(57)【要約】【課題】粒界拡散処理において非平面である磁石基材の表面に、RH含有粉末と有機溶剤を混合した混合物を均一且つ任意の厚さで付着させることができるRFeB系磁石の製造方法を提供する。【解決手段】Dy, Tb及びHoのうちの少なくとも1種の希土類元素から成る重希土類元素RHを含有するRH含有粉末と有機溶剤を混合した混合物３０を、Nd及びPrのうちの少なくとも1種の希土類元素から成る軽希土類元素RLを含有し、非平面である被付着面（上面）２１を有するRFeB系磁石の基材２０の該被付着面２１にノズルから供給するインクジェット法により、該被付着面２１に混合物３０を付着させ、基材２０を混合物３０ごと加熱する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Nd及びPrのうちの少なくとも1種から成る軽希土類元素RL、Fe及びBを含有するRFeB系磁石から成る焼結磁石又は熱間塑性加工磁石である基材の被付着面に対向してノズルを配置し、
該ノズルから、Dy, Tb及びHoのうちの少なくとも1種から成る重希土類元素RHを含有するRH含有粉末と有機溶剤を混合した混合物を吐出することにより、該混合物を前記被付着面に付着させ、
前記基材を前記混合物ごと加熱する
ことを特徴とするRFeB系磁石の製造方法。
【請求項２】
前記被付着面が非平面であることを特徴とする請求項１に記載のRFeB系磁石の製造方法。
【請求項３】
前記RH含有粉末の最大粒径が、前記ノズルの径の0.15以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のRFeB系磁石の製造方法。
【請求項４】
前記塗布物の粘度が30Pa・s以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のRFeB系磁石の製造方法。
【請求項５】
前記被付着面上の位置によって異なる量で該被付着面に前記混合物を付着させることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のRFeB系磁石の製造方法。
【請求項６】
前記有機溶剤がシリコーングリース又は流動パラフィンであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のRFeB系磁石の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、R（希土類元素）、Fe及びBを含有するRFeB系磁石の製造方法に関する。特に、Nd及びPrのうちの少なくとも1種（以下、Nd及びPrのうちの少なくとも1種を「軽希土類元素RL」と呼ぶ）を主たる希土類元素Rとして含有する主相粒子の表面付近に、該主相粒子の粒界を通して、Dy, Tb及びHoのうちの少なくとも1種の希土類元素（以下、Dy, Tb及びHoのうちの少なくとも1種を「重希土類元素RH」と呼ぶ）を拡散させる工程（粒界拡散工程）を有するRFeB系磁石の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
RFeB系磁石は、1982年に佐川眞人らによって見出されたものであり、残留磁束密度等の多くの磁気特性がそれまでの永久磁石よりもはるかに高いという特長を有する。そのため、RFeB系磁石はハイブリッド自動車や電気自動車の駆動用モータ、電動補助型自転車用モータ、産業用モータ、ハードディスク等のボイスコイルモータ、高級スピーカー、ヘッドホン、永久磁石式磁気共鳴診断装置等、様々な製品に使用されている。
【０００３】
初期のRFeB系磁石は種々の磁気特性のうち保磁力HcJが比較的低いという欠点を有していたが、その後、RFeB系磁石の内部に重希土類元素RHを存在させることにより、保磁力が向上することが明らかになった。保磁力は、磁化の向きとは逆向きの磁界が磁石に印加されたときに磁化が反転することに耐える力であるが、重希土類元素RHはこの磁化反転を妨げることにより、保磁力を増大させる効果を持つと考えられている。
磁石における磁化反転現象を詳しく見ると、磁化の反転は最初に結晶粒の粒界付近で発生し、そこから結晶粒の内部に拡がってゆくという特性を有する。従って、最初に粒界における磁化の反転を防ぐことが、磁石全体の磁化反転の防止、すなわち保磁力増大に効果的である。そのため、重希土類元素RHは結晶粒の粒界付近に存在しさえすればよい。
一方、主相粒子全体としては、RHの含有量が増加すると残留磁束密度Brが低下し、それにより最大エネルギー積(BH)maxも低下するという問題を有する。また、RHが資源として希少・高価であり、且つ産出される地域が偏在しているという点からも、RHの含有量を増加させることは望ましくない。従って、RHの含有量を極力抑えつつ、保磁力を高める（逆磁区の形成をできるだけ防止する）ために、RHは結晶粒の内部において少なく、表面付近（粒界の近傍）において多く存在させる（偏在させる）ことが望ましい。
【０００４】
結晶粒の内部よりも表面付近にRHを偏在させる方法として、粒界拡散法が知られている（例えば特許文献１、２参照）。粒界拡散法では、RHを単体、化合物又は合金として含有する粉末（以下、単体、化合物、合金等の形態を問わず、RHを含有する粉末を「RH含有粉末」と呼ぶ）等をRFeB系磁石の表面に付着させ、該RFeB系磁石を加熱することにより、該RFeB系磁石の粒界を通してRHを磁石の内部まで侵入させ、各結晶粒の表面近傍のみにRHの原子を拡散させる。以後、粒界拡散処理を施す前のRFeB系磁石を「基材」と呼び、粒界拡散処理を施した後のRFeB系磁石と区別する。
【０００５】
このようなRH含有粉末を基材に付着させる方法は種々ある。特許文献１には、RH含有粉末であるTbF3の粉末とエタノールを混合した混濁液に基材を浸漬し、その後基材を混濁液から引き上げ、乾燥することにより、基材表面にRH含有粉末を付着させることが記載されている。しかし、この方法では、基材表面に付着させるRH含有粉末の量を制御することが難しく、また、RH含有粉末を基材表面に均一且つ任意の厚さで付着させることが困難である。そのため、希少且つ高価なRH含有粉末を、必要な量を超えて無駄に消費してしまう。
【０００６】
一方、特許文献２には、スクリーン印刷の手法を用いて、RH含有粉末と有機溶剤を混合した混合物を基材表面に塗布する（付着させる）方法が記載されている。具体的には、平板状の基材を多数並べ、前記混合物が透過可能な透過部を基材の位置に対応して多数設けたスクリーンを基材表面上に張設し、スクリーン上に前記混合物を供給したうえで、スクリーン表面をスキージで擦ることにより、透過部においてスクリーンを通して前記混合物を基材表面に付着させる。これにより、各基材の表面に前記混合物を均一の厚さで塗布することができるため、RH含有粉末を無駄に消費することがない。
【０００７】
なお、RFeB系磁石には主に、(i)主相粒子を主成分とする原料合金粉末を焼結させた焼結磁石、(ii)原料合金粉末を結合剤（高分子やエラストマなどの有機材料から成る。バインダ。）で固めて成形したボンド磁石、(iii)原料合金粉末に対して熱間プレス加工及び熱間塑性加工を行った熱間塑性加工磁石（非特許文献１参照）があるが、これらのうち粒界拡散処理を行うことができるのは、有機材料のバインダを使用しないことにより粒界拡散処理時の加熱が可能である(i)焼結磁石及び(iii)熱間塑性加工磁石である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開2006-303433号公報
【特許文献２】国際公開WO2011/136223号
【特許文献３】特開2006-019521号公報
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】日置敬子、服部篤  著、「超急冷粉末を原料とした省Dy型Nd−Fe−B系熱間加工磁石の開発」、素形材  第52巻第8号第19〜24頁、一般財団法人素形材センター、平成23年8月発行
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献２では平板状の基材を対象としており、それゆえ、前記混合物を塗布する基材の面は平面である。しかしながら、一般に、磁石の形状は平板状には限られない。例えば、RFeB系磁石が多く使用されるモータの回転子では、RFeB系磁石が回転方向に多数並べられており、各RFeB系磁石には、固定子の内面の形状に対応して、該内面に相対する面が凸の弧状に形成されたものが用いられている。このようなモータ用RFeB系磁石では、特に固定子に相対する弧状表面の全面において均一な磁気特性を付与するために、前記混合物を当該表面に均一に塗布する必要がある。しかしながら、特許文献２に記載のスクリーン印刷による方法では、多数の基材を並べてスクリーン印刷を行うため、個々の基材の表面が曲面である場合には、各基材の表面に均一の厚さで前記混合物を塗布することができない。
【００１１】
本発明が解決しようとする課題は、粒界拡散処理において磁石基材の表面が非平面であってもRH含有粉末と有機溶剤を混合した混合物を該表面に付着させることができ、平面・非平面を問わず、該混合物を均一且つ任意の厚さで磁石基材の表面に付着させることができるRFeB系磁石の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために成された本発明に係るRFeB系磁石の製造方法は、
Nd及びPrのうちの少なくとも1種から成る軽希土類元素RL、Fe及びBを含有するRFeB系磁石から成る焼結磁石又は熱間塑性加工磁石である基材の被付着面に対向してノズルを配置し、
該ノズルから、Dy, Tb及びHoのうちの少なくとも1種から成る重希土類元素RHを含有するRH含有粉末と有機溶剤を混合した混合物を吐出することにより、該混合物を前記被付着面に付着させ、
前記基材を前記混合物ごと加熱する
ことを特徴とする。
【００１３】
本発明では、前記混合物をノズルから吐出することによって該混合物を前記被付着面に付着させるため、基材の被付着面に対して非接触で操作を行うことができ、被付着面の形状による制約を受けることがない。そのため、モータの回転子で用いられるRFeB系磁石における弧状表面のような非平面である被付着面にも、前記混合物を均一に、且つ、任意の厚さで付着させることができる。
【００１４】
一方、前記被付着面上の位置によって異なる量で該被付着面に前記混合物を付着させてもよい。
被付着面の形状によっては、後述の理由により、RFeB系磁石内において局所的に保磁力が低下することがある。そのような場合には、保磁力が低下する位置に対応する被付着面に、より多くの前記混合物を付着させることが望ましい。本発明の方法によれば、このような被付着面の位置に応じた前記混合物の付着量の調整を容易に行うことができる。局所的に保磁力が低下する原因としては、(i)磁化方向の厚さが他の位置よりも薄い位置において、保磁力低下の原因となる、磁化による反磁界が局所的に強くなること、(ii)使用時の外部磁界の変化に伴ってRFeB系磁石内に生じる渦電流により、保磁力低下の原因となる、温度の上昇がRFeB系磁石の形状によって局所的に大きくなること、等が挙げられる。
【００１５】
なお、前記加熱の温度は、従来の粒界拡散処理で行われている加熱の温度と同程度でよい。この加熱温度は、通常は800〜950℃程度であるが、粒界拡散が実現しさえすれば、それ以外の温度範囲であってもよい。
【００１６】
本発明において、前記有機溶剤には、シリコーングリースを用いることが望ましい。シリコーンは、一般式X3SiO-(X2SiO)n-SiX3（Xは有機基であって、各有機基は同じものである必要はない）で表される高分子であり、Si原子とO原子が交互に結合した「シロキサン結合」を有する主鎖を持つ。このようなシリコーングリースを前記混合物における溶剤として用いることにより、基材への前記混合物の密着性が高まる。そのため、RHを基材の粒界に拡散させるために加熱をした際に、前記混合物が被付着面から剥離することを防ぐことができる。
【００１７】
前記RH含有粉末の最大粒径が小さいほど、また、前記混合物の粘度が低いほど、該混合物がノズルを通過しやすくなる。そのため、前記RH含有粉末の最大粒径は、前記ノズルの径の0.15倍以下であることが望ましく、0.10倍以下であることがより望ましい。なお、最大粒径は、測定方法に依存して得られる値が相違するが、ここではレーザ回折式粒度分布測定法により測定された値を用いる。また、前記混合物の粘度は3OPa・s以下であることが望ましく、10Pa・s以下であることがより望ましく、さらには5Pa・s以下であることが望ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、粒界拡散処理において非平面である基材の被付着面に対して非接触で、RH含有粉末と有機溶剤を混合した混合物を均一に且つ任意の厚さで付着させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施例に係るRFeB系磁石の製造方法において用いる混合物供給装置を示す概略構成図。
【図２】本実施例で作製したRFeB系磁石の基材の形状を示す斜視図。
【図３】本実施例で作製したRFeB系磁石の基材において、混合物を付着させる位置の例を示す図。
【図４】基材の形状の他の例を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明に係るRFeB系磁石の製造方法の実施例を、図１〜図４を用いて説明する。
【実施例】
【００２１】
図１に、本実施例に係るRFeB系磁石の製造方法において、RFeB系磁石の基材２０の非平面である被付着面２１にRH含有粉末と有機溶剤の混合物を付着させるために用いる混合物供給装置１０の概略の構成を示す。混合物供給装置１０は、基材保持部１１と、ノズルヘッド１２と、基材搬送部１３と、混合物供給部１４とを有する。
【００２２】
基材保持部１１は、被付着面２１を上側に向けて基材２０を保持するものである。本実施例では、基材保持部１１には、基材２０の下面２２よりもわずかに大きい平面形状を有する凹部を上面に設けた板状の部材を用いた。図１には、基材２０を1個のみ示したが、1個の基材保持部１１に複数の基材２０を保持するようにしてもよい。この場合、基材２０を図１の奥行方向に並べてもよいし、左右方向に並べてもよい。あるいは、それら両方向に２次元的に並べてもよい。
【００２３】
ノズルヘッド１２は、複数のノズル１２１と、各ノズル１２１に取り付けられた吐出素子（図示せず）と、吐出素子を制御するコントローラ（図示せず）から成り、基材保持部１１に保持された基材２０の被付着面２１に対向するように配置される。このノズルヘッド１２では、被付着面２１全体をカバーするように複数のノズル１２１が配置される。図１では横方向にのみ複数のノズル１２１が並んでいるように描かれているが、実際には図の奥行方向にも同様に複数のノズル１２１が並んでいる。また、ノズルヘッド１２の数は、基材２０の数に応じて適宜変更され、例えば、1個の基材保持部１１に複数の基材２０が保持される場合には、ノズルヘッド１２も各基材２０の被付着面２１に対向するように、基材２０と同数個設けることができる。吐出素子は、空気式又は電磁ソレノイド式アクチュエータを有するものであり、コントローラからアクチュエータに信号が送信されたときに、弁要素又はピストンが移動することで、混合物３０をノズル１２１から押し出すものである。なお、アクチュエータには、ピエゾ素子（圧電素子）を用いることもできる。また、1個のノズルヘッド１２に用いるノズル１２１の数は、基材２０のサイズや塗布面積に応じて適宜変更される。例えば、ノズルヘッド１２は、図１に示した複数のノズル１２１を有するマルチノズルの代わりに、ノズル１２１を1個のみ有するシングルノズルとしてもよい。
【００２４】
基材搬送部１３は、基材２０が保持された基材保持部１１を順次ノズルヘッド１２の直下に搬送すると共に、被付着面２１に混合物が塗布された後の基材保持部１１をノズルヘッド１２の直下から他の場所に搬送するものである。基材搬送部１３には、本実施例ではベルトコンベアを用いるが、ＸＹステージ、ロボットアーム等を用いることもできる。
【００２５】
混合物供給部１４は、RH含有粉末と有機溶剤の混合物３０を貯留する混合物タンク１４１と、混合物３０を混合物タンク１４１から各ノズル１２１に供給する供給管１４２から成る。
【００２６】
混合物供給装置１０の動作を説明する。基材２０が被付着面２１を上側に向けて保持された基材保持部１１は、基材搬送部１３により、該被付着面２１がノズルヘッド１２の直下に配置されるように移動する。次に、吐出装置は、ドライバからの電気信号を受けて、混合物３０をノズル１２１から被付着面２１に向けて吐出する。これにより、被付着面２１に混合物３０が付着する。その後、基材搬送部１３は、ノズルヘッド１２の直下の位置にあった基材保持部１１を該位置から移動させると共に、次の基材保持部１１を該位置に移動させる。ここまでの動作を繰り返すことにより、多数の基材２０に対して順次、被付着面２１に混合物３０を付着させる処理が行われる。
【００２７】
なお、上記の混合物供給装置１０では、被付着面２１全体をカバーするように複数のノズル１２１が配置されたノズルヘッド１２を用いたが、これは同一形状の被付着面２１を有する基材２０を用いたRFeB系磁石を大量に生産することに適している。一方、１台の混合物供給装置において、被付着面２１の形状が異なる複数種の基材２０を取り扱う場合、あるいは、部分的に混合物３０を付着させたい場合には、ノズルヘッド１２には、図１の左右又は／及び奥行方向に可動であって、同図に示したものよりもノズル１２１の本数を少なくしたものを用いるとよい。すなわち、被付着面２１の形状に応じてノズルヘッド１２を移動させながら混合物３０を被付着面２１に供給することにより、形状の異なる被付着面２１にも混合物３０を均一に供給することができる。
【００２８】
次に、本実施例で使用するRFeB系磁石の基材２０の形状を図２に示す。本実施例で用いた基材２０は、長辺２０１の長さが16mm、短辺２０２の長さが14mmである長方形の下面２２、該長方形の２つの長辺２０１から立ち上がり互いに対向する第１側面２３１及び第２側面２３２、該長方形の２つの短辺２０２から立ち上がり互いに対向する第３側面２３３及び第４側面２３４、並びに下面２２に対向する上面２１を有する。上面２１は、下面２２の短辺２０２に平行な断面において上に凸の弧状の形状を有し、当該断面形状は下面２２の長辺２０１に平行な方向の位置に依らず同一である。当該断面における円弧の曲率半径はR32mmであり、高さ（上面２１と下面２２の距離）が当該断面の両端部では4.7mm、中央部では5.7mmである。この上面２１の形状に対応して、第１側面２３１及び第２側面２３２は長方形、第３側面２３３及び第４側面２３４は上に凸の形状を有する。
【００２９】
基材２０は以下のように焼結法により作製した。まず、重量百分率がNd：25.8、Pr：4.7、Dy：0.3、Ｂ：0.99、Co：0.9、Cu：0.1、Al：0.2、Fe：残部の組成を有する合金から、ストリップキャスト法により、厚さ約0.3mmのフレーク状合金片を作製した。次に、公知の水素解砕法により、当該フレーク状合金片を解砕することにより、大きさが約0.1〜1mmである当該合金の不定形粉末を作製した。続いて、当該不定形粉末をジェットミル装置により粉砕し、粉末粒径が約3μmの合金微粉末を作製した。得られた合金微粉末を、基材２０の前記形状に対応したキャビティを有するモールドに充填した。次に、モールド内の合金微粉末を圧縮成形することなく、そのまま磁界中で配向させた。そして、配向後の合金微粉末をモールド内に充填したまま、圧縮成形を行うことなく、真空中において温度が1000℃になるよう加熱し、当該温度で4時間維持することにより、合金微粉末を焼結させた。これにより、基材２０が得られた。なお、このように圧縮成形を行うことなくRFeB系の焼結磁石を作製する方法はPLP（Press-Less Process）法と呼ばれており、残留磁束密度の低下を抑えつつ保磁力を高めることができると共に、モールドのキャビティの形状に対応した形状の焼結体を得ることができる方法として知られている。PLP法の詳細は特許文献３に記載されている。
【００３０】
次に、RH含有粉末と有機溶剤の混合物３０について説明する。本実施例で用いた混合物３０は、RHとしてTbを含有し、有機溶剤としてシリコーングリースを含有するものである。混合物３０は以下のように作製した。まず、Tb、Ni及びAlを重量比で92:4.3:3.7で含有するTbNiAl合金を粉砕することにより、Tb含有粉末（RH含有粉末）を作製した。次に、得られたTb含有粉末、シリコーングリース、シリコーンオイル、及び分散剤であるラウリン酸メチルを後述の混合比で混合することにより、混合物３０を得た。混合物３０は、Tb含有粉末の最大粒径及び前記混合比が異なる複数種のものを用意した。なお、後述の実施例１では、シリコーンオイルは使用しなかった。また、シリコーンオイルは混合物３０の粘度を調整するために、分散剤は混合物３０内におけるTb含有粉末の分散性を高めるために、それぞれ添加したものであり、本発明においては必須のものではない。
【００３１】
上記のように得られた基材２０の上面２１を被付着面として、ノズル１２１から混合物３０を吐出することにより、該被付着面に混合物３０を付着させた。同様に、基材２０の下面２２にも混合物３０を付着させた。ここでは、混合物３０内での混合比、Tb含有粉末の最大粒径、混合物３０の粘度、及びノズルの径が異なる4つの例（実施例１〜４）で実験を行った。その実験の条件及び結果を表１に示す。なお、表１において、混合比は便宜上、Tb含有粉末、シリコーングリース及びシリコーンオイルの含有率の合計を100重量％として表し、これら3種のものよりも含有率の低い分散剤の含有率を、これら3種の合計の重量に対する比で表した。
【表１】
2015065218.tif 000003
【００３２】
この実験の結果、いずれの実施例においても、平坦な下面２２だけではなく非平面である上面２１にも、ほぼ均一な厚さで混合物３０を付着させることができた。また、被付着面に付着した混合物３０の膜厚は、28μm〜516μmという広い範囲内で調整することができた。ここで、ノズルの径を小さくするほど、また、混合物３０の粘度を小さくするほど、混合物３０の吐出量が少なくなるため、膜厚を薄くすることができる。混合物３０の粘度は、Tb含有粉末の量が少ないほど、粘度の高いシリコーングリースの量が少ないほど、あるいは粘度の低いシリコーンオイルの量が多いほど、小さくすることができる。なお、本実施例ではいずれもノズルの閉塞（混合物３０による詰まり）は生じなかったが、ノズルの閉塞が生じた場合には、混合物３０の粘度を小さくする、あるいはノズルの径を大きくする、といった調整を行えばよい。
【００３３】
以上の実施例１〜４についてそれぞれ、上面（被付着面）２１に混合物３０を付着させた基材２０を、該基材２０の粒界を通して結晶粒の表面付近に供給すべく、真空中において900℃で10時間加熱した。その後、基材２０に対して500℃の温度で3時間加熱する時効処理、及び基材２０の厚さ方向に4.5Tの磁界を印加する着磁処理を行うことにより、最終製品であるRFeB系磁石が得られた。
【００３４】
次に、実施例１〜４で得られたRFeB系磁石、及び以下に述べる参考例で得られたRFeB系磁石の磁気特性を測定した。ここで参考例は、上面及び下面が長辺16mm、短辺14mmの長方形であって厚さが6mmである直方体の基材の上面及び下面に、スクリーン印刷法を用いて混合物を厚さ32μmで塗布したものである。参考例における混合物には、Tb含有粉末、シリコーングリース、シリコーンオイル及び分散剤の混合比が80：10：10：0.2（重量比）、Tb含有粉末の粒径の最大値が30μmのものを用いた。磁気特性の測定は、実施例１〜４、参考例のいずれも、得られたRFeB系磁石から7mm×7mm×4mmの試験片を切り出し、該試験片に対して、BHトレーサを用いて室温における残留磁束密度及び保磁力を測定することにより行った。磁気特性の測定結果を表２に示す。
【表２】
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【００３５】
この実験結果より、実施例１〜４で得られたRFeB系磁石はいずれも、参考例と同程度の残留磁束密度及び保磁力を有することが確認された。すなわち、本実施例により、従来の直方体の基材に対して行われていた粒界拡散処理と同程度の磁気特性を、非平面を有する基材の該非平面を前記混合物の被付着面とした粒界拡散処理によって得ることができた。
【００３６】
本発明は上記実施例には限定されない。
例えば、上記実施例では、RH含有粉末にはTbNiAl合金を粉末にしたTb含有粉末を用いたが、DyやHoを含有する粉末を用いてもよいし、合金以外のRHの単体や化合物（フッ化物等）を用いてもよい。また、有機溶剤には、上記実施例で用いたシリコーングリース又はシリコーンオイル以外に、流動パラフィン、ヘキサン又はシクロヘキサン等の液状炭化水素等を用いることができる。
【００３７】
また、上記実施例では上面２１全体に均一に混合物３０を付着させた（図３(a)）が、上面２１のうち短辺２０２方向の両端に、長辺２０１方向に沿って、上面２１の他の位置よりも付着物３０を厚く付着させた厚付着物領域３１を設けてもよい（図３(b)）。これにより、基材２０のうち短辺２０２方向の両端部２５に、より多くのRHを供給することができる。この両端部２５は、基材２０中で厚さが最も薄く、磁化が厚さ方向を向いていることから、磁化によって生成される反磁界が基材２０中で最も大きくなり、保磁力の低下が生じ易い。また、両端部２５は、モータ等に組み込まれたときに反磁界による発熱が大きいため、保磁力の低下が生じ易い。この例では、両端部２５により多くのRHを供給することとなるため、両端部２５における局所的な保磁力の向上により、発熱に伴う保磁力の低下を防ぐことができる。なお、図３(b)では下面２２には混合物３０を付着させていないように描かれているが、もちろん、下面２２に混合物３０を付着させてもよい。
【００３８】
上記実施例では１つの面（上面２１）のみが非平面であって、該非平面が凸状である基材２０を用いたが、基材の形状はこれには限定されない。例えば、図４に示すように、上面２１Ａが上に凸の弧状の形状を有すると共に、下面２２Ａも上面２１Ａと同じ上に凸の弧状の形状を有する基材２０Ａを用いることができる。基材２０Ａにおいて、上面２１Ａと共に下面２２Ａを混合物３０の被付着面とすると、凹面に混合物３０を付着させることとなるが、本実施例によれば斯かる凹面にも凸面同様に混合物３０を均一に且つ任意の厚さで付着させることができる。
【符号の説明】
【００３９】
１０…混合物供給装置
１１…基材保持部
１２…ノズルヘッド
１２１…ノズル
１３…基材搬送部
１４…混合物供給部
１４１…混合物タンク
１４２…供給管
２０、２０Ａ…基材
２０１…下面２２の長方形の長辺
２０２…下面２２の長方形の短辺
２１、２１Ａ…上面（被付着面）
２２…下面
２２Ａ…下面（被付着面）
２３１…第１側面
２３２…第２側面
２３３…第３側面
２３４…第４側面
３０…混合物
【図１】
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【図２】
2015065218.tif 000006
【図３】
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【図４】
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