(57)【要約】【課題】基板の撮像とマスクのクリーニングを並行して行うことができ、タクトの低下を防ぐことができるスクリーン印刷機、部品実装ライン及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】カメラユニット１８による基板２の撮像結果に基づいて、マスク１３の下方のマスク下方位置で、基板２を保持した状態の基板保持部２１を上昇させて基板２をマスク１３に接触させる昇降機構（第２昇降モータ４２）と、基板保持部２１をマスク下方位置とマスク下方位置から水平方向に退避させた退避位置との間で移動させる水平移動機構（ＸＹθテーブル機構４１）を備える。カメラユニット１８による基板２の撮像及びマスククリーナ１９によるマスク１３のクリーニングを、水平移動機構により基板保持部２１が退避位置に位置された状態で行う。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する基板保持部と、
前記基板に接触されるマスクと、
前記基板保持部に保持された前記基板を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による前記基板の撮像結果に基づいて、前記マスクの下方のマスク下方位置で前記基板保持部を上昇させて前記基板保持部に保持された前記基板を前記マスクに接触させる昇降機構と、
前記基板保持部を前記マスク下方位置と前記マスク下方位置から水平方向に退避させた退避位置との間で移動させる水平移動機構と、
前記基板が前記マスクに接触された状態で前記マスク上を移動し、前記マスクを介して前記基板にペーストを印刷する印刷ヘッドと、
前記昇降機構により前記基板がマスクから離間された状態で前記マスクの下面のクリーニングを行うマスククリーナとを備えたスクリーン印刷機であって、
前記撮像手段による前記基板の撮像及び前記マスククリーナによる前記マスクのクリーニングは、前記水平移動機構により前記基板保持部が前記退避位置に位置された状態で行われることを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記撮像手段による前記基板の撮像と前記マスククリーナによる前記マスクのクリーニングは並行して行われることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機と、前記スクリーン印刷機によりペーストが印刷された前記基板に部品を装着する部品実装機とを備えて成ることを特徴とする部品実装ライン。
【請求項４】
基板保持部により基板を保持する基板保持工程と、
前記基板保持部により保持した基板を撮像手段により撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で得られた前記基板の撮像結果に基づいて、前記マスクの下方のマスク下方位置で前記基板保持部を上昇させて前記基板保持部に保持された前記基板を前記マスクに接触させる接触工程と、
前記接触工程の後、前記印刷ヘッドを前記マスク上で移動させ、前記マスクを介して前記基板にペーストを印刷する印刷工程と、
前記基板をマスクから離間させた状態でマスククリーナによりマスクの下面のクリーニングを行うマスククリーニング工程とを含むスクリーン印刷方法であって、
前記撮像工程と前記マスククリーニング工程は、前記基板保持部が前記マスク下方位置から水平方向に退避させた退避位置に位置された状態で行われることを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項５】
前記撮像工程と前記マスククリーニング工程は並行して行われることを特徴とする請求項４に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機、このスクリーン印刷機を備えて構成される部品実装ライン及びスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、スクリーン印刷機は、基板保持部に保持した基板をマスクの下方から接触させた後、スキージ等の印刷ヘッドをマスク上で移動させて基板にペーストを印刷する構成となっている。ここで、基板とマスクの接触は、カメラ等の撮像手段によって基板を撮像して得られる撮像結果（基板の位置情報）に基づいて行われる。また、印刷精度を向上させるため、基板と離間した状態のマスクの下面に対してマスククリーナを摺動させてマスクに付着したペーストを除去するマスククリーニングも行われる。
【０００３】
スクリーン印刷機では、上記のように、撮像手段による基板の撮像と、マスククリーナによるマスククリーニングが行われるが、撮像手段とマスククリーナはともに基板保持部とマスクの間の領域に配置されているため、撮像とクリーニングとを並行して行うことは難しく、時間をずらして順次行う必要があった（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−４３４１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のように、基板の撮像とマスクのクリーニングとを時間をずらして行うと、一方の作業が他方の作業の終了を待つ状態が発生するので、その分、時間のロスが生じてタクトが低下するおそれがあった。特に、高度な印刷精度が要求されるファインピッチ印刷では、各基板についてスクリーン印刷するごとにマスクのクリーニングを行う必要があるため、上記時間のロスの影響は極めて大きいものであった。
【０００６】
そこで本発明は、基板の撮像とマスクのクリーニングを並行して行うことができ、タクトの低下を防ぐことができるスクリーン印刷機、部品実装ライン及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板を保持する基板保持部と、前記基板に接触されるマスクと、前記基板保持部に保持された前記基板を撮像する撮像手段と、前記撮像手段による前記基板の撮像結果に基づいて、前記マスクの下方のマスク下方位置で前記基板保持部を上昇させて前記基板保持部に保持された前記基板を前記マスクに接触させる昇降機構と、前記基板保持部を前記マスク下方位置と前記マスク下方位置から水平方向に退避させた退避位置との間で移動させる水平移動機構と、前記基板が前記マスクに接触された状態で前記マスク上を移動し、前記マスクを介して前記基板にペーストを印刷する印刷ヘッドと、前記昇降機構により前記基板がマスクから離間された状態で前記マスクの下面のクリーニングを行うマスククリーナとを備えたスクリーン印刷機であって、前記撮像手段による前記基板の撮像及び前記マスククリーナによる前記マスクのクリーニングは、前記水平移動機構により前記基板保持部が前記退避位置に位置された状態で行われる。
【０００８】
請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、前記撮像手段による前記基板の撮像と前記マスククリーナによる前記マスクのクリーニングは並行して行われる。
【０００９】
請求項３に記載の部品実装ラインは、請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機と、前記スクリーン印刷機によりペーストが印刷された前記基板に部品を装着する部品実装機とを備えて成る。
【００１０】
請求項４に記載のスクリーン印刷方法は、基板保持部により基板を保持する基板保持工程と、前記基板保持部により保持した基板を撮像手段により撮像する撮像工程と、前記撮像工程で得られた前記基板の撮像結果に基づいて、前記マスクの下方のマスク下方位置で前記基板保持部を上昇させて前記基板保持部に保持された前記基板を前記マスクに接触させる接触工程と、前記接触工程の後、前記印刷ヘッドを前記マスク上で移動させ、前記マスクを介して前記基板にペーストを印刷する印刷工程と、前記基板をマスクから離間させた状態でマスククリーナによりマスクの下面のクリーニングを行うマスククリーニング工程とを含むスクリーン印刷方法であって、前記撮像工程と前記マスククリーニング工程は、前記基板保持部が前記マスク下方位置から水平方向に退避させた退避位置に位置された状態で行われる。
【００１１】
請求項５に記載のスクリーン印刷方法は、請求項４に記載のスクリーン印刷方法であって、前記撮像工程と前記マスククリーニング工程は並行して行われる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、基板を保持する基板保持部が、マスクの下方のマスク下方位置とこのマスク下方位置から水平方向に退避させた退避位置との間で移動可能であり、撮像手段による基板の撮像とマスククリーナによるマスクのクリーニングはともに基板保持部を退避位置に位置させた状態で行うようになっているので、基板の撮像の際の撮像手段の移動範囲と、マスクのクリーニングの際のマスククリーナの移動範囲とは重ならず、撮像手段による基板の撮像とマスククリーナによるマスクのクリーニングを並行して行うことができる。これにより、一方の作業が他方の作業の終了を待つといった事態は発生せず、タクトの低下を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施の形態における部品実装ラインの概略構成図
【図２】本発明の一実施の形態における部品実装ラインを構成するスクリーン印刷機の平面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図
【図４】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーナの断面側面図
【図６】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図９】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態における部品実装ライン１を示している。部品実装ライン１は、基板２に部品３を装着して部品実装基板を製造するものであり、基板供給部４より供給される基板２の電極２ａ上に半田等のペーストＰｓｔをスクリーン印刷するスクリーン印刷機５と、スクリーン印刷機５によりペーストＰｓｔが印刷された基板２に部品３を装着する部品実装機６を含んだ構成を有している。本実施の形態では部品実装ライン１における基板２の流れ方向は図１の左方から右方に向かう水平面内方向（オペレータＯＰから見た左右方向）であり、これをＸ軸方向とする。そして、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向（オペレータＯＰから見た前後方向）をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。なお、本実施の形態では、図１の紙面左方が基板２の流れの上流側（上流工程側）に相当し、図１の紙面右方が基板２の流れの下流側（下流工程側）に相当する。
【００１５】
図２及び図３において、スクリーン印刷機５は、基台１１上に基板保持移動機構１２を備えており、基板保持移動機構１２の上方には基板２に印刷するパターン１３Ｐが形成されたマスク１３が設置されている。基台１１上における基板保持移動機構１２の基板２の流れの上流側（図１の紙面左側）には上流工程側の他の装置（ここでは基板供給部４）から搬入した基板２を基板保持移動機構１２に受け渡す基板搬入部としての搬入コンベア１４と、基板保持移動機構１２から送り出された基板２を受け取って下流工程側の他の装置（ここでは部品実装機６）に搬出する基板搬出部としての搬出コンベア１５を備えている。またスクリーン印刷機５は、マスク１３の上方に、印刷ヘッド移動機構１６Ｍによって移動される印刷ヘッド１６と、印刷ヘッド１６と一体に設けられたペースト供給シリンジ１７を備えており、マスク１３の下方に、カメラユニット移動機構１８Ｍによって水平面内で移動される撮像手段としてのカメラユニット１８と、クリーナ移動機構１９ＭによってＹ軸方向に移動されるマスククリーナ１９を備えている。
【００１６】
図３において、スクリーン印刷機５の基板保持移動機構１２は、基板２を保持する基板保持部２１と、この基板保持部２１を移動させる基板保持部移動機構２２から成る。基板保持部２１はベースとなる昇降プレート３１と、昇降プレート３１から上方に延びたコンベア支持部材３２に取り付けられた一対のコンベア３３（図２も参照）と、昇降プレート３１に取り付けられた第１昇降モータ３４によって昇降プレート３１の上方を昇降される下受け部材３５と、コンベア３３の上方に設けられてクランパ駆動モータ３６によってＹ軸方向に開閉される一対のクランパ３７（図２も参照）を備える。コンベア３３は搬入コンベア１４から受け取った基板２をＸ軸方向に搬送して所定のクランプ位置に位置決めし、下受け部材３５はクランプ位置に位置決めした基板２を下方から支持する。クランパ３７は下受け部材３５に支持された基板２の側面（Ｙ軸方向に対向した側面）をＹ軸方向からクランプする。Ｙ軸方向に並んで設けられた２つのクランパ３７のうち、オペレータＯＰの側（図３の紙面右側であり、前方とする）に位置するものを前方クランパ３７Ｆと称し、オペレータＯＰとは反対の側に位置するもの（図３の紙面左側であり、後方とする）を後方クランパ３７Ｒと称する。
【００１７】
図３において、基板保持部移動機構２２は、基台１１上に段積み構成されたＹテーブル４１ａ、Ｘテーブル４１ｂ及びθテーブル４１ｃの相互相対移動によってベーステーブル４１ｄを水平面内で移動させるＸＹθテーブル機構４１と、昇降プレート３１を（すなわち基板保持部２１の全体を）ベーステーブル４１ｄに対して昇降させる第２昇降モータ４２を有して成る。基板保持部移動機構２２は、基板２を保持（クランパ３７でクランプ）した基板保持部２１を、ＸＹθテーブル機構４１によって水平面内で移動させ、第２昇降モータ４２によって昇降させる。
【００１８】
ベーステーブル４１ｄすなわち基板保持部２１は、ＸＹθテーブル機構４１によって、マスク１３の下方のマスク下方位置（図４（ａ））と、このマスク下方位置から水平方向（ここではオペレータＯＰから遠ざかる方向）に退避させた退避位置（図４（ｂ））との間で移動可能である。すなわち本実施の形態において、ＸＹθテーブル機構４１は、基板保持部２１をマスク１３の下方のマスク下方位置とこのマスク下方位置から水平方向に退避させた退避位置との間で移動させる水平移動機構となっている。なお、図２に示すように、搬入コンベア１４と搬出コンベア１５はそれぞれ、基板保持部２１が退避位置に位置した状態で基板保持部２１のコンベア３３とＸ軸方向に対向する位置に設けられている。基板保持部２１は、退避位置に位置された状態で搬入コンベア１４から基板２を受け取り、基板２を保持する。また、退避位置に位置された状態で、基板２を搬出コンベア１５に受け渡す。
【００１９】
図２において、マスク１３はＸＹ平面に広がって延びた矩形平板形状を有しており、その外周は枠部材１３ｗによって支持されている。マスク１３には、基板２の電極２ａの配置に対応した配置でパターン１３Ｐが形成されている。
【００２０】
図２において、基板２の対角位置には２つ一組の基板側マーク２ｍが設けられており、マスク１３上には、基板側マーク２ｍに対応して配置された２つ一組のマスク側マーク１３ｍが設けられている。退避位置において基板２を保持した基板保持部２１をＸＹθテーブル機構４１によってマスク下方位置に移動させ、２つの基板側マーク２ｍを２つのマスク側マーク１３ｍと平面視において一致させた状態で、第２昇降モータ４２によって基板保持部２１を上昇させて基板保持部２１に保持された基板２をマスク１３に接触させると、基板２の電極２ａとマスク１３のパターン１３Ｐとが合致した状態となる。このように本実施の形態において、第２昇降モータ４２は、マスク１３の下方のマスク下方位置で、基板２を保持した状態の基板保持部２１を上昇させて基板２をマスク１３に接触させる昇降機構となっている。
【００２１】
図２及び図３において、印刷ヘッド１６は、Ｘ軸方向に延びて設けられた移動ベース５１の下方に、Ｙ軸方向に対向配置された２つのスキージ５２を備えて成る。印刷ヘッド移動機構１６Ｍは、Ｙ軸方向に延びて移動ベース５１の左右端部を貫通螺入した２つの印刷ヘッド移動ボール螺子１６ａと、これら２つの印刷ヘッド移動ボール螺子１６ａを回転駆動する２つの印刷ヘッド移動モータ１６ｂを有して成り、２つの印刷ヘッド移動モータ１６ｂによって２つの印刷ヘッド移動ボール螺子１６ａが同期して回転されると、移動ベース５１がＹ軸方向に移動する。２つのスキージ５２はそれぞれ移動ベース５１に設けられたスキージ昇降シリンダ５３によって、移動ベース５１の下方を個別に昇降される。Ｙ軸方向に並んで設けられた２つのスキージ５２のうち、オペレータＯＰの側（図３の紙面右側）に位置するものを前方スキージ５２Ｆと称し、オペレータＯＰとは反対の側（図３の紙面左側）に位置するものを後方スキージ５２Ｒと称する。
【００２２】
図２及び図３において、カメラユニット１８は撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１８ａと撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１８ｂを有して成る。カメラユニット１８を水平面内方向に移動させるカメラユニット移動機構１８Ｍは、基台１１上をＹ軸方向に延びて設けられたＹ軸テーブル１８ｙ、Ｘ軸方向に延びてＹ軸テーブル１８ｙ上を移動するＸ軸テーブル１８ｘ及びＸ軸テーブル１８ｘ上を移動する移動プレート１８ｐを備える。カメラユニット１８は移動プレート１８ｐに取り付けられており、Ｙ軸テーブル１８ｙに対するＸ軸テーブル１８ｘのＹ軸方向への移動及びＸ軸テーブル１８ｘに対する移動プレート１８ｐのＸ軸方向への移動によって、水平面内を移動する。カメラユニット１８は、基板保持部２１がＸＹθテーブル機構４１によって退避位置に位置された状態で、マスク側マーク１３ｍの撮像と、基板保持部２１により保持された基板２の基板側マーク２ｍの撮像を行う。なお、マスク側マーク１３ｍの撮像は上方撮像カメラ１８ａによって行い、基板側マーク２ｍの撮像は下方撮像カメラ１８ｂによって行う。
【００２３】
ペースト供給シリンジ１７は内部にペーストＰｓｔを蓄えており、下方にペーストを吐出供給する。図２及び図３において、ペースト供給シリンジ１７は移動ベース５１に取り付けられており、移動ベース５１のＹ軸方向移動によってスキージ５２とともにＹ軸方向に移動する一方、移動ベース５１上をＸ軸方向に移動させることができる。このためペースト供給シリンジ１７は、移動ベース５１のＹ軸方向移動とペースト供給シリンジ１７自身のＸ軸方向移動によって水平面内を自在に移動して、マスク１３上の任意の領域にペーストＰｓｔを供給することができる。
【００２４】
図２において、クリーナ移動機構１９Ｍは、基台１１の上方をＹ軸方向に延びて設けられたＹ軸テーブル１９ａ及びＸ軸方向に延びてＹ軸テーブル１９ａ上を移動するＸ軸テーブル１９ｂを備えており、マスククリーナ１９はＸ軸テーブル１９ｂに取り付けられている。図５において、マスククリーナ１９は、筐体１９Ｃ内に設けられた２つの回転体１９ｔの回転作動によって供給（更新）されるペーパー部材１９ｐを、上下方向に移動可能なノズル１９ｎによって筐体１９Ｃの上方に押上げてペースト拭き取り面１９ｍを形成する構成となっており、Ｙ軸テーブル１８ｙに対するＸ軸テーブル１８ｘのＹ軸方向への移動によってＹ軸方向に移動し、ペーパー部材１９ｐのペースト拭き取り面１９ｍをマスク１３の下面に対して摺動させつつ、ノズル１９ｎによる吸引動作を行う。マスククリーナ１９は、基板保持部移動機構１２（詳細にはその昇降機構たる第２昇降モータ４２）によって基板２がマスク１３から離間された状態でマスク１３の下面のクリーニングを行うが、このマスククリーナ１９によるマスク１３のクリーニングは、基板保持部２１がＸＹθテーブル機構４１によって退避位置に位置された状態で行われる。
【００２５】
図６において、搬入コンベア１４による基板２の搬入動作、コンベア３３による基板２のクランプ位置への移動動作、第１昇降モータ３４による下受け部材３５の昇降動作、クランパ駆動モータ３６によるクランパ３７のクランプ動作、ＸＹθテーブル機構４１による基板保持部２１の水平面内での移動動作、第２昇降モータ４２による基板保持部２１の昇降動作、搬出コンベア１５による基板２の搬出動作の各制御は、スクリーン印刷機５が備える制御装置６０によってなされる。また、印刷ヘッド移動機構１６Ｍによる印刷ヘッド１６のＹ軸方向への移動動作、スキージ昇降シリンダ５３による各スキージ５２の昇降動作、ペースト供給シリンジ１７によるペーストＰｓｔの吐出動作、カメラユニット移動機構１８Ｍによるカメラユニット１８の水平面内での移動動作、クリーナ移動機構１９Ｍによるマスククリーナ１９のＹ軸方向での移動動作、マスククリーナ１９におけるノズル１９ｎの上下移動制御及びペーパー部材１９ｐの供給（更新）動作の各制御も制御装置６０によってなされる。
【００２６】
図６において、上方撮像カメラ１８ａは、制御装置６０に制御されて、マスク１３に設けられたマスク側マーク１３ｍの撮像の撮像を行う。下方撮像カメラ１８ｂは、制御装置６０に制御されて、基板保持部２１に保持された基板２の基板側マーク２ｍの撮像を行う。上方撮像カメラ１８ａの撮像によって得られた画像データと下方撮像カメラ１８ｂの撮像によって得られた画像データはともに制御装置６０に入力され、制御装置６０の画像処理部６０ａにおいて画像処理される。そして、得られたマスク側マーク１３ｍの画像と基板側マーク２ｍの画像(撮像結果)に基づいて、制御装置６０が、各マスク側マーク１３ｍの位置と各基板側マーク２ｍの位置の算出を行う。
【００２７】
次に、図７〜図１０を参照して、スクリーン印刷機５によるスクリーン印刷作業の実行手順（スクリーン印刷方法）を説明する。制御装置６０は、基板供給部４から基板２が送り出されたときには、その基板２を搬入コンベア１４によって受け取る。この際、基板保持部２１が退避位置に位置していない状態であれば、制御装置６０は、ＸＹθテーブル機構４１を作動させて、基板保持部２１を退避位置に位置させる。
【００２８】
制御装置６０は、搬入コンベア１４によって基板２を受け取ったら、搬入コンベア１４と基板保持部２１のコンベア３３を連動作動させて基板２を基板保持部２１内に搬入し、その基板２をクランプ位置に位置決めする。そして、第１昇降モータ３４を作動させて下受け部材３５を上昇させ、基板２を下方から支持して基板２がコンベア３３から持ち上げられた状態としたら（図７（ａ）中に示す矢印Ａ１）、クランパ駆動モータ３６を作動させて、クランパ３７で基板２をクランプして保持する（図７（ａ）中に示す矢印Ｂ１。基板保持工程）。
【００２９】
制御装置６０は、基板保持部２１によって基板２を保持したら、カメラユニット移動機構１８Ｍによりカメラユニット１８を移動させ、上方撮像カメラ１８ａによって基板２のマスク側マーク１３ｍを撮像する。制御装置６０は、マスク側マーク１３ｍの撮像を行ったら、次いで、下方撮像カメラ１８ｂによって基板側マーク２ｍを撮像するとともに（図７（ｂ）中に示す矢印Ｃ。撮像工程）、このカメラユニット１８による基板側マーク２ｍの撮像動作と並行して、マスククリーナ１９によるマスク１３の下面のクリーニングを行う（図７（ｂ）及び図５中に示す矢印Ｄ。マスククリーニング工程）。
【００３０】
このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、撮像工程とマスククリーニング工程をともに基板保持部２１を退避位置に位置させた状態で行うことにより、基板２の撮像を行う際のカメラユニット１８の移動範囲と、マスク１３のクリーニングを行う際のマスククリーナ１９の移動範囲とが重ならないようにしており、これにより、カメラユニット１８による基板２の撮像とマスククリーナ１９によるマスク１３のクリーニングを並行して行うことが可能になっている。
【００３１】
制御装置６０は、マスク側マーク１３ｍの撮像と基板側マーク２ｍの撮像を行ったら、ＸＹθテーブル機構４１を作動させて、基板２を保持した基板保持部２１をマスク下方位置に位置させる（図８（ａ）中に示す矢印Ｅ１）。そして、撮像工程で得られた基板２の（基板側マーク２ｍ）とマスク側マーク１３ｍの撮像結果（基板側マーク２ｍ及びマスク側マーク１３ｍの位置情報）に基づいて、マスク側マーク１３ｍと基板側マーク２ｍが上下方向に一致するようにしたうえで、第２昇降モータ４２によって基板保持部２１を上昇させ、基板保持部２１に保持された基板２をマスク１３に接触させる（図８（ｂ）中に示す矢印Ｆ１。接触工程）。これにより、基板２の電極２ａとマスク１３に形成されたパターン１３Ｐとが合致した状態となる（図８（ｂ））。
【００３２】
制御装置６０は、基板２をマスク１３に接触させたら、図示しないペースト量確認装置によって、マスク１３上に十分な量のペーストＰｓｔがあるかどうかの確認検査を行う。そして、十分な量のペーストＰｓｔがないと判断した場合には、ペースト供給シリンジ１７によってマスク１３上にペーストＰｓｔを供給する。
【００３３】
制御装置６０は、接触工程の後、上記ペースト量の確認（ペースト供給シリンジ１７によるペーストＰｓｔの供給を行った場合にはその後に行ったペースト量の確認）の結果、マスク１３上に十分な量のペーストＰｓｔがあると判断したら、スキージ５２を用いたペーストＰｓｔのスキージングを実行する。スキージングでは、制御装置６０は、移動ベース５１を（すなわち印刷ヘッド１６を）Ｙ軸方向へ移動させて、スキージ５２をマスク１３上で移動（摺動）させる。このスキージングによってペーストＰｓｔはマスク１３上で掻き寄せられ、マスク１３のパターン１３Ｐ内に充填されて基板２にペーストＰｓｔが印刷される（印刷工程）。
【００３４】
上記スキージングを後方スキージ５２Ｒによって行う場合には、後方スキージ５２Ｒを下降させて後方クランパ３７Ｒと接触したマスク１３上に当接させ、移動ベース５１を前方へ移動させる（図９（ａ））。そして、後方スキージ５２Ｒが前方クランパ３７Ｆと接触したマスク１３上に到達したら、後方スキージ５２Ｒを上昇させて待機状態とする。一方、上記スキージングを前方スキージ５２Ｆによって行う場合には、前方スキージ５２Ｆを下降させて前方クランパ３７Ｆと接触したマスク１３上に当接させ、移動ベース５１を後方へ移動させる。そして、前方スキージ５２Ｆが後方クランパ３７Ｒと接触したマスク１３上に到達したら、前方スキージ５２Ｆを上昇させて待機状態とする。このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機５において、印刷ヘッド１６は、基板２がマスク１３に接触された状態でマスク１３上を移動し、マスク１３を介して基板２にペーストＰｓｔを印刷するものとなっている。
【００３５】
制御装置６０は、印刷ヘッド１６を移動させてマスク１３のパターン１３Ｐ内にペーストＰｓｔを充填させて基板２にペーストＰｓｔを印刷したら、第１昇降モータ３４を作動させて昇降プレート３１を下降させ（図９（ｂ）中に示す矢印Ｆ２）、基板２をマスク１３から離間させて、版離れを行う（図９（ｂ））。これにより基板２の１枚当たりのスクリーン印刷作業は終了する。
【００３６】
制御装置６０は、基板２の１枚当たりのスクリーン印刷が終了したら、基板２を保持した基板保持部２１を退避位置へ移動させる（図１０（ａ）中に示す矢印Ｅ２）。そして、クランパ３７を開いたうえで（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｂ２）、下受け部材３５を下降させて（図１０（ｂ）中に示す矢印Ａ２）、基板２をコンベア３３上に載置する（図１０（ｂ））。基板２をコンベア３３上に載置したら、コンベア３３と搬出コンベア１５を連動作動させて、スクリーン印刷機５から下流工程側の他の装置（部品実装機６）に基板２を搬出する。制御装置６０は基板２を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があったときには搬入コンベア１４による基板２の搬入を行い、スクリーン印刷を施す基板２がなかったときには一連の作業を終了する。
【００３７】
図１において、部品実装機６は、基台７１上に基板搬送レーン７２と、部品供給部としての複数のパーツフィーダ７３と、ＸＹロボットから成るヘッド移動機構７４によって移動される２つの装着ヘッド７５を備えている。基板搬送レーン７２は、スクリーン印刷機５でペーストＰｓｔが印刷された基板２をスクリーン印刷機５の搬出コンベア１５から受け取って搬入し、所定の位置に位置決めする。２つの装着ヘッド７５はそれぞれ各パーツフィーダ７３が供給する部品３をピックアップし、その部品３を基板搬送レーン７２によって位置決めされた基板２上に装着する。そして、基板２に対する部品３の装着が終わったら、基板搬送レーン７２を作動させて、基板２を外部（下流工程側）に搬出する。
【００３８】
このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機５を用いたスクリーン印刷方法は、基板保持部２１により基板２を保持する基板保持工程、基板保持部２１により保持した基板２をカメラユニット１８（撮像手段）により撮像する撮像工程、撮像工程で得られた基板２の撮像結果に基づいて、マスク１３の下方のマスク下方位置で基板保持部２１を上昇させて基板保持部２１に保持された基板２をマスク１３に接触させる接触工程、接触工程の後、印刷ヘッド１６をマスク１３上で移動させ、マスク１３を介して基板２にペーストＰｓｔを印刷する印刷工程及び基板２をマスク１３から離間させた状態でマスククリーナ１９によりマスク１３の下面のクリーニングを行うマスククリーニング工程を含み、撮像工程とマスククリーニング工程は、基板保持部２１がマスク下方位置から水平方向に退避した退避位置に位置された状態で行われる。
【００３９】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機５（及びスクリーン印刷機５によるスクリーン印刷方法）では、基板２を保持する基板保持部２１が、マスク１３の下方のマスク下方位置とこのマスク下方位置から水平方向に退避させた退避位置との間で移動可能であり、カメラユニット１８（撮像手段）による基板２の撮像とマスククリーナ１９によるマスク１３のクリーニングはともに基板保持部２１を退避位置に位置させた状態で行うようになっているので、基板２の撮像の際のカメラユニット１８の移動範囲と、マスク１３のクリーニングの際のマスククリーナ１９の移動範囲とは重ならず、カメラユニット１８による基板２の撮像とマスククリーナ１９によるマスク１３のクリーニングを並行して行うことができる。これにより、一方の作業が他方の作業の終了を待つといった事態は発生せず、タクトの低下を防ぐことができる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
基板の撮像とマスクのクリーニングを並行して行うことができ、タクトの低下を防ぐことができるスクリーン印刷機、部品実装ライン及びスクリーン印刷方法を提供する。
【符号の説明】
【００４１】
１  部品実装ライン
２  基板
３  部品
５  スクリーン印刷機
６  部品実装機
１３  マスク
１６  印刷ヘッド
１８  カメラユニット（撮像手段）
１９  マスククリーナ
２１  基板保持部
４１  ＸＹθテーブル機構（水平移動機構）
４２  第２昇降モータ（昇降機構）
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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