(57)【要約】【課題】処理対象物に対して所定の処理を行う処理機構と干渉するおそれを低減できる位置決め装置、及び処理装置を提供する。【解決手段】板状のガラス板Ｇを所定の位置に位置決めする位置決め装置２は、ガラス板Ｇが載置される上面２２１を有する載置台２２と、上面２２１に載置されたガラス板Ｇの第１辺Ｇ１に当接可能な当接部材２４と、当接部材２４で第１辺Ｇ１を押圧することによりガラス板Ｇを位置決めする位置決め動作と、当接部材２４を第１辺Ｇ１から離間させ、且つ当接部材２４を上面２２１より下方に退避させる退避動作とを行うカム機構２６及びエアシリンダー２５とを備えた。【選択図】図１０
2015219007.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の処理対象物を所定の位置に位置決めする位置決め装置であって、
前記処理対象物が載置される上面を有する載置台と、
前記上面に載置された前記処理対象物の第１辺に当接可能な第１当接部材と、
前記第１当接部材で前記第１辺を押圧することにより前記処理対象物を位置決めする位置決め動作と、前記第１当接部材を前記第１辺から離間させ、且つ前記第１当接部材を前記上面より下方に退避させる退避動作とを行う駆動部とを備える位置決め装置。
【請求項２】
前記駆動部は、
前記位置決め動作において、前記第１当接部材を、前記第１辺へ近づけつつ上昇させ、前記第１当接部材の少なくとも一部を前記上面より上方に位置させた状態で前記少なくとも一部を前記第１辺に当接させ、
前記退避動作において、前記第１当接部材を、前記第１辺から離間させつつ下降させることにより前記第１当接部材を前記上面より下方に退避させる請求項１記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記駆動部は、
前記位置決め動作において、前記第１当接部材を、前記第１辺へ近づけつつ上昇させ、前記第１当接部材の少なくとも一部を前記上面より上方に位置させた状態で、前記第１当接部材を略水平に前記第１辺に向けて移動させて前記少なくとも一部を前記第１辺に当接させ、
前記退避動作において、前記第１当接部材を、前記第１辺から略水平に離間させた後、さらに離間させつつ下降させることにより前記第１当接部材を前記上面より下方に退避させる請求項２記載の位置決め装置。
【請求項４】
前記第１当接部材は、上下方向に沿って延び、前記第１辺に当接される当接面を有し、
前記位置決め動作において、前記第１当接部材が上昇し終えたとき、前記上面の高さが前記当接面の上端と下端との間に位置する請求項２又は３記載の位置決め装置。
【請求項５】
前記第１当接部材は、上下方向に沿って昇降可能にされており、
前記駆動部は、
前記第１当接部材を、前記第１辺に対して接近又は離間させる方向に沿って移動させる移動部と、
前記第１当接部材の前記接近させる接近方向への移動に応じて前記第１当接部材を上昇させ、前記離間させる離間方向への前記第１当接部材の移動に応じて前記第１当接部材を下降させるカム機構とを含む請求項２〜４のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項６】
前記処理対象物の、前記第１辺と交差する方向に延びる第２辺に当接可能な第２当接部材をさらに備え、
前記駆動部は、
前記位置決め動作において、さらに前記第２当接部材で前記第２辺を押圧することにより前記処理対象物を位置決めし、
前記退避動作において、さらに前記第２当接部材を前記第２辺から離間させ、且つ前記第２当接部材を前記上面より下方に退避させる請求項１〜５のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の位置決め装置と、
前記載置台に載置された前記処理対象物に対して所定の処理を行う処理機構とを備える処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の処理対象物を所定の位置に位置決めする位置決め装置、及びその位置決め装置により位置決めされた処理対象物に対して所定の処理を行う処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、板状の被検査体をパネル受け面に載置し、この状態で被検査体の端部を押圧部材により押圧することによって、被検査体の位置決めを行う試験装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の試験装置によれば、被検査体をパネル受け面の所定位置に位置決めした状態で、被検査体の上面を試験することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−８５５７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の技術では、被検査体の端部を押圧する押圧部材が被検査体の上面より上に突出する。そのため、被検査体の上面を試験するためのプローブユニットが、押圧部材と干渉するおそれがあった。
【０００５】
本発明の目的は、載置台に載置された板状の処理対象物を載置台上の所定位置に位置決めする位置決め装置であって、処理対象物に対して所定の処理を行う処理機構と干渉するおそれを低減できる位置決め装置、及びその位置決め装置により位置決めされた処理対象物に対して所定の処理を行う処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る位置決め装置は、板状の処理対象物を所定の位置に位置決めする位置決め装置であって、前記処理対象物が載置される上面を有する載置台と、前記上面に載置された前記処理対象物の第１辺に当接可能な第１当接部材と、前記第１当接部材で前記第１辺を押圧することにより前記処理対象物を位置決めする位置決め動作と、前記第１当接部材を前記第１辺から離間させ、且つ前記第１当接部材を前記上面より下方に退避させる退避動作とを行う駆動部とを備える。
【０００７】
この構成によれば、板状の処理対象物の第１辺が第１当接部材で押圧されて、載置台で位置決めされる。さらに、処理対象物の第１辺から第１当接部材が離間され、且つ第１当接部材が載置台の上面より下方に退避される。その結果、処理対象物を位置決めするために処理対象物の第１辺に当接された第１当接部材が下方に退避され、処理対象物の上方に第１当接部材が突出しないので、載置台上に載置された処理対象物に対して所定の処理を行う処理機構と干渉するおそれを低減できる。
【０００８】
また、前記駆動部は、前記位置決め動作において、前記第１当接部材を、前記第１辺へ近づけつつ上昇させ、前記第１当接部材の少なくとも一部を前記上面より上方に位置させた状態で前記少なくとも一部を前記第１辺に当接させ、前記退避動作において、前記第１当接部材を、前記第１辺から離間させつつ下降させることにより前記第１当接部材を前記上面より下方に退避させることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、処理対象物を位置決めする際に、処理対象物が載置されている高さまで第１当接部材を上昇させる動作と、第１当接部材を処理対象物の第１辺へ当接させるべく近づける動作とが並行して行われるので、処理対象物の位置決めにかかる時間を短縮できる。また、第１当接部材の干渉を避けるべく、第１当接部材を処理対象物より下方に下降させる動作と第１当接部材を処理対象物から離間させる動作とが並行して行われるので、第１当接部材の退避にかかる時間を短縮できる。
【００１０】
また、前記駆動部は、前記位置決め動作において、前記第１当接部材を、前記第１辺へ近づけつつ上昇させ、前記第１当接部材の少なくとも一部を前記上面より上方に位置させた状態で、前記第１当接部材を略水平に前記第１辺に向けて移動させて前記少なくとも一部を前記第１辺に当接させ、前記退避動作において、前記第１当接部材を、前記第１辺から略水平に離間させた後、さらに離間させつつ下降させることにより前記第１当接部材を前記上面より下方に退避させることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、位置決め動作において、第１当接部材は、略水平に移動しつつ第１辺に当接して押圧するので、処理対象物に対して上下方向のストレスを与えることなく処理対象物を略水平に押圧して位置決めすることができる。また、退避動作において、第１当接部材は、第１辺から略水平に離間された後、さらに離間されつつ下降されるので、第１当接部材が第１辺から略水平方向に離間した後に下降する結果、処理対象物に対して上下方向のストレスを与えることなく第１当接部材を退避させることができる。
【００１２】
また、前記第１当接部材は、上下方向に沿って延び、前記第１辺に当接される当接面を有し、前記位置決め動作において、前記第１当接部材が上昇し終えたとき、前記上面の高さが前記当接面の上端と下端との間に位置することが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、位置決め動作において、第１当接部材が上昇し終えたとき、上面の高さが当接面の上端と下端との間に位置するので、処理対象物を位置決めするべく第１当接部材で第１辺を押圧すると、当接面の下側の一部が載置台と干渉して第１当接部材が停止する結果、処理対象物の第１辺を、載置台の端部と揃えて一致させるように位置決めすることができる。
【００１４】
また、前記第１当接部材は、上下方向に沿って昇降可能にされており、前記駆動部は、前記第１当接部材を、前記第１辺に対して接近又は離間させる方向に沿って移動させる移動部と、前記第１当接部材の前記接近させる接近方向への移動に応じて前記第１当接部材を上昇させ、前記離間させる離間方向への前記第１当接部材の移動に応じて前記第１当接部材を下降させるカム機構とを含むことが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、移動部が第１当接部材を、第１辺に対して接近又は離間させる方向に沿って移動させる。このとき、その移動に応じて、カム機構によって、第１当接部材が上昇又は下降されるので、駆動部は、第１当接部材を昇降させるためのアクチュエータを備える必要がない。これにより、駆動部の構成を簡素化することができる。
【００１６】
また、前記処理対象物の、前記第１辺と交差する方向に延びる第２辺に当接可能な第２当接部材をさらに備え、前記駆動部は、前記位置決め動作において、さらに前記第２当接部材で前記第２辺を押圧することにより前記処理対象物を位置決めし、前記退避動作において、さらに前記第２当接部材を前記第２辺から離間させ、且つ前記第２当接部材を前記上面より下方に退避させることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、第１当接部材による位置決めに加えて、第２当接部材によって、第１当接部材による位置決め方向と交差する方向での位置決めが行われるので、二次元平面である載置台の上面の上で、所定の位置に処理対象物を精度よく位置決めすることが可能となる。
【００１８】
また、本発明にかかる処理装置は、上述の位置決め装置と、前記載置台に載置された前記処理対象物に対して所定の処理を行う処理機構とを備える。
【００１９】
この構成によれば、処理対象物を載置台上で位置決めするための当接部材と、その載置台に載置された処理対象物に対して所定の処理を行う処理機構とが干渉するおそれが低減される。
【発明の効果】
【００２０】
このような構成の位置決め装置及び処理装置は、処理対象物に対して所定の処理を行う処理機構と位置決め装置とが干渉するおそれを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係る板状部材検査装置の構成を概略的に示す正面図である。
【図２】図１に示すフレーム及び載置台を斜め上方から見た斜視図である。
【図３】図２に示す載置台の上面にガラス板が載置された状態を示す斜視図である。
【図４】押圧機構近傍の拡大図である。
【図５】図４に示す押圧機構の拡大斜視図である。
【図６】図５に示す押圧機構の側面図である。
【図７】図５に示す押圧機構の側面図である。
【図８】図５に示す押圧機構の側面図である。
【図９】エアシリンダーによる位置決め動作を説明するための説明図である。
【図１０】検査治具をガラス板に接触させた状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。図１は、本発明の一実施形態に係る板状部材検査装置１（処理装置）の構成を概略的に示す正面図である。図１に示す板状部材検査装置１は、検査対象のガラス板Ｇ（処理対象物）を検査するための検査装置である。
【００２３】
ガラス板Ｇの表面には、例えば透明電極が形成されている。なお、処理対象物は、ガラス板に限らない。処理対象物は、例えば、プリント配線基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板であってもよい。
【００２４】
板状部材検査装置１は、大略的に、位置決め装置２と、検査機構３（検査部）とを備えている。位置決め装置２は、テーブル状のフレーム２１と、フレーム２１の上に取り付けられた載置台２２及び押圧機構２３とを備えている。載置台２２は、平坦な上面２２１を備える。載置台２２は、上面２２１が略水平となるように、フレーム２１の上部に取り付けられている。
【００２５】
検査機構３は、図略の支柱等により、位置決め装置２の上方に支持されている。検査機構３は、上面２２１（ガラス板Ｇ）と対向配置される検査治具３１（処理機構）と、検査治具３１が取り付けられた取付フレーム３２と、昇降機構３３と、昇降機構３３と取付フレーム３２とを連結する連結棒３４とを備えている。
【００２６】
検査治具３１は、例えばガラス板Ｇの全面を覆うように面状に拡がる略板状の形状を有している。検査治具３１には、例えばガラス板Ｇと対向する面から突出するように、ガラス板Ｇの透明電極と接触するための針状のプローブが複数取り付けられている。これにより、検査治具３１は、載置台に載置されたガラス板Ｇに対してプローブを接触させる処理を行う。
【００２７】
昇降機構３３は、連結棒３４を介して取付フレーム３２及び検査治具３１を昇降させる。これにより、昇降機構３３は、検査治具３１を下降させてプローブをガラス板Ｇの透明電極と接触させたり、検査治具３１を上昇させて載置台２２上のガラス板Ｇを交換可能にしたりする。
【００２８】
フレーム２１内には、制御部４が収容されている。制御部４は、例えば所定の演算処理を行うＣＰＵ（Central Processing Unit）、データを一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）、所定の制御プログラム等を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）やＨＤＤ（Hard Disk Drive）等の記憶部、及びこれらの周辺回路等を備えて構成されている。
【００２９】
制御部４は、板状部材検査装置１の各部の動作を制御する。また、制御部４は、所定の制御プログラムを実行することにより、検査処理部４１として機能する。検査処理部４１は、例えばプローブがガラス板Ｇの透明電極と接触した状態で、プローブから得られた信号に基づき、ガラス板Ｇの検査を実行する。
【００３０】
図２は、図１に示すフレーム２１及び載置台２２を斜め上方から見た斜視図である。載置台２２は、高さ（厚さ）方向に扁平の略直方体形状とされている。載置台２２の上面２２１の形状及び大きさは、ガラス板Ｇと略同一の矩形形状とされている。載置台２２の上面２２１には、例えば複数の空気孔２２２が形成されている。フレーム２１内には、図略の送風装置が配設され、送風装置から送られた空気が各空気孔２２２から吹き出すようにされている。これにより、上面２２１に載置されたガラス板Ｇが、上面２２１の上で低抵抗でスライド移動可能にされている。
【００３１】
載置台２２の周囲には、載置台２２の側面２２３と対向するように、押圧機構２３が配設されている。具体的には、載置台２２の周囲を囲む４つの側面２２３（辺）に対し、各側面２２３に二つずつ、合計８個の押圧機構２３が対向配置されている。
【００３２】
図３は、図２に示す載置台２２の上面２２１にガラス板Ｇが載置された状態を示す斜視図である。ガラス板Ｇは、例えば矩形形状を有し、第１辺Ｇ１（第１側面Ｇ１ａ）と、第１辺Ｇ１（第１側面Ｇ１ａ）と略直交する第２辺Ｇ２（第２側面Ｇ２ａ）と、第１辺Ｇ１と対向し、第２辺Ｇ２と略直交する第３辺Ｇ３（第３側面Ｇ３ａ）と、第２辺Ｇ２と対向し、第１辺Ｇ１及び第３辺Ｇ３と略直交する第４辺Ｇ４（第４側面Ｇ４ａ）とを有している。
【００３３】
図４は、押圧機構２３近傍の拡大図である。図５は、図４に示す押圧機構２３の拡大斜視図である。図６、図７、図８は、図５に示す押圧機構２３の側面図である。フレーム２１の上面には、凹陥部２１１が形成されている。押圧機構２３は、凹陥部２１１の底部に固着されている。押圧機構２３は、大略的に、当接部材２４と、エアシリンダー２５（移動部）と、カム機構２６とを備えている。エアシリンダー２５とカム機構２６とで駆動部の一例が構成されている。
【００３４】
エアシリンダー２５は、シリンダー本体２５１と、シリンダー本体２５１に対して平行移動可能に取り付けられたスライドガイド２５２と、スライドガイド２５２の先端部に取り付けられたスライドヘッド２５３と、スライドヘッド２５３に取り付けられたホルダー２５４と、一端に当接部材２４が取り付けられ、ホルダー２５４に昇降可能に取り付けられた軸２５５とを備えている。
【００３５】
図６はエアシリンダー２５が縮んだ状態、図７はエアシリンダー２５が伸長する過程、図８はエアシリンダー２５が伸長した状態を示している。
【００３６】
シリンダー本体２５１は、ピストンロッド２５６と、エアチューブ２５７とを備える。そして、エアチューブ２５７を介してシリンダー本体２５１へ供給されたエアによって、図略のピストンが駆動され、ピストンと連結されたピストンロッド２５６が伸縮する。ピストンロッド２５６が伸びると、スライドヘッド２５３がスライドガイド２５２によってガイドされつつ前方（図中左方向）へ平行移動する。スライドヘッド２５３が平行移動すると、スライドヘッド２５３と連動してホルダー２５４、軸２５５、及び当接部材２４が前方へ平行移動する。
【００３７】
前方（図中左方向）は、当接部材２４が、ガラス板Ｇ（第１辺Ｇ１、第２辺Ｇ２、第３辺Ｇ３、第４辺Ｇ４）と接近する接近方向である。後方（図中右方向）は、当接部材２４が、ガラス板Ｇ（第１辺Ｇ１、第２辺Ｇ２、第３辺Ｇ３、第４辺Ｇ４）から離間する離間方向である。
【００３８】
当接部材２４は、ローラ形状とされており、軸２５５の一端に、軸２５５回りに回動可能に取り付けられている。軸２５５の他端は、球面形状の摺動部２６２とされている。図６に示すエアシリンダー２５が縮んだ状態、すなわちピストンロッド２５６がシリンダー本体２５１内に収容された状態において、摺動部２６２の前方には、前方に向かって上昇するように傾斜した傾斜面２６１が設けられている。
【００３９】
傾斜面２６１と摺動部２６２とは、カム機構２６を形成している。傾斜面２６１の上端部には、略水平に前方に向かって延びる平坦面２６３が連設されている。これにより、ピストンロッド２５６が伸びると、摺動部２６２が傾斜面２６１と摺動しつつ（図７参照）、傾斜面２６１の傾斜に沿って、図略のコイルばねの付勢力に抗して当接部材２４が上昇する。そして、摺動部２６２の下端が傾斜面２６１の上端に到達すると、以降、摺動部２６２は平坦面２６３と摺動し、当接部材２４は接近方向に略水平移動する（図８参照）。
【００４０】
図９は、エアシリンダー２５による位置決め動作を説明するための説明図である。まず、制御部４は、図略の送風装置により空気孔２２２から空気を吹き出させる。これにより、上面２２１とガラス板Ｇとの摩擦抵抗が低減される。
【００４１】
次に、制御部４は、図６〜図８に示すようにエアシリンダー２５を伸長させる。そうすると、当接部材２４がカム機構２６により上昇しつつ接近方向へ移動し、ガラス板Ｇの各辺に当接する。例えば、第１辺Ｇ１（第１側面Ｇ１ａ）と対向配置された二つの押圧機構２３の当接部材２４（第１当接部材）は第１辺Ｇ１（第１側面Ｇ１ａ）と当接し、第２辺Ｇ２（第２側面Ｇ２ａ）と対向配置された二つの押圧機構２３の当接部材２４（第２当接部材）は第２辺Ｇ２（第２側面Ｇ２ａ）と当接し、第３辺Ｇ３（第３側面Ｇ３ａ）と対向配置された二つの押圧機構２３の当接部材２４（第３当接部材）は第３辺Ｇ３（第３側面Ｇ３ａ）と当接し、第４辺Ｇ４（第４側面Ｇ４ａ）と対向配置された二つの押圧機構２３の当接部材２４（第４当接部材）は第４辺Ｇ４（第４側面Ｇ４ａ）と当接する。
【００４２】
押圧機構２３の当接部材２４は、その外周面が、ガラス板Ｇの各辺を押圧する当接面とされている。当接部材２４は、カム機構２６により上昇し終わったとき、すなわち上昇の最高点に位置するとき（図８、図９参照）、当接部材２４における当接面の上下方向の中間位置に、載置台２２の上面２２１が位置する高さにされる。この高さで当接部材２４が平坦面２６３に案内されて略水平に接近方向に駆動される結果、ガラス板Ｇの上面２２１からはみ出した部分が上面２２１上へ押し込まれる。また、当接部材２４は、略水平に移動しつつガラス板Ｇを押圧するので、ガラス板Ｇに対して上下方向のストレスをかけることなく、ガラス板Ｇを略水平に押し込むことができる。
【００４３】
さらに当接部材２４が移動すると、当接部材２４が載置台２２の側面２２３に当接して停止する。このように、各当接部材２４がそれぞれ載置台２２の側面２２３に当接して停止することで、ガラス板Ｇが上面２２１の上に正確に位置決めされる。
【００４４】
次に、制御部４は、送風装置による送風を停止させる。これにより、ガラス板Ｇは、位置決めされた位置に保持される。
【００４５】
次に、制御部４は、各エアシリンダー２５を縮ませて、各当接部材２４を離間方向に移動させ、且つ各当接部材２４を上面２２１より下方に退避させる退避動作とを行う。各エアシリンダー２５を縮ませると、各当接部材２４は、略水平に延設された平坦面２６３に案内されて略水平に離間方向に移動する（図８参照）。その後、図７、図６に示すように、摺動部２６２が傾斜面２６１と摺動しつつ傾斜面２６１の傾斜に沿ってコイルばねの付勢力により下降する。下降後の当接部材２４の上端は、上面２２１より下方に位置するようにされている。このとき、当接部材２４の上端は、上面２２１よりも、例えば０．５ｍｍ以上、下に位置するようにされている。なお、コイルばねを備えず、当接部材２４と軸２５５の自重により当接部材２４が下降する構成としてもよい。
【００４６】
また、当接部材２４が、平坦面２６３に案内されてガラス板Ｇから略水平方向に離間した後に下降する結果、ガラス板Ｇに対して上下方向のストレスを与えることなく当接部材２４を退避させることができる。
【００４７】
次に、制御部４は、昇降機構３３によって検査治具３１を下降させ、検査治具３１のプローブをガラス板Ｇの透明電極等の検査位置に接触させる。図１０は、検査治具３１をガラス板Ｇに接触させた状態を示す説明図である。図１０に示すように、当接部材２４の上端は、上面２２１より下方にされているので、検査治具３１と当接部材２４とが干渉することがない。
【００４８】
検査治具３１と当接部材２４との干渉を回避するためには、当接部材２４を、水平方向に検査治具３１の外側となる位置まで移動させて退避させることも考えられるが、水平方向の移動により干渉を避けるためには、当接部材２４の移動方向が長くなり、駆動機構が大型化すると共に、位置決め、退避動作の際の移動に時間がかかる。
【００４９】
これに対し、位置決め装置２によれば、エアシリンダー２５とカム機構２６とを組み合わせることにより、簡素な構成で検査治具３１と当接部材２４との干渉を回避でき、且つ、当接部材２４の移動距離が短いので、位置決め、退避動作にかかる時間を短縮できる。また、カム機構２６によりエアシリンダー２５で得られた水平方向の移動が当接部材２４の昇降動作に変換されるので、駆動部の構成を簡素化できる。また、カム機構２６により当接部材２４の上下方向の昇降と水平方向の移動とが並行して実行可能となるので、位置決め時間を短縮可能となる。
【００５０】
次に、検査処理部４１は、図略の各プローブを介して、ガラス板Ｇに形成された図略の透明電極等の抵抗測定、導通検査、短絡検査等の検査を実行する。
【００５１】
なお、第１辺Ｇ１、第２辺Ｇ２、第３辺Ｇ３、及び第４辺Ｇ４に対してそれぞれ対向する位置に押圧機構２３を配設する例を示したが、例えば第３辺Ｇ３及び第４辺Ｇ４と対向する位置には押圧機構２３を設けず、代わりに固定的に設けられた突起を設ける構成としてもよい。この場合、第１辺Ｇ１及び第２辺Ｇ２と対向する位置の押圧機構２３によりガラス板Ｇを押圧して上記突起に押し当てることにより、位置決めするようにしてもよい。
【００５２】
また、例えば第２辺Ｇ２及び第４辺Ｇ４と対向する位置には押圧機構２３を設けず、第１辺Ｇ１及び第３辺Ｇ３と対向する位置の押圧機構２３によりガラス板Ｇを押圧して位置決めする構成としてもよい。一方向に対する位置決めのみでよい場合、このような構成でも一方向に対してガラス板Ｇを位置決めできる。さらに、例えば第２辺Ｇ２、第３辺Ｇ３、及び第４辺Ｇ４と対向する位置には押圧機構２３を設けず、第３辺Ｇ３に対応する位置に突起を設け、第１辺Ｇ１と対向する位置の押圧機構２３によりガラス板Ｇを押圧してその突起に位置決めする構成としてもよい。
【００５３】
また、処理機構として検査治具３１を備えた板状部材検査装置１の例を示したが、処理機構は検査治具３１に限らない。例えば処理機構は、処理対象物に加工を施すドリルやカッターなどの工具であってもよく、処理装置は加工装置であってもよい。また、検査機構３を備えず、位置決め装置２単体として構成されていてもよい。
【００５４】
また、移動部の一例としてエアシリンダーを示したが、移動部はエアシリンダーに限らない。例えばソレノイドや、モータとギヤ等を用いた駆動機構を移動部として用いてもよい。また、駆動部は、移動部とカム機構とによって構成される例に限らない。例えば、カム機構の代わりに当接部材２４を上下方向に昇降させるアクチュエータを用いてもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１    板状部材検査装置
２    位置決め装置
３    検査機構
４    制御部
２１  フレーム
２２  載置台
２３  押圧機構
２４  当接部材
２５  エアシリンダー（移動部、駆動部）
２６  カム機構（駆動部）
３１  検査治具（処理機構）
３２  取付フレーム
３３  昇降機構
３４  連結棒
４１  検査処理部
２１１      凹陥部
２２１      上面
２２２      空気孔
２２３      側面
２５１      シリンダー本体
２５２      スライドガイド
２５３      スライドヘッド
２５４      ホルダー
２５５      軸
２５６      ピストンロッド
２５７      エアチューブ
２６１      傾斜面
２６２      摺動部
２６３      平坦面
Ｇ    ガラス板（処理対象物）
Ｇ１  第１辺
Ｇ２  第２辺
Ｇ３  第３辺
Ｇ４  第４辺
Ｇ１ａ      第１側面
Ｇ２ａ      第２側面
Ｇ３ａ      第３側面
Ｇ４ａ      第４側面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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