(57)【要約】【課題】モールド樹脂で封止される炭化珪素デバイスにおいて、モールド樹脂と炭化珪素デバイスの接合強度を向上させることを目的にする。【解決手段】金属製のベース板と、裏面に第１電極が形成され、表面に第２電極が形成され、ベース板は第１電極と接合されている炭化珪素デバイスと、炭化珪素デバイスの表面に直接形成され第２電極の周囲を囲む絶縁膜と、炭化珪素デバイスの表面に直接形成され絶縁膜の周囲を囲む下地層と、炭化珪素デバイスと絶縁膜と下地層を封止するモールド樹脂と、を備えている半導体モジュール。モールド樹脂は炭化珪素デバイスの側面を直接被覆している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属製のベース板と、
裏面に第１電極が形成され、表面に第２電極が形成され、前記ベース板は前記第１電極と接合されている炭化珪素デバイスと、
前記炭化珪素デバイスの表面に直接形成され前記第２電極の周囲を囲む絶縁膜と、
前記炭化珪素デバイスの表面に直接形成され前記絶縁膜の周囲を囲む下地層と、
前記炭化珪素デバイスと前記絶縁膜と前記下地層を封止するモールド樹脂と、を備え、
前記モールド樹脂は前記炭化珪素デバイスの側面を直接被覆していることを特徴とする半導体モジュール。
【請求項２】
前記第２電極の外周部と前記絶縁膜の内周部は直接接触していることを特徴とする請求項１に記載の半導体モジュール。
【請求項３】
前記絶縁膜の外周部と前記下地層の内周部が直接接触していることを特徴とする請求項２に記載の半導体モジュール。
【請求項４】
前記炭化珪素デバイスの表面側の外周端はテーパ形状を有していることを特徴とする請求項２に記載の半導体モジュール。
【請求項５】
前記絶縁性膜の外周部と前記下地層の内周部の間に間隔が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の半導体モジュール。
【請求項６】
前記絶縁膜は凹凸が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の半導体モジュール。
【請求項７】
前記下地層は窪みが設けられていることを特徴とする請求項２に記載の半導体モジュール。
【請求項８】
前記下地層は、チタン、モリブデン、ニッケル、アルミまたは銅からなることを特徴とする請求項２に記載の半導体モジュール。
【請求項９】
前記下地層は、チタン、モリブデン、ニッケル、アルミ、または銅の酸化物からなることを特徴とする請求項２に記載の半導体モジュール。
【請求項１０】
前記下地層は、チタン、モリブデン、ニッケル、アルミ、または銅の窒化物からなることを特徴とする請求項２に記載の半導体モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体モジュールに関し、特に炭化珪素デバイスを備えた半導体モジュールの素子構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
パワー半導体デバイスでは沿面放電に起因して素子に破壊が生じる。素子の破壊を抑制するために、特許文献１の炭化珪素半導体装置では、炭化珪素チップの側面に導体層を設けている。特許文献２の電力用半導体装置は、能動領域とその外周部にガードリングおよびチャネルストッパと、このチャネルストッパと接するアルミ電極を有する電解緩和領域を備えている。特許文献３は、ダイシング端部に近いエリアでメタライズすることで、半導体装置の耐圧向上を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２２４６４１号公報
【特許文献２】特開２００９−  ２１２８５号公報
【特許文献３】特開２００７−２６６１２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
炭化珪素は、珪素と異なり、自然酸化膜が形成されにくいため、モールド樹脂とチップ端面部との密着強度が低い。本願は、モールド樹脂で封止される炭化珪素デバイスにおいて、モールド樹脂と炭化珪素デバイスの接合強度を向上させることを目的にする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願に関わる半導体モジュールは、金属製のベース板と、裏面に第１電極が形成され、表面に第２電極が形成され、ベース板は第１電極と接合されている炭化珪素デバイスと、炭化珪素デバイスの表面に直接形成され第２電極の周囲を囲む絶縁膜と、炭化珪素デバイスの表面に直接形成され絶縁膜の周囲を囲む下地層と、炭化珪素デバイスと絶縁膜と下地層を封止するモールド樹脂と、を備え、モールド樹脂は炭化珪素デバイスの側面を直接被覆している。
【発明の効果】
【０００６】
炭化珪素基板の表面とモールド樹脂を直接接触させないことで、炭化珪素デバイスとモールド樹脂間の接合強度の向上が図れ、炭化珪素パワーモジュールの機械的信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明に係わる半導体モジュールの全体図である。
【図２】本発明の実施の形態１による炭化珪素デバイスを示す平面図と断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１による炭化珪素デバイスを示す平面図と断面図である。
【図４】本発明の実施の形態２による炭化珪素デバイスを示す平面図と断面図である。
【図５】本発明の実施の形態３による炭化珪素デバイスを示す平面図と断面図である。
【図６】本発明の実施の形態４による炭化珪素デバイスを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に本発明にかかる半導体モジュールの実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は以下の既述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【０００９】
実施の形態１．
本願に関わる半導体モジュールの断面構造を図１に示す。半導体モジュール１００は、保護層５、下地層６、モールド樹脂１０、リード電極１１、ベース板１２、炭化珪素デバイス２０などから構成されている。炭化珪素デバイス２０の表面と裏面には、それぞれ、アノード電極２と裏面電極４が形成されている。炭化珪素デバイス２０と金属製のベース板１２は、はんだ１３によって接合されている。炭化珪素デバイス２０にはリードボンドやはんだ等の手段でリード電極１１が接続されている。ベース板１２よりも上の構成部材はエポキシ系のモールド樹脂１０で封止されている。モールド樹脂１０には、例えば、多官能型エポキシ樹脂あるいはガラス転移点１５０℃以上のエポキシ樹脂が用いられる。
【００１０】
保護層５と下地層６が形成された炭化珪素デバイス２０の構造をさらに詳細に説明する。図２は実施の形態１に係る炭化珪素デバイス２０を示す平面図と断面図である。下部に示した断面図は上部に示した平面図のＡ−Ｂ断面である。ここに示された炭化珪素デバイス２０は、電流を基板の垂直方向に通電する縦型のダイオードを表しているが、他の能動デバイス、横型デバイスでも同様に本発明は適用できる。炭化珪素デバイス２０は、ｎ型不純物を比較的高濃度に含んだ炭化珪素バルク基板（ウエハ）を用いて作製される。炭化珪素バルク基板にはｎ型不純物を比較的低濃度に含んだ炭化珪素ドリフト層を形成する。
【００１１】
炭化珪素基板１の表面に形成されるアノード電極２は、アノード層２ａと電極層３から構成される。アノード層２ａは、チタン、モリブデン、ニッケル等からなる薄膜で構成される。アノード層２ａの上にはボンディングパッドとして、アルミ、銅等からなる電極層３が形成されている。裏面電極４は金属シリサイド膜とメタライズ膜とで構成される。ニッケルシリサイド等の金属シリサイド膜は炭化珪素基板１の裏面を覆い、オーミック電極となる。金属シリサイド膜は、はんだ接合に適したメタライズ膜で覆われている。
【００１２】
電極層３にはリード電極１１が接続されている。電極層３の周囲には耐圧構造の保護と共に、電気的な特性安定化のために例えばポリイミド樹脂からなる保護層５を形成している。絶縁性材料からなる保護層５の下部には必要に応じて酸化珪素や窒化珪素等からなる誘電体層を形成してもよい。電極層３の下部に配置しているアノード層２ａの周辺には耐圧構造としてｐ型不純物層１４が形成されている。
【００１３】
下地層６は、炭化珪素基板１の表面で、保護層５の周辺から炭化珪素基板１の端部におよぶ領域に設けられている。下地層６は、チタン、モリブデン、ニッケル、アルミ、銅等の金属材料、あるいは、その酸化物、窒化物を好適に使用することができる。貴金属は、モールド樹脂との密着性を得ることが難しいため、下地層には適していない。下地層６の厚さは例えば２０ｎｍ〜２０μｍ程度である。下地層６を設けることで炭化珪素基板１の表面とモールド樹脂１０が直接接合することを避けることができる。実施の形態１では、炭化珪素基板１の表面は、アノード層２ａ、保護層５および下地層６によって完全に被覆されていて、露出している部分が無い。
【００１４】
我々は、この構成とすることでモールド樹脂１０と炭化珪素デバイス２０との接合強度が向上し、機械的な信頼性が向上することを見出した。この効果はシリコンデバイスでは顕著には発現しなかった。炭化珪素の単体より、金属、あるいは、その酸化物または窒化
物を介在させる方が、モールド樹脂に対する接合強度は数割向上する。特に、機械加工され鏡面を有する炭化珪素基板１は表面処理が重要である。下地層６を形成することで電気的不具合が生じないことは検証済みである。
【００１５】
次に、炭化珪素デバイス２０の製造方法を説明する。低抵抗の炭化珪素ウエハを準備し、主面上にｎ型半導体や、耐圧構造となるｐ型不純物層を形成する。ウエハの裏面には例えばニッケルシリサイド膜からなるオーミック電極９を形成する（図３参照）。次に、スパッタリング法により、表面に厚さ２０〜８００ｎｍのチタン膜を形成し、所望の形状にパターニングする。アノード層２ａと下地層６を同一の膜から形成することも可能であるため、ここでは、１回のリソグラフィでアノード層２ａと下地層６をチタン膜で形成した。
【００１６】
図３はアノード層２ａと下地層６を所望の形状に作製したウエハ２１の断面図を示す。この段階では、下地層６は隣接するチップの下地層と一体化している。その後、ショットキー障壁の高さを安定化するために、不活性ガス雰囲気中あるいは真空中で、４００〜７００℃、より望ましくは４５０〜５００℃のアニールを実施する。ウエハ２１の表面２１ａには、厚さ２〜２０μｍのアルミニウムまたは銅等で構成される電極層３を形成する。必要に応じて窒化珪素からなる誘電体層を形成する。電極層３の周囲には電気的安定化等のために、厚さ３〜２０μｍのポリイミド樹脂層をスピンコートなどの方法を活用して形成する。このため、保護層５は先端が鉤状に曲がっている。
【００１７】
この後、例えばブレードダイシングやレーザダイシングによりウエハ２１はチップ化される。下地層６は隣接チップに亘って形成されているため、完成したチップ端にまで下地層６が形成されていることになる。薄膜からなる下地層６はブレードダイシングの品質に影響を与えない。例えばチップ端でのチッピング量の増加を伴わないため、通常の炭化珪素の加工条件での作製が可能である。
【００１８】
能動型デバイスでも制作方法の基本は同じである。まず必要な不純物層を形成する。駆動電極、層間誘電体、オーミック電極等を形成したあと、表面の電極を形成する。下地層６は単独で形成することも可能であるし、電極層３の下部に配置されるチタン層、タンタル層やその窒化物層などを用いることも可能である。
【００１９】
半導体モジュール１００は、シリコンモジュールと同様に、ベース板１２とリード電極１１を炭化珪素デバイス２０に接合した後に、例えばエポキシ樹脂のモールド材に封入し、最終加工をすることで完成する。モールド材料は多岐にわたってあるものの、炭化珪素に対して各種金属膜、およびその酸化物や窒化物はモールド材料との接合強度を向上できるため、半導体モジュールの構成はモールド工程に依存することはない。
【００２０】
以上説明した半導体モジュールによれば、モールド樹脂と炭化珪素デバイスとの接合強度の向上が図れ、機械的な信頼性の向上を図ることができる。また、下地層６を形成することは、特段のプロセス増加と、プロセス条件の向上を要求しないため、コスト増加を招かない。
【００２１】
実施の形態２．
図４は実施の形態２に係る炭化珪素デバイス２０を示す平面図と断面図である。上部に示した平面図のＡ−Ｂ断面を下部の断面図に示す。テーパ部５０は炭化珪素デバイスの表側の外周端に形成されている。炭化珪素基板１の表面には下地層６がチップ端部まで配置されている。炭化珪素デバイスウエハとしては実施の形態１と同様であり、チップに分離する際にテーパ部５０を形成する。先端がテーパ形状に相当する形状を有する砥石をもってテーパ加工した後、ダイシング加工を実施することで炭化珪素デバイスは完成する。
【００２２】
実施の形態２によれば、炭化珪素基板の機械加工されていないチップ端まで下地層６が配置されているため、実施の形態１と同様に接着強度を高められ、さらに応力が高くなるチップ端部で応力分散できるため、更なる機械的な信頼性向上が図れる。
【００２３】
実施の形態３．
図５は実施の形態３に係る炭化珪素デバイス２０を示す平面図と断面図である。上部に示した平面図のＡ−Ｂ断面を下部の断面図に示す。実施の形態１および実施の形態２では、炭化珪素基板１の表面露出を完全に避けた。この発明では、炭化珪素デバイスがチップ端に下地層６を有することが重要である。炭化珪素基板の外周部で、アノード層２ａの未被覆部分の半分を覆うことでも下地層６を配置していない半導体モジュールに比べて機械特性が向上する。さらには、チップ端全体に亘って下地層６を連続して形成しているが、分断されていても顕著な効果の低減はない。また下地層６は単一材料に限らず例えば、電極層３と下地層６との複数層から形成されていてもよい。
【００２４】
実施の形態４．
図６は実施の形態４に係る炭化珪素デバイス２０の構成を示す断面図である。下地層６に窪み７が形成されている。窪み７はチップ端を周回する形状でも良いし、離散したドットでもよい。窪み７は下地層６を形成する前に炭化珪素基板１に形成する。窪み７は、トレンチ構造がデバイス構造に必要になる場合があるので、トレンチ作製時に形成するのが簡便である。また、保護層５に凹凸８を形成することも考えられる。凹凸８は、ポリイミドからなる保護層５の形成を２回実施する方法で簡便に形成することができる。実施の形態４によれば、接合面積の増加伴う接合強度の向上により、更なる機械的な信頼性向上が図れる。
【００２５】
半導体モジュール１００は炭化珪素デバイスを用いているため、その特徴を生かすべくシリコンの時と比較してより高温で動作させることになる。炭化珪素デバイスを搭載する半導体モジュールにおいては、半導体モジュールとしてより高い信頼性が求められるため、高信頼の半導体モジュールを実現するという本発明のメリットはより効果的なものとなる。
【００２６】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００２７】
１  炭化珪素基板、２  アノード電極、２ａ  アノード層、３  電極層、４  裏面電極、５  保護層、６  下地層、７  窪み、８  凹凸、９  オーミック電極、１０  モールド樹脂、１１  リード電極、１２  ベース板、１３  はんだ、２０  炭化珪素デバイス、５０  テーパ部、１００  半導体モジュール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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