(57)【要約】      （修正有）【課題】小型かつ異物検出能力の高い放射線異物検査システムを提供する。【解決手段】被検査物２を所定の方向に搬送する搬送手段３０と、被検査物２に放射線を照射する第一の放射線源２１と、被検査物２に第一の放射線源２１から照射される放射線とは異なる線質の放射線を照射する第二の放射線源２２と、第一の放射線ラインセンサ４１と、第二の放射線ラインセンサ４２と、画像合成手段４５と、を有する放射線異物検査システム３において、第一の放射線源２１から照射された放射線２４が第二の放射線ラインセンサ４２に検出されないようにし、かつ第二の放射線源２２から照射された放射線が第一の放射線ラインセンサ４１に検出されないようにするための放射線遮蔽体２３を備える。【選択図】図２
2015090341.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物を所定の方向に搬送する搬送手段と、
前記被検査物に、放射線を照射する第一の放射線源と、
前記被検査物に、前記第一の放射線源から照射される放射線とは異なる線質の放射線を照射する第二の放射線源と、
前記第一の放射線源から照射され、かつ前記被検査物を透過した放射線の線量に応じて画像データを生成する第一の放射線ラインセンサと、
前記第二の放射線源から照射され、かつ前記被検査物を透過した放射線の線量に応じて画像データを生成する第二の放射線ラインセンサと、
前記第一の放射線ラインセンサ及び第二の放射線ラインセンサより生成された画像データを合成する画像合成手段と、を有する放射線異物検査システムにおいて、
前記第一の放射線源から照射された放射線が前記第二の放射線ラインセンサに検出されないようにし、かつ前記第二の放射線源から照射された放射線が前記第一の放射線ラインセンサに検出されないようにするための放射線遮蔽体を備えることを特徴とする、放射線検査システム。
【請求項２】
前記第一の放射線源が、第一の真空容器に内包され電子を照射する第一の電子銃と、前記第一の電子銃により照射された電子に応じて放射線を照射する第一の放射線ターゲットと、を有し、
前記第二の放射線源が、第二の真空容器に内包され電子を照射する第二の電子銃と、前記第二の電子銃により照射された電子に応じて放射線を照射する第二の放射線ターゲットと、を有することを特徴とする、請求項１に記載の放射線検査システム。
【請求項３】
前記第一の放射線源が、電子を照射する第一の電子銃と、前記第一の電子銃により照射された電子に応じて放射線を照射する第一の放射線ターゲットと、を有し、
前記第二の放射線源が、電子を照射する第二の電子銃と、前記第二の電子銃により照射された電子に応じて放射線を照射する第二の放射線ターゲットと、を有し、
前記第一の電子銃と前記第二の電子銃とが、共通する真空容器に内包されることを特徴とする、請求項１に記載の放射線検査システム。
【請求項４】
前記第一の放射線源が、第一の放射線ターゲットを有し、
前記第二の放射線源が、第二の放射線ターゲットを有し、
前記第一の放射線ターゲット及び前記第二の放射線ターゲットが、共通する電子銃から照射される電子に応じて放射線を照射することを特徴とする、請求項１に記載の放射線検査システム。
【請求項５】
前記放射線遮蔽体が、前記第一の放射線源から照射された放射線の照射領域を、前記第一の放射線ラインセンサ上の領域に制御し、
前記放射線遮蔽体が、前記第二の放射線源から照射された放射線の照射領域を、前記第二の放射線ラインセンサ上の領域に制御することを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の放射線異物検査システム。
【請求項６】
前記第一の放射線源と前記第二の放射線源とが透過型の放射線源であることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の放射線異物検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線検査システム、特に、被検査物に混入した異物を検査するための放射線検査システム（放射線異物検査システム）に関する。
【背景技術】
【０００２】
食品、医薬品等の被検査物に混入した異物を、当該被検査物を破壊せずに検査する方法の一つとして、放射線を利用する方法がある。
【０００３】
放射線を利用して被検査物に混入した異物を検査する放射線検査システムは、通常、放射線発生管を有する放射線発生ユニットと、被検査物を搬送する搬送路と、放射線発生ユニットから発生し被検査物を通過した放射線を検出する放射線ラインセンサとを備える。尚、放射線検査システムのうち、被検査物に混入した異物を検査するものについては放射線異物検査システムと呼ばれることがある。
【０００４】
ところで、放射線異物検査システムは、異物検出能力を高めることが要求されており、この要求を満たす手法として、サブトラクション法が知られている。サブトラクション法を採用した放射線異物検査システムとしては、例えば、特許文献１に示されるシステムがある。具体的には、放射線発生ユニットと放射線ラインセンサとをそれぞれ複数有し、各放射線発生ユニットからエネルギーの異なる放射線をそれぞれ照射することで得られた複数の画像を適宜合成することで、強調した画像として異物に関する情報を得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−８８１４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記特許文献１にて提案されている方法では、所定のＸ線ラインセンサにおいて、このＸ線ラインセンサが検知すべきＸ線以外のＸ線を検知する、いわゆるクロストークの問題が生じる。このクロストークを防止する方法として、各Ｘ線ラインセンサを一定間隔を開けて配置する方法がある。しかし、各Ｘ線ラインセンサの間隔が広いと、その間に搬送路上を移動する被検査物の相対的な位置ズレが生じ、好適なサブトラクション画像が得られず異物検出能力を著しく損なう場合がある。これは特に、袋入り菓子や流動物であるレトルト食品等で顕著である。また、単に複数のＸ線源及び複数のＸ線ラインセンサ間距離を狭めると、第一のＸ線源から照射されたＸ線が所定のＸ線ラインセンサ（第一のＸ線ラインセンサ）以外のラインセンサに照射されたり、そのＸ線が第一のＸ線ラインセンサに十分照射されなかったりする。これにより、好適なサブトラクション画像が得られないため、異物検出能力は低いという問題があった。
【０００７】
本発明は、上述した課題を解決するためになされるものであり、その目的は、小型かつ異物検出能力の高い放射線異物検査システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の放射線検査システムは、被検査物を所定の方向に搬送する搬送手段と、
前記被検査物に、放射線を照射する第一の放射線源と、
前記被検査物に、前記第一の放射線源から照射される放射線とは異なる線質の放射線を照射する第二の放射線源と、
前記第一の放射線源から照射され、かつ前記被検査物を透過した放射線の線量に応じて画像データを生成する第一の放射線ラインセンサと、
前記第二の放射線源から照射され、かつ前記被検査物を透過した放射線の線量に応じて画像データを生成する第二の放射線ラインセンサと、
前記第一の放射線ラインセンサ及び第二の放射線ラインセンサより生成された画像データを合成する画像合成手段と、を有する放射線検査システムにおいて、
前記第一の放射線源から照射された放射線が前記第二の放射線ラインセンサに検出されないようにし、かつ前記第二の放射線源から照射された放射線が前記第一の放射線ラインセンサに検出されないようにするための放射線遮蔽体を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の放射線検査システムは、各放射線源からそれぞれ照射される放射線を対応する放射線ラインセンサ以外のラインセンサに照射しないように放射線遮蔽体が適切に設けられている。これにより、複数の放射線ラインセンサの配置間隔が狭いにもかかわらず、従来問題となっていたクロストークを防止することができる。このため、被検体の位置ズレを少なくしつつ線質の異なる放射線画像が得られる。従って、本発明によれば、小型かつ異物検出能力の高い放射線異物検査システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の放射線検査システムを備える放射線検査装置の例を示す概略図である。
【図２】本発明の放射線検査システムにおける第一の実施形態を示す概略図である。
【図３】本発明の放射線検査システムにおける第二の実施形態を示す概略図である。
【図４】本発明の放射線検査システムにおける第三の実施形態を示す概略図である。
【図５】本発明の放射線検査システムにおける第四の実施形態を示す概略図である。
【図６】（ａ）は、本発明の放射線検査システムにおける第五の実施形態を示す概略図であり、（ｂ−１）乃至（ｂ−３）は、（ａ）の放射線検査システムを構成する放射線源に備えられる放射線ターゲットの設置態様の例を示す概略図である。
【図７】本発明の放射線検査システムにおける第六の実施形態を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明は、搬送手段と、第一の放射線源と、第二の放射線源と、第一の放射線ラインセンサと、第二の放射線ラインセンサと、画像合成手段と、を有する放射線検査システムに関する。本発明の放射線検査システムにおいて、搬送手段は、被検査物を所定の方向に搬送する構成をいう。本発明の放射線検査システムにおいて、第一の放射線源及び第二の放射線源は、上記被検査物に放射線を照射する放射線源である。ただし、第二の放射線源は、第一の放射線源から照射される放射線とは異なる線質の放射線を照射する放射線源である。本発明の放射線検査システムにおいて、第一の放射線ラインセンサは、第一の放射線源から照射され、かつ被検査物を透過した放射線の線量に応じて画像データを生成するラインセンサである。本発明の放射線検査システムにおいて、第二の放射線ラインセンサは、第二の放射線源から照射され、かつ被検査物を透過した放射線の線量に応じて画像データを生成するラインセンサである。本発明の放射線検査システムにおいて、画像合成手段は、第一の放射線ラインセンサ及び第二の放射線ラインセンサより生成された画像データを合成する構成である。
【００１２】
本発明の放射線検査システムは、放射線遮蔽体を備えている。この放射線遮蔽体は、第一の放射線源から照射された放射線が第二の放射線ラインセンサに検出されないようにすると共に、第二の放射線源から照射された放射線が第一の放射線ラインセンサに検出されないようにするために設けられている。
【００１３】
以下、図面を適宜参照しながら、本発明の実施形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下に説明する実施形態に限定されるものではない。また以下の説明に記載されている構成部材の寸法、材質、形状、各構成部材の相対的配置、選択手法、デザイン等については、特に特定的な記載がなく、また本発明の要旨を越えない限り適宜設定変更することは可能である。
【００１４】
［放射線検査装置］
図１は、本発明の放射線検査システムを備える放射線検査装置の例を示す概略図である。図１の放射線検査装置１は、搬入口１１及び搬出口１２を備える筐体１０と、この筐体１０の内部に備える部材と、からなる。ここで筐体１０の内部に備える部材とは、具体的には、下記（ａ）乃至（ｄ）で示される部材である。
（ａ）第一の放射線源２１と第二の放射線源２１とからなる放射線発生ユニット２０
（ｂ）放射線遮蔽体２３
（ｃ）ベルトコンベア３１とモーター（不図示）とからなる搬送手段３０
（ｄ）第一の放射線ラインセンサ４１と第二の放射線ラインセンサ４２とからなる放射線検知手段４０
【００１５】
図１の放射線検査装置１において、放射線発生ユニット２０を構成する２つの放射線源（２１、２２）は、それぞれ電子銃（不図示）と、放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）と、を備え、筐体自体が真空容器となっている部材である。また図１の放射線検査装置１において、各放射線源（２１、２２）には、それぞれ１個の電子銃と１個の放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）と、を備えている。さらに、図１の放射線検査装置１において、好ましくは、各放射線源（２１、２２）は透過型の放射線源である。ところで、各放射線源（２１、２２）がそれぞれ備える放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）から放射される放射線の線質や強度は、各放射線源（２１、２２）にそれぞれ印加される管電圧、管電流、放射線ターゲットの組成、あるいはこれらの組み合わせにより変化する。また各放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）から放射される放射線としては、Ｘ線等が挙げられるが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１６】
図１の放射線検査装置１において、搬入口１１から搬入された被検査物２は、搬送手段３０によって、図１中のＸ方向に沿って、かつ予め設定された搬送速度で、搬出口１２まで搬送される。
【００１７】
図１の放射線検査装置１において、２個設けられている放射線ラインセンサ（４１、４２）は、被検査物２の搬送方向であるＸ方向と直行する方向、即ち、図１中のＹ方向に沿って配置される。ここで第一の放射線ラインセンサ４１は、第一の放射線ターゲット２１ａから発生し被検査物２を透過した放射線のみを検知するセンサである。一方、第二の放射線ラインセンサ４２は、第二の放射線ターゲット２２ａから発生し被検査物２を透過した放射線のみを検出する。ところで、図１の放射線検査装置１を構成する二個の放射線源（２１、２２）にそれぞれ備える放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）の特性が異なる場合、各放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）より異なる線質の放射線をそれぞれ発生させることができる。このように、各放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）より異なる線質の放射線が放射された場合、これら放射線を検知することによって各放射線ラインセンサ（４１、４２）がそれぞれ取得する情報、例えば、画像に関する情報は異なるものとなる。また各放射線ラインセンサ（４１、４２）がそれぞれ取得する画像に関する情報は、画像出力部（不図示）にて画像として出力される。そして画像合成手段（不図示）を用いて出力された複数の画像を合成することで、異物を強調したサブトラクション画像を得ることができる。尚、上記画像出力部及び画像合成手段は、筐体１０の内部に設けてもよいし、筐体１０の外部に設けてもよい。
【００１８】
図１の放射線検査装置１では、筐体１０内の所定の位置に放射線遮蔽体２３が設けられている。この放射線遮蔽体２３は、下記（ｉ）及び（ｉｉ）に示される役割を果たす。
（ｉ）第一の放射線ターゲット２１ａから発生した放射線が、第二の放射線ラインセンサ４２にて検出されないようにすること
（ｉｉ）第二の放射線ターゲット２２ａから発生した放射線が、第一の放射線ラインセンサ４１にて検出されないようにすること
【００１９】
本発明において、放射線遮蔽体２３の材質は、特に限定されないが、好ましくは、放射線遮蔽能力に優れた銅、鉄、タングステン、鉛等の金属材料である。より好ましくは、タングステン、鉛等の重金属材料である。尚、放射線遮蔽体２３は、複数の金属材料を組み合わせてなる合金であってもよい。
【００２０】
以上説明したように、図１の放射線検査装置１は、筐体１０内の所定の位置に放射線遮蔽体２３が設けられているため、所定の放射線ターゲットから発生した放射線が、所定の放射線ラインセンサにて選択的に検出することができる。このため、２個の放射線ラインセンサ（４１、４２）の間隔を極力狭くすることが可能である。このため、被検査物２の位置ズレを少なくすることができると共に好適なサブトラクション画像が得られる。従って、本発明の放射線異物検査装置は、異物検出能力の高い検査装置である。
【００２１】
［放射線検査システム］
次に、本発明の放射線異物検査装置が有する放射線検査システムについて適宜図面を参照しながら説明する。尚、ここでいう放射線検査システムとは、主に、放射線異物検査システムをいい、例えば、図１の放射線検査装置１に採用される検査システムである。
【００２２】
（実施形態１）
図２は、本発明の放射線検査システムにおける第一の実施形態を示す概略図である。図２の放射線検査システム３は、二種類の放射線源、即ち、第一の放射線源２１と、第二の放射線源２２と、を有している。
【００２３】
図２の放射線検査システム３において、第一の放射線源２１には、第一の放射線ターゲット２１ａと、第一の電子銃２１ｂと、が含まれている。また第一の放射線源２１を構成する第一の放射線ターゲット２１ａ及び第一の電子銃２１ｂは、第一の放射線源２１の筐体となる真空容器（第一の真空容器２１ｃ）に内包されている。
【００２４】
第一の電子銃２１ｂに、高電圧、例えば、７０ｋＶの電圧が印加されることにより、第一の電子銃２１ｂから第一の放射線ターゲット２１ａに向けて電子ビームが照射される。尚、第一の電子銃２１ｂから照射される電子ビームの強度は、第一の電子銃２１ｂへ印加する電圧を調整することにより調整が可能である。
【００２５】
第一の放射線ターゲット２１ａは、例えば、タングステンを主とする金属材料からなる。第一の電子銃２１ｂから照射された電子ビームに応じて第一の放射線ターゲット２１ａからは、第一の放射線２４が放射される。尚、第一の放射線２４は、被検査物２や第一の放射線ラインセンサ４１へ向けて照射される放射線である。
【００２６】
図２の放射線検査システム３において、第二の放射線源２２には、第二の放射線ターゲット２２ａと、第二の電子銃２２ｂと、が含まれている。また第二の放射線源２２を構成する第二の放射線ターゲット２２ａ及び第二の電子銃２２ｂは、第二の放射線源２２の筐体である真空容器（第二の真空容器２２ｃ）に内包されている。
【００２７】
第二の電子銃２２ｂに、例えば、３０ｋＶの電圧が印加されることにより、第二の電子銃２２ｂから第二の放射線ターゲット２２ａに向けて電子ビームが放射される。尚、第二の電子銃２２ｂから照射される電子ビームの強度は、第二の電子銃２２ｂへ印加する電圧を調整することにより調整が可能である。また第二の電子銃２２ｂへ印加する電圧は、必ずしも第一の電子銃２１ｂへ印加する電圧よりも低くする必要はない。つまり、第二の電子銃２２ｂへ印加する電圧は、第一の電子銃２１ｂへ印加する電圧と同等と設定してもよいし、高く設定してもよい。
【００２８】
第二の放射線ターゲット２２ａは、例えば、モリブデンを主とする金属材料からなる。第二の電子銃２２ｂから照射された電子ビームに応じて第二の放射線ターゲット２２ａからは、第二の放射線２５が放射される。尚、第二の放射線ターゲット２２ａの構成材料は、第一の放射線ターゲット２１ａの構成材料と同じであってもよいし異なっていてもよい。また第二の放射線２５は、被検査物２や第二の放射線ラインセンサ４２へ向けて照射される放射線である。
【００２９】
第一の放射線ターゲット２１ａから照射された第一の放射線２４の一部は、第一の放射線ラインセンサ４１によって検出される。ここで図２の放射線検査システム３においては、第一の放射線ターゲット２１ａと第一の放射線ラインセンサ４１とを結ぶ第一の放射線２４の通り道に、搬送手段３０を構成するベルトコンベア３１によって搬送される被検査物２が通過する。このため、第一の放射線ラインセンサ４１は、第一の放射線ターゲット２１ａから第一の放射線ラインセンサ４１へ向けて照射された第一の放射線２４そのものと、被検査物２を透過した第一の放射線（不図示）と、を検出する。
【００３０】
一方、第二の放射線ターゲット２２ａから照射された第二の放射線２５の一部は、第二の放射線ラインセンサ４２によって検出される。ここで図２の放射線検査システム３においては、第二の放射線ターゲット２２ａと第二の放射線ラインセンサ４２とを結ぶ第二の放射線２５の通り道に、搬送手段３０を構成するベルトコンベア３１によって搬送される被検査物２が通過する。このため、第二の放射線ラインセンサ４２は、第二の放射線ターゲット２２ａから第二の放射線ラインセンサ４２へ向けて照射された第二の放射線２５そのものと、被検査物２を透過した第二の放射線（不図示）と、を検出する。
【００３１】
ところで、図２の放射線検査システム３においては、各放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）からそれぞれ対応する放射線ラインセンサ（４１、４２）へ照射される放射線（２４、２５）は、いずれもその形状がコーン状である。このようにコーン状の放射線が照射されると、二つの放射線源（２１、２２）の位置や間隔によっては二つの放射線が重なり合う部分が生じ得る。ここで二つの放射線が重なり合う部分に放射線ラインセンサ（４１、４２）が設けられることがないようにするために、放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）と放射線ラインセンサ（４１、４２）との間の所定の空間に放射線遮蔽体２３が設けられている。この放射線遮蔽体２３を設けることで、従来からの課題だったクロストークの問題が解消され、各放射線ラインセンサ（４１、４２）の設置間隔が狭い場合でも各放射線ラインセンサ（４１、４２）が検出する放射線を選択させることができる。具体的には、第一の放射線２４を第一の放射線ラインセンサ４１に、第二の放射線２５を第二の放射線ラインセンサ４２に、それぞれ選択的に検出させることができる。
【００３２】
放射線遮蔽体２３の構成材料としては、例えば、主に、鉛、タングステン等の放射線を透過しない金属材料が挙げられる。
【００３３】
図２の放射線検査システム３において、第一の放射線ラインセンサ４１及び第二の放射線ラインセンサ４２には、それぞれ検出した放射線の線量に応じて電気信号が生成される。ここで、各放射線ラインセンサ（４１、４２）からそれぞれ生成される電気信号は、所定の画像出力部（４３又は４４）にて放射線画像データという形式に変換される。具体的には、第一の放射線ラインセンサ４１から出力された電気信号は、第一の画像出力部４３にて第一の放射線画像データに変換される。一方、第二の放射線ラインセンサ４２から出力された電気信号は、第二の画像出力部４４にて第二の放射線画像データに変換される。
【００３４】
各画像出力部（４３、４４）において、電気信号から変換された二種類の放射線画像データは、画像合成手段４５により合成され、異物を強調したサブトラクション画像として出力される。
【００３５】
（実施形態２）
図３は、本発明の放射線検査システムにおける第二の実施形態を示す概略図である。図３の放射線検査システム４は、放射線遮蔽体の設置位置が異なる点を除けば、図２の放射線検査システム３とその構成は共通している。
【００３６】
図３の放射線検査システム４において、放射線遮蔽体（２３ａ、２３ｂ）は、それぞれ各放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）の近辺に設けられており、内部に放射線を通過させるためのスリットを有している。図３の放射線検査システム４において、各放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）から放射された放射線（２４ａ、２５ａ）は、放射線遮蔽体（２３ａ、２３ｂ）が有するスリットにより照射領域が制御される。このため、各放射線（２４ａ、２５ａ）は、ほぼ選択的に放射線ラインセンサ上の領域に照射される。具体的には、第一の放射線２４ａは、第一の放射線ラインセンサ上の領域（符号４１ａで示される領域）に照射され、第二の放射線２５ａは、第二の放射線ラインセンサ上の領域（符号４２ａで示される領域）に照射される。
【００３７】
これにより搬入出口（不図示）からの放射線漏洩を防ぐことができるので、装置のさらなる小型化が可能となる。
【００３８】
（実施形態３）
図４は、本発明の放射線検査システムにおける第三の実施形態を示す概略図である。図４の放射線検査システム５には、二種類の放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）及び二種類の電子銃（２１ｂ、２２ｂ）が共通する真空容器（真空容器２６ａ）に内包されている放射線源２６が用いられている。このように、図４の放射線検査システム５は、用いられる放射線源が異なる点を除けば、図２の放射線検査システム３とその構成は共通している。
【００３９】
図４の放射線検査システム５のように、本発明においては、第一の放射線２４を放射するための第一の放射線源２１を構成する部材と、第二の放射線２５を放射するための第２の放射線源２２を構成する部材と、を、共通する真空容器２６ａに内包させてもよい。
【００４０】
図４の放射線検査システム５は、例えば、二種類の電子銃（２１ｂ、２２ｂ）に印加する電圧が同じ（例えば、７０ｋＶ）である場合、図２の放射線検査システム３に換えて用いることができる。ただし、図４の放射線検査システム５において、各電子銃（２１ｂ、２２ｂ）に印加する電圧は、図２の放射線検査システム３と同様に限定されるものではなく、またこの電圧により、各電子銃（２１ｂ、２２ｂ）からそれぞれ放射される電子ビームの強度は、適宜調節が可能である。
【００４１】
（実施形態４）
図５は、本発明の放射線検査システムにおける第四の実施形態を示す概略図である。図５の放射線検査システム６は、放射線遮蔽体の設置位置が異なる点を除けば、図４の放射線検査システム５とその構成は共通している。
【００４２】
図５の放射線検査システム６において、放射線遮蔽体（２３ａ、２３ｂ）は、それぞれ各放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）の近辺に設けられており、内部に放射線を通過させるためのスリットを有している。図５の放射線検査システム６において、各放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）から放射された放射線（２４ａ、２５ａ）は、各放射線遮蔽体（２３ａ、２３ｂ）が有するスリットにより照射領域が制御される。このため、各放射線（２４ａ、２５ａ）は、ほぼ選択的に放射線ラインセンサ上の領域に照射される。具体的には、第一の放射線２４ａは、第一の放射線ラインセンサ上の領域（符号４１ａで示される領域）に照射され、第二の放射線２５ａは、第二の放射線ラインセンサ上の領域（符号４２ａで示される領域）に照射される。
【００４３】
これにより搬入出口（不図示）からの放射線漏洩を防ぐことができるので、装置のさらなる小型化が可能となる。
【００４４】
（実施形態５）
図６（ａ）は、本発明の放射線検査システムにおける第五の実施形態を示す概略図であり、図６（ｂ−１）乃至（ｂ−３）は、図６（ａ）の放射線検査システム７を構成する放射線源に備えられる放射線ターゲットの設置態様の例を示す概略図である。以下、図４の放射線検査システムとの相違点を中心に説明する。
【００４５】
図６（ａ）の放射線検査システム７は、放射線源として、放射線源の筐体である真空容器２７ｄと、この真空容器２７ｄに内包される二種類の放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）と、電子銃２７ｃと、からなる放射線源２７が用いられている。即ち、図６（ａ）の放射線検査システム７は、二種類の放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）へ向けて照射される電子ビームの照射元である電子銃２７ｃが共通している点を除けば、図４の放射線検査システム５とその構成は共通している。
【００４６】
このため、図６（ａ）の放射線検査システム７において、二種類の放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）には、電子銃２７ｃから照射された共通の電子ビームが照射される。ここで、各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）の構成材料が異なると、各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）からそれぞれ性質が異なる放射線が放射される。例えば、第一の放射線ターゲット２７ａを、タングステンを含む金属材料からなる放射線ターゲットとし、第二の放射線ターゲット２７ｂを、モリブデンを含む金属材料からなる放射線ターゲットとする。これにより、各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）から放射される放射線（２４、２５）は、それぞれ性質が異なる。
【００４７】
本実施形態において、二種類の放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）は、他の実施形態と同様に、筐体となる真空容器２７ｄの端面部に配置される。二種類の放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）の配置位置、形状、大きさ等は、電子銃２７ｃから放射される電子ビームの放射領域に二種類の放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）がいずれも含まれるように適宜設定される。
【００４８】
各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）の配置位置としては、図６（ｂ−１）に示されるように、各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）が互いに接するように配置するのが好ましい。ただし、電子ビームの照射領域に外れない程度であれば、図６（ｂ−２）や（ｂ−３）に示されるように、各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）間に一定の間隔を設けてもよい。
【００４９】
各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）の形状としては、矩形状、円形状、楕円状等が挙げられるが、本発明においては、特に限定されるものではない。
【００５０】
各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）の大きさは、図６（ｂ−１）や（ｂ−２）に示されるように同じであってもよいし、図６（ｂ−３）に示されるように異なっていてもよい。
【００５１】
本実施形態において、二種類の放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）の具体的な配置態様を以下に示す。ただし、本発明はこれらの態様に限定されるものではない。
（５−１）各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）が、同一の略正方形状（例えば、一辺１．５ｍｍ）であって、両放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）が接している（各放射線ターゲット間の間隔がない）態様（図６（ｂ−１））
（５−２）各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）が、同一の略円形状（例えば、直径１．０ｍｍ）であって、各放射線ターゲット間に一定の間隔がある態様（図６（ｂ−２））
（５−３）各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）が、略円形状であって、各放射線ターゲット間に一定の間隔があり、各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）の大きさが異なる（例えば、直径１．０ｍｍの円形状、直径１．５ｍｍの円形状）態様（図６（ｂ−３））
【００５２】
（実施形態６）
図７は、本発明の放射線検査システムにおける第六の実施形態を示す概略図である。図７の放射線検査システム８は、放射線遮蔽体の設置位置が異なる点を除けば、図６の放射線検査システム７とその構成は共通している。
【００５３】
図７の放射線検査システム８において、放射線遮蔽体２３ｄは、それぞれ各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）の近辺に設けられており、内部に所定の放射線を通過させるためのスリットを有している。図７の放射線検査システム８において、各放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）から放射された放射線（２４ａ、２５ａ）は、放射線遮蔽体２３ｄが有するスリットにより放射領域が制御される。このため、各放射線（２４ａ、２５ａ）は、ほぼ選択的に放射線ラインセンサ上の領域に照射される。具体的には、第一の放射線２４ａは、第一の放射線ラインセンサ上の領域（符号４１ａで示される領域）に照射され、第二の放射線２５ａは、第二の放射線ラインセンサ上の領域（符号４２ａで示される領域）に照射される。
【００５４】
これにより搬入出口（不図示）からの放射線漏洩を防ぐことができるので、装置のさらなる小型化が可能となる。
【実施例】
【００５５】
［実施例１］
以下に示す方法により、図２の放射線検査システム３を作製した。
【００５６】
（１）放射線源
本実施例では、放射線源（２１、２２）として、透過型の放射線管を用いた。ここで放射線源（２１、２２）として透過型放射線管を用いると、一般的な反射型放射線管に比較して放射線の取り出し角度が広いため、焦点とセンサとの間の距離を短くすることが可能となる。
【００５７】
また本実施例では、第一の放射線ターゲット２１ａと第一の放射線ラインセンサ４１のＺ方向間隔、及び第二の放射線ターゲット２２ａと第二の放射線ラインセンサ４２のＺ方向間隔をいずれも３５０ｍｍに設定した。
【００５８】
さらに二つの放射線源（２１、２２）を設置する際に、第一の放射線ターゲット２１ａと第二の放射線ターゲット２２ａとのＸ方向間隔が５０ｍｍとなるようにした。
【００５９】
（２）ラインセンサ
各ラインセンサのＸ方向の間隔が５０ｍｍとなるように、第一の放射線ラインセンサ４１と第二の放射線ラインセンサ４２とをそれぞれ設置した。
【００６０】
（３）放射線遮蔽体
Ｘ方向に垂直で被検査物が通過する通過口を設けた衝立に、タングステンシート（日本タングステン株式会社製）を２枚貼り付けることで、放射線遮蔽体２３を配置させた。尚、使用したタングステンシートの寸法は、厚さが３ｍｍであり、縦が５０ｍｍであり、横が各放射線ラインセンサ（４１、４２）の長さと同程度であった。またこのタングステンシートを貼り付ける際には、第一の放射線ラインセンサ４１と第二の放射線ラインセンサ４２との中間であって、Ｘ方向を横切る態様で放射線遮蔽体２３が設けられるように、衝立の位置を調節した。さらに、このタングステンシートを貼り付ける際には、Ｚ方向の下辺が、各放射線ラインセンサ（４１、４２）の上辺から１５０ｍｍとなる位置になるようにした。
【００６１】
この構成によれば、第一の放射線源２１から放射された第一の放射線２４を第一の放射線ラインセンサ４１で選択的に検知することができる。また、第二の放射線源２２から放射された第二の放射線２５を第二の放射線ラインセンサ４２で選択的に検知することができる。従って、小型かつ異物検出能力の高い放射線異物検査システムを提供することができた。
【００６２】
［実施例２］
以下に示す方法により、図４の放射線検査システム５を作製した。
【００６３】
（１）放射線源
本実施例では、放射線源として、透過型の放射線管を用いた。尚、本実施例で使用した放射線管は、二種類の電子銃（２１ｂ、２２ｂ）と二種類の放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）とが共通する真空容器２６ａに内包されている放射線管２６であった。また、各放射線ターゲット（２１ａ、２２ａ）の間隔（Ｘ方向間隔）は、３０ｍｍであった。
【００６４】
また本実施例では、第一の放射線ターゲット２１ａと第一の放射線ラインセンサ４１のＺ方向間隔、及び第二の放射線ターゲット２２ａと第二の放射線ラインセンサ４２のＺ方向間隔をいずれも３５０ｍｍに設定した。
【００６５】
（２）ラインセンサ
各ラインセンサのＸ方向の間隔が３０ｍｍとなるように、第一の放射線ラインセンサ４１と第二の放射線ラインセンサ４２とをそれぞれ設置した。
【００６６】
（３）放射線遮蔽体
Ｘ方向に垂直で被検査物が通過する通過口を設けた衝立に、タングステンシート（日本タングステン株式会社製）を２枚貼り付けることで、放射線遮蔽体２３を配置させた。尚、使用したタングステンシートの寸法は、厚さが３ｍｍであり、縦が５０ｍｍであり、横が各放射線ラインセンサ（４１、４２）の長さと同程度であった。またこのタングステンシートを貼り付ける際には、第一の放射線ラインセンサ４１と第二の放射線ラインセンサ４２との中間であって、Ｘ方向を横切る態様で放射線遮蔽体２３が設けられるように、衝立の位置を調節した。さらに、このタングステンシートを貼り付ける際には、Ｚ方向の下辺が、各放射線ラインセンサ（４１、４２）の上辺から１５０ｍｍとなる位置になるようにした。
【００６７】
この構成によれば、第一の放射線源２１から放射された第一の放射線２４を第一の放射線ラインセンサ４１で選択的に検知することができる。また、第二の放射線源２２から放射された第二の放射線２５を第二の放射線ラインセンサ４２で選択的に検知することができる。さらに、各放射線ラインセンサ（４１、４２）の間隔が実施例１より狭くても、所定の放射線を対応する放射線ラインセンサにて選択的に検知することができることが判明した。従って、実施例１よりも小型かつ異物検出能力の高い放射線異物検査システムを提供することができた。
【００６８】
［実施例３］
以下に示す方法により、図６の放射線検査システム７を作製した。
【００６９】
（１）放射線源
本実施例では、放射線源として、透過型の放射線管を用いた。尚、本実施例で使用した放射線管は、電子銃２８と二種類の放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）とが共通する真空容器２７に内包されている放射線管であった。また本実施例で使用した放射線管は、図６（ｂ−１）に示されるように、矩形状の二個の放射線ターゲット（２７ａ、２７ｂ）は、互いに接触していた。
【００７０】
また本実施例では、第一の放射線ターゲット２７ａと第一の放射線ラインセンサ４１のＺ方向間隔、及び第二の放射線ターゲット２８ａと第二の放射線ラインセンサ４２のＺ方向間隔をいずれも３５０ｍｍに設定した。
【００７１】
（２）ラインセンサ
各ラインセンサのＸ方向の間隔が６ｍｍとなるように、第一の放射線ラインセンサ４１と第二の放射線ラインセンサ４２とをそれぞれ設置した。
【００７２】
（３）放射線遮蔽体
Ｘ方向に垂直で被検査物が通過する通過口を設けた衝立に、タングステンシート（日本タングステン株式会社製）を１枚貼り付けることで、放射線遮蔽体２３を配置させた。尚、使用したタングステンシートの寸法は、厚さが１．５ｍｍであり、縦が５０ｍｍであり、横が各放射線ラインセンサ（４１、４２）の長さと同程度であった。またこのタングステンシートを貼り付ける際には、第一の放射線ラインセンサ４１と第二の放射線ラインセンサ４２との中間であって、Ｘ方向を横切る態様で放射線遮蔽体２３が設けられるように、衝立の位置を調節した。さらに、このタングステンシートを貼り付ける際には、Ｚ方向の下辺が、各放射線ラインセンサ（４１、４２）の上辺から２７０ｍｍとなる位置になるようにした。
【００７３】
この構成によれば、第一の放射線源２１から放射された第一の放射線２４を第一の放射線ラインセンサ４１で選択的に検知することができる。また、第二の放射線源２２から放射された第二の放射線２５を第二の放射線ラインセンサ４２で選択的に検知することができる。さらに、各放射線ラインセンサ（４１、４２）の間隔が実施例１及び２より狭くても、所定の放射線を対応する放射線ラインセンサにて選択的に検知することができることが判明した。従って、実施例１及び２よりも小型かつ異物検出能力の高い放射線異物検査システムを提供することができた。
【符号の説明】
【００７４】
１：放射線検査装置、２：被検査物、１０：筐体、２０：放射線発生ユニット、２１：第一の放射線源、２１ａ（２７ａ）：第一の放射線ターゲット、２１ｂ（２２ｂ、２７ｃ）：電子銃、２１ｃ（２２ｃ、２６ａ、２７ｄ）：真空容器、２２：第二の放射線源、２２ａ（２７ｂ）：第二の放射線ターゲット、２３（２３ａ、２３ｂ、２３ｄ）：放射線遮蔽体、２４（２４ａ）：第一の放射線、２５（２５ａ）：第二の放射線、２６（２７）：放射線源、３０：搬送手段、４０：放射線検知手段、４１：：第一の放射線ラインセンサ、４２：第二の放射線ラインセンサ、４３：第一の画像出力部、４４：第二の画像出力部、４５：画像合成手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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