(57)【要約】【課題】被写体を撮像するための撮像素子を用いて撮像用の画像信号と位相差検出用の画像信号の両方を出力する撮像装置において、正確な焦点検出ができるとともに、色モアレを低減できる撮像装置を提供すること。【解決手段】撮影光学系により結像された被写体像を光電変換するための複数の画素ユニットを有し、該複数の画素ユニットのそれぞれが、上記被写体像が形成される面内に並ぶ３個以上の光電変換素子を有する撮像素子を有し、各画素ユニット中の３個以上の光電変換素子は、分光感度特性が異なる３種類以上の異なる分光感度素子を含むこと、及び各画素ユニット中の異なる分光感度素子は、縦横のいずれに隣接する画素ユニットについても、対称性が維持されるように配列されている撮像装置。【選択図】図２
2015230355.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮影光学系により結像された被写体像を光電変換するための複数の画素ユニットを有し、該複数の画素ユニットのそれぞれが、上記被写体像が形成される面内に並ぶ３個以上の光電変換素子を有する撮像素子と；
上記光電変換素子で得られた画像信号から位相差検出方式の焦点検出を行う焦点検出手段と；
上記光電変換素子で得られた画像信号から画像を生成する画像生成手段と；
を備える撮像装置において、
上記各画素ユニット中の３個以上の光電変換素子は、分光感度特性が異なる３種類以上の異なる分光感度素子を含むこと、及び
各画素ユニット中の異なる分光感度素子は、縦横のいずれに隣接する画素ユニットについても、対称性が維持されるように配列されていること、
を特徴とする撮像装置。
【請求項２】
請求項１記載の撮像装置において、各画素ユニット中の異なる分光感度素子は、縦横に隣接する画素ユニットとの間に光軸直交面内に位置する仮想中心線を引いたとき、該仮想中心線を対称軸とした線対称位置に、同じ分光感度特性の分光感度素子が存在するように配列されている撮像装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の撮像装置において、前記各画素ユニット中の異なる分光感度素子のうち、斜め方向に並んで位置する異なる分光感度素子の少なくとも位相差検出用の一対は、該一対の異なる分光感度素子の間に光軸直交面内に位置する仮想中心線を引いたとき該仮想中心線を対称軸とした線対称位置に同じ分光感度素子が存在するように配列されている撮像装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項記載の撮像装置において、上記各画素ユニットを構成する複数の異なる分光感度素子の前方には、単一のマイクロレンズが配置されている撮像装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項記載の撮像装置において、上記光電変換素子はフォトダイオードであって、異なる分光感度特性は、上記画素ユニットを構成する各フォトダイオード上に被着した異色のカラーフィルタによって与えられている撮像装置。
【請求項６】
請求項１ない４のいずれか１項記載の撮像装置において、上記光電変換素子はフォトダイオードであって、異なる分光感度特性は、上記画素ユニットを構成するフォトダイオード毎に該フォトダイオードの表面ｐ+層の厚さの設定によって与えられている撮像装置。
【請求項７】
撮影光学系により結像された被写体像を光電変換するための複数の画素ユニットを有し、該複数の画素ユニットのそれぞれが、上記被写体像が形成される面内に並ぶ３個以上の光電変換素子を有する撮像素子であって、
上記各画素ユニット中の３個以上の光電変換素子は、分光感度特性が異なる３種類以上の異なる分光感度素子を含むこと、及び
各画素ユニット中の異なる分光感度素子は、縦横のいずれに隣接する画素ユニットについても、対称性が維持されるように配列されていること、
を特徴とする撮像素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被写体を撮像するための撮像素子を用いて位相差式焦点検出と画像出力の両方を行なう撮像装置および撮像素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
動画や静止画が撮影可能なデジタルカメラにおいて、撮像用の撮像素子を用いて位相差検出方式の焦点検出を実現する技術が提案されている。位相差検出方式では、撮影光学系の射出瞳を通過した光束を２分割し、２分割した光束を一組の焦点検出用受光素子群で受光する。そして、その受光量に応じて出力される１対２像の信号波形のずれ量、すなわち、光束の瞳分割方向に生ずる相対的位置ずれ量を検出することで、撮影光学系の焦点ずれ量（デフォーカス量）を求めている（特許文献１、２）。
【０００３】
特許文献1、２は、撮像素子のカラーフィルタとしてベイヤ配列を適用していて、４つの光電変換部が形成された1個の画素（画素ユニット）に対して、１枚のマイクロレンズと、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）またはＢ（青）のカラーフィルタが備えられている。これらの画素ユニットがベイヤ配列を構成するようにマトリックス状に配置されて、奇数行には、左から順にＧ（緑）とＲ（赤）のカラーフィルタが交互に並び、偶数行には、左から順にＢ（青）とＧ（緑）のカラーフィルタが交互に並んでいる。各画素ユニットの４個の光電変換部は、同一のマイクロレンズを介して撮影レンズの瞳の異なる領域を通った被写体光を受光するように構成され、瞳分割を行っている。焦点検出の方法は、例えば縦縞パターンの被写体像の焦点検出を行う場合には、同色のカラーフィルタの各画素ユニットの４個の光電変換部の中で、縦方向の光電変換部の信号を加算し、それら加算された一方の側（例えば左側）の光電変換部の信号から生成される第1の画像信号と、他方の側（例えば右側）の光電変換部の信号から生成される第２の画像信号との横ずれ量（像間隔）を検出することで、被写体像のピントずれ量（デフォーカス量）を検出している。
【０００４】
特許文献３は、ベイヤ配列のカラーフィルタを有する撮像素子における光学ローパスフィルタを用いることなく色モアレを低減する方法として、ベイヤ配列のカラーフィルタの繰り返し単位ごとにマイクロレンズを搭載する撮像素子の提案がされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−０５９８４５号公報
【特許文献２】特開２０１３−５４１３７号公報
【特許文献３】特開２００６−０３２９１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１及び２の撮像装置は、画素ユニット毎にカラーフィルタが設けられているので、色モアレを軽減するためには光学ローパスフィルタが必要であった。一方、特許文献３の撮像装置は、撮像素子の画像信号を用いた位相差式焦点検出ができなかった。
【０００７】
本発明は上記の問題点に鑑み、被写体を撮像するための撮像素子を用いて撮像用の画像信号と位相差検出用の画像信号の両方を出力するとともに、色モアレを低減できる撮像装置および撮像素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、撮影光学系により結像された被写体像を光電変換するための複数の画素ユニットを有し、該複数の画素ユニットのそれぞれが、上記被写体像が形成される面内に並ぶ３個以上の光電変換素子を有する撮像素子と；上記光電変換素子で得られた画像信号から位相差検出方式の焦点検出を行う焦点検出手段と；上記光電変換素子で得られた画像信号から画像を生成する画像生成手段と；備える撮像装置において、上記各画素ユニット中の３個以上の光電変換素子は、分光感度特性が異なる３種類以上の異なる分光感度素子を含むこと、及び各画素ユニット中の異なる分光感度素子は、縦横のいずれに隣接する画素ユニットについても、対称性が維持されるように配列されていること、を特徴とする。
【０００９】
本発明の撮像装置は、各画素ユニット中の異なる分光感度素子が、縦横に隣接する画素ユニットとの間に光軸直交面内に位置する仮想中心線を引いたとき、該仮想中心線を対称軸とした線対称位置に、同じ分光感度特性の分光感度素子が存在するように配列されている。
【００１０】
前記各画素ユニット中の異なる分光感度素子のうち、斜め方向に並んで位置する異なる分光感度素子の少なくとも位相差検出用の一対は、該一対の異なる分光感度素子の間に光軸直交面内に位置する仮想中心線を引いたとき該仮想中心線を対称軸とした線対称位置に同じ分光感度素子が存在するように配列されている。
【００１１】
上記各画素ユニットを構成する複数の異なる分光感度素子の前方には、単一のマイクロレンズが配置されるのが実際的である。
【００１２】
上記光電変換素子はフォトダイオードから構成することができる。異なる分光感度特性は、上記画素ユニットを構成する各フォトダイオード上に被着した異色のカラーフィルタによって与えられる。また異なる分光感度特性は、上記画素ユニットを構成するフォトダイオード毎に該フォトダイオードの表面ｐ+層の厚さの設定によって与えられる。
【００１３】
本発明の撮像素子は、撮影光学系により結像された被写体像を光電変換するための複数の画素ユニットを有し、該複数の画素ユニットのそれぞれが、上記被写体像が形成される面内に並ぶ３個以上の光電変換素子を有する撮像素子であって、上記各画素ユニット中の３個以上の光電変換素子は、分光感度特性が異なる３種類以上の異なる分光感度素子を含むこと、及び各画素ユニット中の異なる分光感度素子は、縦横のいずれに隣接する画素ユニットについても、対称性が維持されるように配列されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、撮像用と位相差検出用の画素を別個に設けなくても撮像用の画像信号と位相差検出用の画像信号が得られ、しかも画素ユニット内の光電変換部が複数の異なるフィルターから構成されているので、特に複雑な画像処理を行わなくても色モアレの低減が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の撮像装置を適用した実施形態であるデジタルカメラの主要構成を示すブロック図である。
【図２】同撮像装置において撮像素子に分光感度特性を与えるカラーフィルタの配置パターンの第１の実施形態を示す図である。
【図３】図２の切断線III−IIIに沿ったいわゆる裏面照射型の撮像素子の断面図である。
【図４】同撮像素子のフォトダイオードの配置を説明する図である。
【図５】異なる分光感度特性を与えるカラーフィルタの配置パターンの第２の実施形態を示す図である。
【図６】撮像素子の他の例に適用した異なる分光感度特性の配置パターンの第３の実施形態を示す図である。
【図７】撮像素子の他の例に適用した異なる分光感度特性の配置パターンの第４の実施形態を示す図である。
【図８】図６の切断線VIII-VIIIに沿った撮像素子の断面図である。
【図９】図６の切断線IX-IXに沿った撮像素子の断面図である。
【図１０】フォトダイオードの表面保護層の厚さによって感度特性が異なることを説明する撮像素子の断面図である。
【図１１】（Ａ）はフォトダイオードに入射した光の波長と入射光の吸収係数、吸収深さの関係をグラフで示した図、（Ｂ）は図６ないし図９に示した撮像素子の分光感度特性をグラフで示した図である。
【図１２】図２に示した分光感度特性が与えられた図３の撮像素子とは異なる構造の撮像素子の断面図である。
【図１３】図６に示した分光感度特性が与えられた図８の撮像素子とは異なる構造の撮像素子の断面図である。
【図１４】図６に示した分光感度特性が与えられた図９の撮像素子とは異なる構造の撮像素子の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１は、本発明をレンズ交換式デジタルカメラに適用した実施形態であって、その主要構成をブロックで示した図である。このレンズ交換式デジタルカメラは、撮像用の撮像素子と焦点検出用のＡＦモジュール（自動焦点検出モジュール）を兼用した撮像素子３０を内蔵した内蔵したカメラボディ１０と、このカメラボディ１０に着脱可能なＡＦ対応の撮影レンズ５０とを備えている。
【００１７】
被写体光束は、撮影レンズ５０（焦点調節レンズ群５１）を通って、カメラボディ１０に内蔵された撮像素子３０の受光面に被写体像を形成する。撮像素子３０は、被写体光束を色成分に分解して受光し、受光した色成分毎に電気的な信号に変換して画像信号を出力する２次元カラーセンサである。撮影レンズ５０は、焦点調節レンズ群５１の他に、図示しないが、ズーミング用のレンズ群など撮影光学系を構成するレンズ群と絞りを含む。
【００１８】
カメラボディ１０は、カメラ機能を統括的に制御するＣＰＵ１１を内蔵している。ＣＰＵ１１は、演算部、ＲＯＭ、ＲＡＭ、Ａ／Ｄコンバータ、Ｄ／Ａコンバータ等を内蔵している。ＣＰＵ１１は、本実施形態の焦点検出手段、焦点検出方法変更手段、画像生成手段としても機能し、ＲＯＭに書き込まれた所定のプログラムに基づいて、カメラボディ１０及び撮影レンズ５０が有する各種回路を駆動制御することにより、位相差検出方式による焦点検出、焦点調節、撮影、画像信号処理、画像信号の記録等の一連の動作を実行する。
【００１９】
撮像素子駆動回路１３は、撮像素子３０の撮像動作を制御するとともに、撮像素子３０が取得した画像信号をＡ／Ｄ変換してＣＰＵ１１に送信する。
【００２０】
ＣＰＵ１１には、画像信号処理回路１５、フォーカス駆動回路１７、表示装置１９、操作スイッチ群２１及び画像メモリ２３が接続されている。画像信号処理回路１５は、撮像素子３０が取得した画像のγ補正、カラー補間、画像圧縮等の処理を行なう。
【００２１】
フォーカス駆動回路１７は、ＣＰＵ１１が演算した焦点検出結果に基づいて撮影レンズ５０のフォーカス駆動機構５３を駆動制御し、焦点調節レンズ群５１を光軸方向に駆動して焦点調節を行なう。
【００２２】
表示装置１９はＬＣＤ等の画像表示パネルを有し、カメラの撮影モード等に関する情報と、撮影前のライブビュー画像、撮影時のプレビュー画像と撮影後の確認用画像、焦点検出時の合焦状態表示画像等を表示する。操作スイッチ群２１は、電源スイッチ、撮影開始スイッチ、ズーム操作スイッチ、撮影モード選択スイッチ等で構成される。撮影開始スイッチは、ライブビュー撮影、測光、焦点検出動作を開始させる測光スイッチと、撮影した画像信号を画像メモリ２３に書き込むレリーズスイッチを含む。画像メモリ２３は着脱可能なフラッシュメモリであって、撮影された画像信号を記録する。
【００２３】
図２は、図１に示した撮像素子３０の画素配列及び分光感度特性の第１の実施形態を示した図である。撮像素子３０は、いわゆる裏面照射型の２次元Ｃ−ＭＯＳエリアセンサである。図２は同撮像素子３０を、撮影光学系側から見た状態（正面）を示している。なお、本明細書において、撮像素子３０の受光面と直交する方向をＺ軸方向とし、受光面において画素配列の横（左右、水平）方向をＸ軸方向、縦（上下、垂直）方向をＹ軸方向とする。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、互いに直交する直交座標系の座標軸である。撮影レンズ５０（焦点検出レンズを含む）Ｚ軸は、撮像素子３０が撮影装置（カメラボディ１０）に正しく搭載されたとき、撮影レンズ５０の光軸と平行になり、Ｘ軸とＹ軸は、撮影レンズ５０（焦点調節レンズ群５１）によって被写体像が形成される平面と平行な平面に含まれる。以下、左右、上下、前後（厚さ）方向は、図に示したＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に従うものとする。
【００２４】
撮像素子３０は、複数の画素ユニット３１が横方向及び縦方向に等間隔でマトリックス状に配列された、複数の画素ユニット３１の集合体からなる。各画素ユニット３１は、最前面に被着された円形のマイクロレンズ（オンチップマイクロレンズ）３０１と、マイクロレンズ３０１の後方に異種分光感度特性を与える部材として配置された、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）、Ｇ（緑）の三種類計４枚のカラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇを有している。カラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇは正面視同一形状の正方形であって、マイクロレンズ３０１の円形輪郭に内接する正方形を４分割した形状を呈している。
【００２５】
画素ユニット３１は、カラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇの配列（配置）が異なる４種類の画素ユニット３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃ、３１Ｄを有している。画素ユニット３１Ａは、正面視で、左側縦方向にカラーフィルタＲとＧを有し、右側縦方向にカラーフィルタＧとＢを有している。画素ユニット３１Ｂは、正面視で、左側縦方向にカラーフィルタＧとＢを有し、右側縦方向にカラーフィルタＲとＧを有している。各画素ユニット３１Ｃは、正面視で、左側縦方向にカラーフィルタＧとＲを有し、右側縦方向にカラーフィルタＢとＧを有している。各画素ユニット３１Ｄは、正面視で、左側縦方向にカラーフィルタＢとＧを有し、右側縦方向にカラーフィルタＧとＲを有している。
【００２６】
撮像素子３０には、奇数行に画素ユニット３１Ａと３１Ｂが交互に配置され、偶数行に画素ユニット３１Ｃと３１Ｄが交互に配置されている。以上の画素ユニット３１Ａないし３１Ｄの配置（配列）により、画素ユニット３１の奇数行には、上側横方向に左から順にカラーフィルタＲとＧ、ＧとＲが交互に配置され、下側横方向に左から順にカラーフィルタＧとＢ、ＢとＧが交互に配置され、偶数行には、上側横方向に左から順にカラーフィルＧとＢ、ＢとＧが交互に配置され、下側横方向に左から順にカラーフィルタＲとＧ、ＧとＲが交互に配置されている。
【００２７】
一方、撮像素子３０の縦方向の奇数列には、画素ユニット３１Ａと３１Ｃが縦方向に交互に配置され、偶数列には画素ユニット３１Ｂと３１Ｄが縦方向に交互に配置されている。奇数列にはまた、左側縦方向に上から順にカラーフィルタＲとＧ、ＧとＲが交互に配置され、右側縦方向に上から順にカラーフィルタＧとＢ、ＢとＧが交互に配置されている。偶数列には、左側縦方向に上から順にカラーフィルタＧとＢ、ＢとＧが交互に配置され、右側縦方向に上から順にカラーフィルタＲとＧ、ＧとＲが交互に配置されている。
【００２８】
以上の構成により、各画素ユニット３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃ、３１ＤのカラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇは、隣接する画素ユニット３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃ、３１Ｄとの間にＸ（横）方向の仮想中心線及びＹ（縦）方向の仮想中心線を引いたとき、該仮想中心線を対称軸として、隣接する他の画素ユニット３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃ、３１ＤのカラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇが線対称を成している。
【００２９】
画素ユニット３１（３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃ、３１Ｄ）は、各カラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇの背後に光電変換素子としてフォトダイオードＰＤ（図３参照）を有している。フォトダイオードは各カラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇ毎に形成されていて、１個の画素ユニット３１につき４個のフォトダイオードＰＤを有する。４個のフォトダイオードＰＤは、マイクロレンズ３０１の光軸が通る受光面の中心で交差するＸ方向の軸及びＹ方向の仮想中心線に対して、それぞれ線対称となるように分割されている。すなわち、分割された各フォトダイオードの平面形状は、カラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇより小さい正方形であり、４個のフォトダイオードＰＤを合わせた連結形状も正方形であって、像面上のすべての位置において同一の分割形状となっている。カラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇと４個のフォトダイオードＰＤとで、異なる分光感度素子である画素を形成している。各フォトダイオードＰＤの出力は、記録用画像の生成及び焦点検出に利用される。ここで記録用画像とは、ＲＡＷ、ＪＰＥＧ等のフォーマットで規定された通常の２Ｄ（2-Dimensional）画像のほかに、視差情報を有した複数画像から構成される３Ｄ（3-Dimensional）画像も含む。また、記録用画像は、動画、静止画のいずれも含む。
【００３０】
図３は、図２のIII−III切断線に沿った画素ユニット３１の断面図である。図３の断面図は、画素ユニット３１ＡのカラーフィルタＲとフォトダイオードＰＤを含む画素３１０ａとカラーフィルタＧとフォトダイオードＰＤを含む画素３１０ｂを示している。画素ユニット３１Ａないし３１Ｄ等は半導体基板に形成されるが、図３に示す例では半導体基板（シリコンウエハ）としてｎ型の半導体基板１００が用いられている。
【００３１】
互いに異なる画素ユニット３１Ａないし３１Ｄとの間は、深いｐウェル３１２によって互いに分離されている。同一の画素ユニット３１（３１Ａないし３１Ｄ）の中では、深いｐウェル３２２によって画素３１０ａと他の画素３１０ｂとが分離されている。深いｐウェル３１２と３２２が形成されない領域にフォトダイオードＰＤが形成されている。フォトダイオードＰＤは、光電変換領域であるｎ領域３１１と、光電変換された信号電荷を蓄積するためのｎ＋領域３１３とを含む。フォトダイオードＰＤは、ｎ＋領域３１３と第１面１０１（配線膜３３０）との間に配置されたｐ＋領域３１４と、ｎ領域３１１の第２面１０２（受光面）の前に配置されたｐ＋領域３１５とを含み、埋め込みフォトダイオードとして形成されている。受光面側のｐ＋領域３１５は、画素領域の全域にわたって形成されている。転送ゲート３１７は、フォトダイオードＰＤの電荷蓄積領域であるｎ＋領域３１３からフローティングディフュージョンＦＤに電荷を転送する転送トランジスタのゲート電極である。転送ゲート３１７は第１面１０１にゲート絶縁膜（不図示）を介して配置されている。また、フローティングディフュージョンＦＤはｎ＋領域である。
【００３２】
半導体基板１００の第１面１０１側には、配線層３１８が配置されている。配線層３１８は、絶縁膜３３０中に配線パターンが配置された構造である。半導体基板１００の第２面１０２前方には、マイクロレンズ３０１が配置されている。マイクロレンズ３０１と半導体基板１００との間には、第２面１０２側から順に、ｐ＋領域３１５、平坦化膜（絶縁層）３２０、カラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇ及び平坦化膜（絶縁層）３２１が配置されている。平坦化膜３２１は、マイクロレンズ３０１と半導体基板１００の第２面１０２との距離を規定する層であって、マイクロレンズ３０１の焦点距離に応じて厚さが設定される。
【００３３】
フォトダイオードＰＤの電荷蓄積領域であるｎ＋領域３１３は、リセット時に完全空乏化された後、ｎ領域３１１に入射した光に応じて光電変換された電子（電荷）が蓄積される。そのため、フォトダイオードＰＤは、フローティングディフュージョンＦＤおよび隣接する画素のフォトダイオードＰＤとの分離が保たれる範囲で隣接するフォトダイオードＰＤに近づけて、なるべく大きい面積が確保される。図３において、フォトダイオードＰＤ（ｎ領域３１１）の入射側の面（第２面１０２側の受光面またはマイクロレンズ３０１側の面）の面積は、第１面１０１側よりも大きい。これにより、入射光の多くをフォトダイオードＰＤが受光し、光電変換して蓄積できる。なお、図３には２個のフォトダイオードＰＤを示したが、各画素ユニット３１Ａないし３１ＤはカラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇに対応した４個のフォトダイオードＰＤを有している。
【００３４】
図３には、同一の被写体部分で反射された被写体光束のうち、撮影レンズ５０の入射瞳の異なる瞳領域を通り、マイクロレンズ３０１に入射した第１の被写体光束Ｌ１と第２の被写体光束Ｌ２の光路を示している。マイクロレンズ３０１を通った第１の被写体光束Ｌ１は、カラーフィルタＲを透過して左側の画素３１０ａのフォトダイオードＰＤに入射し、第２の被写体光束Ｌ２は、カラーフィルタＧを透過して右側の画素３１０ｂのフォトダイオードＰＤに入射する。第１の被写体光束Ｌ１はＲ（赤）成分が画素３１０ａのフォトダイオードＰＤにより光電変換されて電荷として蓄積され、第２の被写体光束Ｌ２はＧ（緑）成分が画素３１０ｂのフォトダイオードＰＤにより光電変換されて電荷として蓄積される。
【００３５】
以上、同一の画素ユニット３１Ａの上側のカラーフィルタＲとＧを透過する被写体光束について説明したが、下側のカラーフィルタＧとＢを透過した被写体光についても同様であり、他の画素ユニット３１Ｂないし３１ＤのカラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂを透過した被写体光も同様である。
【００３６】
以上の、撮像素子３０に含まれる画素ユニット３１は、カラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ以外の構成は全て同様な構造となっており、同一の画素を撮像用と焦点検出用とで共用している。マイクロレンズ３０１は図では円形としたが、マイクロレンズ３０１間のギャップを少なくするために正方形としてもよい。
【００３７】
各画素ユニット３１Ａないし３１Ｄの画素３１０ａないし３１０ｄで光電変換され、出力された信号は、記録用画像信号の生成および位相差検出用画像信号の生成に使用される。例えば、画素３１０ａないし３１０ｄの出力信号は、下記５つのパターン（１）ないし（５）により加算処理される。
（１）画素３１０ａ、３１０ｂ、３１０ｃ、３１０ｄの出力信号の加算
（２）画素３１０ａ、３１０ｂの出力信号の加算
（３）画素３１０ｃ、３１０ｄの出力信号の加算
（４）画素３１０ａ、３１０ｃの出力信号の加算
（５）画素３１０ｂ、３１０ｄの出力信号の加算
記録用画像信号の生成には、パターン（１）を用いる。位相差検出方式用の画像信号の生成には、パターン（２）と（３）または（４）と（５）を用いる。位相差検出方式の焦点検出においては、各画素ユニット３１Ａないし３１Ｄ中の縦または横方向の一方の２個の画素の画像信号と、他方の縦または横方向の２個の画素の画像信号の関係により、位相差を検出する。横縞模様の被写体像の位相差検出にはパターン（２）と（３）を用いるのが好ましく、縦縞模様の被写体像の位相差検出にはパターン（４）と（５）を用いるのが好ましい。位相差検出の詳細は後述する。
【００３８】
図４は撮像素子３０の読み出し回路の構成例を示した図である。撮像素子３０は、垂直走査回路１５１と、水平走査回路１５３を有している。そして各画素３１０ａないし３１０ｄの境界部には、垂直信号転送ライン１５２ａ、１５２ｂ、１５２ｃ、１５２ｄと、垂直走査ライン１５４ａ、１５４ｂ、１５４ｃ、１５４ｄが配線され、各フォトダイオードＰＤが蓄積した信号が垂直走査回路１５１により上記垂直信号転送ライン１５２ａないし１５２ｄと垂直走査ライン１５４ａないし１５４ｄを介して読み出される。
【００３９】
縦縞模様の被写体像の位相差検出に適した位相差検出では、横方向の画素ユニット３１Ａと３１Ｂにおいて、画素ユニット３１Ａについてパターン（４）で加算した画素信号を横方向に連ねて第１の画像信号を生成し、画素ユニット３１Ｂについてパターン（５）で加算した画素信号を横方向に連ねて第２の画像信号を生成する。第１の画像信号と第２の画像信号とは異なる瞳領域（横方向に離反した瞳領域）を通った被写体光束による線画像であり、横ずれしている。そのため、公知の相関演算により像ずれ量（位相差、像間隔）を演算し、被写体とのピントずれ量（デフォーカス量）を検出して、焦点調節ができる。例えば、図２の１行目（奇数行）の画素ユニット３１Ａと３１Ｂを使用した場合、
第１の画像信号は（Ｒ＋Ｇ）左、（Ｒ＋Ｇ）左、（Ｒ＋Ｇ）左、（Ｒ＋Ｇ）左、・・・
となり、
第２の画像信号は（Ｒ＋Ｇ）右、（Ｒ＋Ｇ）右、（Ｒ＋Ｇ）右、（Ｒ＋Ｇ）右、・・・
となる。
ここで、『右』と『左』はそれぞれ瞳領域の『右側の領域』と『左側の領域』に対応する。
このように第１の画像信号と第２の画像信号とは同一の色成分の瞳領域の異なる画素信号となるので、正確な輝度分布の検出により正確な像ずれ量（横ずれ量、位相差、像間隔）を求めることが可能になり、正確な焦点調節ができる。図２の偶数行目の画素ユニット３１Ｃと３１Ｄを使用した場合も同様に正確な焦点調節ができる。
【００４０】
以上は縦縞模様の被写体に適した位相差検出であるが、横縞模様の被写体に適した位相差検出では、パターン（２）と（３）を使用する。例えば、一列目（奇数列）の画素ユニット３１Ａと３１Ｃにおいて、画素ユニット３１Ａについてパターン（２）、画素ユニット３１Ｃについてパターン（３）を使用した場合、
第１の画像信号は（Ｒ＋Ｇ）上、（Ｒ＋Ｇ）上、（Ｒ＋Ｇ）上、（Ｒ＋Ｇ）上、・・・
となり、
第２の画像信号は（Ｒ＋Ｇ）下、（Ｒ＋Ｇ）下、（Ｒ＋Ｇ）下、（Ｒ＋Ｇ）下、・・・
となる。
ここで、『上』と『下』はそれぞれ瞳領域の『上側の領域』と『下側の領域』に対応する。
このように横方向においても、第１の画像信号と第２の画像信号とは同一の色成分の瞳領域の異なる画素信号となるので、正確な輝度分布の検出が可能になり、正確な横ずれ量（一対の画像信号の位相差、像間隔）が求まって正確な焦点調節ができる。図２の偶数列の画素ユニット３１Ｃと３１Ｄを使用した場合も同様に第１の画像信号と第２の画像信号は同一の色成分の画像信号が連なるので、正確な焦点調節ができる。
【００４１】
記録用画像信号を生成するときは、各画素ユニット３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ、３４Ｄ単位で上記パターン（１）を用いる。パターン（１）は、画素ユニット３４Ａないし３４Ｄ毎に４個の画素３１０ａ、３１０ｂ、３１０ｃ、３１０ｄを全て使用して、画素ユニット３４Ａないし３４Ｄ単位でＲ、Ｇ、Ｂ成分の画像信号を生成するので、ローパスフィルタを設けなくても、偽色やモアレの発生が抑えられる。
【００４２】
図５は、撮像素子３０の異なる分光感度特性の配列パターンの第２の実施形態を示している。第２の実施形態は、３種類の光感度特性を与える３枚のカラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂを有し、それぞれカラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂの配列パターンが異なる４種類の画素ユニット３４Ａ１、３４Ｂ１、３４Ｃ１、３４Ｄ１を備えている。奇数行目には画素ユニット３４Ａ１、３４Ｂ１が交互に配置され、偶数行目には画素ユニット３４Ｃ１、３４Ｄ１が交互に配置されている。画素ユニット３１Ａ１は、左側縦方向に正方形のカラーフィルタＲとＧを有し、右側に縦方向に長い長方形のカラーフィルタＧを有する。画素ユニット３１Ｂ１は、左側に縦方向に長い長方形のカラーフィルタＧを有し、右側縦方向に正方形のカラーフィルタＲとＢを有する。画素ユニット３１Ｃ１は、左側縦方向に正方形のカラーフィルタＢとＲを有し、右側に縦方向に長いカラーフィルタＧを有する。画素ユニット３１Ｄ１は、左側に縦方向に長い長方形のカラーフィルタＧを有し、右側縦方向に正方形のカラーフィルタＢとＲを有している。
【００４３】
この第２の実施形態は、各画素ユニット３１Ａ１ないし３１Ｄ１のカラーフィルタＲ、Ｂ、Ｇが、縦横に隣接する画素ユニット３１Ａ１ないし３１Ｄ１のカラーフィルタＲ、Ｂ、Ｇと、縦横に隣接する画素ユニット３１Ａ１ないし３１Ｄ１の中間を通る仮想中心線（Ｘ軸またはＹ軸と平行）を対称軸として線対称を成している。
【００４４】
カラーフィルタＲ、Ｂ及びＧの後方には、図示しないが第１の実施形態の撮像素子３０と同様にフォトダイオードが位置している。カラーフィルタＧの後方に位置するフォトダイオードは、第１の実施形態同様に列（縦）方向に２個並べて形成してもよいが、２個のフォトダイオードを一体化して１個のフォトダイオードとして形成してもよい。
【００４５】
この第２の実施形態にあっても、位相差検出用の第１の画像信号と第２の画像信号は、以下の通りになる。
図５の１行目（奇数行）の画素ユニット３１Ａ１と３１Ｂ１において、画素ユニット３１Ａ１についてパターン（４）、画素ユニット３１Ｂ１についてパターン（５）を使用した場合は図２と同様であるが、画素ユニット３１Ａ１についてパターン（５）、画素ユニット３１Ｂ１についてパターン（４）を使用した場合は、
第１の画像信号は、（Ｇ）右、（Ｇ）右、（Ｇ）右、（Ｇ）右、・・・となり、
第２の画像信号は、（Ｇ）左、（Ｇ）左、（Ｇ）左、（Ｇ）左、・・・となる。
このように第１の画像信号と第２の画像信号とは同一の色成分の画素信号が連なるので、正確な輝度分布の検出により正確な像ずれ量（横ずれ量、位相差、像間隔）を求めることが可能になり、正確な焦点調節ができる。偶数行の画素ユニット３１Ｃ１と３１Ｄ１を使用した場合も同様に正確な焦点調節ができる。なお、カラーフィルタＧはカラーフィルタＲとＢを合計した大きさを有しているので、画像信号（Ｇ）の飽和信号は、画像信号（Ｒ）と画像信号（Ｂ）の和にほぼ等しくなる。
【００４６】
図５の一列目（奇数列）の画素ユニット３１Ａ１と３１Ｃ１において、画素ユニット３１Ａ１についてパターン（２）、画素ユニット３１Ｃ１についてパターン（３）を使用した場合、
第１の画像信号は、（Ｒ＋Ｇ／２）上、（Ｒ＋Ｇ／２）上、（Ｒ＋Ｇ／２）上、（Ｒ＋Ｇ／２）上、・・・
となり、
第２の画像信号は、（Ｒ＋Ｇ／２）下、（Ｒ＋Ｇ／２）下、（Ｒ＋Ｇ／２）下、（Ｒ＋Ｇ／２）下、・・・
となる。
このように第１の画像信号と第２の画像信号とは同一の色成分の画素信号が連なるので、正確な輝度分布の検出により正確な像ずれ量（横ずれ量、位相差、像間隔）を求めることが可能になり、正確な焦点調節ができる。偶数列の画素ユニット３１Ｂ１と３１Ｄ１を使用した場合も同様に正確な焦点調節ができる。なお、カラーフィルタＧはカラーフィルタＲとＢを合計した大きさを有しており、画像信号（Ｇ）の飽和信号は画像信号（Ｒ）、画像信号（Ｂ）の２倍になるので、レベル整合のために画像信号（Ｇ）を１／２倍にしている。
【００４７】
図６は、撮像素子３０の異なる分光感度特性の配列パターンの第３の実施形態を示している。第３の実施形態は、図２に示した第１の実施形態において、カラーフィルタＧをカラーフィルタＷに、カラーフィルタＢをカラーフィルタＹに置き換えた配置である。カラーフィルタＲの配置は同一である。第３の実施形態において、カラーフィルタＲ、Ｙ、Ｗ以外の部材とその機能は図２に示した第１の実施形態と同様であるから、同一の部材には同一の符号を付して説明を省略する。ここで、カラーフィルタＷは、白フィルタ（透明）であって、被写体光のＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の色成分を全て通す。カラーフィルタＹは黄フィルタであって、被写体光のＲ（赤）成分とＧ（緑）成分を通す。第３の実施形態においても、各画素ユニット３１Ａ１ないし３１Ｄ１のカラーフィルタＲ、Ｙ、Ｗが、縦横に隣接する画素ユニット３１Ａ１ないし３１Ｄ１のカラーフィルタＲ、Ｙ、Ｗと、縦横に隣接する画素ユニット３１Ａ１ないし３１Ｄ１との間を通る仮想の中心線（Ｘ軸またはＹ軸と平行）を対称軸として線対称を成している。
【００４８】
カラーフィルタＲ、Ｙ、Ｗの感度特性、つまりフィルタＲ、Ｙ、Ｗにより検出される光成分は、下記の通りである。
フィルタＲ：Ｒ
フィルタＹ：Ｒ＋Ｇ
フィルタＷ：Ｒ＋Ｇ＋Ｂ
以上より、下記式により三原色成分Ｒ、Ｇ、Ｂを求めることができる。
Ｒ＝Ｒ
Ｇ＝（Ｙ−Ｒ）×α
Ｂ＝（Ｗ−Ｙ）×β
ただし、α、βはレベル補正係数である。
【００４９】
図７は、撮像素子３０の異なる分光感度特性素子配列パターンの第４の実施形態を示している。第４の実施形態は、図５に示した第２の実施形態において、カラーフィルタＲをカラーフィルタＲに、カラーフィルタＧをカラーフィルタＷに、カラーフィルタＢをカラーフィルタＹに置き換えることにより構成した。第４の実施形態において、カラーフィルタＲ、Ｙ、Ｗ以外の部材とその機能は第２の実施形態と同様であるから、同一の部材には同一の符号を付して説明を省略する。
【００５０】
以上の図２及び図５、ならびに図６及び図７は、異なる分光感度特性を与える異種分光感度特性素子としてカラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、カラーフィルタＲ、Ｙ、Ｗを使用した例であるが、分光感度特性は、カラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、カラーフィルタＲ、Ｙ、Ｗに代えて、画素のフォトダイオードＰＤを構成するｎ領域３１１の表面ｐ+層の厚さの設定によって与えることができる。図８及び図９は、カラーフィルタＲ、Ｙ、Ｗ同等の分光感度特性を、各画素のフォトダイオードＰＤの表面ｐ+層の厚さの設定によって与えた撮像素子の実施形態を示す断面図である。図３と同一の機能の部材には同一の符号を付して説明を省略する。
【００５１】
図１０に示すように、表面ｐ+層３３１の厚さ、すなわち入射光が吸収される第２面１０２からの深さをｘとすると、入射光の波長と吸収される深さの関係は、図１１（Ａ）に示したグラフの通りであり、表面ｐ+層３３１の厚さｘによって光電変換される光の波長（すなわち色）を選択することができる。図１１（Ａ）において、横軸は入射光の波長（ｎｍ）、縦軸は吸収係数α（μｍ-1）と吸収深さ１／α（μｍ）である。
【００５２】
図１１（Ａ）から、波長が短くなるほど吸収係数（α）が大きくなり、波長が長くなるほど吸収係数（α）が小さくなること、言い換えると、波長が短いほど吸収深さ（１／α）が浅く、波長が長いほど吸収深さ（１／α）が深いことが分かる。図８及び図９に示した撮像素子の各フォトダイオードＰＤには、この特性を利用してカラーフィルタＲ、Ｙ、Ｗを設けずにカラーフィルタＲ、Ｙ、Ｗと同等の分光感度特性Ｒ、Ｙ、Ｗを与えてある。表面ｐ+層３３１が薄い（無い）場合、全ての波長域の光（白色光）が光電変換に寄与するので、分光感度特性Ｗを与えることができる。表面ｐ+層３３１が厚い場合、Ｂ（青）及びＧ（緑）成分が吸収され、主にＲ（赤）成分が光電変換に寄与するので、分光感度特性Ｒを与えることができる。表面ｐ+層３３１が上記薄い場合と厚い場合の間の所定厚さである場合、Ｂ（青）成分が吸収され、Ｇ（緑）とＲ（赤）成分、つまりＹ（黄）成分が光電変換に寄与するので、分光感度特性Ｙを与えることができる。
【００５３】
図８及び図９に示した撮像素子のフォトダイオードＰＤの分光感度特性は、図１１（Ｂ）に示したグラフのようになる。図１１（Ｂ）において、横軸は波長（ｎｍ）、縦軸は分光感度（ａ．ｕ．）である。図１１（Ｂ）は、分光感度特性Ｗの画像信号（Ｒ＋Ｇ＋Ｂ）から分光感度特性Ｙの画像信号（Ｒ＋Ｂ）を減算した画像信号β（Ｇ成分）と、分光感度特性Ｒの画像信号（Ｒ）（Ｒ成分）と、分光感度特性Ｙの画像信号（Ｒ＋Ｂ）から分光感度特性Ｒの画像信号（Ｒ）を減算した画像信号α（Ｂ成分）の特性を示している。
【００５４】
以上の通り図８、９に示した撮像素子は、図６または図７に示した第３または第４の実施形態の分光感度特性及び配列パターンを有するので、図３に示した撮像素子３０と同様の効果を得ることができる。
【００５５】
図３に示した撮像素子３０は裏面照射型のＣＭＯＳ撮像素子であるのに対し、図１２は、表面照射型の撮像素子に適用した実施形態の図３同様の断面図である。表面照射型のＣＭＯＳ撮像素子の場合、マイクロレンズ３０１側に配線層３１８が設けられる。そのため、カラーフィルタ（Ｒ、Ｇ）を透過した光が、配線層３１８の配線によって乱反射されたり、けられたりするおそれがある。この実施形態ではカラーフィルタを透過した被写体光をフォトダイオードＰＤまで導く光導波路３４０が、カラーフィルタ（Ｒ、Ｇ）直後の平坦化膜３２０からフォトダイオードＰＤ（ｎ領域３１１）の表面ｐ+層３３１まで形成されている。光導波路３４０は、カラーフィルタ（Ｒ、Ｇ）側（入射側）の表面積の方がフォトダイオードＰＤ（ｎ領域３１１）側（射出側）の表面積よりも大きく形成されている。この実施形態は光導波路３４０を有することにより、光導波路３４０を有しない場合に比して、カラーフィルタ（Ｒ、Ｇ）を透過した被写体光をより多くフォトダイオードＰＤ（ｎ領域３１１）に取り込める。
【００５６】
図１３及び図１４は、図８、図９に示した裏面照射型のＣＭＯＳ撮像素子に代えて表面照射型のＣＭＯＳ撮像素子に適用した撮像素子例の断面図を示している。この撮像素子は、光導波路３４１がマイクロレンズ３０１側の平坦化膜３２０からフォトダイオードＰＤ（ｎ領域３１１）の前面の表面ｐ+層３３１、３３２、３３３まで形成されている。表面ｐ+層３３１、３３２、３３３は、図８、図９に示した撮像素子同様に、カラーフィルタＲ、Ｙ、Ｗに対応する分光感度特性を与える厚さに形成されている。光導波路３４１は、マイクロレンズ３０１側の表面積の方がフォトダイオードＰＤ（ｎ領域３１１）側の表面積よりも大きく形成されている。この実施形態は光導波路３４１を有することにより、光導波路３４１を有しない場合に比して、マイクロレンズ３０１を透過した被写体光をより多くフォトダイオードＰＤ（ｎ領域３１１）に取り込める。
【００５７】
以上、図２、図５乃至図７の第１ないし第４の実施形態は、縦横に隣接する画素ユニット３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃ、３１Ｄ、画素ユニット３１Ａ１、３１Ｂ１、３１Ｃ１、３１Ｄ１の異なる分光感度特性素子（カラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇ、カラーフィルタＲ、Ｗ、Ｙ、Ｗ）が線対称をなすように配列されている。これら第１ないし第４の実施形態は、４５゜斜め方向に隣接する画素ユニット３１Ａと３１Ｄ、３１Ｂと３１Ｄ、画素ユニット３１Ａ１と３１Ｄ１、３１Ｂ１と３１Ｄ１の分光感度特性素子が、４５゜斜め方向に隣接する画素ユニットの中間を仮想中心点とし、該仮想中心点を中心にＸ軸とＹ軸を含む平面と平行な平面内において１８０゜回転させたとき、分光感度特性素子の配列が一致する回転対称でもある。
【００５８】
第１、第３の実施形態は、４５゜斜め方向に隣接する画素ユニット３１Ａと３１Ｄの分光感度特性素子（カラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇ、カラーフィルタＲ、Ｗ、Ｙ、Ｗ）が、４５゜斜め方向に隣接する画素ユニット３１Ａと３１Ｄとの間に引いた仮想の右上がり４５゜仮想中心線に対して線対称の配列である。さらに４５゜斜め方向に隣接する画素ユニット３１Ｃと３１Ｂの分光感度特性素子（カラーフィルタＲ、Ｇ、Ｂ、Ｇ、カラーフィルタＲ、Ｗ、Ｙ、Ｗ）が、４５゜斜め方向に隣接する画素ユニット３１Ｂと３１Ｃとの間に引いた仮想の右下がり４５゜仮想中心線に対して線対称の配列である。
【００５９】
以上は、縦横または斜め方向に隣り合う画素ユニットが対称（線対称、回転対称）の配列であったが、本発明は、前記各画素ユニット中の異なる分光感度素子のうち、斜め方向に離れて位置する異なる分光感度素子の少なくとも一対は、該一対の異なる分光感度素子の間に光軸直交面内に位置する仮想中心線を引いたとき該仮想中心線を対称軸とした線対称位置に同じ分光感度素子が存在するように配列してもよい。
【００６０】
図２や図５の実施形態の説明では、上下または左右で画素加算をするとしているが、画素加算しなくても可能である。
例えば、画素一つ置きに、
第１の画像信号は、（Ｒ）左、（Ｒ）左、（Ｒ）左、・・・、
第２の画像信号は、（Ｒ）右、（Ｒ）右、（Ｒ）右、・・・、
のように生成することができる。
同様に、斜め方向についても、例えば、
第１の画像信号は、（Ｒ）左上、（Ｒ）左上、（Ｒ）左上、・・・、
第２の画像信号は、（Ｒ）右下、（Ｒ）右下、（Ｒ）右下、・・・、
のように生成すれば、斜め方向の焦点検出も可能である。
【００６１】
本発明は、各画素ユニットが３種類以上の分光感度特性素子を有し、その配置が縦横に隣接する画素ユニットとの間で対称性を維持する配列であれば、図示実施形態に限定されない。例えば、図５のカラーフィルタＧ、図７のカラーフィルタＷは、上下位置に長辺を横向きに配置してもよい。図示実施形態は異なる分光感度素子を３種類４個または３個備えたが、３種類５個以上、または４種類４個、あるいは５個以上備えていても、各画素ユニット中の異なる分光感度素子が、縦横に隣接する画素ユニットについて対称性が維持されるように配列されていればよい。
【符号の説明】
【００６２】
１０  カメラボディ
１１  ＣＰＵ（焦点検出手段）
１３  撮像素子駆動回路
１５  画像信号処理回路（画像生成手段）
１７  フォーカス駆動回路
１９  表示装置
２３  画像メモリ
３０  撮像素子
３１  ３１Ａ  ３１Ｂ  ３１Ｃ  ３１Ｄ  ３１Ａ１  ３１Ｂ１  ３１Ｃ１  ３１Ｄ１  画素ユニット
５０  撮影レンズ
５１  焦点調節レンズ群
５３  フォーカス駆動機構
１００  半導体基板
１０１  第１面
１０２  第２面
１５１  水平走査回路
１５２ａ  １５２ｂ  １５２ｃ  １５２ｄ  水平走査ライン
１５３  垂直走査回路
１５４ａ  １５４ｂ  １５４ｃ  １５４ｄ  垂直走査ライン
３０１  マイクロレンズ（オンチップマイクロレンズ）
３１０ａ  ３１０ｂ  ３１０ｃ  ３１０ｄ  画素（異なる分光感度素子）
ＰＤ  フォトダイオード
３１１  ｎ領域
３１２  ３２２  ｐウェル
３１３  ｎ＋領域
３１４  ３１５  ｐ＋領域
３１７  転送ゲート
３１８  配線層
３２０  ３２１  平坦化膜
３３０  絶縁膜
３３１  ３３２  ３３３  表面ｐ+層
３４０  ３４１  光導波路
ＦＤ  フローティングディフュージョン
Ｒ  Ｇ  Ｂ  カラーフィルタ
Ｒ  Ｙ  Ｗ  カラーフィルタ
Ｌ１  第１の被写体光束
Ｌ２  第２の被写体光束
【図１】
2015230355.tif 000003
【図２】
2015230355.tif 000004
【図３】
2015230355.tif 000005
【図４】
2015230355.tif 000006
【図５】
2015230355.tif 000007
【図６】
2015230355.tif 000008
【図７】
2015230355.tif 000009
【図８】
2015230355.tif 000010
【図９】
2015230355.tif 000011
【図１０】
2015230355.tif 000012
【図１１】
2015230355.tif 000013
【図１２】
2015230355.tif 000014
【図１３】
2015230355.tif 000015
【図１４】
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