(57)【要約】【課題】製造効率の高い配線基板の製造方法を提供すること。【解決手段】製品形成用領域Ｘおよび製品形成用領域Ｘを取り囲む捨て代領域Ｙを有する支持基板８表面に、製品形成用領域Ｘより大きく支持基板８より小さな第１の金属箔１０ａと、第１の金属箔１０ａより大きい第２の金属箔１０ｂとを、第１の金属箔１０ａの周囲に第２の金属箔１０ｂの外周部がはみ出すように分離可能に密着された分離可能金属箔１０を、第１の金属箔１０ａが製品形成用領域Ｘとその近傍とを覆うとともに第２の金属箔１０ｂの外周部が捨て代領域Ｙを覆うように、第１の金属箔１０ａを支持基板８側にして固着させた後、捨て代領域Ｙの一部にドリル加工によりＩＤマークＭを形成するとともに支持基板８上に絶縁層１と配線導体層２とを交互に複数積層してビルドアップ部１２を形成する工程を含む配線基板Ａの製造方法であって、第２の金属箔１０ｂの支持基板８側主面が粗化面である。【選択図】図２
2015144152.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央部に製品形成用領域および外周部に前記製品形成用領域を取り囲む枠状の捨て代領域を有する平板状の支持基板表面に、前記製品形成用領域よりも大きいとともに前記支持基板よりも小さな第１の金属箔と、該第１の金属箔よりも大きい第２の金属箔とを、前記第１の金属箔の周囲に前記第２の金属箔の外周部がはみ出すように互いに分離可能に密着されて成る分離可能金属箔を、前記第１の金属箔が前記製品形成用領域およびその近傍を覆うとともに前記第１の金属箔からはみ出した前記第２の金属箔の外周部が周囲の前記捨て代領域を覆うように、前記第１の金属箔を前記支持基板側にして固着させた後、前記支持基板における前記第２の金属箔が固着された前記捨て代領域の一部にドリル加工により貫通孔から成るＩＤマークを形成するとともに、前記分離可能金属箔上を含む前記支持基板上に絶縁層と配線導体層とを交互に複数積層固着して前記絶縁層と前記配線導体層とから成るビルドアップ部を形成する工程を含む配線基板の製造方法であって、前記第２の金属箔の前記支持基板側主面が、粗化面であることを特徴とする配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路素子などの半導体素子を搭載するために用いられる配線基板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯型のゲーム機や通信機器に代表される電子機器の高機能化、薄型化が進む中、それらに使用される配線基板として、コアレス基板と呼ばれる薄型で高密度な配線基板がある。
【０００３】
このようなコアレス基板と呼ばれる従来の配線基板の一例を、図５に示す。
従来の配線基板Ｂは、例えば４層の絶縁層２１が積層されるとともに各絶縁層２１の間、および最表層の絶縁層２１の上下面に配線導体層２２が形成されている。さらに最表層の絶縁層２１および配線導体層２２の表面にはソルダーレジスト層２３が形成されている。
【０００４】
それぞれの絶縁層２１には、ビアホール２４が複数形成されている。ビアホール２４の内部には、配線導体層２２と一体的に形成されたビア導体２５が被着されている。ビア導体２５は、各絶縁層２１に形成された配線導体層２２間の導通をとっている。最上層の配線導体層２２の一部は、半導体素子接続パッド２６を形成している。半導体素子接続パッド２６には、半導体集積回路素子等の半導体素子の電極が接続される。最下層に形成された配線導体層２２の一部は、回路基板接続パッド２７を形成している。回路基板接続パッド２７には、この配線基板Ｂが搭載される回路基板の電極が接続される。これらの半導体素子接続パッド２６および回路基板接続パッド２７は、ソルダーレジスト層２３に設けられた開口部２３ａ、２３ｂ内に露出している。
そして、半導体素子と回路基板との間で配線導体層２２を介して電気信号の伝送をすることで半導体素子が作動する。
【０００５】
次に、従来の配線基板Ｂの製造方法における工程毎の実施形態の一例を図６〜図８を基にして説明する。なお、図５と同一の個所には同一の符号を付して説明する。
【０００６】
まず、図６（ａ）に示すように、２枚のプリプレグ２８Ｐと、２枚の分離フィルム２９と、２枚の分離可能金属箔３０とを準備する。
プリプレグ２８Ｐの一方の主面は製品形成用主面Ｆとなり、他方の主面は分離用主面Ｇとなる。また、それぞれのプリプレグ２８Ｐは、中央部に製品形成用領域Ｘと、外周部に捨て代領域Ｙとを有している。
分離可能金属箔３０は、製品形成領域Ｘより大きな第１の金属箔３０ａと、第１の金属箔３０ａより大きな第２の金属箔３０ｂとが、第１の金属箔３０ａの周囲に第２の金属箔３０ｂの外周部がはみ出すように、間に接着層（不図示）を介して互いに分離可能に保持されたものである。なお、分離可能金属箔３０は、互いの対向面同士が平滑な面となっている。
【０００７】
次に、図６（ｂ）に示すように、２枚のプリプレグ２８Ｐの間に２枚の分離フィルム２９を重ねて挟持する。さらに、それぞれのプリプレグ２８Ｐの製品形成用主面Ｆ上の中央部に分離可能金属箔３０を、第１の金属箔３０ａが製品形成用領域Ｘおよびその近傍を覆うとともに、第１の金属箔３０ａからはみ出した第２の金属箔３０ｂの外周部の平滑面が周囲の捨て代領域Ｙを覆うようにして配置する。
【０００８】
次に、図６（ｂ）の状態に積層したものを上下から加圧しながら加熱する。このような加圧加熱により、図６（ｃ）に示すように、プリプレグ２８Ｐが硬化された２枚の支持基板２８が、間に２枚の分離フィルム２９を挟持して互いに接合されるとともに、それぞれの支持基板２８の製品形成用主面Ｆに分離可能金属箔３０が固着された配線基板形成用土台３１が形成される。このとき、第２の金属層３０ｂは、第１の金属箔３０ａからはみ出した外周部の平滑面が支持基板２８の捨て代領域Ｙ上に直接固着される。
【０００９】
次に、図６（ｄ）に示すように、第２の金属箔３０ｂの平滑な外周部が固着された捨て代領域ＹにＩＤマークＭを形成する。ＩＤマークＭは、ドリル加工により支持基板２８の捨て代領域Ｙに貫通孔を所定の配列に穿孔することで形成される。このＩＤマークＭは、配線基板の製造ロット番号等を貫通孔の所定の配列で表示して区別するためのものである。
【００１０】
次に、図７（ｅ）に示すように、配線基板形成用土台３１の両主面に露出する第２の金属箔３０ｂの上面に、絶縁層２１と配線導体層２２とを複数相互に積層するとともに、最表層の絶縁層２１および配線導体層２２の上にソルダーレジスト層２３を被着させることで配線基板用のビルドアップ部３２が形成される。配線導体層２２は、例えば周知のセミアディティブ法により形成される。
【００１１】
次に、図７（ｆ）に示すように、配線基板形成用土台３１およびビルドアップ部３２を製品形成用領域Ｘと捨て代領域Ｙとの境界上で切断することで、製品形成用領域Ｘの配線基板形成用土台３１およびビルドアップ部３２を切り出す。
【００１２】
次に、図７（ｇ）に示すように、切り出されたビルドアップ部３２が形成された配線基板形成用土台３１を分離フィルム２９の間から分離する。
【００１３】
次に、図８（ｈ）に示すように、ビルドアップ部３２を第１の金属箔３０ａから分離する。これにより、ビルドアップ部３２の片面に第２の金属箔３０ｂが固着した配線基板用の積層体３３が形成される。
【００１４】
最後に、図８（ｉ）に示すように、第２の金属箔３０ｂを全てエッチング除去した後、最下層の絶縁層２１および配線導体層２２の上に開口部２３ｂを有するソルダーレジスト層２３を形成することで図５に示すような従来の配線基板Ｂが形成される。
【００１５】
しかし、上述の方法においては、ＩＤマークＭを形成するためにドリル加工により貫通孔を穿孔する際に、第２の金属箔３０ｂの平滑な外周面と支持基板２８との密着力不足により、両者の間に剥がれが生じることがある。このような剥がれが生じると、例えば上述の配線導体層２２を形成するときに使用するめっき薬液が、剥がれた部分から第２の金属箔３０ｂの平滑な外周面と支持基板２８との間を滲入していき、さらには第１の金属箔３０ａと第２の金属箔３０ｂとの間に滲入していくことがある。このように、めっき薬液が滲入すると支持基板２８とビルドアップ部３２との密着力が低下して、製造途中のビルドアップ部３２が支持基板２８から剥がれてしまうことがある。このため、歩留まりが低下してしまい配線基板を効率よく製造することができないという問題を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特許第４２７３８９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、第２の金属箔と支持基板との密着力を向上させることで、ＩＤマーク形成時に両者の間に剥がれが生じることを抑制し、剥がれた部分から第１および第２の金属箔間に薬液が滲入していくことを防いでビルドアップ部と支持基板との密着力を維持する。これにより、ビルドアップ部が支持基板から剥がれることを防止して配線基板の製造歩留まりを向上させて、製造効率の高い配線基板の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明における配線基板の製造方法は、中央部に製品形成用領域および外周部に製品形成用領域を取り囲む枠状の捨て代領域を有する平板状の支持基板表面に、製品形成用領域よりも大きいとともに支持基板よりも小さな第１の金属箔と、第１の金属箔よりも大きい第２の金属箔とを、第１の金属箔の周囲に第２の金属箔の外周部がはみ出すように互いに分離可能に密着されて成る分離可能金属箔を、第１の金属箔が製品形成用領域およびその近傍を覆うとともに第１の金属箔からはみ出した第２の金属箔の外周部が周囲の捨て代領域を覆うように、第１の金属箔を支持基板側にして固着させた後、支持基板における第２の金属箔が固着された捨て代領域の一部にドリル加工により貫通孔から成るＩＤマークを形成するとともに、分離可能金属箔上を含む支持基板上に絶縁層と配線導体層とを交互に複数積層固着して絶縁層と配線導体層とから成るビルドアップ部を形成する工程を含む配線基板の製造方法であって、第２の金属箔の支持基板側主面が、粗化面であることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の配線基板の製造方法によれば、分離可能金属箔を、第１の金属箔が製品形成用領域およびその近傍を覆うとともに、第２の金属箔の外周部が周囲の捨て代領域を覆うようにして支持基板側に固着させる。このとき、第２の金属箔の支持基板側主面が粗化面であることから、第２の金属箔が支持基板の捨て代領域に強固に固着される。このため、第２の金属箔が固着された捨て代領域の一部にドリル加工により貫通孔から成るＩＤマークを形成するときに、第２の金属箔と支持基板との間に剥がれが生じることを抑制できる。
これにより、例えば配線導体層を形成するときに使用するめっき薬液が、剥がれた部分から第２の金属箔と支持基板との間に滲入していき、さらには第１の金属箔と第２の金属箔との間に滲入していくことを防止できる。その結果、支持基板とビルドアップ部との密着力を維持してビルドアップ部が支持基板から剥がれてしまうことのない製造効率の高い配線基板の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明の製造方法により製造される配線基板の一例を示す概略断面図である。
【図２】図２（ａ）〜（ｄ）は、本発明の配線基板の製造方法における工程毎の実施形態の一例を説明するための概略断面図である。
【図３】図３（ｅ）〜（ｇ）は、本発明の配線基板の製造方法における工程毎の実施形態の一例を説明するための概略断面図である。
【図４】図４（ｈ）、（ｉ）は、本発明の配線基板の製造方法における工程毎の実施形態の一例を説明するための概略断面図である。
【図５】図５は、従来の製造方法により製造される配線基板の一例を示す概略断面図である。
【図６】図６（ａ）〜（ｄ）は、従来の配線基板の製造方法における工程毎の実施形態の一例を説明するための概略断面図である。
【図７】図７（ｅ）〜（ｇ）は、従来の配線基板の製造方法における工程毎の実施形態の一例を説明するための概略断面図である。
【図８】図８（ｈ）、（ｉ）は、従来の配線基板の製造方法における工程毎の実施形態の一例を説明するための概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
まず、本発明の配線基板の製造方法により製造される配線基板の一例を、図１を基にして説明する。
【００２２】
図１に示すように、本発明の製造方法により製造される配線基板Ａは、例えば４層の絶縁層１が積層されるとともに各絶縁層１の間および最表層の絶縁層１の上下面に配線導体層２が形成されている。さらに最表層の絶縁層１および配線導体層２の表面にはソルダーレジスト層３が形成されている。
【００２３】
それぞれの絶縁層１には、ビアホール４が複数形成されている。ビアホール４の内部には、配線導体層２と一体的に形成されたビア導体５が被着されている。ビア導体５は、各絶縁層１に形成された配線導体層２間の導通をとっている。最上層の配線導体層２の一部は、半導体素子接続パッド６を形成している。半導体素子接続パッド６には、半導体集積回路素子等の半導体素子の電極が接続される。最下層に形成された配線導体層２の一部は、回路基板接続パッド７を形成している。回路基板接続パッド７には、この配線基板Ａが搭載される回路基板の電極が接続される。これらの半導体素子接続パッド６および回路基板接続パッド７は、ソルダーレジスト層３に設けられた開口部３ａ、３ｂ内に露出している。
そして、半導体素子と回路基板との間で配線導体層２を介して電気信号の伝送をすることで半導体素子が作動する。
【００２４】
次に、本発明の配線基板の製造方法における実施形態の一例を図２〜図４を基にして説明する。なお、図１と同一の個所は同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００２５】
まず、図２（ａ）に示すように、２枚のプリプレグ８Ｐと、２枚の分離フィルム９と、２枚の分離可能金属箔１０とを準備する。
【００２６】
プリプレグ８Ｐは、配線基板Ａを製造する際に、製造途中の配線基板Ａを必要な平坦度を維持して支持するための支持基板８を形成するためのものである。プリプレグ８Ｐの一方の主面は製品形成用主面Ｆとなり、他方の主面は分離用主面Ｇとなる。また、それぞれのプリプレグ８Ｐは、中央部に製品形成用領域Ｘと、外周部に捨て代領域Ｙとを有している。製品形成用領域Ｘは、四角形状の領域であり、この製品形成用領域Ｘ上に配線基板Ａが形成される。なお本例では、簡便のため、一つの配線基板Ａに対応する製品形成用領域Ｘのみを示しているが、実際には数十〜数千の配線基板Ａに対応する面積を有している。捨て代領域Ｙは、製品形成用領域Ｘを取り囲む四角枠状の領域である。
プリプレグ８Ｐは、厚みが０．１〜０．２ｍｍ程度であり、縦横の寸法が４００〜１０００ｍｍ程度の略四角形である。プリプレグ８Ｐには、例えばガラス繊維にエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させて半硬化状態とした板状のものが用いられる。
【００２７】
分離フィルム９は、２枚のプリプレグ８Ｐ間に介挿されてプリプレグ８Ｐを硬化させた２枚の支持基板８同士を容易に分離させるためのものである。分離フィルム９は、厚みが１〜３５μｍ程度であり、縦横の寸法が４００〜１０００ｍｍ程度である。分離フィルム９の縦横の寸法は、捨て代領域Ｙにはみ出す大きさで、プリプレグ８Ｐの寸法に比べて、縦横の寸法が１０〜２０ｍｍ程度小さいものであることが好ましい。
分離フィルム９は、例えば銅箔等の金属箔や、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等の耐熱フィルム等から成るのが好ましい。
【００２８】
分離可能金属箔１０は、第１の金属箔１０ａと、第１の金属箔１０ａより大きな第２の金属箔１０ｂとが、第１の金属箔１０ａの周囲に第２の金属箔１０ｂの外周部がはみ出すように、間に接着層（不図示）を介して互いに分離可能に保持されたものである。
第１の金属箔１０ａは、厚みが１〜７μｍ程度であり、製品形成用領域Ｘよりも大きく、かつ第２の金属箔１０ｂよりも小さな寸法をしている。第２の金属箔１０ｂは、厚みが１０〜３０μｍ程度であり、第１の金属箔１０ａよりも縦横がそれぞれ１０〜２０ｍｍ程度大きな寸法をしている。そして、第２の金属箔１０ｂの支持基板８側主面は、粗化面になっている。粗化面の粗度は、およそ十点平均粗さＲｚ＝０．５〜２．０μｍ程度であることが好ましい。Ｒｚが０．５μｍよりも小さいと第２の金属箔１０ｂと支持基板８との密着力が不十分となり、Ｒｚが２．０μｍよりも大きいと、第２の金属箔１０ｂと第１の金属箔１０ａとの分離が困難になる場合がある。
なお、このような分離可能金属箔１０は、まず第２の金属箔１０ｂを準備してその下面を、例えば過酸化水素水や塩化第二鉄溶液等でエッチングする。そして、エッチングされた下面の外周部をマスキングした後に、例えば接着層としてニッケル系の金属層を被着させる。さらに、接着層の表面にめっき法により第１の金属箔１０ａとなる金属層を析出させて、マスキングを除去してやることで形成される。
第１の金属箔１０ａおよび第２の金属箔１０ｂは、例えば銅等の良導電性金属から成るのが好ましい。
【００２９】
次に、図２（ｂ）に示すように、２枚のプリプレグ８Ｐの間に２枚の分離フィルム９を重ねて挟持する。さらに、それぞれのプリプレグ８Ｐの製品形成用主面Ｆ上の中央部に分離可能金属箔１０を、第１の金属箔１０ａが製品形成用領域Ｘおよびその近傍を覆うとともに、第１の金属箔１０ａからはみ出した第２の金属箔１０ｂの外周部の粗化面が周囲の捨て代領域Ｙを覆うようにして配置する。
【００３０】
次に、図２（ｂ）の状態に積層したものを上下から加圧しながら加熱する。このような加圧加熱により、図２（ｃ）に示すように、プリプレグ８Ｐが硬化された２枚の支持基板８が、間に２枚の分離フィルム９を挟持して互いに接合されるとともに、それぞれの支持基板８の製品形成用主面Ｆに分離可能金属箔１０が固着された配線基板形成用土台１１が形成される。このとき、プリプレグ８Ｐを構成する熱硬化性樹脂が粗化面に食い込んで硬化されるため、第２の金属箔１０ｂの外周部の粗化面が支持基板８の捨て代領域Ｙに強固に固着される。
なお、プリプレグ８Ｐの外周部には分離フィルム９で被覆されない領域が残されているので、この領域のプリプレグ８Ｐ同士が接合されることで２枚の支持基板８同士が固定される。また、製品形成用領域Ｘでは、分離フィルム９同士は、互いに接着せずに重なりあったままの状態である。
【００３１】
次に図２（ｄ）に示すように、第２の金属箔１０ｂが強固に固着された捨て代領域Ｙにドリル加工により貫通孔から成るＩＤマークＭを形成する。
このとき、ＩＤマークＭは、第２の金属箔１０ｂが強固に固着された捨て代領域Ｙに形成されるため、第２の金属箔１０ｂと支持基板８との間に剥がれが発生することを抑制できる。
貫通孔の直径は、およそ０、３〜０、４ｍｍ程度である。
【００３２】
次に、図３（ｅ）に示すように、配線基板形成用土台１１の両主面に露出する第２の金属箔１０ｂの上面に、絶縁層１と配線導体層２とを複数相互に積層するとともに、最表層の絶縁層１および配線導体層２の上にソルダーレジスト層３を被着させることで配線基板用のビルドアップ部１２が形成される。
【００３３】
絶縁層１は、例えばエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂から成る。絶縁層１の形成は、エポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂組成物の未硬化物に無機絶縁性フィラーを分散して形成されたフィルムを、配線基板形成用土台１１の両主面の第２の金属箔１０ｂ上や下層の絶縁層１上に、真空状態で被覆した状態で熱圧着することで行われる。また、絶縁層１には層間の導通をとるためのビア導体５が充填されるビアホール４が、例えばレーザー加工により複数形成されている。
【００３４】
配線導体層２は、第２の金属箔１０ｂおよび絶縁層１の表面およびビアホール４の内面に、無電解めっきおよび電解めっきから成る導体パターンを、例えば周知のセミアディティブ法により被着させることにより形成される。セミアディティブ法により用いられる無電解めっきおよび電解めっきには、例えば無電解銅めっきおよび電解銅めっき等の良導電性材料が好適に用いられる。
【００３５】
ソルダーレジスト層３は、例えばアクリル変性エポキシ樹脂にシリカ等の無機フィラーを分散させたペーストを、最表層の絶縁層１および配線導体層２の上にスクリーン印刷等で塗布した後、フォトリソグラフィー技術により所定のパターンに露光、現像したものを熱硬化することで形成される。ソルダーレジスト層３から露出する最表層の配線導体層２の一部は、半導体素子接続パッド６として機能する。
【００３６】
次に、図３（ｆ）に示すように、配線基板形成用土台１１およびビルドアップ部１２を製品形成用領域Ｘと捨て代領域Ｙとの境界上で切断することで、製品形成用領域Ｘの配線基板形成用土台１１およびビルドアップ部１２を切り出す。切断には、例えばダイシング装置を用いればよい。
【００３７】
次に、図３（ｇ）に示すように、切り出されたビルドアップ部１２が形成された配線基板形成用土台１１を分離フィルム９の間から分離する。この分離の際には、分離フィルム９同士が加圧加熱により密着しているだけなので、容易に分離することができる。
【００３８】
次に、図４（ｈ）に示すように、ビルドアップ部１２を第１の金属箔１０ａから分離する。これにより、ビルドアップ部１２の下面に第２の金属箔１０ｂが固着した配線基板Ａ用の積層体１３が形成される。この分離の際には、第１の金属箔１０ａ上に第２の金属箔１０ｂが接着層を介して分離可能に保持されているだけなので、第１の金属箔１０ａと第２の金属箔１０ｂとの間を引き剥がすだけで積層体１３を破損することなく、容易に分離することができる。
【００３９】
最後に、図４（ｉ）に示すように、第２の金属箔１０ｂを全てエッチング除去した後、最下層の絶縁層１および配線導体層２の上に開口部３ｂを有するソルダーレジスト層３を形成することで図１に示すような配線基板Ａが形成される。
【００４０】
ところで、本発明の配線基板の製造方法によれば、分離可能金属箔１０を、第１の金属箔１０ａが製品形成用領域Ｘおよびその近傍を覆うとともに、第２の金属箔１０ｂの外周部が周囲の捨て代領域Ｙを覆うようにして支持基板８に固着させる。このとき、第２の金属箔１０ｂの支持基板８側主面が粗化面であることから、第２の金属箔１０ｂが支持基板８の捨て代領域Ｙに強固に固着される。このため、第２の金属箔１０ｂが強固に固着された捨て代領域Ｙの一部にドリル加工により貫通孔から成るＩＤマークＭを形成するときに、第２の金属箔１０ｂと支持基板８との間に剥がれが生じることを抑制できる。
これにより、例えば配線導体層２を形成するときに使用するめっき薬液が、剥がれた部分から第２の金属箔１０ｂと支持基板８との間に滲入していき、さらには第１の金属箔１０ａと第２の金属箔１０ｂとの間に滲入していくことを防止できる。その結果、支持基板８とビルドアップ部１２との密着力を維持してビルドアップ部１２が支持基板８から剥がれてしまうことのない製造効率の高い配線基板の製造方法を提供することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１            絶縁層
２            配線導体層
８            支持基板
１０          分離可能金属箔
１０ａ        第１の金属箔
１０ｂ        第２の金属箔
１２          ビルドアップ部
Ａ            配線基板
Ｍ            ＩＤマーク
Ｘ            製品形成用領域
Ｙ            捨て代領域
【図１】
2015144152.tif 000003
【図２】
2015144152.tif 000004
【図３】
2015144152.tif 000005
【図４】
2015144152.tif 000006
【図５】
2015144152.tif 000007
【図６】
2015144152.tif 000008
【図７】
2015144152.tif 000009
【図８】
2015144152.tif 000010