(57)【要約】【課題】気泡の排出性の向上と圧力損失の低減の両立を図ることができる流路形成部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】鉛直方向と交差する方向へ液体を流通させる第１流路２６１と、前記第１流路に接続され、前記鉛直方向下側へ液体を流通させる第２流路と、を備え、前記第１流路は、前記交差する方向に対して交差する面を有する交差部分４１０であって、前記交差する方向と直交する平面上における前記第１流路の断面積を、前記第２流路に向けて小さくする交差部分４１０を有する。【選択図】図１７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛直方向と交差する方向へ液体を流通させる第１流路と、
前記第１流路に接続され、前記鉛直方向下側へ液体を流通させる第２流路と、
を備え、
前記第１流路は、前記交差する方向に対して交差する面を有する交差部分であって、前記交差する方向と直交する平面上における前記第１流路の断面積を、前記第２流路に向けて小さくする前記交差部分を有する、ことを特徴とする流路形成部材。
【請求項２】
前記第１流路の前記交差部分は、前記鉛直方向下側に、前記交差する面を有することを特徴とする請求項１記載の流路形成部材。
【請求項３】
前記第１流路及び前記第２流路の組が複数あり、
複数の組の前記第１流路のそれぞれは、分配流路に連通しており、
前記分配流路は、液体供給源からの液体を前記鉛直方向から供給される流入口と連通し、
それぞれの組の前記第１流路の前記交差部分は、前記流入口から、それぞれの前記第２流路までの距離に応じて、異なっていることを特徴とする請求項１又は２記載の流路形成部材。
【請求項４】
前記第１流路及び前記第２流路の組として、第１組と、前記流入口から前記第２流路までの距離が前記第１組より大きい第２組とがあり、
前記第１組の前記交差部分の始まりの位置から前記第２流路までの距離が、前記第２組の前記交差部分の始まりの位置から前記第２流路までの距離より大きいことを特徴とする請求項３記載の流路形成部材。
【請求項５】
前記第１流路及び前記第２流路の組として、第１組と、前記流入口から前記第２流路までの距離が前記第１組より大きい第２組とがあり、
前記第１組の前記交差部分の終わりの位置から前記第２流路までの距離が、前記第２組の前記交差部分の終わりの位置から前記第２流路までの距離より大きいことを特徴とする請求項３又は４記載の流路形成部材。
【請求項６】
前記分配流路の前記流入路から最初に分岐する第１流路までの断面積は、それより下流側の断面積よりも大きいことを特徴とする請求項３〜５の何れか一項記載の流路形成部材。
【請求項７】
第１部材と第２部材とを備え、
前記第１流路が前記第１部材と前記第２部材とで形成され、
前記交差部分は、前記第２部材に形成され前記第１部材に形成されていないことを特徴とする請求項１〜６の何れか一項記載の流路形成部材。
【請求項８】
前記交差部分において前記断面積を形成する部位は、前記第１部材と前記第２部材との重ね合わせ面より前記第２部材側に位置することを特徴とする請求項７記載の流路形成部材。
【請求項９】
さらに第３部材を備え、
前記第１流路及び前記第２流路の組が複数ある場合に、前記第１部材と前記第２部材とで形成された第１流路の他に、前記第２部材と前記第３部材とで形成された第１流路を具備することを特徴とする請求項７又は８記載の流路形成部材。
【請求項１０】
前記第２部材と前記第３部材とで形成された前記第１流路の前記交差部分は、前記第３部材に形成され前記第２部材に形成されていないことを特徴とする請求項９記載の流路形成部材。
【請求項１１】
前記第１部材と前記第２部材とで形成された第１段の第１流路と、前記第２部材と前記第３部材とで形成された第２段の第１流路とは、前記交差する方向と前記鉛直方向とを含む平面に投影した場合に互いに重ならないことを特徴とする請求項９又は１０記載の流路形成部材。
【請求項１２】
前記第１部材と前記第２部材とで形成された第１段の第１流路と、前記第２部材と前記第３部材とで形成された第２段の第１流路とは、前記交差する方向と前記鉛直方向とを含む平面に投影した場合に互いに重なることを特徴とする請求項９又は１０記載の流路形成部材。
【請求項１３】
前記第１段の前記第１流路と前記第２流路との組、及び前記第２段の前記第１流路と前記第２流路との組は、それぞれ複数あり、
前記第１段の前記第１流路のそれぞれは、第１の分配流路に連通していると共に、前記第２段の前記第１流路のそれぞれは、第２の分配流路に連通しており、
前記第１の分配流路及び前記第２の分配流路のそれぞれは、液体供給源からの液体を鉛直方向から供給される流入口と連通し、
前記第１の分配流路の断面積は、前記第２の分配流路の断面積よりも小さいことを特徴とする請求項９〜１２の何れか一項記載の流路形成部材。
【請求項１４】
前記第２流路の断面積は、これに連通する前記第１流路の断面積より小さいことを特徴とする請求項１〜１３の何れか一項記載の流路形成部材。
【請求項１５】
請求項１〜１４の何れか一項記載の流路形成部材と、
前記流路形成部材から液体が供給され、当該液体を噴射するヘッド本体とを備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項１６】
請求項１５記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する流路形成部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドとして、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室を圧電素子等の圧力発生手段により変形させ、ノズル開口からインク滴を吐出させるヘッド本体と、該ヘッド本体に供給されるインクの流路を構成する流路部材とを備えたインクジェット式記録ヘッドが知られている。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドにおいては、複数のヘッドに対してインク供給源を共通にする場合や、インク供給源からヘッドまでの距離が長い場合には、流路中の圧力損失を低減させたいという要望がある。
【０００４】
また、流路の鉛直方向の上側には気泡が溜まりやすいが、流路中に気泡を留めることなく、下流へ流したいという要望もある。気泡を下流に流すためには流速が大きい方が好ましいが、流速が大きくなると、圧力損失が大きくなり、この点では好ましくない。
【０００５】
ここで、平面流路と鉛直流路の接続部分について、鉛直方向上側の流路形状をサイクロイド曲線とすることで、接続部分の鉛直方向上側に気泡が溜まらないようにする技術が開示されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−２１０７７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した特許文献１では、気泡の排出だけを問題にしており、圧力損失については問題にされていない。よって、気泡の排出性の向上と圧力損失の低減の両立を図ることができる流路構造が求められている。
【０００８】
なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドユニットにおいても同様に存在する。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、気泡の排出性の向上と圧力損失の低減の両立を図ることができる流路形成部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
［態様１］上記課題を解決する本発明の態様は、鉛直方向と交差する方向へ液体を流通させる第１流路と、前記第１流路に接続されて前記鉛直方向下側へ液体を流通させる第２流路と、を備え、前記第１流路は、前記交差する方向に対して交差する面を有する交差部分であって、前記交差する方向と直交する平面上における前記第１流路の断面積を、前記第２流路に向けて小さくする前記交差部分を有する、ことを特徴とする流路形成部材にある。
かかる態様では、第１流路が交差部分を具備し、交差部分の流路の断面積が徐々に小さくなっているので、第１流路の交差部分までで圧力損失を小さくでき、かつ、交差部分で流速を大きくして第２流路との接続部分の上側に気泡が留まらないようにすることができる。
【００１１】
［態様２］ここで、態様１の流路形成部材において、前記第１流路の前記交差部分は、前記鉛直方向下側に、前記交差する面を有することが好ましい。これによれば、交差部分において鉛直方向上側に流れが向かうので、接続部分の鉛直方向上側に気泡がより確実に留まらないようにできる。
【００１２】
［態様３］また、態様１〜態様２の流路形成部材において、前記第１流路及び前記第２流路の組が複数あり、複数の組の前記第１流路のそれぞれは、分配流路に連通しており、前記分配流路は、液体供給源からの液体を前記鉛直方向から供給される流入口と連通し、それぞれの組の前記第１流路の前記交差部分は、前記流入口から、それぞれの前記第２流路までの距離に応じて、異なっていることが好ましい。これによれば、流入口から交差部分までの各流路の圧力損失の大きさを考慮して交差部分を設計することにより、交差部分での圧力損失を調節し、組間の圧力損失のバラツキを低減できる。
【００１３】
［態様４］また、態様３の流路形成部材において、前記第１流路及び前記第２流路の組として、第１組と、前記流入口から前記第２流路までの距離が前記第１組より大きい第２組とがあり、前記第１組の前記交差部分の始まりの位置から前記第２流路までの距離が、前記第２組の前記交差部分の始まりの位置から前記第２流路までの距離より大きいことが好ましい。これによれば、流入口からの距離が大きくなればなるほど大きくなることによる組間の圧力損失のバラツキを、第２流路から交差部分の始まりの位置までの距離を調節することで、低減することができる。
【００１４】
［態様５］また、態様３〜態様４の流路形成部材において、前記第１流路及び前記第２流路の組として、第１組と、前記流入口から前記第２流路までの距離が前記第１組より大きい第２組とがあり、前記第１組の前記交差部分の終わりの位置から前記第２流路までの距離が、前記第２組の前記交差部分の終わりの位置から前記第２流路までの距離より大きいことが好ましい。これによれば、流入口からの距離が大きくなればなるほど大きくなることによる組間の圧力損失のバラツキを、第２流路から交差部分の終わりの位置までの距離を調節することで、低減することができる。
【００１５】
［態様６］また、態様３〜態様５の流路形成部材において、前記分配流路の前記流入路から最初に分岐する第１流路までの断面積は、それより下流側の断面積よりも大きいことが好ましい。これによれば、分配流路の流路の流量がこの分配流路に接続される第１流路の数によって変化しても、分岐の数に応じて断面積を変更することにより、分配流路における流速のバラツキを低減することができる。
【００１６】
［態様７］また、態様１〜態様６の流路形成部材において、第１部材と第２部材とを備え、前記第１流路が前記第１部材と前記第２部材とで形成され、前記交差部分は、前記第２部材に形成され前記第１部材に形成されていないことが好ましい。これによれば、交差部分を第１部材及び第２部材とに亘って形成する場合と比較して、加工が容易になる。
【００１７】
［態様８］また、態様７の流路形成部材において、前記交差部分において前記断面積を形成する部位は、前記第１部材と前記第２部材との重ね合わせ面より前記第２部材側に位置することが好ましい。交差部分の第２の断面積を形成する部位が、第１部材と第２部材との重ね合わせ面や第１部材側に位置すると、接着面の管理が大変になるが、これによれば、第２部材側に設けることで、管理が比較的容易となる。
【００１８】
［態様９］また、態様７〜態様８の流路形成部材において、さらに第３部材を備え、前記第１流路及び前記第２流路の組が複数ある場合に、前記第１部材と前記第２部材とで形成された第１流路の他に、前記第２部材と前記第３部材とで形成された第１流路を具備することが好ましい。これによれば、第２部材の両側に第１流路を形成することで、部品点数の低減を図ることができる。
【００１９】
［態様１０］また、態様９の流路形成部材において、前記第２部材と前記第３部材とで形成された前記第１流路の前記交差部分は、前記第３部材に形成され前記第２部材に形成されていないことが好ましい。これによれば、交差部分を第２部材及び第３部材とに亘って形成する場合と比較して、加工が容易になる。
【００２０】
［態様１１］また、態様９〜態様１０の流路形成部材において、前記第１部材と前記第２部材とで形成された第１段の第１流路と、前記第２部材と前記第３部材とで形成された第２段の第１流路とは、前記交差する方向と前記鉛直方向とを含む平面に投影した場合に互いに重ならないことが好ましい。これによれば、第１段の第１流路と第２段の第１流路とを、鉛直方向に交差する方向で近接して設けることができ、鉛直方向に交差する方向の寸法を小さくすることができる。
【００２１】
［態様１２］また、態様９〜態様１０の流路形成部材において、前記第１部材と前記第２部材とで形成された第１段の第１流路と、前記第２部材と前記第３部材とで形成された第２段の第１流路とは、前記交差する方向と前記鉛直方向とを含む平面に投影した場合に互いに重なることが好ましい。これによれば、第１段の第１流路と第２段の第１流路とを鉛直方向に重ねることで、鉛直方向に交差する方向の寸法を小さくすることができる。
【００２２】
［態様１３］また、態様９〜態様１２の流路形成部材において、前記第１段の前記第１流路と前記第２流路との組、及び前記第２段の前記第１流路と前記第２流路との組は、それぞれ複数あり、前記第１段の前記第１流路のそれぞれは、第１の分配流路に連通していると共に、前記第２段の前記第１流路のそれぞれは、第２の分配流路に連通しており、前記第１の分配流路及び前記第２の分配流路のそれぞれは、液体供給源からの液体を鉛直方向から供給される流入口と連通し、前記第１の分配流路の断面積は、前記第２の分配流路の断面積よりも小さいことが好ましい。これによれば、第１段の第１流路までの圧力損失と、第２段の第１流路までの圧力損失とのバラツキを、それぞれの段の分配流路の断面積により調整することができる。
【００２３】
［態様１４］さらに、態様１〜態様１３の流路形成部材において、前記第２流路の断面積は、これに連通する前記第１流路の断面積より小さいことが好ましい。これによれば、第２流路の流速を向上させ、気泡を効果的に流すことができる。
【００２４】
［態様１５］さらに、本発明の他の態様は、態様１〜１４の上記流路形成部材と、前記流路形成部材から液体が供給され、当該液体を噴射するヘッド本体とを備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、第１流路が交差部分を具備し、交差部分の流路の断面積が徐々に小さくなっているので、第１流路の交差部分までで圧力損失を小さくでき、かつ、交差部分で流速を大きくして第２流路との接続部分の上側に気泡が留まらないようにすることができる流路部材を具備するので、圧力損失の低減と、気泡排出性の優れた流路部材を具備する液体噴射ヘッドが実現できる。
【００２５】
［態様１６］さらに、本発明の他の態様は、態様１５の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、第１流路が交差部分を具備し、交差部分の流路の断面積が徐々に小さくなっているので、第１流路の交差部分までで圧力損失を小さくでき、かつ、交差部分で流速を大きくして第２流路との接続部分の上側に気泡が留まらないようにすることができる流路部材を具備するので、圧力損失の低減と、気泡排出性の優れた流路部材を具備する液体噴射装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの分解斜視図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの底面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの底面図である。
【図６】図４のＡ−Ａ’線断面図である。
【図７】本発明の実施形態１に係るヘッド本体の分解斜視図である。
【図８】本発明の実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。
【図９】本発明の実施形態１のノズル開口の配置を模式的に示した図である。
【図１０】本発明の実施形態１に係る流路部材（第１流路部材）の平面図である。
【図１１】本発明の実施形態１に係る第２流路部材の平面図である。
【図１２】本発明の実施形態１に係る第３流路部材の平面図である。
【図１３】本発明の実施形態１に係る第３流路部材の底面図である。
【図１４】図１０〜図１３のＢ−Ｂ’線断面図である。
【図１５】図１０〜図１３のＣ−Ｃ’線断面図である。
【図１６】図１０〜図１５のＤ−Ｄ’線断面図である。
【図１７】分岐流路と垂直流路を模式的に示す断面図である。
【図１８】交差部分の変形例を示す断面図である。
【図１９】分岐流路と垂直流路と分配流路とを模式的に示す斜視図である。
【図２０】分岐流路と垂直流路を模式的に示す断面図である。
【図２１】交差部分の変形例を示す断面図である。
【図２２】交差部分の変形例を示す断面図である。
【図２３】流路構成を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
〈実施形態１〉
本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単に記録ヘッドともいう。インクジェット式記録ヘッドユニットは、液体噴射ヘッドユニットの一例であり、単にヘッドユニットともいう。インクジェット式記録装置は、液体噴射装置の一例である。図１は、本実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図である。
【００２８】
図１に示すように、インクジェット式記録装置１は、ヘッドユニット１０１を備え、被噴射媒体である紙などの記録シートＳを搬送することで印刷を行う、所謂ライン式記録装置である。
【００２９】
具体的には、インクジェット式記録装置１は、装置本体２と、複数の記録ヘッド１００を有するヘッドユニット１０１と、記録シートＳを搬送する搬送手段４と、ヘッドユニット１０１と相対向する記録シートＳを支持する支持部材７とを具備する。なお、本実施形態では、記録シートＳの搬送方向をＸ方向とする。また、ヘッドユニット１０１のノズル開口が設けられた液体噴射面内において、Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とする。さらに、Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向とする。また、Ｘ方向において、記録シートＳを搬送する上流側をＸ１側、下流側をＸ２側とし、Ｙ方向において一方をＹ１側、他方をＹ２側とし、Ｚ方向において液体噴射方向側（記録シートＳ側）をＺ１側、反対側をＺ２側とする。
【００３０】
ヘッドユニット１０１は、複数の記録ヘッド１００と、複数の記録ヘッド１００を保持するヘッド固定基板１０２とを具備する。
【００３１】
複数の記録ヘッド１００は、搬送方向であるＸ方向に交差する方向であるＹ方向に並設されてヘッド固定基板１０２に固定されている。なお、本実施形態では、複数の記録ヘッド１００は、Ｙ方向の直線上に並設されている。すなわち、複数の記録ヘッド１００は、Ｘ方向にずれて配置されていない。これにより、ヘッドユニット１０１のＸ方向の幅を狭くして、ヘッドユニット１０１の小型化を図ることができる。
【００３２】
ヘッド固定基板１０２は、複数の記録ヘッド１００のノズル開口が記録シートＳ側に向くように、複数の記録ヘッド１００を保持するものであり、装置本体２に固定されている。
【００３３】
搬送手段４は、記録シートＳをヘッドユニット１０１に対して、Ｘ方向に搬送する。搬送手段４は、例えば、ヘッドユニット１０１に対して記録シートＳの搬送方向であるＸ方向の両側に設けられた第１の搬送ローラー５と、第２の搬送ローラー６とを具備する。このような第１の搬送ローラー５と第２の搬送ローラー６とによって、記録シートＳをＸ方向に搬送する。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段４は、搬送ローラーに限定されず、ベルトやドラム等であってもよい。
【００３４】
支持部材７は、ヘッドユニット１０１に相対向する位置で、搬送手段４によって搬送される記録シートＳを支持する。支持部材７は、例えば、断面が矩形状を有する金属又は樹脂等からなり、第１の搬送ローラー５と第２の搬送ローラー６との間にヘッドユニット１０１に相対向して設けられている。
【００３５】
なお、支持部材７には、搬送された記録シートＳを支持部材７上で吸着する吸着手段が設けられていてもよい。吸着手段としては、例えば、記録シートＳを吸引することで吸引吸着するものや、静電気力で記録シートＳを静電吸着するもの等が挙げられる。また、例えば、搬送手段４がベルトやドラムである場合、支持部材７は、ヘッドユニット１０１に相対向する位置で、ベルト上やドラム上に記録シートＳを支持する。
【００３６】
ヘッドユニット１０１の各記録ヘッド１００には、図示していないが、インクが貯留されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体貯留手段がインクを供給可能に接続されている。液体貯留手段は、例えば、ヘッドユニット１０１上に保持されていても、また、装置本体２内のヘッドユニット１０１とは異なる位置に保持されていてもよい。また、液体貯留手段から供給されたインクを記録ヘッド１００に供給するための流路等をヘッド固定基板１０２の内部に設けるようにしてもよく、ヘッド固定基板１０２にインク流路部材を設け、インク流路部材を介して液体貯留手段からのインクを記録ヘッド１００に供給するようにしてもよい。もちろん、液体貯留手段からヘッド固定基板１０２又はヘッド固定基板１０２に固定されたインク流路部材等を介さずに、記録ヘッド１００に直接インクが供給されてもよい。
【００３７】
このようなインクジェット式記録装置１では、第１の搬送ローラー５によって記録シートＳがＸ方向に搬送され、ヘッドユニット１０１によって支持部材７上で支持された記録シートＳに印刷が実行される。印刷された記録シートＳは、第２の搬送ローラー６によってＸ方向に搬送される。
【００３８】
ヘッドユニット１０１について図２及び図３を参照して詳細に説明する。図２は本実施形態に係るヘッドユニットを示す分解斜視図であり、図３はヘッドユニットの液体噴射面側の底面図である。
【００３９】
本実施形態のヘッドユニット１０１は、複数の記録ヘッド１００と、複数の記録ヘッド１００を保持するヘッド固定基板１０２とを具備する。記録ヘッド１００は、ノズル開口２１が設けられた液体噴射面２０ａをＺ方向のＺ１側に有する。各記録ヘッド１００は、ヘッド固定基板１０２の記録シートＳに相対向する面側、すなわち、Ｚ方向の記録シートＳ側であるＺ１側に固定されている。
【００４０】
前述のように、複数の記録ヘッド１００は、搬送方向であるＸ方向に直交するＹ方向に直線上に並設されてヘッド固定基板１０２に固定されている。すなわち、複数の記録ヘッド１００は、Ｘ方向にずれて配置されていない。これにより、ヘッドユニット１０１のＸ方向の幅を狭くして、ヘッドユニット１０１の小型化を図ることができる。もちろん、Ｙ方向に並設された記録ヘッド１００をＸ方向にずらして配置するようにしてもよいが、記録ヘッド１００をＸ方向に大きくずらすと、ヘッド固定基板１０２等のＸ方向の幅が広くなってしまう。このようにヘッドユニット１０１のＸ方向の大きさが大きくなると、インクジェット式記録装置１における第１の搬送ローラー５と第２の搬送ローラー６とのＸ方向の距離が遠くなり、記録シートＳの姿勢の固定が困難になる。また、ヘッドユニット１０１及びインクジェット式記録装置１が大型化してしまう。
【００４１】
なお、本実施形態では、ヘッド固定基板１０２に４個の記録ヘッド１００を固定するようにしたが、記録ヘッド１００の数は２個以上であれば、特にこれに限定されるものではない。
【００４２】
図２、図４〜図６を用いて記録ヘッド１００について説明する。図４は記録ヘッドの平面図であり、図５は記録ヘッドの底面図であり、図６は図４のＡ−Ａ’線断面図である。なお、図４は記録ヘッド１００のＺ方向のＺ２側の平面図であり、保持部材１２０の図示を省略している。
【００４３】
記録ヘッド１００は、複数のヘッド本体１１０と、各ヘッド本体１１０に接続されたＣＯＦ基板９８と、各ヘッド本体にインクを供給する流路が設けられた流路部材２００とを備えている。さらに、本実施形態では、記録ヘッド１００は複数のヘッド本体１１０を保持する保持部材１２０と、ヘッド本体１１０の液体噴射面２０ａ側に設けられた固定板１３０と、中継基板１４０とを備えている。
【００４４】
ヘッド本体１１０は、インクの流路が設けられた保持部材１２０及び流路部材２００からインクが供給され、インクジェット式記録装置１に設けられた制御部（図示せず）から中継基板１４０及びＣＯＦ基板９８を介して制御信号が伝達され、該制御信号に基づいてインク滴を吐出するものである。ヘッド本体１１０の詳細な構成は後述する。
【００４５】
各ヘッド本体１１０は、Ｚ方向のＺ１側にノズル開口２１が設けられた液体噴射面２０ａを有する。また、複数のヘッド本体１１０のＺ２側が、流路部材２００のＺ１側の面に接着されている。
【００４６】
流路部材２００は、ヘッド本体１１０に供給されるインクの液体流路が設けられた部材である。流路部材２００の詳細な構成は後述するが、流路部材２００には、Ｚ１側の面に、複数のヘッド本体１１０がＹ方向に並設されて接着されている。また、流路部材２００に設けられた液体流路は、各ヘッド本体１１０の液体流路に連通しており、流路部材２００から各ヘッド本体１１０にインクが供給されるようになっている。
【００４７】
本実施形態では、１つの流路部材２００に６個のヘッド本体１１０が接着されている。もちろん、１つの流路部材２００に固定するヘッド本体１１０の数は上述したものに限定されず、１つの流路部材２００に対してヘッド本体１１０が１個であっても、また、２個以上の複数であってもよい。
【００４８】
また、流路部材２００には、Ｚ方向に貫通した開口部２０１が設けられており、該開口部２０１には、一端がヘッド本体１１０に接続されたＣＯＦ基板９８が挿通している。
【００４９】
ＣＯＦ基板９８は、フレキシブル配線基板の一例である。フレキシブル配線基板は、可撓性を有する基板上に配線が形成されたものである。また、ＣＯＦ基板９８は、ヘッド本体１１０に設けられた圧力発生手段を駆動する駆動回路９７（図７参照）を備えている。
【００５０】
中継基板１４０は、表面に配線、ＩＣ、抵抗等の電装部品が実装された基板であり、保持部材１２０と流路部材２００との間に配置されている。中継基板１４０には、流路部材２００に設けられた開口部２０１と連通した貫通部１４１が形成されている。各貫通部１４１の開口形状は、流路部材２００の開口部２０１よりも大きく形成されている。
【００５１】
ヘッド本体１１０の圧力発生手段に接続されたＣＯＦ基板９８は、開口部２０１及び貫通部１４１を挿通し、中継基板１４０のＺ２側の面に設けられた端子（図示せず）に接続されている。すなわち、ＣＯＦ基板９８は、各ヘッド本体１１０に対して１枚ずつ接続されてＺ方向のＺ１側からＺ２側に延設されている。また、複数のヘッド本体１１０に接続されたＣＯＦ基板９８は、Ｙ方向に見て、全てオーバーラップした位置に設けられている。なお、後述するように、本実施形態のＣＯＦ基板９８は傾斜して設けられているものの、ＣＯＦ基板９８と電気的に接続されるリード電極９０及び中継基板１４０はＺ方向に離間しているので、このような場合も含めて、ＣＯＦ基板９８はＺ方向に延設されているとする。
【００５２】
特に図示しないが、中継基板１４０には、インクジェット式記録装置１の制御部に接続されている。このため、当該制御部から送られる駆動信号等を中継基板１４０を通じてＣＯＦ基板９８の駆動回路９７に伝達され、駆動回路９７によりヘッド本体１１０の圧力発生手段が駆動されるようになっている。これにより、記録ヘッド１００のインクの噴射動作が制御されている。
【００５３】
保持部材１２０は、Ｚ１側に溝状の空間を形成する保持部１２１を有する。保持部１２１は、保持部材１２０のＺ１側の面に、Ｙ方向に亘って連続して設けられることで、Ｙ方向の両側面に開口して設けられている。また、保持部材１２０は、保持部１２１をＸ方向の略中央部に設けることで、当該保持部１２１のＸ方向の両側には、足部１２２が形成されている。すなわち、足部１２２は、保持部材１２０のＺ１側の面に、Ｘ方向の両端部のみに設けられており、Ｙ方向の両端部には設けられていない。なお、本実施形態では保持部材１２０は一部材からなるが、このような態様に限定されず、複数の部材がＺ方向に積層されて構成されていてもよい。
【００５４】
このような保持部１２１内に、中継基板１４０、流路部材２００、複数のヘッド本体１１０が収容されている。具体的には、流路部材２００のＺ１側の面に各ヘッド本体１１０が接着剤等で接合され、流路部材２００のＺ２側の面に中継基板１４０が固定されている。このように一体的に構成された中継基板１４０、流路部材２００及び複数のヘッド本体１１０が保持部１２１内に収容されている。
【００５５】
保持部材１２０と流路部材２００とは、保持部１２１及び流路部材２００のＺ方向で相対向する面同士が接着剤によって接着されている。中継基板１４０は、保持部１２１と流路部材２００とで挟まれた空間に収容されている。なお、接着剤による接着に代わり、ネジなどの固定手段により保持部材１２０と流路部材２００とを一体化してもよい。
【００５６】
また、保持部材１２０には、特に図示しないが、インクが流通する流路や異物等を捕獲するフィルター等が形成されている。これらの保持部材１２０の流路は、流路部材２００の液体流路に連通している。これにより、インクジェット式記録装置１に設けられた液体貯留手段からのインクが保持部材１２０及び流路部材２００を介してヘッド本体１１０に供給されるようになっている。
【００５７】
固定板１３０は、記録ヘッド１００の液体噴射面２０ａ側、すなわち、記録ヘッド１００のＺ方向のＺ１側に設けられ、各記録ヘッド１００を保持する部材である。固定板１３０は、例えば、金属等の板状部材を折り曲げることで形成されたものである。具体的には固定板１３０は、液体噴射面２０ａ側に設けられたベース部１３１と、ベース部１３１のＹ方向の両端部がＺ方向のＺ２側に屈曲して設けられた折り曲げ部１３２とを具備する。
【００５８】
また、ベース部１３１には、各ヘッド本体１１０のノズル開口２１を露出するための開口である露出開口部１３３が設けられている。本実施形態では、露出開口部１３３は、ヘッド本体１１０毎に独立して開口するように設けられている。すなわち、本実施形態の記録ヘッド１００は、６個のヘッド本体１１０を有するため、ベース部１３１には６個の独立した露出開口部１３３が設けられている。もちろん、ヘッド本体１１０の構成等によっては、複数のヘッド本体１１０で構成されるヘッド本体群に対して１つの共通する露出開口部１３３を設けるようにしてもよい。
【００５９】
このようなベース部１３１によって、保持部材１２０の保持部１２１のＺ１側が覆われている。ベース部１３１は、図６に示すように、保持部材１２０のＺ方向のＺ１側の面、すなわち、足部１２２のＺ１側の端面に接着剤を介して接合されている。
【００６０】
また、折り曲げ部１３２は、ベース部１３１のＹ方向の両端部に設けられており、保持部１２１のＹ方向の側面に開口する開口面積を覆う大きさで形成されている。すなわち、折り曲げ部１３２は、ベース部１３１のＹ方向の端部から固定板１３０の縁部までの領域のことである。そして、このような折り曲げ部１３２は、保持部材１２０のＹ方向の側面に接着剤を介して接合されている。これにより、保持部１２１のＹ方向の側面への開口は、折り曲げ部１３２によって覆われて封止されている。
【００６１】
このように、固定板１３０が保持部材１２０に接着剤により接着されることで、保持部材１２０と固定板１３０との間の空間である保持部１２１内にヘッド本体１１０が配置される。
【００６２】
上述したように、本実施形態に係る記録ヘッド１００は、１つの記録ヘッド１００に対して複数のヘッド本体１１０を設けてノズル列の多列化を図ることで、１つの記録ヘッド１００に対して１つのヘッド本体１１０のみにノズル列を複数列設けて多列化する場合に比べて、歩留まりを向上することができる。すなわち、単体のヘッド本体１１０でのノズル列の多列化を行うのは、ヘッド本体１１０の歩留まりが低下すると共に製造コストが高価になってしまう。これに対して、複数のヘッド本体１１０によってノズル列の多列化を行うことで、ヘッド本体１１０の歩留まりを向上して製造コストを低減することができる。
【００６３】
また、保持部材１２０のＹ方向の側面の開口は、固定板１３０の折り曲げ部１３２により封止される。これにより、保持部材１２０のＹ方向の両側（図３に示したハッチ部分）に固定板１３０のベース部１３１と接着するための足部１２２がなくても、保持部１２１のＹ方向の側面に設けられた開口からの水分蒸発を抑制することができる。
【００６４】
したがって、Ｙ方向に記録ヘッド１００を並設したヘッドユニット１０１は、Ｙ方向において隣り合う記録ヘッド１００側に足部１２２が存在しないことから、Ｙ方向で隣り合う記録ヘッド１００の間隔を狭くすることができる。これにより、Ｙ方向で隣り合う記録ヘッド１００のヘッド本体１１０同士を近接して設けることができ、隣り合う記録ヘッド１００の各ヘッド本体１１０に設けられたノズル開口２１をＹ方向で近接させて設けることができる。
【００６５】
なお、本実施形態に係る記録ヘッド１００は、保持部材１２０のＸ方向の両側に足部１２２を設けるようにしたが、足部１２２を設けないようにしてもよい。すなわち、保持部材１２０のＺ１側の面にヘッド本体１１０が接着され、固定板１３０のＸ方向及びＹ方向の両側に折り曲げ部１３２を設けるようにしてもよい。すなわち、固定板１３０には、液体噴射面２０ａの面内方向における全周に亘って折り曲げ部１３２が設けられており、保持部材１２０の側面の全周に亘って固定板１３０が接着されていてもよい。ただし、本実施形態のように保持部材１２０のＸ方向の両側に足部１２２を設けることで、足部１２２のＺ１側の端面を固定板１３０のベース部１３１に接着することにより、インクジェット式記録ヘッド１００のＺ方向の強度を向上することができるとともに、足部１２２からの水分蒸発を抑制することができる。
【００６６】
図７及び図８を用いて、ヘッド本体１１０について説明する。図７は本実施形態に係るヘッド本体の斜視図であり、図８はヘッド本体のＹ方向の断面図である。もちろん、ヘッド本体１１０の構成は以下の構成に限定されない。
【００６７】
本実施形態のヘッド本体１１０は、圧力発生室１２、ノズル開口２１、マニホールド９５、圧力発生手段等を備える。そのために、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、コンプライアンス基板４５、ケース４０等の複数の部材が接着剤等によって接合されている。
【００６８】
流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が複数のノズル開口２１の並設方向に沿って並設されている。なお、本実施形態では、この圧力発生室１２の並設方向を、Ｘａ方向と称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２がＸａ方向に並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、Ｙａ方向と称する。なお、本実施形態では、Ｘａ方向及びＹａ方向に直交する方向は、Ｚ方向と一致する。また、本実施形態のヘッド本体１１０は、ノズル開口２１の並設方向であるＸａ方向が、記録シートＳの搬送方向であるＸ方向に対して傾斜した方向となるようにヘッドユニット１０１に搭載される。
【００６９】
また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２のＹａ方向の一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。
【００７０】
流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５が接合されている。また、連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０が接合されている。本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口するＺ方向のＺ１側が液体噴射面２０ａとなっている。
【００７１】
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。
【００７２】
また、連通板１５には、マニホールド９５の一部を構成する第１マニホールド１７と、第２マニホールド１８とが設けられている。第１マニホールド１７は、連通板１５をＺ方向に貫通して設けられている。第２マニホールド１８は、連通板１５をＺ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口してＺ方向の途中まで設けられている。
【００７３】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２のＹ方向の一端部に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド１８と圧力発生室１２とを連通する。
【００７４】
ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。複数のノズル開口２１がＸａ方向に並設され、それぞれの並設されたノズル開口２１が２つのノズル列ａ及びノズル列ｂをなし、このノズル列ａ、ノズル列ｂがＹａ方向に並設されている。なお、本実施形態では、詳細は後述するが、ノズル列ａ及びノズル列ｂのそれぞれは、２つに分割して１列で２種類の液体を噴射できるようになっている。
【００７５】
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。また、振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが順次積層されることで、本実施形態の圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００が構成されている。一般的には圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。
【００７６】
また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には、Ｚ方向に貫通する貫通孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター３００の電極から引き出されたリード電極９０の端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０とＣＯＦ基板９８とが、貫通孔３２内で電気的に接続されている。
【００７７】
また、保護基板３０及び連通板１５には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド９５を画成するケース４０が固定されている。ケース４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース４０と流路形成基板１０及び保護基板３０とによって第３マニホールド４２が画成されている。そして、この第３マニホールド４２と、連通板１５に設けられた第１マニホールド１７及び第２マニホールド１８とによって本実施形態のマニホールド９５が構成されている。なお、上述したように１列のノズル列で２種類の液体を噴射できるようになっているので、マニホールド９５を構成する第１マニホールド１７、第２マニホールド１８及び第３マニホールド４２は、それぞれノズル列方向、すなわち、Ｘａ方向で２つに分割されている。例えば、第１マニホールド１７は、図７に示すように、第１マニホールド１７ａと第１マニホールド１７ｂとからなる。第２マニホールド１８及び第３マニホールド４２も同様に２つに分割され、マニホールド９５全体としてもＸａ方向に２つ分割されている。
【００７８】
本実施形態では、マニホールド９５を構成する第１マニホールド１７、第２マニホールド１８及び第３マニホールド４２は、それぞれノズル列ａ及びノズル列ｂを挟んで対称に配置されている。これによれば、ノズル列ａ及びノズル列ｂ毎に異なる液体を噴射することも可能となる。勿論、マニホールドの配置はこれに限定されるものではない。
【００７９】
また、本実施形態では、後述するように４種の液体を噴射できるように、各ノズル列に対応するマニホールドをＸａ方向で２つに分割して合計４つのマニホールド９５としているが、ノズル列ａ及びノズル列ｂ毎に形成されたマニホールドとしてもよいし、また、ノズル列ａ及びノズル列ｂの２列に対して共通の１つのマニホールドとしてもよい。
【００８０】
また、連通板１５の第１マニホールド１７及び第２マニホールド１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド１７と第２マニホールド１８の開口を封止している。
【００８１】
このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７とを具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成されている。また、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド９５に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド９５の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。
【００８２】
また、固定板１３０は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接着される。すなわち、固定板１３０のベース部１３１に設けられた露出開口部１３３は、ノズルプレート２０の面積よりも広い開口面積を有し、露出開口部１３３内でノズルプレート２０の液体噴射面２０ａを露出する。もちろん、固定板１３０は、これに限定されず、例えば、固定板１３０の露出開口部１３３をノズルプレート２０の外形よりも小さな開口面積とし、固定板１３０をノズルプレート２０の液体噴射面２０ａに当接又は接着するようにしてもよい。また、固定板１３０の露出開口部１３３をノズルプレート２０の外形よりも小さな開口面積とした場合であっても、固定板１３０と液体噴射面２０ａとが接しないように設けるようにしてもよい。すなわち、固定板１３０が液体噴射面２０ａ側に設けられているとは、液体噴射面２０ａに接していないものも、また、液体噴射面２０ａに接するものも含むものである。
【００８３】
なお、ケース４０には、マニホールド９５に連通して各マニホールド９５にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通してＣＯＦ基板９８が挿通される接続口４３が設けられている。
【００８４】
このような構成のヘッド本体１１０では、インクを噴射する際に、貯留手段から導入路４４を介してインクを取り込み、マニホールド９５からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路９７からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。
【００８５】
ここで、図５及び図９を用いて、ヘッド本体１１０のノズル列を構成するノズル開口２１の並設方向が、記録シートＳの搬送方向であるＸ方向に対して傾斜して設けられている点について詳細に説明する。図９は本実施形態に係るヘッド本体のノズル開口の配置を模式的に示した説明図である。
【００８６】
複数のヘッド本体１１０は、液体噴射面２０ａの面内方向において、記録シートＳの搬送方向であるＸ方向に対してノズル列ａ、ノズル列ｂが傾斜するように固定されている。ここでいうノズル列は複数のノズル開口２１が所定の方向に並設されたものをいう。本実施形態では、液体噴射面２０ａには、所定の方向としてＸａ方向に複数のノズル開口２１が並設された２列のノズル列ａ及びノズル列ｂが液体噴射面２０ａに設けられている。Ｘａ方向は、前記Ｘ方向に対して、０度より大きく９０度未満の角度で交差した方向となっている。ここで、Ｘ方向とＸａ方向とは、０度より大きく４５度未満の角度で交差することが好ましい。これによると、４５度より大きく９０度未満の角度で交差する場合と比較すると、Ｙ方向におけるノズル開口２１同士の間隔Ｄ１をより小さくでき、Ｙ方向に高解像度の記録ヘッド１００を実現することができる。もちろん、Ｘ方向とＸａ方向とを、４５度より大きく９０度未満の角度で交差するようにしてもよい。
【００８７】
なお、Ｘ方向とＸａ方向とが０度より大きく４５度未満の角度で交差するとは、液体噴射面２０ａの面内においてＸ方向と４５度で交差する直線よりも、ノズル列がＸ方向に向けてより傾斜している状態をいう。また、ここでいう間隔Ｄ１は、ノズル列ａ及びノズル列ｂのノズル開口２１を、Ｙ方向の仮想線に対して、Ｘ方向に投影した場合のノズル開口２１同士の間隔である。また、ノズル列ａ及びノズル列ｂのノズル開口２１をＸ方向の仮想線に対して、Ｙ方向に投影した場合のノズル開口２１同士の間隔をＤ２とする。
【００８８】
また、図９に示すように、本実施形態では、１つのノズル列で２種類、２つのノズル列で４種類の液体を噴射できるようになっている。すなわち、４色のインクを使用すると仮定すると、例えば、ノズル列ａでは、ブラックＢｋとマゼンタＭ、ノズル列ｂでは、シアンＣとイエローＹを噴射できるようになっている。また、ノズル列ａとノズル列ｂとは同じ数のノズル開口２１を有し、ノズル列ａのノズル開口２１のＹ方向の位置と、ノズル列ｂのノズル開口２１のＹ方向の位置とは、Ｘ方向で重なっている。
【００８９】
ヘッド本体１１０ａ〜１１０ｃは、同様なノズル列ａ、ｂを有しており、ヘッド本体１１０ａ〜１１０ｃがＹ方向に近接して設けられることにより、Ｙ方向に隣接するヘッド本体１１０の各ノズル開口２１が、互いにＸ方向で重なるように並設されている。よって、例えばヘッド本体１１０ａのマゼンタＭのノズル列ａとイエローＹのノズル列ｂとが、ヘッド本体１１０ｂのブラックＢｋのノズル列ａとシアンＣのノズル列ｂとにＸ方向で重なることで、Ｘ方向の一列に４色が並ぶようになり、カラーイメージを印刷することができる。また、Ｙ方向に隣接するヘッド本体１１０ｂとヘッド本体１１０ｃについても、同様に、各ノズル開口２１が、互いにＸ方向で重なるように並設されている。
【００９０】
さらに、隣接するヘッド本体１１０が有する同じ色のノズル列のうち少なくとも一部のノズル開口２１が互いにＸ方向で重なるように配置されていることで、ヘッド本体１１０間のつなぎ目の画質を向上することができる。すなわち、例えば、ヘッド本体１１０ａのマゼンタＭのノズル列ａの１つのノズル開口２１とヘッド本体１１０ｂのマゼンタＭのノズル列ａの１つのノズル開口２１とが、互いにＸ方向で重なるように配置されており、この互いに重なる２つのノズル開口２１からの噴射を制御することにより、隣接するヘッド本体１１０間のつなぎ目においてバンディングや筋といった画質の劣化を防ぐことができる。また、図９に示す例では、１つのノズル開口２１のみがＸ方向に重なっているが、２つ以上のノズル開口２１がＸ方向に重なっていてもよい。
【００９１】
このような色の配置は、勿論これに限定されるものではない。例えば、特に図示しないが、１つのノズル列で、ブラックＢｋ、マゼンタＭ、シアンＣ及びイエローＹの４色を噴射できるように配置してもよい。
【００９２】
上述したように、ヘッド本体１１０を複数有する記録ヘッド１００をヘッド固定基板１０２に４個固定してヘッドユニット１０１を構成しているが、図５の直線Ｌに示すように、隣接する記録ヘッド１００同士でノズル列の一部がＸ方向で重なるように配置されている。すなわち、１つの記録ヘッド１００において隣接するヘッド本体１１０の関係と同様に、Ｙ方向に隣接する記録ヘッド１００間において隣接するヘッド本体１１０がＹ方向に近接して設けられることにより、隣接する記録ヘッド１００間において、カラーイメージを印刷できるとともに、隣接する記録ヘッド１００間のつなぎ目の画質を向上することができる。もちろん、隣接する記録ヘッド１００間においてＸ方向に重なるノズル開口２１の数は、１つの記録ヘッド１００におけるヘッド本体１１０間においてＸ方向に重なるノズル開口２１の数と同じである必要はない。
【００９３】
このように、ヘッド本体１１０間のノズル列と、記録ヘッド１００間のノズル列とがＸ方向で一部重なることにより、つなぎ目の画質を向上することができる。
【００９４】
また、各ノズル列のＸａ方向において隣接するノズル開口２１間において、Ｘ方向の間隔Ｄ１とＹ方向の間隔Ｄ２とは整数比となるように、ノズルピッチやＸ方向とＸａ方向の角度を設定するのが好ましい。これによれば、Ｘ方向及びＹ方向にマトリクス状に配置された画素から構成されるイメージデータを印刷する場合に、各ノズルと画素との対応付けが容易となる。なお、もちろん、このような整数比に限定されるものではない。
【００９５】
本実施形態の記録ヘッド１００は、図５に示すように、液体噴射面２０ａ側から平面視した際に、略平行四辺形となる形状を有する。これは、上述したように、各ヘッド本体１１０のノズル列ａ、ノズル列ｂを構成するノズル開口２１の並設方向であるＸａ方向が、記録シートＳの搬送方向であるＸ方向に対して傾斜して設けられており、このノズル列ａ、ノズル列ｂの傾斜する方向であるＸａ方向と同じように記録ヘッド１００の外形、すなわち、固定板１３０を略平行四辺形となるように形成したからである。もちろん、記録ヘッド１００の液体噴射面２０ａ側から平面視した際の形状は、略平行四辺形に限定されず、台形の矩形状や多角形状等であってもよい。
【００９６】
なお、以上説明した実施形態では、１つのヘッド本体に２列のノズル列を設けた例を説明したが、３列以上のノズル列を有するものであっても同様に上述した効果を奏することはいうまでもない。なお、本実施形態のように、１つのヘッド本体１１０に設けられたノズル列が２列であれば、図８のように、それぞれのノズル列に対応した２つのマニホールド９５の間に、それぞれのノズル列のノズル開口２１を配置することができるので、複数のノズル列のノズル開口２１がそれぞれのノズル列に対応したマニホールドに対して同じ側に配置される場合と比較すると、２列のノズル列のＹａ方向の間隔を狭めることができる。ゆえに、２列のノズル列に対して１つのノズルプレート２０に要する面積を小さくすることができる。また、２列のノズル列のそれぞれの圧電アクチュエーター３００とＣＯＦ基板９８との接続も容易になる。
【００９７】
また、本実施形態では、各ノズル列ａ、ｂは、同じ数のノズル開口２１を有している。これによれば、各ノズル列間のＸ方向におけるオーバーラップ数を同じにでき、効率的な液体噴射ができる。しかしながら、各ノズル列のノズル開口の数は、必ずしも同じである必要はない。さらに、ノズル列ａ，ｂが噴射する液体の種類は全て同じであってもよく、例えば全て同じ色のインクを使用してもよい。
【００９８】
また、本実施形態では、ヘッド本体１１０は、２列のノズル列に対して１つのノズルプレート２０を有することが好ましい。これによれば、各ノズル列の配置がさらに高精度に実現できる。もちろん、ノズル列毎に別のノズルプレート２０を設けてもよい。なお、ノズルプレート２０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）板やシリコン基板などから構成される。
【００９９】
図１０〜図１６を用いて、本実施形態に係る流路部材２００について詳細に説明する。図１０は流路部材２００としての第１流路部材２１０の平面図であり、図１１は流路部材２００としての第２流路部材２２０の平面図であり、図１２は流路部材２００としての第３流路部材２３０の平面図であり、図１３は第３流路部材２３０の底面図であり、図１４は図１０〜図１３のＢ−Ｂ’線断面図であり、図１５は図１０〜図１３のＣ−Ｃ’線断面図であり、図１６は図１０〜図１５のＤ−Ｄ’線断面図である。なお、図１０〜図１２はＺ２側の平面図であり、図１３はＺ１側の底面図である。
【０１００】
流路部材２００は、インクが流通する流路２４０が設けられた部材である。本実施形態では、Ｚ方向に積層された３つの第１流路部材（本発明の第１部材に対応する）２１０、第２流路部材（本発明の第２部材に対応する）２２０及び第３流路部材（本発明の第３部材に対応する）２３０と、複数の流路２４０とを備えている。Ｚ方向において、保持部材１２０側（図２参照）からヘッド本体１１０側に向かって、第１流路部材２１０、第２流路部材２２０、第３流路部材２３０の順で積層されている。特に図示しないが、接着剤により第１流路部材２１０、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０は接着固定されているが、このような態様に限定されず、例えばネジなどの固定手段により第１流路部材２１０、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０を一体化してもよい。また、特に材料の限定はないが、例えばＳＵＳなどの金属や樹脂により形成することができる。
【０１０１】
流路２４０は、上流の部材（本実施形態では保持部材１２０）から供給されるインクが導入される導入流路２８０と、該インクをヘッドに供給する出口となる接続部２９０とを両端とする流路である。本実施形態では、４つの流路２４０が形成されており、各流路２４０は、一つの導入流路２８０にインクが供給され、途中で分岐して複数の接続部２９０からインクがヘッド本体１１０に供給するように構成されている。
【０１０２】
４つの流路２４０のうち一部は第１流路２４１、残りは第２流路２４２とされている。本実施形態では、第１流路２４１及び第２流路２４２は２つずつ形成されている。２つの第１流路２４１のそれぞれを第１流路２４１ａ、第１流路２４１ｂとする。以降、第１流路２４１と記載した際には、第１流路２４１ａ及び第１流路２４１ｂの双方を指しているものとする。第２流路２４２についても同様である。
【０１０３】
第１流路２４１は、第１導入流路２８１を備えている。第１導入流路２８１は、第１流路２４１のうち、後述する第１分配流路２５１と、流路部材２００よりも上流の流路（本実施形態では保持部材１２０が有する流路）とを接続する流路である。本実施形態では、２つの第１流路２４１ａ及び第１流路２４１ｂは、それぞれ第１導入流路２８１ａ及び第１導入流路２８１ｂを有している。
【０１０４】
具体的には、第１導入流路２８１ａは、第１流路部材２１０のＺ２側の表面に設けられた突部２１２の頂面に開口してＺ方向に貫通した貫通孔２１１と、第２流路部材２２０のＺ方向に貫通した貫通孔２２１とが連通したものである。第１導入流路２８１ｂも同様である。以降、第１導入流路２８１と記載した際には、第１導入流路２８１ａ及び第１導入流路２８１ｂを指すものとする。
【０１０５】
第２流路２４２は、第２導入流路２８２を備えている。第２導入流路２８２は、第２流路２４２のうち、後述する第２分配流路２５２と、流路部材２００よりも上流の流路（本実施形態では保持部材１２０が有する流路）とを接続する流路である。本実施形態では、２つの第２流路２４２ａ及び第２流路２４２ｂは、それぞれ第２導入流路２８２ａ及び第２導入流路２８２ｂを有している。
【０１０６】
具体的には、第２導入流路２８２ａは、第１流路部材２１０のＺ２側の表面に設けられた突部２１３の頂面に開口してＺ方向に貫通した貫通孔である。第２導入流路２８２ｂも同様である。以降、第２導入流路２８２と記載した際には、第２導入流路２８２ａ及び第２導入流路２８２ｂを指すものとする。
【０１０７】
さらに、導入流路２８０と記載した際には、上述した４つの導入流路の全てを指しているものとする。なお、導入流路２８０は、本発明の流入口に相当する。
【０１０８】
本実施形態では、図１０に示す平面視においては、第１流路部材２１０の左上隅の近傍に第１導入流路２８１ａが配置され、第１流路部材２１０の右下隅の近傍に第１導入流路２８１ｂが配置されている。また、図１０に示す平面視においては、第１流路部材２１０の右上隅の近傍に第２導入流路２８２ａが配置され、第１流路部材２１０の左下隅の近傍に第２導入流路２８２ｂが配置されている。
【０１０９】
第１流路２４１は、第２流路部材２２０と第３流路部材２３０とで形成された第１分配流路２５１を含む。第１分配流路２５１は、第１流路２４１のうち、液体噴射面２０ａに平行な方向にインクを流通させる一部分である。本実施形態では、２つの第１流路２４１が形成されているため、第１分配流路２５１も２つ形成されている。２つの第１分配流路２５１のそれぞれを第１分配流路２５１ａ、第１分配流路２５１ｂとする。
【０１１０】
第１分配流路２５１ａは、第２流路部材２２０のＺ１側の表面にＹ方向に沿って形成された分配溝部２３１ａと、第３流路部材２３０のＺ２側の表面にＹ方向に沿って形成された分配溝部２３１ａとを合わせて封止することにより形成されている。第１分配流路２５１ｂは、第２流路部材２２０のＺ１側の表面にＹ方向に沿って形成された分配溝部２３１ｂと、第３流路部材２３０のＺ２側の表面にＹ方向に沿って形成された分配溝部２３１ｂとを合わせて封止することにより形成されている。
【０１１１】
いずれの第１分配流路２５１ａ、２５１ｂについても、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０に分配溝部２２６ａ、２２６ｂ、２３１ａ、２３１ｂをそれぞれ形成することで、第１分配流路２５１ａ、２５１ｂそれぞれの断面積を広げ、第１分配流路２５１ａ、２５１ｂにおける圧力損失を低減させている。なお、第１分配流路２５１ａ、２５１ｂは、第２流路部材２２０のみに形成された分配溝部２２６ａ、２２６ｂにより形成されていてもよいし、又は第３流路部材２３０のみに形成された分配溝部２３１ａ、２３１ｂにより形成されていてもよい。例えば、Ｚ２側にある第２流路部材２２０のみに分配溝部２２６ａ、２２６ｂを形成することで、後述するように、Ｘａ方向の幅がＺ１側からＺ２側に向けて狭くなるＣＯＦ基板９８と、これらの第１分配流路２５１ａ、２５１ｂとの干渉を防ぎつつ、第１流路２４１を配置する自由度を向上させることができる。
【０１１２】
第１分配流路２５１ａと第１分配流路２５１ｂとは、ＣＯＦ基板９８が挿通する開口部２０１（第３開口部２３５）のＸ方向における両外側に配置されている。
【０１１３】
第２流路２４２は、第１流路部材２１０と第２流路部材２２０とで形成された第２分配流路２５２を含む。第２分配流路２５２は、第２流路２４２のうち、液体噴射面２０ａに平行な方向にインクを流通させる一部分である。本実施形態では、２つの第２流路２４２が形成されているため、第２分配流路２５２も２つ形成されている。２つの第２分配流路２５２のそれぞれを第２分配流路２５２ａ、第２分配流路２５２ｂとする。
【０１１４】
第２分配流路２５２ａは、第１流路部材２１０のＺ１側の表面にＹ方向に沿って形成された分配溝部２１３ａと、第２流路部材２２０のＺ２側の表面にＹ方向に沿って形成された分配溝部２２２ａとを合わせて封止することにより形成されている。第２分配流路２５２ｂは、第１流路部材２１０のＺ１側の表面に形成された分配溝部２１３ｂと、第２流路部材２２０のＺ２側の表面にＹ方向に沿って形成された分配溝部２２２ｂを合わせて封止することにより形成されている。
【０１１５】
いずれの第２分配流路２５２ａ、２５２ｂについても、第１流路部材２１０及び第２流路部材２２０に分配溝部２１３ａ、２１３ｂ、２２２ａ、２２２ｂをそれぞれ形成することで、第２分配流路２５２ａ、２５２ｂそれぞれの断面積を広げ、第２分配流路２５２ａ、２５２ｂにおける圧力損失を低減させている。なお、第２分配流路２５２ａ、２５２ｂは、第１流路部材２１０のみに形成された分配溝部２１３ａ、２１３ｂにより形成されていてもよいし、又は、第２流路部材２２０のみに形成された分配溝部２２２ａ、２２２ｂにより形成されていてもよい。例えば、Ｚ２側にある第１流路部材２１０のみに分配溝部２２２ａ、２２２ｂを形成することで、上述した第１分配流路２５１ａ、２５１ｂと同様に、ＣＯＦ基板９８との干渉を防ぎつつ、第２流路２４２を配置する自由度を向上させることができる。
【０１１６】
第２分配流路２５２ａと第２分配流路２５２ｂとは、ＣＯＦ基板９８が挿通する開口部２０１（第２開口部２２５）のＸ方向における両外側に配置されている。
【０１１７】
以降、第１分配流路２５１と記載した際には、第１分配流路２５１ａ及び第１分配流路２５１ｂの双方を指しているものとする。第２分配流路２５２と記載した際には、第２分配流路２５２ａ及び第２分配流路２５２ｂの双方を指しているものとする。また、分配流路２５０と記載した際には、上述した４つの分配流路の全てを指しているものとする。
【０１１８】
また、本実施形態では、第１流路２４１は一つの導入流路２８０から複数の接続部２９０に分岐するように構成されている。すなわち、第１分配流路２５１から、複数の第１分岐流路（本発明の第１流路に対応する）２６１が第１分配流路２５１と同じ平面（第２流路部材２２０と第３流路部材２３０とが接合された境界面）において分岐している。
【０１１９】
本実施形態では、液体噴射面２０ａに平行な平面内（第２流路部材２２０と第３流路部材２３０との境界面）において、第１分配流路２５１から６つの第１分岐流路２６１が分岐している。第１分配流路２５１ａから分岐した６つの第１分岐流路２６１のそれぞれを第１分岐流路２６１ａ１〜第１分岐流路２６１ａ６とする。以降、第１分岐流路２６１ａと記載した際には、第１分岐流路２６１ａに接続された６つの分岐流路の全てを指しているものとする。
【０１２０】
同様に、第１分配流路２５１ｂから分岐した６つの第１分岐流路２６１のそれぞれを第１分岐流路２６１ｂ１〜第１分岐流路２６１ｂ６とする。以降、第１分岐流路２６１ｂと記載した際には、第１分岐流路２６１ｂに接続された６つの分岐流路の全てを指しているものとする。さらに、第１分岐流路２６１と記載した際には、第１分岐流路２６１ａ及び第１分岐流路２６１ｂに接続された１２個の分岐流路の全てを指しているものとする。
【０１２１】
なお、図ではＹ方向に並んだ６つの第１分岐流路２６１ａ１〜第１分岐流路２６１ａ６のうち、第１分岐流路２６１ａ２〜第１分岐流路２６１ａ５の符号の図示は省略しているが、Ｙ１側からＹ２側に順番に並んでいるものとする。第１分岐流路２６１ｂ１〜第１分岐流路２６１ｂ６についても同様である。
【０１２２】
具体的には、第３流路部材２３０のＺ２側の表面には、分配溝部２３１ａに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２３２ａが設けられている。第２流路部材２２０のＺ１側の表面には、分配溝部２２６ａに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２２７ａが設けられている。第１分岐流路２６１ａは、分岐溝部２２７ａと分岐溝部２３２ａとが互いに相対向して封止されることにより形成されている。
【０１２３】
第３流路部材２３０のＺ２側の表面には、分配溝部２３１ｂに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２３２ｂが設けられている。第２流路部材２２０のＺ１側の表面には、分配溝部２２６ｂに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２２７ｂが設けられている。第１分岐流路２６１ｂは、分岐溝部２２７ｂと分岐溝部２３２ｂとが互いに相対向して封止されることにより形成されている。
【０１２４】
いずれの第１分岐流路２６１ａ、２６１ｂについても、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０に分岐溝部２２７ａ、２２７ｂ、２３２ａ、２３２ｂをそれぞれ形成することで、第１分岐流路２６１ａ、２６１ｂそれぞれの断面積を広げ、第１分岐流路２６１ａ、２６１ｂにおける圧力損失を低減させている。なお、第１分岐流路２６１ａ、２６１ｂは、第２流路部材２２０のみに形成された分岐溝部２２７ａ、２２７ｂにより形成されていてもよいし、又は、第３流路部材２３０のみに形成された分岐溝部２３２ａ、２３２ｂにより形成されていてもよい。例えば、後述するように、Ｙａ方向に傾斜することでＺ１側からＺ２側に向けてＹａ方向の幅が広がる領域Ｑにおいて、Ｚ２側にある第２流路部材２２０のみに分岐溝部２２７ａ、２２７ｂを形成することで、ＣＯＦ基板９８との干渉を防ぎつつ、第１流路２４１を配置する自由度を向上させることができる。また、Ｚ２側からＺ１側に向けてＹａ方向の幅が広がる領域Ｐにおいて、Ｚ１側にある第３流路部材２３０のみに分岐溝部２３２ａ、２３２ｂを形成することで、ＣＯＦ基板９８との干渉を防ぎつつ、第１流路２４１を配置する自由度を向上させることができる。
【０１２５】
また、第２流路２４２は一つの導入流路２８０から複数の接続部２９０に分岐するように構成されている。詳細は後述するが、第２分配流路２５２から、複数の第２分岐流路（本発明の第１流路に対応する）２６２が第２分配流路２５２と同じ平面（第１流路部材２１０と第２流路部材２２０とが接合された境界面）において分岐している。
【０１２６】
本実施形態では、液体噴射面２０ａに平行な平面内（第１流路部材２１０と第２流路部材２２０との境界面）において、第２分配流路２５２から６つの第２分岐流路２６２が分岐している。第２分配流路２５２ａから分岐した６つの第２分岐流路２６２のそれぞれを第２分岐流路２６２ａ１〜第２分岐流路２６２ａ６とする。
【０１２７】
同様に、第２分配流路２５２ｂから分岐した６つの第２分岐流路２６２のそれぞれを第２分岐流路２６２ｂ１〜第２分岐流路２６２ｂ６とする。
【０１２８】
以降、第２分岐流路２６２ａと記載した際には、第２分岐流路２６２ａに接続された６つの分岐流路の全てを指しているものとする。第２分岐流路２６２ｂと記載した際には、第２分岐流路２６２ｂに接続された６つの分岐流路の全てを指しているものとする。また、第２分岐流路２６２と記載した際には、第２分岐流路２６２ａ及び第２分岐流路２６２ｂに接続された１２個の分岐流路の全てを指しているものとする。さらに、分岐流路２６０と記載した際には、上述した２４個の分岐流路の全てを指しているものとする。
【０１２９】
なお、図ではＹ方向に並んだ６つの第２分岐流路２６２ａ１〜第２分岐流路２６２ａ６のうち、第２分岐流路２６２ａ２〜第２分岐流路２６２ａ５の符号の図示は省略しているが、Ｙ１側からＹ２側に順番に並んでいるものとする。第２分岐流路２６２ｂ１〜第２分岐流路２６２ｂ６についても同様である。
【０１３０】
具体的には、第２流路部材２２０のＺ２側の表面には、分配溝部２２２ａに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２２３ａが設けられている。第１流路部材２１０のＺ１側の表面には、分配溝部２１３ａに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２１４ａが設けられている。第２分岐流路２６２ａは、分岐溝部２１４ａと分岐溝部２２３ａとが互いに相対向して封止されることにより形成されている。
【０１３１】
第２流路部材２２０のＺ２側の表面には、分配溝部２２２ｂに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２２３ｂが設けられている。第１流路部材２１０のＺ１側の表面には、分配溝部２１３ｂに連通して開口部２０１側に向けて延設された複数の分岐溝部２１４ｂが設けられている。第２分岐流路２６２ｂは、分岐溝部２１４ｂと分岐溝部２２３ｂとが互いに相対向して封止されることにより形成されている。
【０１３２】
いずれの第２分岐流路２６２ａ、２６２ｂについても、第１流路部材２１０及び第２流路部材２２０に分岐溝部２１４ａ、２１４ｂ、２２３ａ、２２３ｂをそれぞれ形成することで、第２分岐流路２６２ａ、２６２ｂそれぞれの断面積を広げ、第２分岐流路２６２ａ、２６２ｂにおける圧力損失を低減させている。なお、第２分岐流路２６２ａ、２６２ｂは、第１流路部材２１０のみに形成された分岐溝部２１４ａ、２１４ｂにより形成されていてもよいし、又は、第２流路部材２２０のみに形成された分岐溝部２２３ａ、２２３ｂにより形成されていてもよい。例えば、後述するように、Ｙａ方向に傾斜することでＺ１側からＺ２側に向けてＹａ方向の幅が広がる領域Ｑにおいて、Ｚ２側にある第１流路部材２１０のみに分岐溝部２１４ａ、２１４ｂを形成することで、ＣＯＦ基板９８との干渉を防ぎつつ、第２流路２４２を配置する自由度を向上させることができる。また、Ｚ２側からＺ１側に向けてＹａ方向の幅が広がる領域Ｐにおいて、Ｚ１側にある第２流路部材２２０のみに分岐溝部２２３ａ、２２３ｂを形成することで、ＣＯＦ基板９８との干渉を防ぎつつ、第２流路２４２を配置する自由度を向上させることができる。
【０１３３】
第１分岐流路２６１には、第１分配流路２５１とは反対側の端部に第１垂直流路(本発明の第２流路）２７１が接続されている。具体的には、第３流路部材２３０をＺ方向に貫通した貫通孔として第１垂直流路２７１が形成されている。
【０１３４】
本実施形態では、第１分岐流路２６１ａ１〜２６１ａ６、第１分岐流路２６１ｂ１〜２６１ｂ６のそれぞれに対して１個ずつ、すなわち全体として１２個の第１垂直流路２７１ａ１〜２７１ａ６、第１垂直流路２７１ｂ１〜２７１ｂ６が接続されている。
【０１３５】
同様に、第２分岐流路２６２には、第２分配流路２５２とは反対側の端部に第２垂直流路(本発明の第２流路）２７２が接続されている。具体的には、第２流路部材２２０には、Ｚ方向に貫通した貫通孔２２４が設けられ、第３流路部材２３０にはＺ方向に貫通した貫通孔２３３が設けられている。これらの貫通孔２２４及び貫通孔２３３が連通して第２垂直流路２７２が形成されている。
【０１３６】
本実施形態では、第２分岐流路２６２ａ１〜２６２ａ６、第２分岐流路２６２ｂ１〜２６２ｂ６のそれぞれに対して１個ずつ、すなわち全体として１２個の第２垂直流路２７２ａ１〜２７２ａ６、第２垂直流路２７２ｂ１〜２７２ｂ６が接続されている。
【０１３７】
以降、第１垂直流路２７１ａと記載した際には、第１垂直流路２７１ａ１〜２７１ａ６を指し、第１垂直流路２７１ｂと記載した際には、第１垂直流路２７１ｂ１〜２７１ｂ６を指し、第１垂直流路２７１と記載した際には、第１垂直流路２７１ａ及び第１垂直流路２７１ｂの全てを指すものとする。
【０１３８】
同様に、第２垂直流路２７２ａと記載した際には、第２垂直流路２７２ａ１〜２７２ａ６を指し、第２垂直流路２７２ｂと記載した際には、第２垂直流路２７２ｂ１〜２７２ｂ６を指し、第２垂直流路２７２と記載した際には、第２垂直流路２７２ａ及び第２垂直流路２７２ｂの全てを指すものとする。
【０１３９】
さらに、垂直流路２７０と記載した際には、上述した２４個の垂直流路の全てを指しているものとする。
【０１４０】
なお、図ではＹ方向に並んだ６つの第１垂直流路２７１ａ１〜第１垂直流路２７１ａ６のうち、第１垂直流路２７１ａ２〜第１垂直流路２７１ａ５の符号の図示は省略しているが、Ｙ１側からＹ２側に順番に並んでいるものとする。第１垂直流路２７１ｂ１〜第１垂直流路２７１ｂ６、第２垂直流路２７２ａ１〜第２垂直流路２７２ｂ６、第２垂直流路２７２ｂ１〜第２垂直流路２７２ｂ６についても同様である。
【０１４１】
上述した垂直流路２７０は、第３流路部材２３０のＺ１側の開口である接続部２９０を有している。詳細は後述するが、接続部２９０は、ヘッド本体１１０に設けられた導入路４４に連通している。
【０１４２】
本実施形態では、第１垂直流路２７１ａ１〜２７１ａ６、第１垂直流路２７１ｂ１〜２７１ｂ６は、第３流路部材２３０のＺ１側の開口である第１接続部２９１ａ１〜２９１ａ６、第１接続部２９１ｂ１〜２９１ｂ６をそれぞれ有している。同様に、第２垂直流路２７２ａ１〜２７２ａ６、第２垂直流路２７２ｂ１〜２７２ｂ６は、第３流路部材２３０のＺ１側の開口である第２接続部２９２ａ１〜２９２ａ６、第２接続部２９２ｂ１〜２９２ｂ６をそれぞれ有している。
【０１４３】
第１接続部２９１ａ１、第１接続部２９１ｂ１、第２接続部２９２ａ１、第２接続部２９２ｂ１は、６つのヘッド本体１１０のうちの一つに接続される。その他、第１接続部２９１ａ２〜２９１ａ６、第１接続部２９１ｂ２〜２９１ｂ６、第２接続部２９２ａ２〜２９２ａ６、第２接続部２９２ｂ２〜２９２ｂ６についても同様である。すなわち、一つのヘッド本体１１０に対して、第１流路２４１ａ、第１流路２４１ｂ、第２流路２４２ａ及び第２流路２４２ｂが接続されている。
【０１４４】
以降、第１接続部２９１ａと記載した際には、第１接続部２９１ａ１〜２９１ａ６を指し、第１接続部２９１ｂと記載した際には、第１接続部２９１ｂ１〜２９１ｂ６を指し、第１接続部２９１と記載した際には、第１接続部２９１ａ及び第１接続部２９１ｂの全てを指すものとする。
【０１４５】
同様に、第２接続部２９２ａと記載した際には、第２接続部２９２ａ１〜２９２ａ６を指し、第２接続部２９２ｂと記載した際には、第２接続部２９２ｂ１〜２９２ｂ６を指し、第２接続部２９２と記載した際には、第２接続部２９２ａ及び第２接続部２９２ｂの全てを指すものとする。
【０１４６】
さらに、接続部２９０と記載した際には、上述した２４個の接続部の全てを指しているものとする。
【０１４７】
上述したように、本実施形態に係る流路部材２００は、４つの流路２４０、すなわち第１流路２４１ａ及び第１流路２４１ｂと、第２流路２４２ａ及び第２流路２４２ｂとを備えている。そして、各流路２４０は、インクの入口となる導入流路２８０から分配流路２５０までが一本の流路として構成され、分配流路２５０から分岐流路２６０に分岐し、垂直流路２７０及び接続部２９０を経由して複数のヘッド本体１１０に接続されている。
【０１４８】
本実施形態では、ブラックＢｋ、マゼンタＭ、シアンＣ、イエローＹの４色のインクを用いる。図示しない液体貯留手段から、シアンＣは第１流路２４１ａに、イエローＹは第１流路２４１ｂに、ブラックＢｋは第２流路２４２ａに、マゼンタＭは第２流路２４２ｂに供給される。そして、各色のインクは第１流路２４１ａ、第１流路２４１ｂ、第２流路２４２ａ及び第２流路２４２ｂを流通し、各ヘッド本体１１０に供給される。
【０１４９】
ここで、分岐流路２６０と垂直流路２７０との接続部分について、図１７を参照しながら詳細に説明する。
【０１５０】
分岐流路２６０は上述したように、鉛直方向に延びる垂直流路２７０と交差する方向、本実施形態では、鉛直方向に直交する方向に延びる。ここで、分岐流路２６０を延ばした流路と垂直流路２７０を延ばした流路とが交わる部分を接続部分２７５とすると、接続部分２７５の鉛直方向上側の面の形状について、分岐流路２６０を延ばした方向と垂直流路２７０を延ばした方向とを含む断面を平面視した見た場合に、分岐流路２６０の面と垂直流路２７０の面とを接続する面４０１が曲線になっている。これは、接続部分２７５の鉛直方向上側における接続する面４０１に沿って気泡４０３が流れやすくなり、鉛直方向上側に気泡４０３が残留するのを防止するためのものである。なお、気泡４０３の残留を防止できれば、接続部分２７５の鉛直方向上側の面の形状は曲面に限らず、傾斜面、あるいは連続する複数の傾斜面（多角形状）などで形成されていてもよい。例えば、分岐流路２６０が延びる方向と垂直流路２７０が延びる方向とを延長した仮想線が成す角度４０２よりも大きい角度で、分岐流路２６０の面と垂直流路２７０の面とに交差する面で構成されていてもよい。
【０１５１】
また、分岐流路２６０の垂直流路２７０の近傍には、交差部分４１０を具備する。交差部分４１０は、分岐流路２６０内の流れの方向に沿って、開始位置４１１から終了位置４１２までの領域であり、本実施形態では、傾斜面からなる交差する面４１５を具備する。このような交差する面４１５を設け、接続部分２７５に向けて下流側ほど流路断面を小さくすることにより、流速を徐々に高くし、接続部分２７５での気泡の流れを向上させ、気泡４０３の滞留を防止することができる。
【０１５２】
こうした交差部分４１０を第１分岐流路２６１に設けるには、第３流路部材２３０のＺ２側の表面の分岐溝部２３２ａ、２３２ｂのＺ方向の深さを、それぞれ分配溝部２３１ａ、２３１ｂと連通する側から第１垂直流路２７１の貫通口が設けられた側に向けて浅くすればよい。具体的には、第３流路部材２３０のＺ２側の表面の分岐溝部２３２ａ、２３２ｂのＺ方向の深さを、それぞれ分配溝部２３１ａ、２３１ｂと連通する側においては分配溝部２３１ａ、２３１ｂのＺ方向の深さと同じにし、第１垂直流路２７１の貫通口が設けられた側においてはそれよりも浅くすればよい。交差部分４１０を第２分岐流路２６２に設けるには、第３流路部材２３０に代えて第２流路部材２２０に対して同様に行えばよい。特に、交差部分４１０を鉛直方向下側に配置することで、接続部分２７５の鉛直方向上側における接続する面４０１に向けての流れを向上させ、接続部分２７５の鉛直方向上側における接続する面４０１に沿って気泡４０３が垂直流路２７０へ向けて流れる結果、気泡４０３が残留するのを防止することができる。
【０１５３】
さらに、垂直流路２７０の断面積は、分岐流路２６０の断面積よりも小さい方が好ましい。その場合には、垂直流路２７０の流速を向上させ、鉛直方向下側へ向けて気泡４０３を効果的に流すことができる。加えて、分岐流路２６０の断面積のうち、交差部分４１０から接続部分２７５までの断面積よりも垂直流路２７０の断面積の方が小さい方が好ましい。垂直流路２７０の流速をより向上させ、鉛直方向下側へ向けて気泡４０３をより効果的に流すことができる。
【０１５４】
交差する面４１５は、傾斜の傾き、傾斜面の長さなどを適宜設定することにより、流速の向上、圧力損失の低下の度合い、及び、気泡４０３の排出性を調整することができる。
【０１５５】
また、交差する面４１５は、傾斜面に限定されず、例えば、図１８に示すように階段状の面からなる交差する面４１５Ａとしてもよい。
【０１５６】
また、交差部分４１０は、流路の断面積を変化させるものであればよいので、流路の幅（図１７の紙面に直交する方向の寸法）を変更して断面積を変化させるようにしてもよい。
【０１５７】
また、交差部分４１０、すなわち、交差する面４１５は、分岐流路２６０の鉛直方向下側に設けるのが好ましいが、上側や側面に設けてもよい。但し、本実施形態のように下側に設けることにより、交差部分４１０を通過した流れは接続する面４０１に向かっていくので、接続する面４０１近傍に気泡４０３が存在しても、交差部分４１０を通過した流れにより気泡４０３は確実に排出されるようになる。また、断面積の広狭を設けるために、図１７の奥行き方向の幅を広くしたり狭くしたりする必要がないので、図面の奥行き方向に複数の流路を並べようとした場合に、流路間の間隔を狭くできるという利点もある。すなわち、例えば、第１分岐流路２６１ａ１〜第１分岐流路２６１ａ６のＹ方向の間隔を狭くできる。他の分岐流路２６０についても同様に、Ｙ方向の間隔を狭くできる。
【０１５８】
また、このような交差部分４１０を設けることで、交差部分４１０までの流路の圧力損失を極力小さくすることができ、全体の圧力損失の低減を図ることができる。すなわち、分配流路２５０および分岐流路２６０において、交差部分４１０までの流路の圧力損失を極力小さくするが、交差部分４１０で流速を高めて接続部分２７５での気泡の排出性を向上させており、全体として圧力損失の低減と、気泡排出性の両立を図っている。
【０１５９】
分岐流路２６０及び垂直流路２７０の組は、上述したように、１つの流路２４０に本実施形態では６組存在し、導入流路２８０からそれぞれの組の垂直流路２７０までの距離は異なっている。流路２４０のうち、第１流路２４１ａ及び第２流路２４２ａの斜視を図１９に模式的に示す。
【０１６０】
図１９に示すように、第１分岐流路２６１ａ１〜２６１ａ６及び第１垂直流路２７１ａ１〜２７１ａ６の各組は、第１導入流路２８１ａに連通する第１分配流路２５１ａに連通しており、第１導入流路２８１ａからそれぞれの組の第１垂直流路２７１ａ１〜２７１ａ６までの距離が異なっている。また、第２分岐流路２６２ａ１〜２６２ａ６及び第２垂直流路２７２ａ１〜２７２ａ６の各組は、第２導入流路２８２ａに連通する第２分配流路２５２ａに連通しており、第２導入流路２８２ａからそれぞれの組の第２垂直流路２７２ａ１〜２７２ａ６までの距離が異なっている。
【０１６１】
このような導入流路２８０からそれぞれの組の垂直流路２７０までの距離が異なる分岐流路２６０においては、交差部分４１０までの圧力損失のバラツキが生じるが、交差部分４１０の開始位置４１１及び、又は終了位置４１２や交差する面４１５の交差する程度を変更することにより、気泡排出性と共に、交差部分４１０における圧力損失の低下の程度を変更することができ、分岐流路２６０間の圧力損失のバラツキを低減することができる。
【０１６２】
このような例を模式的に示した図を図２０に示す。
図２０に示すように、例えば、導入流路２８０からそれぞれの組の垂直流路２７０までの距離が異なる分岐流路２６０の複数の組において、遠い組の方が圧力損失は大きくなる。そこで、この組間における圧力損失のバラツキを低減させるためには、遠い組の交差部分４１０の開始位置４１１から垂直流路２７０までの距離Ｌ１（図２０（ａ））が、近い組の交差部分４１０の開始位置４１１から垂直流路２７０までの距離Ｌ２（図２０（ｂ））よりも小さくなるように、すなわちＬ１＜Ｌ２となるように、各組の交差部分４１０を設ければよい。
【０１６３】
あるいは、例えば、遠い組の交差部分４１０の終了位置４１２から垂直流路２７０までの距離Ｌ３（図２０（ａ））が、近い組の交差部分４１０の終了位置４１２から垂直流路２７０までの距離Ｌ４（図２０（ｂ））よりも小さくなるように、すなわちＬ３＜Ｌ４となるように、各組の交差部分４１０を設ければよい。
【０１６４】
一方、図１９を参照すると、各垂直流路２７０への流量は一定とする前提とすると、分配流路２５０の流量及び流速は、分岐の数によって変化する。よって、この分配流路２５０と接続される各組の分岐流路２６０における流速のバラツキを低減するためには、分配流路２５０の断面積を分配点の数に応じて小さくすることで、流速のバラツキを低減することができる。
【０１６５】
すなわち、分配流路の導入流路２８０から最初に分岐する分岐流路までの断面積を最も大きくし、次に分岐する分岐流路までの断面積をそれよりも小さくし、分岐流路毎に段々と断面積を小さくしていくことで、流速のバラツキを低減することができる。
【０１６６】
また、図２０に示すように、第２分岐流路２６２は、第１流路部材２１０及び第２流路部材２２０との境界面に形成されているが、交差部分４１０の終了位置４１２は、第２流路部材２２０のみで形成され、第１流路部材２１０や他の部材を用いずに形成されるのが好ましい。すなわち、図２１に示すように、終了位置４１２が第１流路部材２１０側に位置する交差部分４１０Ｂとすると、第１流路部材２１０への分岐溝部２２３ａ、２２３ｂ、２３２ａ、２３２ｂだけで交差部分４１０Ｂを形成することができず、Ｚ方向に直交する方向に第１流路部材２１０内を貫通する貫通口を設ける必要があり、加工が難しくなる。また、図示はしないが、第１流路部材２１０及び他の部材で交差部分を形成すると部品点数が増加してしまい、加工上好ましくない。第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０との境界面に形成される第１分岐流路２６１についても同様である。
【０１６７】
さらに好ましくは、図２２に示すように、交差部分４１０Ｃを第１流路部材２１０のみで形成するとともに、終了位置４１２が第１流路部材２１０と第２流路部材２２との界面より第２流路部材２２０側に存在する交差部分４１０Ｃとするのがよい。言い換えると、交差部分における流路の断面積を形成する部位は、第１流路部材２１０と第２流路部材２２との界面より第２流路部材２２０側に位置するのがよい。終了位置４１２が第１流路部材２１０と第２流路部材２２との界面上にあると、接着面の管理（表面粗さや基準面の管理）が大変となる。例えば、接着面の加工精度を流路表面の加工精度よりも上げる場合には、当該構成になっていないと、同一平面上に、接着面と流路表面とが隣接してしまい、管理が煩雑になり加工が難しくなるという問題が生じる。よって、図２２のように、第２分岐流路２６２の交差部分４１０Ｃを第１流路部材２１０のみで形成する構成が好ましい。第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０との境界面に形成される第１分岐流路２６１についても同様である。
【０１６８】
また、上述したように、分岐流路２６０及び分配流路２５０は、第１流路部材２１０と第２流路部材２２０との間と、第２流路部材２２０と第３流路部材２３０との間とで、２段に形成されている。
【０１６９】
これを模式的に示すと、図２３となる。第１段目の流路Ａ１と第２段目の流路Ａ２とを鉛直方向に投影した場合、図２３（ａ）のように、相互に重ならないようにすれば、厚さ方向である鉛直方向の部材寸法を低減することができる。また、図２３（ｂ）のように、相互に重なるようにすることで、流路の幅方向であるＸ方向またはＹ方向の寸法を低減できる。本発明では、何れの構成を採用してもよい。なお、第１段目の流路Ａ１と第２段目の流路Ａ２とは、いずれも分配流路２５０であってもよいし、いずれも分岐流路２６０であってもよい。
【０１７０】
さらに、上述した４つの流路２４０においては、第１段目の流路Ａ１と第２段目の流路Ａ２とで、導入流路２８０の入口から分配流路２５０までの距離が異なり、圧力損失にバラツキが生じる。よって、圧力損失のバラツキを低減するために、第１段目の流路Ａ１と第２段目の流路Ａ２との間で導入流路２８０の流路径や分配流路２５０の交差部分４１０までの断面積を変化させるのが好ましい。具体的には、第１流路２４１の第１分配流路２５１の交差部分４１０までの断面積を、第２流路２４２の第２分配流路２５２の交差部分４１０までの断面積よりも大きくしてもよい。また、導入流路２８０は、気泡を下方に流すために流路をできるだけ小さくするのが好ましいが、導入流路２８０の長さが長いほど、流路断面積を若干大きくすることで、圧力損失のバラツキを低減することができる。
【０１７１】
ここで、流路部材２００には、ヘッド本体１１０に設けられたＣＯＦ基板９８が挿通する開口部２０１が設けられている。本実施形態では、第１流路部材２１０には、Ｚ方向に対して傾斜し、かつ貫通した第１開口部２１５が形成されている。第２流路部材２２０には、Ｚ方向に対して傾斜し、かつ貫通した第２開口部２２５が形成されている。第３流路部材２３０には、Ｚ方向に対して傾斜し、かつ貫通した第３開口部２３５が形成されている。
【０１７２】
これらの第１開口部２１５、第２開口部２２５及び第３開口部２３５は互いに連通しており、一つの開口部２０１を構成している。開口部２０１は、Ｘａ方向に長尺な開口形状を有しており、６個の開口部２０１がＹ方向に並設されている。
【０１７３】
ここで、図１６に示すように、本実施形態に係るＣＯＦ基板９８は、Ｚ方向においてヘッド本体１１０に近い一端部である下側端部９８ｃと、Ｚ方向においてヘッド本体１１０から遠い他端部である上側端部９８ｄとを有している。上側端部９８ｄのＸａ方向の幅は、下側端部９８ｃのＸａ方向の幅よりも狭くなるように形成されている。
【０１７４】
本実施形態では、ＣＯＦ基板９８の第１開口部２１５及び第３開口部２３５に挿通された部分はＸａ方向の幅は一定の矩形状であり、第２開口部２２５に挿通された部分はＺ１側からＺ２側に向けてＸａ方向の幅が狭くなるように形成された台形状に形成されている。
【０１７５】
一方、流路部材２００の開口部２０１は、液体噴射面２０ａに垂直なＺ方向においてヘッド本体１１０に近い第１開口２３６（すなわち、第３開口部２３５のＺ１側の開口）及びヘッド本体１１０から遠い第２開口２１６（すなわち、第１開口部２１５のＺ２側の開口）を有している。
【０１７６】
第２開口２１６は、第１開口２３６よりもＸａ方向に狭く形成されている。すなわち、開口部２０１としては、Ｚ方向のＺ１からＺ２に向けてＸａ方向の幅が狭くなっている。具体的には、開口部２０１は、ＣＯＦ基板９８が収容される形状とされており、開口部２０１のＸａ方向の幅がＣＯＦ基板９８のＸａ方向の幅よりも若干広く形成されている。
【０１７７】
〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【０１７８】
例えば、実施形態１に係る記録ヘッド１００は、第１流路２４１及び第２流路２４２を有し、それぞれがＺ方向に異なる位置で第１分配流路２５１及び第２分配流路２５２を有していたが、このような態様に限定されない。例えば、液体噴射面２０ａに平行な流路は同一平面にのみ設けられた流路部材を備えた記録ヘッドであってもよい。例えば、上述した実施形態であれば、第１流路部材２１０及び第２流路部材２２０を備えた流路部材に第２流路のみを設けた記録ヘッドであってもよい。このように、第１流路２４１と第２流路２４２とのいずれかを設けない記録ヘッドであれば、記録ヘッド１００をＺ方向に小型化することができる。
【０１７９】
また、実施形態１に係る記録ヘッド１００では、第１流路２４１ａ，第１流路２４１ｂ、第２流路２４２ａ、第２流路２４２ｂに対して、それぞれ導入路４４ｃ、４４ｄ、４４ａ、４４ｂが接続されていたが、このような態様に限定されない。例えば、第１流路２４１ａ、第１流路２４１ｂに対して、それぞれ導入路４４ｃ、４４ｂが接続され、第２流路２４２ａ、２４２ｂに対して、それぞれ導入路４４ａ、４４ｄが接続されてもよい。また、この場合に、上述のように第２流路のみを有し、第１流路を有さない記録ヘッドであってもよい。ヘッド本体１１０の配置などに応じた最適な流路を構成することができる。
【０１８０】
また、第１流路部材２１０及び第２流路部材２２０を接着して第２流路２４２を形成し、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０を接着して第１流路２４１を形成したが、第１流路２４１及び第２流路２４２を形成する方法はこれらに限られない。例えば、三次元造型が可能な積層造形法により、２つ以上の流路部材を接着することなく一体的に造形してもよい。あるいは、個々の流路部材を三次元造型、金型成形（射出成形等）、切削加工、プレス加工により形成してもよい。
【０１８１】
また、流路部材２００には、第１流路２４１として２つの第１流路２４１ａ及び第１流路２４１ｂを有していたが、２つに限定されず、１本又は３本以上であってもよい。第２流路２４２についても同様である。
【０１８２】
第１分配流路２５１ａは６つの第１分岐流路２６１ａに分岐していたがこれに限定されず、分岐せずに一つのヘッド本体１１０に接続されていてもよいし、分岐する数も６つに限定されず２つ以上の複数に分岐してもよい。第１分配流路２５１ｂ、第２分配流路２５２ａ及び第２分配流路２５２ｂについても同様である。
【０１８３】
また、分配流路２５０の断面積を分配点の数に応じて小さくしたが、小さくせずに一定の断面積としてもよい。さらに、第１段目の流路Ａ１と第２段目の流路Ａ２との間で導入流路２８０の流路径や分配流路２５０の交差部分４１０までの断面積を変化させたが、変化させずに第１段目の流路Ａ１と第２段目の流路Ａ２との間で同じ断面積としてもよい。
【０１８４】
さらに、いずれの場合であっても、垂直流路２７０の断面積が分岐流路２６０の断面積よりも小さくなるようにすれば、鉛直方向下側へ向けて気泡４０３をより効果的に流すことができる。
【０１８５】
また、第１分配流路２５１ａは、第２流路部材２２０と第３流路部材２３０との間で水平にインクを流通させる流路としたがこのような態様に限定されない。すなわち、Ｚ平面に対して傾斜した流路としてもよい。第１分配流路２５１ｂ、第２分配流路２５２ａ及び第２分配流路２５２ｂについても同様である。
【０１８６】
さらに、第１垂直流路２７１ａは液体噴射面２０ａに対して垂直に形成されていたがこのような態様に限定されない。すなわち、液体噴射面２０ａに対して傾斜していてもよい。第１垂直流路２７１ｂ、第２垂直流路２７２ａ及び第２垂直流路２７２ｂについても同様である。
【０１８７】
流路部材２００に形成された開口部２０１の第２開口２１６は、第１開口２３６よりもＸａ方向の幅が狭くなっている必要はない。第２開口２１６と第１開口２３６のＸａ方向の幅をほぼ等しくし、長方形状のＣＯＦ基板９８が収容されるような開口部であってもよい。また、逆に、第２開口２１６は、第１開口２３６よりもＸａ方向の幅が広くなっていてもよい。
【０１８８】
また、フレキシブル配線基板としてＣＯＦ基板９８を備えていたが、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）であってもよい。
【０１８９】
また、実施形態１では、ヘッド本体１１０をＹ方向に併設して、複数のヘッド本体１１０により記録ヘッド１００を構成したが、１つのヘッド本体１１０により記録ヘッド１００を構成してもよい。また、ヘッドユニット１０１に含まれる記録ヘッド１００の個数についても特に限定はなく、２個以上を搭載してあってもよいし、一つの記録ヘッド１００を単体でインクジェット式記録装置１に搭載してもよい。
【０１９０】
また、実施形態１では、保持部材１２０と流路部材２００とを接着剤などにより固定したが、一体化してもよい。すなわち、流路部材２００のＺ１側に保持部１２１と足部１２２とを設けてもよい。これにより、保持部材１２０をＺ方向に積層しない分だけＺ方向に小型化できる。また、保持部１２１が流路部材２００に設けられることにより、流路部材２００が複数のヘッド本体１１０を収容できればよく、中継基板１４０を収容しなくてもよいので、ＸＹ方向にも小型化できる。さらに、複数の部材を一体化することで、部品点数を減らすことができる。なお、流路部材２００を第１流路部材２１０、第２流路部材２２０及び第３流路部材２３０により構成する場合には、第３流路部材２３０のＺ１側に保持部１２１と足部１２２とを設ければよい。
【０１９１】
なお、上述したインクジェット式記録装置１では、ヘッドユニット１０１が固定されて記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン型記録装置であるが、特にこれに限定されず、ヘッドユニット１０１や１つ又は複数の記録ヘッド１００をキャリッジに搭載して、当該ヘッドユニット１０１又は記録ヘッド１００を記録シートＳの搬送方向と交差する主走査方向に移動させると共に、記録シートＳを搬送して印刷を行う所謂シリアル型記録装置にも本発明を適用することができる。
【０１９２】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッドユニット全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を具備する液体噴射ヘッドユニットにも適用することができる。
【０１９３】
また、本発明の配線基板は、液体噴射ヘッドに用いられる場合に限定されず、任意の電子回路等に適用することもできる。
【符号の説明】
【０１９４】
１  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  ４３  接続口、  ４４  導入路、  ９７  駆動回路、  ９８  ＣＯＦ基板、  ９８ａ  第１面、  ９８ｂ  第２面、  ９８ｃ  下側端部、  ９８ｄ  上側端部、  １００  記録ヘッド、  １０１  ヘッドユニット、  １１０  ヘッド本体、  １４０  中継基板、  ２００  流路部材、  ２０１  開口部、  ２１０  第１流路部材、  ２１６  第２開口、  ２２０  第２流路部材、  ２３０  第３流路部材、  ２３６  第１開口、  ２４０  流路、  ２４１  第１流路、  ２４２  第２流路、  ２５１  第１分配流路、  ２５２  第２分配流路、  ２６１  第１分岐流路、  ２６２  第２分岐流路、  ２７１  第１垂直流路、  ２７２  第２垂直流路、  ２８１  第１導入流路、  ２８２  第２導入流路、  ２９１  第１接続部、  ２９２  第２接続部、  ３００  圧電アクチュエーター、  ４１０  交差部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図９】
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