(57)【要約】【課題】電子部品を破損させずに粘着シートを剥離することができる剥離装置およびピックアップシステムを提供する。【解決手段】ウェーハシートＳに貼り付けられた電子部品Ｄを、ウェーハシートＳを介して突出部２２上に位置させ吸引口２３に負圧を与える。これにより、電子部品Ｄに貼り付いたウェーハシートＳが載置面２１１ａ方向に引っ張られるので、電子部品Ｄを破損させずにウェーハシートＳから剥離させることができる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着シートの一方の面に貼り付けられた電子部品を前記粘着シートから剥離する剥離装置であって、
電子部品が貼り付けられた粘着シートを載置する載置台と、
この載置台の前記粘着シートの他方の面と接する載置面上に形成され、前記載置台上に載置される前記粘着シートに向かって突出した突出部と、
前記載置面内の前記突出部の近傍に開口し、負圧が与えられると前記粘着シートを吸着する吸引口と
を備えることを特徴とする剥離装置。
【請求項２】
請求項１記載の剥離装置において、
前記突出部と前記粘着シートを介して前記突出部と接する電子部品との接触面積は、前記電子部品の前記粘着シートに貼り付けられた面の面積よりも小さい
ことを特徴とする剥離装置。
【請求項３】
請求項２記載の剥離装置において、
前記突出部は、前記載置面に沿った第１の方向に延在し、
前記突出部の突出量は、前記第１の方向に沿って単調増加する
ことを特徴とする剥離装置。
【請求項４】
請求項３記載の剥離装置において、
前記突出部の前記電子部品と接触する領域における前記第１の方向に直交する第２の方向の長さ、前記第１の方向に沿って単調減少する
ことを特徴とする剥離装置。
【請求項５】
請求項３または４記載の剥離装置において、
前記吸引口は、前記第１の方向に延在する前記突出部の両側に形成された第１の開口および第２の開口を有する
ことを特徴とする剥離装置。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか１項に記載された剥離装置において、
前記載置台上に形成された突き上げピンをさらに備える
ことを特徴とする剥離装置。
【請求項７】
電子部品が貼り付けられた粘着シートを移動可能に保持する保持装置と、
前記粘着シートの一方の面に貼り付けられた電子部品を前記粘着シートから剥離する前記粘着シートが載置される剥離装置と、
この剥離装置上に載置された前記粘着シートから前記電子部品を吸着する吸着装置と
を備えたピックアップシステムであって、
前記剥離装置は、請求項１乃至６の何れか１項に記載の剥離装置からなる
ことを特徴とするピックアップシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着シートに貼り付けられた電子部品が粘着シートから剥離する剥離装置およびこの剥離装置を備えたピックアップシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、複数の電子部品が貼り付けられた粘着シートからその電子部品をピックアップして、検査をしたり、所定の容器に格納したりするシステムが提案されている。このようなシステムは、粘着シートを載置する平板状の吸着ステージを備えている（例えば、特許文献１参照。）。この吸着ステージには複数の孔が形成され、この孔は吸引ポンプに接続されている。また、図１３に示すように、吸着ステージ９０１は、略中央部に形成された開口９０２と、開口９０２から突出する突き上げピン９０３とを有している。
【０００３】
粘着シートに貼り付けられた電子部品をピックアップする際には、まず、電子部品が貼り付けられていない面を下にして吸着ステージ上に載置し、ピックアップする電子部品を開口９０２上に配置する。吸引ポンプを駆動して、粘着シートが吸着ステージに密着した状態となる。続いて、図１４に示すように、電子部品Ｄを粘着シートＳを介して突き上げピン９０３で突き上げて粘着シートＳから剥離し、コレット等によりピックアップする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特願平５−２２１９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したような従来の方式では、突き上げピンで突き上げていたので、電子部品に衝撃が加わり電子部品が破損してしまうことがあった。
【０００６】
そこで、本発明は、電子部品を破損させずに粘着シートを剥離することができる剥離装置およびピックアップシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述したような課題を解決するために、本発明に係る剥離装置は、粘着シートの一方の面に貼り付けられた電子部品を粘着シートから剥離する剥離装置であって、電子部品が貼り付けられた粘着シートを載置する載置台と、この載置台の粘着シートの他方の面と接する載置面状に形成され、載置台上に載置される粘着シートに向かって突出した突出部と、載置面内の突出部の近傍に開口し、負圧が与えられると粘着シートを吸着する吸引口とを備えることを特徴とするものである。
【０００８】
上記剥離装置において、突出部と粘着シートを介して突出部と接する電子部品との接触面積は、電子部品の粘着シートに貼り付けられた面の面積よりも小さくしてもよい。
【０００９】
また、上記剥離装置において、突出部は、載置面に沿った第１の方向に延在し、突出部の突出量は、第１の方向に沿って単調増加するようにしてもよい。
【００１０】
また、上記剥離装置において、突出部の電子部品と接触する領域の第１の方向に直交する第２の方向の長さは、第１の方向に沿って単調減少するようにしてもよい。
【００１１】
また、上記剥離装置において、吸引口は、第１の方向に延在する突出部の両側に形成された第１の開口および第２の開口を有するようにしてもよい。
【００１２】
また、上記剥離装置において、載置台上に形成された突き上げピンをさらに備えるようにしてもよい。
【００１３】
また、本発明に係るピックアップシステムは、電子部品が貼り付けられた粘着シートを移動可能に保持する保持装置と、粘着シートの一方の面に貼り付けられた電子部品を粘着シートから剥離する粘着シートが載置される剥離装置と、この剥離装置上に載置された粘着シートから電子部品を吸着する吸着装置とを備えたピックアップシステムであって、剥離装置は、上記剥離装置のうちの何れかからなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、粘着シートに貼り付けられた電子部品を粘着シートを介して突出部上に位置させ吸引口に負圧を与えることにより、電子部品に貼り付いた粘着シートが載置面方向に引っ張られるので、電子部品を破損させずに粘着シートから剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、ピックアップシステムの全体の構成を模式的に示す平面図である。
【図２】図２は、ピックアップシステムの全体の構成を模式的に示す正面図である。
【図３】図３は、剥離装置の台座の構成を模式的に示す平面図である。
【図４】図４は、剥離部の構成を模式的に示す平面図である。
【図５】図５は、図４のI-I線断面図である。
【図６】図６は、図４のII-II線断面図である。
【図７Ａ】図７Ａは、剥離動作を説明するための斜視図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、剥離動作を説明するための斜視図である。
【図７Ｃ】図７Ｃは、剥離動作を説明するための斜視図である。
【図８】図８は、剥離動作を説明するための平面図である。
【図９】図９は、図８のIII-III線断面図である。
【図１０】図１０は、図８のIV-IV線断面図である。
【図１１】図１１は、剥離装置の構成の変形例を模式的に示す平面図である。
【図１２】図１２は、剥離装置の構成の変形例を模式的に示す平面図である。
【図１３】図１３は、従来の吸着ステージの構成を模式的に示す斜視図である。
【図１４】図１４は、従来の吸着ステージの構成を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１７】
［ピックアップシステムの構成］
図１，図２に示すピックアップシステムは、一方の面に電子部品が貼り付けられたウェーハシートＳを支持したウェーハフレームＦを移動可能に保持する保持装置１と、電子部品に貼り付いているウェーハシートＳの少なくとも一部を剥離する剥離装置２と、この剥離装置２により一部が剥離された電子部品を吸着する吸着装置３と、ピックアップシステム全体の動作を制御する制御装置４とを備えている。
便宜上、以下において、剥離装置２によりウェーハシートＳを剥離するために電子部品を移動させる方向、すなわち、水平方向に沿った１の方向を「Ｘ軸方向」、鉛直方向を「Ｚ軸方向」、Ｚ軸方向およびＸ軸方向に直交する方向を「Ｙ軸方向」とも言う。
【００１８】
＜保持装置１の構成＞
保持装置１は、Ｘ軸方向に移動するＸ移動機構１１と、このＸ移動機構１１に固定されＹ軸方向に移動するＹ移動機構１２と、このＹ移動機構１２に固定されウェーハフレームＦを保持する保持部１３とを備えている。
【００１９】
Ｘ移動機構１１は、Ｘ軸方向に延在し、かつ、Ｙ軸方向に所定間隔離間して配設された棒状のＸレール１１ａ，１１ｂと、取り付けられたＸレール１１ａに沿って延在し、Ｘレール１１ａに沿って移動するＸ移動部１１ｃと、取り付けられたＸレール１１ｂに沿って延在し、Ｘレール１１ｂに沿って移動するＸ移動部１１ｄとを備えている。
Ｙ移動機構１１は、Ｙ軸方向に延在した一対の棒状の部材からなり、一方の部材の両端部近傍がＸ移動部１１ｃ，１１ｄの一端にそれぞれ固定され、他方の部材の両端部近傍がＸ移動部１１ｃ，１１ｄの他端にそれぞれ固定された一対のＹレール１２ａ，１２ｂと、Ｙレール１２ａに取り付けられてＹレール１２ａに沿って移動するＹ移動部１２ｃと、Ｙレール１２ｂに取り付けられてＹレール１２ｂに沿って移動するＹ移動部１２ｄとを備えている。
保持部１３は、中央部にウェーハフレームＦを固定する開口が形成された平面視略矩形の板状の部材からなる。このような保持部１３は、一組の側部のうち一方がＹ移動部１２ｃ、他方がＹ移動部１２ｄに固定されている。
【００２０】
保持部１３に保持されるウェーハフレームＦは、ウェーハシートＳを支持している。このウェーハシートＳは、弾性を有する材料から構成されており、その一方の面（以下、「表面」とも言う。）は粘着性を有し、他方の面（以下、「裏面」とも言う。）は粘着性を有していない。粘着性を有する表面には、平面視略矩形の板状の複数の電子部品がマトリクス状に貼り付けられている。
【００２１】
このような構成を有する保持装置１において、Ｘ移動部１１ｃ，１１ｄがＸレール１１ａ，１１ｂに沿ってＸ軸方向に移動すると、Ｘ移動部１１ｃ，１１ｄに固定されたＹレール１２ａ，１２ｂ、このＹレール１２ａ，１２ｂに取り付けられたＹ移動部１２ｃ，１２ｄ、および、このＹ移動部１２ｃ，１２ｄに固定された保持部１３もＸ軸方向に移動するので、結果として、保持部１３に保持されたウェーハフレームＦがＸ軸方向に移動することとなる。
また、Ｙ移動部１２ｃ，１２ｄがＹレール１２ａ，１２ｂに沿ってＹ軸方向に移動すると、このＹ移動部１２ｃ，１２ｄに固定された保持部１３もＹ軸方向に移動するので、結果として、ウェーハフレームＦがＹ軸方向に移動することとなる。
このように、保持装置１は、保持部１３が保持したウェーハフレームＦを、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動させることができる。
【００２２】
なお、保持装置１には、Ｘレール１１ａ，１１ｂをＺ軸方向に移動させるＺ移動機構をさらに備えるようにしてもよい。このＺ移動機構は、例えば、Ｚ軸方向に延在し、かつ、異なるＸレール１１ａ，１１ｂの近傍に配設された一対のＺレールと、それぞれ異なるＺレールに移動可能に取り付けられ、かつ、近傍のＸレール１１ａ，１１ｂが固定された一対のＺ移動部とから構成される。このようなＺ移動機構を備えることにより、保持部１３が保持したウェーハフレームＦを、Ｚ軸方向にも移動させることができる。
【００２３】
＜剥離装置２の構成＞
剥離装置２は、図２〜図６に示すように、ウェーハシートＳを載置する載置台２１と、この載置台２１におけるウェーハシートＳの裏面と接する載置面２１１ａ上に形成され、載置台２１上に載置されるウェーハシートＳに向かって突出した突出部２２と、載置面２１１ａ内の突出部２２の近傍に開口し、負圧が与えられるとウェーハシートＳを吸着する吸引口２３とを備えている。また、載置台２１には、吸引ポンプ２４が接続されている。
【００２４】
載置台２１は、円板状に形成された載置板２１１と、円筒状に形成され、上部の開口が載置板２１１の下面により閉塞された円筒状の基部２１２とから構成されている。ここで、載置板２１１の上面、すなわち、載置面２１１ａには、図３，図４に示すように、その中央部に突出部２２および吸引口２３が形成されている。この載置面２１１ａは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に沿った状態、すなわち水平に沿った状態とされている。
なお、載置板２１１には、全体に多数の小孔（図示せず）が形成されている。
【００２５】
突出部２２は、Ｘ軸方向に延在しており、その突出量はＸ軸方向に沿って単調増加している。本実施の形態において、突出部２２は、図５に示すように、一端が載置面２１１ａと連続し、一定の勾配を有するスロープ状のスロープ部２２１と、このスロープ部２２１の他端と連続し、載置面２１１ａと平行な平坦部２２２とから構成されている。
【００２６】
また、図４に示すように、突出部２２上面におけるＹ軸方向の長さ（以下、「幅」とも言う）は、Ｘ軸方向に沿って単調減少している。本実施の形態において、スロープ部２２１の上面は、載置面２１１ａと連続する平面視略「ハ」の字状に先細りした第１の領域２２１ａと、この第１の領域２２１ａに連続する幅が一定の第２の領域２２１ｂと、この第２の領域２２１ｂと平坦部２２２との間の平面視略「ハ」の字状に先細りした第３の領域２２１ｃとから構成されている。一方、平坦部２２２の上面は、幅が一定の平面視略矩形に形成されている。
ここで、突出部２２の少なくとも一部の幅は、電子部品の幅よりも小さく形成されている。本実施の形態においては、第１の領域２２１ａの一部以外は、その幅が電子部品の幅よりも小さく形成されている。
【００２７】
吸引口２３は、突出部２２の両側に隣接して形成された第１の開口２３１および第２の開口２３２から構成されている。言い換えると、第１の開口２３１と第２の開口２３２の間に突出部２２が配置されている。本実施の形態において、吸引口２３は全体として長方形に形成されており、その中央部に突出部２２が形成されることにより、第１の開口２３１と第２の開口２３２が突出部２２の中央を通るＸ軸に沿った軸線に対して線対称な平面視略台形に形成されている。
【００２８】
吸引ポンプ２４は、真空発生器からなり、吸引端が載置台２１に接続され、載置台２１の内部空間の空気を吸引し、その内部空間内の圧力を低下させる。
【００２９】
＜吸着装置３の構成＞
吸着装置３は、図示しない移動部によりＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能に支持された基部３１と、この基部３１に固定されたピックアップコレット３２とを備えている。このピックアップコレット３２は、図示しない真空発生器により負圧または正圧の空気が選択的に供給されることにより、吸着端で電子部品を吸着したり、吸着した電子部品を解放したりする。
【００３０】
＜制御装置４の構成＞
制御装置４は、保持装置１、剥離装置２および吸着装置３の動作を制御することにより、ピックアップシステム全体の動作を制御する。このような制御装置４は、ＣＰＵなどの演算装置、メモリ、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）などの記憶装置、キーボード、マウス、タッチパネルなどの外部からの情報入力を検知する入力装置、インターネット、ＬＡＮ（Local Area Network）、ＷＡＮ（Wide Area Network）などの通信回線を介して各種情報の送受信を行うＩ／Ｆ装置、およびＣＲＴ（Cathode Ray Tube）、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等の表示装置などを備えたコンピュータと、このコンピュータにインストールされたプログラムとから構成される。これらのハードウエア資源とソフトウエアが協働することによって、上記のハードウエア資源がプログラムによって制御され、後述するピックアップシステムによる各種動作を実現する。
【００３１】
＜ピックアップシステムの動作＞
次に、本実施の形態に係るピックアップシステムの動作について説明する。
【００３２】
まず、保持装置１は、吸着装置３により吸着させる電子部品（以下、「吸着対象部品」とも言う。）が表面に貼り付けられたウェーハシートＳの裏面を、剥離装置２の載置面２１１ａに当接させる。このとき、吸着対象部品は、平面視において、その中心が突出部２２の中心部を通るＸ軸方向に沿った軸線上に位置し、かつ、１つの辺がその軸線と直交するように配置される。本実施の形態では、ウェーハシートＳ上に複数の電子部品が連設されているので、ウェーハシートＳは、各電子部品の中心を通る軸線と、突出部２２の中心軸とが一致するように配置される。
【００３３】
ウェーハシートＳを載置面２１１ａ上に配置すると、吸引ポンプ２４は、駆動を開始する。すると、載置台２１に形成された小孔（図示せず）を介して、載置面２１１ａとウェーハシートＳとの間に存在する空気が吸引ポンプ２４により吸引されるので、ウェーハシートＳは載置面２１１ａに密着する。また、第１の開口２３１および第２の開口２３２と対向する領域のウェーハシートＳは第１の開口２３１および第２の開口２３２に向かって吸引される。
なお、吸引ポンプ２４は、ウェーハシートＳが載置面２１１ａに載置される前に駆動するようにしてもよい。
【００３４】
ウェーハシートＳが載置面２１１ａに密着すると、保持装置１は、ウェーハシートＳをＸ軸方向に移動させる。すると、吸着対象部品は、突出部２２の上面を移動する。
【００３５】
ここで、保持装置１は、上述したように、吸着対象部品の中心が突出部２２の中央部を通る軸線上を通るように、ウェーハシートＳをＸ軸方向に移動させる。すると、吸着対象部品は、図７Ａに示すようにスロープ部２２１の上面を通った後、図７Ｂに示すように平坦部２２２の上面に到達する。
【００３６】
このとき、図４に示したように突出部２２の幅がスロープ部２２１から平坦部２２２に向かうに連れて狭くなっているので、突出部２２上面を移動する吸着対象部品がウェーハシートＳを介して突出部２２と接触する面積は、平坦部２２２に向かうに連れて小さくなってゆく。これは、吸着対象部品の突出部２２と接触していない面積、すなわち、第１の開口２３１および第２の開口２３２に向かって露出する領域（以下、「露出領域」とも言う。）が、平坦部２２２に向かうに連れて大きくなることを意味する。上述したように吸引ポンプ２４が駆動しているので、露出領域に貼り付いているウェーハシートＳには、第１の開口２３１および第２の開口２３２に向かう吸引力が働くこととなる。
【００３７】
また、図５に示したように突出部２２の突出量が平坦部２２２に向かうに連れて大きくなっているので、吸着対象部品と載置面２１１ａとの距離は、吸着対象部品が平坦部２２２に向かうに連れて徐々に離れていく。したがって、ウェーハシートＳは、吸着対象部品に貼り付いている領域と、載置面２１１ａ上に吸着している領域との高さの差が徐々に大きくなる。すると、上述したようにウェーハシートＳは弾性を有する材料から構成されているので、露出領域に貼り付いているウェーハシートＳには、載置面２１１ａに向かう力が働くこととなる。
【００３８】
このように、吸着対象部品の露出領域に貼り付いているウェーハシートＳは、第１の開口２３１および第２の開口２３２からの吸引力とウェーハシートＳ自体による弾性力とが働くので、載置面２１１ａの側に向かって引っ張られ、結果として、露出領域から剥離してゆくこととなる。この剥離は次のように行われる。
【００３９】
本実施の形態では平面視略矩形の板状の電子部品がマトリクス状に配置されて、電子部品の配列方向に沿いかつ各電子部品の中心を通る軸線と突出部２２の中心部を通る軸線とが一致するようにウェーハシートＳが移動するので、吸着対象部品は、突出部２２に対向する１つの側辺からスロープ部２２１上を移動してゆく。このとき、最初にその側辺の両端部が第１の開口２３１および第２の開口２３２に露出するので、その両端部に上述した吸引力および弾性力に起因する力が集中する。この結果、その両端部に貼り付いているウェーハシートＳが最初に吸着対象部品から剥離する。そして、吸着対象部品が移動するに連れて第１の開口２３１および第２の開口２３２に露出する領域が、その側辺の両端部から中央部に向かって移動するので、その露出した部分からウェーハシートＳが順次剥離してゆくこととなる。
【００４０】
最終的に、図７Ｂや図１０に示すように、吸着対象部品が平坦部２２２の上面に到達すると、ウェーハシートＳは、吸着対象部品の平坦部２２２上面に接触している領域以外の部分が、吸着対象部品から剥離していることとなる。
【００４１】
吸着対象部品が平坦部２２２の上面まで移動すると、吸着装置３は、ピックアップコレット３２の吸着端を吸着対象部品に近接させ、そのピックアップコレット３２に負圧を供給する。これにより、吸着装置３は、ピックアップコレット３２により吸着対象部品を吸着し、ピックアップコレット３２を上方に移動させることにより、図７Ｃに示すように吸着対象部品をウェーハシートＳから完全に剥離する。そして、吸着装置３は、吸着対象部品を所定の場所に搬送してゆく。
【００４２】
以上説明したように、本実施の形態によれば、ウェーハシートＳに貼り付けられた電子部品ＤをウェーハシートＳを介して突出部２２上に位置させ吸引口２３に負圧を与えることにより、電子部品Ｄに貼り付いたウェーハシートＳが載置面２１１ａ方向に引っ張られるので、電子部品Ｄを破損させずにウェーハシートＳから剥離させることができる。
【００４３】
なお、本実施の形態では、載置面２１１ａから上方に突出する突出部２２を設ける場合を例に説明したが、電子部品を載置したときに電子部品の裏面が吸引口に向かって露出するのであれば、そのため構成は突出部２２に限定されず、例えば段差など適宜自由な構成を設けることができる。この段差の場合には、段差の境界部分に電子部品を載置することにより、電子部品の裏面を開口側に露出させることができる。
【００４４】
また、本実施の形態では、スロープ部２２１の突出量が平坦部２２２に向かって一定の勾配で大きくなる場合を例に説明したが、スロープ部２２１の突出量の度合いは一定の勾配に限定されず、例えば、放物線状や階段状など適宜自由に設定することができる。
【００４５】
また、突出部２２の平面形状についても、この突出部上に電子部品を載置したときに、それらの接触面積の少なくとも一部が電子部品の面積よりも小さいのであれば、適宜自由に設定することができる。
また、突出部２２の幅についても、単調減少するのであれば、本実施の形態のような形状に限定されず、適宜自由に設定することができる。
【００４６】
また、第１の開口２３１および第２の開口２３２についても、電子部品が突出部上に載置された状態でその電子部品の裏面に貼り付いた粘着シートを吸着できるのであれば、形状や配置は本実施の形態に限定されず、適宜自由に設定することができる。開口の数量についても同様であり、本実施の形態のように２つに限定されない
【００４７】
さらに、本実施の形態において、突き上げピンをさらに設けるようにしてもよい。この突き上げピンを設ける位置については、載置台２１上、より具体的には、スロープ部２２１の近傍、スロープ部２２１、平坦部２２２など、載置台２１上の電子部品の移動経路上であれば、適宜自由に設定することができる。
【００４８】
例えば、図１１に示すように、載置台２１のスロープ部２２１近傍に形成した開口２１１と、この開口２１１から突出する突き上げピン２１２とを備えるようにしてもよい。この場合、突き上げピン２１２は、ウェーハシート上に貼り付けられた電子部品が載置面２１１ａからスロープ部２２１に移動するために開口２１１上を通過するときに、ウェーハシートを介して電子部品を軽く突き上げる。すると、電子部品が上方に移動するので、この電子部品の裏面に貼り付いている一部、特に電子部品の縁部に貼り付いているウェーハシートが剥離されることになる。これにより、突出部２２を移動するときには、既に一部が電子部品から剥離されているので、より容易に電子部品をウェーハシートから剥離させることができる。
【００４９】
また、図１２に示すように、突出部２２の平坦部２２２に形成した開口２２３と、この開口２２３から突出する突き上げピン２２４とを備えるようにしてもよい。この場合、まず、吸引口２３に負圧を与えた上で、ウェーハシート上に貼り付けられた電子部品を突出部２２のスロープ部２２１から平坦部２２２まで移動させることにより、電子部品の平坦部２２２上面に接触している領域以外の部分のウェーハシートを、電子部品から剥離させる。この後、突き上げピン２２４により、電子部品の裏面を突き上げる。これにより、電子部品をウェーハシートから剥離させることができる。この電子部品を突き上げるとき、ウェーハシートの一部が既に電子部品から剥離されているので、突き上げピン２２４が強い力をかけずに電子部品を剥離させることができる。したがって、電子部品Ｄが破損することを防ぐことができる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明は、電子部品が貼り付けられた粘着シートから電子部品をピックアップする各種装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１…保持装置、２…剥離装置、３…吸着装置、４…制御装置、１１…Ｘ移動機構、１１ａ，１１ｂ…Ｘレール、１１ｃ，１１ｄ…Ｘ移動部、１２…Ｙ移動機構、１２ａ，１２ｂ…Ｙレール、１２ｃ，１２ｄ…Ｙ移動部、１３…保持部、２１…載置台、２１１…載置板、２１１ａ…載置面、２１２…基部、２２…突出部、２３…吸引口、２４…吸引ポンプ、３１…基部、３２…ピックアップコレット、２１１…開口、２１２…突き上げピン、２２１…スロープ部、２２１ａ…第１の領域、２２１ｂ…第２の領域、２２１ｃ…第３の領域、２２２…平坦部、２２３…開口、２２４…突き上げピン、２３１…第１の開口、２３２…第２の開口。
【図１】
2015065367.tif 000003
【図２】
2015065367.tif 000004
【図３】
2015065367.tif 000005
【図４】
2015065367.tif 000006
【図５】
2015065367.tif 000007
【図６】
2015065367.tif 000008
【図７Ａ】
2015065367.tif 000009
【図７Ｂ】
2015065367.tif 000010
【図７Ｃ】
2015065367.tif 000011
【図８】
2015065367.tif 000012
【図９】
2015065367.tif 000013
【図１０】
2015065367.tif 000014
【図１１】
2015065367.tif 000015
【図１２】
2015065367.tif 000016
【図１３】
2015065367.tif 000017
【図１４】
2015065367.tif 000018