(57)【要約】【課題】リニアモータの本体部の取付け面に対するスプライン軸の走り平行度を向上させることができるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータを提供する。【解決手段】  本発明のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータは、本体部２に対して駆動軸３が直線運動するリニアモータ１と、リニアモータ１の駆動軸３から所定距離だけ離れて平行に配置されるスプライン軸６、及びスプライン軸６に多数のボール３８を介して軸方向に移動可能に組み付けられるナット５を有し、ナット５に相手部品に取り付けるための取付け部３４が形成されるハウジングを一体化するボールスプライン４と、リニアモータ１の本体部２に固定されると共に、取付け部３４を用いてボールスプライン４のナット５に固定される第一の連結部材８と、リニアモータ１の駆動軸３に固定されると共に、ボールスプライン４のスプライン軸６に固定される第二の連結部材９と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体部に対して駆動軸が直線運動するリニアモータと、
前記リニアモータの前記駆動軸から所定距離だけ離れて平行に配置されるスプライン軸、及び前記スプライン軸に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナットを有し、前記ナットに相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングを一体化するボールスプラインと、
前記リニアモータの前記本体部に固定されると共に、前記取付け部を用いて前記ボールスプラインの前記ナットに固定される第一の連結部材と、
前記リニアモータの前記駆動軸に固定されると共に、前記ボールスプラインの前記スプライン軸に固定される第二の連結部材と、を備えるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ。
【請求項２】
前記ナットは、
前記スプライン軸のスプライン溝に対向するボール転走溝、及び前記ボール転走溝に平行な転動体戻し部が形成されるナット本体と、
前記ナット本体の軸方向の両端面に取り付けられ、前記転動体転走溝の端部と前記転動体戻し部の端部を接続する方向転換部が形成される一対の蓋部材と、を有し、
前記ナット本体に前記ハウジングを一体化することを特徴とする請求項１に記載のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ。
【請求項３】
前記第一の連結部材は、前記ナット本体の前記両端面のうちの一方の端面に固定され、
前記一対の蓋部材のうちの一方の蓋部材は、前記ナット本体の前記一方の端面から軸方向に突出すると共に、前記第一の連結部材の内側に入ることを特徴とする請求項２に記載のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ。
【請求項４】
前記ナット本体には、前記一対の蓋部材の少なくとも一方の周囲を覆うように、前記ナット本体の前記両端面の少なくとも一方の端面から軸方向に突出する壁部が一体に設けられることを特徴とする請求項２又は３に記載のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ。
【請求項５】
前記ナット本体を軸方向に直交する断面で見たとき、
前記ナット本体の断面形状の外形は、四角形に形成されることを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ。
【請求項６】
前記ナット本体の前記取付け部は、前記ナット本体の前記両端面のうちの少なくとも一方の端面、又は前記壁部の先端面に設けられることを特徴とする請求項２ないし５のいずれかに記載のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ。
【請求項７】
本体部に対して駆動軸が直線運動するリニアモータと、前記リニアモータの前記駆動軸から所定距離だけ離れて平行に配置されるスプライン軸、及び前記スプライン軸に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナットを有し、前記ナットに相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングを一体化するボールスプラインと、を用意する工程と、
第一の連結部材を前記リニアモータの前記本体部に固定すると共に、前記第一の連結部材を前記取付け部を用いて前記ボールスプラインの前記ナットに固定する工程と、
第二の連結部材を前記リニアモータの前記駆動軸に固定すると共に、前記第二の連結部材を前記ボールスプラインの前記スプライン軸に固定する工程と、
を備えるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ボールスプラインを備えるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
出願人はこの種のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータとして、特許文献１に記載のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータを提案している。図１０に示すように、このボールスプライン付きリニアモータアクチュエータは、本体部５２に対して駆動軸５３が軸方向に直線運動するリニアモータ５１と、リニアモータ５１に平行に配置されるボールスプライン４７と、を備え、例えば部品実装機の一軸アクチュエータとして用いられる。ボールスプライン４７は電子部品等の移動体の直線運動を高精度に案内するために使用される。リニアモータ５１の駆動軸５３とボールスプライン４７のスプライン軸４６とはヘッドプレート４８で連結される。ボールスプライン４７のナット４１はハウジング４３に収容され、リニアモータ５１の本体部５２に連結プレート４９を介して連結される。リニアモータ５１の駆動軸５３が直線運動すると、ボールスプライン４７のスプライン軸４６がリニアモータ５１の駆動軸５３と一緒に直線運動する。
【０００３】
ボールスプライン付きリニアモータアクチュエータを部品実装機の一軸アクチュエータとして用いる場合、リニアモータ５１の本体部５２が部品実装機に装着される。リニアモータ５１の本体部５２には、部品実装機に取り付けられる取付け面５２ａが形成される。スプライン軸４６の先端部には、電子部品等の移動体を吸着するための吸着パッド（図示せず）が設けられる。移動体はリニアモータ５１の本体部５２の取付け面５２ａを基準面として一軸方向に直線運動する。リニアモータ５１の本体部５２にもブッシュ等のすべり軸受が設けられるが、すべり軸受であるがゆえに移動体の直線運動の案内精度をそれほど高くすることができない。案内精度を向上させるために、ボールの転がり運動を利用して案内するボールスプライン４７が用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−５７３５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータにおいては、図１１に示すように、ボールスプライン４７のナット４１をハウジング４３の穴に挿入し、接着剤を用いてハウジング４３の穴内に接着していた。しかし、ハウジング４３の穴内のすきまの遊び分だけ、ボールスプライン４７のナット４１が傾くおそれがあり、リニアモータ５１の本体部５２の取付け面５２ａに対するナット４１の取付け精度が出しにくい。それゆえ、リニアモータ５１の取付け面５２ａに対するスプライン軸４６の走り平行度が低下するという課題がある。ここで、走り平行度とは、リニアモータ５１の本体部５２の取付け面５２ａからスプライン軸４６までの距離が、直線運動するスプライン軸４６の位置に係わらずどの程度の許容範囲にあるかを数値で示したものである。
【０００６】
そこで、本発明は、リニアモータの本体部の取付け面に対するスプライン軸の走り平行度を向上させることができるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の一態様は、本体部に対して駆動軸が直線運動するリニアモータと、前記リニアモータの前記駆動軸から所定距離だけ離れて平行に配置されるスプライン軸、及び前記スプライン軸に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナットを有し、前記ナットに相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングを一体化するボールスプラインと、前記リニアモータの前記本体部に固定されると共に、前記取付け部を用いて前記ボールスプラインの前記ナットに固定される第一の連結部材と、前記リニアモータの前記駆動軸に固定されると共に、前記ボールスプラインの前記スプライン軸に固定される第二の連結部材と、を備えるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータである。
【０００８】
本発明の他の態様は、本体部に対して駆動軸が直線運動するリニアモータと、前記リニアモータの前記駆動軸から所定距離だけ離れて平行に配置されるスプライン軸、及び前記スプライン軸に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナットを有し、前記ナットに相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングを一体化するボールスプラインと、を用意する工程と、第一の連結部材を前記リニアモータの前記本体部に固定すると共に、前記第一の連結部材を前記取付け部を用いて前記ボールスプラインの前記ナットに固定する工程と、第二の連結部材を前記リニアモータの前記駆動軸に固定すると共に、前記第二の連結部材を前記ボールスプラインの前記スプライン軸に固定する工程と、を備えるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータの製造方法である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ボールスプラインのナットと相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングとを一体化し、ナットを第一の連結部材を介してリニアモータの本体部に連結するので、リニアモータの本体部の取付け面に対するナットの取付け精度を向上させることができる。したがって、リニアモータの本体部の取付け面に対するスプライン軸の走り平行度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータの斜視図
【図２】本実施形態の連結プレートに固定されるリニアモータの本体部及びナットを示す図（図２（ａ）は正面図を示し、図２（ｂ）は側面図を示す）
【図３】本実施形態のリニアモータの斜視図（一部断面を含む）
【図４】本実施形態のボールスプラインの斜視図
【図５】図５（ａ）は本実施形態のボールスプラインの平面図、図５（ｂ）は本実施形態のボールスプラインの正面図
【図６】本実施形態のボールスプラインの軸方向に沿った断面図
【図７】本実施形態のボールスプラインの軸方向に直交する断面図
【図８】本実施形態のボールスプラインのボール循環路の模式図
【図９】従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータと本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータとを比較する図（図９（ａ１）（ａ２）は従来例を示し、図９（ｂ１）（ｂ２）は本実施形態を示す）
【図１０】従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータの斜視図
【図１１】従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータのハウジングに収容されたナットを示す図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照して本発明の一実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータを説明する。図１は本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータの斜視図を示す。本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータは、リニアモータ１と、リニアモータ１から所定距離だけ離れて平行に配置されるボールスプライン４と、を備える。
【００１２】
リニアモータ１は、本体部としてのフォーサ２、フォーサ２に対して直線運動する駆動軸３と、を備える。リニアモータ１のフォーサ２には、部品実装機等に取り付けるための取付け面２ａが形成される。取付け面２ａには、雌ねじ７が埋め込まれる。ボールスプライン４は、ナット５と、ナット５に直線運動可能に支持されるスプライン軸６と、を備える。リニアモータ１のフォーサ２とボールスプライン４のナット５とは、第一の連結部材としての連結プレート８で連結される。リニアモータ１の駆動軸３とボールスプライン４のスプライン軸６とは、第二の連結部材としてのヘッドプレート９で連結される。
【００１３】
スプライン軸６の先端部には、電子部品等の移動体を吸着する吸着パッド（図示せず）が設けられる。リニアモータ１の駆動軸３を直線運動させると、駆動軸３と一緒にスプライン軸６が直線運動し、吸着パッドに吸着した移動体が直線運動する。リニアモータ１の駆動軸３の位置はセンサ２２によって検出される。本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータは、単一の一軸アクチュエータとして使用されることもあるし、複数組み合わせて多軸アクチュエータとして使用されることもある。
【００１４】
ヘッドプレート９は四角形の板状に形成される。連結プレート８には、駆動軸３が貫通する貫通穴８ａが空けられる。駆動軸３の直線運動を許容するように、貫通穴８ａの内周面と駆動軸３との間にはわずかなすきまが空く。連結プレート８には、スプライン軸６が貫通する貫通穴８ｂが空けられる。貫通穴８ｂには、後述するエンドキャップ３２ａが嵌められる。連結プレート８には、ボルト２４が通される複数の通し穴が形成される。連結プレート８は、ボルト２４等の結合手段によってリニアモータ１のフォーサ２及びボールスプライン４のナット５に固定される。
【００１５】
図２は、連結プレート８に固定されるリニアモータ１のフォーサ２及びボールスプライン４のナット５を示す。図２（ａ）はこれらの正面図を示し、図２（ｂ）はこれらの側面図を示す。図２（ｂ）において、ナット５の一部を断面図で示す。ナット５は、金属製のナット本体３１と、ナット本体３１の軸方向の両端面に取り付けられる一対の蓋部材としての一対のエンドキャップ３２ａ，３２ｂと、を備える。エンドキャップ３２ａ，３２ｂの外側には、ナット本体３１の内部に異物が入るのを防止するために、またナット本体３１の内部の潤滑剤を保持するためにシール３３が取り付けられる。軸方向に直交する断面で見たとき、ナット本体３１は外形が四角形に形成される（図１参照）。エンドキャップ３２ａ，３２ｂ及びシール３３は円形に形成される。
【００１６】
ナット本体３１は、取付け部としての雌ねじ３４が形成されるハウジングと一体化される。すなわち、ナット本体３１は単一の材料から製造される単一の部品であり、接着によって２部品を結合したものではない。ナット本体３１の軸方向の一方の端面３１ａが連結プレート８に接する。ナット本体３１の端面３１ａには、ナット本体３１を連結プレート８に固定するための雌ねじ３４が形成される。雌ねじ３４にはボルト２４がねじ込まれる。ナット本体３１の軸方向から見て、雌ねじ３４は外形が四角形のナット本体３１の端面３１ａの四隅にかつ円形のエンドキャップ３２ａの外側に配置される。エンドキャップ３２ａは、ナット本体３１の端面３１ａから軸方向に突出していて、連結プレート８の内側に入る。連結プレート８には、エンドキャップ３２ａ及びシール３３が入る貫通穴８ｂが空けられる。
【００１７】
ナット本体３１の軸方向の他方の端面３１ｂには、エンドキャップ３２ｂ及びシール３３が取り付けられる。ナット本体３１の端面３１ｂからは円筒状の壁部３１ｃが軸方向に突出する。壁部３１ｃは、ナット本体３１と同一の金属製であり、ナット本体３１と一体に形成される。壁部３１ｃは、エンドキャップ３１ｂの円筒形の側面の周囲を囲む。壁部３１ｃの軸方向の先端面は、シール３３の端面よりも軸方向に突出する。壁部３１ｃの先端面３１ｃ１には、雌ねじ３６が形成される（図９（ｂ１）（ｂ２）参照）。雌ねじ３６は、外形が四角形の壁部３１ｃの四隅にかつ外形が円形のエンドキャップ３２ｂの外側に配置される。
【００１８】
リニアモータ１の構造は以下のとおりである。図３は本実施形態のリニアモータ１の斜視図（一部断面図）を示す。駆動軸３は、中空のロッド１１と、ロッド１１の中空空間に収容される複数のマグネット１２と、を備える。ロッド１１は、例えばステンレス等の非磁性材料からなる。マグネット１２は円柱状に形成されていて、軸線方向に着磁される。ロッド１１の中空空間には、複数のマグネット１２が互いに同極が対向するように配列される。マグネット１２間には、例えば鉄等の磁性材料からなる磁極ブロック１３が介在する。
【００１９】
駆動軸３は中心線方向に配列された複数のコイル１５によって囲まれる。駆動軸３とコイル１５との間には磁気的なすきまが介在する。コイル１５は銅線を螺旋状に巻いたもので、コイルホルダ１６に保持されている。コイルホルダ１６の上面には複数のコイル１５に配線するための基板１７が設けられる。コイル１５、コイルホルダ１６、基板１７はフォーサ２によって覆われる。フォーサ２がリニアモータ１の本体部を構成する。フォーサ２は、例えばコイル１５、コイルホルダ１６及び基板１７を射出成型の金型にセットし、溶融した樹脂又は特殊セラミックスを流すインサート成型によって形成される。フォーサ２には、部品実装機に取り付けるための取付け面２ａが形成される。取付け面２ａには、雌ねじ７が設けられると共に、位置決めピンが挿入される位置決め凹部が形成される。
【００２０】
フォーサ２の中心線方向の両端部にはエンド部材１９ａ，１９ｂが設けられる。エンド部材１９ａ，１９ｂには、駆動軸３が軸方向に移動するのを案内するブッシュ２１が設けられる。ブッシュ２１は樹脂製である。駆動軸３はブッシュ２１の内周面を滑る。ブッシュ２１は駆動軸３がコイル１５に接触するのを防止し、これらの間に磁気的なすきまを介在させる役割を持つ。一方のエンド部材１９ａには、連結プレート８を固定するための雌ねじ（図示せず）が形成される。他方のエンド部材１９ｂには、駆動軸３の位置を検出するセンサ２２（図１参照）が取り付けられる。
【００２１】
ロッド１１内の中空空間には、円柱状の複数のマグネット１２が互いに同極が対向するように、すなわちＮ極とＮ極が、Ｓ極とＳ極とが対向するように配列される。駆動軸３の周囲には、複数のコイル１５が積層される。コイル１５はＵ・Ｖ・Ｗ相からなる三相コイルである。三相コイルに１２０°ずつ位相がずれる三相電流を流すと、駆動軸３に発生する磁束と三相コイルに流れる電流との相互作用によって駆動軸３に推力が発生する。これにより、駆動軸３がフォーサ２に対して軸方向に移動する。
【００２２】
ボールスプライン４の詳細な構造は以下のとおりである。図４は、ボールスプライン４の斜視図を示す。ボールスプライン４は、スプライン軸６と、スプライン軸６に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナット５と、を備える。スプライン軸６の外周面には、軸方向に伸びる複数条の、この実施形態では四条のスプライン溝６ａが形成される。ナット５は、ナット本体３１と、ナット本体３１の軸方向の両端面に取り付けられる蓋部材としてのエンドキャップ３２ａ，３２ｂと、を備える。ナット本体３１の断面形状の外形は、ナット本体３１の軸方向の全長に渡って四角形である。
【００２３】
図５（ａ）はボールスプライン４の平面図、図５（ｂ）は軸方向から見たボールスプライン４の正面図を示す。ナット本体３１の軸方向の両端面３１ａ，３１ｂには、一対のエンドキャップ３２ａ，３２ｂが取り付けられる（図６参照）。一方のエンドキャップ３２ａはナット本体３１から露出しており、他方のエンドキャップ３２ｂはナット本体３１の壁部３１ｃ内に埋め込まれる。
【００２４】
図６はボールスプライン４の軸方向に沿った断面図を示し、図７はボールスプライン４の軸方向に直交する断面図を示す。図６に示すように、ナット本体３１には、スプライン軸６のスプライン溝６ａに対向するボール転走溝３５が形成される。図７に示すように、ナット本体３１には、ボール転走溝３５に平行にボール戻し部３６が形成される。ボール戻し部３６もスプライン軸６に対向する溝からなる。図６に示すように、エンドキャップ３２ａ，３２ｂには、ボール転走溝３５の端部とボール戻し部３６の端部を接続するＵ字状の方向転換部３７が形成される。図７に示すように、方向転換部３７もスプライン軸６に対向する溝からなる。図８に示すように、ボール転走溝３５、ボール戻し部３６、一対の方向転換部３７から構成されるボール循環路には、多数のボール３８が配列される。
【００２５】
ナット５に対してスプライン軸６が直線運動すると、ボール３８がスプライン溝６ａとボール転走溝３５との間を圧縮荷重を受けながら転がり運動する。ボール転走溝３５の一端まで転がったボール３８は方向転換部３７に入り、荷重から開放されて１８０°方向転換し、ボール戻し部３６を反対方向に移動する。そして、反対側の方向転換部３７に入った後、再び元のボール転走溝３５に入る。
【００２６】
図９を参照しつつ、本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータの効果を説明する。図９（ａ１）（ａ２）は従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータを示し、図９（ｂ１）（ｂ２）は本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータを示す。図９（ａ１）（ｂ１）はボールスプライン付きリニアモータアクチュエータの側面図を示し、図９（ａ２）（ｂ２）は正面図を示す。
【００２７】
＜走り平行度＞図９（ｂ１）に示すように、本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータによれば、ボールスプライン４のナット５とハウジングとを一体化し、ナット５を連結プレート８を介してリニアモータ１のフォーサ２に連結するので、リニアモータ１のフォーサ２の取付け面２ａに対するスプライン軸６の走り平行度を向上させることができる。
【００２８】
＜寸法＞図９（ａ１）に示すように、従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータにおいては、ナット４１の飛び出し防止のために、蓋４２が必要になる。このため、蓋４２まで含めたハウジング４３の全長Ｌが長くなる。これに対して、図９（ｂ１）に示すように、本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータによれば、連結プレート８にナット５自体を固定するので、蓋４２に相当する部分が不要になる。しかも、エンドキャップ３２ａが連結プレート８に埋め込まれるので、ナット５の全長Ｌを短くすることができる。さらに、ナット本体３１の断面の外形を四角形に形成し、四角形の四隅に雌ねじ３４を形成することで、ナット本体３１の断面の外形を円形に形成する場合に比べて、ナット本体３１の半径方向の寸法も小さくすることができる。
【００２９】
＜組み立て性、メンテナンス性＞図９（ａ１）に示すように、従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータにおいては、ハウジング４３内にナット４１を挿入する際、樹脂製のエンドキャップ４４又は樹脂製のシール４５が金属製の連結プレート５８に接する。このため、エンドキャップ４４又はシール４５が変形して、スプライン軸５６の摺動抵抗の増加を招いたり、スプライン軸５６の動きに影響を与えたりする。これに対して、図９（ｂ２）に示すように、本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータによれば、金属製のナット５がボルト２４で連結プレート８に固定されるので、組み立て時に樹脂製のエンドキャップ３２ａ，３２ｂ又はシール３３が他の部品に接することがない。このため、組み立ての安定性が向上する。さらに、ハウジングにナット５を接着する必要がなくなるので、組立工数を大幅に削減することができる。ナット５に従来では困難であった給脂穴も設けることができるし、破損時にもナット５を容易に交換できるようになる。
【００３０】
＜ユーザ取付け＞図９（ａ２）に示すように、従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータにおいては、蓋４２を取り付けるためのねじ４６を必要とするので、蓋４２に他の部品を取り付けるための取付け面及び雌ねじを設けることができない。これに対して、図９（ｂ２）に示すように、本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータによれば、エンドキャップ３２ｂ及びシール３３がナット５の壁部３１ｃの内側に埋め込まれるので、ナット５の壁部３１ｃの先端面３１ｃ１に取付け面及び雌ねじ３６を設けることができ、ユーザが他の部品を取り付けることが容易になる。
【００３１】
なお、本発明は上記実施形態に具現化されるのに限られることはなく、本発明の要旨を変更しない範囲で様々な実施形態に具現化できる。
【００３２】
例えば、上記実施形態では、リニアモータの本体部にコイルが設けられ、駆動軸にマグネットが設けられているが、本体部にマグネットが設けられ、駆動軸にコイルが設けられてもよい。
【００３３】
上記実施形態では、一方のエンドキャップのみをナットの壁部で囲んでいるが、両方のエンドキャップをナットの壁部で囲むこともできる。この場合、ナットの壁部の先端面を連結プレートに固定することもできる。
【符号の説明】
【００３４】
１…リニアモータ，２…フォーサ（本体部），２ａ…取付け面，３…駆動軸，４…ボールスプライン，５…ナット，６…スプライン軸，６ａ…スプライン溝，８…連結プレート（第一の連結部材），９…ヘッドプレート（第二の連結部材），３１…ナット本体，３１ａ，３１ｂ…ナット本体の端面，３１ｃ…ナット本体の壁部，３１ｃ１…ナット本体の壁部の先端面，３２ａ，３２ｂ…エンドキャップ，３４…雌ねじ（取付け部），３５…ボール転走溝，３６…ボール戻し部，３８…ボール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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