(57)【要約】【課題】本発明の目的は、フィルター部材の強度を容易に向上させることができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することである。【解決手段】本発明は、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を第一の面上に有し、かつ前記第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面に通じる供給口を有する基板を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記基板の前記第二の面上及び前記供給口上に、樹脂部材を該樹脂部材の一部が前記供給口に入り込むように配置する工程と、前記樹脂部材に、前記供給口に通じるフィルター開口を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を第一の面上に有し、かつ前記第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面に通じる供給口を有する基板を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板の前記第二の面上及び前記供給口上に、樹脂部材を該樹脂部材の一部が前記供給口に入り込むように配置する工程と、
前記樹脂部材に、前記供給口に通じるフィルター開口を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記樹脂部材は、前記第二の面上に圧着されて配置される請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記樹脂部材は、該樹脂部材の軟化点以上の温度で前記基板に圧着される請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記樹脂部材は、ローラー方式又は一括面押し方式により前記基板に圧着される請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記樹脂部材は、該樹脂部材が形成された支持体を用いて前記基板に転写される請求項１乃至４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記樹脂部材はフィルム状である請求項１乃至５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記樹脂部材は、エポキシ樹脂、アクリル樹脂又はウレタン樹脂である請求項１乃至６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記樹脂部材のうち前記供給口に入り込んだ部分の厚さが０．５〜１０μｍである請求項１乃至７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記樹脂部材のうち前記第二の面上に位置する部分の厚さが２〜８０μｍである請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記樹脂部材は感光性樹脂であり、
前記樹脂部材に露光処理及び現像処理を行うことにより、前記フィルター開口を形成する、請求項１乃至９のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記基板の前記第一の面上に、前記供給口に連通する流路及び該流路に連通する吐出口を形成する流路形成部材を形成する工程を有し、
前記吐出口は、前記流路形成部材の現像処理によって形成され、
前記樹脂部材の現像処理と前記流路形成部材の現像処理を一括に行う、請求項１０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を第一の面上に有し、かつ前記第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面に通じる供給口を有する基板を備える液体吐出ヘッドであって、
前記基板の前記第二の面上及び前記供給口上に、前記供給口に通じるフィルター開口を有するフィルター部材を備え、
前記フィルター部材の一部が前記供給口に入り込んでいることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記供給口上に位置する前記フィルター部材部分の厚さが前記基板の前記第二の面上に位置する前記フィルター部材部分の厚さよりも大きい請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッド等の液体吐出ヘッドにおいて、ノズルの詰まりによる不吐出（ノズルよりインクが吐出されない）と呼ばれる現象が発生する場合がある。この現象の一般的な原因としては、インクの吐出口付近における固化や、ノズル内への異物の進入によるインク供給の遮断等が挙げられる。これに対する対策としては、製造工程やその環境での管理を厳密に行うことや、液体吐出ヘッドの供給口の近傍にフィルターを設けること等の工夫が行われている。
【０００３】
特許文献１では、フィルター開口を有する耐エッチングマスクをシリコン基板に設けて供給口を異方性エッチングによって形成することで、異物の進入を防止するメンブレンフィルターを供給口と同時に形成する液体吐出ヘッドの製造方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−９４７００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の製造方法では、メンブレンフィルターが全面に亘って同じ膜厚に形成されるため、フィルターの強度を向上させることが難しい場合がある。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、フィルター部材の強度を向上させることができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一形態は、
液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を第一の面上に有し、かつ前記第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面に通じる供給口を有する基板を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板の前記第二の面上及び前記供給口上に、樹脂部材を該樹脂部材の一部が前記供給口に入り込むように配置する工程と、
前記樹脂部材に、前記供給口に通じるフィルター開口を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
また、本発明の一形態は、
液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を第一の面上に有し、かつ前記第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面に通じる供給口を有する基板を備える液体吐出ヘッドであって、
前記基板の前記第二の面上及び前記供給口上に、前記供給口に通じるフィルター開口を有するフィルター部材を備え、
前記フィルター部材の一部が前記供給口に入り込んでいることを特徴とする液体吐出ヘッドである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の製造方法により、フィルター部材の強度を向上させることができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法の工程例を示す工程断面図である。
【図２】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法の工程例を示す工程断面図である。
【図３】本実施形態で得られる液体吐出ヘッドの構成例を説明するための模式的斜視図である。
【図４】フィルター部材におけるフィルター開口の配置例を示す模式的平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明により得られる液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、更には各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に搭載可能である。そして、この液体吐出ヘッド装置を用いることによって、紙、糸、繊維、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックなど種々の被記録媒体に記録を行うことができる。尚、本発明において「記録」とは、文字や図形などの意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターンなどの意味を持たない画像を付与することも意味する。さらに、「液体」とは、広く解釈されるべきものであり、記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成、記録媒体の加工、或いはインク、または記録媒体の処理に供される液体を言うものとする。ここで、インクまたは記録媒体の処理としては、例えば、記録媒体に付与されるインク中の色材の凝固または不溶化による定着性の向上や、記録品位ないし発色性の向上、画像耐久性の向上などのことを言う。
【００１１】
また、以下の説明では、本発明の主な適用例としてインクジェット記録ヘッドを挙げて説明するが、本発明の適用範囲はこれに限定されるものではない。また、液体吐出ヘッドとしては、インクジェット記録ヘッドの他、バイオッチップ作製や電子回路印刷用途の液体吐出ヘッドの製造方法にも適用できる。液体吐出ヘッドとしては、他にも例えばカラーフィルターの製造用途等も挙げられる。
【００１２】
以下に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１３】
なお、以下の説明では、同一の機能を有する構成要素には同一の番号を付し、その説明を省略する場合がある。
【００１４】
図３は、液体吐出ヘッドの模式的斜視図である。図３に示すように、液体吐出ヘッドは、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子５を第一の面（表面とも称す）上に有する基板４を備える。基板４には、流路２０に液体を供給するための供給口１１が形成されている。供給口１１の第一の面側の開口は、エネルギー発生素子の２つの列の間に開口するように形成されている。
【００１５】
図３において、エネルギー発生素子５は所定のピッチで並んで基板上に形成されている。エネルギー発生素子５は、基板に接触するように形成されていても良い。また、エネルギー発生素子は、流路に宙空状態となるように形成されていてもよく、すなわち基板４に対して宙に浮いていてもよい。基板４は例えばシリコン基板である。
【００１６】
供給口１１は、基板４の第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面（図３において下側の面、裏面とも称す）に開口している。供給口１１は、例えば、異方性エッチングによって形成することができる。
【００１７】
また、基板４の第一の面の上には、液体を吐出する吐出口１０及び該吐出口に連通する流路２０を形成する流路形成部材１３が形成されている。吐出口１０はエネルギー発生素子５に対応するようにエネルギー発生素子５の上方に形成されている。流路形成部材１３は、一層で形成されていてもよく、複数層で形成されていてもよい。例えば、流路形成部材１３は、流路２０の側壁を形成する流路側壁形成部材１４と吐出口１０を形成する吐出口形成部材１５（図１参照）を含んで構成されていてもよい。
【００１８】
本実施形態において、基板４の第二の面（裏面）及び供給口１１の上には、フィルター部材（不図示）が配置されている。該フィルター部材は、前記供給口の上に該供給口を跨ぐように配置されており、また、該フィルター部材の一部が供給口に入り込むように供給口上及び第二の面上に配置されている。図４は、フィルター部材を裏面側から見た模式的な平面図である。図４において、符号２１はフィルター開口を示し、符号１２は供給口の裏面側開口を示す。
【００１９】
液体吐出ヘッドでは、供給口１１を介して流路２０内に液体が充填され、エネルギー発生素子５が発生する圧力を充填された液体に加えることによって液体が吐出口１０から吐出される。そして、吐出された液体が被記録媒体に付着することにより、記録が行われる。
【００２０】
基板４としては、例えば、結晶軸（１００）のＳｉウエハを用いることができる。
【００２１】
以下に、図１を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、図３の点線Ａ−Ａ’による基板面に垂直方向の断面を示す模式的断面図であり、本実施形態の製造工程例を説明するための工程断面図である。
【００２２】
（実施形態１）
まず、図１（Ａ）に示すように、エネルギー発生素子５を第一の面（表面とも称す）上に有し、該第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面に通じる供給口１１を有する基板（例えばシリコン基板）４を用意する。
【００２３】
供給口１１は、特に制限されるものではないが、例えば、エッチングにより形成することができる。エッチング方法としては、例えば、ＴＭＡＨやＫＯＨなどのエッチング液を用いた結晶異方性エッチングや、ＲＩＥ（リアクティブイオンエッチング）などのドライエッチング、レーザーアブレーション、サンドブラストなどが挙げられる。
【００２４】
なお、基板の第一の面上に流路形成部材が設けられている場合、供給口を形成する際に流路形成部材へのダメージを防ぐため、保護層を流路形成部材に付けてもよい。
【００２５】
エネルギー発生素子５としては、例えば、電気熱変換素子や圧電素子を用いることができる。電気熱変換素子が用いられる場合には、この素子が素子近傍の液体を加熱することで液体に状態変化を起こさせることにより、吐出エネルギーが発生する。
【００２６】
また、図１に示すように、エネルギー発生素子５を保護する保護膜（パッシベーション膜とも称す）３を形成してもよい。
【００２７】
次に、図１（Ｂ）に示すように、支持体１と、該支持体１の上に形成されたフィルム状の樹脂部材２とを含む積層体を用意する。樹脂部材２は、１層で構成されていてもよく、２層以上で形成されていてもよい。
【００２８】
なお、本実施形態では、樹脂部材２としてネガ型の感光性樹脂を用いているが、本発明は特にこの構成に限定されない。
【００２９】
樹脂部材２を支持体１上に形成する方法としては、例えば、スピンコート法やスリットコート法を用いることができる。
【００３０】
樹脂部材２の厚さは、２〜８０μｍであることが好ましく、１０〜３０μｍであることがより好ましい。樹脂部材２の厚さが２μｍ以上である場合、フィルター部材の強度を容易に確保することができる。また、樹脂部材２の厚さが８０μｍ以下である場合、樹脂部材２の応力による基板の反りを容易に低減することができる。
【００３１】
樹脂部材に用いる樹脂材料を溶かす溶媒としては、例えば、有機溶媒を用いることができる。有機溶媒としては、例えば、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、又はキシレン等を挙げることができる。
【００３２】
樹脂部材２は、供給口１１というインクが流れる空間の上に配置されるので、高い機械的強度や耐インク性が要求される。そのため、樹脂部材２の樹脂材料としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂又はウレタン樹脂などが好ましい。エポキシ樹脂としては、例えば、ビズフェノールＡ型やクレゾールノボラック型などのエポキシ樹脂が挙げられる。アクリル樹脂としては、例えば、ポリメチルメタクリレートなどが挙げられる。ウレタン樹脂としては、例えば、ポリウレタンなどが挙げられる。樹脂材料は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００３３】
支持体１としては、例えば、樹脂フィルム、ガラス又はシリコンウエハなどが挙げられる。支持体１としては、後で容易に剥離できるため、樹脂フィルムが好ましい。樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミド（アラミド）フィルムなどが挙げられる。また、支持体１には、樹脂部材から剥離しやすくするために、離型処理を施してもよい。
【００３４】
次に、図１（Ｃ）に示すように、樹脂部材２の一部が供給口１１に入り込むように、前記積層体を基板の第二の面上及び供給口上（第二の面側の供給口上）に配置する。ここで、樹脂部材側が基板の第二の面を向くように積層体を基板上に配置する。すなわち、支持体１上に形成された樹脂部材２を基板４の第二の面上に、樹脂部材２が供給口１１を跨ぐように配置させる。
【００３５】
なお、樹脂部材２と基板との接着性を向上させるために、基板の第二の面上に密着性を向上させる層を設けてもよい。
【００３６】
ここで、樹脂部材２の一部が供給口１１に入り込ませるために、積層体を基板に圧着させることが好ましい。
【００３７】
また、樹脂部材２の軟化点以上の温度で、樹脂部材２を基板に圧着させることが好ましい。樹脂部材２の軟化点以上の温度で、すなわち樹脂部材２がその軟化点以上となる温度で、樹脂部材２を第二の面に圧着させることで、樹脂部材２の一部を容易に供給口１１に入り込ませ易くすることができる。つまり、樹脂部材２の温度を軟化点以上とすることで、樹脂部材が変形しやすくなり、樹脂部材の一部が供給口内に流れやすくなる。これにより、基板４の第二の面上に位置する樹脂部材部分の厚さと供給口１１上に位置する樹脂部材部分の厚さを容易に異ならせることができる。つまり、供給口１１上に位置するフィルター部材部分の厚さを基板４の第二の面上に位置するフィルター部材部分の厚さよりも大きくすることができる。
樹脂部材の軟化点は、例えば、熱機械的分析装置（ＳＩＩ社製ＴＭＡＳＳ６１００）を用いて測定することができる。樹脂部材の軟化点は、３０〜１００℃であることが好ましく、４０〜６０℃であることがより好ましい。
【００３８】
なお、圧力や時間によっても、樹脂部材２の一部が供給口に入り込む量を調整することができる。
【００３９】
供給口に入り込んだ樹脂部材部分の厚さ、つまり、供給口の第二の面側の開口面から供給口に面する樹脂部材の面（樹脂部材の面のうち第一の面に近い側の面）までの厚さは、０．５〜１０μｍであることが好ましく、０．８〜５μｍであることがより好ましい。また、基板４の第二の面上に位置する樹脂部材部分の厚みは、２〜８０μｍであることが好ましく、１０〜３０μｍであることがより好ましい。また、供給口に入り込んだ樹脂部材部分の厚さは、第二の面上に位置する樹脂部材部分の厚さに対して１％以上の厚みであることが好ましく、５％以上の厚みであることがより好ましい。また、５０％以下の厚みであることが好ましく、３０％以下の厚みであることがより好ましい。
【００４０】
樹脂部材の一部が供給口１１に入り込んでいると、樹脂部材と供給口の側壁との接着が得られるため、フィルター部材が基板から剥がれにくくなり、フィルター部材の強度が向上する。また、液体の流れの負荷が掛かる箇所のフィルター部材の厚さを大きくすることができるため、フィルター部材の強度が向上する。
【００４１】
樹脂部材２を基板に圧着させる方法としては、ローラー方式又は一括面押し方式などが挙げられる。転写する際における気泡の排出性を考慮して、ローラー方式を採用することが好ましい。また、圧着は真空下で行うことが好ましい。
【００４２】
また、本実施形態では、支持体１と、該支持体１の上に形成された樹脂部材２とを含む積層体を用いて樹脂部材２を基板上に転写しているが、本発明はこの構成に限定されない。とくに支持体を用いないで、樹脂部材２を基板の第二の面上に配置してもよい。この場合、樹脂部材２としてはドライフィルムを用いることが好ましい。
【００４３】
次に、図１（Ｄ）に示すように、対応する開口パターンを有するマスク６を用いて、感光性を有する樹脂部材２に光を照射し、フィルター開口の潜像パターンを樹脂部材２に形成する。
【００４４】
本実施形態では、樹脂部材がネガ型感光性樹脂であるため、後工程で未露光部が除去され、フィルター開口が形成される。
【００４５】
フィルター開口は、供給口の大きさよりも小さく、少なくとも１つ以上形成される。
【００４６】
フィルター開口は、供給口に繋がる位置に形成され、その位置及び大きさは任意に設定することができる。フィルター開口の大きさや数により、インク等の液体の供給量を調整することもできる。
【００４７】
次に、図１（Ｅ）に示すように、露光処理後の樹脂部材２を現像液に浸すことで、未露光部８を取り除き、フィルター部材９を形成する。
【００４８】
現像液には、例えば、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、テトラハイドロフラン、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、又はキシレンなどを用いることができる。現像液は、１種を単独で用いてもよく、また２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００４９】
次に、図１（Ｆ）に示すように、別工程で作製した流路側壁形成部材１４及び吐出口形成部材１５からなる流路形成部材を基板の第一の面上に張り合わせる。
【００５０】
なお、流路形成部材の形成方法は、他の方法を採用してもよい。
【００５１】
その後、流路形成部材と基板との密着性や流路形成部材の耐久性を向上させるために、熱処理を行う。
【００５２】
以上の工程により作製された液体吐出ヘッドに、インク供給のためのインク供給部材を取り付け、電気熱変換素子を駆動するための電気配線部材の電気的接合（図示せず）を行う。
【００５３】
本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法により、ゴミ等の異物の進入を防止するフィルター部材の強度を容易に向上することができる。また、本実施形態では、供給口上に位置する部分のフィルター部材を厚く形成でき、さらにフィルター部材を供給口の側壁の一部にも密着させることができるので、フィルター部材の強度が向上される。
【００５４】
（実施形態２）
実施形態１では、フィルター部材を基板の裏面側に形成した後に、基板表面に流路形成部材を設ける製造工程について説明した。しかし、本発明において、流路形成部材を設ける順序は限定されるものではなく、例えば、図２に示す工程図のように、供給口１１及びフィルター部材９を形成する前に、基板表面上に流路形成部材を設けてもよい。
【００５５】
流路形成部材の形成方法としては、例えば、基板上にフォトリソ技術を利用して形成する方法や、別体として作製した流路形成部材を基板に張り合わせる方法などが挙げられる。
【００５６】
（実施形態３）
実施形態１では、図１（Ｄ）の工程で露光した樹脂部材を図１（Ｅ）の工程で現像してフィルター部材９を形成してから、図１（Ｆ）の工程で流路形成部材を設けた。しかし、本実施形態のように、図１（Ｅ）の工程で露光された樹脂部材２を現像せずに未露光部を潜像状態で維持して次の工程に進み、図１（Ｆ）の工程で吐出口の潜像を有する流路形成部材と樹脂部材２の現像処理を一括で行ってもよい。これにより、吐出口とフィルター開口を同時に形成することができる。
【００５７】
本実施形態の場合、流路形成部材の露光時に、供給口を通過する透過光が樹脂部材２に影響を与えないようにするため、樹脂部材２の露光感度を流路形成部材露光感度よりも低くすることが好ましい。
【００５８】
本実施形態の構成とすることで、工程数を削減することができる。
【００５９】
（実施形態４）
本実施形態に示すように、図２（Ａ）で流路形成部材の吐出口の潜像を現像せずに未露光部を潜像状態で維持して次の工程に進み、図２（Ｆ）の工程で、吐出口の潜像を有する流路形成部材と樹脂部材２の現像処理を一括で行ってもよい。これにより、吐出口とフィルター開口を同時に形成することができる。
【００６０】
本実施形態の場合、樹脂部材２の露光時に、透過光が流路形成部材に影響を与えないようにするため、樹脂部材２の露光感度を流路形成部材の露光感度よりも高くすることが好ましい。
【００６１】
本実施形態の構成とすることで、工程数を削減することができる。
【実施例】
【００６２】
（実施例１）
まず、図１（Ａ）に示すように、エネルギー発生素子５を第一の面上に有し、該第一の面及び該第一の面と反対側の面である第二の面に通じる供給口を有するシリコン基板４を用意した。供給口１１は、エッチング液としてのＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）の２２％水溶液（８０℃）にシリコン基板を２０時間浸すことにより形成した（エッチングマスクは不図示）。なお、図１（Ａ）において、シリコン基板４の第一の面上には、エネルギー発生素子５を保護する保護膜３が形成されている。
【００６３】
次に、図１（Ｂ）に示すように、支持体１と樹脂部材２との積層体を用意した。
【００６４】
該積層体は、支持体１となるＰＥＴフィルム上に、樹脂部材２となる感光性樹脂（エポキシ樹脂、東京応化社製、ＴＭＭＦ）を溶剤（ＰＧＭＥＡ）に溶解させて調製した溶液を、スリットコート法で塗布・乾燥することにより作製した。得られた樹脂部材２はネガ型感光性樹脂である。熱機械的分析装置（ＳＩＩ社製ＴＭＡＳＳ６１００）を用い、８ｍｍ×８ｍｍに切断したサンプル針入プローブで該樹脂部材の軟化点を測定したところ、４４℃であった。
【００６５】
樹脂部材２の厚みは２１μｍであった。
【００６６】
次に、図１（Ｃ）に示すように、樹脂部材２の一部が供給口１１に入り込むように、前記積層体を基板の第二の面上に配置した。ここで、樹脂部材側が第二の面を向くように積層体を基板上に配置した。
【００６７】
積層体は、ロール式ラミネーター（タカトリ社製、ＶＴＭ−２００）を使用して、樹脂部材のうち基板の第二の面上に位置する部分の厚みが２０μｍとなるように、７０℃、圧力０．４ＭＰａの条件で、基板上に配置した。本実施例において、樹脂部材のうち供給口に入り込んだ部分の厚さ（第二の面から供給口に面する樹脂部材の面までの厚さ）は、５μｍであった。
【００６８】
その後、常温下で支持体１を樹脂部材２から剥離した。
【００６９】
次に、図１（Ｄ）に示すように、感光性を有する樹脂部材２をパターン露光する。該パターン露光は、未露光部が後工程で除去されてフィルター開口となるように行った。
【００７０】
樹脂部材２のパターン露光は、露光機（キヤノン社製、ＦＰＡ−３０００ｉ５＋）を使用し、露光波長３６５ｎｍの光を用いて、５０００Ｊ／ｍ２の露光量で、対応するパターンを有するマスク６を介して行った。その後、５０℃で５分間のＰｏｓｔ  Ｅｘｐｏｓｕｒｅ  Ｂａｋｅ（以下、ＰＥＢとも称する）を行った。
【００７１】
なお、本実施例において、樹脂部材２の未露光部８にフィルター開口が形成され、露光部７がフィルター部材となる。
【００７２】
次に、図１（Ｅ）に示すように、現像液（ＰＧＭＥＡ）を用いて、樹脂部材２の未露光部８を取り除き、フィルター部材９を形成した。
【００７３】
フィルター部材９のフィルター開口の径について、フィルター部材を通るゴミのサイズが吐出口１０の開口面積の１／２以下のサイズである場合は、そのゴミはインクと一緒に吐出口から容易に排出される。そのため、吐出口１０や流路２０を詰まらせる原因とはならない。そこで、本実施例のフィルター部材９では、フィルター開口の径を５μｍとし、隣り合う開口の間隔も５μｍとしてフィルター開口を等間隔で配置した。なお、フィルター開口の径が小さいとフィルターとしての能力は高くなるが、インク通過時の圧損（流抵抗）も高くなるため、開口径を小さくしすぎることは好ましくない。
【００７４】
次に、図１（Ｆ）に示すように、シリコン基板４の第一の面上に、流路側壁形成部材１４及び吐出口形成部材（オリフィスプレート）１５を形成した。これらの材料としてはエポキシ樹脂を用いた。
【００７５】
その後、２００℃で１時間、熱処理を行った。
【００７６】
以上の工程により、液体吐出ヘッドを作製した。
【００７７】
得られた液体吐出ヘッドを用いて印字を行った結果、フィルター部材９が剥がれることなく、ゴミ等の異物の進入を防止することができたため、フィルター部材の強度の向上を確認できた。
【００７８】
（実施例２）
実施例１では、樹脂部材２としてエポキシ樹脂を用いたが、実施例２では樹脂部材２としてアクリル樹脂（日立化成社製、ＫＡ−６０６Ｌ）を用いた。熱機械的分析装置（ＳＩＩ社製ＴＭＡＳＳ６１００）を用い、８ｍｍ×８ｍｍに切断したサンプル針入プローブで該樹脂部材の軟化点を測定したところ、４８℃であった。該アクリル樹脂を樹脂部材として用い、かつ下記の露光・現像条件で樹脂部材を露光したこと以外は、実施例１と同様にして液体吐出ヘッドを作製した。
【００７９】
露光処理は、露光機（キヤノン社製、ＦＰＡ−３０００ｉ５＋）を使用し、露光波長３６５ｎｍの光を用いて、４０００Ｊ／ｍ２の露光量で、マスク６を介して行った。その後、９５℃で３分間のＰＥＢを行い、ＰＧＭＥＡを用いて現像を行った。
【００８０】
得られた液体吐出ヘッドを用いて印字を行った結果、フィルター部材９が剥がれることなく、ゴミ等の異物の進入を防止することができたため、フィルター強度の向上を確認できた。
【００８１】
（実施例３）
本実施例では、流路形成部材を基板上に形成した後に、フィルター部材を形成した。
【００８２】
まず、図２（Ａ）に示すように、エネルギー発生素子５を第一の面上に有するシリコン基板４の上に、エポキシ樹脂からなる流路形成部材を形成した。流路形成部材は、流路２０の側壁を形成する流路側壁形成部材１４及び吐出口１０を形成する吐出口形成部材（オリフィスプレート）１５を含む。
【００８３】
次に、図２（Ｂ）に示すように、エッチング液としてＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）の２２％水溶液（８０℃）に２０時間シリコン基板４を浸すことで、シリコン基板４に供給口１１を形成した。
【００８４】
次に、図２（Ｃ）に示すように、支持体１となるＰＥＴフィルム上に樹脂部材２となるエポキシ樹脂（東京応化社製、ＴＭＭＦ）を溶剤（ＰＧＭＥＡ）に溶解させて調製した溶液をスリットコート法で塗布・乾燥することにより積層体を作製した。樹脂部材２の厚みは２１μｍであった。
【００８５】
次に、図２（Ｄ）に示すように、樹脂部材２の一部が供給口１１に入り込むように、積層体を基板の第二の面上に配置した。
【００８６】
積層体は、ロール式ラミネーター（タカトリ社製、ＶＴＭ−２００）を使用して、樹脂部材のうち基板の第二の面上に位置する部分の厚みが２０μｍとなるように、５０℃、圧力０．４ＭＰａの条件で、基板上に配置した。本実施例において、樹脂部材のうち供給口に入り込んだ部分の厚さは、３μｍであった。
【００８７】
その後、常温下で支持体１を樹脂部材２から剥離した。
【００８８】
次に、図２（Ｅ）に示すように、露光機（キヤノン社製、ＦＰＡ−３０００ｉ５＋）を使用して、露光波長３６５ｎｍの光を用いて、５０００Ｊ／ｍ２の露光量で、対応するパターンを有するマスク６を介して樹脂部材２を露光した。その後、５０℃で５分間のＰＥＢを行った。
【００８９】
なお、本実施例において、樹脂部材２の未露光部８にフィルター開口が形成され、露光部７がフィルター部材となる。
【００９０】
次に、図２（Ｆ）に示すように、現像液（ＰＧＭＥＡ）を用いて、樹脂部材２の未露光部８を取り除き、フィルター部材９を形成した。
【００９１】
その後、２００℃１時間、熱処理を行った。
【００９２】
以上の工程により、液体吐出ヘッドを作製した。
【００９３】
得られた液体吐出ヘッドを用いて印字を行った結果、フィルター部材９が剥れることなくゴミや異物等の進入を防止することができたため、フィルター強度の向上を確認した。
【符号の説明】
【００９４】
１  支持体
２  樹脂部材
３  保護膜
４  基板
５  エネルギー発生素子
６  マスク
７  露光部
８  未露光部
９  フィルター部材
１０  吐出口
１１  供給口
１３  流路形成部材
１４  流路側壁形成部材
１５  吐出口形成部材（オリフィスプレート）
２０  流路
２１  フィルター開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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