(57)【要約】【課題】本発明は、腕部における剛性の急激な変化が容易に抑えられた音叉型振動片を提供する。【解決手段】音叉型振動片（１００）は、基部（１１０）と、所定方向に平行に並んで複数伸び基部に一方の端が連結される腕部（１２０）と、各腕部の一方の主面上に直接設けられ所定方向に伸び導電材料からなる第１電極膜（１３１）と、第１電極膜の面上に設けられ所定方向に伸びる第１圧電体膜（１３２）と、第１圧電体膜の面上に設けられ所定方向に伸び導電材料からなる第２電極膜（１３３）と、を備える。第１電極膜が腕部の他方の端側に第１圧電体膜よりも長く形成され、第１圧電体膜が腕部の他方の端側に第２電極膜よりも長く形成される。【選択図】  図１
2015027005.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
所定方向に平行に並んで複数伸び、前記基部に一方の端が連結される腕部と、
前記各腕部の一方の主面上に直接設けられ前記所定方向に伸び導電材料からなる第１電極膜と、
前記第１電極膜の面上に設けられ前記所定方向に伸びる第１圧電体膜と、
前記第１圧電体膜の面上に設けられ前記所定方向に伸び導電材料からなる第２電極膜と、を備え、
前記第１電極膜は前記腕部の他方の端側に前記第１圧電体膜よりも長く形成され、前記第１圧電体膜は前記腕部の他方の端側に前記第２電極膜よりも長く形成される音叉型振動片。
【請求項２】
前記第２電極膜は、前記腕部の一方の端側から所定の位置までは一定の幅に形成され、前記所定の位置から前記腕部の他方の端側に伸びるに従って幅が狭く形成される請求項１に記載の音叉型振動片。
【請求項３】
前記第１圧電体膜及び前記第１電極膜も、前記第２電極膜と同様に、前記所定の位置までは一定の幅に形成され、前記所定の位置から前記腕部の他方の端側に伸びるに従って幅が狭く形成される請求項２に記載の音叉型振動片。
【請求項４】
前記各腕部の他方の主面上に直接設けられ前記所定方向に伸び導電材料からなる第３電極膜と、
前記第３電極膜の面上に設けられ前記所定方向に伸びる第２圧電体膜と、
前記第２圧電体膜の面上に設けられ前記所定方向に伸び導電材料からなる第４電極膜と、を備える請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の音叉型振動片。
【請求項５】
前記第１圧電体膜がＺｎＯ、ＡｌＮ、ＰＺＴ、ＬｉＮｂＯ3及びＫＮｂＯ3の何れかを含む膜である請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の音叉型振動片。
【請求項６】
前記基部及び前記腕部がＸカット水晶である請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の音叉型振動片。
【請求項７】
前記腕部は３以上の奇数本が配列され、
前記腕部のうち、端から数えて奇数番目に配置された前記腕部を第１腕部とし、偶数番目に配置された前記腕部を第２腕部としたときに、
前記第１腕部の前記第１電極膜と前記第２腕部の前記第２電極膜とが相互に電気的に接続され、かつ、前記第１腕部の前記第２電極膜と前記第２腕部の前記第１電極膜とが相互に電気的に接続された請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の音叉型振動片。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の腕部を有する音叉型振動片に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の腕部と、各腕部の一端が連結される基部と、腕部の一主面上に形成される圧電体素子とを有する音叉型振動子が知られている。圧電体素子は、腕部上に形成される下部電極膜と、下部電極膜上に形成される圧電体膜と、圧電体膜上に形成される上部電極膜と、により形成される。このような音叉型振動子では、上部電極膜と下部電極膜との間に電界が印加されることによって圧電体膜が伸縮し、腕部が厚さ方向に屈曲振動する。また、このような音叉型振動子では、小型化に伴う温度特性の低下が抑制され、腕部の本数を奇数とし、隣接する腕部が互い違いに上下振動することによりＱ値が高められる。
【０００３】
一方、上部電極膜および下部電極膜の面積を小さくすると振動効率が悪くなり、上部電極膜および下部電極膜の面積を大きくすると、電気的並列容量が大きくなることが知られている。これらのバランスをとる目的で、圧電体膜が上部電極膜及び下部電極膜とともに腕部の基部側の半分を覆うように設けられ、腕部の先端側の部分が圧電体膜により覆われないように形成される。しかし、腕部において圧電体膜により覆われている領域と覆われていない領域との境界に圧電体膜や上下電極膜を含む振動腕の厚み方向の振動に対する曲げ剛性が急激に変化する。これにより不要な振動モードが発生し、Ｑ値を十分に高めることができないという問題があった。
【０００４】
このような問題に対して、特許文献１では、下部電極膜と圧電体膜とが腕部の長さ方向に腕部の先端まで形成されるとともに、下部電極膜と圧電体膜とが同じ長さに形成されている。そして、上部電極膜が腕部の長さ方向に腕部の途中まで伸びて下部電極膜又は圧電体膜と比べて短く形成されている。このようにして腕部の剛性が急激に変化することを防止する旨を示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−２２３４８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載のように、下部電極膜と圧電体膜とを腕部の先端側まで伸ばすことは、従来の音叉型振動片よりも振動効率と電気的並列容量とのバランスを悪くすることになってしまう。
【０００７】
本発明では、腕部における剛性の急激な変化が容易に抑えられた音叉型振動片を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１観点の音叉型振動片では、基部と、所定方向に平行に並んで複数伸び基部に一方の端が連結される腕部と、各腕部の一方の主面上に直接設けられ所定方向に伸び導電材料からなる第１電極膜と、第１電極膜の面上に設けられ所定方向に伸びる第１圧電体膜と、第１圧電体膜の面上に設けられ所定方向に伸び導電材料からなる第２電極膜と、を備え、第１電極膜が腕部の他方の端側に第１圧電体膜よりも長く形成され、第１圧電体膜が腕部の他方の端側に第２電極膜よりも長く形成される。
【０００９】
第２観点の音叉型振動片では、第１観点において、第２電極膜が、腕部の一方の端側から所定の位置までは一定の幅に形成され、所定の位置から腕部の他方の端側に伸びるに従って幅が狭く形成される。
【００１０】
第３観点の音叉型振動片では、第２観点において、第１圧電体膜及び第１電極膜も、第２電極膜と同様に、所定の位置までは一定の幅に形成され、所定の位置から腕部の他方の端側に伸びるに従って幅が狭く形成される。
【００１１】
第４観点の音叉型振動片では、第１観点から第３観点において、各腕部の他方の主面上に直接設けられ所定方向に伸び導電材料からなる第３電極膜と、第３電極膜の面上に設けられ所定方向に伸びる第２圧電体膜と、第２圧電体膜の面上に設けられ所定方向に伸び導電材料からなる第４電極膜と、を備える。
【００１２】
第５観点の音叉型振動片では、第１観点から第４観点において、第１圧電体膜がＺｎＯ、ＡｌＮ、ＰＺＴ、ＬｉＮｂＯ3及びＫＮｂＯ3の何れかを含む膜である。
【００１３】
第６観点の音叉型振動片では、第１観点から第５観点において、基部及び腕部がＸカット水晶である。
【００１４】
第７観点の音叉型振動片では、第１観点から第６観点において、腕部は３以上の奇数本が配列され、腕部のうち、端から数えて奇数番目に配置された腕部を第１腕部とし、偶数番目に配置された腕部を第２腕部としたときに、第１腕部の第１電極膜と第２腕部の第２電極膜とが相互に電気的に接続され、かつ、第１腕部の第２電極膜と第２腕部の第１電極膜とが相互に電気的に接続されている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の音叉型振動片によれば、腕部における剛性の急激な変化を容易に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】（ａ）は、音叉型振動片１００の平面図である。  （ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図２】（ａ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。  （ｂ）は、従来の音叉型振動片の図２（ａ）の点線１６１に相当する部分の拡大図である。  （ｃ）は、図２（ａ）の点線１６１の拡大図である。
【図３】（ａ）は、音叉型振動片２００の断面図である。  （ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図４】（ａ）は、音叉型振動片３００の平面図である。  （ｂ）は、音叉型振動片４００の平面図である。
【図５】振動デバイス５００の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１８】
（第１実施形態）
＜音叉型振動片１００の構成＞
図１（ａ）は、音叉型振動片１００の平面図である。音叉型振動片１００は、基部１１０と、基部１１０に連結される３本の腕部１２０と、各腕部１２０に形成されている圧電素子１３０と、を含んでいる。以下の説明では、腕部１２０が伸びる方向をＹ軸方向、各腕部１２０が並ぶ方向をＸ軸方向、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに垂直な方向をＺ軸方向として説明する。
【００１９】
各腕部１２０は、Ｙ軸方向に伸びて形成されており、−Ｙ軸側の端部が基部１１０に連結されて基部１１０と一体的に形成されている。基部１１０及び腕部１２０は、所定の振動特性を有する圧電体材料又は非圧電体材料で構成される。圧電体材料としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が用いられる。水晶では、Ｘカットの水晶が用いられるが、ＡＴカット及びＺカット等であっても良い。非圧電体材料としてはシリコン、石英ガラス等が用いられる。各腕部１２０は＋Ｚ軸側の面と−Ｚ軸側の面とが主面となっており、＋Ｚ軸側の主面には圧電素子１３０が形成されている。圧電素子１３０は、腕部１２０の表面に形成される第１電極膜１３１と、第１電極膜１３１上に形成される第１圧電体膜１３２と、第１圧電体膜１３２上に形成される第２電極膜１３３と、により形成されている。第１電極膜１３１、第１圧電体膜１３２、及び第２電極膜１３３は、Ｘ軸方向の幅はほぼ等しいが、＋Ｙ軸側の端部では第１電極膜１３１が最も長くなるように形成され、次いで第１圧電体膜１３２が長く、第２電極膜１３３が最も短くなるように形成されている。なお、図１（ａ）では、基部１１０上にも電極が形成されるが、これらの電極は図示されていない。
【００２０】
図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。以下、説明のために、−Ｘ軸側の腕部を腕部１２０ａとし、中央の腕部を腕部１２０ｂとし、＋Ｘ軸側の腕部を腕部１２０ｃとする。また、腕部１２０ａに形成される第１電極膜１３１を第１電極膜１３１ａ、第１圧電体膜１３２を第１圧電体膜１３２ａ、第２電極膜１３３を第２電極膜１３３ａとする。同様に、腕部１２０ｂには第１電極膜１３１ｂ、第１圧電体膜１３２ｂ、及び第２電極膜１３３ｂが形成され、腕部１２０ｃには第１電極膜１３１ｃ、第１圧電体膜１３２ｃ、及び第２電極膜１３３ｃが形成される。このとき、基部１１０上には接続端子１３４ａ及び接続端子１３４ｂが形成される。接続端子１３４ｂは第２電極膜１３３ａと、第１電極膜１３１ｂと、第２電極膜１３３ｃとに導通しており、接続端子１３４ａは第１電極膜１３１ａと、第２電極膜１３３ｂと、第１電極膜１３１ｃとに導通している。音叉型振動片１００では、接続端子１３４ａ及び接続端子１３４ｂの間に交番電圧が印加された場合に、腕部１２０ｂと、腕部１２０ａ及び腕部１２０ｃと、がＺ軸方向に互い違いになるように振動する。
【００２１】
図２（ａ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。第１電極膜１３１及び第２電極膜１３３は導電材料からなり、例えばクロム膜を形成し、その表面に金膜を形成することにより形成される。また、第１圧電体膜１３２は、例えばＺｎＯ、ＡｌＮ、ＰＺＴ、ＬｉＮｂＯ３、又はＫＮｂＯ３により構成される。第１電極膜１３１の厚さＴＡは例えば１００ｎｍであり、第１圧電体膜１３２の厚さＴＢは１μｍであり、第２電極膜１３３の厚さＴＣは１００ｎｍに形成される。すなわち、第１圧電体膜１３２が最も厚く形成される。
【００２２】
図２（ｂ）は、従来の音叉型振動片の図２（ａ）の点線１６１に相当する部分の拡大図である。従来の音叉型振動片では、第１電極膜１３１、第１圧電体膜１３２、第２電極膜１３３の＋Ｙ軸側の端の長さが等しくなるように形成されている。そのため、圧電素子１３０が形成されている領域と形成されていない領域との境界（矢印１６２）で腕部１２０の剛性が急激に変わり、そのため不要な振動モードが発生していた。この不要な振動モードは第１圧電体膜１３２の矢印１６２で示される境界で腕部１２０が折れ曲がるように振動することによるものである。腕部１２０が折れ曲がるように振動することで温度上昇が生じて内部損失が大きくなり、Ｑ値を十分に高めることができなくなる。
【００２３】
図２（ｃ）は、図２（ａ）の点線１６１の拡大図である。音叉型振動片１００では、第２電極膜１３３の基部１１０側の端から第２電極膜１３３の＋Ｙ軸側の端である矢印１６３ａの位置までは、第１圧電体膜１３２が第１電極膜１３１と第２電極膜１３３とに挟まれて形成されている。また、第１圧電体膜１３２が第２電極膜１３３よりも＋Ｙ軸側の端において長さＬＡ１だけ長く形成されているとすると、矢印１６３ａから＋Ｙ軸方向に長さＬＡ１となる矢印１６３ｂの位置までは第２電極膜１３３が形成されておらず、圧電素子１３０の厚さが矢印１６３ａの−Ｙ軸側よりも薄くなる。さらに、第１電極膜１３１が第１圧電体膜１３２よりも＋Ｙ軸側の端において長さＬＡ２だけ長く形成されているとすると、矢印１６３ｂから＋Ｙ軸方向に長さＬＡ２の範囲では第２電極膜１３３及び第１圧電体膜１３２が形成されておらず、圧電素子１３０の厚さが矢印１６３ｂの−Ｙ軸側よりも薄くなる。このように、音叉型振動片１００では、腕部１２０の＋Ｙ軸側の先端付近において、腕部１２０及び圧電素子１３０の合計の厚さが＋Ｙ軸側に向かうに従って段階的に小さくなる。それに伴い、腕部１２０の剛性の変化も段階的に変化することとなるため、図２（ｂ）で説明された腕部１２０の剛性の急激な変化が抑えられ、腕部１２０が折れ曲がるように振動することを抑えることができる。このため、音叉型振動片１００では、不要な振動モードの発生及びＱ値の低減が抑えられる。
【００２４】
また、音叉型振動片１００では、長さＬＡ１及び長さＬＡ２をさらに広げて、第１電極膜１３１が腕部１２０の＋Ｙ軸側の先端にまで形成され、第２電極膜１３３が腕部１２０のＹ軸方向の中央まで形成され、第１圧電体膜１３２の＋Ｙ軸側の先端が第１電極膜１３１の＋Ｙ軸側の先端と第２電極膜１３３の＋Ｙ軸側の先端との中間になるように形成されていても良い。これにより、腕部１２０の剛性の変化をよりなだらかに変化させることができる。
【００２５】
（第２実施形態）
音叉型振動片では、＋Ｚ軸側の面のみならず、−Ｚ軸側の面にも圧電素子が形成されていても良い。以下に腕部の＋Ｚ軸側及び−Ｚ軸側の両面に圧電素子が形成された音叉型振動片２００について説明する。また、音叉型振動片１００と同様の部分に関しては音叉型振動片１００と同様の符号を付してその説明を省略する。
【００２６】
＜音叉型振動片２００の構成＞
図３（ａ）は、音叉型振動片２００の断面図である。音叉型振動片２００は、基部１１０と、基部１１０に連結される３本の腕部１２０と、各腕部１２０の＋Ｚ軸側の面に形成されている圧電素子１３０と、各腕部１２０の−Ｚ軸側の面に形成されている圧電素子２３０と、により形成されている。圧電素子２３０は、腕部１２０の表面に形成される第３電極膜２３１と、第３電極膜２３１上に形成される第２圧電体膜２３２と、第２圧電体膜２３２上に形成される第４電極膜２３３と、により形成されている。また、第３電極膜２３１は第１電極膜１３１と同形状でありＺ軸方向に互いに重なるように形成され、第２圧電体膜２３２は第１圧電体膜１３２と同形状であってＺ軸方向に互いに重なり、第４電極膜２３３は第２電極膜１３３と同形状であってＺ軸方向に互いに重なるように形成される。
【００２７】
図３（ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。圧電素子２３０では、腕部１２０ａに形成される第３電極膜２３１ａと、腕部１２０ｂの第４電極膜２３３ｂと、腕部１２０ｃの第３電極膜２３１ｃと、が電気的に接続されている。また、これらの電極膜と圧電素子１３０の第２電極膜１３３ａ、第１電極膜１３１ｂ、及び第２電極膜１３３ｃとが電気的に接続され、さらに接続端子１３４ｂに電気的に接続される。一方、圧電素子２３０の腕部１２０ａに形成される第４電極膜２３３ａ、腕部１２０ｂの第３電極膜２３１ｂ、及び腕部１２０ｃの第４電極膜２３３ｃが互いに電気的に接続され、さらに圧電素子１３０の第１電極膜１３１ａ、第２電極膜１３３ｂ、及び第１電極膜１３１ｃが電気的に接続されて接続端子１３４ａに電気的に接続される。
【００２８】
音叉型振動片２００の各腕部１２０においては、接続端子１３４ａ及び接続端子１３４ｂの間に交番電圧が印加された場合に、各腕部１２０の＋Ｚ軸側に形成される圧電素子１３０が伸びた場合にはその−Ｚ軸側に形成される圧電素子２３０が縮み、＋Ｚ軸側に形成される圧電素子１３０が縮んだ場合にはその−Ｚ軸側に形成される圧電素子２３０が伸びることにより各腕部１２０がＺ軸方向に振動する。
【００２９】
音叉型振動片２００では、腕部１２０の−Ｚ軸側に形成される圧電素子２３０が腕部１２０を振動させるために用いられたが、圧電素子２３０を腕部１２０の振動により発生する圧電歪を電荷に変換して出力する検出用圧電薄膜素子として用いても良い。またこのとき、圧電素子２３０は圧電素子１３０と同形状に形成されなくても良い。圧電素子２３０が検出用圧電薄膜素子として用いられる場合には、音叉型振動片２００が加速度検出素子として用いられる。
【００３０】
（第３実施形態）
音叉型振動片では、圧電素子の＋Ｚ軸側の端の平面形状が変えられても良い。以下に、圧電素子の＋Ｚ軸側の端の平面形状が変えられた音叉型振動片３００及び音叉型振動片４００について説明する。また、第１実施形態及び第２実施形態と同様の部分に関しては第１実施形態及び第２実施形態と同様の符号を付してその説明を省略する。
【００３１】
＜音叉型振動片３００の構成＞
図４（ａ）は、音叉型振動片３００の平面図である。音叉型振動片３００では、基部１１０と、腕部１２０と、腕部１２０の＋Ｚ軸側の面に形成されている圧電素子３３０と、を含んで構成されている。圧電素子３３０は、腕部１２０の表面に形成される第１電極膜３３１、第１電極膜３３１上に形成される第１圧電体膜３３２、及び第１圧電体膜３３２上に形成される第２電極膜３３３を含んでいる。圧電素子３３０は基部１１０側から矢印１６４の位置までは一定の幅に形成され、矢印１６４から＋Ｙ軸側に向かって幅が狭くなるように形成されている。また、矢印１６４より＋Ｙ軸側では、第２電極膜３３３の＋Ｙ軸側の端が第１電極膜３３１及び第１圧電体膜３３２の＋Ｙ軸側の端よりも−Ｙ軸側に形成される。また、第１電極膜３３１の＋Ｙ軸側の端は第１圧電体膜３３２の＋Ｙ軸側の端よりも＋Ｙ軸側に形成される。そのため、圧電素子３３０の＋Ｙ軸側の端は、図２（ａ）と同様に段差状に形成されている。さらに、圧電素子３３０の＋Ｙ軸側の端では、矢印１６４から＋Ｙ軸方向に向かうに従ってＸ軸方向の幅が狭くなるように形成されている。
【００３２】
音叉型振動片３００では、音叉型振動片１００と同様に第１圧電体膜３３２が第２電極膜３３３よりも＋Ｙ軸側に長く形成されることにより、腕部１２０が折れ曲がるように振動することを抑えることができる。また、圧電素子３３０の幅が矢印１６４から＋Ｙ軸方向に向かって徐々に狭く形成されることによって、矢印１６４の位置から＋Ｙ軸側に向かって圧電素子３３０が形成される面積が徐々に減少する。これによっても腕部１２０の剛性の変化がＹ軸方向に段階的に変化することとなるため腕部１２０の剛性の急激な変化が抑えられ、腕部１２０が折れ曲がるように振動することが抑えられる。これらのことにより、音叉型振動片３００では不要な振動モードの発生及びＱ値の低減が抑えられる。
【００３３】
＜音叉型振動片４００の構成＞
図４（ｂ）は、音叉型振動片４００の平面図である。音叉型振動片４００では、基部１１０と、腕部１２０と、腕部１２０の＋Ｚ軸側の面に形成されている圧電素子４３０と、を含んで構成されている。圧電素子４３０は、腕部１２０の表面に形成される第１電極膜４３１、第１電極膜４３１上に形成される第１圧電体膜４３２、及び第１圧電体膜４３２上に形成される第２電極膜４３３を含んでいる。第１電極膜４３１は第１電極膜１３１（図１（ａ）参照）と同形状であり、第１圧電体膜４３２は第１圧電体膜１３２（図１（ａ）参照）と同形状になるように形成されている。図４（ｂ）の矢印１６５から＋Ｙ軸側の領域では、第２電極膜４３３の＋Ｙ軸側の端が第１電極膜４３１及び第１圧電体膜４３２の＋Ｙ軸側の端よりも−Ｙ軸側に形成される。また、第１電極膜４３１の＋Ｙ軸側の端は第１圧電体膜４３２の＋Ｙ軸側の端よりも＋Ｙ軸側の端に形成される。そのため、圧電素子４３０の＋Ｙ軸側の端は、図２（ａ）の圧電素子１３０と同様に段差状に形成されている。さらに、圧電素子４３０の第２電極膜４３３は、基部１１０側から矢印１６５の位置までは一定の幅に形成され、矢印１６５から＋Ｙ軸側に向かって幅が狭くなるように形成されている。そのため、矢印１６５から第２電極膜４３３の＋Ｙ軸側の端の間においても＋Ｙ軸側に向かうにしたがって腕部１２０の剛性の変化が段階的に変化することとなるため腕部１２０の剛性の急激な変化が抑えられ、腕部１２０が折れ曲がるように振動することを抑えることができ、不要な振動モードの発生及びＱ値の低減が抑えられる。
【００３４】
（第４実施形態）
第１実施形態から第３実施形態で示された音叉型振動片は、パッケージに収容されて振動デバイスとして形成される。以下に、このような振動デバイス５００について説明する。
【００３５】
＜振動デバイス５００の構成＞
図５は、振動デバイス５００の断面図である。振動デバイス５００は、パッケージ５１０と、パッケージ５１０内に載置される音叉型振動片１００と、音叉型振動片１００をパッケージ５１０内に密封するリッド板５２０と、を有している。パッケージ５１０の＋Ｚ軸側の面には、−Ｚ軸側に凹んだ凹部５１１が形成され、音叉型振動片１００は凹部５１１に載置される。また、凹部５１１はリッド板５２０により密封される。
【００３６】
パッケージ５１０は、例えば第１層５１０ａと、第１層５１０ａの＋Ｚ軸側の面に形成される第２層５１０ｂと、により形成される。第１層５１０ａの−Ｚ軸側の面には、振動デバイス５００をプリント基板等に実装する場合にプリント基板等と電気的に接続される一対の実装電極５１２が形成される。また、＋Ｚ軸側の面には一対の接続電極５１３が形成されている。接続電極５１３と実装電極５１２とはそれぞれ第１層５１０ａを貫通する貫通電極５１４を介して互いに電気的に接続されている。第２層５１０ｂは、中央領域がＺ軸方向に貫通した層であり、凹部５１１の側面を形成する層である。
【００３７】
凹部５１１には、一対の接続電極５１３が形成される。音叉型振動片１００は、接続端子１３４ａ及び接続端子１３４ｂ（図１（ｂ）参照）が導電性接着剤５３２を介して一対の接続電極５１３にそれぞれ電気的に接続されることにより、凹部５１１に載置される。音叉型振動片１００が載置された凹部５１１は、リッド板５２０が封止材５３１を介して第２層５１０ｂの＋Ｚ軸側の面に載置されることにより密封されている。
【００３８】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【符号の説明】
【００３９】
１００、２００、３００、４００  …  音叉型振動片
１１０  …  基部
１２０、１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ  …  腕部
１３０、２３０、３３０、４３０  …  圧電素子
１３１、１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、３３１、４３１  …  第１電極膜
１３２、１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃ、３３２、４３２  …  第１圧電体膜
１３３、１３３ａ、１３３ｂ、１３３ｃ、３３３、４３３  …  第２電極膜
１３４ａ、１３４ｂ  …  接続端子
２３１、２３１ａ、２３１ｂ、２３１ｃ  …  第３電極膜
２３２、２３２ａ、２３２ｂ、２３２ｃ  …  第２圧電体膜
２３３、２３３ａ、２３３ｂ、２３３ｃ  …  第４電極膜
５００  …  振動デバイス
５１０  …  パッケージ
５１０ａ  …  第１層
５１０ｂ  …  第２層
５１１  …  凹部
５１２  …  実装電極
５１３  …  接続電極
５２０  …  リッド板
５３１  …  封止材
５３２  …  導電性接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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