(57)【要約】【課題】  定常状態における空間電荷の交流成分を小さくして、静電気敏感デバイスの損傷を防止することである。【解決手段】  第１の電極針グループの放電電極針２ａと、第２の電極針グループの放電電極針２ｂとを配置するとともに、上記第１の電極針グループに高圧の交番電圧を印加する第１の電源回路５ａと、上記第２の電極針グループに高圧の交番電圧を印加する第２の電源回路５ｂとを備え、上記第１及び第２の電源回路５ａ，５ｂは互いにその極性が反転した交番電圧を出力し、各放電電極針２ａ，２ｂの先端に発生する放電によってイオンを生成して処理対象を除電する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の放電電極針と、
上記各放電電極針に、正または負の高電圧を印加するための高電圧電源回路とを備え、
上記各放電電極針の先端に発生する放電に基づいて生成されるイオンによって処理対象を除電する除電装置において、
上記放電電極針は、第１の電極針グループと、第２の電極針グループとからなり、
これら第１の電極針グループと第２の電極針グループとを本体内に備えるともに、
上記高電圧電源回路は、
上記第１の電極針グループに高圧の交番電圧を印加する第１の電源回路と、
上記第２の電極針グループに高圧の交番電圧を印加する第２の電源回路とを備え、
上記第１及び第２の電源回路は互いにその極性が反転した交番電圧を出力することを特徴とする除電装置。
【請求項２】
上記放電電極針を環状に配置した請求項１に記載の除電装置。
【請求項３】
本体には、イオン吹き出し口を備え、
上記第１の電極針グループと、第２の電極針グループとを、上記イオン吹き出し口から等距離に配置したことを特徴とする請求項１又は２に記載の除電装置。
【請求項４】
上記第１の電極針グループの放電電極針の先端と、第２の電極針グループの放電電極針の先端とを交互に配置したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１に記載の除電装置。
【請求項５】
上記第１の電極針グループの放電電極針と、第２の電極針グループの放電電極針とを同数にしたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１に記載の除電電極。
【請求項６】
上記第１の電極針グループの放電電極針と、第２の電極針グループの放電電極針とをそれぞれ直線状に配置したことを特徴とする請求項１、３〜５のいずれか１に記載の除電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、帯電物体を除電したり、帯電を防止したりするための除電装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、正、負のイオンを放出して、帯電物体や雰囲気を除電するための除電装置が知られている。
例えば特許文献１に示す除電装置は、複数の放電電極針を備え、これら複数の放電電極針に同時に正の高電圧と、負の高電圧とを交互に印加することで、正イオンと負イオンとを交互に生成するものである。
このような除電装置を用いれば、例えば正に帯電した面は負イオンによって除電され、負に帯電した面は正イオンによって除電される。
その結果、処理対象の表面電位を０に近づけることができる。
【０００３】
また、上記のような除電装置は、帯電した物体を除電するためだけでなく、静電気帯電を嫌う物体を帯電させないようにするために用いることもある。
例えば、半導体チップなどの静電気敏感デバイスは、その製造プロセスにおいて静電気帯電とこれに起因する放電によって損傷する可能性がある。このような静電気帯電による損傷を防止するため、静電気敏感デバイスの製造工程に除電装置を設置している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１１３９９７号公報
【特許文献２】特開２０１０−１５３３９６号公報の図４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記除電装置は、正イオンと負イオンとを交互に生成するので、それが放出されると、正、負極性の偏りのないイオン空間が形成されるように見えるが、実際には、除電装置から正イオンだけが放出される時間帯と負イオンだけが放出される時間帯とができることによって、厳密には、空間電位の極性は時間的には正あるいは負に交互に偏ってしまう。そのため、このような空間におかれた物体の表面も正に帯電したり、負に帯電したりしてしまうことになる。
【０００６】
したがって、正イオンと負イオンとを交互に放出する除電装置を用いた場合、処理対象の表面はある程度まで除電された後で、交流成分を含んだ空間電位によって、定常状態の表面電位に直流成分のほかに交流成分が現れる。
また、上記交流成分を含んだ空間電位によって新たに正負に帯電してしまう物体もある。
このような定常状態における交流成分の電位は通常それほど高くならない。
しかし、高密度化が進んだ電子デバイスは特に静電気帯電に敏感で、それほど高くない帯電電位差によっても損傷してしまう可能性がある。
そのため、上記特許文献１のような除電装置は、静電気敏感デバイスの静電気帯電による損傷を防止することができないという問題があった。
【０００７】
また、特許文献２には、複数の放電電極針を直線状に並べた電極バーを、ゲートの両側に配置して、その中央に立った人を除電するための除電装置が記載されている。この除電装置は、各電極バーの放電電極針に正の高電圧と負の高電圧とを交互に印加するものであるが、一方の電極バーに正の高電圧を印加しているときには、他方の電極バーに負の高電圧を印加するようにしている。これにより、各電極バーから放出されるイオンが互いにひきつけあって、イオン領域が広くなるというものである。
【０００８】
この装置では、中央に位置する人体は、全体として正イオンと負イオンとを同時に受けることになるが、一方の側面で正イオンのみを受けた後、負イオンのみを受け、他方の側面は負イオンのみを受けてから正イオンのみを受けることになる。したがって、この特許文献２の装置でも、上記特許文献１の装置と同様に、処理対象の表面電位が部分的に正になったり負になったりして、定常状態となったときの表面電位の交流成分をそれほど小さくすることはできなかった。
また、処理対象が、両電極バーの中央位置から外れると、極性の偏りが大きくなるという問題もあった。
そのため、この特許文献２のような除電装置を用いても、静電気敏感デバイスを静電気帯電から守ることは難しかった。
【０００９】
この発明の目的は、空間電位の交流成分を消滅させて、静電気敏感デバイスの損傷を防止できる除電装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明は、複数の放電電極針と、上記各放電電極針に、正または負の高電圧を印加するための高電圧電源回路とを備え、上記各放電電極針の先端に発生する放電に基づいて生成されるイオンによって処理対象を除電する除電装置において、上記放電電極針は、第１の電極針グループと、第２の電極針グループとからなり、これら第１の電極針グループと第２の電極針グループとを装置本体内に備えるとともに、上記高電圧電源回路は、上記第１の電極針グループに高圧の交番電圧を印加する第１の電源回路と、上記第２の電極針グループに高圧の交番電圧を印加する第２の電源回路とを備えた除電装置を前提とする。
【００１１】
第１の発明は、上記除電装置を前提とし、上記第１及び第２の電源回路が互いにその極性が反転した交番電圧を出力することを特徴とする。
なお、上記交番電圧は、時間的に極性が反転する電圧のことである。そして、この交番電圧には、交流電圧だけでなく、矩形波電圧も含まれる。
【００１２】
第２の発明は、上記放電電極針を環状に配置したことを特徴とする。
上記環状の配置には、放電電極針を円周に沿って配置することのほか、多角形の輪郭に沿って配置するものも含むものとする。
【００１３】
第３の発明は、本体にイオン吹き出し口を備え、上記第１の電極針グループと、第２の電極針グループとを、上記イオン吹き出し口から等距離に配置したことを特徴とする。
【００１４】
第４の発明は、上記第１の電極針グループの放電電極針の先端と、第２の電極針グループの放電電極針の先端とを交互に配置したことを特徴とする。
【００１５】
第５の発明は、上記第１の電極針グループの放電電極針と、第２の電極針グループの放電電極針とを同数にしたことを特徴とする。
【００１６】
第６の発明は、上記第１の電極針グループの放電電極針と、第２の電極針グループの放電電極針とをそれぞれ直線状に配置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
第１の発明によれば、１本の放電電極針で正イオンと負イオンとが交互に生成されるとともに、第１の電極針グループの放電電極針で生成されるイオンと第２の電極針グループの放電電極で生成されるイオンの極性を逆極性にしているため、空間的にも時間的にも極性の偏りが小さいイオン空間を生成することができる。その結果、イオンが放出された空間電位の交流成分を小さくでき、その空間内に位置する処理対象の表面電位の交流成分も小さくできる。その結果、処理対象が静電気帯電によって損傷することを防止できる。
【００１８】
第２の発明では、複数の放電電極針が環状に配置されることによって、放電電極針の配列に端部ができない。電極の配列に端部があると、端部の電極と中央の電極とで、その近傍に形成される電界強度や方向が異なるため、イオン生成量の偏りが発生してしまうことがある。このような偏りを防止するため、端部の放電電極針と中央の放電電極針とで、印加電圧を変えるなどの工夫をしているものもある。しかし、この発明のように放電電極針を環状に配置すれば、上記のような端部での問題をなくすことができる。
【００１９】
第３の発明によれば、第１の電極針グループと第２の電極針グループで生成される逆極性のイオンが、第１，２の電極針グループから等距離に配置されたイオン吹き出し口から同時に放出されるので、イオン空間の正、負極性の偏りをより小さくでき、空間電位の交流成分をより小さくできる。
【００２０】
第４の発明によれば、１本の放電電極針で正、負極性のイオンを交互に生成しながら、隣り合う放電電極針で生成されるイオンの極性を互いに逆極性にできる。そのため、イオン空間における時間的、空間的な正、負極性の偏りをより一層小さくすることができる。
【００２１】
第５の発明によれば、正のイオンを生成する放電電極針と負のイオンを生成する放電電極針の本数を常に等しくすることができる。そのため、生成される正負のイオン量を均等にして、イオン空間における時間的、空間的な正、負極性の偏りをより一層小さくすることができる。
【００２２】
第６の発明によれば、バー状の除電装置を実現できる。
また、直線状に配置する放電電極針の本数を増減するだけで、様々な大きさの除電対象エリアに対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、この発明の第１実施形態の回路図である。
【図２】図２は、第１実施形態の高電圧電源回路からの出力電圧を示したグラフである。
【図３】図３は、第１実施形態の除電装置の性能確認試験の結果で、テスト用の帯電プレートの表面電位を示したグラフである。なお、実線が第１実施形態の装置による結果で、破線は従来装置による結果である。
【図４】図４は第２実施形態の回路図である。
【図５】図５は第２実施形態のトランスへの入力電圧の波形を示したグラフである。
【図６】図６は第２実施形態の第１、２の電源回路を構成する倍電圧整流回路の回路図である。
【図７】図７は第２実施形態の高電圧電源回路からの出力電圧を示したグラフで、（ａ）は第１の電源回路の出力電圧であり、（ｂ）は第２の電源回路の出力電圧である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
この発明の第１実施形態を図１〜３を用いて説明する。
図１に示すこの実施形態は、装置本体１内に８本の放電電極針２ａ、２ｂを環状に配置した除電装置である。これらの放電電極針２ａ、２ｂに高電圧を印加し、その先端側で生成されたイオンを風に乗せて放出させるようにしている。
なお、図１は、この除電装置の回路図であるが、上記放電電極針２ａ、２ｂの配置を示すために、装置本体１の輪郭及びイオン風が放出される送風窓１ａを太線で示している。
また、上記送風窓１ａには図示しない金属製のグリッドを設けて開口を覆うとともに、このグリッドを接地している。したがって、このグリッドが接地電極となり、上記送風窓１ａがこの発明のイオン吹き出し口である。そして、上記放電電極針２ａ，２ｂのすべての先端はこの送風窓１ａから同一距離になるように配置され、各放電電極針２ａ，２ｂの先端近傍で生成されたイオンがいずれも同様に上記送風窓１ａから放出されるようにしている。
【００２５】
図１では、放電電極針２ａ，２ｂ以外の部分は、上記装置本体１の外部に示されているが、実際の装置では交流電源３以外は全て上記装置本体１内に組み込まれている。
また、上記装置本体１内には、図示しない送風ファンを組み込み、図１の裏面側である装置の裏側から前面に向かって風を送り、上記イオンを乗せた風が上記送風窓１ａから吹き出すようにしている。
【００２６】
この装置は、上記交流電源３に接続するトランス４を備え、このトランス４によって電源電圧を昇圧するようにしている。つまり、上記交流電源３とトランス４とによってこの発明の高電圧電源回路５を構成している。
上記トランス４の二次側は、その中点Ｐを接地させて、この中点Ｐを境にして一方側を第１の電源回路５ａとし、他方側を第２の電源回路５ｂとしている。
このように上記中点Ｐを接地させたため、上記第１の電源回路５ａと第２の電源回路５ｂとは、図２に示すように、位相を１８０°ずらして極性を反転させた電圧を出力することになる。
なお、図２中、実線で示したグラフａが第１の電源回路５ａからの出力電圧であり、破線で示したグラフｂが第２の電源回路５ｂからの出力電圧である。そして、上記図２の出力電圧は、それぞれ図１の出力端子６ａ，６ｂで計測した値である。
【００２７】
また、上記第１の電源回路５ａの出力端子６ａには並列にした回路７，７を接続するとともに、各回路７，７には分岐した回路８，８を接続し、４本の回路８の先端にそれぞれ放電電極針２ａを接続している。上記回路８に接続した４本の放電電極針２ａは、上記第１の電源回路５ａから出力される交流電圧が印加される第１の電極針グループを構成している。
【００２８】
さらに、第２の電源回路５ｂの出力端子６ｂには並列にした回路９，９を接続するとともに、各回路９，９には分岐した回路１０，１０を接続し、４本の回路１０の先端にそれぞれ放電電極針２ｂを接続している。上記回路１０に接続した４本の放電電極針２ｂは、上記第２の電源回路５ｂから出力される交流電圧が印加される第２の電極針グループを構成している。
【００２９】
そして、上記第１の電極針グループの放電電極針２ａと第２の電極針グループの放電電極針２ｂとは交互に隣り合うように配置されている。
また、この第１実施形態では、放電電極針２ａ，２ｂに高電圧を印加したとき、放電電極針２ａ，２ｂの先端から上記送風窓１ａに設けた図示しない接地グリッドに向かって放電が発生するように構成している。
【００３０】
また、各電源回路５ａ，５ｂと放電電極針２ａ，２ｂとの間には、コンデンサ１１を介在させている。このコンデンサ１１は、安全のため、各放電電極針２ａ，２ｂに流れる電流を制限するためだけでなく、生成されるイオンバランスを保つためにも機能する。
上記のようなコンデンサ１１を挿入すると、放電電極針２ａ，２ｂを接続した回路に流れる直流電流が阻止され、上記回路に流れる時間平均の正・負の電流、すなわち，正・負イオン電流が同じになり、結果的にイオンバランスが保たれることになる。そのメカニズムは以下のとおりである。
【００３１】
放電によってイオンを生成した場合、放電電極針２ａには生成されたイオンとは逆極性の直流電流が流れることになるが、上記コンデンサ１１を設けることによってその電流の流れを阻止するので、コンデンサ１１にはその分の電荷が蓄えられることになる。例えば、負イオンを生成した場合にはコンデンサ１１には正電荷が蓄積される。もし、コンデンサ１１を設けていなければ、正イオンよりも負イオンの方が多く生成されるような場合でも、コンデンサ１１を設ければこのコンデンサ１１が上記直流電流に基づく正電荷を蓄積して、その分、放電電極針２ａの電位を正側にずらすことになる。
【００３２】
上記のように、本来なら負イオンが生成されやすい環境において、放電電極針２ａの正の電位が相対的に高くなれば、正イオンの生成量が増え、イオンバランスが保たれるというものである。その結果、上記定常状態における表面電位の直流成分を小さくすることができる。
ただし、イオンバランスを保つために最適なコンデンサ１１の容量は、他の条件に合わせて設定する必要がある。
【００３３】
以上のように構成したこの第１実施形態の除電装置を用いたとき、除電対象面の定常状態における交流成分が小さくなる効果を確認した試験結果を説明する。
この試験は、図１に示す除電装置の送風窓１ａから一定距離、ここでは３００〔ｍｍ〕離れた位置に、帯電していないテスト用の帯電プレートを設置し、上記除電装置を動作させたときの帯電プレートの表面電位を非接触型の電位計で検出するものである。
【００３４】
上記各放電電極針２ａ，２ｂには、図２に示すように、ピーク電圧が約８〔ｋＶ〕の交流電圧をそれぞれ１８０°位相をずらし、極性を反転させて印加した。具体的には、図２の実線ａで示した電圧が第１の電極針グループを構成する４本の放電電極針２ａに印加され、破線ｂで示した電圧が第２の電極針グループを構成する４本の放電電極針２ｂに印加されることになる。
また、比較のため、８本全ての放電電極針を第１の電源回路５ａに接続し、図２に示す実線ａの電圧を印加する従来の放電装置を用いて同じ試験を行った。
【００３５】
上記試験の結果を図３に示す。
図３には、上記実施形態の除電装置を動作させた場合のテスト用の帯電プレートの帯電電位の変化を実線のグラフＡで示し、従来装置を動作させた場合の帯電プレートの帯電電位の変化を破線のグラフＢで示している。
図３から明らかなように、この発明の除電装置を用いた場合と従来装置を用いた場合とでは、帯電プレートの表面電位のグラフＡ，Ｂに大きな差がある。
どちらの場合も交流成分を含んではいるが、グラフＡはピーク間の電位差が約１〔Ｖ〕であるのに対し、グラフＢは約２３〔Ｖ〕であった。しかも、グラフＡはその平均値が−０．３３〔Ｖ〕であり、直流成分もほとんどなかった。
【００３６】
このように、この第１実施形態の除電装置を用いれば、定常状態における表面電位の直流成分とともに交流成分を大幅に低減することができ、除電対象が静電気帯電によって損傷することを防止できる。
上記のように、第１実施形態の除電装置が、定常状態の表面電位の平均値をほぼ０にするとともに交流成分もほぼ０にできたのは、第１の電極針グループに印加する交流電圧と第２の電極針グループに印加する交流電圧の極性が逆極性になるように制御して、各放電電極から放出されるイオンの極性を正、負交互に切り換えながら、全体として正と負のイオンが同時に生成されるようにしたためである。
【００３７】
例えば、個々の放電電極針に正、負の電圧を交互に印加したとしても、同時間帯に同じ極性の電圧が印加される放電電極針だけを連続して配置した場合には、瞬間的に、特定の範囲に生成されるイオンの極性が一方に偏ることになるので、それが放出された空間においてもより均一なイオン分布が実現できずに、交流成分が残ってしまうことになる。
しかし、上記第１実施形態では、各放電電極針で生成されるイオンの極性が正、負交互になるとともに、第１の電極針グループと第２の電極針グループで生成されるイオンが逆極性になるようにしているので、全放電電極針で生成されるイオンの極性の時間的及び空間的な偏りが小さいイオン分布が実現できたものと考えられる。
【００３８】
特に、この第１実施形態では、第１の電極針グループの放電電極針２ａと第２の電極針グループの放電電極針２ｂとを交互に配置したので、隣り合う放電電極針で生成されるイオンの極性が逆極性になって、より正負の偏りが小さい空間を生成できる。
また、上記全ての放電電極針２ａ，２ｂの先端を、上記送風窓１ａの開口から等距離になるように配置することで、上記放電電極針２ａ，２ｂで生成された正負のイオンが偏りなく放出されることになる。
【００３９】
なお、上記第１実施形態では、第１，２の電極針グループで合計８本の放電電極針２ａ，２ｂを交互に環状に配置しているが、放電電極針２ａ，２ｂは、第１、第２の電極針グループに分けることができればよいので、放電電極針の合計が複数ならば何本でも構わない。ただし、イオン極性の偏りをより小さくするためには各電極針グループの放電電極針の本数を均等にすることが好ましい。
また、放電電極針２ａ，２ｂを配置する形状も、円や多角形などどのようなものでも構わないし、環状でなくてもかまわない。ただし、全放電電極針の間隔を等しく配置した方が、空間のイオン分布をより均一にして空間電位の交流成分を小さくすることができる。
【００４０】
また、上記第１実施形態では、高電圧電源回路を交流電源３及びトランス４で構成しているが、交流電源３の代わりに極性を交互に切り換えて矩形波を出力する電源回路を用いてもよい。そして、その極性が反転すれば、正、負のデューティ比が異なる電源回路を用いることも可能である。ただし、矩形波電圧を用いる場合には、上記コンデンサ１１に替えて抵抗を接続する必要がある。上記コンデンサ１１を接続すると、矩形波がパルス波形になってしまうからである。
【００４１】
図４〜７に示す２実施形態は、第１，２の電極針グループを構成する放電電極針２ａ，２ｂに印加する高電圧を、矩形波の交番電圧とするとともに、図１の交流電源３の代わりに直流電源を用いた除電装置の一例である。
また、上記放電電極針２ａと２ｂとを交互に一直線状に配置した電極部１３を、バー状に形成した装置本体に設けた点が上記第１実施形態と異なる。
ただし、第１の電極針グループを構成する放電電極針２ａと、第２の電極針グループを構成する放電電極針２ｂとを備え、第１，２の電極針グループにそれぞれ交番電圧を印加する第１，２の電源回路を備える点は、上記第１実施形態と同じである。
そして、この第２実施形態では、図４に示した制御装置１２以外の回路を全て同一装置本体内に設けるものとする。
【００４２】
この第２実施形態の除電装置は、図４に示すように、外部の直流電源を兼ねる制御装置１２と、高周波昇圧用のトランスＴ１、Ｔ４との間にスイッチＳ１を設け、上記制御装置１２と高周波昇圧用のトランスＴ２，Ｔ３との間にスイッチＳ２を設けている。これらスイッチＳ１，Ｓ２は、上記制御装置１２によってそれぞれ一定時間ごとに交互にオン、オフ制御されるものである。
また、上記各トランスＴ１〜Ｔ４の一次側にはそれぞれ発振回路１４が接続され、この発振回路１４が上記制御装置１２から出力された直流電圧を図５に示す高周波電圧に変換して各トランスＴ１〜Ｔ４に入力する。
【００４３】
図５は、各トランスＴ１〜Ｔ４の一次側に入力される高周波電圧を示したもので、上記制御装置１２によって一定時間ごとにオン、オフ制御される上記スイッチＳ１、Ｓ２がオンのときに出力される高周波電圧を示している。図５に示すように、スイッチＳ１がオンでＳ２がオフのときにはトランスＴ１，Ｔ４の一次側に上記高周波電圧が入力され、スイッチＳ１がオフでスイッチＳ２がオンのときには、高周波昇圧トランスＴ２、Ｔ３の一次側に上記高周波電圧が入力される。
また、各トランスＴ１〜Ｔ４の二次側には、それぞれダイオードＤとコンデンサＣとの組を複数段備えた倍電圧整流回路１５，１６，１７，１８を接続している（図６参照）。
そして、各トランスＴ１〜Ｔ４の二次側に交互に発生した高周波状の高電圧を、上記倍電圧整流回路１５〜１８でさらに昇圧して、出力端子１９、２０及び２１，２２に矩形波の高電圧として出力するようにしている。
【００４４】
さらに、上記出力端子１９，２０，２１，２２のうち上記出力端子１９，２０を接続した出力端子２３に、第１の電極針グループを構成する放電電極針２ａを、残りの出力端子２１，２２を接続した出力端子２４に第２の電極針グループを構成する放電電極針２ｂを、それぞれ抵抗を介して接続している。
したがって、上記第１の電極針グループの放電電極針２ａに接続された、上記トランスＴ１、Ｔ２、上記倍電圧整流回路１５，１６がこの発明の第１の電源回路を構成し、上記第２の電極針グループの放電電極針２ｂに接続された、上記トランスＴ３、Ｔ４、倍電圧整流回路１７，１８がこの発明の第２の電源回路を構成している。
【００４５】
また、図６に示すように、上記第１の電源回路を構成する上記倍電圧整流回路１５と１６とは、ダイオードＤの接続方向を逆にして、出力端子１９には正の高電圧が出力され、出力端子２０には負の高電圧が出力されるようにしている。
ただし、上記出力端子１９、２０に出力される正、負の高電圧は、それぞれ上記スイッチＳ１、Ｓ２がオンになったときに出力される。すなわち、スイッチＳ１がオンのとき出力端子１９から正の高電圧が出力され、スイッチＳ２がオンのとき出力端子２０から負の高電圧が出力される。これらの合成電圧は図７（ａ）に実線で示す矩形波の交番電圧ｃとして出力端子２３から出力される。
【００４６】
また、第２の電源回路を構成する上記倍電圧整流回路１７，１８も、図６に示すように、それぞれ上記倍電圧整流回路１５，１６と同じ構成を備え、出力端子２１には正の高電圧が出力され、出力端子２２には負の高電圧が出力される。これら正、負の高電圧も、上記スイッチＳ１，Ｓ２のオン、オフに対応して交互に出力される。ただし、第２の電源回路においては、スイッチＳ１がオンのときに出力端子２２に負の高電圧が出力され、スイッチＳ２がオンのときに出力端子２１から正の高電圧が出力される。その合成電圧は、図７（ｂ）に破線で示す矩形波の交番電圧ｄとして出力端子２４から出力される。
【００４７】
このように、上記スイッチＳ１、Ｓ２のオン、オフによって、第１の電極針グループの放電電極針２ａには、図７（ａ）に実線で示す矩形波の交番電圧ｃが印加され、第２の電極針グループの放電電極針２ｂには、図７（ｂ）に破線で示した矩形波の交番電圧ｄが印加される。これらの交番電圧ｃ，ｄは図７に示すように逆極性となる。
したがって、この第２実施形態においても、第１の電極針グループの放電電極針２ａに印加される交番電圧ｃと第２の電極針グループの放電電極針２ｂに印加される交番電圧ｄとは逆極性になる。そのため、放電電極２ａ，２ｂからなる電極部１３では常時、正のイオンと負のイオンとが同時に生成され、空間電位が正極性あるいは負極性に大きく偏ることがない。
そこで、この第２実施形態の除電装置も、定常状態における空間電位の交流成分を小さくでき、静電気敏感デバイスなどが静電気帯電で破損することを防止できる。
【００４８】
なお、この第２実施形態では、上記倍電圧整流回路１５〜１８はそれぞれ、特定の段においてダイオードＤに電流制限用抵抗Ｒを直列に接続し、この電流制限抵抗Ｒとその段のコンデンサＣとでＲＣ並列回路を構成している（図６、７参照）。このようなＲＣ並列回路を構成すれば、上記スイッチＳ１，Ｓ２の切り換えによって各出力端子１９〜２２に出力される矩形波の立ち上がりをよくすることができる。
また、上記ＲＣ並列回路を構成する段のコンデンサＣの容量を、他の段のコンデンサＣの容量よりも大きくすれば、上記出力される矩形波の立ち上がりをさらによくすることができる（特許文献１及び２０１２−１９５１９３号公報参照）。
【００４９】
この第２実施形態は、上記電極部１３の放電電極針２ａと２ｂとを交互に一直線状に配置しているが、第１の電極針グループの放電電極針２ａと第２の電極針グループの放電電極針２ｂとをそれぞれ別々に直線状に配置してもかまわない。第１，２の電極針グループが、同一の装置本体内に設けられていれば、各電極針グループで生成される正負両極性のイオンが同時に放出され、空間電位の交流成分を小さくできることになる。
特に、上記第１の電極針グループと、第２の電極針グループとを、装置本体に設けたイオン吹き出し口から等距離に配置すれば、極性の偏りがより小さいイオン空間を生成でき、空間電位の交流成分をより小さくできる。
さらに、第２実施形態の電源回路は、バー状の装置本体だけでなく、様々な形状の除電器に用いることができる。例えば、第１実施形態のように放電電極針２ａ，２ｂを環状に配置した装置にも適用することができる。
また、上記第１実施形態のような交流電源をバー状の除電装置に用いてもよい。
【００５０】
なお、上記では、静電気敏感デバイスが静電気帯電で破損しないように帯電を防止する用途について説明したが、この実施形態の除電装置は、帯電した物体を除電するために用いることができるのは当然である。その場合には、処理対象の表面電位をほぼ０〔Ｖ〕まで除電できる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
静電気帯電に敏感なデバイスを取り扱う現場に設置し、上記デバイスを静電気帯電による損傷から保護するために有用である。
【符号の説明】
【００５２】
１      装置本体
１ａ    （接地した金属グリッドを備えた）送風窓
２ａ    （第１の電極針グループを構成する）放電電極針
２ｂ    （第２の電極針グループを構成する）放電電極針
３      交流電源
４      トランス
５      高電圧電源回路
５ａ    第１の電源回路
５ｂ    第２の電源回路
１２    制御装置
Ｔ１〜Ｔ４    トランス
１５〜１８    倍電圧整流回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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