(57)【要約】【課題】多関節ロボットの減速機の状態を短時間で、精度よく判断可能なロボット装置及び多関節ロボットの減速機状態検出方法を提供すること。【解決手段】サーボモータ１と、サーボモータ１に接続された波動歯車減速機１１と、サーボモータ１の回転軸２の回転角度を検出可能な入力側エンコーダ１０と、波動歯車減速機１１の出力側の回転角度を検出可能な出力側エンコーダ１６と、を有する関節１１２を少なくとも１カ所に備えた多関節ロボット１００と、入力側エンコーダ１０が検出する入力側回転角度と、出力側エンコーダ１６が検出する出力側回転角度との角度差から、波動歯車減速機１１の状態を取得する制御装置２００と、を備えた。【選択図】図４
2015003357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータと、前記モータに接続された減速機と、前記モータの回転軸の回転角度を検出可能な入力側角度検出手段と、前記減速機の出力側の回転角度を検出可能な出力側角度検出手段と、を有する関節を少なくとも１カ所に備えた多関節ロボットと、
前記入力側角度検出手段が検出する入力側回転角度と、前記出力側角度検出手段が検出する出力側回転角度との角度差から、前記減速機の状態を診断する制御装置と、を備えた、
ことを特徴とするロボット装置。
【請求項２】
前記制御装置は、前記多関節ロボットが衝突した際に検出される、前記入力側角度検出手段が検出する入力側回転角度と、前記出力側角度検出手段が検出する出力側回転角度と、の角度差から関節誤差を演算し、演算した関節誤差から前記減速機の状態を診断する、
ことを特徴とする請求項１に記載のロボット装置。
【請求項３】
前記制御装置は、
予め設定された前記減速機の許容関節誤差を記憶する記憶部と、
前記演算した関節誤差が前記記憶部に記憶された前記許容関節誤差よりも大きければ前記減速機を通常使用不能状態と判断し、前記演算した関節誤差が許容関節誤差以下であれば前記減速機を通常使用可能状態と判断する演算部と、を備えた、
ことを特徴とする請求項２に記載のロボット装置。
【請求項４】
前記制御装置は、
前記減速機に作用する関節誤差の許容上昇率を記憶する記憶部と、
前記多関節ロボットが衝突した際の前記角度差から前記減速機に作用する関節誤差の上昇率を演算し、演算した上昇率が前記記憶部に記憶された前記許容上昇率よりも大きければ前記モータを停止させる演算部と、を備えた、
ことを特徴とする請求項２に記載のロボット装置。
【請求項５】
前記制御装置は、所定の姿勢での、前記入力側角度検出手段が検出する入力側回転角度と、前記出力側角度検出手段が検出する出力側回転角度と、の角度伝達誤差を演算し、演算した角度伝達誤差から前記減速機の状態を診断する、
ことを特徴とする請求項１に記載のロボット装置。
【請求項６】
前記制御装置は、
前記入力側角度検出手段が検出する前記入力側回転角度と、前記出力側角度検出手段が検出する前記出力側回転角度と、の予め設定された許容角度伝達誤差を記憶する記憶部と、
前記演算した角度伝達誤差が前記記憶部に記憶された前記許容角度伝達誤差よりも大きければ前記減速機を通常使用不能状態と判断し、前記演算した角度伝達誤差が許容角度伝達誤差以下であれば前記減速機を通常使用可能状態と判断する演算部と、を備えた、
ことを特徴とする請求項５に記載のロボット装置。
【請求項７】
モータと、前記モータに接続された減速機と、前記モータの回転軸の回転角度を検出可能な入力側角度検出手段と、前記減速機の出力側の回転角度を検出可能な出力側角度検出手段と、を有する関節を少なくとも１カ所に備えた多関節ロボットの前記減速機の状態を診断可能な減速機状態診断方法において、
前記入力側角度検出手段が検出する入力側回転角度を取得する入力側回転角度取得工程と、
前記出力側角度検出手段が検出する出力側回転角度を取得する出力側回転角度取得工程と、
前記入力側回転角度取得工程で取得した前記入力側回転角度と、前記出力側回転角度取得工程で取得した前記出力側回転角度との角度差から、前記減速機の状態を診断する減速機状態診断工程と、を備えた、
ことを特徴とする減速機状態診断方法。
【請求項８】
前記減速機状態診断工程は、前記多関節ロボットが衝突した際の、前記入力側角度検出手段が検出する前記入力側回転角度と、前記出力側角度検出手段が検出する前記出力側回転角度と、の角度差から関節誤差を演算し、演算した関節誤差から前記減速機の状態を診断する、
ことを特徴とする請求項７に記載の減速機状態診断方法。
【請求項９】
前記減速機状態診断工程は、前記演算した関節誤差が予め設定された前記減速機の許容関節誤差よりも大きければ前記減速機を通常使用不能状態と判断し、前記演算した関節誤差が許容関節誤差以下であれば前記減速機を通常使用可能状態と判断する、
ことを特徴とする請求項８に記載の減速機状態診断方法。
【請求項１０】
前記多関節ロボットが衝突した際の前記角度差から前記減速機に作用する関節誤差の上昇率を演算し、演算した関節誤差の上昇率が、前記減速機に作用する関節誤差の許容上昇率よりも大きければ前記モータを停止させる予防工程を備えた、
ことを特徴とする請求項８に記載の減速機状態診断方法。
【請求項１１】
前記減速機状態診断工程は、所定の姿勢での、前記入力側角度検出手段が検出する入力側回転角度と、前記出力側角度検出手段が検出する出力側回転角度と、の角度伝達誤差を演算し、演算した角度伝達誤差から前記減速機の状態を診断する、
ことを特徴とする請求項７に記載の減速機状態診断方法。
【請求項１２】
前記減速機状態診断工程は、前記演算した角度伝達誤差が予め設定された前記減速機の許容角度伝達誤差よりも大きければ前記減速機を通常使用不能状態と判断し、前記演算した角度伝達誤差が許容角度伝達誤差以下であれば前記減速機を通常使用可能状態と判断する、
ことを特徴とする請求項１１に記載の減速機状態診断方法。
【請求項１３】
請求項７から１２のいずれか１項に記載の各工程をコンピュータに実行させるための多関節ロボットの減速機状態診断プログラム。
【請求項１４】
請求項１３に記載の多関節ロボットの減速機状態診断プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多関節ロボットの各関節に設けられる減速機の状態を診断可能なロボット装置及び多関節ロボットの減速機状態診断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、工場等において、様々なロボット装置が使用されており、昨今においては、より複雑な動作を行わせるために多軸多関節のロボットアームを備えたロボット装置が広く普及している。
【０００３】
このような複雑な動作を行うロボット装置においては、ロボットアームの動作の自由度が高くなる分、作業中に、ロボットアームが周囲の構造物、ワークや工具等の他の物体と接触し、ロボットアームが損傷するおそれがある。例えば、ロボットアームが周囲の物体等と衝突して関節に設けられるアクチュエータの減速機に衝撃が加わると、減速機が歯飛び等の損傷を引き起こすおそれがある。減速機が損傷すると、各関節の角度伝達精度が低下し、ロボットアームの動作精度を低下させることになる。そのため、近年、ロボットアームの衝突に対する様々な技術が提案されている。
【０００４】
例えば、ロボットアームの各関節のアクチュエータ（モータ及び減速機）の入力側と出力側に角度検出器を設け、検出される角度差から衝突を判断し、衝突と判断した場合にはロボットアームを逆方向に駆動させる技術が提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
しかし、特許文献１に記載の技術は、ロボットアームに接触が発生したことは検知可能であるが、減速機は外部からの視認が困難であるため、接触による減速機の損傷の程度までは知ることができない。そのため、減速機の損傷を判断するには、減速機を分解して歯車の歯面を確認し、交換の要否を判断する必要がある。しかしながら、分解による減速機の損傷判断は、ロボットアームから減速機を取り外して分解する必要があり、多くの時間を必要とするという問題がある。
【０００６】
これに対しては、各関節のアクチュエータへの駆動電流値から求めた駆動トルクと、指令位置及びトルク変動パラメータから求めた推測トルクとを比較して、トルク差に基づいて交換の要否を判断する技術が提案されている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−２２８０２８号公報
【特許文献２】特開２００７−３０１６８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献２に記載の技術は、異常検知に用いるトルク値を各種パラメータ（サーボゲイン、ロボットアームの重量や重心、サーボモータの駆動トルクに影響を与えるパラメータ等）からの計算による推測で求める為、精度を欠くという問題がある。
【０００９】
そこで、本発明は、多関節ロボットの減速機の状態を短時間で、精度よく判断可能なロボット装置及び多関節ロボットの減速機状態診断方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、ロボット装置において、モータと、前記モータに接続された減速機と、前記モータの回転軸の回転角度を検出可能な入力側角度検出手段と、前記減速機の出力側の回転角度を検出可能な出力側角度検出手段と、を有する関節を少なくとも１カ所に備えた多関節ロボットと、前記入力側角度検出手段が検出する入力側回転角度と、前記出力側角度検出手段が検出する出力側回転角度との角度差から、前記減速機の状態を診断する制御装置と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、モータと、前記モータに接続された減速機と、前記モータの回転軸の回転角度を検出可能な入力側角度検出手段と、前記減速機の出力側の回転角度を検出可能な出力側角度検出手段と、を有する関節を少なくとも１カ所に備えた多関節ロボットの前記減速機の状態を診断可能な減速機状態診断方法において、前記入力側角度検出手段が検出する入力側回転角度を取得する入力側回転角度取得工程と、前記出力側角度検出手段が検出する出力側回転角度を取得する出力側回転角度取得工程と、前記入力側回転角度取得工程で取得した前記入力側回転角度と、前記出力側回転角度取得工程で取得した前記出力側回転角度との角度差から、前記減速機の状態を診断する減速機状態診断工程と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、多関節ロボットの減速機の状態を短時間で、精度よく判断可能なロボット装置及び減速機状態診断方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態に係るロボット装置を模式的に示す斜視図である。
【図２】図１に示す多関節ロボットの関節近傍の断面図である。
【図３】第１実施形態に係るロボット装置の制御装置の構成を示すブロック図である。
【図４】第１実施形態に係るロボット装置の制御系を示す機能ブロック図である。
【図５】正常な使用状態での関節のパルス信号を示す波形図である。
【図６】関節にねじれが発生した状態のパルス信号を示す波形図である。
【図７】衝突時の減速機状態診断処理の処理動作を示すフローチャートである。
【図８】第２実施形態に係るロボット装置の制御系を示す機能ブロック図である。
【図９】関節誤差上昇率に基づくサーボモータの動作停止処理を示すフローチャートである。
【図１０】第３実施形態に係るロボット装置の制御系を示す機能ブロック図である。
【図１１】歯飛び検出処理を示すフローチャートである。
【図１２】第４実施形態に係るロボット装置の制御系を示す機能ブロック図である。
【図１３】角度伝達誤差の説明図である。
【図１４】減速機状態診断処理動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施形態に係るロボット装置について、図１から図１４を参照しながら説明する。本発明の実施形態に係るロボット装置は、組み立て作業等を行う産業用ロボットであり、多関節ロボットの減速機の故障検出及び故障防止のための機能（状態を診断可能な機能）を備えている。なお、ここでいう故障とは、減速機の使用不能状態に加え、減速機を通常に使用することができない状態（通常使用不能状態）を含み、通常使用不能状態とは、例えば、所定の使用条件に対する許容範囲（通常使用可能状態）を超えた状態をいう。以下、第１から第４実施形態を用いて、本発明の実施形態に係るロボット装置について具体的に説明する。
【００１５】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態に係るロボット装置５００について、図１から図７を参照しながら説明する。まず、第１実施形態に係るロボット装置５００の全体構成について、図１から図３を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係るロボット装置５００を模式的に示す斜視図である。図２は、図１に示す多関節ロボット１００の関節近傍の断面図である。図３は、本実施形態に係るロボット装置５００の制御装置２００の構成を示すブロック図である。
【００１６】
図１に示すように、ロボット装置５００は、ワークＷの組立てを行う多関節ロボット１００と、多関節ロボット１００を制御する制御装置２００と、制御装置２００に接続されたティーチングペンダント３００と、を備えている。
【００１７】
多関節ロボット１００は、６軸多関節のロボットアーム１０１と、ロボットアーム１０１の先端に接続されたハンド（エンドエフェクタ）１０２と、ハンド１０２に作用する力等を検出可能な不図示の力センサと、を備えている。
【００１８】
ロボットアーム１０１は、作業台に固定されるベース部１０３と、変位や力を伝達する複数のリンク１２１〜１２６と、各リンク１２１〜１２６を旋回又は回転可能に連結する複数の関節１１１〜１１６と、を備えている。なお、本実施形態においては、複数の関節１１１〜１１６は構成が同じであるため、リンク１２１とリンク１２２との間に設けられた関節１１２を説明することで他の関節１１１，１１３〜１１６の説明は省略する。また、関節１１２と同じ構成の関節は、ロボットアーム１０１の複数の関節１１１〜１１６のうちの少なくとも１カ所に備えていればよい。
【００１９】
図２に示すように、関節１１２は、サーボモータ（モータ）１と、サーボモータ１の回転角度（入力側回転角度）を検出するための入力側エンコーダ１０と、サーボモータ１の出力を減速する波動歯車減速機（減速機）１１と、を備えている。また、関節１１２は、波動歯車減速機１１の出力側の回転角度（出力側回転角度）を検出するための出力側エンコーダ１６を備えている。
【００２０】
サーボモータ１は、電磁モータであり、ブラシレスＤＣモータやＡＣサーボモータが例示できる。サーボモータ１は、回転軸２とロータマグネット３とで構成された回転部４と、モータハウジング５と、回転軸２を回転自在に支持する軸受６，７と、回転部４を回転させるステータコイル８と、を備えている。軸受６，７はモータハウジング５に設けられ、ステータコイル８はモータハウジング５に取り付けられている。また、サーボモータ１はモータカバー９で囲われている。
【００２１】
入力側エンコーダ（入力側角度検出手段）１０は、サーボモータ１の回転軸２の一端側に設けられており、サーボモータ１の回転軸２の回転に伴って入力側パルス信号を生成し、制御装置２００に生成した入力側パルス信号を出力する。なお、サーボモータ１と入力側エンコーダ１０との間には、必要に応じて、電源ＯＦＦ時にロボットアーム１０１の姿勢を保持する等ためのブレーキユニットを設けてもよい。
【００２２】
波動歯車減速機１１は、入力部であるウェブジェネレータ１２と、出力部であるサーキュラスプライン１３と、ウェブジェネレータ１２とサーキュラスプライン１３との間に配置されたフレックススプライン１４と、を備えている。ウェブジェネレータ１２は、サーボモータ１の回転軸２の他端側に接続されている。サーキュラスプライン１３は、リンク１２２に接続されている。フレックススプライン１４は、リンク１２１に連結されている。つまり、サーボモータ１の回転軸２とウェブジェネレータ１２との結合部が、波動歯車減速機１１の入力側となり、フレックススプライン１４とリンク１２１との結合部が波動歯車減速機１１の出力側となる。そして、サーボモータ１の回転軸２は、波動歯車減速機１１を介して１／Ｎに減速（減速比Ｎで減速）され、リンク１２１とリンク１２２とが相対的に回転する。このときの波動歯車減速機１１の出力側の回転角度が、実出力角度、即ち関節１１２の角度となる。
【００２３】
出力側エンコーダ（出力側角度検出手段）１６は、波動歯車減速機１１の出力側に設けられており、リンク１２１とリンク１２２との相対角度を検出する。具体的には、出力側エンコーダ１６は、関節１１２の駆動（リンク１２１とリンク１２２との相対移動）に伴って出力側パルス信号を生成し、制御装置２００に生成した出力側パルス信号を出力する。なお、入力側エンコーダ１０及び出力側エンコーダ１６は、一般的なロータリエンコーダと同様に、光学式或いは磁気式ロータリエンコーダとして構成する。また、リンク１２１とリンク１２２との間には、クロスローラベアリング１５が設けられており、リンク１２１とリンク１２２とは、クロスローラベアリング１５を介して回転自在に連結されている。
【００２４】
ハンド１０２は、ワークＷを把持可能な複数のフィンガと、複数のフィンガを駆動する不図示のアクチュエータと、を備えており、複数のフィンガを駆動することでワークを把持可能に構成されている。力センサは、ハンド１０２が複数のフィンガでワークＷを把持する際等にハンド１０２に作用する力やモーメントを検出する。
【００２５】
図３に示すように、制御装置２００は、ＣＰＵ（演算部）２０１と、ＲＯＭ２０２と、ＲＡＭ２０３と、ＨＤＤ（記憶部）２０４と、記録ディスクドライブ２０５と、各種のインタフェース２１１〜２１５と、を備えている。
【００２６】
ＣＰＵ２０１には、ＲＯＭ２０２、ＲＡＭ２０３、ＨＤＤ２０４、記録ディスクドライブ２０５及び各種のインタフェース２１１〜２１５が、バス２１６を介して接続されている。ＲＯＭ２０２には、ＢＩＯＳ等の基本プログラムが格納されている。ＲＡＭ２０３は、ＣＰＵ２０１の演算処理結果を一時的に記憶する記憶装置である。
【００２７】
ＨＤＤ２０４は、ＣＰＵ２０１の演算処理結果である各種のデータ等を記憶する記憶部であると共に、ＣＰＵ２０１に、各種演算処理を実行させるためのプログラム（例えば、後述する減速機状態診断プログラム）３３０を記録するものである。ＣＰＵ２０１は、ＨＤＤ２０４に記録（格納）されたプログラム３３０に基づいて各種演算処理を実行する。記録ディスクドライブ２０５は、記録ディスク３３１に記録された各種データやプログラム等を読み出すことができる。
【００２８】
インタフェース２１１にはユーザが操作可能なティーチングペンダント３００が接続されており、ティーチングペンダント３００は、入力された各関節１１１〜１１６の目標関節角度をインタフェース２１１及びバス２１６を介してＣＰＵ２０１に出力する。また、インタフェース２１２ａ，２１２ｂには、入力側エンコーダ１０及び出力側エンコーダ１６が接続されており、入力側エンコーダ１０及び出力側エンコーダ１６は、前述したパルス信号をインタフェース２１２ａ，２１２ｂ及びバス２１６を介してＣＰＵ２０１に出力する。更に、インタフェース２１３，２１４には、各種画像が表示されるモニタ３１１や書き換え可能な不揮発性メモリや外付けＨＤＤ等の外部記憶装置３１２が接続されている。
【００２９】
また、インタフェース２１５にはサーボ制御装置３１３が接続されており、ＣＰＵ２０１は、サーボモータ１の回転軸２の回転角度の制御量を示す駆動指令のデータを所定間隔でバス２１６及びインタフェース２１５を介してサーボ制御装置３１３に出力する。サーボ制御装置３１３は、ＣＰＵ２０１から入力を受けた駆動指令に基づき、サーボモータ１への電流の出力量を演算し、サーボモータ１へ電流を供給して、ロボットアーム１０１の関節１１１〜１１６の関節角度制御を行う。即ち、ＣＰＵ２０１は、サーボ制御装置３１３を介して、関節１１１〜１１６の角度が目標関節角度となるように、サーボモータ１による関節１１１〜１１６の駆動を制御する。
【００３０】
ここで、後述する減速機状態診断プログラムを実行する際に、ＣＰＵ２０１及びＨＤＤ２０４が有する機能について、図４を参照しながら説明する。図４は、第１実施形態に係るロボット装置５００の制御系を示す機能ブロック図である。
【００３１】
図４に示すように、ＣＰＵ２０１は、理論出力角演算部４０１と、実出力角演算部４０２と、関節誤差演算部４０３と、衝突判断部４０５と、関節誤差比較判断部４０７と、を有している。ＨＤＤ２０４は、衝突判断閾値記憶部４０４と、許容関節誤差記憶部４０６と、を有している。
【００３２】
理論出力角演算部４０１は、入力側エンコーダ１０から受けた入力側パルス信号をカウントして入力側回転角度θｍを求め、減速比Ｎから出力側の角度換算した理論出力角θ１を演算する。つまり、θ１＝θｍ÷Ｎを演算する。実出力角演算部４０２は、出力側エンコーダ１６から受けた出力側パルス信号をカウントして実出力角（出力側回転角度）θ２を演算する。
【００３３】
関節誤差演算部４０３は、理論出力角演算部４０１の演算結果と、実出力角演算部４０２の演算結果と、から関節１１２の入出力の関節誤差Δθを求める。即ち、Δθ＝θ２−θ１となる。関節誤差が生じる理由としては、波動歯車減速機１１の弾性ねじれ変形（角度差）が支配的であるので、ここでは、関節１１２の関節誤差Δθは波動歯車減速機１１のねじれ量と等価として扱うことができる。
【００３４】
衝突判断閾値記憶部４０４は、衝突時関節誤差記憶手段として設けてあり、波動歯車減速機１１における衝突判定値θｃを記憶するものである。衝突判定値θｃは、波動歯車減速機１１がロボットアーム１０１の衝突時に発生すると想定される関節誤差を設定する。なお、通常運転時の関節誤差を予め記憶して衝突判定値θｃとしてもよく、衝突判定値θｃは時系列データとなる。さらに所定のマージンを加えた値を衝突判定値θｃとしてもよい。
【００３５】
衝突判断部４０５は、波動歯車減速機１１の衝突検知を行う。衝突判断部４０５は、衝突判断閾値記憶部４０４に保存された衝突判定値θｃと、関節誤差演算部４０３で計算された関節誤差Δθと、を比較することで衝突に相当する関節誤差が発生したかを検知するものであり、Δθがθｃを超えた場合に衝突として検知する。なお、本実施形態では、衝突判断部４０５と衝突判断閾値記憶部４０４により衝突の検出を行っているが、衝突の検出は、例えば、モータの駆動電流を用いる等の他の方法でもよく、ユーザが衝突判断を行ってもよい。
【００３６】
許容関節誤差記憶部４０６は、波動歯車減速機１１の許容関節誤差θｌｉｍを記憶するものである。許容関節誤差θｌｉｍは、波動歯車減速機１１の使用範囲を示す関節誤差である。ロボットアーム１０１の動作は、常時、許容関節誤差θｌｉｍ以下となるように運転される。許容関節誤差θｌｉｍは、予めカタログ等で定められている許容トルクから計算したものであってもよいし、別途実験で求めた値であってもよい。また、例えば、波動歯車減速機の製造者であるハーモニックドライブシステムズ社のカタログにおいては、許容関節誤差θｌｉｍは、カタログ記載の起動、停止時の許容ピークトルクを用いればよい。
【００３７】
関節誤差比較判断部４０７は、関節誤差演算部４０３で求めた関節誤差Δθと、許容関節誤差記憶部４０６に記憶されている波動歯車減速機１１の許容関節誤差θｌｉｍを比較し、関節誤差Δθが許容関節誤差θｌｉｍを上回るか否かを判断する。関節誤差Δθが許容関節誤差θｌｉｍよりも大きい場合は、波動歯車減速機１１が損傷を受けたと判断することができる。一方、関節誤差が許容関節誤差以下の場合は、通常使用可能であると判断することができる。波動歯車減速機１１が損傷を受けたと判断した場合、関節誤差比較判断部４０７は、モニタ３１１に関節誤差Δθが許容関節誤差θｌｉｍを上回ったことを示す警告を表示する。なお、警告の際に関節誤差Δθ、或いは、関節誤差Δθから換算した関節トルクを同時に表示してもよい。
【００３８】
次に、ＣＰＵ２０１による関節のねじれ角度の検出方法について、図５及び図６を参照しながら説明する。図５は、正常な使用状態での関節のパルス信号を示す波形図である。図６は、関節にねじれが発生した状態のパルス信号を示す波形図である。なお、図５及び図６に示すθ０は、関節ねじれ角度の原点を示す。また、出力側エンコーダ１６の分解能と、入力側エンコーダ１０を減速比で割った分解能は同じとして説明する。
【００３９】
図５及び図６において、出力側パルスは、出力側エンコーダ１６から入力される出力側パルス信号より、実出力角演算部４０２にて計算される。入力側パルスは、入力側エンコーダ１０から入力される入力側パルス信号より、理論出力角演算部４０１にて計算される。関節誤差演算部４０３にて、理論出力角θ１、実出力角θ２を計算し、関節誤差Δθを求める。
【００４０】
図５に示すように、正常な使用状態にあっても、関節１１２のパルス信号においては、波形Ａと波形Ｂの間に関節誤差Δθが発生している。関節誤差Δθが生じる理由としては、波動歯車減速機１１の弾性ねじれ変形が支配的であり、許容範囲内であれば、波動歯車減速機１１は正常な使用状態にある。
【００４１】
図６に示すように、衝突が発生した場合、波動歯車減速機１１の弾性ねじれ変形により、関節１１２にねじれが生じ、波形Ａと波形Ｂとのねじれ、すなわち、関節誤差Δθは大きくなる。このとき、図６に示す様に、Δθが衝突判定値θｃを上回った場合に、衝突が発生したと検知する。なお、ΔθはＲＡＭ２０３に一定期間記憶され、任意に読み出せるようになっている。
【００４２】
次に、ロボットアーム１０１が周囲の構造物等に衝突した際の減速機状態診断処理（減速機状態診断方法）について、図７を参照しながら説明する。図７は、衝突時の減速機状態診断処理の処理動作を示すフローチャートである。なお、図７に示す各ステップは、ＣＰＵ２０１がＨＤＤ２０４に記憶された減速機状態診断プログラムを読み出して実行されるものである。
【００４３】
図７に示すように、まず、ロボットアーム１０１の運転開始時に、ＣＰＵ２０１が予め定めてある衝突判定値θｃを衝突判断閾値記憶部４０４より読みだす（ステップＳ１）。このとき、ＨＤＤ２０４が衝突判断閾値記憶部４０４として機能する。次に、入力側エンコーダ１０からの入力側回転角度情報と、出力側エンコーダ１６からの出力側回転角度情報とを基に、ＣＰＵ２０１が、理論出力角θ１及び実出力角θ２を演算する（入力側回転角度取得工程、出力側回転角度取得工程、ステップＳ２）。
【００４４】
次に、ステップＳ２での入出力の関節角度の計算結果を基に、ＣＰＵ２０１が関節誤差演算部４０３として機能することで、入出力の関節誤差Δθ、すなわち関節１１２のねじれ量をΔθ＝θ２−θ１として計算する（ステップＳ３）。このときに計算するΔθは、衝突検出時の所定時間範囲内の最大値を求めてΔθとする。次に、ステップＳ１で衝突判断閾値記憶部４０４より読み込んだ衝突判定値θｃと、ステップＳ３で計算された関節誤差Δθと、の計算結果とを比較する（ステップＳ４）。このとき、ＨＤＤ２０４が衝突判断閾値記憶部４０４として機能し、またＣＰＵ２０１が衝突判断部４０５として機能する。衝突を検知しない間、ステップＳ２〜Ｓ４を繰り返し、衝突を検知した場合、ステップＳ５に移行する。
【００４５】
次に、ＣＰＵ２０１が衝突と判断すると、サーボ制御装置３１３へ診断モードへの移行を指示し、サーボモータ１の動作を停止させる（ステップＳ５）。そして、許容関節誤差記憶部４０６に記憶されている、波動歯車減速機１１の許容関節誤差θｌｉｍを読み出す（ステップＳ６）。このとき、ＨＤＤ２０４が許容関節誤差記憶部４０６として機能する。
【００４６】
次に、関節誤差比較判断部４０７により、ステップＳ３にて計算した関節誤差Δθと、ステップＳ６にて読み出した波動歯車減速機１１の許容関節誤差θｌｉｍと、を比較する（ステップＳ７）。そして、発生した関節誤差Δθが許容関節誤差以下の場合、波動歯車減速機１１に損傷が無いものと判断し、モニタ３１１に減速機損傷なしの表示を行う（減速機状態取得工程、ステップＳ８）。一方、発生した関節誤差Δθが許容関節誤差θｌｉｍを上回っている場合、波動歯車減速機１１に損傷が加わったと判断し、モニタ３１１に減速機損傷の表示（警告）を行う（減速機状態取得工程、ステップＳ９）。このとき、ＣＰＵ２０１が関節誤差比較判断部４０７として機能する。ステップＳ８及びステップＳ９でモニタ３１１への通知が終了すると、診断を終了する。
【００４７】
以上説明したように、第１実施形態に係るロボット装置５００によれば、ロボットアーム１０１が衝突した際の関節の波動歯車減速機１１の損傷を、ロボットアーム１０１を分解することなく判断することができる。また、衝突時に発生する関節誤差Δθにより損傷レベルを判断することで、精度よく判断することができる。つまり、ロボットアーム１０１の波動歯車減速機１１の状態を短時間で、精度よく判断することができる。
【００４８】
また、ロボットアーム１０１の関節１１１〜１１６にこの方法を導入すれば、衝突により損傷した関節の特定が難しい場合や、複数の関節が損傷している場合にも、損傷した関節の特定が可能である。よって、従来の方法に比べて、ロボットアーム１０１の衝突による故障判断を迅速に実現することができる。
【００４９】
なお、本実施形態においては、サーボモータ１と波動歯車減速機１１とが直結されている状態で説明したが、サーボモータと波動歯車減速機との間にタイミングベルトを設ける場合もあり、その際は許容ねじれ角を別途、実験等で求めればよい。
【００５０】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係るロボット装置５００Ａについて、図８及び図９を参照しながら説明する。第１実施形態では関節誤差を検出し、波動歯車減速機の故障の判断を行ったが、第２実施形態では関節誤差の上昇率を演算し、上昇率から衝突判断を行ってサーボモータを停止させることで波動歯車減速機１１の損傷を軽減させる手段について述べる。
【００５１】
なお、ロボット装置５００Ａの全体構成は、第１実施形態と同様であるため説明を省略し、第１実施形態と異なる点である、上昇率から衝突判断を行ってサーボモータを停止させるプログラムを実行するための構成を中心に説明する。まず、第２実施形態に係る関節誤差上昇率に基づくモータ停止処理を実行する際に、ＣＰＵ２０１及びＨＤＤ２０４が有する機能について、図８を参照しながら説明する。図８は、第２実施形態に係るロボット装置５００Ａの制御系を示す機能ブロック図である。
【００５２】
図８に示すように、第２実施形態に係るＣＰＵ２０１は、関節誤差上昇率演算部４１０と、関節誤差上昇率比較判断部４１２と、を更に有している。また、第２実施形態に係るＨＤＤ２０４は、許容関節誤差上昇率記憶部４１１を更に有している。
【００５３】
関節誤差上昇率演算部４１０は、関節誤差演算部４０３で計算された入出力の関節誤差の、所定時間毎の上昇率を演算する。許容関節誤差上昇率記憶部４１１は、所定時間内の関節誤差上昇率の許容値（許容上昇率）を記憶させる。関節誤差上昇率比較判断部４１２は、予め許容関節誤差上昇率記憶部４１１に記憶させた所定時間内の関節誤差上昇率の許容値と、関節誤差上昇率演算部４１０で計算された所定時間内の関節誤差の上昇率とを比較する。そして、上昇率が許容値を超えると、サーボモータ１の停止の指示を行う。
【００５４】
次に、関節誤差上昇率に基づくサーボモータ停止処理について、図９を参照しながら説明する。図９は、関節誤差上昇率に基づくサーボモータの動作停止処理を示すフローチャートである。なお、図９に示す各ステップは、ＣＰＵ２０１がＨＤＤ２０４に記憶されたプログラム３３０に格納された関節誤差上昇率に基づくモータ停止プログラムを読み出して実行されるものである。
【００５５】
図９に示すように、まず、ロボットアーム１０１の運転開始時に、ＣＰＵ２０１が予め定めてある関節誤差上昇率の許容値Ａｌｉｍを許容関節誤差上昇率記憶部４１１より読み出す（ステップＳ１１）。このとき、ＨＤＤ２０４が許容関節誤差上昇率記憶部４１１として機能する。この許容値については正常な運転で生じる誤差上昇率を用いてもよく、正常な運転での誤差上昇率の時系列データとなる。更にバラツキ等のマージンを加えてもよい。ステップＳ１２、Ｓ１３は第１実施形態のステップＳ２、Ｓ３と同様であるため説明を省略する。
【００５６】
次に、ＣＰＵ２０１が関節誤差上昇率演算部４１０として機能することにより、所定時間内での関節誤差上昇率を計算する（ステップＳ１４）。この時間について本実施形態では、Ｓ１２〜Ｓ１５までの１サイクルをサイクル時間Δtとしているが、別途定めた値でもよい。
【００５７】
次に、ＣＰＵ２０１が関節誤差上昇率比較判断部４１２として機能することでステップＳ１４で計算した関節誤差上昇率Ａが、ステップＳ１１で読み出した許容値Ａｌｉｍを上回る場合に、サーボモータ１へ動作停止を指示する（予防工程、ステップＳ１５）。なお、サーボモータ１を停止する際には、第１実施形態のように、例えば、モニタ３１１にユーザへの通知（警告）をすることが望ましい。
【００５８】
以上説明したように、第２実施形態に係るロボット装置５００Ａは、衝突により発生する関節誤差の上昇率に基づいてサーボモータへ停止指令を送るようにしている。そのため、関節誤差を閾値とする場合と比較すると、関節誤差の小さい衝突の初期段階において、その後の関節誤差の発生を予測可能となる。これにより、衝突による損傷をより小さくすることができる。
【００５９】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係るロボット装置５００Ｂについて、図１０及び図１１を参照しながら説明する。第１実施形態では波動歯車減速機１１の損傷を判断する方法を述べたが、波動歯車減速機を用いる場合、歯飛びによる損傷が致命的である。そのため、第３実施形態では波動歯車減速機１１の歯飛び検出処理について述べる。
【００６０】
なお、ロボット装置５００Ｂの全体構成は、第１実施形態と同様であるため説明を省略し、第１実施形態と異なる点、即ち、波動歯車減速機１１の歯飛び検出処理を実行するための構成を中心に説明する。まず、第３実施形態に係る歯飛び検出処理を実行する際に、ＣＰＵ２０１及びＨＤＤ２０４が有する機能について、図１０を参照しながら説明する。図１０は、第３実施形態に係るロボット装置５００Ｂの制御系を示す機能ブロック図である。
【００６１】
図１０に示すように、第３実施形態に係るＣＰＵ２０１は、ピッチ角度比較判断部４２１を更に有している。また、第２実施形態に係るＨＤＤ２０４は、ピッチ角度記憶部４２０を更に有している。なお、本実施形態に係るピッチ角度は、減速機の隣り合う歯車の角度間隔を示し、例えば、歯数１００の減速機のピッチ角度は、３６０°÷１００＝３．６°となる。
【００６２】
ピッチ角度記憶部４２０は、減速機のピッチ角度θａを記憶する。ピッチ角度比較判断部４２１は、衝突発生時に波動歯車減速機１１が歯飛びを起こしたか否かを判断する。具体的には、関節誤差演算部４０３で計算された関節誤差Δθが、波動歯車減速機１１のピッチ角度θａを上回る場合に歯飛びが発生したと判断する。
【００６３】
次に、第３実施形態では波動歯車減速機１１の歯飛び検出処理について、図１１を参照しながら説明する。図１１は、歯飛び検出処理を示すフローチャートである。なお、図１１に示す各ステップは、ＣＰＵ２０１がＨＤＤ２０４に記憶されたプログラム３３０に格納された歯飛び検出プログラムを読み出して実行されるものである。
【００６４】
ステップＳ２１からＳ２５までの動作は、第１実施形態のステップＳ１からＳ５までと同様であるため説明を省略する。ステップＳ２５で診断モードへ移行すると、次に、ＣＰＵ２０１が、予め記憶させてあるピッチ角度θａをピッチ角度記憶部４２０より読み出す（ステップＳ２６）。このとき、ＨＤＤ２０４がピッチ角度記憶部４２０として機能する。ピッチ角度θａについては、波動歯車減速機１１の歯数によって決定されるので、予めカタログ値などで確認し、ピッチ角度記憶部４２０に記憶させる。
【００６５】
次に、ＣＰＵ２０１がピッチ角度比較判断部４２１として機能することで、ステップＳ２６で読み出したピッチ角度θａと、ステップＳ２３で計算した関節誤差Δθとを比較し、関節誤差Δθがピッチ角度θａを上回るか否かを判断する（ステップＳ２７）。関節誤差Δθがピッチ角度以下であると判断した場合は、モニタ３１１に歯飛びなしの表示を行う（ステップＳ２８）。一方、関節誤差Δθがピッチ角度θａを上回ると判断した場合は、モニタ３１１に歯飛びが発生した旨を表示して、波動歯車減速機の交換を勧告して歯飛び検出プログラムを終了する（ステップＳ２９）。
【００６６】
以上説明したように、第３実施形態に係るロボット装置５００Ｂによれば、衝突により発生する関節誤差と波動歯車減速機１１のピッチ角度に基づいて歯飛びを検出できるようにしている。そのため、歯飛びが発生した場合の波動歯車減速機１１の交換判断を迅速に行うことができる。
【００６７】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係るロボット装置５００Ｃについて、図１２から図１４を参照しながら説明する。第１実施形態から第３実施形態では、波動歯車減速機の理論出力角と実出力角の差を検出し、損傷の判断や損傷軽減を図った。ここで、一般に、減速機は、入力回転角度を減速比で割った理想的な出力角度に対して、誤差が載った出力角度になる。第４実施形態では、この誤差を角度伝達誤差という。波動歯車減速機のような歯車を備えた減速機が損傷した場合、歯車の表面が塑性変形や表面粗さの変化により角度伝達誤差が低下する。そこで、第４実施形態では、衝突前後の角度伝達誤差の変化を利用して、損傷判断を行う。以下、具体的に説明する。
【００６８】
なお、ロボット装置５００Ｃの全体構成は、第１実施形態と同様であるため説明を省略し、第１実施形態と異なる点、即ち、波動歯車減速機１１の角度伝達誤差に基づく減速機状態診断プログラムを実行するための構成を中心に説明する。まず、第４実施形態に係る角度伝達誤差に基づく減速機状態診断プログラムを実行する際に、ＣＰＵ２０１及びＨＤＤ２０４が有する機能について、図１２を参照しながら説明する。図１２は、第４実施形態に係るロボット装置５００Ｃの制御系を示す機能ブロック図である。
【００６９】
図１２に示すように、第４実施形態に係るＣＰＵ２０１は、角度伝達誤差演算部４３１と、角度伝達誤差比較判断部４３３と、を更に有している。また、第４実施形態に係るＨＤＤ２０４は、診断動作記憶部４３０と、許容角度伝達誤差記憶部４３２と、を更に有している。
【００７０】
診断動作記憶部４３０は、本実施形態における診断動作を行う際のロボットアーム１０１の姿勢記憶と、サーボモータ１の回転速度の記憶を行うものである。ロボットアーム１０１の姿勢により負荷トルク等の関節の状態が異なるため、角度伝達誤差もロボットアーム１０１の姿勢で若干ながら異なる。そのため、衝突前後の角度伝達誤差を比較するには、衝突前後で同じロボットアーム１０１の姿勢にする必要がある。
【００７１】
本実施形態におけるロボットアーム１０１の姿勢記憶は、第１の関節１１１から第６の関節１１６の各々の関節角度を記憶すればよい。また、ロボットアーム１０１は複数の関節とリンクで構成されるため、複数の慣性負荷と複数のばねで構成されるため、振動モードが複雑になる。この振動モードは、ロボットアーム１０１の姿勢によっても変化する。角度伝達誤差を測定する際にサーボモータ１を回転させるが、このサーボモータ１が振動の加振源になる。衝突前後の角度伝達誤差を比較するには、同じ振動の状態にするために、サーボモータを衝突前後で同じ回転速度にするする必要がある。
【００７２】
角度伝達誤差演算部４３１は、診断姿勢をとったロボットアーム１０１の関節１１２において、サーボモータ１の回転軸２を１回転させた場合の角度伝達誤差θｅｒを計算するものである。許容角度伝達誤差記憶部４３２は、角度伝達誤差θｅｒの許容値を記憶する。本実施形態においては、平常時のロボットアーム１０１の関節１１２における角度伝達誤差を許容角度伝達誤差θｅｒ０として記憶するが、別途定めた値であってもよい。
【００７３】
角度伝達誤差比較判断部４３３は、角度伝達誤差演算部４３１において計算した角度伝達誤差θｅｒと、許容角度伝達誤差記憶部４３２から読み出した許容角度伝達誤差θｅｒ０とを比較し、波動歯車減速機１１の劣化を判断するものである。
【００７４】
ここで、図１３に角度伝達誤差の説明図を示す。図１３は、縦軸を出力側の理論的な回転角度と実際の回転角度の差、横軸を入力側回転角度とし、入力側を３６０度回転させた場合の角度伝達誤差θｅｒについて表したものである。角度伝達誤差とは、減速機構において、入力パルス数から計算される出力側の理論的な回転角度と実際の回転角度の差である。そしてこれが、ロボットアーム１０１の精度が低下する要因の一つとなっている。
【００７５】
次に、第４実施形態に係るロボット装置５００Ｃの減速機状態診断処理について、図１４を参照しながら説明する。図１４は、減速機状態診断処理動作を示すフローチャートである。なお、図１４に示す各ステップは、ＣＰＵ２０１がＨＤＤ２０４に記憶されたプログラム３３０に格納された減速機状態診断プログラムを読み出して実行されるものである。
【００７６】
図１４に示すように、診断を開始すると、まず、関節誤差から姿勢による影響を除くため、ロボットアーム１０１を所定の姿勢へ動作させる。このとき、診断動作記憶部４３０に記憶されている姿勢となるように、サーボモータ１を駆動させる（ステップＳ３１）。これは、ロボットアーム１０１の姿勢により波動歯車減速機１１への負荷が異なるため、第４実施形態のように角度伝達誤差を比較する場合、平常時の基準姿勢と同じ姿勢で角度伝達誤差を検出する必要があるためである。なお、この平常時の基準姿勢は複数あってもよい。
【００７７】
ロボットアーム１０１が所定の姿勢になると、角度伝達誤差検出のために、サーボモータ１への指令により回転軸２を１回転させる（ステップＳ３２）。回転軸２を１回転する際の回転速度は、平常時で検出した場合と略同一とするのが望ましく、診断動作記憶部４３０に平常時で検出した場合の回転速度を記憶させておくのがよい。ステップＳ３３は前述したステップＳ２（入力側回転角度取得工程、出力側回転角度取得工程）と同様であるため説明を省略する。
【００７８】
次に、ステップＳ３２で回転軸２を１回転させた場合の角度伝達誤差θｅｒを求める（ステップＳ３４）。角度伝達誤差θｅｒは、図１３に示したように、θ１−θ２の最大値と最小値の差より求める。次に、ＣＰＵ２０１が、予め記憶させてある許容角度伝達誤差θｅｒ０を許容角度伝達誤差記憶部４３２より読みだす（ステップＳ３５）。このとき、ＨＤＤ２０４が許容角度伝達誤差記憶部４３２として機能する。許容角度伝達誤差θｅｒ０については、ロボットアーム１０１の平常運転時に測定しておき、許容角度伝達誤差記憶部４３２に記憶させておくのがよい。
【００７９】
次に、角度伝達誤差比較判断部４３３により、ステップＳ３４にて計算した角度伝達誤差θｅｒと、ステップＳ３５にて読み出した許容角度伝達誤差θｅｒ０に係数ａを乗じた値を比較する（ステップＳ３６）。なお、係数ａについては、ロボットアーム１０１の必要精度によって決定するのがよい。つまり、ロボットアーム１０１の動作時に精密な動作が要求される場合は係数ａを低く設定し、僅かな誤差の増大を検知できるようにする。
【００８０】
そして、測定した角度伝達誤差θｅｒが、係数ａを乗じた許容角度伝達誤差以下である場合、モニタ３１１に減速機損傷なしの表示を行う（減速機状態取得工程、ステップＳ３７）。一方、発生した関節誤差Δθが許容関節誤差θｌｉｍを上回っている場合、波動歯車減速機１１の交換が必要と判断し、モニタ３１１に減速機損傷（要交換）の表示（警告）を行う（減速機状態取得工程、ステップＳ３８）。このとき、ＣＰＵ２０１が角度伝達誤差比較判断部４３３として機能する。ステップＳ３７及びステップＳ３８でモニタ３１１への通知が終了すると、診断を終了する。
【００８１】
以上説明したように、第４実施形態に係るロボット装置５００Ｃによれば、入出力の関節誤差を平常時と比較することで、波動歯車減速機の状態を判断可能となり、波動歯車減速機の交換判断を迅速に行うことができる。なお、上述した波動歯車減速機１１の角度伝達誤差に基づく減速機状態診断方法は、衝突直後以外でも使用することができる。例えば、始業点検時や定期点検時等に、波動歯車減速機１１の損傷具合を確認するために用いることができる。
【００８２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。また、本発明の実施形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、本発明の実施形態に記載されたものに限定されない。
【００８３】
例えば、本実施形態においては、多関節ロボット１００が、垂直多関節ロボットである場合について説明したが、水平多関節ロボット（スカラロボット）、パラレルリンクロボットなどであってもよい。
【００８４】
また、本実施形態の各処理動作は具体的には制御装置２００の制御部としてのＣＰＵ２０１により実行されるものである。従って、上述した機能を実現するプログラムを記録した記録媒体を制御装置２００に供給し、制御装置２００のコンピュータ（ＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に格納されたプログラムを読み出し実行することによって達成されるようにしてもよい。この場合、記録媒体から読み出されたプログラム自体が上述した実施形態の機能を実現することになり、プログラム自体及びそのプログラムを記録した記録媒体は本発明を構成することになる。
【００８５】
また、本実施形態では、コンピュータ読み取り可能な記録媒体がＨＤＤ２０４であり、ＨＤＤ２０４にプログラム３３０が格納される場合について説明したが、これに限定するものではない。プログラム３３０は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体であれば、いかなる記録媒体に記録されていてもよい。例えば、プログラムを供給するための記録媒体としては、図３に示すＲＯＭ２０２、外部記憶装置３１２、記録ディスク３３１等を用いてもよい。具体例を挙げて説明すると、記録媒体として、フレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭ等を用いることができる。また、本実施形態におけるプログラムを、ネットワークを介してダウンロードしてコンピュータにより実行するようにしてもよい。
【００８６】
また、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行することにより、本実施形態の機能が実現されるだけに限定するものではない。そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれる。
【００８７】
さらに、記録媒体から読み出されたプログラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれてもよい。そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって本実施形態の機能が実現される場合も含まれる。
【符号の説明】
【００８８】
１    サーボモータ（モータ）
２    回転軸
１０    入力側エンコーダ（入力側角度検出手段）
１１    波動歯車減速機（減速機）
１６    出力側エンコーダ（出力側角度検出手段）
１００    多関節ロボット
１１１〜１１６    関節
２００    制御装置
２０１    ＣＰＵ（演算部）
２０４    ＨＤＤ（記憶部）
３００    ティーチングペンダント
５００    ロボット装置
Ｗ    ワーク
【図１】
2015003357.tif 000003
【図２】
2015003357.tif 000004
【図３】
2015003357.tif 000005
【図４】
2015003357.tif 000006
【図５】
2015003357.tif 000007
【図６】
2015003357.tif 000008
【図７】
2015003357.tif 000009
【図８】
2015003357.tif 000010
【図９】
2015003357.tif 000011
【図１０】
2015003357.tif 000012
【図１１】
2015003357.tif 000013
【図１２】
2015003357.tif 000014
【図１３】
2015003357.tif 000015
【図１４】
2015003357.tif 000016