(57)【要約】      （修正有）【課題】シンプルな構成で、ダイヘッドから被塗布物への塗布液の吐出の有無を切り換える際の塗布液の吐出の応答性を向上させることができる塗布システムおよび塗布方法を提供する。【解決手段】被塗布物に塗布液を供給するための塗布システムは、ダイヘッド１０と、塗布液を貯留する液タンク４６と、液タンク４６から送られた塗布液をダイヘッド１０の内部流路に供給するための供給配管４２と、ダイヘッド１０の内部流路から液タンク４６に塗布液を戻すための戻し配管３０と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被塗布物に塗布液を供給するための塗布システムであって、
一対の本体ブロックを有し、前記一対の本体ブロックの間には塗布液が通過する内部流路が形成されており、前記一対の本体ブロックの先端部の間に形成されたスリットから塗布液が被塗布物の表面に吐出されるようになっているダイヘッドと、
塗布液を貯留する液タンクと、
前記液タンクから送られた塗布液を前記ダイヘッドの前記内部流路に供給するための供給配管と、
前記ダイヘッドの前記内部流路から前記液タンクに塗布液を戻すための戻し配管と、
を備えた、塗布システム。
【請求項２】
前記戻し配管には弁が設けられており、当該弁の開閉によって前記ダイヘッドによる前記被塗布物への塗布液の供給の有無が切り換えられるようになっている、請求項１記載の塗布システム。
【請求項３】
前記弁において、予め設定された所定の期間だけ開状態とした後、予め設定された所定の期間だけ閉状態とするような開閉動作が繰り返し行われるようになっている、請求項２記載の塗布システム。
【請求項４】
前記弁は二方弁を含む、請求項２または３記載の塗布システム。
【請求項５】
被塗布物に塗布液を供給するための塗布方法であって、
供給配管を介して液タンクからダイヘッドの内部流路に塗布液を供給する工程と、
前記ダイヘッドの前記内部流路に供給された塗布液を、当該ダイヘッドの一対の本体ブロックの先端部の間に形成されたスリットから被塗布物の表面に吐出させる動作、および前記ダイヘッドの前記内部流路から前記液タンクに塗布液を戻す動作のうちいずれか一方の動作を行う工程と、
を備えた、塗布方法。
【請求項６】
前記ダイヘッドの前記内部流路から前記液タンクに塗布液を戻すための戻し配管には弁が設けられており、当該弁の開閉により前記被塗布物への塗布液の供給の有無が切り換えられる、請求項５記載の塗布方法。
【請求項７】
前記弁において、予め設定された所定の期間だけ開状態とした後、予め設定された所定の期間だけ閉状態とするような開閉動作が繰り返し行われる、請求項６記載の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被塗布物に塗布液を供給するための塗布システムおよび塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、帯状の基材等の被塗布物に塗布液を塗布するにあたり、ダイコート方式が広く用いられている。ダイコート方式とは、ダイヘッドから塗布液を吐出させながら、被塗布物およびダイヘッドのうちいずれか一方を他方に対して相対的に移動させることにより、被塗布物に塗布液を供給してコーティングするシステムである。このようなダイヘッドの構成および動作について具体的に説明すると、一対の剛性の本体ブロックの間に塗布液の内部流路が形成されており、ポンプ等の送液装置を用いてこの内部流路に塗布液を送り込むことにより、一対の本体ブロックの先端部の間に形成されたスリットから塗布液が吐出され、塗布液が被塗布物に面形成されて転移されるようになっている。
【０００３】
ダイコート方式を用いて帯状の基材等の被塗布物に塗布液をパターン塗工する際に、被塗布物上において一のパターン塗工領域と他のパターン塗工領域との間に塗布液が供給されないような未塗工部が形成される。このような未塗工部を形成する方法について、図５を用いて簡単に説明する。図５に示すように、ダイヘッド８０には当該ダイヘッド８０に塗布液を供給するための供給配管８１の一端が接続されており、この供給配管８１の他端は塗布液を貯留する液タンク８８に接続されている。また、供給配管８１には供給ポンプ８６が設けられており、この供給ポンプ８６により液タンク８８内の塗布液がダイヘッド８０に供給されるようになっている。また、図５に示すように、供給配管８１における供給ポンプ８６よりも下流側の箇所には三方弁８２が設けられており、この三方弁８２により供給配管８１の分岐を行い、当該三方弁８２によりダイヘッド８０ではなく分岐管８４に送られた塗布液は液タンク８８に戻されるようになっている。
【０００４】
図５に示すような塗布システムにおいて、ダイヘッド８０から被塗布物への塗布液の吐出を行う際には、液タンク８８から供給配管８１に送られた塗布液を三方弁８２によりダイヘッド８０に送るようにする。一方、被塗布物上に未塗工部を形成する際には、液タンク８８から供給配管８１に送られた塗布液を三方弁８２により分岐管８４に送り、ダイヘッド８０に戻すようにする。この場合には、ダイヘッド８０への塗布液の供給が一時的に停止されるので、ダイヘッド８０から被塗布物への塗布液の吐出も一時的に停止され、被塗布物上に未塗工部が形成されるようになる。
【０００５】
また、被塗布物上に未塗工部を形成する方法の他の例としては、ダイヘッドからの塗布液の吐出を一時的に停止し、その後すぐにダイヘッドからの塗布液の吐出を再開するような方法が考えられる。例えば、特許文献１には、ダイヘッドに接続される塗布液の供給配管に二方弁や三方弁を設置し、これらの二方弁や三方弁にサックバックシリンダを接続することによって、当該サックバックシリンダによりダイヘッドから塗布液を吸引するようになっている。サックバックシリンダによりダイヘッドから塗布液が吸引されると、ダイヘッドから被塗布物への塗布液の吐出が一時的に停止されるので、この被塗布物上において未塗工部が形成されるようになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１９５３４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、図５に示すような塗布システムでは、ダイヘッド８０に塗布液を供給する供給配管８１に三方弁８２が設けられており、この三方弁８２により塗布液の送り先をダイヘッド８０および分岐管８４のうちいずれか一方に切り換えているので、ダイヘッド８０から被塗布物への塗布液の吐出の有無を切り換える際に、この供給配管８１におけるダイヘッド８０と三方弁８２との間の距離の分だけ、塗布液の吐出の応答性、特に被塗布物への塗布液の供給開始時および供給終了時での応答性が悪くなるという問題がある。
【０００８】
また、特許文献１に示すような塗布システムでは、多数の二方弁や三方弁等の機器を設置する必要があるため、制御システムが非常に複雑となるという問題がある。また、二方弁や三方弁等の機器が多いことにより供給配管内にエアが混入しやすくなるため、塗布液の吐出の応答性が悪くなるという問題がある。
【０００９】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、シンプルな構成で、ダイヘッドから被塗布物への塗布液の吐出の有無を切り換える際の塗布液の吐出の応答性を向上させることができる塗布システムおよび塗布方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の塗布システムは、被塗布物に塗布液を供給するための塗布システムであって、一対の本体ブロックを有し、前記一対の本体ブロックの間には塗布液が通過する内部流路が形成されており、前記一対の本体ブロックの先端部の間に形成されたスリットから塗布液が被塗布物の表面に吐出されるようになっているダイヘッドと、塗布液を貯留する液タンクと、前記液タンクから送られた塗布液を前記ダイヘッドの前記内部流路に供給するための供給配管と、前記ダイヘッドの前記内部流路から前記液タンクに塗布液を戻すための戻し配管と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
このような塗布システムによれば、ダイヘッドの内部流路から液タンクに塗布液を戻すための戻し配管を設けることにより、供給配管に二方弁や三方弁等の機器を設けることが不要となり、このため、シンプルな構成で、ダイヘッドから被塗布物への塗布液の吐出の有無を切り換える際の塗布液の吐出の応答性を向上させることができる。
【００１２】
本発明の塗布システムにおいては、前記戻し配管には弁が設けられており、当該弁の開閉によって前記ダイヘッドによる前記被塗布物への塗布液の供給の有無が切り換えられるようになっていてもよい。
【００１３】
この場合、前記弁において、予め設定された所定の期間だけ開状態とした後、予め設定された所定の期間だけ閉状態とするような開閉動作が繰り返し行われるようになっていてもよい。
【００１４】
また、前記弁は二方弁を含むようになっていてもよい。
【００１５】
本発明の塗布方法は、被塗布物に塗布液を供給するための塗布方法であって、供給配管を介して液タンクからダイヘッドの内部流路に塗布液を供給する工程と、前記ダイヘッドの前記内部流路に供給された塗布液を、当該ダイヘッドの一対の本体ブロックの先端部の間に形成されたスリットから被塗布物の表面に吐出させる動作、および前記ダイヘッドの前記内部流路から前記液タンクに塗布液を戻す動作のうちいずれか一方の動作を行う工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１６】
このような塗布方法によれば、ダイヘッドの内部流路に供給された塗布液を、当該ダイヘッドの一対の本体ブロックの先端部の間に形成されたスリットから被塗布物の表面に吐出させる動作、およびダイヘッドの内部流路から液タンクに塗布液を戻す動作のうちいずれか一方の動作を行うことにより、供給配管に二方弁や三方弁等の機器を設けることが不要となり、このため、シンプルな構成で、ダイヘッドから被塗布物への塗布液の吐出の有無を切り換える際の塗布液の吐出の応答性を向上させることができる。
【００１７】
本発明の塗布方法においては、前記ダイヘッドの前記内部流路から前記液タンクに塗布液を戻すための戻し配管には弁が設けられており、当該弁の開閉により前記被塗布物への塗布液の供給の有無が切り換えられるようになっていてもよい。
【００１８】
この場合、前記弁において、予め設定された所定の期間だけ開状態とした後、予め設定された所定の期間だけ閉状態とするような開閉動作が繰り返し行われるようになっていてもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の塗布システムおよび塗布方法によれば、シンプルな構成で、ダイヘッドから被塗布物への塗布液の吐出の有無を切り換える際の塗布液の吐出の応答性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態による塗布システムの概略の構成を示す概略構成図である。
【図２】図１に示す塗布システムにおけるダイヘッドの構成や当該塗布システムにより被塗布物に塗布される塗布液のパターン塗工領域等を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態による塗布システム、および従来技術の塗布システムによる塗布液の吐出の応答性をそれぞれ示すグラフである。
【図４】本発明の実施の形態による塗布システムの他の構成を示す構成図である。
【図５】従来技術の塗布システムの構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図３は、本実施の形態に係る塗布システムおよび塗布方法を示す図である。このうち、図１は、本実施の形態による塗布システムの概略の構成を示す概略構成図であり、図２は、図１に示す塗布システムにおけるダイヘッドの構成や当該塗布システムにより被塗布物に塗布される塗布液のパターン塗工領域等を示す斜視図である。また、図３は、本実施の形態による塗布システム、および従来技術の塗布システムによる塗布液の吐出の応答性をそれぞれ示すグラフである。
【００２２】
図１に示すように、本実施の形態の塗布システムは、帯状の基材等の被塗布物（図２において参照符号Ｗで表示）に塗布液を供給するダイヘッド１０を備えている。このダイヘッド１０には当該ダイヘッド１０に塗布液を供給するための供給配管４２の一端が接続されており、この供給配管４２の他端は塗布液を貯留する液タンク４６に接続されている。また、供給配管４２には供給ポンプ４４が設けられており、この供給ポンプ４４により液タンク４６内の塗布液がダイヘッド１０に連続的に供給されるようになっている。なお、図１に示すような本実施の形態の塗布システムには、供給配管４２に二方弁や三方弁等の機器は設けられていない。
【００２３】
次に、図１に示す塗布システムにおけるダイヘッド１０の構成の詳細について図２を用いて説明する。図２に示すように、ダイヘッド１０は一対の剛性の本体ブロック１２、１４を備えており、これらの一対の本体ブロック１２、１４の間には、塗布液が通過する内部流路（マニホールド）１８が設けられている。また、図２に示すように、内部流路１８に連通するよう供給流路１９が設けられており、供給配管４２から塗布液が供給流路１９に供給されるようになっている。供給流路１９を介して内部流路１８に供給された塗布液は、第１の本体ブロック１２の先端部（下端部）と第２の本体ブロック１４の先端部（下端部）との間に形成されたスリット２０を介して吐出口２１から図２における下方に吐出されるようになる。
【００２４】
本実施の形態の塗布システムでは、図１および図２に示すように、ダイヘッド１０の内部流路１８から液タンク４６に塗布液を戻すための戻し配管３０が設けられている。より詳細に説明すると、ダイヘッド１０の長手方向（図２における奥行き方向）の両端部における内部流路１８に対応する箇所には継手（図示せず）がそれぞれ設けられており、これらの継手にそれぞれ戻し配管３０が接続されている。そして、内部流路１８から塗布液が各継手を介して各戻し配管３０に送られるようになっている。ここで、各戻し配管３０の直径が、スリット２０の幅の大きさ（スリットギャップ）に比べて十分に大きくなるよう各戻し配管３０の直径やスリット２０の幅の大きさが設定されている。これらの各戻し配管３０の直径やスリット２０の幅の大きさの詳細については後述する。
【００２５】
また、図１および図２に示すように、各戻し配管３０には二方弁３２がそれぞれ設けられており、これらの二方弁３２の開閉によってダイヘッド１０による被塗布物Ｗへの塗布液の供給の有無が切り換えられるようになっている。より詳細には、各二方弁３２が開状態となっているときには、各戻し配管３０の直径がスリット２０の幅の大きさ（スリットギャップ）に比べて十分に大きくなっているため、ダイヘッド１０において供給流路１９を介して内部流路１８に送られた塗布液は、スリット２０を介して吐出口２１から吐出されずに、各戻し配管３０に送られるようになる。このようにして、各二方弁３２が開状態となっているときには、ダイヘッド１０による被塗布物Ｗへの塗布液の供給は行われず、液タンク４６から供給配管４２によりダイヘッド１０に送られた塗布液は戻し配管３０により液タンク４６に戻され、塗布液はこれらの供給配管４２および戻し配管３０の間で循環するようになる。一方、各二方弁３２が閉状態となっているときには、ダイヘッド１０において供給流路１９を介して内部流路１８に送られた塗布液は、スリット２０を介して吐出口２１から図２における下方に吐出されるようになる。
【００２６】
また、本実施の形態の塗布システムでは、各戻し配管３０に設けられた二方弁３２において、予め設定された所定の期間だけ開状態とした後、予め設定された所定の期間だけ閉状態とするような開閉動作が繰り返し行われるようになっている。このことにより、予め設定された所定の期間だけダイヘッド１０から被塗布物Ｗに塗布液が供給された後、予め設定された所定の期間だけダイヘッド１０から被塗布物Ｗへの塗布液の供給が一時的に停止させられるような動作が繰り返し行われるようになる。
【００２７】
図２において、帯状の基板等の被塗布物Ｗは矢印方向に連続的に搬送されるようになっている。そして、各戻し配管３０に設けられた二方弁３２が閉状態となっているときには、連続的に搬送される被塗布物Ｗに対してダイヘッド１０により塗布液が供給されることにより、この被塗布物Ｗ上にはパターン塗工領域Ｐが形成される。一方、各戻し配管３０に設けられた二方弁３２が開状態となっているときには、ダイヘッド１０による被塗布物Ｗへの塗布液の供給は行われず、液タンク４６から供給配管４２によりダイヘッド１０に供給された塗布液は戻し配管３０により液タンク４６に戻されるため、被塗布物Ｗ上において一のパターン塗工領域Ｐと他のパターン塗工領域Ｐとの間に、塗布液が供給されないような未塗工部Ｑが形成される。ここで、前述したように、各戻し配管３０に設けられた二方弁３２において、予め設定された所定の期間だけ開状態とした後、予め設定された所定の期間だけ閉状態とするような開閉動作が繰り返し行われるため、ダイヘッド１０から被塗布物Ｗに塗布液が供給される期間の長さ、およびダイヘッド１０から被塗布物Ｗへの塗布液の供給が一時的に停止させられる期間の長さもそれぞれ精度良く設定することができるようになり、このことにより被塗布物Ｗ上のパターン塗工領域Ｐおよび未塗工部Ｑの送り方向長さ（図２における左右方向長さ）を精度良く調整することができるようになる。
【００２８】
ここで、各戻し配管３０に設けられた二方弁３２が開状態となっているときに、ダイヘッド１０において供給流路１９を介して内部流路１８に送られた塗布液がスリット２０には送られずに各戻し配管３０に送られるようにし、一方、二方弁３２が閉状態となっているときに、ダイヘッド１０において供給流路１９を介して内部流路１８に送られた塗布液がスリット２０を介して吐出口２１から被塗布物Ｗに適正に吐出されるようにするためには、ダイヘッド１０における内部流路１８の直径の大きさやスリット２０の幅の大きさ（スリットギャップ）、ならびに戻し配管３０の直径の大きさをそれぞれ適切に設定する必要がある。具体的には、例えば、塗布液の粘度が１００〜１０００ｍＰａ・ｓであるときには、ダイヘッド１０における内部流路１８の直径の大きさを例えば４ｍｍ〜１０ｍｍの範囲内の大きさとするとともにスリット２０の幅の大きさを例えば０．１ｍｍ〜２．０ｍｍの範囲内の大きさとし、また、戻し配管３０の直径の大きさを例えば５ｍｍ〜１５ｍｍの範囲内の大きさとする必要がある。
【００２９】
また、塗布液の粘度が１００ｍＰａ・ｓよりも小さいときには、ダイヘッド１０における内部流路１８の直径の大きさやスリット２０の幅の大きさ、ならびに戻し配管３０の直径の大きさをそれぞれ、塗布液の粘度が１００〜１０００ｍＰａ・ｓである場合と比較してより小さくする必要がある。一方、塗布液の粘度が１０００ｍＰａ・ｓよりも大きいときには、ダイヘッド１０における内部流路１８の直径の大きさやスリット２０の幅の大きさ、ならびに戻し配管３０の直径の大きさをそれぞれ、塗布液の粘度が１００〜１０００ｍＰａ・ｓである場合と比較してより大きくする必要がある。
【００３０】
このように、ダイヘッド１０における内部流路１８の直径の大きさやスリット２０の幅の大きさ、ならびに戻し配管３０の直径の大きさをそれぞれ適切な大きさに設定することによって、被塗布物Ｗへの塗布液の供給の有無を適切に切り換えることができるようになり、ひいては被塗布物Ｗ上にパターン塗工領域Ｐや未塗工部Ｑを適切に形成することができるようになる。
【００３１】
以上のような構成からなる本実施の形態の塗布システムおよび塗布方法によれば、液タンク４６内の塗布液が供給配管４２を介してダイヘッド１０に供給されるようになっているとともに、ダイヘッド１０の内部流路１８から液タンク４２に塗布液を戻すための戻し配管３０が設けられている。このため、被塗布物Ｗ上において一のパターン塗工領域Ｐと他のパターン塗工領域Ｐとの間に、塗布液が供給されないような未塗工部Ｑを形成する場合には、この戻し配管３０によってダイヘッド１０の内部流路１８から液タンク４２に塗布液を戻すことにより、当該ダイヘッド１０から被塗布物Ｗへの塗布液の供給が一時的に停止させられる。このように、塗布システムにより被塗布物Ｗへの間欠塗工を行うにあたり、戻し配管３０をダイヘッド１０に設けることにより、供給配管４２において二方弁や三方弁等の機器の設置を省略することができ、このため、シンプルな構成で、ダイヘッド１０から被塗布物Ｗへの塗布液の吐出の有無を切り換える際の塗布液の吐出の応答性を向上させることができるようになる。
【００３２】
また、本実施の形態の塗布システムおよび塗布方法においては、前述したように、戻し配管３０には弁として例えば二方弁３２が設けられており、当該二方弁３２の開閉によってダイヘッド１０による被塗布物Ｗへの塗布液の供給の有無が切り換えられるようになっている。また、この際に、二方弁３２において、予め設定された所定の期間だけ開状態とした後、予め設定された所定の期間だけ閉状態とするような開閉動作が繰り返し行われるようになっている。これらの特徴により、ダイヘッド１０から被塗布物Ｗに塗布液が供給される期間の長さ、およびダイヘッド１０から被塗布物Ｗへの塗布液の供給が一時的に停止させられる期間の長さもそれぞれ精度良く設定することができるようになり、このことにより被塗布物Ｗ上のパターン塗工領域Ｐおよび未塗工部Ｑの送り方向長さ（図２における左右方向長さ）を精度良く調整することができるようになる。なお、本実施の形態の塗布システムおよび塗布方法においては、戻し配管３０に設けられる弁は二方弁３２に限定されることはなく、他の種類の弁が戻し配管３０に設けられるようになっていてもよい。
【００３３】
以下、図３に示すグラフを用いて、図１および図２に示すような本実施の形態による塗布システムのダイヘッド１０、および図５に示すような従来技術の塗布システムのダイヘッド８０による塗布液の吐出の応答性を比較する。図３に示すグラフにおいて、横軸は塗布液の供給開始時における立ち上がり時間を示し、縦軸はダイヘッド１０、８０からの塗布液の吐出圧力を示す。また、供給配管４２、８１として硬質のステンレス管を用い、この供給配管４２、８１のエア抜きを十分に行った。図３において、実線は、本実施の形態による塗布システムにおけるダイヘッド１０による塗布液の吐出の応答性を示し、点線は、従来の塗布システムにおけるダイヘッド８０による塗布液の吐出の応答性を示している。図３に示すように、本実施の形態による塗布システムを用いた場合には、塗布液の供給を開始してから０．１〜０．２秒でダイヘッド１０による塗布液の吐出圧力が定常状態となった。一方、図５に示すような従来技術の塗布システムを用いた場合には、ダイヘッド８０が塗布液の供給を開始してから塗布液の吐出圧力が定常状態となるまで０．３〜０．４秒かかった。このように、本実施の形態による塗布システムを用いた場合には、図５に示すような従来技術の塗布システムを用いた場合と比較して、供給配管４２に二方弁や三方弁等の機器が設置されていないため、ダイヘッド１０における塗布液の吐出開始時の応答性を向上させることができることが確認された。
【００３４】
なお、本実施の形態による塗布システムや塗布方法は、上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００３５】
例えば、本実施の形態による塗布システムに用いられるダイヘッドは、図２に示すような構成のものに限定されることはない。本実施の形態による塗布システムに用いられるダイヘッドの他の構成について図４を用いて説明する。
【００３６】
図４に示すダイヘッド１０ａは、図２に示すダイヘッド１０と比較して、供給配管４２から供給された塗布液を上面から供給流路１９を介して内部流路１８に送るのではなく、供給配管４２から供給された塗布液を側面から内部流路１８に送る点が異なるのみであり、他の構成については図２に示すダイヘッド１０と類似するようになっている。図４に示すダイヘッド１０ａの構成を説明するにあたり、図２に示すダイヘッド１０と同じ構成要素については同じ参照符号を付してその説明を省略する。
【００３７】
図４に示すように、変形例に係るダイヘッド１０ａでは、当該ダイヘッド１０ａの長手方向（図４における奥行き方向）における内部流路１８の両端部のうち一方の端部（図４における奥側の端部）には継手（図示せず）を介して供給配管４２の端部が接続されており、この内部流路１８の他方の端部（図４における手前側の端部）には継手（図示せず）を介して戻し配管３０の端部が接続されている。そして、供給配管４２からダイヘッド１０ａに供給された塗布液は、内部流路１８において図４における奥側から手前側に向かって流れるようになる。なお、図４に示すダイヘッド１０ａは、図２に示すダイヘッド１０と比較して、戻し配管３０の数が２本ではなく１本となっている。
【００３８】
図４に示すような変形例に係るダイヘッド１０ａでも、戻し配管３０には二方弁３２が設けられており、この二方弁３２の開閉によってダイヘッド１０ａによる被塗布物Ｗへの塗布液の供給の有無が切り換えられるようになっている。より詳細には、二方弁３２が開状態となっているときには、戻し配管３０の直径がスリット２０の幅の大きさ（スリットギャップ）に比べて十分に大きくなっているため、供給配管４２によりダイヘッド１０ａの側面から内部流路１８に送られた塗布液は、スリット２０を介して吐出口２１から吐出されずに、戻し配管３０に送られるようになる。このようにして、二方弁３２が開状態となっているときには、ダイヘッド１０ａによる被塗布物Ｗへの塗布液の供給は行われず、液タンク４６から供給配管４２によりダイヘッド１０に送られた塗布液は戻し配管３０により液タンク４６に戻され、塗布液はこれらの供給配管４２および戻し配管３０の間で循環するようになる。一方、二方弁３２が閉状態となっているときには、供給配管４２によりダイヘッド１０ａの側面から内部流路１８に送られた塗布液は、スリット２０を介して吐出口２１から図４における下方に吐出されるようになる。
【００３９】
また、図４に示すような変形例に係るダイヘッド１０ａでも、戻し配管３０に設けられた二方弁３２において、予め設定された所定の期間だけ開状態とした後、予め設定された所定の期間だけ閉状態とするような開閉動作が繰り返し行われるようになっている。このことにより、戻し配管３０に設けられた二方弁３２が閉状態となっているときには、連続的に搬送される被塗布物Ｗに対してダイヘッド１０ａにより塗布液が供給されることにより、この被塗布物Ｗ上にはパターン塗工領域Ｐが形成される。一方、戻し配管３０に設けられた二方弁３２が開状態となっているときには、ダイヘッド１０ａによる被塗布物Ｗへの塗布液の供給は行われず、液タンク４６から供給配管４２によりダイヘッド１０ａに供給された塗布液は戻し配管３０により液タンク４６に戻されるため、被塗布物Ｗ上において一のパターン塗工領域Ｐと他のパターン塗工領域Ｐとの間に、塗布液が供給されないような未塗工部Ｑが形成される。
【００４０】
以上のように、図４に示すような変形例に係るダイヘッド１０ａを用いた塗布システムや塗布方法でも、図２に示すようなダイヘッド１０を用いた塗布システムや塗布方法と同様に、塗布システムにより被塗布物Ｗへの間欠塗工を行うにあたり、戻し配管３０をダイヘッド１０ａに設けることにより、供給配管４２において二方弁や三方弁等の機器の設置を省略することができ、このため、シンプルな構成で、ダイヘッド１０ａから被塗布物Ｗへの塗布液の吐出の有無を切り換える際の塗布液の吐出の応答性を向上させることができるようになる。
【符号の説明】
【００４１】
１０、１０ａ  ダイヘッド
１２  第１の本体ブロック
１４  第２の本体ブロック
１８  内部流路
１９  供給流路
２０  スリット
２１  吐出口
３０  戻し配管
３２  二方弁
４２  供給配管
４４  供給ポンプ
４６  液タンク
８０  ダイヘッド
８１  供給配管
８２  三方弁
８４  分岐管
８６  供給ポンプ
８８  液タンク
Ｗ  被塗布物
Ｐ  パターン塗工領域
Ｑ  未塗工部
【図１】
2015029973.tif 000003
【図２】
2015029973.tif 000004
【図３】
2015029973.tif 000005
【図４】
2015029973.tif 000006
【図５】
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