(57)【要約】【課題】小型化を図ることができる液体噴射ヘッド及び液帯噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル面に設けられたノズル２１に対で連通し第１方向に複数設けられた圧力発生室１２からなる圧力発生室群と、前記圧力発生室群に連通し液体を保持するケース部材４０とを具備する液体吐出ユニット１００１を備える液体噴射ヘッドであって、前記ケース部材は、液体吐出方向とは反対側で、且つ前記反対側から前記圧力発生室群を平面視して前記第１方向の両端の圧力発生室の間の位置に、少なくとも一つ以上の液体導入口４４を有し、第１の液体吐出ユニット１００１Ａと第２の液体吐出ユニット１００１Ｂとが、前記第１方向Ｘとは直交する第２方向Ｙに、互いの第１方向が実質的に平行になる位置に配置されると共に、前記ケース部材の前記第１の液体吐出ユニット及び前記第２の液体吐出ユニットのそれぞれに対応する液体導入口の位置が、前記第２方向で重ならない。【選択図】図２
2015033838.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル面に設けられたノズルに対で連通し第１方向に複数設けられた圧力発生室からなる圧力発生室群と、
前記圧力発生室群に連通し液体を保持するケース部材とを具備する液体吐出ユニットを備える液体噴射ヘッドであって、
前記ケース部材は、液体吐出方向とは反対側で、且つ前記反対側から前記圧力発生室群を平面視して前記第１方向の両端の圧力発生室の間の位置に、少なくとも一つ以上の液体導入口を有し、
第１の液体吐出ユニットと第２の液体吐出ユニットとが、前記第１方向とは直交する第２方向に、互いの第１方向が実質的に平行になる位置に配置されると共に、前記ケース部材の前記第１の液体吐出ユニット及び前記第２の液体吐出ユニットのそれぞれに対応する液体導入口の位置が、前記第２方向で重ならないことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記第１の液体吐出ユニットの液体導入口と前記第２の液体吐出ユニットの液体導入口のそれぞれに連通し且つ合流する流路を具備する流路部材が前記第１の液体吐出ユニットと前記第２の液体吐出ユニットに跨って設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記第１の液体吐出ユニットの液体導入口に連通する流路の上流に設けられたフィルターと、前記第２の液体吐出ユニットの液体導入口に連通する流路の上流に設けられたフィルターとが一体となっていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記第１の液体吐出ユニットと前記第２の液体吐出ユニットとをユニット対とし、ユニット対が複数対並んで存在する場合、一方のユニット対の他方のユニット対側の液体導入口と、前記他方のユニット対の前記一方のユニット対側の液体導入口との位置が前記第２方向で重ならないことを特徴とする請求項１〜３の何れか一項記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記一方のユニット対の前記第１の液体吐出ユニットの液体導入口と前記第２の液体吐出ユニットの液体導入口と、前記他方のユニット対の前記第１の液体吐出ユニットの第１の液体導入口と前記第２の液体吐出ユニットの液体導入口とのそれぞれに連通し且つ合流する流路を具備する流路部材が、前記一方のユニット対と前記他方のユニット対の全ての前記第１の液体吐出ユニットと前記第２の液体吐出ユニットに跨って設けられていることを特徴とする請求項４記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記一方のユニット対及び前記他方のユニット対における全ての前記第１の液体吐出ユニットの液体導入口に連通する流路の上流に設けられたフィルターと、前記第２の液体吐出ユニットの液体導入口に連通する流路の上流に設けられたフィルターとが一体となっていることを特徴とする請求項４又は５記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記第１の液体吐出ユニットの液体導入口と、前記第２の液体吐出ユニットの液体導入口とは、前記第１方向の両端の圧力発生室の間の中央に設けられていることを特徴とする請求項１から６の何れか一項記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記第１の液体吐出ユニットと前記第２の液体吐出ユニットとで前記ケース部材が別体であり、前記第１の液体吐出ユニットの第１のケース部材の液体導入口と、前記第２の液体吐出ユニットの第２のケース部材の液体導入口とは、前記第１方向の両端の圧力発生室の間の中央からずれた位置に設けられ、前記第１のケース部材と前記第２のケース部材とが共通部材であることを特徴とする請求項１から６の何れか一項記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか一項記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドとしては、例えばノズルに連通する圧力発生室が形成される流路形成基板を有するヘッドチップと、ヘッドチップに設けられた圧力発生手段に接続される配線基板が保持されたケース部材と、このケース部材の液体導入口上に設けられる流路部材とを具備するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１１５９１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ケース部材と流路部材との接続は、ケース部材に設けられた導入口に流路部材を接続することで行われるが、隣接する導入口が近いと、両者に連通する流路を形成する流路部材の肉厚が十分に確保できず、流路部材の必要強度が確保できなかったり、ケース部材と流路部材との接着シロが十分に取れなかったりするなどの問題があり、また、流路部材での流路の形成や配置などに制約が生じ、特に、ヘッド全体の小型化を図る上での制約になるという問題がある。
【０００５】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドに限定されず、他の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑み、小型化を図ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する本発明の態様は、ノズル面に設けられたノズルに対で連通し第１方向に複数設けられた圧力発生室からなる圧力発生室群と、前記圧力発生室群に連通し液体を保持するケース部材とを具備する液体吐出ユニットを備える液体噴射ヘッドであって、前記ケース部材は、液体吐出方向とは反対側で、且つ前記反対側から前記圧力発生室群を平面視して前記第１方向の両端の圧力発生室の間の位置に、少なくとも一つ以上の液体導入口を有し、第１の液体吐出ユニットと第２の液体吐出ユニットとが、前記第１方向とは直交する前記第２方向に、互いの第１方向が実質的に平行になる位置に配置されると共に、前記ケース部材の前記第１の液体吐出ユニット及び前記第２の液体吐出ユニットのそれぞれに対応する液体導入口の位置が、前記第２方向で重ならないことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、第１の液体吐出ユニット及び第２の液体吐出ユニットのそれぞれに対応する液体導入口の位置が第２方向で重ならないので、ノズル列の間隔を小さく保ち且つ第１の液体吐出ユニット及び第２の液体吐出ユニットの液体導入口に接続する流路を形成する流路部材の肉厚を十分に確保しつつ、小型化を図ることができる。
【０００８】
ここで、前記第１の液体吐出ユニットの液体導入口と前記第２の液体吐出ユニットの液体導入口のそれぞれに連通し且つ合流する流路を具備する流路部材が前記第１の液体吐出ユニットと前記第２の液体吐出ユニットに跨って設けられているのが好ましい。これによれば、ヘッドのさらなる小型化を図ることができる。
【０００９】
また、前記第１の液体吐出ユニットの液体導入口に連通する流路の上流に設けられたフィルターと、前記第２の液体吐出ユニットの液体導入口に連通する流路の上流に設けられたフィルターとが一体となっているのが好ましい。これによれば、ヘッドのさらなる小型化を図ることができ、さらに組立作業の効率化を図ることができる。
【００１０】
また、前記第１の液体吐出ユニットと前記第２の液体吐出ユニットとをユニット対とし、ユニット対が複数対並んで存在する場合、一方のユニット対の他方のユニット対側の液体導入口と、前記他方のユニット対の前記一方のユニット対側の液体導入口との位置が前記第２方向で重ならないのが好ましい。これによれば、一方のユニット対の他方のユニット対側の液体導入口と、前記他方のユニット対の前記一方のユニット対側の液体導入口との位置が第２方向で重ならないので、ノズル列の間隔を小さく保ち且つ流路を形成する流路部材の肉厚を十分に確保しつつ、さらに小型化を図ることができる。
【００１１】
また、前記一方のユニット対の前記第１の液体吐出ユニットの液体導入口と前記第２の液体吐出ユニットの液体導入口と、前記他方のユニット対の前記第１の液体吐出ユニットの液体導入口と前記第２の液体吐出ユニットの液体導入口とのそれぞれに連通し且つ合流する流路を具備する流路部材が、前記一方のユニット対と前記他方のユニット対の全ての前記第１の液体吐出ユニットと前記第２の液体吐出ユニットに跨って設けられているのが好ましい。これによれば、ヘッドのさらなる小型化を図ることができる。
【００１２】
また、前記一方のユニット対及び前記他方のユニット対における全ての前記第１の液体吐出ユニットの液体導入口に連通する流路の上流に設けられたフィルターと、前記第２の液体吐出ユニットの液体導入口に連通する流路の上流に設けられたフィルターとが一体となっているのが好ましい。これによれば、ヘッドのさらなる小型化を図ることができ、さらに組立作業の効率化を図ることができる。
【００１３】
また、前記第１の液体吐出ユニットの液体導入口と、前記第２の液体吐出ユニットの液体導入口とは、前記第１方向の両端の圧力発生室の間の中央に設けられているのが好ましい。これによれば、部品の設計を変更しないで、配置を変更することにより、第１の液体吐出ユニット及び第２の液体吐出ユニットのそれぞれに対応する液体導入口の位置が第２方向で重ならないようにすることができ、ノズル列の間隔を小さく保ち且つ流路を形成する流路部材の肉厚を十分に確保しつつ、小型化を図ることができる。
【００１４】
また、前記第１の液体吐出ユニットと前記第２の液体吐出ユニットとで前記ケース部材が別体であり、前記第１の液体吐出ユニットの第１のケース部材の液体導入口と、前記第２の液体吐出ユニットの第２のケース部材の液体導入口とは、前記第１方向の両端の圧力発生室の間の中央からずれた位置に設けられ、前記第１のケース部材と前記第２のケース部材とが共通部材であるのが好ましい。これによれば、部品点数を増やすことなく、第１の液体吐出ユニット及び第２の液体吐出ユニットのそれぞれに対応する液体導入口の位置が第２方向で重ならないようにすることができ、ノズル列の間隔を小さく保ち且つ流路を形成する流路部材の肉厚を十分に確保しつつ、小型化を図ることができる。
【００１５】
また、本発明の他の態様は、上述した液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にある。
かかる態様では、ノズル列の間隔を小さく保ち且つ第１の液体吐出ユニット及び第２の液体吐出ユニットの液体導入口に接続する流路を形成する流路部材の肉厚を十分に確保しつつ、小型化を図ったヘッドを有する液体噴射装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態１に係る第１液体吐出ユニットの分解斜視図。
【図２】本発明の実施形態１に係る第１液体吐出ユニットの平面図。
【図３】本発明の実施形態１に係る第１液体吐出ユニットの断面図。
【図４】本発明の実施形態１に係る第２液体吐出ユニットを示す平面図
【図５】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図。
【図６】インクジェット式記録ヘッドのＢ−Ｂ′線断面図。
【図７】インクジェット式記録ヘッドの要部を拡大した断面図。
【図８】インクジェット式記録ヘッドの導入口の配置を模式的に示した平面図。
【図９】インクジェット式記録ヘッドの導入口の配置を模式的に示した平面図。
【図１０】インクジェット式記録ヘッドの導入口の配置を模式的に示した平面図。
【図１１】インクジェット式記録ヘッドの導入口の配置を模式的に示した平面図。
【図１２】インクジェット式記録ヘッドの導入口の配置を模式的に示した平面図。
【図１３】インクジェット式記録ヘッドの導入口の配置を模式的に示した平面図。
【図１４】インクジェット式記録ヘッドの導入口の配置を模式的に示した平面図。
【図１５】インクジェット式記録装置の一例を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
最初に本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドとも言う）に設けられる液体吐出ユニットの一例について説明する。なお、図１は、本発明の実施形態１に係る第１液体吐出ユニットの分解斜視図であり、図２は、第１液体吐出ユニットの平面図であり、図３は、第１液体吐出ユニットの断面図である。
【００１８】
図示するように、本実施形態の液体吐出ユニットは、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドに搭載される第１液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂであり、液体吐出ユニット１００１Ａ及び１００１Ｂの２つで液体吐出ユニット対１００１を構成するものである。第１液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂは、ヘッド本体１１、ヘッド本体１１の一方面側に固定されたケース部材４０等の複数の部材を備える。また、本実施形態のヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズルプレート２０と、流路形成基板１０の連通板１５とは反対側に設けられた保護基板３０と、連通板１５のノズルプレート２０が設けられた面側に設けられたコンプライアンス基板４５と、を具備する。
【００１９】
ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ２あるいはＡｌ２Ｏ３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１方向Ｘと称する。
【００２０】
１つの液体吐出ユニット１００１Ａ及び１００１Ｂは、列状に並設された複数の圧力発生室１２の群を１つ具備するものである。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１方向Ｘに並設された列が複数ユニットに対応する複数列、本実施形態では、一対の液体吐出ユニットに対応する２列設けられている。この圧力発生室１２が第１方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２方向Ｙと称する。さらに、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙに直交する方向を、インク滴（液滴）の吐出方向、又は第３方向Ｚと称する。ちなみに、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０は、第３方向Ｚに積層されている。
【００２１】
また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。
【００２２】
また、流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。すなわち、流路形成基板１０の一方面に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズル２１を有するノズルプレート２０と、を具備する。
【００２３】
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。
【００２４】
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８と、が設けられている。
【００２５】
第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。
【００２６】
また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。
【００２７】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。すなわち、本実施形態では、ノズル２１と第２マニホールド部１８と連通する個別流路として、供給連通路１９と、圧力発生室１２と、ノズル連通路１６と、が設けられている。
【００２８】
このような連通板１５としては、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、またはジルコニウム（Ｚｒ）などのセラミックス等を用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００２９】
ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。すなわち、ノズル２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１方向Ｘに並設され、この第１方向Ｘに並設されたノズル２１の列が第２方向Ｙに２列形成されている。
【００３０】
すなわち、本実施形態において、液体噴射面２０ａに設けられたノズル群とは、本実施形態では、第１方向Ｘに並設されたノズル列のことである。このノズル列（ノズル群）は第１液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂ毎に設けられており、液体吐出ユニット対１００１では、基準方向である第２方向Ｙに２列設けられている。ここで、ノズル群は、第１方向Ｘに直線状に並設されたものに限定されず、例えば、第１方向Ｘに並んだノズル２１が交互に第２方向Ｙにずれた位置に配置されたもの、いわゆる千鳥状に配置されたもので構成されていてもよい。また、ノズル群は、第１方向Ｘに並んだノズル２１が複数個毎に第２方向Ｙにずれて配置されたもので構成されていてもよい。すなわち、ノズル群は、液体噴射面２０ａに設けられた複数のノズル２１で構成されたものであればよく、その配置は特に限定されるものではない。ただし、一般的にノズル２１を高密度に複数配置（他ノズル化）しようとすると、ノズル２１を並設した方向（第１方向Ｘ）に長尺化してしまう。つまり、液体吐出ユニット対１００１において、第１方向Ｘが長手方向となり、第２方向Ｙが短手方向となるのが常である。そして、ノズル２１に対応して圧力発生室１２を配置すると共に、圧力発生室１２に対応してインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段を設けるため、第１方向Ｘに複数の圧力発生室１２及び複数の圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０が並設されることになる。そして、詳しくは後述するが、複数の高い密度で形成された圧電アクチュエーター１３０に電気信号を供給する配線部材は、基板上の圧電アクチュエーター１３０の並設方向、すなわち、第１方向Ｘ（長手方向）のスペースを生かして圧電アクチュエーター１３０に接続される。したがって、シート状の配線部材の幅は、圧電アクチュエーター１３０の並設方向に沿って配置されることになる。つまり、シート状の配線部材の幅方向を圧電アクチュエーター１３０の並設方向とすることで、圧電アクチュエーター１３０を高密度に多数配置しても、圧電アクチュエーター１３０と配線部材との接続を良好に行うことができる。
【００３１】
このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００３２】
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。
【００３３】
また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、積層形成されて圧電アクチュエーター１３０を構成している。ここで、圧電アクチュエーター１３０は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター１３０の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター１３０の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター１３０の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、第１電極６０が、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられているため、第１電極６０が振動板の一部として機能するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター１３０自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。ただし、流路形成基板１０上に直接第１電極６０を設ける場合には、第１電極６０とインクとが導通しないように第１電極６０を絶縁性の保護膜等で保護するのが好ましい。つまり、本実施形態では、基板（流路形成基板１０）上に振動板５０を介して第１電極６０を設けた構成を例示したが、特にこれに限定されるものではなく、振動板５０を設けずに第１電極６０を直接基板上に設けるようにしてもよい。すなわち、第１電極６０が振動板として作用するようにしてもよい。つまり、基板上とは、基板の直上も、間に他の部材が介在した状態（上方）も含むものである。
【００３４】
さらに、このような圧電アクチュエーター１３０の個別電極である各第２電極８０には、供給連通路１９とは反対側の端部近傍から引き出され、振動板５０上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０の一端部がそれぞれ接続されている。また、リード電極９０の他端部には、後述する圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０を駆動するための駆動回路１２０が設けられた配線部材１２１が接続されている。配線部材１２１は、可撓性（フレキシブル）なシート状のもの、例えば、ＣＯＦ基板等を用いることができる。なお、配線部材１２１には、駆動回路１２０を設けなくてもよい。つまり、配線部材１２１は、ＣＯＦ基板に限定されず、ＦＦＣ、ＦＰＣ等であってもよい。また、配線部材１２１には、駆動回路１２０を設けなくてもよい。
【００３５】
なお、リード電極９０の配線部材１２１に接続される他端部は、第１方向Ｘに並設されて設けられている。ちなみに、リード電極９０の他端部を、流路形成基板１０の第１方向Ｘの一端部側まで延設し、リード電極９０の他端部を第２方向Ｙに並設することも考えられるが、リード電極９０を引き回すスペースが必要になって記録ヘッドが大型化して高コストになってしまう。また、圧電アクチュエーター１３０を高い密度で、且つ多数設けて多ノズル化を行うと、リード電極の幅が狭くなり、電気抵抗が高くなる。このため、リード電極９０を引き回すことで、さらに電気抵抗が高くなって圧電アクチュエーター１３０を正常に駆動できなくなってしまう虞がある。本実施形態では、リード電極９０の他端部側を、第１方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター１３０の２列の間に延設し、リード電極９０の他端部を第１方向Ｘに並設することで、記録ヘッド１が大型化することなく小型化及び低コスト化を図ることができると共に、リード電極９０の電気抵抗が高くなるのを抑制して圧電アクチュエーター１３０を高い密度で且つ多数設けた多ノズル化を行うことができる。
【００３６】
また、本実施形態では、第２方向Ｙにおいて、圧電アクチュエーター１３０の列の間にリード電極９０の他端部を設けて、圧電アクチュエーター１３０の列の間でリード電極９０と配線部材１２１とを接続するようにしたため、１つの配線部材１２１が２列の圧電アクチュエーター１３０にリード電極９０を介して接続されている。もちろん、配線部材１２１の数はこれに限定されず、圧電アクチュエーター１３０の列毎に配線部材１２１を設けるようにしてもよい。本実施形態のように、２つの圧電アクチュエーター１３０の列に１つの配線部材１２１を設けることで、配線部材１２１とリード電極９０とを接続するスペースを小さくすることができ、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。ちなみに、圧電アクチュエーター１３０の列ごとに配線部材１２１を設ける場合、リード電極９０を圧電アクチュエーター１３０の列とは反対側に延設することも考えられるものの、このような構成では、リード電極と配線部材とを接続するスペースが余計に必要になると共にケース部材等に配線部材１２１を引き出す領域も２箇所となるため、記録ヘッド１が大型化してしまう。つまり、本実施形態のように、リード電極９０を２つの圧電アクチュエーター１３０の列の間に設けることで、１つの配線部材１２１で２列の圧電アクチュエーター１３０に同時に接続することが可能である。このようにリード電極９０に接続されるシート状の配線部材１２１は、その幅方向が第１方向Ｘに沿って配置されることになる。
【００３７】
また、流路形成基板１０の圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター１３０を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、第１方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター１３０で構成される列毎に独立して設けられており、２つの保持部３１の間（第２方向Ｙ）には、厚さ方向に貫通した貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の他端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と配線部材１２１とが貫通孔３２内で電気的に接続されている。
【００３８】
また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０Ａ、４０Ｂは、液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂ毎に設けられ、一対のケース部材４０Ａ、４０Ｂで平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０Ａ、４０Ｂは、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１Ａ、４１Ｂを有する。この凹部４１Ａ，４１Ｂは、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１Ａ，４１Ｂに流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１Ａ，４１Ｂのノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０Ａ、４０Ｂとヘッド本体１１とによって液体を保持する第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０Ａ、４０Ｂとヘッド本体１１とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。すなわち、マニホールド１００は、第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２を具備する。また、本実施形態のマニホールド１００は、第２方向Ｙにおいて、２列の圧力発生室１２の両外側に配置されており、２列の圧力発生室１２の両外側に設けられた２つのマニホールド１００は、液体吐出ユニット対１００１内では連通しないようにそれぞれ独立して設けられている。すなわち、本実施形態の圧力発生室１２の列（第１方向Ｘに並設された列）毎に１つのマニホールド１００が連通して設けられている。言い換えると、ノズル群毎にマニホールド１００が設けられている。もちろん、２つのマニホールド１００は、連通していてもよい。
【００３９】
また、各ケース部材４０Ａ、４０Ｂには、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入口４４Ａ、４４Ｂが設けられている。導入口４４Ａ、４４Ｂは、本実施形態では、液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂのそれぞれに対応するマニホールド１００毎に設けられている。すなわち、液体吐出ユニット１００１Ａに対応する一方のノズル群に一方のマニホールド１００を介して連通する第１導入口４４Ａと、液体吐出ユニット１００１Ｂに対応する他方のノズル群に他方のマニホールド１００を介して連通する第２導入口４４Ｂと、を具備する。なお、第１導入口４４Ａ、第２導入口４４Ｂを総称して導入口４４とする。
【００４０】
また、ケース部材４０Ａ、４０Ｂは、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線部材１２１が挿通される間隔を空けて配置され、この隙間が貫通孔３２に連通する接続口４３となる。すなわち、第２方向Ｙにおいて、接続口４３（貫通孔３２）の両側に第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとが設けられている。つまり、基準方向である第２方向Ｙにおいて、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの間で配線部材１２１の一端部が圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０にリード電極９０を介して接続されている。そして、配線部材１２１の他端部は、貫通孔３４及び接続口４３の貫通方向、すなわち、第３方向Ｚであって、インク滴の吐出方向とは反対側に延設されている。なお、本実施形態では、ケース部材４０Ａ、４０Ｂは、別部材としたが、両者を一体として、配線部材１２１が挿通される領域に開口を設けるようにしてもよい。
【００４１】
ここで、第１導入口４４Ａの位置と、第２導入口４４Ｂと位置とは、第１方向Ｘに沿ってずれており、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの間の距離は、第１方向Ｘに沿ってずれて配置しない場合と比較して大きくなっている。この距離は、後述する流路基板の設計上大きな意味をもち、ケース部材４０Ａ、４０Ｂの第１導入口４４Ａ及び第２導入口４４Ｂのそれぞれに連通する流路を配置する流路部材の肉厚を十分に確保して機械的強度を確保すると共に接着シロを十分に確保しつつ小型化を図る上で、できるだけ距離が離れているのが好ましい。一方、第１導入口４４Ａ及び第２導入口４４Ｂをケース部材４０Ａ及び４０Ｂの第１方向Ｘ（長手方向）の中央に配置して距離を大きくとろうとすると、ノズル列の第２方向Ｙの間隔が大きくなり、結局ヘッドの小型化を図ることが難しくなる。よって、本実施形態では、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの位置を第１方向Ｘに沿ってずらして第２方向Ｙに沿って重ならないようにすることで、ノズル列の間隔を小さく保ち且つ流路部材の流路の肉厚を十分に確保しつつ、小型化を図るようにしている。
【００４２】
第１導入口４４Ａ及び４４Ｂの位置は第１方向Ｘの両端の圧力発生室１２の中間位置から第１方向Ｘに沿ってそれぞれ逆方向にずれた位置となっているが、ずれ量は特に限定されない。第１導入口４４Ａ、４４Ｂでずれ量が同じでも異なってもよいが、ずれ量を同一とするのが好ましい。ずれ量が同一の場合は、ケース部材４０Ａとケース部材４０Ｂとを共通部材とすることができ、同一部材を反転して使用してケース部材４０Ａ、４０Ｂとすることができ、部品点数の軽減を図ることができる。
【００４３】
なお、このようなケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。
【００４４】
また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５は、平面視において上述した連通板１５と略同じ大きさを有し、ノズルプレート２０を露出する第１露出開口部４５ａが設けられている。そして、このコンプライアンス基板４５が第１露出開口部４５ａによってノズルプレート２０を露出した状態で、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。
【００４５】
すなわち、コンプライアンス基板４５がマニホールド１００の一部を画成している。このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有するフィルム状の薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。本実施形態では、１つのマニホールド１００に対応して１つのコンプライアンス部４９が設けられている。すなわち、本実施形態では、マニホールド１００が２つ設けられているため、ノズルプレート２０を挟んで第２方向Ｙの両側に２つのコンプライアンス部４９が設けられている。
【００４６】
このような構成の第１液体吐出ユニット１００１Ａ及び１００１Ｂでは、インクを噴射する際に、導入口４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター１３０に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター１３０と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル２１からインク滴が噴射される。
【００４７】
なお、本実施形態では、液体吐出ユニットの一例として第１液体吐出ユニット１００１Ａ及び１００１Ｂを例示したが、特にこれに限定されるものではない。本実施形態の記録ヘッド１では、第１液体吐出ユニット１００１Ａ及び１００１Ｂと、上述した第１液体吐出ユニット１００１Ａ及び１００１Ｂと略同じ構造を有するが、マニホールド１００が第１方向Ｘに３つに分割された第２液体吐出ユニット１００２Ａ及び１００２Ｂと、を有する。ちなみに、以降、第１液体吐出ユニット１００１Ａ及び１００１Ｂ、第２液体吐出ユニット１００２Ａ及び１００２Ｂを総称して液体吐出ユニット１０００と称する。ここで、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１に搭載される第２液体吐出ユニット１００２Ａ及び１００２Ｂについて、図４を参照して説明する。なお、図４は、第２液体吐出ユニットを示す平面図である。
【００４８】
第２液体吐出ユニット１００２Ａ及び１００２Ｂは、第２方向Ｙにおいてノズル２１の両側にマニホールド１００が設けられている。また、第２方向Ｙの両側に設けられたマニホールド１００は、それぞれ第１方向Ｘに複数に分割、本実施形態では、３つに分割されている。これにより、第２液体吐出ユニット１００２Ａ及び１００２Ｂには、それぞれ３個、合計６個のマニホールド１００が設けられている。また、コンプライアンス部４９（開口部４８）は区画されたマニホールド１００毎に設けられている。さらに導入口４４は、各マニホールド１００毎に設けられている。すなわち、本実施形態の第２液体吐出ユニット１００２Ａ及び１００２Ｂは、第１方向Ｘに３個並設されたマニホールド１００の列をそれぞれ有し、液体吐出ユニット対１００２では、第２方向Ｙに２列設けられている。そして、導入口４４は、各マニホールド１００の第１方向Ｘにおける中央部に設けられている。したがって、各液体吐出ユニット１００２Ａ及び１００２Ｂの導入口４４は、第１方向Ｘに３個並設されて列をなしている。本実施形態では、第１液体吐出ユニット１００２Ａに対応する導入口４４を第１導入口４４Ｃ、４４Ｄ、４４Ｅと称し、第１液体吐出ユニット１００２Ｂに対応する導入口４４を第２導入口４４Ｆ、４４Ｇ、４４Ｈと称する。すなわち、本実施形態の第２液体吐出ユニット１００２Ａ、１００２Ｂでは、第１導入口４４Ｃと第２導入口４４Ｆとの第２方向Ｙに沿った位置、第１導入口４４Ｄと第２導入口４４Ｇとの第２方向Ｙに沿った位置、及び第１導入口４４Ｅと第２導入口４４Ｈとの第２方向Ｙに沿った位置は、第２方向Ｙに沿ってずれがなく、一致しており、それぞれ第１方向Ｘの両端の圧力発生室１２の中央に位置している。
【００４９】
このような第２液体吐出ユニット１００２Ａ、１００２Ｂからなる液体吐出ユニット対１００２だけでは、上述したような本発明の効果は得られないが、上述した第１液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂからなる液体吐出ユニット対１００１と組み合わせて使用することにより、上述した効果を奏することができる。
【００５０】
すなわち、液体吐出ユニット対１００１と、液体吐出ユニット対１００２とを隣接して配置して液体吐出ヘッドとすると、第１液体吐出ユニット１００１Ａと第２液体吐出ユニット１００２Ｂ、又は第１液体吐出ユニット１００１Ｂと第２液体吐出ユニット１００２Ａが隣接して配置され、液体吐出ユニット対１００１及び液体吐出ユニット対１００２で共通の流路部材を設計する場合、第１液体吐出ユニット１００１Ａの第１導入口４４Ａと第２液体吐出ユニット１００２Ｂの第２導入口４４Ｆ、４４Ｇ、４４Ｈとの第２方向Ｙに沿った位置、又は第１液体吐出ユニット１００１Ｂの第２導入口４４Ｂと第２液体吐出ユニット１００２Ａの第１導入口４４Ｃ、４４Ｄ、４４Ｅとの第２方向Ｙに沿った位置が重ならないことになり、上述した液体吐出ユニット対１００１と同様な効果を奏することができる。なお、この点の詳細は後述する。
【００５１】
第１液体吐出ユニット１００１Ａ、１０００１Ｂと同様に、第２液体吐出ユニット１００２Ａ、１００２Ｂにおいても、基準方向である第２方向Ｙにおいて、第１導入口４４Ｃ〜Ｅと第２導入口４４Ｆ〜Ｈとの間で配線部材１２１（図示なし）の一端部が圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０（図示なし）にリード電極９０を介して接続されている。そして、配線部材１２１の他端部は、貫通孔３４及び接続口４３の貫通方向、すなわち、第３方向Ｚであって、インク滴の吐出方向とは反対側に延設されている。なお、第２液体吐出ユニット１００２Ａ、１００２Ｂの基本的な構成は、第１液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂと同様のため重複する説明は省略する。
【００５２】
このような第１液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂ及び第２液体吐出ユニット１００２Ａ、１００２Ｂを有する本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドについて詳細に説明する。なお、図５は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図６は、インクジェット式記録ヘッドのＢ−Ｂ′線断面図であり、図７は、要部を拡大した断面図、図８は導入口の配置を模式的に示した平面図である。
【００５３】
図示するように、記録ヘッド１は、ノズルからインク（液体）をインク滴（液滴）として吐出する２つの液体吐出ユニット対１００１、１００２（第１液体吐出ユニット対１００１、第２液体吐出ユニット対１００２）と、２つの液体吐出ユニット対１００１、１００２を保持すると共に液体吐出ユニット対１００１、１００２にインク（液体）を供給する流路部材２００と、流路部材２００に保持された配線基板３００と、液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂ、１００２Ａ、１００２Ｂの液体噴射面２０ａ側に設けられたカバーヘッド４００とを具備する。
【００５４】
流路部材２００は、上流流路５００が設けられた上流流路部材２１０と、下流流路６００が設けられた下流流路部材２２０と、上流流路５００と下流流路６００とを密封した状態で接続するシール部材２３０と、を具備する。
【００５５】
上流流路部材２１０は、本実施形態では、第１上流流路部材２１１と、第２上流流路部材２１２と、第３上流流路部材２１３とが、インク滴を吐出する方向である第３方向Ｚ（第１方向Ｘ及び第２方向Ｙに直交する方向）に積層されて構成されている。なお、上流流路部材２１０は特にこれに限定されるものではなく、単一の部材であっても、２以上の複数の部材で構成されていてもよい。また、上流流路部材２１０を構成する複数の部材の積層方向も特に限定されず、第１方向Ｘ、第２方向Ｙであってもよい。
【００５６】
第１上流流路部材２１１は、下流流路部材２２０とは反対面側に、インク（液体）が保持されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体保持部に接続される接続部２１４を有する。本実施形態では、接続部２１４として針状に突出したものとした。なお、接続部２１４には、インクカートリッジなどの液体保持部が直接接続されてもよく、また、インクタンクなどの液体保持部がチューブ等の供給管などを介して接続されてもよい。このような接続部２１４の内部には、液体保持部からのインクが供給される第１上流流路５０１が設けられている。また、第１上流流路部材２１１の接続部２１４の周囲には、液体保持部を位置決めするためのガイド壁２１５が設けられている。なお、第１上流流路５０１は、後述する第２上流流路５０２の位置に応じて、第３方向Ｚに延びる流路や、第３方向Ｚに直交する方向、すなわち第１方向Ｘ及び第２方向Ｙを含む面内に延びる流路等で構成されている。
【００５７】
第２上流流路部材２１２は、第１上流流路部材２１１の接続部２１４とは反対面側に固定されて、第１上流流路５０１に連通する第２上流流路５０２を有する。また、第２上流流路５０２の下流側（第３上流流路部材２１３側）には、第１上流流路５０１よりも内径が広く拡幅された第１液体溜まり部５０２ａが設けられている。
【００５８】
第３上流流路部材２１３は、第２上流流路部材２１２の第１上流流路部材２１１とは反対側に設けられている。また、第３上流流路部材２１３には、第３上流流路５０３が設けられている。第３上流流路５０３の第２上流流路５０２側の開口部分は、第１液体溜まり部５０２ａに応じて拡幅された第２液体溜まり部５０３ａとなっており、第２液体溜まり部５０３ａの開口部分（第１液体溜まり部５０２ａと第２液体溜まり部５０３ａとの間）には、インクに含まれる気泡や異物を除去するためのフィルター２１６が設けられている。これにより、第２上流流路５０２（第１液体溜まり部５０２ａ）から供給されたインクは、フィルター２１６を介して第３上流流路５０３（第２液体溜まり部５０３ａ）に供給される。
【００５９】
また、第３上流流路５０３は、第２液体溜まり部５０３ａよりも下流側（第２上流流路とは反対側）で、２つに分岐されており、第３上流流路５０３は第３上流流路部材２１３の下流流路部材２２０側の面に第１排出口５０４Ａ及び第２排出口５０５Ａとして開口して設けられている。
【００６０】
すなわち、１つの接続部２１４に対応する上流流路５００は、第１上流流路５０１、第２上流流路５０２及び第３上流流路５０３を有し、上流流路５００は、下流流路部材２２０側に２つの排出口５０４（第１排出口５０４Ａ及び第２排出口５０４Ｂ）として開口する。言い換えると、２つの排出口５０４（第１排出口５０４Ａ及び第２排出口５０４Ｂ）は、共通する流路（共通流路）に連通して設けられている。
【００６１】
また、第３上流流路部材２１３の下流流路部材２２０側には、下流流路部材２２０側に向かって突出する第１突起部２１７が設けられている。第１突起部２１７は、分岐された第３上流流路５０３毎に設けられており、第１突起部２１７のそれぞれの先端面に排出口５０４が開口して設けられている。
【００６２】
このような上流流路５００が設けられた第１上流流路部材２１１、第２上流流路部材２１２及び第３上流流路部材２１３は、例えば、接着剤や、溶着等によって一体的に積層されている。なお、第１上流流路部材２１１、第２上流流路部材２１２及び第３上流流路部材２１３をネジやクランプ等で固定することもできるが、第１上流流路５０１から第３上流流路５０３に至るまでの接続部分からインク（液体）が漏出するのを抑制するためにも、接着剤や溶着等で接合するのが好ましい。
【００６３】
なお、本実施形態では、１つの上流流路部材２１０に４つの接続部２１４を設け、１つの上流流路部材２１０には４つの独立した上流流路５００が設けられている。そして、各上流流路５００が下流流路部材２２０側で２つに分岐されているため、合計８個の排出口５０４が設けられている。ちなみに、本実施形態では、上流流路５００がフィルター２１６よりも下流（下流流路部材２２０側）で２つに分岐した構成を例示したが、特にこれに限定されず、フィルター２１６よりも下流側で上流流路５００が３つ以上に分岐されていてもよい。また、１つの上流流路５００がフィルター２１６よりも下流で分岐されていなくてもよい。
【００６４】
下流流路部材２２０は、上流流路５００に接続される下流流路６００を有する。下流流路部材２２０には、上流流路部材２１０側に突出する第２突起部が２２１設けられている。第２突起部２２１は、第１突起部２１７に対応して、各上流流路５００毎、すなわち、第１突起部２１７毎にそれぞれ設けられている。また、下流流路６００の一端は第２突起部２２１の先端面に開口し、他端は上流流路部材２１０とは第３方向Ｚにおいて反対側の面に開口して設けられている。本実施形態では、この下流流路６００が特許請求の範囲に記載の接続流路に相当する。なお、下流流路６００は、各上流流路５００の排出口５０４毎に独立して設けられている。すなわち、１つの上流流路５００は、２つの第１排出口５０４Ａ及び第２排出口５０４Ｂを有するため、第１排出口５０４Ａに接続された下流流路６００が第１接続流路６００Ａ、第２排出口５０４Ｂに接続された下流流路６００が第２接続流路６００Ｂとなる。以降、第１接続流路６００Ａ及び第２接続流路６００Ｂを総称して接続流路６００とも称する。
【００６５】
また、下流流路部材２２０の上流流路部材２１０とは反対面側には、複数の液体吐出ユニット対、本実施形態では、２個の液体吐出ユニット対１００１、１００２が固定されている。ここで、１つの液体吐出ユニット対１００１、１００２は、それぞれ液体吐出ユニット１００１Ａ及び１００１Ｂと、液体吐出ユニット１００２Ａ及び１００２Ｂとを具備し、上述のようにノズル群（ノズル列）が第２方向Ｙに並んで形成されており、記録ヘッド１には２つの液体吐出ユニット対１００１、１００２が第２方向Ｙに並設されて設けられている。なお、以降、液体吐出ユニット対１００１、１００２の第１方向Ｘ、第２方向Ｙ及び第３方向Ｚは、記録ヘッド１の第１方向Ｘ、第２方向Ｙ及び第３方向Ｚとそれぞれ同じ方向を示す。ちなみに、本実施形態の記録ヘッド１に設けられた２つの液体吐出ユニット対１００１、１００２は、上述のように第１液体吐出ユニット対１００１と第２液体吐出ユニット対１００２とからなる。第１液体吐出ユニット対１００１には、導入口４４が２個（第１導入口４４Ａが１個と第２導入口４４Ｂが１個）設けられ、第２液体吐出ユニット対１００２には、導入口４４が６個（第１導入口４４Ｃ〜４４Ｅ及び第２導入口４４Ｆ〜４４Ｈ）設けられている。そして、下流流路部材２２０に設けられた下流流路６００（第１接続流路６００Ａ及び第２接続流路６００Ｂ）は、各導入口４４の開口する位置に合わせて開口して設けられている。
【００６６】
ここで、本実施形態では、第１液体吐出ユニット対１００１は、第１導入口４４Ａが第２方向Ｙにおいて第２液体吐出ユニット対１００２側となるように配置されている。同様に、第２液体吐出ユニット対１００２は、第１導入口４４Ｃ〜４４Ｅが第２方向Ｙにおいて第１液体吐出ユニット対１００１側となるように配置されている。そして、下流流路６００である第１接続流路６００Ａは第１排出口５０４Ａと第１導入口４４Ａ、４４Ｆ〜４４Ｈとを接続し、第２接続流路６００Ｂは第２排出口５０４Ｂと第２導入口４４Ｂ、４４Ｃ〜４４Ｅとを接続する。したがって、第１液体吐出ユニット１００１Ａの流路を接続する第１接続流路６００Ａは、第２接続流路６００Ｂよりも第２液体吐出ユニット対１００２側に配置されている。同様に、第２液体吐出ユニット対１００２の流路を接続する第１接続流路６００Ａは、第２接続流路６００Ｂよりも第１液体吐出ユニット対１００１側に配置されている。
【００６７】
そして、第１接続流路６００Ａは、本実施形態では、第３方向Ｚに沿って直線状に形成されている。また、第２接続流路６００Ｂは、第２導入口４４Ｂから第１導入口４４Ａとは離れる基準方向である第２方向Ｙに向かって延設された延設流路を有する。具体的には、第２接続流路６００Ｂは、上流流路５００（第２排出口５０４Ｂ）に接続される第１流路６０１と、第１流路６０１に接続された延設流路である第２流路６０２と、第２流路６０２と第２導入口４４Ｂとを接続する第３流路６０３と、を具備する。
【００６８】
第１流路６０１と第３流路６０３とは、第３方向Ｚに沿って直線状に設けられている。もちろん、第１流路６０１と第３流路６０３とは、第３方向Ｚに交差する方向に設けられていてもよい。
【００６９】
また、延設流路である第２流路６０２は、第２方向Ｙに向かって延設されている。ここで、第２流路６０２（延設流路）が第２方向Ｙに向かって延設されているとは、第２流路６０２の延設方向に、第２方向Ｙに向かう成分（ベクトル）が存在することを言う。ちなみに、第２流路６０２の延設方向とは、第２流路６０２内のインク（液体）が流れる方向のことである。したがって、第２流路６０２は、水平方向（第３方向Ｚに直交する方向）に設けられているものも、第３方向Ｚ及び水平方向（第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの面内方向）に交差して設けられているものも含む。本実施形態では、第１流路６０１及び第３流路６０３を第３方向Ｚに沿って設け、第２流路６０２を水平方向（第２方向Ｙ）に沿って設けるようにした。
【００７０】
もちろん、第２接続流路６００Ｂは、これに限定されず、第１流路６０１、第２流路６０２、第３流路６０３以外の流路が存在してもよく、また、第１流路６０１又は第３流路６０３が設けられていなくてもよい。また、上述した例では、第２流路６０２のみが延設流路である構成を説明したが、特にこれに限定されず、第２方向Ｙに成分を有する２つの流路を延設流路としてもよい。ただし、延設流路は、気泡が滞留し易いため、２つ設けるよりも、本実施形態のように１つだけ（第２流路６０２のみ）を設ける方が好ましい。これにより、気泡排出性を向上することができる。また、直線状に延設された第２接続流路６００Ｂが第３方向Ｚに対して斜めに傾斜して設けられていてもよい。つまり、第２接続流路６００Ｂ全体が延設流路となっていてもよい。ただし、垂直な第１流路６０１及び第３流路６０３と水平な第２流路６０２とを設ける方が、第２接続流路６００Ｂが専有するスペースを省スペース化できるので、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。
【００７１】
このように、第２接続流路６００Ｂに延設流路である第２流路６０２を設けることで、液体吐出ユニット対１００１、１００２の第１導入口４４Ａ、４４Ｃ〜４４Ｅと第２導入口４４Ｂ、４４Ｆ〜４４Ｈとの第２方向Ｙの間隔を広げることなく、第１接続流路６００Ａと第１排出口５０４Ａとが連通する領域と、第２接続流路６００Ｂと第２排出口５０４Ｂとが連通する領域との第２方向Ｙの間隔を第１導入口４４Ａ、４４Ｃ〜４４Ｅと第２導入口４４Ｂ、４４Ｆ〜４４Ｈとの間隔よりも広くすることができる。
【００７２】
これにより、液体吐出ユニット対１００１、１００２を大型化することなく、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間で、配線部材１２１と配線基板３００とを容易に接続することができる。
【００７３】
また、第２接続流路６００Ｂに延設流路である第２流路６０２を設けることで、第１排出口５０４Ａと第２排出口５０４Ｂとの距離（第２方向Ｙ）を離すことができる。これにより、共通流路であるフィルター２１６（第１液体溜まり部５０２ａ、第２液体溜まり部５０３ａ）の面積を大きく確保することができる。ここで、フィルター２１６を設けることで流路抵抗が増大するため、流量を確保するためにはフィルター２１６にある程度の大きさが必要である。しかしながら、ヘッドチップ２の小型化に伴い第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとが近づいた場合、第２接続流路６００Ｂに延設流路を設けないと、この第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとに連通する共通流路のフィルター２１６を設ける面積も小さくなってしまう。つまり、ヘッドチップ２が大きく、第１導入口４４Ａ、第２導入口４４Ｂの距離が遠い（マニホールド１００同士が遠い）場合、すなわち、第１導入口４４Ａ、第２導入口４４Ｂの位置が第１方向Ｘにずれており、第２方向Ｙで重ならないようにした場合は、フィルター２１６を設ける領域（面積）も容易に確保でき、このような問題は生じない。
【００７４】
このような上流流路部材２１０と下流流路部材２２０との間には、上流流路５００と下流流路６００とを接続する（継ぐ）、継手であるシール部材２３０が設けられている。
【００７５】
シール部材２３０は、記録ヘッド１に用いられるインク等の液体に対して耐液体性を有し、且つ弾性変形可能な材料（弾性材料）、例えば、ゴムやエラストマー等を用いることができる。シール部材２３０は、下流流路６００毎に管状部分２３１を有する。管状部分２３１は、内部に連通流路２３２が設けられている。そして、管状部分２３１の連通流路２３２を介して上流流路部材２１０の上流流路と下流流路部材２２０の下流流路とが連通される。なお、管状部分２３１の上流流路部材２１０側の端面には、第１突起部２１７が挿入される環状の第１凹部２３３が設けられている。また、管状部分２３１の下流流路部材２２０側の端面には、第２突起部２２１が挿入される第２凹部２３４が設けられている。そして、第１凹部２３３に挿入された第１突起部２１７の先端面と、第２凹部２３４に挿入された第２突起部２２１の先端面との間で管状部分２３１は第３方向Ｚに所定の圧力が印加された状態で保持されている。このように上流流路５００と連通流路２３２とはシール部材２３０に第３方向Ｚに圧力が印加された状態で接続され、連通流路２３２と下流流路６００とはシール部材２３０に第３方向Ｚに圧力が印加された状態で接続される。したがって、上流流路５００と下流流路６００とは連通流路２３２を介して密封された状態で連通されている。
【００７６】
なお、本実施形態の管状部分２３１は、１つの上流流路部材２１０に対して複数個が一体的になるように、上流流路部材２１０側で板状部分によって連結されている。なお、本実施形態では、１つの上流流路部材２１０に上流流路５００の排出口５０４が８個設けられているため、８個の管状部分２３１が一体的に設けられたシール部材２３０となっている。
【００７７】
また、本実施形態では、シール部材２３０に第３方向Ｚに圧力を印加して、上流流路５００と下流流路６００とを接続するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、管状部分２３１の内壁面と第１突起部２１７及び第２突起部２２１の少なくとも一方の外周面とを密着させて、つまり、径方向である第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの面方向に圧力を印加して流路を接続するようにしてもよい。
【００７８】
また、シール部材２３０と下流流路部材２２０との間には、配線部材１２１が接続される配線基板３００が設けられている。配線基板３００には、配線部材１２１とシール部材２３０の管状部分２３１が挿入される挿通孔が設けられている。本実施形態では、第１接続流路６００Ａに対応して設けられた管状部分２３１と配線部材１２１とが挿通される開口部である第１挿通孔３０１と、第２接続流路６００Ｂに対応して設けられた管状部分２３１が挿通される開口部である第２挿通孔３０２とが設けられている。
【００７９】
本実施形態の第１挿通孔３０１は、２つの配線部材１２１を挿通する大きさで形成されている。なお、２つの配線部材１２１の間には、２つの液体吐出ユニット対１００１、１００２の第１接続流路６００Ａが４個設けられているため、この第１接続流路６００Ａに対応するシール部材２３０の管状部分２３１は、配線部材１２１と共に第１挿通孔３０１に挿通される。
【００８０】
また、第２挿通孔３０２は、第２接続流路６００Ｂに対応して設けられた管状部分２３１毎に設けられている。つまり、配線基板３００は、第３方向Ｚにおいて第２接続流路６００Ｂの延設流路である第２流路６０２から第１導入口４４Ａとは反対側で、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間に対向する領域から第２接続流路６００Ｂを超えて第２方向Ｙに延びるように配置されている。なお、本実施形態では、２つの液体吐出ユニット対１００１、１００２に共通する１つの配線基板３００を設けるようにした。したがって、配線基板３００は、第２方向Ｙにおいて、第１液体吐出ユニット対１００１用に設けられた第２接続流路６００Ｂの第１接続流路６００Ａとは反対側から、第１液体吐出ユニット対１００１用の第１接続流路６００Ａと第２液体吐出ユニット対１００２用の第１接続流路６００Ａとの間に対向する領域を通って、第２液体吐出ユニット対１００２用の第２接続流路６００Ｂの第１接続流路６００Ａとは反対側まで延設されている。もちろん、配線基板３００は、これに限定されず、１つの液体吐出ユニット対１００１、１００２毎に分割して設けるようにしてもよい。この場合にも、各液体吐出ユニット対１００１、１００２毎に設けられた配線基板３００は、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間に対向する領域から第２接続流路６００Ｂを超えて第２方向Ｙに延びるように配置されることで、配線部材１２１と配線基板３００とを容易に接続することが可能となる。なお、本実施形態のように、２つのヘッドチップ２に共通する１枚の配線基板３００を用いることで、部品点数を減少させて組立作業を簡略化することができる。
【００８１】
また、配線基板３００の１つの開口部である第１挿通孔３０１に２つの配線部材１２１と、２つの第１接続流路６００Ａとを挿通することで、開口部を複数設ける場合に比べて、広い開口面積で第１挿通孔３０１を設けることができる。これにより、第１挿通孔３０１から配線部材１２１を引き出し易くして、組立性を向上することができる。つまり、配線部材１２１は、配線基板３００のヘッドチップ２側から上流流路部材２１０側に引き出して配線部材１２１と配線基板３００とを接続しなくてはならないが、可撓性を有する配線基板３００を狭い開口に挿通させるのは困難である。
【００８２】
また、配線基板３００の開口部である１つの第１挿通孔３０１に挿通される配線部材１２１を第３方向Ｚに起立した状態とすると共に、第１挿通孔３０１に挿通される２つの第１接続流路６００Ａを第３方向Ｚに沿って直線状に設けるようにしたため、第１挿通孔３０１の開口面積をできるだけ小さくすることができる。
【００８３】
また、配線基板３００には、上流流路部材２１０側の面であって、第１挿通孔３０１の第２方向Ｙの両側の開口縁部に、配線部材１２１が接続される端子部３１０が設けられている。端子部３１０は、第１方向Ｘに配線部材１２１の幅と略同じ幅に亘って形成されている。このような端子部３１０は、第２接続流路６００Ｂに対応して設けられた管状部分２３１が挿通される第２挿通孔３０２を超えることなく形成されている。すなわち、端子部３１０は、第１接続流路６００Ａ（第１挿通孔３０１）と第２接続流路６００Ｂ（第２挿通孔３０２）との間に設けられている。
【００８４】
そして、配線部材１２１の他端部は、配線基板３００の第１挿通孔３０１に下流流路部材２２０側から挿通される。このように第１挿通孔３０１に挿通された配線部材１２１の他端部は、配線基板３００の表面（上流流路部材２１０側の表面）である第２方向Ｙに沿って屈曲され、配線基板３００の上流流路部材２１０側の表面上で端子部３１０に接続されている。つまり、配線部材１２１と配線基板３００（端子部３１０）との接続面は、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙの面内方向となる。なお、配線部材１２１の屈曲方向は、本実施形態では、第１導入口４４Ａとは離れる第２方向Ｙである。つまり、配線部材１２１の他端部と配線基板３００とは、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間（第２方向Ｙ）で接続されている。
【００８５】
このように配線部材１２１と配線基板３００とを接続する領域は、第２接続流路６００Ｂに延設流路である第２流路６０２を設けることで確保することができる。つまり、第２接続流路６００Ｂを第３方向Ｚの直線上に形成した場合、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間の第２方向Ｙの間隔が狭くなり、端子部３１０を設けることができない。また、端子部３１０を設けることができたとしても、配線部材１２１を屈曲して接続するためのスペースが必要なことから、配線部材１２１と端子部３１０とを良好に接続することができない。また、端子部３１０を設けるために液体吐出ユニット対１００１、１００２の第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの第２方向Ｙの間隔を広げると、液体吐出ユニット対１００１、１００２が大型化すると共に記録ヘッド１が大型化してしまう。本実施形態では、第２接続流路６００Ｂに延設流路である第２流路６０２を設けることで、液体吐出ユニット対１００１、１００２のそれぞれのケース部材４０Ａ、４０Ｂ間の間隔を広げることなく、第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間で配線部材１２１と配線基板３００とを接続することができる。また、配線基板３００を第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間に設けることで、配線部材１２１を第１接続流路６００Ａと第２接続流路６００Ｂとの間から外側に引き出す必要がなく、シート状の配線部材１２１の無理な屈曲による断線等を抑制することができる。
【００８６】
さらに、本実施形態では、２つの液体吐出ユニット対１００１、１００２の第２接続流路６００Ｂを第２方向Ｙの外側に配置することで、２つの液体吐出ユニット対１００１、１００２の第２方向Ｙの間隔を狭めて、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。
【００８７】
なお、配線基板３００には、図示しない配線や電子部品等が搭載されており、端子部３１０に接続された配線は、第２方向Ｙの両端部側に設けられたコネクター３２０に接続されている。そして、コネクター３２０には、図示しない外部配線が接続される。なお、下流流路部材２２０には、コネクター３２０を露出するためのコネクター接続口２２２が設けられており、外部配線は、コネクター接続口２２２によって露出されたコネクター３２０に接続される。
【００８８】
このように流路部材２００内に配線基板３００が設けられている場合、配線基板３００がインクに触れると配線が短絡してしまうため、特に上流流路５００と下流流路６００との接続部分からのインク（液体）の漏出を抑制する必要がある。本実施形態では、シール部材２３０を用いて上流流路５００と下流流路６００との接続部分を封止することで、インクの漏出を抑制して、配線の短絡等の不具合を抑制することができる。ちなみに、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０との固定方法は、ネジによる締結、接着剤による接着等であってもよい。本実施形態では、特に図示していないが、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０とをネジによって締結することで、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０とを容易に分解することができる。したがって、不具合のある上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０の何れか一方のみを交換することができ、流路部材２００全体を交換するのに比べて歩留まりを向上することができる。また、上流流路部材２１０を下流流路部材２２０から容易に着脱させることができるため、上流流路部材２１０の上流流路５００に洗浄液を逆流させて上流流路５００内やフィルター２１６上の異物を洗浄する逆洗浄等を容易に行うことができる。ちなみに、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０とを接着剤等で接着する場合には、シール部材２３０を設けずに第１突起部２１７と第２突起部２２１とを接着することで、上流流路５００と下流流路６００とを連通させるようにしてもよい。
【００８９】
なお、流路部材２００と液体吐出ユニット対１００１、１００２との固定方法は特に限定されず、例えば、接着剤による接着や、ネジ等による固定であってもよい。ただし、液体吐出ユニット対１００１、１００２は小型であり、１つの流路部材２００に対して液体吐出ユニット対１００１、１００２を複数取り付ける必要があるため、弾性材料からなるシール部材を介して固定するのは困難である。したがって、液体吐出ユニット対１００１、１００２と流路部材２００とは接着剤により接着するのが好ましい。
【００９０】
以上説明したように、ケース部材４０Ａ、４０Ｂには、非常に複雑な構造で且つ小型の流路部材、すなわち、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０とを接続するので、その設計上、導入口４４の配置が重要となる。本実施形態では、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの位置を第１方向Ｘに沿ってずらしているので、ノズル列間の距離を大きくすることなく、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの距離を大きくすることができ、上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０の設計上の制約が緩和される。また、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｆ〜４４Ｈとの位置も、第１方向Ｘに沿ってずらしているので、ノズル列間の距離を大きくすることなく、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｆ〜４４Ｈとの距離を大きくすることができ、上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０の設計上の制約が緩和される。
【００９１】
よって、本実施形態では、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの位置を第１方向に沿ってずらしており（第２方向で重ならず）、また、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｆ〜４４Ｈとの位置も、第２方向Ｙで重ならないようにしているので、ノズル列の間隔を小さく保ち且つ流路を形成する流路部材の肉厚を十分に確保して機械的強度を確保すると共に接着シロを十分に確保しつつ、上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０の小型化を図ることができる。
【００９２】
以上説明した実施形態のケース部材４０に設けられた導入口４４の位置を模式的に示したのが図８（ａ）であるが、これに限定されるものではない。なお、図８（ａ）では、フィルター２１６の平面視を模式的に示している。このように、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとが第１方向Ｘにずれて第２方向Ｙで重ならないようにして、また、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｆ〜４４Ｆと位置も第２方向Ｙで重ならないようにしているので、上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０の設計の自由度が増してフィルター２１６を設ける領域も容易に確保できるという効果を奏する。ちなみに、図８（ｂ）に示すように、液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂの代わりに、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとの位置が第２方向Ｙで重なる液体吐出ユニット１００３Ａ、１００３Ｂを用いた場合には、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｆ〜４４Ｆと位置が近いので、液体吐出ユニット１００３Ａ、１００３Ｂのフィルター２１６と液体吐出ユニット１００２Ａ、１００２Ｂのフィルター２１６とが緩衝してしまい、フィルター２１６を十分に大きくできないという問題が発生する。
【００９３】
図９（ａ）は、本実施形態の変形例であり、液体吐出ユニット対１００１を２つ組み合わせた例であり、図９（ｂ）は比較のため、上述した液体吐出ユニット１００３Ａ、１００３Ｂを二組配置した例である。図９（ａ）では、第１導入口４４Ａと第２導入口４４Ｂとが第１方向Ｘにずれて第２方向Ｙで重ならないようにしているので、上述した実施形態と同様に、ノズル列の間隔を小さく保ち且つ流路を形成する流路部材の肉厚を十分に確保して機械的強度を確保すると共に接着シロを十分に確保しつつ、上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０の小型化を図ることができるという効果を奏する。また、上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０の設計の自由度が増してフィルター２１６を設ける領域も容易に確保できるという効果を奏する。
【００９４】
また、他の変形例を示す図１０では、液体吐出ユニット対１００２の液体吐出ユニット１００２Ａ、１００２Ｂの代わりに、導入口４４Ｃ〜４４Ｅと、導入口４４Ｆ〜４４Ｈとの第１方向Ｘの位置をずらした液体吐出ユニット１００４Ａ、１００４Ｂを具備するものとした。この場合にも、上述した実施形態と同様に、ノズル列の間隔を小さく保ち且つ流路を形成する流路部材の肉厚を十分に確保して機械的強度を確保すると共に接着シロを十分に確保しつつ、上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０の小型化を図ることができるという効果を奏する。また、上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０の設計の自由度が増してフィルター２１６を設ける領域も容易に確保できるという効果を奏する。
【００９５】
また、このような本発明の効果は、ケース部材に設ける導入口の位置を第１方向Ｘに沿ってずらす構成ではなく、隣接する液体吐出ユニットの配置位置を第１方向Ｘに沿ってずらすことにより、又は両者を併合した構成によっても得ることができる。このような例の模式図を図１１、図１２に示す。
【００９６】
図１１は、液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂの代わりに、導入口４４Ａ、４４Ｂの位置を第１方向Ｘの中央に配置したケース部材４０Ａ、４０Ｂを具備する液体吐出ユニット１００３Ａ、１００３Ｂを具備し、液体吐出ユニット１００３Ａ、１００３Ｂと、液体吐出ユニット１００２Ａ、１００２Ｂとの第１方向Ｘの配置位置をずらした構成とした例である。この場合、第１導入口４４Ａと、第２導入口４４Ｆ〜４４Ｈとの位置が、第１方向Ｘに沿ってずれており、第２方向Ｙで重ならないので、上述した効果を奏するものとなる。
【００９７】
図１２は、液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂと、液体吐出ユニット１００４Ａ、１００４Ｂとを具備する点では、図１０と同様であるが、さらに、液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂと、液体吐出ユニット１００３Ａ、１００３Ｂとの第１方向Ｘに沿った配置をずらし、第２方向Ｙで重ならないようにしている。これにより、図１０より、第１導入口４４Ａと、第２導入口４４Ｆ〜４４Ｈとの距離がさらに大きくなり、さらに顕著に上述した効果を奏することができる。
【００９８】
また、上述した例では、第２方向Ｙが液体吐出ヘッドの走査方向と一致する例を示したが、第２方向Ｙが走査方向と交差し、液体吐出ユニットが斜めに配置してもよい。この例を図１３に示す。図１３の構成は液体吐出ユニットの配置を斜めにした以外は図１２と同様であり、同様な効果を奏するものである。
【００９９】
また、上述した実施形態では、液体吐出ユニット１００１Ａ、１００１Ｂのケース部材４０Ａと４０Ｂとで第１導入口４４Ａ及び第２導入口４４Ｂの位置を第１方向Ｘの反対方向にずらしたが、これに限定されるものではなく、同一方向にずらして且つずらし量を異なるようにすれば同様な効果が得られる。この例を図１４に示す。この液体吐出ユニット１００５Ａ、１００５Ｂでは、第１導入口４４Ａ及び第２導入口４４Ｂの位置を第１方向Ｘの両端の圧力発生室１２の中央位置から同一方向、すなわち、図中下方向にずらし且つずらし量を変えることで、上述した実施形態と同様な効果を奏するものとなる。
【０１００】
また、流路部材２００の液体吐出ユニット対１００１、１００２が設けられた面側には、カバーヘッド４００が設けられている。カバーヘッド４００は、本実施形態では、複数の液体吐出ユニット対を覆う大きさを有する。また、カバーヘッド４００には、ノズル２１を露出する第２露出開口部４０１が設けられている。本実施形態では、第２露出開口部４０１は、ノズルプレート２０を露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５の第１露出開口部４５ａと略同じ開口を有する。
【０１０１】
このようなカバーヘッド４００は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接合されており、コンプライアンス部４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間を封止する。このようにコンプライアンス部４９をカバーヘッド４００で覆うことにより、コンプライアンス部４９が紙等の被記録媒体が接触しても破壊されるのを抑制することができる。また、コンプライアンス部４９にインク（液体）が付着するのを抑制して、カバーヘッド４００の表面に付着したインク（液体）を例えばワイパーブレード等で払拭することができ、被記録媒体をカバーヘッド４００に付着したインク等で汚すのを抑制することができる。なお、特に図示していないが、カバーヘッド４００とコンプライアンス部との間の空間は、大気開放されている。もちろん、カバーヘッド４００は、各液体吐出ユニット対１００１、１００２毎に独立して設けられていてもよい。
【０１０２】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【０１０３】
例えば、上述した実施形態１では、液体吐出ユニット対が２つ、液体吐出ユニットとしては４つ設けられた記録ヘッド１について説明したが、液体吐出ユニットの数は、特にこれに限定されず、１個の液体吐出ユニット対を有する記録ヘッド１であっても、５個以上の液体吐出ユニットを有する記録ヘッド１であってもよい。また、上述した実施形態１では、記録ヘッド１に第１液体吐出ユニット対１００１と第２液体吐出ユニット対１００２とを設けた構成を例示したが、特にこれに限定されず、記録ヘッド１に第１液体吐出ユニット対１００１及び第２液体吐出ユニット対１００２の何れか一方のみを設けるようにしてもよい。もちろん、液体吐出ユニット対１００１、１００２の構成は、上述したものに限定されるものではない。
【０１０４】
また、上述した実施形態１では、１つの液体吐出ユニット対に接続された第１接続流路６００Ａ及び第２接続流路６００Ｂは、共通する共通流路である上流流路５００に接続するようにしたが、特にこれに限定されず、第１接続流路６００Ａ及び第２接続流路６００Ｂは、それぞれ独立した流路に連通していてもよい。
【０１０５】
さらに、上述した実施形態１では、上流流路５００が設けられた上流流路部材２１０と下流流路６００が設けられた下流流路部材２２０とを有する流路部材２００を例示したが、例えば、インク（液体）を循環させる場合には、上流と下流とを逆転させればよい。すなわち、液体吐出ユニット対１００１、１００２に供給されたインクを下流流路６００から上流流路５００に流して液体保持部や排出されたインクが貯留される貯留部等に排出（循環）すればよい。
【０１０６】
また、上述した実施形態１では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター１３０を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【０１０７】
また、実施形態１のインクジェット式記録ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図１５は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【０１０８】
図１５に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数のインクジェット式記録ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニットＩＩ（以下、ヘッドユニットＩＩとも言う）は、液体保持部を構成するカートリッジが着脱可能に設けられ、このヘッドユニットＩＩを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニットＩＩは、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【０１０９】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニットＩＩを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【０１１０】
また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッド１（ヘッドユニットＩＩ）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【０１１１】
また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、液体保持部であるインクカートリッジ１Ａがキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体保持部を装置本体４に固定して、液体保持部とインクジェット式記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体保持部がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。
【０１１２】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【符号の説明】
【０１１３】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  ＩＩ  インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、  １  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  １０  流路形成基板、  １１  ヘッド本体、  １５  連通板、  ２０  ノズルプレート、  ２０ａ  液体噴射面、  ２１  ノズル、  ３０  保護基板、  ４０  ケース部材、  ４４  導入口、  ４５  コンプライアンス基板、  ５０  振動板、  ６０  第１電極、  ７０  圧電体層、  ８０  第２電極、  １００  マニホールド、  １２０  駆動回路、  ４００  カバーヘッド、  １００１、１００２  液体吐出ユニット対、１００１Ａ〜１００５Ａ、１００１Ｂ〜１００５Ｂ  液体吐出ユニット
【図１】
2015033838.tif 000003
【図２】
2015033838.tif 000004
【図３】
2015033838.tif 000005
【図４】
2015033838.tif 000006
【図５】
2015033838.tif 000007
【図６】
2015033838.tif 000008
【図７】
2015033838.tif 000009
【図８】
2015033838.tif 000010
【図９】
2015033838.tif 000011
【図１０】
2015033838.tif 000012
【図１１】
2015033838.tif 000013
【図１２】
2015033838.tif 000014
【図１３】
2015033838.tif 000015
【図１４】
2015033838.tif 000016
【図１５】
2015033838.tif 000017