(57)【要約】【課題】構造が比較的簡素で組み立てや装着に手間がかからず、摺接作動しないために異音が発生せず、絶縁性についても優れた性能を発揮することかできるコンタクトプローブを提供する。【解決手段】互いに対向する一対の導電性部材間に配置されて導電性部材間を電気的に接続するコンタクトプローブであって、導電性部材のうちの一方に接触する接点部と他方に接触する接点部とを中間部を介して連結した形状の配線部材と、配線部材における接点部以外の部位を埋設した構造のブロック状ゴム状弾性体よりなる被覆部材と、を有する。配線部材は、導電性を備えるとともに外力が作用したときに変形するフレキシブル性を備えることにより当該プローブが導電性部材間で圧縮されたときに接点部間の間隔が狭められるとともに接点部が被覆部材に発生する反力により導電性部材に押し付けられる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する一対の導電性部材間に配置されて前記導電性部材間を電気的に接続するコンタクトプローブであって、
前記導電性部材のうちの一方に接触する接点部と他方に接触する接点部とを中間部を介して連結した形状の配線部材と、前記配線部材における前記接点部以外の部位を埋設した構造のブロック状ゴム状弾性体よりなる被覆部材と、を有し、
前記配線部材は、導電性を備えるとともに外力が作用したときに変形するフレキシブル性を備えることにより当該プローブが前記導電性部材間で圧縮されたときに前記接点部間の間隔が狭められるとともに前記接点部が前記被覆部材に発生する反力により前記導電性部材に押し付けられることを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
請求項１記載のコンタクトプローブにおいて、
前記配線部材は、当該プローブの長手方向に延設された前記中間部の両端に長手直交方向に延設された前記接点部を一体に備えることを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項３】
請求項２記載のコンタクトプローブにおいて、
前記一対の接点部間に補強用のバネ部材が配置されていることを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項４】
請求項３記載のコンタクトプローブにおいて、
前記バネ部材は、前記配線部材とともに前記被覆部材に埋設されていることを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項５】
請求項３記載のコンタクトプローブにおいて、
前記バネ部材が伸縮作動する領域内に前記バネ部材に被着した薄バリ以外のゴム状弾性体が存在しないように前記被覆部材に中子の利用による凹み加工がなされていることを特徴とするコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気特性測定技術、または導電もしくは通電技術に係るコンタクトプローブに関する。本発明のコンタクトプローブは例えば、電気・電子機器、産業機械、または自動車関連の分野などで用いられる。
【背景技術】
【０００２】
従来から、以下のような構成のコンタクトプローブが知られている。
【０００３】
従来技術１・・・
図１１に示すコンタクトプローブ５１は、被測定物の静電破壊を防止しつつ電気特性を正確に測定することを課題とし、解決手段として、一端５３ｂに開口５３ｃが設けられるとともに他端５３ｄが閉塞された有底孔５３ａを有する第１バレル５３および第１バレル５３内に進退自在に収納されたプローブピン５４ならびに有底孔５３ａ内に装着されてプローブピン５４を開口５３ｃ側へ弾性付勢する第１スプリング５５からなるプローブ部５２と、第１バレル５３の他端５３ｄ側に装着されて第１バレル５３を弾性支持する緩衝部５６とが設けられている。緩衝部５６は、一端５７ｂに開口５７ｃが設けられるとともに他端５７ｄが閉塞された有底孔５７ａを有する第２バレル５７と、第２バレル５７内に進退自在に装着されたブランジャ５８と、第２バレル５７内に装着されてプランジャ５８を第２バレル５７の開口５７ｃ側へ弾性付勢する第２スプリング５９とからなり、プランジャ５８が第１バレル５３の他端５３ｄに連結されている（特許文献１参照）。
【０００４】
従来技術２・・・
図１２に示すコンタクトプローブ６１では、筒状の外部導体６２にコイルスプリング６３を介して中心導体６４が摺動自在に装着され、コイルスプリング６３の両端部にフランジ状の絶縁体６５が介在せしめられている（特許文献２参照）。
【０００５】
従来技術３・・・
図１３に示すコンタクトプローブ７１では、筒体７２の内部にコイルスプリング７３が嵌合され、コイルスプリング７３の両端部に板体７５およびロッド７６よりなる接点部材７４が取り付けられている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−３３７２号公報
【特許文献２】特開平６−９４７４９号公報
【特許文献３】特開２００８−９８２７７号公報
【０００７】
上記従来技術１〜３はいずれも多数の部品の組み合わせよりなるため、構造が複雑で、組み立てや装着に多くの手間がかかる不都合がある。また、付勢部材として専らコイルスプリング（コイルバネ）を用い摺接部を備えているため、作動に際して異音（摺接音）が発生するおそれがある。また、各金属部品の材質によっては、漏電防止の絶縁性について別途考慮しなければならない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は以上の点に鑑みて、構造が比較的簡素で組み立てや装着に手間がかからず、摺接作動しないために異音が発生せず、絶縁性についても優れた性能を発揮することかできるコンタクトプローブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１によるコンタクトプローブは、互いに対向する一対の導電性部材間に配置されて前記導電性部材間を電気的に接続するコンタクトプローブであって、前記導電性部材のうちの一方に接触する接点部と他方に接触する接点部とを中間部を介して連結した形状の配線部材と、前記配線部材における前記接点部以外の部位を埋設した構造のブロック状ゴム状弾性体よりなる被覆部材と、を有し、前記配線部材は、導電性を備えるとともに外力が作用したときに変形するフレキシブル性を備えることにより当該プローブが前記導電性部材間で圧縮されたときに前記接点部間の間隔が狭められるとともに前記接点部が前記被覆部材に発生する反力により前記導電性部材に押し付けられることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の請求項２によるコンタクトプローブは、上記した請求項１記載のコンタクトプローブにおいて、前記配線部材は、当該プローブの長手方向に延設された前記中間部の両端に長手直交方向に延設された前記接点部を一体に備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の請求項３によるコンタクトプローブは、上記した請求項２記載のコンタクトプローブにおいて、前記一対の接点部間に補強用のバネ部材が配置されていることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の請求項４によるコンタクトプローブは、上記した請求項３記載のコンタクトプローブにおいて、前記バネ部材は、前記配線部材とともに前記被覆部材に埋設されていることを特徴とする。
【００１３】
更にまた、本発明の請求項５によるコンタクトプローブは、上記した請求項３記載のコンタクトプローブにおいて、前記バネ部材が伸縮作動する領域内に前記バネ部材に被着した薄バリ以外のゴム状弾性体が存在しないように前記被覆部材に中子の利用による凹み加工がなされていることを特徴とする。
【００１４】
上記構成を備える本発明のコンタクトプローブは、一対の導電性部材のうちの一方に接触する接点部と他方に接触する接点部とを中間部を介して連結した形状の配線部材を備え、この配線部材が接点部以外の部位でブロック状ゴム状弾性体よりなる被覆部材に埋設されている。配線部材は、例えば導線の束（集合体）よりなり、導電性を備えるとともに外力が作用したときに変形するフレキシブル性を備え、このようにフレキシブル性を備えることにより、当該プローブが一対の導電性部材間で圧縮されたとき一対の接点部間の間隔が狭められるとともに接点部が被覆部材に発生する反力により導電性部材に押し付けられることが可能とされている。したがって本発明のコンタクトプローブは、配線部材および被覆部材の２つの構成要素よりなり、付勢部材としてブロック状ゴム状弾性体を用いるものとされている。
【００１５】
配線部材としては例えば、銅線の束（編網状のものを含む）、ベリリウム銅合金またはカーボン繊維等を用いるのが好適であり、これらによれば導電性および上記したフレキシブル性を双方共に十分に備えることが可能とされる。
【００１６】
また、配線部材としては、当該プローブの長手方向に延設された中間部の両端に長手直交方向に延設された接点部を一体に備える形状とするのが好適であり、これによれば接点部の向きからして、この接点部が導電性部材に対し面接触することが可能とされる。この場合、配線部材を側面から見た形状は例えばコ字形とされるが、中間部を２本備えるロ字形やその他の形状であっても良い。
【００１７】
尚、銅線の束などをそのまま接点部とすると、束がほつれて銅線がバラバラになる懸念があるので、これに対策するため、溶接やハンダ付け等の手段によって予め束をまとめるようにしても良い。また、束の先端に電極を接続することも考えられ、この場合、平板状の電極を用いることにより導電性部材に対する面接触状態を維持することができる。
【００１８】
また、上記したように本発明は、付勢部材としてブロック状ゴム状弾性体（被覆部材）を用いることを特徴の一つとするが、併せて補強用のバネ部材を備えることを否定するものではなく、このように補強用のバネ部材を併設することによりブロック状ゴム状弾性体による付勢力を増大させることが可能とされ、またこのバネ部材を芯材として当該プローブ全体がその形状を保ちやすくなる。バネ部材としては、金属よりなる板バネを用いるのが好適であるが、その材質はカーボン等、バネ性を有する材料であれば特に限定されない。また、その形状は板バネに限定されずコイルバネ等であっても良い。
【００１９】
バネ部材は、ブロック状ゴム状弾性体による付勢力を増大させるものであるので、接点部を押圧し得るように一対の接点部間に配置されるが、本発明ではすでにここにはブロック状ゴム状弾性体が配置されている。したがってバネ部材は配線部材とともにブロック状ゴム状弾性体に埋設されることになる。
【００２０】
但し、バネ部材がブロック状ゴム状弾性体に埋設されると、このバネ部材が伸縮作動しにくくなってバネ機能が十分に発揮されずに抑制されることが懸念される。そこで、これに対策するには、バネ部材が伸縮作動する領域内にブロック状ゴム状弾性体を配置しないようにすることが考えられ、このためブロック状ゴム状弾性体に凹み加工を設けることにする。凹み加工は、ブロック状ゴム状弾性体をモールド成形する際に、金型キャビティに配線部材およびバネ部材とともに中子を挿入して成形を行ない、成形後に中子を取り外ことによりブロック状ゴム状弾性体に凹みを形成する。中子は予めバネ部材に沿った形状に造形されるので、凹みを形状的に精度良く形成することが可能とされる。尚、バネ部材の表面には薄バリが残されることがあるので、その存在は許容することとし、却って薄バリの存在はバネ部材表面の絶縁に役立つこともある。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は、以下の効果を奏する。
【００２２】
すなわち本発明においては以上説明したように、コンタクトプローブが基本的に配線部材および被覆部材の２つの構成要素よりなるため、部品点数が少なく組み立てやすく装着しやすい。また、付勢部材としてブロック状ゴム状弾性体が用いられるため、金属部品が摺接作動すると云うことがなく、よって異音（摺接音）が発生しにくい。また、配線部材の接点部以外がブロック状ゴム状弾性体で被覆されるため、導電性を備える部品の露出が極端に少ない。したがって優れた電気絶縁性が発揮される。
【００２３】
また、配線部材が当該プローブの長手方向に延設された中間部の両端に長手直交方向に延設された接点部を一体に備える形状の場合は、接点部が導電性部材に対し面接触するため、通電抵抗が小さく抑えられる。一対の接点部間に補強用のバネ部材が配置される場合は、ブロック状ゴム状弾性体による付勢力が増大され、またバネ部材を芯材としてプローブ全体がその形状を保ちやすくなる。補強用のバネ部材は配線部材とともに被覆部材に埋設されるが、バネ部材が伸縮作動する領域内で被覆部材に凹み加工を施すことによりバネ部材のバネ機能が低下せずに維持される。凹み加工はモールド成形時に中子を利用して形成するのが好適であり、これにより凹みを容易にかつ精度良く形成することができる。バネ部材はこれが導電性の部品であっても被覆部材に埋設されるため、電気的絶縁性に支障を来たすことがない。被覆部材に凹みが形成されてもバネ部材は凹みの奥に位置するため、電気的絶縁性に支障を来たすことはない。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施例に係るコンタクトプローブの装着構造を示す説明図
【図２】（Ａ）および（Ｂ）とも本発明の実施例に係るコンタクトプローブの他の装着構造を示す説明図
【図３】本発明の第１実施例に係るコンタクトプローブを示す図で、（Ａ）はその正面図、（Ｂ）はその側面図、（Ｃ）はその縦断面図であって（Ｂ）におけるＦ−Ｆ線断面図、（Ｄ）はその縦断面図であって（Ａ）におけるＧ−Ｇ線断面図、（Ｅ）はその底面図
【図４】同コンタクトプローブの斜視図
【図５】本発明の第２実施例に係るコンタクトプローブを示す図で、（Ａ）はその正面図、（Ｂ）はその側面図、（Ｃ）はその縦断面図であって（Ｂ）におけるＨ−Ｈ線断面図、（Ｄ）はその縦断面図であって（Ａ）におけるＩ−Ｉ線断面図、（Ｅ）はその底面図
【図６】同コンタクトプローブの斜視図
【図７】本発明の第３実施例に係るコンタクトプローブを示す図で、（Ａ）はその正面図、（Ｂ）はその側面図、（Ｃ）はその縦断面図であって（Ｂ）におけるＪ−Ｊ線断面図、（Ｄ）はその縦断面図であって（Ａ）におけるＫ−Ｋ線断面図、（Ｅ）はその底面図
【図８】同コンタクトプローブの斜視図
【図９】本発明の第４実施例に係るコンタクトプローブを示す図で、（Ａ）はその正面図、（Ｂ）はその側面図、（Ｃ）はその縦断面図であって（Ｂ）におけるＬ−Ｌ線断面図、（Ｄ）はその縦断面図であって（Ａ）におけるＭ−Ｍ線断面図、（Ｅ）はその底面図
【図１０】同コンタクトプローブの斜視図
【図１１】従来例に係るコンタクトプローブの断面図
【図１２】他の従来例に係るコンタクトプローブの断面図
【図１３】他の従来例に係るコンタクトプローブの断面図
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明には、以下の実施形態が含まれる。
（１）提案技術１・・・
配線（銅線の束など）をコの字に曲げ、ゴム等の弾性体で成型固定し、ゴムの反力で配線相手部材に押し付けて、導通を取る。ゴムで成型固定するので、配線位置は固定されるが、繰り返し荷重を受ける場合等には相手部材との接触部がバラバラにならないように、溶接やハンダ等で予め固定しても良く、金属電極を設けても良い。プローブ全体をゴムで覆うことで、取付溝部への挿入が容易となり、絶縁性も維持できる。また、ゴム自体が減衰力を持っており、機器の振動を防振する機能があるが、防振能力の高い防振ゴム材料を使うことにより、効果的に振動を抑制できる。一方、固定用部材はゴムに限らず、熱可塑性の弾性材料なら何でも良い。また、配線は銅の細線の編網が好適だが、バネ性を有する金属、例えば、ベリリウム銅合金や、カーボン繊維等を用いても良く、形状維持しやすくするために薄板を用いても良い。この案では、接触抵抗が低く、形状がシンプル、コンパクトで、コストが安いプローブを提供できる。
【００２６】
（２）提案技術２・・・
上記提案技術１では、反力をゴムに頼っている。ゴムは長時間、高温雰囲気にさらされるとヘタリを生じる問題がある。また、容易に変形するので形状維持が難しい。そこで提案技術２では、バネを追加することで、所定の形状を維持できるとともに、高温雰囲気でも長時間安定した反力を与えることが可能となる。バネ材は金属が好適だが、カーボン他バネ性を有する材料なら何でも良い。また板バネに拘らず、コイルバネ等を使っても良い。
【００２７】
（３）提案技術３・・・
上記提案技術２では、バネの周りにゴムが回り込んでいるので、バネ特性を阻害する場合がある。そこで提案技術３では、成型時バネの回りにゴムが回り込まないよう両側から中子でバネを押さえる構造のものである。薄バリは残るが、バネの主要な部分は空間がありバネの性能が発揮できる。絶縁性を必要とする場合は、バリが厚くなるような構造とすれば良く、また、バネを絶縁コーティングするのも良い。
【００２８】
（４）上記提案技術によれば、ゴムで覆うことで配線形状が容易に決まり、扱いが容易になる。また、バネを仕込むことで任意の形状を維持できる。
【実施例】
【００２９】
つぎに本発明の実施例を図面にしたがって説明する。
【００３０】
以下の実施例に示すコンタクトプローブ１１は図１に示すように、互いに対向する一対の導電性部材１，２間に配置されてこの一対の導電性部材１，２間を電気的に接続するために用いられる。コンタクトプローブ１１は、機器ケーシング３に備えられる固定用部材４の取付溝部５に差し込み装着され、このように差し込み装着された状態で一方の接点部２２が一方の導電性部材１に接触するとともに他方の接点部２３が他方の導電性部材２に接触することにより一対の導電性部材１，２間を電気的に接続する。図２（Ａ）に示すように固定用部材４は省略されることがあり、また図２（Ｂ）に示すようにケーシング３自体が導電性を備えることにより一方の導電性部材１とされることもある。また、コンタクトプローブ１１の長手方向（図１および図２における左右方向）の自由長は一対の導電性部材１，２間の間隔より少々大きく設定され、よってコンタクトプローブ１１は長手方向に圧縮された状態で一対の導電性部材１，２間に装着される。コンタクトプローブ１１は、導通部材とも称される。
【００３１】
第１実施例・・・
図３および図４に示す第１実施例において、コンタクトプローブ１１は、導電性およびフレキシブル性を備える配線部材２１と、この配線部材２１を被覆するとともに電気絶縁性を備える被覆部材３１との組み合わせにより構成されている。尚、図４に示す斜視図は、配線部材２１の形状を実線にて明示するため、被覆部材３１を仮想線（破線）にて描いている（後記する図６、図８および図１０も同じ）。
【００３２】
配線部材２１は、上記一対の導電性部材１，２のうちの一方の導電性部材１に接触する第１の接点部２２と他方の導電性部材２に接触する第２の接点部２３とを中間部２４を介して連結した形状とされ、中間部２４は当該プローブ１１の長手方向（図３（Ａ）〜（Ｄ）における上下方向であって図３（Ｅ）における紙面直交方向）に延設されるとともに接点部２２，２３はそれぞれ中間部２４の端部から長手直交方向に延設されているので、配線部材２１は全体としてこれをその側面方向から見て略コ字形とされている。また、配線部材２１はその全体に亙って略一定の幅ｗ１および厚みｔ１を有しているので、中間部２４および接点部２２，２３はそれぞれ所定の長さならびに略一定の幅ｗ１および厚みｔ１を備える平板状とされ、特に接点部２２，２３は当該プローブ１１の長手直交方向に延設された向きの平板状とされているので、導電性部材１，２の接触面に対して面接触することが可能とされている。
【００３３】
また、この配線部材２１は銅線の束よりなり、この銅線の束が当該プローブ１１の長手方向に沿って配置されることにより中間部２４とされるとともにその両端がそれぞれ略直角に折り曲げられることにより接点部２２，２３とされている。したがって中間部２４および接点部２２，２３は一体ものである。また、配線部材２１はこのように銅線の束よりなるので、外力が作用したときに変形するフレキシブル性を備え、特に当該プローブ１１が長手方向に圧縮されたときに中間部２４がこれを側面から見て直線状から円弧状へと変形することにより一対の接点部２２，２３間の間隔ｄ１が狭められるように変形することが可能とされている。銅線の束は溶接やハンダ付け等の手段によって予めまとめても良く、また別途、接点用の電極（図示せず）が接続されていても良い。
【００３４】
一方、被覆部材３１は、略長方体形（柱形）を呈するブロック状のゴム状弾性体よりなり、配線部材２１における接点部２２，２３以外の部位を埋設し、これを被覆している。接点部２２，２３はその厚みの一部ｔ２を被覆部材３１に埋設され、残る厚みの一部ｔ３にて被覆部材３１から突出し表面露出している。中間部２４はその全体が完全に被覆部材３１に埋設されている。被覆部材３１は接点部材２１の周りにモールド成形されている。
【００３５】
上記構成を備えるコンタクトプローブ１１は上記したように、その長手方向に圧縮された状態で一対の導電性部材１，２間に装着されるため、この装着状態において、配線部材２１は一対の接点部２２，２３間の間隔ｄ１を狭めるように変形した状態とされ、被覆部材３１は長手方向に圧縮した状態される。したがって被覆部材３１に圧縮に対する反力が発生し、この反力によって接点部材２２，２３が導電性部材１，２に押し付けられるため、接点部材２２，２３は導電性部材１，２から離れにくく、良好な接触状態が実現される。また、被覆部材３１がブロック状のゴム状弾性体よりなるため、この被覆部材３１によって優れた防振性が発揮される（導電性部材１，２が振動しても接点部２２，２３がこれらから離れにくい）。
【００３６】
また、上記構成を備えるコンタクトプローブ１１は配線部材２１および被覆部材３１の２つの構成要素よりなるため、部品点数が少なく組み立てやすく装着しやすい。また、付勢部材としてブロック状ゴム状弾性体よりなる被覆部材３１が用いられるため、金属部品が摺接作動すると云うことがなく、よって異音（摺接音）が発生しにくい。また、配線部材２１の接点部２２，２３以外がブロック状ゴム状弾性体よりなる被覆部材３１で被覆されているため、導電性を備える部品の露出が極端に少ない。したがって優れた電気絶縁性が発揮される。また、平板状の接点部２２，２３が導電性部材１，２に対し面接触するため、通電抵抗が小さく抑えられる。
【００３７】
第２実施例・・・
当該第２実施例では、上記第１実施例の構成に対し、バネ部材４１が追加されている。すなわち図５および図６に示す第２実施例において、コンタクトプローブ１１は、導電性およびフレキシブル性を備える配線部材２１と、この配線部材２１を被覆するとともに電気絶縁性を備える被覆部材３１との組み合わせにより構成され、更に第３の構成要素としてバネ部材４１が追加されている。配線部材２１および被覆部材３１の構成は第１実施例と同じとされている。
【００３８】
バネ部材４１は、金属製の板バネとされ、この金属製の板バネよりなるバネ部材４１が配線部材２１における一対の接点部２２，２３間に介装されている。バネ部材４１の形状としては、配線部材２１における第１の接点部２２の裏面側に配置される第１の取付片部４２と第２の接点部２３の裏面側に配置される第２の取付片部４３とを中間部４４を介して連結した形状とされ、更に中間部４４の長手方向略中ほどに屈曲部４５が一体に設けられている。中間部４４は当該プローブ１１の長手方向に延設されるとともに取付片部４２，４３はそれぞれ中間部４４の端部から長手直交方向に延設され、屈曲部４５はこれをその正面方向から見て略Ｕ字形とされている。板状を呈する中間部４４は同じく板状を呈する配線部材２１の中間部２４に対して直交配置されている。バネ部材４１は配線部材２１とともに被覆部材３１に埋設され、被覆部材３１によって被覆されている。
【００３９】
当該第２実施例においては、配線部材２１における一対の接点部２２，２３間にバネ部材４１が配置されているため、ブロック状のゴム状弾性体よりなる被覆部材３１による付勢力が増大されており、また被覆部材３１に経時的なヘタリ等の材質疲労が生じたときにその  付勢力の低下を補うことが可能とされている。また、バネ部材４１が芯材として作用するため、プローブ１１全体がその形状を保ちやすくされている。尚、バネ部材４１の形状については上記に限らず様々なものが考えられ、例えば多段の板バネ（上記屈曲部４５が複数設けられているもの）や、円筒状のコイルバネなどであっても良い。
【００４０】
第３実施例・・・
当該第３実施例では、上記第２実施例の構成に対し、被覆部材３１に凹み加工３２，３３が追加されている。すなわち図７および図８に示す第３実施例において、コンタクトプローブ１１は、導電性およびフレキシブル性を備える配線部材２１と、この配線部材２１を被覆するとともに電気絶縁性を備える被覆部材３１との組み合わせにより構成され、第３の構成要素としてバネ部材４１が設けられ、更に被覆部材３１に凹み加工３２，３３が追加されている。配線部材２１および被覆部材３１の構成は第１実施例と同じとされている。バネ部材４１の構成は第２実施例と同じとされている。
【００４１】
尚、当該第３実施例で被覆部材３１に凹み加工３２，３３を追加したのは、上記したように以下の理由による。
【００４２】
すなわち上記第２実施例では、バネ部材４１が被覆部材３１に埋設されているため、バネ部材４１が伸縮作動しにくくバネ機能が十分に発揮されずに抑制されることが考えられる。そこで、これに対策するため、バネ部材４１が伸縮作動する空間領域に被覆部材３１を配置しないようにしたものであって、このため被覆部材３１に凹み加工３２，３３が設けられている。
【００４３】
当該第３実施例では、バネ部材４１が金属製の板バネとされるとともに配線部材２１における第１の接点部２２の裏面側に配置される第１の取付片部４２と第２の接点部２３の裏面側に配置される第２の取付片部４３とを中間部４４を介して連結した形状とされているので、中間部４４がその厚み方向の一方または他方へ向けて弾性変形する。したがって図７（Ｃ）および（Ｄ）の各断面図に良く示されるように、中間部４４の厚み方向一方の部位（図７（Ｃ）では中間部４４の右側の部位）に凹み加工３２が中間部４４の全高（全長）Ｌ４および全幅ｗ４に亙って設けられるとともに中間部４４の厚み方向他方の部位（図７（Ｃ）では中間部４４の左側の部位）にも凹み加工３３が中間部４４の全高（全長）Ｌ４および全幅ｗ４に亙って設けられている。
【００４４】
また、このように中間部４４の厚み方向両方に設けられる凹み加工３２，３３はそれぞれ、プローブ１１外部へ通じる空間として設けられるので、ブロック状ゴム状弾性体よりなる被覆部材３１をモールド成形する際に、金型キャビティに配線部材２１およびバネ部材４１とともに図８に示す中子６，７を挿入して成形を行ない、成形後に中子６，７を取り外ことによりブロック状ゴム状弾性体よりなる被覆部材３１に凹み加工３２，３３を形成する。中子６，７は予めバネ部材４１に沿った形状に造形されるので、凹み形状３２，３３を精度良く形成することが可能とされるが、バネ部材の表面には、中子６，７およびバネ部材４１間の隙間による薄バリが残されることがある。
【００４５】
当該第３実施例においては、被覆部材３１に中子６，７の利用による凹み加工３２，３３が設けられているために、バネ部材４１のバネ機能が低下せずに維持される。
【００４６】
第４実施例・・・
当該第４実施例では、上記第１実施例の構成に対し、配線部材２１の形状が変更されている。
【００４７】
図９および図１０に示す第４実施例において、コンタクトプローブ１１は、導電性およびフレキシブル性を備える配線部材２１と、この配線部材２１を被覆するとともに電気絶縁性を備える被覆部材３１との組み合わせにより構成されている。
【００４８】
配線部材２１は、上記一対の導電性部材１，２のうちの一方の導電性部材１に接触する第１の接点部２２と他方の導電性部材２に接触する第２の接点部２３とを一対の互いに平行な中間部２４，２５を介して連結した形状とされ、中間部２４，２５はそれぞれ当該プローブ１１の長手方向（図９（Ａ）〜（Ｄ）における上下方向であって図９（Ｅ）における紙面直交方向）に延設されるとともに接点部２２，２３はそれぞれ中間部２４，２５の端部から長手直交方向に延設されているので、配線部材２１は全体としてこれをその側面方向から見て略ロ字形（中空の縦長の長方形状）とされている。また、配線部材２１はその全体に亙って略一定の幅ｗ１および厚みｔ１を有しているので、中間部２４，２５および接点部２２，２３はそれぞれ所定の長さならびに略一定の幅ｗ１および厚みｔ１を備える平板状とされ、特に接点部２２，２３は当該プローブ１１の長手直交方向に延設された向きの平板状とされているので、導電性部材１，２の接触面に対して面接触することが可能とされている。
【００４９】
また、この配線部材２１は銅線の束よりなり、この銅線の束が中間部２４，２５および接点部２２，２３を巡るようにループ状とされている（周上一箇所はカット部とされていることが多い）。したがって中間部２４，２５および接点部２２，２３は一体ものである。また、配線部材２１はこのように銅線の束よりなるので、外力が作用したときに変形するフレキシブル性を備え、特に当該プローブ１１が長手方向に圧縮されたときに中間部２４，２５がこれを側面から見て直線状から円弧状へと変形することにより一対の接点部２２，２３間の間隔ｄ１が狭められるように変形することが可能とされている。銅線の束は溶接やハンダ付け等の手段によって予めまとめても良く、また別途、接点用の電極（図示せず）が接続されていても良い。
【００５０】
一方、被覆部材３１は、略長方体形（柱形）を呈するブロック状のゴム状弾性体よりなり、配線部材２１における接点部２２，２３以外の部位を埋設し、これを被覆している。接点部２２，２３はその厚みの一部ｔ２を被覆部材３１に埋設され、残る厚みの一部ｔ３にて被覆部材３１から突出し表面露出している。中間部２４，２５はその全体が完全に被覆部材３１に埋設されている。被覆部材３１は接点部材２１の周りにモールド成形されている。
【００５１】
上記構成を備えるコンタクトプローブ１１は上記したように、その長手方向に圧縮された状態で一対の導電性部材１，２間に装着されるため、この装着状態において、配線部材２１は一対の接点部２２，２３間の間隔ｄ１を狭めるように変形した状態とされ、被覆部材３１は長手方向に圧縮した状態される。したがって被覆部材３１に圧縮に対する反力が発生し、この反力によって接点部材２２，２３が導電性部材１，２に押し付けられるため、接点部材２２，２３は導電性部材１，２から離れにくく、良好な接触状態が実現される。また、被覆部材３１がブロック状のゴム状弾性体よりなるため、この被覆部材３１によって優れた防振性が発揮される（導電性部材１，２が振動しても接点部２２，２３がこれらから離れにくい）。
【００５２】
また、上記構成を備えるコンタクトプローブ１１は配線部材２１および被覆部材３１の２つの構成要素よりなるため、部品点数が少なく組み立てやすく装着しやすい。また、付勢部材としてブロック状ゴム状弾性体よりなる被覆部材３１が用いられるため、金属部品が摺接作動すると云うことがなく、よって異音（摺接音）が発生しにくい。また、配線部材２１の接点部２２，２３以外がブロック状ゴム状弾性体よりなる被覆部材３１で被覆されているため、導電性を備える部品の露出が極端に少ない。したがって優れた電気絶縁性が発揮される。また、平板状の接点部２２，２３が導電性部材１，２に対し面接触するため、通電抵抗が小さく抑えられる。
【符号の説明】
【００５３】
１，２  導電性部材
３  ケーシング
４  固定用部材
５  取付溝部
６，７  中子
１１  コンタクトプローブ
２１  配線部材
２２，２３  接点部
２４，２５，４４  中間部
３１  被覆部材
３２，３３  凹み加工
４１  バネ部材
４２，４３  取付片部
４５  屈曲部
【図１】
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【図２】
2015036664.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2015036664.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【手続補正書】
【提出日】平成25年8月30日(2013.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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