(57)【要約】      （修正有）【課題】パターンの目視検査を短時間に誤差なく行うためのパターン検査シート等を提供する。【解決手段】パターンの不良箇所の残り線幅等のサイズを目視検査するために、スケール７１ａ、７１ｂ、７１ｃや校正用のマーク７５を透明シート上に形成したパターン検査シート７を用いる。目視検査を行う際は、まず、パターンを表示部に表示させ、表示画像上のマークのサイズがマーク７５のサイズと一致するように、表示画像の拡大率を設定する。そして、パターンにスケール７１ａ、７１ｂ、７１ｃを重ねてサイズの測定を行う。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンの表示画像と重ね合わせて前記パターンの目視検査を行うためのパターン検査シートであって、
透明シート上にサイズ検査用のスケールを形成したことを特徴とするパターン検査シート。
【請求項２】
前記透明シート上に、さらに、前記表示画像に表示されるマークと相似形状のマークが形成されたことを特徴とする請求項１に記載のパターン検査シート。
【請求項３】
前記スケールは、複数の直線を所定間隔で平行に並べたものを含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のパターン検査シート。
【請求項４】
前記スケールは、幅の異なる複数の直線を平行に並べたものを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のパターン検査シート
【請求項５】
前記スケールは、先端同士を対向させて配置した一対の矢印の組を、前記先端同士の間隔を変えて複数形成したものを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のパターン検査シート。
【請求項６】
透明シート上にサイズ検査用のスケールを形成したパターン検査シートをパターンの表示画像と重ね合わせ、前記パターンの目視検査を行うことを特徴とするパターン検査方法。
【請求項７】
前記透明シート上に、さらに、前記表示画像に表示されるマークと相似形状のマークが形成され、
前記表示画像上のマークのサイズが前記透明シート上のマークのサイズと一致するように、前記表示画像の拡大率を設定することを特徴とする請求項６記載のパターン検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線等のパターンの目視検査に用いるパターン検査シート等に関する。
【背景技術】
【０００２】
透明電極用のフィルム等の製造工程では、フィルム上の配線のパターンの外観検査が行われる。外観検査では、パターンの線幅や欠けなどが画像処理により検査されるが、検査結果が不良であった場合、目視検査で不良箇所を改めて確認することがある。例えばパターンに欠けがあった場合でも、十分な線幅が確保されていれば製品として問題無いためである。
【０００３】
パターンの目視検査の例として、特許文献１には、カラーフィルタ等の製造工程において、目視検査で不良と判断された基板の不良箇所の画像データを作業単位で保存しておき、目視検査工程とは別工程で、画像データを順にモニタ画面に表示し、不良区分の入力作業を行う不良分類システムが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２２０５２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、画面上に表示された画像から、パターンの線幅や欠陥等の種類を短時間で正確に判別することは難しく、また、作業者の違いにより判別結果に誤差が生じやすいという問題がある。
【０００６】
本発明は、前述した問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、パターンの目視検査を短時間に誤差なく行うためのパターン検査シート等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前述した目的を達成するための第１の発明は、パターンの表示画像と重ね合わせて前記パターンの目視検査を行うためのパターン検査シートであって、透明シート上にサイズ検査用のスケールを形成したことを特徴とするパターン検査シートである。
【０００８】
第１の発明により、画面上に表示されるパターンにパターン検査シートを重ね合わせ、パターン検査シートに形成されているスケールとパターンを比較することにより、パターンの線幅や欠陥のサイズが測定でき、目視検査が短時間で容易にできる。また、異なる作業者であっても同一の判定結果を得ることが可能になる。
【０００９】
前記透明シート上に、さらに、前記表示画像に表示されるマークと相似形状のマークが形成されることが望ましい。
これにより、表示画像上のマークのサイズがパターン検査シート上のマークのサイズと一致するように表示画像の拡大率を設定することで校正ができ、正確な検査が行える。
【００１０】
また、前記スケールは、複数の直線を所定間隔で平行に並べたものを含むことが望ましい。
これによりパターンの直線部分の線幅の測定が迅速にできる。
【００１１】
前記スケールは、幅の異なる複数の直線を平行に並べたものを含むことが望ましい。
これにより、パターンの直線部分が所定の線幅を有するかどうかが迅速に判る。
【００１２】
前記スケールは、先端同士を対向させて配置した一対の矢印の組を、前記先端同士の間隔を変えて複数形成したものを含むことが望ましい。
これにより、パターンの欠けや抜け等の欠陥のサイズが容易に測定できる。
【００１３】
第２の発明は、透明シート上にサイズ検査用のスケールを形成したパターン検査シートをパターンの表示画像と重ね合わせ、前記パターンの目視検査を行うことを特徴とするパターン検査方法である。
【００１４】
また、前記透明シート上に、さらに、前記表示画像に表示されるマークと相似形状のマークが形成され、前記表示画像上のマークのサイズが前記透明シート上のマークのサイズと一致するように、前記表示画像の拡大率を設定することが望ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明により、パターンの目視検査を短時間に誤差なく行うためのパターン検査シート等を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】パターン検査装置１を示す図
【図２】画像処理部１７のハードウエア構成を示す図
【図３】表示部３６の表示画像の例を示す図
【図４】パターン検査シート７を示す図
【図５】パターン検査方法の手順を示すフローチャート
【図６】パターン検査シート７ａを示す図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１８】
［第１の実施形態］
図１に示すように、本発明の第１の実施形態に係るパターン検査シート７は、パターンが形成された基材１１を撮像し、画像を基にパターンの外観検査を行うパターン検査装置１において、パターンの目視検査を行う際に用いられる。
【００１９】
基材１１は、例えば、透明電極用の透明フィルムであり、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）などの樹脂で形成される。基材１１には、導電性の金属製薄膜等による配線のパターンが形成される。ただしこれに限ることはなく、パターンが形成された基材であれば特に限定されることはない。
【００２０】
パターン検査装置１は、照射部１３、撮像部１５、画像処理部１７等を有する。
【００２１】
照射部１３は、基材１１に検査光を照射するものであり、例えばＬＥＤ光源等の光源が用いられる。
【００２２】
撮像部１５は、基材１１を透過した検査光の撮像を行うものであり、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ等の撮像装置を有する。撮像部１５は画像処理部１７と接続しており、撮像した画像は画像処理部１７に送信される。
【００２３】
画像処理部１７は、撮像部１５で撮像した画像に対する画像処理を行い、パターンの良否の判定を行うものである。この判定については、例えばパターンの線幅を算出して基準値と比較したり、パターンの抜けや欠けを検出したりしてパターンの良否判定を行う。これらの検査は、既知の画像処理手法を用いて行うことができる。また予め定めたテンプレート画像と一致するかどうかで良否判定を行うなどしてもよい。
【００２４】
図２は画像処理部１７のハードウエア構成を示す図である。図２に示すように、画像処理部１７は、例えば、制御部３１、記憶部３２、メディア入出力部３３、通信制御部３４、入力部３５、表示部３６、周辺機器Ｉ／Ｆ（インタフェース）部３７等がバス３８を介して接続されたコンピュータで実現できる。
【００２５】
制御部３１は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等で構成される。
ＣＰＵは、記憶部３２、ＲＯＭ、記録媒体等に格納されるプログラムをＲＡＭ上のワークメモリ領域に呼び出して実行し、バス３８を介して接続された各部を駆動制御し、処理を実行する。ＲＯＭは、不揮発性メモリであり、ブートプログラムやＢＩＯＳ等のプログラム、データ等を恒久的に保持している。ＲＡＭは、揮発性メモリであり、記憶部３２、ＲＯＭ、記録媒体等からロードしたプログラム、データ等を一時的に保持するとともに、制御部３１が各種処理を行う為に使用するワークエリアを備える。
【００２６】
記憶部３２は、ハードディスクドライブ等であり、制御部３１が実行するプログラム、プログラム実行に必要なデータ、ＯＳ等が格納される。これらのプログラムやデータは、制御部３１により必要に応じて読み出され、ＲＡＭに移して実行される。
【００２７】
メディア入出力部３３は、データの入出力を行い、例えば、ＣＤドライブ、ＤＶＤドライブ等のメディア入出力装置を有する。
通信制御部３４は、通信制御装置、通信ポート等を有し、ネットワークを介して他の装置との通信制御を行う。
入力部３５は、例えば、キーボード、マウス等のポインティングデバイス、テンキー等の入力装置を有する。
【００２８】
表示部３６は、ＣＲＴモニタ、液晶パネル等のディスプレイ装置である。
周辺機器Ｉ／Ｆ部３７は、周辺機器を接続するためのポートである。周辺機器との接続形態は有線、無線を問わない。
バス３８は、各部間の制御信号、データ信号等の授受を媒介する経路である。
【００２９】
本実施形態では、画像処理部１７は、前記の判定により不良とされたパターンの箇所を表示部３６に表示する。図３は、この表示画像を示す図である。
【００３０】
図に示すように、表示部３６には、パターン５１の不良箇所と、校正用のマーク５３が表示される。
【００３１】
図の例は不良箇所としてパターン５１の欠け５１ａ（パターン５１の側方からパターンが欠けた部分）や抜け５１ｂ（パターン５１の中でパターンが形成されない部分）などの欠陥が生じている場合を示している。このような欠け５１ａ等の欠陥が生じている場合でも、パターン５１において十分な残り線幅が確保されていれば、製品として問題が無い（不良品でない）場合もある。
【００３２】
マーク５３は、画像の拡大率を設定するための図形であり、図の例では矩形状である。拡大率の設定については後述する。
【００３３】
本実施形態では、作業者は、表示部３６に上記のような画像を表示させたうえで、パターン検査シート７を表示画像に重ね合わせて、パターン５１の目視検査を行う。
【００３４】
図４はパターン検査シート７の例を示す図である。このパターン検査シート７は、透明シート上に、スケール７１ａ、７１ｂ、７１ｃ、判定基準７３、校正用のマーク７５を印刷等により形成したものである。
【００３５】
スケール７１ａ、７１ｂ、７１ｃは、パターン５１のサイズ検査用のスケールである。
【００３６】
スケール７１ａは、所定間隔で平行に並べた複数の直線で構成され、シート上での上記間隔の大きさと、パターン５１等の実サイズが、１間隔あたり６μｍなどとして対応付けられている。例えば、このスケール７１ａの直線の長手方向を、パターン５１の直線部分の長手方向に沿って重ね合わせることで、パターン５１の直線部分の線幅を迅速に測定することが可能である。
【００３７】
スケール７１ｂは、先端同士を対向させて配置した一対の矢印の組を複数形成したもので、各組で矢印の先端同士の間隔が異なっている。前記と同じく、シート上での間隔の大きさは実サイズと対応付けられる。例えば、パターン５１の欠け５１ａや抜け５１ｂの縦方向や横方向に沿って一対の矢印の各先端を配置することで、スケール７１ｂによって欠け５１ａや抜け５１ｂのサイズを容易に測定できる。
【００３８】
スケール７１ｃは、幅の異なる複数の直線を平行に並べたものである。前記と同じく、シート上の直線の幅は、パターン５１等の実サイズと対応付けられる。例えば、このスケール７１ｃの直線の長手方向をパターン５１の直線部分の長手方向に沿って配置することで、パターン５１の直線部分が所定の線幅を有するかどうかが迅速に判る。
【００３９】
判定基準７３は、パターン５１の線幅の範囲を定めた「基準幅」の項目と、基準幅に応じた欠陥の種類を定めた「判定」の項目から成り、目視検査した線幅の範囲に応じて、欠け、抜け、断線といった欠陥の種類が迅速に判定できる。
【００４０】
図４の判定基準７３では、例えば不良箇所のパターン５１の残り線幅が所定幅Ｃ（μｍ）以上であれば、欠陥とみなさなくてもよい「ＯＫ」であると判定できる。また、不良箇所の残り線幅が所定幅Ａ（μｍ）未満の場合、断線と判定できる。
【００４１】
マーク７５は、表示部３６での表示画像の拡大率を、パターン検査シート７でサイズ検査ができるように校正を行うもので、前記のマーク５３と相似形状を有する。
【００４２】
すなわち、表示部３６に表示されるマーク５３が、マーク７５と同一のサイズになるように表示画像の拡大率を設定することで、パターン５１等の画像上でのサイズと実サイズとの比が、前記したスケール７１ａの直線間の間隔、スケール７１ｂの矢印の先端同士の間隔、スケール７１ｃの線幅などのシート上でのサイズとパターン５１等の実サイズとの比と一致するようになっており、パターン検査シート７によるサイズ検査が好適に行える。
【００４３】
次に、パターン検査シート７を用いたパターン検査方法の手順について、図５を参照して説明する。図５はパターン検査方法の手順を示すフローチャートである。
【００４４】
本実施形態では、まず、画像処理部１７の制御部３１が、パターン５１の画像を前記の図３で説明したように表示部３６に表示する（Ｓ１）。ここでは、画像処理部１７で不良と判定した箇所の画像を表示するものとする。
【００４５】
作業者は、この表示画像上にパターン検査シート７を重ね、マーク５３のサイズがパターン検査シート７のマーク７５に一致するように表示画像の拡大率を設定し、校正を行う（Ｓ２）。
【００４６】
そして、表示画像のパターン５１にパターン検査シート７のスケール７１ａ〜７１ｃのいずれかを重ね、前記したようにパターン５１の線幅、不良箇所の残り線幅、欠け５１ａや抜け５１ｂのサイズ等を測定してパターンの目視検査を行う（Ｓ３）。
【００４７】
作業者は、例えば、パターン５１に欠け５１ａや抜け５１ｂなどの欠陥が生じた不良箇所の残り線幅のサイズを測定し、判定基準７３を参照して線幅に応じた「断線」や「欠け」などの検査結果を記録する。検査結果の記録は、例えば、表示部３６に表示された欠陥を選択し、「断線」、「欠け」等の検査結果を入力部３５を介して入力して記憶部３２等に記憶させることもできる。
【００４８】
以上説明したように、本実施形態では、画面上に表示されるパターン５１にパターン検査シート７を重ね合わせ、スケール７１ａ〜７１ｂとパターン５１とを比較することにより、パターン５１の線幅や欠陥のサイズが測定でき、目視検査が短時間で容易にできる。また、異なる作業者であっても同一の判定結果を得ることが可能になる。
【００４９】
さらに、パターン検査シート７には、前記の表示画像に表示されるマーク５３と相似形状のマーク７５が形成されるので、表示画像上のマーク５３のサイズがパターン検査シート７のマーク７５のサイズと一致するように表示画像の拡大率を設定することで校正ができ、正確な検査が行える。
【００５０】
また、スケール７１ａでは複数の直線が所定間隔で平行に並べられるので、パターン５１の直線部分の線幅の測定が迅速にできる。
【００５１】
さらに、スケール７１ｂでは、先端同士を対向させて配置した一対の矢印の組が、先端同士の間隔を変えて複数形成されるので、これによりパターン５１の欠け５１ａや抜け５１ｂなどの欠陥のサイズが容易に測定できる。
【００５２】
加えて、スケール７１ｃでは、幅の異なる複数の直線が平行に並べられるので、パターン５１の直線部分が所定の線幅を有するかどうかが迅速に判る。
【００５３】
なお、本実施形態では画像処理等によりパターン５１の良否を判定した後、パターン５１の不良箇所を表示部３６に表示する例を示したが、これに限ることはない。例えば撮像部１５で撮像した基材１１の画像を直接表示部３６に表示して上記の目視検査を行うことも可能である。
【００５４】
さらに、本実施形態では図１等に示すように透過光学系で基材１１を撮像する例を示したが、これに限ることはなく、基材１１のパターンを撮影できればよい。例えば基材１１からの反射光を撮像部１５で受光して撮像を行う反射光学系にて基材１１を撮像してもよい。
【００５５】
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態について図６を参照して説明する。第２の実施形態は第１の実施形態と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
【００５６】
図６は第２の実施形態に係るパターン検査シート７ａを示す図である。このパターン検査シート７ａは、前記のパターン検査シート７からスケール７１ｂ、７１ｃおよび判定基準７３が省略された点で異なる。
【００５７】
このように、パターン検査シートとしては、目視検査の内容に応じたスケールを設ければよく、前記のスケール７１ａ、７１ｂ、７１ｃや判定基準７３を全て設ける必要はない。また、スケールの形状も前記したものに限ることはなく、さまざまな形状を採ることが可能である。図６のようにスケールの数を減らした場合には、パターン検査シート７ａを小型化でき、持ち運びや画面上での移動が容易になる。
【００５８】
以上、添付図を参照しながら、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施形態に左右されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【００５９】
７、７ａ………パターン検査シート
５１………パターン
５３、７５………マーク
７１ａ、７１ｂ、７１ｃ………スケール
７３………判定基準
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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