(57)【要約】【課題】油圧フェール時のクランプ機能の確保と装置の小型化と油圧供給系の簡単化とを達成可能なクランプ装置を提供する。【解決手段】ワークＷをクランプするグリップ部材(2)及びクランプロッド(3)と、複動型油圧シリンダ(5)と、この複動型油圧シリンダ(5)が組み込まれたクランプ本体(1)とを備えたクランプ装置(C)において、油圧シリンダ(5)の第１作動室(21)に加圧油を給排可能にクランプ本体(1)に設けられた油路(41)と、油路(41)の途中部に設けられ且つ第１作動室(21)への加圧油の供給を許すと共にパイロット流体室(55)に供給される加圧油により開弁されるパイロットチェック弁(7)と、油圧シリンダ(5)の第２作動室(22)に加圧油を給排可能な油路(42)とパイロット油室(55)とを連通させるようにクランプ本体(1)に設けられた油路(43〜45)とを設けた。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クランプ対象物をクランプするクランプ力を伝達するクランプ出力部材と、このクランプ出力部材を駆動する複動型流体圧シリンダと、この複動型流体圧シリンダが組み込まれたクランプ本体とを備えたクランプ装置において、
前記流体圧シリンダのクランプ用流体室に加圧流体を給排可能に前記クランプ本体に設けられた第１通路と、
前記第１通路の途中部に設けられ且つ前記クランプ用流体室への加圧流体の供給を許すパイロットチェック弁であって、パイロット流体室に供給される加圧流体により開弁されるパイロットチェック弁と、
前記流体圧シリンダのアンクランプ用流体室に加圧流体を給排可能な第２通路と前記パイロット流体室とを連通させるように前記クランプ本体に設けられた第３通路とを備えたことを特徴とするクランプ装置。
【請求項２】
前記クランプ本体は、上部本体と下部本体とを備え、
前記パイロットチェック弁は、収容穴と、この収容穴に収容される弁ケースと、弁体と、ピストン部材と、圧縮スプリングとを備え、
前記収容穴の上半部は前記上部本体に形成され、前記収容穴の下半部は前記下部本体に形成され、
前記パイロットチェック弁は、前記クランプ本体内に組み込まれたことを特徴とする請求項１に記載のクランプ装置。
【請求項３】
前記クランプ出力部材は、クランプ対象物の穴の内周面をグリップ可能なグリップ部材と、このグリップ部材に係合したクランプロッドとを備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のクランプ装置。
【請求項４】
前記クランプ用流体室と前記パイロットチェック弁との間における前記第１通路の途中部に、前記クランプ用流体室へ供給する加圧流体の流量を調整可能な流量調整弁を設けたことを特徴とする請求項１に記載のクランプ装置。
【請求項５】
前記クランプ用流体室に供給される加圧流体により前記クランプ出力部材が退入駆動され、前記アンクランプ用流体室に供給される加圧流体により前記クランプ出力部材が伸長駆動されるように構成され、
前記クランプ出力部材が伸長状態から退入状態へ駆動される際に前記クランプ出力部材をその軸心回りに９０°旋回動作させる旋回機構を設けたことを特徴とする請求項１又は４に記載のクランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はクランプ装置に関し、特にクランプ用流体室に加圧流体を供給する通路にパイロットチェック弁を設けたクランプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、加圧流体で駆動される種々のクランプ装置が実用に供されている。クランプ装置は、通常、クランプ対象物をクランプするためのクランプ力を伝達するクランプ出力部材と、このクランプ出力部材を駆動する流体圧シリンダと、この流体圧シリンダが組み込まれたクランプ本体とを備えている。
【０００３】
特許文献１に開示されたクランプ装置は、クランプ本体と、このクランプ本体の上端部の挿通孔から上方へ突出するコレット及びこのコレットの内側に係合したプルロッド（これらが上記クランプ出力部材に相当する）と、コレットを下方から支持するサポート手段と、前記プルロッドを昇降駆動する複動型の油圧シリンダとを備えたホールクランプ（又はエキスパンションクランプ）であり、ワークパレットに装備されている。
【０００４】
このクランプ装置でワークをクランプする場合、ワークの穴にコレットと、このコレットに挿通されたプルロッドを挿入した後、コレットを支持した状態で、加圧油供給源から加圧油を油圧シリンダのクランプ用作動室に供給し、プルロッドを着座面側へ引き付けることで、コレットに対してプルロッドを所定ストローク相対移動させ、テーパ軸部によってコレットを拡径させて穴の内周面に係合させ、コレットを更に微小ストローク引き付けることでワークを着座面に固定する。
【０００５】
クランプ装置によりワークをクランプした状態において、油圧供給系の配管が破損したり、加圧油がリークしたり、停電により油圧ポンプが停止した場合、油圧シリンダのクランプ用作動室の加圧油の圧力が低下し、クランプ力低下に伴うワークの位置ずれやワークの落下が生じる虞がある。機械加工途中においてワークの位置ずれが発生した場合、通常そのワークは不良品になってしまう。
【０００６】
特許文献２に開示されたクランプ装置は、クランプ対象物をクランプするロッド部材と、このロッド部材を駆動するバネ復帰式単動型油圧シリンダとを備えたクランプ装置である。  油圧シリンダのクランプ用油圧作動室に加圧油を給排するクランプ用油路と、このクランプ用油路に設けられたパイロットチェック弁とを備え、このパイロットチェック弁のパイロット室に油圧を供給するためのパイロット用油圧供給系が設けられている。パイロット用油圧供給系には、制御手段で制御される方向切換弁が設けられている。
【０００７】
このクランプ装置おいては、クランプ駆動時、パイロットチェック弁を介してクランプ用油圧作動室に油圧を供給し、クランプ解除時に、パイロット用油圧供給系からパイロット室に油圧を供給してチェック弁を開弁すると共にクランプ用油路の方向切換弁を切換えて、クランプ用油圧作動室の油圧を抜く。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第３５５００１０号
【特許文献２】実用新案登録第２５２４６８８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献２のクランプ装置では、パイロットチェック弁を介してクランプ用油圧作動室に加圧油を保持することができる。しかし、方向切換弁を含むパイロット用油圧供給系を設ける必要があるため、油圧供給系が複雑化し、大型化し、製作費が高価になる。しかも、パイロット用油圧供給系が故障した場合にはクランプ解除することが不可能になる。
しかも、クランプ解除時に、クランプ用油路の方向切換弁の切換え操作に同期してパイロット用油圧供給系の方向切換弁を切換え操作しなければならない。また、チェック弁の一部がクランプ本体の外面外へ突出する状態に設けられているため、クランプ装置が大型化し、チェック弁に器物が衝突して破損する可能性もある。
【００１０】
本発明の目的は、クランプ用の複動型流体圧シリンダのクランプ用流体室に加圧流体を供給する通路にパイロットチェック弁を設け、アンクランプ用流体圧室に供給する加圧流体を活用してパイロットチェック弁を開弁可能にしたクランプ装置を提供すること、クランプ本体内にパイロットチェック弁を組み込んで破損防止と小型化を図ったクランプ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１のクランプ装置は、物品をクランプするクランプ力を伝達するクランプ出力部材と、このクランプ出力部材を駆動する複動型流体圧シリンダと、この複動型流体圧シリンダが組み込まれたクランプ本体とを備えたクランプ装置において、前記流体圧シリンダのクランプ用流体室に加圧流体を給排可能に前記クランプ本体に設けられた第１通路と、前記第１通路の途中部に設けられ且つ前記クランプ用流体室への加圧流体の供給のみを許すパイロットチェック弁であって、パイロット流体室に供給される加圧流体により開弁されるパイロットチェック弁と、前記流体圧シリンダのアンクランプ用流体室に加圧流体を給排可能な第２通路と前記パイロット流体室とを連通させ且つ前記クランプ本体に設けられた第３通路とを備えたことを特徴としている。
【００１２】
請求項２のクランプ装置は、請求項１の発明において、前記クランプ本体は、上部本体と下部本体とを備え、前記パイロットチェック弁は、収容穴と、この収容穴に収容される弁ケースと、弁体と、ピストン部材と、圧縮スプリングとを備え、前記収容穴の上半部は前記上部本体に形成され、前記収容穴の下半部は前記下部本体に形成され、前記パイロットチェック弁は、前記クランプ本体内に組み込まれたことを特徴としている。
【００１３】
請求項３のクランプ装置は、請求項１又は２の発明において、前記クランプ出力部材は、物品の穴の内周面をグリップ可能なグリップ部材と、このグリップ部材に係合したクランプロッドとを備えたことを特徴としている。
請求項４のクランプ装置は、請求項１の発明において、前記クランプ用流体室と前記パイロットチェック弁との間における前記第１通路の途中部に、前記クランプ用流体室へ供給する加圧流体の流量を調整可能な流量調整弁を設けたことを特徴としている。
【００１４】
請求項５のクランプ装置は、請求項１又は４の発明において、前記クランプ用流体室に供給される加圧流体により前記クランプ出力部材が退入駆動され、前記アンクランプ用流体室に供給される加圧流体により前記クランプ出力部材が伸長駆動されるように構成され、前記クランプ出力部材が伸長状態から退入状態へ駆動される際に前記クランプ出力部材をその軸心回りに９０°旋回動作させる旋回機構を設けたことを特徴している。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１の発明によれば、第１通路の途中部にクランプ用流体室への加圧流体の供給を許すパイロットチェック弁を設けたため、クランプ状態のときクランプ用流体室に加圧流体を保持することができ、加圧流体のリークや流体圧ポンプの停止が生じた場合にも上記の加圧流体を維持してクランプ機能を確保することができる。
【００１６】
流体圧シリンダのアンクランプ用流体室に加圧流体を給排可能な第２通路を第３通路を介してパイロットチェック弁のパイロット流体室に連通させたため、クランプ解除時には、パイロットチェック弁が自動的に開弁してアンクランプ状態になる。
このように、第３通路を介してパイロットチェック弁のパイロット流体室に加圧流体を供給するため、また、パイロット流体室のための流体圧供給系には方向切換弁も必要でないため、流体圧供給系が小型で簡単な構造になり、製作費も安価になる。しかも、第３通路をクランプ本体に設けたため破損しにくいものとなるうえ、クランプ解除時の制御も簡単になる。
【００１７】
請求項２の発明によれば、クランプ本体は上部本体と下部本体とを備え、パイロットチェック弁が、収容穴と、この収容穴に収容される弁ケースと、弁体と、ピストン部材と、圧縮スプリングとを備え、前記収容穴の上半部を上部本体に形成し、収容穴の下半部を下部本体に形成したため、パイロットチェック弁の全体をクランプ本体内に組み込むことができ、クランプ装置の小型化を図り、パイロットチェック弁を破損しにくい構造にすることができる。
【００１８】
請求項３の発明によれば、クランプ対象物の穴の内周面をグリップしてクランプ可能なホールクランプを提供することができる。
請求項４の発明によれば、前記クランプ用流体室と前記パイロットチェック弁との間における前記第１通路の途中部に、前記クランプ用流体室へ供給する加圧流体の流量を調整可能な流量調整弁を設けたため、クランプ用流体室へ供給する加圧流体の流量を手動操作により調整することができる。
【００１９】
請求項５の発明によれば、スイング式クランプ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施例に係るクランプ装置の平面図である。
【図２】図１のクランプ装置（アンクランプ状態）のII−II線断面図である。
【図３】図１のIII−III線断面図である。
【図４】図１のIV−IV線断面図である。
【図５】図１のV−V線断面図である。
【図６】図２のＡ部の拡大図である。
【図７】クランプ装置（クランプ状態）の図２相当図である。
【図８】クランプ装置（クランプ状態）の図６相当図である。
【図９】実施例２に係るクランプ装置の平面図である。
【図１０】図９のクランプ装置（アンクランプ状態）のX−X線断面図である。
【図１１】図９のXI−XI線断面図である。
【図１２】図９のXII−XII線断面図である。
【図１３】図１１のＣ部の拡大図である。
【図１４】図１０のＢ部の拡大図（開弁状態）である。
【図１５】図１０のＢ部の拡大図（閉弁状態）である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための形態について実施例に基づいて説明する。
【実施例１】
【００２２】
図１〜図５に示すように、クランプ装置（ホールクランプ）Ｃは、クランプ本体１と、このクランプ本体１の上端部分の挿通孔１ｄを挿通して上方へ延びワークＷの穴Ｈの内周面をグリップ可能なグリップ部材２と、このグリップ部材２に係合した鉛直方向に延びるクランプロッド３と、スクレーパ４と、クランプロッド３を昇降駆動可能な複動型油圧シリンダ５と、サポート機構６と、パイロットチェック弁７等を備えている。更に、このクランプ装置Ｃは、着座検知機構８と、エアブロー機構９と、クランプミス検知機構１０とを有している。尚、グリップ部材２とクランプロッド３とが「クランプ出力部材」に相当する。
【００２３】
クランプ本体１は、上部本体１ａと下部本体１ｂとにより構成され、クランプ本体１がベース部材１ｃに組み付けられる。上部本体１ａは、平面視にて略矩形状をなし、この上部本体１ａは、４つのボルト孔１ｅに挿入される４本のボルト（図示略）でベース部材１ｃに固定される。下部本体１ｂは、シリンダ穴１１を形成する環状部材であり、この下部本体１ｂの上端部が上部本体１ａの下端側の凹部１２に嵌合され、複数のボルト１９により上部本体１ａに固定されている。この下部本体１ｂは、ベース部材１ｃに下方へ凹入するように形成された収容凹部１ｆ内に第２作動室２２に連通する僅かな隙間を形成するように配設されている。下部本体１ｂの中段外周部分は、シール部材１ｈにより液密状に封止されている。
【００２４】
クランプ本体１の上半部の中心部に上方へ細長く突出する円筒状の本体筒部１ｔが設けられている。本体筒部１ｔの上端部の中心部分の挿通孔１ｄを上下に貫通するようにグリップ部材２とクランプロッド３が配設されている。本体筒部１ｔの上面には、グリップ部材２を囲む４つの円弧状の着座面１ｓが形成され、これら着座面１ｓにワークＷを着座させた状態で、ワークＷをクランプする。本体筒部１ｔの上面には、エアブローされた加圧エアが流れる４つの凹溝１ｇが十文字状に形成されている。
【００２５】
本体筒部１ｔの近傍位置において上部本体１ａには円筒穴１ｉが形成されている。この円筒穴１ｉに対応するように、第１作動室２１に連通した開口穴２７ａが設けられ、この開口穴２７ａはホロセット２７（止めネジ）と鋼球２８により閉塞されている。クランプ装置Ｃ内の圧力検査を行う際、ホロセット２７と鋼球２８を取り外した後、圧力検査装置（図示略）を装着して、クランプ装置Ｃの圧力検査を行うことができる。
【００２６】
次に、グリップ部材２について説明する。
図２〜図４に示すように、グリップ部材２は、クランプロッド３と共にクランプ本体１の上端部分の挿通孔１ｄを挿通して上方へ延びワークＷの穴Ｈの内周面をグリップ可能に構成されている。このグリップ部材２は、クランプロッド３の外周側に配設された２つのグリップ分割体で構成されている。グリップ部材２は、外径が拡大・縮小可能である。グリップ部材２の上部にはグリップ爪部２ａが形成され、グリップ部材２の下端部には基端鍔部２ｂが形成されている。グリップ部材２の下半部の内面には、クランプロッド３の軸心Ｘと平行な１対のストレート平面２ｃが形成されている。
【００２７】
グリップ爪部２ａのクランプロッド３の軸心Ｘと直交する断面（水平断面）が、偏平Ｄ形に形成されている。グリップ部材２の上端部から中段部にかけての内面には、上方程クランプロッド３の軸心Ｘから離隔するテーパ面２ｄが形成され、このテーパ面２ｄがクランプロッド３のテーパ部３ａのテーパ面に密着状に係合可能である。グリップ爪部２ａの外周面には、ワークＷの穴Ｈの内周面をグリップする３段の歯が形成されている。
【００２８】
図１〜図４に示すように、上部本体１ａの挿通孔１ｄには、グリップ部材２及びクランプロッド３の外周側の環状隙間を塞ぐスクレーパ４が装着されている。スクレーパ４は、グリップ部材２及びクランプロッド３の外周面に密着するゴムや合成樹脂等の弾力性のある材料で構成されている。スクレーパ４は、グリップ部材２及びクランプロッド３の外周側の隙間から切粉及び切削液などが内部に侵入するのを防ぎ、加圧エアがクランプ本体１内から外界へ漏出しにくくし、グリップ部材２とクランプロッド３を束ねる機能を有するものである。グリップ部材２の下部には、グリップ部材２を縮径方向へ付勢するＯリング１５が装着されている。
【００２９】
グリップ部材２の基端鍔部２ｂは、本体筒部１ｔ内の円形凹部１３に収容され、基端鍔部２ｂの外周側には隙間が形成されている。基端鍔部２ｂは、円形凹部１３の上壁部とサポート部材３０の上端壁３０ｂとの間に水平方向へ可動に挟着され、サポート部材３０で支持されている。グリップ部材２は、サポート部材３０及び環状受圧部材３１と一体的に昇降すると共に、円形凹部１３の外周部の環状隙間とスクレーパ４の弾性変形を介して、クランプ装置Ｃの軸心と直交する水平方向へ移動可能に装着されている。上部本体１ａには、円形凹部１３の下方に連なる円筒穴１４が形成されている。
【００３０】
次に、クランプロッド３について説明する。
図１〜図５に示すように、クランプロッド３は、グリップ部材２の内側に係合し、このグリップ部材２よりも下方へ延びている。クランプロッド３は、下端部分の断面逆Ｔ形の係合部３ｄと、この係合部３ｄから上方に連なる水平断面が円形の小径部３ｃと、この小径部３ｃから上方へ連なる中段部３ｂと、この中段部３ｂから上方へ連なるテーパ部３ａとを備えている。
【００３１】
テーパ部３ａはグリップ部材２を外径拡大側へ駆動する１対の平行なテーパ面を備えており、この１対のテーパ面にグリップ部材２の１対のテーパ面２ｄが面接触している。中段部３ｂにはグリップ部材２の鉛直な１対のストレート平面２ｃに面接触する１対のストレート平面が形成されている。
【００３２】
アンクランプ状態からクランプ状態に亙ってスクレーパ４の近傍部における、グリップ部材２とクランプロッド３の水平断面（クランプロッド３の軸心Ｘと直交する水平断面）が円形に形成されている。このクランプ装置Ｃにおいて、グリップ部材２とクランプロッド３が夫々の上限位置に位置するアンクランプ状態から、クランプロッド３が徐々に下方へ移動してグリップ部材２が拡径駆動されると、スクレーパ４の近傍部におけるグリップ部材２とクランプロッド３の円筒形状部の外径が徐々に拡大し、スクレーパ４の内周部が周方向と径方向に弾性変形し、グリップ部材２とクランプロッド３の外周面との密着状態を維持する。
【００３３】
次に、複動型の油圧シリンダ５について説明する。
図２〜図４に示すように、油圧シリンダ５は、クランプロッド３をクランプ本体１及びグリップ部材２に対して加圧油によって昇降駆動するものである。油圧シリンダ５は、下部本体１ｂに形成された縦向きのシリンダ穴１１と、クランプ力出力用のピストン部材２０（軸心Ｘを有する）と、このピストン部材２０のピストン部２０ａの上側のクランプ用の第１作動室２１であってピストン部材２０を加圧油の圧力によりクランプ位置に駆動する第１作動室２１と、ピストン部２０ａの下側のアンクランプ用の第２作動室２２であってピストン部材２０を加圧油の圧力によりアンクランプ位置（上限位置）に駆動する第２作動室２２等を備えている。アンクランプ用の第２作動室２２は、収容凹部１ｆと下部本体１ｂとの間の環状油路４２ａに連通されている。
【００３４】
ピストン部材２０は、シリンダ穴１１に気密摺動自在に装着されたピストン部２０ａと、このピストン部２０ａから上方へ本体筒部１ｔ内まで延びるロッド部２０ｂを有する。    ピストン部２０ａの外周部はシール部材２３ａで油密に封止され、ロッド部２０ｂの外周部はシール部材２３ｂで油密に封止されている。ロッド部２０ｂの上端側部分には、ネジ軸部２４が形成され、このネジ軸部２４には、逆Ｔ形のＴ溝２５を形成するＴ溝形成部材２６が螺合にて取り付けられている。
【００３５】
Ｔ溝形成部材２６のロッド挿通穴２６ａは平面視にてＵ形であり、クランプロッド３の係合部３ｄが上記のＴ溝２５に水平方向側方から装着される。係合部３ｄとＴ溝形成部材２６の間には僅かな隙間があるため、クランプロッド３はＴ溝形成部材２６に対して水平方向へ相対的に約１〜２ｍｍ位移動可能である。
【００３６】
第１作動室２１は、下部本体１ｂとピストン部２０ａと環状受圧部材３１で形成されている。第１作動室２１には、外部の油圧供給源１６から油路４０とクランプ本体１内の油路４１を介して加圧油を供給可能であり、第１作動室２１に供給されたクランプ用加圧油によりピストン部材２０がクランプ側（下方）へ駆動される。
第２作動室２２は、下部本体１ｂとベース部材１ｃとピストン部２０ａとで形成されている。第２作動室２２には、油圧供給源１６から油路４２を介して加圧油を供給可能であり、第２作動室２２に供給されたアンクランプ用加圧油によりピストン部材２０がアンクランプ側へ（上方へ）駆動される。尚、油路４１が「第１通路」に相当し、油路４２と環状油路４２ａとが「第２通路」に相当する。
【００３７】
次に、サポート機構６について説明する。
図２〜図４に示すように、サポート機構６はグリップ部材２を下方から支持する機構であり、サポート機構６は、グリップ部材２の下端を支持するサポート部材３０と、このサポート部材３０を支持する環状受圧部材３１と、この環状受圧部材３１の下端にクランプ用の油圧を作用させるサポート用の主作動室２１ａと、環状受圧部材３１の中段部の外周段部にアンクランプ用加圧油を作用させるサポート用の副作動室３３ｃを備えている。
【００３８】
サポート部材３０は、Ｔ溝形成部材２６の外周面と円筒穴１４の壁面との間に可動に装着された筒部３０ａと、この筒部３０ａの上端に一体形成された上端壁３０ｂとを有し、クランプロッド３は上端壁３０ｂに形成された開口部３０ｃを挿通している。尚、開口部３０ｃは、クランプロッド３の係止部３ｄ以外の部分が通過可能に形成されている。
【００３９】
環状受圧部材３１は、ピストン部材２０のロッド部２０ｂに摺動自在に外嵌され、その上端でサポート部材３０の下端を支持している。この環状受圧部材３１は、その上端部分に形成されたフランジ部３２と、このフランジ部３２よりやや小径の中径部３３と、この中径部３３よりもやや小径のピストン本体部３４とを備えている。
【００４０】
フランジ部３２は、収容穴３２ａに上下方向に数ｍｍ（例えば、２〜３ｍｍ）移動可能に収容され、アンクランプ状態のとき、フランジ部３２の下側には上記の数ｍｍの厚さの環状隙間３２ｂが形成されている。中径部３３は収容穴３３ａに上下方向に移動可能に収容されている。
【００４１】
ピストン本体部３４は、収容穴３４ａに上下方向に移動可能に収容され、この収容穴３４ａはクランプ用の第１作動室２１の一部で構成されたサポート用の主作動室２１ａに連通しており、第１作動室２１のクランプ用の油圧をピストン本体部３４の下端に受圧させるように構成されている。ピストン本体部３４の外周側はシール部材３４ｂでシールされている。
【００４２】
中径部３３の外周部はシール部材３３ｂで液密にシールされ、中径部３３の下側にはサポート用の環状の副作動室３３ｃが形成されている。この副作動室３３ｃは、前記環状隙間４２ａに油路４３を介して接続されている。それ故、アンクランプ状態のときには、副作動室３３ｃにアンクランプ用加圧油が供給されている。
【００４３】
アンクランプ状態のとき、サポート機構６は、副作動室３３ｃに供給されたアンクランプ用加圧油を環状受圧部材３１に作用させてグリップ部材２を支持する。
グリップ部材２を拡径させ、ワークＷの穴Ｈの内周面をグリップさせてクランプ状態にするとき、サポート機構６は、環状受圧部材３１の下端面に作用するクランプ用加圧油でグリップ部材２を支持し、グリップ部材２に対してクランプロッド３を相対的に下方へ移動可能にする。
【００４４】
尚、本実施例では、環状受圧部材３１に油圧を作用させてサポート部材３０を介してグリップ部材２を支持するサポート機構６を例に説明したが、コイルスプリングや皿バネ等の弾性力でグリップ部材２を支持するサポート機構を採用してもよい。
【００４５】
次に、パイロットチェック弁７について説明する。
パイロットチェック弁７は、第１作動室２１へのクランプ用加圧油の供給を許容すると共に第１作動室２１からの加圧油の排出を阻止するチェック弁である。
図２，図４〜図８に示すように、パイロットチェック弁７は、油路４０の下流端（上端）と第１作動室２１とを接続する油路４１の途中部に配設されている。このパイロットチェック弁７は、収容穴５０と、この収容穴５０に収容された弁ケース５１と、鋼球５２（弁体に相当する）と、ピストン部材５３と、圧縮スプリング５４等を備えている。
【００４６】
収容穴５０の上半部５０ａは上部本体１ａの下部に形成され、収容穴５０の下半部５０ｂは上半部５０ａと同心状且つ連通状に下部本体１ｂに形成されている。
弁ケース５１の上半部が上半部５０ａに収容され、弁ケース５１の下半部が下半部５０ｂに収容されている。
【００４７】
弁ケース５１の下部にネジ軸部５１ａが形成され、このネジ軸部５１ａが下半部５０ｂのネジ穴５０ｃに螺合されている。弁ケース５１には、上から順に、大径穴５１ｂと、摺動孔５１ｃと、通路孔５１ｄと、収容孔５１ｅとが形成されている。弁ケース５１の外周部には、シール部材ｂ〜ｄが装着されている。ピストン部材５３は、大径のピストン部５３ａと、このピストン部５３ａの下端から下方へ延びるロッド部５３ｂを有し、ピストン部５３ａの外周部にはシール部材ａが装着されている。
【００４８】
ピストン部５３ａは大径穴５１ｂに摺動自在に収容され、ロッド部５３ｂは、摺動孔５１ｃと通路孔５１ｄとに摺動自在に収容され、油路４１は弁ケース５１に形成された油路５１ｇと、通路孔５１ｄのうちのロッド部５３ｂの外側の筒状油路５１ｈを介して収容孔５１ｅに連通され、収容孔５１ｅの下端がクランプ用の第１作動室２１に連なる油路４１ａ（油路４１の一部である）に連通している。
【００４９】
収容穴５１ｅには、上から順に鋼球５２と圧縮スプリング５４とが収容され、圧縮スプリング５４により鋼球５２が通路孔５１ｈの下端外周部の弁座５１ｖに押圧され、チェック弁機構を構成している。圧縮スプリング５４の下端部は下部本体１ｂに収容穴５１ｅと連通状に形成された収容穴５１ｆに収容され、圧縮スプリング５４の下端がその収容穴５１ｆの底面で受け止められている。
【００５０】
ピストン部５３ａの上側にはパイロット油室５５が形成され、このパイロット油室５５は、上部本体１ａ内に形成された油路４５と、下部本体１ｂに形成された鉛直の油路４４と、傾斜状の油路４３を介して環状油路４２ａに接続され、第２作動室２２にアンクランプ用加圧油が供給されると、そのアンクランプ用加圧油と同圧の加圧油がパイロット油室５５に供給される。尚、油路４３〜４５が「第３通路」に相当する。
【００５１】
クランプ駆動する為に第１作動室２１に加圧油を供給するとき、第２作動室２２には加圧油が供給されないため、ピストン部材５３がその下端に油圧を受圧して上限位置に位置し、鋼球５２が弁座５１ｖに当接し、パイロットチェック弁７が機能し、油圧供給源１６から油路４１に供給される加圧油は、油路５１ｇと筒状油路５１ｈへ流入して鋼球５２を押し開きながら収容穴５１ｅ，５１ｆと油路４１ａを通って第１作動室２１に供給される（図7，図8参照）。
【００５２】
クランプ状態からアンクランプ状態に切換える際に、油路４２から第２作動室２２に加圧油を供給すると、それと同圧の加圧油が環状油路４２ａと油路４３，４４，４５を通ってパイロット油室５５に供給され、ピストン部材５３が下方へ押動されて、鋼球５２を下方へ押し、パイロットチェック弁７を開弁状態にするため、第１作動室２１内の加圧油は油路４１ａと収容穴５１ｆ，５１ｅと、筒状油路５１ｈと、油路５１ｇを通って油路４１へ排出されるため、アンクランプ状態に切換えられる（図５，図６参照）
【００５３】
次に、着座検知機構８について説明する。
図１、図２に示すように、着座検知機構８は、上部本体１ａ内に形成され、外部の加圧エア供給源１７から加圧エアが供給されるエア通路４５と、このエア通路４５の下流端に形成されて着座面１ｓに開口した開放孔１８と、エア通路４５に接続された圧力スイッチ又は圧力センサ（図示略）と備えている。上記のエア通路４５は、傾斜通路４５ａと、本体筒部１ｔ内に形成された鉛直通路（図示略）とからなり、鉛直通路の下流端に開放孔１８が形成されている。
【００５４】
クランプ状態になってワークＷが着座面１ｓに密着すると、開放孔１８から加圧エアがリークしなくなるため、エア通路４５内のエア圧が設定値以上となって圧力スイッチがＯＮとなる。しかし、クランプ状態であっても、ワークＷが着座面１ｓに密着していない場合には、開放孔１８から加圧エアがリークするため圧力スイッチがＯＦＦとなる。こうして、クランプ状態のときのワークＷの着座状態を検知することができる。
【００５５】
次に、エアブロー機構９について説明する。
エアブロー機構９は、クランプ本体１内に加圧エアを供給し、クランプロッド３とグリップ部材２とスクレーパ４の間の隙間から噴出させ、切粉や切削液の侵入を防止する為のものである。図１，図２に示すように、エアブロー機構９は、外部の加圧エア供給源１７からの加圧エアをサポート部材３０の筒部３０ａの下部の通路穴３０ｄに供給するエアブロー通路４６を有する。加圧エアがサポート部材３０の筒部３０ａの内面側と外面側の円筒隙間を通ってグリップ部材２及びクランプロッド３の方へ供給される。
【００５６】
次に、ミスクランプ検知機構１０について説明する。
ミスクランプ検知機構１０は、クランプ駆動時に、グリップ部材２のグリップ爪部２ａがワークＷの穴Ｈの内周面に対してスリップした場合に発生するミスクランプ、ワークＷの穴Ｈがクランプ装置Ｃを適用可能な設定サイズよりも大きいために発生するミスクランプ、グリップ爪部２ａの破損により発生するミスクランプ等のミスクランプを検知する機構である。
【００５７】
ミスクランプ検知機構１０は、収容穴３２ａの近くの部位であって上部本体１ａと下部本体１ｂの境界面近傍部に設けられている。このミスクランプ検知機構１０は、上部本体１ａの下端部の円形凹部１０ａと、下部本体１ｂの上端部の円形凹部１０ｂと、これら円形凹部１０ａ，１０ｂに収容された円形弁体１０ｃであって外周近傍部の一部が収容穴３２ａに突出した円形弁体１０ｃと、この円形弁体１０ｃの下面側に装着されたＯリング１０ｄと、上部本体１ａに形成されて加圧エア供給源１７に接続された加圧エア通路１０ｅと、この加圧エア通路１０ｅに接続された圧力スイッチ（図示略）などを有する。
【００５８】
正常なクランプ状態になった場合には、フランジ部３２が下限位置よりも上方の途中位置に停止するため、円形弁体１０ｃがエア通路１０ｅの下流端を閉弁状態に保持する。しかし、ミスクランプが発生してフランジ部３２が下限位置まで下降した場合には、フランジ部３２が円形弁体１０ｃを下方へ押動させるため、エア通路１０ｅと収容穴３２ａとが連通し、収容穴３２ａ内の加圧エアは上部本体１ａ内の隙間を通って上方へリークする。その結果、圧力スイッチがＯＦＦとなるのでミスクランプを検知することができる。
【００５９】
次に、以上説明したクランプ装置Ｃの作用、効果について説明する。
前記クランプ装置Ｃは、ワークＷ（クランプ対象物）の穴の内周面をグリップしてクランプ可能なホールクランプである。
このクランプ装置Ｃにおいては、油路４１の途中部にクランプ用第１作動室２１への加圧油の供給を許すパイロットチェック弁７を設けたため、クランプ状態のときクランプ用第１作動室２１に加圧油を保持することができ、加圧油のリークや油圧ポンプの停止が生じた場合にもクランプ機能を確保することができる。
【００６０】
複動型油圧シリンダ５のアンクランプ用第２作動室２２に加圧油を給排可能な油路４２，４２ａを油路４３〜４５を介してパイロットチェック弁７のパイロット油室５５に連通させたため、クランプ解除時には、パイロットチェック弁７が自動的に開弁してアンクランプ状態になる。
このように、油路４３〜４５を介してパイロットチェック弁７のパイロット油室５５に加圧油を供給するため、また、パイロット油室５５のための油圧供給系には方向切換弁も必要でないため、油圧供給系が小型で簡単な構造になり、製作費も安価になる。しかも、油路４３〜４５をクランプ本体１に設けたため破損しにくいものとなるうえ、クランプ解除時に何ら制御することなく自動的にパイロット油室５５に加圧油を供給できる。
【００６１】
クランプ本体１は上部本体１ａと下部本体１ｂとを備え、パイロットチェック弁７が、収容穴５０と、この収容穴５０に収容される弁ケース５１と、鋼球５２と、ピストン部材５３と、圧縮スプリング５４とを備え、前記収容穴５０の上半部５０ａを上部本体１ａに形成し、収容穴５０の下半部５０ｂを下部本体１ｂに形成したため、パイロットチェック弁７の全体をクランプ本体１内に組み込むことができ、クランプ装置Ｃの小型化を図り、パイロットチェック弁７を破損しにくい構造にすることができる。
【００６２】
前記サポート機構６は、アンクランプ状態のときには、副作動室３３ｃの加圧油を環状受圧部材３１に作用させてグリップ部材２を支持することができるため、グリップ部材２を上限位置に保持することができる。そのため、グリップ部材２の作動確実性に優れる。
【実施例２】
【００６３】
次に、実施例２に係るスイング式クランプ装置ＣＡについて説明する。
最初に、クランプ装置ＣＡの基本構成について図９〜図１２に基づいて説明する。
このクランプ装置ＣＡは、クランプ本体７０と、ピストン部材７１（クランプ出力部材に相当する）と、このピストン部材７１を軸心回りに９０°旋回動作可能な旋回機構７２と、流量調整弁８３と、パイロットチェック弁７Ａ等を備えている。
【００６４】
クランプ本体７０は、上部本体７３と、この上部本体７３に一体形成されて下方へ延びる筒状部７３ｂと、この筒状部７３ｂのシリンダ孔７０ａの下端を塞ぐ端壁部材７４等を有する。上部本体７３は弁類を組み込んだ弁形成部７３ａを備えている。
【００６５】
この筒状部７３ｂと端壁部材７４とがベース部材７６の鉛直の円筒穴７６ａに挿入され、弁形成部７３ａの下面をベース部材７６の上面に当接させ、上部本体７３の複数のボルト穴７３ｃに通した複数のボルト（図示外）をベース部材７６に螺合して固定してある。円筒穴７６ａは筒状部７３ｂよりも大径に形成され、加圧油が流通可能な環状油路１０４ａが形成されている。この環状油路１０４ａの上端部にはシール部材７４ｆが装着されている。
【００６６】
上部本体７３と筒状部７３ｂの内部にはシリンダ孔７０ａとこのシリンダ孔７０ａから下方へ連なる嵌合穴７０ｂが形成され、端壁部材７４の上端部に対応する位置において嵌合穴７０ｂの内周部には径方向外側へ凹入した環状凹部７０ｃが形成されている。端壁部材７４は、嵌合穴７０ｂに嵌合され、筒状部７３ｂの下端部に螺合された固定リング７４ｅで固定されている。端壁部材７４の外周部がシール部材７４ｃでシールされている。端壁部材７４の中央部分には上端が開放された円筒状の収容穴７４ａが形成され、この収容穴７４ａと環状凹部７０ｃとを連通させる連通穴７４ｂも形成されている。
【００６７】
ピストン部材７１は、シリンダ孔７０ａに収容されたピストン部７７と、このピストン部７７から上部本体７３の挿通孔７３ｄを気密摺動自在に挿通して上方へ延びるピストンロッド７８と、ピストン部７７から下方へ延びる下側ロッド７９を有する。
ピストン部７７の外周部にはシール部材７７ａが装着され、ピストンロッド７８の外周側は挿通孔７３ｄの内周壁部に装着されたシール部材７３ｅでシールされ、挿通孔７３ｄの上端近傍の内周壁部にはダストシール７３ｆが装着されている。
【００６８】
次に、ピストン部材７１の昇降動作と連動してピストン部材７１を９０°旋回させる旋回機構７２について説明する。
下側ロッド７９は前記収容穴７４ａに昇降自在に挿入されている。収容穴７４ａの上端近傍部の壁部に形成された３つの半球凹部に３つの鋼球７５が夫々回転可能に装着されている。下側ロッド７９の外周部分には３つの鋼球７５に対応する３つの案内溝７９ａが形成されている。案内溝７９ａは、下半側の螺旋溝部７９ｂと、上半側のストレート溝部７９ｃとからなり、案内溝７９ａの断面形状は半円形である。３つの螺旋溝部７９ｂの下端から下方へ延びるストレート状の鋼球導入溝７９ｄも形成されている。図１２に示すアンクランプ状態からピストン部材７１が下降する際に、下降前期にピストン部材７１が９０°旋回し、その後下降後期には旋回することなく下降する。ピストン部材７１が上昇する際には上記と逆の動作となる。
【００６９】
ピストンロッド７８の上端部にはワーク（クランプ対象物）をベース部材７６に対して押圧するための水平に延びるレバー状のアーム部材８０がナット８０ａを介して固定されている。
【００７０】
シリンダ孔７０ａ内のピストン部７７の上側には、ピストン部材７１を加圧油により下方（クランプ方向）へ駆動する第１作動室８１（クランプ用油室）が形成されている。シリンダ孔７０ａ内のピストン部７７の下側には、ピストン部材７１を加圧油により上方（アンクランプ方向）へ駆動する第２作動室８２（アンクランプ用油室）が形成されている。
【００７１】
図１０，図１１に示すように、ベース部材７６内には、第１作動室８１に加圧油を給排するための油路１０３が形成され、この油路１０３は油圧供給源１００に接続されている。
前記上部本体部７３の弁形成部７３ａには、油路１０３の上端から第１作動室８１へ連通された油路１０１が形成されている。この油路１０１の途中部には、上流側（油路１０３側）から順に、パイロットチェック弁７Ａと、流量調整弁８３とが設けられている。
【００７２】
クランプ駆動時、加圧油は油圧供給源１００から油路１０３を介して油路１０１に供給され、パイロットチェック弁７Ａと流量調整弁８３とを通って第１作動室８１に供給される。このとき、第２作動室８２内の加圧油は、環状凹部７０ｃと連通穴７４ｂと鋼球導入溝７９ｄと、収容穴７４ａと、油路７４ｄと、ベース部材７６内の油路１０４を通って、油圧供給源１００へ排出される。
【００７３】
次に、流量調整弁８３について説明する。
図１０、図１１、図１３に示すように、流量調整弁８３は、弁形成部７３ａに横向きに凹設された収容穴８３ａと、この収容穴８３ａに螺合にて固定された弁ケース８５と、この弁ケース８５に装着されて螺合された弁体８６と、弁体８６内に装着された鋼球９０ｂと、圧縮スプリング８９と、弁体８６を弁ケース８５に固定するロックナット８７等を備えている。弁体８６の先端部にはテーパ部８６ｂが形成され、このテーパ部８６ｂと環状弁座７３ｇとの間に流量調整用通路８６ｄが形成されている。
【００７４】
弁体８６に形成された装着孔８６ａには、外端側から順に栓部材９０ａと、圧縮スプリング８９と、鋼球９０ｂとが装着され、装着孔８６ａの先端側部分には鋼球９０ｂが当接する環状の弁座８６ｅが形成され、鋼球９０ｂは圧縮スプリング８９により弁座８６ｅに押圧されている。鋼球９０ｂの近傍部において弁体８６に横断通路８６ｃが形成され、鋼球９０ｂと弁座８６ｅと圧縮スプリング８９とでチェック弁機構が構成されている。横断通路８６ｃは収容穴８３ａの一部からなる油路８３ｂを介して油路１０１に連通されている。
【００７５】
第１作動室８１に加圧油を供給する際には、加圧油が油圧供給源１００から油路１０３を介して油路１０１に供給され、この油路１０１から油路８３ｂと、流量調整用通路８６ｄと、油路１０１ａ（これは油路１０１の一部である）を通って第１作動室８１に供給される。第１作動室８１の加圧油を排出する際には、加圧油の一部は流量調整用通路８６ｄを通って流れ、残りの大部分の加圧油は鋼球９０ｂを押し開いて油路１０１ａから装着孔８６ａと横断通路８６ｃへ流れ、油路８３ｂと油路１０１，１０３を通って油圧供給源１００へ排出される。
【００７６】
流量調整弁８３の流量調整用通路８６ｄを調整する際には、ロックナット８７を緩めてから、弁体８６の基端の六角穴８８に係合させた工具により弁体８６を回して弁体８６の位置を左方又は右方へ調節することで、流量調整用通路８６ｄを小さく又は大きく調整する。こうして、クランプ駆動時に、流量調整弁８３により第１作動室８１へ供給する加圧油の流量を調整することにより、ピストン部材７１の下降速度を所望の速度に設定することができる。
【００７７】
次に、パイロットチェック弁７Ａについて説明する。
パイロットチェック弁７Ａは、クランプ駆動時、第１作動室８１へのクランプ用加圧油の供給を許容し、第１作動室８１からの加圧油の排出を阻止するチェック弁である。
図１０，図１４，図１５に示すように、パイロットチェック弁７Ａは、油路１０３の上端に接続された油路１０１の途中部であって流量調整弁８３よりも油路１０３側の途中部に配設され、上部本体７３の弁形成部７３ａに形成された収容穴１１０と、この収容穴１１０に収容された弁ケース１１１と、鋼球１１２（弁体に相当する）と、圧縮スプリング１１４と、ピストン部材１１３と、収容穴１１０の外端部を閉塞する弁蓋１１７等を備えている。
【００７８】
収容穴１１０は、弁ケース１１１を収容する収容穴１１０ａと、この収容穴１１０ａよりも小径で且つピストン部材１１３のピストン部１１３ａを収容する収容穴１１０ｂとを備えている。弁蓋１１７は収容穴１１０ａの外端部分に螺合にて装着されている。収容穴１１０ｂは収容穴１１０ａの奥端に連通している。
【００７９】
弁ケース１１１は、摺動孔１１６ａと、通路孔１１６ｂと、収容孔１１６ｃとを有し、この収容孔１１６ｃと弁蓋１１７に形成された凹部１１７ａに鋼球１１２と圧縮スプリング１１４とが装着され、鋼球１１２は圧縮スプリング１１４により環状弁座１１１ｃに押圧されてチェック弁機構が構成されている。
【００８０】
ピストン部材１１３は、ピストン部１１３ａと、このピストン部１１３ａから延びるロッド部１１３ｂとを有し、ピストン部１１３ａが収容穴１１０ｂに摺動自在に装着され、ロッド部１１３ｂが摺動孔１１６ａと通路孔１１６ｂとに装着され、ロッド部１１３ｂの先端が鋼球１１２に接近して対向している。収容穴１１０ｂの奥端部にはパイロット油室１１５が形成され、このパイロット油室１１５は油路１０６により油路１０２に接続されている。ピストン部１１３ａの外周部にはシール部材１１３ｃが装着され、弁ケース１１１の外周部にはシール部材１１１ｄが装着されている。
【００８１】
ベース部材７６内の油路１０３の上端に連なる油路１０１は、収容穴１１０ａの奥端側部分の環状油路１１０ｃに連通され、この環状油路１１０ｃは弁ケース１１１に形成された横断油路１１１ａを介して通路孔１１６ｂに連通され、収容孔１１６ｃは弁ケース１１１に形成された横断油路１１１ｂを介して弁ケース１１１の外周側の環状油路１１０ｄに連通され、環状油路１１０ｄは流量調整弁８３に連なる油路１０１に連通されている。
【００８２】
図１２に示すように、ベース部材７６には環状油路１０４ａの上部から延びる油路１０４ｂが形成され、上部本体７３の弁形成部７３ａには油路１０４ｂの上端に連なる油圧１０２が形成され、この油路１０２が油路１０６を介してパイロット油室１１５に連通されている（図１４、図１５参照）。クランプ駆動時に、第１作動室８１に加圧油を供給する際には、パイロット油室１１５の油圧はドレン圧であるため、パイロット部材１１３のロッド部１１３ｂは鋼球１１２から離隔し、パイロットチェック弁７Ａが機能するようになっている（図１５参照）。
【００８３】
油圧供給源１００から供給される加圧油は、油路１０３，１０１、環状油路１１０ｃ、横断油路１１１ａ、通路孔１１６ｂに供給され、鋼球１１２を押し開いて収容孔１１６ｃへ流れ、収容孔１１６ｃから横断油路１１１ｂ、環状油路１１０ｄ、油路１０１を通って流量調整弁８３へ流れ、流量調整弁８３から第１作動室８１へ供給される。
【００８４】
クランプ解除時(アンクランプ駆動時)に第２作動室８２に加圧油を供給する際には、加圧油が環状油路１０４ａ、油路１０４ｂ，１０２，１０６を通ってパイロット油室１１５に供給されるため、パイロット部材１１３が鋼球１１２の方へ押動されて鋼球１１２を押し開いて開弁させる。それ故、第１作動室８１の加圧油は、油路１０１及び流量調整弁８３を通ってパイロットチェック弁７Ａに流れ、開弁状態のパイロットチェック弁７Ａを通って油路１０３へ流れ、油路１０３から油圧供給源１００へ排出される。
尚、油路１０１が「第１通路」に相当し、油路１０４，１０４ａ，１０４ｂが「第２通路」に相当し、油路１０２，１０６が「第３通路」に相当する。
【００８５】
このクランプ装着ＣＡにおいては、第１作動室８１に加圧油を供給する油路１０１に  パイロットチェック弁７Ａを設けたため、実施例１と同様の作用、効果が得られる。
そして、第１作動室８１へ供給する加圧油の流量を調整する流量調整弁８３を設けたため、クランプ駆動時のピストン部材７１の下降速度を所望の速度に設定することができる。
また、ピストン部材７１の昇降動作に連動してピストン部材７１を９０°旋回させる旋回機構７２を設けたため、クランプ駆動時にアーム部材８０をワークＷに対向する状態にしてクランプし、アンクランプ駆動時にはアーム部材８０がワークＷに対向しない状態にして、ワークＷの取り出しや搬入を能率的に行うことができる。
【００８６】
次に、前記実施例を部分的に変更した変形例について説明する。
１）前記実施例においては、油圧シリンダを装備したクランプ装置を例にして説明したが、加圧油や加圧エアなどの加圧流体で駆動する複動型流体圧シリンダを装備したクランプ装置として構成してもよい。
【００８７】
２）パイロットチェック弁の弁体として鋼球を用いた例を説明したが、鋼球以外の種々の構造の弁体を採用してもよい。また、パイロットチェック弁７，７Ａの構造は一例を示すもので、前記パイロットチェック弁７，７Ａと異なる種々の構造のパイロットチェック弁を採用してもよい。同様に、前記流量調整弁８３と異なる種々の構造の流量調整弁を採用してもよい。
【００８８】
３）前記実施例においては、ホールクランプ装置やスイング式クランプ装置に本発明を適用した例を説明したが、前記のクランプ装置以外の種々のクランプ装置にも本発明を適用可能である。
４）その他、本発明は、ワークパレット等のようなクランプ専用装置以外の装置、例えば、少なくともクランプ機能を備えた搬送装置や洗浄装置等にも適用可能であり、当業者であれば、本発明の趣旨を逸脱することなく、前記実施例に種々の変更を付加した形態で実施可能であり、本発明はそのような変更形態も包含するものである。
【符号の説明】
【００８９】
１，７０                クランプ本体
１ａ                    上部本体
１ｂ                    下部本体
２                      グリップ部材
３                      クランプロッド
５，５Ａ                複合型油圧シリンダ
６                      サポート機構
７，７Ａ                パイロットチェック弁
２１，８１              第１作動室
２２，８２              第２作動室
４１，１０１            油路
４２，４２ａ，１０４，１０４ａ      油路
４３，４４，４５，１０２，１０６    油路
５０，１１０            収容穴
５０ａ                  上半部
５０ｂ                  下半部
５１，１１１            弁ケース
５２，１１２            鋼球
５３，１１３            ピストン部材
５４，１１４            圧縮スプリング
７１                    ピストン部材
７２                    旋回機構
８３                    流量調整弁
Ｃ，ＣＡ                クランプ装置
Ｗ                      ワーク
Ｈ                      穴
【図１】
2015003346.tif 000003
【図２】
2015003346.tif 000004
【図３】
2015003346.tif 000005
【図４】
2015003346.tif 000006
【図５】
2015003346.tif 000007
【図６】
2015003346.tif 000008
【図７】
2015003346.tif 000009
【図８】
2015003346.tif 000010
【図９】
2015003346.tif 000011
【図１０】
2015003346.tif 000012
【図１１】
2015003346.tif 000013
【図１２】
2015003346.tif 000014
【図１３】
2015003346.tif 000015
【図１４】
2015003346.tif 000016
【図１５】
2015003346.tif 000017