(57)【要約】【課題】樹脂や金属等の被加工物の薄化を良好に行うことができ、研削砥石の形状悪化時に短時間で容易に研削性能を回復すること。【解決手段】研削ホイール（５５）の製造方法は、研削ホイールに配設された研削砥石（５６）により、靱性材で形成された被加工物（Ｗ）を研削加工する研削ホイールを製造する方法であり、研削ホイールのホイール基台（５７）に、直方体状のセグメント砥石（６５）の自由端（６７）側をホイール基台の外方に向けた傾斜状態で、セグメント砥石の固定端（６６）側を保持できるように砥石装着部（７６）を形成するステップと、砥石装着部に対してセグメント砥石の固定端側を接着するステップと、セグメント砥石の外周端面（６１）と底面（６２）の角部が鋭角になるように、セグメント砥石を成形ドレスボードＤで水平にドレスして研削砥石を成形するステップとを有する構成にした。【選択図】図４
2015231647.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸を有する回転スピンドルに装着され、該回転スピンドルに固定される固定端部と自由端部とを有するホイール基台と、該自由端部の外周部に該自由端部の自由端面から突出して固定された研削砥石と、から構成され、被加工物を研削するための研削ホイールを製造する研削ホイールの製造方法であって、
該ホイール基台の該自由端部の該外周部に、ダイヤモンド砥粒をボンド剤で結合した直方体形状のセグメント砥石の固定端側を、該回転軸に対して該セグメント砥石の自由端側が回転方向外側に傾斜して装着可能に傾斜した側面及び天井面からなる砥石装着部を形成する砥石装着部形成ステップと、
該砥石装着部形成ステップを実施した後に、該セグメント砥石の該固定端側を該ホイール基台の該砥石装着部の該側面及び該天井面と当接させて且つ該自由端を該ホイール基台の該自由端面から突出させて該砥石装着部に接着するセグメント砥石接着ステップと、
該セグメント砥石接着ステップを実施した後に、該セグメント砥石をチャックテーブルに保持された成形ドレスボードで該セグメント砥石の該自由端側の該成形ドレスボードと接触する接触端を該回転軸と垂直になるまで平坦化し、該セグメント砥石の外周端面と該接触端とが鋭角になるように成形されて該研削砥石が形成される砥石成形ステップと、
から構成される研削ホイールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂や金属等の靱性材で形成された被加工物を研削する研削ホイールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、樹脂や金属等の靱性材は、バイト加工装置において平坦化や薄化等の加工が実施される（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のバイト加工装置では、鉛直軸回りに回転するスピンドルのマウントにホイール基台が取り付けられ、ホイール基台の外周部分の一部にダイヤモンド刃や超鋼バイト等のバイト工具が固定されている。そして、バイト工具がスピンドルの鉛直軸回りに周回されることで、チャックテーブル上に保持された被加工物の靱性材がバイト工具によって削り取られて平坦化又は薄化される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１７３９５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の加工方法では、加工枚数を重ねていくとバイト工具の鋭角な形状が徐々に崩れて加工品質が悪化してしまうため、定期的にバイト工具の形状修正を行う必要があった。しかしながら、ダイヤモンド刃や超鋼バイト等のバイト工具の形状修正には放電加工等の特殊な加工が必要であり、形状修正用の別の設備や多大な時間を要するという問題があった。また、バイト工具の代わりに、研削砥石の形状修正が容易な研削ホイールを用いて薄化することも考えられるが、通常の研削ホイールでは研削砥石に目詰まりが生じるため、靱性材を良好に研削することが難しい。
【０００５】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、靱性材を良好に加工することができると共に、短時間で容易に研削性能を回復できる研削ホイールの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の研削ホイールの製造方法は、回転軸を有する回転スピンドルに装着され、該回転スピンドルに固定される固定端部と自由端部とを有するホイール基台と、該自由端部の外周部に該自由端部の自由端面から突出して固定された研削砥石と、から構成され、被加工物を研削するための研削ホイールを製造する研削ホイールの製造方法であって、該ホイール基台の該自由端部の該外周部に、ダイヤモンド砥粒をボンド剤で結合した直方体形状のセグメント砥石の固定端側を、該回転軸に対して該セグメント砥石の自由端側が回転方向外側に傾斜して装着可能に傾斜した側面及び天井面からなる砥石装着部を形成する砥石装着部形成ステップと、該砥石装着部形成ステップを実施した後に、該セグメント砥石の該固定端側を該ホイール基台の該砥石装着部の該側面及び該天井面と当接させて且つ該自由端を該ホイール基台の該自由端面から突出させて該砥石装着部に接着するセグメント砥石接着ステップと、該セグメント砥石接着ステップを実施した後に、該セグメント砥石をチャックテーブルに保持された成形ドレスボードで該セグメント砥石の該自由端側の該成形ドレスボードと接触する接触端を該回転軸と垂直になるまで平坦化し、該セグメント砥石の外周端面と該接触端とが鋭角になるように成形されて該研削砥石が形成される砥石成形ステップと、から構成される。
【０００７】
この構成によれば、ホイール基台の砥石装着部に対して直方体状のセグメント砥石が斜めに装着された状態で、セグメント砥石が成形ドレスボードによってドレスされる。成形ドレスボードに接触するセグメント砥石の接触端が削られることで、外周端面と接触端が鋭角に形成される。この場合、研削砥石の外周端面と接触端の角度はセグメント砥石の傾斜角度に依存するため、砥石装着部の側面の傾斜角度を調整することで、外周端面と接触端の角度を所望の角度に形成することができる。また、被加工物の表面に対して外周端面が傾斜しているため、外周端面を被加工物に作用させながら被加工物をクリープフィード研削することで、靱性材で形成された被加工物の薄化を良好に行うことができる。また、研削砥石は、ダイヤモンド砥粒をボンド剤で結合して形成されているため、研削砥石の形状が悪化しても成形ドレスボードによって研削砥石を形状修正することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ホイール基台の砥石装着部に対してセグメント砥石を斜めに装着して成形ドレスボードでドレスすることで、研削砥石の外周端面が傾斜した研削ホイールを容易に製造することができる。この研削ホイールによって、靱性材を良好に加工することができると共に、短時間で容易に研削砥石を形状修正することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態に係る研削装置の斜視図である。
【図２】本実施の形態に係る研削装置による研削加工を示す斜視図である。
【図３】本実施の形態に係る研削手段のマウントと研削ホイールの断面図である。
【図４】本実施の形態に係る研削ホイールの製造方法の説明図である。
【図５】本実施の形態に係る被加工物に対する研削動作及び研削砥石に対するドレス加工の説明図である。
【図６】変形例に係る研削ホイールの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る研削装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る研削装置の斜視図である。図２は、本実施の形態に係る研削装置による研削加工を示す斜視図である。なお、本実施の形態に係る研削装置は、図１に示すように研削加工専用の装置構成に限定されず、例えば、研削加工、研磨加工、洗浄加工等の一連の加工が全自動で実施されるフルオートタイプの加工装置に組み込まれてもよい。
【００１１】
図１に示すように、研削装置１は、被加工物Ｗを保持したチャックテーブル３を低速でＸ軸方向に加工送りしながら、単一の研削砥石５６によって被加工物Ｗの上面をクリープフィード研削するように構成されている。また、研削装置１のチャックテーブル３には、被加工物Ｗの代わりに、定期的に整形ドレス及び目立てドレス用の成形ドレスボードＤが保持され、成形ドレスボードＤがクリープフィード研削されることで研削砥石５６がドレス加工される。なお、被加工物Ｗは、樹脂や金属等の靱性材で円板状に形成されたウェーハでもよいし、被研削面に靱性材の層が形成されたウェーハでもよい。
【００１２】
研削装置１の基台２の上面には、Ｘ軸方向に延在する矩形状の開口が形成され、この開口はチャックテーブル３と共に移動可能な移動板３１及び蛇腹状の防水カバー３２により覆われている。防水カバー３２の下方には、チャックテーブル３を径方向（Ｘ軸方向）に移動させるボールねじ式の進退手段３６が設けられている。チャックテーブル３の表面には、多孔質のポーラス材によって被加工物Ｗを吸着する保持面３４が形成されている。保持面３４は、チャックテーブル３内の流路を通じて吸引源（不図示）に接続されており、保持面３４に生じる負圧によって被加工物Ｗが吸引保持される。
【００１３】
基台２上のコラム２１には、研削手段５をチャックテーブル３に対して研削送り方向（Ｚ軸方向）に接近及び離間させる研削送り手段４が設けられている。研削送り手段４は、コラム２１に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール４１と、一対のガイドレール４１にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル４２とを有している。Ｚ軸テーブル４２の背面側には図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ４３が螺合されている。ボールネジ４３の一端部に連結された駆動モータ４４によりボールネジ４３が回転駆動されることで、研削手段５がガイドレール４１に沿ってＺ軸方向に移動される。
【００１４】
研削手段５は、ハウジング５１を介してＺ軸テーブル４２の前面に取り付けられており、円筒状の回転スピンドル５２の下端にマウント５３を設けて構成されている。回転スピンドル５２にはフランジ５４が設けられ、フランジ５４を介してハウジング５１に研削手段５が支持される。マウント５３の下面には、単一の研削砥石５６が配置された研削ホイール５５が回転可能に保持されている。研削砥石５６は、例えば、ダイヤモンド砥粒をメタルボンド等のボンド剤で固めたセグメント砥石で構成される。なお、研削砥石５６の詳細は後述する。
【００１５】
このように構成された研削装置１では、図２に示すように、回転スピンドル５２によって研削ホイール５５がＺ軸回りに回転されながら、研削手段５がチャックテーブル３に近づけられる。そして、被加工物Ｗに向けて研削水が供給され、研削砥石５６が被加工物Ｗに回転接触されることで、研削砥石５６と被加工物Ｗとが相対的に摺動されて被加工物Ｗが研削される。この研削砥石５６によって被加工物Ｗが研削された状態で、チャックテーブル３がＸ軸方向に低速で水平移動されることで、研削砥石５６によって被加工物Ｗがクリープフィード研削される。
【００１６】
ところで、本実施の形態に係る被加工物Ｗが靱性材で形成されているため、ダイヤモンド刃や超鋼バイト等のバイト工具で加工することが好ましいが、バイト工具が摩耗すると形状修正するのに時間や専用の設備が必要になる。本件出願人は、研削砥石５６をバイト工具のような形状にすることで、バイト工具と同等な加工品質が得られ、且つ形状修正が容易になることを発見した。これにより、靱性材の被加工物Ｗが加工し易くなり、研削砥石５６の摩耗時には成形ドレスボードＤ（図１参照）で研削能力を短時間で容易に回復できる。
【００１７】
しかしながら、このような特殊形状の研削砥石５６を焼結ボンドで成形するのに時間を要する。また、この形状の研削砥石５６を接着剤で研削ホイール５５のホイール基台５７に固定する際にはバラツキ等が生じ、ホイール基台５７に対して研削砥石５６を所望の傾斜角度で精度よく固定することが難しい。そこで、本実施の形態に係る研削ホイール５５の製造方法では、ホイール基台５７に対して直方体状のセグメント砥石６５（図４Ｂ参照）を斜めに装着した状態で成形ドレスボードＤによってドレスすることで、研削砥石５６の外周側の外周端面６１を傾斜させた研削ホイール５５を製造するようにしている。
【００１８】
図３を参照して、研削ホイールについて説明する。図３は、本実施の形態に係る研削手段のマウントと研削ホイールの断面図である。なお、本実施の形態に係る研削ホイールは、図３に示す構成に限定されず、研削砥石が傾斜した状態で装着されたものであればよい。
【００１９】
図３に示すように、研削ホイール５５は、回転軸を有する回転スピンドル５２のマウント５３に装着されており、リング状のホイール基台５７に単一の研削砥石５６を固定して構成される。ホイール基台５７の上面はマウント５３を介して回転スピンドル５２に固定される固定端部５８になっており、ホイール基台５７の下面は自由端部５９になっている。自由端部５９の外周側には、自由端部５９の自由端面から突出するように単一の研削砥石５６が固定されている。研削砥石５６は、ホイール基台５７に対して斜めに装着されており、外周端面６１と底面６２の角部６３が鋭角に形成されている。
【００２０】
ホイール基台５７は、アルミニウム等の比較的加工し易い材料で、内周部７１よりも外周部７２が下方に突出した段状に形成されている。ホイール基台５７の内周部７１には、回転スピンドル５２内の研削水の供給路６９に連なる供給口７３が形成されている。供給口７３の出口は内周部７１の下面に開口されており、内周部７１の下面に連なる外周部７２の内周面には、下方に向かって外周部７２の幅を狭めるように傾斜面７４が形成されている。このため、供給口７３から流出した研削水は、遠心力を受けつつ外周部７２の傾斜面７４を伝って自由端部５９側の研削砥石５６へ供給される。
【００２１】
ホイール基台５７の自由端部５９の外周部７２には、研削砥石５６の固定端側が装着される砥石装着部７６が形成されている。砥石装着部７６は、径方向外側に傾斜した側面７７と径方向内側に傾斜した天井面７８によって、全周に渡ってＶ字溝状に形成されている。砥石装着部７６の側面７７には研削砥石５６の外周側の外周端面６１が装着され、砥石装着部７６の天井面７８には研削砥石５６の固定端６６側（図４Ｂ参照）が装着される。これにより、研削砥石５６が、ホイール基台５７の自由端部５９から下方に向かって、ホイール基台５７の外周面から外方に張り出すように傾斜した状態で砥石装着部７６に装着される。
【００２２】
研削砥石５６は、ホイール基台５７に斜めに装着された状態で、水平な底面６２に対して外周端面６１のなす角度が鋭角になるように形成されている。この傾斜した外周端面６１を被加工物Ｗに作用させることで、靱性材で形成された被加工物Ｗであっても、バイト工具と同等な加工品質を得ることが可能になっている。研削砥石５６は、直方体状のセグメント砥石６５（図４Ｂ参照）の固定端６６側をホイール基台５７の砥石装着部７６に斜めに装着し、セグメント砥石６５の自由端６７側を水平にドレスすることで成形される。なお、ホイール基台５７に対する砥石装着部７６の形成方法、研削砥石５６の成形方法の詳細については後述する。
【００２３】
また、研削砥石５６の鋭角な角部６３は、被加工物Ｗの加工枚数が増加するのに伴って、経時的な摩耗によって丸みを帯びてしまう。しかしながら、研削砥石５６がダイヤモンド砥粒をボンド剤で焼結させて形成されているため、通常の砥石のように成形ドレスボードＤ（図１参照）でドレスすることで、研削砥石５６の角部６３を短時間で容易に形状修正することができる。なお、成形ドレスボードＤは、グリーンカーバイト（ＧＣ）系、ホワイトアランダム（ＷＡ）系の砥粒をレジンボンド等のボンド剤で円板状に固めて成形されている。また、成形ドレスボードＤは被加工物Ｗと略同径に形成されている。
【００２４】
図４を参照して、研削ホイールの製造方法について説明する。図４は、本実施の形態に係る研削ホイールの製造方法の説明図である。なお、図４Ａは砥石装着部形成ステップ、図４Ｂはセグメント砥石接着ステップ、図４Ｃは砥石成形ステップをそれぞれ示している。
【００２５】
図４Ａに示すように、砥石装着部形成ステップが実施される。砥石装着部形成ステップでは、アルミニウム製のホイール基台５７の外周部７２に、不図示の旋盤のバイト工具８９によって逃げ加工が施されることで砥石装着部７６が削り出される。ここで、研削砥石５６の外周端面６１と底面６２の角部６３の角度θ２は、回転スピンドル５２の回転軸方向（Ｚ軸方向）に対する砥石装着部７６の側面７７の傾斜角度θ１に依存している。このため、砥石装着部７６の側面７７の傾斜角度θ１は、研削砥石５６の角部６３に必要な角度θ２に基づいて決定される。具体的には、側面７７の傾斜角度θ１と角部６３の角度θ２の和が直角になる関係にあるため、側面７７の傾斜角度θ１は９０度から研削砥石５６の角部６３の角度θ２を差し引くことで求められる。
【００２６】
また、砥石装着部７６の天井面７８は側面７７に対して直交しており、回転スピンドル５２の回転軸方向に対する天井面７８の傾斜角度θ３と側面７７の傾斜角度θ１の和が直角になっている。このため、天井面７８の傾斜角度θ３は研削砥石５６の角部６３の角度θ２に等しく、角部６３の角度θ２によって天井面７８の傾斜角度θ３が決定される。そして、側面７７の傾斜角度θ１及び天井面７８の傾斜角度θ３に基づいて、バイト工具８９が動かされてホイール基台５７にＶ字溝状の砥石装着部７６が形成される。このようにして、ホイール基台５７には、鋭角な角部６３が形成される前の直方体状のセグメント砥石６５（図４Ｂ参照）の自由端６７が回転方向外側に傾斜するように、セグメント砥石６５の固定端６６側が装着される側面７７及び天井面７８が形成される。
【００２７】
図４Ｂに示すように、砥石装着部形成ステップを実施した後には、セグメント砥石接着ステップが実施される。セグメント砥石接着ステップでは、直方体状のセグメント砥石６５の固定端６６側を砥石装着部７６の側面７７及び天井面７８に接着剤を介して当接させる。これにより、セグメント砥石６５の自由端６７側がホイール基台５７の下面である自由端面から突出された状態で、セグメント砥石６５の固定端６６側がホイール基台５７の砥石装着部７６に接着される。セグメント砥石６５が傾斜した状態で接着されるため、セグメント砥石６５の自由端６７側も水平面に対して傾斜している。
【００２８】
図４Ｃに示すように、砥石装着部形成ステップを実施した後には、砥石成形ステップが実施される。砥石成形ステップでは、チャックテーブル３上に成形ドレスボードＤが保持され、セグメント砥石６５で成形ドレスボードＤがクリープフィード研削される。この場合、セグメント砥石６５の最下位置の角部が成形ドレスボードＤに接触する接触端６８になっている。そして、セグメント砥石６５が回転スピンドル５２の回転軸を中心に周回され、セグメント砥石６５に対して成形ドレスボードＤがＸ軸方向に水平移動されることで接触端６８が削られる。
【００２９】
成形ドレスボードＤによるセグメント砥石６５のドレスによって、セグメント砥石６５の接触端６８が回転軸（Ｚ軸）と垂直になるまで平坦化される。そして、セグメント砥石６５の平坦化された接触端６８（底面６２）と外周端面６１とが鋭角になるように成形される。このように、直方体状のセグメント砥石６５から、接触端６８に対して外周端面６１を鋭角にした研削砥石５６を作り出すことができる。また、ホイール基台５７に砥石装着部７６を形成して、砥石装着部７６にセグメント砥石６５を固定した状態で研削砥石５６が成形されるため、ホイール基台５７に対する研削砥石５６の位置ズレが防止される。
【００３０】
図５を参照して、本実施の形態に係る研削ホイールを用いた被加工物に対する研削動作、研削砥石に対するドレス加工について説明する。図５は、本実施の形態に係る被加工物に対する研削動作及び研削砥石に対するドレス加工の説明図である。図５Ａ及び図５Ｂは被加工物に対する研削動作を示し、図５Ｃ及び図５Ｄは研削砥石に対するドレス加工を示している。なお、図５に示す研削動作及びドレス加工は一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
【００３１】
図５Ａに示すように、被加工物Ｗがチャックテーブル３の中心に保持されており、研削砥石５６が被加工物Ｗの外縁よりも外側に位置付けられる。回転スピンドル５２の回転軸を中心として研削砥石５６が高速で周回されながら所定の切り込み深さまで降ろされ、研削砥石５６に対してチャックテーブル３が相対的に水平移動される。これにより、研削砥石５６によって被加工物Ｗの一端８１側から他端８２側に向かってクリープフィード研削が開始される。クリープフィード研削では、Ｘ軸方向に送られながら、研削砥石５６の回転方向前方側の側面７７と外周端面６１によって被加工物Ｗの表面が円弧状に削り取られる。
【００３２】
このとき、図５Ｂに示すように、研削砥石５６の外周端面６１が底面６２に対して鋭角に傾斜しているため、被加工物Ｗの研削時に研削砥石５６に生じる研削抵抗が小さくなっている。すなわち、傾斜した外周端面６１に対する垂直方向に反力が作用する分だけ、研削砥石５６に対する水平方向（Ｘ軸方向）の反力が小さくなる。このため、研削後の被加工物Ｗの被研削面が摩擦によって白化せずに、被研削面の色に濃淡が生じることがなく外観性が悪化することがない。また、研削屑が粉状に発生するため装置内の排水口に研削屑が堆積することがなく、排水口が詰まることがない。
【００３３】
図５Ｃに示すように、被加工物Ｗのクリープフィード研削によって研削砥石５６の角部６３が摩耗すると、被加工物Ｗの代わりに成形ドレスボードＤがチャックテーブル３上に保持される。また、研削砥石５６が成形ドレスボードＤの外縁よりも外側に位置付けられる。そして、回転スピンドル５２の回転軸を中心として研削砥石５６が高速で周回されながら所定の深さまで降ろされ、研削砥石５６に対してチャックテーブル３が相対的に水平移動される。これにより、研削砥石５６によって成形ドレスボードＤの一端８３側から他端８４側に向かってクリープフィード研削が開始される。クリープフィード研削では、研削砥石５６が成形ドレスボードＤに押し当てられながら、成形ドレスボードＤがＸ軸方向に加工送りされる。
【００３４】
図５Ｄに示すように、成形ドレスボードＤによって研削砥石５６の底面６２がドレスされることで、研削砥石５６の外周端面６１と底面６２との角部６３から丸みが取り除かれる。これにより、研削砥石５６の外周端面６１と底面６２との角部６３が鋭角に形状修正され、研削砥石５６の研削性能が回復される。このように、研削砥石５６をバイト工具のような形状にしたことで、バイト工具のように靱性材に対する研削性能を高めると共に、成形ドレスボードＤによって形状修正を容易にしている。
【００３５】
以上のように、本実施の形態に係る研削方法では、ホイール基台５７の砥石装着部７６に対して直方体状のセグメント砥石６５が斜めに装着された状態で、セグメント砥石６５が成形ドレスボードＤによってドレスされる。成形ドレスボードＤに接触するセグメント砥石６５の接触端６８が削られることで、外周端面６１と接触端６８が鋭角に形成される。研削砥石５６の外周端面６１と接触端６８の角度はセグメント砥石６５の傾斜角度に依存するため、砥石装着部７６の側面７７の傾斜角度を調整することで、外周端面６１と接触端６８の角度を所望の角度に形成することができる。また、被加工物Ｗの表面に対して外周端面６１が傾斜しているため、外周端面６１を被加工物Ｗに作用させながら被加工物Ｗをクリープフィード研削することで、靱性材で形成された被加工物Ｗを良好に薄化することができる。また、研削砥石５６は、ダイヤモンド砥粒をボンド剤で結合して形成されているため、研削砥石５６の形状が悪化しても成形ドレスボードＤによって研削砥石５６を形状修正することができる。
【００３６】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００３７】
例えば、本実施の形態において、研削ホイール５５のホイール基台５７に１個の研削砥石５６が配設される構成を例示して説明したが、この構成に限定されない。研削ホイール５５は、ホイール基台５７に２個以上の研削砥石５６が配設されてもよく、この場合には隣接する研削砥石５６の間隔が、研削砥石５６の円周方向の幅よりも広く空けられる。例えば、図６Ａに示すように、変形例に係る研削ホイール９１は、研削ホイール９１の回転軸を中心としたホイール基台９４の点対称位置に、外周端面９２を外側に向けた２個の研削砥石９３が配設されてもよい。このような研削ホイール９１であっても、本実施の形態に係る研削ホイールの製造方法で製造可能である。また、研削ホイール９１に複数の研削砥石９３を配設することにより、各研削砥石９３が摩耗によって形状が崩れるまでの期間が長くなり、成形ドレスボードＤ（図５Ｄ参照）を用いた形状修正の回数を減らすことができる。
【００３８】
また、上記した実施の形態において、被加工物Ｗを全体的に薄化するための研削ホイール５５について説明したが、この構成に限定されない。例えば、図６Ｂに示すように、被加工物Ｗ１の裏面の外周部分だけを残し、その内側だけを研削した、いわゆるＴＡＩＫＯウェーハを形成するための研削ホイール９５を製造することも可能である。この場合、多数のセグメント砥石９７の自由端９８側が回転方向外側に傾斜するように、各セグメント砥石９７をホイール基台９６に装着し、この状態で成形ドレスボードＤ（図５Ｄ参照）によってドレスすることで研削ホイール９５を製造する。これにより、ホイール基台９６にスカート形状（裾広がり形状）となるように、多数の研削砥石９９を設けることができる。
【００３９】
また、上記した実施の形態において、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドで固めて研削砥石５６を形成したが、この構成に限定されない。研削砥石５６のボンド剤としては、メタルボンドに限らず、レジンボンドやビトリファイドボンドが使用されてもよい。
【００４０】
また、上記した実施の形態において、ホイール基台５７に対して全周に渡って砥石装着部７６が形成される構成にしたが、この構成に限定されない。砥石装着部７６は、ホイール基台５７に対して部分的に形成されてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
以上説明したように、本発明は、短時間で容易に研削性能を回復できるという効果を有し、特に樹脂や金属等の靱性材で形成された被加工物を研削する研削方法に有用である。
【符号の説明】
【００４２】
１  研削装置
３  チャックテーブル
５２  回転スピンドル
５５  研削ホイール
５６  研削砥石
５７  ホイール基台
５８  ホイール基台の固定端部
５９  ホイール基台の自由端部
６１  研削砥石の外周端面
６５  セグメント砥石
６６  セグメント砥石の固定端
６７  セグメント砥石の自由端
６８  セグメント砥石の接触端
７６  砥石装着部
７７  砥石装着部の側面
７８  砥石装着部の天井面
Ｄ  成形ドレスボード
Ｗ  被加工物
【図１】
2015231647.tif 000003
【図２】
2015231647.tif 000004
【図３】
2015231647.tif 000005
【図４】
2015231647.tif 000006
【図５】
2015231647.tif 000007
【図６】
2015231647.tif 000008