(57)【要約】      （修正有）【課題】電動機直結発電機装置を用いることなく、高電位部にあるフィラメントに大地電位部から当該フィラメント加熱用の電力を供給することができるようにするとともに高電位部の電圧を測定する。【解決手段】この電子線照射装置は、大地電位部にあるタンク２内に設けられていて高電圧印加部２２周りの電界集中を緩和する静電シールド体２６と、タンク２内の大地電位部に設けられた送電コイル３４と、それに高周波電力を供給する高周波電源４０と、静電シールド体２６内に設けられていて、電磁誘導によって送電コイル３４から送られた電力を受けてそれをフィラメント４に供給する受電コイル３６とを備えている。このようなシステムにおいて、フィラメント電源供給システムの一部を利用して当該装置の電圧を測定する。【選択図】図１
2015090789.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直流高電圧を発生し、高電位部におかれた電子源から発生される電子線を加速・照射する装置において、前記電子源をフィラメントを加熱し得る装置であって、タンク内の大地電位部に設置された送電コイルと、前記送電コイルに高周波電力を供給する高周波電源と、タンク内の高電位部に前記送電コイルと対向するように設けられ、前記送電コイルとの間の電磁誘導によって、前記送電コイルから送られた電力を受けて、当該電力を前記フィラメントを加熱するために供給する受電コイルとを備え、前記送電コイルに対向するタンク側領域に、非磁性体であり、かつ前記タンクの材料よりも高導電率の金属遮蔽板で覆っている構成において、前記金属遮蔽板を圧電振動子にて振動させ、タンク側からタンク電位に接続されたインピーダンス素子による電圧値を測定することにより、当該加速器の印加電圧を同定することを特徴とする電子線照射装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電子線照射装置において、高電位部と対向する側のタンク部位に隙間を設け、ベースとなる金属板の裏側に前記送電コイル、圧電素子を実装した金属遮蔽板を用意し、表側にこれらを計測・制御する部位を設け、この間を気密性の端子で接続するとともに、当該ベースとなる金属板はＯリング等の封止構造を用いて、表側を大気面と接する形態でタンクに結合される構造を有する電子線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィラメントを加熱し、発生させた電子を直流高電圧によって加速し、電子線として出力する電子線照射装置に関する。具体的には、高電位部の電圧測定手法に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
この種の電子線照射装置の従来例を図６に示す。この電子線照射装置は、フィラメント４を加熱し、発生させた電子を直流高電圧ＶＤによって加速し、電子線６として出力するものである。
【０００３】
より具体的には、この電子線照射装置は、大地電位部にあるタンク２を備えており、タンク２の中に、電子（熱電子）を発生させるフィラメント４、当該フィラメント４から発生させた電子を加速して電子線６として出力する加速管８、フィラメント４および加速管８に前記電子を加速する直流高電圧ＶＤ（例えば−１５０ｋＶ〜−５ＭＶ程度）を印加する直流高圧電源回路１０、および、高電位部にあるフィラメント４に大地電位部から当該フィラメント４の加熱用電力を供給する電動機直結発電機装置（Ｍ−Ｇ装置）１４が設けられている。
【０００４】
直流高電圧ＶＤが印加される部分である高電圧印加部２２には、フィラメント４、加速管８の一端、後述する発電機１８および静電シールド体２４が接続されており、全て高電位部にあるということができる。
【０００５】
高電位部の電圧は、通常抵抗分圧器５に示すように、抵抗―コンデンサを並列にした素子を多数直列にして大地側と接続し（以下ＣＲ分圧と表記）、分圧電圧を得る。
【０００６】
ＣＲ分圧方式の目的は、過度現象時の電圧分担をできるだけ均等にし、素子破壊を防ぐこと、および電圧測定時にリップル電圧を正確に評価することである。
【０００７】
加速管８は、公知のものであり、通常は複数の電極および複数の分圧抵抗器を有しているが、本図では分圧抵抗器の図示を省略している（後述する他の図においても同様）。
【０００８】
電動機直結発電機装置１４は、高電位部に設けられた発電機１８を、電気絶縁性を有する回転軸２０を介して大地電位部に設けられた電動機１６によって回転させ、発電機１８からフィラメント４にその加熱用の電力を供給する構造を有している。即ち、回転軸２０によって直流高電圧ＶＤを電気絶縁している。
【０００９】
電子線６の流量制御は、電動機１６の回転数を変化させることによって、発電機１８の起電力を制御して、フィラメント４に流すフィラメント電流を制御し、それによってフィラメント４から発生させる電子量を制御することによって実現している。
【００１０】
直流高圧電源回路１０は、公知のシェンケル形昇圧回路または公知のコッククロフト・ウォルトン形昇圧回路を含んでいる。
【００１１】
直流高電圧ＶＤが高電圧になるほど、回転軸２０の絶縁支持方法等に特別な工夫が必要になる。例えば、回転軸を数段の軸を接続する構造にして、軸の中間点で、直流高圧電源回路１０の中間点電位で電位固定する等の構造が必要である。これは、回転軸２０における電位分担のバランスを良くするためである。
【００１２】
タンク２内において、直流高電圧ＶＤが印加される高電圧印加部２２の周り、具体的には、フィラメント４、加速管８の頂上部、および発電機１８の周りは、高電圧印加部２２周りの電界集中を緩和するものであって、上面が閉じた筒状の静電シールド体２４によって囲まれている。
【００１３】
上記電動機直結発電機装置１４と同様の電動機直結発電機装置を備えた電子線照射装置の例が特許文献１、２に記載されている。
【００１４】
発明者らはこの電動機直結発電方式に変えて、電磁誘導原理を利用してエネルギー供給する方式を特願２０１２−２８２０８４にて提案している。
【００１５】
特願２０１２−２８２０８４の趣旨はタンク内の大地電位部に設置された送電コイルと、前記送電コイルに高周波電力を供給する高周波電源と、タンク内の高電圧電位部に前記送電コイルと対向するように設けられていて、前記送電コイルとの間の電磁誘導によって、前記送電コイルから送られた電力を受けて当該電力を前記フィラメントを加熱するために供給する受電コイルとを備える構成である。
【００１６】
【特許文献１】特開２００１−３０５２９６号公報
【特許文献２】特開２００１−３４９９９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
特願２０１２−２８２０８４の趣旨により、上述した従来の電子線照射装置は、高電位部から大地側に接続させる電動機直結発電構造体をなくすことに成功したが、電圧測定のために多数のＣＲ分圧器を直列接続しているため以下の課題がある。
【００１８】
（１）特に高電圧のシステムとなると装置内部放電等の過度現象で発生する過電圧に対してＣＲ分圧器が破壊する恐れがある。
【００１９】
（２）直流高圧電源回路１０は、通常は昇圧回路に多くの整流器およびコンデンサ（またはコンデンサを形成する電極）を含んでおり、直流高圧電源回路１０や加速管８の間にＣＲ分圧器を通す必要があるので、装置のコンパクト化が難しい。
【００２０】
本発明は、ＣＲ分圧器を用いることなく、高電位部との空間のキャパシタを利用して当該電圧を測定する方式の電子線照射装置を提供することを主たる目的としている。
【００２１】
本発明に係る電子線照射装置は、高電位部と対向するタンクの大地側電位近傍に、高電圧部と浮遊容量を構成すべく板状の電極を配置し、前記電極に圧電振動子を付加し微小振動させることにより得た、浮遊容量変化分に起因する電流を、電極と大地側を適切な抵抗器で接続し、この両端の電圧を測定することで、高圧電源の変成信号を得ようとするものである。
【００２２】
更に、前記電極には特願２０１２−２８２０８４の請求項３に提案している磁気シールド板を利用する。
【発明の効果】
【００２３】
請求項１に記載の発明によれば、タンク内の大地電位部に設けられた送電コイルから、空間を通して電磁誘導によって、静電シールド体内に設けられた受電コイルに電力を送ることにより、高電位部にあるフィラメントを加熱するための電力を供給することができる。
従って、電動機直結発電機装置を用いることなく、高電位部にあるフィラメントに大地電位部からフィラメント加熱用の電力を供給するとともに、磁気誘導の損失を防ぎ効率を高めるために設置した金属遮蔽板を電極として用いることにより、ＣＲ分圧器を不要にして電子線照射装置の印加電圧を測定する手段を供給できる。
【００２４】
その結果、電子線照射装置には大地間に直接接続される電動機直結発電機装置、ＣＲ分圧器を省略できることになる。同時に、主機器である直流高圧電源回路や加速管等の構成要素の配置が容易になるとともに、全体形状のコンパクト化（細径化）が可能になり、内部に封入する絶縁ガス（六フッ化硫黄：ＳＦ６）の使用量を削減することが可能である。ＳＦ６ガスは絶縁性能が高い反面、地球温暖化係数の高いガスでもある為、使用量を削減することで環境への負荷を軽減できる。
【００２５】
請求項２に記載の発明は、請求項１の発明による構造的な組み合わせ形状を提案する。本請求項の構造体を有すれば、組みあがった電子線照射装置の上部から、フィラメント給電及び電圧計測のための補機機能を一体化して実装可能な形態を提案するものであり、システム実現上の分割思想として卓越している。
【００２６】
このように、電圧測定方式の変更とフィラメント給電方式の変更を同時に行えば、当該タンクの中はスペース的に大きな優位点が生まれ、トータルのコストダウンが期待できることになる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】この発明に係る電子線照射装置の一実施形態を示す概略断面図である。
【図２】振動体電極を用いて、容量の変動分ΔＣの測定を示す模式図である。
【図３】フィラメントドライブと、電圧測定回路のブロック図である。
【図４】加速管の分担抵抗体と電子線電流との関係を示す模式図である。
【図５】タンク２上面部分の断面図である。
【図６】従来の電子線照射装置の一例を示す概略断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
まずここでは本発明と密接に関係のある、当該フィラメントへの電源供給を電磁誘導を利用して非接触にて行う方法の概略を説明し、この方式に対する本考案の適用形態を説明する。
【００２９】
図１に、本発明に係る電子線照射装置の一実施形態を示す。図６に示した従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下においては当該従来例との相違点を主体に説明する。
【００３０】
図１は、フィラメント４を加熱して発生させた電子を、直流高電圧ＶＤによって加速して電子線６として出力するものである。
【００３１】
具体的には、図１は、電気的に接地されていて大地電位部にあるタンク２を備えており、内部には、電子（熱電子）を発生させるフィラメント４、フィラメント４から発生させた電子を加速して電子線６として出力する加速管８、フィラメント４および加速管８に前記電子を加速する直流高電圧ＶＤを印加する直流高圧電源回路１０が設けられている。
【００３２】
タンク２内には、通常は絶縁ガス（例えばＳＦ６ガス）が充填されている。後述するタンク２ａ、２ｂ内も同様である。
【００３３】
フィラメント４は、具体的には加速管８の一端部（頂上部）内に設けられている。
【００３４】
加速管８は、公知のものであり、通常は複数の電極および複数の分圧抵抗器を有している。
【００３５】
直流高圧電源回路１０から出力する直流高電圧ＶＤは、例えば、−１５０ｋＶ〜−５ＭＶ程度であるが、前記範囲内に限られるものではない。直流高電圧ＶＤが印加される部分である高電圧印加部２２には、フィラメント４の一端、加速管８の一端、後述する静電シールド体２６および受電コイル３６の一端が接続されており、これらは全て、高電位部にある。
【００３６】
直流高圧電源回路１０は、特許第４９９２６４９号公報、特開平１１−２２５４７６号公報等に記載されているような公知のシェンケル形昇圧回路を含んでいる。
【００３７】
直流高圧電源回路１０は、シェンケル形のものに限られるものではなく、それ以外の直流高圧電源回路でも良い。例えば、特開２００７−３７２６８号公報等に記載されているような公知のコッククロフト・ウォルトン形昇圧回路を含んでいても良い。
【００３８】
タンク２内において、直流高電圧ＶＤが印加される高電圧印加部２２の周りは、具体的には、少なくともフィラメント４および加速管８の一端部（頂上部）の周りは、電界集中を緩和する筒状の静電シールド体２６によって囲まれている。
【００３９】
タンク２内の大地電位部であって静電シールド体２６と対向する部分に送電コイル３４を設けている。この例では、送電コイル３４をタンク２内の上部に設けているが、タンク２内の側部に設けても良い。その場合は、後述する受電コイル３６も、当該側部の送電コイル３４に対向するように設ければ良い。この送電コイル３４の一端および後述する高周波電源４０の一端は電気的に接地されている。
【００４０】
送電コイル３４に高周波電力を供給して磁束３８を発生させる高周波電源４０を、この例ではタンク２外に設けている。４２は電流導入端子である。但し高周波電源４０は、タンク２内に設けても良い。高周波だから磁束３８の向きは周期的に反転する。この高周波電源４０が出力する高周波電力の周波数は、例えば、１０〜３００ｋＨｚ程度の範囲内、より具体的には２０〜５０ｋＨｚ程度の範囲内であるが、前記範囲内に限られるものではない。
【００４１】
上記のような送電コイル３４および受電コイル３６を用いて電力伝送を行う場合、受電コイル３６を収納している静電シールド体２６が図１に示したような従来の静電シールド体２４と同じ構造をしていたのでは、静電シールド体内に大きな渦電流が流れて逆方向磁束（逆方向になるのはレンツの法則による。以下同様）が発生する等の理由によって、効率の良い電力伝送を行うことはできない。そのために、静電シールド体２６には開口部を有する構造を採用している。
【００４２】
本電子線照射装置によれば、タンク２内の大地電位部に設けられた送電コイル３４から、空間を通して電磁誘導によって、静電シールド体２６内に設けられた受電コイル３６に電力を送って、高電位部にあるフィラメント４を加熱するための電力を供給することができる。従って、従来例のような電動機直結発電機装置を用いることなく、高電位部にあるフィラメント４に大地電位部から当該フィラメント４加熱用の電力を供給することができる。
【００４３】
その結果、電動機直結発電機装置を用いている場合の前述した課題を解決することができる。
【００４４】
即ち、回転軸の位置合わせ調整が不要になるので、装置の組立および調整の簡素化を図ることができる。
【００４５】
タンク２は、通常は鉄のような磁性体金属で構成されている。タンク２内に設けられている送電コイル３４が発生する磁束３８はタンク２の壁面を横切ることになり、そのままだとタンク２の壁面内で大きな渦電流損が発生する恐れがある。そこでこの渦電流損を解消するために、次に述べるような金属４４を設けるのが望ましい。
【００４６】
図１に示すように、タンク２の内面の少なくとも送電コイル３４に対向する領域を、非磁性体であり、かつタンク２の材料よりも高導電率の金属４４で覆っていても良い。図１では、金属４４は送電コイル３４に対向する領域よりも幾分大きい領域を覆っている。
【００４７】
金属４４の材質は、例えば、銅、アルミニウム等である。即ち金属４４は、例えば、銅板、アルミニウム板等である。
【００４８】
金属４４は、図１では、金属製のボルト４６によって、タンク２の内面に固定されているが、この固定方法に限られるものではない。後述する本考案での応用ではこの電極から信号を検出するため、タンク電位から絶縁して取り付ける必要がある。
【００４９】
送電コイル３４近傍のタンク２内面を上記金属４４で覆っておくと、送電コイル３４近傍のタンク２内で発生する渦電流損を小さくすることができる。なぜならば、送電コイル３４に高周波電源４０から供給する電力は、前述したような周波数の高周波電力であり、高周波の場合は、タンク２に通常使用される鉄板のように磁性体で導電率が小さいと大きな渦電流損が発生するので、タンク内面を上記の非磁性体で高導電率の金属４４で覆うことによって、渦電流損を小さくすることができるからである。
【００５０】
前記渦電流損について詳述すると次のとおりである。
【００５１】
前述したような周波数ｆの高周波磁場印加によってタンク２や金属４４のような金属内に流れる渦電流は、表皮効果のために、送電コイル３４側のごく薄い表面（下記で表される表皮厚さδ程度）に集中して流れる。
【００５２】
そのために、渦電流路の抵抗Ｒeは下記で示すようになり、金属の透磁率μの平方根に比例し、導電率σの平方根に反比例する。ここで、Ａは渦電流路の幅、Ｌは渦電流路の長さである。
【００５３】
（数１）
δ＝√（１／πｆμσ）
【００５４】
（数２）
Ｒｅ＝Ｌ／σδＡ∝√（πｆμ／σ）
【００５５】
金属と鎖交する磁束の時間微分である誘電電圧をＶｅとすると、商用周波数（５０Ｈｚまたは６０Ｈｚ）の場合は、一般的に渦電流損はＶｅ２／Ｒｅで与えられるけれども、上記のような周波数ｆの高周波の場合は、渦電流経路のリアクタンス成分Ｘｅが無視できなくなり、渦電流Ｉe ≒Ｖｅ／Ｘｅで与えられるようになる。即ち、ＶｅおよびＸｅが一定ならば渦電流Ｉｅはほぼ一定になる。従って、渦電流損Ｐｅは、次式で近似することができる。
【００５６】
（数３）
Ｐｅ＝Ｉｅ２ ・Ｒｅ∝Ｉｅ２ √（πｆμ／σ）
【００５７】
数３からも分るように、鉄などのように磁性体や抵抗率の大きな金属（即ち透磁率μが大きく導電率σが小さい金属）は、抵抗Ｒｅが大きくなり大きな渦電流損Ｐｅが発生する。
【００５８】
対して、タンク２の内表面を、上記のように非磁性体で高導電率の金属４４（即ち透磁率μが小さく導電率σが大きい金属）で覆うと、上記数３からも分るように、金属４４内においては、渦電流は小さな抵抗Ｒｅで流れるようになり、従って渦電流損Ｐｅを小さくすることができる。
【００５９】
一例を示すと、タンク２用に一般的な熱間圧延鋼板（ＳＳ４００）と、金属４４の一例として用いられる銅板とを比較すると、ＳＳ４００の導電率σは約６．１×１０6 ／Ωｍ、比透磁率は約１３００である。銅板の導電率σは約５．８×１０7 ／Ωｍ、比透磁率は約１である。従って、仮に両者に同じ高周波磁場が印加されたとすると、ＳＳ４００に比べて銅板内における渦電流損Ｐｅ
は約１／１００になる。従って、金属４４を設けない場合のタンク２内での渦電流損よりも、金属４４を設けた場合の当該金属４４内での渦電流損の方が、上記程度に小さくなることが期待できる。
【００６０】
ただし、図１に示す装置では、送電コイル３４が発生させる磁束３８は、金属４４内を流れる渦電流が作る反対方向の磁束によって言わば遮蔽されるようになり、タンク２へは殆ど届かなくなる、つまり送電コイル３４の背面側の磁束３８は主として送電コイル３４と金属４４との間を通るようになるけれども、幾らかはタンク２内を通る。それでも、タンク２内を通る磁束は非常に少なくなるので、タンク２内での渦電流損も小さくなる。この場合のタンク２内での渦電流損と金属４４内での渦電流損とを合計しても、金属４４で覆わない場合のタンク２内での渦電流損よりは小さくなる。例えば約１／５以下程度になる
ことが期待できる。
【００６１】
このように、送電コイル３４近傍のタンク２内面を金属４４で覆うことによって渦電流損を小さくすることができるので、タンク２の局部的な加熱を抑制することができると共に、送電コイル３４から受電コイル３６への電力伝送効率をより向上させることができる。
【００６２】
なお、金属４４でタンク２の内面を覆う領域を広くする方が、上記効果は大きくなる。
【００６３】
以上、特願２０１２−２８２０８４に示した非接触給電方法の概説であるが、この機能と組み合わせた今回考案のポイントを以降に説明する。まずは静電場の測定についてである。現状構成のような抵抗分圧では計測上の困難性はないが、今回の提案はこれを非接触にて測定しようとするものである。
【００６４】
この方式では、先に述べた図１の磁気シールド板（金属）４４に圧電素子を張り付け、電圧測定のための空間の容量の変化を発生させることである。
【００６５】
図２を用いて原理動作を説明する。金属４４に貼り付けた圧電素子４５に信号を加えることにより、圧電素子４５を含む電極板４７は上下に微小振動する。この時空間の距離が変化し、直流高圧部との結合容量が変化する。前記の変動分ΔＣにより大地間との間で、振動電流５０が流れる。振動電流５０を金属４４と大地間に接続された抵抗器５１による電位変化として測定するものである。
ここでは抵抗器を用いてその振動電流を測定しようとしているが、必ずしも抵抗器でなくコンデンサを利用してもよい。
なお、図２及び後述の図３は理解の容易さを鑑み、実際のアプリケーションとは上下を逆に表示している。
【００６６】
ここで、試算としての検出感度を求めてみる。
まずΔＣの大きさを推定する。
振動体変位：１μｍ
高圧部との絶縁距離：１ｍ
高圧部との結合容量：１ｐＦ
とすると
ΔＣ＝１ｐＦ×（１μｍ/１ｍ）＝１０-18Ｆ
周波数10ｋＨzで振動すると、この時のインピーダンス変化ＺΔＣは
ＺΔＣ＝１／（２π×１０×１０3×１０-18Ｆ）
＝１０13Ω
振動電流は印加電圧１ＭＶとすると、振動電流ｉは
i＝１０6Ｖ／１０13Ω
＝１０-7Ａ
この時、測定抵抗を１ＭΩとすると、検出電圧ｖは
ｖ＝１０6Ω×１０-7Ａ＝１０-１Ｖ
これは十分測定可能範囲に入る。
以上、理論的な検出電圧は
ｖ＝Ｒ（検出抵抗値）×ＶＤ（高圧電圧）／ＺΔＣ（振動によるインピーダンス変化）
となる。
【００６７】
この試算により、十分測定可能な比例信号になることが判明したが、問題となるのはこの分圧比（ｖ／ＶＤ）の同定である。幸いなことにこれら加速器は加速管を擁している。加速管は加速電圧の分担のため、高抵抗体で分圧しその中間電位を定める構造をしている。この分圧電圧を利用して校正することは可能である。
【００６８】
ならば、この加速管の分圧抵抗にて電圧測定をすることも考えられるが、後述のように、電子線照射時には電子線の一部が加速管壁面に衝突し、分圧抵抗体を流れるので、実際のアプリケーションにおいては無視できない誤差が出ることになる。ただし、電子線を発生させない時点での分圧は問題ないものとできる。したがって、無負荷時点の運転時に振動容量変化型の検出感度は校正可能となる。
【００６９】
図４に加速管の分担抵抗体と電子線電流の関係を示す模式図を示す。フィラメント４を加熱して電子源が発生しないときは、単なる抵抗分圧の電圧値を得ることができるが、電子流５２を発生させた場合、分圧部分の色々な領域に電子流５２が漏れ、混入することが考えられ、実運用時の継続的な測定は困難である。
【００７０】
図３にフィラメントドライブと当該電圧測定回路のブロック図を示す。図３では大地側電位の機器と高電位部を破線で分離してある。フィラメント１０４の駆動は大地側の送電コイル励磁用高周波電源１０１にて送電コイル１０２を介して受電コイル１０３に電力伝達がなされる。
【００７１】
一方、電圧測定部は圧電素子駆動用発信器１０５から磁気シールド板１０６に張り付けた圧電素子１０７に電力供給する。磁気シールド板１０６から大地に接続された検出抵抗器１０８の電圧を検出し、増幅器１０９にて信号増幅を行い、整流平滑部１１０にて直流信号に変換され、システムの電圧制御に供する信号となる。
【００７２】
磁気シールド板１０６の後方に電圧検出回路を用意することは、フィラメント駆動用の磁場をシールドできることになり、対ノイズ性能向上、信号検出感度向上に非常に有用な手段である。
【００７３】
以上のように、フィラメント電源供給と電圧測定については、空間（電界や磁界）を利用した形態に変更することができた。本発明により、全体形状のスリム化・トータルコストの大幅なダウンが期待できる。
【００７４】
最後に、請求項２に述べている構造体について図５を用いて説明する。図５は本考案を実施した場合のタンク２の上部断面を示す。１２０は図３にも記載されている大地側の計測・制御部を示す。１２０はベース金属板１２３に実装される。各種信号は密封端子１２２を介してタンク２内に導入される。タンク２内側ではこれまで説明している送電コイル３４，磁気シールド板１０６，圧電素子１０７の部品がベース金属板１２３に支持される形で電気的には密封端子１２２と接続される。
【００７５】
本発明の一式の機能が実装されたベース金属板１２３はタンク２の高圧対向部分の隙間が空けられた部位に装着され、結合部はＯリング１２１を用いて封入される構造となる。
【００７６】
前記のように構成することで、当該部分がモジュール構成でき、組立・メンテナンス上の簡便性を提供できる。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明に係る電子線照射装置は、例えば、被照射物に電子線を照射して、殺菌、架橋、改質、排ガス処理（脱硫、脱硝等）等の処理を施すこと等に利用することができる。
【符号の説明】
【００７８】
２ タンク
４ フィラメント
５ 抵抗分圧器
６ 電子線
８ 加速管
１０ 直流高圧電源回路
１２ 電子線電流検出部
１４ 電動機直結発電機装置（Ｍ−Ｇ装置）
１８ 発電機
２０ 回転軸
２２ 高電圧印加部
２４ 静電シールド体
２６ 静電シールド体
２８ 開口部
３０、３２ 隙間
３４ 送電コイル
３６ 受電コイル
３８ 磁束
４０ 高周波電源
４４ 金属
４５ 圧電素子
４６ 金属製のボルト
４７ 電極板
４８ 第２の静電シールド体
５０ 振動電流
５１ 検出抵抗器
５２ 電子流
７２ 高電圧印加部
ＶＤ 直流高電圧
１０１  送電コイル励磁用高周波電源（前記４０と同じもの）
１０２  送電コイル（前記の３４と同じものを回路シンボルにて記述）
１０３  受電コイル（前記の３６と同じものを回路シンボルにて記述）
１０４  フィラメント（前記の４と同じものをブロック図で記述）
１０５  圧電素子駆動用発信器
１０６  磁気シールド板（前記の４４と同じものをブロック図で記述）
１０７  圧電素子（前記の４５と同じものをブロック図で記述）
１０８  検出抵抗器（前記の５１と同じものをブロック図で記述）
１０９  増幅器
１１０  整流平滑部
１２０  計測・制御部
１２１  Ｏリング
１２２  密封端子
１２３  ベース金属板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図５】
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