(57)【要約】【課題】測定対象である電流経路を切り離すことなく、精度良く電流値を測定可能な電流センサー、および配線を流れる電流の電流値を精度良く測定可能な基板を提供する。【解決手段】素子基板１０と、表面１０ａに設けられた磁気検出素子２０ａ，２０ｂと、磁気検出素子２０ａ，２０ｂに接続され、表面１０ａと交差する方向に延在する外部接続端子３１〜３４と、を有し、素子基板１０は、表面１０ａを平面視したときに同方向に延在する一対の傾斜面を有し、一対の傾斜面は、他方の面から表面１０ａへ向かう方向に間隔が漸減し、磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、一対の傾斜面にそれぞれ設けられ、磁気検出素子２０ａ，２０ｂの感度方向Ｄａ，Ｄｂは、それぞれ一対の傾斜面に沿って傾斜するように設定されている電流センサー１。【選択図】図１
2015190780.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子基板と、
前記素子基板の両面のうち一方の面に設けられた一対の磁気検出素子と、
前記一対の磁気検出素子にそれぞれ接続され、前記素子基板の両面のうち他方の面側に延在する外部接続端子と、を有し、
前記素子基板は、前記一方の面を平面視したときに面内で同じ方向に延在する一対の傾斜面を有し、
前記一対の傾斜面は、前記他方の面から前記一方の面へ向かう方向に間隔が漸減し、
前記一対の磁気検出素子は、前記一対の傾斜面にそれぞれ設けられ、
前記一対の磁気検出素子の感度方向は、それぞれ前記一対の傾斜面に沿って傾斜するように設定されている電流センサー。
【請求項２】
素子基板と、
前記素子基板の両面のうち一方の面に設けられた一対の磁気検出素子と、
前記一対の磁気検出素子にそれぞれ接続され、前記一方の面側に延在する外部接続端子と、を有し、
前記素子基板は、前記一方の面を平面視したときに面内で同じ方向に延在する一対の傾斜面を有し、
前記一対の傾斜面は、前記素子基板の他方の面から前記一方の面へ向かう方向に間隔が漸増し、
前記一対の磁気検出素子は、前記一対の傾斜面にそれぞれ設けられ、
前記一対の磁気検出素子の感度方向は、それぞれ前記一対の傾斜面に沿って傾斜するように設定されている電流センサー。
【請求項３】
前記磁気検出素子が、磁気抵抗効果素子である請求項１または２に記載の電流センサー。
【請求項４】
表面に配線が設けられた配線基板と、
請求項１から３のいずれか１項に記載の電流センサーと、を有し、
前記電流センサーは、平面視で前記配線と重なり、前記配線から離間して設けられ、
前記電流センサーが有する一対の磁気検出素子は、前記配線の幅方向に配列し、平面視で前記配線の中心線に対して両側に配置しており、
前記一対の磁気検出素子の離間距離は、前記配線の法線方向に漸減している基板。
【請求項５】
前記一対の磁気検出素子は、前記中心線に対して線対称に配置している請求項４に記載の基板。
【請求項６】
前記一対の磁気検出素子は、前記配線の端部と平面的に重なって配置している請求項４または５に記載の基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電流センサーおよび基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、バスバーに流れた電流により生じる磁界の強度を、磁気検出素子を用いて検出することで、磁界の強度と相関する電流の値を測定する測定装置が知られている。以下、このような測定装置のことを電流センサーと称する。
【０００３】
特許文献１の電流センサーは、平面視略Ｕ字状に形成された導電部材と、導電部材のうち互いに対向する導電路の間に配置された２つの磁気素子と、を有している。特許文献１の電流センサーにおいては、導電部材を流れる電流により発生する磁界の強度を２つの磁気素子でそれぞれ検出し、得られた磁界の強度から、磁界の強度と相関する電流値を求めている。また、特許文献１の電流センサーは、２つの磁気素子を差動動作させることにより、測定誤差の原因となる外乱磁界の影響を打ち消す構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−６３２８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記構成の電流センサーは、測定対象である電流経路を切り離し、当該電流経路に電流センサーの導電部材を挿入することで、測定対象の電流経路を流れる電流値を測定可能となる。そのため、上記電流センサーでは、既存の電流経路を切り離すことなく、電流を測定することができない。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、測定対象である電流経路を切り離すことなく、精度良く電流値を測定可能な電流センサーを提供することを目的とする。また、このような電流センサーを有し、配線を流れる電流の電流値を精度良く測定可能な基板を提供することを併せて目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の一態様に係る電流センサーは、素子基板と、前記素子基板の両面のうち一方の面に設けられた一対の磁気検出素子と、前記一対の磁気検出素子にそれぞれ接続され、前記素子基板の両面のうち他方の面側に延在する外部接続端子と、を有し、前記素子基板は、前記一方の面を平面視したときに面内で同じ方向に延在する一対の傾斜面を有し、前記一対の傾斜面は、前記他方の面から前記一方の面へ向かう方向に間隔が漸減し、前記一対の磁気検出素子は、前記一対の傾斜面にそれぞれ設けられ、前記一対の磁気検出素子の感度方向は、それぞれ前記一対の傾斜面に沿って傾斜するように設定されている。
【０００８】
また、本発明の他の態様に係る電流センサーは、素子基板と、前記素子基板の両面のうち一方の面に設けられた一対の磁気検出素子と、前記一対の磁気検出素子にそれぞれ接続され、前記一方の面側に延在する外部接続端子と、を有し、前記素子基板は、前記一方の面を平面視したときに面内で同じ方向に延在する一対の傾斜面を有し、前記一対の傾斜面は、前記素子基板の他方の面から前記一方の面へ向かう方向に間隔が漸増し、前記一対の磁気検出素子は、前記一対の傾斜面にそれぞれ設けられ、前記一対の磁気検出素子の感度方向は、それぞれ前記一対の傾斜面に沿って傾斜するように設定されている。
【０００９】
本発明の一態様においては、前記磁気検出素子が、磁気抵抗効果素子である構成としてもよい。
【００１０】
また、本発明の一態様に係る基板は、表面に配線が設けられた配線基板と、上記の電流センサーと、を有し、前記電流センサーは、平面視で前記配線と重なり、前記配線から離間して設けられ、前記電流センサーが有する一対の磁気検出素子は、前記配線の幅方向に配列し、平面視で前記配線の中心線に対して両側に配置しており、前記一対の磁気検出素子の離間距離は、前記配線の法線方向に漸減している。
【００１１】
本発明の一態様においては、前記一対の磁気検出素子は、前記中心線に対して線対称に配置している構成としてもよい。
【００１２】
本発明の一態様においては、前記一対の磁気検出素子は、前記配線の端部と平面的に重なって配置している構成としてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、測定対象である電流経路を切り離すことなく、精度良く電流値を測定可能な電流センサーを提供することができる。また、このような電流センサーを有し、配線を流れる電流の電流値を精度良く測定可能な基板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態の電流センサーおよび基板について示す概略斜視図である。
【図２】ＧＭＲ素子である一対の磁気検出素子の構成を示す模式図である。
【図３】第１実施形態の電流センサーおよび基板について示す説明図である。
【図４】第１実施形態の電流センサーの機能を説明する説明図である。
【図５】配線から発生する磁界におけるｚ軸方向の成分の強度についてのシミュレーション結果を示すグラフである。
【図６】図５に示す結果を模式的に示した図である。
【図７】配線から発生する磁界におけるｙ軸方向の成分の強度についてのシミュレーション結果を示すグラフである。
【図８】第２実施形態の電流センサーおよび基板について示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
［第１実施形態］
以下、図１〜図７を参照しながら、本発明の第１実施形態に係る電流センサーおよび基板について説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。
【００１６】
図１は、本実施形態の電流センサー１および基板１０００について示す概略斜視図である。図に示すように、基板１０００は、電流センサー１と、表面に配線２００が設けられた配線基板１００とを有している。
【００１７】
以下の図では、ｘｙｚ座標系を設定し、このｘｙｚ座標系を参照しつつ各部材の位置関係を説明する。ｘｙｚ座標系において、配線基板１００の表面内に設定するｘ軸方向に対し、表面内において直交する方向をｙ軸方向、ｘ軸方向とｙ軸方向のそれぞれと直交する方向をｚ軸方向とする。すなわち、配線基板１００の表面と同じ面方向にｘｙ平面が設定され、配線基板１００の法線方向にｚ軸が設定されている。
また、本明細書において、「平面視」とは＋ｚ方向上方から−ｚ方向に見たときの視野を指す。
【００１８】
電流センサー１は、素子基板１０と、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂと、外部接続端子３１〜３４と、を有している。
【００１９】
素子基板１０は、平面視矩形の基板である。図では、素子基板１０は、表面（一方の面）１０ａがｘｙ平面の面方向と同方向となるように配置されている。素子基板１０は、例えば、ＳｉＯ２／Ｓｉ、ガラス、石英を形成材料としている。
【００２０】
素子基板１０の表面１０ａには、平面視で素子基板１０の対向する辺に沿いｘ方向に平行に延在する溝１１ａ，１１ｂが設けられている。溝１１ａ，１１ｂは、自身の延在方向（ｘ方向）と直交する方向（ｙ方向）に配列しており、当該直交する方向に離間して設けられている。
【００２１】
一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、素子基板１０の表面１０ａに設けられた溝１１ａ，１１ｂの内部に配置されている。なお、図では磁気検出素子２０ａ，２０ｂをそれぞれ直方体状の構成として１つずつ示しているが、より詳細には、磁気検出素子２０ａが２個の素子から構成され、また磁気検出素子２０ｂが２個の素子から構成されており、これら４個の素子の出力をブリッジ結線させたものを用いることとするとよい。
【００２２】
一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂとしては、ホール素子や磁気抵抗効果素子などの素子を用いることができる。磁気抵抗効果素子としては、ＧＭＲ（Giant Magneto-Resistance、巨大磁気抵抗）素子、ＴＭＲ（Tunnel Magneto-Resistance、トンネル磁気抵抗）素子などを挙げることができる。本実施形態では、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂとして、ＧＭＲ素子を用いることとして説明する。
【００２３】
図２は、ＧＭＲ素子である一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂの構成を示す模式図であり、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は側面図である。
【００２４】
図に示すように、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、互いに隣り合って平行に配置された複数（図では６本）の帯状部２１と、帯状部２１を接続するリード層２２と、を有している。
【００２５】
帯状部２１は、巨大磁気抵抗効果を示す金属薄膜の積層体で形成されている。帯状部２１としては、素子基板１０側から順に積層された、フリー層と、導電性のスペーサ層と、ピンド層と、キャッピング層と、を有している。
【００２６】
フリー層は、外部磁界の向きに応じて磁化の向きが変化する層である。フリー層は、例えば、素子基板１０の表面に、コバルト−ジルコニウム−ニオブ（Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ）アモルファス磁性層と、ニッケル−鉄（Ｎｉ−Ｆｅ）磁性層と、コバルト−鉄（Ｃｏ−Ｆｅ）層と、がこの順に積層された層を示すことができる。Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂアモルファス磁性層の層厚は、例えば８．０ｎｍである。Ｎｉ−Ｆｅ磁性層の層厚は、例えば３．３ｎｍである。Ｃｏ−Ｆｅ層の層厚は、例えば１．２ｎｍである。
【００２７】
Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂアモルファス磁性層およびＮｉ−Ｆｅ磁性層は、軟質強磁性体薄膜層を構成している。Ｃｏ−Ｆｅ層は、磁気検出素子に外部磁界を加えたときの抵抗変化率を示すＭＲ比を高める機能を有する。
【００２８】
導電性のスペーサ層としては、例えば、膜厚２．４ｎｍの銅（Ｃｕ）層を示すことができる。
【００２９】
ピンド層は、磁化の向きが所定の向きに固定された（ピンド）層である。ピンド層は、例えば、スペーサ層の表面に、コバルト−鉄（Ｃｏ−Ｆｅ）磁性層と、白金−マンガン（Ｐｔ−Ｍｎ）反強磁性層と、がこの順に積層された層を示すことができる。コバルト−鉄（Ｃｏ−Ｆｅ）磁性層の層厚は、例えば２．２ｎｍである。白金−マンガン（Ｐｔ−Ｍｎ）反強磁性層は、白金を４５〜５５ｍｏｌ％含む白金−マンガン（Ｐｔ−Ｍｎ）合金を形成材料とした層であって、層厚は例えば４．０ｎｍである。
【００３０】
Ｃｏ−Ｆｅ磁性層は、着磁（磁化）されたＰｔ−Ｍｎ反強磁性層に交換結合的に裏打ちされることにより磁化（磁化ベクトル）の向きが固定されるピンド層を構成している。
【００３１】
キャッピング層としては、例えば、膜厚２．４ｎｍのタンタル（Ｔａ）層を示すことができる。
【００３２】
リード層２２は、複数の帯状部２１の両端に複数配置され、複数の帯状部２１を直列に接続している。リード層２２としては、例えば、膜厚０．３μｍのクロム（Ｃｒ）層を示すことができる。
【００３３】
上述のような磁気検出素子２０ａ，２０ｂにおいては、外部からの磁場による巨大磁気抵抗効果により、ピンド層の磁化の向きと、フリー層の磁化の向きの相対関係に応じてスペーサ層の電気抵抗が変化する。そのため、スペーサ層に導電させたときの抵抗値を出力として示すことにより、外部からの磁場の強さを検出することができる。
【００３４】
図に示す磁気検出素子２０ａ，２０ｂでは、平面視で長手方向に直交する方向にピンド層の磁化の向きが固定されている。図では、ピンド層の磁化の向きを符号Ｐ（ピンド層の磁化方向Ｐ）で示す矢印で示している。また、磁界無印加時におけるフリー層の磁化の向きを符号Ｆ（フリー層の磁化方向Ｆ）で示す矢印で示している。
【００３５】
また、磁気検出素子２０ａ，２０ｂでは、磁界無印加時において、フリー層の磁化方向Ｆが平面視で長手方向と同方向となっている。フリー層の磁化方向Ｆはピンド層の磁化方向Ｐと直交している。
【００３６】
ここで、本明細書では、磁気検出素子において、外部から印加される磁界を、最も好感度に検出可能な方向を「感度方向」と称することとする。ＧＭＲ素子である磁気検出素子２０ａ，２０ｂでは、外部からの磁場がフリー層の磁化方向Ｆと同方向となる場合に無感度となる。一方で、外部からの磁場がフリー層の磁化方向Ｆと直交する方向である場合に、フリー層の磁化方向Ｆは最も外部磁場による影響を受ける。したがって、図に示す磁気検出素子２０ａ，２０ｂにおいて、感度方向はフリー層の磁化方向Ｆと直交する方向に設定されたピンド層の磁化方向Ｐと同方向となる。
【００３７】
図では、磁気検出素子２０ａ，２０ｂの感度方向を、符号Ｄａ，Ｄｂを用いて示す。
【００３８】
図１にもどって、外部接続端子３１〜３４は、磁気検出素子２０ａに接続された外部接続端子３１，３２と、磁気検出素子２０ｂに接続された外部接続端子３３，３４と、を有している。外部接続端子３１〜３４は、素子基板１０の裏面（他方の面）１０ｂ側に延在している。図では、外部接続端子３１〜３４は、一端が素子基板１０に接続するとともに、他端が表面１０ａと直交する方向（−ｚ方向）に延在し、配線基板１００の接続配線（不図示）に接続されている。電流センサー１の使用時には、磁気検出素子２０ａ，２０ｂには、配線基板１００の接続配線を介して電流が供給される。
【００３９】
なお、本発明において、外部接続端子３１，３２は、磁気検出素子２０ａに直接接続されていてもよく、電流センサー１に設けられた増幅回路を介して間接的に接続されていてもよい。外部接続端子３３，３４も同様に、磁気検出素子２０ｂに直接接続されていてもよく、増幅回路を介して間接的に接続されていてもよい。
【００４０】
また、本実施形態では、外部接続端子３１，３２は磁気検出素子２０ａと接続し、外部接続端子３３，３４は磁気検出素子２０ｂと接続していることとしたが、外部接続端子３１〜３４が接続する磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、任意に変更してよい。
【００４１】
また、上述の様に、外部接続端子と磁気検出素子とが増幅回路を介して接続している場合、外部接続端子の数を増やしてもよい。
【００４２】
また、磁気検出素子２０ａが２個の素子から構成され、磁気検出素子２０ｂが２個の素子から構成されており、電流センサー１において、磁気検出素子２０ａ，２０ｂを構成する４個の素子をブリッジ結線させて出力を得る場合、外部接続端子を増やしてもよい。
【００４３】
図３は、本実施形態の電流センサー１および基板１０００について示す説明図であり、図３（ａ）は、図１の線分IIIａ−IIIａにおける矢視断面図、図３（ｂ）は、平面図である。
【００４４】
図３（ａ）に示すように、素子基板１０に設けられた溝１１ａ，１１ｂは、断面視で楔型の形状を呈している。一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、溝１１ａ，１１ｂにおいて、それぞれ素子基板１０の内側の傾斜面（一対の傾斜面）１２ａ，１２ｂに設けられている。傾斜面１２ａ，１２ｂは、素子基板１０の裏面（他方の面）１０ｂから表面１０ａへ向かう方向（＋ｚ方向）に間隔が漸減している。
【００４５】
素子基板１０の裏面１０ｂに対する傾斜面１２ａ，１２ｂの傾斜角は、設計により制御可能である。本実施形態の素子基板１０では、傾斜面１２ａの傾斜角θａと、傾斜面１２ｂの傾斜角θｂとは等しくなっている。そのため、素子基板１０の裏面１０ｂに対する一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂの傾斜角は等しくなっている。
【００４６】
また、図３（ｂ）に示すように、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、長手方向が溝１１ａ，１１ｂの延在方向と一致するように設けられている。
【００４７】
このような傾斜面１２ａ，１２ｂに設けられた一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂにおいては、平面視で配線２００の幅方向（ｙ方向）に配列し、配線２００の中心線Ｌに対して両側に配置している。本実施形態の基板１０００では、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、中心線Ｌに対して線対称に配置している。
【００４８】
また、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、配線２００に対するｚ軸方向の位置が等しく、配線２００の端部と平面的に重なって（ｚ方向の視野において重なって）配置している。一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂの離間距離は、素子基板１０の裏面１０ｂから表面１０ａへ向かう方向（配線２００の法線方向、＋ｚ方向）に漸減している。
【００４９】
さらに、感度方向Ｄａ，Ｄｂが、傾斜面１２ａ，１２ｂに沿って傾斜するように設定されている。このような感度方向Ｄａ，Ｄｂを有する一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、ｙ軸方向およびｚ軸方向に感度を有することとなる。
【００５０】
一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、断面視において、配線２００の端部に対するそれぞれの相対距離が等しく、ｚ軸方向の位置が等しく、さらに、ｘ軸周りの回転姿勢が配線２００の中心線Ｌに対して対称となるように設定されている。
【００５１】
図１，３に示すように、配線基板１００は、表面に配線２００が設けられている。図１において、配線２００はｘ軸方向に延在することとして示している。また、電流センサー１は、平面視で配線２００と重なり、配線２００から配線基板１００の法線方向（＋ｚ方向）に離間して設けられている。
【００５２】
図４は、電流センサー１の機能を説明する説明図であり、図３（ａ）と同じ視野における断面図である。
【００５３】
図４に示すように、配線２００に対し、−ｘ方向に流れる電流を供給すると、配線２００には、右ねじの法則またはアンペールの法則に基づいた誘導磁界が生じる。図では、配線２００に生じる誘導磁界を符号Ｍで示している。
【００５４】
このとき、磁気検出素子２０ａ，２０ｂでは誘導磁界Ｍを、それぞれ検出する。具体的には、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、このような誘導磁界Ｍに曝されると、誘導磁界の接線成分Ｍａ，Ｍｂを検出する。
【００５５】
ここで、配線２００に対する磁気検出素子２０ａ，２０ｂの位置（仰角、離間距離）は既知である。そのため、検出される接線成分Ｍａ，Ｍｂから配線２００を流れる電流の値を求めることが可能となる。
【００５６】
また、磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、溝１１ａ，１１ｂの斜面に設けられているため、磁気検出素子２０ａ，２０ｂが素子基板１０の表面１０ａに設けられている場合と比べ、感度方向Ｄａ，Ｄｂを接線成分Ｍａ，Ｍｂの方向に沿わせる（感度方向Ｄａ，Ｄｂと接線成分Ｍａ，Ｍｂの方向とのなす角を小さくする）ことができる。そのため、磁気検出素子２０ａ，２０ｂによる誘導磁界Ｍの検出感度を高めることができる。
【００５７】
ここで、磁気検出素子２０ａ，２０ｂが検出する磁界の強度についてのシミュレーション結果を示す。
図５は、配線２００に対して−ｘ方向に電流を流したときに、配線２００から発生する磁界におけるｚ軸方向の成分の強度についてのシミュレーション結果であり、０．１ｍｍ厚の配線に５０Ａの電流を流したときの発生磁界の強度を示すグラフを示している。
【００５８】
図５（ａ）は、２ｍｍ幅の配線２００についてのシミュレーション結果である。同様に、図５（ｂ）は、４ｍｍ幅の配線２００について、図５（ｃ）は、８ｍｍ幅の配線２００についてのシミュレーション結果である。
【００５９】
横軸は、配線２００の幅方向（ｙ方向）の磁界強度算出位置（単位：ｍｍ）を示している。横軸においては、配線２００の表面中心を原点としている。
縦軸は、磁界強度（単位：Ｔ）を示す。
１つのグラフに示した３種の結果は、それぞれ配線２００の高さ方向（ｚ方向）の磁界強度算出位置（単位：ｍｍ）を示している。ｚ方向の算出位置においては、配線２００の表面を原点としている。
【００６０】
図６は、図５に示す結果を模式的に示した図である。図５、６に示すように、ｚ方向の磁界分布は、原点に対して点対称であり、配線２００を断面視したときに幅方向の端部において磁界強度の絶対値がピークを示すことがわかる。したがって、ｚ方向の磁界成分を計測するためには、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、配線２００の幅方向の端部に平面的に重なるように配置することが好ましい。
【００６１】
図７は、図５と同様に配線２００に対して−ｘ方向に電流を流したときに、配線２００から発生する磁界におけるｙ軸方向の成分の強度についてのシミュレーション結果である。各グラフにおいて、横軸、縦軸および１つのグラフに示した３種の結果については、図５と同じものを示す。
【００６２】
図７（ａ）は、２ｍｍ幅の配線２００についてのシミュレーション結果である。同様に、図７（ｂ）は、４ｍｍ幅の配線２００について、図５（ｃ）は、８ｍｍ幅の配線２００についてのシミュレーション結果である。
【００６３】
図７に示すように、ｙ方向の磁界分布は、原点を含むｘｚ平面に対して線対称であることがわかる。すなわち、ｙ方向の磁界成分は、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂを差動させることにより、低減させることができる。差動時には、適宜感度補正を行うこととしてもよい。本実施形態の基板１０００のように、配線２００の中心線Ｌに対して対称に一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂを配置させることにより、ｙ方向の磁界成分は相殺させることができることがわかる。
【００６４】
本実施形態の電流センサー１では、配線２００に対する磁気検出素子２０ａおよび磁気検出素子２０ｂのそれぞれの相対距離が等しく、さらにｚ軸方向の位置が等しくなるように設定されている。そのため、上記シミュレーション結果から、磁気検出素子２０ａで検出される接線成分Ｍａと、磁気検出素子２０ｂで検出される接線成分Ｍｂとは、大きさが等しく、ｚ軸方向の成分の正負が異なる値（逆位相の値）となると予想できる。
【００６５】
さらに、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂが外乱磁界ＤＭの影響を受ける場合、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、外乱磁界ＤＭを互いに同方向から受ける磁場のノイズ成分として検出する。
【００６６】
このような電流センサー１では、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂを差動させることで、磁気検出素子２０ａ，２０ｂで検出する互いに逆位相の値であるｚ軸方向の成分を加算処理して増幅するとともに、ｙ方向の磁界成分は相殺させて検出する。さらに、電流センサー１では、素子基板１０の裏面１０ｂに対する一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂの傾斜角は既知である。そのため、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂの傾斜角による補正を行いながら一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂを差動させることで、外乱磁界ＤＭを減算処理してノイズを除去することが可能となる。
本実施形態の電流センサー１および基板１０００は、以上のような構成となっている。
【００６７】
以上のような構成の電流センサー１によれば、測定対象である電流経路（配線２００）を切り離すことなく、精度良く電流値を測定可能な電流センサーを提供することができる。
【００６８】
また、以上のような構成の基板１０００においては、上述のような電流センサー１を有し、配線２００を流れる電流の電流値を精度良く測定可能な基板を提供することができる。
【００６９】
なお、本実施形態においては、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂが、平面視で平行に配置されているとしたが、これに限らない。一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂが、誘導磁界Ｍの接線成分Ｍａ，Ｍｂの強度を検出可能であれば、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂの姿勢としては、本実施形態の姿勢からずれていても動作可能である。
【００７０】
同様に、本実施形態においては、基板１０００の配線２００の中心線に対して、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂが線対称に配置されていることとしたが、これに限らない。配線２００に対する一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂの相対位置が既知であれば、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂの姿勢としては、本実施形態の姿勢からずれていても動作可能である。
【００７１】
また、本実施形態においては、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、配線２００の端部と平面的に重なって配置していることとしたが、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂの配置位置がこの位置からずれていても構わない。この場合、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂを配線２００の端部と平面的に重なる位置にした場合と比べ、出力値が小さくなるため、出力値を増幅する構成を設けることとしてもよい。
【００７２】
また、本実施形態においては、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂが、溝１１ａ，１１ｂの内面の一部である傾斜面１２ａ，１２ｂに設けられていることとしたが、これに限らない。例えば、溝１１ａ，１１ｂを設けることなく、逆に素子基板１０の表面に、素子基板１０の表面から遠ざかる方向に幅が漸減するテーパー状の凸条部を形成し、当該凸条部の側面である傾斜面に一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂを配置することとしても構わない。
【００７３】
また、本実施形態においては、電流センサー１および基板１０００において、素子基板１０は、表面（一方の面）１０ａがｘｙ平面の面方向と同方向となるように配置されていることとしたが、これに限らず、素子基板１０がｙ軸周りに傾斜した姿勢で配置されていても動作可能である。
【００７４】
［第２実施形態］
図８は、本発明の第２実施形態に係る電流センサー２および基板１１００の説明図であり、図３（ａ）に対応した図である。
【００７５】
本実施形態の電流センサー２および基板１１００は、第１実施形態の電流センサー１および基板１０００と一部共通している。したがって、本実施形態において第１実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００７６】
図に示すように、電流センサー２の素子基板１０は、溝１１ａ，１１ｂが設けられた表面（一方の面）１０ａを配線２００側（−ｚ方向）に向けて配置している。また、外部接続端子３１〜３４は、表面１０ａ側に延在している。
【００７７】
さらに、電流センサー２が有する一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、溝１１ａ，１１ｂにおいて、それぞれ素子基板１０の外側の傾斜面（一対の傾斜面）１３ａ，１３ｂに設けられている。傾斜面１３ａ，１３ｂは、素子基板１０の裏面（他方の面）１０ｂから表面１０ａへ向かう方向（−ｚ方向）に間隔が漸増している。
【００７８】
表面１０ａに対する一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂの姿勢や、配線２００に対する一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂの相対位置については、第１実施形態と同様の構成となっている。すなわち、電流センサー２は、平面視で配線２００と重なり、配線２００から配線基板１００の法線方向（＋ｚ方向）に離間して設けられている。また、一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂは、平面視で配線２００の幅方向（ｙ方向）に配列し、配線２００の中心線Ｌに対して両側に配置している。さらに、上述のような傾斜面１３ａ，１３ｂに設けられた一対の磁気検出素子２０ａ，２０ｂの離間距離は、素子基板１０の裏面１０ｂから表面１０ａへ向かう方向（配線２００の法線方向、＋ｚ方向）に漸減している。
【００７９】
このような構成の電流センサー２であっても、測定対象である電流経路（配線２００）を切り離すことなく、精度良く電流値を測定可能な電流センサーを提供することができる。
【００８０】
また、このような構成の電流センサー２を有する基板１１００であっても、配線２００を流れる電流の電流値を精度良く測定可能な基板を提供することができる。
【００８１】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００８２】
例えば、上記実施形態で説明した基板１０００においては、配線２００の＋ｚ方向上方に配置された電流センサー１を１個有することとし、基板１１００においても、配線２００の＋ｚ方向上方に配置された電流センサー２を１個有することとしたが、これに限らず、複数の電流センサーを有する基板としてもよい。
【００８３】
例えば、２個の電流センサー１を有する基板では、２個の電流センサー１を、配線２００の＋ｚ方向上方であって図１の電流センサー１と同様な位置に配置する。この場合、２個の電流センサーを近接して配置し、２個の電流センサー１が有する２個の磁気検出素子２０ａと、２個の磁気検出素子２０ｂとをブリッジ結線してもよい。
【符号の説明】
【００８４】
１，２…電流センサー、１０…素子基板、１０ａ…表面（一方の面）、１１ａ，１１ｂ…溝、１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ…傾斜面（一対の傾斜面）、２０ａ，２０ｂ…磁気検出素子、３１〜３４…外部接続端子、１００…配線基板、２００…配線、１０００，１１００…基板、Ｄａ，Ｄｂ…感度方向、Ｌ…中心線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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