(57)【要約】      （修正有）【課題】搬送回数を低減させることが可能な簡易な構成でなる保持ヘッド、搬送装置、搬送方法、これを用いた実装装置、実装方法、及び電子機器を提供する。【解決手段】保持ヘッド部１５０は、保持部１５２と、支持部１５３とを具備する。前記保持部１５２は、第１の方向に延在し、２次元状に配置された複数の対象物のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる対象物群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向と異なる第２の方向に所定の間隔で並ぶ複数の保持体１５１を含む。前記支持部１５３は、前記保持部１５２を支持する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に延在し、２次元状に配置された複数の対象物のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる対象物群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向と異なる第２の方向に所定の間隔で並ぶ複数の保持体を含む保持部と、
前記保持部を支持する支持部と
を具備する保持ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の保持ヘッドであって、
前記複数の保持体は、前記第１及び前記第２の方向にそれぞれ直交する第３の方向に突出する
保持ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載の保持ヘッドであって、
前記複数の保持体の少なくとも１つは、前記第３の方向に可視光を透過可能な第１の透過部を有し、
前記支持部は、前記第１の透過部を透過する前記可視光を前記第３の方向に透過可能な第２の透過部を有する
保持ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の保持ヘッドであって、
前記第１及び第２の透過部の各々は、前記可視光を透過させる透明部材からなる
保持ヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載の保持ヘッドであって、
前記複数の保持体の各々は、第１の透明部材からなり、
前記支持部は、第２の透明部材からなる
保持ヘッド。
【請求項６】
請求項１に記載の保持ヘッドであって、
前記第１及び前記第２の方向は、互いに直交する
保持ヘッド。
【請求項７】
請求項１に記載の保持ヘッドであって、
前記複数の保持体は、粘着力により前記対象物群をそれぞれ保持する
保持ヘッド。
【請求項８】
請求項１に記載の保持ヘッドであって、
前記複数の保持体は、前記第１の方向から見たそれぞれの断面形状が、前記支持部側を長辺とし前記対象物と接触する側を短辺とする略台形形状である
保持ヘッド。
【請求項９】
請求項１に記載の保持ヘッドであって、
前記保持部は、前記複数の保持体を連結する連結体を有する
保持ヘッド。
【請求項１０】
第１の方向に延在し、２次元状に配置された複数の対象物のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる第１の対象物群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向と異なる第２の方向に第１の間隔で並ぶ複数の第１の保持体を含む１以上の第１の保持ヘッド部と、
前記１以上の第１の保持ヘッド部を移動させて保持動作を実行させる駆動部と
を具備する搬送装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の搬送装置であって、さらに、
前記第２の方向に延在し、２次元状に配置された複数の対象物のうち前記第２の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる第２の対象物群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向に第２の間隔で並ぶ複数の第２の保持体を含む第２の保持ヘッド部を具備し、
前記駆動部は、前記第１の保持ヘッド部に保持された前記複数の対象物のうち、前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶ複数の対象物を前記第２の対象物群として、前記第２の保持ヘッド部により複数の第２の対象物群を保持させる
搬送装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の搬送装置であって、
前記１以上の第１の保持ヘッド部は、複数の第１の保持ヘッド部を有し、
前記駆動部は、前記複数の第１の保持ヘッド部によりそれぞれ保持された前記複数の第１の対象物群が、前記第１の方向に連続して並ぶように又は前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶように、前記複数の第１の保持ヘッド部を固定し、前記複数の第１の保持ヘッド部に保持された前記複数の対象物に対して前記第２の保持ヘッド部による前記保持動作を実行させる
搬送装置。
【請求項１３】
請求項１０に記載の搬送装置であって、さらに、
前記第２の方向に延在し、２次元状に配置された複数の対象物のうち前記第２の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる第２の対象物群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向に第２の間隔で並ぶ複数の第２の保持体を含む第２の保持ヘッド部と、
前記第１の保持ヘッド部により保持された複数の第１の対象物群が載置される載置部と
を具備し、
前記駆動部は、前記載置部に載置された前記複数の対象物のうち、前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶ複数の対象物を前記第２の対象物群として、前記第２の保持ヘッド部により複数の第２の対象物群を保持させる
搬送装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の搬送装置であって、
前記駆動部は、前記載置部上に前記第１の保持ヘッド部により保持された前記複数の第１の対象物群が、前記第１の方向に連続して並ぶように又は前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶように、前記第１の保持ヘッド部による複数の保持動作を実行させる
搬送装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載の搬送装置であって、
前記１以上の第１の保持ヘッド部は、複数の第１の保持ヘッド部を有し、
前記駆動部は、前記載置部上に前記複数の第１の保持ヘッド部によりそれぞれ保持された前記複数の第１の対象物群が、前記第１の方向に連続して並ぶように又は前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶように、前記複数の第１の保持ヘッド部による保持動作を実行させる
搬送装置。
【請求項１６】
請求項１０に記載の搬送装置であって、さらに、
前記第１の保持ヘッド部により保持された複数の第１の対象物群が載置される載置部を具備し、
前記駆動部は、前記載置部に載置された前記複数の第１の対象物群が前記第１の間隔で並ぶ方向に前記複数の第１の保持体の延在方向を合わせ、その状態で前記第１の保持ヘッド部による保持動作を実行させる
を具備する搬送装置。
【請求項１７】
請求項１０に記載の搬送装置であって、
前記複数の第１の保持体の少なくとも１つは、前記第１及び前記第２の方向にそれぞれ直交する第３の方向に可視光を透過可能な第１の透過部を有し、
前記搬送装置は、さらに、前記第１の透過部を透過する可視光を撮影する撮像部と、前記撮像部により撮影された画像をもとに、前記第１の対象物群と前記１以上の第１の保持ヘッド部との相対的な位置を調整する調整部とを具備する
搬送装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載の搬送装置であって、
前記複数の第２の保持体の少なくとも１つは、前記第３の方向に可視光を透過可能な第２の透過部を有し、
前記撮像部は、前記第２の透過部を透過する可視光を撮影し、
前記調整部は、前記撮像部により撮影された画像をもとに、前記第２の対象物群と前記第２の保持ヘッド部との相対的な位置を調整する
搬送装置。
【請求項１９】
２次元状に配置された複数の対象物を搬送元に準備し、
第１の保持ヘッドが有する、第１の方向に延在し前記第１の方向と異なる第２の方向に第１の間隔で並ぶ複数の第１の保持体により、前記複数の対象物のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる第１の対象物群をそれぞれ保持し、
前記保持された複数の第１の対象物群を搬送先に搬送する
搬送方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載の搬送方法であって、
第２の保持ヘッドが有する、前記第２の方向に延在し前記第１の方向に第２の間隔で並ぶ複数の第２の保持体により、前記第１の保持ヘッド部に保持された前記複数の対象物のうち、前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶ複数の対象物からなる第２の対象物群を、それぞれ保持し、
前記保持された複数の第２の対象物群を前記搬送先に搬送する
搬送方法。
【請求項２１】
第１の方向に延在し、２次元状に配置された複数の部品のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の部品からなる第１の部品群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向と異なる第２の方向に第１の間隔で並ぶ複数の第１の保持体を含む第１の保持ヘッド部と、
前記第１の保持ヘッド部により保持された複数の第１の部品群を基板に実装する実装部と
を具備する実装装置。
【請求項２２】
請求項２１に記載の実装装置であって、さらに、
前記第２の方向に延在し、２次元状に配置された複数の部品のうち前記第２の方向に連続して並ぶ複数の部品からなる第２の部品群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向に第２の間隔で並ぶ複数の第２の保持体を含む第２の保持ヘッド部と、
前記第１の保持ヘッド部に保持された前記複数の部品のうち、前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶ複数の部品を前記第２の部品群として、前記第２の保持ヘッド部により複数の第２の対象物群を保持させる駆動部と
を具備し、
前記実装部は、前記第２の保持ヘッド部により保持された前記複数の第２の部品群を前記基板に実装する
実装装置。
【請求項２３】
２次元状に配置された複数の部品を搬送元に準備し、
保持ヘッドが有する、第１の方向に延在し前記第１の方向と異なる第２の方向に所定の間隔で並ぶ複数の保持体により、前記複数の部品のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる部品群をそれぞれ保持し、
前記保持された複数の部品群を基板に実装する
実装方法。
【請求項２４】
２次元状に配置された複数の部品を搬送元に準備し、
保持ヘッドが有する、第１の方向に延在し前記第１の方向と異なる第２の方向に所定の間隔で並ぶ複数の保持体により、前記複数の部品のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる部品群をそれぞれ保持し、
前記保持された複数の部品群を基板に実装する
ことで製造された前記基板を含む電子機器。
【請求項２５】
２次元状に配置された複数の対象物を搬送元に準備し、
前記複数の対象物のうち第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物を対象物群として、前記第１の方向と異なる第２の方向に並ぶ複数の対象物群を保持し、
前記保持された複数の対象物群を搬送先に搬送する
搬送方法。
【請求項２６】
所定の方向に可視光を透過可能な第１の透過部を有し、前記所定の方向から対象物に接触し前記対象物を粘着力により保持可能な保持体と、
前記第１の透過部を透過する前記可視光を前記所定の方向に透過可能な第２の透過部を有し、前記保持体を支持する支持部と
を具備する保持ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、部品等を搬送するための保持ヘッド、搬送装置、搬送方法、これを用いた実装装置、実装方法、及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載のように、各種産業の組立作業等において、抵抗器やコンデンサ等の電子部品を持ち上げ、所定の位置まで移送する移送作業が多く行われている。特許文献１に記載の移送具では、その図２に示すように、部品を捕獲する捕獲部１の先端に、粘着ゴム２を固着させた捕獲板１１と、それを挟み込むように配置された２つの解離板１２とが設けられている。捕獲板１１は上下方向に摺動可能となっており、捕獲板１１に固着された粘着ゴム２が、解離板１２の先端位置より飛び出したり引き込んだりする。このような構成により、微細化が進む部品を容易に移送することが図られている（特許文献１の明細書段落［００１７］等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−９４６２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような電子部品等の搬送では、部品を保持する部材（例えば上記の移送具等）の簡素化や、少ない搬送回数で所望の搬送を実現することが求められる。
【０００５】
以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、搬送回数を低減させることが可能な簡易な構成でなる保持ヘッド、搬送装置、搬送方法、これを用いた実装装置、実装方法、及び電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本技術の一形態に係る保持ヘッド部は、保持部と、支持部とを具備する。
前記保持部は、第１の方向に延在し、２次元状に配置された複数の対象物のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる対象物群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向と異なる第２の方向に所定の間隔で並ぶ複数の保持体を含む。
前記支持部は、前記保持部を支持する。
【０００７】
この保持ヘッドでは、第１の方向に延在する保持体が、第２の方向に所定の間隔で並ぶように設けられている。１つの保持体で、第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物を保持可能であるので、搬送回数を低減させることが可能となる。また簡易な構成で保持ヘッドを実現させることが可能である。
【０００８】
前記複数の保持体は、前記第１及び前記第２の方向にそれぞれ直交する第３の方向に突出してもよい。
第３の方向に突出した複数の保持体により部品を確実に保持することが可能となる。
【０００９】
前記複数の保持体の少なくとも１つは、前記第３の方向に可視光を透過可能な第１の透過部を有してもよい。この場合、前記支持部は、前記第１の透過部を透過する前記可視光を前記第３の方向に透過可能な第２の透過部を有してもよい。
これにより第１及び第２の透過部を介して対象物を確認することが可能となる。また対象物の画像を撮影することも可能となる。この結果、対象物と保持ヘッドとの相対的な位置を高精度に調整することが可能となる。
【００１０】
前記第１及び第２の透過部の各々は、前記可視光を透過させる透明部材からなってもよい。
このように透明部材により第１及び第２の透過部がそれぞれ構成されてもよい。
【００１１】
前記複数の保持体の各々は、第１の透明部材からなってもよい。この場合、前記支持部は、第２の透明部材からなってもよい。
このように複数の保持体と支持部とがそれぞれ透明部材により構成されてもよい。
【００１２】
前記第１及び前記第２の方向は、互いに直交してもよい。
少ない搬送回数で、互いに直交する２方向に並ぶように、対象物を搬送することが可能となる。
【００１３】
前記複数の保持体は、粘着力により前記対象物群をそれぞれ保持してもよい。
粘着力を利用することで、保持ヘッドの構成を簡易なものにすることができる。また保持ヘッドの作成も容易となる。
【００１４】
前記複数の保持体は、前記第１の方向から見たそれぞれの断面形状が、前記支持部側を長辺とし前記対象物と接触する側を短辺とする略台形形状であってもよい。
これにより複数の保持部の洗浄等が容易となる。
【００１５】
前記保持部は、前記複数の保持体を連結する連結体を有してもよい。
複数の保持部は、互いに独立して配置されてもよいし、連結体により連結されていてもよい。
【００１６】
本技術の一形態に係る搬送装置は、１以上の第１の保持ヘッド部と、駆動部とを具備する。
前記１以上の第１の保持ヘッド部は、第１の方向に延在し、２次元状に配置された複数の対象物のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる第１の対象物群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向と異なる第２の方向に第１の間隔で並ぶ複数の第１の保持体を含む。
前記駆動部は、前記１以上の第１の保持ヘッド部を移動させて保持動作を実行させる
【００１７】
この搬送装置では、第１の方向に延在する保持体が、第２の方向に所定の間隔で並ぶように設けられた第１の保持ヘッド部を具備する。１つの保持体で、第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物を保持可能であるので、搬送回数を低減させることが可能となる。また簡易な構成で第１の保持ヘッド部を実現させることが可能である。
【００１８】
前記搬送装置は、さらに、前記第２の方向に延在し、２次元状に配置された複数の対象物のうち前記第２の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる第２の対象物群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向に第２の間隔で並ぶ複数の第２の保持体を含む第２の保持ヘッド部を具備してもよい。
この場合は、前記駆動部は、前記第１の保持ヘッド部に保持された前記複数の対象物のうち、前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶ複数の対象物を前記第２の対象物群として、前記第２の保持ヘッド部により複数の第２の対象物群を保持させてもよい。
この搬送装置では、第１の保持ヘッド部に保持された複数の対象物が、第２の保持ヘッド部により保持される。これにより少ない搬送回数にて、第２の方向には第１の間隔に並ぶように、第１の方向には第２の間隔に並ぶように、複数の対象物を搬送することが可能となる。
【００１９】
前記１以上の第１の保持ヘッド部は、複数の第１の保持ヘッド部を有してもよい。この場合、前記駆動部は、前記複数の第１の保持ヘッド部によりそれぞれ保持された前記複数の第１の対象物群が、前記第１の方向に連続して並ぶように又は前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶように、前記複数の第１の保持ヘッド部を固定し、前記複数の第１の保持ヘッド部に保持された前記複数の対象物に対して前記第２の保持ヘッド部による前記保持動作を実行させてもよい。
この搬送装置では、第１の対象物群が第１の方向又は第２の方向に連続して並ぶように、複数の第１の保持ヘッド部が固定される。そしてその状態で保持されている複数の対象物に対して、第２の保持ヘッド部による保持動作が実行される。これにより搬送回数を低減させることが可能となる。
【００２０】
前記搬送装置は、さらに、前記第１の保持ヘッド部により保持された複数の第１の対象物群が載置される載置部を具備してもよい。この場合、前記駆動部は、前記載置部に載置された前記複数の対象物のうち、前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶ複数の対象物を前記第２の対象物群として、前記第２の保持ヘッド部により複数の第２の対象物群を保持させてもよい。
この搬送装置では、第１の保持ヘッド部により保持された第１の対象物群が載置部に載置される。そして載置部に載置された複数の対象物に対して、第２の保持ヘッド部による保持動作が実行される。これにより搬送回数を低減させることが可能となる。
【００２１】
前記駆動部は、前記載置部上に前記第１の保持ヘッド部により保持された前記複数の第１の対象物群が、前記第１の方向に連続して並ぶように又は前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶように、前記第１の保持ヘッド部による複数の保持動作を実行させてもよい。
この搬送装置では、第１の対象物群が第１の方向又は第２の方向に連続して並ぶように、第１の保持ヘッド部による複数の保持動作が実行される。そして載置された複数の対象物に対して、第２の保持ヘッド部による保持動作が実行される。これにより搬送回数を低減させることが可能となる。
【００２２】
前記１以上の第１の保持ヘッド部は、複数の第１の保持ヘッド部を有してもよい。この場合、前記駆動部は、前記載置部上に前記複数の第１の保持ヘッド部によりそれぞれ保持された前記複数の第１の対象物群が、前記第１の方向に連続して並ぶように又は前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶように、前記複数の第１の保持ヘッド部による保持動作を実行させてもよい。
この搬送装置では、複数の第１の保持ヘッド部により、載置部に第１の対象物群が載置される。そして載置された複数の対象物に対して、第２の保持ヘッド部による保持動作が実行される。これにより搬送回数を低減させることが可能となる。
【００２３】
前記駆動部は、前記載置部に載置された前記複数の第１の対象物群が前記第１の間隔で並ぶ方向に前記複数の第１の保持体の延在方向を合わせ、その状態で前記第１の保持ヘッド部による保持動作を実行させてもよい。
この搬送装置では、載置部に載置された第１の対象物群に対して、第１の保持ヘッド部により再度保持動作が実行される。これにより搬送回数を低減させることが可能となる。
【００２４】
前記複数の第１の保持体の少なくとも１つは、前記第１及び前記第２の方向にそれぞれ直交する第３の方向に可視光を透過可能な第１の透過部を有してもよい。この場合、前記搬送装置は、さらに、前記第１の透過部を透過する可視光を撮影する撮像部と、前記撮像部により撮影された画像をもとに、前記第１の対象物群と前記１以上の第１の保持ヘッド部との相対的な位置を調整する調整部とを具備してもよい。
これにより第１の対象物群と第１の保持ヘッド部と位置合わせを高精度に行うことができる。
【００２５】
前記複数の第２の保持体の少なくとも１つは、前記第３の方向に可視光を透過可能な第２の透過部を有してもよい。この場合、前記撮像部は、前記第２の透過部を透過する可視光を撮影してもよい。また前記調整部は、前記撮像部により撮影された画像をもとに、前記第２の対象物群と前記第２の保持ヘッド部との相対的な位置を調整してもよい。
これにより第２の対象物群と第２の保持ヘッド部と位置合わせを高精度に行うことができる。
【００２６】
本技術の一形態に係る搬送方法は、２次元状に配置された複数の対象物を搬送元に準備することを含む。
第１の保持ヘッドが有する、第１の方向に延在し前記第１の方向と異なる第２の方向に第１の間隔で並ぶ複数の第１の保持体により、前記複数の対象物のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる第１の対象物群がそれぞれ保持される。
前記保持された複数の第１の対象物群が搬送先に搬送される。
搬送方法。
【００２７】
第２の保持ヘッドが有する、前記第２の方向に延在し前記第１の方向に第２の間隔で並ぶ複数の第２の保持体により、前記第１の保持ヘッド部に保持された前記複数の対象物のうち、前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶ複数の対象物からなる第２の対象物群が、それぞれ保持されてもよい。この場合、前記保持された複数の第２の対象物群が前記搬送先に搬送されてもよい。
【００２８】
本技術の一形態に係る実装装置は、第１の保持ヘッド部と、実装部とを具備する。
前記第１の保持ヘッド部は、第１の方向に延在し、２次元状に配置された複数の部品のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の部品からなる第１の部品群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向と異なる第２の方向に第１の間隔で並ぶ複数の第１の保持体を含む。
前記実装部は、前記第１の保持ヘッド部により保持された複数の第１の部品群を基板に実装する。
これにより実装にかかる時間を短縮することが可能となる。
【００２９】
前記実装装置は、さらに、第２の保持ヘッド部と、駆動部とを具備してもよい。
前記第２の保持ヘッド部は、前記第２の方向に延在し、２次元状に配置された複数の部品のうち前記第２の方向に連続して並ぶ複数の部品からなる第２の部品群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向に第２の間隔で並ぶ複数の第２の保持体を含む。
前記駆動部は、前記第１の保持ヘッド部に保持された前記複数の部品のうち、前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶ複数の部品を前記第２の部品群として、前記第２の保持ヘッド部により複数の第２の対象物群を保持させる。
この場合、前記実装部は、前記第２の保持ヘッド部により保持された前記複数の第２の部品群を前記基板に実装してもよい。
これにより短い処理時間にて、第１及び第２の方向に並ぶように複数の部品を実装することが可能となる。
【００３０】
本技術の一形態に係る実装方法は、２次元状に配置された複数の部品を搬送元に準備することを含む。
保持ヘッドが有する、第１の方向に延在し前記第１の方向と異なる第２の方向に所定の間隔で並ぶ複数の保持体により、前記複数の部品のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる部品群がそれぞれ保持される。
前記保持された複数の部品群が基板に実装される。
【００３１】
本技術の一形態に係る電子機器は、前記実装方法により製造された基板を含む。
【００３２】
本技術の他の形態に係る搬送方法は、２次元状に配置された複数の対象物を搬送元に準備することを含む。
前記複数の対象物のうち第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物を対象物群として、前記第１の方向と異なる第２の方向に並ぶ複数の対象物群が保持される。
前記保持された複数の対象物群が搬送先に搬送される。
この搬送方法では、第２の方向に並ぶ複数の対象物群が保持される。これにより搬送回数を低減させることが可能となる。
【００３３】
本技術の他の形態に係る保持ヘッドは、保持体と、支持部とを有する。
前記保持体は、所定の方向に可視光を透過可能な第１の透過部を有し、前記所定の方向から対象物に接触し前記対象物を粘着力により保持可能である。
前記支持部は、前記第１の透過部を透過する前記可視光を前記所定の方向に透過可能な第２の透過部を有し、前記保持体を支持する。
【発明の効果】
【００３４】
以上のように、本技術によれば、搬送回数を低減させることが可能な簡易な構成でなる保持ヘッド、搬送装置、搬送方法、これを用いた実装装置、実装方法、及び電子機器を提供することが可能となる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本技術に係る部品搬送の一例について説明するための図である。
【図２】本技術に係る部品搬送の一例について説明するための図である。
【図３】第１の実施形態に係る搬送装置の構成例を示す概略図である。
【図４】保持ヘッド部の構成例を示す概略図である。
【図５】第１の実施形態に係る搬送装置の動作例を示すフローチャートである。
【図６】図５に示すステップを説明するための模式的な図である。
【図７】第１の実施形態に係る部品搬送の変形例を示す概略図である。
【図８】比較例として挙げる部品搬送について説明するための概略図である。
【図９】第２の実施形態に係る搬送装置の構成例を示す概略図である。
【図１０】第２の実施形態に係る搬送装置の動作例を示すフローチャートである。
【図１１】図１０に示すステップを説明するための模式的な図である。
【図１２】第２の実施形態に係る部品搬送の変形例を示す概略図である。
【図１３】第３の実施形態に係る搬送装置の構成例を示す概略図である。
【図１４】第３の実施形態に係る搬送装置の動作例を示すフローチャートである。
【図１５】第３の実施形態に係る部品搬送の変形例を示す概略図である。
【図１６】各実施形態に係る搬送回数と、比較例に係る搬送回数とをまとめた表である。
【図１７】搬送対象となる部品の表裏について説明するための模式図である。
【図１８】他の実施形態に係る保持ヘッド部の構成例を示す概略図である。
【図１９】他の実施形態に係る保持ヘッド部の構成例を示す概略図である。
【図２０】他の実施形態に係る保持ヘッド部の構成例を示す概略図である。
【図２１】本技術に係る部品搬送の他の例について説明するための図である。
【図２２】本技術に係る実装装置の構成例を示す模式図である。
【図２３】他の実施形態に係る保持ヘッド部の構成例を説明するための図である。
【図２４】図２３に示す保持ヘッド部を使用する場合の搬送装置の構成例を示す概略図である。
【図２５】可視光を透過する第１及び第２の透過部の他の構成例示す概略図である。
【図２６】他の実施形態に係る保持ヘッド部の構成例を示す概略図である。
【図２７】部品の保持動作を撮影するカメラのピントについて説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００３７】
図１及び図２は、本技術に係る部品搬送の一例について説明するための図である。図１に示すように、搬送元の基板１０に配置された複数の部品１５が、搬送先の基板２０の所定の位置にそれぞれ搬送される。
【００３８】
搬送元基板１０には、複数の部品１５が２次元状に配置される。本実施形態では、ｘ方向に連続して９個の部品１５が配置され、ｘ方向に直交するｙ方向に連続して６個の部品１５が配置される。従って搬送元基板１０には、合計５４個の部品１５が配置される。
【００３９】
複数の部品１５は、ｘ方向において所定のピッチＰ１で連続して配置される。また複数の部品１５は、ｙ方向においても等しいピッチＰ１で連続して配置される。複数の部品１５は、本実施形態において、複数の対象物に相当する。またｘ方向及びｙ方向は、それぞれ第２の方向及び第１の方向に相当する。ピッチＰ１の大きさは限定されないが、例えば１０μｍから１００００μｍ程度の大きさが設定される。ｘ方向及びｙ方向の各ピッチは、互いに異なる大きさでもよい。
【００４０】
搬送元基板１０に複数の部品１５を配置する方法や、搬送元基板１０による部品１５の保持方法は限定されない。本実施形態では、所定の粘着力により搬送元基板１０に複数の部品１５が保持される。当該粘着力を発揮させるための構成は任意でよい。
【００４１】
本実施形態に係る複数の部品１５は、ＬＤ（Laser Diode）やＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の発光素子である。これに限定されず、抵抗器やコンデンサ等の電子部品、その他任意のデバイス等が搬送の対象物として選択されてよい。
【００４２】
搬送対象となる部品１５の大きさは限定されないが、例えば数十ミクロンから数センチ程度の大きさの部品が搬送される。さらに大きいデバイス等が搬送されてもよい。また部品１５の大きさをもとに、上記のピッチＰ１が設定されてもよい。
【００４３】
搬送先基板２０は、搬送元基板１０よりも大きく形成される。本技術に係る部品搬送により、搬送先基板２０に複数の部品１５が配置される。図１に示すように、複数の部品１５は、ｘ方向に所定のピッチＰ３で連続して配置され、またｙ方向に所定のピッチＰ２で連続して配置される。本実施形態では、所定のピッチＰ３は、搬送元基板１０上に配置された複数の部品１５のピッチＰ１の３倍の大きさである。また所定のピッチＰ２は、ピッチＰ１の２倍の大きさである。
【００４４】
従って図１に示す搬送例では、搬送元基板１０に配置された複数の部品１５は、ｘ方向のピッチが３倍に拡大するように搬送される。また複数の部品１５は、ｙ方向のピッチが２倍に拡大するように搬送される。図１に示す例では、ｘ方向の拡大率は３となり、ｙ方向の拡大率は２となる。従って全体の拡大率は６となる。
【００４５】
搬送元基板１０において、ｘ方向及びｙ方向の各ピッチが異なる場合でも、本技術を用いることで、各方向におけるピッチをそれぞれ拡大して複数の部品を搬送可能である。なおピッチを拡大する搬送は、例えばディスプレイの製造時に発光素子を所定の面内に配列する場合等に用いられる。もちろんこれに限定されるわけではない。
【００４６】
図１では、ｘ方向に並ぶ部品の数、及びｙ方向に並ぶ部品の数が、搬送元と搬送先とで等しくなっている。しかしながら本技術の適用は、このような場合に限定されるわけではない。例えば図２に示すように、搬送先基板２０において、ｘ方向に６個の部品１５がピッチＰ３で配置され、ｙ方向に９個の部品１５がピッチＰ２で配置されてもよい。このようにｘ及びｙ方向にそれぞれ並ぶ部品１５の数が、搬送元と搬送先とで変更されるような場合にも、本技術は適用可能である。本開示においては、図１に示す搬送例も、図２に示す搬送例も、「ｘ方向の拡大率が３であり、ｙ方向の拡大率が２である搬送」とする。
【００４７】
＜第１の実施形態＞
図３は、本技術の第１の実施形態に係る搬送装置の構成例を示す概略図である。図３Ａは搬送装置１００を上方から見た平面図であり、図３Ｂは搬送装置１００を側方から見た側面図である。なお図３Ａでは、図３Ｂに示す天板部１０３の図示が省略されている。
【００４８】
搬送装置１００は、上方から見た平面形状が長方形状のベース部１０１と、ベース部１０１の四隅に設けられた４つの支柱１０２と、４つの支柱１０２の上方に設置された天板部１０３とを有する。天板部１０３の平面形状はベース部１０１の平面形状と略等しい。従って搬送装置１００の全体的な平面形状は長方形状となる。以下、搬送装置１００（ベース部１０１、天板部１０３）の長軸方向（ｘ方向と平行）における一方の端部を第１の端部１０５とし、他方の端部を第２の端部１０６とする。
【００４９】
図３に示すように搬送装置１００は、搬送元基板１０が配置される第１の基板配置部１０７と、搬送先基板２０が配置される第２の基板配置部１０８とを有する。また搬送装置１００は、ベース部１０１に配置されたＸＹＺ移動機構１０９及びＺ移動機構１１０と、天板部１０３に配置されたＸＹ移動機構１１１とを有する。また搬送装置１００は、ＸＹＺ移動機構１０９に接続された３つの第１の保持ヘッド部１１５と、ＸＹ移動機構１１１に接続された単体の第２の保持ヘッド部１１６とを有する。
【００５０】
第１の基板配置部１０７は、天板部１０３の第１の端部１０５側に設けられる。ＸＹＺ移動機構１０９は、ベース部１０１の第１の端部１０５側に設けられる。ＸＹＺ移動機構１０９は、ＸＹステージ機構１１８と、ＸＹステージ機構１１８に接続されたＺステージ機構１１９とを有する。ＸＹステージ機構１１８は、第１の基板配置部１０７に対向する位置からベース部１０１の略中央までの範囲において、ｘ及びｙ方向にＺステージ機構１１９を移動させることが可能である。
【００５１】
Ｚステージ機構１１９には、ｙ方向に並ぶ３つの第１の保持ヘッド部１１５が接続されている。Ｚステージ機構１１９は、これら３つの第１の保持ヘッド部１１５をｚ方向に移動させることが可能である。従ってＸＹＺ移動機構１０９が動作することにより、ｘ、ｙ及びｚ方向に３つの第１の保持ヘッド部１１５を移動させることが可能である。
【００５２】
ＸＹステージ機構１１８及びＺステージ機構１１９の具体的な構成は限定されない。例えばボールネジ駆動機構やベルト駆動機構等の任意の駆動機構が用いられてよい。またガイドレールやエアシリンダ等の任意の部材が適宜用いられてもよい。このことはＸＹ移動機構１１１及びＺ移動機構１１０の具体的な構成についても同様である。
【００５３】
ＸＹ移動機構１１１は、天板部１０３に設けられたＸＹステージ機構１２０を有する。ＸＹステージ機構１２０は、ベース部１０１に配置されたＸＹステージ機構１１８に対向する位置から、天板部１０３の第２の端部１０６側までの範囲に設けられる。従って図３に示すように、ＸＹステージ機構１１８の第２の端部１０６側の領域と、ＸＹステージ機構１２０の第１の端部１０５側の領域とが、ｚ方向から見て重なることになる。ＸＹステージ機構１２０は、ｘ及びｙ方向に第２の保持ヘッド部１１６を移動させることが可能である。
【００５４】
Ｚ移動機構１１０は、ベース部１０１の第２の端部１０６側に設けられたＺステージ機構１２１を有する。Ｚステージ機構１２１は、天板部１０３に配置されたＸＹステージ機構１２０の第２の端部１０６側の部分に対向する位置に設けられる。Ｚステージ機構１２１には、第２の基板配置部１０８が設けられる。Ｚステージ機構１２１は、第２の基板配置部１０８に配置された搬送先基板２０を、ｚ方向に移動させることが可能である。
【００５５】
ＸＹＺ移動機構１０９、ＸＹ移動機構１１１、及びＺ移動機構１１０は、本実施形態において、第１及び第２の保持ヘッド部１１５及び１１６を移動させて保持動作を実行させる駆動部に相当する。
【００５６】
図４は、本技術に係る保持ヘッド部１５０の構成例を示す概略図である。図４Ａは斜視図であり、図４Ｂは正面図であり、図４ＢはＡ−Ａ線での断面図である。図４に例示する保持ヘッド部１５０の構成を適宜変更したものが、図１に示す第１及び第２の保持ヘッド部１１５及び１１６として用いられる。
【００５７】
保持ヘッド部１５０は、複数の保持体１５１を有す保持部１５２と、保持部１５２を支持する支持部１５３とを有する。複数の保持体１５１は、所定の方向（ｙ'方向）に延在し、２次元状に配置された複数の部品１５のうち当該ｙ'方向に連続して並ぶ複数の部品１５からなる部品群（対象物群）３０（図６参照）をそれぞれ保持可能である。また複数の保持体１５１は、ｙ'方向と異なるｘ'方向に所定の間隔で並んで配置される。
【００５８】
図４に示すように、複数の保持体１５１は、ｘ'及びｙ'方向にそれぞれ直交するｚ'方向に突出する。これにより部品１５を確実に保持することが可能となる。またｘ'及びｙ'方向は互いに直交する。これにより搬送先基板２０において互いに直交する２方向に並ぶように部品１５を搬送することができる。なお保持体１５１の延在方向と並ぶ方向とが直交する場合に限定されるわけではない。
【００５９】
複数の保持体１５１の数、幅（ｘ'方向の大きさ）、延在方向における長さ（ｙ'方向の大きさ）、高さ（ｚ'方向の大きさ）、間隔等は限定されず、搬送対象物の数、大きさ、ピッチ等をもとに適宜設計されればよい。例えば複数の保持体１５１の間隔は、約１０μｍから１００００μｍ程度に設定される。また高さが幅の略１／１０倍から２倍の大きさに設定される。
【００６０】
本実施形態では、図３や図６に示すように、以下のような構成を有する第１の保持ヘッド部１１５及び第２の保持ヘッド部１１６がそれぞれ用いられる。なお第１の保持ヘッド部１１５の複数の保持体１５１は、本実施形態において複数の第１の保持体に相当する。また第２の保持ヘッド部１１６の複数の保持体１５１は、本実施形態において複数の第２の保持体に相当する。以下そのような記載をする場合がある。
【００６１】
第１の保持ヘッド部１１５
保持体の数…３つ
保持体の幅…部品１５の径と略等しい大きさ
保持体の長さ…ピッチＰ１で連続して並ぶ６個の部品１５を同時に保持できる大きさ
保持体の間隔…ピッチＰ３で連続して並ぶ部品１５の間隔と略等しい大きさ
なお保持体の間隔は、第１の間隔に相当し、以下そのように記載する場合がある。
【００６２】
第２の保持ヘッド部１１６
保持体の数…９つ
保持体の幅…部品１５の径と略等しい大きさ
保持体の長さ…ピッチＰ３で連続して並ぶ６個の部品１５を同時に保持できる大きさ
保持体の間隔…ピッチＰ２で連続して並ぶ部品１５間隔と略等しい大きさ
なお保持体の間隔は、第２の間隔に相当し、以下そのように記載する場合がある。
【００６３】
このように構成された第１の保持ヘッド１１５が３つ配置される。３つの第１の保持ヘッド部１１５は、各保持体１５１の延在方向が、ｙ方向（第１の方向）となるように配置される。従って第１の保持ヘッド部１１５の保持体１５１は、２次元状に配置された複数の部品１５のうちｙ方向に連続して並ぶ複数の部品１５からなる部品群３０を保持する。
【００６４】
第２の保持ヘッド部１１６は、単体で用いられる。第２の保持ヘッド部１１６は、保持体１５１の延在方向が、ｘ方向（第２の方向）となるように配置される。従って第２の保持ヘッド部１１６の保持体１５１は、２次元状に配置された複数の部品１５のうちｘ方向に連続して並ぶ複数の部品１５からなる部品群３５を保持可能である（図６参照）。
【００６５】
複数の保持体１５１は、粘着力により部品１５をそれぞれ保持する。粘着力の大きさは、搬送元基板１０の部品１５の保持力よりも大きく設定される。
【００６６】
保持体１５１を有する保持ヘッド部１５０の作成方法の一例としては、まず成形型がフォトリソグラフィにより作製される。すなわち石英基板等にレジストが塗布され、マスクを介して紫外線が照射される。そして現像により凹凸パターンを有する成形型が作成される。凹凸パターンは、図４等に示す複数の保持体１５１に対応したパターンである。
【００６７】
成形型を用いて保持ヘッド部１５０が作成される際には、凹凸パターンを有する成形型に離型膜が塗布される。離型膜としては、例えばNovec(住友スリーエム社)、Nanos(ティーアンドケー社)等のフッ素系ポリマーが用いられる。この成形型に粘着樹脂（例えばシリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ウレタン系樹脂等）が流し込まれ、支持部１５３となる基板（例えばステンレス、ガラス、合成石英等）が貼り合わされる。そして離型されることで、粘着性をもつ保持ヘッド部１５０が作成される。なお粘着樹脂の硬化としては、例えば熱硬化や紫外線硬化が用いられる。また硬化後の物性としてヤング率は、略０．５MPa〜５MPa程度となる。これらの数値に限定されるわけではない。
【００６８】
フォトリソグラフィで成形型を作製する際には、孔形状のパターンをたくさん形成するよりも、１方向に延在する溝形状のパターンを形成する方が容易である。また孔形状のパターンの場合には、成形型の孔の中に異物等が付着した際に、当該異物を除去することが困難である。一方溝形状のパターンの場合には、クリーンエアを吹きかける、あるいは有機溶剤等で流すなどの手法により、比較的容易に異物を取り除くことができる。
【００６９】
また離型膜を塗膜する工程においても、液に浸漬して塗膜する場合には、溝形状のパターンを有する成形型の方が、液体が回りやすく離型膜の塗膜が容易になる。さらに、成形を行うために粘着樹脂を成形型に流し込む際にも、孔形状の場合には空気が混入しやすいのに対し、溝形状の場合には空気が混入しにくいという利点がある。
【００７０】
本実施形態に係る保持ヘッド部１５０が作成される場合には、上記の溝形状のパターンを有する成形型が用いられるので、簡単に高い精度で、成形型及び保持ヘッド部１５０を作成することが可能となる。
【００７１】
また離形抵抗に関しても本技術に係る保持ヘッド部１５０は有利である。部品を保持する保持ヘッド部では、粘着樹脂の粘着力のために離型抵抗が大きく、粘着樹脂の表面積が大きくなるにつれて離型が困難になる。離形が難しいと、粘着樹脂の機械的強度によっては離型の際に破断が生じてしまい、成形型の凹部に粘着樹脂が残り、所望の凸形状を実現することができなくなることもある。
【００７２】
孔形状のパターンを有する成形型により、アイランド状の保持凸部９５１を有する保持ヘッド部９５０が形成されたとする（図８の保持ヘッド部９５０参照）。このようなアイランド状の保持凸部９５１が配列された保持ヘッド部９５０よりも、１方向に延在するライン状の保持体１５１を有する本技術に係る保持ヘッド部１５０を成形する方が容易である。なぜならライン状の保持体１５１の方が表面積が小さいため離型抵抗が小さいことに加え、小さい保持凸部９５１よりも大きい保持体１５１の方が機械的強度が高く離型時に破断しにくいためである。
【００７３】
またアイランド状の保持凸部９５１を有する保持ヘッド部９５０では、保持凸部９５１やそれらの間に異物が付着した際に、当該異物を除去することが困難である。一方、ライン状の保持体１５１を有する保持ヘッド部１５０では、異物が付着しても、クリーンエアを吹きかける、あるいは有機溶剤等で流すなどの手法により、比較的容易に異物を取り除くことができる。
【００７４】
さらに、アイランド状の保持凸部９５１を有する保持ヘッド部９５０は、搬送元基板１０あるいは搬送先基板２０に押し付けた際に保持凸部９５１が変形しやすく、部品１５の位置ずれが発生しやすい。これに対して、ライン状の保持体１５１を有する保持ヘッド部１５０の場合機械的強度が増し、保持体１５１の変形が小さいため、部品１５の位置ずれが発生しにくくなる。機械的強度が増すことは、保持ヘッド部１５０の耐久性にも貢献するため、ライン状の保持体１５１を有する保持ヘッド部１５０の方が多数の搬送に耐えることが可能である。また本技術に係る保持ヘッド部１５０の方が、アイランド状の保持凸部９５１を有する保持ヘッド９５０よりも、材料コストを低減することができる。
【００７５】
図４Ｃに示すように、本実施形態に係る複数の保持体１５１は、保持体１５１の延在方向から見たそれぞれの断面形状が、支持部１５３側を長辺とし、部品１５と接触する側を短辺とする略台形形状となっている。これにより成形型からの離型をさらに容易とすることが可能となる。また異物等が付着した際に、さらに容易に異物等を除去することが可能となる。すなわち簡単に保持ヘッド部１５０を洗浄することが可能となる。なお保持体１５１を幅方向から見た形状も略台形上に形成されてよい。
【００７６】
図５は、本実施形態に係る搬送装置１００の動作例を示すフローチャートである。図６は、図５に示すステップを説明するための模式的な図である。図６に示す搬送元基板１０に配置された複数の部品１５のうち、ｙ方向に連続して６個並ぶ複数の部品１５が部品群３０となる。
【００７７】
まず第１及び第２の基板配置部１０７及び１０８に、搬送元基板１０及び搬送先基板２０がそれぞれ投入される（ステップ１０１）。ＸＹＺ移動機構１０９により、３つの第１の保持ヘッド部１１５の１つが搬送元基板１０に対向する所定の位置に移動される。
【００７８】
本実施形態では、図６に示す最も上側（ｙ方向において端部側）に位置する第１の保持ヘッド部１１５ａが所定の位置に移動される。第１の保持ヘッド部１１５ａは、３つの保持体１５１のうち最も端の保持体１５１ａが、搬送元基板１０上の最も端の部品群３０ａと対向する位置に移動される。この際第１の保持ヘッド部１１５の他の保持体１５１ｂ及びｃは、部品群３０ａからピッチＰ３の位置にくる部品群３０ｂ及びｃとそれぞれ対向する。従って第１の保持ヘッド部１１５ａの３つの保持体１５１ａ−ｃは、図６に示す内部に色が付されていない（内部が白色の）部品群３０ａ−ｃとそれぞれ対向することになる。
【００７９】
その状態でＸＹＺ移動機構１１８のＺステージ機構１１９により第１の保持ヘッド部１１５ａが、搬送元基板１０の方へ移動される（ステップ１０２）。この際、他の第１保持のヘッド部１１５ｂ及びｃもともに上昇する。もちろん第１の保持ヘッド部１１５ａのみが上昇するような構成が採用されてもよい。
【００８０】
搬送元基板１０と第１の保持ヘッド部１１５ａとが接触する（ステップ１０３）。具体的には、対向して配置された３つの保持体１５１ａ−ｃと、３つの部品群３０ａ−ｃとが接触する。これにより図６に示すように、３つの保持体１５１ａ−ｃにより、３つの部品群３０ａ−ｃがそれぞれ保持される。なお図６では、部品１５を保持した第１の保持ヘッド部１１５ａの正面図が図示されている。従って搬送元基板１０上での部品群３０の位置と、３つの保持体１５１上での部品群３０の位置とが、左右方向（ｘ方向）で反転している。
【００８１】
このように本実施形態では、第１の保持ヘッド部１５０による保持動作により、ｙ方向にピッチＰ１で連続して並ぶ部品群３０のうち、間を２つ飛ばした３つの部品群３０ａ−ｃが保持される。すなわち本実施形態では、複数の部品群３０が間引きされる、間引き搬送（スキップ搬送）が実行される。本実施形態では、間引き間隔（スキップ間隔）は２となる。
【００８２】
Ｚステージ機構１１９により、第１の保持ヘッド部１１５が下方に移動される（ステップ１０４）。上記したように、保持体１５１による粘着力は、搬送元基板１０による粘着力よりも大きく設定される。従って３つの保持体１５１には、３つの部品群３０がそれぞれ保持されている。
【００８３】
ＸＹＺ移動機構１０９のＸＹステージ機構１１８により搬送元基板１０の直下に来る第１の保持ヘッド部１１５が切り替えられる（ステップ１０５）。本実施形態では、図６に示す中央に位置する第１の保持ヘッド部１１５ｂが所定の位置に移動される。この第１の保持ヘッド部１１５ｂは、３つの保持体１５１が内部に薄いグレーが付された３つの部品群３０と対向する位置に移動される。この状態で、ステップ１０２−１０５が繰り返される。
【００８４】
２回目のステップ１０５では、図６に示す最も下側に位置する第１の保持ヘッド部１１５ｃが所定の位置に移動される。この第１の保持ヘッド部１１５ｃは、３つの保持体１５１が内部に濃いグレーが付された３つの部品群３０と対向する位置に移動される。この状態で、ステップ１０２−１０５が繰り返される。この結果、搬送元基板１０に配置された複数の部品１５の全てが、３つの第１の保持ヘッド部１１５により保持される。
【００８５】
全ての部品１５を保持するためにステップ１０２−１０５が実行される回数は、間引き間隔の数と関連する。本実施形態では、間引き間隔が２であるので、飛ばされた部品群３０が保持されるために２回の保持動作がさらに必要となる。従って必要保持動作の回数は合計で３となる。またピッチの拡大率も間引き間隔と関連があり、飛ばされた部品群３０分だけピッチが空くので、ピッチＰ３は３となる。これらの関係を式で表すと、必要保持動作回数＝間引き間隔＋１、拡大率＝間引き間隔＋１となる。
【００８６】
以下第１の保持ヘッド部１１５に保持される部品群３０のことを、同じ符号を用いて第１の部品群３０と記載する。図６に示すように本実施形態では、第１の保持ヘッド部１１５によりそれぞれ保持された３つの第１の部品群３０が、ｙ方向（第１の方向）に連続して並ぶように、３つの第１の保持ヘッド部１１５が固定される。
【００８７】
ＸＹＺ移動機構１０９のＸＹステージ機構１１８により、第１の保持ヘッド部１１５が第２の保持ヘッド部１１６に対向する所定の位置に移動される（ステップ１０６）。３つの第１の保持ヘッド部１１５は、第２の保持ヘッド部１１６のｘ方向における半分の領域Ｌに対向する位置に移動される。図６に示すように、第１の保持ヘッド部１１５の右上端部にある部品１５（内部白、数字１の部品）が、第２の保持ヘッド部１１６の最も上の保持体１５１ａの左端部１５５と対向するように、第１の保持ヘッド部１１５が移動される。
【００８８】
ＸＹＺ移動機構１０９のＺステージ機構１１９により３つの第１の保持ヘッド部１１５が、第２の保持ヘッド部１１６の方へ移動される（ステップ１０７）。そして３つの第１の保持ヘッド部１１５と、第２の保持ヘッド部１１６とが接触する（ステップ１０８）。これにより第１の保持ヘッド部１１５に保持された複数の部品１５のうち、ｘ方向にピッチＰ３で連続して並ぶ（第１の間隔で連続して並ぶ）複数の部品群３５が、第２の保持ヘッド部１１６の保持体１５１に保持される。
【００８９】
Ｚステージ機構１１９により、第１の保持ヘッド部１１５が下方に移動される（ステップ１０９）。本実施形態では、第２の保持ヘッド部１１６の第２の保持体１５１の粘着力は、第１の保持ヘッド部１１５の第１の保持体１５１の粘着力よりも大きく設定されている。従って、第２の保持体１５１に、複数の部品１５が保持される。
【００９０】
このように本実施形態では、第１の保持ヘッド部１１５に保持された複数の部品１５に対して、第２の保持ヘッド部１１６による保持動作が実行される。第２の保持ヘッド部１１６は、第１の保持ヘッド部１１５に保持された複数の部品１５のうち、ｘ方向にピッチＰ３で連続して並ぶ複数の部品群３５を第２の部品群３５として、これら複数の第２の部品群３５を保持する（同じ符号を使用）。図６に示すように、第２の保持ヘッド部１１６による保持動作の間引き間隔は１である。従って、必要保持動作回数は２となり、ピッチの拡大率も２となる。
【００９１】
ＸＹステージ機構１１８により、第１の保持ヘッド部１１５が第２の保持ヘッド部１１６の別の場所に移動される（ステップ１１０）。３つの第１の保持ヘッド部１１５は、第２の保持ヘッド部１１６のもう半分の領域Ｒに対向する位置に移動される。そしてステップ１０７−１１０が繰り返される。この結果、３つの第１の保持ヘッド部１１５に保持された複数の部品１５が、第２の保持ヘッド部１１６の第２の保持体１５１により全て保持される。
【００９２】
ＸＹ移動機構１１１のＸＹステージ機構１２０により、第２の保持ヘッド部１１６が搬送先基板２０に対向する所定の位置に移動される（ステップ１１１）。そしてＺ移動機構１１０のＺステージ機構１２１により、搬送先基板２０が第２の保持ヘッド部１１６の方へ移動される（ステップ１１２）。第２の保持ヘッド部１１６と搬送先基板２０とが接触し（ステップ１１３）、その後Ｚステージ機構１２１により、搬送先基板２０が下方に移動される（ステップ１１４）。
【００９３】
本実施形態では、第２の保持ヘッド部１１６の第２の保持体１５１の粘着力よりも、搬送先基板２０の粘着力の方が大きく設定されている。この結果、第２の保持ヘッド部１１６に保持された複数の部品１５が、搬送先基板２０に全て保持される。この結果、搬送元基板１０に配置された複数の部品１５が、ｘ方向及びｙ方向のピッチが拡大されて搬送先基板２０に搬送される（図２参照）。
【００９４】
搬送元基板１０と搬送先基板２０とが取り出され、搬送装置１００による部品搬送が終了する（ステップ１１５）。なお搬送元基板１０は、第１の保持ヘッド部１１５により複数の部品１５が保持されたタイミングで、先に搬送装置１００から取り出されてもよい。
【００９５】
図５に示す搬送例では、３つの第１の保持ヘッド部１１５により３回ピックアップ動作（吸着動作）が行われる。３つの第１の保持ヘッド部１１５によるプレイス動作（載置動作）は０回である。そして第２の保持ヘッド部１１６により２回ピックアップ動作が行われ、１回プレイス動作が行われる。従って合計の搬送回数として、５回のピックアップ動作と、１回のプレイス動作が行われる。なおピックアップ回数のみを搬送回数とすると、搬送回数は５回となる。
【００９６】
図７は、本実施形態に係る部品搬送の変形例を示す概略図である。図７中のライン状搬送ヘッドとは、ライン状の保持体１５１を有する保持ヘッド部１５０のことである。また１次元ずつ拡大とは、ｘ方向及びｙ方向のそれぞれのピッチの拡大を、１方向ずつ行うことを意味する。
【００９７】
この部品搬送では、第１の保持ヘッド部１１５によりそれぞれ保持された３つの第１の部品群３０が、ｘ方向（第２の方向）に第１の間隔で連続して並ぶように、３つの保持ヘッド部１１５が固定される。そして３つの第１の保持ヘッド部１１５に保持された複数の部品１５に対して、第２の保持ヘッド部１１６による保持動作が実行される。この第２の保持ヘッド部１１６は、以下のような構成を有している。
【００９８】
第２の保持ヘッド部１１６
保持体の数…３つ
保持体の幅…部品１５の径と略等しい大きさ
保持体の長さ…ピッチＰ３で連続して並ぶ９個の部品１５を同時に保持できる大きさ
保持体の間隔…ピッチＰ２で連続して並ぶ部品１５間隔と略等しい大きさ
なお図７では、第１及び第２の保持ヘッド部１１５及び１１６の大きさが小さく図示されている。
【００９９】
例えばこのような構成を有する第１及び第２の保持ヘッド部１１５及び１１６により、図７に示すような部品搬送が実行されてもよい。このような部品搬送においても、搬送元基板２０に配置された複数の部品１５を、ｘ方向及びｙ方向のピッチを拡大させて搬送先基板２０に搬送することが可能となる。
【０１００】
図７に示す搬送例では、３つの第１の保持ヘッド部１１５により３回ピックアップ動作が行われ、プレイス動作は０回である。そして第２の保持ヘッド部１１６により２回ピックアップ動作が行われ、２回プレイス動作が行われる。従って合計の搬送回数として、５回のピックアップ動作と、２回のプレイス動作が行われる。なおピックアップ回数のみを搬送回数とすると、搬送回数は５回となる。
【０１０１】
図８は、比較例として挙げる部品搬送について説明するための概略図である。図８中のアイランド状搬送ヘッドとは、アイランド状の保持凸部９５１を有する保持ヘッド部９５０のことである。また２次元一括拡大とは、ｘ方向及びｙ方向のそれぞれのピッチの拡大を、一括で行うことを意味する。
【０１０２】
この部品搬送では、アイランド状の保持凸部９５１を有する保持ヘッド部９５０が単体で用いられる。保持ヘッド部９５０は、ｘ方向に３つ並び、ｙ方向にも３つ並ぶ合計９つの保持凸部９５１を有する。保持凸部９５１のｘ方向におけるピッチはピッチＰ３であり、ｙ方向におけるピッチはピッチＰ２である。また保持凸部９５１は、それぞれ１つの部品１５を保持することが可能である。従って１回の保持動作では、９つの保持凸部９５１により９個の部品１５が保持される。
【０１０３】
図８に示すように、この部品搬送では、保持ヘッド部９５０によりピックアップ動作後、そのまま保持ヘッド部９５０が搬送先基板２０の所定の位置に移動され、プレイス動作が行われる。搬送元基板１０の全ての部品を搬送するためには、ピックアップする位置を移動させながら、６回のピックアップ動作が行われる。これに応じて搬送先基板２０では６回のプレイス動作が行われる。この動作回数が搬送回数となる。なおピックアップ回数のみを搬送回数とすると、搬送回数は６回となる。
【０１０４】
このように図４及び図７に示す本技術に係る部品搬送では、比較例に係る部品搬送と比べて、搬送回数を低減させることが可能である。
【０１０５】
以上、本実施形態に係る搬送装置１００では、ｙ方向に延在しｘ方向に第１の間隔で並ぶ複数の第１の保持体１５１を有する第１の保持ヘッド部１１５と、ｘ方向に延在しｙ方向に第２の間隔で並ぶ複数の第２の保持体１５１を有する第２の保持ヘッド部１１６とが用いられる。ｘ方向に延在する第１の保持体１５１によりｙ方向に連続して並ぶ複数の部品１５を保持可能である。またｘ方向に延在する第２の保持体１５１により、ｘ方向に連続して並ぶ複数の部品１５を保持可能である。この結果、搬送回数を低減させることが可能となる。すなわち少ない搬送回数にて、ｘ方向には第１の間隔で並ぶように、ｙ方向には第２の間隔で並ぶように、複数の部品１５を搬送することが可能となる。またライン状の保持体１５１を有することにより、簡易な構成で第１及び第２の保持ヘッド部１１５及び１１６をそれぞれ実現させることができる。
【０１０６】
平面上に規則的に配置された多数の部品を選択的に間引いて搬送先の基板へ搬送するための方法として、多数のバキュームノズルをもつ搬送ヘッドにより部品を真空吸着して搬送する方法が考えられる。あるいは静電引力を利用した搬送方法や、搬送対象部品が磁性体の場合には磁力の発生および解放により搬送する方法も考えられる。また本実施形態に係る搬送のように、搬送元基板よりも強い粘着力をもつ搬送ヘッドに部品を付着させてピックアップし、さらに強い粘着力をもつ搬送先基板へ受け渡す方法も考えられる。
【０１０７】
搬送対象となる部品のサイズが数十ミクロン以下まで微細化した場合、真空吸着方式ではバキュームノズルの作製が困難となる。また異物によるバキューム孔の詰まりなども発生しやすくなるためメンテナンスも煩雑になる。静電引力による搬送方式では、搬送を行うためのヘッドの電極を微細化するのが困難である。磁力による搬送方式では、磁力線の広がりにより対象部品のみを選択的にピックアップすることが困難となる。
【０１０８】
これに対して、粘着力で搬送する方式は、樹脂成形等で比較的容易に微細な凹凸形状を作製することが可能であり、またもし微細な異物が付着しても洗浄が容易であるためメンテナンス性にも優れる。このような観点から、微細部品の搬送には粘着力を用いた本技術が適している。
【０１０９】
粘着力を用いた間引き搬送を行うための、微細な凹凸形状をもつ搬送ヘッドを作製する方法として、成形方式が考えられる。この際、凹凸形状が微細化すると成形型の作製が困難になる。また成型により作成された搬送ヘッドの凸部の機械的強度が弱くなるため、搬送元あるいは搬送先の基板に押し当てた際に変形して部品の位置精度が問題になることがある。また搬送ヘッドに高い粘着力が求められる場合、樹脂硬化後の離型抵抗が増大し、成形型からの離型が困難になる。また、一度で搬送すべき部品の数が増えると、それに伴って搬送ヘッドの凸の数も増やさなければならない。この凸数が増えれば増えるほど表面積が大きくなり、成形時の離型抵抗は増大するため成形が困難になる。
【０１１０】
上記でも述べたが、本実施形態では、１方向に延在するライン状の保持体１５１が形成されるので、これらの問題の発生を抑えることが可能である。また搬送回数に関しても、アイランド状の保持凸部９５１を有する保持ヘッド部９５０では、間引きの間隔が広がれば広がるほど最終的に同じ数の部品を搬送するために必要な搬送回数が飛躍的に増大する。一方で本技術に係る保持ヘッド部１５０では、搬送回数の増大を抑えることができる。
【０１１１】
＜第２の実施形態＞
本技術に係る第２の実施形態の搬送装置について説明する。これ以降の説明では、上記の実施形態で説明した搬送装置１００における構成及び作用と同様な部分については、その説明を省略又は簡略化する。
【０１１２】
図９は、本技術の第２の実施形態に係る搬送装置の構成例を示す概略図である。この搬送装置２００では、単体の第１の保持ヘッド部２１５と、単体の第２の保持ヘッド部２１６とが用いられる。第１及び第２の保持ヘッド部２１５及び２１６の構成は、第１の実施形態で説明した図６に示す構成と同様である（段落［００５５］［００５６］参照）。第１の保持ヘッド部２１５は、保持体２５１の延在方向がｙ方向に合わせられる。第２の保持ヘッド部２１６は、保持体２５１の延在方向がｘ方向に合わせられる。
【０１１３】
また搬送装置２００は、第１の保持ヘッド部２１５により保持された複数の第１の部品群３０が載置される載置部としての中間基板２６０を有する。すなわち本実施形態では、搬送元基板１０→第１の保持ヘッド部２１５→中間基板２６０→第２の保持ヘッド部２１６→搬送先基板２２０の順に、複数の部品１５が搬送される。複数の部品１５の受け渡しは、各部材の粘着力の差により行われる。
【０１１４】
図９に示すように、天板部２０３の第１の端部１０５から第２の端部１０６にかけて、搬送元基板１０、ＸＹ移動機構２１１、搬送先基板２０がこの順で配置される。このＸＹ移動機構２１１のＸＹステージ機構２２０に中間基板２６０が接続される。ベース部２０１には、２つのＸＹＺ移動機構２０９及び２１０が配置される。第１の端部１０５側に配置されたＸＹＺ移動機構２０９には、第１の保持ヘッド部２１５が接続される。第２の端部１０６側に配置されたＸＹＺ移動機構２１０には、第２の保持ヘッド部２１６が接続される。
【０１１５】
第１の保持ヘッド部２１５は、搬送元基板１０から中間基板２６０にかけて移動可能である。中間基板２６０は、第１の保持ヘッド部２１５から第２の保持ヘッド部２１６にかけて移動可能である。第２の保持ヘッド部２１６は、中間基板２６０から搬送先基板２０にかけて移動可能である。
【０１１６】
図１０は、本実施形態に係る搬送装置２００の動作例を示すフローチャートである。図１１は、図１０に示すステップを説明するための模式的な図である。
【０１１７】
ステップ２０１−２０４にて、第１の保持ヘッド部２１５により３つの第１の部品群３０が保持される。そしてＸＹステージ機構２１８により、第１の保持ヘッド部２１５が中間基板２６０に対向する所定の位置に移動される（ステップ２０５）。本実施形態では、図１１に示すように、中間基板２６０の上方の領域に対向する位置に第１の保持ヘッド部２１５が移動される。そしてステップ２０６−２０８にて、第１の保持ヘッド部２１５に保持された３つの第１の部品群３０が中間基板２６０に載置される（内部に色が付されていない３つの部品群３０）。
【０１１８】
ＸＹステージ機構２１８により、第１の保持ヘッド部２１５が搬送元基板１０に対向する所定の位置に戻され、ステップ２０２−２０９が間引き分の数だけ繰り返される。その結果、図１１に示すように、搬送元基板１０に配置された複数の部品１５が、中間基板２６０に搬送される。本実施形態では、中間基板２６０上に第１の保持ヘッド部２１５により保持された３つの対象物群３０が、ｙ方向に連続して並ぶように、第１の保持ヘッド部２１５による複数の保持動作が実行される。
【０１１９】
ステップ２１０−２１４にて、中間基板２６０に保持された複数の部品１５に対して、第２の保持ヘッド部２１６による保持動作が実行される。すなわち中間基板２６０に載置された複数の部品１５のうち、ｘ方向に第１の間隔で連続して並ぶ複数の部品１５を第２の部品群３５として、第２の保持ヘッド部２１６により複数の第２の対象物群３５が保持される。
【０１２０】
具体的には、ＸＹステージ機構２２０により中間基板２６０が第２の保持ヘッド部２１６側に移動される（ステップ２１０）。Ｚステージ機構２２１により第２の保持ヘッド部２１６が上昇され（ステップ２１１）、中間基板２６０と第２の保持ヘッド部２１６とが接触する（ステップ２１２）。Ｚステージ機構２２１により第２の保持ヘッド部２１６が下降され（ステップ２１３）、ＸＹステージ機構２２２により第２の保持ヘッド部２１６が中間基板２６０の下の別の場所に移動される（ステップ２１４）。ステップ２１１−２１４が所定の回数繰り返されることで、図１１に示すように、中間基板２６０上の複数の部品１５が第２の保持ヘッド部２１６により保持される。
【０１２１】
ＸＹステージ機構２２２により第２の保持ヘッド部２１６が搬送先基板２０の下に移動される（ステップ２１５）。そして搬送先基板２０に複数の部品１５が搬送され、部品搬送が終了する（ステップ２１６−２１９）。このような部品搬送においても、搬送元基板１０に配置された複数の部品１５を、ｘ及びｙ方向のピッチを拡大させて搬送先基板２０に搬送することが可能となる。
【０１２２】
図１０に示す搬送例では、単体の第１の保持ヘッド部２１５により３回ピックアップ動作が行われ、３回プレイス動作が行われる。また第２の保持ヘッド部２１６により、２回ピックアップ動作が行われ、１回プレイス動作が行われる。従って合計の搬送回数として、５回のピックアップ動作と、４回のプレイス動作が行われる。なおピックアップ回数のみを搬送回数とすると、搬送回数は５回となる。
【０１２３】
図１２は、本実施形態に係る部品搬送の変形例を示す概略図である。この部品搬送では、中間基板２６０上に第１の保持ヘッド部２１５により保持された３つの第１の部品群３０が、ｘ方向に第１の間隔で連続して並ぶように、第１の保持ヘッド部２１５による複数の保持動作が実行される。そして中間基板２６０に載置された複数の部品１５に対して、第２の保持ヘッド部２１６による保持動作が実行される。なお第２の保持ヘッド部２１６の構成は、第１の実施形態で説明した図７に示す構成と同様である（段落［００９２］参照）。このような部品搬送においても、搬送元基板１０に配置された複数の部品１５を、ｘ方向及びｙ方向のピッチを拡大させて搬送先基板２０に搬送することが可能となる。
【０１２４】
図１２に示す搬送例では、単体の第１の保持ヘッド部２１５により３回ピックアップ動作が行われ、３回プレイス動作が行われる。また第２の保持ヘッド部２１５により、２回ピックアップ動作が行われ、２回プレイス動作が行われる。従って合計の搬送回数として、５回のピックアップ動作と、５回のプレイス動作が行われる。なおピックアップ回数のみを搬送回数とすると、搬送回数は５回となる。
【０１２５】
＜第３の実施形態＞
図１３は、本技術の第３の実施形態に係る搬送装置の構成例を示す概略図である。図１４は、本実施形態に係る搬送装置の動作例を示すフローチャートである。
【０１２６】
本実施形態に係る搬送装置３００は、第２の実施形態に係る搬送装置２００に３つの第１の保持ヘッド部３１５を設けた形態である。第２の実施形態では、単体の第１のヘッド部２１５による３回のピックアップ動作及び３回のプレイス動作により、搬送元基板１０から中間基板２６０に複数の部品１５が搬送された。本実施形態では、３つの第１の保持ヘッド部３１５による３回のピックアップ動作及び１回のプレイス動作により、搬送元基板１０から中間基板３６０に複数の部品が搬送される。
【０１２７】
図１４のステップ３０１−３０５にて、搬送元基板１０上の複数の部品１５が、３つの第１の保持ヘッド部３１５により保持される。ステップ３０６−３０９にて、３つの第１の保持ヘッド部３１５に保持された複数の部品１５が、中間基板３６０に載置される。ステップ３１０−ステップ３１９は、第２の実施形態で説明したのと同様である。
【０１２８】
このように、中間基板３６０上に複数の第１の保持ヘッド部３１５によりそれぞれ保持された複数の第１の部品群３０が、ｙ方向に連続して並ぶように複数の第１の保持ヘッド部３１５による保持動作が実行されてもよい。このような搬送においても、搬送元基板１０に配置された複数の部品１５を、ｘ方向及びｙ方向のピッチを拡大させて搬送先基板２０に搬送することが可能となる。
【０１２９】
図１４に示す搬送例では、３つの第１の保持ヘッド部３１５により３回ピックアップ動作が行われ、１回プレイス動作が行われる。また第２の保持ヘッド部３１６により、２回ピックアップ動作が行われ、１回プレイス動作が行われる。従って合計の搬送回数として、５回のピックアップ動作と、２回のプレイス動作が行われる。なおピックアップ回数のみを搬送回数とすると、搬送回数は５回となる。
【０１３０】
図１５は、本実施形態に係る部品搬送の変形例を示す概略図である。この部品搬送では、中間基板３６０上に複数の第１の保持ヘッド部３１５によりそれぞれ保持された３つの第１の部品群３０が、ｘ方向に第１の間隔で連続して並ぶように、複数の第１の保持ヘッド部３１５による保持動作が実行される。そして中間基板３６０に載置された複数の部品１５に対して、第２の保持ヘッド部３１６による保持動作が実行される。例えばこのような搬送においても、搬送元基板１０に配置された複数の部品１５を、ｘ方向及びｙ方向のピッチを拡大させて搬送先基板２０に搬送することが可能となる。
【０１３１】
図１５に示す搬送例では、３つの第１の保持ヘッド部３１５により３回ピックアップ動作が行われ、１回プレイス動作が行われる。また第２の保持ヘッド部３１６により、２回ピックアップ動作が行われ、２回プレイス動作が行われる。従って合計の搬送回数として、５回のピックアップ動作と、３回のプレイス動作が行われる。なおピックアップ回数のみを搬送回数とすると、搬送回数は５回となる。
【０１３２】
図１６は、上記の各実施形態に係る搬送回数と、比較例に係る搬送回数とをまとめた表である。表中のＮは、ｘ方向における必要保持動作回数（間引き間隔＋１）である。表中のＭは、ｙ方向における必要保持動作回数（間引き間隔＋１）である。
【０１３３】
図１６に示すように、本技術に係る部品搬送では、１軸ずつ間引いて搬送することにより、搬送回数を低減させることが可能となる。これは、ＸＹの両軸を同時に間引くと搬送回数が積で決まるのに対し、１軸ずつ間引くと搬送回数が和で決まるためである。Ｍ及びＮを２以上の整数とすると、１／Ｍ＋１／Ｎ≦１（Ｍ＝Ｎ＝２のとき等号成立）となり、Ｍ＋Ｎ≦Ｍ×Ｎとなる。従って本技術に係る部品搬送では、比較例に係る部品搬送と比べて、搬送回数を低減させることが可能である。間引き間隔が大きくなればなるほど搬送回数の差は大きくなる。
【０１３４】
図１７は、搬送対象となる部品１５の表裏について説明するための模式図である。図１７Ａは第１の実施形態に相当する部品搬送であり、図１７Ｂは第２及び第３の実施形態に相当する部品搬送である。
【０１３５】
搬送対象となる部品に表面１５ａ及び裏面１５ｂがある場合、搬送先基板２０上で正規の表裏関係になるように搬送元基板１０上での部品の表裏を決めておく必要がある。図１７Ａに示すように、第１の保持ヘッド部５１５に保持された複数の部品１５が第２の保持ヘッド部５１６により保持される場合には、搬送元基板１０上と搬送先基板２０上とで部品１５の表裏が反対になる。従って搬送元基板１０では、部品１５の裏面１５ｂが表側になるように、複数の部品１５が配置される。搬送元基板１０と搬送先基板２０とで部品１５の表裏を反転させたい場合には、図１７Ａに示すような第１の実施形態に係る部品搬送が有利である。
【０１３６】
一方図Ｂに示すように、中間基板５６０が用いられる場合には、搬送元基板１０上と搬送先基板２０上とで部品１５の表裏が同じになる。従って搬送元基板１０では、部品１５の表面１５ａが表側になるように、複数の部品１５が配置される。
【０１３７】
上記の各実施形態において、搬送先基板２０に搬送される部品１５の表裏を変更するための表裏変更用基板が用いられてもよい。表裏変更用基板に複数の部品１５が載置され、間引きをせずに再度保持されることで、搬送先基板２０に搬送される部品の表裏を変更することができる。表裏変更用基板が設けられる位置は、搬送経路上の任意の位置でよい。
【０１３８】
例えば搬送元基板１０に複数の部品１５が準備される際に、部品の表裏によって、当該配置の容易さが異なる場合がある。最適な実施形態の選択や、表裏変更用基板の採用等により、このような搬送元基板１０への配置に関する条件に合わせて、部品搬送を実行することが可能となる。
【０１３９】
＜その他の実施形態＞
本技術は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態を実現することができる。
【０１４０】
図１８−２０は、他の実施形態に係る保持ヘッド部の構成例を示す概略図である。例えば図１８及び１９に示すように、複数の保持体を有する保持部が、複数の保持体を連結する連結体を有してもよい。すなわち複数の保持体は、互いに独立して配置されてもよいし、連結体により連結されていてもよい。
【０１４１】
図１８に示す保持ヘッド部６５０では、複数の保持体６５１の延在方向の一方の端部６０１を連結するように、連結体６５４が設けられる。図１９に示す保持ヘッド部７５０では、複数の保持体７５１の延在方向の一方の端部７０１に２つの連結体７５４ａが設けられ、他方の端部７０２に１つの連結体７５４ｂが設けられる。２つの連結体７５４ａは、４つの保持体７５１のうちの最も端に位置する２つの保持体７５１を、隣接する保持体７５１にそれぞれ連結する。１つの連結体７５４ｂは、中央の２つの保持体７５１同士を連結する。従って図１９に示す例では、一筆書きが可能な形状にて保持部７５２が構成されている。連結部が設けられる位置は限定されず、保持体による部品の保持を妨げない任意の位置に設けられてよい。
【０１４２】
図２０は、一方向に延在する保持体８５１を、延在方向に直交する方向から見た側面図である。この保持ヘッド部８５０では、保持体８５１に複数の部品保持部８５７が形成される。部品保持部８５７は、保持対象となる部品の１つ１つに対応して形成される凸部である。部品保持部８５７が形成されることで、複数の部品を確実に保持することが可能となり、保持体８５１の機械的強度を向上させることが可能となる。このように、成形及び洗浄の容易さが損なわれない範囲で、保持体８５１の形状が適宜設計されてよい。
【０１４３】
上記では、単体又は３つの第１の保持ヘッド部と、単体の第２の保持ヘッド部とが用いられた。しかしながら用いられる第１及び第２の保持ヘッド部の数は限定されない。
【０１４４】
上記では、保持体の延在方向が互いに直交するように配置された第１及び第２の保持ヘッド部が用いられた。これに対して、第１の保持ヘッド部を回転させ、これを第２の保持ヘッド部として用いて部品搬送が実行されてもよい。例えば第１の保持ヘッド部により搬送元基板から中間基板に複数の部品が搬送される。その後、中間基板に載置された複数の第１の部品群が第１の間隔で並ぶ方向に複数の第１の保持体の延在方向を合わせ、その状態で第１の保持ヘッド部による保持動作が実行されてもよい。これにより必要な保持ヘッド部の数を低減させることが可能となり、部品コスト等を削減することが可能となる。
【０１４５】
上記では、第１の保持ヘッド部の保持体の延在方向と、第２の保持ヘッド部の保持体の延在方向とが直交するように構成された。しかしながらこれに限定されず、各延在方向が交差する角度は適宜設定されてよい。また搬送元基板において、複数の部品が、互いに直交する２方向に並ぶように配置されなくてもよい。２次元状に配置された複数の部品に対して保持ヘッド部が接触すると、保持体の延在方向に沿って連続して並ぶ複数の部品が保持される。当該方向が本技術に係る第１の方向となる。
【０１４６】
図２３は、他の実施形態に係る保持ヘッド部の構成例を説明するための図である。この保持ヘッド部１０１０では、複数の保持体１０１１及び支持部１０１２の各々が、可視光を透過させる透明部材からなる。
【０１４７】
従って図２３に示すように複数の部品１５が配置された搬送元基板１０に対向する位置に、保持ヘッド部１０１０を移動させる。そうすると複数の部品１５にて反射された可視光は、ｚ方向（第３の方向）に沿って、複数の保持体１０１１及び支持部１０１２を透過する。この結果、保持ヘッド部１０１０の背面側（紙面手前側）から、保持ヘッド部１０１０の正面側（紙面奥側）に配置された複数の部品１５を、目視により確認することが可能となる。また保持ヘッド部１０１０の背面側から複数の部品１５の画像を撮影することも可能となる。
【０１４８】
図２４は、図２３に示す保持ヘッド部１０１０を使用する場合の搬送装置１０２０の構成例を示す概略図である。この搬送装置１０２０では、保持ヘッド部１０１０の支持部１０１２を背面側から保持する保持部材１０２１に、貫通孔１０２２が形成される。複数の保持体１０１１及び支持部１０１２を透過した可視光は、これら貫通孔１０２２通って、保持部材１０２１の背面側に進む。なお図２３に示す例では、３つの保持体１０１１のうち、両端の２つの保持体１０１１の背面側となる位置に、貫通孔１０２２が形成されている。これに限定されず、３つの保持体１０１１の背面側にそれぞれ貫通孔１０２２が形成されてもよい。
【０１４９】
貫通孔１０２２の背面側には、複数の保持体１０１１及び支持部１０１２を透過した可視光を撮影するカメラ（撮像部）１０２３が配置される。カメラ１０２３により、貫通孔１０２２の正面側にある保持体１０１１に対向して配置された部品１５が撮影される。カメラ１０２３により撮影された画像は、例えば各移動機構の動作を制御する制御部（調整部）１０２５に出力される。制御部１０２５は、撮影された画像をもとに、部品１５（部品群）と保持ヘッド部１０１０との相対的な位置を調整することが可能である。
【０１５０】
例えばカメラ１０２３に撮影された画像内の所定の位置（典型的には中央）に部品１５が位置するように、アライメントが調整される。当該調整は、撮影された画像をディスプレイ等で目視するユーザからの指示により実行される。あるいは、画像解析技術等が用いられて、制御部１０２５により自動的にアライメントが調整されてもよい。
【０１５１】
図２４Ａは、保持ヘッド部１０１０により部品１５を保持する場合の例を示す図である。搬送元基板１０が、第１の基板配置部１０２７に配置される。そして複数の保持体１０１１及び支持部１０２３を透過した透過光の画像（搬送元基板１０上の部品１５の画像）をもとに、高精度にアライメントが調整される。
【０１５２】
図２４Ｂは、保持ヘッド部１０１１により部品１５が載置される場合の例を示す図である。例えば第２の基板配置部１０２８に配置された搬送先基板２０上に、部品１５を保持している保持ヘッド部１０１０が配置される。そしてカメラ１０２３により撮影された画像をもとに、保持ヘッド部１０１０と搬送元基板２０との相対的な位置が高精度に調整される。
【０１５３】
このように本技術によれば、部品１５の保持及び載置の双方の動作において、高い精度でアライメントを調整することが可能となる。例えば上記の各実施形態で説明した、搬送元基板、第１の保持ヘッド部、中間基板、第２の保持ヘッド部、及び搬送先基板のそれぞれの間で実行される部品の搬送動作において、各部材の相対的な位置を高精度に調整することができる。
【０１５４】
複数の保持体１０１１を構成する透明部材（第１の透明部材）は限定されず、例えば上記したようなシリコーン系樹脂等の粘着樹脂が用いられる。また支持部１０１２を構成する透明部材（第２の透明部材）も限定されず、例えば石英ガラス等が用いられる。支持部１０１２として、例えばホウケイ酸ガラス等の耐熱性があり熱膨張率が低い部材が用いられる場合、保持ヘッド部１０１０を成形する際の熱膨張等による寸法誤差を抑えることができる。また保持ヘッド部１０１０として、透明部材で形成された種々の粘着シートを用いることも可能である。
【０１５５】
なお可視光を透過可能とは、可視光の波長帯域に含まれる全ての波長帯域の光が透過可能である場合に限定されるわけではない。アライメントの調整が可能な程度に、部品１５の画像が撮影できるのであれば、一部の波長帯域の光（例えば所定の色の光）のみが透過可能であってもよい。すなわち本開示において、可視光を透過可能である、とは、可視光の波長帯域の少なくとも一部の波長帯域の光が透過可能であることを意味する。また透明部材についても、一部の波長帯域の光が透過可能であればよい。
【０１５６】
図２４に示す搬送装置１０２０では、保持ヘッド部１０１０を透過する可視光を撮影するために、保持部材１０２１に貫通孔１０２２が形成されている。これに代えて、保持部材１０２１が可視光を透過する透明部材で構成されてもよい。この場合、保持部材１０２１全体が透明部材で構成されてもよいし、図２４にて貫通孔１０２２が形成されている部分のみが透明部材で形成されてもよい。なお透明部材の種類は限定されない。
【０１５７】
また図２３に示す構成例では、複数の保持体１０１１及び支持部１０１２の各々が、可視光を透過させる透明部材により構成された。この場合、複数の保持体１０１１の各々が、ｚ方向に可視光を透過可能な第１の透過部として機能する。また支持部１０１２が、第１の透過部を透過する可視光をｚ方向透過可能な第２の透過部として機能する。
【０１５８】
一方図２５に示すように、可視光を透過する第１及び第２の透過部の構成は、適宜設計可能である。例えば図２５Ａに示す保持ヘッド部１０３０では、複数の保持体１０３１の各々が透明部材で形成され、各々が第１の透過部Ｐ１として機能する。一方支持部１０３２においては、複数の保持体１０３１と連結する部分１０３３のみが、透明部材で形成されている。従ってこの例では、支持部１０３２の透明部分１０３３が、第２の透過部Ｐ２として機能する。
【０１５９】
また図２５Ｂに示す例では、複数の保持体１０３１の、それぞれの一部分のみが透明部材で形成されている。すなわち各保持体１０３１の一方の端部側の部分１０３４のみが透明であり、当該透明部分１０３４が第１の透過部Ｐ１として機能する。そして支持部１０３２においては、各保持体１０３１の透明部分１０３４と連結する部分が透明部材で形成され、第２の透過部Ｐ２として機能する。
【０１６０】
また図２５Ｃに示す例では、複数の保持体１０３１のうちの１つの保持体１０３１ａに第１の透過部Ｐ１が形成される。第１の透過部Ｐ１は、保持体１０３１ａの一方の端部に形成される。支持部１０３２においては、この第１の透過部Ｐ１に対応する位置に第２の透過部Ｐ２が形成される。
【０１６１】
このように複数の保持体１０３１の少なくとも１つに第１の透過部Ｐ１が形成され、第１の透過部Ｐ１を透過する可視光を透過可能な位置に第２の透過部Ｐ２が形成されればよい。第１及び第２の透過部Ｐ１及びＰ２をそれぞれ透過する可視光を撮影することで、高い精度でアライメントを調整することが可能となる。
【０１６２】
上記の各実施形態にて説明したように、第１及び第２の保持ヘッド部が用いられる場合には、各保持ヘッド部において、可視光を透過する透過部が形成されればよい。この際、第１の保持ヘッド部に形成される透過部（特に第１の保持体に形成される透過部）を改めて第１の透過部という場合がある。そして第２の保持ヘッド部に形成される透過部（特に第２の保持体に形成される透過部）を、改めて第２の透過部という場合がある。
【０１６３】
また第１及び第２の保持ヘッド部が用いられる場合、各保持ヘッド部に形成された透過部を透過する可視光を撮影するために、複数のカメラが配置される場合もある。この場合、これら複数のカメラを含んで撮像部が構成される。また可視光をカメラに導く光学系等が適宜用いられてもよい。制御部（調整部）は、撮像部により撮影された画像をもとに、第１の部品群と第１の保持ヘッド部との相対的な位置を高精度に調整することが可能である。また制御部（調整部）は、撮像部により撮影された画像をもとに、第２の部品群と第２の保持ヘッド部との相対的な位置を高精度に調整することが可能である。
【０１６４】
保持ヘッド部の複数の保持体に第１の透過部を形成し、保持体を支持する支持部に第２の透過部を形成する技術は、保持体の形状を限定することなく適用可能である。すなわちこの技術は、図２４等に示すような、ライン上の保持体１０１１を有する構成のみならず、図２６等に示すようなアイランド状の保持凸部（保持体）１０４１を有する保持ヘッド部１０４０においても適用可能である。
【０１６５】
例えば図２６Ａに示すように、全ての保持凸部１０４１が透明材料で形成され第１の透過部Ｐ１が構成されてもよい。そして支持部１０４２全体が透明材料で形成され、第２の透過部Ｐ２が構成されてもよい。または図２６Ｂに示すように、全ての保持凸部１０４１が第１の透過部Ｐ１として構成され、保持凸部１０４１に連結される部分１０４３が、第２の透過部Ｐ２として構成されてもよい。さらに図２６Ｃに示すように、１つの保持凸部１０４１ａのみが第１の透過部Ｐ１となり、これに連結される部分１０４４が第２の透過部Ｐ２として形成されてもよい。いずれの構成においても、高精度なアライメント調整が可能となる。
【０１６６】
その他、アイランド状の保持凸部１０４１とは異なる構成の保持体が形成される場合でも、本技術は適用可能である。すなわち、所定の方向から部品に接触し粘着力によりこれを保持可能な保持体に、当該所定の方向に可視光を透過可能な第１の透過部が形成される。そして保持体を支持する支持部に、第１の透過部を透過した可視光を透過可能な第２の透過部が形成される。このような構成を有する保持ヘッド部であれば、保持体の形状は限定されず、また部品のピッチを拡大するような搬送方法にも限定されず、上記した効果を発揮することが可能となる。例えば第１及び第２の透過部を透過した可視光を撮影した画像により、部品と保持体とを同時に観察することが可能となるので、高い精度でアライメントを調整することが可能となる。
【０１６７】
また保持ヘッド部の背面側から部品を直接撮影することができるので、搬送元基板等にアライメントマークを形成する必要がなくコストの削減等が実現される。一方で搬送元基板等にアライメントマーク等が形成され、当該アライメントマークが保持ヘッド部の背面側から直接撮影されてもよい。この場合でも高精度の位置合わせが可能となる。
【０１６８】
図２７は、部品の保持動作を撮影するカメラのピントについて説明するための図である。図２７の上段に示す図は、保持動作を撮影するカメラ１０２３の位置を示す図であり、カメラ１０２３から延びる矢印の先端がカメラのピント位置（合焦位置）である。図２７の下段に示す図は、ピント位置で撮影された画像を模式的に示す図である。
【０１６９】
図２７Ａ及びＢは、保持動作前の状態であり、搬送元基板１０に対向する位置に保持ヘッド部１０５０が配置されている。なお保持ヘッド部１０５０は、ｙ方向に延在するライン状の３つの保持体１０５１と、これらを保持する支持部１０５２を有する。３つの保持体１０５１及び支持部１０５２の各々は透明部材からなり、第１及び第２の透過部が構成されている。また図２７では、搬送装置側の保持部材の図示が省略されている。
【０１７０】
図２７Ａでは、未だ部品を保持していない保持動作前の保持ヘッド部１０５０の画像Ｉａが撮影される。図２７Ｂでは、保持動作前の搬送元基板１０の画像Ｉｂが撮影される。図２７Ｃは、複数の保持体１０５１が、搬送元基板１０上の部品１５に接触した状態の画像Ｉｃが撮影される。図２７Ｄでは、保持動作後の搬送元基板１０の画像Ｉｄが撮影される。図２７Ｅでは、保持動作後の、部品１５を保持している保持ヘッド部１０５０の画像Ｉｅが撮影される。
【０１７１】
複数の部品１５と保持ヘッド部１０５０との相対的な位置を調整する際には、典型的には、保持ヘッド部１０５０及び搬送元基板１０が互いにある程度近づいた状態の画像が用いられる。この画像は、部品１５及び保持体１０５１の双方にピントが合った状態の画像となり（画像Ｉｃに近い画像）、高精度のアライメント調整が可能となる。これに限定されず、図２７Ａ及びＢに示す保持動作前の画像Ｉａ及びＩｂをもとにアライメントが調整さされてもよい。
【０１７２】
このアライメントの調整の他に、カメラ１０２３により撮影された画像をもとに、保持ヘッド部１０５０や部品１５の状態の検査や確認等が実行されてもよい。例えば図２７Ａ−Ｅの画像Ｉａ−Ｉｅをもとに、保持動作前の保持ヘッド部１０５０の状態の検査、保持動作前の搬送元基板１０上の部品１５の検査等が可能である。また保持体１０５１と部品１５の接触状態の検査や、部品１５を保持した保持ヘッド部１０５０の保持状態の検査等が可能である。また保持動作が終わった後の搬送元基板１０上の部品１５の状態を検査することも可能である。
【０１７３】
図２１は、本技術に係る部品搬送の他の例について説明するための図である。図２１に示すように、本技術に係る保持ヘッド部を用いて、搬送元基板１０に配置された複数の部品１５が、ｘ方向及びｙ方向のいずれか１方向のみのピッチが拡大されて搬送されてもよい。このような部品搬送も、本技術に係る部品搬送に含まれる。
【０１７４】
本技術に係る搬送方法として、１方向に連続して並ぶ複数の部品をその方向においては間引きすることなく同時に保持する方法が用いられてもよい。すなわち複数の対象物のうち第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物を対象物群として、第１の方向と異なる第２の方向に並ぶ複数の対象物群が保持される搬送方法である。この搬送方法に関しては、用いられる保持ヘッド部の構成は限定されなくてもよい。また第２の方向に隣接する２列以上の対象物群が同時に保持されてもよい。すなわち対象物群が１列ずつ保持される場合に限定されなくてもよい。
【０１７５】
図２２は、本技術に係る実装装置の構成例を示す模式図である。実装装置１０００は、上記で説明した本技術に係る搬送装置１１００と、実装部１２００とを有する。実装部１２００は、第１及び第２の保持ヘッド部により保持され、最終的に搬送先基板に搬送された複数の部品を、当該搬送先基板に実装する。実装部１２００の構成は限定されず、搬送装置１１００から取り出された搬送先基板を受け取り部品実装を実行する任意の機構が用いられてよい。あるいは搬送装置１１００内にて搬送先基板に対して実装を行う機構が用いられてもよい。搬送装置１１００による部品搬送にかかる時間を短縮することができるので、部品実装にかかるトータルの処理時間を短縮することができる。
【０１７６】
図２２に示すように、実装装置１０００により部品が実装さることで製造された基板を用いて、種々の電子機器１５００が製造される。例えばディスプレイ装置、家電機器、携帯情報端末（ＰＤＡ：Personal Digital Assistant）等の任意の電子機器１５００が製造されてよい。
【０１７７】
上でも述べたが、本技術により以下のような効果が発揮される。
成形型の作製が容易になる。
成形型のメンテナンスが容易になる。
成形型の離型処理が容易になる。
成形型の洗浄再生が容易になる。
成形型への樹脂の塗布が容易になる。
搬送ヘッド（保持ヘッド部）作製時の離型抵抗が低減する。
搬送ヘッドのメンテナンスが容易になる。
搬送ヘッドの洗浄再生が容易になる。
搬送ヘッドの物理的強度が向上する。
搬送回数が減る。
部品の表裏を反転することができる。
高い精度でアライメントを調整することができる。
【０１７８】
これらの効果を含む本開示中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではない。また上記の複数の効果の記載は、それらの効果が必ずしも同時に発揮されるということを意味しているのではない。条件等により、少なくとも上記した効果のいずれかが得られることを意味しており、もちろん本開示中に記載されていない効果が発揮される可能性もある。
【０１７９】
以上説明した各形態の特徴部分のうち、少なくとも２つの特徴部分を組み合わせることも可能である。すなわち各実施形態で説明した種々の特徴部分は、各実施形態の区別なく、任意に組み合わされてもよい。
【０１８０】
なお、本技術は以下のような構成も採ることができる。
（１）第１の方向に延在し、２次元状に配置された複数の対象物のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる対象物群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向と異なる第２の方向に所定の間隔で並ぶ複数の保持体を含む保持部と、
前記保持部を支持する支持部と
を具備する保持ヘッド。
（２）（１）に記載の保持ヘッドであって、
前記複数の保持体は、前記第１及び前記第２の方向にそれぞれ直交する第３の方向に突出する
保持ヘッド。
保持ヘッド。
（３）（２）に記載の保持ヘッドであって、
前記複数の保持体の少なくとも１つは、前記第３の方向に可視光を透過可能な第１の透過部を有し、
前記支持部は、前記第１の透過部を透過する前記可視光を前記第３の方向に透過可能な第２の透過部を有する
保持ヘッド。
（４）（３）に記載の保持ヘッドであって、
前記第１及び第２の透過部の各々は、前記可視光を透過させる透明部材からなる
保持ヘッド。
（５）（４）に記載の保持ヘッドであって、
前記複数の保持体の各々は、第１の透明部材からなり、
前記支持部は、第２の透明部材からなる
保持ヘッド。
（６）（１）から（５）のうちいずれか１つに記載の保持ヘッドであって、
前記第１及び前記第２の方向は、互いに直交する
保持ヘッド。
（７）（１）から（６）のうちいずれか１つに記載の保持ヘッドであって、
前記複数の保持体は、粘着力により前記対象物群をそれぞれ保持する
保持ヘッド。
（８）（１）から（７）のうちいずれか１つに記載の保持ヘッドであって、
前記複数の保持体は、前記第１の方向から見たそれぞれの断面形状が、前記支持部側を長辺とし前記対象物と接触する側を短辺とする略台形形状である
保持ヘッド。
（９）（１）から（８）のうちいずれか１つに記載の保持ヘッドであって、
前記保持部は、前記複数の保持体を連結する連結体を有する
保持ヘッド。
（１０）
第１の方向に延在し、２次元状に配置された複数の対象物のうち前記第１の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる第１の対象物群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向と異なる第２の方向に第１の間隔で並ぶ複数の第１の保持体を含む１以上の第１の保持ヘッド部と、
前記１以上の第１の保持ヘッド部を移動させて保持動作を実行させる駆動部と
を具備する搬送装置。
（１１）（１０）に記載の搬送装置であって、さらに、
前記第２の方向に延在し、２次元状に配置された複数の対象物のうち前記第２の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる第２の対象物群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向に第２の間隔で並ぶ複数の第２の保持体を含む第２の保持ヘッド部を具備し、
前記駆動部は、前記第１の保持ヘッド部に保持された前記複数の対象物のうち、前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶ複数の対象物を前記第２の対象物群として、前記第２の保持ヘッド部により複数の第２の対象物群を保持させる
搬送装置。
（１２）（１１）に記載の搬送装置であって、
前記１以上の第１の保持ヘッド部は、複数の第１の保持ヘッド部を有し、
前記駆動部は、前記複数の第１の保持ヘッド部によりそれぞれ保持された前記複数の第１の対象物群が、前記第１の方向に連続して並ぶように又は前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶように、前記複数の第１の保持ヘッド部を固定し、前記複数の第１の保持ヘッド部に保持された前記複数の対象物に対して前記第２の保持ヘッド部による前記保持動作を実行させる
搬送装置。
（１３）（１０）に記載の搬送装置であって、さらに、
前記第２の方向に延在し、２次元状に配置された複数の対象物のうち前記第２の方向に連続して並ぶ複数の対象物からなる第２の対象物群をそれぞれ保持可能な、前記第１の方向に第２の間隔で並ぶ複数の第２の保持体を含む第２の保持ヘッド部と、
前記第１の保持ヘッド部により保持された複数の第１の対象物群が載置される載置部と
を具備し、
前記駆動部は、前記載置部に載置された前記複数の対象物のうち、前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶ複数の対象物を前記第２の対象物群として、前記第２の保持ヘッド部により複数の第２の対象物群を保持させる
搬送装置。
（１４）（１３）に記載の搬送装置であって、
前記駆動部は、前記載置部上に前記第１の保持ヘッド部により保持された前記複数の第１の対象物群が、前記第１の方向に連続して並ぶように又は前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶように、前記第１の保持ヘッド部による複数の保持動作を実行させる
搬送装置。
（１５）（１３）に記載の搬送装置であって、
前記１以上の第１の保持ヘッド部は、複数の第１の保持ヘッド部を有し、
前記駆動部は、前記載置部上に前記複数の第１の保持ヘッド部によりそれぞれ保持された前記複数の第１の対象物群が、前記第１の方向に連続して並ぶように又は前記第２の方向に前記第１の間隔で連続して並ぶように、前記複数の第１の保持ヘッド部による保持動作を実行させる
搬送装置。
（１６）（１０）に記載の搬送装置であって、さらに、
前記第１の保持ヘッド部により保持された複数の第１の対象物群が載置される載置部を具備し、
前記駆動部は、前記載置部に載置された前記複数の第１の対象物群が前記第１の間隔で並ぶ方向に前記複数の第１の保持体の延在方向を合わせ、その状態で前記第１の保持ヘッド部による保持動作を実行させる
を具備する搬送装置。
（１７）（１０）から（１６）のうちいずれか１つに記載の搬送装置であって、
前記複数の第１の保持体の少なくとも１つは、前記第１及び前記第２の方向にそれぞれ直交する第３の方向に可視光を透過可能な第１の透過部を有し、
前記搬送装置は、さらに、前記第１の透過部を透過する可視光を撮影する撮像部と、前記撮像部により撮影された画像をもとに、前記第１の対象物群と前記１以上の第１の保持ヘッド部との相対的な位置を調整する調整部とを具備する
搬送装置。
（１８）（１７）に記載の搬送装置であって、
前記複数の第２の保持体の少なくとも１つは、前記第３の方向に可視光を透過可能な第２の透過部を有し、
前記撮像部は、前記第２の透過部を透過する可視光を撮影し、
前記調整部は、前記撮像部により撮影された画像をもとに、前記第２の対象物群と前記第２の保持ヘッド部との相対的な位置を調整する
搬送装置。
【符号の説明】
【０１８１】
Ｐ１…第１の透過部
Ｐ２…第２の透過部
１０…搬送元基板
１５…部品
２０…搬送先基板
３０…第１の部品群
３５…第２の部品群
１００、２００、３００、１０２０…搬送装置
１１５、２１５、３１５、５１５…第１の保持ヘッド部
１１６、２１６、３１６、５１６…第２の保持ヘッド部
１５０、６５０、７５０、８５０、１０１０、１０３０、１０４０、１０５０…保持ヘッド部
１５１、２５１、６５１、７５１、８５１、１０１１、１０３１、１０５１…保持体
１５２、７５２…保持部
１５３、１０１２、１０３２、１０４２、１０５２…支持部
２６０…中間基板
【図３】
2015157348.tif 000003
【図４】
2015157348.tif 000004
【図５】
2015157348.tif 000005
【図８】
2015157348.tif 000006
【図９】
2015157348.tif 000007
【図１０】
2015157348.tif 000008
【図１３】
2015157348.tif 000009
【図１４】
2015157348.tif 000010
【図１６】
2015157348.tif 000011
【図１７】
2015157348.tif 000012
【図１８】
2015157348.tif 000013
【図１９】
2015157348.tif 000014
【図２０】
2015157348.tif 000015
【図２２】
2015157348.tif 000016
【図２４】
2015157348.tif 000017
【図１】
2015157348.tif 000018
【図２】
2015157348.tif 000019
【図６】
2015157348.tif 000020
【図７】
2015157348.tif 000021
【図１１】
2015157348.tif 000022
【図１２】
2015157348.tif 000023
【図１５】
2015157348.tif 000024
【図２１】
2015157348.tif 000025
【図２３】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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