(57)【要約】【課題】流体と壁との間の接触面積が広く、多数の貫通孔を設けることができる構成の熱・音波変換部品で、音波が伝播する流体と、流体と接する壁との間で、音波と熱のエネルギ変換を効率よく行う。【解決手段】熱・音波変換部品の製造時、板材であって、板厚方向に貫通する複数の貫通スリットが前記貫通スリットの延在方向と直交する方向に間隔をあけて直線状に平行に設けられた第１の板材と、貫通スリットが設けられていない第２の板材を複数作製する。第２の板材を第２の板材の主表面同士が互いに対向するように並べたときの隣り合う２つの第２の板材の間に第１の板材を積層した構造を備え、積層した第１の板材の前記貫通スリット同士が積層方向で連通した連通孔を内部に備えた板材の集合体を形成する。この後、貫通スリットの延在方向における前記集合体の両端を切断して前記集合体の両側の切断面に前記連通孔の開口を形成することにより、熱・音波変換部品を作製する。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
音波が伝播する流体と、前記流体と接する壁との間で、音波のエネルギを熱のエネルギに変換する、あるいは熱のエネルギを音波のエネルギに変換する熱・音波変換部品の製造方法であって、
板材であって、板厚方向に貫通する複数の貫通スリットが前記貫通スリットの延在方向と直交する方向に間隔をあけて直線状に平行に設けられている第１の板材と、前記貫通スリットが設けられていない第２の板材をそれぞれ複数作製する第１の工程と、
前記第２の板材を前記第２の板材の主表面同士が互いに対向するように並べたときの隣り合う２つの第２の板材の間に前記第１の板材を積層した構造を備え、積層した第１の板材の前記貫通スリット同士が積層方向で連通した連通孔を内部に備えた板材の集合体を形成する第２の工程と、
前記第２の工程後、前記貫通スリットの延在方向における前記集合体の両端を切断して前記集合体の両側の切断面に前記連通孔の開口を形成することにより、複数の貫通孔と、前記貫通孔の周りに形成され、前記貫通孔の延在方向に延びる壁と、を備えた熱・音波変換部品を作製する第３の工程と、
を含むことを特徴とする熱・音波変換部品の製造方法。
【請求項２】
前記第１の板材及び前記第２の板材は金属板であり、
前記第１の板材と前記第２の板材は、熱圧着により接合される、請求項１に記載の熱・音波変換部品の製造方法。
【請求項３】
前記第１の板材及び前記第２の板材は、同じ材質の金属板である、請求項１または２に記載の熱・音波変換部品の製造方法。
【請求項４】
前記貫通スリットの前記延在方向と直交する幅方向の寸法は、０．４μｍ以下である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の熱・音波変換部品の製造方法。
【請求項５】
前記連通孔の前記第１の板材の積層方向における寸法は、０．４μｍ以下である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の熱・音波変換部品の製造方法。
【請求項６】
さらに、前記貫通孔の内壁面に、セラミックスコート層を形成する第４の工程を含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載の熱・音波変換部品の製造方法。
【請求項７】
音波が伝播する流体と、前記流体と接する壁との間で、音波のエネルギを熱のエネルギに変換する、あるいは熱のエネルギを音波のエネルギに変換する熱・音波変換部品であって、
音波の伝播経路を形成する一方向に直線状に延在した複数の貫通孔と、前記貫通孔の周りに形成され、前記貫通孔の延在方向に延びる壁と、を備え、
前記熱・音波変換部品は、前記貫通孔の延在方向に平行な主表面を有する複数の板材の積層構造を含む、ことを特徴とする熱・音波変換部品。
【請求項８】
前記貫通孔の延在方向における両側の開口のうち、第１の開口から平行光を第２の開口に向けて照射したとき、前記第２の開口から出射する平行光の通過面積は、前記第１の開口面積の８５％以上である、請求項７に記載の熱・音波変換部品。
【請求項９】
前記貫通孔は水力直径が０．４ｍｍ以下の貫通孔を含む、請求項７または８に記載の熱・音波変換部品。
【請求項１０】
前記板材は金属板であり、
前記板材は、熱圧着により接合されている、請求項７〜９のいずれか１項に記載の熱・音波変換部品。
【請求項１１】
前記複数の板材は同じ種類の金属板である、請求項７〜１０のいずれか１項に記載の熱・音波変換部品。
【請求項１２】
前記貫通孔の内壁面には、セラミックスコート層が設けられている、請求項７〜１１のいずれか１項に記載の熱・音波変換部品。
【請求項１３】
流体の音波エネルギを、前記流体に接する壁の熱を用いて増幅する熱・音波変換部品を備えた熱・音波変換器であって、
請求項１〜６のいずれか１項に記載の熱・音波変換部品の製造方法により製造された熱・音波変換部品、あるいは請求項７〜１２のいずれか１項に記載の熱・音波変換部品と、
前記流体の音波の伝播経路を形成し、前記熱・音波変換部品の前記貫通孔の延在方向に沿って前記音波が伝播するように、前記音波を前記貫通孔に導く導管と、
前記熱・音波変換部品の両端に設けられ、前記熱・音波変換部品の前記両端の間で前記延在方向に沿って温度勾配を形成させる一対の熱交換部と、を有し、
前記導管は、前記温度勾配を用いて音波エネルギが増幅された音波を出力し、出力した音波を用いて、前記増幅した音波エネルギを別のエネルギに変換する変換器に接続される出力端を有する、ことを特徴とする熱・音波変換器。
【請求項１４】
流体に接する壁に、前記流体の音波エネルギを用いて温度勾配をつくる熱・音波変換部品を備えた熱・音波変換器であって、
請求項１〜６のいずれか１項に記載の熱・音波変換部品の製造方法により製造された熱・音波変換部品、あるいは請求項７〜１２のいずれか１項に記載の熱・音波変換部品と、
前記流体の音波の伝播経路を形成し、前記熱・音波変換部品の前記貫通孔の延在方向に沿って前記音波が伝播するように、前記音波を前記貫通孔に導く導管と、
前記熱・音波変換部品の一方の端に設けられた一定の温度を有する熱交換部と、
前記熱・音波変換部品の他方の端に設けられる熱出力部であって、前記音波の伝播によって、前記熱交換部との間で前記熱・音波変換部品上に形成される温度勾配から、前記熱交換部の温度と温度差を有する温度を取り出す熱出力部と、を有することを特徴とする熱・音波変換器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音波が伝播する流体と、この流体と接する壁との間で、音波のエネルギを熱のエネルギに変換する、あるいは熱のエネルギを音波のエネルギに変換する熱・音波変換部品の製造方法、熱・音波変換部品、及び熱・音波変換器に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、地球環境保護の観点から、従来捨てられていたエネルギを有効利用する技術が求められている。特に、捨てられていたエネルギを動力エネルギに変換できる技術が望まれている。このような技術として、水蒸気を生成し、タービンを回すランキンボトミング、廃棄熱を利用したスターリングサイクルシステム、熱電変換素子による熱から電気への変換システム、熱エネルギを音圧エネルギに変換する熱・音響システム等が知られている。
【０００３】
熱・音響システムは、音波のエネルギ（音圧エネルギ）と熱エネルギとの間でエネルギを変換する熱・音変換技術を利用したシステムであり、音波が伝播する流体中の流体要素の圧縮過程及び膨張過程を利用する。具体的には、当該技術は、流体要素が上記圧縮過程を行う位置（音波の伝播方向の位置）と流体要素が上記膨張過程を行う位置（音波の伝播方向の位置）が流体の縦振動（音波）によって異なることを利用する。
熱・音変換技術を利用した熱・音響システムの例として、固体とガス間で十分な接触頻度を持つ装置において、固体の一端を加熱しつつ、熱の一部を音波のエネルギに変換し、この音波を発電装置に供給するシステムが挙げられる。このシステムでは、上記装置中の固体に形成される温度勾配がキーとなるが、この装置では音波へのエネルギの変換効率が十分ではなかった。これは、熱エネルギを音圧エネルギに変換する役割を持つ熱・音波変換部品が、好ましい構造、物性を持っていなかったことに起因する。
【０００４】
このような熱・音響システムに用いる熱・音波変換部品として、小型化に伴ってより高い周波数でも低温度差で自励振動できる熱音響装置用スタックが知られている（特許文献１）。
当該熱音響装置用スタックは、金属製メッシュ状の板材を積層して接合することによる複数の貫通孔が形成された部材である。このスタックにおいて、熱伝導率が１０［Ｗ／ｍ・Ｋ］未満の材料から構成されている。これにより、スタックの長さを短くしても温度勾配をスケーリング（比例縮小）することが可能となるので、臨界温度勾配を達成するのに必要な高温側熱交換器の温度を低くすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−２３７２９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記スタックでは、臨界温度勾配を達成するのに必要な高温側熱交換器の温度を効率よく低くすることができる。
しかし、現在、音波と熱との間のエネルギ変換の効率は依然として低いため、流体中の音波と、流体と接する壁の熱との間で効率よくエネルギ変換を行うことがよりいっそう求められている。音波と熱との間のエネルギ変換の効率をより向上させるためには、貫通孔に沿った壁の温度勾配が維持できるように、壁の貫通孔に沿った熱伝導率を低く抑えること以外に、エネルギ変換を行うための音波が伝播する貫通孔の壁との間の接触面積を広くすること、及び音波の伝播の障害とならないようにするために、多数の貫通孔を平行かつ直線状に作製することが好ましい。しかし、上述の熱音響装置用スタックは、金属製メッシュ状の板材を積層して接合した構成であるため、貫通孔の壁面は、貫通孔の延在方向に沿って凹凸ができ、貫通孔を平行かつ直線状に作製することは難しい。
【０００７】
そこで、本発明は、流体と壁との間の接触面積が広く、多数の貫通孔を設けることができる構成であって、音波が伝播する流体と、この流体と接する壁との間で、音波と熱のエネルギ変換を効率よく行うことができる熱・音波変換部品の製造方法、熱・音波変換部品、及び熱・音波変換器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、音波が伝播する流体と、前記流体と接する壁との間で、音波のエネルギを熱のエネルギに変換する、あるいは熱のエネルギを音波のエネルギに変換する熱・音波変換部品の製造方法である。当該製造方法は、
板材であって、板厚方向に貫通する複数の貫通スリットが前記貫通スリットの延在方向と直交する方向に間隔をあけて直線状に平行に設けられている第１の板材と、前記貫通スリットが設けられていない第２の板材をそれぞれ複数作製する第１の工程と、
前記第２の板材を前記第２の板材の主表面同士が互いに対向するように並べたときの隣り合う２つの第２の板材の間に前記第１の板材を積層した構造を備え、積層した第１の板材の前記貫通スリット同士が積層方向で連通した連通孔を内部に備えた板材の集合体を形成する第２の工程と、
前記第２の工程後、前記貫通スリットの延在方向における前記集合体の両端を切断して前記集合体の両側の切断面に前記連通孔の開口を形成することにより、複数の貫通孔と、前記貫通孔の周りに形成され、前記貫通孔の延在方向に延びる壁と、を備えた熱・音波変換部品を作製する第３の工程と、を含む。
【０００９】
また、前記第１の板材及び前記第２の板材は金属板であり、前記第１の板材と前記第２の板材は、熱圧着により接合されることが好ましい。
【００１０】
前記第１の板材及び前記第２の板材は、同じ材質の金属板であることが好ましい。
【００１１】
前記貫通スリットの前記延在方向と直交する幅方向の寸法は、０．４μｍ以下であることが好ましい。
【００１２】
前記連通孔の前記第１の板材の積層方向における寸法は、０．４μｍ以下であることが好ましい。
【００１３】
さらに、前記貫通孔の内壁面に、セラミックスコート層を形成する第４の工程を含むことが好ましい。
【００１４】
本発明の他の一態様は、音波が伝播する流体と、前記流体と接する壁との間で、音波のエネルギを熱のエネルギに変換する、あるいは熱のエネルギを音波のエネルギに変換する熱・音波変換部品である。当該熱・音波変換部品は、
音波の伝播経路を形成する一方向に直線状に延在した複数の貫通孔と、前記貫通孔の周りに形成され、前記貫通孔の延在方向に延びる壁と、を備え、
前記熱・音波変換部品は、前記貫通孔の延在方向に平行な主表面を有する複数の板材の積層構造を含む。
【００１５】
その際、前記貫通孔の延在方向における両側の開口のうち、第１の開口から平行光を第２の開口に向けて照射したとき、前記第２の開口から出射する平行光の通過面積は、前記第１の開口面積の８５％以上であることが好ましい。
【００１６】
前記貫通孔は水力直径が０．４ｍｍ以下の貫通孔を含むことが好ましい。
【００１７】
前記板材は金属板であり、前記板材は、熱圧着により接合されていることが好ましい。
【００１８】
前記複数の板材は同じ種類の金属板であることが好ましい。
【００１９】
前記貫通孔の内壁面には、セラミックスコート層が設けられていることが好ましい。
【００２０】
本発明の更に他の一態様は、流体の音波エネルギを、前記流体に接する壁の熱を用いて増幅する熱・音波変換部品を備えた熱・音波変換器である。当該熱・音波変換器は、
前記熱・音波変換部品の製造方法により製造された熱・音波変換部品、あるいは前記熱・音波変換部品と、
前記流体の音波の伝播経路を形成し、前記熱・音波変換部品の前記貫通孔の延在方向に沿って前記音波が伝播するように、前記音波を前記貫通孔に導く導管と、
前記熱・音波変換部品の両端に設けられ、前記熱・音波変換部品の前記両端の間で前記延在方向に沿って温度勾配を形成させる一対の熱交換部と、を有し、
前記導管は、前記温度勾配を用いて音波エネルギが増幅された音波を出力し、出力した音波を用いて、前記増幅した音波エネルギを別のエネルギに変換する変換器に接続される出力端を有する。
【００２１】
本発明の更に他の一態様は、流体に接する壁に、前記流体の音波エネルギを用いて温度勾配をつくる熱・音波変換部品を備えた熱・音波変換器である。当該熱・音波変換器は、
前記熱・音波変換部品の製造方法により製造された熱・音波変換部品、あるいは前記熱・音波変換部品と、
前記流体の音波の伝播経路を形成し、前記熱・音波変換部品の前記貫通孔の延在方向に沿って前記音波が伝播するように、前記音波を前記貫通孔に導く導管と、
前記熱・音波変換部品の一方の端に設けられた一定の温度を有する熱交換部と、
前記熱・音波変換部品の他方の端に設けられる熱出力部であって、前記音波の伝播によって、前記熱交換部との間で前記熱・音波変換部品上に形成される温度勾配から、前記熱交換部の温度と温度差を有する温度を取り出す熱出力部と、を有する。
【発明の効果】
【００２２】
上述の態様の熱・音波変換部品、熱・音波変換器によれば、流体と壁との間の接触面積が広く、多数の貫通孔を設けることができる構成であり、音波が伝播する流体と、この流体と接する壁との間で、音波と熱のエネルギ変換を効率よく行うことができる。また、熱・音波変換部品の製造方法により、上記熱・音波変換部品の貫通孔の延在方向に沿った凹凸は抑制され、貫通孔を直線状に精度よく作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本実施形態の熱・音波変換部品を適用した本実施形態の熱・音波変換器の構成の一例を示す図である。
【図２】図１に示す熱・音波変換器とは別の実施形態である熱・音波変換器の構成の一例を示す図である。
【図３】本実施形態の熱・音波変換部品の一例の外観斜視図である。
【図４】（ａ），（ｂ）は、熱・音波変換部品における音圧エネルギと熱エネルギとの間の変換を説明する図である。
【図５】本実施形態の熱・音波変換部品の製造方法の一例を説明する図である。
【図６】本実施形態の熱・音波変換部品の製造方法で作製される板材の集合体の一例を示す図である。
【図７】本実施形態の熱・音波変換部品の製造方法で行う板材の集合体の切断を説明する図である。
【図８】本実施形態の熱・音波変換部品の製造方法で製造される熱・音波変換部品の貫通孔の断面形状の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本実施形態の熱・音波変換部品の製造方法、熱・音波変換部品、及び熱・音波変換器について詳細に説明する。
【００２５】
（熱・音波変換器１０）
図１は、本実施形態の熱・音波変換部品を適用した本実施形態の熱・音波変換器１０の構成の一例を示す図である。図１に示す熱・音波変換器１０は、導管内を伝播する音波の音圧エネルギを増大し、増大した音圧エネルギを、他のエネルギに変換する変換装置４０に供給する装置である。変換装置４０は、例えば、音圧エネルギを電気エネルギに変換する発電機や音圧エネルギを熱エネルギに変換する装置が挙げられる。上記発電機では、音波によって発電素子であるコイルや磁石等を振動させることにより電磁誘導を発生させて起電力を生じさせる。音圧エネルギを熱エネルギに変換する変換装置では、例えば音波に熱が吸収されて冷却された冷媒を取り出して、冷却装置として用いられる。
熱・音波変換器１０は、熱・音波変換部品に入力した音波Ｓｗの音圧エネルギを熱・音波変換部品で増大させ、音圧エネルギの増大した音波を出力する装置である。熱・音波変換器１０は、例えば、小さな音圧エネルギの音波Ｓｗを熱・音波変換部品で増大させ、音圧エネルギの増大した音波を循環して、さらに熱・音波変換部品に入力させて音圧エネルギを増大させることにより、極めて大きな音圧エネルギの音波を出力することができる。このとき、小さな音圧エネルギの音波Ｓｗを形成する初期段階では、熱・音波変換器１０は、上記循環を利用して、導管１４内の音のノイズ成分の一部を、熱・音波変換器１０の形状寸法等によって定まる周波数を持つ音波として選択的に増幅する。これにより、上記小さな音圧エネルギの音波Ｓｗが自励的に形成される。
【００２６】
熱・音波変換器１０は、図１に示すように、熱・音波変換部品１２と、導管１４と、熱交換部１５，２３と、を主に有する。
熱・音波変換部品１２は、音波Ｓｗが伝播する流体と、この流体と接する壁との間で、音波と熱のエネルギの変換を行う部品であって、後述するように、音波Ｓｗの伝播経路を形成する一方向に延在した管状の複数の貫通孔を備える。すなわち、熱・音波変換部品１２は円柱や角柱等の柱形状を成し、柱形状の軸方向に沿って、多数の貫通孔が互いに平行に設けられている。熱・音波変換部品１２は、例えば、金属、セラミックス等で構成される。
【００２７】
導管１４は、流体を導管１４内に含み、この流体の音波Ｓｗの伝播経路を形成するとともに、熱・音波変換部品１２の貫通孔の延在方向に沿って音波Ｓｗが伝播するように、音波Ｓｗを貫通孔に導く。導管１４は、例えば、金属製の管である。導管１４には、流体として好適にはガスが用いられ、例えば水素やヘリウムガスが用いられる。ガスは、例えば数気圧〜数十気圧の所定の圧力に調整されて導管１４に封入されている。導管１４は、図１に破線で示すように、音波Ｓｗが熱・音波変換部品１２を循環する循環経路３６を形成するように構成される。導管１４は、音圧エネルギが増幅された音波Ｓｗを用いて、音圧エネルギ以外のエネルギに変換する変換器４０に接続される出力端１４ａを有する。本実施形態の導管１４は、循環経路３６を形成するが、導管１４は必ずしも循環経路を形成しなくてもよい。
【００２８】
熱交換部１５は、熱・音波変換部品１２の一方の端に設けられ、熱・音波変換部品１２の端を低温にする低温部である。以降では、熱交換部１５を、同符号を付して低温部１５という。熱交換部２３は、熱・音波変換部品１２の他方の端に設けられ、熱・音波変換部品１２の端を高温にする高温部である。以降では、熱交換部２３を同符号を付して高温部２３という。これにより、低温部１５及び高温部２３は、熱・音波変換部品１２の両端の間において、熱・音波変換部品１２に設けられた貫通孔の壁面に沿って、すなわち貫通孔の延在方向に沿って温度勾配を形成させる。
低温部１５は、低温のガスや液体等の媒体を低温部１５に供給する供給管１６と、上記媒体を低温部１５から排出する排出管１８と、供給管１６と排出管１８の間に設けられ、音波Ｓｗの伝播経路の周りを環状に囲む環状管２０と、を有する。供給管１６は、図示されない低熱源と接続されている。環状管２０は、供給管１６と排出管１８に接続されている。また、環状管２０は、熱伝導率の高い金属部材２１と当接し、この金属部材２１が熱・音波変換部品１２と当接している。したがって、上記金属部材２１を介して熱・音波変換部品１２の端との間で熱交換して熱・音波変換部品１２の端から低温部１５に熱が流れて熱・音波変換部品１２の金属部材２１と接する端は冷却される。また、低温部１５は、導管１４内の流体を冷却するための冷却フィン２２が設けられている。この冷却フィン２２は、環状管２０と接続されているので、低温部１５に位置する流体の熱を吸収し、流体の温度を低下させる。
【００２９】
一方、高温部２３は、高温のガスや液体等の媒体を高温部２３に供給する供給管２４と、この媒体を高温部２３から排出する排出管２６と、供給管２４と排出管２６の間に設けられ音波Ｓｗの伝播経路の周りを環状に囲む環状管２８と、を有する。供給管２４は、図示されない高熱源と接続されている。環状管２８は、供給管２４と排出管２６に接続されている。また、環状管２８は、熱伝導率の高い金属部材２９と当接し、この金属部材２９が熱・音波変換部品１２と当接している。したがって、上記金属部材２９を介して熱・音波変換部品１２の端は、高温部２３と熱交換し、熱・音波変換部品１２の端には高温部２３から熱が流れて加熱される。また、高温部２３は、導管１４内の流体を加熱するための加熱フィン３０が設けられている。この加熱フィン３０は、環状管２８と接続されているので、高温部２３に位置する流体に熱を供給し、加熱フィン３０に位置する流体の温度を高くさせる。
【００３０】
熱・音波変換部品１２の外周には、熱・音波変換部品１２の熱移動を抑制する干渉材３２が設けられる。干渉材３２の外周には、空隙を介してケーシング３４が設けられている。
したがって、熱・音波変換部品１２は、低温部材１５及び高温部材２３によって形成される温度勾配を維持することができる。このような熱・音波変換器１０における熱・音波変換部品１２の作用についての詳細は後述する。
【００３１】
（熱・音波変換器１１０）
図２は、熱・音波変換器１０とは別の実施形態である熱・音波変換器１１０の構成の一例を示す図である。図２に示す熱・音波変換器１１０は、導管内を伝播する音波の音圧エネルギを熱エネルギに変換する装置である。
熱・音波変換器１１０は、図２に示すように、熱・音波変換部品１１２と、導管１１４と、熱変換部１２３と、熱出力部１１５と、を主に有する。熱出力部１１５が熱交換部１２３の温度と温度差を有する温度を取り出す、すなわち、冷却された冷却媒体（ガスあるいは液体）を出力する部分である。
熱・音波変換器１１０は、導管１１４を介して、音波を出力する上述した熱・音波変換器１０に接続されている。本実施形態の熱・音波変換器１１０では、上述した熱・音波変換器１０に接続される構成であるが、これ以外の音波を発生させる装置であってもよい。
【００３２】
導管１１４及び熱変換部１２３は、図１に示す導管１４及び熱変換部２３と同じ構成を有する。
導管１１４は、流体を導管１１４内に含み、この流体の音波の伝播経路を形成するとともに、熱・音波変換部品１１２の貫通孔の延在方向に沿って音波が伝播するように、音波を熱・音波変換部品１１２の貫通孔に導く。導管１１４は、例えば、金属製の管である。導管１１４には、流体としてガスが用いられ、例えば水素やヘリウムガスが用いられる。ガスは、例えば数気圧〜数十気圧の所定の圧力に調整されて導管１１４に封入されている。導管１１４は、図２に示すように、音波が熱・音波変換部品１１２を循環する循環経路１３６を形成するように構成される。本実施形態の導管１１４は、循環経路１３６を形成するが、導管１１４は必ずしも循環経路を形成しなくてもよい。
【００３３】
熱交換部１２３は、一定の温度のガスや液体等の媒体を熱交換部１２３に供給する供給管１２４と、上記媒体を熱変換部１２３から排出する排出管１２６と、供給管１２４と排出管１２６の間に設けられ音波の伝播経路の周りを環状に囲む環状管１２８と、を有する。供給管１２４は、図示されない一定の温度の熱源と接続されている。環状管１２８は、供給管１２４と排出管１２６に接続されている。また、環状管１２８は、熱伝導率の高い金属部材１２９と当接し、この金属部材１２９が熱・音波変換部品１２と当接している。したがって、上記金属部材１２９を介して熱・音波変換部品１２の端は、熱交換部１２３と熱交換し、熱・音波変換部品１１２の端は熱交換部１２３の温度と同じ温度になる。また、熱変換部１２３は、導管１１４内の流体を一定の温度にするためのフィン１３０が設けられている。このフィン１３０は、環状管１２８と接続されているので、熱変換部１２３に位置する流体に熱を供給し、フィン１３０に位置する流体の温度を一定にする。
【００３４】
熱・音波変換部品１１２の外周には、熱・音波変換部品１１２の熱移動を抑制する干渉材１３２が設けられる。干渉材１３２の外周には、空隙を介してケーシング１３４が設けられている。したがって、熱・音波変換部品１１２は、音波によって形成される温度勾配を維持することができる。このような熱・音波変換器１１０における音波と熱の変換を行う熱・音波変換部品１１２の作用についての詳細は後述する。
【００３５】
熱出力部１１５は、熱・音波変換部品１１２の一方の端に設けられている。熱出力部１１５は、音波の伝播によって、熱・音波変換部品１１２上に形成される温度勾配から、熱交換部１２３の温度と温度差を有する温度を取り出す。上記温度勾配は、熱変換部１２３の一定の温度との間に形成される温度勾配である。
熱出力部１１５は、ガスや液体等の媒体を供給する供給管１１６と、上記媒体を熱出力部１１５から排出する排出管１１８と、供給管１１６と排出管１１８の間に設けられ、音波の伝播経路の周りを環状に囲む環状管１２０と、を有する。環状管１２０は、供給管１１６と排出管１１８に接続されている。また、環状管１２０は、熱伝導率の高い金属部材１２１と当接し、この金属部材１２１が熱・音波変換部品１１２と当接している。したがって、環状管１２０は、上記金属部材１２１を介して熱・音波変換部品１１２の端との間で熱交換をして熱・音波変換部品１１２の端に熱出力部１１５から熱が流れて環状管１２０は冷却される。このため、環状管１２を流れる媒体は冷却媒体となり、冷却媒体が出力される。このような冷却媒体は、冷却装置に用いられる。また、熱出力部１１５は、導管１１４内の流体を冷却するための冷却フィン１２２が設けられている。この冷却フィン１２２は、環状管１２０と接続されているので、熱出力部１１５に位置する流体の熱を吸収し、温度を低下させる。
このように熱・音波変換器１１０では、音波の音圧エネルギを熱エネルギに変換するが、この変換は熱・音波変換部品１１２によって行われる。以下、熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２の作用、すなわち、音圧エネルギ及び熱エネルギの変換について説明する。
【００３６】
（熱・音波変換部品）
熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２は同一の構成を有するので、熱・音波変換部品１２を代表して説明する。図３は、熱・音波変換部品１２の外観斜視図である。
熱・音波変換部品１２は、波の伝播経路を形成する一方向に延在した複数の貫通孔１２ａと、貫通孔１２ａの周りに形成され、貫通孔１２ａの延在方向（図３中のＸ方向）に延びる壁１２ｂと、を備える。
熱・音波変換部品１２のＸ方向の長さは、導管１４内に形成させる音波の波長や流体の振動による縦変位に応じて設定され、例えば１０ｍｍ以上５００ｍｍ未満であることが好ましい。この範囲にあるとき、音波の縦振動による流体要素の変位に一致し、効率のよいエネルギ変換を実現できる。
【００３７】
図４（ａ），（ｂ）は、熱・音波変換部品１２における音圧エネルギと熱エネルギとの間の変換を説明する図である。
流体は、音波を伝播させる媒体であり縦振動する。この縦振動による流体の変位と流体の圧縮と膨張との関係を説明するために、流体のごく一部の領域を定めた流体要素を用いて説明する。
【００３８】
音波が進行波であって、この音波が流体中を伝播するとき、流体中の流体要素は圧縮及び膨張を繰り返し受ける。圧縮する流体要素の壁１２ｂに沿ったＸ方向の位置と、膨張する流体要素の壁１２ｂに沿ったＸ方向の位置は、流体の縦振動によって異なる。
図４（ａ）に示す例では、音波の音圧と流体要素の変動の位相が４分の１周期ずれる進行波における圧縮、膨張の１サイクルを示している。予め壁１２ｂの一端（位置Ｉ）を外部より加熱し、一端（位置ＩＩ）を外部より冷却して壁１２ｂに図４（ｂ）に示すように温度勾配をつけてある状態で、流体要素が、壁１２ｂの位置Ｉで膨張過程の状態Ａにある。この状態で膨張をつづけながら状態Ｂに移行する。このとき、流体要素は温度が高い壁１２ｂから熱の供給を受ける。次に、状態Ｂから流体要素は変位を開始して、壁１２ｂの位置ＩＩに向かって移動し最も膨張した状態Ｂ’に移行する。この状態Ｂ’において、音波により圧縮を開始し、状態Ｄに移行する。このとき、温度の低い壁１２ｂに熱を供給する。次に、状態Ｄから流体要素は変位を開始して、位置Ｉに向かって移動し、最も圧縮されたＤ’にいたるまでの間壁１２ｂへの熱の供給を続ける。このように、膨張過程で流体要素が壁１２ｂから熱を受け、壁１２ｂが圧縮過程で流体要素から熱を奪うことができ、流体要素の圧縮と膨張を増大させることができる。すなわち、熱・音波変換部品１２は、熱・音波変換部品１２に伝播する音波の音圧エネルギを、温度勾配を予め形成しておくことにより増大させることができる。
【００３９】
一方、予め温度勾配を壁１２ｂに与えていない場合には、流体要素の圧縮過程で高温になった流体要素から熱が壁１２ｂへ供給され、流体要素の膨張過程では壁１２ｂから熱を奪うので、図４（ｂ）と反対の温度勾配が壁１２ｂ内に形成される。すなわち、熱・音波変換部品１１２は、熱・音波変換部品１１２に伝播する音波の音圧エネルギによって形成される温度勾配を用いて、低い温度あるいは高い温度を取り出すことができる。例えば、壁１２ｂには位置Ｉと位置ＩＩとの間で、音波によって温度勾配が形成されるので、位置Ｉあるいは位置ＩＩのうちいずれか一方の位置を一定の温度に調整したとき、この温度勾配から一定の温度に対して温度差を持った温度を他方の位置で取り出すことができる。すなわち、熱・音波変換部品１１２は、熱・音波変換部品１１２に伝播する音波の音圧エネルギによって形成される温度勾配を用いて、低い温度あるいは高い温度を取り出すことができる。
以上のようなサイクルを１サイクルとして複数サイクルを繰り返し行うために、循環経路３６，１３６を形成することが好ましい。
なお、上記説明では、進行波を例に挙げて説明した。進行波は、流体の圧縮及び膨張のサイクルと、流体要素の変動のサイクルが４分の１周期ずれている。このため、音波と熱のエネルギ変換が実現される。これに対して、定在波では、流体の圧縮及び膨張のサイクルと、流体要素の変動のサイクルが同位相であるため、エネルギ変換は発生し難い。しかし、定在波の場合、流体と壁との間でエネルギ変換を行うときに生じる変換の遅れを利用するために、音波の周波数を設定することにより、上記変換を実現することができる。定在波の波長は、導管１４，１１４あるいは循環経路３６，１３６の長さに応じて定まり、この波長によって音波の周波数は定まるので、音波の周波数の設定は、導管１４，１１４あるいは循環経路３６，１３６の長さを調整することにより行われる。なお、エネルギ変換の遅れは、流体の熱伝導度、流体の密度、流体の定圧比熱、及び貫通孔の大きさによって定まる。
【００４０】
このような熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２の機能を効率よく実現するためには、音波と熱との間のエネルギの変換が、複数の箇所で行われることが好ましく、しかも、音波が壁１２ｂによる摩擦を受けて音圧エネルギが減衰しないように貫通孔１２ａは直線状に真っ直ぐに延びている、すなわち、壁１２ｂの貫通孔１２ｂを形成する内壁面が貫通孔１２ｂの延在方向において凹凸を持たず真っ直ぐに延びていることが好ましい。
【００４１】
熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２は、貫通孔１２ａが直線状に真っ直ぐに延びるようにするために、貫通孔１２ａの延在方向に平行な主表面を有する複数の板材の積層構造を含んでいる。この複数の板材の積層構造により、直線状に真っ直ぐ延びた多数の貫通孔１２ａを有する熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２を容易に作製することができる。
【００４２】
具体的には、板材の主表面上の一方向に直線状に延び、かつ板材の板厚方向に貫通した貫通スリットを備える板材を積層することにより、貫通孔１２ａを備えた熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２を作製することができる。スリット等の空いていない板材をエッチング等することにより寸法精度よく形状加工することができるので、後述するように、精度の高い直線状の貫通スリットを備えた板材を複数形成することができる。したがって、熱・音波変換部品１２において、貫通孔１２ａの内壁面が真っ直ぐに延びる程度(以降では、貫通孔１２ａの直進の程度という)を高めることができ、貫通孔１２ａを通過する音波の進行を阻害する貫通孔１２ａの内壁面の凹凸は従来に比べて少なくなる。このため、音圧エネルギの減衰は抑制され、熱・音波変換部品１２における音波と熱のエネルギ変換効率を高くすることができる。
【００４３】
なお、貫通孔１２ａの直進の程度は、例えば、貫通孔１２ａの延在方向の両側の開口のうち、第１の開口から平行光（例えばレーザ光）を、貫通孔を通して第２の開口に向けて照射したとき、第２の開口から出射する平行光の通過面積を用いて把握することができる。具体的には、上記通過面積を、第１の開口面積で割り算した比で貫通孔１２ａの直進の程度を把握することができる。この場合、上記比は、８５％以上であることが、貫通孔１２ａを通過する音波エネルギを減衰させる貫通孔１２ａの内壁面の凹凸は少なくさせ、熱・音波変換部品１２における音波と熱のエネルギ変換効率を高くする点で好ましい。上記通過面積は、第１の開口面積の９０％以上であることが好ましく、さらに好ましくは９５％以上である。
【００４４】
熱・音波変換部品１２を構成する、貫通孔１２ａの延在方向に平行な主表面を有する複数の板材は金属板であってもよい。なお、上記金属板の材料は、ステンレス鋼、炭素鋼、純鉄、アルミニウム、チタン、ニッケル、クロムまたはこれらの合金、または、コバルト、マンガンとの合金であってもよく、これらに限らない。金属板である場合、この板材は、熱圧着により接合されていることが好ましい。
熱・音波変換部品１２を構成する複数の板材は、同じ種類の金属板であることが、貫通孔１２ａの延在方向と直交する方向において熱伝導率を一定に揃え、延在方向に沿って安定した温度勾配をつくる点で好ましい。
熱・音波変換部品１２を構成する上記板材は、金属板の他に、気孔を有する焼結体の板であってもよい。また、上記板材はガラス板であってもよく、板材の材料は特に制限されない。
【００４５】
本実施形態の熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２の音波を伝播する貫通孔は水力直径が０．４ｍｍ以下の貫通孔１２ａを含むことが、音波と熱との間のエネルギの変換を高くする点で好ましい。水力直径が０．４ｍｍ以下の貫通孔１２ａの数は、音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２における音波を伝播する貫通孔全体の数の８０％以上であることが好ましく、熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２の音波を伝播する貫通孔の水力直径はいずれも０．４ｍｍ以下であることが最も好ましい。
貫通孔１２ａの水力直径を０．４ｍｍ以下とすることが好ましいのは、貫通孔周りの壁と流体との間でエネルギの変換を行う時に寄与する流体の厚さの上限は０．２ｍｍであるためである。このため、エネルギの変換効率を高めるためには、貫通孔の水力直径を０．４ｍｍ以下とすることが好ましい。水力直径とは、貫通孔の延在方向に直交する方向に切断したときの貫通孔の断面形状において、断面形状の外周の周長をＬ[ｍｍ]とし、断面の面積をＳ［ｍｍ2］としたとき、４・Ｓ／Ｌ［ｍｍ］で表される寸法をいう。貫通孔の水力直径は、０．２〜０．３ｍｍとすることが好ましい。また、貫通孔の水力直径を０．１ｍｍより小さくすると、流体と貫通孔の壁との間で摩擦抵抗が増大するので好ましくない。この点で、貫通孔の水力直径を０．１ｍｍ以上とすることが好ましい。
【００４６】
また、熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２における貫通孔の延在方向における構造体としての熱伝導率は低いことが好ましく、例えば１０［Ｗ／ｍ／Ｋ］未満であることが、音波と熱のエネルギ変換効率を低くしない点で好ましい。
【００４７】
上記熱伝導率は、以下の温度傾斜法（定常法）で求められる。すなわち、上記熱伝導率を測定しようとするテストサンプルを熱伝導率が既知のスペーサで挟み、その片面を３０℃〜２００℃に加熱し、反対面を２０〜２５℃に冷却することにより、テストサンプルの厚さ方向に定常状態の温度勾配を設ける。このとき伝播する熱流量をスペーサ内の温度勾配より求め、この熱流量を温度差で割り算して熱伝導率を算出する。より具体的には、径３０ｍｍ、 厚さ３０ｍｍの熱・音波変換部品１２あるいは熱・音波変換部品１１２をテストサンプルとし、径３０ｍｍ、 長さ１５０ｍｍのステンレス、または銅製のスペーサを用い、スペーサ内軸方向の温度分布を測定することにより、貫通孔の延在方向に沿った熱伝導率を測定する。この方法により、構造体としての熱伝導率が測定される。
【００４８】
熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２における複数の貫通孔１２ａの開口率は６０％以上であることが、音波と熱のエネルギ変換効率を高くする点で好ましい。熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２の貫通孔の開口率を６０％以上とすることにより、音波が伝播する流体と壁との間でエネルギの変換を行う場所をより多数設け、流体と壁１２ｂとの接触面積を高めることができる。開口率は、熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２のＸ方向に直交する方向に切断した断面形状の外周で囲まれる面積に対する貫通孔の断面積の総和の比率である。上記開口率が６０％未満である場合、熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２の内の伝播経路が急激に狭くなり、音波による流体要素の粘性による散逸エネルギが増加し易い。この点で上記開口率は、７０％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましい。上記開口率の上限は、例えば９３％である。なお、上記開口率は、貫通孔に垂直な断面（研磨面）を顕微鏡で撮影し、このときの断面の撮影画像から、材料部分面積Ｓ１と空隙部分面積Ｓ２を求め、Ｓ１とＳ２を用いてＳ２／（Ｓ１＋Ｓ２）として求められる。
【００４９】
貫通孔１２ａの密度（セル密度）は、１６００ｃｐｓｉ（１平方インチ当たりの貫通孔の数（セル数））以上であり、９０００ｃｐｓｉ以下であることが好ましい。貫通孔の密度を高くすることで、流体と熱・音波変換部品１２との間で生じする流体損失を抑制することができる。
【００５０】
熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２における４００℃における壁１２ｂの材料の熱容量を３［Ｊ／ｃｃ／Ｋ］（壁１２ｂの１ｃｃ当たりの熱容量）以上とすることが好ましい。これにより、壁と流体との間の熱の授受によって壁の温度が変動することを抑えることができ、温度勾配を安定して維持することができる。壁１２ｂの材料の熱容量が３［Ｊ／ｃｃ／Ｋ］未満である場合、壁１２ｂと流体との間の熱の授受によって、壁の温度は急激に冷え、あるいは急激に大きくなるため、上記熱容量を３［Ｊ／ｃｃ／Ｋ］未満とすることは、温度勾配を安定して維持する上で好ましくない。上記熱容量の上限は、例えば６［Ｊ／ｃｃ／Ｋ］である。
熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２の壁１２ｂにおける材料の４００℃での熱容量は、具体的には、上記材料を切断・粉砕して粉末状または小片の集合体にした材料をサンプルとして、断熱型熱量計を用いて投入熱と温度上昇の関係から求められる。
【００５１】
また、熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２における２０℃〜８００℃間の貫通孔の延在方向に沿った熱膨張率は、６［ｐｐｍ／Ｋ］以下であることが好ましい。これにより、熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２の熱応力を小さくして熱歪みによる破壊を抑制することができる。熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２における２０℃〜８００℃間の貫通孔の延在方向に沿った熱膨張率は、３［ｐｐｍ／Ｋ］以下であることがより好ましい。上記熱膨張率の下限は、例えば１［ｐｐｍ／Ｋ］である。なお、貫通孔の延在方向に沿った熱膨張率は、熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２がセラミックスで構成されている場合、ＪＩＳ  Ｒ１６１８−２００２に記載される「ファインセラミックスの熱機械分析による熱膨張の測定方法」に準拠して求められる。熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２が金属で構成される場合、ＪＩＳ  Ｚ２２８５に準拠して、貫通孔の延在方向に沿った熱膨張率は求められる。
【００５２】
本実施形態では、壁１２ｂの表面から内部に向けて熱が拡散するのを防止するために、貫通孔１２ａの内壁面にセラミックスコート層が設けられることが好ましい。セラミックスコート層の厚さは、例えば５μｍ〜１００μｍであることが好ましい。セラミックスコート層を設けることにより、貫通孔１２ａの延在方向と直交する方向の熱伝導率を例えば３０％以上、好ましくは４０％以上低下させることができる。例えば、壁１２ｂにオーステナイト系ステンレス鋼を用いた場合の材料の熱伝導率は概略１６［Ｗ／ｍ／Ｋ］であるが、開口率８０％の構造体としての熱伝導率は３．２［Ｗ／ｍ／Ｋ］となる。コージェライトからなるセラミックスコート層を壁１２ｂの表面に１０μｍの厚さで形成することにより、貫通孔１２ａの延在方向と直交する方向の構造体としての熱伝導率を２［Ｗ／ｍ／Ｋ］以下にすることができる。  
【００５３】
熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２に備える貫通孔の断面形状は、例えば、三角形、四角形、六角形を含む多角形状である。あるいは、この多角形状を組み合わせた形状である。貫通孔１２ａと接する壁１２ｂの内壁面には、貫通孔１２ａの断面の内側に向かって突出したリブ１２ｃ（図８参照）が貫通孔１２ａの延在方向に沿って設けられていることが好ましい。リブ１２ｃを壁１２ｂの内壁面に設けることにより、音波を伝播させる流体と壁１２ｂとの間の接触面積を広くすることができる。このため、音圧エネルギと熱エネルギと間の変換効率を高めることができる。
【００５４】
（熱・音波変換部品の製造方法）
上述した熱・音波変換部品１２，１１２の製造方法について以下説明する。図５は、熱・音波変換部品１２，１１２の製造方法の一例を説明する図である。図６は、本実施形態で作製される板材の集合体５０の一例を示す図である。図７は、本実施形態で行う板材の集合体５０の切断を説明する図である。
【００５５】
まず、第１の板材１３ｂ及び第２の板材１３ａをそれぞれ複数作製する。第１の板材１３ｂは、板厚方向に貫通し、直線状に一方向に延びた複数の貫通スリット１３ｃが貫通スリット１３ｃの延在方向と直交する方向に間隔をあけて設けられた板材である。貫通スリット１３ｃは、貫通スリット１３ｃの両端は、第１の板材１３ｂの縁に開口せず、第１の板材１３ｂ内で閉塞している。第１の板材１３ｂに設けられる貫通スリット１３ｃは、互いに平行に配置されている。
第２の板材１３ａは、貫通スリット１３ｃが設けられていない板材である。
【００５６】
第１の板材１３ｂ及び第２の板材１３ａは、例えば矩形形状の主表面を有し、同じ形状寸法を有する。図５に示すように、板厚をＴとし、貫通スリット１３ｃの幅をＷとしたとき、板厚Ｔは、例えば０．０２〜０．２ｍｍであり、幅Ｗは、例えば０．１５〜０．４ｍｍである。なお、貫通スリット１３ｃを複数束ねて１つの連通孔を形成する限りにおいて、積層する第１の板材１３ｂの貫通スリット１３ｃの間隔は特に制限されない。例えば、貫通孔１２ａの断面を矩形形状にする場合、貫通スリット１３ｃの間の距離は、積層しようとするいずれの第１の板材１３ｂにおいても一定の値にすればよい。このような貫通スリット１３ｃは、例えばエッチング処理等により形成することができる。例えば、厚さ０．２ｍｍ以下の加工前の板材を洗浄した後、フォトレジスト膜を板材の両主表面に貼り付ける。その後、貫通スリット１３ｃに対応した開口および位置決めのピン孔を再現した加工パターンを有するフィルムあるいはガラスの原版を、フォトレジスト膜が貼り付けられた板材の主表面上に密着させ、露光、現像して、板材の上にマスクを形成する。その後、マスクの形成された板材の主表面にエッチング液を吹き付けてエッチングをした後、マスクを除去することにより、貫通スリット１３ｃ及びピン孔を有する第１の板材１３ｂを得る。
【００５７】
次に、複数の第２の板材１３ａを第２の板材１３ａの主表面同士が互いに対向するように並べたときの隣り合う２つの第２の板材１３ａの間に、第１の板材１３ｂのいくつかを積層した構造を備え、積層した第１の板材１３ｂの貫通スリット１３ｃ同士が積層方向で連通した連通孔を内部に備えた板材の集合体５０（図６参照）を形成する。第２の板材１３ａの主表面とは、板材を構成する複数の面の中で最も大きな面積を有する面である。これにより、第２の板材１３ａ、複数の第１の板材１３ｂ、第２板材１３ａ、複数の第１の板材１３ｂ、という順番に積層される。複数の第１の板材１３ｂによって挟まれる第２の板材１３ａは、１つでもよいし、複数でもよい。
このとき、貫通スリット１３ｃ同士が積層方向で連通した連通孔が形成されるように、第１の板材１３ｂの積層の際、第１の板材１３ｂの位置決めが行なわれる。この位置決めにより、複数の貫通スリット１３ｃが繋がった１つの連通孔が形成される。このように、本実施形態では、第１の板材１３ｂを積層するとき、積層する第１の板材１３ｂの貫通スリット１３ｃの少なくとも一部が繋がって連通する限りにおいて、貫通スリット１３ｃの連通の形態は制限されない。例えば、好ましい形態として、積層する第１の板材１３ｂの貫通スリット１３ｃの全体が段差無く繋がって連通してもよい。具体的には、貫通スリット１３ｃの形状及び第１の板材１３ｂにおける連通する貫通スリット１３ｃの位置が、積層する第１の板材１３ｂの間で揃っており、各第１の板材１３ｂの貫通スリット１３ｃが段差なく滑らかに繋がる形態が挙げられる。
位置決めは、例えば、第１の板材１３ｂに形成されたピン孔（図示されず）にピンを通すことにより、貫通スリット１３ｃ同士が積層方向で連通するように、また、同じ位置に揃うように複数の第１の板材１３ｂが位置決めされた状態で、複数の第１の板材１３ｂを積層する。これにより、集合体５０が形成される。
【００５８】
この後、集合体５０は、例えば板材が金属板の場合、熱圧着されて、隣接する板材同士が接合される。板材がセラミックス材のような焼結体の板あるいはガラス板である場合、接着剤を用いた接合、セラミック前駆体を用いた無機物焼成法による接合、金属材料を介したろう付けや圧着による接合、ホットプレス等を用いた固相接合、あるいはボルト締めやクランプ締め等による機械的接合を用いることができる。
金属板の熱圧着は、例えば水素雰囲気中の炉内で、所定の温度で行う。例えば、金属板がオーステナイト系ステンレス鋼等のステンレス鋼である場合、金属板の温度は１０５０〜１１５０℃であることが好ましく、例えば１１００℃、１５分間の条件で、例えば３００〜２０００気圧の圧力を加えて金属板同士を圧着させる。
【００５９】
板材の集合体５０の形成後、図７に示すように、貫通スリット１３ｃの延在方向における集合体５０の両端を切断して集合体５０の貫通スリット１３ｃの延在方向における両側の切断面に、貫通スリット１３ｃからつくられた連通孔の開口を形成する。これにより、延在方向（Ｘ方向）に貫通する複数の貫通孔１２ａと、貫通孔１２ａの周りに形成され、貫通孔１２ａの延在方向に延びる壁１２ｂと、を備えた熱・音波変換部品１２，１１２を作製する。熱・音波変換部品１２，１１２は、外形形状を円筒形状にする場合、熱・音波変換部品１２，１１２の外周部分を削ってもよい。
【００６０】
このような熱・音波変換部品１２，１１２の作製では、第１の板材１３ｂ及び第２の板材１３ａが同じ材質の金属板であることが、作製を容易にする点、及び熱膨張を揃える点で好ましい。
貫通スリット１３ｃの延方向と直交する幅方向の寸法である幅Ｗは、０．４μｍ以下であることが、あるいは、第１の板材１３ｂを積層して形成される連通孔の第１の板材１３ｂの積層方向における寸法は、０．４μｍ以下であることが、貫通孔１２ａの断面の水力直径を０．４μｍ以下にし、音波と熱のエネルギの変換効率を高める点で好ましい。例えば水力直径を０．２ｍｍとする場合、第１の板材１３ｂ及び第２の板材１３ａの板厚Ｔを０．０４ｍｍとし、貫通スリット１３ｃの幅Ｗを０．２ｍｍとしたとき、２つの第２の板材１３ａの間に５つの第１の板材１３ｂを挟んで積層することにより、断面が０．２ｍｍ×０．２ｍｍの矩形形状の孔を形成することができる。
さらに、集合体５０の両側の端部を切断することにより作製された熱・音波変換部品１２及び熱・音波変換部品１１２の貫通孔１２ａの内壁面に、セラミックスコート層を形成することが好ましい。セラミックスコート層の厚さは、例えば５μｍ〜１００μｍであることが好ましい。セラミックスコート層を設けることにより、貫通孔１２ａの延在方向と直交する方向の熱伝導率を例えば３０％以上、好ましくは４０％以上低下させることができる。
【００６１】
このように、本実施形態の製造方法では、貫通スリットを多数設けた複数の第１の板材１３ｂを用いて集合体５０を形成することにより熱・音波変換部品１２，１１２を作製するので、貫通孔１２ａの内壁面の延在方向に真っ直ぐ延びる程度、すなわち貫通孔１２ａの直進の程度は、貫通スリット１３ｃが延在方向に延びる直進の程度に依存する。直線状に真っ直ぐ延びる貫通スリット１３ｃは、マスク等を用いたエッチング処理により容易に作製することができるので、貫通孔１２ａの内壁面が従来のように延在方向に沿って凹凸を形成することなく、貫通孔１２ａの内壁面の直進の程度を高くすることができる。したがって、この製造方法により作製された熱・音波変換部品１２，１１２では、音波の音圧エネルギの減衰が生じ難いので、音波と熱のエネルギ変換の効率は高くなる。
【００６２】
音波と熱のエネルギの変換の増大のためには、貫通孔１２ａの直進の程度を高くするほか、流体が壁１２ｂと接する面積を増やすことも好ましく、貫通孔１２ａの断面形状において、流体が壁１２ｂと接する面積が増加するように、壁１２ｂに内側に向かって突出した凸部を設けることも好ましい。図８は、熱・音波変換部品１２，１１２の貫通孔１２ａの断面形状の一例を示す図である。図８に示すように、貫通孔１２ａの内壁面に、貫通孔１２ａの延在方向に延びる、貫通孔１２ａの断面の内側に向かって突出したリブ１２ｃを設けてもよい。このようなリブ１２ｃは、図８に示すように、第１の板材１２ｂの貫通スリット１３ｃの幅Ｗを、それ以外の第１の板材１２ｂの幅Ｗに比べて小さくした第１の板材１３ｂ’を用いるとよい。
【００６３】
（実験例）
本実施形態の熱・音波変換部品における流体と壁との間のエネルギ変換を調べるために、種々の熱・音波変換部品を作製した。
エネルギの変換効率の算出のために、図１に示す熱・音波変換器１０の出力端１４ａにおいて、リニア発電機により音波を電気に変換し、その発電量Ｗ［Ｊ／秒］を測定した。一方  高温度側熱交換器における本システムへの投入熱量Ｑ（Ｊ／秒）を、高温側の熱変換部の入り口、出口間のガスの温度差（ΔＴ）と  その流量Ｍ（ｋｇ／秒）とガスの比熱Ｃｐ（Ｊ／ｋｇ／Ｋ）よりＱ＝ ΔＴ・Ｃｐ・Ｍとして求めた。変換効率ηは、η＝Ｗ／Ｑとして求めた。変換効率は、２０％以上を合格品とした。
熱・音波変換部品のＸ方向の長さは３０ｍｍとし、導管１４内にヘリウムガスを密封し、１０気圧とした。熱・音波変換部品の、低温部１５側の端は６０℃となり、高温部２３側の端は５００℃となるように、低温部１５及び高温部２３の温度を定めた。
【００６４】
下記表１は、各仕様とそのときのエネルギの変換効率の結果を示す。
従来例は、ステンレス鋼からなる金属製メッシュ状の板材（板厚０．０２ｍｍ）をＸ方向に積層して接合することにより、円筒形状の熱・音波変換部品を作製した。従来例では、貫通孔の延在方向を板材の積層方向とした。
実施例１〜４では、上記金属製メッシュ状の板材と同じ金属で構成される、貫通スリット１３ｃを有する第１の板材１３ｂ及び第２の板材１２ａを用いて図５〜７に示す方法を用いて図３に示す熱・音波変換部品１２を作製した。実施例１〜４では、貫通スリット１３ｃの延在方向と直交する方向を板材（第１の板材１３ｂ及び第２の板材１２ａ）の積層方向とした。
実施例１，２，４の第１の板材１３ｂ及び第２の板材１２ａの厚さＴは０．０４ｍｍとした。実施例３の第１の板材１３ｂ及び第２の板材１２ａの厚さＴは０．０５ｍｍとした。
従来例及び実施例１〜４の貫通孔の断面形状は、矩形形状で、貫通孔の開口率は８０％とし、貫通孔の密度（セル密度）は、８０００ｃｐｓｉとした。従来例及び実施例１〜３の熱・音波変換部品では、貫通孔の内壁面にコージェライトからなるセラミックスコート層を１０μｍ形成した。実施例４には、セラミックスコート層を形成しなかった。
実施例１，４では、貫通孔の断面形状は、０．２ｍｍ×０．２ｍｍの矩形形状（水力直径０．２ｍｍ）とした。
実施例２では、貫通孔の断面形状は、０．４ｍｍ×０．４ｍｍの矩形形状（水力直径０．４ｍｍ）とした。
実施例３では、貫通孔の断面形状は、０．４５ｍｍ×０．４５ｍｍの矩形形状（水力直径０．４ｍｍ）とした。このときの第１の板材１３ｂ及び第２の板材１２ａの板厚Ｔは０．０５ｍｍとした。  
【００６５】
【表１】
2015190680.tif 000003
【００６６】
表１に示される従来例と実施例１の比較より、板材の積層方向によって変換効率に差異が生じることがわかる。実施例１では、貫通孔の延在方向の両端の開口のうち、一方の開口から平行光（レーザ光）を他方の開口に向けて照射したとき、他方の開口から出射する平行光の通過面積は、第１の開口面積の９０％であり、一方、従来例では、上記通過面積は、第１の開口面積の７５％であった。これより、実施例１では、貫通孔の直進の程度が、従来例に比べて高く、音波が壁の摩擦を受けて音圧エネルギを減衰させることを抑制しているといえる。
また、実施例１〜３の比較より、貫通孔の水力直径は０．４ｍｍ以下であることが変換効率を高くする点で好ましいことがわかる。
セラミックスコート層を形成しなかった実施例４についても、変換効率は高く、合格レベルであった。
【００６７】
以上、本発明の熱・音波変換部品の製造方法、熱・音波変換部品、及び熱・音波変換器、について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態及び実施例に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【００６８】
１０  熱・音波変換器
１２，１１２  熱・音波変換部品
１２ａ  貫通孔
１２ｂ  壁
１２ｃ  リブ
１３ａ  第２の板材
１３ｂ  第１の板材
１３ｃ  貫通スリット
１４，１１４  導管
１４ａ  出力端
１５  熱交換部（低温部）
１６，２４，１１６，１２４  供給管
１８，２６，１１８，１２６  排出管
２０，２８，１２０，１２８  環状管
２１，２９，１２１，１２９  金属部材
２２，１２２  冷却フィン
２３  熱交換部（高温部）
３０  加熱フィン
３２，１３２  干渉材
３４，１３４  ケーシング
３６，１３６  循環経路
４０  変換装置
５０  集合体
１１５  熱出力部
１２３  熱変換部
１３０  フィン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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