(57)【要約】【課題】ペーストの消泡時間を短縮しつつ、泡有ペースト層の形成を低減すること。【解決手段】ペースト消泡装置１は、内部でペースト内の気泡を消去するタンク７と、タンク７に対して気泡が混入したペーストを圧送するポンプ３と、タンク７内にペーストが流入する流入口に設けられ、ペーストの流入を抑制する抑制手段と、ペースト内に含まれる気泡の割合に基づいて、ポンプ３から抑制手段までの高圧領域の圧力と、タンク７内の低圧領域の圧力と、の圧力差を制御する制御手段と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部でペースト内の気泡を消去するタンクと、
前記タンクに対して前記気泡が混入したペーストを圧送するポンプと、
前記タンク内に前記ペーストが流入する流入口に設けられ、前記ペーストの流入を抑制する抑制手段と、
を備えるペースト消泡装置であって、
前記ペースト内に含まれる気泡の割合に基づいて、前記ポンプから前記抑制手段までの高圧領域の圧力と、前記タンク内の低圧領域の圧力と、の圧力差を制御する制御手段を備える、
ことを特徴とするペースト消泡装置。
【請求項２】
請求項１記載のペースト消泡装置であって、
前記抑制手段は、前記ペーストの単位体積当たりの空気との接触面積を増加させるように構成されている、ことを特徴とするペースト消泡装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載のペースト消泡装置であって、
前記ポンプの前段に設けられ、前記ペーストに気泡を混入させる混入手段を更に備える、ことを特徴とするペースト消泡装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のうちいずれか１項記載のペースト消泡装置であって、
前記高圧領域の圧力は、前記ポンプの前段の圧力よりも高い、ことを特徴とするペースト消泡装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のうちいずれか１項記載のペースト消泡装置であって、
前記抑制手段は、前記タンク内に流入する前記ペーストを絞るオリフィス、又は、前記タンク内に前記ペーストを断続的に流入させるバルブ開閉機構である、ことを特徴とするペースト消泡装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のうちいずれか１項記載のペースト消泡装置であって、
前記高圧領域の圧力を検出する第１圧力検出手段と、
前記低圧領域の圧力を検出する第２圧力検出手段と、
前記制御手段は、前記第１圧力検出手段により検出された高圧領域の圧力と、前記第２圧力検出手段により検出された低圧領域の圧力と、予め設定された前記ペースト内の気泡の割合と、ペースト内の気泡の割合と低圧領域と高圧領域との圧力差との関係と、に基づいて、前記ポンプを制御する、ことを特徴とするペースト消泡装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のうちいずれか１項記載のペースト消泡装置であって、
前記タンク内を減圧する真空ポンプを更に備え、
前記制御手段は、前記ポンプ及び真空ポンプのうち少なくとも一方を制御することで、前記高圧領域の圧力と前記低圧領域の圧力との圧力差を制御する、ことを特徴とするペースト消泡装置。
【請求項８】
内部でペースト内の気泡を消去するタンクに対して気泡が混入したペーストを圧送するステップと、
前記タンク内に前記ペーストが流入する流入口で前記ペーストの流入を抑制するステップと、
を含むペースト消泡方法であって、
前記ペースト内に含まれる気泡の割合に基づいて、前記ポンプから前記抑制手段までの高圧領域の圧力と、前記タンク内の低圧領域の圧力と、の圧力差を制御する、
ことを特徴とするペースト消泡方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペースト内の気泡を消去するペースト消泡装置、及びペースト消泡方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、塗工不良の原因となるペースト中の気泡を消去する様々な装置が開発されている。例えば、ペーストを真空タンク内に投入し消泡を行う消泡装置が知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−０８７６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記消泡装置においては、例えば、気泡の径が小さい場合、真空タンク内での気泡の浮上速度が遅いためその消泡に時間を要することとなる。また、真空タンク内のペースト表層に浮上した気泡は消え難く、表層に気泡を含む泡有ペースト層が形成されるため、塗工に使用できる正常なペースト量が限られる。
【０００５】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、ペーストの消泡時間を短縮しつつ、泡有ペースト層の形成を低減できるペースト消泡装置、及びペースト消泡方法を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための本発明の一態様は、内部でペースト内の気泡を消去するタンクと、前記タンクに対して前記気泡が混入したペーストを圧送するポンプと、前記タンク内に前記ペーストが流入する流入口に設けられ、前記ペーストの流入を抑制する抑制手段と、を備えるペースト消泡装置であって、前記ペースト内の気泡の割合に基づいて、前記ポンプから前記抑制手段までの高圧領域の圧力と、前記タンク内の低圧領域の圧力と、の圧力差を制御する制御手段を備える、ことを特徴とするペースト消泡装置である。
この一態様において、前記抑制手段は、前記ペーストの単位体積当たりの空気との接触面積を増加させるように構成されていてもよい。
この一態様において、前記ポンプの前段に設けられ、前記ペーストに気泡を混入させる混入手段を更に備えていてもよい。
この一態様において、前記高圧領域の圧力は、前記ポンプの前段の圧力よりも高くてもよい。
この一態様において、前記抑制手段は、前記タンク内に流入する前記ペーストを絞るオリフィス、又は、前記タンク内に前記ペーストを断続的に流入させるバルブ開閉機構であってもよい。
この一態様において、前記高圧領域の圧力を検出する第１圧力検出手段と、前記低圧領域の圧力を検出する第２圧力検出手段と、前記制御手段は、前記第１圧力検出手段により検出された高圧領域の圧力と、前記第２圧力検出手段により検出された低圧領域の圧力と、予め設定された前記ペースト内の気泡の割合と、ペースト内の気泡の割合と低圧領域と高圧領域との圧力差との関係と、に基づいて、前記ポンプを制御してもよい。
この一態様において、前記タンク内を減圧する真空ポンプを更に備え、前記制御手段は、前記ポンプ及び真空ポンプのうち少なくとも一方を制御することで、前記高圧領域の圧力と前記低圧領域の圧力との圧力差を制御してもよい。
上記目的を達成するための本発明の一態様は、内部でペースト内の気泡を消去するタンクに対して気泡が混入したペーストを圧送するステップと、前記タンク内に前記ペーストが流入する流入口で、前記ペーストの流入を抑制するステップと、を含むペースト消泡方法であって、前記ペースト内の気泡の割合に基づいて、前記ポンプから前記抑制手段までの高圧領域の圧力と、前記タンク内の低圧領域の圧力と、の圧力差を制御する、ことを特徴とするペースト消泡方法であってもよい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ペーストの消泡時間を短縮しつつ、泡有ペースト層の形成を低減できるペースト消泡装置、及びペースト消泡方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施の形態１に係るペースト消泡装置の概略的なシステム構成を示すブロック図である。
【図２】実施の形態１にかかるオリフィスを示す図である。
【図３】オリフィスを通過したペースト内の気泡同志が合体し消泡する状態を示す図である。
【図４】ペースト中の気泡割合と気泡の膨張率との関係を異なるオリフィス径で比較した図である。
【図５】バブル開閉機構を通過したペースト内の気泡同志が合体し消泡する状態を示す図である。
【図６】ペースト内の気泡割合と気泡の膨張率との関係を、異なるポンプの吐出圧力で比較した図である。
【図７】実施の形態３に係るペースト消泡装置の概略的なシステム構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
実施の形態１．
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は、本発明の実施の形態１に係るペースト消泡装置の概略的なシステム構成を示すブロック図である。本実施の形態１に係るペースト消泡装置１は、ペーストに気泡を混入させる気泡混入機構２と、ペーストをタンク７に圧送するポンプ３と、ポンプ３から圧送されるペーストの圧力を検出する第１圧力センサ４と、フィルタ５と、タンク７内へのペーストの流入を抑制する抑制機構６と、内部でペーストの消泡を行うタンク７と、タンク７内を減圧する真空ポンプ８と、タンク７内の圧力を検出する第２圧力センサ９と、ポンプ３を制御する制御装置１０と、を備えている。
【００１０】
気泡混入機構２は、混入手段の一具体例であり、ペーストを攪拌することでペースト内に気泡を混入させる機構である。気泡混入機構２は、例えば、二軸を回転させて二軸間でペーストを攪拌、混合しつつポンプ３へ押し出す二軸押出混練機であるが、これに限らず、バッファタンク内でペーストを攪拌し気泡を混入させる機構であってもよい。気泡混入機構２は、ペースト内の気泡割合を、例えば３％以上にする。気泡混入機構２は、ポンプ３に気泡を混入させたペーストを押し出す。気泡混入機構２を用いてペースト内に気泡を予め混入させることで、後述の抑制機構６前後での圧力差が小さい場合でも、より多くの気泡を合体させ消泡を効率的に行うことができる。
【００１１】
ポンプ３は、気泡混入機構２で気泡を混入させたペーストをタンク７に圧送する。ポンプ３は、例えば、回転容積式一軸偏心ねじのモーノポンプである。このポンプ３を用いることで、簡単な構造で、異物などが含まれるペーストを容易に圧送できる。ポンプ３は制御装置１０から送信される制御信号に基づいて、ペーストの吐出圧力を調整する。ポンプ３は、ペーストをフィルタ５に吐出する。
【００１２】
フィルタ５は、ポンプ３から吐出されたペースト内の異物を除去する。
第１圧力センサ４は、第１圧力検出手段の一具体例であり、ポンプ３から圧送されフィルタ５を通過したペーストの圧力を検出する。第１圧力センサ４は、フィルタ５とタンク７とを接続する配管に設けられており、この配管内のペーストの圧力を検出する。第１圧力センサ４は、検出した配管内のペーストの圧力に対応した圧力信号を制御装置１０に送信する。
【００１３】
ところで、従来、例えば、気泡の径が小さい場合やペーストの粘度が高い場合、タンク内での気泡の浮上速度が遅いためその消泡に時間を要していた。また、タンク内のペースト表層に浮上した気泡は消え難く、表層に気泡を含む泡有ペースト層が形成され、塗工に使用できる正常なペースト量が限られるという問題が生じていた。
【００１４】
これに対し、本実施の形態に係るペースト消泡装置１においては、タンクの流入口に抑制機構６を設け、この抑制機構６の前後で圧力を急変させることで、ペースト内の気泡を急拡大させ、ペースト中の気泡同志の合体を促進できる。さらに合体により成長した気泡を含むペーストと空気との接触面積が増加することにより、ペーストがタンク７内に落下する過程で気泡を効果的に消泡させることができる。したがって、ペーストの消泡時間を短縮しつつ、タンク７内の泡有ペースト層の形成を低減できる。
特に、ペーストは界面活性剤などを含んでいるため、消泡され難く、従来、気泡をペースト表層に集めただけでは消泡が不十分となり得る。一方、本実施の形態１は、ペーストがタンク７内に落下する過程で気泡を十分に消泡させ、タンク７内の泡有ペースト層の形成を低減できるため、上記のようにペースト表層での消泡が不十分とならず、その効果が大きい。
【００１５】
抑制機構６は、抑制手段の一具体例であり、タンク７内にペーストが流入する流入口に設けられ、ペーストのタンク７内への流入を抑制する。抑制機構６は、タンク７内に流入するペーストの単位体積当たりの空気との接触面積を増加させるように構成されている。抑制機構６は、例えば、タンク７内に流入するペーストを絞る複数の小径の貫通孔６１からなるオリフィス６である（図２）。なお、オリフィス６の穴径及び穴数を調整することで、上記空気との接触面積を調整することができる。例えば、オリフィス６の穴径を小さくし穴数を増加させれば、上記空気との接触面積をより増加させることができる。
【００１６】
オリフィス６を通過する前のペーストの圧力は、ポンプ３の吐出圧力及び及びオリフィス６の絞りにより高圧となっている。一方、オリフィス６通過後のペーストの圧力は、タンク７内の減圧された圧力により低圧となっている。したがって、ペーストがオリフィス６を通過した後、ペーストに対する圧力が急減するために、ペースト内の気泡が急拡大する。これにより、ペースト内の気泡同志が合体する確率が高くなる。さらに、オリフィス６によりペースト自体が細長く縦方向（落下方向）に絞られている（図３）。このため、合体して大きくなった気泡が周囲の空気と接触する接触面積が増加し、消泡が容易となる。
【００１７】
さらに、ポンプ３の吐出圧力及びオリフィス６によりペーストは高圧となっているため、オリフィス６通過前のペースト内の気泡は縮小する。気泡が縮小することによりできたスペースに新たに気泡が入るため、ペーストの単位容積中における気泡数が増加する。したがって、上述のようにオリフィス６通過後にペースト内の各気泡が急拡大した場合、気泡数が増加しているため、気泡同志が合体する確率がさらに高くなる。これにより、合体して大きくなった気泡が周囲の空気と接触しより容易に消泡する。
【００１８】
一方、従来のペースト消泡装置においては、本実施の形態１のような抑制機構６がないため、ポンプから吐出されたペーストは、タンク内の圧力により減圧され、内部の気泡が膨張する。したがって、ペーストの単位容積あたりの気泡数は少なく、本実施の形態１のような圧力差による気泡の拡大も生じない。
【００１９】
図４は、ペースト中の気泡割合と気泡の膨張率との関係を異なるオリフィス径で比較した図である。図４において横軸は大気中でのペースト内に含まれる気泡の割合（％）を示し、縦軸は、オリフィス６の前後でのペースト内の気泡の膨張率（気泡径の比率（％））を示している。なお、ペースト内の気泡の膨張率は、オリフィス６の前後における圧力差に相当しているため、縦軸をこのオリフィス６の前後の圧力差としてもよい。
【００２０】
例えば、オリフィス６の前（高圧領域）の圧力４００ｋＰａ（ポンプ３の最大値）であり、オリフィス６の後（低圧領域）の圧力が−９５ｋＰａ（真空ポンプ８の最大値）のとき、膨張率の最大値（４２４％）となっている。
【００２１】
図４における各プロットは、ペースト中の気泡数が規定数（２個／５００ｍ）となったときの気泡の割合及び膨張率を記したものである。すなわち、各プロットは、気泡による塗工スケの点数が規定数（２個／５００ｍ）以下となった値を示している。ここで、塗工スケ（透け）とは、脱泡後のペーストを電極箔に塗工した際、塗工ペーストに気泡が混じっていた場合、気泡部分の電極が薄くなることを指す。したがって、上記「気泡による塗工スケの点数が規定数（２個／５００ｍ）以下」というのは、塗工された電極５００ｍの塗工スケ（気泡による欠陥）が２個以下であり、良品と認められるということを示している。
【００２２】
例えば、オリフィス６の穴径（以下、オリフィス径と称す）が１ｍｍの場合、気泡の割合及び膨張率の関係が図４のプロット○を結んだ線よりも上方となるように、気泡混入機構２によりペースト内に混入させる気泡割合、及び、ポンプ３及び真空ポンプ８によるオリフィス６の前後の圧力差、を設定する。同様に、オリフィス径が１．５ｍｍの場合、気泡の割合及び膨張率の関係が図４のプロット□を結んだ線よりも上方となるように、気泡混入機構２によりペースト内に混入させる気泡割合、及び、ポンプ３及び真空ポンプ８によるオリフィス６の前後の圧力差、を設定する。オリフィス径が２ｍｍの場合、気泡の割合及び膨張率の関係が図４のプロット△を結んだ線よりも上方となるように、気泡混入機構２によりペースト内に混入させる気泡割合、及び、ポンプ３及び真空ポンプ８によるオリフィス６の前後の圧力差、を設定する。
【００２３】
図４に示すように、オリフィス径が大きくなるほど、気泡の割合及び膨張率を増加させる必要があることが分かる。また、気泡の割合が増加するほど膨張率を減少させてもよいことが分かる。
【００２４】
タンク７には、ポンプ３から圧送されたペーストが流入口を介して流入し、タンク７の底に蓄積する。そして、タンク７の内においてペースト内の気泡は浮上し消泡する。なお、本実施の形態１においては、上記消泡に加えて、すでに、オリフィス６の前後の圧力差を用いて、ペーストがタンク７内へ落下する過程で消泡を行っている。したがって、ペースト内の消泡を、短時間かつ効率的に行うことができ、さらに、タンク７内の泡有ペースト層の形成も低減できる。
【００２５】
タンク７には、タンク７内を減圧する真空ポンプ８が設けられている。真空ポンプ８は、タンク７内の空気を引き込むことで、タンク７内の圧力を減圧する。真空ポンプ８は、制御装置１０から送信される制御信号に基づいて駆動する。
【００２６】
第２圧力センサ９は、第２圧力検出手段の一具体例であり、タンク７に設けられており、タンク７内の圧力を検出する。第２圧力センサ９は、検出したタンク７内の圧力に応じた圧力信号を制御装置１０に送信する。
【００２７】
制御装置１０は、制御手段の一具体例であり、第１圧力センサ４及び第２圧力センサ９からの圧力信号と、予め設定されたペースト内の気泡割合と、ペースト内の気泡割合と気泡膨張率との関係（例えば、図４）と、に基づいて、ポンプ３を制御する。
【００２８】
より具体的には、制御装置１０は、予め設定されたペースト内の気泡割合と、ペースト内の気泡割合と気泡膨張率との関係と、に基づいて、必要な気泡の膨張率（オリフィス６の前後の圧力差）を算出する。そして、制御装置１０は、算出した第１圧力センサ４及び第２圧力センサ９からの圧力信号に基づいてオリフィス６の前後の実際の圧力差を算出する。制御装置１０は、ポンプ３を制御することで、この実際の圧力差が先に算出したオリフィス６の前後の圧力差となるように制御する。制御装置１０は、ポンプ３と共に真空ポンプ８を制御して、実際の圧力差が先に算出したオリフィス６の前後の圧力差となるように制御してもよい。ここで、上記圧力差は、第１圧力センサ４により検出される、ポンプ３から抑制機構６までの高圧領域圧力と、第２圧力センサ９により検出される、タンク７内の低圧領域の圧力と、の圧力差を指す。
【００２９】
なお、ペースト内の気泡割合は、例えば、気泡混入機構２によりペーストに気泡を混入させる際の混入割合の設定に基づいて設定できる。気泡混入機構２におけるペースト内への気泡の混入割合が増加すれば、上記設定するペースト内の気泡割合も増加する。この気泡混入機構２の混入割合と、設定するペースト内の気泡割合との関係は、予め実験的に求められ設定されている。
【００３０】
なお、制御装置１０は、例えば、演算処理、制御処理等と行うＣＰＵ（Central Processing Unit）１０ａ、ＣＰＵ１０ａによって実行される演算プログラム、制御プログラム等が記憶されたＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）からなるメモリ１０ｂ、外部と信号の入出力を行うインターフェイス部（Ｉ／Ｆ）１０ｃ、などからなるマイクロコンピュータを中心にして、ハードウェア構成されている。ＣＰＵ１０ａ、メモリ１０ｂ、及びインターフェイス部１０ｃは、データバスなどを介して相互に接続されている。
【００３１】
なお、抑制機構６として、オリフィス６を適用した一例を説明したが、これに限らず、例えば、スリットを適用させてもよい。上述したような抑制機構６の前後で圧力差を生じさせ、ペーストと周囲空気との接触面積が増加させることが可能であれば、抑制機構６として、任意の形状の部材を用いることができる。
【００３２】
以上、本実施の形態１に係るペースト消泡装置１において、タンク７の流入口に抑制機構６を設けている。したがって、抑制機構６の前後で圧力を急変させることで、ペースト内の気泡を急拡大させ、ペースト中の気泡同志の合体を促進できる。さらに合体により成長した気泡を含むペーストと空気との接触面積が増加することにより、ペーストがタンク７内を落下する過程で気泡を効果的に消泡させることができる。これにより、ペーストの消泡時間を短縮しつつ、泡有ペースト層の形成を低減できる。
【００３３】
実施の形態２．
本発明の実施の形態２において、抑制機構６が、バルブが開閉することでタンク７内にペーストを断続的に流入させるバルブ開閉機構６である点を特徴とする。バルブ開閉機構６を通過する前のペーストの圧力は、ポンプ３の吐出圧力及びバルブ開閉機構６により高圧となっている。一方、バルブ開閉機構６の通過後のペーストの圧力は、タンク７内が減圧されているため低圧となる。したがって、ペーストがバブル開閉機構６を通過後、ペーストに対する圧力が急減するために、ペースト内の気泡が急拡大する。これにより、ペースト中の気泡同志が合体する確率が高くなる。また、バルブ開閉機構６によりペースト自体が分断され空気と接触する分断面が生じる（図５）。このため、合体して大きくなった気泡が周囲の空気と接触する接触面積が増加し、消泡が容易となる。
【００３４】
さらに、ポンプ３の吐出圧力及びバルブ開閉機構６によりペーストは高圧となっているため、バルブ開閉機構６の通過前のペースト内の気泡は縮小する。気泡が縮小することによりできたスペースに新たに気泡が入るため、ペーストの単位容積あたり気泡数が増加する。したがって、上述のようにバルブ開閉機構６の通過後にペースト内の各気泡が急拡大した場合、気泡数が増加しているため、気泡同志が合体する確率がさらに高くなる。これにより、合体して大きくなった気泡が周囲の空気と接触しより容易に消泡する。
【００３５】
バルブ開閉機構６の開閉周期を調整することで、上記空気との接触面積を調整することができる。例えば、バルブ開閉機構６の開閉周期を増加させれば、上記空気との接触面積をより増加させることができる。
【００３６】
図６は、ペースト内の気泡割合と気泡の膨張率との関係を、異なるポンプの吐出圧力で比較した図である。図６において横軸は大気中でのペースト内に含まれる気泡の割合（％）を示し、縦軸は、バルブ開閉機構６の前後でのペースト内の気泡の膨張率（気泡径の比率（％））を示している。
【００３７】
例えば、ポンプ３の吐出圧力が４００ｋＰａの場合、気泡の割合及び膨張率の関係が図６のプロット○を結んだ線よりも上方となるように、気泡混入機構２によりペースト内に混入させる気泡割合、ポンプ６及び真空ポンプ８によるバルブ開閉機構６の前後の圧力差、及び、バルブ開閉機構６の開閉周期、を設定する。ポンプ３の吐出圧力が３００ｋＰａの場合、気泡の割合及び膨張率の関係が図６のプロット□を結んだ線よりも上方となるように、気泡混入機構２によりペースト内に混入させる気泡割合、ポンプ３及び真空ポンプ８によるバルブ開閉機構６の前後の圧力差、及び、バルブ開閉機構６の開閉周期、を設定する。ポンプ３の吐出圧力が２００ｋＰａの場合、気泡の割合及び膨張率の関係が図６のプロット△を結んだ線よりも上方となるように、気泡混入機構２によりペースト内に混入させる気泡割合、ポンプ３及び真空ポンプ８によるバルブ開閉機構６の前後の圧力差、及び、バルブ開閉機構６の開閉周期、を設定する。
【００３８】
図６に示すように、ポンプ３の吐出圧力が小さくなるほど、気泡の割合及び膨張率を増加させる必要があることが分かる。また、気泡の割合が増加するほど膨張率を減少させてもよいことが分かる。さらに、図６に示すオリフィス６と比較して、気泡の割合及び膨張率が増加させる必要があることが分かる。これは、バルブ開閉機構６のバルブ開閉によるペーストと空気の接触面積の増加量が、オリフィス６による接触面積の増加量よりも小さいからである。なお、本実施の形態２において他の構成は、上記実施の形態１と略同一であるため、同一部分に同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００３９】
実施の形態３．
図７は、本発明の実施の形態３に係るペースト消泡装置の概略的なシステム構成を示すブロック図である。本発明の実施の形態３において、タンク７内を減圧することなく大気圧とし、ポンプ３として、例えば、プランジャポンプなどの高圧ポンプを用いる点を特徴とする。プランジャポンプは、上記実施の形態１及び２のモーノポンプと比較して吐出圧力が高い。したがって、タンク７内を真空ポンプを用いて減圧しなくても、抑制機構６の前後で圧力差を生じさせることができる。なお、抑制機構６としてオリフィスを用いた場合、オリフィス径は上記実施の形態１及び２と比較して、極小径となる。例えば、抑制機構６の前の高圧領域（第１圧力センサ４）の圧力を１０ＭＰａに設定し、抑制機構６の後の低圧領域（第２圧力センサ９）の圧力は０ｋＰａとする。
【００４０】
本実施の形態３によれば、真空ポンプが不要となるため、構成の簡素化を行うことができコスト低減を図ることができる。また、抑制機構６の前の高圧領域の圧力が高くなるため、気泡混入機構２でペーストに混入させる気泡割合が例えば、３％以下でも消泡が可能となり、そのような気泡割合の制限をうけない。
【００４１】
さらに、抑制機構６の前を大気圧解放し大気圧状態とし、抑制機構６の後のタンク７内を真空ポンプ８を用いてより低圧状態としてもよい。この構成も、抑制機構６としてオリフィスを用いた場合、オリフィス径は上記実施の形態１及び２と比較して、極小径となる。例えば、抑制機構６の前の高圧領域（第１圧力センサ４）の圧力は０ｋＰａとなり、抑制機構６の後の低圧領域（第２圧力センサ８）の圧力を−４００ｋＰａに設定する。なお、上述した構成は一例であり、抑制機構６の前後の圧力差を生じさせることができれば、任意の構成を適用することができる。なお、本実施の形態３において他の構成は、上記実施の形態１及び２と略同一であるため、同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４２】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
【符号の説明】
【００４３】
１    ペースト消泡装置
２    気泡混入機構
３    ポンプ
４    第１圧力センサ
５    フィルタ
６    抑制機構
７    タンク
８    真空ポンプ
９    第２圧力センサ
１０    制御装置
【図１】
2015016427.tif 000003
【図２】
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【図３】
2015016427.tif 000005
【図４】
2015016427.tif 000006
【図５】
2015016427.tif 000007
【図６】
2015016427.tif 000008
【図７】
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