(57)【要約】【課題】本発明は、積層体における最上層のワークを下層のワークから確実に分離して搬送することができる搬送装置を提供する。【解決手段】積層体２の最上層のマスク体３には、気体が通過可能な開口部３１が形成され、最上層のマスク体３の下層に隣接して配置される保護シート４における、最上層のマスク体３の開口部３１に対応する箇所の少なくとも一箇所が非開口部に形成され、搬送装置１は、積層体２における最上層のマスク体３を搬送する際に、吸着用パッド１２を最上層のマスク体３の非開口部３２に当接させて、吸着用パッド１２による空気の吸引を行うとともに、噴出用パッド１３を、最上層のマスク体３の開口部３１のうち、下層に隣接して配置される保護シート４の非開口部に対応する箇所に形成される開口部３１に当接させて、噴出用パッド１３による空気の噴出を行った状態で、ベース１１により吸着用パッド１２および噴出用パッド１３を移動させる。【選択図】図１
2015016935.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のワークを上下に積層して構成される積層体の、最上層のワークを下層のワークから分離して搬送する搬送装置であって、
空気を吸引可能な吸引部と、空気を噴出可能な噴出部と、前記吸引部および噴出部を移動可能な移動部材とを備え、
前記積層体の最上層のワークには、気体が通過可能な開口部が形成され、
前記最上層のワークの下層に隣接して配置されるワークにおける、前記最上層のワークの開口部に対応する箇所のうちの少なくとも一箇所が非開口部に形成され、
前記積層体における最上層のワークを搬送する際には、
前記吸引部を前記最上層のワークの非開口部に当接させて、前記吸引部による空気の吸引を行うとともに、
前記噴出部を、前記最上層のワークの開口部のうち、前記下層に隣接して配置されるワークの非開口部に対応する箇所に形成される開口部に当接させて、前記噴出部による空気の噴出を行った状態で、
前記移動部材により前記吸引部および噴射部を移動させる、
ことを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のワークを上下に積層して構成される積層体の、最上層のワークを下層のワークから分離して搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のワークを上下に積層して構成される積層体の、最上層のワークを下層のワークから分離して搬送する搬送装置が知られている。
【０００３】
このような搬送装置としては、ワークとなる樹脂シートの積重物における最上部に位置する第１の樹脂シートを吸着する吸着部と、前記積重物の側方（積重物における樹脂シートの積層方向と交差する方向）から空気を送風する送風装置とを備え、前記第１の樹脂シートを第１の樹脂シートの下に位置する第２の樹脂シートと分離して搬送する際に、前記吸着部を第１の樹脂シートに吸着させた状態で前記吸着部を上昇させるとともに、前記送風装置から前記積重物の側部に空気を送風して、前記第１の樹脂シートと第２の樹脂シートとの間に空気を入れることで、前記第１の樹脂シートを第２の樹脂シートから分離させる搬送装置が、特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−０５２８３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述の特許文献１に開示される技術のように、積重物の側方から送風した場合、積重物における多くの樹脂シートに風が当たってしまい、搬送対象となる第１の樹脂シートと第１の樹脂シートの下に位置する第２の樹脂シートとの間だけでなく、それ以外の樹脂シート間にも送風されることになるため、第１の樹脂シートだけをその下の樹脂シートから分離させることができない場合があった。
【０００６】
そこで、本発明においては、積層体における最上層のワークを下層のワークから確実に分離して搬送することができる搬送装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する搬送装置は、以下の特徴を有する。
即ち、請求項１記載の如く、複数のワークを上下に積層して構成される積層体の、最上層のワークを下層のワークから分離して搬送する搬送装置であって、空気を吸引可能な吸引部と、空気を噴出可能な噴出部と、前記吸引部および噴出部を移動可能な移動部材とを備え、前記積層体の最上層のワークには、気体が通過可能な開口部が形成され、前記最上層のワークの下層に隣接して配置されるワークにおける、前記最上層のワークの開口部に対応する箇所のうちの少なくとも一箇所が非開口部に形成され、前記積層体における最上層のワークを搬送する際には、前記吸引部を前記最上層のワークの非開口部に当接させて、前記吸引部による空気の吸引を行うとともに、前記噴出部を、前記最上層のワークの開口部のうち、前記下層に隣接して配置されるワークの非開口部に対応する箇所に形成される開口部に当接させて、前記噴出部による空気の噴出を行った状態で、前記移動部材により前記吸引部および噴射部を移動させる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、積層体における最上層のワークを下層のワークから確実に分離して搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】搬送装置および積層体を示す側面断面図である。
【図２】搬送装置および積層体を示す平面図である。
【図３】マスク体を示す平面図である。
【図４】保護シートを示す平面図である。
【図５】積層体の最上層のマスク体を、その下層に隣接して配置される保護シートから分離して搬送する際の手順を示す第１の図である。
【図６】積層体の最上層のマスク体を、その下層に隣接して配置される保護シートから分離して搬送する際の手順を示す第２の図である。
【図７】積層体の別実施形態を示す斜視図である。
【図８】積層体に対して側方から送風器による送風を行うように構成された従来の搬送雄装置を示す側面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、本発明を実施するための形態を、添付の図面を用いて説明する。
【００１１】
図１、図２に示す、本実施形態に係る搬送装置１０は、複数のワークを上下に積層して構成される積層体の、最上層のワークを下層のワークから分離して搬送する搬送装置である。
本実施形態に係る積層体２は、第１のワークであるマスク体３と、第２のワークである保護シート４とを交互に積層して構成されており、積層体２の最上層にはマスク体３が配置されている。また、積層体２は上面が開口したケース５に収納されている。
【００１２】
図３に示すように、マスク体３は円板状の薄板部材であり、板面と直交する方向に貫通する開口部３１・３１・・・が複数形成されている。また、マスク体３の開口部３１・３１・・・が形成されていない部分は非開口部３２である。
マスク体３は、例えば半導体デバイスに電極を形成する際に用いられるものであり、マスク体３を半導体デバイス上に重ね合わせて、半導体デバイスにおけるマスク体３の開口部から露出した部分にのみ電極材料を塗布等することで、半導体デバイスの電極がパターン形成される。
【００１３】
図４に示すように、保護シート４は円板状のシート状部材であり、マスク体３よりも若干大径に形成されている。
保護シート４は、マスク体３を上下に積層する際に、マスク体３とマスク体３との間に介装することで、マスク体３同士が接触することにより傷等が発生することを防止するための保護部材である。
また、保護シート４には開口部が形成されておらず、その全面が非開口部となっている。
【００１４】
図１、図２に示すように、搬送装置１０は、円板状部材にて構成されるベース１１と、ベース１１の下面に取り付けられる複数の吸着用パッド１２・１２・・・および複数の噴出用パッド１３・１３と、空気を吸引する吸引ポンプ１４と、空気を加圧する加圧ポンプ１５とを備えている。
【００１５】
ベース１１は、吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３・１３の支持部材であり、マスク体３と同程度の径に形成されている（本実施形態においては、マスク体３よりも若干大径に形成され、保護シート４よりも若干小径に形成されている）。
ベース１１はロボットハンド等の移動装置に取り付けられており、前記移動装置により任意の方向および位置へ移動可能に構成される。つまり、ベース１１は、下面に取り付けられる吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３・１３と一体的に移動可能であり、吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３・１３の移動部材としても機能する。
【００１６】
吸着用パッド１２・１２・・・は、先端（下端）に開口部を有した弾性部材にて構成されており、ベース１１の下面の周縁部に沿って配置されている。また、吸着用パッド１２・１２・・・は吸引ポンプ１４に接続されており、吸引ポンプ１４を作動させることにより先端の開口部から空気を吸引可能に構成されている。つまり、吸着用パッド１２・１２・・・は、空気の吸引を行う吸引部を構成している。
そして、吸着用パッド１２・１２・・・をマスク体３の非開口部３２に当接させた状態で吸引ポンプ１４を作動させることにより、吸着用パッド１２・１２・・・の開口部から空気を吸引して、吸着用パッド１２・１２・・・にマスク体３を吸着させることが可能となっている。
搬送装置１によりマスク体３を搬送する際には、吸着用パッド１２・１２・・・は、マスク体３上面の周縁部における非開口部３１に当接する。
【００１７】
噴出用パッド１３・１３は、先端（下端）に開口部を有した弾性部材にて構成されている。また、噴出用パッド１３・１３は加圧ポンプ１５に接続されており、加圧ポンプ１５を作動させることにより先端の開口部から空気を噴出可能に構成されている。つまり、噴出用パッド１３・１３は、空気の噴出を行う噴出部を構成している。
各噴出用パッド１３・１３は、吸着用パッド１２・１２・・・によりマスク体３を吸着した際に、マスク体３の開口部３１が形成された部分に位置するように配置されており、吸着用パッド１２・１２・・・がマスク体３に当接すると、噴出用パッド１３・１３もマスク体３に当接するように構成されている。
【００１８】
噴出用パッド１３・１３の先端の開口部は、マスク体３の開口部３１を全体的に覆う程度の大きさに形成されており、噴出用パッド１３・１３がマスク体３に当接する際には、噴出用パッド１３・１３がマスク体３の開口部３１の周縁部に全周にわたって当接する。
そして、噴出用パッド１３・１３をマスク体３の開口部３１に当接させた状態で、加圧ポンプ１５を作動させることにより、噴出用パッド１３・１３の開口部からマスク体３の開口部３１へ向けて空気を噴出することが可能となっている。
また、一つの噴出用パッド１３は、マスク体３に複数形成される開口部３１・３１・・・のうちの何れか一つの開口部３１に当接する。
【００１９】
次に、このように構成される搬送装置１０により、積層体２の最上層のマスク体３を、その下層に隣接して配置される保護シート４から分離して搬送する際の手順について説明する。
まず、図５（ａ）に示すように、ベース１１を移動装置により移動して積層体２の上方に位置させる。その後、ベース１１を積層体２に向けて下降させる。
ベース１１の下降は、ベース１１の下面に取り付けられる吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３・１３が、積層体２における最上層のマスク体３の上面に当接するまで行われる。
【００２０】
この場合、ベース１１は、吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３・１３がマスク体３の上面に丁度接触する位置にまで下降させるほか、吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３・１３がマスク体３の上面に丁度接触する位置から、さらに吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３・１３がその弾性力により若干撓んだ状態となる位置まで下降させることができる。
このように、吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３・１３が若干撓んだ状態となる位置まで下降させることにより、吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３・１３のマスク体３に対する当接を確実にすることが可能となる。
【００２１】
図５（ｂ）に示すように、吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３・１３のマスク体３への当接は、吸着用パッド１２・１２・・・がマスク体３の非開口部３２に当接するように、かつ噴出用パッド１３・１３がマスク体３の開口部３１に当接するように行われる。
即ち、ベース１１の移動装置は、ベース１１を下降させる際に、吸着用パッド１２・１２・・・が非開口部３２に当接するように、また噴出用パッド１３・１３が開口部３１に当接するように、マスク体３に対する吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３・１３の位置合わせをする機能を有している。
【００２２】
次に、図６（ａ）に示すように、吸引ポンプ１４を作動させて、マスク体３の非開口部３２に当接した状態の吸着用パッド１２・１２・・・から空気を吸引して、吸着用パッド１２・１２・・・にマスク体３を吸着させる。
その後、加圧ポンプ１５を作動させて、マスク体３の開口部３１に当接した状態の噴出用パッド１３・１３からマスク体３の開口部３１へ向けて空気を噴出する。この場合、吸着用パッド１２・１２・・・によるマスク体３の吸着は継続される。
【００２３】
図６（ｂ）に示すように、噴出用パッド１３・１３からマスク体３の開口部３１へ向けて空気を噴出すると、噴出された空気は開口部３１から、マスク体３とその下層に隣接配置される保護シート４との間に侵入し、互いに接触していたマスク体３と保護シート４とが分離される。つまり、噴出用パッド１３・１３から噴出された空気により、マスク体３と保護シート４との間に空気層が形成されることで、当該マスク体３と保護シート４との分離が行われる。
【００２４】
ここで、噴出用パッド１３・１３からの開口部３１への空気の噴出により、マスク体３と保護シート４とを分離することは、保護シート４の、空気が噴出される開口部３１に対応する箇所に、開口部が形成されていないことにより実現が可能となっている。
つまり、仮に、マスク体３に隣接する保護シート４における、空気が噴出される開口部３１に対応する位置に開口部が形成されていると、開口部３１から噴出された空気は保護シート４の開口部を通じてさらに下方へ抜けていくため、マスク体３と保護シート４との間に侵入することがなく、マスク体３と保護シート４とは分離しない。
一方、マスク体３に隣接する保護シート４における、空気が噴出される開口部３１に対応する箇所（空気が噴出される開口部３１の下方に位置する箇所）に開口部が形成されていなければ、開口部３１から噴出された空気は保護シート４よりも下方へ逃げることができないため、マスク体３と保護シート４との間に逃げていくことになり、マスク体３と保護シート４との間に空気層が形成されて両者が分離される。
【００２５】
このように、開口部が形成されていない保護シート４が下層に隣接して配置されるマスク体３の開口部３１に噴出用パッド１３・１３を当接させることで、噴出用パッド１３・１３からの開口部３１への空気の噴出による、マスク体３と保護シート４との分離を確実に行うことが可能となっている。
なお、積層体２の場合、保護シート４には開口部が形成されていないため、マスク体３における何れの開口部３１に噴出用パッド１３・１３を当接させても、マスク体３と保護シート４との分離を行うことができる。
【００２６】
また、搬送装置１においては、噴出用パッド１３・１３から噴出する空気の圧力は、マスク体３を保護シート４から分離して確実に搬送することができる、任意の圧力に設定することが可能となっている。
【００２７】
図６（ｃ）に示すように、最上層のマスク体３が下層の保護シート４から分離されると、移動装置によりベース１１を上昇させて、吸着用パッド１２・１２・・・に吸着されている最上層のマスク体３を、積層体２から取り出して搬送する。
なお、最上層のマスク体３を搬送した後は、最上層に現れた保護シート４を、吸着用パッドを備えたロボットアーム等の搬送装置により吸着保持して積層体２から取り去る。これにより、当該保護シート４の下層に隣接して配置されていたマスク体３が最上層に現れることとなり、当該マスク体３が積層体２における次の搬送対象となる。
【００２８】
このように、積層体２における最上層のマスク体３に、気体が通過可能な開口部３１を形成し、最上層のマスク体３の下層に隣接して配置される保護シート４における、最上層のマスク体３の開口部３１に対応する箇所を非開口部に形成して、搬送装置１０により最上層のマスク体３を前記保護シート４から分離して搬送する際には、吸着用パッド１２・１２・・・を最上層のマスク体３の非開口部３２に当接させて、吸着用パッド１２・１２・・・による空気の吸引を行うとともに、噴出用パッド１３・１３を、最上層のマスク体３の何れかの開口部３１に当接させて、噴出用パッド１３・１３による空気の噴出を行った状態で、前記移動部材によりベース１１とともに吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３・１３を移動させることにより、最上層のマスク体３を搬送するようにしている。
これにより、最上層のマスク体３を、当該マスク体３の下層に隣接して配置される保護シート４から確実に分離して搬送することが可能となっている。
【００２９】
また、図８に示す従来の搬送装置のように、積層体２に対して側方から送風器による送風を行って、マスク体３と保護シート４との分離を行うようにした場合は、積層体２を収納するケース５の側方に、送風器を設置するためのスペースが余分に必要となる。
しかし、本実施形態の搬送装置１においては、マスク体３と保護シート４とを分離するための噴出用パッド１３・１３は、マスク体３を上方から吸着保持する吸着用パッド１２・１２・・・が設けられたベース１１に取り付けられているので、ケース５の周囲に余分なスペースを必要とせず、搬送装置１を省スペースで設置することが可能となっている。
【００３０】
次に、複数のワークを上下に積層して構成され、最上層のワークが搬送装置１０により搬送される積層体の別実施形態について説明する。
図７に示す積層体７は、ワークとなる複数のマスク体８を上下に積層して構成され、最上層に配置されるマスク体８が搬送装置１により搬送されるものであり、マスク体８とマスク体８との間に保護シートが介装されない点で、前述の積層体２と異なっている。
【００３１】
マスク体８は円板状の薄板部材であり、板面と直交する方向に貫通する複数の開口部８１・８１・・・が形成されている。開口部８１・８１・・・は、例えば半導体デバイスに電極を形成する際に用いられるマスク用開口部８１ａ・８１ａ・・・、および噴出用パッド１３からの空気が噴出される分離用開口部８１ｂに構成されている。また、マスク体８のマスク用開口部８１ａ・８１ａ・・・および分離用開口部８１ｂが形成されていない部分は非開口部８２である。
マスク体８においては、例えばマスク体８の中心を通る中心線Ｐを中心とした所定の対称部位の一方に分離用開口部８１ｂが形成されており、前記対称部位の他方は非開口部８２となっている。
【００３２】
積層体７は、隣接するマスク体８・８の位相が１８０°異なるように、各マスク体８・８・・・を積層配置して構成されている。これにより、隣接するマスク体８・８においては、上方に位置するマスク体８の分離用開口部８１ｂの下方に、下方に位置するマスク体８の非開口部８２が位置することとなっている。
即ち、積層体７は、隣接するマスク体８・８において、上方に位置するマスク体８の分離用開口部８１ｂの位置と、下方に位置するマスク体８の開口部８１・８１・・・（マスク用開口部８１ａ・８１ａ・・・および分離用開口部８１ｂ）の位置とが重ならないように構成されている。
【００３３】
このように構成される積層体７の最上層のマスク体８を搬送する搬送装置１０においては、吸着用パッド１２・１２・・・は、マスク体８を搬送する際にマスク体８の非開口部８２に当接する位置に配置され、噴出用パッド１３は、吸着用パッド１２・１２・・・によりマスク体８を吸着保持した際に、マスク体８の分離用開口部８１ｂに当接する位置に配置されている。
【００３４】
そして、搬送装置１０により、積層体７の最上層のマスク体８を、その下層に隣接して配置されるマスク体８（以下、適宜「下層のマスク体８」と記載する）から分離して搬送する際には、前述の積層体２の場合と同様に、まず積層体７の上方に位置させたベース１１を下降させて、吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３を最上層のマスク体３の上面に当接させる。
この場合、吸着用パッド１２・１２・・・は最上層のマスク体８の非開口部８２に当接し、噴出用パッド１３は最上層のマスク体８の分離用開口部８１ｂに当接する。
【００３５】
次に、吸引ポンプ１４を作動させて、最上層のマスク体８の非開口部８２に当接した状態の吸着用パッド１２・１２・・・から空気を吸引して、吸着用パッド１２・１２・・・に最上層のマスク体８を吸着させる。
その後、加圧ポンプ１５を作動させて、最上層のマスク体８の分離用開口部８１ｂに当接した状態の噴出用パッド１３から分離用開口部８１ｂへ向けて空気を噴出する。この場合、吸着用パッド１２・１２・・・による最上層のマスク体８の吸着は継続される。
【００３６】
噴出用パッド１３から最上層のマスク体８の分離用開口部８１ｂへ向けて空気を噴出すると、噴出された空気は分離用開口部８１ｂから、最上層のマスク体８と下層のマスク体８との間に侵入し、互いに接触していた最上層のマスク体８と下層のマスク体８とが分離される。
【００３７】
ここで、噴出用パッド１３からの分離用開口部８１ｂへの空気の噴出により、最上層のマスク体８と下層のマスク体８とを分離することは、下層のマスク体８における、最上層のマスク体８の分離用開口部８１ｂに対応する箇所が非開口部８２となっている（開口部８１が形成されていない）ことにより実現が可能となっている。
つまり、下層のマスク体８における、最上層のマスク体８の分離用開口部８１ｂに対応する箇所（分離用開口部８１ｂの下方に位置する箇所）が非開口部８２となっていれば、分離用開口部８１ｂから噴出された空気は下層のマスク体８よりも下方へ逃げることができないため、最上層のマスク体８と下層のマスク体８との間に逃げていくことになり、最上層のマスク体８と下層のマスク体８との間に空気層が形成されて両者が分離される。
【００３８】
このように、積層体７では、最上層のマスク体８の下層に隣接して配置されるマスク体８における、最上層のマスク体８の開口部８１（マスク用開口部８１ａ・８１ａ・・・および分離用開口部８１ｂ）に対応する箇所のうち、少なくとも分離用開口部８１ｂに対応する箇所を非開口部８２に形成しており、最上層のマスク体８の分離用開口部８１ｂに噴出用パッド１３を当接させることで、噴出用パッド１３からの分離用開口部８１ｂへの空気の噴出による、最上層のマスク体８と下層のマスク体８との分離を確実に行うことが可能となっている。
【００３９】
最上層のマスク体８が下層のマスク体８から分離された後は、移動装置によりベース１１を上昇させて、吸着用パッド１２・１２・・・に吸着されている最上層のマスク体８を、積層体７から取り出して搬送する。
なお、最上層のマスク体３を搬送した後は、下層のマスク体８が最上層に現れることとなり、当該マスク体８が積層体７における次の搬送対象となる。
【００４０】
このように、積層体７における最上層のマスク体８に、気体が通過可能な開口部８１（マスク用開口部８１ａ・８１ａ・・・および分離用開口部８１ｂ）を形成し、下層のマスク体８における、最上層のマスク体８の開口部８１に対応する箇所のうちの少なくとも一箇所、即ち分離用開口部８１ｂに対応する箇所を非開口部８２に形成して、搬送装置１０により最上層のマスク体８を下層のマスク体８から分離して搬送する際には、吸着用パッド１２・１２・・・を最上層のマスク体８の非開口部８２に当接させて、吸着用パッド１２・１２・・・による空気の吸引を行うとともに、噴出用パッド１３を、最上層のマスク体８の開口部８１のうち下層のマスク体８の非開口部８２に対応する箇所に形成される分離用開口部８１ｂに当接させて、噴出用パッド１３による空気の噴出を行った状態で、前記移動部材によりベース１１とともに吸着用パッド１２・１２・・・および噴出用パッド１３を移動させることにより、最上層のマスク体８の搬送を行うようにしている。
これにより、最上層のマスク体８を、当該マスク体８の下層に隣接して配置される下層のマスク体８から確実に分離して搬送することが可能となっている。
【００４１】
なお、本実施形態の積層体７においては、各マスク体８を、中心線Ｐを中心とした対称部位の一方に分離用開口部８１ｂが形成されるとともに他方が非開口部８２となるように構成し、隣接するマスク体８・８の位相が互いに１８０°異なった姿勢となるように、マスク体８・８・・・を積層しているが、これに限るものではない。
つまり、積層体７は、隣接するマスク体８・８を、互いの位相が所定角度だけ異なる姿勢で配置した場合に、下方のマスク体８における、上方のマスク体８の分離用開口部８１ｂに対応する箇所（分離用開口部８１ｂの下方に位置する箇所）が非開口部８２となるような構成、即ち、上方に位置するマスク体８の分離用開口部８１ｂの位置と、下方に位置するマスク体８の開口部８１・８１・・・（マスク用開口部８１ａ・８１ａ・・・および分離用開口部８１ｂ）の位置とが重ならない構成であればよい。
【００４２】
また、本実施形態においては、噴出用パッド１３からの空気の噴出を最上層のマスク体８の分離用開口部８１ｂに対して行っているが、マスク用開口部８１ａ・８１ａ・・・であっても、下層のマスク体８における、当該マスク用開口部８１ａ・８１ａ・・・に対応する箇所が非開口部８２に形成されていれば、マスク用開口部８１ａ・８１ａ・・・を、噴出用パッド１３からの空気を噴出するための開口部として用いることができる。
【符号の説明】
【００４３】
１        搬送装置
２・７    積層体
３・８    マスク体
４        保護シート
１１        ベース
１２        吸着用パッド
１３        噴出用パッド
１４        吸引ポンプ
１５        加圧ポンプ
３１・８１  開口部
３２・８２  非開口部
８１ａ      マスク用開口部
８１ｂ      分離用開口部
【図１】
2015016935.tif 000003
【図２】
2015016935.tif 000004
【図３】
2015016935.tif 000005
【図４】
2015016935.tif 000006
【図５】
2015016935.tif 000007
【図６】
2015016935.tif 000008
【図７】
2015016935.tif 000009
【図８】
2015016935.tif 000010