(57)【要約】      （修正有）【課題】ロールの近傍におけるフィルム等のウエブに対する撮像部の角度を自在に調整することができるため様々な種類のウエブを精度良く検査することができるウエブ検査装置およびウエブ検査方法を提供する。【解決手段】ウエブ検査装置は、帯状のウエブＷが巻かれるロール１０と、ロール１０の近傍でウエブＷの撮像を行う撮像部（例えば、カメラ３０）と、撮像部を支持する支持部（例えば、架台３２やカメラ支持アーム）と、ロール１０の周囲で撮像部が移動するよう支持部を駆動する駆動部（例えば、駆動モータ）とを備えている。【選択図】図２
2015190835.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状のウエブが巻かれるロールと、
ウエブの撮像を行う撮像部と、
前記撮像部を支持する支持部と、
前記ロールの周囲で前記撮像部が移動するよう前記支持部を駆動する駆動部と、
を備えた、ウエブ検査装置。
【請求項２】
前記支持部は前記ロールの外周面上に位置する軸心を中心として回転自在となっており、
前記撮像部は前記軸心を中心として回転するよう前記ロールの周囲で回動するようになっている、請求項１記載のウエブ検査装置。
【請求項３】
前記支持部は、前記ロールの軸に設けられた取付部材に対して前記軸心を中心として回転自在となっており、
前記取付部材は前記ロールの前記軸に対して回転自在となっている、請求項２記載のウエブ検査装置。
【請求項４】
前記ロールは、ウエブがその外周面の一部に巻かれる中間ロールである、請求項２または３記載のウエブ検査装置。
【請求項５】
前記支持部の一方の側は前記ロールの軸を中心として回転自在となっており、
前記撮像部は前記ロールの前記軸を中心として回転するよう当該ロールの周囲で回動するようになっている、請求項１記載のウエブ検査装置。
【請求項６】
前記支持部に対する前記撮像部の向きを変えることができるよう前記撮像部は前記支持部に対して回転自在に設けられている、請求項５記載のウエブ検査装置。
【請求項７】
前記ロールはウエブの巻き出しを行う巻き出しロールまたはウエブの巻き取りを行う巻き取りロールからなり、
前記撮像部は前記巻き出しロールから巻き出された直後のウエブまたは前記巻き取りロールにより巻き取られる直前のウエブを撮像するようになっている、請求項５または６記載のウエブ検査装置。
【請求項８】
前記ロールに巻かれている状態でのウエブ、前記巻き出しロールから巻き出された直後のウエブまたは前記巻き取りロールにより巻き取られる直前のウエブ、ならびに前記ロールから離れた位置でのウエブを選択的に前記撮像部により撮像することができるよう、前記撮像部は前記ロールの周囲で移動するようになっている、請求項７記載のウエブ検査装置。
【請求項９】
前記巻き出しロールからウエブが巻き出される箇所または前記巻き取りロールによりウエブが巻き取られる箇所における前記ロールの外周面の接線に直交する仮想線上に前記撮像部が常に位置するよう前記駆動部を制御する制御部を更に備えた、請求項７または８記載のウエブ検査装置。
【請求項１０】
ウエブに光を照射する照明部を更に備えた、請求項１乃至９のいずれか一項に記載のウエブ検査装置。
【請求項１１】
前記照明部は前記撮像部と一体的に移動するようになっている、請求項１０記載のウエブ検査装置。
【請求項１２】
前記照明部は前記撮像部から独立して前記ロールの周囲で移動自在となっている、請求項１０記載のウエブ検査装置。
【請求項１３】
前記ロールの軸を中心として回転自在となっており、前記照明部を支持する照明部支持部と、
前記ロールの周囲で前記照明部が移動するよう前記照明部支持部を駆動する照明部駆動部と、
を更に備えた、請求項１２記載のウエブ検査装置。
【請求項１４】
帯状のウエブが巻かれるロールの周囲で撮像部を移動させる工程と、
前記撮像部によりウエブの撮像を行う工程と、
を備えた、ウエブ検査方法。
【請求項１５】
前記撮像部は前記ロールの外周面上に位置する軸心を中心として回転するよう前記ロールの周囲で回動するようになっている、請求項１４記載のウエブ検査方法。
【請求項１６】
前記撮像部は前記ロールの軸を中心として回転するよう当該ロールの周囲で回動するようになっている、請求項１４記載のウエブ検査方法。
【請求項１７】
前記撮像部と一体的に移動する照明部によりウエブに光を照射する工程を更に備えた、請求項１４乃至１６のいずれか一項に記載のウエブ検査方法。
【請求項１８】
前記撮像部から独立して前記ロールの周囲で移動自在となっている照明部によりウエブに光を照射する工程を更に備えた、請求項１４乃至１６のいずれか一項に記載のウエブ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状のフィルム等のウエブの外観検査を行うウエブ検査装置およびウエブ検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
帯状のフィルム等のウエブの外観検査を容易に行うためのウエブ検査装置として、特許文献１等に開示されるものが従来から知られている。特許文献１に開示されるウエブ検査装置では、平行に配置された２本のロール（具体的には、巻き出しロールおよび巻き取りロール）により両端部が固定されたウエブの一部を平面上に保持し、この平面上に保持されたウエブをカメラにより撮像することによってウエブの外観検査を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−４２２６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１等に開示されるような従来技術のウエブ検査装置では、ロールの近傍においてフィルムに対するカメラの角度を自在に調整することができないため、同じ製造ラインで異なる種類のフィルムの検査を行う際に、当該フィルムの種類に応じてカメラによる検査条件を変更することができず、フィルムの種類によってはカメラにより当該フィルムを十分に検査することができないおそれがあった。
【０００５】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、ロールの近傍におけるフィルム等のウエブに対する撮像部の角度を自在に調整することができるため様々な種類のウエブを精度良く検査することができるウエブ検査装置およびウエブ検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のウエブ検査装置は、帯状のウエブが巻かれるロールと、ウエブの撮像を行う撮像部と、前記撮像部を支持する支持部と、前記ロールの周囲で前記撮像部が移動するよう前記支持部を駆動する駆動部と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
このようなウエブ検査装置によれば、帯状のフィルム等のウエブが巻かれるロールの周囲で撮像部を移動させることにより、ロールの近傍におけるウエブに対する撮像部の角度を自在に調整することができ、このため様々な種類のウエブを精度良く検査することができる。
【０００８】
本発明のウエブ検査装置においては、前記支持部は前記ロールの外周面上に位置する軸心を中心として回転自在となっており、前記撮像部は前記軸心を中心として回転するよう前記ロールの周囲で回動するようになっていてもよい。
【０００９】
この場合、前記支持部は、前記ロールの軸に設けられた取付部材に対して前記軸心を中心として回転自在となっており、前記取付部材は前記ロールの前記軸に対して回転自在となっていてもよい。
【００１０】
また、前記ロールは、ウエブがその外周面の一部に巻かれる中間ロールであってもよい。
【００１１】
本発明のウエブ検査装置においては、前記支持部の一方の側は前記ロールの軸を中心として回転自在となっており、前記撮像部は前記ロールの前記軸を中心として回転するよう当該ロールの周囲で回動するようになっていてもよい。
【００１２】
この場合、前記支持部に対する前記撮像部の向きを変えることができるよう前記撮像部は前記支持部に対して回転自在に設けられていてもよい。
【００１３】
また、前記ロールはウエブの巻き出しを行う巻き出しロールまたはウエブの巻き取りを行う巻き取りロールからなり、前記撮像部は前記巻き出しロールから巻き出された直後のウエブまたは前記巻き取りロールにより巻き取られる直前のウエブを撮像するようになっていてもよい。
【００１４】
この際に、前記ロールに巻かれている状態でのウエブ、前記巻き出しロールから巻き出された直後のウエブまたは前記巻き取りロールにより巻き取られる直前のウエブ、ならびに前記ロールから離れた位置でのウエブを選択的に前記撮像部により撮像することができるよう、前記撮像部は前記ロールの周囲で移動するようになっていてもよい。
【００１５】
また、本発明のウエブ検査装置は、前記巻き出しロールからウエブが巻き出される箇所または前記巻き取りロールによりウエブが巻き取られる箇所における前記ロールの外周面の接線に直交する仮想線上に前記撮像部が常に位置するよう前記駆動部を制御する制御部を更に備えていてもよい。
【００１６】
本発明のウエブ検査装置は、ウエブに光を照射する照明部を更に備えていてもよい。
【００１７】
この際に、前記照明部は前記撮像部と一体的に移動するようになっていてもよい。
【００１８】
あるいは、前記照明部は前記撮像部から独立して前記ロールの周囲で移動自在となっていてもよい。
【００１９】
この場合、本発明のウエブ検査装置は、前記ロールの軸を中心として回転自在となっており、前記照明部を支持する照明部支持部と、前記ロールの周囲で前記照明部が移動するよう前記照明部支持部を駆動する照明部駆動部と、を更に備えていてもよい。
【００２０】
本発明のウエブ検査方法は、帯状のウエブが巻かれるロールの周囲で撮像部を移動させる工程と、前記撮像部によりウエブの撮像を行う工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２１】
このようなウエブ検査方法によれば、帯状のフィルム等のウエブが巻かれるロールの周囲で撮像部を移動させることにより、ロールの近傍におけるウエブに対する撮像部の角度を自在に調整することができ、このため様々な種類のウエブを精度良く検査することができる。
【００２２】
本発明のウエブ検査方法においては、前記撮像部は前記ロールの外周面上に位置する軸心を中心として回転するよう前記ロールの周囲で回動するようになっていてもよい。
【００２３】
あるいは、前記撮像部は前記ロールの軸を中心として回転するよう当該ロールの周囲で回動するようになっていてもよい。
【００２４】
本発明のウエブ検査方法は、前記撮像部と一体的に移動する照明部によりウエブに光を照射する工程を更に備えていてもよい。
【００２５】
あるいは、前記撮像部から独立して前記ロールの周囲で移動自在となっている照明部によりウエブに光を照射する工程を更に備えていてもよい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明のウエブ検査装置およびウエブ検査方法によれば、ロールの近傍におけるフィルム等のウエブに対する撮像部の角度を自在に調整することができるため様々な種類のウエブを精度良く検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるウエブ検査装置の構成の概略を示す概略構成図である。
【図２】図１に示すウエブ検査装置の側面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態によるウエブ検査装置の一の構成の概略を示す概略構成図である。
【図４】図３に示すウエブ検査装置において巻き出しロールからウエブが巻き出される際のカメラの動作を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態によるウエブ検査装置の他の構成の概略を示す概略構成図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態によるウエブ検査装置の更に他の構成の概略を示す概略構成図である。
【図７】図６に示すウエブ検査装置におけるカメラ支持アームに対するカメラの角度を示す図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態によるウエブ検査装置の一の構成の概略を示す概略構成図である。
【図９】図８に示すウエブ検査装置の側面図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態によるウエブ検査装置の他の構成の概略を示す概略構成図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態によるウエブ検査装置の更に他の構成の概略を示す側面図である。
【図１２】本発明の第４の実施の形態によるウエブ検査装置の一の構成の概略を示す概略構成図である。
【図１３】図１２に示すウエブ検査装置における照明部支持アームに対する照明部の角度を示す図である。
【図１４】本発明の第４の実施の形態によるウエブ検査装置によるウエブの検査方法の他の例の概略を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
〔第１の実施の形態〕
以下、図面を参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。図１および図２は、本実施の形態に係るウエブ検査装置およびこのようなウエブ検査装置によるウエブ検査方法を示す図である。このうち、図１は、本実施の形態によるウエブ検査装置の構成の概略を示す概略構成図であり、図２は、図１に示すウエブ検査装置の側面図である。
【００２９】
図１および図２に示すように、第１の実施の形態によるウエブ検査装置は、帯状のフィルム等のウエブＷが巻かれるロール１０と、ロール１０の近傍でウエブＷの撮像を行う撮像部としてのカメラ３０と、カメラ３０を支持する支持部としての架台３２と、ロール１０の周囲でカメラ３０が移動するよう架台３２を駆動する駆動部としてのステッピングモータ等の駆動モータ３４とを備えており、カメラ３０により撮像されたウエブＷの画像に基づいて当該ウエブＷの外観検査を行うようになっている。ここで、本実施の形態では、図２に示すように、ロール１０として、ウエブＷがその外周面の一部に巻かれる中間ロールが用いられるようになっている。また、図１に示すように、このロール１０の軸１１の両端部近傍には、架台３２を当該軸１１に取り付けるための取付部材として左右一対のブラケット４０が設けられており、架台３２は各ブラケット４０に対して回転自在となるようこれらのブラケット４０に取り付けられている。
【００３０】
図１および図２においてロール１０の軸１１の軸心を参照符号Ｏで示す。本実施の形態では、カメラ３０を支持する支持部としての架台３２は、ロール１０の軸１１の軸心Ｏから外れた、ロール１０の外周面上に位置する軸心（図１および図２において参照符号Ｐで表示）を中心として回転自在となっており、カメラ３０はこの軸心Ｐを中心として回転するようロール１０の周囲で移動するようになっている。より詳細には、架台３２は各ブラケット４０に対して軸心Ｐを中心として回転自在となるよう取り付けられており、駆動モータ３４は軸心Ｐを中心として回転するよう架台３２を駆動するようになっている。また、図１に示すように、本実施の形態によるウエブ検査装置には、駆動モータ３４の制御を行う制御部９０が設けられている。
【００３１】
このように、本実施の形態のウエブ検査装置では、カメラ３０は、ウエブＷの撮像を行う撮像部として機能し、架台３２は、カメラ３０（撮像部）を支持する支持部として機能し、駆動モータ３４は、ロール１０の周囲でカメラ３０（撮像部）が移動するよう架台３２（支持部）を駆動する駆動部として機能する。また、架台３２（支持部）はロール１０の外周面上に位置する軸心（図１および図２において参照符号Ｐで表示）を中心として回転自在となっており、カメラ３０（撮像部）は軸心Ｐを中心として回転するようロール１０の周囲で回動するようになっている。また、ロール１０は、ウエブＷがその外周面の一部に巻かれる中間ロールである。
【００３２】
このようなウエブ検査装置によれば、ロール１０の近傍におけるウエブＷに対するカメラ３０の角度を自在に調整することができるため様々な種類のウエブＷを精度良く検査することができる。また、カメラ３０はロール１０の外周面上に位置する軸心Ｐを中心として移動するため、当該カメラ３０がロール１０の外周面上におけるこの軸心Ｐに位置するウエブＷを撮像する際にカメラ３０とウエブＷとの間の距離を常に一定に保つことができるようになり、このためカメラ３０の焦点を調整する必要がなくなるため当該カメラ３０にオートフォーカス機能を設ける必要がなくなる。
【００３３】
図１および図２に示すウエブ検査装置の変形例として、各ブラケット４０がロール１０の軸１１に対して回転自在となっていてもよい。この場合には、各ブラケット４０がロール１０の軸１１に対して回転自在となるとともにカメラ３０を支持する架台３２が各ブラケット４０に対して回転自在となるため、当該カメラ３０は２つの関節を介してロール１０の軸１１に取り付けられるようになり、ロール１０の周囲におけるカメラ３０の移動の自由度をより一層高めることができる。具体的には、各ブラケット４０をロール１０の軸１１に対して回転させることにより、カメラ３０はロール１０の外周面上における図２において参照符号Ｐで示される箇所以外のウエブＷの撮像も行うことができるようになり、この場合でもカメラ３０とウエブＷとの間の距離を常に一定に保つことができるようになる。
【００３４】
このように、上記の変形例に係るウエブ検査装置では、架台３２（支持部）は、ロール１０の軸１１に設けられたブラケット４０（取付部材）に対して軸心（図１および図２において参照符号Ｐで表示）を中心として回転自在となっており、しかも、このブラケット４０（取付部材）はロール１０の軸１１に対して回転自在となっている。
【００３５】
〔第２の実施の形態〕
以下、図面を参照して本発明の第２の実施の形態について説明する。図３乃至図７は、本実施の形態に係るウエブ検査装置およびこのようなウエブ検査装置によるウエブ検査方法を示す図である。このうち、図３は、本実施の形態によるウエブ検査装置の一の構成の概略を示す概略構成図であり、図４は、図３に示すウエブ検査装置において巻き出しロールからウエブが巻き出される際のカメラの動作を示す図である。また、図５は、本実施の形態によるウエブ検査装置の他の構成の概略を示す概略構成図であり、図６は、本実施の形態によるウエブ検査装置の更に他の構成の概略を示す概略構成図であり、図７は、図６に示すウエブ検査装置におけるカメラ支持アームに対するカメラの角度を示す図である。
【００３６】
図３および図４に示すように、第２の実施の形態によるウエブ検査装置は、帯状のフィルム等のウエブＷが巻かれるロール１２と、ロール１２の近傍でウエブＷの撮像を行う撮像部としてのカメラ３０と、カメラ３０を支持する支持部としてのカメラ支持アーム５０と、ロール１２の周囲でカメラ３０が移動するようカメラ支持アーム５０を駆動する駆動部としてのステッピングモータ等の駆動モータ５８とを備えている。ここで、本実施の形態では、ロール１２として、ウエブＷの巻き出しを行う巻き出しロールまたはウエブＷの巻き取りを行う巻き取りロールが用いられるようになっている（なお、図３および図４では、ロール１２として巻き出しロールが用いられる態様が示されている）。また、図３等に示すように、カメラ支持アーム５０の一方の側（具体的には、カメラ支持アーム５０の基端部）がロール１２の軸１３に回転自在に取り付けられており、当該カメラ支持アーム５０の先端部にカメラ３０がロール１２側を向くよう取り付けられている。また、図３に示すように、本実施の形態によるウエブ検査装置には、駆動モータ５８の制御を行う制御部９２が設けられている。また、図３および図４に示すように、ロール１２の近傍には、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出されたウエブＷを案内したり巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られるウエブＷを案内するための案内ロール１４が配設されている。
【００３７】
本実施の形態では、カメラ３０は、その位置によって、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷや巻き出しロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷを撮像したり、あるいはロール１２と案内ロール１４との間にあるウエブＷを撮像したり、あるいはロール１２により巻き取られた状態にあるウエブＷを撮像したりすることができるようになっている。より詳細には、カメラ３０が図３において参照符号Ａに示す位置と参照符号Ｃに示す位置との間に位置する場合には、当該カメラ３０はロール１２と案内ロール１４との間にあるウエブＷを撮像することができる。また、カメラ３０が図３において参照符号Ａに示す位置と参照符号Ｂに示す位置との間に位置する場合には、当該カメラ３０は巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷや巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷを撮像することができる。ここで、巻き出しロールとしてのロール１２からウエブＷが巻き出される際には、当該ウエブＷが例えば複層フィルムである場合には巻き出された直後の複層フィルムの裏面に次に巻き出されるべき複層フィルムの表面の膜が付着することにより膜剥がれ等の欠陥が生じてしまうおそれがあるが、このような複層フィルムの膜剥がれ等の欠陥をカメラ３０により撮像することができるようになる。また、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された後のウエブＷのテンションが高過ぎる場合には、ロール１２に巻かれた状態のウエブＷには縦線が生じないが、ロール１２から離れるとウエブＷの搬送方向に沿って当該ウエブＷの表面に波形状の縦線が生じてしまうおそれがある。一方、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された後のウエブＷのテンションが低過ぎる場合には、ロール１２から離れたウエブＷにバタツキが生じるおそれがある。これに対し、本実施の形態では、このようなウエブＷの表面に生じた波形状の縦線やウエブＷのバタツキもカメラ３０により観察することができるようになる。一方、巻き取りロールとしてのロール１２によりウエブＷが巻き取られる際には、当該ロール１２により巻き取られるべきウエブＷにしわ（巻きしわ）が発生している場合にこのようなウエブＷ上のしわをカメラ３０により撮像することができるようになる。また、カメラ３０が図３において参照符号Ｂに示す位置と参照符号Ｄに示す位置との間に位置する場合には、当該カメラ３０はロール１２により巻き取られた状態にあるウエブＷを撮像することができる。
【００３８】
このように、本実施の形態のウエブ検査装置では、カメラ３０は、ウエブＷの撮像を行う撮像部として機能し、カメラ支持アーム５０は、カメラ３０（撮像部）を支持する支持部として機能し、駆動モータ５８は、ロール１２の周囲でカメラ３０（撮像部）が移動するようカメラ支持アーム５０（支持部）を駆動する駆動部として機能する。また、カメラ支持アーム５０（支持部）の一方の側（具体的には、カメラ支持アーム５０の基端部）はロール１２の軸１３を中心として回転自在となっており、カメラ３０（撮像部）はロール１２の軸１３を中心として回転するようロール１２の周囲で回動するようになっている。また、ロール１２は、ウエブＷの巻き出しを行う巻き出しロールまたはウエブＷの巻き取りを行う巻き取りロールからなる。
【００３９】
本実施の形態でも、第１の実施の形態と同様に、ロール１２の周囲でカメラ３０が移動するよう駆動モータ５８がカメラ支持アーム５０を駆動することにより、ロール１２の近傍におけるウエブＷに対するカメラ３０の角度を自在に調整することができるため様々な種類のウエブＷを精度良く検査することができる。とりわけ、カメラ３０の位置によって様々な状態のウエブＷを撮像することができるため、多彩な品種のウエブＷを多彩な角度で検査可能となる。
【００４０】
また、本実施の形態では、制御部９２は、巻き出しロールとしてのロール１２からウエブＷが巻き出される箇所または巻き取りロールとしてのロール１２によりウエブＷが巻き取られる箇所におけるロール１２の外周面の接線に直交する仮想線上にカメラ３０が常に位置するよう駆動モータ５８を制御するようになっている。このような制御部９２による駆動モータ５８の制御方法について図４を用いて説明する。図４では、ロール１２としてウエブＷの巻き出しを行う巻き出しロールが用いられている。このような巻き出しロールとしてのロール１２からウエブＷの巻き出しを行う際に、当該ロール１２に十分な量のウエブＷが巻かれておりこのロール１２に巻かれているウエブＷが図４において最も外側の円形の二点鎖線で示す箇所に位置する場合には、ロール１２から巻き出される箇所のウエブＷを真上から撮像するためにカメラ３０は図４において参照符号Ａで示す箇所（図４において実線で示す箇所）に位置している。そして、ロール１２からウエブＷが巻き出されることにより当該ロール１２に巻かれているウエブＷの量が減少して図４において外側から２番目の円形の二点鎖線で示す箇所に最も外側のウエブＷが位置するようになった場合には、ロール１２から巻き出される箇所のウエブＷを真上から撮像するためにカメラ３０は図４において参照符号Ａで示す箇所から参照符号Ｂで示す箇所（図４において二点鎖線で示す箇所）に移動する。その後、ロール１２からウエブＷが更に巻き出されることにより当該ロール１２に巻かれているウエブＷがほとんどなくなり図４において外側から３番目の円形の実線で示す箇所に最も外側のウエブＷが位置するようになった場合には、このロール１２から巻き出される箇所のウエブＷを真上から撮像するためにカメラ３０は図４において参照符号Ｂで示す箇所から参照符号Ｃで示す箇所（図４において二点鎖線で示す箇所）に更に移動する。
【００４１】
ここで、ロール１２の中心と案内ロール１４におけるウエブＷが巻き取られる箇所とを結んだ直線に対する、ロール１２の中心とカメラ３０とを結んだ直線の角度について図４を用いて説明する。図４に示すように、ロール１２に巻かれたウエブＷと当該ロール１２の中心との間の距離をａ、ロール１２の中心と案内ロール１４におけるウエブＷが巻き取られる箇所との間の距離をｂとすると、ロール１２からウエブＷが巻き出される箇所におけるロール１２の外周面の接線に直交する仮想線上にカメラ３０が位置するため、ロール１２の中心と案内ロール１４におけるウエブＷが巻き取られる箇所とを結んだ直線に対する、ロール１２の中心とカメラ３０とを結んだ直線の角度θは下記式で示すことができる。
ａ＝ｂ×ｓｉｎ（９０°−θ）  ・・・式（１）
【００４２】
ロール１２に巻かれたウエブＷと当該ロール１２の中心との間の距離ａについては、ロール１２からウエブＷが巻き出され始めてから経過した時間やウエブＷの巻き出し速度等に基づいて制御部９２が自動で計算することができる。また、ロール１２の中心と案内ロール１４におけるウエブＷが巻き取られる箇所との間の距離ｂは常に一定である。このため、制御部９２は、上記式（１）に基づいて、ロール１２の中心と案内ロール１４におけるウエブＷが巻き取られる箇所とを結んだ直線に対する、ロール１２の中心とカメラ３０とを結んだ直線の角度θを算出することができ、この算出された角度θに基づいてカメラ３０を移動させるよう駆動モータ５８を制御するようになる。このように、ロール１２からのウエブＷの巻き出しに伴って、ロール１２から巻き出される箇所のウエブＷを真上から撮像するためにカメラ３０を移動させることにより、ロール１２に巻かれているウエブＷの量に関わりなく、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷを精度良く検査することができる。また、ロール１２としてウエブＷの巻き取りを行う巻き取りロールが用いられる場合でも、制御部９２は同様の制御方法で駆動モータ５８を制御することにより、巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷを精度良く検査することができる。
【００４３】
本実施の形態によるウエブ検査装置の他の構成例を図５に示す。図５に示すウエブ検査装置は、巻き出しロールや巻き取りロールとしてのロール１２の代わりに、ウエブＷがその外周面の一部に巻かれる中間ロールからなるロール１６が用いられるようになっている。具体的には、ウエブＷの搬送方向におけるロール１６の下流側および上流側にはそれぞれ案内ロール１４、１８が配設されており、案内ロール１８からウエブＷがロール１６に送られるとともに当該ロール１６から案内ロール１４にウエブＷが送られるようになっている。
【００４４】
図５に示すウエブ検査装置でも、図３に示すウエブ検査装置と同様に、カメラ３０はカメラ支持アーム５０により支持され、当該カメラ支持アーム５０は駆動モータ５８により駆動されるようになっている。また、カメラ支持アーム５０はその基端部がロール１６の軸１７に回転自在に取り付けられており、当該カメラ支持アーム５０の先端部にカメラ３０がロール１６側を向くよう取り付けられている。
【００４５】
また、本実施の形態によるウエブ検査装置でも、駆動モータ５８の制御を行う制御部９２が設けられている。ここで、カメラ３０は、その位置によって、ロール１６から巻き出された直後のウエブＷやロール１６により巻き取られる直前のウエブＷを撮像したり、あるいはロール１６と案内ロール１４との間にあるウエブＷやロール１６と案内ロール１８との間にあるウエブＷを撮像したり、あるいはロール１６により巻かれている状態にあるウエブＷを撮像したりすることができるようになっている。より詳細には、カメラ３０が図５において参照符号Ａに示す位置と参照符号Ｃに示す位置との間に位置する場合には、当該カメラ３０はロール１６と案内ロール１４との間にあるウエブＷを撮像することができる。また、カメラ３０が図５において参照符号Ａに示す位置と参照符号Ｂに示す位置との間に位置する場合には、当該カメラ３０はロール１６から巻き出された直後のウエブＷを撮像することができる。また、カメラ３０が図５において参照符号Ｂに示す位置と参照符号Ｅに示す位置との間に位置する場合には、当該カメラ３０はロール１６により巻かれている状態にあるウエブＷを撮像することができる。また、カメラ３０が図５において参照符号Ｅに示す位置と参照符号Ｄに示す位置との間に位置する場合には、当該カメラ３０はロール１６に巻き取られる直前のウエブＷを撮像することができる。また、カメラ３０が図５において参照符号Ｄに示す位置と参照符号Ｆに示す位置との間に位置する場合には、当該カメラ３０はロール１６と案内ロール１８との間にあるウエブＷを撮像することができる。このように、本実施の形態では、カメラ３０の位置によって様々な状態のウエブＷを撮像することができる。
【００４６】
図５に示すようなウエブ検査装置でも、中間ロールとしてのロール１６の周囲でカメラ３０が移動するよう駆動モータ５８がカメラ支持アーム５０を駆動することにより、ロール１６の近傍におけるウエブＷに対するカメラ３０の角度を自在に調整することができるため様々な種類のウエブＷを精度良く検査することができる。
【００４７】
本実施の形態によるウエブ検査装置の更に他の構成例を図６および図７に示す。図６および図７に示すウエブ検査装置は、図３および図４に示すウエブ検査装置と同様に、ロール１２としてウエブＷの巻き出しを行う巻き出しロールやウエブＷの巻き取りを行う巻き取りロールが用いられるようになっている。また、図６および図７に示すウエブ検査装置では、カメラ３０はカメラ支持アーム５２により支持され、当該カメラ支持アーム５２は駆動モータ５８により駆動されるようになっているが、カメラ支持アーム５２に対するカメラ３０の向きを変えることができるようカメラ３０はカメラ支持アーム５２の先端部に対して回転軸５４を中心として回転自在に設けられている。このようなウエブ検査装置によれば、ロール１２から巻き出された直後のウエブＷやロール１２により巻き取られる直前のウエブＷに対して、当該ウエブＷの延びる方向に直交する角度（すなわち、ウエブＷを真上から臨む角度）からだけではなく、様々な角度からカメラ３０により撮像を行うことができるようになる。
【００４８】
例えば、図６において参照符号Ｃや参照符号Ｄに示す箇所にカメラ３０が位置するとともにカメラ支持アーム５２に対してカメラ３０を回転させて当該カメラ３０が巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷや巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷを向くようにした場合には、ウエブＷのおもて面に対して当該ウエブＷの延びる方向とほぼ平行な角度からカメラ３０により撮像を行うことができるようになる。また、図６において参照符号Ｅに示す箇所にカメラ３０が位置するとともにカメラ支持アーム５２に対してカメラ３０を回転させて当該カメラ３０がロール１２から巻き出された直後のウエブＷやロール１２により巻き取られる直前のウエブＷを向くようにした場合には、ウエブＷの裏面に対して当該ウエブＷの延びる方向とほぼ平行な角度からカメラ３０により撮像を行うことができるようになる。
【００４９】
ここで、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷに対して当該ウエブＷの延びる方向とほぼ平行な角度からカメラ３０により撮像を行う場合のカメラ支持アーム５２に対するカメラ３０の角度について図７を用いて説明する。図７に示すように、ロール１２に巻かれたウエブＷと当該ロール１２の中心との間の距離をａ、ロール１２の中心と案内ロール１４におけるウエブＷが巻き取られる箇所との間の距離をｂ、カメラ３０とロール１２の中心との間の距離をｃ、ロール１２の中心と案内ロール１４におけるウエブＷが巻き取られる箇所とを結んだ直線に対する、ロール１２からウエブＷが巻き出される箇所とロール１２の中心とを結んだ直線の角度をθとする。この場合、カメラ３０が図７に示す箇所に位置するときのカメラ支持アーム５２に対するカメラ３０の角度をθ１、ロール１２の中心に対する当該ロール１２からウエブＷが巻き出される箇所とカメラ３０とのなす角度をθ２とすると、θ、θ１、θ２の大きさをそれぞれ下記の関係式により示すことができる。
ａ＝ｂ×ｓｉｎ（９０°−θ）  ・・・式（２）
ａ＝ｃ×ｓｉｎ（θ１）  ・・・式（３）
ａ＝ｃ×ｃｏｓ（θ２）  ・・・式（４）
【００５０】
ロール１２に巻かれたウエブＷと当該ロール１２の中心との間の距離ａについては、ロール１２からウエブＷが巻き出され始めてから経過した時間やウエブＷの巻き出し速度等に基づいて制御部９２が自動で計算することができる。また、ロール１２の中心と案内ロール１４におけるウエブＷが巻き取られる箇所との間の距離ｂおよびカメラ３０とロール１２の中心との間の距離ｃはそれぞれ常に一定である。このことにより、制御部９２はこれらの関係式（２）〜（４）に基づいて、角度θ、θ１、θ２をそれぞれ算出することができ、ロール１２の中心に対して当該ロール１２の中心と案内ロール１４におけるウエブＷが巻き取られる箇所とを結んだ直線となす角度が（θ＋θ２）の大きさとなるようカメラ支持アーム５２の角度を設定することともにカメラ支持アーム５２に対するカメラ３０の角度がθ１の大きさとなるようカメラ３０の向きを設定するよう制御部９２は駆動モータ５８等の制御を行う。このことにより、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷに対して当該ウエブＷの延びる方向とほぼ平行な角度からカメラ３０により撮像を行うことができるようになる。また、ロール１２としてウエブＷの巻き取りを行う巻き取りロールが用いられる場合でも、制御部９２は同様の制御方法で駆動モータ５８を制御することにより、巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷに対して当該ウエブＷの延びる方向とほぼ平行な角度からカメラ３０により撮像を行うことができるようになる。
【００５１】
このように、上記の変形例に係るウエブ検査装置では、カメラ支持アーム５２（支持部）に対するカメラ３０（撮像部）の向きを変えることができるようカメラ３０（撮像部）はカメラ支持アーム５２に対して回転自在に設けられている。
【００５２】
〔第３の実施の形態〕
以下、図面を参照して本発明の第３の実施の形態について説明する。図８乃至図１１は、本実施の形態に係るウエブ検査装置およびこのようなウエブ検査装置によるウエブ検査方法を示す図である。このうち、図８は、本実施の形態によるウエブ検査装置の一の構成の概略を示す概略構成図であり、図９は、図８に示すウエブ検査装置の側面図である。また、図１０は、本実施の形態によるウエブ検査装置の他の構成の概略を示す概略構成図であり、図１１は、本実施の形態によるウエブ検査装置の更に他の構成の概略を示す側面図である。
【００５３】
図８および図９に示すウエブ検査装置は、図１および図２に示す第１の実施の形態のウエブ検査装置とほぼ同様の構成となっているが、図１および図２に示すウエブ検査装置に対してウエブに光を照射する照明部が追加的に設けられた点が異なっている。図８および図９に示すウエブ検査装置を説明するにあたり、図１および図２に示すウエブ検査装置と同様の構成要素については同一の参照符号を付してその説明を省略する。
【００５４】
図８および図９に示すウエブ検査装置では、カメラ３０から独立してロール１０の周囲で移動自在となっている照明部６０が配設されており、当該照明部６０によりロール１０の近傍でウエブＷに光が照射されるようになっている。より詳細には、図８および図９に示すように、照明部６０を支持する照明部支持部としての架台６２が設けられているとともに、ロール１０の周囲で照明部６０が移動するよう架台６２を駆動する照明部駆動部としてのステッピングモータ等の駆動モータ６４が設けられている。そして、照明部６０から図９において参照符号Ｐで示す箇所に光が照射されるとともに、カメラ３０はこの光が照射された箇所のウエブＷを撮像し、カメラ３０により撮像されたウエブＷの画像に基づいて当該ウエブＷの外観検査を行うようになっている。このようなウエブ検査装置によれば、カメラ３０により撮像されるウエブＷに対して照明部６０により光が照射されることによって、カメラ３０により取得されるウエブＷの画像をより鮮明なものとすることができ、より精度良くウエブＷの検査を行うことができるようになる。また、図８および図９に示すウエブ検査装置によれば、照明部６０によりウエブＷに照射される光の入射角度を自在に調整することができるようになる。
【００５５】
本実施の形態では、架台６２は各ブラケット４０に対して回転自在となるようこれらのブラケット４０に取り付けられている。ここで、照明部６０を支持する照明部支持部としての架台６２はロール１０の外周面上に位置する軸心（図８および図９において参照符号Ｐで表示）を中心として回転自在となっており、照明部６０はこの軸心Ｐを中心として回転するようロール１０の周囲で移動するようになっている。より詳細には、架台６２は各ブラケット４０に対して軸心Ｐを中心として回転自在となるよう取り付けられており、駆動モータ６４は軸心Ｐを中心として回転するよう架台６２を駆動するようになっている。
【００５６】
また、図８に示すように、駆動モータ３４の制御を行う制御部９４により駆動モータ６４の制御も行われるようになっている。具体的には、図９に示すように、カメラ３０により撮像されるべきウエブＷの箇所（図９において参照符号Ｐで示す箇所）におけるロール１０の法線（図９において上下方向に延びる二点鎖線）に対する照明部６０により光が照射される向きの角度θ３とカメラ３０により撮像される向きの角度θ４とが略一致するよう、制御部９４は架台３２および架台６２をそれぞれ移動させるようになっている。
【００５７】
図８および図９に示すようなウエブ検査装置によれば、ロール１０に巻かれているウエブＷの表面に突起やしわ、傷等が存在する場合に、照明部６０によってロール１０に巻かれているウエブＷに光を照射することによって、このようなウエブＷの表面上の突起やしわ等の影もカメラ３０により撮像されるようになるため、ウエブＷの表面上の微小な突起やしわ等の観察が容易となる。
【００５８】
本実施の形態によるウエブ検査装置の他の構成例を図１０に示す。図１０に示すウエブ検査装置は、照明部６０がカメラ３０から独立してロール１０の周囲で移動自在となっている代わりに、照明部６０がカメラ３０と一体的に移動するようになっている。より詳細には、リング状の照明部６０がカメラ３０の外周面に取り付けられている。このようなウエブ検査装置でも、カメラ３０により撮像されるウエブＷに対して照明部６０により光が照射されることによって、カメラ３０により取得されるウエブＷの画像をより鮮明なものとすることができ、より精度良くウエブＷの検査を行うことができるようになる。
【００５９】
本実施の形態によるウエブ検査装置の更に他の構成例を図１１に示す。図１１に示すウエブ検査装置では、照明部６０としてリング状のものが用いられており、カメラ３０を支持する架台３２が左右一対のブラケット４０のうち一方のブラケット４０に軸心Ｐを中心として回転自在に取り付けられるとともに、照明部６０を支持する架台６２が他方のブラケット４０に軸心Ｐを中心として回転自在に取り付けられている。また、架台３２は駆動モータ３４により駆動されるとともに架台６２は駆動モータ６４により駆動されるようになっており、これらの駆動モータ３４および駆動モータ６４は制御部９４により制御されるようになっている。このようなウエブ検査装置でも、カメラ３０から独立して照明部６０をロール１０の周囲で移動させることができ、照明部６０によりウエブＷに照射される光の入射角度を自在に調整することができるようになる。また、照明部６０の形状がリング状となっていることにより、カメラ３０によりウエブＷが撮像される向きと、照明部６０により光がウエブＷに照射される向きとが略一致した場合には、カメラ３０はリング状の照明部６０の中空部分を介してウエブＷを撮像することができるようになる。
【００６０】
〔第４の実施の形態〕
以下、図面を参照して本発明の第４の実施の形態について説明する。図１２乃至図１４は、本実施の形態に係るウエブ検査装置およびこのようなウエブ検査装置によるウエブ検査方法を示す図である。このうち、図１２は、本実施の形態によるウエブ検査装置の一の構成の概略を示す概略構成図であり、図１３は、図１２に示すウエブ検査装置における照明部支持アームに対する照明部の角度を示す図である。また、図１４は、本実施の形態によるウエブ検査装置におけるウエブの検査方法の他の例の概略を示す概略構成図である。
【００６１】
図１２および図１３に示すウエブ検査装置は、図６に示す第２の実施の形態のウエブ検査装置とほぼ同様の構成となっているが、図６に示すウエブ検査装置に対してウエブに光を照射する照明部が追加的に設けられた点が異なっている。図１２および図１３に示すウエブ検査装置を説明するにあたり、図６に示すウエブ検査装置と同様の構成要素については同一の参照符号を付してその説明を省略する。
【００６２】
図１２および図１３に示すウエブ検査装置では、カメラ３０から独立してロール１２の周囲で移動自在となっている照明部６０が配設されており、当該照明部６０によりロール１２の近傍でウエブＷに光が照射されるようになっている。より詳細には、図１２に示すように、照明部６０を支持する照明部支持部としての照明部支持アーム７２が設けられているとともに、ロール１２の周囲で照明部６０が移動するよう照明部支持アーム７２を駆動する照明部駆動部としてのステッピングモータ等の駆動モータ７８が設けられている。ここで、照明部支持アーム７２はその基端部がロール１２の軸１３に回転自在に取り付けられている。また、本実施の形態では、図１２に示すように、駆動モータ５８の制御を行う制御部９６により駆動モータ７８の制御も行われるようになっている。
【００６３】
また、本実施の形態では、照明部支持アーム７２に対する照明部６０の向きを変えることができるよう照明部６０は照明部支持アーム７２の先端部に対して回転軸７４を中心として回転自在に設けられている。そして、ロール１２から巻き出された直後のウエブＷの表面に照明部６０から光が照射されるとともに、カメラ３０はこの光が照射された箇所のウエブＷを撮像し、カメラ３０により撮像されたウエブＷの画像に基づいて当該ウエブＷの検査を行うようになっている。このようなウエブ検査装置によれば、カメラ３０により撮像されるウエブＷに対して照明部６０により光が照射されることによって、カメラ３０により取得されるウエブＷの画像をより鮮明なものとすることができ、より精度良くウエブＷの検査を行うことができるようになる。また、照明部６０はロール１２の軸１３を中心として回転自在となっているとともに、照明部支持アーム７２に対する照明部６０の向きを変えることができるよう照明部６０は照明部支持アーム７２の先端部に対して回転軸７４を中心として回転自在に設けられているため、照明部６０によりウエブＷに照射される光の入射角度を自在に調整することができるようになる。
【００６４】
より詳細に説明すると、本実施の形態では、ロール１２から巻き出された直後のウエブＷやロール１２により巻き取られる直前のウエブＷに対して、当該ウエブＷに直交する角度からだけではなく、様々な角度からウエブＷに対して照明部６０により光を照射することができるようになる。例えば、図１２において参照符号Ａに示す箇所に照明部６０が位置するとともに照明部支持アーム７２に対して照明部６０を回転させて当該照明部６０が巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷや巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷを向くようにした場合には、ウエブＷのおもて面に対して当該ウエブＷの延びる方向とほぼ平行な角度から照明部６０により光を照射することができるようになる。この場合には、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷや巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷの表面に突起やしわ、傷等が存在する場合に、ウエブＷの延びる方向とほぼ平行な角度から当該ウエブＷのおもて面に光を照射することによって、このようなウエブＷの表面上の突起やしわ等の影が伸びて大きくなることによりカメラ３０により明瞭に撮像されるようになるため、ウエブＷの表面上の微小な突起やしわ等の観察が容易となる。とりわけ、巻き出しロールとしてのロール１２からのウエブＷの巻き出し時には、ウエブＷの表面の膜剥がれ等の欠陥がカメラ３０により明瞭に撮像されるようになり、また、巻き取りロールとしてのロール１２によるウエブＷの巻き取り時には、ウエブＷの表面に発生したしわ（巻きしわ）がカメラ３０により明瞭に撮像されるようになる。
【００６５】
また、図１２において参照符号Ｂに示す箇所に照明部６０が位置するとともに照明部支持アーム７２に対して照明部６０を回転させて当該照明部６０が巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷや巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷを向くようにした場合には、ウエブＷの裏面に対して当該ウエブＷの延びる方向とほぼ平行な角度から照明部６０により光を照射することができるようになる。この場合でも、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷや巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷの表面にしわや傷（凹部）等が存在する場合に、ウエブＷの延びる方向とほぼ平行な角度から当該ウエブＷの裏面に光を照射することによって、このようなウエブＷの表面上のしわや傷等の影が伸びて大きくなることによりカメラ３０により明瞭に撮像されるようになるため、ウエブＷの表面上の微小なしわや傷等の観察が容易となる。
【００６６】
また、図１２に示すようなウエブ検査装置において、照明部６０や当該照明部６０を支持する照明部支持アーム７２が１組ではなく２組設けられていてもよい。この場合には、一方の照明部６０を図１２において参照符号Ａで示す箇所に位置させるとともに、他方の照明部６０を図１２において参照符号Ｂで示す箇所に位置させることにより、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷや巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷのおもて面および裏面の両方に光を照射することができるようになる。具体的には、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷや巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷに対して２つの照明部６０から交互に光を照射することにより、おもて面に光が照射された状態でのウエブＷおよび裏面に光が照射された状態でのウエブＷの両方をカメラ３０により撮像することができるようになる。
【００６７】
ここで、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷや巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷに対して当該ウエブＷの延びる方向とほぼ平行な角度から照明部６０により光を照射する場合の照明部支持アーム７２に対する照明部６０の角度について図１３を用いて説明する。なお、図１３に示す例では、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷに対して真上からカメラ３０により撮像が行われるようになっている。図１３に示すように、ロール１２に巻かれたウエブＷと当該ロール１２の中心との間の距離をａ、ロール１２の中心と案内ロール１４におけるウエブＷが巻き取られる箇所との間の距離をｂ、照明部６０とロール１２の中心との間の距離をｃ、ロール１２の中心と案内ロール１４におけるウエブＷが巻き取られる箇所とを結んだ直線に対する、ロール１２からウエブＷが巻き出される箇所とロール１２の中心とを結んだ直線の角度をθとする。この場合、照明部６０が図１３に示す箇所に位置するときの照明部支持アーム７２に対する照明部６０の角度をθ１、ロール１２の中心に対する当該ロール１２からウエブＷが巻き出される箇所と照明部６０とのなす角度をθ２とすると、θ、θ１、θ２の大きさをそれぞれ下記の関係式により示すことができる。
ａ＝ｂ×ｓｉｎ（９０°−θ）  ・・・式（５）
ａ＝ｃ×ｓｉｎ（θ１）  ・・・式（６）
ａ＝ｃ×ｃｏｓ（θ２）  ・・・式（７）
【００６８】
ロール１２に巻かれたウエブＷと当該ロール１２の中心との間の距離ａについては、ロール１２からウエブＷが巻き出され始めてから経過した時間やウエブＷの巻き出し速度等に基づいて制御部９６が自動で計算することができる。また、ロール１２の中心と案内ロール１４におけるウエブＷが巻き取られる箇所との間の距離ｂおよび照明部６０とロール１２の中心との間の距離ｃはそれぞれ常に一定である。このことにより、制御部９６はこれらの関係式（５）〜（７）に基づいて、角度θ、θ１、θ２をそれぞれ算出することができ、ロール１２の中心に対して当該ロール１２の中心と案内ロール１４におけるウエブＷが巻き取られる箇所とを結んだ直線となす角度が（θ＋θ２）の大きさとなるよう照明部支持アーム７２の角度を設定することともに照明部支持アーム７２に対する照明部６０の角度がθ１の大きさとなるよう照明部６０の向きを設定するよう制御部９６は駆動モータ７８等の制御を行う。このことにより、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷに対して当該ウエブＷの延びる方向とほぼ平行な角度から照明部６０により光を照射することができるようになる。また、ロール１２としてウエブＷの巻き取りを行う巻き取りロールが用いられる場合でも、制御部９６は同様の制御方法で駆動モータ７８を制御することにより、巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷに対して当該ウエブＷの延びる方向とほぼ平行な角度から照明部６０により光を照射することができるようになる。
【００６９】
なお、図１２に示すようなウエブ検査装置において、カメラ３０の位置と照明部６０の位置とを逆にしてもよい。この場合には、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された直後のウエブＷや巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる直前のウエブＷに対して真上から照明部６０により光を照射するとともに、当該ウエブＷに対してこのウエブＷの延びる方向とほぼ平行な角度からカメラ３０により撮像を行うことができるようになる。
【００７０】
本実施の形態のウエブ検査装置によるウエブＷの検査方法の他の例を図１４に示す。図１４に示すようなウエブＷの検査方法では、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された後のウエブＷや巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる前のウエブＷ（すなわち、ロール１２と案内ロール１４との間に位置するウエブＷ）を挟んで互いに向き合うよう、カメラ３０および照明部６０の位置および向きが調整されるようになっている。この場合には、照明部６０から照射されてウエブＷを透過した透過光がカメラ３０により受けられるようになり、当該カメラ３０には、照明部６０によりその裏面に光が照射された状態でのウエブＷを撮像することができるようになる。このような場合でも、巻き出しロールとしてのロール１２から巻き出された後のウエブＷや巻き取りロールとしてのロール１２により巻き取られる前のウエブＷの表面に突起やしわ、傷等が存在する場合に、照明部６０によって当該ウエブＷの裏面に光を照射することによって、このようなウエブＷの表面上の突起やしわ、傷等の影が伸びて大きくなることによりカメラ３０により明瞭に撮像されるようになるため、ウエブＷの表面上の微小な突起やしわ、傷等の観察が容易となる。なお、図１４に示すようなウエブＷの検査方法において、カメラ３０の位置と照明部６０の位置とを逆にしてもよい。
【００７１】
なお、本実施の形態によるウエブ検査装置およびウエブ検査方法は、上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００７２】
例えば、ウエブＷの検査を行うにあたり、カメラ３０を用いる代わりにウエブＷの温度を測定する温度モニタを用い、この温度モニタを例えば中間ロールとしてのロール１０の周囲で自在に移動させることができるようになっていてもよい。この場合には、中間ロールとしてのロール１０が冷却キャンロールや加熱キャンロールであるときに、ロール１０にウエブＷが巻かれているときの当該ウエブＷの動きに温度モニタを追従させることにより、ウエブＷがロール１０に接触し始めた位置でのウエブＷの温度、およびロール１０からウエブＷが離れる位置でのウエブＷの温度をそれぞれ温度モニタにより測定することができるようになり、冷却キャンロールや加熱キャンロールの温度やウエブＷの搬送速度の条件出しを容易に行うことができるようになる。
【符号の説明】
【００７３】
１０  ロール
１１  軸
１２  ロール
１３  軸
１４  案内ロール
１６  ロール
１７  軸
１８  案内ロール
３０  カメラ（撮像部）
３２  架台（支持部）
３４  駆動モータ（駆動部）
４０  ブラケット（取付部材）
５０  カメラ支持アーム（支持部）
５２  カメラ支持アーム（支持部）
５４  回転軸
５８  駆動モータ（駆動部）
６０  照明部
６２  架台（照明部支持部）
６４  駆動モータ（照明部駆動部）
７２  照明部支持アーム（照明部支持部）
７４  回転軸
７８  駆動モータ（照明部駆動部）
９０  制御部
９２  制御部
９４  制御部
９６  制御部
Ｗ  ウエブ
【図１】
2015190835.tif 000003
【図２】
2015190835.tif 000004
【図３】
2015190835.tif 000005
【図４】
2015190835.tif 000006
【図５】
2015190835.tif 000007
【図６】
2015190835.tif 000008
【図７】
2015190835.tif 000009
【図８】
2015190835.tif 000010
【図９】
2015190835.tif 000011
【図１０】
2015190835.tif 000012
【図１１】
2015190835.tif 000013
【図１２】
2015190835.tif 000014
【図１３】
2015190835.tif 000015
【図１４】
2015190835.tif 000016