(57)【要約】【課題】ワークの固定が不完全となり、ワークが微動することで発生してしまう、切断面の段差、チッピング、ウェーハの反りの増大、切断面の加工歪みの増大等の品質への悪影響を抑制し、特に切り残し部の長さが１００ｍｍ以下のワークであっても安定的に固定し切断することで、歩留まりの低下を避けることができる切断治具及びワークの切断方法を提供する。【解決手段】円柱状のワークの平坦な端面を保持することで前記ワークを固定しながら切断する際に用いられる切断治具であって、前記ワークの端面を吸着し保持するための通気孔を有する擬似胴体部と、前記通気孔内を減圧するための減圧手段を具備し、前記通気孔内を前記減圧手段により減圧して前記擬似胴体部に前記ワークの端面を吸着し保持し、前記擬似胴体部を胴体部固定具で固定することで前記ワークを固定するものであることを特徴とする切断治具。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円柱状のワークの平坦な端面を保持することで前記ワークを固定しながら切断する際に用いられる切断治具であって、
前記ワークの端面を吸着し保持するための通気孔を有する擬似胴体部と、前記通気孔内を減圧するための減圧手段を具備し、前記通気孔内を前記減圧手段により減圧して前記擬似胴体部に前記ワークの端面を吸着し保持し、前記擬似胴体部を固定することで前記ワークを固定するものであることを特徴とする切断治具。
【請求項２】
前記擬似胴体部は前記通気孔に接続された吸着カップを介して前記ワークの端面を吸着し保持するものであり、前記吸着カップを前記ワークの端面に接触させた状態で、前記通気孔内を前記減圧手段により減圧することによって前記吸着カップ内を減圧して前記ワークの端面を吸着し、前記擬似胴体部に前記ワークの端面を吸着し保持するものであることを特徴とする請求項１に記載の切断治具。
【請求項３】
前記減圧手段として真空発生器を具備するものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の切断治具。
【請求項４】
前記固定するワークは、切り残し部の長さが１００ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の切断治具。
【請求項５】
円柱状のワークの平坦な端面を保持することで前記ワークを固定しながら切断するワークの切断方法であって、
通気孔を有する擬似胴体部と、前記通気孔内を減圧する減圧手段を具備する切断治具を用い、前記疑似胴体部を前記ワークに接触させ、前記減圧手段により前記通気孔内を減圧して前記ワークの端面を吸着し保持し、前記擬似胴体部を固定することで前記ワークを固定しながら前記ワークを切断することを特徴とするワークの切断方法。
【請求項６】
前記ワークの端面に吸着する前記疑似胴体部の吸着面に吸着カップを設置し、該吸着カップの開口部を前記ワーク端面に接触させた状態で、前記通気孔内を前記減圧手段により減圧することによって前記吸着カップ内を減圧にして前記ワークの端面を吸着し、前記擬似胴体部に前記ワークの端面を吸着し保持することを特徴とする請求項５に記載のワークの切断方法。
【請求項７】
前記減圧手段として真空発生器を使用することを特徴とする請求項５又は請求項６に記載のワークの切断方法。
【請求項８】
前記切断するワークを、切り残し部の長さが１００ｍｍ以下のワークとすることを特徴とする請求項５から請求項７のいずれか１項に記載のワークの切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に半導体素子の素材となる、例えばシリコン単結晶インゴットなどのワークをブロック状に切断する内周刃スライサー、外周刃切断機、バンドソー等で使用するワークの端面を保持する切断治具、及びその切断治具を使用したワークの切断方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＣＺ法（チョクラルスキー法）等によって製造されたシリコン単結晶等のインゴットは円柱状の胴体部にコーン状の端部（トップ部およびテール部）を有している。このようなインゴットの加工においては、これらのコーン状の端部を切り離し円柱状の胴体部のみとし、その胴体部を必要に応じて複数のブロックに切断する。次いでそのブロックをウェーハとするためのスライスを行う。
【０００３】
このようなコーン状の端部の切断加工や胴体部を複数のブロックに切断加工する場合には、内周刃スライサー、外周刃切断機などが多く用いられてきた。さらに、近年のウェーハの大直径化に伴ってバンドソーも多く使用されるようになってきた。
【０００４】
図４は、円柱状のワークＷをブロック状又はウェーハ状に切断する切断装置を示している。この切断装置において、ワークＷは、第１台座１０３及び第２台座１０４上に載置されており、胴体固定具１０６でワークＷの切り残し部１０１が保持されている。また、切断されるワークＷの切り出し部１０２は、吸着保持具１０７で保持されている。
【０００５】
ワークＷの切断時にブレード１０５との切断摩擦などによりワークＷが微動すると、切断面の段差、チッピング（カケ）、反りの増大、切断面の加工歪みの増大など品質に悪影響を与える。そのため、油圧装置などによって作動する胴体固定具１０６で直接ワークＷを保持して第１台座１０３に固定する。また、切断されるワークＷの切り出し部１０２は、吸着保持具１０７で保持される。以上のように、ワークＷを固定し、変位測定器１０８でブレード１０５の変位を測定しながらワークＷの切断を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２２４０９０号公報
【特許文献２】特開２００９−２７９７２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記の切断装置において、図５に示すように、ワークＷから切り出されるワークの長さ（図５に示す切り出し部の長さａ２）は、シリコン単結晶の品質などによって決定される。ワークの切り出し部の長さａ２が規定の長さとなるようにワークＷを第１台座１０３及び第２台座１０４に配置した場合、切り残しされるワークの長さ（図５に示す切り残し部の長さａ１）は必然的に決定される。
【０００８】
このワークの切り残し部の長さａ１がブレード１０５から胴体固定具１０６の中心までの距離ｂ１以下となった場合、ワークＷの第１台座１０３への固定が不完全となる。さらには、切り残し部の長さａ１が切断部から胴体固定具１０６までの距離ｂ２以下となった場合、ワークＷの第１台座１０３への固定は完全にできなくなる。このように、特に切断対象の切り残しされるワークＷが短い場合には、ワークＷの固定が不完全になり、ブレード１０５との切断摩擦などによってインゴットが微動することで、切断面の段差、チッピング（カケ）、反りの増大、切断面の加工歪みの増大等が発生し、品質に悪影響を与えてしまう。
【０００９】
また、図６に示すように、インゴットを複数のブロックに分割切断したブロック２０１ａ、２０１ｂ、２０１ｃは、多種の製品に細分化されることもある。例えば、ブロック２０１ｂを切断装置にてさらに切断し、ブロック２０１ｂ１、２０１ｂ２を切り出すこともある。特に、このように再度ブロックを切断する場合に、上述したワークの切り残し部の長さａ１がブレード１０５から胴体固定具１０６の中心までの距離ｂ１以下又はブレード１０５から胴体固定具１０６までの距離ｂ２以下となる場合が多く、ワークＷの固定が不完全になるため、より短いブロックに切断して製品とすることができず、歩留まりを低下させるという問題があった。特に、切り残し部の長さが１００ｍｍ以下となるワークＷは切断装置の構成上、固定することが困難であり、切断後の品質が悪化するため、実質的に切断することができなかった。
【００１０】
この点、特許文献１には、インゴットの片端、或いは両端のコーン状の端部（トップ部、及びテール部）を限定して固定するインゴットの切断方法が記載されている。この切断方法は、コーン状の端部の切断終了直前の未切断部が欠け落ちることにより発生する切断面のワレ、カケを防止することが目的であり、この方法ではコーン状の端部を切断した後のワークＷを完全に固定することは困難であった。
【００１１】
また、特許文献２には、インゴットの端部がないインゴットを安定的に円筒研削出来るようにコーン状の疑似端部をインゴット平坦面に固定する固定アダプタが記載されている。これは、円筒研削工程における使用に限定される固定アダプタであり、ワークの切断工程において、ワークを固定するために使用することは困難であった。
【００１２】
本発明は前述のような問題に鑑みてなされたもので、ワークの固定が不完全となり、ワークが微動することで発生してしまう、切断面の段差、チッピング、ウェーハの反りの増大、切断面の加工歪みの増大等の品質への悪影響を抑制し、特に１００ｍｍ以下のワークであっても安定的に固定し切断することで、歩留まりの低下を避けることができる切断治具及びワークの切断方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明によれば、円柱状のワークの平坦な端面を保持することで前記ワークを固定しながら切断する際に用いられる切断治具であって、前記ワークの端面を吸着し保持するための通気孔を有する擬似胴体部と、前記通気孔内を減圧するための減圧手段を具備し、前記通気孔内を前記減圧手段により減圧して前記擬似胴体部に前記ワークの端面を吸着し保持して、前記擬似胴体部を固定することで前記ワークを固定するものであることを特徴とする切断治具を提供する。
【００１４】
このようなものであれば、ワークを疑似胴体部に吸着し保持して、疑似胴体部自体を胴体部固定具で固定することで、疑似胴体部に吸着されたワークを確実に固定することができる。特に、長さが短いワークを切断する場合であっても、胴体部固定具でワークを直接固定することができない場合であっても疑似胴体部を介して固定するため、ワークの固定が不完全になることが無い。その結果、ワークが微動することがなく、切断面の段差、チッピング、ウェーハの反りの増大、切断面の加工歪みの増大等の品質への悪影響を抑制することができるものとなる。
【００１５】
このとき、前記擬似胴体部は前記通気孔に接続された吸着カップを介して前記ワークの端面を吸着し保持するものであり、前記吸着カップを前記ワークの端面に接触させた状態で、前記通気孔内を前記減圧手段により減圧することによって前記吸着カップ内を減圧して前記ワークの端面を吸着し、前記擬似胴体部に前記ワークの端面を吸着し保持するものであることが好ましい。
このようなものであれば、簡易な構成でより確実にワークを吸着し保持することができるため、品質への悪影響を確実に抑制できるものとなる。
【００１６】
またこのとき、前記減圧手段として真空発生器を具備するものとすることができる。
このようなものであれば、通気孔の内部を容易に狙いの真空度にすることができ、確実にワークを保持できるものとなる。
【００１７】
このとき、前記保持するワークは、切り残し部の長さが１００ｍｍ以下のものとすることができる。
本発明の切断治具であれば、このような切り残し部の長さが短いワークであっても確実に固定することができるため、特に切り残し部の長さが１００ｍｍ以下のワークの固定に好適なものとなる。
【００１８】
また、本発明によれば、円柱状のワークの平坦な端面を保持することで前記ワークを固定しながら切断するワークの切断方法であって、通気孔を有する擬似胴体部と、前記通気孔内を減圧する減圧手段を具備する切断治具を用い、前記疑似胴体部を前記ワークに接触させ、前記減圧手段により前記通気孔内を減圧して前記ワークの端面を吸着し保持し、前記擬似胴体部を固定することで前記ワークを固定しながら前記ワークを切断することを特徴とするワークの切断方法が提供される。
【００１９】
このようにすれば、ワークを疑似胴体部に吸着し保持して、疑似胴体部自体を固定することで、疑似胴体部に吸着されたワークを確実に固定することができる。特に、切り残し部の長さが短いワークを切断する場合であっても、胴体部固定具でワークを直接固定することができない場合でも疑似胴体部を介して固定するため、ワークの固定が不完全になることが無い。その結果、切断中にワークが微動することがなく、切断面の段差、チッピング、ウェーハの反りの増大、切断面の加工歪みの増大等の品質への悪影響を抑制することができる。
【００２０】
このとき、前記ワークの端面に吸着する前記疑似胴体部の吸着面に吸着カップを設置し、該吸着カップの開口部を前記ワーク端面に接触させた状態で、前記通気孔内を前記減圧手段により減圧することによって前記吸着カップ内を減圧にして前記ワークの端面を吸着し、前記擬似胴体部に前記ワークの端面を吸着し保持することが好ましい。
このようにすれば、簡易な構成でより確実にワークを吸着し保持することができるため、品質への悪影響を確実に抑制できる。
【００２１】
またこのとき、前記減圧手段として真空発生器を使用することができる。
このようにすれば、通気孔の内部を容易に狙いの真空度にすることができ、確実にワークを吸着し保持できる。
【００２２】
このとき、切断する前記ワークを、切り残し部の長さが１００ｍｍ以下のワークとすることができる。
本発明の切断治具であれば、このような切り残し部の長さが短いワークであっても確実に固定することができるため、特に切り残し部の長さが１００ｍｍ以下のワークの固定に好適なものとなる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の切断治具及びワークの切断方法であれば、切断中にワークが微動することがなく、切断面の段差、チッピング、ウェーハの反りの増大、切断面の加工歪みの増大等の品質への悪影響を抑制することができるものとなる。特に、切り残し部の長さが１００ｍｍ以下と切り残し部の長さが短いワークを切断する場合であっても確実にワークを固定することができ、従来では、切断不可能であった切り残し部の長さが短いワークを切断できるので、歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の切断治具を使用した切断装置の一例を示した概略図である。
【図２】本発明の切断治具を使用した切断装置においてワークの切り残し部の長さが切断部から胴体固定具の中心までの距離と同じくらいとなった場合を示した概略図である。
【図３】本発明の切断治具を使用した切断装置において第１台座及び胴体部固定具を移動させた場合を示した概略図である。
【図４】従来の一般的な切断装置の一例を示した概略図である。
【図５】従来の一般的な切断装置においてワークの切り残し部の長さが切断部から胴体固定具の中心までの距離以下となった場合を示した概略図である。
【図６】インゴットを複数のブロックに分割切断する工程を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
上記したように、従来では切断するワークの切り残し部の長さが短い場合、特に切り残し部の長さが１００ｍｍ以下となった場合に、ワークを完全に固定することができず、微動してしまい切断後のブロックやウェーハの品質が悪化してしまうという問題があった。特に、近年の大直径のインゴットであると、切り残し部の長さが短いと固定がきわめて困難であった。
【００２６】
そこで、本発明者はこのような問題を解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、疑似胴体部を有する切断治具にワークを吸着して保持し、ワークの胴体部の代わりに切断治具の疑似胴体部を固定することでワークを完全に固定することに想到し、本発明を完成させた。
【００２７】
以下、本発明について詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
図１に示すように、本発明の切断治具１は通気孔３を有する疑似胴体部２と、通気孔内を減圧にする減圧手段４とを具備している。
【００２８】
疑似胴体部２の材料としては、特に限定されないが、アルミニウム製が望ましい。理由として、切断治具１は作業者がワークの端面に吸着し保持するためにセッティングするため、持ち運びが容易になるよう軽量であることが望ましいからである。また、アルミニウム製であれば、油圧装置などによって作動する胴体固定具５を用いて第１台座６に固定する際に、変形しない安価な材料であるため望ましい。もちろん、他の材料を使用しても問題はない。
【００２９】
疑似胴体部２の通気孔３は減圧手段４により内部が減圧される。減圧手段４は、真空発生器７を具備することが好ましい。この真空発生器７はワンタッチ継ぎ手８、真空ホース９などを経由して通気孔３内を減圧する。また、通気孔３の直径は後述する真空度に達するまでの時間を短縮するため直径６ｍｍ〜１０ｍｍが望ましいが、これに限定するものではない。
【００３０】
このように減圧手段４として、真空発生器７を具備するものであれば、通気孔の内部を容易に狙いの真空度にすることができ、確実にワークを保持できるものとなる。
【００３１】
また、真空発生器７としては、ダイヤフラム式などの通常の真空発生装置を用いることができるがこれに限定されない。また、減圧手段は真空度を０．０５ＭＰａ程度まで上げられるものであることが好ましい。
【００３２】
また、擬似胴体部２は通気孔３に接続された吸着カップ１０を介してワークＷの端面を吸着し保持するものであることが好ましい。この吸着カップ１０は、通気孔３内を減圧手段４により減圧することによって吸着カップ１０内を減圧してワークＷの端面を吸着し、擬似胴体部２にワークの端面を吸着し保持することができる。
【００３３】
このようなものであれば、簡易な構成でより確実にワークを吸着し保持することができるため、品質への悪影響を確実に抑制できる。
【００３４】
また、円柱状のワークＷの軸方向に垂直な面での断面は、いずれの部位においても円形である。従って、吸着カップ１０の開口部の形状を円形にすること、さらには軟質材料を使用することが望ましく、このようなものであれば吸着カップ１０とワークＷの端面の間を容易に密着させることができる。
【００３５】
吸着カップ１０の軟質材料は、擬似胴体部２とワークＷの端面の間をより密着させるため、通気性を有しないウレタンなどの軟質樹脂、又は軟質ゴムが好ましい。
【００３６】
吸着カップ１０と真空発生器７を結ぶ経路としては、ワンタッチ継ぎ手８、真空ホース９、バルブ１１、真空度検出器１２から構成されるが、これに限定するものではない。
吸着カップ１０内を減圧したときの真空度は０．０５ＭＰａ程度でワークと本発明の切断治具を連結保持するための良好な保持力を確保することができるが、さらに真空度を０．０３ＭＰａ程度まで上げておけば、保持中に真空発生器７が作動不良を起こしても保持力が失われるまでに若干の時間を確保できるので好ましい。この真空度を確認できるように真空度検出器１２を有し、また真空発生器７の作動不良が起こった場合のために吸着カップ１０内を減圧状態で維持できるようにバルブ１１を閉じて使用することが望ましい。
【００３７】
また、真空度検出器１２の信号を用いて、バルブ１１の開閉及び真空発生器７の作動停止を制御することで省力化、省エネ効果も得られる。
【００３８】
上記のように、ワークＷを擬似胴体部で保持し連結して、胴体部固定具５で擬似胴体部を固定する切断治具であれば、確実にワークＷを固定できる。更に、ワークＷの長さが短く、ワークＷの切り残し部の長さａ１がブレード１３から胴体固定具５の中心までの距離ｂ１以下となってしまった場合でも、疑似胴体部２を胴体固定具５で第１台座６に固定し、ワークＷを擬似胴体部２で強固に吸着し保持することで、ワークＷを固定できる。従って、胴体固定具５で直接ワークＷの切り残し部を第１台座６に固定できた場合の効果と何ら変わりはなく安定した切断を可能とするものとなる。特に、本発明はワークが大直径であっても、吸着して保持することができる。大直径の方が吸着面積が大きく、むしろ好都合であり、大直径で短いワークの保持に好適である。
【００３９】
その結果、切断中にワークが微動することがなく、切断面の段差、チッピング、ウェーハの反りの増大、切断面の加工歪みの増大等の品質への悪影響を抑制することができるものとなる。更に、従来では固定できない長さのワークを固定できるので、歩留まりを向上させることができるものとなる。
【００４０】
特に、このような切断治具１であれば、切り残し部の長さが１００ｍｍ以下であるワークの固定に好適なものとなる。
【００４１】
次に、本発明の切断治具を使用したワークの切断方法について説明する。ここでは、図１に示すような切断治具１を使用してワークを切断する場合について述べる。
【００４２】
まず、切断対象となる円柱状のワークＷを第１台座６上に載置し、吸着保持具１４によりワークＷの片方の端面を保持する。
【００４３】
そして、ワークＷのもう一方の平坦な端面に切断治具１を接触させて、通気孔３内を減圧手段４により減圧することでワークＷの端面を疑似胴体部２に吸着し保持する。
【００４４】
このとき、図１に示すように、疑似胴体部２の通気孔３に設置した吸着カップ１０をワークの端面に接触させ、吸着カップ１０とワークの端面の間を密着させた後、減圧手段４によって通気孔３内を減圧することで吸着カップ１０内を減圧しワークＷを疑似胴体部２に吸着し保持することが好ましい。
このようにすれば、簡易な構成でより確実にワークを吸着し保持することができるため、品質への悪影響を確実に抑制できる。
【００４５】
また、減圧手段４としては真空発生器７を使用することが好ましい。
このようなものであれば、通気孔の内部を容易に狙いの真空度にすることができ、確実にワークを吸着し保持できる。
【００４６】
ワークＷを切断治具１によって保持した後、油圧装置などによって作動する胴体固定具５によって、疑似胴体部２を第１台座６上に固定する。このようにして、切断治具１及び切断治具１に保持されたワークＷを第１台座６上に固定して、変位測定器１５によりブレード１３の変位を測定しながら切断を行う。
【００４７】
上記のように、ワークＷを擬似胴体部で保持し連結して、胴体部固定具５で擬似胴体部を固定する切断治具であれば、確実にワークＷを固定できる。更に、ワークＷの長さが短く、ワークＷの切り残し部の長さａ１がブレード１３から胴体固定具５の中心までの距離ｂ１以下となってしまった場合でも、疑似胴体部２を胴体固定具５で第１台座６に固定し、ワークＷを擬似胴体部２で強固に吸着し保持することで、ワークＷを固定できる。従って、胴体固定具５で直接ワークＷの切り残し部を第１台座６に固定できた場合の効果と何ら変わりはなく安定した切断が可能となる。
【００４８】
その結果、切断中にワークが微動することがなく、切断面の段差、チッピング、ウェーハの反りの増大、切断面の加工歪みの増大等の品質への悪影響を抑制することができるものとなる。更に、従来では固定できない長さのワークを固定できるので、歩留まりを向上させることができる。特に、大直径で短いワークの場合に、この効果が大きい。
【００４９】
また、図２に示すように、ワークＷの切り残し部の長さａ１がブレード１３から胴体固定具５の中心までの距離ｂ１と同じくらいとなった場合には、図３に示すように、ワークＷを擬似胴体部２で保持して連結し、第１台座６と胴体部固定具５をブレード１３から離れる方向に移動させてから、胴体部固定具５で疑似胴体部２を固定することができる。このようにして、ブレード１３から胴体固定具５の中心までの距離ｂ１をワークＷの切り残し部の長さａ１より大きくすることで安定した切断が可能となる。
【００５０】
特に、このような切断方法は、切り残し部の長さが１００ｍｍ以下の短尺のワークを切断する場合に好適な切断方法となる。
【実施例】
【００５１】
以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００５２】
（実施例）
図１に示すような、本発明の切断治具を用いて本発明のワークの切断方法でワークを切断した。
切断したワークは、図３に示すような、インゴットより切り出された直径２００ｍｍ、長さ１２０ｍｍの円柱状のブロックとし、このブロックをバンドソー切断装置にて再度切断した。切断位置はブロックの長さのちょうど半分とし、切り残し部の長さを６０ｍｍとした。
また、切断治具の疑似胴体部の長さは２００ｍｍ、材質はアルミニウムとし、疑似胴体部の通気孔の直径は８ｍｍとした。
【００５３】
そして、真空発生器にて吸着カップ内を減圧し、ブロックを疑似胴体部で吸着し保持させた。このとき、真空度検出器で検出された真空度は０．０５ＭＰａであり、ブロックと切断治具は強固に連結されていた。そして、疑似胴体部を胴体部固定治具で固定した後にブロックの切断を行った。
【００５４】
その結果ブロックの切り残し部の長さが６０ｍｍと短い場合であっても、胴体固定具にて疑似胴体部を第１台座に固定することで、ブロックを固定することが可能であり、ブロックと切断治具が強固に連結されていることから、切断中にブロックが微動することなく安定して切断が行えた。
以上より、本発明の切断治具及び切断方法を用いることで、切り残し部の長さが短い場合であっても、品質への悪影響がほとんどないワークの切断が可能となり、従来では製品にできなかったブロックが製品にできるようになることが確認された。
また、切り残し部の長さを５０ｍｍと更に短くした場合であっても同様に安定した切断が可能であることが確認された。
【００５５】
（比較例）
本発明の切断治具及び切断方法を用いなかったこと以外、実施例１と同様な条件でワークの切断を行った。
使用したバンドソー切断装置では、切断中のブレードの変位を検出する変位測定器などの構成上、切り残し部の長さが１００ｍｍ以下のブロックの切断は不可能であった。
一般的にシリコン単結晶などのインゴットをブロックに切断する内周刃スライサー、外周刃切断機、バンドソーは、切断中のブレードの変位を検出する変位測定器などの構成上、切り残し部の長さが１００ｍｍまでのワークであれば切断可能であり、切り残し部の長さが１００ｍｍ以下のワークの切断に対応出来ないことが確認された。特に、ワークの直径が２００ｍｍ以上、更には３００ｍｍ以上であると、歩留まりのロスは著しく大きい。
【００５６】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００５７】
１…切断治具、  ２…疑似胴体部、  ３…通気孔、
４…減圧手段、  ５…胴体部固定具、  ６…第１台座、
７…真空発生器、  ８…ワンタッチ継ぎ手、  ９…真空ホース、  １０…吸着カップ、
１１…バルブ、  １２…真空度検出器、  １３…ブレード、
１４…吸着保持具、  １５…変位測定器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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