(57)【要約】【課題】  ゲルフィルムをフィルム固定装置でピンシートに押しつける際にピン穴からフィルムの内側へ流れ込み発生する溶媒の乾燥ムラによる欠点の発生がなく、効率的で工業的に有利なポリイミドフィルムの製造方法を提供する。【解決手段】  テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを溶媒中で反応させ、ポリイミド前駆体溶液を製造し、支持体上にフィルム状に連続的に流延し、剥離後、フィルム端部固定式テンターでフィルム幅方向の両端を把持して乾燥熱処理するポリイミドフィルムの製造方法において、ピンシートにフィルム固定装置にてゲルフィルムを押さえることにより、該ピンをフィルム両側端部に突き刺して固定し、フィルムを搬送するテンター式処理部を有するポリイミドフィルム製造装置を用いて、フィルム端部固定後、乾燥工程までにピンシート方向にエアーを吹き付ける工程を有するポリイミドフィルムの製造方法。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを溶媒中で反応させ、ポリイミド前駆体溶液を製造し、支持体上にフィルム状に連続的に流延し、剥離後、フィルム端部固定式テンターでフィルム幅方向の両端を把持して乾燥熱処理するポリイミドフィルムの製造方法において、ピンシートにフィルム固定装置にてゲルフィルムを押さえることにより、該ピンをフィルム両側端部に突き刺して固定し、フィルムを搬送するテンター式処理部を有するポリイミドフィルム製造装置を用いて、フィルム端部固定後、乾燥工程までにピンシート方向にエアーを吹き付ける工程を有するポリイミドフィルムの製造方法。
【請求項２】
前記ピンシートにゲルフィルムを押しつけるフィルム固定装置がブラシを備えたブラシロールである請求項１記載のポリイミドフィルムの製造方法。
【請求項３】
前記吹き付けるエアーをゲルフィルムがピンシートに固定される位置に給気する請求項１又は２いずれかに記載のポリイミドフィルムの製造方法。
【請求項４】
ポリイミドフィルムの厚みが１０〜２５０μｍの範囲内である請求項１〜３のいずれかに記載のポリイミドフィルムの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の製造方法によって製造されたポリイミドフィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポリイミドフィルムの製造方法に関するものである。さらに詳しくは、フレキシブルプリント配線板（以下ＦＰＣという。）のコネクター部、及び部品実装部の補強板として好適に用いることのできるポリイミドフィルム製造工程において、フィルム端部をピンに突き刺してピンシートに固定する際にピン穴から染み出した溶媒がフィルムの内側に流れ込むことで発生する欠点を抑制させた、ポリイミドフィルムの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＦＰＣは柔軟で薄いベースフィルム上に回路パターンを形成し、その表面にカバーレイを施したものを基本的な構造としており、電子技術分野で広く利用されている。近年の実装技術の進歩により、高密度実装化の要求は急激に高まり、ＦＰＣに直接に部品を搭載する部品実装用ＦＰＣが多用されてきている。製造上、使用上の観点から、ＦＰＣのベースフィルムやカバーレイフィルムには、機械特性、電気特性、対化学薬品性、耐熱性、耐環境性などの要求特性があり、これらに充分耐える材料として、現在ではポリイミドフィルムが最も広く用いられる。
【０００３】
ポリアミド酸溶液を支持体上にフィルム状に連続的に押し出しまたは塗布したゲルフィルムからポリイミドフィルムを得る製造工程において、長手方向に延伸した後、フィルム端部を把持して幅方向の延伸、および乾燥、熱処理を連続的に行うことが一般的になされている（例えば特許文献１、２参照）。フィルム端部を把持する方法としてピンシート上に設置されたピンでゲルフィルムを刺すピンクリップ方式とクリップ本体でフィルム端部を挟むクリップ方式が一般に用いられている。ピンクリップ方式はフィルム端部まで乾燥が均一に出来、横延伸時に外れにくいなどの特徴があるが、フィルム固定装置であるブラシロールでゲルフィルムをピンシートに押しつけ、ピン穴を空けるため、その部分から染みだした溶媒がフィルムの内側に流れ、乾燥ムラによって欠点が発生することがある。乾燥ムラによる当該欠点は、フィルムに変色を含む厚みムラを発生させるため、ＦＰＣ配線板にした際に外観不良や配線が切れるなどの不良を引き起こす。そこで、ポリイミドフィルムの製膜工程において、乾燥ムラによる欠点を発生させない製造方法が求められていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１６３４９３号公報
【特許文献２】特開平１１−１８０６０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上述した従来技術における問題点の解決を課題として検討した結果達成されたものである。したがって、本発明の目的は、ゲルフィルムをピンシートに押しつけ、突き刺したピン穴からフィルムの内側へ流れ込む溶媒によって生じる乾燥ムラなどの欠点が発生しにくいポリイミドフィルムの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは鋭意検討した結果、ポリイミドフィルムの製造を幅方向および又は搬送方向に張設した状態でフィルムを搬送するテンター式処理部を用いて乾燥や熱処理をなす場合にフィルム固定装置でゲルフィルムをピンシートに押しつけ、穴を空け、その部分からフィルムの内側に染みだした溶媒によって生じる乾燥ムラなどの欠点の発生を抑制でき、品質の優れたフィルムを効率よく生産できることを見出し、ポリイミドフィルム製造に適した製造方法を創出した。
【０００７】
すなわち本発明は、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを溶媒中で反応させ、ポリイミド前駆体溶液を製造し、支持体上にフィルム状に連続的に流延し、剥離後、フィルム端部固定式テンターでフィルム幅方向の両端を把持して乾燥熱処理するポリイミドフィルムの製造方法において、ピンシートにフィルム固定装置にてゲルフィルムを押さえることにより、該ピンをフィルム両側端部に突き刺して固定し、フィルムを搬送するテンター式処理部を有するポリイミドフィルム製造装置を用いて、フィルム端部固定後、乾燥工程までにピンシート方向にエアーを吹き付ける工程を有するポリイミドフィルムの製造方法である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明により、ゲルフィルムをフィルム固定装置でフィルム端部をピンに突き刺してピンシートに固定する際にピン穴からフィルムの内側へ流れ込み発生する溶媒の乾燥ムラによる欠点を抑制し、高品質なポリイミドフィルムが効率よく得られる。本発明は、工業的に極めて有効なポリイミドフィルムの製造方法である。
【０００９】
本発明で得られたポリイミドフィルムは、金属箔または金属薄膜が積層された電気配線板のベースフィルム、フレキシブルプリント回路保護用カバーレイフィルム、ワイヤまたはケーブルの絶縁フィルムおよびフィルム表面接着剤をコーティングした粘着テープなどの用途に対して好適に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】テンター式ポリイミドフィルム製造装置におけるフィルム端部を押さえピンに突き刺すためのフィルム固定装置(刷毛状のブラシ)の概略を例示した図面である。
【図２】テンター式ポリイミドフィルム製造装置におけるフィルム端部を押さえピンに突き刺すためのフィルム固定装置(ブラシロール)の概略を例示した図面である。
【図３】テンター式ポリイミドフィルム製造装置における好ましいピンとピンシートの概略を例示した図面である。
【図４】テンター式ポリイミドフィルム製造装置における全体の概略及びエアーノズル設置範囲を例示した図面である。
【図５】テンター式ポリイミドフィルム製造装置におけるフィルム端部固定後、乾燥工程までにピンシート方向にエアーを給気する装置の一例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを溶媒中で反応させ、ポリイミド前駆体溶液を製造し、支持体上にフィルム状に連続的に流延し、剥離後、フィルム端部固定式テンターでフィルム幅方向の両端を把持して乾燥熱処理する。
【００１２】
ジアミン成分は、好ましくは４，４’−ジアミノジフェニルエーテルを、テトラカルボン酸成分は、好ましくは、ピロメリット酸二無水物を、それぞれ主たる構成成分に使用する。
【００１３】
本発明においては、好ましくは、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル以外に少量の他のジアミンを添加してもよい。また、ピロメリット酸二無水物以外に少量の他の酸二無水物を添加してもよい。具体的な他のジアミン及び酸二無水物としては以下のものが挙げられるが、これらに限定されない。
【００１４】
（１）酸二無水物
３，３'，４，４'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，３'，３，４'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３'，４，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−ナフタレンジカルボン酸二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エーテル、ピリジン−２，３，５，６−テトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８−デカヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、４，８−ジメチル−１，２，５，６−ヘキサヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，６−ジクロロ−１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，７−ジクロロ−１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−テトラクロロ−１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，８，９，１０−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、２，２−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、１，１−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エタン二無水物、１，１−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）エタン二無水物、ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、ベンゼン−１，２，３，４−テトラカルボン酸二無水物、３，４，３'，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等。
【００１５】
（２）ジアミン
パラフェニレンジアミン、３，３'−ジアミノジフェニルエーテル、メタフェニレンジアミン、４，４'−ジアミノジフェニルプロパン、３，４'−ジアミノジフェニルプロパン、３，３'−ジアミノジフェニルプロパン、４，４'−ジアミノジフェニルメタン、３，４'−ジアミノジフェニルメタン、３，３'−ジアミノジフェニルメタン、ベンチジン、４，４'−ジアミノジフェニルサルファイド、３，４'−ジアミノジフェニルサルファイド、３，３'−ジアミノジフェニルサルファイド、４，４'−ジアミノジフェニルスルホン、３，４'−ジアミノジフェニルスルホン、３，３'−ジアミノジフェニルスルホン、２，６−ジアミノピリジン、ビス−（４−アミノフェニル）ジエチルシラン、３，３'−ジクロロベンチジン、ビス−（４−アミノフェニル）エチルホスフィノキサイド、ビス−（４−アミノフェニル）フェニルホスフィノキサイド、ビス−（４−アミノフェニル）−Ｎ−フェニルアミン、ビス−（４−アミノフェニル）−Ｎ−メチルアミン、１，５−ジアミノナフタレン、３，３'−ジメチル−４，４'−ジアミノビフェニル、３，４'−ジメチル−３'，４−ジアミノビフェニル３，３'−ジメトキシベンチジン、２，４−ビス（ｐ−β−アミノ−ｔ−ブチルフェニル）エーテル、ビス（ｐ−β−アミノ−ｔ−ブチルフェニル）エーテル、ｐ−ビス（２−メチル−４−アミノペンチル）ベンゼン、ｐ−ビス−（１，１−ジメチル−５−アミノペンチル）ベンゼン、ｍ−キシリレンジアミン、ｐ−キシリレンジアミン、１，３−ジアミノアダマンタン、３，３'−ジアミノ−１，１'−ジアミノアダマンタン、３，３'−ジアミノメチル１，１'−ジアダマンタン、ビス（ｐ−アミノシクロヘキシル）メタン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、３−メチルヘプタメチレンジアミン、４，４'−ジメチルヘプタメチレンジアミン、２，１１−ジアミノドデカン、１，２−ビス（３−アミノプロポキシ）エタン、２，２−ジメチルプロピレンジアミン、３−メトキシヘキサエチレンジアミン、２，５−ジメチルヘキサメチレンジアミン、２，５−ジメチルヘプタメチレンジアミン、５−メチルノナメチレンジアミン、１，４−ジアミノシクロヘキサン、１，１２−ジアミノオクタデカン、２，５−ジアミノ−１，３，４−オキサジアゾール、２，２−ビス（４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、Ｎ−（３−アミノフェニル）−４−アミノベンズアミド、４−アミノフェニル−３−アミノベンゾエート等。
【００１６】
また、本発明において、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを溶媒中で反応させる時に用いる溶媒は、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ−ビニル−２−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、フェノール、ｏ−，ｍ−，またはｐ−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコールなどのフェノール系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトンなどの非プロトン性極性溶媒を挙げることができ、これらを単独又は混合物として用いるのが望ましいが、さらにはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素の使用も可能である。
【００１７】
テトラカルボン酸成分とジアミン成分との反応は、公知のいずれの方法で行ってもよく、例えば
(１)先にジアミン成分全量を溶媒中に入れ、その後、テトラカルボン酸成分をジアミン成分全量と当量になるよう加えて重合する方法。
(2)先にテトラカルボン酸類成分全量を溶媒中に入れ、その後、ジアミン成分をテトラカルボン酸成分と等量になるよう加えて重合する方法。
(3)一方のジアミン化合物を溶媒中に入れた後、反応成分に対して、テトラカルボン酸成分が９５〜１０５モル％となる比率で反応に必要な時間混合した後、もう一方のジアミン成分を添加し、続いて、テトラカルボン酸成分をジアミン成分とテトラカルボン酸成分とがほぼ等量になるよう添加して重合する方法。
(4)テトラカルボン酸成分を溶媒中に入れた後、反応成分に対して一方のジアミン成分が９５〜１０５モル％となる比率で反応に必要な時間混合した後、テトラカルボン酸成分を添加し、続いてもう一方のジアミン成分を全芳香族ジアミン成分とテトラカルボン酸成分とがほぼ等量になるよう添加して重合する方法。
【００１８】
本発明において使用可能な無機粒子としては、ＳｉＯ２（シリカ）、ＴｉＯ２、ＣａＨＰＯ４、Ｃａ２Ｐ２Ｏ７等を好適に挙げることができる。
【００１９】
無機粒子は、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキサイド、Ｎ−メチルピロリドン等の極性溶媒に均一に分散させたスラリーとして使用することで、凝集を防止できるため好ましい。このスラリーは、粒子径が非常に小さいため、沈降速度が遅く安定している。また、たとえ沈降しても再攪拌する事で容易に再分散可能である。
【００２０】
本発明では、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを溶媒中で反応させ、ポリイミド前駆体溶液を製造し、支持体上にフィルム状に連続的に流延し、剥離後、フィルム端部固定式テンターでフィルム幅方向の両端を把持して乾燥熱処理する。
【００２１】
支持体は、好ましくは、金属製の回転ドラムやエンドレスベルトであり、その温度は液体または気体の熱媒、および／または電気ヒーターなどの輻射熱により制御される。
【００２２】
支持体上にフィルム状に連続的に流延したフィルムは、好ましくは、支持体からの受熱および／または熱風や電気ヒーターなどの熱源からの受熱により、３０〜２００℃、好ましくは４０〜１５０℃に加熱されて閉環反応し、遊離した有機溶媒などの揮発分を乾燥させることにより自己支持性を有するようになり、支持体から剥離される。
【００２３】
上記支持体から剥離されたフィルムは、通常回転ロールにより走行速度を規制しながら走行方向に延伸される。延伸は、好ましくは、１４０℃以下の温度で１．０５〜１．９倍、より好ましくは１．１〜１．６倍、さらに好ましくは１．１〜１．５倍の倍率で実施される。
【００２４】
本発明では、ピンシートにフィルム固定装置にてゲルフィルムを押さえることにより、該ピンをフィルム両側端部に突き刺して固定し、フィルムを搬送するテンター式処理部を有するポリイミドフィルム製造装置を用いる。
【００２５】
テンター式処理部を有するポリイミドフィルム製造装置は、好ましくは、フィルムの両端部の固定が多数のピンで構成されたピンシートを有するフィルム固定装置にてゲルフィルムを押さえる。好ましくは、ピンをフィルム両側端部に突き刺して固定し、幅方向および又は搬送方向に張設した状態でフィルムを搬送する。
【００２６】
本発明においてフィルム固定装置は、ゲルフィルムを走行するピンシートのピンに連続で刺し固定する装置で特に設置個数や形状は限定されない。例えば、図１に示す通りピンシートにゲルフィルムを押しつけることが出来る刷毛状のブラシ装置などが挙げられる。走行するピンシート及びピンシート上の多数のピンと連続で接触することから、例えば図２に示すように、毛材からなるブラシが円筒平面上に設けられたブラシロールが好ましい。ブラシの素材は、長時間の使用によっても均一に連続してゲルフィルム端部をピンシートに押しつける必要があるため、融点は少なくとも２００℃以上で弾性率２ＧＰａ以上の素材が好ましく、例えば、高弾性の高分子繊維、カーボンファイバー、ガラスファイバー、などが挙げられる。より好ましくは高分子繊維などの高分子素材であり、例えばナイロン６．６が挙げられる。
【００２７】
本発明において用いられるポリイミドフィルム製造装置では、好ましくは、ピンクリップの把持部は、例えば図３に一例を示すように多数のピンシートとそのピンシートに配置された多数のピンで構成される。ピンレールの列数は、好ましくは１〜５列、更に好ましくは２〜３列である。さらに好ましいピンシート内のピンの態様としては、フィルム搬送時のフィルム幅方向における最内側に配列された個々のピンが互いに、フィルム搬送方向で個々のピンシート内においても、他のピンシート間においても全て等間隔で配置されることでフィルムの突き刺しが均一に行われ、ピン外れによるフィルム破れが生じにくく好ましい。
【００２８】
ピンシート内のピンの個数は、少なければピン穴から流れ出る溶媒による欠点の発生個数を抑制することができるが、ピン１本に対するフィルムの保持力が大きくなり、ピン穴部からフィルムが破断することにより、フィルム破れが発生するため、好ましくはピンシート１枚１０ｃｍ×２ｃｍに対し、ピン１０本以上である。  
【００２９】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、フィルム端部固定後、乾燥工程までにピンシート方向にエアーを吹き付ける工程を有する。
【００３０】
本発明のポリイミドフィルムの製造方法では、吹き付けるエアーをゲルフィルムがピンシートに固定される位置に給気することが好ましい。
【００３１】
本発明において、例えば、図４に一例を示すように、ピンシートに吹き付けるエアーはフィルム端部をピンシートに固定後、２００℃以上のエアーを給気する乾燥工程までに設置、好ましくはゲルフィルムがフィルム固定装置によってピンシートに固定される部分に設置する。それによりゲルフィルムをフィルム固定装置でフィルム端部をピンに突き刺してピンシートに固定する際にピン穴からフィルムの内側へ流れ込む溶媒を抑制することができる。また、フィルム固定装置でゲルフィルムを押さえ込み、ピンに突き刺す際のフィルム固定装置とピンシートとの隙間について限定を受けず、ピンに突き刺したフィルムがピンから外れることを抑制することができる。更には、ゲルフィルムの溶媒濃度の限定も受けない為、フィルム破れ抑制に適した条件で製膜することができる。
【００３２】
図５に装置の一例を示す。エアーを吹き付け角度は、吹き付けるエアーがフィルム内側へ漏れないようピンシートとフィルムの水平方向から２０°以上８０°以下の方向からエアーを供給するのが好ましく、２５°以上６０°が更に好ましい。
【００３３】
本発明においてピンシートに吹き付けるエアーはゲルフィルムの表裏へ供給することができるが、フィルム端部からフィルムの内側へ溶媒のしみ出す量の観点からゲルフィルムの表裏一方のみ用いることも可能である。
【００３４】
本発明においてピンシートに吹き付けるエアーの温度は、フィルム端部の物性の影響やテンター内エアーに含まれる溶媒の凝縮によってエアーノズルの目詰まりを防ぐ為、１０℃から２００℃の範囲が好ましく、更には１０から５０℃が好ましい。エアーの風速については、特に限定されないが、例えば、エアーノズル口の位置からピンシートまでの距離が５〜５０mmであれば、５から２０ｍ/ｓｅｃで供給するのが好ましい。
【００３５】
エアーノズル幅については、１０から２００ｍｍくらいであり、好ましくは５０から１５０ｍｍである。エアーの吹きつけは、フィルム製造中は連続して絶え間なく供給することが好ましい。エアーノズルの形状は、水滴・切粉などの除去、エアーブロー、洗浄に利用されるエアーノズル、スリットノズルを用いる方法で実施できる。市販のエアーノズルを用いてもよい。市販のエアーノズルとしては、例えば、（株）スプレーイングシステムスジャパン社製のフラット型のエアーノズルが挙げられる。使用するエアーの個数は、例えば幅１００ｍｍのフラット型のエアーノズルであれば最低でも１個以上、好ましくは２個以上を設置するのがよい。
【００３６】
本発明においてはフィルム固定装置でフィルムを押さえ込みピンに突き刺す際のゲルフィルムの溶媒濃度については、特に限定されないが、ゲルフィルムの溶媒濃度は１０％から８０％の範囲が好ましい。ゲルフィルムの溶媒濃度が少なくなればなるほどゲルの自己保持性が強くなり、幅方向へ延伸する際にゲルフィルムが伸びず、ゲルフィルムにピンを食い込ませた穴からゲルフィルムが裂けフィルム破れが発生しやすくなる。一方、溶媒濃度が高すぎる場合は、自己保持性が弱くなるため、幅方向へ延伸する際にピンを食い込ませた穴からゲルフィルムが裂けフィルム破れが発生しやすくなる。
【００３７】
本工程により、フィルム固定装置でフィルム端部をピンに突き刺してピンシートに固定する際にピン穴からフィルムの内側へ溶媒のしみ出す量、幅を抑制し、溶媒の乾燥ムラにより発生する欠点を抑制できる。
【００３８】
上記の工程を経てテンター装置に導入された後、好ましくは、テンタークリップと共に走行しながら２００℃以上のエアーを給気する乾燥工程にて１．０５〜１．９倍、好ましくは１．１〜１．６倍、さらに好ましくは１．１〜１．５倍の倍率で幅方法へ延伸される。
【００３９】
上記の乾燥ゾーンで乾燥したフィルムは、好ましくは、熱風、赤外ヒーターなどで１５秒から３０分加熱される。次いで、熱風および／または電気ヒーターなどにより、２５０〜５００の温度で１５秒から３０分熱処理を行う。走行方向への延伸倍率と幅方向への延伸倍率を調整しながら、ポリイミドフィルムの厚みは調整されることが好ましい。
【００４０】
本発明において、ポリイミドフィルムは、１０μｍ以上２５０μｍ以下の厚みであることが好ましい。
【実施例】
【００４１】
以下において、本発明の種々の実施例といくつかの比較例と共に説明する。
【００４２】
実施例の説明の前に実施例において使用した特性の評価方法および評価の基準を説明する。
【００４３】
〔特性の評価法〕
（１）フィルム表面上の欠点の確認
フィルム端部のピン穴部分をカットしたフィルムを白熱光又は偏光をフィルム表面にあて、フィルムを搬送させながら目視にて欠点の発生と発生位置を確認した。欠点発生位置が１０ｍｍ未満であれば合格とした。
【００４４】
（２）フィルム固定装置とピンシートの隙間
隙間ゲージを所定の幅に合わせ、フィルム固定装置とピンシートの間に差し込み、ブラシロールを回転させ、フィルム固定装置が隙間ゲージに接する位置と接しない位置の間の隙間を１／１００ｍｍ単位で隙間を測定した。
【００４５】
（３）ポリイミドフィルムの厚み
Ｍｉｔｕｔｏｙｏ製ライトマチック（Ｓｅｒｉｅｓ３１８）を使用して測定した。
【００４６】
［実施例１］
Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド２５８０ｋｇ中に４，４‘−ジアミノジフェニルエーテル４０３ｋｇ（２．０４ｋｍｏｌ）、ピロメリット酸二無水物４３５ｋｇ（１．９９ｋｍｏｌ）を添加し、６時間撹拌した。均一になったポリマーにピロメリット酸二無水物を６重量％の割合で調整したＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミド溶液を少量ずつ滴下し、２０℃で４０００ポイズに調整したポリマーを得た。このポリアミック酸溶液に無水酢酸（分子量１０２．０９）とβ−ピコリン(分子量９３．１３)からなる転化剤をポリアミック酸に対し、それぞれ２．０モル当量の割合での混合、攪拌した。得られた混合物を、口金より回転する６５℃のステンレス製ドラム上にキャストし、自己支持性を有するゲルフィルムを得た。このゲルフィルムを６５℃の室内で１．２２倍に長手方向に延伸しながら搬送した。このゲルフィルムの両端をブラシロールとピンシートとの隙間を０．１ｍｍに調整したブラシロールで押さえながらピンシートに連続で突き刺してゲルフィルムをピンシートに固定した。ピンシートからの距離が５０ｍｍ、乾燥工程入り口の位置に設置した６０ｍｍ幅のフラットタイプのエアーノズル(スプレーイングシステムスジャパン社)から風速５ｍ/sec、温度２５℃に調整したエアーをフィルムの表裏にフィルム水平方向から２０°でピンシート方向に吹き付けた。フィルム製造期間中は継続してエアー吹きつけを行った。次いで幅方向両端部を把持しながら２７０℃で３分間乾燥しながら幅方向に１．４倍延伸した後、４００℃にて５分間熱処理し、冷却ゾーンでリラックスさせながら２分間冷却し、フィルム両端部のピン穴部分をカットし、幅２１２０ｍｍ、厚さ１２５μｍのポリイミドフィルムを２００００ｍ得た。この方法では、製膜１００時間を経過してもピンシート外れによるフィルム破れもなく、得られたフィルムを白熱光又は偏光をフィルム表面にあて、目視にて欠点の発生を確認したところ両端部欠点最大幅は５ｍｍ／２００００ｍであり、合格であった。
【００４７】
［実施例２］
エアーノズルの位置をゲルフィルムがピンシートに固定される位置へ変更したこと以外は全て実施例１と同様の操作を行うことにより、幅２１２０ｍｍ、厚さ１２５μｍのポリイミドフィルムを２００００ｍ得た。この方法では、製膜１００時間を経過してもピンシート外れによるフィルム破れもなく、得られたフィルムを白熱光又は偏光をフィルム表面にあて、目視にて欠点の発生を確認したところ両端部欠点の発生はなく、合格であった。
【００４８】
［比較例１］
エアーノズルの位置を２７０℃のエアーを給気する乾燥工程へ変更したこと以外は全て実施例１と同様の操作を行うことにより、幅２１２０ｍｍ、厚さ１２５μｍのポリイミドフィルムを２００００ｍ得た。この方法では、製膜１００時間を経過してもピンシート外れによるフィルム破れはなかったが、得られたフィルムを白熱光又は偏光をフィルム表面にあて、目視にて欠点の発生を確認したところ両端部欠点最大幅は５０ｍｍ／２００００ｍで不合格であった。
【００４９】
［比較例２］
ブラシロールでフィルム端部をピンシートに固定後、ポリイミドフィルムを搬送する設備にエアーノズルを設置しなかったこと以外は全て実施例１と同様の操作を行うことにより、幅２１２０ｍｍ、厚さ１２５μｍのポリイミドフィルムを２００００ｍ得た。この方法では、製膜１００時間を経過してもピンシート外れによるフィルム破れはなかったが、得られたフィルムを白熱光又は偏光をフィルム表面にあて、目視にて欠点の発生を確認したところ両端部欠点最大幅は５０ｍｍ／２００００ｍで不合格であった。
【００５０】
［実施例３］
目標の厚みを１２．５μｍに変更したこと以外は全て実施例１と同様の操作を行うことにより、幅２１２０ｍｍ、厚さ１２．５μｍのポリイミドフィルムを２００００ｍ得た。この方法では、製膜１００時間を経過してもピンシート外れによるフィルム破れもなく、得られたフィルムを白熱光又は偏光をフィルム表面にあて、目視にて欠点の発生を確認したところ両端部欠点の発生なく、合格であった。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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