(57)【要約】【課題】機械的強度が高いガラス基板片を得ることができ、また、当該ガラス基板片の製造段階において、ガラス基板片から保護フィルムを容易に剥離することができるガラス基板の個片化方法を提供すること。【解決手段】ガラス基板の個片化方法において、ガラス基板１０の両面に、耐エッチング性を有する保護フィルム２０を、粘着剤１５を介して貼着し、ガラス基板１０にエッチング処理を施して、当該ガラス基板１０をガラス基板片３０に個片化してなる保護フィルム付きガラス基板片６０を形成し、保護フィルム付きガラス基板片６０におけるガラス基板片３０の端面を樹脂５０で補強して、保護フィルム付き補強ガラス基板片７０を形成し、保護フィルム付き補強ガラス基板片７０における粘着剤１５の少なくとも一部分を溶剤に接触させ、保護フィルム付き補強ガラス基板片７０から保護フィルム２０を剥離して、補強ガラス基板片１００を形成し、粘着剤を、上記の溶剤により粘着性が低下する材料から構成することで上記課題を解決する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の個片化方法であって、
ガラス基板の両面に、耐エッチング性を有する保護フィルムを、粘着剤を介して貼着する貼着工程と、
前記ガラス基板にエッチング処理を施して、当該ガラス基板をガラス基板片に個片化してなる保護フィルム付きガラス基板片を形成するエッチング工程と、
前記保護フィルム付きガラス基板片における前記ガラス基板片の端面を樹脂で補強して、保護フィルム付き補強ガラス基板片を形成する補強工程と、
前記保護フィルム付き補強ガラス基板片における前記粘着剤の少なくとも一部分を溶剤に接触させる接触工程と、
前記接触工程後に、前記保護フィルム付き補強ガラス基板片から前記保護フィルムを剥離して、補強ガラス基板片を形成する剥離工程と、
を含み、
前記粘着剤は、前記接触工程で用いられる前記溶剤により粘着性が低下する材料から構成されることを特徴とするガラス基板の個片化方法。
【請求項２】
前記補強工程では、当該工程で形成される前記保護フィルム付き補強ガラス基板片における前記保護フィルムの端面と、当該保護フィルム付き補強ガラス基板片における前記樹脂による補強部分の端面とが連続するように、前記保護フィルム付きガラス基板片の前記ガラス基板片に対し前記樹脂による補強が行われることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の個片化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の個片化方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話等の液晶ディスプレイ、タッチパネル、或いは、これらをカバーするカバーガラスとして、大型のガラス基板を、所望の形状に切り抜いて個片化してなるガラス基板片（以下、ガラス基板片と言う）が用いられている。これらのガラス基板片は、その使用形態から、衝撃や外力によって破損することを抑制できる程度の機械的強度が求められており、ガラス基板片の機械的強度を高めるための各種の検討がなされている。例えば、特許文献１には、特定のガラス組成からなる板ガラスを所定形状に切断し、端面を面取り加工し、両面を鏡面研磨加工した後、化学強化して表面に圧縮応力層を形成したガラス基板片（特許文献１で言うカバーガラス）とその製造方法が提案されている。
【０００３】
ところで、特許文献１に提案がされている方法では、ガラス基板片の端面の表面粗さが粗く、ガラス基板片の端面にマイクロクラックが存在し、十分な機械的強度が得られないといった問題がある。かかる問題に対し、特許文献２では、板状のガラス基板をエッチングしてなるガラス基板片の端面の表面粗さを、算術平均粗さＲａが１０ｎｍ以下としたガラス基板片（特許文献２で言うカバーガラス）が提案されている。特許文献２に提案がされているガラス基板片によれば、ガラス基板片の端面のマイクロクラックをなくすことができ、高い機械的強度を満足することができるとされている。
【０００４】
しかしながら、ガラス基板のエッチングにおいては、エッチングが等方的に進行することから、ガラス基板片の表裏面、及び端面とで構成されるエッジ部はシャープな形状、換言すれば鋭利な形状となり（図２のガラス基板片３０の端面参照）、ガラス基板片の端面に応力が加わったときに、このエッジ部に応力が集中し機械的強度が低くなる。つまり、マイクロクラックをなくす、或いは減らした場合であっても、ガラス基板片の機械的強度を十分に満足させるまでには至っていない。
【０００５】
また、ガラス基板に対するエッチングを、粘着剤層を介して耐エッチング性を有する保護フィルム等をガラス基板の表裏面に貼着した状態で行った場合には、エッチング処理後に、ガラス基板片から保護フィルムを剥離する必要がある。ところで、エッチング処理後のガラス基板片の端面と保護フィルムの端面とが略連続する端面、すなわち略面一となっている場合には、ガラス基板片から保護フィルムを剥離することが困難であり、通常は、ガラス基板片と粘着剤層との間に、カッター等を挿入して、剥離きっかけを形成し、当該剥離きっかけを起点として、ガラス基板片から保護フィルムを物理的に剥離する方法がとられている。しかしながら、カッター等を用いて剥離きっかけを形成する上記方法では、剥離きっかけの形成時に、ガラス基板片を傷つけてしまう問題があり、ガラス基板片を傷つけることなく、当該ガラス基板片から保護フィルムを剥離する方法が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−９９５５７号公報
【特許文献２】特開２００９−１６７０８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、機械的強度が高いガラス基板片を得ることができ、また、当該ガラス基板片の製造段階において、ガラス基板片から保護フィルムを容易に剥離することができるガラス基板の個片化方法を提供することを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明は、ガラス基板の個片化方法であって、ガラス基板の両面に、耐エッチング性を有する保護フィルムを、粘着剤を介して貼着する貼着工程と、前記ガラス基板にエッチング処理を施して、当該ガラス基板をガラス基板片に個片化してなる保護フィルム付きガラス基板片を形成するエッチング工程と、前記保護フィルム付きガラス基板片における前記ガラス基板片の端面を樹脂で補強して、保護フィルム付き補強ガラス基板片を形成する補強工程と、前記保護フィルム付き補強ガラス基板片における前記粘着剤の少なくとも一部分を溶剤に接触させる接触工程と、前記接触工程後に、前記保護フィルム付き補強ガラス基板片から前記保護フィルムを剥離して、補強ガラス基板片を形成する剥離工程とを含み、前記粘着剤は、前記接触工程で用いられる前記溶剤により粘着性が低下する材料から構成されることを特徴とする。
【０００９】
また、前記補強工程では、当該工程で形成される前記保護フィルム付き補強ガラス基板片における前記保護フィルムの端面と、当該保護フィルム付き補強ガラス基板片における前記樹脂による補強部分の端面とが連続するように、前記保護フィルム付きガラス基板片の前記ガラス基板片に対し前記樹脂による補強が行われることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のガラス基板の個片化方法によれば、機械的強度が高いガラス基板片を得ることができ、また、当該ガラス基板片の製造段階において、ガラス基板片から保護フィルムを容易に剥離することができる。また、一実施形態の個片化方法によれば、最終的に得られるガラス基板片の寸法精度を良好なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（ａ）は貼着工程の一例を示す正面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ概略断面図である。
【図２】エッチング工程において形成された保護フィルム付きガラス基板片の一例を示す概略断面図である。
【図３】補強工程において形成された保護フィルム付き補強ガラス基板片の一例を示す概略断面図である。
【図４】接触工程により溶剤に接触させる箇所の一例を示す保護フィルム付き補強ガラス基板片の概略断面図である。
【図５】剥離工程により得られた補強ガラス基板片の一例を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＜＜ガラス基板の個片化方法＞＞
以下、本発明の一実施形態のガラス基板の個片化方法について図１〜図５を用いて説明する。各図では、説明の便宜上、各構成の厚みや、保護フィルム付きガラス基板片の端面形状を誇張して示している。
【００１３】
一実施形態のガラス基板の個片化方法は、図１に示すように、ガラス基板１０の両面に、耐エッチング性を有する保護フィルム２０を、粘着剤１５を介して貼着する貼着工程と、図２に示すように、ガラス基板１０にエッチング処理を施して、当該ガラス基板をガラス基板片３０に個片化してなる保護フィルム付きガラス基板片６０を形成するエッチング工程と、図３に示すように、保護フィルム付きガラス基板片６０におけるガラス基板片３０の端面を樹脂５０で補強して、保護フィルム付き補強ガラス基板片７０を形成する補強工程と、図４に示すように、保護フィルム付き補強ガラス基板片７０における粘着剤１５の少なくとも一部分を溶剤に接触させる接触工程と、図５に示すように、上記接触工程後に、保護フィルム付き補強ガラス基板片７０から保護フィルム２０を剥離して、補強ガラス基板片１００を形成する剥離工程とを含み、ガラス基板１０と保護フィルム２０とを貼着するために用いられる粘着剤１５が、接触工程で用いられる溶剤により粘着性が低下する材料からなることを特徴としている。以下、各工程について具体的に説明する。
【００１４】
＜貼着工程＞
貼着工程は、図１（ｂ）に示すように、ガラス基板１０の両面に、耐エッチング性を有する保護フィルム２０を、粘着剤１５を介して貼着する工程である。ガラス基板１０の一方の面（図示する形態ではガラス基板の上面）に貼着されている保護フィルム２０は、当該ガラス基板１０の他方の面（図示する形態ではガラス基板１０の下面）に貼着されている保護フィルム２０と、当該ガラス基板１０の厚み方向において重なる位置に配置され、上下一対の構成をとる。なお、図１（ａ）では、ガラス基板１０の一方の面に、複数の保護フィルム２０が貼着されているが、ガラス基板１０の一方の面に、１つの保護フィルム２０のみが貼着されていてもよい。
【００１５】
（ガラス基板）
ガラス基板１０の材料について特に限定はなく、シリカガラス、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ボロシリケートガラスなど従来公知のガラス材料を用いることができる。ガラス基板１０の厚みについて特に限定はないが、通常、３００μｍ〜１１００μｍ程度である。
【００１６】
また、ガラス基板１０として、両面に圧縮応力層（図示しない）を有する強化ガラス基板を用いることもできる。ガラス基板１０として強化ガラス基板を用いることで、最終的に得られる補強ガラス基板片１００の機械的耐久性の更なる向上を図ることができる。
【００１７】
圧縮応力層としては、イオン交換処理によって得られる圧縮応力層や、風冷強化法によって得られる圧縮応力層を挙げることができる。イオン交換処理とは、ガラス基板１０中に存在するアルカリイオンを他のアルカリイオンに入れ替える方法である。具体的には、ガラス転移温度以下の溶融塩に、ガラス基板１０を浸漬させ、ガラス基板１０の内部のアルカリイオンを、よりイオン半径の大きいアルカリイオンと交換し、イオン半径の違いにより圧縮応力をガラス基板１０の表面に発生させる方法である。風冷強化法とは、ガラス基板１０の表面を軟化点付近まで加熱した後に、エアブローなどで急冷し、ガラス表面と内部の収縮スピードに差を持たせることで圧縮応力層を形成する方法である。
【００１８】
圧縮応力層の厚みについて特に限定はないが、５μｍ以上であることが好ましく、１５μｍ以上であることが特に好ましい。
【００１９】
（保護フィルム）
上記ガラス基板に貼着される保護フィルム２０は、後述するエッチング工程で用いられるエッチング材に対する耐性を有する材料からなり、エッチング処理時において耐エッチングマスクとして機能する。保護フィルム２０の材料について特に限定はなく、エッチング材との関係において適宜設定することができる。
【００２０】
例えば、ガラス基板１０のエッチング材として、フッ酸を主成分とする酸性溶液を用いる場合には、保護フィルム２０として、当該フッ酸を主成分とする酸性溶液に対する耐性を有する材料、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリ（メタ）アクリレート、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等を用いればよい。
【００２１】
保護フィルム２０の厚みについて特に限定はないが、５０μｍ〜２００μｍ程度が好ましい。
【００２２】
図１（ａ）では、平面形状が略矩形状の保護フィルム２０をガラス基板１０上に貼着しているが、保護フィルム２０の平面形状についていかなる限定もされることはない。例えば、平面形状が、楕円形状、円形状、輪郭の一部が負の曲率を含む形状、或いはこれ以外の平面形状を呈する保護フィルム２０を用いることもできる。
【００２３】
なお、保護フィルム２０の平面形状は、本発明のガラス基板の個片化方法において最終的に得られる補強ガラス基板片１００に要求される平面形状と略同一形状となっていることが好ましい。例えば、補強ガラス基板片１００を、液晶ディスプレイ、タッチパネル、或いは、これらをカバーするカバーガラスとして用いる場合には、保護フィルム２０の平面形状は、液晶ディスプレイ、タッチパネル、或いは、これらをカバーするカバーガラスの平面形状と略同一形状のものを用いることが好ましい。
【００２４】
（粘着剤）
図１に示すように、ガラス基板１０と保護フィルム２０とは、粘着剤１５を介して貼着されている。粘着剤１５は、粘着性を有する材料から構成され、ガラス基板１０と保護フィルム２０とが厚み方向において重なる位置に設けられている。
【００２５】
粘着剤１５は、粘着性とともに、耐エッチング性を有していることが好ましい。耐エッチング性を有する粘着剤１５を用いて、ガラス基板１０と保護フィルム２０とを貼着することで、エッチング処理時において、エッチング材が、ガラス基板１０と保護フィルム２０との隙間に侵入し、保護フィルム２０と重なるガラス基板１０の表面がエッチング材によって浸食されることを抑制することができる。
【００２６】
また、本発明の一実施形態のガラス基板の個片化方法では、ガラス基板１０と保護フィルム２０とを貼着するための粘着剤１５として、粘着性を有し、且つ後述する剥離工程において用いられる溶剤によって粘着性が低下する粘着剤１５が用いられる点を特徴としている。この特徴を有する粘着剤１５によれば、当該粘着剤１５を溶剤に接触させることで、後述する保護フィルム付き補強ガラス基板片７０において、補強ガラス基板片１００と保護フィルム２０との間に「剥離きっかけ」をつくることができ、当該「剥離きっかけ」を利用して、保護フィルム付き補強ガラス基板片７０から保護フィルム２０を容易に剥離することが可能となる。
【００２７】
上記特徴を有する粘着剤１５は、用いられる溶剤との関係において適宜設定することができ特に限定はない。例えば、後述する剥離工程において、粘着剤１５と接触させる溶剤として、トルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、アセトン等を用いる場合には、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、エポキシ系樹脂、酸変性ポリオレフィン系樹脂、エチレンと酢酸ビニル或いはアクリル酸などとの共重合体、（メタ）アクリル系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリブタジエン系樹脂、ゴム系化合物等の材料から構成される粘着剤１５を用いればよい。
【００２８】
また、ガラス基板１０との粘着剤１５との粘着性は、保護フィルム２０と粘着剤１５との粘着性よりも低いことが好ましい。このような粘着性の関係となる粘着剤１５を用いることで、保護フィルム２０を剥離する際に、ガラス基板側（図５の補強ガラス基板片１００）に粘着剤が残存することを抑制することができる。ガラス基板１０と粘着剤１５、及び保護フィルム２０と粘着剤１５との粘着性を調整する方法としては、粘着剤１５との粘着性が、ガラス基板１０よりも高い保護フィルム２０を用いる、或いは、所定の表面処理が施された保護フィルム２０を用いる方法等を挙げることができる。
【００２９】
粘着剤の厚みについて特に限定はないが、５０μｍ〜３００μｍ程度であることが好ましい。
【００３０】
ガラス基板１０への保護フィルム２０の貼着方法についても限定はなく、ガラス基板１０上に粘着剤１５を塗工した後に、当該粘着剤１５上に保護フィルムを貼着してもよく、予め、粘着剤１５が塗工された保護フィルム２０を、ガラス基板１０上に貼着してもよい。また、エッチング材に対する耐性を考慮すると、粘着剤１５は、ガラス基板１０と保護フィルム２０とが厚み方向で重なる略全面に位置していることが好ましい。
【００３１】
＜エッチング工程＞
エッチング工程は、図２に示すように、ガラス基板１０にエッチング処理を施して、当該ガラス基板１０をガラス基板片３０に個片化してなる保護フィルム付きガラス基板片６０を形成する工程である。なお、図２は、保護フィルム付きガラス基板片６０の一例を示す概略断面図である。
【００３２】
（エッチング処理）
ガラス基板１０のエッチング処理法について特に限定はなく、湿式エッチング法、乾式エッチング法のいずれの方法も用いることができる。湿式エッチング法や乾式エッチング法に用いられるエッチング材は、ガラス基板１０を溶解浸食・食刻することができるものであればよい。湿式エッチング法に用いられるエッチング材としては、フッ酸を主成分とする酸性溶液等を挙げることができるが、これ以外のエッチング材を用いてもよい。乾式エッチング法に用いられるエッチング材としては、フッ素系ガス等を挙げることができる。湿式エッチング法としては、ガラス基板１０上にエッチング材を噴射ノズルから所定の噴霧圧力で噴霧するスプレーエッチング法、エッチング材が充填されたエッチング液中にガラス基板を浸漬させる浸漬エッチング法、ガラス基板１０上にエッチング材を滴下した後にガラス基板を回転させるスピンエッチング法等を挙げることができる。
【００３３】
＜補強工程＞
補強工程は、図３に示すように、保護フィルム付きガラス基板片６０におけるガラス基板片３０の端面を樹脂５０で補強して、保護フィルム付き補強ガラス基板片７０を形成する工程である。以下、本工程における優位性について説明する。
【００３４】
上記エッチング工程では、フッ酸を主成分とする酸性溶液等を用いたエッチング処理を施すことで、ガラス基板１０を個片化してなる保護フィルム付きガラス基板片７０が形成される。図２に示すように、ガラス基板１０に対するエッチングは等方的に進行することから、ガラス基板片３０の表裏面、及び端面とで構成されるエッジ部はシャープな形状となり、ガラス基板片３０に応力が加わったときに、エッジ部に応力が集中し機械的強度が低くなる問題が生ずることとなる。
【００３５】
本工程では、保護フィルム付きガラス基板片６０におけるガラス基板片３０の端面を樹脂５０で補強する処理が行われることから、最終的に得られる補強ガラス基板片１００の端面に応力が加わった場合であっても、当該応力が所定の箇所に集中することを抑制することができ、補強ガラス基板片１００の機械的強度を高めることができる。
【００３６】
樹脂５０による補強は、ガラス基板片３０の端面が有するエッジ部を覆うようにして、換言すれば、エッジ部が樹脂５０から突出しない程度に補強されていればよいが、図３に示すように、保護フィルム付き補強ガラス基板片７０における保護フィルム２０の端面と、当該保護フィルム付き補強ガラス基板片７０における樹脂５０による補強部分の端面とが連続するように、換言すれば、面一となるようにガラス基板片３０の端面に対し、樹脂５０による補強がされていることが好ましい。この形態によれば、保護フィルム付き補強ガラス基板片７０における補強ガラス基板片１００の平面形状を、保護フィルム２０の平面形状と略同一形状とすることができ、予め、保護フィルム２０の平面形状の寸法を精度よく形成しておくことで、最終的に得られる補強ガラス基板片１００の平面形状の寸法精度を良好なものとすることができる。
【００３７】
ガラス基板片３０の補強に用いられる樹脂５０についていかなる限定もされることはなく、従来公知の熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂等を適宜選択して用いることができる。熱可塑性樹脂としては、例えば、不飽和ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂等を挙げることができる。光硬化性樹脂としては、例えば、ポリエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエーテル（メタ）アクリレート、ポリオール（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、トリアジン系アクリレート、エポキシ変性（メタ）アクリレート、ウレタン変性（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル変性ポリエステル等の不飽和エチレン系オリゴマーや不飽和エチレン系モノマーとを適宜混合したものに重合開始剤や増感剤を添加した組成物等を挙げることができる。なお、本明細書において「（メタ）アクリル」とは「アクリル及び／又はメタクリル」を意味し、「（メタ）アクリレート」とは「アクリレート及び／又はメタクリレート」を意味する。また、意匠性を考慮すると、透明性、或いは半透明性を有する樹脂５０を用いて補強を行うことが好ましい。
【００３８】
樹脂５０による補強方法についても特に限定はなく、上記で例示した樹脂材料を適当な溶媒に溶解、或いは分散した塗工液を調製し、これをガラス基板片３０の端面に塗工・乾燥する方法などを挙げることができる。また、これ以外にも、各種の押出し法等を用いて、ガラス基板片３０の端面を補強することもできる。
【００３９】
＜接触工程＞
接触工程は、図４に示すように、上記保護フィルム付き補強ガラス基板片７０における粘着剤１５の少なくとも一部分を溶剤に接触させる工程である。図４は、粘着剤１５と溶剤との接触箇所（図中の符号Ｘ参照）の一例を示す保護フィルム付き補強ガラス基板片７０の概略断面図である。なお、粘着剤１５と溶剤との接触箇所は、図示する箇所（図中の符号Ｘ）に限定されるものではなく、粘着剤１５の少なくとも一部分と接触しているとの条件を満たせば、その接触箇所についていかなる限定もされることはない。
【００４０】
粘着剤１５と溶剤との接触方法についても限定はなく、溶剤中に保護フィルム付き補強ガラス基板片７０を浸漬させて接触させてもよく、粘着剤１５の一部分のみが溶剤と接触するように、接触を所望する箇所に対して溶剤を滴下する、溶剤を含む部材に保護フィルム付き補強ガラス基板片７０の端面を押し当てる等の方法を用いることもできる。また、これ以外の方法を用いて、粘着剤１５の少なくとも一部分を溶剤と接触させることもできる。
【００４１】
本工程で用いられる溶剤について限定はなく、粘着剤１５の材料に応じて適宜設定することができる。具体的には、粘着剤の粘着性を低下させることができるあらゆる溶剤を使用することができる。上記で説明したように、粘着剤１５は、本工程で用いられる溶剤によって粘着性が低下する材料からなることから、粘着剤１５の少なくとも一部分を溶剤と接触させることで、当該溶剤と接触した粘着剤１５の粘着性は低下し、この粘着剤の粘着性が低下した箇所を、保護フィルム付きガラス基板片７０から保護フィルム２０を剥離するときの「剥離きっかけ」とすることができる。つまり、溶剤を用いて、「剥離きっかけ」を形成することができる。
【００４２】
＜剥離工程＞
剥離工程は、上記接触工程後に、保護フィルム付き補強ガラス基板片７０から保護フィルム２０を剥離して、補強ガラス基板片１００を形成する工程である。上記で説明したように、接触工程において、補強ガラス基板片１００と保護フィルム２０との間に「剥離きっかけ」が形成されていることから、本工程では、保護フィルム付き補強ガラス基板片７０から保護フィルム２０を容易に剥離することができる。特に、本発明のガラス基板の個片化方法は、物理的な手段を用いなければ「剥離きっかけ」が形成できなかった、保護フィルムの端面とガラス基板片の端面が面一となっている場合に特に好適である。
【００４３】
以上、本発明の一実施形態のガラス基板の個片化方法について説明を行ったが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、各種の変更を加えてもよい。例えば、タッチパネルセンサーとしての役割を付与する透明導電膜が設けられたガラス基板１０を用いることもできる。
【符号の説明】
【００４４】
１０・・・ガラス基板
１５・・・粘着剤
２０・・・保護フィルム
５０・・・樹脂
３０・・・ガラス基板片
６０・・・保護フィルム付きガラス基板片
７０・・・保護フィルム付き補強ガラス基板片
１００・・・補強ガラス基板片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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