(57)【要約】【課題】本発明は、電極の短絡を防ぐと共に、振動効率が改善された音叉型振動片及び振動デバイスを提供する。【解決手段】音叉型振動片（１００）では、圧電体からなる基部（１１０）と、基部から所定方向に平行に複数伸び、第１面と該第１面に対向して形成された第２面とを有する腕部（１２０）と、腕部の各々の第１面上に直接設けられ所定方向に伸びる第１圧電体膜（１３２）と、第１圧電体膜の面上に設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第１電極膜（１３１）と、第１電極膜と対向して腕部の各々の第２面上に直接設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第２電極膜（１３３）と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体からなる基部と、
前記基部から所定方向に平行に複数伸び、第１面と該第１面に対向して形成された第２面とを有する腕部と、
前記腕部の各々の前記第１面上に直接設けられ前記所定方向に伸びる第１圧電体膜と、
前記第１圧電体膜の面上に設けられ前記所定方向に伸びる導電材料からなる第１電極膜と、
前記第１電極膜と対向して前記腕部の各々の前記第２面上に直接設けられ前記所定方向に伸びる導電材料からなる第２電極膜と、
を備える音叉型振動片。
【請求項２】
前記第１圧電体膜がＺｎＯ、ＡｌＮ、ＰＺＴ、ＬｉＮｂＯ3及びＫＮｂＯ3の何れかを含む膜である請求項１に記載の音叉型振動片。
【請求項３】
前記基部及び前記腕部の圧電体がＸカット水晶である請求項１又は請求項２に記載の音叉型振動片。
【請求項４】
前記腕部は３以上の奇数本が配列され、
前記腕部のうち、端から数えて奇数番目に配置された前記腕部を第１腕部とし、偶数番目に配置された前記腕部を第２腕部としたときに、
前記第１腕部の前記第１電極膜と前記第２腕部の前記第２電極膜とが相互に電気的に接続され、かつ、前記第１腕部の前記第２電極膜と前記第２腕部の前記第１電極膜とが相互に電気的に接続された請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の音叉型振動片。
【請求項５】
前記第１圧電体膜と平行に前記所定方向に伸びる第２圧電体膜と、
前記第２圧電体膜の面上に設けられ前記所定方向に伸びる導電材料からなる第３電極膜と、
前記第３電極膜と対向して前記腕部の各々の前記第２面上に直接設けられ前記所定方向に伸びる導電材料からなる第４電極膜と、
を備え、
前記第１電極膜及び前記第２電極膜は、前記腕部を屈曲振動させる駆動用の電極であり、
前記第３電極膜及び前記第４電極膜は、前記音叉型振動片の前記屈曲振動により発生する圧電歪を検出する検出用の電極である請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の音叉型振動片。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の音叉型振動片と、前記音叉型振動片を気密に収納するパッケージとを備える振動デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の腕部を有する音叉型振動片及び振動デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の腕部と、腕部の一端が連結される基部と、腕部の一面上に形成される圧電体素子と、を有する音叉型振動子が知られている。圧電体素子は、圧電体膜と圧電体膜を挟むように形成される一対の電極膜とにより構成される。このような音叉型振動子では、小型化に伴う温度特性の低下が抑制され、腕部の本数を奇数とし隣接する腕部を互い違いに上下振動させることによりＱ値が高められる。
【０００３】
しかし、圧電体膜が薄膜の場合には圧電体膜に微小なピンホールが存在することがあり、ピンホールを介して圧電体膜を挟む一対の電極膜同士が短絡する可能性がある。これに対して例えば特許文献１では、圧電体膜の少なくとも一面に絶縁体層を設けることによりこのような短絡を防いでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−５０２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１では絶縁体層を設けることにより音叉型振動片の製造工程の数が増加し、製造コストが増加してしまう。また、Ｚカットの音叉型水晶振動片の場合には腕部自体に伸びる動きと縮む動きとがあるため効率よく腕部を屈曲することができていたが、特許文献１のように腕部の一面上に圧電体素子が形成される場合には、腕部が圧電体膜の収縮のみで厚み方向に振動するため、振動効率が悪かった。
【０００６】
本発明では、製造工程数を増やすことなく電極の短絡を防ぐと共に、振動効率が改善された音叉型振動片及び振動デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１観点の音叉型振動片では、圧電体からなる基部と、基部から所定方向に平行に複数伸び、第１面と該第１面に対向して形成された第２面とを有する腕部と、腕部の各々の第１面上に直接設けられ所定方向に伸びる第１圧電体膜と、第１圧電体膜の面上に設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第１電極膜と、第１電極膜と対向して腕部の各々の第２面上に直接設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第２電極膜と、を備える。
【０００８】
第２観点の音叉型振動片では、第１観点において、第１圧電体膜がＺｎＯ、ＡｌＮ、ＰＺＴ、ＬｉＮｂＯ3及びＫＮｂＯ3の何れかを含む膜である。
【０００９】
第３観点の音叉型振動片では、第１観点及び第２観点において、基部及び腕部の圧電体がＸカット水晶である。
【００１０】
第４観点の音叉型振動片では、第１観点から第３観点において、腕部に３以上の奇数本が配列され、腕部のうち、端から数えて奇数番目に配置された腕部を第１腕部とし、偶数番目に配置された腕部を第２腕部としたときに、第１腕部の第１電極膜と第２腕部の第２電極膜とが相互に電気的に接続され、かつ、第１腕部の第２電極膜と第２腕部の第１電極膜とが相互に電気的に接続されている。
【００１１】
第５観点の音叉型振動片では、第１観点から第４観点において、第１圧電体膜と平行に所定方向に伸びる第２圧電体膜と、第２圧電体膜の面上に設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第３電極膜と、第３電極膜と対向して腕部の各々の第２面上に直接設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第４電極膜と、を備え、第１電極膜及び第２電極膜は、腕部を屈曲振動させる駆動用の電極であり、第３電極膜及び第４電極膜は、音叉型振動片の屈曲振動により発生する圧電歪を検出する検出用の電極である。
【００１２】
第６観点の振動デバイスでは、第１観点から第５観点に記載の音叉型振動片と、音叉型振動片を気密に収納するパッケージとを備える。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の音叉型振動片及び振動デバイスによれば、製造工程数を増やすことなく電極の短絡が防がれると共に、振動効率が改善される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】（ａ）は、音叉型振動片１００の斜視図である。  （ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図２】（ａ）は、音叉型振動片２００の斜視図である。  （ｂ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】（ａ）は、音叉型振動片３００の斜視図である。  （ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図４】振動デバイス４００の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１６】
（第１実施形態）
＜音叉型振動片１００の構成＞
図１（ａ）は、音叉型振動片１００の斜視図である。音叉型振動片１００は、基部１１０と、基部１１０に連結される３本の腕部１２０と、各腕部１２０に形成されている圧電体素子１３０と、を含んでいる。以下の説明では、腕部１２０が伸びる方向をＹ軸方向、各腕部１２０が並ぶ方向をＸ軸方向、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに垂直な方向をＺ軸方向として説明する。
【００１７】
各腕部１２０は、基部１１０から＋Ｙ軸方向に伸びており、基部１１０と一体的に形成されている。基部１１０及び腕部１２０は、所定の振動特性を有する圧電体で構成される。圧電体としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が用いられる。水晶では、Ｘカットの水晶が用いられるが、ＡＴカット及びＺカット等であっても良い。以下、説明のために、−Ｘ軸側の腕部１２０を腕部１２０ａとし、中央の腕部１２０を腕部１２０ｂとし、＋Ｘ軸側の腕部１２０を腕部１２０ｃとする。また、腕部１２０ａに形成される圧電体素子１３０を圧電体素子１３０ａとし、同様に、腕部１２０ｂには圧電体素子１３０ｂが形成され、腕部１２０ｃには圧電体素子１３０ｃが形成されているとする。なお、図１（ａ）では、基部１１０上にも電極が形成されるが、これらの電極は図示されていない。
【００１８】
図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。各腕部１２０の＋Ｚ軸側の面には第１圧電体膜１３２が形成され、第１圧電体膜１３２上には第１電極膜１３１が形成され、各腕部１２０の−Ｚ軸側の面には第２電極膜１３３が形成される。各腕部１２０に形成される圧電体素子１３０は、第１電極膜１３１、第１圧電体膜１３２、及び第２電極膜１３３により構成される。以下の説明では、腕部１２０ａに形成される圧電体素子１３０ａが第１電極膜１３１ａ、第１圧電体膜１３２ａ、及び第２電極膜１３３ａにより構成されるとし、同様に、腕部１２０ｂに形成される圧電体素子１３０ｂが第１電極膜１３１ｂ、第１圧電体膜１３２ｂ、及び第２電極膜１３３ｂにより構成され、腕部１２０ｃに形成される圧電体素子１３０ｃが第１電極膜１３１ｃ、第１圧電体膜１３２ｃ、及び第２電極膜１３３ｃにより構成されるとする。
【００１９】
また、基部１１０上には接続端子１３４ａ及び接続端子１３４ｂが形成される。接続端子１３４ｂは第１電極膜１３１ａと、第２電極膜１３３ｂと、第１電極膜１３１ｃとに導通しており、接続端子１３４ａは第２電極膜１３３ａと、第１電極膜１３１ｂと、第２電極膜１３３ｃとに導通している。音叉型振動片１００では、接続端子１３４ａ及び接続端子１３４ｂの間に交番電圧が印加された場合に、腕部１２０ｂと、腕部１２０ａ及び腕部１２０ｃと、がＺ軸方向に互い違いになるように振動する。
【００２０】
第１圧電体膜１３２は、例えばＺｎＯ、ＡｌＮ、ＰＺＴ、ＬｉＮｂＯ３及びＫＮｂＯ３により構成される。また、第１電極膜１３１及び第２電極膜１３３は導電材料により形成される。具体的には、第１電極膜１３１は例えばＡｌ等、第２電極膜１３３は例えばＰｔ、Ｍｏ等により形成される。
【００２１】
基部１１０及び腕部１２０を構成する圧電体にＸカットの水晶が用いられ、第１電極膜１３１及び第２電極膜１３３に交番電圧が印加された場合には、各腕部１２０を構成するＸカットの水晶はＹ軸方向に伸張振動し、第１圧電体膜１３２もＹ軸方向に伸張収縮する。このとき、音叉型振動片１００に用いられるＸカットの水晶は、腕部１２０がＹ軸方向に伸びるときにその腕部１２０に形成される第１圧電体膜１３２がＹ軸方向に収縮し、腕部１２０がＹ軸方向に収縮するときにその腕部１２０に形成される第１圧電体膜１３２がＹ軸方向に伸びるように結晶軸方向が調整されて配置される。すなわち、腕部１２０と第１圧電体膜１３２とが、腕部１２０ａ及び腕部１２０ｃがＹ軸方向に伸張するときに第１圧電体膜１３２ａ及び第１圧電体膜１３２ｃが収縮し、同時に腕部１２０ｂがＹ軸方向に収縮して第１圧電体膜１３２ｂが伸張するように形成される。音叉型振動片１００では同一の腕部１２０内で伸びる動きと縮む動きとが行われることにより、各腕部１２０がＺ軸方向である上下方向に屈曲振動し易くなり振動効率が改善される。
【００２２】
（第２実施形態）
音叉型振動片の各腕部には、各腕部を屈曲振動させる駆動用の圧電体素子が形成されると共に、腕部の屈曲振動により発生する圧電歪を電荷に変換して出力する検出用の圧電体素子が形成されていても良い。以下に検査用の圧電体素子が形成された音叉型振動片について説明する。また、以下の説明では第１実施形態と同様の部分に関しては第１実施形態と同様の符号を付してその説明を省略する。
【００２３】
＜音叉型振動片２００の構成＞
図２（ａ）は、音叉型振動片２００の斜視図である。音叉型振動片２００は、基部１１０と、基部１１０に連結される３本の腕部１２０と、各腕部１２０に形成されている駆動用の圧電体素子２３０と、各腕部１２０に形成されている検出用の圧電体素子２４０と、を含んで形成される。図２（ａ）では、腕部１２０ａには駆動用の圧電体素子２３０ａ及び検出用の圧電体素子２４０ａが形成され、腕部１２０ｂには駆動用の圧電体素子２３０ｂ及び検出用の圧電体素子２４０ｂが形成され、腕部１２０ｃには駆動用の圧電体素子２３０ｃ及び検出用の圧電体素子２４０ｃが形成されている。駆動用の圧電体素子２３０は各腕部１２０の−Ｘ軸側に形成され、検出用の圧電体素子２４０は各腕部１２０の＋Ｘ軸側に形成されている。また、各駆動用の圧電体素子２３０及び検出用の圧電体素子２４０は、各腕部１２０において＋Ｚ軸側及び−Ｚ軸側の面をＹ軸方向に伸びるように形成されている。
【００２４】
図２（ｂ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。各腕部１２０の＋Ｚ軸側の面には駆動用の第１圧電体膜２３２及び検出用の第２圧電体膜２４２が形成され、第１圧電体膜２３２及び第２圧電体膜２４２上には第１電極膜２３１及び第３電極膜２４１が形成され、各腕部１２０の−Ｚ軸側の面には第１電極膜２３１及び第３電極膜２４１に対応するように第２電極膜２３３及び第４電極膜２４３が形成される。また、各腕部１２０に形成される駆動用の圧電体素子２３０は、第１電極膜２３１、第１圧電体膜２３２、及び第２電極膜２３３を含んで構成され、検出用の圧電体素子２４０は、第３電極膜２４１、第２圧電体膜２４２、及び第４電極膜２４３を含んで構成される。以下の説明では、腕部１２０ａに形成される駆動用の圧電体素子２３０ａが第１電極膜２３１ａ、第１圧電体膜２３２ａ、及び第２電極膜２３３ａにより構成されるとし、同様に、腕部１２０ｂに形成される駆動用の圧電体素子２３０ｂが第１電極膜２３１ｂ、第１圧電体膜２３２ｂ、及び第２電極膜２３３ｂにより構成され、腕部１２０ｃに形成される駆動用の圧電体素子２３０ｃが第１電極膜２３１ｃ、第１圧電体膜２３２ｃ、及び第２電極膜２３３ｃにより構成されるとする。また、腕部１２０ａに形成される検出用の圧電体素子２４０ａが第３電極膜２４１ａ、第２圧電体膜２４２ａ、及び第４電極膜２４３ａにより構成されるとし、同様に、腕部１２０ｂに形成される検出用の圧電体素子２４０ｂが第３電極膜２４１ｂ、第２圧電体膜２４２ｂ、及び第４電極膜２４３ｂにより構成され、腕部１２０ｃに形成される検出用の圧電体素子２４０ｃが第３電極膜２４１ｃ、第２圧電体膜２４２ｃ、及び第４電極膜２４３ｃにより構成されるとする。
【００２５】
各腕部１２０は駆動用の圧電体素子２３０により振動させられ、検出用の圧電体素子２４０により屈曲振動により発生する圧電歪が検出される。これにより、音叉型振動片２００は、加速度の変化に伴う周波数の変化を検出用の圧電体素子２４０により検出することによって加速度センサとして用いることができる。
【００２６】
第１圧電体膜２３２は例えばＰＺＴにより形成され、第２圧電体膜２４２は例えばＺｎＯにより形成される。ＰＺＴはＺｎＯと比べて圧電歪定数が高い。圧電歪定数は印加電圧に対する変位量を示す値であり、圧電歪定数が高いＰＺＴを駆動用の圧電体素子２３０に用いることにより腕部１２０の変位量を大きくすることができる。また、ＺｎＯはＰＺＴと比べて圧電出力係数が高い。圧電出力係数は加えた力に対する出力電圧の大きさに係る係数であり、検出用の圧電体素子２４０に圧電出力係数が高いＺｎＯを用いることにより出力電圧を大きくすることができる。
【００２７】
基部１１０上には接続端子２３４ａ、接続端子２３４ｂ、接続端子２４４ａ、及び接続端子２４４ｂが形成される。接続端子２３４ａは第１電極膜２３１ｂ、第２電極膜２３３ａ、及び第２電極膜２３３ｃに電気的に接続されており、接続端子２３４ｂは第１電極膜２３１ａ、第２電極膜２３３ｂ、及び第１電極膜２３１ｃに電気的に接続されている。図２（ｂ）では、接続端子２３４ａ又は接続端子２３４ｂに接続される配線が実線で示されている。また、接続端子２４４ａは第３電極膜２４１ａ、第４電極膜２４３ｂ、及び第３電極膜２４１ｃに電気的に接続されており、接続端子２４４ｂは第４電極膜２４３ａ、第３電極膜２４１ｂ、及び第４電極膜２４３ｃに電気的に接続されている。図２（ｂ）では、接続端子２４４ａ又は接続端子２４４ｂに接続される配線が点線で示されている。
【００２８】
音叉型振動片２００は、接続端子２３４ａと接続端子２３４ｂとの間に交番電圧が印加された場合に、腕部１２０ｂと、腕部１２０ａ及び腕部１２０ｃとがＺ軸方向に互い違いの向きにＺ軸方向の上下振動をする。また、加速度の変化に伴う振動の周波数の変化が接続端子２４４ａ及び接続端子２４４ｂの出力電圧に反映される。これにより、音叉型振動片２００が加速度を検出することができる。
【００２９】
（第３実施形態）
音叉型振動片の腕部の本数は、３本より多い奇数本とすることができる。以下に腕部の本数が５本である音叉型振動片３００に関して説明する。また、以下の説明では第１実施形態及び第２実施形態と同様の部分に関しては第１実施形態と同様の符号を付してその説明を省略する。
【００３０】
＜音叉型振動片３００の構成＞
図３（ａ）は、音叉型振動片３００の斜視図である。音叉型振動片３００は、基部３１０と、基部３１０に連結される５本の腕部３２０と、各腕部３２０に形成されている圧電体素子３３０と、を含んで形成される。図３（ａ）では、説明のために各腕部３２０を−Ｘ軸側から腕部３２０ａ、腕部３２０ｂ、腕部３２０ｃ、腕部３２０ｄ、腕部３２０ｅとし各腕部に形成される圧電体素子３３０をＸ軸側から、圧電体素子３３０ａ、圧電体素子３３０ｂ、圧電体素子３３０ｃ、圧電体素子３３０ｄ、圧電体素子３３０ｅとしている。
【００３１】
図３（ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。各腕部３２０の＋Ｚ軸側の面には第１圧電体膜３３２が形成され、第１圧電体膜３３２上には第１電極膜３３１が形成される。また、各腕部３２０の−Ｚ軸側の面には第１電極膜３３１に対応するように第２電極膜３３３が形成される。各腕部３２０に形成される圧電体素子３３０は、第１電極膜３３１、圧電体膜３３２、及び第２電極膜３３３を含んで構成される。以下の説明では、腕部３２０ａに形成される圧電体素子３３０ａが第１電極膜３３１ａ、第１圧電体膜３３２ａ、及び第２電極膜３３３ａにより構成されるとする。同様に、腕部３２０ｂに形成される圧電体素子３３０ｂが第１電極膜３３１ｂ、第１圧電体膜３３２ｂ、及び第２電極膜３３３ｂにより構成され、腕部３２０ｃに形成される圧電体素子３３０ｃが第１電極膜３３１ｃ、第１圧電体膜３３２ｃ、及び第２電極膜３３３ｃにより構成され、腕部３２０ｄに形成される圧電体素子３３０ｄが第１電極膜３３１ｄ、第１圧電体膜３３２ｄ、及び第２電極膜３３３ｄにより構成され、腕部３２０ｅに形成される圧電体素子３３０ｅが第１電極膜３３１ｅ、第１圧電体膜３３２ｅ、及び第２電極膜３３３ｅにより構成されるとする。
【００３２】
基部３１０上には接続端子３３４ａ及び接続端子３３４ｂが形成される。接続端子３３４ａは第１電極膜３３１ａ、第２電極膜３３３ｂ、第１電極膜３３１ｃ、第２電極膜３３３ｄ、及び第１電極膜３３１ｅに電気的に接続されており、接続端子３３４ｂは第２電極膜３３３ｂ、第１電極膜３３１ｂ、第２電極膜３３３ｃ、第１電極膜３３１ｄ、及び第２電極膜３３３ｅに電気的に接続されている。音叉型振動片３００は、接続端子３３４ａと接続端子３３４ｂとの間に交番電圧が印加された場合に、腕部３２０ａ、腕部３２０ｃ、及び腕部３２０ｅと、腕部３２０ｂ及び腕部３２０ｄと、がＺ軸方向に互い違いに振動する。
【００３３】
音叉型振動片３００では、腕部３２０ａ、腕部３２０ｃ、及び腕部３２０ｅがＹ軸方向に伸張するときに第１圧電体膜３３２ａ、第１圧電体膜３３２ｃ、及び第１圧電体膜３３２ｅが収縮し、同時に腕部３２０ｂ及び腕部３２０ｄがＹ軸方向に収縮して第１圧電体膜３３２ｂ及び第１圧電体膜３３２ｄが伸張するように腕部３２０及び第１圧電体膜３３２が形成される。これにより、音叉型振動片３００では、音叉型振動片１００と同様に同一の腕部３２０内で伸びる動きと縮む動きとが行われるため、各腕部３２０がＺ軸方向である上下方向に屈曲振動し易くなり振動効率が改善される。
【００３４】
（第４実施形態）
第１実施形態から第３実施形態で示された音叉型振動片は、パッケージに収容されて振動デバイスとして形成される。以下に、このような振動デバイス４００について説明する。
【００３５】
＜振動デバイス４００の構成＞
図４は、振動デバイス４００の断面図である。図４は、図１（ａ）のＤ−Ｄ断面を含んでいる。振動デバイス４００は、パッケージ４１０と、パッケージ４１０内に載置される音叉型振動片１００と、音叉型振動片１００をパッケージ４１０内に密封するリッド板４２０と、を有している。パッケージ４１０の＋Ｚ軸側の面には、−Ｚ軸側に凹んだ凹部４１１が形成され、音叉型振動片１００は凹部４１１に載置される。また、凹部４１１はリッド板４２０により密封される。
【００３６】
パッケージ４１０は、例えば第１層４１０ａと、第１層４１０ａの＋Ｚ軸側の面に形成される第２層４１０ｂと、により形成される。第１層４１０ａの−Ｚ軸側の面には、振動デバイス４００をプリント基板等に実装する場合にプリント基板等と電気的に接続される一対の実装電極４１２が形成される。また、第１層４１０ａの＋Ｚ軸側の面には一対の接続電極４１３が形成される。接続電極４１３と実装電極４１２とはそれぞれ第１層４１０ａを貫通する貫通電極４１４を介して互いに電気的に接続されている。第２層４１０ｂは、中央領域がＺ軸方向に貫通した層であり、凹部４１１の側面を形成する層である。
【００３７】
音叉型振動片１００は、凹部４１１に形成される一対の接続電極４１３に接続端子１３４ａ及び接続端子１３４ｂ（図１（ｂ）参照）が導電性接着剤４３２を介してそれぞれ電気的に接続されることにより、凹部４１１に載置される。音叉型振動片１００が載置された凹部４１１は、リッド板４２０が封止材４３１を介して第２層４１０ｂの＋Ｚ軸側の面に載置されることにより密封されている。
【００３８】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【符号の説明】
【００３９】
１００、２００、３００  …  音叉型振動片
１１０、３１０  …  基部
１２０、１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、３２０、３２０ａ、３２０ｂ、３２０ｃ、３２０ｄ、３２０ｅ  …  腕部
１３０、１３０ａ、１３０ｂ、１３０ｃ、３３０、３３０ａ、３３０ｂ、３３０ｃ、３３０ｄ、３３０ｅ  …  圧電体素子
１３１、１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、２３１、２３１ａ、２３１ｂ、２３１ｃ、３３１ａ、３３１ｂ、３３１ｃ、３３１ｄ、３３１ｅ  …  第１電極膜
１３２、１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃ、２３２、２３２ａ、２３２ｂ、２３２ｃ、３３２ａ、３３２ｂ、３３２ｃ、３３２ｄ、３３２ｅ  …  第１圧電体膜
１３３、１３３ａ、１３３ｂ、１３３ｃ、２３３、２３３ａ、２３３ｂ、２３３ｃ、３３３ａ、３３３ｂ、３３３ｃ、３３３ｄ、３３３ｅ  …  第２電極膜
１３４ａ、１３４ｂ、２３４ａ、２３４ｂ、２４４ａ、２４４ｂ、３３４ａ、３３４ｂ  …  接続端子
２３０、２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃ  …  駆動用の圧電体素子
２４０、２４０ａ、２４０ｂ、２４０ｃ  …  検出用の圧電体素子
２４１、２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ  …  第３電極膜
２４２、２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ  …  第２圧電体膜
２４３、２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ  …  第４電極膜
４００  …  振動デバイス
４１０  …  パッケージ
４１０ａ  …  第１層
４１０ｂ  …  第２層
４１１  …  凹部
４１２  …  実装電極
４１３  …  接続電極
４１４  …  貫通電極
４２０  …  リッド板
４３１  …  封止材
４３２  …  導電性接着剤
【図１】
2015033087.tif 000003
【図２】
2015033087.tif 000004
【図３】
2015033087.tif 000005
【図４】
2015033087.tif 000006