(57)【要約】      （修正有）【課題】流量計の測定結果の精度が低下することを抑止すること。【解決手段】第１の流路Ｑ１は液状材料をタンクＴからヘッドＨへ供給させる。第２の流路Ｑ２は、液状材料をタンクへ循環させる。第１及び第２のバルブＶ１、Ｖ２は第１及び第２の流路内の液状材料の流れを制御する。第１の圧力計Ｍ１は第１のバルブよりも下流側の第１の流路の圧力を測定する。第２の圧力計Ｍ２は第２のバルブよりも下流側の第２の流路の圧力を測定する。流量計ＦＭは第１および第２の流路との分岐点よりも上流側の第１の流路の流量を測定する。制御装置１１０はヘッドから吐出される液体材料の吐出量を制御する。制御装置１１０は、第１の圧力計の測定値と第２の圧力計の測定値との比率と、流量計の測定値とに基づいて、ヘッドから吐出される液状材料の吐出量を算出する吐出量算出部を有する。【選択図】図１
2015066471.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状材料を貯蔵するタンクと、
前記タンクから流出する液状材料を吐出するヘッドと、
前記液状材料を前記タンクから前記ヘッドへ供給させる第１の流路と、
前記第１の流路上に設けられ、前記第１の流路内の前記液状材料の流れを制御する第１のバルブと、
前記第１の流路のうち、前記第１のバルブよりも上流側で、前記第１の流路と分岐して、前記液状材料を前記タンクへ循環させる第２の流路と、
前記第２の流路に設けられ、前記第２の流路内の前記液状材料の流れを制御する第２のバルブと、
前記第１のバルブよりも下流側の前記第１の流路の圧力を測定する第１の圧力計と、
前記第２のバルブよりも下流側の前記第２の流路の圧力を測定する第２の圧力計と、
前記第１の流路と前記第２の流路との分岐点よりも上流側の前記第１の流路の流量を測定する流量計と、
前記ヘッドから吐出される前記液体材料の吐出量を制御する制御装置とを備え、
前記制御装置は、前記第１の圧力計の測定値と前記第２の圧力計の測定値との比率と、前記流量計の測定値とに基づいて、前記ヘッドから吐出されている液状材料の吐出量を算出する吐出量算出部を有する送液装置。
【請求項２】
前記タンクに貯蔵されている前記液状材料を、前記第１の流路へ流出させるポンプを備え、
前記制御装置は、前記吐出量算出部により算出された前記液状材料の吐出量の変化が一定になるように、前記ポンプの吐出量を制御する請求項１に記載の送液装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、送液装置に関し、特に、液状物を基材に間欠的に送液する送液装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品の中には、液状材料がシート状の基材に送液されているものがあることが、知られている。このような電子部品の小型化に伴って、その製造工程では、液状材料を基材に送液するにあたり、より薄く、より精確な厚さで、より均一に、液状材料を送液することが、要求される。また、生産性向上の観点では、一度に大量の液状材料を送液することが求められている。このため、液状材料を基材全体に均一に送液する生産技術も必要となる。
【０００３】
このような生産技術の１つとして、例えば、実際に送液されている液状材料の送液量を常時測定し、一定間隔で液状材料を送液するポンプ等の駆動源に液状材料の送液量の測定値をフィードバックさせる技術が知られている。これにより、長時間に亘り安定した送液量を維持することができる。
【０００４】
図１０は、本発明に関連する送液装置９００の構成の一例を示す。また、図１１は、送液装置９００が送液する液状材料の流量と、経過時間との関係を示す図である。
【０００５】
図１０に示されるように、送液装置９００では、第１のバルブＶ１または第２のバルブＶ２に交互に切り替えながら、ポンプＰの動力によって液状材料をヘッドＨへ送液している。これにより、液状材料が間欠的にヘッドＨへ送液される（液状材料の間欠動作）。また、送液装置９００では、液状材料を間欠的にヘッドＨへ送液することで、ローラーＲ上を移動する基材Ｂ上に間欠的に液状材料を送液している（間欠送液）。
【０００６】
この場合、ヘッドＨから送液される液状材料を正確に計測するためには、図１０に示されるように、流量計ＦＭを第１のバルブＶ１とヘッドＨの間に配置する必要がある。
【０００７】
しかしながら、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２の切り替わりによって、第１のバルブＶ１とヘッドＨの間の圧力の変動が大きくなる。このため、図１１に示されるように、流量計ＲＭの指示値は、液状材料を送液している間であっても、安定した値にならない。したがって、送液装置９００では、液状材料の流量を正確に計測することができず、安定した送液を実現できない。
【０００８】
これに対して、送液装置９００の他に、例えば、送液時の送液弁側の圧力波形が送液毎に同じになるように制御し、液状材料（流体材料）の送液量を一定にする技術が知られている。例えば、特許文献１では、送液時に事前に登録された圧力波形になるように、定容量ポンプにより液体材料を送液器吐出口へ供給し、定容量ポンプから送液器に至る経路中の圧力を制御することが、提案されている。
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、送液する液状材料の粘度が変化した場合、液状材料の送液量を一定に保つことが出来ない。この要因は、液状材料の粘度が変化すると、液状材料の流れ方が変化して、同じ圧力で液状材料を供給しても液状材料の送液量が変化してしまうことによる。
【００１０】
また、特許文献２では、送液時の液状材料の圧力値に加えて、送液時の液状材料の流量値を用いて、液状材料の送液量を制御する技術が、流体分配システムとして、提案されている。特許文献２に記載の技術では、流量計から得られた実際の液状材料の流量を用いて、圧力を制御している。これにより、特許文献２に記載の技術では、液状材料の粘度に依存しないで、一定の送液量を得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特許４７４２５１１号公報
【特許文献２】特開２００７−５０３９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上述の特許文献２に記載の技術は、液状材料を基材に送液している時の平均圧力値および平均流量値を用いて、目標流量に対応する圧力を生じさせるための理論流量を算出している。
【００１３】
しかしながら、シート状の基材を移動させながら、液状材料を基材に間欠的に送液する場合に、圧力変動は、送液量に対する送液時間が短いと大きくなる。このため、特許文献２に記載の技術では、流量を精確に測定することができない場合が多いという問題があった。この結果、安定した送液装置を実現することができないという問題も生じうる。
【００１４】
本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、流量計の測定結果の精度が低下することを抑止することができる送液装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の送液装置は、液状材料を貯蔵するタンクと、前記タンクから流出する液状材料を吐出するヘッドと、前記液状材料を前記タンクから前記ヘッドへ供給させる第１の流路と、前記第１の流路上に設けられ、前記第１の流路内の前記液状材料の流れを制御する第１のバルブと、前記第１の流路のうち、前記第１のバルブよりも上流側で、前記第１の流路と分岐して、前記液状材料を前記タンクへ循環させる第２の流路と、前記第２の流路に設けられ、前記第２の流路内の前記液状材料の流れを制御する第２のバルブと、前記第１のバルブよりも下流側の前記第１の流路の圧力を測定する第１の圧力計と、前記第２のバルブよりも下流側の前記第２の流路の圧力を測定する第２の圧力計と、前記第１の流路と前記第２の流路との分岐点よりも上流側の前記第１の流路の流量を測定する流量計と、前記ヘッドから吐出される前記液体材料の吐出量を制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記第１の圧力計の測定値と、前記第２の圧力計の測定値と、前記流量計の測定値とに基づいて、前記ヘッドから吐出される前記液状材料の吐出量を算出する吐出量算出部を有する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明にかかる送液装置によれば、流量計の測定結果の精度が低下することを抑止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態における送液装置の構成の一例を示す図である。
【図２】制御装置のブロック構成の一例を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態における送液装置の送液動作フローを示す図である。
【図４】本発明の実施の形態における送液装置の第１のバルブおよび第２のバルブの開閉時の圧力変化を説明するための図である。
【図５】本発明の実施の形態における送液装置のヘッドから吐き出される液状材料の吐出量を算出する動作フローを示す図である。
【図６】本発明の実施の形態における送液装置による送液中の流量計ＦＭで測定される流量を表す図である。
【図７】本発明の実施の形態における送液装置の第２のバルブの開閉が異常状態になった場合等により、第２の流路に液状材料が送液された場合の第２の流路の圧力値の変化を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態における送液装置のヘッドから吐き出される液状材料の吐出量を安定させる動作フローを示す図である。
【図９】本発明の実施の形態における送液装置の制御装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
【図１０】本発明に関連する送液装置の構成の一例を示す図である。
【図１１】本発明に関連する送液装置が送液する液状材料の流量と、経過時間との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の第１の実施の形態における送液装置１００の構成について、図に基づいて説明する。図１は、送液装置１００の構成の一例を示す図である。
【００１９】
図１に示されるように、送液装置１００は、タンクＴと、ヘッドＨと、第１の流路Ｑ１と、第２の流路Ｑ２と、第１のバルブＶ１と、第２のバルブＶ２と、第１の圧力計Ｍ１と、第２の圧力計Ｍ２と、流量計ＦＭと、ポンプＰと、ローラーＲと、制御装置１１０とを備えている。また、送液装置１０００は、液状材料を基材Ｂへ間欠的に送液する装置である。
【００２０】
図１に示されるように、タンクＴおよびヘッドＨの間は、ポンプＰと、流量計ＦＭと、第１のバルブＶ１と、複数の配管（矢印ａ１、ａ２、ａ３、ａ４、ａ５、ａ６に沿った配管）とによって、接続されている。また、タンクＴおよびヘッドＨの間は、第１の圧力計Ｍ１と、複数の配管（矢印ａ６、ｃ１、ｃ２、ｃ３、ｂ４に沿った配管）とによって、接続されている。また、タンクＴ、ポンプＰ、流量計ＦＭ、第２のバルブＶ２、第２の圧力計Ｍ２および複数の配管（矢印ａ１、ａ２、ａ３、ｂ１、ｂ２、ｂ３、ｂ４に沿った配管）は、循環路を形成する。
【００２１】
なお、図１では、タンクＴ側を上流側とし、ヘッドＨ側を下流側とする。
【００２２】
タンクＴは、内部に空洞を有する容器であって、液状材料を貯蔵する。ヘッドＨは、タンクＴから流出する液状材料を吐出する部品である。
【００２３】
第１の流路Ｑ１は、液状材料をタンクＴからヘッドＨへ供給させる流路である。第１の流路Ｑ１は、図１に示されるタンクＴ、ポンプＰ、流量計ＦＭ、第１の圧力計Ｖ１、ヘッドＨおよびこれらに接続する配管（矢印ａ１、ａ２、ａ３、ａ４、ａ５およびａ６が併記されている配管）により、構成される。
【００２４】
第２の流路Ｑ２は、図１に示されるように、第１の流路Ｑ１のうち、第１のバルブＶ１よりも上流側で、第１の流路Ｑ１と分岐して、液状材料をタンクＴへ循環させる流路である。第２の流路Ｑ２は、図１に示される第２のバルブＶ２、第２の圧力計Ｍ２、タンクＴおよびこれらに接続する配管（矢印ｂ１、ｂ２、ｂ３およびｂ４が併記されている配管）により、構成される。なお、図１に示されるように、第２の流路Ｑ２が第１の流路Ｑ１から分岐する点を、分岐点Ｚとする。
【００２５】
第１のバルブＶ１は、図１に示されるように、第１の流路Ｑ１上に設けられている。また、第１のバルブＶ１は、第１の流路Ｑ１内の液状材料の流れを制御する機器である。第２のバルブＶ２は、図１に示されるように、第２の流路Ｑ２に設けられている。第２のバルブＶ２は、第２の流路Ｑ２内の液状材料の流れを制御する機器である。
【００２６】
第１の圧力計Ｍ１は、第１のバルブＶ１よりも下流側の第１の流路Ｑ１の圧力を測定する装置である。第２の圧力計Ｍ２は、第２のバルブＶ２よりも下流側の第２の流路Ｑ２の圧力を測定する装置である。流量計ＦＭは、第１の流路Ｑ１と第２の流路Ｑ２との分岐点Ｚよりも上流側の第１の流路Ｑ１の流量を測定する装置である。
【００２７】
ポンプＰは、タンクＴに貯蔵されている液状材料を、第１の流路Ｑ１へ流出させる流体機械である。ローラーＲは、図１に示されるように、円筒状の回転物である。ローラーＲは、基材Ｂを矢印αの方向に回転させる。これにより、基材Ｂが順次、ヘッドＨの吐出口（不図示）の正面へ供給される。
【００２８】
制御装置１１０は、ヘッドＨから吐出される液体材料の吐出量を制御する。ここで、制御装置１１０の詳細な構成について説明する。図２は、制御装置１１０のブロック構成の一例を示す図である。
【００２９】
図２に示されるように、制御装置１１０は、データ収集部１１１と、吐出量算出部１１２と、制御部１１３とを有する。また、図２にて点線で示すように、制御装置１１０は、第１のバルブＶ１、第２のバルブＶ２、ポンプＰ、流量計ＦＭ、第１の圧力計Ｍ１、第２の圧力計Ｍ２およびローラーＲに接続されている。
【００３０】
図２に示されるように、データ収集部１１１は、吐出量算出部１１２に接続されている。また、データ収集部１１１は、第１のバルブＶ１、第２のバルブＶ２、ポンプＰ、流量計ＦＭ、第１の圧力計Ｍ１および第２の圧力計Ｍ２の各々に、接続されている。データ収集部１１１は、バルブＶ１の開閉状態を示すデータ、バルブＶ２の開閉状態を示すデータ、ポンプＰの回転数を示すデータ、流量計ＦＭの測定値を示すデータ、圧力計Ｍ１の測定値を示すデータおよび圧力計Ｍ２の測定値を示すデータを収集する。
【００３１】
図２に示されるように、吐出量算出部１１２は、データ収集部１１１および制御部１１３に接続されている。吐出量算出部１１２は、圧力計Ｍ１の測定値と、圧力計Ｍ２の測定値と、流量計ＦＭの測定値とに基づいて、ヘッドＨから吐出されている液状材料の吐出量を算出する。例えば、吐出量算出部１１２は、圧力計Ｍ１の測定値と圧力計Ｍ２の測定値との比率と、流量計ＦＭの測定値とに基づいて、ヘッドＨから吐出されている液状材料の吐出量を算出する。
【００３２】
図２に示されるように、制御部１１３は、吐出量算出部１１２に接続されている。また、制御部１１３は、ポンプＰ、第１のバルブＶ１、第２のバルブＶ２およびローラーＲの各々に、接続されている。制御部１１３は、吐出量算出部１１２が算出した吐出量の変化を一定にすべく、ポンプＰの回転数を制御する。これにより、制御部１１３は、吐出量算出部１１２により算出された液状材料の吐出量が略一定になるように、ポンプＰの吐出量（ポンプＰが第１の流路Ｑ１へ流出させる液状材料の流量）を制御する。ここで、制御部１１３は、ポンプＰの回転数を制御することで、ポンプＰの吐出量を制御している。このように、ポンプＰの回転数の制御によって、ポンプＰの吐出量を制御することは、たとえばロータリー式のポンプの場合に有効である。
また、制御部１１３は、ポンプＰの送液量の調節以外にも、第１のバルブＶ１および第２のバルブＶ２の開閉タイミングの調整や、ローラーＲによる基材Ｍの送り速度や、その他送液装置１００を駆動させるための制御を行う。
【００３３】
以上、制御装置１１０の詳細な構成について説明した。
【００３４】
次に、送液装置１００の送液動作について説明する。図３は、制御装置１１０の送液動作フローを示す図である。図３は、特に、制御部１１３の動作を中心に示している。
【００３５】
図３に示されるように、まず、制御部１１３は、ポンプＰの回転数と、ローラーＲの回転数と、第１のバルブＶ１および第２のバルブＶ２の開閉タイミングの設定を行う（ステップ：ＳＴＥＰ（以下、単にＳと称する）１０１）。
【００３６】
次に、制御部１１３は、ヘッドＨから吐出される液状材料の液量が所定の液量になるように、ポンプＰの回転数を制御して、流量計ＦＭへ向かう第１の流路Ｑ１に液状材料を送液する（Ｓ１０２）。
【００３７】
次に、制御部１１３は、液状材料が送液される基材Ｂを送るローラーＲを回転させる制御を行い、送液の準備を行う（Ｓ１０３）。
【００３８】
次に、ポンプＰから送られる液状材料は、流量計ＦＭを経由して、第１のバルブＶ１側と、第２のバルブＶ２側に分岐される。その際、制御部１１３は、ヘッドＨから液状材料が決められた間隔で間欠送液されるように、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２を、Ｓ１０１で設定されたタイミングで、交互に開閉制御を行う（Ｓ１０４）。
【００３９】
ここで、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２の開閉制御について、図４を用いて説明する。図４は、送液装置１００の第１のバルブＶ１および第２のバルブＶ２の開閉時の圧力変化を説明するための図である。
【００４０】
図４に示されるように、通常、制御部１１３は、第１のバルブＶ１が開いている時間が第２のバルブＶ２が開いている時間と比較して長くなるように、制御を行う。
【００４１】
また、図４に示されるように、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２の開閉時間のタイミングは、ヘッドＨからの間欠送液の送液部と未送液部の境目がはっきりするように調整される。そのために、同時に開の時間や閉の時間が発生する場合もある。
【００４２】
また、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２の開閉時間は、基材ＢをローラーＲで送る速度によっても変化する。
【００４３】
制御部１１３は、基材Ｂの単位面積当たりの液状物の出力量が一定になるように、ローラーＲの回転動作を制御する。また、制御部１１３は、第１のバルブＶ１および第２のバルブＶ２の開閉時間と、ポンプＰの回転数とを制御する。このような制御部１１３の制御によって、効率良く基材Ｂに液状材料を送液していく。
【００４４】
図３に戻って、予め決められた送液数までＳ１０４の処理を繰り返した後（Ｓ１０５、Ｎｏ）、予め決められた送液数に達したら液状材料を基材Ｂに塗布する処理を終了する（Ｓ１０５、Ｙｅｓ）。
【００４５】
以上、送液装置１００の送液動作について説明した。
【００４６】
次に、ヘッドＨへ流れる流量値の測定方法について説明する。
【００４７】
図５は、送液装置１００のヘッドＨから吐き出される液状材料の吐出量を算出する動作フローを示す図である。
【００４８】
図５に示されるように、まず、データ収集部１１１は、第１のバルブＶ１および第２のバルブＶ２の開閉状態と、ポンプＰの回転数等のポンプＰの出力状況と、流量計ＦＭの測定値と、第１の圧力計Ｍ１および第２の圧力計Ｍ２の測定値とを示す各データを、各変化を十分に把握できるサンプリング周波数で、データ収集する（Ｓ２０１）。
【００４９】
図６は、送液装置１００による送液中の流量計ＦＭで測定される流量を表す図である。
【００５０】
ここで、図６と図１１とを対比する。図６に示す例では、図１１に示す例に比べて、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２のいずれかが開いた状態であるために、脈動の少ない流量推移となる。
【００５１】
図５に戻って、次に、吐出量算出部１１２は、第１のバルブＶ１が開いているときの流量計ＦＭの測定値の代表値と、第１の圧力計Ｍ１の測定値の代表値と、第２の圧力計の測定値の代表値とを算出する（Ｓ２０２）。すなわち、吐出量算出部１１２は、まず、第１のバルブＶ１と第２のバルブＶ２の開閉データからバルブＶ１が開の状態を検出し、図４のタイミングのように、ヘッドＨ側に液状材料が供給されている時の流量計ＦＭの測定値を抽出する。その際、吐出量算出部１１２は、流量の変動を受けやすい切り替え直前直後のデータを、測定値として影響のない範囲内で、抽出しない。また、吐出量算出部１１２は、抽出した流量計ＦＭの測定値に対して平均値等の演算処理を行い、１回の送液中の流量の代表値として取り出す。同様に、吐出量算出部１１２は、第１の圧力計Ｍ１および第２の圧力計Ｍ２についても、送液中の測定値の抽出と平均値等の演算処理を行い、圧力の代表値として取り出す（Ｓ２０２）。
【００５２】
次に、吐出量算出部１１２は、ヘッドＨから吐出される液状材料の吐出量を算出する（Ｓ２０３）。すなわち、吐出量算出部１１２は、抽出した第１の流路Ｑ１と第２の流路Ｑ２の圧力代表値から圧力の比率を算出する。そして、吐出量算出部１１２は、次に示す（式１）に示すように、流量代表値に圧力比率の算出結果を乗ずることにより、送液中に第２の流路Ｑ２側に流れる流量を考慮しつつ、ヘッドＨから吐出される液状材料の吐出量を算出する。
【００５３】
【数１】
2015066471.tif 000003
【００５４】
次に、送液装置１００の第２のバルブＶ１の開閉が異常状態になった場合等により、第２の流路Ｑ２に液状材料が送液された場合について、説明する。図７は、送液装置１００の第２のバルブＶ２の開閉が異常状態になった場合等により、第２の流路Ｑ２に液状材料が送液された場合の第２の流路Ｑ２の圧力値の変化を示す図である。
【００５５】
図７に示されるように、送液中に第２の流路Ｑ２の圧力が上昇すると、第１の圧力計Ｍ１と第２の圧力計Ｍ２との圧力比率が、変化する。
【００５６】
次に、送液装置１００のヘッドＨから吐き出される液状材料の吐出量を安定させる動作について、説明する。図８は、送液装置１００のヘッドＨから吐き出される液状材料の吐出量を安定させる動作フローを示す図である。
【００５７】
図８に示されるように、まず、制御部１１３は、予め正常の液状材料の吐出量の目標値を設定する（Ｓ３０１）。そして、制御部１１３は、送液中に吐出量算出部１１２が算出した現在の吐出量と目標値との差から、変更すべきポンプＰの回転数を算出する（Ｓ３０２）。これにより、制御部１１３は、ポンプＰが第１の流路Ｑ１へ流出させる液状材料の流量を制御することができる。
【００５８】
次に、制御部１１３は、ポンプＰの回転数を変更する制御を行う（Ｓ３０３）。これにより、ヘッドＨから吐き出される液状材料の吐出量を目標値と等しくすることができる。そして、予め決められた送液数に達するまで、Ｓ３０３の処理を繰り返した後（Ｓ３０４、Ｎｏ）、予め決められた送液数に達したら、液状材料を基材Ｂに塗布する処理を終了する（Ｓ３０４、Ｙｅｓ）。なお、ポンプＰの制御演算は、ＰＩＤ制御等のフィードバック制御を用いる。
【００５９】
次に、制御装置１１０のハードウェア構成の一例を説明する。図９は、送液装置１００の制御装置１１０のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
【００６０】
制御装置１１０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）８０２周辺部と、入出力部と、レガシー入出力部とに分けられる。
【００６１】
図９に示されるように、制御装置１１０のＣＰＵ周辺部は、ホスト・コントローラ８０１により相互に接続されるＣＰＵ８０２、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）８０３、グラフィック・コントローラ８０４、及び表示装置８０５を有する。
【００６２】
制御装置１１０の入出力部は、入出力コントローラ８０６によりホスト・コントローラ８０１に接続される通信Ｉ／Ｆ（Ｉｎｔｅｒ Ｆａｃｅ：インターフェース）８０７、ハードディスクドライブ８０８、及びＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｋ  Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）ドライブ８０９を有する。
【００６３】
制御装置１１０のレガシー入出力部は、入出力コントローラ８０６に接続されるＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）８１０、フレキシブルディスク・ドライブ８１１、及び入出力チップ８１２を有する。
【００６４】
ホスト・コントローラ８０１は、ＲＡＭ８０３と、高い転送レートでＲＡＭ８０３をアクセスするＣＰＵ８０２、及びグラフィック・コントローラ８０４とを接続する。
【００６５】
ＣＰＵ８０２は、ＲＯＭ８１０、及びＲＡＭ８０３に格納されたプログラムに基づいて動作して、各部の制御をする。
【００６６】
グラフィック・コントローラ８０４は、ＣＰＵ８０２等がＲＡＭ８０３内に設けたフレーム・バッファ上に生成する画像データを取得して、表示装置８０５上に表示させる。これに代えて、グラフィック・コントローラ８０４は、ＣＰＵ８０２等が生成する画像データを格納するフレーム・バッファを、内部に含んでもよい。
【００６７】
入出力コントローラ８０６は、ホスト・コントローラ８０１と、比較的高速な入出力装置であるハードディスクドライブ８０８、通信Ｉ／Ｆ８０７、ＣＤ−ＲＯＭドライブ８０９を接続する。ハードディスクドライブ８０８は、ＣＰＵ８０２が使用するプログラム、及びデータを格納する。通信インターフェース８０７は、ネットワーク通信装置８９１に接続してプログラム又はデータを送受信する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ８０９は、ＣＤ−ＲＯＭ８９２からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ８０３を介してハードディスクドライブ８０８、及び通信インターフェース８０７に提供する。
【００６８】
入出力コントローラ８０６には、ＲＯＭ８１０と、フレキシブルディスク・ドライブ８１１、及び入出力チップ８１２の比較的低速な入出力装置とが、接続される。
【００６９】
ＲＯＭ８１０は、制御装置１１０が起動時に実行するブート・プログラム、あるいは制御装置１１０のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。
【００７０】
フレキシブルディスク・ドライブ８１１は、フレキシブルディスク８９３からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ８０３を介してハードディスクドライブ８０８、及び通信インターフェース８０７に提供する。
【００７１】
入出力チップ８１２は、フレキシブルディスク・ドライブ８１１、あるいはパラレル・ポート、シリアル・ポート、キーボード・ポート、マウス・ポート等を介して各種の入出力装置を接続する。
【００７２】
ＣＰＵ８０２が実行するプログラムは、フレキシブルディスク８９３、ＣＤ−ＲＯＭ８９２、又はＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）カード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。記録媒体に格納されたプログラムは圧縮されていても非圧縮であってもよい。
【００７３】
プログラムは、記録媒体からハードディスクドライブ８０８にインストールされ、ＲＡＭ８０３に読み出されてＣＰＵ８０２により実行される。ＣＰＵ８０２により実行されるプログラムは、制御装置１１０を、図１〜図９に関連して説明したデータ収集部１１１、吐出量算出部１１２、及び制御部１１３として機能させる。
【００７４】
以上に示したプログラムは、外部の記憶媒体に格納されてもよい。記憶媒体としては、フレキシブルディスク８９３、ＣＤ−ＲＯＭ８９２の他に、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ）又はＰＤ（Ｐｈａｓｅ  Ｄｉｓｋ）等の光学記録媒体、ＭＤ（ＭｉｎｉＤｉｓｋ）等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。
【００７５】
また、専用通信ネットワークあるいはインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶媒体を記録媒体として使用して、ネットワークを介したプログラムとして提供してもよい。
【００７６】
以上の通り、本発明の実施の形態における送液装置１００は、タンクＴと、ヘッドＨと、第１の流路Ｑ１と、第１のバルブＶ１と、第２の流路Ｑ２と、第２のバルブＶ２と、第１の圧力計Ｍ１と、第２の圧力計Ｍ２と、流量計ＦＭと、制御装置１１０とを備えている。
【００７７】
タンクＴは、液状材料を貯蔵する。ヘッドＨは、タンクＴから流出する液状材料を吐出する。第１の流路Ｑ１は、液状材料をタンクＴからヘッドＨへ供給させる。第１のバルブＶ１は、第１の流路Ｑ１上に設けられ、第１の流路Ｑ１内の液状材料の流れを制御する。第２の流路Ｑ２は、第１の流路Ｑ１のうち、第１のバルブＶ１よりも上流側で、第１の流路Ｑ１と分岐して、液状材料をタンクＴへ循環させる。第２のバルブＶ２は、第２の流路Ｑ２に設けられ、第２の流路Ｑ２内の液状材料の流れを制御する。第１の圧力計Ｍ１は、第１のバルブＶ１よりも下流側の第１の流路Ｑ１の圧力を測定する。第２の圧力計Ｍ２は、第２のバルブＶ２よりも下流側の第２の流路Ｑ２の圧力を測定する。流量計ＦＭは、第１の流路Ｑ１と第２の流路Ｑ２との分岐点よりも上流側の第１の流路Ｑ１の流量を測定する。制御装置１１０は、ヘッドＨから吐出される液体材料の吐出量を制御する。そして、制御装置１１０は、吐出量算出部１１２を有する。この吐出量算出部１１２は、第１の圧力値Ｍ１の測定値と第２の圧力値Ｍ２の測定値との比率と、流量計ＦＭの測定値とに基づいて、ヘッドＨから吐出される液状材料の吐出量を算出する。
【００７８】
このように、送液装置１００では、第１の流路Ｑ１と第２の流路Ｑ２の分岐点よりも上流に流量計ＦＭを設けている。このため、流量計ＦＭに、常時、液状材料を流すことができ、第１のバルブＶ１とヘッドＨの間の圧力が急激に変動することを抑制できる。この結果、本発明にかかる送液装置１００によれば、流量計ＦＭの測定結果の精度が低下することを抑止することができる。また、第１の流路Ｑ１の圧力だけでなく第２の流路Ｑ２の圧力値との比をとる事で、粘度変化による流量の変化の影響を受けずに、第１の流路Ｑ１へ流れている流量を正確に測定することができる。
【００７９】
また、本発明の実施の形態における送液装置１００は、ポンプＰを更に備える。このポンプＰは、タンクＴに貯蔵されている液状材料を、第１の流路Ｑ１へ流出させる。そして、制御装置１１０は、吐出量算出部１１２により算出された液状材料の吐出量の変化が一定になるように、ポンプＰの吐出量を制御する請求項１に記載の送液装置。
このように、ポンプＰの吐出量を制御することで、吐出量算出部１１２により算出された液状材料の吐出量を、略一定にすることができる。このため、常に安定した送液が可能な送液装置１００を実現することができる。
【００８０】
以上、実施の形態をもとに本発明を説明した。実施の形態は例示であり、本発明の主旨から逸脱しない限り、上述各実施の形態に対して、さまざまな変更、増減、組合せを加えてもよい。これらの変更、増減、組合せが加えられた変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。
【符号の説明】
【００８１】
Ｂ    基材
ＦＭ    流量計
Ｈ    ヘッド
Ｍ１    第１の圧力計
Ｍ２    第２の圧力計
Ｐ    ポンプ
Ｑ１    第１の流路
Ｑ２    第２の流路
Ｒ    ローラー
ＲＭ    流量計
Ｔ    タンク
Ｖ１    第１のバルブ
Ｖ２    第２のバルブ
Ｚ    分岐点
１００    送液装置
１１０    制御装置
８０１    ホスト・コントローラ
８０２    ＣＰＵ
８０３    ＲＡＭ
８０４    グラフィック・コントローラ
８０５    表示装置
８０６    入出力コントローラ
８０７    通信Ｉ／Ｆ
８０８    ハードディスクドライブ
８０９    ＣＤ−ＲＯＭドライブ
８１０    ＲＯＭ
８１１    ＦＤドライブ
８１２    Ｉ／Ｏチップ
８９２    ＣＤ−ＲＯＭ
８９３    フレキシブルディスク
９００    送液装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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