(57)【要約】【課題】衝撃を受けた場合に圧電振動片が動作不良を引き起こしたり、破損したり、サポータまたはリードから外れたりするのを抑制できる圧電デバイスを提供する。【解決手段】励振電極１２、１３が形成される平面部１１ａ、１１ｂを備える板状の圧電振動片１０と、ベース２０を貫通するとともに直接またはサポータ４０を介して圧電振動片１０を保持する２本のリード３０と、圧電振動片１０を含んだ空間Ｋを覆うようにベース２０に取り付けられるカバー５０と、を有する圧電デバイス１００であって、圧電振動片１０は、平面部１１ａを含む平面Ｐ１がベース２０と交差する方向に配置され、２本のリード３０またはサポータ４０は、平面Ｐ１に沿って圧電振動片１０を挟むように配置され、リード３０またはサポータ４０は、圧電振動片１０から離れてカバー５０に向けて突出する突出部４３、４４を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
励振電極が形成される平面部を備える板状の圧電振動片と、ベースを貫通するとともに直接またはサポータを介して前記圧電振動片を保持する２本のリードと、前記圧電振動片を含んだ空間を覆うように前記ベースに取り付けられるカバーと、を有する圧電デバイスであって、
前記圧電振動片は、前記平面部を含む平面が前記ベースと交差する方向に配置され、
２本の前記リードまたは前記サポータは、前記平面に沿って前記圧電振動片を挟むように配置され、
前記リードまたは前記サポータは、前記圧電振動片から離れて前記カバーに向けて突出する突出部を備える圧電デバイス。
【請求項２】
前記突出部は、前記カバーと接触した際に前記圧電振動片への衝撃を吸収する形状に形成される請求項１記載の圧電デバイス。
【請求項３】
前記突出部は、前記リードまたは前記サポータの先端部分を折り曲げて形成される請求項１または請求項２記載の圧電デバイス。
【請求項４】
前記先端部分の少なくとも一部は、前記圧電振動片を保持する部分と前記カバーとの間に配置される請求項３記載の圧電デバイス。
【請求項５】
前記突出部は、前記リードまたは前記サポータの一部を前記カバーに向けて湾曲またはドーム状に突出させて形成される請求項１または請求項２記載の圧電デバイス。
【請求項６】
前記突出部は、前記圧電振動片を保持する部分を挟んで複数形成される請求項５記載の圧電デバイス。
【請求項７】
前記リードまたは前記サポータは、前記ベースから前記圧電振動片を保持する部分までの間の一部がクランク形状に屈曲された屈曲部を備える請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項８】
前記カバーの内周面のうち、少なくとも前記突出部に対向する部分に第１絶縁膜が形成される請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項９】
前記突出部のうち、少なくとも前記カバーの内周面に対向する部分に第２絶縁膜が形成される請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
通信機器や計測機器、電子機器などにおいて、水晶振動子や水晶発振器などの圧電デバイスが搭載されている。このような圧電デバイスの一例として、水晶振動片などの圧電振動片と、サポータを介して圧電振動片を保持する２本のリードと、この２本のリードを貫通させて保持するベースと、圧電振動片を含んだ空間を覆うようにベースに取り付けられるカバーとを有する構成が知られている（特許文献１参照）。この圧電デバイスに用いられる圧電振動片は、例えば導電性接着剤を介してサポータに接合されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開昭５９−１８０５１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記構成において、圧電デバイスが落下などによって衝撃を受けると、圧電振動片が揺動してカバーの内壁と接触する場合がある。この接触により、圧電振動片の発振周波数が一時的に変動するおそれがある。また、接触時の衝撃により、導電性接着剤にクラックが形成されるおそれがある。この場合、圧電振動片とサポータまたはリードとの間の接続状態が変化するため、圧電振動片の発振周波数が変動したり、圧電振動片が発振しなくなったりするなど、動作不良を引き起こす可能性がある。また、接触時の衝撃によっては、圧電振動片が破損したり、サポータまたはリードから外れたりするおそれがある。
【０００５】
以上のような事情に鑑み、本発明は、衝撃を受けた場合に圧電振動片がカバーに接触するのを抑制でき、圧電振動片が動作不良を引き起こしたり、破損したり、サポータまたはリードから外れたりするのを抑制できる圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明では、励振電極が形成される平面部を備える板状の圧電振動片と、ベースを貫通するとともに直接またはサポータを介して圧電振動片を保持する２本のリードと、圧電振動片を含んだ空間を覆うようにベースに取り付けられるカバーと、を有する圧電デバイスであって、圧電振動片は、平面部を含む平面がベースと交差する方向に配置され、２本のリードまたはサポータは、平面に沿って圧電振動片を挟むように配置され、リードまたはサポータは、圧電振動片から離れてカバーに向けて突出する突出部を備える。
【０００７】
また、突出部は、カバーと接触した際に圧電振動片への衝撃を吸収する形状に形成されてもよい。また、突出部は、リードまたはサポータの先端部分を折り曲げて形成されてもよい。また、先端部分の少なくとも一部は、圧電振動片を保持する部分とカバーとの間に配置されてもよい。また、突出部は、リードまたはサポータの一部をカバーに向けて湾曲またはドーム状に突出させて形成されてもよい。また、突出部は、圧電振動片を保持する部分を挟んで複数形成されてもよい。また、リードまたはサポータは、ベースから圧電振動片を保持する部分までの間の一部がクランク形状に屈曲された屈曲部を備えてもよい。また、カバーの内周面のうち、少なくとも突出部に対向する部分に第１絶縁膜が形成されてもよい。また、突出部のうち、少なくともカバーの内周面に対向する部分に第２絶縁膜が形成されてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、リードまたはサポータが圧電振動片から離れてカバーに向けて突出する突出部を備えるため、落下等の衝撃によって圧電振動片が揺動した場合には、突出部がカバーに接触することになり、圧電振動片が直接カバーに接触するのを抑制できる。このため、圧電振動片の発振周波数が一時的に変動するのを抑制できる。また、突出部とカバーとが接触することにより、圧電振動片への衝撃が緩和される。したがって、導電性接着剤にクラックが形成されるのを抑制できるため、圧電振動片が動作不良を引き起こすのを抑制できる。また、圧電振動片への衝撃が緩和されるため、圧電振動片が破損したり、圧電振動片がサポータまたはリードから外れたりするのを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態に係る圧電デバイスの全体構成の一例を示す斜視図である。
【図２】圧電デバイスの一例を示す断面図である。
【図３】（ａ）は図２におけるＡ−Ａ線に沿った構成を示す断面図であり、（ｂ）は図１における領域Ｑを拡大して示す斜視図である。
【図４】圧電デバイスに衝撃を加えた場合の一例を示す図であり、（ａ）は比較例、（ｂ）は本実施形態の一例である。
【図５】第１実施形態の変形例に係る圧電デバイスの一例を示す図である。
【図６】（ａ）は第２実施形態に係る圧電デバイスの一例を示す断面図であり、（ｂ）は第２実施形態の変形例に係る圧電デバイスの一例を示す図である。
【図７】（ａ）は第３実施形態に係る圧電デバイスの一例を示す断面図であり、（ｂ）は第３実施形態の変形例に係る圧電デバイスの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、以下の実施形態では、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。また、図面においてハッチングした部分は金属膜及び接合材を表している。
【００１１】
以下、各図においてＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。以下のＸＹＺ座標系では、ＳＣカットの水晶ブランクの結晶軸（ｘ′軸、ｙ″軸、ｚ′軸）のうちｘ′軸に平行な方向をＸ方向とし、ｚ´軸に平行な方向をＺ方向とする。また、ＸＺ平面に垂直な方向（後述の水晶ブランク１１の厚さ方向）はＹ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるものとして説明する。
【００１２】
［第１実施形態］  
第１実施形態を説明する。図１は、第１実施形態に係る圧電デバイス１００の全体構成の一例を示す斜視図である。図２は、圧電デバイス１００の全体構成の一例を示す断面図である。図１及び図２に示すように、圧電デバイス１００は、圧電振動片１０と、ベース２０と、リード３０と、サポータ４０と、カバー５０とを備えている。なお、図１は、所定の平面Ｐ１（後述）によってベース２０及びカバー５０を切断して内部を見たときの状態を示している。また、図２は、カバー５０を切断して内部を見たときの状態を示している。
【００１３】
圧電振動片１０は、サポータ４０及びリード３０及びベース２０に支持されている。圧電振動片１０は、水晶ブランク１１と、励振電極１２、１３と、引出電極１４、１５とを有している。水晶ブランク１１としては、例えばＳＣカットの水晶基板が用いられる。ＳＣカットは、水晶の結晶軸（電気軸：ｘ軸、機械軸：ｙ軸、光学軸：ｚ軸）のうち、まずｙ軸に直交する平面を、ｘ軸を中心にして約３３°〜３５°回転し、さらに、この平面をこの位置からｚ軸を中心にして約２２°〜２４°回転したときの方向から切り出すものである。ＳＣカットの水晶ブランク１１には、新たな結晶軸（ｘ′軸、ｙ″軸、ｚ′軸）が設定される。
【００１４】
水晶ブランク１１は、円形に形成されている。水晶ブランク１１の＋Ｘ側は、直線状に切り欠かれている。この切り欠きは、例えば結晶方位の基準として形成してもよいし、励振電極１２、１３の形成時やサポータ４０（ベース２０）への取り付け時の位置基準として形成してもよい。
【００１５】
水晶ブランク１１は、平面部１１ａ及び１１ｂを有している。平面部１１ａ、１１ｂは、ＳＣカットによって切り出される面であり、水晶ブランク１１の結晶軸のうちｘ′軸とｚ′軸とを含む平面に平行である。よって、平面部１１ａ、１１ｂは、ＸＺ平面に平行である。
【００１６】
図３（ａ）は、図２におけるＡ−Ａ線に沿った構成を示す断面図である。図３（ａ）に示すように、平面Ｐ１は、平面部１１ａを含む平面である。平面Ｐ２は、平面部１１ｂを含む平面である。平面Ｐ１及び平面Ｐ２は、ＸＺ平面に平行である。圧電振動片１０は、平面Ｐ１及び平面Ｐ２の方向に配置されている。この平面Ｐ１及び平面Ｐ２は、ベース２０に交差している。このように、圧電振動片１０は、平面Ｐ１及び平面Ｐ２がベース２０に交差する方向に配置されている。したがって、圧電振動片１０は、ベース２０に対して立った状態で配置されている。
【００１７】
続いて、図１及び図２に示すように、励振電極１２、１３は、それぞれ平面部１１ａ、１１ｂのほぼ中央に設けられている。励振電極１２、１３は、例えば円形に形成されるが、楕円や多角形など、他の形状であってもよい。励振電極１２と励振電極１３とは、Ｙ方向視において重なって配置されている。
【００１８】
引出電極１４は、励振電極１２のＸ方向の中央部から＋Ｚ方向に向けて延びている。引出電極１４は、平面部１１ａの外周部分まで引き出されている。引出電極１５は、励振電極１３のＸ方向の中央部から−Ｚ方向に向けて延びている。引出電極１５は、平面部１１ｂの外周部分まで引き出されている。このように、引出電極１４、１５は、励振電極１２、１３からそれぞれＺ方向について反対方向に引き出されている。
【００１９】
ベース２０は、圧電振動片１０の−Ｘ側に配置されている。ベース２０は、筐体２１と、充填部２２とを有している。筐体２１は、鉄やコバール（鉄、ニッケル、コバルトの合金）などの金属材料を用いて形成されている。筐体２１は、開口部２１ａ、２１ｂを有する。開口部２１ａ、２１ｂは、２本のリード３０を貫通させる。各リード３０と、開口部２１ａ、２１ｂとの間は、封止部２３ａ、２３ｂによって封止されている。封止部２３ａ、２３ｂは、例えばガラスなどの絶縁材料で形成されている。充填部２２は、筐体２１の内部に充填され、例えば樹脂やガラスなどの絶縁材料によって形成されている。ベース２０は、２本のリード３０を保持する。２本のリード３０は、例えばＺ方向に並んで設けられている。ベース２０と２本のリード３０との間には封止部２３ａ、２３ｂ及び充填部２２が設けられている。このため、ベース２０と２本のリード３０との間は、電気的に絶縁されている。２本のリード３０のうち１本は、グランドに接続されてもよい。以下、２本のリード３０のうち＋Ｚ側のリード３０を第１リード３１とし、−Ｚ側のリード３０を第２リード３２として説明する。
【００２０】
第１リード３１及び第２リード３２は、Ｘ方向にベース２０を貫通して配置されている。第１リード３１及び第２リード３２は、例えば円柱状に形成されるが、この形状に限定されない。第１リード３１の＋Ｘ側端部（インナーリード３１ａ）は、圧電振動片１０に向けてベース２０から突出している。同様に、第２リード３２の＋Ｘ側端部（インナーリード３２ａ）は、圧電振動片１０へ向けてベース２０から突出している。インナーリード３１ａとインナーリード３２ａとの距離（Ｚ方向の間隔）は、水晶ブランク１１の径よりも小さくなっている。このため、例えばＸ方向視において、上記した圧電振動片１０は、インナーリード３１ａ、３２ａから＋Ｚ側及び−Ｚ側にそれぞれはみ出すように配置される。
【００２１】
サポータ４０は、例えば２本設けられ、Ｚ方向に圧電振動片１０を挟むように配置される（図１参照）。サポータ４０は、圧電振動片１０を支持する。サポータ４０は、平面Ｐ１（または平面Ｐ２）に沿って配置される（図３（ａ）参照）。すなわち、サポータ４０は、後述するように所定の形状に屈曲されているが、屈曲方向が平面Ｐ１（または平面Ｐ２）に沿った方向に設定されている。このため、サポータ４０を構成する各部は、平面Ｐ１に平行なＸＺ平面に沿って配置される。
【００２２】
サポータ４０は、リード３０よりも剛性が低くなるように形成されている。サポータ４０は、例えばニッケルなどのフープ材をプレス加工して形成されるが、これに限定されず、例えば鋳造などによって形成されてもよい。以下、２本のサポータ４０のうち＋Ｚ側のサポータ４０を第１サポータ４１とし、−Ｚ側のサポータ４０を第２サポータ４２として説明する。
【００２３】
第１サポータ４１は、取付部４１ａと、屈曲部４１ｂと、直線部４１ｃと、折り返し部４１ｄと、先端部４１ｅとを有している。取付部４１ａは、第１リード３１のインナーリード３１ａに取り付けられている。取付部４１ａは、例えば溶接などによってインナーリード３１ａに接合されている。これにより、第１リード３１と第１サポータ４１との間が固定され、かつ電気的に接続されている。取付部４１ａは、Ｘ方向に沿って配置されている。
【００２４】
屈曲部４１ｂは、取付部４１ａと直線部４１ｃとの間に配置されている。屈曲部４１ｂは、２つの角部４１ｍ、４１ｎを有している。角部４１ｍでは、第１サポータ４１が＋Ｚ側に屈曲されている。なお、角部４１ｍにおける屈曲方向は、＋Ｚ方向に対して＋Ｘ側に傾いた方向となっているが、これに限られるものではなく、例えばＺ方向に平行な方向であってもよいし、＋Ｚ方向に対して−Ｘ側に傾いた方向であってもよい。また、角部４１ｎでは、第１サポータ４１が＋Ｘ方向に屈曲される。屈曲部４１ｂは、この２つの角部４１ｍ、４１ｎにより、クランク形状に形成されている。このクランク形状により、第１サポータ４１は、圧電振動片１０のうち第１リード３１よりも＋Ｚ側に配置される部分を保持可能となっている。
【００２５】
直線部４１ｃは、屈曲部４１ｎから＋Ｘ方向に延びている。直線部４１ｃは、Ｙ方向視において、圧電振動片１０の外周（または周縁部）の一部に重なる位置に配置されている。直線部４１ｃは、保持部４１ｆを有している。保持部４１ｆは、直線部４１ｃの一部が圧電振動片１０側へ向けて−Ｚ方向に折り曲げられた形状を有している。保持部４１ｆは、Ｙ方向視において、圧電振動片１０の外周から内側へ食い込むように形成されている。
【００２６】
図３（ｂ）は、図１の領域Ｑを拡大して示す図であり、保持部４１ｆ及びその近傍の構成を拡大して示す斜視図である。図３（ｂ）に示すように、保持部４１ｆには、スリット部４１ｇが形成されている。スリット部４１ｇは、保持部４１ｆの幅方向（Ｙ方向）のほぼ中央に形成されている。スリット部４１ｇは、保持部４１ｆの＋Ｘ側端部から−Ｘ側端部にかけて、Ｘ方向に沿って形成されている。スリット部４１ｇのＹ方向の寸法は、圧電振動片１０の厚さ（Ｙ方向の寸法）よりも大きくなっている。スリット部４１ｇからは、圧電振動片１０の一部が＋Ｚ方向にはみ出している。このはみ出した部分には、水晶ブランク１１の周縁部と引出電極１４の一部とが含まれている。
【００２７】
保持部４１ｆの＋Ｚ側の面には、導電性接着剤６０が配置されている。導電性接着剤６０は、保持部４１ｆと、引出電極１４（スリット部４１ｇからはみ出した部分）との間を接合している。導電性接着剤６０により、第１サポータ４１と圧電振動片１０との間が固定される。また、導電性接着剤６０により、第１サポータ４１と引出電極１４との間が電気的に接続される。
【００２８】
続いて、図１及び図２に示すように、折り返し部４１ｄは、先端部４１ｅを−Ｘ方向に折り返している。折り返し部４１ｄは、直線部４１ｃの＋Ｘ側端部から＋Ｚ方向に向けて延びている。なお、折り返し部４１ｄの形状は、これに限定されるものではなく、例えば湾曲された形状であってもよいし、さらに屈曲された形状であってもよい。
【００２９】
先端部４１ｅは、折り返し部４１ｄの＋Ｚ側端部から−Ｘ方向に向けて延びている。先端部４１ｅは、保持部４１ｆよりも−Ｘ側に延びている。したがって、先端部４１ｅは、Ｚ方向において、保持部４１ｆと、カバー５０の＋Ｚ側の内面５０ａとの間に配置される。先端部４１ｅの＋Ｚ側の面は、この内面５０ａに対向している。先端部４１ｅは、例えばＸＹ平面に平行に配置されるが、これに限定されるものではなく、ＸＹ平面に対してＹ軸周りに傾いていてもよい。例えば、先端部４１ｅが折り返し部４１ｄよりも＋Ｚ側に突出するように配置された構成であってもよい。
【００３０】
折り返し部４１ｄ及び先端部４１ｅは、直線部４１ｃに対して、圧電振動片１０から離れる方向（＋Ｚ方向）に突出している。したがって、折り返し部４１ｄ及び先端部４１ｅは、直線部４１ｃよりも圧電振動片１０から離れ、かつカバー５０（内面５０ａ）に近い位置に設けられている。このように、折り返し部４１ｄ及び先端部４１ｅは、圧電振動片１０から離れてカバー５０に向けて突出する突出部４３を構成している。
【００３１】
突出部４３は、圧電振動片１０が例えば＋Ｚ方向に揺れた場合、先端部４１ｅまたは折り返し部４１ｄがカバー５０の内面５０ａに接触するように設けられる。折り返し部４１ｄ及び先端部４１ｅは、例えばＺ方向の力に対して弾性変形可能に設けられている。このため、折り返し部４１ｄ及び先端部４１ｅにＺ方向の衝撃を与えた場合、弾性変形によってこの衝撃が緩和されるようになっている。このように、突出部４３は、圧電振動片１０への衝撃を吸収する形状に形成されている。なお、折り返し部４１ｄ及び先端部４１ｅは、圧電振動片１０が静止している場合、カバー５０に接触しないように、カバー５０との間に隙間を空けて配置されている。
【００３２】
また、折り返し部４１ｄ及び先端部４１ｅは、幅方向（Ｙ方向）の寸法が取付部４１ａや屈曲部４１ｂ、直線部４１ｃ等と同一となっているが、これに限定されない。例えば、折り返し部４１ｄ及び先端部４１ｅの幅方向の寸法が取付部４１ａや屈曲部４１ｂ、直線部４１ｃ等よりも大きいまたは小さい構成であってもよい。また、折り返し部４１ｄ及び先端部４１ｅは、図３（ａ）に示すような幅方向の寸法が等しい構成に限られず、場所によって幅方向の寸法が異なってもよい。
【００３３】
続いて、図２に示すように、第２サポータ４２は、取付部４２ａと、屈曲部４２ｂと、直線部４２ｃと、折り返し部４２ｄと、先端部４２ｅとを有している。なお、本実施形態では、第２サポータ４２は、例えば第１サポータ４１と同一の形状を有しており、第１サポータ４１に対してＺ方向に対称となるように配置されているが、これに限られるものではなく、一部または全部の形状が第１サポータ４１と異なっていてもよい。
【００３４】
取付部４２ａは、例えば溶接によって第２リード３２のインナーリード３２ａに取り付けられている。これにより、第２リード３２と第２サポータ４２との間が固定され、かつ電気的に接続される。取付部４２ａは、Ｘ方向に沿って配置されており、第１サポータ４１の取付部４１ａとほぼ平行に配置される。
【００３５】
屈曲部４２ｂは、取付部４２ａと直線部４２ｃとの間に配置されている。屈曲部４２ｂは、２つの角部４２ｍ、４２ｎを有している。角部４２ｍでは、第２サポータ４２が−Ｚ側に屈曲されている。なお、角部４２ｍにおける屈曲方向は、−Ｚ方向に対して＋Ｘ側に傾いた方向となっているが、これに限られるものではなく、例えばＺ方向に平行な方向であってもよいし、−Ｚ方向に対して−Ｘ側に傾いた方向であってもよい。また、角部４２ｎでは、第１サポータ４１が＋Ｘ方向に屈曲される。屈曲部４１ｂは、この２つの角部４１ｍ、４１ｎにより、クランク形状に形成されている。このクランク形状により、第２サポータ４２は、圧電振動片１０のうち第２リード３２よりも−Ｚ側に配置される部分を保持可能となっている。なお、屈曲部４２ｂの形状は、第１サポータ４１の屈曲部４１ｂの形状と異なってもよい。
【００３６】
直線部４２ｃは、屈曲部４２ｎから＋Ｘ方向に延びており、第１サポータ４１の直線部４１ｃとほぼ平行に配置される。直線部４２ｃは、保持部４２ｆを有しており、Ｙ方向視において、圧電振動片１０の外周（または周縁部）の一部に重なる位置に配置されている。保持部４２ｆの形状やＸ方向の位置については、例えば第１サポータ４１の保持部４１ｆと異なる形状としてもよい。また、保持部４２ｆには、第１サポータ４１の保持部４１ｆと同様にスリット部４２ｇ（図１参照）が形成されており、スリット部４２ｇから圧電振動片１０の一部が−Ｚ方向にはみ出している。このはみ出した部分には、水晶ブランク１１の周縁部と引出電極１５の一部とが含まれている。
【００３７】
保持部４２ｆの−Ｚ側の面には、不図示の導電性接着剤が配置されている。導電性接着剤は、保持部４２ｆと、引出電極１５（スリット部からはみ出した部分）との間を接合している。この導電性接着剤により、第２サポータ４２と圧電振動片１０との間が固定され、第２サポータ４２と引出電極１５との間が電気的に接続される。
【００３８】
折り返し部４２ｄは、先端部４２ｅを−Ｘ方向に折り返している。折り返し部４２ｄは、直線部４２ｃの＋Ｘ側端部から−Ｚ方向に向けて延びている。なお、折り返し部４２ｄの形状は、これに限定されるものではなく、例えば湾曲された形状であってもよいし、さらに屈曲された形状であってもよい。また、折り返し部４２ｄの形状やＺ方向の寸法等については、第１サポータ４１の折り返し部４１ｄと異なってもよい。
【００３９】
先端部４２ｅは、折り返し部４２ｄの−Ｚ側端部から−Ｘ方向に向けて延びている。先端部４２ｅは、保持部４２ｆよりも−Ｘ側に延びている。したがって、先端部４２ｅは、Ｚ方向において、保持部４２ｆと、カバー５０の−Ｚ側の内面５０ｂとの間に配置される。先端部４２ｅの−Ｚ側の面は、この内面５０ｂに対向している。先端部４２ｅは、例えばＸＹ平面に平行に配置されるが、これに限定されるものではなく、ＸＹ平面に対してＹ軸周りに傾いていてもよい。例えば、先端部４２ｅが折り返し部４２ｄよりも−Ｚ側に突出するように配置された構成であってもよい。なお、先端部４２ｅのＸ方向の寸法は、第１サポータ４１の先端部４１ｅと異なってもよい。
【００４０】
先端部４２ｅは、カバー５０の−Ｚ側の内面５０ｂに対向して配置されている。先端部４２ｅは、例えばＸＹ平面に平行に配置されるが、これに限定されるものではない。なお、先端部４２ｅの−Ｘ側端部が＋Ｘ側端部よりも−Ｚ側（内面５０ｂ側）に突出した構成であってもよいし、逆に、先端部４２ｅの＋Ｘ側端部が−Ｘ側端部よりも−Ｚ側に突出した構成であってもよい。
【００４１】
折り返し部４２ｄ及び先端部４２ｅは、直線部４２ｃに対して、圧電振動片１０から離れる方向（−Ｚ方向）に突出している。したがって、折り返し部４２ｄ及び先端部４２ｅは、直線部４２ｃよりも圧電振動片１０から離れ、かつカバー５０（内面５０ｂ）に近い位置に設けられている。このように、折り返し部４２ｄ及び先端部４２ｅは、圧電振動片１０から離れてカバー５０に向けて突出する突出部４４を構成している。なお、この突出部４４と、第１サポータ４１の突出部４３とについては、いずれか一方のみが設けられた構成であってもよい。
【００４２】
突出部４４は、圧電振動片１０が例えば−Ｚ方向に揺れた場合、先端部４２ｅまたは折り返し部４２ｄがカバー５０の内面５０ｂに接触するように設けられる。折り返し部４２ｄ及び先端部４２ｅは、例えばＺ方向の力に対して弾性変形可能に設けられている。このため、折り返し部４２ｄ及び先端部４２ｅにＺ方向の衝撃を与えた場合、弾性変形によってこの衝撃が緩和されるようになっている。このように、突出部４４は、圧電振動片１０への衝撃を吸収する形状に形成されている。なお、折り返し部４２ｄ及び先端部４２ｅは、圧電振動片１０が静止している場合、カバー５０に接触しないように、カバー５０との間に隙間を空けて配置されている。
【００４３】
なお、第１サポータ４１及び第２サポータ４２にそれぞれ突出部４３、４４が設けられる構成では、例えば圧電振動片１０が＋Ｚ方向及び−Ｚ方向の両側に揺れるような場合に、第１サポータ４１の突出部４３と内面５０ａとの接触と、第２サポータ４２の突出部４４と内面５０ｂの接触とが行われるようになっている。このため、圧電振動片１０への衝撃をより効率的に吸収することができる。
【００４４】
カバー５０は、圧電振動片１０を含む空間Ｋを覆うようにベース２０に取り付けられている。カバー５０は、金属材料で形成されており、例えば銅材の表面にニッケル層を有する構成となっている。カバー５０とベース２０との間は、例えば抵抗溶接によって接合されている。
【００４５】
次に、圧電デバイス１００の製造方法を簡単に説明する。  
まず、ベース２０の筐体２１に形成される開口部２１ａに第１リード３１を貫通させ、開口部２１ｂに第２リード３２を貫通させた状態とする。この状態で、筐体２１の内部に樹脂やガラスなどの絶縁材料を溶融状態として充填させ、固化させることで充填部２２を形成する。充填部２２により、第１リード３１及び第２リード３２が保持される。充填部２２を形成した後、開口部２１ａと第１リード３１との間、開口部２１ｂと第２リード３２との間に溶融ガラスを充填させ、固化させることで封止部２３ａ、２３ｂを形成する。その後、第１リード３１及び第２リード３２の先端をそれぞれ所定の長さに切断して、インナーリード３１ａ、３２ａを形成する。
【００４６】
次に、ニッケルなどの金属で形成されたフープ材をプレス加工することで、第１サポータ４１及び第２サポータ４２を形成する。この場合、まず屈曲部４１ｂ、４２ｂや保持部４１ｆ、４２ｆを形成し、その後、突出部４３、４４（折り返し部４１ｄ、４２ｄ及び先端部４１ｅ、４２ｅ）を形成する。なお、先に突出部４３、４４を形成し、その後に屈曲部４１ｂ、４２ｂや保持部４１ｆ、４２ｆを形成してもよい。また、スリット部４１ｇ、４２ｇについては、例えばプレス加工の前にフープ材の所定位置に形成しておく。その後、第１サポータ４１、第２サポータ４２を第１リード３１、第２リード３２に溶接する。
【００４７】
次に、圧電振動片１０と、第１サポータ４１及び第２サポータ４２とを接続する。圧電振動片１０については、例えば多面取りによって１枚の水晶基板から複数の圧電振動片１０を製造する。この場合、水晶基板をエッチングし、その後励振電極１２や引出電極１４、１５をパターニングする。これにより、水晶ブランク１１、励振電極１２、１３、引出電極１４、１５を有する圧電振動片１０が得られる。
このように形成した圧電振動片１０を、第１サポータ４１と第２サポータ４２との間に嵌め込み、第１サポータ４１及び第２サポータ４２のスリット部４１ｇ、４２ｇから圧電振動片１０の外周部をそれぞれはみ出させる。次に、第１サポータ４１の保持部４１ｆと圧電振動片１０の引出電極１４との間を導電性接着剤６０で接着する。同様に、第２サポータ４２の保持部４２ｆと圧電振動片１０の引出電極１６との間を導電性接着剤で接着する。その後、圧電振動片１０を含む空間Ｋを覆うようにカバー５０を装着させ、ベース２０との間を抵抗溶接で接合する。これにより、圧電デバイス１００が完成する。
【００４８】
図４（ａ）は、比較例に係る圧電デバイス１００Ｒに衝撃を加えたときの一例を示す図である。  
図４（ａ）に示すように、圧電デバイス１００Ｒでは、２本のサポータ４１Ｒ、４２Ｒは、Ｘ方向に直線状に形成されている。サポータ４１Ｒ、４２Ｒの−Ｘ側端部は、リード３１Ｒ、３２Ｒに取り付けられている。また、２本のサポータ４１Ｒ、４２Ｒには、圧電振動片１０Ｒを保持する保持部が形成されている。圧電振動片１０Ｒは、例えば導電性接着剤６０Ｒを介してサポータ４１Ｒ、４２Ｒの保持部に接合されている。サポータ４１Ｒ、４２Ｒは、リード３１Ｒ、３２Ｒよりも剛性が低くなるように形成されており、圧電デバイス１００Ｒが衝撃を受ける場合に弾性変形する。このような圧電デバイス１００Ｒに落下等の衝撃が加えられた場合、圧電振動片１０Ｒが例えばカバー５０Ｒの内面５０Ｒａ側に揺れて、圧電振動片１０Ｒとサポータ４１Ｒとの接合部分が内面５０Ｒａに接触する場合がある。この接触により、圧電振動片１０Ｒの周波数が一時的に変動する場合がある。
【００４９】
また、圧電振動片１０Ｒとサポータ４１Ｒとの接合には導電性接着剤６０Ｒが用いられているが、接触の衝撃により導電性接着剤６０Ｒやサポータ４１Ｒにクラックが発生し、導電性接着剤６０Ｒとサポータ４１Ｒとの接続状態が変化する場合がある。これにより、例えば圧電振動片１０Ｒの発振周波数が変動したまま復帰しなくなったり、圧電振動片１０Ｒが発振しなくなったりと、動作不良を引き起こすおそれがある。また、接触時の衝撃によっては、圧電振動片１０Ｒが破損したり、サポータ４１Ｒ、４２Ｒから外れたりするおそれがある。
【００５０】
一方、図４（ｂ）は、本実施形態に係る圧電デバイス１００に衝撃を加えたときの一例を示す図である。  
図４（ｂ）に示すように、圧電デバイス１００に衝撃が加えられた場合、ベース２０からリード３１、３２及び第１サポータ４１、第２サポータ４２を介して圧電振動片１０に衝撃の振動が伝達される。
【００５１】
このとき、第１サポータ４１に突出部４３（折り返し部４１ｄ、先端部４１ｅ）が設けられているため、圧電振動片１０が例えばカバー５０の内面５０ａ側に揺れ動く場合には、突出部４３が内面５０ａに接触する。これにより、圧電振動片１０が内面５０ａに接触するのを抑制できるため、圧電振動片１０の周波数が変動するのを抑制できる。
【００５２】
また、折り返し部４１ｄ、先端部４１ｅにおいて弾性変形するため、圧電振動片１０と第１サポータ４１との接合部分への衝撃が低減される。これにより、導電性接着剤６０や圧電振動片１０が破損したり、圧電振動片１０が第１サポータ４１、第２サポータ４２から外れたりするのを抑制できる。加えて、先端部４１ｅが保持部４１ｆとカバー５０の内面５０ａとの間に配置されているため、スリット部４１ｇからはみ出した圧電振動片１０の外周部及び保持部４１ｆが内面５０ａに接触するのを回避できる。このため、圧電振動片１０の外周部及び保持部４１ｆが先端部４１ｅによって保護されることになる。
【００５３】
以上のように、本実施形態によれば、サポータ４０が圧電振動片１０から離れてカバー５０に向けて突出する突出部４３、４４を備えるため、圧電振動片１０が揺動した場合には、突出部４３、４４がカバー５０に接触することになり、圧電振動片１０が直接カバー５０に接触するのを回避できる。これにより、圧電振動片１０の発振周波数が一時的に変動するのを抑制できる。また、突出部４３、４４とカバー５０とが接触することにより、圧電振動片１０への衝撃が緩和される。したがって、導電性接着剤６０にクラックが形成されるのを抑制できるため、圧電振動片１０が動作不良を引き起こすのを抑制できる。また、圧電振動片１０への衝撃が緩和されるため、圧電振動片１０が破損したり、サポータ４０から外れたりするのを抑制できる。
【００５４】
＜変形例＞  
第１実施形態の変形例を説明する。図５は、圧電デバイス１００Ａの一例を示す図である。図５に示すように、カバー５０の内周面のうち、例えば突出部４３（先端部４１ｅ）に対向する対向部分５０ｃには、絶縁膜５１が形成されている。また、突出部４４（先端部４２ｅ）に対向する対向部分５０ｄには、絶縁膜５２が形成されている。
【００５５】
一方、突出部４３のうち、カバー５０の内面５０ａに対向する部分４１ｈ（先端部４１ｅの＋Ｚ側の面）には、絶縁膜４５が形成されている。また、突出部４４のうち、カバー５０の内面５０ｂに対向する部分４２ｈ（先端部４ｅの−Ｚ側の面）には、絶縁膜４６が形成されている。
【００５６】
第１サポータ４１、第２サポータ４２及びカバー５０は、それぞれ金属材料によって形成されているため、例えば突出部４３、４４がカバー５０に当接した場合、突出部４３、４４とカバー５０との間で電気的短絡が生じ、圧電振動片１０の周波数が変動する可能性がある。これに対して、突出部４３、４４とカバー５０の内面５０ａ、５０ｂとの対向部分に絶縁膜４５、４６、５１、５２が設けられることにより、突出部４３、４４とカバー５０との間の電気的短絡を防ぐことができる。
【００５７】
なお、突出部４３の絶縁膜４５と内面５０ａの絶縁膜５１とは、少なくとも一方が設けられていればよい。同様に、突出部４４の絶縁膜４６と内面５０ｂの絶縁膜５２とについても、少なくとも一方が設けられていればよい。また、絶縁膜５１は、カバー５０の内側全面に形成されていてもよい。この場合、絶縁膜５１を部分的に設けるよりも容易に製造できる。
【００５８】
［第２実施形態］  
第２実施形態に係る圧電デバイスを説明する。以下の説明において、第１実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。  
図６（ａ）は、第２実施形態に係る圧電デバイス２００の一例を示している。なお、図６（ａ）は、カバー５０を切断して内部を見たときの状態を示している。
【００５９】
図６（ａ）に示すように、圧電デバイス２００は、サポータ１４０の構成が第１実施形態とは異なっており、他の構成は第１実施形態と同一である。本実施形態では、＋Ｚ側に配置されるサポータ１４０を第１サポータ１４１とし、−Ｚ側に配置されるサポータ１４０を第２サポータ１４２とする。
【００６０】
第１サポータ１４１は、取付部４１ａと、屈曲部４１ｂと、直線部４１ｃと、先端部１４１ｄとを有している。先端部１４１ｄは、直線部４１ｃの＋Ｘ側端部から＋Ｚ方向に折り曲げられており、＋Ｚ方向に沿って延びている。先端部１４１ｄは、圧電振動片１０から離れてカバー５０に向けて突出する突出部１４３を構成している。
【００６１】
第２サポータ１４２は、取付部４２ａと、屈曲部４２ｂと、直線部４２ｃと、先端部１４２ｄとを有している。第２サポータ１４２は、第１サポータ１４１とＺ方向について対称な形状となっている。この場合、第１サポータ１４１と同様に、先端部１４２ｄが圧電振動片１０から離れてカバー５０に向けて突出する突出部１４４を構成している。なお、第２サポータ１４２の形状は、第１サポータ１４１とＺ方向について対称な形状に限定されるものではない。
【００６２】
本実施形態によれば、サポータ１４０が圧電振動片１０から離れてカバー５０に向けて突出する突出部１４３、１４４を備えるため、圧電振動片１０が揺動した場合には、突出部１４３、１４４がカバー５０に接触することになり、圧電振動片１０が直接カバー５０に接触するのを抑制できる。これにより、圧電振動片１０の発振周波数が一時的に変動するのを抑制できる。また、突出部１４３、１４４とカバー５０とが接触することにより、圧電振動片１０への衝撃が緩和される。したがって、導電性接着剤にクラックが形成されるのを抑制できるため、圧電振動片１０が動作不良を引き起こすのを抑制できる。また、圧電振動片１０への衝撃が緩和されるため、圧電振動片１０が破損したり、サポータ１４０から外れたりするのを抑制できる。
【００６３】
また、本実施形態によれば、直線部４１ｃ、４２ｃの＋Ｘ側端部から＋Ｚ側または−Ｚ側に一回折り曲げることで先端部１４１ｄ、１４２ｄを形成することができるため、第１実施形態に比べて、折り曲げる工程を１回省略することができる。このため、より容易に製造可能となる。
【００６４】
なお、本実施形態では、第１サポータ１４１及び第２サポータ１４２の両方が、直線部４１ｃ、４２ｃの＋Ｘ側端部からそれぞれ＋Ｚ方向及び−Ｚ方向に１回折り曲げて突出部１４３、１４４を形成するものとしたが、これに限られるものではない。例えば、第１サポータ１４１及び第２サポータ１４２の一方のみが保持部の＋Ｘ側端部からそれぞれＺ方向に１回折り曲げる構成としてもよい。
【００６５】
＜変形例２＞  
第２実施形態の変形例を説明する。図６（ｂ）は、圧電デバイス２００Ａの一例を示す図である。図６（ｂ）に示すように、第１サポータ１４１Ａの先端部１４１Ａｄ及び第２サポータ１４２Ａの先端部１４２Ａｄは、Ｚ方向に対して＋Ｘ側に傾いた状態で折り曲げられている。この場合においても、先端部１４１Ａｄ、１４２Ａｄは、圧電振動片１０から離れてカバー５０に向けて突出する突出部１４３Ａ、１４４Ａを構成している。なお、先端部１４１Ａｄ、１４２Ａｄは、Ｚ方向に対して＋Ｘ側に傾いた形状に限られず、Ｚ方向に対して−Ｘ側に傾いた形状（図６（ｂ）において破線で示す）であってもよい。
【００６６】
このように、先端部１４１Ａｄ、１４２ＡｄをＺ方向に対して傾けて配置させることにより、先端部１４１Ａｄ、１４２Ａｄがカバー５０に接触する場合には、直線部４１ｃ、４２ｃから先端部１４１Ａｄ、１４２Ａｄまでの部分において弾性変形しやすくなる。これにより、カバー５０から受ける衝撃をより多く吸収することができる。
【００６７】
［第３実施形態］  
第３実施形態に係る圧電デバイスを説明する。以下の説明において、上記した第１実施形態及び第２実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。
【００６８】
図７（ａ）は、第２実施形態に係る圧電デバイス３００の一例を示している。なお、図７（ａ）は、カバー５０を切断して内部を見たときの状態を示している。  
図７（ａ）に示すように、圧電デバイス３００は、サポータ２４０の構成が第１実施形態とは異なっており、他の構成は第１実施形態と同一である。本実施形態では、＋Ｚ側に配置されるサポータ２４０を第１サポータ２４１とし、−Ｚ側に配置されるサポータ２４０を第２サポータ２４２とする。
【００６９】
第１サポータ２４１は、取付部４１ａと、屈曲部４１ｂと、直線部２４１ｃと、ドーム部２４１ｄ、２４１ｅとを有している。ドーム部２４１ｄ、２４１ｅは、直線部２４１ｃの＋Ｚ側の面に設けられている。ドーム部２４１ｄ、２４１ｅは、直線部２４１ｃのうち圧電振動片１０を保持する部分（保持部２４１ｆ）を挟んで形成されている。なお、この湾曲部は、３つ以上形成されてもよい。ドーム部２４１ｄ、２４１ｅは、＋Ｚ側にドーム状に突出した形状に形成される。この形状は、例えばエンボス加工やディンプル加工などによって直線部２４１ｃの一部を＋Ｚ側に突出させることで形成することができる。ドーム部２４１ｄ、２４１ｅは、圧電振動片１０から離れてカバー５０に向けて突出する突出部２４３を構成している。
【００７０】
第２サポータ２４２は、取付部４２ａと、屈曲部４２ｂと、直線部２４２ｃと、ドーム部２４２ｄ、２４２ｅとを有している。第２サポータ２４２は、第１サポータ２４１とＺ方向について対称な形状となっている。この場合、ドーム部２４２ｄ、２４２ｅは、圧電振動片１０から離れてカバー５０に向けて突出する突出部２４４を構成している。なお、第２サポータ２４２の形状は、Ｘ方向に平行な軸線を基準として第１サポータ２４１と線対称な形状に限定されるものではない。
【００７１】
このように、本実施形態では、突出部２４３、２４４が設けられることにより、圧電振動片１０が揺動した場合には、突出部２４３、２４４がカバー５０に接触することになり、圧電振動片１０が直接カバー５０に接触するのを回避できる。このため、圧電振動片１０の発振周波数が一時的に変動するのを抑制できる。また、突出部２４３、２４４とカバー５０とが接触することにより、圧電振動片１０への衝撃が緩和される。したがって、導電性接着剤にクラックが形成されるのを抑制できるため、圧電振動片１０が動作不良を引き起こすのを抑制できる。また、圧電振動片１０への衝撃が緩和されるため、圧電振動片１０が破損したり、サポータ２４０から外れたりするのを抑制できる。
【００７２】
また、本実施形態では、エンボス加工やディンプル加工などの簡易な加工によって突出部２４３、２４４（ドーム部２４１ｄ、２４１ｅ、２４２ｄ、２４２ｅ）を形成することができるため、製造上の負担を低減することができる。また、サポータ２４０の複数の位置であっても容易に突出部２４３、２４４を形成することができる。
【００７３】
なお、本実施形態では、突出部２４３として、ドーム部２４１ｄ、２４１ｅのうち一方のみが設けられた構成であってもよい。同様に、突出部２４４として、ドーム部２４２ｄ、２４２ｅのうち一方のみが設けられた構成であってもよい。また、本実施形態では、直線部２４１ｃ、２４２ｃの一部が＋Ｚ側、−Ｚ側にそれぞれドーム状に突出したドーム部２４１ｄ、２４１ｅ、２４２ｄ、２４２ｅが設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではない。例えば、ドーム部に代えて、あるいはドーム部に加えて、直線部２４１ｃ、２４２ｃの一部が＋Ｚ方向、−Ｚ方向にそれぞれ湾曲するように突出した湾曲部が設けられた構成であってもよい。
【００７４】
＜変形例３＞  
第３実施形態の変形例を説明する。図７（ｂ）は、圧電デバイス３００Ａの一例を示す図である。図７（ｂ）に示すように、第１サポータ２４１Ａの直線部２４１Ａｃの＋Ｚ側の面には、屈曲部２４１Ａｄ、２４１Ａｅが設けられている。屈曲部２４１Ａｄ、２４１Ａｅは、第１サポータ２４１Ａをプレス加工によって折り曲げることで形成される。屈曲部２４１Ａｄ、２４１Ａｅのうち一方が省略されてもよい。
【００７５】
また、第２サポータ２４２Ａは、第１サポータ２４１ＡとＺ方向について対称な形状となっている。この場合、ドーム部２４１ｄ、２４１ｅは、圧電振動片１０から離れてカバー５０に向けて突出する突出部２４４Ａを構成している。なお、第２サポータ２４２Ａの形状は、Ｘ方向に平行な軸線を基準として第１サポータ２４１Ａと線対称な形状に限定されるものではない。
【００７６】
このように、屈曲部２４１Ａｄ、２４１Ａｅ、２４２Ａｄ、２４２Ａｅが設けられることにより、圧電振動片１０がカバー５０に接触するのを回避でき、圧電振動片１０への衝撃を緩和することができる。これにより、圧電振動片１０の周波数が変動するのを抑制できるため、耐衝撃性の高い圧電デバイス３００Ａが得られる。また、屈曲部４１ｂ、４２ｂなど、他の部位を形成する場合と同様にプレス加工によってドーム部２４１ｄ、２４１ｅ、２４２ｄ、２４２ｅを形成することができるため、同一の加工装置によって容易に製造可能な圧電デバイス３００が得られる。
【００７７】
以上、圧電デバイスの実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。  
例えば、上記実施形態では、水晶ブランク１１として、ＳＣカット板が用いられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えばＡＴカット板が用いられた構成であってもよい。また、他の材料を用いて形成された構成であってもよい。
【００７８】
また、例えば上記実施形態または変形例では、サポータ４０、４０Ａ、１４０、１４０Ａ、２４０、２４０Ａを介して圧電振動片１０を保持する構成を例に挙げて説明したが、これに限られるものではない。例えば、インナーリード３１ａ、３２ａを＋Ｘ方向に伸ばし、インナーリード３１ａ、３２ａによって圧電振動片１０を保持する構成としてもよい。また、上記実施形態または変形例において、圧電振動片１０側に折り曲げられた保持部４１ｆ、４２ｆ、１４１ｆ、１４２ｆ、２４１ｆ、２４２ｆが設けられず、直線部４１ｃ、４２ｃ、１４１ｃ、１４２ｃ、２４１ｃ、２４２ｃの直線部分において圧電振動片１０を保持する構成としてもよい。
【００７９】
また、例えば上記実施形態または変形例では、突出部がカバーと接触した際に圧電振動片への衝撃を吸収する形状に形成される構成を例に挙げて説明したが、これに限られるものではなく、圧電振動片から離れてカバーに向けて突出する構成であれば、必ずしも衝撃を吸収する形状でなくてもよい。
【００８０】
また、上記の実施形態で説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。そのような変更または改良、省略した形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、上記した実施形態や変形例の構成を適宜組み合わせて適用することも可能である。
【符号の説明】
【００８１】
１２、１３…励振電極  １１ａ、１１ｂ…平面部  １０…圧電振動片  ２０…ベース  ４０、１４０、２４０…サポータ  ３０…リード  Ｋ…空間  ５０…カバー  １００…圧電デバイス  Ｐ…平面  ４３、４４、１４３、１４３Ａ、１４４、１４４Ａ、２４３、２４３Ａ、２４４、２４４Ａ…突出部  ４１ｄ、４１ｅ、４２ｄ、４２ｅ…先端部分  ４１ｆ、４２ｆ…保持部  ２４１ｄ、２４１ｅ、２４２ｄ、２４２ｅ…ドーム部  ４１ｍ、４１ｎ、４２ｍ、４２ｎ…屈曲部  ５０ａ、５０ｂ…内周面  ５０ｃ、５０ｄ…対向部分  ５１、５２…絶縁膜（第１絶縁膜）  ４１ｈ、４２ｈ…対向部分  ４５、４６…絶縁膜（第２絶縁膜）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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