(57)【要約】【課題】サイズが大きくなることを防止でき、組み立て性が良い断熱用の筐体を提供すること。【解決手段】筐体１１は、少なくとも筐体１１における隣接する２つの面を、蓋部材３０が覆うことによって各面それぞれに形成され、流体が流れる流路部５０と、筐体１１の肉厚部に設けられ、流体が一方の面に形成されている一方の流路部５０から一方の面に隣接する他方の面側に形成されている他方の流路部５０に流れるように流路部５０同士を結合する結合部４０を有している。【選択図】      図１Ｂ
2015032698.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子機器または電子部品を収納する断熱用の筐体であって、
少なくとも筐体における隣接する２つの面を、蓋部材が覆うことによって前記面それぞれに形成される、流体が流れる流路部と、
筐体の肉厚部に設けられ、前記流体が一方の面側に形成されている一方の前記流路部から一方の前記面に隣接する他方の面側に形成されている他方の前記流路部に流れるように前記流路部同士を結合する結合部と、
を具備することを特徴とする断熱用の筐体。
【請求項２】
前記結合部は、一方の前記流路部と他方の前記流路部とに連通している連通孔部を有することを特徴とする請求項１に記載の断熱用の筐体。
【請求項３】
隣接する２つの前記面それぞれが溝部を有し、
前記蓋部材が前記溝部の上方を覆うようにして前記面を覆うことによって、前記流路部が形成されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の断熱用の筐体。
【請求項４】
筐体における前記面に配設され、前記蓋部材によって覆われる凹部と、
前記面に対向する前記蓋部材の裏面に配設され、前記裏面から前記面に向かって立設している立設部と、
をさらに具備し、
前記蓋部材が前記面を覆った際に、前記立設部が前記凹部を仕切ることによって、前記流路部が形成されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の断熱用の筐体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器や電子部品を内部に搭載する筐体に関し、特に電子機器等の温度の外部への影響を低減する断熱用の筐体に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば露光装置などの精密装置は、断熱用の筐体として冷却用の筐体を複数有している。この筐体は、発熱部である複数のユニットを収納しており、ユニットを冷却する。このユニットは、電気機器や電子機器や基板や電源装置を有している。このようなユニットは、稼働時に発熱する。
【０００３】
筐体は、上面板と、左側面板と、下面板と、右側面板と、背面板と、正面に配設されている開口部とを有する箱として機能する。ユニットは、開口部を介して筐体の内部に搭載される。なお正面には、扉が設けられてもよい。  
また筐体は、上面板と左側面板と下面板と右側面板とに設置され、冷却媒体が流れる流路部として機能する配管をさらに有している。配管は、例えば波状や一定の波長のように各板に張り巡らされている。この配管は、筐体とは別体である。また各板に設置されている配管同士は、別体である。配管は、配管の一端部と他端部とに配設されている接続口部を有している。
【０００４】
上面板に設置されている配管の一方の接続口部は、冷却媒体が供給装置から配管に流入する流入口として機能する。上面板に設置されている配管の他方の接続口部は、筐体の外部に配設されている湾曲自在なチューブを介して、左側面板に設置されている配管の一方の接続口部と連結している。  
また左側面板に設置されている配管の他方の接続口部は、チューブを介して、下面板に設置されている配管の一方の接続口部と連結している。  
また下面板に設置されている配管の他方の接続口部は、チューブを介して、右側面板に設置されている配管の一方の接続口部と連結している。右側面板に設置されている配管の他方の接続口部は、冷却媒体が配管から供給装置に流出する流出口として機能する。
【０００５】
このように、流路部として機能する配管同士は、チューブを介して、筐体を囲うように配設されている。そして、冷却媒体は、筐体を囲うようにして、循環している。そして冷却媒体は、配管と各板とを通じて筐体内部及びユニットを冷却している。
【０００６】
このような技術は、例えば特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１１−１８７５６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記したような装置において、配管が配設されるため、筐体のサイズが大きくなってしまう。特に筺体が直方体の場合、一つの面から他の面への配管の接続部分が突出してしまうため、筺体が大型化してしまう。また、配管が筺体外周に配設されている場合、筐体の組み立て性が悪くなってしまう。
【０００９】
このため本発明は、上記事情に鑑み、サイズが大きくなることを防止でき、組み立て性が良い断熱用の筐体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は目的を達成するために、電子機器または電子部品を収納する断熱用の筐体であって、少なくとも筐体における隣接する２つの面を、蓋部材が覆うことによって前記面それぞれに形成される、流体が流れる流路部と、筐体の肉厚部に設けられ、前記流体が一方の面側に形成されている一方の前記流路部から一方の前記面に隣接する他方の面側に形成されている他方の前記流路部に流れるように前記流路部同士を結合する結合部と、を具備することを特徴とする断熱用の筐体を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、サイズが大きくなることを防止でき、組み立て性が良い断熱用の筐体を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１Ａ】図１Ａは、蓋部材が取り外されている第１の実施形態における筐体の斜視図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、流路部の構成を示す図である。
【図１Ｃ】図１Ｃは、封止部材を示す図である。
【図２Ａ】図２Ａは、蓋部材が取り外されている第２の実施形態における筐体の斜視図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、流路部の構成を示す図である。
【図２Ｃ】図２Ｃは、結合部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。  
［第１の実施形態］  
［構成］  
図１Ａと図１Ｂとを参照して、第１の実施形態について説明する。なお、一部の図面では、図示の明瞭化のために、部材の一部の図示を省略している。本実施形態の断熱用媒体は、例えば、空気といった気体や、水や油といった液体などの流体である。
【００１４】
［装置］  
例えば露光装置などの図示しない装置は、図１Ａに示すような複数の断熱用（ここでは冷却用）の筐体１１を有している。筐体１１は、発熱部である図示しないユニットを収納する。このユニットは、電気機器や電源装置などの電子機器、または基板やモジュールなどの電子部品を有している。このようなユニットは、稼働時に発熱する。筐体１１は、ユニットの熱を遮蔽して筐体１１の熱が外部に影響することを抑止する。
【００１５】
［筐体１１］  
図１Ａと図１Ｂとに示すように、筐体１１は、上面板１１ａと、左側面板１１ｂと、下面板１１ｃと、右側面板１１ｄと、背面板１１ｅと、正面に配設されている開口部１１ｆとを有する箱として機能する。ユニットは、開口部１１ｆを介して筐体１１の内部に搭載される。なお、開口部１１ｆは最終的に図示しない正面板（扉等）によって塞がれても良い。  
上面板１１ａと左側面板１１ｂと下面板１１ｃと右側面板１１ｄと背面板１１ｅとは、例えば平板状に形成されている。上面板１１ａと、左側面板１１ｂと、下面板１１ｃと、右側面板１１ｄと、背面板１１ｅとは、筐体１１のシャーシ、言い換えると基板、プレートとして機能する。
【００１６】
［溝部２０］  
また図１Ａと図１Ｂとに示すように、筐体１１は、隣接する２つの面に配設され、それぞれが別体である溝部２０を有している。隣接する２つの面とは、例えば、上面板１１ａと左側面板１１ｂと、左側面板１１ｂと下面板１１ｃと、下面板１１ｃと右側面板１１ｄとを示す。つまり溝部２０が例えば左側面板１１ｂに配設されている場合、溝部２０は上面板１１ａと下面板１１ｃと背面板１１ｅとの少なくとも１つにさらに配設されることとなる。本実施形態では、溝部２０は、上面板１１ａと、左側面板１１ｂと、下面板１１ｃと、右側面板１１ｄとに配設されているものとして説明する。溝部２０は、筐体１１と一体である。また各溝部２０は、面板ごとに別体である。溝部２０の構成は、それぞれ略同一であるため、以下に、上面板１１ａに形成されている溝部２０を一例にして説明する。
【００１７】
図１Ａに示すように、溝部２０は、上面板１１ａに対して、上面板１１ａの肉厚部を開口部１１ｆに向かって例えば窪ませる（掘り下げる）ようにして形成されており、上面板１１ａと一体である。このように溝部２０は、上面板１１ａに直接形成されている。溝部２０は、例えば凹形状を有している。このため溝部２０は、上面板１１ａの厚み方向において開口部１１ｆとは連通していない。また溝部２０は、上方に向かって開口しており、つまり上面板１１ａの厚み方向において外部と連通している。  
図１Ａと図１Ｂとに示すように、溝部２０は、例えば波状や一定の波長のように上面板１１ａに張り巡らされている。例えば、溝部２０は、上面板１１ａの長手軸方向に沿って直線状に配設され、上面板１１ａの長手軸方向における上面板１１ａの両端にて例えば凹字形状に折り返されて再び上面板１１ａの長手軸方向に沿って直線状に配設される。溝部２０の直線部分は、互いに並設されている。直線部分は、外部から筐体１１の内部へのユニットの挿入方向に沿って配設されている。溝部２０の凹字部分と、直線部分とは、互いに連続している。  
前記した説明は、各面板１１ｂ，１１ｃ，１１ｄの各溝部２０に対して共通である。
【００１８】
以下は、各溝部２０特有の構成である。  
図１Ａに示すように、上面板１１ａに配設されている溝部２０において、この溝部２０の一端部は、開口部１１ｆ側における上面板１１ａの縁を外部に向かって貫設しており、外部と連通している。この一端部には、接続口部７０ａが配設される。この接続口部７０ａは、断熱用媒体としての冷却媒体を溝部２０に供給する図示しない供給装置と接続しており、冷却媒体が供給装置から溝部２０に流入する流入口として機能する。接続口部７０ａは、例えば開口部１１ｆ側に配設されている。  
また図１Ａと図１Ｂとに示すように、上面板１１ａに配設されている溝部２０において、この溝部２０の他端部は、外部と連通しておらず、詳細については後述するが結合部４０の連通孔部４１を介して左側面板１１ｂに配設されている溝部２０の一端部と連通している。  
また図１Ｂに示すように、左側面板１１ｂに配設されている溝部２０において、この溝部２０の他端部は、連通孔部４１を介して下面板１１ｃに配設されている溝部２０の一端部と連通している。  
また図１Ｂに示すように、下面板１１ｃに配設されている溝部２０において、この溝部２０の他端部は、連通孔部４１を介して右側面板１１ｄに配設されている溝部２０の一端部と連通している。  
また図１Ａと図１Ｂとに示すように、右側面板１１ｄに配設されている溝部２０において、この溝部２０の他端部は、開口部１１ｆ側における上面板１１ａの縁を外部に向かって貫設しており、外部と連通している。この他端部には、接続口部７０ｂが配設される。接続口部７０ｂは、接続口部７０ａと隣り合うように開口部１１ｆ側に配設される。この接続口部７０ｂは、供給装置と接続しており、冷却媒体が溝部２０から供給装置に流出する流出口として機能する。
【００１９】
［蓋部材３０］  
図１Ａと図１Ｂとに示すように、筐体１１は、上面板１１ａと、左側面板１１ｂと、下面板１１ｃと、右側面板１１ｄとをそれぞれ個別に覆う蓋部材３０をさらに有している。つまり各蓋部材３０は、別体である。蓋部材３０の構成は、それぞれ同一であるため、以下に、上面板１１ａを覆う蓋部材３０を一例にして説明する。
【００２０】
図１Ａと図１Ｂとに示すように、蓋部材３０は、上面板１１ａと略同一の大きさを有している。図１Ｂに示すように、蓋部材３０は、上面板１１ａに配設されている溝部２０の上方を覆うようにして上面板１１ａを覆うことによって、冷却媒体が流れる流路部５０を溝部２０と共に形成する。つまり流路部５０は、蓋部材３０と溝部２０とによって形成される（機能する）。
【００２１】
なお蓋部材３０は、開口部１１ｆをさらに覆ってもよい。
【００２２】
［結合部４０］  
また図１Ａと図１Ｂとに示すように、筐体１１は、筐体１１の肉厚部に設けられ、冷却媒体が一方の面に形成されている一方の流路部５０から一方の面に隣接する他方の面側に形成されている他方の流路部５０に流れるように流路部５０同士を結合し、流路部５０としても機能する結合部４０をさらに有している。結合部４０は、一方の流路部５０における溝部２０と他方の流路部５０における溝部２０とに連通している連通孔部４１を有する。連通孔部４１は、チューブのような筐体１１とは別体のものではなく、筐体１１の肉厚部内に中空部として形成されており、筐体１１と一体である。
【００２３】
連通孔部４１は、流路部５０として機能する。  
図１Ｂに示すように、連通孔部４１は、上面板１１ａから左側面板１１ｂに向かって例えば直線状に斜行して配設されており、上面板１１ａに配設されている溝部２０の他端部と、左側面板１１ｂに配設されている溝部２０の一端部とに連通している。このため、上面板１１ａと左側面板１１ｂとに配設されている溝部２０は、互いに連通孔部４１によって連通していることとなる。  
また図１Ｂに示すように、連通孔部４１は、左側面板１１ｂから下面板１１ｃに向かって例えば直線状に斜行して配設されており、左側面板１１ｂに配設されている溝部２０の他端部と、下面板１１ｃに配設されている溝部２０の一端部とに連通している。このため、左側面板１１ｂと下面板１１ｃとに配設されている溝部２０は、互いに連通孔部４１によって連通していることとなる。  
また図１Ｂに示すように、連通孔部４１は、下面板１１ｃから右側面板１１ｄに向かって例えば直線状に斜行して配設されており、下面板１１ｃに配設されている溝部２０の他端部と、右側面板１１ｄに配設されている溝部２０の一端部とに連通している。このため、下面板１１ｃと右側面板１１ｄとに配設されている溝部２０は、互いに連通孔部４１によって連通していることとなる。
【００２４】
［流路部５０］  
図１Ａと図１Ｂとに示すように、流路部５０は、前記したように、蓋部材３０が少なくとも筐体１１における隣接する２つの面を覆うことによって各面それぞれに形成される。流路部５０は、筐体１１の肉厚部が窪むことで形成される溝部２０と、蓋部材３０とを有している。前記したように蓋部材３０が例えば上面板１１ａを覆うことで、蓋部材３０と溝部２０とは、流路部５０として機能する。
【００２５】
これにより例えば、上面板１１ａにおける流路部５０は、溝部２０と同様に、例えば波状や一定の波長のように上面板１１ａに張り巡らされている。例えば、流路部５０は、上面板１１ａの長手軸方向に沿って直線状に配設され、上面板１１ａの長手軸方向における上面板１１ａの両端にて例えば凹字形状に折り返されて再び上面板１１ａの長手軸方向に沿って直線状に配設される。流路部５０の直線部分は、互いに並設されている。直線部分は、外部から筐体１１の内部へのユニットの挿入方向に沿って配設されている。流路部５０の凹字部分と、直線部分とは、互いに連続している。
【００２６】
図１Ａと図１Ｂとに示すように、筐体１１において、流路部５０は１つのみ形成される。流路部５０は、筐体１１の肉厚部に配設され、筐体１１と一体であり、筐体１１に収納されるユニットを囲うように略ロ字形状（図１Ｂ参照）を有している。
【００２７】
［作用］  
蓋部材３０を除く筐体１１において、各板と溝部２０と連通孔部４１と含む筐体１１は、例えば、鋳造とダイカストとロストワックス製法と切削とのいずれか１つによって一体的且つ同時に成形されることが望ましい。これにより流路部５０として機能する溝部２０と連通孔部４１とが形成される。
なお、筺体１１の上面板１１ａと左側面板１１ｂと下面板１１ｃと右側面板１１ｄと背面板１１ｅとは、それぞれ個別に製造され、必要箇所に溝部２０及び連通孔部４１を形成して溶接等で接合することで、筺体１１が形成されてもよい。
【００２８】
図１Ａと図１Ｂとに示すように、蓋部材３０は、溝部２０を含む上面板１１ａ全体を個別に覆う。これにより溝部２０は蓋部材３０に覆われ、溝部２０と蓋部材３０とによって流路部５０が形成される。蓋部材３０は、例えば、ロウ付け、ガスケット、Ｏリング、溶接などによって取りつけられてもよい。この点は、左側面板１１ｂと、下面板１１ｃと、右側面板１１ｄとについても同様である。蓋部材３０は、上面板１１ａ全体と、左側面板１１ｂと、下面板１１ｃと、右側面板１１ｄとをそれぞれ個別に覆う。
【００２９】
冷却媒体は、供給装置から流入口として機能する接続口部７０ａから上面板１１ａに配設されている流路部５０に流入する。そして冷却媒体は、上面板１１ａにおける流路部５０を一端部から他端部に向かって流れる。
【００３０】
次に冷却媒体は、流路部５０の他端部から連通孔部４１を介して左側面板１１ｂに配設されている流路部５０の一端部に流れる。冷却媒体は、左側面板１１ｂにおける流路部５０を一端部から他端部に向かって流れる。  
次に冷却媒体は、流路部５０の他端部から連通孔部４１を介して下面板１１ｃに配設されている流路部５０の一端部に流れる。冷却媒体は、下面板１１ｃにおける流路部５０を一端部から他端部に向かって流れる。  
次に冷却媒体は、流路部５０の他端部から連通孔部４１を介して右側面板１１ｄに配設されている流路部５０の一端部に流れる。冷却媒体は、右側面板１１ｄにおける流路部５０を一端部から他端部に向かって流れる。  
次に冷却媒体は、流出口として機能する接続口部７０ｂから流出し、供給装置に戻り、供給装置にて冷却され、流入口として機能する接続口部７０ａを介して再び上面板１１ａにおける流路部５０に流入する。  
このように冷却媒体は、供給装置と筐体１１とを循環している。なお冷却媒体は、蓋部材３０によって、流路部５０から漏れることを防止されている。
【００３１】
これにより、筐体１１の内部は外部と断熱され、筐体１１の内部の熱が外部に影響することが抑止され、露光装置などの図示しない大型装置内が所望する温度に保たれる。なお、筺体１１内部のユニットと大型装置内の所望温度との関係で、上述した断熱のために筺体１１内部のユニット（発熱体）を冷却することになってもよいことは言うまでもない。
【００３２】
［効果］  
本実施形態では、筐体１１の基板（シャーシ）として機能する上面板１１ａと左側面板１１ｂと下面板１１ｃと右側面板１１ｄとに流路部５０（溝部２０）が鋳造などによって直接配設されており、流路部５０（連通孔部４１）は筐体１１の肉厚部に形成される。このように本実施形態では、筐体１１とは別体の配管が各板に設置されるのではない。  
また本実施形態では、流路部５０（溝部２０と連通孔部４１）は、筐体１１が成形される際に、筐体１１と一体的に形成される。  
このため本実施形態では、サイズが大きくなることを防止でき、組み立て性が良い断熱用の筐体１１を提供できる。また本実施形態では、製造工程が減り、配管を不要にできるため安価な断熱用の筐体１１を提供できる。
【００３３】
また本実施形態では、溝部２０と溝部２０とを連通する連通孔部４１は、筐体１１の肉厚部に配設されており、配管同士を連結するチューブのように筐体１１の外部に配設されるのではない。このため、本実施形態では、筐体１１全体のサイズが大きくなることを防止でき、チューブを取り付ける手間を解消でき、組み立て作業性を向上できる。
【００３４】
また本実施形態では、前記したように流路部５０と筐体１１とが一体であるため、筐体１１の構造を簡素にでき、省スペースにできる。
【００３５】
また本実施形態では、流路部５０がユニットを囲うように、１つの流路部５０を筐体１１の周面全体に配設している。これにより、本実施形態では、筐体１１の内部を外部と断熱でき、筐体１１の内部温度が外部温度に影響することを抑止でき、筺体１１が収納される装置内を所望する温度に保つことができる。
【００３６】
また本実施形態では、蓋部材３０によって、冷却媒体が流路部５０から漏れることを防止できる。
【００３７】
なお本実施形態では、溝部２０が上面板１１ａと左側面板１１ｂと下面板１１ｃと右側面板１１ｄとにおいて１つのみ形成され、流路部５０が１つのみ配設されるが、これに限定する必要はない。  
例えば、上面板１１ａと左側面板１１ｂとに配設され、連通孔部４１を通じて連通している溝部２０は、下面板１１ｃと右側面板１１ｄとに配設され、連通孔部４１を通じて連通している溝部２０と別体であってもよい。つまり流路部５０は、２つ配設されていてもよい。この場合、流路部５０は、例えば、Ｌ字形状を有している。この場合、各流路部５０は、流入口及び流出口として機能する接続口部７０ａ，７０ｂを有している。
【００３８】
また本実施形態では、溝部２０の形状と、連通孔部４１との配設位置とは特に限定されない。これにより本実施形態では、流路部５０の設計自由度を向上でき、接続口部７０ａ，７０ｂの配設位置の自由度を向上でき、筐体１１の設計の自由度を向上できる。
【００３９】
また図１Ｃに示すように、蓋部材３０は、上面板１１ａに対向する裏面部分に配設され、冷却媒体が流路部５０から漏れることを防止するために、例えば、上面板１１ａと蓋部材３０との間、及び溝部２０と蓋部材３０との間を封止する封止部材３１を有していてもよい。封止部材３１は、例えばパッキンなど弾性部材で構成されており、例えば格子状に配設されている。これにより防水効果をより向上できる。
【００４０】
［第２の実施形態］  
以下に、第１の実施形態とは異なる点のみ記載する。  
［構成］  
図２Ａと図２Ｂと図２Ｃとに示すように、本実施形態では、第１の実施形態とは、上面板１１ａと、左側面板１１ｂと、下面板１１ｃと、右側面板１１ｄと、蓋部材３０と、結合部４０と、流路部５０とが異なる。
【００４１】
［上面板１１ａと左側面板１１ｂと下面板１１ｃと右側面板１１ｄ］  
上面板１１ａと左側面板１１ｂと下面板１１ｃと右側面板１１ｄとは、互いに同じ構成を有している。このため、以下に、上面板１１ａを一例にして説明する。  
図２Ａに示すように、上面板１１ａは、上面板１１ａの大部分に配設されており、上面板１１ａと共に蓋部材３０によって覆われる凹部２５を有している。凹部２５は、例えば四角柱形状を有している。凹部２５の底面２５ａは、筐体１１の内部とは連通していない。このため上面板１１ａは、底面２５ａを有する枠部材として機能する。
【００４２】
各凹部２５は、別体である。凹部２５同士は、直接連結しておらず、詳細については後述するが、図２Ｂと図２Ｃとに示すように結合部４０を介して連結している。
【００４３】
図２Ａに示すように、上面板１１ａには、凹部２５と連通し、流入口として機能する接続口部７０ａが配設されている。接続口部７０ａは、例えば開口部１１ｆ側に配設されている。また右側面板１１ｄには、凹部２５と連通し、流出口として機能する接続口部７０ｂが配設されている。接続口部７０ｂは、例えば接続口部７０ａと隣り合うように開口部１１ｆ側に配設されている。
【００４４】
［蓋部材３０］  
各蓋部材３０は、互いに同じ構成を有している。このため、以下に、凹部２５を含む下面板１１ｃ全体を覆う蓋部材３０を一例にして説明する。  
図２Ａと図２Ｂとに示すように、蓋部材３０は、下面板１１ｃに対向する裏面を有している。蓋部材３０は、裏面に配設され、裏面の平面方向に対して直交する方向に沿って、裏面に対して裏面から下面板１１ｃに向かって立設している複数の立設部３３を有している。立設部３３は、裏面と一体あっても別体であってもよい。蓋部材３０が下面板１１ｃを覆った際、立設部３３の上面が下面板１１ｃにおける凹部２５の底面２５ａに当接するように、立設部３３は凹部２５の深さと同じ高さを有している。立設部３３は、例えば、リブを有している。
【００４５】
図２Ａに示すように、立設部３３は、例えば、四角柱形状を有している。立設部３３は、外部から筐体１１の内部へのユニットの挿入方向に沿って直線状に配設されている。立設部３３は、挿入方向に沿って互いに略並設されている。  
図２Ａに示すように、一方の立設部３０１は、一端部３０１ａと他端部３０１ｂとを有している。蓋部材３０が下面板１１ｃを覆った際、一端部３０１ａは開口部１１ｆ側の凹部２５の側面２５ｂに当接し、他端部３０１ｂは開口部１１ｆ側から離れた凹部２５の側面２５ｃに非当接する。この側面２５ｂは、図２Ａに示す上面板１１ａの凹部２５に位置する側面２５ｂに対応する。また側面２５ｃは、図２Ａに示す上面板１１ａの凹部２５に位置する側面２５ｃに対応する。側面２５ｂ，２５ｃ同士は、互いに対向している。  
また図２Ａに示すように、他方の立設部３０３は、一端部３０３ａと他端部３０３ｂとを有している。蓋部材３０が下面板１１ｃを覆った際、一端部３０３ａは側面２５ｃに当接し、他端部３０３ｂは側面２５ｂに非当接する。  
また一方の立設部３０１は、他方の立設部３０３と同一直線上に配設されておらず、他方の立設部３０３に対して、挿入方向に対して直交する方向に沿ってずれて配設されている。つまり、立設部３３は、互い違いに配設されている。
【００４６】
［結合部４０］  
図２Ｂと図２Ｃとに示すように、結合部４０は、例えば、十字形状を有している。この結合部４０は、結合部４０が例えば上面板１１ａの凹部２５と左側面板１１ｂの凹部２５とに連通するように、上面板１１ａの縁部と、この縁部に当接する左側面板１１ｂの縁部とに配設されている。図２Ａと図２Ｂとに示すように、連通部分は、例えば、凹部２５の隅の１箇所のみとなっており、上面板１１ａにおける流路部５０の端部と、左側面板１１ｂにおける流路部５０の端部とに位置する。結合部４０は、筐体１１の外側から切削などによって形成されている。  
図２Ｂと図２Ｃとに示すように、このような結合部４０は、他に２か所、例えば、左側面板１１ｂの縁部と、この縁部に当接する下面板１１ｃの縁部とに配設され、さらに例えば下面板１１ｃの縁部と、この縁部に当接する左側面板１１ｂの縁部とに配設されている。
【００４７】
各結合部４０は、互いに同じ構成を有している。このため、以下に、上面板１１ａの縁部と、この縁部に当接する左側面板１１ｂの縁部とに配設されている結合部４０を一例にして説明する。  
図２Ｂと図２Ｃとに示すように、結合部４０は、外部と連通する十字の２か所に埋め込まれる埋設部材４３をさらに有している。埋設部材４３は、埋設部材４３の上面が上面板１１ａの上面と同一平面上に配設されるように、埋め込まれる。埋設部材４３は、冷却媒体が結合部４０から外部に漏れることを防止する。埋設部材４３は、例えばガスケットのような栓や詰物として機能する。
【００４８】
図２Ｂと図２Ｃとに示すように、結合部４０は、埋設部材４３が配設されることによって、上面板１１ａの凹部２５と左側面板１１ｂの凹部２５とに連通するＬ字形状の連通孔部４１を形成する。連通孔部４１は、埋設部材４３によって外部と非連通となっている。連通孔部４１は、流路部５０として機能する。
【００４９】
［流路部５０］  
前記したように配設されている立設部３３において、蓋部材３０が例えば上面板１１ａを覆った際、立設部３３の上面は上面板１１ａの凹部２５の底面２５ａに当接し、また一端部３０１ａは側面２５ｂに当接し、一端部３０３ａは側面２５ｃに当接する。これにより、立設部３３は、凹部２５を壁部として仕切る。よって、蓋部材３０と、凹部２５の底面２５ａと、壁部（仕切り）として機能する立設部３３と、壁部として機能する凹部２５の各側面とは、流路部５０として機能する。  
これにより上面板１１ａにおける流路部５０は、波状や一定の波長のように張り巡らされる。例えば、流路部５０は、上面板１１ａの長手軸方向に沿って直線状に配設され、上面板１１ａの長手軸方向における上面板１１ａの両端にて例えば凹字形状に折り返されて再び上面板１１ａの長手軸方向に沿って直線状に配設される。流路部５０の直線部分は、互いに並設されている。直線部分は、外部から筐体１１の内部へのユニットの挿入方向に沿って配設されている。流路部５０の凹字部分と、直線部分とは、互いに連続している。
【００５０】
［作用］  
埋設部材４３は、埋設部材４３の上面が上面板１１ａの上面と同一平面上に配設されるように、埋め込まれる。また埋設部材４３は、埋設部材４３の上面が左側面板１１ｂの上面と同一平面上に配設されるように、埋め込まれる。これにより、流路部５０であるＬ字形状の連通孔部４１が形成される。この連通孔部４１は、上面板１１ａの凹部２５と左側面板１１ｂの凹部２５とに連通する。
【００５１】
次に蓋部材３０は、凹部２５を含む上面板１１ａ全体を覆う。これにより、立設部３３の上面は上面板１１ａの凹部２５の底面２５ａに当接し、また一端部３０１ａは側面２５ｂに当接し、一端部３０３ａは側面２５ｃに当接する。よって、上面板１１ａには、蓋部材３０と、凹部２５の底面２５ａと、壁部（仕切り）として機能する立設部３３と、壁部として機能する凹部２５の各側面とによって、流路部５０が形成される。
【００５２】
前記については、左側面板１１ｂと下面板１１ｃと右側面板１１ｄとについても同様である。
【００５３】
そして冷却媒体は、供給装置から流入口として機能する接続口部７０ａから上面板１１ａに配設されている流路部５０に流入する。そして冷却媒体は、上面板１１ａにおける流路部５０を一端部から他端部に向かって流れる。  
次に冷却媒体は、流路部５０の他端部から連通孔部４１を介して左側面板１１ｂに配設されている流路部５０の一端部に流れる。冷却媒体は、左側面板１１ｂにおける流路部５０を一端部から他端部に向かって流れる。  
次に冷却媒体は、流路部５０の他端部から連通孔部４１を介して下面板１１ｃに配設されている流路部５０の一端部に流れる。冷却媒体は、下面板１１ｃにおける流路部５０を一端部から他端部に向かって流れる。  
次に冷却媒体は、流路部５０の他端部から連通孔部４１を介して右側面板１１ｄに配設されている流路部５０の一端部に流れる。冷却媒体は、右側面板１１ｄにおける流路部５０を一端部から他端部に向かって流れる。  
次に冷却媒体は、流出口として機能する接続口部７０ｂから流出し、供給装置に戻り、供給装置にて冷却され、流入口として機能する接続口部７０ａを介して再び流路部５０に流入する。  
このように冷却媒体は、供給装置と筐体１１とを循環している。なお冷却媒体は、埋設部材４３によって、連通孔部４１から漏れることを防止されている。
【００５４】
これにより、筐体１１は外部と断熱され、筐体１１の内部温度が外部温度に影響を与えることを抑止でき、筺体１１を収納する装置内は所望する温度に保たれる。
【００５５】
［効果］  
本実施形態では、例えば上面板１１ａにおける流路部５０は、蓋部材３０に配設される立設部３３によって主に規定される。このため、本実施形態では、蓋部材３０を除く、筐体１１自体の製造コストを低減できる。
【００５６】
また本実施形態では、例えば、上面板１１ａを覆う一方の蓋部材３０と、一方の蓋部材３０に交換されて上面板１１ａを覆う他方の蓋部材３０とが用いられるとする。また一方の蓋部材３０の立設部３３と他方の蓋部材３０の立設部３３とでは、配設位置と形状とサイズとが、異なるとする。  
これにより、本実施形態では、蓋部材３０を交換することによって、簡単に上面板１１ａにおける流路部５０の配設位置と形状とサイズとを自在に変更できる。これにより、本実施形態では、蓋部材３０を交換するのみで、ユニットの発熱量に応じて、冷却効果を変更でき、冷却効果を容易に高めることができる。
【００５７】
また本実施形態では、連通孔部４１を容易且つ簡単に形成できる。
【００５８】
なお本実施形態では、流路部５０が形成されれば、蓋部材３０は、凹部２５のみを覆ってもよい。
【００５９】
本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。  
例えば、上述した実施形態では、筺体１１に収納されるユニットが発熱体であり、例えばユニットの温度や筐体１１内の温度が筺体１１の外側の温度よりも高温であることを前提とし、装置内温度調整のための断熱用媒体（流体）が冷却媒体である場合を例にあげて説明した。  
しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば筺体１１に収納されるユニットの温度や筐体１１内の温度が筺体１１の外側の温度よりも低い場合もある。例えば、ユニットが冷却装置である場合など筺体１１内の温度が外気よりも低い場合や、筺体１１を収納する装置内の所望温度がユニットの温度よりも高い場合も考えられる。  
このような場合には、本発明における断熱用媒体は、必ずしも冷却媒体ではなく、筺体１１内部の温度を断熱するための温度調節を目的とし、筺体１１内の温度よりも高い加熱媒体となる。したがって、本発明において断熱すべき熱とは筺体１１の外気に対して高温であっても低温であってもよく、流体温度はかかる所望温度に応じて決定されればよい。
なお、本発明において、筺体１１に収納されるユニットである電子機器や電子装置は何であっても良く、このユニットの内容が本発明を限定するものではない。
【符号の説明】
【００６０】
１１…筐体、１１ａ…上面板、１１ｂ…左側面板、１１ｃ…下面板、１１ｄ…右側面板、１１ｅ…背面板、１１ｆ…開口部、２０…溝部、３０…蓋部材、４０…結合部、４１…連通孔部、５０…流路部、７０ａ…接続口部、７０ｂ…接続口部。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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