(57)【要約】【課題】被搬送物の撓みを抑制することができる搬送治具を提供する。【解決手段】本発明は、基板Ｓの搬送に用いられる搬送治具１であって、長方形状の枠体２と、枠体２の外周に沿って設けられ、枠体２を挟んで対向するように配置されると共に、枠体２に対して進退可能に構成された第１の移動部材３及び第２の移動部材４と、枠体２と第１の移動部材３の間に設けられ、枠体２から離れる方向に第１の移動部材３を付勢する第１の弾性部材７と、枠体２と第２の移動部材４の間に設けられ、枠体２から離れる方向に第２の移動部材４を付勢する第２の弾性部材８と、第１の移動部材３に設けられ、基板Ｓを把持する第１の把持部５と、第２の移動部材４に設けられ、第１の把持部５と対向するように基板Ｓを把持する第２の把持部６と、を備える。【選択図】図１
2015003813.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被搬送物の搬送に用いられる搬送治具であって、
平面形状の枠体と、
前記枠体の外周に沿って設けられ、前記枠体を挟んで対向するように配置されると共に、前記枠体に対して進退可能に構成された第１の移動部材及び第２の移動部材と、
前記枠体と前記第１の移動部材の間に設けられ、前記枠体から離れる方向に前記第１の移動部材を付勢する第１の弾性部材と、
前記枠体と前記第２の移動部材の間に設けられ、前記枠体から離れる方向に前記第２の移動部材を付勢する第２の弾性部材と、
前記第１の移動部材に設けられ、前記被搬送物を把持する第１の把持部と、
前記第２の移動部材に設けられ、前記第１の把持部と対向するように前記被搬送物を把持する第２の把持部と、
を備える、搬送治具。
【請求項２】
前記第１の把持部は、前記第１の移動部材に沿って複数設けられており、
前記第２の把持部は、前記第２の移動部材に沿って複数設けられている、請求項１に記載の搬送治具。
【請求項３】
前記枠体の外周には、前記第１の移動部材を進退方向に案内する第１のガイド部材と、前記第２の移動部材を進退方向に案内する第２のガイド部材と、が設けられており、
前記第１のガイド部材及び前記第２のガイド部材には、それぞれ前記第１の移動部材又は前記第２の移動部材の脱落を防止する抜け止め部が形成されている、請求項１又は２に記載の搬送治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被搬送物を搬送するための搬送治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板やプラスチック基板などの搬送に関する技術文献として、例えば特開２０１１−７３８７５号公報が知られている。この公報には、被搬送物である基板をトレーに戴せ、このトレーをチャックにより把持した状態でロボットアームを用いて搬送することが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−７３８７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、下層に成膜材料が配置された真空チャンバー内で基板の表面に成膜を行う場合などには、基板の表面を下に露出した状態で搬送する必要がある。このような場合、単純に基板の端部をチャックで把持する搬送方法では、自重によって基板に撓みが生じ、チャックにより把持された部位に曲げ応力が集中して破損が生じるおそれがあった。
【０００５】
そこで、本発明は、被搬送物の撓みを抑制することができる搬送治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明は、板状の被搬送物の搬送に用いられる搬送治具であって、平面形状の枠体と、枠体の外周に沿って設けられ、枠体を挟んで対向するように配置されると共に、枠体に対して進退可能に構成された第１の移動部材及び第２の移動部材と、枠体と第１の移動部材の間に設けられ、枠体から離れる方向に第１の移動部材を付勢する第１の弾性部材と、枠体と第２の移動部材の間に設けられ、枠体から離れる方向に第２の移動部材を付勢する第２の弾性部材と、第１の移動部材に設けられ、被搬送物を把持する第１の把持部と、第２の移動部材に設けられ、第１の把持部と対向するように被搬送物を把持する第２の把持部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る搬送治具によれば、対向して配置された第１及び第２の移動部材がそれぞれ枠体から離れる方向に付勢されることにより、板状の被搬送物は第１及び第２の把持部により両側に引っ張られた状態で把持され、板状の被搬送物に撓みが生じることを抑制することができる。また、この搬送治具によれば、両側に引っ張るように被搬送物を把持することで、各把持部に把持された部位に曲げ応力が集中することを低減でき、応力集中による破損の発生も抑えることができる。しかも、この搬送治具によれば、ベースとなる枠体を備えているので、枠体を支持又は保持することにより被搬送物を容易に取り扱うことができる。これにより、搬送治具に被搬送物を取り付けたまま、各種の処理装置（例えば複数の成膜装置）間を移動して工程を進めることができ、装置ごとに搬送治具を交換して被搬送物の取り付け及び取り外しを行う場合と比べて、処理時間を大幅に短縮することができる。
【０００８】
また、本発明に係る搬送治具において、第１の把持部は、第１の移動部材に沿って複数設けられており、第２の把持部は、第２の移動部材に沿って複数設けられていてもよい。
この搬送治具によれば、各移動部材に複数の把持部が設けられているので、一つの移動部材に一つの把持部のみが設けられている場合と比べて、構成を簡素化することができる。しかも、この構成によれば、把持部の数に対して移動部材の数を少なくすることができる上、移動部材の数と共に弾性部材の数も減らすことが可能なため、搬送治具の低コスト化に非常に有利である。
【０００９】
また、本発明に係る搬送治具において、枠体の外周には、第１の移動部材を進退方向に案内する第１のガイド部材と、第２の移動部材を進退方向に案内する第２のガイド部材と、が設けられており、第１のガイド部材及び第２のガイド部材には、それぞれ第１の移動部材又は第２の移動部材の脱落を防止する抜け止め部が形成されていてもよい。
この搬送治具によれば、ガイド部材により各移動部材の進退方向の移動を高い精度で案内させることができるので、第１の把持部と第２の把持部における被搬送物の引っ張り方向を精度良く一致させることができ、より安定性の高い被搬送物の保持を実現することができる。しかも、この搬送治具によれば、ガイド部材に抜け止め部が形成されているので、搬送治具の扱い中に移動部材がガイド部材から脱落することが防止でき、搬送治具を一層取り扱いやすくすることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る搬送治具によれば、被搬送物の撓みを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態に係る搬送治具を示す平面図である。
【図２】本実施形態に係る搬送治具を示す側面図である。
【図３】第１の移動部材を示す拡大平面図である。
【図４】第１の移動部材を示す斜視図である。
【図５】開放状態の第１の把持部を説明するための斜視図である。
【図６】退避位置の第１の移動部材を示す拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
図１及び図２に示す搬送治具１は、被搬送物である基板Ｓの搬送に用いられる治具である。搬送治具１は、例えば基板Ｓの下面に膜を形成する成膜処理において利用される。基板Ｓとしては、例えばガラス基板やプラスチック基板が挙げられる。特に、撓みが生じやすい薄厚の基板に対して搬送治具１は有用である。
【００１４】
搬送治具１は、長方形状の枠体２と、枠体２を挟むように配置された第１の移動部材３及び第２の移動部材４と、移動部材３，４にそれぞれ設けられた第１の把持部５及び第２の把持部６と、第１の移動部材３と枠体２の間に設けられた第１の弾性部材７と、第２の移動部材４と枠体２の間に設けられた第２の弾性部材８と、を備えている。
【００１５】
枠体２は、搬送治具１のベースとなる部材である。枠体２は、一対の短辺２ａ、２ｂと一対の長辺２ｃ，２ｄを有する長方形状をなしている。枠体２は、基板Ｓを保持するために十分な剛性を備えていれば素材は限定されず、ステンレスやアルミなどの金属や樹脂の何れであってもよい。搬送治具１では、この枠体２が搬送ローラなどの搬送装置に支持された状態で搬送が行われる。短辺２ａ、２ｂの外側には、搬送装置側に支持又は係止するための凸部２ｅ，２ｆが形成されている。
【００１６】
枠体２の外側には、第１の移動部材３及び第２の移動部材４がそれぞれ配置されている。第１の移動部材３及び第２の移動部材４は、枠体２の外周に沿って延在する棒状の部材である。第１の移動部材３及び第２の移動部材４は、枠体２を挟んで対向するように設けられている。
【００１７】
以下、第１の移動部材３及びその周囲の部材について詳細に説明する。図１に示されるように、第１の移動部材３は、枠体２の長辺２ｃに沿って延在するように配置されており、枠体２の長手方向（すなわち長辺２ｃの延在方向）に並んで二つ配置されている。これらの第１の移動部材３は、枠体２に対して進退可能（矢印Ａの方向に往復可能）に構成されている。
【００１８】
ここで、図３は、第１の移動部材３を示す拡大平面図であり、図４は、第１の移動部材３を示す斜視図である。図３及び図４に示されるように、第１の移動部材３は、枠体２の外周に設けられた第１のガイド部材１０によって支持されている。第１のガイド部材１０は、枠体２の長辺２ｃから枠体２の短手方向（長手方向に直交する方向、矢印Ａの方向）に突出する棒状の部材である。
【００１９】
第１の移動部材３は、四本の第１のガイド部材１０によって支持している。これらの第１のガイド部材１０の先端側は、第１の移動部材３を貫いて外側へ突出しており、第１の移動部材３は第１のガイド部材１０に沿って移動可能とされている。すなわち、第１の移動部材３は、枠体２に対して矢印Ａの方向に進退可能に支持されている。第１のガイド部材１０は、第１の移動部材３を支持すると共に、第１の移動部材３の移動を矢印Ａの方向に案内している。
【００２０】
また、第１のガイド部材１０の先端には、抜け止め部１０ａが形成されている。抜け止め部１０ａは、第１の移動部材３に形成された貫通孔（第１のガイド部材１０が通り抜ける貫通孔）より大きな径を有する部位である。この抜け止め部１０ａにより、第１の移動部材３が第１のガイド部材１０の先端から脱落することが防止される。
【００２１】
第１の移動部材３と枠体２の間には、第１の弾性部材７が設けられている。第１の弾性部材７は、第１の移動部材３を枠体２から離れる方向に付勢するための部材である。第１の弾性部材７としては、適切な弾性を有するものであれば特に限定されない。第１の弾性部材７としては、例えばコイルバネや板バネ、ゴムその他の弾性体を用いることができる。
【００２２】
第１の弾性部材７は、矢印Ａ方向に延在しており、その一端は枠体２の長辺２ｃに固定されている。第１の弾性部材７の他端は、第１の伸び量規制部材１２の可動部１２Ａに接続されている。第１の伸び量規制部材１２は、第１の弾性部材７の伸び量を所定の範囲内に規制するための部材である。第１の伸び量規制部材１２は、第１の弾性部材７に固定された可動部１２Ａと、枠体２の長辺２ｃに固定された固定部１２Ｂと、を有している。
【００２３】
可動部１２Ａは、第１の弾性部材７の他端を中心として左右両側（枠体２の長手方向における両側）に延びる板状の部材である。可動部１２Ａは、第１の弾性部材７の伸縮により移動する。可動部１２Ａの両端には、枠体２側に近づく段差部が形成されている。
【００２４】
固定部１２Ｂは、可動部１２Ａを両側から挟むように門型に設けられた一対の板部材である。固定部１２Ｂの基端側は、枠体２の長辺２ｃに固定されており、固定部１２Ｂの先端側は、可動部１２Ａの外側に被さるように折り曲げられている。
【００２５】
第１の伸び量規制部材１２では、第１の弾性部材７が伸びることで可動部１２Ａが外側（第１の移動部材３側）に移動すると、可動部１２Ａの両端の段差部が固定部１２Ｂの先端に当たることで可動部１２Ａの移動が制限され、これにより第１の弾性部材７の伸び量が規制される。この搬送治具１では、第１の伸び量規制部材１２により第１の弾性部材７の伸び量を所定の範囲に規制することで、基板Ｓの取り付け又は取り外しにおいて第１の移動部材３を枠体２から離して退避させたとしても、第１の弾性部材７が追従して伸びる必要がなくなる（図６参照）。このため、第１の弾性部材７を伸び量の少ない安価なものとすることができ、搬送治具の低コスト化に有利である。また、第１の弾性部材７の伸び量を小さくすることにより、第１の弾性部材７の長寿命化すなわちメンテナンスコストの低減も図られる。更に、バネ定数が高い部材を選んで強制力を高くすることが可能となる。
【００２６】
第１の伸び量規制部材１２の可動部１２Ａの外側には、第１の弾性部材７の延長線上に位置する第１の当接部１４が設けられている。この第１の当接部１４が第１の移動部材３に対して突き当てられることで、第１の弾性部材７の弾性力（付勢力）が第１の移動部材３に伝達され、第１の移動部材３が枠体２から離れる方向に付勢される。第１の当接部１４としては、例えば樹脂製のものを用いることができる。
【００２７】
また、第１の移動部材３には、基板Ｓを把持するための第１の把持部５が四つずつ設けられている。ここで、図５は開放状態の第１の把持部５を説明するための斜視図である。図４及び図５に示されるように、第１の把持部５は、第１の移動部材３上で開閉可能な可動部５ａと、第１の移動部材３に対して固定された固定部５ｂと、を備えている。第１の把持部５は、可動部５ａと固定部５ｂとの間で基板Ｓを挟み込むことにより基板Ｓを把持する。
【００２８】
図６は、退避位置の第１の移動部材３を示す拡大平面図である。図６に示されるように、第１の把持部５を図５に示す開放状態とし、かつ、第１の移動部材３を枠体２から離れた退避位置に移動させることで、第１の把持部５などに干渉することなく基板Ｓの取り付けや取り外しを行うことができる。
【００２９】
図６に示す退避位置では、第１の移動部材３の外側面が第１のガイド部材１０の抜け止め部１０ａに突き当たった状態となり、第１の移動部材３と第１の当接部１４の間に隙間Ｎが形成される。このとき、第１の弾性部材７は、第１の伸び量規制部材１２によって伸び量が規制された状態となる。なお、図６に示す退避位置は一例であり、枠体２から更に離れた位置まで退避してもよい。また、第１の移動部材３の移動や第１の把持部５の開閉については、手動で可能としてもよいが、専用の電動器具を用いる構成としてもよい。
【００３０】
次に、第２の移動部材４及びその周囲の部材について説明する。第２の移動部材４は、枠体２を中心として第１の移動部材３と略対称な構成を有している。同様に、第２の把持部６、第２の弾性部材８、第２のガイド部材１１、第２の伸び量規制部材１３、及び第２の当接部１５は、それぞれ第１の把持部５、第１の弾性部材７、第１のガイド部材１０、第１の伸び量規制部材１２、及び第１の当接部１４と略対称な構成を有している。
【００３１】
図１に示されるように、第２の移動部材４は、枠体２の長辺２ｄに沿って延在するように配置されており、枠体２の長手方向に並んで二つ配置されている。いずれの第２の移動部材４も枠体２の短手方向で第１の移動部材３と対向するように配置されている。
【００３２】
これらの第２の移動部材４は、四本の第２のガイド部材１１によってそれぞれ支持されている。枠体２の長辺２ｄから外側へ突出する第２のガイド部材１１は、第２の移動部材４の移動を進退方向（図３の矢印Ａの方向に相当）に案内する役割を有している。また、第２のガイド部材１１の先端には、抜け止め部１１ａが形成されている。
【００３３】
第２の移動部材４と枠体２の間には、第２の弾性部材８が設けられている。第２の弾性部材８は、第２の移動部材４を枠体２から離れる方向に付勢するための部材である。この第２の弾性部材８の伸び量は、第２の伸び量規制部材１３によって所定の範囲内に規制されている。第２の伸び量規制部材１３の外側には、第２の弾性部材８の延長線上に位置する第２の当接部１５が設けられている。この第２の当接部１５が第２の移動部材４に対して突き当てられることで、第２の弾性部材８の弾性力が第２の移動部材４に伝達され、第２の移動部材４が枠体２から離れる方向に付勢される。
【００３４】
また、第２の移動部材４には、基板Ｓを把持するための第２の把持部６が四つずつ設けられている。これらの第２の把持部６において、基板Ｓを挟み込むことにより基板Ｓが把持される。
【００３５】
以上説明した本実施形態に係る搬送治具１によれば、第１の移動部材３及び第２の移動部材４がそれぞれ枠体２から離れる方向に付勢されることにより、基板Ｓが第１の把持部５及び第２の把持部６によって両側に引っ張られた状態で把持されるので、基板Ｓに撓みが生じることを抑制することができる。このため、例えば、基板Ｓの成膜面にマスクを被せる場合など、基板Ｓに対するマスクの位置合わせが容易になり、アライメント精度を向上させることができる。このことは、基板Ｓとマスクの位置合わせに掛かる作業時間の短縮にも繋がる。
【００３６】
また、この搬送治具１によれば、両側に引っ張るように基板Ｓを把持することで、第１及び第２の把持部５，６に把持された部位の曲げ応力の集中が低減することができ、応力集中による破損の発生も抑えることができる。しかも、この搬送治具１によれば、ベースとなる枠体２を有しているので、搬送ローラなどの搬送装置が枠体２を支持又は保持することにより、搬送治具１ごと基板Ｓを容易に取り扱うことができる。これにより、搬送治具１に基板Ｓを取り付けたまま、各種の処理装置（例えば複数の成膜装置）間を移動して工程を進めることができ、装置ごとに搬送治具を交換する場合と比べて、処理時間を大幅に短縮することができる。
【００３７】
また、この搬送治具１によれば、移動部材３，４のそれぞれに複数の把持部５，６が設けられているので、一つの移動部材に一つの把持部のみが設けられている場合と比べて、構成を簡素化することができる。しかも、この構成によれば、把持部の数に対して移動部材の数を少なくすることができる上、移動部材の数と共に弾性部材の数も減らすことが可能なため、搬送治具の低コスト化に非常に有利である。
【００３８】
また、この搬送治具１によれば、ガイド部材１０，１１により各移動部材３，４の進退方向の移動を高い精度で案内させることができるので、第１の把持部５と第２の把持部６における基板Ｓの引っ張り方向を精度良く一致させることができ、より安定性の高い基板Ｓの保持を実現することができる。しかも、この搬送治具１によれば、ガイド部材１０，１１に抜け止め部１０ａ，１１ａが形成されているので、搬送治具１の扱い中に移動部材３，４がガイド部材１０，１１から脱落することが防止でき、搬送治具１を一層取り扱いやすくすることができる。
【００３９】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。
【００４０】
例えば、基板の引っ張り方向は、上述した短手方向に限られず、長手方向に引っ張る構成であってもよい。また、長方形状の枠体の四隅に把持部を設けて、対角線上に基板を引っ張る構成であってもよい。更に、把持部の数や把持構造、形状、大きさは、上述したものに限られない。
【００４１】
また、枠体の形状は、平面形状であれば良く、長方形状に限られない。枠体の形状は、正四角形や平行四辺形その他の多角形や曲線を含む形状であってもよい。枠体の形状は、被搬送物の形状に応じた適切な形が採用される。
【００４２】
更に、弾性部材の構成も上述したものに限られず、伸び量規制部材や当接部は必ずしも備える必要はない。また、ガイド部材の形状や数も上述したものに限られない。
【符号の説明】
【００４３】
１…搬送治具  ２…枠体  ２ｃ，２ｄ…長辺  ２ｅ，２ｆ…凸部  ３…第１の移動部材  ４…第２の移動部材  ５…第１の把持部  ５ａ…可動部  ５ｂ…固定部  ６…第２の把持部  ７…第１の弾性部材  ８…第２の弾性部材  １０…第１のガイド部材  １０ａ，１１ａ…抜け止め部  １１…第２のガイド部材  １２…第１の伸び量規制部材  １２Ａ…可動部  １２Ｂ…固定部  １３…第２の伸び量規制部材  １４…第１の当接部  １５…第２の当接部  Ｓ…基板（被搬送物）
【図１】
2015003813.tif 000003
【図２】
2015003813.tif 000004
【図３】
2015003813.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2015003813.tif 000008