(57)【要約】【課題】複数の隔壁基板を撮像基板に貼り合わせた構造を有する放射線撮像装置において、隔壁基板の配置を原因とする感度分布劣化を抑制する。【解決手段】放射線撮像装置１００は、複数の光電変換素子２３２がマトリクス状に配置された撮像基板２３０と、壁４１５により複数の区画に所定のピッチで分割された複数の隔壁基板４１１，４１２と、区画に形成された蛍光体４４０とを有し、複数の隔壁基板４１１，４１２は、区画のピッチが一定となるよう配置されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光電変換素子がマトリクス状に配置された撮像基板と、隔壁部材により複数の区画に所定のピッチで分割された複数の隔壁基板と、前記区画に形成された蛍光体とを有する放射線撮像装置であって、
前記複数の隔壁基板は、前記区画のピッチが一定となるよう配置されていることを特徴とする放射線撮像装置。
【請求項２】
前記隔壁基板の材料には、半導体または金属が含まれることを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像装置。
【請求項３】
前記隔壁基板の厚さは１７００μｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の放射線撮像装置。
【請求項４】
複数の前記撮像基板を有し、複数の前記撮像基板により一つの撮像面が形成されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項５】
一枚の前記撮像基板を有し、一枚の前記撮像基板により一つの撮像面が形成されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項６】
前記隔壁基板の端部には、突起部が設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項７】
前記隔壁基板の端部には、前記隔壁部材のピッチの二倍のピッチで突起部が設けられ、ある前記隔壁基板に設けられる前記突起部どうしの間に、隣り合う前記隔壁基板の突起部が配置されることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項８】
前記隔壁基板の端部には、前記隔壁部材のピッチと同じピッチで突起部が設けられ、隣り合う前記隔壁基板の前記突起部と干渉しないように前記撮像基板に配置されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項９】
前記隔壁部材のピッチと同じピッチで端部に突起部が設けられた前記隔壁基板と、前記突起部が設けられない前記隔壁基板とが交互に前記撮像基板に配置されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項１０】
あるサイズの前記隔壁基板と前記あるサイズよりも小さいサイズの前記隔壁基板を有し、前記あるサイズの隔壁基板が、前記撮像基板から構成される撮像面の有効画素領域の中心部に配置され、前記あるサイズよりも小さいサイズの隔壁基板が前記有効画素領域の残りの部分に配置されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項１１】
複数の光電変換素子がマトリクス状に配置された撮像基板と、隔壁部材により複数の区画に所定のピッチで分割された複数の隔壁基板と、前記区画に形成された蛍光体とを有する放射線撮像装置であって、
前記複数の隔壁基板は、前記区画のピッチが隣接する前記光電変換素子の間の距離と対応するように配置されていることを特徴とする放射線撮像装置。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか１項に記載の放射線撮像装置と、
前記放射線撮像装置によって得られた信号を処理する信号処理手段と、
を備えることを特徴とする放射線撮像システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線を検出する放射線撮像装置および放射線撮像システムに関する。特には、医療画像診断装置や分析装置等に用いられる放射線撮像装置および放射線撮像システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタル方式の放射線撮像装置は、患者を通過した放射線を蛍光体で可視光に変換し、撮像基板上に配置された光電変換素子などの変換素子により可視光を電気信号に変換することで画像データを取得する。このような放射線撮像装置においては、患者の身体情報をより正確に検出するため、鮮鋭度が高いことが望ましい。そこで、特許文献１には、シリコンエッチング技術により形成された隔壁部材により蛍光体を区分し、蛍光体内での光散乱を低減させる技術が知られている。
【０００３】
ところで、シリコンウェハの大きさは最大で直径３０ｃｍである。このため、最大で４０ｃｍ×４０ｃｍ程度の大きさを持つ大型の放射線撮像装置にシリコンウェハ製の隔壁基板を採用する場合には、シリコンウェハから複数の隔壁基板を切り出し、これら複数の隔壁基板を撮像パネルに貼り合わせている。しかしながら、場合によっては、感度低下をまねくおそれがあり、検討の余地がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第６７４４０５２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の実情に鑑み、本発明は、複数の隔壁基板を撮像パネルに貼り合わせた構造を有する放射線撮像装置において、感度分布の低下を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題に鑑みて、本発明は、複数の光電変換素子がマトリクス状に配置された撮像基板と、隔壁部材により複数の区画に所定のピッチで分割された複数の隔壁基板と、前記区画に形成された蛍光体とを有する放射線撮像装置であって、前記複数の隔壁基板は、前記区画のピッチが一定となるよう配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
上記手段により、複数の隔壁基板を撮像パネルに貼り合わせた構造を有する放射線撮像装置において、感度分布の低下を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る放射線撮像装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る撮像パネルの平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る放射線撮像装置の断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る放射線撮像装置の平面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る放射線撮像装置の平面図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る放射線撮像装置の断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る放射線撮像装置の平面図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る放射線撮像装置の概略構成図である。
【図９】本発明の第３実施形態に係る放射線撮像装置の断面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態に係る放射線撮像装置の平面図である。
【図１１】本発明の第３実施形態に係る放射線撮像装置の平面図である。
【図１２】本発明の第４実施形態に係る放射線撮像装置の断面図である。
【図１３】本発明の第４実施形態に係る放射線撮像装置の平面図である。
【図１４】本発明の第４実施形態に係る放射線撮像装置の平面図である。
【図１５】本発明の第５実施形態に係る放射線撮像装置の平面図である。
【図１６】本発明の放射線撮像装置の放射線撮像システムを例示する概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
添付の図面を参照しつつ、本発明の各実施形態について説明する。以下では、本発明の各実施形態として、医療画像診断装置、分析装置等に用いられる放射線撮像装置を例に示して説明する。本発明において、光は可視光及び赤外線を含み、放射線はＸ線、α線、β線およびγ線を含む。なお、各実施形態において共通の要素には同一の参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１０】
（第１の実施形態）
図１を参照して、本発明の第１実施形態に係る放射線撮像装置１００の概略構成例を説明する。放射線撮像装置１００は、撮像基板２３０と、粘着材３００と、隔壁パネル４００とを備える。なお、図１においては説明のため、撮像基板２３０と隔壁パネル４００とが分離している状態を示すが、実際には粘着材３００を介して接続されている。撮像基板２３０は、マトリクス状に配置された複数の光電変換素子を備えており、蛍光体で変換された光を電気信号に変換する。撮像基板２３０の材料には、ガラスや耐熱プラスチックなどが好適に用いられる。光電変換素子には、例えば、非結晶シリコンを用いたＰＩＮ型センサやＭＩＳ型センサを用いることができる。隔壁パネル４００は、複数の隔壁基板４１１，４１２と、粘着材４２０と、基台４３０とを含む。なお、説明の便宜上、隣り合う隔壁基板４１１，４１２には異なる符号を付してあるが、これらの隔壁基板４１１，４１２は、共通の構成を有する。隔壁基板４１１，４１２は、シリコンウェハにエッチングによって所定のピッチで分割された複数の区画を形成し、その後、ダイシングにより小さいサイズに切り出すことによって製作される。隔壁パネル４００の材料は、たとえばシリコンなどの半導体が含まれる材料が適用できる。ただし、高反射かつ遮光性の高い材料で、高いアスペクト比でのエッチングが可能な材料であれば、適宜用いることができる。たとえば、半導体のほかに金属が含まれる材料が適用できる。隔壁基板４１１，４１２の各区画には蛍光体４４０が充填されている。蛍光体の材料としては、酸硫化ガドリニウムにテルビウムをドープしたものが例として挙げられる。
【００１１】
撮影の際には、矢印５００の方向から放射線を曝射し、被写体による減衰を受けた放射線を隔壁パネル４００に入射させる。隔壁パネル４００の各区画には蛍光体４４０が充填されており、入射した放射線を光電変換素子が検出可能な波長に変換する。変換された光は光電変換素子にて電気信号に変換され、変換された電気信号をもとに画像が生成される。
【００１２】
図２を参照して、撮像基板２３０に形成された光電変換素子の配置について説明する。撮像基板２３０は、複数のマトリクス状に配置される画素２３１を有する。なお、図２においては説明のため、画素の輪郭を実線で示しているが、実際の撮像基板２３０には、このような実線は存在しない。各々の画素２３１は、光電変換素子２３２を有する。隣り合う光電変換素子２３２どうしの間隔は、いずれも距離Ｐに維持されている。距離Ｐを維持することで、得られる画像の歪み等を軽減することができる。なお、ここでは、距離Ｐは隣接する光電変換素子の重心の間の距離とする。
【００１３】
図３を参照して、放射線撮像装置１００の断面構造について説明する。図３は、第１の実施形態に係る放射線撮像装置１００の構成例を示す断面模式図である。隔壁基板４１１，４１２には、隔壁部材の例である壁４１５が形成される。そして隔壁基板４１１，４１２は、壁４１５（隔壁部材）によって、複数の区画に分割される。壁４１５の厚さは１０μｍ程度である。そして、隣り合う隔壁基板４１１，４１２は、境界における区画のピッチが一定となるように（境界でない部分と同じピッチとなるように）、所定の距離をおいてタイリングされる。すなわち、複数の隔壁基板４１１及び４１２に跨って、区画のピッチが略一定となるように、複数の隔壁基板４１１及び４１２が配置されている。このようにすることによって、複数の隔壁基板４１１及び４１２に跨って設けられた区画のピッチが、光電変換素子の距離Ｐと対応させることができ、光電変換素子の距離Ｐと略一対一と（略等しく）することができる。そして、タイリングの際は、隣り合う光電変換素子２３２どうしの間に隔壁基板４１１，４１２の壁４１５を配置する。このように配置にすることで、隔壁基板４１１，４１２の各区画中（隔壁部材の例である壁４１５に囲まれた領域）に形成された蛍光体４４０の重心が、対応する光電変換素子２３２の真上に配置される。このため、感度分布の低下を抑制できる。また、タイリングのマージンも十分確保されるため、壁４１５が光電変換素子に乗り上げることで生じる感度分布の低下も抑制できる。隔壁基板４１１，４１２が粘着材３００を介して撮像基板２３０上に貼り合わされ、その後に蛍光体４４０が形成される。そしてその上に、粘着材４２０を介して基台４３０が貼り合わせられる。なお、隔壁基板の厚さは１７００μｍ以下の値をとる。実際に医療現場において使用する管電圧下においては、蛍光体の厚さがおおよそ１７００μｍであるとＸ線吸収率が１００％に達する。すなわち、これ以上膜厚を大きくしてもＸ線吸収率に変化がないためである。
【００１４】
図４は、放射線撮像装置１００の平面模式図である。図４では、説明の便宜上、粘着材３００と、粘着材４２０と、基台４３０と、蛍光体４４０とを省略してある。本実施形態においては、隣り合う光電変換素子２３２どうしの間に隔壁基板４１１，４１２の壁４１５が配置されている。そして、隔壁基板４１１，４１２は、区画のピッチが、隣り合う隔壁基板４１１，４１２どうしの境界を含めて一定となるようにタイリングされている。
【００１５】
図５は、放射線撮像装置１００の平面模式図であり、複数の隔壁基板４１１，４１２の配置の変形例である。図５においても、説明の便宜上、粘着材３００と、粘着材４２０と、基台４３０と、蛍光体４４０とを省略してある。第１の実施形態においては、複数の隔壁基板４１１，４１２は、それらに形成される区画が一定になるように配置される。すなわち、隣り合う隔壁基板４１１，４１２の境界とそれ以外の部分とにおいて、区画のピッチが一定であればよい。このため、図５に示すように、複数の隔壁基板４１１，４１２の端部は揃っていなくてもよい。
【００１６】
（第２の実施形態）
図６と図７を参照して、第２実施形態に係る放射線撮像装置１００の構成例を説明する。図６は、第２の実施形態に係る放射線撮像装置１００の断面模式図であり、図７は平面模式図である。なお、図７においては、説明の便宜上、粘着材３００と、粘着材４２０と、基台４３０と、蛍光体４４０とを省略してある。放射線撮像装置１００の動作原理や、撮像基板２３０中の光電変換素子２３２の配置に関しては、第１実施形態と同様である。このため説明を省略する。また、第１実施形態と共通の構成には同じ記号を付す。
【００１７】
前述の第１の実施形態では、隣り合う隔壁基板４１１，４１２どうしの間には壁４１５が存在しない。このため、鮮鋭度が局所的に劣化する行と列が存在する。そこで、第２の実施形態では、鮮鋭度の劣化を抑制するために、隣り合う隔壁基板４１１，４１２の端部に、隔壁部材としての突起部４１６が設けられる。突起部４１６を設ける方法としては、壁４１５の形成と同様に、シリコンウェハにエッチングにより形成する方法が適用できる。そして、エッチングにより突起部４１６を形成したのち、ダイシングを行う。これにより、突起部４１６を有する隔壁基板４１１，４１２を製作できる。その後、第１の実施形態に記載の間隔で隔壁基板４１１，４１２をタイリングし、蛍光体の形成を行う。突起部４１６の存在により、隣り合う隔壁基板４１１、４１２の間においても、光の散乱を抑制することができる。このため、局所的な鮮鋭度の劣化を抑制することができる。
【００１８】
図６と図７に示すように、本実施形態においては、突起部４１６は、壁４１５と同じピッチで形成される。そして、隔壁基板４１１，４１２の突起部４１６は、タイリングされた状態で互いに干渉しないように形成される。たとえば、突起部４１６は、隔壁基板４１１，４１２がタイリングされた状態で、隣り合う隔壁基板４１１，４１２の突起部４１６先端に接触しないように形成される。
【００１９】
（第３の実施形態）
図８は、本発明の第３実施形態に係る放射線撮像装置１００の概略構成を示す。図８は、第３の実施形態に係る放射線撮像装置１００の構成例を示す分解斜視図である。第３の実施形態は、前述の第１および第２の実施形態と比較して、複数の撮像基板２３０が１つの撮像面を形成するという構成が異なる。このような撮像基板２３０の例としては、結晶シリコンを用いたＣＭＯＳセンサが挙げられる。これら複数の撮像基板２３０は、基板２１０に粘着材２２０を介して接続されている。
【００２０】
図９と図１０を参照して、本発明の第３実施形態の構成例を詳細に説明する。図９は、第３の実施形態に係る放射線撮像装置１００の構成例を示す断面模式図であり、図１０は平面模式図である。図１０においては、説明の便宜上、粘着材３００と、粘着材４２０と、基台４３０と、蛍光体４４０とは省略してある。放射線撮像装置１００の動作原理や、撮像基板２３０の光電変換素子２３２の配置は、第１の実施形態と同様であるため説明を省略する。また、第１の実施形態と共通の構成には同じ記号を付す。
【００２１】
第３の実施形態においては、複数の隔壁基板４１１，４１２が複数の撮像基板２３０上にタイリングされる。図１０において、一点鎖線が、複数の撮像基板２３０の輪郭を示す。タイリングの際は、平面視において（図９の矢印Ｚ方向視において）、隣り合う撮像基板２３０どうしの間に隔壁基板４１１，４１２の壁４１５を配置する。そして、隔壁基板４１１，４１２を、境界においても区画のピッチが一定となるようにタイリングする。第１および第２の実施形態で述べたように、このようにタイリングを行うことで、感度分布の低下を抑制できる。
【００２２】
図１１は、第３の実施形態の変形形態を示す平面模式図である。図１１においても、説明の便宜上、粘着材３００と、粘着材４２０と、基台４３０と、蛍光体４４０とを省略している。図１１において、一点鎖線が、複数の撮像基板の輪郭を示す。図１１に示す変形形態では、図１０に示される位置関係と比較して、隔壁基板４１１，４１２と撮像基板２３０とが縦横それぞれ１画素ずつずれている。第３の実施形態においては、隔壁基板４１１，４１２の区画のピッチが境界を含めて一定になればよい。このため、図１１に示すような構造も第３の実施形態に含まれる。
【００２３】
（第４の実施形態）
図１２と図１３を参照して、第４実施形態に係る放射線撮像装置１００の構成例を説明する。図１２は、第４の実施形態に係る放射線撮像装置１００の断面模式図であり、図１３は平面模式図である。図１３においては、説明の便宜上、粘着材３００と、粘着材４２０と、基台４３０と、蛍光体４４０とを省略してある。放射線撮像装置１００の動作原理や、撮像基板２３０中の光電変換素子２３２の配置は、第１の実施形態と同様である。このため説明を省略する。また、第１の実施形態と共通の構成には同じ記号を付す。
【００２４】
第４の実施形態においては、第３の実施形態と同様に、撮像面が複数の撮像基板２３０により形成される。そして、複数の撮像基板２３０で形成された撮像面上に、複数の隔壁基板４１１，４１２がタイリングされる。第４の実施形態においても、前述の実施形態と同様に、隔壁基板４１１，４１２は、平面視において撮像基板２３０の間に壁４１５が配置されるようにタイリングされる。かつ、隔壁基板４１１，４１２は、区画のピッチが一定となるようにタイリングされる。
【００２５】
第１の実施形態では、隣り合う隔壁基板４１１，４１２どうしの間には隔壁部材としての壁４１５が存在しないため、局所的に鮮鋭度が劣化する行と列が複数存在する。そこで、第２の実施形態では、鮮鋭度の劣化を防ぐために、隣り合う隔壁基板４１１，４１２の端部に隔壁部材としての突起部４１６を設けた。ただし、突起部４１６を有する隔壁基板４１１、４１２のタイリングは、光電変換素子２３２どうしの距離Ｐが短くなるにつれて難しくなる。そこで第４の実施形態においては、隣り合う隔壁基板４１１，４１２の端部のそれぞれに、区画のピッチの二倍のピッチで突起部４１７を形成する。そして、隣り合う隔壁基板４１１，４１２の突起部４１７が交互に並ぶように、隔壁基板４１１，４１２がタイリングされる。なお、突起部４１７を有する隔壁基板４１１，４１２の作成方法は、第２の実施形態と同様であるので省略する。突起部４１７の突き出し量は、ダイシング精度と隔壁基板４１１，４１２のタイリング精度により規定される。たとえば、ダイシング精度が±５μｍであり、タイリング精度が±５μｍであれば、突き出し量は２５μｍ程度が適用できる。隔壁基板４１１，４１２のタイリング後のプロセスは、前述の実施形態と同じであるので省略する。
【００２６】
図１４は、第４の実施形態の変形形態を示す平面模式図である。図１４においても、説明の便宜上、粘着材３００と、粘着材４２０と、基台４３０と、蛍光体４４０とを省略してある。また、図１４において、一点鎖線は、撮像基板２３０の輪郭を示す。図１４に示す変形形態では、隔壁基板４１１には、隣り合う隔壁基板４１２に対向する端部（たとえば四辺のうちの三辺）に突起部４１７が形成される。一方、隔壁基板４１２には、隣り合う隔壁基板４１１に対向する端部に突起部４１７が形成されない。突起部４１７の長さは区画のピッチよりも短く、タイリングにおいて隔壁基板４１，４１２どうしが干渉しない。そして、突起部４１７が形成される隔壁基板４１１と、突起部が形成されない隔壁基板４１２とが、交互に並べて配置される。このような構成によっても、隣り合う隔壁基板４１１，４１２どうしの境界に位置する行と列に隔壁部材としての突起部４１７が設けられるため、これらの行と列における鮮鋭度の劣化を抑制できる。
【００２７】
（第５の実施形態）
図１５を参照して、第５の実施形態に係る放射線撮像装置１００の構成例を説明する。第５の実施形態では、隔壁基板４１３，４１４の配置方法について説明している。放射線撮像装置では、有効画素領域の中心部分を診断に用いることが多い。このため、特にこの中心部分の鮮鋭度が高いことが望ましい。第５の実施形態においては、有効画素領域の中心部分およびその付近の鮮鋭度劣化を抑制する形態である。すなわち、図１５に示すように、中心部分に大判の隔壁基板４１３が配置され、その周辺に大判の隔壁基板４１３よりもサイズが小さい小判の隔壁基板４１４が並べられる。図１５においては、有効画素領域を４０ｃｍ×４０ｃｍとし、その中心部分に２０ｃｍ×２０ｃｍの大判の隔壁基板４１３が配置される。さらに周辺部分は、２ｃｍ×２０ｃｍの小判の隔壁基板４１４を３０枚配置される。なお、隔壁基板４１３，４１４の寸法はこの限りではなく、異なる寸法を持つ大判の隔壁基板４１３と小判の隔壁基板４１４を用いてもよい。
【００２８】
このような構成であれば、有効画素領域の中心付近に隔壁基板４１３，４１４の繋ぎ目がなくなる。隔壁基板４１３，４１４の繋ぎ目においては鮮鋭度の劣化が生じやすい。そこで、有効画素領域の中心部分において繋ぎ目をなくすことで、診断時に重要な中心部分の鮮鋭度の劣化を抑制できる。図１５においては、撮像基板２３０を省略してあるが、複数枚の撮像基板２３０で１つの撮像面が形成される構成であってもよく、一枚の撮像基板２３０で１つの撮像面が形成される構成であってもよい。
【００２９】
（第７の実施形態）
本発明の第７の実施形態は、前述の放射線撮像装置１００が適用されたＸ線診断システム（放射線撮像システム）への応用形態である。図１６は、放射線用の検出装置のＸ線診断システム（放射線撮像システム１）の実施形態の例を示す模式図である。
【００３０】
放射線撮像システム１において、Ｘ線チューブ６２０（放射線源）で発生した放射線としてのＸ線６２１は、被検者または患者６１０の胸部６１１を透過し、本発明の実施形態に係る放射線撮像装置１００に入射する。入射したＸ線には、患者６１０の体内部の情報が含まれている。放射線撮像装置１００においては、Ｘ線の入射に対応して蛍光体４４０は発光し、光電変換素子２３２がこれを光電変換する。これにより体内部の情報を含む電気的信号が得られる。放射線撮像装置１００は、この電気的信号をデジタル信号に変換して、信号処理手段となるイメージプロセッサ６３０に送信する。イメージプロセッサ６３０は、この電気的信号に画像処理を施し、制御室の表示手段となるディスプレイ６４１に送信する。これにより、検者は、ディスプレイ６４１を用いて電気的信号の内容を観察できる。なお、放射線撮像システム１は、検出装置と、検出装置からの信号を処理する信号処理手段とを少なくとも有する。本実施形態では、放射線撮像装置１００が検出装置の例として機能し、イメージプロセッサ６３０が信号処理手段の例として機能する。
【００３１】
また、このイメージプロセッサ６３０は、この電気的信号を電話回線６５０等の伝送処理手段を介して遠隔地へ転送できる。Ｘ線ルームとは別の場所のドクタールームなどの表示手段であるディスプレイ６４２は、転送された電気的信号の内容を表示することができる。また、光ディスク等の記録手段は、転送された電気的信号を保存できる。これにより、遠隔地の医師が診断することも可能である。また記録手段となるフィルムプロセッサ６６０は、転送された電気的信号を記録媒体となるフィルム６６１に記録することもできる。
【００３２】
以上、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明したが、前記実施形態は、本発明の実施にあたっての具体例を示したに過ぎない。本発明の技術的範囲は、前記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００３３】
１００：放射線撮像装置、２００：撮像パネル、２１０：基台、２２０：粘着材、２３０：撮像基板、２３１：画素、２３２：光電変換素子、３００：粘着材、４００：隔壁パネル、４１１，４１２，４１３，４１４：隔壁基板、４２０：粘着材、４３０：基台、４４０：蛍光体、５００：放射線、６１０：患者または被検者、６１１：患者または被検者の胸部、６２０：Ｘ線チューブ、６２１：Ｘ線、６３０：イメージプロセッサ（信号処理手段）、６４１，６４２：ディスプレイ（表示手段）、６５０：電話回線（伝送処理手段）、６６０：フィルムプロセッサ（記録手段）、６６１：フィルム（記録媒体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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