(57)【要約】【課題】レーザ発振器の応答時間を短縮すると共にレーザ光の出力を設定出力に安定化させることができるレーザ装置及びレーザ出力制御方法を提供する。【解決手段】本発明に係るレーザ装置１０を用いたレーザ出力制御方法では、フィードバック制御部４６において、出力部４４から出力された設定信号Ｓｓとレーザ光Ｌの出力を測定する測定部４２から出力された測定信号Ｓｍとに基づいてレーザ光Ｌの出力が設定出力Ｐａとなるようなフィードバック信号Ｓｆを出力する。そして、設定信号Ｓｓとフィードバック信号Ｓｆとに基づいてレーザ制御信号Ｓｌを演算部４８で演算し、レーザ発振器１８がレーザ制御信号Ｓｌに基づいてレーザ光Ｌを発振する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を発振するレーザ発振器と、
前記レーザ光の設定出力に対応した設定信号を出力する出力部と、
前記レーザ光の出力を測定して当該レーザ光の測定出力に対応した測定信号を出力する測定部と、
前記設定信号と前記測定信号とに基づいて前記レーザ光の出力が前記設定出力となるようなフィードバック信号を算出して出力するフィードバック制御部と、
前記設定信号と前記フィードバック信号とに基づいてレーザ制御信号を演算して出力する演算部と、
を備え、
前記レーザ発振器は、前記レーザ制御信号に基づいて前記レーザ光を発振する、
ことを特徴とするレーザ装置。
【請求項２】
請求項１記載のレーザ装置において、
前記出力部、前記フィードバック制御部及び前記演算部は、前記レーザ光の最大出力時に前記設定信号、前記フィードバック信号及び前記レーザ制御信号のそれぞれの大きさが互いに等しくなるように設定されており、
前記演算部は、前記設定信号をＳｓ、前記フィードバック信号をＳｆ、前記レーザ制御信号をＳｌ、所定の係数をｋ（０＜ｋ＜１）としたとき、
Ｓｌ＝ｋ×Ｓｓ＋（１−ｋ）×Ｓｆ
により前記レーザ制御信号Ｓｌを演算する、
ことを特徴とするレーザ装置。
【請求項３】
請求項２記載のレーザ装置において、
０．３≦ｋ≦０．９
を満足することを特徴とするレーザ装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のレーザ装置において、
前記測定部が前記レーザ発振器に内蔵されている、
ことを特徴とするレーザ装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のレーザ装置において、
前記フィードバック制御部は、ＰＩ制御又はＰＩＤ制御によって前記フィードバック信号を算出する、
ことを特徴とするレーザ装置。
【請求項６】
レーザ発振器から発振されるレーザ光の設定出力に対応した設定信号を出力部から出力するステップと、
前記レーザ光の出力を測定部で測定して当該レーザ光の測定出力に対応した測定信号を当該測定部から出力するステップと、
前記設定信号と前記測定信号とに基づいて前記レーザ光の出力が前記設定出力となるようにフィードバック信号をフィードバック制御部で算出して出力するステップと、
前記設定信号と前記フィードバック信号とに基づいてレーザ制御信号を演算部で演算して出力するステップと、
前記レーザ制御信号に基づいて前記レーザ発振器から前記レーザ光を発振するステップと、
を行う、
ことを特徴とするレーザ出力制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、設定出力のレーザ光を出射するレーザ装置及びレーザ出力制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ光の設定出力に対応した設定信号を出力する出力部と、前記設定信号に基づいてレーザ光を発振するレーザ発振器とを備えたレーザ装置が広汎に知られている。一般的に、レーザ発振器から発振されるレーザ光の出力は、レーザ発振器の温度変化や経時変化によって変動する。そのため、このようなレーザ装置では、レーザ光の出力が設定出力に安定しないことがあった。
【０００３】
そして、レーザ光の出力を設定出力に安定化させる方法として、レーザ光の出力を測定し、当該レーザ光の出力が設定出力となるようにフィードバック制御する技術的思想が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１９０５６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述したフィードバック制御を行うレーザ装置において、レーザ光の出力を測定する測定部から出力された測定信号と設定信号に基づいてフィードバック信号を算出して出力するフィードバック制御部を備えることがある。そして、このレーザ装置では、レーザ発振器がフィードバック信号に基づいてレーザ光を発振することにより、レーザ光の出力を設定出力に安定化させることができる。
【０００６】
また、この種のレーザ装置では、フィードバック制御としてＰＩ制御又はＰＩＤ制御を行うことがある。この場合、制御ゲイン（比例ゲイン、積分ゲイン、微分ゲイン）は、レーザ発振器の応答性に基づいて定められる。ここで、レーザ発振器の応答性はレーザ光の設定出力の大きさによって異なる。そのため、制御ゲインは、レーザ発振器の応答性が最も悪い設定出力であっても、ハンチングやオーバーシュート（ハンチング等と称することがある。）が十分に抑制されるような大きさに設定する必要がある。
【０００７】
しかしながら、この場合、制御ゲインが比較的小さくなるため、レーザ発振器に信号（フィードバック信号）が入力されてからレーザ光の出力が設定出力に安定するまでに要する応答時間が長くなるという不都合がある。
【０００８】
本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、レーザ発振器の応答時間を短縮すると共にレーザ光の出力を設定出力に安定化させることができるレーザ装置及びレーザ出力制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
［１］  本発明に係るレーザ装置は、レーザ光を発振するレーザ発振器と、前記レーザ光の設定出力に対応した設定信号を出力する出力部と、前記レーザ光の出力を測定して当該レーザ光の測定出力に対応した測定信号を出力する測定部と、前記設定信号と前記測定信号とに基づいて前記レーザ光の出力が前記設定出力となるようなフィードバック信号を算出して出力するフィードバック制御部と、前記設定信号と前記フィードバック信号とに基づいてレーザ制御信号を演算して出力する演算部と、を備え、前記レーザ発振器は、前記レーザ制御信号に基づいて前記レーザ光を発振する、ことを特徴とする。
【００１０】
本発明に係るレーザ装置によれば、設定信号とフィードバック信号とに基づいてレーザ制御信号を演算しているので、レーザ発振器にレーザ制御信号が入力されてからレーザ光が発振されるまでの遅れ時間を短縮することができる。そして、レーザ発振器の遅れ時間が短縮化されると、ハンチング等が発生する制御ゲインの限界値が上昇するので、当該制御ゲインの設定値を上昇させることが可能となる。制御ゲインの設定値を上昇させると、レーザ発振器がレーザ光の発振を開始してからレーザ光の出力が設定出力に安定するまでの立ち上がり時間が短くなる。従って、レーザ発振器の応答時間（遅れ時間＋立ち上がり時間）を短縮することができる。また、フィードバック制御を行うため、レーザ光の出力を設定出力に安定化させることができる。
【００１１】
［２］  上記のレーザ装置において、前記出力部、前記フィードバック制御部及び前記演算部は、前記レーザ光の最大出力時に前記設定信号、前記フィードバック信号及び前記レーザ制御信号のそれぞれの大きさが互いに等しくなるように設定されており、前記演算部は、前記設定信号をＳｓ、前記フィードバック信号をＳｆ、前記レーザ制御信号をＳｌ、所定の係数をｋ（０＜ｋ＜１）としたとき、Ｓｌ＝ｋ×Ｓｓ＋（１−ｋ）×Ｓｆにより前記レーザ制御信号Ｓｌを演算してもよい。
【００１２】
このような構成によれば、出力部から設定信号が出力された時に、設定信号の所定割合ｋの大きさのレーザ制御信号をレーザ発振器に入力することができる。これにより、レーザ発振器の遅れ時間を効率的に短縮することができる。また、設定出力の大きさにかかわらず、ハンチング等を発生させることなくレーザ光の出力を設定出力に安定化させることができる。
【００１３】
［３］  上記のレーザ装置において、０．３≦ｋ≦０．９を満足していてもよい。この場合、レーザ発振器の応答時間を効率的に短縮すると共にレーザ光の出力を設定出力に一層安定化させることができる。
【００１４】
［４］  上記のレーザ装置において、前記測定部が前記レーザ発振器に内蔵されていてもよい。この場合、レーザ装置の小型化を図ることができる。
【００１５】
［５］  上記のレーザ装置において、前記フィードバック制御部は、ＰＩ制御又はＰＩＤ制御によって前記フィードバック信号を算出してもよい。この場合であっても、レーザ発振器の応答時間を短縮することができる。
【００１６】
［６］  本発明に係るレーザ出力制御方法は、レーザ発振器から発振されるレーザ光の設定出力に対応した設定信号を出力部から出力するステップと、前記レーザ光の出力を測定部で測定して当該レーザ光の測定出力に対応した測定信号を当該測定部から出力するステップと、前記設定信号と前記測定信号とに基づいて前記レーザ光の出力が前記設定出力となるようにフィードバック信号をフィードバック制御部で算出して出力するステップと、前記設定信号と前記フィードバック信号とに基づいてレーザ制御信号を演算部で演算して出力するステップと、前記レーザ制御信号に基づいて前記レーザ発振器から前記レーザ光を発振するステップと、を行う、ことを特徴とする。
【００１７】
本発明に係るレーザ出力制御方法によれば、レーザ発振器の応答時間を短縮すると共にレーザ光の出力を設定出力に安定化させることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、設定信号とフィードバック信号とに基づいてレーザ制御信号を演算しているので、レーザ発振器の応答時間を短縮すると共にレーザ光の出力を設定出力に安定化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係るレーザ装置のブロック図である。
【図２】図１に示すレーザ発振器のブロック図である。
【図３】レーザ出力制御方法を説明するためのタイミングチャートである。
【図４】図４Ａはレーザ光の出力の時間変化を示したグラフであり、図４Ｂは比較例に係るレーザ光の出力の時間変化を示したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係るレーザ装置について、当該レーザ装置を用いたレーザ出力制御方法との関係で、好適な実施形態を例示し、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２１】
本実施形態に係るレーザ装置１０は、設定出力のレーザ光Ｌを安定して出射するものであって、例えば、ワークの加工（切断、溶接、マーキング等）や半田付け等に用いられる。レーザ装置１０は、図１に示すように、レーザ光Ｌを出射するレーザ装置本体１２と、前記レーザ光Ｌの出力を測定するための測定光学系１４と、レーザ光Ｌの出力を制御する制御部１６とを備える。
【００２２】
レーザ装置本体１２は、レーザ光Ｌを発振するレーザ発振器１８と、レーザ発振器１８から発振されたレーザ光Ｌを伝送する伝送ファイバ２０と、伝送ファイバ２０から出射されたレーザ光Ｌを平行化するコリメートレンズ２２とを有する。
【００２３】
図２に示すように、レーザ発振器１８は、励起光を出射するＬＤユニット２４と、前記励起光に基づいてレーザ光Ｌを発振するアクティブファイバ２６と、アクティブファイバ２６の両側に配設された一対の反射素子２８、３０とを含む。
【００２４】
ＬＤユニット２４は、ＬＤ電源３２と、ＬＤ電源３２から供給される駆動電流に基づいて励起光を出射する複数のＬＤ３４と、各ＬＤ３４から導かれた励起光を結合するコンバイナ３６とを有する。ＬＤ電源３２は、制御部１６から入力される信号（後述するレーザ制御信号Ｓｌ）に対応した大きさの駆動電流を各ＬＤ３４に供給する。各ＬＤ３４は、いわゆるＦＣ−ＬＤ（ファイバーカップリングレーザーダイオード）として構成されている。すなわち、各ＬＤ３４には、当該ＬＤ３４から励起光を取り出すための取出用光ファイバ３４ａが結合されており、これら取出用光ファイバ３４ａの出射側端部がコンバイナ３６に結合されている。
【００２５】
詳細な図示は省略するが、アクティブファイバ２６は、Ｙｂ等の希土類元素イオンがドープされたコアを含んだ光ファイバであって、励起光によって前記希土類元素イオンが励起されることによりレーザ光Ｌを発振する。なお、アクティブファイバ２６をいわゆるダブルクラッドファイバとして構成すると、レーザ光Ｌを効率的に発振させることが可能である。
【００２６】
一対の反射素子２８、３０は、アクティブファイバ２６から発振されたレーザ光Ｌを増幅させる。コンバイナ３６側に位置する反射素子２８は、コンバイナ３６からアクティブファイバ２６に向かう励起光が通過すると共にレーザ光Ｌが全反射するように構成されている。伝送ファイバ２０側に位置する反射素子３０は、レーザ光Ｌの一部が反射すると共に当該レーザ光Ｌの残余が通過するように構成されている。
【００２７】
本実施形態では、各反射素子２８、３０は、ＦＢＧ（Ｆｉｂｅｒ  Ｂｒａｇｇ  Ｇｒａｔｉｎｇ）として構成されている。この場合、各反射素子２８、３０をミラーで構成した場合と比較して効率的にレーザ光Ｌを発振させることができる。ただし、各反射素子２８、３０は、ミラーで構成してもよいことは勿論である。
【００２８】
上記のように構成されるレーザ発振器１８では、例えば、９１５ｎｍ〜９８０ｎｍの励起光を用いて１０７０ｎｍのレーザ光Ｌを発振する。なお、励起光及びレーザ光Ｌの波長は任意に設定可能である。
【００２９】
図１から諒解されるように、測定光学系１４は、コリメートレンズ２２で平行化されたレーザ光Ｌを分岐するための分岐ミラー３８と、分岐されたレーザ光Ｌを集光する集光レンズ４０と、集光レンズ４０にて集光されたレーザ光Ｌを受光する測定部（パワーモニタ）４２とを有する。分岐ミラー３８の反射率は、例えば、１％程度に設定されている。分岐ミラー３８を透過したレーザ光Ｌは、溶接、マーキング等といった加工や半田付け等に用いられる。
【００３０】
測定部４２は、例えば、フォトダイオードを含んで構成されており、受光されたレーザ光Ｌの出力を測定して当該レーザ光Ｌの測定出力に対応した測定信号Ｓｍを出力する。ここで、測定信号Ｓｍは、アナログ電圧信号であり、後述する設定信号Ｓｓ、フィードバック信号Ｓｆ、レーザ制御信号Ｓｌについても同様である。ただし、測定信号Ｓｍ、設定信号Ｓｓ、フィードバック信号Ｓｆ、レーザ制御信号Ｓｌの各々は、デジタル電圧信号であっても構わない。
【００３１】
制御部１６は、出力部（制御ボード）４４、フィードバック制御部４６及び演算部４８を有している。出力部４４は、レーザ光Ｌの設定出力に対応した設定信号Ｓｓを出力する。ここで、レーザ光Ｌの設定出力とは、ユーザ等が図示しない操作部を介してレーザ装置１０に入力するレーザ光Ｌの所望の出力（目標出力）を言う。
【００３２】
フィードバック制御部４６は、設定信号Ｓｓと測定信号Ｓｍとに基づいてレーザ光Ｌの出力が設定出力となるようなフィードバック信号Ｓｆを算出して出力する。フィードバック制御部４６は、例えば、ＰＩ制御又はＰＩＤ制御を行う。フィードバック制御部４６の制御ゲイン（比例ゲイン、積分ゲイン、微分ゲイン）は、任意に定めることが可能であるが、ハンチングやオーバーシュート（ハンチング等）が発生しない程度の大きさに設定される。本実施形態では、レーザ発振器１８をファイバーレーザ装置として構成しているので、レーザ発振器１８は、設定出力が小さいほど応答性が悪くなる。そのため、制御ゲインは、最大設定出力時に、ハンチング等が十分に抑制されるような大きさに制限されて設定される。これにより、最低設定出力時では制御ゲインが不足して応答性が悪くなる。
【００３３】
演算部４８は、設定信号Ｓｓとフィードバック信号Ｓｆとに基づいてレーザ制御信号Ｓｌを演算してレーザ発振器１８のＬＤ電源３２に出力する。具体的には、演算部４８は、Ｓｌ＝ｋ×Ｓｓ＋（１−ｋ）×Ｓｆの計算式を用いてレーザ制御信号Ｓｌを演算する。ここで、各信号はＳｌ（ｍａｘ）＝Ｓｓ（ｍａｘ）＝Ｓｆ（ｍａｘ）である。このように、各信号をレーザ光Ｌが最大となる信号レベル（ｍａｘ）にスケールを合わせることとする。すなわち、出力部４４、フィードバック制御部４６及び演算部４８は、レーザ光Ｌの最大出力時に設定信号Ｓｓ、フィードバック信号Ｓｆ及びレーザ制御信号Ｓｌのそれぞれの大きさが互いに等しくなるように設定されている。また、係数ｋは０＜ｋ＜１である。ただし、係数ｋは、０．３≦ｋ≦０．９を満足することが好ましく、ｋ＝０．７であることがより好ましい。
【００３４】
係数ｋが０．９よりも大きい場合には、フィードバック制御部４６の制御ゲインの大きさによってはハンチング等が発生する可能性がある。また、係数ｋが０．３未満である場合には、レーザ発振器１８の応答時間（レーザ制御信号ＳｌがＬＤ電源３２に入力されてからレーザ光Ｌの出力が設定出力に安定するまでに要する時間）を十分に短縮することができないおそれがある。すなわち、ｋ＝０．７であると、レーザ発振器１８の応答時間の短縮化とハンチング等の抑制とを効率的に行うことができる。
【００３５】
本実施形態に係るレーザ装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、以下、このレーザ装置１０を用いたレーザ出力制御方法について図３〜図４Ｂを参照して説明する。なお、このレーザ出力制御方法の説明では、演算部４８における上述した計算式の係数ｋが０．７に設定されているものとする。
【００３６】
先ず、レーザ装置１０を使用する際、ユーザは、レーザ光Ｌの設定出力を図示しない操作部を介してレーザ装置１０に対して入力する。ここでは、設定出力をＰａとする。続いて、レーザ光Ｌの発振開始信号が制御部１６に入力されると、時点ｔ０において、出力部４４は、レーザ光Ｌの設定出力Ｐａに対応する設定信号Ｓｓを出力する（図３参照）。
【００３７】
このとき、レーザ発振器１８からレーザ光Ｌが未だ発振されていないので、測定信号Ｓｍ及びフィードバック信号Ｓｆは共に０Ｖである。また、演算部４８は、設定信号Ｓｓとフィードバック信号Ｓｆに基づいてレーザ制御信号Ｓｌを演算して出力する。具体的には、演算部４８は、Ｓｌ＝０．７Ｓｓ＋０．３Ｓｆの計算式を用いてレーザ制御信号Ｓｌを演算する。なお、時点ｔ０において、Ｓｌ＝０．７Ｓｓである。
【００３８】
そして、ＬＤ電源３２には、レーザ制御信号Ｓｌが入力される。換言すれば、ＬＤ電源３２には、設定信号Ｓｓの７０％の大きさの電圧信号が入力される。そうすると、ＬＤ電源３２は、入力されたレーザ制御信号Ｓｌに対応する駆動電流を各ＬＤ３４に供給する。これにより、各ＬＤ３４から励起光が出射されてコンバイナ３６で結合（合成）され、結合された励起光がアクティブファイバ２６のコアを通過することにより当該アクティブファイバ２６からレーザ光Ｌが発振される。アクティブファイバ２６から発振されたレーザ光Ｌは、一対の反射素子２８、３０の間を複数回往復することにより増幅され、反射素子３０を通過したレーザ光Ｌが伝送ファイバ２０から出射される。
【００３９】
伝送ファイバ２０から出射されたレーザ光Ｌは、コリメートレンズ２２で平行化されて分岐ミラー３８を透過してワークの加工や半田付け等に利用される。一方、分岐ミラー３８で反射されたレーザ光Ｌは、集光レンズ４０により測定部４２に集光される。そして、測定部４２は、当該レーザ光Ｌの出力に対応した測定信号Ｓｍを出力する。
【００４０】
ここで、図４Ａから諒解されるように、本実施形態に係るレーザ装置１０において、設定信号Ｓｓが出力されてからレーザ発振器１８からレーザ光Ｌが発振されるまでには、所定の遅れ時間（時点ｔ０から時点ｔ１までの期間）Ｔａを要している。また、レーザ発振器１８からレーザ光Ｌが発振してからレーザ光Ｌの出力が設定出力Ｐａの７０％の出力に到達するまでには、所定の第１立ち上がり時間（時点ｔ１から時点ｔ２までの期間）Ｔｂを要している。
【００４１】
レーザ光Ｌの出力が設定出力Ｐａの７０％の出力に到達すると、残りの３０％の出力分がフィードバック制御される。すなわち、時点ｔ２において、フィードバック制御部４６は、設定信号Ｓｓと測定信号Ｓｍとに基づいてレーザ光Ｌの出力が設定出力Ｐａとなるようなフィードバック信号Ｓｆを算出して出力する。そして、演算部４８は、Ｓｌ＝０．７Ｓｓ＋０．３Ｓｆの計算式を用いてレーザ制御信号Ｓｌを演算して出力する。これにより、時点ｔ３において、レーザ光Ｌの出力が設定出力Ｐａに安定する。
【００４２】
ここで、レーザ光Ｌの出力が設定出力Ｐａの７０％の出力に到達してから設定出力Ｐａに到達するまでには、所定の第２立ち上がり時間（時点ｔ２から時点ｔ３までの期間）Ｔｃを要している。そして、この第２立ち上がり時間Ｔｃにおけるレーザ光Ｌの出力の上昇率は、第１立ち上がり時間Ｔｂにおけるレーザ光Ｌの出力の上昇率よりも小さい。そのため、レーザ光Ｌの出力が設定出力Ｐａとなるときに、ハンチング等の発生を抑えることができる。
【００４３】
ところで、本実施形態において、仮に、演算部４８を設けなかった場合、時点ｔ０において、ＬＤ電源３２に入力されるフィードバック信号Ｓｆは０Ｖとなるため、図４Ｂの比較例のように概ね時点ｔ２でレーザ光Ｌの発振が開始されることとなる。すなわち、この比較例では、レーザ発振器１８の遅れ時間Ｔｄが時点ｔ０から時点ｔ２までの期間となり、レーザ発振器１８の立ち上がり時間Ｔｅが時点ｔ２から時点ｔ４までの期間となる。
【００４４】
一方、本実施形態によれば、設定信号Ｓｓとフィードバック信号Ｓｆとに基づいてレーザ制御信号Ｓｌを演算する演算部４８を設けているので、レーザ発振器１８の遅れ時間Ｔａを比較例の遅れ時間Ｔｄよりも短縮することができる。そして、レーザ発振器１８の遅れ時間Ｔａが短縮化されると、ハンチング等が発生する制御ゲインの限界値が上昇するので、当該制御ゲインの設定値を上昇させることが可能となる。つまり、本実施形態に係るフィードバック制御部４６の制御ゲインの設定値を図４Ｂの比較例に係る制御ゲインの設定値よりも大きくすることができる。
【００４５】
これにより、レーザ発振器１８がレーザ光Ｌの発振を開始してからレーザ光Ｌの出力が設定出力Ｐａに安定するまでの立ち上がり時間（第１立ち上がり時間Ｔｂ＋第２立ち上がり時間Ｔｃ）を比較例の立ち上がり時間Ｔｅよりも短縮することができる。従って、レーザ発振器１８の応答時間を短縮することができる。また、本実施形態では、フィードバック制御が行われるので、レーザ光Ｌの出力を設定出力Ｐａに安定化させることができる。
【００４６】
本実施形態において、演算部４８は、Ｓｌ＝ｋ×Ｓｓ＋（１−ｋ）×Ｓｆの計算式を用いてレーザ制御信号Ｓｌを演算している。これにより、出力部４４から設定信号Ｓｓが出力された時に、設定信号Ｓｓの所定割合ｋの大きさ（例えば、設定信号Ｓｓの７０％の大きさ）のレーザ制御信号ＳｌをＬＤ電源３２に入力することができる。これにより、レーザ発振器１８の遅れ時間Ｔａを効率的に短縮することができる。また、設定出力Ｐａの大きさにかかわらず、ハンチング等を抑制してレーザ光Ｌの出力を設定出力Ｐａに安定化させることができる。
【００４７】
本実施形態では、ｋ＝０．７であって０．３≦ｋ≦０．９を満足しているので、レーザ発振器１８の応答時間を効率的に短縮すると共にレーザ光Ｌの出力を設定出力Ｐａに一層安定させることできる。
【００４８】
本実施形態は、上述した構成に限定されてない。例えば、測定部４２は、レーザ発振器１８に内蔵されていてもよい。この場合、測定光学系１４の構成を小型化することができるので、レーザ装置１０の小型化を図ることができる。また、レーザ発振器１８は、ファイバーレーザ装置として構成された例に限定されず、例えば、ＹＡＧレーザ装置やＬＤ装置等の各種レーザ装置として構成することが可能である。
【００４９】
本発明は、上述した実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることは当然可能である。
【符号の説明】
【００５０】
１０…レーザ装置                        １８…レーザ発振器
４２…測定部                            ４４…出力部
４６…フィードバック制御部              ４８…演算部
Ｌ…レーザ光                            Ｓｆ…フィードバック信号
Ｓｌ…レーザ制御信号                    Ｓｍ…測定信号
Ｓｓ…設定信号
【図１】
2015015323.tif 000003
【図２】
2015015323.tif 000004
【図３】
2015015323.tif 000005
【図４】
2015015323.tif 000006