(57)【要約】【課題】本発明の目的は、ガラス板搬送路からガラス板を一時的に退避させる際に、ガラス板にキズが形成されにくく、かつ、ガラス板から発塵が発生しにくいガラス板製造方法を提供することである。【解決手段】ガラス板製造方法は、ガラス板搬送路を搬送されるガラス板を一時的に退避させるバッファ工程を備える。バッファ工程は、浮上工程と、退避工程と、保持工程と、投入工程とを備える。浮上工程は、エアフロートパネルからガラス板に気体を吹き付けてガラス板を浮上させる。退避工程は、エアフロートパネルからガラス板に向かって気体を吹き付けながら、ガラス板をワイヤによって支持して持ち上げる。保持工程は、持ち上げられているガラス板を一時的に保持する。投入工程は、エアフロートパネルからガラス板に向かって気体を吹き付けながら、ガラス板を支持しているワイヤを下降させることで、エアフロートパネルの上にガラス板を浮上させる。【選択図】図５
2015230931.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板搬送路を搬送されるガラス板を前記ガラス板搬送路から一時的に退避させるバッファ工程を備えるガラス板製造方法であって、前記バッファ工程は、
前記ガラス板搬送路の途中に設置されるエアフロートパネルから前記ガラス板に気体を吹き付けて前記ガラス板を浮上させる浮上工程と、
前記エアフロートパネルから前記ガラス板に向かって前記気体を吹き付けながら、浮上している前記ガラス板の下方に配置されている複数のワイヤを上昇させることで、前記ガラス板を前記ワイヤによって支持して持ち上げる退避工程と、
前記ワイヤによって支持され持ち上げられている前記ガラス板を一時的に保持する保持工程と、
前記エアフロートパネルから前記ガラス板に向かって前記気体を吹き付けながら、前記ガラス板を支持している前記ワイヤを下降させることで、前記エアフロートパネルの上に前記ガラス板を浮上させ、前記ガラス板の下方に前記ワイヤを配置する投入工程と、
を備える、ガラス板製造方法。
【請求項２】
前記エアフロートパネルは、前記ワイヤが収納される空間であるワイヤ空間を有し、
前記退避工程は、前記ワイヤ空間に収納されている前記ワイヤを上昇させることで、前記ワイヤを前記ワイヤ空間から取り出し、浮上している前記ガラス板の下方の主表面に前記ワイヤを接触させて前記ガラス板を持ち上げ、
前記投入工程は、前記ガラス板を支持している前記ワイヤを下降させることで、前記ガラス板を前記エアフロートパネルの上に浮上させ、前記ガラス板の前記下方の主表面から前記ワイヤを離して前記ワイヤ空間に収納する、
請求項１に記載のガラス板製造方法。
【請求項３】
前記ワイヤは、
鉛直方向に複数段配置され、かつ、
ある高さ位置に配置される複数の第１ワイヤ、および、前記第１ワイヤより低い高さ位置に配置される複数の第２ワイヤを少なくとも含み、かつ、
第１ガラス板および第２ガラス板を少なくとも含む複数の前記ガラス板を支持し、
前記退避工程は、前記第１ワイヤを上昇させて前記第１ガラス板を持ち上げた後、前記第２ワイヤを上昇させて前記第２ガラス板を持ち上げ、
前記保持工程は、前記第１ガラス板および前記第２ガラス板を一時的に保持し、
前記投入工程は、前記第２ワイヤを下降させて前記第２ガラス板を前記エアフロートパネルの上に浮上させた後、前記第１ワイヤを下降させて前記第１ガラス板を前記エアフロートパネルの上に浮上させる、
請求項１または２に記載のガラス板製造方法。
【請求項４】
前記バッファ工程は、前記ガラス板が洗浄された後に、クリーンルームで行われる、
請求項１から３のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。
【請求項５】
前記ガラス板は、０．５ｍｍ以下の厚みを有する、
請求項１から４のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。
【請求項６】
ガラス板搬送路を搬送されるガラス板を前記ガラス板搬送路から一時的に退避させるバッファ装置を備えるガラス板製造装置であって、前記バッファ装置は、
前記ガラス板搬送路の途中に設置され、上方に気体を噴出するための噴出孔が形成された上端面を有するエアフロートパネルと、
鉛直方向に位置調整が可能である複数のワイヤと、
を備え、
前記エアフロートパネルは、前記上端面の上方を搬送される前記ガラス板に向かって前記噴出孔から前記気体を吹き付けて、前記ガラス板を浮上させ、
前記ワイヤは、
浮上している前記ガラス板の下方に配置されている場合において、前記噴出孔から前記気体が噴出されている状態で上昇することで、前記ガラス板を支持して持ち上げ、かつ、
持ち上げている前記ガラス板を一時的に保持し、かつ、
前記ガラス板を保持している場合において、前記噴出孔から前記気体が噴出されている状態で下降することで、前記エアフロートパネルの上に前記ガラス板を浮上させた状態で前記ガラス板の下方に配置される、
ガラス板製造装置。
【請求項７】
前記エアフロートパネルは、前記ワイヤが収納される空間であるワイヤ空間を有し、
前記ワイヤは、
前記ワイヤ空間に収納されている場合において、上昇することで、前記ワイヤ空間から取り出され、浮上している前記ガラス板の下方の主表面と接触して前記ガラス板を持ち上げ、
前記ガラス板を支持している場合において、下降することで、前記ガラス板を前記エアフロートパネルの上に浮上させ、前記ガラス板の前記下方の主表面から離れて前記ワイヤ空間に収納される、
請求項６に記載のガラス板製造装置。
【請求項８】
前記ワイヤ空間は、前記エアフロートパネルの前記上端面に形成される溝であり、
前記噴出孔は、前記ワイヤ空間に沿って形成されている、
請求項７に記載のガラス板製造装置。
【請求項９】
前記ワイヤは、
鉛直方向に複数段配置され、かつ、
ある高さ位置に配置される複数の第１ワイヤ、および、前記第１ワイヤより低い高さ位置に配置される複数の第２ワイヤを少なくとも含み、かつ、
第１ガラス板および第２ガラス板を少なくとも含む複数の前記ガラス板を支持し、
前記第２ワイヤは、前記第１ワイヤが上昇して前記第１ガラス板を持ち上げた後、上昇して前記第２ガラス板を持ち上げ、
前記第１ワイヤは、前記第２ワイヤが下降して前記第２ガラス板を前記エアフロートパネルの上に浮上させた後、下降して前記第１ガラス板を前記エアフロートパネルの上に浮上させる、
請求項６から８のいずれか１項に記載のガラス板製造装置。
【請求項１０】
前記ワイヤが取り付けられ、鉛直方向に位置調整が可能であるフレームをさらに備える、
請求項６から９のいずれか１項に記載のガラス板製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板製造方法およびガラス板製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイおよびプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造に用いられるガラス板は、例えば、オーバーフローダウンドロー法によって製造される。オーバーフローダウンドロー法では、成形体に流し込まれてオーバーフローした熔融ガラスが、成形体の表面を伝って流下し、成形体の下端の近傍で合流して、ガラス板が連続的に成形される。成形されたガラス板は、下方に引き延ばされながら冷却され、所定の大きさに切断される。切断されたガラス板は、所定の搬送路を搬送されながら、端面加工装置、表面洗浄装置および検査装置等を通過して、梱包されて出荷される。すなわち、ガラス板は、搬送されながら種種の処理ユニットを通過する。
【０００３】
このようなガラス板の製造工程では、ある処理ユニットに不具合が生じた場合、この処理ユニットを一時的に停止して不具合を解消するために、この処理ユニットの上流側においてガラス板を搬送路から一時的に退避させる必要がある。また、各処理ユニットのガラス板の処理能力が異なる場合、処理能力が低い処理ユニットの上流側において、処理前のガラス板を搬送路から一時的に退避させる必要がある。そのため、ガラス板の搬送路には、ガラス板を搬送路から一時的に退避させるためのバッファ装置が取り付けられる必要がある。
【０００４】
このようなバッファ装置としては、特許文献１（特開２００３−１６８７１３号公報）および特許文献２（特開２００４−３０４００３号公報）に開示されるように、ガラス板の搬送路の近傍に設置されガラス板を多段に収納できるバッファ筐体と、搬送路を搬送されるガラス板を把持してバッファ筐体内に搬入する搬送アームとを備えるものが知られている。このバッファ装置は、搬送アームを昇降させることによりバッファ筐体の任意の高さ位置にアクセス可能であり、これにより、バッファ筐体内に収納された複数のガラス板を所望の順序で搬送路に戻すことができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、ＦＰＤの大型化により、ＦＰＤの製造に用いられるガラス板も大型化の傾向にある。しかし、ガラス板は、大型化するほど取り扱いが難しくなる。例えば、搬送アームを用いてガラス板を把持する上述のバッファ装置では、ガラス板が大型化するほど、搬送アームと接触するガラス板表面の面積が増加する。そのため、搬送アームでガラス板を把持する際に、ガラス板表面にキズが形成されたり、ガラス板からガラスの微小な破片が発生したりするおそれがある。また、搬送アームを用いてガラス板を把持して一時的に退避させる方法は、必要な工程数が多く、製造工程全体の処理能力の低下につながりやすい。そのため、上述のバッファ装置は、ガラス板が大型化するほど、搬送路から正常にガラス板を退避させにくくなる。
【０００６】
本発明の目的は、ガラス板搬送路からガラス板を一時的に退避させる際に、ガラス板にキズが形成されにくく、かつ、ガラス板から発塵が発生しにくいガラス板製造方法およびガラス板製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るガラス板製造方法は、ガラス板搬送路を搬送されるガラス板をガラス板搬送路から一時的に退避させるバッファ工程を備える。バッファ工程は、浮上工程と、退避工程と、保持工程と、投入工程とを備える。浮上工程は、ガラス板搬送路の途中に設置されるエアフロートパネルからガラス板に気体を吹き付けてガラス板を浮上させる。退避工程は、エアフロートパネルからガラス板に向かって気体を吹き付けながら、浮上しているガラス板の下方に配置されている複数のワイヤを上昇させることで、ガラス板をワイヤによって支持して持ち上げる。保持工程は、ワイヤによって支持され持ち上げられているガラス板を一時的に保持する。投入工程は、エアフロートパネルからガラス板に向かって気体を吹き付けながら、ガラス板を支持しているワイヤを下降させることで、エアフロートパネルの上にガラス板を浮上させ、ガラス板の下方にワイヤを配置する。
【０００８】
このガラス板製造方法では、ワイヤによりガラス板を持ち上げてバッファリングする際においても、ガラス板の下主表面には、エアフロートパネルから気体が吹き付けられている。そのため、ガラス板の高さ位置および固有の形状が維持されながら、ガラス板は、ワイヤによって支持されて持ち上げられるので、バッファリング時にガラス板にかかる負荷が少ない。従って、このガラス板製造方法では、バッファリング時にガラス板にかかる負荷が少ないので、ガラス板にキズが形成されにくく、かつ、ガラス板から発塵が発生しにくい。
【０００９】
また、エアフロートパネルは、ワイヤが収納される空間であるワイヤ空間を有することが好ましい。この場合、退避工程は、ワイヤ空間に収納されているワイヤを上昇させることで、ワイヤをワイヤ空間から取り出し、浮上しているガラス板の下方の主表面にワイヤを接触させてガラス板を持ち上げる。投入工程は、ガラス板を支持しているワイヤを下降させることで、ガラス板をエアフロートパネルの上に浮上させ、ガラス板の下方の主表面からワイヤを離してワイヤ空間に収納する。
【００１０】
また、ワイヤは、鉛直方向に複数段配置されることが好ましい。この場合、ワイヤは、ある高さ位置に配置される複数の第１ワイヤ、および、第１ワイヤより低い高さ位置に配置される複数の第２ワイヤを少なくとも含む。ワイヤは、第１ガラス板および第２ガラス板を少なくとも含む複数のガラス板を支持する。退避工程は、第１ワイヤを上昇させて第１ガラス板を持ち上げた後、第２ワイヤを上昇させて第２ガラス板を持ち上げる。保持工程は、第１ガラス板および第２ガラス板を一時的に保持する。投入工程は、第２ワイヤを下降させて第２ガラス板をエアフロートパネルの上に浮上させた後、第１ワイヤを下降させて第１ガラス板をエアフロートパネルの上に浮上させる。
【００１１】
また、バッファ工程は、ガラス板が洗浄された後に、クリーンルームで行われることが好ましい。
【００１２】
また、ガラス板は、０．５ｍｍ以下の厚みを有することが好ましい。
【００１３】
本発明に係るガラス板製造装置は、ガラス板搬送路を搬送されるガラス板をガラス板搬送路から一時的に退避させるバッファ装置を備える。バッファ装置は、エアフロートパネルと、複数のワイヤとを備える。エアフロートパネルは、ガラス板搬送路の途中に設置され、上方に気体を噴出するための噴出孔が形成された上端面を有する。ワイヤは、鉛直方向に位置調整が可能である。エアフロートパネルは、上端面の上方を搬送されるガラス板に向かって噴出孔から気体を吹き付けて、ガラス板を浮上させる。ワイヤは、浮上しているガラス板の下方に配置されている場合において、噴出孔から気体が噴出されている状態で上昇することで、ガラス板を支持して持ち上げる。ワイヤは、持ち上げているガラス板を一時的に保持する。ワイヤは、ガラス板を保持している場合において、噴出孔から気体が噴出されている状態で下降することで、エアフロートパネルの上にガラス板を浮上させた状態でガラス板の下方に配置される。
【００１４】
このガラス板製造装置によるバッファリング工程では、ワイヤによりガラス板を持ち上げてバッファリングする際においても、ガラス板の下主表面には、エアフロートパネルから気体が吹き付けられている。そのため、ガラス板の高さ位置および固有の形状が維持されながら、ガラス板は、ワイヤによって支持されて持ち上げられるので、バッファリング時にガラス板にかかる負荷が少ない。従って、このガラス板製造装置によるバッファリング工程では、バッファリング時にガラス板にかかる負荷が少ないので、ガラス板にキズが形成されにくく、かつ、ガラス板から発塵が発生しにくい。
【００１５】
また、エアフロートパネルは、ワイヤが収納される空間であるワイヤ空間を有することが好ましい。この場合、ワイヤは、ワイヤ空間に収納されている場合において、上昇することで、ワイヤ空間から取り出され、浮上しているガラス板の下方の主表面と接触してガラス板を持ち上げる。ワイヤは、ガラス板を支持している場合において、下降することで、ガラス板をエアフロートパネルの上に浮上させ、ガラス板の下方の主表面から離れてワイヤ空間に収納される。
【００１６】
また、ワイヤ空間は、エアフロートパネルの上端面に形成される溝であることが好ましい。この場合、噴出孔は、ワイヤ空間に沿って形成されている。
【００１７】
また、ワイヤは、鉛直方向に複数段配置されることが好ましい。この場合、ワイヤは、ある高さ位置に配置される複数の第１ワイヤ、および、第１ワイヤより低い高さ位置に配置される複数の第２ワイヤを少なくとも含む。ワイヤは、第１ガラス板および第２ガラス板を少なくとも含む複数のガラス板を支持する。第２ワイヤは、第１ワイヤが上昇して第１ガラス板を持ち上げた後、上昇して第２ガラス板を持ち上げる。第１ワイヤは、第２ワイヤが下降して第２ガラス板をエアフロートパネルの上に浮上させた後、下降して第１ガラス板をエアフロートパネルの上に浮上させる。
【００１８】
また、ワイヤが取り付けられ、鉛直方向に位置調整が可能であるワイヤフレームをさらに備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るガラス板製造方法およびガラス板製造装置は、ガラス板搬送路からガラス板を一時的に退避させる際に、ガラス板にキズが形成されにくく、かつ、ガラス板から発塵が発生しにくい。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】ガラス板製造工程のフローチャートである。
【図２】バッファ装置の近傍の構成図である。
【図３】バッファ装置の平面図である。
【図４】バッファ装置の正面図である。
【図５】バッファ装置の側面図である。
【図６】浮上ユニットの外観図である。
【図７】ワイヤフレームの外観図である。
【図８】１枚のガラス板のバッファリング工程を説明する図である。
【図９】１枚のガラス板のバッファリング工程を説明する図である。
【図１０】２枚のガラス板のバッファリング工程を説明する図である。
【図１１】２枚のガラス板のバッファリング工程を説明する図である。
【図１２】２枚のガラス板のバッファリング工程を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の実施形態としてのガラス板製造方法について、図面を参照しながら説明する。本実施形態におけるガラス板製造方法は、ガラス板搬送路を搬送されるガラス板をガラス板搬送路から一時的に退避させるためのバッファ装置１００を用いる。
【００２２】
（１）ガラス板の製造工程の概要
本実施形態で用いられるバッファ装置１００によってガラス板搬送路から一時的に退避させられるガラス板１０の製造工程について説明する。ガラス板１０は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイおよび有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造に用いられる。ガラス板１０は、例えば、０.２ｍｍ〜０.８ｍｍの厚みを有し、かつ、縦６８０ｍｍ〜２２００ｍｍおよび横８８０ｍｍ〜２５００ｍｍのサイズを有する。
【００２３】
ガラス板１０の一例として、以下の（ａ）〜（ｊ）の組成を有するガラスが挙げられる。
【００２４】
（ａ）ＳｉＯ2：５０質量％〜７０質量％、
（ｂ）Ａｌ2Ｏ3：１０質量％〜２５質量％、
（ｃ）Ｂ2Ｏ3：１質量％〜１８質量％、
（ｄ）ＭｇＯ：０質量％〜１０質量％、
（ｅ）ＣａＯ：０質量％〜２０質量％、
（ｆ）ＳｒＯ：０質量％〜２０質量％、
（ｇ）ＢａＯ：０質量％〜１０質量％、
（ｈ）ＲＯ:５質量％〜２０質量％（Ｒは、Ｍｇ、Ｃａ、ＳｒおよびＢａから選択される少なくとも１種である。）、
（ｉ）Ｒ’2Ｏ:０質量％〜２．０質量％（Ｒ’は、Ｌｉ、ＮａおよびＫから選択される少なくとも１種である。）、
（ｊ）ＳｎＯ2、Ｆｅ2Ｏ3およびＣｅＯ2から選ばれる少なくとも１種の金属酸化物。
【００２５】
なお、上記の組成を有するガラスは、０．１質量％未満の範囲で、その他の微量成分の存在が許容される。
【００２６】
図１は、ガラス板１０の製造工程を表すフローチャートの一例である。ガラス板１０の製造工程は、主として、成形工程（ステップＳ１）と、採板工程（ステップＳ２）と、切断工程（ステップＳ３）と、粗面化工程（ステップＳ４）と、端面加工工程（ステップＳ５）と、洗浄工程（ステップＳ６）と、検査工程（ステップＳ７）と、梱包工程（ステップＳ８）とから構成される。
【００２７】
成形工程Ｓ１では、ガラス原料を加熱して得られた熔融ガラスから、ダウンドロー法またはフロート法によって、ガラスシートが連続的に成形される。成形されたガラスシートは、歪みおよび反りが発生しないように温度制御されながら、ガラス徐冷点以下まで冷却される。
【００２８】
採板工程Ｓ２では、成形工程Ｓ１で成形されたガラスシートが切断されて、所定の寸法を有する素板ガラスが得られる。
【００２９】
切断工程Ｓ３では、採板工程Ｓ２で得られた素板ガラスが切断されて、製品サイズのガラス板１０が得られる。素板ガラスは、レーザを用いて高い加工精度で切断される。
【００３０】
粗面化工程Ｓ４では、切断工程Ｓ３で得られたガラス板１０の表面粗さを増加させる粗面化処理が行われる。ガラス板１０の粗面化処理は、例えば、フッ化水素を含むエッチャントを用いるウエットエッチングである。
【００３１】
端面加工工程Ｓ５では、粗面化工程Ｓ４で粗面化処理が行われたガラス板１０の端面の面取り加工が行われる。面取り加工された端面の一部は、Ｒ形状を有する。端面加工工程Ｓ５は、端面加工装置１００によって行われる。
【００３２】
洗浄工程Ｓ６では、端面加工工程Ｓ５で端面加工処理が行われたガラス板１０が洗浄される。ガラス板１０には、素板ガラスの切断、および、ガラス板１０の端面加工によって生じた微小なガラス片や、雰囲気中に存在する有機物等の異物が付着している。ガラス板１０の洗浄によって、これらの異物が除去される。なお、ガラス板が洗浄液を用いて洗浄される場合、洗浄後にガラス板の表面が乾燥させられる。
【００３３】
検査工程Ｓ７では、洗浄工程Ｓ６で洗浄されたガラス板１０が検査される。具体的には、ガラス板１０の形状が測定され、ガラス板１０の欠陥が光学的に検知される。ガラス板１０の欠陥は、例えば、ガラス板１０の表面に存在する傷およびクラック、ガラス板１０の表面に付着している異物、および、ガラス板１０の内部に存在している微小な泡等である。
【００３４】
梱包工程Ｓ８では、検査工程Ｓ７における検査に合格したガラス板１０が、ガラス板１０を保護するための合紙と交互にパレット上に積層されて、梱包される。梱包されたガラス板１０は、ＦＰＤの製造業者等に出荷される。
【００３５】
切断工程Ｓ３で得られたガラス板１０は、ガラス板搬送路を搬送されながら、粗面化工程Ｓ４、端面加工工程Ｓ５、洗浄工程Ｓ６および検査工程Ｓ７を経て、梱包工程Ｓ８に送られる。本実施形態において、ガラス板１０の厚みは、０．５ｍｍ以下であり、より好ましくは０．４ｍｍ以下である。ガラス板１０の一辺の長さは、２０００ｍｍ以上である。
【００３６】
（２）バッファ装置の構成
図２は、本実施形態で用いられるバッファ装置１００の近傍の構成図である。バッファ装置１００は、洗浄工程Ｓ６を行う洗浄装置１１０と、検査工程Ｓ７を行う検査装置１２０との間に設置されるガラス板搬送路１３０の途中に取り付けられる。バッファ装置１００は、クリーンルームの内部に設置されている。バッファ装置１００は、ガラス板搬送路１３０を搬送されているガラス板１０を、ガラス板搬送路１３０から一時的に退避させるための装置である。検査装置１２０における検査工程、または、検査装置１２０よりも下流の工程において、ガラス板１０の処理が一時的に遅延すると、洗浄装置１１０において既に洗浄されたガラス板１０を、検査装置１２０に送ることができない場合がある。この場合、洗浄装置１１０において洗浄されたガラス板１０がクリーンルームの内部に蓄積されやすいので、バッファ装置１００を用いて、ガラス板搬送路１３０からガラス板１０を一時的に退避させる必要がある。
【００３７】
バッファ装置１００は、主として、エアフロートパネル２０と、複数のワイヤフレーム３０と、移動装置（図示せず）と、制御装置（図示せず）とを備える。図３は、バッファ装置１００の平面図である。図４は、図３に示される矢印ＩＶから見た、バッファ装置１００の正面図である。図５は、図３に示される矢印Ｖから見た、バッファ装置１００の側面図である。以下、図３〜５において、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」と呼び、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」と呼び、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」と呼ぶ。Ｘ軸方向は、水平面に平行な方向であり、かつ、ガラス板１０が搬送される方向である。Ｙ軸方向は、水平面に平行な方向であり、かつ、Ｘ軸方向に直交する方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に直交する方向であり、かつ、鉛直方向である。
【００３８】
（２−１）エアフロートパネル
エアフロートパネル２０は、ガラス板１０の下方の主表面である下主表面に気体を吹き付けてガラス板１０を浮上させる装置である。エアフロートパネル２０は、主として、複数の浮上ユニット２２から構成される。エアフロートパネル２０は、ガラス板１０をＸ軸方向に搬送するための搬送装置（図示せず）を備えている。
【００３９】
図６は、浮上ユニット２２の外観図である。浮上ユニット２２は、図６に示されるように、Ｙ軸方向に延びている形状を有している。浮上ユニット２２は、主として、上端面２２ａと、噴出孔２２ｂとを有する。浮上ユニット２２は、上端面２２ａが水平面と平行になるように設置されている。上端面２２ａのＸ軸方向の寸法は、４０ｃｍ〜５０ｃｍである。浮上ユニット２２は、Ｘ軸方向に沿って一定の間隔を空けて配置されている。すなわち、Ｘ軸方向に沿って隣り合っている２つの浮上ユニット２２の間には、隙間が形成されている。以下、この隙間をワイヤ空間２４と呼ぶ。ワイヤ空間２４は、Ｙ軸方向に延びている細長い空間である。ワイヤ空間２４は、エアフロートパネル２０に形成される溝と見なすことができる。
【００４０】
噴出孔２２ｂは、上端面２２ａに形成され、Ｙ軸方向に延びている細長い孔である。図６に示されるように、噴出孔２２ｂは、浮上ユニット２２のＸ軸方向の両端部に形成されている。噴出孔２２ｂは、上方に向かって、圧縮空気等の気体を噴出するための孔である。噴出孔２２ｂから噴出される気体は、ガラス板１０の下主表面に衝突する。これにより、ガラス板１０は、鉛直方向上向きの力を受ける。この上向きの力は、ガラス板１０を上端面２２ａから浮上させる。すなわち、上端面２２ａは、浮上しているガラス板１０の下主表面と対向する面である。浮上しているガラス板１０の下主表面と、浮上ユニット２２の上端面２２ａとの間の距離は、噴出孔２２ｂから噴出される気体の流量および流速によって決定され、例えば、０．５ｍｍ〜２．０ｍｍであり、好ましくは１．０ｍｍ〜１．５ｍｍである。
【００４１】
エアフロートパネル２０の上方で浮上しているガラス板１０は、ガラス板１０の自重および大気圧により作用する下向きの力と、噴出孔２２ｂから噴出される気体により作用する上向きの力とが釣り合った状態にある。また、ガラス板１０の下主表面の近傍の空間では、噴出孔２２ｂから噴出される気体による乱流が発生する。この気体の乱流によって、ガラス板１０の下主表面は粘性抵抗を受けやすく、ガラス板１０の下主表面の近傍の空間では気体が自由に拡散できない状態にあるので、ガラス板１０は、下主表面において、気流に対する抵抗力を受けていると考えられる。
【００４２】
従って、バッファ装置１００において、ガラス板１０の水平面内における位置は安定的に維持される。さらに、浮上ユニット２２の上端面２２ａからガラス板１０の下主表面に向かって吹き付けられた気体は、下主表面の端部と上端面２２ａとの間から、ガラス板１０の自重と、ガラス板１０の上方の主表面１０ｂにかかる大気圧とによって、押し出されるように放出される。これにより、噴出孔２２ｂから噴出される気体がガラス板１０の下主表面に加える力の大きさは、ガラス板１０の自重による重力と、ガラス板１０の上方の主表面１０ｂにかかる大気圧による力との合力の大きさを上回ることがない。そのため、下主表面と上端面２２ａとの間の空間の圧力は水平面内において安定しているので、浮上しているガラス板１０の高さは安定的に維持される。
【００４３】
また、ガラス板１０が自身の固有の形状によって湾曲している場合、ガラス板１０の下主表面と浮上ユニット２２の上端面２２ａとの間の空間において、下主表面と上端面２２ａとの間の距離が大きいほど、ガラス板１０の高さ位置を安定的に維持するために必要である気体であって、下主表面に吹き付けられる気体の量が多い。そのため、ガラス板１０が湾曲している場合において、ガラス板１０の下主表面の全体に向かって噴出孔２２ｂが気体を均一に噴出し始めた段階では、下主表面にかかる圧力は不均一になる。しかし、下主表面と上端面２２ａとの間の空間において、圧力が高い領域から圧力が低い領域に向かって気体が流れるので、ある程度の時間が経過することにより、ガラス板１０の下主表面にかかる圧力は均一になる。従って、時間の経過によって、浮上しているガラス板１０の高さは安定的に維持される。
【００４４】
また、全ての浮上ユニット２２の全ての噴出孔２２ｂが同じ流量の気体を噴出することにより、エアフロートパネル２０は、ガラス板１０の下主表面に向かって気体を均一に吹き付けることができる。浮上しているガラス板１０の下主表面は、浮上ユニット２２の上端面２２ａに形成されている多数の噴出孔２２ｂから噴出される気体を受けている。すなわち、浮上しているガラス板１０は、噴出孔２２ｂの数と同じ数の多数のエアースプリングで支持されている状態にある。このように、浮上しているガラス板１０は、多数の弾性部材によって支持されている状態にあると近似できるので、少数の弾性部材によってガラス板１０が支持されている状態と比べて、浮上しているガラス板１０の自由形状は良好に維持される。そのため、ダウンドロー法により製造されるガラス板１０が、面内における歪みの影響によって微小かつ複雑な固有の形状および反りを面内に有していても、ガラス板１０の固有の形状を維持することができる。
【００４５】
以上より、エアフロートパネル２０の上方で浮上しているガラス板１０は、自身の高さ位置および固有の形状を安定的に維持することができる。そのため、浮上しているガラス板１０の端部が下方に撓むことが抑制される。
【００４６】
（２−２）ワイヤフレーム
ワイヤフレーム３０は、エアフロートパネル２０の上方で浮上しているガラス板１０を持ち上げて、ガラス板１０を一時的に保管するために使用される。図７は、ワイヤフレーム３０の外観図である。ワイヤフレーム３０は、主として、複数のワイヤ３２と、フレーム３４とから構成されている。フレーム３４は、複数のワイヤ３２の両端部を固定するための部材である。フレーム３４に固定されている複数のワイヤ３２は、Ｚ軸方向に沿って互いに平行に並べられている。一つのフレーム３４は、４０本〜５０本のワイヤ３２を有している。なお、図面では、分かりやすさを考慮して、一部のワイヤ３２が省略されている。ワイヤ３２の材質は、軟鋼である。ワイヤ３２の断面形状は、直径が約１ｃｍの円である。
【００４７】
図３および図５に示されるように、複数のワイヤフレーム３０は、Ｘ軸方向に沿って並べられ、互いに連結されている。全てのワイヤフレーム３０は、同じ高さ位置に配置されている。すなわち、あるワイヤフレーム３０のワイヤ３２の高さ位置は、他のワイヤフレーム３０の対応するワイヤ３２の高さ位置と同じである。ワイヤフレーム３０は、Ｘ軸方向においてワイヤ空間２４が占める範囲内にワイヤ３２が含まれるような位置に、配置されている。ワイヤ空間２４のＸ軸方向の寸法は、４ｃｍ〜５ｃｍである。
【００４８】
（２−３）移動装置
移動装置は、全てのワイヤフレーム３０を同時にＺ軸方向に移動させるための装置である。移動装置は、サーボモーターおよびエアシリンダー等を用いて、ワイヤフレーム３０のＺ軸方向の位置を調整する。
【００４９】
（２−４）制御装置
制御装置は、エアフロートパネル２０および移動装置の動作を制御するためのコンピュータである。制御装置は、エアフロートパネル２０の浮上ユニット２２の噴出孔２２ｂから噴出される気体の流量を調節することができる。制御装置は、移動装置を制御して、ワイヤフレーム３０のＺ軸方向の位置を調節することができる。
【００５０】
（３）バッファリング工程
次に、バッファ装置１００が、ガラス板搬送路１３０を搬送されているガラス板１０をガラス板搬送路１３０から一時的に退避させるバッファリングを行うバッファリング工程について説明する。バッファリング工程では、バッファ装置１００は、エアフロートパネル２０の上を浮上しているガラス板１０を持ち上げて、一時的に保持した後、ガラス板１０を下げてエアフロートパネル２０の上に再び浮上させる一連の動作を行う。バッファリングされているガラス板１０は、ワイヤフレーム３０のワイヤ３２によって支持されている。
【００５１】
具体例として、バッファ装置１００が１枚のガラス板１０をバッファリングする工程について、図８および図９を参照しながら説明する。図８および図９は、図５と同様のバッファ装置１００の側面図である。図８および図９において、ワイヤフレーム３０のフレーム３４は省略されている。なお、ワイヤフレーム３０は、ガラス板１０を一枚も支持していないものとする。
【００５２】
最初に、制御装置は、エアフロートパネル２０の上を浮上しているガラス板１０がワイヤ３２と衝突しないように、ワイヤフレーム３０のＺ軸方向の位置を調節する。次に、バッファリングされるガラス板１０が、エアフロートパネル２０の上を浮上しながら搬送される。図８は、このときの状態を表す。このとき、ガラス板１０は、ワイヤ３２と接触していない。次に、制御装置は、エアフロートパネル２０からガラス板１０の下主表面に気体を吹き付けながら、Ｚ軸方向に沿ってワイヤフレーム３０を上昇させる。これにより、ガラス板１０の下主表面は、上昇するワイヤ３２と接触する。ワイヤ３２がさらに上昇すると、ワイヤ３２は、ガラス板１０を支持しながら持ち上げる。このときにおいても、ガラス板１０の下主表面には、エアフロートパネル２０から気体が吹き付けられている。次に、制御装置は、ワイヤフレーム３０を所定の高さ位置まで上昇させる。図９は、このときの状態を表す。このとき、ガラス板１０は、ワイヤフレーム３０によってバッファリングされている。ガラス板１０は、所定の時間、ワイヤ３２に支持されながらバッファリングされる。
【００５３】
次に、所定の時間が経過した後、制御装置は、ガラス板１０をバッファリングしているワイヤフレーム３０を下降させる。このとき、エアフロートパネル２０から上方に向かって気体が噴出されている。ワイヤフレーム３０が所定の高さ位置まで下降すると、ワイヤフレーム３０のワイヤ３２に支持されているガラス板１０は、エアフロートパネル２０から上方に噴出される気体から力を受け始める。そのため、ワイヤフレーム３０がさらに下降すると、ガラス板１０の下主表面が噴出される気体から受ける力が大きくなり、最終的に、ガラス板１０の下主表面からワイヤ３２が離れる。このとき、ガラス板１０は、エアフロートパネル２０の上を浮上している状態になる。次に、制御装置は、ワイヤ３２がガラス板１０に衝突しないように、ワイヤフレーム３０をバッファリング開始前の高さ位置まで下げる。これにより、ガラス板１０のバッファリング工程が終了する。
【００５４】
また、バッファ装置１００は、複数のガラス板１０を連続的にバッファリングすることができる。その場合、バッファ装置１００は、ガラス板１０のスタックとして機能する。すなわち、バッファリングされている複数のガラス板１０の内、最後にバッファリングされたガラス板１０が、最初にガラス板搬送路１３０に戻される。
【００５５】
具体例として、バッファ装置１００が２枚のガラス板１０をバッファリングする工程について、図１０〜１２を参照しながら説明する。図１０〜１２は、図５と同様のバッファ装置１００の側面図である。図１０〜１２において、ワイヤフレーム３０のフレーム３４は省略されている。なお、ワイヤフレーム３０は、ガラス板１０を一枚も支持していないものとする。以下、バッファリングされる２枚のガラス板１０を、第１ガラス板１２および第２ガラス板１４と呼ぶ。第１ガラス板１２は、最初にバッファリングされるガラス板１０である。また、以下の説明は、３枚以上のガラス板１０をバッファリングする場合にも適応可能である。
【００５６】
最初に、制御装置は、エアフロートパネル２０の上を浮上している第１ガラス板１２および第２ガラス板１４がワイヤ３２と衝突しないように、ワイヤフレーム３０のＺ軸方向の位置を調節する。次に、最初にバッファリングされる第１ガラス板１２が、エアフロートパネル２０の上を浮上しながら搬送される。図１０は、このときの状態を表す。このとき、第１ガラス板１２は、ワイヤ３２と接触していない。次に、制御装置は、エアフロートパネル２０から第１ガラス板１２の下主表面に気体を吹き付けながら、Ｚ軸方向に沿ってワイヤフレーム３０を上昇させる。これにより、第１ガラス板１２の下主表面は、上昇するワイヤ３２と接触する。ワイヤ３２がさらに上昇すると、ワイヤ３２は、第１ガラス板１２を支持しながら持ち上げる。このときにおいても、第１ガラス板１２の下主表面には、エアフロートパネル２０から気体が吹き付けられている。次に、制御装置は、ワイヤフレーム３０を所定の高さ位置まで上昇させる。このとき、第１ガラス板１２は、ワイヤフレーム３０によってバッファリングされている。
【００５７】
さらに、二番目にバッファリングされる第２ガラス板１４が、エアフロートパネル２０の上を浮上しながら搬送される。図１１は、このときの状態を表す。このとき、第２ガラス板１４は、ワイヤ３２と接触していない。次に、制御装置は、エアフロートパネル２０から第２ガラス板１４の下主表面に気体を吹き付けながら、Ｚ軸方向に沿ってワイヤフレーム３０を上昇させる。これにより、第２ガラス板１４の下主表面は、上昇するワイヤ３２と接触する。ワイヤ３２がさらに上昇すると、ワイヤ３２は、第２ガラス板１４を支持しながら持ち上げる。このときにおいても、第２ガラス板１４の下主表面には、エアフロートパネル２０から気体が吹き付けられている。次に、制御装置は、ワイヤフレーム３０を所定の高さ位置まで上昇させる。図１２は、このときの状態を表す。このとき、第２ガラス板１４は、ワイヤフレーム３０によってバッファリングされている。第１ガラス板１２および第２ガラス板１４は、所定の時間、ワイヤ３２に支持されながらバッファリングされる。図１２に示されるように、最初にバッファリングされた第１ガラス板１２は、次にバッファリングされた第２ガラス板１４の上方に保持されている。
【００５８】
次に、所定の時間が経過した後、制御装置は、第１ガラス板１２および第２ガラス板１４をバッファリングしているワイヤフレーム３０を下降させる。このとき、エアフロートパネル２０から上方に向かって気体が噴出されている。ワイヤフレーム３０が所定の高さ位置まで下降すると、ワイヤフレーム３０のワイヤ３２に支持されている第２ガラス板１４は、エアフロートパネル２０から上方に噴出される気体から力を受け始める。そのため、ワイヤフレーム３０がさらに下降すると、第２ガラス板１４の下主表面が噴出される気体から受ける力が大きくなり、最終的に、第２ガラス板１４の下主表面からワイヤ３２が離れる。このとき、第２ガラス板１４は、エアフロートパネル２０の上を浮上している状態になる。次に、制御装置は、ワイヤ３２が第２ガラス板１４に衝突しないように、ワイヤフレーム３０を第２ガラス板１４のバッファリング開始前の高さ位置まで下げる。次に、第２ガラス板１４は、エアフロートパネル２０の上を浮上しながら、検査装置１２０に向かって搬送される。
【００５９】
さらに、制御装置は、第１ガラス板１２をバッファリングしているワイヤフレーム３０を下降させる。このとき、エアフロートパネル２０から上方に向かって気体が噴出されている。ワイヤフレーム３０が所定の高さ位置まで下降すると、ワイヤフレーム３０のワイヤ３２に支持されている第１ガラス板１２は、エアフロートパネル２０から上方に噴出される気体から力を受け始める。そのため、ワイヤフレーム３０がさらに下降すると、第１ガラス板１２の下主表面が噴出される気体から受ける力が大きくなり、最終的に、第１ガラス板１２の下主表面からワイヤ３２が離れる。このとき、第１ガラス板１２は、エアフロートパネル２０の上を浮上している状態になる。次に、制御装置は、ワイヤ３２が第１ガラス板１２に衝突しないように、ワイヤフレーム３０を第１ガラス板１２のバッファリング開始前の高さ位置まで下げる。これにより、ガラス板１０のバッファリング工程が終了する。上述したように、二番目にバッファリングされた第２ガラス板１４は、最初にバッファリングされた第１ガラス板１２よりも前に、エアフロートパネル２０の上に戻される。
【００６０】
（４）特徴
バッファ装置１００によるバッファリング工程では、ワイヤフレーム３０によりガラス板１０を持ち上げてバッファリングする際においても、ガラス板１０の下主表面には、エアフロートパネル２０から気体が吹き付けられている。そのため、ガラス板１０の高さ位置および固有の形状が維持されながら、ガラス板１０は、ワイヤフレーム３０のワイヤ３２によって支持されて持ち上げられるので、バッファリング時にガラス板１０にかかる負荷が少ない。
【００６１】
バッファリング時に、ガラス板１０の下主表面に気体が吹き付けられていない場合、ワイヤ３２によってガラス板１０が持ち上げられると、ガラス板１０のＸ軸方向の端部が下方に撓むおそれがある。下方に撓んだ端部は、エアフロートパネル２０と接触する可能性がある。この場合、ガラス板１０の端部にキズが発生し、ガラス板１０からガラスの微小な破片が発生するおそれがある。また、ガラス板１０に負荷がかかり、ガラス板１０の下主表面とワイヤ３２とが互いに擦れることで、下主表面にキズが発生するおそれがある。
【００６２】
そのため、本実施形態に係るバッファ装置１００は、バッファリング時にガラス板１０にかかる負荷が少ないので、ガラス板１０のキズの発生を抑え、ガラス板１０からの発塵を効果的に抑えることができる。
【００６３】
また、バッファ装置１００は、バッファリング時において、エアフロートパネル２０から吹き付けられる気体の流量等を調整することで、ガラス袋１０の強度に応じて、ガラス板１０にかかる負荷を適切に抑えることができる。
【００６４】
また、バッファ装置１００は、移動装置を制御してワイヤフレーム３０をＺ軸方向に移動させる動作を行うことのみにより、多数のガラス板１０を効率的にバッファリングすることができる。
【００６５】
（５）変形例
以上、本発明に係るガラス板製造方法について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良および変更が施されてもよい。
【００６６】
（５−１）変形例Ａ
実施形態に係るバッファ装置１００では、エアフロートパネル２０の浮上ユニット２２の上端面２２ａに形成される噴出孔２２ｂは、Ｙ軸方向に延びている細長い孔である。しかし、噴出孔２２ｂは、浮上しているガラス板１０の高さ位置および固有の形状が維持されるのであれば、他の形状および配置を有していてもよい。
【００６７】
（５−２）変形例Ｂ
実施形態に係るバッファ装置１００によるバッファリング工程では、ガラス板１０をバッファリングするためにワイヤフレーム３０を上昇させる際、および、ガラス板１０をバッファリングしているワイヤフレーム３０を下降させる際においても、ガラス板１０の下主表面には、エアフロートパネル２０から気体が吹き付けられている。しかし、ワイヤフレーム３０を上昇および下降させている間、エアフロートパネル２０の浮上ユニット２２の噴出孔２２ｂから噴出される気体の流量を一時的に高くしてもよい。これにより、ワイヤフレーム３０を上昇および下降させている間において、ガラス板１０にかかる負荷をより低減させることができる。
【００６８】
（５−３）変形例Ｃ
実施形態に係るバッファ装置１００では、バッファリングされるガラス板１０を支持するワイヤ３２は、軟鋼により成形されている。本実施形態のガラス板１０のモース硬度は、６〜７である。ワイヤ３２との接触によってガラス板１０の下主表面にキズが発生することを抑制するために、ワイヤ３２のモース硬度は、ガラス板１０のモース硬度よりも低いことが好ましい。軟鋼のモース硬度は、５〜６であり、ガラス板１０のモース硬度よりもわずかに低い。また、軟鋼は、ある程度の剛性を有している。そのため、軟鋼は、ワイヤ３２の材質として適している。
【００６９】
しかし、ワイヤ３２は、ガラス板１０の下主表面にキズを発生させにくい材質であれば、他の材質により成形されてもよい。また、実施形態のワイヤ３２の断面形状は、円であるが、ガラス板１０の下主表面にキズを発生させにくい形状であれば、他の断面形状を有していてもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１０        ガラス板
１２        第１ガラス板
１４        第２ガラス板
２０        エアフロートパネル
２２ａ      上端面
２２ｂ      噴出孔
２４        ワイヤ空間
３２        ワイヤ
３４        フレーム
１００        バッファ装置
【先行技術文献】
【特許文献】
【００７１】
【特許文献１】特開２００３−１６８７１３号公報
【特許文献２】特開２００４−３０４００３号公報
【図１】
2015230931.tif 000003
【図２】
2015230931.tif 000004
【図３】
2015230931.tif 000005
【図４】
2015230931.tif 000006
【図５】
2015230931.tif 000007
【図６】
2015230931.tif 000008
【図７】
2015230931.tif 000009
【図８】
2015230931.tif 000010
【図９】
2015230931.tif 000011
【図１０】
2015230931.tif 000012
【図１１】
2015230931.tif 000013
【図１２】
2015230931.tif 000014