(57)【要約】【課題】小型化を図っても、振動漏れおよび熱弾性損失を抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる振動片を提供すること、また、この振動片を備える振動子、発振器、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】振動片１は、基部１２と、基部１２の一端部からＹ軸方向に沿って延出し、かつ、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に沿って並んでいる１対の振動腕２０、２２と、を備え、基部１２は、一端部および他端部のＸ軸方向に沿った幅が基部１２の中央部から離れるに従って漸減している縮幅部１６、１８を含み、振動腕２０、２２のＺ軸方向の両側の主面には、溝２８ａ、２８ｂ、３０ａ、３０ｂが設けられ、振動腕２０、２２の長さをＬｂとし、振動腕２０、２２の先端と溝２８ａ、２８ｂ、３０ａ、３０ｂの基端との間の距離をＬｄとし、振動腕２０、２２の幅をＷｂとしたとき、−０．８５≦（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂ≦０．５６なる関係を満たしている。【選択図】図３
2015002556.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に沿って並んでいる一端部および他端部を有する基部と、
前記基部の前記一端部から前記第１方向に沿って延出し、かつ、前記第１方向に直交する第２方向に沿って並んでいる１対の振動腕と、
を備え、
前記基部は、前記一端部の前記第２方向に沿った幅が前記基部の中央部から離れるに従って連続的又は断続的に漸減している縮幅部を含み、
前記振動腕の前記第１方向および前記第２方向の双方に直交する第３方向の両側の主面のそれぞれには、前記第１方向に沿って延びている溝が設けられており、
前記振動腕の前記第１方向に沿った長さをＬｂとし、前記振動腕の先端と前記溝の基端との間の前記第１方向に沿った距離をＬｄとし、前記振動腕の前記基部側の部分の前記第２方向に沿った幅をＷｂとしたとき、
−０．８５≦（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂ≦０．５６なる関係を満たしていることを特徴とする振動片。
【請求項２】
前記Ｌｂ、前記Ｌｄおよび前記Ｗｂは、０≦（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂ≦０．５６なる関係を満たしている請求項１に記載の振動片。
【請求項３】
前記Ｌｂ、前記Ｌｄおよび前記Ｗｂは、０≦（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂ≦０．３５なる関係を満たしている請求項２に記載の振動片。
【請求項４】
前記第３方向からみたときの前記溝の基端部の輪郭は、前記振動腕の一方の側面の基端と他方の側面の基端とを結ぶ線分に沿った部分を含んでいる請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項５】
前記振動腕の屈曲振動周波数をｆとし、熱緩和周波数をｆ０としたとき、ｆ／ｆ０＞１なる関係を満たす請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項６】
前記振動腕の先端部には、前記振動腕の基端部よりも前記第２方向に沿った幅が大きい錘部が設けられている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片と、
前記振動片が収納されているパッケージと、
を備え、
前記基部は、前記パッケージに対して固定されていることを特徴とする振動子。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片と、
前記振動片に電気的に接続されている発振回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。
【請求項９】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピューター、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器等において、振動子や発振器等の電子デバイスが広く使用されている。
従来、電子デバイスに用いられている振動片の一例を図２４に示す。
図２４に示す従来の振動片１０１は、水晶等の圧電材料をエッチングすることにより、図示する外形に形成されたものである。この振動片１０１は、パッケージ（図示せず）等に固定される矩形の基部１１２と、基部１１２の本体部１１４から延出した１対の振動腕１２０、１２２を備えている。これら振動腕１２０、１２２には、その主面（表裏面）に溝１２８、１３０が形成されているとともに、必要な駆動用の電極（図示せず）が形成されている。
このような振動片１０１においては、駆動用の電極を介して駆動電圧が印加されると、各振動腕１２０、１２２の先端部が互いに接近と離間を繰り返すようにして、屈曲振動することにより、所定の周波数の信号が取り出される。
【０００３】
ところで、このような振動片１０１は、振動腕１２０、１２２の屈曲振動に伴い、その振動が基部１１２側に伝搬し、基部１１２から、振動片を固定している部材（接着剤や金属バンプ等）に振動が漏れる場合がある。そのため、振動片１０１では、Ｑ値の低下を招き、結果としてＣＩ（クリスタルインピーダンス）値の上昇を招くという問題があった。
この問題に対処する目的で、特許文献１に係る振動片では、基部のパッケージ等への固定箇所よりも振動腕側の位置に切り込みが形成されている。
また、特許文献２に係る振動片では、基部のパッケージ等への固定箇所よりも振動腕側の位置に貫通溝が形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２６１５７５号公報
【特許文献２】特開２００５−２３６５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、このような振動片を搭載する各種機器の小型化が進展する中で、振動片自体も極力小型化することが要請されている。
しかし、特許文献１や特許文献２に係る振動片では、基部に切り込みや貫通溝を設けて、振動腕側から固定箇所への振動漏れの伝達経路を長くしているので、振動片の長さが長くなり、小型化することは困難であるという課題があった。
本発明の目的は、小型化を図っても、振動漏れおよび熱弾性損失を低減し、ＣＩ値を低減することができる振動片を提供すること、また、この振動片を備える振動子、発振器、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本適用例の振動片は、第１方向に沿って並んでいる一端部および他端部を有する基部と、
前記基部の前記一端部から前記第１方向に沿って延出し、かつ、前記第１方向に直交する第２方向に沿って並んでいる１対の振動腕と、を備え、
前記基部は、前記一端部の前記第２方向に沿った幅が前記基部の中央部から離れるに従って連続的又は断続的に漸減している縮幅部を含み、
前記振動腕の前記第１方向および前記第２方向の双方に直交する第３方向の両側の主面のそれぞれには、前記第１方向に沿って延びている溝が設けられており、
前記振動腕の前記第１方向に沿った長さをＬｂとし、前記振動腕の先端と前記溝の基端との間の前記第１方向に沿った距離をＬｄとし、前記振動腕の前記基部側の部分の前記第２方向に沿った幅をＷｂとしたとき、
−０．８５≦（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂ≦０．５６なる関係を満たしていることを特徴とする。
【０００７】
このような振動片によれば、基部の第１方向に沿った長さを短くしても、１対の振動腕の、略面内で互いに接近と離間を交互に繰り返す屈曲振動に伴う基部の変形を抑制し、基部から外部への振動漏れを抑制することができる。
また、振動腕の第１方向に沿った長さＬｂ、振動腕の先端と溝の基端との間の第１方向に沿った距離Ｌｄ、および、振動腕の基部側の部分の第２方向に沿った幅Ｗｂの関係を上記関係とすることによって、振動漏れをさらに低減するとともに、熱弾性損失をも低減することができる。
このようなことから、本適用例の振動片は、小型化を図っても、振動漏れおよび熱弾性損失を抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる。
【０００８】
［適用例２］
本適用例の振動片では、前記Ｌｂ、前記Ｌｄおよび前記Ｗｂは、０≦（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂ≦０．５６なる関係を満たしていることが好ましい。
これにより、振動漏れを効果的に抑制することができる。
［適用例３］
本適用例の振動片では、前記Ｌｂ、前記Ｌｄおよび前記Ｗｂは、０≦（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂ≦０．３５なる関係を満たしていることが好ましい。
これにより、振動漏れおよび熱弾性損失の双方を効果的に抑制することができる。
【０００９】
［適用例４］
本適用例の振動片では、前記第３方向からみたときの前記溝の基端部の輪郭は、前記振動腕の一方の側面の基端と他方の側面の基端とを結ぶ線分に沿った部分を含んでいることが好ましい。
これにより、熱弾性損失を効果的に抑制することができる。
【００１０】
［適用例５］
本適用例の振動片では、前記振動腕の屈曲振動周波数をｆとし、熱緩和周波数をｆ０としたとき、ｆ／ｆ０＞１なる関係を満たすことが好ましい。
これにより、振動腕を断熱的領域とすることができ、Ｑ値を高めることができる。
［適用例６］
本適用例の振動片では、前記振動腕の先端部には、前記振動腕の基端部よりも前記第２方向に沿った幅が大きい錘部が設けられていることが好ましい。
これにより、振動片の小型化を図ったり、振動腕の屈曲振動の周波数を低めたりすることができる。
【００１１】
［適用例７］
本適用例の振動子は、本適用例の振動片と、
前記振動片が収納されているパッケージと、を備え、
前記基部は、前記パッケージに対して固定されていることを特徴とする。
これにより、小型で、優れた振動特性を有する振動子を提供することができる。
【００１２】
［適用例８］
本適用例の発振器は、本適用例の振動片と、
前記振動片に電気的に接続されている発振回路と、を備えていることを特徴とする。
これにより、小型で、優れた発振特性を有する発振器を提供することができる。
［適用例９］
本適用例の電子機器は、本適用例の振動片を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する電子機器を提供することができる。
［適用例１０］
本適用例の移動体は、本適用例の振動片を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動片を示す平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】（ａ）は、従来の振動片を模式的に示す平面図、（ｂ）は、（ａ）に示す振動片の簡略化モデルを示す平面図である。
【図４】図３に示す振動片の振動漏れの原理を説明する図であって、（ａ）〜（ｄ）は、基部の各部（第１〜４連結部）の作用を説明する図である。
【図５】（ａ）は、図１に示す振動片を模式的に示す平面図（振動腕側の縮幅部のみを考慮した図）、（ｂ）は、（ａ）に示す振動片の簡略化モデルを示す平面図である。
【図６】図５に示す振動片の振動漏れ抑制の原理を説明する平面図であって、（ａ）〜（ｄ）は、基部の各部（第１〜４連結部）の作用を説明する図である。
【図７】（ａ）は、図１に示す振動片を模式的に示す平面図（振動腕と反対側の縮幅部のみを考慮した図）、（ｂ）は、（ａ）に示す振動片の簡略化モデルを示す平面図である。
【図８】図７に示す振動片の動漏れ抑制の原理を説明する平面図であって、（ａ）〜（ｄ）は、基部の各部（第１〜４連結部）の作用を説明する図である。
【図９】図１に示す振動片の振動腕の第１方向に沿った長さＬｂ、振動腕の先端と溝の基端との間の第１方向に沿った距離Ｌｄ、および、振動腕の基部側の部分の第２方向に沿った幅Ｗｂの関係を説明するための図である。
【図１０】図９に示すＬｄを変化させたときのＬｂ、ＬｄおよびＷｂと熱弾性損失および振動漏れを考慮したＱ値との関係を示すグラフである。
【図１１】図９に示すＬｄを変化させたときのＬｂ、ＬｄおよびＷｂと熱弾性損失および振動漏れを考慮したＱ値との関係を示すグラフである。
【図１２】本発明の第２実施形態に係る振動片を示す平面図である。
【図１３】図１２に示す振動片の振動腕の第１方向に沿った長さＬｂ、振動腕の先端と溝の基端との間の第１方向に沿った距離Ｌｄ、および、振動腕の基部側の部分の第２方向に沿った幅Ｗｂの関係を説明するための図である。
【図１４】図１３に示すＬｄを変化させたときのＬｂ、ＬｄおよびＷｂと熱弾性損失および振動漏れを考慮したＱ値との関係を示すグラフである。
【図１５】図１３に示すＬｄを変化させたときのＬｂ、ＬｄおよびＷｂと熱弾性損失および振動漏れを考慮したＱ値との関係を示すグラフである。
【図１６】本発明の第３実施形態に係る振動片を示す平面図である。
【図１７】本発明の第４実施形態に係る振動片を示す平面図である。
【図１８】本発明の振動子の一例の概略構成を示す図であって、（ａ）は、平面図、（ｂ）は、（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１９】本発明の発振器の一例の概略構成を示す断面図である。
【図２０】本発明の電子機器の第１例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図２１】本発明の電子機器の第２例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図２２】本発明の電子機器の第３例であるデジタルカメラの構成を示す斜視図である。
【図２３】本発明の移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。
【図２４】従来の振動片の構造を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
（振動片）
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動片を示す平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【００１５】
なお、各図では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を適宜図示している。また、以下の説明では、Ｘ軸に平行な方向（第２方向）を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向（第１方向）を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向（第３方向）を「Ｚ軸方向」といい、また、各図に図示されたＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の矢印の先端側を「＋（プラス）」、基端側を「−（マイナス）」という。また、以下の説明では、説明の便宜上、Ｚ軸方向から見たときの平面視を単に「平面視」ともいう。
【００１６】
図１に示す振動片１は、基部１２および１対の振動腕２０、２２を有する振動基板１０と、励振電極４１ａ、４１ｂとを備えている。
振動基板１０は、例えば、水晶、特に、Ｚカット水晶板で構成されている。これにより、振動片１は、優れた振動特性を発揮することができる。Ｚカット水晶板とは、水晶のＺ軸（光軸）を厚さ方向とする水晶基板である。Ｚ軸は、振動基板１０の厚さ方向と一致しているのが好ましいが、常温近傍における周波数温度変化を小さくする観点からは、厚さ方向に対して若干（例えば、１５°未満程度）傾けてもよい。
【００１７】
このような水晶で構成された振動基板１０の外形の形成には、ウェットエッチングを用いることができる。この場合、振動基板１０の輪郭には水晶の結晶面が出現し、振動片１の形状対称性を劣化させてしまうが、結晶面の出現を低減した形状を形成するためには、振動基板１０の厚さを７０μｍ以下とすることが好ましい。また、ＣＩ値を小さくするためには、駆動領域を大きくする観点から、振動基板１０の厚さを７０μｍより厚く、３００μｍよりも薄くすることが好ましい。さらに、結晶面の出現し易い厚さであっても、これを小さくするために、外形エッチングの際には、ウェットエッチングにより厚さ方向へ貫通するエッチング量（エッチング時間）に対して２倍から４０倍（より好ましくは１０倍から２０倍）のエッチング量（エッチング時間）にするのが好ましい。
【００１８】
このようなエッチング量（時間）とするオーバーエッチングにより、水晶の結晶面に起因して振動片１の外形に現れるヒレの発生を抑制することができる。
振動基板１０は、基部１２と、基部１２から＋Ｙ軸方向へ突出し、かつ、Ｘ軸方向に並んで設けられた２つの振動腕２０、２２とを有している。このような振動基板１０は、Ｙ軸と平行な仮想中心線Ｙ１（仮想線分）に対して対称となるように形成されている。
【００１９】
基部１２は、Ｘ軸およびＹ軸を含む平面に平行なＸＹ平面に沿って広がり、Ｚ軸方向を厚さ方向とする略板状をなしている。
このような基部１２は、本体部１４と、本体部１４に対して＋Ｙ軸方向側に位置する縮幅部１６と、本体部１４に対して−Ｙ軸方向側に位置する縮幅部１８とを有している。言い換えれば、基部１２は、本体部１４を介して、Ｙ軸方向に沿って縮幅部１６（一端部）および縮幅部１８（他端部）が並んでいる。
【００２０】
本体部１４は、その幅（Ｘ軸方向での長さ）がＹ軸方向に沿ってほぼ一定である。すなわち、本体部１４は、略矩形の平面視形状を有している。
そして、本体部１４の＋Ｙ軸方向側の外縁には、縮幅部１６が接続されている。すなわち、縮幅部１６は、本体部１４に対して各振動腕２０、２２と同一側に設けられている。一方、本体部１４の−Ｙ軸方向側の外縁には、縮幅部１８が接続されている。
【００２１】
縮幅部１６、１８のＸ軸方向に沿った幅は、それぞれ、基部１２の中央部から離れるに従って、Ｙ軸と平行で基部１２の中心を通る仮想中心線Ｙ１に向かって漸減している。これにより、１対の振動腕２０、２２の互いに接近または離間する屈曲振動に伴う基部１２の変形を効果的に抑制することができる。その結果、基部１２のＹ軸方向に沿った長さを短くしても、１対の振動腕２０、２２の互いに接近または離間する屈曲振動に伴う基部１２の変形を抑制し、基部１２から外部への振動漏れを抑制することができる。なお、縮幅部１６、１８による振動漏れ抑制の原理については、後に詳述する。
【００２２】
本実施形態では、縮幅部１６の輪郭は、平面視で曲線状の曲線部１７で構成されている。したがって、縮幅部１６のＸ軸方向に沿った幅は、基部１２の中央部から離れるに従って連続的に小さくなっている。曲線部１７（平面視での曲線１７ａ）の曲率半径は、その全域にわたって一定となっている。平面視で曲線１７ａの両端を延長した仮想延長線は、本体部１４の＋Ｙ軸方向側の各角上を通る。
【００２３】
縮幅部１８の輪郭は、平面視で曲線状の曲線部１９で構成されている。したがって、縮幅部１８のＸ軸方向に沿った幅は、基部１２の中央部から離れるに従って連続的に小さくなっている。曲線部１９（平面視での曲線１９ａ）の曲率半径は、その全域にわたって一定となっている。そして、曲線部１９の両端は、本体部１４の−Ｙ軸方向側の各角と接続されている。
【００２４】
なお、縮幅部１６は、平面視で曲線１７ａよりも本体部１４と反対側に位置する部分を有していてもよいが、縮幅部１６による振動漏れの抑制効果は、主に、縮幅部１６の曲線１７ａを端面、あるいは仮想的な端面とする、曲線１７ａよりも本体部１４側の部分によるものである。同様に、縮幅部１８は、平面視で曲線１９ａよりも本体部１４と反対側に位置する部分を有していてもよい。
【００２５】
また、水晶基板をウェットエッチングすることにより振動基板１０の外形を形成する場合、振動基板１０の輪郭には水晶の結晶面が出現するため、微視的に見ると、曲線部１７、１９は、短い直線状の部分の集合体となっているとも言えるが、このような場合も上記「曲線状」に含まれるものとする。また、この場合には、短い直線状の部分の集合体となった曲線部１７、１９よりも内側（本体部１４側）に、結晶面が現れない程度に追加でウェットエッチングを施して曲線を形成してもよい。
【００２６】
振動腕２０、２２は、Ｘ軸方向に並んで設けられており、それぞれ、基部１２から＋Ｙ軸方向に延出している。また、振動腕２０、２２は、それぞれ、その先端部に、振動腕２０、２２の基部１２側の部分（基端部）よりもＸ軸方向での幅が広い錘部２４、２６（ハンマーヘッド）を有している。錘部２４、２６を設けることによって、振動片１の小型化を図ったり、振動腕２０、２２の屈曲振動の周波数を低めたりすることができる。
【００２７】
なお、錘部２４、２６は、必要に応じてＸ軸方向に複数の幅を有していてもよく、また省略してもよい。
また、振動腕２０には、一方（＋Ｚ軸方向側）の主面２０ａに開放する有底の溝２８ａと、他方（−Ｚ軸方向側）の主面２０ｂに開放する有底の溝２８ｂとが形成されている。同様に、振動腕２２には、一方の主面２２ａに開放する有底の溝３０ａと、他方の主面２２ｂに開放する有底の溝３０ｂとが形成されている。
【００２８】
これら溝２８ａ、２８ｂ、３０ａ、３０ｂは、Ｙ軸方向に沿って延びており、互いに同じ形状をなしている。このような溝２８ａ、２８ｂ、３０ａ、３０ｂを形成することによって、屈曲振動によって発生する熱が拡散（熱伝導）し難くなり、屈曲振動周波数（機械的屈曲振動周波数）ｆが熱緩和周波数ｆ０より大きな領域（ｆ＞ｆ０）である断熱的領域では、熱弾性損失を抑制することができる。すなわち、ｆ／ｆ０＞１なる関係を満たすことにより、振動腕２０、２２を断熱的領域とすることができ、Ｑ値を高めることができる。
【００２９】
特に、これらの溝２８ａ、２８ｂ、３０ａ、３０ｂの基端（基部１２側の端）の位置（Ｙ軸方向での位置）が振動漏れおよび熱弾性損失を低減するように最適化されている。なお、溝２８ａ、２８ｂ、３０ａ、３０ｂの基端の位置の最適化による振動漏れおよび熱弾性損失の低減効果については、後に詳述する。
また、溝２８ａ、２８ｂ、３０ａ、３０ｂの深さは、振動片１の厚さに対して３０％以上５０％未満の深さであることが好ましい。これにより、前述した熱弾性損失が小さくなり、かつ、励振電極４１ａ、４１ｂで挟まれる領域が大きくなることによってＣＩ値を小さくすることができる。
【００３０】
さらに、振動腕２０、２２の溝２８ａ、２８ｂ、３０ａ、３０ｂに対して幅方向での外側の部分である各側壁の幅、すなわち、振動腕２０、２２の幅から溝２８ａ、２８ｂ、３０ａ、３０ｂの幅を差引いたものの半分は、２０μｍ以下にすることが好ましい。これにより、励振電極４１ａ、４１ｂの間に挟まれる領域に発生する電界が強くなるので、ＣＩ値を小さくすることができる。さらに、かかる側壁の幅は、熱弾性損失が最も低下する、５μｍ以上９μｍ以下の範囲であることがより好ましい。
【００３１】
このような振動腕２０、２２には、図２に示すように、励振電極４１ａと励振電極４１ｂが形成されている。具体的には、励振電極４１ａは、溝２８ａ、２８ｂの内面および振動腕２２の両側面に形成され、励振電極４１ｂは、溝３０ａ、３０ｂの内面および振動腕２０の両側面に形成されている。
このような励振電極４１ａと励振電極４１ｂとの間に交番電圧を印加すると、振動腕２０、２２が互いに接近、離間を繰り返すように面内方向（ＸＹ平面方向）に所定の周波数で振動する。
【００３２】
励振電極４１ａ、４１ｂの構成材料としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料により形成することができる。
【００３３】
このような振動片１は、２つの振動腕２０、２２がＸ軸方向に沿って互いに離間と接近を交互に繰り返して屈曲振動するＸ逆相モードが他のモードおよびその高次モードと共振周波数が異なるように形状が設計されている。これにより、Ｘ逆相モードが他のモードと強く結合するおそれがなく、その結合による周波数温度特性の劣化や振動漏れの増大のない、特性バラツキの小さい安定した振動片１を得ることができる。
【００３４】
なお、Ｘ逆相モードの他のモードとしては、２つの振動腕２０、２２がＺ軸に沿って同一方向に屈曲振動するＺ同相モード、２つの振動腕２０、２２がＺ軸方向に沿って互いに離間と接近を交互に繰り返して屈曲振動するＺ逆相モード、２つの振動腕２０、２２がＸ軸方向に沿って同一方向に屈曲振動するＸ同相モード、２つの振動腕２０、２２がそれぞれのＹ軸方向に沿った中心軸を軸として同一方向に回転変形する捩り同相モード、２つの振動腕２０、２２がそれぞれのＹ軸方向に沿った中心軸を軸として反対方向に回転変形する捩り逆相モードがある。
【００３５】
（縮幅部による振動漏れ抑制の原理）
ここで、図３〜図８に基づいて、縮幅部１６、１８による振動漏れ抑制の原理について説明する。
図３（ａ）は、従来の振動片を模式的に示す平面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示す振動片の簡略化モデルを示す平面図、図４は、図３に示す振動片の振動漏れの原理を説明する図であって、図４（ａ）〜（ｄ）は、基部の各部（第１〜４連結部）の作用を説明する図である。また、図５（ａ）は、図１に示す振動片を模式的に示す平面図（振動腕側の縮幅部のみを考慮した図）、図５（ｂ）は、図５（ａ）に示す振動片の簡略化モデルを示す平面図、図６は、図５に示す振動片の振動漏れ抑制の原理を説明する平面図であって、図６（ａ）〜（ｄ）は、基部の各部（第１〜４連結部）の作用を説明する図である。また、図７（ａ）は、図１に示す振動片を模式的に示す平面図（振動腕と反対側の縮幅部のみを考慮した図）、図７（ｂ）は、図７（ａ）に示す振動片の簡略化モデルを示す平面図、図８は、図７に示す振動片の動漏れ抑制の原理を説明する平面図であって、図８（ａ）〜（ｄ）は、基部の各部（第１〜４連結部）の作用を説明する図である。
【００３６】
＜従来の振動片の振動漏れ＞
まず、従来の振動片における振動漏れについて説明する。
図３（ａ）に示すような基部に縮幅部が無い従来の振動片は、図３（ｂ）に示すように、弾性棒１５１が径方向に延びて接続された擬似的な剛体の回転体１５４と、弾性棒１５２が径方向に延びて接続された擬似的な剛体の回転体１５６とが簡略化した基部１５３を介して連結されているモデルとみなすことができる。
【００３７】
このモデルにおいて、回転体１５４は、回転軸１５５を中心として回転する所定の半径Ｒを有する。同様に、回転体１５６は、回転軸１５７を中心として回転する所定の半径Ｒを有する。
このようなモデルの基部１５３の回転体１５４、１５６間を連結する代表的な部分（連結部）として、図４に示すように、回転軸１５５、１５７よりも弾性棒１５１、１５２側に設けられた第１連結部１５８と、回転軸１５５、１５７間に設けられた第２連結部１５９と、回転軸１５５、１５７よりも弾性棒１５１、１５２とは反対側に設けられた第３連結部１６０と、第３連結部１６０よりもさらに弾性棒１５１、１５２とは反対側に設けられた第４連結部１６１と、を考える。
【００３８】
２本の振動腕２０、２２が互いに離間するように屈曲変形した場合、弾性棒１５１、１５２が互いに離間するように屈曲変形したとみなす。この場合、振動腕２０、２２の根元周辺から振動腕２０、２２の先端方向とは反対方向の所定の場所に、変位ベクトルの渦が形成される。この渦の中心は、基部１２Ｘを含む振動腕２０、２２の根元付近である場合が多いが、振動腕２０、２２や基部１２Ｘの領域には属さない、仮想的な空間上に形成される場合もある。
【００３９】
ここでは、説明の都合上、この渦の中心は基部１２Ｘの領域に属するとし、かつ、弾性棒１５１、１５２からの距離は等しいとするとともに、この渦の中心を図３（ｂ）における回転軸１５５、１５７としている。
なお、この回転軸１５５、１５７を回転の中心とし、半径Ｒを有する擬似的な剛体の回転体１５４、１５６の外周の接線方向における変位は、弾性棒１５１、１５２の先端方向側で最も大きく、弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対側で最も小さい。このため、上記において、「擬似的」な剛体と表現している。
【００４０】
図４（ａ）に示すように、弾性棒１５１、１５２が互いに離間するように屈曲変形した場合、第１連結部１５８は、回転体１５４、１５６の回転運動によって強く伸ばされながら弾性棒１５１、１５２の先端方向に小さく移動する。
この場合、図４（ｂ）に示すように、第２連結部１５９も同様に、回転体１５４、１５６の回転運動によって伸ばされながら弾性棒１５１、１５２の先端方向に移動する。
【００４１】
また、この場合、図４（ｃ）に示すように、第３連結部１６０は、回転体１５４、１５６の回転運動によって圧縮されながら弾性棒１５１、１５２の先端方向に移動する。また、このとき、かかる圧縮力により、第３連結部１６０の長さ方向（弾性棒１５１、１５２の並ぶ方向）の中央周辺は、弾性棒１５１、１５２の先端方向、または弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対側の方向のどちらかに変形しようとする潜在力を有している。
【００４２】
また、この場合、図４（ｄ）に示すように、第４連結部１６１は、半径Ｒよりも大きい半径Ｒ’を有し、回転軸１５５、１５７を回転の中心とする擬似的な剛体の回転体１６２、１６３を新たに考えれば、前述した第３連結部１６０と同様に、回転体１６２、１６３の回転運動によって小さく圧縮されながら弾性棒１５１、１５２の先端方向に小さく移動する。また、このとき、かかる圧縮力により、第４連結部１６１の長さ方向の中央周辺は、弾性棒１５１、１５２の先端方向、または弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対側の方向のどちらかに変形しようとする潜在力を有している。
【００４３】
ここで、前述したように第１〜４連結部１５８、１５９、１６０、１６１のすべてが弾性棒１５１、１５２の先端方向に移動するため、この移動と前述した潜在力とが相まって、第３、４連結部１６０、１６１は、弾性棒１５１、１５２の先端側に変位するように変形することとなる。
このようなことから、弾性棒１５１、１５２が互いに離間するように屈曲変形した場合、回転軸１５５と回転軸１５７とを結ぶ方向における基部１５３の変位については、第１連結部１５８および第２連結部１５９の伸張による変位と第３連結部１６０および第４連結部１６１の圧縮による変位とが互いに相殺するように作用する。
【００４４】
しかし、弾性棒１５１、１５２の長さ方向における基部１５３の変位については、第１〜４連結部１５８、１５９、１６０、１６１のすべてが弾性棒１５１、１５２の先端方向に移動（変位）するとともに、第３、４連結部１６０、１６１が弾性棒１５１、５１２の先端方向に変位するよう変形する。そのため、これらの移動および変形に起因する振動が基部１５３に生じることとなる。
そのため、基部１５３に固定部を設定すると、弾性棒１５１、１５２の先端方向への変位や変形に起因する振動が固定部を介して外部へ漏洩することとなる。これが振動漏れであり、この漏洩した振動のエネルギーに相当する分だけＱ値を劣化させることとなる。
【００４５】
＜振動腕側に設けられた縮幅部の作用＞
次に、縮幅部１６の作用について説明する。
図５（ａ）に示すような振動腕２０、２２側に縮幅部１６が設けられた基部１２を有する本実施形態に係る振動片は、図５（ｂ）に示すように、弾性棒１５１が径方向に延びて接続された擬似的な剛体の回転体１５４と、弾性棒１５２が径方向に延びて接続された擬似的な剛体の回転体１５６とが簡略化した基部１６５を介して連結されているモデルとみなすことができる。
【００４６】
このモデルにおいて、回転体１５４は、回転軸１５５を中心として回転する所定の半径Ｒを有する。同様に、回転体１５６は、回転軸１５７を中心として回転する所定の半径Ｒを有する。
このようなモデルの基部１６５における回転体１５４、１５６間を連結する代表的な部分（連結部）として、図６に示すように、回転軸１５５、１５７よりも弾性棒１５１、１５２側に設けられた第１連結部１５８と、回転軸１５５、１５７間に設けられた第２連結部１５９と、回転軸１５５、１５７よりも弾性棒１５１、１５２とは反対側に設けられた第３連結部１６０と、第１連結部１５８よりも弾性棒１５１、１５２の先端側に設けられた第４連結部１６６と、を考える。
【００４７】
２本の振動腕２０、２２が互いに接近するように屈曲変形した場合、弾性棒１５１、１５２が互いに接近するように屈曲変形したとみなす。この場合、振動腕２０、２２の根元周辺から振動腕２０、２２の先端方向とは反対方向の所定の場所に、変位ベクトルの渦が形成される。この渦の中心は、基部１２を含む振動腕２０、２２の根元付近である場合が多いが、振動腕２０、２２や基部１２の領域には属さない、仮想的な空間上に形成される場合もある。
ここでは、説明の都合上、この渦の中心は基部１２の領域に属するとし、かつ、弾性棒１５１、１５２からの距離は等しいとするとともに、この渦の中心を図５（ｂ）における回転軸１５５、１５７としている。
【００４８】
なお、この回転軸１５５、１５７を回転の中心とし、半径Ｒを有する擬似的な剛体の回転体１５４、１５６の外周の接線方向における変位は、弾性棒１５１、１５２の先端方向側で最も大きく、弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対側で最も小さい。また、この場合は、２本の振動腕２０、２２が互いに離間した場合とは変位の方向は反対向きになる。
【００４９】
図６（ａ）に示すように、弾性棒１５１、１５２が互いに接近するように屈曲変形した場合、第１連結部１５８は、回転体１５４、１５６の回転運動によって強く圧縮されながら弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対側の方向に小さく移動する。また、このとき、かかる圧縮力により、第１連結部１５８の長さ方向の中央周辺は、弾性棒１５１、１５２の先端方向、または弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対側の方向のどちらかに変形しようとする潜在力を有している。
この場合、図６（ｂ）に示すように、第２連結部１５９も同様に、回転体１５４、１５６の回転運動によって伸ばされながら弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対側の方向に移動する。
【００５０】
また、この場合、図６（ｃ）に示すように、第３連結部１６０は、回転体１５４、１５６の回転運動によって伸ばされながら弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対側の方向に移動する。
また、この場合、図６（ｄ）に示すように、第４連結部１６６は、回転体１５４、１５６の回転運動によって圧縮されるが、アーチ形状をなしているために変形し難く、仮に変形したとしても、第４連結部１６６の長さ方向の中央周辺が弾性棒１５１、１５２の先端方向に変位するように変形する。
【００５１】
このようなことから、弾性棒１５１、１５２が互いに接近するように屈曲変形した場合、回転軸１５５と回転軸１５７とを結ぶ方向における基部１６５の変位については、第１連結部１５８および第４連結部１６６の圧縮による変位と第２連結部１５９および第３連結部１６０の伸張による変位とが互いに相殺するように作用する。
【００５２】
そして、弾性棒１５１、１５２の長さ方向における基部１６５の変位については、第１〜３連結部１５８、１５９、１６０が弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対側の方向に変位するのを、第４連結部１６６の変形し難さが妨げるとともに、第４連結部１６６の長さ方向の中央付近が弾性棒１５１、１５２の先端方向に変位するように変形することで相殺することができる。
そのため、基部１６５に固定部を設定しても、固定部を介して外部へ洩れる振動、すなわち振動漏れを低減することができ、その結果、外部へ漏洩する振動のエネルギーが少なくなるため、Ｑ値を高めることができる。
【００５３】
＜振動腕と反対側に設けられた縮幅部の作用＞
次に、縮幅部１８の作用について説明する。
図７（ａ）に示すような振動腕２０、２２と反対側に縮幅部１８が設けられた基部１２を有する本実施形態に係る振動片は、図７（ｂ）に示すように、弾性棒１５１が径方向に延びて接続された擬似的な剛体の回転体１５４と、弾性棒１５２が径方向に延びて接続された擬似的な剛体の回転体１５６とが簡略化した基部１６８を介して連結されているモデルとみなすことができる。
【００５４】
このモデルにおいて、回転体１５４は、回転軸１５５を中心として回転する所定の半径Ｒを有する。同様に、回転体１５６は、回転軸１５７を中心として回転する所定の半径Ｒを有する。
このようなモデルの基部１６８における回転体１５４、１５６間を連結する代表的な部分（連結部）として、図８に示すように、回転軸１５５、１５７よりも弾性棒１５１、１５２側に設けられた第１連結部１５８と、回転軸１５５、１５７間に設けられた第２連結部１５９と、回転軸１５５、１５７よりも弾性棒１５１、１５２とは反対側に設けられた第３連結部１６０と、第３連結部１６０よりもさらに弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対側に設けられた第４連結部１６９と、を考える。
【００５５】
２本の振動腕２０、２２が互いに離間するように屈曲変形した場合、弾性棒１５１、１５２が互いに離間するように屈曲変形したとみなす。この場合、振動腕２０、２１の根元周辺から振動腕２０、２２の先端方向とは反対方向の所定の場所に、変位ベクトルの渦が形成される。この渦の中心は、基部１２を含む振動腕２０、２２の根元付近である場合が多いが、振動腕２０、２２や基部１２の領域には属さない、仮想的な空間上に形成される場合もある。
【００５６】
ここでは、説明の都合上、この渦の中心は基部１２の領域に属するとし、かつ、弾性棒１５１、１５２からの距離は等しいとするとともに、この渦の中心を図７（ｂ）における回転軸１５５、１５７とした。なお、この回転軸１５５、１５７を回転の中心とし、半径Ｒを有する擬似的な剛体の回転体１５４、１５６の外周の接線方向における変位は、弾性棒１５１、１５２の先端方向側で最も大きく、弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対側で最も小さい。
【００５７】
図８（ａ）に示すように、弾性棒１５１、１５２が互いに離間するように屈曲変形した場合、第１連結部１５８は、回転体１５４、１５６の回転運動によって強く伸ばされながら弾性棒１５１、１５２の先端側の方向に小さく移動する。
この場合、図８（ｂ）に示すように、第２連結部１５９も同様に、回転体１５４、１５６の回転運動によって伸ばされながら弾性棒１５１、１５２の先端側の方向に移動する。
【００５８】
また、この場合、図８（ｃ）に示すように、第３連結部１６０は、回転体１５４、１５６の回転運動によって圧縮されながら弾性棒１５１、１５２の先端側の方向に移動する。また、このとき、第３連結部１６０の長さ方向の中央周辺は、弾性棒１５１、１５２の先端側の方向、または弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対側の方向のどちらかに変形しようとする潜在力を有している。
また、この場合、図８（ｄ）に示すように、第４連結部１６９は、回転体１５４，１５６の回転運動によって圧縮されるが、アーチ形状をなしているために変形し難く、仮に変形したとしても、第４連結部１６９の長さ方向の中央周辺が弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対方向に変位するように変形する。
【００５９】
このようなことから、弾性棒１５１、１５２が互いに離間するように屈曲変形した場合、回転軸１５５と回転軸１５７とを結ぶ方向における基部１６８の変位については、第１連結部１５８および第２連結部１５９の伸張による変位と第３連結部１６０および第４連結部１６９の圧縮による変位とが互いに相殺するように作用する。
そして、弾性棒１５１、１５２の長さ方向における基部１６８の変位については、第１〜３連結部１５８、１５９、１６０が弾性棒１５１、１５２の先端方向に変位するのを、第４連結部１６９の変形し難さが妨げるとともに、第４連結部１６９の長さ方向の中央付近が弾性棒１５１、１５２の先端方向とは反対方向に変位するように変形することで相殺することができる。
【００６０】
そのため、基部１６８に固定部を設定しても、固定部を介して外部へ洩れる振動、すなわち振動漏れを低減することができ、その結果、外部へ漏洩する振動のエネルギーが少なくなるため、Ｑ値を高めることができる。
以上説明したように、縮幅部１６、１８により振動漏れを抑制することができる。
このような縮幅部１６、１８による振動漏れの低減効果に加えて、振動片１では、振動漏れおよび熱弾性損失を低減するように溝２８ａ、２８ｂ、３０ａ、３０ｂの基端の位置が最適化されている。
【００６１】
図９は、図１に示す振動片の振動腕の第１方向に沿った長さＬｂ、振動腕の先端と溝の基端との間の第１方向に沿った距離Ｌｄ、および、振動腕の基部側の部分の第２方向に沿った幅Ｗｂの関係を説明するための図である。
具体的に説明すると、振動腕２０、２２のＹ軸方向に沿った長さ（すなわち、振動腕２０、２２の先端と基端との間のＹ軸方向に沿った距離）をＬｂとし、振動腕２０、２２の先端と溝２８ａ、２８ｂ、３０ａ、３０ｂの基端との間のＹ軸方向に沿った距離をＬｄとし、振動腕２０、２２の基部１２側の部分のＸ軸方向に沿った幅をＷｂとしたとき、
−０．８５≦（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂ≦０．５６なる関係を満たしている。
このようなＬｂ、ＬｄおよびＷｂの関係を有することにより、振動漏れをさらに低減するとともに、熱弾性損失をも低減することができる。
【００６２】
ここで、図９に示すように、「振動腕２０の基端」の位置は、平面視で、振動腕２０の一方の側面の基端Ｐ１と他方の側面の基端Ｐ２とを結ぶ線分ａと、溝２８ａの中心線Ｙ２（Ｙ軸に平行で溝２８ａの中心を通る直線）とが交差する点Ｐ０の位置」であると定義する。また、基端Ｐ１は、振動腕２０の一方の側面と基部１２との境界であって、図示のように振動腕２０の基端部がテーパー状をなす場合、そのテーパー形状部分の基部１２側の端（曲線１７ａと交わる位置）である。また、基端Ｐ２は、振動腕２０の他方の側面と基部１２との境界であって、図示のように振動腕２０の基端部がテーパー状をなす場合、そのテーパー形状部分の基部１２側の端（本体部１４の角）である。
【００６３】
なお、この点Ｐ０は、前述した縮幅部１６の平面視での曲線部１７がなす曲線１７ａと、溝２８ａの中心線Ｙ２とが交差する点Ｐ３と近似することができる。また、振動腕２２の基端の位置も同様に定義される。
また、「溝２８ａの基端」の位置は、平面視で、溝２８ａの基端部の輪郭と中心線Ｙ２とが交差する点の位置であると定義する。なお、溝２８ｂ、３０ａ、３０ｂの基端の位置も同様に定義される。
【００６４】
（溝の基端位置の最適化による振動漏れおよび熱弾性損失の低減効果）
以下、溝２８ａ、２８ｂ、３０ａ、３０ｂの基端の位置の最適化による振動漏れおよび熱弾性損失の低減効果について説明する。
まず、図１に示す平面視形状をなす振動片について、振動腕の溝の基端のＹ軸方向での位置のみを変更した場合の熱弾性損失のみを考慮したＱ値（ＱＴＥＤ）および振動漏れのみを考慮したＱ値（ＱＬｅａｋ）をシミュレーションにより求めた。
【００６５】
本シミュレーションに用いた振動片は、振動基板として板厚１１４μｍの水晶Ｚ板（カット角０度）を用い、振動片のＸ軸方向に沿った幅Ｗ（全幅）が５２０μｍ、振動片のＹ軸方向に沿った長さＬ（全長）が１１７４μｍ、基部の本体部のＹ軸方向に沿った長さＬ３が７０μｍ、基部の各縮幅部のＹ軸方向に沿った長さＬ１、Ｌ２がそれぞれ５５μｍ、各振動腕の基部側の部分のＸ軸方向に沿った長さＷｂが７１μｍ、各振動腕の各主面に形成される溝の深さがそれぞれ５２μｍである。
【００６６】
また、振動漏れのみを考慮したＱ値の解析時には、基部の一方の面の中央に、直径１００μｍで厚さ２０μｍのシリコン系接着剤相当（ヤング率０．２［ＧＰａ］、ポアソン比０．３３、質量密度１０５０［ｋｇ／ｍ３］）の構造を介して、セラミックパッケージ相当の半無限媒体（ヤング率３２０［ＧＰａ］、ポアソン比０．２３、質量密度３８００［ｋｇ／ｍ３］）の境界条件を設定している。この境界条件の設定により、セラミックパッケージとシリコン系接着剤との境界面に到達した弾性エネルギーは、セラミックパッケージ側に漏洩して戻ってこないこと（すなわち、損失）になる。よって、この解析では、最大損失が計算されることとなる。
このようなシミュレーションにより求められた結果を表１に示す。
【００６７】
【表１】
2015002556.tif 000003
【００６８】
また、表１の結果に基づいて、（Ｌｂ−Ｌｄ）をＷｂで規格化した（Ｌｂ−Ｌｄ）／ＷｂとＱＴＥＤおよびＱＬｅａｋとの関係を図１０および図１１に示す。
図１０および図１１は、それぞれ、図９に示すＬｄを変化させたときのＬｂ、ＬｄおよびＷｂと熱弾性損失および振動漏れを考慮したＱ値との関係を示すグラフである。
なお、図１０（ａ）は、図９に示すＬｄを変化させたときのＬｂ、ＬｄおよびＷｂと熱弾性損失のみを考慮したＱ値との関係を示すグラフ、図１０（ｂ）は、図９に示すＬｄを変化させたときのＬｂ、ＬｄおよびＷｂと振動漏れのみを考慮したＱ値との関係を示すグラフ、図１１は、これらのグラフを１つにまとめたグラフである。
【００６９】
ここで、振動片全体のＱ値をＱとしたとき、Ｑ−１＝ＱＴＥＤ−１＋ＱＬｅａｋ−１である。
図９および図１０からわかるように、ＱＬｅａｋは、ＱＴＥＤよりも極めて大きいため、振動片全体のＱ値に与える影響は、ＱＴＥＤよりも極めて小さいといえる。すなわち、振動腕の溝の基端のＹ軸方向での位置のみを変更した場合、振動腕全体のＱ値に与える影響は、ＱＴＥＤが支配的であるといえる。
【００７０】
そこで、ＱＴＥＤについて着目すると、図９および図１０に示すように、溝の基端の位置を振動腕の先端側から基端に近づけて、（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂが０．５６以下となると、ＱＴＥＤが急激に高くなる。しかし、（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂが−０．８５よりも小さくなると、（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂが０．５６であるときよりもＱＴＥＤが小さくなってしまう。
【００７１】
このようなことから、−０．８５≦（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂ≦０．５６なる関係を満たすことにより、熱弾性損失を効果的に低減することができる。
これに対し、（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂが小さすぎると、振動腕の根元周辺部分が柔らかくなり、Ｘ逆相モードの振動時に、その部分における歪みが増大することによって熱流が大きくなってしまい、その結果、熱弾性損失が増大する。一方、（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂが大きすぎると、振動腕に溝が形成されていない領域が増えることから、熱弾性損失が増大する。
【００７２】
また、Ｌｂ、ＬｄおよびＷｂは、０≦（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂ≦０．５６なる関係を満たしていることが好ましい。図１０に示すように、このような関係を満たす場合、振動漏れを効果的に低減することができる。
さらに、Ｌｂ、ＬｄおよびＷｂは、０≦（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂ≦０．３５なる関係を満たしていることが好ましい。図１０に示すように、このような関係を満たす場合、振動漏れおよび熱弾性損失の双方を効果的に低減することができる。
【００７３】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図１２は、本発明の第２実施形態に係る振動片を示す平面図である。
以下、第２実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００７４】
第２実施形態は、溝の基端部の形状が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１２および図１３では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
図１２に示す振動片１Ａは、振動腕２０Ａ、２２Ａを備える。
この振動腕２０Ａには、一方（＋Ｚ軸方向側）の主面に開放する有底の溝２８ｃと、他方（−Ｚ軸方向側）の主面に開放する有底の溝２８ｄとが形成されている。同様に、振動腕２２Ａには、一方の主面に開放する有底の溝３０ｃと、他方の主面に開放する有底の溝３０ｄとが形成されている。
【００７５】
図１３に示すように、平面視で、溝２８ｃの基端部の輪郭は、振動腕２０Ａの一方の側面の基端Ｐ１と他方の側面の基端Ｐ２とを結ぶ線分ａに沿った部分を含んでいる。これにより、熱弾性損失を効果的に低減することができる。なお、溝２８ｄ、３０ｃ、３０ｄも、溝２８ｃと同様に構成されている。
このような溝２８ｃ、２８ｄ、３０ｃ、３０ｄの基端の位置も、振動漏れおよび熱弾性損失を低減するように最適化されている。
【００７６】
図１３は、図１２に示す振動片の振動腕の第１方向に沿った長さＬｂ、振動腕の先端と溝の基端との間の第１方向に沿った距離Ｌｄ、および、振動腕の基部側の部分の第２方向に沿った幅Ｗｂの関係を説明するための図である。
具体的に説明すると、振動腕２０Ａ、２２ＡのＹ軸方向に沿った長さ（すなわち、振動腕２０Ａ、２２Ａの先端と基端との間のＹ軸方向に沿った距離）をＬｂとし、振動腕２０Ａ、２２Ａの先端と溝２８ｃ、２８ｄ、３０ｃ、３０ｄの基端との間のＹ軸方向に沿った距離をＬｄとし、振動腕２０Ａ、２２Ａの基部１２側の部分のＸ軸方向に沿った幅をＷｂとしたとき、
−０．８５≦（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂ≦０．５６なる関係を満たしている。
このようなＬｂ、ＬｄおよびＷｂの関係を有することにより、振動漏れをさらに抑制するとともに、熱弾性損失をも抑制することができる。
【００７７】
以下、溝２８ｃ、２８ｄ、３０ｃ、３０ｄの基端の位置の最適化による振動漏れおよび熱弾性損失の低減効果について説明する。
まず、図１２に示す平面視形状をなす振動片について、前述した第１実施形態のシミュレーションと同様に、振動腕の溝の基端のＹ軸方向での位置のみを変更した場合の熱弾性損失のみを考慮したＱ値（ＱＴＥＤ）および振動漏れのみを考慮したＱ値（ＱＬｅａｋ）をシミュレーションにより求めた。
このようなシミュレーションにより求められた結果を表２に示す。
【００７８】
【表２】
2015002556.tif 000004
【００７９】
また、表２の結果に基づいて、（Ｌｂ−Ｌｄ）をＷｂで規格化した（Ｌｂ−Ｌｄ）／ｗｂとＱＴＥＤおよびＱＬｅａｋとの関係を図１４および図１５に示す。
図１４および図１５は、図１３に示すＬｄを変化させたときのＬｂ、ＬｄおよびＷｂと熱弾性損失および振動漏れを考慮したＱ値との関係を示すグラフである。
なお、図１４（ａ）は、図１３に示すＬｄを変化させたときのＬｂ、ＬｄおよびＷｂと熱弾性損失のみを考慮したＱ値との関係を示すグラフ、図１４（ｂ）は、図１３に示すＬｄを変化させたときのＬｂ、ＬｄおよびＷｂと振動漏れのみを考慮したＱ値との関係を示すグラフ、図１５は、これらのグラフを１つにまとめたグラフである。
【００８０】
図１４および図１５に示すように、溝の基端の位置を振動腕の先端側から基端側に変更していき、（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂが０．５６以下となると、ＱＴＥＤが急激に高くなる。しかし、（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂが−０．８５よりも小さくなると、（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂが０．５６であるときよりもＱＴＥＤが小さくなってしまう。
このようなことから、−０．８５≦（Ｌｂ−Ｌｄ）／Ｗｂ≦０．５６なる関係を満たすことにより、熱弾性損失を効果的に抑制することができる。
以上説明したような第２実施形態に係る振動片１Ａよっても、小型化を図っても、振動漏れおよび熱弾性損失を抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる。
【００８１】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図１６は、本発明の第３実施形態に係る振動片を示す平面図である。
以下、第３実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第３実施形態は、基部の構成が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１６では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００８２】
図１６に示す振動片１Ｂが備える振動基板１０Ｂは、基部１２、振動腕２０、２２、接続部３１および支持枠３２とを有している。
支持枠３２は、平面視で枠状をなしている。この支持枠３２の内側には、基部１２および振動腕２０、２２が設けられ、基部１２の振動腕２０、２２とは反対側の端部が接続部３１を介して支持枠３２に接続されている。
このような支持枠３２は、パッケージの一部を構成することができる。
以上説明したような第３実施形態に係る振動片１Ｂよっても、小型化を図っても、振動漏れおよび熱弾性損失を抑制し、ＣＩ値を低く抑えることができる。
【００８３】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
図１７は、本発明の第４実施形態に係る振動片を示す平面図である。
以下、第４実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第４実施形態は、基部の構成が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１７では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００８４】
図１７に示す振動片１Ｃが備える基部１２Ｃは、本体部１４と、本体部１４に対して＋Ｙ軸方向側に位置する縮幅部１６Ｃと、本体部１４に対して−Ｙ軸方向側に位置する縮幅部１８Ｃとを有している。言い換えれば、本実施形態の基部１２Ｃは、本体部１４を介して対向配置された２つの縮幅部１６Ｃ、１８Ｃを有している。
縮幅部１６Ｃの輪郭１７Ｃは、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸の両軸に対して傾斜する直線状の傾斜部１７ｂ、１７ｃで構成されている。これら傾斜部１７ｂ、１７ｃの一端（＋Ｙ軸方向側の端）同士が、Ｙ軸と平行な仮想中心線Ｙ１上で接続されている。そのため、縮幅部１６Ｃは、その先端部に角を有し、尖っている。縮幅部１６Ｃをこのような形状とすることにより、第１実施形態の縮幅部１６が曲線状であるのと同様に、振動漏れを効果的に抑制することができるとともに、縮幅部の構成の簡易化を図ることができる。
【００８５】
また、縮幅部１６ＣのＹ軸方向に沿った長さＬ１は、平面視で傾斜部１７ｂ、１７ｃとＸ軸とのなす角度θ１に応じて設定される。この角度θ１は、特に限定されないが、例えば、５°以上、７０°以下程度であるのが好ましい。
また、傾斜部１７ｂ、１７ｃは、水晶の結晶面と平行であることが好ましい。例えば、傾斜部１７ｂ、１７ｃは、水晶のＸ軸に対して３０°または６０°傾斜している結晶面に平行であることが好ましい。これにより、水晶基板をウェットエッチングすることにより傾斜部１７ｂ、１７ｃを形成する場合、傾斜部１７ｂ、１７ｃの形状のばらつきが小さくなり、振動片１Ｃが安定した性能を得ることができる。
【００８６】
縮幅部１８Ｃの輪郭１９Ｃは、平面視にて、Ｘ軸およびＹ軸の両軸に対して傾斜する直線状の傾斜部１９ｂ、１９ｃで構成されている。これら傾斜部１９ｂ、１９ｃの一端（−Ｙ軸方向側の端）同士が、Ｙ軸と平行な仮想中心線Ｙ１上で接続されている。そのため、縮幅部１８Ｃは、その先端部に角を有し、尖っている形状とすることにより、第１実施形態の縮幅部１８が曲線状であるのと同様に、振動漏れを効果的に抑制することができるとともに、縮幅部の構成の簡易化を図ることができる。
【００８７】
また、縮幅部１８ＣのＹ軸方向に沿った長さＬ２は、平面視で傾斜部１９ｂ、１９ｃとＸ軸とのなす角度θ２に応じて設定される。この角度θ２は、特に限定されないが、例えば、縮幅部１８Ｃの過度な大型化を抑制する観点から、５°以上、７０°以下であるのが好ましく、１０°以上、５０°以下であるのがより好ましい。
また、傾斜部１９ｂ、１９ｃは、水晶の結晶面と平行であることが好ましい。例えば、傾斜部１９ｂ、１９ｃは、水晶のＸ軸に対して３０°または６０°傾斜している結晶面に平行であることが好ましい。これにより、水晶基板をウェットエッチングすることにより傾斜部１９ｂ、１９ｃを形成する場合、傾斜部１９ｂ、１９ｃの形状のばらつきが小さくなり、振動片１Ｃが安定した性能を得ることができる。
このような第４実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００８８】
（振動子）
次に、本発明の振動片を適用した振動子について説明する。
図１８は、本発明の振動子の一例の概略構成を示す図であって、図１８（ａ）は、平面図、図１８（ｂ）は、図１８（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図である。なお、図１８（ａ）では、説明の便宜上、蓋部材の図示を省略している。
【００８９】
振動子３は、前述した第１実施形態に係る振動片１と、矩形の箱状に形成されているパッケージ本体５０と、ガラス、セラミック、金属などからなる蓋部材５９と、で構成されている。ここで、パッケージ本体５０および蓋部材５９は、振動片１を収納するパッケージを構成している。
パッケージ本体５０は、図１８（ｂ）に示すように、第１の基板５１と、第２の基板５２と、実装端子４５と、を積層して形成されている。
【００９０】
第１の基板５１の外側の面（−Ｚ軸方向側の面）には、複数の実装端子４５が形成されている。また、第１の基板５１の内側の面（＋Ｚ軸方向側の面）には、図示しない貫通電極や層間配線を介して、複数の実装端子４５と電気的に導通する接続電極４７ａ、４７ｂがキャビティー７０内に露出して設けられている。
第２の基板５２は、中央部が除去された環状体である。これにより、振動片１を収容するキャビティー７０が形成されている。このキャビティー７０内は、ほぼ真空の減圧空間となっている。
【００９１】
以上、説明したパッケージ本体５０の、第１の基板５１と第２の基板５２は、絶縁性を有する材料で構成されている。このような材料としては、特に限定されず、例えば、酸化物系セラミックス、窒化物系セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックスを用いることができる。また、パッケージ本体５０に設けられた各接続電極、あるいはそれらを電気的に接続する配線パターンや層内配線パターンなどは、一般的に、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）などの金属配線材料を絶縁材料上にスクリーン印刷して焼成し、その上にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）などのめっきを施すことにより形成される。
【００９２】
蓋部材５９は、好ましくは、光を通過する材料、例えば、ホウケイ酸ガラスなどにより形成されており、封止材６８により接合されることで、パッケージ本体５０を気密封止している。これにより、パッケージ本体５０の蓋封止後において、外部からレーザー光を蓋部材５９を介して振動片１の先端付近に照射し、ここに設けた電極を一部蒸散させることにより、質量削減方式による周波数調整をすることができるようになっている。なお、このような周波数調整をしない場合には、蓋部材５９はコバール合金などの金属材料で形成することができる。
【００９３】
振動片１は、基部１２に形成されたパッド電極４３ａ、４３ｂと、励振電極４１ａとパッド電極４３ａとを電気的に接続している配線４２ａ（引き出し電極）、および、励振電極４１ｂとパッド電極４３ｂとを電気的に接続している配線４２ｂ（引き出し電極）とを有している。
このようなパッド電極４３ａ、４３ｂから、配線４２ａ、４２ｂを通じて、励振電極４１ａ、４１ｂに駆動電圧（駆動信号）が印加されることで、２本の振動腕２０、２２が互いに接近、離間を繰り返すように面内方向（ＸＹ平面方向）に所定の周波数で振動する。
【００９４】
なお、励振電極４１ａ、４１ｂ、配線４２ａ、４２ｂおよびパッド電極４３ａ、４３ｂのそれぞれの構成材料としては、特に限定されず、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金等の金属材料を用いることができる。
そして、パッド電極４３ａ、４３ｂと接続電極４７ａ、４７ｂとが位置合わせされた状態でそれぞれ接合部材３５を介して接合されている。これにより、基部１２の一方の面が２つの接合部材３５を介してパッケージ本体５０に対して固定されている。接合部材３５としては、例えば、金属あるいは半田等からなるバンプ（金属バンプ）や、導電性接着剤等を用いることができる。
【００９５】
ここで、基部１２の−Ｚ軸方向側の面は、Ｙ軸方向に沿って並んでいる２つの接合部材３５を介してパッケージ本体５０に固定されている。これにより、振動片１とパッケージ本体５０との固定部のＸ軸方向に沿った幅を小さくすることができる。そのため、基部１２からパッケージ本体５０への振動漏れを抑制することができる。
以上説明したような振動子３によれば、小型で、優れた振動特性を有する。
【００９６】
（発振器）
次に、本発明の振動片を適用した発振器について説明する。
図１９は、本発明の発振器の一例の概略構成を示す断面図である。
なお、以下、発振器について、前述した振動子との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。また、図１９では、前述した振動子と同様の構成については、同一符号を付している。
【００９７】
図１９に示す発振器４は、前述した第１実施形態に係る振動片１と、パッケージ本体６０と、振動片１を駆動するためのＩＣチップ（チップ部品）６２と、ガラス、セラミック、金属などからなる蓋部材５９と、で構成されている。
パッケージ本体６０は、第１の基板５１と、第２の基板５２と、第３の基板５３と、第４の基板５４と、実装端子４６と、を積層して形成されている。
【００９８】
第３の基板５３および第４の基板５４は、それぞれ、中央部が除去された環状体である。これにより、ＩＣチップ６２を収納するキャビティー７２が形成されている。
また、第３の基板５３は、第４の基板５４の内周よりも内側に位置する部分を有し、この部分の第４の基板５４側の面には、複数の接続電極４８が設けられている。
また、第４の基板５４の第３の基板５３とは反対側の面には、複数の実装端子４６が設けられている。
【００９９】
この複数の実装端子４６は、図示しない貫通電極や層間配線を介して、接続電極４７ａ、４７ｂや複数の接続電極４８に電気的に接続されている。
ＩＣチップ６２は、キャビティー７２内に収納され、ろう材あるいは接着剤などの接合部材６３を介して第１の基板５１に接合されている。
また、ＩＣチップ６２は、ボンディングワイヤーで構成された複数の配線６５を介して、複数の接続電極４８に電気的に接続されている。
【０１００】
また、キャビティー７２内には、樹脂組成物で構成された封止材６４が充填されており、この封止材６４によって、ＩＣチップ６２が封止されている。
ＩＣチップ６２は、振動片１の駆動を制御するための駆動回路（発振回路）を有しており、このＩＣチップ６２によって振動片１を駆動すると、所定の周波数の信号を取り出すことができる。
以上説明したような発振器４によれば、小型で、優れた発振特性を有する。
【０１０１】
（電子機器）
次いで、本発明の振動片を適用した電子機器について、図２０〜図２２に基づき説明する。
図２０は、本発明の電子機器の第１例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【０１０２】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、発振器４（振動片１）が内蔵されている。
【０１０３】
図２１は、本発明の電子機器の第２例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、発振器４（振動片１）が内蔵されている。
【０１０４】
図２２は、本発明の電子機器の第３例であるデジタルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１０５】
デジタルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１０６】
撮影者が表示部１００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター（ＰＣ）１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルカメラ１３００には、発振器４（振動片１）が内蔵されている。
以上説明したような電子機器によれば、優れた信頼性を有する。
【０１０７】
なお、本発明の振動片を備える電子機器は、図２０のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図２１の携帯電話機、図２２のデジタルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーターなどに適用することができる。
【０１０８】
（移動体）
図２３は、本発明の移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。
この図において、タイヤ２１０９を制御する電子制御ユニット２１０８に発振器４（振動片１）が内蔵され、車体２１０７に搭載されている。
自動車２１０６には、本発明に係る振動片を備える振動子や発振器が搭載されており、例えば、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ：Antilock Brake System）、エアバック、タイヤプレッシャーモニタリングシステム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システムなどの電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）２１０８に広く適用できる。
以上説明したような移動体によれば、優れた信頼性を有する。
【０１０９】
以上、本発明の振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
また、前述した実施形態の縮幅部の輪郭には、突出部や窪み（切り欠き）が形成されていてもよい。
【０１１０】
また、例えば、上記実施形態および変形例では、振動片の振動基板の構成材料として水晶を用いた場合を例に説明したが、水晶以外の圧電体材料を振動片の振動基板の構成材料として用いることができる。振動片の振動基板としては、例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ランガサイト（Ｌａ3Ｇａ5ＳｉＯ14）などの酸化物基板や、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電基板、あるいは圧電セラミックスなどを用いることができる。
【０１１１】
また、圧電体材料以外の材料を用いて振動片を形成することができる。例えば、シリコン半導体材料などを用いて振動片を形成することもできる。また、振動片の振動（駆動）方式は圧電駆動に限らない。例えば、本発明は、振動片の駆動方式として、圧電基板を用いた圧電駆動型のもの以外に、静電気力を用いた静電駆動型や、磁力を利用したローレンツ駆動型などを用いてもよい。
【０１１２】
また、本発明に係る振動片はジャイロセンサーだけでなく、圧力センサー、加速度センサー、傾斜センサー等の各種のセンサーに適用できることは言うまでもない。
また、基部に設けられた縮幅部は、基部の中央部から離れるに従って漸減していれば、前述した実施形態の形状、大きさ等に限定されない。例えば、縮幅部の幅が段階的（例えば階段状）に変化していてもよい。
また、前述した実施形態では、基部の振動腕とは反対側の端部にも縮幅部を設けた場合を説明したが、基部の振動腕とは反対側の端部に設けられた縮幅部は省略してもよい。
【符号の説明】
【０１１３】
１‥‥振動片  １Ａ‥‥振動片１Ｂ‥‥振動片  １Ｃ‥‥振動片  ３‥‥振動子  ４‥‥発振器  １０‥‥振動基板  １０Ｂ‥‥振動基板  １２‥‥基部  １２Ｃ‥‥基部  １２Ｘ‥‥基部  １４‥‥本体部  １６‥‥縮幅部  １６Ｃ‥‥縮幅部  １７‥‥曲線部  １７Ｃ‥‥輪郭  １７ａ‥‥曲線  １７ｂ‥‥傾斜部  １７ｃ‥‥傾斜部  １８‥‥縮幅部  １８Ｃ‥‥縮幅部  １９‥‥曲線部  １９Ｃ‥‥輪郭  １９ａ‥‥曲線  １９ｂ‥‥傾斜部  １９ｃ‥‥傾斜部  ２０‥‥振動腕  ２０Ａ‥‥振動腕  ２０ａ‥‥主面  ２０ｂ‥‥主面  ２２‥‥振動腕  ２２Ａ‥‥振動腕  ２２ａ‥‥主面  ２２ｂ‥‥主面  ２４‥‥錘部  ２６‥‥錘部  ２８ａ‥‥溝  ２８ｂ‥‥溝  ２８ｃ‥‥溝  ２８ｄ‥‥溝  ３０ａ‥‥溝  ３０ｂ‥‥溝  ３０ｃ‥‥溝  ３０ｄ‥‥溝  ３１‥‥接続部  ３２‥‥支持枠  ３５‥‥接合部材  ４１ａ‥‥励振電極  ４１ｂ‥‥励振電極  ４２ａ‥‥配線  ４２ｂ‥‥配線  ４３ａ‥‥パッド電極  ４３ｂ‥‥パッド電極  ４５‥‥実装端子  ４６‥‥実装端子  ４７ａ‥‥接続電極  ４７ｂ‥‥接続電極  ４８‥‥接続電極  ５０‥‥パッケージ本体  ５１‥‥第１基板  ５２‥‥第２基板  ５３‥‥第３基板  ５４‥‥第４基板  ５９‥‥蓋部材  ６０‥‥パッケージ本体  ６２‥‥ＩＣチップ  ６３‥‥接合部材  ６４‥‥封止材  ６５‥‥配線  ６８‥‥封止材  ７０‥‥キャビティー  ７２‥‥キャビティー  １００‥‥表示部  １０１‥‥振動片  １１２‥‥基部  １１４‥‥本体部  １２０‥‥振動腕  １２２‥‥振動腕  １２８‥‥溝  １３０‥‥溝  １５１‥‥弾性棒  １５２‥‥弾性棒  １５３‥‥基部  １５４‥‥回転体  １５５‥‥回転軸  １５６‥‥回転体  １５７‥‥回転軸  １５８‥‥第１連結部  １５９‥‥第２連結部  １６０‥‥第３連結部  １６１‥‥第４連結部  １６２‥‥回転体  １６３‥‥回転体  １６５‥‥基部  １６６‥‥第４連結部  １６８‥‥基部  １６９‥‥第４連結部  １１００‥‥パーソナルコンピューター  １１０２‥‥キーボード  １１０４‥‥本体部  １１０６‥‥表示ユニット  １２００‥‥携帯電話機  １２０２‥‥操作ボタン  １２０４‥‥受話口  １２０６‥‥送話口  １３００‥‥デジタルカメラ  １３０２‥‥ケース  １３０４‥‥受光ユニット  １３０６‥‥シャッターボタン  １３０８‥‥メモリー  １３１２‥‥ビデオ信号出力端子  １３１４‥‥入出力端子  １４３０‥‥テレビモニター  １４４０‥‥パーソナルコンピューター  ２１０６‥‥自動車  ２１０７‥‥車体  ２１０８‥‥電子制御ユニット  ２１０９‥‥タイヤ
【図１】
2015002556.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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