(57)【要約】【課題】変圧器リード線の接続部等の、絶縁体中に非磁性金属部位が含まれている場合において、当該絶縁体から磁性金属異物を高い感度の下に検出する。【解決手段】実施形態の絶縁体内部の磁性金属異物検出方法は、導体と、当該導体の表面を被覆した絶縁体とからなる被検査物の、前記絶縁体中に含有された磁性金属異物の検出方法であって、前記被検査物の表面にコイルを隣接して配設し、当該コイルから１ｋＨｚ以上の高周波磁界を前記被検査物に印加し、前記コイルと前記被検査物との間に配設された磁界検知手段によって、前記コイルと前記被検査物との間に生じる磁界を検知するステップを具える。また、前記磁界と前記被検査物における前記絶縁体の厚さとの相関から前記絶縁体の厚さを特定するステップと、前記コイルから前記絶縁体の厚さに応じた静磁界を前記被検査物に印加し、前記被検査物中の前記絶縁体中に埋設された前記磁性金属異物を検出するステップとを具える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導体と、当該導体の表面を被覆した絶縁体とからなる被検査物の、前記絶縁体中に含有された磁性金属異物の検出方法であって、
前記被検査物の表面にコイルを隣接して配設し、当該コイルから１ｋＨｚ以上の高周波磁界を前記被検査物に印加し、前記コイルと前記被検査物との間に配設された磁界検知手段によって、前記コイルと前記被検査物との間に生じる磁界を検知するステップと、
前記磁界と前記被検査物における前記絶縁体の厚さとの相関から前記絶縁体の厚さを特定するステップと、
前記コイルから前記絶縁体の厚さに応じた静磁界を前記被検査物に印加し、前記被検査物中の前記絶縁体中に埋設された前記磁性金属異物を検出するステップと、
を具えることを特徴とする、絶縁体内部の磁性金属異物検出方法。
【請求項２】
前記高周波磁界及び前記静磁界は、単一の電源より１ｋＨｚ以上の高周波電流及び定電流を前記コイルに切り替えて印加し、発生させることを特徴とする、請求項１に記載の絶縁体内部の磁性金属異物検出方法。
【請求項３】
前記高周波磁界及び前記静磁界は、それぞれ高周波電源及び直流電源より、１ｋＨｚ以上の高周波電流及び定電流を前記コイルに切り替えて印加し、発生させることを特徴とする、請求項１に記載の絶縁体内部の磁性金属異物検出方法。
【請求項４】
前記コイルは、当該コイルの軸が前記被検査物の表面と平行となるように配設することを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一に記載の絶縁体内部の磁性金属異物検出方法。
【請求項５】
前記コイルは、当該コイルの軸が前記被検査物の表面と直交するように配設することを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一に記載の絶縁体内部の磁性金属異物検出方法。
【請求項６】
導体と、当該導体の表面を被覆した絶縁体とからなる被検査物の、前記絶縁体中に含有された磁性金属異物の検出方法であって、
前記被検査物の表面にコイルを隣接して配設し、当該コイルから１ｋＨｚ以上の高周波磁界を前記被検査物に印加し、前記コイルのインピーダンス値を測定するステップと、
前記インピーダンス値と前記被検査物における前記絶縁体の厚さとの相関から前記絶縁体の厚さを特定するステップと、
前記コイルから前記絶縁体の厚さに応じた静磁界を前記被検査物に印加し、前記被検査物中の前記絶縁体中に埋設された前記磁性金属異物を検出するステップと、
を具えることを特徴とする、絶縁体内部の磁性金属異物検出方法。
【請求項７】
前記インピーダンス値は、高周波電源より定電流の条件下で１ｋＨｚ以上の高周波電流を前記コイルに印加して測定することを特徴とする、請求項６に記載の絶縁体内部の磁性金属異物検出方法。
【請求項８】
前記コイルは、当該コイルの軸が前記被検査物の表面と平行となるように配設することを特徴とする、請求項６又は７に記載の絶縁体内部の磁性金属異物検出方法。
【請求項９】
前記コイルは、当該コイルの軸が前記被検査物の表面と直交するように配設することを特徴とする、請求項６又は７に記載の絶縁体内部の磁性金属異物検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、絶縁体内部の磁性金属異物検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
変圧器等の電気機器に使用される絶縁体中に、工具の破片等の磁性金属異物が混入すると、破壊電圧低下の原因となるので、このような磁性金属異物検査は重要である。このような磁性金属異物の代表的な検査手法としてはＸ線異物検出機を用いる手法と磁気を利用して金属異物を検知する金属検出機を使用する手法とがある。特に、変圧器リード線の接続部においては、リード芯線に巻きつけられている絶縁紙を一度剥がして芯線をボルト締結後、絶縁紙を再度手作業で巻きなおすため、ボルトや工具類から発生した磁性金属異物を巻き込んでしまうリスクが高く、磁性異物検査の必要性が高い。
【０００３】
金属検出機は電磁石や永久磁石で磁性金属異物からなる被検査物あるいは磁性金属異物を含む被検査物を磁化し、被検査物中に磁性金属異物が存在する事によって生じる磁界の変化を捕らえる事で磁性金属異物の有無を検知するもので、Ｘ線異物検出機に比べ装置価格やメンテナンス費用を抑えることができるというメリットを持つ。磁化方式としては大きなコイルで交流磁界を発生させその中に被検査物を通過させる方法、被検査物に対して永久磁石などを走査させる方法が一般的である。
【０００４】
しかしながら、磁気によって金属異物を検知する方法を用いた場合、例えば変圧器リード線の絶縁被覆部分の検査においては、被検査物である絶縁体中に銅線等の非磁性金属部位が存在するので、当該非磁性金属部位に渦電流が発生してしまって印加磁界が弱められてしまい、上記絶縁体中に含まれる磁性金属異物に対する検出感度が低下してしまって磁性金属異物の検出が困難になるという問題があった。
【０００５】
また、変圧器リード線の接続部の中心部分には磁性体のボルト等が存在するため、当該接続部の奥深くまで磁束が浸透するような磁化方式を用いると、ボルトが磁化されてしまうため、磁性金属異物の検出が困難となってしまうという問題があった。
【０００６】
上述のような問題を解決する手段として、被検査物の表面から検出コイルまでの距離を調整することで、被検査物の厚さに応じた最適な磁界強度で被検査物中の磁性金属異物を検出するという手法が提案されている（例えば特許文献１参照）。
【０００７】
しかしながら、特許文献１で提案されている手法は、被検査物の厚さが目視で分かることを前提としており、例えば変圧器リード線被覆のように厚さが未知のものに対しては適用することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平５−１４２３５８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、変圧器リード線の接続部等の、絶縁体中に非磁性金属部位が含まれている場合において、当該絶縁体から磁性金属異物を高い感度の下に検出することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
実施形態の絶縁体内部の磁性金属異物検出方法は、導体と、当該導体の表面を被覆した絶縁体とからなる被検査物の、前記絶縁体中に含有された磁性金属異物の検出方法であって、前記被検査物の表面にコイルを隣接して配設し、当該コイルから１ｋＨｚ以上の高周波磁界を前記被検査物に印加し、前記コイルと前記被検査物との間に配設された磁界検知手段によって、前記コイルと前記被検査物との間に生じる磁界を検知するステップを具える。また、前記磁界と前記被検査物における前記絶縁体の厚さとの相関から前記絶縁体の厚さを特定するステップと、前記コイルから前記絶縁体の厚さに応じた静磁界を前記被検査物に印加し、前記被検査物中の前記絶縁体中に埋設された前記磁性金属異物を検出するステップと、を具える。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態における磁性体内部の磁性金属異物検出装置の概略構成を示す線図である。
【図２】図１に示す磁性金属異物検出装置による磁性金属異物の検出方法を説明するための図である。
【図３】図１に示す磁性金属異物検出装置による磁性金属異物の検出方法を説明するための図である。
【図４】図１に示す磁性金属異物検出装置による磁性金属異物の検出方法を説明するための図である。
【図５】図１に示す磁性金属異物検出装置による磁性金属異物の検出方法を説明するための図である。
【図６】第２の実施形態における磁性体内部の磁性金属異物検出装置の概略構成を示す線図である。
【図７】第３の実施形態における磁性体内部の磁性金属異物検出装置の概略構成を示す線図である。
【図８】図７に示す磁性金属異物検出装置による磁性金属異物の検出方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第１の実施形態）
図１は、本実施形態における磁性体内部の磁性金属異物検出装置の概略構成を示す線図であり、図２〜図５は、図１に示す磁性金属異物検出装置による磁性金属異物の検出方法を説明するための図である。
【００１３】
図１に示すように、本実施形態の磁性体内部の磁性金属異物検出装置１０は、導体Ｓ１と、当該導体Ｓ１の表面を被覆した絶縁体Ｓ２とからなる被検査物Ｓの表面に隣接して配設されたコイル１１と、コイル１１に接続された電源１２と、コイル１１及び被検査物Ｓ間に配設されて磁界検知手段としての磁気センサ１３とを有している。なお、コイル１１は、その軸I-Iが被検査物Ｓの表面と平行となるようにして配設されている。また、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内には磁性金属異物ＳＴが含まれている。
【００１４】
磁気センサ１３には、当該磁気センサ１３からのセンサ出力を測定するための測定器１４が接続され、測定器１４にはコンピュータ１５が接続されている。
【００１５】
コンピュータ１５は電源１２にも接続されており、以下に説明するように、コイル１１から高周波磁界が被検査物Ｓに印加されることによって生成した磁界（磁束密度）と被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２との相関を示すデータが蓄積されており、当該データに基づいて絶縁体Ｓ２の厚さを特定するとともに、特定された絶縁体Ｓ２の厚さに基づいて、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内に含まれる磁性金属異物ＳＴを検出するために最適な高周波磁界を生ぜしめるような高周波電流値を得、当該高周波電流を電源１２に供給して電源１２を制御する演算制御手段として機能する。
【００１６】
次に、図１に示す磁性金属異物検出装置１０を用いた被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内に含まれた磁性金属異物ＳＴの検出方法について説明する。
【００１７】
最初に、電源１２より高周波電流をコイル１１に印加し、コイル１１より高周波磁界Ｂ１を発生させて被検査物Ｓに対して印加する。なお、本実施形態における高周波とは１ｋＨｚ以上のものを意味する。したがって。高周波電流とは、周波数が１ｋＨｚ以上の電流を意味し、高周波磁界とは、周波数が１ｋＨｚ以上の磁界を意味する。一方、高周波の上限については特に限定されず、電源１２の特性に依存し、現在市販されている高周波電源の発振周波数の上限によって決定される。一例を挙げると、２ＭＨｚである。
【００１８】
図２に示すように、高周波磁界Ｂ１を被検査物Ｓに対して印加すると、被検査物Ｓの導体Ｓ１内には、高周波磁界Ｂ１と鎖交する磁界を打ち消すような渦電流Ｉが発生する。一方、渦電流Ｉは、紙面のＸ方向で見た場合、磁界Ｂ２を生ぜしめるようになるので、高周波磁界Ｂ１と磁界Ｂ２とは合成され、Ｘ方向の磁界成分が増大するようになる。
【００１９】
磁界Ｂ２は渦電流Ｉが増大するにつれて増大し、高周波磁界Ｂ１が一定の下において、渦電流Ｉは被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の厚さが増大するにつれて減少する。したがって、図３に示すように、磁界Ｂ２、すなわち、高周波磁界Ｂ１と磁界Ｂ２のＸ方向の磁界成分は、絶縁体Ｓ２の厚さが増大するにつれて減少するようになる。
【００２０】
図３に示す高周波磁界Ｂ１と磁界Ｂ２のＸ方向の磁界成分と絶縁体Ｓ２の厚さとの相関のグラフは予めコンピュータ１５に記憶されているので、実際の被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の厚さは、磁気センサ１３で測定した高周波磁界Ｂ１及び磁界Ｂ２のＸ方向の磁界成分の測定データをセンサ出力として測定器１４に伝送し、さらに測定器１４より測定データとしてコンピュータ１５に伝送することにより、上記の相関グラフに基づいて導出することができる。
【００２１】
次いで、コンピュータ１５は、導出した被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の厚さに基づいて、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内に含まれる磁性金属異物ＳＴの検出に適した静磁界を生成するように電源１２に対して制御信号を送信し、電源１２は当該制御信号に基づいた直流電流をコイル１１に印加して、上記の検出に適した静磁界を生成できるようにする。
【００２２】
なお、磁性金属異物ＳＴの検出に適した静磁界とは、例えば静磁界が被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内に入り込み、導体Ｓ１との界面にまでは到達するが、導体Ｓ１内には入り込まないようなものとする。これは、静磁界が強すぎて導体Ｓ１内に入り込むようになると、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内に含まれる磁性金属異物ＳＴが磁化飽和してしまい、磁性金属異物ＳＴの検出が困難になる一方、静磁界が弱く導体Ｓ１との界面にまで到達しないと、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の、導体Ｓ１との界面近傍に含まれる磁性金属異物ＳＴの検出が困難となるためである。
【００２３】
次いで、上述のようにして決定された静磁界を被検査物Ｓに印加した状態で、磁気センサ１３を紙面のＸ方向に移動させると、図１に示す被検査物Ｓと異なり、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２が磁性金属異物ＳＴを含まない場合は、Ｘ方向の磁界成分の分布状態は、図４に示すように、被検査物Ｓの一端側（Ｘ０）から他端側（Ｘｎ）までほぼ一定の値となる。
【００２４】
一方、本実施形態のように、被検査物Ｓの略中央部（Ｘｃ）に磁性金属異物ＳＴを含む場合は、上述した静磁界が磁性金属異物ＳＴに引きつけられるので、図５に示すように、被検査物Ｓの磁性金属異物ＳＴが存在する略中央部（Ｘｃ）の部分に相当する磁界が局所的に減少することになる。したがって、磁気センサ１３によって前述した局所的な減少を検知することにより、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内に含まれる磁性金属異物ＳＴを検出することができる。
【００２５】
なお、本実施形態では、被検査物Ｓの表面に対してコイル１１の軸I-Iが平行となるようにして当該コイル１１を配設したが、被検査物Ｓの表面に対してコイル１１の軸I-Iが直交するように配設してもよい。この場合も高周波磁界Ｂ１を被検査物Ｓに対して印加すると、被検査物Ｓの導体Ｓ１内には、高周波磁界Ｂ１と鎖交する磁界を打ち消すような渦電流Ｉが発生する。しかしながら、渦電流Ｉは、紙面のＹ方向で見た場合、高周波磁界Ｂ１を打ち消すような磁界を生ぜしめるようになるので、当該磁界は高周波磁界Ｂ１より差し引かれるようになる。
【００２６】
したがって、この場合の高周波磁界Ｂ１等のＹ方向の磁界成分は、図３と異なり、絶縁体Ｓ２の厚さが増大するにつれて増大するようになる。
【００２７】
その後の被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内に含まれる磁性金属異物ＳＴを検出は、被検査物Ｓの表面に対してコイル１１の軸I-Iが平行となるようにして当該コイル１１を配設した場合と同様にして行うことができる。
【００２８】
また、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内に含まれる磁性金属異物ＳＴを検出は、コイル１１と被検査物Ｓとの間に耐熱性材料からなる部材を挿設した状態で行うこともできる。この場合、コイル１１と被検査物Ｓとの距離を一定に保持することができ、かつコイル１１の発熱による部材の熱変形を防止することができるので、高周波磁界Ｂ１の印加により被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の厚さの特定を正確に行うことができるようになる。
【００２９】
さらに、コイル１１の下部に移動車輪等を配設することもできる。この場合、コイル１１を２次元的に移動することができるので、被検査物Ｓの測定したい領域にコイル１１を容易に移動させることができるようになる。このため、被検査物Ｓの任意の箇所の絶縁体Ｓ２の厚さを測定することができ、これに基づいて、被検査物Ｓの任意の箇所に適した静磁場を印加させて磁性金属異物ＳＴの検出を行うことができる。
【００３０】
（第２の実施形態）
図６は、本実施形態における磁性体内部の磁性金属異物検出装置の概略構成を示す線図である。なお、図１に示す構成要素と類似あるいは同一の構成要素については同一の符号を用いている。
【００３１】
図６に示すように、本実施形態の磁性体内部の磁性金属異物検出装置２０は、図１に示す磁性金属異物検出装置１０の電源１２の代わりに高周波電源２２及び直流電源２３が配設されており、高周波電源２２からの高周波電流及び直流電源２３からの直流電流が、スイッチ２５及び２６によって適宜切り替えられて、コイル１１に印加されるようになっている。
【００３２】
コイル１１に高周波電流を印加してコイル１１から高周波磁界Ｂ１を発生させる際には、スイッチ２５及び２６のＨ側をオンとし、コイル１１に定電流を印加してコイル１１から静磁界を発生させて磁性金属異物ＳＴの検出を行う際にはスイッチ２５及び２６のＬ側をオンとする。
【００３３】
本実施形態では、高周波電源２２及び直流電源２３を用いており、それぞれから高周波電流及び直流電流を発生させるようにしている。すなわち、高周波電源２２と直流電源２３とを分割しているので、第１の実施形態における単一の電源１２を使用した場合に比較して、例えば広範囲な周波数の高周波電流及び広範囲な電流値の直流電流を生成させることができ、種々の高周波磁界Ｂ１及び静磁界を生成することができる。したがって、図３に示すような高周波磁界Ｂ１及び磁界Ｂ２のＸ方向の磁界成分と絶縁体Ｓ２の厚さとの相関のグラフを広範囲に得ることができ、磁性金属異物ＳＴの検出に適した静磁界を広範囲に特定することができる。
【００３４】
本実施形態における高周波とは１ｋＨｚ以上のものを意味する。したがって。高周波電流とは、周波数が１ｋＨｚ以上の電流を意味し、高周波磁界とは、周波数が１ｋＨｚ以上の磁界を意味する。一方、高周波の上限については特に限定されず、電源１２の特性に依存し、現在市販されている高周波電源の発振周波数の上限によって決定される。一例を挙げると、２ＭＨｚである。
【００３５】
なお、その他の構成及び特徴については第１の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【００３６】
（第３の実施形態）
図７は、本実施形態における磁性体内部の磁性金属異物検出装置の概略構成を示す線図であり、図８は、図１に示す磁性金属異物検出装置による磁性金属異物の検出方法を説明するための図である。なお、図１及び図６に示す構成要素と類似あるいは同一の構成要素については同一の符号を用いている。
【００３７】
図７に示すように、本実施形態の磁性体内部の磁性金属異物検出装置３０は、図２に示す磁性金属異物検出装置２０の高周波電源２２の代わりにインピーダンス測定装置（ＬＣＲメータ）３２が配設され、コンピュータ１５に接続されている。また、図１に示す磁性金属異物検出装置１０及び図６に示す磁性金属異物検出装置２０と異なり、コイル１１は、その軸I-Iが被検査物Ｓの表面と直交するようにして配設されている。
【００３８】
次に、図７に示す磁性金属異物検出装置３０を用いた被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内に含まれた磁性金属異物ＳＴの検出方法について説明する。
【００３９】
最初に、スイッチ２５及び２６のＨ側をオンとして、ＬＣＲメータ３２より高周波電流をコイル１１に印加し、コイル１１より高周波磁界Ｂ１を発生させて被検査物Ｓに対して印加する。このとき、被検査物Ｓには高周波磁界Ｂ１に起因した渦電流が発生し、当該渦電流によって高周波磁界Ｂ１を打ち消すような磁界が発生する。したがって、上記高周波磁界Ｂ１を高周波電流が一定の下に発生させると、コイル１１に鎖交する磁界の大きさ（磁束量）が減少するためコイル１１の両端の電圧は小さくなり、これによってコイル１１のインピーダンス値は減少するようになる。
【００４０】
高周波磁界Ｂ１を打ち消す磁界の大きさは、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の厚さが大きくなるにつれて減少し、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の厚さが小さくなるにつれて増大する。したがって、コイル１１に鎖交する磁界の大きさ（磁束量）は、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の厚さが大きくなるにつれて増大し、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の厚さが小さくなるにつれて減少するので、コイル１１のインピーダンス値は、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の厚さが大きくなるにつれて増大し、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の厚さが小さくなるにつれて減少する。結果として、コイル１１のインピーダンス値と被検査物Ｓ２の厚さとの相関は図８に示すようなグラフとなる。
【００４１】
なお、本実施形態における高周波とは１ｋＨｚ以上のものを意味する。したがって。高周波電流とは、周波数が１ｋＨｚ以上の電流を意味し、高周波磁界とは、周波数が１ｋＨｚ以上の磁界を意味する。一方、高周波の上限については特に限定されず、電源１２の特性に依存し、現在市販されている高周波電源の発振周波数の上限によって決定される。一例を挙げると、２ＭＨｚである。
【００４２】
図８に示すコイル１１のインピーダンス値と絶縁体Ｓ２の厚さとの相関のグラフは予めコンピュータ１５に記憶されているので、実際の被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の厚さは、ＬＣＲメータ３２で測定したインピーダンス値をコンピュータ１５に伝送することにより、上記の相関グラフに基づいて導出することができる。
【００４３】
次いで、コンピュータ１５は、導出した被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の厚さに基づいて、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内に含まれる磁性金属異物ＳＴの検出に適した静磁界を生成するように電源２３に対して制御信号を送信し、電源２３は当該制御信号に基づいた直流電流を、スイッチ２５及び２６のＬ側をオンとすることによりコイル１１に印加して、上記の検出に適した静磁界を生成できるようにする。
【００４４】
なお、磁性金属異物ＳＴの検出に適した静磁界とは、例えば静磁界が被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内に入り込み、導体Ｓ１との界面にまでは到達するが、導体Ｓ１内には入り込まないようなものとする。これは、静磁界が強すぎて導体Ｓ１内に入り込むようになると、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内に含まれる磁性金属異物ＳＴが磁化飽和してしまい、磁性金属異物ＳＴの検出が困難になる一方、静磁界が弱く導体Ｓ１との界面にまで到達しないと、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２の、導体Ｓ１との界面近傍に含まれる磁性金属異物ＳＴの検出が困難となるためである。
【００４５】
次いで、上述のようにして決定された静磁界を被検査物Ｓに印加した状態で、磁気センサ１３を紙面のＸ方向に移動させると、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２が磁性金属異物ＳＴを含まない場合は、Ｘ方向の磁界成分の分布状態は、図４に示すように、被検査物Ｓの一端側（Ｘ０）から他端側（Ｘｎ）までほぼ一定の値となる。
【００４６】
一方、本実施形態のように、被検査物Ｓの略中央部（Ｘｃ）に磁性金属異物ＳＴを含む場合は、上述した静磁界が磁性金属異物ＳＴに引きつけられるので、図５に示すように、被検査物Ｓの磁性金属異物ＳＴが存在する略中央部（Ｘｃ）の部分に相当する磁界が局所的に減少することになる。したがって、磁気センサ１３によって前述した局所的な減少を検知することにより、被検査物Ｓの絶縁体Ｓ２内に含まれる磁性金属異物ＳＴを検出することができる。
【００４７】
なお、本実施形態では、上記高周波磁界Ｂ１を高周波電流が一定の下に発生させたが、
高周波電圧が一定の下に発生させてもよい。但し、この場合においては、コイル１１に鎖交する磁界の大きさ（磁束量）が減少すると、コイル１１の両端の電圧は小さくなるので、常にコイル１１の両端の電圧が一定となるような制御が必要となる。したがって、上述した高周波電流を一定とする場合に比較して、制御が複雑になるという問題がある。
【００４８】
また、本実施形態では、コイル１１は、その軸I-Iが被検査物Ｓの表面と直交するようにして配設したが、その軸I-Iが被検査物Ｓの表面と平行となるようにしてもよい。
【００４９】
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は例として掲示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５０】
１０，２０，３０  絶縁体内部の磁性金属異物検出装置
１１  コイル
１２  電源
１３  磁気センサ
１４  測定器
１５  コンピュータ
２２  高周波電源
２３  直流電源
３２  インピーダンス測定装置（ＬＣＲメータ）
Ｓ  被検査物
Ｓ１  導体
Ｓ２  絶縁体
ＳＴ  磁性金属異物
【図１】
2015219121.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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