(57)【要約】【課題】水平方向にアームが動作する水平多関節ロボットにおいて、比較的短時間で容易に、かつ、水平方向へハンドが精度良く動作するように設置することが可能な水平多関節ロボットを提供する。【解決手段】水平方向にアーム６が動作する水平多関節ロボット１は、搬送対象物が搭載されるハンド４、５と、ハンド４、５がその先端側に回動可能に連結されるハンド側アーム部１８とハンド側アーム部１８の基端側がその先端側に回動可能に連結される第２ハンド側アーム部１７との少なくとも２個のアーム部を有するアーム６と、アーム６の基端側が回動可能に連結される本体部７と、本体部７に取り付けられた水準器２３とを備えている。水準器２３は、少なくとも第２ハンド側アーム部１７に対するハンド側アーム部１８の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きが調整された後に、本体部７に取り付けられている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平方向にアームが動作する水平多関節ロボットにおいて、
搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドがその先端側に回動可能に連結されるハンド側アーム部と前記ハンド側アーム部の基端側がその先端側に回動可能に連結される第２ハンド側アーム部との少なくとも２個のアーム部を有する前記アームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えるとともに、
少なくとも前記第２ハンド側アーム部に対する前記ハンド側アーム部の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きが調整された後に、前記ハンド、前記アームまたは前記本体部に取り付けられた水準器を備えることを特徴とする水平多関節ロボット。
【請求項２】
前記ハンドには、前記搬送対象物が搭載される搭載面が形成され、
前記水準器は、水平方向に対する前記搭載面の傾きが調整された後に取り付けられていることを特徴とする請求項１記載の水平多関節ロボット。
【請求項３】
前記水準器は、気泡管を有する気泡管水準器であり、少なくとも前記第２ハンド側アーム部に対する前記ハンド側アーム部の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きが調整された後に、前記気泡管内の気泡が前記気泡管に印された基準線の中に収まるように取り付けられていることを特徴とする請求項１または２記載の水平多関節ロボット。
【請求項４】
前記水準器は、前記本体部に取り付けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか記載の水平多関節ロボット。
【請求項５】
搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドがその先端側に回動可能に連結されるハンド側アーム部と前記ハンド側アーム部の基端側がその先端側に回動可能に連結される第２ハンド側アーム部との少なくとも２個のアーム部を有するアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記ハンド、前記アームまたは前記本体部に取り付けられる水準器とを備え、水平方向に前記アームが動作する水平多関節ロボットの製造方法であって、
少なくとも前記第２ハンド側アーム部に対する前記ハンド側アーム部の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きを調整した後に、前記水準器を取り付けることを特徴とする水平多関節ロボットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水平方向にアームが動作する水平多関節ロボット、および、水平多関節ロボットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｆｒｏｎｔ  Ｅｎｄ  Ｍｏｄｕｌｅ）の一部を構成するとともにＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）と半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送する水平多関節ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の水平多関節ロボットは、半導体ウエハが搭載される２個のハンドと、２個のハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。アームは、本体部にその基端側が回動可能に連結される第１アームと、第１アームの先端側にその基端側が回動可能に連結される第２アームと、第２アームの先端側にその基端側が回動可能に連結されるとともにその先端側にハンドが回動可能に連結される第３アームとから構成されている。本体部の内部には、第１アームを昇降させるアーム昇降機構が収容されている。
【０００３】
また、従来、垂直多関節ロボットとして、ベースと、ベースに固定される胴体と、胴体に回動可能に連結される第１アームと、第１アームに回動可能に連結される第２アームと、第２アームに回動可能に連結される手首アームと、手首アームに回動可能に連結される手先アームとを備える垂直多関節ロボットが知られている（たとえば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の垂直多関節ロボットでは、第１アームおよび手先アームに原点位置調整用の水準器が取り付けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２３０２５６号公報
【特許文献２】実開昭６３−１４７７０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ＦＯＵＰは、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  ａｎｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ）規格に基づいて製造されており、ＦＯＵＰには、複数枚の半導体ウエハが一定のピッチで上下方向に重なるように収容されている。ＦＯＵＰに収容される複数の半導体ウエハの間には隙間が形成されているが、この隙間は比較的狭くなっている。ＦＯＵＰと半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送する水平多関節ロボットは、ＦＯＵＰに収容される複数枚の半導体ウエハの間の狭い隙間にハンドを入れてからハンドに半導体ウエハを搭載して取り出さなければならない。そのため、この水平多関節ロボットは、水平方向へハンドが精度良く動作するように精度良く設置されている必要がある。
【０００６】
水平多関節ロボットを精度良く設置するために、一般には、水平多関節ロボットの設置時に、アームがある方向へ伸びている状態、アームが他の方向へ伸びている状態およびアームが縮んでいる状態等の様々な状態に水平多関節ロボットの状態を変えながら、水準器を用いて各状態でのハンドの傾き等を調べ、水平方向へハンドが最適な動作を行うことができるように、水平多関節ロボットを設置している。そのため、半導体ウエハを搬送する水平多関節ロボットの設置には時間がかかる。また、この水平多関節ロボットが設置されるＥＦＥＭの筺体の内部はそれほど広くないため、水平多関節ロボットの設置作業も困難である。
【０００７】
そこで、本発明の課題は、水平方向にアームが動作する水平多関節ロボットにおいて、比較的短時間で容易に、かつ、水平方向へハンドが精度良く動作するように設置することが可能な水平多関節ロボットを提供することにある。また、本発明の課題は、水平方向にアームが動作する水平多関節ロボットの製造方法において、比較的短時間で容易に、かつ、水平方向へハンドが精度良く動作するように設置することが可能となる水平多関節ロボットの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明の水平多関節ロボットは、水平方向にアームが動作する水平多関節ロボットにおいて、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドがその先端側に回動可能に連結されるハンド側アーム部とハンド側アーム部の基端側がその先端側に回動可能に連結される第２ハンド側アーム部との少なくとも２個のアーム部を有するアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えるとともに、少なくとも第２ハンド側アーム部に対するハンド側アーム部の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きが調整された後に、ハンド、アームまたは本体部に取り付けられた水準器を備えることを特徴とする。
【０００９】
また、上記の課題を解決するため、本発明の水平多関節ロボットの製造方法は、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドがその先端側に回動可能に連結されるハンド側アーム部とハンド側アーム部の基端側がその先端側に回動可能に連結される第２ハンド側アーム部との少なくとも２個のアーム部を有するアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、ハンド、アームまたは本体部に取り付けられる水準器とを備え、水平方向にアームが動作する水平多関節ロボットの製造方法であって、少なくとも第２ハンド側アーム部に対するハンド側アーム部の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きを調整した後に、水準器を取り付けることを特徴とする。
【００１０】
本発明の水平多関節ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが回動可能に連結されるハンド側アーム部と、ハンド側アーム部が回動可能に連結される第２ハンド側アーム部とを備えるとともに、少なくとも第２ハンド側アーム部に対するハンド側アーム部の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きが調整された後に、ハンド、アームまたは本体部に取り付けられた水準器を備えている。また、本発明の水平多関節ロボットの製造方法では、少なくとも第２ハンド側アーム部に対するハンド側アーム部の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きを調整した後に、ハンド、アームまたは本体部に水準器を取り付けている。
【００１１】
そのため、本発明では、水平多関節ロボットを設置する際に、水平多関節ロボットに取り付けられた水準器が所定の状態を示すように水平多関節ロボットを設置することで、ハンドが回動可能に連結されるハンド側アーム部の、第２ハンド側アーム部に対する回動中心軸の鉛直方向に対する傾きが適切な傾きとなって、水平方向に対するハンドの傾きが適切な傾きとなるように、水平多関節ロボットを設置することが可能になる。したがって、本発明では、上述した従来の水平多関節ロボットの設置方法と比較して、比較的短時間で容易に、かつ、水平方向へハンドが精度良く動作するように水平多関節ロボットを設置することが可能になる。
【００１２】
本発明において、ハンドには、搬送対象物が搭載される搭載面が形成され、水準器は、水平方向に対する搭載面の傾きが調整された後に取り付けられていることが好ましい。このように構成すると、水平多関節ロボットに取り付けられた水準器が所定の状態を示すように水平多関節ロボットを設置することで、水平方向へハンドがより精度良く動作するように水平多関節ロボットを設置することが可能になる。
【００１３】
本発明において、たとえば、水準器は、気泡管を有する気泡管水準器であり、少なくとも第２ハンド側アーム部に対するハンド側アーム部の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きが調整された後に、気泡管内の気泡が気泡管に印された基準線の中に収まるように取り付けられている。この場合には、水平多関節ロボットを設置する際に、水準器の気泡管の中の気泡が基準線の中に収まるように水平多関節ロボットを設置することで、第２ハンド側アーム部に対するハンド側アーム部の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きが適切な傾きとなって、水平方向に対するハンドの傾きが適切な傾きとなるように、水平多関節ロボットを設置することが可能になる。
【００１４】
本発明において、水準器は、本体部に取り付けられていることが好ましい。アームやハンドに水準器が取り付けられていると、たとえば、水準器が気泡管水準器である場合、アームの伸縮状態に応じて、気泡管の中の気泡の位置が変動しやすくなるため、気泡が基準線の中に収まるように水平多関節ロボットを設置しても、設置時のアームの伸縮状態によっては、水平方向に対するハンドの傾きが適切な傾きとなるように、水平多関節ロボットを設置することができないおそれがある。これに対して、水準器が本体部に取り付けられていると、アームの伸縮状態が変わっても、気泡管の中の気泡の位置が変動しにくくなるため、気泡が基準線の中に収まるように水平多関節ロボットを設置することで、設置時のアームの伸縮状態にかかわらず、水平方向に対するハンドの傾きが適切な傾きとなるように、水平多関節ロボットを設置することが可能になる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明の水平多関節ロボットでは、比較的短時間で容易に、かつ、水平方向へハンドが精度良く動作するように水平多関節ロボットを設置することが可能になる。また、本発明の水平多関節ロボットの製造方法で製造された水平多関節ロボットでは、比較的短時間で容易に、かつ、水平方向へハンドが精度良く動作するように水平多関節ロボットを設置することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態にかかる水平多関節ロボットの斜視図である。
【図２】図１に示す水平多関節ロボットの、アームが上昇するとともに伸びている状態の斜視図である。
【図３】図１に示す水平多関節ロボットが使用される半導体製造システムの概略平面図である。
【図４】図１に示す水平多関節ロボットの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１８】
（水平多関節ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる水平多関節ロボット１の斜視図である。図２は、図１に示す水平多関節ロボット１の、アーム６が上昇するとともに伸びている状態の斜視図である。図３は、図１に示す水平多関節ロボット１が使用される半導体製造システム９の概略平面図である。図４は、図１に示す水平多関節ロボット１の側面図である。
【００１９】
本形態の水平多関節ロボット１は、搬送体対象物である半導体ウエハ２（図３参照）を搬送するためのロボットである。この水平多関節ロボット１は、半導体ウエハ２が搭載される２個のハンド４、５と、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に動作するアーム６と、アーム６の基端側が回動可能に連結される本体部７とを備えている。以下の説明では、水平多関節ロボット１を「ロボット１」とし、半導体ウエハ２を「ウエハ２」とする。また、以下の説明では、上下方向に直交する図１等のＸ方向を「左右方向」とし、上下方向および左右方向に直交するＹ方向を「前後方向」とするとともに、Ｘ１方向側を「右」側、Ｘ２方向側を「左」側、Ｙ１方向側を「前」側、Ｙ２方向側を「後（後ろ）」側とする。
【００２０】
図３に示すように、ロボット１は、半導体製造システム９に組み込まれて使用される。この半導体製造システム９は、ＥＦＥＭ１０と、ウエハ２に対して所定の処理を行う半導体ウエハ処理装置１１とを備えている。ＥＦＥＭ１０は、半導体ウエハ処理装置１１の前側に配置されている。ロボット１は、ＥＦＥＭ１０の一部を構成している。また、ＥＦＥＭ１０は、ＦＯＵＰ１２を開閉する複数のロードポート１３と、ロボット１が収容される筺体１４とを備えている。筺体１４は、左右方向に細長い直方体の箱状に形成されている。筺体１４の内部は、清浄空間となっている。すなわち、ＥＦＥＭ１０の内部は、清浄空間となっており、ＥＦＥＭ１０の内部では所定のクリーン度が確保されている。
【００２１】
ＦＯＵＰ１２は、ＳＥＭＩ規格に基づいて製造されており、ＦＯＵＰ１２には、２５枚または１３枚のウエハ２が上下方向に重なった状態で収容可能となっている。ロードポート１３は、筺体１４の前側に配置されている。本形態のＥＦＥＭ１０は、左右方向に所定のピッチで配列される４個のロードポート１３を備えており、ＥＦＥＭ１０では、４個のＦＯＵＰ１２が左右方向に所定のピッチで配列される。ロボット１は、４個のＦＯＵＰ１２と半導体ウエハ処理装置１１との間でウエハ２を搬送する。
【００２２】
アーム６は、その基端側が本体部７に回動可能に連結される第１アーム部１６と、第１アーム部１６の先端側にその基端側が回動可能に連結される第２アーム部１７と、第２アーム部１７の先端側にその基端側が回動可能に連結される第３アーム部１８とから構成されている。すなわち、アーム６は、互いに相対回動可能に連結される３個のアーム部を備えている。第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８は、中空状に形成されている。また、本形態では、第１アーム部１６の長さと、第２アーム部１７の長さと、第３アーム部１８の長さとが等しくなっている。本体部７と第１アーム部１６と第２アーム部１７と第３アーム部１８とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。本形態の第３アーム部１８は、ハンド側アーム部であり、第２アーム部１７は、第２ハンド側アーム部である。
【００２３】
ハンド４、５は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されており、第３アーム部１８に連結される連結部１９と、ウエハ２が搭載されるウエハ搭載部２０とから構成されている。ハンド４、５は、上下方向で重なるように配置されている。具体的には、ハンド４が上側に配置され、ハンド５が下側に配置されている。また、ハンド４、５は、第３アーム部１８よりも上側に配置されている。
【００２４】
連結部１９は、ハンド４、５の基端側部分を構成しており、第３アーム部１８の先端側に回動可能に連結されている。ウエハ搭載部２０は、ハンド４、５の先端側部分を構成しており、二股状に形成されている。ウエハ搭載部２０の上面は、ウエハ２が搭載される搭載面２０ａとなっている。すなわち、ハンド４、５には、搭載面２０ａが形成されている。連結部１９と第３アーム部１８との連結箇所には、水平方向に対する搭載面２０ａの傾きを微調整するための調整用ボルト（図示省略）が取り付けられている。また、連結部１９と第３アーム部１８との連結箇所には、調整用ボルトが螺合するネジ孔が形成されており、調整用ボルトのネジ孔へのネジ込み量によって、水平方向に対する搭載面２０ａの傾きが調整される。
【００２５】
なお、図３では、ハンド５の図示を省略している。また、本形態のロボット１の動作時には、ハンド４とハンド５とが上下方向で重なる場合もあるが、ほとんどの場合、ハンド４とハンド５とは、上下方向で重なっていない。たとえば、図３の二点鎖線で示すように、ハンド４がＦＯＵＰ１２の中へ入り込んでいるときには、ハンド５は、本体部７側へ回転しており、ＦＯＵＰ１２の中に入っていない。このときのハンド４に対するハンド５の回転角度は、たとえば、１２０°〜１５０°である。
【００２６】
本体部７は、筺体２１と、第１アーム部１６の基端側が回動可能に連結される柱状部材２２（図２参照）とを備えている。筺体２１は、上下方向に細長い略直方体状に形成されており、上下方向から見たときの筺体２１の形状は、略長方形状または略正方形状となっている。また、筺体２１の前面および後面は、上下方向と左右方向とから構成される平面に略平行になっており、筺体２１の左右の両側面は、上下方向と前後方向とから構成される平面に略平行になっている。また、筺体２１の底面は、上下方向に略直交する平面状に形成されている。
【００２７】
柱状部材２２は、上下方向の細長い柱状に形成されている。第１アーム部１６の基端側は、柱状部材２２の上端に回動可能に連結されている。筺体２１の内部には、柱状部材２２を昇降させるアーム昇降機構（図示省略）が収納されている。すなわち、筺体２１の内部には、本体部７に対して第１アーム部１６を昇降させる（すなわち、アーム６を昇降させる）アーム昇降機構が収納されている。このアーム昇降機構は、たとえば、上下方向を軸方向として配置されるボールネジ、このボールネジに係合するナット部材、および、ボールネジを回転させるモータ等によって構成されている。アーム昇降機構は、図１に示すように、柱状部材２２が筺体２１に収容される位置と、図２に示すように、柱状部材２２が筺体２１から上側に突出する位置との間で、アーム６および柱状部材２２を昇降させる。
【００２８】
柱状部材２２は、筺体２１の前端側に配置されている。また、左右方向において、柱状部材２２は、筺体２１の中心位置に配置されている。筺体２１の上端側には、上側に突出する突出部２１ａが形成されている。突出部２１ａは、柱状部材２２の左右両側および後ろ側を囲むように形成されている。突出部２１ａの上面は、上下方向に直交する平面状に形成されている。また、筺体２１の下端の四隅には、水平方向に対するロボット１全体の傾きを微調整するための調整用ボルト（図示省略）が取り付けられるボルト取付部２１ｂが形成されている。ボルト取付部２１ｂには、調整用ボルトが螺合するネジ孔が上下方向に貫通するように形成されており、調整用ボルトのネジ孔へのネジ込み量によって、水平方向に対するロボット１の傾きが調整される。
【００２９】
突出部２１ａの上面側には、図１、図２に示すように、水準器２３が取り付けられている。すなわち、本体部７には、水準器２３が取り付けられている。本形態の水準器２３は、気泡管を有する気泡管水準器である。具体的には、水準器２３は、上下方向から見たときの気泡管の形状が円形状となっているいわゆる目玉水準器（目玉水平器、全方向水準器）であり、上下方向から見たときの気泡管の中心に円形状の基準線が印されている。なお、水準器２３は、水平方向の一方向（たとえば、左右方向）の傾きを確認できる１軸型の気泡管水準器と、水平方向の一方向に直交する方向（たとえば、前後方向）の傾きを確認できる１軸型の気泡管水準器とが組み合わされた２軸型水準器等の目玉水準器以外の気泡管水準器であっても良い。
【００３０】
また、ロボット１は、第１アーム部１６および第２アーム部１７を回動させて第１アーム部１６と第２アーム部１７とからなるアーム６の一部を伸縮させるアーム部駆動機構と、第３アーム部１８を回転駆動する第３アーム駆動機構と、ハンド４を回転駆動する第１ハンド駆動機構と、ハンド５を回転駆動する第２ハンド駆動機構とを備えている。
【００３１】
アーム部駆動機構は、図４に示すように、駆動源となるモータ２５と、モータ２５の動力を減速して第１アーム部１６に伝達するための減速機２６と、モータ２５の動力を減速して第２アーム部１７に伝達するための減速機２７とを備えている。モータ２５は、筺体２１の内部に配置されている。減速機２６は、本体部７と第１アーム部１６とを繋ぐ関節部を構成している。減速機２７は、第１アーム部１６と第２アーム部１７とを繋ぐ関節部を構成している。減速機２６、２７は、たとえば、波動歯車装置であるハーモニックドライブ（登録商標）である。上述の特許文献１に記載された水平多関節ロボットと同様に、モータ２５と減速機２６とは、図示を省略するプーリおよびベルトを介して連結され、モータ２５と減速機２７とは、図示を省略するプーリおよびベルトを介して連結されている。
【００３２】
第３アーム部駆動機構は、図４に示すように、駆動源となるモータ２８と、モータ２８の動力を減速して第３アーム部１８に伝達するための減速機２９とを備えている。モータ２８は、第２アーム部１７の先端側の内部に配置されている。減速機２９は、第２アーム部１７と第３アーム部１８とを繋ぐ関節部を構成している。減速機２９は、たとえば、ハーモニックドライブ（登録商標）である。モータ２８と減速機２９とは、たとえば、図示を省略する歯車列を介して連結されている。
【００３３】
第１ハンド駆動機構は、図４に示すように、駆動源となるモータ３０と、モータ３０の動力を減速してハンド４に伝達するための減速機３１とを備えている。第２ハンド駆動機構は、第１ハンド駆動機構と同様に、駆動源となるモータ３２と、モータ３２の動力を減速してハンド５に伝達するための減速機３３とを備えている。モータ３０、３２および減速機３１、３３は、第３アーム部１８の内部に配置されている。減速機３１、３３は、たとえば、ハーモニックドライブ（登録商標）である。上述の特許文献１に記載された水平多関節ロボットと同様に、減速機３１は、モータ３０の出力軸に取り付けられ、減速機３３は、モータ３２の出力軸に取り付けられている。また、ハンド４の連結部１９と減速機３１とは、図示を省略するプーリおよびベルトを介して連結され、ハンド５の連結部１９と減速機３３とは、図示を省略するプーリおよびベルトを介して連結されている。
【００３４】
ロボット１の製造工程では、ハンド４、５とアーム６と本体部７とが連結されてロボット１が動作可能な状態になると、平面度が確保された所定の基準面上にロボット１が設置される。この状態では、水準器２３は、本体部７に取り付けられていない。その後、第２アーム部１７に対する第３アーム部１８の回動中心軸の上下方向（鉛直方向）に対する傾きが調整される。また、水平方向に対するハンド４、５の搭載面２０ａの傾きが調整される。
【００３５】
具体的には、アーム６がある方向へ伸びている状態、アーム６が他の方向へ伸びている状態、および、アーム６が縮んでいる状態等の様々な状態にロボット１の状態を変えながら、どの状態においても、第２アーム部１７に対する第３アーム部１８の回動中心軸が鉛直方向に対して所定の角度以上傾くことがないように、筺体２１のボルト取付部２１ｂに取り付けられた調整用ボルトによってロボット１全体の傾きを調整することで、第２アーム部１７に対する第３アーム部１８の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きが調整される。
【００３６】
また、様々な状態にロボット１の状態を変えながら、どの状態においても、水平方向に対する搭載面２０ａの傾きが水平方向に対して所定の角度以上傾くことがないように、連結部１９と第３アーム部１８との連結箇所に取り付けられた調整用ボルトによって、水平方向に対する搭載面２０ａの傾きが調整される。なお、上下方向におけるハンド４とハンド５との間隔も調整される。
【００３７】
これらの調整が終了すると、水準器２３が本体部７に取り付けられる。具体的には、水準器２３の気泡管内の気泡が気泡管に印された基準線の中に収まるように、水準器２３が本体部７に固定される。
【００３８】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、第２アーム部１７に対する第３アーム部１８の回動中心軸の鉛直方向に対する傾き、および、水平方向に対するハンド４、５の搭載面２０ａの傾きが調整された後に、水準器２３の気泡管内の気泡が気泡管に印された基準線の中に収まるように、本体部７に水準器２３が取り付けられている。そのため、本形態では、ＥＦＥＭ１０の筺体１４にロボット１を設置する際に、水準器２３の気泡管の中の気泡が基準線の中に収まるようにロボット１を設置することで、ハンド４、５が回動可能に連結される第３アーム部１８の第２アーム部１７に対する回動中心軸の鉛直方向に対する傾きが適切な傾きとなり、かつ、水平方向に対する搭載面２０ａの傾きが適切な傾きとなるように、ロボット１を設置することが可能になる。したがって、本形態では、比較的短時間で容易に、かつ、水平方向へハンド４、５が精度良く動作するようにロボット１を筺体１４に設置することが可能になる。
【００３９】
ここで、ハンド４、５やアーム６に水準器２３が取り付けられている場合には、アーム６の伸縮状態に応じて、水準器２３の気泡管の中の気泡の位置が変動しやすくなるため、気泡が基準線の中に収まるようにロボット１を筺体１４に設置しても、設置時のアーム６の伸縮状態によっては、水平方向へハンド４、５が精度良く動作するようにロボット１を筺体１４に設置することができないおそれがある。これに対して、本形態では、水準器２３が本体部７に取り付けられているため、アーム６の伸縮状態が変わっても、水準器２３の気泡管の中の気泡の位置が変動しにくくなる。したがって、本形態では、水準器２３の気泡が基準線の中に収まるようにロボット１を筺体１４に設置することで、設置時のアーム６の伸縮状態にかかわらず、水平方向へハンド４、５が精度良く動作するようにロボット１を筺体１４に設置することが可能になる。
【００４０】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００４１】
上述した形態では、第２アーム部１７に対する第３アーム部１８の回動中心軸の鉛直方向に対する傾き、および、水平方向に対するハンド４、５の搭載面２０ａの傾きが調整された後に、水準器２３の気泡管内の気泡が気泡管に印された基準線の中に収まるように、本体部７に水準器２３が取り付けられている。この他にもたとえば、第２アーム部１７に対する第３アーム部１８の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きが調整された後であって、かつ、水平方向に対する搭載面２０ａの傾きが調整されていない状態で、水準器２３の気泡管内の気泡が気泡管に印された基準線の中に収まるように、本体部７に水準器２３が取り付けられても良い。第２アーム部１７に対する第３アーム部１８の回動中心軸の鉛直方向に対する傾きが調整されていれば、水平方向に対するハンド４、５の傾きを抑制することが可能になるため、この場合であっても、水準器２３の気泡管の中の気泡が基準線の中に収まるようにロボット１を筺体１４に設置することで、水平方向へハンド４、５が精度良く動作するようにロボット１を筺体１４に設置することが可能になる。
【００４２】
上述した形態では、水準器２３は、本体部７に取り付けられている。この他にもたとえば、水準器２３は、アーム６に取り付けられても良いし、ハンド４またはハンド５に取り付けられても良い。また、上述した形態では、水準器２３は、気泡管水準器であるが、水準器２３は、たとえば、レーザ水準器やデジタル水準器等の気泡管水準器以外の水準器であっても良い。
【００４３】
上述した形態では、本体部７は、上下方向に細長い略直方体状に形成されているが、本体部７は、略円柱状に形成されても良いし、上下方向から見たときの形状が略六角形状や略八角形状となる多角柱状に形成されても良い。また、上述した形態では、第３アーム部１８の先端側に２個のハンド４、５が取り付けられているが、第３アーム部１８の先端側に１個のハンドが取り付けられても良い。また、上述した形態では、アーム６は、第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８の３個のアーム部によって構成されているが、アーム６は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されても良い。
【００４４】
上述した形態では、半導体製造システム９において、半導体ウエハ処理装置１１は、ＥＦＥＭ１０の後ろ側に配置されている。この他にもたとえば、半導体ウエハ処理装置１１は、ＥＦＥＭ１０の右側、左側または左右の両側に配置されても良い。たとえば、図３の二点鎖線で示すように、ＥＦＥＭ１０の右側に半導体ウエハ処理装置１１が配置されても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、ウエハ２を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、液晶用のガラス基板等の他の搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。
【符号の説明】
【００４５】
１  ロボット（水平多関節ロボット）
２  ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
４、５  ハンド
６  アーム
７  本体部
１７  第２アーム部（第２ハンド側アーム部）
１８  第３アーム部（ハンド側アーム部）
２０ａ  搭載面
２３  水準器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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