(57)【要約】      （修正有）【課題】小型化を図ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】基準方向に少なくとも２つ設けられたノズル群のそれぞれに連通する第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとに設けられたヘッドチップ２Ａと、第１導入口と第２導入口との間において、圧力発生手段に一端部が接続され、他端部がノズルからの液体噴射方向とは反対側に延設された配線部材１２１と、第１導入口に接続された第１接続流路６００Ａと、第２導入口に接続された第２接続流路６００Ｂと、第１接続流路と第２接続流路との間で配線部材の他端部が接続された配線基板３００と、を具備し、第２接続流路は、第２導入口から第１導入口とは離れる基準方向に向かって延設された延設流路６０２を備え、配線基板は、第２接続流路の延設流路から第１導入口とは反対側で、第１接続流路と第２接続流路との間から第２接続流路を超えて基準方向に延びるように配置されている。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体噴射面に複数のノズルで構成されたノズル群が基準方向に少なくとも２つ設けられ、
前記液体噴射面とは反対面側に設けられて一方の前記ノズル群に連通する第１導入口と、他方の前記ノズル群に連通する第２導入口と、が前記基準方向に設けられたヘッドチップと、
前記第１導入口と前記第２導入口との間において設けられた、前記ヘッドチップ内の流路に圧力変化を生じさせる圧力発生手段に一端部が接続され、他端部が前記ノズルからの液体噴射方向とは反対側に延設された配線部材と、
前記第１導入口に接続された第１接続流路と、
前記第２導入口に接続された第２接続流路と、
前記第１接続流路と前記第２接続流路との間で前記配線部材の前記他端部が接続された配線基板と、を具備し、
前記第２接続流路は、前記第２導入口から前記第１導入口とは離れる前記基準方向に向かって延設された延設流路を備え、
前記配線基板は、前記第２接続流路の前記延設流路から前記第１導入口とは反対側で、前記第１接続流路と前記第２接続流路との間から前記第２接続流路を超えて前記基準方向に延びるように配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記第１接続流路と前記第２接続流路とは、前記配線基板の前記第１導入口及び前記第２導入口とは反対側で共通する共通流路に接続されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
少なくとも２つの前記ノズル群が設けられた第１ヘッドチップと、少なくとも２つの前記ノズル群が設けられた第２ヘッドチップと、を具備し、
前記第１ヘッドチップと前記第２ヘッドチップとのそれぞれには、前記第１導入口と前記第２導入口とが設けられており、
前記第１ヘッドチップは、前記第１導入口が前記第２ヘッドチップ側となると共に、前記第２ヘッドチップは、前記第１導入口が前記第１ヘッドチップ側となるように、前記第１ヘッドチップと前記第２ヘッドチップとは前記第１の方向に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記配線基板は、前記第１ヘッドチップの前記第１接続流路と、前記第２ヘッドチップの前記第１接続流路とを挿通する開口部を有することを特徴とする請求項３記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記開口部には、前記第１ヘッドチップの前記配線部材と、前記第２ヘッドチップの前記配線部材と、が挿通されていることを特徴とする請求項４記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記第１接続流路が前記液体噴射方向に沿って直線状に形成されており、前記開口部には、前記第１ヘッドチップの前記第１接続流路と、前記第２ヘッドチップの前記第１接続流路と、前記第１ヘッドチップの前記液体噴射方向に起立して設けられた前記配線部材と、前記第２ヘッドチップの前記液体噴射方向に起立して設けられた前記配線部材と、が挿通されていることを特徴とする請求項４又は５記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記接続部材の前記他端部側は、前記第１の方向において、前記第１導入口とは離れる方向に前記配線基板の表面に沿って屈曲されて、当該配線基板に接続されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記配線基板の表面には端子部が設けられていると共に、前記配線部材と前記端子部との接続面が、前記配線基板の表面に沿った方向になっていることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記延設流路は、液体噴射方向と直交する水平方向に延設されていることを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
前記配線部材は、シート状の部材からなり、当該配線部材の一方面には、前記圧力発生手段を駆動する駆動回路が設けられ、前記駆動回路と前記第２導入口までの距離は、当該駆動回路と前記第１導入口までの距離よりも短いことを特徴とする請求項１〜９の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
請求項１〜１０の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドとしては、例えばノズルに連通する圧力発生室が形成される流路形成基板を有するヘッドチップと、ヘッドチップに設けられた圧力発生手段に接続される配線基板が保持されたケース部材と、を具備し、配線基板とヘッドチップの圧力発生手段とは、ＣＯＦ等の配線部材を介して接続されているものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１１５９１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ヘッドチップに設けられた２つの連通口が近接して設けられていると、２つの連通口のそれぞれに接続された接続流路の間でＣＯＦ等の導電部材と配線基板との接続を行う領域が狭くなり、導電部材と配線基板との接続を行うのが困難になってしまうという問題がある。
【０００５】
また、２つの連通口を離すと、ヘッドが大型化してしまうという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドに限定されず、他の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、小型化を図ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体噴射面に複数のノズルで構成されたノズル群が基準方向に少なくとも２つ設けられ、前記液体噴射面とは反対面側に設けられて一方の前記ノズル群に連通する第１導入口と、他方の前記ノズル群に連通する第２導入口と、が前記基準方向に設けられたヘッドチップと、前記第１導入口と前記第２導入口との間において設けられた、前記ヘッドチップ内の流路に圧力変化を生じさせる圧力発生手段に一端部が接続され、他端部が前記ノズルからの液体噴射方向とは反対側に延設された配線部材と、前記第１導入口に接続された第１接続流路と、前記第２導入口に接続された第２接続流路と、前記第１接続流路と前記第２接続流路との間で前記配線部材の前記他端部が接続された配線基板と、を具備し、前記第２接続流路は、前記第２導入口から前記第１導入口とは離れる前記基準方向に向かって延設された延設流路を備え、前記配線部材は、前記第２接続流路の前記延設流路から前記第１導入口とは反対側で、前記第１接続流路と前記第２接続流路との間から前記第２接続流路を超えて前記基準方向に延びるように配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、第１導入口と第２導入口との間の間隔を広げることなく、第１接続流路と第２接続流路との間で配線部材と配線基板とを接続することができるため、ヘッドチップの小型化を図ることができると共に配線部材と配線基板とを確実に接続することができる。また、配線部材を接続流路の外側まで延設する必要がないため、配線部材の無理な屈曲による断線等の不具合を抑制することができる。
【０００９】
ここで、前記第１接続流路と前記第２接続流路とは、前記配線基板の前記第１導入口及び前記第２導入口とは反対側で共通する共通流路に接続されていることが好ましい。これによれば、第１導入口と第２導入口とが共通流路に接続されることで、共通流路を超えて配線部材を延設することが困難となるが、配線部材と配線基板とを共通流路より下流の第１接続流路と第２接続流路との間で確実に接続することができる。
【００１０】
また、少なくとも２つの前記ノズル群が設けられた第１ヘッドチップと、少なくとも２つの前記ノズル群が設けられた第２ヘッドチップと、を具備し、前記第１ヘッドチップと前記第２ヘッドチップとのそれぞれには、前記第１導入口と前記第２導入口とが設けられており、前記第１ヘッドチップは、前記第１導入口が前記第２ヘッドチップ側となると共に、前記第２ヘッドチップは、前記第１導入口が前記第１ヘッドチップ側となるように、前記第１ヘッドチップと前記第２ヘッドチップとは前記第１の方向に設けられていることが好ましい。これによれば、第１ヘッドチップの第１導入口に接続された第１接続流路と第２ヘッドチップの第１導入口に接続された第１接続流路とが互いに干渉するのを抑制した状態で、第１ヘッドチップと第２ヘッドチップとの間隔を短くすることができる。したがって、ヘッドの小型化を図ることができる。
【００１１】
また、前記配線基板は、前記第１ヘッドチップの前記第１接続流路と、前記第２ヘッドチップの前記第１接続流路とを挿通する開口部を有することが好ましい。これによれば、配線基板の加工を容易にして、コストを低減することができる。
【００１２】
また、前記開口部には、前記第１ヘッドチップの前記配線部材と、前記第２ヘッドチップの前記配線部材と、が挿通されていることが好ましい。これによれば、開口面積の広い開口部に配線部材を容易に挿通することができ、組立性を向上することができる。
【００１３】
また、前記第１接続流路が前記液体噴射方向に沿って直線状に形成されており、前記開口部には、前記第１ヘッドチップの前記第１接続流路と、前記第２ヘッドチップの前記第１接続流路と、前記第１ヘッドチップの前記液体噴射方向に起立して設けられた前記配線部材と、前記第２ヘッドチップの前記液体噴射方向に起立して設けられた前記配線部材と、が挿通されていることが好ましい。これによれば、開口面積の広い開口部に配線部材を容易に挿通することができ、組立性を向上することができる。また、開口部に液体噴射方向に直線状に設けられた第１接続流路と、液体噴射方向に起立して設けられた配線部材とを挿通することで、開口部の開口面積を小さくして、配線面積を確保することができ、配線基板の小型化を図ることができる。
【００１４】
また、前記接続部材の前記他端部側は、前記第１の方向において、前記第１導入口とは離れる方向に前記配線基板の表面に沿って屈曲されて、当該配線基板に接続されていることが好ましい。これによれば、配線部材を折り曲げることで、配線部材の低背化が行えると共に、配線部材と配線基板との接続を容易に行うことができ組立性を向上することができる。
【００１５】
また、前記配線基板の表面には端子部が設けられていると共に、前記配線部材と前記端子部との接続面が、前記配線基板の表面に沿った方向になっていることが好ましい。これによれば、一方面側から配線部材と端子部とを接続することができる。
【００１６】
また、前記延設流路は、液体噴射方向と直交する水平方向に延設されていることが好ましい。これによれば、短い流路長で第１接続流路と第２接続流路とを最も遠く離すことができる。
【００１７】
また、前記配線部材は、シート状の部材からなり、当該配線部材の一方面には、前記圧力発生手段を駆動する駆動回路が設けられ、前記駆動回路と前記第２導入口までの距離は、当該駆動回路と前記第１導入口までの距離よりも短いことが好ましい。
【００１８】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。これによれば、液体噴射装置の小型化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態１に係る第１ヘッドチップの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る第１ヘッドチップの平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る第１ヘッドチップの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る第２ヘッドチップの平面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図７】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
最初に本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドとも言う）に設けられるヘッドチップの一例について説明する。なお、図１は、本発明の実施形態１に係る第１ヘッドチップの分解斜視図であり、図２は、第１ヘッドチップの平面図であり、図３は、第１ヘッドチップの断面図である。
【００２１】
図示するように、本実施形態のヘッドチップは、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドに搭載される第１ヘッドチップ２Ａであり、第１ヘッドチップ２Ａは、ヘッド本体１１、ヘッド本体１１の一方面側に固定されたケース部材４０等の複数の部材を備える。また、本実施形態のヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズルプレート２０と、流路形成基板１０の連通板１５とは反対側に設けられた保護基板３０と、連通板１５のノズルプレート２０が設けられた面側に設けられたコンプライアンス基板４５と、を具備する。
【００２２】
ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ２あるいはＡｌ２Ｏ３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向を、インク滴（液滴）の吐出方向、又は第３の方向Ｚと称する。ちなみに、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０は、第３の方向Ｚに積層されている。
【００２３】
また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。
【００２４】
また、流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。すなわち、流路形成基板１０の一方面に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズル２１を有するノズルプレート２０と、を具備する。
【００２５】
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。
【００２６】
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８と、が設けられている。
【００２７】
第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。
【００２８】
また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。
【００２９】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。すなわち、本実施形態では、ノズル２１と第２マニホールド部１８と連通する個別流路として、供給連通路１９と、圧力発生室１２と、ノズル連通路１６と、が設けられている。
【００３０】
このような連通板１５としては、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、またはジルコニウム（Ｚｒ）などのセラミックス等を用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００３１】
ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。すなわち、ノズル２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。
【００３２】
すなわち、本実施形態において、液体噴射面２０ａに設けられたノズル群とは、本実施形態では、第１の方向Ｘに並設されたノズル列のことであり、このノズル列（ノズル群）が基準方向である第２の方向Ｙに２列設けられている。ここで、ノズル群は、第１の方向Ｘに直線状に並設されたものに限定されず、例えば、第１の方向Ｘに並んだノズル２１が交互に第２の方向Ｙにずれた位置に配置されたもの、いわゆる千鳥状に配置されたもので構成されていてもよい。また、ノズル群は、第１の方向Ｘに並んだノズル２１が複数個毎に第２の方向Ｙにずれて配置されたもので構成されていてもよい。すなわち、ノズル群は、液体噴射面２０ａに設けられた複数のノズル２１で構成されたものであればよく、その配置は特に限定されるものではない。ただし、一般的にノズル２１を高密度に複数配置（他ノズル化）しようとすると、ノズル２１を並設した方向（第１の方向Ｘ）に長尺化してしまう。つまり、ヘッドチップ２において、第１の方向Ｘが長手方向となり、第２の方向Ｙが短手方向となるのが常である。そして、ノズル２１に対応して圧力発生室１２を配置すると共に、圧力発生室１２に対応してインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段を設けるため、第１の方向Ｘに複数の圧力発生室１２及び複数の圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０が並設されることになる。そして、詳しくは後述するが、複数の高い密度で形成された圧電アクチュエーター１３０に電気信号を供給する配線部材１２１は、基板上の圧電アクチュエーター１３０の並設方向、すなわち、第１の方向Ｘ（長手方向）のスペースを生かして圧電アクチュエーター１３０に接続される。したがって、シート状の配線部材１２１の幅は、圧電アクチュエーター１３０の並設方向に沿って配置されることになる。つまり、シート状の配線部材１２１の幅方向を圧電アクチュエーター１３０の並設方向とすることで、圧電アクチュエーター１３０を高密度に多数配置しても、圧電アクチュエーター１３０と配線部材１２１との接続を良好に行うことができる。
【００３３】
このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００３４】
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。
【００３５】
また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、積層形成されて圧電アクチュエーター１３０を構成している。ここで、圧電アクチュエーター１３０は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター１３０の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター１３０の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター１３０の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、第１電極６０が、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられているため、第１電極６０が振動板の一部として機能するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター１３０自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。ただし、流路形成基板１０上に直接第１電極６０を設ける場合には、第１電極６０とインクとが導通しないように第１電極６０を絶縁性の保護膜等で保護するのが好ましい。つまり、本実施形態では、基板（流路形成基板１０）上に振動板５０を介して第１電極６０を設けた構成を例示したが、特にこれに限定されるものではなく、振動板５０を設けずに第１電極６０を直接基板上に設けるようにしてもよい。すなわち、第１電極６０が振動板として作用するようにしてもよい。つまり、基板上とは、基板の直上も、間に他の部材が介在した状態（上方）も含むものである。
【００３６】
さらに、このような圧電アクチュエーター１３０の個別電極である各第２電極８０には、供給連通路１９とは反対側の端部近傍から引き出され、振動板５０上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０の一端部がそれぞれ接続されている。また、リード電極９０の他端部には、後述する圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０を駆動するための駆動回路１２０が設けられた配線部材１２１が接続されている。配線部材１２１は、可撓性（フレキシブル）なシート状のもの、例えば、ＣＯＦ基板等を用いることができる。なお、配線部材１２１には、駆動回路１２０を設けなくてもよい。つまり、配線部材１２１は、ＣＯＦ基板に限定されず、ＦＦＣ、ＦＰＣ等であってもよい。
【００３７】
なお、リード電極９０の配線部材１２１に接続される他端部は、第１の方向Ｘに並設されて設けられている。ちなみに、リード電極９０の他端部を、流路形成基板１０の第１の方向Ｘの一端部側まで延設し、リード電極９０の他端部を第２の方向Ｙに並設することも考えられるが、リード電極９０を引き回すスペースが必要になって記録ヘッドが大型化して高コストになってしまう。また、圧電アクチュエーター１３０を高い密度で、且つ多数設けて多ノズル化を行うと、リード電極の幅が狭くなり、電気抵抗が高くなる。このため、リード電極９０を引き回すことで、さらに電気抵抗が高くなって圧電アクチュエーター１３０を正常に駆動できなくなってしまう虞がある。本実施形態では、リード電極９０の他端部側を、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター１３０の２列の間に延設し、リード電極９０の他端部を第１の方向Ｘに並設することで、記録ヘッド１が大型化することなく小型化及び低コスト化を図ることができると共に、リード電極９０の電気抵抗が高くなるのを抑制して圧電アクチュエーター１３０を高い密度で且つ多数設けた多ノズル化を行うことができる。
【００３８】
また、本実施形態では、第２の方向Ｙにおいて、圧電アクチュエーター１３０の列の間にリード電極９０の他端部を設けて、圧電アクチュエーター１３０の列の間でリード電極９０と配線部材１２１とを接続するようにしたため、１つの配線部材１２１が２列の圧電アクチュエーター１３０にリード電極９０を介して接続されている。もちろん、配線部材１２１の数はこれに限定されず、圧電アクチュエーター１３０の列毎に配線部材１２１を設けるようにしてもよい。本実施形態のように、２つの圧電アクチュエーター１３０の列に１つの配線部材１２１を設けることで、配線部材１２１とリード電極９０とを接続するスペースを小さくすることができ、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。ちなみに、圧電アクチュエーター１３０の列ごとに配線部材１２１を設ける場合、リード電極９０を圧電アクチュエーター１３０の列とは反対側に延設することも考えられるものの、このような構成では、リード電極と配線部材とを接続するスペースが余計に必要になると共にケース部材等に配線部材１２１を引き出す領域も２箇所となるため、記録ヘッド１が大型化してしまう。つまり、本実施形態のように、リード電極９０を２つの圧電アクチュエーター１３０の列の間に設けることで、１つの配線部材１２１で２列の圧電アクチュエーター１３０に同時に接続することが可能である。このようにリード電極９０に接続されるシート状の配線部材１２１は、その幅方向が第１の方向Ｘに沿って配置されることになる。
【００３９】
また、流路形成基板１０の圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター１３０を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター１３０で構成される列毎に独立して設けられており、２つの保持部３１の間（第２の方向Ｙ）には、厚さ方向に貫通した貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の他端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と配線部材１２１とが貫通孔３２内で電気的に接続されている。
【００４０】
また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。すなわち、マニホールド１００は、第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２を具備する。また、本実施形態のマニホールド１００は、第２の方向Ｙにおいて、２列の圧力発生室１２の両外側に配置されており、２列の圧力発生室１２の両外側に設けられた２つのマニホールド１００は、ヘッドチップ２内では連通しないようにそれぞれ独立して設けられている。すなわち、本実施形態の圧力発生室１２の列（第１の方向Ｘに並設された列）毎に１つのマニホールド１００が連通して設けられている。言い換えると、ノズル群毎にマニホールド１００が設けられている。もちろん、２つのマニホールド１００は、連通していてもよい。
【００４１】
また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入口４４が設けられている。導入口４４は、本実施形態では、マニホールド１００毎に設けられている。すなわち、一方のノズル群に一方のマニホールド１００を介して連通する第１導入口４４Ａと、他方のノズル群に他方のマニホールド１００を介して連通する第２導入口４４Ｂと、を具備する。なお、第１導入口４４Ａ、第２導入口４４Ｂを導入口４４と総称する。
【００４２】
また、本実施形態では、駆動回路１２０が設けられた面側を第２導入口４４Ｂとし、駆動回路１２０が設けられた面とは反対側を第１導入口４４Ａとした。すなわち、駆動回路１２０と第２導入口４４Ｂとの距離は、駆動回路１２０と第１導入口４４Ａとの距離よりも短くなっている。
【００４３】
また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線部材１２１が挿通される接続口４３が設けられている。すなわち、第２の方向Ｙにおいて、接続口４３（貫通孔３２）の両側に第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとが設けられている。つまり、基準方向である第２の方向Ｙにおいて、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの間で配線部材１２１の一端部が圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０にリード電極９０を介して接続されている。そして、配線部材１２１の他端部は、貫通孔３２及び接続口４３の貫通方向、すなわち、第３の方向Ｚであって、インク滴の吐出方向とは反対側に延設されている。
【００４４】
なお、このようなケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。
【００４５】
また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５は、平面視において上述した連通板１５と略同じ大きさを有し、ノズルプレート２０を露出する第１露出開口部４５ａが設けられている。そして、このコンプライアンス基板４５が第１露出開口部４５ａによってノズルプレート２０を露出した状態で、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。
【００４６】
すなわち、コンプライアンス基板４５がマニホールド１００の一部を画成している。このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有するフィルム状の薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。本実施形態では、１つのマニホールド１００に対応して１つのコンプライアンス部４９が設けられている。すなわち、本実施形態では、マニホールド１００が２つ設けられているため、ノズルプレート２０を挟んで第２の方向Ｙの両側に２つのコンプライアンス部４９が設けられている。
【００４７】
このような構成の第１ヘッドチップ２Ａでは、インクを噴射する際に、導入口４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター１３０に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター１３０と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル２１からインク滴が噴射される。
【００４８】
なお、本実施形態では、ヘッドチップの一例として第１ヘッドチップ２Ａを例示したが、特にこれに限定されるものではない。本実施形態の記録ヘッド１では、第１ヘッドチップ２Ａと、上述した第１ヘッドチップ２Ａと略同じ構造を有するが、マニホールド１００が第１の方向Ｘに３つに分割された第２ヘッドチップ２Ｂと、を有する。ちなみに、以降、第１ヘッドチップ２Ａ、第２ヘッドチップ２Ｂをヘッドチップ２と総称する。ここで、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１に搭載される第２ヘッドチップ２Ｂについて、図４を参照して説明する。なお、図４は、第２ヘッドチップを示す平面図である。
【００４９】
第２ヘッドチップ２Ｂは、第２の方向Ｙにおいてノズル２１の両側にマニホールド１００が設けられている。また、第２の方向Ｙの両側に設けられたマニホールド１００は、それぞれ第１の方向Ｘに複数に分割、本実施形態では、３つに分割されている。これにより、第２ヘッドチップ２Ｂには、合計６個のマニホールド１００が設けられている。また、コンプライアンス部４９（開口部４８）は区画されたマニホールド１００毎に設けられている。さらに導入口４４は、各マニホールド１００毎に設けられている。すなわち、本実施形態の第２ヘッドチップ２Ｂは、第１の方向Ｘに３個並設されたマニホールド１００の列が、第２の方向Ｙに２列設けられている。そして、導入口４４は、各マニホールド１００の第１の方向Ｘにおける中央部に設けられている。したがって、導入口４４は、第１の方向Ｘに３個並設された列が、第２の方向Ｙに２列設けられている。なお、本実施形態では、上述した第１ヘッドチップ２Ａと同様に、第２の方向Ｙの一方の導入口４４を第１導入口４４Ａと称し、他方の導入口４４を第２導入口４４Ｂと称する。すなわち、上述した第１ヘッドチップ２Ａと同様に、第２ヘッドチップ２Ｂにおいても、基準方向である第２の方向Ｙにおいて、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの間で配線部材１２１（図示なし）の一端部が圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０（図示なし）にリード電極９０を介して接続されている。そして、配線部材１２１の他端部は、貫通孔３２及び接続口４３の貫通方向、すなわち、第３の方向Ｚであって、インク滴の吐出方向とは反対側に延設されている。なお、第２ヘッドチップ２Ｂの基本的な構成は、第１ヘッドチップ２Ａと同様のため重複する説明は省略する。
【００５０】
このような第１ヘッドチップ２Ａ及び第２ヘッドチップ２Ｂを有する本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドについて詳細に説明する。なお、図５は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図６は、インクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図７は、要部を拡大した断面図である。
【００５１】
図示するように、記録ヘッド１は、ノズルからインク（液体）をインク滴（液滴）として吐出する２つのヘッドチップ２（第１ヘッドチップ２Ａ、第２ヘッドチップ２Ｂ）と、２つのヘッドチップ２を保持すると共にヘッドチップ２にインク（液体）を供給する流路部材２００と、流路部材２００に保持された配線基板３００と、ヘッドチップ２の液体噴射面２０ａ側に設けられたカバーヘッド４００と、を具備する。
【００５２】
流路部材２００は、上流流路５００が設けられた上流流路部材２１０と、下流流路６００が設けられた下流流路部材２２０と、上流流路５００と下流流路６００とを密封した状態で接続するシール部材２３０と、を具備する。
【００５３】
上流流路部材２１０は、本実施形態では、第１上流流路部材２１１と、第２上流流路部材２１２と、第３上流流路部材２１３とが、インク滴を吐出する方向である第３の方向Ｚ（第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向）に積層されて構成されている。なお、上流流路部材２１０は特にこれに限定されるものではなく、単一の部材であっても、２以上の複数の部材で構成されていてもよい。また、上流流路部材２１０を構成する複数の部材の積層方向も特に限定されず、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙであってもよい。
【００５４】
第１上流流路部材２１１は、下流流路部材２２０とは反対面側に、インク（液体）が保持されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体保持部に接続される接続部２１４を有する。本実施形態では、接続部２１４として針状に突出したものとした。なお、接続部２１４には、インクカートリッジなどの液体保持部が直接接続されてもよく、また、インクタンクなどの液体保持部がチューブ等の供給管などを介して接続されてもよい。このような接続部２１４の内部には、液体保持部からのインクが供給される第１上流流路５０１が設けられている。また、第１上流流路部材２１１の接続部２１４の周囲には、液体保持部を位置決めするためのガイド壁２１５が設けられている。なお、第１上流流路５０１は、後述する第２上流流路５０２の位置に応じて、第３の方向Ｚに延びる流路や、第３の方向Ｚに直交する方向、すなわち第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面内に延びる流路等で構成されている。
【００５５】
第２上流流路部材２１２は、第１上流流路部材２１１の接続部２１４とは反対面側に固定されて、第１上流流路５０１に連通する第２上流流路５０２を有する。また、第２上流流路５０２の下流側（第３上流流路部材２１３側）には、第１上流流路５０１よりも内径が広く拡幅された第１液体溜まり部５０２ａが設けられている。
【００５６】
第３上流流路部材２１３は、第２上流流路部材２１２の第１上流流路部材２１１とは反対側に設けられている。また、第３上流流路部材２１３には、第３上流流路５０３が設けられている。第３上流流路５０３の第２上流流路５０２側の開口部分は、第１液体溜まり部５０２ａに応じて拡幅された第２液体溜まり部５０３ａとなっており、第２液体溜まり部５０３ａの開口部分（第１液体溜まり部５０２ａと第２液体溜まり部５０３ａとの間）には、インクに含まれる気泡や異物を除去するためのフィルター２１６が設けられている。これにより、第２上流流路５０２（第１液体溜まり部５０２ａ）から供給されたインクは、フィルター２１６を介して第３上流流路５０３（第２液体溜まり部５０３ａ）に供給される。
【００５７】
また、第３上流流路５０３は、第２液体溜まり部５０３ａよりも下流側（第２上流流路とは反対側）で、２つに分岐されており、第３上流流路５０３は第３上流流路部材２１３の下流流路部材２２０側の面に第１排出口５０４Ａ及び第２排出口５０４Ｂとして開口して設けられている。
【００５８】
すなわち、１つの接続部２１４に対応する上流流路５００は、第１上流流路５０１、第２上流流路５０２及び第３上流流路５０３を有し、上流流路５００は、下流流路部材２２０側に２つの排出口５０４（第１排出口５０４Ａ及び第２排出口５０４Ｂ）として開口する。言い換えると、２つの排出口５０４（第１排出口５０４Ａ及び第２排出口５０４Ｂ）は、共通する流路（共通流路）に連通して設けられている。
【００５９】
また、第３上流流路部材２１３の下流流路部材２２０側には、下流流路部材２２０側に向かって突出する第１突起部２１７が設けられている。第１突起部２１７は、分岐された第３上流流路５０３毎に設けられており、第１突起部２１７のそれぞれの先端面に排出口５０４が開口して設けられている。
【００６０】
このような上流流路５００が設けられた第１上流流路部材２１１、第２上流流路部材２１２及び第３上流流路部材２１３は、例えば、接着剤や、溶着等によって一体的に積層されている。なお、第１上流流路部材２１１、第２上流流路部材２１２及び第３上流流路部材２１３をネジやクランプ等で固定することもできるが、第１上流流路５０１から第３上流流路５０３に至るまでの接続部分からインク（液体）が漏出するのを抑制するためにも、接着剤や溶着等で接合するのが好ましい。
【００６１】
なお、本実施形態では、１つの上流流路部材２１０に４つの接続部２１４を設け、１つの上流流路部材２１０には４つの独立した上流流路５００が設けられている。そして、各上流流路５００が下流流路部材２２０側で２つに分岐されているため、合計８個の導入口４４が設けられている。ちなみに、本実施形態では、上流流路５００がフィルター２１６よりも下流（下流流路部材２２０側）で２つに分岐した構成を例示したが、特にこれに限定されず、フィルター２１６よりも下流側で上流流路５００が３つ以上に分岐されていてもよい。また、１つの上流流路５００がフィルター２１６よりも下流で分岐されていなくてもよい。
【００６２】
下流流路部材２２０は、上流流路５００に接続される下流流路６００を有する。下流流路部材２２０には、上流流路部材２１０側に突出する第２突起部２２１が設けられている。第２突起部２２１は、第１突起部２１７に対応して、各上流流路５００毎、すなわち、第１突起部２１７毎にそれぞれ設けられている。また、下流流路６００の一端は第２突起部２２１の先端面に開口し、他端は上流流路部材２１０とは第３の方向Ｚにおいて反対側の面に開口して設けられている。本実施形態では、この下流流路６００が特許請求の範囲に記載の接続流路に相当する。なお、下流流路６００は、各上流流路５００の排出口５０４毎に独立して設けられている。すなわち、１つの上流流路５００は、２つの第１排出口５０４Ａ及び第２排出口５０４Ｂを有するため、第１排出口５０４Ａに接続された下流流路６００が第１接続流路６００Ａ、第２排出口５０４Ｂに接続された下流流路６００が第２接続流路６００Ｂとなる。以降、第１接続流路６００Ａ及び第２接続流路６００Ｂを接続流路６００と総称する。
【００６３】
また、下流流路部材２２０の上流流路部材２１０とは反対面側には、複数のヘッドチップ２、本実施形態では、２個のヘッドチップ２が固定されている。ここで、１つのヘッドチップ２には、上述のようにノズル群（ノズル列）が第２の方向Ｙに並んで形成されており、記録ヘッド１には２つのヘッドチップ２が第２の方向Ｙに並設されて設けられている。なお、以降、ヘッドチップ２の第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚは、記録ヘッド１の第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚとそれぞれ同じ方向を示す。ちなみに、本実施形態の記録ヘッド１に設けられた２つのヘッドチップ２は、上述のように第１ヘッドチップ２Ａと第２ヘッドチップ２Ｂとからなる。第１ヘッドチップ２Ａには、導入口４４が２個（第１導入口４４Ａ及び第２導入口４４Ｂ）設けられ、第２ヘッドチップ２Ｂには、導入口４４が６個（第１導入口４４Ａが３個と第２導入口４４Ｂが３個）設けられている。そして、下流流路部材２２０に設けられた下流流路６００（第１接続流路６００Ａ及び第２接続流路６００Ｂ）は、各導入口４４の開口する位置に合わせて開口して設けられている。
【００６４】
ここで、本実施形態では、第１ヘッドチップ２Ａは、第１導入口４４Ａが第２の方向Ｙにおいて第２ヘッドチップ２Ｂ側となるように配置されている。同様に、第２ヘッドチップ２Ｂは、第１導入口４４Ａが第２の方向Ｙにおいて第１ヘッドチップ２Ａ側となるように配置されている。そして、下流流路６００である第１接続流路６００Ａは第１排出口５０４Ａと第１導入口４４Ａとを接続し、第２接続流路６００Ｂは第２排出口５０４Ｂと第２導入口４４Ｂとを接続する。したがって、第１ヘッドチップ２Ａの流路を接続する第１接続流路６００Ａは、第２接続流路６００Ｂよりも第２ヘッドチップ２Ｂ側に配置されている。同様に、第２ヘッドチップ２Ｂの流路を接続する第１接続流路６００Ａは、第２接続流路６００Ｂよりも第１ヘッドチップ２Ａ側に配置されている。
【００６５】
そして、第１接続流路６００Ａは、本実施形態では、第３の方向Ｚに沿って直線状に形成されている。また、第２接続流路６００Ｂは、第２導入口４４Ｂから第１導入口４４Ａとは離れる基準方向である第２の方向Ｙに向かって延設された延設流路を有する。具体的には、第２接続流路６００Ｂは、上流流路５００（第２排出口５０４Ｂ）に接続される第１流路６０１と、第１流路６０１に接続された延設流路である第２流路６０２と、第２流路６０２と第２導入口４４Ｂとを接続する第３流路６０３と、を具備する。
【００６６】
第１流路６０１と第３流路６０３とは、第３の方向Ｚに沿って直線状に設けられている。もちろん、第１流路６０１と第３流路６０３とは、第３の方向Ｚに交差する方向に設けられていてもよい。
【００６７】
また、延設流路である第２流路６０２は、第２の方向Ｙに向かって延設されている。ここで、第２流路６０２（延設流路）が第２の方向Ｙに向かって延設されているとは、第２流路６０２の延設方向に、第２の方向Ｙに向かう成分（ベクトル）が存在することを言う。ちなみに、第２流路６０２の延設方向とは、第２流路６０２内のインク（液体）が流れる方向のことである。したがって、第２流路６０２は、水平方向（第３の方向Ｚに直交する方向）に設けられているものも、第３の方向Ｚ及び水平方向（第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの面内方向）に交差して設けられているものも含む。本実施形態では、第１流路６０１及び第３流路６０３を第３の方向Ｚに沿って設け、第２流路６０２を水平方向（第２の方向Ｙ）に沿って設けるようにした。
【００６８】
もちろん、第２接続流路６００Ｂは、これに限定されず、第１流路６０１、第２流路６０２、第３流路６０３以外の流路が存在してもよく、また、第１流路６０１又は第３流路６０３が設けられていなくてもよい。また、上述した例では、第２流路６０２のみが延設流路である構成を説明したが、特にこれに限定されず、第２の方向Ｙに成分を有する２つの流路を延設流路としてもよい。ただし、延設流路は、気泡が滞留し易いため、２つ設けるよりも、本実施形態のように１つだけ（第２流路６０２のみ）を設ける方が好ましい。これにより、気泡排出性を向上することができる。また、直線状に延設された第２接続流路６００Ｂが第３の方向Ｚに対して斜めに傾斜して設けられていてもよい。つまり、第２接続流路６００Ｂ全体が延設流路となっていてもよい。ただし、垂直な第１流路６０１及び第３流路６０３と水平な第２流路６０２とを設けた方が、第２接続流路６００Ｂが専有するスペースを小さくして省スペース化できるので、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。
【００６９】
このように、第２接続流路６００Ｂに延設流路である第２流路６０２を設けることで、ヘッドチップ２の第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの第２の方向Ｙの間隔を広げることなく、第１接続流路６００Ａと第１排出口５０４Ａとが連通する領域と、第２接続流路６００Ｂと第２排出口５０４Ｂとが連通する領域との第２の方向Ｙの間隔を第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの間隔よりも広くすることができる。
【００７０】
これにより、詳しくは後述するが、ヘッドチップ２を大型化することなく、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間で、配線部材１２１と配線基板３００とを容易に接続することができる。
【００７１】
また、第２接続流路６００Ｂに延設流路である第２流路６０２を設けることで、第１排出口５０４Ａと第２排出口５０４Ｂとの距離（第２の方向Ｙ）を離すことができる。これにより、共通流路であるフィルター２１６（第１液体溜まり部５０２ａ、第２液体溜まり部５０３ａ）の面積を大きく確保することができる。ここで、フィルター２１６を設けることで流路抵抗が増大するため、流量を確保するためにはフィルター２１６にある程度の大きさが必要である。しかしながら、ヘッドチップ２の小型化に伴い第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとが近づいた場合、第２接続流路６００Ｂに延設流路を設けないと、この第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとに連通する共通流路のフィルター２１６を設ける面積も小さくなってしまう。つまり、ヘッドチップ２が大きく、第１導入口４４Ａ、第２導入口４４Ｂの距離が遠い（マニホールド１００同士が遠い）場合には、フィルター２１６を設ける領域（面積）も容易に確保できるため、このような問題は生じない。本実施形態では、第２接続流路６００Ｂに延設流路（第２流路６０２）を設けることで、ヘッドチップ２を小型化した状態、すなわち、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとを離すことなく、フィルター２１６の面積を大きく確保することができる。
【００７２】
なお、このような接続流路６００は、例えば、第１下流流路部材２２２と、第２下流流路部材２２３とに形成されている。第１下流流路部材２２２には、第１流路６０１が形成され、第１下流流路部材２２２と第２下流流路部材２２３との間に第２流路６０２が形成されている。また、第２下流流路部材２２３には第３流路６０３が形成されている。これにより、延設流路である第２流路６０２を下流流路部材２２０内に容易に形成することができる。
【００７３】
また、本実施形態では、第１ヘッドチップ２Ａの第１導入口４４Ａを第２ヘッドチップ２Ｂ側に設けたため、第１ヘッドチップ２Ａの第２接続流路６００Ｂは、第２ヘッドチップ２Ｂとは反対側となるように配置される。同様に、第２ヘッドチップ２Ｂの第１導入口４４Ａは第１ヘッドチップ２Ａ側となっているため、第２ヘッドチップ２Ｂの第２接続流路６００Ｂは、第１ヘッドチップ２Ａとは反対側に配置される。これにより、本実施形態では、第３の方向Ｚに直線状に設けられた第１接続流路６００Ａが２つのヘッドチップ２の内側に配置される。したがって、２つのヘッドチップ２を第２の方向Ｙに離すことなく、近づけて配置することができ、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。
【００７４】
また、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間には、配線部材１２１を挿通するために配線部材挿通孔２２４が設けられている。配線部材挿通孔２２４は、ヘッドチップ２の接続口４３に連通して、配線部材１２１をヘッドチップ２側から上流流路部材２１０側に挿通するためのものである。このような配線部材挿通孔２２４は、ヘッドチップ２の第１の方向Ｘの幅と略同じ幅の開口で設けられている。
【００７５】
このような上流流路部材２１０と下流流路部材２２０との間には、上流流路５００と下流流路６００とを接続する（継ぐ）、継手であるシール部材２３０が設けられている。
【００７６】
シール部材２３０は、記録ヘッド１に用いられるインク等の液体に対して耐液体性を有し、且つ弾性変形可能な材料（弾性材料）、例えば、ゴムやエラストマー等を用いることができる。シール部材２３０は、下流流路６００毎に管状部分２３１を有する。管状部分２３１は、内部に連通流路２３２が設けられている。そして、管状部分２３１の連通流路２３２を介して上流流路部材２１０の上流流路と下流流路部材２２０の下流流路とが連通される。なお、管状部分２３１の上流流路部材２１０側の端面には、第１突起部２１７が挿入される環状の第１凹部２３３が設けられている。また、管状部分２３１の下流流路部材２２０側の端面には、第２突起部２２１が挿入される第２凹部２３４が設けられている。そして、第１凹部２３３に挿入された第１突起部２１７の先端面と、第２凹部２３４に挿入された第２突起部２２１の先端面との間で管状部分２３１は第３の方向Ｚに所定の圧力が印加された状態で保持されている。このように上流流路５００と連通流路２３２とはシール部材２３０に第３の方向Ｚに圧力が印加された状態で接続され、連通流路２３２と下流流路６００とはシール部材２３０に第３の方向Ｚに圧力が印加された状態で接続される。したがって、上流流路５００と下流流路６００とは連通流路２３２を介して密封された状態で連通されている。また、本実施形態では、管状部分２３１（連通流路２３２）は、接続流路６００に含まれるものである。ちなみに、第１突起部２１７が詳しくは後述する配線基板３００を超えて下流流路部材２２０側まで延設されていてもよい。この場合には、配線基板３００を超えた流路は接続流路６００に含まれる。つまり、接続流路６００は、第２液体溜まり部５０３ａと導入口４４とを接続する流路であって、配線基板３００を超えて設けられたものであればよい。
【００７７】
なお、本実施形態の管状部分２３１は、１つの上流流路部材２１０に対して複数個が一体的になるように、上流流路部材２１０側で板状部分によって連結されている。なお、本実施形態では、１つの上流流路部材２１０に上流流路５００の排出口５０４が８個設けられているため、８個の管状部分２３１が一体的に設けられたシール部材２３０となっている。
【００７８】
また、本実施形態では、シール部材２３０に第３の方向Ｚに圧力を印加して、上流流路５００と下流流路６００とを接続するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、管状部分２３１の内壁面と第１突起部２１７及び第２突起部２２１の少なくとも一方の外周面とを密着させて、つまり、径方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの面方向に圧力を印加して流路を接続するようにしてもよい。
【００７９】
また、シール部材２３０と下流流路部材２２０との間には、配線部材１２１が接続される配線基板３００が設けられている。配線基板３００には、配線部材１２１とシール部材２３０の管状部分２３１が挿入される挿通孔が設けられている。本実施形態では、第１接続流路６００Ａに対応して設けられた管状部分２３１と配線部材１２１とが挿通される開口部である第１挿通孔３０１と、第２接続流路６００Ｂに対応して設けられた管状部分２３１が挿通される開口部である第２挿通孔３０２とが設けられている。
【００８０】
本実施形態の第１挿通孔３０１は、２つの配線部材１２１を挿通する大きさで形成されている。なお、２つの配線部材１２１の間には、２つのヘッドチップ２の第１接続流路６００Ａが４個設けられているため、この第１接続流路６００Ａに対応するシール部材２３０の管状部分２３１は、配線部材１２１と共に第１挿通孔３０１に挿通される。
【００８１】
また、第２挿通孔３０２は、第２接続流路６００Ｂに対応して設けられた管状部分２３１毎に設けられている。つまり、配線基板３００は、第３の方向Ｚにおいて第２接続流路６００Ｂの延設流路である第２流路６０２から第１導入口４４Ａとは反対側で、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間から第２接続流路６００Ｂを超えて第２の方向Ｙに延びるように配置されている。なお、本実施形態では、２つのヘッドチップ２に共通する１つの配線基板３００を設けるようにした。したがって、配線基板３００は、第２の方向Ｙにおいて、第１ヘッドチップ２Ａ用に設けられた第２接続流路６００Ｂの第１接続流路６００Ａとは反対側から、第１ヘッドチップ２Ａ用の第１接続流路６００Ａと第２ヘッドチップ２Ｂ用の第１接続流路６００Ａとの間を通って、第２ヘッドチップ２Ｂ用の第２接続流路６００Ｂの第１接続流路６００Ａとは反対側まで延設されている。もちろん、配線基板３００は、これに限定されず、１つのヘッドチップ２毎に分割して設けるようにしてもよい。この場合にも、各ヘッドチップ２毎に設けられた配線基板は、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間から第２接続流路６００Ｂを超えて第２の方向Ｙに延びるように配置されることで、配線部材１２１と配線基板とを容易に接続することが可能となる。なお、本実施形態のように、２つのヘッドチップ２に共通する１枚の配線基板３００を用いることで、部品点数を減少させて組立作業を簡略化することができる。
【００８２】
また、配線基板３００の１つの開口部である第１挿通孔３０１に２つの配線部材１２１と、２つの第１接続流路６００Ａとを挿通することで、開口部を複数設ける場合に比べて、広い開口面積で第１挿通孔３０１を設けることができる。これにより、第１挿通孔３０１から配線部材１２１を引き出し易くして、組立性を向上することができる。つまり、配線部材１２１は、配線基板３００のヘッドチップ２側から上流流路部材２１０側に引き出して配線部材１２１と配線基板３００とを接続しなくてはならないが、可撓性を有する配線基板３００を狭い開口に挿通させるのは困難である。
【００８３】
また、配線基板３００の開口部である１つの第１挿通孔３０１に挿通される配線部材１２１を第３の方向Ｚに起立した状態とすると共に、第１挿通孔３０１に挿通される２つの第１接続流路６００Ａを第３の方向Ｚに沿って直線状に設けるようにしたため、第１挿通孔３０１の開口面積をできるだけ小さくすることができる。
【００８４】
また、配線基板３００には、上流流路部材２１０側の面であって、第１挿通孔３０１の第２の方向Ｙの両側の開口縁部に、配線部材１２１が接続される端子部３１０が設けられている。端子部３１０は、第１の方向Ｘに配線部材１２１の幅と略同じ幅に亘って形成されている。このような端子部３１０は、第２接続流路６００Ｂに対応して設けられた管状部分２３１が挿通される第２挿通孔３０２を超えることなく形成されている。すなわち、端子部３１０は、第１接続流路６００Ａ（第１挿通孔３０１）と第２接続流路６００Ｂ（第２挿通孔３０２）との間に設けられている。
【００８５】
そして、配線部材１２１の他端部は、配線基板３００の第１挿通孔３０１に下流流路部材２２０側から挿通される。このように第１挿通孔３０１に挿通された配線部材１２１の他端部は、配線基板３００の表面（上流流路部材２１０側の表面）である第２の方向Ｙに沿って屈曲され、配線基板３００の上流流路部材２１０側の表面上で端子部３１０に接続されている。つまり、配線部材１２１と配線基板３００（端子部３１０）との接続面は、配線基板３００の表面に沿った方向、すなわち、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの面内方向となっている。
【００８６】
このように、配線部材１２１の他端部を屈曲することで、配線部材１２１を低背化でき、記録ヘッド１の第３の方向Ｚを小型化することができる。
【００８７】
また、配線部材１２１の屈曲方向は、本実施形態では、第１導入口４４Ａとは離れる第２の方向Ｙである。つまり、配線部材１２１の他端部と配線基板３００とは、第３の方向Ｚにおいて、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間（第２の方向Ｙ）に重なる領域で接続されている。
【００８８】
このように、配線部材１２１の他端部を第１導入口４４Ａとは離れる第２の方向Ｙに屈曲することで、配線部材１２１及び配線基板３００を接続する空間（接続領域）と、第２接続流路６００Ｂの延設流路である第２流路６０２によって第２の方向Ｙに拡幅した空間とは共有することができる。すなわち、配線部材１２１と配線基板３００とを接続する領域は、第２接続流路６００Ｂに延設流路である第２流路６０２を設けることで確保されている。これにより、記録ヘッド１を第２の方向Ｙに小型化することができる。ちなみに、配線部材１２１の屈曲方向を第２導入口４４Ｂとは離れる第２の方向Ｙとする場合には、２つの配線部材１２１の間に端子部３１０（端子部３１０を設ける配線基板３００の領域）が必要になると共に、２つの配線部材１２１の端子部３１０同士が干渉しないようにするためのスペースが必要になるため、配線基板３００が第２の方向Ｙに大型化してしまい、記録ヘッド１が大型化してしまう。また、延設流路を設けずに、配線部材１２１の他端部を第１導入口４４Ａとは離れる第２の方向Ｙに屈曲して配線基板３００と接続する場合、端子部３１０を設けるスペースを確保するためにはヘッドチップ２の第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの第２の方向Ｙの間隔を広げなくてはならず、ヘッドチップ２が大型化すると共に記録ヘッド１が大型化してしまう。つまり、本実施形態では、第２接続流路６００Ｂに第２の方向Ｙに延設された延設流路である第２流路６０２を設けると共に、配線部材１２１の他端部を第１導入口４４Ａとは離れる第２の方向Ｙに屈曲して配線基板３００と接続することで、ヘッドチップ２の第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの間隔を広げることなく、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間に第３の方向Ｚで重なる位置で配線部材１２１と配線基板３００とを接続することができる。また、配線基板３００を第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間に第３の方向Ｚに重なる位置に設けることで、配線部材１２１を第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間から接続流路６００の外側まで引き出す必要がなく、シート状の配線部材１２１の無理な屈曲による断線等を抑制することができる。
【００８９】
また、本実施形態では、配線部材１２１と配線基板３００とを配線基板３００の上流流路部材２１０側の表面上で、配線部材１２１が配線基板３００の表面に沿って端子部３１０と接続されている。つまり、配線部材１２１と配線基板３００の端子部３１０とは第３の方向Ｚで重なるように接続されている。
【００９０】
このように、配線部材１２１と配線基板３００の端子部３１０とを第３の方向Ｚで重なる位置で接続することで、一方面（上流流路部材２１０）側から配線部材１２１と配線基板３００との接続を容易に行うことができ、組立性を向上することができる。つまり、ヘッドチップ２を下流流路部材２２０に固定すると共に配線部材１２１を配線部材挿通孔２２４に挿通した後、配線部材挿通孔２２４に挿通された配線部材１２１の端部を配線基板３００に接続するようにすれば、容易に組み立てられると共に配線部材１２１と配線基板３００とを容易に接続することができる。ちなみに、例えば、配線基板３００の下流流路部材２２０側の面で配線部材１２１と配線基板３００とを接続するには、先に配線部材１２１と配線基板３００とを接続した後、ヘッドチップ２を下流流路部材２２０に固定する必要がある。このような工程で組み立てを行う場合、ヘッドチップ２と下流流路部材２２０とが固定されていない状態でも配線部材１２１と配線基板３００とが接続された状態が維持できるように配線部材１２１を長くしなければならず、高コストになってしまう。また、ヘッドチップ２と下流流路部材２２０とを固定した際には、長くした配線部材１２１に撓みが生じ、配線部材１２１上の配線が他の部材に接触することにより破損し、断線や短絡等の不具合が生じる虞がある。本実施形態では、配線部材１２１と配線基板３００とを配線基板３００の上流流路部材２１０側の表面上で、配線部材１２１と配線基板３００の端子部３１０とが第３の方向Ｚで重なるように接続することで、配線部材１２１に組み立て後の撓みが生じ難く、且つ配線部材１２１をヘッドチップ２と配線基板３００とを結ぶ最も短い距離（長さ）で設けることができるためコストを低減することができる。
【００９１】
さらに、本実施形態では、２つのヘッドチップ２の第２接続流路６００Ｂを第２の方向Ｙの外側に配置することで、２つのヘッドチップ２の第２の方向Ｙの間隔を狭めて、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。
【００９２】
また、本実施形態では、上述したように、配線部材１２１は、駆動回路１２０が設けられた面側を第２導入口４４Ｂとし、駆動回路１２０が設けられた面とは反対側を第１導入口４４Ａとなるように配置されている。すなわち、駆動回路１２０と第２導入口４４Ｂとの距離は、駆動回路１２０と第１導入口４４Ａとの距離よりも短くなっている。そして、駆動回路１２０は、配線基板３００と下流流路部材２２０との間の空間に配置されている。ここで、駆動回路１２０は所定の厚みを有するため、駆動回路１２０をケース部材４０内に配置しようとすると、ケース部材４０の接続口４３を第２の方向Ｙの幅を広くしなくてはならず、ケース部材４０の大型化によってヘッドチップ２が大型化してしまう。このため、駆動回路１２０は、配線基板３００と下流流路部材２２０との間の空間に配置するのが好ましい。本実施形態では、駆動回路１２０を配置する空間（配線基板３００と下流流路部材２２０との間の空間）と、延設流路である第２流路６０２が拡幅した空間（配線部材１２１と配線基板３００との接続領域）とが共有することができることで、省スペース化することができ、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。ちなみに、駆動回路１２０を第１導入口４４Ａ側に配置すると、駆動回路１２０を配置する配線基板３００と下流流路部材２２０との間の空間が第１導入口４４Ａ側に必要となり、２つのヘッドチップ２の第２の方向Ｙの幅を広げなくてはならず、記録ヘッド１が大型化してしまう。つまり、本実施形態では、駆動回路１２０を第２導入口４４Ｂ側に設けることで、第１導入口４４Ａ側に駆動回路１２０を配置する空間が不要となり、２つのヘッドチップ２の間の間隔を狭くでき、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。
【００９３】
また、駆動回路１２０を圧電アクチュエーター１３０の近くに配置できることから、耐ノイズの向上、信号なまりの抑制及び熱ロスの抑制を実現できる。
【００９４】
なお、配線基板３００には、図示しない配線や電子部品等が搭載されており、端子部３１０に接続された配線は、第２の方向Ｙの両端部側に設けられたコネクター３２０に接続されている。そして、コネクター３２０には、図示しない外部配線が接続される。なお、下流流路部材２２０には、コネクター３２０を露出するためのコネクター接続口２２５が設けられており、外部配線は、コネクター接続口２２５によって露出されたコネクター３２０に接続される。
【００９５】
なお、流路部材２００とヘッドチップ２との固定方法は特に限定されず、例えば、接着剤による接着や、ネジ等による固定であってもよい。ただし、ヘッドチップ２は小型であり、１つの流路部材２００に対してヘッドチップ２を複数取り付ける必要があるため、弾性材料からなるシール部材を介して固定するのは困難である。したがって、ヘッドチップ２と流路部材２００とは接着剤により接着するのが好ましい。
【００９６】
また、流路部材２００のヘッドチップ２が設けられた面側には、カバーヘッド４００が設けられている。カバーヘッド４００は、本実施形態では、複数のヘッドチップ２を覆う大きさを有する。また、カバーヘッド４００には、ノズル２１を露出する第２露出開口部４０１が設けられている。本実施形態では、第２露出開口部４０１は、ノズルプレート２０を露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５の第１露出開口部４５ａと略同じ開口を有する。
【００９７】
このようなカバーヘッド４００は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接合されており、コンプライアンス部４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間を封止する。このようにコンプライアンス部４９をカバーヘッド４００で覆うことにより、コンプライアンス部４９が紙等の被記録媒体が接触しても破壊されるのを抑制することができる。また、コンプライアンス部４９にインク（液体）が付着するのを抑制して、カバーヘッド４００の表面に付着したインク（液体）を例えばワイパーブレード等で払拭することができ、被記録媒体をカバーヘッド４００に付着したインク等で汚すのを抑制することができる。なお、特に図示していないが、カバーヘッド４００とコンプライアンス部との間の空間は、大気開放されている。もちろん、カバーヘッド４００は、各ヘッドチップ２毎に独立して設けられていてもよい。
【００９８】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【００９９】
例えば、上述した実施形態１では、ヘッドチップ２が２つ設けられた記録ヘッド１について説明したが、ヘッドチップ２の数は、特にこれに限定されず、１個のヘッドチップを有する記録ヘッド１であっても、３個以上のヘッドチップ２を有する記録ヘッド１であってもよい。また、上述した実施形態１では、記録ヘッド１に第１ヘッドチップ２Ａと第２ヘッドチップ２Ｂとを設けた構成を例示したが、特にこれに限定されず、記録ヘッド１に第１ヘッドチップ２Ａ及び第２ヘッドチップ２Ｂの何れか一方のみを設けるようにしてもよい。もちろん、ヘッドチップ２の構成は、上述した第１ヘッドチップ２Ａ、第２ヘッドチップ２Ｂに限定されるものではない。
【０１００】
また、上述した実施形態１では、１つのヘッドチップ２に接続された第１接続流路６００Ａ及び第２接続流路６００Ｂは、共通する共通流路である上流流路５００に接続するようにしたが、特にこれに限定されず、第１接続流路６００Ａ及び第２接続流路６００Ｂは、それぞれ独立した流路に連通していてもよい。ちなみに、上述した実施形態１のように第１導入口４４Ａ、第２導入口４４Ｂが共通流路に連通する構成の場合、第１導入口４４Ａ及び第２導入口４４Ｂの間に設けられた配線部材１２１は、共通流路を超えて流路の外側まで延設することが困難となるが、配線部材１２１を第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間で配線基板３００と接続することで、配線部材１２１は共通流路を超えて延設する必要がない。
【０１０１】
さらに、上述した実施形態１では、第１挿通孔３０１に２つの配線部材１２１と４個の第１接続流路６００Ａとを挿通するようにしたが、特にこれに限定されず、配線部材１２１を挿通する挿通孔と第１接続流路６００Ａを挿通する挿通孔を独立して設けるようにしてもよい。また、第１接続流路６００Ａは、第１の方向Ｘに並設された列を１つの挿通孔に挿通してもよく、また、各第１接続流路６００Ａ毎に挿通孔を独立して設けるようにしてもよい。ただし、上述した実施形態１のように、第１挿通孔３０１に２つの配線部材１２１と４個の第１接続流路６００Ａとを挿通することで、組立性を向上することができる。
【０１０２】
さらに、上述した実施形態１では、上流流路５００が設けられた上流流路部材２１０と下流流路６００が設けられた下流流路部材２２０とを有する流路部材２００を例示したが、例えば、インク（液体）を循環させる場合には、上流と下流とを逆転させればよい。すなわち、ヘッドチップ２に供給されたインクを下流流路６００から上流流路５００に流して液体保持部や排出されたインクが貯留される貯留部等に排出（循環）すればよい。
【０１０３】
また、上述した実施形態１では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター１３０を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【０１０４】
また、実施形態１のインクジェット式記録ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【０１０５】
図８に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数のインクジェット式記録ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニットＩＩ（以下、ヘッドユニットＩＩとも言う）は、液体保持部を構成するカートリッジ１Ａが着脱可能に設けられ、このヘッドユニットＩＩを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニットＩＩは、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【０１０６】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニットＩＩを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【０１０７】
また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッド１（ヘッドユニットＩＩ）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【０１０８】
また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、液体保持部であるインクカートリッジ１Ａがキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体保持部を装置本体４に固定して、液体保持部とインクジェット式記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体保持部がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。
【０１０９】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【符号の説明】
【０１１０】
Ｘ  第１の方向、  Ｙ  第２の方向（基準方向）、  Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  ＩＩ  インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、  １  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  １０  流路形成基板、  １１  ヘッド本体、  １５  連通板、  ２０  ノズルプレート、  ２０ａ  液体噴射面、  ２１  ノズル、  ３０  保護基板、  ４０  ケース部材、  ４４  導入口、  ４４Ａ  第１導入口、  ４４Ｂ  第２導入口、  ４５  コンプライアンス基板、  ５０  振動板、  ６０  第１電極、  ７０  圧電体層、  ８０  第２電極、  １００  マニホールド、  １２０  駆動回路、  １２１  配線部材、  １３０  圧電アクチュエーター、  ２００  流路部材、  ２１０  上流流路部材、  ２２０  下流流路部材、  ２３０  シール部材、  ３００  配線基板、  ４００  カバーヘッド、  ５００  上流流路、  ５０４  排出口、  ５０４Ａ  第１排出口、  ５０４Ｂ  第２排出口、  ６００  下流流路（接続流路）、  ６００Ａ  第１接続流路、  ６００Ｂ  第２接続流路、  ６０２  第２流路（延設流路）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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