(57)【要約】【課題】フィルムや基板等の被処理物の表面の一部に容易にコロナ表面処理を施すことが可能なコロナ表面処理装置を提供すること、このようなコロナ表面処理装置によってコロナ表面処理が施された剥離フィルムを提供すること、グリーンシートを製造する際に、グリーンシートの端部の収縮を抑制することができ、グリーンシートに欠け等が発生するのを抑制することが可能な剥離フィルムを提供すること。【解決手段】コロナ表面処理装置１０００は、複数の放電電極１１００と、複数の放電電極１１００と対向するように設けられた対向電極１２００と、ガイドロール１３００と、被処理物としての帯状の剥離フィルム１をガイドロール１３００方向に巻き出すフィルム巻き出し部１４００と、コロナ表面処理が施された剥離フィルム１を巻き取るフィルム巻き取り部１５００とを有している。【選択図】図１
2015106090.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の放電電極と、
前記各放電電極と対向するように配された複数の対向電極と、を有することを特徴とするコロナ表面処理装置。
【請求項２】
コロナ表面処理を施す被処理物を前記放電電極と前記対向電極との間に導く、円柱状のガイドロールを備え、
前記複数の対向電極は、前記ガイドロールと一体的に設けられている請求項１に記載のコロナ表面処理装置。
【請求項３】
前記ガイドロールは、ガイドロール本体と、ガイドロール本体の外周面を覆う絶縁体層と、で構成され、
前記複数の対向電極は、前記ガイドロール本体の外周面上に設けられており、かつ、前記絶縁体層に埋め込まれている請求項１または２に記載のコロナ表面処理装置。
【請求項４】
前記対向電極は、前記ガイドロール本体の外周面から突出している請求項１ないし３のいずれか１項に記載のコロナ表面処理装置。
【請求項５】
コロナ表面処理を施す被処理物は、帯状をなしており、
前記複数の放電電極および前記複数の対向電極は、前記被処理物の幅方向に所定の間隔で並んで設けられている請求項１ないし４のいずれか１項に記載のコロナ表面処理装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載のコロナ表面処理装置を用いて、コロナ表面処理をなされたことを特徴とする剥離フィルム。
【請求項７】
グリーンシートの製造に用いられる帯状の剥離フィルムであって、
帯状の基材と、
前記基材の一方の面の全面に形成された剥離剤層と、を有し、
前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面に、形成すべきグリーンシートの幅方向の端部を包含する第１の領域と、形成すべきグリーンシートと接し、かつ、前記第１の領域とは異なる第２の領域と、を有し、
前記第１の領域の水に対する静的接触角をＸ［°］、前記第２の領域の水に対する静的接触角をＹ［°］としたとき、Ｙ−Ｘ≧１１の関係を満足し、
前記第１の領域は、前記剥離剤層の表面に対して、請求項１ないし５のいずれか１項に記載のコロナ表面処理装置によりコロナ表面処理を施して形成されたことを特徴とする剥離フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コロナ表面処理装置および剥離フィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、フィルムや基板等の被処理物の表面に、親水性を付与して濡れ性を向上させるなどの目的で、コロナ表面処理が行われている。
【０００３】
このようなコロナ表面処理を施すコロナ表面処理装置は、放電電極と対向電極とを備えており、放電電極と対向電極との間を被処理物を通過させつつ、放電電極から対向電極に向かって放電を行い、被処理物の表面にコロナ表面処理を施すよう構成されている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００４】
従来のコロナ表面処理装置では、電極が一対の放電電極と対向電極とで構成されており、一般に被処理物の表面全体に対して処理を施すよう構成されている。被処理物の表面の一部に処理を施すような場合には、表面処理を施さない部分にマスクをして行っている。
【０００５】
ところが、このようなマスクを用いたコロナ表面処理は、長時間コロナ表面処理に晒されることにより、マスク部分が熱を帯びてしまい、その熱によって被処理物が悪影響を受けてしまうといった問題がある。また、長時間コロナ表面処理に晒されることでマスクにダメージが生じてしまい、このダメージ部分から、本来表面処理が施されない部分にも処理が施されてしまうといった問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−７４９９号公報
【特許文献２】特開２００３−７１９２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、フィルムや基板等の被処理物の表面の一部に容易にコロナ表面処理を施すことが可能なコロナ表面処理装置を提供すること、このようなコロナ表面処理装置によってコロナ表面処理が施された剥離フィルムを提供すること、グリーンシートを製造する際に、グリーンシートの端部の収縮を抑制することができ、グリーンシートに欠け等が発生するのを抑制することが可能な剥離フィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記（１）〜（７）の本発明により達成される。
（１）  複数の放電電極と、
前記各放電電極と対向するように配された複数の対向電極と、を有することを特徴とするコロナ表面処理装置。
【０００９】
（２）  コロナ表面処理を施す被処理物を前記放電電極と前記対向電極との間に導く、円柱状のガイドロールを備え、
前記複数の対向電極は、前記ガイドロールと一体的に設けられている上記（１）に記載のコロナ表面処理装置。
【００１０】
（３）  前記ガイドロールは、ガイドロール本体と、ガイドロール本体の外周面を覆う絶縁体層と、で構成され、
前記複数の対向電極は、前記ガイドロール本体の外周面上に設けられており、かつ、前記絶縁体層に埋め込まれている上記（１）または（２）に記載のコロナ表面処理装置。
【００１１】
（４）  前記対向電極は、前記ガイドロール本体の外周面から突出している上記（１）ないし（３）のいずれかに記載のコロナ表面処理装置。
【００１２】
（５）  コロナ表面処理を施す被処理物は、帯状をなしており、
前記複数の放電電極および前記複数の対向電極は、前記被処理物の幅方向に所定の間隔で並んで設けられている上記（１）ないし（４）のいずれかに記載のコロナ表面処理装置。
【００１３】
（６）  上記（１）ないし（５）のいずれかに記載のコロナ表面処理装置を用いて、コロナ表面処理をなされたことを特徴とする剥離フィルム。
【００１４】
（７）  グリーンシートの製造に用いられる帯状の剥離フィルムであって、
帯状の基材と、
前記基材の一方の面の全面に形成された剥離剤層と、を有し、
前記剥離剤層の前記基材とは反対側の面に、形成すべきグリーンシートの幅方向の端部を包含する第１の領域と、形成すべきグリーンシートと接し、かつ、前記第１の領域とは異なる第２の領域と、を有し、
前記第１の領域の水に対する静的接触角をＸ［°］、前記第２の領域の水に対する静的接触角をＹ［°］としたとき、Ｙ−Ｘ≧１１の関係を満足し、
前記第１の領域は、前記剥離剤層の表面に対して、上記（１）ないし（５）のいずれかに記載のコロナ表面処理装置によりコロナ表面処理を施して形成されたことを特徴とする剥離フィルム。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、フィルムや基板等の被処理物の表面の一部に容易にコロナ表面処理を施すことが可能なコロナ表面処理装置を提供することができる。
【００１６】
また、グリーンシートを製造する際に、グリーンシートの端部の収縮を抑制することができ、グリーンシートに欠け等が発生するのを抑制することが可能な剥離フィルムを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明のコロナ表面処理装置の好適な実施形態の概要を示す側面図である。
【図２】図１のコロナ表面処理装置が備える放電電極および対向電極の配置を示す縦断面図である。
【図３】図１のコロナ表面処理装置が備えるガイドロールの透過斜視図である。
【図４】放電電極および対向電極の他の配置を示す縦断面図である。
【図５】剥離フィルムの好適な実施形態を示す横断面図である。
【図６】剥離フィルムの好適な実施形態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
１．コロナ表面処理装置
まず、本発明のコロナ表面処理装置の好適な実施形態について説明する。
【００１９】
図１は、本発明のコロナ表面処理装置の好適な実施形態の概要を示す側面図、図２は、図１のコロナ表面処理装置が備える放電電極および対向電極の配置を示す縦断面図、図３は、図１のコロナ表面処理装置が備えるガイドロールの透過斜視図、図４は、放電電極および対向電極の他の配置を示す縦断面図である。
【００２０】
図１、２に示すように、コロナ表面処理装置１０００は、放電電極１１００と、放電電極１１００と対向するように設けられた対向電極１２００と、ガイドロール１３００と、被処理物としての帯状の剥離フィルム１をガイドロール１３００方向に巻き出すフィルム巻き出し部１４００と、コロナ表面処理が施された剥離フィルム１を巻き取るフィルム巻き取り部１５００とを有している。
【００２１】
このようなコロナ表面処理装置１０００では、放電電極１１００と対向電極１２００との間に、図示せぬ高周波高電圧電源から高電圧パルスを印加することにより、放電電極１１００から被処理物である剥離フィルム１に向かってコロナ放電が発生し、剥離フィルム１の表面にコロナ表面処理が施される。
【００２２】
放電電極１１００は、図示せぬ高周波高電圧電源に接続されており、剥離フィルム１の幅方向に所定の間隔で４つ並んで設置されている。なお、放電電極１１００は、コロナ表面処理装置１０００から着脱可能となっており、その数を増減させることが可能となっている。
【００２３】
放電電極１１００を構成する材料としては、例えば、鉄、アルミニウム、ステンレス等を挙げることができる。
【００２４】
１つの放電電極１１００の幅（剥離フィルム１の幅方向の幅）は、特に限定されないが、５ｍｍ〜２０ｍｍ程度であるのが好ましい。
【００２５】
また、放電電極１１００から剥離フィルム１までの距離は、１．５ｍｍ〜２ｍｍ程度であるのが好ましい。
【００２６】
対向電極１２００は、図示せぬ高周波高電圧電源に接続されており、図２に示すように放電電極１１００に対向する位置に、放電電極１１００と同数配置されている。
【００２７】
対向電極１２００は、後述するガイドロールと一体的に設けられており、図２、図３に示すように、リング形状をなしている。
【００２８】
対向電極１２００を構成する材料としては、例えば、鉄、アルミニウム、ステンレス等を挙げることができる。
【００２９】
１つの対向電極１２００の幅（剥離フィルム１の幅方向の幅）は、特に限定されないが、５ｍｍ〜２０ｍｍ程度であるのが好ましい。
【００３０】
対向電極１２００の高さ（後述するガイドロール１３００の径方向の高さ）は、５ｍｍ〜２０ｍｍ程度であるのが好ましい。
【００３１】
ガイドロール１３００は、被処理物である剥離フィルム１を放電電極１１００と対向電極１２００との間に導く機能を有している。
【００３２】
ガイドロール１３００は、ガイドロール本体１３１０と、絶縁体層１３２０と、軸１３３０とで構成されている。
【００３３】
ガイドロール１３００は、図１、図３に示すように、剥離フィルム１の幅方向を長手方向とする円柱形状をなしており、軸１３３０を中心に回動するよう構成されている。
【００３４】
ガイドロール本体１３１０は、円柱形状をなしている。
ガイドロール本体１３１０の外周面には、上述した対向電極１２００が４つ設けられている。図３に示すように、ガイドロール本体１３１０の外周面から径方向にむかって対向電極１２００が突出するよう構成されている。これにより、放電電極１１００から発生したコロナ放電を対向電極１２００の方向に向かわせることができる。その結果、コロナ放電の不本意な広がりを防止することができ、所定の位置にコロナ表面処理を施すことができる。
【００３５】
ガイドロール本体１３１０を構成する材料としては、例えば、鉄、アルミニウム、ステンレス等を挙げることができる。
【００３６】
絶縁体層１３２０は、ガイドロール本体１３１０を覆うように形成されている。また、絶縁体層１３２０は、対向電極１２００を埋め込むように形成されている。
【００３７】
この絶縁体層１３２０は、剥離フィルム１と直接接触する層である。絶縁体層１３２０が絶縁性を有することにより、剥離フィルム１にコロナ処理を施すことが出来る。
【００３８】
絶縁体層１３２０を構成する材料としては、絶縁性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、シリコーンゴム、エチレンプロピレンゴム等のゴム材料、セラミックス等を挙げることができる。
【００３９】
ガイドロール本体１３１０の外周面から絶縁体層１３２０表面までの厚さは、５ｍｍ〜３０ｍｍ程度であるのが好ましい。
【００４０】
なお、ガイドロール１３００は、着脱可能となっており、対向電極１２００の数が異なる他のガイドロール１３００と入れ替えることができる。
【００４１】
フィルム巻き出し部１４００は、巻き取った未処理の剥離フィルム１の捲回体からガイドロール１３００に向かって剥離フィルム１を巻き出す（繰り出す）機能を有している。
【００４２】
また、フィルム巻き取り部１５００は、ガイドロール１３００側から送られてくるコロナ表面処理が施された剥離フィルム１を巻き取る機能を備えている。
【００４３】
以上説明したようなコロナ表面処理装置１０００によれば、フィルムや基板等の被処理物の表面の一部に容易にコロナ表面処理を施すことが可能となる。特に、マスクを必要としないため、剥離フィルム１は不本意な熱によるダメージを受けることがなく、剥離フィルム１は優れた諸機能を発揮する。
【００４４】
なお、上記説明では、放電電極１１００および対向電極１２００が一定の間隔で並んでいるものとして説明したが、間隔は一定でなくてもよい。
【００４５】
また、上記説明では、放電電極１１００および対向電極１２００を４つ有する構成について説明したが、図４に示すように、剥離フィルム１の縁部側に２つずつ有する構成であってもよいし、３つずつ有する構成であってもよいし、５つ以上ずつ有する構成であってもよい。
【００４６】
また、上記説明では、１つの対向電極１２００がガイドロール本体１３１０外周にわたって連続して設けられているものとして説明したが、断続的に設けられていてもよい。
【００４７】
また、上記説明では、対向電極１２００とガイドロール１３００とが一体となっている構成について説明したが、対向電極１２００とガイドロール１３００とは別体として設けてもよい。
【００４８】
《剥離フィルム》
次に、剥離フィルム１について説明する。
本実施形態に係る剥離フィルム１は、グリーンシートの製造に用いられるものである。
【００４９】
図５は、剥離フィルムの好適な実施形態を示す横断面図、図６は、剥離フィルムの好適な実施形態を示す平面図である。
【００５０】
図５、図６に示すように、剥離フィルム１は、基材１１と、基材１１の一方の面に設けられた剥離剤層１２とを有している。
【００５１】
また、剥離フィルム１は、帯状をなしている。
また、剥離フィルム１は、図５、図６に示すように、剥離剤層１２の表面にグリーンシート２０を形成するものである。
【００５２】
また、図６に示すように、剥離剤層１２の表面に、第１の領域１２１を剥離フィルム１の幅方向の両端部に有し、第２の領域１２２を中央部に有している。
【００５３】
本実施形態に係る剥離フィルム１は、剥離剤層１２の基材１１とは反対側の面が、形成すべきグリーンシート２０の幅方向の端部２１を包含する第１の領域１２１と、形成すべきグリーンシート２０と接し、かつ、第１の領域１２１とは異なる第２の領域１２２とを有し、第１の領域１２１の水に対する静的接触角が、第２の領域１２２の水に対する静的接触角よりも小さくなるよう構成されている。具体的には、第１の領域１２１の水に対する静的接触角をＸ［°］、第２の領域１２２の水に対する静的接触角をＹ［°］としたとき、Ｙ−Ｘ≧１１の関係を満足するよう構成されている。また、第１の領域１２１は、剥離剤層１２の表面に対して、上述したようなコロナ表面処理装置１０００によりコロナ表面処理を施して形成されたものである。
【００５４】
これにより、グリーンシート２０の幅方向の端部２１の収縮（単に端部収縮ともいう）を抑制することができる。これは、以下の理由によるものと考えられる。すなわち、第１の領域１２１の水に対する静的接触角が、第２の領域１２２の水に対する静的接触角よりも小さくなることにより、セラミックスラリーの剥離剤層１２に対する濡れ性が、第２の領域１２２よりも第１の領域１２１のほうが高いものとなる。そのため、セラミックスラリーの表面張力による収縮が抑制される。その結果、形成されるグリーンシート２０の端部の膜厚が厚くなるのを防止することができる。
【００５５】
また、剥離フィルム１上に形成したグリーンシート２０は、第１の領域１２１よりも内側（例えば、図５中の破線の矢印の部分、図６中の一点破線で示した部分）の第２の領域１２２内で打ち抜かれ、剥離フィルム１から剥離される。この際、第２の領域１２２は、第１の領域１２１よりも剥離力が低いので、打ち抜いたグリーンシート２０を容易に剥離することができる。また、打ち抜いたグリーンシート２０を剥離する際には、剥離フィルム１上に残存する部分は、剥離するグリーンシート２０よりも剥離剤層１２との密着性（剥離力）が高いので、剥離フィルム１上に確実に残存し、打ち抜いたグリーンシート２０の剥離を阻害しない。
【００５６】
以下、本実施形態に係る剥離フィルム１を構成する各層について詳細に説明する。
＜基材＞
基材１１は、剥離フィルム１に、剛性、柔軟性等の物理的強度を付与する機能を有している。また、基材１１は、帯状をなしている。
【００５７】
基材１１は、適度な剛性、柔軟性等の物理的特性を持つものであれば、いかなるもので構成されていてもよいが、主として、樹脂材料によって構成されることが好ましい。これにより、基材１１は、引裂きや破断に対する十分な耐性を有するとともに、十分な可撓性を有することができる。
【００５８】
基材１１を構成する樹脂材料としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリメチルペンテン、ポリスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルイミド、ポリイミド、フッ素樹脂、ポリアミド、アクリル樹脂、ノルボルネン系樹脂、シクロオレフィン樹脂等が挙げられ、これらのうち１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５９】
この中でも、樹脂材料として、ポリエステルを用いることが好ましく、ポリエチレンテレフタレートを用いることが特に好ましい。
【００６０】
基材１１の平均厚さは、特に限定されないが、１０〜１５０μｍであるのが好ましく、２０〜１２０μｍであるのがより好ましい。これにより、剥離フィルム１の柔軟性を適度なものとしつつ、剥離フィルム１の引裂きや破断に対する耐性を特に優れたものとすることができる。
【００６１】
＜剥離剤層＞
剥離剤層１２は、基材１１の全面に設けられている。
【００６２】
剥離剤層１２は、主として剥離剤によって構成され、剥離フィルム１に剥離性を付与する機能を有している。
【００６３】
剥離剤層１２の外表面（基材１１とは反対側の面）は、形成すべきグリーンシート２０の剥離フィルム１の幅方向の端部２１を包含する第１の領域１２１と、当該第１の領域１２１の内側の第２の領域１２２とを有している。
【００６４】
本実施形態では、第１の領域１２１は、剥離フィルム１の幅方向の端部近傍において、剥離フィルム１の長手方向に沿って連続的に形成されている。そして、第２の領域１２２は、両端部の第１の領域１２１に挟まれた領域に形成されている。
【００６５】
第１の領域１２１の水に対する静的接触角をＸ［°］、第２の領域１２２の水に対する静的接触角をＹ［°］としたとき、Ｙ−Ｘ≧１１の関係を満足するものであるが、Ｙ−Ｘ≧１５の関係を満足するのがより好ましく、４５≧Ｙ−Ｘ≧２０の関係を満足するのがさらに好ましい。このような関係を満足することにより、形成するグリーンシート２０において端部収縮が発生するのをより効果的に抑制することができる。
【００６６】
第１の領域１２１の水に対する静的接触角は、具体的には、０〜９５°であるのが好ましく、５〜８０°であるのがより好ましい。これにより、形成するグリーンシート２０において端部収縮が発生するのをより確実に抑制することができる。
【００６７】
また、第２の領域１２２の水に対する静的接触角は、具体的には、１００〜１２０°であるのが好ましく、１００〜１１５°であるのがより好ましい。これにより、セラミックスラリーの塗工性と、グリーンシートの剥離性をより高いものとすることができる。
【００６８】
なお、本明細書において、静的接触角は、接触角計（協和界面科学社製、全自動接触角計「ＤＭ−７０１」）を用いて、液滴法により、温度２３℃、湿度５０％の条件下で測定した値を指す。
【００６９】
第１の領域１２１と第２の領域１２２は、上述したようなコロナ表面処理装置１０００を用いて、剥離剤層１２の表面の第１の領域１２１を形成すべき領域にコロナ表面処理を施すことにより形成されている。これにより、第１の領域１２１と第２の領域１２２とを容易に形成することが可能となる。また、第１の領域１２１の静的接触角をより容易に調整することができる。
【００７０】
コロナ表面処理を施す際の放電量は、１５０〜１０００Ｗ・ｍｉｎ/ｍ２であることが好ましく、２５０〜６００Ｗ・ｍｉｎ/ｍ２であることがより好ましい。これにより、剥離フィルム１表面に対する不本意な損傷を抑制しつつ、十分な親水性を付与することができる。
【００７１】
剥離フィルム１を平面視した際の、剥離フィルム１の面積に対する第１の領域１２１（両端部の第１の領域１２１の合計）の面積の割合は、５〜４０％であることが好ましく、８〜３５％であることがより好ましい。これにより、剥離剤層１２表面を有効に活用することができ、より効率よくグリーンシート２０を製造することができる。
【００７２】
剥離剤層１２は、剥離剤を含む剥離剤組成物を用いて形成される。
剥離剤組成物としては、特には限定されないが、ポリオルガノシロキサンで構成された剥離剤を含むシリコーン系剥離剤組成物を用いるのが好ましい。
【００７３】
ポリオルガノシロキサンとしては、剥離剤層１２を形成することのできるものであればよく、例えば、付加反応型、縮合反応型のポリオルガノシロキサンを用いることができる。このようなポリオルガノシロキサンは、剥離剤層１２の形成時において、熱、光等のエネルギーが加えられることにより、重合反応することができる。この結果、シリコーン系剥離剤が好適に硬化して剥離剤層１２が形成される。中でも、付加反応型のポリオルガノシロキサンを用いることが好ましい。
【００７４】
付加反応型のポリオルガノシロキサンとしては、シリコーン系剥離剤の硬化時に付加反応することのできるポリオルガノシロキサンであれば特に限定されず、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ヘキセニル基、オクテニル基、デセニル基等のアルケニル基を有するポリオルガノシロキサンを用いることができる。
【００７５】
アルケニル基を有するポリオルガノシロキサンとしては、１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有する、質量平均分子量２０，０００〜１，３００，０００のものを用いることが好ましい。
【００７６】
上記１分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有する、質量平均分子量２０，０００〜１，３００，０００のポリオルガノシロキサンは、例えば、以下の一般式（Ｉ）で表される。
【００７７】
Ｒ１Ｒ２２ＳｉＯ（Ｒ２ＳｉＯ）ｍ（ＲＲ１ＳｉＯ）ｎＳｉＲ２２Ｒ１  ……（Ｉ）
式（Ｉ）中、Ｒは脂肪族不飽和結合を有しない同一または異種の一価炭化水素基、Ｒ１は同一または異種のアルケニル基、Ｒ２は、ＲまたはＲ１であり、ｍおよびｎは自然数を表す。
【００７８】
式（Ｉ）中のＲは、炭素数１〜１２、特に炭素数１〜１０の一価炭化水素基であるのが好ましい。炭素数１〜１０の一価炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基などが挙げられる。
【００７９】
また、式（Ｉ）中のＲ１で示されるアルケニル基としては、例えば、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ヘキセニル基、オクテニル基、デセニル基等の炭素数２〜１０のものが挙げられる。
【００８０】
上記ポリオルガノシロキサンにおいて、ケイ素原子に直接結合した一価炭化水素基のうち、８０モル％以上がメチル基であることが好ましい。
【００８１】
また、シリコーン系剥離剤組成物は、架橋剤を含むことが好ましい。このような架橋剤によってポリオルガノシロキサンが架橋されることにより、ポリオルガノシロキサンが剥離剤層１２からグリーンシートへ移行することが防止され、グリーンシートが汚染されることが確実に防止される。また、剥離剤層１２の表面強度を特に優れたものとすることができるとともに、基材１１と剥離剤層１２との密着性が特に優れたものとなる。
【００８２】
架橋剤としては、例えば、単量体中にＳｉ−Ｈ結合を有するポリオルガノシロキサン、具体的には、ジメチルハイドロジェンシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基末端封鎖ポリ（メチルハイドロジェンシロキサン）、ポリ（ハイドロジェンシルセスキオキサン）等が挙げられ、１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００８３】
シリコーン系剥離剤組成物における架橋剤は、ポリオルガノシロキサン：１００質量部に対し、０．１〜１００質量部含まれることが好ましく、０．３〜５０質量部含まれることがより好ましい。
【００８４】
また、シリコーン系剥離剤組成物は、上述したような成分に加え、他の成分を含んでいてもよい。例えば、シリコーン系剥離剤組成物は、密着向上剤、重合開始剤、安定剤、シリカ、染料、顔料等を含むものであってもよい。
【００８５】
この剥離剤層１２の厚さは、特に限定されないが、０．０１〜３μｍであるのが好ましく、０．０３〜１μｍであるのがより好ましい。
【００８６】
なお、本明細書において、質量平均分子量（Ｍｗ）とは、テトラヒドロフランを展開溶媒とするゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により、各剥離剤を測定し、ポリスチレン換算値として求めたものをいう。測定条件は以下の通りである。
【００８７】
ＧＰＣ測定装置：ＨＬＣ−８０２０（商品名、東ソー社製）
ＧＰＣカラム（以下の順に通過）：ＴＳＫ  ｇｕａｒｄ  ｃｏｌｕｍｎ  ＨＸＬ−Ｈ、ＴＳＫ  ｇｅｌ  ＧＭＨＸＬ（×２）、ＴＳＫ  ｇｅｌ  Ｇ２０００ＨＸＬ（以上商品名、東ソー社製）
測定溶媒：テトラヒドロフラン    測定温度：４０℃
【００８８】
以上、本発明を好適実施形態に基づいて詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００８９】
例えば、上述した実施形態では、第１の領域が剥離フィルムの長手方向に沿って連続的に形成されているものとして説明したが、これに限定されず、断続的であってもよい。
【００９０】
また、例えば、第１の領域１２１と第２の領域１２２とで剥離剤層１２を構成する材料を異なるものとすることにより形成してもよい。
【００９１】
また、上述した実施形態では、第１の領域と第２の領域との境界が明確であるものとして説明したが、明確でなくてもよい。すなわち、第２の領域から第１の領域に向かって、水に対する静的接触角が徐々に小さくなるよう構成してもよい。
【実施例】
【００９２】
次に、剥離フィルムの具体的実施例について説明する。
［１］剥離フィルムの作製
（実施例１）
ビニル基を有するポリオルガノシロキサン（質量平均分子量：１，１３０，０００、ビニル基含有量：０．２１ｍｍｏｌ／ｇ）とポリオルガノハイドロジェンシロキサンとを含有する付加反応型ポリオルガノシロキサン溶液（固形分３０質量％、ビニル基の数に対するヒドロシリル基の数の比：２．７）１００質量部を、トルエンおよびメチルエチルケトンの混合液（質量比３：７）にて固形分濃度が１．５質量％になるように希釈し、さらに白金系触媒（東レ・ダウコーニング社製，ＳＲＸ−２１２）２質量部を添加混合して剥離剤組成物の溶液を得た。
【００９３】
幅３００ｍｍ、厚さ３１μｍの二軸延伸ポリエチレンテレフタレート製の基材フィルム上に、剥離剤組成物の溶液を、乾燥後の膜厚が０．０９μｍとなるように全面に塗布した後、１２５℃で３０秒間乾燥および硬化反応を行わせて剥離剤層を形成した。
【００９４】
その後、図１〜図３に示すようなコロナ表面処理装置を用いて、剥離剤層の両端部から１５ｍｍまでの範囲に４００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ２の放電量でコロナ処理を施して第１の領域および第２の領域を形成し、ロール状に巻回した剥離フィルムを作製した。
【００９５】
得られた剥離フィルムを平面視した場合における剥離フィルムの面積に対する第１の領域の面積の割合は、１０％であった。
【００９６】
（実施例２）
剥離剤層の両端部から３０ｍｍまでの範囲にコロナ処理を行なって、第１の領域および第２の領域を形成した以外は、前記実施例１と同様にして剥離フィルムを作製した。なお、得られた剥離フィルムを平面視した場合における剥離フィルムの面積に対する第１の領域の面積の割合は、２０％であった。
【００９７】
（実施例３）
剥離剤層の両端部から４５ｍｍまでの範囲にコロナ処理を行なって、第１の領域および第２の領域を形成した以外は、前記実施例１と同様にして剥離フィルムを作製した。なお、得られた剥離フィルムを平面視した場合における剥離フィルムの面積に対する第１の領域の面積の割合は、３０％であった。
【００９８】
（実施例４）
剥離剤層の両端部から１５ｍｍまでの範囲に、２００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ２の放電量でコロナ処理を施して、第１の領域および第２の領域を形成した以外は、前記実施例１と同様にして剥離フィルムを作製した。
【００９９】
（実施例５）
剥離剤層の両端部から１５ｍｍまでの範囲に、３００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ２の放電量でコロナ処理を施して、第１の領域および第２の領域を形成した以外は、前記実施例１と同様にして剥離フィルムを作製した。
【０１００】
（比較例１）
コロナ処理を施さなかった以外は、前記実施例１と同様にして剥離フィルムを作製した。
【０１０１】
各実施例および比較例の第１の領域の面積の割合を表１に示した。
また、各実施例および各比較例の剥離フィルムを作製後、温度２３℃、相対湿度５０％の条件で７日間養生した後、第１の領域および第２の領域の水に対する静的接触角を測定した。その結果を表１に示した。なお、比較例１については、剥離剤層表面の水に対する静的接触角を第２の領域の欄に記載した。
【０１０２】
【表１】
2015106090.tif 000003
【０１０３】
［２］評価
以上のようにして得られた剥離フィルムに関して、以下のような評価を行った。
【０１０４】
［２．１］端部収縮評価
チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３；堺化学工業社製，ＢＴ−０２）１００質量部、バインダーとしてのポリビニルブチラール（積水化学工業社製，エスレックＢ・Ｋ  ＢＭ−２）８質量部および可塑剤としてのフタル酸ジオクチル（関東化学社製，フタル酸ジオクチル  鹿１級）４質量部に、トルエンおよびエタノールの混合液（質量比６：４）１３５質量部を加え、ボールミルにて混合分散させて、セラミックスラリーを調製した。
【０１０５】
各実施例および比較例にて製造してから常温で２４時間保管した剥離フィルム（幅：３００ｍｍ）の剥離剤層表面に、上記セラミックスラリーを乾燥後の膜厚：３μｍ、幅：２９０ｍｍになるようにダイコーターを用いて均一に塗工し、その後、乾燥機にて８０℃で１分間乾燥させた。このようにして、グリーンシート付剥離フィルムを３００ｍ製造した。
【０１０６】
得られたグリーンシート付剥離フィルムの３００ｍにおいて、幅方向端部に端部収縮が発生したかどうかを、下記式により端部収縮幅を算出し、下記基準により評価した。結果を表１に示した。
端部収縮幅＝（セラミックスラリーの塗工幅）−（形成したグリーンシートの幅）
【０１０７】
○：端部収縮幅が２ｍｍ未満（良好）
△：端部収縮幅が２ｍｍ以上５ｍｍ未満（使用可）
×：端部収縮幅が５ｍｍ以上（不良）
【０１０８】
［２．２］剥離力評価
端部収縮評価と同様にして得られたグリーンシート付剥離フィルムを、温度２３度、湿度５０％の雰囲気下に２４時間静置した後、第１の領域以外の部分から１２０ｍｍ×４０ｍｍの大きさのサンプルを採取し、４０ｍｍの辺に、グリーンシート面側から長さ４０ｍｍのアクリル粘着テープ（日東電工社製，３１Ｂテープ）を貼付して試験片とした。
【０１０９】
この試験片の剥離フィルム面側を平板に固定し、アクリル粘着テープを貼付した端辺側を下側にして９０°に傾け、剥離試験機（島津製作所社製，ＡＧ−１Ｓ  ５００Ｎ）に設置した。
【０１１０】
そして、アクリル粘着テープを貼付した端辺の剥離フィルムをグリーンシートから剥がし、アクリル粘着テープ側を剥離試験機の治具に取り付けた。この状態にて、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎでアクリル粘着テープを垂直上方向に引っ張り、剥離フィルムからグリーンシートを剥がしたときの剥離力（ｍＮ／４０ｍｍ）を測定した。
【０１１１】
測定した剥離力が１５ｍＮ／１００ｍｍ未満のものを「○」（良好）、１５ｍＮ／１００ｍｍ以上のものを「×」（不良）として評価した。結果を表１に合わせて示す。
【０１１２】
［３］評価結果
表１から明らかなように、実施例の剥離フィルムは、グリーンシートの端部収縮を効果的に抑制することができるものであった。また、実施例の剥離フィルムは、成膜されたグリーンシートの剥離性に優れるものであった。これに対して、比較例では満足な結果が得られなかった。
【符号の説明】
【０１１３】
１        剥離フィルム
１１      基材
１２      剥離剤層
１２１    第１の領域
１２２    第２の領域
２０      グリーンシート
２１      グリーンシートの幅方向の端部
１０００  コロナ表面処理装置
１１００  放電電極
１２００  対向電極
１３００  ガイドロール
１３１０  ガイドロール本体
１３２０  絶縁体層
１３３０  軸
１４００  フィルム巻き出し部
１５００  フィルム巻き取り部
【図１】
2015106090.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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