(57)【要約】【課題】検査のスループットを低下させることなく磁気ディスクの検査若しくは磁気ディスクの検査を行えるようにする。【解決手段】磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置を、スピンドルモータと、磁気ディスク上の所望の位置に磁気ヘッドを設定する磁気ヘッド位置決め機構と、磁気ディスクにサーボパターン及びデータを書き込むことと、書き込んだサーボパターンを読み取った信号に基づいて磁気ディスクに書き込んだデータを読み取った信号を処理して検査を行う制御回路部とを備えて構成し、制御回路部は、第１の回転速度で磁気ディスクを回転させているときに磁気ディスクにサーボパターンを書き込み、第１の回転速度とは異なる回転速度で磁気ディスクを回転させているときに書き込まれたサーボパターンを磁気ヘッドで読み取り、この読み取って得た信号に基づいて磁気ヘッドの位置を調整するサーボ制御信号を発信するようにした。【選択図】  図１
2015060606.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクを搭載して回転可能なスピンドルモータと、
該スピンドルモータにより回転駆動されている磁気ディスク上の半径方向の所望の位置に磁気ヘッドを設定する磁気ヘッド位置決め機構と、
該磁気ヘッド位置決め機構により前記回転駆動されている磁気ディスク上で前記所望の位置に設定された磁気ヘッドにより前記磁気ディスクにサーボパターン及び所望のデータを書き込むことと、該磁気ディスクに書き込んだサーボパターンを前記磁気ヘッドで読み取った信号に基づいて該磁気ディスクに書き込んだ所望のデータを前記磁気ヘッドで読み取った信号を処理して前記磁気ディスク又は前記磁気ヘッドの検査を行う制御回路部と
を備えた磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置であって、
前記制御回路部は、前記スピンドルモータが第１の回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ディスク上の所望の位置に設定された前記磁気ヘッドから前記磁気ディスクにサーボパターンを書き込み、前記スピンドルモータが前記第１の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記書き込まれたサーボパターンを前記磁気ヘッドで読み取り、該読み取って得た信号に基づいて前記磁気ヘッドの位置を調整するサーボ制御信号を発信することを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置であって、前記磁気ヘッドはピエゾアクチュエータとジンバルスプリングを備えたヘッドカートリッジに取り付けられており、前記制御回路部から発信されたサーボ制御信号により前記アクチュエータを制御することにより前記磁気ヘッドの位置を調整することを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置。
【請求項３】
請求項１記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置であって、前記磁気ヘッドはピエゾアクチュエータとジンバルスプリングを備えたヘッドカートリッジに取り付けられており、前記磁気ヘッド位置決め機構は前記ヘッドカートリッジの位置を調整する微動ステージを備えており、前記制御回路部から発信されたサーボ制御信号により前記アクチュエータと前記微動ステージとを制御することにより前記磁気ヘッドの位置を調整することを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置であって、前記制御回路部は、前記スピンドルモータが前記第１の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ディスクにデータを書き込み、前記スピンドルモータが前記第１の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させている状態で前記書き込んだデータを前記磁気ヘッドで読み取り、該読み取って得た信号に基づいて前記磁気ヘッド又は前記磁気ディスクを検査することを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置。
【請求項５】
スピンドルモータに磁気ディスクを搭載して回転させ、
磁気ヘッド位置決め機構を制御して前記スピンドルモータにより回転駆動されている前記磁気ディスク上の半径方向の所望の位置に磁気ヘッドを設定し、
前記磁気ヘッド位置決め機構により前記回転駆動されている磁気ディスク上で前記所望の位置に設定された磁気ヘッドにより前記磁気ディスクにサーボパターン及び所望のデータを書き込み、
該磁気ディスクに書き込んだサーボパターンに基づいて該磁気ディスクに書き込んだ所望のデータを前記磁気ヘッドで読み取り、
該磁気ヘッドで読み取った信号を処理して前記磁気ディスク又は前記磁気ヘッドの検査を行う方法であって、
前記スピンドルモータが第１の回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ディスク上の所望の位置に設定された前記磁気ヘッドから前記磁気ディスクに書き込んだサーボパターンを、前記スピンドルモータが前記第１の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ヘッドで読み取り、該読み取って得た信号に基づいて前記磁気ヘッドの位置を調整することを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法。
【請求項６】
請求項５記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法であって、前記磁気ヘッドはピエゾアクチュエータとジンバルスプリングを備えたヘッドカートリッジに取り付けられており、前記磁気ヘッドの位置を調整することが、前記スピンドルモータが前記第１の回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ディスク上の所望の位置に書き込んだサーボパターンを前記スピンドルモータが前記第１の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ヘッドで読み取って得た信号に基づいて前記アクチュエータを制御することにより行うことを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法。
【請求項７】
請求項５記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法であって、前記磁気ヘッドはピエゾアクチュエータとジンバルスプリングを備えたヘッドカートリッジに取り付けられており、前記磁気ヘッドの位置を調整することが、前記スピンドルモータが前記第１の回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ディスク上の所望の位置に書き込んだサーボパターンを前記スピンドルモータが前記第１の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ヘッドで読み取って得た信号に基づいて前記アクチュエータと前記微動ステージとを制御することにより行うことを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法。
【請求項８】
請求項５乃至７の何れかに記載の磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法であって、前記スピンドルモータが前記第１の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させているときに前記磁気ディスクにデータを書き込み、前記スピンドルモータが前記第１の回転速度とは異なる回転速度で前記磁気ディスクを回転させている状態で前記書き込んだデータを前記磁気ヘッドで読み取り、該読み取って得た信号に基づいて前記磁気ヘッド又は前記磁気ディスクを検査することを特徴とする磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置及び検査方法に係わり、特に、磁気ヘッドで磁気ディスクに所望のデータを書き込んで、この書き込んだデータを磁気ヘッドで読み出してリード・ライトテストを行うのに適した磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のリード・ライトテストを行う磁気ヘッド検査装置として、特許文献１には、磁気ヘッドを磁気ディスク上の所望の位置に位置決めする微動ステージと、微動アクチュエータの移動特性を測定するデータ処理回路と、データ処理回路の測定結果に基づいて磁気ヘッドを磁気ディスク上のサーボトラックに追従させるサーボ制御回路を備えた装置構成が記載されている。更に特許文献１には、微動アクチュエータの移動量が許容範囲を超えるとき、サーボ制御回路が微動ステージを駆動して磁気ヘッドを移動させ、微動アクチュエータの移動量が許容範囲内に収まるように制御することが記載されている。
【０００３】
また、特許文献２には、磁気ヘッド検査装置又は磁気ディスク検査装置が、サーボ情報の書込みの他に等間隔にトラック情報の書き込を行う、またサーボオンする際にトラック情報を読み取りサーボオンすることにより幅広く書き込んだサーボ情報に対し指定した位置に位置決めを行うことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１１４７０２号公報
【特許文献２】特開２００９−８０９２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１及び２に記載されている磁気ヘッド検査装置又は磁気ディスク検査装置では、磁気ディスクまたは磁気ヘッド特性を安定して測定するために、磁気ヘッド検査装置又は磁気ディスク検査装置にて独自にサーボパターンを磁気ヘッドから磁気ディスクに書込むと共に磁気ディスク上に信号を書込み、サーボ・オンすることによりサーボパターンを検出しながら安定した位置にて磁気ディスクに書込んだ信号を磁気ヘッドで読み取ることで磁気ヘッドの再生特性の測定を行っている。
【０００６】
検査方法として、磁気ヘッドの再生特性を測定するに当たり、磁気ディスクの回転速度を順次変えて、複数の回転数(回転速度)におけるヘッドの再生特性の測定が行われる。
【０００７】
一方、特許文献２には、スピンドルのエンコーダ信号を等分割してサーボの起点とし、この起点からＡ〜Ｆ相のサーボバースト信号(サーボ信号)を書込み、ヘッドの再生特性を測定する際にサーボ信号として使用することが記載されている。
【０００８】
しかし、この書込まれたサーボ信号は、書込み時の磁気ディスクの回転数(回転速度)には対応するが、磁気ディスクの回転数を変えることによりサーボ条件が変わってしまう。その結果、磁気ディスクに書込み済みのサーボパターンを使用して異なる回転速度でサーボ制御を行おうとしても、そのままではサーボ制御を行うことができない。
【０００９】
従って、特許文献２に記載されている磁気ヘッド検査装置又は磁気ディスク検査装置を用いて磁気ディスクの回転速度を変えてヘッドの再生特性を測定するためには、磁気ディスクの回転速度を変えるごとにサーボパターンを磁気ヘッドから磁気ディスクに書込むことが必要になる。
【００１０】
磁気ディスクの検査又は磁気ディスクの検査において、事前にデータを書き込んだ磁気ディスクに対し回転速度を変え再生特性を測定する検査はサーボ機能を使用できず検査を安定して行うことが障害となる。
【００１１】
しかし、特許文献２に記載されている発明においては、この点について配慮されていない。  
一方、特許文献１においても、この点については配慮されていない。
【００１２】
本発明は、この従来技術の課題を解決して、検査のスループットを低下させることなく磁気ディスクの検査又は磁気ディスクの検査を行える磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置及び検査方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記した課題を解決するために、本発明では、磁気ヘッド若しくは磁気ディスクの検査装置を、磁気ディスクを搭載して回転可能なスピンドルモータと、このスピンドルモータにより回転駆動されている磁気ディスク上の半径方向の所望の位置に磁気ヘッドを設定する磁気ヘッド位置決め機構と、この磁気ヘッド位置決め機構により回転駆動されている磁気ディスク上で所望の位置に設定された磁気ヘッドにより磁気ディスクにサーボパターン及び所望のデータを書き込むことと、磁気ディスクに書き込んだサーボパターンを磁気ヘッドで読み取った信号に基づいて磁気ディスクに書き込んだ所望のデータを磁気ヘッドで読み取った信号を処理して磁気ディスク又は磁気ヘッドの検査を行う制御回路部とを備えて構成し、制御回路部は、スピンドルモータが第１の回転速度で磁気ディスクを回転させているときに磁気ディスク上の所望の位置に設定された磁気ヘッドから磁気ディスクにサーボパターンを書き込み、スピンドルモータが第１の回転速度とは異なる回転速度で磁気ディスクを回転させているときに書き込まれたサーボパターンを磁気ヘッドで読み取り、この読み取って得た信号に基づいて磁気ヘッドの位置を調整するサーボ制御信号を発信するようにした。
【００１４】
また、上記した課題を解決するために、本発明では、磁気ディスク又は磁気ヘッドの検査を行う方法を、スピンドルモータに磁気ディスクを搭載して回転させ、磁気ヘッド位置決め機構を制御してスピンドルモータにより回転駆動されている磁気ディスク上の半径方向の所望の位置に磁気ヘッドを設定し、磁気ヘッド位置決め機構により回転駆動されている磁気ディスク上で所望の位置に設定された磁気ヘッドにより磁気ディスクにサーボパターン及び所望のデータを書き込み、磁気ディスクに書き込んだサーボパターンに基づいて磁気ディスクに書き込んだ所望のデータを磁気ヘッドで読み取り、磁気ヘッドで読み取った信号を処理して磁気ディスク又は磁気ヘッドの検査を行う方法とし、スピンドルモータが第１の回転速度で磁気ディスクを回転させているときに磁気ディスク上の所望の位置に設定された磁気ヘッドから磁気ディスクに書き込んだサーボパターンを、スピンドルモータが第１の回転速度とは異なる回転速度で磁気ディスクを回転させているときに磁気ヘッドで読み取り、この読み取って得た信号に基づいて磁気ヘッドの位置を調整するようにした。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、サーボタイミングのプログラマブル化、回転数の変化を検出し読み出し周波数の自動検出を行うことにより回転数を変えても書き込み済みサーボパターンを使用し再サーボ・オンを行うことができるようになり、検査のスループットを向上させることができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例に係る磁気ヘッド検査装置の全体構成を示すブロック図である。
【図２】磁気ディスクのデータ信号書込み領域とサーボ信号書込み領域とを示す、磁気ディスクの正面図である。
【図３】本発明の実施例に係る磁気ヘッド検査の処理の流れを示すフロー図である。
【図４】本発明の実施例に係る磁気ヘッド検査装置で検出したサーボ信号とデータ信号の信号波形を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、本発明における実施の態様について図面を用いて説明する。図１は、本実施例に係る磁気ヘッド検査装置１０の概略の構成を示すブロック図である。ここでは、圧電素子などの微動アクチュエータを内蔵したＤＳＡ（Dual Stage Actuator）型磁気ヘッド（以下、単に磁気ヘッドという。）を検査対象とするものである。  
磁気ヘッド検査装置１０は、機械動作を行う機構部で構成される検査用キャリッジ３０と、それに繋がる制御回路部２０を備える。
【００１８】
検査用キャリッジ３０は、磁気ディスク１を回転させるスピンドルモータ２と、ジンバルスプリング４の先端部分に取り付けた磁気ヘッド３を磁気ディスク１上の半径方向の所望の位置に位置決めするための磁気ヘッド位置決め機構として、ヘッドカートリッジ５、ピエゾアクチュエータ５１、カートリッジ取付ベース６、微動ステージ７、Ｘ軸粗動ステージ８とＹ軸粗動ステージ９を備えている。
【００１９】
検査用キャリッジ３０のＸ軸粗動ステージ８とＹ軸粗動ステージ９は、ジンバルスプリング４とジンバルスプリング４の先端部分に取り付けた磁気ヘッド３を磁気ディスク１から外れた場所から磁気ディスク１上へ移動させるもので、Ｘ軸粗動ステージ８は磁気ディスク１の半径方向へ、Ｙ軸粗動ステージ９は磁気ディスク１の円周方向へ移動させる。Ｘ軸粗動ステージ８の上にはＹ軸粗動ステージ９が、Ｙ軸粗動ステージ９の上にはＸ方向の微小位置決めが可能な微動ステージ７が搭載されている。微動ステージ７にはカートリッジ取付けベース６が固定されており、カートリッジ取付けベース６には、磁気ヘッド３をθ方向に駆動するピエゾアクチュエータ５１を搭載したジンバルスプリング４を備えたヘッドカートリッジ５が取り付けられている。
【００２０】
上記した検査用キャリッジ３０の構成において、検査を行う際に、Ｘ軸粗動ステージ８とＹ軸粗動ステージ９とを駆動して磁気ヘッド３を磁気ディスク１の所望の位置に概略の位置決めをした後に、微動ステージ７を駆動して磁気ヘッド３をＸ方向に移動させて磁気ディスク１上の所望のトラック位置（磁気ディスク１上の半径方向の位置）に位置決めし、磁気ディスク１の回転速度の変動に追従させてピエゾアクチュエータ５１でジンバルスプリング４に実装した磁気ヘッド３のθ方向の位置を微調整しながら磁気ヘッド３のリード・ライト特性を測定する（パラメトリック測定ともいう）。
【００２１】
次に、制御回路部２０の構成を説明する。制御回路部２０は、サーボ制御回路１１、サーボ信号・データ書込み回路１２、データ検出回路１３、ヘッドアクセス制御回路１４、データ処理・制御回路１５、書込みデータ・信号発生回路１６、モータ制御回路１７を備えている。
【００２２】
データ処理・制御回路１５は、サーボ制御回路１１、サーボ信号・データ書込み回路１２、データ検出回路１３、ヘッドアクセス制御回路１４、データ・信号発生回路１６、モータ制御回路１７の各回路に対し動作条件等の必要なパラメータを発行する。
【００２３】
モータ制御回路１７は、データ処理・制御回路１５からの命令に従い適切な速度でスピンドルモータ２の回転制御を行う。ヘッドアクセス制御回路１４は、Ｘ軸粗動ステージ８とＹ軸粗動ステージ９と微動ステージ７とピエゾアクチュエータ５１を動作させ、磁気ヘッド３を、スピンドルモータ２により高速に回転している磁気ディスク１上へロードして所望のトラック上に位置決めさせる。 
書込みデータ・信号発生回路１６とサーボ信号・データ書込み回路１２は、磁気ヘッド３に形成されたインダクティブヘッド(図示せず)により磁気ディスク１上へパラメトリック測定用のデータとサーボ信号の書込みを行う(以下、簡略化して、磁気ヘッド３により書込みを行うと記す)。サーボ信号は、磁気ヘッド３が磁気ディスク１上へサーボ追従するために必要な情報であり、サーボ信号・データ書込み回路１２からの信号を受けて、図２に示すように、磁気ヘッド３から磁気ディスク１上の所定のトラック幅領域１０１に所定のピッチで設けたサーボパターン書込み領域１００にサーボバースト信号Ａ〜Ｆとして書き込まれる。また、磁気ディスク１の所定のトラック幅領域１０１に所定のピッチで設けたサーボパターン書込み領域１００の間の領域(データ書き込み領域１０２)には、データ処理・制御回路１５より生成される情報(検査用データ)が磁気ヘッド３により書き込まれる。
【００２４】
サーボ制御回路１１は、磁気ヘッド３に形成されたＭＲヘッド（ＧＭＲヘッド、又はＴＭＲヘッド：図示せず）により読み出された(以下、簡略化して、磁気ヘッド３により読み出されたと記す)磁気ディスク１上のサーボパターン書込み領域１００に書き込まれたサーボバースト信号Ａ〜Ｆの検出信号を処理し、微動ステージ７及びピエゾアクチュエータ５１へ制御信号を送ることによりサーボ追従を行う。サーボ追従を行う際の指令はデータ処理・制御回路１５から発行される。
【００２５】
データ検出回路１３は、磁気ヘッド３により読み出された磁気ディスク１上のサーボパターン書込み領域１００のサーボバースト信号Ａ〜Ｆ(サーボパターン)と、データ書き込み領域１０２に書き込まれたデータが検出される。この磁気ヘッド３で検出された検出信号は、データ処理・制御回路１５に送られて磁気ヘッド３の測定データとして処理される。サーボ制御回路１１は、信号を書き込むときの磁気ディスク１の回転速度をスピンドルモータ２により変化させたとき、磁気ディスク１に信号を書き込む周波数及び前記サーボタイミングを、磁気ディスク１の回転速度の変化に追従させて変更する。
【００２６】
リード・ライト特性の検査(リード・ライトテスト)を行うときには、磁気ディスク１の回転速度を順次変化させて、各回転速度における磁気ヘッド３から磁気ディスク１のデータ書き込み領域１０２への信号の書込みと、この書き込んだ信号の読み取りを行って磁気ヘッド３のリード・ライト特性の検査を行う。このリード・ライトテストを行うときに、従来は、磁気ディスク１の回転速度を変える毎にサーボパターン書込み領域１００にサーボバースト信号Ａ〜Ｆを磁気ヘッド３から磁気ディスク１に書き込み、この回転速度をかえる毎に書き込んだサーボバースト信号Ａ〜Ｆを磁気ヘッド３で読み取ってサーボ制御を行いながらリード・ライト特性の検査を行っていた。
【００２７】
これに対して、本実施例においては、最初のリード・ライト特性の検査を行うときに磁気ディスク１のサーボパターン書込み領域１００に書き込んだサーボバースト信号Ａ〜Ｆを、次回以降の磁気ディスク１の回転速度を変えて行うリード・ライト特性の検査を行う時にも使用するようにした。これにより磁気ディスク１の回転速度を変える毎にサーボバースト信号Ａ〜Ｆを磁気ヘッド３から磁気ディスク１に書き込む手間が省けて、リード・ライト特性の検査を行う時間を短縮できるようにした。
【００２８】
すなわち、本実施例においては、モータ制御回路１７でスピンドルモータ２を回転駆動させて磁気ディスク１が第１の回転速度で回転しているときに、まず、サーボ信号・データ書込み回路１２からの信号を受けて磁気ヘッド３から磁気ディスク１上の所定のトラック幅領域１０１に所定のピッチで設けたサーボパターン書込み領域１００にサーボバースト信号Ａ〜Ｆを書き込む。次に、この書き込んだサーボバースト信号Ａ〜Ｆを磁気ヘッド３で検出して得た情報に基づいて、書込みデータ信号発生回路１６から発生してサーボ信号・データ書込み回路１２を経由した書込み信号を、磁気ヘッド３から磁気ディスク１のデータ書き込み領域１０２に書き込む。次に、磁気ディスク１が第１の回転速度で回転している状態で、この磁気ディスク１のサーボパターン書込み領域１００に書き込んだサーボバースト信号Ａ〜Ｆを磁気ヘッド３で順次読み取ってサーボ制御回路１１で処理し、ピエゾアクチュエータ５１や微動ステージ７を制御しながらデータ書き込み領域１０２に書き込んだ信号を磁気ヘッド３で順次読み取り、データ検出回路１３を経由してデータ処理・制御回路１５で処理して磁気ディスク１の第１の回転速度における磁気ヘッド３の検査又は磁気ディスク１の検査を行う。
【００２９】
次に、モータ制御回路１７でスピンドルモータ２を制御して磁気ディスク１の回転速度を第２の回転速度に変化させる。この状態で、第１の回転速度で回転しているときに磁気ディスク１上のサーボパターン書込み領域１００に書き込まれたサーボバースト信号Ａ〜Ｆを磁気ヘッド３で検出する。この検出して得たサーボバースト信号Ａ〜Ｆの情報を用いて、書込みデータ信号発生回路１６から発生してサーボ信号・データ書込み回路１２を経由した書込み信号を磁気ヘッド３から磁気ディスク１に書き込む。次に第１の回転速度で回転しているときに磁気ディスク１に書き込まれたサーボバースト信号Ａ〜Ｆ(サーボパターン)を磁気ヘッド３で検出して得た情報を用いて、この磁気ディスク１が第２の回転速度で回転しているときに書き込んだ信号を磁気ヘッド３で読み取り、データ検出回路１３を経由してデータ処理・制御回路１５で処理して磁気ディスク１の第２の回転速度における磁気ヘッド３の検査又は磁気ディスク１の検査を行う。
【００３０】
次に、モータ制御回路１７でスピンドルモータ２を制御して磁気ディスク１の回転速度を第３、第４の回転速度に変化させ、順次検査を行う。このように、本実施例においては、モータ制御回路１７でスピンドルモータ２を制御して磁気ディスク１の回転速度を順次変化させたときに、その都度磁気ディスク１にサーボバースト信号Ａ〜Ｆ(サーボパターン)を書き込むのではなく、最初(磁気ディスク１が第１の回転速度のとき)に書き込んだサーボバースト信号Ａ〜Ｆ（サーボパターン）を用いて第２、第３の回転速度における検査を行うようにした。
【００３１】
本実施例における磁気ヘッド検査装置１０の動作について、図３のフロー図に基づいて説明する。  
まず、スピンドルモータ２に磁気ディスク１を装着し（Ｓ３０１），データ処理・制御回路１５からの指令に基づいてモータ制御回路１７でスピンドルモータ２を第１の回転速度で回転駆動させ（Ｓ３０２）、ヘッドアクセス制御回路１４でＸ軸粗動ステージ８とＹ軸粗動ステージ９と微動ステージ７とピエゾアクチュエータ５１を動作させ、磁気ヘッド３を磁気ディスク１上へロードして所望のトラック上に位置決めさせる（Ｓ３０３）。
【００３２】
次に、サーボ信号・データ書込み回路１２からの信号を受けて磁気ヘッド３から磁気ディスク１上の所定のトラック幅領域１０１に所定のピッチで設けたサーボパターン書込み領域１００にサーボデータであるサーボバースト信号Ａ〜Ｆを書き込む（Ｓ３０４）。次に、サーボ制御回路１１を作動させてサーボ・オンにし（Ｓ３０５）、この状態でＳ３０４で書き込んだサーボバースト信号Ａ〜Ｆを磁気ヘッド３で読み取り、この読み取って得た情報に基づいて書込みデータ信号発生回路１６から発生してサーボ信号・データ書込み回路１２を経由した書込み信号を、磁気ヘッド３から磁気ディスク１のデータ書き込み領域１０２に書き込む（Ｓ３０６）。
【００３３】
次に、磁気ディスク１が第１の回転速度で回転している状態で、Ｓ３０４で磁気ディスク１の所定のトラック幅領域１０１のサーボパターン書込み領域１００に書き込んだサーボバースト信号Ａ〜Ｆと、Ｓ３０６で磁気ディスク１のデータ書き込み領域１０２に書き込んだ情報を磁気ヘッド３で読み取り（Ｓ３０７）、データ検出回路１３を経由してデータ処理・制御回路１５で読み出したデータ信号を評価して磁気ディスク１の第１の回転速度における磁気ヘッド３の検査を行う（Ｓ３０８）。
【００３４】
磁気ディスク１の所定の領域についてＳ３０６とＳ３０７の処理を終了すると、サーボ制御回路１１の作動を停止させてサーボ・オフにし（Ｓ３０９）、この状態でヘッドアクセス制御回路１４でＸ軸粗動ステージ８とＹ軸粗動ステージ９と微動ステージ７とピエゾアクチュエータ５１を動作させ、磁気ヘッド３を磁気ディスク１から外れた退避位置に退避させる（Ｓ３１０）。
【００３５】
次に、データ処理・制御回路１５からの指令に基づいてモータ制御回路１７でスピンドルモータ２を第２の回転速度で回転駆動させ（Ｓ３１１）、ヘッドアクセス制御回路１４でＸ軸粗動ステージ８とＹ軸粗動ステージ９と微動ステージ７とピエゾアクチュエータ５１を動作させ、第２の回転速度で回転している磁気ディスク１上へ磁気ヘッド３をロードして所望のトラック上に位置決めさせる（Ｓ３１２）。
【００３６】
次に、磁気ディスク１が第２の回転速度で回転している状態で、スピンドルモータ２の第１の回転速度の情報と第２の回転速度の情報、及びＳ３０４において第１の回転速度で回転している磁気ディスク１のサーボパターン書込み領域１００に書き込まれたサーボバースト信号Ａ〜Ｆを磁気ヘッド３で検出して得た情報とを用いてデータ処理・制御回路１５でサーボバースト検出タイミングを設定し（Ｓ３１３）、次に、スピンドルモータ２の第１の回転速度の情報と第２の回転速度の情報及び磁気ヘッド３で検出した磁気ディスク１のサーボパターン書込み領域１００に書き込まれたサーボバースト信号Ａ〜Ｆの情報とを用いてサーボ制御回路１１でサーボバースト信号Ａ〜Ｆを検出した信号の周波数変動成分を算出する（Ｓ３１４）。
【００３７】
次に、サーボ・オンの状態にして（Ｓ３１５）、Ｓ３１４で算出した周波数変動成分の情報に基づいてサーボ制御回路１１を作動させてピエゾアクチュエータ５１、ヘッドカートリッジ５をサーボ制御した状態(サーボ・オンの状態)で、Ｓ３１３で設定したサーボバースト検出タイミングの情報に基づいて書込みデータ信号発生回路１６で発生してサーボ信号・データ書込み回路１２を経由した書込みデータ信号を、磁気ヘッド３から第２の回転速度で回転している磁気ディスク１上のデータ書き込み領域１０２に書き込む（Ｓ３１６）。
【００３８】
次に、磁気ディスク１が第１の回転速度で回転しているときにサーボパターン書込み領域１００に書き込まれたサーボバースト信号Ａ〜Ｆを磁気ヘッド３で読み取り、この読み取って得た情報に基づいてＳ２１３で磁気ディスク１上のデータ書き込み領域１０２に書き込んだ信号を磁気ヘッド３で読み取り（Ｓ３１７）、データ検出回路１３を経由してデータ処理・制御回路１５で読み出したデータ信号を評価して磁気ディスク１の第２の回転速度における磁気ヘッド３の検査を行う（Ｓ３１８）。
【００３９】
磁気ディスク１の所定の領域についてＳ３１１からＳ３１８までの処理を終了すると、サーボ制御回路１１の作動を停止させてサーボ・オフの状態とし（Ｓ３１９）、ヘッドアクセス制御回路１４でＸ軸粗動ステージ８とＹ軸粗動ステージ９と微動ステージ７とピエゾアクチュエータ５を動作させ、磁気ヘッド３を磁気ディスク１から外れた退避位置に退避させる（Ｓ３２０）。
【００４０】
次に、スピンドルモータ２の第３の回転速度が設定されているかをチェックし（Ｓ３２１）、第３の回転速度が設定されている場合にはＮをＮ＋１に書き換えて（Ｓ３２２）Ｓ３１１に戻ってＳ３２０までの各ステップを、スピンドルモータ２の第３の回転速度に対応させて実行する。
【００４１】
このＳ３１１からＳ３２０までのステップを、スピンドルモータ２の回転速度を順次変化させて予め設定した回転速度の数だけ繰返して行い、磁気ヘッド３のリード・ライト特性の検査を実行する。
【００４２】
予め設定した回転速度の数だけ繰返して行った後、リード・ライト特性の検査を終了する。
【００４３】
図４に、Ｓ３０４において磁気ディスク１のサーボパターン書込み領域(サーボエリア)１００に書き込んだ図２に示したようなサーボバースト信号Ａ〜Ｆ（サーボパターン）と、Ｓ３０６で磁気ディスク１のデータ書き込み領域(データエリア)１０２に書き込んだデータを、Ｓ３０７のデータ読み出しステップにおいて磁気ヘッド３で読み出したサーボバースト信号Ａ〜Ｆからなるサーボ信号４０１とデータ信号４０２の波形を示す。図４は、サーボ制御が行われて、サーボバースト信号Ａ〜Ｆの中心位置とデータ信号４０２の波形の中心とが重なっている状態を示している。
【００４４】
このサーボバースト信号Ａ〜Ｆは、スピンドルモータ２に取り付けたエンコーダ(図示せず)からの出力信号を用いて設定される。本実施例においては、スピンドルモータ２がある回転速度で回転している状態で、磁気ディスク１のサーボパターン書込み領域１００に図２に示すようなサーボバースト信号Ａ〜Ｆを書き込み、リード・ライトテストを行う。次にサーボ制御をオフの状態にしてスピンドルモータの回転速度を変化させたとき、その変化させた回転速度の情報とサーボバースト信号Ａ〜Ｆを書き込んだときの回転速度の情報とサーボバースト信号Ａ〜Ｆを書き込んだときの情報(書き込みのタイミング情報：ａ〜ｆ、各相の書込み時間の情報など)を用いて、データ処理・制御回路１５において、変化させた回転速度におけるサーボパターン検出のタイミングを算出し、サーボ制御回路１１、データ検出回路１３、書込みデータ信号発生回路１６等を制御してサーボ制御をオンの状態とすることにより、スピンドルモータ２がある回転速度で回転している状態で書き込んだサーボデータ（サーボバースト信号Ａ〜Ｆ）を、スピンドルモータ２の回転速度を変えても使えるようにしてリード・ライトテストを行えるようにした。
【００４５】
磁気ヘッドのリード・ライト特性の検査において、従来は磁気ディスクの回転速度を変える毎にサーボパターンを磁気ヘッドから磁気ディスクに書込んでから磁気ディスクに書込んだ信号を磁気ヘッドで読取ってヘッドの再生特性を測定すると検査のための時間が嵩んでしまっていたのに対して、本実施例によれば、磁気ディスクの回転速度を変える毎にサーボ制御を作動させる（サーボ・オン）ための条件（周波数、サーボタイミング）を自動的に切り替えて再サーボ・オンを行うようにしたので、磁気ヘッドの検査において、検査のスループットを向上させることができるようになった。
【００４６】
本実施例によれば、サーボタイミングをプログラマブル化して、磁気ディスクの回転速度を変化させたときの磁気ディスクへのデータの書き込み・読み出し周波数を算出ことにより、回転速度を変えても書き込み済みのサーボパターンを使用して再サーボ・オンを行うことができるようになった。また、回転速度を変えて磁気ディスクの検査を行うときに同じサーボパターンを用いるので、検査の信頼性を向上させることができるようになった。
【００４７】
上記実施例においては、検査用キャリッジ３０のＹ軸粗動ステージ９の上に微動ステージ７を備えた構成について説明したが、ヘッドカートリッジ５に取り付けられたピエゾアクチュエータ５１を制御することで磁気ディスク１に書き込まれたサーボパターンへの磁気ヘッド３の追従が十分な精度で行われる場合には、微動ステージ７は必ずしも必要ではない。
【００４８】
なお、上記実施例では、磁気ヘッド検査装置の例を示したが、本発明はこれに限られるものではなく、検査対象を磁気ディスクとする磁気ディスク検査装置にも適用することができる。
【００４９】
以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５０】
１・・・磁気ディスク    ２・・・スピンドルモータ    ３・・・磁気ヘッド    ４・・・ジンバルスプリング    ５・・・ヘッドカートリッジ    ６・・・カートリッジ取付ベース    ７・・・微動ステージ    ８・・・Ｘ軸粗動ステージ    ９・・・Ｙ軸粗動ステージ    １０・・・磁気ヘッド検査装置    １１・・・サーボ制御回路    １２・・・サーボ信号・データ書き込み回路    １３・・・データ検出回路    １４・・・ヘッドアクセス制御回路    １５・・・データ処理・制御回路    １６・・・書込みデータ信号発生回路    １７・・・モータ制御回路    ２０・・・制御回路部    ３０・・・検査用キャリッジ    ５１・・・ピエゾアクチュエータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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