(57)【要約】【課題】テレセントリック性の影響による着弾位置ずれを抑制し、良好な画像品位をもたらす液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】本発明の、液体を吐出するための複数の吐出口２を有する記録素子基板を備える液体吐出ヘッドは、複数の吐出口２が並んで吐出口列が形成されている。複数の吐出口２の少なくとも一部では、吐出口２の内壁２ｃの面積は、吐出口２の中央を通り、吐出口列と直交し、かつ吐出口２の深さ方向に沿った面を挟んで一方の側より他方の側のほうが大きくなっている。【選択図】図４
2015027790.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための複数の吐出口を有する記録素子基板を備える液体吐出ヘッドであって、
前記複数の吐出口が並んで吐出口列が形成されており、
前記複数の吐出口の少なくとも一部では、前記吐出口の内壁の面積は、前記吐出口の中央を通り、前記吐出口列と直交し、かつ前記吐出口の深さ方向に沿った面を挟んで一方の側より他方の側のほうが大きくなっていることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記複数の吐出口の少なくとも一部では、前記内壁のうち前記他方の側に少なくとも１つの突起を有している、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記記録素子基板の、前記複数の吐出口が形成された面から見たときに、前記複数の吐出口は、前記吐出口の中央を通り、前記吐出口列に平行な軸に対して対称になっている、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記一方の側は前記吐出口列の中央に近い側であり、前記吐出口列の中央の吐出口から端部の吐出口に向かって、前記吐出口の前記一方の側の内壁の面積と前記他方の側の内壁の面積との差が大きくなる、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記吐出口の、前記記録素子基板の表面に沿った方向の断面は多角形をしている、請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
液体を吐出するための複数の吐出口が並んだ吐出口列を有する記録素子基板を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
基板の上および型材上にネガ型感光性樹脂を塗布する工程と、
前記複数の吐出口となる部分を露光しないように複数の隠す部分が並んだマスクであって、吐出口を形成するために隠す部分の内周が、前記隠す部分の中央を通り、前記複数の隠す部分の列に直交する方向の軸を挟んで、一方の側よりも他方の側のほうが大きくなっているマスクを用いて前記ネガ型感光性樹脂を露光し、加熱及び現像を行うことによって、前記吐出口列を形成する工程と、
を含むことを特徴とする、液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体を吐出することで記録動作を行う液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出ヘッドを用いて記録を行う方式の一例として、液体、例えばインクを記録媒体に吐出して記録を行うインクジェット記録方式が挙げられる。液体吐出ヘッドを作製する方法の一例として、特許文献１に、縮小投影方式のｉ線露光装置を用いる方法が示されている。
【０００３】
特許文献１の液体吐出ヘッドは、吐出口から液体を吐出するために利用される吐出エネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、吐出口が設けられた吐出口形成部材と、基板と吐出口形成部材とで形成され、吐出口と連通する流路と、を有する。この液体吐出ヘッドの製造手順として、エネルギー発生素子を有する基板上にポジ型感光性樹脂の層を形成する。次に、ポジ型感光性樹脂の層を露光し、液体の流路のパターンを形成する。次に、パターン上に吐出口形成部材となるネガ型感光性樹脂の層を形成する。そして、ネガ型感光性樹脂層を、ｉ線を用いて露光し、プリベークおよび現像を行うことによって、吐出口を形成する。これらの手順により、極めて良好な円形状の吐出口を再現良くかつ容易に得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１６６４９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の製造方法の場合、吐出口を形成する際に、ネガ型感光性樹脂の層に対して、縮小投影露光装置でｉ線による露光を行う。縮小投影露光装置は縮小投影光学系を備えている。縮小投影光学系を介して露光した際、ネガ型感光性樹脂層は縮小投影光学系に起因するテレセントリック性の影響を受ける。テレセントリック性とは、光の直進性のことであり、縮小投影光学系を通過した光は光軸の中心に集光するように進む。そのため、光は、露光画角の中心部では垂直に、一方、露光画角の外周部にいくにつれて、垂直とは角度を有するように、つまり傾斜した状態で対象物に照射される。
【０００６】
すなわち、図１０（ａ）に示すように、吐出口１０２のパターン領域１２６に対して露光画角１２５で露光を行った場合、図１０（ｂ）のように吐出口１０２の位置によって異なるテレセントリック性の影響を受けることになる。なお、図１０（ｂ）は、吐出口の画角中心からの距離とテレセントリック性の影響とを示している。画角中心の位置では光はネガ型感光性樹脂層に対して垂直に照射されるが、一方、画角中心から離れるにつれて光は垂直から傾いて照射される。そのため、画角中心付近に形成された吐出口はネガ型感光性樹脂層の表面に対して垂直に形成されるのに対し、画角中心から離れた位置に形成された吐出口はネガ型感光性樹脂層の表面に対して斜めに形成される。
【０００７】
したがって、図１１（ａ）に示すように、画角中心に形成された吐出口１０５からの液体の吐出方向は、吐出口形成部材１０３の表面に対して９０°という理想的なものである。一方、画角中心から離れて形成された吐出口１０６は、吐出口形成部材１０３の表面に対して角度θ（９０°を除く）、つまり斜めに形成されるため、図１１（ｂ）に示すように、液体の吐出方向は、記録媒体１１０に対して垂直ではなく、傾いた方向となる。したがって、理想の着弾位置と実際の着弾位置とでズレＤが生じる。
【０００８】
以上より、縮小投影露光装置を用いた場合、図１２に示す吐出口列１０７のように、吐出口列１０７の両端に対応するヒータ１０８同士の間隔Ｘよりも、吐出口列１０７の両端の吐出口１０９から吐出された液体（液滴）の着弾位置同士の間隔Ｙのほうが大きくなる。また、着弾位置同士の間の間隔が同一とはならない。
【０００９】
このような吐出口を有するインクジェット記録ヘッドを複数回走査させて記録媒体に液体を吐出して画像形成を行った場合、隣り合うそれぞれの走査領域の境界近傍では、外射が生じる。外射とは、吐出口列の両端部の吐出口の傾きに起因する、理想位置に対する着弾位置の走査領域外側へのずれのことである。外射によって境界付近では液滴が重なってしまうため、色の濃い領域がスジ状に生じ、結果として記録品位が低下する。外射に対しては、走査領域が重ならないように記録媒体の移動量を補正する方法があるが、テレセントリック性の影響を受けた吐出口の場合、吐出口毎の着弾位置は同一吐出口列内で不均一になるため、この補正方法では走査領域内での記録のムラとなってしまう。
【００１０】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、テレセントリック性の影響による着弾位置ずれを抑制し、良好な画像品位をもたらす液体吐出ヘッドを提供すること目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の、液体を吐出するための複数の吐出口を有する記録素子基板を備える液体吐出ヘッドは、複数の吐出口が並んで吐出口列が形成されている。複数の吐出口の少なくとも一部では、吐出口の内壁の面積は、吐出口の中央を通り、吐出口列と直交し、かつ吐出口の深さ方向に沿った面を挟んで一方の側より他方の側のほうが大きくなっていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、液滴の吐出角度を調整することができるため、液滴の着弾位置のずれを抑制することができ、画像品位を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態の概略構成図である。
【図２】従来の方法で製造された吐出口からの液体の吐出を説明する概略図である。
【図３】本発明に係る吐出口の概略構成図である。
【図４】液滴の吐出方向を制御する方法を説明するための概略図である。
【図５】本発明の液体吐出ヘッドで吐出された液滴の様子を示す概略図である。
【図６】液体吐出ヘッドの第１の実施例の概略図である。
【図７】液体吐出ヘッドの第１の実施例の概略図である。
【図８】縮小投影露光装置の概略構成図である。
【図９】液体吐出ヘッドの第２の実施例の概略図である。
【図１０】吐出口のパターン領域に対して露光を行ったときのテレセントリック性の影響を説明する図である。
【図１１】テレセントリック性を受けた吐出口での液体の吐出状態を説明する概略図である。
【図１２】テレセントリック性を受けた吐出口を有する吐出口列からの液体の着弾位置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、添付の図面に基づき、本発明の実施の形態の詳細について説明する。なお、同一の機能を有する構成には添付図面中、同一の番号を付与し、その説明を省略することがある。
【００１５】
なお、本発明の液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置等に搭載可能である。そしてこの液体吐出ヘッドを用いることによって、紙、糸、繊維、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど種々の記録媒体に記録を行うことができる。
【００１６】
また、本明細書内で用いられる「記録」とは、文字や図形などを記録媒体に対して付与することだけでなく、パターンなどの意味を持たない画像を付与することも意味することとする。
【００１７】
さらに「液体」とは広く解釈されるべきものであり、記録媒体上に付与されることによって画像、模様、パターン等の形成、記録媒体の加工、あるいは記録媒体の処理に供される液体を指すものとする。ここで、記録媒体の処理としては、例えば、記録媒体に付与される液体、例えばインク中の色材の凝固または不溶化による定着性の向上や、記録品位ないし発色性の向上、画像耐久性の向上などのことを言う。
【００１８】
図１は、本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態の概略構成図であり、（ａ）は液体吐出ヘッドの概略斜視図、（ｂ）は液体吐出ヘッドに設けられた記録素子基板の概略斜視図である。なお、図１（ｂ）においては、記録素子基板の内部構成をわかりやすくするために、一部を省略して図示している。
【００１９】
本発明の液体吐出ヘッド５には記録素子基板６が接着され、フレキシブル配線基板８を介してコンタクトパッド７から記録素子基板６に電気が供給されて液体の吐出動作を行う。
【００２０】
記録素子基板６は、複数のエネルギー発生素子１２を備えた基板３と、基板３の上に設けられた吐出口形成部材１と、で構成されている。吐出口形成部材１は、基板３の、エネルギー発生素子１２と対向する位置に、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有している。吐出口形成部材１は樹脂材料で構成されており、貫通孔はフォトリソグラフィー技術やエッチング技術を用いて一括して形成される。
【００２１】
吐出口形成部材１に設けられた貫通孔は、エネルギー発生素子１２が設けられた基板３の面と対向する位置に開口する第１の開口部２ａと、液体を吐出する側に設けられた第２の開口部２ｂと、を連通することで形成されている。そして、この貫通孔は、エネルギー発生素子１２により発生されるエネルギーを利用して液体を吐出する吐出口２として用いられ、これらが所定のピッチで直線状に配列することで吐出口列５１が形成されている。なお、図１（ａ）では、吐出口列５１が２つ形成されている。
【００２２】
基板３に設けられるエネルギー発生素子１２としては、電気熱変換素子（ヒーター）または、圧電素子（ピエゾ素子）等を用いることができる。基板３には、各吐出口２と対向する位置に、エネルギー発生素子１２が設けられており、エネルギー発生素子列が形成されている。エネルギー発生素子列同士の間の位置には、基板３を貫通して設けられ、エネルギー発生素子１２に液体を供給する液体供給口１１が設けられている。液体供給口１１は基板３に１つ以上形成されればよい。
【００２３】
さらに吐出口形成部材１と基板３とが接することで、液体供給口１１と吐出口２とをつなぐ液体流路１６が形成される。また、基板３には、エネルギー発生素子１２に電気を供給するための接続端子４が設けられている。
【００２４】
図２は、従来の方法で製造された吐出口からの液体の吐出を説明する概略図である。吐出口形成部材１の吐出口２が形成された面（表面）からみて、吐出口２の中央を通り吐出口２を吐出口列方向に対して直交し、かつ吐出口２の深さ方向に沿って切断する軸をＸ方向中心軸１４とする。同様に、吐出口２の中央を通り、Ｘ方向中心軸１４と９０°で交わる、つまり吐出口列方向３６に沿って、かつ吐出口２の深さ方向に沿って切断する軸をＹ方向中心軸１５と定義する（図２（ａ））。なお、図２（ａ）は、吐出口形成部材１の内部構造をわかるように図示している。
【００２５】
図２（ｂ）に示すように、吐出口２の径方向（吐出口形成部材１の表面に平行な方向）の断面はほぼ円形である。そのため、吐出口２をＸ方向中心軸１４で分割して考えた場合、吐出口２の、一方の側（図面左側）の内壁２ｃの面積Ｓ１と、他方の側（図面右側）の内壁２ｃの面積Ｓ２とがほぼ等しい（図２（ｃ））。液体が吐出口形成部材１を介して吐出される際に液体は吐出口２の内壁２ｃと接しながら進むため、液体と吐出口２の内壁２ｃとの接触面積（接液面積）が大きいほど流抵抗が生じる。図２（ｃ）に示すように、Ｓ１＝Ｓ２の構成の場合、液体に対する流抵抗は、Ｘ方向中心軸１４を挟んで一方の側と他方の側とでほぼ同じである。そのため、Ｘ方向中心軸１４を挟んで一方の側の吐出速度ｖ１と他方の側の吐出速度ｖ２とは等しくなり、液滴１３は、吐出口２に沿った方向に吐出される（図２（ｄ））。したがって、吐出口２が、吐出口形成部材１の表面に対して角度θを有して延びる場合は、液滴１３も吐出口形成部材１の表面に対して角度θで吐出される（図２（ｅ））。
【００２６】
一方、同一吐出口２内において、Ｘ方向中心軸１４で分割したときの一方の側と他方の側の接液面積に偏りがある場合、インクに対して一方の側と他方の側とで流抵抗が均等に生じず、吐出口２が延びる方向に沿った方向に液滴が飛ばない。そのため、吐出口２を、Ｘ方向中心軸１４で分割したときの一方の側と他方の側の接液面積に偏りを生じさせることで、液滴１３の吐出方向を調節することができる。
【００２７】
上記の検討を基に、本願発明では吐出口２の形状を規定した。図３は、本発明に係る吐出口２の概略構成図である。本発明では、吐出口２をＸ方向中心軸１４で分割して考えた場合、液体の吐出方向を曲げたい方向とは逆側の吐出口２の内壁２ｃに吐出角度制御部９を設けている（図３（ａ））。本実施形態では、具体的には、吐出口２の、Ｘ方向中心軸１４で分割したときの他方の側（図面右側）であり、Ｙ方向中心軸１５と交わる位置に、吐出口形成部材１の厚さ方向に渡って内壁２ｃから突出する吐出角度制御部９が設けられている（図３（ｂ））。つまり、吐出口２の内壁２ｃの面積が、Ｘ方向中心軸１４を挟んで一方の側よりも他方の側のほうが大きくなっている。このような構成にすることで、Ｘ方向中心軸１４を挟んで一方の側と他方の側との接液面積に差が生じる。接液面積が大きいほど、液体に対する流抵抗が大きくなるため、図３（ｃ）に示すようにＸ方向中心軸１４を挟んで一方の側の吐出速度ｖ３のほうが他方の側の吐出速度ｖ４よりも大きくなる。その結果、液体は吐出速度の早い一方の側に引っ張られるため、角度θよりも大きい角度で液滴１３を飛ばすことができる。
【００２８】
次に、液滴１３の吐出方向を制御する方法を、図４を用いて説明する。第１の例である図４（ａ）、（ｂ）は、第２の例である図４（ｃ）、（ｄ）に比べて吐出角度制御部９の突出量が大きくなっている。ここで、吐出口２の内壁２ｃの、第１の例と第２の例におけるＸ方向中心軸１４を挟んで一方の側（図面左側）の面積をＳ５、第１の例におけるＸ方向中心軸１４を挟んで他方の側（図面右側）の面積をＳ６とする。そして、第２の例におけるＸ方向中心軸１４を挟んで他方の側の面積をＳ７とする。この場合、Ｓ５＜Ｓ７＜Ｓ６の関係となる。接液面積もこの関係が成り立つ。したがって、液滴１３の、第１、第２の例における一方の側の吐出速度をＶ５、第１の例における他方の側の吐出速度をＶ６、第２の例における他方の側の吐出速度をＶ７とすると、Ｖ５＞Ｖ７＞Ｖ６となる。
【００２９】
この結果、図４（ｂ）および図４（ｄ）に示すように、第１の例における液滴１３の吐出方向は、第２の例における液滴１３の吐出方向よりも、記録媒体３５に対して垂直方向からの傾きが大きくなる。
【００３０】
このように、吐出角度制御部９の突出量を変えることで、液滴１３の吐出角度を調節することが可能となる。よって、吐出口２毎に異なる大きさの吐出角度制御部９を設けることで、図５に示すように、吐出口列５１の両端の吐出口２に対応するエネルギー発生素子１２同士の間隔Ｌ１と、該吐出口２から吐出された液滴１３の着弾位置同士の間隔Ｌ２とのずれが小さくなる。また、各吐出口２から吐出された液滴１３の着弾位置同士の間隔がほぼ等しくなる。そのため、記録品位の低下を抑制することが可能である。
【００３１】
（第１の実施例）
第１の実施例を、図６を用いて説明する。第１の実施例の基本的な構成では、吐出口形成部材１の表面に平行な方向の断面が円形である吐出口２をベースとし、Ｘ方向中心軸１４、Ｙ方向中心軸１５を基準にそれぞれ対称な形状を有する。
【００３２】
まず、図６（ａ）では、Ｘ方向中心軸１４を挟んで他方の側（図面右側）に、Ｙ方向中心軸１５で対称となる１か所に吐出角度制御部９を設ける形態を示している。Ｘ方向中心軸１４を挟んでの一方の側（図面左側）と他方の側とで接液面積に差を設ければ、上述したように、液滴１３の吐出角度を補正する効果が得られる。なお、吐出角度制御部９の形状の影響による記録品位の低下を抑えるためには、鋭利な角度を無くした断面が半円状の吐出角度制御部９とすることが好ましい。また、吐出口形成部材１の表面から見たときの、吐出角度制御部９の高さａや幅ｂを変えることで接液面積に段階的変化を持たせることができるため、吐出角度を吐出口毎にある範囲の中で制御することが可能である。すなわち、テレセントリック性の影響の大きさがそれぞれ異なる吐出口２においても、吐出口２の形状を変える事で所望の位置に液滴１３を吐出させることが可能となる。
【００３３】
次に、図６（ｂ）では、Ｘ方向中心軸１４を挟んで他方の側に、Ｙ方向中心軸１５で対称となる２か所に吐出角度制御部９を設けた形態を示している。図６（ｃ）では、Ｘ方向中心軸１４の他方の側に、Ｙ方向中心軸１５で対称となる３か所に吐出角度制御部９を設けた形態を示している。これらの形態は、図６（ａ）の形態と同様に、Ｘ方向中心軸１４を挟んで一方の側と他方の側とで液体の接液面積に差があるため、液滴の吐出角度を補正する効果が得られる。なお、吐出角度制御部９の形状の影響による記録品位の低下を抑えるためには鋭利な角度を無くした断面が半円状の吐出角度制御部９とすることが好ましい。また、Ｙ方向中心軸１５での対称性を維持しながら、吐出口形成部材１の表面から見たときの、吐出角度制御部９の高さａや幅ｂを変えることで接液面積に段階的変化を持たせることができる。さらに、吐出角度制御部９を複数設けることで、吐出角度を制御する効果のほかに、吐出口２の、吐出口形成部材１の表面に平行な方向の断面積の減少を図６（ａ）に示した形態よりも抑えることができる。これにより、吐出口２の配置の高密度化による、吐出口２の、吐出口形成部材１の表面に平行な方向の断面積の制約を緩和することができるようになる。
【００３４】
次に、図６（ｄ）では、Ｘ方向中心軸１４を挟んで他方の側に、Ｙ方向中心軸１５で対称となるようにノコギリ状の凹凸をした吐出角度制御部９を設けた形態を示している。この形態においても、Ｘ方向中心軸１４を挟んで一方の側と他方の側とで液体の接液面積に差があるため、液滴の吐出角度を補正する効果が得られる。また、Ｙ方向中心軸１５での対称性を維持しながら吐出角度制御部９の凹凸の数や幅を変えることで接液面積に段階的変化を持たせることが出来るため、吐出角度をある範囲の中で制御することが可能である。また、ノコギリ状の凹凸をした吐出角度制御部９を設けることで、吐出角度を制御する効果のほかに、吐出口２の、吐出口形成部材１の表面に平行な方向の断面積の減少を図６（ａ）に示した形態よりも抑えることができる。これにより、吐出口２の配置の高密度化による、吐出口２の、吐出口形成部材１の表面に平行な方向の断面積の制約を緩和することができるようになる。
【００３５】
なお、本実施例のように吐出角度を制御する目的以外にも、吐出口２内に突起を設ける場合がある。図７（ａ）は、Ｘ方向中心軸１４上に２か所の突起を有し、かつ、Ｘ方向中心軸１４を挟んで他方の側（図面右側）に、Ｙ方向中心軸１５で対称となる１か所に吐出角度制御部９を設けた形態を示している。このような、吐出角度制御部９以外の突起が設けられている構成においても、吐出角度制御部９を設けることで液滴の吐出角度を制御することが可能である。
【００３６】
さらに、本発明の液体吐出ヘッド５の吐出口２の形状は、径方向の断面形状が円形をベースにしたものに限定されない。例えば吐出口２を配置する制約上の理由などから楕円形の吐出口２を用いる場合がある。この場合も、図７（ｂ）に示すように、Ｘ方向中心軸１４を挟んで他方の側に、Ｙ方向中心軸１５で対称となる１か所に吐出角度制御部９を設けることで液滴の吐出角度を制御することが可能である。
【００３７】
これらの構成においても、吐出角度制御部９の断面形状を半円とすることで、記録品位の低下を抑えることができる。また、吐出口形成部材１の表面から見たときの、吐出角度制御部９の高さａや幅ｂを変えることで接液面積に段階的変化を持たせることができるため、吐出角度を吐出口毎にある範囲の中で制御することが可能である。すなわち、テレセントリック性の影響の大きさがそれぞれ異なる吐出口２においても、吐出口２の形状を変えることで所望の位置に液滴を吐出させることが可能となる。また、吐出角度制御部９を複数設けることで、吐出口２の、吐出口形成部材１の表面に平行な方向の断面積の減少を最小限に抑えることができる。これにより、吐出口２の配置の高密度化による、吐出口２の、吐出口形成部材１の表面に平行な方向の断面積の制約を緩和することができる。
【００３８】
（製造方法）
次に、本発明の液体吐出ヘッドの記録素子基板６の製造方法を説明する。本発明の液体吐出ヘッド５の記録素子基板６は、一般的な縮小投影露光装置を用いて製造することができる。初めに縮小投影露光装置について図８を用いて説明する。縮小投影露光装置では、光源１８から出た光１９はレチクル２０を透過し、拡散する光路２１を通りながら縮小投影光学系２２に入射する。縮小投影光学系２２を出射した光１９は、集光するように進み、露光ステージ２４上のウエハ２３に対し露光画角と呼ばれる決められた領域に対して露光を行う。実際の露光は、露光画角のうち、レチクル２０に描かれたパターン領域の中のみで行われる。
【００３９】
次に、具体的に製造方法を説明する。まず始めに、エネルギー発生素子１２を形成した基板３上に密着層を形成し、その上に型材として溶解可能なポジ型感光性樹脂をスピンコートにて塗布する。そして型材用露光マスクを用いて所望のパターンを露光し、現像を行うことによって液体流路１６の型となる型材を形成する。次に、基板３の上および型材上に吐出口形成部材１となるネガ型感光性樹脂を塗布する。そして吐出口用露光マスクを用いて吐出口２のパターンを露光し、その後、加熱及び現像を行うことによって吐出口２を形成する。更に型材の除去を行い、液体流路１６を形成することで液体吐出ヘッド５の記録素子基板６は完成となる。
【００４０】
本発明の液体吐出ヘッド５の特徴である吐出角度制御部９の形状は、上記製造方法のネガ型感光性樹脂の吐出口２のパターンを露光する際に決定される。すなわち、ネガ型感光性樹脂層の露光マスクは、吐出口２となる部分を露光しないように複数の隠す部分が並んでおり、隠す部分の内周が、その隠す部分の中央を通り、隠す部分の列に直交する軸を挟んで、一方の側よりも他方の側のほうが大きくなっている。また、ネガ型感光性樹脂層の露光マスクの吐出口列のマスクパターンを、吐出口列ごとに段階的に変化を持たせたパターンにすることで所望の吐出口および吐出口列の形状を得ることができる。よって、マスクパターンの変更のみで本発明の液体吐出ヘッド５を形成することができる。
【００４１】
（第２の実施例）
本発明に係る液体吐出ヘッドの第２の実施例を、図９を用いて説明する。第２の実施例においても、Ｙ方向中心軸１５を基準に対称な形状を有する。第１の実施例では、吐出口２の、吐出口形成部材１の表面に平行な方向の断面が円形あるいは楕円形をベースとしていたが、他の形状をベースとすることも可能である。
【００４２】
図９（ａ）に示す吐出口２は、Ｘ方向中心軸１４を挟んで一方の側（図面左側）に、Ｘ方向中心軸１４と内壁２ｃとで三角形が形成されており、他方の側（図面右側）に、Ｘ方向中心軸１４と内壁２ｃとで四角形が形成されている。つまり、吐出口形成部材１の表面に平行な方向の断面が五角形をした吐出口２が形成されている。このように、Ｘ方向中心軸１４を挟んで一方の側と他方の側とで内壁２ｃの面積の差をつけて接液面積に差を設ければ液滴の吐出角度を制御する効果が得られる。また、吐出口２の、Ｘ方向中心軸１４から一方の側の端部までのＹ方向長さｃ１と他方の側の端部までのＹ方向長さｃ２、及び、Ｘ方向の長さ（図面では高さ）ｄを変えることで接液面積に段階的変化を持たせることができる。そのため、吐出角度をある範囲の中で制御することが可能である。
【００４３】
図９（ｂ）に示す吐出口２は、Ｘ方向中心軸１４を挟んで一方の側に、Ｘ方向中心軸１４と内壁２ｃとで台形が形成され、他方の側に、Ｘ方向中心軸１４と内壁２ｃとで一方の側よりも大きな台形が形成されている。つまり、吐出口形成部材１の表面に平行な方向の断面が台形をした吐出口２が形成されている。なお、吐出口２の形状は、一方の側に上底、他方の側に下底が位置するようになっている。このように、多角形のような、吐出口２の、Ｘ方向中心軸１４を挟んで一方の側と他方の側とで形状が大きく異なる形態であっても、一方の側と他方の側とで内壁２ｃの面積に差がある、つまり、接液面積に差があるため、液滴の吐出角度を制御する効果が得られる。また、吐出口２の、Ｘ方向中心軸１４から一方の側の端部までのＹ方向長さｃ１と他方の側の端部までのＹ方向長さｃ２、及び上底に該当する長さｄ１と下底に該当する長さｄ２とを変えることで接液面積に段階的変化を持たせることができる。そのため、吐出角度をある範囲の中で制御することが可能である。
【００４４】
なお、図９（ａ）、（ｂ）では図示していないが、内壁２ｃ同士が交わる頂点は尖っているだけではなく、丸みがあってもよい。
【００４５】
以上に示す実施例のほか、Ｘ方向中心軸１４を挟んで一方の側の他方の側との接液面積に差があれば、例えば断面が星型のように極端に異形な形状の吐出口２であっても液滴の吐出角度の補正効果が得られる。
【００４６】
以上、本発明の望ましい実施形態について提示し、詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない限り、さまざまな変更及び修正が可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１  吐出口形成部材
２  吐出口
３  基板
５  液体吐出ヘッド
６  記録素子基板
５１  吐出口列
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１】
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