(57)【要約】【課題】交換、修理、保守、購入等の手配にかかるユーザーの負担を軽減した部品を提供する。【解決手段】加工装置（２）に組み込まれる部品（Ｔ１〜Ｔ３１）であって、交換、修理、保守、購入の少なくとも一つに関する連絡先（Ａ１，Ａ２）が表示された構成とした。【選択図】図３
2015090936.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置に組み込まれる部品であって、
該部品の交換、修理、保守、購入の少なくとも一つに関する連絡先が表示されたことを特徴とする部品。 
【請求項２】
前記部品は、チューブであることを特徴とする請求項１に記載の部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に組み込まれる部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程で使用されるダイサー（切削装置）やグラインダー（研削装置）等の加工装置は、様々な部品によって構成される。これらの部品には、使用に伴い劣化、損耗する、いわゆる消耗品が含まれている。
【０００３】
例えば、水やエアー等の流体を供給するチューブ（配管）、流体の流れを制御する電磁弁、切削用のブレード、研削用の砥石、各種ランプ（光源）（例えば、特許文献１参照）等は、消耗品に該当する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２０３８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した消耗品（部品）の交換、修理等が必要になると、加工装置のユーザーは、当該部品の製造業者等に連絡し、新たな部品を注文したり、部品の交換作業を依頼したりする。
【０００６】
しかしながら、このような連絡先は、通常、部品毎に異なっているので、ユーザーは、交換、修理、保守、購入等を手配する度に連絡先を調べなくてはならない。このように、現状では、部品の交換、修理、保守、購入等の手配にかかるユーザーの負担が大きくなっているという問題があった。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、交換、修理、保守、購入等の手配にかかるユーザーの負担を軽減した部品を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、加工装置に組み込まれる部品であって、該部品の交換、修理、保守、購入の少なくとも一つに関する連絡先が表示されたことを特徴とする部品が提供される。
【０００９】
本発明において、前記部品は、チューブであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の部品には、交換、修理、保守、購入の少なくとも一つに関する連絡先が表示されているので、加工装置のユーザーは、部品の交換、修理、保守、購入等を手配する度に連絡先を調べずに済む。よって、交換、修理、保守、購入等の手配にかかるユーザーの負担を軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施の形態に係るチューブが組み込まれた加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図２】加工装置内における配管構造の例を模式的に示す図である。
【図３】本実施の形態に係るチューブの構成例を模式的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係るチューブ（部品）が組み込まれた加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。なお、本実施の形態では、ウェーハを切削する加工装置（切削装置、ダイサー）について説明するが、本発明に係る加工装置は、研削装置（グラインダー）、研磨装置、レーザー加工装置等でも良い。
【００１３】
図１に示すように、加工対象のウェーハ１１は、例えば、円盤状の半導体ウェーハであり、裏面側に貼着されたダイシングテープ１３を介して環状のフレーム１５に支持されている。ウェーハ１１の表面は、格子状に配列されたストリート（分割予定ライン）で複数の領域に区画されており、各領域にはＩＣ等のデバイスが設けられている。
【００１４】
このようなウェーハ１１を加工する加工装置２は、各構成を支持する基台４を備えている。基台４の前方の角部には、カセットエレベータ６が設けられている。このカセットエレベータ６には、ウェーハ１１を収容するカセット８が載置される。
【００１５】
カセットエレベータ６は、昇降可能に構成されており、カセット８に収容されるウェーハ１１の位置をＺ軸方向（高さ方向）において調整する。なお、図１では、カセット８の輪郭のみを示している。
【００１６】
Ｙ軸方向（割り出し送り方向）においてカセットエレベータ６と隣接する位置には、仮置き機構１０が設けられている。仮置き機構１０は、Ｙ軸方向に移動可能に構成されたプッシュプル機構１２と、Ｘ軸方向（加工送り方向）において相互に離間接近可能な一対のガイドレール１４とを含む。
【００１７】
プッシュプル機構１２は、カセットエレベータ６の昇降により同じ高さに位置付けられたウェーハ１１をガイドレール１４に引き出し、又はガイドレール１４に載置されたウェーハ１１をカセット８に挿入する。ガイドレール１４はＬ字型の断面形状を有しており、フレーム１５をＸ軸方向において挟み込むことでウェーハ１１を所定の位置に合わせる。
【００１８】
Ｘ軸方向においてカセットエレベータ６と隣接する位置には、矩形状の開口４ａが形成されている。この開口４ａ内には、Ｘ軸移動テーブル１６、Ｘ軸移動テーブル１６をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（不図示）、及びＸ軸移動機構を覆う防水カバー１８が設けられている。
【００１９】
Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール（不図示）を備えており、Ｘ軸ガイドレールには、Ｘ軸移動テーブル１６がスライド可能に設置されている。Ｘ軸移動テーブル１６の下面側には、ナット部（不図示）が固定されており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレールと平行なＸ軸ボールネジ（不図示）が螺合されている。
【００２０】
Ｘ軸ボールネジの一端部には、Ｘ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｘ軸パルスモータでＸ軸ボールネジを回転させることで、Ｘ軸移動テーブル１６はＸ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。
【００２１】
Ｘ軸移動テーブル１６上には、ウェーハ１１を吸引保持するチャックテーブル（保持手段）２０が設けられている。チャックテーブル２０の周囲には、ウェーハ１１を支持する環状のフレーム１５を四方から挟持固定するクランプ２２が設置されている。
【００２２】
チャックテーブル２０は、モータ等の回転機構（不図示）と連結されており、鉛直軸（Ｚ軸）の周りに回転する。また、チャックテーブル２０は、上述のＸ軸移動機構でＸ軸方向に移動する。
【００２３】
チャックテーブル２０の上面は、ウェーハ１１を吸引保持する保持面２０ａとなっている。この保持面２０ａは、チャックテーブル２０の内部に形成された流路を通じて負圧発生機構５２（図２参照）と接続されている。
【００２４】
開口４ａと仮置き機構１０との間の位置には、ウェーハ１１を搬送する第１搬送機構２４が配置されている。第１搬送機構２４によって仮置き機構１０からチャックテーブル２０へと搬送されたウェーハ１１は、保持面２０ａに作用する負圧発生機構５２の負圧でチャックテーブル２０に吸引保持される。
【００２５】
基台４の後方には、支持台４ｂが配置されている。この支持台４ｂの開口４ａ側には、ウェーハ１１を切削する切削ユニット２６が支持されている。切削ユニット２６は、Ｙ軸移動機構（不図示）によってＹ軸方向に移動すると共に、Ｚ軸移動機構（不図示）によってＺ軸方向に移動する。切削ユニット２６と隣接する位置には、ウェーハ１１を撮像する撮像ユニット２８が設けられている。
【００２６】
切削ユニット２６は、円環状のブレード３０を備える。このブレード３０は、Ｙ軸の周りに回転するスピンドル（不図示）の一端側に装着されている。スピンドルの他端側にはモータ（不図示）が連結されており、スピンドルに装着されたブレード３０を回転させる。
【００２７】
加工装置２の制御部（不図示）は、撮像ユニット２８で撮像された画像に基づき、切削ユニット２６のブレード３０をウェーハ１１のストリートに位置合わせする。その後、回転させたブレード３０を下降させてウェーハ１１に切り込ませると共に、チャックテーブル２０をＸ軸方向に移動（加工送り）させることで、ウェーハ１１をストリートに沿って切削できる。
【００２８】
開口４ａ及び支持台４ｂと隣接する位置には、円形の開口４ｃが形成されており、この開口４ｃ内には洗浄機構３２が配置されている。洗浄機構３２は、ウェーハ１１を保持した状態で回転可能なスピンナテーブル３４を備えている。
【００２９】
スピンナテーブル３４と近接する位置には、スピンナテーブル３４に保持されたウェーハ１１に洗浄液を供給する洗浄ノズル（不図示）が設けられている。また、支持台４ｂにおいて、開口４ｃ側の側面には、ウェーハ１１をチャックテーブル２０からスピンナテーブル３４へと搬送する第２搬送機構３６が設けられている。
【００３０】
洗浄機構３２で洗浄されたウェーハ１１は、第１搬送機構２４で仮置き機構１０に搬送される。仮置き機構１０に搬送されたウェーハ１１は、ガイドレール１４によって位置合わせされた後に、プッシュプル機構１２でカセット８に収容される。支持台４ｂの上面には、加工条件等を表示するモニタ３８が配置されている。
【００３１】
図２は、加工装置２内における配管構造の例を模式的に示す図である。図２に示すように、加工装置２は、エアーを供給するエアー供給源４０と、市水を供給する第１液体供給源４２と、純水を供給する第２液体供給源４４とを備えている。
【００３２】
エアー供給源４０は、チューブ（部品）Ｔ１を介してエアークリーンユニット４６に接続されている。エアークリーンユニット４６は、例えば、複数のフィルタで構成されており、エアー供給源４０からチューブＴ１を通じて供給されるエアーを浄化する。
【００３３】
第１液体供給源４２及び第２液体供給源４４は、それぞれ、チューブ（部品）Ｔ２，Ｔ３を介して第１液体クリーンユニット４８及び第２液体クリーンユニット５０に接続されている。第１液体クリーンユニット４８及び第２液体クリーンユニット５０は、例えば、複数のフィルタで構成されており、第１液体供給源４２及び第２液体供給源４４からチューブＴ２，Ｔ３を通じて供給される水をろ過する。
【００３４】
エアークリーンユニット４６は、チューブ（部品）Ｔ４を介してチャックテーブル２０に接続され、チューブ（部品）Ｔ５を介して負圧発生機構５２に接続されると共に、チューブ（部品）Ｔ６を介して切削ユニット２６のスピンドルハウジング５４に接続されている。
【００３５】
これにより、チャックテーブル２０には、ウェーハリリース用のエアーが供給され、負圧発生機構５２には、負圧発生用のエアーが供給され、スピンドルハウジング５４には、スピンドル支持用（エアベアリング用）のエアーが供給される。
【００３６】
また、エアークリーンユニット４６は、チューブ（部品）Ｔ７を介して切削ユニット２６のホイールカバー５６に接続され、チューブ（部品）Ｔ８を介してエアーカーテン発生機構５８に接続されると共に、チューブ（部品）Ｔ９を介して撮像ユニット２８用の分岐継ぎ手６０に接続されている。
【００３７】
これにより、ホイールカバー５６には、ホイールカバー開閉用のエアーが供給され、エアーカーテン発生機構５８には、エアーカーテン発生用のエアーが供給され、分岐継ぎ手６０には、撮像ユニット駆動用のエアーが供給される。
【００３８】
負圧発生機構５２は、代表的にはエジェクタであり、オリフィス（しぼり部）を通過する高圧の流体を利用して負圧を発生する。この負圧発生機構５２は、チューブ（部品）Ｔ１０を介してチャックテーブル２０に接続されると共に、チューブ（部品）Ｔ１１を介して洗浄機構３２に接続されている。これにより、チャックテーブル２０及び洗浄機構３２のスピンナテーブル３４には、ウェーハバキューム用の負圧が供給される。
【００３９】
分岐継ぎ手６０は、チューブ（部品）Ｔ１２，Ｔ１３，Ｔ１４を介して撮像ユニット２８に接続されている。撮像ユニット２８には、チューブＴ１２を通じて顕微鏡カバー開閉用のエアーが供給され、チューブＴ１３を通じてマクロ顕微鏡用のブローエアーが供給され、チューブＴ１４を通じてミクロ顕微鏡用のブローエアーが供給される。
【００４０】
第１液体クリーンユニット４８は、チューブ（部品）Ｔ１５を介して切削ユニット２６のスピンドルハウジング５４に接続されている。これにより、スピンドルハウジング５４には、スピンドル冷却用の水（冷却液）が供給される。
【００４１】
また、第２液体クリーンユニット５０は、チューブ（部品）Ｔ１６を介して洗浄機構３２に接続され、チューブ（部品）Ｔ１７を介してホイールカバー５６用の分岐継ぎ手６２に接続されると共に、チューブ（部品）Ｔ１８を介してウォーターカーテン発生機構６４に接続されている。
【００４２】
これにより、洗浄機構３２の洗浄ノズルには、ウェーハ洗浄用の水（洗浄液）が供給され、分岐継ぎ手６２には、ウェーハ切削用の水（切削液）が供給され、ウォーターカーテン発生機構６４には、ウォーターカーテン発生用の水が供給される。
【００４３】
分岐継ぎ手６２は、チューブ（部品）Ｔ１９，Ｔ２０，Ｔ２１を介してホイールカバー５６に接続されている。ホイールカバー５６には、チューブＴ１９を通じてシャワーノズル用の切削水が供給され、チューブＴ２０を通じてブレードクーラーノズル用の切削水が供給され、チューブＴ２１を通じてブレード洗浄ノズル用の切削水が供給される。
【００４４】
洗浄機構３２において使用された洗浄液、スピンドルハウジング５４において使用された冷却液、ホイールカバー５６において使用された切削液、ウォーターカーテン発生機構６４において使用された水は、それぞれ、チューブ（部品）Ｔ２２，Ｔ２３，Ｔ２４，Ｔ２５を通じてドレイン６６に排出される。
【００４５】
また、チャックテーブル２０、洗浄機構３２、スピンドルハウジング５４、ホイールカバー５６、エアーカーテン発生器５８、撮像ユニット２８において使用されたエアーは、チューブ（部品）Ｔ２６，Ｔ２７，Ｔ２８，Ｔ２９，Ｔ３０，Ｔ３１を通じてダクト６８で排気される。
【００４６】
図３は、本実施の形態に係るチューブ（部品）Ｔ１〜Ｔ３１の構成例を模式的に示す平面図である。図３（Ａ）は、第１の構成例を示し、図３（Ｂ）は、第２の構成例を示している。
【００４７】
図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すチューブＴ１〜Ｔ３１の表面Ｓには、交換、修理、保守、購入等を手配する際に必要となる製造業者、販売元、保守サービス提供者等の連絡先Ａ１，Ａ２がそれぞれ表示されている。
【００４８】
図３（Ａ）のチューブＴ１〜Ｔ３１には、連絡先Ａ１として、製造業者等の名称Ｎ１（株式会社ＡＢＣ）と共に、電話番号Ｐ（０３−１２３４−５６７８）が表示されている。一方、図３（Ｂ）のチューブＴ１〜Ｔ３１には、連絡先Ａ２として、製造業者等の名称Ｎ１（株式会社ＡＢＣ）と共に、担当者の名前Ｎ２（山田太郎）及びメールアドレスＭ（ａｂｃ＠ａｂｃ．ｃｏ．ｊｐ）が表示されている。ただし、連絡先Ａ１，Ａ２に含まれる情報はこれらに限定されない。
【００４９】
連絡先Ａ１，Ａ２の表示は、例えば、印刷等の方法で行うことができる。ただし、表示の方法は特に限定されず、エッチング、彫刻、印刷物（テープ等）の貼付等の任意の方法で行えばよい。
【００５０】
このように、本実施の形態のチューブＴ１〜Ｔ３１には、交換、修理、保守、購入等に関する連絡先Ａ１，Ａ２が表示されているので、加工装置２のユーザーは、チューブＴ１〜Ｔ３１に表示された連絡先Ａ１，Ａ２に基づいて交換、修理、保守、購入等を手配できる。
【００５１】
すなわち、本実施の形態のチューブＴ１〜Ｔ３１を用いれば、チューブＴ１〜Ｔ３１の交換、修理、保守、購入等を手配する度に連絡先を調べずに済むので、ユーザーの負担を軽減できる。
【００５２】
なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、ユーザーが識別できる態様でチューブ（部品）の表面に連絡先を表示しているが、読み取り機等で読み取ることができる態様で連絡先を表示しても良い。
【００５３】
例えば、連絡先の情報を含むバーコードやＱＲコード（登録商標）を、チューブ（部品）の表面に表示しても良い。また、連絡先の情報が記憶されたＩＣチップ等を、チューブに設けても良い。
【００５４】
また、バーコードやＱＲコード（登録商標）、ＩＣチップ等の連絡先情報を読み取ることで、電話が発信され、メールが送信され、又は、手配用のＷｅｂ画面が開かれるシステムを構築することもできる。このようなシステムを構築しておけば、交換、修理、保守、購入等の手配におけるユーザーの負担をさらに軽減できる。なお、連絡先情報を読み取った後には、交換手順を示すマニュアル等が開かれるようなシステムを構築しても良い。
【００５５】
また、上記実施の形態では、本発明に係る部品の一例としてチューブを示しているが、本発明に係る部品はこれに限定されず、交換、修理、保守、購入等の対象となるものであれば良い。例えば、電磁弁、切削用のブレード、研削用の砥石、各種ランプ（光源）等に連絡先を表示することもできる。
【００５６】
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００５７】
２  加工装置（切削装置）
４  基台
４ａ  開口
４ｂ  支持台
４ｃ  開口
６  カセットエレベータ
８  カセット
１０  仮置き機構
１２  プッシュプル機構
１４  ガイドレール
１６  Ｘ軸移動テーブル
１８  防水カバー
２０  チャックテーブル（保持手段）
２０ａ  保持面
２２  クランプ
２４  第１搬送機構
２６  切削ユニット
２８  撮像ユニット
３０  ブレード
３２  洗浄機構
３４  スピンナテーブル
３６  第２搬送機構
３８  モニタ
４０  エアー供給源
４２  第１液体供給源
４４  第２液体供給源
４６  エアークリーンユニット
４８  第１液体クリーンユニット
５０  第２液体クリーンユニット
５２  負圧発生機構
５４  スピンドルハウジング
５６  ホイールカバー
５８  エアーカーテン発生機構
６０  分岐継ぎ手
６２  分岐継ぎ手
６４  ウォーターカーテン発生機構
６６  ドレイン
６８  ダクト
１１  ウェーハ
１３  ダイシングテープ
１５  フレーム
Ａ１，Ａ２  連絡先
Ｍ  メールアドレス
Ｎ１  名称
Ｎ２  名前
Ｐ  電話番号
Ｓ  表面
Ｔ１〜Ｔ３１  チューブ（部品）
【図１】
2015090936.tif 000003
【図２】
2015090936.tif 000004
【図３】
2015090936.tif 000005