(57)【要約】【課題】簡単な装置構成でありながら、事前の確認や調整を行うことなく、ノズル位置におけるインク圧力を容易に把握し制御し得るインク供給システムを提供する。【解決手段】ノズル４１と圧力室４８を備えたインクジェットヘッド１に対し、サブタンク３からインク循環路２を介してインク５を循環供給する。インクジェットヘッド１の上流側に圧力センサ２１、下流側に圧力センサ２２を配置する。圧力センサ２１とインクジェットヘッド１との間の流路抵抗Ｒ１と、インクジェットヘッド１と圧力センサ２２との間の流路抵抗Ｒ２を等しく（Ｒ１＝Ｒ２）設定する。コントローラ１０は、圧力センサ２１,２２の検出値に基づいて、ノズル４１の位置のインク圧力を算出し、該圧力が所定値となるように、サブタンク３内の圧力を制御する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクが吐出されるノズルと、該ノズルに連通する圧力室とを備えてなるインクジェットヘッドに対し、前記インクを所定の圧力にて循環供給するインクジェットプリンタ用インク供給システムであって、該システムは、
前記インクが貯留されるインクタンクと、
前記インクタンクと前記インクジェットヘッドとの間を接続し、前記インクを前記インクジェットヘッドに供給すると共に、前記インクジェットヘッドから前記インクを帰還させるインク循環路と、
前記インク循環路の前記インクジェットヘッド上流側に配置され、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの圧力を検出する第１圧力センサと、
前記インク循環路の前記インクジェットヘッド下流側に配置され、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの圧力を検出する第２圧力センサと、を有し、
前記インク循環路は、前記第１圧力センサと前記インクジェットヘッドとの間の流路抵抗Ｒ１と、前記インクジェットヘッドと前記第２圧力センサとの間の流路抵抗Ｒ２が等しい（Ｒ１＝Ｒ２）ことを特徴とするインクジェットプリンタ用インク供給システム。
【請求項２】
請求項１記載のインクジェットプリンタ用インク供給システムにおいて、該システムはさらに、
前記第１及び第２圧力センサにて検出された圧力値に基づいて、前記ノズルの位置における前記インクの圧力を算出し、該圧力が所定値となるように、前記インクタンク内の圧力を制御する制御手段を有することを特徴とするインクジェットプリンタ用インク供給システム。
【請求項３】
請求項１又は２記載のインクジェットプリンタ用インク供給システムにおいて、該システムはさらに、
前記インク循環路の第１圧力センサ配置位置に設けられ、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの温度を検出する第１温度センサと、
前記インク循環路の第２圧力センサ配置位置に設けられ、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの温度を検出する第２温度センサと、を有し、
前記制御手段は、前記第１及び第２温度センサにて検出された温度値に基づいて、前記ノズル位置における前記インクの圧力が所定値となるように、該圧力を調整することを特徴とするインクジェットプリンタ用インク供給システム。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に記載のインクジェットプリンタ用インク供給システムにおいて、
前記インク循環路中に前記インクの温度を調節する温調手段を設けたことを特徴とするインクジェットプリンタ用インク供給システム。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載のインクジェットプリンタ用インク供給システムにおいて、該システムは、
前記インク循環路内から前記インクを回収するインク回収手段を有することを特徴とするインクジェットプリンタ用インク供給システム。
【請求項６】
インクが吐出されるノズルと、該ノズルに連通する圧力室とを備えたインクジェットヘッドと、
前記インクが貯留されるインクタンクと、
前記インクタンクと前記インクジェットヘッドとの間を接続し、前記インクを前記インクジェットヘッドに供給すると共に、前記インクジェットヘッドから前記インクを帰還させるインク循環路と、
前記インク循環路の前記インクジェットヘッド上流側に配置され、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの圧力を検出する第１圧力センサと、
前記インク循環路の前記インクジェットヘッド下流側に配置され、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの圧力を検出する第２圧力センサと、を有し、
前記第１圧力センサと前記インクジェットヘッドとの間の前記インク循環路の流路抵抗Ｒ１と、前記インクジェットヘッドと前記第２圧力センサとの間の前記インク循環路の流路抵抗Ｒ２が等しく（Ｒ１＝Ｒ２）設定されたインクジェットプリンタ用インク供給システムにて、
前記第１及び第２圧力センサにて検出された圧力値に基づいて、前記ノズルの位置における前記インクの圧力を算出し、該圧力が所定値となるように、前記インクタンク内の圧力を制御することを特徴とするインクジェットプリンタ用インク供給システムにおけるインク圧力制御方法。
【請求項７】
請求項６記載のインクジェットプリンタ用インク供給システムにおけるインク圧力制御方法において、
前記システムに、
前記インク循環路の第１圧力センサ配置位置に設けられ、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの温度を検出する第１温度センサと、
前記インク循環路の第２圧力センサ配置位置に設けられ、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの温度を検出する第２温度センサと、を設け、
前記第１及び第２温度センサにて検出された温度値に基づいて、前記ノズル位置における前記インクの圧力が所定値となるように、該圧力を調整することを特徴とするインクジェットプリンタ用インク供給システムにおけるインク圧力制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式によりフィルムや基板等の処理対象物に印字や描画、素材塗布等の処理を行うインクジェットプリンタに関し、特に、プリンタのインクジェットヘッドに対し液体インクを循環供給するインク供給システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット方式のプリンタでは、インクジェットヘッドに設けたノズルからごく微小なインク滴を処理対象物に対して吐出し、所望の印字や画像記録等を行っている。このようなインクジェットプリンタは、処理対象物から離間した状態で記録動作を行うことが可能なため、様々な材質の処理対象物に印字や素材塗布等を行うことが可能であり、幅広い用途に利用されてきている。近年では、他の記録方式に比べて高精細な記録が可能であることから、ディスプレイ装置や回路基板（プリンテッド・エレクトロニクス）等の製造にもインクジェット方式が採用されている。
【０００３】
インクジェット方式のプリンタにおいては、高精細な記録を行うため、ノズルから吐出されたインクの着弾位置を高精度に制御する必要がある。このため、ノズルからのインク吐出圧は勿論のこと、ノズルに供給されるインクの圧力も所定の値に高精度に制御される必要がある。特許文献１には、ノズル圧力の変動を抑えたプリントヘッド用の流体供給装置が示されている。そこでは、プリントヘッドに出入りするインクの圧力をヘッド前後に配したセンサによって検出してポンプ圧を制御したり、ヘッド前後に設けた圧力制御器によってヘッドに出入りするインクの圧力を制御したりすることにより、ヘッドに供給されるインクの圧力が所定値となるよう調整している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００８−５１３２４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のようなインク供給装置では、ノズル位置におけるインクの圧力を正確に知るには、ヘッド前後にセンサを配した構成の場合、各センサの示す圧力値とノズル位置での圧力値の相関関係を予め把握しておく必要がある。このため、ノズル交換やインクの変更等のたびに、事前の確認や調整が必要となり、装置設定が煩雑となるという問題があった。また、ヘッド前後に圧力制御器を設けた構成では、センサを配置したものよりも高精度な圧力制御が可能となるものの、この場合も、予め圧力制御器とノズル位置との間で圧力値の相関関係を調べておく必要があり、前述同様の課題を有している。さらにこの場合は、ヘッド前後に圧力制御器を配置するため、装置構成も複雑になるという問題もあった。
【０００６】
本発明はこのような事情を鑑みて成されたものであり、本発明は、簡単な装置構成でありながら、事前の確認や調整を行うことなく、ノズル位置におけるインクの圧力を容易に把握し制御し得るインクジェットプリンタ用のインク供給システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のインクジェットプリンタ用インク供給システムは、インクが吐出されるノズルと、該ノズルに連通する圧力室とを備えてなるインクジェットヘッドに対し、前記インクを所定の圧力にて循環供給するインクジェットプリンタ用インク供給システムであって、該システムは、前記インクが貯留されるインクタンクと、前記インクタンクと前記インクジェットヘッドとの間を接続し、前記インクを前記インクジェットヘッドに供給すると共に、前記インクジェットヘッドから前記インクを帰還させるインク循環路と、前記インク循環路の前記インクジェットヘッド上流側に配置され、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの圧力を検出する第１圧力センサと、前記インク循環路の前記インクジェットヘッド下流側に配置され、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの圧力を検出する第２圧力センサと、を有し、前記インク循環路は、前記第１圧力センサと前記インクジェットヘッドとの間の流路抵抗Ｒ１と、前記インクジェットヘッドと前記第２圧力センサとの間の流路抵抗Ｒ２が等しい（Ｒ１＝Ｒ２）ことを特徴とする。
【０００８】
本発明にあっては、インクジェットヘッドの前後に圧力センサを配し、圧力センサとヘッドとの間の流路抵抗を等しく設定することにより、ヘッド前後の圧力損失を上流側と下流側で同じにできる。このため、ノズル位置におけるインクの圧力を圧力センサの検出値から容易に算出でき、事前にノズル位置での圧力値とヘッド上流・下流の圧力値との相関を調べておかなくとも、簡単な計算によってノズル位置でのインクの圧力が算出できる。
【０００９】
前記システムに、前記第１及び第２圧力センサにて検出された圧力値に基づいて、前記ノズルの位置における前記インクの圧力を算出し、該圧力が所定値となるように、前記インクタンク内の圧力を制御する制御手段をさらに設けても良い。
【００１０】
また、前記システムに、前記インク循環路の第１圧力センサ配置位置に設けられ、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの温度を検出する第１温度センサと、前記インク循環路の第２圧力センサ配置位置に設けられ、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの温度を検出する第２温度センサと、を設け、前記制御手段により、前記第１及び第２温度センサにて検出された温度値に基づいて、前記ノズル位置における前記インクの圧力が所定値となるように、該圧力を調整するようにしても良い。
【００１１】
さらに、前記インク循環路中に前記インクの温度を調節する温調手段を設けても良く、前記インク循環路内から前記インクを回収するインク回収手段を前記システムに設けても良い。
【００１２】
一方、本発明のインクジェットプリンタ用インク供給システムにおけるインク圧力制御方法は、インクが吐出されるノズルと、該ノズルに連通する圧力室とを備えたインクジェットヘッドと、前記インクが貯留されるインクタンクと、前記インクタンクと前記インクジェットヘッドとの間を接続し、前記インクを前記インクジェットヘッドに供給すると共に、前記インクジェットヘッドから前記インクを帰還させるインク循環路と、前記インク循環路の前記インクジェットヘッド上流側に配置され、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの圧力を検出する第１圧力センサと、前記インク循環路の前記インクジェットヘッド下流側に配置され、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの圧力を検出する第２圧力センサと、を有し、前記第１圧力センサと前記インクジェットヘッドとの間の前記インク循環路の流路抵抗Ｒ１と、前記インクジェットヘッドと前記第２圧力センサとの間の前記インク循環路の流路抵抗Ｒ２が等しく（Ｒ１＝Ｒ２）設定されたインクジェットプリンタ用インク供給システムにて、前記第１及び第２圧力センサにて検出された圧力値に基づいて、前記ノズルの位置における前記インクの圧力を算出し、該圧力が所定値となるように、前記インクタンク内の圧力を制御することを特徴とする。
【００１３】
本発明にあっては、インクジェットヘッドの前後に圧力センサを配し、圧力センサとヘッドとの間の流路抵抗を等しく設定することにより、ヘッド前後の圧力損失が上流側と下流側で同じになるため、事前にノズル位置での圧力値とヘッド上流・下流の圧力値との相関を調べておかなくとも、簡単な計算によってノズル位置でのインクの圧力が算出できるようになる。そして、圧力センサの圧力値に基づいて、ノズル位置におけるインクの圧力が所定値となるようにインクタンク内の圧力を制御するので、インク供給システムの制御が容易となる。
【００１４】
前記インク圧力制御方法において、前記システムに、前記インク循環路の第１圧力センサ配置位置に設けられ、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの温度を検出する第１温度センサと、前記インク循環路の第２圧力センサ配置位置に設けられ、当該位置における前記インク循環路内の前記インクの温度を検出する第２温度センサと、を設け、前記第１及び第２温度センサにて検出された温度値に基づいて、前記ノズル位置における前記インクの圧力が所定値となるように、該圧力を調整するようにしても良い。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のインク供給システムによれば、インクジェットヘッドの上流側に第１圧力センサ、下流側に第２圧力センサをそれぞれ設け、第１圧力センサとインクジェットヘッドとの間のインク循環路の流路抵抗Ｒ１と、インクジェットヘッドと第２圧力センサとの間のインク循環路の流路抵抗Ｒ２を等しく（Ｒ１＝Ｒ２）設定したので、ヘッド前後の圧力損失を上流側、下流側ともに同じにでき、ノズル位置におけるインクの圧力を圧力センサの検出値から容易に算出することが可能となる。このため、システムの制御が容易となると共に、煩雑な装置設定が不要となり、システムの設定や運用も容易となる。また、簡易な構成によってインクの圧力を精度良く制御することができ、システム価格やメンテナンスコストなどの低減も図られる。
【００１６】
本発明のインク圧力制御方法によれば、インクジェットヘッドの上流側に第１圧力センサ、下流側に第２圧力センサをそれぞれ設け、第１圧力センサとインクジェットヘッドとの間のインク循環路の流路抵抗Ｒ１と、インクジェットヘッドと第２圧力センサとの間のインク循環路の流路抵抗Ｒ２を等しく（Ｒ１＝Ｒ２）設定することにより、ヘッド前後の圧力損失が上流側と下流側で同じになり、ノズル位置におけるインクの圧力を圧力センサの検出値から容易に算出できるようになる。そして、第１及び第２圧力センサの圧力値に基づいて、ノズル位置におけるインクの圧力が所定値となるようにインクタンク内の圧力を制御するので、システムの制御が容易となると共に、煩雑な装置設定が不要となり、システムの設定や運用も容易となる。また、簡易な構成によってインクの圧力を精度良く制御することができ、システム価格やメンテナンスコストなどの低減も図られる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態であるインクジェットプリンタ用のインク供給システムの概要を示す説明図である。
【図２】インクジェットヘッドの内部構造を示す説明図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図３】（ａ）は、インク循環路の各部位におけるインクの圧力値とその変化を示す説明図、図３（ｂ）は、各部位のインク圧の一例を示す表である。
【図４】インクジェットヘッドの配置例を示す説明図である。
【図５】インク粘度の温度依存性を示すインク粘度−温度曲線の一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態であるインクジェットプリンタ用のインク供給システムの概要を示す説明図である。本発明によるインク供給システムは、インク吐出ノズルを備えたインクジェットヘッド１（以下、ヘッド１と略記する）に対し、インク循環路２を介してインクを循環供給する装置である。図１に示すように、ヘッド１には、サブタンク（インクタンク）３内から、メインポンプ４によってインク５が供給される。メインポンプ４には、ギヤポンプなどの定量供給ポンプが使用される。但し、チューブポンプ、ダイヤフラムポンプ等、メインポンプ４の種類は特に限定されない。
【００１９】
インク循環路２には、ダンパー６、フィルタ７、ヒータ（温調手段）８、及びソレノイドバルブ９ａ,９ｂが設けられている。ダンパー６は、メインポンプ４の後段に配置され、インク循環路２内におけるインク流の脈動を抑えている。フィルタ７は、インク５内に含まれた空気を分離・除去するエア分離フィルタであり、ダンパー６の後段に配置されている。フィルタ７によって分離された空気は、エアリターン路３１を介してサブタンク３内に戻される。エアリターン路３１には、スピードコントローラ（スピコン）３２が介設されている。エアリターン路３１は、スピードコントローラ３２にて流量が絞られる形となっており、フィルタ７からはほぼ空気のみがサブタンク３内に戻るようになっている。ヒータ８は、インク５を所望の温度に調節するために設けられている。メインポンプ４やヒータ８、ソレノイドバルブ９ａ,９ｂ等は、コントローラ（制御手段）１０によって制御される。
【００２０】
サブタンク３には、インク流路１１を介して、メインタンク１２が接続されている。メインタンク系の装置はオプションとなっており、必要に応じてシステムに付加される。インク流路１１には、タンクポンプ１３とフィルタ１４、ソレノイドバルブ１５が設けられている。ソレノイドバルブ１５を開きタンクポンプ１３を作動させることにより、インク流路１１ａを介して、メインタンク１２からサブタンク３にインク５が供給される。サブタンク３には、インク量を監視するためのレベルセンサ１６Ｕ,１６Ｌが設けられている。レベルセンサ１６Ｕ,１６Ｌはインク液面を検知し、コントローラ１０は、インク量がＵ,Ｌ間に収まるように適宜管理する。一方、メンテナンス時やインクの種類を変えるときなどは、ソレノイドバルブ１５を開くことにより、インク流路１１ｂを介して、サブタンク３からメインタンク１２にインクが回収される。なお、本システムでは、メンテナンス時等にインク５をメインタンク１２に回収する構成となっているが、メインタンク１２がインク回収手段を兼ね備える構成ではなく、別途インク回収手段を設けることも可能である。
【００２１】
サブタンク３にはまた、エア管路２０を介して、バキュームポンプ１７が接続されている。本システムでは、バキュームポンプ１７の動作を制御することにより、サブタンク３内の圧力を適宜調整し、ヘッド１のノズル位置におけるインク５の圧力を制御する。エア管路２０には、フィルタ１８とスピードコントローラ（スピコン）１９が配されている。サブタンク３内の空気は、バキュームポンプ１７によって大気に放出される。その際、バキュームポンプ１７の脈動は、スピードコントローラ１９による流量調整によって抑えられ、サブタンク３内の圧力の脈動も抑制される。当該システムでは、スピードコントローラ１９や前述のダンパー６を用いることにより、ポンプ脈動の影響が抑えられるため、高価な無脈動ポンプを使用することなく、比較的安価な定量ポンプを使用することが可能となっている。
【００２２】
ヘッド１の前後（インク循環路２の上流側と下流側）にはそれぞれ圧力センサ２１,２２（第１,第２圧力センサ）が設けられている。圧力センサ２１,２２は、インク循環路２の所定位置Ｘ,Ｙにおけるインク圧（インク５の圧力、Ｘ：ＰＡ２,Ｙ：ＰＡ３）を検出する。位置Ｘ,Ｙは、圧力センサ２１,２２の検出値が静圧の影響を受けないように、同じ高さ位置に設定されている。圧力センサ２１,２２における検出値（インク圧）はコントローラ１０に送られる。コントローラ１０は、圧力センサ２１,２２の圧力値ＰＡ２,ＰＡ３に基づいて、バキュームポンプ１７をフィードバック制御し、インク循環路２内のインク圧を所望の値に制御する。また、圧力センサ２１,２２の設置位置Ｘ,Ｙには、インク５の温度を検出するための温度センサ２３,２４（第１,第２温度センサ）がそれぞれ設けられている。なお、位置Ｘ,Ｙにおけるインク５の温度に差違がほとんどない場合には、温度センサ２３,２４を省くことも可能である。
【００２３】
ヘッド１には、インク５が微小な液滴となって吐出されるノズル４１が設けられている。図２は、ヘッド１の内部構造を示す説明図である。図２に示すように、ヘッド１の下面には、複数個のノズル４１が形成されたノズルプレート４２が配置されている。各ノズル４１は、ヘッド１内に形成された共通流路４３ａ,４３ｂと連通している。共通流路４３ａは、インク５が流入するインレット４４と、共通流路４３ｂは、インク５が排出されるアウトレット４５とそれぞれ連通している。共通流路４３ａ,４３ｂと各ノズル４１との間は、個別流路４６にて接続されている。各ノズル４１の個別流路４６には、圧電素子４７が配されている。個別流路４６のノズル４１と対向する部位は圧力室４８となっている。ヘッド１では、圧電素子４７に電圧を印加し変形させることにより、圧力室４８内のインク５をノズル４１から吐出させる。
【００２４】
一方、当該システムにあっては、圧力センサ２１からヘッド１の入口Ｈin（インレット４４）までの流路ＦＰ１における流路抵抗Ｒ１と、ヘッド１の出口Ｈout（アウトレット４５）から圧力センサ２２までの流路ＦＰ２における流路抵抗Ｒ２が等しく設定されている。流路抵抗を等しくするには、たとえば流路ＦＰ１,ＦＰ２を全く同じ形状とするのが最も容易な方法である。流路ＦＰ１,ＦＰ２の長さは３００ｍｍ以下であることが好ましい。流路ＦＰ１,ＦＰ２の長さが３００ｍｍ以下であれば以下に記載する温度補正も含め、ノズル位置でのインク圧Ｐｎの精度を高く保つことができる。
【００２５】
図３（ａ）は、インク循環路２の各部位におけるインク圧とその変化を示す説明図、図３（ｂ）は、各部位のインク圧の一例を示す表である。インク循環路２では、メインポンプ４直後（位置Ａ）におけるインク圧をＰＡ１、メインポンプ４直前（位置Ｂ）におけるインク圧をＰＡ４（サブタンク３内のインク圧と同じ）とすると、図３に示すように、メインポンプ４から下流側に向かってインク圧が低下する。インク循環路２では、サブタンク３内のインク圧ＰＡ４がバキュームポンプ１７によって負圧に調整されており、インク５は、メインポンプ４にて吐出された後（ＰＡ１：正圧）、ノズル位置（Ｐｎ）では負圧となるように設定されている。
【００２６】
ここで、本発明のシステムでは、前述のように、Ｘ−Ｈin間の流路抵抗Ｒ１と、Ｈout−Ｙ間の流路抵抗Ｒ２が等しく（Ｒ１＝Ｒ２）設定されている。このため、ヘッド１内のノズル位置が圧力損失の観点で中心にある場合、ノズル位置でのインク圧Ｐｎは、
Ｐｎ＝（ＰＡ２＋ＰＡ３）／２    （式１）
となる。また、ノズル位置が圧力損失の中心ではない場合も、ノズル前後の圧力損失比を考慮してＰＡ２−ＰＡ３間の圧力低下を適宜比例配分すればＰｎを求めることができる。
【００２７】
このように、ヘッド１の前後に配した圧力センサ２１,２２とヘッド１の間の流路抵抗を等しくし、ヘッド前後の圧力損失を上流側、下流側ともに同じに設定することにより、ノズル位置におけるインク圧Ｐｎを圧力センサ２１,２２の検出値ＰＡ２,ＰＡ３から容易に算出することが可能となる。このため、事前にノズル位置での圧力値とヘッド上流・下流の圧力値との相関を調べておかなくとも、簡単な計算によってノズル位置でのインク圧Ｐｎを算出でき、システムの制御が容易となる。また、ノズル交換やインクの変更等のたびに、ノズル圧力を確認したり調整したりする必要がなくなり、煩雑な装置設定が不要となり、システムの設定や運用も容易となる。さらに、圧力制御器等、圧力をコントロールする機器を別途設ける必要がないため、簡易な構成によってインク圧Ｐｎを精度良く制御することが可能であり、システム価格やメンテナンスコストなどの低減も図られる。
【００２８】
なお、ヘッド１の前後にて温度変化がある場合、同じ流路抵抗であっても、温度が異なるとインク粘度に差が生じ、ヘッド前後で圧力損失にも差違が生じる。そこで、インク粘度の変化に起因する圧力損失差を考慮し、温度センサ２３,２４の検出値に基づいて温度補正を行っても良い。例えば、下流側の圧力センサ２２におけるインク温度が、上流側の圧力センサ２１におけるインク温度よりも低い場合、Ｒ１＝Ｒ２であるにもかかわらず、圧力センサ２２側の圧力損失は、圧力センサ２１側の圧力損失よりも大きくなる。つまり、圧力センサ２２の圧力ＰＡ３が、本来（温度が同じである場合）の圧力値よりも低い値を示す。この差違を補正すべく、インク圧Ｐｎを求める前記式（１）に、温度差を考慮にいれた係数αを組み入れ、Ｐｎ＝（ＰＡ２＋αＰＡ３）／２とすることも可能である。
【００２９】
係数αを求めるには、インク粘度の温度依存性を測定し、図５に示すようなインク粘度−温度曲線を作成する。Ｘ−Ｈin間の流路抵抗Ｒ１と、Ｈout−Ｙ間の流路抵抗Ｒ２が等しい場合、Ｘ−Ｈin間、およびＨout−Ｙ間における圧力損失はその位置のインク粘度に比例する。従って、Ｘにおける温度（ＴＸ）、Ｙにおける温度（ＴＹ）に対応するインク粘度ＶＸとＶＹをインク粘度−温度曲線から読み取り、ＶＹ／ＶＸによって係数αが求められる。
【００３０】
また、圧力センサ設置位置Ｘ,Ｙの高さと、ヘッド１に組み込まれたノズルの高さとの間に差がある場合、Ｐｎ算出に際し静圧を考慮する必要が生じる。従って、位置Ｘ,Ｙとノズルの高さ位置は同じであることが好ましい。しかし、両者が異なる場合も、その差は予め把握できる値であり、高さ位置による静圧差を考慮してＰｎを算出すれば足りる。これは、位置Ｘ,Ｙの高さ位置が異なる場合も同様である。
【００３１】
このような構成からなる本発明のシステムでは、次のようにしてヘッド１にインク５が供給される。まず、コントローラ１０は、ソレノイドバルブ１５を開き、タンクポンプ１３を作動させることにより、メインタンク１２からサブタンク３にインク５を供給する。サブタンク３内のインク量はレベルセンサ１６Ｕ,１６Ｌによって検知され、コントローラ１０は、インク量がＵ,Ｌ間に収まるようにタンクポンプ１３を制御する。サブタンク３内にインク５を導入した後、コントローラ１０は、ソレノイドバルブ９ａ,９ｂを開き、メインポンプ４を作動させる。これにより、サブタンク３内のインク５がインク循環路２に送給され、ヘッド１に送られる。インク５は、途中、ダンパー６によって脈動が抑えられつつ、ヒータ８によって加温され、ヘッド１に到達する。
【００３２】
ヘッド１の前後では、ヘッド１によりインク圧ＰＡ２,ＰＡ３が検出され、コントローラ１０は、前述の式（１）に基づいてノズル位置でのインク圧Ｐｎを算出する。そして、算出したインク圧Ｐｎが所定値内に収まるようにバキュームポンプ１７の出力を調整し、Ｐｎを所望の値に制御する。ヘッド１では、ノズルからごく微小なインク滴が処理対象物に吐出され、所望の印字や画像記録等が行われる。ヘッド１にて消費されなかったインク５は、そのままインク循環路２を流れ、サブタンク３内に帰還する。
【００３３】
本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
例えば、前述の実施形態では、システム中にヘッド１が１個設けられているが、ヘッドの数は特に限定されない。但し、ヘッド前後の流路抵抗を等しく設定し易いように、２,４,８,１６・・・のように２のべき乗個のヘッドを、図４のように並列に配置することが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明のインク供給システムは、有機ＥＬ素子製造ラインのインクジェットプリンタ装置のみならず、カラーテレビやパーソナルコンピュータのディスプレイ等に用いられるカラー液晶ディスプレイの構成部材であるカラーフィルタ等の製造ラインにも使用可能である。
【符号の説明】
【００３５】
１    インクジェットヘッド
２    インク循環路
３    サブタンク（インクタンク）
４    メインポンプ
５    インク
６    ダンパー
７    フィルタ
８    ヒータ（温調手段）
９ａ,９ｂ    ソレノイドバルブ
１０    コントローラ（制御手段）
１１    インク流路
１１ａ,１１ｂ    インク流路
１２    メインタンク（インク回収手段）
１３    タンクポンプ
１４    フィルタ
１５    ソレノイドバルブ
１６Ｕ,１６Ｌ    レベルセンサ
１７    バキュームポンプ
１８    フィルタ
１９    スピードコントローラ
２０    エア管路
２１    圧力センサ（第１圧力センサ）
２２    圧力センサ（第２圧力センサ）
２３    温度センサ（第１温度センサ）
２４    温度センサ（第２温度センサ）
３１    エアリターン路
３２    スピードコントローラ
４１    ノズル
４２    ノズルプレート
４３ａ,４３ｂ    共通流路
４４    インレット
４５    アウトレット
４６    個別流路
４７    圧電素子
４８    圧力室
ＦＰ１  流路
ＦＰ２  流路
Ｈin    インクジェットヘッド入口
Ｈout   インクジェットヘッド出口
Ｒ１,Ｒ２    流路抵抗
Ｘ,Ｙ    圧力センサ設置位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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