(57)【要約】【課題】処理液の供給経路及び排気経路に容易に着脱できると共に、処理液の滞留を抑制できるフィルター装置を提供する。【解決手段】フィルター装置２０は、収容空間２２と、収容空間２２内の両端部にそれぞれ開口した第１送液口ＯＰ１及び第２送液口ＯＰ２と、収容空間２２内に開口した排気口ＯＰ３と、第１送液口ＯＰ１の中心及び第２送液口ＯＰ２の中心を通る直線ＳＬ１に交差した状態で収容空間２２内に収容されたフィルター２６と、第１送液口ＯＰ１に接続された管状の第１送液継手２３と、第２送液口ＯＰ２に接続された管状の第２送液継手２５と、排気口ＯＰ３に接続された管状の排気継手２４と、を備える。第１送液継手２３、第２送液継手２５及び排気継手２４は、収容空間２２外の同一方向に延出している。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
収容空間と、
前記収容空間内の両端部にそれぞれ開口し、半導体製造工程用の処理液を導入又は導出する第１送液口及び第２送液口と、
前記収容空間内に開口し、前記処理液から分離した気体を排出する排気口と、
前記第１送液口の中心及び前記第２送液口の中心を通る直線に交差した状態で、前記収容空間内に収容されたフィルターと、
前記処理液の供給経路に接続可能な開放端を有し、前記第１送液口に接続された管状の第１送液継手と、
前記処理液の供給経路に接続可能な開放端を有し、前記第２送液口に接続された管状の第２送液継手と、
排気経路に接続可能な開放端を有し、前記排気口に接続された管状の排気継手と、を備え、
前記第１送液継手、前記第２送液継手及び前記排気継手は、前記収容空間外の同一方向に延出している、フィルター装置。
【請求項２】
前記第１送液口及び前記排気口は、前記収容空間内の上端部に開口し、
前記第２送液口は、前記収容空間内の下端部に開口し、
前記フィルターは、鉛直方向に交差した状態で前記収容空間内に収容され、
前記第１送液継手及び前記排気継手は前記収容空間外の上方に延出し、
前記第２送液継手は、前記収容空間の周囲を通って前記収容空間外の上方に延出している、請求項１記載のフィルター装置。
【請求項３】
前記排気継手は、前記第１送液継手を囲むように配置され、前記排気口は前記第１送液口を囲む環状を呈する、請求項２記載のフィルター装置。
【請求項４】
前記第１送液口及び前記排気口は、前記収容空間内の上端部に開口し、
前記第２送液口は、前記収容空間内の下端部に開口し、
前記フィルターは、鉛直方向に交差した状態で前記収容空間内に収容され、
前記第１送液継手及び前記排気継手は前記収容空間外の上方に延出し、
前記第２送液継手は、前記収容空間内を通って前記フィルターを貫通し、前記収容空間外の上方に延出している、請求項１記載のフィルター装置。
【請求項５】
前記第１送液継手は前記第２送液継手を囲むように配置され、前記排気継手は前記第１送液継手を囲むように配置され、
前記第１送液口は前記第２送液継手を囲む環状を呈し、前記排気口は前記第１送液継手を囲む環状を呈する、請求項４記載のフィルター装置。
【請求項６】
前記第１送液口及び前記第２送液口は、水平方向における前記収容空間内の両端部にそれぞれ開口し、
前記フィルターは、水平方向に対して起立した状態で前記収容空間内に収容され、
前記排気口は、前記収容空間の上端部において、前記フィルターを挟む複数箇所に設けられ、
前記排気継手は前記収容空間外の上方に延出し、
前記第１送液継手及び前記第２送液継手は、それぞれ前記収容空間の周囲を通って前記収容空間外の上方に延出している、請求項１記載のフィルター装置。
【請求項７】
水平方向で互いに隣接する２組のフィルターユニットを備え、
それぞれのフィルターユニットは、
収容空間と、
前記収容空間内の上端部に開口し、半導体製造工程用の処理液を導入又は導出する第１送液口と、
前記収容空間内の下端部に開口し、前記処理液を導入又は導出する第２送液口と、
前記収容空間内の上端部に開口し、前記処理液から分離した気体を排出する排気口と、
前記第１送液口の中心及び前記第２送液口の中心を通る直線に交差した状態で、前記収容空間内に収容されたフィルターと、
前記処理液の供給経路に接続可能な開放端を有し、前記第１送液口に接続された管状の第１送液継手と、
排気経路に接続可能な開放端を有し、前記排気口に接続された管状の排気継手と、を有し、
前記２組のフィルターユニットの前記第１送液継手及び前記排気継手は、前記収容空間外の上方に延出し、
前記２組のフィルターユニットの前記第２送液口同士は互いに接続されている、フィルター装置。
【請求項８】
前記収容空間の前記第１送液口側の内面は、前記第１送液口から遠ざかるに従って前記フィルターに近付くように形成されており、
前記収容空間の前記第２送液口側の内面は、前記第２送液口から遠ざかるに従って前記フィルターに近付くように形成されている、請求項１〜７のいずれか一項記載のフィルター装置。
【請求項９】
前記フィルターは、前記第１送液口及び前記第２送液口のうち、前記処理液を導入する送液口の方に中心部が隆起した錐形を呈している、請求項１〜８のいずれか一項記載のフィルター装置。
【請求項１０】
前記フィルターは、前記第１送液口及び前記第２送液口のうち、前記処理液を導出する送液口の方に中心部が隆起した錐形を呈している、請求項１〜８のいずれか一項記載のフィルター装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルター装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程においては、例えばレジスト剤、現像液又はリンス液等、様々な処理液が半導体ウェハ等の供給対象に供給される。処理液の供給に際しては、処理液中の異物を除去するためのフィルター装置が用いられる。例えば特許文献１には、ハウジングと、ハウジング蓋体と、フィルターと、処理液の入口と、処理液の出口と、排気用のベントとを備えるフィルター装置が開示されている。
【０００３】
フィルターは、上下方向に延びた筒状を呈し、ハウジング内に収容されている。入口、出口及びベントは、いずれもハウジング蓋体に設けられ、上方に延出している。フィルターの外側には筒状の側部流路が形成されており、側部流路の上端部はベントにつながっている。フィルターの内側は中心部内側流路と中心部外側流路とに仕切られている。中心部内側流路の上端部は入口につながっており、中心部外側流路の上端部は出口につながっている。フィルターの下端部には、収容空間の底面に沿って広がった底部流路が形成されている。底部流路の中心部は中心部内側流路につながり、底部流路の周縁部は全周に亘って側部流路につながっている。
【０００４】
入口に流入した処理液は、中心部内側流路を通って下降し、底部流路を通って側部流路の下端部に流入し、上昇しながらフィルターを通過して中心部外側流路に流入し、出口から流出する。側部流路の上部には処理液から分離した気体が集まり、ベントから排出される。このようなフィルター装置によれば、フィルターを通過させることで処理液中の異物を除去できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２００９／０６９４０２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記フィルター装置では、入口、出口及びベントの全てが同一方向に延出している。このため、処理液の供給経路及び排気経路に容易に着脱できる。しかしながら、特にハウジング内の上側において処理液の滞留が生じる場合がある。この場合、滞留した処理液中に堆積した異物が突発的に流出して供給対象の品質を劣化させるおそれがある。
【０００７】
そこで本発明は、処理液の供給経路及び排気経路に容易に着脱できると共に、処理液の滞留を抑制できるフィルター装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るフィルター装置は、収容空間と、収容空間内の両端部にそれぞれ開口し、半導体製造工程用の処理液を導入又は導出する第１送液口及び第２送液口と、収容空間内に開口し、処理液から分離した気体を排出する排気口と、第１送液口の中心及び第２送液口の中心を通る直線に交差した状態で、収容空間内に収容されたフィルターと、処理液の供給経路に接続可能な開放端を有し、第１送液口に接続された管状の第１送液継手と、処理液の供給経路に接続可能な開放端を有し、第２送液口に接続された管状の第２送液継手と、排気経路に接続可能な開放端を有し、排気口に接続された管状の排気継手と、を備え、第１送液継手、第２送液継手及び排気継手は、収容空間外の同一方向に延出している。
【０００９】
このフィルター装置では、第１送液口及び第２送液口の一方から導入された処理液がフィルターを通過し、第１送液口及び第２送液口の他方から導出される。フィルターにより、処理液中の異物が除去される。第１送液口及び第２送液口は互いに逆側に形成され、フィルターは第１送液口の中心及び第２送液口の中心を通る直線に交差している。すなわち、第１送液口、フィルター及び第２送液口が一直線に沿って並んでいる。これにより、収容空間内に流入し、フィルターを通過し、収容空間外に流出する処理液の流れが単純化されるので、収容空間内における処理液の滞留を抑制できる。第１送液口、第２送液口及び排気口には第１送液継手、第２送液継手及び排気継手がそれぞれ接続されており、これらの継手が収容空間外の同一方向に延出している。このため、第１送液口及び第２送液口が互いに逆側に形成されていても、処理液の供給経路及び排気経路に容易に着脱できる。
【００１０】
第１送液口及び排気口は、収容空間内の上端部に開口し、第２送液口は、収容空間内の下端部に開口し、フィルターは、鉛直方向に交差した状態で収容空間内に収容され、第１送液継手及び排気継手は収容空間外の上方に延出し、第２送液継手は、収容空間の周囲を通って収容空間外の上方に延出していてもよい。この場合、第１送液口及び排気口が収容空間内の上端部に開口するので、上方に延出する第１送液継手及び排気継手を単純な直線状とすることができる。処理液を第１送液口から流入させ、第２送液口から流出させるときには、排気口はフィルターの上流側に位置することとなる。このため、フィルターの上流側において処理液から分離した気体を排出できる。処理液を第２送液口から流入させ、第１送液口から流出させるときには、排気口はフィルターの下流側に位置することとなる。このため、フィルターの下流側において処理液から分離した気体を排出できる。
【００１１】
排気継手は、第１送液継手を囲むように配置され、排気口は第１送液口を囲む環状を呈してもよい。この場合、第１送液継手及び排気継手の両方の中心軸線を、フィルターの中心に一致させることができる。第１送液継手の中心軸線をフィルターの中心に一致させることにより、フィルターの部位に応じた処理液の流量のばらつきが抑制されるので、処理液の滞留を更に抑制できる。排気継手の中心軸線をフィルターの中心に一致させることにより、処理液から分離した気体を効率よく集めて排気できる。
【００１２】
第１送液口及び排気口は、収容空間内の上端部に開口し、第２送液口は、収容空間内の下端部に開口し、フィルターは、鉛直方向に交差した状態で収容空間内に収容され、第１送液継手及び排気継手は収容空間外の上方に延出し、第２送液継手は、収容空間内を通ってフィルターを貫通し、収容空間外の上方に延出していてもよい。この場合、第１送液継手、第２送液継手及び排気継手の全てを単純な直線状とすることができる。
【００１３】
第１送液継手は第２送液継手を囲むように配置され、排気継手は第１送液継手を囲むように配置され、第１送液口は第２送液継手を囲む環状を呈し、排気口は第１送液継手を囲む環状を呈してもよい。この場合、第１送液継手、第２送液継手及び排気継手の全ての中心軸線を、フィルターの中心に一致させることができる。第１送液継手及び第２送液継手の中心軸線をフィルターの中心に一致させることにより、フィルターの部位に応じた処理液の流量のばらつきが抑制されるので、処理液の滞留を更に抑制できる。排気継手の中心軸線をフィルターの中心に一致させることにより、処理液から分離した気体を効率よく集めて排気できる。
【００１４】
第１送液口及び第２送液口は、水平方向における収容空間内の両端部にそれぞれ開口し、フィルターは、水平方向に対して起立した状態で収容空間内に収容され、排気口は、収容空間の上端部において、フィルターを挟む複数箇所に設けられ、排気継手は収容空間外の上方に延出し、第１送液継手及び第２送液継手は、それぞれ収容空間の周囲を通って収容空間外の上方に延出していてもよい。この場合、処理液を第１送液口から流入させて第２送液口から流出させるとき、及び処理液を第２送液口から流入させて第１送液口から流出させるときのいずれにおいても、排気口はフィルターの上流側及び下流側の両方に位置することとなる。このため、フィルターの上流側において処理液から分離した気体及びフィルターの下流側において処理液から分離した気体の両方を排出できる。
【００１５】
水平方向で互いに隣接する２組のフィルターユニットを備え、それぞれのフィルターユニットは、収容空間と、収容空間内の上端部に開口し、半導体製造工程用の処理液を導入又は導出する第１送液口と、収容空間内の下端部に開口し、処理液を導入又は導出する第２送液口と、収容空間内の上端部に開口し、処理液から分離した気体を排出する排気口と、第１送液口の中心及び第２送液口の中心を通る直線に交差した状態で、収容空間内に収容されたフィルターと、処理液の供給経路に接続可能な開放端を有し、第１送液口に接続された管状の第１送液継手と、排気経路に接続可能な開放端を有し、排気口に接続された管状の排気継手と、を有し、２組のフィルターユニットの第１送液継手及び排気継手は、収容空間外の上方に延出し、２組のフィルターユニットの第２送液口同士は互いに接続されていてもよい。
【００１６】
この場合、一方のフィルターユニットの第１送液口から流入した処理液は、下降してフィルターを通過し、第２送液口から他方のフィルターユニットに流入する。他方のフィルターユニットに流入した処理液は、上昇してフィルターを通過し、第１送液口から流出する。すなわち、２組のフィルターユニットのそれぞれにおいて処理液がフィルターを通過する。このため、より確実に異物を除去できる。
【００１７】
それぞれのフィルターユニットでは、第１送液口及び第２送液口は互いに逆側に形成され、フィルターは第１送液口の中心及び第２送液口の中心を通る直線に交差している。すなわち、第１送液口、フィルター及び第２送液口が一直線に沿って並んでいる。これにより、収容空間内に流入し、フィルターを通過し、収容空間外に流出する処理液の流れが単純化されるので、収容空間内における処理液の滞留を抑制できる。２組のフィルターユニットの第２送液口同士は互いに接続されている。また、全ての第１送液継手及び排気継手は、収容空間外の同一方向（上方）に延出している。このため、処理液の供給経路及び排気経路に容易に着脱できる。なお、一方のフィルターユニットは、他方のフィルターユニットの第２送液口に接続され、収容空間の周囲を通って収容空間外の上方に延出した第２送液継手として機能している。
【００１８】
収容空間の第１送液口側の内面は、第１送液口から遠ざかるに従ってフィルターに近付くように形成されており、収容空間の第２送液口側の内面は、第２送液口から遠ざかるに従ってフィルターに近付くように形成されていてもよい。この場合、処理液の流れが収容空間の内面に沿い易くなるので、処理液の滞留を更に抑制できる。
【００１９】
フィルターは、第１送液口及び第２送液口のうち、処理液を導入する送液口の方に中心部が隆起した錐形を呈していてもよい。フィルターは、第１送液口及び第２送液口のうち、処理液を導出する送液口の方に中心部が隆起した錐形を呈していてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、処理液の供給経路及び排気経路に容易に着脱できると共に、処理液の滞留を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第１実施形態に係る塗布・現像装置の斜視図である。
【図２】図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。
【図３】図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】第１実施形態に係るフィルター装置の断面図である。
【図５】第１実施形態に係るフィルター装置の変形例を示す断面図である。
【図６】第１実施形態に係るフィルター装置の他の変形例を示す断面図である。
【図７】第１実施形態に係るフィルター装置の他の変形例を示す断面図である。
【図８】第１実施形態に係るフィルター装置の他の変形例を示す断面図である。
【図９】第１実施形態に係るフィルター装置の参考例を示す断面図である。
【図１０】第１実施形態に係るフィルター装置の他の参考例を示す断面図である。
【図１１】第２実施形態に係るフィルター装置を示す断面図である。
【図１２】第２実施形態に係るフィルター装置の変形例を示す断面図である。
【図１３】第２実施形態に係るフィルター装置の他の変形例を示す断面図である。
【図１４】第２実施形態に係るフィルター装置の他の変形例を示す断面図である。
【図１５】第２実施形態に係るフィルター装置の他の変形例を示す断面図である。
【図１６】第３実施形態に係るフィルター装置を示す断面図である。
【図１７】第３実施形態に係るフィルター装置の変形例を示す断面図である。
【図１８】第３実施形態に係るフィルター装置の他の変形例を示す断面図である。
【図１９】第４実施形態に係るフィルター装置の断面図である。
【図２０】第４実施形態に係るフィルター装置の変形例を示す断面図である。
【図２１】第４実施形態に係るフィルター装置の参考例を示す断面図である。
【図２２】第４実施形態に係るフィルター装置の他の参考例を示す断面図である。
【図２３】第４実施形態に係るフィルター装置の他の参考例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２３】
〔第１実施形態〕
（塗布・現像装置）
塗布・現像装置１は、露光装置Ｅ１による露光処理の前に、ウェハ（基板）の表面にレジスト剤を塗布してレジスト膜を形成する処理を行い、露光装置Ｅ１による露光処理の後に、レジスト膜の現像処理を行う。図１及び図２に示すように、塗布・現像装置１は、キャリアブロックＳ１と、キャリアブロックＳ１に隣接する処理ブロックＳ２と、処理ブロックＳ２に隣接するインターフェースブロックＳ３とを備える。以下、塗布・現像装置１の説明における「前後左右」は、インターフェースブロックＳ３側を前側、キャリアブロックＳ１側を後側とした方向を意味するものとする。
【００２４】
キャリアブロックＳ１は、キャリアステーション１２と、搬入・搬出部１３とを有する。キャリアステーション１２は、複数のキャリア１１を支持する。キャリア１１は、複数枚のウェハＷを密封状態で収容し、ウェハＷを出し入れするための開閉扉（不図示）を一側面１１ａ側に有する。キャリア１１は、側面１１ａが搬入・搬出部１３側に面するように、キャリアステーション１２上に着脱自在に設置される。
【００２５】
搬入・搬出部１３は、キャリアステーション１２上の複数のキャリア１１にそれぞれ対応する複数の開閉扉１３ａを有する。側面１１ａの開閉扉と開閉扉１３ａとを同時に開放することで、キャリア１１内と搬入・搬出部１３内とが連通する。搬入・搬出部１３は受け渡しアームＡ１を内蔵している。受け渡しアームＡ１は、キャリア１１からウェハＷを取り出して処理ブロックＳ２に渡し、処理ブロックＳ２からウェハＷを受け取ってキャリア１１内に戻す。
【００２６】
処理ブロックＳ２は、下層反射防止膜形成（ＢＣＴ）ブロック１４と、レジスト膜形成（ＣＯＴ）ブロック１５と、上層反射防止膜形成（ＴＣＴ）ブロック１６と、現像処理（ＤＥＶ）ブロック１７とを有する。これらのブロックは、床面側からＤＥＶブロック１７、ＢＣＴブロック１４、ＣＯＴブロック１５、ＴＣＴブロック１６の順に積層されている。
【００２７】
ＢＣＴブロック１４は、塗布ユニット（不図示）と、加熱・冷却ユニット（不図示）と、これらのユニットにウェハＷを搬送する搬送アームＡ２とを内蔵している。塗布ユニットは、反射防止膜形成用の薬液をウェハＷの表面に塗布する。加熱・冷却ユニットは、例えば熱板によりウェハＷを加熱して薬液を硬化させ、加熱後のウェハＷを冷却板により冷却する熱処理を行う。
【００２８】
ＣＯＴブロック１５は、塗布ユニット（不図示）と、加熱・冷却ユニット（不図示）と、これらのユニットにウェハＷを搬送する搬送アームＡ３とを内蔵している。塗布ユニットは、レジスト膜形成用の薬液（レジスト剤）を下層反射防止膜の上に塗布する。加熱・冷却ユニットは、例えば熱板によりウェハＷを加熱してレジスト剤を硬化させ、加熱後のウェハＷを冷却板により冷却する熱処理を行う。レジスト剤は、ポジ型であってもネガ型であってもよい。
【００２９】
ＴＣＴブロック１６は、塗布ユニット（不図示）と、加熱・冷却ユニット（不図示）と、これらのユニットにウェハＷを搬送する搬送アームＡ４とを内蔵している。塗布ユニットは、反射防止膜形成用の薬液をレジスト膜の上に塗布する。加熱・冷却ユニットは、例えば熱板によりウェハＷを加熱して薬液を硬化させ、加熱後のウェハＷを冷却板により冷却する熱処理を行う。
【００３０】
図３に示すように、ＤＥＶブロック１７は、複数の現像処理ユニット（基板液処理装置）Ｕ１と、複数の加熱・冷却ユニット（熱処理部）Ｕ２と、これらのユニットにウェハＷを搬送する搬送アームＡ５と、これらのユニットを経ずに処理ブロックＳ２の前後間でウェハＷを搬送する直接搬送アームＡ６とを内蔵している。
【００３１】
現像処理ユニットＵ１は、露光されたレジスト膜に現像液及びリンス液を供給して現像処理を行う。加熱・冷却ユニットＵ２は、ポストエクスポージャベーク（ＰＥＢ）、ポストベーク（ＰＢ）等の熱処理を行う。ＰＥＢは、現像処理前にレジスト膜を加熱する処理である。ＰＢは、現像処理後にレジスト膜を加熱する処理である。これらの熱処理において、加熱・冷却ユニットＵ２は、熱板によりウェハＷを加熱することでレジスト膜を加熱し、加熱後のウェハＷを冷却板により冷却する。
【００３２】
処理ブロックＳ２の後側には棚ユニットＵ１０が設けられている。棚ユニットＵ１０は、床面からＴＣＴブロック１６に亘るように設けられており、上下方向に並ぶ複数のセルＣ３０〜Ｃ３８に区画されている。棚ユニットＵ１０の近傍には、昇降アームＡ７が設けられている。昇降アームＡ７は、セルＣ３０〜Ｃ３８間でウェハＷを搬送する。処理ブロックＳ２の前側には棚ユニットＵ１１が設けられている。棚ユニットＵ１１は、床面からＤＥＶブロック１７の上部に亘るように設けられており、上下方向に並ぶ複数のセルＣ４０〜Ｃ４２に区画されている。
【００３３】
インターフェースブロックＳ３は、露光装置Ｅ１に接続される。インターフェースブロックＳ３は、受け渡しアームＡ８を内蔵している。受け渡しアームＡ８は、処理ブロックＳ２の棚ユニットＵ１１から露光装置Ｅ１にウェハＷを渡し、露光装置Ｅ１からウェハＷを受け取り棚ユニットＵ１１に戻す。
【００３４】
このような塗布・現像装置１では、まずキャリア１１がキャリアステーション１２に設置される。このとき、キャリア１１の一側面１１ａは搬入・搬出部１３の開閉扉１３ａに向けられる。次に、キャリア１１の開閉扉と搬入・搬出部１３の開閉扉１３ａとが共に開放され、受け渡しアームＡ１により、キャリア１１内のウェハＷが取り出され、処理ブロックＳ２の棚ユニットＵ１０のいずれかのセルに順次搬送される。
【００３５】
受け渡しアームＡ１により棚ユニットＵ１０のいずれかのセルに搬送されたウェハＷは、昇降アームＡ７により、ＢＣＴブロック１４に対応するセルＣ３３に順次搬送される。セルＣ３３に搬送されたウェハＷは、搬送アームＡ２によってＢＣＴブロック１４内の各ユニットに搬送され、このウェハＷの表面上に下層反射防止膜が形成される。
【００３６】
下層反射防止膜が形成されたウェハＷは、搬送アームＡ２によってセルＣ３３の上のセルＣ３４に搬送される。セルＣ３４に搬送されたウェハＷは、昇降アームＡ７によって、ＣＯＴブロック１５に対応するセルＣ３５に搬送される。セルＣ３５に搬送されたウェハＷは、搬送アームＡ３によりＣＯＴブロック１５内の各ユニットに搬送され、このウェハＷの下層反射防止膜の上にレジスト膜が形成される。
【００３７】
レジスト膜が形成されたウェハＷは、搬送アームＡ３によってセルＣ３５の上のセルＣ３６に搬送される。セルＣ３６に搬送されたウェハＷは、昇降アームＡ７によって、ＴＣＴブロック１６に対応するセルＣ３７に搬送される。セルＣ３７に搬送されたウェハＷは、搬送アームＡ４によってＴＣＴブロック１６内の各ユニットに搬送され、このウェハＷのレジスト膜の上に上層反射防止膜が形成される。
【００３８】
上層反射防止膜が形成されたウェハＷは、搬送アームＡ４によってセルＣ３７の上のセルＣ３８に搬送される。セルＣ３８に搬送されたウェハＷは、昇降アームＡ７によって直接搬送アームＡ６に対応するセルＣ３２に搬送され、直接搬送アームＡ６によって棚ユニットＵ１１のセルＣ４２に搬送される。セルＣ４２に搬送されたウェハＷは、インターフェースブロックＳ３の受け渡しアームＡ８により露光装置Ｅ１に渡され、露光装置Ｅ１においてレジスト膜の露光処理が行われる。露光処理後のウェハＷは、受け渡しアームＡ８によりセルＣ４２の下のセルＣ４０，Ｃ４１に搬送される。
【００３９】
セルＣ４０，Ｃ４１に搬送されたウェハＷは、搬送アームＡ５により、ＤＥＶブロック１７内の各ユニットに搬送され、現像処理が行われる。これにより、ウェハＷの表面上にレジストパターンが形成される。レジストパターンが形成されたウェハＷは、搬送アームＡ５によって棚ユニットＵ１０のうちＤＥＶブロック１７に対応したセルＣ３０，Ｃ３１に搬送される。セルＣ３０，Ｃ３１に搬送されたウェハＷは、昇降アームＡ７によって、受け渡しアームＡ１がアクセス可能なセルに搬送され、受け渡しアームＡ１によって、キャリア１１内に戻される。
【００４０】
なお、塗布・現像装置１の構成は一例に過ぎずない。塗布・現像装置は、塗布ユニット及び現像処理ユニット等の液処理ユニットと、加熱・冷却ユニット等の前処理・後処理ユニットと、搬送装置とを備えるものであればよく、これら各ユニットの個数や種類、レイアウト等は適宜変更可能である。
【００４１】
（フィルター装置）
上述したように、塗布・現像装置１は、塗布ユニット及び現像処理ユニット等の液処理ユニットを有する。これらの液処理ユニットは、それぞれ反射防止膜形成用の薬液、レジスト剤、現像液又はリンス液等の処理液をウェハＷ（供給対象）に供給する。図３に示すように、各液処理ユニットに処理液を供給するための供給経路Ｒ１には、フィルター装置２０が配置される（図３参照）。
【００４２】
図４に示すように、フィルター装置２０は、ハウジング２１と、第１送液継手２３と、排気継手２４と、第２送液継手２５と、フィルター２６とを備える。
【００４３】
ハウジング２１は、内部に収容空間２２を有する容器である。すなわち、フィルター装置２０は収容空間２２を更に備える。ハウジング２１の上端部の中央には、開口２１ａ，２１ｃが設けられている。ハウジング２１の下端部の中央には、開口２１ｂが設けられている。
【００４４】
第１送液継手２３は管状を呈し、開口２１ａの周縁部から上方及び下方に突出している。第１送液継手２３の下端２３ｂは収容空間２２内の上端部２２ｃに位置し、第１送液口ＯＰ１を構成する。第１送液口ＯＰ１は、収容空間２２内の上端部２２ｃに開口し、処理液ＰＬを導入又は導出する。上端部２２ｃは、上端及びその近傍部分を含む。第１送液継手２３の上端２３ａは上方に開放された開放端となっており、処理液の供給経路Ｒ１（図３参照）に着脱自在に接続可能である。すなわち、第１送液継手２３は、供給経路Ｒ１に接続可能な開放端２３ａを有し、第１送液口ＯＰ１に接続され、収容空間２２外の上方に延出している。
【００４５】
排気継手２４は管状を呈し、開口２１ｃの周縁部から上方に突出している。開口２１ｃは、排気口ＯＰ３を構成する。排気口ＯＰ３は、収容空間２２内の上端部２２ｃに開口し、処理液ＰＬから分離した気体ＥＧを排出する。排気口ＯＰ３は、第１送液口ＯＰ１に比べ上方に位置している。排気継手２４の上端２４ａは上方に開放された開放端となっており、排気経路Ｒ２（図３参照）に着脱自在に接続可能である。すなわち、排気継手２４は、排気経路Ｒ２に接続可能な開放端２４ａを有し、排気口ＯＰ３に接続され、収容空間２２外の上方に延出している。開放端２４ａは、開放端２３ａと同等の高さに位置している。
【００４６】
第２送液継手２５は管状を呈し、その一端部はハウジング２１の下端部の中央に下方から接続されている。第２送液継手２５の一端部は上方に開口しており、開口２１ｂの周縁部に固定されている。開口２１ｂは、第２送液口ＯＰ２を構成する。第２送液口ＯＰ２は、収容空間２２内の下端部２２ｄに開口し、処理液ＰＬを導入又は導出する。下端部２２ｄは、下端及びその近傍を含む。
【００４７】
第２送液継手２５は、ハウジング２１の周縁側に延び、途中で上方に屈曲している。その屈曲部は、平面視において収容空間２２の周縁よりも外側に位置しており、屈曲部から上方に延びた部分は収容空間２２の周囲を通り、収容空間２２外の上方に延出している。第２送液継手２５の上端２５ａは上方に開放された開放端となっている。すなわち、第２送液継手２５は、供給経路Ｒ１に接続可能な開放端２５ａを有し、第２送液口ＯＰ２に接続され、収容空間２２外の上方に延出している。開放端２５ａは、開放端２３ａ及び開放端２４ａと同等の高さに位置している。
【００４８】
このように、第１送液継手２３、第２送液継手２５及び排気継手２４は、収容空間２２外の同一方向に延出している。なお、ハウジング２１、第１送液継手２３、第２送液継手２５及び排気継手２４は、例えば樹脂材料により構成されている。
【００４９】
フィルター２６は、例えば不織布等により構成されたシート状部材であり、鉛直方向に直交した状態で収容空間２２内に収容されている。フィルター２６は、第１送液口ＯＰ１の中心及び第２送液口ＯＰ２の中心を通る直線ＳＬ１に交差している。フィルター２６の周縁部は、収容空間２２の内面に固定されている。
【００５０】
収容空間２２の第１送液口ＯＰ１側の内面２２ａは、第１送液口ＯＰ１から遠ざかるに従ってフィルター２６に近付くように形成されている。その一例として、内面２２ａは、下方へ向かうに従って徐々に広がった錐面状を呈している。
【００５１】
収容空間２２の第２送液口ＯＰ２側の内面２２ｂは、第２送液口ＯＰ２から遠ざかるに従ってフィルター２６に近付くように形成されている。その一例として、内面２２ｂは、上方へ向かうに従って徐々に広がった錐面状を呈している。
【００５２】
以上のように構成されたフィルター装置２０は、開放端２３ａ，２５ａのいずれか一方を処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端２３ａ，２５ａの他方を処理液の供給経路の下流側に接続し、開放端２４ａを排気経路に接続して用いられる。
【００５３】
図４（ａ）は、開放端２３ａを処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端２５ａを処理液の供給経路の下流側に接続した場合の処理液ＰＬの流れを示している。この場合、処理液ＰＬは、第１送液口ＯＰ１から収容空間２２内に流入し、下降してフィルター２６を通過し、第２送液口ＯＰ２から収容空間２２外に流出する。フィルター２６により、処理液ＰＬ内の異物が除去される。フィルター２６の上側においては、処理液ＰＬから分離した気体ＥＧが浮上する。第１送液口ＯＰ１が排気口ＯＰ３に比べ下方に位置しているので、気体ＥＧは第１送液継手２３の周囲に集まり、排気口ＯＰ３から排出される。
【００５４】
図４（ｂ）は、開放端２５ａを処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端２３ａを処理液の供給経路の下流側に接続した場合の処理液ＰＬの流れを示している。この場合、処理液ＰＬは、第２送液口ＯＰ２から収容空間２２内に流入し、上昇してフィルター２６を通過し、第１送液口ＯＰ１から収容空間２２外に流出する。フィルター２６により、処理液ＰＬ内の異物が除去される。フィルター２６の上側においては、処理液ＰＬから分離した気体ＥＧが浮上して第１送液継手２３の周囲に集まり、排気口ＯＰ３から排出される。
【００５５】
以上に説明したフィルター装置２０では、第１送液口ＯＰ１及び第２送液口ＯＰ２は互いに逆側に形成され、フィルター２６は第１送液口ＯＰ１の中心及び第２送液口ＯＰ２の中心を通る直線ＳＬ１に交差している。すなわち、第１送液口ＯＰ１、フィルター２６及び第２送液口ＯＰ２が一直線に沿って並んでいる。これにより、収容空間２２内に流入し、フィルター２６を通過し、収容空間２２外に流出する処理液ＰＬの流れが単純化されるので、収容空間２２内における処理液ＰＬの滞留を抑制できる。第１送液口ＯＰ１、第２送液口ＯＰ２及び排気口ＯＰ３には第１送液継手２３、第２送液継手２５及び排気継手２４がそれぞれ接続されており、これらの継手が収容空間２２外の同一方向に延出している。このため、第１送液口ＯＰ１及び第２送液口ＯＰ２が互いに逆側に形成されていても、処理液の供給経路Ｒ１及び排気経路Ｒ２に容易に着脱できる。
【００５６】
第１送液口ＯＰ１及び排気口ＯＰ３は収容空間２２内の上端部２２ｃに開口するので、上方に延出する第１送液継手２３及び排気継手２４を単純な直線状とすることができる。
【００５７】
処理液ＰＬを第１送液口ＯＰ１から流入させ、第２送液口ＯＰ２から流出させるときには、排気口ＯＰ３はフィルター２６の上流側に位置することとなる。このため、フィルター２６の上流側において処理液ＰＬから分離した気体ＥＧを排出できる。
【００５８】
処理液ＰＬを第２送液口ＯＰ２から流入させ、第１送液口ＯＰ１から流出させるときには、排気口ＯＰ３はフィルター２６の下流側に位置することとなる。このため、フィルター２６の下流側において処理液ＰＬから分離した気体ＥＧを排出できる。なお、処理液ＰＬを圧送するためのポンプがフィルター装置２０の下流側に位置する場合には、フィルター２６の下流側の処理液ＰＬに負圧が作用し易くなるので、処理液ＰＬからの気体ＥＧの分離はフィルター２６の下流側で生じ易くなる。従って、下流側において気体ＥＧを排出できることは、ポンプがフィルター装置２０の下流側に位置する場合に特に有益である。
【００５９】
排気継手２４は第１送液継手２３を囲むように配置されていてもよく、これに伴って排気口ＯＰ３は第１送液継手２３を囲む環状を呈してもよい（図５参照）。この場合、第１送液継手２３の中心軸線ＣＬ１及び排気継手２４の中心軸線ＣＬ３の両方を、フィルター２６の中心ＣＰ１に一致させることができる。第１送液継手２３の中心軸線ＣＬ１を中心ＣＰ１に一致させることにより、フィルター２６の部位に応じた処理液ＰＬの流量のばらつきが抑制されるので、処理液ＰＬの滞留を更に抑制できる。排気継手２４の中心軸線ＣＬ３を中心ＣＰ１に一致させることにより、処理液ＰＬから分離した気体ＥＧを効率よく集めて排気できる。
【００６０】
フィルター２６は、第１送液口ＯＰ１の方に中心部が隆起した錐形を呈していてもよい（図６参照）。処理液ＰＬが第１送液口ＯＰ１から第２送液口ＯＰ２に流れる場合には、フィルター２６の中心部は処理液ＰＬを導入する送液口の方に隆起していることとなる。処理液ＰＬが第２送液口ＯＰ２から第１送液口ＯＰ１に流れる場合には、フィルター２６の中心部は処理液ＰＬを導出する送液口の方に隆起していることとなる。
【００６１】
フィルター２６は、第２送液口ＯＰ２の方に中心部が隆起した錐形を呈していてもよい（図７参照）。処理液ＰＬが第１送液口ＯＰ１から第２送液口ＯＰ２に流れる場合には、フィルター２６の中心部は処理液ＰＬを導出する送液口の方に隆起していることとなる。処理液ＰＬが第２送液口ＯＰ２から第１送液口ＯＰ１に流れる場合には、フィルター２６の中心部は処理液ＰＬを導入する送液口の方に隆起していることとなる。フィルター２６の中心部における処理液ＰＬの流量と、フィルター２６の周縁部における処理液ＰＬの流量との差異を調整し、処理液ＰＬの滞留を更に抑制できる。
【００６２】
フィルター２６を図６又は図７の錐形とすることにより、フィルター２６の中心部における処理液ＰＬの流量と、フィルター２６の周縁部における処理液ＰＬの流量との差異を調整し、処理液ＰＬの滞留を更に抑制できる。
【００６３】
複数枚のフィルター２６を重ねて収容空間２２内に配置してもよい（図８参照）。この場合、処理液ＰＬ中の異物をより確実に除去できる。
【００６４】
収容空間２２の第１送液口ＯＰ１側の内面２２ａは、第１送液口ＯＰ１から遠ざかるに従ってフィルター２６に近付くように形成されている。収容空間２２の第２送液口ＯＰ２側の内面２２ｂは、第２送液口ＯＰ２から遠ざかるに従ってフィルター２６に近付くように形成されている。これにより、処理液ＰＬの流れが収容空間２２の内面に沿い易くなるので、処理液ＰＬの滞留を更に抑制できる。
【００６５】
なお、収容空間の内面形状を調整することにより、処理液の流れを収容空間の内面に沿い易くすることは、他の形態のフィルター装置にも応用可能である。以下、図９及び図１０を参照してその応用例を説明する。
【００６６】
図９に示すフィルター装置７０は、ハウジング７１と、第１送液継手７３と、第２送液継手７４と、排気継手７５と、フィルター７６と、仕切板７７とを備える。
【００６７】
ハウジング７１は、内部に収容空間７２を有する容器である。すなわち、フィルター装置７０は収容空間７２を更に備える。ハウジング７１の上端部の中央には、開口７１ａ，７１ｂが設けられている。ハウジング７１の上端部の周縁側には、開口７１ｃが設けられている。
【００６８】
第１送液継手７３は管状を呈し、開口７１ｂの周縁部から上方及び下方に突出している。第１送液継手７３の下端７３ｂは収容空間７２内の下端部７２ｃに位置し、第１送液口ＯＰ５を構成する。第１送液口ＯＰ５は、収容空間７２内の下端部７２ｃに開口し、処理液を導入又は導出する。下端部７２ｃは、下端及びその近傍部分を含む。第１送液継手７３の上端７３ａは上方に開放された開放端となっており、処理液の供給経路に着脱自在に接続可能である。すなわち、第１送液継手７３は、供給経路に接続可能な開放端７３ａを有し、第１送液口ＯＰ５に接続され、収容空間７２外の上方に延出している。
【００６９】
第２送液継手７４は管状を呈し、開口７１ａの周縁部から上方及び下方に突出している。第２送液継手７４の下端７４ｂは収容空間７２内の上端部７２ｂに位置し、第２送液口ＯＰ６を構成する。第２送液口ＯＰ６は、収容空間７２内の上端部７２ｂに開口し、処理液を導入又は導出する。上端部７２ｂは、上端及びその近傍部分を含む。第２送液継手７４の上端７４ａは上方に開放された開放端となっており、処理液の供給経路に着脱自在に接続可能である。すなわち、第２送液継手７４は、供給経路に接続可能な開放端７４ａを有し、第２送液口ＯＰ６に接続され、収容空間７２外の上方に延出している。開放端７４ａは、開放端７３ａと同等の高さに位置している。
【００７０】
排気継手７５は管状を呈し、開口７１ｃの周縁部から上方に突出している。開口７１ｃは、排気口ＯＰ７を構成する。排気口ＯＰ７は、収容空間７２内の上端部７２ｂに開口し、処理液から分離した気体を排出する。排気口ＯＰ７は、第２送液口ＯＰ６に比べ上方に位置している。排気継手７５の上端７５ａは上方に開放された開放端となっており、排気経路に着脱自在に接続可能である。すなわち、排気継手７５は、排気経路に接続可能な開放端７５ａを有し、排気口ＯＰ７に接続され、収容空間７２外の上方に延出している。
【００７１】
このように、第１送液継手７３、第２送液継手７４及び排気継手７５は、収容空間７２外の同一方向に延出している。なお、ハウジング７１、第１送液継手７３、第２送液継手７４及び排気継手７５は、例えば樹脂材料により構成されている。
【００７２】
フィルター７６は、例えば不織布等により構成された筒状部材であり、第１送液継手７３及び第２送液継手７４を囲んだ状態で収容空間７２内に収容されている。フィルター７６は、収容空間７２内を内側空間Ｂ１と外側空間Ｂ２とに仕切っている。第２送液口ＯＰ６は内側空間Ｂ１内に開口する。排気口ＯＰ７は外側空間Ｂ２内に開口する。
【００７３】
仕切板７７は、第１送液継手７３の下端７３ｂから外周側に広がったフランジ状を呈する。仕切板７７はフィルター７６の下に位置し、その周縁はフィルター７６の外周面に達している。仕切板７７が設けられていることにより、第１送液口ＯＰ５は、内側空間Ｂ１に連通することなく外側空間Ｂ２に連通している。なお、仕切板７７は、例えばハウジング７１等と同様の樹脂材料により構成されている。
【００７４】
以上のように構成されたフィルター装置７０は、開放端７３ａ，７４ａのいずれか一方を処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端７３ａ，７４ａの他方を処理液の供給経路の下流側に接続し、開放端７５ａを排気経路に接続して用いられる。
【００７５】
開放端７３ａを処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端７４ａを処理液の供給経路の下流側に接続した場合、処理液は、第１送液口ＯＰ５から収容空間７２内に流入し、仕切板７７の下を通って周縁側に広がり、外側空間Ｂ２の下端部に流入する。外側空間Ｂ２内に流入した処理液は上昇しながらフィルター７６を通過し、内側空間Ｂ１に流入し、第２送液口ＯＰ６から収容空間７２外に流出する。フィルター７６の上流側となる外側空間Ｂ２においては、処理液から分離した気体が浮上する。この気体は外側空間Ｂ２の上部に集まり、排気口ＯＰ７から排出される。
【００７６】
開放端７４ａを処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端７３ａを処理液の供給経路の下流側に接続した場合、処理液は、第２送液口ＯＰ６から収容空間７２内の内側空間Ｂ１に流入し、下降しながらフィルター７６を通過し、外側空間Ｂ２に流入する。外側空間Ｂ２に流入した気体は仕切板７７の下を通って第１送液口ＯＰ５から収容空間７２外に流出する。フィルター７６の下流側となる外側空間Ｂ２においては、処理液から分離した気体が浮上する。この気体は外側空間Ｂ２の上部に集まり、排気口ＯＰ７から排出される。
【００７７】
フィルター装置７０においては、収容空間７２の周面７２ａが上方へ向かうに従って広がるように形成されている。これにより、外側空間Ｂ２の下側において、処理液の流れが収容空間７２の内面に沿い易くなる。
【００７８】
図１０に示すフィルター装置７０は、収容空間７２の周面７２ａが下方へ向かうに従って広がるように形成されたものである。この場合、外側空間Ｂ２の上側において、処理液の流れが収容空間７２の内面に沿い易くなる。
【００７９】
〔第２実施形態〕
第２実施形態に係るフィルター装置２０Ａと第１実施形態に係るフィルター装置２０との主な相違点は、フィルター装置２０Ａにおいて、第２送液継手２５Ａを収容空間２２内に配管した点である。
【００８０】
図１１に示すように、フィルター装置２０Ａは、フィルター装置２０のハウジング２１及び第２送液継手２５がハウジング２１Ａ及び第２送液継手２５Ａに置き換わったものである。ハウジング２１Ａは、ハウジング２１の下端部の開口２１ｂをなくし、ハウジング２１の上端部に開口２１ｄを追加したものである。
【００８１】
第２送液継手２５Ａは管状を呈し、開口２１ｄの周縁部から上方及び下方に突出している。第２送液継手２５Ａはフィルター２６を貫通しており、その下端２５ｂは収容空間２２内の下端部２２ｄに位置している。下端２５ｂは第２送液口ＯＰ２を構成する。第２送液口ＯＰ２は収容空間２２内の下端部２２ｄに開口し、処理液を導入又は導出する。第２送液継手２５Ａの上端２５ａは上方に開放された開放端となっており、供給経路に着脱自在に接続可能である。すなわち、第２送液継手２５Ａは、供給経路に接続可能な開放端２５ａを有し、第２送液口ＯＰ２に接続され、収容空間２２内を通ってフィルター２６を貫通し、収容空間２２外の上方に延出している。
【００８２】
図１１（ａ）は、開放端２３ａを処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端２５ａを処理液の供給経路の下流側に接続した場合の処理液ＰＬの流れを示している。この場合、処理液ＰＬは、第１送液口ＯＰ１から収容空間２２内に流入し、下降してフィルター２６を通過し、第２送液口ＯＰ２から収容空間２２外に流出する。フィルター２６により、処理液ＰＬ内の異物が除去される。フィルター２６の上側においては、処理液ＰＬから分離した気体ＥＧが浮上する。第１送液口ＯＰ１が排気口ＯＰ３に比べ下方に位置しているので、気体ＥＧは第１送液継手２３の周囲に集まり、排気口ＯＰ３から排出される。
【００８３】
図１１（ｂ）は、開放端２５ａを処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端２３ａを処理液の供給経路の下流側に接続した場合の処理液ＰＬの流れを示している。この場合、処理液ＰＬは、第２送液口ＯＰ２から収容空間２２内に流入し、上昇してフィルター２６を通過し、第１送液口ＯＰ１から収容空間２２外に流出する。フィルター２６により、処理液ＰＬ内の異物が除去される。フィルター２６の上側においては、処理液ＰＬから分離した気体ＥＧが浮上して第１送液継手２３の周囲に集まり、排気口ＯＰ３から排出される。
【００８４】
フィルター装置２０Ａも、フィルター装置２０と同様に、処理液ＰＬの供給経路及び排気経路に容易に着脱できると共に、処理液ＰＬの滞留を抑制できる。更に、第２送液継手２５Ａが収容空間２２内を通ってフィルター２６を貫通し、収容空間２２外の上方に延出しているので、第１送液継手２３、第２送液継手２５Ａ及び排気継手２４の全てを単純な直線状とすることができる。
【００８５】
第１送液継手２３は第２送液継手２５Ａを囲むように配置され、排気継手２４は第１送液継手２３を囲むように配置されていてもよい。これに伴って、第１送液口ＯＰ１は第２送液継手２５Ａを囲む環状を呈し、排気口ＯＰ３は第１送液継手２３を囲む環状を呈していてもよい（図１２参照）。この場合、第１送液継手２３の中心軸線ＣＬ１、第２送液継手２５Ａの中心軸線ＣＬ２及び排気継手２４の中心軸線ＣＬ３の全てを、フィルター２６の中心ＣＰ１に一致させることができる。第１送液継手２３及び第２送液継手２５Ａの中心軸線ＣＬ１，ＣＬ２を中心ＣＰ１に一致させることにより、フィルター２６の部位に応じた処理液ＰＬの流量のばらつきが抑制されるので、処理液ＰＬの滞留を更に抑制できる。排気継手２４の中心軸線ＣＬ３を中心ＣＰ１に一致させることにより、処理液ＰＬから分離した気体ＥＧを更に効率よく集めて排気できる。
【００８６】
フィルター装置２０Ａにおいても、フィルター２６は、第１送液口ＯＰ１の方に中心部が隆起した錐形を呈していてもよいし（図１３参照）、第２送液口ＯＰ２の方に中心部が隆起した錐形を呈していてもよい（図１４参照）。複数枚のフィルター２６を重ねて収容空間２２内に配置してもよい（図１５参照）。
【００８７】
〔第３実施形態〕
第３実施形態に係るフィルター装置３０と第１実施形態に係るフィルター装置２０との主な相違点は、フィルター装置３０において、第１送液口ＯＰ１及び第２送液口ＯＰ２を水平方向の両端部に配置すると共に、排気口ＯＰ３，ＯＰ４がフィルター３７の上流側及び下流側の両方に設けられている点である。
【００８８】
図１６に示すように、フィルター装置３０は、ハウジング３１と、第１送液継手３３と、第２送液継手３４と、排気継手３５，３６と、フィルター３７とを備える。
【００８９】
ハウジング３１は、内部に収容空間３２を有する容器である。すなわち、フィルター装置３０は収容空間３２を更に備える。水平方向における収容空間３２の両端部には、開口３１ａ，３１ｂがそれぞれ設けられている。以下、「左右」は、図示に合わせた方向を意味し、開口３１ａ側を左側、開口３１ｂ側を右側とした方向を意味する。開口３１ａはハウジング３１の左端部の中央に位置しており、開口３１ｂはハウジング３１の右端部の中央に位置している。ハウジング３１の上端部には、開口３１ｃ，３１ｄが設けられている。開口３１ｃ，３１ｄは左右に並んでいる。
【００９０】
第１送液継手３３は管状を呈し、その一端部はハウジング３１の左端部の中央に左方から接続されている。第１送液継手３３の一端部は右方に開口しており、開口３１ａの周縁部に固定されている。開口３１ａは、第１送液口ＯＰ１を構成する。第１送液口ＯＰ１は、収容空間３２内の左端部３２ｃに開口し、処理液を導入又は導出する。左端部３２ｃは、左端及びその近傍を含む。
【００９１】
第１送液継手３３は、収容空間３２の周囲を通り、収容空間３２外の上方に延出している。第１送液継手３３の上端３３ａは上方に開放された開放端となっている。すなわち、第１送液継手３３は、処理液の供給経路に接続可能な開放端３３ａを有し、第１送液口ＯＰ１に接続され、収容空間３２外の上方に延出している。
【００９２】
第２送液継手３４は管状を呈し、その一端部はハウジング３１の右端部の中央に右方から接続されている。第２送液継手３４の一端部は左方に開口しており、開口３１ｂの周縁部に固定されている。開口３１ｂは、第２送液口ＯＰ２を構成する。第２送液口ＯＰ２は、収容空間３２内の右端部３２ｄに開口し、処理液を導入又は導出する。右端部３２ｄは、右端及びその近傍を含む。
【００９３】
第２送液継手３４は、収容空間３２の周囲を通り、収容空間３２外の上方に延出している。第２送液継手３４の上端３４ａは上方に開放された開放端となっている。すなわち、第２送液継手３４は、処理液の供給経路に接続可能な開放端３４ａを有し、第２送液口ＯＰ２に接続され、収容空間３２外の上方に延出している。開放端３４ａは、開放端３３ａと同等の高さに位置している。
【００９４】
排気継手３５，３６は管状を呈し、それぞれ開口３１ｃ，３１ｄの周縁部から上方に突出している。開口３１ｃ，３１ｄは、それぞれ排気口ＯＰ３，ＯＰ４を構成する。排気口ＯＰ３，ＯＰ４は、収容空間３２内の上端部３２ｅに開口し、処理液から分離した気体を排出する。排気継手３５，３６の上端３５ａ，３６ａは上方に開放された開放端となっており、排気経路に着脱自在に接続可能である。すなわち、排気継手３５，３６は、それぞれ排気経路に接続可能な開放端３５ａ，３６ａを有し、排気口ＯＰ３，ＯＰ４に接続され、収容空間３２外の上方に延出している。開放端３５ａ，３６ａは、開放端３３ａ，３４ａと同等の高さに位置している。
【００９５】
このように、第１送液継手３３、第２送液継手３４及び排気継手３５，３６は、収容空間３２外の同一方向に延出している。なお、ハウジング３１、第１送液継手３３、第２送液継手３４及び排気継手３５，３６は、例えば樹脂材料により構成されている。
【００９６】
フィルター３７は、水平方向に対して起立した状態で収容空間３２内に収容されている。フィルター３７は、第１送液口ＯＰ１の中心及び第２送液口ＯＰ２の中心を通る直線ＳＬ１に直交している。フィルター３７の周縁部は、収容空間３２の内面に固定されている。フィルター３７は、開口３１ｃ，３１ｄの間に位置している。すなわち、排気口ＯＰ３，ＯＰ４は、フィルター３７を挟む２箇所に設けられている。
【００９７】
収容空間３２の第１送液口ＯＰ１側の内面３２ａは、第１送液口ＯＰ１から遠ざかるに従ってフィルター３７に近付くように形成されている。その一例として、内面３２ａは、右方へ向かうに従って徐々に広がった錐面状を呈している。
【００９８】
収容空間３２の第２送液口ＯＰ２側の内面３２ｂは、第２送液口ＯＰ２から遠ざかるに従ってフィルター３７に近付くように形成されている。その一例として、内面３２ｂは、左方へ向かうに従って徐々に広がった錐面状を呈している。
【００９９】
以上のように構成されたフィルター装置３０は、開放端３３ａ，３４ａのいずれか一方を処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端３３ａ，３４ａの他方を処理液の供給経路の下流側に接続し、開放端３５ａ，３６ａを排気経路に接続して用いられる。
【０１００】
処理液は、第１送液口ＯＰ１及び第２送液口ＯＰ２のいずれか一方から収容空間３２内に流入し、フィルター３７を通過し、第１送液口ＯＰ１及び第２送液口ＯＰ２の他方から収容空間３２外に流出する。フィルター３７により、処理液内の異物が除去される。フィルター３７の左右両側においては、処理液から分離した気体が浮上する。この気体は収容空間３２の上端部３２ｅに集まり、排気口ＯＰ３，ＯＰ４から排出される。
【０１０１】
フィルター装置３０も、フィルター装置２０と同様に、処理液の供給経路及び排気経路に容易に着脱できると共に、処理液の滞留を抑制できる。更に、排気口ＯＰ３，ＯＰ４はフィルター３７を挟む両側に設けられているので、処理液を第１送液口ＯＰ１から流入させて第２送液口ＯＰ２から流出させるとき、及び処理液を第２送液口ＯＰ２から流入させて第１送液口ＯＰ１から流出させるときのいずれにおいても、排気口ＯＰ３，ＯＰ４はフィルター３７の上流側及び下流側の両方に位置することとなる。このため、フィルター３７の上流側において処理液から分離した気体及びフィルター３７の下流側において処理液から分離した気体の両方を排出できる。
【０１０２】
フィルター装置３０においても、フィルター３７は、第１送液口ＯＰ１又は第２送液口ＯＰ２の方に中心部が隆起した錐形を呈していてもよい（図１７参照）。複数枚のフィルター３７を重ねて収容空間３２内に配置してもよい（図１８参照）。この場合、フィルター３７同士の間に排気口ＯＰ２０及び排気継手３８を更に設けてもよい。排気口ＯＰ２０及び排気継手３８は、排気口ＯＰ３，ＯＰ４及び排気継手３５，３６と同様に構成される。排気口ＯＰ２０は、収容空間３２内の上端部３２ｅに開口し、処理液から分離した気体を排出する。排気継手３８は、それぞれ排気経路に接続可能な開放端３８ａを有し、排気口ＯＰ２０に接続され、収容空間３２外の上方に延出している。排気口ＯＰ２０及び排気継手３８を設けることにより、フィルター３７の間に気泡が蓄積することを防止できる。このため、気泡の蓄積に伴う濾過効率の低下を抑制できる。
【０１０３】
〔第４実施形態〕
第４実施形態に係るフィルター装置４０は、図１９に示すように、ハウジング４１と、第１送液継手４５，４７と、排気継手４６，４８と、を備える。
【０１０４】
ハウジング４１は、内部に収容空間４３を有する容器である。収容空間４３は、上下方向に延びる仕切壁４２により２つの収容空間４３Ａ，４３Ｂに仕切られている。仕切壁４２の上端部は収容空間４３の上面に達しており、仕切壁４２の下端部は収容空間４３の底面から離間している。従って、収容空間４３Ａ，４３Ｂは下側において互いに連通している。以下、ハウジング４１において収容空間４３Ａ，４３Ｂに対応する部分をそれぞれハウジング４１Ａ，４１Ｂとする。「左右」は図示に合わせた方向を意味し、収容空間４３Ａ側を左側、収容空間４３Ｂ側を右側とした方向を意味する。
【０１０５】
ハウジング４１Ａの上端部の中央には、開口４１ａ，４１ｂが設けられている。ハウジング４１Ｂの上端部の中央には、開口４１ｃ，４１ｄが設けられている。
【０１０６】
第１送液継手４５は管状を呈し、開口４１ａの周縁部から上方及び下方に突出している。第１送液継手４５の下端４５ｂは収容空間４３Ａ内の上端部４３ｅに位置し、第１送液口ＯＰ１を構成する。第１送液口ＯＰ１は、収容空間４３Ａ内の上端部４３ｅに開口し、処理液を導入又は導出する。上端部４３ｅは、上端及びその近傍部分を含む。第１送液継手４５の上端４５ａは上方に開放された開放端となっており、処理液の供給経路に着脱自在に接続可能である。すなわち、第１送液継手４５は、供給経路に接続可能な開放端４５ａを有し、第１送液口ＯＰ１に接続され、収容空間４３Ａ外の上方に延出している。
【０１０７】
排気継手４６は管状を呈し、開口４１ｂの周縁部から上方に突出している。開口４１ｂは排気口ＯＰ３を構成する。排気口ＯＰ３は、収容空間４３Ａ内の上端部４３ｅに開口し、処理液から分離した気体を排出する。排気口ＯＰ３は、第１送液口ＯＰ１に比べ上方に位置している。排気継手４６の上端４６ａは上方に開放された開放端となっており、排気経路に着脱自在に接続可能である。すなわち、排気継手４６は、排気経路に接続可能な開放端４６ａを有し、排気口ＯＰ３に接続され、収容空間４３Ａ外の上方に延出している。開放端４６ａは、開放端４５ａと同等の高さに位置している。
【０１０８】
第１送液継手４７は管状を呈し、開口４１ｃの周縁部から上方及び下方に突出している。第１送液継手４７の下端４７ｂは収容空間４３Ｂ内の上端部４３ｆに位置し、第１送液口ＯＰ１１を構成する。第１送液口ＯＰ１１は、収容空間４３Ｂ内の上端部４３ｆに開口し、処理液を導入又は導出する。上端部４３ｆは、上端及びその近傍部分を含む。第１送液継手４７の上端４７ａは上方に開放された開放端となっており、処理液の供給経路に着脱自在に接続可能である。すなわち、第１送液継手４７は、供給経路に接続可能な開放端４７ａを有し、第１送液口ＯＰ１１に接続され、収容空間４３Ｂ外の上方に延出している。開放端４７ａは、開放端４５ａ，４６ａと同等の高さに位置している。
【０１０９】
排気継手４８は管状を呈し、開口４１ｄの周縁部から上方に突出している。開口４１ｄは排気口ＯＰ１３を構成する。排気口ＯＰ１３は、収容空間４３Ｂ内の上端部４３ｆに開口し、処理液から分離した気体を排出する。排気口ＯＰ１３は、第１送液口ＯＰ１１に比べ上方に位置している。排気継手４８の上端４８ａは上方に開放された開放端となっており、排気経路に着脱自在に接続可能である。すなわち、排気継手４８は、排気経路に接続可能な開放端４８ａを有し、排気口ＯＰ１３に接続され、収容空間４３Ｂ外の上方に延出している。開放端４８ａは、開放端４５ａ，４６ａ，４７ａと同等の高さに位置している。
【０１１０】
このように、第１送液継手４５，４７及び排気継手４６，４８は、収容空間４３Ａ，４３Ｂ外の同一方向に延出している。なお、ハウジング４１、第１送液継手４５，４７及び排気継手４６，４８は、例えば樹脂材料により構成されている。
【０１１１】
上述したように、仕切壁４２の下端は、収容空間４３の底面から離間している。仕切壁４２の下端と、収容空間４３の底面との間は、第２送液口ＯＰ２，ＯＰ１２を構成する。第２送液口ＯＰ２は、収容空間４３Ａ内の下端部４３ｇに開口し、処理液を導入又は導出する。第２送液口ＯＰ１２は、収容空間４３Ｂ内の下端部４３ｈに開口し、処理液を導入又は導出する。下端部４３ｇ，４３ｈは、下端及びその近傍を含む。仕切壁４２の下端と、収容空間４３の底面との間が第２送液口ＯＰ２，ＯＰ１２を兼ねているので、第２送液口ＯＰ２，ＯＰ１２同士は、互いに接続されている。
【０１１２】
フィルター４９は、例えば不織布等により構成されたシート状部材であり、鉛直方向に直交した状態で収容空間４３内に収容されている。フィルター４９は、仕切壁４２により２つの領域に区画されている。以下、収容空間４３Ａ内に収容された領域をフィルター４９Ａとし、収容空間４３Ｂ内に収容された領域をフィルター４９Ｂとする。
【０１１３】
フィルター４９Ａは、第１送液口ＯＰ１の中心及び第２送液口ＯＰ２の中心を通る直線ＳＬ１に交差している。フィルター４９Ａの周縁部は、収容空間４３Ａの内面に固定されている。フィルター４９Ｂは、第１送液口ＯＰ１１の中心及び第２送液口ＯＰ１２の中心を通る直線ＳＬ２に交差している。フィルター４９Ｂの周縁部は、収容空間４３Ｂの内面に固定されている。
【０１１４】
収容空間４３Ａの第１送液口ＯＰ１側の内面４３ａは、第１送液口ＯＰ１から遠ざかるに従ってフィルター４９Ａに近付くように形成されている。その一例として、内面４３ａは、下方へ向かうに従って徐々に広がった錐面状を呈している。
【０１１５】
収容空間４３Ｂの第１送液口ＯＰ１１側の内面４３ｂは、第１送液口ＯＰ１１から遠ざかるに従ってフィルター４９Ｂに近付くように形成されている。その一例として、内面４３ｂは、下方へ向かうに従って徐々に広がった錐面状を呈している。
【０１１６】
収容空間４３Ａの下端側の内面４３ｃは、第２送液口ＯＰ２から遠ざかるに従ってフィルター４９Ａに近付くように形成されている。収容空間４３Ｂの下端側の内面４３ｄも、第２送液口ＯＰ１２から遠ざかるに従ってフィルター４９Ｂに近付くように形成されている。その一例として、内面４３ｃ，４３ｄを併せた面全体が、上方へ向かうに従って徐々に広がった１つの錐面状を呈している。
【０１１７】
収容空間４３Ａ、第１送液口ＯＰ１、第２送液口ＯＰ２、排気口ＯＰ３、第１送液継手４５及び排気継手４６は、フィルターユニットＦＵ１を構成する。収容空間４３Ｂ、第１送液口ＯＰ１１、第２送液口ＯＰ１２、排気口ＯＰ１３、第１送液継手４７及び４８は、フィルターユニットＦＵ２を構成する。すなわち、フィルター装置４０は、２組のフィルターユニットＦＵ１，ＦＵ２を備え、それぞれのフィルターユニットが、収容空間、第１送液口、第２送液口、排気口、フィルター、第１送液継手及び排気継手を有する。
【０１１８】
フィルター装置４０は、開放端４５ａ，４７ａのいずれか一方を処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端４５ａ，４７ａの他方を処理液の供給経路の下流側に接続し、開放端４６ａ，４８ａを排気経路に接続して用いられる。
【０１１９】
開放端４５ａを処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端４７ａを処理液の供給経路の下流側に接続した場合、処理液は、第１送液口ＯＰ１からフィルターユニットＦＵ１内に流入し、下降してフィルター４９Ａを通過し、第２送液口ＯＰ２，ＯＰ１２を通ってフィルターユニットＦＵ２内に流入する。フィルターユニットＦＵ２内に流入した処理液は、上昇してフィルター４９Ｂを通過し、第１送液口ＯＰ１１から流出する。すなわち、２組のフィルターユニットＦＵ１，ＦＵ２のそれぞれにおいて処理液がフィルター４９Ａ，４９Ｂを通過する。このため、より確実に異物を除去できる。
【０１２０】
フィルター４９Ａの上側においては、処理液から分離した気体が浮上する。この気体は第１送液継手４５の周囲に集まり、排気口ＯＰ３から排出される。フィルター４９Ｂの上側においても、処理液から分離した気体が浮上する。この気体は第１送液継手４７の周囲に集まり、排気口ＯＰ１３から排出される。このため、フィルター４９Ａの上流側において処理液から分離した気体及びフィルター４９Ｂの下流側において処理液から分離した気体の両方を排出できる。
【０１２１】
開放端４７ａを処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端４５ａを処理液の供給経路の下流側に接続した場合にも、フィルター装置４０は同様に機能する。
【０１２２】
フィルターユニットＦＵ１，ＦＵ２のいずれにおいても、第１送液口及び第２送液口は互いに逆側に形成され、フィルターは第１送液口の中心及び第２送液口の中心を通る直線に交差している。すなわち、第１送液口、フィルター及び第２送液口が一直線に沿って並んでいる。これにより、収容空間内に流入し、フィルターを通過し、収容空間外に流出する処理液の流れが単純化されるので、収容空間内における処理液の滞留を抑制できる。２組のフィルターユニットＦＵ１，ＦＵ２の第２送液口同士は互いに接続されている。また、全ての第１送液継手及び排気継手は、収容空間外の同一方向（上方）に延出している。このため、処理液の供給経路及び排気経路に容易に着脱できる。なお、フィルターユニットＦＵ１，ＦＵ２の一方は、フィルターユニットＦＵ１，ＦＵ２の他方の第２送液口に接続され、収容空間の周囲を通って収容空間外の上方に延出した第２送液継手として機能している。
【０１２３】
フィルター装置４０においても、排気継手４６は第１送液継手４５を囲むように配置され、排気継手４８は第１送液継手４７を囲むように配置されていてもよい。これに伴って、排気口ＯＰ３は第１送液継手４５を囲む環状を呈し、排気口ＯＰ１３は第１送液継手４７を囲む環状を呈していてもよい（図２０参照）。
【０１２４】
なお、フィルター装置４０は、１枚のフィルター４９を複数の領域４９Ａ，４９Ｂに区画し、各領域４９Ａ，４９Ｂを順次通過するように流路を形成したものである。このような構成は、他の形態のフィルター装置にも応用可能である。以下、図２１及び図２３を参照してその応用例を説明する。
【０１２５】
図２１に示すフィルター装置８０は、ハウジング８１と、第１送液継手８３と、第２送液継手８４と、排気継手８５と、フィルター８６と、仕切板８７とを備える。
【０１２６】
ハウジング８１は、内部に収容空間８２を有する容器である。すなわち、フィルター装置８０は収容空間８２を更に備える。ハウジング８１の上端部の中央には、開口８１ａ，８１ｂが設けられている。ハウジング８１の上端部の周縁側には、開口８１ｃが設けられている。
【０１２７】
第１送液継手８３は管状を呈し、開口８１ｂの周縁部から上方及び下方に突出している。第１送液継手８３の下端８３ｂは収容空間８２内の中央部に位置し、第１送液口ＯＰ８を構成する。第１送液口ＯＰ８は、収容空間８２内の中央部に開口し、処理液を導入又は導出する。第１送液継手８３の上端８３ａは上方に開放された開放端となっており、処理液の供給経路に着脱自在に接続可能である。すなわち、第１送液継手８３は、供給経路に接続可能な開放端８３ａを有し、第１送液口ＯＰ８に接続され、収容空間８２外の上方に延出している。
【０１２８】
第２送液継手８４は管状を呈し、開口８１ａの周縁部から上方及び下方に突出している。第２送液継手８４の下端８４ｂは収容空間８２内の上端部８２ａに位置し、第２送液口ＯＰ９を構成する。第２送液口ＯＰ９は、収容空間８２内の上端部８２ａに開口し、処理液を導入又は導出する。上端部８２ａは、上端及びその近傍部分を含む。第２送液継手８４の上端８４ａは上方に開放された開放端となっており、処理液の供給経路に着脱自在に接続可能である。すなわち、第２送液継手８４は、供給経路に接続可能な開放端８４ａを有し、第２送液口ＯＰ９に接続され、収容空間８２外の上方に延出している。開放端８４ａは、開放端８３ａと同等の高さに位置している。
【０１２９】
排気継手８５は管状を呈し、開口８１ｃの周縁部から上方に突出している。開口８１ｃは、排気口ＯＰ１０を構成する。排気口ＯＰ１０は、収容空間８２内の上端部８２ａに開口し、処理液から分離した気体を排出する。排気口ＯＰ１０は、第２送液口ＯＰ９に比べ上方に位置している。排気継手８５の上端８５ａは上方に開放された開放端となっており、排気経路に着脱自在に接続可能である。すなわち、排気継手８５は、排気経路に接続可能な開放端８５ａを有し、排気口ＯＰ１０に接続され、収容空間８２外の上方に延出している。
【０１３０】
このように、第１送液継手８３、第２送液継手８４及び排気継手８５は、収容空間８２外の同一方向に延出している。なお、ハウジング８１、第１送液継手８３、第２送液継手８４及び排気継手８５は、例えば樹脂材料により構成されている。
【０１３１】
フィルター８６は、例えば不織布等により構成された筒状部材であり、第１送液継手８３及び第２送液継手８４を囲んだ状態で収容空間８２内に収容されている。フィルター８６は、収容空間８２を内側空間Ｂ３と外側空間Ｂ４とに仕切っている。第１送液口ＯＰ８及び第２送液口ＯＰ９は内側空間Ｂ３内に開口する。排気口ＯＰ１０は外側空間Ｂ４内に開口する。
【０１３２】
仕切板８７は、第１送液継手８３の下端８３ｂから外周側に広がったフランジ状を呈する。仕切板８７はフィルター８６を２つの領域に区画しており、その周縁はフィルター８６の外周面に達している。以下、仕切板８７の上側の領域をフィルター８６Ａとし、仕切板８７の下側の領域をフィルター８６Ｂとする。内側空間Ｂ３は、仕切板８７により、上側空間Ｂ５及び下側空間Ｂ６に仕切られている。なお、仕切板８７は、例えばハウジング８１等と同様の樹脂材料により構成されている。
【０１３３】
収容空間８２の底面の中央には、上方に突出した凸部８８が設けられている。凸部８８の上端は、第１送液口ＯＰ８に比べ下に位置している。凸部８８は錐状を呈しており、その表面は、収容空間８２の第１送液口ＯＰ８側の内面８８ａを構成する。内面８８ａは、第１送液口ＯＰ８から遠ざかるに従ってフィルター８６に近付いている。
【０１３４】
以上のように構成されたフィルター装置８０は、開放端８３ａ，８４ａのいずれか一方を処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端８３ａ，８４ａの他方を処理液の供給経路の下流側に接続し、開放端８５ａを排気経路に接続して用いられる。
【０１３５】
開放端８３ａを処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端８４ａを処理液の供給経路の下流側に接続した場合、処理液は、第１送液口ＯＰ８から収容空間８２の下側空間Ｂ６内に流入し、仕切板８７の下において周縁側に広がり、フィルター８６Ｂを通過して外側空間Ｂ４に流入する。外側空間Ｂ４に流入した処理液は上昇しながらフィルター８６Ａを通過し、上側空間Ｂ５に流入し、第２送液口ＯＰ９から収容空間８２外に流出する。外側空間Ｂ４においては、処理液から分離した気体が浮上する。この気体は外側空間Ｂ４の上部に集まり、排気口ＯＰ１０から排出される。
【０１３６】
開放端８４ａを処理液の供給経路の上流側に接続し、開放端８３ａを処理液の供給経路の下流側に接続した場合、処理液は、第２送液口ＯＰ９から収容空間８２内の上側空間Ｂ５に流入し、下降しながらフィルター８６Ａを通過し、外側空間Ｂ４に流入する。外側空間Ｂ４内に流入した気体は下降しながらフィルター８６Ｂを通過し、下側空間Ｂ６内に流入し、第１送液口ＯＰ８から収容空間８２外に流出する。この場合も、処理液から分離した気体が外側空間Ｂ４の上部に集まり、排気口ＯＰ１０から排出される。
【０１３７】
フィルター装置８０によれば、１枚のフィルター８６が複数の領域８６Ａ，８６Ｂに区画され、処理液が領域８６Ａ，８６Ｂを順次通過する。このため、処理液中の異物をより確実に除去できる。
【０１３８】
収容空間８２の第１送液口ＯＰ８側の内面８８ａは、第１送液口ＯＰ８から遠ざかるに従ってフィルター８６に近付くように形成されている。これにより、処理液の流れが収容空間８２の内面に沿い易くなるので、処理液の滞留を抑制できる。
【０１３９】
仕切板８７の下側空間で処理液から分離した気体を排出可能とするために、排気口ＯＰ２１及び排気継手８９を更に設けてもよい。排気口ＯＰ２１及び排気継手８９は、第１送液口ＯＰ８及び第１送液継手８３と同様に構成される。排気口ＯＰ２１は、収容空間８２内の中央部に開口し、処理液から分離した気体を排出する。排気継手８９は、排気経路に接続可能な開放端８９ａを有し、排気口ＯＰ２１に接続され、収容空間８２外の上方に延出している。この場合、フィルター８６の上流側において処理液から分離した気体及びフィルター８６の下流側において処理液から分離した気体の両方を排出できる。
【０１４０】
第２送液継手８４は第１送液継手８３を囲むように配置されていてもよい。これに伴って、第２送液口ＯＰ９は、第１送液継手８３を囲む環状を呈していてもよい（図２２参照）。
【０１４１】
図２３に示されるフィルター装置９０は、フィルター装置８０の第１送液口ＯＰ８及び第１送液継手８３を、第１送液口ＯＰ２２及び第１送液継手９１に置き換えたものである。第１送液口ＯＰ２２及び第１送液継手９１は、フィルター装置２０の第２送液口ＯＰ２及び第２送液継手２５と同様に構成されている。すなわち、第１送液口ＯＰ２２は、収容空間８２内の下端部８２ｂに開口し、処理液を導入又は導出する。下端部８２ｂは、下端及びその近傍を含む。第１送液継手９１は、供給経路に接続可能な開放端９１ａを有し、第１送液口ＯＰ２２に接続され、収容空間８２外の上方に延出している。
【０１４２】
フィルター装置９０において、仕切板８７の上面の中央には、上方に突出した凸部９２が設けられている。凸部９２の上端は、第２送液口ＯＰ９に比べ下に位置している。凸部９２は錐状を呈しており、その表面は、収容空間８２の第２送液口ＯＰ９側の内面９２ａを構成する。内面９２ａは、第２送液口ＯＰ９から遠ざかるに従ってフィルター８６に近付いている。仕切板８７の下面の中央には、下方に突出した凸部９３が設けられている。凸部９３の下端は、第１送液口ＯＰ２２に比べ上に位置している。凸部９３は下向きの錐状を呈しており、その表面は、収容空間８２の第１送液口ＯＰ２２側の内面９３ａを構成する。内面９３ａは、第１送液口ＯＰ２２から遠ざかるに従ってフィルター８６に近付いている。
【０１４３】
フィルター装置９０によっても、１枚のフィルター８６が複数の領域８６Ａ，８６Ｂに区画され、処理液が領域８６Ａ，８６Ｂを順次通過する。このため、処理液中の異物をより確実に除去できる。
【０１４４】
収容空間８２の第１送液口ＯＰ２２側の内面９３ａは、第１送液口ＯＰ２２から遠ざかるに従ってフィルター８６に近付くように形成されている。収容空間８２の第２送液口ＯＰ９側の内面９２ａは、第２送液口ＯＰ９から遠ざかるに従ってフィルター８６に近付くように形成されている。これにより、処理液の流れが収容空間８２の内面に沿い易くなるので、処理液の滞留を抑制できる。
【０１４５】
以上、実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。例えば、フィルター装置２０，２０Ａ，３０，４０，７０，８０，９０の各要素を適宜組み合わせて採用してもよい。また、フィルター装置２０，２０Ａ，３０，４０，７０，８０，９０は、接着剤の塗布又はＳｉ系の絶縁領域形成剤の塗布等にも適用可能である。
【符号の説明】
【０１４６】
２０，２０Ａ，３０，４０…フィルター装置、２２，３２，４３Ａ，４３Ｂ…収容空間、２２ａ，２２ｂ，３２ａ，３２ｂ，４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄ…内面、２２ｃ，３２ｅ，４３ｅ，４３ｆ…上端部、２２ｄ，４３ｇ，４３ｈ…下端部、２３，３３，４５，４７…第１送液継手、２３ａ，３３ａ，４５ａ，４７ａ…開放端、２４，３５，３６，４６，４８…排気継手、２４ａ，３４ａ，４６ａ，４８ａ…開放端、２５，２５Ａ，３４…第２送液継手、２５ａ，３４ａ…開放端、２６，３７，４９Ａ，４９Ｂ…フィルター、３２ｃ…左端部、３２ｄ…右端部、ＣＰ１…フィルターの中心、ＣＬ１…第１送液継手の中心軸線、ＣＬ２…第２送液継手の中心軸線、ＣＬ３…排気継手の中心軸線、ＥＧ…気体、ＦＵ１，ＦＵ２…フィルターユニット、ＯＰ１，ＯＰ１１…第１送液口、ＯＰ２，ＯＰ１２…第２送液口、ＯＰ３，ＯＰ４，ＯＰ１３…排気口、ＰＬ…処理液、Ｒ１…処理液の供給経路、Ｒ２…排気経路、ＳＬ１，ＳＬ２…直線。
【図１】
2015106656.tif 000003
【図２】
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【図３】
2015106656.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2015106656.tif 000009
【図８】
2015106656.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2015106656.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2015106656.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2015106656.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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