(57)【要約】【課題】シンプルな機構で物体に公転運動をさせることができるアクチュエータを提供する。【解決手段】  本発明のアクチュエータは、第一のアクチュータ本体１ａ、及び軸線方向に往復運動する第一の駆動軸１ｂを有する第一のアクチュエータ１と、第二のアクチュータ本体２ａ、及び軸線方向に往復運動する第二の駆動軸２ｂを有する第二のアクチュエータ２と、第一の駆動軸と物体との間に介在し、第一の駆動軸１ｂの軸線方向の往復運動を物体４に伝達すると共に、第二の駆動軸２ｂの往復運動によって物体４が第二の駆動軸２ｂの軸線方向に往復運動するのを許容する第一の連結部５ａと、第二の駆動軸２ｂと物体４との間に介在し、第二の駆動２ｂ軸の軸線方向の往復運動を物体４に伝達すると共に、第一の駆動軸１ｂの往復運動によって物体４が第一の駆動軸１ｂの軸線方向に往復運動するのを許容する第二の連結部５ｂと、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体を運動させるアクチュエータであって、
第一のアクチュータ本体、及び前記第一のアクチュエータ本体に対して軸線方向に往復運動する第一の駆動軸を有する第一のアクチュエータと、
第二のアクチュータ本体、及び前記第二のアクチュエータ本体に対して軸線方向に往復運動する第二の駆動軸を有する第二のアクチュエータと、
前記第一の駆動軸と物体との間に介在し、前記第一の駆動軸の軸線方向の往復運動を物体に伝達すると共に、前記第二の駆動軸の往復運動によって物体が前記第二の駆動軸の軸線方向に往復運動するのを許容する第一の連結部と、
前記第二の駆動軸と物体との間に介在し、前記第二の駆動軸の軸線方向の往復運動を物体に伝達すると共に、前記第一の駆動軸の往復運動によって物体が前記第一の駆動軸の軸線方向に往復運動するのを許容する第二の連結部と、を備えるアクチュエータ。
【請求項２】
前記第一の駆動軸の往復運動と前記第二の駆動軸の往復運動とで位相がずれていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記第一の駆動軸の往復運動と前記第二の駆動軸の往復運動とで位相が９０度ずれていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記第一及び前記第二の連結部は、第一及び第二の板ばねを備え、
前記第一の板ばねは、前記第一の駆動軸の軸線方向の剛性が前記第一の駆動軸の軸線に直交する方向の剛性よりも大きく、
前記第二の板ばねは、前記第二の駆動軸の軸線方向の剛性が前記第二の駆動軸の軸線に直交する方向の剛性よりも大きいことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記アクチュエータはさらに、
前記第一及び前記第二のアクチュエータをオープンループ制御するドライバを備え、
前記ドライバは、前記第一及び前記第二のアクチュエータに位相が異なる交流を供給することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体を運動させるアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
アクチュエータは入力されたエネルギを物体の運動に変換する装置である。典型的なアクチュエータは物体を一方向に往復運動させ、又は物体を軸線の回りに回転させる。
【０００３】
物体を一方向に往復運動させるアクチュエータとして、特許文献１に記載の加振機が知られている。この加振機は、本体部と、本体部にばねを介して上下方向に往復運動可能に支持されるテーブルと、を備える。加振機には電気エネルギが入力される。本体部には励磁コイルが内蔵され、励磁コイルには直流電流が供給される。直流電流の供給により励磁コイルの周囲に静磁場が発生する。テーブルには励磁コイルに対向する駆動コイルが設けられる。駆動コイルに交流電流を給電すると、この交流電流と静磁場との作用によってテーブルが上下方向に往復運動する。テーブルの往復運動の周波数がテーブルの共振周波数に近づけば、テーブルの振幅が最大になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１８６９０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、従来のアクチュエータにあっては、物体に一方向の往復運動、又は物体を軸線の回りを回転させることしかできず、物体に公転運動をさせることができないという課題がある。例えば特許文献１に記載の加振機にあっては、テーブルに上下方向の往復運動をさせることしかできず、たとえテーブルの駆動コイルに供給する交流電流を変化させ、テーブルの往復運動の振幅を変化させても、テーブルに上下方向の往復運動をさせることしかできないのに変わりはない。
【０００６】
物体を公転運動させるのに、Ｘ軸テーブル及びＹ軸テーブルを組み合わせ、Ｘ軸テーブルのＸ軸サーボモータ及びＹ軸テーブルのＹ軸サーボモータを同期制御することも考えられる。しかし、機構が複雑になったり、制御が複雑になったりするという問題がある。
【０００７】
そこで本発明は、シンプルな機構で物体に公転運動をさせることができるアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の一態様は、物体を運動させるアクチュエータであって、第一のアクチュータ本体、及び前記第一のアクチュエータ本体に対して軸線方向に往復運動する第一の駆動軸を有する第一のアクチュエータと、第二のアクチュータ本体、及び前記第二のアクチュエータ本体に対して軸線方向に往復運動する第二の駆動軸を有する第二のアクチュエータと、前記第一の駆動軸と物体との間に介在し、前記第一の駆動軸の軸線方向の往復運動を物体に伝達すると共に、前記第二の駆動軸の往復運動によって物体が前記第二の駆動軸の軸線方向に往復運動するのを許容する第一の連結部と、前記第二の駆動軸と物体との間に介在し、前記第二の駆動軸の軸線方向の往復運動を物体に伝達すると共に、前記第一の駆動軸の往復運動によって物体が前記第一の駆動軸の軸線方向に往復運動するのを許容する第二の連結部と、を備えるアクチュエータである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、第一及び第二の駆動軸の軸線に沿った往復運動を利用して物体を公転運動させるので、シンプルな機構で物体の公転運動を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第一の実施形態のアクチュエータの平面図である。
【図２】本実施形態の第一のアクチュエータの構造を示す模式図（軸線に沿った断面図）である。
【図３】本実施形態のドライバを示す模式図である。
【図４】本実施形態のドライバの駆動回路とその電流波形を示す図である（図４（ａ）は駆動回路を示し、図４（ｂ）は電流波形を示す）。
【図５】本発明の第二の実施形態のアクチュエータの平面図である。
【図６】本発明の第三の実施形態のアクチュエータの平面図である。
【図７】本発明の第四の実施形態のアクチュエータの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下添付図面に基づいて、本発明の実施形態のアクチュエータを説明する。図１は本発明の第一の実施形態のアクチュエータの平面図を示す。
【００１２】
この実施形態のアクチュエータは、平面視で直交配置された第一及び第二のアクチュエータ１，２を備える。第一のアクチュエータ１は、第一のアクチュエータ本体１ａと、第一のアクチュエータ本体１ａに対して軸線方向に往復運動（すなわち振動）する第一の駆動軸１ｂと、を備える。第二のアクチュエータ２は、第二のアクチュエータ本体２ａと、第二のアクチュエータ本体２ａに対して軸線方向に往復運動（すなわち振動）する第二の駆動軸２ｂと、を備える。第一の駆動軸１ｂの軸線１ｃと第二の駆動軸２ｂの軸線２ｃとは同一平面内に配置され、互いに直交する。第一の軸線１ｃと第二の軸線２ｃとの交点がＰである。第一及び第二のアクチュエータ１，２は交点Ｐから離れて配置される。第一及び第二のアクチュエータ１，２は図示しないベースに固定される。第一及び第二のアクチュエータ１，２の構造については後述する。
【００１３】
図１の符号４は運動させるべき物体である。第一及び第二のアクチュエータ１，２と物体４とは連結部５で連結される。連結部５は、第一の駆動軸１ｂと物体４との間に介在する第一の連結部５ａと、第二の駆動軸２ｂと物体４との間に介在する第二の連結部５ｂと、を備える。第一の連結部５ａは第一の駆動軸１ｂの軸線方向に細長い第一の板ばね５ａから構成される。第二の連結部５ｂは第二の駆動軸２ｂの軸線方向に細長い第二の板ばね５ｂから構成される。物体４はＣ形の板ばねからなる保持部５ｃで保持される。保持部５ｃは物体４を周囲から弾性力で保持する。第一の板ばね５ａの先端は保持部５ｃの一端に結合され、第二の板ばね５ｂの先端は保持部５ｃの他端に結合される。
【００１４】
第一の板ばね５ａは、第一の駆動軸１ｂの軸線方向の剛性が軸線に直交する方向の剛性よりも大きい。第一の板ばね５ａは、第一の駆動軸１ｂの軸線方向の往復運動を物体４に伝達し、物体４を第一の駆動軸１ｂの軸線方向に往復運動させる。さらに第一の板ばね５ａは、第二の駆動軸２ｂの往復運動によって物体４が第二の駆動軸２ｂの軸線方向に往復運動するのを許容する。
【００１５】
第一の板ばね５ａと同様に第二の板ばね５ｂは、第二の駆動軸２ｂの軸線方向の剛性が軸線に直交する方向の剛性よりも大きい。第二の板ばね５ｂは第二の駆動軸２ｂの軸線方向の往復運動を物体４に伝達し、物体４を第二の駆動軸２ｂの軸線方向に往復運動させる。さらに第二の板ばね５ｂは、第一の駆動軸１ｂの往復運動によって物体４が第一の駆動軸１ｂの軸線方向に往復運動するのを許容する。
【００１６】
第一の駆動軸１ｂの往復運動と第二の駆動軸２ｂの往復運動とは、振幅及び周期が同一で位相が９０度ずれている。すなわち、第一の駆動軸１ｂはｓｉｎ波状に往復運動し、第二駆動軸はｃｏｓ波状に往復運動する。このため、物体４は第一の駆動軸１ｂによって第一の駆動軸１ｂの軸線方向にｓｉｎ波状に往復運動し、第二の駆動軸２ｂによって第二の駆動軸２ｂの軸線方向にｃｏｓ波状に往復運動する。結局、物体４は円の軌道８に沿って公転運動することになる。物体４は公転運動するが自転運動することはない。
【００１７】
第一及び第二の駆動軸２ａ，２ｂの往復運動の振幅を大きくすれば、公転運動の円の軌道８の半径が大きくなるし、第一及び第二の駆動軸２ａ，２ｂの往復運動の振幅を小さくすれば、公転運動の円の軌道８の半径が小さくなる。また、第一及び第二の駆動軸２ａ，２ｂの往復運動の振幅を異ならせれば、物体４の公転運動の軌道８が楕円になる。さらに、第一の駆動軸１ｂのみを往復運動させれば、物体４は第一の駆動軸１ｂの軸線方向に往復運動することになり、第二の駆動軸２ｂのみを往復運動させれば、物体４は第二の駆動軸２ｂの軸線方向に往復運動することになる。さらに、第一及び第二の駆動軸２ａ，２ｂを同位相で往復運動させれば、物体４は斜めに往復運動することになる。以上のような物体の運動の制御は後述するドライバで行われる。ドライバからの交流電流の出力を個別に指定すれば、物体４の円形軌跡運動、楕円軌跡運動、三角軌跡運動、四角軌跡運動、揺動運動等が可能になる。
【００１８】
なお、第一の板ばね５ａの先端部５ａ１は第一の駆動軸１ｂの軸線１ｃから直交する方向に湾曲している。第二の板ばね５ｂの先端部５ｂ１も第二の駆動軸２ｂの軸線２ｃから直交する方向に湾曲している。これは、例えば第一の駆動軸１ｂをｓｉｎ波で駆動させた状態で第二の駆動軸２ｂをｃｏｓ波で駆動させるとき、第一の板ばね５ａの先端部５ａ１が特異点になり、図中(1)方向及び(2)方向のいずれの方向に湾曲するのかわからなくなるのを防止し、第一の板ばね５ａが図中(1)方向にのみ湾曲するようにするためである。第二の板ばね５ｂの先端部５ｂ１を湾曲させるのも同一の理由である。なお、第一及び第二の板ばね５ａ，５ｂの先端部５ａ１，５ｂ１が湾曲している場合も含めて、第一及び第二の板ばね５ａ，５ｂが第一及び第二の駆動軸１ｂ，２ｂの軸線方向に細長く伸びている、という。
【００１９】
図２は、第一のアクチュエータ１の構造を示す。第二のアクチュエータ２の構造は第一のアクチュエータ１の構造と同一なので、ここでは第一のアクチュエータ１の構造のみを説明する。第一のアクチュエータ１の第一の駆動軸１ｂは、軸線方向に着磁された例えば二つの磁石１１ａ，１１ｂを備える。第一のアクチュエータ本体１ａは、磁石１１ａ，１１ｂを囲む例えば三つのコイル２１ａ，２１ｂ，２１ｃを備える。コイル２１ａ，２１ｂ，２１ｃにはドライバ９から交流電流が供給される。コイル２１ａ，２１ｂ，２１ｃに交流電流を供給すると、第一の駆動軸１ｂが軸線方向に往復運動する。
【００２０】
第一の駆動軸１ｂの磁石１１ａ，１１ｂは、同極同士（図１の例ではＳ極同士）が向かい合うように配置される。このため、磁石１１ａ，１１ｂの軸線方向の中心に例えばＳ極が形成され、磁石１１ａ，１１ｂの軸線方向の両端部に例えばＮ極が形成される。第一の駆動軸１ｂは第一のアクチュエータ本体１ａにブッシュ等の軸受を介して軸線方向に直線運動可能に支持される。
【００２１】
第一のアクチュエータ本体１ａには、コイル２１ａ，２１ｂ，２１ｃが設けられる。中央のコイル２１ｂは第一の駆動軸１ｂの磁石１１ａ，１１ｂの中央部のＳ極の回りを囲む。両側のコイル２１ａ，２１ｃは第一の駆動軸１ｂの磁石１１ａ，１１ｂの両端部のＮ極の回りを囲む。コイル２１ａ，２１ｂ，２１ｃに交流を流すと、磁石１１ａ，１１ｂに発生する磁場とコイル２１ａ，２１ｂ，２１ｃに流れる電流との相互作用によって、第一の駆動軸１ｂに軸線方向の推力が発生する。推力の方向が周期的に変化するので、第一の駆動軸１ｂが往復運動する。第一のアクチュエータ本体１ａには、第一の駆動軸１ｂを原点に保持するリング形の保持磁石２２ａ，２２ｂが設けられる。なお、磁石１１ａ，１１ｂ及びコイル２１ａ，２１ｂ，２１ｃの数は一つ以上であればよく、二つ及び三つ等に限定されることはない。
【００２２】
図３は、第一及び第二のアクチュエータ１，２に交流電流を供給するドライバ９を示す。ドライバ９には例えばステッピングモータ用のドライバが用いられる。ドライバ９は、第一及び第二のアクチュエータ１，２をオープンループ制御し、第一のアクチュエータ１にＡ相及び／Ａ相交流を供給し、第二のアクチュエータ２に９０度位相がずれたＢ相及び／Ｂ相交流を供給する。第一のアクチュエータ１にＡ相及び／Ａ相交流を供給すると、第一の駆動軸１ｂは図中実線Ｓで示す正弦波状に往復運動する。第二のアクチュエータ２にＢ相及び／Ｂ相交流を供給すると、第二の駆動軸２ｂは図中破線Ｃで示す余弦波状に往復運動する。
【００２３】
図４は、ドライバ９の駆動回路とその電流波形を示す。図４（ａ）中φＡは第一のアクチュエータ１のコイル２１ａ，２１ｂ，２１ｃを表し、φＢは第二のアクチュエータ２のコイル２１ａ，２１ｂ，２１ｃを示す。図４（ａ）に示すように、駆動回路には合計八個のトランジスタが設けられる。φＡ及びφＢはフル・ブリッジ（Ｈブリッジ）型の回路で駆動され、φＡ及びφＢには正と負の電流が交互に供給される。なお、このドライバ９の駆動方式は、二相ステッピングモータのバイポーラ駆動方式と同一である。
【００２４】
図４（ｂ）に示すように、ドライバ９には、上位のコントローラ又はパルス発生器から指令パルス１０が入力される。ドライバ９は指令パルス１０に応じて、φＡ及びφＢに矩形波交流を供給し、φＡ及びφＢに流す矩形波交流の位相を９０度ずらす。
【００２５】
なお、ドライバ９が第一及び第二のアクチュエータ１，２に供給する交流電流は９０度位相がずれた矩形波交流に限られることはない。物体４の円形軌跡運動、楕円軌跡運動、三角軌跡運動、四角軌跡運動、直線運動、揺動運動に合わせて個別に指定することができる。
【００２６】
第一の実施形態のアクチュエータによれば、以下の効果を奏する。第一及び第二の駆動軸１ｂ，２ｂの軸線に沿った往復運動を利用して物体４を公転運動させるので、シンプルな機構で物体４の公転運動を実現できる。また、物体４に様々な運動をさせることができる。
【００２７】
第一の駆動軸１ｂの往復運動と第二の駆動軸２ｂの往復運動の位相をずらせば、物体４を公転運動させるのが容易になる。
【００２８】
第一の駆動軸１ｂの往復運動と第二の駆動軸２ｂの往復運動とで位相が９０度ずれていれば、物体４を円形の軌道に沿って往復運動させることができる。
【００２９】
第一の駆動軸１ｂと物体４とを第一の板ばね５ａで連結し、第二の駆動軸２ｂを第二の板ばね５ｂで連結することで、シンプルな構成で物体４の公転運動を実現できる。
【００３０】
ドライバ９は第一及び第二のアクチュエータ１，２をオープンループ制御し、第一及び第二のアクチュエータ１，２に位相が異なる交流を供給するので、第一及び第二のアクチュエータ１，２をフィードバック制御する必要がなく、ドライバ９の構成がシンプルになる。
【００３１】
図５は本発明の第二の実施形態のアクチュエータの平面図を示す。上記第一の実施形態のアクチュエータでは、平面視で第一及び第二のアクチュエータ１，２が直交している。しかし、第二の実施形態のアクチュエータでは、平面視で第一及び第二のアクチュエータ１，２が平行である。第一及び第二のアクチュエータ１，２の構成は、第一の実施形態のアクチュエータと同一なので、同一の符号を附してその説明を省略する。
【００３２】
第一及び第二のアクチュエータ１，２と物体４とは連結部３１で連結される。連結部３１は、第一の駆動軸１ｂと物体４との間に介在する第一の連結部３１ａと、第二の駆動軸２ｂと物体４との間に介在する第二の連結部３１ｂと、を備える。第一の連結部３１ａは第一の駆動軸１ｂの軸線方向に細長い第一の板ばね３１ａから構成される。第二の連結部３１ｂは第二の駆動軸２ｂの軸線方向に細長い第二の板ばね３１ｂから構成される。物体４は保持部３１ｃで保持される。保持部３１ｃは物体４を周囲から弾性力で保持するようにＣ形の板ばねから構成される。第一の板ばね３１ａの先端は保持部３１ｃの一端に連結され、第二の板ばね３１ｂの先端は保持部３１ｃの他端に連結される。
【００３３】
上記第一の実施形態のアクチュエータと同様に、第一の駆動軸１ｂをｓｉｎ波状に往復運動させ、第二の駆動軸２ｂをｃｏｓ波状に往復運動させれば、物体４は公転運動する。第一及び第二の連結部３１ａ，３１ｂは物体４の公転運動を許容する。この実施形態のアクチュエータによれば、第一及び第二のアクチュエータ１，２が平行に配列されるので、アクチュエータのコンパクト化を図ることができる。
【００３４】
図６は、本発明の第三の実施形態のアクチュエータの平面図を示す。この実施形態では、第一の実施形態のアクチュエータと同様に、第一及び第二のアクチュエータ１，２が平面視で直交する。第一及び第二のアクチュエータ１，２の構成は、第一の実施形態のアクチュエータと同一なので、同一の符号を附してその説明を省略する。
【００３５】
この実施形態では、連結部に第一及び第二の板ばね５ａ，５ｂの替わりに第一及び第二のリニアガイド４１，４２を用いている。第一及び第二のリニアガイド４１，４２は、直線的に伸びるレール４１ａ，４２ａと、レール４１ａ，４２ａに転動体を介して直線移動可能に組み付けられるブロック４１ｂ，４２ｂと、を備える。
【００３６】
第一のリニアガイド４１のレール４１ａが矩形の保持部４３の一辺に固定される。第二のリニアガイド４２のレール４２ａが保持部４３の直交する一辺に固定される。第一の駆動軸１ｂの先端は第一のリニアガイド４１のブロック４１ｂに結合される。第二の駆動軸２ｂの先端は第二のリニアガイド４２のブロック４２ｂに結合される。物体４は保持部４３に保持される。
【００３７】
第一のリニアガイド４１は、第一の駆動軸１ｂの軸線方向の往復運動を物体４に伝達すると共に、第二の駆動軸２ｂによる物体４の第二の駆動軸２ｂの軸線方向の往復運動を許容する。第二のリニアガイド４２は、第二の駆動軸２ｂの軸線方向の往復運動を物体４に伝達すると共に、第一の駆動軸１ｂによる物体４の第一の駆動軸１ｂの軸線方向の往復運動を許容する。したがって、第一の駆動軸１ｂをｓｉｎ波状に往復運動させ、第二の駆動軸２ｂをｃｏｓ波状に往復運動させれば、物体４は公転運動する。
【００３８】
図７は、本発明の第四の実施形態のアクチュエータを示す。この実施形態では、第一の実施形態のアクチュエータと同様に、第一及び第二のアクチュエータ１，２が平面視で直交する。第一及び第二のアクチュエータ１，２の構成は、第一の実施形態のアクチュエータと同一なので、同一の符号を附してその説明を省略する。
【００３９】
この実施形態では、連結部に第一及び第二の板ばね５ａ，５ｂの替わりに第一及び第二のリンク５１，５２が設けられる。第一のリンク５１は一端部が第一の駆動軸１ｂの先端に回転可能に連結され、他端部が保持部５３に回転可能に連結される。第二のリンク５２は一端部が第二の駆動軸２ｂの先端に回転可能に連結され、他端部が保持部５３に回転可能に連結される。物体４を保持する保持部５３の公転運動を安定させるために、保持部５３は複数のばね５４で支持される。
【００４０】
第一のリンク５１は、第一の駆動軸１ｂの軸線方向の往復運動を物体４に伝達すると共に、第二の駆動軸２ｂによる物体４の第二の駆動軸２ｂの軸線方向の往復運動を許容する。第二のリンク５２は、第二の駆動軸２ｂの軸線方向の往復運動を物体４に伝達すると共に、第一の駆動軸１ｂによる物体４の第一の駆動軸１ｂの軸線方向の往復運動を許容する。したがって、第一の駆動軸１ｂをｓｉｎ波状に往復運動させ、第二の駆動軸２ｂをｃｏｓ波状に往復運動させれば、物体４は公転運動する。
【００４１】
なお、本発明は上記実施形態に具現化されるのに限られることはなく、本発明の要旨を変更しない範囲で他の実施形態に具現化することができる。
【００４２】
上記第一の実施形態では、第一及び第二のアクチュエータの第一及び第二の駆動軸の軸線を同一平面内に配置しているが、同一平面から上下方向にずれて配置してもよい。また、平面視で第一及び第二の駆動軸の軸線が直交しているが、直交に限られることなく任意の角度で交差することができる。
【００４３】
上記第二の実施形態のアクチュエータでは、第一及び第二のアクチュエータを水平面内で平行に配置しているが、垂直面内で平行に配置することもできる。
【００４４】
第一及び第二のアクチュエータの構造は、上記実施形態に限られることはなく、第一及び第二の駆動軸が往復運動するものであれば様々なものを使用することができる。
【００４５】
第一及び第二の連結部の構造も、上記実施形態に限られることはなく、物体を公転運動させることができれば様々なものを用いることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明のアクチュエータは物体を公転運動させるのに適しており、その用途は特に限定されるもではないが、用途の一例として加振機を挙げることができる。
【符号の説明】
【００４７】
１…第一のアクチュエータ，１ａ…第一のアクチュエータ本体，１ｂ…第一の駆動軸，１ｃ…第一の駆動軸の軸線，２…第二のアクチュエータ，２ａ…第二のアクチュエータ本体，２ｂ…第二の駆動軸，２ｃ…第二の駆動軸の軸線，４…物体，５…連結部，５ａ…第一の板ばね（第一の連結部），５ｂ…第二の板ばね（第二の連結部），９…ドライバ，３１…連結部，３１ａ…第一の板ばね（第一の連結部），３１ｂ…第二の連結部，４１…第一のリニアガイド（第一の連結部），４２…第二のリニアガイド（第二の連結部），５１…第一のリンク（第一の連結部），５２…第二のリンク（第二の連結部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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