(57)【要約】【課題】真空チャンバと試験体とを単一の真空ポンプで真空引きするときに両者間に差圧が生じないようにできる簡単な構成の漏洩検知装置を提供する。【解決手段】真空ポンプＰ１が接続されるテストチャンバ１と、テストチャンバから真空ポンプに通じる排気管１１に開閉弁Ｖ１を介して接続される質量分析管６１とを備える。テストチャンバ内に設置される試験体に着脱自在に直結される切換弁２を更に備え、切換弁は、試験体内とテストチャンバ内とを連通する排気通路２２と、試験体内にトレーサガスを導入する導入通路２４とを少なくとも有する。そして、テストチャンバ内に試験体を設置し、切換弁を切り換えて試験体内をテストチャンバと共に真空引きし、試験体にトレーサガスを導入し、質量分析管によりトレーサガスの当該試験体からの漏洩を検知する。【選択図】  図１
2015017846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプが接続されるテストチャンバと、テストチャンバから真空ポンプに通じる排気管に開閉弁を介して接続される質量分析管とを備え、テストチャンバ内に試験体を設置し、試験体にトレーサガスを導入し、質量分析管によりトレーサガスの当該試験体からの漏洩を検知する漏洩検知装置において、
テストチャンバ内に設置される試験体に着脱自在に直結される切換弁を更に備え、切換弁は、試験体内とテストチャンバ内とを連通する排気通路と、試験体内にトレーサガスを導入する導入通路とを少なくとも有することを特徴とする漏洩検知装置。
【請求項２】
前記テストチャンバに試験体を移送し得る検知準備位置と、試験体に対し前記切換弁の脱着が行われる搬送準備位置との間で試験体を搬送する搬送手段と、
検知準備位置からテストチャンバ内の検知位置に試験体を移送すると共に、テストチャンバを密閉する移送手段と、
検知位置にて試験体内にトレーサガスを供給するガス供給手段とを備え、
搬送手段及び移送手段により試験体を搬送し、真空ポンプにより密閉状態のテストチャンバを所定圧力まで真空引きしながら、切換弁の排気通路を介して試験体内部を真空引きし、テストチャンバが所定圧力に到達すると、切換弁を切り換えてガス供給手段ににより導入通路を介してトレーサガスを試験体内に導入することを特徴とする請求項１記載の漏洩検知装置。
【請求項３】
前記テストチャンバの下面が開口しているものとし、前記搬送手段は回転駆動自在な回転テーブルであり、
前記移送手段は、前記回転テーブルの上面にその周方向に所定間隔で配置された、試験体を支持する少なくとも２つの支持板と、前記回転テーブルを貫通して支持板を持ち上げ、支持板のうち試験体の周囲に位置する部分をテストチャンバの下面に当接させる駆動手段とを有し、
前記支持板がテストチャンバを密閉することを特徴とする請求項２記載の漏洩検知装置。
【請求項４】
前記質量分析管は、試験体が配置されるテストチャンバから真空ポンプに通じる排気管内に挿設され、
前記排気管内の流線方向に対して開口する開口部を備えたガイド管と開閉弁を介して接続されたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の漏洩検知装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、樹脂製の燃料タンクやドラム缶等の気密容器、配管やバルブの試験体から当該試験体内に導入したトレーサガスのリーク（漏洩）の有無を検知する漏洩検知装置に関し、より詳しくは、比較的機械的強度が弱い試験体の変形や破損を招来することなく効率よくリークの有無が検知することができるものに関する。
【背景技術】
【０００２】
比較的機械的強度の弱い試験体からの微小なリークの有無を検知（検査）する漏洩検知装置は例えば特許文献１で知られている。このものは、開閉弁（バルブ）を介して真空ポンプに接続される、試験体の収納が可能なテストチャンバ（真空チャンバ）と、テストチャンバから真空ポンプに通じる第１の排気管に開閉弁を介して接続される質量分析管（検知器）とを備える。また、テストチャンバ内に収納される試験体は第２の排気管（パイプ）及び開閉弁を介して他の真空ポンプに接続され、両排気管の間に差圧計が設けられている。そして、試験体に変形や破損が発生しない差圧の最大許容値（例えば、樹脂製の容器であれば、３０ｋＰａ）に応じて真空ポンプや開閉弁の作動を制御しつつ、真空チャンバ及び試験体が真空引きされる。
【０００３】
上記のものは、真空チャンバと試験体とを夫々独立して真空引きする真空ポンプや開閉弁を夫々備えるため、部品点数が多くてコスト高であり、しかも、試験体の内外圧力差を監視して試験体に変形や破損が発生しないように真空ポンプや開閉弁の作動を制御する必要があり、制御が複雑になるという問題がある。このことから、テストチャンバと真空ポンプとを接続する第１の排気管に、テストチャンバ内に収納される試験体からの第２の排気管を接続し、単一の真空ポンプによりテストチャンバと試験体とを同時に真空引きするように漏洩検知装置を構成することが例えば特許文献２で知られている。
【０００４】
ここで、試験体としての樹脂製の燃料タンクやドラム缶内部の容積は、通常、テストチャンバの容積より小さいため、上記特許文献２記載のものを適用する場合、第２の排気管として第１の排気管より小径のものが一般に用いられる。然し、第２の排気管として小径のものを用いると、排気管のコンダクタンスが小さくなり、結果として、単一のポンプでテストチャンバと試験体とを同時に真空引きした場合、テストチャンバと試験体との間に最大許容値を超えた差圧が生じてしまう。このような場合、真空ポンプの実効排気速度、テストチャンバの容積や試験体の容積等を考慮して、排気管の長さや径を設計することが考えられるが、これでは、容積の異なる試験体の漏洩試験に適用することができず、使い勝手が悪い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１０３８４５号公報
【特許文献２】特開２０００−２７５１３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、以上の点に鑑み、真空チャンバと試験体とを単一の真空ポンプで真空引きするときに両者間に差圧が生じないようにできる簡単な構成の漏洩検知装置を提供することをその課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、真空ポンプが接続されるテストチャンバと、テストチャンバから真空ポンプに通じる排気管に開閉弁を介して接続される質量分析管とを備え、テストチャンバ内に試験体を設置し、試験体にトレーサガスを導入し、質量分析管によりトレーサガスの当該試験体からの漏洩を検知する本発明の漏洩検知装置は、テストチャンバ内に設置される試験体に着脱自在に直結される切換弁を更に備え、切換弁は、試験体内とテストチャンバ内とを連通する排気通路と、試験体内にトレーサガスを導入する導入通路とを少なくとも有することを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、テストチャンバ内に試験体を設置し、当該試験体に切換弁を取り付け、導入通路の流入口にトレーサガスのガス供給管を接続する。そして、切換弁を排気通路に切り換えた状態で真空ポンプを稼働すると、テストチャンバ内及び試験体内が真空引きされる。このとき、本発明では、試験体に切換弁を直結しているため、テストチャンバから真空ポンプに通じる排気管に接続した他の排気管を介して試験体内を真空引きする上記従来例と異なり、排気管のコンダクタンスは問題とならず、漏洩試験しようとする試験体の容積に関係なく、単一の真空ポンプにより真空チャンバと試験体とを両者間に差圧が生じないように真空引きすることができる。そして、テストチャンバが所定圧力に到達すると、切換弁を切り換えて導入通路を介してトレーサガスを試験体内に導入し、これにより、試験体の漏洩試験の準備が可能となる。そして、仮に試験体に漏洩箇所が存する場合、当該漏洩箇所から漏洩したトレーサガスが真空チャンバ、排気管を経て質量分析管へと導かれ、試験体の漏洩が検知される。
【０００９】
このように本発明では、テストチャンバの真空引きに伴って試験体を真空引きできることと、試験体内にトレーサガスを導入することとを切り換える切換弁を試験体に直結する構成を採用したため、その構成は簡単であり、しかも、複雑な制御も必要とせず、比較的機械的強度が弱い試験体の変形や破損を招来することなく効率よくリークの有無が検知することができる。なお、本発明において、「試験体に直結される」とは、切換弁内部の通路端を直接試験体の接続口に接続する場合だけでなく、作業性を考慮して、例えば、切換弁内部の通路端と試験体の接続口とが、１ｍ以内の範囲の長さの配管等で接続してなる場合も含む。上記範囲の長さの配管であれば、その径に拘わらず、配管のコンダクタンスは実質的に無視できる。
【００１０】
また、本発明において、前記テストチャンバに試験体を移送し得る検知準備位置と、試験体に対し前記切換弁の脱着が行われる搬送準備位置との間で試験体を搬送する搬送手段と、検知準備位置からテストチャンバ内の検知位置に試験体を移送すると共に、テストチャンバを密閉する移送手段と、検知位置にて試験体内にトレーサガスを供給するガス供給手段とを備え、搬送手段及び移送手段により試験体を搬送し、真空ポンプにより密閉状態のテストチャンバを所定圧力まで真空引きしながら、切換弁の排気通路を介して試験体内部を真空引きし、テストチャンバが所定圧力に到達すると、切換弁を切り換えてガス供給手段により導入通路を介してトレーサガスを試験体内に導入することが好ましい。これによれば、試験体に対する切換弁の着脱操作と、試験体のリークテストとが、搬送準備位置及び検知位置とに別個に分けて行い得るため、複数の試験体に対して連続して漏洩試験を行う場合に、サイクルタイムが長くなることを抑制できて効率が良く、部品点数も削減された漏洩検知装置が実現できる。
【００１１】
なお、本発明においては、前記テストチャンバの下面が開口しているものとし、前記搬送手段は回転駆動自在な回転テーブルであり、前記移送手段は、前記回転テーブルの上面にその周方向に所定間隔で配置された、試験体を支持する少なくとも２つの支持板と、前記回転テーブルを貫通して支持板を持ち上げ、支持板のうち試験体の周囲に位置する部分をテストチャンバの下面に当接させる駆動手段とを有し、前記支持板がテストチャンバを密閉することが好ましい。更に、前記質量分析管は、試験体が配置されるテストチャンバから真空ポンプに通じる排気管内に挿設され、前記排気管内の流線方向に対して開口する開口部を備えたガイド管と開閉弁を介して接続されることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態の漏洩検知装置の構成を模式的に示す図。
【図２】(ａ)及び（ｂ）は、切換弁の構造を示す拡大断面図。
【図３】質量分析管を備えた漏洩検知手段の構成を模式的に示す拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、樹脂製のタンク等の気密容器を試験体ＴＰ、トレーサガスをヘリウムガスとし、この試験体ＴＰを真空雰囲気の形成が可能なテストチャンバ（真空チャンバ）内に設置して漏洩検知を行う場合を例として、本発明の実施形態の漏洩検知装置を説明する。以下においては、上、下、右、左といった方向を示す用語は図１を基準とする。
【００１４】
図１を参照して、ＬＳは、漏洩検知装置であり、漏洩検知装置ＬＳは、下面が開口したテストチャンバ１と、テストチャンバ１の下方に配置されてテストチャンバ１に試験体ＴＰを移送し得る検知準備位置と試験体ＴＰに対する切換弁２の脱着が行われる搬送準備位置との間で試験体ＴＰを搬送する搬送手段３と、検知準備位置からテストチャンバ１内の検知位置に試験体ＴＰを移送すると共に、テストチャンバ１を密閉する移送手段４と、検知位置にて試験体ＴＰ内にトレーサガスとしてのヘリウムガスを供給するガス供給手段５と、ヘリウムガスの検知が可能な質量分析管６１を備える漏洩検知手段６と、漏洩検知装置ＬＳの各構成部品を統括制御する制御手段７とを備えている。
【００１５】
テストチャンバ１の左側上部には透孔１ａが形成され、透孔１ａにはベントバルブ１ｃが設けられている。テストチャンバ１の左側下部には排気口１ｂが形成され、排気口１ｂには、開閉弁Ｖ１が介設された排気管１１が接続され、この排気管１１が真空ポンプＰ１に連通している。真空ポンプＰ１としては、テストチャンバ１の容積や漏洩検知試験時のテストチャンバ１内の圧力範囲に応じてロータリーポンプやターボ分子ポンプ等から適宜選択される。また、テストチャンバ１には、隔膜真空計Ｇ１が設けられている。
【００１６】
切換弁２は、図２に示すように、所謂三方向切換弁であり、弁箱２１を備える。弁箱２１には、その上部を左右方向にのびる排気通路２２と、排気通路２２から直交する方向にのびる導入通路２３とが形成されている。排気通路２２の左端には、配管としての可撓性のホース２４が接続され、ホース２４の他端が試験体ＴＰに直接接続されることで切換弁２が試験体ＴＰに直結される。また、弁箱２１には、導入通路２３に連通する接続口２３ａが形成され、この接続口２３ａには、トレーサガスのガス供給手段５としての可撓性のホース５ａが接続される。
【００１７】
また、切換弁２は、排気通路２２の右端に形成した弁座２５ａに着座可能な第１の弁体２６ａと、導入通路２３の排気通路２２への合流箇所に形成した弁座２５ｂに着座可能な第２の弁体２６ｂとを備える。第１及び第２の両弁体２６ａ，２６ｂは、図示省略のソレノイドやモータ等の駆動機器により弁座２５ａ，２５ｂに対して進退自在に駆動される。そして、第１及び第２の両弁体２６ａ，２６ｂが弁座２５ａ，２５ｂに夫々着座した閉弁状態から、第１の弁体２６ａのみを開弁すると、試験体ＴＰの内部とテストチャンバ１とが排気通路２２を介して連通する（図２(ａ)参照）。他方で、第１の弁体２５ａを閉弁し、第２の弁体２６ｂのみを開弁すると、導入通路２３と試験体ＴＰの内部が連通（この場合、排気通路２２の一部も含む）し、ホース５ａを介して試験体ＴＰにヘリウムガスを供給することができるようになる（図２（ｂ）参照）。
【００１８】
搬送手段３は、図１に示すように、モータ等の駆動手段３１と、この駆動手段３１の回転軸３１ａの上端に連結された回転テーブル３２とを備える。回転テーブル３２は、所定面積の円板で構成され、同一円周上でかつ１８０度の間隔をおいて２個の開口３２ａ，３２ｂが形成されている。そして、この開口３２ａ，３２ｂの一方がテストチャンバ１の下面開口と対向し、後述の支持板（ひいては、試験体ＴＰ）が回転テーブル３２上に存する検知準備位置と、検知準備位置から１８０度ずれた搬送準備位置との間でスワップ動作するように、回転テーブル３２が駆動手段３１により回転駆動される。
【００１９】
移送手段４は、検知準備位置にて回転テーブル３２の下方に設置された上下動自在なエアーシリンダ等の駆動手段４１と、開口３２ａ，３２ｂ及びテストチャンバ１の下面開口の径より大きな径を有する円板状の２枚の支持板４２ａ，４２ｂとを備え、支持板４２ａ，４２ｂの上面に試験体ＴＰが設置される。そして、回転テーブル３２の開口３２ａ，３２ｂをそれぞれ塞ぐように両支持板４２ａ，４２ｂが位置決め配置された状態で、駆動手段４１の上動により回転テーブル３２の開口３２ａ（３２ｂ）を貫通して上動する駆動軸４１ａにより検知準備位置に存する支持板４２ａ（４２ｂ）を持ち上げると、密閉手段を兼ねる支持板４２ａ（４２ｂ）の上面がテストチャンバ１の下面開口に形成したフランジ部１ｄに当接し、テストチャンバ１が密閉され、支持板４２ａ（４２ｂ）上の試験体ＴＰがテストチャンバ１内の検知位置に達する。このとき、支持板４２ａ（４２ｂ）には、テストチャンバ１から右方向に延出する延出部４２０が形成されるようになる。なお、フランジ部１ｄとの当接する箇所にはＯリング等のシール手段４２１が設けられている。
【００２０】
ガス供給手段５は、支持板４２ａ，４２ｂに夫々設けた閉止機能付きカップリング５１を備える。カップリング５１は、特に図示しないが、内部にガス通路とこの通路を開閉する開閉弁とを有するカップリング本体５１ａと、カップリング本体５１ａのガス通路に着脱自在に挿設される駆動軸４１ａにより検知準備位置に存する支持板４２ａ（４２ｂ）を持ち上げると、密閉手段を兼ねる支持板４２ａ（４２ｂ）の上面とで構成される。カップリング本体５１ａは、支持板４２ａ（４２ｂ）の延出部４２０の所定位置に挿設され、また、ソケット５１ｂは、テストチャンバ１に支持されるエアーシリンダ等の駆動手段５２の上下動自在な駆動軸５２ａ下端に連結され、上側からカップリング本体５１ａに連結される。また、カップリング本体５１ａには、切換弁２に通じるホース５ａが接続され、ソケット５１ｂには、ガス源５３からのホース５４が接続されている。
【００２１】
本実施形態では、粗漏洩試験を行うべく、支持板４２ａ，４２ｂの延出部４２０に閉止機能付き他のカップリング８が設けられている。カップリング８は、上記と同様の構成を有し、カップリング本体８ａが、支持板４２ａ（４２ｂ）の延出部４２０の所定位置に挿設され、また、ソケット８ｂは、テストチャンバ１に支持されるエアーシリンダ等の駆動手段８ｃの上下動自在な駆動軸８ｄの下端に連結され、支持板４２ａ，４２ｂの上側からカップリング本体８ａに連結される。また、カップリング本体８ａは、ホース８ｅを介して試験体ＴＰに接続され、ソケット８ｂには、エアや希ガス等の気体を試験体ＴＰ内に供給する気体供給用の配管８ｆと、試験体ＴＰを真空引きしたとき、その内部の圧力を測定する隔膜真空計Ｇ２が接続され、テストチャンバ１に設けた隔膜真空計Ｇ１と共に、テストチャンバ１と試験体ＴＰとを単一の真空ポンプＰ１により真空引きした場合に、大気圧からのテストチャンバ１と試験体ＴＰとの差圧が例えば１０ｋＰａを超えないように監視される。なお、上記では、駆動手段５２，８ｃを設けるものを例に説明しているが、これに限定されるものではなく、ソケット５１ｂ，８ｂを固定とし、駆動軸４１ａにより支持板４２ａ（４２ｂ）が検知準備位置から検知位置に到達したときに、カップリング本体５１ａ，８ａとソケット５１ｂ，８ｂとが夫々連結されるようにしてもよい。
【００２２】
漏洩検知手段（リークディテクタ）６は、筐体６ａを有し、この筐体６ａ内には、質量分析管６１と、この質量分析管６１に排気管６２を介して接続されたターボ分子ポンプ（真空ポンプ）Ｐ２とが内蔵され、これらの部品を含む漏洩検知手段６の作動は、マイクロコンピュータ等を備えた制御手段６３により統括制御されるようになっている。なお、ターボ分子ポンプたる真空ポンプＰ２には、ロータリーポンプ等のバックポンプＰ３が接続されている。
【００２３】
質量分析管６１は、図３に示すように、略Ｌ字状に屈曲させた本体６１ａを備える。本体６１ａ内には、後述の導入管に連通するガス導入口６１ｂを介して導入された真空中のガス分子をイオン化するイオンソース６１ｃと、このイオンソース６１ｃから一定の加速電圧下で放出されたイオンを質量数に応じて偏向させる磁場を形成するためのマグネット６１ｄと、ヘリウムイオンのイオン電流を検知するイオンコレクタ６１ｅとを備える。そして、マグネット６１ｄで偏向させたガスイオンのうちヘリウムイオンのみがスリット板６１ｆを経てイオンコレクタ６１ｅに達するように構成され、イオンコレクタ６１ｅにて検知したイオン電流が制御手段６３に出力される。このときのイオン電流値からヘリウムの漏洩量が検知される。この場合、ディスプレイ６４を設け、ヘリウムの漏洩量を表示できるようにしてもよい（図１参照）。なお、図１中、一点鎖線は、制御手段６３と各部品との制御信号線である。
【００２４】
また、質量分析管６１のガス導入口６１ｂには、開閉弁Ｖ２が介設された配管６５が接続され、この配管６５には、排気管１１内に挿設され、この排気管１１内の流線方向（図１中、矢印で示す方向）に対して開口する開口部６６ａを備えたガイド管６６が接続されている。配管６５には、ピラニ真空計やイオンゲージ等の真空計Ｇ３が設けられ、質量分析管６１に通じる配管６５内の圧力を測定できるようになっている。ガイド管６６は、排気管１１に同心に配置された所定長さの筒部６６ｂを有し、この筒部６６ｂの一側は屈曲され、排気管１１を貫通してこの排気管１１外側まで延びている。また、筒部６６ｂの他側たる開口部６６ａは、その先端方向に向かって、つまり、排気口１ａ方向に向かって拡径されている。これにより、テストチャンバ１を真空排気したときに排気管１１へと導かれたヘリウムガスが質量分析管６１へと積極的に導かれるようになっている。この場合、ガイド管６６の筒部６６ｂの外径は、排気管１１の内径の１／５〜１／４倍程度の範囲（例えば、１／４倍）が好ましく、また、開口部６６ａ先端の外径は、排気管１１の内径の１／４〜１／３倍程度が好ましい。
【００２５】
制御ユニット７は、コンピュータ、シーケンサー、メモリ、やドライバー等を備えたものである。また、制御ユニット７は、リークディテクタ６の制御手段６３と通信自在に接続され、その作動を制御すると共に、上記各手段だけでなく、真空ポンプＰ１の作動や開閉弁Ｖ１の作動も統括制御できるようになっている。
【００２６】
以下に、本発明の漏洩検知システムＬＳによる試験体ＴＰの漏洩試験（以下、リークテストという）について説明する。先ず、２枚の支持板４２ａ，４２ｂ上に夫々カップリング５１，８のカップリング本体５１ａ，８ａと切換弁２とを設置し、一方のカップリング本体５１ａと切換弁２とをホース５ａで接続する。そして、回転テーブル３２の所定位置に、上記支持板４２ａ，４２ｂを夫々位置決め配置する。このとき、第１及び第２の両弁体２６ａ，２６ｂが弁座２５ａ，２５ｂに夫々着座した閉弁状態となっている。
【００２７】
次に、搬送準備位置に存する支持板４２ｂの上面に試験体ＴＰを設置し、切換弁２からのホース２４を試験体ＴＰに接続して直結すると共に、カップリング本体８ａと試験体ＴＰとをホース８ｅで接続する。この接続作業は、例えば手作業で行なわれる。このとき、漏洩検知手段６は、開閉弁Ｖ２の閉弁状態で真空ポンプＰ２，Ｐ３を作動させて質量分析管６１内を排気した後、制御手段６３により公知の方法で質量分析管６１の校正が行われ、スタンバイ状態に維持される。
【００２８】
次に、搬送手段３の駆動手段３１により回転テーブル３２が回転駆動され、試験体ＴＰが設置された支持板４２ｂを検知準備位置に搬送する。検知準備位置に達すると、駆動手段４１の駆動軸４１ａの上動により支持板４２ｂが持ち上げられて、支持板４２ｂ上面のうち試験体ＴＰの周囲に位置する部分が、テストチャンバ１の下面開口に形成したフランジ部１ｃに当接し、テストチャンバ１が隔絶される。これにより、試験体ＴＰがテストチャンバ１内の検知位置に達する。
【００２９】
試験体ＴＰが検知位置に達すると、駆動手段５２，８ｃの駆動軸５２ａ，８ｄの下動によりソケット５１ｂ，８ｂが夫々下方に移動し、カップリング本体５１ａ、８ａに夫々連結される。そして、ホース８ｅを介して試験体ＴＰ内に空気や不活性ガスを供給し、所謂粗リークテストを行う。この粗リークテストは、試験体ＴＰ内を加圧し、その際、導入する気体の圧力変動を利用して行われる。粗リークテストが終了すると、開閉弁Ｖ１を閉弁し、真空ポンプＰ１によりテストチャンバ１内が真空排気される。このとき、第１の弁体２５ａのみが開弁され、試験体ＴＰの内部とテストチャンバ１とが排気通路２２を介して連通させることで、試験体ＴＰ内部も真空引きされ、隔膜真空計Ｇ１，Ｇ２により、大気圧からのテストチャンバ１と試験体ＴＰとの差圧が例えば１０ｋＰａを超えないように監視される。そして、テストチャンバ１が所定圧力に達すると、第１の弁体２６ａを閉弁し、第２の弁体２６ｂを開弁し、テストチャンバ１と排気通路２２とを隔絶する一方で、導入通路２３と試験体ＴＰの内部とを連通し、ガス源５３からホース５ａを介して試験体ＴＰにヘリウムガスを導入する。
【００３０】
試験体ＴＰに所定流量のヘリウムガスが導入されると、第２の弁体２５ｂを閉弁し、開閉弁Ｖ２を開弁してリークテストが開始される。なお、リークテスト開始時（つまり、開閉弁Ｖ２を開弁するとき）のテストチャンバ１の圧力は、１００〜１０Ｐａの範囲とする。これらの圧力範囲外では、真空ポンプＰ２たるターボ分子ポンプに過負荷が生じる。そして、試験体ＴＰからヘリウムが漏洩していると、テストチャンバ１の真空排気開始直後から、排気管１１へと導かれたヘリウムが質量分析管６１へと積極的に導かれ、質量分析管６１のイオンコレクタ６１ｅにて検知したイオン電流が制御手段６３に出力され、このときのイオン電流値からヘリウムの漏洩量が検知される。他方、上記手順で試験体ＴＰのリークテストが行われている間、回転テーブル３２の回転駆動により搬送準備位置に達した支持板４２ａには、別の試験体ＴＰが設置され、上記と同じ手順で切換弁２の接続等、別の試験体ＴＰへのリークテストの準備が行われる。
【００３１】
次に、試験体ＴＰのリークテストが終了すると、開閉弁Ｖ２を閉弁し、漏洩検知手段６はスタンバイ状態に戻る。他方で、テストチャンバ１では、第１の弁体２６ａが再度閉弁され、配管１１の開閉弁Ｖ１が閉弁された後、ベントバルブ１ｃが作動して大気状態に戻され、リークテストが終了する。リークテストが終了すると、駆動手段４１の駆動軸４１ａの下動により支持板４２ｂが回転テーブル３２上の所定位置に戻り、試験準備位置に達する。そして、回転テーブル３２が回転駆動され、リークテスト済みの試験体ＴＰとリークテスト行う試験体ＴＰとのスワップ動作が行われる。そして、搬送準備位置では、リークテスト済みの試験体ＴＰが上記と逆手順で取り外される。
【００３２】
以上の実施形態によれば、テストチャンバ１の真空引きに伴って試験体ＴＰを真空引きできることと、試験体内ＴＰにトレーサガスを導入することとを切り換え得る切換弁２を試験体ＴＰに直結する構成を採用したため、その構成は簡単であり、しかも、複雑な制御も必要せず、単一の真空ポンプＰ１によりテストチャンバ１と試験体ＴＰとを両者間に差圧が生じないように真空引きすることができる。なお、ホース２４として、その径がφ３５〜５０ｍｍで、長さが１ｍ以内のものを用いれば、ホースのコンダクタンスは実質的に無視できることが確認された。
【００３３】
また、上記実施形態では、試験体ＴＰに対する切換弁２の着脱操作と、試験体ＴＰのリークテストとが、搬送準備位置及び検知位置とに別個に分けて行い得るため、複数の試験体ＴＰに対して連続してリークテストを行う場合に、サイクルタイムが長くなることを抑制できて効率が良く、しかも、部品点数も削減された漏洩検知装置ＬＳが実現できる。
【００３４】
以上、本発明の実施形態の漏洩検知装置Ｓについて説明したが、本発明は上記に限定されるものではない。上記実施形態では、切換弁２として所謂三方向切換弁を用いるものを例に説明したが、試験体内とテストチャンバ内とを連通する排気通路と、試験体内にトレーサガスを導入する導入通路とを少なくとも有するものであれば、これに限定されるものではない。また、作業性を考慮して、ホース２４を用いて切換弁２と試験体ＴＰとを直結するものを例に説明したが、試験体ＴＰの接続口に切換弁２を直付けすることも当然に可能である。更に、上記実施形態では、試験体を自動搬送して漏洩試験を行うものを例に説明したが、これらの部品を省略して手作業でテストチャンバ１に試験体ＴＰを設置して漏洩試験を行うことも当然にでき、他方で、搬送手段として回転テーブルを用いるものを例に説明したが、試験体ＴＰとリークテスト済みの試験体ＴＰとのスワップ動作ができるものであれば、その形態は問わない。
【符号の説明】
【００３５】
ＬＳ…漏洩検知装置、１…テストチャンバ、２…切換弁、２２…排気通路、２４…導入通路、３…搬送手段、４…移送手段、５…トレーサガス用のガス供給手段、６…リークディテクタ（漏洩検知手段）、６１…質量分析管、ＴＰ…試験体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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