(57)【要約】      （修正有）【課題】クリーニング品質の均一化を図ることができる偏向器用クリーンング装置を提供する。【解決手段】偏向器用クリーニング装置１０は、チャンバー１２と、チャンバー内において偏向器を載置する支持体１９と、支持体の下部に配置され、支持体を回転させるとともに上下方向に移動させる移動機構１８と、イオン化された気体をチャンバー内に噴出する複数のノズル部１３ｃを有するイオナイザー１３と、チャンバー内にダウンフローを発生させる気流制御機構１４と、チャンバー内において、移動機構より上方で、偏向器より下方となるように配置されるパーティクル検出装置１５と、を具備し、複数のノズル部１３ｃは、チャンバーの上方から下方に気体を噴出する第１のノズル部１３ｃ−１と、チャンバーの側面から水平方向に気体を噴出する第２のノズル部１３ｃ−２と、チャンバーの側面から斜め上方向に気体を噴出する第３のノズル部１３Ｃ-３、とを有する。【選択図】図１
2015178048.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバーと、
前記チャンバー内において偏向器を載置する支持体と、
前記支持体の下部に配置され、前記支持体を回転させるとともに、前記支持体を上下方向に移動させる移動機構と、
イオン化された気体を前記チャンバー内に噴出する複数のノズル部を有するイオナイザーと、
前記チャンバー内にダウンフローを発生させる気流制御機構と、
前記チャンバー内において、前記移動機構より上方で、前記偏向器より下方となるように配置されるパーティクル検出装置と、
を具備し、
前記複数のノズル部は、前記チャンバーの上方から下方に前記イオン化された気体を噴出する第１のノズル部と、
前記チャンバーの側面から水平方向に前記イオン化された気体を噴出する第２のノズル部と、
前記チャンバーの側面から斜め上方向に前記イオン化された気体を噴出する第３のノズル部と、
を有する偏向器用クリーニング装置。
【請求項２】
少なくとも互いに隣接する前記複数のノズル部から同時に前記イオン化された気体が噴出されないように、前記イオン化された気体が噴出される前記複数のノズル部を選択する制御部を有する請求項１に記載の偏向器用クリーニング装置。
【請求項３】
前記チャンバーは、少なくとも上方の径が下方の径より大きい形状である請求項１に記載の偏向器用クリーニング装置。
【請求項４】
前記気流制御機構は、前記チャンバー内の前記ダウンフローの風速が一定となるように前記風速を制御する請求項１に記載の偏向器用クリーニング装置。
【請求項５】
チャンバー内に設置された支持体に偏向器を載置し、
前記支持体を回転させるとともに、前記支持体を上下方向に移動させることによって前記偏向器を前記チャンバー内において移動させながら、偏向器の上面、側面、および下面にイオン化された気体を噴出して前記偏向器に付着したパーティクルを剥がし、
前記チャンバー内にダウンフローを生成して、剥がされた前記パーティクルを下方に移動させ、
前記偏向器の下部で前記パーティクルを検出し、前記偏向器のクリーニングが終了したか否かを判断する偏向器クリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、偏向器用クリーニング装置及び偏向器のクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
マスク基板等の試料上に所望のパターンを描画する電子ビーム描画装置は、電子ビームの試料上への照射位置を制御するために、偏向器を有する。偏向器の直ぐ下には試料が載置されており、この偏向器にパーティクルが付着している場合、そのパーティクルが偏向器から剥がれて試料を汚染する。このような試料の汚染を抑制するために、偏向器は清浄にクリーニングされている必要がある。
【０００３】
従来、偏向器のクリーニングは、イオナイザーを使用して手動で行われていた。そのため、クリーニング品質にばらつきが生じていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−９３６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の一態様は、クリーニング品質の均一化を図ることができる偏向器用クリーンング装置および偏向器のクリーニング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る偏向器用クリーニング装置は、チャンバーと、チャンバー内において偏向器を載置する支持体と、支持体の下部に配置され、支持体を回転させるとともに、支持体を上下方向に移動させる移動機構と、イオン化された気体をチャンバー内に噴出する複数のノズル部を有するイオナイザーと、チャンバー内にダウンフローを発生させる気流制御機構と、チャンバー内において、移動機構より上方で、偏向器より下方となるように配置されるパーティクル検出装置と、を具備し、複数のノズル部は、チャンバーの上方から下方に前記イオン化された気体を噴出する第１のノズル部と、チャンバーの側面から水平方向にイオン化された気体を噴出する第２のノズル部と、チャンバーの側面から斜め上方向にイオン化された気体を噴出する第３のノズル部と、を有する。
【０００７】
また、本発明の一態様に係る偏向器用クリーニング装置において、少なくとも互いに隣接する複数のノズル部から同時にイオン化された気体が噴出されないように、イオン化された気体が噴出される複数のノズル部を選択する制御部を有する。
【０００８】
また、本発明の一態様に係る偏向器用クリーニング装置において、チャンバーは、少なくとも上方の径が下方の径より大きい形状である。
【０００９】
また、本発明の一態様に係る偏向器用クリーニング装置は、気流制御機構は、チャンバー内のダウンフローの風速が一定となるように前記風速を制御する。
【００１０】
また、本発明の一態様に係る偏向器のクリーニング方法は、チャンバー内に設置された支持体に偏向器を載置し、支持体を回転させるとともに、前記支持体を上下方向に移動させることによって前記偏向器を前記チャンバー内において移動させながら、前記偏向器の上面、側面、および下面にイオン化された気体を噴出して前記偏向器に付着したパーティクルを剥がし、チャンバー内にダウンフローを生成して、剥がされたパーティクルを下方に移動させ、偏向器の下部でパーティクルを検出し、偏向器のクリーニングが終了したか否かを判断する方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る偏向器用クリーニング装置および偏向器のクリーニング方法によれば、クリーニング品質の均一化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施態様に係る偏向器用クリーニング装置を模式的に示す図である。
【図２】複数の支柱上に配置された偏向器およびその周囲を拡大して示す図である。
【図３】本発明の一実施態様に係る偏向器用クリーニング装置を示す電気ブロック図である。
【図４】本発明の一実施態様に係る偏向器のクリーニング方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本発明の一態様に係る偏向器用クリーニング装置および偏向器のクリーニング方法について説明する。
【００１４】
図１は、本発明の一実施態様に係る偏向器用クリーニング装置を模式的に示す図である。図１に示す偏向器用クリーニング装置１０は、例えば荷電ビーム描画装置に用いられる偏向器１１をクリーニングの対象物とし、偏向器１１の表面にイオン化された気体を所定の圧力／流量で噴出することによって、偏向器１１に付着したパーティクルを剥がし落とし、これによって偏向器１１をクリーニングするものである。
【００１５】
この偏向器用クリーニング装置１０は、クリーニングの対象となる偏向器１１が搬入され、クリーニング処理されるチャンバー１２、チャンバー１２内で偏向器１１にイオン化された気体を所定の風速で噴出するイオナイザー１３、チャンバー１２内にダウンフローを発生させる気流制御機構１４、および偏向器１１から剥がれたパーティクルを検出するパーティクル検出装置１５、を有する。
【００１６】
チャンバー１２は、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）等からなり、架台１６に支持されている。チャンバー１２は、図１中の破線Ａ−Ａ’より下側の部分であり上部に開口部が設けられるチャンバー本体１２ａと、チャンバー本体１２ａの上部に設けられ、開口部を覆うように設けられる蓋体１２ｂより構成される。蓋体１２ｂは、例えば水平方向にスライド移動することによってチャンバー本体１２ａの開口部を開閉することができる。蓋体１２ｂの側面には、蓋体１２ｂをチャンバー本体１２ａに対して移動させるための取っ手１７が設けられている。取っ手１７を蓋体１２ｂの側面に設けることにより、蓋体１２ｂを移動させた際に腕等が開放されたチャンバー本体１２ａの上を通過し、パーティクルが落下することを防止できる。
【００１７】
このようなチャンバー１２は、内部に配置される偏向器１１の形状に対応し、チャンバー１２内部のダウンフローがスムーズに乱れることなく流れるような形状になっている。例えば偏向器１１が図示するように略Ｔ字状である場合、この形状に対応して、少なくともチャンバー本体１２ａ上部の径が、下部の径より広い略テーパ形状となっている。
【００１８】
チャンバー１２の内部には、偏向器１１を支持する支持体である複数の支柱１９、および偏向器１１を移動させる移動機構１８、が設けられている。
【００１９】
図２は、複数の支柱１９上に載置された偏向器１１およびその周囲を拡大して示す図である。図２に示すように、偏向器１１は、リング状のアダプター２０に例えばネジ２１によって固定される。そして、アダプター２０を介して偏向器１１が複数の支柱１９の上端上に載置される。このようにして、偏向器１１は、複数本の支柱１９に支持される。なお、アダプター２０には、複数の貫通孔２２が設けられている。これらの貫通孔２２はそれぞれ通風孔となっている。
【００２０】
このようなアダプター２０を偏向器１１の形状毎に用意することにより、複数の支柱１９は、様々な形状の偏向器１１を支持することができる。
【００２１】
偏向器１１がアダプター２０に固定される場合、偏向器１１のうち、アダプター２０に接する面である接触面Ｓには、イオン化された気体を供給することはできず、この面Ｓをクリーニングすることはできない。しかしながら、偏向器１１を荷電ビーム描画装置に取り付けた際に、偏向器１１の外周部分Ｐは、荷電ビーム描画装置の真空室内には入らず、外気にさらされる。従って、この外周部分Ｐは、パーティクルが付着していても真空室内には影響が出ない領域である。偏向器１１は、領域Ｐにおいてアダプター２０に接触することにより、アダプター２０に固定される。
【００２２】
チャンバー１２の内部の移動機構１８は、複数の支柱１９を回転させるとともに、上下方向に移動させることにより、複数の支柱１９に支持される偏向器１１を回転させ、上下方向に移動させる。本実施態様において、移動機構１８は、複数の支柱１９をステップ状に回転させるとともに、上下方向にステップ移動させる。
【００２３】
イオナイザー１３は、支柱１９に支持された偏向器１１に、例えばイオン化された圧縮空気等のイオン化された気体を所定の風速で噴出することにより、偏向器１１に付着するパーティクルを剥がし落とすものである。
【００２４】
イオナイザー１３は、例えば空気中の水分を除去するドライヤー、圧縮空気を所望の圧力に制御するフィルターレギュレーター、流量をコントロールするニードルバルブ、流量を測定する流量計、イオン化電圧によりプラス（＋）マイナス（−）イオンの生成を制御するイオナイザーコントローラー、圧縮空気の流路（ノズル部）を選択する電磁弁、イオン化のＯＮ／ＯＦＦを制御するシーケンサーなどを含むガスコントロールボックス１３ａ、ガスコントロールボックス１３ａからその一端に圧縮空気が供給される複数本の配管１３ｂ、および各々の配管１３ｂの他端と接続され、各々の配管１３ｂを流れた圧縮空気をイオン化して排出するノズル部１３ｃ、を有する。
【００２５】
ガスコントロールボックス１３ａは、例えば架台１６の内部或いは上部に配置されており、後述するＰＣ（制御部）３１よって制御される。
【００２６】
ノズル部１３ｃは、その先端に例えば放電機構等のような、空気をプラス（＋）イオンとマイナス（−）イオンに分解するイオン化機構（図示せず）を備えており、配管１３ｂから供給される圧縮空気をイオン化して、所定の風速で噴出する。複数のノズル部１３ｃは、これらから噴出されるイオン化された圧縮空気を、上下、回転移動する偏向器１１の全面に、略均一な風速で噴出することができるように、チャンバー１２内部における偏向器１１の上方に設置されるとともに、チャンバー１２側面に設置される。
【００２７】
複数のノズル部１３ｃのうち、偏向器１１の上方に設置される複数の第１のノズル部１３ｃ−１の各々は、偏向器１１の主に上面にイオン化された圧縮空気を噴出する。これらの複数の第１のノズル部１３ｃ−１の各々は、チャンバー１２の内部において偏向器１１の上方に、偏向器１１の上面に対して略垂直方向からイオン化された圧縮空気を噴出することができるように設置されている。このような複数の第１のノズル部１３ｃ−１は、所定のピッチ（例えば３０ｍｍピッチ）で一列に配列されている。
【００２８】
なお、第１のノズル部１３ｃ−１のいくつかは、偏向器１１の上面に対して斜め方向からイオン化された圧縮空気を噴出することができるように設置されていてもよい。
【００２９】
複数のノズル部１３ｃのうち、チャンバー１２側面に設けられる複数の第２のノズル部１３ｃ−２の各々は、偏向器１１の主に側面にイオン化された圧縮空気を噴出する。これらの複数の第２のノズル部１３ｃ−２の各々は、チャンバー１２の側面に対して略垂直方向にイオン化された圧縮空気を噴出することができるように、チャンバー１２の側面に設置されている。このような複数の第２のノズル部１３ｃ−２は、所定のピッチ（例えば３０ｍｍピッチ）で上方から下方に向かって一列に配列されている。
【００３０】
複数のノズル部１３ｃのうち、チャンバー１２側面に設けられる複数の第３のノズル部１３ｃ−３の各々は、偏向器１１の主に下面にイオン化された圧縮空気を噴出する。これらの複数の第３のノズル部１３ｃ−３の各々は、チャンバー１２の側面に対して斜め上方向にイオン化された圧縮空気を噴出することができるように、チャンバー１２の側面に設置されている。このような複数の第３のノズル部１３ｃ−３は、所定のピッチ（例えば３０ｍｍピッチ）で一列に配列されている。
【００３１】
なお、本実施態様において、第１のノズル部１３ｃ−１は６箇所、第２のノズル部１３ｃ−２は７箇所、第３のノズル部１３ｃ−３は５箇所、となるように、複数のノズル部１３ｃは１８箇所に設置されているが、設置位置、個数は限定されるものではなく、適宜設けることができる。
【００３２】
複数のノズル部１３ｃは、少なくとも互いに隣接するノズル部１３ｃが、イオン化された圧縮空気を同時に噴出することがないように、適宜電磁弁などによりＯＮ／ＯＦＦを切換えることが好ましい。隣接するノズル部１３ｃから噴出されるイオンが互いに相殺されることを抑制することができる。
【００３３】
なお、本実施態様において、イオナイザー１３は、圧縮空気をプラス（＋）イオンおよびマイナス（−）イオンに分解し、これらを一括して互いに等しい量だけ噴出してもよく、プラス（＋）イオンおよびマイナス（−）イオンをそれぞれ別に噴出してもよい。また、プラス（＋）イオンの量とマイナス（−）イオンの量とが互いに等しくなくてもよく、各イオンとなる気体も空気に限定されず、微量の水なども含まれる。
【００３４】
また、チャンバー１２には、チャンバー１２内にダウンフローを発生させる気流制御機構１４が設けられている。気流制御機構１４によって発生するダウンフローは、イオナイザー１３によって偏向器１１から剥がされたパーティクルを、少なくとも偏向器１１から下方に移動させる。
【００３５】
この気流制御機構１４は、任意に定められた一定の流量でチャンバー１２外部から空気を取り込むファン１４ａ、およびチャンバー１２内部の空気を外部に排出するブロア１４ｂを有する。
【００３６】
ファン１４ａは、チャンバー１２上端に、フィルタ２３を介して設けられている。ファン１４ａがチャンバー１２外部から空気を取り込むと、取り込まれた空気は、フィルタ２３を介してチャンバー１２内に供給される。供給される空気は、フィルタ２３によってパーティクルが捕集されているため、清浄な空気である。
【００３７】
フィルタ２３としては、０．１５μｍのパーティクルを９９．９９９５％捕集することができる超高性能フィルタであるＵＬＰＡフィルタを用いることが好ましい。
【００３８】
ブロア１４ｂは、チャンバー１２の下部に設けられ、例えばブロア制御部２６により、ブロア１４ｂの回転数を電気的に制御することにより、排出流量チャンバー１２内の空気を排出する量を調節する。このような電気的な制御により、イオン化された圧縮空気の噴出されるノズル部１３ｃの切り替えによる噴出本数の変動や、イオン化された圧縮空気の噴出流量の変動により、チャンバー１２内の風速が変わった場合など、ブロア１４ｂによって排出される空気の流量を自動的に調節（選択）し、チャンバー１２内に、一定の風速のダウンフローを、気流の乱れが生じないように発生させることができる。このようにして制御された流量で、ブロア１４ｂはチャンバー１２内の空気を排気口２５より排出する。なお、排出流量は、ブロア１４ｂ上部に設けられた手動バタフライバルブ２４により手動調整してもよい。
【００３９】
さらに、チャンバー１２において、クリーニングされる偏向器１１の下端より下方、かつ移動機構１８より上方に、パーティクル検出装置１５が設けられている。パーティクル検出装置１５としては、例えばイオナイザー１３によって偏向器１１から剥がされるパーティクルの量と大きさを検出することができるパーティクルカウンター１５ａが挙げられる。パーティクルカウンター１５ａが、偏向器１１から剥がされるパーティクル量を検出することにより、偏向器１１のクリーニングが終了したか否かを確認することができる。例えばパーティクルカウンター１５ａが検出するパーティクル量が０となった場合、偏向器１１のクリーニングが終了したことを確認することができる。
【００４０】
さらにパーティクル捕集装置１５ｂを設けて偏向器１１から剥がれ落ちたパーティクルを捕集してもよい。捕集されたパーティクルを分析することにより、パーティクルの発生源を特定することも可能である。パーティクルカウンター１５ａ、パーティクル捕集装置１５ｂは、パーティクルカウンターコントローラー２７により、適宜水平方向に移動させることができ、チャンバー本体１２ａの側面近傍、或いは中央のパーティクルを検出することができる。
【００４１】
なお、チャンバー１２において、偏向器１１より下方、かつ移動機構１８より上方に、チャンバー１２内の風速を検出することができる風速計２８が設けられてもよい。この風速計２８も、パーティクルカウンター１５ａ等と同様に、風速計コントローラー２９により、チャンバー１２内部を、水平方向に移動することができる。
【００４２】
また、上述したチャンバー１２を支持するとともに、内部にガスコントロールボックス１３ａ等を有する架台１６の近傍には、各種電源３０およびＰＣ（制御部）３１が搭載されたラック３２が配置されている。図３に、実施態様に係る偏向器用クリーニング装置１０の電気ブロック図を示すように、ＰＣ３１は、移動機構１８、ガスコントロールボックス１３ａ、ブロア制御部２６、パーティクルカウンターコントローラー２７、風速計コントローラー２９等と接続され、イオン化された圧縮空気が噴出されるノズル部の選択を含むイオナイザー１２による一連のクリーニング動作や、偏向器１１の移動、気流制御機構１４によるダウンフローを制御する。
【００４３】
ＰＣ（制御部）３１には、偏向器１１をクリーニングするためのクリーニングプログラム（レシピ）が予め記憶されており、偏向器用クリーニング装置１０は、このプログラムにしたがって動作させることができる。なお、例えば異なった複数のクリーニングプログラム（レシピ）をＰＣ（制御部）３１に記憶しておき、使用者は、偏向器１１の種類や履歴などにより複数のプログラムのいずれかを選択して実行することにより、偏向器用クリーニング装置１０を、最適に動作させることもできる。
【００４４】
以下に、このような偏向器用クリーニング装置１０を用いた偏向器１１のクリーニング方法について説明する。
【００４５】
図４は、本発明の一実施態様に係る偏向器のクリーニング方法を示すフローチャートである。
【００４６】
図４に示すように、まず、チャンバー１２の蓋体１２ｂを、その側面に設けられた取っ手１７を用いて開け、アダプター２０に固定された偏向器１１を複数の支柱１９上に載置した後、蓋体１２ｂを閉じる（Ｓ１０１）。
【００４７】
次に、ＰＣ３１に記憶された偏向器用のクリーニングプログラム（レシピ）を選択し、実行する（Ｓ１０２）。これにより、偏向器用クリーニング装置１０は、一連のクリーニング動作を開始する。
【００４８】
まず、チャンバー１２内に、所定の風速のダウンフローを発生させる（Ｓ１０３）。ダウンフローの風速は、風速計２８による検出結果に基づいて、ブロア制御部２６により、ブロア１４ｂの回転数を自動調整して調節される。なお、風速の調節は、手動バタフライバルブ２４によって手動で調節してもよい。
【００４９】
次に、移動機構１８を制御して、偏向器１１をステップ状に回転させるとともに上下方向にステップ移動させる。これと同時に、イオナイザー１３を駆動して、偏向器１１の位置に応じて、所定圧力／流量のイオン化された圧縮空気を、選択された複数のノズル部１３ｃから噴出し、偏向器１１をクリーニングする（Ｓ１０４）。
【００５０】
イオナイザー１３は、ガスコントロールボックス１３ａにおいて、圧縮空気を取り込むと、その空気をドライヤーによって除湿する。除湿された空気は、圧力計によって検出される圧力に基づいて、所望の圧力になるようにフィルターレギュレーターによって制御される。所望の圧力を有する圧縮空気は、選択された複数の配管１３ｂ内を流れ、選択された配管１３ｂに接続されるノズル部１３ｃに供給される。なお、各々の配管１３ｂ内を流れる圧縮空気の流量は、流量計によって検出される流量に基づいて、所望の流量になるようにニードルバルブによって制御される。ノズル部１３ｃに供給された圧縮空気は、ノズル部１３ｃ先端においてイオン化され、偏向器１１の表面に所定の圧力／流量で噴出される。
【００５１】
偏向器１１のクリーニング中、偏向器１１の表面に所定風速のイオン化された圧縮空気が略均一に噴出されるように、選択されたノズル部１３ｃから噴出される圧縮空気の圧力／流量が制御される。なお、選択される複数のノズル部１３ｃは、互いに隣接する複数のノズル部１３ｃからイオン化された圧縮空気が同時に噴出されることがないように、電磁弁によりＯＮ／ＯＦＦが切換えられる。これは、噴出されるイオンが相殺されることを抑制するためである。
【００５２】
また、偏向器１１のクリーニング中、風速計２８により常にダウンフローの風速をモニタすることが好ましい。選択されるノズル部１３ｃの位置、イオン化された圧縮空気の圧力／流量が変動しても、ダウンフローの風速が一定になるように、ブロア１４ｂからの排気量をブロア制御部２６やバタフライバルブ２４により適宜制御することにより、ダウンフローを安定させることができる。
【００５３】
また、クリーニング中には、パーティクルカウンター１５ａにより常にパーティクル数をモニタすることが好ましい。パーティクル数の変動を把握できるとともに、より効率的にパーティクルを除去するよう、クリーニングプログラム（レシピ）にフィードバックさせることもできる。さらに、パーティクル捕集装置１５ｂによりパーティクルを捕集することが好ましい。パーティクル源の特定を図ることができる。
【００５４】
パーティクルカウンター１５ａ、パーティクル捕集装置１５ｂ、及び風速計２８は、偏向器１１のクリーニング中には、移動機構１８により回転される複数の支柱１９と接触しないように、チャンバー本体１２の側面近傍に配置される。
【００５５】
一連の偏向器１１のクリーニング動作が実行されると、パーティクルカウンター１５ａを用いて、偏向器１１のクリーニングが終了したか否かを判断する。  まず、パーティクル量をより高精度で測定するために、パーティクルカウンターコントローラー２７によりパーティクルカウンター１５ａをチャンバー本体１２ａの中央に移動させ（Ｓ１０５）、パーティクル量を検出する（Ｓ１０６）。
【００５６】
パーティクル量が閾値以上（例えば１以上）であると（Ｓ１０７においてＮｏ）、偏向器１１のクリーニングが終了していない、と判断され、偏向器用クリーニング装置１０は、再度クリーニング動作を行う。
【００５７】
再度実行されるクリーンニング動作は、例えば、先に選択されたクリーニングプログラム（レシピ）に従ってもよい。また、クリーニング動作中に検出されるパーティクル量の変化の傾向（履歴）に基づき変更されたクリーニングプログラム（レシピ）に従ってもよい。
【００５８】
例えば、主に第１のノズル部１３ｃ−１からイオン化された圧縮空気が噴出されているときに、検出されるパーティクル量がそれまでと比較して増大した場合、偏向器１１の上面に多くのパーティクルが付着していることがわかる。この場合、再度実行されるクリーニング動作は、第１のノズル部１３ｃ−１からイオン化された圧縮空気が噴出される動作を主とするクリーニングプログラム（レシピ）に変更することにより、効果的にクリーニングを行うことができる。
【００５９】
パーティクル量の検出の結果、パーティクル量が閾値未満（例えば０）となると（Ｓ１０７においてＹｅｓ）、偏向器１１のクリーニングが終了したと判断される。ファン１４ａ、ブロア１４ｂチャンバー１２内のダウンフローを停止させ（Ｓ１０８）た後、チャンバー１２の蓋体１２ｂを開け、アダプター２０に固定された偏向器１１を取り出す（Ｓ１０９）。
【００６０】
このようにして偏向器１１が自動的にクリーニングされる。
【００６１】
以上に説明したように、本実施態様に係る偏向器用クリーニング装置および偏向器のクリーニング方法によれば、偏向器１１のクリーニング動作がクリーニングプログラムにしたがって自動的に実行されるため、クリーニング品質のばらつきが抑制され、クリーニング品質の均一化を図ることができる。
【００６２】
また、設置された所定の位置においてパーティクルカウンター１５ａに、偏向器１１から剥がれたパーティクルの量を検出させることができるため、パーティクルの検出精度を向上させることができ、これによっても、クリーニング品質の均一化を図ることができる。
【００６３】
さらに、従来は、一つのイオナイザーのノズル部を用いて偏向器をクリーニングしていたのに対して、複数のノズル部１３ｃを同時に使用して偏向器１１をクリーニングするため、偏向器１１のクリーニング時間を短縮することもできる。例えば従来は、一回の偏向器１１のクリーニング作業に５時間程度を要していたが、例えば６箇所のノズル部１３ｃを同時に使用して偏向器１１をクリーニングする場合、偏向器１１のクリーニング作業を従来の１／６程度に短縮することができる。
【００６４】
さらにクリーニング動作を自動化することにより、偏向器１１の細部まで正確にクリーニングすることができ、クリーニング品質が向上する。この結果、偏向器１１の組み立て時間を短縮することもできる。
【００６５】
すなわち、偏向器１１は清浄であることが要求されるため、従来は、偏向器１１の組み立て工程に要する時間のうち、１／３程度をクリーニング作業に費やしていた。これに対して本実施態様に係る偏向器用クリーンング装置１０および偏向器１１のクレーニング方法によれば、クリーニング品質が向上するため、偏向器１１の組み立て工程の最後にのみ偏向器１１をクリーニングすれば十分であり、クリーニング作業に費やされていた時間を短縮することもできる。
【００６６】
さらに、クリーニング動作を自動化することにより、例えば夜間、休日等を含む常時、偏向器１１をクリーニングすることができる。したがって、偏向器１１の製造コスト、および偏向器１１が組み込まれる荷電ビーム描画装置の製造コストを抑制することもできる。
【００６７】
以上に、本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６８】
１０・・・偏向器用クリーニング装置
１１・・・偏向器
１２・・・チャンバー
１２ａ・・・チャンバー本体
１２ｂ・・・蓋体
１３・・・イオナイザー
１３ａ・・・イオナイザー本体
１３ｂ・・・配管
１３ｃ、１３ｃ−１、１３ｃ−２、１３ｃ−３・・・ノズル部
１４・・・気流制御機構
１４ａ・・・ファン
１４ｂ・・・ブロア
１５・・・パーティクル検出装置
１５ａ・・・パーティクルカウンター
１５ｂ・・・パーティクル捕集装置
１６・・・架台
１７・・・取っ手
１８・・・移動機構
１９・・・支柱
２０・・・アダプター
２１・・・ねじ
２２・・・貫通孔
２３・・・フィルタ
２４・・・手動バタフライバルブ
２５・・・排出口
２６・・・ブロア制御部
２７・・・パーティクルカウンターコントローラー
２８・・・風速計
２９・・・風速計コントローラー
３０・・・各種電源
３１・・・ＰＣ（制御部）
３２・・・ラック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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