(57)【要約】【課題】ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が逆流するのを防止して、吐出状態に悪影響を及ぼすのを防止することができる液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。【解決手段】回収流路支流３４と供給流路支流２４、又は回収流路支流３４と供給流路本流２２、を接続する１又は２以上のバイパス流路８０を備え、１又は２以上のバイパス流路の１は、回収流路支流３４が回収流路本流３２に接続していない他端側であって、回収流路支流３４の他端側の最も先に接続された個別回収流路２６よりも先で接続される。【選択図】図６
2015036238.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズルが設けられた複数の圧力室と、
前記圧力室に接続され、前記圧力室に液体を供給する個別供給流路と、
前記圧力室に接続され、前記圧力室から液体を回収する個別回収流路と、
複数の前記個別供給流路に接続され、前記複数の個別供給流路に液体を供給する供給流路支流と、
複数の前記個別回収流路に接続され、前記複数の個別回収流路から液体を回収する回収流路支流と、
複数の前記供給流路支流に接続され、前記複数の供給流路支流に液体を供給する供給流路本流と、
複数の前記回収流路支流に接続され、前記複数の回収流路支流から液体を回収する回収流路本流と、
前記供給流路本流に液体を供給する液体供給口と、
前記回収流路本流から液体を回収する液体回収口と、
前記回収流路支流と前記供給流路支流、又は前記回収流路支流と前記供給流路本流、を接続する１又は２以上のバイパス流路と、を備え、
前記１又は２以上のバイパス流路の１は、
前記回収流路支流が前記回収流路本流に接続していない他端側であって、回収流路支流の他端側の最も先に接続された前記個別回収流路よりも先で接続される液体吐出ヘッド。
【請求項２】
１の前記回収流路支流には、２以上のバイパス流路が接続している請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記２以上のバイパス流路のうち少なくとも１のバイパス流路は、
前記回収流路支流において、前記回収流路支流の他端側の最も先に接続された前記個別回収流路よりも手前で接続されるバイパス流路を備える請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
１の前記バイパス流路は、
前記供給流路支流が前記供給流路本流に接続していない他端側であって、供給流路支流の他端側の最も先に接続された前記個別供給流路よりも先で接続される請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
１の前記供給流路支流には、２以上のバイパス流路が接続している請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記２以上のバイパス流路のうち少なくとも１のバイパス流路は、
前記供給流路支流において、前記供給流路支流の他端側の最も先に接続された前記個別供給流路よりも手前で接続される請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記液体供給口と前記液体回収口とに液体循環手段が接続され、
下記に示されるＲＢが、以下の式を満足する請求項１〜６の何れか１に記載の液体吐出ヘッド。
【数１】
2015036238.tif 000015
但し、
Ｒｂ，ｋ：ｋ番目のバイパス流路の抵抗値
Ｒｆ：個別供給流路からノズル入口までの抵抗値
Ｒｒ：個別回収流路からノズル入口までの抵抗値
Ｒｒｂ：各圧力室間の回収流路支流の抵抗値
Ｒｆｂ：各圧力室間の供給流路支流の抵抗値
Ｑｎ：吐出量
Ｐｉ：液体供給口側の圧力
Ｐｏ：液体回収口側の圧力
ΔＰ：差圧
ｆ：駆動周波数
ｎ：1の供給流路支流（回収流路支流）内の圧力室の数
ｍ：1の供給流路支流（回収流路支流）内のバイパス流路の数
【数２】
2015036238.tif 000016
【数３】
2015036238.tif 000017
【数４】
2015036238.tif 000018
【数５】
2015036238.tif 000019
【数６】
2015036238.tif 000020
【請求項８】
前記バイパス流路の抵抗値Ｒｂ，ｋは、前記液体回収口に近い側に向かうに従い順次小さくなるように構成されている請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記ＲＢは、１の前記供給流路支流の抵抗値の合成抵抗値の１０倍以上である請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項１〜９の何れか１に記載の液体吐出ヘッドを備えるインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置に係り、特に液体を循環させて圧力室に供給する液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置で使用される液体吐出ヘッドは、インク中の溶媒が揮発しやすいインク（たとえば、水を溶媒として用いたインク等）や、インク中に分散された不溶性成分や高分子化合物を多く含有するインク（たとえば、顔料や樹脂微粒子分散物を用いたインク等）を使用すると、印刷待機中だけでなく印刷中もノズルからインク中の溶媒が揮発し、ノズル近傍に気泡や液体増粘物が存在するという現象が起きる。
【０００３】
このような問題に対して、インクを印刷中も常時循環させることにより、ノズル近傍のインク粘度が上昇するのを防止する技術が提案されている。この技術は、各圧力室にインクを供給する共通の供給流路（共通供給流路）の他に各圧力室からインクを回収する共通の回収流路（共通回収流路）を設け、共通供給流路から共通回収流路に向かうインクの流れを形成して、インクを循環させて供給するものである。
【０００４】
しかしながら、このような循環型の液体吐出ヘッドにおいても、ノズル近傍に気泡や液体増粘物が存在するという現象が起きる。ノズル近傍に気泡や液体増粘物が存在すると、液体の吐出動作により、液体が供給または逆流することにより、気泡または液体増粘物が圧力室に吸い寄せられ、吐出する液滴の飛翔体積や飛翔方向にバラツキが生じたり、不吐出が生じたりするなど、吐出状態に悪影響を及ぼす問題が発生していた。
【０００５】
そこで、特許文献１に開示されている液体噴射装置では、第１、第２の液体収容部間を連通する副連通路が、ヘッド内においてヘッドの液体噴射吐出口をバイパスするように構成され、噴射時の相互補給制御において、液体がヘッド内の副連通路を経由することで液体の攪拌効果を持たせることが記載されている。
【０００６】
また、特許文献２に開示されている小滴堆積装置では、プリントヘッドが単一の流体入口マニホルドおよび単一の流体出口マニホルドを持ち、これらの流体マニホルドがバイパス弁を有するバイパスで繋がれていることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−１３１７５７号公報
【特許文献２】特開２００７−１１８６１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、圧力室には、圧力室に液体を供給する個別供給流路と、圧力室から液体を回収する個別回収流路とが接続されている。引用文献１と引用文献２は、バイパス流路と回収流路との接続が圧力室に接続された個別回収流路よりも下流側に位置する構成である。
【０００９】
しかしながら、引用文献１や引用文献２では、バイパス流路の接続口から圧力室に接続された個別回収流路までの間に留まった気泡や液体増粘物が個別回収流路へ逆流するのを防止することができないという問題がある。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が逆流するのを防止して、吐出状態に悪影響を及ぼすのを防止することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は前記目的を達成するために、液体を吐出するノズルが設けられた複数の圧力室と、圧力室に接続され、圧力室に液体を供給する個別供給流路と、圧力室に接続され、圧力室から液体を回収する個別回収流路と、複数の個別供給流路に接続され、複数の個別供給流路に液体を供給する供給流路支流と、複数の個別回収流路に接続され、複数の個別回収流路から液体を回収する回収流路支流と、複数の供給流路支流に接続され、複数の供給流路支流に液体を供給する供給流路本流と、複数の前記回収流路支流に接続され、複数の回収流路支流から液体を回収する回収流路本流と、供給流路本流に液体を供給する液体供給口と、回収流路本流から液体を回収する液体回収口と、回収流路支流と供給流路支流、又は回収流路支流と供給流路本流、を接続する１又は２以上のバイパス流路と、を備え、１又は２以上のバイパス流路の１は、回収流路支流が回収流路本流に接続していない他端側であって、回収流路支流の他端側の最も先に接続された個別回収流路よりも先で接続される液体吐出ヘッドを提供する。
【００１２】
本発明によれば、回収流路支流と、供給流路支流又は供給流路本流と、を接続する１又は２以上のバイパス流路を備え、少なくとも１のバイパス流路が、回収流路支流が回収流路本流に接続していない他端側であって、回収流路支流の他端側の最も先に接続された個別回収流路よりも先で接続されていることで、供給流路支流又は供給流路本流からバイパス流路へ、バイパス流路から回収流路支流への液体の流れを作ることができるので、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が回収流路支流から逆流して圧力室に侵入するのを防止することができる。
【００１３】
なお、ここで「最も先に接続」とは、直線距離で最も先に接続している状態である場合も含み、流路の距離において最も先に接続している状態をいう。
【００１４】
本実施態様では、１の回収流路支流には、２以上のバイパス流路が接続していることが好ましい。これにより、１の回収流路支流に接続された各圧力室の差圧の差を小さくすることができる。
【００１５】
本実施態様では、２以上のバイパス流路のうち少なくとも１のバイパス流路は、回収流路支流において、回収流路支流の他端側の最も先に接続された個別回収流路よりも手前で接続されるバイパス流路を備えることが好ましい。回収流路支流において、最も先に接続された個別回収流路よりも先で接続されているバイパス流路以外にも、回収流路本流から最も先に接続された接続された個別回収流路よりも手前で接続されるバイパス流路を備えることで、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が回収流路支流から逆流して圧力室に侵入するのをより防止することができる。
【００１６】
第２の本実施態様では、１のバイパス流路は、供給流路支流が供給流路本流に接続していない他端側であって、供給流路支流の他端側の最も先に接続された個別供給流路よりも先で接続されることが好ましい。供給流路支流においても、１のバイパス流路を供給流路支流の他端側の最も先に接続された個別供給流路よりも先で接続することで、個別供給流路内の液体をより好ましく循環することができる。
【００１７】
第２の本実施態様では、１の供給流路支流には、２以上のバイパス流路が接続していることが好ましい。これにより、１の供給流路支流に接続された各圧力室の差圧の差を小さくすることができる。
【００１８】
第２の本実施態様では、２以上のバイパス流路のうち少なくとも１のバイパス流路は、供給流路支流において、供給流路支流の他端側の最も先に接続された個別供給流路よりも手前で接続されることが好ましい。供給流路支流において、供給流路支流の他端側の最も先に接続された個別供給流路よりも先で接続されているバイパス流路以外にも、供給流路支流の他端側の最も先に接続された個別供給流路よりも手前で接続されるバイパス流路を備えることで、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が回収流路支流から逆流して圧力室に侵入するのをより防止することができる。
【００１９】
本実施態様において、液体供給口と液体回収口とに液体循環手段が接続され、下記に示されるＲＢが、以下の式を満足することが好ましい。
【００２０】
【数１】
2015036238.tif 000003
【００２１】
但し、Ｒｂ，ｋ：ｋ番目のバイパス流路の抵抗値、Ｒｆ：個別供給流路からノズル入口までの抵抗値、Ｒｒ：個別回収流路からノズル入口までの抵抗値、Ｒｒｂ：各圧力室間の回収流路支流の抵抗値、Ｒｆｂ：各圧力室間の供給流路支流の抵抗値、Ｑｎ：吐出量、Ｐｉ：液体供給口側の圧力、Ｐｏ：液体回収口側の圧力、ΔＰ：差圧、ｆ：駆動周波数、ｎ：1の供給流路支流（回収流路支流）内の圧力室の数、ｍ：1の供給流路支流（回収流路支流）内のバイパス流路の数、
【００２２】
【数２】
2015036238.tif 000004
【００２３】
【数３】
2015036238.tif 000005
【００２４】
【数４】
2015036238.tif 000006
【００２５】
【数５】
2015036238.tif 000007
【００２６】
【数６】
2015036238.tif 000008
【００２７】
である。
【００２８】
本実施形態によれば、ＲＢが上記の式を満足するように液体吐出ヘッドが設計されることで、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が逆流するのを好ましく防止することができる。
【００２９】
本実施態様において、バイパス流路の抵抗値Ｒｂ，ｋは、液体回収口に近い側に向かうに従い順次小さくなるように構成されていることが好ましい。液体回収口から離れているバイパス流路に液体を沢山流し、液体回収口に近い側のバイパス流路に流す液体を少なくすることで、気泡や液体増粘物が逆流するのをより好ましく防止することができる。
【００３０】
本実施態様において、ＲＢは、１の供給流路支流の抵抗値の合成抵抗値の１０倍以上であることが好ましい。ＲＢを１の供給流路支流の抵抗値の合成抵抗値の１０倍以上とすることで、気泡や液体増粘物が逆流するのをより好ましく防止することができる。なお、上限は、ＲＢを１の供給流路支流の抵抗値の合成抵抗値の１００倍以下とすることが好ましく、５０倍以下とすることがより好ましい。
【００３１】
本実施態様に係る液体吐出ヘッドは、インクジェット記録装置に備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が回収流路支流から逆流して圧力室に侵入するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】液体吐出ヘッドのノズル面の一例を示す平面透視図
【図２】液体吐出ヘッドの内部の概略構造の一例を示す縦断面図
【図３】図２の３−３断面図
【図４】図２の４−４断面図
【図５】液体吐出ヘッドに供給する液体の供給システムの一例を示す概略構成図
【図６】本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル面と供給流路と回収流路を示した平面透視図
【図７】本実施形態に係る液体吐出ヘッド（不吐出の状態）の一部分を示した説明図
【図８】本実施形態に係る液体吐出ヘッド（吐出している状態）の一部分を示した説明図
【図９】第２の本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル面と供給流路と回収流路を示した平面透視図
【図１０】第２の本実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部分を示した説明図
【図１１】他の本実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部分を示した説明図
【図１２】他の本実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部分を示した説明図
【図１３】図６〜８に係る液体吐出ヘッドの等価回路図
【図１４】図９及び１０に係る液体吐出ヘッドの等価回路図
【図１５】図１１及び１２に係る液体吐出ヘッドの等価回路図
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の形態について説明する。
【００３５】
〈ヘッドの構成〉
図１は、本発明に係る液体吐出ヘッドの実施の形態のノズル面の平面透視図である。
【００３６】
同図に示すように、本実施の形態の液体吐出ヘッド１０は、ノズル１２が二次元マトリックス状に配置されたマトリックスヘッドである。
【００３７】
ノズル１２は、ヘッドの長手方向に対して所定の角度で傾斜した直線に沿って並ぶノズル１２の列を１単位とし、このノズル１２の列がヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで多数並列して配置される。
【００３８】
このようなマトリックスヘッドでは、ヘッドの長手方向（メディアの搬送方向と直交する方向）に投影される実質的なノズル１２の間隔を狭めることができ、ノズル１２の高密度化を図ることができる。
【００３９】
また、本実施の形態の液体吐出ヘッド１０は、各ノズル１２の圧力室１４に液体を循環させて供給する循環型の液体吐出ヘッド１０であり、液体を圧力室１４に供給する供給流路（不図示）と、液体を圧力室１４から回収する回収流路（不図示）を備えている。なお、供給流路と回収流路については、後で詳述する。
【００４０】
また、液体吐出ヘッド１０には、供給流路に液体を供給する液体供給口２８と、回収流路から液体を回収する液体回収口３８を備えている（図５参照）。
【００４１】
なお、本発明に適用可能なインクジェットヘッドのノズル配置は、図１に図示したマトリックス配置に限定されない。例えば、液体吐出ヘッド１０の長手方向に沿って複数のノズル１２を配置したノズル列を一列有する態様や、同方向に複数のノズルを二列の千鳥配置させる態様などを適用することができる。
【００４２】
図２は、液体吐出ヘッドの内部の概略構造の一例を示す縦断面図である。また、図３、図４は、それぞれ図２の３−３断面図、４−４断面図である。
【００４３】
同図に示すように、液体吐出ヘッド１０は、主として、ノズルプレート４０と、圧力室プレート４２と、振動板４４と、圧力室上部プレート４６とで構成される。
【００４４】
ノズルプレート４０は、所定の厚さを有する平面形状が矩形状の基板で構成され、最下層に配置される。このノズルプレート４０には、ノズル１２が形成される。
【００４５】
圧力室プレート４２は、所定の厚さを有する矩形状の基板で構成され、ノズルプレート４０の上に配置される。この圧力室プレート４２には、ノズルプレート４０に成された各ノズル１２に対応して圧力室１４が形成されるとともに、各圧力室１４に連通する個別供給流路２６及び個別回収流路３６が形成される。また、この圧力室プレート４２には、各個別供給流路２６が連通される供給流路支流２４と、その供給流路支流２４が連通される供給流路本流（図示せず）、及び、各個別回収流路３６が連通される回収流路支流３４と、その回収流路支流３４が連通される回収流路本流（図示せず）が形成される。
【００４６】
圧力室１４は、断面矩形状に形成され、その中央にノズル１２が配置される。なお、圧力室１４の形状は、これに限定されるものではなく、たとえば、断面円形状に形成することもできる。また、ノズル１２の配置も必ずしも中央である必要はなく、たとえば、角等に配置する構成とすることもできる。
【００４７】
圧力室１４は、圧力室プレート４２に貫通して形成され、圧力室プレート４２にノズルプレート４０が取り付けられることにより、その開口した下面部分がノズルプレート４０によって覆われる。また、圧力室プレート４２に振動板４４が取り付けられることにより、開口した上面部分が振動板４４によって覆われる。
【００４８】
供給流路支流２４は、一定ピッチで配置される圧力室１４の配列（単位ごとの配列）に沿って配置される。この供給流路支流２４は、圧力室プレート４２の上面に一定の深さ、一定の幅を有する溝として形成され、圧力室プレート４２に振動板４４が取り付けられると、その振動板４４によって開口した上面部分が覆われる。
【００４９】
回収流路支流３４も一定ピッチで配置される圧力室１４の配列（単位ごとの配列）に沿って配置される。この回収流路支流３４は、圧力室プレート４２の下面に一定の深さ、一定の幅を有する溝として形成され、圧力室プレート４２にノズルプレート４０が取り付けられることにより、その開口した下面部分がノズルプレート４０によって覆われる。
【００５０】
供給流路支流２４と回収流路支流３４は、同じ形状で形成され、圧力室１４を挟んで対称に配置される。
【００５１】
個別供給流路２６は、圧力室１４から供給流路支流２４に向かって水平に延びるように形成され、圧力室１４と供給流路支流２４とを連通する。この個別供給流路２６は、圧力室プレート４２の上面に所定幅を有する溝として形成される。
【００５２】
このように形成された個別供給流路２６は、圧力室プレート４２に振動板４４が取り付けられることにより、その開口した上面部分が振動板４４に覆われる。
【００５３】
個別回収流路３６は、圧力室１４から回収流路支流３４に向かって水平に延びるように形成され、圧力室１４と回収流路支流３４とを連通する。この個別回収流路３６も、圧力室プレート４２の上面に所定幅を有する溝として形成される。
【００５４】
このように形成された個別回収流路３６は、圧力室プレート４２にノズルプレート４０が取り付けられることにより、その開口した下面部分がノズルプレート４０に覆われる。
【００５５】
振動板４４は、所定厚さを有する矩形の薄板状に形成され、圧力室プレート４２の上に配置される。上記のように、圧力室１４は、この振動板４４が配置されることにより、天井部が閉塞される。すなわち、この振動板４４は圧力室１４の天井面を構成する。
【００５６】
振動板４４の上には、各圧力室１４の位置に対応して圧電素子４８が配置される。各圧力室１４は、この圧電素子４８を駆動することにより、天井面が変位し、容積が膨張・収縮される。そして、これにより、圧力室１４内の液体がノズル１２から液滴として吐出される。
【００５７】
圧力室上部プレート４６は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、振動板４４の上に配置される。この圧力室上部プレート４６には、振動板４４の上に設けられた圧電素子４８に対応して、矩形状の空間５０が形成されている。振動板４４の上に設けられた各圧電素子４８は、振動板４４に圧力室上部プレート４６が取り付けられると、この圧力室上部プレート４６に形成された空間５０に収容される。これにより、圧電素子４８が変位可能に取り付けられる。
【００５８】
〈液体の供給システム（液体循環手段）〉
−システム構成−
まず、システムの全体構成について概説する。
【００５９】
図５は、液体吐出ヘッドに供給する液体の供給システム（液体循環手段）の概略構成図である。
【００６０】
メインタンク１００は、メインタンク接続配管１０２を介してバッファータンク１０４と連結されている。このメインタンク接続配管１０２には、メインポンプ１０６とメインバルブ１０８が設けられている。
【００６１】
メインポンプ１０６は、制御装置（図示せず）からの指令に応じて作動し、メインタンク１００に貯留された液体をバッファータンク１０４に送液する。
【００６２】
メインバルブ１０８は、制御装置からの指令に応じて作動し、メインタンク接続配管１０２を開閉する。 
【００６３】
バッファータンク１０４は、天面に形成された大気開放穴１０４Ａを介して内部が大気開放されている。このバッファータンク１０４の内部には、メインタンク１００から供給される液体によって、その内部に所定量の液体が貯留される。
【００６４】
バッファータンク１０４は、第１供給流路１１０を介して供給タンク１１２に連通されており、供給タンク１１２は、第２供給流路１１４を介して液体吐出ヘッド１０の液体供給口２８に連通されている。
【００６５】
また、バッファータンク１０４は、第１回収流路１１８を介して回収タンク１２０に連通されており、回収タンク１２０は、第２回収流路１２２を介して、液体吐出ヘッド１０の液体回収口３８に連通されている。
【００６６】
第１供給流路１１０には、供給ポンプ１２６とフィルタ１２８とが設けられている。供給ポンプ１２６は、制御装置からの指令に応じて作動し、バッファータンク１０４から供給タンク１１２に液体を送液する。フィルタ１２８は、供給ポンプ１２６とバッファータンク１０４との間に設けられており、供給タンク１１２に供給する液体から不純物を除去する。
【００６７】
第２供給流路１１４には、供給バルブ１３０が設けられている。供給バルブ１３０は、制御装置からの指令に応じて作動し、第２供給流路１１４を開閉する。
【００６８】
第１回収流路１１８には、回収ポンプ１３２が設けられている。回収ポンプ１３２は、制御装置からの指令に応じて作動し、回収タンク１２０からバッファータンク１０４に液体を送液する。
【００６９】
第２回収流路１２２には、回収バルブ１３４が設けられている。回収バルブ１３４は、制御装置からの指令に応じて作動し、第２回収流路１２２を開閉する。
【００７０】
供給タンク１１２は、その内部が弾性膜１３６によって供給液体室１１２Ａと供給気体室１１２Ｂとに区画されている。供給液体室１１２Ａには、第１供給流路１１０と第２供給流路１１４が連通されている。第１供給流路１１０を介してバッファータンク１０４から供給される液体は、一旦、この供給液体室１１２Ａに貯留される。そして、この供給液体室１１２Ａから第２供給流路１１４を介して液体吐出ヘッド１０に供給される。この供給液体室１１２Ａは、その内部圧力が供給圧力検出器１３８によって検出されており、その検出結果は制御装置に出力される。
【００７１】
一方、供給気体室１１２Ｂには、気体が充填されている。この供給気体室１１２Ｂには、供給気体室１１２Ｂを大気に開放するための大気開放管１４０が連通されている。大気開放管１４０には、大気開放バルブ１４２が設けられている。大気開放バルブ１４２は、制御装置からの指令に応じて作動し、大気開放管１４０を開閉する。
【００７２】
回収タンク１２０の構成も同様である。すなわち、その内部が弾性膜１４４によって回収液体室１２０Ａと回収気体室１２０Ｂとに区画されている。
【００７３】
回収液体室１２０Ａには、第１回収流路１１８と第２回収流路１２２とが連通されている。液体吐出ヘッド１０から第２回収流路１２２を介して回収される液体は、一旦、この回収液体室１２０Ａに貯留される。そして、回収液体室１２０Ａから第１回収流路１１８を介してバッファータンク１０４に回収される。この回収液体室１２０Ａは、その内部圧力が回収圧力検出器１４６によって検出されており、その検出結果は制御装置に出力される。
【００７４】
一方、回収気体室１２０Ｂには、気体が充填されている。この回収気体室１２０Ｂには、回収気体室１２０Ｂを大気に開放するための大気開放管１４８が連通されている。大気開放管１４８には、大気開放バルブ１５０が設けられている。大気開放バルブ１５０は、制御装置からの指令に応じて作動し、大気開放管１４８を開閉する。
【００７５】
−液体の供給動作−
次に、液体の循環供給の動作について説明する。
【００７６】
循環供給時、供給タンク１１２の供給気体室１１２Ｂを大気開放する大気開放バルブ１４２と、回収タンク１２０の回収気体室１２０Ｂを大気開放する大気開放バルブ１５０は、それぞれ閉じられる。一方、液体を供給タンク１１２の供給液体室１１２Ａから液体吐出ヘッド１０に供給する第２供給流路１１４の供給バルブ１３０と、液体吐出ヘッド１０から回収タンク１２０の回収液体室１２０Ａに回収する第２回収流路１２２の回収バルブ１３４は、それぞれ開かれる。
【００７７】
本例の供給システムでは、供給側の圧力を回収側の圧力よりも所定量だけ高く設定することにより、供給タンク１１２側から液体吐出ヘッド１０を経て回収タンク１２０側に液体が送液される。具体的には、供給液体室１１２Ａの内部圧力をＰin、回収液体室１２０Ａの内部圧力をＰout、ノズルの背圧（負圧）をＰn、液体吐出面と供給圧力検出器１３８との間の高低差により生じる圧力差（水頭圧）をＨin、液体吐出面と回収圧力検出器１４６との間の高低差により生じる圧力差（水頭圧）をＨoutとすると、Ｐin＋Ｈin＞Ｐn＞Ｐout＋Ｈout（mmH2O）として、ノズルに所定の背圧を付与する。
【００７８】
制御装置は、供給圧力検出器１３８により検出される供給液体室１１２Ａの内部圧力と、回収圧力検出器１４６により検出された回収液体室１２０Ａの内部圧力とに基づいて、供給ポンプ１２６及び回収ポンプ１３２の駆動を制御し、供給液体室１１２Ａの内部圧力と回収液体室１２０Ａの内部圧力を、それぞれ所定の圧力Ｐin、Ｐoutに制御する。これにより、液体吐出ヘッド１０に対して液体が循環して供給される。
【００７９】
なお、供給ポンプ１２６と回収ポンプ１３２の動作による圧力変動が生じた場合であっても、供給タンク１１２に設けられた弾性膜１３６と、回収タンク１２０に設けられた弾性膜１４４とにより吸収することができ、ノズル１２における圧力変動を抑えることができる。これにより、常にノズル１２の背圧を一定に維持することができる。
【００８０】
液体の循環供給動作は、液体吐出ヘッド１０の動作中（印刷中）も常に行われ、これにより、ノズル１２から吐出する液体の増粘を抑制することができる。
【００８１】
〈第１の本実施形態に係る液体吐出ヘッド〉
図６は、本実施の形態の液体吐出ヘッドのノズル面と供給流路と回収流路を示した平面透視図である。
【００８２】
同図に示すように、液体を圧力室１４に供給する供給流路２０と、液体を圧力室１４から回収する回収流路３０を備えている。
【００８３】
供給流路２０は、供給流路本流２２と、その供給流路本流２２から分岐して形成される複数の供給流路支流（共通供給流路）２４と、供給流路支流２４から更に分岐して形成される複数の個別供給流路２６とで構成される。
【００８４】
供給流路本流２２は、ヘッドの長手方向に沿って配置される。この供給流路本流２２には、液体供給口２８が連通されており、この液体供給口２８から内部に液体が供給される。
【００８５】
供給流路支流２４は、ヘッドの長手方向に対して所定角度傾斜した直線に沿って並ぶノズル１２の列ごとに設けられ、そのノズル１２の列と平行に配置される。
【００８６】
個別供給流路２６は、供給流路支流２４に沿って並ぶ圧力室１４と供給流路支流２４とを連通する流路であり、圧力室１４ごとに設けられる。
【００８７】
回収流路３０は、回収流路本流３２と、その回収流路本流３２から分岐して形成される複数の回収流路支流（共通回収流路）３４と、回収流路支流３４から更に分岐して形成される複数の個別回収流路３６とで構成される。
【００８８】
回収流路本流３２は、ヘッドの長手方向に沿って配置される。この回収流路本流３２には、液体回収口３８が連通されており、この液体回収口３８から内部の液体が回収される。
【００８９】
回収流路支流３４は、ヘッドの長手方向に対して所定角度傾斜した直線に沿って並ぶノズル１２の列ごとに設けられ、そのノズル１２の列と平行に配置される。
【００９０】
個別回収流路３６は、回収流路支流３４に沿って並ぶ圧力室１４と回収流路支流３４とを連通する流路であり、圧力室１４ごとに設けられる。
【００９１】
このように構成された液体吐出ヘッド１０には、ノズル１２から吐出させる液体（たとえば、インク）が循環して供給される。
【００９２】
供給タンク１１２（図４参照）から液体供給口２８に液体は、まず、供給流路本流２２を流れる。そして、供給流路本流２２から供給流路支流（共通供給流路）２４へと流れ、供給流路支流２４から個別供給流路２６を介して各圧力室１４に供給される。
【００９３】
圧力室１４に供給された液体は、圧電素子４８の駆動により、ノズル１２から吐出される。
【００９４】
また、この圧電素子４８の動作とは別に供給流路２０と回収流路３０との圧力差により、圧力室１４内の液体は、個別回収流路３６を介して回収流路支流（共通回収流路）３４へと流れる。回収流路支流３４へと流れた液体は、回収流路本流３２へ流れ、液体回収口３８を介して回収タンク１２０（図４参照）に回収される。
【００９５】
このように、圧力室１４に対して、ノズル１２から吐出させる液体が循環して供給される。
【００９６】
ところで、このような循環型の液体吐出ヘッド１０において、意図したほう方向とは逆の流れが生じることがある。特に、液体の吐出時には、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が回収流路支流３４から逆流して圧力室１４に侵入してしまう。回収流路支流３４の気泡や液体増粘物が圧力室１４に侵入してしまうと、ノズルか詰まり、ノズルから液体が吐出できなくなるという問題がある。
【００９７】
そこで、回収流路支流３４に供給流路支流２４又は供給流路本流２２と接続するバイパス流路８０を備えるようにした。ここで、バイパス流路８０は、回収流路支流３４が回収流路本流３２に接続していない他端側であって、回収流路支流３４の他端側の最も先に接続された個別回収流路３６よりも先で接続されている。なお、ここで「最も先に接続」とは、直線距離で最も先に接続している状態である場合も含み、流路の距離において最も先に接続している状態をいう。
【００９８】
なお、ここで「最も先に接続」とは、直線距離で最も先に接続している状態である場合も含み、流路の距離において最も先に接続している状態をいう。
【００９９】
このように、バイパス流路８０を接続することで、供給流路支流２４又は供給流路本流２２からバイパス流路８０へ、バイパス流路８０から回収流路支流３４への液体の流れを作ることができるので、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が回収流路支流から逆流して圧力室１４に侵入するのを防止することができる。
【０１００】
図７及び図８は、本実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部分を示したものであり、本実施形態に係るバイパス流路を設けたときの液体の流れを示した説明図である。ここで、ノズル１２を白抜きで示したものは液体をノズルから不吐出の状態を示し、黒塗りで示したものは液体をノズルから吐出している状態を示している。
【０１０１】
図７は、液体をノズル１２から不吐出の状態を示している。この場合、液体は、供給流路支流２４から個別供給流路２６を介して各圧力室１４に供給される。圧力室１４に供給された液体は、個別回収流路３６を介して回収流路支流３４へと流れる。回収流路支流３４へと流れた液体は、回収流路本流３２へ流れる。また、本実施形態では、液体は、バイパス流路から回収流路支流３４へと流れている。即ち、回収流路支流３４では、バイパス流路に接続された上流側から回収流路本流３２に接続された下流側への流れが生じている。
【０１０２】
図８は、液体をノズル１２から吐出している状態を示している。この場合、液体は、供給流路支流２４から個別供給流路２６を介して各圧力室１４に供給される。
【０１０３】
圧力室１４に供給された液体は、圧電素子４８の駆動により、ノズル１２から吐出されるが、吐出される際に、回収流路支流３４からも個別回収流路３６を介して液体が圧力室１４に供給されてしまう。回収流路支流３４の液体中は、従来では、圧力室１４を通過した液体であったため気泡や液体増粘物が存在しやすい。
【０１０４】
しかし、本実施形態では、回収流路支流３４には、個別供給流路２６からバイパス流路を介して液体が流れてきて、バイパス流路に接続された上流側から回収流路本流３２に接続された下流側への流れが常に生じている。本実施形態では、回収流路支流３４に存在する気泡や液体増粘物が圧力室１４に戻るのを、バイパス流路に接続された上流側から回収流路本流３２に接続された下流側への流れにより抑制している。
【０１０５】
したがって、本実施形態により、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が回収流路支流から逆流して圧力室に侵入するのをより防止することができる。
【０１０６】
〈第２の本実施形態に係る液体吐出ヘッド〉
図９は、他の本実施の形態の液体吐出ヘッドのノズル面と供給流路と回収流路を示した平面透視図である。なお、図６と同じ部材については、同じ符号を付している。
【０１０７】
同図に示すように、液体を圧力室１４に供給する供給流路２０と、液体を圧力室１４から回収する回収流路３０を備えている。
【０１０８】
供給流路２０は、供給流路本流２２と、その供給流路本流２２から分岐して形成される複数の供給流路支流２４と、供給流路支流２４から更に分岐して形成される複数の個別供給流路２６とで構成される。
【０１０９】
供給流路本流２２は、ヘッドの長手方向に沿って配置される。この供給流路本流２２には、液体供給口２８が連通されており、この液体供給口２８から内部に液体が供給される。
【０１１０】
供給流路支流２４は、ヘッドの長手方向に対して所定角度傾斜した直線に沿って並ぶノズル１２の列ごとに設けられ、そのノズル１２の列と平行に配置される。
【０１１１】
個別供給流路２６は、供給流路支流２４に沿って並ぶ圧力室１４と供給流路支流２４とを連通する流路であり、圧力室１４ごとに設けられる。
【０１１２】
回収流路３０は、回収流路本流３２と、その回収流路本流３２から分岐して形成される複数の回収流路支流３４と、回収流路支流３４から更に分岐して形成される複数の個別回収流路３６とで構成される。
【０１１３】
回収流路本流３２は、ヘッドの長手方向に沿って配置される。この回収流路本流３２には、液体回収口３８が連通されており、この液体回収口３８から内部の液体が回収される。
【０１１４】
回収流路支流３４は、ヘッドの長手方向に対して所定角度傾斜した直線に沿って並ぶノズル１２の列ごとに設けられ、そのノズル１２の列と平行に配置される。
【０１１５】
個別回収流路３６は、回収流路支流３４に沿って並ぶ圧力室１４と回収流路支流３４とを連通する流路であり、圧力室１４ごとに設けられる。
【０１１６】
このように構成された液体吐出ヘッド１０には、ノズル１２から吐出させる液体（たとえば、インク）が循環して供給される。
【０１１７】
供給タンク１１２（図５参照）から液体供給口２８に液体は、まず、供給流路本流２２を流れる。そして、供給流路本流２２から供給流路支流（共通供給流路）２４へと流れ、供給流路支流２４から個別供給流路２６を介して各圧力室１４に供給される。
【０１１８】
圧力室１４に供給された液体は、圧電素子４８の駆動により、ノズル１２から吐出される。
【０１１９】
また、この圧電素子４８の動作とは別に供給流路２０と回収流路３０との圧力差により、圧力室１４内の液体は、個別回収流路３６を介して回収流路支流３４へと流れる。回収流路支流３４へと流れた液体は、回収流路本流３２へ流れ、液体回収口３８を介して回収タンク１２０（図４参照）に回収される。なお、図９では、回収流路本流３２は２つ存在しているが、液体回収口３８までに合流されている。
【０１２０】
このように、圧力室１４に対して、ノズル１２から吐出させる液体が循環して供給される。
【０１２１】
このような循環型の液体吐出ヘッド１０においても、意図したほう方向とは逆の流れが生じることがある。特に、液体の吐出時には、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が回収流路支流３４から逆流して圧力室１４に侵入してしまう。回収流路支流３４の気泡や液体増粘物が圧力室１４に侵入してしまうと、ノズルか詰まり、ノズルから液体が吐出できなくなるという問題がある。
【０１２２】
そこで、回収流路支流３４に供給流路支流２４と接続するバイパス流路８０を備えるようにした。ここで、バイパス流路８０は、図６と同様に、回収流路支流３４が回収流路本流３２に接続していない他端側であって、回収流路支流３４の他端側の最も先に接続された個別回収流路３６よりも先で接続されている。さらに、図９では、供給流路支流２４が供給流路本流２２に接続していない他端側であって、供給流路支流２４の他端側の最も先に接続された個別供給流路２６よりも先で接続されている。なお、ここで「最も先に接続」とは、直線距離で最も先に接続している状態である場合も含み、流路の距離において最も先に接続している状態をいう。
【０１２３】
このように、バイパス流路８０を接続することで、供給流路支流２４又は供給流路本流２２からバイパス流路８０へ、バイパス流路８０から回収流路支流３４への液体の流れを作ることができるので、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が回収流路支流から逆流して圧力室１４に侵入するのを防止することができる。
【０１２４】
また、図６の液体吐出ヘッドよりも、液体の循環が良い。即ち、供給流路支流２４の先端（下流）まで流れた液体が回収流路支流３４の先端（上流）に流れるようになる。
【０１２５】
図１０は、本実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部分を示したものであり、本実施形態に係るバイパス流路を設けたときの液体の流れを示した説明図である。ここで、ノズル１２を黒塗りで示しているので、液体をノズルから吐出している状態を示している。
【０１２６】
この場合、液体は、供給流路支流２４から個別供給流路２６を介して各圧力室１４に供給される。
【０１２７】
圧力室１４に供給された液体は、圧電素子４８の駆動により、ノズル１２から吐出されるが、吐出される際に、回収流路支流３４からも個別回収流路３６を介して液体が圧力室１４に供給されてしまう。回収流路支流３４の液体中は、従来では、圧力室１４を通過した液体であったため気泡や液体増粘物が存在しやすい。
【０１２８】
しかし、本実施形態では、回収流路支流３４には、個別供給流路２６からバイパス流路を介して液体が流れてきて、バイパス流路に接続された上流側から回収流路本流３２に接続された下流側への流れが常に生じている。本実施形態では、回収流路支流３４に存在する気泡や液体増粘物が圧力室１４に戻るのを、バイパス流路に接続された上流側から回収流路本流３２に接続された下流側への流れにより抑制している。
【０１２９】
したがって、本実施形態により、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が回収流路支流から逆流して圧力室に侵入するのをより防止することができる。
【０１３０】
なお、図１０は、本実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部分を示したものであるが、１の回収流路支流３４には、２のバイパス流路８０が接続している（図９参照）。１の回収流路支流３４には、２以上のバイパス流路が接続していることが好ましく、これにより、１の回収流路支流に接続された各圧力室の差圧の差を小さくすることができる。
【０１３１】
〈他の本実施形態に係る液体吐出ヘッド〉
図１１は、他の本実施形態を示したものである。
【０１３２】
図１１は、第２の本実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部分を示した図１０において、回収流路支流３４において、供給流路支流２４と接続する図１０のバイパス流路８０だけでなく、さらにバイパス流路８０を設けたものである。なお、さらに設けられたバイパス流路８０は、回収流路支流において、回収流路支流の他端側の最も先に接続された個別回収流路よりも手前で接続されている。また、さらに設けられたバイパス流路８０は、供給流路支流２４において、供給流路支流の他端側の最も先に接続された個別供給流路よりも手前で接続されている。
【０１３３】
図１１に示すように、液体をノズルから吐出している状態では、液体は、供給流路支流２４から個別供給流路２６を介して各圧力室１４に供給される。
【０１３４】
圧力室１４に供給された液体は、圧電素子４８の駆動により、ノズル１２から吐出されるが、吐出される際に、回収流路支流３４からも個別回収流路３６を介して液体が圧力室１４に供給されてしまう。
【０１３５】
しかし、本実施形態では、回収流路支流３４には、個別供給流路２６からバイパス流路を介して液体が流れてきて、バイパス流路に接続された上流側から回収流路本流３２に接続された下流側への流れが常に生じている。さらに、図１１において各圧力室１４の真上側（上流側）から回収流路支流３４に液体が流入している。
【０１３６】
本実施形態では、回収流路支流３４に存在する気泡や液体増粘物が圧力室１４に戻るのを、バイパス流路に接続された上流側から回収流路本流３２に接続された下流側への流れにより抑制しているとともに、さらに各圧力室１４の真上側（上流側）から回収流路支流３４に気泡や液体増粘物が存在しない液体を流入させているので、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が回収流路支流から逆流して圧力室に侵入するのをさらに防止することができる。
【０１３７】
図１２は、図１１においてさらにバイパス流路の流路断面積が液体回収口に近い側に向かうに従い順次小さくなるように構成されている。なお、ここで「近い側に向かう」とは、直線距離で近くに接続している状態をいうのではなく、流路の距離において近くに向かっている状態をいう。
【０１３８】
バイパス流路の流路断面積が液体回収口に近い側に向かうに従い順次小さくなるようにすることで、供給流路支流２４からバイパス流路８０を介して供給された液体が回収流路支流３４内で逆流するのをより確実に防ぐことができる。即ち、各圧力室１４の真上側（上流側）から回収流路支流３４に液体を流入させているが、各圧力室１４の真下側（下流側）から回収流路支流３４に液体を流入させているので、真下側（下流側）からの液体の流入量が少ないほうが逆流を防止するにはより好ましい。
【０１３９】
なお、回収流路支流の他端側の最も先に接続された個別回収流路よりも先で接続されているバイパス流路以外にもバイパス流路を備える例を図９の実施形態で説明したが、図６の実施形態でも同様に成り立つ。
【０１４０】
また、本実施形態において、図６と図９のように供給流路と回収流路が配置された態様を例に説明したが、図６や図９以外の供給流路と回収流路の配置でも、バイパス流路を回収流路支流の他端側の最も先に接続された個別回収流路よりも先で接続することで、本発明は同様に成り立つ。
【０１４１】
なお、本実施態様に係る液体吐出ヘッドは、インクジェット記録装置に好適に用いることができる。
【０１４２】
〈本実施形態に係る液体吐出ヘッドの等価回路〉
図１３は、図６〜８に係る液体吐出ヘッドの等価回路を示すものであり、図１４は、図９及び１０に係る液体吐出ヘッドの等価回路を示すものであり、図１５は、図１１及び１２に係る液体吐出ヘッドの等価回路を示すものである。
【０１４３】
何れの場合にも、ｋ番目のバイパス流路の抵抗値をＲｂ，ｋ、個別供給流路からノズル入口までの抵抗値をＲｆ、個別回収流路からノズル入口までの抵抗値をＲｒ、各圧力室間の回収流路支流の抵抗値をＲｒｂ、各圧力室間の供給流路支流の抵抗値をＲｆｂ、吐出量をＱｎ、液体供給口側の圧力をＰｉ、液体回収口側の圧力をＰｏ、差圧をΔＰ、駆動周波数をｆ、１の供給流路支流（回収流路支流）内の圧力室の数をｎ、1の供給流路支流（回収流路支流）内のバイパス流路の数をｍとし、さらに、
【０１４４】
【数７】
2015036238.tif 000009
【０１４５】
【数８】
2015036238.tif 000010
【０１４６】
【数９】
2015036238.tif 000011
【０１４７】
【数１０】
2015036238.tif 000012
【０１４８】
【数１１】
2015036238.tif 000013
【０１４９】
と表した際に、下記に示されるＲＢが、以下の式を満足するように液体吐出ヘッドを設計することが好ましい。
【０１５０】
【数１２】
2015036238.tif 000014
【０１５１】
上記式を満たすようにすることで、ノズル近傍に存在する気泡や液体増粘物が逆流するのを好ましく防止することができる。なお、この式は、液体回収口側の液量Ｑｏが０以上である（マイナスにならない）との条件により導いた式である。
【０１５２】
本実施態様において、ＲＢは、１の供給流路支流の抵抗値の合成抵抗値の１０倍以上であることが好ましい。ＲＢを１の供給流路支流の抵抗値の合成抵抗値の１０倍以上とすることで、バイパスに近い側の圧力室にかかる差圧と遠い側の圧力室にかかる差圧の差を小さくすることができ、各圧力室での吐出状態を均一にすることができる。なお、上限は、ＲＢを１の供給流路支流の抵抗値の合成抵抗値の１００倍以下とすることが好ましく、５０倍以下とすることがより好ましい。ＲＢを１の供給流路支流の抵抗値の合成抵抗値の５０倍以下とすることで、気泡や液体増粘物が逆流するのをより好ましく防止することができる。
【０１５３】
本実施態様において、個別供給流路からノズル入口までの抵抗値Ｒｆと個別回収流路からノズル入口までの抵抗値Ｒｒとの比は３以下であることが好ましく、各圧力室間の供給流路支流の抵抗値Ｒｆｂと各圧力室間の回収流路支流の抵抗値Ｒｒｂとの比は２以下であることが好ましい。
【０１５４】
また、液体供給口側の圧力が１（ｋＰａ）以上の場合、個別回収流路に異物や気泡が詰まると、ノズル面にプラスの圧力がかかり圧力室内のインクがノズルより流れ出し問題となる。また、液体供給口側の圧力を１（ｋＰａ）以下、差圧ΔＰを１０（ｋＰａ）以上にした場合、ノズル面に掛る背圧がマイナス５（ｋＰａ）よりも小さい値となるため、インク吐出動作時にメニスカス面が壊れてしまい、ノズルから気泡を巻き込み吐出不良となり問題となる。これらの問題を回避するためには、差圧ΔＰは１０（ｋＰａ）以下であることが好ましく、液体供給口側の圧力Ｐｉは１（ｋＰａ）以下であることが好ましい。
【符号の説明】
【０１５５】
１０…液体吐出ヘッド、１２…ノズル、１４…圧力室、２０…供給流路、２２…供給流路本流、２４…供給流路支流（共通供給流路）、２６…個別供給流路、２８…液体供給口、３０…回収流路、３２…回収流路本流、３４…回収流路支流（共通回収流路）、３６…個別回収流路、３８…液体回収口、４０…ノズルプレート、４２…圧力室プレート、４４…振動板、４６…圧力室上部プレート、４８…圧電素子、５０…空間、８０…バイパス流路、１００…メインタンク、１０２…メインタンク接続配管、１０４…バッファータンク、１０４Ａ…大気開放穴、１０２…メインタンク接続配管、１０６…メインポンプ、１０８…メインバルブ、１１０…第１供給流路、１１２…供給タンク、１１２Ａ…供給液体室、１１２Ｂ…供給気体室、１１４…第２供給流路、１１８…第１回収流路、１２０…回収タンク、１２０Ａ…回収液体室、１２０Ｂ…回収気体室、１２２…第２回収流路、１２６…供給ポンプ、１２８…フィルタ、１３０…供給バルブ、１３２…回収ポンプ、１３４…回収バルブ、１３６…弾性膜、１３８…供給圧力検出器、１４０…大気開放管、１４２…大気開放バルブ、１４４…弾性膜、１４６…回収圧力検出器、１４８…大気開放管、１５０…大気開放バルブ
【図１】
2015036238.tif 000021
【図２】
2015036238.tif 000022
【図３】
2015036238.tif 000023
【図４】
2015036238.tif 000024
【図５】
2015036238.tif 000025
【図６】
2015036238.tif 000026
【図７】
2015036238.tif 000027
【図８】
2015036238.tif 000028
【図９】
2015036238.tif 000029
【図１０】
2015036238.tif 000030
【図１１】
2015036238.tif 000031
【図１２】
2015036238.tif 000032
【図１３】
2015036238.tif 000033
【図１４】
2015036238.tif 000034
【図１５】
2015036238.tif 000035