(57)【要約】【課題】本発明は、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を位置精度良く形成可能な柱状形成物付基板の製造方法を提供することを主目的とする。【解決手段】本発明は、基板上に感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、上記感光性樹脂層を露光した後、現像することにより柱状形成物を形成する露光現像工程と、を有し、上記感光性樹脂層形成工程が、スクリーン印刷法により感光性樹脂組成物をパターン状に配置することにより上記感光性樹脂層を形成するものであることを特徴とする柱状形成物付基板の製造方法を提供することにより、上記目的を達成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、
前記感光性樹脂層を露光した後、現像することにより柱状形成物を形成する露光現像工程と、を有し、
前記感光性樹脂層形成工程が、スクリーン印刷法により感光性樹脂組成物をパターン状に配置することにより前記感光性樹脂層を形成するものであることを特徴とする柱状形成物付基板の製造方法。
【請求項２】
前記感光性樹脂層形成工程が、前記感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置することにより前記感光性樹脂層を形成するものであることを特徴とする請求項１に記載の柱状形成物付基板の製造方法。
【請求項３】
基板上に感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、
前記感光性樹脂層を露光した後、現像することにより柱状形成物を形成する露光現像工程と、を有し、
前記感光性樹脂層形成工程が、ドライフィルム状の感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置することにより前記感光性樹脂層を形成するものであることを特徴とする柱状形成物付基板の製造方法。
【請求項４】
前記感光性樹脂層形成工程が、露光光に対する硬化し易さの異なる感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置するものであることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の柱状形成物付基板の製造方法。
【請求項５】
基板上に感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、
前記感光性樹脂層を露光した後、現像することにより柱状形成物を形成する露光現像工程と、を有し、
前記感光性樹脂層形成工程が、吐出法により感光性樹脂組成物をパターン状に配置することにより前記感光性樹脂層を形成するものであることを特徴とする柱状形成物付基板の製造方法。
【請求項６】
前記感光性樹脂組成物が微粒子を含むことを特徴とする請求項５に記載の柱状形成物付基板の製造方法。
【請求項７】
前記柱状形成物の高さが３０μｍ〜１００μｍの範囲内であることを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれかの請求項に記載の柱状形成物付基板の製造方法。
【請求項８】
前記柱状形成物付基板が液晶レンズ用基板であり、
前記柱状形成物が、液晶レンズを構成する２枚の基板間の厚みを固定するために用いられるものであることを特徴とする請求項７に記載の柱状形成物付基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を位置精度良く形成可能な柱状形成物付基板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の電子素子用基板を重ねて配置して構成される電子素子において、近年、従来の電子素子に比べて基板間の距離を大きくすることで機能を発揮するものや、機能性を向上させたものが種々の分野で開発されている。
【０００３】
例えば、表示装置の分野では、上述の電子素子として液晶レンズの開発が進められている。液晶レンズは表示装置において３次元表示をするために用いられ、より具体的には裸眼式３次元表示方式に用いられるものである。液晶レンズは、２枚の電極を有する基板と、両基板間に形成された液晶層とを有するものであり、両電極間に電圧を印加させることにより液晶層中の液晶の配向を変化させることでレンズ機能を付与するものである。上記液晶レンズにおいては、レンズ厚を確保するために、上記両基板間の距離（セルギャップ）を３０μｍ〜１００μｍの範囲内とすることが必要とされている。
また、半導体の分野や、プリント配線回路基板の分野においては、基板上に形成された半導体層や導電層の損傷等を防止するために、複数の基板を重ねて配置する構成において、基板間の距離を十分に設けることが必要とされている。
【０００４】
上述した電子素子において、基板間を所定の距離に保持する方法として液晶レンズにおいては、例えば特許文献１および特許文献２に示すように、２枚の電極を有する基板間にビーズスペーサ、もしくは柱状スペーサを配置することが検討されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２９３２４１号公報
【特許文献２】特開２０１２−１７３５１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、液晶レンズの形成にビーズスペーサを用いた場合は、液晶レンズにおける所定の位置にビーズスペーサを配置することが困難であり、良好な表示を行うことが困難であるという問題がある。また、柱状スペーサにおいては、液晶レンズにおけるセルギャップに対応する高さを有するものを形成することが困難であるという問題がある。
また、半導体の分野や、プリント配線回路基板の分野においても、十分な高さを有する柱状樹脂形成物については得られていない。
【０００７】
さらに、上述した電子素子において望まれている柱状形成物に必要な高さおよび下底の幅に対する高さの比率（以下、「下底の幅に対する高さの比率」をアスペクト比とする場合がある。）は、従来の柱状形成物の高さおよびアスペクト比に比べて高い。
【０００８】
本発明は、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を位置精度良く形成可能な柱状形成物付基板の製造方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明は、基板上に感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、上記感光性樹脂層を露光した後、現像することにより柱状形成物を形成する露光現像工程と、を有し、上記感光性樹脂層形成工程が、スクリーン印刷法により感光性樹脂組成物をパターン状に配置することにより上記感光性樹脂層を形成するものであることを特徴とする柱状形成物付基板の製造方法を提供する。
【００１０】
本発明によれば、上記感光性樹脂層形成工程および露光現像工程により柱状形成物を形成することにより、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を容易に形成することができる。
また、上記感光性樹脂層形成工程がスクリーン印刷法を用いて感光性樹脂層をパターン状に形成するものであることにより、廃棄される感光性樹脂組成物を減量でき低コスト化や現像時間の短縮を図ることができる。
さらに、上記露光現像工程を有することにより、柱状形成物を位置精度良く形成することができる。
【００１１】
本発明においては、上記感光性樹脂層形成工程が、上記感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置することにより上記感光性樹脂層を形成するものであることが好ましい。高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を容易に形成することができるからである。
【００１２】
本発明は、基板上に感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、上記感光性樹脂層を露光した後、現像することにより柱状形成物を形成する露光現像工程と、を有し、上記感光性樹脂層形成工程が、ドライフィルム状の感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置することにより上記感光性樹脂層を形成するものであることを特徴とする柱状形成物付基板の製造方法を提供する。
【００１３】
本発明によれば、上記感光性樹脂層形成工程および露光現像工程により柱状形成物を形成することにより、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を容易に形成することができる。
また、ドライフィルム状の感光性樹脂組成物を用いることにより、厚みの厚い感光性樹脂層を容易に形成することができる。このため、高さの高い柱状形成物を容易に形成することができる。
さらに、上記露光現像工程を有することにより、柱状形成物を位置精度良く形成することができる。
【００１４】
本発明においては、上記感光性樹脂層形成工程が、露光光に対する硬化し易さの異なる感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置するものであることが好ましい。高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を容易に形成することができるからである。
【００１５】
本発明は、基板上に感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、上記感光性樹脂層を露光した後、現像することにより柱状形成物を形成する露光現像工程と、を有し、上記感光性樹脂層形成工程が、吐出法により感光性樹脂組成物をパターン状に配置することにより上記感光性樹脂層を形成するものであることを特徴とする柱状形成物付基板の製造方法を提供する。
【００１６】
本発明によれば、上記感光性樹脂層形成工程および露光現像工程により柱状形成物を形成することにより、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を容易に形成することができる。
また、上記感光性樹脂層形成工程が吐出法を用いて感光性樹脂層をパターン状に形成するものであることにより、廃棄される感光性樹脂組成物を減量でき低コスト化や現像時間の短縮を図ることができる。
さらに、上記露光現像工程を有することにより、柱状形成物を位置精度良く形成することができる。
【００１７】
本発明においては、上記感光性樹脂組成物が微粒子を含むことが好ましい。上記感光性樹脂層の厚みを厚いものとすることが容易となるからである。
【００１８】
本発明においては、上記柱状形成物の高さが３０μｍ〜１００μｍの範囲内であることが好ましい。本発明の高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を容易に得ることができるとの効果をより効果的に発揮できるからである。
【００１９】
本発明においては、上記柱状形成物付基板が液晶レンズ用基板であり、上記柱状形成物が、液晶レンズを構成する２枚の基板間の厚みを固定するために用いられるものであることが好ましい。本発明の高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を容易に得ることができるとの効果をより効果的に発揮できるからである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明においては、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を位置精度良く形成可能な柱状形成物付基板の製造方法を提供できるといった作用効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施態様の柱状形成物の製造方法の一例を示す工程図である。
【図２】本発明の第１実施態様の柱状形成物の製造方法における感光性樹脂層形成工程を説明する説明図である。
【図３】本発明の第１実施態様の柱状形成物の製造方法における柱状形成物を説明する説明図である。
【図４】本発明の第２実施態様の柱状形成物の製造方法の一例を示す工程図である。
【図５】本発明の第３実施態様の柱状形成物の製造方法の一例を示す工程図である。
【図６】本発明の第３実施態様の柱状形成物の製造方法における感光性樹脂層形成工程を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明は、柱状形成物付基板の製造方法に関するものである。
以下、本発明の柱状形成物付基板の製造方法について説明する。
【００２３】
本発明の柱状形成物付基板の製造方法は、基板上に感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、上記感光性樹脂層を露光した後、現像することにより柱状形成物を形成する露光現像工程と、を有するものであり、上記感光性樹脂層形成工程が、スクリーン印刷法により感光性樹脂組成物をパターン状に配置することにより上記感光性樹脂層を形成するものである態様（第１実施態様）、上記感光性樹脂層形成工程が、ドライフィルム状の感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置することにより上記感光性樹脂層を形成するものである態様（第２実施態様）および上記感光性樹脂層形成工程が、吐出法により感光性樹脂組成物をパターン状に配置することにより上記感光性樹脂層を形成するものである態様(第３実施態様)の３つの実施態様に大別することができる。
以下、本発明の柱状形成物付基板の製造方法について、各実施態様に分けて説明する。
【００２４】
Ａ．第１実施態様
まず、本発明の柱状形成物付基板の製造方法の第１実施態様について説明する。本態様の柱状形成物付基板の製造方法は、上述の柱状形成物付基板の製造方法であって、上記感光性樹脂層形成工程が、スクリーン印刷法により感光性樹脂組成物をパターン状に配置することにより上記感光性樹脂層を形成することを特徴とするものである。
【００２５】
このような本態様の柱状形成物付基板の製造方法について図を参照して説明する。図１は本態様の柱状形成物付基板の製造方法の一例を示す工程図である。図１に例示するように、本態様の柱状形成物付基板の製造方法は、透明電極層４が形成された基板２を準備しスクリーンＳを用いたスクリーン印刷法により感光性樹脂組成物３´´をパターン状に配置することにより（図１（ａ））、上記感光性樹脂層３´を形成し（図１（ｂ））、パターン状に形成された上記感光性樹脂層３´に対してマスクＭを介して露光光Ｌを照射し（図１（ｃ））、現像液を塗布して現像することにより柱状形成物３を形成し、柱状形成物付基板１を得るものである（図１（ｄ））。
なお、図１（ａ）および（ｂ）が、上記感光性樹脂層形成工程であり、図１（ｃ）および（ｄ）が露光現像工程である。
また、この例では、基板２上に透明電極層４が形成されたものに対して柱状形成物３を形成するものであり、柱状形成物付基板１を液晶レンズ用柱状形成物付基板として用いることができるものである。
【００２６】
本態様によれば、上記感光性樹脂層形成工程がスクリーン印刷法を用いて感光性樹脂層をパターン状に形成するものであることにより、基板の全面に感光性樹脂層を形成する場合と比較して廃棄される感光性樹脂組成物を減量でき低コスト化を図ることができる。
さらに、現像時間の短縮や、感光性樹脂組成物が溶剤を含む場合には溶剤の乾燥時間の短縮を図ることができる。このため、生産性向上や乾燥ムラの抑制による柱状形成物の形状のばらつきの抑制を図ることができる。
【００２７】
また、スクリーン印刷法であることにより、感光性樹脂組成物を２以上積層配置することが容易なものとすることができる。ここで、厚みの厚い感光性樹脂層に対して露光を行った場合、露光光の届きにくい基板近傍の部位は十分に硬化させることが困難となり、基板近傍が過度に除去された逆テーパー型に現像される傾向がある。また、露光光のエネルギー量を大きくし基板近傍も十分に硬化させようとすると、露光光が照射された周囲も硬化が進行し、平面視上所望のパターンより大きなパターンに現像されてしまう傾向がある。このようなことから、目的とする柱状形成物の高さが高い場合には、高アスペクト比のものを安定的に形成できない場合がある。
これに対して、スクリーン印刷法により、感光性樹脂組成物を２以上積層配置することを容易に行うことができることで、露光光に対する硬化し易さの異なる感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置することも容易に行うことができる。このため、露光光の届きにくい基板近傍の部位を構成する感光性樹脂組成物と、露光光の届きやすい感光性樹脂層表面側を構成する感光性樹脂組成物との露光光に対する感光性を調整することができる。その結果、露光現像工程における露光により、基板近傍および表面側近傍の間で硬化の程度の差を小さいものとすることができる。したがって、感光性樹脂層の基板近傍が過度に現像された逆テーパー型の柱状形成物となることを抑制でき、上底の幅および下底の幅の差の少ないものを容易形成可能となる。
このようなことから、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を安定的に形成することが可能となるのである。
【００２８】
さらに、パターン状の感光性樹脂層に対して露光および現像により柱状形成物を形成することにより、スクリーン印刷法のみにより柱状形成物を形成する場合と比較して、スクリーン印刷法により形成される感光性樹脂層の平面視上の面積を大きいものとすることができる。このため、スクリーンの網目から感光性樹脂組成物が抜けず柱状形成物を安定的に形成できないといった不具合を抑制できる。
さらにまた、マスクを介して露光および現像を行うことにより、柱状形成物をより位置精度良く形成することができる。
このようなことから高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を位置精度良く形成可能となる。
【００２９】
本態様の柱状形成物付基板の製造方法は、感光性樹脂層形成工程および露光現像工程を有するものである。
以下、本態様の柱状形成物付基板の製造方法の各工程について詳細に説明する。
【００３０】
１．感光性樹脂層形成工程
本態様における感光性樹脂層形成工程は、基板上に感光性樹脂層を形成する工程であり、スクリーン印刷法により感光性樹脂組成物をパターン状に配置することにより上記感光性樹脂層を形成する工程である。
【００３１】
（１）感光性樹脂組成物
本工程に用いられる感光性樹脂組成物は、スクリーン印刷法によりパターン状に配置されるものであり、上記感光性樹脂層を形成するものである。
【００３２】
このような感光性樹脂組成物としては、露光光に対して硬化することができる感光性樹脂層を所望の厚みで形成することができるものであれば良く、フォトリソグラフィ法等に一般的に用いられるものを使用することができる。
具体的には、モノマー、ポリマーおよび光重合開始剤を含むものを用いることができる。
【００３３】
（ａ）モノマー
上記モノマーとしては、例えば、アリルアクリレート、ベンジルアクリレート、ブトキシエチルアクリレート、ブトキシエチレングリコールアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、グリセロールアクリレート、グリシジルアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロシプロピルアクリレート、イソボニルアクリレート、イソデキシルアクリレート、イソオクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、２−メトキシエチルアクリレート、メトキシエチレングリコールアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、ステアリルアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，５−ペンタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１，３−プロパンジオールアクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジアクリレート、２，２−ジメチロールプロパンジアクリレート、グリセロールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、グリセロールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリアクリレート、ブチレングリコールジアクリレート、１，２，４−ブタントリオールトリアクリレート、２，２，４−トリメチル−１，３−ペンタンジオールジアクリレート、ジアリルフマレート、１，１０−デカンジオールジメチルアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、および、上記のアクリレート基をメタクリレート基に置換したもの、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、１−ビニル−２−ピロリドン、２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート、テトラヒドロフルフリールアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート、３−ブタンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチルグリコールジアクリレート、フェノール−エチレンオキサイド変性アクリレート、フェノール−プロピレンオキサイド変性アクリレート、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン、ビスフェノールＡ−エチレンオキサイド変性ジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレートモノステアレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキサド変性トリアクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキサイド変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリアクリレート、ペンタエリスリトールペンタアクリレート、ペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート等のアクリレートモノマー、および、これらのアクリレート基をメタクリレート基に置換したもの、ポ���ウレタン構造を有するオリゴマーにアクリレート基を結合させたウレタンアクリレートオリゴマー、ポリエステル構造を有するオリゴマーにアクリレート基を結合させたポリエステルアクリレートオリゴマー、エポキシ基を有するオリゴマーにアクリレート基を結合させたエポキシアクリレートオリゴマー、ポリウレタン構造を有するオリゴマーにメタクリレート基を結合させたウレタンメタクリレートオリゴマー、ポリエステル構造を有するオリゴマーにメタクリレート基を結合させたポリエステルメタクリレートオリゴマー、エポキシ基を有するオリゴマーにメタクリレート基を結合させたエポキシメタクリレートオリゴマー、アクリレート基を有するポリウレタンアクリレート、アクリレート基を有するポリエステルアクリレート、アクリレート基を有するエポキシアクリレート樹脂、メタクリレート基を有するポリウレタンメタクリレート、メタクリレート基を有するポリエステルメタクリレート、ならびにメタクリレート基を有するエポキシメタクリレート樹脂等が挙げられる。これらのモノマーを単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。本発明においては、市販のモノマーを用いることもでき、例えば、ＳＲ３９９（サートマー（株）製）、アロニックスＭ−４００（東亞合成（株）製）、およびアロニックスＭ−４５０（東亞合成（株）製）が好ましい。
【００３４】
上記モノマーの含有量としては、所定の柱状形成物を形成することができれば特に限定されないが、具体的には、感光性樹脂組成物の固形分中の、６０質量％〜９５質量％の範囲内、なかでも６５質量％〜９３質量％の範囲内、特に７０質量％〜９０質量％の範囲内であることが好ましい。
なお、固形分とは、感光性樹脂組成物中の溶剤以外の全ての成分をいうものである。
【００３５】
（ｂ）ポリマー
上記ポリマーとしては、例えば、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−塩化ビニル共重合体、エチレンビニル共重合体、ポリスチレン、アクリロニトリル−スチレン共重合体、ＡＢＳ樹脂、ポリメタクリル酸樹脂、エチレンメタクリル酸樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、塩素化塩化ビニル、ポリビニルアルコール、セルロースアセテートプロピオネート、セルロースアセテートブチレート、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１２、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリビニルアセタール、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、ポリビニルブチラール、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂等、および、重合可能なモノマーであるメチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレート、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、ｓｅｃ−ブチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、ｔｅｒｔ−ブチルアクリレート、ｔｅｒｔ−ブチルメタクリレート、ｎ−ペンチルアクリレート、ｎ−ペンチルメタクリレート、ｎ−ヘキシルアクリレート、ｎ−ヘキシルメタクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、２−エチルヘキシルメタクリレート、ｎ−オクチルアクリレート、ｎ−オクチルメタクリレート、ｎ−デシルアクリレート、ｎ−デシルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、スチレン、α−メチルスチレン、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン、グリシジル（メタ）アクリレートの１種以上と、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸の２量体、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、ならびにこれらの酸無水物等の一種以上とからなるポリマーまたはコポリマー等が挙げられる。これらのポリマーを単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。本発明においては、市販のポリマーを用いることもでき、例えば、エピコート１８０Ｓ７０（油化シェルエポキシ（株）製）、アロニックスＭ−５６００（東亞合成（株）製）、アロニックスＭ−６２００（東亞合成（株）製）、アロニックスＭ−７１００（東亞合成（株）製）、およびアロニックスＭ−９０５０（東亞合成（株）製）が好ましい。
【００３６】
上記ポリマーの含有量としては、柱状形成物を形成することができれば特に限定されないが、具体的には、感光性樹脂組成物の固形分中に５質量％〜４０質量％の範囲内、なかでも７質量％〜３５質量％の範囲内、特に１０質量％〜３０質量％の範囲内であることが好ましい。
【００３７】
（ｃ）光重合開始剤
上記光重合開始剤としては、露光光によりフリーラジカルを発生する化合物であって、具体的には、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４，４−ビス（ジメチルアミン）ベンゾフェノン、４，４−ビス（ジエチルアミン）ベンゾフェノン、α−アミノ・アセトフェノン、４，４−ジクロロベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４−メチルジフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルジクロロアセトフェノン、チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、ベンジルメトキシエチルアセタール、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、２−アミルアントラキノン、β−クロルアントラキノン、アントロン、ベンズアントロン、ジベンズスベロン、メチレンアントロン、４−アジドベンジルアセトフェノン、２，６−ビス（ｐ−アジドベンジリデン）シクロヘキサン、２，６−ビス（ｐ−アジドベンジリデン）−４−メチルシクロヘキサノン、２−フェニル−１，２−ブタジオン−２−（ｏ−メトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１，３−ジフェニル−プロパントリオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−３−エトキシ−プロパントリオン−２−（ｏ−ベンゾイル）オキシム、ミヒラーケトン、２−メチル−１［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン、ナフタレンスルホニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド、ｎ−フェニルチオアクリドン、４，４−アゾビスイソブチロニトリル、ジフェニルジスルフィド、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニルホスフィン、カンファーキノン、アデカ社製Ｎ１７１７、四臭化炭素、トリブロモフェニルスルホン、過酸化ベンゾイン、エオシン、メチレンブルー等の光還元性色素とアスコルビン酸やトリエタノールアミンのような還元剤との組み合わせ等を例示できる。本態様では、これらの光重合開始剤を１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３８】
上記光重合開始剤の含有量としては、感光性樹脂層に所望の感光性を付与できれば特に限定されないが、具体的には、感光性樹脂組成物の固形分中に０．５質量％〜５．０質量％の範囲内、なかでも１．０質量％〜４．０質量％の範囲内、特に１．５質量％〜３．０質量％の範囲内であることが好ましい。
【００３９】
（ｄ）その他
上記感光性樹脂組成物は、通常、モノマー、ポリマーおよび光重合開始剤を含むものであるが、必要に応じて溶剤や添加剤を含むことができる。
【００４０】
上記溶剤としては、一般的な樹脂組成物に用いられるものと同様とすることができ、具体的には、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類、α−もしくはβ−テルピネオール等のテルペン類等、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等のケトン類、トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、セロソルブ、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、および３−メトキシブチルアセテート等の酢酸エステル類等が挙げられる。
【００４１】
上記溶剤の含有量としては、感光性樹脂組成物を安定的に配置することができるものであれば特に限定されるものではなく、塗布に必要な粘度等に応じて適宜設定されるものである。
【００４２】
上記添加剤としては、例えば、レベリング剤、架橋剤、硬化剤、重合促進剤、粘度調整剤等を挙げることができる。これらの添加剤については公知のものを用いることができる。
【００４３】
上記感光性樹脂組成物の粘度としては、スクリーン印刷法により塗布可能なものであれば特に限定されるものではないが、例えば、２５℃での粘度が５０Ｐａ・ｓ〜２００Ｐａ・ｓの範囲内とすることができる。
なお、粘度の測定は、ＪＩＳ  Ｋ７１１７-２に基づいて行うことができ、具体的には、Ａｎｔｏｎ  Ｐａａｒ社製レオメータにてコーンプレート方式により行なうことができる。
また、粘度は、溶剤の含有量等により調整することができる。
【００４４】
上記感光性樹脂組成物の色としては、柱状形成物の用途に応じて適宜設定することができ、透明であっても非透明であっても良いが、上記柱状形成物を液晶レンズ用柱状形成物として用いる場合には、透明であることが好ましい。
【００４５】
（２）基板
上記基板としては、電子素子の用途に応じて適宜選択することができ、特に限定されない。また、上記基板としては、透明性を有していてもよく、透明性を有していなくてもよい。
【００４６】
本態様の製造方法により製造される柱状形成物付基板が液晶レンズ用基板として用いられる場合、上記基板は透明性を有することが好ましく、例えば、全光透過率が８０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましい。ここで、基板の全光透過率は、ＪＩＳ  Ｋ７３６１−１（プラスチック−透明材料の全光透過率の試験方法）により測定することができる。
【００４７】
上記基板としては、例えば、石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のないリジッド材、あるいは、樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有するフレキシブル材等を用いることができる。
【００４８】
基板の厚さとしては、柱状形成物を形成することができれば特に限定されないが、例えば、上記柱状形成物付基板が液晶レンズ用基板として用いられる場合には、０．０５ｍｍ〜１．１ｍｍの範囲内であることが好ましい。
【００４９】
上記基板は、例えば上記柱状形成物付基板が液晶レンズ用基板として用いられる場合には、一方の表面上に透明電極層が形成されていてもよい。上記透明電極層は、上記感光性樹脂層の配置前に、基板上に形成してもよく、予め透明電極層が形成された市販の基板を用いてもよい。
【００５０】
（３）感光性樹脂層形成工程
本工程は、スクリーン印刷法により感光性樹脂組成物をパターン状に配置することにより上記感光性樹脂層を形成する工程である。
このような感光性樹脂層の形成方法としては、一般的なスクリーン印刷法を用いることができる。具体的には、スクリーン上に感光性樹脂組成物を盛り、スキージ等で押圧しながらスクリーンの網目を通して基板上に感光性樹脂組成物を配置することで感光性樹脂層を形成する方法を用いることができる。
また、スクリーンとしては、メタルマスクやメッシュマスクを用いることができる。
【００５１】
本工程における感光性樹脂組成物の配置回数としては、１回であっても良いが、同一箇所に２回以上であることが好ましい。
本工程においては、なかでも、上記感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置すること、すなわち、上記感光性樹脂組成物を２回以上積層配置することにより上記感光性樹脂層を形成するものであることが好ましく、特に、積層数が２〜４の範囲内、すなわち、積層配置回数が２回〜４回の範囲内であることが好ましく、なかでも特に、積層数が２、すなわち、積層配置回数が２回であることが好ましい。上記感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置することにより、感光性樹脂組成物として、露光光に対する硬化し易さの異なる感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置することを容易に行うことが可能となる。このため、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を容易に形成することができるからである。
また、各回に配置される感光性樹脂組成物の厚みを薄いものとすることができ、スクリーンの網目から感光性樹脂組成物を排出することが容易となるからである。このため、感光性樹脂層を所望の位置に形成することが可能となり、さらには柱状形成物を安定的に所望の位置に形成することができるからである。
さらに、積層数が上記範囲内であることにより、簡便なものとすることができるからである。
なお、図２は、配置回数が２回である場合、１回目に配置される感光性樹脂組成物の層３´ａおよび２回目に配置される感光性樹脂組成物の層３´ｂが、同一箇所に配置される例を示すものである。
なお、図２中の符号については、図１と同一の部材を示すものであるので、ここでの説明は省略する。
【００５２】
上記感光性樹脂組成物を厚み方向に２回以上積層するように配置する場合、積層配置される感光性樹脂組成物の材料の種類は同一の材料からなるものであっても良いが、本工程においては、露光光に対する硬化し易さの異なる感光性樹脂組成物であることが好ましく、なかでも基板側に配置される感光性樹脂組成物を、感光性樹脂層の表面側に配置される感光性樹脂組成物よりも露光光に対して硬化し易いものとすることが好ましい。露光現像工程における露光により、基板近傍および表面側近傍の間で硬化の程度の差を小さいものとすることが容易となるからである。また、このようなことから、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を容易に形成することができるからである。
【００５３】
上記基板側に配置される感光性樹脂組成物を硬化し易いものとする方法としては、所望の硬化し易さを得られる方法であれば特に限定されるものではないが、基板側に配置される感光性樹脂組成物として、感光性樹脂層の表面側に配置される感光性樹脂組成物よりも硬化の反応波長が長波長であるものを用いる方法または感度に優れるものを用いる方法であることが好ましい。長波長の光は単波長の光と比較して感光性樹脂層の深部まで透過し易いため、基板側に配置される感光性樹脂組成物として硬化の反応波長が長波長であるものを用い、露光光として長波長の光を用いることにより、基板近傍および表面側近傍の間で硬化の程度の差を容易に小さいものとすることができるからである。
また、感度に優れるものを用いることにより、露光光の届きにくい基板近傍に位置する場合であっても、十分に硬化させることができるからである。
【００５４】
上記感光性樹脂組成物の硬化の反応波長が長波長であるとは、感光性樹脂組成物に硬化を生じさせる光のピーク波長が長波長側であることをいうものである。
上記感光性樹脂組成物を硬化の反応波長を長波長とする方法としては、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を安定的に形成することができる方法であれば特に限定されるものではないが、例えば、光重合開始剤が吸収する波長のピークのうち最も強いピークである光重合開始剤の最も強い吸収ピークが長波長であるものを用いる方法を挙げることができる。なお、光重合開始剤においては、通常、上述した最も強い吸収ピークの波長が照射されることにより光ラジカル反応の祖反応を生じる。
本工程においては、なかでも上記光重合開始剤の最も強い吸収ピークが３１０ｎｍ〜３８０ｎｍの範囲内であることが好ましく、特に、３１５ｎｍ〜３７５ｎｍの範囲内であることが好ましく、特に３２０ｎｍ〜３７０ｎｍの範囲内であることが好ましい。上記反応波長のピークが上述の範囲内であることにより、基板近傍まで十分に透過することができ、重合反応を十分に進行させることができるからである。
なお、光重合開始剤の吸収ピークは、光重合開始剤を溶剤に溶解させて、日立分光光度計Ｕ-３９００などの分光光度計を用いることで吸光スペクトルを測定することにより求めることができる。
【００５５】
上記感光性樹脂組成物を感度に優れるものとする方法としては、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を安定的に形成することができる方法であれば特に限定されるものではないが、例えば、光重合開始剤や増感剤の含有量を増加する方法等を挙げることができる。
なお、上記光重合開始剤や増感剤の含有量については、目的とする高さおよびアスペクト比等に応じて適宜設定されるものである。
【００５６】
本工程により形成される感光性樹脂層の厚みとしては、所望の高さの柱状形成物を形成することができる厚さであれば特に限定されない。具体的には、上記露光現像工程により形成される柱状形成物の高さと同様とすることができる。
なお、上記感光性樹脂層の厚みは感光性樹脂組成物が溶剤を含む場合、溶剤の乾燥除去後の厚みをいうものである。
また、上記感光性樹脂層の厚みは、感光性樹脂組成物を２以上積層して形成する場合には、感光性樹脂層全体の厚みをいうものである。また、各回で積層配置される感光性樹脂組成物の層の厚みとしては、所望の厚みの感光性樹脂層とすることができるものであれば良いが、各回で同じであることが好ましい。例えば、積層配置回数が２回の場合には、通常、同じ厚みの感光性樹脂組成物の層が２層積層されるものであることが好ましい。
【００５７】
本工程において形成されるパターン状の感光性樹脂層の平面視上の形状としては、柱状形成物を形成可能なものであれば良く、円形状や、三角形および四角形等の矩形状等とすることができるが、上記柱状形成物の平面視上形状と相似形であることが好ましい。また、上記形状は２種類以上であっても良いが、１種類であることが好ましい。上記露光現像工程において感光性樹脂層の側面方向からの現像速度を同程度とすることにより、柱状形成物の形状のばらつきの少ないものとすることができるからである。
【００５８】
パターン状の上記感光性樹脂層の平面視上のサイズとしては、柱状形成物を形成可能なものであれば良いが、感光性樹脂層の１つのパターンから１つの柱状形成物が得られるものであることが好ましい。柱状形成物の形状のばらつきの少ないものとすることができるからである。
【００５９】
本工程においては、感光性樹脂組成物の配置後に、乾燥処理を行うことが好ましい。乾燥処理については、一般的な樹脂層の形成方法において用いられる処理と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
また、上記感光性樹脂組成物の配置回数が２回以上である場合、上記乾燥処理は上記感光性樹脂組成物の配置毎に行うものであっても良く、全ての感光性樹脂層の配置後に一括して行うものであっても良い。
本工程においては、なかでも、上記感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置する場合には、基板側の感光性樹脂組成物の層に対して乾燥処理を行った後に、次回の感光性樹脂組成物の配置を行うことが好ましい。感光性樹脂組成物の層を安定的に積層させることができるからである。
【００６０】
２．露光現像工程
本態様における露光現像工程は、上記感光性樹脂層を露光した後、現像することにより柱状形成物を形成する工程である。
【００６１】
本工程において用いられる露光光は、上記感光性樹脂層を露光することにより硬化させることができる波長の光が含まれていれば特に限定されない。上記露光光は、公知の露光装置における光源を用いて照射することができる。
本工程に用いられる露光方法としては、一般的なフォトリソグラフィ法に用いられるものと同様とすることができる。具体的には、公知の露光装置を用いて、フォトマスクを介して感光性樹脂層に露光光を照射する方法を挙げることができる。フォトマスクについては、柱状形成物を形成することができれば特に限定されず、一般的なフォトマスクと同様とすることができる。
【００６２】
本工程においては、感光性樹脂層の露光後に、感光性樹脂層が現像される。
感光性樹脂層の現像液としては、所定のパターン状に感光性樹脂層を現像することができれば特に限定されず、例えば、水、アルカリ水溶液（ＫＯＨやＫ２ＣＯ３）が挙げられる。
【００６３】
本工程においては、必要に応じて、現像後に、柱状形成物を焼成する焼成処理を行ってもよい。焼成処理については、一般的な樹脂層の形成方法において用いられる方法と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
【００６４】
上記柱状形成物の高さとしては、柱状形成物の用途に応じて適宜設定されるものであるが、３０μｍ〜１００μｍの範囲内であることが好ましく、なかでも３３μｍ〜９５μｍの範囲内であることが好ましく、特に３７μｍ〜９０μｍの範囲内であることが好ましい。
上記高さであることにより、本態様の製造方法を用いることによる効果をより効果的に発揮できるからである。また、上記高さであることにより、上記柱状形成物を液晶レンズ用柱状形成物である場合には、液晶レンズのセルギャップを良好に維持することが可能となるからである。また、アスペクト比が良好なものとすることが容易だからである。
なお、「柱状形成物の高さ」とは、柱状形成物の上底から下底までの垂直方向の距離をいう。
また、「柱状形成物の上底」とは、柱状形成物の基板側とは反対側の面をいう。また、「柱状形成物の下底」とは、柱状形成物の基板側の面をいう。
上記柱状形成物の高さとしては、具体的には、図３（ａ）〜（ｄ）においてqで示される距離をいう。
【００６５】
上記柱状形成物の上底の幅および下底の幅の差の絶対値としては、柱状形成物の用途に応じて適宜設定されるものであるが、５．０μｍ以下であることが好ましく、なかでも４．５μｍ以下であることが好ましく、特に４．０μｍ以下であることが好ましい。
上記上底の幅および下底の幅の差の絶対値が上記範囲内であることにより、上記柱状形成物に十分な強度を付与することができるからである。
なお、「柱状形成物の上底の幅」とは、柱状形成物の正面形状において、柱状形成物の最上部における基板と水平方向に沿って延長した直線と、柱状形成物のそれぞれの側面に沿って延長した直線との２つの交点間の距離をいう。具体的には、図３（ａ）〜（ｄ）においてｒで示される距離をいう。
また、「柱状形成物の下底の幅」とは、柱状形成物の正面形状において、柱状形成物が形成された基板表面と、柱状形成物のそれぞれの側面に沿って延長した直線との２つの交点間の距離をいう。すなわち、「柱状形成物の下底の幅」とは、基板自体の表面と上述した２本の直線との２つの交点間の距離をいう。また、柱状形成物が他の層を介して基板上に形成されている場合は、「柱状形成物の下底の幅」とは、他の層の表面と上述した２本の直線との２つの交点間の距離をいう。具体的には、図３（ａ）〜（ｄ）においてsで示される距離をいう。
【００６６】
上記柱状形成物の下底の幅としては、上記柱状形成物の用途に応じて適宜設定されるものであるが、例えば、２０μｍ〜５０μｍの範囲内であることが好ましく、なかでも２５μｍ〜４７μｍの範囲内であることが好ましく、特に３０μｍ〜４５μｍの範囲内であることが好ましい。
上記範囲内であることにより、高アスペクト比のものとすることが容易だからであり、本態様の製造方法を用いることによる効果をより効果的に発揮できるからである。また、柱状形成物の強度に優れ、柱状形成物の形成の容易なものとすることができるからである。
また、上記柱状形成物が液晶レンズ用柱状形成物である場合、液晶レンズにおいて観察者から視認されにくいものとすることができ、液晶レンズを用いた表示装置において良好な表示をすることが可能となるからである。
【００６７】
また、柱状形成物のアスペクト比としては、柱状形成物の用途に応じて適宜設定されるものであるが、１．７〜２．３の範囲内であることが好ましく、なかでも１．８〜２．２の範囲内であることが好ましく、特に１．９〜２．１の範囲内であることが好ましい。
上記アスペクト比が上述した範囲内であることにより、本態様の製造方法を用いることによる効果をより効果的に発揮できるからである。また、十分な強度を有するものとすることができるからである。
このため、例えば、上記柱状形成物を液晶レンズ用柱状形成物として用いる場合、セルギャップを良好に維持することができ、液晶レンズを用いた表示装置において良好な表示をすることが可能となるからである。また、上記柱状形成物を安定的に形成できるからである。
【００６８】
柱状形成物の平面視形状としては、柱状形成物の種類に応じて異なるものであるが、例えば、円形状、楕円形状等や、四角形状等の多角形状等が挙げられる。本工程においては、なかでも長辺および短辺の差が小さい形状であることが好ましく、円形状または正方形状であることが好ましい。
良好な強度を有し、例えば、上記柱状形成物を液晶レンズ用柱状形成物として用いる場合、液晶層の液晶の配向乱れ等を良好に抑制することができるからである。
【００６９】
上記柱状形成物の正面形状としては、所望の高さ、上底の幅および下底の幅の差の絶対値、ならびにアスペクト比とすることができるものであればよく、例えば、図３（ａ）および図３（ｂ）に示すように、上底の幅ｒおよび下底の幅ｓが同等の幅であってもよく、図３（ｃ）に示すように上底の幅ｒが下底の幅ｓより小さくなる順テーパー形状であってもよく、上底の幅ｒが下底の幅ｓより大きくなる逆テーパー形状であってもよい。また、図３（ａ）および図３（ｂ）に示すように、上底の幅ｒおよび下底の幅ｓが同等の場合、図３（ａ）に示すように側面が基板に対して垂直な垂直形状であってもよく、図３（ｂ）に示すように上底および下底の間の幅ｔが上底の幅ｒおよび下底の幅ｓよりも大きくなる樽形状であってもよい。本工程においては、なかでも、上記柱状形成物の正面形状が垂直形状であることが好ましい。
上記柱状形成物を強度等に優れたものとすることができるからである。このため、例えば、上記柱状形成物を液晶レンズ用柱状形成物として用いた場合には、セルギャップを良好に維持することができ、液晶レンズを用いた表示装置において良好な表示をすることが可能となるからである。
【００７０】
上記柱状形成物の平面視形状、正面形状は、例えば、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて確認することができる。また、上記柱状形成物の高さ、上底の幅、下底の幅、他の部分の幅等はＳＥＭの観察像の計測値を基に算出することができる。走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）は、一般的なものを用いることができる。
【００７１】
上記柱状形成物の用途としては、種々の電子素子に応じて適宜選択することができ、例えば、液晶レンズにおいてセルギャップを保持するための液晶レンズ用柱状形成物、プリンタ配線基板において基板間の距離を一定に保持するための部材、半導体積層基板において基板間の距離を一定に保持するための部材、インクジェットプリンタにおいてマイクロ流路を形成するための部材、プラズマディスプレイにおけるリブ材、有機エレクトロルミネッセンス素子におけるカソードセパレータを挙げることができる。
柱状形成物としては、なかでも、液晶レンズ用柱状形成物であること、すなわち、本態様の製造方法により形成される柱状形成物付基板が液晶レンズ用基板であり、上記柱状形成物が、液晶レンズを構成する２枚の基板間の厚みを固定するために用いられるものであることが好ましい。本態様の高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を容易に得ることができるとの効果をより効果的に発揮できるからできるからである。また、その結果セルギャップを良好に維持することができるからである。
【００７２】
３．その他の工程
本態様の柱状形成物付基板の製造方法は、感光性樹脂層形成工程および露光現像工程を有するものであるが、必要に応じて他の工程を有するものであっても良い。
このような他の工程としては、例えば、上記感光性樹脂層形成工程が、上記感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置することにより感光性樹脂層を形成するものである場合、感光性樹脂層の表面側の感光性樹脂組成物の配置前に、基板側の感光性樹脂組成物を硬化させる先硬化工程を有するものであっても良い。露光光の届きにくい基板近傍の部位を構成する感光性樹脂組成物を露光現像工程前に硬化させることにより、露光現像工程における露光により、基板近傍および表面側近傍の間で硬化の程度の差を小さいものとすることができ、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を容易に形成することができるからである。また、感光性樹脂組成物として同一材料のものを用いることが容易となり、低コスト化を図ることができるからである。なお、このような先硬化工程における露光光等については上記「２．露光現像工程」の項に記載の内容と同様とすることができる。
また、柱状形成物付基板が液晶レンズ用基板である場合、感光性樹脂層形成工程の前に、基板上に透明電極層を形成する工程や、基板上に所定のパターンを有する遮光部を形成する工程を挙げることができる。また、露光現像工程後に柱状形成物が形成された透明電極層上に配向膜を形成する工程を挙げることができる。
なお、透明電極層、遮光部および配向膜については液晶レンズに一般的に用いられるものと同様であるため、ここでの説明は省略する。
【００７３】
Ｂ．第２実施態様
次に、本発明の柱状形成物付基板の製造方法の第２実施態様について説明する。本態様の柱状形成物付基板の製造方法は、上述の柱状形成物付基板の製造方法であって、記感光性樹脂層形成工程が、ドライフィルム状の感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置することにより上記感光性樹脂層を形成することを特徴とするものである。
【００７４】
このような本態様の柱状形成物付基板の製造方法について図を参照して説明する。図４は本態様の柱状形成物付基板の製造方法の一例を示す工程図である。図４に例示するように、本態様の柱状形成物付基板の製造方法は、透明電極層４が形成された基板２を準備し、ドライフィルム状の感光性樹脂組成物（３´´ａおよび３´´ｂ）を厚み方向に２以上積層するように配置することにより（図４（ａ））、感光性樹脂組成物の層３´ａおよび感光性樹脂組成物の層３´ｂを含む上記感光性樹脂層３´を形成し（図４（ｂ））、上記感光性樹脂層３´に対してマスクＭを介して露光光Ｌを照射し（図４（ｃ））、現像液を塗布して現像することにより、第１柱状形成物３ａおよび第２柱状形成物３ｂの２層が積層してなる柱状形成物３を形成することを特徴とするものである(図４（ｄ）)。
なお、図４（ｂ）が、上記感光性樹脂層形成工程であり、図４（ｃ）および（ｄ）が露光現像工程である。
また、この例では、基板２上に透明電極層４が形成されたものに対して柱状形成物３を形成するものであり、柱状形成物付基板１を液晶レンズ用柱状形成物付基板として用いることができるものである。また、上記感光性樹脂組成物（３´´ａおよび３´´ｂ）として、基板側と表面側とで感光性の異なるものを用いた場合を示すものである。
【００７５】
本態様によれば、上記感光性樹脂層形成工程がドライフィルム状の感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置することで上記感光性樹脂層を形成するものであることにより、厚みの厚い感光性樹脂層を容易に形成することができる。このため、高さの高い柱状形成物を容易に形成することができる。
また、ドライフィルム状の感光性樹脂組成物を積層配置するものであることにより、露光光に対する硬化し易さの異なる感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置することも容易に行うことができ、上底の幅および下底の幅の差の少ない柱状形成物を容易形成可能となる。
このため、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を安定的に形成することができる。
さらにまた、上記露光現像工程を有することにより、柱状形成物を位置精度良く形成することができる。
以上のことから高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を位置精度良く形成可能となるのである。
【００７６】
本態様の柱状形成物付基板の製造方法は、感光性樹脂層形成工程および露光現像工程を有するものである。
以下、本態様の柱状形成物付基板の製造方法の各工程について詳細に説明する。
なお、露光現像工程およびその他の工程については上記「Ａ．第１実施態様」の項に記載の内容と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
【００７７】
本態様における感光性樹脂層形成工程は、基板上に感光性樹脂層を形成する工程であり、ドライフィルム状の感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置することにより上記感光性樹脂層を形成するものである。
なお、上記基板については上記「Ａ．第１実施態様」の項に記載の内容と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
【００７８】
１．感光性樹脂組成物
本工程に用いられる感光性樹脂組成物はドライフィルム状のものである。
ここでドライフィルム状であるとは、フィルム状に加工されたものであることをいうものである。このようなドライフィルム状の感光性樹脂組成物としては、例えば、液状の感光性樹脂組成物を支持体上に塗布し、溶剤を乾燥除去させたものを用いることができる。
このような感光性樹脂組成物に含まれる成分としては、モノマー、ポリマーおよび光重合開始剤を挙げることができ、また、溶剤および添加剤を含むものであっても良い。上記各成分については、上記「Ａ．第１実施態様」の項に記載の内容と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
また、上記感光性樹脂組成物に含まれる溶剤の含有量としては、上記感光性樹脂組成物をドライフィルム状とすることができるものであれば良く、少ない程好ましいが、例えば、２０質量％以下であることが好ましく、なかでも、１０質量％以下であることが好ましく、特に、５質量％以下であることが好ましい。
【００７９】
２．感光性樹脂層形成工程
本工程はドライフィルム状の感光性樹脂組成物を厚み方向に２以上積層するように配置する工程である。
このような感光性樹脂組成物の配置方法としては、ドライフィルム状の感光性樹脂組成物のみを基板上に配置するものであっても良く、支持体上に積層されたドライフィルム状の感光性樹脂組成物基板上に転写するもの、すなわち、感光性樹脂組成物を支持体と共に基板上に配置した後、支持体を除去することにより配置するものであっても良い。
また、上記基材が長尺状のフレキシブル材である場合、枚葉状の感光性樹脂組成物を配置するものであっても良いが、長尺状のドライフィルム状の感光性樹脂組成物をロールトゥロールで基板上に配置するものであっても良い。
【００８０】
上記感光性樹脂組成物の配置回数としては、感光性樹脂組成物を２以上積層したものを配置することができるものであれば良く、１回、すなわち、２以上積層した感光性樹脂組成物を１度に配置するものであっても良く、２回以上配置するものであっても良いが、通常、感光性樹脂組成物を１層ずつ積層配置するものである。
【００８１】
本工程において積層配置される感光性樹脂組成物の材料の種類、感光性樹脂組成物の積層数、感光性樹脂層の厚みおよび乾燥処理については、上記「Ａ．第１実施態様」の項に記載の内容と同様とすることができる。
【００８２】
Ｃ．第３実施態様
次に、本発明の柱状形成物付基板の製造方法の第３実施態様について説明する。本態様の柱状形成物付基板の製造方法は、上述の柱状形成物付基板の製造方法であって、上記感光性樹脂層形成工程が、吐出法により感光性樹脂組成物をパターン状に配置することにより上記感光性樹脂層を形成することを特徴とするものである。
【００８３】
このような本態様の柱状形成物付基板の製造方法について図を参照して説明する。図５は本態様の柱状形成物付基板の製造方法の一例を示す工程図である。図５に例示するように、本態様の柱状形成物付基板の製造方法は、透明電極層４が形成された基板２を準備し、吐出法により感光性樹脂組成物３´´をパターン状に配置することにより（図５（ａ））、上記感光性樹脂層３´を形成し（図５（ｂ））、パターン状に形成された上記感光性樹脂層３´に対してマスクＭを介して露光光Ｌを照射し（図５（ｃ））、現像液を塗布して現像することにより柱状形成物３を形成することを特徴とするものである（図５（ｄ））。
なお、図５（ａ）および（ｂ）が、上記感光性樹脂層形成工程であり、図５（ｃ）および（ｄ）が露光現像工程である。
また、この例では、基板２上に透明電極層４が形成されたものに対して柱状形成物３を形成するものであり、柱状形成物付基板１を液晶レンズ用柱状形成物付基板として用いることができるものである。
【００８４】
本態様によれば、上記感光性樹脂層形成工程が吐出法により感光性樹脂層をパターン状に形成するものであることにより、基板の全面に感光性樹脂層を形成する場合と比較して、廃棄される感光性樹脂組成物を減量でき低コスト化を図ることができる。
さらに、現像時間の短縮や、感光性樹脂組成物が溶剤を含む場合には溶剤の乾燥時間の短縮を図ることができる。このため、生産性向上や乾燥ムラの抑制による柱状形成物の形状のばらつきの抑制を図ることができる。
【００８５】
また、本態様のように上記感光性樹脂層形成工程により感光性樹脂層を形成した後、上記露光現像工程により柱状形成物を得るものであることにより、吐出法のみにより柱状形成物となる感光性樹脂層を形成するのと比較して平面視面積の広い感光性樹脂層を形成した後、柱状形成物を得ることができる。
このため、吐出法のみにより柱状形成物となる感光性樹脂層を形成する場合と比較して、高さの高い感光性樹脂層を容易に形成することができる。また、その結果、高さの高い柱状形成物を容易に形成することができる。
さらに、吐出法のみにより柱状形成物となる感光性樹脂層を形成する場合と比較して、吐出される感光性樹脂組成物の位置精度について要求レベルを低いものとすることができる。その結果、感光性樹脂組成物に対して吐出の必要特性を緩和することができ、材料選択性の広いものとすることができる。したがって、高粘度材料や表面張力の高い材料等の適用や微粒子の添加等が容易となり、高さおよびアスペクト比の高い柱状形成物を安定的に形成することができる。
またさらに、上記露光現像工程を有することにより、柱状形成物をより位置精度良く形成することができる。
【００８６】
本態様の柱状形成物付基板の製造方法は、感光性樹脂層形成工程および露光現像工程を有するものである。
以下、本態様の柱状形成物付基板の製造方法の各工程について詳細に説明する。
なお、露光現像工程およびその他の工程については上記「Ａ．第１実施態様」の項に記載の内容と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
【００８７】
本態様における感光性樹脂層形成工程は、基板上に感光性樹脂層を形成する工程であり、吐出法により感光性樹脂組成物をパターン状に配置することにより上記感光性樹脂層を形成する工程である。
なお、上記基板については上記「Ａ．第１実施態様」の項に記載の内容と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
【００８８】
１．感光性樹脂組成物
本工程に用いられる感光性樹脂組成物は、吐出法によりパターン状に配置されるものであり、上記感光性樹脂層を形成するものである。
このような感光性樹脂組成物に含まれる成分としては、モノマー、ポリマーおよび光重合開始剤を挙げることができ、また、溶剤および添加剤を含むものであっても良い。このような各成分については、上記「Ａ．第１実施態様」の項に記載の内容と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
本工程においては、上記感光性樹脂組成物の成分として微粒子を含むものであっても良い。上記微粒子を含むことにより厚みの厚い感光性樹脂層の形成を容易なものとすることができるからである。
【００８９】
上記微粒子の平均粒径としては、所望の高さの柱状形成物を形成可能なものであれば特に限定されるものではなく、柱状形成物の高さ以下のものを用いることができる。
本工程においては、なかでも、柱状形成物の高さの半分より大きいものであることが好ましく、特に、柱状形成物の高さを１００とした場合に、９０〜１００の範囲内のものであることが好ましい。厚みの厚い感光性樹脂層の形成を容易なものとすることができるからである。また、上記柱状形成物を強度に優れたものとすることができるからである。
具体的には、柱状形成物の高さが３０μｍ〜１００μｍの範囲内である場合には、上記平均粒径を１μｍ〜１００μｍの範囲内とすることができる。
ここで、平均粒径は、顕微鏡観察による平均粒径である。顕微鏡観察による平均粒径は、例えば、１００倍で顕微鏡観察を行い、画像処理ソフト等により任意の微粒子の粒径を１００個測定して個数平均することにより得られる。なお、粒径とは微粒子の長軸径と短軸径の平均値を指す。
【００９０】
上記微粒子の材料としては、安定的に柱状形成物を形成可能なものであり、導電性を有しないものであれば特に限定されるものではないが、例えば、アクリル樹脂等の樹脂材料、シリカ等の無機材料を用いることができる。
また、上記微粒子の材料としては、透明性を有していても、有していなくても良いが、上記柱状形成物を液晶レンズ用柱状形成物として用いる場合には透明性を有していることが好ましい。
【００９１】
上記微粒子の形状としては、所望の感光性樹脂層および柱状形成物を形成可能なものであれば特に限定されるものではなく、ファイバー状や球形状のものを使用することができる。また、上記微粒子の形状は異なる形状のものを含むものであっても良いが、均一な形状であることが好ましい。上記柱状形成物を形状のばらつきの少ないものとすることができるからである。
【００９２】
上記微粒子の含有量としては、所望の感光性樹脂層および柱状形成物を形成可能なものであれば特に限定されるものではないが、固形分中に０．１質量％〜２０質量％の範囲内とすることができ、なかでも、０．１質量％〜１０質量％の範囲内であることが好ましい。上記含有量が上述の範囲内であることにより、吐出安定性に優れたものとすることができるからである。
【００９３】
上記感光性樹脂組成物の粘度としては、吐出法により吐出可能なものであれば特に限定されるものではないが、例えば、２５℃での粘度が０．０１ｍＰａ・ｓ〜１０００Ｐａ・ｓの範囲内とすることができ、なかでも、０．１Ｐａ・ｓ〜１００Ｐａ・ｓの範囲内であることが好ましい。上記範囲内であることにより、安定的に吐出することができるからである。また、感光性樹脂組成物のレベリングを抑制でき、厚みの厚い感光性樹脂層の形成が容易だからである。
【００９４】
２．感光性樹脂層形成工程
本工程は、吐出法により感光性樹脂組成物をパターン状に配置することにより上記感光性樹脂層を形成する工程である。
上記吐出法としては、ノズルから感光性樹脂組成物をパターン状に塗布する方法であれば良く、例えば、インクジェット法、ディスペンサ法、電界ジェット法等を挙げることができる。
本工程における吐出法としては、上記感光性樹脂組成物として高粘度のもの、例えば、２５℃での粘度が０．１Ｐａ・ｓ以上のものを用いる場合には、ディスペンサ法や電界ジェット法等を用いることが好ましく、なかでも電界ジェット法を用いることが好ましい。感光性樹脂組成物が高粘度であっても安定的に塗布することができるからである。
【００９５】
また、本工程における吐出法としては、感光性樹脂組成物を加熱した状態で吐出するものであっても良い。吐出時の感光性樹脂組成物を低粘度とすることができ、吐出の容易なものとすることができるからである。
【００９６】
本工程における感光性樹脂組成物の配置回数としては、１回であっても良いが、同一箇所に２回以上であっても良い。
本工程においては、上記感光性樹脂組成物が微粒子を含む場合には、上記微粒子の平均粒径に応じて回数を決めることが好ましい。例えば、微粒子の平均粒径が柱状形成物の高さの半分より大きい場合には１回であることが好ましい。
【００９７】
本工程においては、感光性樹脂組成物を所定の領域内に溜めるように基板上に形成された土手部に対して吐出法により塗布するものであっても良い。
より具体的には、基板上に感光性樹脂層を形成する領域を囲むような開口部を有する土手部を形成し、その土手部の開口部内部に対して感光性樹脂層を塗布するものであっても良い。上記感光性樹脂層を安定的に形成することができるからである。また、土手部により囲まれることにより、厚みの厚い感光性樹脂層を容易に形成することができるからである。
【００９８】
上記土手部としては、柱状形成物付基板に残存するものであっても良いが、除去されるものであることが好ましい。感光性樹脂層および柱状形成物の形成が容易だからである。
本工程においては、特に繰り返し使用可能なものであることが好ましい。上記土手部がマスクのような繰り返し使用可能なものであることにより、工程の簡便なものとすることができるからである。また、低コスト化を図ることができるからである。
なお、上記土手部が除去されるものである場合、上記土手部を除去するタイミングとしては、感光性樹脂組成物の配置後、すなわち、感光性樹脂層の形成後であれば良く、感光性樹脂層の乾燥処理前後、柱状形成物の形成後のいずれであっても良い。
図６は、上記土手部としてマスクを用いて感光性樹脂層を形成する方法の一例を示すものである。図６（ａ）に例示するように、基板２上に開口部５ａを有する土手部(マスク)５を配置し、吐出法により上記開口部５ａ内に感光性樹脂組成物３´´を塗布することにより感光性樹脂層３´を形成した後（図６（ｂ））、土手部(マスク)を取り外すことにより、基板２上に形成された感光性樹脂層３´を得るものである（図６（ｃ））。
なお、図６中の符号については、図１と同一の部材を示すものであるので、ここでの説明は省略する。
【００９９】
上記土手部の材料としては、開口部の変形等の少ないものであることが好ましく、柱状形成物付基板に残存するものである場合には導電性を有しない樹脂や無機材料を用いることができる。また、柱状形成物付基板から除去されるものである場合には導電性を有していても良く、樹脂、無機材料および金属材料等を用いることができる。
本工程においては、なかでも、上記土手部がマスクのように繰り返し使用されるものである場合には、上記感光性樹脂組成物との密着性の低いものであることが好ましい。土手部の取り外し時に感光性樹脂層や柱状形成物の剥離の少ないものとすることができるからである。具体的には、テフロン（登録商標）等のフッ素系樹脂や、表面がフッ素系樹脂により被覆されたものを好ましく用いることができる。
【０１００】
上記土手部の開口部の平面視形状およびサイズとしては、所望の感光性樹脂層を形成可能なものであれば特に限定されるものではなく、パターン状の感光性樹脂層の平面視形状およびサイズと同様とすることができる。
【０１０１】
本工程における、積層配置される感光性樹脂組成物の材料の種類、パターン状の感光性樹脂層の平面視上の形状およびサイズ、感光性樹脂層の厚みおよび乾燥処理については、上記「Ａ．第１実施態様」の項に記載の内容と同様とすることができる。
【０１０２】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【０１０３】
以下、本発明について、実施例および比較例を挙げてより詳細に説明する。
【０１０４】
[実施例１]
（共重合樹脂溶液の調製）
重合槽中にメタクリル酸メチル（ＭＭＡ）を６３質量部、アクリル酸（ＡＡ）を１２質量部、メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル（ＨＥＭＡ）を６質量部、ジエチレングリコールジメチルエーテル（ＤＭＤＧ）を８８質量部仕込み、攪拌し溶解させた後、２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）を７質量部添加し、均一に溶解させた。その後、窒素気流下、８５℃で２時間攪拌し、更に１００℃で１時間反応させた。得られた溶液に、更にメタクリル酸グリシジル（ＧＭＡ）を７質量部、トリエチルアミンを０．４質量部、及びハイドロキノンを０．２質量部添加し、１００℃で５時間攪拌し、共重合樹脂溶液（固形分５０％）を得た。
【０１０５】
（感光性樹脂組成物１の調製）
下記に示す各組成を混合して感光性樹脂組成物１を得た。
【０１０６】
<感光性樹脂組成物１の組成>
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（サートマー社  ＳＲ３９９）
５９質量部
・上記共重合樹脂溶液（固形分５０％）                            １４．５質量部
・Ｉｒｇａｃｕｒｅ３６９（ＢＡＳＦ社製）                          １．５質量部
・ジエチレングリコールジメチルエーテル                              ２５質量部
【０１０７】
（柱状形成物付基板の作製）
基板として、大きさが３００ｍｍ×４００ｍｍ、厚みが０．７ｍｍのガラス基板（コーニング社製１７３７ガラス）を準備した。この基板を定法にしたがって洗浄した後、上述した透明樹脂組成物１をスクリーン印刷法によりによりパターン状に配置し、乾燥させて厚さ５０μｍの感光性樹脂層を得た。
なお、スクリーンとしては、開口部の直径が１００μｍの円形状であり、ピッチが２００μｍであり、厚みが５０μｍのメタルマスクを用いた。
【０１０８】
フォトマスクを塗膜表面から１００μｍの距離に配置し、プロキシミティアライナにより２．０ｋＷの超高圧水銀ランプを用いて紫外線を１０秒間（露光量：１００ｍＪ／ｃｍ２）照射した。次いで、０．０５ｗｔ％水酸化カリウム水溶液（液温２３℃）中に１分間浸漬してアルカリ現像し、塗膜の未硬化部分のみを除去した。その後、上記基板を２００℃の雰囲気中に３０分間の加熱処理を施すことにより、柱状形成物を得た。
なお、フォトマスクとしては、開口部の直径が５０μｍの円形状であり、ピッチが２００μｍのメタルマスクを用いた。
【０１０９】
[実施例２]
下記に示す各組成を混合してドライフィルム状の感光性樹脂組成物２および３を得た後、得られたドライフィルム状の感光性樹脂組成物２および３をこの順で基板上に積層して感光性樹脂層を形成した以外は実施例１と同様にして柱状形成物を得た。
【０１１０】
<感光性樹脂組成物２の組成>
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（サートマー社  ＳＲ３９９）
５９質量部
・上記共重合樹脂溶液（固形分５０％）                            １４．５質量部
・Ｉｒｇａｃｕｒｅ３６９（ＢＡＳＦ社製）                          １．５質量部
・ジエチレングリコールジメチルエーテル                              ２５質量部
【０１１１】
<感光性樹脂組成物３の組成>
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（サートマー社  ＳＲ３９９）
５９質量部
・上記共重合樹脂溶液（固形分５０％）                            １４．５質量部
・Ｉｒｇａｃｕｒｅ９０７（ＢＡＳＦ社製）                          １．５質量部
・ジエチレングリコールジメチルエーテル                              ２５質量部
【０１１２】
[実施例３]
下記に示す各組成を混合して感光性樹脂組成物４を得た後、得られた感光性樹脂組成物４をインクジェット法により直径が１００μｍの円形状であり、ピッチが２００μｍであり、厚みが５０μｍである感光性樹脂層をパターン状に配置した以外は、実施例１と同様にして、柱状形成物を得た。
【０１１３】
<感光性樹脂組成物４の組成>
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（サートマー社  ＳＲ３９９）
５９質量部
・上記共重合樹脂溶液（固形分５０％）                            １４．５質量部
・Ｉｒｇａｃｕｒｅ３６９（ＢＡＳＦ社製）                          １．５質量部
・ジエチレングリコールジメチルエーテル                              ２５質量部
【０１１４】
[実施例４]
下記に示す各組成を混合して感光性樹脂組成物５を得た後、得られた感光性樹脂組成物５をインクジェット法により、直径が１００μｍの円形状であり、ピッチが２００μｍであり、厚みが５０μｍである感光性樹脂層をパターン状に配置した以外は、実施例１と同様にして、柱状形成物を得た。
【０１１５】
<感光性樹脂組成物５の組成>
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（サートマー社  ＳＲ３９９）
５９質量部
・上記共重合樹脂溶液（固形分５０％）                            １４．５質量部
・Ｉｒｇａｃｕｒｅ３６９（ＢＡＳＦ社製）                          １．５質量部
・ジエチレングリコールジメチルエーテル                              ２５質量部
・微粒子（直径１０〜２０μｍ、ＡＤＥＫＡ社製アデライトＡＴ）        １  重量部
【０１１６】
[比較例１]
スクリーンとして開口部の直径が１００μｍの円形状であり、ピッチが２００μｍであり、厚みが５０μｍのメタルマスクを用いて柱状形成物を直接形成し、その後、現像を行わなかった以外は、実施例１と同様にして柱状形成物を形成した。
【０１１７】
[比較例２]
ドライフィルム状の上記感光性樹脂組成物２のみにより厚さ５０μｍの感光性樹脂層を形成した以外は、実施例２と同様にして柱状形成物を形成した。
【０１１８】
[比較例３]
ドライフィルム状の上記感光性樹脂組成物３のみにより厚さ５０μｍの感光性樹脂層を形成した以外は、実施例２と同様にして柱状形成物を形成した。
【０１１９】
[比較例４]
インクジェット法により開口部の直径が１５０μｍの円形状であり、ピッチが２００μｍであり、厚みが５０μｍである柱状形成物を直接形成し、その後、現像を行わなかった以外は、実施例３と同様にして柱状形成物を形成した。
【０１２０】
[評価]
得られた柱状形成物付基板における柱状形成物の形状を表１に示す。なお、下記数値は任意に選択した１０の柱状形成物の平均を示すものである。
表１中、Δ（上底−下底）は上底の幅および下底の幅の差の絶対値を示している。
また、表１中の形状は、高さ、アスペクト比、ならびに上底の幅および下底の幅の差の絶対値が、それぞれ、５０μｍ±１０μｍ、１．５±０．５および５μｍ以下の全てを満たすものの数が任意に選択した１０本の柱状形成物中、９本以上である場合には○、５本以上である場合には△、５本未満である場合には×として評価を行った。
【０１２１】
【表１】
2015155983.tif 000003
【符号の説明】
【０１２２】
１  …  柱状形成物付基板
２  …  基板
３  …  柱状形成物
３’  …感光性樹脂層
４  …  透明電極層
５  …  土手部
【図１】
2015155983.tif 000004
【図２】
2015155983.tif 000005
【図３】
2015155983.tif 000006
【図４】
2015155983.tif 000007
【図５】
2015155983.tif 000008
【図６】
2015155983.tif 000009