(57)【要約】【課題】本発明は、圧電デバイスの端子がプローブの側面に接触しない測定治具を提供する。【解決手段】測定治具（１００）は、圧電デバイス（２００）の底面の下方に所定の長さ伸びる複数の端子（２１０）を有する圧電デバイスを固定し、圧電デバイスの特性を測定する測定治具である。また、測定治具は、周囲が枠部（１２０）で囲まれ、長辺及び短辺で囲まれる矩形形状に形成された底面（１２１）と、底面から突出して形成され、端子に電気的に接続される複数のプローブ（１１０）と、プローブが形成されていない領域で、底面から上方に突出して形成される台座（１３０）と、を有し、台座の高さをＤＺ、プローブの高さをＢＺ、圧電デバイスの底面から端子が圧電デバイスの底面から最も下方に離れた最下端までの長さをＬＰＺとするとき、ＤＺ≦ＬＰＺ＋ＢＺを満たし、台座が少なくとも底面の短辺側の両端を含んで形成される。【選択図】図１
2015032847.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電デバイスの底面の下方に所定の長さ伸びる複数の端子を有する圧電デバイスを固定し、前記圧電デバイスの特性を測定する測定治具であって、
周囲が枠部で囲まれ、長辺及び短辺で囲まれる矩形形状に形成された底面と、
前記底面から上方に突出して形成され、前記端子に電気的に接続される複数のプローブと、
前記プローブが形成されていない領域で、前記底面から上方に突出して形成される台座と、を有し、
前記台座の高さをＤＺ、前記プローブの高さをＢＺ、前記圧電デバイスの底面から前記端子が前記圧電デバイスの底面から最も前記下方に離れた最下端までの長さをＬＰＺとするとき、
ＤＺ≦ＬＰＺ＋ＢＺ
を満たし、前記台座が少なくとも前記底面の短辺側の両端を含んで形成される測定治具。
【請求項２】
前記枠部の高さをＦＺ、前記圧電デバイスの長辺方向の長さをＥＸ、短辺側に形成される前記端子と前記圧電デバイスの短辺側の端との間の長さをＥＸ’とするとき、
ＬＰＺ≦（（ＥＸ’・（ＦＺ−ＤＺ））−（ＥＸ・（ＢＺ−ＤＺ）））／√（ＥＸ２−（ＦＺ−ＤＺ）２）
を満たす請求項１に記載の測定治具。
【請求項３】
前記底面の前記長辺が伸びる方向の長さをＣＸ、前記圧電デバイスの長辺方向の長さをＥＸ、前記端子の前記長辺が伸びる方向への幅をＰＸ、前記プローブの前記長辺が伸びる方向への幅をＢＸとするとき、
ＣＸ≦ＥＸ＋ＰＸ＋ＢＸ
を満たす請求項１又は請求項２に記載の測定治具。
【請求項４】
圧電デバイスの底面の下方に所定の長さ伸びる複数の端子を有する圧電デバイスを固定し、前記圧電デバイスの特性を測定する測定治具であって、
周囲が枠部で囲まれ、長辺及び短辺で囲まれる矩形形状に形成された底面と、
前記底面から上方に突出して形成され、前記端子に電気的に接続される複数のプローブと、
前記プローブが形成されていない領域で、前記底面から上方に突出して形成される台座と、を有し、
前記台座の高さをＤＺ９、前記プローブの高さをＢＺ、前記圧電デバイスの底面から前記端子が前記圧電デバイスの底面から最も前記下方に離れた最下端までの長さをＬＰＺとするとき、
ＢＺ≦ＤＺ９≦ＢＺ＋ＬＰＺ
を満たし、さらに前記台座と前記プローブとの間の前記長辺が伸びる方向への幅をＪＸ、前記端子の前記長辺が伸びる方向への幅をＰＸとするとき、
ＰＸ＞ＪＸ
を満たし、前記台座が前記複数のプローブの前記長辺が伸びる方向の間に形成される測定治具。
【請求項５】
前記圧電デバイスを前記底面の上方に載置しようとした場合に、前記圧電デバイスが前記底面に対して傾いていた場合には前記プローブと前記端子とが接触せず、
前記圧電デバイスが前記底面に対して平行に載置しようとした場合に前記プローブと前記端子とが接触する請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の測定治具。
【請求項６】
所定の長さの複数の端子を有する圧電デバイスの周波数を測定する場合に前記圧電デバイスを固定する測定治具であって、
周囲が枠部で囲まれ、長辺及び短辺で囲まれる矩形形状に形成された底面と、
前記底面から上方に突出して形成され、前記端子に電気的に接続される複数のプローブと、
前記底面に形成される弾力性のある絶縁物と、を有し、
前記絶縁物の高さが前記プローブの高さ以上であり、前記プローブの高さと前記端子の前記圧電デバイスの底面から最下端までの長さとの合計した高さ以下である測定治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電デバイスの周波数を測定する場合に圧電デバイスを固定する測定治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定の周波数で発振する圧電デバイスが知られている。このような圧電デバイスは、製造後に周波数及び出力の波形を確認するための測定が測定治具に固定されて行われる。測定治具には測定治具の表面から突き出るようにプローブが形成されており、これらのプローブの先端が圧電デバイスの端子に接触して互いに導通することにより測定が行われる。
【０００３】
一方、圧電デバイスでは、プリント基板上の配線パターンとハンダと面電極との間の熱膨張係数の違いに起因して、経年的にハンダ部分にクラック等の歪みが発生し易い問題があった。そのため、例えば特許文献１では、経時的に精度が求められる表面実装型の圧電デバイスの端子として、パッケージ本体の内部側から外側に引き出されたＪリードを形成する旨を示している。Ｊリードは横から見た形状が、アルファベット“Ｊ”の文字に似ている端子である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３１１３８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、このようなＪリードは圧電デバイスの底面の下方に長く形成されるため、圧電デバイスを測定治具に載置する場合にＪリードがプローブの側面に接触し、プローブの側面に力がかかってプローブ及び圧電デバイスのＪリードを曲げてしまうという問題があった。
【０００６】
そこで本発明は、圧電デバイスの端子がプローブの側面に接触しない測定治具を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１観点の測定治具は、圧電デバイスの底面の下方に所定の長さ伸びる複数の端子を有する圧電デバイスを固定し、圧電デバイスの特性を測定する測定治具である。また、測定治具は、周囲が枠部で囲まれ、長辺及び短辺で囲まれる矩形形状に形成された底面と、底面から突出して形成され、端子に電気的に接続される複数のプローブと、プローブが形成されていない領域で、底面から上方に突出して形成される台座と、を有し、台座の高さをＤＺ、プローブの高さをＢＺ、圧電デバイスの底面から端子が圧電デバイスの底面から最も下方に離れた最下端までの長さをＬＰＺとするとき、
ＤＺ≦ＬＰＺ＋ＢＺ
を満たし、台座が少なくとも底面の短辺側の両端を含んで形成される。
【０００８】
第２観点の測定治具は、第１観点において、枠部の高さをＦＺ、圧電デバイスの長辺方向の長さをＥＸ、短辺側に形成される端子と圧電デバイスの短辺側の端との間の長さをＥＸ’とするとき、
ＬＰＺ≦（（ＥＸ’・（ＦＺ−ＤＺ））−（ＥＸ・（ＢＺ−ＤＺ）））／√（ＥＸ２−（ＦＺ−ＤＺ）２）
を満たす。
【０００９】
第３観点の測定治具は、第１観点及び第２観点において、底面の長辺が伸びる方向の長さをＣＸ、圧電デバイスの長辺方向の長さをＥＸ、端子の長辺が伸びる方向への幅をＰＸ、プローブの長辺が伸びる方向への幅をＢＸとするとき、
ＣＸ≦ＥＸ＋ＰＸ＋ＢＸ
を満たす。
【００１０】
第４観点の測定治具は、圧電デバイスの底面の下方に所定の長さ伸びる複数の端子を有する圧電デバイスを固定し、圧電デバイスの特性を測定する測定治具である。また、測定治具は、周囲が枠部で囲まれ、長辺及び短辺で囲まれる矩形形状に形成された底面と、底面から上方に突出して形成され、端子に電気的に接続される複数のプローブと、プローブが形成されていない領域で、底面から上方に突出して形成される台座と、を有し、台座の高さをＤＺ９、プローブの高さをＢＺ、圧電デバイスの底面から端子が圧電デバイスの底面から最も下方に離れた最下端までの長さをＬＰＺとするとき、
ＢＺ≦ＤＺ９≦ＢＺ＋ＬＰＺ
を満たし、さらに台座とプローブとの間の長辺が伸びる方向への幅をＪＸ、端子の長辺が伸びる方向への幅をＰＸとするとき、
ＰＸ＞ＪＸ
を満たし、台座が複数のプローブの長辺が伸びる方向の間に形成される。
【００１１】
第５観点の測定治具は、第１観点から第４観点において、圧電デバイスを底面の上方に載置しようとした場合に、圧電デバイスが底面に対して傾いていた場合にはプローブと端子とが接触せず、圧電デバイスが底面に対して平行に載置しようとした場合にプローブと端子とが接触する。
【００１２】
第６観点の測定治具は、圧電デバイスの底面の下方に所定の長さ伸びる複数の端子を有する圧電デバイスを固定し、圧電デバイスの特性を測定する測定治具である。また、測定治具は、周囲が枠部で囲まれ、長辺及び短辺で囲まれる矩形形状に形成された底面と、底面から上方に突出して形成され、端子に電気的に接続される複数のプローブと、底面に形成される弾力性のある絶縁物と、を有し、絶縁物の高さがプローブの高さ以上であり、プローブの高さと圧電デバイスの底面から端子が圧電デバイスの底面から最も下方に離れた最下端までの長さとの合計した高さ以下である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、圧電デバイスの端子がプローブの側面に接触しない測定治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】（ａ）は、測定治具１００及び圧電デバイス２００の概略斜視図である。  （ｂ）は、圧電デバイス２００の側面図である。
【図２】（ａ）は、圧電デバイス２００が載置された載置部１００ａの概略部分断面図である。  （ｂ）は、図２（ａ）の点線１６１の拡大図である。
【図３】（ａ）は、圧電デバイス２００が載置された載置部１００ａ’の概略部分断面図である。  （ｂ）は、図３（ａ）の点線１６２の拡大図である。
【図４】（ａ）は、圧電デバイス２００’が載置された載置部１００ａの概略部分断面図である。  （ｂ）は、図４（ａ）の点線１６３の拡大図である。
【図５】（ａ）は、載置部３００ａの部分平面図である。  （ｂ）は、載置部４００ａの部分平面図である。  （ｃ）は、載置部５００ａの部分平面図である。  （ｄ）は、載置部６００ａの部分平面図である。  （ｅ）は、載置部７００ａの部分平面図である。  （ｆ）は、載置部８００ａの部分平面図である。
【図６】（ａ）は、載置部９００ａの部分平面図である。  （ｂ）は、圧電デバイス２００が載置されようとしている載置部９００ａの概略断面図である。  （ｃ）は、載置部１０００ａの部分平面図である。
【図７】（ａ）は、載置部１１００ａの概略平面図である。  （ｂ）は、図７（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。  （ｃ）は、図７（ｂ）で圧電デバイス２００が載置された状態が示されている。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１６】
（第１実施形態）
＜測定治具１００の構成＞
図１（ａ）は、測定治具１００及び圧電デバイス２００の概略斜視図である。圧電デバイス２００は、所定の周波数を出力し、直方体の外形を有し、底面には４本の端子２１０が形成されている。測定治具１００は、矩形状の平面を有し圧電デバイス２００が載置される載置部１００ａと、載置部１００ａに圧電デバイス２００が載置された後に載置部１００ａに被せられ圧電デバイス２００が動かないように抑える抑え部１００ｂと、載置部１００ａ及び抑え部１００ｂを互いに開閉するように連結する蝶番部１００ｃと、を含んで構成される。以下の説明では、載置部１００ａの長辺が伸びる方向をＸ軸方向、短辺が伸びる方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向とする。
【００１７】
載置部１００ａの＋Ｚ軸側の面には、圧電デバイス２００が載置部１００ａに載置された場合に圧電デバイス２００をＸＹ平面内で動かないように保持する枠部１２０が形成されている。これにより、載置部１００ａの＋Ｚ軸側の面には枠部１２０で囲まれて矩形形状に底面１２１が形成される。底面１２１の＋Ｚ軸方向である上方には圧電デバイス２００が載置される。また、底面１２１には圧電デバイス２００の端子２１０に対応するように、底面１２１から＋Ｚ軸方向に突出するプローブ１１０が形成されている。プローブ１１０は圧電デバイス２００の各端子２１０に接触して電気的に接続される。圧電デバイス２００が載置部１００ａに載置される場合には、プローブ１１０上に端子２１０が載せられて、圧電デバイス２００と底面１２１とは接触しない。また、各プローブ１１０はバネを内包しても良く、圧電デバイス２００が載置された場合に各端子２１０を押し返すように形成することで圧電デバイス２００の各端子２１０との接触をより確実にすることができる。さらに、底面１２１のプローブ１１０が形成されていない領域には枠部１２０の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の辺に沿って＋Ｚ軸側に突出するように台座１３０が形成されている。
【００１８】
図１（ｂ）は、圧電デバイス２００の側面図である。圧電デバイス２００は、パッケージ２２０内に所定の周波数で振動する圧電振動片（不図示）が載置され、リッド板２３０でパッケージ２２０内が密封されている。また、パッケージ２２０内からパッケージ２２０の外側へパッケージ２２０の側面を貫通して端子２１０が形成されている。端子２１０は横から見た形状がアルファベット“Ｊ”の文字に似ている端子であり、圧電デバイス２００の底面から−Ｚ軸方向である下方に長く形成されている。端子２１０は、パッケージ２２０の−Ｚ軸側の面である底面から−Ｚ軸方向に長さＬＰＺに形成され、圧電デバイス２００の＋Ｙ軸側に形成される端子２１０の−Ｚ軸側の点と、圧電デバイス２００の−Ｙ軸側に形成される端子２１０の−Ｚ軸側の点との間のＹ軸方向への間隔が長さＰＹになるように形成されている。また、以下の説明では、図１（ｂ）において、端子２１０の最も−Ｚ軸側の位置を端子２１０の最下端とする。
【００１９】
図２（ａ）は、圧電デバイス２００が載置された載置部１００ａの概略部分断面図である。図２（ａ）に示される載置部１００ａは図１（ａ）のＡ−Ａ断面を含んでおり、載置部１００ａの底面１２１には圧電デバイス２００が載置されている。また、圧電デバイス２００は、端子２１０とプローブ１１０とが互いにＺ軸方向に重なるように底面１２１に載置される。枠部１２０は、底面１２１から高さＦＺに形成されている。
【００２０】
底面１２１はＸ軸方向に長さＣＸに形成され、圧電デバイス２００はＸ軸方向に長さＥＸに形成され、圧電デバイス２００が底面１２１の上方に載置された場合の圧電デバイス２００と枠部１２０との間のＸ軸方向のすき間は幅ＧＸに形成される。このとき、長さＣＸ、長さＥＸ、及び幅ＧＸの関係は、以下の式（１）で表される。
ＣＸ＝ＥＸ＋２ＧＸ・・・・・・（１）
【００２１】
図２（ｂ）は、図２（ａ）の点線１６１の拡大図である。台座１３０が高さＤＺに形成され、プローブ１１０が底面１２１から高さＢＺだけ＋Ｚ軸方向に伸びているとすると、高さＤＺは長さＬＰＺと高さＢＺとの合計よりも低くなるように形成される。そのため、以下の式（２）が成り立つ。
ＤＺ≦ＬＰＺ＋ＢＺ・・・・・・（２）
【００２２】
一方、端子２１０がプローブ１１０上から外れないようにするため、幅ＧＸが端子２１０のＸ軸方向の幅ＰＸの半分の値とプローブ１１０のＸ軸方向の幅ＢＸの半分の値との合計値よりも小さくなるように形成されることが望ましい。これは、以下の式（３）で示される。
ＧＸ≦（ＰＸ／２）＋（ＢＸ／２）・・・・・（３）
また、式（１）及び式（３）から、以下の式（４）が導かれる。
ＣＸ≦ＥＸ＋ＰＸ＋ＢＸ・・・・・（４）
【００２３】
＜台座１３０の効果について＞
台座１３０が形成されていない従来の測定治具では、圧電デバイスを図２（ａ）の状態に載置する過程で端子２１０とプローブ１１０とが互いの側面で接触し、プローブ１１０の側面に力がかかってプローブ１１０が破損する場合があった。以下に従来の測定治具の問題点を説明し、その後、台座１３０の効果について説明する。また、以下の説明では、測定装置１００と同様の部分に関しては測定装置１００と同様の符号を用いてその詳細な説明を省略する。
【００２４】
図３（ａ）は、圧電デバイス２００が載置された載置部１００ａ’の概略部分断面図である。従来の測定治具１００’は載置部１００ａ’を有しており、台座１３０が形成されていない以外は測定装置１００と同様に形成されている。図３（ａ）では、底面１２１の＋Ｘ軸側の端と、圧電デバイス２００の−Ｘ軸側の端及び底面１２１の接触点との間のＸ軸方向の距離を長さＣＸ’、圧電デバイス２００の−Ｘ軸側に形成されている端子２１０の−Ｘ軸側側面と圧電デバイス２００の−Ｘ軸側の端との間の距離を長さＥＸ’としている。
【００２５】
載置部１００ａ’に圧電デバイス２００を載置する場合には、圧電デバイス２００を水平に保ったまま底面１２１の上方に載置することが望ましいが、図３（ａ）に示されるように圧電デバイス２００が傾いた状態で載置されようとする場合がある。このとき、図３（ａ）に示されるように、端子２１０の−Ｘ軸側側面とプローブ１１０の＋Ｘ軸側側面とが接触し、プローブ１１０の側面に端子２１０から力が加わってプローブ１１０が破損する場合があった。
【００２６】
以下の説明では、−Ｘ軸側の端子２１０の−Ｘ軸側の端がプローブ１１０の＋Ｘ軸側の端に接触し、圧電デバイス２００の底面の＋Ｘ軸側の端が枠部１２０上に引っかかり、−Ｘ軸側の端が底面１２１に接触した状態となる場合における計算式を導く。また、この場合に、端子２１０がパッケージ２２０の−Ｚ軸側の面である底面から端子２１０の−Ｚ軸方向に長さＰＺに計算されるとして説明する。すなわち、長さＬＰＺは長さＰＺよりも長い。
【００２７】
図３（ｂ）は、図３（ａ）の点線１６２の拡大図である。−Ｘ軸側に形成されている端子２１０の−Ｘ軸側の側面と圧電デバイス２００の底面との交点及びプローブ１１０の＋Ｚ軸側の先端の間のＺ軸方向の距離を長さＰＺ’とし、底面１２１と圧電デバイス２００の底面との間の角度を角度θとすると、以下の式（５）が成り立つ。
ｓｉｎθ＝（ＰＺ’＋ＢＺ）／ＥＸ’・・・・・（５）
また、ｓｉｎθは図３（ａ）を参照すると以下の式（６）のように表すことができる。
ｓｉｎθ＝ＦＺ／ＥＸ・・・・・・・・・（６）
さらに、式（５）及び式（６）より、以下の式（７）が成り立つ。
ＰＺ’＝（ＥＸ’・ＦＺ／ＥＸ）−ＢＺ・・・・・（７）
【００２８】
同様に、ｃｏｓθについて以下の式（８）及び式（９）が成り立つ。
ｃｏｓθ＝ＰＺ’／ＰＺ・・・・・（８）
ｃｏｓθ＝ＣＸ’／ＥＸ・・・・・（９）
式（６）及び式（９）より、以下の式（１０）が導かれる。
ＣＸ’＝√（ＥＸ２−ＦＺ２）・・・・・（１０）
【００２９】
また、ＰＺ’がＰＺｃｏｓθ以上であるとき端子２１０とプローブ１１０との互いの側面が接触せず、このとき以下の式（１１）が成り立つ。
ＰＺ’≧ＰＺｃｏｓθ・・・・・（１１）
式（１１）の左辺に式（７）を当てはめ、右辺に式（９）及び式（１０）を当てはめて整理すると以下の式（１２）になる。
ＰＺ≦（（ＥＸ’・ＦＺ）−（ＢＺ・ＥＸ））／√（ＥＸ２−ＦＺ２）・・・・・（１２）
【００３０】
従来の測定治具１００’において端子２１０とプローブ１１０との側面が互いに接触しないようにするためには、式（１２）を満たす必要があった。そのため、Ｊリードのように長さＰＺが長い圧電デバイス２００に対応させるには、長さＦＺを大きくする、又は、長さＢＺを小さくするなどして対応する必要があった。しかし、高さＦＺを大きくすると圧電デバイス２００の底面１２１の上方への載置が困難になり、高さＢＺを小さくすることには限界があった。
【００３１】
一方、測定治具１００では、図４（ａ）において圧電デバイス２００の−Ｘ軸側の端が、台座１３０が形成されることにより＋Ｚ軸方向に持ち上がるため、端子２１０の長さが長さＬＰＺである圧電デバイス２００が傾いても端子２１０とプローブ１１０とが互いに接触しない。そのため、枠部１２０の高さＦＺをさらに高くする等せずに対応することが可能であり、圧電デバイス２００の底面１２１の上方への載置を容易にすることができる。
【００３２】
図４（ａ）は、圧電デバイス２００が載置された載置部１００ａの概略部分断面図である。底面１２１の＋Ｘ軸側の端と、圧電デバイス２００の−Ｘ軸側の端及び台座１３０の接触点との間のＸ軸方向の距離を長さＬＣＸ’とする。図４（ａ）は、−Ｘ軸側の端子２１０の−Ｘ軸側の端がプローブ１１０の＋Ｘ軸側の端に接触しており、圧電デバイス２００の底面の＋Ｘ軸側の端が枠部１２０上に引っかかり、−Ｘ軸側の端が台座１３０上に乗った状態である。
【００３３】
図４（ｂ）は、図４（ａ）の点線１６３の拡大図である。−Ｘ軸側に形成されている端子２１０の−Ｘ軸側の側面と圧電デバイス２００の底面との交点及びプローブ１１０の＋Ｚ軸側の先端の間のＺ軸方向の距離を長さＬＰＺ’とし、圧電デバイス２００の底面と台座１３０の＋Ｚ軸側の面とが成す角度を角度θ’とする。このとき、式（５）及び式（６）と同様の方法でｓｉｎθ’を求めると、以下の式（１３）及び式（１４）が導かれる。
ｓｉｎθ’＝（ＬＰＺ’＋ＢＺ−ＤＺ）／ＥＸ’・・・・・（１３）
ｓｉｎθ’＝（ＦＺ−ＤＺ）／ＥＸ・・・・・・・・・（１４）
さらに、式（１３）及び式（１４）から以下の式（１５）が導かれる。
ＬＰＺ’＝（ＥＸ’（ＦＺ−ＤＺ）／ＥＸ）−ＢＺ＋ＤＺ・・・・・（１５）
【００３４】
また、式（８）及び式（９）と同様の方法により、ｃｏｓθ’に関して以下の式（１６）及び式（１７）が導かれる。
ｃｏｓθ’＝ＬＰＺ’／ＬＺＰ・・・・・（１６）
ｃｏｓθ’＝ＬＣＸ’／ＥＸ・・・・・（１７）
式（１４）及び式（１７）より、以下の式（１８）が導かれる。
ＬＣＸ’＝√（ＥＸ２−（ＦＺ−ＤＺ）２）・・・・・（１８）
【００３５】
また、ＬＰＺ’がＬＰＺｃｏｓθ’以上であるとき、端子２１０’とプローブ１１０との互いの側面が接触しないため、以下の式（１９）が成り立つ。
ＬＰＺ’≧ＬＰＺｃｏｓθ’・・・・・（１９）
式（１９）の左辺に式（１５）を当てはめ、右辺に式（１７）及び式（１８）を当てはめて整理すると以下の式（２０）になる。
ＬＰＺ≦（（ＥＸ’・（ＦＺ−ＤＺ））−（ＥＸ・（ＢＺ−ＤＺ）））／√（ＥＸ２−（ＦＺ−ＤＺ）２）・・・・・（２０）
【００３６】
式（２０）からは、高さＤＺが大きくなった場合、高さＦＺが大きくなった場合、又は高さＢＺが小さくなった場合に、右辺の分母が大きくなり分子が小さくなるため、長さＬＰＺが許容できる長さを長くできることが分かる。すなわち、式（２０）は高さＤＺが０の場合に式（１２）と同様であり、台座１３０を形成し式（２０）を満たすように高さＤＺを高くすることにより、端子２１０とプローブ１１０との側面が互いに接触しないように対応できることが分かる。
【００３７】
（第２実施形態）
台座が底面１２１の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の両端に形成される場合には、第１実施形態に示されるように圧電デバイスが傾いた状態で底面１２１の上方に載置されようとする場合でも圧電デバイスの端子がプローブ１１０の側面に接触しないようにすることができる。以下に、第１実施形態で示された台座１３０の変形例を示す。また、以下の実施形態では、第１実施形態と同様の部分に関しては第１実施形態と同様の符号を付してその説明を省略する。
【００３８】
＜載置部３００ａの構成＞
図５（ａ）は、載置部３００ａの部分平面図である。載置部３００ａは載置部１００ａの台座１３０を台座３３０に換えることにより形成された載置部である。すなわち、台座３３０以外の構成は載置部１００ａと同様である。載置部３００ａでは、プローブ１１０及びその周囲を除いた底面１２１の全ての領域に台座３３０が形成されている。台座３３０は底面１２１の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の端を含んで形成されており、圧電デバイスの端子がプローブ１１０の側面に接触しないようにされている。
【００３９】
＜載置部４００ａの構成＞
図５（ｂ）は、載置部４００ａの部分平面図である。載置部４００ａは載置部１００ａの台座１３０を台座４３０に換えることにより形成された載置部である。載置部４００ａでは、プローブ１１０をＹ軸方向に繋ぐ線上及びその周囲を除いた底面１２１の全ての領域に台座３３０が形成されている。台座４３０は底面１２１の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の端を含んで形成されており、圧電デバイスの端子がプローブ１１０の側面に接触しないようにされている。
【００４０】
＜載置部５００ａの構成＞
図５（ｃ）は、載置部５００ａの部分平面図である。載置部５００ａは載置部１００ａの台座１３０を台座５３０に換えることにより形成された載置部である。載置部１００ａ（図１（ａ）参照）では、枠部１２０の内側において、枠部１２０の−Ｘ軸側及び＋Ｘ軸側の辺に沿って台座１３０が形成されていたが、台座５３０は枠部１２０の−Ｘ軸側及び＋Ｘ軸側の辺の中央付近のみに接し−Ｙ軸側及び＋Ｙ軸側の辺の周囲には形成されていない。台座５３０は底面１２１の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の端を含んで形成されており、圧電デバイスの端子がプローブ１１０の側面に接触しないようにされている。
【００４１】
＜載置部６００ａの構成＞
図５（ｄ）は、載置部６００ａの部分平面図である。載置部６００ａは載置部１００ａの台座１３０を台座６３０に換えることにより形成された載置部である。載置部６００ａでは、底面１２１の中央を含み、＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の端までＸ軸方向に伸びる台座６３０が形成されている。台座６３０は底面１２１の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の端を含んで形成されており、圧電デバイスの端子がプローブ１１０の側面に接触しないようにされている。
【００４２】
＜載置部７００ａの構成＞
図５（ｅ）は、載置部７００ａの部分平面図である。載置部７００ａは載置部１００ａの台座１３０を台座７３０に換えることにより形成された載置部である。載置部７００ａは載置部５００ａの台座５３０がさらにＹ軸方向に分割することにより形成されている。台座７３０は底面１２１の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の端を含んで形成されており、圧電デバイスの端子がプローブ１１０の側面に接触しないようにされている。
【００４３】
＜載置部８００ａの構成＞
図５（ｆ）は、載置部８００ａの部分平面図である。載置部８００ａは載置部１００ａの台座１３０を台座８３０に換えることにより形成された載置部である。載置部８００ａは載置部６００ａの台座６３０がさらにＹ軸方向に分割することにより形成されている。台座８３０は底面１２１の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の端を含んで形成されており、圧電デバイスの端子がプローブ１１０の側面に接触しないようにされている。
【００４４】
（第３実施形態）
第１実施形態及び第２実施形態では、台座が底面１２１の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の辺に接して形成されていたが、台座は−Ｘ軸側に形成されるプローブ１１０と＋Ｘ軸側に形成されるプローブ１１０とのＸ軸方向の間に形成されていても良い。以下にこのような載置部の例を示す。また、以下の実施形態では、第１実施形態又は第２実施形態と同様の部分に関しては第１実施形態又は第２実施形態と同様の符号を付してその説明を省略する。
【００４５】
＜載置部９００ａの構成＞
図６（ａ）は、載置部９００ａの部分平面図である。載置部９００ａでは、底面１２１に台座９３０が形成されている。台座９３０は、枠部１２０の＋Ｙ軸側及び−Ｙ軸側の辺の中央を互いに繋ぐように形成されている。また、台座９３０は−Ｘ軸側のプローブ１１０と＋Ｘ軸側のプローブ１１０との間に形成されており、−Ｘ軸側に形成されるプローブ１１０と台座９３０との間、及び＋Ｘ軸側に形成されるプローブ１１０と台座９３０との間の距離はそれぞれ長さＪＸに形成されている。
【００４６】
図６（ｂ）は、圧電デバイス２００が載置されようとしている載置部９００ａの概略断面図である。図６（ｂ）は図６（ａ）のＢ−Ｂ断面を含んでいる。台座９３０の高さＤＺ９はプローブ１１０の高さＢＺと端子２１０の高さＬＰＺとの合計よりも小さくなるように形成される。圧電デバイス２００を底面１２１の上方に載置したときに圧電デバイス２００の底面と台座９３０とが接触することによって端子２１０とプローブ１１０との導通が妨げられることを防ぐためである。また、台座９３０の高さＤＺ９はプローブ１１０の高さよりも高く形成される。端子２１０がプローブ１１０と台座９３０との間に入ることにより、端子２１０の−Ｘ軸側の側面がプローブ１１０の＋Ｘ軸側の側面に接触しないようにするためである。そのため、台座９３０の高さＤＺ９は以下の式（２１）を満たす。
ＢＺ≦ＤＺ９≦ＢＺ＋ＬＰＺ・・・・・（２１）
さらに、端子２１０はプローブ１１０と台座９３０との間に入らないように形成されるため、長さＪＸは端子２１０のＸ軸方向の幅ＰＸよりも小さくなり以下の式（２２）を満たす。
ＰＸ＞ＪＸ・・・・・（２２）
【００４７】
載置部９００ａでは、図６（ｂ）に示されるように、圧電デバイス２００を底面１２１の上方に載置する際に、台座９３０とプローブ１１０との間に端子２１０が入らないため、端子２１０の−Ｘ軸側の側面がプローブ１１０の＋Ｘ軸側の側面に接触することが防がれている。
【００４８】
＜載置部１０００ａの構成＞
図６（ｃ）は、載置部１０００ａの部分平面図である。載置部１０００ａでは、底面１２１に台座１０３０が形成されている。台座１０３０は、台座９３０の＋Ｙ軸側及び−Ｙ軸側の端が枠部１２０に接触されないように形成されている。そのため台座１０３０では、Ｙ軸方向の幅が幅ＤＹに形成される。幅ＤＹは圧電デバイス２００の端子２１０のＹ軸方向の幅ＰＹ（図１（ｂ）参照）よりも広く形成されている。そのため、端子２１０がプローブ１１０の側面に接触することが防がれている。
【００４９】
（第４実施形態）
載置部の底面１２１に弾力性のある絶縁物を配置することにより、プローブ１１０の破損及び圧電デバイスの破損が防がれても良い。以下に底面１２１に弾力性のある絶縁物が満たされるように形成された載置部１１００ａについて説明する。
【００５０】
図７（ａ）は、載置部１１００ａの概略平面図である。載置部１１００ａには、プローブ１１０及びその周囲を除いた全ての底面１２１に弾力性のある絶縁物１１３０が配置されている。プローブ１１０と絶縁物１１３０との間の幅は、圧電デバイス２００の端子２１０が入り込まないように、図６（ａ）と同様に幅ＪＸより小さい値に形成される。また、弾力性のある絶縁物１１３０には、例えば株式会社タイカ製の「αゲル」（登録商標）を使用することができる。
【００５１】
図７（ｂ）は、図７（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。絶縁物１１３０は高さＤＺ１１に形成されている。高さＤＺ１１は、端子２１０の長さＬＰＺとプローブ１１０の高さＢＺとの合計値と同じ高さに形成される。このとき、枠部１２０で囲まれた領域内の表面には、プローブ１１０周辺に絶縁物１１３０の孔が形成されることになる。この孔に圧電デバイス２００の端子２１０を差し込むことにより、圧電デバイス２００が傾いた状態で載置されることが防がれる。
【００５２】
図７（ｃ）は、図７（ｂ）で圧電デバイス２００が載置された状態が示されている。圧電デバイス２００が載置部１１００ａに載置された場合には、図７（ｃ）に示されるように、端子２１０とプローブ１１０とが接触する。さらに、抑え部１００ｂ（図１（ａ）参照）により圧電デバイス２００が抑えられた場合、絶縁物１１３０が圧電デバイス２００に押されて凹み、端子２１０とプローブ１１０とが互いに強く接触する。これにより、端子２１０とプローブ１１０との接触をより確実にすることができる。また、圧電デバイス２００は絶縁物１１３０に接触し、動かないように固定されるため、安定した状態で測定を行うことができる。さらに、ＤＺ１１＞ＬＰＺ＋ＢＺとなる場合においても、圧電デバイス２００が抑え部１００ｂに押されて絶縁物１１３０が凹むことによりプローブ１１０と端子２１０とが接触し、かつ圧電デバイス２００が動かないように固定される場合には同様に安定した測定ができる。
【００５３】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更及び変形を加えて実施することができる。
【００５４】
例えば、上記実施形態では圧電デバイスの端子が４本の場合を示したが、圧電デバイスの端子が６本、８本等の４本より多い圧電デバイスが用いられても良い。
【符号の説明】
【００５５】
１００  …  測定治具
１００ａ、１００ａ’、３００ａ、４００ａ、５００ａ、６００ａ、７００ａ、８００ａ、９００ａ、１０００ａ、１１００ａ  …  載置部
１００ｂ  …  抑え部
１００ｃ  …  蝶番部
１１０  …  プローブ
１２０  …  枠部
１２１  …  底面
１３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０  …  台座
２００  …  圧電デバイス
２１０  …  端子
２２０  …  パッケージ
２３０  …  リッド板
１１３０  …  絶縁物
ＢＸ  …  プローブ１１０のＸ軸方向の幅
ＢＺ  …  底面１２１からのプローブ１１０の高さ
ＣＸ  …  底面１２１のＸ軸方向の長さ
ＣＸ’  …  底面１２１の＋Ｘ軸側の端と圧電デバイス２００の−Ｘ軸側の端及び底面１２１の接触点との間のＸ軸方向の距離
ＤＺ  …  台座１３０の高さ
ＤＺ９  …  台座９３０の高さ
ＤＺ１１  …  絶縁物１１３０の高さ
ＥＸ  …  圧電デバイス２００のＸ軸方向の長さ
ＥＸ’  …  圧電デバイス２００の−Ｘ軸側に形成されている端子２１０の−Ｘ軸側側面と圧電デバイス２００の−Ｘ軸側の端との間の距離
ＦＺ  …  枠部１２０の高さ
ＧＸ  …  圧電デバイス２００と枠部１２０との間のＸ軸方向のすき間の幅
ＬＣＸ’  …  圧電デバイス２００の−Ｘ軸側の端及び台座１３０の接触点との間のＸ軸方向の距離
ＬＰＺ  …  圧電デバイス２００の底面から端子２１０の最下部までの端子２１０の長さ
ＬＰＺ’  …  −Ｘ軸側に形成されている端子２１０の−Ｘ軸側の側面と圧電デバイス２００の底面との交点及びプローブ１１０の＋Ｚ軸側の先端の間のＺ軸方向の距離
ＰＸ  …  端子２１０のＸ軸方向の幅
ＰＹ  …  圧電デバイス２００に形成される端子２１０のＹ軸方向への間隔
ＰＺ  …  載置部１００ａ’において圧電デバイス２００が傾いた場合であり、端子２１０の最下部とプローブ１１０の＋Ｚ軸側の端とが接触する場合のパッケージ２２０の−Ｚ軸側の面から端子２１０の最下部までの端子２１０の長さ
ＰＺ’  …  載置部１００ａ’において圧電デバイス２００が傾いた場合であり、端子２１０の最下部とプローブ１１０の＋Ｚ軸側の端とが接触する場合の−Ｘ軸側に形成されている端子２１０の−Ｘ軸側の側面と圧電デバイス２００の底面との交点及びプローブ１１０の＋Ｚ軸側の先端の間のＺ軸方向の距離
θ  …  底面１２１と圧電デバイス２００の底面との間の角度
θ’  …  圧電デバイス２００’の底面と台座１３０の＋Ｚ軸側の面とが成す角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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