(57)【要約】【課題】衝撃を受けた場合に圧電振動片が揺動するのを抑制でき、圧電振動片が動作不良を引き起こしたり、破損したり、サポータまたはリードから外れたりするのを抑制できる圧電デバイスを提供する。【解決手段】ベース２０を貫通する２本のリード３０と、このリード３０のそれぞれに取り付けられかつ圧電振動片１０を保持する２本のサポータ４０と、を有する圧電デバイス１０であって、サポータ４０の少なくとも一方は、長手方向に直交する断面が湾曲または折れ曲がった板状であり、リード３０に取り付けられる取付部４１ａ、４２ａと、圧電振動片１０を保持する保持部４１ｃ、４２ｃとの間の一部がクランク形状に屈曲された屈曲部４１ｂ、４２ｂを備え、サポータ４０のうち保持部４１ｄ、４２ｄを含む直線部４１ｃ、４２ｄは、直線部４１ｃ以外の部分に対して剛性が小さくなるように形成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースを貫通する２本のリードと、前記リードのそれぞれに取り付けられかつ圧電振動片を保持する２本のサポータと、を有する圧電デバイスであって、
前記サポータの少なくとも一方は、長手方向に直交する断面が湾曲または折れ曲がった板状であり、前記リードに取り付けられる取付部と、前記圧電振動片を保持する保持部との間の一部がクランク形状に屈曲された屈曲部を備え、
前記サポータのうち前記保持部を含む直線部分は、前記直線部分以外の部分に対して剛性が小さくなるように形成される圧電デバイス。
【請求項２】
前記サポータは、前記直線部分において長手方向に直交する断面の湾曲程度または折り曲げ程度を前記直線部分以外の部分に対して小さくすることにより、前記直線部分以外の部分に対して剛性を小さくする請求項１記載の圧電デバイス。
【請求項３】
前記サポータは、長手方向に直交する断面が半円状、Ｕ字状、Ｖ字状、またはコの字状である請求項１または請求項２記載の圧電デバイス。
【請求項４】
前記２本のサポータは、互いに対称となるようにそれぞれ屈曲された前記屈曲部を備える請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項５】
前記ベースにおける２本の前記リードの間隔は、前記２本のサポータの前記保持部同士の間隔より小さい請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項６】
前記圧電振動片は、励振電極が形成される平面部を備える板状であり、かつ前記ベースに対して、前記平面部を含む平面が前記ベースと交差する方向に配置され、
前記２本のサポータの前記保持部は、前記平面に沿って前記圧電振動片を挟むように配置される請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項７】
前記サポータは、前記平面に沿うように屈曲された前記屈曲部を備える請求項６記載の圧電デバイス。
【請求項８】
前記圧電振動片を含んだ空間を覆うように、前記ベースに取り付けられるカバーを備える請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
通信機器や計測機器、電子機器などにおいて、水晶振動子や水晶発振器などの圧電デバイスが搭載されている。このような圧電デバイスの一例として、ベースを貫通する２本のリードと、このリードのそれぞれに取り付けられかつ圧電振動片を保持する２本のサポータとを有する構成が知られている（特許文献１参照）。２本のサポータは、例えば平板状に形成されている。圧電デバイスに用いられる圧電振動片は、例えば導電性接着剤を介して２本のサポータに接合されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開昭６０−１９２５２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記構成において、圧電デバイスが落下などによって衝撃を受けるとサポータが弾性変形し、圧電振動片がベースに対して揺動する可能性がある。例えば平板状のサポータが用いられる場合、この揺動が大きくなることがある。この場合、圧電振動子とサポータとの間を接合する導電性接着剤に応力が加えられ、導電性接着剤にクラックが形成される可能性がある。クラックが形成されると、圧電振動片とサポータまたはリードとの間の接続状態が変化するため、圧電振動片の発振周波数が変動したり、圧電振動片が発振しなくなったりするなど、動作不良を引き起こす可能性がある。また、揺動時の衝撃によっては、圧電振動片が破損したり、サポータまたはリードから外れたりするおそれがある。
【０００５】
以上のような事情に鑑み、本発明は、衝撃を受けた場合に圧電振動片が揺動するのを抑制でき、圧電振動片が動作不良を引き起こしたり、破損したり、サポータまたはリードから外れたりするのを抑制できる圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明では、ベースを貫通する２本のリードと、このリードのそれぞれに取り付けられかつ圧電振動片を保持する２本のサポータと、を有する圧電デバイスであって、サポータの少なくとも一方は、長手方向に直交する断面が湾曲または折れ曲がった板状であり、リードに取り付けられる取付部と、圧電振動片を保持する保持部との間の一部がクランク形状に屈曲された屈曲部を備え、サポータのうち保持部を含む直線部分は、直線部分以外の部分に対して剛性が小さくなるように形成される。
【０００７】
また、サポータは、直線部分において長手方向に直交する断面の湾曲程度または折り曲げ程度を直線部分以外の部分に対して小さくすることにより、直線部分以外の部分に対して剛性を小さくしてもよい。また、サポータは、長手方向に直交する断面が半円状、Ｕ字状、Ｖ字状、またはコの字状であってもよい。また、２本のサポータは、互いに対称となるようにそれぞれ屈曲された屈曲部を備えてもよい。また、ベースにおける２本のリードの間隔は、２本のサポータの保持部同士の間隔より小さくてもよい。また、圧電振動片は、励振電極が形成される平面部を備える板状であり、かつベースに対して、平面部を含む平面がベースと交差する方向に配置され、２本のサポータの保持部は、平面に沿って圧電振動片を挟むように配置されてもよい。また、サポータは、平面に沿うように屈曲された屈曲部を備えてもよい。また、圧電振動片を含んだ空間を覆うように、ベースに取り付けられるカバーを備えてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、２本のサポータの少なくとも一方において長手方向に直交する断面が湾曲または折れ曲がった板状であるため、この２本のサポータの剛性が平板状のサポータに比べて高くなる。このため、圧電デバイスが落下等の衝撃を受けた場合、圧電振動片の揺動を低減できる。これにより、導電性接着剤にクラックが形成されるのを抑制できるため、圧電振動片が動作不良を引き起こすのを抑制できる。また、圧電振動片の揺動が低減されるため、圧電振動片が破損したり、圧電振動片がサポータまたはリードから外れたりするのを抑制できる。さらに、サポータのうち保持部を含む直線部分が、この直線部分以外の部分に対して剛性が小さくなるため、圧電振動片に対する応力を低減させ、経時変化等の影響を軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態に係る圧電デバイスの全体構成の一例を示す斜視図である。
【図２】（ａ）は圧電デバイスの一例を示す断面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線に沿った構成を示す断面図である。
【図３】サポータの一例を示す図である。
【図４】圧電デバイスに衝撃を加えた場合の一例を示す図であり、（ａ）は比較例、（ｂ）は実施形態の一例である。
【図５】実施形態の変形例に係るサポータの一例を示す図である。
【図６】実施形態の変形例に係るサポータの一例を示す図である。
【図７】実施形態の変形例に係るサポータの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、以下の実施形態では、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。また、図面においてハッチングした部分は金属膜及び接合材を表している。
【００１１】
以下、各図においてＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。以下のＸＹＺ座標系では、ＳＣカットの水晶ブランクの結晶軸（ｘ′軸、ｙ″軸、ｚ′軸）のうちｘ′軸に平行な方向をＸ方向とし、ｚ′軸に平行な方向をＺ方向とする。また、ＸＺ平面に垂直な方向（後述の水晶ブランク１１の厚さ方向）はＹ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるものとして説明する。
【００１２】
図１は、第１実施形態に係る圧電デバイス１００の全体構成の一例を示す斜視図である。図２（ａ）は、圧電デバイス１００の全体構成の一例を示す断面図である。図１及び図２（ａ）に示すように、圧電デバイス１００は、圧電振動片１０と、ベース２０と、リード３０と、サポータ４０と、カバー５０とを備えている。なお、図１は、所定の平面Ｐ１（後述）によってベース２０及びカバー５０を切断して内部を見たときの状態を示している。また、図２（ａ）は、カバー５０を切断して内部を見たときの状態を示している。
【００１３】
圧電振動片１０は、サポータ４０及びリード３０及びベース２０に支持されている。圧電振動片１０は、水晶ブランク１１と、励振電極１２、１３と、引出電極１４、１５とを有している。水晶ブランク１１としては、例えばＳＣカットの水晶基板が用いられる。ＳＣカットは、水晶の結晶軸（電気軸：ｘ軸、機械軸：ｙ軸、光学軸：ｚ軸）のうち、まずｙ軸に直交する平面を、ｘ軸を中心にして約３３°〜３５°回転し、さらに、この平面をこの位置からｚ軸を中心にして約２２°〜２４°回転したときの方向から切り出すものである。ＳＣカットの水晶ブランク１１には、新たな結晶軸（ｘ′軸、ｙ″軸、ｚ′軸）が設定される。
【００１４】
水晶ブランク１１は、円形に形成されている。水晶ブランク１１の＋Ｘ側は、直線状に切り欠かれている。この切り欠きは、例えば結晶方位の基準として形成してもよいし、励振電極１２、１３の形成時やサポータ４０（ベース２０）への取り付け時の位置基準として形成してもよい。
【００１５】
水晶ブランク１１は、平面部１１ａ及び１１ｂを有している。平面部１１ａ、１１ｂは、ＳＣカットによって切り出される面であり、水晶ブランク１１の結晶軸のうちｘ′軸とｚ′軸とを含む平面に平行である。よって、平面部１１ａ、１１ｂは、ＸＺ平面に平行である。
【００１６】
図２（ｂ）は、図２（ａ）におけるＡ−Ａ線に沿った構成を示す断面図である。図２（ａ）に示すように、平面Ｐ１は、平面部１１ａを含む平面である。平面Ｐ２は、平面部１１ｂを含む平面である。平面Ｐ１及び平面Ｐ２は、ＸＺ平面に平行である。圧電振動片１０は、平面Ｐ１及び平面Ｐ２の方向に配置されている。この平面Ｐ１及び平面Ｐ２は、ベース２０に交差している。このように、圧電振動片１０は、平面Ｐ１及び平面Ｐ２がベース２０に交差する方向に配置されている。したがって、圧電振動片１０は、ベース２０に対して立った状態で配置されている。
【００１７】
続いて、図１及び図２（ａ）に示すように、励振電極１２、１３は、それぞれ平面部１１ａ、１１ｂのほぼ中央に設けられている。励振電極１２、１３は、例えば円形に形成されるが、楕円や多角形など、他の形状であってもよい。励振電極１２と励振電極１３とは、Ｙ方向視において重なって配置されている。
【００１８】
引出電極１４は、励振電極１２のＸ方向の中央部から＋Ｚ方向に向けて延びている。引出電極１４は、平面部１１ａの外周部分まで引き出されている。引出電極１５は、励振電極１３のＸ方向の中央部から−Ｚ方向に向けて延びている。引出電極１５は、平面部１１ｂの外周部分まで引き出されている。このように、引出電極１４、１５は、励振電極１２、１３からそれぞれＺ方向について反対方向に引き出されている。
【００１９】
ベース２０は、圧電振動片１０の−Ｘ側に配置されている。ベース２０は、筐体２１と、充填部２２とを有している。筐体２１は、鉄やコバール（鉄、ニッケル、コバルトの合金）などの金属材料を用いて形成されている。筐体２１は、開口部２１ａ、２１ｂを有する。開口部２１ａ、２１ｂは、２本のリード３０を貫通させる。各リード３０と、開口部２１ａ、２１ｂとの間は、封止部２３ａ、２３ｂによって封止されている。封止部２３ａ、２３ｂは、例えばガラスなどの絶縁材料で形成されている。充填部２２は、筐体２１の内部に充填され、例えば樹脂やガラスなどの絶縁材料によって形成されている。ベース２０は、２本のリード３０を保持する。２本のリード３０は、例えばＺ方向に並んで設けられている。ベース２０と２本のリード３０との間には封止部２３ａ、２３ｂ及び充填部２２が設けられている。このため、ベース２０と２本のリード３０との間は、電気的に絶縁されている。２本のリード３０のうち１本は、グランドに接続されてもよい。以下、２本のリード３０のうち＋Ｚ側のリード３０を第１リード３１とし、−Ｚ側のリード３０を第２リード３２として説明する。
【００２０】
第１リード３１及び第２リード３２は、Ｘ方向にベース２０を貫通して配置されている。第１リード３１及び第２リード３２は、例えば円柱状に形成されるが、この形状に限定されない。第１リード３１の＋Ｘ側端部（インナーリード３１ａ）は、圧電振動片１０に向けてベース２０から突出している。同様に、第２リード３２の＋Ｘ側端部（インナーリード３２ａ）は、圧電振動片１０へ向けてベース２０から突出している。インナーリード３１ａとインナーリード３２ａとは、Ｚ方向に距離ｄ１の間隔を空けて配置されている。距離ｄ１は、水晶ブランク１１の径よりも小さくなっている。このため、例えばＸ方向視において、上記した圧電振動片１０は、インナーリード３１ａ、３２ａから＋Ｚ側及び−Ｚ側にそれぞれはみ出すように配置される。なお、距離ｄ１は、後述するサポータ４０の保持部同士のＺ方向の間隔（保持部４１ｄと保持部４２ｄとの距離ｄ２）よりも小さい。
【００２１】
サポータ４０は、例えば２本設けられ、Ｚ方向に圧電振動片１０を挟むように配置される（図１参照）。サポータ４０は、圧電振動片１０を支持する。サポータ４０は、平面Ｐ１（または平面Ｐ２）に沿って配置される（図２（ｂ）参照）。すなわち、サポータ４０は、後述するように所定の形状に屈曲されているが、屈曲方向が平面Ｐ１（または平面Ｐ２）に沿った方向に設定されている。このため、サポータ４０を構成する各部は、平面Ｐ１に平行なＸＺ平面に沿って配置される。
【００２２】
サポータ４０は、リード３０よりも剛性が低くなるように形成されている。サポータ４０は、例えばニッケルなどのフープ材をプレス加工して形成されるが、これに限定されず、例えば鋳造などによって形成されてもよい。以下、２本のサポータ４０のうち＋Ｚ側のサポータ４０を第１サポータ４１とし、−Ｚ側のサポータ４０を第２サポータ４２として説明する。
【００２３】
第１サポータ４１は、取付部４１ａと、屈曲部４１ｂと、直線部４１ｃと、保持部４１ｄとを有している。取付部４１ａは、第１リード３１のインナーリード３１ａに取り付けられている。取付部４１ａは、例えば溶接などによってインナーリード３１ａに接合されている。これにより、第１リード３１と第１サポータ４１との間が固定され、かつ電気的に接続されている。取付部４１ａは、Ｘ方向に沿って配置されている。
【００２４】
屈曲部４１ｂは、取付部４１ａと直線部４１ｃとの間に配置されている。屈曲部４１ｂは、２つの角部４１ｍ、４１ｎを有している。角部４１ｍでは、第１サポータ４１が＋Ｚ側に屈曲されている。なお、角部４１ｍにおける屈曲方向は、Ｚ方向に平行な方向となっているが、これに限られるものではなく、例えば＋Ｚ方向に対して＋Ｘ側に傾いた方向であってもよいし、＋Ｚ方向に対して−Ｘ側に傾いた方向であってもよい。また、角部４１ｎでは、第１サポータ４１が＋Ｘ方向に屈曲される。屈曲部４１ｂは、この２つの角部４１ｍ、４１ｎにより、クランク形状に形成されている。このクランク形状により、第１サポータ４１は、圧電振動片１０のうち第１リード３１よりも＋Ｚ側に配置される部分を保持可能となっている。
【００２５】
直線部４１ｃは、屈曲部４１ｎから＋Ｘ方向に延びている。直線部４１ｃは、Ｙ方向視において、圧電振動片１０の外周（または周縁部）の一部に重なる位置に配置されている。保持部４１ｄは、直線部４１ｃの一部に設けられている。保持部４１ｄは、直線部４１ｃのうち圧電振動片１０を保持する部分である。保持部４１ｄには、スリット部４１ｅが形成されている。スリット部４１ｅは、保持部４１ｃの幅方向（Ｙ方向）のほぼ中央に形成されている。スリット部４１ｅは、保持部４１ｃの＋Ｘ側端部から−Ｘ側端部にかけて、Ｘ方向に沿って形成されている。スリット部４１ｅのＹ方向の寸法は、圧電振動片１０の厚さ（Ｙ方向の寸法）よりも大きくなっている。スリット部４１ｅからは、圧電振動片１０の一部が＋Ｚ方向にはみ出している。このはみ出した部分には、水晶ブランク１１の周縁部と引出電極１４の一部とが含まれている。
【００２６】
保持部４１ｃの＋Ｚ側の面には、導電性接着剤６０が配置されている。導電性接着剤６０は、保持部４１ｃと、引出電極１４（スリット部４１ｅからはみ出した部分）との間を接合している。導電性接着剤６０により、第１サポータ４１と圧電振動片１０との間が固定される。また、導電性接着剤６０により、第１サポータ４１と引出電極１４との間が電気的に接続される。
【００２７】
図３（ａ）は、第１サポータ４１の構成を示す斜視図である。図３（ａ）では、第１サポータ４１以外の構成（圧電振動片１０やリード２０など）については省略している。図３（ａ）に示すように、第１サポータ４１は、長手方向に直交する断面が湾曲した板状に形成されている。第１サポータ４１は、取付部４１ａにおいては長手方向がＸ方向に設定され、屈曲部４１ｂのうち角部４１ｍと角部４１ｎとの間の部分においては長手方向がＺ方向に設定され、直線部４１ｃにおいては長手方向がＸ方向に設定されている。以下説明するように、第１サポータ４１は、取付部４１ａ、屈曲部４１ｂ及び直線部４１ｃの各部において、それぞれ長手方向に直交する断面が湾曲している。
【００２８】
図３（ｂ）は、平面α０に沿った取付部４１ａの断面４１αを示している。平面α０は、ＹＺ平面に平行な面であり、取付部４１ａの長手方向（Ｘ方向）に直交している。図３（ｂ）に示すように、断面４１αは、＋Ｚ方向に突出するように半円状に湾曲している。また、取付部４１ａは、Ｘ方向のほぼ全体に亘って、＋Ｚ方向に突出するように半円状に湾曲している。この構成により、取付部４１ａのＺ方向の剛性は、取付部４１ａが平板状に形成される場合に比べて大きくなっている。なお、取付部４１ａについては、平板状に形成されてもよい。
【００２９】
図３（ｃ）は、平面β０に沿った屈曲部４１ｂの断面４１βを示している。平面β０は、ＸＹ平面に平行な面であり、屈曲部４１ｂの長手方向（Ｚ方向）に直交している。図３（ｃ）に示すように、断面４１βは、−Ｘ方向に突出するように半円状に湾曲している。また、屈曲部４１ｂのうち角部４１ｍと角部４１ｎとの間の部分は、Ｚ方向のほぼ全体に亘って、−Ｘ方向に突出するように半円状に湾曲している。この構成により、屈曲部４１ｂのＸ方向の剛性は、屈曲部４１ｂが平板状に形成される場合に比べて大きくなっている。断面４１β（屈曲部４１ｂ）の湾曲程度（例えば曲率など）は、断面４１α（取付部４１ａ）の湾曲程度と同一であってもよいし、異なってもよい。
【００３０】
図３（ｄ）は、平面γ０に沿った直線部４１ｃの断面４１γを示している。平面γ０は、ＹＺ平面に平行な面であり、直線部４１ｃの長手方向（Ｘ方向）に直交している。図３（ｄ）に示すように、断面４１γは、＋Ｚ方向に突出するように円弧状に湾曲している。また、直線部４１ｃは、Ｘ方向のほぼ全体に亘って、＋Ｚ方向に突出するように円弧状に湾曲している。この構成により、直線部４１ｃの剛性は、直線部４１ｃが平板状に形成される場合よりも大きくなる。一方、断面４１γ（直線部４１ｃ）の湾曲程度は、直線部４１ｃ以外の部分（取付部４１ａ及び屈曲部４１ｂ）に対して小さくなっている。このため、直線部４１ｃの剛性は、取付部４１ａ及び屈曲部４１ｂの剛性よりも小さくなる。したがって直線部４１ｃでは、取付部４１ａ及び屈曲部４１ｂよりも弾性変形しやすく、圧電振動片１０への衝撃が緩和されるようになっている。
【００３１】
続いて、図２（ａ）に示すように、第２サポータ４２は、取付部４２ａと、屈曲部４２ｂと、直線部４２ｃと、保持部４２ｄとを有している。第２サポータ４２は、長手方向に直交する断面が湾曲した板状に形成されている。第２サポータ４２は、取付部４２ａにおいては長手方向がＸ方向に設定され、屈曲部４２ｂにおいては長手方向がＺ方向に設定され、直線部４２ｃにおいては長手方向がＸ方向に設定されている。第２サポータ４２は、取付部４２ａ、屈曲部４２ｂ及び直線部４２ｃの各部において、それぞれ長手方向に直交する断面が湾曲している。なお、本実施形態では、第２サポータ４２は、例えば第１サポータ４１と同一の形状を有しており、第１サポータ４１に対してＺ方向に対称となるように配置されているが、これに限られるものではなく、一部または全部の形状が第１サポータ４１と異なっていてもよい。
【００３２】
取付部４２ａは、例えば溶接によって第２リード３２のインナーリード３２ａに取り付けられている。これにより、第２リード３２と第２サポータ４２との間が固定され、かつ電気的に接続される。取付部４２ａは、Ｘ方向に沿って配置されており、第１サポータ４１の取付部４１ａとほぼ平行に配置される。
【００３３】
なお、取付部４２ａにおいて、ＹＺ平面（長手方向に直交する平面）に沿った断面が−Ｚ方向に突出するように半円状に湾曲した形状であってもよい。また、取付部４２ａは、Ｘ方向のほぼ全体に亘って、−Ｚ方向に突出するように半円状に湾曲した構成であってもよい。この場合、Ｚ方向についての取付部４２ａの剛性は、取付部４２ａが平板状に形成される場合に比べて大きくなる。なお、取付部４２ａについては、平板状に形成されてもよい。
【００３４】
屈曲部４２ｂは、取付部４２ａと直線部４２ｃとの間に配置されている。屈曲部４２ｂは、２つの角部４２ｍ、４２ｎを有している。角部４２ｍでは、第２サポータ４２が−Ｚ側に屈曲されている。なお、角部４２ｍにおける屈曲方向は、Ｚ方向に平行な方向となっているが、これに限られるものではなく、例えば−Ｚ方向に対して＋Ｘ側に傾いた方向であってもよいし、−Ｚ方向に対して−Ｘ側に傾いた方向であってもよい。また、角部４２ｎでは、第１サポータ４１が＋Ｘ方向に屈曲される。屈曲部４１ｂは、この２つの角部４１ｍ、４１ｎにより、クランク形状に形成されている。このクランク形状により、第１サポータ４１は、圧電振動片１０のうち第１リード３１よりも＋Ｚ側に配置される部分を保持可能となっている。
【００３５】
屈曲部４２ｂのうち角部４１ｍと角部４１ｎとの間の部分において、ＸＹ平面（長手方向に直交する平面）に沿った断面が−Ｘ方向に突出するように半円状に湾曲した形状であってもよい。また、屈曲部４２ｂのうち角部４２ｍと角部４２ｎとの間の部分は、Ｚ方向のほぼ全体に亘って、−Ｘ方向に突出するように半円状に湾曲した構成であってもよい。この場合、屈曲部４２ｂのＸ方向の剛性は、屈曲部４２ｂが平板状に形成される場合に比べて大きくなる。また、この場合において、屈曲部４２ｂの湾曲程度（例えば曲率など）は、取付部４２ａの湾曲程度と同一であってもよいし、異なってもよい。なお、屈曲部４２ｂの形状は、第１サポータ４１の屈曲部４１ｂの形状と異なってもよく、例えば平板状に形成されてもよい。
【００３６】
直線部４２ｃは、屈曲部４２ｎから＋Ｘ方向に延びており、第１サポータ４１の直線部４１ｃとほぼ平行に配置される。直線部４２ｃにおいて、ＹＺ平面（長手方向に直交する平面）に沿った断面が−Ｚ方向に突出するように円弧状に湾曲した形状であってもよい。また、直線部４２ｃは、Ｘ方向のほぼ全体に亘って、−Ｚ方向に突出するように円弧状に湾曲した構成であってもよい。この場合、Ｚ方向についての直線部４２ｃの剛性は直線部４２ｃが平板状に形成される場合よりも大きくなる一方で、ＹＺ平面による直線部４２ｃの断面の湾曲程度は直線部４２ｃ以外の部分（取付部４２ａ及び屈曲部４２ｂ）に対して小さくなる。このため、直線部４２ｃの剛性は、取付部４２ａ及び屈曲部４２ｂの剛性よりも小さくなる。したがって直線部４２ｃでは、取付部４２ａ及び屈曲部４２ｂよりも弾性変形しやすく、圧電振動片１０への衝撃が緩和されるようになる。
【００３７】
直線部４２ｃは、保持部４２ｄを有しており、Ｙ方向視において、圧電振動片１０の外周（または周縁部）の一部に重なる位置に配置されている。保持部４２ｄの形状やＸ方向の位置については、例えば第１サポータ４１の保持部４１ｄと異なる形状としてもよい。また、保持部４２ｄには、第１サポータ４１の保持部４１ｄと同様にスリット部４２ｅ（図１参照）が形成されており、スリット部４２ｅから圧電振動片１０の一部が−Ｚ方向にはみ出している。このはみ出した部分には、水晶ブランク１１の周縁部と引出電極１５の一部とが含まれている。
【００３８】
保持部４２ｄの−Ｚ側の面には、不図示の導電性接着剤が配置されている。導電性接着剤は、保持部４２ｄと、引出電極１５（スリット部からはみ出した部分）との間を接合している。この導電性接着剤により、第２サポータ４２と圧電振動片１０との間が固定され、第２サポータ４２と引出電極１５との間が電気的に接続される。なお、上記したように第２サポータ４２の保持部４２ｄと第１サポータ４１の保持部４１ｄとは、Ｚ方向に距離ｄ２の間隔を空けて配置されている。
【００３９】
カバー５０は、圧電振動片１０を含む空間Ｋを覆うようにベース２０に取り付けられている。カバー５０は、金属材料で形成されており、例えば銅材の表面にニッケル層を有する構成となっている。カバー５０とベース２０との間は、例えば抵抗溶接によって接合されている。
【００４０】
次に、圧電デバイス１００の製造方法を簡単に説明する。  
まず、ベース２０の筐体２１に形成される開口部２１ａに第１リード３１を貫通させ、開口部２１ｂに第２リード３２を貫通させた状態とする。この状態で、筐体２１の内部に樹脂やガラスなどの絶縁材料を溶融状態として充填させ、固化させることで充填部２２を形成する。充填部２２により、第１リード３１及び第２リード３２が保持される。充填部２２を形成した後、開口部２１ａと第１リード３１との間、開口部２１ｂと第２リード３２との間に溶融ガラスを充填させ、固化させることで封止部２３ａ、２３ｂを形成する。その後、第１リード３１及び第２リード３２の先端をそれぞれ所定の長さに切断して、インナーリード３１ａ、３２ａを形成する。
【００４１】
次に、ニッケルなどの金属で形成されたフープ材をプレス加工することで、第１サポータ４１及び第２サポータ４２を形成する。この場合、まず角部４１ｍ、４１ｎ及び角部４２ｍ、４２ｎを折り曲げて屈曲部４１ｂ、４２ｂを形成し、その後、取付部４１ａ、４２ａ、屈曲部４１ｂ、４２ｂ及び直線部４１ｃ、４２ｃを湾曲させるようにする。なお、先に湾曲部分を形成しておき、その後に角部４１ｍ、４１ｎ及び角部４２ｍ、４２ｎを折り曲げるようにしてもよい。また、スリット部４１ｅ、４２ｅについては、例えばプレス加工の前にフープ材の所定位置に形成しておく。その後、第１サポータ４１、第２サポータ４２を第１リード３１、第２リード３２に溶接する。
【００４２】
次に、圧電振動片１０と、第１サポータ４１及び第２サポータ４２とを接続する。圧電振動片１０については、例えば多面取りによって１枚の水晶基板から複数の圧電振動片１０を製造する。この場合、水晶基板の複数の領域に励振電極１２、１３や引出電極１４、１５をパターニングし、その後水晶基板をエッチングする。これにより、領域ごとに水晶ブランク１１、励振電極１２、１３、引出電極１４、１５を有する圧電振動片１０が得られる。このように形成した圧電振動片１０を、第１サポータ４１と第２サポータ４２との間に嵌め込み、第１サポータ４１及び第２サポータ４２のスリット部４１ｅ、４２ｅから圧電振動片１０の外周部をそれぞれはみ出させる。次に、第１サポータ４１の保持部４１ｄと圧電振動片１０の引出電極１４との間を導電性接着剤６０で接着する。同様に、第２サポータ４２の保持部４２ｄと圧電振動片１０の引出電極１６との間を導電性接着剤で接着する。その後、圧電振動片１０を含む空間Ｋを覆うようにカバー５０を装着させ、ベース２０との間を抵抗溶接で接合する。これにより、圧電デバイス１００が完成する。
【００４３】
図４（ａ）は、比較例に係る圧電デバイス１００Ｒに衝撃を加えたときの一例を示す図である。  
図４（ａ）に示すように、圧電デバイス１００Ｒでは、２本のサポータ４１Ｒ、４２Ｒが平板状に形成されている。この場合、サポータ４１Ｒ、４２Ｒは、長手方向に直交する断面が直線状（矩形状）に形成される。サポータ４１Ｒ、４２Ｒの−Ｘ側端部は、リード３１Ｒ、３２Ｒに取り付けられている。また、２本のサポータの＋Ｘ側端部は、圧電振動片１０Ｒを保持している。圧電振動片１０Ｒは、例えば導電性接着剤６０Ｒを介してサポータ４１Ｒ、４２Ｒの保持部に接合されている。サポータ４１Ｒ、４２Ｒは、リード３１Ｒ、３２Ｒよりも剛性が低くなるように形成されており、圧電デバイス１００Ｒが衝撃を受ける場合に弾性変形する。
このような圧電デバイス１００Ｒに落下等の衝撃が加えられた場合、圧電振動片１０Ｒが例えばカバー５０Ｒの内面５０Ｒａ側に揺動し、圧電振動片１０Ｒとサポータ４１Ｒとの接合部分が内面５０Ｒａに接触する場合がある。この接触により、圧電振動片１０Ｒの周波数が一時的に変動する場合がある。平板状のサポータ４１Ｒ、４２Ｒが用いられる場合、サポータ４１Ｒ、４２Ｒの厚さ方向の剛性が小さいため、この揺動が大きくなることがある。
【００４４】
また、圧電振動片１０ＲがＺ方向に揺動したり、内面５０Ｒａに衝突したりすることで、圧電振動片１０Ｒとサポータ４１Ｒとの間に設けられる導電性接着剤６０Ｒに応力が加えられ、導電性接着剤６０Ｒにクラックが形成される可能性がある。クラックが形成されると、導電性接着剤６０Ｒとサポータ４１Ｒとの接続状態が変化してしまい、例えば圧電振動片１０Ｒの発振周波数が変動したまま復帰しなくなったり、圧電振動片１０Ｒが発振しなくなったりと、動作不良を引き起こすおそれがある。揺動の大きさまたは内面５０Ｒａとの接触の衝撃によっては、圧電振動片１０Ｒが破損したり、サポータ４１Ｒ、４２Ｒから外れたりするおそれがある。
【００４５】
一方、図４（ｂ）は、本実施形態に係る圧電デバイス１００に衝撃を加えたときの一例を示す図である。  
図４（ｂ）に示すように、圧電デバイス１００に衝撃が加えられた場合、ベース２０からインナーリード３１ａ、３２ａ及び第１サポータ４１、第２サポータ４２を介して圧電振動片１０に衝撃の振動が伝達される。
【００４６】
このとき、第１サポータ４１及び第２サポータ４２では、取付部４１ａ、４２ａ、屈曲部４１ｂ、４２ｂ及び直線部４１ｃ、４２ｃの各部において、長手方向に直交する断面が湾曲されているため、平板状に形成される場合に比べて、この湾曲方向についての剛性が高くなる。したがって、第１サポータ４１及び第２サポータ４２を介して伝達される揺れが低減される。このため、圧電振動片１０が内面５０ａ、５０ｂに接触するのを抑制でき、圧電振動片１０の周波数が変動するのを防止できる。また、圧電振動片１０と第１サポータ４１及び第２サポータ４２との各接合部分への衝撃が低減されるため、導電性接着剤６０や圧電振動片１０が破損するのを抑制できる。
【００４７】
以上のように、本実施形態によれば、第１サポータ４１及び第２サポータ４２が、長手方向に直交する断面が湾曲した板状に形成されているため、平板状に形成される場合に比べて第１サポータ４１及び第２サポータ４２の剛性が高くなる。このため、圧電振動片１０に対してＺ方向の力が加えられる場合であっても、第１サポータ４１及び第２サポータ４２の揺動を低減できる。これにより、導電性接着剤６０にクラックが形成されるのを抑制できるため、圧電振動片１０が動作不良を引き起こすのを抑制できる。また、圧電振動片１０の揺動が低減されるため、圧電振動片１０が破損したり、圧電振動片１０がサポータ４０またはリード３０から外れたりするのを抑制できる。さらに、本実施形態によれば、第１サポータ４１のうち保持部４１ｄを含む直線部４１ｃ、及び第２サポータ４２のうち保持部４２ｄを含む直線部４２ｃは、これら直線部４１ｃ、４２ｃ以外の部分（取付部４１ａ、４２ａ、屈曲部４１ｂ、４２ｂ）に対して剛性が小さくなるように形成されるため、圧電振動片１０に対する応力を低減させ、経時変化等の影響を軽減できる。
【００４８】
＜変形例１＞  
実施形態の変形例を説明する。図５（ａ）〜（ｄ）は、サポータの一例を示す図である。図５（ａ）は、サポータ４３の構成を示す斜視図である。図５（ａ）に示すように、サポータ４３は、取付部４３ａと、屈曲部４３ｂと、直線部４３ｃと、保持部４３ｄとを有している。保持部４３ｄには、スリット部４３ｅが形成されている。サポータ４３は、上記実施形態における２つのサポータ４０（第１サポータ４１及び第２サポータ４２）の少なくとも一方に代えて用いることができる。
【００４９】
図５（ａ）に示すように、サポータ４３は、長手方向に直交する断面が湾曲した板状に形成されている。サポータ４３は、取付部４３ａにおいては長手方向がＸ方向に設定され、屈曲部４３ｂのうち角部４３ｍと角部４３ｎとの間の部分においては長手方向がＺ方向に設定され、直線部４３ｃにおいては長手方向がＸ方向に設定されている。以下説明するように、サポータ４３は、取付部４３ａ、屈曲部４３ｂ及び直線部４３ｃの各部において、それぞれ長手方向に直交する断面が湾曲している。
【００５０】
図５（ｂ）は、平面α１に沿った取付部４３ａの断面４３αを示している。平面α１は、ＹＺ平面に平行な面であり、取付部４３ａの長手方向（Ｘ方向）に直交している。図５（ｂ）に示すように、断面４３αは、＋Ｚ方向に突出するようにＵ字状に湾曲しており、湾曲部Ｃα及び２つの直線部Ｓαを有している。湾曲部Ｃαの曲率または直線部ＳαのＺ方向の寸法を調整することにより、断面４３αの湾曲程度を調整可能である。また、取付部４３ａは、Ｘ方向のほぼ全体に亘って、＋Ｚ方向に突出するようにＵ字状に湾曲している。この構成により、取付部４３ａのＺ方向の剛性は、取付部４３ａが平板状に形成される場合に比べて大きくなっている。
【００５１】
図５（ｃ）は、平面β１に沿った屈曲部４３ｂの断面４３βを示している。平面β１は、ＸＹ平面に平行な面であり、屈曲部４３ｂの長手方向（Ｚ方向）に直交している。図５（ｃ）に示すように、断面４３βは、−Ｘ方向に突出するようにＵ字状に湾曲しており、湾曲部Ｃβ及び２つの直線部Ｓβを有している。湾曲部Ｃβの曲率または直線部ＳβのＸ方向の寸法を調整することにより、断面４３βの湾曲程度を調整可能である。また、屈曲部４３ｂのうち角部４３ｍと角部４３ｎとの間の部分は、Ｚ方向のほぼ全体に亘って、−Ｘ方向に突出するようにＵ字状に湾曲している。この構成により、屈曲部４３ｂのＸ方向の剛性は、屈曲部４３ｂが平板状に形成される場合に比べて大きくなっている。断面４３β（屈曲部４３ｂ）の湾曲程度は、断面４３α（取付部４１ａ）の湾曲程度と同一であってもよいし、異なってもよい。
【００５２】
図５（ｄ）は、平面γ１に沿った直線部４３ｃの断面４３γを示している。平面γ１は、ＹＺ平面に平行な面であり、直線部４３ｃの長手方向（Ｘ方向）に直交している。図５（ｄ）に示すように、断面４３γは、＋Ｚ方向に突出するようにＵ字状に湾曲して湾曲しており、湾曲部Ｃγ及び２つの直線部Ｓγを有している。湾曲部Ｃγの曲率または直線部ＳγのＺ方向の寸法を調整することにより、断面４３γの湾曲程度を調整可能である。また、直線部４３ｃは、Ｘ方向のほぼ全体に亘って、＋Ｚ方向に突出するようにＵ字状に湾曲している。この構成により、直線部４３ｃの剛性は、直線部４３ｃが平板状に形成される場合よりも大きくなる。一方、断面４３γ（直線部４３ｃ）の湾曲程度（湾曲部Ｃγの曲率または直線部ＳγのＺ方向の寸法）は、直線部４３ｃ以外の部分（取付部４３ａ及び屈曲部４３ｂ）に対して小さくなっている。このため、直線部４３ｃの剛性は、取付部４３ａ及び屈曲部４３ｂの剛性よりも小さくなる。
【００５３】
このような構成によれば、サポータ４３は、長手方向に直交する断面が折れ曲がった板状に形成されているため、断面を湾曲させる場合に比べて、より高い剛性とすることができる。また、湾曲部Ｃα、Ｃβ、Ｃγの曲率または直線部Ｓα、Ｓβ、Ｓγの寸法を調整することによって断面４３α、４３β、４３γの湾曲程度を調整することができるため、サポータ４３の設計が容易可能となる。
【００５４】
＜変形例２＞  
実施形態の他の変形例を説明する。図６（ａ）〜（ｄ）は、サポータの一例を示す図である。図６（ａ）は、サポータ４４の構成を示す斜視図である。図６（ａ）に示すように、サポータ４４は、取付部４４ａと、屈曲部４４ｂと、直線部４４ｃと、保持部４４ｄとを有している。保持部４４ｄには、スリット部４４ｅが形成されている。サポータ４４は、上記実施形態における２つのサポータ４０（第１サポータ４１及び第２サポータ４２）の少なくとも一方に代えて用いることができる。
【００５５】
図６（ａ）に示すように、サポータ４４は、長手方向に直交する断面が折れ曲がった板状に形成されている。サポータ４４は、取付部４４ａにおいては長手方向がＸ方向に設定され、屈曲部４４ｂのうち角部４４ｍと角部４４ｎとの間の部分においては長手方向がＺ方向に設定され、直線部４４ｃにおいては長手方向がＸ方向に設定されている。サポータ４４は、取付部４４ａ、屈曲部４４ｂ及び直線部４４ｃの各部において、それぞれ長手方向に直交する断面が折れ曲がっている。
【００５６】
図６（ｂ）は、平面α２に沿った取付部４４ａの断面４４αを示している。平面α２は、ＹＺ平面に平行な面であり、取付部４４ａの長手方向（Ｘ方向）に直交している。図６（ｂ）に示すように、断面４４αは、＋Ｚ方向に突出するように折り曲げ角度θαでＶ字状に折れ曲がっている。折り曲げ角度θαを調整することにより、断面４４αの折り曲げ程度を調整可能である。また、取付部４４ａは、Ｘ方向のほぼ全体に亘って、＋Ｚ方向に突出するようにＶ字状に折れ曲がっている。この構成により、取付部４４ａのＺ方向の剛性は、取付部４４ａが平板状に形成される場合に比べて大きくなっている。
【００５７】
図６（ｃ）は、平面β２に沿った屈曲部４４ｂの断面４４βを示している。平面β２は、ＸＹ平面に平行な面であり、屈曲部４４ｂの長手方向（Ｚ方向）に直交している。図６（ｃ）に示すように、断面４４βは、−Ｘ方向に突出するように折り曲げ角度θβでＶ字状に折れ曲がっている。折り曲げ角度θβを調整することにより、断面４４βの折り曲げ程度を調整可能である。断面４４βの折れ曲がり角度θβは、断面４４αの折れ曲がり角度θαと同一であってもよいし、異なってもよい。また、屈曲部４４ｂのうち角部４４ｍと角部４４ｎとの間の部分は、Ｚ方向のほぼ全体に亘って、−Ｘ方向に突出するようにＶ字状に折れ曲がっている。この構成により、屈曲部４４ｂのＸ方向の剛性は、屈曲部４４ｂが平板状に形成される場合に比べて大きくなっている。
【００５８】
図６（ｄ）は、平面γ２に沿った直線部４４ｃの断面４４γを示している。平面γ２は、ＹＺ平面に平行な面であり、直線部４４ｃの長手方向（Ｘ方向）に直交している。図６（ｄ）に示すように、断面４４γは、＋Ｚ方向に突出するようにＶ字状に折れ曲がっている。折り曲げ角度θγを調整することにより、断面４４γの折り曲げ程度を調整可能である。また、直線部４４ｃは、Ｘ方向のほぼ全体に亘って、＋Ｚ方向に突出するように折り曲げ角度θγでＶ字状に折れ曲がっている。この構成により、直線部４４ｃの剛性は、直線部４４ｃが平板状に形成される場合よりも大きくなる。一方、断面４４γ（直線部４４ｃ）の折れ曲がり程度（折れ曲がり角度θγ）は、直線部４４ｃ以外の部分（取付部４４ａ及び屈曲部４４ｂ）に対して小さくなっている。このため、直線部４４ｃの剛性は、取付部４４ａ及び屈曲部４４ｂの剛性よりも小さくなる。
【００５９】
このような構成によれば、サポータ４４は、長手方向に直交する断面が折れ曲がった板状に形成されているため、断面を湾曲させる場合に比べて、より高い剛性とすることができる。
【００６０】
＜変形例３＞  
実施形態の他の変形例を説明する。図７（ａ）〜（ｄ）は、サポータの一例を示す図である。図７（ａ）は、サポータ４５の構成を示す斜視図である。図７（ａ）に示すように、サポータ４５は、取付部４５ａと、屈曲部４５ｂと、直線部４５ｃと、保持部４５ｄとを有している。保持部４５ｄには、スリット部４５ｅが形成されている。サポータ４５は、上記実施形態における２つのサポータ４０（第１サポータ４１及び第２サポータ４２）の少なくとも一方に代えて用いることができる。
【００６１】
図７（ａ）に示すように、サポータ４５は、長手方向に直交する断面が折れ曲がった板状に形成されている。サポータ４５は、取付部４５ａにおいては長手方向がＸ方向に設定され、屈曲部４５ｂのうち角部４５ｍと角部４５ｎとの間の部分においては長手方向がＺ方向に設定され、直線部４５ｃにおいては長手方向がＸ方向に設定されている。サポータ４５は、取付部４５ａ、屈曲部４５ｂ及び直線部４５ｃの各部において、それぞれ長手方向に直交する断面が折れ曲がっている。
【００６２】
図７（ｂ）は、平面α３に沿った取付部４５ａの断面４５αを示している。平面α３は、ＹＺ平面に平行な面であり、取付部４５ａの長手方向（Ｘ方向）に直交している。図７（ｂ）に示すように、断面４５αは、＋Ｚ方向に突出するようにコ字状に折れ曲がっており、２つの折り代Ｔαが形成されている。この折り代ＴαのＺ方向の寸法を調整することにより、断面４５αの折れ曲がり程度を調整可能である。また、取付部４５ａは、Ｘ方向のほぼ全体に亘って、＋Ｚ方向に突出するようにコ字状に折れ曲がっている。この構成により、取付部４５ａのＺ方向の剛性は、取付部４５ａが平板状に形成される場合に比べて大きくなっている。
【００６３】
図７（ｃ）は、平面β３に沿った屈曲部４５ｂの断面４５βを示している。平面β３は、ＸＹ平面に平行な面であり、屈曲部４５ｂの長手方向（Ｚ方向）に直交している。図７（ｃ）に示すように、断面４５βは、−Ｘ方向に突出するようにコ字状に折れ曲がっており、２つの折り代Ｔβが形成されている。この折り代ＴβのＸ方向の寸法を調整することにより、断面４５βの折れ曲がり程度を調整可能である。断面４５βの折り代ＴβのＸ方向の寸法は、断面４５αの折り代ＴαのＺ方向の寸法と同一であってもよいし、異なってもよい。また、屈曲部４５ｂのうち角部４５ｍと角部４５ｎとの間の部分は、Ｚ方向のほぼ全体に亘って、−Ｘ方向に突出するようにコ字状に折れ曲がっている。この構成により、屈曲部４５ｂのＸ方向の剛性は、屈曲部４５ｂが平板状に形成される場合に比べて大きくなっている。
【００６４】
図７（ｄ）は、平面γ３に沿った直線部４５ｃの断面４５γを示している。平面γ３は、ＹＺ平面に平行な面であり、直線部４５ｃの長手方向（Ｘ方向）に直交している。図７（ｄ）に示すように、断面４５γは、＋Ｚ方向に突出するようにコ字状に折れ曲がっており、２つの折り代Ｔγが形成されている。折り代ＴγのＺ方向の寸法を調整することにより、断面４５γの折れ曲がり程度を調整可能である。また、直線部４５ｃは、Ｘ方向のほぼ全体に亘って、＋Ｚ方向に突出するようにコ字状に折れ曲がっている。この構成により、直線部４５ｃの剛性は、直線部４５ｃが平板状に形成される場合よりも大きくなる。一方、断面４５γ（直線部４５ｃ）の折れ曲がりの程度（折り代ＴγのＸ方向の寸法）は、直線部４５ｃ以外の部分（取付部４５ａ及び屈曲部４５ｂ）に対して小さくなっている。このため、直線部４５ｃの剛性は、取付部４５ａ及び屈曲部４５ｂの剛性よりも小さくなる。
【００６５】
このような構成によれば、サポータ４５は、長手方向に直交する断面が折れ曲がった板状に形成されているため、断面を湾曲させる場合に比べて、より高い剛性とすることができる。
【００６６】
以上、圧電デバイスの実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。  
例えば、上記実施形態では、水晶ブランク１１として、ＳＣカット板が用いられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えばＡＴカット板が用いられた構成であってもよい。また、他の材料を用いて形成された構成であってもよい。
【００６７】
また、上記実施形態では、保持部４１ｄ、４２ｄが直線部４１ｃ、４２ｃの一部にＸ方向に沿って直線状に形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではない。例えば、直線部４１ｃ、４２ｃのうち保持部４１ｄ、４２ｄに相当する部分が圧電振動片１０側に折り曲げられた構成であってもよい。
【００６８】
また、上記の実施形態で説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。そのような変更または改良、省略した形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、上記した実施形態や変形例の構成を適宜組み合わせて適用することも可能である。
【符号の説明】
【００６９】
２０…ベース  ３０…リード  １０…圧電振動片  ４０…サポータ  １００…圧電デバイス  ４１α、４１β、４１γ、４２α、４２β、４２γ…断面  ４１ａ、４２ａ…取付部  ４１ｄ、４２ｄ…保持部  ４１ｂ、４２ｂ…屈曲部  ４１ｃ、４２ｂ…直線部分  １２、１３…励振電極  １１ａ、１１ｂ平面部  Ｐ１、Ｐ２…平面  Ｋ…空間  ５０…カバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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