(57)【要約】【課題】位置決め部が設けられていない箇所であっても、移載箇所として移載位置を教示することができる教示システムを提供する。【解決手段】教示システム６０は、移載箇所Ｐに設置された、本体部８３と、本体部８３に設けられると共に被搬送物５に設けられている位置決め凹部５Ｄと対応する位置に設けられる突起部８４Ａ，８４Ｂと、を有する位置決め治具８１に対し、位置検出部６９が検出する突起部８４Ａ，８４Ｂの水平面内位置に基づいて水平面内位置を取得し、位置決め治具８１の上方から教示ユニット６１を下降させた際に接触検出部６７が検出する突起部８４Ａ，８４Ｂとの接触に基づいて高さ位置を取得する。【選択図】図４
2015086019.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物の移載箇所における移載位置を天井走行車に教示する教示システムであって、
本体部と、前記本体部に設けられると共に前記被搬送物に設けられている位置決め凹部と対応する位置に設けられる突起部と、を有する位置決め治具と、
前記突起部との接触を検出する接触検出部と、前記突起部の水平面内位置を検出する位置検出部と、を有し、前記天井走行車の昇降機構に把持されて用いられる教示ユニットと、
前記天井走行車に前記移載箇所の高さ位置及び水平面内位置を教示する教示部と、
を備え、
前記教示部は、前記移載箇所に設置された前記位置決め治具に対し前記位置検出部が検出する前記突起部の水平面内位置に基づいて前記移載箇所の前記水平面内位置を取得し、前記移載箇所に設置された前記位置決め治具の上方から前記教示ユニットを下降させた際に前記接触検出部が検出する前記突起部との接触に基づいて前記移載箇所の前記高さ位置を取得する、
教示システム。
【請求項２】
前記移載箇所は、前記被搬送物を搬送する搬送装置の搬送経路上に設けられており、
前記教示部は、前記搬送装置によって前記被搬送物として前記移載位置に搬送されてくる前記位置決め治具の前記突起部の水平面内位置に基づいて前記移載箇所の前記水平面内位置を取得し、前記移載箇所に搬送されてくる前記位置決め治具の上方から前記教示ユニットを下降させた際に前記接触検出部が検出する前記突起部との接触に基づいて前記移載箇所の前記高さ位置を取得する、
請求項１に記載の教示システム。
【請求項３】
前記搬送装置は、前記被搬送物の底面において搬送方向と交差する幅方向における両端部を支持して搬送する一対のコンベヤ部を備えたコンベヤ装置である、請求項２に記載の教示システム。
【請求項４】
前記位置決め治具が前記搬送装置によって搬送される際に、前記コンベヤ部において支持される前記位置決め治具における被支持部は、前記被搬送物における前記両端部と略同一の摩擦係数となるように形成されている、
請求項３に記載の教示システム。
【請求項５】
前記位置決め治具が前記搬送装置によって搬送される際に、前記コンベヤ部において支持される前記位置決め治具における被支持部は、前記被搬送物における前記両端部の外縁形状と略同一に形成されている、
請求項３又は４に記載の教示システム。
【請求項６】
前記搬送装置は、前記被搬送物の所定部分を検知することにより、前記移載箇所に停止させるための光センサを備えており、
前記位置決め治具には、前記光センサによって検知される、着脱可能な被検知部が設けられている、
請求項３〜５の何れか一項に記載の教示システム。
【請求項７】
前記位置検出部は、撮像した画像から前記突起部の位置を取得する撮像装置であり、
前記位置決め治具の前記本体部において前記突起部を取り囲む周辺部が、前記突起部と比べて明度が低い色に着色されている、
請求項１〜６の何れか一項に記載の教示システム。
【請求項８】
前記位置決め治具は、前記位置決め治具を持ち運ぶための把持部が前記本体部に設けられている、
請求項１〜７の何れか一項に記載の教示システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井走行車に対して載置位置を教示する教示システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば天井など、床面より高い位置に設けられる走行レールに沿って走行すると共に、被搬送物を吊り下げた状態で把持して搬送する天井走行車が知られている。天井走行車は、昇降機構によって所定の移載箇所に被搬送物を載置したり、移載箇所から被搬送物を移動させたりする。このような天井走行車において、被搬送物を移載箇所に正確に移載するためには、天井走行車に対し、移載箇所の移載位置を教示する必要がある。
【０００３】
天井走行車に移載箇所を教示する教示システムの例として、特許文献１（特開２００６−１９２５４９号公報）が開示されている。この文献に開示されている教示システムは、天井走行車に備えられる昇降機構に把持された教示ユニットを、移載箇所へ向けて下降させることにより移載位置を天井走行車に教示するようにしたシステムであり、移載箇所に設けられている位置決め部を用いて移載箇所の高さ位置及び水平面内位置を求めている。この位置決め部（位置決めピン）は、被搬送物の底面の所定位置に設けられた凹部に嵌合させることにより、被搬送物を移載箇所の所定の移載位置に載置するために設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１９２５４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
天井走行車の搬送経路において、位置決め部が設けられていない箇所を新たな移載箇所として設けたい場合がある。しかしながら、上記従来の教示システムでは、位置決め部が設けられた移載箇所を前提として、その移載位置を教示する教示システムなので、上述したような位置決め部が設けられていない箇所の移載位置を教示することは困難である。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、位置決め部が設けられていない箇所であっても、移載箇所として移載位置を教示することができる教示システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一側面に係る教示システムは、被搬送物の移載箇所における移載位置を天井走行車に教示する教示システムであって、本体部と、本体部に設けられると共に被搬送物に設けられている位置決め凹部と対応する位置に設けられる突起部と、を有する位置決め治具と、突起部との接触を検出する接触検出部と、突起部の水平面内位置を検出する位置検出部と、を有し、天井走行車の昇降機構に把持されて用いられる教示ユニットと、天井走行車に移載箇所の高さ位置及び水平面内位置を教示する教示部と、を備える。教示部は、移載箇所に設置された位置決め治具に対し位置検出部が検出する突起部の水平面内位置に基づいて移載箇所の水平面内位置を取得し、移載箇所に設置された位置決め治具の上方から教示ユニットを下降させた際に接触検出部が検出する突起部との接触に基づいて移載箇所の高さ位置を取得する。
【０００８】
この教示システムによれば、被搬送物に設けられている位置決め凹部と対応する位置に通常設けられる突起部が設けられていないような箇所であっても、天井走行車に移載箇所の移載位置を教示することができる。すなわち、このような箇所に位置決め治具を設置することで、位置決め治具に設けられている突起部を利用して、天井走行車に移載箇所の移載位置を教示することができる。
【０００９】
また、一実施形態において、移載箇所は、被搬送物を搬送する搬送装置の搬送経路上に設けられており、教示部は、搬送装置によって被搬送物として移載位置に搬送されてくる位置決め治具の突起部の水平面内位置に基づいて移載箇所の水平面内位置を取得し、移載箇所に搬送されてくる位置決め治具の上方から教示ユニットを下降させた際に接触検出部が検出する突起部との接触に基づいて移載箇所の高さ位置を取得してもよい。
【００１０】
この教示システムによれば、上述したような通常設けられる突起部を設けることが困難な搬送装置における搬送経路上であっても、搬送経路上に位置決め治具を設置することで、天井走行車に移載箇所の移載位置を教示することができる。
【００１１】
また、一実施形態において、搬送装置は、被搬送物の底面において搬送方向と交差する幅方向における両端部を支持して搬送する一対のコンベヤ部を備えたコンベヤ装置であってもよい。
【００１２】
また、一実施形態において、位置決め治具が搬送装置によって搬送される際に、コンベヤ部において支持される被支持部は、被搬送物における両端部と略同一の摩擦係数となるように形成されていてもよい。また、一実施形態において、位置決め治具が搬送装置によって搬送される際に、コンベヤ部において支持される被支持部は、被搬送物における両端部の外縁形状と略同一に形成されていてもよい。
【００１３】
この教示システムによれば、コンベヤ装置によって搬送される被搬送物と位置決め治具との間で、搬送条件を同じにすることができる。これにより、コンベヤ装置によって搬送される被搬送物が移載箇所として停止される位置と、位置決め治具が移載箇所として停止される位置とをほぼ同じとすることができる。この結果、天井走行車に対して移載箇所の移載位置を精度よく教示することができる。
【００１４】
また、一実施形態において、搬送装置は、被搬送物の所定部分を検知することにより、移載箇所に停止させるための光センサを備えており、位置決め治具には、光センサによって検知される、着脱可能な被検知部が設けられていてもよい。
【００１５】
この教示システムによれば、上流側から搬送されてくる位置決め治具を所定の移載箇所に停止させることができる。
【００１６】
また、一実施形態において、位置検出部は、撮像した画像から突起部の位置を取得する撮像装置であり、位置決め治具の本体部において突起部を取り囲む周辺部が、突起部と比べて明度が低い色に着色されていてもよい。
【００１７】
この教示システムによれば、撮像した画像を二値化した場合に突起部の位置を容易に認識することができる。
【００１８】
また、一実施形態において、位置決め治具には、位置決め治具を持ち運ぶための把持部が本体部に設けられていてもよい。
【００１９】
この教示システムによれば、位置決め治具を容易に移載箇所に設置したり、容易に持ち運びしたりすることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、位置決め部が設けられていない箇所であっても、移載箇所として移載位置を教示することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】一実施形態に係る教示システムが用いられる搬送システムの構成図である。
【図２】本実施形態で搬送されるＦＯＵＰを示す斜視図及び底面図である。
【図３】減速センサ及び停止センサを示す側面図である。
【図４】図１の天井走行車と、教示システムとを示した側面図である。
【図５】図４の教示ユニットを拡大して示した側面図である。
【図６】図４の教示ユニットに含まれる制御部の機能を示した機能ブロック図である。
【図７】図４の位置決め治具を示す平面図である。
【図８】図４の位置決め治具を示す側面図である。
【図９】教示システムを用いて天井走行車に載置位置を教示する方法を示したフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照して一実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
【００２３】
図１は、一実施形態に係る教示システム６０が用いられる搬送システム１の構成図である。搬送システム１は、保管設備１０のラック１５と所定のロードポート９１との間でＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）（被搬送物）５を搬送するシステムである。具体的には、保管設備１０のラック１５に保管されているＦＯＵＰ５を、コンベヤシステム（搬送装置）２０によって所定の移載箇所Ｐにまで搬送し、移載箇所Ｐからは天井走行車４０によって所定のロードポート９１まで搬送する。また、ロードポート９１に載置されているＦＯＵＰ５を天井走行車４０によって所定の移載箇所Ｐにまで搬送し、移載箇所Ｐからはコンベヤシステム２０によって保管設備１０まで搬送して所定のラック１５に保管する。ここでは、説明の便宜上、一つのロードポート９１しか示さなかったが、複数のロードポートが設けられていてもよい。
【００２４】
以下、教示システム６０が用いられる搬送システム１について説明する。図１に示すように、搬送システム１は、保管設備１０と、コンベヤシステム２０と、天井走行車４０と、を備えている。
【００２５】
保管設備１０は、ＦＯＵＰ５を保管する設備であり、ＦＯＵＰ５を収納するラック１５と、ラック１５にＦＯＵＰ５を移載する移載装置１１とから構成されている。ＦＯＵＰ５は、例えば、半導体製造装置、液晶製造装置で用いられるウェハ及びガラス基板などを収容する容器であり、規格化された容器の一つである。
【００２６】
図２は、本実施形態で搬送されるＦＯＵＰ５を示す斜視図及び底面図である。図２に示すように、ＦＯＵＰ５は、本体５Ａ、蓋５Ｂ、フランジ５Ｃ及び３つの位置決め孔（位置決め凹部）５Ｄを有している。蓋５Ｂは、本体５Ａの開口を塞ぐ略長方形状の板状体である。蓋５Ｂは、図示しない機構により本体５Ａに対して固定及び固定の解除が行われる。フランジ５Ｃは、本体５Ａの上面の略中央部から上方に突出して設けられており、後段にて詳述する天井走行車４０により把持される部分である。３つの位置決め孔５Ｄは、外側の端部及び内側の端部がそれぞれ三角形の頂点に位置するように配置されている。本体５Ａ内には、ウェハなどを複数枚収納するための収容空間（図示せず）が形成されている。
【００２７】
ラック１５は、移載装置１１を挟んだ両側に立設されており、複数の棚が、上下方向に多数設けられている。移載装置１１は、昇降自在に構成されており、図示しない制御装置にて指令を受けて、ラック１５の所定の棚まで昇降し、指定された棚にてＦＯＵＰ５の荷降ろし・荷すくいを行う。
【００２８】
コンベヤシステム２０は、図１に示すように、コンベヤユニット２１と、回転ユニット３１とを備えており、保管設備１０と移載箇所Ｐとの間でＦＯＵＰ５を搬送するシステムである。
【００２９】
コンベヤユニット２１は、ＦＯＵＰ５の底部における幅方向の両端部５Ｆ（図２（Ｂ）参照）を支持して搬送する一対のコンベヤ部２３を有している。ＦＯＵＰ５は、このコンベヤ部２３によって支持されて搬送される。本実施形態のコンベヤシステム２０では、例えば、図１に示す左右方向に５つのコンベヤユニット２１が配置されており、図示しない制御装置によってそれぞれ独立した搬送制御がなされる。
【００３０】
移載箇所Ｐとなるコンベヤユニット２１には、図３に示すような減速センサ２５Ａと、停止センサ（光センサ）２７Ａとが設けられている。減速センサ２５Ａは、コンベヤ部２３（ＦＯＵＰ５の搬送路）を挟んで配置される反射板２５Ｂに向かって光を出射し、反射板２５Ｂに反射して戻ってくる光を検出している。図示しない制御装置は、減速センサ２５Ａと反射板２５Ｂとの間をＦＯＵＰ５が通過することにより、減速センサ２５Ａが反射板２５Ｂからの光を検出しなくなった時点（ＦＯＵＰ５によって光が遮断された時点）で、コンベヤ部３３の搬送速度を低下させる。同様の原理で、停止センサ２７Ａが反射板２７Ｂからの光を検出しなくなった時点で、コンベヤ部３３による搬送速度を停止させる。これにより、ＦＯＵＰ５は、移載箇所Ｐの所定位置に停止される。
【００３１】
回転ユニット３１は、ＦＯＵＰ５の搬送方向の向きを変える部分であり、ＦＯＵＰ５の底部における幅方向の両端部５Ｆ（図２（Ｂ）参照）を支持して搬送する一対のコンベヤ部３３と、コンベヤ部３３を支持すると共に回転可能に設けられた回転機構３５とを有している。例えば、回転ユニット３１は、図１に示す上方向から搬送されてきたＦＯＵＰ５を、図１に示す右方向に配置されてコンベヤユニット２１に向けて送り出す。
【００３２】
天井走行車４０は、図１に示すように、移載箇所Ｐとロードポート９１との間で、ＦＯＵＰ５を搬送する装置である。天井走行車４０は、移載箇所Ｐとロードポート９１との間を、ＦＯＵＰ５を吊り下げた状態で把持して搬送するＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）である。天井走行車４０は、クリーンルームの天井など、床面より高い位置に設けられる走行レール４１に沿って走行する。
【００３３】
図４は、天井走行車４０と、後述する教示ユニット６１及び位置決め治具８１とを示した側面図である。天井走行車４０は、図４に示すように、ラテラルドライブ４５と、θドライブ４７と、昇降駆動部（昇降機構）４９と、昇降台５１と、を有している。
【００３４】
ラテラルドライブ４５は、水平面内で走行レール４１に直交する方向（後述するｙ方向）にθドライブ４７、昇降駆動部４９及び昇降台５１を移動させる部分である。θドライブ４７は、水平面内で昇降駆動部４９及び昇降台５１を回動させる部分である。昇降駆動部４９は、ベルト５３の巻き上げ及び繰り出しにより昇降台５１を昇降させる部分である。なお、昇降駆動部４９におけるベルト５３は、ワイヤ及びロープなど、適宜の吊持材を用いてもよい。昇降台５１の下部には、ＦＯＵＰ５を把持するためのチャック５５が設けられている。なお、ＦＯＵＰ５を把持する部分は、チャック５５に代えて真空吸着などを用いてもよい。落下装置カバー５７，５７は、天井走行車４０の前後に設けられており、図示しない爪を進退させることにより、ＦＯＵＰ５の落下を防止する。
【００３５】
次に、上記搬送システム１において、コンベヤシステム２０の移載箇所Ｐにおける移載位置を天井走行車４０に教示する教示システム６０について説明する。図４に示すように、教示システム６０は、天井走行車４０の昇降台５１に設けられたチャック５５に把持される教示ユニット６１と、コンベヤシステム２０の搬送経路における移載箇所Ｐに設置される位置決め治具８１とを備えている。
【００３６】
教示ユニット６１は、天井走行車４０の昇降台５１に設けられたチャック５５に把持されて用いられる。図５は、教示ユニット６１を拡大して示した側面図である。教示ユニット６１は、図５に示すように、本体部６３と、本体部６３の上部に設けられると共に、天井走行車４０チャックにより把持される把持部６５と、高さセンサ（接触検出部）６７と、ＣＣＤカメラ（位置検出部）６９と、制御部７１（教示部）（図６参照）を有している。
【００３７】
高さセンサ６７は、図示しないバネなどにより下向きに付勢されている接触板６８の上下動を監視する。高さセンサ６７は、後述する位置決め治具８１の２つのピン（突起部）８４Ａ，８４Ｂのうち少なくとも一方が接触板６８と接触し、バネが圧縮されて接触板６８が上昇する事象を検出する。ＣＣＤカメラ６９は、位置決め治具８１の２つのピン８４Ａ，８４Ｂ（図６参照）に対応して２箇所に設けられている。ＣＣＤカメラ６９は、所定のタイミングで、位置決め治具８１の２つのピン８４Ａ，８４Ｂをそれぞれ撮像する。
【００３８】
図６は、教示ユニット６１に含まれる制御部７１の機能を示した機能ブロック図である。制御部７１は、天井走行車４０に移載箇所の高さ位置及び水平面内位置を教示する部分であり、図６に示すように、制御部７１は、高さ位置取得部７３と、昇降制御部７５と、水平面内位置取得部７７とを有している。
【００３９】
高さ位置取得部７３は、移載箇所Ｐに設置された位置決め治具８１に対し教示ユニット６１を下降させた際に高さセンサ６７が検出するピン８４Ａ，８４Ｂ（少なくとも一方）との接触に基づいて移載箇所Ｐの高さ位置を取得する部分である。具体的には、高さ位置取得部７３は、高さセンサ６７が接触板６８の上昇を検出した時のベルト５３（図４参照）の繰り出し量を、天井走行車４０から見た位置決め治具８１の高さ位置として取得する。昇降制御部７５は、昇降駆動部４９の昇降を制御する部分である。
【００４０】
水平面内位置取得部７７は、移載箇所Ｐに設置された位置決め治具８１に対し高さセンサ６７が検出するピン８４Ａ，８４Ｂの水平面内位置に基づいて移載箇所Ｐの水平面内位置を取得する部分である。具体的には、水平面内位置取得部７７は、一対のＣＣＤカメラ６９によって撮像されたデータを基に、２つのピン８４Ａ，８４Ｂの位置を取得する。
【００４１】
図７は、位置決め治具８１を示す平面図である。図８は、位置決め治具８１を示す側面図である。図７及び図８に示すように、位置決め治具８１は、本体部８３と、本体部８３に設けられると共に、ＦＯＵＰ５を載置した際に位置決め孔５Ｄと対応する位置に設けられたピン８４Ａ，８４Ｂと、位置決めドッグ（被検知部）８８と、把持部８９とを有している。
【００４２】
本体部８３は、図７に示すような平面形状が六角形の平板部材である。本体部８３の上面側には、２つのピン８４Ａ，８４Ｂが設けられている。２つのピン８４Ａ，８４Ｂのそれぞれ周囲部８５Ａ，８５Ｂ（図７に示す着色部）は、ピン８４Ａ，８４Ｂと比べ明度が低い色に着色されている。本実施形態では、黒色シールが周囲部８５Ａ，８５Ｂに貼付されている。
【００４３】
本体部８３の下面には、被支持部８６が設けられている。被支持部８６は、互いに対向すると共に互いの長さが一致する２つの辺に沿って設けられている。被支持部８６は、コンベヤシステム２０において搬送される際に回転ユニット３１におけるコンベヤ部３３又はコンベヤユニット２１におけるコンベヤ部２３によって支持される部分である。被支持部８６は、ＦＯＵＰ５の底部における幅方向の両端部５Ｆ（図２（Ｂ）参照）と同じ摩擦係数となるような材料が用いられる。また、被支持部８６は、ＦＯＵＰ５の底部における幅方向の両端部５Ｆの外縁形状と同じ形状となるように形成されてもよい。
【００４４】
本体部８３の上面には、ＦＯＵＰ５がコンベヤシステム２０によって搬送されてくる際に減速センサ２５Ａ及び停止センサ２７Ａによって検知される部分と対応する位置に、位置決めドッグ８８が、例えばボルトなどによって着脱可能に設けられている。位置決めドッグ８８は、本体部８３の上面から突出するように構成されている。位置決めドッグ８８は、例えば、本体部８３の上面にボルトなどによって固定される固定部８８ａと、固定部８８ａにボルトなどにより固定されると共に、減速センサ２５Ａ及び停止センサ２７Ａによって検知される部分である被検知部８８ｂと、を含んで構成することができる。本体部８３の下面には、位置決め治具８１を持ち運ぶための把持部８９が設けられている。
【００４５】
次に、上記搬送システム１において、図９を用いて、教示システム６０を用いて天井走行車４０に載置位置を教示する方法について説明する。図９は、教示システム６０を用いて天井走行車４０に載置位置を教示する方法を示したフローチャートである。以下、説明の便宜のため、走行レール４１での走行方向をｘ軸方向、高さ方向をｚ軸方向、Ｘ軸方向及びｚ軸方向に直交する方向をｙ軸方向とする。なお、ｙ軸方向を横方向と言うことがある。また、水平面内でのｘ軸やｙ軸からの傾きを角度θという（図１及び図４参照）。
【００４６】
まず、天井走行車４０を移載箇所Ｐに配置されたＦＯＵＰ５を移載する際に停止する位置、すなわち、移載箇所Ｐの上方に配置させる（ステップＳ１）。次に、位置決め治具８１を移載箇所Ｐに設置する（ステップＳ２）。移載箇所Ｐへの位置決め治具８１の設置は、移載箇所Ｐの所定位置にユーザが設置してもよいし、例えば、上流側（例えば、保管設備１０など）などに設置してもよい。位置決め治具８１を上流側に設置した場合には、コンベヤユニット２１、回転ユニット３１、減速センサ２５Ａ及び停止センサ２７Ａの機能によって移載箇所Ｐの所定位置に停止される。このあと、所定位置に停止された位置決め治具８１の位置決めドッグ８８が取り外される。なお、ステップＳ１及びステップＳ２においては、ステップＳ２を先に実施してもよいし、ステップＳ１及びステップＳ２を同時に実施してもよい。
【００４７】
次に、昇降制御部７５は、天井走行車４０の昇降駆動部４９を制御して昇降台５１を下降させる（ステップＳ３）。昇降制御部７５は、高さセンサ６７によって２つのピン８４Ａ，８４Ｂの少なくとも一方と接触板６８との接触が検出されるまで、昇降駆動部４９を制御して昇降台５１を下降させる。高さセンサ６７は、位置決め治具８１の２つのピン８４Ａ，８４Ｂの少なくとも一方と接触板６８との接触を監視しており（ステップＳ４）、接触板６８が上昇したことを検出すると（Ｓ４：ＹＥＳ）、検出信号を制御部７１へ出力する。
【００４８】
制御部７１に含まれる高さ位置取得部７３は、高さセンサ６７から検出信号が入力されると、高さセンサ６７によって接触板６８の上昇を検出した時のベルト５３の繰り出し量を天井走行車４０から見た移載箇所Ｐの高さ位置ｚとして取得する（ステップＳ５）。
【００４９】
高さセンサ６７からの検出信号は、昇降制御部７５に入力される。昇降制御部７５は、この検出信号が入力されると、天井走行車４０の昇降駆動部４９に対して、昇降台５１を微上昇（例えば、１〜２０ｍｍ程度）させる（ステップＳ６）。
【００５０】
昇降駆動部４９によって昇降台５１が上昇されると、一対のＣＣＤカメラ６９は、それぞれピン８４Ａ，８４Ｂを撮像し、水平面内位置取得部７７に撮像データを出力する。水平面内位置取得部７７は、ＣＣＤカメラ６９からの撮像データを基に、２つのピン８４Ａ，８４Ｂの位置を取得する（ステップＳ７）。例えば、一対のＣＣＤカメラ６９の視野の中心からピン８４Ａ，８４Ｂがｘ方向及びｙ方向にどれだけずれた位置に存在するかを取得すれば、これらのずれの平均値により、教示ユニット６１に対する位置決め治具８１、すなわち、移載箇所Ｐのｘ方向位置及びｙ方向位置を求めることができる。また、一対のＣＣＤカメラ６９で撮像された２つのピン８４Ａ，８４Ｂをつなぐ線の傾きから、位置決め治具８１と教示ユニット６１との間の角度θを求めることができる。
【００５１】
このようにして算出された移載箇所Ｐのｘ方向位置及びｙ方向位置、また、位置決め治具８１と教示ユニット６１との間の角度θを記憶することにより、天井走行車４０に移載箇所Ｐの移載位置を教示することができる。
【００５２】
なお、教示ユニット６１は、昇降台５１と共にベルト５３によって吊されているので、ｘ方向及びｙ方向に振動している。振動の周期は、例えば１秒以下である。そこで、振動周期以上の時間に渡って、ＣＣＤカメラ６９によって、一対のピンの水平面内位置を複数回撮像し、複数回の撮像データから取得される移載箇所Ｐのｘ方向位置及びｙ方向位置を統計化してもよい。統計化の一例は平均化であり、平均化には、単純平均の他に幾何平均などがある。また、平均に代えて水平面内位置のヒストグラムをｘ方向及びｙ方向について作成し、その最頻値を用いても良い。また、９９回水平面内位置を測定した際の５０番目の値などのように、中央値などを用いてもよい。
【００５３】
上記実施形態の教示システム６０によれば、例えば、ＦＯＵＰ５に設けられている位置決め孔５Ｄと対応する位置に通常設けられるピン（位置決め部）９３（図１参照）が設けられていないような箇所（移載箇所）Ｐであっても、天井走行車４０にその移載位置を教示することができる。すなわち、このような箇所Ｐに位置決め治具８１を設置することで、位置決め治具８１に設けられているピン８４Ａ，８４Ｂを利用して、天井走行車４０に移載箇所Ｐの移載位置を教示することができる。
【００５４】
また、上記実施形態の教示システム６０によれば、コンベヤシステム２０によって被搬送物として移載箇所Ｐに搬送されてくる位置決め治具８１から移載箇所Ｐの水平面内位置及び高さ位置を取得している。これにより、移載箇所Ｐに対する位置決め治具８１の設置を容易とし、また、移載箇所Ｐに位置決め治具８１を設置する手間を省くことができる。例えば、搬送システム１に教示モードなる制御を設けておけば、ユーザはその教示モードを起動させるだけで、移載箇所Ｐまで位置決め治具８１を搬送させ、天井走行車８０に把持された教示ユニット６１を下降させ、移載箇所Ｐの水平面内位置及び高さ位置を取得することができる。
【００５５】
また、上記実施形態の教示システム６０によれば、位置決め治具８１がコンベヤシステム２０によって搬送される際に、コンベヤ部２３，３３において支持される被支持部８６は、ＦＯＵＰ５における両端部５Ｆと略同一の摩擦係数となるように形成されている。このため、コンベヤシステム２０によって搬送されるＦＯＵＰ５と位置決め治具８１との間で、搬送条件を同じにすることができる。これにより、コンベヤシステム２０がＦＯＵＰ５を停止させる位置と、位置決め治具８１を停止させる位置とをほぼ同じとなる。この結果、天井走行車４０に対して移載箇所Ｐの移載位置を精度よく教示することができる。
【００５６】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００５７】
上記実施形態の教示システム６０では、コンベヤシステム２０の搬送経路上を移載箇所Ｐとして設定し、この移載箇所Ｐの移載位置を教示する例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。位置決め部となるピンが設けられていない床面、位置決め部となるピンが設けられていないロードポートなど、位置決め部となるピンが設けられていない場所に適用することができる。
【００５８】
上記実施形態の教示システム６０では、搬送装置として一対のコンベヤ部２３，３３が設けられたコンベヤシステム２０を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、被搬送物の底面全体を支持するような１枚のベルト部を有するコンベヤシステムであってもよい。
【００５９】
上記実施形態の教示システム６０では、天井走行車４０に移載箇所Ｐの高さ位置及び水平面内位置を教示する教示部が制御部７１として教示ユニット６１に搭載されている例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、天井走行車４０に移載箇所Ｐの高さ位置及び水平面内位置を教示する教示部は、天井走行車４０に搭載されていてもよいし、また、天井走行車４０の走行を管理する上位コントローラに搭載されていてもよい。
【００６０】
上記実施形態の教示システム６０では、一対のＣＣＤカメラを用いたが、１つのＣＣＤカメラで２本あるいは３本などのピンの位置を取得してもよい。また、水平面内位置の検出には、ＣＣＤカメラ以外の他のセンサを用いることができる。例えば、複数のコイルを環状に配置し、位置決め治具８１のピン８４Ａ，８４Ｂの上部へと下降させ、ピンとの間の磁気結合が最も強いコイルの情報を取得しても、ピンの位置を取得することができる。
【符号の説明】
【００６１】
１…搬送システム、５…ＦＯＵＰ（被搬送物）、１０…保管設備、１１…移載装置、１５…ラック、２０…コンベヤシステム、２１…コンベヤユニット、２３…コンベヤ部、
２５Ａ…減速センサ、２７Ａ…停止センサ（光センサ）、３１…回転ユニット、３３…コンベヤ部、３５…回転機構、４０…天井走行車、４１…走行レール、４５…ラテラルドライブ、４７…θドライブ、４９…昇降駆動部、５１…昇降台、５３…ベルト、５５…チャック、５７…落下装置カバー、６０…教示システム、６１…教示ユニット、６３…本体部、６５…把持部、６７…高さセンサ（接触検出部）、６８…接触板、６９…ＣＣＤカメラ（位置検出部）、７１…制御部（教示部）、７３…高さ位置取得部、７５…昇降制御部、７７…水平面内位置取得部、８１…位置決め治具、８３…本体部、８４Ａ，８４Ｂ…ピン、８５Ａ，８５Ｂ…周囲部、８６…被支持部、８８…位置決めドッグ（被検知部）、８９…把持部、９１…ロードポート、Ｐ…移載箇所。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図７】
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