(57)【要約】【課題】どのような特性のワークでも高い精度で流量を測定する。【課題を解決する手段】  電空レギュレータを調整して基準ワークに対し規定圧PPを含む所定範囲の一連のテスト圧の気体を順次供給し、そのときのそれぞれの流量を流量計で測定し、基準ワークの特性曲線として記憶部に記憶する。測定対象ワークに対し上記所定範囲内のテスト圧Pbの気体を供給し、そのときの流量を流量値Qbとして流量計で測定し、演算部は基準ワークの特性曲線から規定圧PPとテスト圧Pbにそれぞれ対応する流量値QmPとQmbを読み取り、測定対象ワークの規定圧PPでの流量をQPとすると、Qmb：Qb＝QmP：QPの比例関係が成立すると近似して流量値QPを流量値QmPと、Qmbと、Qbとから計算する。 【選択図】  図２
2015219074.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの流量を測定する流量測定方法であり、
(a) 基準ワークに対し規定圧PPを含む所定範囲の一連のテスト圧の気体を供給し、そのときの流量をそれぞれ測定し、上記基準ワークの特性曲線として記憶部に記憶する工程と、
(b) 測定対象ワークに対し上記所定範囲内の任意のテスト圧Pbの気体を供給し、そのときの流量を測定して流量値Qbとして上記記憶部に保持する工程と、
(c) 上記基準ワークの上記特性曲線上の上記規定圧PPと上記テスト圧Pbにそれぞれ対応する流量値QmPとQmbを読み取り、上記規定圧PPでの測定対象ワークの流量をQPとすると、Qmb：Qb＝QmP：QPの比例関係が成立すると近似して上記測定対象ワークの上記規定圧PPでの上記流量QPを上記流量値QmPと、Qmbと、Qbとから演算部により計算で求める工程と、
を含むことを特徴とする流量測定方法。 
【請求項２】
請求項１記載の流量測定方法において、上記工程(d)は上記測定対象ワークの規定圧PPでの上記流量QPを次式
【数２】
2015219074.tif 000004
により計算することを特徴とする流量測定方法。
【請求項３】
ワークの流量を測定する流量測定装置であり、
与えられた圧力の気体を供給する空圧源と、
上記空圧源が一端に接続された配管と、
上記配管に直列に挿入され、制御信号に応答して上記気体の圧力を調整する電空レギュレータと、
上記電空レギュレータの、上記空圧源と反対側において上記配管に直列に挿入された流量計と、
上記流量計の、上記空圧源と反対側において上記配管に接続された圧力計と、
上記電空レギュレータに上記気体の圧力を調整する制御信号を与え、上記流量計により測定された流量信号と上記圧力計により測定された圧力信号が与えられ、上記配管の他端に接続されたワークの規定圧での流量を計算する制御部と、
を含み、
上記制御部は、
上記配管に接続された基準ワークに対し上記電空レギュレータを制御して規定圧PPを含む所定範囲の一連のテスト圧の気体を供給したときのそれらの一連のテスト圧での上記流量計で測定された流量を上記基準ワークの特性曲線として記憶し、上記配管の他端に接続された測定対象ワークに対し上記所定範囲内の任意のテスト圧Pbの気体を供給したときの上記流量計により測定された流量値Qbを保持し、上記基準ワークの特性曲線上の上記規定圧PPと上記テスト圧Pbでの流量値をそれぞれQmP及びQbとし、上記測定対象ワークの上記規定圧での流量をQPとすると、Qmb：Qb＝QmP：QPの比例関係が成立すると近似して上記測定対象ワークの上記規定圧PPでの流量値QPを上記流量QmPとQmbとQbとから計算する計算式を記憶した記憶部と、
上記電空レギュレータの設定圧力を制御する制御信号を発生し、上記記憶部に記憶された上記基準ワークの上記特性曲線から上記規定圧PPでの流量値QmP及び上記テスト圧Pbでの流量値Qmbを読み取り、上記流量値QmP, Qmbと上記測定対象ワークについて測定した上記テスト圧Pbでの上記流量値Qbとから上記測定対象ワークの上記規定圧PPでの流量値QPを上記記憶部に記憶された上記計算式を使って計算する演算部と、
計算された上記流量値QPを表示する表示部と、
を含むことを特徴とする流量測定装置。 
【請求項４】
請求項３記載の流量測定装置において、上記記憶部は上記測定対象ワークの上記規定圧PPでの流量値QPを計算する上記計算式として次式
【数３】
2015219074.tif 000005
を予め格納しており、上記演算部は上記式を使って上記第５流量値QPを計算するように構成されていることを特徴とする流量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はワークに規定のテスト圧の気体を供給し、ワークに流れる気体の流量を測定する方法、及びその方法を使った流量測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばエンジンの吸排気バルブ、シリンダヘッド、ジョイント管、ガスコック、などのワークの良否を判定する場合、ワークに規定の圧力の気体（例えば空気）を供給し、そこに流れる気体流量の大きさを規定の値と比較してワークの良否を判断する。その場合、ワークに規定のテスト圧が加わっていなければ、正確な良否判定をすることができない。
【０００３】
図１はこの分野の従来技術と考えることができる流量測定装置の概念的なブロック図を示す。この流量測定装置１００では配管１３の一端に空圧源１１が接続され、他端にワーク２０が接続され、空圧源１１側からレギュレータ（減圧弁）１２、流量計１５、作動弁１６がこの順に配管１３に直列に挿入されている。レギュレータ１２と流量計１５の間において配管１３に圧力ゲージ１４が接続されており、作動弁１６とワーク２１の間において配管１３に圧力計１７が接続されている。流量計１５からの測定流量信号と圧力計１７からの検出圧力信号が制御装置３０に与えられる。制御装置３０は演算部３１と、記憶部３２と、表示部３３とを含んでいる。記憶部３２には測定処理手順のプログラムと、予め決めたテスト圧許容誤差値が記憶されている。
【０００４】
流量計１５としては差圧式流量計、層流式流量計、熱線式流量計など、どのような形式の流量計でもよい。演算部３１は例えばマイクロプロセッサーで構成し、制御装置３０に取り込まれた流量信号と圧力信号はそれぞれ図示してないＡ／Ｄ変換器によりディジタル信号に変換されて演算部３１に与えられるものとする。演算部３１は記憶部３２に記憶されているプログラムに従って測定手順を実行する。
【０００５】
測定に当たっては、作動弁１６を閉じた状態で測定対象ワーク２０を配管１３の他端に取り付け、圧力ゲージ１４の表示圧力がほぼ規定圧となるようレギュレータ１２を調整する。次に作動弁１６を導通させてワーク２０に圧力調整した空気を供給するが、減圧調整するレギュレータ１２の性能や空圧源１１の元圧変動、空圧原１１からワーク２０にいたる経路による圧力損失などによりワーク２０に与えられる実際の圧力は規定圧からかなりずれた圧力となってしまう場合がある。そこで、圧力計１７の表示圧力をモニターし、圧力値が規定圧となるよう更にレギュレータ１２を調整すればワーク２０の正確な流量を求めることができるが、レギュレータ１２の調整は一般に手動であり調整精度が粗く、ワークごとにそのようなレギュレータ１２を微細調整するのは多大の労力と時間を要する。
【０００６】
そこで、圧力ゲージ１４の読みがほぼ規定圧となるようレギュレータ１２を粗調整し、流量計１５からの測定流量と圧力計１７による検出圧力を制御部３０の演算部３１に取り込む。演算部３１は検出圧力と記憶部３２に記憶されている規定圧との圧力誤差を計算する。その圧力誤差の絶対値が記憶部３２に記憶されているテスト圧許容誤差値以下であれば測定流量値を規定圧での流量とみなして表示部３３に表示する。圧力誤差の絶対値がテスト圧許容誤差値より大であった場合は適正な圧力の空気がワーク２０に与えられていないので、作動弁１６を閉じてレギュレータ１２を再度調整し、同様の測定と判定を繰り返す。
【０００７】
同種の多数のワークの良否を検査する場合は、作動弁１６閉じた状態でまず良品であるマスターワーク（基準ワークとも呼ぶ）を配管１３に取り付け、圧力ゲージ１４をモニターしながらほぼ規定圧となるようレギュレータ１２を粗調整し、作動弁１６を開いた後に更に圧力計１７の読みが規定圧となるようレギュレータ１２を精調整し、その状態で流量計１５の測定流量を標準流量として記憶部３２に保存する。その後は先に説明したと同様に各ワークについて圧力ゲージ１４の読みがほぼ規定圧となるようレギュレータ１２を調整し、そのときの測定流量と標準流量との誤差が標準流量に対し所定の割合以下であれば良品と判定し、そうでなければ不良と判定するよう制御装置３０は構成される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、前述のように様々な原因でワークにいつも正確な規定圧が印加されているとは限らない。テスト圧の規定圧からのずれがテスト圧許容誤差値以内であったとしても、テスト圧許容誤差値を大きく設定すれば、大きな流量誤差を許容することになり、この誤差はいくら精度の良い流量計を使用しても除去できず、テスト圧の規定圧からのずれは再現性の悪い、ばらつきの多い計測をもたらすことになる。またテスト圧が微圧の場合や、大流量の場合は配管の圧力損失でワークに加わるテスト圧が計測ごとに変わってしまう。この場合も正しい流量計測が行われない。テスト圧許容誤差値を小さく設定すれば、レギュレータ１２の調整に多大な時間と労力を要することになる。
【０００９】
これらの問題を解決する方法としてレギュレータ１２として電気的に圧力調整可能な微圧レギュレータや電空レギュレータを用いて、圧力計１７からの検出圧力によりレギュレータ１２をフィードバック制御し、ワークテスト圧をコントロールすることが考えられる（例えば特開2001-27555号公報参照）。しかし、このフィードバック制御方式は費用がかさむこととフィードバックのハンティングが収斂するのに時間がかかるため制御に時間がかかり計測時間が延びる欠点がある。
【００１０】
他の解決方法として、ワークの特性がオリフィス特性であるとみなしてベルヌイの定理とボイル・シャルルの法則から導出した換算式を使って規定圧からずれたテスト圧で測定された流量を規定圧での流量に換算することが例えば特開2013-134180号公報に提案されている。しかし、実際のワークはオリフィス特性から外れるものもたくさんあり、そのようなワークの場合は、換算式が当てはまらず、規定圧での流量を精度よく求めることはできない。
【００１１】
この発明の目的は、上述の問題点を解決し、フィードバック制御を使用せず、どのような特性のワークであっても、テスト圧が規定圧からある程度ずれても高い精度で規定圧での流量値が得られる流量測定方法及び流量測定装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明によるワークの流量を測定する流量測定方法は、
(a) 基準ワークに対し規定圧PPを含む所定範囲の一連のテスト圧の気体を供給し、そのときの流量をそれぞれ測定し、上記基準ワークの特性曲線として記憶部に記憶する工程と、
(b) 測定対象ワークに対し上記所定範囲内の任意のテスト圧Pbの気体を供給し、そのときの流量を測定して流量値Qbとして上記記憶部に保持する工程と、
(c) 上記基準ワークの上記特性曲線上の上記規定圧PPと上記テスト圧Pbにそれぞれ対応する流量値QmPとQmbを読み取り、上記規定圧PPでの測定対象ワークの流量をQPとすると、Qmb：Qb＝QmP：QPの比例関係が成立すると近似して上記測定対象ワークの上記規定圧PPでの上記流量QPを上記流量値QmPと、Qmbと、Qbとから演算部により計算で求める工程と、
を含むことを特徴とする。 
【００１３】
この発明による流量測定装置は、
与えられた圧力の気体を供給する空圧源と、上記空圧源が一端に接続された配管と、  上記配管に直列に挿入され、制御信号に応答して上記気体の圧力を調整する電空レギュレータと、上記電空レギュレータの、上記空圧源と反対側において上記配管に直列に挿入された流量計と、上記流量計の、上記空圧源と反対側において上記配管に接続された圧力計と、上記電空レギュレータに上記気体の圧力を調整する制御信号を与え、上記流量計により測定された流量信号と上記圧力計により測定された圧力信号が与えられ、上記配管の他端に接続されたワークの規定圧での流量を計算する制御部と、を含み、
上記制御部は、
上記配管に接続された基準ワークに対し上記電空レギュレータを制御して規定圧PPを含む所定範囲の一連のテスト圧の気体を供給したときのそれらの一連のテスト圧での上記流量計で測定された流量を上記基準ワークの特性曲線として記憶し、上記配管の他端に接続された測定対象ワークに対し上記所定範囲内の任意のテスト圧Pbの気体を供給したときの上記流量計により測定された流量値Qbを保持し、上記基準ワークの特性曲線上の上記規定圧PPと上記テスト圧Pbでの流量値をそれぞれQmP及びQbとし、上記測定対象ワークの上記規定圧での流量をQPとすると、Qmb：Qb＝QmP：QPの比例関係が成立すると近似して上記測定対象ワークの上記規定圧PPでの流量値QPを上記流量QmPとQmbとQbとから計算する計算式を記憶した記憶部と、
上記電空レギュレータの設定圧力を制御する制御信号を発生し、上記記憶部に記憶された上記基準ワークの上記特性曲線から上記規定圧PPでの流量値QmP及び上記テスト圧Pbでの流量値Qmbを読み取り、上記流量値QmP, Qmbと上記測定対象ワークについて測定した上記テスト圧Pbでの上記流量値Qbとから上記測定対象ワークの上記規定圧PPでの流量値QPを上記記憶部に記憶された上記計算式を使って計算する演算部と、
計算された上記流量値QPを表示する表示部と、
を含むことを特徴とする。 
【発明の効果】
【００１４】
この発明の流量測定方法及び測定装置によれば、どのような特性のワークであってもフィードバック制御を行わず、従って簡単な構成で短時間にかつ高い精度で流量測定が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】従来の技術による流量測定装置の概念的ブロック図。
【図２】この発明の流量測定原理を説明するためのグラフ。
【図３】この発明の流量測定方法を説明するためのフロー図。
【図４】この発明の流量測定装置を説明するための概念的ブロック図。
【図５】この発明による流量測定装置により得られたマスターワークＭの圧力対流量の測定結果を示す表。
【図６】この発明による流量測定装置により得られたワークＡの圧力対流量の測定結果と各テスト圧に対する、規定圧での換算流量を表で示す図。
【図７】この発明による流量測定装置により得られたワークＢの圧力対流量の測定結果と各テスト圧に対する、規定圧での換算流量を表で示す図。
【図８】この発明による流量測定装置により得られたワークＣの圧力対流量の測定結果と各テスト圧に対する、規定圧での換算流量を表で示す図。
【図９】この発明による流量測定装置により得られたワークＤの圧力対流量の測定結果と各テスト圧に対する、規定圧での換算流量を表で示す図。
【図１０】この発明による流量測定装置により得られたワークＥの圧力対流量の測定結果と各テスト圧に対する、規定圧での換算流量を表で示す図。
【図１１】図６の表に示す圧力対流量と換算流量をグラフで示す図。
【図１２】図７の表に示す圧力対流量と換算流量をグラフで示す図。
【図１３】図８の表に示す圧力対流量と換算流量をグラフで示す図。
【図１４】図９の表に示す圧力対流量と換算流量をグラフで示す図。
【図１５】図１０の表に示す圧力対流量と換算流量をグラフで示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
［発明の原理］
まず、この発明において使用される近似測定法を図２を参照して説明する。本来ワークの圧力対流量特性は実線で示すような曲線であるが、同種のワークであっても、それらの寸法ばらつきや製造ミスのためワークの圧力対流量特性はワークごとに異なっているとみなさなければならない。この発明で使用する近似測定法では、それぞれのワークの圧力対流量特性曲線（以降、単に特性曲線とも呼ぶ）上の同じ第１の圧力（例えばPP）に対する流量と同じ第２の圧力（例えばPb）に対する流量の２点間を結ぶ直線の延長は図２のグラフの圧力軸上（Ｑ＝０）の同一点Pcで交差するものと近似する。この近似を前提とすれば、測定対象ワークのテスト圧Pbでの測定流量Qbと、そのテスト圧Pbでのマスターワークの特性曲線上の流量Qmbと、規定圧PPでのマスターワークの特性曲線上の流量QmPと、測定対象ワークの規定圧PPでの流量QPとの間に比例関係Qmb：Qb＝QmP：QPが成立するので、この比例関係を使って測定対象ワークの規定圧PPでの換算流量QPを計算することができる。
【００１７】
［測定手順］
規定圧での換算流量を求める具体的な手順を図３を参照して説明する。
【００１８】
使用される記号の定義は次の通りである。
PP：規定圧
Pb：測定対象ワークに与えられるテスト圧
QmP：規定圧PPに対するマスターワーク特性曲線上の流量値
Qmb：テスト圧Pbに対するマスターワーク特性曲線上の流量値
Qb：テスト圧Pbでの測定対象ワークの測定流量値
QP：テスト圧Pbで測定流量Qbのワークに対する規定圧PPでの計算で求めた換算流量値
ステップＳ１：まず、マスターワークで規定圧PPを含む所定範囲で一連のテスト圧に対する流量を測定し、マスターワークの特性曲線として記憶する。
【００１９】
ステップＳ２：次に上記所定範囲内のテスト圧Pbで測定対象ワークの流量Qbを測定する。
【００２０】
ステップＳ３：マスターワークの記憶されている特性曲線上の規定圧PPに対する流量値QmPとテスト圧Pbに対する流量値Qmbを読み取り、これらと測定対象ワークのテスト圧Pbでの測定流量値Qbと規定圧PPでの流量値QPの関係が図２において比例関係Qmb：Qb＝QmP：Qpを満たすと近似して測定対象ワークの規定圧PPでの換算流量QPを次式
【００２１】
【数１】
2015219074.tif 000003
【００２２】
で計算し、表示する。
【００２３】
ステップＳ１におけるマスターワーク特性曲線の測定において、マスターワークに与えるテスト圧としては、規定圧PPを含む所定範囲内で一定間隔の一連のテスト圧を順次与え、それらのテスト圧での流量をそれぞれ測定し、特性曲線として記憶する。このテスト圧の一定間隔は後述のこの発明の流量測定装置で使用する電空レギュレータの分解能が設定可能な最小幅であり、その最小幅かそれより大の幅を一定間隔とする。例えば、規定圧PPを含む所定範囲で１００点のテスト圧での流量を取得すると、圧力計の測定圧力に対する特性曲線の１ステップの読み取り誤差は１％となる。読み取り誤差を例えば０．５％以下にするには２００点以上のテスト圧で流量データを取得することが必要である。実用的には２００〜５００点の流量データを特性曲線として取得することが望まれる。
【００２４】
［実施例］
図４はこの発明を実施する流量測定装置の概念的ブロック図を示す。この実施例による流量測定装置２００の空圧源１１、配管１３、流量計１５、作動弁１６、圧力計１７を含む構成は図１に示した従来の流量測定装置１００の構成と同様であり、説明を省略する。この発明の流量測定装置２００においては、マスターワーク２０ｍの圧力対流量特性曲線を測定するため、一連の多数のテスト圧を順次発生できるよう、電空レギュレータ１８を図１におけるレギュレータ１２の代わりに使用する。
【００２５】
また、制御部４０の構成が演算部４１と、記憶部４２と、表示部４３を含む点も図１の流量測定装置１００と類似しているが、図１の制御部３０とは機能が以下の点で異なる。即ち、制御部４０の記憶部４２は式(1)を演算する処理プログラムを含む測定手順のプログラムを予め格納している。また記憶部４２には流量計１５で測定した流量値、圧力計１７で測定した圧力値、及び演算部４１の演算結果が一時的に保持される。測定手順のプログラムは規定圧PPを含む所定範囲の一連のテスト圧を順次発生するように電空レギュレータ１８を制御する制御信号を順次発生するプログラムも含んでいる。
【００２６】
演算部４１はマスターワーク２０ｍに対して一連のテスト圧で順次測定した流量をマスターワーク２０ｍの特性曲線として記憶部４２に記憶しておき、測定対象ワーク２０に対して測定したテスト圧Pbでの流量Qbと、特性曲線上のPPとPbでの流量QmP,Qmbとを記憶部４２に処理プログラムとして記憶されている式(1)に代入して規定圧PP時のワーク２０の流量QPを計算し、表示部４３に表示する。記憶部４２は圧力計１７で測定した圧力値、流量計１５で測定した流量値、及び演算部４１による演算結果を一時的に保持する例えばランダムアクセスメモリと、式(1)の処理プログラムを含む測定手順プログラムを予め格納した例えばハードディスクのような記憶デバイスとで構成してもよい。
【００２７】
流量測定は以下のようにして行われる。
【００２８】
作動弁１６が閉じた状態で、配管１３の、空圧源１１とは反対側の端にマスターワーク２０ｍを取り付け、次に作動弁１６を開いて電空レギュレータ１８からの空気をマスターワーク２０ｍに供給する。次に、制御部４０からの制御信号により規定圧PPを含む所定範囲でテスト圧を一定幅で順次変化させるよう電空レギュレータ１８を制御する。そのときの流量計１５による測定流量と圧力計１７による測定圧力が制御部４０の演算部４１に与えられる。演算部４１は与えられた一連の流量とそれに対応する一連の圧力をマスターワークの特性曲線として記憶部４２に格納する。
【００２９】
作動弁１６を閉じ、マスターワーク２０ｍを測定対象ワーク２０に取り替える。作動弁１６を開いて圧力計１７の読みが規定圧PP近傍となるよう電空レギュレータ１８を調整する。
【００３０】
演算部４１はこのときの流量計１５による測定流量Qbと圧力計１７による測定圧力Pbを取り込み、記憶部４２に保持されている特性曲線上の規定圧PPに対する流量QmPとテスト圧Pbに対する流量Qbを読み出し、これらQb, Qmb, QmPを記憶部４２から読み出した式(1)に代入して測定対象ワーク２０の規定圧PPでの換算流量値QPを計算し、表示部４３に表示する。
【００３１】
必要に応じて測定対象ワーク２０を次のものに取り替えてステップＳ２，Ｓ３，Ｓ４により同様の手順で換算流量値QPを計算することをそれぞれの測定対象ワークについて繰り返してもよい。更に、各測定対象ワークの流量値QPとマスターワークの流量値QmPとの差を計算し、差の絶対値が所定の値以下の場合は良品と判定し、所定の値より大の場合は不良品と判定し、良否を表示部４３に表示させるように構成してもよい。
【００３２】
［実測による検証実験］
この発明による近似測定方式が実際にはどの程度精度が高いのかを検証する実験を行った。
【００３３】
ワークは1/4シンフレックスジョイントであり、流量の異なるものを6個作製した。そのうちの、流量が中間の1個をマスターワークMと見立て、残りの５個を測定対象ワークＡ〜Ｅとし、マスターワークMの規定圧PPを含む所定範囲の一連のテスト圧での流量をマスターワークの特性曲線とした。
【００３４】
具体的には、まずマスターワークMでテスト圧基準値（規定圧PP）を1.000kPaとし、その±20%範囲内で変化する0.800kPa〜1.200kPaのテスト圧に対する測定流量データを採取し、特性曲線とした。その後ワークA〜Eのそれぞれに対しテスト圧(Pb) 0.800kPa〜1.200kPaでの流量(Qb)を測定し、式(1)により規定圧PPでの換算流量値(QP)を計算した。
【００３５】
［実験結果］
図５の表１はマスターワークMに対する規定圧と、その規定圧から±2.5%、±5%、±10%、±15%、±20%とずれたテスト圧での実測流量値、及びそれらの、規定圧での実測流量値からの偏差を示す。
【００３６】
図６の表２は測定対象ワークAの、マスターワークＭに対するとそれぞれ同じテスト圧での実測流量Qbと、その偏差、及び表１における特性曲線から読み取った基準圧（規定圧）PPでの実測流量QmPと各テスト圧Pbでの実測流量Qmbを使ってそれぞれのテスト圧Pbでの実測流量Qbに対し式(1)により計算した規定圧PPでの換算流量値QPと、その偏差を示す。図７〜１０の表３〜６も測定対象ワークAに対すると同様の測定対象ワークB〜Eに対する実測流量と規定圧での換算流量値を示す。図１１〜１５のグラフ１〜５は表２〜６に示されたそれぞれのテスト圧に対する実測流量値と規定圧での換算流量値をグラフで表したものである。○印がそれぞれのテスト圧での実測流量、×印が規定圧での換算流量を示す。
【００３７】
流量の大きいワークAに対する近似の場合も、流量の小さいワークEに対する近似の場合も、いずれもかなり良い近似結果を示している。換算流量は最大でも1.4%の誤差、ほとんどが1%以内の誤差で近似が行われていることがわかる。特にマスターワークMの半分以下である小さな流量のワークEにおいても換算流量は誤差0.7%以下の良好な結果であった。
【００３８】
以上の結果からわかるように、前述の近似の前提は妥当なものであり、この発明による前提に基づく近似により誤差の少ない流量測定が可能であるといえる。
【００３９】
［この発明による近似方式を使った流量測定方法の特徴と効果］
本近似方式の特徴をあげると、
(1) マスターワークで規定圧を含む所定範囲の特性曲線を簡単に取得できる、
(2) 特性曲線を取得するために電空レギュレータを使用し、一連のテスト圧を発生させる、
(3) 近似とはいえ実際のワークからワーク特性曲線を取得するため、いかなる種類のワークでも使用できる、
(4) マスターワークと流量の大きさが違っていてもワーク特性の基本的な特性形状が合っていれば近似ができる、
など、実用性が高く、圧力変動に対応できる流量測定方法といえる。
【００４０】
テスト圧変動に対しこの発明による近似方式を使用すれば、
(a) テスト圧が規定圧からずれても規定圧のときの流量を表示できるので流量測定精度が向上する、
(b) 低圧、大流量時の圧力損失による測定誤差を防ぎ、短時間で測定できフィードバック制御より短時間測定が可能、
(c) 流量のばらつきが大きなワーク（＝圧損がばらつく）でも規定のテスト圧判定が可能になるので歩留まりと再現性が向上、
(d) ソフトだけの対応で可能であり、フィードバック制御のようなハードの追加がいらないので材料コストがかからない、
など、高精度計測、歩留まり・再現性の向上、低価格などの点でユーザーにとって有用な効果があるといえる。
【図１】
2015219074.tif 000006
【図２】
2015219074.tif 000007
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2015219074.tif 000015
【図１１】
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【図１２】
2015219074.tif 000017
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【手続補正書】
【提出日】平成27年4月9日(2015.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの流量を測定する流量測定方法であり、
(a) 基準ワークに対し規定圧PPを含む所定範囲の一連のテスト圧の気体を供給し、そのときの流量をそれぞれ測定し、上記基準ワークの特性曲線として記憶部に記憶する工程と、
(b) 測定対象ワークに対し上記所定範囲内の任意のテスト圧Pbの気体を供給し、そのときの流量を測定して流量値Qbとして上記記憶部に保持する工程と、
(c) 上記基準ワークの上記特性曲線上の上記規定圧PPと上記テスト圧Pbにそれぞれ対応する流量値QmPとQmbを読み取り、上記規定圧PPでの測定対象ワークの流量をQPとすると、Qmb：Qb＝QmP：QPの比例関係が成立すると近似して上記測定対象ワークの上記規定圧PPでの上記流量QPを上記流量値QmPと、Qmbと、Qbとから演算部により計算で求める工程と、
を含むことを特徴とする流量測定方法。 
【請求項２】
請求項１記載の流量測定方法において、上記工程(d)は上記測定対象ワークの規定圧PPでの上記流量QPを次式
【数２】
2015219074.tif 000021
により計算することを特徴とする流量測定方法。
【請求項３】
ワークの流量を測定する流量測定装置であり、
与えられた圧力の気体を供給する空圧源と、
上記空圧源が一端に接続された配管と、
上記配管に直列に挿入され、制御信号に応答して上記気体の圧力を調整する電空レギュレータと、
上記電空レギュレータの、上記空圧源と反対側において上記配管に直列に挿入された流量計と、
上記流量計の、上記空圧源と反対側において上記配管に接続された圧力計と、
上記電空レギュレータに上記気体の圧力を調整する制御信号を与え、上記流量計により測定された流量信号と上記圧力計により測定された圧力信号が与えられ、上記配管の他端に接続されたワークの規定圧での流量を計算する制御部と、
を含み、
上記制御部は、
上記配管に接続された基準ワークに対し上記電空レギュレータを制御して規定圧PPを含む所定範囲の一連のテスト圧の気体を供給したときのそれらの一連のテスト圧での上記流量計で測定された流量を上記基準ワークの特性曲線として記憶し、上記配管の他端に接続された測定対象ワークに対し上記所定範囲内の任意のテスト圧Pbの気体を供給したときの上記流量計により測定された流量値Qbを保持し、上記基準ワークの特性曲線上の上記規定圧PPと上記テスト圧Pbでの流量値をそれぞれQmP及びQbとし、上記測定対象ワークの上記規定圧での流量をQPとすると、Qmb：Qb＝QmP：QPの比例関係が成立すると近似して上記測定対象ワークの上記規定圧PPでの流量値QPを上記流量QmPとQmbとQbとから計算する計算式を記憶した記憶部と、
上記電空レギュレータの設定圧力を制御する制御信号を発生し、上記記憶部に記憶された上記基準ワークの上記特性曲線から上記規定圧PPでの流量値QmP及び上記テスト圧Pbでの流量値Qmbを読み取り、上記流量値QmP, Qmbと上記測定対象ワークについて測定した上記テスト圧Pbでの上記流量値Qbとから上記測定対象ワークの上記規定圧PPでの流量値QPを上記記憶部に記憶された上記計算式を使って計算する演算部と、
計算された上記流量値QPを表示する表示部と、
を含むことを特徴とする流量測定装置。 
【請求項４】
請求項３記載の流量測定装置において、上記記憶部は上記測定対象ワークの上記規定圧PPでの流量値QPを計算する上記計算式として次式
【数３】
2015219074.tif 000022
を予め格納しており、上記演算部は上記式を使って上記流量値QPを計算するように構成されていることを特徴とする流量測定装置。