(57)【要約】【課題】所定の処理工程の前の基板が搭載されたハンドと異なるハンドにこの処理工程の後の基板を搭載することが可能であっても、構成を簡素化することが可能な産業用ロボットを提供する。【解決手段】産業用ロボット１は、１枚の基板が搭載される基板搭載部２０を１個有する第１ハンド部２１と複数個の基板搭載部２０を有する第２ハンド部２２とを具備する第１ハンド１１および第２ハンド１２と、第１ハンド１１がその先端側に回動可能に連結される第１アーム１３と、第２ハンド１２がその先端側に回動可能に連結される第２アーム１４と、第１アーム１３の基端側および第２アーム１４の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部１５とを備えている。この産業用ロボット１では、第１ハンド部２１と第２ハンド部２２とが個別に回動可能となっており、第１アーム１３と第２アーム１４とが個別に回動可能となっている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１枚の基板が搭載される基板搭載部を１個有する第１ハンド部と所定のピッチで上下方向に重なるように配置される複数個の前記基板搭載部を有する第２ハンド部とを具備する第１ハンドおよび第２ハンドと、前記第１ハンドの前記第１ハンド部および前記第２ハンド部がその先端側に回動可能に連結される第１アームと、前記第２ハンドの前記第１ハンド部および前記第２ハンド部がその先端側に回動可能に連結される第２アームと、前記第１アームの基端側および前記第２アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、前記アーム支持部を上下方向へ移動可能に保持する柱部と、前記第１ハンドの前記第１ハンド部を前記第１アームに対して回動させる第１ハンド部回動機構と、前記第１ハンドの前記第２ハンド部を前記第１アームに対して回動させる第２ハンド部回動機構と、前記第２ハンドの前記第１ハンド部を前記第２アームに対して回動させる第３ハンド部回動機構と、前記第２ハンドの前記第２ハンド部を前記第２アームに対して回動させる第４ハンド部回動機構と、前記第１アームを前記アーム支持部に対して回動させる第１アーム回動機構と、前記第２アームを前記アーム支持部に対して回動させる第２アーム回動機構とを備え、
前記第１ハンドの前記第１ハンド部と前記第２ハンド部とは、互いに上下方向で重なるように、かつ、前記第１ハンドの前記第１ハンド部の回動中心と前記第１ハンドの前記第２ハンド部の回動中心とが一致するように配置され、
前記第２ハンドの前記第１ハンド部と前記第２ハンド部とは、互いに上下方向で重なるように、かつ、前記第２ハンドの前記第１ハンド部の回動中心と前記第２ハンドの前記第２ハンド部の回動中心とが一致するように配置され、
前記第１アームは、前記アーム支持部の上面側に取り付けられ、
前記第２アームは、前記アーム支持部の下面側に取り付けられ、
前記第１アームおよび前記第２アームは、前記第１アームの回動中心と前記第２アームの回動中心とが一致するように配置されていることを特徴とする産業用ロボット。
【請求項２】
前記柱部を水平方向へ移動させる水平移動機構を備えることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
【請求項３】
前記第１ハンド部回動機構を構成する第１ハンド部駆動モータおよび前記第２ハンド部回動機構を構成する第２ハンド部駆動モータは、前記第１アームの内部に配置され、
前記第３ハンド部回動機構を構成する第３ハンド部駆動モータおよび前記第４ハンド部回動機構を構成する第４ハンド部駆動モータは、前記第２アームの内部に配置されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。
【請求項４】
前記第１アーム回動機構を構成する第１アーム駆動モータおよび前記第２アーム回動機構を構成する第２アーム駆動モータは、前記アーム支持部の内部に配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項５】
前記第１ハンドの前記第１ハンド部および前記第２ハンド部には、所定の処理工程の前の前記基板が搭載され、
前記第２ハンドの前記第１ハンド部および前記第２ハンド部には、前記処理工程の後の前記基板が搭載されることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項６】
前記処理工程は、前記基板を洗浄する洗浄工程であることを特徴とする請求項５記載の産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の基板を搬送する産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハ等の基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、たとえば、半導体の製造システムに設置されて使用されている。この産業用ロボットは、複数枚の基板が搭載される１個の基板搭載機構と、基板搭載機構の基端側を回動可能に支持するアームと、アームの基端側を回動可能に支持する旋回機構部と、旋回機構部を上下方向へ移動可能に支持する本体部とを備えている。基板搭載機構は、所定のピッチで上下方向に重なるように配置される５個のハンドフォークを備えており、この産業用ロボットでは、基板搭載機構に５枚の基板を同時に搭載することができる。そのため、この産業用ロボットでは、５枚の基板を同時に搬送することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１７９４１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のように、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、５枚の基板を同時に搬送することができるため、この産業用ロボットが設置される半導体の製造システムでは、生産性を高めることが可能である。一方で、半導体の製造システムでは、基板を１枚ずつ搬送したいとの要求もある。しかしながら、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、基板を１枚だけ搬送することは困難である。
【０００５】
また、半導体の製造システムでは、たとえば、基板の洗浄が行われることがあり、産業用ロボットは、洗浄前の基板を洗浄装置へ搬入したり、洗浄後の基板を洗浄装置から搬出したりすることがある。ここで、洗浄前の基板が搭載されるハンドフォークには、洗浄前の基板に付着していた塵埃等が付着するおそれがある。そのため、洗浄前の基板が搭載されていたハンドフォークに洗浄後の基板が搭載されると、ハンドフォークに搭載された洗浄後の基板が再び、汚れるおそれがある。したがって、洗浄前の基板が搭載されるハンドフォークと異なるハンドフォークに、洗浄後の基板が搭載されることが好ましい。しかしながら、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、１個の基板搭載機構に５個のハンドフォークが設けられているため、洗浄前の基板が搭載される基板搭載機構と異なる基板搭載機構に洗浄後の基板を搭載することは困難である。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、同時に搬送できる基板の枚数を変更することが可能な産業用ロボットを提供することにある。また、本発明の課題は、所定の処理工程の前の基板が搭載されたハンドと異なるハンドにこの処理工程の後の基板を搭載することが可能であっても、構成を簡素化することが可能な産業用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、１枚の基板が搭載される基板搭載部を１個有する第１ハンド部と所定のピッチで上下方向に重なるように配置される複数個の基板搭載部を有する第２ハンド部とを具備する第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドの第１ハンド部および第２ハンド部がその先端側に回動可能に連結される第１アームと、第２ハンドの第１ハンド部および第２ハンド部がその先端側に回動可能に連結される第２アームと、第１アームの基端側および第２アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、アーム支持部を上下方向へ移動可能に保持する柱部と、第１ハンドの第１ハンド部を第１アームに対して回動させる第１ハンド部回動機構と、第１ハンドの第２ハンド部を第１アームに対して回動させる第２ハンド部回動機構と、第２ハンドの第１ハンド部を第２アームに対して回動させる第３ハンド部回動機構と、第２ハンドの第２ハンド部を第２アームに対して回動させる第４ハンド部回動機構と、第１アームをアーム支持部に対して回動させる第１アーム回動機構と、第２アームをアーム支持部に対して回動させる第２アーム回動機構とを備え、第１ハンドの第１ハンド部と第２ハンド部とは、互いに上下方向で重なるように、かつ、第１ハンドの第１ハンド部の回動中心と第１ハンドの第２ハンド部の回動中心とが一致するように配置され、第２ハンドの第１ハンド部と第２ハンド部とは、互いに上下方向で重なるように、かつ、第２ハンドの第１ハンド部の回動中心と第２ハンドの第２ハンド部の回動中心とが一致するように配置され、第１アームは、アーム支持部の上面側に取り付けられ、第２アームは、アーム支持部の下面側に取り付けられ、第１アームおよび第２アームは、第１アームの回動中心と第２アームの回動中心とが一致するように配置されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の産業用ロボットでは、第１ハンドは、１個の基板搭載部を有する第１ハンド部と、複数個の基板搭載部を有する第２ハンド部とを備えており、この第１ハンド部および第２ハンド部は第１アームに回動可能に連結されている。また、本発明の産業用ロボットは、第１ハンドの第１ハンド部を第１アームに対して回動させる第１ハンド部回動機構と、第１ハンドの第２ハンド部を第１アームに対して回動させる第２ハンド部回動機構とを備えており、第１ハンドの第１ハンド部と第２ハンド部とは、互いに上下方向で重なるように、かつ、第１ハンドの第１ハンド部の回動中心と第１ハンドの第２ハンド部の回動中心とが一致するように配置されている。同様に、本発明では、第２ハンドは、１個の基板搭載部を有する第１ハンド部と、複数個の基板搭載部を有する第２ハンド部とを備えており、この第１ハンド部および第２ハンド部は第２アームに回動可能に連結されている。また、本発明の産業用ロボットは、第２ハンドの第１ハンド部を第２アームに対して回動させる第３ハンド部回動機構と、第２ハンドの第２ハンド部を第２アームに対して回動させる第４ハンド部回動機構とを備えており、第２ハンドの第１ハンド部と第２ハンド部とは、互いに上下方向で重なるように、かつ、第２ハンドの第１ハンド部の回動中心と第２ハンドの第２ハンド部の回動中心とが一致するように配置されている。
【０００９】
そのため、本発明では、第１ハンド部と第２ハンド部との両者に基板が搭載可能となるように、第１ハンド部の基板搭載部と第２ハンド部の基板搭載部とを重ねて配置することが可能になるとともに、第１ハンド部の基板搭載部のみに基板が搭載可能となるように、あるいは、第２ハンドの基板搭載部のみに基板が搭載可能となるように、第１ハンド部の基板搭載部と第２ハンド部の基板搭載部とをずらして配置することが可能になる。したがって、本発明では、同時に搬送できる基板の枚数を変更することが可能になる。
【００１０】
また、本発明の産業用ロボットは、第１ハンドと、第２ハンドと、第１ハンドが回動可能に連結される第１アームと、第２ハンドが回動可能に連結される第２アームと、第１アームをアーム支持部に対して回動させる第１アーム回動機構と、第２アームをアーム支持部に対して回動させる第２アーム回動機構とを備えているため、第１ハンドと第２ハンドとを個別に動作させることが可能になる。したがって、本発明では、たとえば、所定の処理工程の前の基板を第１ハンドに搭載し、この処理工程の後の基板を第２ハンドに搭載することが可能になり、その結果、所定の処理工程の前の基板が搭載されたハンドと異なるハンドにこの処理工程の後の基板を搭載することが可能になる。また、本発明では、第１アームおよび第２アームが共通のアーム支持部に取り付けられているため、第１アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、第２アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部とが個別に設けられている場合と比較して、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。このように、本発明では、所定の処理工程の前の基板が搭載されたハンドと異なるハンドにこの処理工程の後の基板を搭載することが可能であっても、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。
【００１１】
本発明において、産業用ロボットは、柱部を水平方向へ移動させる水平移動機構を備えることが好ましい。このように構成すると、産業用ロボットによって、より広い範囲で基板を搬送することが可能になる。
【００１２】
本発明において、たとえば、第１ハンド部回動機構を構成する第１ハンド部駆動モータおよび第２ハンド部回動機構を構成する第２ハンド部駆動モータは、第１アームの内部に配置され、第３ハンド部回動機構を構成する第３ハンド部駆動モータおよび第４ハンド部回動機構を構成する第４ハンド部駆動モータは、第２アームの内部に配置されている。また、本発明において、たとえば、第１アーム回動機構を構成する第１アーム駆動モータおよび第２アーム回動機構を構成する第２アーム駆動モータは、アーム支持部の内部に配置されている。
【００１３】
本発明において、第１ハンドの第１ハンド部および第２ハンド部には、所定の処理工程の前の基板が搭載され、第２ハンドの第１ハンド部および第２ハンド部には、処理工程の後の基板が搭載されることが好ましい。本発明において、処理工程は、たとえば、基板を洗浄する洗浄工程である。この場合には、第１ハンドに洗浄工程の前の基板が搭載され、第２ハンドに洗浄工程の後の基板が搭載されるため、洗浄後の基板が再び、汚れるのを防止することが可能になる。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように、本発明の産業用ロボットでは、同時に搬送できる基板の枚数を変更することが可能になる。また、本発明の産業用ロボットでは、所定の処理工程の前の基板が搭載されたハンドと異なるハンドにこの処理工程の後の基板を搭載することが可能であっても、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットが半導体の製造システムに組み込まれた状態を示す平面図である。
【図２】図１に示す産業用ロボットの側面図である。
【図３】図１のＥ部の拡大図である。
【図４】図２に示す第１ハンドと第１アームとの連結部分および第１アームとアーム支持部との連結部分を説明するための図である。
【図５】図４のＦ部の拡大図である。
【図６】図４に示す第１ハンドおよび第１アームの平面図である。
【図７】図４に示す第１ハンドが１枚の半導体ウエハを搬送するときの状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１７】
（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１が半導体の製造システム３に組み込まれた状態を示す平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３は、図１のＥ部の拡大図である。図４は、図２に示す第１ハンド１１と第１アーム１３との連結部分および第１アーム１３とアーム支持部１５との連結部分を説明するための図である。図５は、図４のＦ部の拡大図である。図６は、図４に示す第１ハンド１１および第１アーム１３の平面図である。図７は、図４に示す第１ハンド１１が１枚の半導体ウエハ２を搬送するときの状態を示す平面図である。
【００１８】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、基板としての半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するためのロボットである。このロボット１は、図１に示すように、半導体の製造システム３に組み込まれて使用され、カセット４と受渡しステージ５との間でウエハ２を搬送する。カセット４には、複数枚のウエハ２が所定のピッチで積層されて収容されている。製造システム３には、複数のカセット４が取付可能となっている。受渡しステージ５は、所定の処理工程が行われる処理装置（図示省略）に搬入されるウエハ２、または、処理装置から搬出されたウエハ２が収容されている。受渡しステージ５には、複数枚のウエハ２が所定のピッチで積層されて収容されている。なお、図１では、製造システム３に１個の受渡しステージ５が設けられているが、２個以上の受渡しステージ５が製造システム３に設けられても良い。
【００１９】
ロボット１は、ウエハ２が搭載される第１ハンド１１および第２ハンド１２の２個のハンドと、第１ハンド１１がその先端側に回動可能に連結される第１アーム１３と、第２ハンド１２がその先端側に回動可能に連結される第２アーム１４と、第１アーム１３の基端側および第２アーム１４の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部１５と、アーム支持部１５を上下方向へ移動可能に保持する柱部１６とを備えている。また、ロボット１は、柱部１６を水平方向へ移動させる水平移動機構１７を備えている。
【００２０】
第１ハンド１１は、第１アーム１３の上面側に取り付けられており、第１アーム１３の上側に配置されている。第２ハンド１２は、第２アーム１４の下面側に取り付けられており、第２アーム１４の下側に配置されている。第１アーム１３は、アーム支持部１５の上面側に取り付けられており、アーム支持部１５の上側に配置されている。第２アーム１４は、アーム支持部１５の下面側に取り付けられており、アーム支持部１５の下側に配置されている。第１アーム１３および第２アーム１４は、アーム支持部１５に対する第１アーム１３の回動中心と、アーム支持部１５に対する第２アーム１４の回動中心とが一致するように配置されている。
【００２１】
第１ハンド１１は、１枚のウエハ２が搭載される基板搭載部としてのハンドフォーク２０を１個有する第１ハンド部２１と、所定のピッチで上下方向に重なるように配置される複数個のハンドフォーク２０を有する第２ハンド部２２とを備えている。本形態の第２ハンド部２２は、４個のハンドフォーク２０を備えている。第１ハンド部２１および第２ハンド部２２は、第１アーム１３の先端側に回動可能に連結されている。上述のように、第１ハンド１１は、第１アーム１３の上側に配置されている。すなわち、第１ハンド１１の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２は、第１アーム１３の上側に配置されている。
【００２２】
ハンドフォーク２０は、略Ｕ形状に形成されている。第１ハンド部２１は、１個のハンドフォーク２０が固定されるフォーク保持部２３を備えている。第２ハンド部２２は、４個のハンドフォーク２０が固定されるフォーク保持部２４を備えている。フォーク保持部２３とフォーク保持部２４とは、上下方向から見たときの形状が同じ形状となるように形成されている。
【００２３】
第１ハンド部２１と第２ハンド部２２とは、第１アーム１３に対する第１ハンド部２１の回動中心と、第１アーム１３に対する第２ハンド部２２の回動中心とが一致するように配置されている。また、第１ハンド部２１と第２ハンド部２２とは、互いに上下方向で重なるように配置されている。本形態では、第１ハンド部２１は、第２ハンド部２２の下側に配置されている。第２ハンド部２２の最も下側に配置されるハンドフォーク２０と第１ハンド部２１のハンドフォーク２０との上下方向のピッチは、第２ハンド部２２の４個のハンドフォーク２０の上下方向にピッチと等しくなっている。
【００２４】
第１アーム１３は、中空状に形成されている。第１アーム１３の内部には、第１アーム１３に対して第１ハンド部２１を回動させるためのモータ２６と、第１アーム１３に対して第２ハンド部２２を回動させるためのモータ２７とが配置されている。モータ２６とモータ２７とは、その出力軸の軸方向が上下方向と一致するように配置されている。モータ２６の出力軸には、プーリ２８が固定され、モータ２７の出力軸には、プーリ２９が固定されている。プーリ２８は、プーリ２９よりも上側に配置されている。本形態のモータ２６は、第１ハンド部駆動モータであり、モータ２７は、第２ハンド部駆動モータである。
【００２５】
第１ハンド部２１の基端側の下面（すなわち、フォーク保持部２３の基端側の下面）には、図５に示すように、円環状のプーリ保持部材３０の上端面が固定されている。プーリ保持部材３０の下端面には、プーリ３１が固定されている。プーリ保持部材３０およびプーリ３１は、第１アーム１３の先端側に回転可能に保持されている。プーリ２８とプーリ３１とには、ベルト３２が架け渡されている。
【００２６】
第２ハンド部２２の基端側の下面（すなわち、フォーク保持部２４の基端側の下面）には、図５に示すように、略円筒状のプーリ保持部材３３の上端面が固定されている。プーリ保持部材３３の下端側は、プーリ保持部材３０およびプーリ３１の内周側に配置されている。プーリ保持部材３３の下端面には、プーリ３４が固定されている。プーリ３４は、プーリ３１の下側に配置されている。プーリ保持部材３３およびプーリ３４は、プーリ３１に回転可能に保持されている。プーリ２９とプーリ３４とには、ベルト３５が架け渡されている。
【００２７】
本形態では、モータ２６、プーリ２８、３１、ベルト３２およびプーリ保持部材３０等によって第１ハンド部２１を第１アーム１３に対して回動させる第１ハンド部回動機構３６が構成されている。また、モータ２７、プーリ２９、３４、ベルト３５およびプーリ保持部材３３等によって第２ハンド部２２を第１アーム１３に対して回動させる第２ハンド部回動機構３７が構成されている。
【００２８】
第２ハンド１２は、第１ハンド１１の構成要素を上下反転させることで構成されている。すなわち、第２ハンド１２は、第１ハンド部２１と、第１ハンド部２１の下側に配置される第２ハンド部２２とを備えている。第２ハンド１２の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２は、第２アーム１４の下側に配置され、第２アーム１４の先端側に回動可能に連結されている。また、第２ハンド１２の第１ハンド部２１と第２ハンド部２２とは、互いに上下方向で重なるように、かつ、第２アーム１４に対する第１ハンド部２１の回動中心と、第２アーム１４に対する第２ハンド部２２の回動中心とが一致するように配置されている。
【００２９】
第２アーム１４は、第１アーム１３の構成要素を上下反転させることで構成されている。また、ロボット１は、第２ハンド１２の第１ハンド部２１を第２アーム１４に対して回動させる第３ハンド部回動機構（図示省略）と、第２ハンド１２の第２ハンド部２２を第２アーム１４に対して回動させる第４ハンド部回動機構（図示省略）とを備えている。第３ハンド部回動機構は、第１ハンド部回動機構３６の構成要素を上下反転させることで構成されており、第２アーム１４に対して第２ハンド１２の第１ハンド部２１を回動させるための第３ハンド部駆動モータを備えている。また、第４ハンド部回動機構は、第２ハンド部回動機構３７の構成要素を上下反転させることで構成されており、第２アーム１４に対して第２ハンド１２の第２ハンド部２２を回動させるための第４ハンド部駆動モータを備えている。第３ハンド部駆動モータおよび第４ハンド部駆動モータは、中空状に形成される第２アーム１４の内部に配置されている。
【００３０】
アーム支持部１５は、中空状に形成されている。アーム支持部１５の内部には、アーム支持部１５に対して第１アーム１３を回動させるための第１アーム駆動モータ（図示省略）が配置されている。第１アーム１３の基端側の下面には、図４に示すように、所定の部材を介してプーリ４１が固定されている。プーリ４１は、アーム支持部１５に回動可能に保持されている。第１アーム駆動モータの出力軸に固定されるプーリとプーリ４１とには、ベルト４２が架け渡されている。本形態では、第１アーム駆動モータ、プーリ４１およびベルト４２等によって第１アーム１３をアーム支持部１５に対して回動させる第１アーム回動機構が構成されている。
【００３１】
また、ロボット１は、第２アーム１４をアーム支持部１５に対して回動させる第２アーム回動機構（図示省略）を備えている。第２アーム回動機構は、第１アーム回動機構の構成要素を上下反転させることで構成されており、アーム支持部１５に対して第２アーム１４を回動させるための第２アーム駆動モータを備えている。第２アーム駆動モータは、中空状に形成されるアーム支持部１５の内部に配置されている。
【００３２】
柱部１６は、上下方向に細長い柱状に形成されている。柱部１６には、アーム支持部１５を上下方向へ案内するガイド部（図示省略）が形成されている。また、ロボット１は、柱部１６に沿ってアーム支持部１５を上下動させる上下駆動機構（図示省略）を備えており、アーム支持部１５は、上下方向へ移動可能となっている。
【００３３】
水平移動機構１７は、柱部１６の下端側が固定される固定部材（図示省略）と、この固定部材を水平方向へ案内するガイド部（図示省略）と、固定部材を水平方向へ移動させる駆動機構（図示省略）とを備えている。水平移動機構１７は、図１に示すように、所定方向に配列される複数のカセット４の配列方向へ柱部１６を移動させる。
【００３４】
以上のように構成されたロボット１では、第１ハンド１１の回動と第１アーム１３の回動とアーム支持部１５の上下動と柱部１６の水平移動との組合せによって、第１ハンド１１がカセット４と受渡しステージ５との間でウエハ２を搬送する。また、第２ハンド１２の回動と第２アーム１４の回動とアーム支持部１５の上下動と柱部１６の水平移動との組合せによって、第２ハンド１２がカセット４と受渡しステージ５との間でウエハ２を搬送する。
【００３５】
本形態では、第１ハンド１１および第２ハンド１２によって、５枚のウエハ２を同時に搬送すること、および、１枚のみのウエハ２を搬送することが可能になっている。５枚のウエハ２を同時に搬送する場合には、図６に示すように、第１ハンド部２１のハンドフォーク２０と第２ハンド部２２の４個のハンドフォーク２０とが上下方向で重なるように配置された状態で、ロボット１が動作する。すると、第１ハンド部２１の１個のハンドフォーク２０と第２ハンド部２２の４個のハンドフォーク２０とによって５枚のウエハ２が搬送される。一方、１枚のみのウエハ２を搬送する場合には、図７に示すように、第１ハンド部２１のハンドフォーク２０と第２ハンド部２２の４個のハンドフォーク２０とがずれた状態で、ロボット１が動作する。すると、第１ハンド部２１の１個のハンドフォーク２０によって１枚のみのウエハ２が搬送される。
【００３６】
また、本形態では、第１ハンド１１によって所定の処理工程の前のウエハ２が搬送され、第２ハンド１２によってこの処理工程の後のウエハ２が搬送される。すなわち、第１ハンド１１の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２には、所定の処理工程の前のウエハ２が搭載され、第２ハンド１２の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２には、この処理工程の後のウエハ２が搭載される。具体的には、第１ハンド１１の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２には、洗浄工程の前のウエハ２が搭載され、第２ハンド１２の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２には、洗浄工程の後のウエハ２が搭載される。
【００３７】
なお、第２ハンド１２の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２に、所定の処理工程の前のウエハ２が搭載され、第１ハンド１１の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２には、この処理工程の後のウエハ２が搭載されても良い。すなわち、第２ハンド１２の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２に、洗浄工程の前のウエハ２が搭載され、第１ハンド１１の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２に、洗浄工程の後のウエハ２が搭載されても良い。また、受渡しステージ５では、処理工程の前のウエハ２が搭載される部分と、処理工程の後のウエハ２が搭載される部分とが画定されている。
【００３８】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、第１ハンド１１は、１個のハンドフォーク２０を有する第１ハンド部２１と、４個のハンドフォーク２０を有する第２ハンド部２２とを備えており、第１ハンド部２１および第２ハンド部２２は、第１アーム１３に回動可能に連結されている。また、本形態では、第１ハンド１１の第１ハンド部２１と第２ハンド部２２とは、互いに上下方向で重なるように、かつ、第１アーム１３に対する第１ハンド部２１の回動中心と、第１アーム１３に対する第２ハンド部２２の回動中心とが一致するように配置されている。さらに、本形態のロボット１は、第１ハンド１１の第１ハンド部２１を第１アーム１３に対して回動させる第１ハンド部回動機構３６と、第１ハンド１１の第２ハンド部２２を第１アーム１３に対して回動させる第２ハンド部回動機構３７とを備えている。
【００３９】
同様に、本形態では、第２ハンド１２は、第１ハンド部２１と第２ハンド部２２とを備えており、第１ハンド部２１および第２ハンド部２２は、第２アーム１４に回動可能に連結されている。また、本形態では、第２ハンド１２の第１ハンド部２１と第２ハンド部２２とは、互いに上下方向で重なるように、かつ、第２アーム１４に対する第１ハンド部２１の回動中心と、第２アーム１４に対する第２ハンド部２２の回動中心とが一致するように配置されている。さらに、本形態のロボット１は、第２ハンド１２の第１ハンド部２１を第２アーム１４に対して回動させる第３ハンド部回動機構と、第２ハンド１２の第２ハンド部２２を第２アーム１４に対して回動させる第４ハンド部回動機構とを備えている。
【００４０】
そのため、本形態では、上述のように、第１ハンド部２１の１個のハンドフォーク２０と第２ハンド部２２の４個のハンドフォーク２０とが上下方向で重なるように配置された状態で、ロボット１を動作させれば、５枚のウエハ２を同時に搬送することができる。また、本形態では、第１ハンド部２１の１個のハンドフォーク２０と第２ハンド部２２の４個のハンドフォーク２０とがずれた状態で、ロボット１を動作させれば、１枚のみのウエハ２を搬送することができる。すなわち、本形態では、同時に搬送できるウエハ２の枚数を変更することができる。
【００４１】
本形態では、ロボット１は、第１ハンド１１と、第２ハンド１２と、第１ハンド１１が回動可能に連結される第１アーム１３と、第２ハンド１２が回動可能に連結される第２アーム１４と、第１アーム１３をアーム支持部１５に対して回動させる第１アーム回動機構と、第２アーム１４をアーム支持部１５に対して回動させる第２アーム回動機構とを備えている。そのため、本形態では、第１ハンド１１と第２ハンド１２とを個別に動作させることができる。したがって、本形態では、上述のように、第１ハンド１１の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２に、所定の処理工程の前のウエハ２を搭載し、第２ハンド１２の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２に、この処理工程の後のウエハ２を搭載することができる。たとえば、第１ハンド１１の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２に、洗浄工程の前のウエハ２を搭載し、第２ハンド１２の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２に、洗浄工程の後のウエハ２を搭載することができる。その結果、本形態では、洗浄後のウエハ２が再び、汚れるのを防止することが可能になる。
【００４２】
また、本形態では、第１アーム１３および第２アーム１４が共通のアーム支持部１５に取り付けられているため、第１アーム１３の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、第２アーム１４の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部とが個別に設けられている場合と比較して、ロボット１の構成を簡素化することが可能になる。すなわち、本形態では、所定の処理工程の前のウエハ２が搭載された第１ハンド１１と異なる第２ハンド１２にこの処理工程の後のウエハ２を搭載することが可能であっても、ロボット１の構成を簡素化することが可能になる。
【００４３】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００４４】
上述した形態では、第１ハンド１１の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２に、洗浄工程の前のウエハ２が搭載され、第２ハンド１２の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２に、洗浄工程の後のウエハ２が搭載されている。この他にもたとえば、第１ハンド１１の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２に、熱処理工程の前の温度の低いウエハ２が搭載され、第２ハンド１２の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２に、熱処理工程の後の温度の高いウエハ２が搭載されても良い。この場合には、第２ハンド１２の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２は耐熱材料で形成しなければならないが、第１ハンド１１の第１ハンド部２１および第２ハンド部２２を耐熱材料で形成しなくても良い。したがって、ロボット１のコストを低減することが可能になる。
【００４５】
上述した形態では、第１ハンド部２１の１個のハンドフォーク２０と第２ハンド部２２の４個のハンドフォーク２０とがずれた状態で、ロボット１を動作させて、第１ハンド部２１の１個のハンドフォーク２０によって１枚のみのウエハ２を搬送している。この他にもたとえば、第１ハンド部２１の１個のハンドフォーク２０と第２ハンド部２２の４個のハンドフォーク２０とがずれた状態で、ロボット１を動作させて、第２ハンド部２２の４個のハンドフォーク２０によって４枚のウエハ２を搬送しても良い。
【００４６】
上述した形態では、第２ハンド部２２は、４個のハンドフォーク２０を備えている。この他にもたとえば、第２ハンド部２２が備えるハンドフォーク２０の数は、２個または３個であっても良いし、５個以上であっても良い。また、上述した形態では、第１アーム１３および第２アーム１４は、関節部を備えていないが、第１アーム１３および第２アーム１４は、関節部を備えていても良い。すなわち、第１アーム１３および第２アーム１４は、関節部を介して連結される複数のアーム部によって構成されても良い。
【００４７】
上述した形態において、アーム支持部１５は、柱部１６に対して上下方向を回動の軸方向として回動可能であっても良い。また、上述した形態では、ロボット１によって搬送される基板は、ウエハ２であるが、ロボット１によって搬送される基板は、液晶ディスプレイ用のガラス基板等であっても良い。
【符号の説明】
【００４８】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  ウエハ（半導体ウエハ、基板）
１１  第１ハンド
１２  第２ハンド
１３  第１アーム
１４  第２アーム
１５  アーム支持部
１６  柱部
１７  水平移動機構
２０  ハンドフォーク（基板搭載部）
２１  第１ハンド部
２２  第２ハンド部
２６  モータ（第１ハンド部駆動モータ）
２７  モータ（第２ハンド部駆動モータ）
３６  第１ハンド部回動機構
３７  第２ハンド部回動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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