(57)【要約】【課題】分割起点が設けられたウェーハに外力を付与してウェーハを適切に分割できるウェーハ分割装置を提供する。【解決手段】保護テープ（２１）を介してウェーハ（１１）が貼着された環状フレーム（１９）を保持するフレーム保持手段（５０）と、ノズル本体（４２）及びノズル本体の上面（４２ａ）に形成されたエアー噴射溝（４６）を有し、分割予定ライン（１３）と平行にエアー噴射溝を位置づけ、ウェーハの保護テープ側に向けてライン状の圧縮エアーを噴射することで、分割予定ラインに沿って形成された分割起点（１７）でウェーハを分割するエアー噴射ノズル（２０）と、フレーム保持手段とエアー噴射ノズルとを相対移動させる移動手段（３０）と、を備える構成とした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に複数の分割予定ラインに区画された複数のデバイスを有するウェーハの裏面に環状フレームに装着された保護テープが貼着され、予め分割起点が形成された該複数の分割予定ラインに沿って複数のデバイスに分割するためのウェーハ分割装置であって、
該環状フレームに該保護テープを介して装着されたウェーハの該環状フレームのみを保持するフレーム保持手段と、
少なくともウェーハ直径と同等の長さで且つ上面が平坦な矩形状に形成されたノズル本体及び該ノズル本体の上面に形成されたウェーハ直径と同等の長さの噴射領域を有するエアー噴射溝から構成され、該環状フレームに該保護テープを介して装着されたウェーハの該保護テープ側から該分割予定ラインと平行に該エアー噴射溝を位置づけてライン状の圧縮エアーを噴射することで該分割起点を起点にウェーハを分割するエアー噴射ノズルと、
ウェーハ裏面に平行に且つウェーハの直径方向一端側から他端側に向かってエアー噴射溝と直交する方向に該エアー噴射ノズルが移動するように、該フレーム保持手段と該エアー噴射ノズルとを相対移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とするウェーハ分割装置。
【請求項２】
前記エアー噴射ノズルは、更に、該ノズル本体の上面に該エアー噴射溝の両エッジが立設し該エアー噴射溝側から外側に向かって順次低くなるように傾斜した傾斜面を有するライン状突起部を備え、
該エアー噴射溝とウェーハの該分割予定ラインとを平行な向きに位置づけ該エアー噴射ノズルの該ライン状突起部を該保護テープの裏面側に近接させた作用位置において、該エアー噴射溝から噴射したライン状の圧縮エアーが該ライン状突起部の該傾斜面及び該ノズル本体上面と該保護テープ裏面との間を流れることにより流速が増加し該エアー噴射溝近傍で該保護テープ裏面側が該保護テープの表面側よりも低圧になり、該ライン状突起部及び該ノズル本体上面に該保護テープ裏面が吸引されることで該ライン状突起部がウェーハの裏面側を押圧し、それとともに該エアー噴射ノズルがウェーハの直径方向一端側から他端側に向かって相対移動することで、該分割起点に上方に向かって外力が付与され分割起点に沿ってウェーハが分割されることを特徴とする請求項１記載のウェーハ分割装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分割起点が設けられたウェーハに外力を付与して、ウェーハを複数のチップに分割するウェーハ分割装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面にＩＣ等のデバイスが形成されたウェーハは、ストリート（分割予定ライン）に沿って切削されることで複数のチップに分割される（例えば、特許文献１参照）。この分割方法では、裏面側に貼着されたテープを介してウェーハをチャックテーブルに吸引保持させた上で、ウェーハの表面側からウェーハに回転する切削ブレードを切り込ませる。
【０００３】
切削ブレードを裏面側のテープの厚さ方向途中まで切り込ませると、ウェーハは完全に切断される。この時、ウェーハの加工送り速度を大きくし過ぎると、形成されるチップの裏面側に欠け（チッピング）が発生してしまう。そのため、加工送り速度は、裏面側のチッピングを十分に抑制できる程度に調整されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３３４７５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の分割方法では、裏面側の加工品質によって加工送り速度が制限されるので、加工品質を維持しながら加工時間を短縮するのは容易でない。そこで、ウェーハの裏面に到達しない深さまで切削ブレードを切り込ませるハーフカットで分割起点となる切削溝を形成し、外力を付与してウェーハを複数のチップへと分割する分割方法が検討されている。
【０００６】
この分割方法では、切削ブレードでウェーハを完全に切断しないので、加工送り速度が大きくなっても裏面側のチッピングを防止できる。なお、レーザー光線を照射して分割起点となる改質層やレーザー加工溝を形成し、外力を付与してウェーハを複数のチップへと分割することも可能である。
【０００７】
分割起点が設けられたウェーハへの外力の付与は、例えば、ウェーハを押圧する押圧刃を備えるブレーキング装置や、ウェーハの裏面側に貼着されたテープを拡張する拡張装置等を用いて行われる。しかしながら、ブレーキング装置や拡張装置等を用いる方法では、必ずしもウェーハを適切に分割できないという問題があった。
【０００８】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、分割起点が設けられたウェーハに外力を付与してウェーハを適切に分割できるウェーハ分割装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、表面に複数の分割予定ラインに区画された複数のデバイスを有するウェーハの裏面に環状フレームに装着された保護テープが貼着され、予め分割起点が形成された該複数の分割予定ラインに沿って複数のデバイスに分割するためのウェーハ分割装置であって、該環状フレームに該保護テープを介して装着されたウェーハの該環状フレームのみを保持するフレーム保持手段と、少なくともウェーハ直径と同等の長さで且つ上面が平坦な矩形状に形成されたノズル本体及び該ノズル本体の上面に形成されたウェーハ直径と同等の長さの噴射領域を有するエアー噴射溝から構成され、該環状フレームに該保護テープを介して装着されたウェーハの該保護テープ側から該分割予定ラインと平行に該エアー噴射溝を位置づけてライン状の圧縮エアーを噴射することで該分割起点を起点にウェーハを分割するエアー噴射ノズルと、ウェーハ裏面に平行に且つウェーハの直径方向一端側から他端側に向かってエアー噴射溝と直交する方向に該エアー噴射ノズルが移動するように、該フレーム保持手段と該エアー噴射ノズルとを相対移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とするウェーハ分割装置が提供される。
【００１０】
また、前記ウェーハ分割装置においては、前記エアー噴射ノズルは、更に、該ノズル本体の上面に該エアー噴射溝の両エッジが立設し該エアー噴射溝側から外側に向かって順次低くなるように傾斜した傾斜面を有するライン状突起部を備え、該エアー噴射溝とウェーハの該分割予定ラインとを平行な向きに位置づけ該エアー噴射ノズルの該ライン状突起部を該保護テープの裏面側に近接させた作用位置において、該エアー噴射溝から噴射したライン状の圧縮エアーが該ライン状突起部の該傾斜面及び該ノズル本体上面と該保護テープ裏面との間を流れることにより流速が増加し該エアー噴射溝近傍で該保護テープ裏面側が該保護テープの表面側よりも低圧になり、該ライン状突起部及び該ノズル本体上面に該保護テープ裏面が吸引されることで該ライン状突起部がウェーハの裏面側を押圧し、それとともに該エアー噴射ノズルがウェーハの直径方向一端側から他端側に向かって相対移動することで、該分割起点に上方に向かって外力が付与され分割起点に沿ってウェーハが分割されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のウェーハ分割装置は、ウェーハが装着された環状フレームを保持するフレーム保持手段と、保護テープ側からライン状の圧縮エアーを噴射するエアー噴射ノズルと、フレーム保持手段とエアー噴射ノズルとを相対移動させる移動手段と、を備えるので、エアー噴射ノズルからライン状の圧縮エアーを噴射させながら、フレーム保持手段とエアー噴射ノズルとを相対移動させることで、ウェーハの分割起点に沿って外力を付与し、ウェーハを適切に分割できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施の形態に係るウェーハ分割装置が設けられた加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図２】本実施の形態に係るウェーハ分割装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図３】本実施の形態に係るウェーハ分割装置を用いた分割ステップを模式的に示す模式的平面図である。
【図４】本実施の形態に係るウェーハ分割装置を用いた分割ステップを模式的に示す模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係るウェーハ分割装置が設けられた加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。なお、本実施の形態では、切削ブレードを備える加工装置について説明するが、本発明に係るウェーハ分割装置は、レーザー加工ヘッドを備える加工装置に設けられても良い。
【００１４】
図１に示すように、加工装置２は、各構成を支持する基台４を備えている。基台４の上方には、基台４の後部を覆う直方体状の筐体６が設けられている。筐体６の内部には、空間が形成されており、切削ブレード（不図示）を備える切削ユニット（不図示）が収容されている。
【００１５】
基台４の前方の角部には、カセットエレベータ８が設けられている。このカセットエレベータ８には、ウェーハ１１（図２参照）を収容するカセット（不図示）が載置される。カセットエレベータ８は、昇降可能に構成されており、カセットに収容されるウェーハ１１の位置を高さ方向（Ｚ軸方向）において調整する。
【００１６】
カセットエレベータ８と隣接する位置には、筐体６の内部と外部との間を前後方向（Ｘ軸方向）に移動可能な移動テーブル１０が配置されている。移動テーブル１０の上方には、ウェーハ１１を吸引保持するチャックテーブル１２が設けられている。なお、図１では、移動テーブル１０及びチャックテーブル１２が筐体６の外部に位置付けられた状態を示している。
【００１７】
チャックテーブル１２の上方には、ウェーハ１１を仮置きするための仮置き機構１４が設けられている。仮置き機構１４は、相互に離間接近可能な一対のガイドレール１４ａ，１４ｂを含む。ガイドレール１４ａ，１４ｂの断面形状は、Ｌ字型になっている。
【００１８】
チャックテーブル１２を挟んでカセットエレベータ８と向かい合う位置には、円形の開口４ａが形成されている。開口４ａ内には、ウェーハ１１の洗浄に用いられるスピンナテーブル１６が設けられている。また、スピンナテーブル１６の周囲には、洗浄液噴射機構（不図示）及び気体噴射機構（不図示）が配置されている。
【００１９】
チャックテーブル１２とスピンナテーブル１６との間の位置には、本実施の形態のウェーハ分割装置１８を構成するエアー噴射ノズル２０が配置されている。エアー噴射ノズル２０は、ウェーハ１１の直径と同等の長さに形成されており、ウェーハ１１に対して圧縮エアーを噴射する。
【００２０】
筐体６の前面６ａには、カセットエレベータ８に載置されたカセットとチャックテーブル１２との間でウェーハ１１の受け渡しを行うプッシュプルアーム２２が設けられている。プッシュプルアーム２２は、プッシュプルアーム移動機構２４を介して筐体６の前面６ａに取り付けられており、カセットエレベータ８とチャックテーブル１２との間をレール２６に沿って移動する。
【００２１】
また、筐体６の前面６ａには、ウェーハ１１を搬送する第１搬送アーム２８が設けられている。第１搬送アーム２８は、第１搬送アーム移動機構（移動手段）３０を介して筐体６の前面６ａに取り付けられており、チャックテーブル１２とスピンナテーブル１６との間をレール３２に沿って移動する。この第１搬送アーム２８は、エアー噴射ノズル２０と共にウェーハ分割装置１８を構成している。
【００２２】
同様に、筐体６の前面６ａには、ウェーハ１１を搬送する第２搬送アーム３４が設けられている。第２搬送アーム３４は、第２搬送アーム移動機構３６を介して筐体６の前面６ａに取り付けられており、チャックテーブル１２とスピンナテーブル１６との間をレール３８に沿って移動する。
【００２３】
筐体６の側面６ｂには、切削装置２に各種の加工条件を設定するためのタッチパネル式のモニタ４０が設けられている。作業者は、モニタ４０を通じてエアー噴射ノズル２０から噴射される圧縮エアーの流量等を調整する。
【００２４】
この加工装置２において、プッシュプルアーム２２は、カセットエレベータ８の昇降によって高さの調節されたウェーハ１１をカセットから引き出し、仮置き機構１４のガイドレール１４ａ，１４ｂに載置する。
【００２５】
ガイドレール１４ａ，１４ｂは、プッシュプルアーム２２によってカセットからウェーハ１１が引き出される際に、相互に接近された接近位置に移動してウェーハ１１を支持する。ウェーハ１１は、ガイドレール１４ａ，１４ｂに沿って、チャックテーブル１２の上方に位置合わせされる。
【００２６】
第１搬送アーム２８は、ガイドレール１４ａ，１４ｂによりチャックテーブル１２の上方に位置合わせされたウェーハ１１をピックアップする。ウェーハ１１がピックアップされると、ガイドレール１４ａ，１４ｂは、相互に離間された離間位置に移動する。
【００２７】
ガイドレール１４ａ，１４ｂが離間位置に移動すると、ガイドレール１４ａとガイドレール１４ｂとの間にはウェーハ１１の通る隙間ができる。第１搬送アーム２８は、ガイドレール１４ａとガイドレール１４ｂとの間に形成される隙間を通じて、ウェーハ１１をチャックテーブル１２に載置する。
【００２８】
チャックテーブル１２にウェーハ１１が載置されると、移動テーブル１０は筐体６の内部に移動し、ウェーハ１１は切削ユニットで加工される。ウェーハ１１は、例えば、切削ブレードでハーフカットされ、分割起点となる切削溝を形成される。ウェーハ１１の加工が終了すると、移動テーブル１０は筐体６の外部に移動する。
【００２９】
第２搬送アーム３４は、チャックテーブル４に載置された加工後のウェーハ１１を搬送してスピンナテーブル１６に保持させる。スピンナテーブル１６にウェーハ１１が保持されると、開口４ａ内においてスピンナテーブル１６は回転し、洗浄液噴射機構から洗浄液が噴射される。これによってウェーハ１１は洗浄される。洗浄後のウェーハ１１は、気体噴射機構から噴射される乾燥エアーで乾燥される。
【００３０】
洗浄、乾燥後のウェーハ１１は、第１搬送アーム２８でピックアップされて、エアー噴射ノズル２０の上方に位置付けられる。エアー噴射ノズル２０からエアーを噴射させながらウェーハ１１を移動させることで、ウェーハ１１は分割起点である切削溝に沿って複数のチップに分割される。
【００３１】
分割後のウェーハ１１は、第１搬送アーム２８で搬送され、ガイドレール１４ａ，１４ｂに載置される。ガイドレール１４ａ，１４ｂは、ウェーハ１１を支持できるように、予め、相互に接近された接近位置に位置付けられている。プッシュプルアーム２２は、ガイドレール１４ａ，１４ｂに載置された分割後のウェーハ１１を押し込んでカセットに収容させる。
【００３２】
次に、本実施の形態に係るウェーハ分割装置１８の詳細を説明する。図２は、本実施の形態に係るウェーハ分割装置１８の構成例を模式的に示す斜視図である。上述のように、ウェーハ分割装置１８は、エアー噴射ノズル２０と第１搬送アーム２８とを含んでいる。
【００３３】
ウェーハ分割装置１８で分割されるウェーハ１１は、例えば、円盤状の外形を有する半導体ウェーハである。ウェーハ１１の表面１１ａ側は、格子状に配列されたストリート（分割予定ライン）１３で複数の領域に区画されており、各領域にはＩＣ等のデバイス１５が設けられている。
【００３４】
ウェーハ１１は、加工装置２の切削ブレードでハーフカットされており、ウェーハ１１の表面１１ａ側には、各ストリート１３に沿う切削溝（分割起点）１７（図３、図４参照）が形成されている。また、ウェーハ１１の裏面１１ｂ側には、環状フレーム１９に張られた保護テープ２１が貼着されている。
【００３５】
ウェーハ分割装置１８のエアー噴射ノズル２０は、ウェーハ１１の直径と同等の長さのノズル本体４２を備えている。ノズル本体４２の矩形状の上面４２ａには、ノズル本体４２の長さ方向に伸びるライン状突起部４４が設けられている。ライン状突起部４４の幅方向中央には、エアーを噴射するエアー噴射溝４６が形成されている。
【００３６】
エアー噴射溝４６は、ノズル本体４２に設けられた流路（不図示）を通じて圧縮エアーの供給源（不図示）と接続されている。また、エアー噴射溝４６は、ウェーハ１１の直径と同等の長さに形成されており、各ストリート１３に対応するライン状の圧縮エアーを上向きに噴射する噴射領域として機能する。
【００３７】
ライン状突起部４４は、エアー噴射溝４６から幅方向外側に向けて徐々に低くなるように形成されており、ノズル本体４２の上面４２ａに対して傾斜された傾斜面４４ａ（図４参照）を有している。すなわち、ライン状突起部４４の高さは、エアー噴射溝４６の近傍において最も高くなっている。
【００３８】
なお、ノズル本体４２の上面４２ａは、ライン状突起部４４を除いて平坦になっている。また、ライン状突起部４４の幅方向の中心は、ノズル本体４２の上面４２ａを幅方向に二等分する位置から離れた位置に位置付けられており、エアー噴射ノズル２０は幅方向において非対称となっている。
【００３９】
第１搬送アーム２８は、Ｚ軸方向に伸縮すると共にＺ軸の周りに回転する昇降回転手段４８と、昇降回転手段４８の下方において環状フレーム１９を吸着保持するフレーム保持手段５０とを備えている。フレーム保持手段５０は、下面に４個の吸着パッド５２を備えており、環状フレーム１９を吸着保持できる。
【００４０】
また、昇降回転手段４８の上方には、図１に示すように、第１搬送アーム移動機構３０が設けられている。フレーム保持手段５０は、この第１搬送アーム移動機構３０によって、エアー噴射溝４６のエアー噴射溝４６と直交する方向に移動する。
【００４１】
次に、本実施の形態に係るウェーハ分割装置１８を用いた分割ステップを説明する。図３は、分割ステップを模式的に示す模式的平面図であり、図４は、分割ステップを模式的に示す模式的断面図である。
【００４２】
分割ステップにおいては、まず、環状フレーム１９を吸着保持したフレーム保持手段５０を、エアー噴射ノズル２０の上方に位置付ける。具体的には、図３（Ａ）に示すように、ウェーハ１１の外周近傍（又は外周より外側）にエアー噴射溝４６が位置付けられるように、フレーム保持手段５０を移動、回転させる。この時、ウェーハ１１のストリート１３に沿って形成された切削溝１７と、エアー噴射ノズル２０のエアー噴射溝４６とが平行になるようにする。
【００４３】
次に、エアー噴射ノズル２０から保護テープ２１までの距離が十分に近くなるようにフレーム保持手段５０を下降させ、図４（Ａ）に示すように、エアー噴射ノズル２０から圧縮エアーを噴射する。これにより、保護テープ２１の裏面２１ｂ側には、エアー噴射ノズル２０から噴射された圧縮エアーが吹き付けられ、ライン状突起部４４の傾斜面４４ａ及びノズル本体４２の上面４２ａと、保護テープ２１の裏面２１ｂとの間にエアーＡ１，Ａ２の流れが発生する。
【００４４】
エアー噴射ノズル２０から保護テープ２１までの距離が十分に近い作用位置では、ライン状突起部４４の傾斜面４４ａ及びノズル本体４２の上面４２ａと、保護テープ２１の裏面２１ｂとの間隔は十分に狭い。よって、保護テープ２１の裏面２１ｂ側に圧縮エアーを吹き付けると、保護テープ２１の裏面２１ｂ側を流れるエアーＡ１，Ａ２の流速は大幅に増加する。
【００４５】
その結果、保護テープ２１の裏面２１ｂ側の圧力（気圧）は、保護テープ２１の表面２１ａ側の圧力より低くなり、図４（Ｂ）に示すように、保護テープ２１をエアー噴射ノズル２０に押し付ける向きの力Ｆ１が作用する。つまり、保護テープ２１は、エアー噴射ノズル２０側に吸引される。
【００４６】
この時、保護テープ２１をエアー噴射ノズル２０側に吸引する吸引力は、エアーＡ２の流路側よりエアーＡ１の流路側において強く作用し、保護テープ２１は、エアーＡ１の流路側においてエアー噴射ノズル２０に密着する。そのため、エアーＡ２は流れ続けるが、エアーＡ１は殆ど流れなくなる。この現象は、エアーＡ２の流路側の幅よりエアーＡ１の流路側の幅が広いというエアー噴射ノズル２０の非対称性に起因すると推察される。
【００４７】
この状態で、フレーム保持手段５０を、ウェーハ１１の裏面１１ｂに平行で、且つエアー噴射溝４６と直交する方向Ｄ１に移動させる。保護テープ２１はエアー噴射ノズル２０に吸引されているので、ライン状突起部４４によってウェーハ１１の裏面１１ｂ側が押圧される。
【００４８】
フレーム保持手段５０の移動によってライン状突起部４４がウェーハ１１の切削溝１７に接近すると、切削溝１７の近傍には、ウェーハ１１の裏面１１ｂ側から上向きの外力が加わる。その結果、ウェーハ１１は、切削溝１７が形成されたストリート１３に沿って分割される。
【００４９】
フレーム保持手段５０は、図３（Ａ）に示すように、エアー噴射溝４６と直交する方向Ｄ１におけるウェーハ１１の一端Ｅ１側から他端Ｅ２側まで移動される。これにより、エアー噴射溝４６と平行な第１方向に延びるストリート１３に沿ってウェーハ１１は順次分割される。
【００５０】
第１方向に延びる全てのストリート１３に沿ってウェーハ１１を分割した後には、図３（Ｂ）に示すように、フレーム保持手段５０を９０度回転させて、第１方向に直交する第２方向に延びるストリート１３に沿ってウェーハ１１を分割する。このようにして、ウェーハ１１はストリート１３に沿って複数のチップに分割される。
【００５１】
以上のように、本実施の形態のウェーハ分割装置１８は、ウェーハ１１が装着された環状フレーム１９を保持するフレーム保持手段５０と、保護テープ２１側からライン状の圧縮エアーを噴射するエアー噴射ノズル２０と、フレーム保持手段５０とエアー噴射ノズル２０とを相対移動させる第１搬送アーム移動機構（移動手段）３０と、を備えるので、エアー噴射ノズル２０からライン状の圧縮エアーを噴射させながら、フレーム保持手段５０とエアー噴射ノズル２０とを相対移動させることで、ウェーハ１１の切削溝（分割起点）１７に沿って外力を付与し、ウェーハ１１を適切に分割できる。
【００５２】
また、本実施の形態のウェーハ分割装置１８は、エアー噴射溝４６のエッジが立設するように形成されると共に、エアー噴射溝４６から幅方向外側に向けて徐々に低くなるような傾斜面４４ａを有するライン状突起部４４を備えるので、エアー噴射ノズル２０を保護テープ２１の裏面２１ｂ側に近接させた作用位置においてエアー噴射ノズル２０から圧縮エアーを噴射させることで、保護テープ２１の裏面２１ｂ側を流れるエアーＡ１，Ａ２の流速を増加させて、保護テープ２１の表面２１ａ側と裏面２１ｂ側とに圧力差を生じさせることができる。この圧力差によって、ウェーハ１１はエアー噴射ノズル２０に吸引されるように押圧され、ウェーハ１１の裏面１１ｂ側には上向きの外力が付与されるので、ウェーハ１１とエアー噴射ノズル２０とを相対移動させることで、切削溝（分割起点）１７に沿って適切な外力を付与し、ウェーハ１１を分割できる。
【００５３】
ここで、本実施の形態のウェーハ分割装置１８においては、圧力差による下向きの力Ｆ１がウェーハ１１の広い範囲に付与されると共に、エアー噴射溝４６から噴射される圧縮エアーによる上向きの力がウェーハ１１の狭い範囲に付与される。この下向きの力Ｆ１と上向きの力とは、ウェーハ１１を凸形状に曲げるように作用する。よって、この曲げの作用が、ライン状突起部４４によって生じる上向きの外力と共に、ウェーハ１１の分割に寄与するものと考察される。
【００５４】
なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、エアー噴射ノズル２０を固定して、フレーム保持手段５０を移動させる構成を例示しているが、本発明のウェーハ分割装置はこれに限定されない。少なくとも、エアー噴射ノズル２０とフレーム保持手段５０とを相対移動させることができれば良い。
【００５５】
例えば、フレーム保持手段５０を固定して、エアー噴射ノズル２０を移動させるようにしても良いし、エアー噴射ノズル２０とフレーム保持手段５０とを共に移動させるようにしても良い。
【００５６】
また、上記実施の形態では、ウェーハ１１のストリート（分割予定ライン）１３に沿ってハーフカットによる切削溝（分割起点）１７を形成しているが、ウェーハ１１に形成される分割起点は切削溝に限定されない。例えば、ウェーハ１１に吸収され難い波長のレーザー光線を用いて形成される改質層や、ウェーハ１１に吸収され易い波長のレーザー光線を用いるアブレーション加工で形成されるレーザー加工溝等を分割起点としても良い。
【００５７】
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００５８】
２  加工装置
４  基台
４ａ  開口
６  筐体
６ａ  前面
６ｂ  側面
８  カセットエレベータ
１０  移動テーブル
１２  チャックテーブル
１４  仮置き機構
１４ａ，１４ｂ  ガイドレール
１６  スピンナテーブル
１８  ウェーハ分割装置
２０  エアー噴射ノズル
２２  プッシュプルアーム
２４  プッシュプルアーム移動機構
２６  レール
２８  第１搬送アーム
３０  第１搬送アーム移動機構（移動手段）
３２  レール
３４  第２搬送アーム
３６  第２搬送アーム移動機構
３８  レール
４０  モニタ
４２  ノズル本体
４２ａ  上面
４４  ライン状突起部
４４ａ  傾斜面
４６  エアー噴射溝
４８  昇降回転手段
５０  フレーム保持手段
５２  吸着パッド
１１  ウェーハ
１１ａ  表面
１１ｂ  裏面
１３  ストリート（分割予定ライン）
１５  デバイス
１７  切削溝（分割起点）
１９  環状フレーム
２１  保護テープ
【図１】
2015002289.tif 000003
【図２】
2015002289.tif 000004
【図３】
2015002289.tif 000005
【図４】
2015002289.tif 000006