(57)【要約】【課題】  磁気シールド内部の電磁アクチュエータより発生する磁場の漏れを低減しつつ、物体を駆動させることが可能な駆動装置を提供すること。【解決手段】  本発明に係る駆動装置６は、電磁力により動力を生じる電磁アクチュエータ７と、電磁アクチュエータ７を囲む磁気シールドユニットを有する。磁気シールドユニットは、電磁アクチュエータ７から近いほうから順に、開口１０１を有する第１の磁気シールド９１と開口１０２を有する第２の磁気シールド９２を含んでいる。開口１０１は開口１０１の少なくとも一部の領域で第２の磁気シールド９２と対向しており、さらに、電磁アクチュエータによって移動可能な可動部７３及び８は、開口１０１及び開口１０２を貫通するように屈曲していることを特徴とする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁アクチュエータと、
前記電磁アクチュエータを囲む磁気シールドユニットとを有し、
前記磁気シールドユニットは、前記電磁アクチュエータの磁場発生部に近いほうから順に、開口が在る第１の磁気シールドと、開口が在る第２の磁気シールドを含み、
前記第１の磁気シールドの開口は、該開口の少なくとも一部の領域で前記第２の磁気シールドと対向しており、
前記電磁アクチュエータによって移動可能な可動部は前記第１及び第２の磁気シールドの開口を貫通するように屈曲していることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記第２の磁気シールドからの磁場の漏れが低減されるように、前記第１の磁気シールドの開口の少なくとも一部の領域が前記第２の磁気シールドと対向していることを特徴とする請求項１に記載に駆動装置。
【請求項３】
前記第１の磁気シールドの開口が前記第２の磁気シールドの開口と対向している面積よりも、前記第２の磁気シールドと対向している面積のほうが大きいことを特徴とする請求項１又は２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記第１の磁気シールドの開口の全領域が、前記第２の磁気シールドと対向していることを特徴とする請求項１乃至２のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記可動部は、磁気吸引力を受けて移動可能な前記電磁アクチュエータの可動子と該可動子から生じる推力を前記物体に伝達する伝達部材とを含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記伝達部材は非磁性材料を含むことを特徴とする請求項５に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記可動子に対向している前記電磁アクチュエータの固定子が、接着剤を用いて前記磁気シールドに接着されていることを特徴とする請求項５又は６に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記可動子に対して、前記固定子よりも離れた位置に、前記第２の磁気シールドの開口が位置していることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記可動子と前記伝達部材とが一体に成形されていることを特徴とする請求項５乃至８のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項１０】
前記電磁アクチュエータは電磁石であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項１１】
前記電磁アクチュエータはリニアモータであることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項１２】
移動可能な物体と、前記物体に駆動力を与える駆動装置とを有し、前記物体上の照射対象物に向かって荷電粒子線を照射する照射装置であって、
前記駆動装置が、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の駆動装置であることを特徴とする荷電粒子線照射装置。
【請求項１３】
請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の駆動装置を用いて、照射対象物である基板に対して荷電粒子線を照射する工程と、
前記工程で照射される前記基板を現像する工程とを含むことを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項１４】
磁場の変化を検知することによって被験者の脳機能を計測する脳機能計測器であって、
前記脳機能計測器が有する駆動装置が、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の駆動装置であることを特徴とする脳機能計測器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、駆動装置を搭載した荷電粒子線照射装置、及びデバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子線描画装置や脳磁界計測器のように、周辺磁場の影響を受けやすい装置に対して物体を駆動するための電磁アクチュエータを搭載する場合は、電磁アクチュエータから生じる磁場の漏れを十分に抑制することが必要となる。
【０００３】
そこで特許文献１には、電磁石を、その磁極を互いに重ね合わせるような向きに配置することによって磁場漏れを低減する電磁アクチュエータが記載されている。さらに、電磁アクチュエータから生じる力を物体に伝えるための棒状の可動部が貫通する開口が設けられている、複数の中空体の磁気シールドを用いて電磁アクチュエータを囲むことで磁場の漏れを低減する技術も記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１５３１５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、特許文献１のように電磁アクチュエータの大部分を複数の磁気シールドで囲むことで磁場の漏れの低減効果はあるものの、内側の磁気シールドの開口が外側の磁気シールドの開口に対向していることに起因して磁場漏れが生じる。
【０００６】
電子線描画装置の場合は磁場の影響を受けてパターンの描画位置にずれが生じてしまうという課題があり、近年の描画パターン微細化を考慮すると磁場の漏れのさらなる低減が必要である。その他、荷電粒子線を扱う計測装置や、微弱磁場を使用する機器等においても同様に、磁場の漏れを低減させることが課題となっている。
【０００７】
そこで、本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、電磁アクチュエータより発生する磁場が磁気シールドの開口を介して漏れることを低減しつつ、物体を駆動させることが可能な駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の駆動装置は、電磁アクチュエータと、前記電磁アクチュエータを囲む磁気シールドユニットとを有し、前記磁気シールドユニットは、前記電磁アクチュエータの磁場発生部に近いほうから順に、開口が在る第１の磁気シールドと、開口が在る第２の磁気シールドを含み、前記第１の磁気シールドの開口は、該開口の少なくとも一部の領域で前記第２の磁気シールドと対向しており、前記電磁アクチュエータによって移動可能な可動部は、前記第１及び第２の磁気シールドの開口を貫通するように屈曲していることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の駆動装置によれば、電磁アクチュエータより発生する磁場が磁気シールドの開口を介して漏れることを低減することが可能となる。よって本発明を例えば電子線描画装置に用いれば、電磁アクチュエータからの磁場に起因する、描画位置のずれを低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施形態１に係る駆動装置を搭載した電子線描画装置の構成を示す図
【図２】実施形態１に係る駆動装置の断面図
【図３】実施形態２に係る駆動装置の断面図
【図４】実施形態３に係る駆動装置の断面図
【図５】実施形態４に係る駆動装置の断面図
【図６】実施形態５に係る駆動装置の断面図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の駆動装置は、駆動装置が搭載される装置であって、電磁アクチュエータからの磁場漏れの低減が要求される装置に対して適用可能である。例えば、電子線描画装置、電子顕微鏡等の荷電粒子線を用いる機器（荷電粒子線照射装置）、あるいは磁場の変化を検知することによって被験者の脳機能を計測する脳磁界計測器（脳機能計測器）等の医療機器が挙げられる。以下、実施形態１−５に係る駆動装置を電子線描画装置に対して適用した場合を例に、説明する。
【００１２】
（実施形態１）
図１は、実施形態１における駆動装置を搭載した電子線描画装置の概略構成を示す図である。同図の電子線描画装置は、実施形態１における駆動装置６に代えて、後述する各実施形態における駆動装置を搭載可能であるものとする。電子線描画装置は、筐体１、基板２（照射対象物）、長ストロークステージ３、短ストロークステージ４を有する。筐体１は、基板２に向かって電子線を照射するための電子源や電子光学系を収容している。
【００１３】
短ストロークステージ４は長ストロークステージ３の上面に載置されており、基板２を搭載する基板支持部５（物体）及び基板支持部５に駆動力を与えるための駆動装置６を有している。長ストロークステージ３は、基板２を長ストローク移動させておよその位置決めを行い、短ストロークステージ４の基板支持部５は基板２を短ストローク移動させて正確な位置決めを行う。
【００１４】
基板支持部５上には、基板２を保持する基板ホルダ（不図示）や、基板支持部５の位置計測に用いられるミラー（不図示）が設置されている。レーザ干渉計（不図示）が放出するレーザ光を前記ミラーで反射させることで、Ｘ、Ｙ、及びＺ軸方向の基板支持部５の位置を計測する。計測された位置情報に基づいて、長ストロークステージ３や短ストロークステージ４の基板支持部５が駆動される。このように基板支持部５を駆動しつつ基板２に電子線を照射することによって基板２上に目的のパターンを描画する。
【００１５】
以上の電子線描画装置の構成は、内部雰囲気が真空である真空チャンバー（不図示）内に設置されている。さらに真空チャンバーは磁気シールドルーム（不図示）内に設置されており、電子線を制御するための制御基板が入った電装ラック等の周辺機器からの磁場の影響を避けるようにしている。
【００１６】
図２は、実施形態１に係る駆動装置６の断面図である。基板支持部５を電磁力により駆動させる電磁アクチュエータとして電磁石ユニット７を搭載している。電磁石ユニット７は、磁性材料からなる、固定子であるＥコア７１と可動子であるＩコア７３とを有している。さらに電磁石ユニット７はＥコア７１を励磁する励磁コイル７２を備え、Ｉコア７３は励磁されたＥコア７１との間に生じる磁気吸引力を受けて移動する。
【００１７】
励磁コイル７２に流す電流の大きさや向きを制御することで、Ｅコア７１とＩコア７３との間で生じる磁気吸引力の強さや方向が制御される。なお、短ストロークステージ４の可動する部分の軽量化を図るために、Ｉコア７３はＥコア７１に比べて軽量であることが好ましい。電磁アクチュエータとして電磁石ユニット７を用いる利点として、例えば、単位電流に対する推力の取り出し効率に優れていることが挙げられる。
【００１８】
以下、実施形態１−４ではＥコア７１と対向している部分をＩコア７３として説明しているが、Ｉコア７３の長さはこれに限らない。励磁されたＥコア７１との間で磁気吸引力を生じる長ささえあれば、Ｚ軸方向にＩコア７３がＥコア７１より短くても長くても構わない。
【００１９】
伝達部材８は、一端がＩコア７３と、もう一端が基板支持部５と連結されている。そのため、Ｉコア７３が磁気吸引力を受けて移動すると、伝達部材８を介して、基板支持部５もＩコア７３に連動する。図２に示すように電磁石ユニット７が配置されている場合は、基板支持部５はＸ軸方向に移動する。なお、この伝達部材８は、磁場の漏れを防ぐためにも非磁性材料であることが好ましい。
【００２０】
駆動装置６は、電磁アクチュエータより生じる電磁力によって移動可能な可動部を介して、可動部に連結している物体を動かす。すなわち、本実施形態及び後述の実施形態２−４では、Ｉコア７３及び伝達部材８が可動部である。
【００２１】
図１における電子線描画装置に対して、図２に示すＸ軸方向に移動させるための駆動装置６の他に、不図示の、Ｙ軸やＺ軸方向の移動用の駆動装置も搭載することによって、基板支持部５を６軸方向に移動させることが可能となる。
【００２２】
電磁石ユニット７から発生する磁場が外部に漏れないようにするために、電磁石ユニット７の周囲を、中空体の複数の磁気シールド（磁気シールドユニット）により多重に囲んでいる。複数の磁気シールドは、電磁石ユニット７の磁場発生部、すなわち本実施形態ではＥコア７１から近いほうから順に、開口の在る磁気シールド９１（第１の磁気シールド）と開口の在る磁気シールド９２（第２の磁気シールド）が設けられている。
【００２３】
磁気シールド９１、９２の材料としては、パーマロイのような軟質磁性材料を使用する。軟質磁性材料は高透磁率材料であり、その材料で閉じた空間内の磁場を閉じ込める遮蔽性に優れた材料である。
【００２４】
磁気シールド９１、９２、Ｅコア７１を一体に連結するために、磁気シールド９１、９２には連結用の開口１０３が設けられている。また、磁気シールド９１、９２の間には、非磁性材料のスペーサ１２が設けられている。連結用の開口１０３にボルト１１を通して、Ｅコア７１、磁気シールド９１、スペーサ１２、磁気シールド９２の順で並べて一体に連結している。ボルト１１を高透磁率の材料で構成することで、連結用の開口１０３からの磁場の漏れを低減している。
【００２５】
連結用の開口１０３の他に、Ｉコア７３及び基板支持部５に連結されている伝達部材８を非接触で貫通させるための、開口１０１、１０２が磁気シールド９１、９２に各々設けられている。開口１０１、１０２を貫通している伝達部材８によって、電磁石ユニット７より生じる動力を基板支持部５に伝えることが可能となる。しかし、開口１０１、１０２には基板支持部５の移動距離を確保できる程度の大きさが必要となる一方で、開口１０１、１０２が大きくなるほど磁場は漏れやすくなってしまう。
【００２６】
そこで、磁気シールド９１、９２から磁場が漏れることを低減するため、磁気シールド９２にある開口１０２の中心位置を、磁気シールド９１の開口１０１の中心位置に対してＸ軸方向にａずれるように配置している。開口１０１と１０２を互いにずらして配置することによって、開口１０１の少なくとも一部の領域が磁気シールド９２と対向することとなり、開口１０１を通って磁気シールド９１の外側に漏れた磁場を磁気シールド９２によって遮蔽する。このような構成にすることで、開口１０２からの磁場の漏れを低減させることができる。
【００２７】
そのため、開口１０１が開口１０２に対向する面積よりも開口１０１が磁気シールド９２に対向する面積の方が大きいことが好ましい。特に、図２に示すように開口１０１が磁気シールド９２にのみ対向している構成とすることが好ましい。このように構成することで、磁場の漏れを低減させる効果が一層高まるためである。
【００２８】
伝達部材８は、磁気シールド９１及び磁気シールド９２の間の空間に屈曲部８０を有し、屈曲部８０は、直線形状の連結部材８１、８２及び８３を互いに非磁性材料のボルト１１で機械的に連結させることによって形成されている。伝達部材８が屈曲していることによって、Ｘ軸方向にずれた位置に開口１０１、１０２を配置することが可能となり、基板支持部５の可動範囲の確保と電磁石ユニット７からの磁場漏れの低減を両立することが可能となる。
【００２９】
なお、屈曲とは図２に示すような直角に曲げた形状のみを意味するのではなく、開口１０１、１０２を伝達部材８が貫通できるように適切な角度で曲げられている形状のことを意味するものとする。
【００３０】
（実施形態２）
実施形態２に係る駆動装置６について図３を用いて説明する。実施形態２に係る駆動装置６も電磁石ユニット７と磁気シールド９１、９２、伝達部材８を有するが、電磁石ユニット７のＥコア７１及び磁気シールド９１、９２の連結方法、磁気シールド９１、９２の開口位置、及び伝達部材８の構成が実施形態１とは異なる。
【００３１】
まず、Ｅコア７１と磁気シールド９１、９２の連結方法を説明する。本実施形態では、これらの部材がエポキシ系の接着剤を用いて一体に連結されている。そのため、磁気シールド９１、９２には、図１における連結用の開口１０３を設ける必要がなくなり、磁場の漏れを低減させる効果が得られる。
【００３２】
次に、磁気シールド９１、９２の開口位置に係る構成について説明する。磁気シールド９１には１つの開口１０４が、磁気シールド９２には、２つの開口１０５、１０６が設けられている。開口１０５、１０６の中心位置が、開口１０４の中心からＸ軸方向にｂずれた位置にある。
【００３３】
伝達部材８は開口１０４、１０５、１０６を非接触に貫通するために、伝達部材８は、磁気シールド９１と磁気シールド９２の間の空間に屈曲部を有している。屈曲部は、開口１０４を貫通する連結部材８４、開口１０５、１０６を各々貫通する２つの連結部材８５、及びこれらの連結部材を連結するための２つの連結部材８６を連結することによって形成されている。
【００３４】
実施形態１と同様、磁気シールド９１の開口１０４の中心位置と、磁気シールド９２の開口１０５及び開口１０６の中心位置をずらしている。これによって、磁気シールド９１の外側に漏れた磁場が、開口１０４に対向している磁気シールド９２によって遮蔽されるようにしている。
【００３５】
（実施形態３）
実施形態３に係る駆動装置６について図４を用いて説明する。実施形態３は実施形態２の駆動装置６の変形例である。実施形態３に係る駆動装置６も電磁石ユニット７と電磁石ユニット７を囲む２層の磁気シールド９１、９２、伝達部材８を有しており、Ｅコア７１及び磁気シールド９１、９２は接着剤により連結されている。ただし、磁気シールド９１、９２の開口位置、及び伝達部材８の構成が実施形態２とは異なる。
【００３６】
実施形態１及び２における磁気シールド９２が有する開口は、いずれも磁気シールド９１に平行な平面、すなわち、磁気シールド９２の上面に設けられている。しかし、本実施形態では、磁気シールド９２に設けられている開口１０８が、開口１０７を有する磁気シールド９１の面に対して直角な面、すなわち、磁気シールド９２の側面（前記可動子に対して、前記固定子よりも離れた位置）に設けられている点で実施形態１及び２とは異なる。
【００３７】
また、本実形態３における開口１０７、１０８の構成に合わせて、これらの開口１０７、１０８を非接触で貫通する伝達部材８の構造も実施形態１及び２とは異なる。開口１０７を連結部材８７が貫通し、開口１０８を連結部材８８が貫通し、連結部材８９が基板支持部５と連結されており、連結部材８７、８９を連結部材８８で連結している構成となっている。
【００３８】
開口１０７と開口１０８の中心位置は、Ｘ軸方向にｃだけ離れている。本実施形態のように、開口１０８を、Ｉコア７３からみたＥコア７１よりも離れている位置に配置して、開口の中心位置のずれ量がなるべく大きくなるように設計することで、磁場の漏れの低減効果を高めることが可能となる。
【００３９】
（実施形態４）
本実施形態は、磁気シールド９２の構成が他の実施形態とは異なる場合である。図５は、実施形態４の駆動装置６の断面図である。電磁石ユニット７の周囲が、開口１０７が在る直方体の磁気シールド９１に覆われている点は前述の各実施形態と同様であるが、磁気シールド９１に被さるように、直方体の一面が無い形状をしている磁気シールド９２が構成されている点で異なる。
【００４０】
磁気シールド９２には開口１０８が在り、開口１０７及び開口１０８の配置は実施形態３と同様の構成をしている。また、Ｅコア７１は磁気シールド９１と接触しないように非磁性材料の固定部材１４で固定されている。本実施形態は、磁気シールド９１が磁場の遮蔽性に優れており、開口付近の磁場の漏れのみが懸念される場合に適している。
【００４１】
（実施形態５）
実施形態５に係る駆動装置６について図６を用いて説明する。実施形態５に係る駆動装置６は、電磁石ユニット７の代わりにリニアモータユニット１３を使用している点で実施形態１−４とは異なる。
【００４２】
リニアモータユニット１３は、固定子として永久磁石１３１、可動子としてコイル１３２、及びヨーク１３３を備えている。コイル１３２に電流を流す電流の大きさや向きを制御することで、永久磁石１３１とコイル１３２との間に生じる磁気吸引力の強さや方向が制御される。
【００４３】
なお、コイル１３２は、図６に示すように永久磁石１３１と対向している形態が好ましいが、永久磁石１３１と磁気吸引力を生じるのであれば図６に図示されている位置から多少ずれていても構わない。
【００４４】
伝達部材８は、一端がコイル１３２と、もう一端が基板支持部５と連結されている。そのため、コイル１３２が磁気吸引力を受けて移動すると、伝達部材８を介して、基板支持部５も連動して移動する。なお、前述の定義から、本実施形態では、コイル１３２及び伝達部材８が電磁アクチュエータによって移動可能な可動部である。
【００４５】
リニアモータユニット１３の場合も電磁石ユニット７を使用する場合と同様に、漏れ磁場を低減させるために、中空体の複数の磁気シールド９１、９２により多重に囲まれている。リニアモータユニット１３の磁場発生部に近いほう、すなわち永久磁石１３１の間から順に磁気シールド９１と磁気シールド９２が配置されている。
【００４６】
また、コイル１３２に連結してある伝達部材８を非接触で貫通させるため、磁気シールド９１には開口１０９が、磁気シールド９２には開口１１０が設けられている。さらに、これらの開口１０９、１１０からの漏れ磁場を低減させるため、開口１０９、１１０の中心位置がＸ軸方向にｄずれるように配置されている。伝達部材８は、実施形態１と同様に屈曲部を有している。
【００４７】
リニアモータユニット１３は、電磁石ユニット７を使用した場合に比べて、基板２に対する振動を伝えにくいという特徴がある。そのため、実施形態１−４に比べて微細なパターンを描画したい場合に適している。
【００４８】
永久磁石１３１の配置を変更することで、コイル１３２及び伝達部材８の駆動方向、すなわち基板２の駆動方向を変更することも可能である。また、図５は同軸方向の駆動しかできないが、１つの駆動装置６内にＸ、Ｙ、及びＺ軸方向の駆動用のリニアモータユニット１３を組み合わせて配置することで、任意の方向に移動可能にしても構わない。
【００４９】
（その他の実施形態）
最後に、実施形態１−５と補足事項について説明する。各々の実施形態では、伝達部材８のみが磁気シールド９１、９２に在る開口を貫通している例を示したが、これに限らない。電磁アクチュエータによって移動可能な可動部が貫通していれば良く、例えば可動子７３が開口を貫通していても良い。
【００５０】
Ｉコア７３と伝達部材８や、コイル１３２及び伝達部材８のように電磁アクチュエータによって移動可能な可動部は、必ずしも別の材料を組み合わせて構成される必要はなく、同じ材料を用いて一体として成形されていても良い。一体として成形することで、組立に要するコストを削減することが可能となる。
【００５１】
２層の磁気シールド９１、９２を使用する場合を例として示したが、磁気シールド９２の外側に複数層の磁気シールドを追加して、３層以上の磁気シールドによって電磁石ユニットを囲む構成でも構わない。磁場の遮蔽率は、磁気シールド９１、９２の厚みや、各磁気シールド間の距離にも依存しているので、これらの要素を考慮して構成を決めれば良い。
【００５２】
伝達部材８が貫通しているある開口の一部の領域が磁気シールドと対向していれば、磁気シールド９１、９２が角柱の中空体である場合を例示したが、曲面を有する中空体であっても良い。
【００５３】
各々の実施形態では、開口同士のずれがＸ軸方向に生じている場合についてのみ記載したが、その他の方向（Ｙ軸方向、あるいは、Ｘ軸及びＹ軸成分を有する方向）にずれていても良い。なお、基板支持部５の駆動方向と、開口のずれが生じている方向が同一でなくても構わない。
【００５４】
開口１０１−１０８を、短ストロークステージ４の基板支持部５よりも長ストロークステージ３側に配置しても良い。２つの開口位置をずらすことによる磁場漏れを低減させる効果だけではなく、２つの開口が基板２からなるべく離れた場所に位置することによって電子線が磁場の影響を受けにくくする効果が得られる。
【００５５】
電子描画装置等に本発明の駆動装置６を搭載する場合には、リニアモータユニット１３を電磁アクチュエータとする駆動装置６や電磁石ユニット７を電磁アクチュエータとする駆動装置６を併用して用いても構わない。
【００５６】
以上、前述の全ての実施形態に係る駆動装置６では、磁気シールド９１、９２の開口の中心位置がある方向にずれて配置されており、磁気シールド９１が有する開口の一部の領域が磁気シールド９２と対向するような構成をしている。これによって、電磁石ユニット７やリニアモータユニット１３等の電磁アクチュエータから生じる磁場の漏れを低減しつつ、物体を駆動させることが可能となる。
【００５７】
さらに、前述の実施形態に係る駆動装置６を電子線描画装置の短ストロークステージ４に搭載することにより、パターンの潜像を描画するための電子線が受ける磁場の影響が軽減され、描画位置がずれてしまう現象を低減することが可能となる。
【００５８】
（デバイスの製造方法）
本発明におけるデバイスの製造方法は、各実施形態に記載の駆動装置によって基板支持部５を移動させながら、基板支持部５上の基板２に対して荷電粒子線を照射する工程と、パターンが描画された基板２を現像する工程とを含む。さらに、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含んでも良い。
【符号の説明】
【００５９】
２  基板
５  基板支持部
７  電磁石ユニット
８  伝達部材
７１  Ｅコア
７３  Ｉコア
９１、９２  磁気シールド
１０１、１０２  開口
【図１】
2015032609.tif 000003
【図２】
2015032609.tif 000004
【図３】
2015032609.tif 000005
【図４】
2015032609.tif 000006
【図５】
2015032609.tif 000007
【図６】
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