(57)【要約】【課題】特定の部位の除去の効率や正確性を向上させる。【解決手段】基板に連通孔を形成する流路ユニットの製造方法であって、前記基板の一方の面側から前記連通孔を形成する部位に対応する凸部を有する第１の型を前記基板に押し当て、前記連通孔を形成する部位に、前記一方の面側から離れる方向に突出する前記基板よりも厚みが薄い突出膜を形成する第一形成工程と、前記基板の一方の面側から貫通手段によって前記突出膜を貫通させて、前記連通孔を形成する第二形成工程と、を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に連通孔を形成する流路ユニットの製造方法であって、
前記基板の一方の面側から前記連通孔を形成する部位に対応する凸部を有する第１の型を前記基板に押し当て、前記連通孔を形成する部位に、前記一方の面側から離れる方向に突出する前記基板よりも厚みが薄い突出膜を形成する第一形成工程と、
前記基板の一方の面側から貫通手段によって前記突出膜を貫通させて、前記連通孔を形成する第二形成工程と、を有することを特徴とする流路ユニットの製造方法。
【請求項２】
前記第二形成工程では、前記連通孔の周縁に対応する前記突出膜の一部を残した状態で前記突出膜を貫通させることを特徴とする請求項１に記載の流路ユニットの製造方法。
【請求項３】
前記貫通手段は、レーザー光の照射あるいは圧縮空気の噴射により前記突出膜を貫通させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流路ユニットの製造方法。
【請求項４】
前記第一形成工程では、前記第１の型の凸部の先端側の一部を包含可能な凹部を有する第２の型を前記基板の他方の面側から押し当てることにより、前記凸部と前記凹部との間に前記突出膜を形成することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の流路ユニットの製造方法。
【請求項５】
基板に連通孔を形成した流路ユニットであって、
前記連通孔の周縁には、前記連通孔の貫通方向に沿って突出する突出片が形成されていることを特徴とする流路ユニット。
【請求項６】
前記連通孔と連通する室をさらに備え、
前記突出片は、前記連通孔と前記室とを含む流路の上流側から下流側に向かって突出していることを特徴とする請求項５に記載の流路ユニット。
【請求項７】
前記室は、前記流路を流れる液体へ圧力を与える圧力室であることを特徴とする請求項６に記載の流路ユニット。
【請求項８】
請求項５〜請求項７のいずれかに記載の流路ユニットを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路ユニットの製造方法、流路ユニットおよび液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
金型を用いて成形用素材としての基板を成形することにより、液体が流れるための流路を有する部材（流路ユニット）を製造することが知られている。
関連技術として、圧力室成形用金型と平面金型との間で成形用素材をプレス加工して、成形用素材に圧力室成形用金型の突起形状を転写した後、成形用素材の裏面より研磨することで、圧力室となる貫通孔を形成するインクジェットプリンターヘッドの製造方法が知られている（特許文献１参照）。
また、ノズルの反転形状をなす突起を有する第１金型と、この金型に対向して設ける第２の金型との間に設ける基板をプレスすることで、ノズルを成形するノズルプレート製造方法が知られている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５‐４７１６５号公報
【特許文献２】特開２００７‐２１０１１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
流路ユニットを製造する過程では、成形途中の部材の変形防止などを目的として、当該部材の強度維持のために、特定の部位を敢えて所定のタイミングまで除去せずに残しておくことがある。このような状況で、当該特定の部位（の一部）を除去する際に、より簡易かつ正確に除去できるようにすることが望まれていた。
また、前記特定の部位を除去した後の部材の形状を、流路ユニットの性能向上に役立つような形状とすることが望ましいと言える。
【０００５】
本発明は上述の課題の少なくとも一つを解決するためになされたものであり、製造の効率および精度を向上させた流路ユニットの製造方法を提供する。また、当該方法によって製造されることにより性能を向上させた流路ユニットおよび当該流路ユニットを有する液体噴射装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の態様の一つは、基板に連通孔を形成する流路ユニットの製造方法であって、前記基板の一方の面側から前記連通孔を形成する部位に対応する凸部を有する第１の型を前記基板に押し当て、前記連通孔を形成する部位に、前記一方の面側から離れる方向に突出する前記基板よりも厚みが薄い突出膜を形成する第一形成工程と、前記基板の一方の面側から貫通手段によって前記突出膜を貫通させて、前記連通孔を形成する第二形成工程と、を有する。
【０００７】
当該構成によれば、突出膜は、前記一方の面側から離れる方向に突出しており且つ前記基板よりも厚みが薄い。そのため、貫通手段によって、正確な位置に容易に（より少ないエネルギーで）貫通させて連通孔を実現することができる。つまり、流路ユニットの製造の効率および精度が向上する。なお、突出膜は、前記特定の部位に該当する。
【０００８】
本発明の態様の一つは、前記第二形成工程では、前記連通孔の周縁に対応する前記突出膜の一部を残した状態で前記突出膜を貫通させる。
連通孔の周縁に対応する突出膜の一部が残った状態でも、連通孔としての機能は発揮される。言い換えると、突出膜の全てを除去するのではなく突出膜を貫通させるだけで、流路ユニットにおける連通孔を実現することができる。
【０００９】
前記貫通手段の具体的構成は種々考えられるが、例えば、貫通手段は、レーザー光の照射あるいは圧縮空気の噴射により前記突出膜を貫通させるとしてもよい。なお、貫通手段として圧縮空気を噴射する装置を用いる方が、レーザー光を照射する装置を用いるよりも安価である。
【００１０】
本発明の態様の一つは、前記第一形成工程では、前記第１の型の凸部の先端側の一部を包含可能な凹部を有する第２の型を前記基板の他方の面側から押し当てることにより、前記凸部と前記凹部との間に前記突出膜を形成する。
当該構成によれば、第１の型および第２の型により、前記突出膜を確実に形成することができる。
【００１１】
上述の製造方法により製造された流路ユニットも、一つの発明として捉えることができる。つまり、基板に連通孔を形成した流路ユニットであって、前記連通孔の周縁には、前記連通孔の貫通方向に沿って突出する突出片が形成された流路ユニットを、物の発明として捉えることができる。
【００１２】
流路ユニットは、前記連通孔と連通する室をさらに備え、前記突出片は、前記連通孔と前記室とを含む流路の上流側から下流側に向かって突出しているとしてもよい。
当該構成によれば、突出片は、流路の上流側から下流側に向かって突出しているため、流路内の液体の流れを阻害しない。同時に、突出片は、流路内での液体の逆流を防ぐ役割も果たす。
【００１３】
さらに、前記室は、前記流路を流れる液体へ圧力を与える圧力室であるとしてもよい。圧力室においては、加圧状態で液体が前記下流側へ流れるが、負圧状態となったとき、液体の一部が前記上流側へ逆流することがある。このような状況において、突出片は、液体の逆流を的確に防ぐ役割を果たす。
さらに、上述の流路ユニットを有する液体噴射ヘッドや液体噴射装置も、それぞれ発明として捉えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】液体噴射ヘッドの主要構成の一部を例示する分解斜視図である。
【図２】第１実施例にかかる流路プレートを形成するための各工程を示す断面図である。
【図３】突出膜近傍を例示する斜視図である。
【図４】突出膜近傍の構造を比較例の膜近傍の構造と対比して示す断面図である。
【図５】液体噴射ヘッドを例示する断面図である。
【図６】第２実施例にかかる流路プレートを形成するための各工程を示す断面図である。
【図７】第２実施例に含まれる突出膜の近傍を拡大して例示する図である。
【図８】第２実施例に含まれる他の突出膜の近傍を拡大して例示する図である。
【図９】変形例にかかる突出膜の近傍を例示する斜視図である。
【図１０】変形例にかかる他の突出膜の近傍を例示する斜視図である。
【図１１】インクジェットプリンターの一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
１．液体噴射ヘッドの概略説明
図１は、液体噴射ヘッド１０の主要構成の一部を、分解斜視図により簡易的に例示している。液体噴射ヘッド１０は、本発明の流路ユニットを含んで構成される。あるいは、液体噴射ヘッド１０を流路ユニットと呼んでも良い。ここでは、液体噴射ヘッド１０は、液体の一種であるインクを噴射（吐出）するインクジェット式記録ヘッドであるとして説明を行う。液体噴射ヘッド１０は、例えば、振動板２０、流路プレート３０、リザーバープレート４０、ノズルプレート５０、といった各部材をＺ方向（各プレートの厚み方向）に積層して構成されている。ただし、これら各部材は、それぞれが個別に生成されるものであってもよいし、それらの一部が一体的に生成されるものであってもよい。
【００１６】
振動板２０は、流路プレート３０の一面を覆って封止する。流路プレート３０は、液体の流路３２を複数有する。流路プレート３０における各流路３２は、連通孔３３，３５と、圧力室３４とを含む。圧力室３４は、流路プレート３０の振動板２０側の面に開口した長尺状の空間である。圧力室３４は、その長手方向を、Ｚ方向に直交するＸ方向と平行にした状態で、Ｚ方向およびＸ方向に直交するＹ方向に沿って複数配置されている。本明細書において、液体噴射ヘッド１０の各構成の方向や位置等について、直交あるいは平行、等と表現した場合であっても、それらは厳密な直交あるいは平行のみを意味するのではなく、製品製造上の誤差と言える程度の違いを含んだ意味である。
【００１７】
連通孔３３および連通孔３５は、流路プレート３０の振動板２０側の面と逆側の面に開口している。連通孔３３は、圧力室３４のＸ方向における一端側と連通し、連通孔３５は、圧力室３４のＸ方向における他端側と連通している。流路プレート３０の連通孔３３，３５および圧力室３４を含む各流路３２は、Ｙ方向において隔壁３６で隔てられている。また、流路プレート３０は、リザーバー３１を有する。リザーバー３１は、Ｘ方向において各流路３２と離間しており、かつ、Ｙ方向において各流路３２に対応する範囲に渡って形成されている。リザーバー３１は、流路プレート３０をＺ方向に貫通する。
【００１８】
振動板２０は、流路プレート３０側と逆側の面に、圧電素子２１を搭載する。圧電素子２１は、例えば、電極と圧電体層とを有して構成される圧力発生手段である（図５参照）。図１では、圧電素子２１のうちの圧電体層２１ａ（図５参照）の範囲を例示しており、圧電体層２１ａは、流路プレート３０の各流路３２の圧力室３４それぞれに対応して配置されている。
【００１９】
ノズルプレート５０は、液体を噴射するための貫通孔としてのノズル５１を複数有する。流路３２毎の連通孔３５は、圧力室３４とノズル５１とを一対一で連通させる。ただし図１の例では、流路プレート３０とノズルプレート５０との間に、リザーバープレート４０が介在する。リザーバープレート４０は、流路プレート３０の連通孔３３，３５が開口する側の面に接する。ノズルプレート５０は、リザーバープレート４０の流路プレート３０と接する側の面と逆側の面に接する。ノズルプレート５０のリザーバープレート４０と接する側の面と逆側の面は、ノズル５１が外部に露出しており、ノズル面あるいはノズル開口面等と呼ぶ。
【００２０】
図１の例では、ノズルプレート５０は、複数のノズル５１がＹ方向に沿って所定間隔で並んだノズル列５２を有している。なお、ノズルプレート５０は、複数のノズル列５２をＸ方向に並設し、一方のノズル列５２と他方のノズル列５２とをＹ方向においてずらして配置する（いわゆる千鳥配置とする）構成を採用してもよい。
【００２１】
リザーバープレート４０は、リザーバー４１と複数の連通孔４２とを有する。リザーバー４１は、Ｘ方向において各連通孔４２と離間しており、かつ、Ｙ方向において各流路３２に対応する範囲に渡って形成されている。リザーバー４１は、リザーバープレート４０をＺ方向に貫通する。リザーバー４１は、流路プレート３０のリザーバー３１と連通し、かつ、流路３２毎の連通孔３３と連通している。リザーバー３１およびリザーバー４１をまとめて一つのリザーバーと呼んでも良い。また、リザーバーは、共通液室（あるいは共通インク室）と呼ぶこともできる。連通孔４２もリザーバープレート４０を貫通する。各連通孔４２は、ノズル５１に一対一で対応する位置に配置されて、連通孔３５とノズル５1とを連通させている。
【００２２】
このような構成において、流路ユニットは、少なくとも流路プレート３０を有する。
液体噴射ヘッド１０は、図１に示した構成に限定されるものではない。例えば、液体噴射ヘッド１０は、図１に示した部材の一部を有さない構成であってもよいし、図１に図示した部材以外の部材を含む構成であってもよい。例えば、リザーバープレート４０とノズルプレート５０との間に、他の部材（例えば、コンプライアンスプレート）が存在してもよい。また、特にリザーバーの上述した位置は一例に過ぎず、リザーバーの一部あるいは全部が、流路プレート３０や連通孔４２を有する部材（４０）とは別の部材に形成されていてもよい。
【００２３】
２．流路ユニットの製造方法
次に、流路ユニットの製造方法を複数の実施例により説明する。
第１実施例：
図２は、第１実施例にかかる流路ユニットの製造方法を説明するための図であり、特に、流路プレート３０を形成するための各工程をＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄにより示している。図２（および後述の図６）では、流路プレート３０（および流路プレート３０になる前の符号３００，３０１で表される各部材）について、図１に示した断面に相当する断面により示している。ただし、図２Ａ（および後述の図６Ａ）では、符号３００で表される部材へのハッチングを省略している。また、図１と図２（および後述の図５，６〜１０）とで流路プレート３０の表現に相違がある部分については、図２（および後述の図５，６〜１０）を優先するものとする。
【００２４】
図２Ａは、流路プレート３０となる基板を金型１００と金型１１０との間に配置した状態で、流路プレート３０となる基板に対して、金型１００および金型１１０を押し当ててプレス加工した状態を示している。基板は、例えば、ジルコニア（ＺｒＯ２）を含有するセラミックス粉体をバインダー等に分散したペーストをシート状にした、いわゆるグリーンシート３００である。ここでは、グリーンシート３００を２層に重ねたものを基板としている。むろん、基板を構成するグリーンシート３００の層数は限定されないし、各層において組成が異なるものであってもよい。グリーンシート３００は、流路プレート３０の前駆体とも言える。
【００２５】
金型１１０は、連通孔３３，３５がそれぞれ形成される予定の部位に対応する凸形状の部分（凸部１１０ａ）を有しており、後にリザーバープレート４０やノズルプレート５０が配置される側の基板の面３００ａ側から押し当てられる。一方、金型１００は、金型１１０の凸部１１０ａの先端側の一部を包含可能なサイズで凸部１１０ａの先端に対応した位置に凹部１００ａを有しており、面３００ａとは逆側の面３００ｂ側（後に振動板２０が配置される側）から押し当てられる。このとき、凸部１１０ａの先端側の一部が、凹部１００ａの中に含まれる（ただし、凸部１１０ａと凹部１００ａとは接触しない）ように、金型１００および金型１１０が使用される。つまり、凸部１１０ａと凹部１００ａは以下で説明する突出膜３３２，３５２を挟んで介在させた状態で嵌合するように使用される。
【００２６】
図２Ｂは、金型１００および金型１１０を離型した状態の基板（基板３０１）を示している。図２Ｂに示すように、基板３０１には、金型１００によって基板の面３００ｂから窪んだ空間３４１が形成され、かつ、金型１１０によって基板の面３００ａから空間３３１，３５１が形成されている。また、空間３３１と空間３４１の間、空間３５１と空間３４１の間のそれぞれには、基板の一部が金型１１０の凸部１１０ａと金型１００の凹部１００ａに挟まれたことによって、突出膜３３２，３５２が形成されている。突出膜３３２，３５２は、面３００ａ側から離れる方向に突出する（空間３３１及び空間３５１の側から空間３４１の側に向けて突出する）、前記基板よりも厚みが薄い膜である。
【００２７】
また、図３は、上述のように突出した（空間３４１内へ突出した）突出膜３３２，３５２近傍を斜視図により例示している。
このような、図２Ａおよび図２Ｂにより、突出膜３３２，３５２を形成する工程（第一形成工程）が例示されていると言える。
【００２８】
次に、図２Ｃに示すように、貫通手段６０が用意され、貫通手段６０が基板３０１の面３００ａ側から突出膜３３２，３５２を貫通させる。貫通手段６０は、例えば、圧縮空気を噴射するエアガンである。貫通手段６０が面３００ａ側から突出膜３３２，３５２に向けて圧縮空気を噴射することにより、基板３０１の厚みよりも薄い分脆弱な突出膜３３２，３５２は、その一部が容易に破れて貫通する。このとき、突出膜３３２，３５２は、先端部分が破れて図２Ｄに示すような開口３３ａ，３５ａを形成する一方で、開口３３ａ，３５ａ周縁において、空間３４１の側に向けて斜めに突出した側壁部３３ｂ，３５ｂ（図３も参照。）が、突出膜の一部として残される。
【００２９】
図２Ｄに示すように、開口３３ａ，３５ａが形成されることにより、空間３３１，３５１はそれぞれ空間３４１に連通し、連通孔３３，３５となる。なお、開口３３ａ，３５ａが出現した後の空間３４１は、圧力室３４となる。このような、図２Ｃおよび図２Ｄにより、連通孔３３，３５を形成する工程（第二形成工程）が例示されていると言える。すなわち、第二形成工程では、連通孔３３，３５は、それらの周縁に対応する突出膜３３２，３５２の一部（側壁部３３ｂ，３５ｂ）が残った状態で、形成される。
【００３０】
図４は、図中の左側に本実施形態（第１実施例）にかかる突出膜３５２近傍の構造を示し、右側には、突出膜３５２に対する比較例としての膜３５２´近傍の構造を示している。膜３５２´の厚みは、突出膜３５２の厚みと同等である。ただし、膜３５２´は、突出膜３５２の様に空間３４１の側に突出していない。つまり、膜３５２´は、凹部１００ａ（図２）を有さない場合の形状の金型１００と、凹部１００ａの中に入り込んでいた凸部１１０ａの先端側の一部が無い場合の形状の金型１１０との間に形成された膜である。なお、金型１００，１１０はいずれも、離型し易さを考慮して、それぞれの基板へ押し当てる方向に向かって先端側が狭まる断面略台形状となっている。
【００３１】
このような突出膜３５２と膜３５２´との比較によれば、突出膜３５２の貫通手段６０の作用を受ける面３５２ａの面積は、膜３５２´が貫通手段６０の作用を受ける場合の面３５２´ａの面積よりも狭い。そのため、突出膜３５２の方が膜３５２´よりも、貫通手段６０から受ける単位面積当たりの力が大きくなり、貫通させることがより容易となる。つまり、突出膜３３２，３５２は、上述したような突出形状を採ることで、より少ないエネルギーで貫通される。また、より狭い面積に対して貫通手段６０が作用することから、貫通させるべき位置を正確に貫通させることができる。
【００３２】
貫通手段６０は、エアガン以外の装置、例えば、レーザー光照射装置であってもよい。つまり、貫通手段６０が面３００ａ側から突出膜３３２，３５２に向けてレーザー光を照射することにより、基板３０１の厚みよりも薄い分脆弱な突出膜３３２，３５２は、その一部が容易に焼き切れて貫通する。ただし、エアガンの方がレーザー光照射装置よりも安価であるため、流路ユニットの製造にかかるコストを考慮すると、エアガンの方が好適であると言える。
【００３３】
なお、流路プレート３０は、セラミックス製の基板３０１が焼成されることにより形成される。突出膜３３２，３５２を貫通させる第二形成工程を実施するタイミングは、基板３０１を焼成した後であってもよいし、基板３０１を焼成する前であってもよい。基板３０１を焼成した後に第二形成工程を実施する場合には、焼成時は突出膜３３２,３５２の存在により基板３０１の強度が全体的に高く確保されているため、焼成時のセラミックスの収縮による基板３０１の各部位の変形や反りが抑制され易い。
【００３４】
一方、基板３０１を焼成する前に第二形成工程を実施する場合には、基板３０１は柔らかい状態であるため、貫通手段６０は非常に少ないエネルギーで突出膜３３２，３５２を貫通させることができる。また、基板３０１がセラミックス製の他の部材（振動板２０、リザーバープレート４０等）の前駆体とともに一体焼成される場合、一体焼成後の物が有する突出膜３３２，３５２に対して貫通手段６０を作用させることが、当該他の部材が存在することにより困難となる場合がある。かかる観点からも、基板３０１を焼成する前に第二形成工程を実施すれば、極めて容易に突出膜３３２，３５２を貫通させることができると言える。
【００３５】
さらに、流路プレート３０の他、振動板２０、リザーバープレート４０、ノズルプレート５０といった液体噴射ヘッド１０を構成するための各部材（ただし、既に流路プレート３０と一体焼成されているものを除く。）が組み付けられる。振動板２０、リザーバープレート４０、ノズルプレート５０は、例えば、セラミックスや、シリコン単結晶基板や、金属板（ステンレス鋼）等により生成される。
【００３６】
図５は、製造された液体噴射ヘッド１０の断面であって、Ｙ方向に垂直な面を例示している。当該断面は、ノズル５１を通過する断面である。図５に示すように、圧力室３４は、連通孔３５，４２を介してノズル５１に連通している。また、振動板２０の流路プレート３０と接する面と逆側の面には、圧電素子２１が圧力室３４に対応する位置に接合している。圧電素子２１は、第一電極２１ｂ、圧電体層２１ａおよび第二電極２１ｃが順に積層されて構成される。例えば、第一電極２１ｂは、複数の圧電素子２１に共通して設けられた（複数の圧電素子２１が共有する）共通電極である。一方、第二電極２１ｃは、圧力室３４に対応する圧電素子２１毎に設けられた個別電極である。
【００３７】
第二電極２１ｃには、パターンやケーブル類（フレキシブル基板等）９０を介して制御回路基板８０が接続され、制御回路基板８０から駆動電圧が印加される。一方、第一電極２１ｂは電位が所定レベル（例えばグラウンドレベル）に保持される。かかる構成により、圧電素子２１が駆動電圧に応じて変形する。リザーバー３１，４１へは、図示しない液体供給経路を介して、外部から液体が供給される。リザーバー３１，４１へ供給された液体は、各連通孔３３から各圧力室３４へ供給される。上述のような圧電素子２１の変形に伴い振動板２０が撓むことにより、圧力室３４内で圧力が高まり、かかる圧力の高まりに応じて圧力室３４内の液体がノズル５１から噴射される。このようなリザーバー３１，４１からノズル５１へ至る流路は、リザーバー３１，４１側が上流側であり、ノズル５１側が下流側である。
【００３８】
図５から判るように、第１実施例では、流路プレート３０が有する連通孔３３，３５の周縁には、連通孔３３，３５の貫通方向に沿って突出する突出片（側壁部３３ｂ，３５ｂ）が形成されている。このような突出片のうち、側壁部３３ｂは、連通孔３３と圧力室３４とを含む液体の流路の上流側から下流側へ向かって突出している。このような側壁部３３ｂは、圧力室３４内が正圧状態となったときに起こる液体の一部の上流側への逆流を防ぐ壁としても機能する。
【００３９】
第２実施例：
図６は、第２実施例にかかる流路ユニットの製造方法を説明するための図であり、図２と同様に、流路プレート３０を形成するための各工程をＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄにより示している。第２実施例に関しては、第１実施例と異なる点についてのみ説明をする。
図６Ａに示すように、第２実施例では、金型１００の一部および金型１１０の一部の形状が、第１実施例と異なる。具体的には、金型１００は、連通孔３５が形成される予定の部位に対応して前記凹部１００ａ（図２Ａ）ではなく、面３００ａ側へさらに突出する凸部１００ｂを有する。また、金型１１０は、連通孔３５が形成される予定の部位に対応する凸部１１０ｂを有しており、当該凸部１１０ｂは、前記凸部１１０ａ（図２Ａ）よりも面３００ｂ側への突出度合いが少ない。図６Ａの例では、２層のグリーンシート３００，３００の境界を基準としたとき、凸部１００ｂは当該境界よりも面３００ａ側へ突出して配置されており、凸部１１０ｂは凸部１００ｂの先端よりも面３００ａ側に在る（ただし、凸部１１０ｂと凸部１００ｂとは接触しない）。
【００４０】
このような金型１００および金型１１０を用いることにより、図６Ｂに示すように、基板３０１において、空間３５１と空間３４１の間には、基板の一部が凸部１１０ｂと凸部１００ｂに挟まれたことによって、突出膜３５３が形成されている。突出膜３５３は、面３００ｂ側から離れる方向に配設される、前記基板よりも厚みが薄い膜である。また、突出膜３５３は、基板３０１における突出膜３５３近傍の他の部分と一体となって、前記２層のグリーンシート３００，３００の境界よりも面３００ａ側へ突出している（空間３４１の側から空間３５１の側に向けて突出している）と言える。
なお、第１実施例では、面３００ａ側が、特許請求の範囲における「基板の一方の面側」に相当し、金型１１０が、特許請求の範囲における「凸部を有する第１の型」に相当していた。しかし第２実施例では、突出膜３３２に注目した場合には、面３００ａ側が「基板の一方の面側」に相当し、金型１１０が「凸部を有する第１の型」に相当するが、突出膜３５３に注目した場合には、面３００ｂ側が「基板の一方の面側」に相当し、金型１００が「凸部を有する第１の型」に相当すると解釈する。
【００４１】
図６Ｃに示すように、突出膜３５３に対しては、面３００ｂ側から貫通手段６０が用意され、貫通手段６０が突出膜３５３を貫通させる。この結果、図６Ｄに示すように、突出膜３５３の部分に開口３５ａが形成され、空間３５１と空間３４１とが連通し、連通孔３５、圧力室３４が出現する。
【００４２】
図７は、第２実施例における突出膜３５３近傍を拡大して例示したものであり、図７Ａは、図６Ｂと同じ場面を示し、図７Ｂは、図６Ｄと同じ場面を示している。図７に示すように、突出膜３５３は貫通されて連通孔３５の開口３５ａを形成するとともに、開口３５ａ周縁の少なくとも一部は、突出片３５ｄとして残る。突出片３５ｄは、貫通手段６０による処理を受けて開口３５ａの周縁が（バリとなって）圧力室３４側から連通孔３５へ向けて（流路の上流側から下流側へ向かって）突出したものである。このような突出片３５ｄは、上流側（圧力室３４側）から下流側（ノズル５１側）への液体の流れを阻害しない（整流の作用）と同時に、圧力室３４内が負圧状態となったときに起こる液体の上流側への逆流を防ぐ壁として機能する。
【００４３】
図８は、第２実施例における突出膜３５３近傍を拡大して例示したものであり、図８Ａは、図６Ｂと同じ場面を示し、図８Ｂは、図６Ｄと同じ場面を示している。図８は、図７の変形例である。図８Ａに示した形状の突出膜３５３を形成する場合には、金型１１０の凸部１１０ｂは、その先端側に、金型１００の凸部１００ｂの一部を包含可能なサイズの凹部を形成しておき、当該凹部と金型１００の凸部１００ｂとの間で突出膜３５３を形成する。図８に示すように、突出膜３５３は貫通されて連通孔３５の開口３５ａを形成するとともに、開口３５ａ周縁の側壁部３５ｃは、少なくとも一部がそのまま残る。このような側壁部３５ｃも、圧力室３４側から連通孔３５へ向けて（流路の上流側から下流側へ向かって）突出した突出片であると言える。このような側壁部３５ｃは、上流側から下流側への液体の流れを阻害しないと同時に、液体の上流側への逆流を防ぐ壁として機能する。
このように第２実施例によれば、連通孔３３の開口では圧力室３４側へ突出する突出片を形成し、連通孔３５の開口では圧力室３４から離れる側（ノズル５１側）へ突出する突出片を形成したため、液体の逆流をより的確に防ぐことが可能となる。
【００４４】
その他の変形例：
本発明は上述の実施形態や実施例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば以下のような変形例も可能である。  
【００４５】
突出膜３３２，３５２（突出膜３５３も同様。以下同じ。）は、金型によって形成された時点で、空間３３１，３５１（連通孔３３，３５に相当する空間）と空間３４１（圧力室３４に相当する空間）とを完全に遮断するもの（図３参照）に限られず、その一部が初めから貫通しているものであってもよい。図９および図１０は、このような一部が初めから貫通している突出膜３３２，３５２をそれぞれ図３と同様の視点により例示している。図９の例では、突出膜３３２，３５２は、連通孔の圧力室３４側の開口３３ａ，３５ａ周縁の略半周分の範囲に形成されている。また、図１０の例では、突出膜３３２，３５２は、連通孔の圧力室３４側の開口３３ａ，３５ａを跨ぐアーチ状（ブリッジ状）に形成されている。つまり、基板に対するプレス加工の際に、図９，１０のいずれかに示した形状の突出膜３３２，３５２が形成されるような金型１００，１１０を用いることにより、図９，１０の構成を実現する。
【００４６】
図９，１０の例では、突出膜３３２，３５２は、貫通手段６０により貫通させるまでもなく貫通していると言える。このような構成によれば、液体噴射ヘッド１０を製造する過程および液体噴射ヘッド１０の完成後において、流路ユニットの強度を終始保つことができる。また、液体噴射ヘッド１０においては、図９，１０に示した突出膜３３２，３５２がそのまま存在する状態でリザーバーからノズル５１まで液体が流れる流路が実現され、かつ、突出膜３３２，３５２の存在により液体の逆流がある程度防止される効果が生じる。
【００４７】
また、本発明にかかる突出膜が形成される位置は、圧力室３４と圧力室３４に連通する連通孔３３，３５との境界部分に限定されるものではない。突出膜は、液体の流路の途中箇所であって、例えば、強度を特に必要とされたり、液体の逆流防止の機能を特に必要とされたりする種々の箇所に形成することができる。
【００４８】
液体噴射ヘッド１０は、インクカートリッジ等と連通するインク供給経路（液体供給経路）を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェットプリンター２００に搭載される。インクジェットプリンター２００は液体噴射装置の一例である。
【００４９】
図１１は、インクジェットプリンター２００の一例を示す概略図である。インクジェットプリンター２００において、複数の液体噴射ヘッド１０を有するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニット２０２）には、例えば、インクカートリッジ２０２Ａ，２０２Ｂ等が着脱可能に設けられる。ヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、キャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動する。
【００５０】
装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しないローラー等により供給された印刷媒体Ｓがプラテン２０８上を搬送される。そして、搬送される印刷媒体Ｓに対して、液体噴射ヘッド１０のノズル５１からインクが噴射され任意の画像が印刷媒体Ｓに印刷される。なお、インクジェットプリンター２００は、ヘッドユニット２０２が上記のように移動するものだけでなく、例えば、液体噴射ヘッド１０が固定されて、印刷媒体Ｓを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターであってもよい。
【００５１】
また本発明は、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液体噴射ヘッドとしては、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレーやＦＥＤ（電解放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１０…液体噴射ヘッド、２０…振動板、２１…圧電素子、３０…流路プレート、３１…リザーバー、３２…流路、３３…連通孔、３４…圧力室、３５…連通孔、４０…リザーバープレート、４１…リザーバー、５０…ノズルプレート、５１…ノズル、５２…ノズル列、６０…貫通手段、１００，１１０…金型、２００…インクジェットプリンター、３０１…基板、３３２，３５２，３５３…突出膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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