(57)【要約】【課題】ノズルプレートを確実に取着する。【解決手段】互いの分極方向を逆向きにして貼り合わせた長尺の積層圧電部材と、前記積層圧電部材の長手方向に直交するインク流路となる溝による複数の圧力室と、前記圧力室内に形成された電極と、前記電極上に形成された電着膜と、前記インクを吐出するノズルが形成され、前記積層圧電部材上に、前記ノズルを前記圧力室に対応させて接着剤で取着されたノズルプレートと、少なくとも前記圧力室内、前記ノズルプレートが取着される前記積層圧電部材面を覆う保護膜と、を備え、前記積層圧電部材のインク吐出面に位置する前記電極のエッジには、前記電着膜を形成して電着膜による盛上り部を形成した。【選択図】図７
2015054438.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いの分極方向を逆向きにして貼り合わせた長尺の積層圧電部材と、
前記積層圧電部材の長手方向に直交するインク流路となる溝による複数の圧力室と、
前記圧力室内に形成された電極と、
前記電極上に形成された電着膜と、
前記インクを吐出するノズルが形成され、前記積層圧電部材上に、前記ノズルを前記圧力室に対応させて接着剤で取着されたノズルプレートと、
前記圧力室内、前記ノズルプレートが取着される前記積層圧電部材面を覆う保護膜と、を備え、
前記積層圧電部材のインク吐出面に位置する前記電極のエッジには、前記電着膜を形成して電着膜による盛上り部を形成した、インクジェットヘッド。
【請求項２】
下面を前記基板に取着し、前記積層圧電部材を囲むとともに、内側にインクを保持する枠部材をさらに備え、
前記ノズルプレートは、前記枠部材上に、前記ノズルを前記圧力室に対応させて接着剤で取着された、請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記保護膜は、前記電着膜で形成される盛上り部にも形成した、請求項１または２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記圧力室は、インク吐出面の前記積層圧電部材に取着される前記ノズルプレートおよびインク供給面で前記積層圧電部材に取着される天板枠により圧力を維持可能とし、前記電極上に形成される前記電着膜に、前記インク吐出面より盛上る盛上り部を形成した、請求項２記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
互いの分極方向を逆向きにして貼り合わせた長尺の積層圧電部材と、該積層圧電部材を加工し、インク流路となる複数の溝により形成された圧力室と、該圧力室内に形成された電極と、ノズルが形成されたノズルプレートと、を備えたインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記積層圧電部材のインク吐出面上に形成された前記電極を研磨し、インク吐出面上の電極を除去する工程と、
電着法を用いて前記電極上に形成し、一部が前記インク吐出面から盛上り部を有する電着膜を形成するとともに、該電着膜を加熱する工程と、
前記圧力室内、および前記積層圧電部材のインク吐出面を覆うように保護膜を形成する工程と、
前記ノズルプレートと前記インク吐出面の前記保護膜を接着剤で取着する工程と、からなるインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明の実施形態は、インクジェットヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の圧電駆動式インクジェットヘッドは、インク流路を形成する溝の内面に形成された電極およびこの電極への電圧印加にて駆動されるヘッド駆動部を備えたＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）基板と、溝に対応する位置にノズルが設けられたノズルプレートとを備えている。ノズルプレートは、ノズルプレートにエポキシ系接着剤等を形成した後、ノズルプレートのノズルを、インク流路に位置合わせした状態で、ノズルプレートをＰＺＴ基板およびインク流路をカバーするプレートの前面に圧接して取着されている。
【０００３】
しかしながら、圧電素子の上部に流し込んだ接着剤は、接着時にノズルプレートにかかる圧力によってはみ出し、ノズルプレートの裏面を伝わってノズルにまで到達し、印刷に影響が生じる、という課題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１２２６８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明が解決しようとする課題は、ノズルプレートを確実に取着することのできるインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態のインクジェットヘッドは、基板上に互いの分極方向を逆向きにして貼り合わせた長尺の積層圧電部材と、前記積層圧電部材の長手方向に直交するインク流路となる溝による複数の圧力室と、前記圧力室内に形成された電極と、前記電極上に形成された電着膜と、前記インクを吐出するノズルが形成され、前記積層圧電部材上に、前記ノズルを前記圧力室に対応させて接着剤で取着されたノズルプレートと、前記圧力室内、前記ノズルプレートが取着される前記積層圧電部材面を覆う保護膜と、を備え、前記積層圧電部材のインク吐出面に位置する前記電極のエッジには、前記電着膜を形成して電着膜による盛上り部を形成した。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１の実施形態にかかるインクジェットヘッドを示す斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドの要部を分解して示す斜視図である。
【図３】図１要部の正面図である。
【図４】図３要部を拡大して示す一部切欠斜視図である。
【図５】図４のＩａ−Ｉｂ線断面図である。
【図６】図５要部を拡大して示す断面図である。
【図７】図６のIIａ−IIｂ線断面図である。
【図８】図７中の破線円内を拡大して示す断面図である。
【図９】第１の実施形態にかかるインクジェットヘッド製造方法について説明するための説明図である。
【図１０】第１の実施形態にかかるインクジェットヘッド製造方法について説明するための説明図である。
【図１１】図１０に示す次工程のインクジェットヘッド製造方法について説明するための説明図である。
【図１２】第２の実施形態にかかるインクジェットヘッドを示す斜視図である。
【図１３】図１２の断面図である。
【図１４】図１２要部の一部切欠拡大斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【０００９】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係るインクジェットヘッドを示す斜視図である。図２は、インクジェットヘッド１００の要部を分解して示す斜視図であり、図３は、図１要部の正面図である。
【００１０】
図１に示す１００は、いわゆるサイドシュータ型のインク循環式インクジェットヘッドである。インクジェットヘッド１００は、インク吐出部１１と、一対の回路モジュール１３と、カバー１２とを備えている。一対の回路モジュール１３は、それぞれインク吐出部１１に取着されている。
【００１１】
インク吐出部１１は、マニホールド２１と、基板２２と、枠部材２３と、ノズルプレート２４とを有している。さらに、インク吐出部１１は、内部にインク室２５を有している。枠部材２３とノズルプレート２４は、基板２２の上に重ねられている。インク室２５は、基板２２と、枠部材２３と、ノズルプレート２４とに囲まれており、印字用のインクが供給されている。
【００１２】
図２に示すように、マニホールド２１は、一対の第１の面２１１と、一対の第２の面２１２と、嵌合部２１３とを有している。一対の第１の面２１１と第２の面２１２とは、それぞれ平坦に形成されている。第２の面２１２は、対応する第１の面２１１の反対側にそれぞれ設けられている。平坦な嵌合部２１３は、一対の第１の面２１１の間に設けられており、第１の面２１１から基板２２の厚み分凹んでいる。嵌合部２１３には、基板２２が嵌め込まれる。このとき第２の面２１２と嵌合部２１３は、密着した状態で接着されている。
【００１３】
基板２２には、長手方向中央にインクを供給する複数のインク供給口２２１と、このインク供給口２２１の左右の位置にインク排出口２２２，２２３がそれぞれ形成されている（図３参照）。
【００１４】
ノズルプレート２４は、例えばポリイミド製の矩形状のフィルムによって形成されている。ノズルプレート２４には、長手方向にほぼ平行になるように配置された複数のノズル２４１が形成されている。ノズルプレート２４は、後述する接着剤７１によって（図７参照）、枠部材２３、および積層および電部材３２上に隙間なく取着されている。ノズルプレート２４は、基板２２と対向配置されている。
【００１５】
図２に示すように、マニホールド２１の嵌合部２１３には、長手方向に一対のインク供給孔２６、一対のインク排出孔２７および一対のインク排出孔２８が形成されている。一対のインク供給孔２６との間には、インク供給溝２９が形成されている。一対のインク排出孔２７との間にはインク排出溝３０が、一対のインク排出孔２８との間にはインク排出溝３１がそれぞれ形成されている。インク供給孔２６は、図示しないインク供給路と結合されている。インク排出溝３０，３１は、図示しないインク排出路と結合されている。
【００１６】
インク供給口２２１とインク供給溝２９は対向する位置に形成されている。また、インク排出口２２２とインク排出溝３０は対向する位置に、インク排出口２２３とインク排出溝３１は対向する位置にそれぞれ形成されている。つまり、基板２２が嵌合部２１３に接合されたときに、インク供給口２２１とインク供給溝２９は連通状態となる。インク排出口２２２と排出溝３０は連通状態となり、インク排出口２２３とインク排出溝３１は連通状態となる。
【００１７】
なお、インク供給路とインク排出路はインクタンクと結合することで、循環型のインクジェットヘッドを構成している。
【００１８】
基板２２は、例えばアルミナ等の板状のセラミックスによって矩形に形成されている。基板２２は、平坦な表面２２４を有している。基板２２がマニホールド２１の嵌合部２１３に嵌め込まれると、表面２２４はマニホールド２１の一対の第１の面２１１と同一平面の状態に形成される。
【００１９】
図４は、図３要部を拡大して示す一部切欠斜視図である。図５は、図４のＩａ−Ｉｂ線断面図である。
【００２０】
図４に示すように、基板２２の表面２２４には、駆動部となる長尺の一対の積層圧電部材３２と複数の配線パターン３３とが取着されている。各積層圧電部材３２は、それぞれ例えばＰＺＴ製の２枚の圧電板３２１，３２２を互いの分極方向が逆向きになるように、貼り合わせて形成されている（図７参照）。
【００２１】
積層圧電部材３２は、断面が台形状で基板２２の表面２２４にそれぞれ取着され、基板２２の長手方向に互いに平行に延びている。図５に示すように、一方の積層圧電部材３２は、インク供給口２２１とインク排出口２２２との間に配置されている。他方の積層圧電部材３２は、インク供給口２２１とインク排出口２２３との間に配置されている。
【００２２】
図５要部を拡大して示す図６のように、積層圧電部材３２は、断面を台形状とすることによって、圧電素子斜辺部６１が形成される。この時、圧電素子斜辺部６１の麓の基板２２の表面は、研磨され、凹状の滑らかな基板研磨面６２が形成される。
【００２３】
積層圧電部材３２には、基板２２に取着された反対面側から、その長手方向（主走査方向）と交差する方向（副走査方向）延びた複数本の微細な溝が切削形成され、主走査方向に等間隔で並んだ複数の細長い圧力室３４が形成されている。例えば圧力室３４の幅は８０μｍ程度で、深さは３００μｍ程度である。
【００２４】
図６のIIａ−IIｂ線断面を示す図７のように、積層圧電部材３２には、複数の圧力室３４が形成されることで、主走査方向に隣接する圧力室３４を区画するとともに、駆動素子となる側壁３５が形成される。圧力室３４および側壁３５は、ノズル２４１に対応して形成されている。つまり、圧力室３４および側壁３５は、ノズル２４１と同じピッチで形成されている。
【００２５】
さらに、積層圧電部材３２の各側壁３５の表面および圧力室３４の底部には、図７に示すように電極３６が設けられている。電極３６は、圧力室３４内で積層圧電部材３２に密に取着されている。電極３６は、圧力室３４内で積層圧電部材３２に密着するように設けられている。電極３６は、例えばニッケル薄膜によって形成されているが、これに限らず、例えば金や銅で形成されていてもよい。電極３６の厚さは、例えば０．５〜５μｍである。
【００２６】
また、電極３６は、圧電素子斜辺部６１、基板研磨面６２上、基板２２上に形成された配線パターン３３を経て、駆動用ＩＣ４０が搭載された回路モジュール１３（図１参照）との電気的な接続を行うための接続部３７に接続されている。さらに、電極３６上には、電着法により膜厚が例えば１０μｍ程度の電着膜３８を形成し、そして加熱されている。電着膜３８は、電極３６との密着性や絶縁特性に優れている。
【００２７】
ここで、図７および図７中の破線円内を拡大して示す図８のように、電極３６のエッジ３６１は、積層圧電部材３２のインク吐出面３２３と同一面まで形成されている。このため、電着膜３８は、電極３６のエッジ３６１にも形成され、インク吐出面３２３から盛り上がった盛上り部３８１が形成される。電極３６の厚みは、どの位置でも同じように形成されている。エッジ３６１上に電着により形成される盛上り部３８１の高さは、ほぼ同じに形成される。
【００２８】
枠部材２３の内側領域では、圧力室３４、積層圧電部材３２、枠部材２３、電着膜３８、基板２２に、有機保護膜３９が形成されている。有機保護膜３９は、枠部材２３の外側で、切断されている（図６参照）。
【００２９】
有機保護膜３９は絶縁性で、例えばＣＶＤ（化学気相成長）法で形成され、その厚さは、例えば３〜１０μｍである。有機保護膜３９は、電着膜３８の盛上り部３８１にも、突出部３９１として形成されている。
【００３０】
電極３６は、有機保護膜３９によって、圧力室３４に供給されたインクから保護される。有機保護膜３９は、例えばパラキシレン系ポリマーによって形成される。パラキシレン系ポリマーは、均一被覆性に優れている。有機保護膜３９は、水性インク中の腐食性成分から電極３６を保護する。
【００３１】
パラキシレン系ポリマーの具体例としては、パリレンＣ（ポリクロロパラキシリレン）、パリレンＮ（ポリパラキシリレン）、およびパリレンＤ（ポリジクロロパラキシリレン）等が考えられる。有機保護膜３９はこれに限らず、例えばポリイミドのような他の絶縁性の物質によって形成してもよい。
【００３２】
前述したように、ノズルプレート２４は、接着積層圧電部材３２のインク吐出面３２３および枠部材２３上の有機保護膜３９上に接着剤７１によって取着される。接着剤７１は、突出部３９１の内側に流し込み、ノズルプレート２４を取着する。突出部３９１は、接着剤７１がノズルプレート２４の裏面を伝わってノズル２４１にまで到達しないようにしている。このため、ノズル２４１が接着剤７１で塞がることを防止することができる。
【００３３】
図６に示すように、接続部３７とフレキシブル回路基板４１は、ＡＣＦ（異方導電性フィルム）６３により、熱圧着接続されている。接続部３７とフレキシブル回路基板４１は、ＡＣＦ６３に限らず、ＡＣＰ（異方導電ペースト）、ＮＣＦ（非導電性フィルム）、およびＮＣＰ（非導電性ペースト）のような他の手段によって接続されても良い。
【００３４】
駆動用ＩＣ４０は、インクジェットプリンタ１００の図示しない制御部から入力される信号に基づいて、配線パターン３３を介して電極３６に電圧を印加する。電極３６を介して電圧が印加されると積層圧電部材３２が変形し、圧力室３４の容積が膨張または縮小する。縮小することにより加圧されたインクは、圧力室３４と対応するノズル２４１から吐出される。
【００３５】
このように、電極３６のパターニング、積層圧電部材３２（圧電板３２１）の上面を研磨した後、電極３６上に電着膜３８が形成されている。そして、圧力室３４の側壁３５の上端であるインク吐出面３２３まで形成された電極３６上には、電着膜３８で覆われている。電着膜３８は、インク吐出面３２３まで回り込んだ盛上り部３８１が形成されている。この盛上り部３８１上に形成されている有機保護膜３９による突出部３９１は、接着剤７１の流れ出しの防止に寄与することができる。
【００３６】
この実施形態は、突出部３９１が形成されたことにより、接着剤７１がノズルプレート２４を伝ってノズル２４１に流れ込むことを防止できる。これにより、ノズル２４１から吐出されるインクは、良好な印刷状態を保つことができる。
【００３７】
図１０および図１１に示す（ａ）〜（ｅ）は、図９の手順に沿った製造方法について説明するための説明図である。なお、ここでの製造方法は、圧力室３４の形成および電極パターニングから有機保護膜３９の形成、それにノズルプレート２４の取着までの工程について説明する。
【００３８】
図９において、図１０（ａ）に示すように、積層圧電部材３２に例えばＩＣウェハー切断用ダイシングソーのダイヤモンドホイールで形成済みの圧力室３４内の側壁３５を含む全体にメッキ等で電極３６を形成する（ステップＳ１）。
【００３９】
次に、フォトリソグラフィ法、レーザパターニング法等の方法にて配線パターン３３を形成する。（ステップＳ２）
次に、図１０（ｂ）に示すように、積層圧電部材３２のインク吐出面３２３上に形成された電極３６を研磨し、この部分の電極３６を除去する（ステップＳ３）。
【００４０】
次に、図１０（ｃ）に示すように、電極３６上に、電着法を用いて電着膜３８を形成する（ステップＳ４）。電着膜３８は、インク吐出面３２３と同一面にある電極３６のエッジ３６１上にも、盛上り部３８１として形成される。なお、電着法は、電解溶液中で、予めパターニングされた電極３６上に電圧を印加し、電着膜を形成するものである。
【００４１】
次に、電着膜３８の形成後に、図１０では図示しない電着膜３８の加熱処理を行う（ステップＳ５）。
【００４２】
次に、図１１（ｄ）に示すように、圧力室３４内、積層圧電部材３２のインク吐出面３２３を含む枠部材２３の内側領域、それに接続部３７の一部を覆うように有機保護膜３９を形成する（ステップＳ６）（図６参照）。このとき、盛上り部３８１上の有機保護膜３９は、突出部３９１として形成される。
【００４３】
最後に、突出部３９１の内側に接着剤７１を流し、ノズルプレート２４を基板２２との水平を維持しながら接着剤７１で取着する（ステップＳ７）。
【００４４】
以上のステップＳ１〜Ｓ７の各工程を経て、圧力室３４の形成および電極パターニングから有機保護膜３９の形成、それにノズルプレート２４の取着までの製造を、実現することができる。
【００４５】
この方法で製造されたインクジェットヘッドは、接着剤７１が突出部３９１で仕切られた状態となる。接着剤７１は、ノズルプレート２４を接着した後に、ノズルプレート２４を伝ってノズル２４１へのはみ出し防止ができ、ノズルプレート２４の良好な取着が可能となる。
【００４６】
（第２の実施形態）
図１２は、第２の実施形態に係るインクジェットヘッドを示す斜視図である。図１３は、図１２の断面図である。図１４は、図１２要部の一部拡大斜視図である。
【００４７】
図１２に示す２００は、いわゆるエンドシュータ型のインク非循環式のインクジェットヘッドを示している。第１の実施形態のインクジェット１００と同一機能の部分には、同一の符号を付して説明する。
【００４８】
インクジェットヘッド２００は、積層圧電部材３２と、蓋部材１０１と、天板枠１０２と、ノズルプレート２４とを備え、外観はほぼ長方体の形状をしている。
【００４９】
積層圧電部材３２は、例えばＰＺＴ製で矩形状の２枚の圧電板３２１，３２２を互いの分極方向が逆向きになるように、上下に貼り合わせて形成されている。積層圧電部材３２の側面で、インクが吐出されるインク吐出面３２４となる圧電板３２１と圧電板３２２の跨る位置には、ノズルプレート２４が取着されている。積層圧電部材３２の上面で、インクが供給されるインク供給面３２５には、天板枠１０２が、さらに天板枠１０２には蓋部材１０１が取着されている。積層圧電部材３２には、複数の圧力室３４が形成されている。
【００５０】
圧力室３４は、蓋部材１０１側とノズルプレート２４側がそれぞれ開口され、インク流路となる溝で構成されている。圧力室３４は、蓋部材１０１と、天板枠１０２、ノズルプレート２４とによって塞がれている。複数の圧力室３４は、ノズルプレート２４の複数のノズル２４１と対応し、積層圧電部材３２の長手方向に並べて設けられている。
【００５１】
複数の圧力室３４内全体には、電極３６がそれぞれ形成されている。電極３６に電圧が印加されると積層圧電部材３２が変形し、圧力室３４の容積が膨張または縮小する。積層圧電部材３２の圧電板３２１には、複数の配線パターン３３が設けられている。電極３６は、配線パターン３３を経て、圧電板３２１の後端部３２６上面に形成された接続部３７と電気的に接続されている。接続部３７は、積層圧電部材３２を駆動するＩＣ等が搭載された図示しない回路モジュールと電気的に接続されている。
【００５２】
蓋部材１０１は、図示しないインク供給路から供給されるインクを供給するインク供給孔２６が形成されている。インク供給孔２６は、複数の圧力室３４にそれぞれ開口するとともに、図示しないインクタンクに連結されている。インクタンクのインクは、インク供給孔２６を介して圧力室３４に供給される。
【００５３】
電極３６は、圧力室３４内全体に０．５〜５μｍ程度の厚みで密着するように形成されている。図１３に示すように、ノズルプレート２４と対向する電極３６のエッジ３６１は、インク吐出面３２４まで形成されている。天板枠１０２と対向する電極３６のエッジ３６２は、インク供給面３２５まで形成されている。
【００５４】
また、電極３６上には、電着法により形成、加熱の工程を経て電着膜３８が形成されている。このとき電着膜３８は、エッジ３６１にもインク吐出面３２４から突出した盛上り部３８１として、エッジ３６２にもインク供給面３２５から突出した盛上り部３８２としてそれぞれ形成されている。
【００５５】
電着膜３８上には、有機保護膜３９が形成されている。図１３および図１４に示すように、盛上り部３８１，３８２上の有機保護膜３９は、突出部３９１，３９２として形成されている。ノズルプレート２４が取着されるインク吐出面３２４には突出部３９１が形成され、天板枠１０２が取着されるインク供給面３２５には突出部３９２が形成される。図１４に示すように、各圧力室３４の開口部分は、突出部３９１，３９２により囲まれた状態となる。
【００５６】
有機保護膜３９は、天板枠１０２の外側で、切断されている。電着膜３８は、密着性や絶縁特性に優れる。有機保護膜３９は、水性インク中の腐食性成分から電極３６を保護する。有機保護膜３９は絶縁性で、その厚さは、例えば３〜１０μｍである。有機保護膜３９は、例えばパラキシレン系ポリマーによって形成される。パラキシレン系ポリマーは、均一被覆性に優れている。
【００５７】
そして、ノズルプレート２４は、インク吐出面３２４上の有機保護膜３９に流し込まれた接着剤７１により取着されている。また、インク供給面３２５上の有機保護膜３９に流し込まれた接着剤７１により取着されている。このとき、突出部３９１，１９２は接着剤７１が圧力室３４に流れ込むことを防止することができ、接着剤７１がノズルプレート２４を伝ってノズル２４１への流れ込みを防止することができる。
【００５８】
この実施形態では、突出部３９１が形成されたことにより、接着剤７１がノズルプレート２４を伝ってノズル２４１に流れ込むことを防止できる。これにより、ノズル２４１から吐出されるインクは、良好な印刷状態を得ることができる。
【００５９】
以下に、図１２〜図１４を参照し、インクジェットヘッド２００の製造方法について説明する。ここでの製造方法は、圧力室３４の形成および電極パターニングから有機保護膜３９の形成、それにノズルプレート２４の取着までの工程について説明する。
【００６０】
まず、例えば、ダイシングソーのダイヤモンドホイールによって積層圧電部材３２に形成済みの複数の圧力室３４内の側壁３５を含む全体にメッキ等で電極３６を形成する。
【００６１】
次に、積層圧電部材３２のインク吐出面３２４上に形成された電極３６を研磨し、この部分の電極３６を除去する。
【００６２】
次に、フォトリソグラフィ法、レーザパターニング法等の方法にて配線パターン３３を形成する。
【００６３】
次に、電極３６上に、電着法を用いて電着膜３８を形成する。電着膜３８は、インク吐出面３２３と同一面にある電極３６のエッジ３６１上にも、盛上り部３８１として形成される。電着膜３８の形成後に、電着膜３８の加熱処理を行う。
【００６４】
次に、圧力室３４内、積層圧電部材３２のインク吐出面３２３、それに接続部３７の一部を覆うように有機保護膜３９を形成する。このとき、盛上り部３８１上の有機保護膜３９は、突出部３９１として形成される。
【００６５】
最後に、突出部３９１の内側に接着剤７１を流し、ノズルプレート２４を基板２２との水平を維持しながら接着剤７１で取着する。
【００６６】
以上の各工程を経て、圧力室３４の形成および電極パターニングから有機保護膜３９の形成、それにノズルプレート２４の取着までの製造を、実現することができる。
【００６７】
この方法で製造されたインクジェットヘッドは、接着剤７１が突出部３９１で仕切られた状態となる。接着剤７１は、ノズルプレート２４を接着した後に、ノズルプレート２４を伝ってノズル２４１へのはみ出し防止ができ、ノズルプレート２４の良好な取着が可能となる。
【００６８】
上記した各実施形態に限定されるものではない。例えば、インクジェットの方式は、気泡を用いてインクを吐出するような他の方式のインクジェットヘッドであってもよい。
【００６９】
また、第１の実施形態のインクジェットヘッドは、循環式のサイドシュータ型としたが、非循環式のエンドシュータ型であってもよい。第２の実施形態のインクジェットヘッドは、非循環式のエンドシュータ型としたが、循環式のサイドシュータ型であってもよい。
【００７０】
いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００７１】
１００，２００  インクジェットヘッド
２３  枠部材
２４  ノズルプレート
３２  積層圧電部材
３４  圧力室
３６  電極
３８  電着膜
【図１】
2015054438.tif 000003
【図２】
2015054438.tif 000004
【図３】
2015054438.tif 000005
【図４】
2015054438.tif 000006
【図５】
2015054438.tif 000007
【図６】
2015054438.tif 000008
【図７】
2015054438.tif 000009
【図８】
2015054438.tif 000010
【図９】
2015054438.tif 000011
【図１０】
2015054438.tif 000012
【図１１】
2015054438.tif 000013
【図１２】
2015054438.tif 000014
【図１３】
2015054438.tif 000015
【図１４】
2015054438.tif 000016