(57)【要約】【課題】脱バインダー処理でのバインダーの燃え残りが少なく、且つ脱バインダー処理後に平滑性およびセラミック粒子の緻密さに優れたセラミックグリーンシートを形成することができる積層セラミックコンデンサ製造用スラリー組成物を提供すること。【解決手段】分散媒、平均粒径が０．０１〜０．５μｍであるセラミック粉末、およびバインダーを含み、バインダーが、下記式（１）で表される構成単位６０〜９０モル％および下記式（２）で表される構成単位１０〜４０モル％を有し、重量平均分子量が５，０００〜８０，０００である（メタ）アクリレート共重合体からなる、積層セラミックコンデンサ製造用スラリー組成物（下記式中の基の定義は明細書に記載した通りである）。2015231924.tif 000006【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
分散媒、平均粒径が０．０１〜０．５μｍであるセラミック粉末、およびバインダーを含み、
バインダーが、下記式（１）で表される構成単位６０〜９０モル％および下記式（２）で表される構成単位１０〜４０モル％を有し、重量平均分子量が５，０００〜８０，０００である（メタ）アクリレート共重合体からなる、
積層セラミックコンデンサ製造用スラリー組成物。
【化１】
2015231924.tif 000005
（式中、Ｒ１およびＲ３は、それぞれ独立に水素原子またはメチル基であり、Ｒ２は、炭素数１〜１２のアルキル基である。）
【請求項２】
バインダーの含有量が、セラミック粉末１００重量部に対して１〜１５重量部である請求項１に記載のスラリー組成物。
【請求項３】
分散媒の含有量が、セラミック粉末１００重量部に対して１０〜７０重量部である請求項１または２に記載のスラリー組成物。
【請求項４】
セラミック粉末が、チタン酸バリウムである請求項１〜３のいずれか一項に記載のスラリー組成物。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のスラリー組成物を用いて製造されるセラミックコンデンサ製造用セラミックグリーンシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層セラミックコンデンサ製造用のスラリー組成物およびセラミックグリーンシートに関する。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミック電子部品、例えば、積層セラミックコンデンサは、一般に次のような工程を経て製造されている。まず、樹脂等のバインダーを有機溶媒に溶解した溶液に可塑剤、分散剤等を添加した後、セラミック粉末を加え、ボールミル等により均一に混合し、スラリー組成物を得る。このスラリー組成物を離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルムまたはステンレス鋼（ＳＵＳ）板等の支持体に塗布する。加熱等により、支持体に塗布したスラリー組成物から有機溶媒等の揮発分を留去させた後、支持体から剥離してセラミックグリーンシート（以下「グリーンシート」と略称することがある）を得る。
【０００３】
次に、得られたグリーンシート上に、ニッケル等の導電材を含有する電極層用ペーストを所定パターンで印刷する。得られた印刷後のグリーンシートを数百枚積み重ねて積層し、プレス切断工程を経てセラミックグリーンチップを得る。そして、得られたセラミックグリーンチップ中に含まれるバインダー等を熱分解して除去する処理、いわゆる脱バインダー処理を行った後、焼成して得られるセラミックシートの端面に外部電極を形成する工程を経て積層セラミックコンデンサを製造する。
【０００４】
一方で、積層セラミックコンデンサには、近年更なる小型化、大容量化が求められており、誘電層を多層化するためグリーンシートの薄膜化が検討されている。しかし、薄膜化が進むと、グリーンシート一枚あたりの強度が低下するため、グリーンシートの剥離時にグリーンシートが破損するなどの問題が生じる。そこで、薄膜化に対応したプロセスとして、支持体にグリーンシートを成膜後、支持体を剥離せずに、グリーンシート上に電極を印刷し、電極を印刷したグリーンシートの上にさらにグリーンシートを成膜するという操作を繰り返すプロセスが開発されている。このプロセスでは、薄いグリーンシートを一枚でハンドリングする必要がないため、グリーンシート一枚に従来と同等の強度は必要とされないが、塗り重ねても凹凸がないよう、従来以上にグリーンシートの平滑性が重要視される。
【０００５】
また、グリーンシートの薄膜化が進むと一層あたりのセラミック粒子数が少なくなるため、脱バインダー処理時のバインダーの燃え残りなどによるグリーンシート中に存在するわずかな欠陥が、得られる積層セラミックコンデンサでの絶縁破壊などを引き起こす要因となる。さらに、省エネルギー化によるコストの低減のため、できるだけ低い温度での脱バインダー処理を行うことが望まれている。
【０００６】
特許文献１には、バインダーとして、ポリビニルアセタール、特にポリビニルブチラール（ＰＶＢ）を使用するスラリー組成物が記載されている。ＰＶＢを用いれば、強度に優れたグリーンシートを製造することができる。しかし、ＰＶＢを含有するスラリー組成物から得られるグリーンシートでは、脱バインダー処理後の表面の平滑性やセラミックス粒子の緻密さが不足しており、薄膜化に適していない。また、ＰＶＢは還元雰囲気下では熱分解性が悪く、脱バインダー処理後のグリーンシートに欠陥が生じるという問題がある。
【０００７】
また、特許文献２には、プラズマディスプレイパネル製造用のスラリー組成物中に、ポリスチレン換算重量平均分子量が５００，０００以上である結着樹脂（即ち、バインダー）を使用することが記載されている。しかし、このような高分子量のバインダーを用いると、スラリー組成物の塗工が困難になり、平滑なグリーンシートを形成することが困難になるという問題がある。また、特許文献２の実施例では、前記高分子量のバインダーおよび平均粒子径１．３μｍのガラス粉体を用いて、膜厚２５０μｍの無機粉体含有樹脂層が支持フィルム上に形成されてなる、表面が平滑な転写フィルムが製造されている。しかし、積層セラミックコンデンサの製造では、平均粒径がサブミクロンオーダーであるセラミック粉末を使用して、膜厚５μｍ以下のグリーンシートが製膜される。そのため、特許文献２（特にその実施例）に記載のスラリー組成物を、積層セラミックコンデンサの製造に用いることができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−８９３５４号公報
【特許文献２】特開２００６−１３９９３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、脱バインダー処理でのバインダーの燃え残りが少なく、且つ脱バインダー処理後に平滑性およびセラミック粒子の緻密さに優れたセラミックグリーンシートを形成することができる、セラミックコンデンサ製造用スラリー組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らが検討を進めた結果、特定の平均粒径を有するセラミック粉末、およびバインダーとして特定の（メタ）アクリレート重合体を用いることによって上記目的を達成できることを見いだし、本発明を完成した。この知見に基づく本発明は以下の通りである。
【００１１】
［１］  分散媒、平均粒径が０．０１〜０．５μｍであるセラミック粉末、およびバインダーを含み、
バインダーが、下記式（１）で表される構成単位６０〜９０モル％および下記式（２）で表される構成単位１０〜４０モル％を有し、重量平均分子量が５，０００〜８０，０００である（メタ）アクリレート共重合体からなる、セラミックコンデンサ製造用スラリー組成物。
【００１２】
【化１】
2015231924.tif 000002
【００１３】
（式中、Ｒ１およびＲ３は、それぞれ独立に水素原子またはメチル基であり、Ｒ２は、炭素数１〜１２のアルキル基である。）
［２］  バインダーの含有量が、セラミック粉末１００重量部に対して１〜１５重量部である前記［１］に記載のスラリー組成物。
［３］  分散媒の含有量が、セラミック粉末１００重量部に対して１０〜７０重量部である前記［１］または［２］に記載のスラリー組成物。
［４］  セラミック粉末が、チタン酸バリウムである前記［１］〜［３］のいずれか一つに記載のスラリー組成物。
［５］  前記［１］〜［４］のいずれか一つに記載のスラリー組成物を用いて製造されるセラミックコンデンサ製造用セラミックグリーンシート。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のセラミックコンデンサ製造用スラリー組成物を用いれば、脱バインダー処理でのバインダーの燃え残りが少なく、且つ脱バインダー処理後に平滑性およびセラミック粒子の緻密さに優れたグリーンシートを形成することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明のセラミックコンデンサ製造用スラリー組成物（以下「スラリー組成物」と略称することがある。）は、分散媒、平均粒径が０．０１〜０．５μｍであるセラミック粉末、並びにバインダーとして上記式（１）で表される構成単位６０〜９０モル％および上記式（２）で表される構成単位１０〜４０モル％を有し、重量平均分子量が５，０００〜８０，０００である（メタ）アクリレート共重合体を含む。以下、各成分について順に説明する。
【００１６】
［分散媒］
バインダーである（メタ）アクリレート共重合体を溶解し得る有機溶媒を、分散媒として用いることが好ましい。そのような有機溶媒としては、例えば、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶媒；エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール等のアルコール系溶媒；メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶媒、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ブチルカルビトールアセテート（別名：ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート）、ブチルセロソルブ（別名：エチレングリコールモノブチルエーテル）等のエーテル系溶媒；ターピネオール；等が挙げられる。有機溶媒は、１種のみを使用してもよく、２種以上を併用してもよい。バインダーの溶解性および有機溶媒の除去のしやすさの観点から、芳香族炭化水素系溶媒とアルコール系溶媒との混合溶媒、ケトン系溶媒が好ましく、トルエンとエタノールとの混合溶媒、メチルエチルケトンがより好ましく、トルエンとエタノールとの混合溶媒がさらに好ましい。芳香族炭化水素系溶媒とアルコール系溶媒との混合溶媒における重量比（即ち、芳香族炭化水素系溶媒の重量：アルコール系溶媒の重量、特にトルエンの重量：エタノールの重量）は、好ましくは３０：７０〜７０：３０である。
【００１７】
スラリー組成物中の分散媒の含有量は、スラリー組成物の粘度および脱バインダー処理後のグリーンシートにおけるセラミック粒子の緻密さの観点から、セラミック粉体１００重量部に対して、好ましくは１０〜７０重量部、より好ましくは３５〜５５重量部である。
【００１８】
［セラミック粉末］
セラミック粉末としては、積層セラミック電子部品（特に積層セラミックコンデンサ）の分野で汎用されているものを使用することができる。セラミック粉末としては、例えば、チタン酸バリウム、アルミナ、ジルコニア、ケイ酸アルミニウム、酸化チタン、酸化亜鉛、マグネシア、サイアロン、スピネムルライト、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の粉末が挙げられる。セラミック粉末は、１種のみを使用してもよく、２種以上を併用してもよい。セラミック粉末としては、チタン酸バリウムが好ましい。
【００１９】
積層セラミックコンデンサの信頼性を確保するためには、誘電層１層の厚さ方向のセラミック粒子数が３〜５個である必要がある。そのため誘電層の膜厚を数μｍ程度とするためには、その製造に用いるセラミック粉末の平均粒径は０．０１〜０．５μｍであることが必要である。ここで平均粒径とは、後述の実施例に示すように、動的光散乱式粒度分布測定装置によって測定されるメジアン径（ｄ５０）を意味する。
【００２０】
［バインダー］
本発明のスラリー組成物中のバインダーは、上記式（１）で表される構成単位（以下「構成単位（１）」と略称する）および上記式（２）で表される構成単位（以下「構成単位（２）」と略称する）を有する（メタ）アクリレート共重合体からなる。ここで、（メタ）アクリレートの用語は、ポリマー分野で通常使用されている通り、アクリレートおよび／またはメタクリレートを意味する。他の用語（例えば「（メタ）アクリル酸メチル」等）も同様の意味である。
【００２１】
構成単位（１）は、アルキル（メタ）アクリレート（以下「モノマー（１）」と略称する）に由来するものであり、（メタ）アクリレート共重合体の強度や有機溶媒への溶解性に影響する。
【００２２】
式（１）において、Ｒ１は水素原子またはメチル基である。脱バインダー処理でのバインダーの燃え残りを少なくするために、Ｒ１はメチル基であことが好ましい。Ｒ２は炭素数１〜１２のアルキル基である。アルキル基の炭素数が１３以上の場合、セラミック粉末の分散性が低下し、脱バインダー処理後のグリーンシートにおけるセラミック粒子の緻密さが悪化する。スラリー組成物中のセラミック粉末の分散性の観点から、Ｒ２の炭素数は１〜８が好ましく、１〜４がより好ましい。
【００２３】
モノマー（１）としては、例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｔｅｒｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ラウリルなどが挙げられる。モノマー（１）は、１種のみを使用してもよく、２種以上を併用してもよい。セラミック粉末の分散性の観点から（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸イソブチルが好ましく、メタクリル酸メチル、メタクリル酸イソブチルがより好ましく、メタクリル酸メチルがさらに好ましい。
【００２４】
構成単位（２）は、２−ヒドロキシエチルメタクリレートおよび／または２−ヒドロキシエチルアクリレート（以下「モノマー（２）」と略称する）に由来するものであり、セラミック粉末の分散性に影響する。式（２）において、Ｒ３は水素原子またはメチル基である。脱バインダー処理でのバインダーの燃え残りを少なくするために、Ｒ３はメチル基が好ましい。即ち、モノマー（２）としては、２−ヒドロキシエチルメタクリレートが好ましい。
【００２５】
（メタ）アクリレート共重合体は、本発明の効果を阻害しない範囲で、モノマー（１）および（２）以外のモノマー（以下「他のモノマー」と略称する）に由来する構成単位（以下「他の構成単位」と略称する）を含んでいてもよい。他のモノマーとしては、モノマー（１）および（２）と共重合可能なものであれば特に制限はなく、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ブタジエン等が挙げられる。（メタ）アクリレート共重合体中の他の構成単位の割合は、好ましくは１０モル％以下である。（メタ）アクリレート共重合体が構成単位（１）および（２）からなること（即ち、他の構成単位の割合が０であること）がより好ましい。
【００２６】
（メタ）アクリレート共重合体中の構成単位（１）の割合は、グリーンシートの強度の観点から、６０〜９０モル％であることが必要であり、６５〜８０モル％であることが好ましい。一方、構成単位（２）の割合は、セラミック粉末の分散性の観点から、１０〜４０モル％であることが必要であり、２０〜３５モル％であることが好ましい。
【００２７】
（メタ）アクリレート共重合体の重量平均分子量は、５，０００〜８０，０００であることが必要である。該重量平均分子量が８０，０００を超えると、スラリー組成物の粘度が高く、その塗工性が低下するため、スラリー組成物の薄膜を形成することが困難になる。一方、該重量平均分子量が５，０００未満であると、スラリー組成物の成膜性が低下し、膜形成が困難になる。該重量平均分子量は、好ましくは８，０００〜５０，０００である。該重量平均分子量は、後述の実施例に記載するように、ポリスチレンを標準とするＧＰＣによる測定される。
【００２８】
本発明の要件を満たす（メタ）アクリレート共重合体は、１種のみを使用してもよく、２種以上を併用してもよい。但し、本発明のスラリー組成物中のバインダーは、本発明の効果を達成するために、本発明の要件を満たす（メタ）アクリレート共重合体からなる。
【００２９】
スラリー組成物中のバインダーの含有量は、脱バインダー処理後のグリーンシート中のセラミック粒子の緻密さの観点から、セラミック粉末１００重量部に対して、好ましくは１〜１５重量部、より好ましくは１〜１０重量部である。
【００３０】
［その他の成分］
本発明のスラリー組成物は、任意成分として、分散剤、可塑剤、レベリング剤、消泡剤などの添加剤を含有していてもよい。添加剤の中で分散剤が好ましい。分散剤としては、例えば、ポリカルボン酸系分散剤等が挙げられる。ポリカルボン酸系分散剤としては、例えば、ポリアクリル酸部分アルキルエステル、メトキシポリエチレングリコールアリルエーテルと無水マレイン酸の共重合体等が挙げられ、メトキシポリエチレングリコールアリルエーテルと無水マレイン酸の共重合体が好ましい。分散剤を使用する場合、スラリー組成物中のその含有量は、セラミック粉体１００重量部に対して、好ましくは０．１〜５重量部である。
【００３１】
［グリーンシート］
本発明は、上述のスラリー組成物を用いて製造される積層セラミックコンデンサ製造用セラミックグリーンシート（以下「グリーンシート」と略称することがある）も提供する。このグリーンシートは、本発明のスラリー組成物を、支持体に塗工して、乾燥させることによって製造することができる。スラリー組成物の塗工法に特に限定は無く、グリーンシートの製造に汎用されている方法を使用することができる。
【００３２】
支持体に特に限定は無く、グリーンシートの製造に汎用されているものを使用することができる。支持体としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、ガラス板等が挙げられる。
【００３３】
支持体に塗工したスラリー組成物の乾燥法に特に限定はなく、例えば、公知の機器（例えば、乾燥炉、ホットドライヤー）を使用して行うことができる。乾燥は、大気雰囲気下で行ってもよく、不活性ガス（例えば、窒素）雰囲気下で行ってもよい。また、乾燥は、常圧下で行ってもよく、減圧下で行ってもよい。乾燥の温度および時間は、使用する分散媒およびバインダーの種類によって異なるが、その温度は、通常８０〜１５０℃、その時間は、通常５〜６０分である。乾燥後のグリーンシートの膜厚は、好ましくは０．５〜５μｍである。
【００３４】
次いで、乾燥後のグリーンシートからバインダーを除去するために、脱バインダー処理が行われる。脱バインダー処理の方法に特に限定は無く、例えば、公知の機器（例えば、電気炉）を使用して行うことができる。脱バインダー処理は、通常、不活性ガス（例えば、窒素）雰囲気下で行われる。脱バインダー処理の温度は、通常３５０〜５００℃であり、その時間は、通常３０〜１５０分である。
【実施例】
【００３５】
以下、実施例と比較例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。
【００３６】
［バインダー（ａ）の合成］
撹拌機、温度計、冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えた１リットルのセパラブルフラスコに、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）１６２ｇを導入し、７５℃に昇温後、モノマーとしてメタクリル酸メチル７９ｇおよびメタクリル酸２−ヒドロキシエチル２３ｇ、並びに開始剤として２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）６．０ｇを、３時間かけてセパラブルフラスコ内に滴下した。滴下終了後、７５℃で２時間重合を行い、その後に開始剤として２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）０．２ｇ（なお、この追加した開始剤は下記表１に記載の開始剤量には含まれない）をセパラブルフラスコ内に一括投入し、さらに７５℃で３時間重合を行った。その後、残存開始剤を分解させ、バインダー（ａ）のＩＰＡ溶液を調製した。得られたＩＰＡ溶液をイオン交換水１０００ｍＬに加えてバインダー（ａ）を沈殿させ、沈殿物をイオン交換水で３回洗浄したのち、６０℃で真空乾燥させ、バインダー（ａ）を得た（収率９２％）。なお、使用したモノマーの種類および量および開始剤量を、下記表１に記載する。
【００３７】
ＧＰＣ（装置：東ソー（株）製「ＨＬＣ−８２２０」、カラム：昭和電工（株）製「ｓｈｏｄｅｘ  ＧＰＣ  ＫＦ−８０５Ｌ」、溶媒：テトラヒドロフラン、標準：ポリスチレン）により求めたバインダー（ａ）の重量平均分子量は１３，０００であった。
【００３８】
［バインダー（ｂ）〜（ｆ）の合成］
モノマーの種類および量および開始剤の量を表１に示すように変更したこと以外はバインダー（ａ）の合成と同様にして、バインダー（ｂ）〜（ｆ）を合成した。バインダー（ａ）と同様にして測定したバインダー（ｂ）〜（ｆ）の重量平均分子量を表１に示す。
【００３９】
＜実施例１および２並びに比較例１〜５＞
（１）スラリー組成物の調製
セラミック粉末として平均粒径（ｄ５０）が０．１μｍであるチタン酸バリウム（堺化学工業（株）製「ＢＴ−０１」）１００重量部、分散剤（日油（株）製「マリアリムＳＣ−０５０５Ｋ」メトキシポリエチレングリコール（エチレンオキシド１１モル付加）アリルエーテルと無水マレイン酸の共重合体）１重量部、並びに分散媒としてトルエン２１重量部およびエタノール２１重量部を、混合用ビーズである粒径０．１ｍｍのジルコニアビーズ（ニッカトー（株）製）１００重量部と共に、ビーズミル（アイメックス（株）製「ＲＭＢ−０１」）で５００ｒｐｍおよび５時間攪拌した後、ジルコニアビーズをろ別し、チタン酸バリウムの分散液を調製した。この分散液１４３重量部（チタン酸バリウム含有量１００重量部）に対し、バインダー（ａ）〜（ｆ）または市販のバインダー（積水化学工業（株）製「エスレックＢＬ−２Ｈ」、ポリビニルブチラール、重量平均分子量：２８，０００、ブチラール化度：約７０モル％）１０重量部を加えた後、これらを自転公転ミキサーで１０００ｒｐｍおよび３分間攪拌して、スラリー組成物を調製した。
【００４０】
なお、チタン酸バリウムの平均粒径は、チタン酸バリウム含有量が１０重量％である分散液（分散媒：トルエン／エタノール＝５０／５０重量％）を調製し、この分散液を動的光散乱式粒度分布測定装置（堀場製作所（株）製、ＬＢ−５００）で測定して求めた。
【００４１】
（２）グリーンシートの調製
上記（１）で得られたスラリー組成物を、７０ｍｍ×７０ｍｍ×２ｍｍのガラス板に乾燥後のグリーンシートの膜厚が約０．７μｍになるようにセレクトローラーＯＳＰ−１．５（松尾産業（株）製）にて塗工し、ホットプレートを用いて１２０℃で１５分間乾燥させて、ガラス板上にグリーンシートを形成した。なお、同じ塗工条件でも、バインダーとしてポリビニルブチラール（ＰＶＢ）を用いた比較例５では、そのスラリー組成物の粘度の影響のため、最終的に得られた脱バインダー処理後のグリーンシートの膜厚が他の実施例および比較例のものよりも厚くなった（表２参照）。
【００４２】
（３）グリーンシートの脱バインダー処理
上記（２）のグリーンシートが形成されたガラス板を電気炉（デンケン（株）製「卓上マッフル炉  ＫＤＦＰ９０」）に入れ、窒素雰囲気下、４５０℃で３０分加熱し、グリーンシートの脱バインダー処理を行った。
【００４３】
＜バインダーの分解温度の測定＞
上記のようにして調製したバインダー（ａ）〜（ｆ）および市販のバインダー（積水化学工業（株）製「エスレックＢＬ−２Ｈ」、ポリビニルブチラール、重量平均分子量：２８，０００、ブチラール化度：約７０モル％）の分解温度をＴＧ／ＤＴＡ（ＳＩＩ社製「ＴＧ／ＤＴＡ６２００」）にて測定した。詳しくは、測定温度５０〜５００℃の条件で、バインダー約１０ｍｇを窒素雰囲気下で１０℃／分で昇温し、９９．５％まで重量が減少した温度を分解温度として測定した。これらの結果を表１に示す。なお、表１では、分解温度が、一般的な脱バインダー処理時の温度（４５０℃）よりも低いものに○と、それよりも高いものに×と記載した。
【００４４】
＜脱バインダー処理後のグリーンシートの評価＞
上記のようにして調製した脱バインダー処理後のグリーンシートの膜厚および算術平均粗さＲａを、接触式表面粗さ計（Ｖｅｅｃｏ（株）製「ＤＥＫＴＡＫ３ｓｔ」）にて測定した。結果を表２に示す。なお、表２では、算術平均粗さＲａが５０ｎｍ以下であるものに○と、それよりも大きいものに×と記載した。
【００４５】
また、走査型電子顕微鏡（日立製作所製「ＳＥＭＥＤＸ  ＴｙｐｅＮ」、観察倍率３万倍）で脱バインダー処理後のグリーンシートの表面状態を観察し、最大長０．５μｍ以上の空隙がないものをセラミック粒子の緻密さに優れる（○）と評価し、最大長０．５μｍ以上の空隙があるものを緻密さに劣る（×）と評価した。結果を表２に示す。
【００４６】
【表１】
2015231924.tif 000003
【００４７】
【表２】
2015231924.tif 000004
【００４８】
表１に示すように、バインダー（ａ）および（ｂ）（即ち、本発明の要件を満たすヒドロキシ基を有するメタクリレート共重合体）は、一般的な脱バインダー処理時の温度（４５０℃）よりも低い温度で分解する。一方、バインダー（ｄ）および（ｆ）（即ち、本発明の要件を満たさないメタクリレート共重合体）並びに従来のバインダーであるポリビニルブチラールは、一般的な脱バインダー処理時の温度（４５０℃）で分解しなかった。
【００４９】
また、表２に示すように、バインダー（ａ）および（ｂ）（即ち、本発明の要件を満たすヒドロキシ基を有するメタクリレート共重合体）を用いる実施例１および２のスラリー組成物から、脱バインダー処理後に、平滑性およびセラミック粒子の緻密さに優れたグリーンシートが得られた。一方、バインダー（ｃ）（即ち、高分子量のメタクリレート共重合体）を使用する比較例１のスラリー組成物は塗工できず、グリーンシートを形成できなかった。また、バインダー（ｄ）（即ち、カルボキシ基を有するメタクリレート共重合体）またはポリビニルブチラールを用いる比較例２および５のスラリー組成物からは、脱バインダー処理後に、平滑性に劣るグリーンシートが得られた。また、バインダー（ｅ）（即ち、エポキシ基を有するメタクリレート共重合体）、バインダー（ｆ）（即ち、アミノ基を有するメタクリレート共重合体）またはポリビニルブチラールを用いる比較例３〜５のスラリー組成物からは、脱バインダー処理後に、セラミック粒子の緻密さに劣るグリーンシートが得られた。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明のスラリー組成物は、脱バインダー処理でのバインダーの燃え残りが少なく、且つ脱バインダー処理後に平滑性およびセラミック粒子の緻密さに優れたセラミックグリーンシートを形成することができるため、積層セラミックコンデンサの製造に有用である。