(57)【要約】【課題】  効率的に製造することが可能な太陽電池の製造方法を提供する。【解決手段】  シリコン基板の少なくとも片面の一部に誘電体膜を形成する工程と、誘電体膜上の一部または全部にｐ型拡散ドーピング剤を塗布する工程と、ｎ型ドーパントとｐ型ドーパントを一回の熱処理により拡散させる工程とを含むことを特徴とする太陽電池の製造方法を提供する。上記の拡散させる工程よりも前に、シリコン基板における誘電体膜が形成されていない領域にｎ型拡散ドーピング剤を塗布する工程を、さらに備えることが好ましい。【選択図】図１
2015109361.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン基板の少なくとも片面の一部に誘電体膜を形成する工程と、
前記誘電体膜上の一部または全部にｐ型拡散ドーピング剤を塗布する工程と、
ｎ型ドーパントとｐ型ドーパントを一回の熱処理により拡散させる工程と
を含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。
【請求項２】
前記拡散させる工程よりも前に、前記シリコン基板における前記誘電体膜が形成されていない領域にｎ型拡散ドーピング剤を塗布する工程を、さらに備える
請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項３】
前記誘電体膜はシリコン酸化膜であることを特徴とする請求項１または２に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項４】
前記誘電体膜の厚さは１０〜１５０nmであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項５】
前記ｐ型ドーパントはボロン、前記ｎ型ドーパントはリンであることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項６】
前記誘電体膜の一部をリン酸を含んだペーストで除去する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項７】
前記ｎ型ドーパントが拡散する領域と前記ｐ型ドーパントが拡散する領域とは前記シリコン基板の同一面上にあることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の太陽電池の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は太陽電池の製造方法に関し、特にｐｎ接合形成工程に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、エネルギー資源の枯渇や大気中の二酸化炭素量の増加といった環境問題を解決するため、クリーンエネルギーの開発が盛んに行われている。特に、無尽蔵の太陽光エネルギーを電気エネルギーに変換することができる太陽電池は次世代のエネルギー源としての期待が高く、高効率化やコスト削減を目指した研究が広く行われている。
【０００３】
太陽電池の性能向上には、太陽光を効率よく基板内部に取り込むことが大切である。最近では、受光面における光吸収を減らすために、シリコン基板の受光面に電極を形成せず、裏面にのみ電極を形成した裏面接合型太陽電池が作製されるようになり、たとえば特許文献１や特許文献２に記載のような太陽電池の製造方法が開示されている。
【０００４】
これらの製造方法では、シリコン半導体基板上にパターン状のＳｉＯ２層などの拡散抑制マスクをあらかじめ形成しておき、ドーピング処理を行うことでパターンニングされた拡散層を形成し、裏面接合型太陽電池を作製する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−８１３００号公報
【特許文献２】特開２０１２−９４７３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、これら従来の太陽電池の製造方法はｎ型拡散ドーパントとｐ型拡散ドーパントの拡散処理をそれぞれ別に行う。つまり、２回の拡散熱処理が必要であり、その都度拡散抑制マスクを形成する工程とドーピング処理後にマスクを除去する工程を含む。このため、工程数が多く煩雑となり、製造コストが高くなるという問題を抱えていた。本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、工程数を削減して、効率的に製造することが可能な太陽電池の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決すべく、本発明の実施形態に係る太陽電池の製造方法は、シリコン基板の少なくとも片面の一部に誘電体膜を形成する工程と、誘電体膜上の一部または全部にｐ型拡散ドーピング剤を塗布する工程と、ｎ型ドーパントとｐ型ドーパントを一回の熱処理により拡散させる工程とを含む。
【０００８】
本発明では、拡散させる工程よりも前に、シリコン基板における誘電体膜が形成されていない領域にｎ型拡散ドーピング剤を塗布する工程を、さらに備えることが好ましい。また、誘電体膜はシリコン酸化膜であることが好ましい。また、誘電体膜の厚さは１０〜１５０nmであることが好ましい。
【０００９】
本発明では、ｐ型ドーパントはボロン、ｎ型ドーパントはリンであることが好ましい。
【００１０】
本発明では、誘電体膜の一部をリン酸を含んだペーストで除去する工程をさらに含むことが好ましい。
【００１１】
本発明では、ｎ型ドーパントが拡散する領域とｐ型ドーパントが拡散する領域とはシリコン基板の同一面上にあることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る裏面接合型太陽電池の製造方法の一例を示すフロー図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る両面接合型太陽電池の製造方法の一例を示すフロー図である。
【図３】実施例及び比較例に共通の作製プロセスを示すフロー図である。
【図４】実施例における図３のプロセスの後続のプロセスを示すフロー図である。
【図５】比較例における図３のプロセスの後続のプロセスを示すフロー図である。
【図６】図４または図５のプロセスに後続する実施例及び比較例に共通のプロセスを示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
前述の通り、従来の太陽電池の製造方法はｎ型拡散ドーパントとｐ型拡散ドーパントの拡散処理をそれぞれ別に行うため、２回の拡散熱処理が必要であり、その都度拡散抑制マスクを形成する工程とドーピング処理後にマスクを除去する工程を含むため、工程数が多く煩雑な上、製造コストが高くなるという問題を抱えていた。
【００１４】
本発明者らは鋭意研究の結果、１０〜１５０ｎｍの誘電体膜をシリコン基板上に形成させた状態で、ボロン（ホウ素）を含有するｐ型拡散ドーピング剤およびリンを含有するｎ型拡散ドーピング剤を熱拡散させると、ボロンドーパントは誘電体膜が存在してもシリコン基板中に拡散するが、リンドーパントは誘電体膜に拡散を阻害され、シリコン基板中へは拡散が起こらないことを発見した。この現象を利用することで従来２回の拡散熱処理が必要であった工程を１回の拡散熱処理で済ますことができ工程数を大幅に省略することができる。
【００１５】
［第１実施形態］
以下、図１を用いて本発明の第１実施形態に係る太陽電池の製造方法について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１６】
まず、半導体基板１００を用意する（図１(ａ)）。  半導体基板１００は例えば、高純度シリコンにホウ素あるいはガリウムのような３族元素をドープし、比抵抗０．１〜５Ω・ｃｍとしたアズカット単結晶｛１００｝ｐ型シリコン基板が使用できる。
【００１７】
半導体基板１００は単結晶だけでなく多結晶の基板を用いてもよく、またｐ型シリコン基板でなくてもｎ型シリコン基板を用いてもよい。
【００１８】
この半導体基板１００の表面のスライスダメージを、濃度５〜６０％の水酸化ナトリウムや水酸化カリウムのような高濃度のアルカリ、もしくは、ふっ酸と硝酸の混酸などを用いてエッチングし、引き続き、基板表面にランダムピラミット構造を有するテクスチャを形成する（図１（ｂ））。なお、図中ではテクスチャの凹凸構造は省略して描かれている。
【００１９】
テクスチャは太陽電池の反射率を低下させるための有効な方法である。テクスチャは、加熱した水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウムなどのアルカリ溶液（濃度１〜１０％、温度６０〜１００℃）中に１０分から３０分程度浸漬することで形成される。上記溶液中に、所定量の２−プロパノールを溶解させ、反応を促進させることが好ましい。テクスチャを形成後は、純水でリンス洗浄し次工程に移る。
【００２０】
テクスチャ形成後、塩酸、硫酸、硝酸、ふっ酸等、もしくはこれらの混合液の酸性水溶液中で基板を洗浄する。経済的及び効率的見地から、塩酸中で洗浄することが好ましい。清浄度を向上するため、塩酸溶液中に、０．５〜５％の過酸化水素を混合させ、６０〜９０℃に加温して洗浄してもよい。その後基板は純水にてリンスし、基板を乾燥することで太陽電池用基板１０１が得られる。
【００２１】
次に、太陽電池用基板１０１の両面に誘電体膜１０２を形成する（図１（ｃ））。誘電体膜１０２としては、例えば熱酸化処理によるシリコン酸化膜が用いられる。例えば酸素雰囲気の９００〜１１００℃の高温熱処理炉にて４分〜７時間熱処理することで太陽電池用基板１０１に厚さ１０〜１５０ｎｍの熱酸化膜が形成される。
【００２２】
酸化膜の形成方法には、酸素を用いたドライ酸化以外にも、ウェット酸化、パイロジェニック酸化の他、ＨＣｌやＣｌ２等のガスを導入するなどの方法があり、いずれの方法を用いてもよい。
【００２３】
また、誘電体膜１０２は、例えばシロキサン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、オルトケイ酸テトラエチル等を単独もしくはこれらを混合した塗布剤を基板全面に塗布し、１００〜３００℃程度のホットプレートで数分乾燥させて形成してもよいし、常圧ＣＶＤなどを用いて酸化膜を形成してもよい。
【００２４】
誘電体膜１０２が形成された後には、例えばリン酸を含有したエッチングペースト１０３を、ディスペンサーを用いて塗布し（図１（ｄ））、誘電体膜１０２の一部に開口部１０４を形成する、（図１（ｅ））。なお、エッチングペースト１０３は印刷により塗布してもよい。
【００２５】
また、開口部１０４の形成にはフォトリソグラフィ技術を用いてもよく、フッ化水素酸を微量含んだ塗布液をインクジェット印刷しても開口部１０４は形成することができる。なお、開口部１０４は幅５０〜４００μｍ程度が好ましく、１〜５ｍｍ間隔で形成するのが好ましい。
【００２６】
その後、誘電体膜１０２のうち開口部１０４を設けていない領域に例えばボロンを含有したｐ型拡散ドーピング剤１０６をディスペンサーか印刷により塗布する。ここでもペーストは印刷により塗布しても構わない。ボロン以外にもガリウム、インジウムといった３価の元素を含むｐ型拡散ドーピング剤を用いてもよいが、コスト面からボロンを含有するｐ型拡散ドーピング剤を用いるのが好ましい。
【００２７】
このｐ型拡散ドーピング剤１０６の幅は５０〜１０００μｍ程度が好ましく、１〜５ｍｍ間隔で形成するのが好ましい。また、ｐ型拡散ドーピング剤１０６の印刷位置は開口部１０４から少なくとも１０μｍ程度離間することが好ましい。
【００２８】
さらに、前記開口部１０４上に例えばリンを含有したｎ型拡散ドーピング剤１０５をディスペンサーか印刷により塗布する（図１（ｆ））。リン以外にもヒ素、アンチモンといった５価の元素を含むｎ型拡散ドーピング剤１０５を用いてもよいが、コスト面や材料の取り扱い易さの観点からリンを含有するｎ型拡散ドーピング剤１０５を用いることが好ましい。
【００２９】
次に、図１（ｆ）の状態で拡散熱処理を行う。ｐ型拡散ドーピング剤１０６の直下には誘電体膜１０２が存在するが、１５０ｎｍまでの誘電体膜厚であれば熱拡散時、ボロン等の３価のｐ型ドーパントは誘電体膜１０２を透過し半導体基板中に拡散することができ、ｐ型ドーパント領域１０８を形成することができる。
【００３０】
一方、リン等の５価のｎ型拡散ドーピング剤１０５は例えば五酸化二リンといったｎ型ドーパントを含んだ酸化物が熱処理時ペースト中から飛散し、ペースト印刷部以外の領域にｎ型ドーピング領域を形成してしまうことがあるが、本発明のようにｎ型拡散ドーピング剤１０５を塗布する領域以外に誘電体膜１０２を形成しておくと、この誘電体膜１０２がｐ型ドーパントの基板中への拡散を阻害することができ、図１（ｇ）に示すようにｐ型ドーピング領域１０８とｎ型ドーピング領域１０７をペースト塗布直下部にのみ形成することができる。
【００３１】
なお、熱処理は例えばアルゴンや窒素等の不活性ガス雰囲気の８００〜１０００度の熱処理炉にて１０〜１２０分程度行うことが好ましく、ガスには酸素を混ぜた混合ガスを用いてもよい。
【００３２】
また、リンを含有するｎ型拡散ドーピング剤１０５は、オキシ塩化リン等を用いた気相拡散法により形成してもよいし、リンを含有するｎ型拡散ドーピング剤１０５をスピン塗布し熱処理して形成してもよい。
【００３３】
拡散工程の後、表面に形成したｐ型ドーパントおよび／またはｎ型ドーパントを含んだガラス層及び誘電膜１０２を数％〜数十％のふっ酸等で除去する（図１（ｈ））。
【００３４】
次に、基板の表面（受光面）に反射防止膜１０９を形成し、裏面（非受光面）に保護膜１１０を形成する（図１（ｉ））。反射防止膜１０９および保護膜１１０として、例えば熱酸化膜が用いられる。熱酸化膜を用いることで、表面のパッシベーション効果が高まり、変換効率向上にも貢献する。熱酸化膜の形成方法は、９５０〜１１００℃で５〜１２０分程度のドライ酸化、ウェット酸化、パイロジェニック酸化の他、ＨＣｌやＣｌ２等のガスを導入するなどいずれの方法でもよい。これらいずれかの方法により、受光面に９０〜１５０nmのシリコン酸化膜を形成する。この範囲から外れると反射率が高くなってしまい、短絡電流が低下してしまう等の不具合が生じる。
【００３５】
反射防止膜１０９としては熱酸化膜の他にＳiＮｘ（窒化シリコン）膜を用いてもよい。ＳｉＮｘ膜を製膜する方法としては、例えばプラズマＣＶＤ装置を用いＳｉＮｘ膜を約１００ｎｍ製膜する方法がある。反応ガスとして、モノシラン（ＳｉＨ４）およびアンモニア（ＮＨ３）を混合して用いることが多いが、ＮＨ３の代わりに窒素を用いてもよい。
【００３６】
パッシベーション効果と反射防止の観点から、パッシベーション膜として機能する酸化膜と反射防止膜として機能するＳｉＮｘ膜の両方を積層して形成してもよい。
【００３７】
次に、電極の形成を行う（図１（ｊ））。ｎ型ドーピング領域１０７上にｎ型電極１１１を、ｐ型ドーピング領域１０８上にｐ型電極１１２を形成する。これらの電極は蒸着法、スパッタ法、メッキ法、インクジェット法、スクリーン印刷法いずれかの方法で形成できる。スクリーン印刷法の場合は、銀（Ａｇ）粉末とガラスフリットを有機物バインダと混合した銀ペーストをスクリーン印刷した後、熱処理によりＳｉＮｘ膜に銀粉末を貫通させ（ファイアースルー）、電極とシリコンを導通させる。
【００３８】
以上で説明したように、本実施形態では熱拡散処理時に、開口部１０４以外の領域が誘電膜１０２で覆われているため、開口部１０４以外の領域にｎ型ドーピング領域が形成されることは一切起こらない。そのため、従来の太陽電池の製造方法において、ｎ型拡散ドーピング剤１０５とｐ型拡散ドーピング剤１０６とについて別々に２回に分けて行う必要があった拡散熱処理を、１回の拡散熱処理とすることができる。
【００３９】
［第２実施形態］
上記の第１実施形態では、シリコン基板の受光面に電極を形成せず、裏面にのみ電極を形成した裏面接合型太陽電池の製造工程に本発明の製造方法を適用した例を説明したが、この他にも、本発明の太陽電池の製造方法は片面にエミッタ、反対の面がベースで構成される太陽電池の製造工程でも用いることができる。以下、図２を用いて本発明の第２実施形態を説明する。
【００４０】
第１実施形態において説明したのと同様の方法で半導体基板２００に対し、ダメージ層除去及びテクスチャ構造の形成を行い得られた太陽電池用基板２０１の両面に誘電体膜２０２の形成を行う（図２（ａ）〜（ｃ））。
【００４１】
次に誘電膜２０２の片面の一部に開口部２０４を形成する。なお、以後開口部２０４を設けた面を裏面（非受光面）とし、反対の面を表面（受光面）と表現する。ここでも例えばリン酸を含有したエッチングペースト２０３をディスペンサーを用いて塗布するか印刷し（図２（ｄ））、誘電体膜２０２の一部に開口部２０４を形成することができる（図２（ｅ））。開口部２０４は、フォトリソグラフィ技術を用いて形成してもよく、フッ化水素酸を微量含んだ塗布液をインクジェット印刷しては形成してもよい。なお、開口部２０４の幅は５０〜４００μｍ程度が好ましく、１〜５ｍｍ間隔で形成するのが好ましい。
【００４２】
次に、形成された開口部２０４上に例えばリンを含有したｎ型拡散ドーピング剤２０５をディスペンサーで塗布し、または印刷する（図２（ｆ））。リン以外にもヒ素やアンチモンといった５価の元素を含んだｎ型拡散ドーピング剤２０５を用いてもよいが、コスト面や材料の取り扱い易さの観点からリンを含有したｎ型拡散ドーピング剤２０５を用いることが好ましい。
【００４３】
ここでの印刷処理はパターン状でなくてもｎ型拡散ドーピング剤２０５を裏面（非受光面）の全面に印刷してもよく、またｎ型拡散ドーピング剤２０５を裏面（非受光面）の全面にスピン塗布してもよい。
【００４４】
また、ここではｎ型拡散ドーピング剤２０５を裏面に付与せず開口部２０４だけを設けておき、次工程にてオキシ塩化リン等を用いて気相拡散を行ってもよい。
【００４５】
一方、表面（受光面）には、例えばボロンを含有したｐ型拡散ドーピング剤２０６をディスペンサーを用いて塗布し、または印刷する。ボロンの他、ガリウム、インジウムといった３価の元素を含んだｐ型拡散ドーピング剤２０６を用いてもよいが、コスト面からボロンを含有したｐ型拡散ドーピング剤２０６を用いるのが好ましい。
【００４６】
この際、ｐ型拡散ドーピング剤２０６の幅は５０〜１０００μｍ程度が好ましく、１〜５ｍｍ間隔で形成するのが好ましい。なお、ここでは表面（受光面）の全面にペーストを塗布してもよく、ｐ型拡散ドーピング剤２０６を表面（受光面）の全面にスピン塗布してもよい。
【００４７】
以上のような処理により図２（ｆ）に示したようにｎ型拡散ドーピング剤２０５およびｐ型拡散ドーピング剤２０６が塗布された状態で、拡散熱処理を行う。ｐ型拡散ドーピング剤２０６の直下には誘電体膜２０２が存在するが、前述した通り１５０ｎｍまでの膜厚であれば熱拡散時、ボロン等の３価のｐ型ドーパントは誘電体膜２０２を透過し半導体基板中に拡散することができ、ｐ型ドーパント領域２０８を形成することができる。一方、誘電体膜２０２が形成されていない部分にはｎ型ドーピング領域２０７を形成することができる（図２（ｇ））。
【００４８】
前述のとおり、リン等の５価のｎ型拡散ドーピング剤２０５はｎ型ドーパントを含んだ酸化物が熱処理時ペースト中から飛散し、ペースト塗布部以外の領域にｎ型ドーピング領域２０７を形成してしまうことがあるが、本実施形態では、ｎ型拡散ドーピング剤２０５を印刷する領域以外に誘電体膜２０２０を形成しておくことにより、この誘電体膜２０２がｎ型ドーパントの基板中への拡散を阻害することができる。
【００４９】
なお、熱処理は例えばアルゴンや窒素等の不活性ガス雰囲気の８００〜１０００度の熱処理炉にて１０〜１２０分程度行うことが望ましく、ガスには酸素を混ぜた混合ガスを用いてもよい。
【００５０】
拡散工程の後、表面に形成したｐドーパントおよび／またはｎドーパントを含んだガラス層及び誘電膜２０２を数％〜数十％のふっ酸等で除去する（図２（ｈ））。
【００５１】
次に、基板の表面に反射防止膜２０９を裏面に保護膜２１０の形成を行う（図２（i））。反射防止膜２０９として例えば熱酸化膜を用いるとよい。熱酸化膜を用いることで、パッシベーション効果が高まり、変換効率向上に貢献する。熱酸化膜の形成方法は、９５０〜１１００℃で５〜１２０分程度のドライ酸化、ウェット酸化、パイロジェニック酸化の他、ＨＣｌやＣｌ２等のガスを導入するなどいずれの方法でもよい。これらいずれかの方法により、受光面に９０〜１５０ｎｍのシリコン酸化膜を形成する。この範囲から外れると反射率が高くなってしまい、短絡電流が低下してしまう等の不具合が生じる。
【００５２】
反射防止膜２０９としては熱酸化膜の他にＳiＮｘ膜を用いてもよい。ＳｉＮｘ膜を製膜する方法としては、例えばプラズマＣＶＤ装置を用いてＳｉＮｘ膜を約１００ｎｍ製膜する方法がある。反応ガスとして、モノシラン（ＳｉＨ４）およびアンモニア（ＮＨ３）を混合して用いることが多いが、ＮＨ３の代わりに窒素を用いてもよい。パッシベーション効果と反射防止の観点から、高効率の太陽電池を作製するには、パッシベーション膜として機能する酸化膜と反射防止膜として機能するＳｉＮｘ膜の両方を形成してもよい。
【００５３】
次に、電極の形成を行う（図２（j））。ｎ型ドーピング領域２０７上にｎ型電極２１１を、ｐ型ドーピング領域２０８上にｐ型電極２１２を形成する。これらは蒸着法、スパッタ法、メッキ法、インクジェット法、スクリーン印刷法いずれかの方法で形成できる。スクリーン印刷法の場合は、銀粉末とガラスフリットを有機物バインダと混合した銀ペーストをスクリーン印刷した後、熱処理によりＳｉＮｘ膜に銀粉末を貫通させ（ファイアースルー）、電極とシリコンを導通させる。
【００５４】
裏面（非受光面）も受光面と同様のくし型電極とすれば、両面型太陽電池として利用することもできる。このようにして、本発明は裏面接合型の太陽電池だけでなく片面をエミッタ、もう一方の面がペースで構成される太陽電池の製造工程に用いることができる。
【００５５】
前述した通り、従来の太陽電池の製造方法において、ｎ型拡散ドーピング剤２０５とｐ型拡散ドーピング剤２０６とについて別々に２回に分けて行う必要があった拡散熱処理を、１回の拡散熱処理とすることができる。この製造方法においても、熱拡散処理時、開口部２０４以外の領域は誘電膜２０２で覆われるため、開口部２０４以外の領域にｎ型ドーピング領域が形成されることは一切起こらず、それによる特性の低下が起らなくなる。
【実施例】
【００５６】
本発明の有効性を確認するため、上記の実施形態に記載の太陽電池の製造方法を用いて、実際に裏面接合型の太陽電池を作製した。実施例及び比較例に共通の作製プロセスを図３に示す。また、実施例における図３のプロセスの後続のプロセスを図４に示す。また、比較例における図３のプロセスの後続のプロセスを図５に示す。さらに、図４または図５のプロセスに後続する実施例及び比較例に共通のプロセスを図６に示す。以下、図３から図６を参照して実施例及び比較例の説明を行う。
【００５７】
厚さ２００μｍ、比抵抗１Ω・ｃｍの、リンドープ｛１００｝ｎ型アズカットシリコン基板３００を用意し、熱濃水酸化カリウム水溶液によりダメージ層を除去した（図３（ａ））後、基板３００を水酸化カリウム／２−プロパノール水溶液中に浸漬しテクスチャを形成した。なお、図中ではテクスチャの凹凸構造は省略して描かれている。続いて基板３００を塩酸／過酸化水素混合溶液中で洗浄し、太陽電池用基板３０１を１００枚用意した（図３（ｂ））。
【００５８】
その後、得られた太陽電池用基板３０１を酸素雰囲気下１０００℃の熱処理炉にて９０分間熱処理し基板の両面に７０ｎｍのシリコン酸化膜３０２を形成した（図３（ｃ））。
【００５９】
次にリン酸含有のエッチングペースト３０３をディスペンサーを用いて塗布し（図３（ｄ））、開口部３０４を形成した。開口部３０４は、幅を２００μｍ、間隔を１．５ｍｍとしたライン状に形成した（図３（ｅ））。
【００６０】
その後、開口部３０４にリンを含有したｎ型拡散ドーピング剤３０５を同じくディスペンサーを用いて塗布した（図３（ｆ））。
【００６１】
ここまで処理した基板のうち５０枚の基板３００に対し実施例の方法にて処理し（図４（ａ）、（ｂ））、残りの５０枚に対しては比較例の方法にて処理し（図５（ａ）〜（ｇ））、実施例および比較例の製造方法で作製した太陽電池を各５０枚作製した。以下それぞれの製造方法について図を用いながら述べる。
【００６２】
［実施例］
図３（ｆ）まで処理した５０枚の基板３００に対し、ボロン含有ｐ型拡散ドーピング剤３０６をディスペンサーを用いて塗布した。また、ｐ型拡散ドーピング剤３０６は、幅を４００μｍ、間隔を１．５ｍｍとしたライン状のものを形成し、ｎ型拡散ドーピング剤３０５とは２００μｍの間隔を空けて形成した（図４（ａ））。
【００６３】
この状態にて熱拡散処理を行った（図４（ｂ））。熱拡散処理は９５０℃のアルゴン雰囲気の熱処理炉にて３０分間処理した。
【００６４】
［比較例］
比較例では、図３（ｆ）まで処理した基板５０枚を一旦、拡散熱処理しｎ型ドーピング領域３０７を形成した（図５（ａ））。熱拡散処理は９５０℃のアルゴン雰囲気の熱処理炉にて３０分間処理した。
【００６５】
次に拡散熱処理によって形成されたリンガラス層を１０％のフッ酸溶液に浸漬させ除去した（図５（ｂ））。
【００６６】
その後、もう一度熱酸化膜３０２の形成を行った。この処理は図３（ｃ）と同様の熱処理を実施し、基板の両面に７０ｎｍのシリコン酸化膜３０２を再度形成した（図５（ｃ））。
【００６７】
次に、再びリン含有のエッチングペースト３０３をディスペンサーを用いて塗布し（図５（ｄ））、開口部３０４を形成した（図５（ｅ））。なお、ここでは開口部３０４としては、幅を４００μｍ、間隔を１．５ｍｍとしたライン状のものを形成し、図５（ａ）で形成したｎ型ドーピング領域３０７とは２００μｍの間隔を空けて形成した。
【００６８】
その後、開口部３０４部にボロンを含有したｐ型拡散ドーピング剤３０６を同じくディスペンサーを用いて塗布し（図５（ｆ））、熱拡散処理した（図５（ｇ））。熱拡散処理は９５０℃のアルゴン雰囲気の熱処理炉にて３０分間行った。
【００６９】
このように実施例及び比較例の方法で処理された基板各５０枚を１０％のフッ酸溶液に浸漬させ、基板表面に残る酸化膜３０２、リンガラス層及びボロンガラス層の除去を行い、ｎ型ドーピング領域３０７とｐ型ドーピング領域３０８が同一面に形成され基板を用意した（図６（ａ））。
【００７０】
その後、全ての基板に対し、反射防止膜３０９及び保護膜３１０を形成した（図６（ｂ））まず、酸素雰囲気９００℃の熱処理炉にて４０分間熱処理し基板の両面に熱酸化膜を形成し、その後プラズマＣＶＤ装置を用いて基板両面に８０ｎｍ程度のＳｉＮｘ膜を堆積させることにより、反射防止膜３０９及び保護膜３１０を形成した。
【００７１】
続いて、ｎ型ドーピング領域３０７上にｎ型電極３１１を、ｐ型ドーピング領域３０８上にｐ型電極３１２を形成した（図６（ｃ））。銀粉末とガラスフリットが含まれた銀電極ペーストをスクリーン印刷し、熱処理によりＳｉＮｘ膜に銀粉末を貫通させ（ファイアースルー）、電極とシリコンを導通させることでｎ型電極３１１およびｐ型電極３１２を形成した。
【００７２】
以上のようにして作製された太陽電池を２５℃、１００ｍＷ／ｃｍ２、スペクトルＡＭ１．５グローバルの擬似太陽光照射時の電気特性測定結果（各５０枚の平均値））を表１に示す。
【００７３】
【表１】
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【００７４】
本願記載の太陽電池の製造方法を用いたことにより開放電圧が大幅に改善され変換効率の高い太陽電池が作製された。これは、比較例に比べ実施例では高温熱処理を行う回数が少なく、バルクライフタイムの低下が起こりづらかったためである。
【００７５】
また、熱処理時、ｎ型ドーピング領域以外を誘電膜で保護することにより、ｎ型ドーピング領域以外の領域にｎ型ドーピング領域が形成されることを防ぐことができ形状因子も増大させることができ、変換効率を更に増大させることができる。
【００７６】
以上で説明した太陽電池の製造方法を用いると、工程が大幅に省略できるだけでなく、太陽電池の変換効率も向上させることができる。
【００７７】
すなわち、製造工程が大幅に短縮できる。特に高温熱処理工程の回数を減らせるためバルクライフタイムの低下を防ぐことができ開放電圧が増大し変換効率を高くすることができる。
【００７８】
また、通常、一度の拡散熱処理でｎ型ドーピング領域とｐ型ドーピング領域を形成しようとすると、ドーパントのオートドープにより拡散パターンの形成が制御不能になり、太陽電池特性が著しく低下していたが、本願記載の太陽電池の製造方法では、ｎ型ドーピング領域を形成する領域以外を誘電膜で保護しているためｐ型、ｎ型それぞれのドーパントを選択的に基板中に拡散させることができる。これによって、形状因子の増大にも寄与し、変換効率を更に増大させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本願発明に係る太陽電池の製造方法は、工程数を削減して、効率的に製造することを可能とする。
【符号の説明】
【００８０】
１００、２００、３００・・・半導体基板
１０１、２０１、３０１・・・太陽電池用基板
１０２、２０２、３０２・・・誘電体膜
１０３、２０３、３０３・・・エッチングペースト
１０４、２０４、３０４・・・開口部
１０５、２０５、３０５・・・ｎ型拡散ドーピング剤
１０６、２０６、３０６・・・ｐ型拡散ドーピング剤
１０７、２０７、３０７・・・ｎ型ドーピング領域
１０８、２０８、２０８・・・ｐ型ドーピング領域
１０９、２０９、３０９・・・反射防止膜
１１０、２１０、３１０・・・保護膜
１１１、２１１、３１１・・・ｎ型電極
１１２、２１２、３１２・・・ｐ型電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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