(57)【要約】【課題】開口率を増加させ安定的な電極接続を実現する薄膜トランジスタ表示板を提供する。【解決手段】本発明の薄膜トランジスタ表示板は、絶縁基板と、絶縁基板上に位置してゲート電極及びゲートパッド部を含むゲート線と、ゲート線が形成された絶縁基板上にゲート絶縁膜を介して形成された半導体膜と、ゲート線と絶縁して交差し、半導体膜上に形成されたソース電極及びデータパッド部を含むデータ線と、ソース電極に対向して半導体膜上に形成されたドレイン電極と、データ線及びドレイン電極上の第１保護膜上に位置して第１接触孔を含む有機絶縁膜と、有機絶縁膜上に位置して第２接触孔を含む共通電極と、共通電極上に位置して第３接触孔を含む第２保護膜と、第２保護膜上に位置して第３接触孔を通じてドレイン電極と接触する画素電極と、を有し、第３接触孔は第１接触孔の一面に隣接して位置する。【選択図】図１
2015090495.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板と、
前記絶縁基板上に位置してゲート電極及びゲートパッド部を含むゲート線と、
前記ゲート線が形成された前記絶縁基板上にゲート絶縁膜を介して形成された半導体膜と、
前記ゲート線と絶縁して交差し、前記半導体膜上に形成されたソース電極及びデータパッド部を含むデータ線と、
前記ソース電極に対向して前記半導体膜上に形成されたドレイン電極と、
前記データ線及びドレイン電極上の第１保護膜上に位置して第１接触孔を含む有機絶縁膜と、
前記有機絶縁膜上に位置して第２接触孔を含む共通電極と、
前記共通電極上に位置して第３接触孔を含む第２保護膜と、
前記第２保護膜上に位置して前記第３接触孔を通じて前記ドレイン電極と接触する画素電極と、を有し、
前記第３接触孔は前記第１接触孔の一面に隣接して位置することを特徴とする薄膜トランジスタ表示板。
【請求項２】
前記第１接触孔は、前記第２接触孔より小さく、
前記第３接触孔は、前記第２接触孔より小さく且つ該第３接触孔の一部が前記ドレイン電極に重畳することを特徴とする請求項１に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【請求項３】
前記第３接触孔は、前記ドレイン電極の一端部を露出させることを特徴とする請求項１に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【請求項４】
前記第３接触孔の一面は、前記有機絶縁膜に一部重畳することを特徴とする請求項３に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【請求項５】
前記有機絶縁膜に重畳しない前記第３接触孔の一面と該一面に対向する前記第１接触孔との間の直線距離（Ａ）及び
前記第３接触孔の残りの面と該残りの面に対向する前記第１接触孔との間の直線距離（Ｂ）は、下記の数式１を満足することを特徴とする請求項４に記載の薄膜トランジスタ表示板。
Ａ＞１．２×Ｂ  （式１）
【請求項６】
前記直線距離（Ａ）は、１μｍ〜６μｍであることを特徴とする請求項５に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【請求項７】
前記第３接触孔に前記ドレイン電極が重畳する距離は、１μｍ〜６μｍであることを特徴とする請求項５に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【請求項８】
前記第３接触孔は、前記有機絶縁膜に３面で重畳することを特徴とする請求項３に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【請求項９】
前記ドレイン電極は、一方向に延長されて前記第１保護膜上に位置する前記有機絶縁膜及び前記共通電極に一部重畳することを特徴とする請求項１に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【請求項１０】
前記第３接触孔は、前記ドレイン電極が延長された方向の反対方向である他方向に位置し、
前記画素電極は、前記第３接触孔の一面に重畳することを特徴とする請求項９に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜トランジスタ表示板に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、現在、最も幅広く使用されている平板表示装置の一つであって、画素電極及び共通電極等の電界生成電極（ｆｉｅｌｄ  ｇｅｎｅｒａｔｉｎｇ  ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）が形成された二枚の表示板と、その間に挿入された液晶層とを含む。液晶表示装置は、電界生成電極に電圧を印加して液晶層に電界を生成し、これを通じて液晶層の液晶分子の方向を決定して入射光の偏光を制御することによって画像を表示する。
【０００３】
このような液晶表示装置で、液晶層に電界を生成する二つの電界生成電極を全て薄膜トランジスタ表示板上に形成することができる。
薄膜トランジスタ表示板に二つの電界生成電極を形成する場合、薄膜トランジスタと電界生成電極との間に複数の絶縁膜が配置され、複数の絶縁膜のうちの少なくとも一層に有機絶縁膜を用いることができる。薄膜トランジスタと電界生成電極とを電気的に接続するための接触孔が複数の絶縁膜に形成される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、接触孔の形成位置調節を通じて薄膜トランジスタ表示板が短絡されることを防止し、これを含む表示装置の安定性を向上させることができる薄膜トランジスタ表示板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するためになされた本発明の一態様による薄膜トランジスタ表示板は、絶縁基板と、前記絶縁基板上に位置してゲート電極及びゲートパッド部を含むゲート線と、前記ゲート線が形成された前記絶縁基板上にゲート絶縁膜を介して形成された半導体膜と、前記ゲート線と絶縁して交差し、前記半導体膜上に形成されたソース電極及びデータパッド部を含むデータ線と、前記ソース電極に対向して前記半導体膜上に形成されたドレイン電極と、前記データ線及びドレイン電極上の第１保護膜上に位置して第１接触孔を含む有機絶縁膜と、前記有機絶縁膜上に位置して第２接触孔を含む共通電極と、前記共通電極上に位置して第３接触孔を含む第２保護膜と、前記第２保護膜上に位置して前記第３接触孔を通じて前記ドレイン電極と接触する画素電極と、を有し、前記第３接触孔は前記第１接触孔の一面に隣接して位置することを特徴とする。
【０００６】
前記第１接触孔は、前記第２接触孔より小さく、前記第３接触孔は、前記第２接触孔より小さく且つ該第３接触孔の一部が前記ドレイン電極に重畳し得る。
前記第３接触孔は、前記ドレイン電極の一端部を露出させ得る。
前記第３接触孔の一面は、前記有機絶縁膜に一部重畳し得る。
前記有機絶縁膜に重畳しない前記第３接触孔の一面と該一面に対向する前記第１接触孔との間の直線距離（Ａ）及び前記第３接触孔の残りの面と該残りの面に対向する前記第１接触孔との間の直線距離（Ｂ）は、下記の数式１を満足し得る。
Ａ＞１．２×Ｂ（式１）
前記直線距離（Ａ）は、１μｍ〜６μｍであり得る。
前記画素電極と前記ドレイン電極が重畳する距離は、１μｍ〜６μｍであり得る。
前記第３接触孔は、前記有機絶縁膜に３面で重畳し得る。
前記ドレイン電極は、一方向に延長されて前記第１保護膜上に位置する前記有機絶縁膜及び前記共通電極に一部重畳し得る。
前記第３接触孔は、前記ドレイン電極が延長された方向の反対方向である他方向に配置し、前記画素電極は、前記第３接触孔の一面に重畳し得る。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の薄膜トランジスタ表示板によれば、上下左右マージンを全て有する接触孔に比べて製造工程上安定的に接触孔を形成することが可能になり、一側は必ずドレイン電極と接触する一方、共通電極と短絡することを防止することができる。
また、薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極をデータ線の延長方向に並べて配置し、薄膜トランジスタのドレイン電極と画素電極との接触孔の位置を画素電極端から離すことによってゲート線を覆う遮光部材の幅が減少し、開口率及び透過率が向上した表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板の一部を示す平面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ’線に沿った断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ’線に沿った断面図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ’線に沿った断面図である。
【図５】図１のＶ−Ｖ’線に沿った断面図である。
【図６】図１のＶＩ−ＶＩ’線に沿った断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態による接触孔の一部を示す平面図である。
【図８】図７のｂ−ｂ’線に沿った断面図である。
【図９】本発明の他の実施形態による接触孔の一部を示す平面図である。
【図１０】図９のｂ−ｂ’線に沿った断面図である。
【図１１】本発明の他の実施形態による接触孔の一部を示す平面図である。
【図１２】図１１のｂ−ｂ’線に沿った断面図である。
【図１３】本発明の他の実施形態による接触孔の一部を示す平面図である。
【図１４】図１３のｂ−ｂ’線に沿った断面図である。
【図１５】本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板のイメージである。
【図１６】比較例の薄膜トランジスタ表示板のイメージである。
【図１７】本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板及び比較例に対する電流比較グラフである。
【図１８】本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板及び比較例に対する印加電圧対電流値グラフである。
【図１９】本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板及び比較例に対する電流値の時間依存グラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態の具体例を、図面を参照しながら詳細に説明する。しかし、本発明は以下で説明する実施形態に限定されない。
【００１０】
図面の説明において、層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示す。明細書全体に亘って類似の部分については同一の参照符号を付けた。層、膜、領域、板などの部分が他の部分の「上」にあるというとき、これは他の部分の「直上」にある場合だけでなく、その中間にまた他の部分がある場合をも含む。一方、ある部分が他の部分の「直上」にあるというときには、中間に他の部分がないことを意味する。
【００１１】
以下、本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板について図１〜図６を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板の一部を示す平面図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ’線に沿った断面図である。図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ’線に沿った断面図である。図４は、図１のＩＶ−ＩＶ’線に沿った断面図である。図５は、図１のＶ−Ｖ’線に沿った断面図である。図６は、図１のＶＩ−ＶＩ’線に沿った断面図である。
【００１２】
図１〜図６に示すように、絶縁基板１１０上に複数のゲート線（ｇａｔｅ  ｌｉｎｅ）１２１が形成される。
【００１３】
各ゲート線１２１は、上方に突出した複数のゲート電極（ｇａｔｅ  ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）１２４及び他層または外部駆動回路との接続のために面積の広いゲートパッド部１２９を含む。ゲート信号を生成するゲート駆動回路（図示せず）は、基板１１０上に取り付けられる可撓性印刷回路膜（ｆｌｅｘｉｂｌｅ  ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ  ｆｉｌｍ）（図示せず）上に実装されるか、絶縁基板１１０上に直接実装される。
【００１４】
ゲート線１２１は、単一膜、または二つ以上の導電膜を含む多重膜で形成される。
【００１５】
ゲート線１２１上にはゲート絶縁膜（ｇａｔｅ  ｉｎｓｕｌａｔｉｎｇ  ｌａｙｅｒ）１４０が形成される。ゲート絶縁膜１４０は、窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）または酸化ケイ素（ＳｉＯｘ）などの無機絶縁物などで形成される。
【００１６】
ゲート絶縁膜１４０上に、複数の半導体膜１５１が形成される。本実施形態による液晶表示装置の場合、図４に示すように、半導体膜１５１は、突出部１５２を含み、突出部１５２はゲート電極１２４上のみに配置される。
【００１７】
また、半導体膜１５１の材質は、アモルファスシリコン、ポリシリコン、及び酸化物半導体などである。
【００１８】
半導体膜１５１は、図６に示すように、データパッド部１７９下に位置する端部１５９を含む。
【００１９】
半導体膜１５１上には複数の抵抗性接触（ｏｈｍｉｃ  ｃｏｎｔａｃｔ）部材（１６１、１６３、１６５、１６９）が形成される。抵抗性接触部材（１６３、１６５）は、ゲート電極１２４を中心に互いに対向し、対を成して半導体膜１５１の突出部１５２上に配置される。抵抗性接触部材１６９は、後述のデータパッド部１７９下に位置する。
【００２０】
抵抗性接触部材（１６１、１６３、１６５、１６９）は、リンなどのｎ型不純物が高濃度にドーピングされたｎ＋水素化アモルファスシリコンなどの物質で形成されるか、又はシリサイド（ｓｉｌｉｃｉｄｅ）で形成される。しかし、本実施形態の他の例による液晶表示装置では、抵抗性接触部材（１６１、１６３、１６５、１６９）は省略され得る。例えば、半導体膜１５１が酸化物半導体である場合、抵抗性接触部材（１６１、１６３、１６５、１６９）は省略される。
【００２１】
抵抗性接触部材（１６１、１６３、１６５、１６９）上には複数のデータ線（ｄａｔａ  ｌｉｎｅ）１７１と複数のドレイン電極（ｄｒａｉｎ  ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）１７５を含むデータ導電体が形成される。
【００２２】
データ線１７１は、データ信号を伝達し、主に縦方向に延びてゲート線１２１と交差する。各データ線１７１は、ゲート電極１２４に向かって延びた複数のソース電極（ｓｏｕｒｃｅ  ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）１７３、及び他層または外部駆動回路との接続のために面積の広いデータパッド部１７９を含む。データ信号を生成するデータ駆動回路（図示せず）は、基板１１０上に付着されるフレキシブル印刷回路膜（図示せず）上に実装されるか、又は基板１１０上に直接実装される。
【００２３】
データ線１７１は、周期的に折り曲げられて、ゲート線１２１の延長方向と斜角をなす。データ線１７１がゲート線１２１の延長方向となす斜角は４５度以上である。図示しないが、本実施形態の更に他の例による薄膜トランジスタ表示板の場合、データ線１７１は一直線に延びる。
【００２４】
ドレイン電極１７５は、ゲート電極１２４を中心にソース電極１７３に対向する棒状端部と面積の広い他の端部とを含む。
【００２５】
データ導電体（１７１、１７５）は単一膜、又は二つ以上の導電膜を含む多重膜で形成される。
【００２６】
図４に示すように、ゲート電極１２４、ソース電極１７３、及びドレイン電極１７５は、半導体膜の突出部１５２と共にスイッチング素子である薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：ｔｈｉｎ  ｆｉｌｍ  ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を成す。半導体膜１５１は、薄膜トランジスタが位置する半導体膜１５１のチャネル領域１５４を除き、データ線１７１、ドレイン電極１７５、及びその下部の抵抗性接触部材（１６１、１６５、１６９）とほぼ同一の平面形状を有する。
【００２７】
データ線１７１、ドレイン電極１７５、及び露出した半導体膜のチャネル領域１５４上には第１保護膜１８０ｘが形成される。第１保護膜１８０ｘは、窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）または酸化ケイ素（ＳｉＯｘ）などの無機絶縁物などで形成される。
【００２８】
第１保護膜１８０ｘ上には有機絶縁膜８０が形成される。有機絶縁膜８０の表面は概ね平坦である。有機絶縁膜８０は、感光性物質及び非感光性物質を含む。
【００２９】
また、有機絶縁膜８０は、ドレイン電極１７５を露出する第１接触孔１８５ａを含み、この他にもゲートパッド部１２９及びデータパッド部１７９のそれぞれに対応する第４接触孔１８１及び第５接触孔１８２を含む。つまり、有機絶縁膜８０は、ゲートパッド部１２９及びデータパッド部１７９に対応する領域で除去される。製造工程で有機絶縁膜８０はゲートパッド部１２９及びデータパッド部１７９にも塗布されるが、第４接触孔１８１及び第５接触孔１８２などを形成するためにエッチングされる。
【００３０】
また、有機絶縁膜８０の第１接触孔１８５ａは、ドレイン電極１７５と後述の画素電極１９１との物理的、電気的接続のためにドレイン電極１７５の一部領域を露出させるように形成され、本実施形態ではドレイン電極１７５の一端部が露出する。
【００３１】
図示しないが、本発明の他の実施形態による薄膜トランジスタ表示板の場合、有機絶縁膜８０の下にカラーフィルタが位置する。この場合、有機絶縁膜８０上に配置される膜をさらに含む。例えば、カラーフィルタ上に配置されてカラーフィルタの顔料が液晶層に流入することを防止するための、キャップ膜（ｃａｐｐｉｎｇ  ｌａｙｅｒ）をさらに含み、キャップ膜は窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）のような絶縁物質からなる。
【００３２】
有機絶縁膜８０上には共通電極１３１が形成される。共通電極１３１は、ＩＴＯまたはＩＺＯなどの透明な導電物質で形成される。本実施形態の共通電極１３１は、プレート（板）形状である面型を示したが、これに制限されず、枝形状であってもよい。共通電極１３１が枝形状である場合、画素電極１９１は面型となる。
【００３３】
第２接触孔１３８は、共通電極１３１の端、即ち、ドレイン電極１７５に対応する領域に形成されて、エッチングされた有機絶縁膜８０の第１接触孔１８５ａと一致するか又は外側に配置される。言い換えると、平面上で、第２接触孔１３８は、第１接触孔１８５ａと同一であるか、より大きい。図１に示すように、第２接触孔１３８は、第１接触孔１８５ａから各孔の境界に対して上下左右に所定の値以上の間隔を有して離隔するように位置する。
【００３４】
共通電極１３１は、別の接触孔（図示せず）を通じて、表示領域周辺の周辺領域に位置する共通電圧線に接続されて、共通電圧が印加される。
【００３５】
共通電極１３１及び第１保護膜１８０ｘの一部分の上には第２保護膜１８０ｙが形成される。第２保護膜１８０ｙは、窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）または酸化ケイ素（ＳｉＯｘ）などの無機絶縁物などで形成される。
【００３６】
第２保護膜１８０ｙには、第３接触孔１８５ｂが形成される。第３接触孔１８５ｂは、ドレイン電極１７５の一部領域を露出させ、特に本実施形態ではドレイン電極１７５の一端部を露出し、第３接触孔１８５ｂの一部はドレイン電極１７５と重畳する。
【００３７】
図１に示すように、第１接触孔１８５ａ及び第２接触孔１３８は、平面上で各孔の境界に対して上下左右に全て所定の距離を有して離隔する。しかし、第３接触孔１８５ｂは、非対称に位置し、本実施形態では図１に示すように第１接触孔１８５ａの一面に対して隣接するように下側方向に偏って位置する。特に下側方向は第１接触孔１８５ａの境界と重畳する。
【００３８】
図３を参照しながら詳細に説明すると、第１接触孔１８５ａは第２接触孔１３８より小さく、第３接触孔１８５ｂは第２接触孔１３８より小さい。
【００３９】
第３接触孔１８５ｂは、ドレイン電極１７５の一端部を露出させるように位置する。ドレイン電極１７５の一端部を露出させるために第３接触孔１８５ｂは一方向に偏って位置し、この時、第３接触孔１８５ｂの一面は第１接触孔１８５ａより外側に位置し、有機絶縁膜８０と重畳する。
【００４０】
また、第３接触孔１８５ｂは、少なくとも一面で有機絶縁膜８０と重畳し、本実施形態では有機絶縁膜８０と３面で重畳する。残り１面は有機絶縁膜８０と離隔して、当該面の離隔した空間を通じて画素電極１９１が位置し、ドレイン電極１７５と電気的に接続される。つまり、画素電極１９１は第３接触孔１８５ｂの一面を通じてドレイン電極１７５と接触する。
【００４１】
一方、ドレイン電極１７５は、図１に示すように一方向、本実施形態では上部方向に延長される。延長されたドレイン電極１７５は、第１保護膜１８０ｘ上に位置する有機絶縁膜８０と共通電極１３１の一部と重畳し、一方向の反対方向である他方向に第３接触孔１８５ｂが位置する。なお、図３では簡潔に図示するためドレイン電極１７５下部の抵抗性接触部材及び半導体膜は省略する。
【００４２】
一方、有機絶縁膜８０と重畳しない第３接触孔１８５ｂの一面は、一面と対向する第１接触孔１８５ａまで間隔が存在する。間隔を示す直線距離をＡと称し、第３接触孔１８５ｂの残りの面と対向する第１接触孔１８５ａとの間の直線距離をＢと称するとき、下記数式１を満足する。
【００４３】
Ａ＞１．２×Ｂ  （式１）
【００４４】
ここで、Ａは、図１に示すドレイン電極１７５が延長された方向に第１接触孔１８５ａと第３接触孔１８５ｂとの間の離隔した間隔を言い、当該領域を通じて画素電極１９１がドレイン電極と接続される。
【００４５】
Ｂは、一つの変数として示したが、画素電極１９１が位置しないか又は有機絶縁膜８０と重畳する第３接触孔１８５ｂの一面とこれに対向する第１接触孔１８５ａとの間の間隔を示す。
【００４６】
この時、一例として直線距離（Ａ）は１μｍ〜６μｍであるが、これに制限されるものではない。また、第３接触孔１８５ｂを通じてドレイン電極１７５と接続される画素電極１９１及びドレイン電極１７５が重畳する間隔は１μｍ〜６μｍである。この数値範囲は間隔が過度に小さい場合に抵抗が増加するために定めるものであり、上記数値範囲に制限されるものではない。
【００４７】
整理すると、画素電極１９１が接続される第３接触孔１８５ｂの一面からこれと対向する第１接触孔１８５ａまでの間隔は、残り３面からそれと対向する第１接触孔１８５ａまでの間隔の１．２倍より大きい。このような非対称的な位置関係を通じて第３接触孔１８５ｂはある一側に近く位置する。
【００４８】
図２、３に示すように、第２保護膜１８０ｙ上に画素電極１９１が位置する。画素電極１９１は、ＩＴＯまたはＩＺＯなどの透明な導電物質で形成される。
【００４９】
画素電極１９１は、図１に示すように互いに平行に延びて互いに離隔された複数の枝電極１９３並びに枝電極１９３の上下の各端部を連結する上部及び下部の横部１９２を含む。画素電極１９１の枝電極１９３は、データ線１７１に沿って折り曲げられる。しかし、本実施形態の更に他の例による薄膜トランジスタ表示板の場合、データ線１７１と画素電極１９１の枝電極１９３は一直線に延びる。
【００５０】
本実施形態では、画素電極１９１が枝型であり共通電極１３１が面型である例を示したが、これとは反対に画素電極１９１が面型であり共通電極１３１が枝型であってもよい。
【００５１】
図５に示すように、第１保護膜１８０ｘ、第２保護膜１８０ｙ、及びゲート絶縁膜１４０にはゲートパッド部１２９の一部分を露出させる第４接触孔１８１が形成される。第４接触孔１８１は少なくとも一つ以上であり、その平面形態は四角形などの多角形、又は円形若しくは楕円形である。第４接触孔１８１には第１連結部材８１が形成される。第１連結部材８１は、画素電極１９１と同一層で形成される。
【００５２】
図６に示すように、第１保護膜１８０ｘ及び第２保護膜１８０ｙにはデータパッド部１７９の一部分を露出させる第５接触孔１８２が形成される。第５接触孔１８２は、少なくとも一つ以上であり、その平面形態は四角形などの多角形、又は円形若しくは楕円形である。第５接触孔１８２には第２連結部材８２が形成される。第２連結部材８２は、画素電極１９１と同一層で形成される。
【００５３】
上述した薄膜トランジスタ表示板は、一側に偏って形成された第３接触孔１８５ｂを含み、特に、画素電極１９１の長手方向と反対側に位置することでこれを覆うための遮光部材２２０の幅を減少させることができる。遮光部材２２０の幅が減少することによって開口率及び透過率が向上し、これによって消費電力を減少させることができる。また、第３接触孔の一面で必ず接触する画素電極の提供を通じて製造工程における不良を減少させることができる。
【００５４】
また、上記では有機絶縁膜８０を含む実施形態について記述したが、これに制限されず、有機絶縁膜８０を含まない実施形態も可能である。
【００５５】
以下、図１〜図６を参照して本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板の製造方法を説明する。
【００５６】
まず、絶縁基板１１０の上にゲート電極１２４及びゲートパッド部１２９を含むゲート線１２１を形成する。この時、周辺領域に配置される共通電圧線を共に形成する。その後、ゲート線１２１及び共通電圧線上に、ゲート絶縁膜１４０、半導体膜１５１を順次積層し、さらに抵抗性接触部材を成す層を形成する。そして、ソース電極１７３、データパッド部１７９を含むデータ線１７１、及びドレイン電極１７５を含むデータ導電体を形成する。その後、データ導電体をマスクにして、抵抗性接触部材を成す層をエッチングして、抵抗性接触部材（１６１、１６３、１６５、１６９）を完成し、さらに薄膜トランジスタのチャネル領域１５４に対応する別途のマスクを用いて当該部分の半導体膜１５１を露出させる。ゲート絶縁膜１４０は、窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）または酸化ケイ素（ＳｉＯｘ）などの無機絶縁物などで形成される。
【００５７】
次に、データ導電体（１７１、１７５）上に第１保護膜１８０ｘを積層する。第１保護膜１８０ｘは、窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）または酸化ケイ素（ＳｉＯｘ）などの無機絶縁物などで形成される。
【００５８】
その後、第１保護膜１８０ｘ上に、有機絶縁膜８０を形成する。有機絶縁膜８０は、感光性物質及び非感光性物質を含み、有機絶縁膜８０の表面は概ね平坦である。有機絶縁膜８０は、ゲートパッド部１２９及びデータパッド部１７９に対応する領域にも形成される。
【００５９】
本発明の他の実施形態では、有機絶縁膜の下にカラーフィルタを配置する。この場合、有機絶縁膜上にキャップ膜（ｃａｐｐｉｎｇ  ｌａｙｅｒ）をさらに形成する。
【００６０】
次に、有機絶縁膜８０上に導電層を積層して、第２接触孔１３８、ゲートパッド部１２９、及びデータパッド部１７９のそれぞれに対応した開口部を有する共通電極１３１を形成する。一例として共通電極１３１は面型である。
【００６１】
次に、共通電極１３１の上記開口部内の露出した有機絶縁膜８０に、第１接触孔１８５ａを含む各接続孔を形成した後、第１接触孔１８５ａを含む基板上に第２保護膜１８０ｙを形成する。その後、第２保護膜１８０ｙに、第３接触孔１８５ｂ、第４接触孔１８１、及び第５接触孔１８２を形成する。
【００６２】
上記複数の接触孔についてより具体的に説明すると、第１接触孔１８５ａは第２接触孔１３８より小さく、第３接触孔１８５ｂは第２接触孔１３８より小さく形成される。特に、第３接触孔１８５ｂはドレイン電極１７５の一端部を露出させるように形成され、これによって第３接触孔１８５ｂは第１接触孔１８５ａの一面に対して隣接するように、つまり、一側に偏って形成される。
【００６３】
即ち、ドレイン電極１７５の一端部を露出させるために第３接触孔１８５ｂは一方向に偏って形成され、この時、第３接触孔１８５ｂの一面は第１接触孔１８５ａより外側に位置する。外側に位置する一面は有機絶縁膜８０と重畳する。
【００６４】
また、第３接触孔１８５ｂは、一面で有機絶縁膜８０と重畳し、他の例として有機絶縁膜８０と最大３面で重畳するように形成してもよい。少なくとも残り１面は有機絶縁膜８０と離隔しており、当該面を通じて画素電極１９１がドレイン電極１７５と接続される。
【００６５】
ドレイン電極１７５は、図１に示すように一方向、本実施形態では上部方向に延長されて形成される。このように延長されたドレイン電極１７５は有機絶縁膜８０及び共通電極１３１の一部と重畳し、一方向の反対方向である他方向に第３接触孔１８５ｂが形成される。
【００６６】
一方、有機絶縁膜８０と重畳しない第３接触孔１８５ｂの一面は、一面と対向する第１接触孔まで間隔が存在する。間隔を示す直線距離をＡと称し、有機絶縁膜８０と重畳しない第３接触孔１８５ｂの残り面と対向する第１接触孔１８５ａの間の直線距離をＢと称するとき、下記数式１を満足するように形成される。
【００６７】
Ａ＞１．２×Ｂ  （式１）
【００６８】
ここで、Ａは、図１に示すようにドレイン電極１７５が延長された方向に離隔した間隔を言い、当該領域を通じてドレイン電極１７５と画素電極１９１とが接続される。
【００６９】
Ｂは、一つの変数として示したが、画素電極１９１が位置しないかまたは有機絶縁膜８０に重畳する第３接触孔１８５ｂの残り面とこれに対向する第１接触孔１８５ａの面との間の間隔を示す。
【００７０】
この時、直線距離（Ａ）は１μｍ〜６μｍであるが、これに制限されるものではない。また、第３接触孔１８５ｂを通じてドレイン電極１７５に接続される画素電極１９１とドレイン電極１７５とが重畳する間隔は１μｍ〜６μｍである。これは、間隔が過度に小さい場合に抵抗が増加するために定めるものであり、このような数値範囲に制限されるものではない。
【００７１】
最後に、図１〜図６に示したように、第２保護膜１８０ｙ上に画素電極１９１、第１連結部材８１、及び第２連結部材８２を形成する。
【００７２】
第１連結部材８１は、第４接触孔１８１によって露出されたゲートパッド部１２９を覆い、第２連結部材８２は第５接触孔１８２によって露出されたデータパッド部１７９を覆う。
【００７３】
画素電極１９１は、第３接触孔１８５ｂによって露出されたドレイン電極１７５を覆って、ドレイン電極１７５と物理的、電気的に接続される。
【００７４】
上述した薄膜トランジスタ表示板の製造方法によると、一側に偏って形成された第３接触孔を含み、特に、画素電極１９１の長手方向と反対側に位置してこれを覆うための遮光部材２２０の幅を減少させることができる。遮光部材２２０の幅が減少することによって開口率及び透過率が向上し、これによって消費電力が減少する。また、第３接触孔の一面で必ず接触する画素電極の提供を通じて製造工程における不良を減少させることができる。
【００７５】
以下、図７〜図１４を参照して本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板の接触孔の他の配置例について説明する。以下では、上述した同一構成要素については説明を省略し、接触孔間の位置を主として説明する。図７、９、１１、１３は、各実施形態による接触孔の一部を示す平面図であり、図８、１０、１２、１４はそれぞれの平面図のｂ−ｂ’線に沿った断面図である。
【００７６】
まず、図７及び図８に示す実施形態で、図７に示すように、ソース電極１７３は、データ線１７１の一部から成り、データ線１７１と同一線上に配置される。ドレイン電極１７５はソース電極１７３と平行に延びるように形成される。したがって、ドレイン電極１７５はデータ線１７１の一部と平行する。
【００７７】
但し、ドレイン電極１７５はデータ線１７１に垂直な方向に延長される。これは延長された一側で画素電極１９１と接触するためである。
【００７８】
ゲート電極１２４、ソース電極１７３、及びドレイン電極１７５は、半導体膜１５４と共に一つの薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：ｔｈｉｎ  ｆｉｌｍ  ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を成し、薄膜トランジスタのチャンネル（ｃｈａｎｎｅｌ）はソース電極１７３とドレイン電極１７５との間の半導体膜１５４に形成される。
【００７９】
本実施形態による薄膜トランジスタ表示板は、データ線１７１と同一線上に位置するソース電極１７３及びデータ線１７１と平行に延びるドレイン電極１７５を含むことによって、データ導電体が占める面積を広くしなくても薄膜トランジスタの幅を広くすることができ、これにより液晶表示装置の開口率が増加する。
【００８０】
この時、有機絶縁膜８０の第１接触孔１８５ａ及び共通電極１３１の第２接触孔１３８は、図７に示すように、平面上で上下左右全てに対して所定の値の間隔を有するように形成される。
【００８１】
しかし、第３接触孔１８５ｂは、第１接触孔１８５ａ及び第２接触孔１３８と上下左右全てに対して所定の値以上の間隔を有するものではなく、図７に示すように一側に偏った非対称に形成される。特に、第３接触孔１８５ｂの一面は第１接触孔１８５ａにオーバーラップするか又は内側に形成され、有機絶縁膜８０と第３接触孔１８５ｂとが重畳する。
【００８２】
図８に示すように、有機絶縁膜８０と重畳する第３接触孔１８５ｂの一面には画素電極１９１が位置せず、ドレイン電極１７５と重畳して有機絶縁膜８０とは重畳しない他面を通じて画素電極１９１がドレイン電極１７５と電気的に接続される。この理由は、有機絶縁膜８０と重畳する一面では絶縁膜のアンダーカット（ｕｎｄｅｒｃｕｔ）などによって画素電極１９１の接続が切れるためである。この時、画素電極１９１がドレイン電極１７５と電気的に接続される領域の長さをＢ’（抵抗マージンと称する）で示し、画素電極１９１と第２絶縁層１８０ｙが重畳する長さをＡ’（コンタクトマージンと称する）で示した。
なお、図８以降では、抵抗性接触部材の表示は省略する。
【００８３】
図９及び図１０に示す実施形態は、図１のようにドレイン電極１７５が延長された構成であり、他の構成要素の位置及び大きさも同一である。しかし、図１と比較して、本実施形態は、第３接触孔１８５ｂの大きさが大きくなった場合である。低解像度露光機を使用する場合、第３接触孔１８５ｂの大きさが図９のように大きくなり、図７とは異なり有機絶縁膜８０と３面で重畳する。また、第３接触孔１８５ｂは共通電極１３１の第２接触孔１３８とオーバーラップするか又は内側に形成され、この場合、第３接触孔１８５ｂは共通電極１３１と一面で重畳する。
【００８４】
つまり、図９及び図１０のように低解像度露光機を使用する場合、第３接触孔１８５ｂは有機絶縁膜８０と３面で重畳し、重畳しない一面を通じて画素電極１９１とドレイン電極１７５とが接続される。また、第３接触孔１８５ｂは、共通電極１３１と一面で重畳し、残りの３面では重畳しない。この時、画素電極１９１がドレイン電極１７５と電気的に接続される領域の長さをＢ’（抵抗マージンと称する）で示し、画素電極１９１と第２絶縁層１８０ｙが重畳する長さをＡ’（コンタクトマージンと称する）で示した。
【００８５】
したがって、低解像度露光機を使用する製造工程で欠陥が生じても、画素電極１９１は少なくとも一面でドレイン電極１７５と接続されて動作する。
【００８６】
次に、図１１及び図１２に示す実施形態は、図１１に示すように、第３接触孔１８５ｂが対角線方向に偏って位置する。図１の実施形態と比較すると、図１の実施形態は垂直な一方向にのみ偏るように位置するが、図１１の実施形態は対角線に斜め方向に偏って位置する。この場合、第３接触孔１８５ｂは、左側及び下側面で有機絶縁膜８０と重畳し、右側及び上側面では画素電極１９１がドレイン電極１７５と接続される場所に位置する。この時、画素電極１９１がドレイン電極１７５と電気的に接続される領域の長さをＢ’（抵抗マージンと称する）で示し、画素電極１９１と第２絶縁層１８０ｙが重畳する長さをＡ’（コンタクトマージンと称する）で示した。
【００８７】
したがって、図１１のように第３接触孔１８５ｂが対角線に偏った場合にも画素電極１９１はドレイン電極１７５と所定の値以上の抵抗マージンを有するように接続されて駆動可能になる。
【００８８】
更に、図１３及び図１４に示す実施形態は、ドレイン電極１７５の幅が第１接触孔１８５ａの幅より広く、低解像度露光機を使用する場合である。
【００８９】
第３接触孔１８５ｂの一面は共通電極１３１と重畳し、残り３面は重畳しない。また、第３接触孔１８５ｂの３面は有機絶縁膜８０と重畳し、残り一面は重畳しない。また、第３接触孔１８５ｂはドレイン電極１７５の一端を露出させる。
【００９０】
第３接触孔１８５ｂによって露出されたドレイン電極１７５は、第３接触孔１８５ｂが有機絶縁膜８０と重畳しない残りの一面を通じて画素電極１９１と接続される。この時、画素電極１９１がドレイン電極１７５と電気的に接続される領域の長さをＢ’（抵抗マージンと称する）で示し、画素電極１９１と第２絶縁層１８０ｙが重畳する長さをＡ’（コンタクトマージンと称する）で示した。
【００９１】
つまり、図１３のような場合にもドレイン電極と画素電極とは一面を通じて接続される。
【００９２】
次に、図１５及び図１６を参照して、本発明の一実施形態による薄膜トランジスタの開口率と比較例の開口率とを説明する。図１５は本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板のイメージであり、図１６は比較例の薄膜トランジスタ表示板のイメージである。
【００９３】
図１５に示すように、本実施形態による薄膜トランジスタ表示板は、ゲート線に平行に形成される遮光部材の幅が比較例より狭く、これにより画素電極を通じて表示される表示領域が大きいことが分かる。反面、図１６の比較例はゲート線に平行な遮光部材の幅が非常に広く画素領域による開口率が図１５に比べて低いことが分かる。
【００９４】
これらについて表１を参照してより具体的に説明する。
【００９５】
【表１】
2015090495.tif 000003
【００９６】
表１に示すように、比較例に比べて本実施形態では、遮光部材の幅が７．６μｍ減少した。これは約２６％の減少量で、相当程度の幅が減少することが分かる。
【００９７】
また、開口率は４５．５％から５８．２５％に約１３％増加し、透過率は３．４％から４．２％に増加した。
【００９８】
したがって、本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板は開口率及び透過率が向上し、これにより消費電力も減少することが分かる。
【００９９】
次に、図１７〜図１９を参照して、本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板及び比較例に対する実験グラフを説明する。図１７は本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板及び比較例に対する電流比較グラフであり、図１８は本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板及び比較例に対する印加電圧対電流値グラフであり、図１９は本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板及び比較例に対する電流値の時間依存グラフである。
【０１００】
まず、図１７は、画素電極が第３接触孔と接する面数に対する電流値を比較したグラフである。接する面数だけでなく、接する面積によっても別個に示した。１、１’、及び１”の場合は、画素電極が第３接触孔の一面と接し、この時、接する面積がそれぞれ５μｍ×５μｍ、６μｍ×６μｍ、７μｍ×７μｍである場合を示す。２、２’、及び２”の場合は、画素電極が第３接触孔の３面と接し、この時、接する面積が５μｍ×５μｍ、６μｍ×６μｍ、７μｍ×７μｍである場合を示す。３、３’、及び３”の場合は、画素電極が第３接触孔の４面と接し、この時、接する面積が５μｍ×５μｍ、６μｍ×６μｍ、７μｍ×７μｍである場合を示す。
【０１０１】
二つの線の内、下側の線は、ゲートに印加される電圧が−６Ｖである時のＩｏｆｆを示し、上側の線は、ゲートに印加される電圧が２０Ｖである時のＩｏｎを示す。これを見ると、接する面数または面積が異なるにもかかわらず、Ｉｏｆｆ及びＩｏｎがほぼ一定であることが分かる。したがって、本実施形態のように接触孔と画素電極が接する面を変更しても表示装置の性能には特別な影響を与えないことが分かる。
【０１０２】
図１８は、印加電圧を増加させることによって接触孔で不良が発生するか否かを確認した結果である。複数の線のうちの最も下側に位置する線が、本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板である。この時、傾きが最も大きい「ｃａｓｅ１」及び「ｃａｓｅ２」は画素電極と接触孔が４面で接触する場合であり、「ｃａｓｅ３」及び「ｃａｓｅ５」は一面で接触した一つの接触孔または複数の接触孔に対する場合であり、「ｃａｓｅ４」は画素電極と接触孔が２面で接触する場合である。
【０１０３】
他の比較例に対応する線は、電圧が増加するとある所定の値からそれ以上電流値が増加しないが、本発明の一実施形態に対応する「ｃａｓｅ５」を見ると、電圧印加によって電圧が上昇する場合にも特別な不良や断線することなく一定に電流値が増加することが分かる。つまり、本実施形態により画素電極と接触孔が一面のみで接触する場合にも、表示装置の性能に異常がないことを確認できる。
【０１０４】
図１９は、一定の条件で電圧印加時、時間の経過に対する電流値を示したものであり、「ｃａｓｅ１」は、一つの画素電極と接触孔が一面で接触し、１０Ｖを印加した場合であり、「ｃａｓｅ２」は、一つの画素電極と接触孔が４面で接触し、５Ｖを印加した場合であり、「ｃａｓｅ３」は、複数の画素電極と接触孔が４面で接触し、５０Ｖを印加した場合であり、「ｃａｓｅ４」は複数の画素電極と接触孔が一面で接触し、５０Ｖを印加した場合である。
【０１０５】
図１９に示すように、画素電極と接触孔が一面で接触する「ｃａｓｅ１」及び「ｃａｓｅ４」は、ある程度一定の電流を示すことが分かる。特に、「ｃａｓｅ４」は４面で接触している実施形態である「ｃａｓｅ２」及び「ｃａｓｅ３」に比べて低い電流値を示すが、時間が経過しても一定の電流値を保つことが分かる。
【０１０６】
つまり、画素電極と接触孔が一面のみで接触する本実施形態の場合でも、表示装置の性能を維持できることが確認される。
【０１０７】
整理すると、本発明の一実施形態による薄膜トランジスタ表示板は、接触孔の非対称に偏った配置によって画素電極が接触孔の一面で必ず接触するようにし、これによって工程誤差または欠陥に拘らず画素電極とドレイン電極とが接続される。
【０１０８】
以上、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
【符号の説明】
【０１０９】
８０    有機絶縁膜
８１、８２    連結部材
１１０    絶縁基板
１２１    ゲート線
１２４    ゲート電極
１２９    ゲートパッド部
１３１    共通電極
１３８    第２接触孔
１４０    ゲート絶縁膜
１５１    半導体膜
１５２    （半導体膜の）突出部
１５４    半導体膜（のチャネル領域）
１５９    （半導体膜の）端部
１６１、１６３、１６５、１６９    抵抗性接触部材
１７１    データ線（データ導電体）
１７３    ソース電極
１７５    ドレイン電極
１７９    データパッド部
１８０ｘ    第１保護膜
１８０ｙ    第２保護膜
１８１    第４接触孔
１８２    第５接触孔
１８５ａ    第１接触孔
１８５ｂ    第３接触孔
１９１    画素電極
１９２    横部
１９３    枝電極
２２０    遮光部材
【図１】
2015090495.tif 000004
【図２】
2015090495.tif 000005
【図３】
2015090495.tif 000006
【図４】
2015090495.tif 000007
【図５】
2015090495.tif 000008
【図６】
2015090495.tif 000009
【図７】
2015090495.tif 000010
【図８】
2015090495.tif 000011
【図９】
2015090495.tif 000012
【図１０】
2015090495.tif 000013
【図１１】
2015090495.tif 000014
【図１２】
2015090495.tif 000015
【図１３】
2015090495.tif 000016
【図１４】
2015090495.tif 000017
【図１５】
2015090495.tif 000018
【図１６】
2015090495.tif 000019
【図１７】
2015090495.tif 000020
【図１８】
2015090495.tif 000021
【図１９】
2015090495.tif 000022