(57)【要約】【課題】衝撃を受けた場合に圧電振動片が揺動するのを抑制でき、圧電振動片が動作不良を引き起こしたり、破損したり、サポータまたはリードから外れたりするのを抑制できる圧電デバイスを提供する。【解決手段】ベース２０を貫通する２本のリード３０と、このリード３０のそれぞれの先端部３１ｄ、３２ｄに取り付けられかつ圧電振動片１０を保持する２本のサポータ４０と、を有する圧電デバイス１００であって、リード３０の少なくとも一方は、ベース２０から先端部３１ｄ、３２ｄまでの間の一部がクランク形状に屈曲された屈曲部３１ｃ、３２ｃを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースを貫通する２本のリードと、前記リードのそれぞれの先端部に取り付けられかつ圧電振動片を保持する２本のサポータと、を有する圧電デバイスであって、
前記リードの少なくとも一方は、前記ベースから前記先端部までの間の一部がクランク形状に屈曲された屈曲部を備える圧電デバイス。
【請求項２】
前記２本のサポータは、それぞれ前記先端部と同一方向に延びるように取り付けられる請求項１記載の圧電デバイス。
【請求項３】
前記２本のリードは、互いに対称となるようにそれぞれ屈曲された前記屈曲部を備える請求項１または請求項２記載の圧電デバイス。
【請求項４】
前記ベースにおける２本の前記リードの間隔は、前記先端部同士の間隔より小さい請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項５】
前記圧電振動片は、励振電極が形成される平面部を備える板状であり、かつ前記ベースに対して、前記平面部を含む平面が前記ベースと交差する方向に配置され、
前記２本のサポータは、前記平面に沿って前記圧電振動片を挟むように配置される請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項６】
前記リードは、前記平面に沿うように屈曲された前記屈曲部を備える請求項５記載の圧電デバイス。
【請求項７】
前記圧電振動片を含んだ空間を覆うように、前記ベースに取り付けられるカバーを備える請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
通信機器や計測機器、電子機器などにおいて、水晶振動子や水晶発振器などの圧電デバイスが搭載されている。このような圧電デバイスの一例として、ベースを貫通する２本のリードと、このリードのそれぞれに取り付けられかつ圧電振動片を保持する２本のサポータとを有する構成が知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
２本のサポータの一端側には、リードに取り付けられる取付部が設けられている。この取付部は、リードに溶接されている。また、２本のサポータの他端側には、圧電振動片を保持する保持部が設けられている。圧電振動片は、例えば導電性接着剤を介して２本のサポータの保持部に接合されている。サポータは、リードよりも剛性が低くなるように形成されており、圧電デバイスが衝撃を受ける場合に弾性変形することで、圧電振動片への衝撃を低減することが可能である。
【０００４】
一方、２本のリードは、外部基板の端子等に実装されるため、各端子の位置に対応するように所定距離を空けて配置される。このように２本のリードの間隔は、圧電振動片の径とは異なる基準で設定されるため、２本のリードの間隔が圧電振動片の径よりも小さくなることがある。
【０００５】
この場合、直線状に形成されたサポータでは、圧電振動片の外周部が２本のサポータの外側に大きくはみ出してしまう。そこで、サポータの保持部同士の間隔が圧電振動片の径に合うように、取付部と保持部との間の部分をクランク形状に屈曲させることで、２本のリードの間隔よりも径の大きい圧電振動片を保持している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】実開昭６０−１９２５２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のサポータでは、取付部から保持部までのストロークがクランク形状の分だけ長くなる。このため、例えば圧電デバイスが衝撃を受けてサポータが弾性変形する場合、圧電振動片がベースに対して大きく揺動する場合がある。この揺動により、圧電振動子とサポータとの間を接合する導電性接着剤に応力が加えられ、導電性接着剤にクラックが形成される可能性がある。この場合、圧電振動片とサポータまたはリードとの間の接続状態が変化するため、圧電振動片の発振周波数が変動したり、圧電振動片が発振しなくなったりするなど、動作不良を引き起こす可能性がある。また、揺動時の衝撃によっては、圧電振動片が破損したり、サポータまたはリードから外れたりするおそれがある。
【０００８】
以上のような事情に鑑み、本発明は、衝撃を受けた場合に圧電振動片が揺動するのを抑制でき、圧電振動片が動作不良を引き起こしたり、破損したり、サポータまたはリードから外れたりするのを抑制できる圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明では、ベースを貫通する２本のリードと、このリードのそれぞれの先端部に取り付けられかつ圧電振動片を保持する２本のサポータと、を有する圧電デバイスであって、リードの少なくとも一方は、ベースから先端部までの間の一部がクランク形状に屈曲された屈曲部を備える。
【００１０】
また、２本のサポータは、それぞれ先端部と同一方向に延びるように取り付けられてもよい。また、２本のリードは、互いに対称となるようにそれぞれ屈曲された屈曲部を備えてもよい。また、ベースにおける２本のリードの間隔は、先端部同士の間隔より小さくてもよい。また、圧電振動片は、励振電極が形成される平面部を備える板状であり、かつベースに対して、平面部を含む平面がベースと交差する方向に配置され、２本のサポータは、平面に沿って圧電振動片を挟むように配置されてもよい。また、リードは、平面に沿うように屈曲された屈曲部を備えてもよい。また、圧電振動片を含んだ空間を覆うように、ベースに取り付けられるカバーを備えてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、リードの少なくとも一方において、ベースから先端部までの間の一部がクランク形状に屈曲された屈曲部を備えるため、ベースにおける２本のリードの間隔と圧電振動片の径とが異なる場合であっても、先端部における２本のリードの間隔を圧電振動片の径に合わせることができる。これにより、各先端部に直線状のサポータを取り付けて圧電振動片を保持することができるため、サポータをクランク形状に屈曲させる場合に比べて、サポータの長さを短くすることができる。このため、圧電デバイスが落下等の衝撃を受けた場合、圧電振動片の揺動のストロークを低減できる。これにより、導電性接着剤にクラックが形成されるのを抑制できるため、圧電振動片が動作不良を引き起こすのを抑制できる。また、圧電振動片の揺動が低減されるため、圧電振動片が破損したり、圧電振動片がサポータまたはリードから外れたりするのを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態に係る圧電デバイスの全体構成の一例を示す斜視図である。
【図２】圧電デバイスの一例を示す断面図である。
【図３】（ａ）は図２におけるＡ−Ａ線に沿った構成を示す断面図であり、（ｂ）は図１における領域Ｑを拡大して示す斜視図である。
【図４】圧電デバイスに衝撃を加えた場合の一例を示す図であり、（ａ）は比較例、（ｂ）は本実施形態の一例である。
【図５】実施形態の変形例に係る圧電デバイスの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、以下の実施形態では、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。また、図面においてハッチングした部分は金属膜及び接合材を表している。
【００１４】
以下、各図においてＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。以下のＸＹＺ座標系では、ＳＣカットの水晶ブランクの結晶軸（ｘ′軸、ｙ″軸、ｚ′軸）のうちｘ′軸に平行な方向をＸ方向とし、ｚ′軸に平行な方向をＺ方向とする。また、ＸＺ平面に垂直な方向（後述の水晶ブランク１１の厚さ方向）はＹ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるものとして説明する。
【００１５】
図１は、実施形態に係る圧電デバイス１００の全体構成の一例を示す斜視図である。図２は、圧電デバイス１００の全体構成の一例を示す断面図である。図１及び図２に示すように、圧電デバイス１００は、圧電振動片１０と、ベース２０と、リード３０と、サポータ４０と、カバー５０とを備えている。なお、図１は、所定の平面Ｐ１（後述）によってベース２０及びカバー５０を切断して内部を見たときの状態を示している。また、図２は、カバー５０を切断して内部を見たときの状態を示している。
【００１６】
圧電振動片１０は、サポータ４０及びリード３０及びベース２０に支持されている。圧電振動片１０は、水晶ブランク１１と、励振電極１２、１３と、引出電極１４、１５とを有している。水晶ブランク１１としては、例えばＳＣカットの水晶基板が用いられる。ＳＣカットは、水晶の結晶軸（電気軸：ｘ軸、機械軸：ｙ軸、光学軸：ｚ軸）のうち、まずｙ軸に直交する平面を、ｘ軸を中心にして約３３°〜３５°回転し、さらに、この平面をこの位置からｚ軸を中心にして約２２°〜２４°回転したときの方向から切り出すものである。ＳＣカットの水晶ブランク１１には、新たな結晶軸（ｘ′軸、ｙ″軸、ｚ′軸）が設定される。
【００１７】
水晶ブランク１１は、円形に形成されている。水晶ブランク１１の＋Ｘ側は、直線状に切り欠かれている。この切り欠きは、例えば結晶方位の基準として形成してもよいし、励振電極１２、１３の形成時やサポータ４０（ベース２０）への取り付け時の位置基準として形成してもよい。
【００１８】
水晶ブランク１１は、平面部１１ａ及び１１ｂを有している。平面部１１ａ、１１ｂは、ＳＣカットによって切り出される面であり、水晶ブランク１１の結晶軸のうちｘ′軸とｚ′軸とを含む平面に平行である。よって、平面部１１ａ、１１ｂは、ＸＺ平面に平行である。
【００１９】
図３（ａ）は、図２におけるＡ−Ａ線に沿った構成を示す断面図である。図３（ａ）に示すように、平面Ｐ１は、平面部１１ａを含む平面である。平面Ｐ２は、平面部１１ｂを含む平面である。平面Ｐ１及び平面Ｐ２は、ＸＺ平面に平行である。圧電振動片１０は、平面Ｐ１及び平面Ｐ２の方向に配置されている。この平面Ｐ１及び平面Ｐ２は、ベース２０に交差している。このように、圧電振動片１０は、平面Ｐ１及び平面Ｐ２がベース２０に交差する方向に配置されている。したがって、圧電振動片１０は、ベース２０に対して立った状態で配置されている。
【００２０】
続いて、図１及び図２に示すように、励振電極１２、１３は、それぞれ平面部１１ａ、１１ｂのほぼ中央に設けられている。励振電極１２、１３は、例えば円形に形成されるが、楕円や多角形など、他の形状であってもよい。励振電極１２と励振電極１３とは、Ｙ方向視において重なって配置されている。
【００２１】
引出電極１４は、励振電極１２のＸ方向の中央部から＋Ｚ方向に向けて延びている。引出電極１４は、平面部１１ａの外周部分まで引き出されている。引出電極１５は、励振電極１３のＸ方向の中央部から−Ｚ方向に向けて延びている。引出電極１５は、平面部１１ｂの外周部分まで引き出されている。このように、引出電極１４、１５は、励振電極１２、１３からそれぞれＺ方向について反対方向に引き出されている。
【００２２】
ベース２０は、圧電振動片１０の−Ｘ側に配置されている。ベース２０は、筐体２１と、充填部２２とを有している。筐体２１は、鉄やコバール（鉄、ニッケル、コバルトの合金）などの金属材料を用いて形成されている。筐体２１は、開口部２１ａ、２１ｂを有する。開口部２１ａ、２１ｂは、２本のリード３０を貫通させる。各リード３０と、開口部２１ａ、２１ｂとの間は、封止部２３ａ、２３ｂによって封止されている。封止部２３ａ、２３ｂは、例えばガラスなどの絶縁材料で形成されている。充填部２２は、筐体２１の内部に充填され、例えば樹脂やガラスなどの絶縁材料によって形成されている。ベース２０は、２本のリード３０を保持する。２本のリード３０は、例えばＺ方向に並んで設けられている。ベース２０と２本のリード３０との間には封止部２３ａ、２３ｂ及び充填部２２が設けられている。このため、ベース２０と２本のリード３０との間は、電気的に絶縁されている。２本のリード３０のうち１本は、グランドに接続されてもよい。以下、２本のリード３０のうち＋Ｚ側のリード３０を第１リード３１とし、−Ｚ側のリード３０を第２リード３２として説明する。
【００２３】
第１リード３１及び第２リード３２は、Ｘ方向にベース２０を貫通して配置されている。第１リード３１及び第２リード３２は、例えば円柱状に形成されるが、この形状に限定されない。第１リード３１は、インナーリード３１ａを有している。インナーリード３１ａは、ベース２０から圧電振動片１０に向けて突出している。
【００２４】
インナーリード３１ａは、基端部３１ｂ、屈曲部３１ｃ及び先端部３１ｄを有している。基端部３１ｂは、ベース２０から＋Ｘ側に突出した部分である。屈曲部３１ｃは、基端部３１ｂと先端部３１ｄとの間に配置されている。屈曲部３１ｃは、２つの角部３１ｍ、３１ｎを有している。角部３１ｍでは、インナーリード３１ａが＋Ｚ側に屈曲されている。なお、角部３１ｍにおける屈曲方向は、Ｚ方向に平行な方向となっているが、これに限られるものではなく、＋Ｚ方向に対して＋Ｘ側に傾いた方向であってもよいし、＋Ｚ方向に対して−Ｘ側に傾いた方向であってもよい。また、角部３１ｎでは、インナーリード３１ａが＋Ｘ方向に屈曲される。屈曲部３１ｃは、平面Ｐ１（または平面Ｐ２）に沿うように屈曲される（図３（ａ）参照）。すなわち、屈曲部３１ｃは、屈曲方向が平面Ｐ１（または平面Ｐ２）に沿った方向に設定されている。
【００２５】
屈曲部３１ｃは、２つの角部３１ｍ、３１ｎにより、クランク形状に形成されている。先端部３１ｄは、角部３１ｎから＋Ｘ方向に延びている。屈曲部３１ｃのクランク形状により、インナーリード３１ａは、先端部３１ｄにおいて圧電振動片１０の外周部分を保持可能となっている。
【００２６】
インナーリード３２ａは、基端部３２ｂ、屈曲部３２ｃ及び先端部３２ｄを有している。なお、本実施形態では、インナーリード３２ａは、例えばインナーリード３１ａと同一の形状を有しており、インナーリード３１ａに対してＺ方向に対称となるように配置されているが、これに限られるものではなく、一部または全部の形状がインナーリード３１ａと異なっていてもよい。
【００２７】
基端部３２ｂは、ベース２０から＋Ｘ側に突出した部分である。基端部３２ｂは、Ｚ方向についてインナーリード３１ａの基端部３１ｂとの間で距離ｄ１の間隔を空けて配置されている。  
屈曲部３２ｃは、基端部３２ｂと先端部３２ｄとの間に配置されている。屈曲部３２ｃは、２つの角部３２ｍ、３２ｎを有している。角部３２ｍでは、インナーリード３２ａが−Ｚ側に屈曲されている。なお、角部３２ｍにおける屈曲方向は、Ｚ方向に平行な方向となっているが、これに限られるものではなく、−Ｚ方向に対して＋Ｘ側に傾いた方向であってもよいし、−Ｚ方向に対して−Ｘ側に傾いた方向であってもよい。また、角部３２ｎでは、インナーリード３２ａが＋Ｘ方向に屈曲される。屈曲部３２ｃは、平面Ｐ１（または平面Ｐ２）に沿うように屈曲される（図３（ｂ）参照）。すなわち、屈曲部３２ｃは、屈曲方向が平面Ｐ１（または平面Ｐ２）に沿った方向に設定されている。
【００２８】
屈曲部３２ｃは、２つの角部３２ｍ、３２ｎにより、クランク形状に形成されている。屈曲部３２ｃは、インナーリード３１ａの屈曲部３１ｃとの間で、Ｚ方向について互いに対称になるように形成されているが、これに限定されるものではない。先端部３２ｄは、角部３２ｎから＋Ｘ方向に延びている。屈曲部３２ｃのクランク形状により、インナーリード３２ａは、先端部３２ｄにおいて圧電振動片１０の外周部分を保持可能となっている。
【００２９】
また、先端部３２ｄは、Ｚ方向についてインナーリード３１ａの先端部３１ｄとの間で距離ｄ２の間隔を空けて配置されている。距離ｄ２は、上記の距離ｄ１よりも大きい。したがって、ベース２０における２本のリード３０の間隔（基端部３１ｂと基端部３２ｂとの距離ｄ１）は、先端部同士の間隔（先端部３１ｄと先端部３２ｄとの距離ｄ２）よりも小さい。
【００３０】
サポータ４０は、例えば２本設けられ、Ｚ方向に圧電振動片１０を挟むように配置される（図１参照）。サポータ４０は、第１リード３１の先端部３１ｄ及び第２リード３２の先端部３２ｄに取り付けられる。サポータ４０は、圧電振動片１０を支持する。サポータ４０は、平面Ｐ１（または平面Ｐ２）に沿って配置される（図３（ａ）参照）。すなわち、サポータ４０は、後述するように所定の形状に屈曲されているが、屈曲方向が平面Ｐ１（または平面Ｐ２）に沿った方向に設定されている。このため、サポータ４０を構成する各部は、平面Ｐ１に平行なＸＺ平面に沿って配置される。
【００３１】
サポータ４０は、リード３０よりも剛性が低くなるように形成されている。サポータ４０は、例えばニッケルなどのフープ材をプレス加工して形成されるが、これに限定されず、例えば鋳造などによって形成されてもよい。以下、２本のサポータ４０のうち＋Ｚ側のサポータ４０を第１サポータ４１とし、−Ｚ側のサポータ４０を第２サポータ４２として説明する。
【００３２】
第１サポータ４１は、取付部４１ａと、直線部４１ｂとを有している。取付部４１ａは、第１リード３１のインナーリード３１ａに取り付けられている。取付部４１ａは、例えば溶接などによって先端部３１ｄに接合されている。これにより、第１リード３１と第１サポータ４１との間が固定され、かつ電気的に接続されている。取付部４１ａは、Ｘ方向に沿って配置されている。
【００３３】
直線部４１ｂは、取付部４１ａから＋Ｘ方向に延びている。したがって、第１サポータ４１は、直線部４１ｂが第１リード３１の先端部３１ｄと同一方向（＋Ｘ方向）に延びるように取り付けられている。直線部４１ｂは、Ｙ方向視において、圧電振動片１０の外周（または周縁部）の一部に重なる位置に配置されている。直線部４１ｂは、保持部４１ｃを有している。保持部４１ｃは、直線部４１ｂの一部が圧電振動片１０側へ向けて−Ｚ方向に折り曲げられた形状を有している。保持部４１ｃは、Ｙ方向視において、圧電振動片１０の外周から内側へ食い込むように形成されている。
【００３４】
図３（ｂ）は、図１の領域Ｑを拡大して示す図であり、保持部４１ｃ及びその近傍の構成を拡大して示す斜視図である。図３（ｂ）に示すように、保持部４１ｃには、スリット部４１ｄが形成されている。スリット部４１ｄは、保持部４１ｃの幅方向（Ｙ方向）のほぼ中央に形成されている。スリット部４１ｄは、保持部４１ｃの＋Ｘ側端部から−Ｘ側端部にかけて、Ｘ方向に沿って形成されている。スリット部４１ｄのＹ方向の寸法は、圧電振動片１０の厚さ（Ｙ方向の寸法）よりも大きくなっている。スリット部４１ｄからは、圧電振動片１０の一部が＋Ｚ方向にはみ出している。このはみ出した部分には、水晶ブランク１１の周縁部と引出電極１４の一部とが含まれている。
【００３５】
保持部４１ｃの＋Ｚ側の面には、導電性接着剤６０が配置されている。導電性接着剤６０は、保持部４１ｃと、引出電極１４（スリット部４１ｄからはみ出した部分）との間を接合している。導電性接着剤６０により、第１サポータ４１と圧電振動片１０との間が固定される。また、導電性接着剤６０により、第１サポータ４１と引出電極１４との間が電気的に接続される。
【００３６】
続いて、図２に示すように、第２サポータ４２は、取付部４２ａと、直線部４２ｂと、とを有している。なお、本実施形態では、第２サポータ４２は、例えば第１サポータ４１と同一の形状を有しており、第１サポータ４１に対してＺ方向に対称となるように配置されているが、これに限られるものではなく、一部または全部の形状が第１サポータ４１と異なっていてもよい。
【００３７】
取付部４２ａは、第２リード３２のインナーリード３２ａに取り付けられている。取付部４２ａは、例えば溶接によって先端部３２ｄに接合されている。これにより、第２リード３２と第２サポータ４２との間が固定され、かつ電気的に接続される。取付部４２ａは、Ｘ方向に沿って配置されており、第１サポータ４１の取付部４１ａとほぼ平行に配置される。
【００３８】
直線部４２ｂは、取付部４２ａから＋Ｘ方向に延びており、第１サポータ４１の直線部４１ｂとほぼ平行に配置される。したがって、第２サポータ４２は、直線部４２ｂが第２リード３２の先端部３２ｄと同一方向（＋Ｘ方向）に延びるように取り付けられている。直線部４２ｂは、保持部４２ｃを有しており、Ｙ方向視において、圧電振動片１０の外周（または周縁部）の一部に重なる位置に配置されている。保持部４２ｃの形状やＸ方向の位置については、例えば第１サポータ４１の保持部４１ｃと異なる形状としてもよい。また、保持部４２ｃには、第１サポータ４１の保持部４１ｃと同様にスリット部４２ｄ（図１参照）が形成されており、スリット部４２ｄから圧電振動片１０の一部が−Ｚ方向にはみ出している。このはみ出した部分には、水晶ブランク１１の周縁部と引出電極１５の一部とが含まれている。
【００３９】
保持部４２ｃの−Ｚ側の面には、不図示の導電性接着剤が配置されている。導電性接着剤は、保持部４２ｃと、引出電極１５（スリット部からはみ出した部分）との間を接合している。この導電性接着剤により、第２サポータ４２と圧電振動片１０との間が固定され、第２サポータ４２と引出電極１５との間が電気的に接続される。
【００４０】
カバー５０は、圧電振動片１０を含む空間Ｋを覆うようにベース２０に取り付けられている。カバー５０は、金属材料で形成されており、例えば銅材の表面にニッケル層を有する構成となっている。カバー５０とベース２０との間は、例えば抵抗溶接によって接合されている。
【００４１】
次に、圧電デバイス１００の製造方法を簡単に説明する。  
まず、ベース２０の筐体２１に形成される開口部２１ａに第１リード３１を貫通させ、開口部２１ｂに第２リード３２を貫通させた状態とする。この状態で、筐体２１の内部に樹脂やガラスなどの絶縁材料を溶融状態として充填させ、固化させることで充填部２２を形成する。充填部２２により、第１リード３１及び第２リード３２が保持される。充填部２２を形成した後、開口部２１ａと第１リード３１との間、開口部２１ｂと第２リード３２との間に溶融ガラスを充填させ、固化させることで封止部２３ａ、２３ｂを形成する。その後、第１リード３１及び第２リード３２を屈曲させ、基端部３１ｂ、３２ｂ、屈曲部３１ｃ、３２ｃ及び先端部３１ｄ、３２ｄを形成することにより、インナーリード３１ａ、３２ａが形成される。
【００４２】
次に、ニッケルなどの金属で形成されたフープ材をプレス加工することで、第１サポータ４１及び第２サポータ４２を形成する。この場合、まずスリット部４１ｄ、４２ｄについて、例えばプレス加工の前にフープ材の所定位置に形成しておく。その後、保持部４１ｃ、４２ｃを形成し、第１サポータ４１、第２サポータ４２を第１リード３１、第２リード３２に溶接する。
【００４３】
次に、圧電振動片１０と、第１サポータ４１及び第２サポータ４２とを接続する。圧電振動片１０については、例えば多面取りによって１枚の水晶基板から複数の圧電振動片１０を製造する。この場合、水晶基板の複数の領域に励振電極１２、１３や引出電極１４、１５をパターニングし、その後水晶基板をエッチングする。これにより、領域ごとに水晶ブランク１１、励振電極１２、１３、引出電極１４、１５を有する圧電振動片１０が得られる。このように形成した圧電振動片１０を、第１サポータ４１と第２サポータ４２との間に嵌め込み、第１サポータ４１及び第２サポータ４２のスリット部４１ｄ、４２ｄから圧電振動片１０の外周部をそれぞれはみ出させる。次に、第１サポータ４１の保持部４１ｃと圧電振動片１０の引出電極１４との間を導電性接着剤６０で接着する。同様に、第２サポータ４２の保持部４２ｃと圧電振動片１０の引出電極１６との間を導電性接着剤で接着する。その後、圧電振動片１０を含む空間Ｋを覆うようにカバー５０を装着させ、ベース２０との間を抵抗溶接で接合する。これにより、圧電デバイス１００が完成する。
【００４４】
図４（ａ）は、比較例に係る圧電デバイス１００Ｒに衝撃を加えたときの一例を示す図である。  
図４（ａ）に示すように、圧電デバイス１００Ｒでは、２本のサポータ４１Ｒ、４２Ｒの−Ｘ側端部は、リード３１Ｒ、３２Ｒに取り付けられている。また、２本のサポータの＋Ｘ側端部は、圧電振動片１０Ｒを保持している。圧電振動片１０Ｒは、例えば導電性接着剤６０Ｒを介してサポータ４１Ｒ、４２Ｒの保持部に接合されている。サポータ４１Ｒ、４２Ｒは、リード３１Ｒ、３２Ｒよりも剛性が低くなるように形成されており、圧電デバイス１００Ｒが衝撃を受ける場合に弾性変形する。
【００４５】
２本のリード３０Ｒの間隔は、圧電振動片１０Ｒの径よりも小さくなっている。サポータ４１Ｒ、４２Ｒの保持部同士の間隔が圧電振動片１０Ｒの径に合うように、サポータ４１Ｒ、４２Ｒのそれぞれにおいて、取付部と保持部との間の部分をクランク形状に屈曲されている。
【００４６】
このような圧電デバイス１００Ｒに落下等の衝撃が加えられた場合、圧電振動片１０Ｒの重量により、サポータ４１Ｒ、４２Ｒが弾性変形する。このとき、サポータ４１Ｒ、４２Ｒの取付部から保持部までのストロークがクランク形状の分だけ長くなるため、圧電振動片１０Ｒがベース２０Ｒに対して大きく揺動する場合がある。この揺動により、図４（ａ）に示すように、圧電振動片１０Ｒとサポータ４１Ｒとの接合部分が内面５０Ｒａに接触し、圧電振動片１０Ｒの周波数が一時的に変動する場合がある。
【００４７】
また、圧電振動片１０ＲがＺ方向に揺動したり、内面５０Ｒａに衝突したりすることで、圧電振動片１０Ｒとサポータ４１Ｒとの間に設けられる導電性接着剤６０Ｒに応力が加えられ、導電性接着剤６０Ｒにクラックが形成される可能性がある。クラックが形成されると、導電性接着剤６０Ｒとサポータ４１Ｒとの接続状態が変化してしまい、例えば圧電振動片１０Ｒの発振周波数が変動したまま復帰しなくなったり、圧電振動片１０Ｒが発振しなくなったりと、動作不良を引き起こすおそれがある。また、揺動の大きさまたは内面５０Ｒａとの接触の衝撃によっては、圧電振動片１０Ｒが破損したり、サポータ４１Ｒ、４２Ｒから外れたりするおそれがある。
【００４８】
一方、図４（ｂ）は、本実施形態に係る圧電デバイス１００に衝撃を加えたときの一例を示す図である。  
図４（ｂ）に示すように、圧電デバイス１００に衝撃が加えられた場合、ベース２０からインナーリード３１ａ、３２ａ及び第１サポータ４１、第２サポータ４２を介して圧電振動片１０に衝撃の振動が伝達される。
【００４９】
このとき、インナーリード３１ａ、３２ａに屈曲部３１ｃ、３２ｃが設けられており、サポータ４０は直線状に形成されている。この屈曲部３１ｃ、３２ｃはサポータ４０よりも剛性が高い。したがって、サポータ４０をクランク形状に屈曲させる場合に比べて、弾性変形する部分のストロークが短くなる。このため、圧電振動片１０の揺動が低減され、圧電振動片１０が内面５０ａ、５０ｂに接触するのを抑制でき、圧電振動片１０の周波数が変動するのを防止できる。また、圧電振動片１０と第１サポータ４１及び第２サポータ４２との各接合部分への衝撃が低減されるため、導電性接着剤６０や圧電振動片１０が破損するのを抑制できる。
【００５０】
以上のように、本実施形態によれば、２本のリード３０の少なくとも一方において、ベース２０から先端部３１ｄ、３２ｄまでの間の一部がクランク形状に屈曲された屈曲部３１ｃ、３２ｃを備えるため、基端部３１ｂと基端部３２ｂの間隔（距離ｄ１）と圧電振動片１０の径とが異なる場合であっても、先端部３１ｄと先端部３２ｄとの間隔（距離ｄ２）を圧電振動片１０の径に合わせることができる。これにより、各先端部３１ｄ、３２ｄに直線状のサポータ４０を取り付けて圧電振動片１０を保持することができるため、サポータ４０をクランク形状に屈曲させる場合に比べて、サポータ４０の長さを短くすることができる。このため、圧電デバイス１００が落下等の衝撃を受けた場合、圧電振動片１０の揺動を低減できる。これにより、導電性接着剤６０にクラックが形成されるのを抑制できるため、圧電振動片１０が動作不良を引き起こすのを抑制できる。また、圧電振動片１０の揺動が低減されるため、圧電振動片１０が破損したり、圧電振動片１０がサポータ４０またはリード３０から外れたりするのを抑制できる。
【００５１】
＜変形例＞
本実施形態の変形例を説明する。図５は、圧電デバイス１００Ａの一例を示す図である。図５に示すように、第１リード３１Ａ及び第２リード３２Ａ（リード３０Ａ）は、それぞれインナーリード３１Ａａ、３２Ａａを有している。インナーリード３１Ａａの先端部３１Ａｄは、Ｘ方向に対して＋Ｚ側に傾いている。また、インナーリード３２Ａａの先端部３２Ａｄは、Ｘ方向に対して−Ｚ側に傾いている。
【００５２】
また、第１サポータ４１及び第２サポータ４２は、先端部３１Ａｄ及び３２Ａｄのそれぞれの延びる方向に沿って配置されている。したがって、第１サポータ４１は、Ｘ方向に対して＋Ｚ側に傾いている。また、第２サポータ４２は、Ｘ方向に対して−Ｚ側に傾いている。
【００５３】
この構成により、圧電振動片１０の重みによって第１サポータ４１と第２サポータ４２に弾性力が加えられ、この弾性力（反発力）によって第１サポータ４１と第２サポータ４２とで圧電振動片１０を挟むことができる。これにより、圧電振動片１０を保持する力が増大することになる。これにより、圧電振動片１０を安定して保持することができる。なお、先端部３１Ａｄ、３２Ａｄの傾き角度に応じて屈曲部３１Ａｃ、３２ＡｃのＺ方向の寸法を調整することで、より安定して圧電振動片１０保持することができる。
【００５４】
以上、圧電デバイスの実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。  
例えば、上記実施形態では、水晶ブランク１１として、ＳＣカット板が用いられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えばＡＴカット板が用いられた構成であってもよい。また、他の材料を用いて形成された構成であってもよい。
【００５５】
また、上記実施形態または変形例において、圧電振動片１０側に折り曲げられた保持部４１ｃ、４２ｃが設けられず、直線部４１ｂ、４２ｂにおいて圧電振動片１０を保持する構成としてもよい。
【００５６】
また、上記実施形態では、インナーリード３１ａ、３２ａの先端部３１ｄ、３２ｄのＸ方向の位置が圧電振動片１０の−Ｘ側端部の近傍に設定された構成を例に挙げて説明したが、これに限られるものではない。例えば、先端部３１ｄ、３２ｄの高さ位置を＋Ｘ側に配置した構成であってもよい。例えば、先端部３１ｄ、３２ｄのＸ方向の位置を圧電振動片１０の引出電極１４、１５の近傍に設定してもよい。これにより、インナーリード３１ａ、３２ａの剛性を確保することができる。
【００５７】
また、上記の実施形態で説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。そのような変更または改良、省略した形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、上記した実施形態や変形例の構成を適宜組み合わせて適用することも可能である。
【符号の説明】
【００５８】
ｄ１…距離  ｄ２…距離  Ｋ…空間  １０…圧電振動片  １１…水晶ブランク  １１ａ、１１ｂ…平面部  １２、１３…励振電極  ２０…ベース  ３０…リード  ３１…第１リード  ３２…第２リード  ３１ａ、３２ａ…インナーリード  ３１ｂ、３２ｂ…基端部  ３１ｃ、３２ｃ…屈曲部  ３１ｄ、３２ｄ…先端部  ３１ｍ、３１ｎ、３２ｍ、３２ｎ…角部  ４０…サポータ  ４１…第１サポータ  ４２…第２サポータ  ４１ａ、４２ａ…取付部  ４１ｂ、４２ｂ…直線部  ４１ｃ、４２ｃ…保持部  ４１ｄ、４２ｄ…スリット部  ５０…カバー  ６０…導電性接着剤  １００…圧電デバイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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