(57)【要約】【課題】逆洗に際して微粒子が逆流するおそれのない集塵設備、熱処理システム及び集塵設備の運転方法とする。【解決手段】排気ガスＧ１の集塵設備Ｘ１であって、入側流路３及び出側流路４が接続された複数のフィルタ室１１Ａ，１１Ｂと、このフィルタ室１１Ａ，１１Ｂ内に配置されたフィルタ材１２と、逆洗ガスＡによるフィルタ材１２の逆洗手段とが備わる。各フィルタ室１１Ａ，１１Ｂには、入側流路３Ａ，３Ｂ及び出側流路４Ａ，４Ｂが接続されている。加えて、入側流路３Ａ，３Ｂを各別に開閉可能な入側弁手段１５Ａ，１５Ｂ、及び出側流路４Ａ，４Ｂを各別に開閉可能な出側弁手段１６Ａ，１６Ｂが備えられ、更にフィルタ室１１Ａ，１１Ｂの内圧を開放する圧開放手段１７が備えられている。弁手段の開閉状態を切り替えることで、集塵処理を連続的に行いつつ、逆洗処理を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱処理室内を臨む摺動部を有する熱処理装置から排出された排気ガス中の微粒子を集塵して清浄ガスとして排出する設備であって、
前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路が接続されたフィルタ室と、このフィルタ室内に配置され、微粒子を集塵するフィルタ材と、前記フィルタ室内に逆洗ガスを吹き込んで前記フィルタ材を逆洗する逆洗手段とが備えられ、
前記フィルタ室が複数備わり、当該フィルタ室にはそれぞれ前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路が接続され、
前記排気ガスの入側流路を各別に開閉可能な入側弁手段、及び前記清浄ガスの出側流路を各別に開閉可能な出側弁手段が備わり、
更に前記フィルタ室の内圧を開放可能な圧開放手段が備わる、
ことを特徴とする集塵設備。
【請求項２】
前記入側弁手段が前記排気ガスの入側流路それぞれに各別に備わり、
前記出側弁手段が前記清浄ガスの出側流路それぞれに各別に備わり、
前記入側弁手段及び前記出側弁手段の開状態又は閉状態の少なくとも一方を検知する検知手段が備わる、
請求項１記載の集塵設備。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載の集塵設備と、スチームチューブドライヤ又はロータリーキルンからなる熱処理装置と、が備わる、
ことを特徴とする熱処理システム。
【請求項４】
熱処理室内を臨む摺動部を有する熱処理装置から排出された排気ガス中の微粒子を集塵して清浄ガスとして排出する設備の運転方法であり、
前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路が接続されたフィルタ室と、このフィルタ室内に配置され、微粒子を集塵するフィルタ材と、前記フィルタ室内に逆洗ガスを吹き込んで前記フィルタ材を逆洗する逆洗手段と、が備えられた集塵設備の運転方法であって、
前記集塵設備として、前記フィルタ室が複数備わり、当該フィルタ室にはそれぞれ前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路が接続され、かつ前記フィルタ材が備わる設備を用意し、
それぞれの前記フィルタ室において、前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路を開状態として前記微粒子の集塵する集塵作業と、前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路を閉状態とした後に、前記逆洗ガスを吹き込んで前記フィルタ材を洗浄する逆洗作業と、が行われ、
かつ、複数の前記フィルタ室のうち少なくとも１のフィルタ室においては前記集塵作業が行われるように、前記入側流路及び前記出側流路の開閉状態を制御する、
ことを特徴とする集塵設備の運転方法。
【請求項５】
いずれかの前記フィルタ室において逆洗作業が行われた後、他の前記フィルタ室において逆洗作業が行われるに先立って、全ての前記フィルタ室において集塵作業が行われる、
請求項４記載の集塵設備の運転方法。
【請求項６】
前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路を開状態に変えるに先立って、当該入側流路及び出側流路が接続されたフィルタ室内の圧力を開放しておく、
請求項４又は請求項５記載の集塵設備の運転方法。
【請求項７】
前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路を閉状態に変えるに先立って、開状態とされた排気ガスの入側流路及び清浄ガスの出側流路が存在することを確認する、
請求項４〜６のいずれか１項に記載の集塵設備の運転方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排気ガス中に含まれる微粒子の集塵設備、熱処理システム及び集塵設備の運転方法に関するものである。特に排気ガスが、熱処理室内を臨む摺動部を有する熱処理装置から排出される場合に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、乾燥、燃焼、熱分解、冷却等の熱処理を行う熱処理装置としては、装置が回転、又は一部が振り動くことにより被処理物を前に送りながら処理をおこなう装置があり、例えば、ロータリーキルンやスチームチューブドライヤー（ＳＴＤ）等の種々の装置が存在している。これらの熱処理装置は、熱処理室たる可動部と、可動部を支持する固定部とから構成され、可動部と固定部とが当接する摺動部を介して接続されている。しかるに、これらの熱処理装置から排出された排気ガスは、微粒子を含む場合がある。そこで、従来から、排気ガス中の微粒子を集塵する装置として、バグフィルタ装置が汎用されている。
【０００３】
このバグフィルタ装置は、排気ガスが送り込まれるフィルタ室と、このフィルタ室内に配置されたフィルタ材とで主に構成される。フィルタ室内に送り込まれた排気ガス中の微粒子は、フィルタ材によって捕捉され、フィルタ室からは清浄ガスが排出される。また、微粒子を捕捉したフィルタ材は濾過抵抗が高まる等の問題を有することから、定期的に洗浄される。
【０００４】
この洗浄の方法としては、圧縮エア等の逆洗ガスを使用してフィルタ材を逆洗する方法が存在する。この逆洗は、フィルタ室の下流側から当該フィルタ室内に逆洗ガスを吹き込み、この吹き込んだ逆洗ガスによってフィルタ材に付着した微粒子を払い落すというものである（例えば、特許文献１参照。）。この微粒子の払い落しは、特に逆洗ガスをパルス状に吹き込むと効果的に行われる。
【０００５】
以上のようなバグフィルタ装置やこのバグフィルタ装置に逆洗手段が備え付けられてなる集塵設備は、現在においても、集塵効率の向上や逆洗効率の向上等を課題して種々の改良が加えられている。また、微粒子が臭気物質である場合等、微粒子の特性に応じた改良も模索されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００６】
このように集塵設備の改良は、集塵・逆洗性能の向上等を課題とするのが一般的であり、本発明者等も種々の課題を設定して集塵設備の改良を行っている。しかるに、本発明者等は、種々の改良、試験等を行う過程において、現在の集塵設備には、全く異なる観点からの課題が存在することを認識した。
すなわち、この新たな課題は、処理の対象となる排気ガスが、熱処理室内を臨む摺動部を有する熱処理装置、例えば、ロータリーキルンやＳＴＤ等から排出される場合に生じるというものである。
より具体的には、例えば、図４に示すように、集塵設備１００の逆洗に際しては、フィルタ室１０１内に下流側から圧縮エアＡを吹き込み、フィルタ材１０２に付着した微粒子Ｚを払い落すことになる。しかるに、フィルタ材１０２から払い落された微粒子Ｚは、フィルタ室１０１の底部に堆積するのみではなく、熱処理装置１１０から排出された排気ガスＧ１を集塵設備１００に送るための流路１０３を通して熱処理装置１１０の熱処理室１１３内に逆流する。そして、この熱処理室１１３内に逆流した微粒子Ｚは、熱処理室１１３内を臨む摺動部Ｃに噛み込んでしまい、当該摺動部Ｃ自体や、この摺動部Ｃをシールするシール材を摩耗させる。
【０００７】
この点、熱処理設備１１０は、回動部１１１及び固定部１１２を有する。回動部１１１は、軸心回りに回動する部位であり、内空部が熱処理室１１３を構成する。他方、固定部１１２は、被処理物ＳやキャリアガスＧ２の供給路、あるいは排気ガスＧ１を排出する流路１０３が接続された部位であり、回動することがない。したがって、回動部１１１及び固定部１１２が接触する部位の一部は、その構造上、熱処理室１１３内を臨むことになってしまい、この部位が上記摺動部Ｃに該当し、摩耗の問題が生じる。この問題は、特に上記微粒子Ｚが硬質物質である場合は、大きなものとなる。
【０００８】
また、近年では、例えば、金属微粒子を含有するスラリーを乾燥するために、熱処理装置１１０が使用され、乾燥後に金属微粒子を排気ガスＧ１中から回収するために集塵設備１００が使用されることもある。この場合、金属微粒子は硬質物質であるため、摺動部Ｃやシール材が激しく摩耗する。しかも、摺動部Ｃやシール材を構成していた材料が、摩耗により微粒子状となって金属微粒子中に混入するため、得られる金属微粒子（製品）の品質が低下するという問題も生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−２６４５２５号公報
【特許文献２】特開２００９−６６５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明が解決しようとする主たる課題は、逆洗に際して微粒子が逆流するおそれのない集塵設備、熱処理システム及び集塵設備の運転方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この課題を解決するための本発明は、次の通りである。
〔請求項１記載の発明〕
熱処理室内を臨む摺動部を有する熱処理装置から排出された排気ガス中の微粒子を集塵して清浄ガスとして排出する設備であって、
前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路が接続されたフィルタ室と、このフィルタ室内に配置され、微粒子を集塵するフィルタ材と、前記フィルタ室内に逆洗ガスを吹き込んで前記フィルタ材を逆洗する逆洗手段とが備えられ、
前記フィルタ室が複数備わり、当該フィルタ室にはそれぞれ前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路が接続され、
前記排気ガスの入側流路を各別に開閉可能な入側弁手段、及び前記清浄ガスの出側流路を各別に開閉可能な出側弁手段が備わり、
更に前記フィルタ室の内圧を開放可能な圧開放手段が備わる、
ことを特徴とする集塵設備。
【００１２】
〔請求項２記載の発明〕
前記入側弁手段が前記排気ガスの入側流路それぞれに各別に備わり、
前記出側弁手段が前記清浄ガスの出側流路それぞれに各別に備わり、
前記入側弁手段及び前記出側弁手段の開状態又は閉状態の少なくとも一方を検知する検知手段が備わる、
請求項１記載の集塵設備。
【００１３】
〔請求項３記載の発明〕
請求項１又は請求項２記載の集塵設備と、スチームチューブドライヤ又はロータリーキルンからなる熱処理装置と、が備わる、
ことを特徴とする熱処理システム。
【００１４】
〔請求項４記載の発明〕
熱処理室内を臨む摺動部を有する熱処理装置から排出された排気ガス中の微粒子を集塵して清浄ガスとして排出する設備の運転方法であり、
前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路が接続されたフィルタ室と、このフィルタ室内に配置され、微粒子を集塵するフィルタ材と、前記フィルタ室内に逆洗ガスを吹き込んで前記フィルタ材を逆洗する逆洗手段と、が備えられた集塵設備の運転方法であって、
前記集塵設備として、前記フィルタ室が複数備わり、当該フィルタ室にはそれぞれ前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路が接続され、かつ前記フィルタ材が備わる設備を用意し、
それぞれの前記フィルタ室において、前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路を開状態として前記微粒子の集塵する集塵作業と、前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路を閉状態とした後に、前記逆洗ガスを吹き込んで前記フィルタ材を洗浄する逆洗作業と、が行われ、
かつ、複数の前記フィルタ室のうち少なくとも１のフィルタ室においては前記集塵作業が行われるように、前記入側流路及び前記出側流路の開閉状態を制御する、
ことを特徴とする集塵設備の運転方法。
【００１５】
〔請求項５記載の発明〕
いずれかの前記フィルタ室において逆洗作業が行われた後、他の前記フィルタ室において逆洗作業が行われるに先立って、全ての前記フィルタ室において集塵作業が行われる、
請求項４記載の集塵設備の運転方法。
【００１６】
〔請求項６記載の発明〕
前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路を開状態に変えるに先立って、当該入側流路及び出側流路が接続されたフィルタ室内の圧力を開放しておく、
請求項４又は請求項５記載の集塵設備の運転方法。
【００１７】
〔請求項７記載の発明〕
前記排気ガスの入側流路及び前記清浄ガスの出側流路を閉状態に変えるに先立って、開状態とされた排気ガスの入側流路及び清浄ガスの出側流路が存在することを確認する、
請求項４〜６のいずれか１項に記載の集塵設備の運転方法。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によると、逆洗に際して微粒子が逆流するおそれのない集塵設備、熱処理システム及び集塵設備の運転方法となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１の実施の形態に係る集塵設備である。
【図２】第２の実施の形態に係る集塵設備である。
【図３】第３の実施の形態に係る集塵設備である。
【図４】従来の集塵設備である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
次に、本発明を実施するための形態を説明する。なお、以下に示す実施形態の説明は、例示に過ぎず、本発明、その適用、あるいはその用途を制限することを意図するものではない。
【００２１】
〔第１の実施の形態〕
図１に、第１の実施の形態に係る集塵設備Ｘ１を示した。
本形態の集塵設備Ｘ１は、熱処理装置１１０から排出された排気ガスＧ１中の微粒子を集塵して清浄ガスＧ３として排出する設備である。熱処理装置１１０は、図４を参照しつつ説明した前述熱処理装置１１０と同様の構造を有しており、熱処理室１１３内を臨む摺動部を有する。なお、この摺動部は、図４中において符号Ｃで示す部位であるが、図１並びに以下で参照する図２及び図３においては、図面の理解を容易とするために、当該摺動部の符号を省略している。
【００２２】
熱処理装置１１０としては、例えば、ロータリーキルンやスチームチューブドライヤ（ＳＴＤ）、コールインチューブ等を例示することができる。また、熱処理としては、例えば、乾燥や燃焼、熱分解、冷却等を例示することができる。さらに、熱処理の対象となる被処理物Ｓとしては、例えば、金属微粒子等の微粒子を含有するスラリーや、微粒子の集合物自体、つまり粉体等を例示することができる。なお、微粒子は、金属微粒子に限定されず、例えば、電池、電子材、触媒食品、顔料用途向けの無機、有機微粒子等の摺動部に付着したり、摺動部を摩耗させたりするおそれのある種々のものを例示することができる。
【００２３】
熱処理装置１１０から排出された排気ガスＧ１は、ダクト等からなる入側流路３を通して集塵設備Ｘ１に送られる。入側流路３は、先端側、つまり集塵装置Ｘ１側が２以上の複数路に、図示例では第１の入側流路３Ａ及び第２の入側流路３Ｂに分岐している。
【００２４】
第１の入側流路３Ａには第１の入側開閉弁１５Ａが備えられており、当該第１の入側開閉弁１５Ａの開閉に応じて第１の入側流路３Ａ内を流れる排気ガスＧ１の流通が制御可能となるように構成されている。同様に、第２の入側流路３Ｂには第２の入側開閉弁１５Ｂが備えられており、当該第２の入側開閉弁１５Ｂの開閉に応じて第２の入側流路３Ｂ内を流れる排気ガスＧ１の流通が制御可能となるように構成されている。
【００２５】
第１の入側開閉弁１５Ａ及び第２の入側開閉弁１５Ｂ、並びに後述する第１の出側開閉弁１６Ａ及び第２の出側開閉弁１６Ｂとしては、例えば、バタフライ弁、ボール弁、グローブ弁、スライドゲート等を使用することができる。また、本形態の集塵設備Ｘには、これらの開閉弁１５Ａ，１５Ｂ，１６Ａ，１６Ｂの開閉状態を検知するリミットスイッチや開閉センサ等の図示しない検知手段を備えるとより好適なものとなる。好適である理由については、後述する。なお、開閉弁１５Ａ，１５Ｂ，１６Ａ，１６Ｂの開閉状態は開状態、閉状態の少なくとも一方を検知できれば良いが、具体的開度を検知する手段を用いることもできる。
【００２６】
なお、以下では、第１の入側開閉弁１５Ａ及び第２の入側開閉弁１５Ｂを単に「入側開閉弁１５Ａ，１５Ｂ」ともいい、同様に、第１の出側開閉弁１６Ａ及び第２の出側開閉弁１６Ｂを単に「出側開閉弁１５Ａ，１５Ｂ」ともいう。また、第１の入側開閉弁１５Ａ及び第１の出側開閉弁１６Ａを単に「第１の開閉弁１５Ａ，１６Ａ」ともいい、同様に、第２の入側開閉弁１５Ａ及び第２の出側開閉弁１６Ｂを単に「第２の開閉弁１５Ｂ，１６Ｂ」ともいう。
【００２７】
第１の入側流路３Ａ内や第２の入側流路３Ｂ内を流れた排気ガスＧ１は、集塵設備Ｘ１を構成するバグフィルタ装置によって集塵処理される。このバグフィルタ装置は、２以上の複数のフィルタ室を備えている。図示例では複数のフィルタ室を備えたバグフィルタ装置を採用したが、本発明は１台のバグフィルタにより構成されるものに限定されない。例えば、１のフィルタ室を備えたバグフィルタを２台以上並列に設置し、複数台のバグフィルタからなるバグフィルタ装置としても良い。
【００２８】
本形態においては、第１の入側流路３Ａが接続された第１のフィルタ室１１Ａ及び第２の入側流路３Ｂが接続された第２のフィルタ室１１Ｂを有する。第１の入側流路３Ａ内を流れた排気ガスＧ１は第１のフィルタ室１１Ａ内に流入し、第２の入側流路３Ｂ内を流れた排気ガスＧ１は第２のフィルタ室１１Ｂ内に流入する。
【００２９】
複数のフィルタ室内には、それぞれ排気ガスＧ１中の微粒子を捕捉するフィルタ材が備えられている。図示例では、第１のフィルタ室１１Ａ内に第１のフィルタ材１２Ａが備えられており、この第１のフィルタ材１２Ａによって第１のフィルタ室１１Ａ内が上流側の集塵領域と下流側の清浄領域とに分割されている。同様に、第２のフィルタ室１１Ｂ内には第２のフィルタ材１２Ｂが備えられており、この第２のフィルタ材１２Ｂによって第２のフィルタ室１１Ｂ内が上流側の集塵領域と下流側の清浄領域とに分割されている。
【００３０】
第１のフィルタ室１１Ａ内に流入した排気ガスＧ１は、第１のフィルタ材１２Ａを通過する際に、当該排気ガスＧ１中に含まれる微粒子が捕捉されて清浄ガスＧ３なる。同様に、第２のフィルタ室１１Ｂ内に流入した排気ガスＧ１は、第２のフィルタ材１２Ｂを通過する際に、当該排気ガスＧ１中に含まれる微粒子が捕捉されて清浄ガスＧ３となる。
【００３１】
第１のフィルタ室１１Ａ及び第２のフィルタ室１１Ｂを有するバグフィルタ装置には、清浄ガスＧ３が流れるダクト等からなる出側流路４が接続されている。この出側流路４は、基端側、つまりバグフィルタ装置側が２以上の複数路に、図示例では第１の出側流路４Ａ及び第２の出側流路４Ｂに分岐している。第１のフィルタ室１１Ａ内の清浄ガスＧ３は、第１の出側流路４Ａを通して排出される。同様に、第２のフィルタ室１１Ｂ内の清浄ガスＧ３は、第２の出側流路４Ｂを通して排出される。なお、出側流路４の先端側に備えられた符号Ｂで示す装置は、吸引ブロワ等からなる吸引手段である。
【００３２】
第１の出側流路４Ａには第１の出側開閉弁１６Ａが備えられており、当該第１の出側開閉弁１６Ａの開閉に応じて第１の出側流路４Ａ内を流れる清浄ガスＧ３の流通が制御可能となるように構成されている。同様に、第２の出側流路４Ｂには第２の出側開閉弁１６Ｂが備えられており、当該第２の出側開閉弁１６Ｂの開閉に応じて第２の出側流路４Ｂ内を流れる清浄ガスＧ３の流通が制御可能となるように構成されている。
【００３３】
また、第１の出側開閉弁１６Ａよりも上流側の第１の出側流路４Ａには分岐路が接続されており、この分岐路には圧開放手段たる逆止弁１７Ａが備えられている。同様に、第２の出側開閉弁１６Ｂよりも上流側の第２の出側流路４Ｂには分岐路が接続されており、この分岐路には圧開放手段たる逆止弁１７Ｂが備えられている。逆止弁１７Ａ，１７Ｂは、清浄ガスＧ３や後述する圧縮エアＡ等のガスが出側流路４Ａ，４Ｂ側から分岐路を通って系外に流れるが、系外のガスが分岐路内には流入しないように構成されている。
【００３４】
また、入側開閉弁１５Ａ，１５Ｂ及び出側開閉弁１６Ａ，１６Ｂは、図示しない制御手段によって開閉制御される。この制御手段には、各弁に設置されたリミットスイッチや開閉センサ等の検知手段から入側開閉弁１５Ａ，１５Ｂ及び出側開閉弁１６Ａ，１６Ｂの開閉状態が入力され、各弁の開閉状態が所望の状態となるよう各弁に対して開閉信号を発信する。
【００３５】
次に、集塵設備Ｘ１の運転方法の一例を説明する。
本形態の運転方法においては、まず、必要により、全ての開閉弁１５Ａ，１５Ｂ，１６Ａ，１６Ｂをいったん開状態とする。この開状態は、前述検知手段を使用する等して確認することができる。
【００３６】
次に、第１の開閉弁１５Ａ，１６Ａ及び第２の開閉弁１５Ｂ，１６Ｂのいずれか一方の開閉弁を、例えば、第２の開閉弁１５Ｂ，１６Ｂを閉状態に変える。この状態においては、熱処理装置１００から排出された排気ガスＧ１が、第１の入側流路３Ａを通して所定のフィルタ室たる第１のフィルタ室１１Ａ内に流入する。第１のフィルタ室１１Ａ内に流入した排気ガスＧ１は、第１のフィルタ材１２Ａによって当該排気ガスＧ１中の微粒子が捕捉された後、つまり集塵処理をされた後、清浄ガスＧ３として第１の出側流路４Ａを通して排出される（集塵工程）。他方、第２の開閉弁１５Ｂ，１６Ｂは閉状態とされているため、他のフィルタ室たる第２のフィルタ室１１Ｂ内には排気ガスＧ１が流入することがなく、集塵処理という観点では第２のフィルタ室１１Ｂが系外におかれることになる。
【００３７】
次に、第１の開閉弁１５Ａ，１６Ａを閉状態に変えると共に、第２の開閉弁１５Ｂ，１６Ｂを開状態に変える。この状態においては、熱処理装置１１０から排出された排気ガスＧ１は、第２の入側流路３Ｂを通して第２のフィルタ室１１Ｂ内に流入する。第２のフィルタ室１１Ｂ内に流入した排気ガスＧ１は、第２のフィルタ材１２Ｂによって当該排気ガスＧ１中の微粒子が捕捉された後、つまり集塵処理をされた後、清浄ガスＧ３として第２の出側流路４Ｂを通して排出される。他方、第１の開閉弁１５Ａ，１６Ａは閉状態に変わっているため、第１のフィルタ室１１Ａ内には排気ガスＧ１が流入しなくなり、集塵処理という観点では第１のフィルタ室１１Ａが系外におかれることになる。
【００３８】
ところで、第１の開閉弁１５Ａ，１６Ａを閉状態に変えるのと、第２の開閉弁１５Ｂ，１６Ｂを開状態に変えるのとは同時に行うこともできるが、全ての開閉弁１５Ａ，１５Ｂ，１６Ａ，１６Ｂが閉状態になると問題が生じるおそれがある。
すなわち、熱処理装置１１０の熱処理室１１３内にはキャリアガスＧ２が流入し続けるため、全ての開閉弁１５Ａ，１５Ｂ，１６Ａ，１６Ｂが閉状態になると、排気ガスＧ１の行き場がなくなり、熱処理装置内の温度変化、圧力上昇を惹き起こしたり、熱処理室１１３内の微粒子が滞留して摺動部に噛み込んだりするおそれがある。
【００３９】
そこで、開閉弁１５Ａ，１５Ｂ，１６Ａ，１６Ｂの開閉状態を変えるにあたっては、まず、第２の開閉弁１５Ｂ，１６Ｂを開状態に変え、前述検知手段を使用してこの開状態を確認した後、第１の開閉弁１５Ａ，１６Ａを閉状態に変えるのが好ましい。この形態によると、全ての開閉弁１５Ａ，１５Ｂ，１６Ａ，１６Ｂが開状態になっている間、第１のフィルタ室１１Ａ及び第２のフィルタ室１１Ｂの両方に排気ガスＧ１が流入し、両フィルタ室１１Ａ，１１Ｂにおいて集塵処理が行われることになるが、このことによる問題は特に存在せず、逆に、上記排気ガスＧ１の行き場がなくなるとの問題が解決される。なお、この趣旨から明らかな通り、第２の開閉弁１５Ｂ，１６Ｂを開状態は、全開状態に限定されず、少なくとも第２のフィルタ室１１Ｂ内を排ガスＧ１が通過できるだけの開度となっていればよい。
【００４０】
以上のようにして第１の開閉弁１５Ａ，１６Ａを閉状態とし、第２の開閉弁１５Ｂ，１６Ｂを開状態としたら、図示しない逆洗手段を使用して第１のフィルタ材１２Ａの逆洗を行う（逆洗工程）。この逆洗工程では、逆洗ガス、図示例では圧縮エアＡをフィルタ材１２Ａの清浄領域側表面から集塵領域側表面に向けて噴射する。圧縮ガスＡは、例えばパルス状に吹き込むことで行うことができる。この圧縮エアＡの吹き込みにより、フィルタ材１２Ａに付着している微粒子は、当該フィルタ材１２Ａから払い落される。この点、従来の集塵設備（１００）であれば、払い落された微粒子が入側流路を通して熱処理室１１３内に逆流するおそれが存在した。しかるに、本形態の集塵設備Ｘ１においては、入側流路３Ａが第１の入側開閉弁１５Ａによって閉じられており、第１のフィルタ室１１Ａが系外とされているため、微粒子が逆流するおそれはない。
【００４１】
以後、第１の開閉弁１５Ａ，１６Ａ及び第２の開閉弁１５Ｂ，１６Ｂの開閉状態の切り替えを繰り返すことで、集塵処理を連続的に行いつつ、フィルタ材１２Ａ，１２Ｂの逆洗も定期的に行うことができる。ただし、例えば、第１の開閉弁１５Ａ，１６Ａ、又は第２の開閉弁１５Ｂ，１６Ｂを閉状態とするに先立って、第１の開閉弁１５Ａ，１６Ａ及び第２の開閉弁１５Ｂ，１６Ｂの両方を開状態とし、第１のフィルタ室１１Ａ及び第２のフィルタ室１１Ｂの両方において集塵作業を行い、その後、第１の開閉弁１５Ａ，１６Ａ、又は第２の開閉弁１５Ｂ，１６Ｂを閉状態とすることもできる。つまり、本発明は、複数のフィルタ室のいずれかにおいて常に逆洗作業が行われていなければならないとするものではなく、複数のフィルタ室のうち少なくとも１のフィルタ室において集塵作業が行われている限り、適宜いずれかのフィルタ室において逆洗作業を行うことができるとするものであり、したがって、全てのフィルタ室において集塵作業が行われている状態も想定することができる。
【００４２】
なお、逆洗工程を実施するタイミングは、タイマーにより所定の時間経過毎に行うことや、フィルタ室の圧力損失を計測し、圧力損失が所定の数値以上となった場合に行うなどの制御により行うことができる。
【００４３】
ところで、フィルタ材１２Ａ，１２Ｂの逆洗を行うために圧縮エアＡをフィルタ室１１Ａ，１１Ｂ内に吹き込むと、特にパルス状に吹き込むと、当該フィルタ室１１Ａ，１１Ｂの内圧が上昇する。そして、フィルタ室１１Ａ，１１Ｂの内圧が上昇した状態において入側開閉弁１５Ａ，１５Ｂを閉状態から開状態に変えると、フィルタ室１１Ａ，１１Ｂ内の微粒子が入側流路３Ａ，３Ｂを通して熱処理室１１３内に逆流するおそれがある。しかしながら、本形態の集塵設備Ｘ１においては、出側流路４Ａ，４Ｂから分岐する分岐路の途中に圧開放手段たる逆止弁１７Ａ，１７Ｂが備えられている。したがって、当該逆止弁１７Ａ，１７Ｂを通してフィルタ室１１Ａ，１１Ｂの内圧が開放されるため、入側開閉弁１５Ａ，１５Ｂを開状態に変えた際にフィルタ室１１Ａ，１１Ｂ内から熱処理室１１３に向かってガスが流れるおそれはなく、フィルタ室１１Ａ，１１Ｂ内の微粒子が入側流路３Ａ，３Ｂを通して熱処理室１１３内に逆流するおそれがない。
【００４４】
なお、分岐路は出側流路４Ａ，４Ｂに接続されており、出側流路４Ａ，４Ｂはフィルタ室１２Ａ，１２Ｂの清浄領域側に接続されているため、逆止弁１７Ａ，１７Ｂを通してフィルタ室１１Ａ，１１Ｂ内の微粒子が流出するおそれはない。また、出側開閉弁１６Ａ，１６Ｂを先に開方向に駆動させた後、入側開閉弁１５Ａ，１５Ｂを開方向に駆動させることで、逆止弁１７Ａ，１７Ｂが作動しない場合であってもフィルタ内の圧力を出側流路４Ａ、４Ｂに開放することができる。
【００４５】
〔第２の実施の形態〕
次に、図２を参照しつつ、第２の実施の形態に係る集塵設備Ｘ２について、第１の実施の形態に係る集塵設備Ｘ１と相違する点を中心に説明する。
本形態の集塵設備Ｘ２も、熱処理装置１１０から排出された排気ガスＧ１中の微粒子を集塵して清浄ガスＧ３として排出する設備である。しかるに、本形態の集塵設備Ｘ２は、以下の点において前述した集塵設備Ｘ１と相違している。
【００４６】
まず、集塵設備Ｘ１においては、入側弁手段が、第１の入側流路３Ａの途中に備わる第１の入側開閉弁１５Ａと、第２の入側流路３Ｂの途中に備わる第２の入側開閉弁１５Ｂとで構成されていた。しかるに、集塵設備Ｘ２においては、入側弁手段が、入側流路３が第１の入側流路３Ａ及び第２の入側流路３Ｂに分岐する位置に備わる三方弁１５Ｃで構成されている。この三方弁１５Ｃを制御することで、入側流路３Ａ，３Ｂを各別に開閉することができ、具体的には、排気ガスＧ１が第１の入側流路３Ａ内においてのみ流通するように、又は第２の入側流路３Ｂ内においてのみ流通するように切り換えることができる。
【００４７】
同様に、集塵設備Ｘ１においては、出側弁手段が、第１の出側流路４Ａの途中に備わる第１の出側開閉弁１６Ａと、第２の出側流路４Ｂの途中に備わる第２の出側開閉弁１６Ｂとで構成されていた。しかるに、集塵設備Ｘ２においては、出側弁手段が、第１の出側流路４Ａ及び第２の出側流路４Ｂが合流する位置に備わる三方弁１６Ｃで構成されている。この三方弁１６Ｃを制御することで、出側流路４Ａ，４Ｂを各別に開閉することができ、具体的には、清浄ガスＧ３が第１の出側流路４Ａ内においてのみ流通するように、又は第２の出側流路４Ｂ内においてのみ流通するように切り替えることができる。
【００４８】
この第２の実施形態によると、入側弁手段及び出側弁手段がシンプルな構造になるため、設備コストを下げることができる。また、三方弁１５Ｃ，１６Ｃは、第１の入側流路３Ａ又は第２の入側流路３Ｂの一方、あるいは第１の出側流路４Ａ又は第２の出側流路４Ｂの一方にしか排気ガスＧ１や清浄ガスＧ３を流通させない構造となっている。したがって、開閉弁を使用した場合におけるような誤動作の問題、例えば、誤動作によって逆洗中にフィルタ室１１Ａ，１１Ｂ内のガスが熱処理室１１３に逆流してしまうような問題が生じるのを避けることができる。また、集塵処理及び逆洗処理の切替えを迅速に行うことができ、場合によって検知手段の設置を不要とすることもできる。
【００４９】
〔第３の実施の形態〕
次に、図３を参照しつつ、第３の実施の形態に係る集塵設備Ｘ３について、第２の実施の形態に係る集塵設備Ｘ２と相違する点を中心に説明する。
本形態の集塵設備Ｘ３も、熱処理装置１１０から排出された排気ガスＧ１中の微粒子を集塵して清浄ガスＧ３として排出する設備である。しかるに、本形態の集塵設備Ｘ３は、以下の点において前述した集塵設備Ｘ２と相違している。
【００５０】
まず、集塵設備Ｘ２においては、第１のフィルタ室１１Ａ及び第２のフィルタ室１１Ｂが各別の集塵容器によって構成されていた。しかるに、集塵設備Ｘ３においては、１つの集塵容器１１の内空部が隔壁１１ｘによって仕切られることで複数のフィルタ室が形成されており、図示例では第１のフィルタ室１１Ａ及び第２のフィルタ室１１Ｂが形成されている。
【００５１】
また、この集塵設備Ｘ３においては、入側流路３Ａ，３Ｂがフィルタ室１１Ａ，１１Ｂの底面に接続されている。同様に、出側流路４Ａ，４Ｂがフィルタ室１１Ａ，１１Ｂの天面に接続されている。
【００５２】
なお、集塵設備Ｘ３においては、集塵設備Ｘ２と同様に、入側弁手段が三方弁１５Ｃによって構成され、出側弁手段が三方弁１６Ｃによって構成されている。しかるに、集塵設備Ｘ１の場合と同様に、集塵設備Ｘ３においても、入側弁手段を入側開閉弁１５Ａ，１５Ｂで構成し、出側弁手段を出側開閉弁１６Ａ，１６Ｂで構成することができる。
【００５３】
〔その他〕
以上の第１の実施形態から第３の実施形態においては、フィルタ室が２室存在する場合を説明したが、必要により、３室以上の複数室とすることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、熱処理室内を臨む摺動部を有する熱処理装置から排出された排気ガス中に含まれる微粒子の集塵設備、熱処理システム及び集塵設備の運転方法として適用可能である。
【符号の説明】
【００５５】
３…入側流路、３Ａ…第１の入側流路、３Ｂ…第２の入側流路、４…出側流路、４Ａ…第１の出側流路、４Ｂ…第２の出側流路、１１Ａ…第１のフィルタ室、１１Ｂ…第２のフィルタ室、１２Ａ…第１のフィルタ材、１２Ｂ…第２のフィルタ材、１５Ａ…第１の入側開閉弁、１５Ｂ…第２の入側開閉弁、１５Ｃ…三方弁、１６Ａ…第１の出側開閉弁、１６Ｂ…第２の出側開閉弁、１６Ｃ…三方弁、１７Ａ…第１の逆止弁、１７Ｂ…第２の逆止弁、１００…熱処理手段、１０１…フィルタ室、１０２…フィルタ材、１１１…回動部、１１２…固定部、１１３…熱処理室、Ａ…エア（空気）、Ｃ…摺動部、Ｇ１…排気ガス、Ｇ２…キャリアガス、Ｇ３…清浄ガス、Ｘ１〜３…集塵設備。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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