(57)【要約】      （修正有）【課題】外部リードピンを含まないダイオードチップパッケージ、およびダイオードパッケージを製造するための方法を提供する。【解決手段】チップスケールダイオードパッケージ１０は、少なくとも、ダイオードチップ２０と、ダイオードチップ２０の上面および下面に電気的に接続された内部電極として形成された１対の鏡映配置リードフレーム電極３３と、鏡映配置リードフレーム電極３３の２つの端部が密封ケーシング５０の関連する側面に露出することを除いて、ダイオードチップ２０と鏡映配置リードフレーム電極３３とを閉じ込めるための密封ケーシング５０と、密封ケーシング５０の関連する側面の一方にそれぞれ塗布され、鏡映配置リードフレーム電極の対応する一端と電気的に接続する２つの対向する外部電極６０とを含む。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部リードピンを含まないチップスケールダイオードパッケージであって、少なくとも、
ＴＶＳダイオード、ショットキーダイオード、スイッチダイオード、ツェナーダイオード、または整流器ダイオードからそれぞれ形成された１つまたは複数のダイオードチップと、
１対または複数対の鏡映配置リードフレーム電極と、
どのリードフレーム電極も密封ケーシングの１つの側面に露出した一端を有することを除いて、全てのダイオードチップおよび全ての鏡映配置リードフレーム電極を閉じ込めるために、セラミック材料またはプラスチック材料から形成された密封ケーシングと、
１対または複数対の外部電極とを備え、
各対の鏡映配置リードフレーム電極は、内部電極として前記ダイオードチップの１つに結合され、各対の鏡映配置リードフレーム電極は、２つの同一のリードフレーム電極を備え、一方の電極は、他方の電極から１８０度回転されて鏡映向きにされ、対応するダイオードチップの上面に接続され、前記他方の電極は、同じダイオードチップの下面に接続され、
各対の外部電極は、２つの対向する外部電極を備え、一方の外部電極は、前記密封ケーシングの１つの側面に塗布され、他方の外部電極は、同じ密封ケーシングの別の側面に塗布され、前記対向する外部電極は、それぞれ対応する鏡映配置リードフレーム電極に電気的に接続されることを特徴とする、
チップスケールダイオードパッケージ。
【請求項２】
無鉛導電性ペーストから形成された導電性接着層は、あらゆるダイオードチップについて、当該ダイオードチップを結合するための該当の鏡映配置リードフレーム電極との間を結合することを特徴とする請求項１に記載のチップスケールダイオードパッケージ。
【請求項３】
前記鏡映配置リードフレーム電極および前記外部電極は、Ａｇ、Ｓｎ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｐｄ、およびＰｔからなる群から選択される１つまたは複数の無鉛導電性金属またはその金属合金から形成されることを特徴とする請求項１に記載のチップスケールダイオードパッケージ。
【請求項４】
前記無鉛導電性ペーストは、Ａｇ、Ｓｎ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｐｄ、およびＰｔからなる群から選択される１つまたは複数の無鉛導電性金属を含有することを特徴とする請求項２に記載のチップスケールダイオードパッケージ。
【請求項５】
請求項１に記載のチップスケールダイオードパッケージを製造するための方法であって、
ａ）互いに平行に、間隔を空けて配置された１つまたは複数のリードフレームプレートと、対称位置に形成された複数の位置決め孔とを有する事前打ち抜き構成要素を準備するステップと、
ｂ）ステップａ）の２つの同じの事前打ち抜き構成要素から形成された鏡映配置事前打ち抜き構成要素を、一方の事前打ち抜き構成要素を他方の事前打ち抜き構成要素から１８０度回転させて鏡映向きにし、それらの位置決め孔を通して正確な位置に位置合わせすることによって配置するステップと、
ｃ）１つの関連するダイオードチップを固定するために指定されたステップｂ）の鏡映配置事前打ち抜き構成要素の任意の所定の領域に、無鉛導電性ペーストを塗布するステップと、
ｄ）ＴＶＳダイオード、ショットキーダイオード、スイッチダイオード、ツェナーダイオード、または整流器ダイオードから形成され、ステップｃ）の任意の対応する所定の領域に正確に溶接される１つまたは複数のダイオードチップを結合するステップであって、任意のダイオードチップの上面は、鏡映配置事前打ち抜き構成要素からの１つの関連するリードフレームプレートと溶接され、任意のダイオードチップの下面は、同じ鏡映配置事前打ち抜き構成要素からの別の関連するリードフレームプレートと溶接されるステップと、
ｅ）どのリードフレームプレートも密封ケーシングの１つの側面に露出した一端を有することを除いて、ステップｄ）の全てのダイオードチップおよび全てのリードフレームプレートを閉じ込めるために密封ケーシングをパッケージングするステップと、
ｆ）ステップｅ）のリードフレームプレートの端部が露出している密封ケーシングの側面における当該端部に対し、当該密封ケーシングに既に封止された鏡映配置リードフレーム電極の各端部と電気的に接続するように外部電極を被着することにより、外部リードピンを含まないチップスケールダイオードパッケージが得られるステップと、を含むことを特徴とする、
方法。
【請求項６】
得られたダイオードパッケージは、単一のダイオードチップを有するＳＭＴダイオードパッケージ、または複数のダイオードチップを有するアレイタイプＳＭＴダイオードパッケージであることを特徴とする請求項５に記載のチップスケールダイオードパッケージを製造するための方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイオードパッケージに関し、より詳細には、外部リードピンを含まないダイオードチップパッケージ、およびダイオードパッケージを製造するための方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１に示されるように、パッケージングされたＩＣまたは半導体デバイス８０（略して半導体パッケージ８０と呼ぶ）は、３つの重要な主要構成要素、すなわち、リードフレーム８１と、ボンディングワイヤ８２と、封止ハウジング８３とを含む。
【０００３】
パッケージング前、半導体デバイス製造中に、まず、ＩＣまたは半導体ダイ８４（本明細書では以後、半導体チップ８４と呼ぶ）がリードフレーム８１のダイパッド（またはチップホルダ）に結合され、次いで、前記ボンディングワイヤ８２が、前記半導体チップ８４と前記リードフレーム８１との相互接続を可能にし、それにより、半導体チップ８４がリードフレーム８１に電気的に接続される。さらに、封止ハウジング８３が、前記リードフレーム８１と前記半導体チップ８４とをパッケージングして、それらを外部環境から隔離し、また、いくつかの外部リードピン（または接点）８５がリードフレーム８１から半導体パッケージ８０の関連する側面（または下面）に延在し、最終的にはさらに外部環境まで延在して露出できるようにする。
【０００４】
半導体パッケージ８０は、ピンスルーホール（ＰＴＨ）パッケージまたは表面実装技術（ＳＭＴ）パッケージとして形成可能であって、ソケット内に設置または印刷回路板に直接溶接して、半導体パッケージ８０の内部機能を印刷回路板の外面に移行できる。
【０００５】
したがって、半導体デバイス製造中、リードフレーム８１は、半導体パッケージ８０の好ましい品質を決定付ける主要構成要素としての役割を果たし、そのため、様々な半導体チップ８４のパッケージ毎に異なるリードフレームが適切に使用される。
【０００６】
図１に示されるように、ｐ−ｎ接合を有する半導体ダイオードチップ（本明細書では以後、ダイオードチップと呼ぶ）が前記半導体チップ８４の代わりとして選択されるとき、図２に示されるものなど様々な形状の外部リードピン８５を有する様々な種類のリードフレーム８１が存在し、半導体デバイス製造中に半導体ダイオードパッケージ９０（本明細書では以後、ダイオードパッケージ９０と呼ぶ）を製造するために選択できる。
【０００７】
現在、既知のダイオードパッケージ９０はいずれも、基本構造として形成される外部リードピン８５を有する。しかし、前記ダイオードパッケージ９０は、外部リードピン８５を有することにより、寸法の不正確さの問題を引き起こしやすく、この欠点は、ダイオードパッケージ９０のための表面実装技術（ＳＭＴ）パッケージの処理の安定性を脅かして悪影響を及ぼす傾向がある。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
従来の既知のダイオードパッケージを実用的な用途でより優れたものに改良するために、本発明の主要な目的は、外部リードピンを含まないより単純な構造構成を備えるチップスケールダイオードパッケージを提供することであり、その基本構成は、少なくとも、ダイオードチップと、ダイオードチップの上面および下面に電気的に接続された内部電極として形成された１対の鏡映配置リードフレーム電極と、鏡映配置リードフレーム電極の２つの端部が密封ケーシングの関連する側面に露出することを除いて、ダイオードチップと鏡映配置リードフレーム電極とを閉じ込めるための密封ケーシングと、密封ケーシングの前記関連する側面の一方にそれぞれ塗布され、鏡映配置リードフレーム電極の対応する一端と電気的に接続する２つの対向する外部電極とを含む。
【０００９】
本発明の別の目的は、チップスケールダイオードパッケージを製造するための方法であって、
ａ）１つまたは複数のリードフレームプレートと、対称位置に形成された複数の位置決め孔とを有する事前打ち抜き構成要素を準備するステップと、
ｂ）ステップａ）の２つの同じ事前打ち抜き構成要素から形成された鏡映配置事前打ち抜き構成要素を、一方の事前打ち抜き構成要素を他方の事前打ち抜き構成要素から１８０度回転させて鏡映向きにし、それらの位置決め孔を通して位置合わせすることによって配置するステップと、
ｃ）１つの関連するダイオードチップを固定するように指定されたステップｂ）の鏡映配置事前打ち抜き構成要素の任意の所定の領域に、無鉛導電性ペーストを塗布するステップと、
ｄ）ステップｃ）の任意の対応する所定の領域に正確に溶接される１つまたは複数のダイオードチップを結合するステップであって、任意のダイオードチップの上面と下面が、鏡映配置事前打ち抜き構成要素からの１つの関連するリードフレームプレートとそれぞれ溶接されるステップと、
ｅ）どのリードフレームプレートも密封ケーシングの１つの側面に露出した一端を有することを除いて、ステップｄ）の全てのダイオードチップおよび全てのリードフレームプレートを閉じ込めるために密封ケーシングをパッケージングするステップと、
ｆ）密封ケーシングの側面におけるステップｅ）のリードフレームプレートの露出している端部の各々に対し、コーティング、浸漬、蒸着、またはスパッタリング加工によって、当該密封ケーシングに封止された鏡映配置リードフレーム電極の各端部と電気的に接続するように各外部電極を被着するステップと、
ｇ）外部リードピンを含まないより単純な構造構成を備えるチップスケールダイオードパッケージを得るステップと
を含む方法を提供することである。
【００１０】
この方法によって製造されたチップスケールダイオードパッケージは、単一のダイオードチップを有するＳＭＴダイオードパッケージ、または複数のダイオードチップを有するアレイタイプＳＭＴダイオードパッケージとして形成できる。
【００１１】
本明細書で開示するダイオードパッケージは、外部リードピンを含まない点で新規であり、以下の利益を有する。
１．このダイオードパッケージは、チップスケールサイズに小型化され、外部リードピンを外部に残さず、ダイオードパッケージの寸法精度を効果的に向上させる。
２．外部リードピンを含まないことにより、本発明の方法によって製造されるダイオードパッケージは、１つまたは複数のダイオードチップを含んで、様々な工業用途での使用に適した多様性および汎用性を向上および改良できる。
３．従来の既知の半導体デバイスに比べて、このダイオードパッケージは、構造がより簡単であるため、自動化機器による自動大量製造に経済的に適している。
４．このダイオードパッケージは、鉛含有材料を用いずに形成されるので、環境保護に関する要件に適合する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】従来のＩＣまたは半導体パッケージを示す概略図である。
【図２】様々な形状で形成される外部リードピンを有する従来の既知の半導体ダイオードパッケージを示す図である。
【図３】外部リードピンを含まない本発明のチップスケールダイオードパッケージを示す概略図である。
【図４】本発明のダイオードパッケージの製造中に、２つの同じのリードフレームがダイオードチップを保持するために使用される様子を示す概略図である。
【図５】外部電極がまだ形成されていない、本明細書で開示される本発明のダイオードパッケージの半製品を示す部分断面図である。
【図６】外部電極が形成された、本明細書で開示される本発明のダイオードパッケージの完成品を示す別の部分断面図である。
【図７】複数の外部電極が形成された本発明のダイオードパッケージの別の実施形態を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図３を参照する。本明細書では、本発明のチップスケールダイオードパッケージ１０は、全体のパッケージサイズをチップスケールに小型化されたダイオードパッケージであって、外部電極６０を備えて形成された２つの端部を有し、特に、外部に露出した外部リードピンを含まないダイオードパッケージと定義する。
【００１４】
図４〜図６を参照する。本発明のダイオードパッケージ１０は、少なくとも、ダイオードチップ２０と、２つのリードフレーム電極（または内部電極と呼ぶ）３３と、密封ケーシング５０と、２つの外部電極６０とを備える。
【００１５】
本発明の前記ダイオードパッケージ１０の技術的特徴は、ダイオードチップ２０とリードフレーム電極３３とが、ダイオードパッケージ１０の密封ケーシング５０内に閉じ込められ、同一の構造を有する２つのリードフレーム電極３３が、特に両方のリードフレーム電極３３を互いに１８０度回転させて鏡映向きにすることによって、それぞれダイオードチップ２０の上面および下面に設置されて接続される。分かりやすくするために、本明細書では、前記２つのリードフレーム電極３３を、鏡映配置リードフレーム電極（または内部電極）３３と定義する。
【００１６】
より詳細に説明すると、各鏡映配置リードフレーム電極３３は、一端が、ダイオードチップ２０の上面または下面のいずれかに接続され、他端は、密封ケーシング５０の一方の側面まで延在するだけでなく、対応する１つの外部電極６０と電気的に接続する。外部電極６０は、密封ケーシング５０の側面に既に塗布されている。
【００１７】
したがって、密封ケーシング５０内に閉じ込められた後の前記鏡映配置リードフレーム電極３３は、内部電極として設計され、ダイオードパッケージ１０の外部電極６０に電気的に接続され、その結果、本明細書で開示されるダイオード特性を有する本発明のダイオードパッケージ１０を半導体ダイオードとして使用できる。
【００１８】
図７を参照する。本発明の別の実施形態は、アレイタイプダイオードパッケージ１５を開示するものである。その構造構成は、２つ以上のダイオードチップ２０を有すること以外は、上述したダイオードパッケージ１０の基本構造と同じ基本構造を有し、少なくとも、ダイオードチップ２０の上面および下面に設置されて接続された対応する鏡映配置リードフレーム電極３３をそれぞれ有する２つ以上のダイオードチップ２０と、アレイタイプチップスケールに小型化されたパッケージサイズで形成されるように、全てのダイオードチップ２０および全ての鏡映配置リードフレーム電極３３を閉じ込める密封ケーシング５０と、対応する鏡映配置リードフレーム電極３３との電気的接続を成すために使用される複数の外部電極とを備える。
【００１９】
本発明のダイオードパッケージ１０またはアレイタイプダイオードパッケージ１５は、既知の半導体ダイボンディング加工によって適切に形成される限り任意の種類の半導体ダイオードでよく、好ましくは、過渡電圧抑制ダイオード（ＴＶＳダイオード）、ショットキーダイオード、スイッチダイオード、ツェナーダイオード、または整流器ダイオードでよく、しかしそれらに限定されない。
【００２０】
鏡映配置リードフレーム電極３３は、限定はしないが、Ａｇ、Ｓｎ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｐｄ、およびＰｔからなる群から選択される１つまたは複数の無鉛導電性金属またはその合金から形成される。
【００２１】
密封ケーシング５０は、セラミック材料またはプラスチック材料、好ましくはエポキシ樹脂から形成できる。
【００２２】
図４〜図６を参照する。無鉛導電性ペースト４０から形成された導電性接着層４１を使用して、ダイオードチップ２０と対応する鏡映配置リードフレーム電極３３とを結合して一体構造にする。
【００２３】
無鉛導電性ペースト４０は、限定はしないが、Ａｇ、Ｓｎ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｐｄ、およびＰｔからなる群から選択される１つまたは複数の無鉛導電性金属を含有する。
【００２４】
前記外部電極６０は、コーティング、浸漬、もしくは蒸着用の既知の加工、または既知のスパッタリング加工を適用して形成され、限定はしないが、Ａｇ、Ｓｎ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｐｄ、およびＰｔからなる群から選択される１つまたは複数の無鉛導電性金属またはその合金から形成される。
【００２５】
様々な工業用途での使用に適するように、図３または図６のダイオードパッケージ１０は、単一のダイオードチップ２０を有するように設計され、ＳＭＴパッケージを備えるチップスケール半導体ダイオード（略してＳＭＴダイオードパッケージと呼ぶ）としてパッケージングされる。あるいは、図７のアレイタイプダイオードパッケージ１５は、複数のダイオードチップ２０を有するように設計され、ＳＭＴパッケージを備えるアレイタイプ半導体ダイオード（略してアレイタイプＳＭＴダイオードパッケージと呼ぶ）としてパッケージングされる。
【００２６】
図４に示されるように、本発明のダイオードパッケージ１０またはアレイタイプダイオードパッケージ１５を製造するための方法は、事前打ち抜き構成要素３０が予め準備され、事前打ち抜き構成要素３０の構造構成が、少なくとも、互いに平行に、間隔を空けて配置された１つまたは複数のリードフレームプレート３１と、事前打ち抜き構成要素３０に、対称位置に形成された複数の位置決め孔３５とを含むことを教示するものである。
【００２７】
本発明のＳＭＴダイオードパッケージまたはアレイタイプＳＭＴダイオードパッケージの製造に関する重要な技術的特徴は、２つの同じの事前打ち抜き構成要素３０が意図的に使用され、互いに１８０度回転され、次いでそれらの対応する位置決め孔３５を通して位置合わせされて、２つの積層可能な鏡映部片として積層されることである。分かりやすくするために、本明細書では、互いに１８０度回転されて鏡映向きにされた前記２つの同一の事前打ち抜き構成要素３０を、鏡映配置事前打ち抜き構成要素３０と定義する。
【００２８】
前記新規の鏡映配置事前打ち抜き構成要素３０は、半導体ダイオードの製造に適しており、その実用は、本発明の前記ダイオードパッケージ１０または前記アレイタイプダイオードパッケージ１５を自動製造するのに使用するための特定の自動パッケージング機器の設計、および本発明のダイオードパッケージ１０またはアレイタイプダイオードパッケージ１５の大量生産の実現に寄与し得る。
【００２９】
本発明のチップスケールダイオードパッケージ１０またはアレイタイプダイオードパッケージ１５を製造するための方法は、上述したＳＭＴダイオードパッケージまたはアレイタイプＳＭＴダイオードパッケージを製造することが可能である。チップスケールダイオードパッケージは、例示的な一例とみなされ、それを製造するための方法は、以下のステップを含む。
【００３０】
１．鏡映配置事前打ち抜き構成要素３０を配置するステップ；
図４に示されるように、それぞれ１つまたは複数のリードフレームプレート３１を有する２つの同一の事前打ち抜き構成要素３０が、互いに１８０度回転されて鏡映向きにされ、それらの位置決め孔３５を使用することによって正確な位置に位置合わせされて積層される。
【００３１】
２．無鉛導電性ペースト４０を塗布するステップ；
図４に示されるように、印刷またはコーティング加工によって、無鉛導電性ペースト４０が、事前打ち抜き構成要素３０の各リードフレームプレート３１上で指定された所定の領域に塗布され、この領域は、ダイオードチップ２０がリードフレームプレート３１に正確に固定されるように設計される。
【００３２】
３．ダイオードチップ２０を結合して溶接するステップ；
図４に示されるように、ダイボンダを使用して、各ダイオードチップ２０をその対応するリードフレームプレート３１に正確に結合させる。リードフレームプレート３１は、ダイオードチップ２０を結合させるために事前打ち抜き構成要素３０から構成される。ダイボンディング技術によって、１つのダイオードチップ２０と、ダイオードチップ２０を結合させるために１組の鏡映配置事前打ち抜き構成要素から構成された２つの対応するリードフレームプレート３１との間に空いた全ての間隙が、無鉛導電性ペースト４０で均一に充填される。
【００３３】
焼成後、前記無鉛導電性ペースト４０を硬化させて導電性接着層４１にし、その結果、ダイオードチップ２０は、上面では、第１のリードフレームプレート３１と結合され、下面では、第１のリードフレームプレート３１から１８０度回転されて鏡映向きにされた第２のリードフレームプレート３１と結合され、溶接時に全ての構成要素が密接に結合される。
【００３４】
４．鏡映配置リードフレーム電極（または内部電極）３３をパッケージングして形成するステップ；
図５に示されるように、ダイオードチップ２０は、上面と下面の両方がその対応するリードフレームプレート３１と溶接された後、パッケージング金型内に配置され、金型内に半溶融樹脂が注入される。
【００３５】
樹脂が硬化された後、ダイオードチップ２０と、ダイオードチップ２０を結合するために構成された２つの対応するリードフレームプレート３１とを閉じ込めるように密封ケーシング５０が形成される。デフラッシュおよびトリミング後、ダイオードチップ２０に溶接された各リードフレームプレート３１は、一端が、密封ケーシング５０の１つの側面に延在し、それにより、ダイオードチップ２０の上面と下面の両方に溶接された２つの対応するリードフレームプレート３１が、密封ケーシング５０の鏡映配置リードフレーム電極（または内部電極）３３として形成される。
【００３６】
５．外部電極６０を被着して、外部リードピンを含まない完成したダイオードパッケージ１０を得るステップ；
図５および図６に示されるように、コーティング、銀浸漬、または薄膜加工によって、密封ケーシング５０の各側面に外部電極６０が塗布されて、外部電極６０が、密封ケーシング５０の内部電極３３と電気的に接続し、本発明のチップスケールダイオードパッケージ１０が完成する。
【００３７】
図３または図７に示されるように、外部リードピンを含まない完成したダイオードパッケージ１０は、物理的特性の測定後に、ダイオード特性を有し、したがって、本発明のダイオードパッケージ１０は、半導体ダイオードとして使用するのに適したものになる。
【００３８】
その結果、鉛含有スズペーストを使用しないことにより、本発明のリップスケールダイオードパッケージ１０またはアレイタイプダイオードパッケージ１５を製造するための方法は、環境保護のための様々な国際的要件に適合する。さらに、外部リードピンを含まないことにより、本明細書で述べた方法によって製造されるチップスケールダイオードパッケージ１０またはアレイタイプダイオードパッケージ１５は、寸法の不正確さの問題がなく、パッケージ安定性を向上させることが可能であり、特に自動大量生産に適している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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