(57)【要約】【課題】一定方向に配列される複数のＦＯＵＰと半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送するとともにＥＦＥＭの一部を構成する産業用ロボットにおいて、ロボット本体を昇降させる昇降機構がロボット本体の外部に配置されていても、複数のＦＯＵＰの配列方向と上下方向とに直交する方向において、ＥＦＥＭを小型化することが可能な産業用ロボットを提供する。【解決手段】産業用ロボット１では、アーム１６が縮んで複数のアーム部１８〜２０およびハンド１４、１５が上下方向で重なっている産業用ロボット１の待機状態において、アーム１６の一部は、ロボット本体３の本体部１７よりもＹ２方向側に配置されている。また、産業用ロボット１では、ロボット本体３を昇降させる昇降機構４に本体部１７が固定されるとともに、昇降機構４は、本体部１７のＹ２方向側に配置されている。【選択図】図１
2015036184.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定方向に配列される複数のＦＯＵＰと半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送するとともにＥＦＥＭの一部を構成する産業用ロボットにおいて、
ロボット本体と、前記ロボット本体の外部に配置され前記ロボット本体を昇降させる昇降機構とを備え、
前記ロボット本体は、前記半導体ウエハが搭載されるハンドと、互いに相対回動可能に連結される複数のアーム部によって構成され前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記アームを昇降させるアーム昇降機構とを備え、
複数の前記ＦＯＵＰの配列方向を第１方向とし、上下方向と前記第１方向とに直交する方向を第２方向とし、前記第２方向の一方を第３方向とし、前記第２方向の他方を第４方向とすると、
上下方向から見たときに、前記本体部に対する前記アームの基端側の回動中心は、前記本体部の中心よりも前記第３方向側に配置され、
前記アームが縮んで複数の前記アーム部および前記ハンドが上下方向で重なっている前記産業用ロボットの待機状態において、前記アームの一部は、前記本体部よりも前記第４方向側に配置され、
前記昇降機構には、前記本体部が固定され、
前記昇降機構は、前記本体部の、前記第１方向の両側の少なくともいずれか一方、および／または、前記本体部の、前記第４方向側に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。
【請求項２】
前記アームは、前記アーム部として、その基端側が前記本体部に回動可能に連結される第１アーム部を備え、
前記昇降機構は、上下方向から見たときに、前記本体部に対する前記第１アーム部の回動領域内に収まっていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
【請求項３】
前記本体部は、上下方向から見たときの形状が前記第１方向に平行な側面を有する略長方形状または略正方形状となるように形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。
【請求項４】
前記昇降機構には、前記本体部の、前記第４方向側の側面が取り付けられていることを特徴とする請求項３記載の産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｆｒｏｎｔ  Ｅｎｄ  Ｍｏｄｕｌｅ）の一部を構成するとともにＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）と半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送する産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＥＦＥＭの一部を構成するとともに複数のＦＯＵＰと半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体ウエハが搭載される２個のハンドと、２個のハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。アームは、本体部にその基端側が回動可能に連結される第１アームと、第１アームの先端側にその基端側が回動可能に連結される第２アームと、第２アームの先端側にその基端側が回動可能に連結されるとともにその先端側にハンドが回動可能に連結される第３アームとから構成されている。本体部の内部には、第１アームを昇降させるアーム昇降機構が収容されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−２３０２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ＦＯＵＰは、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  ａｎｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ）規格に基づいて製造されており、ＦＯＵＰの高さは、一定の寸法となっている。一方で、半導体ウエハ処理装置に関しては、特定の規格が定まっておらず、半導体ウエハ処理装置の高さは任意に設定されている。そのため、半導体ウエハ処理装置の仕様によっては、アーム昇降機構の昇降量が足りなくて、特許文献１に記載の産業用ロボットをそのままＥＦＥＭで使用することができない場合がある。
【０００５】
この場合、本体部の内部に配置されるアーム昇降機構の構成を変更して、アーム昇降機構の昇降量を大きくすれば良い。しかしながら、アーム昇降機構の昇降量を大きくする場合、本体部全体の構成を見直さなければならないおそれがあり、産業用ロボットの設計が煩雑になる。また、アーム昇降機構の昇降量を大きくする場合には、半導体ウエハ処理装置の高さに応じてアーム昇降機構の昇降量の異なる複数種類の産業用ロボットを製造する必要が生じるため、産業用ロボットの製造コストが嵩むおそれがある。
【０００６】
一方で、本体部の内部に配置されるアーム昇降機構の昇降量が足りない場合に、特許文献１に記載の産業用ロボットそのものを昇降させる昇降機構を産業用ロボットの外部に設ければ、上述の問題を解消することはできる。しかしながら、産業用ロボットの外部に昇降機構を設ける場合には、ＥＦＥＭが大型化するおそれがある。
【０００７】
そこで、本発明の課題は、一定方向に配列される複数のＦＯＵＰと半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送するとともにＥＦＥＭの一部を構成する産業用ロボットにおいて、ロボット本体を昇降させる昇降機構がロボット本体の外部に配置されていても、複数のＦＯＵＰの配列方向と上下方向とに直交する方向において、ＥＦＥＭを小型化することが可能な産業用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、一定方向に配列される複数のＦＯＵＰと半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送するとともにＥＦＥＭの一部を構成する産業用ロボットにおいて、ロボット本体と、ロボット本体の外部に配置されロボット本体を昇降させる昇降機構とを備え、ロボット本体は、半導体ウエハが搭載されるハンドと、互いに相対回動可能に連結される複数のアーム部によって構成されハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、アームを昇降させるアーム昇降機構とを備え、複数のＦＯＵＰの配列方向を第１方向とし、上下方向と第１方向とに直交する方向を第２方向とし、第２方向の一方を第３方向とし、第２方向の他方を第４方向とすると、上下方向から見たときに、本体部に対するアームの基端側の回動中心は、本体部の中心よりも第３方向側に配置され、アームが縮んで複数のアーム部およびハンドが上下方向で重なっている産業用ロボットの待機状態において、アームの一部は、本体部よりも第４方向側に配置され、昇降機構には、本体部が固定され、昇降機構は、本体部の、第１方向の両側の少なくともいずれか一方、および／または、本体部の、第４方向側に配置されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の産業用ロボットでは、アームが縮んで複数のアーム部およびハンドが上下方向で重なっている産業用ロボットの待機状態において、アームの一部は、ロボット本体の本体部よりも第４方向側に配置されている。また、本発明では、ロボット本体を昇降させる昇降機構にロボット本体の本体部が固定されるとともに、この昇降機構は、本体部の、第１方向の両側の少なくともいずれか一方、および／または、本体部の、第４方向側に配置されている。そのため、本発明では、産業用ロボットの第３方向側の側面を、ＥＦＥＭの筺体の第３方向側の側面に近づけた状態で、ＥＦＥＭの筺体の内部に産業用ロボットを配置することが可能になる。したがって、本発明では、ロボット本体を昇降させる昇降機構がロボット本体の外部に配置されていても、複数のＦＯＵＰの配列方向（第１方向）と上下方向とに直交する第２方向において、ＥＦＥＭを小型化することが可能になる。
【００１０】
本発明において、アームは、アーム部として、その基端側が本体部に回動可能に連結される第１アーム部を備え、昇降機構は、上下方向から見たときに、本体部に対する第１アーム部の回動領域内に収まっていることが好ましい。このように構成すると、第２方向におけるＥＦＥＭの筺体の幅を、昇降機構の大きさを考慮することなく、本体部に対する第１アーム部の回転半径に基づいて設定することが可能となる。したがって、第２方向において、ＥＦＥＭをより小型化することが可能になる。
【００１１】
本発明において、本体部は、上下方向から見たときの形状が第１方向に平行な側面を有する略長方形状または略正方形状となるように形成されていることが好ましい。このように構成すると、産業用ロボットの第３方向側の側面を、ＥＦＥＭの筺体の第３方向側の側面により近づけた状態で、ＥＦＥＭの筺体の内部に産業用ロボットを配置することが可能になる。したがって、第２方向において、ＥＦＥＭをより小型化することが可能になる。
【００１２】
本発明において、昇降機構には、本体部の、第４方向側の側面が取り付けられていることが好ましい。このように構成すると、第１方向において、産業用ロボットを小型化することが可能になる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、本発明では、一定方向に配列される複数のＦＯＵＰと半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送するとともにＥＦＥＭの一部を構成する産業用ロボットにおいて、ロボット本体を昇降させる昇降機構がロボット本体の外部に配置されていても、複数のＦＯＵＰの配列方向と上下方向とに直交する方向において、ＥＦＥＭを小型化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図である。
【図２】図１に示す産業用ロボットの、ロボット本体およびアームが上昇するとともにアームが伸びている状態の斜視図である。
【図３】図１に示す産業用ロボットが使用される半導体製造システムの概略平面図である。
【図４】図１に示すロボット本体の側面図である。
【図５】図１に示す昇降機構の斜視図である。
【図６】図５に示す昇降機構の構成を正面側から説明するための図である。
【図７】図５に示す昇降機構の構成を上側から説明するための図である。
【図８】（Ａ）は、図７のＥ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図７のＦ部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１６】
（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の斜視図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の、ロボット本体３およびアーム１６が上昇するとともにアーム１６が伸びている状態の斜視図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１が使用される半導体製造システム５の概略平面図である。
【００１７】
本形態の産業用ロボット１は、半導体ウエハ２（図３参照）を搬送するための水平多関節ロボットである。この産業用ロボット１は、ロボット本体３と、ロボット本体３を昇降させる昇降機構４とから構成されている。以下の説明では、産業用ロボット１を「ロボット１」とし、半導体ウエハ２を「ウエハ２」とする。また、以下の説明では、上下方向に直交する図１等のＸ方向を「左右方向」とし、上下方向および左右方向に直交するＹ方向を「前後方向」とするとともに、Ｘ１方向側を「右」側、Ｘ２方向側を「左」側、Ｙ１方向側を「前」側、Ｙ２方向側を「後（後ろ）」側とする。
【００１８】
図３に示すように、ロボット１は、半導体製造システム５に組み込まれて使用される。この半導体製造システム５は、ＥＦＥＭ６と、ウエハ２に対して所定の処理を行う半導体ウエハ処理装置７とを備えている。ＥＦＥＭ６は、半導体ウエハ処理装置７の前側に配置されている。ロボット１は、ＥＦＥＭ６の一部を構成している。また、ＥＦＥＭ６は、ＦＯＵＰ８を開閉する複数のロードポート９と、ロボット１が収容される筺体１０とを備えている。筺体１０は、左右方向に細長い直方体の箱状に形成されている。筺体１０の前面および後面は、上下方向と左右方向とから構成される平面に平行になっている。筺体１０の内部は、清浄空間となっている。すなわち、ＥＦＥＭ６の内部は、清浄空間となっており、ＥＦＥＭ６の内部では所定のクリーン度が確保されている。
【００１９】
ＦＯＵＰ８は、ＳＥＭＩ規格に基づいて製造されており、ＦＯＵＰ８には、２５枚または１３枚のウエハ２が収容可能となっている。ロードポート９は、筺体１０の前側に配置されている。本形態のＥＦＥＭ６は、左右方向に所定のピッチで配列される４個のロードポート９を備えており、ＥＦＥＭ６では、４個のＦＯＵＰ８が左右方向に所定のピッチで配列される。ロボット１は、４個のＦＯＵＰ８と半導体ウエハ処理装置７との間でウエハ２を搬送する。本形態では、４個のＦＯＵＰ８の配列方向となる左右方向は、第１方向であり、前後方向は、第１方向である左右方向と上下方向とに直交する第２方向であり、第２方向の一方となる前方向（Ｙ１方向）は、第３方向であり、第２方向の他方となる後ろ方向（Ｙ２方向）は、第４方向である。
【００２０】
（ロボット本体の構成）
図４は、図１に示すロボット本体３の側面図である。
【００２１】
ロボット本体３は、ウエハ２が搭載される２個のハンド１４、１５と、ハンド１４、１５が先端側に回動可能に連結されるアーム１６と、アーム１６の基端側が回動可能に連結される本体部１７とを備えている。アーム１６は、その基端側が本体部１７に回動可能に連結される第１アーム部１８と、第１アーム部１８の先端側にその基端側が回動可能に連結される第２アーム部１９と、第２アーム部１９の先端側にその基端側が回動可能に連結される第３アーム部２０とから構成されている。すなわち、アーム１６は、互いに相対回動可能に連結される３個のアーム部を備えている。第１アーム部１８、第２アーム部１９および第３アーム部２０は、中空状に形成されている。また、本形態では、第１アーム部１８の長さと、第２アーム部１９の長さと、第３アーム部２０の長さとが等しくなっている。本体部１７と第１アーム部１８と第２アーム部１９と第３アーム部２０とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。
【００２２】
ハンド１４、１５は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されており、二股状になっているハンド１４、１５の先端部にウエハ２が搭載される。ハンド１４、１５の基端側は、第３アーム部２０の先端側に回動可能に連結されている。ハンド１４、１５は、上下方向で重なるように配置されている。具体的には、ハンド１４が上側に配置され、ハンド１５が下側に配置されている。また、ハンド１４、１５は、第３アーム部２０よりも上側に配置されている。
【００２３】
なお、図３では、ハンド１５の図示を省略している。また、本形態のロボット１の動作時には、ハンド１４とハンド１５とが上下方向で重なる場合もあるが、ほとんどの場合、ハンド１４とハンド１５とは、上下方向で重なっていない。たとえば、図３の二点鎖線で示すように、ハンド１４がＦＯＵＰ８の中へ入り込んでいるときには、ハンド１５は、本体部１７側へ回転しており、ＦＯＵＰ８の中に入っていない。このときのハンド１４に対するハンド１５の回転角度は、たとえば、１２０°〜１５０°である。
【００２４】
本体部１７は、筺体２１と、第１アーム部１８の基端側が回動可能に連結される柱状部材２２（図２参照）とを備えている。筺体２１は、上下方向に細長い略直方体状に形成されており、上下方向から見たときの筺体２１の形状は、略長方形状または略正方形状となっている。また、筺体２１の前面および後面は、上下方向と左右方向とから構成される平面に平行になっており、筺体２１の左右の両側面は、上下方向と前後方向とから構成される平面に平行になっている。すなわち、本体部１７は、上下方向から見たときの形状が略長方形状または略正方形状となる上下方向に細長い略直方体状に形成されている。また、本体部１７の前面および後面は、上下方向と左右方向とから構成される平面に平行になっており、本体部１７の左右の両側面は、上下方向と前後方向とから構成される平面に平行になっている。
【００２５】
柱状部材２２は、上下方向の細長い柱状に形成されている。筺体２１の内部には、柱状部材２２を昇降させるアーム昇降機構（図示省略）が収納されている。すなわち、筺体２１の内部には、本体部１７に対して第１アーム部１８を昇降させる（すなわち、アーム１６を昇降させる）アーム昇降機構が収納されている。このアーム昇降機構は、たとえば、上下方向を軸方向として配置されるボールネジ、このボールネジに係合するナット部材、および、ボールネジを回転させるモータ等によって構成されている。アーム昇降機構は、図１に示すように、柱状部材２２が筺体２１に収容される位置と、図２に示すように、柱状部材２２が筺体２１から上側に突出する位置との間で、柱状部材２２を昇降させる。すなわち、アーム昇降機構は、柱状部材２２が筺体２１に収容される位置と、柱状部材２２が筺体２１から上側に突出する位置との間で、アーム１６を昇降させる。
【００２６】
柱状部材２２は、筺体２１の前端側に配置されている。第１アーム部１８の基端側は、柱状部材２２の上端に回動可能に連結されている。すなわち、図３に示すように、上下方向から見たときに、本体部１７に対する第１アーム部１８の回動中心（すなわち、アーム１６の基端側の回動中心）Ｃ１は、本体部１７の中心よりも前側（ＦＯＵＰ８側）に配置されている。また、左右方向において、柱状部材２２は、筺体２１の中心位置に配置されている。
【００２７】
図１、図４に示すように、アーム１６が縮んで、第１アーム部１８と第２アーム部１９と第３アーム部２０とハンド１４、１５とが上下方向で重なっている状態が、ロボット１の待機状態となる。この待機状態においては、アーム１６およびハンド１４、１５の一部が本体部１７よりも後ろ側へ突出している。
【００２８】
また、ロボット本体３は、第１アーム部１８および第２アーム部１９を回動させて第１アーム部１８と第２アーム部１９とからなるアーム１６の一部を伸縮させるアーム部駆動機構と、第３アーム部２０を回転駆動する第３アーム駆動機構と、ハンド１４を回転駆動する第１ハンド駆動機構と、ハンド１５を回転駆動する第２ハンド駆動機構とを備えている。
【００２９】
アーム部駆動機構は、図４に示すように、駆動源となるモータ２５と、モータ２５の動力を減速して第１アーム部１８に伝達するための減速機２６と、モータ２５の動力を減速して第２アーム部１９に伝達するための減速機２７とを備えている。モータ２５は、筺体２１の内部に配置されている。減速機２６は、本体部１７と第１アーム部１８とを繋ぐ関節部を構成している。減速機２７は、第１アーム部１８と第２アーム部１９とを繋ぐ関節部を構成している。減速機２６、２７は、たとえば、波動歯車装置であるハーモニックドライブ（登録商標）である。上述の特許文献１に記載された産業用ロボットと同様に、モータ２５と減速機２６とは、図示を省略するプーリおよびベルトを介して連結され、モータ２５と減速機２７とは、図示を省略するプーリおよびベルトを介して連結されている。
【００３０】
第３アーム部駆動機構は、図４に示すように、駆動源となるモータ２８と、モータ２８の動力を減速して第３アーム部２０に伝達するための減速機２９とを備えている。モータ２８は、第２アーム部１９の先端側の内部に配置されている。減速機２９は、第２アーム部１９と第３アーム部２０とを繋ぐ関節部を構成している。減速機２９は、たとえば、ハーモニックドライブ（登録商標）である。モータ２８と減速機２９とは、たとえば、図示を省略する歯車列を介して連結されている。
【００３１】
第１ハンド駆動機構は、図４に示すように、駆動源となるモータ３０と、モータ３０の動力を減速してハンド１４に伝達するための減速機３１とを備えている。第２ハンド駆動機構は、第１ハンド駆動機構と同様に、駆動源となるモータ３２と、モータ３２の動力を減速してハンド１５に伝達するための減速機３３とを備えている。モータ３０、３２および減速機３１、３３は、第３アーム部２０の内部に配置されている。減速機３１、３３は、たとえば、ハーモニックドライブ（登録商標）である。上述の特許文献１に記載された産業用ロボットと同様に、減速機３１は、モータ３０の出力軸に取り付けられ、減速機３３は、モータ３２の出力軸に取り付けられている。また、ハンド１４と減速機３１とは、図示を省略するプーリおよびベルトを介して連結され、ハンド１５と減速機３３とは、図示を省略するプーリおよびベルトを介して連結されている。
【００３２】
本形態のロボット本体３は、ロボット本体３単体でもＦＯＵＰ８に対するウエハ２の出し入れが可能となっている。すなわち、昇降機構４が取り付けられていない状態のロボット本体３でも、柱状部材２２を昇降させ、第１アーム部１８、第２アーム部１９および第３アーム部２０を回動させてアーム１６を伸縮させるとともに、ハンド１４、１５を回転させることで、ＦＯＵＰ８に対するウエハ２の出し入れが可能となっている。
【００３３】
（昇降機構の構成）
図５は、図１に示す昇降機構４の斜視図である。図６は、図５に示す昇降機構４の構成を正面側から説明するための図である。図７は、図５に示す昇降機構４の構成を上側から説明するための図である。図８（Ａ）は、図７のＥ部の拡大図であり、図８（Ｂ）は、図７のＦ部の拡大図である。
【００３４】
昇降機構４は、ロボット本体３と別体で形成され、ロボット本体３の外部に配置されている。また、昇降機構４は、筺体１０の底面部に固定されている。この昇降機構４は、上下方向へロボット本体３を駆動するための駆動部３６と、上下方向へロボット本体３を案内するための２本のガイドレール３７と、２本のガイドレール３７に係合して上下方向へスライドするガイドブロック３８と、駆動部３６、ガイドレール３７およびガイドブロック３８が収容される筺体３９と、筺体３９の外部に配置されるロボット本体３とガイドブロック３８とを連結するための２個の連結部材４０と、筺体３９の外部に配置されロボット本体３が固定される固定部材４１と、筺体３９の内部の空気をＥＦＥＭ６の外部（すなわち、筺体１０の外部）へ排出するための２個の排気ファン４２（図７参照）とを備えている。
【００３５】
筺体３９は、全体として上下方向に長い略直方体状に形成されている。この筺体３９は、筺体３９の上面を構成する上面部３９ａと、筺体３９の底面を構成する底面部３９ｂと、筺体３９の左右の側面を構成する側面部３９ｃと、筺体３９の前面を構成する前面部３９ｄと、筺体３９の後面を構成する後面部３９ｅとから構成されている。
【００３６】
上面部３９ａおよび底面部３９ｂは、上下方向を厚み方向とする略長方形の平板状に形成されている。前面部３９ｄおよび後面部３９ｅは、前後方向を厚み方向とするとともに上下方向を長手方向とする略長方形の平板状に形成されている。側面部３９ｃは、左右方向を厚み方向とする台形の平板状に形成されている。側面部３９ｃの上端面および下端面は、上下方向に直交し、側面部３９ｃの後端面は、前後方向に直交している。また、側面部３９ｃの前端面は、下側に向かうにしたがって、前側へ広がるように傾斜する傾斜面となっている。
【００３７】
側面部３９ｃの上端面には、上面部３９ａの下面が当接し、側面部３９ｃの後端面には、後面部３９ｅの前面が当接している。側面部３９ｃの左右方向の内側面の下端側には、底面部３９ｂの左右方向の外側面が当接している。前面部３９ｄの上端面には、上面部３９ａの下面が当接し、前面部３９ｄの下端面には、底面部３９ｂの上面が当接している。また、上面部３９ａの前端面および底面部３９ｂの前端面と、前面部３９ｄの前面とが略一致している。前面部３９ｄの左右の両端面には、側面部３９ｃの左右方向の内側面が当接している。側面部３９ｃの前端側は、前面部３９ｄよりも前側に突出する突出部３９ｆとなっている。
【００３８】
前面部３９ｄには、上下方向に細長いスリット状の貫通孔３９ｇが形成されている。貫通孔３９ｇは、連結部材４０の上下方向への移動が可能となるように、上下方向における前面部３９ｄの略全域に形成されている。また、前面部３９ｄには、左右方向に所定の間隔をあけた状態で、２個の貫通孔３９ｇが形成されている。
【００３９】
駆動部３６は、駆動源となるモータ４５と、モータ４５の動力で回転するボールネジ４６と、ボールネジ４６に螺合するナット部材４７とを備えている。モータ４５は、底面部３９ｂの上面に固定される保持部材４８に固定されており、筺体３９の内部の下端側に配置されている。また、モータ４５は、その出力軸が下側へ突出するように保持部材４８に固定されている。モータ４５の出力軸には、プーリ４９が固定されている。ボールネジ４６は、上下方向を軸方向として配置されている。ボールネジ４６の下端側は、筺体３９の内部の下端側に配置される軸受５０に回転可能に支持されている。軸受５０は、保持部材４８に取り付けられている。ボールネジ４６の下端側には、プーリ５１が固定されている。プーリ４９とプーリ５１とには、ベルト５２が架け渡されている。ナット部材４７は、後述のように、２個の連結部材４０のうちの一方の連結部材４０に固定されている。
【００４０】
ガイドレール３７は、側面部３９ｃの左右方向の内側面から左右方向の内側に向かって突出するレール取付部３９ｈに固定されている。すなわち、２本のガイドレール３７は、左右方向において所定の間隔をあけた状態で配置されている。左右方向において、２本のガイドレール３７の間には、駆動部３６が配置されている。ガイドレール３７は、上下方向を長手方向としてレール取付部３９ｈに固定されている。また、ガイドレール３７は、レール取付部３９ｈの前面に固定されている。ガイドブロック３８は、ガイドレール３７の前面側に係合している。
【００４１】
連結部材４０は、上下方向に長い略直方体のブロック状に形成されている。連結部材４０の左右方向の外側部分は、ガイドブロック３８に固定されるブロック固定部４０ａとなっている。ブロック固定部４０ａは、ガイドブロック３８の前面に固定されている。具体的には、ブロック固定部４０ａは、ガイドブロック３８の前面とブロック固定部４０ａの後面とが当接した状態で、ガイドブロック３８の前面に固定されている。すなわち、２個の連結部材４０のそれぞれは、２本のガイドレール３７のそれぞれに係合するガイドブロック３８に固定されている。
【００４２】
２個の連結部材４０は、平板状に形成される接続部材５４によって接続されている。接続部材５４は、筺体３９の内部に配置されている。また、接続部材５４の左右両端側は、連結部材４０の左右方向の内側部分の前面に固定されている。２個の連結部材４０のうちの一方の連結部材４０には、ナット部材４７が固定されている。本形態では、モータ４５の右側にボールネジ４６およびナット部材４７が配置されており、右側に配置される連結部材４０の左端面にナット部材４７が固定されている。
【００４３】
連結部材４０の左右方向の内側部分には、前後方向で貫通孔３９ｇを通過するように貫通孔３９ｇに配置される貫通孔通過部４０ｂが形成されている。貫通孔通過部４０ｂは、ブロック固定部４０ａから前側に突出するように形成されている。また、貫通孔通過部４０ｂは、上下方向における連結部材４０の全域に形成されるとともに、上下方向に細長い略直方体状に形成されている。貫通孔通過部４０ｂの先端側（前端側）は、前面部３９ｄよりも前側に突出している。すなわち、連結部材４０の、貫通孔通過部４０ｂの先端側を除いた部分は、筺体３９の内部に収容されている。貫通孔通過部４０ｂの先端面（前端面）は、前後方向に直交する平面状に形成されている。
【００４４】
図８に示すように、左右方向における貫通孔通過部４０ｂの幅Ｈ１は、左右方向におけるガイドブロック３８の幅Ｈ２よりも狭くなっている。また、左右方向における貫通孔３９ｇの幅Ｈ３は、ガイドブロック３８の幅Ｈ２よりも狭くなっている。
【００４５】
固定部材４１は、前後方向を厚み方向とする平板状に形成されている。この固定部材４１は、前面部３９ｄの前側に配置されている。また、固定部材４１は、左右方向において、２個の突出部３９ｆの間に配置されている。固定部材４１は、貫通孔通過部４０ｂの先端面に固定されている。具体的には、固定部材４１は、貫通孔通過部４０ｂの前端面と固定部材４１の後面とが当接した状態で、貫通孔通過部４０ｂの前端面に固定されている。
【００４６】
ロボット本体３は、固定部材４１の前面に固定されている。具体的には、本体部１７の１つの側面である筺体２１の後面が固定部材４１の前面に固定されている。すなわち、昇降機構４には、本体部１７の後面が取り付けられており、昇降機構４は、本体部１７の後ろ側に配置されている。また、本体部１７の後面側の一部分は、左右方向において、２個の突出部３９ｆの間に配置されている。
【００４７】
図３に示すように、昇降機構４は、上下方向から見たときに、本体部１７に対する第１アーム部１８の回動領域内に収まっている。すなわち、昇降機構４は、上下方向から見たときに、第１アーム部１８の回動中心Ｃ１を中心にして第１アーム部１８が回動したときの第１アーム部１８の先端の軌跡（具体的には、円弧状の軌跡）Ｒの内周側に収まっている。
【００４８】
排気ファン４２は、筺体３９の底面部３９ｂの上面に取り付けられている。また、排気ファン４２は、駆動部３６の後ろ側に配置されている。２個の排気ファン４２は、左右方向で隣接配置されている。底面部３９ｂには、排気ファン４２が排出する空気が通過する貫通孔が形成されている。また、筺体１０の底面部の、昇降機構４が固定される部分にも、排気ファン４２が排出する空気が通過する貫通孔が形成されている。そのため、筺体３９の内部の空気は、排気ファン４２によってＥＦＥＭ６の外部へ排出される。
【００４９】
本形態では、ＦＯＵＰ８と半導体ウエハ処理装置７との間でウエハ２を搬送する際に、必要に応じて、ロボット本体３が昇降機構４の筺体３９に対して昇降する。
【００５０】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、アーム１６が縮んで、第１アーム部１８と第２アーム部１９と第３アーム部２０とハンド１４、１５とが上下方向で重なっているロボット１の待機状態において、アーム１６およびハンド１４、１５の一部は、本体部１７よりも後ろ側へ突出している。また、本形態では、昇降機構４にロボット本体３の本体部１７が固定されるとともに、昇降機構４は、本体部１７の後ろ側に配置されている。そのため、本形態では、ロボット１の前面をＥＦＥＭ６の筺体１０の前面に近づけた状態で、筺体１０の内部にロボット１を配置することが可能になる。したがって、本形態では、ロボット本体３を昇降させる昇降機構４がロボット本体３の外部に配置されていても、前後方向において、ＥＦＥＭ６を小型化することが可能になる。
【００５１】
特に本形態では、上下方向から見たときの形状が略長方形状または略正方形状となるように本体部１７が形成され、本体部１７の前面が上下方向と左右方向とから構成される平面に平行になっているため、ロボット１の前面をＥＦＥＭ６の筺体１０の前面により近づけた状態で、筺体１０の内部にロボット１を配置することが可能になる。したがって、本形態では、前後方向において、ＥＦＥＭ６をより小型化することが可能になる。
【００５２】
また、本形態では、上下方向から見たときに、第１アーム部１８の回動中心Ｃ１を中心にして第１アーム部１８が回動したときの第１アーム部１８の先端の軌跡Ｒの内周側に昇降機構４が収まっているため、前後方向における筺体１０の幅を、昇降機構４の大きさを考慮することなく、本体部１７に対する第１アーム部１８の回転半径に基づいて設定することが可能となる。したがって、本形態では、前後方向において、ＥＦＥＭ６をより小型化することが可能になる。
【００５３】
また、本形態では、本体部１７の後ろ側に昇降機構４が配置されているため、左右方向において、ロボット１を小型化することが可能になる。
【００５４】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００５５】
上述した形態では、上下方向から見たときに、第１アーム部１８の回動中心Ｃ１が本体部１７の中心よりも前側に配置されるとともに、第１アーム部１８と第２アーム部１９と第３アーム部２０とハンド１４、１５とが上下方向で重なっているロボット１の待機状態において、アーム１６およびハンド１４、１５の一部は、本体部１７よりも後ろ側へ突出している。また、上述した形態では、昇降機構４は、本体部１７の後ろ側に配置されている。この他にもたとえば、上下方向から見たときに、第１アーム部１８の回動中心Ｃ１が本体部１７の中心よりも後ろ側に配置されるとともに、ロボット１の待機状態において、アーム１６およびハンド１４、１５の一部が本体部１７よりも前側へ突出し、かつ、昇降機構４に本体部１７の前面が固定されて、昇降機構４が本体部１７の前側に配置されても良い。この場合であっても、ロボット１の後面をＥＦＥＭ６の筺体１０の後面に近づけた状態で、筺体１０の内部にロボット１を配置することが可能になるため、前後方向において、ＥＦＥＭ６を小型化することが可能になる。
【００５６】
また、上述した形態では、昇降機構４は、本体部１７の後ろ側に配置されているが、昇降機構４は、本体部１７の右側または左側に配置されても良い。また、本体部１７の左右両側に昇降機構４が配置されても良い。この場合であっても、ロボット１の前面をＥＦＥＭ６の筺体１０の前面に近づけた状態で、筺体１０の内部にロボット１を配置することが可能になるため、あるいは、ロボット１の後面を筺体１０の後面に近づけた状態で、筺体１０の内部にロボット１を配置することが可能になるため、前後方向において、ＥＦＥＭ６を小型化することが可能になる。なお、本体部１７の両側に昇降機構４が配置される場合には、本体部１７の右側に配置される昇降機構４のモータ４５と、本体部１７の左側に配置される昇降機構４のモータ４５とが同期して駆動する。
【００５７】
また、本体部１７の左右両側および後ろ側に昇降機構４が配置されても良い。この場合であっても、ロボット１の前面を筺体１０の前面に近づけた状態で、筺体１０の内部にロボット１を配置することが可能になるため、前後方向において、ＥＦＥＭ６を小型化することが可能になる。なお、この場合には、本体部１７の右側に配置される昇降機構４のモータ４５と、本体部１７の左側に配置される昇降機構４のモータ４５と、本体部１７の後ろ側に配置される昇降機構４のモータ４５とが同期して駆動する。
【００５８】
上述した形態では、昇降機構４は、上下方向から見たときに、第１アーム部１８の回動中心Ｃ１を中心にして第１アーム部１８が回動したときの第１アーム部１８の先端の軌跡Ｒの内周側に収まっている。この他にもたとえば、上下方向から見たときに、昇降機構４の後面側の角部が、第１アーム部１８の先端の軌跡Ｒの外周側へはみ出していても良い。また、上述した形態では、本体部１７は、上下方向に細長い略直方体状に形成されているが、本体部１７は、略円柱状に形成されても良いし、上下方向から見たときの形状が略六角形状や略八角形状となる多角柱状に形成されても良い。
【００５９】
上述した形態では、第３アーム部２０の先端側に２個のハンド１４、１５が取り付けられているが、第３アーム部２０の先端側に１個のハンドが取り付けられても良い。また、上述した形態では、アーム１６は、第１アーム部１８、第２アーム部１９および第３アーム部２０の３個のアーム部によって構成されているが、アーム１６は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されても良い。
【００６０】
上述した形態では、半導体製造システム５において、半導体ウエハ処理装置７は、ＥＦＥＭ６の後ろ側に配置されている。この他にもたとえば、半導体ウエハ処理装置７は、ＥＦＥＭ６の右側、左側または左右の両側に配置されても良い。たとえば、図３の二点鎖線で示すように、ＥＦＥＭ６の右側に半導体ウエハ処理装置７が配置されても良い。
【符号の説明】
【００６１】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  ウエハ（半導体ウエハ）
３  ロボット本体
４  昇降機構
６  ＥＦＥＭ
７  半導体ウエハ処理装置
８  ＦＯＵＰ
１４、１５  ハンド
１６  アーム
１７  本体部
１８  第１アーム部（アーム部）
１９  第２アーム部（アーム部）
２０  第３アーム部（アーム部）
Ｃ１  アームの基端側の回動中心
Ｘ  第１方向（複数のＦＯＵＰの配列方向）
Ｙ  第２方向
Ｙ１  第３方向
Ｙ２  第４方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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