(57)【要約】【課題】人手によらず、かつ除去した異物を飛散させることなく確実に洗浄できる箱状体の洗浄装置及び洗浄方法を提供する。【解決手段】本発明の洗浄装置５０によれば、まず、装置本体５２の天板６４に、本体部１４の周縁部１９を載置する。次に、気体吸引装置５４によって本体部１４の内部空間４０の気体を吸引し、本体部１４の周縁部１９を装置本体５２の天板６４に密着させる。次に、気体吸引装置５４によって本体部１４の内部空間４０の気体を吸引しながら、気体噴射装置５８の複数のノズル５６から、クリーンルームの清浄気体を本体部１４の溝２４に向けて噴射する。これにより、本体部１４の溝２４、２６及び内壁面２８に付着している異物が、清浄気体によって吹き飛ばされるので、本体部１４の溝２４、２６及び内壁面２８が確実に洗浄される。そして、吹き飛ばされた異物は、気体吸引装置５４によって吸引されてＨＥＰＡフィルタ７８に捕集される。【選択図】図３
2015027638.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方に開口部が備えられ、他方に底部が備えられた箱状体の洗浄装置において、
壁面に開放部が備えられ、前記開放部の周縁部に前記箱状体の開口部の周縁部が当接され、前記開放部を介して前記箱状体の内部空間と連通された空間部を有する装置本体と、
前記箱状体の内部空間の気体を、前記開放部及び前記装置本体の空間部を介して吸引する気体吸引手段と、
前記箱状体の内壁面に向けて圧縮気体を噴射する気体噴射手段と、
を備えたことを特徴とする箱状体の洗浄装置。
【請求項２】
前記箱状体の内壁面の静電気を除去する静電気除去手段を備えた請求項１に記載の箱状体の洗浄装置。
【請求項３】
前記気体噴射手段又は前記静電気除去手段のうち少なくとも一方を、前記箱状体の内部空間内で移動させる移動手段を備えた請求項２に記載の箱状体の洗浄装置。
【請求項４】
前記開放部が備えられた前記装置本体の壁面は上壁面であり、前記開放部の周縁部に前記箱状体の開口部の周縁部が載置される請求項１〜３のいずれか１項に記載の箱状体の洗浄装置。
【請求項５】
前記気体噴射手段は、前記箱状体の溝が形成された内壁面に圧縮気体を噴射する請求項１〜４のいずれか１項に記載の箱状体の洗浄装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の箱状体の洗浄装置を使用し、気体吸引手段によって箱状体の内部空間の気体を吸引しながら、気体噴射手段から圧縮気体を前記箱状体の内壁面に噴射することを特徴とする箱状体の洗浄方法。
【請求項７】
前記洗浄装置をクリーンルームに配置し、クリーンルームの気体を、前記気体噴射手段から噴射し、かつ前記気体吸引手段によって吸引した気体を、エアフィルタを介して前記クリーンルームに戻す請求項６に記載の箱状体の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、箱状体の洗浄装置及び洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のＦＰＤ（Flat Panel Display）に用いられるガラス板の収納ボックスが特許文献１に開示されている。この収納ボックスによってガラス板は、ガラス板の主表面の清浄度が維持された状態で収納され、例えばガラス板製造工場からディスプレイ製造工場に輸送される。
【０００３】
特許文献１の収納ボックス（ガラス基板搬送用ボックス）は、軽量化及びクッション性を向上させるために、ポリオレフィン系樹脂発泡体からなる単一発泡成形体で構成される。また、特許文献１の収納ボックスは、一方に開口部が備えられ、他方に底部が備えられた本体部及び蓋体を備える。本体部の対向する一対の内壁面には、ガラス板の周縁部が挿入される溝が形成され、この溝によって、ガラス板は縦姿勢又は横姿勢でかつ互いに接触しないように平行に保持される。また、蓋体にも溝を形成してもよいことが特許文献１に開示されている。なお、本願明細書では、収納ボックスを構成する本体部及び蓋体を箱状体と称することにする。
【０００４】
収納ボックスは、ディスプレイ製造工場からガラス板製造工場に返却されると、ガラス板製造工場にて洗浄され、本体部及び蓋体の内壁面に付着された微細なガラスカレット及び塵埃等の異物が除去される。収納ボックスの従来の洗浄は、作業者が掃除機を使用して手作業にて行われていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第２５５２６２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述の如く、収納ボックスの従来の洗浄方法は、人手によるものなので、時間及び手間がかかるという問題があった。また、収納ボックスが大型になると、作業者が本体部の内部空間にその上半身を入れた状態で洗浄作業をしなければならず、作業者に重労働を強いるという問題もあった。更に、掃除機を使用した手作業による洗浄方法なので、洗浄後の清浄度にばらつきがあった。
【０００７】
一方、他の洗浄方法として、収納ボックスの本体部及び蓋体の内壁面に圧縮気体を噴射して、静電気等によって内壁面に付着した異物を吹き飛ばす方法がある。この洗浄方法によれば、異物を確実に除去することができ、洗浄後の清浄度が略均一になる利点がある。
【０００８】
しかしながら、収納ボックスの洗浄場所は、収納ボックスの清浄度を向上させるために、一般的にクリーンルームで実施される。このため、圧縮気体によって吹き飛ばされた異物がクリーンルームに飛散すると、クリーンルームが汚染されるので、圧縮気体を単に噴射する洗浄方法をそのまま採用することはできなかった。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、人手によらず、かつ除去した異物を飛散させることなく確実に洗浄できる箱状体の洗浄装置及び洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様は、前記目的を達成するために、一方に開口部が備えられ、他方に底部が備えられた箱状体の洗浄装置において、壁面に開放部が備えられ、前記開放部の周縁部に前記箱状体の開口部の周縁部が当接され、前記開放部を介して前記箱状体の内部空間と連通された空間部を有する装置本体と、前記箱状体の内部空間の気体を、前記開放部及び前記装置本体の空間部を介して吸引する気体吸引手段と、前記箱状体の内壁面に向けて圧縮気体を噴射する気体噴射手段と、を備えたことを特徴とする箱状体の洗浄装置を提供する。
【００１１】
本発明の一態様は、本発明の箱状体の洗浄装置を使用し、気体吸引手段によって箱状体の内部空間の気体を吸引しながら、気体噴射手段から圧縮気体を前記板状体の内壁面に噴射することを特徴とする箱状体の洗浄装置を提供する。
【００１２】
本発明の一態様によれば、まず、洗浄装置の装置本体の開放部の周縁部に、箱状体の開口部の周縁部を当接する。次に、気体吸引手段によって箱状体の内部空間の気体を、開放部及び装置本体の空間部を介して吸引し、箱状体の開口部の周縁部を、装置本体の開放部の周縁部に密着（真空吸着）させる。これにより、箱状体の内部空間及び装置本体の空間部が、外気から遮断される。次に、気体吸引手段によって箱状体の内部空間の気体を吸引しながら、つまり、前記密着した状態を保持しながら、気体噴射手段から圧縮気体を板状体の内壁面に噴射する。これにより、箱状体の内壁面に付着している異物は、圧縮気体によって吹き飛ばされるので、箱状体の内壁面が確実に洗浄される。そして、吹き飛ばされた異物は、気体吸引手段によって吸引されて捕集される。
【００１３】
したがって、本発明の一態様によれば、人手によらず、かつ除去した異物を洗浄装置外に飛散させることなく箱状体を確実に洗浄できる。
【００１４】
本発明の一態様は、前記箱状体の内壁面の静電気を除去する静電気除去手段を備えたことが好ましい。
【００１５】
本発明の一態様によれば、静電気除去手段から放出される除電に必要なイオンによって、箱状体の内壁面に静電気によって付着されている異物を確実に除去できる。また、除去した異物は除電されているので、その異物が箱状体の内壁面に再付着することを防止できる。
【００１６】
本発明の一態様は、前記気体噴射手段又は前記静電気除去手段のうち少なくとも一方を、前記箱状体の内部空間内で移動させる移動手段を備えたことが好ましい。
【００１７】
本発明の一態様によれば、移動手段によって気体噴射手段又は前記静電気除去手段のうち少なくとも一方を、箱状体の内部空間内で移動させることにより、箱状体の内壁面に付着した異物を隈なく除去できる。
【００１８】
本発明の一態様は、前記開放部が備えられた前記装置本体の壁面は上壁面であり、前記開放部の周縁部に前記箱状体の開口部の周縁部が載置されることが好ましい。
【００１９】
本発明の一態様によれば、装置本体の上壁面に形成された開放部の周縁部に、箱状体の開口部の周縁部が載置された姿勢で、箱状体の内壁面が洗浄される。装置本体に箱状体を簡単にセットできる。また、箱状体の開口部が下方に向いているので、異物が前記開口部から装置本体の空間部に落下する。これにより、異物が捕集し易くなる。
【００２０】
本発明の一態様は、前記気体噴射手段は、前記箱状体の溝が形成された内壁面に圧縮気体を噴射することが好ましい。
【００２１】
本発明の一態様によれば、内壁面に溝が形成されている板状体収納箱の洗浄に好適である。すなわち、箱状体への板状体の出し入れによって、あるいは、板状体を収納した箱状体の搬送時の振動によって、板状体と溝とが擦れるため、箱状体の欠片や板状体のカレットが発生し、これらの異物が溝に多く付着する。したがって、本発明の一態様の如く、溝に向かって気体を吹き付けるのが好ましい。
【００２２】
本発明の一態様は、前記洗浄装置をクリーンルームに配置し、クリーンルームの気体を、前記気体噴射手段から噴射し、かつ前記気体吸引手段によって吸引した気体を、エアフィルタを介して前記クリーンルームに戻すことが好ましい。
【００２３】
本発明の一態様によれば、箱状体をクリーンルームで洗浄する場合には、清浄度の高いクリーンルームの気体を気体噴射手段によって箱状体の内壁面に噴射する。これにより、内壁面に付着した異物は吹き飛ばされることはもちろんこと、異物が吹き飛ばされた内壁面の清浄度がクリーンルームの気体によって高められる。そして、異物が混入している気体を気体吸引手段によって吸引し、異物をエアフィルタによって捕集して、異物の無い気体をクリーンルームに戻す。これにより、クリーンルームを汚染することなく箱状体を洗浄できる。
【発明の効果】
【００２４】
以上説明したように本発明の箱状体の洗浄装置及び洗浄方法によれば、人手によらず、かつ除去した異物を飛散させることなく確実に洗浄できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施形態の収納ボックス及び複数枚のガラス板を示した斜視図
【図２】実施形態の洗浄装置及び収納ボックスの本体部を示した斜視図
【図３】図２の洗浄装置に収納ボックスの本体部がセットされた状態を示した縦断面図
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、添付図面に従って本発明に係る箱状体の洗浄装置及び洗浄方法の好ましい実施形態について説明する。
【００２７】
以下の実施形態では、箱状体として、複数枚のガラス板を収納する収納ボックスを例示するが、樹脂製又は金属製の板状体を収納する収納ボックスであっても、本発明の箱状体の洗浄装置及び洗浄方法を適用できる。
【００２８】
〔収納ボックス１０の構成〕
図１は、実施形態の収納ボックス１０及び複数枚のガラス板１２を示した斜視図である。
【００２９】
収納ボックス１０は、本体部１４及び蓋体１６から構成される。この収納ボックス１０に、１辺が３００ｍｍ〜１０００ｍｍの矩形状サイズであって、厚さが０．３ｍｍ〜０．５ｍｍのガラス板１２が複数枚収納される。
【００３０】
本体部１４は横長の箱状体であり、かつ上部にガラス板１２を出し入れするための開口部１８が備えられ、開口部１８に対向した位置には矩形状の底部２０が備えられている。なお、実施形態の本体部１４は、横長の箱状体であるが、これに限定されず、縦長の箱状体であってもよい。
【００３１】
また、本体部１４の対向する一対の内壁面２２、２２には、ガラス板１２の両側の短辺の縦縁部１２Ａ、１２Ａが挿入される複数の溝２４が、内壁面２２の幅方向に所定の間隔をもって形成される。また、底部２０の内底面２０Ａには、ガラス板１２の長辺の下縁部１２Ｂが挿入される複数の溝２６が前記所定の間隔をもって形成される。なお、本体部１４の対向する他の一対の内壁面２８、２８は、ガラス板１２の面と対向する内壁面であるため、溝は形成されておらず、平坦な面である。
【００３２】
溝２４、２６の断面形状及び深さは、溝２４、２６に挿入されたガラス板１２の縦縁部１２Ａ、下縁部１２Ｂを保持可能な形状、及び深さに設定されている。また、溝２４、２６の間隔は、溝２４、２６に挿入保持された隣接するガラス板１２同士が接触しない間隔に設定されている。一例として、溝２４の断面形状は略Ｖ字形状であり、その深さは約１２ｍｍ、間隔は約１０ｍｍである。また、溝２６の断面形状も略Ｖ字形状であり、その深さは約７ｍｍ、間隔は約１０ｍｍである。
【００３３】
蓋体１６も横長の箱状体であり、かつ本体部１４の開口部１８に対向する開口部３０が備えられ、開口部３０に対向した位置には天部（底部）３２が備えられている。この蓋体１６の対向する一対の内壁面３４、３４にも、溝２４と同様の溝３６が形成されている。また、他の対向する一対の内壁面３８、３８には、内壁面２８、２８と同様に溝は備えられていない。なお、蓋体１６は、図１に示した形態に限定されるものではなく、本体部１４の開口部１８を閉塞できる形態であれば如何なる形態であってもよい。なお、本体部１４及び蓋体１６の材質は、一例としてポリプロピレンである。
【００３４】
〔収納ボックス１０に対するガラス板１２の収納方法〕
まず、ガラス板１２の下縁部１２Ｂを先頭にして、ガラス板１２を本体部１４の開口部１８から本体部１４の内部空間４０に収納していく。
【００３５】
この際に、ガラス板１２の両側の縦縁部１２Ａ、１２Ａが、溝２４、２４に挿入され、かつ溝２４、２４に案内されながら、本体部１４の内部空間４０に収納されていく。そして、ガラス板１２の下縁部１２Ｂが、底部２０の内底面２０Ａの形成された溝２６に挿入される。これによって、ガラス板１２が本体部１４に安定して収納される。
【００３６】
そして、規定枚数のガラス板１２が収納ボックス１０に収納された後、本体部１４の開口部１８を蓋体１６によって閉塞する。このときに、本体部１４の開口部１８から突出しているガラス板１２の両側の縦縁部１２Ａ、１２Ａの上部が、蓋体１６の溝３６、３６に挿入される。以上が収納ボックス１０に対するガラス板１２の収納方法である。
【００３７】
〔洗浄装置５０の構成〕
図２は、実施形態の洗浄装置５０及び収納ボックス１０の本体部１４を示した斜視図であり、図３は、図２の洗浄装置５０に本体部１４がセットされた状態を示した縦断面図である。
【００３８】
洗浄装置５０は、装置本体５２、気体吸引装置（気体吸引手段）５４、複数のノズル５６を備えた気体噴射装置（気体噴射手段）５８、イオナイザ（静電気除去手段）６０、及び昇降装置（移動手段）６２から構成される。なお、洗浄装置５０は、洗浄時における本体部１４の清浄度を向上させるために、クリーンルームに設置されて使用されるが、これに限定されるものではない。
【００３９】
〈装置本体５２〉
装置本体５２は、直方体形状の箱体である。装置本体５２の天板（壁面、上壁面）６４には、矩形状の開放部６６が備えられる。また、天板６４には、本体部１４の開口部１８を形成する枠状の周縁部１９が当接される。これにより、天板６４は、本体部１４を倒立状態（開口部１８を下方にした状態）で支持する支持面として機能する。また、天板６４には、本体部１４の傾倒を防止するＬ字状のブラケット６８が周縁部１９の四隅に対応した位置に４か所設けられている。更に、装置本体５２には、開放部６６を介して本体部１４の内部空間４０と連通される空間部７０が備えられている。
【００４０】
なお、実施形態の装置本体５２は、本体部１４を倒立状態で支持する形態であるが、本体部を起立状態（開口部１８を上方にした状態）で支持する形態であってもよい。しかしながら、装置構成上においては、本体部１４を起立状態で支持する装置本体５２の場合、本体部１４の上部に装置本体５２を設置しなければならない。このため、装置本体５２をクリーンルームで吊り下げ支持する等の支持部材が必要になり好ましくない。これに対して、本体部１４を倒立状態で支持する装置本体５２であれば、装置本体５２をクリーンルームの床に設置するだけでよい。よって、装置本体５２の支持部材が不要になるので、本体部１４を倒立状態で支持する形態が好ましい。また、本体部１４の開口部１８が下方に向いているので、異物が開口部１８から装置本体５２の空間部７０に落下する。これにより、異物が捕集し易くなるという利点がある。
【００４１】
〈気体吸引装置５４〉
気体吸引装置５４は、吸気管７２からなる吸気系にバルブ７４、吸引ポンプ７６、及びＨＥＰＡフィルタ（エアフィルタ）７８が連結されて構成される。
【００４２】
吸気管７２は、装置本体５２の内底面５３に設けられた吸気ポート８０に連通され、かつ、バルブ７４、吸引ポンプ７６、及びＨＥＰＡフィルタ７８が吸気方向の上流側から下流側に向けて順に取り付けられている。したがって、吸引ポンプ７６が駆動されてバルブ７４が開放されると、吸引ポンプ７６の吸引力によって、本体部１４の内部空間４０の気体が開放部６６及び空間部７０を介して吸気管７２に吸引される。そして、吸引した気体中に含有する異物がＨＥＰＡフィルタ７８によって捕集される。そして、ＨＥＰＡフィルタ７８を通過した、図３の矢印Ａで示す清浄な気体が、クリーンルームに排気される。
【００４３】
なお、実施形態ではエアフィルタとしてＨＥＰＡフィルタ７８を使用したが、これに限定されるものではなく、異物を捕集できるエアフィルタであればよい。エアフィルタとしては、異物を確実に捕集するため、定格風量で粒径が０．３μｍ以下の粒子に対して９９．９７％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が２４５Ｐａ以下の性能を持つエアフィルタが好ましい、具体的には、前記ＨＥＰＡフィルタ７８又はＵＬＰＡフィルタを例示できる。ＨＥＰＡフィルタ７８又はＵＬＰＡフィルタは、ＪＩＳ  Ｚ  ８１２２（１９７４年制定、２０００年改正）によって規定されている。
【００４４】
また、前述の如く内部空間４０の気体が吸引されることによって、本体部１４の周縁部１９が天板６４に密着（真空吸着）される。これにより、本体部１４の内部空間４０及び装置本体５２の空間部７０がクリーンルームの清浄空間から遮断される。
【００４５】
〈気体噴射装置５８〉
気体噴射装置５８は、複数のノズル５６、可撓可能な給気ホース８２、バルブ８４、及び給気ポンプ８６からなる。
【００４６】
複数のノズル５６は、後述する矩形状のテーブル８８に取り付けられる。また、複数のノズル５６は、テーブル８８の短辺に沿って間隔をあけて各４個配置されている。つまり、ノズル５６の噴射口は、本体部１４の溝２４に向けて配置されている。また、複数のノズル５６は、給気ホース８２の先端部に不図示の分岐管を介して連結されている。更に、ノズル５６の先端形状は、上方に向けて傾斜した形状となっている。これにより、ノズル５６から噴射された気体が、本体部１４の内壁面２２、２８と内底面２０Ａとの間の角部に届き易くなるので、その角部に付着した異物を容易に除去できる。
【００４７】
本実施形態では、本体部１４の溝２４のみに気体を噴射するノズル５６がテーブル８８に配置されているが、本体部１４の溝２６に気体を噴射するノズルがさらに配置されてもよい。
【００４８】
給気ホース８２は、装置本体５２に不図示のパッキンを介して気密状態に挿通され、装置本体５２の外部にてバルブ８４及び給気ポンプ８６が連結されている。したがって、給気ポンプ８６が駆動されてバルブ８４が開放されると、クリーンルームの清浄気体が給気ポンプ８６に吸引され、給気ホース８２及び前記分岐管を介して複数のノズル５６から溝２４に向けて噴射される。これによって、溝２４に付着された異物が溝２４から吹き飛ばされる。また、溝２６に付着された異物もノズル５６からの清浄気体（圧縮気体）によって溝２６から吹き飛ばされる。
【００４９】
なお、ノズル５６から噴射される気体はクリーンルームの清浄気体に限定されるものではなく、容器に充填されている酸素ガスや窒素ガスでもよい。但し、クリーンルームの清浄エアを使用することが経済的なので好ましい。
【００５０】
〈イオナイザ６０〉
イオナイザ６０は、テーブル８８の中央部に取り付けられる。イオナイザ６０は、本体部１４の内部空間４０に除電に必要なイオンを放出する、周知の静電気除去装置である。
【００５１】
〈昇降装置６２〉
昇降装置６２は、装置本体５２の空間部７０に配置される。この昇降装置６２は、昇降機構部９０及び昇降機構部９０を駆動するサーボモータ９２を備える。
【００５２】
昇降機構部９０は、複数本のリンク９４が複数本のピン９６によって回動自在に連結されてなるパンタグラフ式の機構部である。昇降機構部９０の下部の固定ピン９８及び移動ピン１００が、装置本体５２に固定された基台１０２に取り付けられ、昇降機構部９０の上部の固定ピン１０４及び移動ピン１０６がテーブル８８に取り付けられる。移動ピン１００は、基台１０２に備えられた水平の長孔１０８に摺動自在に嵌合され、移動ピン１０６は、テーブル８８に備えられた水平の長孔１１０に摺動自在に嵌合される。そして、移動ピン１００は、長孔１０８に沿って往復移動するようにサーボモータ９２の動力によって駆動される。
【００５３】
したがって、サーボモータ９２によって移動ピン１００が図３の位置から右方に移動されると、菱形の昇降機構部９０が駆動されて、テーブル８８が図３の二点鎖線の如く、本体部１４の内部空間４０内で上昇される。この状態で、サーボモータ９２が反転駆動されると移動ピン１００が左方に移動されるので、テーブル８８が図３の実線の位置に戻される。すなわち、テーブル８８に搭載された複数のノズル５６及びイオナイザ６０が、本体部１４の内部空間４０内で矢印Ｂの如く昇降移動される。なお、テーブル８８の上昇位置は、サーボモータ９２の不図示のコントローラによって制御されている。すなわち、本体部１４の内部空間４０の深さに対応した位置までテーブル８８が上昇するように、テーブル８８の上昇位置がコントローラによって予め設定されている。
【００５４】
なお、実施形態では、ノズル５６及びイオナイザ６０の双方を昇降移動させたが、ノズル５６及びイオナイザ６０のうち少なくとも一方をテーブル８８に搭載させて昇降移動させてもよい。また、実施形態では、昇降装置６２としてパンタグラフ式の昇降機構部９０を例示したが、これに限定されるものではない。例えば、ノズル５６及びイオナイザ６０のうち少なくとも一方を、本体部１４の内部空間４０内で上下方向及び水平方向に移動させることが可能な装置であれば適用できる。
【００５５】
〔洗浄装置５０の作用〕
まず、装置本体５２の天板６４に、本体部１４の周縁部１９を載置する。
【００５６】
次に、気体吸引装置５４によって本体部１４の内部空間４０の気体を、開放部６６及び装置本体５２の空間部７０を介して吸引し、本体部１４の周縁部１９を装置本体５２の天板６４に密着（真空吸着）させる。これにより、本体部１４の内部空間４０及び装置本体５２の空間部７０が、クリーンルームの清浄気体から遮断される。
【００５７】
次に、気体吸引装置５４によって本体部１４の内部空間４０の気体を吸引しながら、つまり、前記密着させた状態を保持しながら、気体噴射装置５８の複数のノズル５６から、クリーンルームの清浄気体を本体部１４の溝２４に向けて噴射する。これにより、本体部１４の溝２４、２６及び内壁面２８に付着している異物が、清浄気体によって吹き飛ばされるので、本体部１４の溝２４、２６及び内壁面２８が確実に洗浄される。そして、吹き飛ばされた異物は、気体吸引装置５４によって吸引されてＨＥＰＡフィルタ７８に捕集される。
【００５８】
したがって、実施形態の洗浄装置５０によれば、人手によらず、かつ除去した異物を飛散させることなく本体部１４を確実に洗浄できる。
【００５９】
また、実施形態の洗浄装置５０によれば、イオナイザ６０から放出される除電に必要なイオンによって、本体部１４の溝２４、２６及び内壁面２８に静電気によって付着されている異物を確実に除去できる。また、除去した異物は除電されているので、その異物が本体部１４の溝２４、２６及び内壁面２８に再付着することを防止できる。
【００６０】
また、実施形態の洗浄装置５０によれば、昇降装置６２によって、ノズル５６及びイオナイザ６０を内部空間４０内で昇降させることにより、本体部１４の溝２４、２６及び内壁面２８に付着した異物を隈なく除去できる。
【００６１】
また、実施形態の洗浄装置５０は、クリーンルームに配置されているので、クリーンルームの清浄気体をノズル５６から噴射できる。また、気体吸引装置５４によって吸引した気体を、ＨＥＰＡフィルタ７８を介してクリーンルームに戻すことができる。
【００６２】
すなわち、清浄度の高いクリーンルームの清浄気体をノズル５６から本体部１４の溝２４、２６及び内壁面２８に噴射するので、溝２４、２６及び内壁面２８に付着した異物は吹き飛ばされることはもちろんのこと、異物が吹き飛ばされた溝２４、２６及び内壁面２８の清浄度がクリーンルームの清浄気体によって高められる。そして、異物が混入されている気体は、ＨＥＰＡフィルタ７８を通過し、ＨＥＰＡフィルタによって気体中の異物が捕集される。これにより、異物の無い気体をクリーンルームに戻すことができるので、クリーンルームを汚染することなく本体部１４を洗浄できる。
【００６３】
なお、洗浄装置５０による蓋体１６の洗浄方法は、本体部１４の洗浄方法と比較して、テーブル８８の上昇位置が異なるだけなので、ここではその説明を省略する。
【００６４】
また、実施形態では、ガラス板１２の収納ボックス１０を洗浄する洗浄装置及び洗浄方法について説明したが、洗浄対象物は、ガラス板１２の収納ボックス１０に限定されるものではない。すなわち、一方に開口部が備えられ、他方に底部が備えられた箱状体であれば、本発明の洗浄装置５０及び洗浄方法を適用できる。
【符号の説明】
【００６５】
１０…収納ボックス、１２…ガラス板、１４…本体部、１６…蓋体、１８……開口部、１９…周縁部、２０…底部、２０Ａ…内底面、２２…内壁面、２４…溝、２６…溝、２８…内壁面、３０…開口部、３２…天部、３４…内壁面、３６…溝、３８…内壁面、４０…内部空間、５０…洗浄装置、５２…装置本体、５４…気体吸引装置、５６…ノズル、５８…気体噴射装置、６０…イオナイザ、６２…昇降装置、６４…天板、６６…開放部、６８…ブラケット、７０…空間部、７２…吸気管、７４…バルブ、７６…吸引ポンプ、７８…ＨＥＰＡフィルタ、８０…吸気ポート、８２…給気ホース、８４…バルブ、８６…給気ポンプ、８８…テーブル、９０…昇降機構部、９２…サーボモータ、９４…リンク、９６…ピン、９８…固定ピン、１００…移動ピン、１０２…基台、１０４…固定ピン、１０６…移動ピン、１０８…長孔、１１０…長孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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