保持部２０、保持部３０は、それぞれ、防錆性と耐熱性とに優れた金属を用いて形成されている。
【００１３】
図５は、保持部２０の構成について説明するための説明図である。保持部２０は、固定部２１と、第１のリンク２２と、第２のリンク２３と、回転機構２４と、重り２５と、保持爪２６と、第１の凸部２７と、第２の凸部２８と、を備えている。固定部２１は、搬送部１０と保持部２０とを固定する。
【００１４】
第１のリンク２２は、固定部２１から鉛直方向下側に向けて階段状に延伸する部材である。第１のリンク２２は、第１の延伸部２２ａと、第２の延伸部２２ｂと、第３の延伸部２２ｃと、第４の延伸部２２ｄと、第５の延伸部２２ｅと、を備えている。第１の延伸部２２ａは、固定部２１から鉛直方向下側に向けて延伸するように形成されている。第２の延伸部２２ｂは、第１の延伸部２２ａから保持部３０と反対側方向にほぼ直角に屈曲して延伸するように形成されている。第３の延伸部２２ｃは、第２の延伸部２２ｂから鉛直方向下側にほぼ直角に屈曲して延伸するように形成されている。第４の延伸部２２ｄは、第３の延伸部２２ｃから保持部３０と反対側方向にほぼ直角に屈曲して延伸するように形成されている。第５の延伸部２２ｅは、第４の延伸部２２ｄから鉛直方向下側にほぼ直角に屈曲して延伸するように形成されている。
【００１５】
第２のリンク２３は、棒状の部材である。第２のリンク２３は、略中央部において、第１のリンク２２の第３の延伸部２２ｃの下端（鉛直方向下側の端部）に取り付けられている。回転機構２４は、第１のリンク２２に対して第２のリンク２３を、回転可能な状態で保持する。
【００１６】
重り２５は、第２のリンク２３の一の端部であって、保持部３０とは反対側の端部に取り付けられた重りである。保持爪２６は、第２のリンク２３の他の端部であって、保持部３０側の端部に取り付けられた部材である。保持爪２６は、第２のリンク２３から回転機構２４の軸方向に延びる腕部と、腕部の先端から鉛直方向上側に延びる爪部とを備えている。プレート５０の一方の孔に保持爪２６の腕部を通すことで、保持部２０は、プレート５０を吊り下げた状態で保持することができる。
【００１７】
第１の凸部２７は、第１のリンク２２のうち、第２の延伸部２２ｂと第３の延伸部２２ｃとの間に設けられている突起である。第１の凸部２７は、回転機構２４の軸方向に突出している。第１の凸部２７は、鉛直方向を向いた第２のリンク２３を支持する位置（換言すれば、回転機構２４を中心として、概ね１２時の位置）に配置されている。
【００１８】
第２の凸部２８は、第１のリンク２２のうち、第５の延伸部２２ｅに設けられている突起である。第２の凸部２８は、回転機構２４の軸方向に突出している。第２の凸部２８は、搬送部１０の延伸方向を向いた第２のリンク２３を支持する位置（換言すれば、回転機構２４を中心として、概ね９時の位置）に配置されている。
【００１９】
上記のような構成を備えることにより、本実施形態の第２のリンク２３は、回転機構２４を中心とした回転運動により、第１の凸部２７と第２の凸部２８との間を、時計回りＲＤ方向に移動することができる。そして、第１の凸部２７と第２の凸部２８とは、第２のリンク２３の移動範囲を制限する。
【００２０】
図４の保持部３０は、固定部３１と、リンク３２と、幅広部３３と、保持爪３４と、を備えている。固定部３１は、搬送部１０と保持部３０とを固定する。
【００２１】
リンク３２は、固定部３１から鉛直方向下側に延伸する部材である。幅広部３３は、リンク３２よりも、搬送部１０の延伸方向における幅が広く形成されている部材であり、リンク３２の下端（鉛直方向下側の端部）に対して取り付けられている。
【００２２】
保持爪３４は、幅広部３３に取り付けられた部材である。保持爪３４は、幅広部３３から回転機構２４の軸方向に延びる腕部と、腕部の先端から鉛直方向上側に延びる爪部とを備えている。プレート５０の他方の孔に保持爪３４の腕部を通すことで、保持部３０は、プレート５０を吊り下げた状態で保持することができる。なお、保持爪３４は、搬送部１０の延伸方向における取り付け位置が調整可能であっても良い。そうすれば、プレート吊り下げ具１を、種々の大きさのプレート５０を吊り下げ可能に構成することができる。
【００２３】
本実施形態において、膨張していない状態のプレート５０は、図４に示すように水平な状態で保持されている。このように、保持部２０が他方の保持部、すなわち保持部３０と共に、略水平の位置でプレート５０を保持している状態を「第１の保持状態」とも呼ぶ。第１の保持状態では、重り２５の重さによって第２のリンク２３には反時計回りの力が働き、第２のリンク２３が第２の凸部２８に支持されることによって、保持部２０の第２のリンク２３は、搬送部１０と水平方向に維持されている（図４）。また、このとき、保持部２０の保持爪２６は固定部２１の延長線Ｅ上に位置している。
【００２４】
図６は、プレート膨張時におけるプレート吊り下げ具１の変化について説明するための説明図である。例えば、プラズマＣＶＤを用いてプレート５０に成膜処理を施す場合、プレート５０は３００℃〜８５０℃の高熱雰囲気下に晒されて、膨張する。プレート５０が膨張した場合、プレート５０は外向き方向ＨＲに向かって伸張する。すると、外向き方向ＨＲに向かって掛かる力とプレート５０の自重とによって、保持部２０の第２のリンク２３は時計回りＲＤに向かって回転する。その後、保持部２０の第２のリンク２３が第１の凸部２７に移動を制限されることによって、保持部２０の第２のリンク２３は、搬送部１０と略垂直方向に維持される（図６）。このようにして、保持部２０が第１の保持状態における保持位置よりも鉛直方向下側の位置でプレート５０を保持している状態を「第２の保持状態」とも呼ぶ。
【００２５】
第２の保持状態においては、プレート５０は、図６に示すように傾斜した状態で保持されている。また、第２の保持状態では、保持部２０の保持爪２６は、固定部２１の延長線Ｅ上よりも外側（保持部３０から遠ざかる方向）に位置している。換言すれば、第２の保持状態では、第１の保持状態と比較して、保持部２０がプレート５０を保持する部分と、保持部３０がプレート５０を保持する部分との間隔が広くなっている。このため、プレート吊り下げ具１は、プレート５０の伸張に伴う変形を吸収し、プレート５０に生じる歪みを低減することができる。例えば、従来のプレート吊り下げ具におけるプレート５０の反りが約７〜１０ｍｍであった場合、同じ条件下において本実施形態のプレート吊り下げ具１を用いた場合のプレート５０の反りは、約３〜５ｍｍとすることができる。
【００２６】
このように、本実施形態のプレート吊り下げ具１によれば、プレート吊り下げ具１の一方の保持部（保持部２０）は、第１の保持状態（図４）から第２の保持状態（図６）へと変化することができる。第２の保持状態において一方の保持部（保持部２０）は、第１の保持状態における保持位置よりも鉛直方向下側の位置でプレート５０を保持するため、第１の保持状態から第２の保持状態への変化は、プレート５０の自重を利用して実現することができる。また、第２の保持状態において一方の保持部（保持部２０）は、他方の保持部（保持部３０）からの距離が異なる位置でプレート５０を保持するため、プレート５０の伸縮に伴うプレート５０の歪みを低減することができる。この結果、本形態のプレート吊り下げ具１によれば、自重を持ち上げることができない薄板等の変形しやすいプレート５０においても、加工処理中のプレートの伸縮に伴うプレートの歪みを低減することができる。
【００２７】
なお、上記実施形態では、プレート５０の膨張に伴う変形を吸収可能なプレート吊り下げ具１について説明したが、プレート５０の収縮に伴う変形を吸収可能なプレート吊り下げ具１を構成することもできる。この場合、図５に示した保持部２０に対して、以下の変形１〜３を施せばよい。
【００２８】
（１）重り２５と保持爪２６との位置を入れ替える。
（２）回転機構２４は、第２のリンク２３を、反時計回り方向に回転可能な状態で保持する。
（３）第１のリンク２２の第４の延伸部２２ｄは、第３の延伸部２２ｃから保持部３０の方向にほぼ直角に屈曲して延伸する構成とする。
【００２９】
上記変形１〜３の結果、回転機構２４を中心として、第１の凸部２７は概ね１２時の位置に配置され、第２の凸部２８は概ね３時の位置に配置される。このような構成において、プレート５０が収縮した場合、プレート５０の収縮に伴い内向き方向に掛かる力とプレート５０の自重とによって、保持部２０の第２のリンク２３は反時計回りに向かって回転する。その後、保持部２０の第２のリンク２３が第１の凸部２７に移動を制限されることによって、保持部２０の第２のリンク２３は、搬送部１０と略垂直方向に維持される。この結果、本変形のプレート吊り下げ具１によっても、自重を持ち上げることができない薄板等の変形しやすいプレート５０においても、加工処理中のプレートの伸縮に伴うプレートの歪みを低減する、との効果を奏することができる。
【００３０】
Ｂ．変形例：
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を採ることができる。例えば、プレート吊り下げ具の構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲において任意に定めることができる。
【００３１】
例えば、プレート吊り下げ具が２つの保持部を備える構成について説明したが、プレート吊り下げ具は、３つ以上の保持部を備えていてもよい。この場合、プレート吊り下げ具は、上述した保持部２０と同様の構成を備える複数の保持部と、保持部３０と同様の構成を備える１つの保持部と、を備えていればよい。また、第２の保持状態において傾斜したプレート５０を支えるために、保持部２０と同様の構成を備える複数の保持部における第２のリンク２３の長さは、それぞれ異なる長さとすることが好ましい。
【００３２】
例えば、上述した保持部２０の具体的な構成はあくまで一例であり、任意の変形を施すことが可能である。具体的には、保持部２０は、保持部３０と略水平の位置でプレート５０を保持する「第１の保持状態」と、保持部３０よりも鉛直方向下側の位置でプレート５０を保持する「第２の保持状態」と、をプレート５０の伸縮に伴って切り替え可能な限りにおいて、任意の構成を採用することができる。
【００３３】
例えば、保持部２０および保持部３０は、プレート５０の孔を利用してプレート５０を保持する構成としたが、プレート５０をクリップ等で挟持することで、プレート５０を保持する構成としてもよい。
【符号の説明】
【００３４】
１…プレート吊り下げ具
１０…搬送部
２０…保持部
２０ｘ…保持部
２１…固定部
２２…第１のリンク
２３…第２のリンク
２４…回転機構
２６…保持爪
２７…第１の凸部
２８…第２の凸部
３０…保持部
３０ｘ…保持部
３１…固定部
３２…リンク
３３…幅広部
３４…保持爪
５０…プレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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