(57)【要約】      （修正有）【課題】アクチュエーターユニットの耐久性を向上させ、信頼性の高い液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供する。【解決手段】圧力室２１と、圧力室２１に圧力を発生させる振動板１０と、振動板１０に形成された圧電素子１１と、を備えるアクチュエーターユニットと、アクチュエーターユニットを収容して当該収容した空間を密閉したケース部１１０と、密閉されたケース部内の空間を動力により減圧させる減圧機構１３０と、を備える。【選択図】図２
2015033834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室と、前記圧力室に圧力を発生させる振動板と、前記振動板に形成された圧電素子と、を備えるアクチュエーターユニットと、
前記アクチュエーターユニットを収容して当該収容した空間を密閉したケース部と、
前記密閉されたケース部内の空間を動力により減圧させる減圧機構と、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記アクチュエーターユニットを直接あるいは間接的に搭載するプレートを備え、
前記ケース部は、前記プレートと接着することにより前記空間を密閉することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記減圧機構は、前記プレートに設けられた排気部を介して前記ケース部内の空間を減圧することを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記減圧機構は、前記ケース部に設けられた排気部を介して前記ケース部内の空間を減圧することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
一定方向に沿った一定範囲内を移動可能であり、前記一定範囲内の所定位置に設けられたキャップと接触可能な位置に移動し、前記ケース部内の空間と前記キャップ内の空間とが通じたときに、前記減圧機構が前記キャップを介して前記ケース部内の空間を減圧することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記圧力室へ供給される液体を貯留するリザーバーと、
前記リザーバー内の圧力変動に応じて変形するコンプライアンスプレートと、
前記コンプライアンスプレートの変形を可能とするために前記コンプライアンスプレートに隣接して確保された特定空間と、
前記特定空間を大気に開放する開放路と、を備え、
前記ケース部内の空間は、前記特定空間および開放路と遮断されていることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれかに記載の液体噴射ヘッドを有することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドは液体噴射を実現するために、圧力室と、圧力室に圧力を発生させる振動板と、振動板に形成された圧電素子とを備えるアクチュエーターユニットを有する。
関連技術として、インクを吐出する圧力を生成する圧電体素子を収納する封止ケースと乾燥ユニットを連結した際に、封止ケース及び乾燥ユニットの内部圧力が大気圧よりも低くなるように構成したインクジェットヘッドが知られている（特許文献１参照）。
また、圧電素子を覆うケース内に、多数の中空糸膜からなる中空糸膜エアドライヤーが配置され、コンプレッサーからの圧縮空気が中空糸膜の内部を通って、中空糸膜の他端から乾燥空気としてケース内に排出される構成が知られている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９‐２６２４２１号公報
【特許文献２】特開２００６‐２４８０７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧電素子は、多湿な環境では性能が劣化し易い。そのため、アクチュエーターユニットを搭載する製品において、圧電素子の周辺に水分が多く存在する状態を回避し、製品としての信頼性を向上させる必要があった。前記文献は、圧電素子の周囲を乾燥させるものであるが、上述したような圧電素子の劣化を防ぐためにさらなる工夫が求められていた。
【０００５】
本発明は少なくとも上述の課題を解決するためになされたものであり、アクチュエーターユニットの耐久性を向上させ、信頼性の高い液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の態様の一つは、圧力室と、前記圧力室に圧力を発生させる振動板と、前記振動板に形成された圧電素子と、を備えるアクチュエーターユニットと、前記アクチュエーターユニットを収容して当該収容した空間を密閉したケース部と、前記密閉されたケース部内の空間を動力により減圧させる減圧機構と、を備える。
【０００７】
当該構成によれば、アクチュエーターユニットを収容して密閉されたケース部内の空間を、減圧機構が動力により積極的に減圧する。これにより、当該空間内が低湿状態となり、アクチュエーターユニットの劣化が防止され、製品としての信頼性が高い液体噴射ヘッドが得られる。
【０００８】
本発明の態様の一つは、液体噴射ヘッドは、前記アクチュエーターユニットを直接あるいは間接的に搭載するプレートを備え、前記ケース部は、前記プレートと接着することにより前記空間を密閉する。
当該構成によれば、前記ケース部とプレートで囲まれた空間で、前記アクチュエーターユニットを密封することができる。
【０００９】
本発明の態様の一つは、前記減圧機構は、前記プレートに設けられた排気部を介して前記ケース部内の空間を減圧するとしてもよい。あるいは、前記減圧機構は、前記ケース部に設けられた排気部を介して前記ケース部内の空間を減圧するとしてもよい。
すなわち、前記ケース部内の空間と減圧機構とを接続する排気部は、減圧機構のサイズや重さを考慮して種々の位置に設けることができる。
【００１０】
本発明の態様の一つは、液体噴射ヘッドは、前記圧力室へ供給される液体を貯留するリザーバーと、前記リザーバー内の圧力変動に応じて変形するコンプライアンスプレートと、前記コンプライアンスプレートの変形を可能とするために前記コンプライアンスプレートに隣接して確保された特定空間と、前記特定空間を大気に開放する開放路と、を備え、前記ケース部内の空間は、前記特定空間および開放路と遮断されている。
当該構成によれば、減圧機構による減圧の影響を受けてコンプライアンスプレートの変形が阻害される可能性を排除できる。
【００１１】
本発明の態様の一つは、液体噴射ヘッドは、一定方向に沿った一定範囲内を移動可能であり、前記一定範囲内の所定位置に設けられたキャップと接触可能な位置に移動し、前記ケース部内の空間と前記キャップ内の空間とが通じたときに、前記減圧機構が前記キャップを介して前記ケース部内の空間を減圧する。
当該構成によれば、液体噴射ヘッドが前記キャップと接触可能な位置に移動したタイミングで減圧機構による減圧が実行される。つまり、液体噴射ヘッドに減圧機構を直接搭載する必要が無くなる。このような特徴は、液体噴射ヘッドの特徴と捉えても良いし、液体噴射ヘッドおよび減圧機構を有する製品の特徴と捉えても良い。
【００１２】
上述の各態様の液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置も、発明として捉えることができる。また、液体噴射ヘッドや液体噴射装置を製造する方法も発明として捉えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】液体噴射ヘッドの主要構成の一部を例示する分解斜視図である。
【図２】液体噴射ヘッドの一例にかかる一部断面図である。
【図３】液体噴射ヘッドの他の例にかかる一部断面図である。
【図４】インクジェットプリンターの一例を示す概略図である。
【図５】主走査方向に移動する液体噴射ヘッドを例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
図１は、本実施形態にかかる液体噴射ヘッド１４０の主要構成を、分解斜視図により例示している。ここでは、液体噴射ヘッド１４０は、インクを噴射（吐出）するインクジェット式記録ヘッドであるとして説明を行う。液体噴射ヘッド１４０は、複数の板状の部材が一定の積層方向に積層されて構成されている。また、液体噴射ヘッド１４０は、液体の流路を形成していることから、その全体あるいは一部を流路ユニットと呼ぶこともできる。図１の例では、液体噴射ヘッド１４０は、積層方向の一方側から他方側に向けて順に、振動板１０、圧力室プレート２０、連通プレート３０、シールプレート４０、リザーバープレート５０、コンプライアンスプレート６０、ノズルプレート７０を有する。
【００１５】
図１（および図２，３）では、これら各部材１０，２０，３０，４０，５０，６０，７０を便宜上区別して記載しているが、これら各部材１０，２０，３０，４０，５０，６０，７０は全てが個別の部材である必要はなく、それらの一部が一体的に生成されているとしてもよい。また、液体噴射ヘッド１４０は、これら各部材１０，２０，３０，４０，５０，６０，７０の一部を有さない構成であってもよいし、不図示の他の部材を有する構成であってもよい。以下では、積層方向をＺ方向と呼ぶ。また、Ｚ方向における振動板１０側を「上側」、ノズルプレート７０側を「下側」として説明を行う。
【００１６】
振動板１０は、圧力室プレート２０の上側の面を封止する。圧力室プレート２０は、液体の流路の一部としての圧力室２１を複数有する。圧力室２１は、圧力室プレート２０を貫通し、かつ、長尺状に形成されている。圧力室２１は、長手方向をＸ方向と平行とした状態で、Ｘ方向に直交するＹ方向に並設されている。Ｘ，Ｙ方向はいずれもＺ方向に対して垂直である。圧力室２１と圧力室２１との間は、隔壁２２により隔てられている。本願において、液体噴射ヘッド１４０の各構成の方向や位置について、平行、直交あるいは垂直等と表現した場合であっても、それらは厳密な平行や直交や垂直のみを意味するのではなく、製品性能上許容される程度の誤差や製品製造時に生じ得る程度の誤差なども含む意味である。
【００１７】
圧力室プレート２０の下側の面に対しては、連通プレート３０が接する。連通プレート３０は、圧力室２１の長手方向の一端側において各圧力室２１と一対一で連通する複数の第一連通孔３１と、当該長手方向の他端側において各圧力室２１と一対一で連通する複数の第二連通孔３２とを有する。第一連通孔３１および第二連通孔３２は、いずれも連通プレート３０を貫通している。
【００１８】
連通プレート３０の下側の面に対しては、シールプレート４０が接する。シールプレート４０は、圧力室２１の長手方向の一端側において各第一連通孔３１と一対一で連通する複数の第三連通孔４１と、当該長手方向の他端側において各第二連通孔３２と一対一で連通する複数の第四連通孔４２とを有する。第三連通孔４１および第四連通孔４２は、いずれもシールプレート４０を貫通している。
【００１９】
シールプレート４０の下側の面に対しては、リザーバープレート５０が接する。リザーバープレート５０は、各第四連通孔４２と一対一で連通する複数の第五連通孔５２と、リザーバー５１とを有する。第五連通孔５２およびリザーバー５１は、いずれもリザーバープレート５０を貫通している。リザーバー５１は、Ｙ方向において後述のノズル列７２の長さと同程度の長さが確保された形状となっている。またリザーバー５１は、上側において各第三連通孔４１と連通している。言い換えると、リザーバー５１は、上側が各第三連通孔４１と相対する範囲を除いてシールプレート４０によって封止されている。リザーバー５１は、共通液室あるいは共通インク室等と呼ぶこともできる。
【００２０】
リザーバープレート５０の下側の面に対しては、コンプライアンスプレート６０が接し、コンプライアンスプレート６０の下側の面に対しては、ノズルプレート７０が接する。コンプライアンスプレート６０は、各第五連通孔５２と一対一で連通する複数の第六連通孔６２を有する。第六連通孔６２は、コンプライアンスプレート６０を貫通している。コンプライアンスプレート６０は、上側の面によってリザーバー５１の下側を封止している。コンプライアンスプレート６０では、リザーバー５１を封止する範囲は、他の範囲よりも板厚が薄く形成されており、それを薄膜部６１と表記する。薄膜部６１は弾性を有する。薄膜部６１とノズルプレート７０との間には空間６３（図２参照）が確保されている。空間６３は、コンプライアンスプレート６０に隣接して確保された「特定空間」に該当する。薄膜部６１は、リザーバー５１内の圧力変動に応じて空間６３内で変形する（ノズルプレート７０側に撓む）ことにより、リザーバー５１内の圧力変動を和らげる役割を果たす。
【００２１】
ノズルプレート７０は、インクを噴射するための貫通孔としてのノズル７１を複数有する。上述の連通孔３２，４２，５２，６２は、各圧力室２１と各ノズル７１とを一対一で連通させるための流路である。従って図１（および図２，３）の例では、ノズル７１は、第六連通孔６２と一対一で連通する。ノズルプレート７０は、図１に例示したように、ノズル７１がＹ方向に沿って所定の間隔で並ぶノズル列７２を有している。ノズルプレート７０は、複数のノズル７１がＹ方向に沿って形成された複数のノズル列７２をＸ方向に並設し、一方のノズル列７２と他方のノズル列７２とをＹ方向においてずらして配置する（いわゆる千鳥配置とする）構成を採用してもよい。
【００２２】
図２は、液体噴射ヘッド１４０の一部断面図であって、図１に示した断面を含む断面図である。当該断面はＹ方向に垂直な面である。図２に示すように、一つの圧力室２１は、連通孔３２，４２，５２，６２，を介して、一つのノズル７１に連通する。また、振動板１０の圧力室プレート２０側と逆側の面には、圧力室２１の各位置に略対応して圧電素子１１が設けられている。圧電素子１１は、振動板１０側から順に第一電極１２、ＰＺＴ等のセラミックス材料からなる圧電体層１３、第二電極１４が積層されて構成されている。例えば、第二電極１４は、圧力室２１に対応する圧電素子１１毎に設けられた個別電極であり、第一電極１２は、複数の圧電素子１１に共通して設けられた共通電極である。
【００２３】
第二電極１４には、パターンやケーブル類（フレキシブル基板等）９０を介して制御回路基板１００が接続され、制御回路基板１００から駆動電圧が印加される。一方、第一電極１２は電位が所定レベル（例えばグラウンドレベル）に保持される。かかる構成により、圧電素子１１が駆動電圧に応じて変形する。リザーバー５１へは、図示しない液体供給経路を介して、外部から液体が供給される。リザーバー５１へ供給された液体は、一時的にリザーバー５１内に貯留されつつ、各連通孔４１，３１を介して各圧力室２１へ供給される。上述のような圧電素子１１の変形に伴い振動板１０が撓むことにより、圧力室２１内で圧力が高まり、かかる圧力の高まりに応じて圧力室２１内の液体がノズル７１から噴射される。このようなリザーバー５１からノズル７１へ至る液体の流路は、リザーバー５１側が上流側であり、ノズル７１側が下流側である。
【００２４】
圧力室２１を有する圧力室プレート２０と、圧力室２１に圧力を発生させる振動板１０と、振動板１０に形成された圧電素子１１とを含む構成は「アクチュエーターユニット」と呼ぶことができる。図２に示すように、アクチュエーターユニットの周囲は、ケース部１１０によって覆われている。具体的には、ケース部１１０は、開口の端部がリザーバープレート５０に接着されており、これによりケース部１１０内の空間１１０ａが密閉されている。密閉された空間１１０ａに、アクチュエーターユニット（図２の例では、さらに連通プレート３０およびシールプレート４０）が収容されている。また、リザーバープレート５０は、アクチュエーターユニットを直接あるいは間接的に搭載するプレートの一例に該当する。
【００２５】
液体噴射ヘッド１４０は、減圧機構１３０を備える。減圧機構１３０は、ケース部１１０の内外を繋ぐ排気部１２０に接続されている。排気部１２０は、単なる排気口であってもよいし、水分を通過させることが可能な素材（例えば、多孔質素材等）によって構成されていてもよい。また、排気部１２０は、本実施構成においてケース部１１０の圧電素子１１と平面的に重なる位置に配置されている。なお、ケース部１１０の一部は排気部１２０ではあるが、空間１１０ａは、排気部１２０以外の箇所はケース部１１０およびリザーバープレート５０によって閉じられており、かつ、排気部１２０は減圧機構１３０に接続しているため、実質的に密閉されていると言える。上述のケーブル類９０は、空間１１０ａ内の圧電素子１１と空間１１０ａ外の制御回路基板１００とを接続するため、ケース部１１０を貫通するが、当該貫通する箇所においても密閉処理が施されるものとする。尚、排気部１２０は、ケース部１１０の圧電素子１１や圧力室２１が配列している方向（Ｙ方向）に、複数設けられていてもよい。
【００２６】
このような構成において、減圧機構１３０は、動力により空間１１０ａを減圧させる。動力とは、例えばポンプ１３２であり、電源供給を受けて稼働するポンプ１３２によって、減圧機構１３０は空間１１０ａ内の気圧を下げる。ポンプ１３２としては、例えば、ダイヤフラムポンプを採用することができる。このとき、空間１１０ａ内の水分や水分を含んだ気体（ガス）は、排気部１２０および減圧機構１３０を介して外部へ排出される。つまり、減圧することで水分を低い温度で蒸発させ、かつ外部へ排出することにより、空間１１０ａ内の乾燥を促進させる。 
【００２７】
アクチュエーターユニットにおいては、液体で満たされる圧力室２１を振動板１０により封止している。振動板１０は、圧電素子１１の変形を受けて変位する量（変位量）を確保するために、極めて薄い板厚（例えば、数ミクロン）とされている。そのため、圧力室２１内の液体が、薄い振動板１０を介して外部に漏れ出す可能性がある。振動板１０を介して漏れ出した水分は、これを放置しておくと、圧電素子１１を劣化させ得る。このような状況において、本実施形態は、振動板１０を介して水分が漏れ出るおそれがあり且つ水分の付着により劣化し易い圧電素子１１が配置された空間（空間１１０ａ）を、確実に除湿する。これにより、アクチュエーターユニットの耐久性が向上し、信頼性の高い液体噴射ヘッド１４０が提供される。
【００２８】
液体噴射ヘッド１４０は、後述するように、液体噴射装置の一部を構成する。従って、減圧機構１３０に対して供給される電源は、液体噴射装置に供給される電源の一部である。減圧機構１３０が稼働する（空間１１０ａの減圧を行う）タイミングは種々考えられるが、例えば、液体噴射装置が電源オン状態である期間は、常に減圧機構１３０も稼働するとしてもよい。あるいは、液体噴射装置が電源オン状態であって、かつ液体噴射ヘッド１４０が稼働している期間に、減圧機構１３０も稼働するとしてもよい。あるいは、減圧機構１３０は、空間１１０ａ内の湿度が所定の目標値となるように稼働するとしてもよい。例えば、減圧機構１３０はＩＣを搭載し、また、空間１１０ａ内には湿度センサーが設けられる。当該ＩＣは、湿度センサーからの出力を監視し、当該出力が示す湿度が前記目標値に接近するように、減圧機構１３０の稼働を制御（例えば、フィードバック制御）するとしてもよい。
【００２９】
減圧機構１３０は、逆流防止のための逆流弁１３１を備える。逆流弁１３１を設けたことにより、減圧機構１３０が稼働を停止している期間も、空間１１０ａ内の気圧が減圧状態で保たれ、外部の空気が排気部１２０を介して空間１１０ａに流入することを防いでいる。
【００３０】
ここで、コンプライアンスプレート６０とノズルプレート７０によって挟まれた空間６３は、コンプライアンスプレート６０（薄膜部６１）が変形することを保障するために、密閉された空間ではなく大気に開放されている必要がある。かつ、空間６３は、コンプライアンスプレート６０（薄膜部６１）が変形することを保障するために、減圧機構１３０による減圧の影響を受けない空間である必要がある。そこで本実施形態では、図２に示すように、空間６３は、経路５３を介して大気へ開放された構成としている。経路５３は、例えばその一部がリザーバープレート５０内を通過する孔であり、空間６３および経路５３は、液体の流路や空間１１０ａと接しない（遮断された）経路である。つまり、ケース部１１０がプレート（実施構成ではリザーバープレート５０）と接合されて、密閉された空間１１０aを構成しているが、空間６３はケース部１１０が接合されたプレート（リザーバープレート５０）に対して、空間１１０aが構成される側と反対の側に離間して確保されており、リザーバー５１と平面的に重なる位置からケース部１１０で覆われない領域に向けて導出されている。これにより、コンプライアンスプレート６０の前記変形が保障され、流路内での液体の流れが適正化される。経路５３は、特定空間を大気に開放する開放路の一例に該当する。
【００３１】
経路５３の途中には、水分の大気への放出を抑制するための水分抵抗路８０が設けられている。空間６３へは、コンプライアンスプレート６０の薄膜部６１等を介してリザーバー５１内の水分が幾らか漏れ出ることがある。このように漏れ出た水分が経路５３を通じて大気へ放出されると、流路内の液体の粘度が上昇し、例えば液体がインクであれば、増粘したインクによる印刷が行われ、画質低下に繋がる。そこで、水分抵抗路８０が設けられている。水分抵抗路８０では、空気が通過する際、内部に無数に存在する微小な空間へ空気中の水分を閉じ込めることにより、水分が大気へ放出されることを抑制する。つまり、水分抵抗路８０の存在により、流路内の液体の増粘が抑制される。水分抵抗路８０の素材としては、例えば、エラストマー等が使用される。
【００３２】
ケース部１１０が接着されるプレートは、リザーバープレート５０以外のものであってもよい。つまり、アクチュエーターユニットを収容する空間１１０ａが密閉される構成であればよく、例えば、ケース部１１０は、連通プレート３０に接着されてもよいし、シールプレート４０に接着されてもよい。連通プレート３０やシールプレート４０も、アクチュエーターユニットを直接あるいは間接的に搭載するプレートの一例に該当する。さらには、ケース部１１０は、不図示の他の部材に対して接着されることで、結果的に空間１１０ａを密閉するものであってもよい。
また、排気部１２０は、ケース部１１０に形成されるとは限らない。例えば、排気部１２０は、アクチュエーターユニットを直接あるいは間接的に搭載するプレートの所定位置に形成されるとしてもよい。
【００３３】
図３は、排気部１２０がリザーバープレート５０に形成された例を、図２と同様に液体噴射ヘッド１４０の一部断面図により示している。図３の例では、リザーバープレート５０には、外部と空間１１０ａとを繋ぐ位置であってリザーバー５１や連通孔５２や経路５３と干渉しない位置に、貫通孔５４が形成されている。つまり、リザーバープレート５０において、リザーバー５１や第五連通孔５２を挟んだ両側に、空間６３を大気開放に通じさせる経路５３と排気部１２０に通じる貫通孔５４とが形成されて配置している。そして、貫通孔５４内に排気部１２０が設けられている。このような位置の排気部１２０に対して、外から減圧機構１３０が接続してもよい。言い換えると、減圧機構１３０は、アクチュエーターユニットを直接あるいは間接的に搭載するプレートに設けられた排気部１２０を介して空間１１０ａを減圧するとしてもよい。なお図３においては、減圧機構１３０の図示は省略している。このような図２，３は、減圧機構１３０の配設位置に複数の選択肢があることを示しているとも言える。
【００３４】
液体噴射ヘッド１４０は、インクカートリッジ等と連通するインク供給経路（液体供給経路）を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェットプリンター２００に搭載される。インクジェットプリンター２００は液体噴射装置の一例である。
【００３５】
図４は、インクジェットプリンター２００の一例を示す概略図である。インクジェットプリンター２００において、複数の液体噴射ヘッド１４０を有するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニット２０２）には、例えば、インクカートリッジ２０２Ａ，２０２Ｂ等が着脱可能に設けられる。ヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、キャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って（主走査方向に沿って）移動する。
【００３６】
装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しないローラー等により供給された印刷媒体Ｓがプラテン２０８上を搬送される。そして、搬送される印刷媒体Ｓに対して、液体噴射ヘッド１４０のノズル７１からインクが噴射され任意の画像が印刷媒体Ｓに印刷される。なお、インクジェットプリンター２００は、ヘッドユニット２０２が上記のように移動するものだけでなく、例えば、液体噴射ヘッド１４０が固定されて、印刷媒体Ｓを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターであってもよい。 
【００３７】
図５は、本実施形態の一変形例を示している。図５では、キャリッジ２０３に搭載されて主走査方向ＳＤに移動する液体噴射ヘッド１４０を示している。ただし、キャリッジ２０３の図示は省略している。主走査方向ＳＤは、Ｘ方向と平行であるとする。キャリッジ２０３に搭載された液体噴射ヘッド１４０は、主走査方向ＳＤに沿った一定範囲内を移動可能であり、当該一定範囲内には、キャップ２１０と接触可能な所定位置が含まれている。図５では、キャップ２１０と接触可能な所定位置にある液体噴射ヘッド１４０を、鎖線にて示している。キャップ２１０とは、ノズル７１のクリーニングに用いられる部材であり、インクジェットプリンター２００内に格納されている。また、キャップ２１０は、前記所定位置にある液体噴射ヘッド１４０に対して接近可能であり、液体噴射ヘッド１４０に最も接近した状態で、液体噴射ヘッド１４０のノズル面７３を封止する。
【００３８】
ノズル面７３とは、ノズルプレート７０におけるノズル７１が外部に開口した面である。図５で説明する変形例においては、キャップ２１０は、減圧機構１３０と接続している。また、当該変形例においては、前記排気部１２０は、液体噴射ヘッド１４０の表面におけるキャップ２１０によって封止される範囲内（例えば、ノズル形成面）に形成されているものとする。そして、減圧機構１３０は、液体噴射ヘッド１４０がキャップ２１０と接触可能な位置に移動し、かつ、キャップ２１０が液体噴射ヘッド１４０を封止したとき（ケース部１１０内の空間１１０ａとキャップ２１０内の空間とが通じたとき）、キャップ２１０を介して空間１１０ａ内を減圧する。そして、液体噴射ヘッド１４０の表面からキャップ２１０が離脱された際に、ケース部１１０内の空間１１０ａでの減圧状態が維持できるように、液体噴射ヘッド１４０側に逆流防止のための逆流弁が備えられている。このような変形例によれば、減圧機構１３０は、液体噴射ヘッド１４０に直接は搭載されていない。そのため、液体噴射ヘッド１４０が大型化したり重量が重くなったりすることを回避できる。また、キャップ２１０を用いたノズル７１のクリーニングを空間１１０ａの減圧と同時に実行することができる。
【００３９】
本発明は、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液体噴射ヘッドとしては、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレーやＦＥＤ（電解放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置にも本発明を適用することができる。
これまで説明した各種実施形態や変形例を組み合わせた構成も、本発明が開示する内容である。
【符号の説明】
【００４０】
１０…振動板、１１…圧電素子、２０…圧力室プレート、２１…圧力室、３０…連通プレート、４０…シールプレート、５０…リザーバープレート、５１…リザーバー、５３…経路、６０…コンプライアンスプレート、６１…薄膜部、６３…空間（特定空間）、７０…ノズルプレート、７１…ノズル、７２…ノズル列、７３…ノズル面、８０…水分抵抗路、１１０…ケース部、１１０ａ…空間、１２０…排気部、１３０…減圧機構、１４０…液体噴射ヘッド、２００…インクジェットプリンター、２１０…キャップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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