(57)【要約】【課題】ノズル密度の維持または向上と、排除体積の的確な確保とを両立させる。【解決手段】第１方向に配列され、液体が充填されて体積を変化させる複数の圧力室と、前記第１方向に配列され、複数の前記圧力室から供給される前記液体を噴射する複数のノズルと、を備え、前記第１方向における隣接する前記圧力室同士の間隔は、前記第１方向における隣接する前記ノズル同士の間隔よりも大きい液体噴射ヘッド。複数の前記圧力室のそれぞれは、前記第１方向に沿った短手方向を有し、前記第１方向と交差する方向に長手方向を有して構成された室である。【選択図】図３
2015054492.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に配列され、液体が充填されて体積を変化させる複数の圧力室と、
前記第１方向に配列され、複数の前記圧力室から供給される前記液体を噴射する複数のノズルと、を備え、
前記第１方向における隣接する前記圧力室同士の間隔は、前記第１方向における隣接する前記ノズル同士の間隔よりも大きい、ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
複数の前記圧力室のそれぞれは、前記第１方向に沿った短手方向を有し、前記第１方向と交差する方向に長手方向を有して構成された室であることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
複数の前記圧力室と複数の前記ノズルとを一対一で連通させ、前記第１方向に配列される複数の連通孔を備え、前記第１方向における隣接する前記圧力室同士の間隔は、前記第１方向における隣接する前記連通孔同士の間隔よりも大きいことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
複数の前記連通孔のそれぞれは、対応する前記圧力室の前記第１方向における幅内に収まる位置に設けられ、かつ、複数の前記ノズルのそれぞれは、対応する前記連通孔の前記第１方向における幅内に収まる位置に設けられていることを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記第１方向における隣接する前記連通孔同士の間隔は、前記第１方向における隣接する前記ノズル同士の間隔よりも大きい、ことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
複数の前記圧力室は第１部材に形成され、複数の前記連通孔は第２部材に形成され、複数の前記ノズルは第３部材に形成され、前記第１部材と前記第３部材との間に前記第２部材を介在させることで、前記圧力室から前記連通孔を介して前記ノズルに接続される流路が構成されることを特徴とする請求項３〜請求項５のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれかに記載の液体噴射ヘッドを有することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項８】
第１方向において第１間隔で配列する複数の圧力室を有する圧力室プレートを形成する圧力室プレート形成工程と、
前記第１方向おいて前記第１間隔よりも狭い第２間隔で配列する複数のノズルを有するノズルプレートを形成するノズルプレート形成工程と、
複数の前記圧力室と複数の前記ノズルとが連通するように前記圧力室プレートと前記ノズルプレートとを位置合わせする位置合わせ工程と、を有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一定方向に配列された複数の圧力室と、該方向に配列された複数のノズルと、圧力室とノズルとを一対一で連通させる該方向に配列された複数の連通孔とを有し、該方向における、隣接する圧力室同士の間隔（ピッチ）と、隣接する連通孔同士のピッチと、隣接するノズル同士のピッチと、を同じとした液体噴射（吐出）ヘッドの構成が知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
また、複数の圧力室が配列された方向における隣接する圧力室同士のピッチよりも、該方向における隣接するノズル同士のピッチの方が大きい構成のインクジェットヘッドが知られている（特許文献２の図１，４参照）。
また、一定の第１のピッチでライン方向に配列された複数のノズルのラインと、一定の第２のピッチを有し該ライン方向に直角な軸方向を有する複数の平行なインク流路とを有し、第１のピッチの方が第２のピッチよりも大きいインクジェットプリントヘッドが知られている（特許文献３参照）。
また、圧力室の位置ずれが基準位置から離れるほど大きくなるインクジェットヘッドが知られている（特許文献４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８‐６２３９０号公報
【特許文献２】特開２００８‐１４２９６５号公報
【特許文献３】特開２００７‐２７６４８０号公報
【特許文献４】特開２００３‐３３４９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
液体噴射ヘッドでは、ノズル同士のピッチをより狭くしてノズル密度（一定距離あたりのノズル数）を高めることにより、高精細、高画質な出力の実現を図っている。
しかし従来は、ノズル同士のピッチをより狭めたり、高いノズル密度を維持したりすると、圧力室同士のピッチも同様に狭くなる構成であった。圧力室同士のピッチが狭くなると、圧力室自体の幅も狭まり、圧力室が外部へ排出可能な液体量（以下、排除体積とも言う。）が少なくなってしまう。排除体積の低減は、ノズルから噴射される液体量の低減に繋がり、画質劣化の原因の一つとなり得る。なお、圧力室同士のピッチを狭くしても、圧力室間を隔てる隔壁を薄くすることで圧力室の幅の低減を解消することができる。しかし、当該隔壁の薄膜化は、１つの圧力室の駆動が隣の他の圧力室へ伝達されやすい（いわゆるクロストークが発生し易い）状況を生む。そのため、画質劣化防止の観点から、当該隔壁の過度な薄膜化は適切とは言えない。
【０００６】
本発明は少なくとも上述の課題を解決するためになされたものであり、ノズル密度の維持あるいは向上と排除体積の的確な確保を両立することが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の態様の一つは、液体噴射ヘッドは、第１方向に配列され液体が充填されて体積を変化させる複数の圧力室と、前記第１方向に配列され複数の前記圧力室から供給される前記液体を噴射する複数のノズルとを備え、前記第１方向における隣接する前記圧力室同士の間隔は、前記第１方向における隣接する前記ノズル同士の間隔よりも大きい。
【０００８】
当該構成によれば、高精細、高画質な出力実現のためにノズル密度をできるだけ高くしつつも、圧力室同士の間隔を広く確保する（つまり圧力室の幅を広く確保する）ことで上述の排除体積をより多く確保することが可能となる。
【０００９】
本発明の態様の一つは、複数の前記圧力室のそれぞれは、前記第１方向に沿った短手方向を有し、前記第１方向と交差する方向に長手方向を有して構成された室である。
長尺形状の室である圧力室は、その長手方向の長さの変動よりも短手方向の長さの変動の方が、排除体積の違いに与える影響が大きいと言える。当該構成によれば、圧力室の短手方向の長さが確保されやすいため、排除体積の確保が容易となる。
【００１０】
本発明の態様の一つは、液体噴射ヘッドは、複数の前記圧力室と複数の前記ノズルとを一対一で連通させ、前記第１方向に配列される複数の連通孔を備え、前記第１方向における隣接する前記圧力室同士の間隔は、前記第１方向における隣接する前記連通孔同士の間隔よりも大きい。つまり、第１方向において、圧力室同士の間隔は、連通孔同士の間隔およびノズル同士の間隔よりも大きい。この場合、第１方向において、連通孔同士の間隔は、ノズル同士の間隔よりも大きいとしてもよい。さらに本発明の態様の一つは、複数の前記連通孔のそれぞれは、対応する前記圧力室の前記第１方向における幅内に収まる位置に設けられ、かつ、複数の前記ノズルのそれぞれは、対応する前記連通孔の前記第１方向における幅内に収まる位置に設けられている。
【００１１】
当該構成によれば、対応する圧力室との関係でノズルを形成する位置に高い自由度を与えることができる。また、圧力室に連通する連通孔と、当該圧力室に隣り合う他の圧力室との距離、及び、連通孔に接続するノズルと、当該連通孔に隣り合う他の連通孔との距離、がそれぞれ大きく確保され易く、全体の強度向上に繋がる。
【００１２】
本発明の態様の一つは、複数の前記圧力室は第１部材に形成され、複数の前記連通孔は第２部材に形成され、複数の前記ノズルは第３部材に形成され、前記第１部材と前記第３部材との間に前記第２部材を介在させることで、前記圧力室から前記連通孔を介して前記ノズルに接続される流路が構成される。
当該構成によれば、圧力室と連通孔とノズルとが接続した流路を容易かつ確実に実現することができる。
【００１３】
上述の各態様の液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置も、発明として捉えることができる。
また、液体噴射ヘッドや液体噴射装置を製造する方法も発明として捉えることができる。このような方法の一例として、第１方向において第１間隔で配列する複数の圧力室を有する圧力室プレートを形成する圧力室プレート形成工程と、前記第１方向おいて前記第１間隔よりも狭い第２間隔で配列する複数のノズルを有するノズルプレートを形成するノズルプレート形成工程と、複数の前記圧力室と複数の前記ノズルとが連通するように前記圧力室プレートと前記ノズルプレートとを位置合わせする位置合わせ工程と、を有する液体噴射ヘッドの製造方法が考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】液体噴射ヘッドの主要構成の一部を例示する分解斜視図である。
【図２】液体噴射ヘッドのＹ方向に垂直な断面の一部を例示する断面図である。
【図３】液体噴射ヘッドのＸ方向に垂直な断面の一部を例示する断面図である。
【図４】圧力室プレートの一部を上側から見た場合の平面図である。
【図５】複数の実施例の結果を表形式で示す図である。
【図６】インクジェットプリンターの一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
図１は、本実施形態にかかる液体噴射ヘッド１４０の主要構成を、分解斜視図により例示している。ここでは、液体噴射ヘッド１４０は、インクを噴射（吐出）するインクジェット式記録ヘッドであるとして説明を行う。液体噴射ヘッド１４０は、複数の板状の部材が一定の積層方向に積層されて構成されている。また、液体噴射ヘッド１４０は、液体の流路を形成していることから、その全体あるいは一部を流路ユニットと呼ぶこともできる。図１の例では、液体噴射ヘッド１４０は、積層方向の一方側から他方側に向けて順に、振動板１０、圧力室プレート２０、連通プレート３０、シールプレート４０、リザーバープレート５０、コンプライアンスプレート６０、ノズルプレート７０を有する。
【００１６】
図１（および図２，３）では、これら各部材１０，２０，３０，４０，５０，６０，７０を便宜上区別して記載しているが、これら各部材１０，２０，３０，４０，５０，６０，７０は全てが個別の部材である必要はなく、それらの一部が一体的に生成されているとしてもよい。例えば、圧力室プレート２０と連通プレート３０は一体的に生成されているとしてもよい。また、液体噴射ヘッド１４０は、これら各部材１０，２０，３０，４０，５０，６０，７０の一部を有さない構成であってもよいし、不図示の他の部材を有する構成であってもよい。以下では、積層方向をＺ方向と呼ぶ。また、Ｚ方向における振動板１０側を「上側」、ノズルプレート７０側を「下側」として説明を行う。
【００１７】
振動板１０は、圧力室プレート２０の上側の面を封止する。圧力室プレート２０は、液体の流路の一部としての圧力室２１を複数有する。圧力室２１には液体が充填される。圧力室２１は、圧力室プレート２０を厚み方向（Ｚ方向）で貫通し、かつ、長尺状に形成されている。圧力室２１は、長手方向をＸ方向と平行とした状態で、Ｘ方向に直交するＹ方向に並設されている。Ｘ，Ｙ方向はいずれもＺ方向に対して垂直であって圧力室プレート２０の面内方向である。圧力室２１と圧力室２１との間は、隔壁２２により隔てられている。Ｙ方向は、特許請求の範囲における「第１方向」に該当する。本願において、液体噴射ヘッド１４０の各構成の方向や位置について、平行、直交、垂直、一定等と表現した場合であっても、それらは厳密な平行、直交、垂直、一定のみを意味するのではなく、製品性能上許容される程度の誤差や製品製造時に生じ得る程度の誤差なども含む意味である。従って、圧力室２１のそれぞれは、第１方向に沿った短手方向を有し、第１方向と交差する方向に長手方向を有して構成された室であると表現できる。
【００１８】
圧力室プレート２０の下側の面に対しては、連通プレート３０が接する。連通プレート３０は、圧力室２１の長手方向の一端側において各圧力室２１と一対一で連通する複数の第一連通孔３１と、当該長手方向の他端側において各圧力室２１と一対一で連通する複数の第二連通孔３２とを有する。第一連通孔３１および第二連通孔３２は、いずれも連通プレート３０を厚み方向（Ｚ方向）で貫通している。
【００１９】
連通プレート３０の下側の面に対しては、シールプレート４０が接する。シールプレート４０は、圧力室２１の長手方向の一端側において各第一連通孔３１と一対一で連通する複数の第三連通孔４１と、当該長手方向の他端側において各第二連通孔３２と一対一で連通する複数の第四連通孔４２とを有する。第三連通孔４１および第四連通孔４２は、いずれもシールプレート４０を厚み方向（Ｚ方向）で貫通している。
【００２０】
シールプレート４０の下側の面に対しては、リザーバープレート５０が接する。リザーバープレート５０は、各第四連通孔４２と一対一で連通する複数の第五連通孔５２と、リザーバー５１とを有する。第五連通孔５２およびリザーバー５１は、いずれもリザーバープレート５０を厚み方向（Ｚ方向）で貫通している。リザーバー５１は、Ｙ方向において後述のノズル列７２の長さと同程度の長さが確保された形状となっている。またリザーバー５１は、上側において各第三連通孔４１と連通しており、各第三連通孔４１が列をなす方向（Ｙ方向）に延在する長尺状の形状で構成されている。言い換えると、リザーバー５１は、上側が各第三連通孔４１と相対する範囲を除いてシールプレート４０によって封止されている。リザーバー５１は、共通液室あるいは共通インク室等と呼ぶこともできる。
【００２１】
リザーバープレート５０の下側の面に対しては、コンプライアンスプレート６０が接し、コンプライアンスプレート６０の下側の面に対しては、ノズルプレート７０が接する。コンプライアンスプレート６０は、各第五連通孔５２と一対一で連通する複数の第六連通孔６２を有する。第六連通孔６２は、コンプライアンスプレート６０を貫通している。コンプライアンスプレート６０は、上側の面によってリザーバー５１の下側を封止している。コンプライアンスプレート６０では、リザーバー５１を封止する範囲は、他の範囲よりも板厚が薄く形成されており、それを薄膜部６１と表記する。薄膜部６１は弾性を有する。薄膜部６１とノズルプレート７０との間には空間６３（図２参照）が確保されている。薄膜部６１は、リザーバー５１内の圧力変動に応じて空間６３内で変形する（ノズルプレート７０側に撓む）ことにより、リザーバー５１内の圧力変動を和らげる役割を果たす。
【００２２】
ノズルプレート７０は、インクを噴射するための貫通孔としてのノズル７１を複数有する。上述の連通孔３２，４２，５２，６２は、各圧力室２１と各ノズル７１とを一対一で連通させるための流路である。従って図１（および図２，３）の例では、ノズル７１は、第六連通孔６２と一対一で連通する。ノズルプレート７０は、図１に例示したように、ノズル７１がＹ方向に沿って所定の間隔で並ぶノズル列７２を有している。ノズルプレート７０は、複数のノズル７１がＹ方向に沿って形成された複数のノズル列７２をＸ方向に並設し、一方のノズル列７２と他方のノズル列７２とをＹ方向においてずらして配置する（いわゆる千鳥配置とする）構成を採用してもよい。
【００２３】
図２は、図１に示したＡ‐Ａ線による液体噴射ヘッド１４０の切断面の一部等を例示する断面図である。当該切断面はＹ方向に垂直な面である。図２に示すように、一つの圧力室２１は、連通孔３２，４２，５２，６２を介して、一つのノズル７１に連通する。また、振動板１０の圧力室プレート２０側と逆側の面には、圧力室２１の各位置に略対応して圧電素子１１が設けられている。圧電素子１１は、振動板１０側から順に第一電極１２、ＰＺＴ等のセラミックス材料からなる圧電体層１３、第二電極１４が積層されて構成されている。例えば、第二電極１４は、圧力室２１に対応する圧電素子１１毎に設けられた個別電極であり、第一電極１２は、複数の圧電素子１１に共通して設けられた共通電極である。
【００２４】
第二電極１４には、パターンやケーブル類（フレキシブル基板等）９０を介して制御回路基板１００が接続され、制御回路基板１００から駆動電圧が印加される。一方、第一電極１２は電位が所定レベル（例えばグラウンドレベル）に保持される。かかる構成により、圧電素子１１が駆動電圧に応じて変形する。リザーバー５１へは、図示しない液体供給経路を介して、外部から液体が供給される。リザーバー５１へ供給された液体は、一時的にリザーバー５１内に貯留されつつ、各連通孔４１，３１を介して各圧力室２１へ供給される。上述のような圧電素子１１の変形に伴い振動板１０が圧力室２１側へ変位することにより、圧力室２１の体積に変化が生じ、圧力室２１内で圧力が高まり、かかる圧力の高まりに応じて圧力室２１内の液体が第二連通孔３２側へ排除される。そして、当該排除された液体がノズル７１から噴射される。このようなリザーバー５１からノズル７１へ至る液体の流路は、リザーバー５１側が上流側であり、ノズル７１側が下流側である。
【００２５】
圧力室２１を有する圧力室プレート２０は、特許請求の範囲における「第１部材」に該当する。また、連通孔３２，４２，５２，６２の少なくとも一部は、特許請求の範囲における「連通孔」に該当し、これら連通孔３２，４２，５２，６２を有する連通プレート３０、シールプレート４０、リザーバープレート５０、コンプライアンスプレート６０の少なくとも一部は、特許請求の範囲における「第２部材」に該当する。ノズルプレート７０は、特許請求の範囲における「第３部材」に該当する。つまり、第１部材と第３部材との間に第２部材を介在させることで、圧力室２１から連通孔３２，４２，５２，６２を介してノズル７１に接続される流路が構成されている。なお、圧力室プレート２０と、振動板１０と、圧電素子１１と、連通プレート３０と含む構成は「アクチュエーターユニット」と呼ぶことができる。また、アクチュエーターユニット（アクチュエーターユニットの圧力室プレート２０を少なくとも含む部分）を第１部材としてもよい。以下では、連通孔４２，５２，６２が特許請求の範囲における「連通孔」に該当し、シールプレート４０、リザーバープレート５０、コンプライアンスプレート６０が特許請求の範囲における「第２部材」に該当する場合を例に、説明を続ける。
【００２６】
図３は、図１に示したＢ‐Ｂ線による液体噴射ヘッド１４０の切断面の一部を例示する断面図である。当該切断面はＸ方向に垂直な面である。図３では、図２に示した構成の一部（圧電素子１１等）の図示を省略している。また図３では、ノズル７１について、孔の径がＺ方向に沿って一定である形状を例示しているが、むろん図１，２に例示したように、ノズル７１が外部に露出する側に向かってノズル７１の径が徐々に狭まる形状であってもよい。
図４は、圧力室プレート２０を上側から見た場合の圧力室２１と連通孔４２，５２，６２とノズル７１との位置関係を例示している。
【００２７】
図３および図４から判るように、複数の圧力室２１は、Ｙ方向において、一定間隔（ピッチＰ１）で形成されている。ピッチＰ１は、Ｙ方向に隣接する２つの圧力室２１の中心と中心とを結ぶ距離である。また、複数の第四連通孔４２は、Ｙ方向において、一定間隔（ピッチＰ２）で形成されている。ピッチＰ２は、Ｙ方向に隣接する２つの第四連通孔４２の中心と中心とを結ぶ距離である。複数の第五連通孔５２および複数の第六連通孔６２もそれぞれ、複数の第四連通孔４２と同じ態様で形成されている。また、複数のノズル７１は、Ｙ方向において、一定間隔（ピッチＰ３）で形成されている。ピッチＰ３は、Ｙ方向に隣接する２つのノズル７１の中心と中心とを結ぶ距離である。
【００２８】
液体噴射ヘッド１４０は、上述のピッチＰ１，Ｐ２，Ｐ３について、少なくともＰ１＞Ｐ３が成立するように形成されている。図３および図４の例では、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３となっている。なお、第二連通孔３２のＹ方向におけるピッチは、圧力室２１のピッチＰ１と同じである（図３参照）。図４では、第二連通孔３２の記載を省略している。
【００２９】
図５は、図３および図４に例示した構成を採用した複数の実施例の結果を表形式で示している。図５に示す「ピッチずらし量」とは、ピッチＰ３に対するピッチＰ２の差分、ピッチＰ２に対するピッチＰ１の差分のそれぞれを指している。図５の「Ｒｅｆ」は、ピッチずらし量が０（つまり、Ｐ１＝Ｐ２＝Ｐ３）である従来の構成であり、以下では基準構成と呼ぶ。基準構成に対して実施例１，２，３，４はピッチずらし量を有しており、いずれもＰ１＞Ｐ２＞Ｐ３が成立している。ピッチずらし量は、実施例１は０．０００５ｍｍ、実施例２は０．００１０ｍｍ、実施例３は０．００１５ｍｍ、実施例４は０．００２０ｍｍである。
【００３０】
「隔壁厚」は、圧力室プレート２０においてＹ方向に隣り合って配置される圧力室２１間の隔壁２２（図３および図４参照）の厚みであり、基準構成および実施例１，２，３，４のいずれも同じ値（０．００４７ｍｍ）としている。「圧力室幅」は、圧力室２１のＹ方向における幅（圧力室２１の短手方向の長さ）であり、「ピッチＰ１−隔壁厚」によって求められる。図５から判るように、基準構成および実施例１，２，３，４のいずれもノズル７１のピッチＰ３は同じ値（０．０８４７ｍｍ）を確保しており、ピッチずらし量が大きいほど、圧力室２１のピッチＰ１は大きくなっている。上述したように、隔壁厚は基準構成および実施例１，２，３，４のいずれも同じであるため、ピッチＰ１が大きいほど、圧力室幅も大きくなる。
【００３１】
振動板１０の剛性は、振動板１０の板厚の３乗、圧力室２１の長手方向の長さの１乗それぞれに比例し、圧力室幅の４乗に反比例する。つまり、振動板１０は、圧力室幅の増加に伴い剛性が大きく低下し、（圧電素子１１の変形に伴う）変位量が大きくなる。図５では、基準構成を０％とした場合の振動板１０の剛性の変化率を「剛性変化率」として実施例１，２，３，４それぞれに示している。図５に示した剛性変化率の増大は、振動板１０の剛性の低下を意味し、当該剛性の低下は、振動板１０の変位量の増大、つまり排除体積の増大を意味する。
【００３２】
このように本実施形態によれば、Ｙ方向における隣接する圧力室２１同士の間隔（ピッチＰ１）は、Ｙ方向における隣接するノズル７１同士の間隔（ピッチＰ３）よりも大きい構成とした。つまり、例えば実施例１，２，３，４のように、高精細、高画質な出力実現のためにノズル７１のピッチＰ３を所定値に維持（ノズル密度を維持）しつつも、圧力室２１のピッチＰ１をより広く確保することで、圧力室２１における排除体積をより多く確保し、より画質の高い出力を得ることができる。これは、圧力室２１における排除体積を一定量確保しつつ、ノズル密度をより高めることが可能と言い換えることができる。また、実施例１，２，３，４では、圧力室幅を増加させる手段として隔壁厚を薄膜化することは採用していない。そのため、上述したようなクロストークの発生を抑制することができる。
【００３３】
また、図３および図４から判るように、本実施形態では、複数の連通孔４２，５２，６２のそれぞれは、対応する（連通する）圧力室２１のＹ方向における幅内に収まる位置に設けられている。さらに、複数のノズル７１のそれぞれは、対応する（連通する）連通孔４２，５２，６２のＹ方向における幅内に収まる位置に設けられている。これは、ノズル７１の形成位置について、対応する圧力室２１のＹ方向の幅内において自由度が与えられているとも言える。つまり、基準構成のようにＰ１＝Ｐ２＝Ｐ３であれば、ノズル７１の形成位置は圧力室２１との関係から一意的に決まり自由度は無いが、本実施形態によれば、ノズル７１の形成位置に上述したような自由度が確保される。
【００３４】
また、図３および図４に例示した構成を採用することにより、基準構成（Ｐ１＝Ｐ２＝Ｐ３）と比較して、１つの圧力室２１に連通する連通孔４２，５２，６２と、当該圧力室２１に隣り合う他の圧力室２１との距離（図３に例示する鎖線の両端矢印参照）は、Ｙ方向の一方側（図３および図４では左側）に向かうに連れて長くなる。同様に、１つの連通孔４２，５２，６２に接続するノズル７１と、当該連通孔４２，５２，６２に隣り合う他の連通孔４２，５２，６２との距離（図３に例示する２点鎖線の両端矢印参照）は、Ｙ方向の一方側（図３および図４では左側）に向かうに連れて長くなる。そのため、図３および図４に例示した構成は、液体噴射ヘッド１４０全体の強度向上に資すると言える。
【００３５】
次に、本実施形態にかかる液体噴射ヘッド１４０の製造方法の一例を説明する。
当該製造方法は、第１方向（Ｙ方向）において第１間隔（ピッチＰ１）で配列する複数の圧力室２１を有する圧力室プレート２０を形成する圧力室プレート形成工程と、第１方向（Ｙ方向）おいて第１間隔（ピッチＰ１）よりも狭い第２間隔（ピッチＰ３）で配列する複数のノズル７１を有するノズルプレート７０を形成するノズルプレート形成工程と、複数の圧力室２１と複数のノズル７１とが連通するように圧力室プレート２０とノズルプレート７０とを位置合わせする位置合わせ工程と、を含む。
【００３６】
振動板１０、圧力室プレート２０および連通プレート３０のそれぞれは、例えば、ステンレスやニッケルといった金属、合成樹脂、セラミックス、等の各種素材のいずれかを用いて生成される。例えば、圧力室プレート形成工程では、ジルコニア（ＺｒＯ２）を含有するセラミックス粉体をバインダー等に分散したペーストをシート状にした、いわゆるグリーンシートが用意される。そして、グリーンシートに対し、金型等を用いた加工や、切断、切削、打ち抜き等といった機械加工や、レーザー加工等、を必要に応じて施す。これにより、複数の圧力室２１に相当する各室がピッチＰ１で並んだシート状の前駆体（圧力室プレート２０の前駆体）が形成される。圧力室プレート２０の前駆体は、例えば、グリーンシートに対する加工により形成された、連通プレート３０の前駆体や振動板１０の前駆体と積層された状態で、一体的に焼成される。これにより、振動板１０、圧力室プレート２０および連通プレート３０を有するセラミックス製のプレート（アクチュエータープレートと呼ぶ。）が形成される。圧力室プレート形成工程は、アクチュエータープレートを形成する工程に含まれるとも言える。
【００３７】
図１〜３に示すようなシールプレート４０、リザーバープレート５０およびコンプライアンスプレート６０は、例えば、ステンレスやニッケルといった金属、合成樹脂、セラミックス、等の各種素材のいずれかを用いて生成される。
ノズルプレート形成工程でも、当該各種素材のいずれかが用意され、金型等を用いた加工や、切断、切削、打ち抜き等といった機械加工や、レーザー加工等、を必要に応じて施す。これにより、複数のノズル７１がピッチＰ３で並んだノズルプレート７０が形成される。
【００３８】
位置合わせ工程では、アクチュエータープレート、シールプレート４０、リザーバープレート５０、コンプライアンスプレート６０、ノズルプレート７０といった各部材を、リザーバー５１から各ノズル７１までの各流路が連通する位置で位置合わせして積層しつつ、互いに接着する。また、アクチュエータープレートの振動板１０に対する圧電素子１１の形成、圧電素子１１と制御回路基板１００との、ケーブル類９０を介しての接続等を経て、液体噴射ヘッド１４０が製造される。
【００３９】
なお、連通孔３２，４２，５２，６２それぞれのピッチについては、図３および図４に例示した態様以外にも採用可能である。例えば、連通孔３２のピッチはピッチＰ２を採用してもよい。あるいは、連通孔３２，４２のピッチはピッチＰ１を、連通孔５２，６２のピッチはピッチＰ２を採用したり、連通孔３２，４２，５２のピッチはピッチＰ１を、第六連通孔６２のピッチはピッチＰ２を採用したりしてもよい。
また、上述したピッチＰ１，Ｐ２，Ｐ３についての関係は、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３だけに限られない。例えば、Ｐ１≧Ｐ２＞Ｐ３といった関係や、Ｐ１＞Ｐ２≧Ｐ３といった関係も、本発明の概念に含まれるものである。従って、上述した各実施例１乃至実施例４においては、本発明の適用を判り易く説明するとともに製造容易性の観点から、図５に示したピッチずらし量を、ピッチＰ３に対するピッチＰ２の差分とピッチＰ２に対するピッチＰ１の差分とを同じ（Ｐ３−Ｐ２＝Ｐ２−Ｐ１）ものとしてそれぞれ所定値に設定したが、この例示した態様以外にも適用は可能である。例えば、各ピッチの大小関係の条件を満たしつつ、且つ、圧力室２１、連通孔４２,５２,６２のＹ方向における幅に納まる範囲内で、圧力室に対して連通孔、連通孔に対してノズルを、それぞれ個別に設定された所定のピッチずらし量で（Ｐ３−Ｐ２＞Ｐ２−Ｐ１或いはＰ３−Ｐ２＜Ｐ２−Ｐ１）で実施してもよい。その場合、対応する圧力室との関係でノズルを形成する位置により高い自由度を与えることができる。
【００４０】
液体噴射ヘッド１４０は、インクカートリッジ等と連通するインク供給経路（液体供給経路）を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェットプリンター２００に搭載される。インクジェットプリンター２００は液体噴射装置の一例である。
【００４１】
図６は、インクジェットプリンター２００の一例を示す概略図である。インクジェットプリンター２００において、複数の液体噴射ヘッド１４０を有するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニット２０２）には、例えば、インクカートリッジ２０２Ａ，２０２Ｂ等が着脱可能に設けられる。ヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、キャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って（主走査方向に沿って）移動する。
【００４２】
装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しないローラー等により供給された印刷媒体Ｓがプラテン２０８上を搬送される。そして、搬送される印刷媒体Ｓに対して、液体噴射ヘッド１４０のノズル７１からインクが噴射され任意の画像が印刷媒体Ｓに印刷される。なお、インクジェットプリンター２００は、ヘッドユニット２０２が上記のように移動するものだけでなく、例えば、液体噴射ヘッド１４０が固定されて、印刷媒体Ｓを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターであってもよい。 
【００４３】
本発明は、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液体噴射ヘッドとしては、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレーやＦＥＤ（電解放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置にも本発明を適用することができる。
これまで説明した各種実施形態を組み合わせた構成も、本発明が開示する内容である。
【符号の説明】
【００４４】
１０…振動板、１１…圧電素子、２０…圧力室プレート、２１…圧力室、２２…隔壁、３０…連通プレート、３１…第一連通孔、３２…第二連通孔、４０…シールプレート、４１…第三連通孔、４２…第四連通孔、５０…リザーバープレート、５１…リザーバー、５２…第五連通孔、６０…コンプライアンスプレート、６１…薄膜部、６２…第六連通孔、６３…空間、７０…ノズルプレート、７１…ノズル、７２…ノズル列、１４０…液体噴射ヘッド、２００…インクジェットプリンター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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