(57)【要約】【課題】ワイヤソーのワイヤを安定走行させ、ワーク切断精度を向上する。【解決手段】複数本の溝ローラ９ａ、９ｂ間に張設されたワイヤ７と、前記ワイヤ７に向けて昇降することで該ワイヤ７にワークＷを押し付ける保持テーブル３９とを備え、前記ワイヤ７に前記ワークＷを押し付けることにより該ワークＷを切断するワイヤソー１において、前記溝ローラ９が切断するワークの大きさに応じて、前記複数本の溝ローラ９のうちの少なくともワーク切断部の両側に位置する２本の溝ローラ９ａ、９ｂに軸間距離を調節する軸間変位機構２を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数本の溝ローラ間に張設されたワイヤと、前記ワイヤに向けて昇降することで該ワイヤにワークを押し付ける保持テーブルとを備え、前記ワイヤに前記ワークを押し付けることにより該ワークを切断するワイヤソーにおいて、
前記溝ローラが切断するワークの大きさに応じて、前記複数本の溝ローラのうちの少なくともワーク切断部の両側に位置する２本の溝ローラに軸間距離を調節する軸間変位機構を設けたことを特徴とするワイヤソー。
【請求項２】
複数本の溝ローラ間に張設されたワイヤと、前記ワイヤに向けて昇降することで該ワイヤにワークを押し付ける保持テーブルとを備え、前記ワイヤに前記ワークを押し付けることにより該ワークを切断するワイヤソーにおいて、
前記溝ローラを少なくとも３本設け、前記複数本の溝ローラのうちの少なくともワーク切断部の両側に位置する２本の溝ローラに軸間距離を調節する第１の軸間変位機構を設けるとともに前記残りの少なくとも１本の溝ローラに第２の軸間変位機構を設け、
前記第１の軸間変位機構で前記溝ローラの軸間距離を変位させる際に前記溝ローラ間に巻き掛けられたワイヤの周長が一定となるように前記第２の軸間変位機構を制御するようにしたことを特徴とするワイヤソー。
【請求項３】
前記ワークの保持テーブルが、前記溝ローラの軸方向に沿った水平動を可能に構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のワイヤソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行するワイヤにシリコン、サファイア、シリコンカーバイド、セラミックス等のワークを押し付けて切断するワイヤソーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、１本のワイヤを複数の溝ローラ間に螺旋状に巻き回し、そのワイヤを一方向または往復走行させて、前記溝ローラ間に形成されたワイヤ列にシリコン、サファイア、シリコンカーバイド、セラミックス等のワークを押し付けることで該ワークをウエハ状に切断するようにしたマルチワイヤソーが知られている。
【０００３】
また、１本のワイヤを複数のプーリ（以後、溝ローラという）間に１本のみ掛け渡し、そのワイヤを一方向または往復走行させて、上記のようなワークを切断するようにしたシングルワイヤソーも知られている。
【０００４】
前記それぞれのワイヤソーは、シリコンカーバイドやダイヤモンド等の砥粒が混合されたスラリを供給しながらワークを切断する遊離砥粒方式のワイヤソーと、ワイヤ表面にダイヤモンド等の砥粒が電着やレジン等で固定された固定砥粒ワイヤを用い、切断部近傍に水等の加工液を供給しながらワークを切断する固定砥粒方式のワイヤソーとが知られている。
【０００５】
前記両方式のワイヤソーは、ワーク切断部に位置する溝ローラの間隔は、固定されている（例えば特許文献１）。
【０００６】
また、前記シングルワイヤソーにおいては溝ローラ間にかかるワイヤによる絞込みの力は少ないが、マルチワイヤソーにおいては、溝ローラ間には多数のワイヤが巻回されているので各溝ローラには内側方向に多大な絞込みの力が付勢される。従って、溝ローラの軸間を狭めた場合、ワイヤ列に弛みが発生し、直ぐには弛みが解消されない。また、溝ローラの軸間をワイヤ列形成後に広げようとした場合、上記の多大な力に打ち勝つだけの力を付与する必要があり、容量の大きいモータ等の駆動源が必要となる。さらには、無理に溝ローラ間を広げようとした場合、溝ローラに巻き掛けられたワイヤに負荷が掛かってワイヤが断線する場合があった。
【０００７】
また、特許文献１のワイヤソーはワークを保持するテーブルが上下方向にしか移動することができないため、ワークを垂直方向にしか切断できず、例えば磁石用素材等のように瓦型形状のような円弧形状の切断面を形成することができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１３−３５０８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上記特許文献１のワイヤソーは、幅方向が小さいワークを切断する場合であっても、幅方向に溝ローラを移動させることができないので、幅方向が小さいワークを切断すると溝ローラ間でのワイヤの振れが大きくなり該ワイヤの走行が安定しないため、ワーク切断精度が悪くなる問題がある。
【００１０】
また、上記特許文献１のワイヤソーは、ワークを保持するテーブルが上下方向にしか移動することができないので、ワークの切断面を平面にしか仕上げることができなかった。
【００１１】
しかしながら、最近では磁石用素材の切断など、例えばワークの切断面を円弧状など多彩な形状で切断することが求められてきている。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、ワイヤソーでワークを加工する際に精度良い切断を行うとともに多彩な形状にワークを切断することができるワイヤソーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１の発明は、複数本の溝ローラ間に張設されたワイヤと、前記ワイヤに向けて昇降することで該ワイヤにワークを押し付けるワーク保持テーブルとを備え、前記ワイヤに前記ワークを押し付けることにより該ワークを切断するワイヤソーにおいて、
前記溝ローラが切断するワークの大きさに応じて、前記複数本の溝ローラのうちの少なくともワーク切断部の両側に位置する２本の溝ローラに軸間距離を変位させる軸間変位機構を設けた構成を採用したワイヤソーである。
【００１４】
請求項２の発明は、複数本の溝ローラ間に張設されたワイヤと、前記ワイヤに向けて昇降することで該ワイヤにワークを押し付けるワーク保持テーブルとを備え、前記ワイヤに前記ワークを押し付けることにより該ワークを切断するワイヤソーにおいて、
前記溝ローラを少なくとも３本設け、前記複数本の溝ローラのうちの少なくともワーク切断部の両側に位置する２本の溝ローラに軸間距離を変位させる第１の軸間変位機構を設けるとともに前記残りの少なくとも１本の溝ローラに第２の軸間変位機構を設け、
前記第１の軸間変位機構で前記溝ローラの軸間距離を変位させる際に前記溝ローラ間に巻き掛けられたワイヤの周長が一定となるように前記第２の軸間変位機構を制御するようにした構成を採用したワイヤソーである。  
【００１５】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明において、前記保持テーブルが、前記溝ローラの軸方向に沿った水平動を可能に構成されているワイヤソーである。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１の発明によれば、ワイヤソーの溝ローラの間隔を軸間変位手段により、調節可能に構成したので、前記溝ローラの間隔をワークの大きさに応じて最適な距離にすることができ、ワイヤの走行や張力が安定するのでワークの切断精度が向上する。
【００１７】
また、請求項２の発明によれば、マルチワイヤソーのように多数本のワイヤを溝ローラ間に巻き掛けても、第１の軸間変位機構で前記溝ローラの間隔を変位させる際にその巻き掛けたワイヤの周長がほとんど変化しないように第２の軸間変位機構によって溝ローラが軸間変位するので、溝ローラ間に巻き掛けられたワイヤによる溝ローラ間の内側方向への絞込みの力に依存せずに容易にワーク切断部の両側に位置する溝ローラの軸間を変位できる。また、ワーク切断中のようにワイヤ列が形成された状態であっても自由にワーク切断部の両側に位置する溝ローラの軸間を変位できるので円形状のワークであっても絶えずワイヤを安定させながら切断でき、精度の良い切断が行なえる。
【００１８】
また、請求項３の発明によれば、ワイヤソーのワーク保持テーブルを上下方向だけでなく、溝ローラの軸方向に沿った水平動を可能に構成したので、ワークの切断時に制御してワーク保持テーブルを水平動させることでワークの切断面を円弧状等、各種の形状に形成することができる。従って、磁石素材のように瓦型形状に切断が必要な場合であっても、必要な形状にワークを切断することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】は、本発明のワイヤソーの第１の実施形態を表す全体正面図である。
【図２】は、本発明のワイヤソーの第１の実施形態を表す一部切欠き右側断面図である。
【図３】は、本発明のワイヤソーの第１の実施形態を表す軸間変位機構部の部分拡大図である。
【図４】は、本発明のワイヤソーで円形状のワークを切断していく場合の説明図である。
【図５】は、本発明のワイヤソーに用いられる軸間変位機構の第２の実施形態を表す部分説明図である。
【図６】は、本発明のワイヤソーの第２の実施形態に係る軸間変位機構の動作説明図である。
【図７】は、本発明のワイヤソーでワークを円弧形状に切断していく場合の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明のワイヤソーの第１の実施形態について図１乃至図３に基づいて説明する。
【００２１】
図１は、本発明のワイヤソー１の第１の実施形態を表す全体正面図である。本実施形態においては、まず切断部のワイヤ７が１本であるシングルワイヤソーを例に説明する。また、ワイヤ７として、例えば芯線の表面に電着等でダイヤモンド等の砥粒が固定された固定砥粒ワイヤを用いた例を基に説明する。
【００２２】
図１のように立設された機枠３の前面部に供給リール４、回収リール５、複数のガイドローラ６、１１、テンションローラ８、１０、溝ローラ９ａ、９ｂ、９ｃが設けられ、前記溝ローラ９ａ、９ｂの下方にワーク切断部３０が設けられている。
【００２３】
前記供給リール４には、ワイヤ７が巻回されている。前記ワイヤ７は、供給リール４から繰出され、ガイドローラ６、テンションローラ８を経て溝ローラ９ａ、９ｂに掛け渡された後、テンションローラ１０、ガイドローラ１１を経て回収リール５に巻き取られるようになっている。
【００２４】
前記供給リール４及び回収リール５には図示しないモータが接続され、前記供給リール４及び回収リール５を正逆方向に駆動回転することで、前記ワイヤ７が一方向または往復方向に走行するようになっている。また、前記テンションローラ８、１０は、図示しない駆動機構で矢印方向に揺動するように構成され、これらのテンションローラ８、１０が揺動することで、前記ワイヤ７に適宜の張力が付与されるようになっている。
【００２５】
前記機枠３の中央付近には、前記溝ローラ９ａ及び溝ローラ９ｂの軸間距離を変位させる軸間変位機構２が設けられている。この軸間変位機構２は、ベース板２７の前面に設けられた溝ローラ９ａ、９ｂと、前記両溝ローラ９ａ、９ｂをそれぞれ独立に軸支するローラ枠２０ａ、２０ｂと、両ローラ枠２０ａ、２０ｂを幅方向に接近離反動させるモータ２４及びボールネジ２１を備える。
【００２６】
前記ボールネジ２１は、前記ベース板２７のＸ方向（図１左右方向）に沿って設けられ、このボールネジ２１の一端にはモータ２４が接続されている。また、前記ボールネジ２１に沿ってレール２３が敷設されている。
【００２７】
図１乃至図３のように前記両ローラ枠２０ａ、２０ｂは、それぞれ上部が開放するコの字形状に形成され、これらローラ枠２０ａ、２０ｂの前面には溝ローラ９ａ、９ｂが軸支されている。また、ローラ枠２０ａ、２０ｂのそれぞれの裏面には、それぞれスライダ２６が設けられ、これらのスライダ２６、２６がレール２３と摺動可能に嵌合している。また、ローラ枠２０ａ、２０ｂのそれぞれの裏面には、前記ボールネジ２１と螺合するナット部材２２ａ、２２ｂが設けられている。なお、前記両ナット部材２２ａ、２２ｂは、それぞれ互いに逆ネジとなるようにボールネジ２１と螺合しており、前記モータ２４を駆動することでローラ枠２０ａ、２０ｂは、互いに接近離反動するようになっている。
【００２８】
詳細は後述するが、シングルワイヤソーとして使用する場合には使用せずに、マルチワイヤソーとして使用する場合に使用する溝ローラ９ｃが前記溝ローラ９ａ、９ｂの上方に設けられたローラ枠２５の前面に軸支されている。なお、シングルワイヤソーとして使用する場合は、溝ローラ９ａ、９ｂは、ワイヤ７に従動しながら回転するため原則として駆動源を設けることを要しない。
【００２９】
前記ワーク切断部３０は、被加工物のワークＷをワーク台５０及びダミー部材５１を介して保持する保持テーブル３９と、この保持テーブル３９をＹ方向（図１前後方向）に水平動させるテーブル台４７と、前記保持テーブル３９を昇降させる昇降枠３５とを備える。
【００３０】
前記ワークＷは、カーボンやセラミックス等で形成されたダミー部材５１に接着されるとともに前記ダミー部材５１を介してワーク台５０に接着される。前記ワークＷが固定されたワーク台５０は、前記保持テーブル３９に固定される。
【００３１】
前記保持テーブル３９の下方には、この保持テーブル３９と平行かつ間隔を開けてテーブル台５０が設けられている。前記テーブル台４７の上面にはレール３１がＹ方向に沿って敷設され、前記保持テーブル３９の下面に設けられたスライダ３２が前記レール３１と摺動可能に嵌合することで前記保持テーブル３９がレール３１に沿ってＹ方向に水平動自在になっている。また、前記保持テーブル３９の側方には前記レール３１と平行にボールネジ３３が設けられ、このボールネジ３３には、モータ３８が接続されている。なお、機枠３には開口部３ａが設けられ、前記テーブル台４７やモータ３８等と干渉しないようになっている。また、図示省略するが、上記軸間変位機構２やワーク切断部３０の可動部分は、加工液が侵入しないようにシールされている。
【００３２】
前記保持テーブル３９の側方にはナット部材３４が設けられ、このナット部材３４が、前記ボールネジ３３と螺合することで、前記モータ３８の駆動により前記保持テーブル３９がＹ方向に水平動自在になっている。
【００３３】
前記テーブル台４７は、その下方に前記昇降枠３５が接続されている。前記昇降枠３５は、裏面にスライダ４６が設けられ、このスライダ４６は、機枠３の下方に機枠３の上下方向に沿って設けられたレール４５と摺動可能に嵌合している。
【００３４】
また、前記昇降枠３５は、前面にナット部材３７が設けられ、このナット部材３７は、機枠３と平行に立設されたボールネジ３６と螺合している。また、前記ボールネジ３６には従動プーリ４３が軸止されている。このボールネジ３６の近傍にはモータ固定枠４１が設けられ、このモータ固定枠４１上には、モータ４０が設けられている。前記モータ４０には、駆動プーリ４２が軸止され、この駆動プーリ４２と前記従動プーリ４３にはベルト４４が張設されている。従って、前記モータ４０により、ボールネジ３６が回転駆動され、前記昇降枠３５を介して保持テーブル３９が昇降動自在になっている。
【００３５】
以上が、本発明の第１の実施形態に係るワイヤソー１の構成であり、次にこのワイヤソー１の動作について図４に基づいて説明する。
【００３６】
図４は、本発明のワイヤソー１を用いて円形のワークＷを切断する場合の軸間隔変位機構２の制御について表したものである。
【００３７】
前記のように円形のワークＷを切断する場合、ワークＷの幅が幅方向に連続的に変化していくことになる。従って、溝ローラ９ａ、９ｂ間の間隔はワークＷの幅に合わせてできる限り小さくすることが、ワイヤ７を安定に走行させる上で好ましい。即ち、溝ローラ９ａ、９ｂ間の間隔が広くなればなる程、ワイヤ７の振れが大きくなり、切断したワークＷのうねり、反り及び厚みのばらつきの原因となる。
【００３８】
図４（ａ）のようにワークＷの頂上付近は、ワークＷの幅が狭いので、できるだけワークＷの幅に合わせて前記軸間変位機構２により溝ローラ９ａ、９ｂを接近させる。
【００３９】
次に図４（ｂ）のようにワークＷの切断に伴いワークＷの幅が広がっていくと、前記軸間変位機構２により溝ローラ９ａ、９ｂを離反させていく。この幅方向の溝ローラ９ａ、９ｂの接近離反動は、予め切断するワークＷの大きさに応じて数値を入力しておいても良いし、センサ等で外形を検知しながら最適な溝ローラ９ａ、９ｂの間隔となるように制御しても良い。
【００４０】
図４（ｃ）のようにワークＷの切断終端付近に近づくと、これに応じて溝ローラ９ａ、９ｂを接近させていく。このように、ワークＷの形状に応じて自動的に溝ローラ９ａ、９ｂの軸間距離を制御できるので、ワイヤ走行の振れが減少してワークＷの切断精度が向上する。
【００４１】
次に第２の実施形態のワイヤソーについて図５及び図６に基づいて説明する。
【００４２】
第２の実施形態のワイヤソーは、マルチワイヤソーにおいて好ましく使用される。本実施形態においては、マルチワイヤソーでも溝ローラに５本掛け程度までのものを前提に説明するが、数百本程度のワイヤ列を形成して切断する場合にも好ましく使用できる。
【００４３】
マルチワイヤソーにおいては、溝ローラ９ａ、９ｂだけを用いてこれら溝ローラ９ａ、９ｂに複数回ワイヤを巻回して使用しても良いが、ワークＷが高さ方向に大きい場合、溝ローラ９ａ、９ｂの径以上のワークＷは切断できない。しかし、溝ローラ９ａ、９ｂの上方の溝ローラ９ｃを用いることでワークＷが高さ方向（Ｚ方向）に大きい場合であってもＺ方向のストロークを多くとることができるので切断することが可能になる。
【００４４】
また、マルチワイヤソーにおいては、ワークＷの切断ピッチが広くなった場合、２本の溝ローラ９ａ、９ｂだけでは、溝ローラ９ａ、９ｂの切断部分以外（図５の溝ローラ９ａ、９ｂの上側）でワイヤ７を斜め方向に走らせる角度が大きくなる問題がある。このようにワイヤ７を斜め方向に大きな角度で走らせると、溝ローラ９ａ、９ｂの溝に横方向の負荷が大きく掛かったり、ワイヤ７が溝から外れたりする問題がある。従って、ワークＷの切断ピッチが広くなる場合は、ワイヤ７が斜め方向に走る角度を極力小さくするため、３本以上の溝ローラ９ａ、９ｂ、９ｃが好ましく用いられる。すなわち、ワイヤ７が溝ローラ９ａ、９ｂ間で斜め方向に走る角度よりも、ワイヤ７が溝ローラ９ｂ、９ｃ間及び溝ローラ９ｃ、９ａを介して２段階に分けて斜め方向に走らせる方が、斜め方向に走るワイヤ７の角度が小さくできることによる。
【００４５】
マルチワイヤソーの場合、それぞれの溝ローラ９ａ、９ｂ、９ｃ間には内側方向にワイヤ７による絞り込みの力が掛かる。この絞り込みの力は、ワイヤ７の巻き掛け本数が増大するにつれ大きくなる。従って、ワイヤ７を巻回してワイヤ列が形成された後に溝ローラ９ａ、９ｂ間の軸間距離を広げようとした場合、前記絞り込みの力に打ち勝つだけの多大な力を必要とする。逆に軸間距離を狭める場合であっても、巻回されたワイヤ７の周長が変わるため、直ぐにはその周長が軸間距離に見合った長さには回復しないためワイヤ７が弛んだ状態になる。
【００４６】
このように、マルチワイヤソーの場合は、ワイヤ７を巻回す前は、軸間距離を容易に変更できるが、ワイヤ７を巻回してワイヤ列を形成した状態では、前記ワークＷを切断中には、溝ローラ９ａ、９ｂを簡単に軸間変位させることができない問題がある。
【００４７】
そこで、図５のように本発明の実施形態においては、溝ローラ９ａ、９ｂ間の軸間を変位させると同時に溝ローラ９ｃの軸間も変位させ、溝ローラ９ａ、９ｂ、９ｃ間のワイヤ７の周長変化を低減させるようにする構成を採用している。
【００４８】
以下、詳細な実施形態について説明する。
【００４９】
溝ローラ９ａ、９ｂには、第１の軸間変位機構５２が設けられている。なお、前記第１の実施形態と共通する部材には第１の実施形態と同じ符号を用いており、共通部分の説明は省略する。
【００５０】
図５はワイヤソー１を後方から見た概略背面図である。図５のように、溝ローラ９ｃには、第２の軸間変位機構５３が設けられている。また、前記溝ローラ９ｃは、ローラ枠２０ｃに軸支されており、このローラ枠２０ｃの裏面にナット部材５６が固定されている。また、前記ナット部材５６と螺合するように上下方向にボールネジ５５が設けられ、このボールネジ５５の上端にモータ５４が接続されている。従って、モータ５４を駆動することで前記溝ローラ９ｃが上下動するようになっている。
【００５１】
次に図６（ａ）及び（ｂ）に基づいて、第２の実施形態における溝ローラ９ａ、９ｂ、９ｃの軸間変位動作について説明する。
【００５２】
図６（ａ）は、溝ローラ９ａ、９ｂの軸間が図示二点鎖線のように狭まった場合の状態を表す。この時、溝ローラ９ｃは、上昇して軸間が広がるようになっている。この溝ローラ９ｃの上昇量は、溝ローラ９ａ、９ｂ、９ｃ間に巻回されたワイヤ７の周長変化が限りなく小さくなるように計算されて決定される。このように、溝ローラ９ａ、９ｂ、９ｃ間のワイヤ７の周長変化がほとんどないので、ワイヤ７の弛みが発生しない。
【００５３】
図６（ｂ）は、第１の軸間変位機構により溝ローラ９ａ、９ｂの軸間が図示二点鎖線のように広がった場合の状態を表す。この時、溝ローラ９ｃは、第２の軸間変位機構により下降して軸間が狭まるようになっている。溝ローラ９ｃの上昇量は、前記同様に溝ローラ９ａ、９ｂ、９ｃ間に巻回されたワイヤ７の周長変化が限りなく小さくなるように計算されて決定される。このように、溝ローラ９ａ、９ｂ、９ｃ間のワイヤ７の周長変化がほとんどないので、溝ローラ９ａ、９ｂ、９ｃ間に働く絞り込みの力の影響を受けることなく容易に溝ローラ９ａ、９ｂの軸間を変位させることができ、ワークＷを切断中であっても、自動的に随時溝ローラ９ａ、９ｂの軸間を変位させることができる。
【００５４】
なお、図示しないが、マルチワイヤソーとして溝ローラ９に複数本ワイヤ７を巻回して使用する場合は、適宜溝ローラ９に駆動源を設けることが好ましい。溝ローラ９へのワイヤ７の巻き掛け本数が増大すると、抵抗でワイヤ７が溝ローラ部でスリップし溝ローラ９が円滑に回転しなくなる場合があるからである。
【００５５】
以上が、本発明の第２の実施形態であるが、溝ローラ９を３本以上用いることで、ワークＷが高さ方向に大きい場合であっても、溝ローラ９ａ、９ｂの径を必要以上に大径化しなくとも切断することができる。
【００５６】
次に本発明のワイヤソーでワークＷを円弧形状に切断する場合の動作を図７に基づいて以下に説明する。
【００５７】
図７は、シングルワイヤソーでワークＷの切断面が円弧状となるように切断していく状態を表したものである。ワークＷを切断していくに当たり、前記テーブル台４７を上昇させつつ、前記保持テーブル３９を前後方向（Ｙ方向）に移動させることで、ワークＷは円弧状に切断される。なお、本実施形態においては、ワークＷを円弧状に切断するようにしたが、前記テーブル台４７の上下方向（Ｚ方向）の移動量と前記保持テーブル３９の前後方向（Ｙ方向）の移動量を制御することで、矩形状や各種の形状の切断面を形成することができる。
【００５８】
上記はシングルワイヤソーで各種形状の切断面を形成するようにしたが、マルチワイヤソーにおいても同様に各種の形状にワークＷを切断することが可能である。このように円弧状にワークＷを切断することはネオジウム等の磁石素材の切断に好ましく使用することができる。
【００５９】
本発明は、上記の実施形態には限定されず、発明の範囲において適宜変更できる。例えば、ワークＷの保持テーブル３９を上下及び前後に移動可能に構成したが、前後方向に円弧状に移動するようにしても良い。また、溝ローラ９は２本以上であれば３本、４本あるいは、それ以上の本数であっても良い。また、切断するワークも円形だけでなく、矩形状や三角形状など各種の形態のワークを切断することができる。この場合において、適宜形状に応じて溝ローラ９ａ、９ｂの軸間を自動的に変位させながらワークを切断することができる。また、溝ローラ９ａ、９ｂの軸間の変位は、予め設定し固定した状態であっても良いし、自動的であっても良い。なお、ワークが、随時幅方向に形状が変化するものである場合は、溝ローラ９ａ、９ｂの軸間の変位を自動的に行うことが好ましい。
【符号の説明】
【００６０】
Ｗ    ワーク
１    ワイヤソー
２    軸間変位機構
３    機枠
３ａ  開口部
４    供給リール
５    回収リール
６    ガイドローラ
７    ワイヤ
８    テンションローラ
９    溝ローラ
９ａ  溝ローラ
９ｂ  溝ローラ
９ｃ  溝ローラ
１０    テンションローラ
１１    ガイドローラ
２０ａ  ローラ枠
２０ｂ  ローラ枠
２０ｃ  ローラ枠
２１    ボールネジ
２２ａ  ナット部材
２２ｂ  ナット部材
２３    レール
２４    モータ
２５    ローラ枠
２６    スライダ
２７    ベース板
３０    ワーク切断部
３１    レール
３２    スライダ
３３    ボールネジ
３４    ナット部材
３５    昇降枠
３６    ボールネジ
３７    ナット部材
３８    モータ
３９    保持テーブル
４０    モータ
４１    モータ固定枠
４２    駆動プーリ
４３    従動プーリ
４４    ベルト
４５    レール
４６    スライダ
４７    テーブル台
５０    ワーク台
５１    ダミー部材
５２    第１の軸間変位機構
５３    第２の軸間変位機構
５４    モータ
５５    ボールネジ
５６    ナット部材
【図１】
2015033752.tif 000003
【図２】
2015033752.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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