(57)【要約】【課題】小型化が可能な殺菌装置及び殺菌方法を提供すること。【解決手段】殺菌装置１は、供給された過酸化水素水及び空気を混合して噴射することで、過酸化水素水を霧状にする二流体ノズル１１と、二流体ノズル１１から噴射された過酸化水素水を加熱し、気化させる加熱装置１３と、を備える構成とする。構成とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給された過酸化水素水及び空気を混合して噴射することで、過酸化水素水を霧状にする二流体ノズルと、
前記二流体ノズルから噴射された前記過酸化水素水を加熱し、気化させる加熱装置と、
を備えることを特徴とする殺菌装置。
【請求項２】
前記二流体ノズルに前記過酸化水素水を供給するポンプと、
前記二流体ノズルに前記空気を供給するエアコンプレッサと、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の殺菌装置。
【請求項３】
前記二流体ノズル及び前記エアコンプレッサと接続され、前記二流体ノズルから噴射される前記過酸化水素水及び前記エアコンプレッサから供給される前記空気を合流させて二次側に移動させる合流管を備えることを特徴とする請求項２に記載の殺菌装置。
【請求項４】
前記加熱装置は、前記合流管の二次側に設けられ、前記過酸化水素水及び前記空気を通過させることで、前記過酸化水素水を加熱することを特徴とする請求項３に記載の殺菌装置。
【請求項５】
前記加熱装置は、前記合流管の一次側であって、前記エアコンプレッサの二次側に設けられ、前記エアコンプレッサから供給される前記空気を通過させることで前記空気を加熱することを特徴とする請求項３に記載の殺菌装置。
【請求項６】
前記合流管の二次側に設けられ、液状の過酸化水素水を回収する回収装置を備えることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の殺菌装置。
【請求項７】
前記二流体ノズル及び前記ポンプ、前記二流体ノズル及びエアコンプレッサ、並びに、前記合流管及び前記エアコンプレッサは、可撓性を有する配管で接続され、
前記二流体ノズル、前記合流管及び前記加熱装置は、持ち運び可能に一体に構成されることを特徴とする請求項３に記載の殺菌装置。
【請求項８】
二流体ノズルにより供給された過酸化水素水及び空気を混合して霧状の過酸化水素水を噴射し、
噴射された前記過酸化水素水を加熱装置により加熱して気化させる、
ことを特徴とする殺菌方法。
【請求項９】
ポンプにより前記二流体ノズルに前記過酸化水素水を供給し、
エアコンプレッサにより前記二流体ノズルに前記空気を供給する、
ことを特徴とする請求項８に記載の殺菌方法。
【請求項１０】
前記二流体ノズル及び前記エアコンプレッサが合流管により接続され、前記エアコンプレッサにより前記合流管に空気を供給し、前記二流体ノズルから噴射される前記過酸化水素水及び前記エアコンプレッサから供給される前記空気を合流させて二次側に移動させる、ことを特徴とする請求項９に記載の殺菌方法。
【請求項１１】
前記加熱装置は、前記合流管の二次側に設けられ、前記過酸化水素水及び前記空気を通過させることで、前記過酸化水素水を加熱することを特徴とする請求項１０に記載の殺菌方法。
【請求項１２】
前記加熱装置は、前記合流管の一次側であって、前記エアコンプレッサの二次側に設けられ、前記エアコンプレッサから供給される前記空気を通過させることで前記空気を加熱することを特徴とする請求項１０に記載の殺菌方法。
【請求項１３】
前記合流管の二次側に設けられ、液状の前記過酸化水素水を回収する回収装置により、前記加熱装置により加熱された前記過酸化水素水のうち、液状の前記過酸化水素水を回収することを特徴とする請求項１１又は請求項１２に記載の殺菌方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、過酸化水素ガスを用いて殺菌を行う殺菌装置及び殺菌方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、密閉空間や密閉空間に配置された製品や装置等の対象物を殺菌する方法として、ホルムアルデヒドを用いた薫蒸殺菌する技術が知られていた。しかし、ホルムアルデヒドは発がん性を指摘されており、人体への影響等の問題がある。そこで、安全性や生産性の高い過酸化水素ガス（Vapor Hydrogen Peroxide）を用いた殺菌方法が知られている。
【０００３】
このような過酸化水素ガスを用いた殺菌装置として、発生器を備え、発生器から過酸化水素ガスを密閉空間内に供給して充満させることで、過酸化水素ガスのラジカルにより微生物のＤＮＡ、細胞壁又は酵素等を破壊して殺菌を行う技術が知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００４】
また、多孔性包材からなる包装容器に封入されたプレフィルドシリンジの表面を殺菌するために、プレフィルドシリンジの表面温度を管理するとともに、その後、別の温度及び湿度を管理して殺菌を行う殺菌方法も知られている（例えば、特許文献３参照）。他にも、密閉空間内の過酸化水素蒸気の濃度を急速に上昇させ、その後、当該濃度が所定濃度以下となった場合に、密閉空間の過酸化水素蒸気を除去する殺菌方法も知られている（例えば、特許文献４参照）。
【０００５】
このような殺菌装置に用いられる発生器は、過酸化水素水を貯留するタンクと、所定の温度に加熱されるプレートヒータと、プレートヒータにタンク内の過酸化水素水を供給する供給手段と、を備える構成が知られている。発生器は、プレートヒータに過酸化水素水を適量供給することで、過酸化水素ガスを発生可能に形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−３２０４８６号公報
【特許文献２】特開２００５−１４３７２７号公報
【特許文献３】特開２０１０−５７５９７号公報
【特許文献４】特開２００５−３１２７９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した殺菌装置では、以下の問題があった。即ち、上述した殺菌装置の発生器は、定置式の熱源（プレートヒータ）があり、発生したガスを拡散させるブロアが必要となる。さらにこのような熱源部を外郭部材に収納しなければならない構成であることから、これらを組み合せた殺菌装置は大型となる、という問題があった。このためクリーンルームのような大規模空間（例えば、数百ｍ３レベル）に適用することは可能であるが、一般居室（例えば、数十ｍ３レベル）への適用は難しい。そこで、小型化が可能な殺菌装置の要望があった。
【０００８】
そこで本発明は、小型化が可能な殺菌装置及び殺菌方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決し目的を達成するために、本発明の殺菌装置及び殺菌方法は、次のように構成されている。
【００１０】
本発明の一態様として、殺菌装置は、供給された過酸化水素水及び空気を混合して噴射することで、過酸化水素水を霧状にする二流体ノズルと、前記二流体ノズルから噴射された前記過酸化水素水を加熱し、気化させる加熱装置と、を備える。
【００１１】
本発明の一態様として、殺菌方法は、二流体ノズルにより供給された過酸化水素水及び空気を混合して霧状の過酸化水素水を噴射し、噴射された前記過酸化水素水を加熱装置により加熱して気化させる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、小型化が可能な殺菌装置及び殺菌方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係る殺菌装置の構成を模式的に示す斜視図。
【図２】同殺菌装置の構成を模式的に示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施形態に関わる殺菌装置１の構成を、図１及び図２を用いて説明する。  
図１は本発明の一実施形態に係る殺菌装置１の構成を模式的に示す斜視図、図２は殺菌装置１の構成を模式的に示す説明図である。
【００１５】
殺菌装置１は、室内等の空間や殺菌対象物を過酸化水素ガス（ＶＨＰ：Vapor Hydrogen Peroxide）により殺菌可能に形成されている。殺菌装置１は、殺菌を行う空間、又は、殺菌対象物の周囲の空間の過酸化水素ガスの濃度（ＶＨＰ濃度）が低濃度帯での殺菌に用いられる。ここで、低濃度帯とは、人体及び装置に損傷を与えることが防止可能な空間のＶＨＰ濃度であって、例えば、空間内の過酸化水素ガスの濃度が１００ｐｐｍ以下の範囲である。
【００１６】
図１に示すように、殺菌装置１は、過酸化水素ガスを空間又は殺菌対象物に供給する供給装置５と、供給装置５を駆動する駆動装置６と、を備えている。殺菌装置１は、供給装置５及び駆動装置６が配管７及び信号線８によって流体的及び電気的に接続されている。
【００１７】
殺菌装置１は、空間又は殺菌対象物に対して供給装置５を移動可能、且つ、過酸化水素ガスを供給可能に形成される。
【００１８】
なお、殺菌装置１に用いられる過酸化水素水は、例えば、３５ｗ／ｗ％の濃度の過酸化水素水が用いられる。
【００１９】
また、殺菌装置１は、二流体ノズル１１と、合流管１２と、加熱装置１３と、回収タンク１４と、エアコンプレッサ１５と、ポンプ１６と、タンク１７と、加熱装置調整手段１８と、制御部１９と、を備えている。
【００２０】
殺菌装置１は、エアコンプレッサ１５で供給された空気及びポンプ１６で供給された過酸化水素水を二流体ノズル１１で噴射し、この噴射された過酸化水素水を加熱装置１３で加熱することで、過酸化水素ガスを発生可能に形成されている。
【００２１】
供給装置５は、使用者が支持可能、且つ、支持した状態で移動（持ち運び）可能な大きさに形成されている。供給装置５は、二流体ノズル１１、合流管１２、加熱装置１３及び回収タンク１４を一体に接続することで、使用者によって搬送可能に形成されている。
【００２２】
駆動装置６は、外郭体２１を備え、外郭体２１内にエアコンプレッサ１５、ポンプ１６、タンク１７、加熱装置調整手段１８及び制御部１９を収納することで構成される。また、駆動装置６は、外郭体２１に複数のキャスター２２を備え、供給装置５の移動に伴って移動可能に形成されている。
【００２３】
配管７は、例えば、可撓性を有している。より具体的には、供給装置５及び駆動装置６を接続する配管７は、少なくとも可撓性を有する。例えば、二流体ノズル１１及びエアコンプレッサ１５、合流管１２及びエアコンプレッサ１５、並びに、二流体ノズル１１及びポンプ１６を接続する配管７は、可撓性を有する。また、過酸化水素水を通過させる配管７は、耐食性を有する材料で形成される。信号線８は、例えば、可撓性を有している。より具体的には、供給装置５及び駆動装置６を接続する信号線８は、少なくとも可撓性を有する。
【００２４】
二流体ノズル１１は、配管７を介してエアコンプレッサ１５及びポンプ１６に接続される。二流体ノズル１１は、液体及び気体を混合して噴射可能に形成されている。具体的には、二流体ノズル１１は、エアコンプレッサ１５で供給された空気及びポンプ１６で供給された過酸化水素水を混合することで、過酸化水素水を霧状に噴射可能に形成されている。
【００２５】
合流管１２は、二流体ノズル１１が設けられるとともに、エアコンプレッサ１５に配管７を介して接続されている。合流管１２は、エアコンプレッサ１５から供給された空気を通過可能、且つ、通過する空気の流れ方向に対して二流体ノズル１１から噴射される過酸化水素水が交差して通過する空気の流れ合流するように、二軸が交差して形成される。即ち、合流管１２は、流体の供給側が２つ設けられるとともに、中途部で合流することで、吐出側が１つのみ設けられる。
【００２６】
合流管１２は、例えば、エアコンプレッサ１５から供給された空気の流れ方向に対して、二流体ノズル１１から噴射される過酸化水素水が直交方向に噴射される、Ｔ字状に形成される。なお、合流管１２は、エアコンプレッサ１５から供給される空気の流れ方向に対して二流体ノズル１１から噴射される過酸化水素水が交差する形状であれば、Ｙ字状や他の形状であってもよい。
【００２７】
加熱装置１３は、管体３１と、管体３１内に配置されたヒータ３２と、を備えている。加熱装置１３は、合流管１２からの過酸化水素水及び空気を通過させることで、ヒータ３２により過酸化水素水を加熱し、過酸化水素ガスを発生させる。
【００２８】
管体３１は、合流管１２と接続される。管体３１は、例えば、その内部を通過する流体の流れ方向が、合流管１２内を流れるエアコンプレッサ１５から供給される空気の流れ方向と同一方向に形成されている。換言すると、管体３１は、その軸心方向が、合流管１２の空気の流れ方向に沿った軸心と平行に形成されている。管体３１は、その先端に、過酸化水素ガスを噴射する噴射口３３が形成されている。噴射口３３は、管体３１のヒータ３２が収納されている部位の流路面積（内径）よりも、その開口面積（内径）が小さく形成されている。
【００２９】
ヒータ３２は、管体３１内に配置され、管体３１内を通過する過酸化水素水を直接的及び間接的に蒸発させる、即ち気化させることで、過酸化水素ガスを発生させることが可能に形成されている。ヒータ３２は、例えば、コイル状に形成され、抵抗加熱により発熱する、所謂伝熱ヒータと呼ばれる発熱体である。ヒータ３２は、信号線８を介して加熱装置調整手段１８に電気的に接続されている。ヒータ３２は、例えば、１００Ｗで４００℃に加熱可能に形成されている。
【００３０】
回収タンク１４は、ヒータ３２によって気化されずに液状の状態が維持された過酸化水素水を回収可能に形成された回収装置である。例えば、回収タンク１４は、配管７を介して管体３１の下部に接続されることで、管体３１内の下部に溜まった液状の過酸化水素水を回収する。また、回収タンク１４は、配管７を介して二流体ノズル１１及びタンク１７に接続される。回収タンク１４は、回収した過酸化水素水の一部を二流体ノズル１１に供給し、回収した過酸化水素水の他部をタンク１７に供給可能に形成されている。
【００３１】
エアコンプレッサ１５は、空気を圧縮可能に形成されている。エアコンプレッサ１５は、配管７を介して二流体ノズル１１及び合流管１２にそれぞれ接続されている。エアコンプレッサ１５は、圧縮した空気を二流体ノズル１１及び合流管１２にそれぞれ供給可能に形成されている。
【００３２】
エアコンプレッサ１５は、二流体ノズル１１及び合流管１２に異なる圧力の空気を供給可能に形成されている。例えば、エアコンプレッサ１５は、０．２ＭＰａ以下であって、且つ、二流体ノズル１１が霧状の過酸化水素水を噴射可能な圧力の空気を二流体ノズル１１に供給可能に形成されている。また、例えば、エアコンプレッサ１５は、合流管１２に、０．３ＭＰａ以下であって、且つ、二流体ノズル１１から噴射された過酸化水素水を合流管１２の二次側に移動させることが可能な圧力の空気を供給可能に形成されている。
【００３３】
ポンプ１６は、過酸化水素水を供給可能に形成されている。ポンプ１６は、配管７を介して、吸込側がタンク１７に、吐出側が二流体ノズル１１に、それぞれ接続される。ポンプ１６は、例えば、小型のチューブポンプであって、二流体ノズル１１に、一定量の過酸化水素水を供給する。例えば、ポンプ１６は、過酸化水素水を、０．１ｇ／ｍｉｎ乃至０．２ｇ／ｍｉｎで二流体ノズル１１に供給可能に形成されている。
【００３４】
タンク１７は、過酸化水素水を貯留可能に形成される。
【００３５】
加熱装置調整手段１８は、ヒータ３２を加熱可能、且つ、ヒータ３２の加熱温度を調整可能に形成されている。加熱装置調整手段１８は、例えば、インバータ４１及びブレーカ４２により構成され、ヒータ３２へ供給する電力を調整可能に形成されている。
【００３６】
インバータ４１は、ヒータ３２を過酸化水素水の沸点よりも高い温度に加熱可能に形成されている。インバータ４１は、３５ｗ／ｗ％の濃度の過酸化水素水が用いられる場合には、ヒータ３２を１２０℃以上、より好ましくは２００℃乃至４００℃に加熱する。
【００３７】
なお、ここで、ヒータ３２の加熱温度の１２０℃以上とは、過酸化水素水の沸点以上の温度である。過酸化水素は、１００ｗ／ｗ％で１４０℃、３５ｗ／ｗ％で１０８℃である。このように、インバータ４１は、ヒータ３２を少なくても過酸化水素水の沸点以上の温度に加熱可能に形成される。
【００３８】
例えば、インバータ４１は、ポンプ１６による過酸化水素水の供給量が、１ｇ／ｍｉｎであるときに、ヒータ３２を２００℃に加熱する。また、例えば、インバータ４１は、ポンプ１６による過酸化水素水の供給量が２ｇ／ｍｉｎであるときに、ヒータ３２を３００℃に加熱する。
【００３９】
ブレーカ４２は、ヒータ３２の温度が所定の温度（閾値）を超えた場合にヒータ３２への電力の供給を停止可能、且つ、ヒータ３２の温度が所定の温度以下となった場合に、ヒータ３２への電力を供給可能に形成されている。なお、所定の温度とは、インバータ４１により加熱されるヒータ３２の温度以上である。
【００４０】
制御部１９は、信号線８を介して、エアコンプレッサ１５、ポンプ１６及びインバータ４１に接続されている。制御部１９は、エアコンプレッサ１５の駆動を制御可能に形成されている。制御部１９は、エアコンプレッサ１５を制御することで、例えば、二流体ノズル１１及び合流管１２への圧縮空気の圧力及び供給量等を調整可能に形成されている。
【００４１】
制御部１９は、ポンプ１６の駆動を制御可能に形成されている。制御部１９は、ポンプ１６を制御することで、例えば、過酸化水素水の二流体ノズル１１への供給量を調整可能に形成されている。制御部１９は、インバータ４１を制御可能に形成されている。制御部１９は、インバータ４１を制御することで、例えば、ヒータ３２の温度を調整可能に形成されている。
【００４２】
このように構成された殺菌装置１の使用方法について、以下説明する。  
先ず、使用者は、殺菌を行う対象物の付近に、供給装置５及び駆動装置６を移動させる。次に、制御部１９により、エアコンプレッサ１５及びポンプ１６を駆動するとともに、インバータ４１を制御してヒータ３２を所定の温度に加熱する。これにより、供給装置５が駆動される。具体的に説明すると、エアコンプレッサ１５が駆動されることで、二流体ノズル１１及び合流管１２に所定の圧力の空気が供給される。
【００４３】
また、ポンプ１６が駆動されることで、図２に矢印で示すように、タンク１７内の過酸化水素水が二流体ノズル１１に供給される。なお、このとき、空気及び過酸化水素水が二流体ノズル１１に供給されることで、二流体ノズル１１から霧状の過酸化水素水が合流管１２内に噴射される。
【００４４】
二流体ノズル１１から噴射された霧状の過酸化水素水は、合流管１２内の空気の流れと合流し、合流管１２の二次側、即ち管体３１内に移動する。管体３１内に移動した霧状の過酸化水素水は、その一部がヒータ３２に直接接触し、且つ、その他部がヒータ３２により加熱された管体３１内の空間（空気）によって気化して過酸化水素ガスが発生する。過酸化水素ガスは、エアコンプレッサ１５から供給された空気の流れによって、噴射口３３から噴射される。
【００４５】
使用者は、殺菌を行う対象物の付近に、供給装置５及び駆動装置６を移動させるとともに、過酸化水素ガスが噴射される供給装置５を支持し、噴射口３３を対象物に対向させて、過酸化水素ガスを対象物に噴射する。例えば、使用者は、対象物が所定の殺菌効果を得られるまで所定の時間噴射を継続して行い、対象物の殺菌を行う。
【００４６】
なお、このとき、加熱装置１３内で気化されない過酸化水素水は、管体３１内面に付着して管体３１の底部に移動し、回収タンク１４に回収される。回収タンク１４に回収された過酸化水素水は、図２中に矢印で示すように、一部が二流体ノズル１１に供給され、他部がタンク１７に供給、即ちタンク１７に回収される。このように、気化されず、液状の過酸化水素水は、循環して直接又はタンク１７及びポンプ１６を介して二流体ノズル１１に供給される。
【００４７】
殺菌終了後、使用者は、エアコンプレッサ１５及びポンプ１６を停止させるとともに、ヒータ３２への電力供給を停止することで、供給装置５を停止する。
【００４８】
このように構成された殺菌装置１によれば、二流体ノズル１１で噴射した霧状の過酸化水素水を、空気によって加熱装置１３を通過させることで、過酸化水素ガスを発生させることが可能となる。
【００４９】
また、殺菌装置１は、二流体ノズルで過酸化水素水を霧状として加熱装置１３を通過させ、加熱装置１３のヒータ３２により直接又は間接的に過酸化水素水を加熱して気化させることで、過酸化水素ガスを発生させる構成である。このため、ヒータ３２は、霧状の過酸化水素水が通過可能な管体３１内に配置可能であって、且つ、霧状の過酸化水素水を気化可能な構成であればよく、ヒータ３２を小型とすることが可能となる。
【００５０】
特に、発生させる過酸化水素ガスの量が多い場合には、ヒータ３２の熱量を増加させるか、通過する霧状の過酸化水素水がヒータ３２に直接接触するように、ヒータ３２の表面積を増加させるか、又は、通過する霧状の過酸化水素水が直接接触する形状及び配置等とすればよい。このように、ヒータ３２の小型化が可能となることで、殺菌装置１の小型化が可能となる。
【００５１】
また、殺菌装置１は、ヒータ３２を小型とすることで、ヒータ３２の軽量化が可能となる。このため、殺菌装置１は、供給装置５として二流体ノズル１１、合流管１２及び加熱装置１３を一体に構成することで、使用者が供給装置５を支持することが可能となる。また、殺菌装置１は、供給装置５を駆動するエアコンプレッサ１５、ポンプ１６、タンク１７、加熱装置調整手段１８及び制御部１９を駆動装置６として外郭体２１内に一体に構成し、例えば、キャスター２２を設けることで、供給装置５の持ち運びに伴って移動させることが可能となる。これにより、殺菌装置１は、対象物に直接過酸化水素ガスを噴射して当該対象物を殺菌することが可能となる。
【００５２】
即ち、殺菌装置１は、供給装置５及び駆動装置６を任意の場所に持ち運ぶとともに、供給装置５を支持して噴射口３３を対象物に対向させることで、対象物のみを殺菌することが可能となる。このような殺菌装置１を用いることで、培養恒温庫、キャビネット内部、ＨＥＰＡ、水回りの隙間等の固定設備を対象物とした殺菌が可能となる。このように、殺菌装置１は、持ち運び可能、且つ、噴射口３３を任意の位置に向って指向することが可能な構成とすることで、局所的に殺菌することが可能となる。
【００５３】
また、殺菌装置１は、持ち運びが可能となることで、別途発生したガスを拡散させるブロアを必要とせず、簡素な構成とすることが可能となる。これにより殺菌装置１は、殺菌時の殺菌装置１の設置や収納等において作業が減少し、使用性が向上する。
【００５４】
上述したように、本発明の一実施の形態に係る殺菌装置１によれば、過酸化水素水を霧状とし、且つ、霧状の過酸化水素水を気化可能なヒータ３２を用いることで、小型化が可能となる。
【００５５】
なお、本発明は上述した本発明は前記実施の形態に限定されるものではない。上述した例では、加熱装置１３は、二流体ノズル１１及び合流管１２の二次側に設けられる構成を説明したがこれに限定されない。例えば、加熱装置１３は、二流体ノズル１１及び合流管１２の一次側であって、且つ、エアコンプレッサ１５の二次側に配置する構成であってもよい。このように、殺菌装置１は、エアコンプレッサ１５から噴射された空気が、加熱装置１３を通過することでヒータ３２により加熱される。この加熱された空気（熱風）によって霧状の過酸化水素水を気化させる構成であってもよい。また、加熱装置１３を二流体ノズル１１及び合流管１２の一次側及び二次側にそれぞれ設けて過酸化水素水を気化させる構成であってもよい。
【００５６】
上述した例では、殺菌装置１は、加熱装置１３として、管体３１内にヒータ３２を設けるとともに、管体３１の下部に回収タンク（回収装置）１４を設ける構成を説明したが、これに限定されない。ヒータ３２の配置等によって、管体３１を通過する過酸化水素水を略全て気化させる構成とするのであれば、回収タンク１４を設けなくてもよい。なお、過酸化水素水を略全てを気化させるヒータ３２の配置として、例えば、管体３１の下方に溜まる過酸化水素水を加熱し、気化させるヒータ３２を別途設けるか、又は、ヒータ３２を延設する構成等であってもよい。但し、ヒータ３２の煩雑化や、製造コスト及び消費電力の増加となる場合においては、回収タンク１４を設ける構成が好ましい。
【００５７】
上述した例では、回収タンク１４は、回収した過酸化水素水を二流体ノズル１１及びタンク１７に供給する（戻す）構成を説明したがこれに限定されない。回収タンク１４は、二流体ノズル１１及びタンク１７のいずれか一方に回収した過酸化水素水を供給する構成であってもよく、また、回収タンク１４が過酸化水素水を霧状として回収した過酸化水素水を管体３１内に供給する構成であってもよい。
【００５８】
上述した例では、エアコンプレッサ１５が二流体ノズル１１及び合流管１２に接続される構成のみを説明したがこれに限定されない。例えば、エアコンプレッサ１５と二流体ノズル１１及び合流管１２をそれぞれ接続する配管７に、使用者が開閉可能な開閉弁を設け、過酸化水素ガスを噴射するときにのみ開閉弁を解放して過酸化水素ガスを噴射する構成であってもよい。
【００５９】
上述した例では、供給装置５は、二流体ノズル１１、合流管１２、加熱装置１３及び回収タンク１４を一体に接続する構成を説明したがこれに限定されない。例えば、供給装置５は、断熱性及び耐食性を有し、使用者が供給装置５支持をするのに適した外郭体を設ける構成であってもよい。
【００６０】
また、上述した例では、供給装置５は、二流体ノズル１１、合流管１２、加熱装置１３及び回収タンク１４を一体に接続して構成され、駆動装置６は、外郭体２１内にエアコンプレッサ１５、ポンプ１６、タンク１７、加熱装置調整手段１８及び制御部１９を収納する構成を説明したがこれに限定されない。即ち、供給装置５及び駆動装置６は、供給装置５が使用者によって支持し、持ち運ぶことが可能であれば、各構成品の収納及び配置は、適宜設定可能である。例えば、加熱装置１３のみを供給装置５に配置し、他の構成を駆動装置６に設け、配管７及び信号線８で加熱装置１３を駆動装置６と接続する構成であってもよい。
【００６１】
さらに、上述した例では、供給装置５を使用者が持ち運び可能な構成を説明したがこれに限定されない。即ち、殺菌装置１は、外郭体２１内に、二流体ノズル１１、合流管１２、加熱装置１３、回収タンク１４エアコンプレッサ１５、ポンプ１６、タンク１７、加熱装置調整手段１８及び制御部１９を収納する構成であってもよい。このような構成とすることで、使用者が供給装置５を持ち運び、殺菌を行う対象物に直接過酸化水素ガスを噴射することができなくなるが、霧状の過酸化水素水をヒータ３２で加熱する構成とすることで、殺菌装置１の小型化が可能となる。この他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能である。
【符号の説明】
【００６２】
１…殺菌装置、５…供給装置、６…駆動装置、７…配管、８…信号線、１１…二流体ノズル、１２…合流管、１３…加熱装置、１４…回収タンク（回収装置）、１５…エアコンプレッサ、１６…ポンプ、１７…タンク、１８…加熱装置調整手段、１９…制御部、２１…外郭体、２２…キャスター、３１…管体、３２…ヒータ、３３…噴射口、４１…インバータ、４２…ブレーカ。
【図１】
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【図２】
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