(57)【要約】【課題】細胞捕捉金属フィルタを効率的に量産することができる、細胞捕捉金属フィルタ、細胞捕捉金属フィルタシート、細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法、及び、細胞捕捉デバイスを提供する。【解決手段】細胞捕捉金属フィルタシート１０によれば、複数のフィルタ領域２２が形成された細胞捕捉金属フィルタシート１０を切離線Ｌに沿って分離することにより、複数のフィルタ領域２２を個別に製造する場合と比較して、複数のフィルタ領域２２を用意に得ることができるため、フィルタを効率的に量産することができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
主成分が金属であるシートの厚み方向に複数の貫通孔が形成されたフィルタ領域が複数離間して設けられたフィルタシートであって、
前記複数のフィルタ領域を互いに分離可能とする切離線が設けられている細胞捕捉金属フィルタシート。
【請求項２】
前記シートの厚みは、１０μｍ〜３０μｍである請求項１に記載の細胞捕捉金属フィルタシート。
【請求項３】
前記切離線は、所定の間隔を有し、連続して設けられた複数の小孔から構成され、
互いに隣接する前記小孔の前記所定の間隔は、０．１ｍｍ〜０．７ｍｍである請求項１又は２に記載の細胞捕捉金属フィルタシート。
【請求項４】
前記シートの表面が金めっきされている請求項１〜３の何れか一項に記載の細胞捕捉金属フィルタシート。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載の細胞捕捉金属フィルタシートを前記切離線に沿って分離することで得られる細胞捕捉金属フィルタ。
【請求項６】
被検液を内部へ導入するための導入流路を有する蓋部材と、前記被検液を外部へ排出するための排出流路を有する収納部材と、を有する筐体と、
前記導入流路と前記排出流路との間の前記筐体の内部の流路上に前記被検液が貫通孔を通過するように設けられた請求項５に記載の細胞捕捉金属フィルタと、
を備える細胞捕捉デバイス。
【請求項７】
金属箔上にフォトレジストをラミネートする工程と、
前記フォトレジストの上に、複数の透光部によってそれぞれ形成された複数の第一透光領域と、前記複数の第一透光領域をそれぞれ区画するように透光部が略線状に形成された第二透光領域と、を有するフォトマスクを重ねて露光する工程と、
現像して前記フォトレジストの未硬化部を除去してフォトレジストパターンを形成する工程と、
前記フォトレジストパターン間を金属めっきして前記フォトレジストパターンの高さより低い金属めっきパターンを形成する工程と、
前記金属箔を化学的溶解によって除去して、前記金属めっきパターンと前記フォトレジストパターンからなる構造物を得る工程と、
前記構造物から前記フォトレジストパターンを除去して、前記第一透光領域及び前記第二透光領域に対応する貫通孔を有する前記金属めっきパターンを得る工程と、
を含む細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、細胞分散液中に含まれる細胞を捕捉する細胞捕捉金属フィルタ、当該細胞捕捉金属フィルタが設けられた細胞捕捉金属フィルタシート、当該細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法、及び、当該細胞捕捉金属フィルタを備えた細胞捕捉デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
血液には赤血球、白血球、血小板等の血球成分が多く含まれ、その個数は血液１ｍＬ中に３．５〜９×１０９個ともいわれている。これに対し、例えば、原発腫瘍又は転移腫瘍から血管中へ浸潤した腫瘍細胞である血中循環癌細胞は、血液１ｍＬ中に僅か数個程度しか存在しない。
【０００３】
血中循環癌細胞は、人間の末梢血流を循環するため、血中循環癌細胞を血流中と同様の状態で捕捉することができれば、癌の早期発見や有効な医薬の早期開発が可能となる。このため、血球成分の中から所定の細胞を効率的に捕捉するためのフィルタが検討されている。
【０００４】
このようなフィルタは、例えば下記の特許文献１に記載される方法により製造することができる。下記の特許文献１には、レジストパターンが形成された銅基板をめっきして、金属めっき層を形成した後に、銅基板を化学的溶解により除去することにより、金属フィルタとなるめっき層を得る方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２０１３／０５４７８６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、細胞を捕捉するための金属フィルタとして、特許文献１に記載の金属フィルタを量産しようとした場合、銅基板を金属めっきした後に銅基板を除去する工程を繰り返すと生産工程が煩雑になる可能性がある。
【０００７】
そこで本発明は、細胞捕捉金属フィルタを効率的に量産することができる、細胞捕捉金属フィルタ、細胞捕捉金属フィルタシート、細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法、及び、細胞捕捉デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る細胞捕捉金属フィルタシートは、主成分が金属であるシートの厚み方向に複数の貫通孔が形成されたフィルタ領域が複数離間して設けられたフィルタシートであって、複数のフィルタ領域を互いに分離可能とする切離線が設けられている。
【０００９】
本発明に係る細胞捕捉金属フィルタシートでは、複数のフィルタ領域が形成されたシートを切離線に沿って分離することにより、複数のフィルタを個別に製造する場合と比較して、複数のフィルタを容易に得ることができるため、フィルタを効率的に量産することができる。さらに、上記のフィルタシートによれば、分離可能に形成された切離線に基づいて複数のフィルタ領域を分離することで複数のフィルタを得ることができるため、例えば、フィルタシートに記載された切離線に沿ってカッター等で複数のフィルタを分割する場合と比較して、外形寸法が安定したフィルタを得ることができる。したがって、フィルタを効率的に量産することができると、共に、フィルタとしての歩留まりを改善することができる。
【００１０】
また、シートの厚みは、１０μｍ〜３０μｍであることが好ましい。シートの厚みが１０μｍ〜３０μｍである場合、シートの取り扱い性に優れると共に、切離線に沿って、容易にシートを切り離すことができる。
【００１１】
また、切離線は、所定の間隔を有し、連続して設けられた複数の小孔から構成され、互いに隣接する小孔の所定の間隔は、０．１ｍｍ〜０．７ｍｍであることが好ましい。この場合、細胞捕捉金属フィルタシートにおいて、切離線は断続的に細胞捕捉金属フィルタが設けられた構成となるため、切離線での切り離しを容易に行うことができる。
【００１２】
また、シートの表面が金めっきされていることが好ましい。金属シートの表面が金めっきされていることで、フィルタ領域に捕捉される細胞に対する付着性が一様となり、データの再現性を高めることが期待できる。
【００１３】
本発明に係る細胞捕捉金属フィルタは、上記の細胞捕捉金属フィルタシートを切離線に沿って分離することで得られることが好ましい。
【００１４】
本発明に係る細胞捕捉金属フィルタでは、上記の細胞捕捉金属フィルタシートを切離線に沿って分離することにより得られるため、外形寸法が略同一の細胞捕捉金属フィルタを効率よく製造することができる。
【００１５】
本発明に係る細胞捕捉デバイスは、被検液を内部へ導入するための導入流路を有する蓋部材と、被検液を外部へ排出するための排出流路を有する収納部材と、を有する筐体と、導入流路と排出流路との間の筐体の内部の流路上に被検液が貫通孔を通過するように設けられた上記の細胞捕捉金属フィルタと、を備えることが好ましい。
【００１６】
本発明に係る細胞捕捉デバイスでは、導入流路から内部に導入された被検液は、細胞捕捉金属フィルタを通り、排出流路から筐体の外部へ排出される。また、細胞捕捉金属フィルタを通った被検液中の所望の細胞が、フィルタ領域において、捕捉される。上記のデバイスは、量産性に優れた細胞捕捉フィルタを用いて製造されることから、デバイスとしての量産性の向上を図ることができる。
【００１７】
本発明に係る細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法は、金属箔上にフォトレジストをラミネートする工程と、フォトレジストの上に、複数の透光部によってそれぞれ形成された複数の第一透光領域と、複数の第一透光領域をそれぞれ区画するように透光部が略線状に形成された第二透光領域と、を有するフォトマスクを重ねて露光する工程と、現像してフォトレジストの未硬化部を除去してフォトレジストパターンを形成する工程と、フォトレジストパターン間を金属めっきしてフォトレジストパターンの高さより低い金属めっきパターンを形成する工程と、金属箔を化学的溶解によって除去して、金属めっきパターンとフォトレジストパターンからなる構造物を得る工程と、構造物からフォトレジストパターンを除去して、第一透光領域及び第二透光領域に対応する貫通孔を有する金属めっきパターンを得る工程と、を含む。
【００１８】
本発明に係る細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法では、フィルタ領域及び切離線の両方を一つのフォトレジストを用いて製造することができるため、複数のフィルタ領域が形成されたフィルタシートをより効率よく生産することができる。また、細胞捕捉金属フィルタシートを切離線にて切り離すことにより、フィルタ領域を有する細胞捕捉金属フィルタを容易に分離することができる。また、隣接するフィルタ領域間に切離線が略直線状に形成されることにより、細胞捕捉シートを切り離す際に細胞捕捉シートの外形寸法をより安定した構造とすることができる。この場合、外形寸法が安定するため、細胞捕捉金属フィルタシートとしての歩留まりを向上させることができる。よって、細胞捕捉金属フィルタを効率よく製造することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、細胞捕捉金属フィルタを効率的に量産することができる、細胞捕捉金属フィルタ、細胞捕捉金属フィルタシート、細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法、及び、細胞捕捉デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本実施形態に係る細胞捕捉デバイスの概略斜視図である。
【図２】図１に示す細胞捕捉デバイスの概略平面図である。
【図３】図２のIII−III断面図である。
【図４】細胞捕捉金属フィルタの構造を説明する図である。
【図５】細胞捕捉金属フィルタのフィルタ領域に形成される貫通孔を説明する図である。
【図６】本実施形態に係る細胞捕捉金属フィルタシートの構成を説明する概略上面図である。
【図７】細胞捕捉金属フィルタシートの切離線の部分拡大図である。
【図８】（ａ）〜（ｈ）は、図６に示す細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法を説明する工程図である。
【図９】（ａ）〜（ｇ）は、図６に示す細胞捕捉金属フィルタシートの他の製造方法を説明する工程図である。
【図１０】図１０（Ａ）は、本発明の細胞捕捉金属フィルタシートの切離線の変形例を説明する図であり、図１０（Ｂ）は、本発明の細胞捕捉金属フィルタシートの切離線の変形例を説明する他の図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面は理解の助けのための概略図であり、実際のものと寸法、寸法比等が異なる。また、本明細書における「工程」とは、独立した工程を示すのみではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。また「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。
【００２２】
［細胞捕捉デバイス］
まず、図１〜図３を参照して、細胞分散液中に含まれる細胞を捕捉する細胞捕捉デバイス１について説明する。図１は、本実施形態に係る細胞捕捉デバイス１の概略斜視図である。また、図２は、図１に示す細胞捕捉デバイス１の概略平面図である。また、図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。
【００２３】
本実施形態に係る細胞捕捉デバイス１は、透明な樹脂製の筐体２と被検液となる細胞分散液を通過させる細胞捕捉金属フィルタ２０とを備える。細胞捕捉金属フィルタ２０は、主成分が金属であるシートからなり、当該シートの厚み方向に複数の貫通孔が形成されている。複数の貫通孔が形成されたフィルタ領域２２を細胞分散液が通過することにより、捕捉対象の細胞が捕捉される。
【００２４】
細胞分散液としては、血液、体液等を利用することが可能である。また、体内を循環している末梢血を使うことが最も簡便であり、この場合、細胞捕捉金属フィルタ２０により、血中循環癌細胞（ＣＴＣ）を捕捉することができる。ＣＴＣ（Ｃｉｒｃｕｌａｔｉｎｇ  Ｔｕｍｏｒ  Ｃｅｌｌ）とは、血管やリンパ管を通じての人の体内を循環する細胞である。ＣＴＣを血流中と同様の状態で捕捉することができれば、癌の早期発見や有効な医薬の早期開発が可能となる。
【００２５】
筐体２は、蓋部材３と収納部材４とを含んで構成される。さらに、蓋部材３と収納部材４との間に細胞捕捉金属フィルタ２０が設けられている。本実施形態では、収納部材４に細胞捕捉金属フィルタ２０が取り付けられる構成について説明する。
【００２６】
蓋部材３は、細胞分散液を内部に導入するための導入流路５と、凹部３ａを有している。導入流路５は、凹部３ａに設けられた導入口５ａを介して、凹部３ａと連通している。凹部３ａは、細胞捕捉デバイス１を上方から見たときに、収納部材４に取り付けられた細胞捕捉金属フィルタ２０のうち複数の貫通孔２２ａが設けられたフィルタ領域２２を全て含むように、フィルタ領域２２の上方に設けられる（図２参照）。凹部３ａは、細胞捕捉金属フィルタ２０（本実施形態においてはフィルタ領域２２）を細胞分散液が通過するために、細胞分散液を導入流路５から導入するための空間（導入領域）として機能する。
【００２７】
収納部材４は、細胞分散液を内部から外部へ排出するための排出流路６と、凹部４ａと、凹部４ｂとを有している。排出流路６は、凹部４ａに設けられた排出口６ａを介して、凹部４ａと連通している。凹部４ａは、細胞捕捉デバイス１を上方から見たときに、収納部材４に取り付けられた細胞捕捉金属フィルタ２０のうち複数の貫通孔２２ａが設けられたフィルタ領域２２を全て含むように、フィルタ領域２２の下方に設けられる（図２参照）。凹部４ａは、細胞捕捉金属フィルタ２０を通過した細胞分散液を排出流路６へ誘導するための空間（排出領域）として機能する。さらに、収納部材４には、細胞捕捉金属フィルタ２０を取り付けるための取付け領域（取付領域）として凹部４ｂが形成されている。なお、凹部３ａ及び凹部４ａは、細胞捕捉金属フィルタ２０のうち貫通孔２２ａが設けられたフィルタ領域２２の一部を含むように形成されていてもよい。
【００２８】
蓋部材３が有する凹部３ａと収納部材４が有する凹部４ａとは、互いに対向するように構成されているため、凹部３ａと凹部４ａとが組み合わされることにより、細胞分散液が流れるための空間が筐体２の内部に設けられる。筐体２内部の空間に対して接続された導入流路５から細胞分散液を導入し、同様に空間に対して接続する排出流路６から細胞分散液を排出させることにより、導入流路５から排出流路６へ向かう細胞分散液の流路が形成される。
【００２９】
本実施形態では、蓋部材３の導入口５ａは、細胞捕捉デバイス１を上方から見たときにフィルタ領域２２が位置する観察領域よりも外側の位置に配置され、導入流路５は、細胞捕捉金属フィルタ２０の面内方向に沿って延びている。このような構成を有することにより、細胞捕捉デバイス１の外部から、細胞捕捉金属フィルタ２０のフィルタ領域２２を観察する場合に視界を妨げる構造物が存在することを回避することができる。したがって、細胞捕捉デバイス１を直に顕微鏡の台座に安定的に固定することができると共に細胞捕捉デバイス１を分解することなく観察することができる。なお、面内方向とは、細胞捕捉金属フィルタ２０の面内のあらゆる方向をいい、細胞捕捉金属フィルタ２０の面に平行な面に沿った全方向である。また、「面内方向に沿って」とは、面内方向に対して６０°以下、好ましくは４５°以下、さらに好ましくは３０°以下の角度をなす方向であることを意味する。また、導入流路５及び排出流路６が筐体２内部の空間に接続する方向は、面内に限定されず、面に垂直な方向であってもよい。
【００３０】
筐体２は、図２にも示されるように、上方から見たときの大きさは略矩形であり、５ｍｍ×５ｍｍ〜１００ｍｍ×１００ｍｍのサイズが好ましい。また、筐体２の厚みは、５ｍｍ〜３０ｍｍが好ましい。蓋部材３は、観察対象の細胞を検出する時に使用する波長の光、特に可視光領域の光に対して透光性を有する材料からなることが好ましい。蓋部材３の材料としては、ガラス、石英ガラス、プラスチック（特にアクリル樹脂）、ポリジメチルシロキサン等の高分子が挙げられるがこれらに限定されない。
【００３１】
筐体２の材質が透光性を有する部材からなる場合、細胞分散液を通過させた細胞捕捉金属フィルタ２０（本実施形態においてはフィルタ領域２２）を細胞捕捉デバイス１から取り出す必要がないため、細胞捕捉金属フィルタに対するゴミの付着等に由来する誤判定を防止することができる。また、各種病原菌やウイルスで汚染されている可能性のある、細胞分散液を外部に露出する必要がないことから、作業の安全性の確保における煩雑さを低減することができる。
【００３２】
また、蓋部材３と収納部材４は必ずしも同一材料である必要はないが、組み立て時に嵌合部にかかる応力が蓋部材側と収納部材側に均等にかかる観点から同一材料であることが好ましい。筐体２の材質としては、デバイスの量産が可能であることから、低自家蛍光性のアクリル樹脂が好ましく、ポリメチルメタクリレートが特に好ましい。筐体２がアクリル樹脂、ポリジメチルシロキサン等の高分子からなる場合、射出成形して作製することが生産効率の観点から好ましい。一般的に、癌細胞等を観察する場合には、対象となる細胞に蛍光試薬による染色処理を行った後、波長が３００〜８００ｎｍの紫外光又は可視光領域の光を照射して、蛍光観察を行う。そのため、蓋部材３としては、上記波長域の光の照射時に材料自体が発しないように、自家蛍光が低い材料を選定することが好ましい（これを「低自家蛍光性」と呼ぶ。）。一般的に、芳香環を有する有機高分子、例えばポリスチレン、ポリカーボネート等の樹脂は、自家蛍光性が強く、上記の目的に適さない場合が多い。
【００３３】
導入流路５及び排出流路６は、ポリプロピレン（ＰＰ）等の樹脂製が好ましい。導入流路５及び排出流路６の外径は０．４ｍｍ〜２．４ｍｍであることが好ましく、その内径は０．２ｍｍ〜２．２ｍｍであることが好ましい。また、凹部３ａと接続される導入口５ａの内径及び凹部４ａと接続される排出口６ａの内径は０．４ｍｍ〜２．５ｍｍであることが好ましい。
【００３４】
導入流路５及び排出流路６が、透明な樹脂からなる場合、細胞分散液の通過を確認することができる観点から好ましい。なお、筐体、蓋部材、及び収納部材は、異なる樹脂製であってもよい。
【００３５】
更に、図３に示されるように、筐体２は、蓋部材３と収納部材４とを固着することにより形成される。筐体２の形状は特に限定されないが、内部に収容された細胞捕捉金属フィルタ２０のフィルタ領域２２に対して細胞分散液を通過させた後、フィルタ領域２２の貫通孔２２ａを外部から観察し、細胞捕捉金属フィルタの表面に残存する物質を観察するためには、細胞捕捉金属フィルタ２０の主面と対向する面の上面及び下面は平坦であって且つ互いに平行であることが好ましい。
【００３６】
また、細胞捕捉デバイス１における筐体２を形成する蓋部材３と収納部材４とは溶着されていることが好ましい。溶着とは、高温で材料自体を一部溶かすことによってこれらを直接に結合することをいう。溶着は、融着、熱接着、ヒートシールと呼ばれる場合もある。溶着方法としては、熱溶着、超音波溶着、高周波溶着等が挙げられる。細胞捕捉金属フィルタ２０を凹部４ｂ（取付け領域）に載置した後に、その周囲を熱又は超音波等の処理によって溶着し蓋部材３と収納部材４とを固定する。これにより、細胞捕捉デバイスの気密性を確実に得ることができ、細胞捕捉デバイス内に細胞分散液を流入させた時の高い液シール性を確保することができる。また、溶着による接合は、短時間で接合処理が可能であるため生産性にも優れる。上記の溶着方法のうち、特に超音波溶着又は高周波溶着が、材料の必要箇所のみをより短時間で溶かすことができるので好ましい。なお、細胞を捕捉した細胞捕捉金属フィルタ２０を細胞捕捉デバイス１から取り出して観察する等、細胞捕捉後にデバイスを解体することが考えられる場合、蓋部材３と収納部材４とを例えば、クリップのような固定部材により挟み込んで固定してもよい。
【００３７】
本実施形態に係る細胞捕捉デバイス１は、他の形状としてもよい。例えば、細胞分散液が流れるための空間の形状を矩形から略円形（例えば、楕円形）としてもよい。すなわち、蓋部材及び収納部材の形状を楕円形としてもよい。また、細胞捕捉デバイスは内部に形成される空間の形状に応じて、細胞捕捉金属フィルタの形状又は細胞捕捉金属フィルタとして機能する領域の形状を変更してもよい。
【００３８】
上記の細胞捕捉デバイス１の使用方法の一例について説明する。以下、細胞捕捉デバイス１を用いて細胞分散液中のＣＴＣの存在の有無を検出する場合の例について説明する。
【００３９】
まず、細胞捕捉デバイスの導入流路５に細胞分散液を導入し、細胞捕捉金属フィルタ２０を通過させた後、排出流路６から排出させる。これにより、細胞捕捉金属フィルタ２０上にＣＴＣを含む細胞を濃縮し、濃縮された細胞の中にＣＴＣが存在するか否かを確認すればよい。導入流路５への細胞分散液の導入には、加圧又は減圧による方法、ペリスタルティックポンプを使用する方法等が例示できる。ここで、「濃縮」とは、被検液を細胞捕捉デバイスに通液する前後において、白血球の数に対する分離、濃縮の対象となる細胞の数の存在割合が高まることを意味する。さらに、濃縮は、加熱、冷凍、加圧、減圧等の手段を併せて用いてもよい。
【００４０】
上記の方法でＣＴＣを濃縮した場合、ＣＴＣだけでなく白血球等の血球細胞も同時に濃縮される。このため、回収された細胞に癌原発巣に由来する上皮細胞が含まれているか否かを確認することが必要である。例えば、上記の方法でＣＴＣを濃縮した後、蛍光標識された上皮細胞マーカーに対する抗体で染色し、上皮細胞であることを確認することができる。上皮細胞マーカーに対する抗体としては、抗Ｃｙｔｏｋｅｒａｔｉｎ抗体等が例示できる。
【００４１】
濃縮した細胞の染色及び観察は、例えば次のようにして行うことができる。細胞を濃縮後の細胞捕捉デバイス１の導入流路５からホルマリン溶液を導入して細胞捕捉金属フィルタ２０上の細胞の状態を保護固定し、洗浄処理した後に、非イオン界面活性剤で染色液が細胞内に浸入できるようにした後、抗Ｃｙｔｏｋｅｒａｔｉｎ抗体溶液を内部に導入して所定時間静置する。続いて、細胞捕捉デバイスの導入流路５に、洗浄用のバッファーを導入し、未反応の抗体を洗浄除去する。続いて、細胞捕捉デバイス１を直に顕微鏡の台座に固定し、蛍光顕微鏡観察を行う。細胞捕捉デバイス１に抗体溶液を導入する前に、抗体の非特異的な反応を抑制するためのブロッキング用バッファーを導入してもよい。
【００４２】
また、上記の方法で濃縮された細胞を回収し、遺伝子を解析することにより、ＣＴＣであることを確認してもよい。細胞の回収は、例えば、細胞捕捉デバイスの排出流路側からバッファーを導入し、導入流路側から回収することにより行うことができる。例えば、ｐ５３、Ｋ−ＲＡＳ、Ｈ−ＲＡＳ、Ｎ−ＲＡＳ、ＢＲＡＦ、ＡＰＣ等の遺伝子における変異を解析し、ＣＴＣであることを確認できる。また、これらの遺伝子解析の結果は、その後の患者の治療方針の決定等にも利用することができる。あるいは、上記の方法で濃縮した細胞のテロメラーゼ活性等を測定することにより、ＣＴＣであることを確認してもよい。
【００４３】
細胞分散液中のＣＴＣの存在の有無の検出が終了した後、細胞捕捉デバイスの排出流路６側からバッファーを導入し、導入流路５側から排出することにより、細胞捕捉金属フィルタ２０に捕捉された細胞を洗浄除去し、細胞捕捉デバイス１を再利用することも可能である。
【００４４】
［細胞捕捉金属フィルタ］
次に、本実施形態に係る細胞捕捉金属フィルタについて説明する。本実施形態では、細胞捕捉金属フィルタ２０は、後述する細胞捕捉金属フィルタシート１０から分離して得られる。図４は、細胞捕捉金属フィルタ２０の構造を説明する図である。
【００４５】
図４に示されるように、細胞捕捉金属フィルタ２０は、複数の貫通孔２２ａ（貫通孔）が形成されるフィルタ領域２２を有している。貫通孔２２ａは、金属シート２１の厚み方向に形成されている。
【００４６】
金属シート２１の表面における貫通孔２２ａの形状は、長方形又は角丸長方形（以下、これらを総称して「略長方形状」とする）である。フィルタ領域２２には、複数の貫通孔２２ａが所定の間隔を有して形成されている。
【００４７】
なお、図４では、説明のために、細胞捕捉金属フィルタ２０の主面に沿ったＸＹ座標軸を記載している。図４の細胞捕捉金属フィルタ２０では、貫通孔２２ａの形状の長手方向は、Ｘ軸方向に沿って形成されている。
【００４８】
細胞捕捉金属フィルタ２０を形成する金属シート２１の材質は金属が主成分となる。主成分とは上記金属シートを形成する材料のうち最も割合の多い成分をいう。細胞捕捉金属フィルタ２０のシートの材質の主成分として金属を用いることによって、貫通孔２２ａのサイズのばらつきを少なくすることができる。このように構成すると、高い分離精度で捕捉対象の細胞を分離、濃縮できる。
【００４９】
また、金属はプラスチック等の他の材料と比べて剛直であるため、外部から力が加わってもそのサイズや形状が維持されやすい。このとき、細胞分散液に含まれる成分のうち貫通孔の孔径よりも若干大きくＣＴＣよりも変形しやすい成分（例えば、細胞分散液が血液であれば白血球等が挙げられる）を変形させて通過させ、高精度の分離、濃縮が可能になると考えられる。
【００５０】
金属シート２１に用いられる金属の材質は、金、銀、銅、アルミニウム、タングステン、ニッケル、クロム及びこれらの金属の合金が例示できるが、これらに限定するものではない。また、金属は単体で用いてもよく、機能性を付与するために他の金属との合金又は金属の酸化物として用いてもよい。価格や入手の容易さの観点から、ニッケル、銅、金及びこれらを主成分とする金属を用いることが好ましく、特にニッケルを主成分とする金属が用いられることが好ましい。また、金属シート２１がニッケルを主成分とする材料から形成される場合、ニッケルの表面に金めっきがされていることが好ましい。金めっきによって、フィルタ表面の酸化を防止できる。このため、捕捉対象細胞のフィルタに対する付着性が一様となり、データの再現性を高めることができる。
【００５１】
細胞捕捉金属フィルタ２０の厚みは、１０μｍ〜３０μｍであることが好ましい。膜厚を上記の範囲とした場合、細胞捕捉金属フィルタ２０の取り扱いが容易であり、精密加工にも適している。
【００５２】
また細胞捕捉金属フィルタ２０のフィルタ領域２２のサイズは、２５ｍｍ２〜１０００ｍｍ２が好ましい。２５ｍｍ２〜２２５ｍｍ２がより好ましく、２５ｍｍ２〜１００ｍｍ２がさらに好ましい。フィルタ領域２２のサイズが１０００ｍｍ２以下であると、デッドスペースが少なくなる。また、２５ｍｍ２以上だと処理時間が短くなる。例えば１ｍＬの血液からＣＴＣを濃縮する場合、フィルタ領域２２のサイズは２５ｍｍ２〜１０００ｍｍ２が適している。
【００５３】
次に、細胞捕捉金属フィルタ２０に設けられた貫通孔２２ａの形状について説明する。略長方形状をなす貫通孔２２ａの大きさのうち、短辺の長さの範囲はおおよそ５．０μｍ〜１５．０μｍである。一方、貫通孔２２ａの長辺の長さは、貫通孔２２ａが細胞捕捉金属フィルタ２０の外縁と交差しないような範囲で適宜変更することができ、その範囲はおおよそ１０μｍ〜５ｍｍである。なお、貫通孔２２ａの孔径は、捕獲対象とする細胞のサイズに応じて変更してもよい。
【００５４】
複数の貫通孔２２ａは、向きを同じくして近接配置をすることが好ましい。このように構成すると、フィルタ表面における単位面積あたりの貫通孔（単孔又は貫通孔）の面積で示される開口率の向上を図ることができる。
【００５５】
フィルタ領域２２は、貫通孔２２ａの開口率が５％〜５０％であることが好ましく、５％〜４０％がより好ましく、５％〜３０％がさらに好ましい。開口率とは、フィルタとして機能する領域の面積に対する貫通孔２２ａが占める面積の割合をいい、分光光度計を用いて計測して算出することができる。ここで、フィルタとして機能する領域の面積は、複数の貫通孔２２ａと当接すると共に貫通孔２２ａを全て含むように形成された矩形のうち最も小さい領域を指す。開口率は、目詰まり防止の観点から大きいほど好ましいが、５０％以下の場合、フィルタ領域２２の強度を十分に確保することができる。また、５％以上の場合、目詰まりが発生しにくい。
【００５６】
ここで図５を参照して、貫通孔の変形例について説明する。図５は、フィルタ領域２２の貫通孔２２ａを説明する図である。貫通孔の形状についての変形例として代表的なものは、図５で示すように、（Ａ）円形、（Ｂ）長方形、（Ｃ）角丸長方形（端部の角が丸められている）、（Ｄ）角丸長方形（長方形の短辺が円弧状となっている）、（Ｅ）波形状（角丸長方形の単孔が端部で互いに交わるように３個連結されている）、（Ｆ）円形波形状（５個分の半円状の溝が交互に向き合って端部で連結されている）等が挙げられる。なお、貫通孔の形状は図５で示す例に限定されず、例えば、角丸長方形の単孔が４個以上連結した波形状としてもよいし、角丸長方形ではなく角が丸められていない長方形の単孔を複数個連結した形状の連結貫通孔とすることもできる。
【００５７】
［細胞捕捉金属フィルタシート］
本実施形態に係る細胞捕捉金属フィルタ２０を構成する細胞捕捉金属フィルタシート１０について説明する。細胞捕捉金属フィルタシート１０は、複数の細胞捕捉金属フィルタ２０を効率よく生産するためのシートである。図６は、本実施形態に係る細胞捕捉金属フィルタシート１０の構成を説明する概略上面図である。図７は、細胞捕捉金属フィルタシート１０の切離線Ｌの部分拡大図である。
【００５８】
図６に示されるように、細胞捕捉金属フィルタシート１０は、複数のフィルタ領域２２が離間して設けられている。細胞捕捉金属フィルタシート１０は、フィルタ領域２２の間に、フィルタ領域２２を互いに分離可能とする切離線Ｌが設けられている。細胞捕捉金属フィルタシート１０において、切離線Ｌに沿って分離することにより、細胞捕捉金属フィルタ２０が得られる。細胞捕捉金属フィルタシート１０のフィルタ領域２２は、切離線Ｌに沿って分離した後に細胞捕捉金属フィルタ２０の略中央に設けられていることが好ましい。
【００５９】
フィルタ領域２２には、金属シート２１の厚み方向に複数の貫通孔２２ａが形成されており、細胞捕捉金属フィルタシート１０を切離線Ｌによって分離させたときに、細胞捕捉金属フィルタ２０のフィルタ領域２２として機能する。このため、個々の細胞捕捉金属フィルタ２０は、それぞれ細胞捕捉デバイス１に用いることができる。
【００６０】
細胞捕捉金属フィルタシート１０は、細胞捕捉金属フィルタ２０の金属シート２１と同様に、主成分が金属である。金属の材質は、金、銀、銅、アルミニウム、タングステン、ニッケル、クロム及びこれらの金属の合金が例示できるが、これらに限定するものではない。
【００６１】
また、細胞捕捉金属フィルタシート１０の表面には金めっきがされていることが好ましい。金めっきによって、フィルタ表面の酸化を防止できるため、捕捉対象の細胞及び血球成分のフィルタに対する付着性が一様となり、データの再現性を図ることができる。
【００６２】
更に、図７にも示されるように、切離線Ｌは、所定の間隔を有し、連続して設けられた複数の小孔３１から構成されている。本実施形態では、小孔３１は、互いに隣接する小孔３１が略等間隔に設けられている。好ましくは、小孔３１が形成される間隔ａは、０．１ｍｍ〜０．７ｍｍであることが好ましく、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍであることがより好ましい。さらに、より好ましくは、小孔３１の孔間ピッチｂは、約０．５ｍｍであり、小孔３１の直径は約０．２ｍｍであることが好ましい。しかし、小孔３１の間隔ａ、小孔３１の孔間ピッチｂ、及び、小孔３１の直径は、これに限定されない。
【００６３】
切離線が所定の間隔を開けて形成された複数の連続した小孔３１を有している場合、細胞捕捉金属フィルタシート１０を切離線に合わせて山折りすると、切離線Ｌに応力が集中する。このとき、細胞捕捉金属フィルタシート１０は、切離線Ｌに沿って切離される。このため、切離線Ｌによって細胞捕捉金属フィルタ２０を容易に切離すことができる。また、互いに隣接する小孔３１の所定の間隔が、０．１ｍｍ〜０．７ｍｍである場合、細胞捕捉金属フィルタシート１０を切離線に合わせて山折りした際に切離線に応力が集中しやすくなる。このため、切離線Ｌによって細胞捕捉金属フィルタシートをより一層容易に切離すことが可能となる。
【００６４】
［細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法］
上記細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法について説明する。
【００６５】
実施形態に係る金属フィルタの製造方法は、金属箔上にフォトレジストをラミネートする工程と、フォトレジストの上に、複数の透光部によってそれぞれ形成された複数の第一透光領域と、複数の第一透光領域をそれぞれ区画するように透光部が略線状に形成された第二透光領域と、を有するフォトマスクを重ねて露光する工程と、現像してフォトレジストの未硬化部を除去してフォトレジストパターンを形成する工程と、フォトレジストパターン間を金属めっきしてフォトレジストパターンの高さより低い金属めっきパターンを形成する工程と、金属箔を化学的溶解によって除去して、金属めっきパターンとフォトレジストパターンからなる構造物を得る工程と、構造物からフォトレジストパターンを除去して、第一透光領域及び第二透光領域に対応する貫通孔を有する金属めっきパターンを得る工程と、を含む。
【００６６】
図８の（ａ）〜（ｈ）は、細胞捕捉金属フィルタシート１０の製造方法を説明する工程図である。
【００６７】
図８（ａ）は、キャリア層５１に対して金属箔５２を積層した状態を示す。図８（ｂ）に示す工程において、金属箔５２に感光性樹脂組成物からなるフォトレジスト５３を形成する（フォトレジストをラミネートする工程）。続いて、図８（ｃ）に示す工程において、フォトマスク５４を通してフォトレジスト５３に活性光線（ＵＶ光）を照射し、露光された部分を光硬化させてフォトレジストの硬化物を形成する（フォトマスクを重ねて露光する工程）。続いて、図８（ｄ）に示す工程において、硬化物以外のフォトレジスト５３を除去し、フォトレジストパターン５３ａ、５３ｂを形成する。図８（ｄ）の５３ｂは、未硬化のフォトレジストが除去されて残った部分であり、後の工程で小孔が形成される部分である。（フォトレジストパターンを形成する工程）。続いて、図８（ｅ）に示す工程において、硬化物からなるフォトレジストパターン５３ａ、５３ｂが形成された金属箔５２上にめっきパターン（めっき層）５５を形成する。（金属めっきパターンを形成する工程）。続いて、図８（ｆ）に示すように、金属箔５２とキャリア層５１とを剥離する。（構造物を得る工程）。続いて、図８（ｇ）に示す工程において、金属箔５２を化学的溶解により除去する。この結果、フォトレジストの硬化物からなるフォトレジストパターン５３ａ、５３ｂ及びめっきパターン５５が残る。続いて、図８（ｈ）に示す工程において、フォトレジストの硬化物からなるフォトレジストパターン５３ａ、５３ｂを除去し、めっきパターン５５からなる金属フィルタを回収する。細胞捕捉金属フィルタ２０には貫通孔２２ａが形成されている。（金属めっきパターンを得る工程）。
【００６８】
図９の（ａ）〜（ｇ）は、細胞捕捉金属フィルタシート１０の他の製造方法を説明する工程図である。
【００６９】
図９に示す製造方法は、図８に示す製造方法と比較して、金属箔５２の代わりに金属製の基板６２を使用する点が相違する。この場合、図８（ｆ）において示した金属箔５２とキャリア層５１とを剥離する工程が存在しない点以外は図８に示す製造方法と同様の方法により細胞捕捉金属フィルタシート１０を製造することができる。ただし、基板６２は金属箔５２よりも厚いため、溶解工程において基板６２を化学的溶解により除去する工程において用いられる化学的溶解剤と時間が、金属箔５２を除去する場合と比較して増加する。
【００７０】
以下、各工程についてより詳細に説明する。
【００７１】
（ラミネートする工程）
まず、キャリア層５１に対して金属箔５２を積層させた状態を示す。金属箔５２としては、エッチングによって除去可能な金属箔を用いることができ、具体的には銅、ニッケル、ニッケル・クロム合金等の箔が用いられるが、銅箔が好ましい。銅箔はケミカルエッチングで容易に除去可能であり、フォトレジストとの密着力においても他の材料に比べると優れている。銅張り積層板からなるキャリア層５１に対して後の工程で剥離可能な程度に金属箔５２を貼り付けたものを用いると、細胞捕捉金属フィルタ製造工程途中の作業性及び取り扱い性に優れるので好ましい。上記のような構成として、具体的には、ピーラブル銅箔（日立化成（株）社製）を用いることができる。ピーラブル銅箔とは、極薄銅箔とキャリア層の少なくとも二層からなる銅箔のことである。
【００７２】
図８（ｂ）は金属箔５２の上に感光性樹脂組成物によるフォトレジスト５３を形成した状態を示す図である。フォトレジスト５３としては、ネガ型及びポジ型のいずれも使用可能であるが、ネガ型フォトレジストが好ましい。ネガ型フォトレジストは、少なくとも、バインダー樹脂、不飽和結合を有する光重合性化合物、及び光重合開始剤を含むものであることが好ましい。なお、ポジ型のフォトレジストを使用する場合には、フォトレジスト層のうち、活性光線の照射により露光された部分の現像液に対する溶解性が増大するため、現像工程において、露光された部分が除去されることになる。以下、ネガ型フォトレジストを使用した場合について説明する。
【００７３】
最終的に得られる細胞捕捉金属フィルタシート１０の厚みは、フォトレジストパターンの厚み以下となる。このため、目的とする細胞捕捉金属フィルタ２０の厚みに適した膜厚のフォトレジスト層を形成する必要がある。例えば、１５μｍ以下の厚みの細胞捕捉金属フィルタを製造する場合には膜厚１５μｍのフォトレジストを使用することが好ましい。また、１５μｍ以上２５μｍ以下の厚みの細胞捕捉金属フィルタを製造する場合には膜厚２５μｍのフォトレジストを使用することが好ましい。また、貫通孔の孔径が小さくなるほど膜厚の薄いフォトレジストを使用することが好ましい。
【００７４】
フォトレジスト５３の金属箔５２上への積層は、例えば、支持フィルム、フォトレジスト及び保護フィルムからなるシート状の感光性エレメントの保護フィルムを除去した後、フォトレジスト５３を加熱しながら金属箔５２に圧着することにより行われる。これにより、金属箔５２とフォトレジスト５３と支持フィルムとからなり、これらが順に積層された積層体が得られる。
【００７５】
この積層作業は、密着性及び追従性の見地から、減圧の雰囲気下で行うことが好ましい。一方、圧着の際のフォトレジスト５３及び／又は金属箔５２に対する加熱温度、圧力等の条件に特に制限はないが、７０℃〜１３０℃の温度で行うことが好ましく、１００ｋＰａ〜１０００ｋＰａ程度の圧力で圧着することが好ましい。なお、フォトレジストの圧着において、積層性を向上させるために、金属箔を予熱処理してもよい。なお、支持フィルムにフォトマスクの機能を持たせてもよく、その場合には、そのまま次の工程に移ってフォトマスクとして用いてよいが、そうでない場合には、次の工程においてフォトマスクを重ねる前に支持フィルムを剥離する。
【００７６】
（露光する工程）
続いて、露光工程について説明する。金属箔５２上のフォトレジスト５３の上に透光部を有するフォトマスク５４を重ねた後、活性光線を照射し、露光された部分を光硬化させてフォトレジストの硬化物を形成する。
【００７７】
フォトマスクは、複数の透光部によってそれぞれ形成された複数の第一透光領域と、複数の第一透光領域をそれぞれ区画するように透光部が略線状に形成された第二透光領域と、を有する。フォトマスクは、第一透光領域は、フィルタ領域２２に形成される貫通孔２２ａに対応する領域である。第一透光領域を透光した光によって硬化した硬化物は、後述する工程を経て、貫通孔２２ａとして形成される。また、第二透光領域は、細胞捕捉金属フィルタシート１０に形成される切離線Ｌに対応する領域である。第二透光領域を透光した光によって硬化した硬化物は、後述する工程を経て、切離線Ｌとして形成される。
【００７８】
露光方法としては、アートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を画像上に照射する方法（マスク露光法）が挙げられる。また、ＬＤＩ（Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｒｅｃｔ  Ｉｍａｇｉｎｇ）露光法やＤＬＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｌｉｇｈｔ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ）露光法等の直接描画露光法により活性光線を画像状に照射する方法を採用してもよい。
【００７９】
活性光線の光源としては、公知の光源を用いることができ、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、高圧水銀灯、キセノンランプ、アルゴンレーザ等のガスレーザ、ＹＡＧレーザ等の固体レーザ、半導体レーザ等の紫外線、可視光等を有効に放射するものが用いられる。
【００８０】
活性光線の波長（露光波長）としては、３５０ｎｍ〜４１０ｎｍの範囲内とすることが好ましく、３９０ｎｍ〜４１０ｎｍの範囲内とすることがより好ましい。露光は６００ｍｍＨｇ以下の真空下で行うのが好ましい。露光量は０．０１Ｊ／ｃｍ２〜１０Ｊ／ｃｍ２の範囲内で行うのが好ましく、０．０１Ｊ／ｃｍ２〜５Ｊ／ｃｍ２の範囲内で行うのがより好ましい。
【００８１】
（フォトレジストパターンを形成する工程）
フォトレジスト５３のうち、フォトレジストの硬化物以外の部分を金属箔５２上から除去することにより、金属箔５２上に、フォトレジストの硬化物からなるフォトレジストパターン５３ａ、５３ｂを形成する。フォトレジスト上に支持フィルム又はフォトマスクが存在している場合には、支持フィルム又はフォトマスクを除去してから、上記フォトレジストの硬化物以外の部分の除去（現像）を行う。現像方法には、ウェット現像とドライ現像とがあるが、ウェット現像が広く用いられている。
【００８２】
なお、本実施形態において形成されるフォトレジストパターン５３ａは、細胞捕捉金属フィルタ２０に設けられる貫通孔２２ａを形成するためのものである。フォトレジストパターン５３ａは、略長方形状をなしている。当該略長方形状の短辺の長さの範囲はおおよそ５．０μｍ〜１５．０μｍであり、当該略長方形状の長辺の長さは、フォトレジストパターン５３ａが形成される細胞捕捉金属フィルタ２０の外縁と交差しないような範囲で適宜変更することができ、例えば、その範囲はおおよそ１０μｍ〜５ｍｍである。なお、フォトレジストパターン５３ａの孔径は、形成する貫通孔２２ａのサイズに応じて変更してもよい。
【００８３】
また、フォトレジストパターン５３ｂは、細胞捕捉金属フィルタ２０に設けられる小孔３１を形成するためのものである。フォトレジストパターン５３ｂは、所定の間隔を有し、連続して設けられている。互いに隣接するフォトレジストパターン５３ｂの所定の間隔は、例えば、０．１ｍｍ〜０．７ｍｍである。この場合、形成される細胞捕捉金属フィルタシート１０において、小孔３１は断続的に設けられることにより、細胞捕捉金属フィルタ２０を切り離すための切離線Ｌとして機能する。
【００８４】
ウェット現像による場合、フォトレジストに対応する現像液を用いて、公知の現像方法により現像する。現像方法としては、ディップ方式、パドル方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング、スクラッピング、揺動浸漬等を用いた方法が挙げられ、解像性向上の観点からは、高圧スプレー方式が最も適している。これらの現像方法のうち２種以上の方法を組み合わせて現像を行ってもよい。
【００８５】
現像液としては、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤系現像液等が挙げられる。アルカリ性水溶液は、現像液として用いられる場合、安全且つ安定であり、操作性が良好である。アルカリ性水溶液の塩基としては、リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等のアルカリ金属水酸化物；リチウム、ナトリウム、カリウム若しくはアンモニウムの炭酸塩又は重炭酸塩；リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩；ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩などが用いられる。
【００８６】
アルカリ性水溶液としては、０．１質量％〜５質量％炭酸ナトリウムの希薄溶液、０．１質量％〜５質量％炭酸カリウムの希薄溶液、０．１質量％〜５質量％水酸化ナトリウムの希薄溶液、０．１質量％〜５質量％四ホウ酸ナトリウムの希薄溶液等が好ましい。アルカリ性水溶液のｐＨは９〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は、フォトレジストのアルカリ現像性に合わせて調節される。アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させてもよい。
【００８７】
なお、フォトレジスト５３の硬化物以外の部分を現像により除去し、金属箔５２上にフォトレジストの硬化物からなるフォトレジストパターン５３ａ、５３ｂを形成した後、必要に応じて６０℃〜２５０℃程度の加熱又は０．２Ｊ／ｃｍ２〜１０Ｊ／ｃｍ２程度の露光を行うことにより、フォトレジストパターンを更に硬化してもよい。
【００８８】
フォトレジストパターンは、フォトレジストパターンの高さとその短辺の長さのアスペクト比（高さ／短辺の長さ）が、１以上１０以下であることが好ましく、２以上７以下であることがさらに好ましく、３以上５以下であることが特に好ましい。アスペクト比が１０を超えると、形状が不安定になるためフォトレジストパターンが倒れやすくなり、細胞捕捉金属フィルタ製造の歩留まりが低下する。
【００８９】
略長方形状のフォトレジストパターンを形成する場合のその好ましい形状についてさらに説明する。フォトマスク５４において、略長方形状の透光部の延在方向を長手方向としたときに、透光部の長手方向に対して直交する短手方向に沿って、複数の透光部が近接して配列している場合、形成されるフォトレジストパターンにおける交差部（形状の頂点となる部分）がフォトマスク５４の透光部の設計よりも角部が丸く形成されることがある。これは、現像時にフォトレジストの硬化部の間を現像液が十分浸透できないためである。
【００９０】
（金属めっきパターンを形成する工程）
フォトレジストパターンを形成する工程における現像の後、金属箔５２上に金属めっきを行い、金属めっきパターン５５を形成する。めっきの方法としては、例えば、はんだめっき、ニッケルめっき、及び金めっきが挙げられる。このめっき層が最終的に金属フィルタとなり、後の工程でフォトレジストパターンが除去されて金属フィルタの貫通孔になるので、フォトレジストパターンを塞いでしまわないようフォトレジストパターンの高さより低くめっきすることが重要である。
【００９１】
金属めっきの金属種としては金、銀等の貴金属、アルミニウム、タングステン、ニッケル、クロム等の卑金属、及びこれらの金属の合金が例示できるがこれらに限定するものではない。金属は単体で用いてもよく、機能性を付与するために他の金属との合金又は金属の酸化物として用いてもよい。これらの中でも、腐食等の発生を防止し、加工性、コスト面にも優れることから、ニッケル及びニッケルを主成分とする金属を用いることが好ましい。ここで主成分とは、材料のうち最も多くの割合を占める成分をいう。
【００９２】
（構造物を得る工程）
金属めっきパターン５５を形成した後、金属箔５２を化学的に溶解して除去する。これにより、人手作業（手剥がし）によらずに金属フィルタとなる金属めっきパターン５５とフォトレジストパターン５３ａ、５３ｂとからなる構造物を回収することができる。このため、シワ、折れ、キズ、カール等のダメージや、微細な貫通孔の変形を生じることなく、金属フィルタを製造することができる。金属箔を溶解する化学的溶解剤としては、メックブライトＳＦ−５４２０Ｂ（商品名、メック株式会社製）、銅選択エッチング液−ＣＳＳ（日本化学産業株式会社）等を使用することができる。
【００９３】
（金属めっきパターンを得る工程）
続いて、フォトレジストパターン５３ａ、５３ｂを、例えば現像に用いたアルカリ性水溶液より更に強アルカリ性の水溶液により除去する。この強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１質量％〜１０質量％水酸化ナトリウム水溶液又は水酸化カリウム水溶液を用いることが好ましく、１質量％〜５質量％水酸化ナトリウム水溶液又は水酸化カリウム水溶液を用いることがより好ましい。レジストパターン（フォトレジストの硬化物）を除去することにより、金属めっきパターン５５のみを回収することができる。この金属めっきパターン５５が金属フィルタとなる。レジストパターンの除去方式としては、浸漬方式、スプレー方式、超音波を用いる方式等が挙げられ、これらは単独で用いても併用してもよい。
【００９４】
よって、感光性樹脂組成物の硬化物及びめっきパターン５５が残る。更に、レジストパターン（感光性樹脂組成物の硬化物）を剥離することにより、めっきパターン５５のみを回収することができる。このめっきパターン５５が細胞捕捉金属フィルタシート１０である。この工程により、フォトレジストパターン５３ａに由来して細胞捕捉金属フィルタシート１０における貫通孔２２ａが形成される。また、フォトレジストパターン５３ｂに由来して細胞捕捉金属フィルタシート１０における切離線Ｌが形成される。このように、第一透光領域に対応する貫通孔は貫通孔２２ａとして形成され、第二透光領域に対応する貫通孔は切離線Ｌとして形成される。
【００９５】
上述した工程により、本実施形態に係る細胞捕捉金属フィルタが得られる。
【００９６】
以上、本実施形態に係る細胞捕捉金属フィルタシート１０は、主成分が金属であるシートの厚み方向に複数の貫通孔が形成されたフィルタ領域２２が複数離間して設けられた細胞捕捉金属フィルタシート１０であり、複数のフィルタ領域２２を互いに分離可能とする切離線Ｌが設けられている。
【００９７】
このような細胞捕捉金属フィルタシート１０では、複数のフィルタ領域２２が形成されたシートを切離線Ｌに沿って分離することにより、複数のフィルタ領域２２を個別に製造する場合と比較して、複数のフィルタを容易に得ることができるため、フィルタを効率的に量産することができる。さらに、細胞捕捉金属フィルタシート１０によれば、分離可能に形成された切離線Ｌに基づいて複数のフィルタ領域２２を分離することで複数のフィルタを得ることができるため、例えば、フィルタシートに記載された切離線Ｌに沿ってカッター等で複数のフィルタを分割する場合と比較して、外形寸法が安定したフィルタを得ることができる。したがって、フィルタを効率的に量産することができると共に、フィルタとしての歩留まりを改善することができる。
【００９８】
また、本実施形態に係る細胞捕捉金属フィルタシート１０の厚みは、１０μｍ〜３０μｍであることが好ましい。細胞捕捉金属フィルタシート１０の厚みが１０μｍ〜３０μｍである場合、シートの取り扱い性に優れると共に、切離線Ｌに沿って、容易にシートを切り離すことができる。
【００９９】
また、切離線Ｌは、所定の間隔を有し、連続して設けられた複数の小孔３１から構成され、互いに隣接する小孔３１の所定の間隔は、０．１ｍｍ〜０．７ｍｍであることが好ましい。この場合、細胞捕捉金属フィルタシート１０において、切離線Ｌは断続的に細胞捕捉金属フィルタ２０が設けられた構成となるため、切離線Ｌでの切り離しを容易に行うことができる。
【０１００】
また、細胞捕捉金属フィルタシート１０の表面が金めっきされていることが好ましい。表面が金めっきされていることで、フィルタ領域２２に捕捉される細胞に対する付着性が一様となり、データの再現性を高めることが期待できる。
【０１０１】
本実施形態に係る細胞捕捉金属フィルタ２０は、細胞捕捉金属フィルタシート１０を切離線Ｌに沿って分離することで得られることが好ましい。このような細胞捕捉金属フィルタ２０では、細胞捕捉金属フィルタシート１０を切離線Ｌに沿って分離することにより得られるため、外形寸法が略同一の細胞捕捉金属フィルタ２０を効率よく製造することができる。
【０１０２】
本実施形態に係る細胞捕捉デバイス１は、細胞分散液（被検液）を内部へ導入するための導入流路５を有する蓋部材３と、細胞分散液を外部へ排出するための排出流路６を有する収納部材４と、を有する筐体２と、導入流路５と排出流路６との間の筐体２の内部の流路上に細胞分散液が貫通孔２２ａを通過するように設けられた細胞捕捉金属フィルタ２０と、を備えることが好ましい。
【０１０３】
このような細胞捕捉デバイス１では、導入流路５から内部に導入された細胞分散液は、細胞捕捉金属フィルタ２０を通り、排出流路６から筐体２の外部へ排出される。また、細胞捕捉金属フィルタ２０を通った細胞分散液中の所望の細胞が、フィルタ領域２２において、捕捉される。細胞捕捉デバイス１は、量産性に優れた細胞捕捉金属フィルタ２０を用いて製造されることから、細胞捕捉デバイス１の量産性の向上を図ることができる。
【０１０４】
本実施形態に係る細胞捕捉金属フィルタシート１０の製造方法は、金属箔５２上にフォトレジスト５３をラミネートする工程と、フォトレジスト５３の上に、複数の透光部によってそれぞれ形成された複数の第一透光領域と、複数の第一透光領域をそれぞれ区画するように透光部が略線状に形成された第二透光領域と、を有するフォトマスク５４を重ねて露光する工程と、現像してフォトレジストの未硬化部を除去してフォトレジストパターン５３ａ、５３ｂを形成する工程と、フォトレジストパターン５３ａ、５３ｂの間をそれぞれ金属めっきしてフォトレジストパターン５３ａ、５３ｂの高さより低い金属めっきパターンを形成する工程と、金属箔５２を化学的溶解によって除去して、金属めっきパターンとフォトレジストパターンからなる構造物を得る工程と、構造物からフォトレジストパターンを除去して、第一透光領域及び第二透光領域に対応する貫通孔を有する金属めっきパターンを得る工程と、を含む。
【０１０５】
このような細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法では、フィルタ領域２２及び切離線Ｌの両方を一つのフォトレジスト５３を用いて製造することができるため、複数のフィルタ領域２２が形成された細胞捕捉金属フィルタシート１０をより効率よく生産することができる。また、細胞捕捉金属フィルタシート１０を切離線にて切り離すことにより、フィルタ領域２２を有する細胞捕捉金属フィルタ２０を容易に分離することができる。また、隣接するフィルタ領域２２間に切離線Ｌが略直線状に形成されることにより、細胞捕捉金属フィルタ２０を切り離す際に細胞捕捉金属フィルタ２０の外形寸法をより安定した構造とすることができる。この場合、外形寸法が安定するため、細胞捕捉金属フィルタシート１０としての歩留まりを向上させることができる。よって、細胞捕捉金属フィルタ２０を効率よく製造することができる。
【０１０６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、種々の変更を行うことができる。
【０１０７】
例えば、上述した実施形態では、切離線Ｌは、所定の間隔を有し、連続して設けられた複数の小孔から構成されている場合を説明したが、切離線はこれに限定されない。ここで、切離線の変形例について説明する。図１０（Ａ）は、本発明の細胞捕捉金属フィルタシートの切離線の第１の変形例を説明する図であり、図１０（Ｂ）は、本発明の細胞捕捉金属フィルタシートの切離線の第２の変形例を説明する図である。
【０１０８】
図１０（Ａ）は、切離線の第１の変形例に係る細胞捕捉金属フィルタシートの断面図である。図１０（Ａ）に示されるように、切離線は、細胞捕捉金属フィルタシート７５の厚み方向に部分的に形成された凹部７６から構成されてもよい。そして、切離線の第１の変形例は、上記の製造方法において、例えば、フォトレジストの硬化物を形成する工程を複数回の工程とすることにより、形成される硬化物の厚みを選択的に変更することで得ることができる。これにより、金めっきパターンの厚みを選択的に変更することができるため、切離線を部分的に凹部７６として形成することができる。この場合でも、上記実施形態に係る細胞捕捉金属フィルタシートの切離線Ｌと同様に切離線に沿って分離可能であり、細胞捕捉金属フィルタを効率的に量産することができる。また、細胞捕捉金属フィルタシートの切離線が貫通孔により構成されていないため、当該フィルタシート剛性を確保することができる。よって、複数の細胞捕捉金属フィルタを容易に得ることができるだけではなく、取り扱い性がより向上した細胞捕捉金属フィルタシートを得ることができる。
【０１０９】
また、図１０（Ｂ）は、切離線の第２の変形例に係る細胞捕捉金属フィルタシートの断面図である。図１０（Ｂ）に示されるように、切離線を構成する小孔８６の直径は略一定でなくてもよい。すなわち、切離線は、異なる直径を有する小孔８６ａ、８６ｂから構成されてもよい。また、大きさの異なる小孔８６ａ及び小孔８６ｂの配置は任意である。そして、切離線の第２の変形例は、上記の製造方法において、例えば、部分的に貫通孔の大きさを変更して形成することにより、面内方向に異なる長さを有する硬化物を形成し、これにより、形成される硬化物の面内方向の長さを選択的に変更することで得ることができる。これにより、細胞捕捉金属フィルタシートの金めっきパターンに形成される小孔８６の大きさを選択的に形成することができる。この場合でも、上記実施形態に係る細胞捕捉金属フィルタシートの切離線Ｌと同様に切離線に沿って分離可能であり、細胞捕捉金属フィルタを効率的に量産することができる。また、細胞捕捉金属フィルタシートの切離線が任意に配列された貫通孔により構成することができるため、当該フィルタシート剛性を確保することができる。よって、複数の細胞捕捉金属フィルタを容易に得ることができるだけではなく、取り扱い性がより向上した細胞捕捉金属フィルタシートを得ることができる。
【符号の説明】
【０１１０】
１…細胞捕捉デバイス、１０…細胞捕捉金属フィルタシート、２０…細胞捕捉金属フィルタ、２１…金属シート、２２…フィルタ領域、２２ａ…貫通孔、３１…各小孔（切離線）、Ｌ…切離線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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