(57)【要約】      （修正有）【課題】基準マークの位置の識別の信頼性を向上させたエンコーダを提供する。【解決手段】スケール１が、１つのインクリメンタル測定目盛１１と、複数の基準マーク１２，１３とを有する。これらの基準マーク１２のうちの１つの基準マーク１２を選択するため、１つの第１マーク１４が、１つのマークトラックＴ１内に配置されている。さらに１つの第２マーク１５が、このマークトラックＴ１内に配置されている。１つの切替信号が、走査によってこの第２マークから導出可能である。このマークトラックＴ１を走査するため、測定方向Ｘに互いに離間した２つの検出器２３，２４が、走査装置２内に設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つのスケール（１）と、このスケール（１）に対して測定方向（Ｘ）に可動な１つの走査装置（２）とを有するエンコーダであって、
前記スケール（１）が、１つのインクリメンタル測定目盛（１１）と、測定方向（Ｘ）に互いに離間した複数の基準マーク（１２，１３）とを有し、１つの基準マークインパルス（ＲＩ）が、これらの基準マーク（１２）のうちの１つの基準マーク（１２）を走査することによって生成可能であり、
前記スケール（１）が、１つの第１マーク（１４）を有する１つのマークトラック（Ｔ１）を備え、この第１マーク（１４）が、これらの基準マーク（１４）のうちの１つの基準マーク（１４）に割り当てられていて、
１つの第２マーク（１５，１７）が、前記第１マーク（１４）に対して測定方向（Ｘ）に離間して前記マークトラック（Ｔ１）内に配置されていて、この第２マーク（１５，１７）は、前記第１マーク（１４）より測定方向（Ｘ）に長く、１つの切替信号（Ｓ１）が、この第２マーク（１５，１７）を走査することによって生成可能である当該エンコーダにおいて、
前記走査装置（２）が、前記マークトラック（Ｔ１）を走査するために１つの第１検出器（２３）と、この第１検出器（２３）に対して測定方向（Ｘ）に離間して配置された１つの第２検出器（２４）とを有し、当該２つの検出器（２３，２４）の相対距離（ｂ）は、前記第１マーク（１４）の長さ（ｌ１）より大きく、前記第２マーク（１５，１７）の長さ（ｌ２，ｌ３）より小さく、これらの検出器（２３，２４）はそれぞれ、これらのマーク（１４，１５，１７）のうちの１つのマークを走査するごとに１つの走査信号（Ａ１，Ａ２）を生成し、
当該２つの検出器（２３，２４）のうちの前記第１検出器（２３）だけが、１つの走査信号（Ａ１）を生成するときに、前記基準パルス（ＲＩ）を生成するように、及び、第１検出器（２３）と前記第２検出器（２４）とが、１つの走査信号（Ａ１，Ａ２）を生成するときに、前記切替信号（Ｓ１）を生成するように、前記走査装置（２）が構成されていることを特徴とするエンコーダ。
【請求項２】
前記第１検出器（２３）は、当該２つの検出器（２３，２４）のうちの片方に位置し、当該片方では、前記第１マーク（１４）も、前記第２マーク（１５）に対向するように配置されている請求項１に記載のエンコーダ。
【請求項３】
前記複数の基準マーク（１２，１３）が、前記マークトラック（Ｔ１）内に配置されていて、基準マーク信号（Ｒ）を生成するための１つの基準マーク検出器（２２）が、これらの基準マーク（１２，１３）を走査するために前記走査装置（２）内に配置されている請求項１又は２に記載のエンコーダ。
【請求項４】
前記基準マーク検出器（２２）は、前記第１検出器（２３）に対して測定方向（Ｘ）に１つの第１距離（ａ）をあけて配置されていて、前記第１マーク（１４）は、付設された前記基準マーク（１２）に対してこの第１距離（ａ）をあけて配置されている請求項３に記載のエンコーダ。
【請求項５】
前記第２検出器（２４）は、前記第１検出器（２３）に対して測定方向（Ｘ）に前記第１距離（ａ）とは違う第２距離（ｂ）をあけて配置されている請求項４に記載のエンコーダ。
【請求項６】
前記第２マーク（１５，１７）は、前記スケール（１）の１つの限界位置に配置されていて、前記切替信号（Ｓ１）が、このスケール（１）のこの限界位置を示す請求項１〜５のいずれか１項に記載のエンコーダ。
【請求項７】
前記スケール（１）は、別の１つのマーク（１６）を有する別の１つのマークトラック（Ｔ２）を備え、前記走査装置（２）は、この別のマーク（１６）を走査するために別の１つの検出器（２５）を有する請求項１〜６のいずれか１項に記載のエンコーダ。
【請求項８】
前記別の１つの検出器（２５）が、前記別の１つのマーク（１６）を走査するときに、別の１つの切替信号（Ｓ２，Ｓ３）を生成するように、前記走査装置（２）は構成されている請求項７に記載のエンコーダ。
【請求項９】
複数の前記検出器（２３，２４，２５）は、複数の光検出器であり、前記スケール（１）の前記マークトラック（Ｔ１，Ｔ２）が、光反射性に形成されていて、複数の前記マーク（１４，１５，１６，１７）が、光吸収性に形成されている請求項１〜８のいずれか１項に記載のエンコーダ。
【請求項１０】
当該光吸収性の複数のマーク（１４，１５，１６，１７）は、前記スケール（１）上に貼付可能な複数のストリップである請求項９に記載のエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の上位概念に記載のエンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
当該エンコーダは、特に、加工すべき被加工品に対する工具の相対位置を測定するための工作機械で使用され、非検査品の位置及び寸法を算出するための座標測定機で使用され、半導体産業でも使用され、例えばウエハーステッパ及びボンダで使用される。この場合、スケールが、駆動装置（例えば、リニアモータ）に直接に取り付けられるか、又は、スケールが、駆動装置によって駆動される構成部品に取り付けられる。当該エンコーダの走査装置が、当該位置を測定しようとする可動なスケールに対して固定されるように別の機械部品に配置されている。
【０００３】
当該エンコーダは、例えば米国特許第７４２１８００号明細書から公知である。スケールが、周期的な測定信号を生成するための１つのインクリメンタル測定目盛と、基準マーク信号を生成するための、測定方向に互いに離間した複数の基準マークとを有する。１つの基準マーク信号には、１つのカウンタが、１つの基準マークの位置で所定の計数状態にセットされることによって、インクリメンタル位置測定の１つの絶対指標を当該基準マークの位置に対して生成するという機能がある。オペレータにこの位置を選択可能にさせるため、当該オペレータは、これらの基準マークから１つの基準マークを選択できる。当該選択のため、１つの第１マークが、スケールの１つのマークトラック内の希望した基準マークに割り当てられる。この第１マークは、走査ごとに１つの選択信号を生成する。１つの第２マークが、このマークトラック内にさらに配置されている。１つの限界位置を規定する１つの切換信号が、走査によってこの第２マークから生成可能である。
【０００４】
当該マークトラック内の異なる位置に配置された２つのマークを識別するため、別の１つのマークが、別の１つのマークトラック内の第２マークの場所に配置されている。当該識別の信頼性を向上させるため、この第２マークを当該別のマークトラック内に配置された当該別のマークより長く形成することが提唱される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第７４２１８００号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、当該エンコーダにおいて複数のマーク、すなわちこれらのマークを規定する複数の位置の識別の信頼性をさらに向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、この課題は、請求項１に記載の特徴を有するエンコーダによって解決される。
【０００８】
このエンコーダは、１つのスケールと、このスケールに対して測定方向に可動な１つの走査装置とを有する。このスケールは、１つのインクリメンタル測定目盛と、測定方向に互いに離間した複数の基準マークとを有する。周期的な複数の測定信号が、この測定目盛を走査することによって生成可能であり、それぞれ１つの基準マーク信号が、これらの基準マークを走査することによって生成可能である。さらに、このスケールは、１つの第１マークを有する１つのマークトラックを備える。この場合、この第１マークは、これらの基準マークのうちの１つの基準マークに割り当てられている。１つの走査信号が、この第１マークを走査することによって生成可能である。この走査信号は、この基準マークの１つの選択信号の機能を有する。この第１マークは、この機能に割り当てられている。
【０００９】
１つの第２マークが、当該第１マークに対して測定方向に離間して当該マークトラック内に配置されている。この第２マークは、この第１マークより測定方向に長い。１つの切替信号が、この第２マークを走査することによって生成可能である。
【００１０】
当該走査装置は、当該マークトラックを走査するために１つの第１検出器と、この第１検出器に対して測定方向に離間して配置された１つの第２検出器とを有する。この場合、当該２つの検出器の相対距離は、第１マークの長さより大きく、第２マークの長さより小さい。これらの検出器はそれぞれ、これらのマークのうちの１つのマークを走査するごとに１つの走査信号を生成する。
【００１１】
第１検出器と第２検出器とが一緒に、１つの走査信号を生成するときに、切替信号を生成するように、当該走査装置が構成されている。当該２つの検出器のうちの第１検出器だけが１つの走査信号を生成するときに、１つの基準パルスを生成するように、当該走査装置がさらに構成されている。
【００１２】
１つの基準マークが選択可能であるという表現は、ただ１つの基準マークだけが本発明にしたがって選択されることを必ずしも意味しない。すなわち、それぞれ１つの第１マークが、複数の基準マークに割り当てられることによって、当該複数の基準マークが選択される発明も、有効に実行され得る。
【００１３】
本発明のエンコーダの好適な構成が、従属請求項に記載されている。
【００１４】
本発明のその他の詳細及び利点を、図面に関連する実施の形態の以下の記載に基づいて説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のエンコーダの第１の実施の形態を概略的に示す。
【図２】図１によるエンコーダの評価回路を示す。
【図３】本発明のエンコーダの第２の実施の形態を概略的に示す。
【図４】図３によるエンコーダの評価回路を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明のエンコーダの第１の実施の形態が、図１及び２に概略的に示されていて、以下に詳細に説明する。
【００１７】
当該エンコーダは、１つのスケール１と、このスケール１に対して測定方向Ｘに可動な１つの走査装置２とを有する。このスケール１は、１つのインクリメンタル測定目盛１１を有する。このインクリメンタル測定目盛１１は、走査装置２の１つの検出装置２１によって操作可能である。この検出装置２１は、当該測定目盛１１の走査時に公知の方法で電気周期測定信号Ｍを生成する。相対位置測定が、当該電気周期測定信号Ｍによって可能になる。
【００１８】
さらに、スケール１は、測定方向Ｘに互いに離間した複数の基準マーク１２，１３を有する。これらの基準マーク１２，１３を走査するため、１つの基準マーク検出器２２が、走査装置２内に設けられている。この基準マーク検出器２２によってこれらの基準マーク１２，１３を走査するごとに、それぞれ１つの基準マーク信号Ｒが生成される。
【００１９】
１つの基準マークが、複数の基準マーク１２，１３から選択され得る。これらの基準マーク１２，１３のうちの１つの基準マークを選択するため、１つのマークトラックＴ１が、スケール１に設けられている。このマークトラックＴ１では、１つの第１マーク１４が、選択された基準マーク１２に付設されている。この第１マーク１４を走査するため、１つの第１検出器２３が、走査装置２内に配置されている。この第１検出器２３によるこの第１マーク１４の走査ごとに、１つの選択信号が、１つの第１走査信号Ａ１として生成される。上記基準マーク信号Ｒとこの第１走査信号Ａ１とが、走査装置２内で同時に発生すると、１つの基準マークインパルスＲＩが生成される。この基準マークインパルスＲＩは、１つの絶対位置をこの位置に割り当てる。このことは、例えば、インクリメンタル方式で位置を測定するカウンタが所定の値にセットされることによって実行される。第１マーク１４によって選択された基準マーク１２の位置で１つの基準マークインパルスＲＩを生成するための論理部の原理が、図２に走査装置２のモジュール４０によって概略的に示されている。
【００２０】
特に、第１マーク１４は、エンコーダのオペレータによってスケール１上に取り付け可能な、例えば貼付又はねじ留めによって装着可能な１つのマークである。エンコーダが、光電走査原理にしたがって作動する場合、当該第１マーク１４は、特に不透明な又は非反射性の１つのストリップである。この場合、マークトラックＴ１のその他の領域は、この第１マーク１４に対して相補的に、すなわち透明に又は反射性に形成されている。
【００２１】
基準マーク信号Ｒと第１走査信号Ａ１との同時の生成を保証するため、第１マーク１４が、基準マーク１２に対して距離ａをあけて装着されている。この場合、この距離ａは、基準マーク検出器２２と第１検出器２３との相対距離ａに一致する（距離ａ及び距離ｂがそれぞれ、測定方向Ｘに規定されている）。
【００２２】
図示されていない方式では、原理的に既知であり、例えば上記の米国特許第７４２１８００号明細書に記載されているように、基準マーク１２，１３が、測定目盛１１内に組み込まれてもよい。この場合には、距離ａは、零に等しく選択され得る。
【００２３】
多くの場合において、可能な限り高い信頼性の１つの切替信号が、スケール１の所定の１つの領域で出力されることが、位置測定時にさらに要求される。走査装置２が、スケールの終端位置に存在するのか否か、又は、当該走査装置が、１つの基準マークの右側に存在するのか若しくは左側に存在するのかを一義的に確認するため、この切替信号は使用され得る。
【００２４】
第１の実施の形態では、スケール１の１つの終端位置を示す１つの切替信号Ｓ１が生成されなければならない。当該１つの切替信号Ｓ１を、走査装置２を用いてスケール１を走査することによって生成できるようにするため、１つの第２マーク１５が、第１マーク１４に対して測定方向Ｘに離間するようにマークトラックＴ１内に配置されている。この第２マーク１５は、測定方向Ｘに長さｌ２を有する。この場合、この長さｌ２は、第１マーク１４の長さｌ２より大きい。
【００２５】
マークトラックＴ１を走査するため、走査装置２は、第１検出器２３と、この第１検出器２３に対して測定方向Ｘに離間して配置された１つの第２検出器２４とを有する。この場合、当該両検出器２３及び２４の相対距離ｂは、第１マーク１４の長さｌ１より大きく、第２マーク１５の長さｌ２より小さい。当該マークトラックＴ１が、第１検出器２３と第２検出器２４とによって走査されるので、この第１検出器２３は、第１マーク１４の走査時と第２マーク１５の走査時とにそれぞれ１つの走査信号Ａ１を生成し、この第２検出器２４は、第１マーク１４の走査時と第２マーク１５の走査時とにそれぞれ１つの走査信号Ａ２を生成する。
【００２６】
同時に、第１検出器２３が第１走査信号Ａ１を生成し、且つ第２検出器２４が第２走査信号Ａ２を生成するときに、切替信号Ｓ１を生成するように、上記走査装置２は構成されている。図２には、当該切替信号Ｓ１を生成するための評価装置３０が概略的に示されている。第２マーク１５が、第１検出器２３と第２検出器２４との相対距離ｂより長く、第１マーク１４が、この相対距離ｂより短いことによって、当該切替信号Ｓ１が、第２マーク１５だけで生成されることが保証されている。さらに、当該切替信号Ｓ１が、第１マーク１４と基準マーク１２との走査時に生成されないことを保証するため、第１検出器２３と第２検出器２４との相対距離ｂが、基準マーク１２と第１マーク１４との相対距離ａと相違する。
【００２７】
第１検出器２３が、２つの検出器２３及び２４のうちの片方に位置することが好ましい。当該片方では、第１マーク１４も、第２マーク１５に対向するようにマークトラックＴ１内に配置されている。これにより、走査装置２が、第２マーク１５内に入る際に、第１検出器２３が、第２マーク１５内に入る前に、第２検出器２４が、走査信号Ａ２を必ず最初に生成することが保証されている。第２マーク１５の走査時に、基準マークインパルスＲＩが誤って生成されることが決してないことが、この構成によって保証されている。何故なら、どんな場合でも、この基準マークインパルスＲＩの前に、基準マークインパルスＲＩの出力を遮断する第２走査信号Ａ２が生成されるからである。すなわち、当該２つの検出器２３，２４のうちの専ら第１検出器２３が、１つの走査信号Ａ１を生成するときにだけ、当該基準マークインパルスＲＩを生成するように、当該走査装置２が構成されている。
【００２８】
当該第１の実施の形態では、第２マーク１５が、スケール１の１つの限界位置に好適に配置されていて、切替信号Ｓ１が、走査装置２の走行経路用のこの限界位置−ここでは、右側の終端位置−を示す。
【００２９】
当該第１の実施の形態のスケール１は、別のマークトラックＴ２を有する。この別のマークトラックＴ２は、第１マークトラックＴ１のように、測定目盛１１に隣接して且つこの測定目盛１１に対して平行に測定方向Ｘに延在する。別の１つのマーク１６が、この別のマークトラックＴ２内に配置されている。この別のマークトラックＴ２を走査するため、走査装置２が、別の１つの検出器２５を有する。この別の検出器２５は、この別のマーク１６の走査時に別の切替信号Ｓ２を生成する。当該図示された例では、この別のマーク１６は、スケール１の左側の限界位置に配置されている。その結果、この別の切替信号Ｓ２は、走査装置２に対する左側の終端位置を示す。
【００３０】
以下に、本発明にしたがって構成された別のエンコーダを図３及び４に基づいて説明する。この場合、同様に作用する構成部品は、第１の実施の形態のときと同じ符号で示される。
【００３１】
同様に、このエンコーダは、１つのスケール１とこのスケール１に対して測定方向Ｘに可動な１つの走査装置２とを有する。このスケール１は、１つのインクリメンタル測定目盛１１を有する。このインクリメンタル測定目盛１１は、この走査装置２の１つの検出装置２１によって走査可能である。当該測定目盛１１の走査時に、この検出装置２１は、電気周期測定信号Ｍを生成する。相対位置測定が、当該電気周期測定信号Ｍによって可能になる。
【００３２】
さらに、スケール１は、測定方向Ｘに互いに離間した複数の基準マーク１２を有する。ここでは、見やすさの理由から、これらの基準マーク１２のうちの１つの基準マーク１２だけが示されている。これらの基準マーク１２を走査するため、１つの基準マーク検出器２２が、走査装置２内に設けられている。この基準マーク検出器２２によってこれらの基準マーク１２を走査するごとに、それぞれ１つの基準マーク信号Ｒが生成される。
【００３３】
１つの基準マーク１２が、複数の基準マーク１２から選択され得る。例えば当該１つの基準マークを選択するため、１つのマークトラックＴ１が、スケール１に設けられている。このマークトラックＴ１では、１つの第１マーク１４が、選択されたこの基準マーク１２に付設されている。この第１マーク１４を走査するため、１つの第１検出器２３が、走査装置２内に配置されている。この第１検出器２３によるこの第１マーク１４の走査ごとに、１つの選択信号が、１つの第１走査信号Ａ１として生成される。上記基準マーク信号Ｒとこの第１走査信号Ａ１とが、走査装置２内で同時に発生すると、１つの基準マークインパルスＲＩが生成される。インクリメンタル方式で位置を測定するカウンタが所定の値にセットされることによって、この基準マークインパルスＲＩは、１つの絶対位置をこの位置に割り当てる。第１マーク１４によって選択された基準マーク１２の位置で１つの基準マークインパルスＲＩを生成するための原理が、図２に走査装置２のモジュール４０によって概略的に示されている。
【００３４】
基準マーク信号Ｒと第１走査信号Ａ１との同時の生成を希望した位置で保証するため、第１マーク１４が、基準マーク１２に対して距離ａをあけて装着されている。この場合、この距離ａは、基準マーク検出器２２と第１検出器２３との相対距離ａに一致する。
【００３５】
図示されていない方式では、原理的に既知であり、例えば上記の米国特許第７４２１８００号明細書に記載されているように、基準マーク１２が、測定目盛１１内に組み込まれてもよい。この場合には、距離ａは、零に等しく選択されてもよい。
【００３６】
この実施の形態でも、１つの切替信号Ｓ１を、走査装置２を用いてスケール１を走査することによってさらに生成できるようにするため、１つの第２マーク１５が、第１マーク１４に対して測定方向Ｘに離間するようにマークトラックＴ１内に配置されている。この第２マーク１５は、第１マーク１４より測定方向Ｘに長い。
【００３７】
マークトラックＴ１を走査するため、走査装置２は、第１検出器２３と、この第１検出器２３に対して測定方向Ｘに離間して配置された１つの第２検出器２４とを有する。この場合、当該両検出器２３及び２４の相対距離ｂは、第１マーク１４の長さｌ１より大きく、第２マーク１５の長さｌ２より小さい。当該マークトラックＴ１が、第１検出器２３と第２検出器２４とによって走査されるので、この第１検出器２３は、第１マーク１４の走査時と第２マーク１５の走査時とにそれぞれ１つの走査信号Ａ１を生成し、この第２検出器２４は、第１マーク１４の走査時と第２マーク１５の走査時とにそれぞれ１つの走査信号Ａ２を生成する。
【００３８】
上記走査装置２は、１つの評価装置３０を有する。同時に、第１検出器２３が第１走査信号Ａ１を生成し、且つ第２検出器２４が第２走査信号Ａ２を生成するときに、切替信号Ｓ１を生成するように、当該評価装置３０は構成されている。第２マーク１５が、第１検出器２３と第２検出器２４との相対距離ｂより長く、第１マーク１４が、この相対距離ｂより短いことによって、当該切替信号Ｓ１が、第２マーク１５だけで生成され、第１マーク１４で生成されないことが保証されている。さらに、当該切替信号Ｓ１が、第１マーク１４と基準マーク１２との走査時に生成されないことを保証するため、第１検出器２３と第２検出器２４との相対距離ｂが、基準マーク１２と第１マーク１４との相対距離ａと相違する。
【００３９】
第１検出器２３が、２つの検出器２３及び２４のうちの片方に位置することが好ましい。当該片方の位置では、第１マーク１４も、第２マーク１５に対向するようにマークトラックＴ１内に配置されている。これにより、走査装置２が、第２マーク１５内に入る際に、第１検出器２３が、第２マーク１５内に入る前に、第２検出器２４が、走査信号Ａ２を必ず最初に生成することが保証されている。第２マーク１５の走査時に、基準マークインパルスＲＩが誤って生成されることが決してないことが、この構成によって保証されている。すなわち、当該２つの検出器２３，２４のうちの専ら第１検出器２３が、１つの走査信号Ａ１を生成するときにだけ、当該基準マークインパルスＲＩを生成するように、当該走査装置２が構成されている。
【００４０】
当該第２の実施の形態では、第２マーク１５が、同様にスケール１の１つの限界位置に好適に配置されていて、切替信号Ｓ１が、この限界位置を示す。この場合、この限界位置は、走査装置２の走行経路用の左側の終端位置である。
【００４１】
当該第２の実施の形態のスケール１は、別のマークトラックＴ２を有する。この別のマークトラックＴ２は、第１マークトラックＴ１に対して平行に測定方向Ｘに延在する。別の１つのマーク１６が、この別のマークトラックＴ２内に配置されている。この別のマークトラックＴ２を走査するため、走査装置２が、別の１つの検出器２５を有する。この別の検出器２５は、この別のマーク１６の走査時に別の切替信号Ｓ２を生成する。当該図示された例では、この別のマーク１６は、基準マーク１２の右側に配置されている。その結果、この別の切替信号Ｓ２は、この基準マーク１２の右側の領域を示す。
【００４２】
上記第２の実施の形態のときに、右側の終端位置と左側の終端位置とが互いに識別可能であることが、さらに必要である場合には、この目的のために、別の情報が、簡単に且つ確実に入手され得る。特に、別の１つのマーク１７が、第１マークトラックＴ１内の右側の限界位置に設けられる。この別のマーク１７の長さｌ３は、このマークトラックＴ１内の第１マーク１４の長さｌ１より測定方向Ｘに大きい。検出器２５が、走査信号Ｓ２を生成し、２つの検出器２３及び２４が、走査信号Ａ１及びＡ２を同時に生成するときに、当該右側の終端位置を規定する切替信号Ｓ３が生成される。当該切替信号Ｓ３を生成するための論理部が、図４にモジュール５０として概略的に示されている。
【００４３】
本発明は、特に好適な光電式の走査原理に基づいて例示して説明されている。しかし、本発明は、当該光電式の走査原理に限定されず、電磁誘導式、磁気式又は静電容量式の走査原理でも正常に使用可能である。
【符号の説明】
【００４４】
１    スケール
２    走査装置
１１  インクリメンタル測定目盛
１２  基準マーク
１３  基準マーク
１４  第１マーク
１５  第２マーク
１６  別のマーク
１７  第２マーク
２１  検出装置
２２  基準マーク検出器
２３  第１検出器
２４  第２検出器
２５  別の検出器
３０  評価装置
４０  モジュール
５０  モジュール
Ｔ１  マークトラック
Ｔ２  マークトラック
ｌ１  長さ
ｌ２  長さ
ｌ３  長さ
Ｒ    基準マーク信号
ＲＩ  基準マークインパルス
Ｍ    電気周期測定信号
Ａ１  第１走査信号
Ａ２  第２走査信号
Ｓ１  切替信号
Ｓ２  切替信号
Ｓ３  切替信号
Ｘ    測定方向
ａ    距離
ｂ    距離
【図１】
2015219232.tif 000003
【図２】
2015219232.tif 000004
【図３】
2015219232.tif 000005
【図４】
2015219232.tif 000006