(57)【要約】【課題】移載ヘッドをコンパクト化する。【解決手段】ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）を備える移載ヘッド１０は、ノズル内の流量を検出する第１および第２のセンサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）と、第１及び第２のセンサ用ポート４２ｈ、４２ｈ’、ノズル用ポート４４ｃ、４４ｃ’、センサ用ポートと対応するノズル用ポートを接続する内部流路を有するマニホールドブロック４０とを備える。第１のセンサ用ポート４２ｈがマニホールドブロック４０の第１の方向の一方側で、第２のセンサ用ポート４２ｈ’が第１の方向の他方側で、第２の方向に並ぶ。第１のセンサ用ポート４２ｈに対するノズル用ポート４４ｃと第２のセンサ用ポート４２ｈ’に対するノズル用ポート４４ｃ’が、第２の方向に交互に並ぶ。第１および第２のセンサ用ポートのピッチ間隔Ｐｓがノズル用ポートのピッチ間隔Ｐｎに比べて大きい。【選択図】図４
2015032773.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を吸着する複数のノズルを備える部品実装装置の移載ヘッドであって、
ノズル内の空気流量または圧力を検出する複数の第１および第２のセンサと、
複数の第１のセンサと接続するための複数の第１のセンサ用ポート、複数の第２のセンサと接続するための複数の第２のセンサ用ポート、複数のノズルと接続するための複数のノズル用ポート、第１および第２のセンサ用ポートそれぞれと対応するノズル用ポートをそれぞれに接続する複数の内部流路を有するマニホールドブロックとを備え、
複数の第１のセンサ用ポートが、マニホールドブロックの第１の方向の一方側で、第１の方向と交差する第２の方向に並び、
複数の第２のセンサ用ポートが、マニホールドブロックの第１の方向の他方側で、第２の方向で並び、
第１のセンサ用ポートに接続されたノズル用ポートと第２のセンサ用ポートに接続されたノズル用ポートとが、第１の方向における複数の第１のセンサ用ポートと複数の第２のセンサ用ポートとの間で、第２の方向に交互に並び、
第１および第２のセンサ用ポートそれぞれの第２の方向のピッチ間隔がノズル用ポートの第２の方向のピッチ間隔に比べて大きい、移載ヘッド。
【請求項２】
マニホールドブロックが直方体形状であって、
マニホールドブロックの主面に複数のノズル用ポートが形成され、
マニホールドブロックの主面に対して第１の方向の一方側に配置された第１の面に複数の第１のセンサ用ポートが形成され、
マニホールドブロックの主面に対して第１の方向の他方側に配置された第２の面に複数の第２のセンサ用ポートが形成されている、請求項１に記載の移載ヘッド。
【請求項３】
ノズルが部品を吸着するための負圧を発生させる負圧源に対してノズルを選択的に接続する複数の電磁弁をさらに備え、
マニホールドブロックが、
対応するノズル用ポートに接続され、マニホールドブロックの主面に対向する裏面に形成され、それぞれの電磁弁と接続するための複数の第１の電磁弁用ポートをさらに有する、請求項２に記載の移載ヘッド。
【請求項４】
マニホールドブロックが、
マニホールドブロックの主面に形成されているノズル用ポートに対して接続されて連通された第１の電磁弁用ポートが形成されている裏面にそれぞれの電磁弁と接続するための複数の第２の電磁弁用ポートをさらに有するとともに、
複数の第２の電磁弁用ポートそれぞれに接続されて連通され、マニホールドブロックの裏面に対して第２の方向の側面に配置された第３の面に形成され、負圧源と接続するための共通の負圧源用ポートをさらに有する、請求項３に記載の移載ヘッド。
【請求項５】
電磁弁が、ノズルが部品を吸着するための負圧を発生させる負圧源または吸着保持した部品をノズルがリリースするための正圧を発生させる正圧源に対してノズルを選択的に接続する３ポート型電磁弁であって、
マニホールドブロックが、
第１および第２の電磁弁用ポートが形成されているマニホールドブロックの裏面に電磁弁と接続するための複数の第３の電磁弁用ポートをさらに有するとともに、
対応する第３の電磁弁用ポートそれぞれに接続され、負圧源と接続するための負圧源用ポートが形成されているマニホールドブロックの第２の方向の側面に配置された第３の面に、正圧源と接続するための複数の正圧源用ポートをさらに有する、請求項４に記載の移載ヘッド。
【請求項６】
第１のセンサと接続するための第１のセンサ用ポートと対応するノズルと接続するためのノズル用ポートとの間にそれぞれ配置された複数の第１のフィルタと、
第２のセンサと接続するための第２のセンサ用ポートと対応するノズルと接続するためのノズル用ポートとの間にそれぞれ配置された複数の第２のフィルタとをさらに備え、
複数の第１のフィルタがマニホールドブロックの第１方向の一方側で第２の方向に並んで該マニホールドブロック内に収容され、
複数の第２のフィルタがマニホールドブロックの第１方向の他方側で第２の方向に並んで該マニホールドブロック内に収容され、
第１および第２のフィルタそれぞれの第２の方向のピッチ間隔がノズル用ポートの第２の方向のピッチ間隔に比べて大きい、請求項１から５のいずれか一項に記載の移載ヘッド。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載の移載ヘッドを備える部品実装装置。
【請求項８】
部品を吸着する複数のノズルを備える移載ヘッドを用いて部品を実装する部品実装方法であって、
ノズル内の空気流量または圧力を検出する複数の第１および第２のセンサと、複数の第１のセンサと接続するための複数の第１のセンサ用ポート、複数の第２の流量センサと接続するための複数の第２のセンサ用ポート、複数のノズルと接続するための複数のノズル用ポート、第１および第２のセンサ用ポートそれぞれと対応するノズル用ポートをそれぞれに接続する複数の内部流路を有するマニホールドブロックとを備え、複数の第１のセンサ用ポートがマニホールドブロックの第１の方向の一方側で第１の方向と交差する第２の方向に並び、複数の第２のセンサ用ポートがマニホールドブロックの第１の方向の他方側で第２の方向で並び、第１のセンサ用ポートに接続されたノズル用ポートと第２のセンサ用ポートに接続されたノズル用ポートとが第１の方向における複数の第１のセンサ用ポートと複数の第２のセンサ用ポートとの間で第２の方向に交互に並び、第１および第２のセンサ用ポートそれぞれの第２の方向のピッチ間隔がノズル用ポートの第２の方向のピッチ間隔に比べて大きい、移載ヘッドを用意し、
移載ヘッドを移動させるとともに、ノズルによって部品を吸着することにより部品実装を行う、部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品を吸着して搬送するための移載ヘッド、移載ヘッドを用いて部品実装を行うための部品実装装置および部品実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、特許文献１に複数の部品を吸着して保持する複数のノズルを搭載する移載ヘッドを備える部品実装装置が知られている。ノズルが部品を保持した状態の移載ヘッドが移動することにより、部品が搬送されて基板に実装される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−８２２４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年、部品実装の高速化を実現するために、移載ヘッドに搭載するノズルの数の増加および移載ヘッドのコンパクト化が望まれている。移載ヘッドをコンパクト化するためには、ノズル間の距離（ピッチ間隔）を可能な限り最小化した状態で複数のノズルを移載ヘッドに搭載する必要がある。
【０００５】
ところが、ノズル間のピッチ間隔を可能な限り最小化した状態で複数のノズルを移載ヘッドに搭載しても、部品を吸着するための負圧をノズルに選択的に供給する空気圧回路の構成要素、例えば、流量センサ、電磁弁などによって移載ヘッドのコンパクト化が困難になる場合がある。
【０００６】
そこで、本発明は、部品実装の高速化を実現するために、複数のノズルのピッチ間隔を可能な限り最小化しつつ、複数のノズルが搭載された移載ヘッドをコンパクト化することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の課題を解決するために、本発明の第１の態様によれば、
部品を吸着する複数のノズルを備える部品実装装置の移載ヘッドであって、
ノズル内の空気流量または圧力を検出する複数の第１および第２のセンサと、
複数の第１のセンサと接続するための複数の第１のセンサ用ポート、複数の第２のセンサと接続するための複数の第２のセンサ用ポート、複数のノズルと接続するための複数のノズル用ポート、第１および第２のセンサ用ポートそれぞれと対応するノズル用ポートをそれぞれに接続する複数の内部流路を有するマニホールドブロックとを備え、
複数の第１のセンサ用ポートが、マニホールドブロックの第１の方向の一方側で、第１の方向と交差する第２の方向に並び、
複数の第２のセンサ用ポートが、マニホールドブロックの第１の方向の他方側で、第２の方向で並び、
第１のセンサ用ポートに接続されたノズル用ポートと第２のセンサ用ポートに接続されたノズル用ポートとが、第１の方向における複数の第１のセンサ用ポートと複数の第２のセンサ用ポートとの間で、第２の方向に交互に並び、
第１および第２のセンサ用ポートそれぞれの第２の方向のピッチ間隔がノズル用ポートの第２の方向のピッチ間隔に比べて大きい、移載ヘッドが提供される。
【０００８】
本発明の第２の態様によれば、
マニホールドブロックが直方体形状であって、
マニホールドブロックの主面に複数のノズル用ポートが形成され、
マニホールドブロックの主面に対して第１の方向の一方側に配置された第１の面に複数の第１のセンサ用ポートが形成され、
マニホールドブロックの主面に対して第１の方向の他方側に配置された第２の面に複数の第２のセンサ用ポートが形成されている、第１の態様に記載の移載ヘッドが提供される。
【０００９】
本発明の第３の態様によれば、
ノズルが部品を吸着するための負圧を発生させる負圧源に対してノズルを選択的に接続する複数の電磁弁をさらに備え、
マニホールドブロックが、
対応するノズル用ポートに接続され、マニホールドブロックの主面に対向する裏面に形成され、それぞれの電磁弁と接続するための複数の第１の電磁弁用ポートをさらに有する、第２の態様に記載の移載ヘッドが提供される。
【００１０】
本発明の第４の態様によれば、
マニホールドブロックが、
マニホールドブロックの主面に形成されているノズル用ポートに対して接続されて連通された第１の電磁弁用ポートが形成されている裏面にそれぞれの電磁弁と接続するための複数の第２の電磁弁用ポートをさらに有するとともに、
複数の第２の電磁弁用ポートそれぞれに接続されて連通され、マニホールドブロックの裏面に対して第２の方向の側面に配置された第３の面に形成され、負圧源と接続するための共通の負圧源用ポートをさらに有する、第３の態様に記載の移載ヘッドが提供される。
【００１１】
本発明の第５の態様によれば、
電磁弁が、ノズルが部品を吸着するための負圧を発生させる負圧源または吸着保持した部品をノズルがリリースするための正圧を発生させる正圧源に対してノズルを選択的に接続する３ポート型電磁弁であって、
マニホールドブロックが、
第１および第２の電磁弁用ポートが形成されているマニホールドブロックの裏面に電磁弁と接続するための複数の第３の電磁弁用ポートをさらに有するとともに、
対応する第３の電磁弁用ポートそれぞれに接続され、負圧源と接続するための負圧源用ポートが形成されているマニホールドブロックの第２の方向の側面に配置された第３の面に、正圧源と接続するための複数の正圧源用ポートをさらに有する、第４の態様に記載の移載ヘッドが提供される。
【００１２】
本発明の第６の態様によれば、
第１のセンサと接続するための第１のセンサ用ポートと対応するノズルと接続するためのノズル用ポートとの間にそれぞれ配置された複数の第１のフィルタと、
第２のセンサと接続するための第２のセンサ用ポートと対応するノズルと接続するためのノズル用ポートとの間にそれぞれ配置された複数の第２のフィルタとをさらに備え、
複数の第１のフィルタがマニホールドブロックの第１方向の一方側で第２の方向に並んで該マニホールドブロック内に収容され、
複数の第２のフィルタがマニホールドブロックの第１方向の他方側で第２の方向に並んで該マニホールドブロック内に収容され、
第１および第２のフィルタそれぞれの第２の方向のピッチ間隔がノズル用ポートの第２の方向のピッチ間隔に比べて大きい、第１から第５の態様のいずれか一に記載の移載ヘッドが提供される。
【００１３】
本発明の第７の態様によれば、
請求項１から６のいずれか一項に記載の移載ヘッドを備える部品実装装置が提供される。
【００１４】
本発明の第８の態様によれば、
部品を吸着する複数のノズルを備える移載ヘッドを用いて部品を実装する部品実装方法であって、
ノズル内の空気流量または圧力を検出する複数の第１および第２のセンサと、複数の第１のセンサと接続するための複数の第１のセンサ用ポート、複数の第２の流量センサと接続するための複数の第２のセンサ用ポート、複数のノズルと接続するための複数のノズル用ポート、第１および第２のセンサ用ポートそれぞれと対応するノズル用ポートをそれぞれに接続する複数の内部流路を有するマニホールドブロックとを備え、複数の第１のセンサ用ポートがマニホールドブロックの第１の方向の一方側で第１の方向と交差する第２の方向に並び、複数の第２のセンサ用ポートがマニホールドブロックの第１の方向の他方側で第２の方向で並び、第１のセンサ用ポートに接続されたノズル用ポートと第２のセンサ用ポートに接続されたノズル用ポートとが第１の方向における複数の第１のセンサ用ポートと複数の第２のセンサ用ポートとの間で第２の方向に交互に並び、第１および第２のセンサ用ポートそれぞれの第２の方向のピッチ間隔がノズル用ポートの第２の方向のピッチ間隔に比べて大きい、移載ヘッドを用意し、
移載ヘッドを移動させるとともに、ノズルによって部品を吸着することにより部品実装を行う、部品実装方法が提供される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、複数のノズルのピッチ間隔を可能な限り最小化しつつ、その複数のノズルが搭載された移載ヘッドをコンパクト化することができる。コンパクト化された移載ヘッドを用いることにより、部品実装を高速に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施の形態に係る移載ヘッドの一部の概略的斜視図
【図２】ノズルの空気圧回路図
【図３】移載ヘッドに搭載されたマニホールドブロックの部分的分解図
【図４】マニホールドブロックの本体部の正面図
【図５】マニホールドブロックの本体部の斜視図
【図６Ａ】マニホールドブロックの断面図
【図６Ｂ】マニホールドブロックの別の断面図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１８】
図１は、一実施の形態に係る部品実装装置の移載ヘッドの一部を示している。
【００１９】
移載ヘッド１０は、部品を上方から吸着して保持する複数のノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）を備え、水平方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に移動可能に部品実装装置（図示せず）に設けられている。
【００２０】
複数のノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれは、Ｘ軸方向に直線状に並んだ状態で移載ヘッド１０に支持されている。また、複数のノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれは、鉛直方向（Ｚ軸方向）に延在するノズルシャフト１４（Ａ）〜１４（Ｈ）の下端側に着脱可能に取り付けられている。そのノズルシャフト１４（Ａ）〜１４（Ｈ）は、Ｚ軸方向に移動可能に且つＺ軸中心にそれぞれ回転可能に移載ヘッド１０に支持されている。なお、本明細書において、符号に同一の括弧内文字が含まれた複数の構成要素は、互いに対応することを示す。例えば、ノズル１２（Ａ）は、ノズルシャフト１４（Ａ）に対応して取り付けられている。
【００２１】
図２は、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）にそれぞれに空気圧を供給するための空気圧回路を示している。
【００２２】
図２に示すように、部品実装装置は、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれが互いに独立して部品をリリース可能に吸着保持するために、ノズルに設けられる一次フィルタ２０（Ａ）〜２０（Ｈ）と、マニホールドブロック４０（図１〜３参照）に設けられる二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）（二次フィルタは、特許請求の範囲の「第１および第２のフィルタ」に対応）、流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）（特許請求の範囲の「第１および第２のセンサ」）に対応）、負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）（特許請求の範囲の「電磁弁」に対応）、および正圧供給弁２８（Ａ）〜２８（Ｈ）を備える。
【００２３】
また、部品実装装置は、複数のノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）に対して共通して使用される、負圧源（例えば、真空ポンプ、工場真空、真空エジェクタなど）３０および正圧源（例えば、コンプレッサ、工場圧縮エアなど）３２を備える。共通の負圧源３０は、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｂ）それぞれが部品を吸着するための負圧（例えば、真空圧）を発生させる。一方、共通の正圧源３２は、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれが、吸着保持した状態の部品をリリースするための正圧（すなわち、圧縮空気）を発生させる。
【００２４】
ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれの空気圧回路は同一であるため、１つのノズル１２（Ａ）の空気圧回路について説明する。
【００２５】
図２に示すように、ノズル１２（Ａ）側から順に、一次フィルタ２０（Ａ）、二次フィルタ２２（Ａ）、流量センサ２４（Ａ）、負圧供給弁２６（Ａ）、正圧供給弁２８（Ａ）が、空気圧回路として直列状（直列接続）に並んで配置されている。負圧供給弁２６（Ａ）に共通の負圧源３０が接続され、正圧供給弁２８（Ａ）に共通の正圧源３２が接続されている。
【００２６】
ノズル１２（Ａ）には、一次フィルタ２０（Ａ）が接続（例えば内蔵）されている。一次フィルタ２０（Ａ）は、ノズル１２（Ａ）を介する空気圧回路内への比較的大きい異物の侵入を抑制する。
【００２７】
二次フィルタ２２（Ａ）は、一次フィルタ２０（Ａ）と流量センサ２４（Ａ）との間に配置されている。また、二次フィルタ２２（Ａ）は、ノズル１２（Ａ）側の一次フィルタ２０（Ａ）を通過した比較的小さい異物を捕捉し、流量センサ２４（Ａ）への異物侵入を抑制する。
【００２８】
流量センサ２４（Ａ）は、二次フィルタ２２（Ａ）と負圧供給弁２６（Ａ）との間に配置され、ノズル１２（Ａ）内の空気の流量を検出する。流量センサ２４（Ａ）の検出結果に基づいて、ノズル１２（Ａ）が部品を正常に吸着しているか等を確認することができる。例えば、ノズル１２（Ａ）に負圧を供給している状態で流量センサ２４（Ａ）が所定のしきい値を超える流量を検出した場合、ノズル１２（Ａ）が部品を吸着していないまたはノズル１２（Ａ）が部品を正常な姿勢で吸着していないことがわかる。
【００２９】
負圧供給弁２６（Ａ）は、共通の負圧源３０に対してノズル１２（Ａ）を選択的に接続して連通させるための弁であって、第１のポート２６ａ（Ａ）、第２のポート２６ｂ（Ａ）、および第３のポート２６ｃ（Ａ）を有する３ポート型電磁弁である。
【００３０】
負圧供給弁２６（Ａ）の第１のポート２６ａ（Ａ）は、流量センサ２４（Ａ）、二次フィルタ２２（Ａ）、および一次フィルタ２０（Ａ）を順に介してノズル１２（Ａ）に接続されている。第２のポート２６ｂ（Ａ）は、共通の負圧源３０に接続されている。第３のポート２６ｃ（Ａ）は、正圧供給弁２８（Ａ）に接続されている。
【００３１】
本実施の形態の場合、負圧供給弁２６（Ａ）は、非通電（ＯＦＦ）時においては第１のポート２６ａ（Ａ）と第２のポート２６ｂ（Ａ）とを接続し、通電（ＯＮ）時においては第１のポート２６ａ（Ａ）と第３のポート２６ｃ（Ａ）とを接続するように構成されている。
【００３２】
正圧供給弁２８（Ａ）は、ノズル１２に負圧供給弁２６（Ａ）を介して正圧を選択的に供給するための弁であって、第１のポート２８ａ（Ａ）、第２のポート２８ｂ（Ａ）、および第３のポート２８ｃ（Ａ）を有する３ポート型電磁弁である。
【００３３】
正圧供給弁２８（Ａ）の第１のポート２８ａ（Ａ）は、負圧供給弁２６（Ａ）の第３のポート２６ｃ（Ａ）に接続されている。第２のポート２８ｂ（Ａ）は、外気（大気圧）に連通している。第３のポート２８ｃ（Ａ）は、共通の正圧源３２に接続されている。
【００３４】
本実施の形態の場合、正圧供給弁２８（Ａ）は、非通電（ＯＦＦ）時においては第１のポート２８ａ（Ａ）と第２のポート２８ｂ（Ａ）とを接続し、通電（ＯＮ）時においては第１のポート２８ａ（Ａ）と第３のポート２８ｃ（Ａ）とを接続するように構成されている。
【００３５】
負圧供給弁２６（Ａ）および正圧供給弁２８（Ａ）の動作について説明する。
【００３６】
ノズル１２（Ａ）が部品を吸着するとき、図２に示すように、負圧供給弁２６（Ａ）と正圧供給弁２８（Ａ）の両方が非通電（ＯＦＦ）状態にされる。これにより、共通の負圧源３０から負圧供給弁２６（Ａ）を介してノズル１２（Ａ）に負圧（例えば、真空圧）が供給される。その結果、ノズル１２（Ａ）は、ノズル１２（Ａ）に対して部品を供給する位置である部品実装装置上の部品供給位置に供給された部品を吸着することができる。
【００３７】
ノズル１２（Ａ）が部品供給位置で部品を吸着して保持された後（他のノズルも部品を吸着した後）、移載ヘッド１０は、ノズル１２（Ａ）に保持された部品が実装される位置である部品実装位置（例えば、図示しない基板上の位置）の上方に移動する。移載ヘッド１０の移動中、負圧供給弁２６（Ａ）は非通電（ＯＦＦ）状態を維持され、正圧給弁２８（Ａ）は通電（ＯＮ）状態とされる。これにより、ノズル１２（Ａ）に対して負圧が供給され続けるとともに、正圧供給弁２８（Ａ）の第１のポート２８ａ（Ａ）と負圧供給弁２６（Ａ）の第３のポート２６ｃ（Ａ）との間の空気流路が圧縮空気で満たされる。
【００３８】
移載ヘッド１０が部品実装位置の上方に到着すると、その部品実装位置で部品を実装するノズル１２（Ａ）が降下する。ノズル１２（Ａ）の降下が完了または降下途中において、負圧供給弁２６（Ａ）が非通電（ＯＦＦ）状態から通電（ＯＮ）状態（真空吸着ＯＦＦ）に切り替わる。一方、ノズル１２（Ａ）内の真空の解除を促進する真空破壊動作として、正圧供給弁２８（Ａ）は、通電（ＯＮ）状態から非通電（ＯＦＦ）状態に切り替わり、その非通電（ＯＦＦ）状態を維持される。
【００３９】
このように、ノズル１２に吸着保持された状態の部品が部品実装位置に配置された状態で負圧供給弁２６（Ａ）が非通電（ＯＦＦ）状態から通電（ＯＮ）状態に切り替わると、負圧供給弁２６（Ａ）の第１のポート２６ａ（Ａ）と第３のポート２６ｃ（Ａ）とが接続され、ノズル１２（Ａ）に供給されていた負圧が正圧に切り替えられる。その後、正圧供給弁２８（Ａ）が通電（ＯＮ）状態から非通電（ＯＦＦ）状態に切り替わると、ノズル１２（Ａ）に供給されていた正圧が大気圧（外気）に切り替えられる。その結果、ノズル１２（Ａ）が部品をリリースし、その部品が基板の部品実装位置に実装される。
【００４０】
ここまでは、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれの空気圧回路について説明した。ここからは、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれの空気圧回路を構成する構成要素の機械的なレイアウトについて説明する。
【００４１】
図１に示すように、移載ヘッド１０は、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれに空気圧（負圧または正圧）を供給するためのマニホールドブロック４０を備える。
【００４２】
移載ヘッド１０に搭載されたマニホールドブロック４０は、図１に示すように、Ｘ軸方向（第２の方向）に一列に並ぶ複数のノズルシャフト１４に対してＹ軸方向（第３の方向）の一方側に配置されている。
【００４３】
なお、理由は後述するが、図３に示すように、本実施の形態の場合、マニホールドブロック４０は、大別すると、２パーツで構成される。具体的には、マニホールドブロック４０は、流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）等を保持する本体部４２と、本体部４２と複数のノズルシャフト１４（Ａ）〜１４（Ｈ）とを着脱可能に接続するためのジョイント部ト４４とに分割可能に構成されている。
【００４４】
また、図示されていないが、マニホールドブロック４０のＺ軸方向の上方に、ノズルシャフト１４（Ａ）〜１４（Ｈ）を介してノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれをＺ軸方向に移動させるためのノズル昇降機構と、Ｚ軸中心にノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれを回転させるノズル回転機構とを、移載ヘッド１０は備える。
【００４５】
マニホールドブロック４０の本体部４２は、図１および図３に示すように、六面を有するおおむね直方体形状であって、ジョイント部４４と連結する連結面４２ａと、連結面４２ａに対向する裏面４２ｂとを有する。また、本体部４２は、連結面４２ａと裏面４２ｂとの間に、鉛直方向（Ｚ軸方向（第１の方向））に対向する上側面（特許請求の範囲の「第２の面」に対応）４２ｃおよび下側面（特許請求の範囲の「第１の面」に対応）４２ｄと、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）の列方向（Ｘ軸方向（第２の方向））に対向する左側面（特許請求の範囲の「第３の面」に対応）４２ｅおよび右側面（特許請求の範囲の「第３の面」に対応）４２ｆとを有する。さらに、本体部４２は、二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）、流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）、および負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）を保持するように構成されている。
【００４６】
一方、マニホールドブロック４０のジョイント部４４は、図１および図３に示すようにプレート状であって、Ｘ軸方向に一列に並ぶ複数のノズルシャフト１４（Ａ）〜１４（Ｈ）に対して直接的または間接的に連結し、マニホールドブロック４２の主面を構成するノズルシャフト側の連結面４４ａと、ノズルシャフト側の連結面４４ａに対向し、マニホールドブロック４０の本体部４２の連結面４２ａと連結する連結面４４ｂとを有する。
【００４７】
まず、マニホールドブロック４０の本体部４２について説明する。
【００４８】
図３および図４に示すように、マニホールドブロック４０の本体部４２は、複数の二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）を内部に収容した状態で保持するように構成されている。
【００４９】
具体的には、本実施の形態の場合、二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）それぞれは円筒形状のフィルタであって、本体部４２の連結面４２ａに形成された凹部状の二次フィルタ収容部４２ｇ内に収容される。そのため、例えば、ノズルシャフト１４（Ａ）〜１４（Ｈ）に連結された状態のジョイント部４４から本体部４２を取り外すことにより、マニホールドブロック４０内に収容された二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）を簡単に交換することができる。なお、本体部４２をジョイント部４４から取り外すと、二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）は、ジョイント部４４の連結面４４ｂに立設されている支持ピン４４ｄに挿通された状態で支持される。
【００５０】
また、本実施の形態の場合、詳細は後述するが、連結面４２ａに対して垂直な方向（直交する方向、Ｙ軸方向）に本体部４２を見た図である図４に示すように、複数の二次フィルタ収容部４２ｇ、４２ｇ’（すなわち複数の二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ））は、Ｘ軸方向に二列に並んだ状態で配置されている。
【００５１】
図１および図３に示すように、複数の流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）の略半分（特許請求の範囲の「第１のセンサ」に対応）は、連結面４２ａに対してＺ軸方向の一方側であるマニホールドブロック４０の本体部４２の下側面４２ｄにＸ軸方向に並んだ状態で取り付けられている。残りの半分（特許請求の範囲の「第２のセンサ」に対応）は、連結面４２に対してＺ軸方向の他方側である本体部４２の上側面４２ｃにＸ軸方向に並んだ状態で取り付けられている。
【００５２】
本実施の形態の場合、移載ヘッド１０は例えば８基の流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）を備え、そのうちの４基の流量センサ２４（Ａ）、２４（Ｃ）、２４（Ｅ）、２４（Ｇ）がマニホールドブロック４０の本体部４２の下側面４２ｄにＸ軸方向に一列に並んだ状態で取り付けられている。残りの４基の流量線センサ２４（Ｂ）、２４（Ｄ）、２４（Ｆ）、２４（Ｈ）は、Ｘ軸方向に一列に並んだ状態で本体部４２の上側面４２ｃに取り付けられている。このように、８基の流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）をマニホールドブロック４０の本体部４２の上側面４２ｃと下側面４２ｄとに分けて取り付ける理由については後述する。
【００５３】
図１に示すように、複数の負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）は、マニホールドブロック４０の本体部４２の裏面４２ｂに、少なくともＺ軸方向に複数列に並んだ状態で取り付けられている。
【００５４】
本実施の形態の場合、移載ヘッド１０は８基の負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）を有するため、Ｚ軸方向に四列に（言い換えると、Ｘ軸方向に二列に）並んだ状態でマニホールドブロック４０の本体部４２の裏面４２ｂに取り付けられている。
【００５５】
なお、理由は後述するが、図１に示すように、マニホールドブロック４０の本体部４２の裏面４２ｂにおける右側面４２ｆ側に、上側面４２ｃ側から下側面４２ｄ側に向かって順に、負圧供給弁２６（Ｂ）、２６（Ｄ）、２６（Ｃ）、２６（Ａ）が取り付けられている。一方、裏面４２ｂにおける左側面４２ｅ側に、上側面４２ｃ側から下側面４２ｄ側に向かって順に、負圧供給弁２６（Ｈ）、２６（Ｆ）、２６（Ｅ）、２６（Ｇ）が取り付けられている。
【００５６】
図５は、流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）および負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）を取り外した状態の裏面４２ｂ側から見たマニホールドブロック４０の本体部４２の斜視図であって、本体部４２の内部に形成された内部流路を示している。
【００５７】
図５に示すように、マニホールドブロック４０の本体部４２の上側面４２ｃおよび下側面４２ｄは、その上側面４２ｃおよび下側面４２ｄに取り付けられた流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）と接続するための複数の流量センサ用ポート４２ｈ、４２ｈ’、４２ｉ、４２ｉ’を有する。
【００５８】
マニホールドブロック４０の本体部４２の左側面４２ｅおよび右側面４２ｆは、正圧供給弁２８（Ａ）〜２８（Ｈ）それぞれの第１のポート２８ａ（Ａ）〜２８ａ（Ｈ）（図２参照）を、エアチューブを介して間接的に接続するための複数の正圧供給弁用ポート４２ｊを有する。また、左側面４２ｅと右側面４２ｆそれぞれに、共通の負圧源３０をエアチューブを介して間接的に接続するための負圧源用ポート４２ｋを有する。
【００５９】
マニホールドブロック４０の本体部４２の裏面４２ｂは、その裏面４２ｂに取り付けられた負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）それぞれと直接的に接続するための複数のポート４２ｍ、４２ｎ、４２ｐを有する。
【００６０】
具体的には、マニホールドブロック４０の本体部４２の裏面４２ｂに取り付けられた負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）それぞれの第１のポート２６ａ（Ａ）〜２６ａ（Ｈ）（図２参照）は、本体部４２の裏面４２ｂに形成された複数の第１の負圧供給弁用ポート４２ｍ（特許請求の範囲の「第１の電磁弁用ポート」に対応）に直接的に接続される。
【００６１】
また、負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）それぞれの第２のポート２６ｂ（Ａ）〜２６ｂ（Ｈ）（図２参照）は、マニホールドブロック４０の本体部４２の裏面４２ｂに形成された複数の第２の負圧供給弁用ポート４２ｎ（特許請求の範囲の「第２の電磁弁用ポート」に対応）に直接的に接続される。
【００６２】
さらに、負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）それぞれの第３のポート２６ｃ（Ａ）〜２６ｃ（Ｈ）（図２参照）は、マニホールドブロック４０の本体部４２の裏面４２ｂに形成された複数の第３の負圧供給弁用ポート４２ｐ（特許請求の範囲の「第３の電磁弁用ポート」に対応）に直接的に接続される。
【００６３】
流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）それぞれに接続される一方の流量センサ用ポート４２ｈ、４２ｈ’それぞれは、図３に示すように、対応する二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）を収容する二次フィルタ収容部４２ｇ、４２ｇ’に、マニホールドブロック４０の本体部４２の内部に形成された内部流路を介して接続されている。
【００６４】
これに対して、他方の流量センサ用ポート４２ｉ、４２ｉ’それぞれは、図５に示すように、対応する負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）の第１のポート２６ａ（Ａ）〜２６ａ（Ｈ）（図２参照）に接続される第１の負圧供給弁用ポート４２ｍに対して、マニホールドブロック４０の本体部４２の内部に形成された内部流路を介して接続されている。
【００６５】
このようなマニホールドブロック４０の本体部４２のセンサ用ポート４２ｈ、４２ｈ’、４２ｉ、４２ｉ’と第１の負圧供給弁用ポート４２ｍとにより、図２の空気圧回路図に示すように、流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）を介して負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）それぞれの第１のポート２６ａ（Ａ）〜２６ａ（Ｈ）と対応する二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）とが接続される。
【００６６】
また、共通の負圧源３０に接続される負圧源用ポート４２ｋは、負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）の第２のポート２６ｂ（Ａ）〜２６ｂ（Ｈ）（図２参照）それぞれに接続される複数の第２の負圧供給弁用ポート４２ｎに、マニホールドブロック４０の本体部４２の内部に形成された内部流路を介して接続されている。
【００６７】
このようなマニホールドブロック４０の内部流路を介して接続される本体部４２の負圧源用ポート４２ｋと第２の負圧供給弁用ポート４２ｎとにより、図２の空気圧回路図に示すように、負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）それぞれの第２のポート２６ｂ（Ａ）〜２６ｂ（Ｈ）と共通の負圧源３０とが接続される。
【００６８】
さらに、正圧供給弁２８（Ａ）〜２８（Ｈ）それぞれの第１のポート２８ａ（Ａ）〜２８ａ（Ｈ）に接続される正圧供給弁用ポート４２ｊそれぞれは、対応する負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）それぞれの第３のポート２６ｃ（Ａ）〜２６ｃ（Ｈ）に接続される第３の負圧供給弁用ポート４２ｐに、マニホールドブロック４０の本体部４２の内部に形成された内部流路を介して接続されている。
【００６９】
このようなマニホールドブロック４０の本体部４２の内部流路を介して接続される正圧供給弁用ポート４２ｊと第３の負圧供給弁用ポート４２ｐとにより、図２の空気圧回路図に示すように、負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）それぞれの第３のポート２６ｃ（Ａ）〜２６ｃ（Ｈ）と、対応する正圧供給弁２８（Ａ）〜２８（Ｈ）それぞれの第１のポート２８ａ（Ａ）〜２８ａ（Ｈ）とが接続される。
【００７０】
なお、マニホールドブロック４０の本体部４２の裏面４２ｂに取り付けられた負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）それぞれの第１ポート２６ａ（Ａ）〜２６ａ（Ｈ）から対応するノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）までの空気流路それぞれにおいて、それらの空気流路の容積は略同一であるのが好ましい。
【００７１】
そのために、本実施の形態の場合、図３に示すように、まず、マニホールドブロック４０の本体部４２の上側面４２ｃに形成された流量センサ用ポート４２ｈ’が、連結面４２ａの上側面４２ｃ側に形成された二次フィルタ収容部４２ｇ’に接続されている。それとともに、本体部４２の下側面４２ｄに形成された流量センサ用ポート４２ｈは、連結面４２ａの下側面４２ｄ側の二次フィルタ収容部４２ｇに接続されている。
【００７２】
また、本実施の形態の場合、図１に示すように、マニホールドブロック４０の本体部４２の上側面４２ｃに取り付けられた流量センサ２４（Ｂ）、２４（Ｄ）、２４（Ｆ）、２４（Ｈ）に対応する負圧供給弁２６（Ｂ）、２６（Ｄ）、２６（Ｆ）、２６（Ｈ）が裏面４２ｂの上側面４２ｃ側に取り付けられている。それとともに、本体部４２の下側面４２ｄに取り付けられた流量センサ２４（Ａ）、２４（Ｃ）、２４（Ｅ）、２４（Ｇ）に対応する負圧供給弁２４（Ａ）、２４（Ｃ）、２４（Ｅ）、２４（Ｇ）が裏面４２ｂの下側面４２ｄ側に取り付けられている。
【００７３】
さらに、本実施の形態の場合、流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）を間に介して負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）それぞれと対応する二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）との間の空気流路（マニホールドブロック４０の内部流路）それぞれにおいて、マニホールドブロック４０の本体部４２の裏面４２ｂに形成された第１の負圧供給弁用ポート４２ｍから上側面４２ｃおよび下側面４２ｄに形成された一方の流量センサ用ポート４２ｉ、４２ｉ’までの空気流路の容積が略同一にされている。また、他方の流量センサ用ポート４２ｈ、４２ｈ’から連結面４２ａに形成されて二次フィルタを収容する二次フィルタ収容部４２ｇ、４２ｇ’までの空気流路の容積が略同一にされている。
【００７４】
なお、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれから対応する二次フィルタ収容部４２ｇ、４２ｇ’までの空気流路それぞれについても、詳細は後述するが、それらの空気流路の容積が略同一にされている。
【００７５】
その結果、負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）それぞれが負圧の供給（または正圧の供給）を開始してから対応するノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれが部品を実際に吸着する（または部品を実際にリリース（真空破壊動作によってノズルの部品の吸着保持を解除）する）までの時間を略等しくすることができる。
【００７６】
このようなマニホールドブロック４０の本体部４２がジョイント部４４に連結されると、図３に示すように、本体部４２の連結面４２ａに形成された複数の二次フィルタ収容部４２ｇ、４２ｇ’と、ジョイント部４４の連結面４４ａに形成された複数のノズル用ポート４４ｃ、４４ｃ’とが接続される。
【００７７】
本実施の形態の場合、図３に示すように、二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）を収容するための複数の二次フィルタ収容部４２ｇ、４２ｇ’は、Ｘ軸方向に向かって二列に並んだ状態でマニホールドブロック４０の本体部４２の連結面４２ａに形成されている。
【００７８】
このようにＸ軸方向に向かって二列に並ぶ複数の二次フィルタ収容部４２ｇ、４２ｇ’と接続するために、マニホールドブロック４０のジョイント部４４に形成された複数のノズル用ポート４４ｃ、４４ｃ’も、図４に示すようにＸ軸方向に向かって二列に並んだ状態で配置されている。
【００７９】
マニホールドブロック４０のジョイント部４４の連結面４４ｂ上でＸ軸方向に向かって二列に並んでいる複数のノズル用ポート４４ｃ、４４ｃ’において、下方の列側に並ぶ複数のノズル用ポート４４ｃは、ノズル１２（Ａ）、１２（Ｃ）、１２（Ｅ）、１２（Ｇ）に接続されている。一方、上方の列側に並ぶ複数のノズル用ポート４４ｃ’は、ノズル１２（Ｂ）、１２（Ｄ）、１２（Ｆ）、１２（Ｈ）に接続されている。
【００８０】
図６Ａは、ノズル１２（Ａ）と流量センサ２４（Ａ）とを接続する空気流路を示すマニホールドブロック４０の断面図（右側面４２ｆ側から見た断面図）である。
【００８１】
図６Ｂは、ノズル１２（Ａ）と流量センサ２４（Ｂ）とを接続する空気流路を示すマニホールドブロック４０の断面図（右側面４２ｆ側から見た断面図）である。
【００８２】
また、流量センサ２４（Ｃ）からノズル１２（Ｃ）までの空気流路、流量センサ２４（Ｅ）からノズル１２（Ｅ）までの空気流路、および流量センサ２４（Ｇ）からノズル１２（Ｇ）までの空気流路は、図６Ａに示すような流量センサ２４（Ａ）からノズル１２（Ａ）までの空気流路と同一の構成を有する。また、流量センサ２４（Ｄ）からノズル１２（Ｄ）までの空気流路、流量センサ２４（Ｆ）からノズル１２（Ｆ）までの空気流路、および流量センサ２４（Ｈ）からノズル１２（Ｈ）までの空気流路は、図６Ｂに示すような流量センサ２４（Ｂ）からノズル１２（Ｂ）までの空気流路と同一の構成を有する。したがって、代表して、流量センサ２４（Ａ）からノズル１２（Ａ）までの空気流路と、流量センサ２４（Ｂ）からノズル１２（Ｂ）までの空気流路とについて説明し、他の空気流路の説明は省略する。
【００８３】
図６Ａに示すように、流量センサ２４（Ａ）からノズル１２（Ａ）までの空気流路は、ノズル１２（Ａ）を支持するノズルシャフト１４（Ａ）と、ノズルシャフト１４（Ａ）を少なくともＺ軸方向に移動（摺動）可能に支持するスリーブ部材４６とを通過している。
【００８４】
具体的には、図６Ａに示すように、ノズル１２（Ａ）を下端側で支持するノズルシャフト１４（Ａ）は、Ｚ軸方向に移動可能に且つＺ軸中心に回転可能にスリーブ部材４６に挿通されて支持されている。このスリーブ部材４６を直接的または間接的に介して、マニホールドブロック４０のジョイント部４４がノズルシャフト１４（Ａ）と連結される。
【００８５】
スリーブ部材４６は、ノズルシャフト１４（Ａ）の外周面との間に形成されてＺ軸方向に延在するバッファ空間４６ａを有する。スリーブ部材４６のバッファ空間４６ａに、ジョイント部４４のノズル用ポート４４ｃが接続されている。具体的には、図３に示すように、ジョイント部４４の連結面４４ｂの下方側に形成されてノズル１２（Ａ）に対応するノズル用ポート４４ｃに、バッファ空間４６ａの下部が接続して連通している。
【００８６】
このような構成のスリーブ部材４６に支持されているノズルシャフト１４（Ａ）は、その内部に、Ｚ軸方向に延在してノズル１２（Ａ）に接続する内部流路１４ａ（Ａ）を有する。また、ノズルシャフト１４（Ａ）は、スリーブ部材４６のバッファ空間４６ａと内部通路１４ａ（Ａ）とを接続する貫通穴１４ｂ（Ａ）を有する。なお、ノズルシャフト１４（Ａ）の内部流路１４ａ（Ａ）は、ノズルシャフト１４（Ａ）内またはノズル１２（Ａ）内に配置された一次フィルタ２０（Ａ）を介してノズル１２（Ａ）に接続されている。
【００８７】
一方、図６Ｂに示すように、流量センサ２４（Ｂ）からノズル１２（Ｂ）までの空気流路は、ノズル１２（Ｂ）を支持するノズルシャフト１４（Ｂ）と、ノズルシャフト１４（Ｂ）をＺ軸方向に移動可能に且つＺ軸中心に回転可能に支持するスリーブ部材４８とを通過している。
【００８８】
図６Ｂに示すノズルシャフト１４（Ｂ）を支持するスリーブ部材４８は、図６Ａに示すノズルシャフト１４（Ａ）を支持するスリーブ部材４６のバッファ空間４６ａと同様のバッファ空間４６ｂを有する。すなわち、スリーブ部材４６のバッファ空間４６ａとスリーブ部材４８のバッファ空間４８ａは、同一の容積を持つように構成されている。ただし、スリーブ部材４６のバッファ空間４６ａと異なり、スリーブ部材４８のバッファ空間４８ｂは、その上部で、マニホールドブロック４０のジョイント部４４の連結面４４ｂの上方側に形成されてノズル１２（Ｂ）に対応するノズル用ポート４４ｃ’に接続して連通している。
【００８９】
このような構成のスリーブ部材４８に支持されているノズルシャフト１４（Ｂ）は、ノズルシャフト１４（Ａ）と同一の構成を有する。すなわち、ノズルシャフト１４（Ｂ）は、Ｚ軸方向に延在してノズル１２（Ｂ）に接続する内部流路１４ａ（Ｂ）と、スリーブ部材４８のバッファ空間４８ａと内部流路１４ａ（Ｂ）とを接続する貫通穴１４ｂ（Ｂ）を有する。
【００９０】
図６Ａおよび図６Ｂに示す構成によれば、二次フィルタ２２（Ａ）を収容する二次フィルタ収容部４２ｇと接続されたノズル用ポート４４ｃからノズル１２（Ａ）までの空気流路の容積と、二次フィルタ２２（Ｂ）を収容する二次フィルタ収容部４２ｇ’と接続されたノズル用ポート４４ｃ’からノズル１２（Ｂ）までの空気流路の容積とが略同一にされる。上述したように、負圧供給弁２６（Ａ）から二次フィルタ２２（Ａ）を収容する二次フィルタ収容部４２ｇまでの空気流路の容積と負圧供給弁２６（Ｂ）から二次フィルタ２２（Ｂ）を収容する二次フィルタ収容部４２ｇ’までの空気流路の容積とが略同一である。その結果、負圧供給弁２６（Ａ）および２６（Ｂ）それぞれが負圧の供給（または正圧の供給）を開始してから対応するノズル１２（Ａ）および１２（Ｂ）それぞれが部品を実際に吸着する（または部品をリリースする）までの時間が略同一にされる。
【００９１】
ここからは、図４に示すように、複数の流路センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）の半分がマニホールドブロック４０の本体部４２の上側面４２ｃに取り付けられ、残り半分が下側面４２ｄに取り付けられている理由について説明する。
【００９２】
図４に示すように、複数のノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）は、Ｘ軸方向（第２の方向）に一列に且つ例えばサイズ上可能な限り最小のピッチ間隔Ｐｎで並んでいる。
【００９３】
それに対して、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）に対応する流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）は、Ｘ軸方向（第２の方向）に二列に且つ例えばサイズ上可能な限り最小のピッチ間隔Ｐｓで並んでいる。
【００９４】
具体的には、ノズル１２（Ａ）、１２（Ｃ）、１２（Ｅ）、１２（Ｇ）に対応する流量センサ２４（Ａ）、２４（Ｃ）、２４（Ｅ）、２４（Ｇ）は、Ｘ軸方向（第２の方向）に一列に且つピッチ間隔Ｐｓで並んだ状態で、マニホールドブロック４０の本体部４２の下側面４２ｄに取り付けられている。
【００９５】
残りのノズル１２（Ｂ）、１２（Ｄ）、１２（Ｆ）、１２（Ｈ）に対応する流量センサ２４（Ｂ）、２４（Ｄ）、２４（Ｆ）、２４（Ｈ）は、Ｘ軸方向に一列に且つピッチ間隔Ｐｓで並んだ状態で、マニホールドブロック４０の本体部４２の上側面４２ｃに取り付けられている。
【００９６】
このように複数の流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）をＸ軸方向に向かって二列に上下に分けて配置する理由は、流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）のＸ軸方向のサイズがノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）のＸ軸方向のサイズに比べて大きく、そのために流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）をＸ軸方向に一列に並べると、移載ヘッド１０の大きくなる、特にＸ軸方向のサイズが大きくなるからである。
【００９７】
説明すると、移載ヘッド１０の大きさ、特にＸ軸方向のサイズは、Ｘ軸方向に向かって並ぶ複数のノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）の列の長さに依存する。すなわち、Ｘ軸方向に向かって並ぶ複数のノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）の列の長さに比べて、移載ヘッド１０のＸ軸方向のサイズを小さくすることはできない。
【００９８】
したがって、移載ヘッド１０をコンパクト化するために、移載ヘッド１０のＸ軸方向のサイズは、可能な限り最小のピッチ間隔ＰｎでＸ軸方向に並ぶ複数のノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）の列の長さに基づいて決定される。
【００９９】
このとき、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）のＸ軸方向のサイズに比べて大きいＸ軸方向のサイズを有する流量センサ２４（Ａ）〜１４（Ｈ）をＸ軸方向に一列に可能な限り最小のピッチ間隔Ｐｓで並べると、移載ヘッド１０のＸ軸方向のサイズを、複数のノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）の列の長さに基づいて決定することができない。
【０１００】
すなわち、複数のノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）をＸ軸方向に一列に且つ可能な限り最小のピッチ間隔Ｐｎで並べているにもかかわらず、Ｘ軸方向に一列に並ぶ流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）の列の長さに基づいて移載ヘッド１０のＸ軸方向のサイズを決定しなければならない。そのため、移載ヘッド１０をコンパクト化することができない。
【０１０１】
そこで、発明者は、流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）を、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）のように一列に並べるのではなく、複数列に分けて並べることを考えた。また、それを可能とするために、一列に並ぶ複数のノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）とノズル列方向（Ｘ軸方向）と同一方向に向かって二列に並ぶ流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）とを可能な限り最小長さの空気流路を介して接続するためのマニホールドブロック４０を、発明者は考えた。
【０１０２】
具体的には、図４に示すように、一部の流量センサ２４（Ａ）、２４（Ｃ）、２４（Ｅ）、２４（Ｇ）それぞれに接続される流量センサ用ポート４２ｈ（特許請求の範囲の「第１のセンサ用ポート」に対応）が、マニホールドブロック４０のＺ軸方向（第１の方向）（の一方側（下方側）（本実施の形態の場合、その本体部４２の下側面４２ｄ）でＸ軸方向（第２の方向）に並んで形成されている。
【０１０３】
また、残りの流量センサ２４（Ｂ）、２４（Ｄ）、２４（Ｆ）、２４（Ｈ）それぞれに接続される流量センサ用ポート４２ｈ’（特許請求の範囲の「第２のセンサ用ポート」に対応）が、マニホールドブロック４０のＺ軸方向（第１の方向）の他方側（上方側）（本実施の形態の場合、その本体部４２の上側面４２ｃ）でＸ軸方向（第２の方向）に並んで形成されている。
【０１０４】
さらに、図４に示すように、一部の流量センサ２４（Ａ）、２４（Ｃ）、２４（Ｅ）、２４（Ｇ）それぞれに接続される複数の下方側の流量センサ用ポート４２ｈと、残りの流量センサ２４（Ｂ）、２４（Ｄ）、２４（Ｆ）、２４（Ｈ）それぞれに接続される複数の上方側の流量センサ用ポート４２ｈ’との間で、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれに接続される複数のノズル用ポート４４ｃ、４４ｃ’がＸ軸方向に並んだ状態でマニホールドブロック４０（本実施の形態の場合、そのジョイント部４４において、ノズルシャフト側の連結面４４ａとマニホールドブロック４０の本体部４２側に対する連結面４４ｂ）に形成されている。
【０１０５】
さらにまた、マニホールドブロック４０において、下方側の流量センサ用ポート４２ｈに内部流路を介して接続されたノズル用ポート４４ｃと、上方側の流量センサ用ポート４２ｈ’に内部流路を介して接続されたノズル用ポート４４ｃ’とが交互にＸ軸方向に並んでいる。
【０１０６】
そして、下方側の流量センサ用ポート４２ｈと上方側の流量センサ用ポート４２ｈ’それぞれが、ノズル用ポート４４ｃとノズル用ポート４４ｃ’との（または対応するノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）の隣接間の）Ｘ軸方向のピッチのピッチ間隔Ｐｎに比べて大きいピッチ間隔ＰｓでＸ軸方向に並んでいる。
【０１０７】
このようなピッチ間隔Ｐｎ、Ｐｓの流量センサ用ポート４２ｈ、４２ｈ’とノズル用ポート４４ｃ、４４ｃ’とを有するマニホールドブロック４０を使用することにより、移載ヘッド１０の大きさを拡大することなく、可能な限り最小のピッチ間隔ＰｎでＸ軸方向に並ぶノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）それぞれに対して、対応する流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）を可能な限り最小長さの空気流路を介して接続することができる。その結果、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）のＸ軸方向のピッチ間隔Ｐｎを可能な限り最小化しつつ、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）に対応するマニホールドブロック４０が搭載された移載ヘッド１０をコンパクト化することができる。
【０１０８】
なお、本実施の形態の場合、図３および図４に示すように、マニホールドブロック４０のノズル用ポート４４ｃ、４４ｃ’は、Ｘ軸方向に向かって二列に並んでいる。すなわち、マニホールドブロック４０の本体部４２の上側面４２ｃに形成された流量センサ用ポート４２ｈ’に内部流路を介して接続されたノズル用ポート４４ｃ’が連結面４２ａの上方側にＸ軸方向に一列に並んでいる。一方、下側面４２ｄ形成された流量センサ用ポート４２ｈに内部流路を介して接続されたノズル用ポート４４ｃが連結面４２ａの下方側にＸ軸方向に一列に並んでいる。
【０１０９】
これは、図４に示すように、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）と接続する二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）が、そのＸ軸方向のサイズがノズルのピッチ間隔Ｐｎに比べて大きく、そのためにノズルのピッチ間隔Ｐｎに比べて大きいピッチ間隔ＰｓでＸ軸方向に向かって二列に並んでいるからである。すなわち、二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）をＸ軸方向に一列に並べると、マニホールドブロック４０が大型化し、これによりマニホールドブロック４０が搭載される移載ヘッド１０が大型化するからである。
【０１１０】
したがって、Ｘ軸方向に向かって上下に二列に並ぶ二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）と接続するために、図４に示すように、対応する二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）に接続されるノズル用ポート４４ｃ、４４ｃ’もＸ軸方向に向かって上下に二列に並んでいる。なお、二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）のＸ軸方向のサイズがノズルのピッチ間隔Ｐｎに比べて小さい場合、二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）をＸ軸方向に一列に並べるとともに、ノズル用ポート４４ｃ、４４ｃ’も交互にＸ軸方向に一列にならべることが可能である。
【０１１１】
以上、本実施の形態によれば、複数のノズルに１２（Ａ）〜１２（Ｈ）のピッチ間隔Ｐｎを可能な限り最小化しつつ、その複数のノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）が搭載された移載ヘッド１０をコンパクト化することができる。コンパクト化された移載ヘッド１０を用いることにより、部品実装を高速に行うことができる。
【０１１２】
上述の実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上述の実施の形態に限定されない。
【０１１３】
例えば、上述の実施の形態の場合、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）内の空気の流量を検出する流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）が使用されている。この流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）に代わって、ノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）内の圧力（真空圧力）を検出する圧力センサを使用することも可能である。例えば、負圧供給弁２６（Ａ）がノズル１２（Ａ）に負圧を供給しているときに圧力センサがノズル１２（Ａ）が正常に部品を吸着するときの圧力領域の負圧に満たないノズル内圧力を検出した場合、ノズル１２（Ａ）が部品を吸着していないまたはノズル１２（Ａ）が正常な姿勢で吸着していないことがわかる。このように、流量センサに代わって、圧力センサによってノズルが部品を正常に吸着していることを検出することができる。
【０１１４】
また、例えば、上述の実施の形態の場合、マニホールドブロック４０は、その内部に二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）を交換可能に収容するために、大別して２パーツ、すなわち本体部４２とジョイント部４４とによって構成されている。二次フィルタ２２（Ａ）〜２２（Ｈ）が不要である場合、すなわち一次フィルタ２０（Ａ）〜２０（Ｈ）で十分に異物の空気圧回路内への侵入を抑制できる場合、マニホールドブロック４０を大別して１パーツで構成してもよい。
【０１１５】
さらに、例えば、上述の実施の形態の場合、図３および図５に示すように、マニホールドブロック４０は、六面を有するおおむね直方体形状であって、ノズル用ポート４４ｃ、４４ｃ’が主面（ジョイント部４４のノズルシャフト側の連結面４４ａ）に形成され、その主面に対してＺ軸方向の一方側（下方側）および他方側（上方側）にそれぞれ配置された下側面４２ｄおよび上側面４２ｃに流量センサ用ポート４２ｈ、４２ｈ’が形成されている。すなわち、マニホールドブロック４０の異なる面に、ノズル用ポート４４ｃ、４４ｃ’と流量センサ用ポート４２ｈ、４２ｈ’とが形成されている。これに代わって、共通の面、例えばマニホールドブロック４０の主面に、ノズル用ポート４４ｃ、４４ｃ’と流量センサ用ポート４２ｈ、４２ｈ’を形成することも可能である。ただし、上述の実施の形態のように、マニホールドブロックの異なる面に、ノズル用ポートと流量センサ用ポートを分けて形成すれば、マニホールドブロックをよりコンパクト化することができ、その結果、マニホールドブロックを備える移載ヘッドをよりコンパクト化することができる。
【０１１６】
さらにまた、上述の実施の形態の場合、図３および図５に示すように、マニホールドブロック４０は、六面を有するおおむね直方体形状であって、その上側面４２ｃおよび下側面４２ｄに、流量センサ用ポート４２ｈ、４２ｈ’が形成されている。これに代わって、マニホールドブロック４０の左側面４２ｅおよび右側面４２ｆに、流量センサ用ポート４２ｈ、４２ｈ’を形成することも可能である。この場合、負圧源用ポート４２ｋおよび正圧供給弁用ポート４２ｊは、マニホールドブロック４０の左側面４２ｅおよび右側面４２ｆに形成されてもよいし、また上側面４２ｃおよび下側面４２ｄに形成されてもよい。
【０１１７】
すなわち、本発明に係るマニホールドブロックは、広義には、複数のセンサ（流量センサまたは圧力センサ）の一部である第１のセンサと接続するための複数の第１のセンサ用ポートと、複数のセンサの残りである第２のセンサと接続するための複数の第２のセンサ用ポートと、複数のノズルと接続するための複数のノズル用ポートと、第１および第２のセンサ用ポートそれぞれと対応するノズル用ポートとを接続する複数の内部流路とを備える。また、複数の第１のセンサ用ポートが、マニホールドブロックの第１の方向の一方側で、第１の方向と交差する第２の方向に並び、複数の第２のセンサ用ポートが、マニホールドブロックの第１の方向の他方側で、第２の方向に並んでいる。さらに、第１のセンサ用ポートに接続されたノズル用ポートと第２のセンサ用ポートに接続されたノズル用ポートとが、第２の方向に並ぶ複数の第１のセンサ用ポートと第２の方向に並ぶ複数の第２のセンサ用ポートとの間で、第２の方向に交互に並んでいる。そして、第１および第２のセンサ用ポートそれぞれの第２の方向のピッチ間隔がノズル用ポートの第２の方向のピッチ間隔に比べて大きい。このようなマニホールドブロックにより、マニホールドブロックを備える移載ヘッドがコンパクト化される。
【０１１８】
加えて、上述の実施の形態の場合、ノズル用ポート４４ｃ、４４ｃ’が形成されたマニホールドブロック４０の主面（ジョイント部４４のノズルシャフト側の連結面４４ａ）に対向する裏面４２ｂに、負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）に接続するための複数の第１〜第３の負圧供給弁用ポート４２ｍ、４２ｎ、４２ｐとが形成されている。また、共通の負圧源３０に接続するための負圧源用ポート４２ｋと正圧供給弁２８（Ａ）〜２８（Ｈ）に接続するための正圧供給弁用ポート４２ｊとが、マニホールドブロック４０の左側面４２ｅおよび右側面４２ｆとに形成されている。しかし、本発明は、これに限らない。
【０１１９】
例えば、負圧源用ポート４２ｋを、第１〜３の負圧供給弁用ポート４２ｍ、４２ｎ、４２ｐが形成された面であるマニホールドブロック４０の裏面４２ｂに形成することも可能である。すなわち、マニホールドブロック４０に対する複数種類のポートのレイアウトは多様である。ただし、マニホールドブロックのコンパクト化（すなわち移載ヘッドのコンパクト化）を考慮すると、上述の実施の形態のように、マニホールドブロックの複数の面それぞれに分散して複数のポートを形成するのが好ましい。
【０１２０】
また関連して言えば、上述の実施の形態の場合、エアチューブを介して共通の負圧源３０に接続される負圧源用ポート４２ｋと同様にエアチューブを介して正圧供給弁２８（Ａ）〜２８（Ｈ）に接続される正圧供給弁用ポート４２ｊとは、マニホールド４０の左側面４２ｅと右側面４２ｆとにそれぞれ形成される。このようにエアチューブが接続されるポートは、そのエアチューブのレイアウトや着脱等を考慮し、マニホールドブロックの面にそれぞれ共通して群として形成するのが好ましい。
【０１２１】
加えてまた、上述の実施の形態の場合、図２に示すように、正圧供給弁２８（Ａ）〜２８（Ｈ）を介して共通の正圧源３２がマニホールドブロック４０の正圧供給弁用ポート４２ｊに間接的に接続されているが、共通の正圧源３２を正圧供給弁用ポート４２ｊに直接的に接続することも可能である。すなわち、正圧供給弁用ポートが正圧源３２の正圧源用ポートに代わる。
【０１２２】
さらに加えて、上述の実施の形態の場合、複数の流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）および複数の負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）は、図１に示すように、マニホールドブロック４０に直接的に取り付けられることにより、直接的に流量センサ用ポート４２ｈ、４２ｈ’、４２ｉ、４２ｉ’および第１〜第３の負圧供給弁用ポート４２ｍ、４２ｍ、４２ｐに接続されている。これに代わって、複数の流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）および複数の負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）は、エアチューブを介して間接的に、マニホールドブロック４０の流量センサ用ポート４２ｈ、４２ｈ’、４２ｉ、４２ｉ’および第１〜第３の負圧供給弁用ポート４２ｍ、４２ｍ、４２ｐに接続されてもよい。
【０１２３】
最後に、上述の実施の形態の場合、図１に示すように、移載ヘッド１０は８基のノズル１２（Ａ）〜１２（Ｈ）を搭載し、対応して８基の流量センサ２４（Ａ）〜２４（Ｈ）と８基の負圧供給弁２６（Ａ）〜２６（Ｈ）とがマニホールドブロック４０に取り付けられているが、本発明はこれに限らない。本発明に係る移載ヘッドは、少なくとも２つのノズルと、ノズルと同数の流量センサとを備える。
【産業上の利用可能性】
【０１２４】
本発明は、部品を吸着するノズルを少なくとも２基搭載する移載ヘッドであれば適用可能である。
【符号の説明】
【０１２５】
１０                    移載ヘッド
１２（Ａ）〜１２（Ｈ）  ノズル
２２（Ａ）、２２（Ｃ）、２２（Ｅ）、２２（Ｇ）  第１のフィルタ（二次フィルタ）
２２（Ｂ）、２２（Ｄ）、２２（Ｆ）、２２（Ｈ）  第２のフィルタ（二次フィルタ）
２４（Ａ）、２４（Ｃ）、２４（Ｅ）、２４（Ｇ）  第１のセンサ（流量センサ）
２４（Ｂ）、２４（Ｄ）、２４（Ｆ）、２４（Ｈ）  第２のセンサ（流量センサ）
２６（Ａ）〜２６（Ｈ）  電磁弁（負圧供給弁）
３０                    負圧源
３２                    正圧源
４０                    マニホールドブロック
４２ｂ                  裏面
４２ｃ                  第２の面（上側面）
４２ｄ                  第１の面（下側面）
４２ｅ                  第３の面（左側面）
４２ｆ                  第３の面（右側面）
４２ｈ                  第１のセンサ用ポート（流量センサ用ポート）
４２ｈ’                第２のセンサ用ポート（流量センサ用ポート）
４２ｊ                  正圧供給弁用ポート（正圧源用ポート）
４２ｋ                  負圧源用ポート
４２ｍ                  第１の電磁弁用ポート（第１の負圧供給弁用ポート）
４２ｎ                  第２の電磁弁用ポート（第２の負圧供給弁用ポート）
４２ｐ                  第３の電磁弁用ポート（第３の負圧供給弁用ポート）
４４ｃ                  ノズル用ポート
４４ｃ’                ノズル用ポート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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