(57)【要約】【課題】簡単な構造で、塗布剤の塗布量を均一化することができる印刷用メタルマスクを実現する。【解決手段】スクリーン印刷法で基材上に塗布剤を塗布する際に基材上に配置され、塗布剤を押し出すための開口部２０Ａ、２０Ｃ、２０Ｅを有する印刷用メタルマスク１００であって、基材への塗布剤の塗布部位に応じて、塗布剤を押し出す量が均等となるように開口部の縦断面形状を変える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーン印刷法で基材上に塗布剤を塗布する際に該基材上に配置され、前記塗布剤を押し出すための開口部を有する印刷用メタルマスクであって、
前記基材への塗布剤の塗布部位に応じて、前記塗布剤を押し出す量が均等となるように前記開口部の縦断面形状を変えたことを特徴とする印刷用メタルマスク。
【請求項２】
前記開口部の縦断面形状の少なくとも一部と前記基材面との成す角度が鈍角であることを特徴とする請求項１に記載の印刷用メタルマスク。
【請求項３】
スキージ移動方向と、該スキージ移動方向に対して直交する方向とで、前記開口部の縦断面形状を変えたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の印刷用メタルマスク。
【請求項４】
前記開口部の縦断面形状の少なくとも一部と前記基材面との成す角度は、前記スキージ移動方向の中点に向かうにしたがって大きくなることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の印刷用メタルマスク。
【請求項５】
前記開口部の前記基材と接する部位に面取り部を形成したことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の印刷用メタルマスク。
【請求項６】
前記開口部の内壁にディンプル加工を施したことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の印刷用メタルマスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スリーン印刷法を用いて、接着剤を塗布するための印刷用メタルマスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、燃料電池の膜電極接合体（ＭＥＡ：Ｍｅｍｂｒａｎｅ  Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ  Ａｓｓｅｍｂｌｙ）と、膜電極接合体の両面に配置するセパレータとは、接着剤によって接合されシールされている。
【０００３】
セパレータなどの基材上に接着剤を均一に塗布する方法としては、たとえば、印刷法が挙げられる。印刷法の中でも、スクリーン印刷法が簡単である。スクリーン印刷法は、ステンレス鋼等のメタルマスクに開口部パターンを形成し、塗布剤をメタルマスクの開口部から押し出して印刷する方法である。
【０００４】
印刷用メタルマスクに関する技術としては、たとえば、印刷用メタルマスクの開口部内壁面および基板面に、ソルダペーストに対して良好な抜け性を有するシリコーングラフトのフッ素樹脂からなる高分子化合物の被覆層を形成させた印刷用メタルマスクが開示されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１９２８５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、基材上に接着剤を印刷した後、基材上からメタルマスクを離脱させる際に、メタルマスクの開口部内壁の摩擦力で接着剤がせん断力を受ける。接着剤がせん断力を受けると、基材上に印刷形成した接着剤の両縁部が突き出て、いわゆる角が立ってしまう。この角の立った状態の接着剤には、角同士の間に凹部が存在する。したがって、後の積層工程において基材同士を積層する際に、接着剤の角同士の間の凹部に空気が入り込みやすく、基材間のシール性能を低下させる要因となっている。
【０００７】
特許文献１の印刷用メタルマスクは、メタルマスクの開口部内壁面及び基板面に、ソルダペーストに対して良好な抜け性を有する高分子化合物の被覆層を形成している。しかし、メタルマスクの開口部内壁面および基板面への被覆層の形成は、手間が掛かり、製造コストの増大を招くことになる。また、メタルマスクは撓みやすいので、印刷位置によって塗布剤の塗布量にばらつきが生じやすい。さらに、スキージ移動方向に対して直交する方向の開口部には塗布剤が入り込み難いので、開口部の形成部位によって塗布剤の塗布量にばらつきが生じている。
【０００８】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、簡単な構造で、塗布剤の塗布量を均一化することができる印刷用メタルマスクの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するための本発明に係る印刷用メタルマスクは、スクリーン印刷法で基材上に塗布剤を塗布する際に、該基材上に配置され、前記塗布剤を押し出すための開口部を有する印刷用メタルマスクであって、上記基材への塗布剤の塗布部位に応じて、上記塗布剤を押し出す量が均等となるように開口部の縦断面形状を変えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る印刷用メタルマスクは、基材への塗布剤の塗布部位に応じて、塗布剤を押し出す量が均等となるように開口部の縦断面形状を変えている。したがって、本発明によれば、簡単な構造で、塗布剤の塗布量を均一化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】スクリーン印刷法の概念の説明に供する図である。
【図２】本実施形態に係る印刷用メタルマスクの開口部パターン例の説明に供する図である。
【図３】本実施形態に係るメタルマスクの開口部形状および基材上における塗布剤の状態の説明に供する図である。
【図４】本実施形態に係る印刷用メタルマスクの開口部形状のバリエーションの縦断面図である。
【図５】開口部内壁の両側に傾斜面を有するメタルマスクの説明に供する図である。
【図６】開口部内壁の左片側に傾斜面を有するメタルマスクの説明に供する図である。
【図７】開口部内壁の右片側に傾斜面を有するメタルマスクの説明に供する図である。
【図８】開口部内壁の両側上端部に曲面を有するメタルマスクの説明に供する図である。
【図９】本実施形態に係るメタルマスクの変形例の縦断面図である。
【図１０】対比例のメタルマスクを用いた場合の基材上における塗布剤のばらつき状態の説明に供する図である。
【図１１】対比例のメタルマスクの開口部形状の説明に供する図である。
【図１２】対比例のメタルマスクで形成した接着剤への空気入り込み状態の説明に供する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付した図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されており、実際の比率とは異なる。
【００１３】
本実施形態に係る印刷用メタルマスクは、基材への塗布剤の塗布部位に応じて、塗布剤を押し出す量が均等となるように開口部の縦断面形状を変えている。したがって、本実施形態によれば、簡単な構造で、塗布剤の塗布量を均一化することができる印刷用メタルマスクを実現することができるようになる。
【００１４】
本実施形態に係る印刷用メタルマスクは、スクリーン印刷法を用いた接着剤の印刷（塗布）に適している。まず、図１を参照して、スクリーン印刷法の概念について説明する。図１はスクリーン印刷法の概念の説明に供する図である。
【００１５】
図１に示すように、スクリーン印刷法は、セパレータなどの基材１上にメタルマスク１００を配置し、メタルマスク１００上に塗布剤５０を付与し、スキージ３と呼ばれるゴム板でメタルマスク１００の表面を加圧・移動することにより、メタルマスク１００の開口部２０から塗布剤５０を押し出す印刷法である。基材１は、基台４上に載置される。メタルマスク１００は、クランプ５によって保持される。本実施形態では、塗布剤５０として接着剤を用いる。
【００１６】
次に、図２、図３を参照して、本実施形態に係る印刷用メタルマスクの構成について説明する。図２は本実施形態に係る印刷用メタルマスクの開口部パターン例の説明に供する図である。なお、図２（ｄ）は、図２（ａ）のＸ−Ｘ線矢視断面図である。図３は本実施形態に係るメタルマスクの開口部形状および基材上における塗布剤の状態の説明に供する図である。
【００１７】
印刷用メタルマスク（以下、単に「メタルマスク」と称する）１００には、所望の印刷パターンに応じて開口部パターンが形成される。図２に示すように、本実施形態に係るメタルマスク１００の開口部パターンは、中央部の矩形領域１００Ａを囲むように、４箇所のＬ字状の開口部２０が形成されている。中央部の矩形領域１００Ａには、たとえば、燃料電池の膜電極接合体（ＭＥＡ）が配置される。本実施形態に係るメタルマスク１００の開口部パターンは例示であって、図２に示す開口部パターンに限定されない。
【００１８】
本実施形態に係るメタルマスク１００は、基材１への塗布剤の塗布部位に応じて、開口部２０から塗布剤を押し出す量が均等となるように、当該開口部２０の縦断面形状を変えている。すなわち、本実施形態に係るメタルマスク１００は、複数の縦断面形状の異なる開口部２０を同一の当該メタルマスク１００の開口部パターンとして混在させている。
【００１９】
たとえば、図２のメタルマスク１００において、（ｂ）の塗布部位には、縦断面形状が等脚台形状の開口部２０Ａが形成されている。また、（ｃ）の塗布部位には、縦断面形状が右側傾斜の不等脚台形状の開口部２０Ｃが形成されている。開口部２０の縦断面形状の少なくとも一部と基材面との成す角度θは、鈍角となるように設定されている。本実施形態では、図２（ｂ）（ｃ）に示すように、開口部２０Ａ、２０Ｃの傾斜面３１と基材面との成す角度θは、鈍角となっている。また、図２（ｄ）に示すように、スキージ移動方向Ｓに沿った方向における開口部２０Ｅの縦断面形状は、方形状に形成されている。
【００２０】
このように、本実施形態に係るメタルマスク１００は、スキージ３の移動方向Ｓと、当該スキージ移動方向Ｓに対して直交する方向とで、開口部２０の縦断面形状を変えている。スキージ３の移動方向Ｓに対してメタルマスク１００の部位ごとに接着剤が流動しやすい縦断面形状を配置することによって、接着剤の塗布量ばらつきを低減することができる。
【００２１】
メタルマスク１００は、クランプ５によって保持されているが（図１参照）、中央部が撓みやすい。したがって、メタルマスク１００の印刷位置によって、塗布剤の塗布量にばらつきが生じやすい（図１０参照）。そこで、図３に示すように、本実施形態に係るメタルマスク１００では、開口部２０の縦断面形状の少なくとも一部と基材面との成す角度θは、スキージ３の移動方向Ｓの中点に向かうにしたがって大きくなるように設定されている。すなわち、スキージ３の移動方向Ｓに対して、メタルマスク１００の塗布部位に応じて、塗布剤（接着剤）５０の開口部形状を選択配置することで、塗布量ばらつきを低減することができる。
【００２２】
次に図４を参照して、本実施形態に係る印刷用メタルマスクの開口部形状のバリエーションについて説明する。なお、説明の便宜上、開口部形状の異なるメタルマスクに１０１〜１０４の符号を付する。
【００２３】
図４に示すように、メタルマスク１００は、文字通り、金属製のマスクである。メタルマスク１００の金属層１０の材質としては、たとえば、ＳＵＳ３０４等のオーステナイト系ステンレス鋼が挙げられる。当該金属層１０の材質は、耐久性、印刷精度、防食性等を有することが好ましく、例示の材料に限定されない。
【００２４】
金属層１０に区画形成された開口部２０は、塗布剤（接着剤）を押し出すための貫通部である。開口部２０の形成には、たとえば、レジストパターンを用いたエッチング法や、ＹＡＧレーザビーム等を用いたレーザ加工法などが用いられる。開口部２０の加工法は例示の加工法に限定されず、メタルマスク１００の材質に応じた加工法が適宜選択される。
【００２５】
図４（ａ）のメタルマスク１０１は、図２（ｂ）と同様に、開口部２０Ａの両側内壁２１ａ、２１ｂに、傾斜面３１、３１が形成されている。
【００２６】
図４（ｂ）のメタルマスク１０２は、開口部２０Ｂの左片側内壁２１ａに、傾斜面３１が形成されている。
【００２７】
図４（ｃ）のメタルマスク１０３は、図２（ｃ）と同様に、開口部２０Ｃの右片側内壁２１ｂに、傾斜面３１が形成されている。
【００２８】
図４（ｄ）のメタルマスク１０４は、ほぼ矩形状の開口部２０Ｄの両側内壁２１ａ、２１ｂの上端部に、曲面３２、３２が形成されている。
【００２９】
以下、メタルマスク１０１〜１０４について、詳細に説明する。
【００３０】
まず、開口部２０Ａの両側内壁２１ａ、２１ｂに傾斜面３１を有するメタルマスク１０１について説明する。図５は開口部内壁の両側に傾斜面を有するメタルマスクの説明に供する図である。
【００３１】
図５（ａ）に示すように、メタルマスク１０１の金属層１０には、縦断面において等脚台形状の開口部２０Ａが形成されている。当該メタルマスク１０１は、開口部２０Ａの両側内壁２１ａ、２１ｂに傾斜面３１、３１を有する。開口部２０Ａの傾斜面３１と基材面との成す角度θは、鈍角となっている。これらの傾斜面３１、３１は、末広がりとなるように傾斜しているので、基材１からメタルマスク１０１を離脱させるのが容易である。このメタルマスク１０１を用いて塗布剤（接着剤）５０のスクリーン印刷を行うと、基材１上には、縦断面において等脚台形状の塗布剤５０が形成される。後の積層工程については、後述する。
【００３２】
次に、開口部２０Ｂの左側内壁２１ａに傾斜面３１を有するメタルマスク１０２について説明する。図６は開口部内壁の左片側に傾斜面を有するメタルマスクの説明に供する図である。
【００３３】
図６（ａ）に示すように、メタルマスク１０２の金属層１０には、縦断面において左側傾斜の不等脚台形状の開口部２０Ｂが形成されている。当該メタルマスク１０２は、開口部２０Ｂの左側内壁２１ａに傾斜面３１を有し、傾斜面３１と基材面との成す角度θが鈍角で、右側内壁２１ｂと基材面との成す角度が直角に形成されている。すなわち、左側内壁２１ａは基材１へ向けて順次拡幅した傾斜面３１であるが、右側内壁２１ｂは基板１に対して垂直壁となっている。
【００３４】
したがって、このメタルマスク１０２を用いて塗布剤（接着剤）５０のスクリーン印刷を行い、基材１から当該メタルマスク１０２を離脱させると、基材１上には、縦断面において概ね左側傾斜の不等脚台形状の塗布剤５０が形成される。基材１上に形成した塗布剤５０の右側上部には、塗布剤５０が上方へ突き出し、いわゆる角５１が形成される。また、角５１の下方には、凹部５２が形成される。右側内壁２１ｂが垂直壁であり、塗布剤５０を開口部２０Ｂに充填したときにエアーが巻き込まれて残存しやすい。このエアーによって角５１の下方に凹部５２が形成されることになる。後の積層工程については、後述する。
【００３５】
次に、開口部２０Ｃの右側内壁２１ｂに傾斜面３１を有するメタルマスク１０３について説明する。図７は開口部内壁の右片側に傾斜面を有するメタルマスクの説明に供する図である。
【００３６】
図７（ａ）に示すように、メタルマスク１０３の金属層１０には、縦断面において右側傾斜の不等脚台形状の開口部２０Ｃが形成されている。当該メタルマスク１０３は、開口部２０Ｃの右側内壁２１ｂに傾斜面３１を有し、傾斜面３１と基材面との成す角度θが鈍角で、左側内壁２１ａと基材面との成す角度が直角に形成されている。すなわち、右側内壁２１ａは基材１へ向けて順次拡幅した傾斜面３１であるが、左側内壁２１ａは基板１に対して垂直壁となっている。
【００３７】
したがって、このメタルマスク１０３を用いて塗布剤（接着剤）５０のスクリーン印刷を行い、基材１から当該メタルマスク１０３を離脱させると、基材１上には、縦断面において概ね右側傾斜の不等脚台形状の塗布剤５０が形成される。基材１上に形成した塗布剤５０の左側上部には、塗布剤５０が上方へ突き出し、いわゆる角５１が形成される。また、角５１の下方には、凹部５２が形成される。後の積層工程については、後述する。
【００３８】
次に、開口部２０Ｄの両側内壁２１ａ、２１ｂの上端部に、曲面３２、３２を有するメタルマスク１０４について説明する。図８は開口部内壁の両側上端部に曲面を有するメタルマスクの説明に供する図である。
【００３９】
図８（ａ）に示すように、メタルマスク１０４の金属層１０には、縦断面において、両側上端部が面取りされたほぼ矩形状の開口部２０Ｄが形成されている。当該メタルマスク１０４は、開口部２０Ｄの両側内壁２１ａ、２１ｂの上端部に曲面３２、３２を有する。
【００４０】
したがって、このメタルマスク１０４を用いて塗布剤（接着剤）５０のスクリーン印刷を行い、基材１から当該メタルマスク１０４を離脱させると、基材１上には、縦断面において概ねドーム状の塗布剤５０が形成される。両側内壁２１ａ、２１ｂと基板面との角度は直角であるため、基材１上に形成した塗布剤５０の両側下部には、凹部５２が形成される。後の積層工程については、後述する。
【００４１】
次に、本実施形態に係る印刷用メタルマスク１００の作用について説明する。図１０は対比例のメタルマスクを用いた場合の基材上における塗布剤のばらつき状態の説明に供する図である。図１１は対比例のメタルマスクの開口部形状の説明に供する図である。図１２は対比例のメタルマスクで形成した接着剤への空気の巻き込み状態の説明に供する図である。
【００４２】
図１０に示すように、メタルマスク２００には、所望の印刷パターンに応じて開口部パターンが形成される。対比例のメタルマスク２００では、各開口部２２０の縦断面形状は同一形状に形成されている。対比例のメタルマスク２００の各開口部２２０の縦断面形状は、たとえば、方形状を呈している。対比例のメタルマスク２００を用いて、同一の基材１上の複数箇所に塗布剤５０を形成すると、塗布剤５０の塗布量にばらつきが生じる。また、角５１立ちの大きさにもばらつきが生じる。メタルマスク２００は中央部が撓みやすいので、各開口部２２０の縦断面形状および寸法が同じであっても、印刷位置によって塗布剤の塗布量にばらつきが生じやすい。
【００４３】
図１１（ａ）（ｂ）に示すように、対比例のメタルマスク２００を用いて塗布剤（接着剤）５０のスクリーン印刷を行い、基材１から当該メタルマスク２００を離脱させると、基材１には、開口部２２０と同じ方形状の塗布剤５０が形成されるのが理想的である。図１１（ｂ）において、４０は塗布剤５０に混入した空気である。
【００４４】
図１１（ｃ）に示すように、基材１上からメタルマスク２００を離脱させる際に、当該メタルマスク２００の開口部内壁２２１ａ、２２１ｂの摩擦力４５で塗布剤５０がせん断力を受ける。塗布剤５０がせん断力を受けると、塗布剤５０の両縁部に角５１、５１が立ってしまう。この角５１、５１の立った状態の塗布剤５０には、当該角５１、５１の間に凹部５２が存在する。基材１に形成された塗布剤５０の両側部にも、エアー４０が巻き込まれて残存し、くびれた凹部５２、５２が存在する。
【００４５】
したがって、後の積層工程において、図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の手順で基材１、２同士を積層する際に、塗布剤５０の凹部５２に空気４０が入り込みやすい。塗布剤５０に空気４０が混入することによって、基材１、２間のシール性能が低下することになる。
【００４６】
これに対し、本実施形態に係るメタルマスク１００は、図２に示すように、基材への塗布剤の塗布部位に応じて、開口部２０から塗布剤を押し出す量が均等となるように、当該開口部２０の縦断面形状を変えている。すなわち、本実施形態に係るメタルマスク１００は、複数の縦断面形状の異なる開口部２０を同一の当該メタルマスク１００の開口部パターンとして混在させている。基材への塗布剤の塗布部位に応じて、開口部２０から塗布剤を押し出す量が均等となるように、当該開口部２０の縦断面形状を変えることにより、印刷位置による塗布剤の塗布量のばらつきを低減することができる。
【００４７】
また、開口部２０の縦断面形状の少なくとも一部と基材面との成す角度θは、鈍角となるように設定されている。本実施形態では、図２（ｂ）（ｃ）に示すように、開口部２０Ａ、２０Ｃの縦断面形状の傾斜部３１と基材面との成す角度θが鈍角となっている。さらに、本実施形態では、図４（ｄ）に示すように、開口部２０の縦断面形状の曲面３２と基材面との成す角度θも同様に、鈍角となっている。これにより、塗布剤（接着剤）の抜け性が向上し、基材上に形成される塗布剤の形状が開口部形状と同じになるので、後工程における基材の積層時に空気の巻き込みが生じない。
【００４８】
さらに、対比例のメタルマスクでは、スキージ移動方向に対して直交する方向の開口部には塗布剤が入り込み難いので、開口部の形成部位によって塗布剤の塗布量にばらつきが生じていた。そこで、本実施形態に係るメタルマスク１００では、図２に示すように、スキージ３の移動方向Ｓと、当該スキージ移動方向Ｓに対して直交する方向とで、開口部２０の縦断面形状を変えている。これにより、スキージ３の移動方向Ｓと、当該スキージ移動方向Ｓに対して直交する方向との塗布剤の塗布量のばらつきを低減することができる。
【００４９】
特に、本実施形態に係るメタルマスク１００では、図３に示すように、開口部２０の縦断面形状の少なくとも一部と基材面との成す角度θがスキージ３の移動方向Ｓの中点に向かうにしたがって大きくなるように設定されている。本実施形態に係るメタルマスク１０１を用いて、同一の基材１上の複数箇所に塗布剤５０を形成すると、塗布剤５０の傾斜の程度には差があるものの、塗布量はほぼ同等であった。すなわち、スキージ３の移動方向Ｓに対して、メタルマスク１００の塗布部位に応じて、塗布剤（接着剤）５０の開口部形状を選択配置することで、塗布量ばらつきを低減することができる。
【００５０】
また、本実施形態に係るメタルマスク１０１〜１０４では、図４に示すように、開口部２０Ａ〜２０Ｄを区画する内壁２１ａ、２１ｂが傾斜面３１もしくは曲面３２を有する。傾斜面３１もしくは曲面３２は、塗布剤の滑り面として機能する。
【００５１】
図４（ａ）のメタルマスク１０１は、開口部２０Ａの両側内壁２１ａ、２１ｂが傾斜面３１で形成されている。図５（ａ）に示すように、このメタルマスク１０１を用いて塗布剤（接着剤）５０のスクリーン印刷を行い、基材１から当該メタルマスク１０１を離脱させると、基材１上には、縦断面において等脚台形状の塗布剤５０が形成される。
【００５２】
図５（ｂ）に示すように、基材１上に形成した塗布剤５０は等脚台形状を呈しているので、後の積層工程で基材２を積層して基板１、２同士を接着する際に、空気は両側方へ逃げる。したがって、メタルマスク１０１では、基板１、２同士を接着する際に、塗布剤５０へ空気が入り込むのを防止することができる。
【００５３】
また、図４（ｂ）のメタルマスク１０２は、開口部２０Ｂの左側内壁２１ａに傾斜面３１を有する。図６（ａ）に示すように、このメタルマスク１０２を用いて塗布剤（接着剤）５０のスクリーン印刷を行い、基材１から当該メタルマスク１０２を離脱させると、基材１上には、縦断面において概ね左側傾斜の不等脚台形状の塗布剤５０が形成される。
【００５４】
基材１上に形成した塗布剤５０の右側上部には、塗布剤５０が上方へ突き出し、いわゆる角５１が形成される。また、角５１の下方には、凹部５２が形成される。
【００５５】
図６（ｂ）に示すように、基材１上に形成した塗布剤５０は概ね左側傾斜の不等脚台形状を呈している。後の積層工程で基材２を積層して基板１、２同士を接着する際に、角５１の側方の空気は矢印Ａのように左側方へ逃げる。また、塗布剤５０の両側部のくびれた凹部５２は、積層時の押圧力により潰れて、矢印Ｂのように右側方へ逃げやすい。したがって、メタルマスク１０２では、基板１、２同士を接着する際に、塗布剤５０へ空気が入り込むのを防止することができる。
【００５６】
さらに、図４（ｃ）のメタルマスク１０３は、開口部２０Ｃの右側内壁２１ｂに傾斜面３１を有する。図７（ａ）に示すように、このメタルマスク１０３を用いて塗布剤（接着剤）５０のスクリーン印刷を行い、基材１から当該メタルマスク１０３を離脱させると、基材１上には、縦断面において概ね右側傾斜の不等脚台形状の塗布剤５０が形成される。
【００５７】
基材１上に形成した塗布剤５０の左側上部には、塗布剤５０が上方へ突き出し、いわゆる角５１が形成される。また、角５１の下方には、凹部５２が形成される。
【００５８】
図７（ｂ）に示すように、基材１上に形成した塗布剤５０は概ね右側傾斜の不等脚台形状を呈している。後の積層工程で基材２を積層して基板１、２同士を接着する際に、角５１の側方の空気は矢印Ｃのように右側方へ逃げる。また、基材１上に形成した塗布剤５０の凹部５２は、積層時の押圧力により潰れて、矢印Ｄのように左側方へ逃げやすい。したがって、メタルマスク１０３では、基板１、２同士を接着する際に、塗布剤５０へ空気が入り込むのを防止することができる。
【００５９】
そして、図４（ｄ）のメタルマスク１０４は、開口部２０Ｄの両側内壁２１ａ、２１ｂの両側上端部に、曲面３２、３２を有する。図８（ａ）に示すように、このメタルマスク１０４を用いて塗布剤（接着剤）５０のスクリーン印刷を行い、基材１から当該メタルマスク１０４を離脱させると、基材１上には、縦断面において概ねドーム状の塗布剤５０が形成される。両側内壁２１ａ、２１ｂは基材面と直角であるため、基材１上に形成した塗布剤５０の両側下部には、くびれた凹部５２、５２が形成される。
【００６０】
図８（ｂ）に示すように、基材１上に形成した接着剤５０は概ねドーム状を呈している。後の積層工程で基材２を積層して基板１、２同士を接着する際に、基材１上に形成した塗布剤５０の両側下部の凹部５２は、積層時の押圧力により潰れて、矢印Ｅのように両側方へ逃げやすい。したがって、メタルマスク１０４では、基板１、２同士を接着する際に、塗布剤５０へ空気が入り込むのを防止することができる。
【００６１】
すなわち、本実施形態に係るメタルマスク１０１〜１０４は、塗布剤５０を押し出すための開口部２０Ａ〜２０Ｄの左側内壁２１ａまたは／および右側内壁２１ｂに、滑り面として機能する傾斜面３１もしくは曲面３２が形成されている。すなわち、傾斜面３１もしくは曲面３２によって、基材１上からメタルマスク１０１〜１０４を離脱させる際の摩擦力が小さくなる。したがって、簡単な構造で、基材上１からメタルマスク１０１〜１０４を離脱させる際に、塗布剤５０がせん断力を受けるのを低減することができる。塗布剤５０が受けるせん断力を低減することにより、塗布剤５０の変形を防止することができる。
【００６２】
以上説明したように、本実施形態に係るメタルマスクは、基材への塗布剤の塗布部位に応じて、塗布剤を押し出す量が均等となるように開口部の縦断面形状を変えているので、簡単な構造で、塗布剤の塗布量をほぼ均一化することができる。また、本実施形態に係るメタルマスクは、基材上からメタルマスクを離脱させる際に、塗布剤がせん断力を受けるのを低減することができるものである。
【００６３】
（変形例）
次に、メタルマスク１０１〜１０４の変形例について説明する。図９は本実施形態に係るメタルマスクの変形例の縦断面図である。
【００６４】
図９（ａ）のメタルマスク１０１は、開口部２０Ａの基材と接する部位に面取り部６０が形成されている。具体的には、開口部２０Ａの両側内壁２１ａ、２１ｂの傾斜面３１、３１の下端部に、それぞれ面取り部６０が形成されている。
【００６５】
図９（ｂ）のメタルマスク１０２は、開口部２０Ｂの基材と接する部位に面取り部６０が形成されている。具体的には、開口部２０Ｂの右側の垂直な内壁２１ｂの下端部に、面取り部６０が形成されている。これに限定されず、メタルマスク１０２では、開口部２０Ｂの左側内壁２１ａの傾斜面３１の下端部にも、面取り部６０を形成してもよい。
【００６６】
図９（ｃ）のメタルマスク１０３は、開口部２０Ｃの基材と接する部位に面取り部６０が形成されている。具体的には、開口部２０Ｃの左側の垂直な内壁２１ａの下端部に、面取り部６０が形成されている。これに限定されず、メタルマスク１０３では、開口部２０の右側内壁２１ｂの傾斜面３１の下端部にも、面取り部６０を形成してもよい。
【００６７】
図９（ｄ）のメタルマスク１０４は、開口部２０Ｄの基材と接する部位に面取り部６０が形成されている。具体的には、開口部２０Ｄの両側の垂直な内壁２１ａ、２１ｂの下端部に、それぞれ面取り部６０が形成されている。
【００６８】
面取り部６０を形成することによって、塗布剤５０を各開口部２０Ａ〜２０Ｄに充填したときにエアーを逃がして、エアー溜りに追いやることができ、塗布剤５内へのエアーの巻き込みないし噛み込みを防止することができる。
【００６９】
また、各開口部２０Ａ〜２０Ｄの内壁２１ａ、２１ｂには、図９（ｅ）に拡大して示すように、ディンプル６１を形成するディンプル加工を施してもよい。ディンプル６１は、たとえば、内壁２１ａ、２１ｂにサンドブラストを施すことにより形成可能であるが、例示の加工法に限定されない。各開口部２０Ａ〜２０Ｄの内壁２１ａ、２１ｂにディンプル加工を施すことにより、メタルマスク１００と塗布剤との離型性を向上させることができる。
【００７０】
以上説明したように、メタルマスク１０１〜１０４の開口部２０Ａ〜２０Ｄの左側内壁２１ａまたは／および右側内壁２１ｂの基材と接する部位（下端部）には、面取り部６０が形成される。開口部２０Ａ〜２０Ｄの左側内壁２１ａまたは／および右側内壁２１ｂの下端部に面取り部６０が形成することにより、基材１から当該メタルマスク１０１〜１０４を離脱させる際の摩擦力を小さくすることができ、塗布剤５０に巻き込まれ易い空気を積極的に逃すことができる。
【００７１】
さらに、各開口部２０Ａ〜２０Ｄの内壁２１ａ、２１ｂにディンプル加工を施すことにより、メタルマスク１００と塗布剤との離型性を向上させることができる。
【００７２】
以上、本発明の好適な実施形態を説明したが、これらは本発明の説明のための例示であり、本発明の範囲をこれらの実施形態にのみ限定する趣旨ではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で、上記実施形態とは異なる種々の態様で実施することができる。
【００７３】
例えば、本実施形態に係るメタルマスク１００、１０１〜１０４は、スクリーン印刷法を用いて接着剤を印刷（塗布）する場合に好適である。これに限定されず、本実施形態に係るメタルマスク１００、１０１〜１０４は、接着剤以外の粘性を有するペーストを塗布する場合にも適用することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１    セパレータ（基材）、
３    スキージ、
２０（２０Ａ〜２０Ｅ）    開口部、
２１ａ、２１ｂ  内壁、
３１    傾斜面、
３２    曲面、
５０    接着剤（塗布剤）、
６０    面取り部、
６１    ディンプル、
１００〜１０４    印刷用メタルマスク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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