(57)【要約】【課題】分散液中の気泡が低減され表示品質の向上した電気泳動表示パネルを、製造コストの増加を抑制しつつ実現する。【解決手段】第１の基板１１の一方の面に、一方の面を複数の領域に区画する隔壁１４０を形成する工程と、隔壁１４０により区画された複数の領域のそれぞれに電気泳動粒子１３１と分散媒１３３とを含む分散液１３０を充填する工程と、多孔質かつ、分散液１３０で膨潤する性質を有する材料からなる封止層１２０で複数の領域を封止する工程と、第１の基板１１に、第２の基板１２を、隔壁１４０及び封止層１２０を介して貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板の一方の面に、前記一方の面を複数の領域に区画する隔壁を形成する工程と、
前記隔壁により区画された前記複数の領域のそれぞれに電気泳動粒子と分散媒とを含む分散液を充填する工程と、
多孔質かつ、前記分散液で膨潤する性質を有する材料からなる封止層で前記複数の領域を封止する工程と、
前記第１の基板に、第２の基板を、前記隔壁及び前記封止層を介して貼り合わせる工程と、
を有することを特徴とする電気泳動表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記封止層は、厚さが１μｍ〜１００μｍのシリコンハイドロゲルからなり、
前記分散媒は、シリコーンオイルであることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記封止層は、接着性を有する材料からなることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示パネルの製造方法。
【請求項４】
接着層を介して前記封止層と前記第２の基板とを貼り合わせることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電気泳動表示パネルの製造方法。
【請求項５】
前記封止層で前記複数の領域を封止する前に、前記電気泳動粒子を沈降させる工程を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電気泳動表示パネルの製造方法。
【請求項６】
前記分散液を放置する工程は、前記分散液を加熱しながら行うことを特徴とする請求項５に記載の電気泳動表示パネルの製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかの一項に記載の電気泳動表示パネルの製造方法で製造されたことを特徴とする電気泳動表示パネル。
【請求項８】
請求項７に項に記載の電気泳動表示パネルを備えていることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示パネルの製造方法、及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示パネルの１つとして、一対の基板の電極間に、分散媒と電気泳動粒子とを含む電気泳動層を配置（充填）し、上記電極間に駆動電圧を印加することにより分散媒中の電気泳動粒子を上記電極に引き付けて表示を行わせる電気泳動表示パネルが知られている。このような電気泳動表示パネルの製造方法として、一方の基板上の領域を複数のセルに区画する隔壁を形成した後、各セル内に電気泳動粒子を含む分散媒を充填して、一方の基板と他方の基板とを貼り合わせる方法が挙げられる。
【０００３】
かかる製造方法において問題となるのが、電気泳動層（分散液）中に混入する気泡である。気泡の存在は表示品質を劣化（低下）させるため好ましくない。そのため、例えば特許文献１には、セルが形成された表示部に隣接する捕獲部と、捕獲部に捕獲された気泡が表示部側へ戻ることを抑制する抑制構造とを形成して、気泡が表示品質に及ぼす影響を低減する構成が開示されている。
また、例えば特許文献２には、第１基板のセルに分散媒を注入した後、減圧状態で一定時間放置してから第１基板と第２基板とを貼り合わせる電気泳動表示装置の製造方法が開示されている。特許文献２の製造方法によれば、貼り合わせ後の一対の基板間に残留する気泡を低減すると共に、分散媒からの脱気を促進できるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−４８０８９号公報
【特許文献２】特開２０１０−２４３６２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の特許文献１に記載の構成は、表示部に隣接するように捕獲部を形成するため、電気泳動表示パネルの小型化が困難になるという課題があった。また、上述の特許文献２に記載の手法は、減圧状態とする製造設備や減圧状態で一定時間放置する工程を要するため、製造コストの低減が困難であるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る電気泳動表示パネルの製造方法は、第１の基板の一方の面に、前記一方の面を複数の領域に区画する隔壁を形成する工程と、前記隔壁により区画された前記複数の領域のそれぞれに電気泳動粒子と分散媒とを含む分散液を充填する工程と、多孔質かつ、前記分散液で膨潤する性質を有する材料からなる封止層で前記複数の領域を封止する工程と、前記第１の基板に、第２の基板を、前記隔壁及び前記封止層を介して貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする。
【０００８】
このような製造方法によれば、分散液を隔壁により区画された複数の領域の各々に供給する際に該分散液に混入した気泡を、封止層が有する孔から外部に放出させることができる。そしてかかる孔は、封止層が分散液で膨潤することにより閉塞する。したがって、封止層が分散液で膨潤した後には、気泡が分散液に再度浸入することを回避できる。したがって、気泡を排出するために減圧状態とする必要がなく、気泡の影響が抑制され表示品質が向上した電気泳動表示パネルを、製造コストを増加させることなく製造することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、前記封止層は、厚さが１μｍ〜１００μｍのシリコンハイドロゲルからなり、前記分散媒は、シリコーンオイルであることが好ましい。  
【００１０】
このような厚さのシリコンハイドロゲル膜であれば、封止層の強度と気泡の通り抜け易さを両立させられる。また、シリコーンオイルはシリコンハイドロゲルを膨潤させるので、気泡が排出された後の封止層の気密性を確保できる。したがって、信頼性を低減することなく、上述の表示品質が向上した電気泳動表示パネルを得ることができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例に記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、前記封止層は、接着性を有する材料からなることが好ましい。
【００１２】
このような製造方法であれば封止層が接着性を有するので、接着剤を用いなくても第１の基板と第２の基板とを貼り合わせることができる。つまり、低コストで電気泳動表示パネルを製造することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例に記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、接着層を介して前記封止層と前記第２の基板とを貼り合わせることが好ましい。
【００１４】
このような製造方法であれば封止層に接着性が低い材料を用いることができる。したがって、封止層を構成する材料の選択幅が広がり、上述の表示品質が向上した電気泳動表示パネルを低コストで得ることができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例に記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、前記封止層で前記複数の領域を封止する前に、前記電気泳動粒子を沈降させる工程を有することが好ましい。
【００１６】
このような製造方法であれば、前記封止層で前記複数の領域を封止する前に、前記電気泳動粒子を沈降させることができる。したがって、前記電気泳動粒子が前記封止層の孔に侵入することを抑制でき、表示品質がより一層向上した電気泳動表示パネルを得ることができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例に記載の電気泳動表示パネルの製造方法において、前記分散液を放置する工程は、前記分散液を加熱しながら行うことが好ましい。
【００１８】
このような製造方法であれば、前記電気泳動粒子の沈降速度を速めることができる。したがって、製造時間を短縮でき、上述の表示品質が向上した電気泳動表示パネルを低コストで得ることができる。
【００１９】
［適用例７］本適用例に係る電気泳動表示パネルは、上記適用例に記載の電気泳動表示パネルの製造方法で製造されたことを特徴とする。  
【００２０】
このような電気泳動表示パネルであれば、分散液中に気泡が残ることを低減できるので、表示品質の向上が期待できる。
【００２１】
［適用例８］本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の電気泳動表示パネルを備えていることを特徴とする。
【００２２】
このような電子機器であれば、製造コストの増加を抑制しつつ、優れた表示品質を有する表示部を備えた電子機器を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】電気泳動表示装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】電気泳動表示パネルにおける画素の構造等を示す概略断面図。
【図３】第１の実施形態の電気泳動表示パネルの製造方法を示す概略断面図。
【図４】気泡が除去される仕組みを示す図。
【図５】第２の実施形態にかかる電気泳動表示パネルの製造方法を示す概略断面図。
【図６】第３の実施形態にかかる電気泳動表示パネルの製造方法を示す概略断面図。
【図７】変形例１の製造方法により得られた電気泳動表示パネルを示す図。
【図８】本発明の電気泳動表示パネルを適用した電子機器の具体例を説明する斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
【００２５】
なお、以下の形態において、例えば「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。
【００２６】
（第１の実施形態）
＜電気泳動表示パネル＞
本実施形態の電気泳動表示パネルについて、該電気泳動表示パネルを構成要素に含む電気泳動表示装置と共に、図１及び図２を用いて説明する。図１は、電気泳動表示装置の構成を示す概略斜視図、図２（ａ）及び（ｂ）は電気泳動表示パネルにおける画素の構造等を示す概略断面図である。
なお、後述する第１〜第３の実施形態において、対象となる電気泳動表示パネルは略同一である。すなわち、図１及び図２に示す電気泳動表示パネルは、第１〜第３の実施形態の製造方法の対象となる電気泳動表示パネルを示している。
【００２７】
図１に示すように、電気泳動表示装置１００は、本実施形態の電気泳動表示パネル１０と、該電気泳動表示パネル１０を駆動するための駆動用ＩＣ１６５が実装されたフレキシブル回路基板（ＦＰＣ）１６０とを有している。電気泳動表示パネル１０は、対向して配置された素子基板１１及び対向基板１２と、これらの基板間に挟持された電気泳動層１３５（図２参照）とを有している。電気泳動層１３５は、これらの基板間において、マトリックス状に区画された複数の領域を有しており、複数の領域のそれぞれが画素Ｐとしての機能を有している。すなわち、マトリックス状に配列した複数の画素Ｐにより表示領域Ｅが構成されている。なお、画素Ｐの配置パターンは上記のマトリックス状に限定されるものではなく、たとえばデルタ状の配置パターンを採用することも可能である。なお、本明細書において、第１の基板は素子基板１１と対向基板１２のどちらにも該当し得る。第２の基板についても同様である。
【００２８】
ＦＰＣ１６０には、駆動用ＩＣ１６５が平面実装されている。駆動用ＩＣ１６５は、その周囲が封着剤１６４によってモールドされてＦＰＣ１６０に固定されている。ＦＰＣ１６０は、外部回路から信号や電源などが駆動用ＩＣ１６５に供給される入力端子１６１と、駆動用ＩＣ１６５から表示用の制御信号などが出力される出力端子１６２とを有している。
ここで、素子基板１１は対向基板１２よりも大きく、素子基板１１と対向基板１２とを所定の位置で対向させて配置したときに、対向基板１２からはみ出る素子基板１１の部分が端子部１１ａとなっている。ＦＰＣ１６０は、出力端子１６２と端子部１１ａに設けられた外部接続端子（図示省略）とが電気的に接続するように、例えば、異方性導電膜（図示省略）などを介して端子部１１ａに実装されている。
【００２９】
後述するように電気泳動表示パネル１０は、外部から照射される光を用いて表示が認識される受光型表示パネルである。そして電気泳動表示パネル１０は、素子基板１１側に画素Ｐをスイッチング制御するためのトランジスターやトランジスターに繋がる配線等を有している。そして、ＦＰＣ１６０を介して伝達される外部回路からの信号や電源によって駆動される。
なお、本実施形態では、表示領域Ｅにおいて、マトリックス状に配置された画素Ｐの行方向をＸ方向とし、画素Ｐの列方向をＹ方向とし、素子基板１１から対向基板１２に向い、Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向をＺ方向として説明する。また、Ｚ方向において、対向基板１２側から見ることを平面視と言う。
【００３０】
図２（ａ）は、電気泳動表示パネル１０の概略構成を示す、図１のＸ方向における概略断面図である。
図２（ａ）に示すように、電気泳動表示パネル１０は、素子基板１１、隔壁１４０、電気泳動層１３５、封止層１２０、及び対向基板１２を有している。本実施形態では素子基板１１が第１の基板に該当している。なお、図２（ａ）及び図２（ｂ）では、素子基板１１側に設けられたトランジスターやトランジスターに接続される配線等の図示を省略している。
素子基板１１の一方の面（対向基板１２側の面）上には、画素Ｐごとに電気的に独立した画素電極１０２が形成されている。そして、隔壁１４０は複数の画素電極１０２を画素Ｐごとに区画するように形成されている。画素電極１０２が平面視でマトリックス状に形成されている場合、隔壁１４０は平面視で格子状に形成されることとなる。
【００３１】
画素電極１０２は、例えば、Ｃｕ（銅）箔上にニッケルメッキと金メッキとをこの順で積層したものや、Ａｌ（アルミニウム）、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide；インジウム錫酸化物）などにより形成されている。隔壁１４０は、熱硬化型、または紫外線硬化型のエポキシ樹脂で形成されている。エポキシ樹脂は、後述する電気泳動粒子を吸着し難い点で好ましい。なお、エポキシ樹脂に代えてアクリル樹脂を用いることもできる。
【００３２】
対向基板１２の一方の面（素子基板１１側の面）上には、対向電極１１２が形成されている。対向電極１１２は、例えば、ＭｇＡｇ、ＩＴＯ、ＩＺＯ（Indium  Zinc  Oxide）などからなる透明電極であり、素子基板１１側の複数の画素電極１０２に対して対向する共通電極として、少なくとも表示領域Ｅに亘って設けられている。
【００３３】
以上述べたように、電気泳動表示パネル１０は、それぞれ一方の面に電極を有する一対の基板が、該電極が対向するように、隔壁１４０と後述する封止層１２０を介して貼り合わされた構成を有している。そして該一対の基板と隔壁１４０とで形成される空間内には、電気泳動粒子１３１，１３２が分散媒１３３に分散された溶液である分散液１３０が充填され、電気泳動層１３５が構成されている。したがって、電気泳動層１３５と分散液１３０は略共通する概念である。ゆえに、以下の記載においては、電気泳動層を分散液１３０として統一する。
【００３４】
電気泳動粒子１３１は、例えば、アニリンブラック、カーボンブラックなどの黒色顔料からなる粒子（高分子あるいはコロイド）であり、例えば正に帯電されて用いられる。もう一つの電気泳動粒子１３２は、例えば、二酸化チタン、亜鉛華、三酸化アンチモンなどの白色顔料からなる粒子（高分子あるいはコロイド）であり、例えば負に帯電されて用いられる。これらの顔料には、必要に応じ、電解質、界面活性剤、金属石鹸、樹脂、ゴム、油、ワニス、コンパウンドなどの粒子からなる荷電制御剤、チタン系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤、シラン系カップリング剤などの分散剤、潤滑剤、安定化剤などを添加することができる。以降、説明の都合上、電気泳動粒子１３１を黒色粒子１３１と呼び、電気泳動粒子１３２を白色粒子１３２と呼ぶ。そして双方の粒子を総称して電気泳動粒子と呼ぶ。
【００３５】
分散媒１３３としては、本実施形態では、シリコーンオイルを用いている。シリコーンオイルは後述するように封止層１２０の形成材料であるシリコンハイドロゲルを膨潤させる性質を有しているので好適である。
なお、分散媒１３３としては、上述のシリコーンオイル以外に、例えば、水、アルコール系溶媒（メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール、メチルセルソルブなど）、エステル類（酢酸エチル、酢酸ブチルなど）、ケトン類（アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなど）、脂肪族炭化水素（ぺンタン、ヘキサン、オクタンなど）、脂環式炭化水素（シクロへキサン、メチルシクロへキサンなど）、芳香族炭化水素（ベンゼン、トルエン、キシレン、長鎖アルキル基を有するベンゼン類（ヘキシルベンゼン、ヘプチルベンゼン、オクチルベンゼン、ノニルベンゼン、デシルベンゼン、ウンデシルベンゼン、ドデシルベンゼン、トリデシルベンゼン、テトラデシルベンゼンなど））、ハロゲン化炭化水素（塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、１，２− ジクロロエタンなど）などを用いることができる。
【００３６】
図２（ｂ）は、電気泳動表示パネル１０の動作を示す概略断面図であり、より具体的には、黒色表示を行っている状態を示す概略断面図である。黒色表示を行う場合、画素電極１０２と対向電極１１２との間に、直流の駆動電圧を印加して、対向電極１１２を相対的に低電位、画素電極１０２を相対的に高電位に保持する。そうすると、分散液１３０に及ぼされた電界効果により、図２（ｂ）に示すように、正に帯電した黒色粒子１３１が対向電極１１２に引き寄せられる一方、負に帯電した白色粒子１３２が画素電極１０２に引き寄せられる。その結果、表示面側となる対向基板１２側からこの画素Ｐを見ると黒色が認識されることとなり、電気泳動表示パネル１０は黒色を表示する。
【００３７】
黒色表示を行う場合と反対に、対向電極１１２を相対的に高電位、画素電極１０２を相対的に低電位に保持すれば、分散液１３０に及ぼされた電界効果により、正に帯電した黒色粒子１３１は画素電極１０２に引き寄せられる一方、負に帯電した白色粒子１３２は対向電極１１２に引き寄せられる。その結果、表示面側となる対向基板１２側からこの画素Ｐを見ると白色が認識されることとなり、電気泳動表示パネル１０は白色表示を行うことができる。
このように画素電極１０２と対向電極１１２とに与えられる電位を画素Ｐごとに制御すれば、文字や画像などの白黒表示を対向基板１２側から見ることができる。
【００３８】
分散液１３０は、黒色粒子１３１と、白色粒子１３２とを有する構成に限定されず、どちらか一方の電気泳動粒子を有するとしてもよい。また、黒色粒子１３１及び白色粒子１３２に代えて、例えば赤色、緑色、青色などの顔料を用いてもよい。画素Ｐの分散液１３０に含まれる電気泳動粒子の色を、赤色、緑色、青色などから選択することで、カラー表示を行うこともできる。
【００３９】
次に、図３を用いて本実施形態に係る電気泳動表示パネル１０の製造方法について説明する。図３（ａ）〜（ｄ）は、本実施形態に係る電気泳動表示パネル１０の製造方法を示す概略断面図である。なお、図３においても（上述の図２と同様に）、素子基板１１側に設けられたトランジスターやトランジスターに接続される配線等の図示を省略している。
【００４０】
まず、図３（ａ）に示すように、素子基板１１上に画素電極１０２と隔壁１４０を形成する。ここで、図３（ａ）には図示していないが、本実施形態の製造方法では、まず画素電極１０２を形成し、次に隔壁１４０を形成する。
画素電極１０２は導電体層をパターニングして形成する。素子基板１１上には、上述のトランジスター等とそれを覆う絶縁層と該絶縁層の上下の導通を図るコンタクトホール等が形成されている。かかる素子基板１１上に上述の材料、すなわちＣｕ層にニッケルメッキ等を施したものや、Ａｌ、ＩＴＯ等の材料層を形成する。形成方法は、ＣＶＤ法またはスパッタ法が好ましい。そしてかかる材料層をフォトリソグラフィー法とエッチング法によりパターニングして、画素電極１０２を形成する。
【００４１】
隔壁１４０は、インプリント法で形成する。具体的には、金型に熱硬化型のエポキシ樹脂を充填し、画素電極１０２が形成された素子基板１１上に押し付ける。そして押し付けた状態で金型を加熱して、エポキシ樹脂を硬化させる。そして、エポキシ樹脂の硬化後に金型から素子基板１１を剥離することで、隔壁１４０を形成する。
隔壁１４０の形成材料としては、熱硬化型のエポキシ樹脂ではなく紫外線硬化型のエポキシ樹脂を用いることもできる。エポキシ樹脂は、電気泳動粒子を吸着し難い点で好ましい。なお、エポキシ樹脂に代えてアクリル樹脂、フェノール樹脂、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）などのビニル樹脂、ポリエチレンなどを用いることができる。
【００４２】
次に、図３（ｂ）に示すように、隔壁１４０により画素電極１０２毎に区画された領域、すなわち、隔壁１４０と素子基板１１とで構成される凹部内に分散液１３０を充填する。かかる工程が、第１工程である。
分散液１３０の構成は上述の通りである。分散液１３０の充填方法としては、インクジェットヘッド（図示省略）を備えた液滴吐出装置（図示省略）を用いる液滴吐出法によることが好ましい。具体的には、隔壁１４０が形成された素子基板１１とインクジェットヘッドとを対向配置して、素子基板１１に対してインクジェットヘッドを相対的に移動させる間に、インクジェットヘッドのノズルから所定量の分散液１３０を液滴として上記の領域に吐出（滴下）する。この液滴吐出法によれば、分散液１３０を、量及び位置の双方において精度良く、隔壁１４０で囲まれた領域内に充填できる。
なお、本実施形態では、各領域毎に、素子基板１１と隔壁１４０とで形成される凹部の体積より若干多い量の分散液１３０を吐出する。その結果、吐出された分散液１３０は界面張力により、隔壁１４０から若干盛り上がる。
【００４３】
次に、図３（ｃ）に示すように、多孔質であり、かつ、分散液１３０で膨潤する性質を有する材料からなる封止層１２０を、素子基板１１上に配置する。より具体的には、隔壁１４０と素子基板１１とで形成される凹部内に盛り上がるように充填された分散液１３０を覆うように、上記の封止層１２０を配置する。したがって、封止層１２０は全面的に分散液１３０と接触する。かかる工程が第２工程である。
多孔質であり、かつ、分散液１３０で膨潤する性質を有する材料として、本実施形態では、シリコンハイドロゲルを用いている。厚さは略１μｍ〜１００μｍである。かかる封止層１２０により、分散液１３０から気泡を除去する。
【００４４】
上記背景技術で述べたように、凹部内に充填された分散液１３０は、一般的に若干の気泡を含有している。かかる気泡は主として充填時に該分散液中に混入する。そしてかかる気泡は、完成後の電気泳動表示装置１００の表示品質を劣化（低下）させ得る。そこで、多孔質であり、かつ、分散液１３０で膨潤する性質を有する材料からなる封止層１２０で分散液１３０を覆うことにより、気泡を除去する。図４は、かかる気泡が除去される仕組みを示す図である。
【００４５】
図４（ａ）に示すように、分散液１３０中には電気泳動粒子とともに気泡１２４が存在している。そして封止層１２０にはかかる気泡１２４のよりも大きな孔１２２が、高い密度で形成されている。そして気泡１２４は分散媒１３３よりも比重が小さいため上方へ移動する。したがって、封止層１２０で分散液１３０を覆った場合、図４（ｂ）に示すように、気泡１２４のみが上方へ移動して、封止層１２０と分散液１３０の界面近傍に位置する。そして封止層１２０に形成されている孔１２２を通じて外部へ放出される。一方、電気泳動粒子は上方へ移動しないため、孔１２２の径が該電気泳動粒子よりも大きい場合でも、孔１２２に入り込む現象は抑制される。したがって、封止層１２０は、分散液１３０の構成（あるいは品質）に影響を与えることなく、気泡１２４のみを放出できる。
かかる気泡１２４が放出される現象と並行して、封止層１２０の形成材料であるシリコンハイドロゲルは、分散液１３０の分散媒１３３であるシリコーンオイルで膨潤するので、孔１２２は縮小する。
【００４６】
したがって、分散液１３０を覆うように配置されてから所定の時間が経過すると、図４（ｃ）に示すように、封止層１２０における孔１２２が形成されていない部分が膨らんで、その結果、孔１２２は径が縮小し、最終的には痕跡をとどめる程度となる。そしてかかる孔１２２の縮小は、気泡１２４の排出と並行して進行する。したがって、封止層１２０の層厚を好適に設定することにより、気泡１２４の大部分が排出された時点で孔１２２がほぼ完全に縮小するようにできる。上述の封止層１２０の層厚を１μｍ〜１００μｍに設定することは、孔１２２の縮小と気泡１２４の排出とがバランスよく行われる値である。孔１２２が閉じると、封止層１２０は、分散液１３０を封止する機能を発揮できる。
【００４７】
気泡１２４の排出が終了し、孔１２２がほぼ閉じた後、図３（ｄ）に示すように、第２の基板としての対向基板１２を素子基板１１に貼り合わせる。すなわち、素子基板１１と対向基板１２とを隔壁１４０及び封止層１２０を介して対向配置させる。かかる第１の基板としての素子基板１１と第２の基板としての対向基板１２とを貼り合わせる工程が、第３工程である。
【００４８】
なお、対向基板１２には少なくとも図１に示す表示領域Ｅを含む領域に対向電極１１２が形成されている。すなわち、上述の基板同士を貼り合わせる工程の前に、対向基板１２に対向電極１１２を形成する工程を実施する。
【００４９】
封止層１２０の形成材料であるシリコンハイドロゲルは接着性を有している。したがって、特に別途接着性を有する材料層を配置することなく、対向基板１２を隔壁１４０（及び図示を省略したシール材）に接着させることができる。以上の工程により電気泳動表示パネル１０を製造できる。
【００５０】
本実施形態の製造方法によれば、製造コストの増加を抑制しつつ表示品質が向上した電気泳動表示パネルを製造できるという効果が得られる。すなわち、多孔質、かつ、分散液で膨潤する性質を有する材料からなる封止層１２０を、素子基板１１上に配置する工程を有することで、分散液１３０中に混入していた気泡１２４を効果的に排出（除去）できる。そのため、気泡１２４を捕獲する捕獲部等の形成、あるいは減圧状態で貼り合わせのような、電気泳動表示パネルの大型化や製造コストの増加をもたらすことなく、表示品質の向上した電気泳動表示パネル１０を得ることができる。
【００５１】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について、図面を参照して説明する。図５は、本発明の第２の実施形態にかかる電気泳動表示パネルの製造方法を示す概略断面図である。本実施形態の製造方法によって得られる電気泳動表示パネル１０は第１の実施形態の製造方法で得られた電気泳動表示パネル１０、すなわち図１及び図２に示す電気泳動表示パネル１０と略同一であり、構成要素（形成材料等も含む）も、殆んど共通している。そこで、以下の説明において、第１の実施形態の電気泳動表示パネル１０の製造方法と共通する構成要素については同一の符号を付し、その説明は少なくとも一部を省略する。
【００５２】
まず、図５（ａ）に示すように、第１の基板としての対向基板１２上に対向電極１１２を形成し、さらに該対向電極１１２上に隔壁１４０を形成する。本実施形態の製造方法はこのように対向基板１２側に隔壁１４０を形成する点で第１の実施形態と異なっている。したがって、対向基板１２が第１の基板であり、素子基板１１が第２の基板である。対向電極１１２、及び隔壁１４０の形成方法も、第１の実施形態と同様である。
【００５３】
次に、図５（ｂ）に示すように、隔壁１４０と対向基板１２とで形成される凹部内に分散液１３０を充填する。分散液１３０の充填方法も第１の実施形態と同様である。
次に、図５（ｃ）に示すように、対向基板１２上に封止層１２０を配置する。すなわち、隔壁１４０と対向基板１２とで形成される凹部内に盛り上がるように充填された分散液１３０を覆うように封止層１２０を配置する。そして、第１の実施形態にて図４を用いて説明した方法と同様な方法で、分散液１３０から気泡を除去する。
【００５４】
そして、図５（ｄ）に示すように、対向基板１２に、画素電極１０２及び該画素電極を覆う接着層（平坦化層）１２６が形成された、第２の基板としての素子基板１１を貼り合わせる。画素電極１０２の形成方法も、第１の実施形態と同様である。
上述したように、封止層１２０の形成材料であるシリコンハイドロゲルは接着性を有しているため、封止層１２０自体が接着層としても機能する。したがって、本実施形態の製造方法においても接着層を別途形成することは必須ではない。しかし、対向電極１１２と異なり画素電極１０２はパターニングされているため、素子基板１１上には段差が形成されている。そのため、封止層１２０に直接に素子基板１１を当接させると、封止層１２０と素子基板１１との密着性が低下したり、封止層１２０にダメージを生じさせる可能性がある。そこで本実施形態では、素子基板１１の平坦化と接着力の強化のために、接着層１２６を別途形成している。
【００５５】
以上の工程により、電気泳動表示パネル１０が形成される。本実施形態の製造方法によれば、上述の第１の実施形態の製造方法と同様に、分散液１３０中の気泡が低減され表示品質が向上した電気泳動表示パネル１０を得ることができる。そして本実施形態の製造方法によれば、素子基板１１側、すなわち表示面側の反対側に封止層１２０を配置するので、表示面の反対側から気泡を排出できる。
【００５６】
かかる気泡の排出時、すなわち封止層１２０が膨潤しておらず、孔１２２が完全に開口している状態では電気泳動粒子が孔１２２に入り込むことが起こり得る。孔１２２に入り込んだ電気泳動粒子は、気泡と異なりその状態で固定される。したがって、封止層１２０が表示面側に有る場合、表示品質に影響を及ぼし得る。本実施形態の製造方法では、封止層１２０を非表示面側である素子基板１１側に配置するため、上述の現象が発生しても表示品質に影響を及ぼしにくい。したがって、封止層１２０の層厚や孔径等の選択の幅を拡大でき、同時に気泡の排出にかける時間等の設定の自由度も向上する。
【００５７】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について、図面を参照して説明する。
図６は、本発明の第３の実施形態にかかる電気泳動表示パネルの製造方法を示す概略断面図である。本実施形態の製造方法は、上記第１の実施形態の電気泳動表示パネル１０の製造方法における第１工程と第２工程との間に、電気泳動粒子を沈降させる工程を付与したものである。それ以外の工程は、上記第１の実施形態と共通している。そこで、かかる電気泳動粒子を沈降させる工程のみを説明する。
【００５８】
本実施形態では、図６（ａ）に示すように、隔壁１４０と素子基板１１とで形成された凹部内に分散液１３０を充填した後、直ちに封止層１２０を配置せず、所定の時間放置する。そして電気泳動粒子を沈降させる。図６（ｂ）は、かかる電気泳動粒子が沈降した状態を示す図である。電気泳動粒子は分散媒１３３よりも比重が大きいため、所定時間放置されると電極側（本実施形態では画素電極１０２側）に集結する。一方、分散液１３０の上層近傍に集結する。
【００５９】
かかる状態に、分散液１３０中における電気泳動粒子及び気泡の分布を変化させた後で、第２工程、すなわち封止層１２０で分散液１３０を覆う工程を実施する。その結果、孔１２２に電気泳動粒子が入り込み固定されてしまう現象が低減される。また気泡の排出もスムーズに行われる。したがって、本実施形態の電気泳動表示パネルの製造方法によれば、より表示品質の向上した電気泳動表示パネル１０を得ることができる。
なお、上記電気泳動粒子を沈降させる工程は、分散液１３０を加熱しつつ行うことが好ましい。加熱により電気泳動粒子及び気泡の流動性（移動性）が向上するため、より短期間に、且つより確実に気泡を排出でき、また、電気泳動粒子が封止層１２０（の孔１２２）に入り込む現象も低減できる。
【００６０】
本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気泳動表示パネルの製造方法及び該製造方法を用いて製造された電気泳動表示パネルもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【００６１】
（変形例１）
上記の各実施形態では、封止層１２０の形成材料として接着性を有するシリコンハイドロゲルを用いていることに限定されない。本変形例の製造方法は、接着性を有しない封止層１２０を用いて、電気泳動表示パネル１０を形成する場合を示すものである。
図７は、本変形例の製造方法により得られた電気泳動表示パネル１０を示す図である。  本変形例の電気泳動表示パネルの製造方法は、第１の実施形態の製造方法に加えて、第２工程と第３工程との間に、封止層１２０の上層に接着層１２６を配置（形成）する工程を有している。したがって、出来上がった電気泳動表示パネル１０は、対向電極１１２と封止層１２０の間に接着層１２６を有している。
【００６２】
封止層１２０が接着性を有しない場合、封止層１２０と隔壁１４０との接着が問題となり得る。本変形例の製造方法では、第２工程すなわち封止層１２０を素子基板１１上に配置する際に、封止層１２０を全周囲方向から引っ張ってテンションを掛けつつ配置することで、隔壁１４０を封止層１２０に若干食い込ませて、隔壁１４０と封止層１２０とを擬似的に接着させている。このように、封止層１２０が接着性を有しない場合でも、接着層１２６を別途用いることで、封止層１２０の形成材料の選択の幅を広げることができる。
なお、本変形例では、封止層１２０の上層に接着層１２６を配置しているが、接着層１２６は対向電極１１２上に配置しても良い。すなわち、対向基板１２上に対向電極１１２と接着層１２６を順次積層した後、該対向基板１２を素子基板１１に貼り合わせても良い。
【００６３】
（変形例２）
上記の各実施形態では、電気泳動表示パネル１０は駆動回路を有していない。すなわち、電気泳動表示パネル１０と、駆動用ＩＣ１６５が実装されたフレキシブル回路基板（ＦＰＣ）１６０と、を併せて電気泳動表示装置１００を構成している。しかし、電気泳動表示パネル内に駆動用の回路を配置する構成も可能である。このような構成であれば、ＦＰＣ１６０には、駆動用ＩＣ１６５を実装する必要がなくなり、電気泳動表示装置１００の製造コストを低減できる。
【００６４】
（第４の実施形態）
＜電子機器＞
次に、本実施形態の電子機器について、図８を参照して説明する。図８は、本発明の電気泳動表示パネル１０、すなわち上述の各実施形態のうちのいずれかの製造方法で製造された電気泳動表示パネル１０を含んで構成された電気泳動表示装置１００（以下、「本実施形態の電気泳動表示装置１００」と称する。）を適用した電子機器の具体例を説明する斜視図である。
【００６５】
図８（ａ）は、電子機器の一例である電子ブックを示す斜視図である。電子機器としての電子ブック１０００は、ブック形状のフレーム１００１と、このフレーム１００１に対して回動自在に設けられた（開閉可能な）カバー１００２と、操作部１００３と、本実施形態の電気泳動表示装置１００を含んで構成された表示部１００４と、を備えている。
【００６６】
図８（ｂ）は、電子機器の一例である腕時計を示す斜視図である。電子機器としての腕時計１１００は、本実施形態の電気泳動表示装置１００を含んで構成された表示部１１０１を備えている。
図８（ｃ）は、電子機器の一例である電子ペーパーを示す斜視図である。電子機器としての電子ペーパー１２００は、紙と同様の質感及び柔軟性を有するリライタブルシートで構成される本体部１２０１と、本実施形態の電気泳動表示装置１００を含んで構成された表示部１２０２を備えている。
【００６７】
以上の電子ブック１０００、腕時計１１００及び電子ペーパー１２００によれば、本実施形態の電気泳動表示パネル１０、すなわち分散液１３０中の気泡が低減された電気泳動表示パネル１０が採用されているので、表示品質及び信頼性が向上した電子ブック１０００、腕時計１１００及び電子ペーパー１２００を提供することができる。
【００６８】
なお、本実施形態の電気泳動表示パネル１０を適用可能な電子機器は、上記電子ブック１０００、腕時計１１００及び電子ペーパー１２００に限定されるものではない。例えば、携帯電話、携帯用オーディオ機器などの電子機器の表示部や、マニュアルなどの業務用シート、教科書、問題集、情報シートなどにも、本実施形態の電気泳動表示パネルは好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００６９】
１０…電気泳動表示パネル、１１…素子基板、１１ａ…端子部、１２…対向基板、１００…電気泳動表示装置、１０２…画素電極、１１２…対向電極、１２０…封止層、１２２…孔、１２４…気泡、１２６…接着層、１３０…分散液、１３１…電気泳動粒子（黒色粒子）、１３２…電気泳動粒子（白色粒子）、１３３…分散媒、１３５…電気泳動層、１４０…隔壁、１６０…フレキシブル回路基板（ＦＰＣ）、１６１…入力端子、１６２…出力端子、１６４…封着剤、１６５…駆動用ＩＣ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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