(57)【要約】【課題】本発明は、基板の水洗工程で基板の表面に向けて洗浄水を噴射するノズルチップに関する。【解決手段】本発明のノズルチップは、基板の水洗工程で基板に向けて洗浄水を噴射するようにノズルへッダーと結合されるノズルチップであって、内部に中共部が形成されたフランジと、前記フランジの中空部と連通するように先端部に吐出スリットが形成された管体と、を含むことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の水洗工程で基板に向けて洗浄水を噴射するようにノズルへッダーと結合されるノズルチップであって、
内部に中空部が形成されたフランジと、
前記フランジの前記中空部と連通するように先端部に吐出スリットが形成された管体と、を含むノズルチップ。
【請求項２】
前記ノズルへッダー及び前記フランジには係合突起及び係合孔がそれぞれ形成されている、請求項１に記載のノズルチップ。
【請求項３】
前記係合突起は前記ノズルへッダーに少なくとも一つが形成されている、請求項２に記載のノズルチップ。
【請求項４】
前記係合孔は前記ノズルへッダーの係合突起の数及び位置に対応して形成されている、請求項２または３に記載のノズルチップ。
【請求項５】
前記管体の内面には、前記中空部を介して流入された洗浄水が前記吐出スリットの中央に向けて移動するように流路ガイドが形成されている、請求項１から４の何れか１項に記載のノズルチップ。
【請求項６】
前記流路ガイドは、前記管体の吐出スリットが形成された位置に向けて流線形に形成される、請求項５に記載のノズルチップ。
【請求項７】
前記管体の前記吐出スリットの中央部には、流入された洗浄水が吐出されるように連通孔が形成されている、請求項１から６の何れか１項に記載のノズルチップ。
【請求項８】
前記流路ガイドの端部は、前記吐出スリットの深さの１／２を超過する位置まで連結されている、請求項５または６に記載のノズルチップ。
【請求項９】
前記吐出スリットは、幅及び長さによって洗浄水の噴射角が決定される、請求項１から８の何れか１項に記載のノズルチップ。
【請求項１０】
前記フランジは、外周面にねじ山が形成されたノズルへッダー及びナットにより固定される、請求項１から９の何れか１項に記載のノズルチップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルチップに関し、より詳細には、基板の水洗工程で基板の表面に向けて洗浄水を噴射するノズルチップに関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、基板の水洗及びエッチング工程では、二流体ノズルから噴霧されるミストによって基板表面に付いている各種異物を除去する。
【０００３】
即ち、二流体ノズルの内部に流入された水及び空気が微粒化され、微粒化された水及び空気の混合体であるミストが基板の表面に向けて所定角度で噴霧される。
【０００４】
このような従来の二流体ノズルは、通常、ミストの噴霧角を広くして基板の洗浄を行うとともに、噴霧厚さを薄くして噴霧打力を高めて用いる。
【０００５】
二流体ノズルの噴霧角は、リング状の噴霧角調節部材の厚さまたは位置によって調節される。
【０００６】
しかし、従来の二流体ノズルは、ミストが噴霧される中に噴霧角を調節しなければならない場合、噴霧角調節部材を二流体ノズルから分離した後、他の噴霧角調節部材を取り付けて用いなければならないという不便さがある。
【０００７】
特に、噴霧角調節部材を取り替える過程で、噴霧角調節部材を強制的に二流体ノズルから取り外してから取り替えなければならないため、作業性が劣る。
【０００８】
また、二流体ノズルは、部品点数が多いため、組み立て及び加工に係る工程数も多いだけでなく、その内部構造は、流路の直線形流路部分と流線形流路部分が連結されているため、加工性も非常に劣るという問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】韓国特許公開第２００５‐０１０２９６６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、部品点数を簡素化することで、加工性及び組立性に優れたノズルチップを提供することをその目的とする。
【００１１】
本発明の他の目的は、流体の流路を流線形に構成することで、流動性が増大されたノズルチップを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を効果的に達成するための本発明のノズルチップは、基板の水洗工程で基板に向けて洗浄水を噴射するようにノズルへッダーと結合されるノズルチップであって、内部に中共部が形成されたフランジと、前記フランジの中空部と連通するように先端部に吐出スリットが形成された管体と、を含むことができる。
【００１３】
前記ノズルへッダー及びフランジには係合突起及び係合孔がそれぞれ形成されていることができ、前記係合突起はノズルへッダーに少なくとも一つが形成されていることができ、前記係合孔はノズルへッダーの係合突起の数及び位置に対応して形成されていることができる。
【００１４】
また、前記管体の内面には、中空部を介して流入された洗浄水が吐出スリットの中央に向けて移動するように流路ガイドが形成されていることができる。前記流路ガイドは、管体の吐出スリットが形成された位置に向けて流線形に形成されることができる。
【００１５】
この際、前記管体の吐出スリットの中央部には、流入された洗浄水が吐出されるように連通孔が形成されていることができる。
【００１６】
また、前記流路ガイドの端部は、吐出スリットの深さの１／２を超過する位置まで連結されていることができ、前記吐出スリットは、幅及び長さによって洗浄水の噴射角が決定されることができる。
【００１７】
一方、前記フランジは、外周面にねじ山が形成されたノズルへッダー及びナットにより固定されることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の実施形態によるノズルチップは、部品点数を簡素化することで、加工性及び組立性に優れ、製造コストを大きく低減することができるとともに、流体の流路を流線形に構成することで、流体の流動性を増大させることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態によるノズルチップを示した斜視図である。
【図２】本発明の実施形態によるノズルチップの断面図である。
【図３ａ】本発明の実施形態によるノズルチップの噴射角を示した例示図である。
【図３ｂ】本発明の実施形態によるノズルチップの噴射角を示した例示図である。
【図４】本発明の実施形態によるノズルチップが設けられた状態を示した例示図である。
【図５】本発明の実施形態によるノズルチップの作動状態を示した例示図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の好ましい実施形態を添付図面を参照して詳細に説明すると次のとおりである。
【００２１】
図１は本発明の実施形態によるノズルチップを示した斜視図であり、図２は本発明の実施形態によるノズルチップの断面図であり、図３ａ及び図３ｂは本発明の実施形態によるノズルチップの噴射角を示した例示図であり、図４は本発明の実施形態によるノズルチップが設けられた状態を示した例示図であり、図５は本発明の実施形態によるノズルチップの作動状態を示した例示図である。
【００２２】
図１から図４に図示されたように、本発明の実施形態によるノズルチップ１００は、基板の水洗工程で基板に向けて洗浄水を噴射することにより、基板の表面に付いている異物を除去することができる。
【００２３】
ノズルチップ１００は、所定間隔毎に配置されたノズルへッダー１０にそれぞれ結合されており、隣り合うノズルへッダー１０と噴射角が交差されないように配置される。
【００２４】
本発明のノズルチップ１００は、ノズルへッダー１０の先端面と密着され、中央部位に中空部が形成されたフランジ２０と、フランジ２０の中空部と連通するように先端部に吐出スリット４２が形成された管体４０と、を含む。
【００２５】
フランジ２０は、ノズルへッダー１０の直径と同一の直径を有することができる。この際、ノズルへッダー１０の先端面には係合突起１２が形成されており、反対に、フランジ２０にはノズルへッダーの係合突起１２が係合される係合孔２２が形成されている。
【００２６】
即ち、フランジ２０及びノズルへッダー１０には、それぞれ少なくとも一つの係合突起１２及び係合孔２２が形成されることができ、場合に応じて、二つ以上がそれぞれ形成されて係合されてもよい。
【００２７】
また、フランジ２０には、円柱状の管体４０が一体に構成されている。管体４０は、フランジ２０の中空部と連通されており、その一面は開口され、反対面は中央部位に形成された吐出スリット４２を除いては遮断されている。
【００２８】
即ち、管体４０の形状は、一面が開口されたカップ状からなり、洗浄水が流入されて吐出されるための吐出スリット４２が中央部位に形成されている。
【００２９】
吐出スリット４２には、管体４０の内部と連通するように連通孔４３が穿孔されている。この吐出スリット４２は、所定の深さを有する溝状に形成されることができる。
【００３０】
また、吐出スリット４２の幅及び長さによって洗浄水の噴射角が決定される。即ち、吐出スリット４２の幅及び長さが大きくなるほど洗浄水の噴射角が広くなり、反対に、吐出スリット４２の幅及び長さが小さくなるほど噴射角が狭くなる。
【００３１】
したがって、吐出スリット４２を管体４０に形成する際に、噴射されるべき角度を予め算出した後、算出された角度に応じて吐出スリット４２を形成しなければならない。
【００３２】
一方、管体４０の内面には、中空部を介して流入された洗浄水が吐出スリット４２の中央部位に向けて移動するように、流路ガイド４４が形成されることができる。
【００３３】
流路ガイド４４は、フランジ２０と管体４０との接合部位で内径が流線形に細くなる形状を有する。
【００３４】
流線形の流路ガイド４４の先端部は、吐出スリットの連通孔４３を経て吐出スリット４２の深さの１／２を部分的に超過する位置まで形成されることができる。これは、洗浄水が流路ガイド４４に沿って連通孔４３まで円滑に移動されるようにするためである。
【００３５】
上記のように、本発明の実施形態によるノズルチップは、図５に図示されたように、所定間隔で配置された多数のノズルへッダー１０に、係合突起１２と係合孔２２とが係合されるようにフランジ２０を密着させた後、ナットＮを締結することにより一体化される。
【００３６】
勿論、ノズルへッダー１０の外周面にはねじ山が形成されているため、ノズルチップ１００をノズルへッダー１０に密着させた後、ナットＮを締めると、ノズルへッダー１０とノズルチップ１００とがナットＮにより固定される。
【００３７】
このようにノズルチップ１００が固定されると、洗浄水をノズルへッダー１０に供給する。
【００３８】
ノズルへッダー１０に供給された洗浄水は、ノズルへッダー１０を通過して管体４０の中空部に移動される。
【００３９】
管体４０の内部に流入された洗浄水は、流路ガイド４４に沿って移動して、吐出スリット４２の連通孔４３の端部から交差される方向に噴射される。
【００４０】
この際、吐出スリット４２の長さが、例えば、６ｍｍであるときには、噴射角が略６０゜程度になり、長さを６．６ｍｍに形成するときには、噴射角が略７５゜程度になる。
【００４１】
即ち、洗浄水の噴射角は、吐出スリット４２の幅及び長さが大きくなるほど広い噴射角を有することになり、反対に、吐出スリットの幅及び長さが小さくなるほど狭い噴射角を有することになる。
【００４２】
上記のように、本発明のノズルチップ１００は、ノズルへッダー１０に設けられた状態でナットＮをノズルへッダー１０のねじ山から分離しなければ、設置状態をそのまま維持することができ、ノズルチップ１００を取り替えて設けるためにナットＮを解除すると、ノズルチップ１００を容易に取り替えることができる。
【００４３】
また、本発明のノズルチップ１００は、多数の部品を組み立てることなく単一部品で洗浄水を噴射することができるため、製造工程の単純化及びコストの低減も奏することができる。
【００４４】
以上、本発明の実施形態によるノズルチップについて説明したが、本発明はこれに限定されず、当業者であればその応用及び変形が可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【００４５】
１０  ノズルへッダー
１２  係合突起
２０  フランジ
２２  係合孔
４０  管体
４２  吐出スリット
４３  連通孔
４４  流路ガイド
１００  ノズルチップ
【図１】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
2015036144.tif 000006
【図４】
2015036144.tif 000007
【図５】
2015036144.tif 000008