(57)【要約】【課題】  光軸合せの際の作業性を向上する。【解決手段】  レンズ支持体１１内にレンズ１２，１３を固定してなるレンズユニット１０と、レーザ支持体２１内にレーザ発光素子２２を固定してなるレーザユニット２０とを、光軸合わせして前後に配置した光源装置において、レンズ支持体１１の後部側に枠状取付部１１ｂが設けられ、このレンズ支持体１１内に、レーザ支持体２１が遊びを有する状態で嵌め合せられ、枠状取付部１１ｂとレーザ支持体２１とは、これらの間に跨る接着剤３０によって固定されている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズ支持体内にレンズを固定してなるレンズユニットと、レーザ支持体内にレーザ発光素子を固定してなるレーザユニットとを、光軸合わせして前後に配置した光源装置において、
前記レンズ支持体の後部側に枠状取付部が設けられ、この枠状取付部内に、前記レーザ支持体が遊びを有する状態で嵌め合せられ、前記枠状取付部と前記レーザ支持体とは、これらの間に跨る接着剤によって固定されていることを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記枠状取付部と前記レーザ支持体との間の空間は、前記枠状取付部に挿入される前記レンズユニットを光軸に略直交するＸ方向およびＹ方向へ移動可能であって、且つ同レンズユニットを前記Ｘ方向と前記Ｙ方向とのうちの少なくとも一方を軸にして回転可能なように確保されていることを特徴とする請求項１記載の光源装置。
【請求項３】
前記レーザ支持体は、光軸方向を挟む両外側面に、治具によって両側から挟持可能な被挟持部を有し、
前記枠状取付部には、前記被挟持部に対応する位置に、前記治具を挿通させるための治具挿通用切欠部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の光源装置。
【請求項４】
前記レーザ支持体は、複数枚の板状部材を、前後に重ね合わせてなり、
前記複数枚の板状部材のうち、一部の板状部材の外縁に、放熱用切欠部を設けることで、該放熱用切欠部と他の板状部材の外縁との間に段部が形成されるようにしたことを特徴とする請求項１乃至３何れか１項記載の光源装置。
【請求項５】
前記レーザ支持体に、前記レーザ発光素子を挿通し固定する嵌合孔を設け、前記レーザ発光素子の外周部と前記嵌合孔の内周部とのうち、その一方に突起を設けるとともに他方には前記突起に嵌り合う凹部を設けたことを特徴とする請求項１乃至４何れか１項記載の光源装置。
【請求項６】
前記レーザユニットを治具により挟持し、前記治具を移動することで、前記レーザユニットを前記枠状取付部内で光軸合せした後、前記レーザ支持体と前記枠状取付部との間に前記接着剤を充填するようにしたことを特徴とする請求項１乃至５何れか１項記載の光源装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至５何れか１項記載の光源装置を光源に用いたスキャナ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ素子を用いた光源装置、及び該光源装置の製造方法並びに該光源装置を用いたスキャナ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の光源装置には、例えば特許文献１に記載されるもののように、ブロック体（２８）内にレンズセル（４６）等を固定してなるレンズユニットと、レーザホルダ板（４９）内にレーザ発光素子（５１）を固定してなるレーザ発光部ユニット（２０）とを備え、これらを光軸合わせして前後に連結しネジ止めするようにしたものがある。
この従来技術では、ブロック体（２８）側の第１規制突起（５６）と、レーザホルダ板（４９）側の貫通規制溝（５８）とを遊嵌するようにしているため、光軸合せの作業時に、第１規制突起（５６）と貫通規制溝（５８）の隙間を目視して、両者の位置関係をおおまかに把握することができる。
【０００３】
しかしながら、光軸合せの際、ブロック体（２８）に対しレーザホルダ板（４９）をＸＹ方向へ移動することが可能であるものの、レーザホルダ板（４９）をブロック体（２８）の背面に当接させて位置合わせする構造であるため、ブロック体（２８）を、Ｘ方向又はＹ方向を軸にした回転（いわゆる、チルト方向の回転）は困難である。
また、ＸＹ方向に位置合わせした後のレーザホルダ板（４９）を、レーザホルダ板（４９）に対しネジ止めにより固定するようにしているため、そのネジ止め作業の際に光軸がずれてしまうおそれもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−２０１３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記従来事情に鑑みてなされたものであり、その課題とする処は、光軸合せの際の作業性を向上することができる光源装置及び該光源装置の製造方法並びに該光源装置を用いたスキャナ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための一手段である光源装置は、レンズ支持体内にレンズを固定してなるレンズユニットと、レーザ支持体内にレーザ発光素子を固定してなるレーザユニットとを、光軸合わせして前後に配置した光源装置において、前記レンズ支持体の後部側に枠状取付部が設けられ、この枠状取付部内に、前記レーザ支持体が遊びを有する状態で嵌め合せられ、前記枠状取付部と前記レーザ支持体とは、これらの間に跨る接着剤によって固定されている。
この構成によれば、枠状取付部内でレーザユニットをＸ方向やＹ方向へ移動させたりチルト方向へ回転させたりして、レーザ発光素子の光軸とレンズの光軸とを高精度に一致させた後に、レンズユニットとレーザユニットを接着剤によって固定することができ、これら位置合わせ及び接着固定等の作業性が良好である。
なお、前記枠状取付部は、任意形状にすることが可能であるが、好ましくは、前記レンズの光軸に略直交する矩形状に形成される。また、前記レーザ支持体も、好ましくは、前記枠状取付部の内側面に対し隙間を置いて略平行する矩形枠状に形成される。
【０００７】
また、より好ましい手段として、前記枠状取付部と前記レーザ支持体との間の空間は、前記枠状取付部に挿入される前記レンズユニットを光軸に略直交するＸ方向およびＹ方向へ移動可能であって、且つ同レンズユニットを前記Ｘ方向と前記Ｙ方向とのうちの少なくとも一方を軸にして回転可能なように確保されている。
【０００８】
さらに好ましい手段として、光軸合せの作業性向上のために、前記レーザ支持体は、光軸方向を挟む両外側面に、治具によって両側から挟持可能な被挟持部を有し、前記枠状取付部には、前記被挟持部に対応する位置に、前記治具を挿通させるための治具挿通用切欠部が設けられている。
【０００９】
さらに好ましい手段としては、前記レーザ支持体は、複数枚の板状部材を、前後に重ね合わせてなり、前記複数枚の板状部材のうち、一部の板状部材の外縁に、放熱用切欠部を設けることで、該放熱用切欠部と他の板状部材の外縁との間に段部が形成されるようにした。
この構成によれば、放熱用切欠部と他方の板状部材との間に形成される段部によって、レーザ発光素子から伝達される熱を効率的に放熱することができる。
なお、この作用効果は、前記枠状取付部及び接着剤を省いた構成によっても得ることができる。
【００１０】
さらに好ましい手段としては、前記レーザ発光素子の位置決めを容易にするために、前記レーザ支持体に、前記レーザ発光素子を挿通し固定する嵌合孔を設け、前記レーザ発光素子の外周部と前記嵌合孔の内周部とのうち、その一方に突起を設けるとともに他方には前記突起に嵌り合う凹部を設けた。
【００１１】
また、前記光源装置の製造方法としては、前記レーザユニットを治具により挟持し、前記治具を移動することで、前記レーザユニットを前記枠状取付部内で光軸合せした後、前記レーザ支持体と前記枠状取付部との間に前記接着剤を充填するようにした。
【００１２】
さらなる手段では、上記光源装置を光源に用いてスキャナ装置を構成した。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、以上説明したように構成されているので、光軸合せの際の作業性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る光源装置の一例を斜め後方側から視た斜視図であり、接着剤は省略している。
【図２】同光源装置を示す断面図である。
【図３】同光源装置の後面図である。
【図４】レーザ支持体を構成する複数種類の板状部材を（ａ）〜（ｃ）にそれぞれ示す平面図である。
【図５】同光源装置及びミラー装置の一例を示す斜視図である。
【図６】同光源装置及び同ミラー装置を用いたスキャナー装置の一例を示す斜視図である。
【図７】治具により光源装置を挟持した状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に、本発明に係る実施の一形態を、図面に基づいて詳細に説明する。
【００１６】
図１及び図２に示すように、光源装置１は、レンズ支持体１１内に複数種類のレンズ１２，１３を固定してなるレンズユニット１０と、レーザ支持体２１内にレーザ発光素子２２を固定してなるレーザユニット２０とを、光軸合わせして前後に組み合わせてなる。
【００１７】
レンズ支持体１１は、前側に位置する略筒状のレンズ保持部１１ａと、該レンズ保持部１１ａの後端側に位置する枠状取付部１１ｂとから一体に構成される。
【００１８】
レンズ保持部１１ａは、その内周部分に複数種類のレンズ１２，１３を固定している。これらレンズ１２，１３のうち、光源に近い方のレンズ１２は、コリメータレンズであり、光源から遠い方のレンズ１３は、トロイダルレンズである。
【００１９】
枠状取付部１１ｂは、レンズ保持部１１ａ内に連通する矩形枠状の部材であり、後述するレーザユニット２０の前端側を挿入し接着剤３０によって固定している（図２参照）。
この枠状取付部１１ｂ内の空間は、挿入されるレーザユニット２０を光軸に略直交するＸ方向およびＹ方向（図３の左右方向および上下方向）、Ｚ方向（図２の左右方向）へ移動可能であって、且つ同レーザユニット２０を前記Ｘ方向と前記Ｙ方向とのうちの少なくとも一方を軸にして回転可能なように確保される。
【００２０】
より具体的に説明すれば、この枠状取付部１１ｂ内側面の上下方向の寸法は、枠状取付部１１ｂ外側面の上下方向の寸法よりも大きく設定され、同枠状取付部１１ｂ内側面の左右方向の寸法は、同枠状取付部１１ｂ外側面の左右方向の寸法よりも大きく設定される。そして、枠状取付部１１ｂ内の奥行方向（図２によれば右方向）の寸法は、挿入されたレーザユニット２０をチルト方向へ回転可能なように、適宜に設定される。
【００２１】
なお、図示例によれば、枠状取付部１１ｂの上下左右の外形寸法は、レンズ保持部１１ａの外径よりも大きく設定され、枠状取付部１１ｂ内の奥側には、レーザユニット２０の前方への移動を規制する被当接面１１ｃ（図２参照）が形成され、この被当接面１１ｃよりも中心側（光軸側）の空間が、レンズ保持部１１ａ内の空間に連通している。
【００２２】
また、枠状取付部１１ｂには、後述するレーザユニット２０の被挟持部２１ａ３に対応する位置に、治具ｘを挿通させるための治具挿通用切欠部１１ｂ１が設けられている（図１参照）。
より詳細に説明すれば、図示例の枠状取付部１１ｂは、上下方向に間隔を置いて平行に設けられた上下片部１１ｂ２，１１ｂ２と、左右方向に間隔を置いて平行に設けられた左右片部１１ｂ３，１１ｂ３とからなる矩形枠状に形成され、左右片部１１ｂ３，１１ｂ３の各々における上下方向の中央寄りに、左右方向に貫通した治具挿通用切欠部１１ｂ１を有する。
各治具挿通用切欠部１１ｂ１は、図３に示すように、コ字状に形成され、その上下方向の寸法は、挿入される治具ｘがレーザユニット２０の被挟持部２１ａ３に対しスムーズに嵌り合うように、被挟持部２１ａ３の上下方向寸法よりも大きく設定される。
【００２３】
また、レーザユニット２０は、レーザ支持体２１とレーザ発光素子２２から構成され、枠状取付部１１ｂ内に、上下左右及び奥行方向の遊びを有する状態で嵌め合せられる。そして、枠状取付部１１ｂとレーザ支持体２１とは、これらの間に跨る接着剤３０によって固定される。
【００２４】
レーザ発光素子２２は、例えば、半導体レーザー等を用いればよく、光軸をレンズ１２へ向けた状態で、レーザ支持体２１内に固定される。
【００２５】
また、レーザ支持体２１は、枠状取付部１１ｂの内側面に沿う矩形状であって、且つ光軸に略直交する矩形状に形成される。
詳細に説明すれば、このレーザ支持体２１は、中央寄りにレーザ発光素子２２を挿通する複数枚の板状部材２１ａ，２１ｂ，２１ｃ（図４参照）を、前後に重ね合わせてなり、これら複数枚の板状部材２１ａ，２１ｂ，２１ｃのうち、一部の板状部材の外縁（図示例によれば、板状部材２１ａ，２１ｃの各々の上下縁）に、放熱用切欠部２１ａ１，２１ｃ１を設けることで、該放熱用切欠部２１ａ１，２１ｃ１と他の板状部材２１ｂの外縁との間に段部が形成されるようにしている（図１参照）。これら放熱用切欠部２１ａ１，２１ｃ１及び前記段部は、レーザ支持体２１の外周部の表面積を増大して放熱性を向上する。
【００２６】
以下に、板状部材２１ａ，２１ｂ，２１ｃの各々について詳細に説明する。
先ず、板状部材２１ａは、他の二つの板状部材２１ｂ，２１ｃよりも厚肉の矩形板状に形成され、その中心部に、レーザ発光素子２２の前端側の部分を遊挿する貫通孔２１ａ２を有し、上下縁には、複数の放熱用切欠部２１ａ１を有する。また、この板状部材２１ａの左右両縁部には、それぞれ、被挟持部２１ａ３が設けられる。また、板状部材２１ａの四角には、Ｃ面取り状の面取り部２１ａ５が設けられる。
【００２７】
放熱用切欠部２１ａ１は、図示例によれば、板状部材２１ａの上縁側に二つ、下縁側に二つ設けられる。各放熱用切欠部２１ａ１は、板状部材２１ａの上下端部を略凹状に切欠してなり、板厚方向へ貫通している。
【００２８】
被挟持部２１ａ３は、板状部材２１ａの左右端部側を、それぞれ、治具ｘに嵌り合う略Ｖ字状に切欠してなり、板厚方向へ貫通している。
【００２９】
治具ｘは、間隔を変化可能、且つＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向およびチルト方向へ移動可能に、平行な２本の挟持棒ｘ１，ｘ１を具備した機構であればよい。
前記２本の挟持棒ｘ１，ｘ１は、図７に示す一例によれば、それぞれ略円柱状に形成され、レーザ支持体２１の後端面に対し略直交するように配置され、レーザ支持体２１の左右両側の被挟持部２１ａ３を両側から挟持する。
【００３０】
また、板状部材２１ａにおける貫通孔２１ａ２の左右両側には、ネジ孔２１ａ４，２１ａ４が設けられる。このネジ孔２１ａ４は、板状部材２１ｂ，２１ｃに挿通したネジを螺合する。
【００３１】
また、板状部材２１ｂは、上記板状部材２１ａよりも薄肉の矩形板状に形成され、その中心部に、レーザ発光素子２２の後端側の部分を嵌合保持する貫通状の嵌合孔２１ｂ２を有する。なお、図示例によれば、嵌合孔２１ｂ２内に突起２１ｂ６を有し（図４（ｂ）参照）、該突起２１ｂ６をレーザ発光素子２２に嵌め合せて、レーザ発光素子２２の回転方向の位置決めをしている。この位置決めは、特に、レーザ発光素子２２として回転位置が特定されたタイプのものを用いた場合に有効である。
また、板状部材２１ｂの左右両縁には、それぞれ、コ字状の凹部２１ｂ３が設けられる。この凹部２１ｂ３は、上記板状部材２１ａの被挟持部２１ａ３，２１ａ３を挟持する際の治具ｘが干渉しないようにするための凹部であるが、上記放熱用切欠部２１ａ１，２１ｃ１と同様に放熱機能も有する。また、板状部材２１ｂの四角には、Ｃ面取り状の面取り部２１ｂ５が設けられる。
また、図４（ｂ）中、符号２１ｂ４は、該板状部材２１ｂを奥側のネジ孔２１ａ４にネジ止めする際に、ネジ２１ｄを挿通するための孔である。
【００３２】
また、板状部材２１ｃは、上記板状部材２１ｂと略同厚に形成され、その中心部に、レーザ発光素子２２の後端側の端子部分を遊挿する貫通孔２１ｃ２を有する。
また、板状部材２１ｃの左右両縁には、それぞれ、コ字状の凹部２１ｃ３が設けられる。この凹部２１ｃ３は、上記板状部材２１ａの被挟持部２１ａ３，２１ａ３を挟持する際の治具ｘが干渉しないようにするための凹部であるが、上記放熱用切欠部２１ａ１，２１ｃ１と同様に放熱機能も有する。また、板状部材２１ｃの四角には、Ｃ面取り状の面取り部２１ｃ５が設けられる。
また、図４（ｃ）中、符号２１ｃ４は、該板状部材２１ｃを奥側のネジ孔２１ａ４にネジ止めする際に、ネジ２１ｄを挿通するための孔である。
【００３３】
上記板状部材２１ａ，２１ｂ，２１ｃは、板状部材２１ｂを中央に挟んで厚み方向に重ね合わせられ、後方側から挿入されるネジ２１ｄによって固定されることで、一体ブロック状のレーザ支持体２１を構成し（図１参照）、さらに、このレーザ支持体２１の中心部分にレーザ発光素子２２が挿入固定されることで、レーザユニット２０を構成する。
【００３４】
上記構成のレーザユニット２０は、治具ｘにより挟持されて枠状取付部１１ｂ内で光軸合せされた後、レーザユニット２０と枠状取付部１１ｂとが、これらの間に跨る接着剤３０によって固定される。
【００３５】
接着剤３０は、枠状取付部１１ｂ及びレーザ支持体２１の材質によって適宜に選定される。本実施の形態の一例によれば、枠状取付部１１ｂを合成樹脂材料（例えばポリカーボネート等）又は金属材料（例えば、アルミニウム合金等）から形成し、レーザ支持体２１を耐熱性及び放熱性の良好な金属材料（例えば、アルミニウム合金等）から形成し、接着剤３０として、ＵＶ硬化型接着剤を用いている。
【００３６】
詳細に説明すれば、レーザユニット２０は、左右の被挟持部２１ａ３，２１ａ３の部分が、治具ｘによって挟持されて、枠状取付部１１ｂ内に保持される。
次に、図示しない電源装置からレーザ発光素子２２に電力が供給されて、レーザ発光素子２２によるレーザー光を放出を行い、レンズ支持体１１前方の測定器（図示せず）によりレーザユニット２０とレンズユニット１０との光軸のズレを測定する。
そして、前記測定を行いながら、治具ｘによってレーザ支持体２１を移動し、光軸のズレを矯正する。レーザ支持体２１の移動は、主に、Ｘ方向（図３によれば左右方向）への直進移動、Ｙ方向（図３によれば上下方向）への直進移動、Ｚ方向（図２によれば左右方向）への直進移動、前記Ｘ方向を軸とした回転移動であり、必要に応じて、前記Ｙ方向を軸とした回転移動も可能である。
【００３７】
前記光軸合せの後、レーザユニット２０の外側面と枠状取付部１１ｂの内側面との間に、接着剤３０が注入される。接着剤３０は、図３に示すように、レーザ支持体２１と枠状取付部１１ｂとの間の矩形状の隙間に対し、その四隅側に、それぞれ充填される。すなわち、接着剤３０は、レーザ支持体２１の面取り部２１ａ５，２１ｂ５，２１ｃ５と、枠状取付部１１ｂ内側面の入隅状部分１１ｂ４との間に充填される。
【００３８】
前記充填の際、図２に示すように、接着剤３０の一部は、枠状取付部１１ｂの内側面とレーザ支持体２１の外側面との間に侵入して、これら内外の側面間に跨る。また、同接着剤３０の他の一部は、枠状取付部１１ｂよりも後方側に溢れるようにして、枠状取付部１１ｂの後端面とレーザ支持体２１外側面とに跨る。
そして、前記のようにした充填した接着剤３０に紫外線を照射することで、該接着剤３０を速やかに硬化させると、レンズユニット１０に対しレーザユニット２０が不動に固定される。
【００３９】
よって、上記構成の光源装置１及び該光源装置１の製造方法によれば、治具ｘを用いて、レーザユニット２０を枠状取付部１１ｂ内でＸ方向やＹ方向、チルト方向等に自在に移動することができ、ひいては、レーザ発光素子２２の光軸と、レンズ１２，１３の光軸とを高精度に一致させた後に、これらレーザユニット２０及びレンズユニット１０を接着剤３０によって固定することができ、これら位置合わせ及び接着固定等の作業を効率的に行うことができる。
【００４０】
次に、光源装置１を用いた機器の一例について説明する。
図５は、光源装置１及びミラー装置２を組み合わせた構成を例示している。なお、この図５中、光源装置１は、レンズユニット１０とレーザユニット２０を接続する前の状態を示す。
ミラー装置２は、光源装置１から出射されるレーザ光の進路中に配置され、前記レーザ光を反射してその光路を変更する。
【００４１】
図６は、光源装置１及びミラー装置２を具備した三次元測定機用のスキャナ装置３を示している。
このスキャナ装置３は、ミラー装置２を回転させる駆動源（例えば電動モータ等）を具備しており、前記駆動源の動力によりミラー装置２の角度を変えられるように構成される。
【００４２】
なお、上記実施の形態では、特に好ましい態様として、レーザ支持体２１の四角を接着剤３０によって固定するようにしたが、他例としては、矩形状のレーザ支持体２１の各辺部分等、四角以外の部分を枠状取付部１１ｂに固定することも可能である。
【００４３】
また、上記実施の形態では、特に好ましい態様として、枠状取付部１１ｂを周方向へ連続する枠状に形成したが、この枠状取付部１１ｂの他例としては、断続的な枠状に構成することも可能である。より具体的に説明すれば、この枠状取付部１１ｂは、例えば、複数の壁状部材を周方向に間隔を置いて枠状に配置した態様とすることも可能である。
【００４４】
また、上記実施の形態では、特に好ましい態様として、レンズ支持体１１及びレーザ支持体２１の双方を矩形状に形成したが、他例としては、その一方のみを矩形状に形成し、他方を矩形状以外の形状（例えば、円形状や楕円形状、多角形状等）とすることも可能である。さらに他例としては、レンズ支持体１１及びレーザ支持体２１の双方を矩形状以外の形状にすることも可能である。
【００４５】
また、上記実施の形態では、被挟持部２１ａ３及び治具挿通用切欠部１１ｂ１を、左右方向の両側に設けたが、他例としては、これらを上下方向の両側に設け、この配置に対応するように、治具ｘを構成するようにしてもよい。
【００４６】
また、上記実施の形態では、放熱用切欠部２１ａ１，２１ｃ１を、前後端側の二枚の板状部材２１ａ，２１ｃに設けたが、他例としては、同構成の放熱用切欠部を、二枚の板状部材２１ａ，２１ｃうちの一方のみに設けたり、中央側の板状部材２１ｂに設けたりすることも可能である。
【００４７】
また、上記実施の形態では、特に好ましい態様として、レーザ支持体２１を複数枚の板状部材２１ａ，２１ｂ，２１ｃからブロック状に構成したが、他例としては、レーザ支持体２１を単一のブロック状部材から構成することも可能である。
【００４８】
また、上記実施の形態では、上記光源装置１を適用した機器の一例として、三次元測定機用のスキャナ装置を示したが、上記光源装置１は、例えば、バーコード用スキャナ装置や、複写機、ファクシミリ、プロジェクタ等に用いることが可能である。さらに、上記光源装置１は、レンズ１２，１３及びレーザ発光素子２２等を適宜に選定することで、例えば、レーザー加工機や、光通信機器、医療用機器等、スキャナ装置以外の機器に用いることも可能である。
【符号の説明】
【００４９】
１：光源装置
２：ミラー装置
３：スキャナ装置
１０：レンズユニット
１１：レンズ支持体
１１ｂ１：治具挿通用切欠部
１１ｂ：枠状取付部
１２，１３：レンズ
２０：レーザユニット
２１：レーザ支持体
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ：板状部材
２１ａ１，２１ｃ１：放熱用切欠部
２１ａ３：被挟持部
２２：レーザ発光素子
３０：接着剤
ｘ：治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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