(57)【要約】【課題】処理対象に赤外線を放射して処理する際に、処理対象を十分冷却しつつ、処理対象のばたつきを十分抑制する。【解決手段】乾燥装置１０では、加熱により赤外線を放出するフィラメント３２と、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収しフィラメント３２を覆う内管３６，外管４０と、を有する赤外線ヒーター３０により、ロールトゥロール方式で搬送されるシート状の塗膜８２に対して赤外線を放射して乾燥を行う。また、塗膜８２のうち赤外線ヒーターからの赤外線が照射されている部分（炉体１２内の部分）を第２冷媒により冷却する。冷却機構６０は、ベルトコンベア６１により塗膜８２を搬送可能に支持している。水冷ロール６５は、ベルト６２のリングよりも内側を第２冷媒が通過するように第２流路６５ａを形成している。【選択図】図１
2015036590.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状の処理対象に赤外線を放射して処理を行う赤外線処理装置であって、
ロールトゥロール方式で前記処理対象を搬送方向に搬送する搬送手段と、
加熱により赤外線を放射する発熱体と、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収し該発熱体を覆う管と、を有し、前記処理対象に赤外線を放射する赤外線ヒーターと、
前記処理対象のうち前記赤外線ヒーターからの赤外線が照射されている部分を液体により冷却する冷却手段と、
を備えた赤外線処理装置。
【請求項２】
前記冷却手段は、前記処理対象を搬送可能に支持する、
請求項１に記載の赤外線処理装置。
【請求項３】
前記冷却手段は、前記液体が流通可能な液体流路を形成する液体流路形成部材を有する、
請求項１又は２に記載の赤外線処理装置。
【請求項４】
前記冷却手段は、前記処理対象を搬送可能に支持し且つ該処理対象と共に前記搬送方向に回転可能なリング状のベルトを有するベルトコンベアを有し、
前記液体流路形成部材は、前記ベルトのリングよりも内側を前記液体が通過するように前記液体流路を形成しており、
該液体流路形成部材と前記液体流路を通過する液体との少なくとも一方が前記ベルトの内周面のうち前記処理対象側に接触可能に構成されている、
請求項３に記載の赤外線処理装置。
【請求項５】
請求項４に記載の赤外線処理装置であって、
前記ベルトコンベアは、前記ベルトに複数の孔が形成されており、
前記ベルトの孔の内部を減圧して前記処理対象を前記ベルトに吸着させる吸着手段、
を備えた赤外線処理装置。
【請求項６】
前記液体流路形成部材は、内部に前記液体流路を形成する冷却ロールである、
請求項３〜５のいずれか１項に記載の赤外線処理装置。
【請求項７】
前記冷却手段は、前記処理対象を搬送可能に支持し且つ該処理対象と共に前記搬送方向に回転可能なリング状のベルトを有するベルトコンベア、を有し、
前記ベルトは、内部に前記液体流路を形成する前記液体流路形成部材として構成されている、
請求項３に記載の赤外線処理装置。
【請求項８】
前記赤外線ヒーターは、前記処理対象よりも鉛直上側に配置されている、
請求項１〜７のいずれか１項に記載の赤外線処理装置。
【請求項９】
前記液体流路形成部材は、前記処理対象側に向けて開口し前記液体が前記処理対象に直接的又は間接的に接触しつつ流通可能な前記液体流路を形成している、
請求項３に記載の赤外線処理装置。
【請求項１０】
前記液体流路形成部材は、前記開口の前記搬送方向の両端に配置され前記処理対象に直接的又は間接的に接触する弾性体を有する、
請求項９に記載の赤外線処理装置。
【請求項１１】
前記赤外線ヒーターは、前記液体流路内に配置されている、
請求項９又は１０に記載の赤外線処理装置。
【請求項１２】
前記液体は、赤外線の透過極大波長が３．５μｍ以下の赤外線領域にある、
請求項１１に記載の赤外線処理装置。
【請求項１３】
前記液体流路形成部材は、前記液体流路を形成する表面が波長３．５μｍ以下の赤外線を反射する赤外線反射材料で構成されている、
請求項１２に記載の赤外線処理装置。
【請求項１４】
減圧下又は真空下の雰囲気で前記処理対象の前記処理を行う、
請求項１〜１３のいずれか１項に記載の赤外線処理装置。
【請求項１５】
ロールトゥロール方式でシート状の処理対象を搬送方向に搬送する搬送手段と、加熱により赤外線を放射する発熱体と３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収し該発熱体を覆う管とを有する赤外線ヒーターと、を備えた赤外線処理装置による赤外線処理方法であって、
前記赤外線ヒーターから前記処理対象に赤外線を放射しつつ、該処理対象のうち前記赤外線ヒーターからの赤外線が照射されている部分を液体により冷却する工程、
を含む赤外線処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、赤外線処理装置及び赤外線処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、赤外線の照射と送風とを用いて乾燥対象の乾燥などの処理を行う赤外線処理装置が知られている。例えば、特許文献１には、スリット状送風ノズルと棒状ヒーターとを並べて配置したノズル付きヒーターを用いた乾燥装置が記載されている。棒状ヒーターとしては、カーボンフィラメントを発熱体とする石英硝子中波長赤外線ヒーターを用いることが記載されている。このノズル付きヒーターでは、ノズルとヒーターとを備えることにより、ヒーターで乾燥対象の加熱を行うと共に、加熱により揮発した水などの成分の除去をノズルからの送風により行って、効率よく乾燥ができるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３３０３６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ロールトゥロール方式で搬送されるシート状の処理対象を、赤外線を用いて処理する場合がある。この場合において、赤外線により処理対象が過熱すると、熱膨張や処理後の熱収縮により応力が生じて処理対象が変形するなどの問題が生じることがある。これを抑制するためには、処理対象を冷却しながら処理することが考えられる。しかし、特許文献１に記載の乾燥装置のように送風とヒーターとで処理を行う場合、送風により冷却を行おうとしても、処理対象を十分冷却できない場合がある。また、十分冷却しようとして送風の風速や流量を大きくすると、シート状の処理対象がばたつくなどの現象が生じ、処理対象に悪影響を与える場合がある。
【０００５】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、処理対象に赤外線を放射して処理する際に、処理対象を十分冷却しつつ、処理対象のばたつきを十分抑制することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の赤外線処理装置は、
シート状の処理対象に赤外線を放射して処理を行う赤外線処理装置であって、
ロールトゥロール方式で前記処理対象を搬送方向に搬送する搬送手段と、
加熱により赤外線を放射する発熱体と、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収し該発熱体を覆う管と、を有し、前記処理対象に赤外線を放射する赤外線ヒーターと、
前記処理対象のうち前記赤外線ヒーターからの赤外線が照射されている部分を液体により冷却する冷却手段と、
を備えたものである。
【０００７】
この本発明の赤外線処理装置では、加熱により赤外線を放出する発熱体と、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収し発熱体を覆う管と、を有する赤外線ヒーターにより、ロールトゥロール方式で搬送されるシート状の処理対象に対して赤外線を放射して処理を行う。また、処理対象のうち赤外線ヒーターからの赤外線が照射されている部分を液体により冷却する。そのため、処理対象を液体により冷却しつつ、赤外線ヒーターにより処理対象を処理することができる。そして、液体を用いて冷却するため、例えば送風を用いて冷却する場合と比べて冷却効率が高くなり、処理対象を十分冷却することができる。また、液体を用いて冷却するため、送風を用いて冷却する場合と比べて、シート状の処理対象のばたつきを十分抑制することができる。なお、赤外線ヒーターは、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収する管が発熱体を覆っている。そのため、赤外線ヒーターから放射される赤外線は、近赤外線（波長が０．７〜３．５μｍの赤外線領域）の割合が増大したものとなる。近赤外線は、例えば処理対象中の水，溶剤などの分子中の水素結合を効率よく切断できるなど、処理対象の処理（例えば乾燥、脱水など）を効率よく行うことができる。このような赤外線ヒーターを用いることで、処理対象の温度を液体により比較的低く維持したままでも、十分な処理を行うことができる。なお、本発明の赤外線処理装置は、処理対象を連続的に搬送しつつ搬送中の処理対象に赤外線を放射して処理する連続式の装置として構成されていてもよいし、処理対象に赤外線を放射して処理する間は搬送を停止する間欠式の装置として構成されていてもよい。また、赤外線ヒーターは１以上であればよく、複数備えていてもよい。さらに、前記赤外線ヒーターは、前記管を冷却する冷媒が流通可能な冷媒流路を備えていてもよい。前記赤外線ヒーターが前記管を複数有しており、前記冷媒流路は、該複数の管で囲まれる空間としてもよい。
【０００８】
本発明の赤外線処理装置において、前記冷却手段は、前記処理対象を搬送可能に支持してもよい。ここで、「処理対象を搬送可能に支持」とは、処理対象を自ら搬送はせず搬送を妨げないように支持する場合や、処理対象を自ら搬送する場合を含む。
【０００９】
本発明の赤外線処理装置において、前記冷却手段は、前記液体が流通可能な液体流路を形成する液体流路形成部材を有していてもよい。
【００１０】
液体流路形成部材を有する態様の本発明の赤外線処理装置において、前記冷却手段は、前記処理対象を支持し且つ該処理対象と共に前記搬送方向に回転可能なリング状のベルトを有するベルトコンベアを有し、前記液体流路形成部材は、前記ベルトのリングよりも内側を前記液体が通過するように前記液体流路を形成しており、該液体流路形成部材と前記液体流路を通過する液体との少なくとも一方が前記ベルトの内周面のうち前記処理対象に接する側に接触可能に構成されていてもよい。こうすれば、ベルトコンベアで処理対象を支持するため、搬送手段から処理対象に加わる搬送方向の張力を小さくしつつ処理対象の搬送を行うことができる。これにより、張力による搬送対象の変形をより抑制することができる。また、ベルトを介して搬送対象を冷却するため、液体流路を流れる液体（水滴）や異物などが処理対象の裏面などに付着することをより抑制することができる。ここで、前記ベルトコンベアは、前記ベルトを回転駆動させる駆動手段を有し、該駆動手段により前記ベルトを回転駆動させることで前記処理対象を搬送するものとしてもよい。また、前記ベルトコンベアは、処理対象を自ら搬送はせず前記処理対象の搬送に伴って摩擦力により前記ベルトが従動的に回転する（自ら回転駆動はしない）ものとしてもよい。
【００１１】
この場合において、前記ベルトコンベアは、前記ベルトに複数の孔が形成されており、赤外線処理装置は、前記ベルトの孔の内部を減圧して前記処理対象を前記ベルトに吸着させる吸着手段、を備えていてもよい。こうすれば、処理対象をベルトに吸着させることで、ベルトを介して処理対象のより均一な冷却が可能となり、また、処理対象のばたつきをより抑制することができる。
【００１２】
液体流路形成部材を有する態様の本発明の赤外線処理装置において、前記液体流路形成部材は、内部に前記液体流路を形成する冷却ロールとしてもよい。
【００１３】
液体流路形成部材を有する態様の本発明の赤外線処理装置において、前記冷却手段は、前記処理対象を搬送可能に支持し且つ該処理対象と共に前記搬送方向に回転可能なリング状のベルトを有するベルトコンベア、を有し、前記ベルトは、内部に前記液体流路を形成する前記液体流路形成部材として構成されていてもよい。
【００１４】
本発明の赤外線処理装置において、前記赤外線ヒーターは、前記処理対象よりも鉛直上側に配置されていてもよい。こうすれば、例えば冷却手段が処理対象を鉛直下側から冷却する場合に、冷却手段の位置に関わらず赤外線ヒーターからの波長３．５μｍ以下の赤外線を直接処理対象に照射しやすい。
【００１５】
液体流路形成部材を有する態様の本発明の赤外線処理装置において、前記液体流路形成部材は、前記処理対象側に向けて開口し前記液体が前記処理対象に直接的又は間接的に接触しつつ流通可能な前記液体流路を形成していてもよい。ここで、「処理対象に間接的に接触」とは、処理対象に他の部材を介して接触することを意味する。この場合において、冷却手段が上述したベルトコンベアを備えた態様とし、前記液体流路形成部材は、前記ベルトの内周面のうち前記処理対象側に前記液体が接触しつつ流通可能な前記液体流路を形成していてもよい。こうすることで、液体がベルトに接触しているため、例えば液体が液体流路形成部材を介してベルト（及び処理対象）を冷却する場合と比べて、冷却効率をより高めることができる。
【００１６】
この場合において、前記液体流路形成部材は、前記開口の前記搬送方向の両端に配置され前記処理対象に直接的又は間接的に接触する弾性体を有していてもよい。こうすれば、液体が液体流路の開口した部分から外部に漏れることをより抑制することができる。この場合において、前記弾性体は、前記開口の外周を囲んでいてもよい。こうすれば、液体の漏れをさらに抑制することができる。
【００１７】
液体流路形成部材が処理対象側に向けて開口した液体流路を形成する態様の本発明の赤外線処理装置において、前記赤外線ヒーターは、前記液体流路内に配置されていてもよい。こうすれば、赤外線ヒーターと液体流路形成部材とが別々に配置されている場合と比べて、赤外線処理装置の構成をコンパクトにすることができる。また、液体流路を流れる液体によって赤外線ヒーターの表面も冷却することができる。ここで、「赤外線ヒーターが液体流路内に配置されている」とは、赤外線ヒーターの少なくとも一部が液体流路内に配置されていればよい意である。例えば、赤外線ヒーターが液体流路を貫通していたり、液体流路及び液体流路形成部材を貫通していたりしてもよい。
【００１８】
赤外線ヒーターが液体流路内に配置されている態様の本発明の赤外線処理装置において、前記液体は、赤外線の透過極大波長が３．５μｍ以下の赤外線領域にあってもよい。こうすれば、液体が波長３．５μｍ以下の赤外線を透過しやすいため、赤外線ヒーターの周囲の液体が波長３．５μｍ以下の赤外線を吸収してしまうことによる処理効率の低下をより抑制できる。なお、前記液体は、波長３．５μｍ以下の赤外線の全透過率が８０％以下としてもよい。
【００１９】
本発明の赤外線処理装置において、前記液体流路形成部材は、前記液体流路を形成する表面が波長３．５μｍ以下の赤外線を反射する赤外線反射材料で構成されていてもよい。こうすれば、液体流路形成部材は液体流路を形成する表面が赤外線反射材料で構成され、処理対象側が開口しているため、赤外線ヒーターから処理対象以外の方向に放射される波長３．５μｍ以下の赤外線を、処理対象に向けて反射することができる。これにより、処理効率をより向上させることができる。なお、「前記液体流路を形成する表面が波長３．５μｍ以下の赤外線を反射する赤外線反射材料で構成されている」とは、液体流路形成部材の全てが赤外線反射材料で構成されている場合や、液体流路を形成する表面のみが赤外線反射材料で構成されている場合を含む。
【００２０】
本発明の赤外線処理装置は、減圧下又は真空下の雰囲気で前記処理対象の前記処理を行ってもよい。減圧下では比較的送風がしにくく、真空下では送風することができない。そのため、このような雰囲気下で処理を行う場合には、液体を用いて処理対象を冷却する意義が高い。
【００２１】
本発明の赤外線処理方法は、
ロールトゥロール方式でシート状の処理対象を搬送方向に搬送する搬送手段と、加熱により赤外線を放射する発熱体と３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収し該発熱体を覆う管とを有する赤外線ヒーターと、を備えた赤外線処理装置による赤外線処理方法であって、
前記赤外線ヒーターから前記処理対象に赤外線を放射しつつ、該処理対象のうち前記赤外線ヒーターからの赤外線が照射されている部分を液体により冷却する工程、
を含むものである。
【００２２】
この本発明の赤外線処理方法では、上述した本発明の赤外線処理装置と同様の効果、例えば、処理対象に赤外線を放射して処理する際に、処理対象十分冷却しつつ、処理対象のばたつきを十分抑制する効果が得られる。また、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収し該発熱体を覆う管とを有する赤外線ヒーターを用いることで、処理対象の温度を液体により比較的低く維持したままでも、十分な処理を行うことができる。なお、この赤外線処理方法において、上述した赤外線処理装置の種々の態様を採用してもよいし、また、上述した赤外線処理装置の各機能を実現するような工程を追加してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】乾燥装置１０の縦断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】変形例の乾燥装置１１０の縦断面図である。
【図４】変形例の乾燥装置２１０の縦断面図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ断面図である。
【図６】第２流路形成部材２７０の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
次に、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。図１は本発明の赤外線処理装置の一実施形態である乾燥装置１０の縦断面図である。図２は図１のＡ−Ａ断面図である。乾燥装置１０は、ＰＥＴフィルムからなるシート８０上に塗布された塗膜８２の乾燥を赤外線を用いて行うものであり、炉体１２と、搬送機構２０と、赤外線ヒーター３０と、冷却機構６０と、コントローラー９０と、を備えている。乾燥装置１０は、処理対象（乾燥対象）となる塗膜８２が上面に形成されたシート８０を、搬送機構２０により搬送方向（図の右方向）にロールトゥロール方式で搬送しながら処理（乾燥）を行う、連続式の乾燥炉として構成されている。
【００２５】
炉体１２は、略直方体に形成された断熱構造体であり、前端面１３及び後端面１４にそれぞれ開口１５，１６を有している。開口１５は、シート８０を炉体１２の内部に搬入する際の搬入口となっている。開口１６は、シート８０を炉体１２の外部に搬出する際の搬出口となっている。この炉体１２は、前端面１３から後端面１４までの長さが例えば１ｍ〜６ｍである。炉体１２の内部の空間１２ａには、赤外線ヒーター３０や、冷却機構６０のベルトコンベア６１などが配置されている。
【００２６】
搬送機構２０は、ロールトゥロール方式でシート８０を搬送方向に搬送する機構である。搬送機構２０は、炉体１２の前方（図１の左側）に設けられたロール２１と、炉体１２の後方（図１の右側）に設けられたロール２２と、を備えている。また、搬送機構２０は、搬送方向でロール２１と開口１５との間に配置された駆動ローラー２３及び従動ローラー２５と、搬送方向で開口１６とロール２２との間に配置された駆動ローラー２４及び従動ローラー２６と、を備えている。駆動ローラー２３及び従動ローラー２５は、一対のニップロールとして構成されている。この駆動ローラー２３及び従動ローラー２５は、シート８０を上下から圧力をかけて挟み込むことで、この部分を境界としてシート８０のうち搬送方向の上流と下流とのテンションを切り離しつつシート８０を搬送する。駆動ローラー２４及び従動ローラー２６も、同様に一対のニップロールとして構成されている。
【００２７】
赤外線ヒーター３０は、炉体１２内を通過する塗膜８２に赤外線を照射する装置であり、シート８０（及び塗膜８２）よりも鉛直上側（シート８０の表面側であり、図１の上側）に配置されている。赤外線ヒーター３０は、炉体１２の前後方向に略均等な間隔で複数本（本実施形態では６本）配置されている。この複数の赤外線ヒーター３０は、いずれも同様の構成をしており、その長手方向が塗膜８２の搬送方向に直交する（長手方向が図２の左右方向となる）ように取り付けられている。以下、１つの赤外線ヒーター３０の構成について説明する。
【００２８】
赤外線ヒーター３０は、図１及び図２に示すように、発熱体であるフィラメント３２を内管３６が囲むように形成されたヒーター本体３８と、このヒーター本体３８を囲むように形成された外管４０と、外管４０の両端に気密に嵌め込まれた有底筒状のキャップ４２と、ヒーター本体３８と外管４０との間に形成され第１冷媒が流通可能な第１流路４８と、外管４０の表面温度を検出する温度センサ３７と、を備えている。
【００２９】
フィラメント３２は、加熱すると赤外線を放出するものであり、本実施形態ではＷ（タングステン）製とした。なおフィラメント３２の材料としては、他にＮｉ−Ｃｒ合金，Ｍｏ，Ｔａ，及びＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金などを挙げることができる。このフィラメント３２は、電力供給源５０から電力が供給されて、例えば７００〜１７００℃に通電加熱されると、波長が３．５μｍ以下（例えば３μｍ付近）の赤外線領域にピークを持つ赤外線を放射する。このフィラメント３２に接続された電気配線３４は、キャップ４２に設けられた配線引出部４４を介して気密に外部へ引き出され、電力供給源５０に接続されている。内管３６，外管４０は、フィラメント３２から放射された電磁波のうち３．５μｍ以下の波長の赤外線を通過し３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収するフィルタとして機能する赤外線吸収材料で形成されている。内管３６，外管４０に用いるこのような赤外線透過材料としては、例えば、ゲルマニウム、シリコン、サファイア、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、カルコゲナイドガラス、透過性アルミナセラミックスなどのほか、赤外線を透過可能な石英ガラスなどが挙げられる。本実施形態では、内管３６，外管４０は、いずれも石英ガラスで形成されているものとした。
【００３０】
ヒーター本体３８は、両端がキャップ４２の内部に配置されたホルダー４９に支持されている。各キャップ４２は、第１冷媒出入口４６を有している。第１冷媒供給源５２から供給された第１冷媒は、一方の第１冷媒出入口４６から第１流路４８へ流入し、第１流路４８及び他方の第１冷媒出入口４６を通過して外部へ流れるようになっている。第１流路４８を流れる第１冷媒は、例えば空気や不活性ガスなどであり、内管３６と外管４０に接触して熱を奪うことにより各管３６，４０を冷却する。
【００３１】
こうして構成された赤外線ヒーター３０は、フィラメント３２から波長が３．５μｍ以下にピークを持つ赤外線が放射されると、そのうち３．５μｍ以下の波長の赤外線は内管３６や外管４０を通過して炉体１２内を通過するシート８０の塗膜８２に照射される。この波長の赤外線は、シート８０の塗膜８２に含まれる水分や溶剤の水素結合を切断する能力に優れるといわれており、効率的に水や溶剤を蒸発させて乾燥を行うことができる。なお、内管３６や外管４０は、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収するが、第１流路４８を流れる第１冷媒によって冷却されるため、塗膜８２から蒸発する溶剤の着火点未満の温度（例えば２００℃以下など）に維持することが可能である。
【００３２】
冷却機構６０は、塗膜８２を搬送可能に支持しつつ、塗膜８２のうち赤外線ヒーター３０からの赤外線が照射されている部分を液体である第２冷媒により冷却する機構である。この冷却機構６０は、ベルトコンベア６１と、第２冷媒供給源５４と、を備えている。
【００３３】
ベルトコンベア６１は、シート８０の鉛直下側（シート８０の裏面側であり図１の下側）を支持し、且つシート８０を搬送方向に搬送する装置である。このベルトコンベア６１は、ベルト６２と、駆動ローラー６３と、駆動ローラー６４と、水冷ロール６５と、吸着ロール６６と、を備えている。ベルト６２は、シート８０と共に搬送方向に回転（図１における右回りに回転）可能なリング状の部材である。ベルト６２は、駆動ローラー６３，駆動ローラー６４，水冷ロール６５，及び吸着ロール６６にリング状に掛け渡されている。ベルト６２は、塗膜８２側（図１の上側）の部分である上側部分６２ａと、塗膜８２とは反対側（図１の下側）の部分である下側部分６２ｂとを有しており、上側部分６２ａがシート８０の裏面に接してシート８０及び塗膜８２を支持している。また、ベルト６２には厚さ方向に自身を貫通する図示しない孔が多数形成されている。
【００３４】
駆動ローラー６３，６４は、それぞれ空間１２ａ内の前側（図１の左側），後側（図１の右側）に配置されたローラーである。この駆動ローラー６３，駆動ローラー６４が回転駆動することにより、ベルト６２が回転する。水冷ロール６５，吸着ロール６６は、搬送方向で駆動ローラー６３と駆動ローラー６４との間にそれぞれ複数配置されている。本実施形態では、水冷ロール６５が３個、吸着ロール６６が２個配置されており、水冷ロール６５と吸着ロール６６とは交互に配置されているものとした。水冷ロール６５は、第２冷媒が流通可能な液体流路としての第２流路６５ａを形成する円筒状の部材である。水冷ロール６５は、ベルト６２の内周面（上側部分６２ａの下面及び下側部分６２ｂの上面）に接触する外管と、外管と同心円状に配置され外管よりも径の小さい内管とを備えており、この外管と内管との間の空間が第２流路６５ａとなっている。また、水冷ロール６５は、第２流路６５ａから水冷ロール６５の外部に通じる図示しない２つの第２冷媒出入口を有している。第２冷媒供給源５４から供給された第２冷媒は、一方の第２冷媒出入口から第２流路６５ａへ流入し、第２流路６５ａ及び他方の第２冷媒出入口を通過して外部へ流れるようになっている。第２冷媒は例えば水などの液体であり、水冷ロール６５の外管，ベルト６２（上側部分６２ａ），シート８０を介して塗膜８２に間接的に接触してこれを冷却する。吸着ロール６６は、外周面に図示しない孔が多数形成された円筒状の部材である。この吸着ロール６６の多数の孔は、吸着ロール６６の内部で、炉体１２の外部に配置された吸気装置５６と配管を介して接続されている。また、吸着ロール６６の多数の孔は、吸着ロール６６の上端で上述したベルト６２の多数の孔と連通可能に構成されている。これにより、吸気装置５６が吸気を行うと、配管及び吸着ロール６６の多数の孔を介してベルト６２の上側部分６２ａの多数の孔の内部を減圧して、ベルト６２の上側部分６２ａに接触するシート８０（及び塗膜８２）を上側部分６２ａに吸着させる。なお、水冷ロール６５及び吸着ロール６６は、いずれも従動ローラーとして構成され、ベルト６２の回転に伴ってベルト６２の内周面との摩擦力により回転する。水冷ロール６５及び吸着ロール６６は、例えばオイルバス式軸受けなど摺動抵抗が比較的少ない軸受けで支持されていることが好ましい。また、本実施形態では、駆動ローラー６３，駆動ローラー６４，水冷ロール６５，及び吸着ロール６６は、いずれも赤外線ヒーター３０の真下の領域には存在せず、赤外線ヒーター３０から前後方向にずれて位置するように配置されているものとした。
【００３５】
シート８０は、ＰＥＴフィルムからなるものである。シート８０は、特に限定するものではないが、例えば厚さ１０〜１００μｍ，幅２００〜３００ｍｍである。また、塗膜８２は、シート８０の上面に塗布されたものであり、例えば乾燥後にＭＬＣＣ（積層セラミックコンデンサ）用の薄膜として用いられるものである。塗膜８２は、例えばセラミック粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤とを含むものである。
【００３６】
コントローラー９０は、ＣＰＵを中心とするマイクロプロセッサーとして構成されている。このコントローラー９０は、搬送機構２０のロール２１，２２、駆動ローラー２３，２４やベルトコンベア６１の駆動ローラー６３，６４に制御信号を出力することで、これらの回転と停止とを切り換えたり、回転速度を制御したりする。これにより、コントローラー９０は、シート８０に対して搬送方向に加える張力を調整したり、炉体１２内の塗膜８２の通過時間を調整したりする。また、コントローラー９０は、電力供給源５０からフィラメント３２へ供給される電力の大きさを調整するための制御信号を電力供給源５０へ出力して、赤外線ヒーター３０のフィラメント３２の温度を個別に制御する。また、コントローラー９０は、熱電対である温度センサ３７が検出した外管４０の温度を入力したり、第１冷媒供給源５２の図示しない開閉弁や流量調整弁に制御信号を出力したりして、赤外線ヒーター３０の第１流路４８を流れる第１冷媒の流量を個別に制御する。さらに、コントローラー９０は、第２冷媒供給源５４の図示しない開閉弁や流量調整弁に制御信号を出力して、第２流路６５ａの第２流路６５ａを流れる第２冷媒の流量を制御する。
【００３７】
次に、こうして構成された乾燥装置１０を用いて塗膜８２を乾燥する様子について説明する。まず、コントローラー９０がロール２１，２２、駆動ローラー２３，２４、駆動ローラー６３，６４を回転させ、シート８０の搬送を開始する。なお、上述したように駆動ローラー２３，２４及び従動ローラー２５，２６がニップロールとして働くことで、シート８０のうち駆動ローラー２３と駆動ローラー２４との間の部分には、ロール２１，２２からの張力はほとんどかからない。そして、炉体１２内では、ベルトコンベア６１のベルト６２の上側部分６２ａがシート８０を下から支持しつつこれを搬送する。そのため、シート８０のうち駆動ローラー２３と駆動ローラー２４との間の部分にかかる張力をより小さくすることができる。本実施形態では、炉体１２内のシート８０にかかる張力が、シート８０が変形（伸張）しない程度の小さい値まで抑制されるように、コントローラー９０がベルト６２の回転速度を制御するものとした。
【００３８】
このようにしてコントローラー９０が搬送機構２０やベルトコンベア６１の各ローラーを回転させると、乾燥装置１０の左端に配置されたロール２１からシート８０が巻き外されていく。また、シート８０は開口１５から炉体１２内に搬入される直前に図示しないコーターによって上面に塗膜８２が塗布される。そして、塗膜８２が塗布されたシート８０は、炉体１２内に搬送される。このとき、コントローラー９０は、電力供給源５０，第１冷媒供給源５２，第２冷媒供給源５４を制御する。これにより、シート８０が炉体１２内を通過する間に、シート８０の上面に形成された塗膜８２は、赤外線ヒーター３０からの赤外線が照射されることによって乾燥される。また、これと同時に、第２流路６５ａを流れる第２冷媒がベルト６２の上側部分６２ａを冷却し、これによりシート８０や塗膜８２が冷却される。本実施形態では、熱膨張や熱収縮により応力が生じて塗膜８２が変形するなどの問題が生じないように、また、シート８０の温度がＰＥＴフィルムのガラス転移点（約７０℃）以下の所定値（例えば６０℃、５０℃、４５℃など）となるように、第２冷媒供給源５４から第２流路６５ａに供給される第２冷媒の温度や流量が予め定められているものとした。こうして、シート８０や塗膜８２が第２冷媒により冷却されつつ、赤外線により塗膜８２が乾燥されて薄膜となる。その後、シート８０及び薄膜（乾燥後の塗膜８２）は、開口１６から搬出される。搬出された薄膜は、炉体１２の右端に設置されたロール２２にシート８０とともに巻き取られる。その後、薄膜はシート８０から剥離され、所定形状に切断されて積層され、ＭＬＣＣが製造される。なお、赤外線ヒーター３０の外管４０は、内周面が第１冷媒により冷却される。コントローラー９０は、第１冷媒の流量を調整して、外管４０が溶剤の着火点未満の温度（例えば２００℃以下など）となるように維持する。
【００３９】
ここで、上述したように、赤外線ヒーター３０は、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収する内管３６及び外管４０を有しているため、赤外線ヒーター３０からは３．５μｍ以下の赤外線が主に放射される。この波長領域の赤外線は、塗膜８２が第２冷媒により冷却されて比較的低温に保たれている状態でも、塗膜８２から効率的に水や溶剤を蒸発させて乾燥を行うことができる。また、ＰＥＴフィルムであるシート８０はこの波長領域の赤外線によってはほとんど加熱されない。しかも、第２冷媒によりシート８０は自身のガラス転移点以下の温度に維持される。このように塗膜８２やシート８０を冷却しつつ塗膜８２の乾燥を行うことで、塗膜８２やシート８０に熱膨張や乾燥後の収縮により応力が生じるのを抑制でき、この応力により塗膜８２が変形するのを抑制できる。
【００４０】
ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の塗膜８２が本発明の処理対象に相当し、搬送機構２０が搬送手段に相当し、フィラメント３２が発熱体に相当し、内管３６，外管４０が管に相当し、赤外線ヒーター３０が赤外線ヒーターに相当し、第２冷媒が液体に相当し、冷却機構６０が冷却手段に相当する。また、第２流路６５ａが液体流路に相当し、水冷ロール６５が液体流路形成部材及び冷却ロールに相当し、吸着ロール６６及び吸気装置５６が吸着手段に相当する。なお、本実施形態では、乾燥装置１０の動作を説明することにより本発明の赤外線処理方法の一例も明らかにしている。
【００４１】
以上説明した本実施形態の乾燥装置１０によれば、加熱により赤外線を放出するフィラメント３２と、３．５μｍを超える波長の赤外線を吸収しフィラメント３２を覆う内管３６，外管４０と、を有する赤外線ヒーター３０により、ロールトゥロール方式で搬送されるシート状の塗膜８２に対して赤外線を放射して乾燥を行う。また、塗膜８２のうち赤外線ヒーターからの赤外線が照射されている部分（炉体１２内の部分）を第２冷媒により冷却する。そのため、塗膜８２を第２冷媒により冷却しつつ、赤外線ヒーター３０により塗膜８２を乾燥することができる。そして、液体である第２冷媒を用いて冷却するため、例えば送風を用いて冷却する場合と比べて冷却効率が高くなり、塗膜８２を十分冷却することができる。また、液体を用いて冷却するため、送風を用いて冷却する場合と比べて、シート状の塗膜８２のばたつきを十分抑制することができる。このため、送風による塗膜８２への悪影響を十分抑制することができる。具体的には、シート８０や塗膜８２に対する送風があると、送風によりシート８０や塗膜８２がばたついて塗膜８２が変形したり、シート８０のばたつきにより塗膜８２をシート８０上に正しく塗布できなかったりする場合があるが、このようなことをより抑制できる。また、塗膜８２表面に送風を行うと、塗膜８２の表面が荒れる場合があるが、このようなこともより抑制できる。なお、赤外線ヒーター３０は、赤外線吸収材料で構成された内管３６，外管４０がフィラメント３２を覆っている。そのため、赤外線ヒーター３０から放射される赤外線は、近赤外線（波長が０．７〜３．５μｍの赤外線領域）の割合が増大したものとなる。近赤外線は、塗膜８２中の水，溶剤などの分子中の水素結合を効率よく切断できるため、塗膜８２の乾燥を効率よく行うことができる。このような赤外線ヒーター３０を用いることで、塗膜８２やシート８０の温度を第２冷媒により比較的低く維持したままで、塗膜８２からの水分や溶剤の蒸発速度を高めて十分な乾燥を行うことができる。
【００４２】
また、冷却機構６０は、ベルトコンベア６１により塗膜８２を搬送可能に支持している。冷却機構６０は、液体である第２冷媒を塗膜８２に間接的に接触させて塗膜８２を冷却し、冷却機構６０がこの間接的な接触で塗膜８２の支持を行っている。
【００４３】
また、冷却機構６０は、塗膜８２を支持し且つ塗膜８２と共に搬送方向に回転可能なリング状のベルト６２を有するベルトコンベア６１を有し、水冷ロール６５は、ベルト６２のリングよりも内側を第２冷媒が通過するように第２流路６５ａを形成しており、第２流路６５ａがベルト６２の内周面のうち塗膜８２に接する側である上側部分６２ａの下面に接触可能に構成されている。これにより、ベルトコンベア６１でシート８０及び塗膜８２を支持するため、搬送機構２０から加わる搬送方向の張力を小さくしつつシート８０及び塗膜８２の搬送を行うことができる。これにより、張力によるシート８０の変形を抑制して、塗膜８２の変形をより抑制することができる。また、ベルト６２を介してシート８０や塗膜８２を冷却するため、第２流路６５ａを流れる第２冷媒（水滴）や異物などがシート８０の裏面や塗膜８２に付着することをより抑制することができる。さらに、シート８０や塗膜８２のうち炉体１２内を通過する部分の搬送方向両側には、ニップロールである駆動ローラー２３，２４及び従動ローラー２５，２６が配置されているため、シート８０や塗膜８２にかかる搬送方向の張力をより抑制することができる。
【００４４】
さらに、ベルトコンベア６１は、ベルト６２に複数の孔が形成されており、乾燥装置１０は、ベルト６２の孔の内部を減圧してシート８０や塗膜８２をベルト６２に吸着させる吸着ロール６６及び吸気装置５６を備えている。そのため、シート８０や塗膜８２をベルト６２に吸着させることで、ベルト６２を介してシート８０や塗膜８２のより均一な冷却が可能となり、また、シート８０や塗膜８２のばたつきをより抑制することができる。
【００４５】
そして、赤外線ヒーター３０は、塗膜８２よりも鉛直上側に配置されている。そのため、シート８０や塗膜８２を鉛直下側から冷却する冷却機構６０の位置に関わらず、赤外線ヒーターからの波長３．５μｍ以下の赤外線を直接塗膜８２に照射しやすい。
【００４６】
そしてまた、駆動ローラー６３，駆動ローラー６４，水冷ロール６５，及び吸着ロール６６は、いずれも赤外線ヒーター３０の真下の領域には存在せず、赤外線ヒーター３０から前後方向にずれて位置するように配置されている。そのため、各ローラーが赤外線ヒーター３０により加熱されにくくなり、第２冷媒によるシート８０や塗膜８２の冷却効率が向上する。
【００４７】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００４８】
例えば、上述した実施形態では、シート８０上に形成されたシート状の塗膜８２が乾燥対象であるものとしたが、乾燥対象はシート状であればこれに限られない。例えば、ロール２１から巻き外されて搬送されるシート８０自体が乾燥対象であってもよい。
【００４９】
上述した実施形態では、水冷ロール６５がベルトコンベア６１のベルト６２を介してシート８０や塗膜８２を冷却するものとしたが、これに限らず水冷ロール６５が直接シート８０の裏面に接触してシート８０や塗膜８２を冷却してもよい。この場合、乾燥装置１０がベルトコンベア６１（ベルト６２）を備えないものとしてもよい。
【００５０】
上述した実施形態では、水冷ロール６５及び吸着ロール６６は従動ローラーであるものとしたが、これらのうち１以上が駆動ローラーであってもよい。
【００５１】
上述した実施形態では、ベルトコンベア６１はベルト６２を回転駆動させる駆動ローラー６３，６４を有し、この駆動ローラー６３，６４によりベルト６２を回転駆動させることでシート８０や塗膜８２を搬送するものとしたが、これに限られない。例えば、駆動ローラー６３，駆動ローラー６４の代わりに従動ローラーを備える構成としてもよい。すなわち、ベルトコンベア６１は、シート８０や塗膜８２を自ら搬送はせず、搬送機構２０によるシート８０の搬送に伴ってシート８０との摩擦力によりベルト６２が従動的に回転するものとしてもよい。
【００５２】
上述した実施形態において、ベルトコンベア６１のベルト６２は、波長３．５μｍ以下の赤外線を反射する赤外線反射材料で形成されていてもよい。このような赤外線反射材料としては、例えばＳＵＳ３０４やアルミニウムなどの金属が挙げられる。こうすれば、赤外線ヒーター３０からの赤外線をベルト６２が反射して塗膜８２に放射することができるため、塗膜８２をより効率よく乾燥できる。この場合、ベルト６２は、波長３．５μｍ以下の赤外線の全反射率が８０％以上の材料を用いることが好ましい。また、上述した水冷ロール６５が直接シート８０の裏面に接触する態様とする場合には、水冷ロール６５（特に水冷ロール６５の外周面）を構成する部材を赤外線反射材料で形成してもよい。また、ベルト６２や水冷ロール６５を赤外線反射材料で形成する場合に限らず、表面に赤外線反射材料からなる赤外線反射層を形成してもよい。このような赤外線反射層の材料としては、例えば金，白金，アルミニウムなどが挙げられる。赤外線反射層は、例えばスパッタリングやＣＶＤ、溶射といった成膜方法によりベルト６２や水冷ロール６５の表面をコーティングして形成してもよい。
【００５３】
上述した実施形態では、ベルト６２の内周面よりも内側に配置された水冷ロール６５内の第２流路６５ａに第２冷媒を流通させるものとしたが、これに限られない。例えば、ベルト６２の内部に第２流路が形成されていてもよい。図３は、変形例の乾燥装置１１０の縦断面図である。変形例の乾燥装置１１０は、冷却機構６０に代えて冷却機構１６０を備えている。冷却機構１６０は、ベルトコンベア１６１と第２冷媒供給源５４とを備えている。ベルトコンベア１６１は、内部に第２流路１６２ｃを有するベルト１６２と、駆動ローラー６３，６４と、複数（図３では５個）の従動ローラー１６５とを備えている。ベルト１６２は、例えば金属板を一体成形又は溶接して構成されたものであり、リングの外周部分を構成する外壁１６２ｄと、内周部分を構成する内壁１６２ｅと、外壁１６２ｄと内壁１６２ｅとを左右端（図３の紙面手前−奥方向の端部）で接続する図示しない左側壁及び右側壁と、を有している。また、外壁１６２ｄ，内壁１６２ｅ，左側壁及び右側壁で囲まれた空間が第２流路１６２ｃとなっている。ベルト１６２は、駆動ローラー６３，６４，従動ローラー１６５に内壁１６２ｅの内周面で接触しており、これらにリング状に掛け渡されている。ベルト１６２は、塗膜８２側（図３の上側）の部分である上側部分１６２ａと、塗膜８２とは反対側（図３の下側）の部分である下側部分１６２ｂとを有しており、上側部分１６２ａ（特に、外壁１６２ｄの上面）がシート８０の裏面に接してシート８０及び塗膜８２を支持している。また、ベルト１６２は、第２流路１６２ｃからベルト１６２の外部に通じる図示しない第２冷媒出入口を左側壁及び右側壁に１つずつ有している。第２冷媒供給源５４から供給された第２冷媒は、一方の第２冷媒出入口から第２流路１６２ｃへ流入し、第２流路１６２ｃ及び他方の第２冷媒出入口を通過して外部へ流れるようになっている。なお、第２冷媒供給源５４から一方の第２冷媒出入口までの配管は、ベルト１６２の回転に追従できるよう例えば樹脂などからなる可撓性の管で接続されている。なお、ベルト１６２は、上述した赤外線反射材料で形成することが好ましい。この変形例の乾燥装置１１０でも、上述した実施形態と同様に、塗膜８２のうち赤外線ヒーター３０からの赤外線が照射されている部分を、第２流路１６２ｃを流れる第２冷媒により冷却できる。そのため、上述した実施形態と同様に、塗膜８２に赤外線を放射して処理する際に、シート８０や塗膜８２を十分冷却しつつ、シート８０や塗膜８２のばたつきを十分抑制することができる。また、上述した実施形態と比べてベルト１６２全体を冷却できるため、シート８０や塗膜８２をより均一に冷却できる。また、シート８０や塗膜８２を十分冷却しやすい。なお、ベルト１６２は、外壁１６２ｄと内壁１６２ｅとを上下に支持して両者の間隔を保つ柱状のスペーサーを複数備えていてもよい。
【００５４】
上述した実施形態では、第２流路６５ａを形成する水冷ロール６５の外管がベルト６２の内周面に接触しているものとしたが、これに限らず、第２冷媒が直接ベルト６２に接触してもよい。図４は、変形例の乾燥装置２１０の縦断面図である。図５は、図４のＢ−Ｂ断面図である。図６は、第２流路形成部材２７０の斜視図である。なお、図６では、第２冷媒出入口２７２の図示は省略している。図４に示すように、変形例の乾燥装置２１０は、冷却機構２６０が、ベルトコンベア２６１と、第２流路形成部材２７０と、を有している。ベルトコンベア２６１は、水冷ロール６５及び吸着ロール６６を備えない点以外は、上述したベルトコンベア６１と同じ構成である。第２流路形成部材２７０は、ベルト６２の上側部分６２ａと下側部分６２ｂとの間に配置され、略直方体に形成された構造体である。第２流路形成部材２７０のうち上側部分２３ａ側の端部（図４〜６の上端）は開口２７１となっている。第２流路形成部材２７０は、シート８０や塗膜８２側に向けたこの開口２７１を有する略直方体の空洞を有しており、この空洞内が第２流路２７０ａとなっている。また、第２流路形成部材２７０には、第２流路２７０ａと第２流路形成部材２７０の外部とを接続する第２冷媒出入口２７２（図５参照）が２箇所形成されている。第２冷媒供給源５４から供給された第２冷媒は、一方の第２冷媒出入口２７２（図５の左側）から第２流路２７０ａへ流入し、第２流路２７０ａ及び他方の第２冷媒出入口２７２（図５の右側）を通過して外部へ流れるようになっている。また、第２流路形成部材２７０は、開口２７１の外周を囲む樹脂製の弾性体である漏れ防止ラバー２７５を有している。漏れ防止ラバー２７５は、開口２７１の搬送方向の両側（前後方向の両側）に配置された漏れ防止ラバー２７５ａ，２７５ｂ（図４，６参照）と、開口２７１の左右方向の両側に配置された漏れ防止ラバー２７５ｃ，２７５ｄ（図５，６参照）と、を備えている。この漏れ防止ラバー２７５は、上面がベルト６２の内周面（上側部分６２ａの下面）に押圧された状態で配置されている。この変形例の乾燥装置２１０でも、上述した実施形態と同様に、塗膜８２のうち赤外線ヒーター３０からの赤外線が照射されている部分を、第２流路２７０ａを流れる第２冷媒により冷却できる。そのため、上述した実施形態と同様に、塗膜８２に赤外線を放射して処理する際に、シート８０や塗膜８２を十分冷却しつつ、シート８０や塗膜８２のばたつきを十分抑制することができる。また、第２冷媒がベルト６２に直接接触しているため、例えば第２冷媒が上述した水冷ロール６５の外管や第２流路形成部材２７０などの液体流路形成部材を介してベルト６２（及び処理対象）を冷却する場合と比べて、冷却効率をより高めることができる。さらに、第２冷媒が直接接触するベルト６２の内周面に漏れ防止ラバー２７５が接触しているため、シート８０の搬送時に第２冷媒が第２流路２７０ａの開口した部分（開口２７１）から外部に漏れることをより抑制することができる。また、搬送方向（右方向）に位置する漏れ防止ラバー２７５ｂについては、ベルト６２に付着した第２冷媒を掻き取る役割も果たす。なお、漏れ防止ラバー２７５は、搬送方向の両側に位置する漏れ防止ラバー２７５ａ，２７５ｂのみを備えていてもよい。換言すると漏れ防止ラバー２７５ｃ，２７５ｄの部分が弾性体でなくともよい。第２冷媒は搬送方向に沿った方向に比較的漏れやすいためである。あるいは、漏れ防止ラバー２７５を備えず第２流路形成部材２７０の上端が直接ベルト６２に接触していてもよい。また、変形例の乾燥装置２１０において、ベルトコンベア２６１を有さないものとして、第２冷媒が直接シート８０の裏面に接触するようにしてもよい。あるいは、この変形例の乾燥装置２１０において、赤外線ヒーター３０を第２流路２７０ａ内に配置してもよい。例えば、赤外線ヒーター３０が第２流路形成部材２７０及び第２流路２７０ａを搬送方向に垂直に（図５の左右方向に）貫通するように取り付けてもよい。こうすることで、第２冷媒によって赤外線ヒーター２３０の表面も冷却することができる。この場合、第２流路形成部材２７０は赤外線反射材料で形成することが好ましい。また、第２冷媒は、赤外線の透過極大波長が３．５μｍ以下の赤外線領域にある液体を用いることが好ましい。また、波長３．５μｍ以下の赤外線の全透過率が８０％以上の液体を用いることが好ましい。このような赤外線を透過しやすい材料を用いることで、赤外線ヒーター２３０からの赤外線を効率よく塗膜８２に放射することができる。ベルト６２やシート８０についても、同様に赤外線を透過しやすい材料を用いることが好ましい。なお、シート８０自体が処理対象である場合には、シート８０が赤外線を必ずしも透過する必要はない。
【００５５】
上述した実施形態では、乾燥中の空間１２ａの雰囲気について言及しなかったが、空間１２ａは常圧下としてもよいし、減圧下や真空下としてもよい。ここで、減圧下では比較的送風がしにくく、真空下では送風することができない。そのため、このような雰囲気下で乾燥を行う場合には、液体である第２冷媒を用いてシート８０や塗膜８２などの乾燥対象を冷却する意義が高い。
【００５６】
上述した実施形態において、乾燥装置１０が塗膜８２の表面に向けて、あるいは塗膜８２の表面と平行に送風を行う送風装置を備えるものとしたり、送風を含む空間１２ａの雰囲気を排気する排気装置をさらに備えるものとしたりしてもよい。乾燥装置１０が送風装置などを備えるものとしても、シート８０や塗膜８２は第２冷媒により十分冷却することができるため、送風による塗膜８２への上述した悪影響を十分抑制するように適宜風量や風速を小さい値とすることができる。そして、送風を行うことで、塗膜８２から蒸発した水分や溶剤を速やかに除去することができるため、乾燥効率をより向上させることができる。また、送風装置が、シート８０や塗膜８２のうちベルトコンベア６１で支持されている部分の表面に向けて送風を行うことで、シート８０や塗膜８２のばたつきをより抑制することもできる。また、乾燥装置１０が赤外線ヒーター３０と送風口となるノズルとを備えたノズル付きヒーターを有しており、このノズル付きヒーターにより赤外線の放射と送風とを共に行ってもよい。
【００５７】
上述した実施形態では、乾燥装置１０は連続式としたが、ロールトゥロール方式で処理対象を搬送するものであれば、これに限らず、例えば間欠送り式としてもよい。間欠送り式とする場合、乾燥装置１０は、例えば、シート８０上に塗膜８２を形成する塗膜形成工程と、シート８０を搬送して塗膜８２を炉体１２の内部に搬入する搬入工程と、炉体１２内部でシート８０の搬送を停止して塗膜８２を乾燥する乾燥工程と、シート８０を搬送して乾燥後の塗膜８２を搬出する搬出工程と、を行うものとしてもよい。このとき、乾燥炉１０は、複数の塗膜８２を連続的に効率よく乾燥できるよう、塗膜８２の乾燥工程と、次の塗膜８２の塗膜形成工程と、を同時に行ってもよい。同様に、乾燥後の塗膜８２の搬出工程と、次に乾燥する塗膜８２の搬入工程と、を同時に行ってもよい。間欠送り式とすることで、乾燥炉１０は乾燥工程においてシート８０の搬送を停止するため、例えば塗膜形成工程においてスクリーン印刷などにより塗膜８２を形成する場合に精度良く塗膜８２を印刷できる。
【００５８】
上述した実施形態では、乾燥対象である塗膜８２として、乾燥後にＭＬＣＣ（積層セラミックコンデンサ）用の薄膜として用いられるものを例示したが、乾燥対象はこれに限られない。例えば、塗膜８２をリチウムイオン二次電池用の電極となる塗膜としてもよい。このような塗膜としては、例えば、電極材（正極活物質又は負極活物質）とバインダーと導電材と溶剤とを共に混練した電極材ペーストを、シート８０上に塗布したもの等が挙げられる。また、この場合のシート８０は、アルミニウムや銅等の金属シートとしてもよい。あるいは、塗膜８２は、ＬＴＣＣ（低温焼成セラミックス）やその他のグリーンシート用の薄膜として用いられるものとしてもよい。
【００５９】
上述した実施形態では、乾燥装置１０は赤外線を用いて塗膜８２を乾燥するものとしたが、赤外線を用いて処理対象を処理する赤外線処理装置であればよく、乾燥炉に限られない。赤外線を用いた他の処理としては、例えば、処理対象の架橋，イミド化などの化学反応や、脱水、アニール、などが挙げられる。
【符号の説明】
【００６０】
１０  乾燥装置、１２  炉体、１２ａ  空間、１３  前端面、１４  後端面、１５，１６  開口、２０  搬送機構、２１，２２  ロール、２３，２４  駆動ローラー、２５，２６  従動ローラー、３０  赤外線ヒーター、３２  フィラメント、３４  電気配線、３６  内管、３７  温度センサ、３８  ヒーター本体、４０  外管、４２  キャップ、４４  配線引出部、４６  第１冷媒出入口、４８  第１流路、４９  ホルダー、５０  電力供給源、５２  第１冷媒供給源、５４  第２冷媒供給源、５６  吸気装置、６０  冷却機構、６１  ベルトコンベア、６２  ベルト、６２ａ  上側部分、６２ｂ  下側部分、６３，６４  駆動ローラー、６５  水冷ロール、６５ａ  第２流路、６６  吸着ロール、８０  シート、８２  塗膜、９０  コントローラー、１１０  乾燥装置、１６０  冷却機構、１６１  ベルトコンベア、１６２  ベルト、１６２ａ  上側部分、１６２ｂ  下側部分、１６２ｃ  第２流路、１６２ｄ  外壁、１６２ｅ  内壁、１６５  従動ローラー、２１０  乾燥装置、２６０  冷却機構、２６１  ベルトコンベア、２７０  第２流路形成部材、２７０ａ  第２流路、２７１  開口、２７２  第２冷媒出入口、２７５，２７５ａ〜２７５ｄ  漏れ防止ラバー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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