(57)【要約】【課題】回折光学素子を用いた場合であっても被加工物に対する加工を高精度且つ一括して行うことが可能なレーザー加工方法を提供する。【解決手段】被加工物に向けて射出されたレーザー光の形状を、回折光学素子を用いて第１パターンに整形する第１整形手段と、第１パターンに整形されたレーザー光を、マスクを用いて所定パターンに対応する第２パターンに整形する第２整形手段と、を備え、第２パターンに整形されたレーザー光を用いて被加工物を一括加工することを特徴とするレーザー加工装置に関する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物に向けて射出されたレーザー光の形状を、回折光学素子を用いて第１パターンに整形する第１整形手段と、
前記第１パターンに整形された前記レーザー光を、マスクを用いて所定パターンに対応する第２パターンに整形する第２整形手段と、
を備え、
前記第２パターンに整形された前記レーザー光を用いて被加工物を一括加工するレーザー加工装置
【請求項２】
前記第１整形手段において、前記第１パターンと前記所定パターンとは互いが類似している
請求項１に記載のレーザー加工装置。
【請求項３】
前記第１整形手段において、前記第１パターンは、前記所定パターンよりも線幅が僅かに大きい
請求項２に記載のレーザー加工装置。
【請求項４】
レーザー光を用いて被加工物を所定パターンに加工するレーザー加工方法において、
前記被加工物に向けて射出された前記レーザー光の形状を、回折光学素子を用いて第１パターンに整形する第１整形工程と、
前記第１パターンに整形された前記レーザー光を、マスクを用いて前記所定パターンに対応する第２パターンに整形する第２整形工程と、
前記第２パターンに整形された前記レーザー光を用いて被加工物を一括加工する加工工程と、
を含むレーザー加工方法。
【請求項５】
前記第１整形工程において、前記第１パターンと前記所定パターンとは互いが類似している
請求項４に記載のレーザー加工方法。
【請求項６】
前記第１整形工程において、前記第１パターンは、前記所定パターンよりも線幅が僅かに大きい
請求項５に記載のレーザー加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー加工装置およびレーザー加工方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、回折光学素子を用いたレーザー加工技術が知られている。この技術では、レーザー光を回折光学素子へ入射させることにより当該レーザー光を複数のビームに分岐し、これら複数のビームを被加工物へ照射することで穴開けや切断等といった種々の加工が可能となっている（例えば、下記特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２６３８７６号公報
【特許文献２】特開２００６−２６７２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年ではレーザー加工技術の利用分野が多岐に亘るため、加工内容によっては非常に複雑且つ微細な形状が必要となる。しかしながら、上述のような回折光学素子を用いたレーザー加工技術では、例えば、数μｍ以下の微細で複雑な形状を有するパターンを被加工物に広範囲で一括加工することが難しかった。
【０００５】
本発明の一つの態様は、上記の課題を解決するためになされたものであって、回折光学素子を用いた場合であっても被加工物に対する加工を高精度且つ一括して行うことが可能なレーザー加工装置およびレーザー加工方法を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１態様に従えば、被加工物に向けて射出されたレーザー光の形状を、回折光学素子を用いて第１パターンに整形する第１整形手段と、前記第１パターンに整形された前記レーザー光を、マスクを用いて所定パターンに対応する第２パターンに整形する第２整形手段と、を備え、前記第２パターンに整形された前記レーザー光を用いて被加工物を一括加工するレーザー加工装置が提供される。
【０００７】
第１態様に係るレーザー加工装置によれば、回折光学素子で整形したレーザー光の形状を、マスクによる再整形によって高精度に整形することができる。よって、被加工物に対するレーザー加工を高精度且つ一括して行うことができる。
【０００８】
上記第１態様において、前記第１整形手段において、前記第１パターンと前記所定パターンとは互いが類似しているのが好ましい。
この構成によれば、マスクに入射するレーザー光が所定パターンと類似しているので、マスクを通過する際のエネルギーロスを抑えることができる。よって、レーザー光の出力が抑えられることでエネルギー利用効率の高い加工を行うことが可能となるので、消費電力が抑えられることで加工に要するコスト低減が図られる。
【０００９】
上記構成において、前記第１整形手段において、前記第１パターンは、前記所定パターンよりも線幅が僅かに大きいのが好ましい。
このようにすれば、第１パターンに整形されたレーザー光がマスクを通過する際のエネルギーロスが最小限に抑えられる。
【００１０】
本発明の第２態様に従えば、レーザー光を用いて被加工物を所定パターンに加工する加工方法において、前記被加工物に向けて射出された前記レーザー光の形状を、回折光学素子を用いて第１パターンに整形する第１整形工程と、前記第１パターンに整形された前記レーザー光を、マスクを用いて前記所定パターンに対応した第２パターンに整形する第２整形工程と、前記第２パターンに整形された前記レーザー光を用いて被加工物を一括加工する加工工程と、を含むレーザー加工方法が提供される。
【００１１】
第２態様に係るレーザー加工方法によれば、回折光学素子で整形したレーザー光の形状を、マスクによる再整形によって高精度に整形することができる。よって、被加工物に対するレーザー加工を高精度且つ一括して行うことができる。
【００１２】
上記第２態様において、前記第１整形工程において、前記第１パターンと前記所定パターンとは互いが類似しているのが好ましい。
この構成によれば、マスクに入射するレーザー光が所定パターンと類似しているので、マスクを通過する際のエネルギーロスを抑えることができる。よって、レーザー光の出力が抑えられることでエネルギー利用効率の高い加工を行うことが可能となるので、消費電力が抑えられることで加工に要するコスト低減を図ることができる。
【００１３】
上記構成において、前記第１整形工程において、前記第１パターンは、前記所定パターンよりも線幅が僅かに大きくするのが望ましい。
このようにすれば、第１パターンに整形されたレーザー光がマスクを通過する際のエネルギーロスが最小限に抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】ソーラーウオッチの概略構成を示す正面図。
【図２】ソーラーウオッチの要部構成を示す断面図。
【図３】（ａ）は太陽電池セルの断面図、（ｂ）は太陽電池セルの平面図。
【図４】レーザー加工装置の概略構成を示す図。
【図５】太陽電池パネルの断面構成を示す図。
【図６】レーザー加工方法を示すフロー図。
【図７】加工工程終了後の太陽電池パネルの状態を示す断面図。
【図８】太陽電池パネルの切断工程を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明のレーザー加工方法の一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施形態では、レーザー加工方法を太陽光発電方式の腕時計（以下、ソーラーウオッチと称す）の製造工程の一部に適用した場合を例に挙げて説明する。なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１６】
はじめに本実施形態に係るレーザー加工方法の説明に先立ち、本レーザー加工方法を用いて製造されたソーラーウオッチの概略構成を説明する。図１は、ソーラーウオッチの概略構成を示す正面図である。図２は、ソーラーウオッチの要部構成を示す断面図である。
【００１７】
図１に示すように、ソーラーウオッチ１は、ケース２と、ケース２に連結された一対のバンド３と、を備える。ケース２は、ステンレス等の金属材又はプラスチック樹脂等の樹脂材で形成されたものである。ケース２の内部には、図２に示すように、ムーブメント４と、太陽電池セル５と、文字盤６と、二次電池７と、が収容されている。
【００１８】
なお、ケース２内には、文字盤６側（時計表側）に、樹脂製又は金属製の圧入リング（図示せず）を介して、ガラス製又は樹脂製の透明カバー（図示せず）が圧入固定されている。また、ムーブメント４側（時計裏側）には、パッキン（図示せず）を介して裏蓋（図示せず）が螺合され、この裏蓋及び透明カバーによってケース２の内部の密封性が確保されている。
【００１９】
ケース２には、図１に示すように、操作子としての竜頭１９と二つの操作ボタン１１ａ、１１ｂとが設けられている。竜頭１９は、ムーブメント４に連結されている。
ムーブメント４は、秒針２１、分針２２及び時針２３からなるアナログ指針が連結された運針機構４ａを含み、運針機構４ａは文字盤６及び太陽電池セル５に設けられた貫通孔を介して表示面側に引き出されている。この運針機構４ａが前記アナログ指針（秒針２１、分針２２及び時針２３）を回転駆動することにより、設定された時刻（通常は現在時刻）を表示する時刻表示部として機能するようになっている。なお、ムーブメント４は、二次電池７或いは太陽電池セル５から供給される電力によって駆動される。
【００２０】
図３は太陽電池セル５の概略構成を示す図であり、図３（ａ）は断面図であり、図３（ｂ）は平面図である。太陽電池セル５は、図３（ａ）に示すように、一対の電極３０、３１と、これら電極３０、３１間に挟持された発電層３２と、を含む。
【００２１】
太陽電池セル５の上面側（文字盤６側）に配置される電極３０は、透明電極材料から構成される。本実施形態において、電極３０は、例えば、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）から構成され、厚さが７０ｎｍ程度である。
一方、太陽電池セル５の下面側（ムーブメント４側）に配置される電極３１は、透明である必要は無く、例えばＳＵＳ等の金属材料から構成され、厚さが０．１ｍｍ程度である。発電層３２は、例えば、厚さが５００ｎｍ程度のアモルファスシリコン層から構成され、入射した光に基づいて発電する機能を有する。
【００２２】
本実施形態において、図３（ｂ）に示すように、太陽電池セル５は、平面視した状態において、円形状からなる。太陽電池セル５において、発電層３２及び電極３１の端面は一致しているが、電極３０の端面は発電層３２及び電極３１の端面よりも内側に入り込んだ状態となっている。これは、後述のように電極３１が本実施形態に係るレーザー加工方法によってパターニングされたことで生じた形状である。
【００２３】
電極３０、３１は、二次電池７に電気的に接続されている。発電層３２が発電した電力は二次電池７に充電される。本実施形態において、二次電池７は、例えば、リチウムイオン電池やニッケル水素電池等から構成される。
【００２４】
図１、２に示したように、文字盤６は、基板６ａと、装飾部材６ｂとを含む。基板６ａは、例えば、プラスチック等の光透過性を有する基板から構成される。基板６ａを通過した光が太陽電池セル５に入射する。そのため、太陽電池セル５において十分な発電量を得るために基板６ａとしては光透過率の高いものを用いるのが好ましい。
【００２５】
次に、上記太陽電池セル５の製造工程に用いたレーザー加工装置及び該レーザー加工装置において実行される本実施形態に係るレーザー加工方法について説明する。
図４は、本実施形態に係るレーザー加工を行うためのレーザー加工装置の概略構成を示す図である。
【００２６】
図４に示すように、レーザー加工装置１００は、ステージ９と、レーザー光生成部１００Ａと、レーザー光整形部１００Ｂと、を有する。
【００２７】
ステージ９は、上記被加工物Ｘを載置するためのものである。ステージ９は、被加工物Ｘを載置する載置面９ａが不図示の駆動装置により移動可能とされている。これにより、ステージ９の載置面９ａは、被加工物Ｘを様々な状態で保持した状態でレーザー加工を行うことが可能となっている。これにより、レーザー加工装置１００は、被加工物Ｘに対して様々な方向からレーザー光を入射させることができ、被加工物Ｘを所望の形状に加工することができる。
【００２８】
レーザー光生成部１００Ａは、レーザー発振器１０と、シャッター１１と、アッテネータ１２と、テレスコープレンズ１３と、ホモジナイザー１４と、フィールドレンズ１５と、を含む。レーザー光整形部１００Ｂは、回折光学素子１６と、マスク１７と、を含む。
【００２９】
レーザー発振器１０は、例えば、赤外波長域（近赤外域、および遠赤外域を含む）又は紫外線波長域（近紫外域、および縁紫外域を含む）のレーザー光Ｌを発振する。シャッター１１は、レーザー発振器１０のレーザー発振側に配置され、開閉することによってレーザー光Ｌが被加工物に照射される状態と照射されない状態とを切り替え可能としている。アッテネータ１２は、レーザー発振器１０から発振されたレーザー光Ｌの出力を調整する減衰器である。アッテネータ１２により出力が調整されたレーザー光Ｌは、テレスコープレンズ１３を経てホモジナイザー１４に入射する。このとき、レーザー光Ｌは、ホモジナイザー１４の光軸と平行になるように入射する。レーザー光Ｌはホモジナイザー１４を通過することで強度分布が均一化される。その後、レーザー光Ｌは、フィールドレンズ１５を介して平行光に変換された状態で回折光学素子１６に入射する。
【００３０】
回折光学素子（Digital Optics Elements）１６は、例えば石英ガラスから構成され、レーザー光Ｌを第１パターンに整形する後述の第１整形工程Ｓ１（図６参照）を行うためのものである。回折光学素子１６は、第１パターンＰ１に対応する微細な凹凸パターンを有する。この凹凸パターンは、例えば、コンピューターシミュレーションで設計されており、例えば、エッチング、マイクロマシン、レプリケーション又はリソグラフィー等により形成される。
【００３１】
この構成に基づき、回折光学素子１６は、レーザー光Ｌを通過させることで第１パターンＰ１に整形することができる。本実施形態において、第１パターンＰ１とは、最終的な目標となるリング状の加工パターン（所定パターン）Ｐと類似したパターンをいう。回折光学素子１６は、１０ｍｍ程度のビーム径からなるレーザー光Ｌを整形することで３０ｍｍ程度の外形を有するリング状のレーザー光Ｌ１に整形する。
本実施形態において、レーザー加工装置１００では、回折光学素子１６にレーザー光Ｌを入射させることで該レーザー光Ｌのビーム径をレーザー発振器１０のレーザー発振時に比べて拡大させている。そのため、レーザー加工装置１００は、レーザー発振器１０としてビーム径の小さい小型のものを搭載している。
【００３２】
ここで、加工パターンに類似するパターンとは、少なくとも加工パターンよりも線幅が大きいことを意味する。第１整形工程Ｓ１においては、第１パターンＰ１と加工パターンとをできるだけ類似させる、すなわち第１パターンＰ１に整形されたレーザー光Ｌ１のパターンが加工パターンＰよりも線幅が僅かに大きい状態（例えば、数〜数十μｍ程度）となるように整形するのが望ましい。
なお、加工パターンＰに対する類似の程度としては、第１パターンＰ１に整形後のレーザー光に加工パターンＰよりも線幅が小さい部分が存在しなければ整形後の形状が加工パターンの形状と異なっていても良い。
【００３３】
マスク１７は、例えば、金属材料から構成されるが、マスク１７の材料は金属に限定されず、レーザー光Ｌ１に対する耐性を有する材料であれば良い。マスク１７は、リング状のレーザー光Ｌ１を第２パターンに整形する後述の第２整形工程Ｓ２（図６参照）を行うためのものである。マスク１７は、加工パターンＰに対応するスリットパターン１７ａを有する。マスク１７のスリットパターン１７ａを通過したレーザー光Ｌ１は、スリットパターン１７ａにより加工パターンＰに対応したリング状の第２パターンＰ２に整形される。
【００３４】
ここで、マスク１７のスリットパターン１７ａは、精密加工によって非常に高い精度で形成されている。そのため、第２パターンＰ２に整形されたレーザー光Ｌ２は、加工パターンＰの形状と高精度で一致しており、レーザー光Ｌ２は加工パターンＰと同じ形状を有したレーザー光としてみなすことができる。
【００３５】
続いて、レーザー加工装置１００において実行されるレーザー加工方法を説明する。
レーザー加工装置１００に用いて本実施形態に係る加工方法を行う際、まず、ステージ９の載置面９ａに被加工物Ｘを載置する。被加工物Ｘとしては、太陽電池パネル５Ａが用いられる。太陽電池パネル５Ａは、例えば、一般家庭用の太陽光パネルから構成されるものであり、例えば、１７インチサイズからなる。太陽電池パネル５Ａは、後述する切断工程によって個片化されることでソーラーウオッチ１に搭載される上記太陽電池セル５を構成する。図５は太陽電池パネル５Ａの断面構成を示す図である。
【００３６】
図５に示すように、太陽電池パネル５Ａは、一対の金属層３０Ａ、３１Ａと、これら金属層３０Ａ、３１Ａ間に挟持された半導体層３２Ａと、を含む。金属層３０Ａ、３１Ａは、個片化された後、太陽電池セル５における上記電極３０、３１を構成するものである。半導体層３２Ａは、個片化された後、太陽電池セル５における上記発電層３２を構成するものである。
【００３７】
図６はレーザー加工装置１００において実行されるレーザー加工方法を示すフロー図である。図６に示すように、本加工方法は、第１整形工程Ｓ１と、第２整形工程Ｓ２と、加工工程Ｓ３とを含む。
【００３８】
レーザー加工装置１００は、上記第１整形工程Ｓ１、第２整形工程Ｓ２、及び加工工程Ｓ３を順に行うことで、被加工物Ｘである太陽電池パネル５Ａにレーザー加工を行う。
【００３９】
レーザー加工装置１００は、レーザー発振器１０からレーザー光Ｌを発振させる。レーザー発振器１０から発振されたレーザー光Ｌは、シャッター１１、アッテネータ１２、テレスコープレンズ１３、ホモジナイザー１４、及びフィールドレンズ１５を順に経て、回折光学素子１６に入射する。
【００４０】
回折光学素子１６に入射したレーザー光Ｌは、該回折光学素子１６に形成された微細な凹凸パターンにより回折されることで第１パターンＰ１に整形されてレーザー光Ｌ１として射出される。図４に示したように第１パターンＰ１に整形されたレーザー光Ｌ１は、最終的な目標となる加工パターンＰに類似したパターンに整形される。
このようにして、レーザー加工装置１００では、レーザー光Ｌの形状を回折光学素子１６によって第１パターンＰ１に整形する第１整形工程Ｓ１が実施される。
【００４１】
第１整形工程Ｓ１により第１パターンＰ１に整形されたレーザー光Ｌ１は、マスク１７に入射する。マスク１７に入射したレーザー光Ｌ１は、該マスク１７に形成されたスリットパターン１７ａを通過することで第２パターンＰ２に整形されてレーザー光Ｌ２として射出される。図４に示したように第２パターンＰ２に整形されたレーザー光Ｌ２は、加工パターンＰに対応したパターンに整形される。すなわち、レーザー光Ｌ２は、加工パターンＰの形状に高精度で一致したビーム形状の光として取り扱うことができる。
このようにして、レーザー加工装置１００では、レーザー光Ｌ１の形状をマスク１７により第２パターンＰ２に整形する第２整形工程Ｓ２が実施される。
【００４２】
第２整形工程Ｓ２により第２パターンＰ２に整形されたレーザー光Ｌ２は、被加工物Ｘとしてステージ９に載置された太陽電池パネル５Ａに入射する。ここで、レーザー光Ｌ２のビーム形状は、加工パターンＰに高精度で一致している。そのため、レーザー光Ｌ２は、太陽電池パネル５Ａの上面に形成された金属層３０Ａに加工パターンＰ（切断パターン）を高精度で形成することができる。なお、レーザー光Ｌ２による金属層３０Ａに対する加工パターンＰの形成は一括して行われる。
【００４３】
このようにして、レーザー加工装置１００では、第２パターンＰ２に整形されたレーザー光Ｌ２を用いて金属層３０Ａ（被加工物Ｘ）を一括加工する加工工程Ｓ３が実行される。図７は、加工工程Ｓ３によって加工された太陽電池パネル５Ａの状態を示す断面図である。太陽電池パネル５Ａは、図７に示すように、加工工程Ｓ３により、金属層３０Ａが加工パターンＰによって区画された状態とされる。
【００４４】
レーザー加工装置１００は、ステージ９によってレーザー光Ｌに対する太陽電池パネル５Ａの相対位置を変化させた後、金属層３０Ａ上に複数の加工パターンＰを順次形成することができる。これにより、太陽電池パネル５Ａには、金属層３０Ａに複数の加工パターンＰが形成されたものとなる。なお、レーザー光Ｌと太陽電池パネル５Ａとの相対位置を変化させる際、シャッター１１が閉じられる。これによれば、ステージ９の移動中にレーザー光Ｌ２によって金属層３０Ａが加工されてしまうといった不具合の発生が防止される。
【００４５】
以上のようにして、レーザー加工装置１００を用いたレーザー加工方法が終了する。このように本実施形態に係る加工方法によれば、マスク１７のスリットパターン１７ａに対応した微細な線幅の加工が行われる。
上記レーザー加工方法が終了した後、太陽電池パネル５Ａを切断することで個片化することで上記ソーラーウオッチ１を構成する複数の太陽電池セル５を製造することができる。
【００４６】
図８は太陽電池パネル５Ａの切断工程を説明するための図である。図８に示すように、金属層３０Ａにおいて上記加工パターンＰが形成された部分において、太陽電池パネル５Ａが切断されることで各太陽電池セル５が個片化される。
【００４７】
本実施形態において、上記加工パターンＰが形成された部分には金属層３０Ａが形成されていない。そのため、太陽電池パネル５Ａが切断された際に切断面が変形した場合であても、電極層３１Ａと金属層３０Ａとが接触することで短絡してしまい、太陽電池セル５から二次電池７への充電不良の発生が防止される。
【００４８】
以上のようにして、１枚の太陽電池パネル５Ａを個片化することでソーラーウオッチ１に搭載される複数の太陽電池セル５を製造することができる。本実施形態では、例えば、１７インチサイズの太陽電池パネル５Ａから、合計で１２６個の太陽電池セル５を製造した。
【００４９】
本実施形態によれば、回折光学素子１６で整形したレーザー光Ｌを、マスク１７によって再整形することで加工パターンＰを高精度に形成することができる。したがって、被加工物Ｘに対するレーザー加工を高精度且つ一括して行うことができる。
【００５０】
また、回折光学素子１６とマスク１７とを併用してレーザー光Ｌを段階的に整形するため、回折光学素子１６では高精度に整形することが難しい複雑且つ微細な形状であっても所望のパターンを高精度で形成することができる。
【００５１】
また、回折光学素子１６を用いずにマスク１７のみを用いて１回のレーザー照射でレーザー加工を行う場合、スリットパターン１７ａ以外の部分にもレーザーが照射されるため、高出力のレーザー照射を行う必要が生じてしまい実用的でない。
【００５２】
これに対し、本実施形態では、回折光学素子１６によりレーザー光Ｌ１のビーム径を拡大させるように整形しているため、レーザー発振時におけるビーム径を抑えることができる。よって、レーザー発振器１０として小型なものを採用することができ、装置構成の小型化及び低コスト化を実現できる。
【００５３】
また、本実施形態では、マスク１７に入射するレーザー光Ｌ１をマスク１７のスリットパターン１７ａに類似した形状に整形している。具体的に、第１パターンＰ１に整形されたレーザー光Ｌ１のパターンが加工パターンＰよりも線幅が僅かに大きい状態としている。そのため、レーザー光Ｌ１がマスク１７を通過する際のエネルギーロスを抑えることができる。
よって、レーザー光の出力を抑えることができるので、加工におけるエネルギー利用効率を高めることができる。したがって、レーザー加工装置１００は、レーザー発振に要する消費電力が抑えられたものとなり、加工に要するコスト低減が図られたものとなる。
【００５４】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の内容は上記実施形態に限定されることはなく、発明の主旨を逸脱しない範囲内において適宜変更可能である。
例えば、上記実施形態では太陽電池セル５の平面形状が円形の場合を例に挙げたが、太陽電池セル５の形状はこれに限定されない。例えば、太陽電池セル５の平面形状が三角形、四角形及び八角形等の多角形形状、又は楕円形状、菱形形状であってもよい。この場合においても、本実施形態に係る加工方法によれば、上述のように回折光学素子１６及びマスク１７を用いてレーザー光Ｌを段階的に整形するため、所望の形状に高精度にレーザー光Ｌを整形することができ、電極３０を高精度に切断することができ、太陽電池セル５内で電極３０，３１間が短絡するといった不具合の発生が生じることを確実に防止できる。
【符号の説明】
【００５５】
Ｓ１…第１整形工程、Ｓ２…第２整形工程、Ｓ３…加工工程、Ｌ，Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３…レーザー光、Ｐ１…第１パターン、Ｐ２…第２パターン、Ｐ…加工パターン（所定パターン）、Ｘ…被加工物、５Ａ…太陽電池パネル、１６…回折光学素子、１７…マスク
【図１】
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【図２】
2015054345.tif 000004
【図３】
2015054345.tif 000005
【図４】
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【図５】
2015054345.tif 000007
【図６】
2015054345.tif 000008
【図７】
2015054345.tif 000009
【図８】
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