(57)【要約】【課題】ガラス基板に対して、作業者の手等が触れることなく、適切且つ容易に液体処理工程を行うことが可能なガラス基板保持用治具を提供する。【解決手段】ガラス基板Ｇの一辺Ｌを保持する中央フレーム２と、中央フレーム２に保持されるガラス基板Ｇの一辺Ｌの一方端Ｌ１に隣接する一側辺Ｍを保持する第一側方フレーム３と、中央フレーム２に保持されるガラス基板Ｇの一辺Ｌの他方端Ｌ２に隣接する他側辺Ｎを保持する第二側方フレーム４と、を備え、中央フレーム２の一端２ａに第一側方フレーム３の一端３ａが取り付けられ、中央フレーム２の他端２ｂに第二側方フレーム４の一端４ａが取り付けられ、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４の少なくとも一方は、ガラス基板Ｇを保持するホールド位置とガラス基板Ｇを取り外し可能なオープン位置との間で、中央フレーム２に対して移動可能に構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状のガラス基板を保持するガラス基板保持用治具であって、
前記ガラス基板の一辺を保持する中央フレームと、
前記中央フレームに保持される前記ガラス基板の一辺の一方端に隣接する一側辺を保持する第一側方フレームと、
前記中央フレームに保持される前記ガラス基板の一辺の他方端に隣接する他側辺を保持する第二側方フレームと、
を備え、
前記中央フレームの一端に前記第一側方フレームの一端が取り付けられ、前記中央フレームの他端に前記第二側方フレームの一端が取り付けられ、
前記第一側方フレーム及び前記第二側方フレームの少なくとも一方は、前記ガラス基板を保持するホールド位置と前記ガラス基板を取り外し可能なオープン位置との間で、前記中央フレームに対して移動可能に構成されているガラス基板保持用治具。
【請求項２】
前記第一側方フレーム及び前記第二側方フレームの少なくとも一方は、前記中央フレームに対して取り付け位置を中心に揺動可能に連結されており、
前記中央フレームに対する前記第一側方フレーム及び前記第二側方フレームの少なくとも一方の揺動幅を調整する調整機構をさらに備える請求項１に記載のガラス基板保持用治具。
【請求項３】
前記調整機構は、
前記中央フレームと前記第一側方フレーム及び前記第二側方フレームの少なくとも一方との間に亘って設けられた連結部材と、
前記連結部材の一方端側に形成された長孔と、
前記中央フレームに対して移動可能に構成された前記第一側方フレーム及び前記第二側方フレームの少なくとも一方に設けられ、前記長孔に沿ってスライド可能に当該長孔と嵌合するピン部材と、
を備える請求項２に記載のガラス基板保持用治具。
【請求項４】
前記中央フレーム、前記第一側方フレーム、及び前記第二側方フレームは、前記ガラス基板を狭持する狭持ブロックを夫々少なくとも一つ備える請求項１〜３の何れか一項に記載のガラス基板保持用治具。
【請求項５】
前記第一側方フレーム、及び前記第二側方フレームは、作業者が把持するためのグリップを夫々少なくとも一つ備える請求項１〜４の何れか一項に記載のガラス基板保持用治具。
【請求項６】
ガラス基板を液体で処理するガラス基板処理方法であって、
処理対象のガラス基板を、請求項１〜５の何れか一項に記載のガラス基板保持用治具にセットし、各フレームを前記ホールド位置に設定する準備工程と、
前記ガラス基板を前記ガラス基板保持用治具ごと前記液体に浸漬する浸漬工程と、
前記ガラス基板を前記ガラス基板保持用治具ごと前記液体から取り出す取出工程と、
各フレームを前記オープン位置に設定し、前記ガラス基板を前記ガラス基板保持用治具から取り外す開放工程と、
を包含するガラス基板処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板を保持するガラス基板保持用治具、及びガラス基板を液体で処理するガラス基板処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板の製造工程において、ガラス基板を洗浄液に浸漬して洗浄する工程や、化学強化液に浸漬して耐衝撃性や耐傷性を高める工程など、液体の薬剤を使用して特定の処理を行う工程がある。ガラス基板の液体処理工程を行うにあたっては、ガラス基板に薬剤が十分に接触するように、ガラス基板の表面全体を露出させつつ、ガラス基板の処理面に作業者の手などが触れないようにする配慮が求められる。このため、ガラス基板は、専用のガラス基板保持用治具にセットした状態で液体処理工程に供される。
【０００３】
従来公知のガラス基板保持用治具を用いた搬送装置として、例えば、基板を縦置き状態で保持可能な基板保持具を備えた基板搬送ケースがあった（例えば、特許文献１を参照）。特許文献１の基板搬送ケースに使用される基板保持具は、基板を縦置き状態で保持するための基板保持部、基板保持部を支持する支持台、及び支持台の裏面に取り付けられた転動体を備えている。基板保持具は、専用の基板搬送ケースに収納して使用され、基板搬送ケースの内部は基板側の上側部分と転動体側の下側部分とに仕切られている。特許文献１の基板保持具は、基板搬送ケースに対して出し入れを容易にするためのものである。
【０００４】
また、従来公知のガラス基板保持用治具を用いた洗浄装置として、基板を直立させて保持する基板保持搬送治具を備えた大型基板洗浄装置があった（例えば、特許文献２を参照）。特許文献２の大型基板洗浄装置に使用される基板保持搬送治具は、上辺部、下辺部、及び側辺部を組み合わせたコ型形状を有しており、各辺部に基板を固定するチャックコマと呼ばれる部材が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２５０６８８号公報
【特許文献２】特開２００９−１９５７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ガラス基板の液体処理工程を行うにあたっては、ガラス基板保持用治具に対して、ガラス基板のセット作業と取り出し作業とが繰り返し行われる。このため、ガラス基板保持用治具には、作業者がガラス基板に触れることなく簡単に操作できること、効率的に作業を行えること等が求められる。
【０００７】
この点に関し、特許文献１の基板搬送ケースに使用される基板保持具は、上述のとおり、基板搬送ケースに対する出し入れの容易化を目的とするものであり、基板保持具へのガラス基板のセット作業及び取り出し作業を容易化することを念頭に置いて開発されたものではない。このため、基板保持具にガラス基板をセット又は取り出す際に、作業者がガラス基板の表面に触れてしまう虞がある。
【０００８】
特許文献２の大型基板洗浄装置に使用される基板保持搬送治具は、コ型形状の開放部から基板を挿入し、チャックコマをコ型形状の内側に折り畳むことによって、基板が基板保持搬送治具に保持されるようになっている。基板保持搬送治具から基板を取り出す場合は、チャックコマを元の状態に戻した状態で作業が行われる。しかしながら、チャックコマを元の状態に戻しても、基板保持搬送治具のコ型形状は不変であるため、基板保持搬送治具から基板を取り出す際には、基板をコ型形状の開放部から引き抜く操作が必要となる。このため、作業者の手などが基板表面に触れてしまう虞がある。
【０００９】
このように、従来の技術では、ガラス基板の液体処理工程を行うにあたって、ガラス基板に触れることなく、保持用治具へのガラス基板の着脱を簡単且つ効率的に行うことは困難であり、改善の余地があった。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、ガラス基板に対して、作業者の手等が触れることなく、適切且つ容易に液体処理工程を行うことが可能なガラス基板保持用治具、及び当該ガラス基板保持用治具を使用してガラス基板を液体で処理するガラス基板処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための本発明に係るガラス基板保持用治具の特徴構成は、矩形状のガラス基板を保持するものであって、前記ガラス基板の一辺を保持する中央フレームと、前記中央フレームに保持される前記ガラス基板の一辺の一方端に隣接する一側辺を保持する第一側方フレームと、前記中央フレームに保持される前記ガラス基板の一辺の他方端に隣接する他側辺を保持する第二側方フレームと、を備え、前記中央フレームの一端に前記第一側方フレームの一端が取り付けられ、前記中央フレームの他端に前記第二側方フレームの一端が取り付けられ、前記第一側方フレーム及び前記第二側方フレームの少なくとも一方は、前記ガラス基板を保持するホールド位置と前記ガラス基板を取り外し可能なオープン位置との間で、前記中央フレームに対して移動可能に構成されていることにある。
【００１１】
本構成のガラス基板保持用治具によれば、第一側方フレーム及び第二側方フレームの少なくとも一方が、ガラス基板を保持するホールド位置とガラス基板を取り外し可能なオープン位置との間で、中央フレームに対して移動可能に構成されているため、矩形状のガラス基板の取り付け作業、及び取り外し作業が容易なものとなる。また、中央フレームに対して第一側方フレーム又は第二側方フレームを移動させるだけで、ガラス基板保持用治具の状態を変更できるので、ガラス基板を着脱する際に当該ガラス基板に作業者の手等が直接触れることがなく、ガラス基板の表面を常に清潔な状態に維持することができる。従って、本構成のガラス基板保持用治具は、ガラス基板を液体で処理する際に有用なものであり、ガラス基板の液体処理を適切且つ容易に行うことが可能となる。
【００１２】
本発明に係るガラス基板保持用治具において、前記第一側方フレーム及び前記第二側方フレームの少なくとも一方は、前記中央フレームに対して取り付け位置を中心に揺動可能に連結されており、前記中央フレームに対する前記第一側方フレーム及び前記第二側方フレームの少なくとも一方の揺動幅を調整する調整機構をさらに備えることが好ましい。
【００１３】
本構成のガラス基板保持用治具によれば、中央フレームに対して第一側方フレーム及び第二側方フレームの少なくとも一方を揺動可能とし、さらにその揺動幅を調整する調整機構を備えているため、保持対象のガラス基板に応じて適切なホールド位置及びオープン位置を設定し、作業性を向上させることができる。
【００１４】
本発明に係るガラス基板保持用治具において、前記調整機構は、前記中央フレームと前記第一側方フレーム及び前記第二側方フレームの少なくとも一方との間に亘って設けられた連結部材と、前記連結部材の一方端側に形成された長孔と、前記中央フレームに対して移動可能に構成された前記第一側方フレーム及び前記第二側方フレームの少なくとも一方に設けられ、前記長孔に沿ってスライド可能に当該長孔と嵌合するピン部材と、を備えることが好ましい。
【００１５】
本構成のガラス基板保持用治具によれば、調整機構は、連結部材の一方端側に形成された長孔と、フレームに設けられたピン部材とを備えるだけの比較的簡単な構成でありながら、中央フレームに対する第一側方フレーム及び第二側方フレームの少なくとも一方の移動量の調整を容易に行うことができる。また、ピン部材は長孔に対してスライド可能に嵌合するものであるため、ガラス基板のサイズに応じてスライド量の変更が可能であり、サイズ等の異なる種々のガラス基板にも対応することができる。
【００１６】
本発明に係るガラス基板保持用治具において、前記中央フレーム、前記第一側方フレーム、及び前記第二側方フレームは、前記ガラス基板を狭持する狭持ブロックを夫々少なくとも一つ備えることが好ましい。
【００１７】
本構成のガラス基板保持用治具によれば、ガラス基板を装着すると、フレームに設けられた狭持ブロックがガラス基板を狭持するため、保持されているガラス基板を安定させることができる。
【００１８】
本発明に係るガラス基板保持用治具において、前記第一側方フレーム、及び前記第二側方フレームは、作業者が把持するためのグリップを夫々少なくとも一つ備えることが好ましい。
【００１９】
本構成のガラス基板保持用治具によれば、ガラス基板を搬送する場合、作業者は、第一側方フレーム及び第二側方フレームに設けられたグリップを把持することで、ガラス基板をガラス基板保持用治具ごと持ち上げて安全且つ容易に搬送することができる。
【００２０】
上記課題を解決するための本発明に係るガラス基板処理方法の特徴構成は、ガラス基板を液体で処理するものであって、処理対象のガラス基板を、上記の何れか一つに記載のガラス基板保持用治具にセットし、各フレームを前記ホールド位置に設定する準備工程と、前記ガラス基板を前記ガラス基板保持用治具ごと前記液体に浸漬する浸漬工程と、前記ガラス基板を前記ガラス基板保持用治具ごと前記液体から取り出す取出工程と、各フレームを前記オープン位置に設定し、前記ガラス基板を前記ガラス基板保持用治具から取り外す開放工程と、を包含することにある。
【００２１】
本構成のガラス基板処理方法によれば、上述のガラス基板保持用治具における作用効果と同様に、矩形状のガラス基板の取り付け作業、及び取り外し作業が容易なものとなる。また、準備工程、浸漬工程、取出工程、及び開放工程を行うにあたっては、ガラス基板に作業者の手等が直接触れることがないため、ガラス基板の表面を常に清潔な状態に維持することができる。従って、ガラス基板を液体で処理する場合、ガラス基板の表面に処理ムラ等の不良箇所が発生し難く、高品質なガラス製品を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は、本発明のガラス基板保持用治具の斜視図である。
【図２】図２は、本発明のガラス基板保持用治具の正面図である。
【図３】図３は、ガラス基板保持用治具を用いて行う本発明のガラス基板の処理方法の工程説明図である。
【図４】図４は、第一の別実施形態に係るガラス基板保持用治具の正面図である。
【図５】図５は、第二の別実施形態に係るガラス基板保持用治具の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明のガラス基板保持用治具、及びガラス基板処理方法に関する実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。さらに、別実施形態に係るガラス基板保持用治具について、図４及び図５を参照して説明する。ただし、本発明は、以下に説明する実施形態や図面に記載される構成に限定されることを意図しない。
【００２４】
〔ガラス基板保持用治具〕
図１は、本発明のガラス基板保持用治具１の斜視図である。ガラス基板保持用治具１は、矩形状のガラス基板Ｇの略全面を露出させた状態で保持する治具である。ガラス基板保持用治具１は、ガラス基板Ｇを保持する３つのフレーム２，３，４を備えている。フレーム２は、ガラス基板Ｇの一辺Ｌを保持するものであり、これを中央フレーム２と称する。フレーム３は、中央フレーム２に保持されるガラス基板Ｇの一辺Ｌの一方端Ｌ１に隣接する一側辺Ｍを保持するものであり、これを第一側方フレーム３と称する。フレーム４は、中央フレーム２に保持されるガラス基板Ｇの一辺Ｌの他方端Ｌ２に隣接する他側辺Ｎを保持するものであり、これを第二側方フレーム４と称する。ガラス基板保持用治具１は、中央フレーム２の一端２ａに第一側方フレーム３の一端３ａが取り付けられ、中央フレーム２の他端２ｂに第二側方フレーム４の一端４ａが取り付けられる。ここで、フレームへの取り付け箇所について、「フレームの一端（他端）」とは、厳密にフレームの端部である必要はなく、フレームの端部付近の箇所も含まれる。このようにして、コ型（又はＵ型）形状のフレームを備えたガラス基板保持用治具１が構成される。コ型形状のフレームのうちフレームが存在しない開放部は、後述するガラス基板Ｇの挿入口５となる。ガラス基板保持用治具１の中央フレーム２、第一側方フレーム３、及び第二側方フレーム４は、後述する液体処理を行うときに薬剤に曝されるため、耐食性材料で構成することが好ましい。耐食性材料としては、ステンレス、チタン、白金、ハステロイ（登録商標）、インコネル（登録商標）等の耐食性を有する金属材料が挙げられるが、鉄鋼やアルミニウム合金等の金属材料に耐食性コーティング等の表面処理を施して耐食性を向上させたものでも構わない。あるいは、フッ素樹脂（例えば、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ）等の耐食性の高い硬質樹脂材料で各フレーム２，３，４を構成することも可能である。
【００２５】
ガラス基板保持用治具１は、中央フレーム２と第一側方フレーム３との接続箇所、及び中央フレーム２と第二側方フレーム４との接続箇所に夫々ヒンジ６が設けられている。これにより、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４の中央フレーム２に対する角度を変化させ、ガラス基板保持用治具１の挿入口５の幅を調整することができる。さらに、ガラス基板保持用治具１において、中央フレーム２と第一側方フレーム３との間には、両者を補強しながら連結する連結部材として第一筋交い７が設けられる。第一筋交い７は、一方端７ａに長孔７ｂが形成され、他方端７ｃが中央フレーム２に軸支されている。第一側方フレーム３にはピン部材３ｂが設けられ、当該ピン部材３ｂは長孔７ｂに沿ってスライド可能に当該長孔７ｂと嵌合する。そして、ピン部材３ｂが長孔７ｂに沿って摺動することにより、第一側方フレーム３は中央フレーム２に対して揺動可能となる。第一側方フレーム３の揺動幅は、長孔７ｂの長さによって決まる。ピン部材３ｂは、長孔７ｂに対する位置を固定可能に構成される。具体的には、ピン部材３ｂは、長孔７ｂに貫挿され、第一側方フレーム３にねじ込み可能なネジ状の部材である。ピン部材３ｂを第一側方フレーム３にねじ込み、第一筋交い７を第一側方フレーム３に締結することによって、長孔７ｂに対するピン部材３ｂの位置を固定することができるとともに、第一側方フレーム３の揺動を固定状態（ロック状態）とすることができる。従って、第一筋交い７の一方端７ａ、長孔７ｂ、及びピン部材３ｂは、中央フレーム２に対する第一側方フレーム３の揺動幅を調整する第一調整機構８として機能する。同様に、中央フレーム２と第二側方フレーム４との間には、中央フレーム２に対する第二側方フレーム４の揺動幅を調整する第二調整機構１０として、第二筋交い９の一方端９ａ、長孔９ｂ、及びピン部材４ｂが設けられている。第二調整機構１０の構成は、第一調整機構８と同様であるため、詳細な説明は省略する。第一調整機構８及び第二調整機構１０は、比較的簡単な構成を有するものでありながら、中央フレーム２に対する第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４の揺動幅の調整を容易に行うことができる。さらに、第一調整機構８におけるピン部材３ｂは長孔７ｂに対してスライド可能に嵌合するものであり、第二調整機構１０におけるピン部材４ｂは長孔９ｂに対してスライド可能に嵌合するものであるため、ガラス基板Ｇのサイズに応じて、ピン部材３ｂ，４ｂのスライド量の変更が可能であり、サイズ等が異なる種々のガラス基板にも対応することができる。
【００２６】
図１では、第一調整機構８及び第二調整機構１０の双方をガラス基板Ｇの一方面側に位置するよう設けた場合を例示している。このような構成によれば、第一調整機構８及び第二調整機構１０が設けられていない他方面側からガラス基板Ｇを容易に取り出すことができる。従って、ガラス基板Ｇを取り出すときに、ガラス基板Ｇが第一筋交い７や第二筋交い９と接触して破損することを防止できる。なお、第一調整機構８及び第二調整機構１０の配置及び設置数は一例であり、ガラス基板保持用治具１の表側（紙面の手前側）及び裏側（紙面の奥側）の両側にこれらを設けてもよい。このような構成によれば、ガラス基板保持用治具１の剛性をより高くできる。また、例えば、第一調整機構８をガラス基板保持用治具１の表側に設け、第二調整機構１０をガラス基板保持用治具１の裏側に設けるなど、表側及び裏側において夫々非対称な構造とすることも可能である。
【００２７】
中央フレーム２、第一側方フレーム３、及び第二側方フレーム４には、ガラス基板Ｇを狭持する狭持ブロック１１が夫々少なくとも一つずつ設けられる。本実施形態のガラス基板保持用治具１では、中央フレーム２に二つの狭持ブロック１１ａ，１１ｂが設けられ、第一側方フレーム３に一つの狭持ブロック１１ｃが設けられ、第二側方フレーム４に一つの狭持ブロック１１ｄが設けられている。夫々の狭持ブロック１１ａ〜１１ｄには、断面がＶ字型の溝が形成されている。ガラス基板保持用治具１にガラス基板Ｇを装着すると、ガラス基板Ｇの辺Ｌ，Ｍ，Ｎが狭持ブロック１１ａ〜１１ｄのＶ字型の溝に嵌め込まれ、ガラス基板Ｇは狭持ブロック１１ａ〜１１ｄの位置で両側から狭持される。なお、狭持ブロック１１の溝の断面形状は、図１に示したＶ字型のもの以外に、例えば凹型やＵ字型に構成することも可能である。狭持ブロック１１を設ける位置は、ガラス基板Ｇをバランスよく狭持するため、中央フレーム２の長手方向に対する垂直二等分線Ｚを中心として線対称となる位置とすることが好ましい。狭持ブロック１１の素材は、狭持するガラス基板Ｇを傷付けず、且つ薬剤に対してある程度の耐久性を有するように、ガラスより柔軟な耐食性材料（例えば、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、フッ素ゴム、シリコーンゴム等）を使用することが好ましい。
【００２８】
第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４には、作業者が把持するためのグリップ１２が夫々少なくとも一つずつ設けられていることが好ましい。本実施形態のガラス基板保持用治具１では、第一側方フレーム３に一つのグリップ１２ａが設けられ、第二側方フレーム４に一つのグリップ１２ｂが設けられている。グリップ１２ａ及び１２ｂは、ガラス基板保持用治具１を搬送する際や、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４を揺動操作する際等に作業者が把持するものである。なお、グリップ１２の形状は、図１に示した取手型（リングタイプ）のもの以外に、例えば棒状のものやＬ字型のものとすることも可能である。グリップ１２を設ける位置は、ガラス基板保持用治具１をバランスよく把持するため、上述の垂直二等分線Ｚを中心として線対称となる位置とすることが好ましい。グリップ１２の素材は、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４と同じものであってもよいが、滑り防止のため、持ち手部分にフッ素ゴムやシリコーンゴム等の耐食性ゴム材料を貼着しておくことも可能である。
【００２９】
図２は、本発明のガラス基板保持用治具１の正面図である。ガラス基板保持用治具１は、図２（ａ）に示すガラス基板Ｇを保持する「ホールド位置」と、図２（ｂ）に示すガラス基板Ｇを取り外し可能な「オープン位置」との間で切り替え可能に構成されている。各位置の切り替えは、第一調整機構８及び第二調整機構１０を調整し、中央フレーム２に対して第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４を揺動させることによって行われる。例えば、以下の手順により、ガラス基板保持用治具１のホールド位置からオープン位置への切り替えが行われる。
【００３０】
ガラス基板保持用治具１にガラス基板Ｇが未装着の状態では、ガラス基板保持用治具１は、通常、中央フレーム２に対して第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４が互いに内方に向かって挿入口５が閉じた状態となっている。この状態から、第一調整機構８のピン部材３ｂ、及び第二調整機構１０のピン部材４ｂを夫々緩めると、ピン部材３ｂ，４ｂは、夫々長孔７ｂ，９ｂに対してスライド可能となるため、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４は中央フレーム２に対して相対移動可能なフリーの状態となる。次に、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４に夫々設けられたグリップ１２ａ，１２ｂを把持し、これらを両側に開くように操作して第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４を中央フレーム２に対して揺動させる。すると、ガラス基板保持用治具１の挿入口５が開いた状態となるため、当該挿入口５からガラス基板Ｇを挿入し、ガラス基板保持用治具１にガラス基板Ｇをセットすることが可能となる。ガラス基板Ｇの辺Ｌが中央フレーム２の狭持ブロック１１ａ，１１ｂに狭持される位置までガラス基板Ｇを挿入し、次いで、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４を中央フレーム２に対して内方に揺動させ、ガラス基板Ｇの辺Ｍ，Ｎを、夫々第一側方フレーム３の狭持ブロック１１ｃ、及び第二側方フレーム４の狭持ブロック１１ｄで狭持する。この状態で、第一調整機構８のピン部材３ｂ、及び第二調整機構１０のピン部材４ｂを夫々締め付けると、図２（ａ）のように、ガラス基板保持用治具１にガラス基板Ｇが保持された状態（ホールド位置）となる。
【００３１】
ガラス基板保持用治具１からガラス基板Ｇを取り出す場合は、上記と逆の手順を行う。すなわち、第一調整機構８のピン部材３ｂ、及び第二調整機構１０のピン部材４ｂを夫々緩めて、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４を中央フレーム２に対して相対移動可能なフリーの状態にする。この状態から、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４に夫々設けられたグリップ１２ａ，１２ｂを把持し、これらを両側に開くように操作して第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４を中央フレーム２に対して揺動させる。すると、図２（ｂ）のように、中央フレーム２に対して第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４が互いに外方に向かって開いた状態となり、挿入口５からガラス基板Ｇを取り出すことが可能となる（オープン位置）。なお、このオープン位置は、ガラス基板保持用治具１にガラス基板Ｇを装着する位置でもある。
【００３２】
このように、本発明のガラス基板保持用治具１によれば、中央フレーム２に対して第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４を揺動させることにより挿入口５の幅を変更できるので、挿入口５に対してガラス基板Ｇを出し入れするだけで、ガラス基板保持用治具１に対するガラス基板の取り付け作業、及び取り外し作業を容易に行うことができる。そして、この取り付け作業、及び取り外し作業は、作業者がグリップ１２ａ及び１２ｂを把持し、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４を動かす操作のみで行うことができるので、ガラス基板Ｇの表面に直接触れることなく実施することができる。従って、作業中は、ガラス基板Ｇの表面を常に清潔な状態に維持することができる。なお、図２では、中央フレーム２に対して第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４の両方を揺動させることで、ホールド位置とオープン位置とを切り替えるように示されているが、中央フレーム２に対して第一側方フレーム３又は第二側方フレーム４の一方を揺動させれば上記切り替え作業は可能であり、ガラス基板保持用治具１に対するガラス基板の取り付け作業、及び取り外し作業を実施することができる。
【００３３】
〔ガラス基板処理方法〕
本発明のガラス基板保持用治具１を用いると、ガラス基板Ｇの液体処理（例えば、ガラス基板Ｇを洗浄液に浸漬して行う表面洗浄や、化学強化液に浸漬して耐衝撃性や耐傷性を高める強化処理）を容易に且つ効率的に行うことができる。以下、ガラス基板保持用治具１を用いて行う本発明のガラス基板の処理方法について説明する。
【００３４】
図３は、ガラス基板保持用治具１を用いて行う本発明のガラス基板Ｇの処理方法の工程説明図である。本発明のガラス基板処理方法は、以下に説明する図３（ａ）〜（ｆ）の工程によって行うことができる。
【００３５】
ガラス基板Ｇを保持する前のガラス基板保持用治具１は、通常は挿入口５が閉じた状態（ホールド位置）にされているため、第一調整機構８及び第二調整機構１０を調整し、図３（ａ）のように、挿入口５を開いた状態（オープン位置）にする。ガラス基板保持用治具１にガラス基板Ｇを装着するにあたっては、図３（ｂ）のように、ガラス基板Ｇの辺Ｌが中央フレーム２の狭持ブロック１１ａ，１１ｂに当接する位置まで挿入口５からガラス基板Ｇを挿入してセットする。次に、図３（ｃ）のように中央フレーム２に対して第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４を内側に揺動させて挿入口５を閉じた状態（ホールド位置）にし、ガラス基板Ｇの辺Ｍに第一側方フレーム３の狭持ブロック１１ｃを当接させるとともに、ガラス基板Ｇの辺Ｎに第二側方フレーム４の狭持ブロック１１ｄを当接させる。この状態で、長孔７ｃに対するピン部材３ｂの位置、及び長孔９ｃに対するピン部材４ｂの位置を夫々固定する。上記図３（ａ）〜（ｃ）により、中央フレーム２、第一側方フレーム３、及び第二側方フレーム４をホールド位置に設定する準備工程が完了する。
【００３６】
次に、図３（ｄ）のようにガラス基板Ｇを保持しているガラス基板保持用治具１をそのまま処理用の液体が貯留された処理槽に浸漬する浸漬工程を実行する。処理用の液体としては、例えば、ガラス基板を洗浄する洗浄液、ガラス基板の耐衝撃性や耐傷性を高めるための化学強化液が挙げられるが、その他にも、ガラス基板の表面に金属薄膜を形成するための金属イオン溶液、ガラス基板の表面を化学研磨するためのエッチング液、ガラス基板を着色する着色液等が挙げられる。浸漬の形態については、使用する薬剤、設備、処理目的等によって異なるが、少なくともガラス基板保持用治具１に保持されているガラス基板Ｇの表面が処理用の液体の液面より下方に位置していればよい。従って、図３（ｄ）に示した縦置きの浸漬に限らず、例えば、処理槽内にガラス基板保持用治具１を横置きにして浸漬することも可能である。なお、作業者の安全や処理用の液体の汚染防止等の観点から、浸漬時においてグリップ１２は処理用の液体に浸漬しない（処理用の液面より上方に位置する）ことが好ましい。
【００３７】
浸漬工程を終えたら、図３（ｅ）のようにガラス基板Ｇをガラス基板保持用治具１ごと処理用の液体から取り出す取出工程を実行する。取出工程は、通常、ガラス基板保持用治具１のグリップ１２を把持し、そのまま上方に持ち上げて行われるが、処理槽内の液体を排出してガラス基板保持用治具１を液体から露出させることで、取出工程を実行しても構わない。
【００３８】
取出工程を終えたら、第一側方フレーム３側のピン部材３ｂ、及び第二側方フレーム４側のピン部材４ｂを夫々緩めて第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４をフリーの状態とし、図３（ｆ）のように中央フレーム２に対して第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４を外側に揺動させて挿入口５を空けた状態（オープン位置）にする。この状態で、ガラス基板Ｇを挿入口５から引き抜いて取り外す開放工程を実行する。
【００３９】
上記図３（ａ）〜（ｆ）の一連の工程を包含する本発明のガラス基板処理方法によれば、ガラス基板保持用治具１に対するガラス基板Ｇの取り付け作業、及び取り外し作業を容易に行うことができる。特に、浸漬工程、及び取出工程を行うにあたっては、作業者はガラス基板保持用治具１のグリップ１２を把持するだけでよく、ガラス基板Ｇの表面に作業者の手等が直接触れることがないため、ガラス基板Ｇを常に清潔な状態に維持することができる。従って、本発明のガラス基板処理方法によれば、ガラス基板Ｇの表面に処理ムラ等の不良箇所が発生し難く、高品質なガラス製品を製造することができる。
【００４０】
〔別実施形態〕
本発明のガラス基板保持用治具は、上記実施形態で説明した構成を改変することも可能である。そのような改変例を別実施形態として説明する。
【００４１】
＜１＞上記実施形態では、中央フレーム２に対する第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４の揺動幅を調整する調整機構として、第一筋交い７の一方端７ａ、長孔７ｂ、及びピン部材３ｂから構成される第一調整機構８と、第二筋交い９の一方端９ａ、長孔９ｂ、及びピン部材４ｂから構成される第二調整機構１０とを設けているが、第一側方フレーム３と第二側方フレーム４とを直接連結する連結部材によって調整機構を構成することも可能である。
【００４２】
図４は、第一の別実施形態に係るガラス基板保持用治具１の正面図である。本別実施形態では、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４に略直交する連結部材１３を設ける。連結部材１３の両端付近には、夫々長孔１３ａ，１３ｂが形成されている。第一側方フレーム３のピン部材３ｂ、及び第二側方フレーム４のピン部材４ｂは、夫々長孔１３ａ，１３ｂにスライド可能に連結される。そして、ピン部材３ｂ，４ｂが長孔１３ａ，１３ｂに沿って摺動することにより、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４は中央フレーム２に対して揺動可能となる。本別実施形態では、長孔１３ａ，１３ｂのサイズを大きくすることができるため、中央フレーム２に対する第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４の揺動幅を上記実施形態よりも拡大することが可能となる。
【００４３】
＜２＞上記実施形態では、ガラス基板保持用治具１のホールド位置とオープン位置との切り替えを、中央フレーム２に対して第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４を揺動させることによって行っていたが、中央フレーム２に対して第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４をスライド移動させて切り替えることも可能である。
【００４４】
図５は、第二の別実施形態に係るガラス基板保持用治具１の正面図である。本別実施形態では、中央フレーム２の両側にガイド部材１４（１４ａ，１４ｂ）を設け、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４に夫々ガイド部材１４と係合するスライド部材１５（１５ａ、１５ｂ）を設ける。この場合、グリップ１２（１２ａ，１２ｂ）は、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４のうち中央フレーム２に近い位置に設けることが好ましい。これにより、作業者が両側のグリップ１２を把持し、第一側方フレーム３及び第二側方フレーム４を互いに外側に向かう方向に広げると、挿入口５の幅が拡大し、ガラス基板保持用治具１をホールド位置からオープン位置に切り替えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明のガラス基板保持用治具は、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板や太陽電池用のガラス基板等の各種ガラス板を液体等で処理するときに保持する用途において利用されるものであるが、ガラス以外の素材からなる板状体の保持にも適用可能である。例えば、金属板、樹脂板、セラミック板、木板等を保持する場合にも応用することができる。また、本発明のガラス基板処理方法は、各種ガラス板の処理の他、ガラス以外の素材からなる板状体の処理にも応用することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１                        ガラス基板保持用治具
２                        中央フレーム
３                        第一側方フレーム
３ｂ                      ピン部材
４                        第二側方フレーム
４ｂ                      ピン部材
７                        第一筋交い（連結部材）
７ａ                      第一筋交いの一方端
７ｂ                      長孔
８                        第一調整機構（調整機構）
９                        第二筋交い（連結部材）
９ａ                      第二筋交いの一方端
９ｂ                      長孔
１０                      第二調整機構（調整機構）
１１（１１ａ〜１１ｄ）    狭持ブロック
１２（１２ａ，１２ｂ）    グリップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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