(57)【要約】【課題】シートから回収したはずのチップがシート上に残っていないかどうかを確実に確認する。【解決手段】透光性を有し隙間を空けて規則的に２次元配列した複数の矩形のチップからなるチップ配列７から特定のチップを回収するチップ回収装置１であって、チップ配列７をその一方の面上に支持するシート２を所定の平面３ａ上に保持する保持部３と、該保持部３に保持された所定の平面３ａ上のシート２に対して斜めに照明光Ｌ１を照射する照明部５と、保持部３に保持されたシート２上のチップ配列７を観察する観察部６とを備え、照明部５は、チップの少なくとも隣接する２辺の側面へ照明光Ｌ１が照射される照射方向から、かつ、２辺の側面からチップ内へ照明光Ｌ１が入射して他の２辺の側面から出射する照射角度で、照明光Ｌ１を照射するチップ回収装置１を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性を有し隙間を空けて規則的に２次元配列した複数の矩形のチップからなるチップ配列から特定のチップを回収するチップ回収装置であって、
前記チップ配列をその一方の面上に支持するシートを所定の平面上に保持する保持部と、
該保持部に保持された前記所定の平面上の前記シートに対して斜めに照明光を照射する照明部と、
前記保持部に保持された前記シート上の前記チップ配列を観察する観察部とを備え、
前記照明部は、前記チップの少なくとも隣接する２辺の側面へ前記照明光が照射される照射方向から、かつ、前記２辺の側面から前記チップ内へ前記照明光が入射して他の２辺の側面から出射する照射角度で、前記照明光を照射するチップ回収装置。
【請求項２】
前記チップ配列が、互いに直交する２軸方向に沿って正方配列した長方形のチップからなり、
前記照明部が、前記２軸方向に対して４５°方向から単一の前記照明光を照射する請求項１に記載のチップ回収装置。
【請求項３】
前記チップ配列が、互いに直交する２軸方向に沿って正方配列した長方形のチップからなり、
前記照明部が、前記２軸方向から２つの前記照明光を照射する請求項１に記載のチップ回収装置。
【請求項４】
前記照明部が、前記照明光として単色光を照射する請求項１から請求項３のいずれかに記載のチップ回収装置。
【請求項５】
前記照明部が、ＬＥＤを備える請求項１から請求項４のいずれかに記載のチップ回収装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ回収装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板を、該ガラス基板上に貼り付けられた生体組織の切片と一緒に小さなチップに分割し、一部のチップを回収することによって、切片内の特定の細胞を含む断片を採取する技術が知られている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１では、ダイシングシートのような粘着性および伸展性を有するシート上でガラス基板を賽の目に切断し、シートを伸展することによって隣接するチップ同士を離間させ、チップのシートとの接着面を針で突いてシートから剥離および落下させることによって、シートからチップを１つずつ回収している。シートから落下したチップは、シートの下方に予め配置された容器内に回収される。
【０００３】
一方、透明な物体の観察において、透明な物体の観察面に対して斜め方向から光を照射する斜方照明が使用されている（例えば、特許文献２〜５参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１１／１４９００９号
【特許文献２】特開平７−２８０５３０号公報
【特許文献３】特開２０１０−２８１７７２号公報
【特許文献４】特開２００７−２８６０４８号公報
【特許文献５】特許第２８６７２４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の個々のチップは、透明であり、かつ、微小であるため、容器内のチップを肉眼で確認することが難しい。したがって、シート上のチップ配列を観察し、採取したチップがシート上に存在しないことを確認することで、チップが容器内に回収されたことを確認している。しかしながら、単に特許文献２から５のような照明方法を使用しただけでは、特定のチップの跡を一目で見つけることが難しいという問題がある。さらに、チップがシートから剥がれずにシート上に残っている場合に、この回収し損なったチップを見つけることが難しいために見逃してしまう可能性があるという問題がある。
【０００６】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、シートから回収したはずのチップがシート上に残っていないかどうかを確実に確認することができるチップ回収装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、透光性を有し隙間を空けて規則的に２次元配列した複数の矩形のチップからなるチップ配列から特定のチップを回収するチップ回収装置であって、前記チップ配列をその一方の面上に支持するシートを所定の平面上に保持する保持部と、該保持部に保持された前記所定の平面上の前記シートに対して斜めに照明光を照射する照明部と、前記保持部に保持された前記シート上の前記チップ配列を観察する観察部とを備え、前記照明部は、前記チップの少なくとも隣接する２辺の側面へ前記照明光が照射される照射方向から、かつ、前記２辺の側面から前記チップ内へ前記照明光が入射して他の２辺の側面から出射する照射角度で、前記照明光を照射するチップ回収装置を提供する。
【０００８】
本発明によれば、チップ配列内から所望のチップを回収した後に、続いて、照明部から照明光が照射されたチップ配列を観察部によって観察する。シート上のチップ配列に対して斜めに照射された照明光は、隣接する２辺の側面から個々のチップ内に入射し、チップの両端面で反射しながらチップ内を進み、他の隣接する２辺の側面から出射することにより、他の隣接する２辺の側面が明るく光る。したがって、観察部によって観察される画像において、個々のチップの隣接する２辺に対応する２本１組の明るい直線（以下、「発光ライン」ともいう。）の規則的な配列が観察される。
【０００９】
ここで、所望のチップがシートから回収されている場合には、回収されたチップが貼り付いていた位置にだけ発光ラインが存在しないので、ユーザは、回収したチップの跡を容易に見つけることができる。回収し損なって未だチップがシート上に残っている場合には、配置や角度等が周囲と異なる発光ラインが１組だけ存在し、かつ、回収し損なったチップがどのような角度でシート上に残っていたとしても、隣接する２辺のうち少なくとも一方には明瞭な発光ラインが発生する。したがって、ユーザは、シート上の回収し損なったチップに容易に気付くことができる。このように、シートから回収したはずのチップがシート上に残っていないかどうかを確実に確認することができる。
【００１０】
上記発明においては、前記チップ配列が、互いに直交する２軸方向に沿って正方配列した長方形のチップからなり、前記照明部が、前記２軸方向に対して４５°方向から単一の前記照明光を照射してもよい。
このようにすることで、単一の照明光を使用して２本１組の発光ラインを発生させることができる。
【００１１】
また、上記発明においては、前記チップ配列が、互いに直交する２軸方向に沿って正方配列した長方形のチップからなり、前記照明部が、前記２軸方向から２つの前記照明光を照射してもよい。
このようにすることで、隣接する２辺の側面に対して別々の照明光が照射されるので、２本１組の発光ラインの各々の明るさを互いに独立に調整することができる。
【００１２】
また、上記発明においては、前記照明部が、前記照明光として単色光を照射してもよい。
このようにすることで、発光ラインの視認性を向上することができる。
【００１３】
また、上記発明においては、前記照明部が、ＬＥＤを備えていてもよい。
このようにすることで、ＬＥＤの光は、チップや観察部等に対して熱の影響をほとんど与えない。したがって、チップに対して近い位置から照明光を照射することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、シートから回収したはずのチップがシート上に残っていないかどうかを確実に確認することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係るチップ回収装置の全体構成図である。
【図２】図１の細胞分取装置に使用される、チップ配列が形成されたシートを示す平面図である。
【図３】シートのステージへの載置方法を説明する図である。
【図４】チップに対する照明光の（ａ）照射方向および（ｂ）照射角度を説明する図である。
【図５】図１のチップ回収装置の変形例の全体構成図である。
【図６】図１のチップ回収装置によって取得された、照明光が（ａ）照射されていないときと（ｂ）照射されているときの、チップ配列の画像である。
【図７】図１のチップ回収装置によって取得された、照明光が（ａ）照射されていないときと（ｂ）照射されているときの、チップ配列のもう１つの画像である。
【図８】図１のチップ回収装置によって取得された、照明光が（ａ）照射されていないときと（ｂ）照射されているときの、チップ配列のもう１つの画像である。
【図９】図１のチップ回収装置によって取得された、照明光が（ａ）照射されていないときと（ｂ）照射されているときの、チップ配列のもう１つの画像である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に、本発明の一実施形態に係るチップ回収装置１について図面を参照して説明する。
本実施形態に係るチップ回収装置１は、生体組織の切片Ａから、所望の細胞を含む断片Ａ’を回収する細胞分取装置であって、図１に示されるように、シート２を略水平に保持するステージ（保持部）３と、該ステージ３の上方に配置された打ち抜き部４および照明部５と、ステージ３の下方に配置された観察部６とを備えている。
【００１７】
図２は、シート２と、該シート２上に形成されたチップ配列７とを示している。
シート２は、粘着剤が塗布された粘着面を有し、該粘着面上にチップ配列７が形成されている。チップ配列７は、多数の微小な略正方形のチップ８からなり、チップ８は、その辺に平行な行方向および列方向に、互いに隙間を空けて２次元的に規則的に整列している。各チップ８は、互いに対向するおもて面８ａおよび裏面８ｂを有し、裏面８ｂにおいてシート２の粘着面に粘着している。各チップ８の辺寸法は、例えば、０．５ｍｍ程度である。各チップ８は、無色または有色の透明な材料、例えばガラスや樹脂からなり、後述する照明光Ｌ１を透過させる透光性を有している。また、シート２も、照明光Ｌ１を透過させる透光性を有している。
【００１８】
各チップ８のおもて面８ａには、切片Ａの一部Ａ’が貼り付けられている。このようなチップ配列７は、一例として、次のような方法で作成される。まず、カバーガラスのような１枚の基板を伸展性を有するシート２の粘着面上に貼り、基板をシート２上で格子状に切断して基板に切れ目を形成する。次に、この基板上に切片Ａを貼り付け、シート２を表面方向に伸展させる。これにより、基板が切れ目に沿って複数のチップ８に分割され、このときに基板上の切片Ａも基板の切れ目に沿って複数の断片Ａ’に分割される。この後、チップ８間の隙間を維持するために、シート２はグリップリング１２によって伸展状態に保持される。グリップリング１２は、外リング１２ａと、該外リング１２ａの内周面に嵌合する内リング１２ｂとを有し、外リング１２ａの内周面と内リング１２ｂの外周面との間にシート２を挟んで把持することによって、シート２が伸展状態に固定されるようになっている。
【００１９】
ステージ３は、略水平に配置される矩形の載置面（所定の平面）３ａを上側に有している。載置面３ａの略中央部分には、鉛直方向に貫通する窓３ｂが形成されている。シート２は、図３に示されるように、窓３ｂにチップ配列７が位置するように、また、チップ配列７が形成されている粘着面が下側を向くように、載置面３ａ上に載置される。これにより、ステージ３の下側から観察部６によってチップ配列７を観察することができる。
【００２０】
打ち抜き部４は、針４１と、針先４１ａを下側に向けて針４１を保持するとともに、水平方向および鉛直方向に移動可能なホルダ４２とを備えている。ホルダ４２の水平方向の移動によって、載置面３ａ上のチップ８に対して針先４１ａを水平方向に位置合わせできるようになっている。また、ホルダ４２の鉛直方向の下降によって、チップ８の裏面８ｂを針先４１ａで突き、当該チップ８をシート２から剥離および落下させることができるようになっている。
【００２１】
照明部５は、照明光Ｌ１を発する光源（図示略）を備え、載置面３ａの窓３ｂへ向かって斜め上方から照明光Ｌ１を出射する。光源は、キセノンランプ、水銀ランプ、白熱灯、蛍光灯、ＬＥＤまたはレーザである。これらのうち、ＬＥＤの光は照射対象物を発熱させ難く、また、ＬＥＤの寸法および照明範囲が好適であるため、ＬＥＤが特に好ましい。照明光Ｌ１は、窓３ｂに位置するシート２およびチップ配列７に直接照射されてもよく、ファイバ、プリズム、ミラー、絞り、レンズ等の光学素子からなる任意の照明光学系（図示略）を介して照射されてもよい。照明光学系は、光源の発熱や寸法等の設計条件に応じて構成される。
【００２２】
照明光Ｌ１の色は、白色であってもよいが、単色であることがより好ましい。後述するように観察部６によるチップ配列７の観察には白色光Ｌ２が用いられるので、照明光Ｌ１が単色光である方が、観察部６によって取得される画像において照明光Ｌ１を視認し易くなり、発光ラインＢ（後述）の視認性を向上することができる。また、切片Ａが色素によって染色されている場合には、照明光Ｌ１の視認性を確保するために、照明光Ｌ１の色は、切片Ａの染色の色とは異なることが好ましい。例えば、切片ＡがＨＥ染色されている場合には、照明光Ｌ１の色は、赤、青または緑が好ましい。
【００２３】
ここで、照明部５による、照明光Ｌ１のチップ配列７への照射方法について、図４（ａ），（ｂ）を用いて詳細に説明する。図４（ａ）は、照明光Ｌ１の照射方向を説明するためのチップ８の正面図であり、図４（ｂ）は、照明光Ｌ１の照射角度を説明するためのチップ８の側面図である。以下の説明において、互いに直交する水平方向の２方向をＸ方向およびＹ方向とし、鉛直方向をＺ方向とする直交座標系を用いる。特に、ステージ３の載置面３ａの横方向をＸ方向、縦方向をＹ方向とする。
【００２４】
照明部５は、ステージ３の斜め上方に配置され、図４（ａ）に示されるように、Ｘ−Ｙ平面において４５°の方向から、照明光Ｌ１を窓３ｂに照射する。図３に示されるように、チップ配列７の行方向Ｒおよび列方向Ｃがステージ３の縦方向および横方向にそれぞれ略平行となるようにシート２が載置面３ａ上に載置されている場合、照明光Ｌ１は、個々のチップ８の隣接する２辺の側面８ｃ，８ｄに照射される。
【００２５】
ここで、照明光Ｌ１の光軸を含むＺ平面において載置面３ａと照明光Ｌ１の光軸とが成す照射角度θは、図４（ｂ）に示されるように、照明光Ｌ１がチップ８内へ側面８ｃ，８ｄから入射し、かつ、チップ８のおもて面８ａおよび裏面８ｂにおいて照明光Ｌ１の少なくとも一部が反射されるような角度に設定されている。これにより、側面８ｃ，８ｄからチップ８内に入射した照明光Ｌ１は、おもて面８ａおよび裏面８ｂでの反射を繰り返しながらチップ８内を略対角線方向に進み、他の隣接する２辺の側面８ｅ，８ｆから出射する。また、裏面８ｂからチップ８内に入射した照明光Ｌ１の一部も、同様に、おもて面８ａおよび裏面８ｂでの反射を繰り返しながらチップ８内を略対角線方向に進み、２側面８ｅ，８ｆから出射する。なお、図１のように斜め上方から照射される照明光Ｌ１はシート２を透過するが、このときに照射光Ｌ１の照射角度は変化しない。
【００２６】
照明光Ｌ１が出射する２側面８ｅ，８ｆは光り、図４（ａ）に示されるようにＺ方向にチップ配列７を見たときに、側面８ｅ，８ｆに対応する隣接する２辺に照明光Ｌ１の明るい線（発光ライン）Ｂが現れる。このような照射角度θは、空気の屈折率とチップ８の屈折率とを用い、いわゆるスネルの法則から算出することができる。
【００２７】
観察部６は、窓３ｂの位置のチップ配列７を図示しない撮像素子によって撮影し、取得した画像を図示しない表示部に送るようになっている。観察部６は、チップ８を回収するための回収容器１０と一緒に可動台１１に保持されており、該可動台１１を水平方向に移動させることによって、観察部６および回収容器１０を択一的に窓３ｂの真下に配置可能になっている。
【００２８】
符号９は、観察部６に設けられた照明器である。照明器９は、例えば、環状に配列された複数のＬＥＤを備え、チップ配列７に対して白色光Ｌ２を均一に照射するようになっている。観察部６は、シート２およびチップ８を通過した照明光Ｌ１が直接当たらない位置に配置される。照明光Ｌ１が観察部６に直接当たる場合、撮像素子に強い照明光Ｌ１が入射し、ハレーションやスミア等の乱れが画像に生じる可能性がある。
【００２９】
次に、このように構成されたチップ回収装置１の作用について説明する。
本実施形態に係るチップ回収装置１を使用してシート２上のチップ配列７から所望の断片Ａ’が付着しているチップ８を回収するためには、まず、図３に示される状態にシート２をステージ３の載置面３ａ上に載置する。載置面３ａ上のシート２の位置を安定させるために、図示しないクリップ等を用いてシート２の端部を載置面３ａに固定してもよい。
【００３０】
次に、観察部６によってチップ配列７を観察し、ホルダ４２を水平方向に移動させることによって所望のチップ８の真上に針４１を配置する。次に、観察部６に代えて回収容器１０を窓３ｂの真下に配置し、続いて、ホルダ４２を下降させることによって所望のチップ８の裏面８ｂを針先４１ａで突き、当該チップ８ｂをシート２から剥離および落下させる。これにより、所望のチップ８が回収容器１０内に回収される。
【００３１】
回収容器１０内に回収されたチップ８は、微小かつ透明であるため、肉眼で確認することは難しい。また、所望のチップ８がシート２上に残っている場合にも、肉眼でシート２上の所望のチップ８の有無を確認することは難しく、また、観察部６によって取得された画像でもチップ８を確認することも難しい。なぜならば、観察部６は、画像において被写体の陰影が生じない落射照明を用いており、さらに、白色光Ｌ２は、透明なチップ８の表面でほとんど反射されずにチップ８を通り抜けてしまうからである。
【００３２】
そこで、本実施形態においては、再度、観察部６を窓３ｂの真下に配置し、照明部５を点灯させて上述の照明方法で照明光Ｌ１をチップ配列７へ照射する。これにより、個々のチップ８の隣接する２辺に対応する位置に略Ｌ字状の発光ラインＢが発生し、規則的に配列する多数の発光ラインＢが観察部６によって観察される。観察部６によって取得される画像において発光ラインＢをより明瞭に視認することができるように、観察部６の白色光Ｌ２を消灯してもよい。
【００３３】
所望のチップ８がシート２から完全に剥離して落下している場合、当該チップ８が貼り付いていた箇所においては発光ラインＢが欠けているので、ユーザは、当該チップ８の跡を容易に見付けることができる。
【００３４】
一方、もし、所望のチップ８がシート２から完全に剥離せずにシート２上に残っている場合、所望のチップ８は、規則的に配列している多数のチップ８の中で１つだけ配置が不規則であったり、向きや傾きが異なっていたりする。このときに、所望のチップ８がどのような向きや傾きでシート２上に残っていたとしても、その４側面のうち少なくとも１つには照明光Ｌ１が入射し、少なくとも１本の発光ラインＢが発生する。すなわち、規則的に配列する多数の発光ラインＢの中で、向きや強度が異なる発光ラインＢが１本だけまたは１組だけ存在する。したがって、ユーザは、未だシート２上に残っている回収し損なった所望のチップ８に容易に気付くことができる。
【００３５】
このように、本実施形態によれば、ユーザは、回収したはずの所望のチップ８がシート２上に残っていないかどうかを容易にかつ確実に確認し、これに基づいて所望のチップ８が回収容器１０内に回収されたか否かを確実に確認することができるという利点がある。
【００３６】
なお、本実施形態においては、チップ８の隣接する２側面の各々への照明光Ｌ１の照射量が等しくなるように、Ｘ−Ｙ平面において４５°の方向から照明光Ｌ１を照射することとしたが、照明光Ｌ１の照射方向はこれに限定されるものではなく、チップ８の隣接する２辺の両方に交差する方向からであれば、他の方向から照明光Ｌ１を照射してもよい。
【００３７】
また、本実施形態においては、１つのみの照明部５を用いることとしたが、照明部５の数はこれに限定されるものではない。例えば、２つの照明部５を用い、チップ８の隣接する２辺の側面８ｃ，８ｄに対して、Ｘ方向およびＹ方向に照明光Ｌ１をそれぞれ照射してもよい。このようにしても、図４（ａ）と同じ発光ラインＢが得られる。
また、チップ８の４側面８ｃ，８ｄ，８ｃ，８ｄ全てにおいて発光ラインＢが得られるようにしてもよい。例えば、２つの照明部５を用い、Ｘ−Ｙ平面において４５°方向および２２５°方向のそれぞれからチップ８の４側面８ｃ，８ｄ，８ｃ，８ｄに対して照明光Ｌ１を照射してもよい。
【００３８】
さらに、２つ以上の照明部５を使用する場合には、各照明部５が出射する照明光Ｌ１の色を互いに異ならせてもよい。シート２に残っている回収し損なったチップ８の向きや角度に応じて、チップ８に入射する各照明光Ｌ１の量、すなわち２つの色の比率が異なり、その結果、発光ラインＢの色にも変化が生じる。したがって、シート２上の回収し損なったチップ８をより容易に発見することができる。
また、照明部５は、照明光Ｌ１を点滅させてもよい。このようにすることで、発光ラインＢの視認性をさらに向上することができる。
【００３９】
また、本実施形態においては、照明部５および観察部６が、ステージ３に対して互いに反対側に配置されていることとしたが、これに代えて、図５に示されるように、ステージ３に対して同一側に配置されていてもよい。
この場合、照明部５は、観察部６の視野の外側に配置される。あるいは、照明部５として、観察部６に設けられた照明器９を使用してもよい。例えば、照明器９が、適切な照射角度θで光を出射するＬＥＤを備え、通常観察時と、打ち抜き後のチップ８の確認時とで、点灯させるＬＥＤを切り替え可能に構成されていてもよい。
【００４０】
また、本実施形態においては、照明部５と観察部６とが同期して作動してもよい。例えば、観察部６は、照明部５が照明光Ｌ１を出射するのと同時に静止画像を取得するようになっていてもよい。さらに、照明部５からの照明光Ｌ１の出射が、ユーザの操作によって行われるようになっていてもよい。
このようにすることで、チップ配列７に照明光Ｌ１が照射されているときと、照射されていないときとの画像を取得し、取得された２つの画像を比較することによって、発光ラインＢをより正確に評価することができる。
【００４１】
また、取得された画像に対して、適宜画像処理を施してもよい。例えば、取得された２つの画像の差分画像を生成してもよい。差分画像は、照明光Ｌ１が照射されているときに取得された画像から発光ラインＢを抽出した画像となるので、発光ラインＢをさらに明瞭に視認することができる。また、差分画像内の発光ラインＢの配列パターンに基づいてチップ８が欠けている領域やチップ８の配列が不規則である領域を自動判定してもよい。
【実施例】
【００４２】
次に、上述したチップ回収装置１の実施例について、図６から図９を参照して以下に説明する。
本実施例においては、シート２として、厚さ０．１３ｍｍから０．１７ｍｍであり、透明な塩化ビニル製のダイシングシート（ＵＥ−１１１ＡＪ、日東電工社製）を使用した。シートは直径４０ｍｍのグリップリングによって伸展状態に保持した。チップ８として、０．４２ｍｍ角の正方形のガラス基板を使用した。切片Ａとして、厚さ２０μｍのラットの肝臓の組織切片を使用した。
【００４３】
照明部５として、緑色光を出射するＬＥＤ（ＨＬＶ−２４ＧＲ−１２２０−３Ｗ、ＣＣＳ社製）と、赤色光を出射するＬＥＤ（ＨＬＶ−２４ＲＤ−１２２０、ＣＣＳ社製）とを使用し、これらＬＥＤの電源としてコントローラ（ＰＪ−１５０５−３ＣＡ、ＣＣＳ社製）を使用した。照明光Ｌ１である緑色光および赤色光は、シートに対して斜め上方から３０°の照射角度で照射した。ただし、緑色光および赤色光の照射方向は、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ平行な方向とし、チップの隣接する２辺の側面のうち一方に緑色光を照射し、他方に赤色光を照射した。なお、本実施例において、明瞭な発光ラインＢが観察された照射角度θは、１５°から７０°であった。
【００４４】
観察部６として、デジタル顕微鏡（Ｄｉｎｏ−Ｌｉｔｅ  ＡＤ４１３Ｔ、ＡｎＭｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ社製）を使用した。このデジタル顕微鏡は、対物レンズと、該対物レンズによって集光された光を撮影する１／４インチのＣＭＯＳ撮像素子と、対物レンズの先端部を取り囲むように環状に配列された８個の白色ＬＥＤとを備え、白色ＬＥＤからの白色光が樹脂製の拡散板によって散乱されるようになっている。
【００４５】
図６（ａ），（ｂ）は、本実施例のチップ回収装置によって得られたチップ配列の画像の一例である。図６（ａ）は、白色光のみが照射されている状態、図６（ｂ）は白色光と一緒に照明光も照射されている状態である。図６（ｂ）において、照明光の照射方向は、左から右へ、また、下から上へ向かう方向である。また、図６（ａ），（ｂ）において、３つの白矢印は、回収されたチップの跡を示している。図６（ａ）において、チップの輪郭は不鮮明であり、また、チップの跡も視認し難い。一方、図６（ｂ）においては、個々のチップの２辺（同図において右側および上側の辺）が明るく光っているため、個々のチップも明瞭に視認することができ、チップの跡も明瞭に確認することができる。
【００４６】
図７から図９は、本実施例のチップ回収装置によって得られたチップ配列の画像の他の例である。図７から図９において、（ａ）は白色光のみが照射されている状態、（ｂ）は白色光と一緒に照明光も照射されている状態を示している。
図７（ａ），（ｂ）は、３つのチップの跡（白矢印参照。）を観察したものである。図７（ａ）よりも図７（ｂ）の方が、個々のチップを明瞭に視認することができ、チップの跡も明瞭に確認することができる。
【００４７】
図８（ａ），（ｂ）は、針で突かれたもののシート上に残っている１つのチップ（白矢印参照。）を観察したものである。図８（ａ）よりも図８（ｂ）の方が、この回収し損なったチップを明瞭に観察することができる。特に、図８（ｂ）において、回収し損なったチップの上側の側面が非常に明るく光っている。このように、チップがシートに対して回転したり傾いたりすると、当該チップに対する照明光の照射方向および照射角度も変化するため、発光ラインの太さおよび明るさに明らかな変化が生じることが分かる。
【００４８】
図９（ａ），（ｂ）は、他のチップ上に重なったチップ（白矢印参照。）を観察したものである。このような場合も、図９（ａ）よりも図９（ｂ）の方が、当該チップを明瞭に視認することができ、当該チップを容易に発見することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１  チップ回収装置
２  シート
３  ステージ（保持部）
３ａ  載置面（所定の平面）
３ｂ  窓
４  打ち抜き部
４１  針
４１ａ  針先
４２  ホルダ
５  照明部
６  観察部
７  チップ配列
８  チップ
８ａ  おもて面（端面）
８ｂ  裏面（端面）
８ｃ，８ｄ，８ｅ，８ｆ  側面
９  照明器
１０  回収容器
１１  可動台
１２  グリップリング
１２ａ  外リング
１２ｂ  内リング
Ｌ１  照明光
Ｌ２  白色光
Ａ  切片
Ａ’  断片
Ｂ  発光ライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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