(57)【要約】【課題】  電子部品を樹脂封止した後の封止樹脂シートの角部の欠けを防止して歩留まり良く電子部品パッケージを製造可能な電子部品パッケージの製造方法を提供すること。【解決手段】  本発明は、一又は複数の電子部品が配置された被着体を準備する工程Ａ、前記電子部品を埋め込むように封止樹脂シートを前記被着体上に積層する工程Ｂ、及び前記封止樹脂シートの前記被着体側の第１主面とは反対側の第２主面の外周に位置する角部を前記第２主面の外周の少なくとも一部の範囲にわたって面取りする工程Ｃを含む電子部品パッケージの製造方法である。【選択図】  図１Ｅ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一又は複数の電子部品が配置された被着体を準備する工程Ａ、
前記電子部品を埋め込むように封止樹脂シートを前記被着体上に積層する工程Ｂ、及び
前記封止樹脂シートの前記被着体側の第１主面とは反対側の第２主面の外周に位置する角部を前記第２主面の外周の少なくとも一部の範囲にわたって面取りする工程Ｃ
を含む電子部品パッケージの製造方法。
【請求項２】
前記工程Ｃにおいて、前記第２主面の全外周にわたって前記角部を面取りする請求項１に記載の電子部品パッケージの製造方法。
【請求項３】
前記封止樹脂シートの平面視形状は、直径３００ｍｍ以上の円形又は一辺の長さが３００ｍｍ以上の長方形である請求項１又は２に記載の電子部品パッケージの製造方法。
【請求項４】
前記封止樹脂シートの熱硬化前の５５℃での貯蔵弾性率が１０Ｐａ以上２０００００Ｐａ以下である請求項１〜３のいずれか１項に記載の電子部品パッケージの製造方法。
【請求項５】
前記工程Ｃの後、前記封止樹脂シートを熱硬化させる工程Ｄをさらに含む請求項１〜４のいずれか１項に記載の電子部品パッケージの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品パッケージの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップ等の電子部品のパッケージの作製には、代表的に、基板や仮止め材等の被着体に固定された１又は複数の電子部品を封止樹脂にて封止し、必要に応じて封止物を電子部品単位のパッケージとなるようにダイシングするという手順が採用されている。このような封止樹脂としてハンドリング性が良好なシート状の封止樹脂が提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１９７１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような封止樹脂シートを用いて封止物を形成した場合、それ以降の工程における衝撃や応力等により封止樹脂シートの角部に欠けが生じて電子部品を十分な範囲で樹脂封止することができなかったり、欠けた小片が工程に混入して不具合が生じたりし、全体として電子部品パッケージの製造の歩留まりが低下するおそれがあることが判明した。
【０００５】
本発明の目的は、電子部品を樹脂封止した後の封止樹脂シートの角部の欠けを防止して歩留まり良く電子部品パッケージを製造可能な電子部品パッケージの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、鋭意検討した結果、以下の構成により上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。
【０００７】
すなわち、本発明は、一又は複数の電子部品が配置された被着体を準備する工程Ａ、
前記電子部品を埋め込むように封止樹脂シートを前記被着体上に積層する工程Ｂ、及び
前記封止樹脂シートの前記被着体側の第１主面とは反対側の第２主面の外周に位置する角部を前記第２主面の外周の少なくとも一部の範囲にわたって面取りする工程Ｃ
を含む電子部品パッケージの製造方法である。
【０００８】
当該製造方法は、電子部品の封止樹脂シートによる封止後に封止樹脂シートの角部の少なくとも一部を面取りする工程を含むので、封止後の封止樹脂シートの角部の欠けを効率良く防止することができ、歩留まり良く電子部品パッケージを製造することができる。
【０００９】
前記工程Ｃにおいて、前記第２主面の全外周にわたって前記角部を面取りすることが好ましい。これにより封止後の封止樹脂シートの角部の欠けをより高いレベルで防止することができ、電子部品パッケージのさらなる生産性向上を図ることができる。
【００１０】
前記封止樹脂シートの平面視形状は、直径３００ｍｍ以上の円形又は一辺の長さが３００ｍｍ以上の長方形であってもよい。１回の封止プロセスで得られる電子部品パッケージの収率を高めるには封止すべき電子部品の数を増加させるとともに、封止樹脂シートの平面視形状を大型化（すなわち、大面積化）すればよい。しかしながら、封止樹脂シートの大面積化を行うと、当然封止樹脂シートの角部の存在領域が拡大し、角部の欠けの発生割合も高くなってしまう。当該製造方法では、このような大面積化した封止樹脂シートであっても封止後に角部の面取りを行うので、角部の欠けを防止することができ、ひいては電子部品パッケージの製造効率を向上させることができる。
【００１１】
前記封止樹脂シートの熱硬化前の５５℃での貯蔵弾性率が１０Ｐａ以上２０００００Ｐａ以下であることが好ましい。熱硬化時の封止樹脂シートの熱的挙動（熱膨張、熱収縮、反り等）を抑制するために、無機充填剤を高い割合で配合するという方策が採られることがある。この場合、熱硬化前の貯蔵弾性率は上記範囲程度となり、ハンドリング性や電子部品の埋まり込み性は良好になるものの、比較的高い貯蔵弾性率に起因して角部の欠けが生じやすくなることがある。当該製造方法では、このような封止樹脂シートであっても角部の面取りにより角部の欠けを防止することができ、所望の電子部品パッケージを効率良く製造することができる。
【００１２】
当該製造方法は、前記工程Ｃの後、前記封止樹脂シートを熱硬化させる工程Ｄをさらに含むことが好ましい。熱硬化後の封止樹脂シートの角部に対して面取りを施すことも可能であるものの、熱硬化前と比較して熱硬化後の貯蔵弾性率はさらに高まり、粘性ないし靭性が低下して脆性が高くなっている。そうすると、角部の面取り処理を安定的に施すのに厳しい条件設定が必要となり、かえって電子部品パッケージの製造効率を低下させることにもなる。これに対し、封止樹脂シートの熱硬化前ではある程度の粘性ないし靭性を有しているので、面取り処理のための条件設定にも幅を持たせることができ、効率良く角部の面取りを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１Ａ】本発明の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図１Ｂ】本発明の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図１Ｃ】本発明の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図１Ｄ】本発明の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図１Ｅ】本発明の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図１Ｆ】本発明の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図１Ｇ】本発明の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図１Ｈ】本発明の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図１Ｉ】本発明の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図１Ｊ】本発明の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図２Ａ】本発明の別の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図２Ｂ】本発明の別の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図２Ｃ】本発明の別の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図２Ｄ】本発明の別の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図２Ｅ】本発明の別の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図２Ｆ】本発明の別の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図２Ｇ】本発明の別の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図２Ｈ】本発明の別の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図２Ｉ】本発明の別の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図２Ｊ】本発明の別の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。
【図３Ａ】封止樹脂シートの角部の面取り形状の一例を模式的に示す断面図である。
【図３Ｂ】封止樹脂シートの角部の面取り形状の別の一例を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の電子部品パッケージの製造方法の実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。ただし、図の一部又は全部において、説明に不要な部分は省略し、また説明を容易にするために拡大または縮小等して図示した部分がある。図面を参照しながらの上下等の位置関係を示す用語は、単に説明を容易にするために用いられており、本発明の構成を限定する意図は一切ない。
【００１５】
《第１実施形態》
［電子部品パッケージの製造方法］
封止樹脂シートを用いる本実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法について図１Ａ〜図１Ｇを参照しつつ説明する。図１Ａ〜図１Ｊはそれぞれ、本発明の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。第１実施形態では、電子部品として半導体チップを用い、被着体として半導体ウェハを用いつつ、半導体ウェハ上に搭載された半導体チップを封止樹脂シートにより樹脂封止して半導体パッケージを作製する。
【００１６】
（工程Ａ：チップ搭載ウェハ準備工程）
チップ搭載ウェハ準備工程では、複数の半導体チップ１３がフリップチップ接続された半導体ウェハ１２Ａを準備する（図１Ａ参照）。半導体チップ１３は、所定の回路が形成された半導体ウェハを公知の方法でダイシングして個片化することにより形成することができる。半導体チップ１３の半導体ウェハ１２Ａへの搭載には、フリップチップボンダーなどの公知の装置を用いることができる。本実施形態では、半導体チップ１３の突起電極１３ａが形成された活性面Ａ１が半導体ウェハ１２Ａと対向するフリップチップ接続を採用している。半導体チップ１３に形成されたバンプ等の突起電極１３ａと、半導体ウェハ１２Ａに設けられた貫通電極１２ａとを介して、半導体チップ１３と半導体ウェハ１２Ａとが電気的に接続されている。貫通電極１２ａは、ＴＳＶ（Ｔｈｒｏｕｇｈ  Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｖｉａ）形式の電極を好適に用いることができる。
【００１７】
また、半導体チップ１３と半導体ウェハ１２Ａとの間には両者の熱膨張率の差を緩和して特に接続部位におけるクラック等の発生を防止するためのアンダーフィル材１４が充填されている。アンダーフィル材１４としては公知のものを用いればよい。アンダーフィル材１４の配置は、半導体チップ１３の半導体ウェハ１２Ａへの搭載後、両者間に液状のアンダーフィル材１４を注入させることにより行ってもよく、シート状のアンダーフィル材１４付きの半導体チップ１３又は半導体ウェハ１２Ａを用意した上で、半導体チップ１３と半導体ウェハ１２Ａとを接続することにより行ってもよい。
【００１８】
（工程Ｂ：封止工程）
封止工程では、半導体チップ１３を封止樹脂シート１１に埋め込むように半導体ウェハ１２Ａへ封止樹脂シート１１を積層し、半導体チップ１３を上記封止樹脂シートで樹脂封止する（図１Ｂ及び図１Ｃ参照）。この封止樹脂シート１１は、半導体チップ１３及びそれに付随する要素を外部環境から保護するための封止樹脂として機能する。
【００１９】
まず、封止樹脂シート１１を準備する。封止樹脂シート１１（図１Ｂ参照）は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムなどの剥離ライナー１１ａ上に積層された状態で準備してもよい。この場合、剥離ライナー１１ａには封止樹脂シート１１の剥離を容易に行うために離型処理が施されていてもよい。封止シート１１を形成するための樹脂組成物及び製造方法の詳細については後述する。
【００２０】
封止樹脂シート１１の平面視形状は特に限定されず、直径３００ｍｍ以上の円形又は一辺の長さが３００ｍｍ以上の長方形であってもよい。このように封止樹脂シート１１を大面積化することにより、１回の封止プロセスでの封止すべき電子部品の数を増加させることができ、得られる電子部品パッケージの収率を高めることができる。また、封止樹脂シートの大面積化を行うと角部の欠けの発生割合も高くなってしまうものの、封止後に角部の面取りを行うので、角部の欠けを防止することができ、ひいては電子部品パッケージの製造効率を向上させることができる。
【００２１】
前記封止樹脂シートの熱硬化前の５５℃での貯蔵弾性率が１０Ｐａ以上２０００００Ｐａ以下であることが好ましく、１００Ｐａ以上１５００００Ｐａ以下であることがより好ましい。熱硬化前の貯蔵弾性率を上記範囲程度とすることにより、封止樹脂シートのハンドリング性や電子部品の埋まり込み性は良好になる。また、比較的高い貯蔵弾性率に起因して角部の欠けが生じやすくなることがあるものの、封止樹脂シートの角部の面取りにより角部の欠けを防止することができ、所望の電子部品パッケージを効率良く製造することができる。
【００２２】
封止樹脂シートを準備した後、図１Ｂに示すように、下側加熱板１０１上に半導体チップ１３を搭載した半導体ウェハ１２Ａを半導体チップ１３が実装された面を上にして配置するとともに、半導体ウェハ１２Ａの半導体チップ１３が実装された面上に封止樹脂シート１１を配置する。この工程においては、下側加熱板１０１上にまず半導体ウェハ１２Ａを配置し、その後、半導体ウェハ１１Ａ上に封止樹脂シート１１を配置してもよく、半導体ウェハ１２Ａ上に封止樹脂シート１１を先に積層し、その後、半導体ウェハ１２Ａと封止樹脂シート１１とが積層された積層物を下側加熱板１０１上に配置してもよい。これとは反対に、まず封止樹脂シート１１を下側加熱板１０１上に配置し、その上に、半導体チップ１３を搭載した半導体ウェハ１２Ａを半導体チップ１３が実装された面を下にして配置してもよい。
【００２３】
次に、図１Ｃに示すように、下側加熱板１０１と上側加熱板１０２とにより熱プレスして、半導体チップ１３を封止樹脂シート１１に埋め込みながら、封止樹脂シート１１を半導体ウェハ１２Ａ上に積層する。これにより、半導体ウェハ１２Ａ上に実装されている半導体チップ１３が封止樹脂シート１１に埋め込まれた封止体１５が得られる。熱プレス後の封止樹脂シート１１の厚さが所定値となるように、下側加熱板１０１と上側加熱板１０２との間にスペーサー１０３を介在させてもよい。
【００２４】
熱プレス条件としては、温度が、例えば、４０〜１３０℃、好ましくは、６０〜１２０℃であり、圧力が、例えば、５０〜２５００ｋＰａ、好ましくは、１００〜２０００ｋＰａであり、時間が、例えば、０．３〜１０分間、好ましくは、０．５〜５分間である。また、封止樹脂シート１１の半導体チップ１３及び半導体ウェハ１２Ａへの密着性および追従性の向上を考慮すると、好ましくは、減圧条件下（例えば１０〜２０００Ｐａ）において、プレスすることが好ましい。本実施形態では、上記封止樹脂シート１１を採用することにより、半導体チップ１３の被覆に半導体ウェハ１２Ａ上に貼り付けるだけで半導体チップ１３を埋め込むことができ、半導体パッケージの生産効率を向上させることができる。
【００２５】
熱プレス後、封止体１５を熱プレス装置より取り出し、封止体１５を面取り工程に送る前に、剥離ライナー１１ａを剥離しておく。
【００２６】
（工程Ｃ：面取り工程）
面取り工程では、図１Ｄ及び１Ｅに示すように、封止体１５の封止樹脂シート１１の半導体ウェハ１２Ａ側の第１主面Ｓ１１とは反対側の第２主面Ｓ２２の外周に位置する角部Ｃ１１を第２主面Ｓ１２の外周の少なくとも一部の範囲にわたって面取りする。本実施形態の面取り形状としては、図１Ｄに示す封止樹脂シート１１の断面における第１主面Ｓ１１の外周に位置する角部の頂点から、第２主面Ｓ１２上の角部Ｃ１１から所定距離離れた箇所に向かう斜線Ｌ１に沿って行う。面取り後には、図１Ｅに示すように封止樹脂シート１１の外周部（側面部）に斜面からなる面取り部Ｃ１２が形成される。このような面取りを行うことにより、角部の不用意な欠けを防止することができ、半導体パッケージの製造の歩留まりを向上させることができる。
【００２７】
図１Ｄ及び１Ｅでは、第２主面Ｓ１２の外周の全範囲にわたる角部Ｃ１１の面取りを行っている。このように、工程Ｃにおいて、第２主面Ｓ１２の全外周にわたって角部を面取りすることにより、封止後の封止樹脂シート１１の角部の欠けをより高いレベルで防止することができ、電子部品パッケージのさらなる生産性向上を図ることができる。
【００２８】
角部の面取りの量は、封止樹脂シートの硬さや形状、封止すべき電子部品が封止樹脂シートにおいて占める割合等を考慮して適宜設定すればよい。封止樹脂シートの厚さ方向に沿った断面において、角部Ｃ１１を面取りするための斜線Ｌ１が第２主面Ｓ１２と交差する点は、封止体１５の平面投影視で角部Ｃ１１の頂点から半導体チップの外周までの最短距離の２０％〜８０％の範囲の位置にあることが好ましい。また、封止樹脂シートの厚さ方向に沿った断面において、角部Ｃ１１を面取りするための斜線Ｌ１が封止樹脂シートの側面部を構成する線分（厚さ方向の線分）と交差する点としては、角部Ｃ１１の頂点から第１主面の対応する角部の頂点までの距離（厚さに相当）の１０％〜９０％の位置にあることが好ましい。このような範囲で面取りを行うことにより、封止樹脂シートの角部の強度を損なうことなく角部の欠けの発生を防止することができ、また、電子部品の封止領域を十分に確保することができる。
【００２９】
面取りの方法は、公知の方法を適宜採用することができ、切削や研磨等により行うことができる。
【００３０】
（工程Ｄ：熱硬化工程）
熱硬化工程では、上記封止樹脂シートを熱硬化処理して半導体チップ１３が封止樹脂シート１１に埋め込まれた封止体１５を形成する（図１Ｅ参照）。封止樹脂シートの熱硬化処理の条件は、加熱温度として好ましくは１００℃から２００℃、より好ましくは１２０℃から１８０℃、加熱時間として好ましくは１０分から１８０分、より好ましくは３０分から１２０分の間、必要に応じて加圧しても良い。加圧の際は、好ましくは０．１ＭＰａから１０ＭＰａ、より好ましくは０．５ＭＰａから５ＭＰａを採用することができる。
【００３１】
（工程Ｅ：研削工程）
研削工程では、封止体１５の封止樹脂シート１１を半導体チップ１３の活性面Ａ１とは反対側の表面が露出するように研削して研削体１６Ａを形成する（図１Ｆ参照）。研削の際、図１Ｆに示すように封止樹脂シート１１とともに半導体チップ１３も研削してもよく、封止樹脂シート１１のみを研削してもよい。研削は公知の研削装置を用いて行えばよい。ダイアモンドバイト等の研削バイトを回転させながら、そこに封止体１５を送りつつ封止体表面を研削して研削体１６Ａを形成する手順を好適に採用することができる。
（工程Ｆ：裏面研削工程）
裏面研削工程では、研削体１６Ａの研削面Ｇ１とは反対側の面（すなわち、裏面Ｂ１）を研削する（図１Ｇ参照）。これにより、半導体ウェハ１２Ａの露出面を研削することになり、薄型化した半導体ウェハ１２Ｂを得ることができる。研削後の半導体ウェハ１２Ｂの厚さは目的とするパッケージの仕様により変更すればよく、例えば２５〜２００μｍが好ましく、５０〜１００μｍがより好ましい。研削は、裏面研削用テープを研削面Ｇ１に貼り合わせて研削体１６Ａを固定し、固定した研削体１６Ａに対して公知の研削装置を用いて行えばよい。裏面研削用テープは公知のものを用いることができる。
【００３２】
（工程Ｇ：再配線形成工程）
本実施形態ではさらに、研削体１６Ｂの半導体チップ１３の活性面Ａ１側の面（半導体ウェハ１２Ｂの半導体チップ１３とは反対側の面）Ｂ１に再配線１９を形成する再配線形成工程を含むことが好ましい（図１Ｈ参照）。再配線形成工程では、裏面研削による薄型化した半導体ウェハ１２Ｂの形成後、半導体ウェハ１２Ｂの貫通電極１２ａと接続する再配線３９を研削体１６Ｂ上に形成する。
【００３３】
再配線の形成方法としては、例えば、露出している半導体ウェハ１２Ｂ上へ真空成膜法などの公知の方法を利用して金属シード層を形成し、セミアディティブ法などの公知の方法により、再配線１９を形成することができる。
【００３４】
かかる後に、再配線１９及び研削体１６Ｂ上へポリイミドやＰＢＯなどの絶縁層を形成してもよい。
【００３５】
（工程Ｈ：バンプ形成工程）
次いで、形成した再配線１９上にバンプ１７を形成するバンピング加工を行ってもよい（図１Ｉ参照）。バンピング加工は、半田ボールや半田メッキなど公知の方法で行うことができる。バンプの材質は特に限定されず、例えば、錫−鉛系金属材、錫−銀系金属材、錫−銀−銅系金属材、錫−亜鉛系金属材、錫−亜鉛−ビスマス系金属材等の半田類（合金）や、金系金属材、銅系金属材などが挙げられる。
【００３６】
バンプ１７を形成した後、半導体チップ１３の露出面１３Ｓを保護するために、研削体１６Ａの研削面Ｇ１（図１Ｆ参照）を再度樹脂封止してもよい。封止方法としては特に限定されず、公知の液状やフィルム状の封止樹脂を研削面Ｇ１に塗布ないし貼り合わせ、乾燥、硬化させればよい。なお、本工程は、研削工程後であってダイシング工程前であればいずれの段階で行ってもよい。
【００３７】
（工程Ｉ：ダイシング工程）
続いて、封止樹脂シート１１、半導体ウェハ１２Ｂ、及び半導体チップ１３などの要素からなるバンプ形成を経た研削体１６Ｃのダイシングを行ってもよい（図１Ｊ参照）。これにより、目的とする半導体チップ１３単位での半導体パッケージ１８を得ることができる。なお、ダイシング工程後の半導体パッケージ１８は、それぞれ同じ構造及び機能を有していることが好ましいので、ダイシング後に面取り部Ｃ１２が存在しないように面取り部Ｃ１２に対してもダイシングを行うことが好ましい。図１Ｊでは、１つの半導体チップに対応させてダイシングしているが、２つ以上の半導体チップを一単位としてダイシングを行ってもよい。ダイシングは、通常、従来公知のダイシングシートにより上記研削体１６を固定した上で行う。切断箇所の位置合わせは直接照明又は間接照明を用いた画像認識により行ってもよい。
【００３８】
本工程では、例えば、ダイシングシートまで切込みを行うフルカットと呼ばれる切断方式等を採用できる。本工程で用いるダイシング装置としては特に限定されず、従来公知のものを用いることができる。
【００３９】
なお、ダイシング工程に続いて研削体のエキスパンドを行う場合、該エキスパンドは従来公知のエキスパンド装置を用いて行うことができる。エキスパンド装置は、ダイシングリングを介してダイシングシートを下方へ押し下げることが可能なドーナッツ状の外リングと、外リングよりも径が小さくダイシングシートを支持する内リングとを有している。このエキスパンド工程により、隣り合う半導体パッケージ１８同士が接触して破損するのを防ぐことができる。
【００４０】
（工程Ｊ：基板実装工程）
必要に応じて、上記で得られた半導体パッケージ１８を別途の基板（図示せず）に実装する基板実装工程を行うことができる。半導体パッケージ１８の基板への実装には、フリップチップボンダーやダイボンダーなどの公知の装置を用いることができる。
【００４１】
［封止樹脂シート］
以下、封止樹脂シートを形成する樹脂組成物の好適な態様について説明する。樹脂組成物としては、封止樹脂シート硬化後の耐熱性や安定性を向上させる観点から、熱硬化性樹脂をさらに含むことが好ましい。具体的な成分として以下のＡ成分からＥ成分を含有するエポキシ樹脂組成物が好ましいものとして挙げられる。
Ａ成分：エポキシ樹脂
Ｂ成分：フェノール樹脂
Ｃ成分：エラストマー
Ｄ成分：無機充填剤
Ｅ成分：硬化促進剤
【００４２】
（Ａ成分）
熱硬化性樹脂としてのエポキシ樹脂（Ａ成分）としては、特に限定されるものではない。例えば、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、変性ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、変性ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂等の各種のエポキシ樹脂を用いることができる。これらエポキシ樹脂は単独で用いてもよいし２種以上併用してもよい。
【００４３】
エポキシ樹脂の硬化後の靭性及びエポキシ樹脂の反応性を確保する観点からは、エポキシ当量１５０〜２５０、軟化点もしくは融点が５０〜１３０℃の常温で固形のものが好ましく、中でも、信頼性の観点から、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂が好ましい。
【００４４】
また、低応力性の観点から、アセタール基やポリオキシアルキレン基等の柔軟性骨格を有する変性ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂が好ましく、アセタール基を有する変性ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂は、液体状で取り扱いが良好であることから、特に好適に用いることができる。
【００４５】
エポキシ樹脂（Ａ成分）の含有量は、エポキシ樹脂組成物全体に対して１〜１０重量％の範囲に設定することが好ましい。
【００４６】
（Ｂ成分）
フェノール樹脂（Ｂ成分）は、熱硬化性樹脂として用いることができるとともに、エポキシ樹脂（Ａ成分）との間で硬化反応を生起するものであれば特に限定されるものではない。例えば、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ビフェニルアラルキル樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、クレゾールノボラック樹脂、レゾール樹脂、等が用いられる。これらフェノール樹脂は単独で用いてもよいし、２種以上併用してもよい。
【００４７】
フェノール樹脂としては、エポキシ樹脂（Ａ成分）との反応性の観点から、水酸基当量が７０〜２５０、軟化点が５０〜１１０℃のものを用いることが好ましく、中でも硬化反応性が高いという観点から、フェノールノボラック樹脂を好適に用いることができる。また、信頼性の観点から、フェノールアラルキル樹脂やビフェニルアラルキル樹脂のような低吸湿性のものも好適に用いることができる。
【００４８】
エポキシ樹脂（Ａ成分）とフェノール樹脂（Ｂ成分）の配合割合は、硬化反応性という観点から、エポキシ樹脂（Ａ成分）中のエポキシ基１当量に対して、フェノール樹脂（Ｂ成分）中の水酸基の合計が０．７〜１．５当量となるように配合することが好ましく、より好ましくは０．９〜１．２当量である。
【００４９】
（Ｃ成分）
エポキシ樹脂（Ａ成分）及びフェノール樹脂（Ｂ成分）とともに用いられるエラストマー（Ｃ成分）は特に限定するものではなく、例えば、各種アクリル系共重合体やゴム成分等を用いることができる。エポキシ樹脂（Ａ成分）への分散性や、得られる封止樹脂シートの耐熱性、可撓性、強度を向上させることができるという観点から、ゴム成分を含むことが好ましい。このようなゴム成分としては、ブタジエン系ゴム、スチレン系ゴム、アクリル系ゴム、シリコーン系ゴムからなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましい。これらは単独で用いてもよいし、２種以上併せて用いてもよい。
【００５０】
エラストマー（Ｃ成分）の含有量は、エポキシ樹脂組成物全体の１．０〜３．５重量％であることが好ましく、１．０〜３．０重量％であることがより好ましい。エラストマー（Ｃ成分）の含有量が１．０重量％未満では、封止樹脂シート１１の柔軟性及び可撓性を得るのが困難となり、さらには封止樹脂シートの反りを抑えた樹脂封止も困難となる。逆に上記含有量が３．５重量％を超えると、封止樹脂シート１１の溶融粘度が高くなって電子部品の埋まり込み性が低下するとともに、封止樹脂シート１１の硬化体の強度及び耐熱性が低下する傾向がみられる。
【００５１】
（Ｄ成分）
無機質充填剤（Ｄ成分）は、特に限定されるものではなく、従来公知の各種充填剤を用いることができ、例えば、石英ガラス、タルク、シリカ（溶融シリカや結晶性シリカ等）、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素、窒化ホウ素の粉末が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上併用してもよい。
【００５２】
中でも、エポキシ樹脂組成物の硬化体の熱線膨張係数が低減することにより内部応力を低減し、その結果、電子部品の封止後の封止樹脂シート１１の反りを抑制できるという点から、シリカ粉末を用いることが好ましく、シリカ粉末の中でも溶融シリカ粉末を用いることがより好ましい。溶融シリカ粉末としては、球状溶融シリカ粉末、破砕溶融シリカ粉末が挙げられるが、流動性という観点から、球状溶融シリカ粉末を用いることが特に好ましい。中でも、平均粒径が５５μｍ以下の範囲のものを用いることが好ましく、０．１〜３０μｍの範囲のものを用いることがより好ましく、０．５〜２０μｍの範囲のものを用いることが特に好ましい。
【００５３】
なお、平均粒径は、母集団から任意に抽出される試料を用い、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置を用いて測定することにより導き出すことができる。
【００５４】
無機質充填剤（Ｄ成分）の含有量は、好ましくはエポキシ樹脂組成物全体の７０〜９０体積％（シリカ粒子の場合、比重２．２ｇ／ｃｍ３であるので、８１〜９４重量％）であり、より好ましくは７４〜８５体積％（シリカ粒子の場合、８４〜９１重量％）であり、さらに好ましくは７６〜８３体積％（シリカ粒子の場合、８５〜９０重量％）である。無機質充填剤（Ｄ成分）の含有量が７０体積％未満では、エポキシ樹脂組成物の硬化体の線膨張係数が大きくなるために、封止樹脂シート１１の反りが大きくなる傾向がみられる。一方、上記含有量が９０体積％を超えると、封止樹脂シート１１の柔軟性や流動性が悪くなるために、電子部品との接着性が低下する傾向がみられる。
【００５５】
（Ｅ成分）
硬化促進剤（Ｅ成分）は、エポキシ樹脂とフェノール樹脂の硬化を進行させるものであれば特に限定されるものではないが、硬化性と保存性の観点から、トリフェニルホスフィンやテトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート等の有機リン系化合物や、イミダゾール系化合物が好適に用いられる。これら硬化促進剤は、単独で用いても良いし、他の硬化促進剤と併用しても構わない。
【００５６】
硬化促進剤（Ｅ成分）の含有量は、エポキシ樹脂（Ａ成分）及びフェノール樹脂（Ｂ成分）の合計１００重量部に対して０．１〜５重量部であることが好ましい。
【００５７】
（その他の成分）
エポキシ樹脂組成物には、Ａ成分からＥ成分に加えて、難燃剤成分を加えてもよい。難燃剤組成分としては、例えば水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化鉄、水酸化カルシウム、水酸化スズ、複合化金属水酸化物等の各種金属水酸化物を用いることができる。また、難燃剤成分としては上記金属水酸化物のほか、ホスファゼン化合物を用いることができる。ホスファゼン化合物としては、例えばＳＰＲ−１００、ＳＡ−１００、ＳＰ−１００（以上、大塚化学株式会社）、ＦＰ−１００、ＦＰ−１１０（以上、株式会社伏見製薬所）等が市販品として入手可能である。環状ホスファゼンオリゴマーは、例えばＦＰ−１００、ＦＰ−１１０（以上、株式会社伏見製薬所）等が市販品として入手可能である。少量でも難燃効果を発揮するという観点から、ホスファゼン化合物に含まれるリン元素の含有率は、１２重量％以上であることが好ましい。
【００５８】
なお、エポキシ樹脂組成物は、上記の各成分以外に必要に応じて、カーボンブラックをはじめとする顔料等、他の添加剤を適宜配合することができる。
【００５９】
（封止樹脂シートの作製方法）
封止樹脂シートの作製方法を以下に説明する。本実施形態の封止樹脂シートの製造方法は、混練物を調製する混練工程、及び前記混練物をシート状に成形して封止樹脂シートを得る成形工程を含む。
【００６０】
（混練工程）
まず、上述の各成分を混合することによりエポキシ樹脂組成物を調製する。混合方法は、各成分が均一に分散混合される方法であれば特に限定するものではない。その後、各配合成分を直接ニーダー等で混練することにより混練物を調製する。
【００６１】
具体的には、上記Ａ〜Ｅ成分及び必要に応じて他の添加剤の各成分をミキサーなど公知の方法を用いて混合し、その後、溶融混練することにより混練物を調製する。溶融混練する方法としては、特に限定されないが、例えば、ミキシングロール、加圧式ニーダー、押出機などの公知の混練機により、溶融混練する方法などが挙げられる。このようなニーダーとしては、例えば、軸方向の一部においてスクリュー羽のスクリュー軸からの突出量が他の部分のスクリュー羽のスクリュー軸からの突出量よりも小さい部分を有する混練用スクリュー、又は軸方向の一部においてスクリュー羽がない混練用スクリューを備えたニーダーを好適に用いることができる。スクリュー羽の突出量が小さい部分又はスクリュー羽がない部分では低せん断力かつ低攪拌となり、これにより混練物の圧縮率が高まって噛みこんだエアを排除可能となり、得られる混練物における気孔の発生を抑制することができる。
【００６２】
混練条件としては、温度が、上記した各成分の軟化点以上であれば特に制限されず、例えば３０〜１５０℃、エポキン樹脂の熱硬化性を考慮すると、好ましくは４０〜１４０℃、さらに好ましくは６０〜１２０℃であり、時間が、例えば１〜３０分間、好ましくは５〜１５分間である。これによって、混練物を調製することができる。
【００６３】
（成形工程）
得られる混練物をシート状に押出成形により成形することにより、封止樹脂シート１１を得ることができる。具体的には、溶融混練後の混練物を冷却することなく高温状態のままで、押出成形することで、封止樹脂シート１１を形成することができる。このような押出方法としては、特に制限されず、Ｔダイ押出法、ロール圧延法、ロール混練法、共押出法、カレンダー成形法などが挙げられる。押出温度としては、上記した各成分の軟化点以上であれば、特に制限されないが、エポキシ樹脂の熱硬化性および成形性を考慮すると、例えば４０〜１５０℃、好ましくは、５０〜１４０℃、さらに好ましくは７０〜１２０℃である。以上により、封止樹脂シート１１を形成することができる。
【００６４】
封止樹脂シート１１の厚さは特に限定されないが、１００〜２０００μｍであることが好ましい。上記範囲内であると、良好に電子部品を封止することができる。また、樹脂シートを薄型にすることで、発熱量を低減でき、硬化収縮が起こりにくくなる。この結果、パッケージ反り量を低減でき、より信頼性の高い電子部品パッケージが得られる。
【００６５】
このようにして得られた封止樹脂シートは、必要により所望の厚みとなるように積層して使用してもよい。すなわち、封止樹脂シートは、単層構造にて使用してもよいし、２層以上の多層構造に積層してなる積層体として使用してもよい。
【００６６】
《第２実施形態》
以下、本発明の一実施形態である第２実施形態について説明する。図２Ａ〜図２Ｊはそれぞれ、本発明の別の一実施形態に係る電子部品パッケージの製造方法の一工程を模式的に示す断面図である。第１実施形態では、半導体ウェハにフリップチップ接続された半導体チップを封止樹脂シートにて樹脂封止しているが、第２実施形態では、半導体チップを半導体ウェハではなく仮固定材に仮固定した状態で樹脂封止を行う。
【００６７】
［工程Ａ：仮固定材準備工程］
仮固定材準備工程では、支持体２ｂ上に熱膨張性粘着剤層２ａが積層された仮固定材２を被着体として準備する（図２Ａ参照）。なお、熱膨張性粘着剤層に代えて、放射線硬化型粘着剤層を用いることもできる。
【００６８】
（熱膨張性粘着剤層）
熱膨張性粘着剤層２ａは、ポリマー成分と、発泡剤とを含む粘着剤組成物により形成することができる。ポリマー成分（特にベースポリマー）としては、粘着剤組成物に用いられる公知の樹脂が挙げられ、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、脂肪族オレフィン系樹脂、水添スチレン系熱可塑性エラストマー、アクリル樹脂等を挙げることができる。中でも、アクリル系樹脂が好ましい。
【００６９】
また、熱膨張性粘着剤には、粘着力を調整するため、外部架橋剤を適宜に用いることもできる。外部架橋方法の具体的手段としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン系架橋剤等のいわゆる架橋剤を添加し反応させる方法が挙げられる。外部架橋剤を使用する場合、その使用量は、前記ベースポリマー１００重量部に対して、２０重量部以下（好ましくは０．１重量部〜１０重量部）である。
【００７０】
（発泡剤）
熱膨張性粘着剤層２ａにおいて用いられている発泡剤としては、特に制限されず、公知の発泡剤から適宜選択することができる。発泡剤は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。発泡剤としては、熱膨張性微小球を好適に用いることができる。熱膨張性微小球としては、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱により容易にガス化して膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球などが挙げられる前記殻を形成する物質として、例えば、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホンなどが挙げられる。
【００７１】
熱膨張性微小球には、例えば、松本油脂製薬株式会社製の商品名「マツモトマイクロスフェアー」のシリーズ（例えば、商品名「マツモトマイクロスフェアーＦ３０」、同「マツモトマイクロスフェアーＦ３０１Ｄ」、同「マツモトマイクロスフェアーＦ５０Ｄ」、同「マツモトマイクロスフェアーＦ５０１Ｄ」、同「マツモトマイクロスフェアーＦ８０ＳＤ」、同「マツモトマイクロスフェアーＦ８０ＶＳＤ」など）の他、エクスパンセル社製の商品名「０５１ＤＵ」、同「０５３ＤＵ」、同「５５１ＤＵ」、同「５５１−２０ＤＵ」、同「５５１−８０ＤＵ」などの市販品を使用することができる。
【００７２】
なお、発泡剤として熱膨張性微小球を用いた場合、該熱膨張性微小球の粒径（平均粒子径）としては、熱膨張性粘着剤層の厚みなどに応じて適宜選択することができる。熱膨張性微小球の平均粒子径としては、例えば、１００μｍ以下（好ましくは８０μｍ以下、さらに好ましくは１μｍ〜５０μｍ、特に１μｍ〜３０μｍ）の範囲から選択することができる。
【００７３】
発泡剤（熱膨張性微小球など）の配合量は、熱膨張性粘着剤層の膨張倍率や接着力の低下性などに応じて適宜設定しうるが、一般には熱膨張性粘着剤層を形成するベースポリマー１００重量部に対して、例えば１重量部〜１５０重量部（好ましくは１０重量部〜１３０重量部、さらに好ましくは２５重量部〜１００重量部）である。
【００７４】
本実施形態では、発泡剤の発泡開始温度（熱膨張開始温度）（Ｔ０）は８０℃〜２１０℃が好ましく、９０℃〜２００℃がより好ましい。発泡剤の発泡開始温度が低すぎると、不用意に発泡剤が発泡してしまう場合がある。一方、発泡剤の発泡開始温度が高すぎると、仮固定材の支持体や封止樹脂に過度の耐熱性が必要となり、取り扱い性、生産性やコスト面で好ましくない。発泡剤の発泡開始温度（Ｔ０）は、熱膨張性粘着剤層の発泡開始温度（Ｔ０）に相当する。
【００７５】
熱膨張性粘着剤層の厚さは、特に制限されず、接着力の低減性などにより適宜に選択することができ、例えば、５μｍ〜３００μｍ（好ましくは２０μｍ〜１５０μｍ）程度である。
【００７６】
なお、熱膨張性粘着剤層は単層、複層の何れであってもよい。
【００７７】
本実施形態では、熱膨張性粘着剤層には、各種添加剤（例えば、着色剤、増粘剤、増量剤、充填剤、粘着付与剤、可塑剤、老化防止剤、酸化防止剤、界面活性剤、架橋剤など）が含まれていても良い。
【００７８】
（支持体）
支持体２ｂは、仮固定材２の強度母体となる薄板状部材である。支持体２ｂの材料としては取り扱い性や耐熱性等を考慮して適宜選択すればよく、例えばＳＵＳ等の金属材料、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン等のプラスチック材料、ガラス等を用いることができる。これらの中でも、耐熱性や強度、再利用可能性等の観点から、ＳＵＳプレートが好ましい。
【００７９】
支持体２ｂの厚さは目的とする強度や取り扱い性を考慮して適宜選択することができ、好ましくは１００〜５０００μｍであり、より好ましくは３００〜２０００μｍである。
【００８０】
（中間層）
本実施形態では、熱膨張性粘着剤層２ａと支持体２ｂとの間に、密着力の向上や加熱後の剥離性の向上等を目的とした中間層が設けられていてもよい（図示せず）。中でも、中間層としてゴム状有機弾性中間層が設けられていることが好ましい。ゴム状有機弾性中間層は、例えば、ＡＳＴＭ  Ｄ−２２４０に基づくＤ型シュアーＤ型硬度が、５０以下、特に４０以下の天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂により形成することが好ましい。中間層の厚さは、例えば、５μｍ〜３００μｍ、好ましくは２０μｍ〜１５０μｍ程度である。
【００８１】
（仮固定材の形成方法）
仮固定材２は、支持体２ｂ上に熱膨張性粘着剤層２ａを形成することにより得られる。熱膨張性粘着剤層は、例えば、粘着剤（感圧接着剤）と、発泡剤（熱膨張性微小球など）と、必要に応じて溶媒やその他の添加剤などとを混合して、シート状の層に形成する慣用の方法を利用し形成することができる。具体的には、例えば、粘着剤、発泡剤（熱膨張性微小球など）、および必要に応じて溶媒やその他の添加剤を含む混合物を、支持体２ｂ上に塗布する方法、適当なセパレータ（剥離紙など）上に前記混合物を塗布して熱膨張性粘着剤層を形成し、これを支持体２ｂ上に転写（移着）する方法などにより、熱膨張性粘着剤層を形成することができる。
【００８２】
［工程Ａ２：半導体チップ配置工程］
半導体チップ配置工程では、上記仮固定材２上に複数の半導体チップ２３をその活性面Ａ２が仮固定材２に対向するように配置する（図２Ａ参照）。半導体チップ２３の配置には、フリップチップボンダーやダイボンダーなどの公知の装置を用いることができる。
【００８３】
半導体チップ２３の配置のレイアウトや配置数は、仮固定材２の形状やサイズ、目的とするパッケージの生産数などに応じて適宜設定することができ、例えば、複数行で、かつ複数列のマトリックス状に整列させて配置することができる。
【００８４】
［工程Ｂ：封止工程）
封止工程では、複数の半導体チップ２３を覆うように封止樹脂シート２１を仮固定材２上へ積層して樹脂封止する（図２Ｂ及び図２Ｃ参照）。封止樹脂シート２１の仮固定材２上への積層方法は、第１実施形態と同様の条件を採用することができる。
【００８５】
［工程Ｃ：面取り工程］
本実施形態の面取り工程では、図２Ｄ及び２Ｅに示すように、封止体２５の封止樹脂シート２１の仮固定材２側の第１主面Ｓ２１とは反対側の第２主面Ｓ２２の外周に位置する角部Ｃ２１を第２主面Ｓ２２の外周の全範囲にわたって面取りする。面取り方法としては、第１実施形態と同様の条件を採用することができる。
【００８６】
［工程Ｄ：熱硬化工程）
熱硬化工程では、上記封止樹脂シート２１に熱硬化処理を施して封止体２５を形成する（図２Ｅ参照）。封止樹脂シート２１の熱硬化処理の条件は、第１実施形態と同様の条件を採用することができる。
【００８７】
［工程Ｅ：研削工程］
研削工程では、封止体２５の封止樹脂シート２１を半導体チップ２３の活性面Ａ２とは反対側の表面２３Ｓが露出するように研削して研削体２６を形成する（図２Ｆ参照）。研削は第１実施形態と同様、公知の研削装置を用いて行えばよい。
【００８８】
［工程Ｆ´：熱膨張性粘着剤層剥離工程］
熱膨張性粘着剤層剥離工程では、仮固定材２を加熱して熱膨張性粘着剤層２ａを熱膨張させることにより、熱膨張性粘着剤層２ａと研削体２６との間で剥離を行う（図２Ｇ参照）。あるいは、支持体２ｂと熱膨張性粘着剤層２ａとの界面で剥離を行い、その後、熱膨張性粘着剤層２ａと研削体２６との界面で熱膨張による剥離を行うという手順も好適に採用することができる。いずれも場合であっても、熱膨張性粘着剤層２ａ加熱して熱膨張させその粘着力を低下させることで、熱膨張性粘着剤層２ａと研削体２６との界面での剥離を容易に行うことができる。熱膨張の条件としては、上述の熱膨張性粘着剤層における発泡剤の発泡開始温度の条件を好適に採用することができる。
【００８９】
本工程では、半導体チップ２３が露出した状態で、再配線形成工程に先だってプラズマ処理などにより研削体２６の表面をクリーニングしてもよい。
【００９０】
［工程Ｇ：再配線形成工程）
本実施形態ではさらに、研削体２６の半導体チップ２３の活性面Ａ２側の面Ｂ２に再配線２９を形成する再配線形成工程を含むことが好ましい。再配線形成工程では、上記熱膨張性粘着剤層２ａの剥離後、上記露出した半導体チップ２３と接続する再配線２９を研削体２６上に形成する（図２Ｈ参照）。
【００９１】
再配線の形成方法としては、例えば、露出している半導体チップ２３上へ真空成膜法などの公知の方法を利用して金属シード層を形成し、セミアディティブ法などの公知の方法により、再配線２９を形成することができる。
【００９２】
かかる後に、再配線２９及び研削体２６上へポリイミドやＰＢＯなどの絶縁層を形成してもよい。
【００９３】
［工程Ｈ：バンプ形成工程］
次いで、形成した再配線２９上にバンプ２７を形成するバンピング加工を行ってもよい（図２Ｉ参照）。バンピング加工は、半田ボールや半田メッキなど公知の方法で行うことができる。バンプ２７の材質は、第１実施形態と同様の材質を好適に用いることができる。
【００９４】
バンプ２７を形成した後、半導体チップ２３の露出面２３Ｓを保護するために、研削体２６Ａの研削面Ｇ２（図２Ｆ参照）を再度樹脂封止してもよい。封止方法としては特に限定されず、公知の液状やフィルム状の封止樹脂を研削面Ｇ２に塗布ないし貼り合わせ、乾燥、硬化させればよい。なお、本工程は、研削工程後であってダイシング工程前であればいずれの段階で行ってもよい。
【００９５】
［工程Ｉ：ダイシング工程］
最後に、半導体チップ２３、封止樹脂シート２１及び再配線２９などの要素からなる積層体のダイシングを行う（図２Ｊ参照）。これにより、チップ領域の外側に配線を引き出した半導体パッケージ２８を半導体チップ単位で得ることができる。なお、ダイシング工程後の半導体パッケージ２８は、それぞれ同じ構造及び機能を有していることが好ましいので、ダイシング後に面取り部Ｃ２２が存在しないように面取り部Ｃ２２に対してもダイシングを行うことが好ましい。ダイシング方法は、第１実施形態と同様の方法を採用することができる。
【００９６】
《他の実施形態》
角部の面取り形状としては、第１実施形態及び第２実施形態で示した第１主面から第２主面に至る斜面に限定されず、封止樹脂シートの第１主面の外周に位置する角部と第２主面の外周に位置する角部との間の所定位置から、第２主面上の角部から所定距離離れた箇所に向かう斜線に沿って行ってもよく（図３Ａ参照）、これらの斜線を外に凸の曲線に代えて面取り（いわゆるＲ面取り）を行ってもよい（図３Ｂ参照）。
【００９７】
第１実施形態では、電子部品として半導体チップを用い、被着体として半導体ウェハを用いているが、これら以外の要素を用いてもよい。電子部品として例えば、ＳＡＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｗａｖｅ（表面弾性波））フィルタセンサー、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）等の中空構造を有する電子デバイス（中空型電子デバイス）；ＩＣ（集積回路）、トランジスタなどの半導体；コンデンサ；抵抗；発光素子等を用いることができる。また、被着体として、プリント配線基板、リードフレーム、テープキャリア等を用いることができる。なお、中空構造を有する電子デバイスは中空封止してもよく、封止対象によっては中空部分を含まないようアンダーフィル材等を用いて中実封止してもよい。
【００９８】
第１実施形態及び第２実施形態では、押出成形により封止樹脂シートを作製しているが、これに限定されず、封止樹脂シートの各成分を配合した塗工液を調製し、これを塗布及び乾燥させる湿式塗工法により作製してもよい。
【実施例】
【００９９】
以下に、この発明の好適な実施例を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている材料や配合量等は、特に限定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。また、部とあるのは、重量部を意味する。
【０１００】
［実施例１］
（封止樹脂シート１の作製）
以下の成分をミキサーにてブレンドし、２軸混練機により１２０℃で２分間溶融混練し、続いてＴダイから押出しすることにより、厚さ５００μｍの封止樹脂シート１を作製した。
【０１０１】
エポキシ樹脂：ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂（新日鐵化学（株）製、ＹＳＬＶ−８０ＸＹ（エポキン当量２００ｇ／ｅｑ．軟化点８０℃））                ２８６部
フェノール樹脂：ビフェニルアラルキル骨格を有するフェノール樹脂（明和化成社製、ＭＥＨ−７８５１−ＳＳ（水酸基当量２０３ｇ／ｅｑ．、軟化点６７℃））
３０３部
硬化促進剤：硬化触媒としてのイミダゾール系触媒（四国化成工業（株）製、２ＰＨＺ−ＰＷ）                                                                ６部
無機充填剤：球状溶融シリカ粉末（電気化学工業社製、ＦＢ−９４５４、平均粒子径２０μｍ）                                                          ３６９５部
シランカップリング剤：エポキシ基含有シランカップリング剤（信越化学工業（株）製、ＫＢＭ−４０３）                                                      ５部
カーボンブラック（三菱化学（株）製、＃２０）                          ５部
【０１０２】
（封止樹脂シートの貯蔵弾性率の測定）
作製した熱硬化前の熱硬化性樹脂シート１（サンプル）について、サンプルを重ねて厚さ約１．５ｍｍとし、ＴＡインスツルメント社製の動的粘弾性測定装置「ＡＲＥＳ」を用いて、φ８ｍｍパラレルプレートの治具を用い、剪断モードにて、周波数：０．１Ｈｚ、昇温速度：１０℃／分、歪み：２０％（５０℃〜１５０℃）にて測定し、５５℃で得られた剪断貯蔵弾性率Ｇ´の値を求めた。結果を表１に示す。
【０１０３】
（半導体パッケージの作製）
以下の仕様の半導体チップがシリコンインターポーザーにフリップチップ実装され、チップ−インターポーザー間がビスフェノールＡ型エポキシ系熱硬化性アンダーフィル材で封止されたチップ実装インターポーザーを準備した。
【０１０４】
＜半導体チップ＞
半導体チップサイズ：７．３ｍｍ□（厚さ４００μｍ）
バンプ材質：Ｃｕ  ３０μｍ、Ｓｎ−Ａｇ  １５μｍ厚み
バンプ数：５４４バンプ
バンプピッチ：５０μｍ
チップ数：９７３個
【０１０５】
＜シリコンインターポーザー＞
直径：１２インチ
厚さ：７３０μｍ
電極：スルーシリコンビア（径：３０μｍ）
【０１０６】
得られたチップ実装インターポーザー上に、以下に示す加熱加圧条件下、平面視で直径１２インチの円形状に切り取った封止樹脂シート１を図１Ｂ及び図１Ｃに示すように真空熱プレスにより積層した。
【０１０７】
＜貼り付け条件＞
温度：９０℃
加圧力：０．５ＭＰａ
真空度：２０００Ｐａ
プレス時間：３分
【０１０８】
大気圧に開放した後、図１Ｄ及び図１Ｅに示すように、封止樹脂シート１のシリコンインターポーザーとは反対側の面（封止樹脂シートの上面）の外周に位置する角部を全外周の範囲にわたって面取りした。面取りには、面取り装置（日東精機社製、「ＤＬ−３００」）を用いた。面取り量としては、封止樹脂シート１の断面における面取りのための斜線として、封止樹脂シート１の上面と交差する点が、角部の頂点から５ｍｍの位置にあり、封止樹脂シート１の側面と交差する位置が上面の角部の頂点から３００μｍの位置にあった。
【０１０９】
面取り後、熱風乾燥機中、１５０℃、１時間の条件で封止樹脂シート１を熱硬化させ、封止体を得た。次に、切削装置（（株）ＤＩＳＣＯ製、サーフェスプレーナー「ＤＦＳ８９１０」）を用いた研削により、研削バイトの周速度１０００ｍ／ｍｉｎ、送りピッチ１００μｍ、切り込み深さ１０μｍの条件で、半導体チップの厚さが１００μｍとなるまで封止体を半導体チップ共々薄化することで、研削体を作製した。
【０１１０】
得られた研削体のシリコンインターポーザーの露出面（封止樹脂シート１を貼り合わせた面とは反対側の面）を研削装置（ＤＩＳＣＯ社製、「ＤＧＰ８７６１」）によりシリコンインターポーザーの厚さが１００μｍとなるまで研削した。
【０１１１】
シリコンインターポーザーの研削面にポリアミック酸（３，４’，３，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、パラフェニレンジアミンを反応して得たもの）を塗布し、熱硬化させて、厚さ１０μｍのポリイミド層を形成した。スルーシリコンビアに対応する位置に、レーザー加工によって開口を形成し、該ビアを露出させた。開口を含むポリイミド層表面に、めっきによって金膜、ニッケル膜を順次形成した。さらに、クロム、銅の順にスパッタリングを施して、種膜（クロム層の厚さ２０ｎｍ、銅層の厚さ１００ｎｍ）を形成し、電解銅めっきにより所定の配線パターンを有する再配線層を形成することにより半導体パッケージを作製した。
【０１１２】
［実施例２］
封止樹脂シート１に代えて、以下の手順で作製した封止樹脂シート２を用いたこと以外は、実施例１と同様にして半導体パッケージを作製した。
【０１１３】
（封止樹脂シート２の作製）
封止樹脂シート２の作製に用いた成分は以下のとおりであった。
【０１１４】
エポキシ樹脂：東都化成（株）製のＫＩ−３０００（オルトクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量２００ｇ／ｅｑ）                      １４６．９部
エポキシ樹脂：三菱化学（株）製のエピコート８２８（ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、エポキシ当量２００ｇ／ｅｑ）                              １４５．３部
フェノール樹脂：明和化成社製のＭＥＨ−７８５１−ＳＳ（ビフェニルアラルキル骨格を有するフェノールノボラック樹脂、水酸基当量２０３ｇ／ｅｑ．軟化点６７℃）
２９１．０部
硬化促進剤：四国化成工業社製の２ＰＨＺ−ＰＷ（２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール）                                            ４．５部
無機充填剤：電気化学工業社製のＦＢ−９４５４（球状溶融シリカ粉末、平均粒子径２０μｍ）                                                    ２７０６．２部
カーボンブラック：三菱化学社製の＃２０                          ９．６部
【０１１５】
エポキシ樹脂とフェノール樹脂とメチルエチルケトンと無機充填剤とを添加し、固形分濃度が９５重量％となるようにし、自転公転ミキサー（株式会社シンキー製）を用いて、８００ｒｐｍ回転にて、５分間撹拌混合させた。その後、さらに硬化促進剤とカーボンブラックを添加し、固形分濃度が９０重量％となるようにメチルエチルケトンを添加し、さらに８００ｒｐｍにて３分間撹拌混合させて、塗工液を得た。
【０１１６】
その後、塗工液を、シリコーン離形処理済みのポリエチレンテレフタレートフィルム（厚み５０μｍ）へ塗布し、１２０℃で３分間加熱乾燥させることにより、厚み１００μｍの樹脂シートを作成した。さらに樹脂シートをロールラミネーターにて、９０℃で貼り合わせをすることによって、厚さが５００μｍの封止樹脂シート２を得た。
【０１１７】
［比較例１］
封止樹脂シート１の角部の面取りを行わなかったこと以外は、実施例１と同様に半導体パッケージを作製した。
【０１１８】
（封止樹脂シートの角部の欠けの有無の評価）
実施例及び比較例の半導体パッケージをそれぞれ３０個用い、光学顕微鏡（５０倍）を用いて半導体パッケージの研削面における封止樹脂シートの角部を観察し、欠けがなかった場合を「○」、欠けが１つでもあった場合を「×」として評価した。結果を表１に示す。
【０１１９】
【表１】
2015126129.tif 000003
【０１２０】
表１からも明らかなように、実施例１及び２の半導体パッケージでは、封止樹脂シートの角部の欠けがなく、半導体パッケージの作製を歩留りよく行うことができるのに対し、比較例１の半導体パッケージでは、封止樹脂シートの角部に欠けが発生しており、半導体パッケージの作製の歩留りが低下する結果となった。
【符号の説明】
【０１２１】
２    仮固定材
１１、２１    封止樹脂シート
１１ａ    剥離ライナー
１１Ｓ、２１Ｓ    （研削後の）封止樹脂シートの表面
１２Ａ    （研削前の）半導体ウェハ
１２Ｂ    （研削後の）半導体ウェハ
１３、２３    半導体チップ
１３Ｓ、２３Ｓ    （研削後の）半導体チップの露出面
１５、２５    封止体
１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、２６    研削体
１８、２８    半導体パッケージ
１９、２９    再配線
Ｃ１１、Ｃ２１    （封止体における封止樹脂シートの）角部
Ｃ１２、Ｃ２２    （封止体における封止樹脂シートの）面取り部
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図１Ｅ】
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【図１Ｆ】
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【図１Ｇ】
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【図１Ｈ】
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【図１Ｉ】
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【図１Ｊ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図２Ｅ】
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【図２Ｆ】
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【図２Ｇ】
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【図２Ｈ】
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【図２Ｉ】
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【図２Ｊ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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