(57)【要約】【課題】微細孔内に気泡が形成されることなく目詰め液を充填し得る目詰め液充填シート製造方法、及び、目詰め液充填装置を提供すること。【解決手段】微細孔を有する基材の当該微細孔に目詰め液が充填された目詰め液充填シートを製造する方法であって、前記基材を減圧環境下に置いて当該基材の前記微細孔内の空気を除去する空気除去工程と、前記基材を大気圧下に戻す前に、または、戻すのと同時に、当該基材の前記微細孔に目詰め液を継続的に供給することで、当該微細孔内に目詰め液を充填する目詰め液充填工程と、を備えたことを特徴とする方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
微細孔を有する基材の当該微細孔に目詰め液が充填された目詰め液充填シートを製造する方法であって、
前記基材を減圧環境下に置いて当該基材の前記微細孔内の空気を除去する空気除去工程と、
前記基材を大気圧下に戻す前に、または、戻すのと同時に、当該基材の前記微細孔に目詰め液を継続的に供給することで、当該微細孔内に目詰め液を充填する目詰め液充填工程と、
を備えたことを特徴とする目詰め液充填シート製造方法。
【請求項２】
前記空気除去工程において、前記基材は、１Ｔｏｒｒ以下の減圧環境下に置かれる
ことを特徴とする請求項１に記載の目詰め液充填シート製造方法。
【請求項３】
前記目詰め液充填工程において、目詰め液は、前記基材の前記微細孔内に大気圧力の作用により充填される
ことを特徴とする請求項１または２に記載の目詰め液充填シート製造方法。
【請求項４】
前記目詰め液充填工程において、目詰め液が貯留された目詰め液溜まり部に前記基材の前記微細孔側を通過させることによって当該基材の当該微細孔に目詰め液が継続的に供給される
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の目詰め液充填シート製造方法。
【請求項５】
前記微細孔の開口の幅は、５０μｍ以下であり、
前記基材の前記微細孔に供給される際の目詰め液の粘度は、１００００ｃＰ以下である
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の目詰め液充填シート製造方法。
【請求項６】
前記微細孔の開口の幅は、２０μｍ以下である
ことを特徴とする請求項５に記載の目詰め液充填シート製造方法。
【請求項７】
微細孔を有する基材の当該微細孔に目詰め液を充填するための装置であって、
前記基材を供給する基材供給装置と、
内部を減圧状態に維持可能な減圧チャンバであって、基材搬入口と基材搬出口とを有する減圧チャンバと、
前記基材供給装置から供給された前記基材が前記減圧チャンバの前記基材搬入口を通じて当該減圧チャンバの外部から内部へ且つ前記基材搬出口を通じて当該減圧チャンバの内部から外部へ搬送されるような基材搬送路を構成する基材搬送装置と、
前記減圧チャンバに対して前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側に設けられており、前記減圧チャンバの前記基材搬出口に向けて目詰め液を供給する目詰め液供給装置と、
を備えたことを特徴とする目詰め液充填装置。
【請求項８】
前記基材供給装置は、基材ロールがセットされ、当該基材ロールから前記基材としてシート状の基材が供給されるように当該基材ロールを回転させるようになっている基材給送軸を有している
ことを特徴とする請求項７に記載の目詰め液充填装置。
【請求項９】
前記基材供給装置は、
搬送ウェブロールがセットされ、当該搬送ウェブロールから搬送ウェブが供給されるように当該搬送ウェブロールを回転させるようになっている搬送ウェブ給送軸と、
前記搬送ウェブロールから供給される前記搬送ウェブ上に前記基材として枚葉状の基材を載置する基材載置装置と、
を有している
ことを特徴とする請求項７に記載の目詰め液充填装置。
【請求項１０】
前記減圧チャンバは、内部を１Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持可能である
ことを特徴とする請求項７乃至９のいずれかに記載の目詰め液充填装置。
【請求項１１】
前記減圧チャンバの前記基材搬入口は、外周面が隣り合うように軸が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬入口ローラによって当該一対の基材搬入口ローラの前記外周面の間に規定されており、
前記減圧チャンバの前記基材搬出口は、外周面が隣り合うように軸が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬出口ローラによって当該一対の基材搬出口ローラの前記外周面の間に規定されている
ことを特徴とする請求項７乃至１０のいずれかに記載の目詰め液充填装置。
【請求項１２】
前記減圧チャンバの前記基材搬入口は、回転可能に設けられた中間ローラと、外周面が当該中間ローラの外周面と隣り合うように軸が当該中間ローラの軸に対して平行かつ回転可能に設けられた基材搬入口ローラと、によって当該中間ローラの外周面と当該基材搬入口ローラの外周面との間に規定されており、
前記減圧チャンバの前記基材搬出口は、前記中間ローラと、外周面が当該中間ローラの外周面と隣り合うように軸が当該中間ローラの軸に対して平行かつ回転可能に設けられた基材搬出口ローラと、によって当該中間ローラの外周面と当該基材搬出口ローラの外周面との間に規定されている
ことを特徴とする請求項７乃至１０のいずれかに記載の目詰め液充填装置。
【請求項１３】
前記減圧チャンバの前記基材搬出口から前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側にかけて、前記基材搬送路の少なくとも一方の側に目詰め液を貯留するための目詰め液溜まり部が設けられている
ことを特徴とする請求項７乃至１２のいずれかに記載の目詰め液充填装置。
【請求項１４】
前記目詰め液溜まり部は、前記減圧チャンバの前記基材搬出口の周囲に、板状部材を用いて形成されている
ことを特徴とする請求項１３に記載の目詰め液充填装置。
【請求項１５】
前記目詰め液充填装置は、
フィルムロールがセットされ、当該フィルムロールからフィルムが供給されるように当該フィルムロールを回転させるようになっているフィルム給送軸と、
前記フィルムロールから供給された前記フィルムが前記減圧チャンバの前記基材搬入口を通じて当該減圧チャンバの外部から内部へ且つ前記基材搬出口を通じて当該減圧チャンバの内部から外部へ搬送されるようなフィルム搬送路を構成するフィルム搬送装置と、
を更に備え、
前記フィルム搬送路は、前記基材搬出口に対して前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側において、当該フィルム搬送路と前記基材搬送路との間に前記目詰め液溜まり部を形成するように構成されている
ことを特徴とする請求項１３に記載の目詰め液充填装置。
【請求項１６】
前記フィルム搬送路は、前記減圧チャンバ内の少なくとも一部の領域において、前記基材搬送路から離間されるように構成されている
ことを特徴とする請求項１５に記載の目詰め液充填装置。
【請求項１７】
前記目詰め液溜まり部に対して前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側において、当該基材搬送装置によって搬送される当該基材と、前記フィルム搬送装置によって搬送される前記フィルムと、を互いに対して押圧するようになっている押圧ローラ
を更に備えたことを特徴とする請求項１５または１６に記載の目詰め液充填装置。
【請求項１８】
微細孔を有する基材の当該微細孔に目詰め液を充填するための装置であって、
内部を減圧状態に維持可能な減圧チャンバであって、基材搬出口を有する減圧チャンバと、
前記基材を供給する基材供給装置であって、前記減圧チャンバ内に設けられた基材供給装置と、
前記基材供給装置から供給された前記基材が前記減圧チャンバの前記基材搬出口を通じて当該減圧チャンバの内部から外部へ搬送されるような基材搬送路を構成する基材搬送装置と、
前記減圧チャンバに対して前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側に設けられており、前記減圧チャンバの前記基材搬出口に向けて目詰め液を供給する目詰め液供給装置と、
を備えたことを特徴とする目詰め液充填装置。
【請求項１９】
前記基材供給装置は、基材ロールがセットされ、当該基材ロールから前記基材としてシート状の基材が供給されるように当該基材ロールを回転させるようになっている基材給送軸を有している
ことを特徴とする請求項１８に記載の目詰め液充填装置。
【請求項２０】
前記基材供給装置は、
搬送ウェブロールがセットされ、当該搬送ウェブロールから搬送ウェブが供給されるように当該搬送ウェブロールを回転させるようになっている搬送ウェブ給送軸と、
前記搬送ウェブロールから供給される前記搬送ウェブ上に前記基材として枚葉状の基材を載置する基材載置装置と、
を有している
ことを特徴とする請求項１８に記載の目詰め液充填装置。
【請求項２１】
前記減圧チャンバは、内部を１Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持可能である
ことを特徴とする請求項１８乃至２０のいずれかに記載の目詰め液充填装置。
【請求項２２】
前記減圧チャンバの前記基材搬出口は、外周面が隣り合うように軸が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬出口ローラによって当該一対の基材搬出口ローラの前記外周面の間に規定されている
ことを特徴とする請求項１８乃至２１のいずれかに記載の目詰め液充填装置。
【請求項２３】
前記減圧チャンバの前記基材搬出口から前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側にかけて、前記基材搬送路の少なくとも一方の側に目詰め液を貯留するための目詰め液溜まり部が設けられている
ことを特徴とする請求項１８乃至２２のいずれかに記載の目詰め液充填装置。
【請求項２４】
前記目詰め液溜まり部は、前記減圧チャンバの前記基材搬出口の周囲に、板状部材を用いて形成されている
ことを特徴とする請求項２３に記載の目詰め液充填装置。
【請求項２５】
前記目詰め液充填装置は、
フィルムロールがセットされ、当該フィルムロールからフィルムが供給されるように当該フィルムロールを回転させるようになっているフィルム給送軸であって、前記減圧チャンバ内に設けられたフィルム給送軸と、
前記フィルムロールから供給された前記フィルムが前記基材搬出口を通じて当該減圧チャンバの内部から外部へ搬送されるようなフィルム搬送路を構成するフィルム搬送装置と、
を更に備え、
前記フィルム搬送路は、前記基材搬出口に対して前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側において、当該フィルム搬送路と前記基材搬送路との間に前記目詰め液溜まり部を形成するように構成されている
ことを特徴とする請求項２３に記載の目詰め液充填装置。
【請求項２６】
前記目詰め液溜まり部に対して前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側において、当該基材搬送装置によって搬送される当該基材と、前記フィルム搬送装置によって搬送される前記フィルムと、を互いに対して押圧するようになっている押圧ローラ
を更に備えたことを特徴とする請求項２５に記載の目詰め液充填装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、目詰め液充填シートを製造する方法及び目詰め液充填装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）用の蒸着マスクなどに用いられるメタルマスクは、厚さ数十μｍ〜数百μｍの金属基材に、所望のパターンにエッチング（穴あけ）加工して、開口幅が数十μｍという微細な貫通穴を形成することにより作製される。この場合、当該微細な貫通穴は、その一方の面の側から所望のパターンで所定の深さまでエッチングして微細な凹み（微細孔）を形成し、当該微細孔にエッチング防止剤を充填した後、他方の面の側から当該微細孔のパターンに対応するパターンでエッチングを行うことにより形成される。
【０００３】
また、テレビやパソコンの画面に用いられる反射防止フィルムや、横のぞき防止のためのルーバー、コントラストを向上させるフィルムなどは、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）やＴＡＣ（トリアセチルセルロース）等で作られた微細な凹凸を有する基材の表面に、コーティング剤を塗布して所望の機能層を形成することにより作成される。
【０００４】
さらに、木目模様などの細かい模様を有する壁紙は、例えば紙基材上に形成された樹脂層に所望の模様に対応する微細な凹み（微細孔）を形成した後、当該微細孔に着色剤を充填することにより作成される。
【０００５】
そして、このような微細な凹み（微細孔）にエッチング防止剤やコーティング剤、着色剤などの液剤（目詰め液）を充填する方法としては、ダイヘッドから液剤（目詰め液）を放出させて液圧によって液剤（目詰め液）を微細孔に押し込む方法や、基材上に液剤（目詰め液）を配置した後、ドクタを基材に押し付けて液剤（目詰め液）に高せん断力を与えながら微細孔に押し込む方法がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、前述したように、ダイヘッドやドクタを用いて微細孔に液剤（目詰め液）を押し込む場合、液剤（目詰め液）の粘度や微細孔の開口幅の大きさによっては、微細孔内に気泡が形成されてしまって、微細孔が所望のように目詰めされないことがあった。
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、微細孔内に気泡が形成されることなく目詰め液を充填し得る目詰め液充填シート製造方法、及び、目詰め液充填装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、微細孔を有する基材の当該微細孔に目詰め液が充填された目詰め液充填シートを製造する方法であって、前記基材を減圧環境下に置いて当該基材の前記微細孔内の空気を除去する空気除去工程と、前記基材を大気圧下に戻す前に、または、戻すのと同時に、当該基材の前記微細孔に目詰め液を継続的に供給することで、当該微細孔内に目詰め液を充填する目詰め液充填工程と、を備えたことを特徴とする目詰め液充填シート製造方法である。
【０００９】
本発明によれば、目詰め液は、微細孔を有する基材が減圧環境下に置かれて当該微細孔から空気が除去された後、当該微細孔に供給される。この結果、目詰め液が充填される際に微細孔内に気泡が形成されてしまう、ということが抑制される。
【００１０】
具体的には、前記空気除去工程において、前記基材は、１Ｔｏｒｒ以下の減圧環境下に置かれ、前記目詰め液充填工程において、目詰め液は、前記基材の前記微細孔内に大気圧力の作用により充填される。
【００１１】
好ましくは、前記目詰め液充填工程において、目詰め液が貯留された目詰め液溜まり部に前記基材の前記微細孔側を通過させることによって当該基材の当該微細孔に目詰め液が継続的に供給される。この場合、大気圧下に戻された微細孔内に空気が侵入してしまう前に当該微細孔内に目詰め液を充填する、ということが可能である。これにより、目詰め液が充填される際に微細孔内に気泡が形成されてしまう、ということがより顕著に抑制される。
【００１２】
好ましくは、前記微細孔の開口の幅は、５０μｍ以下であり、前記基材の前記微細孔に供給される際の目詰め液の粘度は、１００００ｃＰ以下である。本件発明者が得た知見によれば、この場合、微細孔の開口の幅に対して目詰め液の粘度が高すぎて微細孔が目詰め液によって所望のように充填されない、ということが抑制される。さらには、前記微細孔の開口の幅は、２０μｍ以下であってもよい。
【００１３】
あるいは、本発明は、微細孔を有する基材の当該微細孔に目詰め液を充填するための装置であって、前記基材を供給する基材供給装置と、内部を減圧状態に維持可能な減圧チャンバであって、基材搬入口と基材搬出口とを有する減圧チャンバと、前記基材供給装置から供給された前記基材が前記減圧チャンバの前記基材搬入口を通じて当該減圧チャンバの外部から内部へ且つ前記基材搬出口を通じて当該減圧チャンバの内部から外部へ搬送されるような基材搬送路を構成する基材搬送装置と、前記減圧チャンバに対して前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側に設けられており、前記減圧チャンバの前記基材搬出口に向けて目詰め液を供給する目詰め液供給装置と、を備えたことを特徴とする目詰め液充填装置である。
【００１４】
本発明によれば、基材を減圧チャンバ内の減圧環境下に置くことにより、微細孔から空気を除去し得る。また、目詰め液供給装置から減圧チャンバの基材搬出口に向けて目詰め液を供給することにより、減圧チャンバ内の減圧環境下に置かれた基板が大気圧下に戻される前に、または、戻されるのと同時に、微細孔に目詰め液を継続的に供給し得る。したがって、微細孔から空気が除去された当該微細孔内に目詰め液を充填する、ということが可能である。この結果、目詰め液が充填される際に微細孔内に気泡が形成されてしまう、ということが抑制される。また、基材供給装置が減圧チャンバの外に配置されているため、比較的小さな減圧チャンバを用いることが可能である。
【００１５】
好ましくは、前記基材供給装置は、基材ロールがセットされ、当該基材ロールから前記基材としてシート状の基材が供給されるように当該基材ロールを回転させるようになっている基材給送軸を有している。この場合、シート状の基材を連続的に供給し得る。
【００１６】
あるいは、前記基材供給装置は、搬送ウェブロールがセットされ、当該搬送ウェブロールから搬送ウェブが供給されるように当該搬送ウェブロールを回転させるようになっている搬送ウェブ給送軸と、前記搬送ウェブロールから供給される前記搬送ウェブ上に前記基材として枚葉状の基材を載置する基材載置装置と、を有している。この場合、枚葉状の基材を連続的に供給し得る。
【００１７】
好ましくは、前記減圧チャンバは、内部を１Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持可能である。この場合、基材の微細孔内の空気を十分に除去し、大気圧力の作用により微細孔内に目詰め液を充填し得る。
【００１８】
好ましくは、前記減圧チャンバの前記基材搬入口は、外周面が隣り合うように軸が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬入口ローラによって当該一対の基材搬入口ローラの前記外周面の間に規定されており、前記減圧チャンバの前記基材搬出口は、外周面が隣り合うように軸が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬出口ローラによって当該一対の基材搬出口ローラの前記外周面の間に規定されている。この場合、連続的に供給される基材を連続的に減圧環境下に置く、ということが容易である。
【００１９】
あるいは、前記減圧チャンバの前記基材搬入口は、回転可能に設けられた中間ローラと、外周面が当該中間ローラの外周面と隣り合うように軸が当該中間ローラの軸に対して平行かつ回転可能に設けられた基材搬入口ローラと、によって当該中間ローラの外周面と当該基材搬入口ローラの外周面との間に規定されており、前記減圧チャンバの前記基材搬出口は、前記中間ローラと、外周面が当該中間ローラの外周面と隣り合うように軸が当該中間ローラの軸に対して平行かつ回転可能に設けられた基材搬出口ローラと、によって当該中間ローラの外周面と当該基材搬出口ローラの外周面との間に規定されている。この場合も、連続的に供給される基材を連続的に減圧環境下に置く、ということが容易である。
【００２０】
好ましくは、前記減圧チャンバの前記基材搬出口から前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側にかけて、前記基材搬送路の少なくとも一方の側に目詰め液を貯留するための目詰め液溜まり部が設けられている。この場合、基材を減圧チャンバ内の減圧環境下に置いた後、連続的に当該基材の微細孔側を目詰め液が貯留された目詰め液溜まり部に通過させることが可能である。したがって、減圧環境下に置かれた基材を大気圧下に戻す前に、または、戻すのと同時に、当該基材の微細孔に目詰め液を継続的に供給し得る。これにより、大気圧下に戻された微細孔内に空気が侵入してしまう前に当該微細孔内に目詰め液を充填する、ということが可能である。これにより、目詰め液が充填される際に微細孔内に気泡が形成されてしまう、ということがより顕著に抑制される。
【００２１】
例えば、前記目詰め液溜まり部は、前記減圧チャンバの前記基材搬出口の周囲に、板状部材を用いて形成されている。
【００２２】
あるいは、前記目詰め液充填装置は、フィルムロールがセットされ、当該フィルムロールからフィルムが供給されるように当該フィルムロールを回転させるようになっているフィルム給送軸と、前記フィルムロールから供給された前記フィルムが前記減圧チャンバの前記基材搬入口を通じて当該減圧チャンバの外部から内部へ且つ前記基材搬出口を通じて当該減圧チャンバの内部から外部へ搬送されるようなフィルム搬送路を構成するフィルム搬送装置と、を更に備え、前記フィルム搬送路は、前記基材搬出口に対して前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側において、当該フィルム搬送路と前記基材搬送路との間に前記目詰め液溜まり部を形成するように構成されている。この場合も、目詰め液溜まり部を形成することが容易である。また、減圧チャンバの基材搬出口が目詰め液で汚れてしまう、ということが防止され得る。
【００２３】
好ましくは、前記フィルム搬送路は、前記減圧チャンバ内の少なくとも一部の領域において、前記基材搬送路から離間されるように構成されている。この場合、減圧チャンバ内において、基材の微細孔から空気が十分に除去され得る。
【００２４】
好ましくは、当該目詰め液充填装置は、前記目詰め液溜まり部に対して前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側において、当該基材搬送装置によって搬送される当該基材と、前記フィルム搬送装置によって搬送される前記フィルムと、を互いに対して押圧するようになっている押圧ローラを更に備えている。この場合、微細孔内に目詰め液が充填された基材の表面を滑らかに仕上げる、ということが容易である。
【００２５】
あるいは、本発明は、微細孔を有する基材の当該微細孔に目詰め液を充填するための装置であって、内部を減圧状態に維持可能な減圧チャンバであって、基材搬出口を有する減圧チャンバと、前記基材を供給する基材供給装置であって、前記減圧チャンバ内に設けられた基材供給装置と、前記基材供給装置から供給された前記基材が前記減圧チャンバの前記基材搬出口を通じて当該減圧チャンバの内部から外部へ搬送されるような基材搬送路を構成する基材搬送装置と、前記減圧チャンバに対して前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側に設けられており、前記減圧チャンバの前記基材搬出口に向けて目詰め液を供給する目詰め液供給装置と、を備えたことを特徴とする目詰め液充填装置である。
【００２６】
本発明によれば、基材を減圧チャンバ内の減圧環境下に置くことにより、微細孔から空気を除去し得る。また、目詰め液供給装置から減圧チャンバの基材搬出口に向けて目詰め液を供給することにより、減圧チャンバ内の減圧環境下に置かれた基板が大気圧下に戻される前に、または、戻されるのと同時に、微細孔に目詰め液を継続的に供給し得る。したがって、微細孔から空気が除去された当該微細孔内に目詰め液を充填する、ということが可能である。この結果、目詰め液が充填される際に微細孔内に気泡が形成されてしまう、ということが抑制される。
【００２７】
好ましくは、前記基材供給装置は、基材ロールがセットされ、当該基材ロールから前記基材としてシート状の基材が供給されるように当該基材ロールを回転させるようになっている基材給送軸を有している。この場合、この場合、シート状の基材を連続的に供給し得る。
【００２８】
あるいは、前記基材供給装置は、搬送ウェブロールがセットされ、当該搬送ウェブロールから搬送ウェブが供給されるように当該搬送ウェブロールを回転させるようになっている搬送ウェブ給送軸と、前記搬送ウェブロールから供給される前記搬送ウェブ上に前記基材として枚葉状の基材を載置する基材載置装置と、を有している。この場合、枚葉状の基材を連続的に供給し得る。
【００２９】
好ましくは、前記減圧チャンバは、内部を１Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持可能である。この場合、基材の微細孔内の空気を十分に除去し、大気圧力の作用により微細孔内に目詰め液を充填し得る。
【００３０】
好ましくは、前記減圧チャンバの前記基材搬出口は、外周面が隣り合うように軸が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬出口ローラによって当該一対の基材搬出口ローラの前記外周面の間に規定されている。この場合、減圧環境下に置かれて連続的に供給される基材を、目詰め液に連続的に接触させることが容易である。
【００３１】
好ましくは、前記減圧チャンバの前記基材搬出口から前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側にかけて、前記基材搬送路の少なくとも一方の側に目詰め液を貯留するための目詰め液溜まり部が設けられている。この場合、基材を減圧チャンバ内の減圧環境下に置いた後、連続的に当該基材の微細孔側を目詰め液が貯留された目詰め液溜まり部に通過させることが可能である。したがって、減圧環境下に置かれた基材を大気圧下に戻す前に、または、戻すのと同時に、当該基材の微細孔に目詰め液を継続的に供給し得る。これにより、大気圧下に戻された微細孔内に空気が侵入してしまう前に当該微細孔内に目詰め液を充填する、ということが可能である。これにより、目詰め液が充填される際に微細孔内に気泡が形成されてしまう、ということがより顕著に抑制される。
【００３２】
例えば、前記目詰め液溜まり部は、前記減圧チャンバの前記基材搬出口の周囲に、板状部材を用いて形成されている。
【００３３】
あるいは、前記目詰め液充填装置は、フィルムロールがセットされ、当該フィルムロールからフィルムが供給されるように当該フィルムロールを回転させるようになっているフィルム給送軸であって、前記減圧チャンバ内に設けられたフィルム給送軸と、前記フィルムロールから供給された前記フィルムが前記基材搬出口を通じて当該減圧チャンバの内部から外部へ搬送されるようなフィルム搬送路を構成するフィルム搬送装置と、を更に備え、前記フィルム搬送路は、前記基材搬出口に対して前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側において、当該フィルム搬送路と前記基材搬送路との間に前記目詰め液溜まり部を形成するように構成されている。この場合も、目詰め液溜まり部を形成することが容易である。また、減圧チャンバの基材搬出口が目詰め液で汚れてしまう、ということが防止され得る。
【００３４】
好ましくは、当該目詰め液充填装置は、前記目詰め液溜まり部に対して前記基材搬送装置による前記基材の搬送方向の下流側において、当該基材搬送装置によって搬送される当該基材と、前記フィルム搬送装置によって搬送される前記フィルムと、を互いに対して押圧するようになっている押圧ローラを更に備えている。この場合、微細孔内に目詰め液が充填された基材の表面を滑らかに仕上げる、ということが容易である。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、目詰め液は、微細孔を有する基材が減圧環境下に置かれて当該微細孔から空気が除去された後、当該微細孔に供給される。この結果、目詰め液が充填される際に微細孔内に気泡が形成されてしまう、ということが抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１の実施の形態による目詰め液充填装置の構成を概略的に示す図。
【図２】第１の実施の形態の基材を概略的に示す図。詳しくは、図２（ａ）が、微細孔を有するシート状の基材を概略的に示す平面図であり、図２（ｂ）が、図２（ａ）に示す基材の２ｂ−２ｂ線断面図であり、図２（ｃ）が、図２（ｂ）に示す基材に目詰め液が充填された目詰め液充填シートを示す図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態による目詰め液充填装置の構成を概略的に示す図。
【図４】本発明の第３の実施の形態による目詰め液充填装置の構成を概略的に示す図。
【図５】本発明の第４の実施の形態による目詰め液充填装置の構成を概略的に示す図。
【図６】本発明の第５の実施の形態による目詰め液充填装置の構成を概略的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態による目詰め液充填装置の構成を概略的に示す図である。また、図２は、第１の実施の形態の基材の例を概略的に示す図である。詳しくは、図２（ａ）が、微細孔を有するシート状の基材を概略的に示す平面図であり、図２（ｂ）が、図２（ａ）に示す基材の２ｂ−２ｂ線断面図であり、図２（ｃ）が、図２（ｂ）に示す基材に目詰め液が充填された目詰め液充填シートを概略的に示す断面図である。
【００３８】
図１に示すように、本実施の形態の目詰め液充填装置１００は、微細孔１２を有する基材１０の当該微細孔１２に目詰め液１５を充填するための装置であって、基材１０を供給する基材供給装置２０と、内部を減圧状態に維持可能な減圧チャンバ３０であって、基材搬入口３１と基材搬出口３２とを有する減圧チャンバ３０と、基材供給装置２０から供給された基材１０が減圧チャンバ３０の基材搬入口３１を通じて減圧チャンバ３０の外部から内部へ且つ基材搬出口３２を通じて減圧チャンバ３０の内部から外部へ搬送されるような基材搬送路４５を構成する基材搬送装置４０と、減圧チャンバ３０に対して基材搬送装置４０による基材１０の搬送方向の下流側に設けられており、減圧チャンバ３０の基材搬出口３２に向けて目詰め液１５を供給する目詰め液供給装置５０と、を備えている。
【００３９】
基材１０は、本実施の形態では、幅Ｗが１００〜５００ｍｍ程度、厚みＴが２０〜３０μｍ程度のシート状の金属基材である。基材１０は、有機ＥＬ用の蒸着マスクなどに用いられるメタルマスクを作製するために、一方の面の側からのみ所望のパターンで基材１０の厚みＴの半分程度の深さＤまでエッチングされており、当該一方の面の側に微細孔１２が形成されている。本実施の形態では、微細孔１２の開口の幅ｅは、５０μｍ以下であり、例えば２０μｍ程度であるが、これに限られない。ここで、本実施の形態では、微細孔１２の開口の幅ｅとは、微細孔１２の開口の内接円１２'の直径を意味するものとする。
【００４０】
なお、基材１０は、メタルマスク作成用の基材に限られず、例えば、テレビやパソコンの画面に用いられる反射防止フィルムや、横のぞき防止のためのルーバー、コントラストを向上させるフィルム作成用のＰＥＴ基材やＴＡＣ基材であってもよい。さらには、木目模様などの細かい模様を有する壁紙作成用の基材であって、所望の模様に対応する微細孔が設けられた樹脂層と当該樹脂層を支持する紙基材とからなる基材であってもよい。
【００４１】
基材供給装置２０は、本実施の形態では、基材１０がロール状にされた基材ロール１０'がセットされ、基材ロール１０'からシート状の基材１０が供給されるように基材ロール１０'を回転させるようになっている基材給送軸２２を有している。
【００４２】
減圧チャンバ３０は、本実施の形態では、内部を１．５Ｔｏｒｒ以下、好ましくは１Ｔｏｒｒ以下、さらに好ましくは０．８Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持可能な減圧チャンバである。本実施の形態の減圧チャンバ３０は、筐体３３と、筐体３３の基材供給装置２０側の壁部に設けられた基材搬入口３１と、筐体３３の基材搬入口３１に対向する側の壁部に設けられた基材搬出口３２と、を有している。
【００４３】
基材搬入口３１は、本実施の形態では、外周面が隣り合うように軸３１２が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬入口ローラ３１１によって、当該一対の基材搬入口ローラ３１１の外周面の間に規定されている。本実施の形態では、基材搬入口ローラ３１１は、金属製であり、各基材搬入口ローラ３１１の軸３１２には、基材搬入口ローラ３１１を回転駆動するための駆動部３１３が設けられている。
【００４４】
基材搬出口３２は、本実施の形態では、外周面が隣り合うように軸３２２が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬出口ローラ３２１によって当該一対の基材搬出口ローラ３２１の外周面の間に規定されている。本実施の形態では、基材搬出口ローラ３２１は、金属製であり、各基材搬出口ローラ３２１の軸３２２には、基材搬出口ローラ３２１を回転駆動するための駆動部３２３が設けられている。また、各基材搬出口ローラ３２１には、基材搬出口ローラ３２１を加熱するための熱源（不図示）が設けられており、目詰め液１５として熱溶融性の材料が用いられる場合に、基材搬出口ローラ３２１付近において目詰め液１５の溶融状態を維持することができるようになっている。
【００４５】
筐体３３の基材搬入口ローラ３１１の外周面に対向する縁部、及び、筐体３３の基材搬出口ローラ３２１の外周面に対向する縁部には、樹脂性のシール部材３４が設けられている。本実施の形態では、シール部材３４と基材搬入口ローラ３１１の外周面との間の距離、及びシール部材３４と基材搬出口ローラ３２１の外周面との間の距離は、１０μｍ程度である。
【００４６】
本実施の形態では、減圧チャンバ３０の基材搬出口３２から基材搬送装置４０による基材１０の搬送方向の下流側にかけて、基材搬送路４５の少なくとも一方の側に目詰め液を貯留するための目詰め液溜まり部６０が設けられている。目詰め液溜まり部６０は、本実施の形態では、減圧チャンバ３０の基材搬出口３２の周囲に、板状部材６１を用いて形成されている。
【００４７】
目詰め液供給装置５０は、目詰め液１５を貯留するための容器５１と、容器５１から目詰め液１５を汲み出すポンプ５２と、ポンプ５２によって汲み出された目詰め液１５を目詰め液溜まり部６０へ案内する管５３と、を有している。本実施の形態では、容器５１には、容器５１を加熱する熱源（不図示）が設けられており、エッチング防止剤として熱溶融性の材料が用いられる場合に、当該熱溶融性の材料を容器５１内で加熱して溶融させ、所望の粘度の目詰め液１５とすることができるようになっている。
【００４８】
なお、目詰め液１５としては、エッチング防止剤に限られない。例えば、基材１０がテレビやパソコンの画面に用いられる反射防止フィルムや、横のぞき防止のためのルーバー、コントラストを向上させるフィルム作成用のＰＥＴ基材やＴＡＣ基材などである場合には、所望の機能層を形成するためのコーティング剤であってもよい。また、基材１０が木目模様などの細かい模様を有する壁紙作成用の基材であって、所望の模様に対応する微細孔が設けられた基材である場合には、目詰め液１５は、着色剤であってもよい。そして、目詰め液１５として熱溶融性の材料が用いられない場合には、目詰め液供給装置５０の容器５１及び減圧チャンバ３０の基材搬出口ローラ３２１は、当該容器５１及び当該基材搬出口ローラ３２１を加熱するための熱源を有していなくてよい。
【００４９】
基材搬送装置４０は、本実施の形態では、当該基材搬送装置４０による基材１０の搬送方向の最も下流側に設けられ、基材１０を巻き取るようになっている基材巻取軸４２と、基材搬送路４５上において基材供給装置２０と基材巻取軸４２との間に設けられた送りローラ４６と、を有している。基材巻取軸４２には、当該基材巻取軸４２を回転駆動するための駆動部４３が設けられている。
【００５０】
また、基材巻取軸４２と目詰め液溜まり部６０との間には、基材１０上に配置された余剰の目詰め液１５を掻き取るための基材用スキージ７１が設けられている。本実施の形態においては、基材スキージ７１は、その基材搬送路４５側の端部と、基材搬送路４５上を搬送される基材１０の表面と、間の距離が、２０μｍ以上となるように位置決めされている。
【００５１】
次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００５２】
まず、一方の面の側からのみ所望のパターンで基材１０の厚みＴの半分程度の深さＤまでエッチングされて、当該一方の面の側に微細孔１２が形成されたシート状の基材１０がロール状にされた基材ロール１０'が、基材供給装置２０の基材給送軸２２にセットされる。微細孔１２の開口部の幅ｅは、２０μｍ程度である。そして、基材ロール１０'から巻き出された基材１０が、減圧チャンバ３０の基材搬入口３１を通じて減圧チャンバ３０の外部から内部へ通された後、基材搬出口３２を通じて減圧チャンバ３０の内部から外部へ通される。その後、基材１０は、一方の基材搬出口ローラ３２１の外周面と目詰め液溜まり部６０の板状部材６１との間を通過され、基材用スキージ７１と送りローラ４６との間を通過される。そして、基材１０の巻き出し開始側の端部が、搬送装置４０の基材巻取軸４２に固定される。ここで、基材１０は、目詰め液溜まり部６０内において、基材１０の微細孔１２側の面が目詰め液溜まり部６０に貯留される目詰め液１５に接することができるように、すなわち基材１０の微細孔１２側の面とは反対の側の面が基材搬出口ローラ３２１の外周面と対向するように、配置される。これにより、目詰め液１５が貯留される目詰め液溜まり部６０に、基材１０の微細孔１２側を通過させ得る。
【００５３】
次に、エッチング防止剤としての熱溶融性ウレタン樹脂が、目詰め液供給装置５０の容器５１に供給され、１０００ｃＰ程度の粘度を有するように容器５１によって１００℃程度に加熱されて溶融される。溶融された熱溶融性ウレタン樹脂は、目詰め液１５として、ポンプ５２によって容器５１から汲み出され、管５３によって案内され、目詰め液溜まり部６０に貯留される。目詰め液溜まり６０に貯留された目詰め液１５は、目詰め液溜まり部６０の底部において、減圧チャンバ３０の基材搬出口３２１及び一方の基材搬出口ローラ３２１の外周面上に位置する基材１０に接している。
【００５４】
また、減圧チャンバ３０は真空引きされ、減圧チャンバ３０の内部が、１Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持される。そして、一対の基材搬出口ローラ３２１が、不図示の熱源によって外周面の温度が１００℃程度になるように加熱され、目詰め液溜まり６０内において基材１０に接する目詰め液１５の粘度が、１０００ｃＰ程度に維持される。
【００５５】
もっとも、基材１０に接する目詰め液１５の粘度は、微細孔１２の開口の幅ｅによっては１０００ｃＰより大きくてもよい。本件発明者が得た知見によれば、微細孔１２内が１Ｔｏｒｒ以下に減圧され、当該微細孔１２の開口の幅ｅが２０μｍ程度である場合には１００００ｃＰ程度、より好ましくは５０００ｃＰ程度であればよく、開口の幅ｅが５０μｍ程度である場合には１００００ｃＰ程度であればよい。
【００５６】
また、減圧チャンバ３０は、微細孔１２の開口の幅ｅないし目詰め液１５の粘度によっては、１Ｔｏｒｒより高い減圧状態に維持されてもよい。
【００５７】
この状態で、基材１０は、基材搬送装置４０によって搬送される。具体的には、基材搬送装置４０による基材１０の搬送方向の最も下流側に設けられた基材巻取軸４２が、基材１０が所望の搬送速度で搬送されるように、駆動部４３によって回転され、基材１０の基材巻取軸４２への巻き取りが開始される。
【００５８】
基材１０が基材巻取軸４２に巻き取られるのに伴って、基材供給装置２０の基材給送軸２２と共に基材ロール１０'が回転されながら、基材ロール１０'から基材１０が給送される。
【００５９】
また、減圧チャンバ３０の一対の基材搬入口ロール３１１が、外周面の互いに対向する側の速度が基材１０の所望の搬送速度に一致するように、駆動部３１３によって回転される。同時に、一対の基材搬出口ロール３２１が、外周面の互いに対向する側の速度が基材１０の所望の搬送速度に一致するように、駆動部３２３によって回転される。そして、基材給送軸２２にセットされた基材ロール１０'から給送された基材１０は、基材巻取軸４２の回転によって、減圧チャンバ３０の基材搬入口３１を通じて減圧チャンバ３０の外部から内部へ搬送される。
【００６０】
減圧チャンバ３０内に搬送された基材１０は、減圧チャンバ３０内の減圧環境下に置かれ、当該基材１０の微細孔１２内の空気が除去される。
【００６１】
微細孔１２内の空気が除去された基材１０は、基材巻取軸４２の回転によって、減圧チャンバ３０の基材搬出口３２を通じて減圧チャンバ３０の内部から外部へ、すなわち目詰め液溜まり部６０へ搬送される。このようにして、減圧チャンバ３０から搬出された基材１０は、大気圧下に戻されるのと同時に、基材１０の微細孔１２側が目詰め液１５が貯留された目詰め液溜まり部６０を通過され、当該微細孔１２に目詰め液１５が継続的に供給される。そして、大気圧力の作用によって、目詰め液１５が、当該基材１０の微細孔１２内に充填される。
【００６２】
目詰め液溜まり部６０を通過された基材１０は、基材巻取軸４２の回転によってさらに搬送され、基材用スキージ７１と送りローラ４６との間を通過される。この時、基材用スキージ７１によって、目詰め液溜まり部６０において基材１０上に配置された余剰の目詰め液１５（エッチング防止剤）が掻き取られ、図２（ｃ）に示すように、基材１０上に２０μｍ程度の厚さｈの目詰め液１５（エッチング防止剤）の層が形成される。
【００６３】
基材１０上に形成された目詰め液１５（エッチング防止剤）の層は、基材１０の搬送中に冷却されて固化する。そして、目詰め液１５（エッチング防止剤）の層が形成された基材１０は、基材巻取軸４２の回転によって、基材巻取軸４２に巻き取られる。
【００６４】
以上のように、本実施の形態によれば、基材１０を減圧チャンバ３０内の減圧環境下に置くことにより、微細孔１２から空気を除去し得る。また、目詰め液供給装置５０から減圧チャンバ３０の基材搬出口３２に向けて目詰め液１５を供給することにより、減圧チャンバ３０内の減圧環境下に置かれた基板１０が大気圧下に戻される前に、または、戻されるのと同時に、微細孔１２内に目詰め液１５を継続的に供給し得る。したがって、内部の空気が除去された微細孔１２内に目詰め液１５を充填する、ということが可能である。この結果、目詰め液１５が充填される際に微細孔１２内に気泡が形成されてしまう、ということが抑制される。また、基材供給装置２０が減圧チャンバ３０の外に配置されているため、比較的小さな減圧チャンバを用いることが可能である。
【００６５】
また、微細孔の開口の幅ｅが２０μｍ程度であるのに対し、基材１０の微細孔１２に供給される際の目詰め液の粘度は、１０００ｃＰ程度である。このため、微細孔１２の開口の幅ｅに対して目詰め液１５の粘度が高すぎて微細孔１２が目詰め液１５によって所望のように充填されない、ということが抑制される。
【００６６】
また、基材供給装置２０は、基材ロール１０'がセットされ、当該基材ロール１０'から基材１０としてシート状の基材が供給されるように当該基材ロール１０'を回転させるようになっている基材給送軸２２を有している。このため、シート状の基材１０を連続的に供給し得る。
【００６７】
なお、基材１０が枚葉状の基材である場合には、基材供給装置２０は、搬送ウェブロールがセットされ、当該搬送ウェブロールから搬送ウェブが供給されるように当該搬送ウェブロールを回転させるようになっている搬送ウェブ給送軸２２と、搬送ウェブロールから供給される搬送ウェブ上に枚葉状の基材１０を載置する基材載置装置と、を有していてもよい。この場合、枚葉状の基材１０を連続的に供給し得る。
【００６８】
また、減圧チャンバ３０は、内部を１Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持可能である。このため、基材１０の微細孔１２内の空気を十分に除去し、大気圧力の作用により微細孔１２内に目詰め液１５を充填し得る。
【００６９】
また、減圧チャンバ３０の基材搬入口３１は、外周面が隣り合うように軸３１２が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬入口ローラ３１１によって当該一対の基材搬入口ローラ３１１の外周面の間に規定されており、減圧チャンバ３０の基材搬出口３２は、外周面が隣り合うように軸３２２が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬出口ローラ３２１によって当該一対の基材搬出口ローラ３２１の外周面の間に規定されている。これにより、連続的に供給される基材１０を連続的に減圧環境下に置く、ということが容易である。
【００７０】
また、減圧チャンバ３０の基材搬出口３２から基材搬送装置４０による基材１０の搬送方向の下流側にかけて、基材搬送路４５の少なくとも一方の側に目詰め液１５を貯留するための目詰め液溜まり部６０が設けられている。このため、基材１０を減圧チャンバ３０内の減圧環境下に置いた後、連続的に当該基材１０の微細孔１２側を目詰め液１５が貯留された目詰め液溜まり部６０に通過させることが可能である。したがって、減圧環境下に置かれた基材１０を大気圧下に戻す前に、または、戻すのと同時に、当該基材１０の微細孔１２に目詰め液１５を継続的に供給し得る。これにより、大気圧下に戻された微細孔１２内に空気が侵入してしまう前に当該微細孔１２内に目詰め液１５を充填する、ということが可能である。これにより、目詰め液１５が充填される際に微細孔１２内に気泡が形成されてしまう、ということがより顕著に抑制される。
【００７１】
次に、図３により、本発明による目詰め液充填装置の第２の実施の形態について説明する。
【００７２】
図３は、本発明の第２の実施の形態による目詰め液充填装置の構成を概略的に示す図である。本実施の形態の目詰め液充填装置は、第１の実施の形態による目詰め液充填装置１００に対して、フィルムロール８１'がセットされ、当該フィルムロール８１'からフィルム８１が供給されるように当該フィルムロール８１'を回転させるようになっているフィルム給送軸８２と、フィルムロール８１'から供給されたフィルム８１が減圧チャンバ３０の基材搬入口３１を通じて当該減圧チャンバ３０の外部から内部へ且つ基材搬出口３２を通じて当該減圧チャンバの内部から外部へ搬送されるようなフィルム搬送路８４を構成するフィルム搬送装置８７と、を更に備えている点が異なっている。
【００７３】
フィルム８１は、本実施の形態では、幅が基材１０の幅Ｗと略同じであり厚みが５０μｍ程度のシート状のＰＥＴフィルムである。
【００７４】
フィルム給送軸８２は、本実施の形態では、減圧チャンバ３０に対して基材搬送装置４０による基材１０の搬送方向の上流側に、基材給送軸２２に対して平行に設けられている。
【００７５】
フィルム搬送装置８７は、本実施の形態では、フィルム搬送装置８７によるフィルム８１の搬送方向の最も下流側に設けられ、フィルム給送軸８２にセットされたフィルムロール８１'から給送されるフィルム８１を巻き取るようになっているフィルム巻取軸８８と、送りローラ８６と、を有している。
【００７６】
フィルム搬送路８４は、本実施の形態では、減圧チャンバ３０内の少なくとも一部の領域において、基材搬送路４５から離間されるように構成されている。具体的には、減圧チャンバ３０内の基材搬送路４５に対してフィルム搬送路８４の側に、フィルム離間用ローラ８５が、基材搬送路４５から離間されて配置されている。
【００７７】
また、フィルム搬送路８４は、減圧チャンバ３０の基材搬出口３２に対して基材搬送装置４０による基材１０の搬送方向の下流側において、当該フィルム搬送路８４と基材搬送路４５との間に目詰め液溜まり部６０'を形成するように構成されている。具体的には、減圧チャンバ３０の基材搬出口３２と基材巻取軸４２との間の領域であって基材搬送路４５に対してフィルム搬送路８４の側に、目詰め液溜まり部用ローラ９１が、基材搬送路４５から離間されて配置されている。そして、目詰め液供給装置５０の管５３は、基材搬送路４５とフィルム搬送路８４との間に形成される目詰め液溜まり部６０'内に、容器５１からポンプ５２によって汲み上げられた目詰め液１５を案内するように配置されている。ここで、本実施の形態では、目詰め液１５として、紫外線硬化型樹脂が用いられる。
【００７８】
本実施の形態では、目詰め液溜まり部６０'に対してフィルム搬送装置８７によるフィルム８１の搬送方向の下流側には、目詰め液溜まり６０'を通過されたフィルム８１上の目詰め液１５を掻き取るためのフィルム用スキージ７２が設けられている。フィルム用スキージ７２は、フィルム用スキージ７２の先端部がフィルム搬送路８４上を搬送されるフィルム８１の表面に当接するように位置決めされており、目詰め液溜まり６０'においてフィルム８１上に配置される目詰め液１５を十分に掻き取ることができるようになっている。
【００７９】
また、本実施の形態の目詰め液充填装置１００'は、目詰め液溜まり部６０'に対して基材搬送装置４０による基材１０の搬送方向の下流側、より具体的には基材用スキージ７１及びフィルム用スキージ７２に対して基材搬送装置４０による基材１０の搬送方向の下流側において、当該基材搬送装置４０によって搬送される当該基材１０と、フィルム搬送装置８７によって搬送されるフィルム８１と、を互いに対して押圧するようになっている押圧ローラ９３を備えている。押圧ローラ９３は、本実施の形態では、目詰め液溜まり用部ローラ９１と基材搬送装置４０との間の領域に設けられた一対の押圧ローラである。
【００８０】
押圧ローラ９３と基材搬送装置４０との間の領域には、一対の送りローラ８６'が、外周面が隣り合うように配置されており、押圧ローラ９３と当該送りローラ８６'との間において、基材１０とフィルム８１とが互いに密着した状態で搬送されるようになっている。
【００８１】
押圧ローラ９３と送りローラ８６'との間の領域には、紫外線照射装置９５が設けられており、当該領域における基材搬送路４５に対して紫外線を照射して、当該領域を通過する基材１０の微細孔１２内に目詰め液１５として充填された紫外線硬化型樹脂を硬化させることができるようになっている。なお、目詰め液１５として、熱硬化性の材料が用いられる場合には、当該領域には加熱装置が設けられてもよい。
【００８２】
その他の構成は、図１の実施の形態による目詰め液充填装置１００の構成と、略同一である。図３に示す実施の形態において図１に示す実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００８３】
次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００８４】
まず、一方の面の側に微細孔１２が形成されたシート状の基材１０がロール状にされた基材ロール１０'が、基材供給装置２０の基材給送軸２２にセットされる。微細孔１２の開口部の幅ｅは、２０〜３０μｍ程度である。そして、基材ロール１０'から巻き出された基材１０が、減圧チャンバ３０の基材搬入口３１を通じて減圧チャンバ３０の外部から内部へ通された後、減圧チャンバ３０の基材搬出口３２を通じて減圧チャンバ３０の内部から外部へ通される。その後、基材１０は、基材用スキージ７１と送りローラ４６との間の領域を通過される。そして、一対の押圧ローラ９３の間を通過された後、基材１０の巻き出し開始側の端部が、搬送装置４０の基材巻取軸４２に固定される。なお、基材１０は、少なくとも基材搬送路４５とフィルム搬送路８４との間に形成される目詰め液溜まり部６０'内において、基材１０の微細孔１２側の面がフィルム搬送路８４に対向するように配置される。このようにして、目詰め液１５が貯留される目詰め液溜まり部６０'に基材１０の微細孔１２側を通過させることができるようになっている。
【００８５】
また、基材１０の幅Ｗと同程度の幅を有するＰＥＴフィルム８１をロール状にしたフィルムロール８１'が、フィルム給送軸８２にセットされる。ＰＥＴフィルム８１の厚さは、２０〜３０μｍ程度である。そして、フィルムロール８１'から巻き出されたフィルム８１が、減圧チャンバ３０の基材搬入口３１を通じて減圧チャンバ３０の外部から内部へ通され、減圧チャンバ３０内に配置されたフィルム離間用ローラ８５に対して基材搬送路４５とは反対の側へ案内された後、減圧チャンバ３０の基材搬出口３２を通じて減圧チャンバ３０の内部から外部へ通される。その後、フィルム８１は、送りローラ８６とフィルム用スキージ７２との間を通され、目詰め液溜まり部用ローラ９１に対して基材搬送路４５とは反対の側へ案内された後、一対の押圧ローラ９３の間を通過される。一対の押圧ローラ９３の間を通過されたフィルム８１は、一対の送りローラ８６'の間を通過された後、その巻き出し開始側の端部がフィルム巻取軸８８に固定される。
【００８６】
そして、基材１０とフィルム８１との間に目詰め液供給装置５０から供給される目詰め液１５を貯留することができるよう、減圧チャンバ３０に対して基材搬送装置４０による基材１０の搬送方向の下流側であって基材搬出口３２の周囲に、不図示の板状部材が、基材１０とフィルム８１と板状部材とで囲まれた空間が形成されるよう、基材１０とフィルム８１の縁部に接触して配置される。このようにして、基材搬出口３２に対して基材搬送装置４０による基材１０の搬送方向の下流側において、目詰め液溜まり部用ローラ９１によって互いから離間されたフィルム８１と基材１０との間に、目詰め液溜まり部６１'が形成される。
【００８７】
次に、目詰め液１５として、１０００ｃＰ程度の粘度を有する紫外線硬化型樹脂が、目詰め液供給装置５０の容器５１に供給される。容器５１内の目詰め液１５は、ポンプ５２によって容器５１から汲み出され、管５３によって案内され、目詰め液溜まり部６０'に貯留される。これにより、目詰め液溜まり６０'に貯留された目詰め液１５は、目詰め液溜まり部６０'内において、基材１０の微細孔１２側の面及びフィルム８１の一側面と接することとなる。
【００８８】
また、減圧チャンバ３０は真空引きされ、減圧チャンバ３０の内部が、１Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持される。
【００８９】
この状態で、基材１０は、基材搬送装置４０によって搬送される。具体的には、基材巻取軸４２が、基材１０が所望の搬送速度で搬送されるように、駆動部４３によって回転され、基材１０の基材巻取軸４２への巻き取りが開始される。そして、基材１０が基材巻取軸４２に巻き取られるのに伴って、基材供給装置２０の基材給送軸２２と共に基材ロール１０'が回転されながら、基材ロール１０'から基材１０が給送される。
【００９０】
また、基材巻取軸４２の回転が開始されるのと同時に、フィルム搬送装置８７によるフィルム８１の搬送方向の最も下流側に設けられたフィルム巻取軸８８が、フィルム８１が基材１０の所望の搬送速度に一致して搬送されるように、駆動部８９によって回転され、フィルム８１のフィルム巻取軸８８への巻き取りが開始される。そして、フィルム８１がフィルム巻取軸８８に巻き取られるのに伴って、フィルム給送軸８２と共にフィルムロール８１'が回転されながら、フィルムロール８１'からフィルム８１が給送される。
【００９１】
また、減圧チャンバ３０の一対の基材搬入口ロール３１１及び一対の基材搬出口ロール３２１が、外周面の互いに対向する側の速度が基材１０の所望の搬送速度に一致するように、それぞれ駆動部３１２及び３２２によって回転される。
【００９２】
減圧チャンバ３０の基材搬入口ローラ３１１によって互いに接触されて減圧チャンバ３０内に搬送された基材１０及びフィルム８１は、減圧チャンバ３０内の減圧環境下に置かれると共に、フィルム８１がフィルム離間用ローラ８５に案内されることよって互いから離間される。そして、減圧チャンバ３０内で、基材１０の微細孔１２内の空気が除去される。
【００９３】
微細孔１２内の空気が除去された基材１０及びフィルム８１は、それぞれ基材巻取軸４２及びフィルム巻取軸８８の回転によってさらに搬送され、減圧チャンバ３０の基材搬出口ローラ３２１によって互いに接触される。そして、基材１０及びフィルム８１は、基材搬出口３２を通じて減圧チャンバ３０の内部から外部へ搬送される。減圧チャンバ３０から搬送された基材１０及びフィルム８１は、フィルム８１が目詰め液溜まり部用ローラ９１によって案内されることにより、互いから離間される。このようにして、減圧チャンバ３０から搬出された基材１０は、大気圧下に戻されるのと同時に、基材１０の微細孔１２側が目詰め液１５が貯留された目詰め液溜まり部６０'を通過され、当該微細孔１２に目詰め液１５が継続的に供給される。そして、目詰め液１５が、当該基材１０の微細孔１２内に充填される。
【００９４】
目詰め液溜まり部６０'を通過された基材１０は、基材巻取軸４２の回転によってさらに搬送され、基材用スキージ７１と送りローラ４６との間を通過される。この時、基材用スキージ７１によって、目詰め液溜まり部６０'において基材１０上に配置された余剰の目詰め液１５が掻き取られる。
【００９５】
一方、目詰め液溜まり部６０'を通過されたフィルム８１は、フィルム巻取軸８８の回転によってさらに搬送され、フィルム用スキージ７２と送りローラ８６との間を通過される。この時、フィルム用スキージ７２によって、目詰め液溜まり部６０'においてフィルム８１上に配置された目詰め液１５が掻き取られる。そして、フィルム８１は、目詰め液溜まり部用ローラ９１へ案内される。
【００９６】
その後、基材１０及びフィルム８１は、基材巻取軸４２及びフィルム巻取軸８８の回転によってさらに搬送され、一対の押圧ローラ９３の間を通過される。基材１０とフィルム８１とは、一対の押圧ローラ９３によって互いに対して押圧される。これによって、基材１０上に形成された目詰め液１５の層の表面が滑らかにされる。
【００９７】
基材１０とフィルム８１とは、互いに対して接触されたまま、一対の送りローラ８６'へ向けて搬送され、押圧ローラ９３と送りローラ８６'との間の領域において紫外線照射装置９５によって紫外線が照射される。このようにして、基材１０上に形成された目詰め液１５の層は、その表面が滑らかにされた状態で硬化される。
【００９８】
そして、目詰め液１５が硬化された基材１０及びフィルム８１は、基材巻取軸４２及びフィルム巻取軸８８の回転によって、互いから剥離され、それぞれ、基材巻取軸４２及びフィルム巻取軸８８上に巻き取られる。
【００９９】
以上のように、本実施の形態によれば、目詰め液充填装置１００'は、フィルムロール８１'がセットされ、フィルムロール８１'からフィルム８１が供給されるようにフィルムロール８１'を回転させるようになっているフィルム給送軸８２と、フィルムロール８１'から供給されたフィルム８１が減圧チャンバ３０の基材搬入口３１を通じて減圧チャンバ３０の外部から内部へ且つ基材搬出口３２を通じて減圧チャンバ３０の内部から外部へ搬送されるようなフィルム搬送路８４を構成するフィルム搬送装置８７と、を更に備え、フィルム搬送路８４は、基材搬出口３２に対して基材搬送装置４０による基材１０の搬送方向の下流側において、フィルム搬送路８４と基材搬送路４５との間に目詰め液溜まり部６０'を形成するように構成されている。このため、目詰め液溜まり部６０'を形成することが容易である。また、減圧チャンバ３０の基材搬出口３２が目詰め液で汚れてしまう、ということが防止され得る。
【０１００】
また、フィルム搬送路８４は、減圧チャンバ３０内の少なくとも一部の領域において、基材搬送路４５から離間されるように構成されている。このため、減圧チャンバ３０内において、基材１０の微細孔１２から空気が十分に除去され得る。
【０１０１】
また、目詰め液充填装置１００'は、目詰め液溜まり部６０'に対して基材搬送装置４０による基材１０の搬送方向の下流側において、基材搬送装置４０によって搬送される当該基材１０と、フィルム搬送装置８７によって搬送されるフィルム８１と、を互いに対して押圧するようになっている押圧ローラ９３を更に備えている。このため、微細孔１２内に目詰め液１５が充填された基材１０の表面を滑らかに仕上げる、ということが容易である。
【０１０２】
次に、図４により、本発明による目詰め液充填装置の第３の実施の形態について説明する。
【０１０３】
図４は、本発明の第３の実施の形態による目詰め液充填装置の構成を概略的に示す図である。本実施の形態による目詰め液充填装置１００''は、図３に示す目詰め液充填装置１００'に対して、減圧チャンバ３０'が異なるのみであり、その他の構成は、図３に示す目詰め液充填装置１００'の構成と略同一である。図４に示す実施の形態において図３に示す実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１０４】
減圧チャンバ３０'は、本実施の形態においても、内部を１Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持可能な減圧チャンバであり、筐体３３'と、基材搬入口３１'と、基材搬出口３２'と、を有している。本実施の形態では、基材搬入口３１'は、回転可能に設けられた中間ローラ３６１と、外周面が中間ローラ３６１の外周面と隣り合うように軸３１２が中間ローラ３６１の軸３６２に対して平行かつ回転可能に設けられた基材搬入口ローラ３１１'と、によって中間ローラ３６１の外周面と基材搬入口ローラ３１１'の外周面との間に規定されている。また、減圧チャンバ３０'の基材搬出口３２'は、中間ローラ３６１と、外周面が中間ローラ３６１の外周面と隣り合うように軸３２２が中間ローラ３６１の軸３６２に対して平行かつ回転可能に設けられた基材搬出口ローラ３２１'と、によって中間ローラ３６１の外周面と基材搬出口ローラ３２１'の外周面との間に規定されている。
【０１０５】
次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【０１０６】
本実施の形態においては、基材１０及びフィルム８１の搬送が開始される際、減圧チャンバ３０の基材搬入口ローラ３１１'と中間ローラ３６１と基材搬出口ローラ３２１'とが、基材搬入口ローラ３１１'及び中間ローラ３６１の外周面の互いに対向する側の速度と、基材搬出口ローラ３２１'及び中間ローラ３６１の外周面の互いに対向する側の速度とが、基材１０の所望の搬送速度に一致するよう回転される点が異なるのみであり、その他の作用は、図３に示す実施の形態の作用と略同一である。
【０１０７】
以上のように、本実施の形態によっても、連続的に供給される基材１０を連続的に減圧環境下に置く、ということが容易である。
【０１０８】
次に、図５により、本発明による目詰め液充填装置の第４の実施の形態について説明する。
【０１０９】
図５は、本発明の第４の実施の形態による目詰め液充填装置の構成を概略的に示す図である。図５に示すように、本実施の形態による目詰め液充填装置２００は、図１に示す目詰め液充填装置１００に対して、内部を減圧状態に維持可能な減圧チャンバ３０''であって、基材搬出口３２''を有する減圧チャンバ３０''と、基材１０を供給する基材供給装置２０''であって、減圧チャンバ３０''内に設けられた基材供給装置２０''と、基材供給装置２０''から供給された基材１０が減圧チャンバ３０''の基材搬出口３２''を通じて当該減圧チャンバ３０''の内部から外部へ搬送されるような基材搬送路４５''を構成する基材搬送装置４０''と、を備えている点が異なるのみであり、その他の構成は、図１に示す目詰め液充填装置１００の構成と略同一である。図５に示す実施の形態において図１に示す実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１１０】
基材供給装置２０''は、図１に示す実施の形態の基材供給装置２０と同様に、基材ロール１０'がセットされ、基材ロール１０'から基材１０としてシート状の基材が供給されるように基材ロール１０'を回転させるようになっている基材給送軸２２を有している。
【０１１１】
減圧チャンバ３０''は、本実施の形態においても、内部を１Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持可能な減圧チャンバである。本実施の形態の減圧チャンバ３０''は、筐体３３''と、筐体３３''の壁部に設けられた基材搬出口３２''と、を有している。
【０１１２】
減圧チャンバ３０''の基材搬出口３２''は、外周面が隣り合うように軸３２２が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬出口ローラ３２１によって当該一対の基材搬出口ローラ３２１の外周面の間に規定されている。本実施の形態においても、各基材搬出口ローラ３２１の軸３２２には、基材搬出口ローラ３２１を回転駆動するための駆動部３２３が設けられている。また、各基材搬出口ローラ３２１には、基材搬出口ローラ３２１を加熱するための熱源（不図示）が設けられている。
【０１１３】
基材搬送装置４０''は、本実施の形態においても、当該基材搬送装置４０''による基材１０の搬送方向の最も下流側に設けられ、基材１０を巻き取るようになっている基材巻取軸４２と、基材搬送路４５''上において基材供給装置２０''と基材巻取軸４２との間に設けられた送りローラ４６と、を有している。基材巻取軸４２には、当該基材巻取軸４２を回転駆動するための駆動部４３が設けられている。
【０１１４】
次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【０１１５】
まず、図２（ａ）に示すシート状の基材１０がロール状にされた基材ロール１０'が、減圧チャンバ３０''内に設けられた基材供給装置２０''の基材給送軸２２にセットされる。そして、基材ロール１０'から巻き出された基材１０が、減圧チャンバ３０''の基材搬出口３２''を通じて減圧チャンバ３０''の内部から外部へ通される。その後、基材１０は、一方の基材搬出口ローラ３２１の外周面と目詰め液溜まり部６０の板状部材６１との間を通過され、基材用スキージ７１と送りローラ４６との間を通過される。そして、基材１０の巻き出し開始側の端部が、搬送装置４０''の基材巻取軸４２に固定される。なお、基材１０は、目詰め液溜まり部６０内において、基材１０の微細孔１２側の面が目詰め液溜まり部６０に貯留される目詰め液１５に接することができるように配置される。これにより、基材１０が大気圧下に戻されるのと同時に、目詰め液１５が貯留される目詰め液溜まり部６０に基材１０の微細孔１２側を通過させ得る。
【０１１６】
次に、エッチング防止剤としての熱溶融性ウレタン樹脂が、図１に示す実施の形態の場合と同様に、目詰め液供給装置５０の容器５１に供給され、加熱して溶融された後、目詰め液溜まり部６０に貯留される。
【０１１７】
また、減圧チャンバ３０''が真空引きされ、減圧チャンバ３０''の内部が、１Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持される。そして、一対の基材搬出口ローラ３２１が、不図示の熱源によって外周面の温度が１００℃程度になるように加熱される。
【０１１８】
この状態で、基材１０は、基材搬送装置４０''によって搬送される。具体的には、基材巻取軸４２が、基材１０が所望の搬送速度で搬送されるように、駆動部４３によって回転され、基材１０の基材巻取軸４２への巻き取りが開始される。
【０１１９】
また、減圧チャンバ３０''の一対の基材搬出口ロール３２１が、外周面の互いに対向する側の速度が基材１０の所望の搬送速度に一致するように、駆動部３２３によって回転される。
【０１２０】
基材１０が基材巻取軸４２に巻き取られるのに伴って、基材供給装置２０の基材給送軸２２と共に基材ロール１０'が回転されながら、基材ロール１０'から基材１０が給送される。
【０１２１】
基材ロール１０'から給送された基材１０は、基材巻取軸４２の回転によって、減圧チャンバ３０''の基材搬出口３２''へ搬送される。基材１０が基材ロール１０'から巻き出されて基材搬出口３２''へ搬送されるまでの間に、基材１０の微細孔１２は、減圧チャンバ３０''内の減圧環境に曝され、当該微細孔１２内の空気が除去される。
【０１２２】
微細孔１２内の空気が除去された基材１０は、基材巻取軸４２の回転によって、減圧チャンバ３０''の基材搬出口３２''を通じて減圧チャンバ３０''の内部から外部へ、すなわち目詰め液溜まり部６０へ搬送される。このようにして、減圧チャンバ３０''から搬出された基材１０は、大気圧下に戻されるのと同時に、基材１０の微細孔１２側が目詰め液１５が貯留された目詰め液溜まり部６０を通過され、当該微細孔１２に目詰め液１５が継続的に供給される。そして、大気圧力の作用によって、目詰め液１５が、当該基材１０の微細孔１２内に充填される。
【０１２３】
目詰め液溜まり部６０を通過された基材１０は、基材巻取軸４２の回転によってさらに搬送され、基材用スキージ７１と送りローラ４６との間を通過される。
【０１２４】
そして、エッチング防止剤１５の層が形成された基材１０は、基材巻取軸４２の回転によって、基材巻取軸４２上に巻き取られる。
【０１２５】
以上のように、本実施の形態によっても、基材１０を減圧チャンバ３０''内の減圧環境下に置くことにより、微細孔１２から空気を除去し得る。また、目詰め液供給装置５０から減圧チャンバ３０''の基材搬出口３２''に向けて目詰め液１５を供給することにより、減圧チャンバ３０''内の減圧環境下に置かれた基板１０が大気圧下に戻される前に、または、戻されるのと同時に、微細孔１２に目詰め液１５を供給し得る。したがって、内部の空気が除去された微細孔１２内に目詰め液１５を充填する、ということが可能である。この結果、目詰め液１５が充填される際に微細孔１２内に気泡が形成されてしまう、ということが抑制される。
【０１２６】
次に、図６により、本発明による目詰め液充填装置の第５の実施の形態について説明する。
【０１２７】
図６は、本発明の第５の実施の形態による目詰め液充填装置の構成を概略的に示す図である。図６に示すように、本実施の形態による目詰め液充填装置２００'は、図３に示す目詰め液充填装置１００'に対して、内部を減圧状態に維持可能な減圧チャンバ３０''であって、基材搬出口３２を有する減圧チャンバ３０''と、基材１０を供給する基材供給装置２０''であって、減圧チャンバ３０''内に設けられた基材供給装置２０''と、基材供給装置２０''から供給された基材１０が減圧チャンバ３０''の基材搬出口３２''を通じて減圧チャンバ３０''の内部から外部へ搬送されるような基材搬送路４５''を構成する基材搬送装置４０''と、フィルムロール８１'がセットされ、当該フィルムロール８１'からフィルム８１が供給されるように当該フィルムロール８１'を回転させるようになっているフィルム給送軸８２であって、減圧チャンバ３０''内に設けられたフィルム給送軸８２と、フィルムロール８１'から供給されたフィルム８１が基材搬出口３２''を通じて減圧チャンバ３０''の内部から外部へ搬送されるようなフィルム搬送路８４''を構成するフィルム搬送装置８７''と、を備えた点が異なるのみであり、その他の構成は、図３に示す目詰め液充填装置１００'の構成と略同一である。図６に示す実施の形態において図３に示す実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１２８】
基材供給装置２０''は、図３に示す実施の形態の基材供給装置２０と同様に、基材ロール１０'がセットされ、基材ロール１０'から基材１０としてシート状の基材１０が供給されるように基材ロール１０'を回転させるようになっている基材給送軸２２を有している。
【０１２９】
減圧チャンバ３０''は、本実施の形態においても、内部を１Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持可能な減圧チャンバである。本実施の形態の減圧チャンバ３０''は、筐体３３''と、筐体３３''の壁部に設けられた基材搬出口３２''と、を有している。
【０１３０】
減圧チャンバ３０''の基材搬出口３２''は、外周面が隣り合うように軸３２２が互いに対して平行かつ回転可能に設けられた一対の基材搬出口ローラ３２１によって当該一対の基材搬出口ローラ３２１の外周面の間に規定されている。本実施の形態においても、各基材搬出口ローラ３２１の軸３２２には、基材搬出口ローラ３２１を回転駆動するための駆動部３２３が設けられている。また、各基材搬出口ローラ３２１の駆動軸３２２には、基材搬出口ローラ３２１を加熱するための熱源（不図示）が設けられている。
【０１３１】
基材搬送装置４０''は、本実施の形態においても、当該基材搬送装置４０''による基材１０の搬送方向の最も下流側に設けられ、基材１０を巻き取るようになっている基材巻取軸４２と、基材搬送路４５''上において基材供給装置２０''と基材巻取軸４２との間に設けられた送りローラ４６と、を有している。基材巻取軸４２には、当該基材巻取軸４２を回転駆動するための駆動部４３が設けられている。
【０１３２】
フィルム給送軸８２は、本実施の形態では、基材給送軸２２の近傍に基材給送軸２２に対して平行に設けられている。
【０１３３】
フィルム搬送装置８７''は、本実施の形態では、フィルム搬送装置８７''によるフィルム８１の搬送方向の最も下流側に設けられ、フィルム給送軸８２にセットされたフィルムロール８１'から給送されるフィルム８１を巻き取るようになっているフィルム巻取軸８８と、送りローラ８６と、を有している。
【０１３４】
次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【０１３５】
まず、一方の面の側からのみ所望のパターンで基材１０の厚みＴの半分程度の深さＤまでエッチングされて、当該一方の面の側に微細孔１２が形成されたシート状の基材１０が、ロール状にされて基材ロール１０'とされ、当該基材ロール１０'が、基材供給装置２０''の基材給送軸２２にセットされる。そして、基材ロール１０'から巻き出された基材１０が、減圧チャンバ３０''の基材搬出口３２''を通じて減圧チャンバ３０''の内部から外部へ通される。その後、基材１０は、基材用スキージ７１と送りローラ４６との間を通過される。そして、一対の押圧ローラ９３の間を通過された後、基材１０の巻き出し開始側の端部が、搬送装置４０''の基材巻取軸４２に固定される。なお、基材１０は、少なくとも基材搬送路４５''とフィルム搬送路８４''との間に形成される目詰め液溜まり部６０'内において、基材１０の微細孔１２側の面がフィルム搬送路８４''に対向するように配置される。これにより、基材１０が大気圧下に戻されるのと同時に、目詰め液１５が貯留される目詰め液溜まり部６０'に基材１０の微細孔１２側を通過させ得る。
【０１３６】
また、基材１０の幅Ｗと同程度の幅を有するＰＥＴフィルムをロール状にしたフィルムロール８１'が、フィルム給送軸８２にセットされる。そして、フィルムロール８１'から巻き出されたフィルム８１が、減圧チャンバ３０''の基材搬出口３２''を通じて減圧チャンバ３０の内部から外部へ通される。その後、フィルム８１は、送りローラ８６とフィルム用スキージ７２との間を通され、目詰め液溜まり部用ローラ９１に対して基材搬送路４５''とは反対の側へ案内された後、一対の押圧ローラ９３の間を通過される。一対の押圧ローラ９３の間を通過されたフィルム８１は、一対の送りローラ８６'の間を通過された後、巻き出し開始側の端部がフィルム巻取軸８８に固定される。
【０１３７】
そして、基材１０とフィルム８１との間に目詰め液供給装置５０から供給される目詰め液１５を貯留することができるよう、減圧チャンバ３０に対して基材搬送装置４０''による基材１０の搬送方向の下流側であって基材搬出口３２''の周囲には、不図示の板状部材が、基材１０とフィルム８１と板状部材とで囲まれた空間が形成されるよう、基材１０及びフィルム８１の縁部に接触するように配置される。このようにして、基材搬出口３２''に対して基材搬送装置４０''による基材１０の搬送方向の下流側において、目詰め液溜まり部用ローラ９１によって互いから離間されたフィルム８１と基材１０との間に、目詰め液溜まり部６０'が形成される。
【０１３８】
次に、目詰め液１５として紫外線硬化型樹脂が、図３の実施の形態と同様に、目詰め液供給装置５０の容器５１に供給され、ポンプ５２と管５３とを用いて目詰め液溜まり部６０'に貯留される。
【０１３９】
また、減圧チャンバ３０は真空引きされ、減圧チャンバ３０''の内部が、１Ｔｏｒｒ以下の減圧状態に維持される。
【０１４０】
この状態で、基材１０は、基材搬送装置４０''によって搬送される。具体的には、基材巻取軸４２が、基材１０が所望の搬送速度で搬送されるように、駆動部４３によって回転され、基材１０の基材巻取軸４２への巻き取りが開始される。そして、基材１０が基材巻取軸４２に巻き取られるのに伴って、基材供給装置２０''の基材給送軸２２と共に基材ロール１０'が回転されながら、基材ロール１０'から基材１０が給送される。
【０１４１】
また、基材巻取軸４２の回転が開始されるのと同時に、フィルム巻取軸８８が、フィルム８１が基材１０の所望の搬送速度に一致して搬送されるように、駆動部８９によって回転され、フィルム８１のフィルム巻取軸８８への巻き取りが開始される。そして、フィルム８１がフィルム巻取軸８８に巻き取られるのに伴って、フィルム給送軸８２と共にフィルムロール８１'が回転されながら、フィルムロール８１'からフィルム８１が給送される。
【０１４２】
また、減圧チャンバ３０''の一対の基材搬出口ロール３２１が、外周面の互いに対向する側の速度が基材１０の所望の搬送速度に一致するように、駆動部３２２によって回転される。
【０１４３】
基材ロール１０'から給送された基材１０は、基材巻取軸４２の回転によって、減圧チャンバ３０''の基材搬出口３２''へ搬送される。基材１０が基材ロール１０'から巻き出されて基材搬出口３２''へ搬送されるまでの間に、基材１０の微細孔１２は減圧チャンバ３０''内の減圧環境に曝され、当該微細孔１２内の空気が除去される。
【０１４４】
微細孔１２内の空気が除去された基材１０及びフィルム８１は、それぞれ基材巻取軸４２及びフィルム巻取軸８８の回転によって、減圧チャンバ３０''の基材搬出口ローラ３２１によって互いに接触され、基材搬出口３２''を通じて減圧チャンバ３０''の内部から外部へ搬送される。減圧チャンバ３０''から搬送された基材１０及びフィルム８１は、目詰め液溜まり部用ローラ９１によって互いから離間される。このようにして、減圧チャンバ３０''から搬出された基材１０は、大気圧下に戻されるのと同時に、基材１０の微細孔１２側が目詰め液１５が貯留された目詰め液溜まり部６０'を通過され、当該微細孔１２に目詰め液１５が継続的に供給される。そして、目詰め液１５が、当該基材１０の微細孔１２内に充填される。
【０１４５】
その他の作用は、図３に示す実施の形態の作用と略同一である。
【０１４６】
以上のように、本実施の形態によっても、基材１０を減圧チャンバ３０''内の減圧環境下に置くことにより、微細孔１２から空気を除去し得る。また、目詰め液供給装置５０から減圧チャンバ３０''の基材搬出口３２''に向けて目詰め液１５を供給することにより、減圧チャンバ３０''内の減圧環境下に置かれた基板１０が大気圧下に戻される前に、または、戻されるのと同時に、微細孔１２に目詰め液１５を供給し得る。したがって、内部の空気が除去された当該微細孔１２に目詰め液１５を供給する、ということが可能である。この結果、目詰め液１５が充填される際に微細孔１２内に気泡が形成されてしまう、ということが抑制される。
【符号の説明】
【０１４７】
１０  基材
１０'  基材
１１  パターン
１２  微細孔
１５  目詰め液
２０  基材供給装置
２０''  基材供給装置
２２  基材給送軸
１００  目詰め液充填装置
１００'  目詰め液充填装置
１００''  目詰め液充填装置
２００  目詰め液充填装置
２００'  目詰め液充填装置
２２  基材給送軸
３０  減圧チャンバ
３０''  減圧チャンバ
３１  基材搬入口
３１'  基材搬入口
３１１  基材搬入口ローラ
３１２  軸
３１３  駆動部
３２  基材搬出口
３２'  基材搬出口
３２''  基材搬出口
３２１  基材搬出口ローラ
３２２  軸
３２３  駆動部
３３  筐体
３３''  筐体
３４  シール部
３６１  中間ローラ
３６２  軸
３６３  駆動部
４０  基材搬送装置
４０''  基材搬送装置
４２  基材巻取軸
４３  駆動部
４５  基材搬送路
４５''  基材搬送路
４６  送りローラ
５０  目詰め液供給装置
５１  容器
５２  ポンプ
５３  管
６０  液溜まり部
６０'  液溜まり部
６１  板状部材
７１  基材用スキージ
７２  フィルム用スキージ
８１  フィルム
８１'  フィルムロール
８２  フィルム給送軸
８４  フィルム搬送路
８４''  フィルム搬送路
８５  フィルム離間用ローラ
８６  送りローラ
８６'  送りローラ
８７  フィルム搬送装置
８７''  フィルム搬送装置
８８  フィルム巻取軸
８９  駆動部
９１  目詰め液溜まり部用ローラ
９３  押圧ローラ
９５  紫外線照射装置
【図１】
2015029976.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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