(57)【要約】【課題】大きなピークパワーのレーザパルス光を出力することを可能としながらも、非線形光学素子の交換頻度を低減するとともに交換作業が容易な小型の波長変換装置を提供する。【解決手段】入射レーザ光の波長を変換する非線形光学素子７０を備えている波長変換装置１Ｆであって、前記非線形光学素子７０を収容する収容部８０が装置本体に着脱可能に取り付けられるとともに、前記収容部８０に複数の非線形光学素子７０を載置する載置部が設けられ、前記収容部８０に収容された状態で複数の非線形光学素子７０が一括して取替可能に構成されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射レーザ光の波長を変換する非線形光学素子を備えている波長変換装置であって、
前記非線形光学素子を収容する収容部が装置本体に着脱可能に取り付けられるとともに、前記収容部に複数の非線形光学素子を載置する載置部が設けられ、前記収容部に収容された状態で複数の非線形光学素子が一括して取替可能に構成されている波長変換装置。
【請求項２】
前記載置部は少なくとも各非線形光学素子を位置決め区画する金属製の区画部材を備え、前記区画部材に接触配置された熱源の熱が前記区画部材を介して各非線形光学素子に伝達可能に構成されている請求項１記載の波長変換装置。
【請求項３】
入射レーザ光の光軸と直交する方向に各非線形光学素子を移動可能なステージを介して前記収容部が前記装置本体に着脱自在に取り付けられ、前記ステージを基準にして各非線形光学素子のＣ軸と入射光の光軸との成す角度を機械的に調整可能な角度調整機構が設けられている請求項２記載の波長変換装置。
【請求項４】
各非線形光学素子を位相整合させるための温度条件を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された温度条件に基づいて前記熱源を制御して、各非線形光学素子を位相整合させる制御部を備えている請求項２または３記載の波長変換装置。
【請求項５】
単一または複数の非線形光学素子が収容され、波長変換装置に着脱可能に取り付けられる収容容器であって、
一側面に光学素子を備えた入射光学窓が形成され、対向面に出射窓が形成されるとともに何れかの側面にパージガス通流口が形成され、前記パージガス通流口から流入したパージガスが前記出射窓から流出するように構成された収容部ケーシングと、
前記収容部ケーシングを覆う蓋体と、
前記入射光学窓と出射窓の間に単一または複数の非線形光学素子が載置されるように、前記収容部ケーシングに着脱可能に固定された載置部と、
前記出射窓及びパージガス通流口を開閉可能に閉塞する閉塞部材と、
を備えている収容容器。
【請求項６】
複数の非線形光学素子が熱源とともに並設された収容部が入射レーザ光の光軸と直交する方向に移動可能なステージに交換可能に取り付けられている波長変換装置の位相整合方法であって、
前記収容部を前記ステージに装着する装着工程と、
前記特定の非線形光学素子に調整用のレーザ光を入射させてその波長変換出力が最大値を示すように前記熱源を調整する第１微調整工程と、
他の非線形光学素子に前記調整用のレーザ光が入射するように前記ステージを移動させて、その波長変換出力が最大値を示すように前記熱源を調整する工程を、他の全ての非線形光学素子に適用する第２微調整工程と、
前記第１微調整工程及び第２微調整工程で得られた調整温度を各非線形光学素子に対応付けて記憶部に記憶する記憶工程と、
を含む波長変換装置の位相整合方法。
【請求項７】
複数の非線形光学素子が熱源とともに並設された収容部が入射レーザ光の光軸と直交する方向に移動可能なステージに交換可能に、角度調整機構を介して位相整合角度を調整可能に取り付けられている波長変換装置の位相整合方法であって、
前記収容部を前記ステージに装着する装着工程と、
前記特定の非線形光学素子に調整用のレーザ光を入射させてその波長変換出力が最大値を示すように前記角度調整機構を調整する粗調整工程と、
前記粗調整工程後の波長変換出力が最大値を示すように前記熱源を調整する第１微調整工程と、
他の非線形光学素子に前記調整用のレーザ光が入射するように前記ステージを移動させて、その波長変換出力が最大値を示すように前記熱源を調整する工程を、他の全ての非線形光学素子に適用する第２微調整工程と、
前記第１微調整工程及び第２微調整工程で得られた調整温度を各非線形光学素子に対応付けて記憶部に記憶する記憶工程と、
を含む位相整合方法。
【請求項８】
前記記憶工程の後に、前記熱源を介して任意の非線形光学素子を前記所定の目標温度に調整する第２温度調整工程と、
各非線形光学素子に対応付けられた調整温度を前記記憶部から読み出す温度読み出し工程と、
波長変換対象となる非線形光学素子を、前記熱源を介して前記温度読み出し工程で読み出された調整温度に調整する第３温度調整工程と、
前記第３温度調整工程で温度が調整された後に当該非線形光学素子に入射光を入射させて波長変換する波長変換工程と、
を含む請求項６または７記載の位相整合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長変換装置及び位相整合方法に関し、特に各種のレーザ加工に用いられるレーザ光源装置に組み込まれる波長変換装置、収容容器及びその位相整合方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、レーザ光は様々な加工に用いられている。波長が５３２ｎｍから１０６４ｎｍ付近のレーザ光はエネルギー強度が大きく、金属やガラス等の切断または溶接等の各種の加工に好適に用いられている。また、波長が２００ｎｍから３５０ｎｍ付近の深紫外領域のレーザ光は電子材料や複合材料の加工に用いられている。
【０００３】
近赤外領域よりも短い波長のレーザ光を出力するレーザ光源装置は、近赤外領域の波長のレーザ光を出力する種光源と、種光源から出力されるレーザ光を増幅する光増幅器と、光増幅器で増幅されたレーザ光の波長を目的とする波長に変換する非線形光学素子を備えて構成されている。
【０００４】
非線形光学素子として、例えば種光源から出力された波長１０６４ｎｍのレーザパルス光を波長５３２ｎｍに波長変換するＬＢＯ結晶（ＬｉＢ３Ｏ５）や、波長５３２ｎｍのパルス光を波長２６６ｎｍに波長変換するＣＬＢＯ結晶（ＣｓＬｉＢ６Ｏ１０）等が用いられる。
【０００５】
ＣＬＢＯ結晶のような非線形光学素子に長時間紫外線を照射し続けると、非線形光学素子の表面及び内部に光学損傷が生じて波長変換出力が低下するため、非線形光学素子を光軸と交差する平面上で移動させるステージを設けて、光学損傷が非線形光学素子に生じる前に、非線形光学素子への照射位置をずらすようにステージを移動させる波長変換装置が提案されている。
【０００６】
一例として、特許文献１には、基本波を発生する基本波光源と、基本波の照射を受けて基本波を通過させ、基本波の波長を変換する非線形光学素子と、非線形光学素子が配置され、非線形光学素子中を通過する基本波の通過経路が変更されるように、非線形光学素子を位相整合条件が乱されない平面内で連続移動させる移動部とを備えた波長変換装置が提案されている。
【０００７】
特許文献２には、非線形光学素子の交換時間を大幅に短縮するとともに、アニール済の非線形光学素子を良好な状態で交換可能とすることを目的とした加工用レーザ装置が提案されている。
【０００８】
当該加工用レーザ装置は、非線形光学素子により高調波レーザ光を発生させ、該高調波レーザ光を被照射物に照射して、被照射物の孔あけ・マーキング等の除去作業を行うように構成され、非線形光学素子をアニールする機能を備え非線形光学素子を保持する結晶保持手段と、複数の結晶保持手段を支持し、該結晶保持手段をレーザ光の光路中に挿入、もしくはレーザ光の光路中から離脱させる挿入・離脱機構を備えていることを特徴とする複数の結晶保持装置を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１０−１２８１１９号公報
【特許文献２】特開２００１−６６６５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
例えば、入射面が数ｍｍ角で光の伝播方向に十数ｍｍの直方体形状の非線形光学素子に、数ナノ秒のパルス幅で０．２〜０．３ｍｍのビーム径のレーザパルス光が入射し、入射スポット当り数千時間程度照射する場合には、数年で寿命となるので、数年単位で非線形光学素子を交換すればよい。
【００１１】
しかし、同じビーム径であっても数ピコ秒とパルス幅が短いレーザパルス光ではピークパワーがそれだけ増し、入射スポット当り数時間の照射で非線形光学素子に光学損傷が発生するようになるため、パルス幅が数ナノ秒のレーザパルス光と比較すると極めて短い時間で寿命となり、非線形光学素子の交換頻度が増すという問題があった。尚、ピークパワーとはパルスエネルギーをパルス幅で割った値をいう。
【００１２】
そこで、本願発明者らは、非線形光学素子に入射するレーザパルス光のビーム径を拡径して単位面積当たりのパワーを低減させることで、非線形光学素子の寿命を延ばすような方法を試行している。非線形光学素子の寿命が単位面積当たりのパワーと反比例するという特性に基づいて、同じピークパワーのレーザパルス光であっても、単位面積当たりのパワーを下げることで非線形光学素子の寿命が飛躍的に延びると考えられるためである。
【００１３】
しかし、単位面積当たりのパワーが低減しても、パルス幅が数ナノ秒のレーザパルス光と比較して非線形光学素子の寿命が短くなることは避けられず、非線形光学素子の交換頻度が増すと、その際の光軸調整作業等の煩雑なメンテナンス作業が増すという問題があった。
【００１４】
上述の特許文献２に記載された結晶保持装置によれば、予め結晶保持装置に複数の非線形光学素子を配置することができるので、結晶交換のためのメンテナンス作業が軽減できると考えられる。
【００１５】
しかしながら、特許文献２に記載された結晶保持装置は、非線形光学素子が収容された結晶ホルダを扉で仕切られた筐体に個別に設置する必要があり、各扉を開けて使用済みの線形光学結晶を個別に交換し、位相整合角を個別に手動調整する必要があり、結晶交換のためのメンテナンス作業を軽減されるような構成ではなく、また複数の非線形光学素子が収容された結晶ホルダを設置するための大きな空間が必要となり、個々に温度調整用の加熱装置が必要になる等、装置が大型且つ複雑になるという問題があった。
【００１６】
本発明の目的は、上述した問題点に鑑み、大きなピークパワーのレーザパルス光を出力することを可能としながらも、非線形光学素子の交換頻度を低減するとともに交換作業が容易な小型の波長変換装置、収容容器及びその位相整合方法を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上述の目的を達成するため、本発明による波長変換装置の第一の特徴構成は、特許請求の範囲の請求項１に記載した通り、入射レーザ光の波長を変換する非線形光学素子を備えている波長変換装置であって、前記非線形光学素子を収容する収容部が装置本体に着脱可能に取り付けられるとともに、前記収容部に複数の非線形光学素子を載置する載置部が設けられ、前記収容部に収容された状態で複数の非線形光学素子が一括して取替可能に構成されている点にある。
【００１８】
上述の構成によれば、使用済みの複数の非線形光学素子が収容された収容部を装置本体から取り外し、未使用の複数の非線形光学素子が載置部に配置された収容部を装置本体に装着することによって、装置本体に設置される複数の非線形光学素子を一括して取り替えることができるようになり、交換作業が極めて容易になる。
【００１９】
同第二の特徴構成は、同請求項２に記載した通り、上述の第一の特徴構成に加えて、前記載置部は少なくとも各非線形光学素子を位置決め区画する金属製の区画部材を備え、前記区画部材に接触配置された熱源の熱が前記区画部材を介して各非線形光学素子に伝達可能に構成されている点にある。
【００２０】
上述の構成によれば、載置部に備えた金属製の区画部材によって区画された領域に複数の非線形光学素子が個別に位置決め配置され、さらに当該金属製の区画部材に接触配置された熱源によって、各非線形光学素子に温度ばらつきが発生しないように、各非線形光学素子が所定の温度にほぼ均一に加熱されるようになる。
【００２１】
同第三の特徴構成は、同請求項３に記載した通り、上述の第二の特徴構成に加えて、入射レーザ光の光軸と直交する方向に各非線形光学素子を移動可能なステージを介して前記収容部が前記装置本体に着脱自在に取り付けられ、前記ステージを基準にして各非線形光学素子のＣ軸と入射光の光軸との成す角度を機械的に調整可能な角度調整機構が設けられている点にある。
【００２２】
角度調整機構を介して収容部がステージに取り付けられることによって、収容部に収容された各非線形光学素子のＣ軸と入射光の光軸との成す角度が一体的に調整され、複数の非線形光学素子が入射光の光軸に対して直交する方向に移動可能になる。
【００２３】
同第四の特徴構成は、同請求項４に記載した通り、上述の第二または第三の特徴構成に加えて、各非線形光学素子を位相整合させるための温度条件を記憶する記憶部と、前記記憶部に記憶された温度条件に基づいて前記熱源を制御して、各非線形光学素子を位相整合させる制御部を備えている点にある。
【００２４】
各制御部は非線形光学素子が位相整合するための温度条件を記憶部から読み出して、入射光に対応する非線形光学素子の位相整合条件が満たされるように熱源を制御するので、使用する非線形光学素子が切り替わる際に位相整合角を機械的に調整するような時間の掛かる処理を行なう必要がなく、温度調整制御のみで速やかに非線形光学素子の位相整合条件を整えることができる。また、第三の特徴構成を備える場合には、例えば、角度調整機構を介して複数の非線形光学素子のそれぞれ異なる位相整合角の中間の角度に予め調整しておくことによって、さらに速やかに非線形光学素子の位相整合条件を整えることができる。
【００２５】
本発明による収容容器の特徴構成は、同請求項５に記載した通り、単一または複数の非線形光学素子が収容され、波長変換装置に着脱可能に取り付けられる収容容器であって、一側面に光学素子を備えた入射光学窓が形成され、対向面に出射窓が形成されるとともに何れかの側面にパージガス通流口が形成され、前記パージガス通流口から流入したパージガスが前記出射窓から流出するように構成された収容部ケーシングと、前記収容部ケーシングを覆う蓋体と、前記入射光学窓と出射窓の間に単一または複数の非線形光学素子が載置されるように、前記収容部ケーシングに着脱可能に固定された載置部と、前記出射窓及びパージガス通流口を開閉可能に閉塞する閉塞部材と、を備えている点にある。
【００２６】
収容部ケーシングに形成された入射光学窓と出射窓との間に単一または複数の非線形光学素子が収容され、蓋体及び閉塞部材で密閉状態が実現できるので、湿度や外気の影響を受けやすい非線形光学素子であっても、それらの影響を受けることなく安全に輸送・運搬することができる。しかも波長変換装置に収容容器ごと着脱できるので非線形光学素子の交換作業が円滑に行なえ、波長変換装置に装着された後には、パージガス通流口から流入したパージガスが収容部ケーシング内を通流した後出射窓から流出するので常に非線形光学素子がクリーンな状態に維持される。
【００２７】
本発明による位相整合方法の第一の特徴構成は、同請求項６に記載した通り、複数の非線形光学素子が熱源とともに並設された収容部が入射レーザ光の光軸と直交する方向に移動可能なステージに交換可能に取り付けられている波長変換装置の位相整合方法であって、前記収容部を前記ステージに装着する装着工程と、前記特定の非線形光学素子に調整用のレーザ光を入射させてその波長変換出力が最大値を示すように前記熱源を調整する第１微調整工程と、他の非線形光学素子に前記調整用のレーザ光が入射するように前記ステージを移動させて、その波長変換出力が最大値を示すように前記熱源を調整する工程を、他の全ての非線形光学素子に適用する第２微調整工程と、前記第１微調整工程及び第２微調整工程で得られた調整温度を各非線形光学素子に対応付けて記憶部に記憶する記憶工程と、を含む点にある。
【００２８】
収容部をステージに装着した後に、第１微調整工程で波長変換出力が最大値を示すように前記熱源を調整する。第１微調整工程と同じ処理を他の非線形光学素子に対しても行なう第２微調整工程を実行し、得られた調整温度を各非線形光学素子に対応付けて記憶部に記憶することで、その後、実際に各非線形光学素子を用いる際に、記憶部に記憶された調整温度に調整すれば、各非線形光学素子で波長変換出力が最大値を示すように調整できるようになる。
【００２９】
同第二の特徴構成は、同請求項７に記載した通り、複数の非線形光学素子が熱源とともに並設された収容部が入射レーザ光の光軸と直交する方向に移動可能なステージに交換可能に、角度調整機構を介して位相整合角度を調整可能に取り付けられている波長変換装置の位相整合方法であって、前記収容部を前記ステージに装着する装着工程と、前記特定の非線形光学素子に調整用のレーザ光を入射させてその波長変換出力が最大値を示すように前記角度調整機構を調整する粗調整工程と、前記粗調整工程後の波長変換出力が最大値を示すように前記熱源を調整する第１微調整工程と、他の非線形光学素子に前記調整用のレーザ光が入射するように前記ステージを移動させて、その波長変換出力が最大値を示すように前記熱源を調整する工程を、他の全ての非線形光学素子に適用する第２微調整工程と、前記第１微調整工程及び第２微調整工程で得られた調整温度を各非線形光学素子に対応付けて記憶部に記憶する記憶工程と、を含む点にある。
【００３０】
収容部をステージに装着した後に、粗調整工程で波長変換出力が最大値を示すように角度調整機構を用いて機械的に位相整合角を粗調整し、さらに第１微調整工程で波長変換出力が最大値を示すように前記熱源を調整する。第１微調整工程と同じ処理を他の非線形光学素子に対しても行なう第２微調整工程を実行し、得られた調整温度を各非線形光学素子に対応付けて記憶部に記憶することで、その後、実際に各非線形光学素子を用いる際に、記憶部に記憶された調整温度に調整すれば、各非線形光学素子で波長変換出力が最大値を示すように調整できるようになる。事前に粗調整工程を実行することで、その後の熱源調整で速やかに位相整合状態を確保することができるようになる。
【００３１】
同第三の特徴構成は、同請求項８に記載した通り、上述の第一または第二の特徴構成に加えて、前記記憶工程の後に、前記熱源を介して任意の非線形光学素子を前記所定の目標温度に調整する第２温度調整工程と、各非線形光学素子に対応付けられた調整温度を前記記憶部から読み出す温度読み出し工程と、波長変換対象となる非線形光学素子を、前記熱源を介して前記温度読み出し工程で読み出された調整温度に調整する第３温度調整工程と、前記第３温度調整工程で温度が調整された後に当該非線形光学素子に入射光を入射させて波長変換する波長変換工程と、を含む点にある。
【００３２】
波長変換光を出力する際には、先ず、第２温度調整工程で各非線形光学素子が所定の目標温度に調整される。さらに、温度読み出し工程で上述の各調整工程を経て得られた各非線形光学素子に対する位相整合のための調整温度が記憶部から読み出され、第３温度調整工程では波長変換処理を行なう非線形光学素子の温度が温度読み出し工程で読み出された温度に調整され、位相整合条件が整えられる。その後、波長変換工程が実行される。従って、非線形光学素子を切替える際に、波長変換出力に基づく温度調整制御を行なう必要が無くなり、速やかに動作させることができるようになる。
【発明の効果】
【００３３】
以上説明した通り、本発明によれば、大きなピークパワーのレーザパルス光を出力することを可能としながらも、非線形光学素子の交換頻度を低減するとともに交換作業が容易な小型の波長変換装置、収容容器及びその位相整合方法を提供することができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】レーザ光源装置の機能ブロック構成図
【図２】（ａ）は非線形光学素子に入射するレーザ光の従来のビーム径及びビームの入射位置の移動軌跡の説明図、（ｂ）はレーザ光のビーム径を長円または楕円形に拡径した場合のビーム径及びビームの入射位置の移動軌跡の説明図、（ｃ）レーザ光のビーム径を真円に拡径した場合のビーム径及びビームの入射位置の移動軌跡の説明図、（ｄ），（ｅ）は複数の非線形光学素子に対するビーム径及びビームの入射位置の移動軌跡の説明図
【図３】（ａ）はケーシングに蓋体が取り付けられた状態の波長変換装置の平面図、（ｂ）はケーシングから蓋体の一部が外された状態の波長変換装置の平面図
【図４】（ａ）はケーシングから全ての蓋体が外された状態の波長変換装置の平面図、（ｂ）は波長変換装置に注入されるパージガスの通流経路の説明図
【図５】非線形光学素子の収容部から蓋体が外された状態の平面図
【図６】（ａ）は位相整合角の説明図、（ｂ）はステージへの収容部の取付構造の説明図、（ｃ）は位相整合角の角度調整機構の説明図
【図７】（ａ），（ｂ）は非線形光学素子の載置部への収容構造の説明図
【図８】（ａ），（ｂ）は出射用光学窓の説明図
【図９】位相整合方法を示すフローチャート
【図１０】（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は非線形光学素子の載置部への収容構造の別実施形態を示す説明図
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本発明による波長変換装置、収容容器及び位相整合方法が具現化されたレーザ光源装置の実施形態を説明する。図１には、レーザ光源装置１の一例となる構成が示されている。レーザ光源装置１は、光源部１Ａと、ファイバ増幅部１Ｂと、固体増幅部１Ｃと、波長変換部１Ｄとが光軸Ｌに沿って配置され、さらに光源部１Ａや波長変換部１Ｄ等を制御する制御部１００を備えて構成されている。
【００３６】
光源部１Ａには、種光源１０と、種光源用のドライバＤ１と、光アイソレータＩＳＬ１等を備えている。ファイバ増幅部１Ｂには、それぞれレーザダイオードで構成される励起用光源２１，３１及び合波器２２，３２を備えた二段のファイバ増幅器２０，３０と、光アイソレータＩＳＬ２，ＩＳＬ３と、光スイッチ素子４０等を備えている。また、ファイバ増幅器２０の後段にはバンドパスフィルタＢＰＦ１を備えている。
【００３７】
固体増幅部１Ｃには、固体増幅器５０と、反射ミラーＭ１，Ｍ２，Ｍ３と、レンズＬ１，コリメータＣＬ２等を備えている。波長変換部１Ｄは、第１波長変換部１Ｅ及び第２波長変換部１Ｆで構成され、それぞれに非線形光学素子６０，７０を備えている。第２波長変換部１Ｆは本発明による波長変換装置となる。
【００３８】
光源部１Ａとファイバ増幅部１Ｂと固体増幅部１Ｃとがアルミ等で構成される一つの金属ケースに収容され、波長変換部１Ｄが別の金属ケースに収容され、さらに波長変換部１Ｄの金属ケースに第２波長変換部１Ｆがさらに別の金属ケースに収容されている。尚、各ケースに収容される機能ブロック１Ａ〜１Ｄの区分けは特に制限されることはないが、第２波長変換部１Ｆは内部に収容される非線形光学素子の特性等によりパージガスによりパージ可能な金属ケースに収容されている必要がある。
【００３９】
種光源１０から出力された波長１０６４ｎｍのレーザパルス光（以下、単に「パルス光」とも記す。）が二段のファイバ増幅器２０，３０で増幅され、さらに一段の固体増幅器５０で所望のレベルまで増幅される。固体増幅器５０で増幅されたパルス光は非線形光学素子６０で波長５３２ｎｍに波長変換され、さらに非線形光学素子７０で波長２６６ｎｍに波長変換されて出力される。
【００４０】
種光源１０として単一縦モードのレーザ光を出力する分布帰還型レーザダイオード（以下、「ＤＦＢレーザ」と記す。）が用いられ、ゲインスイッチング法を適用する制御部１００から出力される制御信号によって、ＤＦＢレーザから単発または数メガヘルツ以下の所望の周波数で、数百ピコ秒以下の所望のパルス幅のパルス光が出力される。
【００４１】
種光源１０から出力された数ピコジュールから数百ピコジュールのパルスエネルギーのパルス光が、ファイバ増幅器２０，３０及び固体増幅器５０によって最終的に数十マイクロジュールから数十ミリジュールのパルスエネルギーのパルス光に増幅された後に、二段の非線形光学素子６０，７０に入力されることによって波長２６６ｎｍの深紫外線に波長変換される。
【００４２】
種光源１０から出力されたパルス光は、光アイソレータＩＳＬ１を介して、初段のファイバ増幅器２０で増幅される。ファイバ増幅器２０，３０として、所定波長（例えば９７５ｎｍ）の励起用光源２１で励起されるイッテルビウム（Ｙｂ）添加ファイバ増幅器等の希土類添加光ファイバが用いられる。このようなファイバ増幅器２０の反転分布の寿命はミリ秒の位数であるため、励起用光源２１で励起されたエネルギーは１キロヘルツ以上の周波数のパルス光に効率的に転移されるようになる。
【００４３】
初段のファイバ増幅器２０で約３０デシベル増幅されたパルス光は、光アイソレータＩＳＬ２を介して後段のファイバ増幅器３０に入力されて約２５デシベル増幅される。後段のファイバ増幅器３０で増幅されたパルス光は、コリメータＣＬ１によってビーム成形され、光アイソレータＩＳＬ３，ＩＳＬ４を通過した後に固体増幅器５０に導かれて約２５デシベル増幅される。
【００４４】
コリメータＣＬ１と固体増幅器５０との間には、音響光学素子が組み込まれ光スイッチ素子４０として機能する音響光学変調器ＡＯＭ（Acousto-Optic Modulator）、一対の反射ミラーＭ１，Ｍ２が配置され、反射ミラーＭ１，Ｍ２間には固体増幅器５０で増幅されたパルス光を非線形光学素子６０に導く光アイソレータＩＳＬ４が配置されている。
【００４５】
尚、上述の光アイソレータＩＳＬ１〜ＩＳＬ４は、何れも磁気光学効果を利用して順方向と逆方向で偏光面を逆方向に回転させることで戻り光を遮断する偏光依存型の光アイソレータであり、光軸に沿って上流側に配置された各光学素子が、高強度の戻り光によって熱破壊されることを回避する等のために設けられている。
【００４６】
固体増幅器５０としてＮｄ：ＹＶＯ４結晶やＮｄ：ＹＡＧ結晶等の固体レーザ媒体が好適に用いられる。発光波長８０８ｎｍまたは８８８ｎｍのレーザダイオードで構成される励起用光源５１から出力され、コリメータＣＬ２によってビーム成形された励起光によって固体レーザ媒体が励起されるように構成されている。
【００４７】
光スイッチ素子４０を通過したパルス光は、反射ミラーＭ１，Ｍ２を経由して固体増幅器５０に入射して増幅された後に、さらに反射ミラーＭ３で反射されて固体増幅器５０に再入射して再度増幅される。つまり、固体増幅器５０の往路及び復路でそれぞれ増幅されるように構成されている。尚、レンズＬ１はビーム整形用である。
【００４８】
固体増幅器５０で増幅されたパルス光は反射ミラーＭ２、光アイソレータＩＳＬ４で反射されて波長変換部１Ｄの非線形光学素子６０，７０に入射して所望の波長に変換された後に出力される。
【００４９】
第１波長変換部１Ｅには非線形光学素子６０であるＬＢＯ結晶（ＬｉＢ３Ｏ５）が組み込まれ、第２波長変換部１Ｆには非線形光学素子７０であるＣＬＢＯ結晶（ＣｓＬｉＢ６Ｏ１０）が組み込まれている。種光源１０から出力された波長１０６４ｎｍのパルス光が非線形光学素子６０で波長５３２ｎｍに波長変換され、さらに非線形光学素子７０で波長２６６ｎｍに波長変換される。
【００５０】
反射ミラーＭ４，Ｍ８は非線形光学素子６０から出力される波長１０６４ｎｍのパルス光を分離するためのフィルタとして機能し、反射ミラーＭ６は非線形光学素子７０から出力される波長５３２ｎｍのパルス光を分離するためのフィルタとして機能し、分離されたパルス光はそれぞれ光ダンパで減衰される。
【００５１】
第２波長変換部１ＦにはＣＬＢＯ結晶（ＣｓＬｉＢ６Ｏ１０）を光軸と直交する面内で移動させる走査機構であるステージ７１が設けられている。紫外線が長時間同一箇所に照射されるとＣＬＢＯ結晶（ＣｓＬｉＢ６Ｏ１０）に光学損傷が生じて強度分布の劣化と波長変換出力の低下を招くため、所定時期にＣＬＢＯ結晶（ＣｓＬｉＢ６Ｏ１０）へのパルス光の照射位置をシフトするためである。
【００５２】
制御部１００はＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）及び周辺回路等を備えた回路ブロックで構成され、予めＦＰＧＡ内の記憶部に記憶したプログラムに基づいて複数の論理素子を駆動することにより、レーザ光源装置１を構成する各ブロックが例えばシーケンシャルに制御される。また、制御部１００には、後述する位相整合方法を実行するために必要な記憶部が接続されている。
【００５３】
尚、制御部１００はＦＰＧＡで構成される以外に、マイクロコンピュータと記憶部及びＩＯ等の周辺回路で構成されていてもよいし、プログラマブル・ロジック・コントローラ（ＰＬＣ）等で構成されていてもよい。
【００５４】
具体的に、制御部１００はゲインスイッチング法を用いて種光源１０を発光させるべく、種光源１０であるＤＦＢレーザのドライバＤ１に所定パルス幅のトリガ信号を出力する。当該駆動回路からＤＦＢレーザにトリガ信号に応じたパルス電流が印加されると緩和振動が発生し、緩和振動による発光開始直後の最も発光強度が大きな第１波のみからなり第２波以降のサブパルスを含まないパルス状のレーザ光が出力される。ゲインスイッチング法とは、このような緩和振動を利用した短いパルス幅でピークパワーが大きいパルス光を発生させる方法をいう。
【００５５】
また、制御部１００は光スイッチ素子４０である音響光学変調器ＡＯＭを駆動するＲＦドライバＤ２にゲート信号を出力する。ＲＦドライバＤ２から高周波信号が印加されたトランスジューサ（ピエゾ変換素子）によって音響光学素子を構成する結晶に回折格子が生成され、音響光学素子に入射するパルス光の回折光が反射ミラーＭ１に入射する。ＲＦドライバＤ２が停止すると音響光学素子に入射したパルス光は回折せずにそのまま通過し、反射ミラーＭ１に入射することはない。尚、ＲＦドライバＤ２の停止時に音響光学素子を通過した光は光ダンパによって減衰されるように構成されている。
【００５６】
ゲート信号によって光スイッチ素子４０がオンすると回折された光がファイバ増幅器３０から固体増幅器５０へ伝播し、ゲート信号によって光スイッチ素子４０がオフするとファイバ増幅器３０から固体増幅器５０へ光の伝播が阻止される。
【００５７】
さらに、制御部１００は所定時期にＣＬＢＯ結晶（ＣｓＬｉＢ６Ｏ１０）へのパルス光の照射位置をシフトするためにステージ７１を制御してステップ的に移動させる。例えば、制御部１００は、波長変換された紫外線の強度をモニタし、モニタした強度の履歴が所定のパターンに一致するとステージ７１を移動させてＣＬＢＯ結晶（ＣｓＬｉＢ６Ｏ１０）へのパルス光の照射位置をシフトする。
【００５８】
パルス光の光軸に直交するＸ−Ｙ平面でステージ７１が移動可能となるように、ステージ７１は制御部１００によりモータドライバＤ３を介して制御されるＸ方向移動モータ及び／またはＹ方向移動モータに駆動連結されている。
【００５９】
種光源１０から出力された中心波長１０６４ｎｍの狭帯域のパルス光がファイバ増幅器２０に導かれて増幅される過程で自己位相変調やラマン散乱等によって不必要にスペクトル幅が広がり、さらに自然放出光ノイズ（以下、「ＡＳＥノイズ(amplified spontaneous emission noise)」と記す。）が発生して光パルスのＳ／Ｎ比が低下する。そのようなパルス光が後段のファイバ増幅器３０に導かれて増幅される過程でさらに広帯域化され、ＡＳＥノイズレベルが増大する。
【００６０】
波長変換部１Ｄで波長変換可能な波長範囲のパルス光を効率的に増幅して、所望の強度の深紫外のパルス光を得るために光スイッチ素子４０が設けられている。制御部１００は、種光源１０からのパルス光の出力期間に光の伝播を許容し、種光源１０からのパルス光の出力期間と異なる期間に光の伝播を阻止するように光スイッチ素子４０を制御するように構成されている。
【００６１】
制御部１００によって種光源１０からのパルス光の出力期間と異なる期間に光スイッチ素子４０がオフされると、その間は、後段の固体増幅器５０へのＡＳＥノイズの伝播が阻止されるようになり、固体増幅器５０の活性領域のエネルギーが無駄に消費されることが回避されるようになる。
【００６２】
光スイッチ素子４０として、ＥＯ変調の強度変調を利用して電界により光をオンオフする電気光学素子を用いてもよく、マイクロマシーニング技術で製作した微少な搖動ミラー（ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）で構成されたミラー）を用いて、ファイバ増幅器３０の出力が固体増幅器５０に伝播するか否かを微少な搖動ミラーの搖動角度によって切り替えるように構成してもよい。また、偏光状態を動的に切替えて光の透過と遮断を制御可能な偏光デバイスを用いてもよい。つまり、光スイッチ素子は動的光学素子で構成されていればよい。
【００６３】
また、ファイバ増幅器３０で増幅されたパルス光を狭帯域化してＡＳＥノイズを除去するボリューム・ブラッグ・グレーティング（Volume Bragg Grating）のような回折格子を光スイッチ素子４０に代えて、或いは光スイッチ素子４０とともに用いてもよい。
【００６４】
固体増幅器５０で増幅されたパルス光は、光アイソレータＩＳＬ４の入力側のエスケープポートから第１波長変換部１Ｅの非線形光学素子６０であるＬＢＯ結晶に入射して波長５３２ｎｍのパルス光に波長変換される。
【００６５】
さらに、パルス光はレンズＬ２，Ｌ３によって０．２〜０．３ｍｍのビーム径が２〜３ｍｍ程度に拡径された後に、第２波長変換部１Ｆの非線形光学素子７０であるＣＬＢＯ結晶に入射して波長２６６ｎｍのパルス光に波長変換され、複数の光学レンズを介して真円にビーム整形された後に出力される。尚、レンズＬ２，Ｌ３で拡径されたパルス光は、レーザ光源装置１の後段に配置された光学系で縮径され、単位面積当たりのパワーを増大した後に照射対象に照射される。
【００６６】
図２（ａ）に示すように、入射面が５ｍｍ角程度の非線形光学素子（ＣＬＢＯ結晶）７０に０．２〜０．３ｍｍのビーム径のパルス光を照射する場合、数ナノ秒のパルス幅のパルス光であれば、結晶の光学損傷の発生を回避するために照射位置をパルス光の光軸に直交するＸＹ平面で移動させることで長期間継続して使用することができる。例えば、１スポット当り３０００時間程度使用できる。
【００６７】
しかし、同じビーム径であっても数ピコ秒から数百ピコ秒とパルス幅が短いレーザパルス光ではピークパワーがそれだけ増し、同様の方法によれば極めて短時間で結晶を交換しなければならなくなるため、パルス光のビーム径を拡径して単位面積当たりのパワーを低減させている。
【００６８】
図２（ｂ）には楕円または長円となるようにビーム径を拡径した例が示され、図２（ｃ）には真円となるようにビーム径を拡径した例が示されている。何れの場合も、ビーム径を拡径することにより同一照射位置で光学損傷が発生するまでの照射時間を延ばすことができるが、入射面が５ｍｍ角程度と狭いため、一つの非線形光学素子７０に対する寿命は相対的に短くなる。また、入射面のサイズが大きな非線形光学素子７０を製作するにも限界がある。
【００６９】
そこで、第２波長変換部１Ｆ、即ち本発明による波長変換装置は複数の非線形光学素子７０が収容可能に構成されている。
図２（ｄ）に示すように、複数の非線形光学素子７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃを備えた構成によれば、ビーム径を拡径しながらも長期に渡り非線形光学素子を交換することなくレーザ光源装置１を稼働させることができる。
【００７０】
図２（ｅ）に示すように、ビームの入射位置の移動方向に長くなるように、非線形光学素子７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃの入射面の形状を長方形に形成すると、無駄なく波長変換に利用できるようになる。
【００７１】
本実施形態では、非線形光学素子７０の入射面が５ｍｍ角に形成され、レーザパルス光のビーム径が２ｍｍに設定され、１スポット当り２０００時間、１結晶当り４０００時間の使用を可能にしている。
【００７２】
以下、第２波長変換部１Ｆについて詳述する。
図３（ａ），（ｂ）及び図４（ａ），（ｂ）に示すように、第２波長変換部１Ｆは、隔壁７３０を介して２領域Ｒ１，Ｒ２に領域分割され、一方の領域Ｒ１に入射窓７２０が設けられるとともに他方の領域Ｒ２に出射窓７５０が設けられたケーシング７００に配置されている。ケーシング７００を覆う蓋体７７０，７８０によって一方のみ開放可能に構成されている。つまり、蓋体７７０によって領域Ｒ２が覆われ、蓋体７８０によって領域Ｒ１が覆われ、蓋体７８０を取り外すことによって領域Ｒ１が開放されても、領域Ｒ２の被覆状態は維持されるように構成されている。
【００７３】
ケーシング７００の一方の領域Ｒ１には、非線形光学素子７０が収容された収容部８０と、収容部８０を着脱自在に固定するとともに入射窓７２０から入射したレーザ光の光軸と直交する方向に非線形光学素子７０を収容部８０と一体に移動させるステージ７１が配置されている。収容部８０が本発明の収容容器となる。
【００７４】
ケーシング７００の他方の領域Ｒ２には、収容部８０から出射して、隔壁７３０に形成された開口７４０を通過したレーザ光を出射窓７５０に導く光学系として反射ミラーＭ６，Ｍ５が配置され、出射窓７５０には波長変換されたレーザ光を外部に出射するとともに外気の流入を阻止する光学ガラスを含む光学素子６１０が保持された出射光学窓６００がケーシング７００に取り付けられている(図４（ａ）参照)。
【００７５】
尚、本実施形態で使用する「光学素子」との用語は、非晶質である光学ガラスのみならず結晶質であるフッ化カルシウムやフッ化マグネシウム等を材料とする素子をも含めた概念である。
【００７６】
非線形光学素子７０で波長変換された後、波長２６６ｎｍのパルス光が反射ミラーＭ６で反射され、さらに反射ミラーＭ５で反射されて出射窓７５０から出力される。非線形光学素子７０から出力された波長５３２ｎｍのパルス光は反射ミラーＭ６を透過して光ダンパ（図示せず）で減衰される。
【００７７】
反射ミラーＭ５と出射窓７５０との間にサンプラーとなる反射ミラーＭ１０が配置され、波長２６６ｎｍのパルス光のごく一部（０．５％程度）が反射されるように構成されている。反射ミラーＭ１０からの反射光はさらに反射ミラーＭ９で反射されて受光素子ＰＳ１に入射する。受光素子ＰＳ１によってそのパワーが検出される。受光素子ＰＳ１で検出されたパワーは制御部１００に入力され、その値に基づいて非線形光学素子７０の位相整合条件等が調整される。
【００７８】
反射ミラーＭ１０，Ｍ９に対するパルス光の入射角は、１０°以下に設定されていることが好ましく、６°以下に設定されていることがさらに好ましい。一般に、非線形光学素子を含めてミラーやレンズ等の光学素子は、深紫外光が照射される過程で次第に劣化する。深紫外光は通常は直線偏光しており、反射ミラーＭ１０，Ｍ９にはＰ偏光もしくはＳ偏光の何れかのみの成分をもつ光が入射される。
【００７９】
しかし、光学素子の劣化と共に偏光が徐々に解消される現象が生じ、Ｐ偏光とＳ偏光の両方の偏光成分をもつ光が入射するようになる。反射ミラーＭ１０，Ｍ９への入射角度が大きい場合には、受光素子ＰＳ１に入射するパワーが偏光解消と共に変化してしまうという問題がある。そこでＰ偏光とＳ偏光の差が少なく、偏光解消が生じても正しくそのパワーを検出できるように、上述の入射角に設定されている。
【００８０】
図には示していないが、反射ミラーＭ６と反射ミラーＭ５との間に平凹レンズを配置し、反射ミラーＭ５と反射ミラーＭ１０との間に平凸レンズを配置することにより、非線形光学素子７０からの出力光のビーム歪を補正するように構成されている。
【００８１】
非線形光学素子７０としてＣＬＢＯ結晶（ＣｓＬｉＢ６Ｏ１０）を用いる場合には、従来のＢＢＯ結晶よりもウォークオフが小さいという特性を利用して、非線形光学素子７０の上流側にビーム整形のためのレンズを配置することもできる。深紫外光による光学レンズの劣化の問題が生じないため、後者の構成の方が好ましい。
【００８２】
図７（ａ），（ｂ）には、収容部８０に収容される三つの非線形光学素子７０（７０ａ，７０ｂ，７０ｃ）が載置部に固定されている状態が示されている。載置部は区画部材８４０と熱源８７０とを備えて構成されている。載置部は少なくとも各非線形光学素子７０ａ，７０ｂ，７０ｃを位置決め区画する金属製の区画部材８４０を備え、区画部材８４０の下方に接触配置された熱源８７０の熱が区画部材８４０を介して各非線形光学素子７０ａ，７０ｂ，７０ｃに伝達可能に構成されている。
【００８３】
区画部材８４０として無電解ニッケルメッキ等の表面処理を施した無酸素銅が用いられ、熱源８７０としてセラミックヒータが用いられ、区画部材８４０と非線形光学素子７０（７０ａ，７０ｂ，７０ｃ）との接触部には非線形光学素子７０（７０ａ，７０ｂ，７０ｃ）の温度を計測する単一または複数の温度センサが配置されている。
【００８４】
区画部材８４０に形成された各区画は非線形光学素子７０ａ，７０ｂ，７０ｃと略同サイズに形成され、非線形光学素子７０ａ，７０ｂ，７０ｃは、各区画に収容された後に上方から同じく無電解ニッケルメッキ等の表面処理を施した無酸素銅で形成された固定板８５０で被覆され、ボルト８６０で固定される。非線形光学素子７０ａ，７０ｂ，７０ｃと区画部材８４０とが当接して、熱源８７０からの熱伝達が良好に行なえるように構成されている。
【００８５】
その結果、各非線形光学素子７０ａ，７０ｂ，７０ｃに温度ばらつきが発生しないように、所定の温度にほぼ均一に加熱されるようになる。尚、区画部材８４０は、３つの非線形光学素子７０ａ，７０ｂ，７０ｃを互いに当接して配置するように、幅広の一区画のみの区画に形成することも可能である。また、本実施形態では、載置部に３つの非線形光学素子７０ａ，７０ｂ，７０ｃが載置される例を示しているが、載置部に載置される非線形光学素子７０の数は複数であればよく、その数が制限されることはない。
【００８６】
図５に示すように、非線形光学素子７０（７０ａ，７０ｂ，７０ｃ）が固定された載置部は、収容部８０を構成する金属製の収容部ケーシング８００の底部に設けられた固定部８３０に左右一対の側板８８０で挟みつけられた状態でボルト固定される。
【００８７】
収容部ケーシング８００のうち、非線形光学素子７０の入射面側に光学ガラスを含む光学素子を配した入射光学窓８２０が形成され、非線形光学素子７０の出射面側に開放状態の出射窓８２５が形成されている。
【００８８】
図６（ｂ），（ｃ）に示すように、収容部８０は、ステージ７１により入射光の光軸に直交するＸ軸方向に移動可能に、天板８１、側板８２、底板８３の３つの部材で構成される保持部を介してステージ７１に着脱自在に取り付けられている。未使用の複数の非線形光学素子７０が収容された収容部８０を準備しておけば、複数の非線形光学素子７０が収容部８０に収容された状態で一括して取替できるようになる。
【００８９】
ステージ７１は、基台７１１と、基台７１１上に配置された一対のガイドレール７１３と、一対のガイドレール上をスライド移動する移動盤７１２を備えている。移動盤７１２には、上述の保持部の底板８３がボルト固定されている。
【００９０】
基部が移動盤７１２に固定された一対のＬ字アーム７１７の先端側に、内周部に斜歯が形成されたウォームホイール７１６が固定され、基台７１１に設置されたモータ７１４の出力軸に形成されたウォーム７１５とウォームホイール７１６とが噛合するように構成されている。
【００９１】
制御部１００によって制御されるモータ７１４が回転することにより、移動盤７１２がガイドレール上をスライド移動する。即ち、図２（ｄ）で説明したように、非線形光学素子７０に照射されるパルス光の位置がパルス光の光軸に直交するＸＹ平面上のＸ方向に移動するように構成されている。
【００９２】
収容部８０の一側面が保持部の側板８２にボルト８５ａ，８５ｂで固定され、天板８１に備えた調整用ビス８４ａ，８４ｂでその取付角度を調整可能に構成されている。
【００９３】
側板８２に固定されたピンＰが収容部８０の一側面に形成された穴に嵌め込まれた状態で、ボルト８５ａ，８５ｂを仮止めし、左右の調整用ビス８４ａ，８４ｂの締付加減によってピンＰ周りに収容部８０が搖動するように構成されている。そして、調整後にボルト８５ａ，８５ｂが締め付けられる。
【００９４】
つまり、保持部と、ピンＰと、調整用ビス８４ａ，８４ｂによって、ステージ７１を基準にして非線形光学素子７０のＣ軸と入射レーザ光の光軸Ｌとの成す角度を機械的に調整可能な角度調整機構が構成されている。
【００９５】
非線形光学素子７０で波長変換する際に高い変換効率を得るためには、入力光と波長変換光の位相ベクトルが一致している必要があり、このずれが大きくなると変換効率が急激に低下する。非線形光学素子７０のＣ軸の角度を調整し、非線形光学素子７０の温度を調整することによって、両位相ベクトルを一致させる、つまり位相整合させることができる。
【００９６】
図６（ａ）には、非線形光学素子の結晶の光軸（Ｃ軸）と入射レーザ光の光軸との成す角度θとの関係が示されている。この角度を調整するために、上述の角度調整機構が設けられている。
【００９７】
深紫外光へ波長変換するＣＬＢＯ結晶のような非線形光学素子７０は潮解性を示し、空気中に放置すると水分を吸収してダメージを受ける。また、上述したように、非線形光学素子７０及びレンズ、ミラー、窓部材等の光学素子に深紫外光が照射されるとその影響を受けて次第に劣化する。例えば、光学素子に雰囲気中の塵埃等が付着すると汚れが生じ、また深紫外光の影響で白濁することがある。
【００９８】
そこで、ケーシング７００に収容された波長変換素子７０及び光学素子の劣化を回避するために波長変換装置１Ｆにパージガス供給機構を設け、アルゴンガスやＣＤＡ(Clean Dry Air)のようなパージガスを供給するように構成されている。
【００９９】
図３（ｂ），図４（ｂ）に示すように、ケーシングの一方の領域Ｒ１にパージガス供給部９１０が設けられ、パージガス供給部９１０に供給されたパージガスは、流量調整用のオリフィス９１５により３系統に流量調整された後に、２系統のガス供給管９２０，９３０を介して収容部８０に供給され、１系統のガス供給管９４０を介して他方の領域Ｒ２に供給されるように構成されている。ガス供給管９２０，９３０の他端は収容部ケーシング８００の側壁に形成されたパージガス通流口８０１，８０２（図５参照）に接続され、ガス供給管９４０の他端はケーシング７００の隔壁７３０に形成されたパージガス通流口７９０に接続される。
【０１００】
パージガス供給部９１０には、外部からパージガスを供給するガス管を連結する装着部が設けられ、ガス管を離脱した際に装着部を密閉する蓋体が設けられている。
【０１０１】
また、収容部８０と隔壁７３０に形成した開口７４０とが蛇腹状の金属製のフレキシブルチューブ８００で接続され、収容部８０に供給されたパージガスがフレキシブルチューブ８００を介してケーシング７００の他方の領域Ｒ２に供給されるように構成されている。
【０１０２】
非線形光学素子７０を交換するためにケーシング７００から蓋体７８０を外しても、ケーシング７００の一方の領域Ｒ１のみ大気開放され、蓋体７７０で覆われた他方の領域Ｒ２が外気に極力触れないような状態に維持される。
【０１０３】
その結果、他方の領域Ｒ２に配置されている光学素子が外気に晒されることが殆ど無く、その状態でフレキシブルチューブ８００を収容部８０の口金８１０から離脱させて、使用済みの非線形光学素子７０が収容された収容部８０及び保持部８１，８２，８３をステージ７１から取り外し、新たな非線形光学素子７０が収容された収容部８０及び保持部８１，８２，８３をフレキシブルチューブ８００と接続した後にステージ７１に装着すれば非線形光学素子７０それ自体も外気に晒されることが殆ど無い。つまり、収容部８０は角度調整機構と一体で交換される。
【０１０４】
その状態でパージガス供給部９１０から収容部８０にパージガスを供給すると、パージガスは収容部８０からフレキシブルチューブ８００を介してケーシング７００の他方の領域Ｒ２に流出し、非線形光学素子７０を含む重要な光学素子が外気に晒されることが無い状態で主要な交換作業を終了することができる。
【０１０５】
また、収容部８０をフレキシブルチューブ８００と接続しているため、ステージ７１への収容部８０の取付作業時に、外気が流入することが殆ど無い状態で収容部８０の姿勢を自由に変化させることができるようになり良好な作業性が確保できる。
【０１０６】
さらに、収容部８０を取り替えた後、パージガス供給部９１０から収容部８０にパージガスを供給した状態で、上述の角度調整機構によって非線形光学結晶７０のＣ軸と入射レーザ光の光軸との成す角度を調整できるようになり、仮にそのための調整時間が長くなっても非線形光学結晶を含む重要な光学素子が外気に晒されることなく、潮解の問題や劣化の問題も解消される。
【０１０７】
他方の領域Ｒ２には、フレキシブルチューブ８０を介して開口７４０から供給されたパージガスを反射ミラーＭ６の表裏両面に導くガイド板Ｇ３と、ガス供給管９４０から供給されたパージガスを反射ミラーＭ５の表裏両面に導くガイド板Ｇ４が設置されている。これら２枚のガイド板Ｇ３，Ｇ４によって案内されたパージガスによって当該他方の領域Ｒ２に配置された各光学素子がクリーンに保たれる。
【０１０８】
収容部８０の交換手順を詳述する。予めパージガスを供給した状態でケーシング７００に形成された排気口７６０をシールネジで閉塞しておき、使用済みの収容部８０に接続されている一方のガス供給管９２０を取り外してパージガス通流口８０１をシールネジで閉塞する。真空パックから取り出した交換用の収容部８０のパージガス通流口８０１のシールネジを緩めて当該ガス供給管９２０を接続する。
【０１０９】
次に、フレキシブルチューブ８００を使用済みの収容部８０の口金８１０から離脱させて当該収容部８０の出射窓８２５を蓋で閉塞し、他方のガス供給管９３０を取り外してパージガス通流口８０２をシールネジで閉塞する。さらに収容部８０を保持部８１，８２，８３と一体でステージ７１から離脱させる。その結果、使用済みの収容部８０は、大気が流入することなく密閉される。
【０１１０】
交換用の収容部８０の他方のパージガス通流口８０２のシールネジを緩めてガス供給管９３０を接続し、当該収容部８０の出射窓８２５の蓋を取り外して、フレキシブルチューブ８００を接続固定し、排気口７６０のシールネジを緩め、その後信号線を接続する。
【０１１１】
図５に示すように、収容部８０には、ガス供給管９２０から収容部８０に供給されたパージガスを非線形光学素子７０の入射面に導くガイド板Ｇ３と、ガス供給管９３０から収容部８０に供給されたパージガスを非線形光学素子７０の出射面に導くガイド板Ｇ４を備えている。
【０１１２】
ガス供給管９２０，９３０から供給されたパージガスは、案内板Ｇ３，Ｇ４によって非線形光学素子７０の入射面及び出射面に効率的に分配され、出射窓８２５から流出する。
【０１１３】
以上説明したように、本発明の収容容器つまり収容部８０は、一側面に光学素子を備えた入射光学窓８２０が形成され、対向面に出射窓８２５が形成されるとともに何れかの側面にパージガス通流口８０１，８０２が形成され、パージガス通流口８０１，８０２から流入したパージガスが出射窓８２５から流出するように構成された収容部ケーシング８００と、収容部ケーシング８００を覆う蓋体と、入射光学窓８２０と出射窓８２５の間に複数の非線形光学素子が載置されるように、収容部ケーシング８００に着脱可能に固定された載置部と、出射窓８２０及びパージガス通流口８０１，８０２を開閉可能に閉塞する閉塞部材としてのシールネジとを備えて構成されている。
【０１１４】
図８（ａ），（ｂ）に示すように、ケーシング７００に形成された出射窓７５０に取り付けられた出射光学窓６００は、円盤状の光学素子６１０と、光学素子６１０を保持する傾斜面を備えた光学素子保持部６３０で構成されている。光学素子６１０は傾斜面に形成された開口の段差部に回転可能に嵌め込まれ、上方から留金６２０で固定されている。
【０１１５】
この状態で光学素子６１０は、波長変換光の光軸Ｌに対してブリュースター角（図中、符号φで示す。）だけ傾斜した傾斜姿勢となる。また、波長変換光の通過位置Ｌｏが光学素子６１０の中心位置Ｌｃに対して下方に偏在するように配置されている。光学素子６１０は、傾斜姿勢を保持した状態で回転可能に、且つ、波長変換光の光軸Ｌに対して光学素子の回転中心が偏在するように取り付けられている。
【０１１６】
光学素子６１０が波長変換光の光軸に対してブリュースター角だけ傾斜した傾斜姿勢で取り付けられているので、波長変換光が光学素子６１０に反射するようなことがない。
【０１１７】
また、光学素子６１０を回転させることにより、波長変換光の通過位置が変位可能になるため、光学素子６１０がある程度劣化して透過率が低下しても、波長変換光の通過位置を変位させることで、本来の光学素子６１０の透過率で波長変換光を出力することができるようになる。
【０１１８】
尚、光学素子６１０は、波長変換光の通過位置が変位可能になる態様で取り付けられていればよく、上述のような構成に限るものではない。
【０１１９】
さらに、パージガスをケーシング７００から排気する排気口７６０が出射窓７５０の上部近傍に形成され、排気口７６０から排気されたパージガスが光学窓６００の光学素子６１０に導く風洞６５０が配置されている。
【０１２０】
排気口７６０は、ケーシング７００の外側から回転操作可能なシールネジ機構６６０によって開閉操作可能に構成されている。シールネジ機構６６０の操作部を反時計周りに回転操作すると排気口７６０が開放され、シールネジ機構６６０の操作部を時計回りに回転操作すると、弁体６６０ａによって排気口７６０が閉塞される（図８（ａ）に二点鎖線で示されている。）
【０１２１】
風洞６５０の外部にシールネジ機構６６０の操作部が設けられているので、風洞６５０を取り外すことなくパージガスの流量を調整することができ、またパージガスの供給が停止した場合でも速やかにケーシング７００を密閉状態に操作することができる。
【０１２２】
設備が計画停電等で停止し、パージガスを供給することができない場合や熱源８７０によって非線形光学素子を１００℃以上に加熱した乾燥状態に維持できない場合には、シールネジ機構６６０によって排気口７６０を閉塞し、パージガス供給部９１０に備えた装着部に蓋体を装着すれば、湿度の影響を受けやすい非線形光学素子であっても確実に乾燥状態に保つことができる。
【０１２３】
風洞６５０によって出射光学窓６００を構成する光学素子６１０の外面にパージガスが案内されるので、例えば波長変換された紫外線レーザパルス光が当該光学素子６１０を通過する場合でも外気に含まれる有害成分等の影響で白濁するような事態の発生を効果的に阻止することができるようになる。
【０１２４】
ケーシング７００に形成された出射窓７５０に取り付けられた出射光学窓６００が単一である態様以外に、ケーシング７００に複数の出射光学窓６００が構成される態様であっても同様である。例えば、ケーシング内部に設けた光学素子で紫外線レーザパルス光が複数に分岐され、それぞれが個別の出射光学窓６００から出射されるような場合等には、それぞれの出射光学窓６００から出力される紫外線レーザパルス光の波長の異同は問わず、それぞれの出射光学窓６００に対して、排気口７６０から排気されたパージガスが導かれるように構成すればよい。
【０１２５】
この場合、ケーシング７００に形成された同じ出射窓７５０から複数本の紫外線レーザパルス光が出力されるような構成であってもよいし、ケーシング７００に形成された複数の出射窓７５０からそれぞれ紫外線レーザパルス光が出力されるように構成されていてもよく、各出射光学窓６００に導かれるパージガスは、同一の排気口７６０から排気されたパージガスであってもよいし、ケーシング７００の異なる位置に形成された排気口７６０から排気されたパージガスが夫々の出射光学窓６００に導かれるように構成されていてもよい。また、各出射光学窓６００を覆う風洞６５０も個別に設けられていてもよいし、共用されていてもよい。
【０１２６】
ケーシング７００に設けられたパージガス供給部９１０の下方にコネクタが配置され、制御部１００と第２波長変換部１Ｆとを接続する信号線や給電線が接続される。当該コネクタと収容部８０との間を接続する信号線ＳＣによって温度センサの信号が制御部１００に出力され、制御部から熱源８７０に制御信号が出力される。また、当該コネクタからステージ７１のモータ７１４に制御信号が出力され、ステージ７１が移動制御される。
【０１２７】
以下に、収容部８０を交換した後の各非線形光学素子７０（７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃ）に対する位相整合方法を説明する。
図９に示すように、初期の段階の位相整合方法は、装着工程Ｓ１と、第１温度調整工程Ｓ２と、粗調整工程Ｓ３と、第１微調整工程Ｓ４と、第２微調整工程Ｓ５と、記憶工程Ｓ６の各工程を備えて構成されている。
【０１２８】
装着工程Ｓ１は、上述したように新たな収容部８０をステージ７１に装着する工程である。第１温度調整工程Ｓ２は、熱源８７０を介して特定の非線形光学素子７０を所定の目標温度、本例では１５０℃に調整する工程である。尚、所定の目標温度は、使用する非線形光学素子により予め設定されている温度で、良好な波長変換効率を示す温度であればよい。例えば、常温を含む低温状態で非線形光学素子にレーザ光を入射させても問題が無ければ、第１温度調整工程Ｓ２は不要である。この場合、粗調整工程Ｓ３と同時、粗調整工程Ｓ３の実行中またはその後に熱源８７０を介して特定の非線形光学素子７０を加熱すればよい。但し、第１温度調整工程Ｓ２を経ることによって非線形光学素子の寿命が長くなるという利点がある。
【０１２９】
特定の非線形光学素子として、３つの非線形光学素子７０Ａ，７０Ｂ，７０ＣのうちＣ軸の目標値とのずれが最大、最小の間の中間値を示す結晶を選択することが好ましい。尚、設置された温度センサが一つの場合には、その温度センサの出力が１５０℃になるように熱源８７０を制御する。
【０１３０】
粗調整工程Ｓ３では、特定の非線形光学素子７０に調整用のレーザ光を入射させてその波長変換出力が最大値を示すように角度調整機構を調整する。波長変換出力とは上述した受光素子ＰＳ１で検出されたパワーであり、信号線を介して制御部１００に入力されている。「調整用のレーザ光」とは、調整のために発振させたレーザ光という意味であり、調整用の特別のレーザ光源を使用するのではなく、装置に組み込まれている種光源１０からのレーザ光を用いて調整するという意味である。このときに種光源１０から出力されるレーザ光の強度等も通常の使用状態と同様でよい。
【０１３１】
制御部１００には、位相整合方法を実行するための入出力装置が接続可能に構成され、入出力装置を介してステージ７１の移動、熱源８７０の制御等の操作が可能に構成され、温度センサによる検出温度や受光素子ＰＳ１による検出パワーが入出力装置に表示可能に構成されている。
【０１３２】
オペレータは、入出力装置に表示された受光素子ＰＳ１による検出パワーに基づいて調整用ビス８４ａ，８４ｂ（図６（ｃ）参照）を操作して、検出パワーが最大となる状態に調整し、ボルト８５ａ，８５ｂを締め付けてステージ７１に収容部８０を固定する。
【０１３３】
第１微調整工程Ｓ４では、粗調整工程後の波長変換出力が最大値を示すように熱源８７０を調整する。第１温度調整工程等で例えば１５０℃に調整された特定の非線形光学素子７０に対して、さらにその温度を調整することにより、位相整合状態を微調する。具体的に、入出力装置を介して特定の非線形光学素子７０を例えば０．１℃ずつ上昇または下降させながら受光素子ＰＳ１による検出パワーの状態を確認する。
【０１３４】
温度上昇に伴って検出パワーが増大する場合、検出パワーが低下する迄温度を上昇させ、温度下降に伴って検出パワーが増大する場合、検出パワーが低下する迄温度を下降させる。そして、検出パワーが最大となる温度を確認する。
【０１３５】
第２微調整工程Ｓ５では、他の非線形光学素子７０に調整用のレーザ光が入射するようにステージ７１を移動させて、その波長変換出力が最大値を示すように熱源を調整する工程を、他の全ての非線形光学素子に適用する。
【０１３６】
記憶工程Ｓ６は、第１微調整工程及び第２微調整工程で得られた調整温度を各非線形光学素子７０に対応付けて記憶部に記憶する工程である。その後、実際に各非線形光学素子７０を用いる際に、記憶部に記憶された調整温度に調整すれば、各非線形光学素子７０で波長変換出力が最大値を示すように調整できるようになる。事前に粗調整工程を実行することで、その後の熱源調整で速やかに位相整合状態を確保することができるようになるのである。
【０１３７】
非線形光学素子７０の製作精度がよく、ばらつきが少ないような場合には、粗調整工程Ｓ３は不要である。その場合には、治具等で収容部８０とステージ７１の角度を所定角度に調整してボルト８５ａ，８５ｂを締め付ければよい。
【０１３８】
上述の初期の段階の各調整工程の終了後、レーザ光源装置１を稼働させる場合の位相整合方法を説明する。
熱源８７０を介して任意の非線形光学素子７０を所定の目標温度、つまり１５０℃に調整する第２温度調整工程（Ｓ７）と、各非線形光学素子７０に対応付けられた調整温度を記憶部から読み出す温度読み出し工程（Ｓ８）と、波長変換対象となる非線形光学素子７０を、熱源８７０を介して温度読み出し工程（Ｓ８）で読み出された調整温度に調整する第３温度調整工程（Ｓ９）と、第３温度調整工程で温度が調整された後に当該非線形光学素子７０に入射光を入射させて波長変換する波長変換工程（Ｓ１０）とが制御部によって実行される。尚、第２温度調整工程を省略して、直ちに非線形光学素子７０を第３温度調整工程で調整温度に調整するように構成してもよい。全ての非線形光学素子が使用されると（Ｓ１０，Ｙ）、新しい非線形光学素子に交換すべく、上述のステップＳ１からの処理が繰り返される。
【０１３９】
制御部１００は、非線形光学素子が位相整合するための温度条件を記憶部から読み出して、入射光に対応する非線形光学素子の位相整合条件が満たされるように熱源を制御するように構成されているので、使用する非線形光学素子が切り替わる際に位相整合角を機械的に調整するような時間の掛かる処理を行なう必要がなく、温度調整制御のみで速やかに非線形光学素子の位相整合条件を整えることができる。
【０１４０】
また、第１温度調整工程Ｓ２で、特定の非線形光学素子として３つの非線形光学素子７０Ａ，７０Ｂ，７０ＣのうちＣ軸の目標値とのずれが最大、最小の間の中間値を示す結晶を選択すると、粗調整工程で中間値を示す結晶に対する角度が調整されるので、その後他の非線形光学素子に切り替えたときに温度変化幅が小さくなり、速やかに位相整合条件を整えることができる。
【０１４１】
以下、本発明の別実施形態を説明する。
上述した実施形態では、３つの非線形光学素子７０が入射レーザ光の光軸と直交するＸ，Ｙ平面上でＸ軸方向に並設された例を説明したが、図１０（ａ）に示すように、複数の非線形光学素子７０をＹ軸方向に並設してステージ７１をＹ軸方向に移動可能に構成してもよい。
【０１４２】
また、図１０（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ複数の非線形光学素子７０を並設してステージ７１をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能に構成してもよい。
【０１４３】
さらに、図１０（ｃ）に示すように、回転軸Ｐａ周りに複数の非線形光学素子７０を同心円上に配置してもよい。入射ビームが円形の場合、図１０（ｄ）に示すように、非線形光学素子７０の矩形の入射面の対角線が回転軸Ｐａと直交するように配置すると、限られた入射面を有効に活用できる。
【０１４４】
非線形光学素子７０の入射面の形状は既述したように正方形であってもよいし、ビームの照射位置の移動方向に長く形成した長方形であってもよい。また、ビーム径以上であれば一片の長さも適宜設定することができる。さらに、ビーム径に比べて十分に大きな長さの矩形の入射面形状を備えた大型の非線形光学素子７０を構成すれば、各非線形光学素子に対してビームをＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させて波長変換することも可能である。
【０１４５】
上述した実施形態では、収容容器に複数の非線形光学素子が収容される態様を説明したが、本発明による収容容器は、単一の非線形光学素子が収容される態様も含まれる。
【０１４６】
本発明による波長変換装置が組み込まれるレーザ光源装置は、発振波長が１０６４ｎｍとなる種光源に限定されるものでもなく、例えば、１０３０ｎｍ、１５５０ｎｍ、９７６ｎｍ等、用途によって適宜異なる波長の種光源を選択することが可能である。さらに、非線形光学素子を介してこれらの波長を基本波とする高調波、和周波、差周波を発生させることも可能である。非線形光学素子として、上述以外の非線形光学素子を用いることも可能である。例えば、ＣＬＢＯ結晶に代えて、ＢＢＯ結晶、ＫＢＢＦ結晶、ＳＢＢＯ結晶、ＫＡＢＯ結晶、ＢＡＢＯ結晶等を用いることができる。
【０１４７】
上述した複数の実施形態は、何れも本発明の一実施態様の説明であり、該記載により本発明の範囲が限定されるものではない。また、各部の具体的な回路構成や回路に使用する光学素子は、本発明の作用効果が奏される範囲で適宜選択し、或いは変更設計可能であることはいうまでもない。
【符号の説明】
【０１４８】
１：レーザ光源装置
１Ｆ：波長変換装置
１０：種光源
２０，３０：ファイバ増幅器
４０：光スイッチ素子
５０：固体増幅器
６０：非線形光学素子（ＬＢＯ結晶）
７０：非線形光学素子（ＣＬＢＯ結晶）
７１：ステージ
８０：収容部
８４０：区画部材
８７０：熱源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2015155933.tif 000007
【図６】
2015155933.tif 000008
【図７】
2015155933.tif 000009
【図８】
2015155933.tif 000010
【図９】
2015155933.tif 000011
【図１０】
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