(57)【要約】【課題】  検出精度を向上する気体漏れ検出装置を提供する。【解決手段】  気体供給部に接続する供給ポート４５は、ポートハウジング４６、弁部材４７、突出部４８、スプリング４９から構成されている。弁部材４７は、内部空間４６５に往復移動可能に収容され、内部空間４６５と通路４５１とを連通可能な溝４７１を有する。スプリング４９は、弁部材４７の端面４７３がポートハウジング４６の内壁４６０に当接するよう弁部材４７を付勢する。気密検査を開始するとき突出部４８が検査対象側に当接すると、弁部材４７は天側に移動し内部空間４６５と通路４５１とが連通する。検査が終了し供給ポート４５と検査対象側とが離間すると、弁部材４７は地側に移動し端面４７３がポートハウジング４６の内壁４６０に当接する。これにより、内部空間４６５に残留する気体が検査対象を収容するチャンバ内に流出することを防止できる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
気密性が検査される検査対象（３）の内部に封入された気体の漏れを検出する気体漏れ検出装置（１）であって、
前記検査対象を収容するチャンバ（２０）と、
前記チャンバ内の特定の気体の濃度を検出し、気体の濃度に応じた信号を出力する濃度検出手段（３０）と、
前記濃度検出手段が検出可能な気体を供給する気体供給部（４０）と、
前記気体供給部と前記検査対象との間に少なくとも一つは設けられ、筒状のポートハウジング（１６、４６）、前記ポートハウジングに往復移動可能に収容され前記ポートハウジング内を第１空間（１６１、１６２、４６３、４６４、４６５）と第２空間（１５１、４５１）とに区画しつつ前記第１空間と前記第２空間とを連通可能な連通路（１７４、４７１、７７１）を有する弁部材（１７、４７、７７）、及び、前記連通路の前記第２空間側の開口（１７７、４７２）を形成する前記弁部材の端面（１７８、４７３）が前記ポートハウジングの内壁（１６０、４６０）に当接し前記第１空間と前記第２空間とを遮断するよう前記弁部材を付勢する付勢部材（１９、４９）から形成され、前記気体供給部が供給する気体が流通可能なポート（１５、４５、７５）と、
を備え、
前記弁部材に前記付勢部材の付勢力に抗する力が作用すると、前記弁部材は前記ポートハウジングの内壁から離間し、前記連通路を介して前記第１空間と前記第２空間とが連通することを特徴とする気体漏れ検出装置。
【請求項２】
前記弁部材は、前記弁部材の端面に設けられ、前記第２空間と外部とを連通する前記ポートハウジングの開口（１６５、４６７）から外部に突出する突出部（１８、４８）を有することを特徴とする請求項１に記載の気体漏れ検出装置。
【請求項３】
前記連通路は、前記弁部材の径方向外側の外壁に溝状に形成されることを特徴とする請求項１または２に記載の気体漏れ検出装置。
【請求項４】
前記検査対象と接続し気体を前記検査対象内に供給する接続管（１３）を有し、前記検査対象を搭載する搭載部（１０）と、
前記濃度検出手段が出力する信号が入力され、入力される信号に基づいて気体濃度を算出する算出部（３５）と、
前記算出部が算出する気体の濃度に基づいて、前記搭載部及び前記ポートの少なくとも一つの移動を制御する制御部（３６）と、
を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の気体漏れ検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気密性が検査される検査対象の内部に封入された気体の漏れ量を検出する気体漏れ検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、気密性が要求される熱交換器部品や燃料噴射系部品などの気密性を検査するとき、これら検査対象の内部に高圧の気体を封入し、検査対象から漏れている気体の漏れ量を検出する気体漏れ検出装置が知られている。特許文献１には、検査対象を収容するチャンバ、検査対象内に検出対象の気体であるトレーサガスを供給する気体供給手段、チャンバ内の気体の濃度を検出する気体濃度検出手段、及び、チャンバの内部の気体を吸引するポンプを備える気体漏れ検出装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許５０５０１３９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の気体漏れ検出装置では、チャンバ内及び検査対象内を真空引きした後、検査対象内に気体を封入する。その後、チャンバ内の気体の濃度を気体濃度検出手段によって検出し、検査対象の気密性を検査する。特許文献１に記載の気体漏れ検出装置では、検査対象と気体供給手段とを接続する接続管の内壁に付着する気体をポンプによって十分に除去することができないため、接続管が検査対象から外れたとき、チャンバ内に気体が拡散するおそれがある。このため、気密検査を連続して行うと、チャンバ内の気体のバックグランド濃度が上昇し、検査対象の気密性を精度よく検査することができない。
【０００５】
本発明の目的は、検出精度を向上する気体漏れ検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、気密性が検査される検査対象の内部に封入された気体の漏れを検出する気体漏れ検出装置である。本発明の気体漏れ検出装置は、検査対象を収容するチャンバと、チャンバ内の特定の気体の濃度を検出し気体の濃度に応じた信号を出力する濃度検出手段と、濃度検出手段が検出可能な気体を供給する気体供給部と、気体供給部と検査対象との間に少なくとも一つは設けられ気体供給部が供給する気体が流通可能なポートと、を備える。ポートは、筒状のポートハウジング、ポートハウジングに往復移動可能に収容されポートハウジング内を第１空間と第２空間とに区画しつつ第１空間と第２空間とを連通可能な連通路を有する弁部材、及び、連通路の第２空間側の開口を形成する弁部材の端面がポートハウジングの内壁に当接し第１空間と第２空間とを遮断するよう弁部材を付勢する付勢部材から形成されている。弁部材に付勢部材の付勢力に抗する力が作用すると、弁部材はポートハウジングの内壁から離間し、連通路を介して第１空間と第２空間とが連通することを特徴とする。
【０００７】
本発明の気体漏れ検出装置では、ポートは、ポートハウジング内を第１空間と第２空間とに区画しつつ第１空間と第２空間とを連通可能な連通路を有する弁部材を備えている。弁部材は、付勢部材の付勢力によって連通路の第２空間側の開口を形成する弁部材の端面がポートハウジングの内壁に当接しており、第１空間と第２空間とは遮断されている。弁部材に付勢部材の付勢力に抗する力が作用すると、弁部材はポートハウジングの内壁から離間し、連通路を介して第１空間と第２空間とが連通する。検査対象の気密検査において、検査対象内に気体を供給するとき、弁部材に付勢部材の付勢力に抗する力を作用させ連通路を介して第１空間と第２空間とを連通する。また、気密性の検査を終了しポートを気体供給部または検査対象から外すとき、弁部材に作用する力を解除し第１空間と第２空間とを遮断する。これにより、第１空間に残留する気体がチャンバ内に排出されることを防止し、チャンバ内の気体濃度のバックグランドの上昇を防止する。したがって、検査対象の気密検査における検査対象からの気体の漏れを高精度に検出することができる。また、検出誤差によって検査対象の気密性の検査ミスを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態による気体漏れ検出装置の概略構成を説明する模式図である。
【図２】本発明の一実施形態による気体漏れ検出装置の導入ポートの断面図である。
【図３】本発明の一実施形態による気体漏れ検出装置の供給ポートの断面図である。
【図４】本発明の一実施形態による気体漏れ検出装置を用いた検査対象の気密検査の第１のフローチャートである。
【図５】本発明の一実施形態による気体漏れ検出装置を用いた検査対象の気密検査の第２のフローチャートである。
【図６】本発明の一実施形態による気体漏れ検出装置の作用を説明する断面図である。
【図７】本発明の一実施形態による気体漏れ検出装置の作用を説明する断面図であって、図６とは異なる作用を説明する断面図である。
【図８】本発明の他の実施形態による気体漏れ検出装置の供給ポートの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１０】
（一実施形態）
本発明の一実施形態による気体漏れ検出装置について、図１〜図７に基づいて説明する。気体漏れ検出装置１は、例えば、熱交換器の配管やラジエータなどの「検査対象」の気密性を検査する気密検査において用いられる。気体漏れ検出装置１は、「搭載部」としてのパレット１０、「ポート」としての導入ポート１５、チャンバ２０、「濃度検出手段」としてのガスセンサ３０、算出部３５、制御部３６、気体供給部４０、「ポート」としての供給ポート４５、ポンプ５０、駆動部６０など備える。なお、図１、図２（ａ）、及び図３（ａ）において、紙面の上側を「天」側、紙面の下側を「地」側とする。
【００１１】
パレット１０は、「検査対象」としての熱交換器部品３を固定するステージ１２、パレット１０に設けられる導入ポート１５と熱交換器部品３とを接続する接続管１３などを備える。接続管１３は、導入ポート１５の内部と熱交換器部品３の内部とを連通する接続通路１３１を有する。パレット１０は、白抜き矢印Ｄ１の方向に移動するベルトコンベアなどの搬送手段１１上に一定の間隔で搭載され、チャンバ２０の内部に出入りする。
【００１２】
導入ポート１５は、パレット１０上のステージ１２とは異なる位置に設けられている。導入ポート１５は、接続管１３を介して供給ポート４５が供給する気体を熱交換器部品３の内部に供給する。導入ポート１５は、図２に示すように、ポートハウジング１６、弁部材１７、突出部１８、「付勢部材」としてのスプリング１９などから構成されている。
【００１３】
ポートハウジング１６は、略筒状に形成に形成されている。ポートハウジング１６は、内部に接続通路１３１と連通する通路１６１、通路１６１の内径より大きい内径を有する内部空間１６２、内部空間１６２と連通可能な「第２空間」としての通路１５１を有する。内部空間１６２の天側に位置し通路１５１を形成する端部１６４には通路１５１と外部とを連通する開口１６５が形成されている。また、内部空間１６２の通路１６１側には、ポートハウジング１６の内壁に固定されている支持部１６６が収容されている。支持部１６６の通路１６１側の端部には通路１６７が形成され、内部空間１６２と通路１６１とは通路１６７を介して連通する。通路１６１及び内部空間１６２は、特許請求の範囲に記載の「第１空間」に相当する。
【００１４】
弁部材１７は、ポートハウジング１６の支持部１６６に支持されつつ、内部空間１６２を天地方向に往復移動可能に収容されている。弁部材１７は、摺動部１７１、平板部１７２、シール部１７３などから形成されている。
摺動部１７１は、支持部１６６のポートハウジング１６の内壁に固定されている側とは反対側の端部に設けられる。摺動部１７１は、支持部１６６の外壁と摺動可能なよう形成されている。
平板部１７２は、摺動部１７１の天側に設けられる。平板部１７２は、内径が内部空間１６２の内径より小さくなるよう形成されている。
シール部１７３は、略環状に形成され、平板部１７２の天側に設けられる。弁部材１７が天側に移動するとき、シール部１７３は、端部１６４の内部空間１６２側の内壁に当接する。
平板部１７２の径方向外側の端面１７４及びシール部１７３の径方向外側の端面１７５とポートハウジング１６の天地方向に形成される内壁１６３との間には内部空間１６２と通路１５１とを連通可能な連通路１７６が形成される。
【００１５】
突出部１８は、シール部１７３の径内方向に平板部１７２の略中央から通路１５１、開口１６５を介してポートハウジング１６の外部に突出するよう設けられる。突出部１８には、図２（ｂ）に示すように、断面が十字状の溝１８１が形成されている。
【００１６】
スプリング１９は、一端を弁部材１７の平板部１７２に当接している。また、他端をポートハウジング１６の内部空間１６２を形成する内壁に当接している。スプリング１９は、弁部材１７をポートハウジング１６の端部１６４側に付勢する。スプリング１９は、連通路１７６の天側の開口１７７を形成するシール部１７３の端面１７８がポートハウジング１６の内壁１６０に当接するよう弁部材１７を付勢する。
【００１７】
チャンバ２０は、箱状に形成されている。チャンバ２０は、熱交換器部品３を搭載するパレット１０をチャンバ２０内に導入する導入口２０１、気密検査が終了したチャンバ２０内の熱交換器部品３をパレット１０とともに外部に導出する導出口２０２を有する。チャンバ２０の外側には、導入口２０１を開閉するチャンバ扉２１、導出口２０２を開閉するチャンバ扉２２が設けられている。
【００１８】
ガスセンサ３０は、チャンバ２０の外壁に設けられる。ガスセンサ３０は、チャンバ２０内の「特定の気体」としてのトレーサガス、例えば、ヘリウムガスの濃度を検出する。ガスセンサ３０は、検出した濃度に応じた電気信号を算出部３５に出力する。
【００１９】
圧力センサ３１は、チャンバ２０の外壁に設けられる。圧力センサ３１は、チャンバ２０内の圧力を検出する。圧力センサ３１は、検出した圧力に応じた電気信号を算出部３５に出力する。
【００２０】
算出部３５は、ガスセンサ３０が出力する信号に基づいてチャンバ２０内のヘリウムガスの濃度を算出する。また、算出部３５は、圧力センサ３１が出力する信号に基づいてチャンバ２０内の圧力を算出する。算出部３５は、算出した結果を制御部３６に出力する。
【００２１】
制御部３６は、気体供給部４０、ポンプ５０、駆動部６０と電気的に接続している。制御部３６は、算出部３５が出力する算出結果に応じてこれらの駆動を制御する。
【００２２】
気体供給部４０は、可撓性を有する供給管４１を介して供給ポート４５に接続している。気体供給部４０は、熱交換器部品３内に封入されるヘリウムガスを供給ポート４５に供給する。
【００２３】
供給ポート４５は、チャンバ２０に対して白抜き矢印Ｄ２のように往復移動可能なよう設けられている。供給ポート４５は、図３に示すように、ポートハウジング４６、弁部材４７、突出部４８、「付勢部材」としてのスプリング４９などから構成されている。
【００２４】
ポートハウジング４６は、第１ポートハウジング４６１、及び、第２ポートハウジング４６２から形成されている。
第１ポートハウジング４６１は、筒状に形成されている。第１ポートハウジング４６１の一方の端部は供給管４１と接続している。第１ポートハウジング４６１の他方の端部には第２ポートハウジング４６２が設けられている。第１ポートハウジング４６１は、一方の端部側から、通路４６３、４６４、内部空間４６５を有する。それぞれの内径は、通路４６３、通路４６４、内部空間４６５の順に大きくなるよう形成されている。通路４６３、４６４、内部空間４６５は、特許請求の範囲に記載の「第１空間」に相当する。
【００２５】
第２ポートハウジング４６２は、略有底筒状に形成されている。第２ポートハウジング４６２は、第１ポートハウジング４６１の外径より大きい外径を有する。第２ポートハウジング４６２の地側に位置する底部４６６には、内部空間４６５と連通可能な「第２空間」としての通路４５１を有する。通路４５１の外部側には外部と通路４５１とを連通する開口４６７が形成されている。底部４６６の地側には、導入ポート１５と当接可能な当接部材４６８が設けられている。
【００２６】
弁部材４７は、略円柱状に形成されている。弁部材４７は、第１ポートハウジング４６１の内部空間４６５に往復移動可能に設けられている。弁部材４７は、外径が第２ポートハウジング４６２の通路４５１の内径より大きくなるよう形成されている。弁部材４７は、最も地側に移動すると、第２ポートハウジング４６２の内壁に設けられているシール部材４６９に当接する。弁部材４７には、図３（ｂ）に示すように、径方向外側の外壁に複数の「連通路」としての溝４７１が形成されている。一実施形態では、四個の溝４７１が等間隔に形成されている。溝４７１の通路４５１側の開口４７２は、シール部材４６９の径外方向に形成される。
【００２７】
突出部４８は、弁部材４７の通路４５１側の端面４７３に設けられている。弁部材４７がシール部材４６９に当接しているとき、突出部４８は第２ポートハウジング４６２に設けられている当接部材４６８の地側の端面から突出するよう形成されている。
【００２８】
スプリング４９は、一端を弁部材４７に当接している。また、スプリング４９の他端は通路４６３と通路４６４とが接続する部位に形成される段差に当接している。スプリング４９は、溝４７１の開口４７２を形成する弁部材４７の端面４７３が第２ポートハウジング４６２の内壁４６０に当接するよう弁部材４７を付勢する。
【００２９】
ポンプ５０は、第１ポンプ管５１を介して供給管４１と接続している。ポンプ５０は、制御部３６からの指令に応じて駆動し、供給ポート４５、導入ポート１５を介して熱交換器部品３の内部を減圧する。また、ポンプ５０は、第２ポンプ管５２を介してチャンバ２０内と接続している。ポンプ５０は、制御部３６からの指令に応じて駆動し、チャンバ２０内を減圧する。
【００３０】
駆動部６０は、チャンバ２０の外側に設けられる。駆動部６０は、チャンバ２０に対する供給ポート４５の位置を制御部３６からの指令に応じて駆動する。
【００３１】
次に、一実施形態による気体漏れ検出装置１を用いた熱交換器部品３の気密検査の方法について説明する。
【００３２】
最初にステップ（以下、略して「Ｓ」とする）１０１において、熱交換器部品３を搭載するパレット１０をチャンバ２０に搬入する。チャンバ扉２１の移動によって導入口２０１が開き、導入口２０１を介してパレット１０がチャンバ２０内に搬入される。
【００３３】
次にＳ１０２において、チャンバ扉２１が移動し、導入口２０１が閉じられる。
【００３４】
次にＳ１０３において、制御部３６からの指令に応じて駆動部６０によって供給ポート４５を下降し、供給ポート４５と導入ポート１５とを接続する。Ｓ１０３では、気体漏れ検出装置１は、熱交換器部品３を搭載するパレット１０が所定の位置に移動した後、駆動部６０によって供給ポート４５を地側に移動させる。地側に移動する供給ポート４５は導入ポート１５に当接する。
【００３５】
供給ポート４５が下降すると、図６に示すように、供給ポート４５の突出部４８と導入ポート１５の突出部１８とが当接する。供給ポート４５の突出部４８が導入ポート１５の突出部１８に当接すると、弁部材４７には、スプリング４９の付勢力に抗する力が作用し、内部空間４６５において天側に移動する。これにより、図６に示すように、弁部材４７がシール部材４６９から離間し、内部空間４６５と通路４５１とが連通する。
【００３６】
また、導入ポート１５の突出部１８が供給ポート４５の突出部４８に当接すると、図６に示すように、弁部材１７には、スプリング１９の付勢力に抗する力が作用し、内部空間１６２において地側に移動する。これにより、図６に示すように、弁部材１７のシール部１７３が端部１６４から離間し、内部空間１６２と通路１５１が連通する。
供給ポート４５及び導入ポート１５のこれらの動きにより、気体供給部４０と熱交換器部品３とが、供給管４１、通路４６３、４６４、内部空間４６５、溝４７１、通路４５１、１５１、連通路１７６、内部空間１６２、通路１６１、接続管１３を介して接続する。
【００３７】
次にＳ１０４において、制御部３６からの指令に応じてポンプ５０を駆動し、チャンバ２０内を真空引きする。次にＳ１０５において、チャンバ２０内の圧力を圧力センサ３１によって検出し、算出部３５に出力する。算出部３５では、圧力センサ３１が出力する信号に基づいてチャンバ２０内の圧力を算出する。算出された結果が入力される制御部３６では、チャンバ２０内の圧力が所定の真空度に達しているか否かを判定する。チャンバ２０内の圧力が所定の真空度に達している場合、Ｓ１０９に進む。チャンバ２０内の圧力が所定の真空度に達していない場合、Ｓ１１２に進み、Ｓ１１２において気密検査の結果がＮＧであるフラグを立てる。
【００３８】
また、Ｓ１０４、Ｓ１０５と並行して、Ｓ１０６において、駆動しているポンプ５０によって熱交換器部品３内を真空引きする。一定程度減圧した後、Ｓ１０７において、制御部３６からの指令に応じて気体供給部４０によってヘリウムガスを熱交換器部品３内に供給する。このとき、比較的高い圧力のヘリウムガスを熱交換器部品３内に供給する。次にＳ１０８において、熱交換器部品３内がヘリウムガスによって加圧されているか否かを判定する。気体供給部４０が供給するヘリウムガスが所定の圧力以上で供給されている場合、熱交換器部品３内は加圧されていると判定され、Ｓ１０９に進む。気体供給部４０が供給するヘリウムガスが所定の圧力より小さい圧力で供給されている場合、熱交換器部品３内は加圧されていないと判定され、Ｓ１１２に進み、Ｓ１１２において気密検査の結果がＮＧであるフラグを立てる。
【００３９】
次にＳ１０９において、熱交換器部品３からのヘリウムガスの漏れ量を検出する。減圧されているチャンバ２０に収容されている熱交換器部品３には加圧されたヘリウムガスが封入されている。一定程度の時間経過後、ガスセンサ３０によってチャンバ２０内のヘリウムガスの濃度を検出する。ガスセンサ３０は、検出されたヘリウムガスの濃度に応じた電気信号を算出部３５に出力する。これにより、熱交換器部品３からのヘリウムガスの漏れ量が検出される。
【００４０】
次にＳ１１０において、Ｓ１０９において検出されたチャンバ２０内のヘリウムガスの濃度が所定の濃度以下であるか否かを判定する。ガスセンサ３０によって検出されたチャンバ２０内のヘリウムガスの濃度が規格値以下である場合、熱交換器部品３からの漏れ量は規定値以下であると判定し、Ｓ１１１において気密検査の結果がＯＫであるフラグを立てる。また、ガスセンサ３０によって検出されたチャンバ２０内のヘリウムガスの濃度が規定値より大きい場合、熱交換器部品３からの漏れ量は規格値より大きいと判定し、Ｓ１１２において気密検査の結果がＮＧであるフラグを立てる。
【００４１】
次にＳ１１３において、チャンバ２０内を大気圧に戻す。
また、Ｓ１１３と並行して、Ｓ１１４において、熱交換器部品３内に封入されているヘリウムガスを大気に開放する。その後、Ｓ１１５において、熱交換器部品３内を減圧し、熱交換器部品３内に残留するヘリウムガスを排出する。その後、Ｓ１１６において、熱交換器部品３内を大気圧に戻す。
【００４２】
次に、Ｓ１１７において、制御部３６からの指令に応じて駆動部６０によって供給ポート４５を上昇させ、供給ポート４５と導入ポート１５とを離間させる。このとき、図７に示すように、供給ポート４５の突出部４８と導入ポート１５の突出部１８とが離間すると、供給ポート４５では、突出部４８に作用する押圧力が解除され、スプリング４９の付勢力によって弁部材４７がシール部材４６９に当接する。これにより、内部空間４６５と通路４５１とが遮断される。また、導入ポート１５では、突出部１８に作用する押圧力が解除され、スプリング１９の付勢力によって弁部材１７のシール部１７３が端部１６４に当接する。これにより、内部空間１６２と通路１５１とが遮断される。
供給ポート４５及び導入ポート１５のこれらの動きにより、気体供給部４０と熱交換器部品３とは遮断される。
【００４３】
次に、Ｓ１１８において、チャンバ扉２２が移動し、導出口２０２が開かれる。
最後に、Ｓ１１９において、チャンバ２０内のパレット１０が導出口２０２から外部に搬出される。
【００４４】
従来の気密検査では、検査対象からのトレーサガスの漏れ量を検出した後、トレーサガスが封入されていた検査対象内を減圧し検査対象内に残留するトレーサガスを除去する。しかしながら、短時間の減圧では、気体供給部と検査対象との間を接続する接続管の内壁に付着するトレーサガスを除去することは難しい。このため、気体供給部と検査対象とが離れるとき、接続管の内壁に付着するトレーサガスがチャンバ内に流出し、チャンバ内のトレーサガスの濃度が上昇する。気密検査では、チャンバ内のトレーサガスの濃度を検出するため、気密検査を連続して繰り返すと、チャンバ内のトレーサガスのバックグラウンド濃度が上昇する。このため、検査対象からの漏れ量が規格値以下であるにも関わらず、チャンバ内のバックグラウンド濃度が高いため、気密検査の結果がＮＧとなるおそれがある。
【００４５】
一実施形態による気体漏れ検出装置１では、Ｓ１１７において、供給ポート４５と導入ポート１５とが離間するとき、供給ポート４５では、弁部材４７がシール部材４６９に当接することによって、内部空間４６５と外部と連通する通路４５１とが遮断される。また、導入ポート１５では、弁部材１７のシール部１７３が端部１６４と当接することによって、内部空間１６２と外部と連通する通路１５１とが遮断される。これにより、接続管１３、内部空間４６５、１６２などの内壁に付着しているヘリウムガスのチャンバ２０内への流出を防止し、チャンバ２０内のヘリウムガスのバックグラウンド濃度の上昇を防止する。したがって、検査対象の気密検査における検査対象からの気体の漏れを高精度に検出することができ、検出誤差による熱交換器部品３の気密性の検査ミスを防止することができる。
【００４６】
また、従来の気密検査では、真空引きを長時間行うことで気体供給管の内壁に付着するトレーサガスを除去することが可能である。しかしながら、一つの検査対象に対して長時間の真空引きを行うと気密検査に工数が増加し、検査対象の製造コストが増加する。一実施形態による気体漏れ検出装置１では、接続管１３、内部空間４６５、１６２の内壁に付着しているヘリウムガスのチャンバ２０内への流出を防止することができるため、真空引きの時間を比較的短い時間とすることができる。これにより、工数を減少し、熱交換器部品３の製造コストを低減することができる。
【００４７】
また、気体漏れ検出装置１では、供給ポート４５を駆動する駆動部６０や気体供給部４０、ポンプ５０などをチャンバ２０内の圧力やヘリウムガス濃度に応じて制御部３６が制御する。これにより、熱交換器部品３の気密検査を自動で行うことができる。
【００４８】
（他の実施形態）
（ア）上述の実施形態では、気体供給部側とパレット側との両方にそれぞれ「ポート」としての供給ポート及び導入ポートが接続するとした。しかしながら、いずれか一方に「ポート」が設けられてもよい。
【００４９】
（イ）上述の実施形態では、外部に連通する通路と内部空間とを連通可能な弁部材の「通路」は、弁部材の外壁と第１ポートハウジングまたはポートハウジングの内壁とにより形成されるとした。しかしながら、「通路」が形成される位置及び形状はこれに限定されない。図８に示すように、供給ポート７５が有する弁部材７７の軸方向に貫通する複数の「連通路」としての貫通孔７７１であってもよい。このとき、貫通孔７７１の通路４５１側の開口７７２は、シール部材４６９の径外方向に形成される。これにより、弁部材７７とシール部材４６９とが当接するとき、内部空間４６５と通路４５１とが遮断され、弁部材７７とシール部材４６９とが離間するとき、貫通孔７７１を介して内部空間４６５と通路４５１とが連通する。
【００５０】
（ウ）上述の実施形態では、供給ポート及び導入ポートは、外部と連通する開口から外部に突出する突出部を有しているとした。しかしながら、突出部は有していなくてもよい。例えば、「ポート」としての供給ポートが検査対象に当接するとき、検査対象の接続口にある突出部によって供給ポートの弁部材がスプリングの付勢方向とは反対方向に押圧されてもよい。
【００５１】
（エ）上述の実施形態では、熱交換器部品の気密検査にはヘリウムガスを用いるとした。しかしながら、検査対象の気密性を試験するトレーサガスの種類はこれに限定されない。
【００５２】
（オ）上述の実施形態では、算出部が算出する算出結果に応じて、制御部が気体供給部、ポンプ、及び、駆動部の駆動を制御するとした。しかしながら、気体供給部、ポンプ、及び、駆動部の駆動を制御する方法はこれに限定されない。
【００５３】
（カ）上述の実施形態では、駆動部が、チャンバに対する供給ポートの位置を制御部からの指令に応じて駆動するとした。しかしながら、供給ポートの位置を制御する駆動部はなくてもよい。供給ポートに対してスプリングの付勢力に抗する方向から検査対象やパレットなどが近づくよう設けられてもよい。
【００５４】
以上、本発明はこのような実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の形態により実施可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１          ・・・気体漏れ検出装置、
３          ・・・熱交換器部品（検査対象）、
１３        ・・・接続管、
１５        ・・・導入ポート（ポート）、
１６        ・・・ポートハウジング、
１７        ・・・弁部材、
１９        ・・・スプリング（付勢部材）、
２０        ・・・チャンバ、
３０        ・・・ガスセンサ（濃度検出手段）、
４０        ・・・気体供給部、
４５、７５  ・・・供給ポート（ポート）、
４６、７６  ・・・ポートハウジング、
４７、７７  ・・・弁部材、
４９        ・・・スプリング（付勢部材）、
６０        ・・・駆動部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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