(57)【要約】【課題】リード線やアース線の配線作業の効率化および電機子の小型化が可能なリニアモータを実現する。【解決手段】リニアモータ１００は、シャフト１０内に複数の永久磁石１２を有する励磁部１と、励磁部１を囲む複数のコイル２０、およびコイル２０を覆う磁性カバー４０を有する電機子２と、を備える。同一相群の複数のコイル２０は、複数の絶縁性ボビン３０に亘って連続巻される。連続巻された異なる相群のタップ線、コイル２０、２０同士間の渡り線、および末端線は磁性カバー４０内の異なる隅部に分けて配置され、各相の末端線は配線基板４に接続される。【選択図】図２Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャフト内に複数の永久磁石を有する励磁部と、
前記励磁部を囲む複数のコイル、および該コイルを覆う磁性カバーを有する電機子と、
を備え、
同一相群の複数のコイルを複数の絶縁性ボビンに亘って連続巻し、該連続巻された異なる相群のタップ線、コイル同士間の渡り線、および末端線を磁性カバー内の異なる隅部に分けて配置し、該各相の末端線を配線基板に接続したことを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
前記各相のタップ線、前記コイル同士間の渡り線、および末端線は、前記ボビンのフランジ部の一部に支持されることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記配線基板は、前記シャフトの軸方向に対して起立状態で配置されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記磁性カバーはフレーム上に配置され、該フレーム上には冷却空気を通過させるための冷却通路が形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記ボビンは、前記コイルを巻回するための巻心として機能する筒体部と、前記コイルの巻幅を規制するとともに、前記コイル同士間の電気絶縁性スペーサとして機能する一対のフランジ部とを備え、
一方のフランジ部に前記筒体部の周表面に絶縁皮膜導線を導入するための導入溝部を有するとともに、他方のフランジ部に前記コイルから絶縁皮膜導線を導出するための導出溝部を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項６】
前記ボビンは、一方のフランジ部に前記コイル同士間の渡り線を支持するための支持溝部を有することを特徴とする請求項５に記載のリニアモータ。
【請求項７】
前記ボビンは、該ボビン同士を係合するためのフランジ部に係合手段を備えていることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項８】
前記ボビンの係合手段は、一方のフランジ部に形成された係合孔と、他方のフランジ部に形成された係合突起であることを特徴とする請求項７に記載のリニアモータ。
【請求項９】
前記ボビンの係合手段は、一方のフランジ部に形成された凹部であり、該凹部は他方のフランジ部を回転配置状態で係合することを特徴とする請求項７に記載のリニアモータ。
【請求項１０】
前記配線基板は、各相の絶縁被覆導線の末端を保持するための保持溝部を有し、該保持溝部の周囲には半田接続のためのランドが形成されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項１１】
前記配線基板は、前記シャフトを通過させる貫通孔を有し、該貫通孔の周囲にはアース線を半田接続するためのランドが形成されていることを特徴とする請求項１０に記載のリニアモータ。
【請求項１２】
前記配線基板の先端側には、各相群のコイルのタップ線を先端側で接続するための中性点配線基板が配設されていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項１３】
前記配線基板は、前記コイルとブッシュ支持部との間に挟まれて、起立状態で配置されていることを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【請求項１４】
前記磁性カバーは、前記配線基板を起立状態で挿通させるための切り欠き部を有することを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載のリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁誘導により駆動対象物に対して直線推力を与えるリニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
ロッド型リニアモータは、永久磁石を有するロッドと、当該ロッドを囲むコイルとを備え、永久磁石の磁界とコイルに流れる電流との電磁誘導作用により、ロッドに軸方向の推力を与えて直線運動させる。
【０００３】
ロッド型リニアモータは、構造が簡単で磁束変動によるコギング力が小さいという特徴から、小型・高性能化を容易に実現することができる。たとえば、半導体製造装置のチップマウンタ（電子部品実装装置）には、ロッド型リニアモータが用いられている。
【０００４】
ロッド型リニアモータの電機子に関連する技術としては、空芯コイルを結線板に連結し、樹脂成型したリニアモータが開示されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、各空芯コイルをプリント配線板に配線し、電機子を形成するリニアモータが開示されている（たとえば、特許文献２参照）。
【０００６】
さらに、２分割した半円ヨークの片側に折り曲げた部分を設け、そこに各コイルを結線するプリント配線基板が固定されたシャフト形リニアモータが開示されている（たとえば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−９７２９５号
【特許文献２】特開２００７−６６３７号公報
【特許文献３】特開２００９−１００６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、特許文献１から３のリニアモータは、電機子のコイルのリード線を配線基板に結線している。これらの配線基板は、いずれもロッド（シャフト）の軸方向に沿って配置されている。したがって、電機子の幅が拡大し、電機子の小型化に不利であった。
【０００９】
また、各相のコイルが連続巻されない場合には、配線基板を介して相形成される。したがって、配線基板との接続箇所が多くなり、各相のリード線やアース線の配線作業の効率が悪かった。
【００１０】
本発明は、上記の事情に鑑みて創案されたものであり、各相のリード線やアース線の配線作業の効率化および電機子の小型化を図ることができるリニアモータの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するための本発明に係るリニアモータは、シャフト内に複数の永久磁石を有する励磁部と、上記励磁部を囲む複数のコイル、および該コイルを覆う磁性カバーを有する電機子と、を備える。
【００１２】
同一相群の複数のコイルは、複数の絶縁性ボビンに亘って連続巻される。該連続巻された異なる相群のコイルのタップ線、コイル同士間の渡り線、および末端線は、磁性カバー内の異なる隅部に分けて配置され、該各相の末端線は配線基板に接続されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るリニアモータによれば、同一相群の複数のコイルは、複数の電気絶縁性ボビンに亘って連続巻されるので、コイル同士間の渡り線の処理を最低限に抑えることができる。
【００１４】
該連続巻された異なる相群のコイルのタップ線、コイル同士間の渡り線、および末端線は、磁性カバー内の異なる隅部に分けて配置される。したがって、磁性カバー内のデッドスペースである隅部を有効活用することができ、電機子の小型化を図ることができる。
【００１５】
そして、各相の絶縁被覆導線の末端のみが配線基板に接続される。したがって、配線基板との接続箇所が少なく、各相のリード線やアース線の配線作業の効率化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１実施形態に係るリニアモータの斜視図である。
【図２Ａ】第１実施形態に係るリニアモータの縦断面図である。
【図２Ｂ】第１実施形態に係るリニアモータの上面図である。
【図２Ｃ】第１実施形態に係るリニアモータの下面図である。
【図２Ｄ】第１実施形態に係るリニアモータの先端側の側面図である。
【図２Ｅ】第１実施形態に係るリニアモータの基端側の側面図である。
【図３Ａ】第１実施形態のボビンの斜視図である。
【図３Ｂ】第１実施形態のボビンの先端側面図である。
【図３Ｃ】第１実施形態のボビンの基端側面図である。
【図４】第１実施形態のボビンへのコイル巻装状態の部分斜視図である。
【図５】第１実施形態のボビンに一相のコイルを連続巻する状態の部分斜視図である。
【図６Ａ】第１実施形態のプリント配線基板の正面図である。
【図６Ｂ】第１実施形態のプリント配線基板の背面図である。
【図７】第１実施形態の磁性カバーの斜視図である。
【図８】第１実施形態のフレームの斜視図である。
【図９】第１実施形態のフレームに磁性カバーを固定した状態の斜視図である。
【図１０Ａ】第２実施形態のボビンの斜視図である。
【図１０Ｂ】第２実施形態のボビンの先端側面図である。
【図１０Ｃ】第２実施形態のボビンの基端側面図である。
【図１１Ａ】第３実施形態のボビンの斜視図である。
【図１１Ｂ】第３実施形態のボビンの先端側面図である。
【図１１Ｃ】第３実施形態のボビンの側面図である。
【図１１Ｄ】第３実施形態のボビンの基端側面図である。
【図１２Ａ】第４実施形態のボビンの斜視図である。
【図１２Ｂ】第４実施形態のボビンの先端側面図である。
【図１２Ｃ】第４実施形態のボビンの側面図である。
【図１２Ｄ】第４実施形態のボビンの基端側面図である。
【図１３】第５実施形態に係るリニアモータの斜視図である。
【図１４Ａ】第５実施形態に係るリニアモータの縦断面図である。
【図１４Ｂ】第５実施形態に係るリニアモータの上面図である。
【図１５Ａ】第５実施形態の中性点プリント配線基板の正面図である。
【図１５Ｂ】第５実施形態の中性点プリント配線基板の背面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、第１から第５実施形態に係るリニアモータについて説明する。
【００１８】
第１から第５実施形態に係るリニアモータは、同一相群の複数のコイルが複数の電気絶縁性ボビンに亘って連続巻される。各相のコイルのタップ線、コイル同士間の渡り線、および末端線は、磁性カバー内の隅部に分けて配され、各相の絶縁被覆導線の末端のみが配線基板に接続される。
【００１９】
したがって、第１から第５実施形態によれば、各相のリード線やアース線の配線作業の効率化および電機子の小型化が可能なリニアモータを実現できるようになる。
【００２０】
〔第１実施形態〕
［リニアモータの構成］
まず、図１から図９を参照して、第１実施形態に係るリニアモータの構成について説明する。図１は第１実施形態に係るリニアモータの斜視図である。図２Ａは第１実施形態に係るリニアモータの縦断面図である。図２Ｂは第１実施形態に係るリニアモータの上面図である。図２Ｃは第１実施形態に係るリニアモータの下面図である。図２Ｄは第１実施形態に係るリニアモータの先端側の側面図である。図２Ｅは第１実施形態に係るリニアモータの基端側の側面図である。
【００２１】
図１に示すように、第１実施形態に係るリニアモータ１００は、励磁部１、電機子２、配線板４、およびフレーム５を備えている。
【００２２】
励磁部１は、図１および図２Ａに示すように、シャフト１０と永久磁石１２を有する。本実施形態では、励磁部１は可動子として機能する。なお、以下の説明において、シャフト１０の進出側を先端側と、シャフト１０の後退側を基端側という。
【００２３】
シャフト１０は、中空部１１を有する円筒体状の金属部材である。シャフト１０の構成材料としては、たとえば、オーステナイト系ステンレス鋼などの非磁性体が用いられるが、例示した材料に限定されない。
【００２４】
シャフト１０の中空部１１には、円柱状の永久磁石１２が当該シャフト１０の軸方向（以下、単に「軸方向」という）に沿って複数直列に設けられている。本実施形態の永久磁石１２は、たとえば、軸方向に磁極対抗（Ｎ−Ｎ，Ｓ−Ｓ）となるように着磁されている。永久磁石１２，１２間には、当該永久磁石１２の磁極対抗配置を容易にすべく、円柱状の軟磁性体１３が介設されているが、軟磁性体１３を介設しない構成としてもよい。
【００２５】
電機子２は、コイル２０と、当該コイル２０の周囲を覆うための矩形筒体状の磁性カバー４０を有する。本実施形態では、電機子２は固定子（リニアガイド）として機能する。
【００２６】
永久磁石１２を有するシャフト１０（可動子）の周囲は、軸方向に直列配置された複数のコイル２０で覆われている。各コイル２０は、電気絶縁性のボビン３０の周囲に円筒体状に巻装される。
【００２７】
ここで、図３Ａから図３Ｃを参照して、第１実施形態のボビン３０の具体的構成について説明する。図３Ａは第１実施形態のボビンの斜視図である。図３Ｂは第１実施形態のボビンの先端側面図である。図３Ｃは第１実施形態のボビンの基端側面図である。
【００２８】
図３Ａから図３Ｃに示すように、ボビン３０は、筒体部３１と、当該筒体部３１の両端に一体成形されたフランジ部３２からなっている。
【００２９】
筒体部３１は、コイル２０を巻回するための巻心として機能する。本実施形態の筒体部３１は、円筒体状を呈している。
【００３０】
フランジ部３２は、コイル２０の巻幅を規制するとともに、コイル２０、２０同士の間の電気絶縁性スペーサとして機能する。本実施形態のフランジ部３２は、中央部に円形孔３３を有し、外形状が後述の磁性カバー４０に内接可能なほぼ矩形の板状部材である。先端側フランジ部３２ａと基端側フランジ部３２ｂの形状は異なっている。
【００３１】
先端側フランジ部３２ａは、図３Ａおよび図３Ｂに示すように、矩形板状部材の四隅のうちの一箇所の隅部が曲辺状に加工され、他の三箇所の隅部よりも円形孔３３側に面積が縮小している。曲辺状加工部３４には、当該ボビン３０に巻装する絶縁皮膜線を導入するための導入溝部３５が中心部へ向けて形成されている。導入溝部３５は、当該ボビン３０への巻始めの絶縁皮膜導線２１を導入するので（図４参照）、筒体部３１の周表面近くまで深く形成される。
【００３２】
他の三箇所の隅部は面取り加工され、面取り部３６が形成されている。各面取り部３６の近傍には、隅部を構成する一辺から当該面取り部３６に沿うようにほぼ周方向に、支持溝部３７が形成されている。当該支持溝部３７は、側面視において、後述の導出溝部３９に至るまで形成されている。
【００３３】
基端側フランジ部３２ｂは、図３Ａおよび図３Ｃに示すように、矩形板状部材の四隅が面取り加工されている。各面取り部３８には、導出溝部３９が中心部へ向けて形成されている。導出溝部３９は、当該ボビン３０に巻装された絶縁皮膜導線２１の巻き終わりを導出するとともに、当該ボビン３０を通過する渡り線２２を支持する機能を有する（図４参照）。したがって、基端側フランジ部３２ｂの導出溝部３９は、先端側フランジ部３２ａの導入溝部３５よりも浅く形成される。
【００３４】
ボビン３０の構成材料としては、たとえば、フェノール、ナイロン、ＰＢＴ等の合成樹脂が挙げられるが、例示の構成材料に限定されない。
【００３５】
図４は第１実施形態のボビンへのコイル巻装状態の部分斜視図である。図５は第１実施形態のボビンに一相のコイルを連続巻する状態の部分斜視図である。
【００３６】
図２Ａおよび図４に示すように、ボビン３０の基端側フランジ部３２ｂに次のボビン３０の先端側フランジ部３２ａを当接させて、複数のボビン３０が軸方向に直列配置される。複数のコイル２０は、たとえば、三相交流電源の場合、軸方向にｕ相、ｖ相、ｗ相の順で配置される。
【００３７】
同一相群の複数のコイル２０は連続巻される。本実施形態の三相交流電源の場合、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群の複数のコイル２０は、複数のボビン３０に亘って連続巻される。すなわち、図４および図５に示すように、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群のコイル２０は、２つ置きのボビン３０毎に連続巻される。なお、ボビン３０におけるｕ相、ｖ相、ｗ相の位置は例示であって、図示の位置に限定されない。
【００３８】
コイル２０の巻始めとなる絶縁皮膜導線２１は、先端側フランジ部３２ａの導入溝部３５からボビン３０の筒体部３１の周表面に導入される。絶縁皮膜導線２１は、ボビン３０の筒体部３１にコイル２０として巻装される。コイル２０の巻終わりは、基端側フランジ部３２ｂの導出溝部３９から導出される。次の同一相のコイル２０を巻装するためのボビン３０に到達するまでは、渡り線２２として当該導出溝部３９および先端側フランジ部３２ａの支持溝部３７に保持されることになる。
【００３９】
図２Ａを参照して、複数のコイル２０群の両端には、円筒体状のブッシュ支持部２３が設けられる。ブッシュ支持部２３は、シャフト１０のガイドブッシュ２４を内蔵している。なお、ガイドブッシュ２４は、後述の磁性カバー４０に直接内蔵してもよい。
【００４０】
図６Ａは第１実施形態のプリント配線基板の正面図である。図６Ｂは第１実施形態のプリント配線基板の背面図である。
【００４１】
図６Ａおよび図６Ｂに示すように、プリント配線基板４は、ほぼ縦長凸形状の板状部材であり、プリント配線が施されている。プリント配線基板４の下半部分は、ボビン３０の基端側フランジ部３２の形状に近い形状を有している。プリント配線基板４の下半部分の中央部には、円形孔４２が形成されている。プリント配線基板４の背面側には、円形孔４２の周囲にアース線用のランド４３が形成されている。
【００４２】
プリント配線基板４の下半部分の四隅の任意の３箇所には、縦方向に沿って保持溝部４４が形成されている。プリント配線基板４の背面側には、保持溝部４４の周囲にランド４５が形成されている。各ｕ相、ｖ相、ｗ相の絶縁被覆導線２１の末端は、保持溝部４４に保持され、背面側でランド４５に半田接続される。
【００４３】
プリント配線基板４の上半部分の正面側には、各ｕ相、ｖ相、ｗ相のリード線用のランド４６、およびアース線用のランド４７が形成されている。各ランド４６、４７の端部にはスルーホール４８が形成されている。リード線およびアース線は、背面側からスルーホール４８に通され、正面側でランド４６、４７に半田接続される。
【００４４】
プリント配線基板４において、背面側のランド４５と正面側のリード線用のランド４６は、各ｕ相、ｖ相、ｗ相に対応して配線接続されている。また、背面側のアース線用のランド４３と正面側のアース線用のランド４７は配線接続されている。なお、プリント配線基板４におけるｕ相、ｖ相、ｗ相の位置は例示であって、図示の位置に限定されない。
【００４５】
プリント配線基板４は、図２Ａに示すように、最基端側のコイル２０のボビンとブッシュ支持部２３の間に、軸方向に対して垂直な方向に起立した状態で設けられる。
【００４６】
図７は第１実施形態の磁性カバーの斜視図である。
【００４７】
図１、図２Ｂおよび図７に示すように、磁性カバー４０は、矩形筒体状の磁性金属部材である。磁性カバー４０は、一対のコ字状のカバー片４１、４１を矩形筒体状に組み合わせて形成される。磁性カバー４０は、複数のコイル２０群の周囲を覆う。
【００４８】
磁性カバー４０の長さは、コイル２０内に配置するシャフト１０の永久磁石１２群の全長よりも長く設定される。各カバー片４１、４１の基端側中間部には、起立状態のプリント配線基板４を挿通させるための切り欠き部４９が形成されている。
【００４９】
磁性カバー４０は、シャフト１０の永久磁石１２の磁束の大部分を閉じて、漏れ磁束を抑制する機能を有する。磁性カバー４０の軸方向両端部は開放されているので、通気性がよく、コイル２０の発熱を抑制することができる。
【００５０】
磁性カバー４０の構成材料としては、たとえば、ＳＣ材などの鉄系の磁性体が用いられる。磁性カバー４０は、性能確保とコストを両立するため、板金もしくはプレス成型した珪素鋼板が好ましいが、これに限定されない。
【００５１】
図８は第１実施形態のフレームの斜視図である。図９は第１実施形態のフレームに磁性カバーを固定した状態の斜視図である。
【００５２】
図１、図２Ａ、図２Ｃおよび図８に示すように、フレーム５は、励磁部１および電機子２を搭載する矩形板状の部材である。フレーム５には、ボルト５１を挿通させるための貫通孔５２が形成されている。図１および図９に示すように、磁性カバー４０は、ボルト５１をフレーム５の貫通孔５２に挿通し、リニアブッシュ支持部２４の雌ネジに締め付けることにより、固定される。すなわち、フレーム５上に電機子２が配設され、当該電機子２内に励磁部１が収容される。
【００５３】
フレーム５の表面上には、磁性カバー４０との間に空隙部５３を形成するとともに、Ｔ字形状の冷却通路を形成するための凹部５４が形成されている。当該凹部５４の中央部には、通気孔５５が形成されている。当該通気孔５５は雌ネジになっており、不図示の冷却管が接続可能である。冷却空気は、通気孔５５を通して、冷却通路を形成する凹部５４内に流入し、空隙部５３から流出する。フレーム５と磁性カバー４０の間に冷却通路を形成することにより、コイル２０の放熱が促進される。
【００５４】
フレーム５の構成材料としては、たとえば、加工が容易なアルミニウムもしくはアルミニウム合金が用いられるが、例示した材料に限定されない。フレーム５の成型は、たとえば、プレス加工などの塑性加工により、容易に形成することができる。
【００５５】
図１、図２Ａ、図２Ｃ、図２Ｄおよび図２Ｅに示すように、シャフト１０の基端部は、鉛直方向に沿って配置された四角柱状のブロック部材６１にボルト６２で固定されている。当該ブロック部材６１の下部のフレーム５側には、後述のガイドレール６６に沿って、当該ブロック部材６１とともに移動する移動子６３が固定されている。
【００５６】
ブロック部材６１の下部の一側部と移動子６３の先端部との間には、後述のリニアセンサ６０で測定するためのゲージ６４がボルト６２で固定されている。
【００５７】
一方、フレーム５の基端側下部には、他側部に片寄って板状の垂下部材６５が固定されている。当該垂下部材６５の内側には、コ字状のガイドレール６６が固定されている。当該ガイドレール６６に沿って、移動子６３がスライド移動する。
【００５８】
さらに、垂下部材６５の下部には、断面逆Ｌ字状の支持部材６７がボルト６２で固定されている。当該支持部材６７にはゲージ６４の位置を検出し、位置情報を出力するためのリニアセンサ６０が設けられている。リニアセンサ６０には、図２Ａに示すように、検出データを出力するための出力線７０が接続されている。
【００５９】
リニアセンサ６０は、磁気及び熱の影響を考慮し、コイル２０を含む電機子２から離れている部位に配置される。リニアセンサ６０としては、磁気式、光学式などのいずれの形式であっても、使用することができる。
【００６０】
［リニアモータの動作］
次に、図１、図２Ａ、図３Ａから図６Ｂを参照して、第１実施形態に係るリニアモータ１００の動作について説明する。
【００６１】
図１および図２Ａに示したように、第１実施形態に係るリニアモータ１００の励磁部１は、シャフト１０の中空部１１に複数の永久磁石１２を軸方向に磁極対抗（Ｎ−Ｎ，Ｓ−Ｓ）の着磁となるように配置している。電機子２は、永久磁石１２を有するシャフト１０を囲むように設けられ、軸方向に並んだ複数のコイル２０を有する。コイル２０は、たとえば、三相電源のｕ相、ｖ相、ｗ相に対応するように配置され、ｕ相、ｖ相、ｗ相のコイル２０に位相をずらして電流を流す。
【００６２】
第１実施形態では、励磁部１は可動子、電機子２は固定子として機能する。すなわち、本実施形態に係るリニアモータ１００は、励磁部１の永久磁石１２が発生する磁束と交叉するように電機子２のコイル２０に電流が流れる。永久磁石の磁束と電機子２のコイル２０に流れる電流が交叉すると、本実施形態に係るリニアモータ１００は、電磁誘導作用により、永久磁石１２を有するシャフト１０に軸方向の推力を発生させて、シャフト１０を直線運動させる。
【００６３】
第１実施形態に係るリニアモータ１００では、特殊形状のボビン３０にコイル２０が巻装されている。ボビン３０は、筒体部３１と、当該筒体部３１の両端に一体成形されたフランジ部３２からなり、当該フランジ部３２の形状に特徴を有する。
【００６４】
すなわち、図３Ａ、図３Ｂおよび図４に示すように、先端側フランジ部３２ａの曲辺状加工部３４には、当該ボビン３０に巻装する絶縁皮膜線を導入するための導入溝部３５が存在する。導入溝部３５は、筒体部３１の周表面近くまで深く形成され、当該ボビン３０への巻始めの絶縁皮膜導線２１を導入する。先端側フランジ部３２ａの各面取り部３６の近傍には、支持溝部３７が存在する。
【００６５】
図３Ａおよび図３Ｃに示すように、基端側フランジ部３２ｂの各面取り部３８には、導出溝部３９が存在する。導出溝部３９は、当該ボビン３０に巻装された絶縁皮膜導線２１の巻き終わりを導出するとともに、当該ボビン３０を通過する渡り線２２を支持する。
【００６６】
すなわち、コイル２０の巻始めの絶縁皮膜導線２１は、先端側フランジ部３２ａの導入溝部３５からボビン３０の筒体部３１の周表面に導入され、当該筒体部３１にコイル２０として巻装される。コイル２０の巻終わりは、基端側フランジ部３２ｂの導出溝部３９から導出される。
【００６７】
三相交流電源の場合、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群の複数のコイル２０は、複数のボビン３０に亘って連続巻される。図４および図５に示すように、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群のコイル２０は、２つ置きのボビン３０毎に連続巻される。
【００６８】
したがって、基端側フランジ部３２ｂの導出溝部３９から導出された絶縁皮膜導線２１は、次の同一相のコイル２０を巻装するためのボビン３０に到達するまでは、渡り線２２として当該導出溝部３９および先端側のフランジ部３２ａの支持溝部３７に保持される。
【００６９】
また、各ｕ相、ｖ相、ｗ相の絶縁被覆導線２１の末端は、プリント配線基板４の保持溝４４に保持され、背面側でランド４５に半田接続される。
【００７０】
図６Ａおよび図６Ｂに示すように、プリント配線基板４において、背面側のランド４５と正面側のリード線用のランド４６は、各ｕ相、ｖ相、ｗ相に対応して配線接続されている。また、背面側のアース線用のランド４３と正面側のアース線用のランド４７は配線接続されている。
【００７１】
当該プリント配線基板４は、図２Ａに示すように、最基端側のコイル２０とブッシュ支持部２３の間に、軸方向に垂直な方向に起立した状態で設けられる。
【００７２】
第１実施形態に係るリニアモータ１００によれば、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群の複数のコイル２０が複数のボビン３０に亘って連続巻されるので、コイル２０、２０同士の渡り線２２の処理を最低限（本実施形態では、３本）に抑えることができる。そして、各ｕ相、ｖ相、ｗ相の絶縁被覆導線の末端のみがプリント配線基板４に接続される。したがって、プリント配線基板４との接続箇所が少なく、各相のリード線やアース線の配線作業の効率化を図ることができる。
【００７３】
各ｕ相、ｖ相、ｗ相の絶縁被覆導線２１の末端は、プリント配線基板４に半田接続される。プリント配線基板４は、最基端側のコイル２０とブッシュ支持部２３との間に、軸方向に垂直な方向に起立させて配置される。プリント配線基板４は、磁性カバー４０の切り欠き部４９に挿通されて、当該磁性カバー４０から突出している。さらに、プリント配線基板４の配線パターンの工夫により、各相リード線およびアース線の接続は簡単かつ堅牢である。
【００７４】
プリント配線基板４は軸方向に対して起立状態で配置されるので、電機子２の幅が増大しない。矩形筒体状の磁性カバー４０の内部四隅は通常デットスペースとなるが、当該内部四隅に各ｕ相、ｖ相、ｗ相の渡り線２２とアース線などを配線している。したがって、電機子２のスペースの有効利用により、電機子２の小型化を図ることができる。
【００７５】
ボビン３０のフランジ部３２の形状を工夫し、コイル２０の連続巻を実現しつつ、各コイル２０の渡り線２２の固定と保護を確実に行うことができる。
【００７６】
よって、第１実施形態に係るリニアモータ１００は、各相のリード線およびアース線の配線作業の効率化、および電機子２の小型化を図ることができる。
【００７７】
また、電機子２は、永久磁石１２を有するシャフト１０からなる励磁部１を囲んでいる。電機子２は、磁性カバー４０内に、複数のコイル２０群を収容する。
【００７８】
磁性カバー４０は、磁性材料からなる矩形筒体であるので、たとえば、珪素鋼板を板金もしくはプレス加工することにより、簡単に形成することができる。また、フレーム５は、たとえば、プレス加工などにより、簡単に形成することができる。したがって、本実施形態のリニアモータ１００は、低コスト化および高性能化を両立することができる。
【００７９】
さらに、磁性カバー４０が永久磁石１２の磁束の大部分を閉じて漏れ磁束を抑制するので、磁気遮蔽板が不要であり、小型・省スペース化、軽量化に対応できる。
【００８０】
そして、永久磁石１２を有するシャフト１０は、リング状のコイル２０群で囲まれている。当該コイル２０群は、磁性カバー４０内に収容している。したがって、第１実施形態のリニアモータ１００は、磁性カバー４０が永久磁石１２の磁束の大部分を閉じて、漏れ磁束を抑制することができる。
【００８１】
また、フレーム５は上面に凹部５４を有し、磁性カバー４０とフレーム５との間に空隙部５３が形成され、冷却通路として機能する。フレーム５の凹部５４には、通気孔５５が形成されている。したがって、空隙部５３からなる冷却通路に通気孔５５から冷却空気を流入させることにより、コイル２０を含む電機子２を冷却することができる。よって、本実施形態に係るリニアモータ１００は優れた放熱性を有する。
【００８２】
加えて、本実施形態に係るリニアモータ１００は、個別にリニアセンサ６０を備えているので、単軸のアクチュエータとして使用することができる。また、本実施形態に係るリニアモータ１００を複数組み合わせれば、多軸のアクチュエータを構成することができる。
【００８３】
したがって、単軸もしくは多軸のアクチュエータとして簡単に使用できるので、チップマウンタのヘッド構成の柔軟性を確保することができる。
【００８４】
〔第２実施形態〕
次に、図１０Ａから図１０Ｃを参照して、第２実施形態に係るリニアモータについて説明する。図１０Ａは第２実施形態のボビンの斜視図である。図１０Ｂは第２実施形態のボビンの先端側面図である。図１０Ｃは第２実施形態のボビンの基端側面図である。
【００８５】
図１０Ａから図１０Ｃに示すように、第２実施形態に係るリニアモータは、コイルを巻装するためのボビン２３０の構造が異なっている以外は、第１実施形態と同様に構成されている。
【００８６】
すなわち、第２実施形態に係るリニアモータは、ボビン２３０のフランジ部２３２の形状が、第１実施形態と異なっている。先端側フランジ部２３２ａと基端側フランジ部２３２ｂの形状は異なっている。
【００８７】
先端側フランジ部２３２ａは、図１０Ａおよび図１０Ｂに示すように、リング状の板状部材であり、中央部に円形孔２３３を有する。先端側フランジ部２３２ａにおいて、磁性カバーの内部四隅の一つに相当する部位には、ボビン２３０に巻装する絶縁皮膜線を導入するための導入溝部２３５が中心部へ向けて形成されている。導入溝部２３５は、当該ボビン２３０への巻始めの絶縁皮膜導線を導入するので、筒体部２３１の周表面近くまで深く形成される。
【００８８】
基端側フランジ部２３２ｂは、図１０Ａおよび図１０Ｃに示すように、リング状板状部材の輪郭の一部に突出部２３８が形成されており、中央部に円形孔２３３を有する。突出部２３８は、磁性カバーの内部四隅に内設可能な形状に形成される。突出部２３８には、導出溝部２３９が中心部へ向けて形成されている。導出溝部２３９は、当該ボビン２３０に巻装された絶縁皮膜導線の巻き終わりを導出する。したがって、基端側フランジ部２３２ｂの導出溝部２３９は、先端側フランジ部２３２ａの導入溝部２３５よりも浅く形成される。
【００８９】
第２実施形態のボビン２３０は、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群に対応させて、磁性カバーの内部四隅における位置が変更される。すなわち、第２実施形態のボビン２３０は、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群に応じて、導入溝部２３５および導出溝部２３９が回転配置されることになる。
【００９０】
ボビン２３０の基端側フランジ部２３２ｂに次のボビン２３０の先端側フランジ部２３２ａを当接させて、複数のボビン２３０が軸方向に直列配置される。複数のコイルは、たとえば、三相交流電源の場合、軸方向にｕ相、ｖ相、ｗ相の順で配置される。
【００９１】
同一相群の複数のコイルは連続巻される。本実施形態の三相交流電源の場合、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群の複数のコイルは、複数のボビン２３０に亘って連続巻される。すなわち、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群のコイルは、２つ置きのボビン２３０毎に連続巻される。
【００９２】
ボビン２３０への絶縁皮膜導線の巻始めは、先端側フランジ部２３２ａの導入溝部２３５からボビン２３０の筒体部２３１の周表面に導入され、当該筒体部２３１にコイルとして巻装される。コイルの巻終わりは、基端側フランジ部２３２ｂの導出溝部２３９から導出される。次の同一相のコイルを巻装するためのボビン２３０に到達するまでは、渡り線として磁性カバー内の隅部を通過することになる。
【００９３】
第２実施形態に係るリニアモータは、基本的に第１実施形態と同様の作用効果を奏する。特に第２実施形態に係るリニアモータの先端側フランジ部２３２ａは、リング状の板状部材であり、磁性カバーの内部四隅の一つに相当する部位に導入溝部２３５が存在する。基端側フランジ部２３２ｂは、リング状の板状部材の一部に突出部２３８が形成され、突出部２３８に導出溝部２３９が存在する。したがって、第２実施形態に係るリニアモータは、極めて簡単な構造のボビン２３０を用いて、磁性カバーの内部四隅のデッドスペースを有効活用することができるという特有の効果を奏する。
【００９４】
〔第３実施形態〕
次に、図１１Ａから図１１Ｄを参照して、第３実施形態に係るリニアモータについて説明する。図１１Ａは第３実施形態のボビンの斜視図である。図１１Ｂは第３実施形態のボビンの先端側面図である。図１１Ｃは第３実施形態のボビンの側面図である。図１１Ｄは第３実施形態のボビンの基端側面図である。
【００９５】
図１１Ａから図１１Ｄに示すように、第３実施形態に係るリニアモータのボビン３３０は、第２実施形態のボビンの構造の変形例であり、当該ボビン３３０の構造が異なっている以外は、第１実施形態と同様に構成されている。
【００９６】
すなわち、第３実施形態に係るリニアモータは、ボビン３３０のフランジ部３３２の構造が第２実施形態と異なっている。先端側フランジ部３３２ａと基端側フランジ部３３２ｂの輪郭形状は、ほぼ同一形状に形成されている。
【００９７】
先端側フランジ部３３２ａは、図１１Ａおよび図１１Ｂに示すように、リング状板状部材の輪郭の一部に突出部３３８が形成されており、中央部に円形孔３３３を有する。突出部３３８は、磁性カバーの内部四隅に内設可能に形成される。突出部３３８には、導入溝部３３５が中心部へ向けて形成されている。導入溝部３３５は、当該ボビン３３０への巻始めの絶縁皮膜導線を導入するので、筒体部３３１の周表面近くまで深く形成される。
【００９８】
基端側フランジ部３３２ｂは、図１１Ａおよび図１１Ｄに示すように、リング状板状部材の輪郭の一部に突出部３３８が形成されており、中央部に円形孔３３３を有する。突出部３３８は、磁性カバーの内部四隅に内設可能に形成される。突出部３３８には、導出溝部３３９が中心部へ向けて形成されている。導出溝部３３９は、当該ボビン３３０に巻装された絶縁皮膜導線の巻き終わりを導出する。したがって、基端側フランジ部３３２ｂの導出溝部３３９は、先端側フランジ部３３２ａの導入溝部３３５よりも浅く形成される。
【００９９】
フランジ部３３２は、ボビン３３０の係合手段を有する。すなわち、先端側フランジ部３３２ａの先端側面には、図１１Ａから図１１Ｃに示すように、複数の係合孔３３４が形成されている。本実施形態の係合孔３３４は、貫通孔により形成されているが、凹部であっても構わない。
【０１００】
また、本実施形態の係合孔３３４は、円形孔で円周方向に均等に４箇所に形成されている。これはボビン３３０を９０度毎にずらして回転配置することを考慮したもので、９０度毎にずらして所定の位置に回転配置可能であれば、孔形状および個数は限定されない。
【０１０１】
一方、基端側フランジ部３３２ｂの基端側面には、図１１Ａ、図１１Ｃおよび図１１Ｄに示すように、係合孔３３４内に挿入可能な複数の係合突起３３６が形成されている。本実施形態の係合突起３３６は、係合孔３３４に合わせて、円形で円周方向に均等に４箇所に形成されている。
【０１０２】
第３実施形態のボビン３３０は、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群に対応させて、磁性カバーの内部四隅の位置が変更される。すなわち、第３実施形態のボビン３３０は、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群に応じて、導入溝部３３５および導出溝部３３９が回転配置されることになる。
【０１０３】
ボビン３３０の基端側フランジ部３３２ｂに次のボビン３３０の先端側フランジ部３３２ａを当接させて、複数のボビン３３０が軸方向に直列配置される。その際、先端側フランジ部３３２ａの係合孔３３４に、基端側フランジ部３３２ｂの係合突起３３６が係合される。複数のコイルは、たとえば、三相交流電源の場合、軸方向にｕ相、ｖ相、ｗ相の順で配置される。
【０１０４】
同一相群の複数のコイルは連続巻される。本実施形態の三相交流電源の場合、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群の複数のコイルは、複数のボビン３３０に亘って連続巻される。すなわち、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群のコイルは、２つ置きのボビン３３０毎に連続巻される。
【０１０５】
ボビン３３０への絶縁皮膜導線の巻始めは、先端側フランジ部３３２ａの導入溝部３３５からボビン３３０の筒体部３３１の周表面に導入され、当該筒体部３３１にコイルとして巻装される。コイルの巻終わりは、基端側のフランジ部３３２ｂの導出溝部３３９から導出される。次の同一相のコイルを巻装するためのボビン３３０に到達するまでは、渡り線として磁性カバー内の隅部を通過することになる。
【０１０６】
第３実施形態に係るリニアモータは、基本的に第２実施形態と同様の作用効果を奏する。特に第３実施形態に係るリニアモータは、ボビン３３０を直列配置する際に、先端側のフランジ部３３２ａの係合孔３３４に、基端側のフランジ部３３２ｂの係合突起３３６が係合される。したがって、第３実施形態に係るリニアモータは、ボビン３３０の位置決めや連結などが簡単かつ確実にでき、コイルの高品質化を実現することができるという特有の効果を奏する。
【０１０７】
〔第４実施形態〕
次に、図１２Ａから図１２Ｄを参照して、第４実施形態に係るリニアモータについて説明する。図１２Ａは第４実施形態のボビンの斜視図である。図１２Ｂは第４実施形態のボビンの先端側面図である。図１２Ｃは第４実施形態のボビンの側面図である。図１２Ｄは第４実施形態のボビンの基端側面図である。
【０１０８】
図１２Ａから図１２Ｄに示すように、第４実施形態に係るリニアモータのボビン４３０は、第２実施形態および第３実施形態のボビンの構造の変形例であり、当該ボビン４３０の構造が異なっている以外は、第１実施形態と同様に構成されている。
【０１０９】
すなわち、第４実施形態に係るリニアモータは、ボビン４３０のフランジ部４３２の構造が第２実施形態および第３実施形態と異なっている。先端側フランジ部４３２ａと基端側フランジ部４３２ｂの輪郭形状は、ほぼ同一形状に形成されている。
【０１１０】
先端側フランジ部４３２ａは、図１２Ａおよび図１２Ｂに示すように、リング状板状部材の輪郭の一部に突出部４３８が形成されており、中央部に円形孔４３３を有する。突出部４３８は、磁性カバーの内部四隅に内設可能に形成される。突出部４３８には、導入溝部４３５が中心部へ向けて形成されている。導入溝部４３５は、当該ボビン４３０への巻始めの絶縁皮膜導線を導入するので、筒体部４３１の周表面近くまで深く形成される。
【０１１１】
基端側フランジ部４３２ｂは、図１２Ａおよび図１２Ｄに示すように、リング状板状部材の輪郭の一部に突出部４３８が形成されており、中央部に円形孔４３３を有する。突出部４３８は、磁性カバーの内部四隅に内設可能に形成される。突出部４３８には、導出溝部４３９が中心部へ向けて形成されている。導出溝部４３９は、当該ボビン４３０に巻装された絶縁皮膜導線の巻き終わりを導出する。したがって、基端側フランジ部４３２ｂの導出溝部４３９は、先端側フランジ部４３２ａの導入溝部４３５よりも浅く形成される。
【０１１２】
フランジ部４３２は、ボビン４３０の係合手段を有する。すなわち、基端側フランジ部４３２ｂの基端側面には、図１２Ｃおよび図１２Ｄに示すように、先端側フランジ部４３２ａのリング状部分を収容可能なほぼリング状の凹部４３７が形成されている。
【０１１３】
第４実施形態のボビン４３０は、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群に対応させて、磁性カバーの内部四隅の位置が変更される。すなわち、第４実施形態のボビン３３０は、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群に応じて、導入溝部４３５および導出溝部４３９が回転配置されることになる。
【０１１４】
ボビン４３０の基端側フランジ部４３２ｂに次のボビン４３０の先端側フランジ部４３２ａを当接させて、複数のボビン４３０が軸方向に直列配置される。その際、基端側フランジ部４３２ｂのリング状凹部４３７に、次のボビン４３０の先端側フランジ部４３２ｂのリング状部分が係合される。複数のコイルは、たとえば、三相交流電源の場合、軸方向にｕ相、ｖ相、ｗ相の順で配置される。
【０１１５】
同一相群の複数のコイルは連続巻される。本実施形態の三相交流電源の場合、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群の複数のコイルは、複数のボビン４３０に亘って連続巻される。すなわち、各ｕ相群、ｖ相群、ｗ相群のコイルは、２つ置きのボビン４３０毎に連続巻される。
【０１１６】
ボビン４３０への絶縁皮膜導線の巻始めは、先端側フランジ部４３２ａの導入溝部４３５からボビン４３０の筒体部４３１の周表面に導入され、当該筒体部４３１にコイルとして巻装される。コイルの巻終わりは、基端側フランジ部４３２ｂの導出溝部４３９から導出される。次の同一相のコイルを巻装するためのボビン４３０に到達するまでは、渡り線として磁性カバー内の隅部を通過することになる。
【０１１７】
第４実施形態に係るリニアモータは、基本的に第２実施形態と同様の作用効果を奏する。特に第４実施形態に係るリニアモータは、ボビン４３０を直列配置する際に、基端側フランジ部３３２ｂのリング状凹部４３７に、次の先端側フランジ部４３２ａのリング状部分が回転配置状態で係合される。したがって、第４実施形態に係るリニアモータは、ボビン４３０の連結などが簡単かつ確実にでき、ボビン４３０の位置決めの微調整が可能で、コイルの高品質化を実現することができるという特有の効果を奏する。
【０１１８】
〔第５実施形態〕
次に、図１３から図１５Ｂを参照して、第５実施形態に係るリニアモータについて説明する。図１３は第５実施形態に係るリニアモータの斜視図である。図１４Ａは第５実施形態に係るリニアモータの縦断面図である。図１４Ｂは第５実施形態に係るリニアモータの上面図である。図１５Ａは第５実施形態の中性点プリント配線基板の正面図である。図１５Ｂは第５実施形態の中性点プリント配線基板の背面図である。なお、第１実施形態と同一の構成部材については、同一の符号を付して説明を省略する。
【０１１９】
図１３から図１５Ｂに示すように、第５実施形態に係るリニアモータ５００は、上記基端側のプリント配線基板４の他に、軸方向の先端側に中性点プリント配線基板５０４を備えている点が、第１実施形態と異なる。
【０１２０】
すなわち、中性点プリント配線基板５０４は、図１４Ａおよび図１４Ｂに示すように、最先端側のコイル２０とブッシュ支持部２３との間に、軸方向に垂直な方向に起立させて配置される。
【０１２１】
図１５Ａおよび図１５Ｂに示すように、中性点プリント配線基板５０４は、ほぼ矩形の板状部材であり、各コイルの一端を中性点で接続するためのプリント配線が施されている。中性点プリント配線基板５０４の中央部には、シャフト１０を挿通させるための円形孔５４２が形成されている。
【０１２２】
中性間点プリント配線基板５０４の四隅の任意の３箇所には、縦方向に沿って保持溝部５４４が形成されている。中性点プリント配線基板５０４の表面側には、保持溝部５４４の周囲にランド５４５が形成されている。各ｕ相、ｖ相、ｗ相のコイル２０のタップ線は、保持溝部５４４に保持され、表面側でランド５４５に半田接続される。半田接続により、各ｕ相、ｖ相、ｗ相のコイル２０の一端は中線点接続される。なお、中性点プリント配線基板５０４におけるｕ相、ｖ相、ｗ相の位置は例示であって、図示の位置に限定されない。
【０１２３】
中性点プリント基板５０４からは各相群のタップ線が接続され、各相群のコイル２０として複数のボビン３０に連続巻されていくことになる。
【０１２４】
ボビン３０の最基端側には、第１実施形態と同様に、基端側（末端側）のプリント配線基板４が設けられている。中性点プリント配線基板５０に接続されたタップ線は複数のボビン３０に各相群の巻線として巻装された後、各相群の末端線が基端側のプリント配線基板４に半田接続される。
【０１２５】
第５実施形態の磁性カバー５４０の上面先端側には、中性点プリント配線基板５０４を軸方向に垂直な起立状態で挿通させるための切り欠き部５４９が形成されている。中性点プリント配線基板５０４の縦方向長さは、基端側のプリント配線基板４の縦方向長さよりも小さく形成されている。
【０１２６】
第５実施形態は、基本的に第１実施形態と同様の作用効果を奏する。特に第５実施形態に係るリニアモータは、基端側のプリント配線基板４の他に中性点プリント配線基板５０４を配設し、軸方向先端側で各相のコイル２０のタップ線を基板接続している。したがって、第５実施形態に係るリニアモータは、中性点プリント配線基板５０４以降の配線処理を容易に行うことができるという有利な効果を奏する。
【０１２７】
なお、第５実施形態に係るリニアモータ５００に対して、第２から第４実施形態のボビン２３０、３３０、４３０を適用することができる。
【０１２８】
以上、本発明の好適な実施形態を説明したが、これらは本発明の説明のための例示であり、本発明の範囲をこれらの実施形態にのみ限定する趣旨ではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で、上記実施形態とは異なる種々の態様で実施することができる。
【符号の説明】
【０１２９】
１    励磁部、
２    電機子、
４    配線基板、
１０    シャフト、
１２    永久磁石、
２０    コイル、
３０、２３０、３３０、４３０    ボビン、
３１、２３１、３３１、４３１    筒体部、
３２、２３２、３３２、４３２    フランジ部、
３２ａ、２３２ａ、３３２ａ、４３２ａ    先端側のフランジ部、
３２ｂ、２３２ｂ、３３２ｂ、４３２ｂ    基端側のフランジ部、
３５、２３５、３３５、４３５    導入溝部、
３９、２３９、３３９、４３９    導出溝部、
３７    支持溝部、
４０、５４０    磁性カバー、
４４、５４４    保持溝部、
４５，５４５    ランド、
４９、５４９    切り欠き部、
５０４    中性点配線基板、
１００、５００    リニアモータ。
【図１】
2015065746.tif 000003
【図２Ａ】
2015065746.tif 000004
【図２Ｂ】
2015065746.tif 000005
【図２Ｃ】
2015065746.tif 000006
【図２Ｄ】
2015065746.tif 000007
【図２Ｅ】
2015065746.tif 000008
【図３Ａ】
2015065746.tif 000009
【図３Ｂ】
2015065746.tif 000010
【図３Ｃ】
2015065746.tif 000011
【図４】
2015065746.tif 000012
【図５】
2015065746.tif 000013
【図６Ａ】
2015065746.tif 000014
【図６Ｂ】
2015065746.tif 000015
【図７】
2015065746.tif 000016
【図８】
2015065746.tif 000017
【図９】
2015065746.tif 000018
【図１０Ａ】
2015065746.tif 000019
【図１０Ｂ】
2015065746.tif 000020
【図１０Ｃ】
2015065746.tif 000021
【図１１Ａ】
2015065746.tif 000022
【図１１Ｂ】
2015065746.tif 000023
【図１１Ｃ】
2015065746.tif 000024
【図１１Ｄ】
2015065746.tif 000025
【図１２Ａ】
2015065746.tif 000026
【図１２Ｂ】
2015065746.tif 000027
【図１２Ｃ】
2015065746.tif 000028
【図１２Ｄ】
2015065746.tif 000029
【図１３】
2015065746.tif 000030
【図１４Ａ】
2015065746.tif 000031
【図１４Ｂ】
2015065746.tif 000032
【図１５Ａ】
2015065746.tif 000033
【図１５Ｂ】
2015065746.tif 000034