(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の共通液室を並んで配置した構成であっても安定して吐出できる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】第１共通液室１０Ａと第２共通液室１０Ｂとはノズル配列方向と直交する方向に並んで配置され、第２共通液室１０Ｂから液体を導入する第２液導入部８Ｂは、流路板の厚み方向で、第１共通液室１０Ａから液体を導入する第１液導入部８Ａと同じ位置に形成される流路部分８８Ａと、異なる位置に形成される流路部分８８Ｂとを有し、第１共通液室１０Ａと第２共通液室１０Ｂにはそれぞれダンパ領域５１Ａ、５１Ｂと、これに対応するダンパ室が形成され、ダンパ室はダンパ領域５１Ａと流路部分８８Ｂとの間に形成されている。【選択図】図１
2015054510.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズル板と、
前記ノズルに通じる複数の個別液室、前記個別液室に通じる複数の流体抵抗部、前記流体抵抗部に通じる液導入部を形成する流路板と、
前記個別液室に液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材と、
前記流路板と前記共通液室部材との間に配置された壁面部材と、を備え、
前記複数の個別液室はノズル配列方向に沿って配列され、
ノズル配列方向に並ぶ２つの前記個別液室にそれぞれ液体を供給する第１共通液室及び第２共通液室と、
前記第１共通液室から液体を導入し、前記流体抵抗部に通じる第１液導入部と、
前記第２共通液室から液体を導入し、前記流体抵抗部に通じる第２液導入部と、有し、
前記第１共通液室と前記第２共通液室とは、ノズル配列方向と直交する方向で、並んで配置され、
前記第２共通液室は、前記第１共通液室よりも前記個別液室の列から離れた位置に設けられ、
前記第２液導入部は、前記流路板の厚み方向で、前記第１液導入部と同じ位置に形成された流路部分と、前記第１液導入部と異なる位置に形成された流路部分を有し、
前記壁面部材には、前記第１共通液室の壁面を形成する変形可能なダンパ領域及び前記第２共通液室の壁面を形成する変形可能なダンパ領域を有し、
前記流路板の前記壁面部材側には、前記第１共通液室の壁面を形成するダンパ領域に対応する部分にダンパ室を形成する凹部と、前記第２共通液室の壁面を形成するダンパ領域に対応する部分にダンパ室を形成する凹部が形成されている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第２共通液室の壁面を形成するダンパ領域に対応するダンパ室は、前記第２液導入部の前記流路板の厚み方向で前記第１液導入部と異なる位置に形成された流路部分と前記第２共通液室の壁面を形成するダンパ領域との間に形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
液滴を吐出する複数のノズル板と、
前記ノズルに通じる複数の個別液室、前記個別液室に通じる複数の流体抵抗部、前記流体抵抗部に通じる液導入部を形成する流路板と、
前記個別液室に液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材と、
前記流路板と前記共通液室部材との間に配置された壁面部材と、を備え、
前記複数の個別液室はノズル配列方向に沿って配列され、
ノズル配列方向に並ぶ３つの前記個別液室にそれぞれ液体を供給する第１共通液室、第２共通液室及び第３共通液室と、
前記第１共通液室から液体を導入し、前記流体抵抗部に通じる第１液導入部と、
前記第２共通液室から液体を導入し、前記流体抵抗部に通じる第２液導入部と、
前記第３共通液室から液体を導入し、前記流体抵抗部に通じる第３液導入部と、有し、
前記第１共通液室、前記第２共通液室及び前記第３共通液室とは、ノズル配列方向と直交する方向で、並んで配置され、
前記第２共通液室は、前記第１共通液室よりも前記個別液室の列から離れた位置に設けられ、
前記第３共通液室は、前記第２共通液室よりも前記個別液室の列から離れた位置に設けられ、
前記第２液導入部及び前記第３液導入部は、前記流路板の厚み方向で、前記第１液導入部と同じ位置に形成された流路部分と、前記第１液導入部と異なる位置に形成された流路部分を有し、
前記壁面部材には、前記第１共通液室の壁面を形成する変形可能なダンパ領域、前記第２共通液室の壁面を形成する変形可能なダンパ領域及び前記第３共通液室の壁面を形成する変形可能なダンパ領域を有し、
前記流路板の前記壁面部材側には、前記第１共通液室の壁面を形成するダンパ領域に対応する部分にダンパ室を形成する凹部と、前記第２共通液室の壁面を形成するダンパ領域に対応する部分にダンパ室を形成する凹部と、前記第３共通液室の壁面を形成するダンパ領域に対応する部分にダンパ室を形成する凹部とが形成されている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第２共通液室の壁面を形成するダンパ領域に対応するダンパ室は、前記第２液導入部の前記流路板の厚み方向で前記第１液導入部と異なる位置に形成された流路部分と前記第２共通液室の壁面を形成するダンパ領域との間に形成され、
前記第３共通液室の壁面を形成するダンパ領域に対応するダンパ室は、前記第３液導入部の前記流路板の厚み方向で前記第１液導入部と異なる位置に形成された流路部分と前記第３共通液室の壁面を形成するダンパ領域との間に形成されている
ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記壁面部材は、前記個別液室の壁面を形成する振動板部材であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記壁面部材は複層構造をなし、前記ダンパ領域は一部の層で形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記ダンパ領域は、ノズル配列方向で複数配置されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記ダンパ室は大気に通じていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置、例えばインクジェット記録装置が知られている。
【０００３】
液体吐出ヘッドとしては、一列に配置された圧力発生室の奇数番目と偶数番目で、並んで配置された２つの共通液室からインク供給を行なうとともに、共通液室からのインク供給口を一列に配列したものが知られている（特許文献１）。
【０００４】
また、一列に配置された圧力発生室に対し、積層配置された複数の共通液室から液体供給を行うようにしたものも知られている（特許文献２）。
【０００５】
ところで、液体吐出ヘッドにあっては、滴吐出に伴う圧力変動が共通液室に伝播した後、逆伝播したり、他の個別液室に伝播することによって滴吐出特性のバラツキが発生することから、共通液室の壁面にダンパ領域を形成し、このダンパ領域の背面に大気に通じるダンパ室を形成するようにしている（特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−０３０３５４号公報
【特許文献２】特開２００７−２２３１９０号公報
【特許文献３】特開２００８−２１３１９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した特許文献１に記載の構成では、一つの共通液室から供給される圧力発生室の隣接距離を離すことによって、共通液室を介した隣の圧力発生室へのクロストークは低減できるが、圧力発生室全体に伝播する大きな圧力振動を低減することはできない。
【０００８】
また、特許文献２に記載の構成にあっては、積層された複数の共通液室にダイアフラムを配している。このような構成では、一方の共通液室で発生した圧力はダイアフラムにより低減できるが、その圧力は他方の共通液室に伝播してしまうこととなる。したがって、共通液室間でクロストークが発生してしまうこととなり、圧力振動を低減することができないという課題がある。
【０００９】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、複数の共通液室を並んで配置した構成であっても液体を安定して吐出できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズル板と、
前記ノズルに通じる複数の個別液室、前記個別液室に通じる複数の流体抵抗部、前記流体抵抗部に通じる液導入部を形成する流路板と、
前記個別液室に液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材と、
前記流路板と前記共通液室部材との間に配置された壁面部材と、を備え、
前記複数の個別液室はノズル配列方向に沿って配列され、
ノズル配列方向に並ぶ２つの前記個別液室にそれぞれ前記液体を供給する第１共通液室及び第２共通液室と、
前記第１共通液室から液体を導入し、前記流体抵抗部に通じる第１液導入部と、
前記第２共通液室から液体を導入し、前記流体抵抗部に通じる第２液導入部と、有し、
前記第１共通液室と前記第２共通液室とは、ノズル配列方向と直交する方向で、並んで配置され、
前記第２共通液室は、前記第１共通液室よりも前記個別液室の列から離れた位置に設けられ、
前記第２液導入部は、前記流路板の厚み方向で、前記第１液導入部と同じ位置に形成された流路部分と、前記第１液導入部と異なる位置に形成された流路部分を有し、
前記壁面部材には、前記第１共通液室の壁面を形成する変形可能なダンパ領域及び前記第２共通液室の壁面を形成する変形可能なダンパ領域を有し、
前記流路板の前記壁面部材側には、前記第１共通液室の壁面を形成するダンパ領域に対応する部分にダンパ室を形成する凹部と、前記第２共通液室の壁面を形成するダンパ領域に対応する部分にダンパ室を形成する凹部が形成されている
構成とした。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、複数の共通液室を並んで配置した構成であっても各共通液室に伝播した圧力振動を低減できるため、液体を安定して吐出できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの要部平面説明図である。
【図２】図１のＡ１−Ａ１線に沿う断面説明図である。
【図３】図１のＢ１−Ｂ１線に沿う断面説明図である。
【図４】ノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの要部平面説明図である。
【図６】図５のＡ２−Ａ２線に沿う断面説明図である。
【図７】図５のＢ２−Ｂ２線に沿う断面説明図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの要部平面説明図ある。
【図９】本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの要部平面説明図である。
【図１０】図９のＡ３−Ａ３線に沿う断面説明図である。
【図１１】図９のＢ３−Ｂ３線に沿う断面説明図である。
【図１２】図９のＣ３−Ｃ３線に沿う断面説明図ある。
【図１３】本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッドの要部平面説明図である。
【図１４】図１３のＡ４−Ａ４線に沿う断面説明図である。
【図１５】本発明に係る画像形成装置の一例を示す機構部の側面説明図である。
【図１６】同機構部の要部平面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図４を参照して説明する。図１は同ヘッドの要部平面説明図、図２は図１のＡ１−Ａ１線に沿う断面説明図、図３は図１のＢ１−Ｂ１線に沿う断面説明図、図４はノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【００１４】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板（流路形成部材）２と、壁面部材である振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３を変位させる積層型圧電素子を含む圧力発生手段である圧電アクチュエータ１１と、共通液室部材（共通流路部材）２０とを備えている。
【００１５】
ノズル板１は、液滴を吐出する複数のノズル４を１列に配列したノズル列を有している。
【００１６】
流路板２は、各ノズル４が通じる複数の個別液室６と、各個別液室６が通じる複数の流体抵抗部７と、流体抵抗部７が通じる第１液導入部８Ａ及び第２液導入部８Ｂ（区別しないときは、単に「液導入部８」という。）を形成している。
【００１７】
共通液室部材２０は、ノズル配列方向に並ぶ少なくとも２つの個別液室となる隣り合う２つの個別液室６の一方に液体を供給する第１共通液室１０Ａと、隣り合う２つの個別液室６の他方に液体を供給する第２共通液室１０Ｂとを形成している。第１共通液室１０Ａと第２共通液室１０Ｂ（区別しないときは、単に「共通液室１０」という。）とは、ノズル配列方向と直交する方向で異なる位置に配置されている。
【００１８】
振動板部材３には、第１共通液室１０Ａが通じる第１導入口９Ａと、第２共通液室１０Ｂが通じる第２導入口９Ｂ（区別しないときは、単に「導入口９」という。）とが形成されている。
【００１９】
第１導入口９Ａのノズル配列方向の列と、第２導入口９Ｂのノズル配列方向の列とは、ノズル配列方向と直交する方向で異なる位置に配置されている。さらに、隣り合う個別液室６、６に対応する第１導入口９Ａと第２導入口９Ｂはノズル配列方向において異なる位置に配置され、本実施形態では千鳥状に配置されている。
【００２０】
第１共通液室１０Ａからは第１導入口９Ａを介して第１液導入部８Ａに液体が導入される。第２共通液室１０Ｂからは第２導入口９Ｂを介して第２液導入部８Ｂに液体が導入される。
【００２１】
そして、第２共通液室１０Ｂと個別液室６との間を通じる第２液導入部８Ｂは、流路板２の厚み方向で第１液導入部８Ａと同じ位置に配置された流路部分８８Ａと、流路板２の厚み方向で第１液導入部８Ａとは異なる位置に形成された流路部分８８Ｂを有している。
【００２２】
第２液導入部８Ｂの流路部分８８Ｂは、第１液導入部８Ａと同じ形状に形成されている。
【００２３】
第２液導入部８Ｂの流路部分８８Ｂは、第１液導入部８Ａ及び流路部分８８Ｂに比べて開口断面積を大きくし、流路抵抗を小さくしている。ここでは、流路部分８８Ｂの高さ（流路板２の厚み方向の高さ）を高くしている。
【００２４】
ここでは、流路板２を４層構造のＳＵＳプレートから形成している。そして、１層目で第１液導入部８Ａ及び第２液導入部８Ｂの流路部分８８Ａを形成している。また、３層目及び４層目で第２液導入部８Ｂの流路部分８８Ｂを形成することで、流路部分８８Ｂの開口断面積を大きくしている。また、２層目で流路部分８８Ｂと流路部分８８Ｂを繋ぐ流路部分１８８ａ及び流路部分８８Ｂと第２導入口９Ｂとを繋ぐ流路部分１８８ｂを形成している。
【００２５】
このようにして、第１液導入部８Ａの第１導入口９Ａから流体抵抗部７までの流路の流体抵抗と、第２液導入部８Ｂの第２導入口９Ｂから流体抵抗部７までの流路の流体抵抗とを、同じにするか、差を小さくしている。
【００２６】
また、個別液室６及び流体抵抗部７の流路形状を同じとし、第１液導入部８Ａと第２液導入部８Ｂとでは流路形状を異ならせつつ流体抵抗をほぼ同じ（同じを含む。以下同様）にしているので、各ノズル４からの滴吐出特性をほぼ同じにできる。
【００２７】
これによって、第１共通液室１０Ａと第２共通液室１０Ｂとで異なる種類の液体を収容するときには、簡単な構成で一列に並ぶ複数のノズルから複数種の液体を吐出でき、異なる液体間の滴吐出特性のばらつきを低減できる。
【００２８】
このとき、本実施形態では隣り合う個別液室６に対応する第１導入口９Ａと第２導入口９Ｂとは千鳥状に配置されているため、異なる種類の液体は千鳥状に配置された導入口９からそれぞれ各個別液室６に供給されることになる。
【００２９】
なお、複数種類の液体とは、例えば、色の違う液体、染料系と顔料系の液体、光硬化性など特性の違う液体など、である。
【００３０】
次に、本実施形態におけるダンパ構成について説明する。
【００３１】
振動板部材３は、流路板２と共通液室部材２０との間に介在して、第１共通液室１０Ａ、第２共通液室１０Ｂの壁面を形成する壁面部材を兼ねている。この振動板部材３は、第１層３Ａ及び第２層２Ｂの２層構造としているが、３層以上の構造とすることもできるし、１層構造とすることもできる。
【００３２】
そして、振動板部材３の薄層の第１層３Ａによって、第１共通液室１０Ａの壁面の一部に変形可能なダンパ領域５１Ａを形成し、第２共通液室１０Ｂの壁面の一部に変形可能なダンパ領域５１Ｂを形成している。
【００３３】
そして、流路板１の振動板部材３側には、ダンパ領域５１Ａ、５１Ｂに対応してダンパ室５２Ａ、５２Ｂを形成する凹部をそれぞれ形成している。
【００３４】
このとき、第２液導入部８Ｂの流路部分８８Ｂは、第１液導入部８Ａと厚み方向で異なる位置に形成することで、流路部分８８Ｂと振動板部材３のダンパ領域５１Ａとの間にダンパ室５２Ａを形成する領域を確保できる。
【００３５】
つまり、第１共通液室１０Ａと第２共通液室１０Ｂとをノズル配列方向と直交する方向に配置し、第２液導入部８Ｂのすべての流路を第１液導入部８Ａと厚み方向で同じ位置に形成する（流路部分８８Ｂをそのまま振動板部材３の面に沿って第２導入口９Ａまで延長する）と、上述したダンパ室５２Ａは、第２液導入部８Ｂを避けて形成する必要がある。この結果、ダンパ領域５１Ａとしては各個別液室６に対応して分断されたものになり、面積が小さくなってダンパとして十分に機能させることができない。
【００３６】
これに対し、本実施形態のように形成することで、ノズル配列方向に連続する第２液導入部８の流路部分８８Ｂと振動板部材３との間の領域にダンパ室５２Ａを形成することができ、十分な面積のダンパ領域５１Ａを確保することができ、効率的なダンパを得ることができる。
【００３７】
このように第１共通液室１０Ａ、第２共通液室１０Ｂの壁面にダンパ領域５１Ａ、５１Ｂを形成することで、個別液室６で発生した圧力波が第１共通液室１０Ａ、第２共通液室１０Ｂに伝播しても、ダンパ領域５１Ａ、５１Ｂの変位によって減衰させることができる。これにより、第１共通液室１０Ａ、第２共通液室１０Ｂから個別液室６に再伝播することを抑制することができ、滴吐出特性の変動を抑え、高品位な吐出が可能となる。
【００３８】
なお、ダンパ室５２Ａ、５２Ｂは大気に開放することで、ダンパ領域５１Ａ、５２Ｂの効率的な変位が可能になって、振動減衰効率が向上する。
【００３９】
次に、その他の各部の具体例及びヘッドの動作について説明する。
【００４０】
ノズル板１は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）の金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法（電鋳）で製造したものを用いている。これに限らず、その他の金属部材、樹脂部材、樹脂層と金属層の積層部材などを用いることができる。また、ノズル板１の液滴吐出側面（吐出方向の表面：吐出面）には撥液層を設けている。
【００４１】
流路板２は、上述したように４層のＳＵＳプレートで構成している。
【００４２】
振動板部材３は、流路板２の個別液室６などの壁面を形成する壁面部材も兼ねている。この振動板部材３の第１層３Ａによって個別液室６に対応する部分に変形可能な振動領域３０を形成している。
【００４３】
共通液室部材２０は、このヘッドのフレーム部材を兼ねている。なお、第１、第２共通液室１０Ａ、１０Ｂに通じる振動板部材３の第１、第２導入口９Ａ、９Ｂにはフィルタ部を設けることができる。
【００４４】
そして、共通液室部材２０には、図示しないヘッドタンクや液体カートリッジから第１共通液室１０Ａ、第２共通液室１０Ｂに液体を供給する図示しない液体供給口部が形成されている。
【００４５】
この共通液室部材２０は、例えばエポキシ系樹脂或いは熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイト等で射出成形により形成している。
【００４６】
そして、振動板部材３の個別液室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。
【００４７】
この圧電アクチュエータ１１は、図示しないベース部材上に接着剤接合した積層型圧電素子である圧電部材１２に、ハーフカットダイシングによって溝を加工して、所要数の柱状の積層型圧電素子（以下、「圧電柱」という。）１２Ａ、１２Ｂを所定の間隔で櫛歯状に形成したものである。
【００４８】
そして、圧電部材１２の圧電柱１２Ａは、振動板部材３の振動領域３０の凸部３１に接着接合されている。また、圧電柱１２Ｂは、個別液室６、６間の隔壁に対応する位置で振動板部材３に接合されている。
【００４９】
このとき、圧力発生手段である圧電柱１２Ａは、ノズル４と同様に、ノズル配列方向で一列に配列されている。
【００５０】
なお、圧電部材１２としては、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられている。そして、圧電柱１２Ａの外部電極に駆動信号を与えるための可撓性を有するフレキシブル配線基板としてのＦＰＣが接続されている。
【００５１】
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電柱１２Ａに与える電圧を基準電位から下げることによって圧電柱１２Ａが収縮し、振動板部材３の振動領域３０が引かれて個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体が流入する。
【００５２】
その後、圧電柱１２Ａに与える電圧を上げて圧電柱１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３０をノズル４方向に変形させて個別液室６の容積を収縮させる。これにより、個別液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液滴が吐出（噴射）される。
【００５３】
そして、圧電柱１２Ａに与える電圧を基準電位に戻すことによって振動板部材３の振動領域３０が初期位置に復元し、個別液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０から液導入部８、流体抵抗部７を通じて個別液室６内に液体が充填される。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。
【００５４】
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与え方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。
【００５５】
次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図５ないし図７を参照して説明する。図５は同ヘッドの要部平面説明図、図６は図５のＡ２−Ａ２線に沿う断面説明図、図７は図５のＢ２−Ｂ２線に沿う断面説明図である。
【００５６】
本実施形態では、第２共通液室１０Ｂと個別液室６との間を通じる第２液導入部８Ｂは、流路板２の厚み方向で第１液導入部８Ａと同じ位置に配置された流路部分８８ａと、流路板２の厚み方向で第１液導入部８Ａとは異なる位置に形成された流路部分８８ｂを有している。
【００５７】
第２液導入部８Ｂの流路部分８８Ａは、第１液導入部８Ａと同じ形状に形成されている。
【００５８】
第２液導入部８の流路部分８８Ｂは、流路部分８８Ｂに比べて、高さは同じで幅を広くしている。流体抵抗は開口断面積と長さで定まるので、前記第１実施形態と同様に流体抵抗を小さくすることができる。
【００５９】
例えば、本実施形態では、流路板２はシリコン基板を使用して、エッチングにより流路を形成している。
【００６０】
そして、流路板２に流路を形成するとき、基板の反りと接着剤のはみ出し防止のため、個別液室６を形成している側と反対側の面にダミーの凹部を形成するので、凹部のエッチング工程で流路部分８８Ｂを形成することができる。これにより、容易に流路部分８８Ｂの流路幅を広くすることができる。また、流路板２の厚み方向では、個別液室６とノズル４とを繋ぐ流路をエッチングで形成するときに、流路部分８８Ｂと流路部分８８Ａを繋ぐ流路部分１８８ａ及び第２導入口９Ｂとを繋ぐ流路部分１８８ｂを形成することができる
【００６１】
このようにして、第１液導入部８Ａの第１導入口９Ａから流体抵抗部７までの流路の流体抵抗と、第２液導入部８Ｂの第２導入口９Ｂから流体抵抗部７までの流路の流体抵抗とを、同じにするか、差を小さくしている。
【００６２】
また、第１液導入部８Ａ及び第２液導入部８Ｂの流路部分８８Ａを形成するときに、同時にダンパ室５２Ａ、５２Ｂとなる凹部も形成している。
【００６３】
これにより、前記第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００６４】
次に、本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図８を参照して説明する。図８は同ヘッドの要部平面説明図ある。
【００６５】
本実施形態では、第２液導入部８Ｂの流路部分８８Ｂは相互に通じさせて１つの流路部分としている。なお、第２導入口９Ｂは各個別液室６ごとに設けられて、流路部分８８Ｂの最上流部分で通じている。
【００６６】
このようにして、全体として、第１液導入部８Ａの第１導入口９Ａから流体抵抗部７までの流路の流体抵抗と、第２液導入部８Ｂの第２導入口９Ｂから流体抵抗部７までの流路の流体抵抗とを、同じにするか、差を小さくしている。
【００６７】
また、ダンパ領域５１Ａ及びダンパ領域５１Ｂは、ノズル配列方向で、複数（ここでは２つ）に分けている。このとき、ノズル配列方向で隣り合うダンパ領域５１Ａ間、５１Ｂ間にはリブ５５Ａ，５５Ｂがそれぞれ残存する。
【００６８】
これにより、前記第２実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００６９】
そして、ダンパ領域をノズル配列方向で分けることによって、リブ５５が配されるような構成となり、必要なコンプライアンスを確保しつつ、ダンパ領域を形成する壁面部材の剛性を保つことができる。なお、本実施形態では二分割としているが、必要なコンプライアンスと壁面部材の剛性確保のために、ダンパ機能を確保できる範囲でより多くの分割を行うこともできる。
【００７０】
次に、本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図９ないし図１２を参照して説明する。図９は同ヘッドの要部平面説明図、図１０は図９のＡ３−Ａ３線に沿う断面説明図、図１１は図９のＢ３−Ｂ３線に沿う断面説明図、図１２は図９のＣ３−Ｃ３線に沿う断面説明図ある。
【００７１】
本実施形態は、ノズル配列方向に並ぶ３つの個別液室６に対し、順次、液体を供給する第１共通液室１０Ａ、第２共通液室１０Ｂ及び第３共通液室１０Ｃを有し、これに対応して、第１導入口９Ａ、第２導入口９Ｂ及び第３導入口９Ｃと、第１液導入部８Ａ、第２液導入部８Ｂ及び第３液導入部８Ｃとを有している。
【００７２】
そして、第２共通液室１０Ｂと個別液室６との間を通じる第２液導入部８Ｂは、流路板２の厚み方向で第１液導入部８Ａと同じ位置に配置された流路部分８８Ａと、流路板２の厚み方向で第１液導入部８Ａとは異なる位置に形成された流路部分８８Ｂを有している。
【００７３】
第３共通液室１０Ｃと個別液室６との間を通じる第３液導入部８Ｃは、流路板２の厚み方向で第１液導入部８Ａと同じ位置に配置された流路部分８８Ａと、流路板２の厚み方向で第１液導入部８Ａとは異なる位置に形成された流路部分８８Ｃを有している。
【００７４】
そして、第３液導入部８Ｃの流路部分８８Ｃの幅は、第２液導入部８Ｂの流路部分８８Ｂの幅よりも広くしている。
【００７５】
このようにして、第１液導入部８Ａの第１導入口９Ａから流体抵抗部７までの流路の流体抵抗と、第２液導入部８Ｂの第２導入口９Ｂから流体抵抗部７までの流路の流体抵抗と、第３液導入部８Ｃの第３導入口９Ｃから流体抵抗部７までの流路の流体抵抗とを、同じにするか、差を小さくしている。
【００７６】
また、第３共通液室１０Ｃの壁面の一部にもダンパ領域５１Ｃを形成し、ダンパ領域５１Ｃに対応してダンパ室５２Ｃを形成している。
【００７７】
また、本実施形態でも、ダンパ領域５１Ａ、５２Ｂ、５３Ｃは、ノズル配列方向で複数設けている。
【００７８】
ノズル配列方向に並ぶ３つの個別液室６、６、６に対応する第１導入口９Ａと第２導入口９Ｂ、第３導入口９Ｃはノズル配列方向において異なる位置に配置されている。
【００７９】
これにより、前記各実施形態と同様の作用効果を得ることができる。また、第１共通液室１０Ａと第２共通液室１０Ｂと第３共通液室１０Ｃとで異なる種類の液体を収容するときには、本実施形態によれば３種類の液体を同時に吐出することができる。
【００８０】
次に、本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１３及び図１４を参照して説明する。図１３は同ヘッドの要部平面説明図、図１４は図１３のＡ４−Ａ４線に沿う断面説明図ある。
【００８１】
本実施形態は、前記第第２実施形態の構成を、ノズル配列方向を中心として、対向配置し、４つの共通液室１０から４種類の液体を吐出できるようにしている。
【００８２】
これによって、１つのヘッドで例えば、ブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の４色のインクを吐出することが可能となり、１ヘッドでフルカラーの印刷を行なうことができる。
【００８３】
また、個別液室６を対向した配置とすることで、各列の圧電アクチュエータ１１を一つのベース部材１３上に配置できるため、一つのアクチュエータユニットで４色分の吐出を行うことができるようになり、ヘッドの小型化、低コスト化が可能となる。
【００８４】
次に、本発明に係る画像形成装置の一例について図１５及び図１６を参照して説明する。図１５は同装置の機構部の側面説明図、図１６は同機構部の要部平面説明図である。
【００８５】
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置である。左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。
【００８６】
このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４を搭載している。
【００８７】
また、記録ヘッド２３４に各色のヘッドタンク２３５が接続され、各ヘッドタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニットによって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。
【００８８】
一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向する分離パッド２４４を備える。この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。
【００８９】
そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備える。さらに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。
【００９０】
この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。
【００９１】
さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。
【００９２】
また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて、再度、カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。
【００９３】
さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャッピングするためのキャップ２８２を備えている。また、維持回復機構２８１は、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。
【００９４】
また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８８を配置している。この空吐出受け２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。
【００９５】
このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送される。更に用紙２４２は先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００９６】
そして、帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。
【００９７】
そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。
【００９８】
このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えるので、小型化を図れる。
【００９９】
なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味である。被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。
【０１００】
また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。
【０１０１】
また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用いる。例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。
【０１０２】
また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。
【０１０３】
また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。
【符号の説明】
【０１０４】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板部材
４  ノズル
６  個別液室
７  流体抵抗部
８Ａ  第１液導入部
８Ｂ  第２液導入部
８Ｃ  第３液導入部
９Ａ  第１液導入口
９Ｂ  第２液導入口
９Ｃ  第３液導入口
１０Ａ  第１共通液室
１０Ｂ  第２共通液室
１０Ｃ  第３共通液室
１２  圧電部材
１２Ａ  圧電柱
５１Ａ、５１Ｂ、５１  ダンパ領域
５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃ  ダンパ室
２０  共通液室部材
２３３  キャリッジ
２３４  記録ヘッド
【図１】
2015054510.tif 000003
【図２】
2015054510.tif 000004
【図３】
2015054510.tif 000005
【図４】
2015054510.tif 000006
【図５】
2015054510.tif 000007
【図６】
2015054510.tif 000008
【図７】
2015054510.tif 000009
【図８】
2015054510.tif 000010
【図９】
2015054510.tif 000011
【図１０】
2015054510.tif 000012
【図１１】
2015054510.tif 000013
【図１２】
2015054510.tif 000014
【図１３】
2015054510.tif 000015
【図１４】
2015054510.tif 000016
【図１５】
2015054510.tif 000017
【図１６】
2015054510.tif 000018