(57)【要約】【課題】短時間で振動腕の周波数の調整を行うことができる振動素子の製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る振動素子の製造方法は、水晶のＺ板をパターニングして、水晶の電気軸であるＸ軸の方向に並んで配置され、水晶の機械軸であるＹ軸の方向に延在する第１振動腕３０ａおよび第２振動腕３０ｂを形成する工程と、第１振動腕３０ａおよび第２振動腕３０ｂに錘部５０ａ，５０ｂを形成する工程と、を含み、第１振動腕３０ａおよび第２振動腕３０ｂを形成する工程では、第１振動腕３０ａを第２振動腕３０ｂよりもＸ軸の負の方向側に形成し、錘部５０ａ，５０ｂを形成する工程では、第２振動腕３０ｂに形成される錘部５０ｂの質量を、第１振動腕３０ａに形成される錘部３０ａの質量よりも小さく形成する。【選択図】図１
2015090275.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶のＺ板をパターニングして、水晶の電気軸であるＸ軸の方向に並んで配置され、水晶の機械軸であるＹ軸の方向に延在する第１振動腕および第２振動腕を形成する工程と、
前記第１振動腕および前記第２振動腕に錘部を形成する工程と、
を含み、
前記第１振動腕および前記第２振動腕を形成する工程では、前記第１振動腕を前記第２振動腕よりもＸ軸の負の方向側に形成し、
前記錘部を形成する工程では、前記第２振動腕に形成される前記錘部の質量を、前記第１振動腕に形成される前記錘部の質量よりも小さく形成する、振動素子の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記錘部を形成する工程では、Ｚ軸の方向から見て、前記第２振動腕に形成される前記錘部の面積を、前記第１振動腕に形成される前記錘部の面積よりも小さく形成する、振動素子の製造方法。
【請求項３】
請求項２において、
前記錘部を形成する工程では、前記第１振動腕に形成される前記錘部の厚さと前記第２振動腕に形成される前記錘部の厚さとが等しくなるように形成する、振動素子の製造方法。
【請求項４】
請求項１において、
前記錘部を形成する工程では、前記第２振動腕に形成される前記錘部の厚さを、前記第１振動腕に形成される前記錘部の厚さよりも小さく形成する、振動素子の製造方法。
【請求項５】
請求項４において、
前記錘部を形成する工程では、Ｚ軸の方向から見て、前記第１振動腕に形成される前記錘部の面積と前記第２振動腕に形成される前記錘部の面積とが等しくなるように形成する、振動素子の製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項において、
前記第１振動腕に形成された前記錘部および前記第２振動腕に形成された前記錘部の少なくとも一方を除去して、前記第１振動腕の固有振動数および前記第２振動腕の固有振動数を調整する工程を含む、振動素子の製造方法。
【請求項７】
水晶のＺ板をパターニングして、水晶の電気軸であるＸ軸の方向に並んで配置され、水晶の機械軸であるＹ軸の方向に延在する第１振動腕および第２振動腕を形成する工程を含み、
前記第１振動腕および前記第２振動腕を形成する工程では、前記第１振動腕を前記第２振動腕よりもＸ軸の負の方向側に形成し、かつ、前記第２振動腕のＹ軸の方向の長さを前記第１振動腕のＹ軸の方向の長さよりも小さく形成する、振動素子の製造方法。
【請求項８】
水晶のＺ板をパターニングして、水晶の電気軸であるＸ軸の方向に並んで配置され、水晶の機械軸であるＹ軸の方向に延在する第１振動腕および第２振動腕を形成する工程を含み、
前記第１振動腕および前記第２振動腕を形成する工程では、前記第１振動腕を前記第２振動腕よりもＸ軸の負の方向側に形成し、かつ、前記第２振動腕のＸ軸の方向の長さを前記第１振動腕のＸ軸の方向の長さよりも大きく形成する、振動素子の製造方法。
【請求項９】
水晶のＺ板をパターニングして、水晶の電気軸であるＸ軸の方向に並んで配置され、水晶の機械軸であるＹ軸の方向に延在する第１振動腕および第２振動腕を形成する工程を含み、
前記第１振動腕および前記第２振動腕を形成する工程では、前記第１振動腕を前記第２振動腕よりもＸ軸の負の方向側に形成し、かつ、前記第１振動腕の先端および前記第２振動腕の先端に幅広部を形成し、
Ｚ軸の方向から見て、前記第２振動腕の前記幅広部の面積は、前記第１振動腕の前記幅広部の面積よりも小さい、振動素子の製造方法。
【請求項１０】
請求項７ないし９のいずれか１項において、
前記第１振動腕および前記第２振動腕に錘部を形成する工程と、
前記第１振動腕に形成された前記錘部および前記第２振動腕に形成された前記錘部の少なくとも一方を除去して、前記第１振動腕の固有振動数および前記第２振動腕の固有振動数を調整する工程と、
を含む、振動素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、回転系の回転角速度を検出するための角速度センサーとして、水晶振動片を備えた振動素子を用いた振動型圧電ジャイロスコープが利用されてきた。振動型圧電ジャイロスコープは、カーナビゲーションや、スチルカメラの手振れの検出など、各種電子機器に利用されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、基部から径方向に突出する２つの支持部と、支持部に直交する方向に向かって延びる各一対の駆動振動片（駆動振動腕）と、基部から径方向に突出して延びる検出振動片（検出振動腕）と、を備えた振動素子が開示されている。
【０００４】
ここで、このような振動素子を製造する際には、一般的に、各駆動振動腕の固有振動数の違いによって生じる振動が検出振動腕へ伝播することを防ぐために、駆動振動腕の固有振動数の調整が行われる。
【０００５】
例えば、特許文献１では、各駆動振動腕に形成された質量調整膜に対してレーザー光を照射することによってその一部を除去して、各駆動振動腕の固有振動数を調整している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−３７２３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、例えば上述した特許文献１において、各駆動振動腕の固有振動数の差が大きい場合、質量調整膜を除去する面積が大きくなり加工に時間がかかってしまう場合がある。
【０００８】
本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、短時間で振動腕の固有振動数の調整を行うことができる振動素子の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。
【００１０】
［適用例１］
本適用例に係る振動素子の製造方法は、
水晶のＺ板をパターニングして、水晶の電気軸であるＸ軸の方向に並んで配置され、水晶の機械軸であるＹ軸の方向に延在する第１振動腕および第２振動腕を形成する工程と、
前記第１振動腕および前記第２振動腕に錘部を形成する工程と、
を含み、
前記第１振動腕および前記第２振動腕を形成する工程では、前記第１振動腕を前記第２振動腕よりもＸ軸の負の方向側に形成し、
前記錘部を形成する工程では、前記第２振動腕に形成される前記錘部の質量を、前記第１振動腕に形成される前記錘部の質量よりも小さく形成する。
【００１１】
このような振動素子の製造方法では、水晶のＺ板をパターニングするときに形成されるひれ部によって生じる第１振動腕の固有振動数と第２振動腕の固有振動数のずれを、第２振動腕に形成される錘部の質量を第１振動腕に形成される錘部の質量よりも小さく形成することで補償することができる。したがって、第１振動腕および第２振動腕の固有振動数を短時間で調整することができる。
【００１２】
［適用例２］
本適用例に係る振動素子の製造方法において、
前記錘部を形成する工程では、Ｚ軸の方向から見て、前記第２振動腕に形成される前記錘部の面積を、前記第１振動腕に形成される前記錘部の面積よりも小さく形成してもよい。
【００１３】
このような振動素子の製造方法では、第２振動腕に形成される錘部の質量を第１振動腕に形成される錘部の質量よりも小さく形成することができる。したがって、第１振動腕および第２振動腕の固有振動数を短時間で調整することができる。
【００１４】
［適用例３］
本適用例に係る振動素子の製造方法において、
前記錘部を形成する工程では、前記第１振動腕に形成される前記錘部の厚さと前記第２振動腕に形成される前記錘部の厚さとが等しくなるように形成してもよい。
【００１５】
このような振動素子の製造方法では、第２振動腕に形成される錘部の質量を第１振動腕に形成される錘部の質量よりも小さく形成することができる。したがって、第１振動腕および第２振動腕の固有振動数を短時間で調整することができる。
【００１６】
［適用例４］
本適用例に係る振動素子の製造方法において、
前記錘部を形成する工程では、前記第２振動腕に形成される前記錘部の厚さを、前記第１振動腕に形成される前記錘部の厚さよりも小さく形成してもよい。
【００１７】
このような振動素子の製造方法では、第２振動腕に形成される錘部の質量を第１振動腕に形成される錘部の質量よりも小さく形成することができる。したがって、第１振動腕および第２振動腕の固有振動数を短時間で調整することができる。
【００１８】
［適用例５］
本適用例に係る振動素子の製造方法において、
前記錘部を形成する工程では、Ｚ軸の方向から見て、前記第１振動腕に形成される前記錘部の面積と前記第２振動腕に形成される前記錘部の面積とが等しくなるように形成してもよい。
【００１９】
このような振動素子の製造方法では、第２振動腕に形成される錘部の質量を第１振動腕に形成される錘部の質量よりも小さく形成することができる。したがって、第１振動腕および第２振動腕の固有振動数を短時間で調整することができる。
【００２０】
［適用例６］
本適用例に係る振動素子の製造方法において、
前記第１振動腕に形成された前記錘部および前記第２振動腕に形成された前記錘部の少なくとも一方を除去して、前記第１振動腕の固有振動数および前記第２振動腕の固有振動数を調整する工程を含んでいてもよい。
【００２１】
このような振動素子の製造方法では、第１振動腕および第２振動腕の固有振動数をより正確に調整することができる。
【００２２】
［適用例７］
本適用例に係る振動素子の製造方法は、
水晶のＺ板をパターニングして、水晶の電気軸であるＸ軸の方向に並んで配置され、水晶の機械軸であるＹ軸の方向に延在する第１振動腕および第２振動腕を形成する工程を含み、
前記第１振動腕および前記第２振動腕を形成する工程では、前記第１振動腕を前記第２振動腕よりもＸ軸の負の方向側に形成し、かつ、前記第２振動腕のＹ軸の方向の長さを前記第１振動腕のＹ軸の方向の長さよりも小さく形成する。
【００２３】
このような振動素子の製造方法では、水晶のＺ板をパターニングするときに形成されるひれ部によって生じる第１振動腕の固有振動数と第２振動腕の固有振動数のずれを、第２振動腕のＹ軸の方向の長さを第１振動腕のＹ軸の方向の長さよりも小さく形成することで補償することができる。したがって、第１振動腕および第２振動腕の固有振動数を短時間で調整することができる。
【００２４】
［適用例８］
本適用例に係る振動素子の製造方法は、
水晶のＺ板をパターニングして、水晶の電気軸であるＸ軸の方向に並んで配置され、水晶の機械軸であるＹ軸の方向に延在する第１振動腕および第２振動腕を形成する工程を含み、
前記第１振動腕および前記第２振動腕を形成する工程では、前記第１振動腕を前記第２振動腕よりもＸ軸の負の方向側に形成し、かつ、前記第２振動腕のＸ軸の方向の長さを前記第１振動腕のＸ軸の方向の長さよりも大きく形成する。
【００２５】
このような振動素子の製造方法では、水晶のＺ板をパターニングするときに形成されるひれ部によって生じる第１振動腕の固有振動数と第２振動腕の固有振動数のずれを、第２振動腕のＸ軸の方向の長さを第１振動腕のＸ軸の方向の長さよりも大きく形成することで補償することができる。したがって、第１振動腕および第２振動腕の固有振動数を短時間で調整することができる。
【００２６】
［適用例９］
本適用例に係る振動素子の製造方法は、
水晶のＺ板をパターニングして、水晶の電気軸であるＸ軸の方向に並んで配置され、水晶の機械軸であるＹ軸の方向に延在する第１振動腕および第２振動腕を形成する工程を含み、
前記第１振動腕および前記第２振動腕を形成する工程では、前記第１振動腕を前記第２振動腕よりもＸ軸の負の方向側に形成し、かつ、前記第１振動腕の先端および前記第２振動腕の先端に幅広部を形成し、
Ｚ軸の方向から見て、前記第２振動腕の前記幅広部の面積は、前記第１振動腕の前記幅広部の面積よりも小さい。
【００２７】
このような振動素子の製造方法では、水晶のＺ板をパターニングするときに形成されるひれ部によって生じる第１振動腕の固有振動数と第２振動腕の固有振動数のずれを、第２振動腕の幅広部の面積を第１振動腕の幅広部の面積よりも小さく形成することで補償することができる。したがって、第１振動腕および第２振動腕の固有振動数を短時間で調整することができる。
【００２８】
［適用例１０］
本適用例に係る振動素子の製造方法において
前記第１振動腕および前記第２振動腕に錘部を形成する工程と、
前記第１振動腕に形成された前記錘部および前記第２振動腕に形成された前記錘部の少なくとも一方を除去して、前記第１振動腕の固有振動数および前記第２振動腕の固有振動数を調整する工程と、
を含んでいてもよい。
【００２９】
このような振動素子の製造方法では、第１振動腕および第２振動腕の固有振動数をより正確に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】第１実施形態に係る振動素子を模式的に示す平面図。
【図２】第１実施形態に係る振動素子を模式的に示す断面図。
【図３】第１実施形態に係る振動素子の動作を説明するための平面図。
【図４】第１実施形態に係る振動素子の動作を説明するための平面図。
【図５】第１実施形態に係る振動素子の製造方法の一例を示すフローチャート。
【図６】第１実施形態に係る振動素子の製造工程を模式的に示す断面図。
【図７】第１実施形態に係る振動素子の製造工程を模式的に示す断面図。
【図８】第１実施形態に係る振動素子の製造工程を模式的に示す断面図。
【図９】第１実施形態の変形例に係る振動素子を模式的に示す平面図。
【図１０】第１実施形態の変形例に係る振動素子を模式的に示す断面図。
【図１１】第１実施形態の変形例に係る振動素子の製造工程を模式的に示す断面図。
【図１２】第２実施形態に係る振動素子を模式的に示す平面図。
【図１３】第２実施形態に係る振動素子を模式的に示す断面図。
【図１４】第２実施形態に係る振動素子の製造工程を模式的に示す平面図。
【図１５】第３実施形態に係る振動素子を模式的に示す平面図。
【図１６】第３実施形態に係る振動素子を模式的に示す断面図。
【図１７】第３実施形態に係る振動素子の製造工程を模式的に示す平面図。
【図１８】第４実施形態に係る振動素子を模式的に示す平面図。
【図１９】第４実施形態に係る振動素子の製造工程を模式的に示す平面図。
【図２０】第５実施形態に係る振動素子を模式的に示す平面図。
【図２１】第５実施形態に係る振動素子を模式的に示す断面図。
【図２２】第５実施形態に係る振動素子の製造方法の一例を示すフローチャート。
【図２３】第６実施形態に係る振動子を模式的に示す断面図。
【図２４】第７実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【図２５】第７実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【図２６】第７実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【図２７】第８実施形態に係る移動体を模式的に示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００３２】
１．  第１実施形態
１．１．  振動素子
まず、第１実施形態に係る振動素子について、図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係る振動素子１００を模式的に示す平面図である。
【００３３】
振動素子１００は、図１に示すように、振動片１と、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂと、を含んで構成されている。
【００３４】
振動片１は、基部１０と、連結腕２０ａ，２０ｂと、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄと、検出振動腕４０ａ，４０ｂと、を含んで構成されている。
【００３５】
振動片１の各部（基部１０、連結腕２０ａ，２０ｂ、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ、および検出振動腕４０ａ，４０ｂ）は、水晶のＺ板をパターニングして形成される。圧電単結晶である水晶は、図１に示すように、結晶軸として、電気軸であるＸ軸、機械軸であるＹ軸、光学軸であるＺ軸を有する。水晶のＺ板とは、Ｚ軸に対して略９０°の角度で切り出された（ＸＹ平面方向に切り出された）Ｚカットの水晶基板である。Ｚ板の主面は、Ｘ軸とＹ軸とが作る面（ＸＹ平面）、すなわちＺ軸方向を向く面である（図６の主面２ａ，２ｂ参照）。この水晶のＺ板の切り出しの角度は、本発明の効果が得られる範囲で、誤差が許容される。
【００３６】
振動片１は、＋Ｚ軸方向（Ｚ軸の正の方向）を向く第１主面１ａと、−Ｚ軸方向（Ｚ軸の負の方向）を向く第２主面１ｂ（図２参照）と、を有する。振動片１の主面１ａ，１ｂは、Ｚ板の主面である。振動片１の主面１ａ，１ｂの形状は、例えば、中心点Ｇに関して点対称である。中心点Ｇは、振動片１の重心の位置である。振動片１の厚さ（Ｚ軸方向の大きさ）は、例えば、１００μｍ程度である。
【００３７】
基部１０は、中心点Ｇを有する。基部１０の平面形状（Ｚ軸方向から見た形状）は、例えば矩形である。基部１０には、基部１０から−Ｘ軸方向（Ｘ軸の負の方向）に延出する第１連結腕２０ａと、基部１０から＋Ｘ軸方向（Ｘ軸の正の方向）に延出する第２連結腕２０ｂと、が設けられている。
【００３８】
第１駆動振動腕３０ａは、第１連結腕２０ａから＋Ｙ軸方向（Ｙ軸の正の方向）に延出している。第２駆動振動腕３０ｂは、第２連結腕２０ｂから＋Ｙ軸方向に延出している。すなわち、第１駆動振動腕３０ａおよび第２駆動振動腕３０ｂは、Ｙ軸方向に延在している。第１駆動振動腕３０ａおよび第２駆動振動腕３０ｂは、Ｘ軸方向に並んで配置されている。第１駆動振動腕３０ａは、第２駆動振動腕３０ｂよりも−Ｘ軸方向側に配置されている。
【００３９】
第３駆動振動腕３０ｃは、第１連結腕２０ａから−Ｙ軸方向（Ｙ軸の負の方向）に延出している。第４駆動振動腕３０ｄは、第２連結腕２０ｂから−Ｙ軸方向に延出している。すなわち、第３駆動振動腕３０ｃおよび第４駆動振動腕３０ｄは、Ｙ軸方向に延在している。第３駆動振動腕３０ｃおよび第４駆動振動腕３０ｄは、Ｘ軸方向に並んで配置されている。第３駆動振動腕３０ｃは、第４駆動振動腕３０ｄよりも−Ｘ軸方向側に配置されている。
【００４０】
駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの先端には、それぞれ幅広部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄが設けられている。幅広部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄは、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの他の部分より、Ｘ軸方向の長さが大きい（幅が大きい）。幅広部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄは、Ｚ軸方向から見て、互いに面積が等しい。
【００４１】
駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄのＹ軸方向の長さは、互いに等しい。また、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの厚さは、互いに等しい。また、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの幅広部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ以外の他の部分のＸ軸方向の長さ（幅）は、互いに等しい。
【００４２】
第１検出振動腕４０ａは、基部１０から＋Ｙ軸方向に延出している。第２検出振動腕４０ｂは、基部１０から−Ｙ軸方向に延出している。
【００４３】
検出振動腕４０ａ，４０ｂの先端には、それぞれ幅広部４２ａ，４２ｂが設けられている。幅広部４２ａ，４２ｂは、検出振動腕４０ａ，４０ｂの他の部分より、Ｘ軸方向の長さが大きい（幅が大きい）。幅広部４２ａ，４２ｂの平面形状は、例えば、略四角形である。幅広部４２ａ，４２ｂは、Ｚ軸方向から見て、互いに面積が等しい。
【００４４】
検出振動腕４０ａ，４０ｂのＹ軸方向の長さは、互いに等しい。また、検出振動腕４０ａ，４０ｂの厚さは、互いに等しい。また、検出振動腕４０ａ，４０ｂの幅広部４２ａ，４２ｂ以外の他の部分のＸ軸方向の長さは、互いに等しい。
【００４５】
第１錘部５０ａは、第１駆動振動腕３０ａの幅広部３２ａに設けられている。第２錘部５０ｂは、第２駆動振動腕３０ｂの幅広部３２ｂに設けられている。第３錘部５０ｃは、第３駆動振動腕３０ｃの幅広部３２ｃに設けられている。第４錘部５０ｄは、第４駆動振動腕３０ｄの幅広部３２ｄに設けられている。第５錘部６０ａは、第１検出振動腕４０ａの幅広部４２ａに設けられている。第６錘部６０ｂは、第２検出振動腕４０ｂの幅広部４２ｂに設けられている。
【００４６】
錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂの材質は、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ａｕ（金）等である。錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂは、クロムおよび金をこの順で積層した積層構造を有していてもよい。
【００４７】
錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂは、図示の例では、振動片１の第１主面１ａに設けられている。なお、図示はしないが、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂを第２主面１ｂに設けてもよいし、第１主面１ａおよび第２主面１ｂの両方に設けてもよい。
【００４８】
図示はしないが、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの表面には、それぞれ駆動電極（第１駆動電極、第２駆動電極）が設けられている。駆動電極は、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに駆動振動を励起させるための電極である。具体的には、例えば、第１駆動振動腕３０ａおよび第３駆動振動腕３０ｃには、第１主面１ａおよび第２主面１ｂに第２駆動電極が形成され、側面（第１主面１ａと第２主面１ｂとを接続する面）に第１駆動電極が形成されている。また、第２駆動振動腕３０ｂおよび第４駆動振動腕３０ｄには、第１主面１ａおよび第２主面１ｂに第１駆動電極が形成され、側面に第２駆動電極が形成されている。
【００４９】
また、図示はしないが、検出振動腕４０ａ，４０ｂの表面には、検出電極（第１検出電極、第２検出電極）が設けられている。検出電極は、検出振動腕４０ａ，４０ｂの振動によって検出振動腕４０ａ，４０ｂを構成する水晶が歪むことにより発生する電圧を検出するための電極である。具体的には、例えば、第１検出振動腕４０ａおよび第２検出振動腕４０ｂには、それぞれ第１主面１ａおよび第２主面１ｂに第１検出電極が設けられ、側面に第２検出電極が設けられている。
【００５０】
図２は、振動素子１００を模式的に示す断面図である。なお、図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。振動片１の＋Ｘ軸方向側の側面には、ひれ部３が形成されている。図示の例では、第１駆動振動腕３０ａ、第１検出振動腕４０ａ、および第２駆動振動腕３０ｂの＋Ｘ軸方向側の側面にひれ部３が形成されているが、図示しない第３駆動振動腕３０ｃ、第２検出振動腕４０ｂ、および第４駆動振動腕３０ｄの＋Ｘ軸方向側の側面にもひれ部３が形成されている。
【００５１】
ひれ部３は、Ｚ板をパターニングして振動片１を形成する際に、水晶の結晶面によるエッチング速度の違い（異方性）により形成される。ひれ部３は、水晶が主面に対して垂直にエッチングされずに、主面に対して所定の傾斜角でエッチングされることで形成される。すなわち、ひれ部３は、主面に対して所定の傾斜角を有する傾斜面で構成されている。なお、振動片１の−Ｘ軸方向側の側面は、図示の例では、主面に対して垂直な面である。すなわち、振動片１の−Ｘ軸方向側の側面には、ひれ部３は形成されていない。
【００５２】
このように、振動片１の＋Ｘ軸方向側の側面にはひれ部３が形成され、振動片１の−Ｘ軸方向側の側面にはひれ部３が形成されない。そのため、振動片１は、中心点Ｇを通るＹＺ平面に関して、非対称な形状を有している。
【００５３】
振動素子１００では、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの屈曲振動が検出振動腕４０ａ，４０ｂに伝わること（いわゆる振動漏れ）を防ぐために、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数を一致させることが要求される。振動漏れは、各駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数の違い（アンバランス）によって生じる。そのため、振動素子１００では、各駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数の違いを解消するために、各駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数を変化させ、各駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数が一致するように調整を行う。
【００５４】
具体的には、角速度が加わらない状態で駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを屈曲振動させたときに、検出振動腕４０ａ，４０ｂの検出電極の検出信号が零となるように調整を行う。このとき、第１検出振動腕４０ａの調整は、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの固有振動数が等しくなるように調整することで行われる。また、第２検出振動腕４０ｂの調整は、駆動振動腕３０ｃ，３０ｄの固有振動数が等しくなるように調整することで行われる。
【００５５】
ここで、例えば錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの質量を等しくした場合、第１駆動振動腕３０ａの固有振動数は、第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数よりも大きくなる。また、第３駆動振動腕３０ｃの固有振動数は、第４駆動振動腕３０ｄの固有振動数よりも大きくなる。これは、ひれ部３が＋Ｘ軸方向側の側面にのみ形成されたため、第２駆動振動腕３０ｂの剛性が第１駆動振動腕３０ａの剛性よりも小さくなるためであると考えられる。同様に、ひれ部３が＋Ｘ軸方向側の側面にのみ形成されたため、第４駆動振動腕３０ｄの剛性が第３駆動振動腕３０ｃの剛性よりも小さくなるためであると考えられる。
【００５６】
また、表１は、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの質量を等しくした参考例に係る振動素子において、駆動振動腕の固有振動数の調整のための錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの加工（除去）を行う順番を示した結果の一例を示す表である。ここでは、固有振動数のずれが大きい順に錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの加工を行っている。すなわち、最初に加工された錘部が形成された駆動振動腕は、他の駆動振動腕に比べて、固有振動数が小さいといえる。
【００５７】
【表１】
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【００５８】
表１からも、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの質量を等しくした場合、第１駆動振動腕３０ａの固有振動数は、第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数よりも大きくなり、第３駆動振動腕３０ｃの固有振動数は、第４駆動振動腕３０ｄの固有振動数よりも大きくなる傾向があることがわかる。
【００５９】
振動素子１００では、製造工程において、第２駆動振動腕３０ｂに設けられた第２錘部５０ｂの質量を、第１駆動振動腕３０ａに形成された第１錘部５０ａの質量よりも小さくすることで、第１駆動振動腕３０ａの固有振動数と第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数とが等しくなるように調整している。同様に、第４駆動振動腕３０ｄに設けられた第４錘部５０ｄの質量を、第３駆動振動腕３０ｃに形成された第３錘部５０ｃの質量よりも小さくすることで、第３駆動振動腕３０ｃの固有振動数と第４駆動振動腕３０ｄの固有振動数とが等しくなるように調整している。
【００６０】
図示の例では、Ｚ軸方向から見て、第２駆動振動腕３０ｂに形成される第２錘部５０ｂの面積を、第１駆動振動腕３０ａに形成される第１錘部５０ａの面積よりも小さく形成している。これにより、第２錘部５０ｂの質量を第１錘部５０ａの質量よりも小さくすることができる。なお、第１錘部５０ａの厚さと第２錘部５０ｂの厚さは、等しい。
【００６１】
同様に、Ｚ軸方向から見て、第４駆動振動腕３０ｄに形成される第４錘部５０ｄの面積を、第３駆動振動腕３０ｃに形成される第３錘部５０ｃの面積よりも小さく形成している。これにより、第４錘部５０ｄの質量を第３錘部５０ｃの質量よりも小さくすることができる。なお、第３錘部５０ｃの厚さと第４錘部５０ｄの厚さは、等しい。
【００６２】
次に、振動素子１００の動作について説明する。図３および図４は、振動素子１００の動作を説明するための平面図である。なお、図３および図４では、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂの図示を省略している。
【００６３】
図３に示すように、振動素子１００は、角速度が加わらない状態において、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに設けられた駆動電極（図示せず）に所定の交流電圧が印加されると、ＸＹ平面内において矢印Ａの方向に屈曲振動を行う。このとき、第１駆動振動腕３０ａおよび第３駆動振動腕３０ｃと、第２駆動振動腕３０ｂおよび第４駆動振動腕３０ｄとは、振動素子１００の中心点Ｇを通るＹＺ平面に関して面対称の振動を行う。そのため、基部１０、連結腕２０ａ，２０ｂ、検出振動腕４０ａ，４０ｂは、ほとんど振動しない。
【００６４】
駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄがこのような駆動振動を行っている状態で、図４に示すように、振動素子１００にＺ軸周りの角速度ωが加わると、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄにコリオリ力が働く。これにより、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄが矢印Ｂの方向に振動する。この矢印Ｂの方向の振動は、中心点Ｇに対して周方向の振動である。そして、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの振動によって、連結腕２０ａ，２０ｂが矢印Ｂの方向に振動する。この振動が基部１０を介して、検出振動腕４０ａ，４０ｂに伝達され、検出振動腕４０ａ，４０ｂを矢印Ｃで示すように振動させる。矢印Ｃの方向の振動は、中心点Ｇに対して矢印Ｂとは周方向に反対向きの振動である。この検出振動腕４０ａ，４０ｂの屈曲振動により検出電極（図示せず）間に発生する電位差を検出することによって、Ｚ軸まわりの回転およびその角速度等が求められる。
【００６５】
１．２．  振動素子の製造方法
次に、第１実施形態に係る振動素子１００の製造方法について図面を参照しながら説明する。図５は、第１実施形態に係る振動素子１００の製造方法の一例を示すフローチャートである。図６〜図８は、振動素子１００の製造工程を模式的に示す断面図である。
【００６６】
まず、図６に示すように、水晶のＺ板２を準備する（工程Ｓ１０）。
【００６７】
次に、水晶のＺ板をパターニングして、基部１０、連結腕２０ａ，２０ｂ、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ、および検出振動腕４０ａ，４０ｂを含む振動片１を形成する（工程Ｓ１２）。
【００６８】
具体的には、図６に示すように、Ｚ板２の両主面２ａ，２ｂに、耐蝕膜６を成膜する。耐蝕膜６は、例えば、クロムおよび金をこの順で積層した積層構造を有している。なお、耐蝕膜６は、例えば、下層として、クロム、ニッケル、ニッケルとクロムの合金等を用いることができ、上層として、金、銀等を用いることができる。次に、耐蝕膜６上にレジスト膜（図示せず）を形成し、耐蝕膜６をパターニングする。
【００６９】
図７および図８に示すように、パターニングされた耐蝕膜６をマスクとして、Ｚ板２をエッチングする。これにより、振動片１が形成される。なお、図７は、図８のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。耐蝕膜６のエッチングは、例えば、緩衝フッ酸等を用いたウエットエッチングにより行われる。
【００７０】
本工程Ｓ１２において、駆動振動腕３０ａ，３０ｂをＸ軸方向に並んで配置され、かつ、第１駆動振動腕３０ａを第２駆動振動腕３０ｂよりも−Ｘ軸方向側に位置するように形成する。同様に、駆動振動腕３０ｃ，３０ｄをＸ軸方向に並んで配置され、かつ、第３駆動振動腕３０ｃを第４駆動振動腕３０ｄよりも−Ｘ軸方向側に位置するように形成する。また、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄをＹ軸方向に延在するように形成する。
【００７１】
また、このとき、図７に示すように、振動片１の＋Ｘ軸方向側の側面にはひれ部３が形成される。また、振動片１の−Ｘ軸方向側の側面にはひれ部３が形成されずに、振動片１の主面１ａ，１ｂに対して垂直な面が形成される。
【００７２】
Ｚ板２をエッチングして振動片１が形成された後、耐蝕膜６を除去する。
【００７３】
図１に示すように、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの幅広部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄに錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄを形成し、検出振動腕４０ａ，４０ｂの幅広部４２ａ，４２ｂに錘部６０ａ，６０ｂを形成する（工程Ｓ１４）。
【００７４】
本工程Ｓ１４では、Ｚ軸の方向から見て、第２駆動振動腕３０ｂに形成される第２錘部５０ｂの面積を、第１駆動振動腕３０ａに形成される第１錘部５０ａの面積よりも小さく形成する。また、Ｚ軸の方向から見て、第４駆動振動腕３０ｄに形成される第４錘部５０ｄの面積を、第３駆動振動腕３０ｃに形成される第３錘部５０ｃの面積よりも小さく形成する。また、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの厚さが互いに等しくなるように形成する。これにより、錘部５０ｂ，５０ｄの質量を、錘部５０ａ，５０ｃの質量よりも小さく形成することができる。
【００７５】
具体的には、第１錘部５０ａのＹ軸方向の長さＬ５０ａおよび第３錘部５０ｃのＹ軸方向の長さＬ５０ｃは、例えば、２００μｍ程度である。第２錘部５０ｂのＹ軸方向の長さＬ５０ｂおよび第４錘部５０ｄのＹ軸方向の長さＬ５０ｄは、例えば、１７０μｍ程度である。なお、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄのＸ軸方向の長さ（幅）は、互いに等しい。また、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの厚さは、互いに等しく、例えば２μｍ程度である。
【００７６】
例えば、本工程Ｓ１４では、ひれ部３によって第２駆動振動腕３０ｂの剛性が第１駆動振動腕３０ａの剛性よりも低下したことにより第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数が第１駆動振動腕３０ａの固有振動数よりも小さくなった分が補償されるように、第２錘部５０ｂの質量を第１錘部５０ａの質量よりも小さく形成する。同様に、例えば、ひれ部３によって第４駆動振動腕３０ｄの剛性が第３駆動振動腕３０ｃの剛性よりも低下したことにより第４駆動振動腕３０ｄの固有振動数が第３駆動振動腕３０ｃの固有振動数よりも小さくなった分が補償されるように、第４錘部５０ｄの質量を第３錘部５０ｃの質量よりも小さく形成する。
【００７７】
本工程Ｓ１４では、具体的には、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂの平面形状に対応する窓が形成されたマスク（図示せず）を、振動片１の第１主面１ａ上に配置し、真空蒸着、またはスパッタ法により成膜を行うことで錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂを形成する。当該マスクとして、錘部５０ｂ，５０ｄに対応する窓の面積が錘部５０ａ，５０ｃに対応する窓の面積よりも小さいものを用いる。
【００７８】
なお、本工程Ｓ１４の前に、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの表面に駆動電極（図示せず）を形成し、検出振動腕４０ａ，４０ｂの表面に検出電極（図示せず）を形成してもよい。駆動電極および検出電極は、例えば、フォトグラフィー技術、およびエッチング技術等を用いて形成される。
【００７９】
次に、検出振動腕４０ａ，４０ｂの固有振動数の調整を行う（工程Ｓ１６）。
【００８０】
ここで、振動素子１００では、その測定感度を良好なものとするために、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの共振周波数と検出振動腕４０ａ，４０ｂの共振周波数との間に、一定の周波数差（以下「離調周波数」という）を持つことが要求される。この離調周波数の調整は、検出振動腕４０ａ，４０ｂに形成されている錘部６０ａ，６０ｂの一部を除去して、各検出振動腕４０ａ，４０ｂの固有振動数を変化させることで行われる。
【００８１】
本工程Ｓ１６では、検出振動腕４０ａ，４０ｂの錘部６０ａ，６０ｂの少なくとも一方を除去することで、検出振動腕４０ａ，４０ｂの固有振動数を調整し、離調周波数の調整を行う。錘部６０ａ，６０ｂの除去は、例えば、レーザーを照射することによって、錘部６０ａ，６０ｂの一部を溶融、蒸発させることによって行われる。
【００８２】
次に、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数の調整を行う（工程Ｓ１８）。
【００８３】
本工程Ｓ１８では、いわゆる振動漏れを防ぐために、各駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数の調整を行う。
【００８４】
具体的には、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに形成された錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの少なくとも一つを除去して、各駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数が一致するように調整を行う。
【００８５】
本工程Ｓ１８では、まず、角速度が加わらない状態で駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを振動させた状態で、検出振動腕４０ａ，４０ｂに設けられた検出電極から検出信号を取得する。そして、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを振動させたときに、検出振動腕４０ａ，４０ｂの検出電極の検出信号が零となるように、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄを除去する。
【００８６】
例えば、第１検出振動腕４０ａの検出電極の検出信号は、第１駆動振動腕３０ａの第１錘部５０ａを除去するとマイナスされ、第２駆動振動腕３０ｂの第２錘部５０ｂを除去するとプラスされる。また、第２検出振動腕４０ｂの検出電極の検出信号は、第３駆動振動腕３０ｃの第３錘部５０ｃを除去するとマイナスされ、第４駆動振動腕３０ｄの第４錘部５０ｄを除去するとプラスされる。
【００８７】
錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの除去は、例えば、レーザーを照射することによって、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの一部を溶融、蒸発させることによって行われる。
【００８８】
ここで、上述した錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄを形成する工程Ｓ１４において、第２錘部５０ｂの質量を第１錘部５０ａの質量よりも小さくし、第４錘部５０ｄの質量を第３錘部５０ｃの質量よりも小さくして、ひれ部３が形成されることによる各駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数のずれを補償している。
【００８９】
そのため、例えば工程Ｓ１４で錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの質量を等しく形成した場合と比べて、各駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数が揃ったバランスが良い振動素子１００が得られる。したがって、本工程Ｓ１８において、例えば錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄを除去する量を少なく、または錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄを除去しなくてもよくすることができ、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数を調整するために要する時間を短縮することができる。
【００９０】
以上の工程により、振動素子１００を製造することができる。
【００９１】
第１実施形態に係る振動素子１００の製造方法は、例えば、以下の特徴を有する。
【００９２】
第１実施形態に係る振動素子１００の製造方法では、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂを形成する工程Ｓ１４では、第２駆動振動腕３０ｂに形成される錘部５０ｂの質量を、第１駆動振動腕３０ａに形成される錘部５０ａの質量よりも小さく形成する。これにより、水晶のＺ板をパターニングする際に形成されるひれ部３によって生じる第１駆動振動腕３０ａの固有振動数と第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数のずれを補償することができる。したがって、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの固有振動数を調整する工程Ｓ１８において、例えば工程Ｓ１４で錘部５０ａ，５０ｂの質量を等しく形成した場合と比べて、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの固有振動数を調整するために要する時間を短縮することができる。
【００９３】
同様に、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂを形成する工程Ｓ１４では、第４駆動振動腕３０ｄに形成される錘部５０ｄの質量を、第３駆動振動腕３０ｃに形成される錘部５０ｃの質量よりも小さく形成する。これにより、水晶のＺ板をパターニングする際に形成されるひれ部３によって生じる第３駆動振動腕３０ｃの固有振動数と第４駆動振動腕３０ｄの固有振動数のずれを補償することができる。したがって、駆動振動腕３０ｃ，３０ｄの固有振動数を調整する工程Ｓ１８において、例えば工程Ｓ１４で錘部５０ｃ，５０ｄの質量を等しく形成した場合と比べて、駆動振動腕３０ｃ，３０ｄの固有振動数を調整するために要する時間を短縮することができる。
【００９４】
第１実施形態に係る振動素子１００の製造方法では、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂを形成する工程Ｓ１４では、Ｚ軸の方向から見て、第２駆動振動腕３０ｂに形成される第２錘部５０ｂの面積を、第１駆動振動腕３０ａに形成される第１錘部５０ａの面積よりも小さく形成する。また、第１駆動振動腕３０ａに形成される第１錘部５０ａの厚さと、第２駆動振動腕３０ｂに形成される第２錘部５０ｂの厚さとが等しくなるように形成する。これにより、第２錘部５０ｂの質量を第１錘部５０ａの質量よりも小さくすることができる。
【００９５】
同様に、工程Ｓ１４では、Ｚ軸の方向から見て、第４駆動振動腕３０ｄに形成される第４錘部５０ｄの面積を、第３駆動振動腕３０ｃに形成される第３錘部５０ｃの面積よりも小さく形成する。また、第３駆動振動腕３０ｃに形成される第３錘部５０ｃの厚さと、第４駆動振動腕３０ｄに形成される第４錘部５０ｄの厚さとが等しくなるように形成する。これにより、第４錘部５０ｄの質量を第３錘部５０ｃの質量よりも小さくすることができる。
【００９６】
第１実施形態に係る振動素子１００の製造方法では、第１駆動振動腕３０ａに形成された第１錘部５０ａおよび第２駆動振動腕３０ｂに形成された第２錘部５０ｂの少なくとも一方を除去して、第１駆動振動腕３０ａの固有振動数および第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数を調整する工程Ｓ１８を含む。これにより、第１駆動振動腕３０ａおよび第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数をより正確に調整することができる。したがって、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの屈曲振動が第１検出振動腕４０ａに伝わることをより確実に防ぐことができる。
【００９７】
同様に、第３駆動振動腕３０ｃに形成された第３錘部５０ｃおよび第４駆動振動腕３０ｄに形成された第４錘部５０ｄの少なくとも一方を除去して、第３駆動振動腕３０ｃの固有振動数および第４駆動振動腕３０ｄの固有振動数を調整する工程Ｓ１８を含む。これにより、第３駆動振動腕３０ｃおよび第４駆動振動腕３０ｄの固有振動数をより正確に調整することができる。したがって、駆動振動腕３０ｃ，３０ｄの屈曲振動が第２検出振動腕４０ｂに伝わることをより確実に防ぐことができる。
【００９８】
１．３．  変形例
次に、第１実施形態に係る振動素子の変形例について図面を参照しながら説明する。図９は、第１実施形態の変形例に係る振動素子２００を模式的に示す平面図である。図１０は、振動素子２００を模式的に示す断面図であり、図９のＸ−Ｘ線断面図である。
【００９９】
以下、振動素子２００において、上述した振動素子１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１００】
上述した振動素子１００の例では、図１に示すように、Ｚ軸の方向から見て、第２錘部５０ｂの面積を第１錘部５０ａの面積よりも小さく形成することで、第２錘部５０ｂの質量を第１錘部５０ａの質量よりも小さくしていた。同様に、Ｚ軸の方向から見て、第４錘部５０ｄの面積を第３錘部５０ｃの面積よりも小さく形成することで、第４錘部５０ｄの質量を第３錘部５０ｃの質量よりも小さくしていた。
【０１０１】
これに対して、振動素子２００では、図９および図１０に示すように、第２錘部５０ｂの厚さを第１錘部５０ａの厚さよりも小さくすることで、第２錘部５０ｂの質量を第１錘部５０ａの質量よりも小さくしている。同様に、第４錘部５０ｄの厚さを第３錘部５０ｃの厚さよりも小さくすることで、第４錘部５０ｄの質量を第３錘部５０ｃの質量よりも小さくしている。
【０１０２】
なお、振動素子２００では、Ｚ軸の方向から見て、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの面積は、互いに等しい。
【０１０３】
次に、第１実施形態の変形例に係る振動素子の製造方法について図面を参照しながら説明する。図１１は、第１実施形態の変形例に係る振動素子２００の製造工程を模式的に示す断面図である。なお、図１１は、図１０に対応している。なお、ここでは、上述した図５に示す第１実施形態に係る振動素子の製造方法の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
【０１０４】
本変形例では、図５に示す錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂを形成する工程Ｓ１４において、第２駆動振動腕３０ｂに形成される第２錘部５０ｂの厚さを、第１駆動振動腕３０ａに形成される第１錘部５０ａの厚さよりも小さく形成する。同様に、第４駆動振動腕３０ｄに形成される第４錘部５０ｄの厚さを、第３駆動振動腕３０ｃに形成される第３錘部５０ｃの厚さよりも小さく形成する。
【０１０５】
このとき、Ｚ軸の方向から見て、第１錘部５０ａの面積と、第２錘部５０ｂの面積とが等しくなるように形成する。同様にＺ軸の方向から見て、第３錘部５０ｃの面積と第４錘部５０ｄの面積とが等しくなるように形成する。
【０１０６】
具体的には、まず、図１１に示すように、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂの平面形状に対応する窓が形成されたマスク（図示せず）を、振動片１の第１主面１ａ上に配置し、真空蒸着、またはスパッタ法により成膜を行うことで錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂを形成する。このとき用いるマスクは、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄに対応する窓の面積が等しい。ここでは、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの厚さが互いに等しく形成される。
【０１０７】
次に、図１０に示すように、錘部５０ａ，５０ｃの平面形状に対応する窓が形成されたマスク（図示せず）を、振動片１の第１主面１ａ上に配置し、真空蒸着、またはスパッタ法により成膜を行うことで錘部５０ａ，５０ｃを形成する。これにより、錘部５０ａ，５０ｃの厚さのみが大きくなり、錘部５０ｂ，５０ｄの厚さを錘部５０ａ，５０ｃの厚さよりも小さく形成することができる。
【０１０８】
本変形例では、工程Ｓ１４において、駆動振動腕３０ｂ，３０ｄに形成される錘部５０ｂ，５０ｄの厚さを、駆動振動腕３０ａ，３０ｃに形成される錘部５０ａ，５０ｃの厚さよりも小さく形成する。また、Ｚ軸の方向から見て、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの面積を等しく形成する。これにより、錘部５０ｂ，５０ｄの質量を錘部５０ａ，５０ｃの質量よりも小さくすることができる。
【０１０９】
したがって、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数を調整する工程Ｓ１８において、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数を短時間で調整することができる。
【０１１０】
２．  第２実施形態
２．１．  振動素子
次に、第２実施形態に係る振動素子について、図面を参照しながら説明する。図１２は、第２実施形態に係る振動素子３００を模式的に示す平面図である。図１３は、振動素子３００を模式的に示す断面図であり、図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線断面図である。
【０１１１】
以下、第２実施形態に係る振動素子３００において、上述した振動素子１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１１２】
上述した振動素子１００では、図１および図２に示すように、ひれ部３が形成されることによって生じる駆動振動腕３０ａ，３０ｃの固有振動数と駆動振動腕３０ｂ，３０ｄの固有振動数のずれを、駆動振動腕３０ｂ，３０ｄに形成される錘部５０ｂ，５０ｄの質量を駆動振動腕３０ａ，３０ｃに形成される錘部５０ａ，５０ｃの質量よりも小さくすることで補償していた。
【０１１３】
これに対して、振動素子３００では、図１２に示すように、ひれ部３が形成されることによって生じる駆動振動腕３０ａ，３０ｃの固有振動数と駆動振動腕３０ｂ，３０ｄの固有振動数のずれを、駆動振動腕３０ｂ，３０ｄのＹ軸方向の長さを駆動振動腕３０ａ，３０ｃのＹ軸方向の長さよりも小さくすることで補償している。
【０１１４】
第２駆動振動腕３０ｂのＹ軸方向の長さＬ３０ｂは、第１駆動振動腕３０ａのＹ軸方向の長さＬ３０ａよりも小さい。また、第２駆動振動腕３０ｂの厚さと第１駆動振動腕３０ａの厚さは、等しい。また、第２駆動振動腕３０ｂのＸ軸方向の長さと第１駆動振動腕３０ａのＸ軸方向の長さは、等しい。
【０１１５】
同様に、第４駆動振動腕３０ｄのＹ軸方向の長さＬ３０ｄは、第３駆動振動腕３０ｃのＹ軸方向の長さＬ３０ｃよりも小さい。また、第４駆動振動腕３０ｄの厚さと第３駆動振動腕３０ｃの厚さは、等しい。また、第４駆動振動腕３０ｄのＸ軸方向の長さと第３駆動振動腕３０ｃのＸ軸方向の長さは、等しい。
【０１１６】
２．２．  振動素子の製造方法
次に、第２実施形態に係る振動素子３００の製造方法について図面を参照しながら説明する。図１４は、振動素子３００の製造工程を模式的に示す平面図である。なお、ここでは、上述した図５に示す第１実施形態に係る振動素子の製造方法の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
【０１１７】
本実施形態では、図５に示すＺ板２をパターニングして振動片１を形成する工程Ｓ１２において、図１４に示すように、第２駆動振動腕３０ｂのＹ軸方向の長さＬ３０ｂを第１駆動振動腕３０ａのＹ軸方向の長さＬ３０ａよりも小さく形成する。これにより、第２駆動振動腕３０ｂの剛性を高めることができ、ひれ部３が形成されることによって生じる第１駆動振動腕３０ａの固有振動数と第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数のずれを補償することができる。
【０１１８】
同様に、工程Ｓ１２において、第４駆動振動腕３０ｄのＹ軸方向の長さＬ３０ｄを第３駆動振動腕３０ｃのＹ軸方向の長さＬ３０ｃよりも小さく形成する。これにより、第４駆動振動腕３０ｄの剛性を高めることができ、ひれ部３が形成されることによって生じる第３駆動振動腕３０ｃの固有振動数と第４駆動振動腕３０ｄの固有振動数のずれを補償することができる。
【０１１９】
また、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂを形成する工程Ｓ１４では、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの質量が等しくなるように形成する。
【０１２０】
第２実施形態に係る振動素子３００の製造方法では、上述のように、振動片１を形成する工程Ｓ１２において、ひれ部３が形成されることによって生じる第１駆動振動腕３０ａの固有振動数と第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数のずれを補償することができる。同様に、ひれ部３が形成されることによって生じる第３駆動振動腕３０ｃの固有振動数と第４駆動振動腕３０ｄの固有振動数のずれを補償することができる。
【０１２１】
したがって、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数を調整する工程Ｓ１８において、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数を短時間で調整することができる。
【０１２２】
３．  第３実施形態
３．１．  振動素子
次に、第３実施形態に係る振動素子について、図面を参照しながら説明する。図１５は、第３実施形態に係る振動素子４００を模式的に示す平面図である。図１６は、振動素子４００を模式的に示す断面図であり、図１５のＸＶＩ−ＸＶＩ線断面図である。
【０１２３】
以下、第３実施形態に係る振動素子４００において、上述した振動素子１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１２４】
上述した振動素子１００では、図１および図２に示すように、ひれ部３が形成されることによって生じる駆動振動腕３０ａ，３０ｃの固有振動数と駆動振動腕３０ｂ，３０ｄの固有振動数のずれを、駆動振動腕３０ｂ，３０ｄに形成される錘部５０ｂ，５０ｄの質量を駆動振動腕３０ａ，３０ｃに形成される錘部５０ａ，５０ｃの質量よりも小さくすることで補償していた。
【０１２５】
これに対して、振動素子４００では、図１５および図１６に示すように、ひれ部３が形成されることによって生じる駆動振動腕３０ａ，３０ｃの固有振動数と駆動振動腕３０ｂ，３０ｄの固有振動数のずれを、駆動振動腕３０ｂ，３０ｄのＸ軸方向の長さ（幅）を駆動振動腕３０ａ，３０ｃのＸ軸方向の長さ（幅）よりも小さくすることで補償している。
【０１２６】
第２駆動振動腕３０ｂのＸ軸方向の長さＷ３０ｂは、第１駆動振動腕３０ａのＸ軸方向の長さＷ３０ａよりも大きい。また、第２駆動振動腕３０ｂの厚さと第１駆動振動腕３０ａの厚さは、等しい。また、第２駆動振動腕３０ｂのＹ軸方向の長さと第１駆動振動腕３０ａのＹ軸方向の長さは、等しい。
【０１２７】
同様に、第４駆動振動腕３０ｄのＸ軸方向の長さは、第３駆動振動腕３０ｃのＸ軸方向の長さよりも大きい。また、第４駆動振動腕３０ｄの厚さと第３駆動振動腕３０ｃの厚さは、等しい。また、第４駆動振動腕３０ｄのＹ軸方向の長さと第３駆動振動腕３０ｃのＹ軸方向の長さは、等しい。
【０１２８】
３．２．  振動素子の製造方法
次に、第３実施形態に係る振動素子４００の製造方法について図面を参照しながら説明する。図１７は、振動素子４００の製造工程を模式的に示す平面図である。なお、ここでは、上述した図５に示す第１実施形態に係る振動素子の製造方法の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
【０１２９】
本実施形態では、図５に示すＺ板２をパターニングして駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを含む振動片１を形成する工程Ｓ１２において、図１７に示すように、第２駆動振動腕３０ｂのＸ軸方向の長さＷ３０ｂを第１駆動振動腕３０ａのＸ軸方向の長さＷ３０ａよりも小さく形成する。これにより、第２駆動振動腕３０ｂの剛性を高めることができ、ひれ部３が形成されることによって生じる第１駆動振動腕３０ａの固有振動数と第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数のずれを補償することができる。
【０１３０】
同様に、工程Ｓ１２において、第４駆動振動腕３０ｄのＸ軸方向の長さを第３駆動振動腕３０ｃのＸ軸方向の長さよりも小さく形成する。これにより、第４駆動振動腕３０ｄの剛性を高めることができ、ひれ部３が形成されることによって生じる第３駆動振動腕３０ｃの固有振動数と第４駆動振動腕３０ｄの固有振動数のずれを補償することができる。
【０１３１】
また、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂを形成する工程Ｓ１４では、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの質量が等しくなるように形成する。
【０１３２】
第３実施形態に係る振動素子４００の製造方法では、上述のように、振動片１を形成する工程Ｓ１２において、ひれ部３が形成されることによって生じる第１駆動振動腕３０ａの固有振動数と第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数のずれを補償することができる。同様に、ひれ部３が形成されることによって生じる第３駆動振動腕３０ｃの固有振動数と第４駆動振動腕３０ｄの固有振動数のずれを補償することができる。
【０１３３】
したがって、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数を調整する工程Ｓ１８において、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数を短時間で調整することができる。
【０１３４】
４．  第４実施形態
４．１．  振動素子
次に、第４実施形態に係る振動素子について、図面を参照しながら説明する。図１８は、第４実施形態に係る振動素子５００を模式的に示す平面図である。
【０１３５】
以下、第４実施形態に係る振動素子５００において、上述した振動素子１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１３６】
上述した振動素子１００では、図１および図２に示すように、ひれ部３が形成されることによって生じる駆動振動腕３０ａ，３０ｃの固有振動数と駆動振動腕３０ｂ，３０ｄの固有振動数のずれを、駆動振動腕３０ｂ，３０ｄに形成される錘部５０ｂ，５０ｄの質量を駆動振動腕３０ａ，３０ｃに形成される錘部５０ａ，５０ｃの質量よりも小さくすることで補償していた。
【０１３７】
これに対して、振動素子５００では、図１８に示すように、ひれ部３が形成されることによって生じる駆動振動腕３０ａ，３０ｃの固有振動数と駆動振動腕３０ｂ，３０ｄの固有振動数のずれを、Ｚ軸方向から見て、駆動振動腕３０ｂ，３０ｄの幅広部３２ｂ，３２ｄの面積を駆動振動腕３０ａ，３０ｃの幅広部３２ａ，３２ｃの面積よりも小さくすることで補償している。
【０１３８】
図示の例では、第２駆動振動腕３０ｂの幅広部３２ｂのＸ軸方向の長さを、第１駆動振動腕３０ａの幅広部３２ａのＸ軸方向の長さよりも小さくすることで、Ｚ軸方向から見て、幅広部３２ｂの面積を幅広部３２ａの面積よりも小さくしている。これにより、幅広部３２ｂの質量を幅広部３２ａの質量よりも小さくすることができる。
【０１３９】
なお、図示はしないが、幅広部３２ｂのＹ軸方向の長さを、幅広部３２ａのＹ軸方向の長さよりも小さくすることで、幅広部３２ｂの面積を幅広部３２ａの面積よりも小さくしてもよい。
【０１４０】
同様に、第４駆動振動腕３０ｄの幅広部３２ｄのＸ軸方向の長さを、第３駆動振動腕３０ｃの幅広部３２ｃのＸ軸方向の長さよりも小さくすることで、Ｚ軸方向から見て、幅広部３２ｄの面積を幅広部３２ｃの面積よりも小さくしている。これにより、幅広部３２ｄの質量を幅広部３２ｃの質量よりも小さくすることができる。
【０１４１】
なお、図示はしないが、幅広部３２ｄのＹ軸方向の長さを、幅広部３２ｃのＹ軸方向の長さよりも小さくすることで、幅広部３２ｄの面積を幅広部３２ｃの面積よりも小さくしてもよい。
【０１４２】
振動素子５００では、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの質量は、等しい。また、幅広部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄの厚さは、等しい。
【０１４３】
４．２．  振動素子の製造方法
次に、第４実施形態に係る振動素子５００の製造方法について図面を参照しながら説明する。図１９は、振動素子５００の製造工程を模式的に示す平面図である。なお、ここでは、上述した図５に示す第１実施形態に係る振動素子の製造方法の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
【０１４４】
本実施形態では、図５に示すＺ板２をパターニングして駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを含む振動片１を形成する工程Ｓ１２において、図１９に示すように、Ｚ軸の方向から見て、第２駆動振動腕３０ｂの幅広部３２ｂの面積を、第１駆動振動腕３０ａの幅広部３２ａの面積よりも小さく形成する。これにより、幅広部３２ｂの質量を幅広部３２ａの質量よりも小さくすることができ、ひれ部３が形成されることによって生じる第１駆動振動腕３０ａの固有振動数と第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数のずれを補償することができる。
【０１４５】
同様に、Ｚ軸の方向から見て、第４駆動振動腕３０ｄの幅広部３２ｄの面積を、第３駆動振動腕３０ｃの幅広部３２ｃの面積よりも小さく形成する。これにより、幅広部３２ｄの質量を幅広部３２ｃの質量よりも小さくすることができ、ひれ部３が形成されることによって生じる第３駆動振動腕３０ｃの固有振動数と第４駆動振動腕３０ｄの固有振動数のずれを補償することができる。
【０１４６】
また、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，６０ａ，６０ｂを形成する工程Ｓ１４では、錘部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの質量が等しくなるように形成する。
【０１４７】
第４実施形態に係る振動素子５００の製造方法では、上述のように、振動片１を形成する工程Ｓ１２において、ひれ部３が形成されることによって生じる第１駆動振動腕３０ａの固有振動数と第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数のずれを補償することができる。同様に、ひれ部３が形成されることによって生じる第３駆動振動腕３０ｃの固有振動数と第４駆動振動腕３０ｄの固有振動数のずれを補償することができる。
【０１４８】
したがって、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数を調整する工程Ｓ１８において、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄの固有振動数を短時間で調整することができる。
【０１４９】
５．  第５実施形態
次に、第５実施形態に係る振動素子について図面を参照しながら説明する。図２０は、第５実施形態に係る振動素子６００を模式的に示す平面図である。以下、第５実施形態に係る振動素子６００において、上述した振動素子１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１５０】
振動素子６００は、図２０に示すように、振動片１と、錘部５０ａ，５０ｂと、を含んで構成されている。
【０１５１】
振動片１は、基部１０と、第１駆動振動腕３０ａと、第２駆動振動腕３０ｂと、第１検出振動腕４０ａと、第２検出振動腕４０ｂと、を含んで構成されている。振動片１は、水晶のＺ板をパターニングすることで形成される。
【０１５２】
第１駆動振動腕３０ａおよび第２駆動振動腕３０ｂは、Ｘ軸方向に並んで配置されている。第１駆動振動腕３０ａは、第２駆動振動腕３０ｂよりも−Ｘ軸方向に位置している。第１駆動振動腕３０ａおよび第２駆動振動腕３０ｂは、基部１０から＋Ｙ軸方向に延出している。すなわち、第１駆動振動腕３０ａおよび第２駆動振動腕３０ｂは、Ｙ軸方向に延在している。
【０１５３】
第１検出振動腕４０ａおよび第２検出振動腕４０ｂは、Ｘ軸方向に並んで配置されている。第１検出振動腕４０ａは、第２検出振動腕４０ｂよりも−Ｘ軸方向に位置している。第１検出振動腕４０ａおよび第２検出振動腕４０ｂは、基部１０から−Ｙ軸方向に延出している。すなわち、第１検出振動腕４０ａおよび第２検出振動腕４０ｂは、Ｙ軸方向に延在している。
【０１５４】
第１駆動振動腕３０ａの先端には、第１錘部５０ａが設けられている。また、第２駆動振動腕３０ｂの先端には、第２錘部５０ｂが設けられている。第２錘部５０ｂの質量は、第１錘部５０ａの質量よりも小さい。
【０１５５】
図２１は、振動素子６００を模式的に示す断面図である。なお、図２１は、図２０のＸＸＩ−ＸＸＩ線断面図である。第１駆動振動腕３０ａの＋Ｘ軸方向側の側面、および第２駆動振動腕３０ｂの＋Ｘ軸方向側の側面には、ひれ部３が形成されている。
【０１５６】
次に、振動素子６００の動作について説明する。
【０１５７】
振動素子６００は、角速度が加わらない状態において、第１駆動振動腕３０ａおよび第２駆動振動腕３０ｂに設けられた駆動電極（図示せず）に、所定の交流電圧が印加されると、ＸＹ平面内で互いに逆向きに屈曲運動する。
【０１５８】
駆動振動腕３０ａ，３０ｂがこのような駆動振動を行っている状態で、振動素子６００にＹ軸周りの角速度が加わると、この角速度に応じたコリオリ力が働き、駆動振動腕３０ａ，３０ｂは、Ｚ軸方向に互いに逆向きに屈曲振動する。この屈曲振動に共振して検出振動腕４０ａ，４０ｂは、Ｚ軸方向に互いに逆向きに屈曲振動する。この検出振動腕４０ａ，４０ｂの振動（屈曲振動）により検出電極（図示せず）間に発生する電位差を検出することによって、Ｙ軸まわりの回転およびその角速度等が求められる。
【０１５９】
５．２．  振動素子の製造方法
次に、第５実施形態に係る振動素子６００の製造方法について図面を参照しながら説明する。図２２は、第５実施形態に係る振動素子６００の製造方法の一例を示すフローチャートである。なお、ここでは、上述した図５に示す第１実施形態に係る振動素子の製造方法の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
【０１６０】
まず、水晶のＺ板を準備する（工程Ｓ２０）。
【０１６１】
次に、水晶のＺ板をパターニングして、基部１０、連結腕２０ａ，２０ｂ、駆動振動腕３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ、および検出振動腕４０ａ，４０ｂを含む振動片１を形成する（工程Ｓ２２）。
【０１６２】
このとき、図２１に示すように、振動片１の＋Ｘ軸方向側の側面にはひれ部３が形成される。また、振動片１の−Ｘ軸方向側の側面にはひれ部３が形成されずに、振動片１の主面１ａ，１ｂに対して垂直な面が形成される。
【０１６３】
図２０に示すように、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの先端に錘部５０ａ，５０ｂを形成する（工程Ｓ２４）。
【０１６４】
このとき、Ｚ軸の方向から見て、第２駆動振動腕３０ｂに形成される第２錘部５０ｂの面積を、第１駆動振動腕３０ａに形成される第１錘部５０ａの面積よりも小さく形成する。なお、錘部５０ａ，５０ｂの厚さは、互いに等しく形成される。これにより、第２錘部５０ｂの質量を、第１錘部５０ａの質量よりも小さく形成することができ、ひれ部３が形成されることによって生じる第１駆動振動腕３０ａの固有振動数と第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数のずれを補償することができる。
【０１６５】
なお、本工程Ｓ２４の前に、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの表面に駆動電極（図示せず）を形成し、検出振動腕４０ａ，４０ｂの表面に検出電極（図示せず）を形成してもよい。
【０１６６】
次に、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの固有振動数の調整を行う（工程Ｓ２６）。本工程Ｓ２６では、駆動振動腕３０ａ，３０ｂに形成された錘部５０ａ，５０ｂの少なくとも一つを除去して、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの固有振動数が一致するように各駆動振動腕３０ａ，３０ｂの固有振動数の調整を行う。錘部５０ａ，５０ｂの除去は、例えば、レーザーを照射することによって、錘部５０ａ，５０ｂを溶融、蒸発させることによって行われる。
【０１６７】
ここで、上述した錘部５０ａ，５０ｂを形成する工程Ｓ２４において、第２錘部５０ｂの質量を第１錘部５０ａの質量よりも小さくしている。そのため、例えば工程Ｓ２４で錘部５０ａ，５０ｂの質量を等しく形成した場合と比べて、各駆動振動腕３０ａ，３０ｂの固有振動数が揃ったバランスが良い振動素子６００が得られる。したがって、本工程Ｓ２６において、例えば錘部５０ａ，５０ｂを除去する量を少なく、または錘部５０ａ，５０ｂを除去しなくてもよくすることができ、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの固有振動数を調整するために要する時間を短縮することができる。
【０１６８】
以上の工程により、振動素子６００を製造することができる。
【０１６９】
なお、図示はしないが、工程Ｓ２４において、第２駆動振動腕３０ｂに形成される第２錘部５０ｂの厚さを、第１駆動振動腕３０ａに形成される第１錘部５０ａの厚さよりも小さくすることで、第２駆動振動腕３０ｂに形成される錘部５０ｂの質量を、第１駆動振動腕３０ａに形成される錘部５０ａの質量よりも小さく形成してもよい。
【０１７０】
第５実施形態に係る振動素子６００の製造方法では、錘部５０ａ，５０ｂを形成する工程Ｓ２４では、第２駆動振動腕３０ｂに形成される錘部５０ｂの質量を、第１駆動振動腕３０ａに形成される錘部５０ａの質量よりも小さく形成する。これにより、ひれ部３が形成されることによって生じる第１駆動振動腕３０ａの固有振動数と第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数のずれを補償することができる。したがって、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの固有振動数を調整する工程Ｓ２６において、例えば工程Ｓ２４で錘部５０ａ，５０ｂの質量を等しく形成した場合と比べて、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの固有振動数を調整するために要する時間を短縮することができる。
【０１７１】
５．３．  変形例
次に、振動素子６００の変形例について説明する。上述した実施形態では、第２錘部５０ｂの質量を第１錘部５０ａの質量よりも小さくすることで、ひれ部３が形成されることによって生じる第１駆動振動腕３０ａの固有振動数と第２駆動振動腕３０ｂの固有振動数のずれを補償していた。
【０１７２】
これに対して、第２駆動振動腕３０ｂのＹ軸の方向の長さを第１駆動振動腕のＹ軸の方向の長さよりも小さく形成することで、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの固有振動数のずれを補償してもよい（第２実施形態参照）。
【０１７３】
また、第２駆動振動腕３０ｂのＸ軸の方向の長さを第１駆動振動腕のＸ軸の方向の長さよりも大きく形成することで、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの固有振動数のずれを補償してもよい（第３実施形態参照）。
【０１７４】
また、Ｚ軸の方向から見て、第２駆動振動腕３０ｂの幅広部３２ｂの面積を、第１駆動振動腕３０ａの幅広部３２ａの面積よりも小さくすることで、駆動振動腕３０ａ，３０ｂの固有振動数のずれを補償してもよい（第３実施形態参照）。
【０１７５】
６．  第６実施形態
次に、第６実施形態に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図２３は、第６実施形態に係る振動子７００を模式的に示す断面図である。振動子７００は、本発明に係る振動素子を含む。ここでは、本発明に係る振動素子として、振動素子１００を用いた例について説明する。なお、図２３では、便宜上、振動素子１００を簡略化して図示している。
【０１７６】
振動子７００は、図２３に示すように、振動素子１００と、リッド７２０と、パッケージベース７３０と、支持基板７４０と、リード７５０と、ＩＣチップ７７０と、を含んで構成されている。
【０１７７】
パッケージベース７３０は、開口を有することができ、該開口内に振動素子１００を収容することができる。パッケージベース７３０の材質は、例えば、セラミック、ガラス等である。
【０１７８】
リッド７２０は、パッケージベース７３０上に配置されている。リッド７２０は、パッケージベース７３０の開口を封止している。リッド７２０の材質は、例えば、４２アロイ（鉄にニッケルが４２％含有された合金）やコバール（鉄、ニッケルおよびコバルトの合金）等である。リッド７２０およびパッケージベース７３０によって、パッケージが構成されている。
【０１７９】
パッケージベース７３０およびリッド７２０によって形成されるキャビティー７３２は、振動素子１００が動作するための空間となる。キャビティー７３２は密閉されており、キャビティー７３２を減圧空間や不活性ガス雰囲気とすることができる。
【０１８０】
支持基板７４０は、キャビティー７３２に収容されている。図示の例では、支持基板７４０は、リード７５０を介してパッケージベース７３０に固定されている。支持基板７４０の材質は、例えば、ポリイミドなどの樹脂である。支持基板７４０は、支持基板７４０の上面から下面まで貫通している開口部７４２を有することができる。
【０１８１】
リード７５０は、キャビティー７３２に収容されている。リード７５０の材質は、例えば、銅、金、ニッケル、または、これらの合金等である。図示の例では、リード７５０は、支持基板７４０の下面側から、開口部７４２を介して、支持基板７４０の上面側まで、延びている。リード７５０の一方側の端部７５２の上面は、例えば、接着材によって支持基板７４０の下面と接着されている。一方側の端部７５２の下面は、例えば、ろう材７８０によってパッケージベース７３０の内面に形成された配線７８４と接着されている。リード７５０の他方側の端部７５４の上面は、例えば熱圧着によって振動素子１００の基部１０（図１参照）に形成された端子（図示せず）と接着されている。振動素子１００は、リード７５０によって支持されている。
【０１８２】
ＩＣチップ７７０は、キャビティー７３２に収容されている。図示の例では、ＩＣチップ７７０は、ろう材７８２によって、パッケージベース７３０の底面（内側の底面）に実装されている。ＩＣチップ７７０は、例えばワイヤー７８６によって、パッケージベース７３０に形成された配線７８４と電気的に接続されている。なお、図示はしないが、ＩＣチップ７７０は、キャビティー７３２の外部に設けられていてもよい。ＩＣチップ７７０には、振動素子１００を駆動振動させるための駆動回路と、角速度が加わったときに振動素子１００に生じる検出振動を検出する検出回路と、が組み込まれている。
【０１８３】
７．  第７実施形態
次に、第７実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。第７実施形態に係る電子機器は、本発明に係る振動子を含む。以下では、本発明に係る振動子として、振動子７００を含む電子機器について、説明する。
【０１８４】
図２４は、第７実施形態に係る電子機器として、モバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００を模式的に示す斜視図である。
【０１８５】
図２４に示すように、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を有する表示ユニット１１０６と、により構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
【０１８６】
このようなパーソナルコンピューター１１００には、振動子７００が内蔵されている。
【０１８７】
図２５は、第７実施形態に係る電子機器として、携帯電話機（ＰＨＳも含む）１２００を模式的に示す斜視図である。
【０１８８】
図２５に示すように、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。
【０１８９】
このような携帯電話機１２００には、振動子７００が内蔵されている。
【０１９０】
図２６は、第７実施形態に係る電子機器として、デジタルスチルカメラ１３００を模式的に示す斜視図である。なお、図２６には、外部機器との接続についても簡易的に示している。
【０１９１】
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１９２】
デジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
【０１９３】
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１９４】
撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。
【０１９５】
また、このデジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子１３１２には、テレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４には、パーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
【０１９６】
このようなデジタルスチルカメラ１３００には、振動子７００が内蔵されている。
【０１９７】
なお、振動子７００を備えた電子機器は、図２４に示すパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図２５に示す携帯電話機、図２６に示すデジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ヘッドマウントディスプレイ、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、ロケット、船舶の計器類）、ロボットや人体などの姿勢制御、フライトシミュレーターなどに適用することができる。
【０１９８】
８．  第８実施形態
次に、第８実施形態に係る移動体について、図面を参照しながら説明する。第８実施形態に係る移動体は、本発明に係る振動子を含む。以下では、本発明に係る振動子として、振動子７００を含む移動体について、説明する。
【０１９９】
図２７は、第８実施形態に係る移動体として、自動車１５００を模式的に示す斜視図である。
【０２００】
自動車１５００には、振動子７００が内蔵されている。具体的には、図２７に示すように、自動車１５００の車体１５０２には、自動車１５００の角速度を検知する振動子７００を内蔵してエンジンの出力を制御する電子制御ユニット（ＥＣＵ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｕｎｉｔ）１５０４が搭載されている。また、振動子７００は、他にも、車体姿勢制御ユニット、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Ｔｉｒｅ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）、に広く適用することができる。
【０２０１】
上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。
【０２０２】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０２０３】
１…振動片、１ａ…第１主面、１ｂ…第２主面、２…Ｚ板、２ａ，２ｂ…主面、３…ひれ部、６…耐蝕膜、１０…基部、２０ａ…第１連結腕、２０ｂ…第２連結腕、３０ａ…第１駆動振動腕、３０ｂ…第２駆動振動腕、３０ｃ…第３駆動振動腕、３０ｄ…第４駆動振動腕、３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ…幅広部、４０ａ…第１検出振動腕、４０ｂ…第２検出振動腕、４２ａ，４２ｂ…幅広部、５０ａ…第１錘部、５０ｂ…第２錘部、５０ｃ…第３錘部、５０ｄ…第４錘部、６０ａ…第５錘部、６０ｂ…第６錘部、１００，２００，３００，４００，５００，６００…振動素子、７００…振動子、７２０…リッド、７３０…パッケージベース、７３２…キャビティー、７４０…支持基板、７４２…開口部、７５０…リード、７５２，７５４…端部、７７０…ＩＣチップ、７８０，７８２…ろう材、７８４…配線、７８６…ワイヤー、１１００…パーソナルコンピューター、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１１０８…表示部、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１２０８…表示部、１３００…デジタルスチルカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１３１２…ビデオ信号出力端子、１３１４…入出力端子、１４３０…テレビモニター、１４４０…パーソナルコンピューター、１５００…自動車、１５０２…車体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２７】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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