(57)【要約】【課題】エアチューブが長いことに起因して生じる装着精度の低下やエアチューブが吸着ノズルと干渉して生じるエアチューブの損傷を防止することができる装着ヘッド及び部品実装装置を提供する。【解決手段】部品実装装置１に備えられ、固定側シャフト２２に対して昇降自在な可動側シャフト２３の下端に取り付けられた吸着ノズル１６ａに真空圧を供給して吸着ノズル１６ａに部品３を吸着させる装着ヘッド１６において、真空圧が供給されるエアチューブ２８及びエアチューブ２８から供給される真空圧を可動側シャフト２３の内部管路（シャフト内管路２３ｃ）に導入する真空圧導入部２９を備え、真空圧導入部２９は、可動側シャフト２３に取り付けられた基部（ブロック部材５１及び軸部材５２）と、基部に上下面内で回動自在に設けられてエアチューブ２８と接続される接続部（接続部材５３）とから構成される。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品実装装置に備えられ、固定側シャフトに対して昇降自在な可動側シャフトの下端に取り付けられた吸着ノズルに真空圧を供給して前記吸着ノズルに部品を吸着させる装着ヘッドであって、
真空圧が供給されるエアチューブと、
前記可動側シャフトに設けられ、前記エアチューブから供給される真空圧を前記可動側シャフトの内部管路に導入する真空圧導入部とを備え、
前記真空圧導入部は、前記可動側シャフトに取り付けられた基部と、前記基部に上下面内で回動自在に設けられて前記エアチューブと接続される接続部とから成ることを特徴とする装着ヘッド。
【請求項２】
基板を搬送して位置決めする基板搬送部と、
部品を供給する部品供給部と、
前記基板に対して移動自在に設けられ、前記部品供給部から部品を真空吸着してその部品を前記基板搬送部により位置決めされた前記基板に装着する請求項１に記載の装着ヘッドとを備えたことを特徴とする部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着ノズルにより部品を吸着する装着ヘッド及びこの装着ヘッドを備えた部品実装装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品装着装置は、基板を搬送する基板搬送部によって位置決めされた基板に部品を装着する装置であり、部品供給部が供給する部品を吸着する装着ヘッドを備えている。装着ヘッドは固定側シャフトに対して昇降自在な可動側シャフトの下端に吸着ノズルを有しており、吸着ノズルに真空圧を供給することで吸着ノズルによる部品の吸着を可能にしている。吸着ノズルに真空圧を導入する経路は、真空圧が供給されるエアチューブと、可動側シャフトに取り付けられてエアチューブから供給される真空圧を可動側シャフトの内部管路に導入する真空圧導入部を有して成り、エアチューブは真空圧導入部に対して一定の角度を保持した状態で取り付けられている。（例えば、特許文献１）。
【０００３】
上記のように真空圧導入部が可動側シャフトとともに昇降し、エアチューブが真空圧導入部に対して一定の角度を保持した状態で取り付けられている場合には、可動側シャフトの昇降動作によってエアチューブに無理な変形が与えられ、エアチューブが真空圧導入部から脱落したり損傷したりする可能性があった。このため従来、エアチューブの長さを十分に長くし、可動側シャフトの昇降動作に応じてエアチューブの屈曲状態が連動した変化をするようにして、チューブに無理な変形が与えられないようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２７８５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、エアチューブが長いと装着ヘッドの移動に伴ってエアチューブ全体が振動し、これが吸着ノズルに伝わって装着精度が悪化する場合があった。また、エアチューブが吸着ノズルと干渉してエアチューブが損傷するおそれもあった。
【０００６】
そこで本発明は、エアチューブが長いことに起因して生じる装着精度の低下やエアチューブが吸着ノズルと干渉して生じるエアチューブの損傷を防止することができる装着ヘッド及び部品実装装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の装着ヘッドは、部品実装装置に備えられ、固定側シャフトに対して昇降自在な可動側シャフトの下端に取り付けられた吸着ノズルに真空圧を供給して前記吸着ノズルに部品を吸着させる装着ヘッドであって、真空圧が供給されるエアチューブと、前記可動側シャフトに設けられ、前記エアチューブから供給される真空圧を前記可動側シャフトの内部管路に導入する真空圧導入部とを備え、前記真空圧導入部は、前記可動側シャフトに取り付けられた基部と、前記基部に上下面内で回動自在に設けられて前記エアチューブと接続される接続部とから成る。
【０００８】
請求項２に記載の部品実装装置は、基板を搬送して位置決めする基板搬送部と、部品を供給する部品供給部と、前記基板に対して移動自在に設けられ、前記部品供給部から部品を真空吸着してその部品を前記基板搬送部により位置決めされた前記基板に装着する請求項１に記載の装着ヘッドとを備えた。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、エアチューブから供給される真空圧を可動側シャフトの内部管路に導入する真空圧導入部のうち、エアチューブが接続される接続部が上下面内で回動自在になっており、固定側シャフトに対する可動側シャフトの昇降動作に応じてエアチューブが変形したときにはこれに追随して接続部が回動するので、エアチューブに無理な変形を与えない。このため従来のように、可動側シャフトの昇降動作に応じてエアチューブの屈曲状態が連動して変化するようにするためにエアチューブを長くするといった措置をとる必要はなく、相対的にエアチューブを短くすることができるので、エアチューブが長いことに起因して生じる装着精度の低下やエアチューブが吸着ノズルと干渉して生じるエアチューブの損傷を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態における部品実装装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える装着ヘッドの側面図
【図３】本発明の一実施の形態における装着ヘッドの部分拡大図
【図４】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における装着ヘッドの部分分解側面図
【図５】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における装着ヘッドの部分下方斜視図
【図６】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における装着ヘッドの部分下面図
【図７】本発明の一実施の形態における装着ヘッドの（ａ）一部断面正面図（ｂ）断面図
【図８】本発明の一実施の形態における装着ヘッドの（ａ）部分斜視図（ｂ）部分分解斜視図
【図９】本発明の一実施の形態における部品実装装置の制御系統を示すブロック図
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における装着ヘッドの動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１に示す部品実装装置１は基板２上に部品３を装着する装置であり、基台１１上に基板搬送部１２、部品供給部１３及び部品装着部１４を有して成る。
【００１２】
基板搬送部１２は同期駆動される一対の搬送コンベア１２ａによって基板２を水平面内の一の方向（Ｘ軸方向とする。オペレータＯＰから見た左右方向）に搬送して位置決めする。部品供給部１３は基台１１に着脱自在に設けられた複数のパーツフィーダ１３ａ（例えばテープフィーダ）から成り、各パーツフィーダ１３ａは部品供給口１３ｐに部品３を連続的に供給する。
【００１３】
部品装着部１４は基台１１上に設けられたヘッド移動機構１５と、ヘッド移動機構１５によって移動される装着ヘッド１６から成る。ヘッド移動機構１５は基台１１の上方をＸ軸方向と直交する水平面内方向（Ｙ軸方向とする。オペレータＯＰから見た前後方向）に延びたＹ軸テーブル１５ａ及びＸ軸方向に延びたＸ軸テーブル１５ｂを有して成り、装着ヘッド１６はＸ軸テーブル１５ｂに取り付けられている。ヘッド移動機構１５は、Ｙ軸テーブル１５ａによってＸ軸テーブル１５ｂをＹ軸方向に駆動し、Ｘ軸テーブル１５ｂによって装着ヘッド１６をＸ軸方向へ駆動することにより、装着ヘッド１６を水平面内で移動させる。装着ヘッド１６は、各パーツフィーダ１３ａが供給する部品３を吸着するための複数の吸着ノズル１６ａを備えている。
【００１４】
装着ヘッド１６には撮像視野を下方に向けた基板カメラ１７が設けられており、基台１１上の基板搬送部１２と部品供給部１３の間の位置には撮像視野を上方に向けた部品カメラ１８が設けられている。
【００１５】
図１及び図２において、装着ヘッド１６は、Ｘ軸テーブル１５ｂに取り付けられたプレート状の移動ベース２０にシャフト保持部２１を備えており、このシャフト保持部２１によって複数の固定側シャフト２２がそれぞれ上下方向に延びた状態で保持されている。各固定側シャフト２２の下部には可動側シャフト２３が収容されており、可動側シャフト２３はシャフト保持部２１の上方に設けられた昇降モータ２４に駆動されて個別に固定側シャフト２２に対して昇降する。可動側シャフト２３は固定側シャフト２２に対して上下軸（Ｚ軸とする）回りに相対回転しない非回転部２３ａと、非回転部２３ａに対して（すなわち固定側シャフト２２に対して）Ｚ軸回りに相対回転する回転部２３ｂとから成り、回転部２３ｂはシャフト保持部２１内に設けられた回転駆動部２５に駆動されて非回転部２３ａに対して回転する。なお、本実施の形態では、固定側シャフト２２及び可動側シャフト２３は、Ｘ軸方向に４列、Ｙ軸方向に２列並んでいるものとする（図１等参照）。
【００１６】
図２及び図３において、各固定側シャフト２２には吸着ノズル１６ａへの真空供給経路の一部を構成するジョイント部２６が設けられている。ジョイント部２６の上部には図示しない真空源に繋がる真空圧供給管路２７の下端部が取り付けられており、ジョイント部２６の下部にはエアチューブ２８の上端が取り付けられている。
【００１７】
図３及び図４（ａ），（ｂ）において、ジョイント部２６はハウジング部材３１、チューブ接続具３２及びフィルタ部材３３を有して成る。ハウジング部材３１内は固定側シャフト２２に対して相対的に固定して設けられており、その内部には斜め方向に延びて下方に開口した挿入穴３１ａが設けられている。チューブ接続具３２は下端側にエアチューブ２８の上端が取り付けられるチューブ上端接続部３２ａを有しており、上端側にはフィルタ部材３３を取り付けるための突起部３２ｂを有している。フィルタ部材３３は下方に開口した有底円筒状の部材から成り、円筒状の側面がフィルタ面となっている。フィルタ部材３３はチューブ接続具３２に形成された突起部３２ｂに下方開口部３３ａを嵌合させてチューブ接続具３２に取り付けられ（図４（ｂ）中に示す矢印Ａ）、チューブ接続具３２はフィルタ部材３３が取り付けられた状態で、ハウジング部材３１の挿入穴３１ａに下方から挿入取り付けされる（図４（ａ）中に示す矢印Ｂ）。
【００１８】
図３において、ハウジング部材３１の内部には、ハウジング部材内管路３４が上下方向に延びて設けられている。ハウジング部材内管路３４は、下端が挿入穴３１ａに繋がっており、上端がハウジング部材３１の上面から突出した管路接続部３１ｂに開口している。管路接続部３１ｂには、前述の真空圧供給管路２７の下端部が接続される。
【００１９】
図３及び図４（ａ），（ｂ）において、チューブ接続具３２内には軸方向に貫通して延びたチューブ接続具内管路３２ｃが形成されている。フィルタ部材３３が取り付けられた状態のチューブ接続具３２がハウジング部材３１の挿入穴３１ａに挿入され、チューブ上端接続部３２ａにエアチューブ２８の上端が接続されると、真空圧供給管路２７は、ハウジング部材内管路３４、挿入穴３１ａ、フィルタ部材３３及びチューブ接続具内管路３２ｃを介してエアチューブ２８に繋がる。
【００２０】
図４（ａ），（ｂ）に示すように、各チューブ接続具３２の外周面にはＯリング３２ｅが外嵌されている。このＯリング３２ｅは、挿入穴３１ａに挿入された状態のチューブ接続具３２を挿入穴３１ａ内に固定する役割と、チューブ接続具３２と挿入穴３１ａとの間の気密性を保つ役割とを果たす。
【００２１】
図３及び図５（ａ），（ｂ）に示すように、ジョイント部２６のハウジング部材３１にはＸ軸方向に延びた形状のスライダ３５が取り付けられている。スライダ３５はＸ軸方向に並んだ複数の張り出し片３５ａを有しており、各張り出し片３５ａにはＸ軸方向に延びた長孔から成るガイド溝３５ｂが設けられている、ハウジング部材３１には各ガイド溝３５ｂ内に位置するガイド用ボルト３１ｃが取り付けられている。
【００２２】
スライダ３５の一端部には操作部３５ｃが設けられており、この操作部３５ｃとハウジング部材３１との間にはリターンスプリング３６が縮設されている。オペレータＯＰが操作部３５ｃをリターンスプリング３６の圧縮方向に押圧すると、スライダ３５は各ガイド溝３５ｂをガイド用ボルト３１ｃに沿って移動させ、ハウジング部材３１上をＸ軸方向にスライドする。また、この状態からオペレータＯＰが操作部３５ｃの押圧をやめる（操作部３５ｃから手を離す）と、スライダ３５はリターンスプリング３６の付勢力によってもとの位置に復帰する。
【００２３】
図５（ａ），（ｂ）及び図６（ａ），（ｂ）において、スライダ３５にはハウジング部材３１にＸ軸方向に並んで設けられた複数（ここでは４つ）の挿入穴３１ａの配列に応じた配列（個数及び間隔）で複数の爪部３５ｄが設けられている。各チューブ接続具３２の外周面には周回状の係止用溝３２ｄ（図３及び図４（ａ），（ｂ））が設けられており、各爪部３５ｄは、挿入穴３１ａに挿入された状態のチューブ接続具３２の係止用溝３２ｄに横方向（Ｘ軸方向）から入り込み得るようになっている。
【００２４】
スライダ３５は、操作部３５ｃがオペレータＯＰによって押圧操作されていない状態では、ハウジング部材３１の各挿入穴３１ａに挿入されたチューブ接続具３２の係止用溝３２ｄに爪部３５ｄを係止させて、挿入穴３１ａ内にチューブ接続具３２を保持する（このときのスライダ３５の位置を「保持位置」と称する。図５（ａ）及び図６（ａ））。一方、保持位置にあるスライダ３５の操作部３５ｃがオペレータＯＰによって押圧操作された状態では、（図５（ｂ）及び図６（ｂ）。これらの図中に示す矢印Ｃ）、スライダ３５に設けられた各爪部３５ｄが各チューブ接続具３２の係止用溝３２ｄから抜け出るので、オペレータＯＰは各チューブ接続具３２をハウジング部材３１の挿入穴３１ａから下方に引き抜くことが可能となる（このときのスライダ３５の位置を「非保持位置」と称する）。
【００２５】
このように本実施の形態において、スライダ３５は、ハウジング部材３１に設けられ、挿入穴３１ａに挿入されたチューブ接続具３２に爪部３５ｄを係止させてチューブ接続具３２を挿入穴３１ａ内に保持する保持位置と、チューブ接続具３２に対する爪部３５ｄの係止を解除してチューブ接続具３２を挿入穴３１ａから抜き取り可能にする非保持との間でスライド操作されるものとなっている。
【００２６】
図２において、各可動側シャフト２３の中間部（非回転部２３ａの下端部）には真空圧導入部２９が設けられている。この真空圧導入部２９は、前述のエアチューブ２８から供給される真空圧を、吸着ノズル１６ａに繋がる可動側シャフト２３（詳細には回転部２３ｂ）の内部管路であるシャフト内管路２３ｃに導入する機能を有する。
【００２７】
真空圧導入部２９は、図７（ａ）、図７（ｂ）（この図７（ｂ）は図７（ａ）の矢視Ｖ−Ｖから見た断面図）及び図８（ａ）に示すように、可動側シャフト２３に外嵌して（詳細には可動側シャフト２３の回転部２３ｂを挿通させて）取り付けられたブロック部材５１と、ブロック部材５１からＹ軸方向に張り出して設けられた張り出し部５１ａに取り付けられた軸部材５２と、軸部材５２に取り付けられた接続部材５３を有して成る。
【００２８】
図７（ｂ）及び図８（ｂ）に示すように、接続部材５３はＸ軸方向に貫通する円筒状の貫通孔５３ａを有しており、その貫通孔５３ａにはリング状の２つのシール部材（接続部材内シール部材５３ｂ）が設けられている。軸部材５２は中央胴部５２ａが接続部材５３の貫通孔５３ａに挿入されたうえでその外周面が上記２つの接続部材内シール部材５３ｂによって支持され、中央胴部５２ａよりも外径の小さい端部胴部５２ｂがブロック部材５１の張り出し部５１ａに形成された収容孔５１ｂに嵌入されている。このため接続部材５３は軸部材５２の中央胴部５２ａ回り（軸部材５２の中心軸５２Ｊ回り）に回動自在になっている（図７（ａ）及び図８（ａ）中に示す矢印Ｄ参照）。
【００２９】
図７（ａ），（ｂ）及び図８（ｂ）において、接続部材５３にはエアチューブ２８の下端が接続されるチューブ下端接続部５４が突出して設けられている。前述の２つの接続部材内シール部材５３ｂ、接続部材５３の貫通孔５３ａの内周面及び軸部材５２の外周面と形成される空間は周回状の溝部（接続部材内周回溝５３ｃ）となっており、この接続部材内周回溝５３ｃには、チューブ下端接続部５４をその軸方向に貫通して延びたエア管路５４ａが連通している。このように本実施の形態において、真空圧導入部２９は、可動側シャフトに取り付けられた基部（ブロック部材５１及び軸部材５２）と、この基部に上下面内で回動自在に設けられてエアチューブ２８と接続される接続部（接続部材５３）から構成されている。
【００３０】
図７（ｂ）において、軸部材５２内にはその軸方向（Ｘ軸方向）に延びて形成された軸方向通路５２ｃが設けられるとともに、中央胴部５２ａ内において軸方向通路５２ｃを横断して軸部材５２の半径方向に貫通して延びた中央胴部貫通路５２ｄ（図８（ｂ）も参照）と端部胴部５２ｂ内において軸方向通路５２ｃを横断して半径方向に貫通して延びた端部胴部貫通路５２ｅ（図８（ｂ）も参照）が設けられている。中央胴部貫通路５２ｄの両端は前述の接続部材内周回溝５３ｃに開口しており、端部胴部貫通路５２ｅは、ブロック部材５１内をＹ軸方向に延びて設けられたブロック部材内通路５１ｃ（図７（ａ），（ｂ））に連通している。
【００３１】
図７（ａ）において、ブロック部材５１内には可動側シャフト２３の回転部２３ｂを挿通させるシャフト挿通孔５１ｄが上下方向に貫通して延びており、このシャフト挿通孔５１ｄの中間部にはリング状の２つのシール部材（ブロック部材内シール部材５１ｅ）が上下に配置されている。可動側シャフト２３の回転部２３ｂはブロック部材５１のシャフト挿通孔５１ｄを上下に貫通した状態で、その外周面が上記２つのブロック部材内シール部材５１ｅによって支持されている。２つのブロック部材内シール部材５１ｅ、シャフト挿通孔５１ｄの内周面及び可動側シャフト２３の回転部２３ｂの外周面によって囲まれた空間は周回状の溝部(ブロック部材内周回溝５１ｆ)となっており、このブロック部材内周回溝５１ｆには前述のブロック部材内通路５１ｃが連通している（図７（ｂ））。
【００３２】
図７（ａ），（ｂ）において、可動側シャフト２３の回転部２３ｂには、その内部管路であるシャフト内管路２３ｃを通って半径方向に貫通するシャフト連通路２３ｄが設けられており、シャフト連通路２３ｄは前述のブロック部材内周回溝５１ｆ内に開口している。このため接続部材５３のチューブ下端接続部５４に取り付けられたエアチューブ２８は、エア管路５４ａ、接続部材内周回溝５３ｃ、中央胴部貫通路５２ｄ、軸方向通路５２ｃ、端部胴部貫通路５２ｅ、ブロック部材内通路５１ｃ、ブロック部材内周回溝５１ｆ、シャフト連通路２３ｄを介してシャフト内管路２３ｃに繋がる。シャフト内管路２３ｃは、可動側シャフト２３の回転部２３ｂの下端に取り付けられた吸着ノズル１６ａの内部管路(図示せず)に繋がっているので、前述の図示しない真空源からの真空圧は、真空圧供給管路２７、ジョイント部２６、エアチューブ２８、真空圧導入部２９からシャフト内管路２３ｃを経て吸着ノズル１６ａに供給される。
【００３３】
なお、前述のように、軸部材５２に設けられた中央胴部貫通路５２ｄは周回状の接続部材内周回溝５３ｃに連通しているので、接続部材５３が軸部材５２に対して回動した場合であっても、接続部材内周回溝５３ｃと軸方向通路５２ｃとの連通状態は保持される。また同様に、可動側シャフト２３の回転部２３ｂに設けられたシャフト連通路２３ｄは周回状のブロック部材内周回溝５１ｆに連通しているので、可動側シャフト２３の回転部２３ｂが非回転部２３ａに対して（すなわち非回転部２３ａに固定されたブロック部材５１に対して）回転した場合であっても、ブロック部材内周回溝５１ｆとシャフト内管路２３ｃとの連通状態は保持される。
【００３４】
図３に示すように、ジョイント部２６に隣接した位置には真空圧供給制御用のバルブ等から成る吸着制御機構６１が設けられている。この吸着制御機構６１は信号線６２を通じて作動させることができ、これにより吸着ノズル１６ａへの真空圧の供給制御のほか、吸着ノズル１６ａへの正圧の供給制御を行うことができる。
【００３５】
図９において、基板搬送部１２（搬送コンベア１２ａ）による基板２の搬送及び位置決め動作制御、部品供給部１３（パーツフィーダ１３ａ）による部品３の供給動作制御、ヘッド移動機構１５による装着ヘッド１６の移動動作制御、昇降モータ２４による各可動側シャフト２３の昇降動作制御、回転駆動部２５による各可動側シャフト２３の回転部２３ｂのＺ軸回りの回転動作制御、吸着制御機構６１による各吸着ノズル１６ａへの真空圧（或いは正圧）の供給制御は、部品実装装置１が備える制御装置７０によってなされる。また、基板カメラ１７による撮像動作制御と部品カメラ１８による撮像動作制御は制御装置７０によってなされ、基板カメラ１７の撮像動作によって得られた画像データと部品カメラ１８による撮像動作によって得られた画像データは制御装置７０に送られ、制御装置７０が備える画像認識部７０ａにおいて画像認識がなされる。
【００３６】
次に、制御装置７０が実行する基板２への部品３の装着作業手順を説明する。制御装置７０は、先ず、部品実装装置１の上流側の他の装置から送られてきた基板２を基板搬送部１２によって搬送して所定の作業位置に位置決めする（図１）。そして、ヘッド移動機構１５により装着ヘッド１６を水平面内で移動させて、基板２の上方に基板カメラ１７を位置させ、基板２に設けられた位置認識マーク（図示せず）の撮像を行う。そして、得られた位置認識マークの画像を画像認識部７０ａにおいて画像認識することによって、基板２の正規の作業位置からの位置ずれを検出する。
【００３７】
制御装置７０は、基板２の位置ずれを検出したら、ヘッド移動機構１５の作動制御を行って装着ヘッド１６を部品供給部１３の上方に移動させ、各パーツフィーダ１３ａに部品３の供給動作を行わせるとともに、昇降モータ２４、回転駆動部２５及び吸着制御機構６１の作動制御を行い、吸着ノズル１６ａに部品３を吸着させてピックアップする。そして、吸着ノズル１６ａによりピックアップした部品３が部品カメラ１８の上方を通過するように装着ヘッド１６を移動させ、部品カメラ１８による部品３の撮像とこれにより得られた画像データの画像認識を行って、吸着ノズル１６ａに対する部品３の位置ずれ（吸着ずれ）を求める。
【００３８】
制御装置７０は、吸着ノズル１６ａに対する部品３の位置ずれを求めたら、部品３が基板２の上方に位置するように装着ヘッド１６を移動させる。そして、吸着ノズル１６ａを下降させて、部品３を基板２に装着する（図１０（ａ）→図１０（ｂ）→図１０（ｃ））。この部品３の装着時には、制御装置７０は、既に求めている基板２の位置ずれと部品３の吸着ずれが修正されるように、基板２に対する吸着ノズル１６ａの位置補正（回転補正を含む）を行う。制御装置７０は、基板２に装着すべき全ての部品３の装着が終了したら、基板搬送部１２を作動させて、基板２を部品実装装置１の外部に搬出する。
【００３９】
上記のような部品３の装着作業において、吸着ノズル１６ａに吸着させた部品３を基板２に装着するときには、可動側シャフト２３は固定側シャフト２２に対して昇降されるが、可動側シャフト２３が図１０（ａ）に示す初期位置から下降されると、可動側シャフト２３に取り付けられた真空圧導入部２９も一体となって下降する（図１０（ａ）→図１０（ｂ）→図１０（ｃ））。このとき真空圧導入部２９に接続されたエアチューブ２８の下端は下方に移動させられるが、エアチューブ２８の下端が取り付けられている真空圧導入部２９の接続部材５３はエアチューブ２８の変形に追随して軸部材５２回り、すなわち上下面内で回動するので、エアチューブ２８に無理な変形が与えられることはない。
【００４０】
また、上記のような部品３の装着作業を繰り返し実行している間、ジョイント部２６のハウジング部材３１内に収容されているフィルタ部材３３には真空エア中に含まれていた異物が付着するため、オペレータＯＰは定期的にハウジング部材３１からフィルタ部材３３を取り外して交換等する必要がある。オペレータＯＰは、ハウジング部材３１からフィルタ部材３３を取り外す場合には、ハウジング部材３１に取り付けられたスライダ３５の操作部３５ｃを押圧操作してスライダ３５を「保持位置」から「非保持位置」に位置させる。これによりスライダ３５の各爪部３５ｄは各挿入穴３１ａ内に挿入されたチューブ接続具３２の係止用溝３２ｄから外れ、オペレータＯＰは挿入穴３１ａからチューブ接続具３２を引き抜くことができるようになる。そして、引き抜いたチューブ接続具３２からフィルタ部材３３を取り外し、新品と交換等して再度チューブ接続具３２に取り付けた後、スライダ３５を操作しながら、チューブ接続具３２を挿入穴３１ａに戻す。
【００４１】
なお、スライダ３５を「保持位置」から「非保持位置」にしたときには、複数のチューブ接続具３２についての爪部３５ｄの係止が同時に外れるが、各チューブ接続具３２は前述したようにＯリング３２ｅによって挿入穴３１ａ内に固定されているので、オペレータＯＰが意図的にチューブ接続具３２を引き抜かない限りチューブ接続具３２が挿入穴３１ａから脱落することはない。このためオペレータＯＰは引き抜く対象のもののみを選択して挿入穴３１ａから引き抜き、そのうえでフィルタ部材３３の交換等の作業を行うことができる。
【００４２】
以上説明したように、本実施の形態における部品実装装置１では、エアチューブ２８から供給される真空圧を可動側シャフト２３の内部管路（シャフト内管路２３ｃ）に導入する真空圧導入部２９のうち、エアチューブ２８が接続される接続部としての接続部材５３が上下面内で回動自在になっており、固定側シャフト２２に対する可動側シャフト２３の昇降動作に応じてエアチューブ２８が変形したときにはこれに追随して接続部材５３が回動するので、エアチューブ２８に無理な変形を与えない。このため従来のように、可動側シャフト２３の昇降動作に応じてエアチューブ２８の屈曲状態が連動して変化するようにするためにエアチューブ２８を長くするといった措置をとる必要はなく、相対的にエアチューブ２８を短くすることができるので、エアチューブ２８が長いことに起因して生じる振動等による装着精度の低下やエアチューブ２８が吸着ノズル１６ａと干渉して生じるエアチューブ２８の損傷を防止することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
エアチューブが長いことに起因して生じる装着精度の低下やエアチューブが吸着ノズルと干渉して生じるエアチューブの損傷を防止することができる装着ヘッド及び部品実装装置を提供する。
【符号の説明】
【００４４】
１  部品実装装置
２  基板
３  部品
１２  基板搬送部
１３  部品供給部
１６  装着ヘッド
１６ａ  吸着ノズル
２２  固定側シャフト
２３  可動側シャフト
２３ｃ  シャフト内管路（内部管路）
２８  エアチューブ
２９  真空圧導入部
５１  ブロック部材（基部）
５２  軸部材（基部）
５３  接続部材（接続部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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