(57)【要約】      （修正有）【課題】膜の厚さ計測するセンサ自体の発熱による測定結果への影響を補正して膜の厚さを精度よく計測する膜厚計測装置を提供する。【解決手段】膜厚計測装置１００は、連続的に搬送される帯状の膜の厚さを計測し、膜を搬送する搬送手段１と、搬送手段１から搬送される搬送路の途中において、膜を緊張させ、膜を上下に変動させる変動ローラ３と、膜の表面からの距離を計測する計測手段６と、変動ローラ３によって変動する距離の計測結果に基づいて計測手段６の出力値を補正して膜の厚さを算出する膜厚算出手段と、を備える。【選択図】図１
2015190926.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続的に搬送される帯状の膜の厚さを計測する膜厚計測装置であって、
前記膜を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段から搬送される搬送路の途中において、前記膜を緊張させ、前記膜を上下に変動させる変動ローラと、
前記膜の表面からの距離を計測する計測手段と、
前記変動ローラによって変動する前記距離の計測結果に基づいて前記計測手段の出力値を補正して前記膜の厚さを算出する膜厚算出手段と、を備える、
膜厚計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は膜厚計測装置に係り、例えば、連続的に搬送される帯状の膜の厚さを計測する膜厚計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
二次電池の製造工程では、フィルム状の材料の裏面及び表面に活物質を塗布して電極材を形成する。このとき、電極材は帯状に連続的に形成される。そして、二次電池の品質の均質化のため、電極材をローラで挟んで加圧し、厚さを均一に形成する工程がある。該工程では膜状の電極材の厚さを計測し、該厚さの調整をするフィードバック制御を行うため、膜の厚さの精密な計測が重要となる。薄い材料の厚さを計測する装置として、例えば特許文献１に記載されたものがある。この装置によると、シートの表面との距離を計測する第１の距離決定手段がシートの表面の上側の位置に取り付けられている。そして、シートの裏面との距離を計測する第２の距離決定手段がシートの裏面の下側の位置に取り付けられている。即ち、第１の距離決定手段と第２の距離決定手段とはシートが無い状態では対向するように取り付けられ、シートを挟むようにして厚さを計測する。そして、対向する第１の距離決定手段と第２の距離決定手段との離間値を計測するセンサがさらに設けられている。このような構成により該装置は、第１の距離決定手段と第２の距離決定手段との計測結果を用いてシートの厚さを算出し、センサの離間値の測定値に基づいて算出されたシートの厚さの温度補償を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００２−５３３６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された装置によると、シートの厚さの測定環境の温度変化が計測結果に与える影響を補償することができる。しかし、距離を計測するセンサは、連続的に計測を続けると自己発熱の影響により、計測精度が悪化する場合がある。特許文献１にかかる装置では、センサは、対向する第１の距離決定手段と第２の距離決定手段との離間値を計測しており、距離決定手段が有するセンサの自己発熱の影響による計測結果の悪化を補正することができない。そのため、特許文献１にかかる装置を二次電池の電極材の製造工程に適用すると、膜の厚さを精度よく均一に生成できない場合があるという課題がある。
本発明は、膜の厚さ計測するセンサ自体の発熱による測定結果への影響を補正して膜の厚さを精度よく計測する膜厚計測装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様にかかる膜厚計測装置は、連続的に搬送される帯状の膜の厚さを計測し、前記膜を搬送する搬送手段と、前記搬送手段から搬送される搬送路の途中において、前記膜を緊張させ、前記膜を上下に変動させる変動ローラと、前記膜の表面からの距離を計測する計測手段と、前記変動ローラによって変動する前記距離の計測結果に基づいて計測手段６の出力値を補正して前記膜の厚さを算出する膜厚算出手段と、を備える。
【０００６】
本発明はこのような構成により、搬送手段で連続的に搬送される帯状の膜の厚さを計測手段で精度よく計測し、膜の厚さを均一にするためのフィードバック制御に適用することができる。即ち、本発明は変動ローラで計測対象物である連続搬送される膜を規定量上下動させる。そして、計測手段は規定量上下動する膜からの距離を計測する。膜厚算出手段は変動する規定量と計測した変動量から、自己発熱の影響を計算し補正を行う。自己発熱の影響を補正した膜の厚さを算出することができ、その結果、計測手段が連続的に出力することによって生じる発熱による測定結果への影響を低減することができる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によると、膜の厚さ計測するセンサ自体の発熱による測定結果への影響を補正して膜の厚さを精度よく計測することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施形態にかかる膜厚計測装置の斜視図である。
【図２】電極材の厚さの計測方法を示した概略図である。
【図３】距離センサの自己発熱による出力値の変化を示したグラフである。
【図４Ａ】変動ローラによる上下動を計測し、その出力値を示した図である。
【図４Ｂ】変動ローラによる上下動から距離センサの出力値を補正した結果を示した図である。
【図５】変動ローラを示した斜視図である。
【図６】変動ローラによって電極材が上下動する様子を示した断面図である。
【図７】インバー材と鉄の熱膨張量を示したグラフである。
【図８】ガイドローラが熱収縮、熱膨張する様子を示した図である。
【図９】計測手段を示した斜視図である。
【図１０】膜厚計測装置の内部構成を示したブロック図である。
【図１１】膜厚計測装置の動作を示したフローチャートである。
【図１２】第２の実施形態にかかる膜厚計測装置を示した断面図である。
【図１３】膜厚計測装置の計測手段を示した図である。
【図１４】膜厚計測装置の内部構成を示したブロック図である。
【図１５】膜厚計測装置の動作を示したフローチャートである。
【図１６】ガイドローラの変形例を示した図である。
【図１７】電極材を上下動させる機構の変形例を示した正面図である。
【図１８】計測手段の変形例を示した正面図である。
【図１９】計測手段のその他の変形例を示した正面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明に係る膜厚計測装置の実施形態について説明する。
［第１の実施形態］
図１に示されるように、膜厚計測装置１００は、連続的に搬送される帯状の膜、例えば、二次電池の電極材５の厚さを計測する装置である。膜厚計測装置１００は、繰り出しローラ１ａで繰り出された電極材５を巻取りローラ１ｂで巻き取ることで電極材５を搬送する。搬送途中の電極材５は、ガイドローラ３a,４ａで緊張状態にされ、緊張状態にされた電極材５の厚さを計測手段６で計測する。膜厚計測装置１００は、計測された電極材５の厚さに基づいて、圧延ローラ２a,２ｂの離間距離を調整して電極材５の厚さを調整する。
【００１０】
電極材５はフィルム状の材料の表裏に活物質を塗布して形成されており、繰り出しローラ１ａに巻き取られている。繰り出しローラ１ａを中心軸回りに時計方向に回転させると電極材５が巻き出される。巻き出された電極材５を巻き取りローラ１ｂが中心時回りに時計方向に回転することにより巻き取る。このようにして巻取りローラ１ｂを回転させることにより電極材５は、繰り出しローラ１ａから巻取りローラ１ｂに連続的に搬送される。繰り出しローラ１ａと巻取りローラ１ｂとで搬送手段１が構成されている。搬送手段１は床面（不図示）に固定されたフレーム等に取り付けられる。
【００１１】
繰り出しローラ１ａと巻取りローラ１ｂとの間に位置する電極材５にはたるみが生じる。このたるみを除去するために、搬送路の途中にガイドローラ３a,４ａが配置され、搬送中の電極材５を緊張させる。電極材５の厚さを計測するために、計測手段６が電極材５の緊張状態となった部分を計測可能な位置に取り付けられる。計測手段６は、電極材５の表面からの距離を表面と裏面とで同時に計測する２つの距離センサ６a,６ｂが対向するように取り付けられている。距離センサ６a,６ｂは、例えば、同軸共焦点センサ、レーザセンサ、赤外線センサ、超音波センサ等を用いることができる。距離センサ６aから電極材５の表面までの距離と、距離センサ６ｂから電極材５の裏面までの距離を計測すると電極材５の厚さが計算可能である。
【００１２】
図２に示されるように、表面からの距離をＬ１とし、裏面からの距離をＬ２とすると、電極材５の厚さｔは、距離センサ６a,６ｂのそれぞれの先端からの離間距離をＬとすると、式（１）で求められる。
ｔ＝Ｌ−（Ｌ１＋Ｌ２）…（１）
ここで求めた電極材５の厚さｔに基づいて、圧延ローラ２a,２ｂの離間距離を調整し、繰り出しローラ１ａから巻き出された電極材５を挟み込んで圧延することにより電極材５の厚さを調整する。圧延ローラ２a,２ｂで圧延手段２を構成している。
【００１３】
図３に示されるように、温度が上昇すると、距離センサの出力値が低下する。即ち、距離計測時に距離センサ６a,６ｂがほぼ一定の距離を計測し続けると、距離センサ６a,６ｂ自体が発熱し、その影響により計測結果が悪化する。
【００１４】
これは、発熱により距離センサ６a,６ｂ内部の回路素子等の抵抗値が変化することが原因である。その他に距離センサ６a,６ｂの外部の温度が変化することによっても計測結果が悪化する。外部の温度変化は電子部品全体の温度を変化させるが、距離センサ６a,６ｂの内部発熱は電子素子の一部が発熱する。しかし、電子素子の一つ一つの温度を計測して出力値を補正することは実質的に困難である。この発熱による出力値への影響は電極材５の膜厚変動の規格値（±０．４μｍ）より大きい（数μｍ）。
【００１５】
図４Ａに示されるように、ガイドローラ３a,４ａをある規定量で一定の周期上下させて電極材５の表面位置を変動させることにより、距離センサ６a,６ｂに経時的に変動する距離を計測させる。このガイドローラ３a,４ａの上下動は予め定めた規定量で一定周期で変動する。上下の移動量は規定量であり、電極材５の膜厚変動幅より十分の大きい。
【００１６】
図４Ｂに示されるように、距離センサ６a,６ｂの出力値から該変動量を差し引いた時に現れる温度による出力値のずれを補正する。
【００１７】
図５に示されるように、支持ローラ３ｂ,３ｃの間に偏心した位置に配置された偏心軸３ｆによってガイドローラ３a,４ａが取り付けられる。偏心軸３ｆはガイドローラ３ａに挿通され、ガイドローラ３ａは偏心軸３ｆを中心に回転する。支持ローラ３ｂ,３ｃを中心軸３ｄ,３ｅを中心に回転させると、ガイドローラ３ａは中心軸３ｄ,３ｅを中心に偏心距離を半径として公転する。その結果、ガイドローラ３ａは回転しながら上下動することができる。上記のガイドローラ３aと、支持ローラ３ｂ,３ｃと、中心軸３ｄ,３ｅとで変動ローラ３を構成している。変動ローラ４も上記と同様の構成を有している。
【００１８】
図６に示されるように、変動ローラ３と変動ローラ４とは同期して回転し、電極材５を緊張状態で上下動させることができる。変動ローラ３,４は、上記のフレーム（不図示）に取り付けられる。変動ローラ３,４の偏心距離は例えば、０．５μｍである。変動ローラ３,４の材料としてインバー材を用いることができる。
【００１９】
図７に示されるように、インバー材とは低膨張材料であり温度が変化しても歪みが生じにくい材料からなり熱変形が非常に小さい。インバー材を使用すると、膜厚計測装置１００が使用される工場内等の環境の温度が変化しても変動ローラ３,４の熱歪みが生じにくくなり、電極材５の厚さの計測への影響を低減することができる。このため、材料に鉄を用いた場合に比べて膜厚計測装置１００の計測精度が向上する。
【００２０】
鉄の線膨張係数は約１２．１μｍ／℃／ｍ（１ｍの材料は１度で１２．１μｍ変形する）である。例えば、工場内で昼夜で５〜１５℃程度の温度変化がある場合、１０ｃｍの治具は６μｍ〜１８μｍ程度変形する。
【００２１】
図８（ａ）及び図８（ｂ）に示されるように、例えば、ガイドローラ３a,４ａの材料に鉄を用いると、温度変化の影響により変形する。特に、ガイドローラ３a,４ａの角部は温まりやすく、放熱し易いため、電極材５の厚さの計測に悪影響を与える。この変形の影響により、工場内での超高精度の電極材５の厚さ計測は極めて困難となっている。しかし、インバー材を部材に用いると電極材５の厚さ計測を工場内で高精度に行うことが可能となる。インバー材は、計測手段６の材料にも用いることができる。
【００２２】
図９に示されるように、計測手段６は、距離センサ６a,６ｂが対向するように取り付けられている。距離センサ６a,６ｂを支持している支持部材６ｃ,６ｄ,６ｅの材料にインバー材を用いると、熱膨張による距離センサ６a,６ｂの離間距離の変動を抑え、電極材５の厚さの計測誤差を低減することができる。即ち、距離センサ６a,６ｂがそれぞれ取り付けられた支持部材６ｄ,６ｅと、支持部材６ｄおよび支持部材６ｅを支持する支持部材６ｃとにインバー材を用いることができる。支持部材６ｃは上記のフレーム（不図示）に取り付けられ、計測手段６は固定される。
【００２３】
温度変化の他、工場内での電極材５の厚さの計測誤差を発生させる要因として振動の影響がある。工場内の振動は計測手段６に伝搬し、電極材５の厚さの計測結果に誤差を与える。工場内の振動は床面からフレームに伝わり、フレームから支持部材６ｃに伝わる。その他、搬送手段１、圧延手段２、変動ローラ３,４等が発生させる振動もフレームから支持部材６ｃに伝わる。距離センサ６a,６ｂに伝わる振動を低減するために、支持部材６ｃと支持部材６ｄとの間及び支持部材６ｃと支持部材６ｅとの間にそれぞれ防振材６ｆ,６ｇが取り付けられている。これにより支持部材６ｃに伝わった振動を防振材６ｆ,６ｇが吸収し、距離センサ６a,６ｂに振動が伝わりにくくなる。
【００２４】
防振材６ｆ,６ｇで吸収しきれない振動は支持部材６ｄ,６ｅに伝わり、距離センサ６a,６ｂに振動を与える。この振動による電極材５の厚さの計測結果への悪影響を低減するため、支持部材６ｄ,６ｅには歪センサ７a,７ｂが取り付けられている。歪センサ７a,７ｂは例えば、歪ゲージを用いることができる。振動による支持部材６ｄ,６ｅの歪を歪センサ７a,７ｂで検出し、検出結果に基づいて距離センサ６a,６ｂの計測結果を補正する。歪センサ７a,７ｂの出力値を用いて補正手段７が計測結果を補正する。歪センサ７a,７ｂの取り付け位置は図示した位置に限るものではない。支持部材６ｃ,６ｄ,６ｅの剛性が十分に高く、振動の影響を受けない場合は防振材６ｆ,６ｇ及び歪センサ７a,７ｂを計測手段６に取り付けなくてもよい。
【００２５】
次に膜厚計測装置１００の内部構成の概略について説明する。
【００２６】
図１０に示されるように、計測手段６は、計測した電極材５と距離センサ６a,６ｂとの距離の値を膜厚算出手段８に出力する。膜厚算出手段８は、上記の式（１）に基づいて電極材５の厚さを算出する。このとき、膜厚算出手段８は、補正手段７が出力した値に基づいて電極材５の厚さの算出結果を補正する。膜厚算出手段８は、電極材５の厚さの算出結果を制御手段９に出力する。制御手段９は、電極材５の厚さに基づいて圧延手段２を調整して電極材５の厚さを調整する。制御手段９は、その他、搬送手段１の搬送速度、それに伴う変動ローラ３,４の回転周期を制御している。搬送手段１の搬送速度は巻取りローラ１ｂの回転を調整して行う。
【００２７】
次に、膜厚計測装置１００の動作について説明する。
【００２８】
図１１に示されるように、制御手段９は、搬送手段１の巻取りローラ１ｂを回転させ、電極材（膜）５の搬送を開始する。計測手段６は、電極材５の表面からの距離を計測する（Ｓ１００）。即ち、距離センサ６a,６ｂが電極材５の表裏の表面からの距離を計測する。計測手段６は、計測した電極材５と距離センサ６a,６ｂとの距離の値を膜厚算出手段８に出力する。
【００２９】
膜厚算出手段８は、入力された表面からの距離の計測結果に基づいて式（１）を用いて電極材５の厚さを算出する（Ｓ１１０）。補正手段７は、支持部材６ｄ,６ｅに生じた振動による歪を歪センサ７a,７ｂで検出する。膜厚算出手段８は、検出された歪センサ７a,７ｂの出力値に基づいてＳ１１０で算出された電極材５の厚さを補正する（Ｓ１３０）。
【００３０】
制御手段９は、Ｓ１３０で算出された電極材５の厚さに基づいて圧延手段２を調整して電極材５の厚さを調整する（Ｓ１４０）。制御手段９は、所定のタイミングで変動ローラ３,４の回転周期を制御して電極材５を上下動させ、膜厚算出手段８は、予め分かっている規定量（上下動）から距離センサ６a,６ｂの出力値を補正する。（Ｓ１５０）。制御手段９は、装置を停止するための入力を判断する（Ｓ１６０）。制御手段９は、装置を停止する入力があった場合、処理を終了する（Ｓ１６０：Ｙｅｓ）。制御手段９は、装置を停止する入力がなかった場合、Ｓ１００に戻り、処理を継続する（Ｓ１６０：Ｎｏ）。
【００３１】
上述した膜厚計測装置１００によると、変動ローラ３,４で電極材５を上下動させることにより、計測手段６に経時的に変動する距離を計測させ、距離センサ６a,６ｂの自己発熱による出力値を補正して電極材５の厚さの計測結果を高精度化することができる。また、膜厚計測装置１００は、変動ローラ３,４と、計測手段６を構成する支持部材６ｃ,６ｄ,６ｅとに低膨張材料を用いることにより周囲の環境の温度が変化しても電極材５の厚さの計測結果への悪影響を低減し、計測結果を高精度化することができる。即ち、恒温室のような高価な建屋を必要とせず、一般的な空調設備の環境下で電極材５の厚さを高精度で計測することができる。そして、膜厚計測装置１００は、計測手段６に防振材６ｆ,６ｇを用いることにより、距離センサ６a,６ｂの振動を低減し、電極材５の厚さの計測結果を高精度化することができる。さらに、補正手段７により算出された電極材５の厚さを補正し、振動の影響による計測精度の悪化を低減することができる。
【００３２】
［第２の実施形態］
第１の実施形態において、膜厚計測装置１００は、電極材５の厚さを電極材５の表裏からの距離を計測することで膜厚算出手段８に算出させていた。これに対して第２の実施形態では、膜厚計測装置２００は、電極材５の厚さを第１の実施形態とは異なる方法で計測する。第２の実施形態において、第１の実施形態と同一の部分は同一の符号を用い、かつ同様の役割を持つ部材には同一の名称を用い、重複する部分の説明は適宜省略する。
【００３３】
図１２に示されるように、膜厚計測装置２００においては、膜厚計測装置１００と異なり、変動ローラ４が省略されている。膜厚計測装置２００においては、ガイドローラ３ａが電極材５を緊張状態にする。
【００３４】
図１３に示されるように、ガイドローラ３ａ上で緊張状態となった電極材５の表面からの距離を距離Ｌ１をセンサ１５ａで計測する。そして、ガイドローラ３ａの表面からの距離Ｌ２を距離センサ１５ａと同じ高さに取り付けられた距離センサ１５ｂで計測する。これにより、電極材５の厚さｔは以下の式（２）によって求められる。
ｔ＝Ｌ２−Ｌ１…（２）
そして、距離センサ１５a,１５ｂの自己発熱による影響を低減するため、第１の実施形態と同様に支持ローラ３ｂ,３ｃを中心軸３ｄ,３ｅを中心に回転させる。
【００３５】
距離センサ１５a,１５ｂは、支持部材１５ｃに取り付けられる。支持部材１５ｃは、防振材１５ｆ,１５ｇを介して支持部材１５ｄ,１５ｅに設けられる。支持部材１５ｄ,１５ｅは、変動ローラ３を支持するフレーム（不図示）に固定される。このようにして距離センサ１５a,１５ｂと、支持部材１５ｃ,１５ｄ,１５ｅと、防振材１５ｆ,１５ｇとで計測手段１５を構成する。支持部材１５ｃには歪センサ１６ａが取り付けられる。歪センサ１６ａで補正手段１６を構成する。各支持部材はインバー材を用いて形成される。
【００３６】
ガイドローラ３ａの上下動に伴って電極材５の表面からの距離も上下動する（図４Ａ参照）。式（２）を用いると、変動する電極材５の表面からの距離の計測値と、ガイドローラ３ａの表面からの距離とに基づいて電極材５の厚さが算出される。
【００３７】
次に膜厚計測装置２００の内部構成の概略について説明する。
【００３８】
図１４に示されるように、計測手段１５は、計測した電極材５と距離センサ１５ａとの距離と、ガイドローラ３ａと距離センサ１５ｂとの距離の値とを膜厚算出手段１７に出力する。膜厚算出手段１７は、上記の式（２）に基づいて電極材５の厚さを算出する。このとき、膜厚算出手段１７は、補正手段１６が出力した値に基づいて電極材５の厚さの算出結果を補正する。膜厚算出手段１７は、電極材５の厚さの算出結果を制御手段９に出力する。制御手段９は、電極材５の厚さに基づいて圧延手段２を調整して電極材５の厚さを調整する。制御手段９は、その他、搬送手段１の搬送速度、それに伴う変動ローラ３の回転周期を制御している。搬送手段１の搬送速度は巻取りローラ１ｂの回転を調整して行う。
【００３９】
次に、膜厚計測装置２００の動作について説明する。
【００４０】
図１５に示されるように、制御手段９は、搬送手段１の巻取りローラ１ｂを回転させ、電極材（膜）５の搬送を開始する。計測手段１５は、電極材５の表面からの距離及びガイドローラ３ａとの距離を計測する（Ｓ２００）。即ち、距離センサ１５ａが電極材５表面からの距離を計測し、距離センサ１５ｂがガイドローラ３ａ表面からの距離を計測する。計測手段１５は、計測した電極材５と距離センサ１５ａとの距離及びガイドローラ３ａ表面からの距離の値を膜厚算出手段１７に出力する。
【００４１】
膜厚算出手段１７は、入力された表面からの距離の計測結果に基づいて式（２）を用いて電極材５の厚さを算出する（Ｓ２１０）。補正手段１６は、支持部材１５ｄ、１５ｅに生じた振動による歪を歪センサ１６ａで検出する。膜厚算出手段１７は、検出された歪センサ１６ａの出力値に基づいてＳ２１０で算出された電極材５の厚さを補正する（Ｓ２３０）。
【００４２】
制御手段９は、Ｓ２３０で算出された電極材５の厚さに基づいて圧延手段２を調整して電極材５の厚さを調整する（Ｓ２４０）。制御手段９は、所定のタイミングで変動ローラ３の回転周期を制御して電極材５を上下動させ、膜厚算出手段８は、予め分かっている規定量（上下動）から距離センサ１５ａの出力値を補正する。（Ｓ２５０）。制御手段９は、装置を停止するための入力を判断する（Ｓ２６０）。制御手段９は、装置を停止する入力があった場合、処理を終了する（Ｓ２６０：Ｙｅｓ）。制御手段９は、装置を停止する入力がなかった場合、Ｓ１００に戻り、処理を継続する（Ｓ２６０：Ｎｏ）。
【００４３】
上述した膜厚計測装置２００によると、変動ローラ３一つで電極材５を緊張させるため、装置構成を簡略化することができる。
【００４４】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
【００４５】
図１６に示されるように、第１及び第２の実施形態で用いた変動ローラ３,４に代えて、楕円ローラ２０を用いてもよい。楕円ローラ２０は、特に計測手段６、１５の計測速度が十分に速い場合に用いると良い。楕円ローラ２０を用いると、楕円ローラ２０の回転に連動して電極材５が上下動する。楕円ローラ２０は、電極材５の搬送に従って回転するので、楕円ローラ２０を制御する機構が不要となり、装置構成を簡略化することができる。
【００４６】
図１７に示されるように、第１及び第２の実施形態で用いた変動ローラ３,４に代えて、ガイドローラ２１,２２を楔２３,２４によって上下動させてもよい。即ち、ガイドローラ２１,２２を支持するフレーム２５の下部にスライドして近接、離間するよう対向配置された楔２３,２４を設ける。そして、フレーム２５下部の角部が楔２３,２４の斜面に持ち上げられたり滑り降りたりしてガイドローラ２１,２２を上下動させる。これらの材料は、インバー材を用いることができる。上記の構成により、電極材５を上下動させることができる。
【００４７】
第１及び第２の実施形態においては電極材５の厚さを一対の距離センサ、または一つの距離センサで計測していた。これらの計測方法では、電極材５の一部の厚さを計測している。
【００４８】
図１８に示されるように、電極材５の膜厚分布を計測するために、例えば変動ローラ３,４の回転軸方向に複数の距離センサ３０a,３０ｂを支持部材３０ｄ、３０ｅにそれぞれ取り付ける。そして、支持部材３０ｄ,３０ｅは、支持部材３０ｃにコの字型になるように取り付け計測手段３０を構成する。そして、計測手段３０により、電極材５の表裏の表面からの距離を複数箇所計測する。これにより、連続搬送される帯状の電極材５の厚さの分布を連続的に計測できる。
【００４９】
上記の計測手段３０においては、距離センサを複数用いていた。
【００５０】
図１９に示されるように、計測手段３２において、コの字型に形成された支持部材３２ｃ,３２ｄ,３２ｅの剛性が十分にあり、距離センサ３２a,３２ｂに振動を発生させないように移動させることができる場合、例えば、振動により距離センサ３２a,３２ｂの離間距離が変化しない状態において、距離センサ３２a,３２ｂを支持部材３２ｄ,３２ｅの長軸方向に沿ってトラバースさせ、電極材５の膜厚分布を計測することができる（ただし、電極材５の厚さの計測は電極材５表面を距離センサ３２a,３２ｂがジグザグ形に計測することになるため、全数補償はできない）。これにより、距離センサの数をふやさなくても電極材５の厚さの分布を計測することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１…搬送手段  １ａ…繰り出しローラ  １ｂ…巻取りローラ  ２…圧延手段  ２ａ…圧延ローラ  ２ｂ…圧延ローラ  ３,４…変動ローラ  ３ａ…ガイドローラ  ３ｂ…支持ローラ  ３ｃ…支持ローラ  ３ｄ…中心軸  ３ｆ…偏心軸  ５…電極材（膜）  ６…計測手段  ６a,６ｂ…距離センサ  ６ｃ…支持部材  ６ｄ…支持部材  ６ｅ…支持部材  ６ｆ…防振材  ７…補正手段  ７a,７ｂ…歪センサ  ８…膜厚算出手段  ９…制御手段  １５…計測手段  １５ａ…センサ  １５ａ…距離センサ  １５ｂ…距離センサ  １５ｃ…支持部材  １５ｄ…支持部材  １５ｆ…防振材  １６…歪センサ  １６…補正手段  １６ａ…歪センサ  １７…膜厚算出手段  ２０…楕円ローラ  ２１,２２…ガイドローラ  ２３,２４…楔  ２５…フレーム  ３０…計測手段  ３０a,３０ｂ…距離センサ  ３０ｃ…支持部材  ３０ｄ…支持部材  ３２…計測手段  ３２a,３２ｂ…距離センサ  ３２ｃ…支持部材  ３２ｄ…支持部材  １００…膜厚計測装置  ２００…膜厚計測装置  Ｌ…離間距離  Ｌ１…距離  Ｌ２…距離  ｔ…電極材の厚さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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