(57)【要約】【課題】簡単な構成で、表面が平坦ではない光学部品の表面の全体を確実且つ正確に検査する。【解決手段】検査対象物Ｌｓの被検査領域を撮像する撮影部４と、撮像部４が暗視野像を撮像できるように照明光を照射する照明部３と、照明光の出射位置を前記被検査領域を通過する軸を中心とする周方向に変更する出射位置変更部５と、撮像画像から表面反射光及び内部反射漏れ光の映り込み部分を削除した抽出画像を生成し、異常を検出する異常検出部６とを備え、照明光の出射位置を変更しつつ被検査領域を撮影し、出射位置ごとの抽出画像に基づいて異常を検出する光学部品の検査装置Ａ。【選択図】図１
2015227793.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の被検査領域を撮像する撮影部と、
前記撮像部が暗視野像を撮像できるように前記被検査領域に対して照明光を照射する照明部と、
前記照明光の前記被検査領域に対する出射位置を前記被検査領域を通過する軸を中心とする周方向に変更する出射位置変更部と、
前記撮像部が撮影した撮像画像から前記照明光の表面反射光及び内部反射漏れ光の映り込み部分を削除した抽出画像を生成し、前記抽出画像から異常を検出する異常検出部と、を備えた光学部品の検査装置であって、
前記照明光の出射位置を変更しつつ前記被検査領域を撮影するとともに前記抽出画像を生成し、前記照明光の出射位置ごとの前記抽出画像に基づいて異常を検出することを特徴とする光学部品の検査装置。
【請求項２】
前記照明部は、前記照明光の照射領域が前記被検査領域と一致するように前記照明光を集光させる請求項１に記載の光学部品の検査装置。
【請求項３】
前記照明部は、前記照明光を出射する複数個の出光部を前記検査対象物の中心軸を中心とする周方向に並べて配置しており、
前記出射位置変更部は前記照明部の複数個の出光部の中から選んだ出光部から光を出射させる請求項１又は請求項２に記載の光学部品の検査装置。
【請求項４】
前記出射位置変更部は、前記照明光を出射する出光部が前記検査対象物の中心軸を中心に回転するように前記照明部を回転駆動する請求項１又は請求項２に記載の光学部品の検査装置。
【請求項５】
前記出射位置変更部は、前記検査対象物を中心軸回りに回動する請求項１から請求項４のいずれかに記載の光学部品の検査装置。
【請求項６】
前記被検査領域の検査対象面が凸面又は凹面であるとき、
前記照明部は、前記照明光を前記検査対象面の光軸と交差する点での接平面に対して前記検査対象物と同じ側から照射する請求項１から請求項５のいずれかに記載の光学部品の検査装置。
【請求項７】
前記異常検出部は、前記出射位置を変更して撮影した複数の撮像画像から前記照明光の表面反射光及び内部反射漏れ光の映り込み部分を削除した複数の画像を合成した後、異常を検出する請求項１から請求項６のいずれかに記載の光学部品の検査装置。
【請求項８】
前記出射位置変更部は、直前の撮像画像の前記照明光の表面反射光及び内部反射漏れ光の映り込み部分と重ならないように前記照明光を照射するように前記出射位置を変更する請求項１から請求項７のいずれかに記載の光学部品の検査装置。
【請求項９】
前記撮像部の前面に配置され、前記被検査領域の表面で反射された光の偏光状態を切り替える偏光処理部を備えている請求項１から請求項８のいずれかに記載の光学部品の検査装置。
【請求項１０】
検査対象物に対し集光された照明光を出射する出光工程と、
前記照明光の出射位置を前記検査対象物の中心軸を中心とする周方向に変更する出射位置変更工程と、
前記検査対象物の被検査領域を撮影する撮影工程と、
撮影した撮像画像から前記照明光の表面反射光及び内部反射漏れ光の映り込み部分を削除した抽出画像を生成し、前記抽出画像から異常を検出する異常検出工程と、を備えた光学部品の検査方法であって、
前記照明光の出射位置を変更しつつ前記被検査領域を撮影するとともに前記抽出画像を生成し、前記照明光の出射位置ごとの前記抽出画像に基づいて異常を検出することを特徴とする光学部品の検査方法。
【請求項１１】
前記出射位置変更工程が前記照明光の出射位置を前記検査対象物の中心軸を中心とする周方向移動させるごとに停止させ、
前記撮像工程が前記出射位置が停止した状態で前記被検査領域を撮影する請求項１０に記載の光学部品の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ等の光学部品の欠陥を検査する検査装置及びその検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レンズ等の光学部品は、表面の傷、変形等の欠陥や塵、埃等の異物が存在すると光学性能が低下する。そのため、前記光学部品の製造や前記光学部品を用いた光学装置の製造では、欠陥、異物が存在している等の不良品を取り除くスクリーニング検査を行っている。
【０００３】
このような物品の表面の欠陥を検出する検査装置としては、例えば、特開２００２−１８１７２４号公報に記載の表面検査装置がある。特開２００２−１８１７２４号公報に記載の表面検査装置は、ハードディスクの表面の傷等の欠陥を検出する装置である。この表面検査装置は、検査対象領域を中心として、周方向に異なる複数の角度から表面領域に照明光を照射する照明装置と、前記表面領域を撮影するＣＣＤカメラ（撮像部）を備え、複数の角度から照明光を照射し、その写真を撮影する。そして、傷等の欠陥で反射された反射光像として検出し、欠陥を検出する。
【０００４】
前記ハードディスクには、無数の円環状の微小溝（テクスチャー）が形成されているものがある。この表面検査装置は、このテクスチャーが形成されたハードディスクの表面の欠陥を検出するためのものであり、複数の照明光は、テクスチャー反射光像が検出されないように照明光を照射しテクスチャーと異なる方向に延びる欠陥の反射光像を検出することで欠陥の検出を行っている。また、テクスチャーの反射光像を検出されるように照明光を照射し、テクスチャーと同じ方向に延びる欠陥の反射光像を検出するこで欠陥の検出を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１８１７２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特開２００２−１８１７２４号公報に記載の表面検査装置では、照明光を照射する光源とテクスチャーとの位置を正確に合わせる必要があり、検査を行う前の準備に手間と時間が多くかかる。また、特開２００２−１８１７２４号公報に記載の表面検査装置では、平面上の欠陥での反射光像を検出して欠陥を検出する構成であるが、レンズのような曲面状の表面形状を有している光学素子の表面検査を行おうとすると、表面反射光及び内部反射漏れ光の反射光像（映り込み）が大きくなるため、表面全体の欠陥を検出できないおそれがある。
【０００７】
そこで本発明は、簡単な構成で、表面が平坦ではない光学部品の表面の全体を確実且つ正確に検査することができる光学部品の検出装置を提供することを目的とする。
【０００８】
また本発明は、簡単な方法で、表面が平坦ではない光学部品の表面の全体を確実且つ正確に検査することができる光学部品の検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために本発明は、検査対象物の被検査領域を撮像する撮影部と、前記撮像部が暗視野像を撮像できるように前記被検査領域に対して照明光を照射する照明部と、前記照明光の前記被検査領域に対する出射位置を前記被検査領域を通過する軸を中心とする周方向に変更する出射位置変更部と、前記撮像部が撮影した撮像画像から前記照明光の表面反射光及び内部反射漏れ光の映り込み部分を削除した抽出画像を生成し、前記抽出画像から異常を検出する異常検出部とを備え、前記照明光の出射位置を変更しつつ前記被検査領域を撮影するとともに前記抽出画像を生成し、前記照明光の出射位置ごとの前記抽出画像に基づいて異常を検出する光学部品の検査装置を提供する。
【００１０】
この構成によると、表面が平坦でない検査対象物に照明光を照射し、表面で照明光が散乱（乱反射）しても、撮像画像からその散乱光の像を取り除くため、取り除いて残った部分の表面の欠陥、異物の付着等の異常を正確に行うことが可能である。また、照明光の照射位置を変更して撮影を行い、散乱光の像を取り除き、表面の異常を検査するため、被検査領域の全面の異常を検査することが可能である。
【００１１】
これにより、簡単な構成であるとともに簡単な動作で平坦でない表面を有する光学部品の表面の欠陥、異物の付着等の異常を精度よく検査することが可能である。
【００１２】
上記構成において、前記照明部は、前記照明光の照射領域が前記被検査領域と一致するように前記照明光を集光させるものであってもよい。
【００１３】
上記構成において、前記照明部は、前記照明光を出射する複数個の出光部を前記検査対象物の中心軸を中心とする周方向に並べて配置しており、前記出射位置変更部は前記照明部の複数個の出光部の中から選んだ出光部から光を出射させるようにしてもよい。
【００１４】
上記構成において、前記出射位置変更部は、前記照明光を出射する出光部が前記検査対象物の中心軸を中心に回転するように前記照明部を回転駆動するようにしてもよい。
【００１５】
上記構成において、前記出射位置変更部は、前記検査対象物を中心軸回りに回動するようにしてもよい。
【００１６】
上記構成において、前記被検査領域の検査対象面が凸面又は凹面であるとき、前記照明部は、前記照明光を前記検査対象面の光軸と交差する点での接平面に対して前記検査対象物と同じ側から照射するようにしてもよい。
【００１７】
上記構成において、前記異常検出部は、前記出射位置を変更して撮影した複数の撮像画像から前記照明光の表面反射光及び内部反射漏れ光の映り込み部分を削除した複数の画像を合成した後、異常を検出するようにしてもよい。
【００１８】
上記構成において、前記出射位置変更部は、直前の撮像画像の前記照明光の表面反射光及び内部反射漏れ光の映り込み部分と重ならないように前記照明光を照射するように前記出射位置を変更するようにしてもよい。
【００１９】
上記構成において、前記撮像部の前面に配置され、前記被検査領域の表面で反射された光の偏光状態を切り替える偏光処理部を備えていてもよい。
【００２０】
上記目的を達成するために本発明は、検査対象物に対し集光された照明光を出射する出光工程と、前記照明光の出射位置を前記検査対象物の中心軸を中心とする周方向に変更する出射位置変更工程と、前記検査対象物の被検査領域を撮影する撮影工程と、撮影した撮像画像から前記照明光の表面反射光及び内部反射漏れ光の映り込み部分を削除した抽出画像を生成し、前記抽出画像から異常を検出する異常検出工程とを備え、前記照明光の出射位置を変更しつつ前記被検査領域を撮影するとともに前記抽出画像を生成し、前記照明光の出射位置ごとの前記抽出画像に基づいて異常を検出する光学部品の検査方法を提供する。
【００２１】
上記構成において、前記出射位置変更工程が前記照明光の出射位置を前記検査対象物の中心軸を中心とする周方向移動させるごとに停止させ、前記撮像工程が前記出射位置が停止した状態で前記被検査領域を撮影するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によると、簡単な構成で、表面が平坦ではない光学部品の表面の全体を確実且つ正確に検査することができる光学部品の検出装置を提供することができる。
【００２３】
本発明によると、簡単な方法で、表面が平坦ではない光学部品の表面の全体を確実且つ正確に検査することができる光学部品の検出方法を提供することができる。
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明にかかる光学部品の検査装置の一例である表面検査装置の概略配置図である。
【図２】図１に示す表面検査装置の配置状態を示す側面図である。
【図３】照明部の配置状態を示す平面図である。
【図４】本発明にかかる表面検出装置の一例のブロック図である。
【図５】本発明にかかる光学部品の検査装置の異常検出の動作を示すフローチャートである。
【図６Ａ】本発明にかかる光学部品の検査装置の第１出光部からの照明光を照射したときの撮像画像である。
【図６Ｂ】本発明にかかる光学部品の検査装置の第２出光部からの照明光を照射したときの撮像画像である。
【図６Ｃ】本発明にかかる光学部品の検査装置の第３出光部からの照明光を照射したときの撮像画像である。
【図７】本発明にかかる光学部品の検査装置の他の例である表面検査装置の配置状態を示す側面図である。
【図８】照明部の配置状態を示す平面図である。
【図９】図７に示す光学部品の検査装置のブロック図である。
【図１０】本発明にかかる光学部品の検査装置の異常検出の動作を示すフローチャートである。
【図１１】本発明にかかる光学部品の検査装置の異常検出の動作を示すフローチャートである。
【図１２】本発明にかかる光学部品の検査装置の他の例である表面検査装置の配置状態を示す斜視図である。
【図１３】図１２に示す光学部品の検査装置の概略ブロック図である。
【図１４】成形レンズの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明にかかる光学部品の検査装置について図面を参照して説明する。
【００２６】
（第１実施形態）
図１は本発明にかかる光学部品の検査装置の一例の概略配置図であり、図２は図１に示す光学部品の検査装置の配置状態を示す側面図であり、図３は照明部の配置状態を示す平面図である。光学部品の検査装置Ａは、携帯電話等に用いられるデジタルカメラモジュールのレンズの表面の傷、表面に付着している異物の有無を検査する表面検査装置である。図１、図２に示すように光学部品の検査装置Ａは、筐体１と、筐体１に取り付けられ光学部品の一例である被検レンズＬｓを保持する検査ステージ２と、被検レンズＬｓを照明する照明部３と、被検レンズＬｓの表面を撮影する撮像部である撮像部４とを備えている。
【００２７】
図１に示すように、筐体１は、直方体形状の基台１０と、基台１０に突設された支柱１１とを備えている。基台１０の底面には、不図示のレベル調整部が備えられており、基台１０（の上面）が水平又は水平に対して任意の角度となるように調整することができるようになっている。
【００２８】
支柱１１は、基台１０の上面から垂直に立設している。基台１０の上面を水平となるように調整することで、支柱１１は鉛直となる。支柱１１は、照明部３を保持する照明保持部１１１と、撮像部４を保持する撮像部保持部１１２とを備えている。照明保持部１１１及び撮像部保持部１１２は、支柱１１に沿って摺動可能に設けられている。また、照明保持部１１１及び撮像部保持部１１２は、照明保持部１１１及び撮像部保持部１１２が支柱１１に固定されるように構成された固定機構（不図示）を備えている。
【００２９】
これにより、照明部３及び撮像部４を被検レンズＬｓに対して接近又は離間させ、被検レンズＬｓの表面検査に最適な位置となるように調整することが可能である。そして、表面検査を行うときは、固定機構で固定することで、位置ずれを抑制し、精度よく表面検査を行うことができるようになっている。なお、本実施形態では、照明保持部１１１及び撮像部保持部１１２の両方が摺動可能としているが、両方固定であってもよいし、いずれか一方が固定であってもよい。
【００３０】
検査ステージ２は、検査対象物である被検レンズＬｓの表面の検査を行うとき、被検レンズＬｓを保持するための保持台である。検査ステージ２は支柱１１に固定されている。検査ステージ２は、基台１０と平行となるように支柱１１に固定されており、基台１０を水平となるように配置することで、検査ステージ２を水平とすることができる。検査ステージ２は図示を省略しているが、検査対象物（被検レンズＬｓ）を保持／解放できる保持部を備えている。
【００３１】
保持部としては、ばね等を用いて検査対象物の側部をつかんで保持するものであってもよいし、空気を吸引することで、検査対象物を検査ステージ２に保持するようになっていてもよい。また、検査対象物を直接保持するようになっていてもよいし、検査対象物が組み付けられた光学装置や治具に取り付けられた検査対象物を保持するようにしてもよい。
【００３２】
撮像部４は、照明部３からの照明光が照射されている被検レンズＬｓを撮影する、いわゆる、デジタルカメラであり、ＣＣＤやＣＭＯＳといった撮像素子を備えている。撮像部４は、光軸が被検レンズＬｓの光軸と一致するように配置される。
【００３３】
なお、本実施形態の光学部品の検査装置Ａでは、撮像部４の光軸が被検レンズＬｓの光軸と重なるように、撮像部４を配置しているが、これに限定されない。照明部３からの照明光が照射されている被検レンズＬｓの表面（被検査領域）の暗視野像を撮像できる位置であれば、撮像部４と被検レンズＬｓの位置は特にこだわらない。しかしながら、被検レンズＬｓとして曲率が大きな凸形状の表面を有している場合、撮像部４と被検レンズＬｓの光軸からずれたり、撮像部４の光軸とレンズ３の光軸とが所定の角度で交差するように撮像部４を配置したりすると被検レンズＬｓの表面で、撮影ができない部分ができる場合がある。そのため、撮像部４は光軸をレンズ３の光軸と一致するように配置することが好ましい。
【００３４】
図１に示すように、照明部３は、円環状の支持ステー３０と、支持ステー３０に取り付けられた３個の出光部（第１出光部３１ａ、第２出光部３１ｂ、第３出光部３１ｃ）を備えている。支持ステー３０は、照明保持部１１１に保持されている。
【００３５】
第１出光部３１ａ、第２出光部３１ｂ及び第３出光部３１ｃは、照明光の光源（例えば、ＬＥＤ素子）と、光源からの光を平行光又は略平行光となるように集光する集光部材（レンズ）を備えた構成を有している。なお、出光部の構成はこれに限定されるものではない。例えば、光源としてはＬＥＤ以外にも、放電によって発光するもの、レーザ発光素子等を利用してもよい。
【００３６】
照明部３は、撮像部４で被検レンズＬｓの表面の暗視野像を撮影するため被検レンズＬｓに対し撮像部４と同じ側から照明光を照査する構成となっている。図１に示すように、撮像部４は支持ステー３０の中央部分の貫通孔を透して検査対象物である被検レンズＬｓを撮影するようになっている。なお、光学部品の検査装置Ａでは、支持ステー３０の円管の中心が被検レンズＬｓ及び撮像部４の光軸と重なるように配置されている。
【００３７】
図３に示すように、第１出光部３１ａ、第２出光部３１ｂ及び第３出光部３１ｃは、支持ステー３０に周方向に等間隔に並んで配置されている。そして、第１出光部３１ａの光軸Ｃ２ａ、第２出光部３１ｂの光軸Ｃ２ｂ及び第３出光部３１ｃの光軸Ｃ２ｃは平面視において、被検レンズＬｓの中心で交差するようになっている。
【００３８】
また、第１出光部３１ａ、第２出光部３１ｂ及び第３出光部３１ｃは、出光面がレンズに向かうように支持ステー３０に配置されている。３個の出光部３１ａ、３１ｂ及び３１ｃの被検レンズＬｓに対する角度について図２を参照して説明する。以下、３個の出光部３１ａ、３１ｂ及び３１ｃは同じ角度で支持ステー３０に取り付けられており、代表して、第２出光部３１ｂで説明する。
【００３９】
図２に示すように、第２出光部３１ｂは出光面が下方に向くように支持ステー３０に取り付けられている。被検レンズＬｓは凸面を有するレンズであり、第２出光部３１ｂは光軸Ｃ２ｂが凸面の頂点部の接線Ｌ１に対する角度が角度θとなるように支持ステー３０の下部に支持されている。また、第２出光部３１ｂの照明光の照射領域が、被検レンズＬｓの表面の全体（被検査領域全体）と一致するように照射されている。なお、第２出光部３１ｂから出射される照射光が被検査領域全体を照射できるように、照射領域を被検査領域全体よりも大きくなるように調整してもよい。
【００４０】
また、第２出光部３１ｂは、光軸Ｃ２ｂと接線Ｌ１との角度θを変更できるように、回転可能に支持ステー３０に支持されている。第２出光部３１ｂは角度θを変更できるように、回動可能なように取り付けられている。これにより、第２出光部３１ｂからの照明光を正確に被検レンズＬｓに照射するように調整可能である。また、支持ステー３０を検査ステージ２に対して接近又は離間した場合でも被検レンズＬｓに照明光を正確に照射するように調整可能である。
【００４１】
また、第２出光部３１ｂは、支持ステー３０に沿うように（本実施形態において水平方向に）回動可能に支持されている。このように第２出光部３１ｂを水平方向に回動可能とすることで、照射光の照射領域を検査ステージ２の上面に沿った方向に微調整を行うことができ、照射光を検査対象物の被検査領域に正確に照射することが可能である。
【００４２】
そして、照射光が正確に検査対象物に照射されるように第２出光部３１ｂの角度の調整が行われると、第２出光部３１ｂは支持ステー３０に動かないようにしっかりと固定される。なお、同様の動作を、第１出光部３１ａ及び第３出光部３１ｃでも行うことで、各出光部から出射される照射光が検査対象物である被検レンズＬｓに正確に照射される。なお、本実施形態にかかる光学部品の検査装置Ａでは、３個の出光部を備えているものを例に説明しているが、これに限定されるものではない。また、周方向に等間隔に並べているものとしているが、これに限定されるものではない。３個の出光部３１ａ、３１ｂ及び３１ｃの位置の詳細については、後述する。
【００４３】
次に、本発明にかかる光学部品の検査装置Ａの概略構成について図面を参照して説明する。図４は本発明にかかる表面検出装置の一例のブロック図である。図４に示すように、光学部品の検査装置Ａは、上述したような、照明部３及び撮像部４に加えて、出射位置変更部５と、異常検出部６と制御部７と、記憶部８とを備えている。
【００４４】
図４に示すように、出射位置変更部５は、制御部７と、第１出光部３１ａ、第２出光部３１ｂ及び第３出光部３１ｃとに接続されている。出射位置変更部５は、制御部７からの指示に従って、第１出光部３１ａ、第２出光部３１ｂ、第３出光部３１ｃのいずれか１つ又は複数が照明光を出射するように、第１出光部３１ａ、第２出光部３１ｂ、第３出光部３１ｃを駆動する。出射位置変更部５は、第１出光部３１ａ、第２出光部３１ｂ、第３出光部３１ｃの駆動として、照射に必要な電力を供給する。なお、出射位置変更部５が電源回路を備えていてもよいし、別途備えられた電源回路からの電力を供給する出光部を切り替えるスイッチング回路であってもよい。
【００４５】
撮像部４は制御部７と接続されており、制御部７からの指示に従って、被検レンズＬｓの表面の撮影を行う。撮像部４は撮影した撮像画像を異常検出部６に送る。異常検出部６は、制御部７と接続されており、制御部７からの指示に従って撮像部４から取得した撮像画像から被検レンズＬｓの表面の欠陥、異物等の異常を検出する。撮像部４は撮像画像として暗視野像を利用しており、撮像画像において被検レンズＬｓの表面の欠陥、異物等の異常の部分で、照明光が散乱し、明るく表示される。異常検出部６は撮像画像から散乱光の像を検出することで異常の有無、形状、大きさ等を検出する。
【００４６】
被検レンズＬｓのように曲率を有する表面を撮像部４で撮影する場合、表面に入射する照明光の角度が曲面によって異なる。そのため、撮像画像では、被検レンズＬｓの表面で反射した表面反射光及び被検レンズＬｓの内部での反射光が撮像部４に向かい、反射光の映り込みや内部反射漏れ光の映り込みが発生する。暗視野像において映り込みは明るく表示され、映り込み部分における異常を検出することができない。そこで、異常検出部６は取得した撮像画像から映り込み部分を削除し抽出画像を生成する画像抽出部６１と、抽出画像から異常を検出する検出部６２とを備えている。
【００４７】
画像抽出部６１及び検出部６２は、撮像部４から取得した撮像画像に基づいて映り込み像の抽出、異常の検出を行うものであり、画像処理回路（機能）を備えた構成を有している。画像抽出部６１が表面反射光及び内部反射漏れ光の映り込み像を除いた抽出画像を生成し、その抽出画像に基づいて検出部６２が異常を検出すると、検出部６２が異常を検出したことを制御部７に送信する。
【００４８】
記憶部８は、制御部７と接続されている。記憶部８は、ＲＯＭ、ＲＡＭ、フラッシュメモリ等の半導体メモリや、ハードディスク、光ディスク等の物理記憶装置を含む構成となっている。記憶部８は、制御部７で処理された各種データ等のデータを記憶している。
【００４９】
制御部７は、光学部品の検査装置Ａの制御を行う回路である。制御部７は、ＭＰＵやＣＰＵ等の演算処理部を備えた回路であり、複数の処理を行うことが可能な構成となっている。また、必要に応じ、処理プログラムを動作させて処理を行う構成を有していてもよい。
【００５０】
出射位置変更部５、異常検出部６及び制御部７はそれぞれ電子回路を含む構成となっており、一部又は全部が共通の回路を含む構成を有していてもよい。すなわち、出射位置変更部５、異常検出部６及び制御部７がワンチップで構成されていてもよいし、一部がワンチップで構成されていてもよい。さらには、これらの機能全てを処理プログラムの動作によって処理する構成であってもよい。
【００５１】
次に、被検レンズＬｓの表面の欠陥、異物等の異常の検出について図面を参照して説明する。図５は本発明にかかる表面検査装置の異常検出の動作を示すフローチャートである。図６Ａ〜図６Ｃは図１に示す光学部品の検査装置の３個の出光部のそれぞれからの照明光を照射したときの撮像画像である。なお、図６Ａ〜図６Ｃは、表面反射光の映り込み及び内部反射漏れ光の映り込み像が発生する位置を示す模式図である。図６Ａ〜図６Ｃは、説明の便宜上、被検レンズＬｓの光軸を挟んで表面反射光の映り込みと内部反射漏れ光の映り込みが発生している図としているが、実際の撮像画像とは異なる。また、図６Ａ〜図６Ｃにおいて、暗視野像の部分にはハッチングを掛け、映り込みの部分は白抜きとしている。
【００５２】
図６Ａは、第１出光部３１ａから照明光を照射して被検レンズＬｓの表面を撮影した状態を示す概略図である。被検レンズＬｓの表面検査を行う表面は、曲率を有する凸面状であるため、表面での反射光が映り込みとして撮像部４で撮影される。図６Ａに示すように、被検レンズＬｓに対して平面視において、上側から第１出光部３１ａからの照明光が照射されると、照明光が入射する部分に表面反射による映り込みが発生する（図６Ａで白抜きの部分）。
【００５３】
また、被検レンズＬｓのように光を透過する光学部品の場合、検査対象面と反対側の面や側面で光が反射する、内部反射が発生する。内部反射による反射光は被検レンズＬｓの照明光の入射と中心を挟んで反対側に現れる（図６Ａで白抜きの部分）。図６Ａに示しているように、表面反射による映り込みは狭い領域に現れ、内部反射による映り込みは広い領域で発生する。また、図６Ｂ、図６Ｃに示すように、被検レンズＬｓに対する出光部の照明光の出射位置によって、映り込みの像の発生位置及び大きさが変化する。
【００５４】
このような反射光の映り込みによる異常の検出精度の低下を抑制するため、本発明にかかる光学部品の検査装置Ａでは、次のような手順で表面検査を行っている。なお、光学部品の検査装置Ａへの被検レンズＬｓの挿着、照明部３や撮像部４の位置合わせはすでに完了しているものとする。
【００５５】
制御部７は被検レンズＬｓに照明光を照射する出光部を決定し（ここでは、第１出光部３１ａとする）、決定した出光部の情報を出射位置変更部５に送信する（ステップＳ１０１）。出射位置変更部５は第１出光部３１ａを作動させ第１出光部３１ａから照明光を被検レンズＬｓに対して出射する（ステップＳ１０２）。なお、出射位置変更部５は上述したように、電力を供給する出光部を選択し、照明光を出射する出光部を電気的に切り替える。
【００５６】
撮像部４は第１出光部３１ａから照明光が照射された被検レンズＬｓの被検査領域である表面を撮影する（ステップＳ１０３）。撮像部４は制御部７からの指示に従って撮影を行う物である。なお、制御部７が撮像部４に撮影の指示を送る場合、出射位置変更部５に出光部の情報を送信した直後であってもよいし、一定時間経過した後であってもよい。或いは、出射位置変更部５から出光部を動作した旨の内容の情報を取得するようにしておき、その情報を取得した後、撮像部４に撮影の指示を行うようにしてもよい。
【００５７】
撮像部４はデジタルカメラであり撮像画像のデータを異常検出部６に送る。異常検出部６の画像抽出部６１が撮像画像のデータを取得すると、撮像画像の中から表面反射光及び内部反射光の映り込み（図６Ａの白抜き部分）を削除した抽出画像（図６Ａの網掛け部分）を抽出する（ステップＳ１０４）。なお、制御部７が、異常検出部６に画像撮影時に動作していた出光部の情報を受け渡してもよい。出光部の情報を入手していることで、画像抽出部６１は撮像画像のおよそどのあたりに映り込みが発生しているか予測を立てることができ、映り込みを削除した抽出画像を素早く生成することができる。
【００５８】
映り込みを削除した画像のデータは検出部６２に送られ、検出部６２で傷等の欠陥や異物等の異常の検出が行われる（ステップＳ１０５）。検出部６２に送られた画像は暗視野像であり、欠陥や異物等があると暗視野像の中に浮き上がる像が発生する。検出部６２はその浮き上がる像を異常として検出し、異常検出部６は異常を検出したとき、制御部７に異常があった旨の情報を送信する。
【００５９】
制御部７は異常検出部６から異常が検出された旨の情報があったか否か確認する（ステップＳ１０６）。異常が検出されなかった場合（ステップＳ１０６でＮｏの場合）、制御部７は全ての出光部を使用して異常の検出を行ったか否か確認する（ステップＳ１０９）。全ての出光部を使用して異常の検出を行っていない場合（ステップＳ１０９でＮｏの場合）、制御部７は次の出光部（ここでは、第２出光部３１ｂ）を選択し（ステップＳ１１０）、選択された出光部（ここでは、第２出光部３１ｂ）の情報を出射位置変更部５に送信する（ステップＳ１０２に戻る）。
【００６０】
全ての出光部を使用して異常の検出を行った場合（ステップＳ１０９でＹｅｓの場合）、制御部７は被検レンズＬｓの表面には異常がないと判断する（ステップＳ１１１）。
【００６１】
また、ステップＳ１０６で異常が検出されたとの情報を受けたことを制御部７が確認した場合（ステップＳ１０６でＹｅｓの場合）、制御部７はその異常の形状、大きさ等の情報を異常検出部６から取得し、異常の情報からその異常が製品として許容できるか否か判断する（ステップＳ１０７）。被検レンズＬｓの場合、欠陥や異物の付着があっても、光学上問題がない場合がある。例えば、被検レンズＬｓの検査対象面の外縁部分に形成された微小な欠陥や異物があっても、被検レンズＬｓの光学性能が損なわれにくい。このように、異常が光学性能に影響を及ぼさない（許容範囲である）と判断すると（ステップＳ１０７でＹｅｓの場合）、制御部７は全ての出光部を利用したか否かの判断を行う（ステップＳ１０９）。以下の動作は、上述した通りである。
【００６２】
また、検出された異常が光学性能に影響を及ぼす（許容範囲を超えている）場合（ステップＳ１０７の場合）、制御部７は表面検査中の被検レンズＬｓに異常があると判断する（ステップＳ１０８）。なお、制御部７は異常が検出されると、音声、映像、光等の方法で、被検レンズＬｓで異常を検出したことを知らせるようになっていてもよいし、自動的に被検レンズＬｓを異常有と異常なしとに割り振るようになっていてもよい。
【００６３】
上述のような手順を踏むことで、光学部品の検査装置Ａは、３個備えられている出光部から出光する出光部を切り替えつつ画像を撮影し、その画像から異常の検査を行うことができる。図６Ａ〜図６Ｃに示すように、出光部を切り替えることで表面反射光の映り込み及び内部反射漏れ光の映り込みの位置が切り替わる。このように、映り込みの位置を切り替え、映り込みの部分を削除した抽出画像から異常の検出を行うことで、被検レンズＬｓの表面全体における異常を検査することが可能である。なお、出光部の個数及び出光部の位置は、出光部を切り替えて検査を行うとき、常に表面反射光の映り込み及び内部反射漏れ光の映り込みとなる部分が発生しないように決められている。
【００６４】
上述した光学部品の検査装置Ａにおいて照明部３は、支持ステー３０の中心が被検レンズＬｓの光軸Ｃ１と重なるように配置している、すなわち、平面視において、支持ステー３０と被検レンズＬｓとが中心が一致するように配置されている。しかしながら、これに限定されるものではなく、平面視で中心をずらして配置してもよい。支持ステー３０と被検レンズＬｓとの平面視における中心をずらすことで、出光部を切り替えて照明光を照射したときの表面反射光及び内部反射漏れ光の映り込みを、回転しても重ならないようにすることができる。表面処理装置Ａはこのことを利用して、表面全体の異常を正確に検査することも可能である。このとき、表面処理装置Ａは支持ステー３０又は検査ステージ２のいずれかを、平行を維持した状態で面に沿う方向に移動可能となっていてもよい。
【００６５】
また、本実施形態の表面処理装置Ａでは、３個の出光部がすべて同じ構成であるとしているが、これに限定されるものではない。例えば、異なる波長（色）の光を出射する構成としてもよいし、輝度が異なる構成としてもよいし、照射領域が異なる構成としてもよい。また、光源に異なる素子（例えば、ＬＥＤ素子、レーザ発光素子、放電ランプ）を利用するようにしてもよい。
【００６６】
このように、複数の出光部を異なる角度、方向から検査対象物（ここでは、被検レンズＬｓ）に照明光を照射し、検査対象物を撮像した撮像部から映り込みを取り除いた画像から異物の検査を行うため、映り込みの影響を受けることなく、検査対象物の表面の検査を行うことが可能である。
【００６７】
（第２実施形態）
本発明にかかる光学部品の検査装置の他の例について図面を参照して説明する。図７は本発明にかかる光学部品の検査装置の他の例である表面検査装置の配置状態を示す側面図であり、図８は照明部の配置状態を示す平面図であり、図９は図７に示す光学部品の検査装置のブロック図である。図７〜図９に示す光学部品の検査装置Ｂは、照明部３ｂ、照明位置変更部５ｂが異なる以外は、光学部品の検査装置Ａと同じである。そのため、光学部品の検査装置Ｂでは、光学部品の検査装置Ａと実質上同じ部分に同じ符号を付すとともに、同じ部分の詳細な説明は省略する。
【００６８】
図７、図８に示すように、光学部品の検査装置Ｂの照明部３ｂは、１個の出光部３１と、出光部３１を回転可能に支持する回転駆動部３２とを備えている。出光部３１は、表面検査部Ａの３個の出光部のそれぞれと同じ構成を有している。
【００６９】
回転駆動部３２は、平面視において出光部３１を被検レンズＬｓの周囲を回転させるための駆動部である。回転駆動部３２は、円環状の支持レール３２０と、支持レール３２０の下面に形成された摺動溝３２１と、摺動溝３２１に摺動可能に係合される回動部３２２とを備えている。支持レール３２０は、平面視において被検レンズＬｓと中心が重なるように配置されているとともに、検査ステージ２と平行となっている。摺動溝３２１は支持レール３２０の下面に円環を一周するように形成されており、一周連結している。
【００７０】
回動部３２２は、摺動溝３２１と係合可能な凸部を備えている。凸部を摺動溝３２１に係合することで、支持レール３２０からの脱落が抑制される。そして、回動部３２２は摺動溝３２１に沿って摺動することで、平面視において被検レンズＬｓの周囲を回転する。回動部３２２は、出光面が被検レンズＬｓと対向するように出光部３１を保持している。そして、平面視において、支持レール３２０の中央部分に被検レンズＬｓが配置されているため、回動部３２２が回転し、位置が変更されても、出光部３１の出光面は被検レンズＬｓと対向する。なお、回動部３２２は、照明光の光軸を上下（鉛直）方向及び左右（水平）方向に回動するように、出光部３１を回動する回動機構を備えていてもよい。これにより、回動部３２２の円形の軌跡の中心と被検レンズＬｓの中心とが平面視で正確に重ならない場合でも、被検レンズＬｓの表面に照明光を正確に照射することができる。
【００７１】
また、図９に示すように本実施形態に示す光学部品の検査装置Ｂの照明部３ｂは、駆動部３２３を備えている。駆動部３２３は回動部３２２に回転駆動力を作用させる駆動機構である。駆動部３２３としては、例えば、支持レール３２０と回動部３２２との間に磁力を発生させ、磁力によって駆動するものを挙げることができるが、これに限定されるものではなく、回動部３２２の移動量（例えば、移動時の中心角度）を調整することが可能な構成のものを広く採用することが可能である。
【００７２】
駆動部３２３は、出射位置変更部５ｂからの指示に従って、回動部３２１の移動量を調整している。すなわち、出射位置変更部５ｂは、駆動部３２３に回動部３２１の移動量の情報を駆動部３２３に送っており、駆動部３２３は、その情報に基づいて、回動部３２１を移動させる。
【００７３】
また、図９に示すように、画像抽出部６１が記憶部８と接続しており、画像抽出部６１で撮像画像から表面反射光の映り込み及び内部反射漏れ光の映り込みを削除した画像データを記憶部８に送信し、記憶部８に記憶する。なお、記憶部８に記憶された画像データは制御部７によって、出光部３１の次の位置の決定及び被検レンズＬｓの被検査領域全体の異常の検査が行われた否かの判断に利用される。
【００７４】
次に本実施形態にかかる表面検査装置の動作について図面を参照して説明する。図１０は本発明にかかる光学部品の検査装置の異常検出の動作を示すフローチャートである。図１０は、図７に示す光学部品の検査装置Ｂを用いたときの異常検出の動作を示している。図１０に示すフローチャートは、図５のフローチャートのステップＳ１０１、Ｓ１０９、Ｓ１１０に変えて、ステップＳ２０１、Ｓ２０３、Ｓ２０４とした構成となっており、また、ステップＳ１０４とステップＳ１０５の間に新たなステップＳ２０２を備えている。本実施形態の異常検出の説明では、図５のフローチャートと同じ部分の詳細な説明は省略する。
【００７５】
制御部７は、被検レンズＬｓの位置を確認し、照明光が正確に照射されるように出光部３１の位置を決定し、駆動部３２３を利用し回動部３２２を移動させて出光部３１を決められた位置に移動する（ステップＳ２０１）。なお、決められた位置を出光部３１の初期位置とし、検査対象物である被検レンズＬｓを取り換えるとき、出射位置変更部５ｂが出光部３１を初期位置に移動するようにしていてもよい。このようすることで、出光部３１の位置の決定の工程を省略することも可能である。
【００７６】
その後、照明光の出射を行い（ステップＳ１０２）、撮影し（ステップＳ１０３）、表面反射光及び内部反射漏れ光の映り込みを削除する（ステップＳ１０４）。画像抽出部６１は映り込みを削除した画像データを記憶部８に送信し、記憶部８は画像データを記憶する（ステップＳ２０２）。また、検出部６２で映り込みを削除した画像データから異常の検出を行い（ステップＳ１０５）、異常があったか否か判断する（ステップＳ１０６）。異常がなかった場合（ステップＳ１０６でＮｏの場合）、制御部７は記憶部８に記憶されている映り込みを削除した画像から、対象面（ここでは被検レンズＬｓの表面）の全体の異常を検査したかを確認する（ステップＳ２０３）。
【００７７】
対象面全体を検査していないと判断した場合（ステップＳ２０３でＮｏの場合）、制御部７は出光部３１の変更位置を決定し、出射位置変更部５ｂに変更後の位置の情報を送信する。そして、出射位置変更部５ｂは駆動部３２３を駆動させ、回動部３２２を移動して出光部３１の照明光を出射する位置を変更する（ステップＳ２０４）。出光部３１の照明光を出射する位置を変更した後、再度照明光の出射を行う（ステップＳ１０２）。なお、ここでは、出光部３１から出射される照明光を停止する構成としているが、照明光を照射した状態で回動部３２２（出光部３１）を移動させてもよい。このように、照射状態で回転することで、照射光が被検レンズＬｓの表面に正確に照射されるようにリアルタイムで調整することが可能である。
【００７８】
なお、制御部７は、記憶部８に記憶している映り込みを削除した画像に基づいて、削除されている部分が暗視野領域となるように、出光部３１の移動位置を決定している。
【００７９】
異常を検出し（ステップＳ１０６）、異常が許容範囲内である場合（ステップＳ１０７でＹｅｓの場合）、対象面全体を検査したか否か判断する（ステップＳ２０３）。対象面全体を検査したことを確認した場合（ステップＳ２０３でＹｅｓの場合）、制御部７は被検レンズＬｓの表面に異常がないと判断する（ステップＳ１１１）。
【００８０】
以上示したように、光学部品の検査装置Ｂは、１個の出光部３１を備え、その出光部３１を平面視において、検査対象物である被検レンズＬｓ周りに回転させることで、被検レンズＬｓに対して、異なる角度から照明光を照射した状態で表面検査を行うことが可能となっている。これにより、出光部の数を減らすことができる。また、回動部３２２（出光部３１）の移動量としては、上述のように画像データに基づいて決定してもよいし、小さい移動量を１単位としておき、その移動単位を決定して、移動量とするようにしてもよい。このように、移動量を調整することで、照明光の出射位置を最適な位置に移動させることができる。また、制御の簡略化のため、駆動部３２３の１回の移動量を予め決めておき、出射位置変更部５ｂから移動の指示をすることで、回動部３２２を決められた移動量だけ移動するようにしてもよい。
【００８１】
また、本実施形態では、円環状のレールに沿って回動部３２２が回動する構成としているが、これに限定されるものではない。例えば、円環状の部材に出光部３１を固定しておき、円環状の部材自体を回転する構成としてもよい。また、本実施形態の光学部品の検査装置Ｂは、１個の出光部３１を回転させる構成としているが、２個或いはそれ以上の出光部３１を回転するようにしてもよい。
【００８２】
なお、本実施形態では、出光部３１を移動させた後、停止させ静止状態となったときに被検レンズＬｓの撮影を行っている。しかしながら、これに限定されるものではなく、出光部３１を一定の速度で移動させ、所定の位置（制御部７が決めた位置）に出光部３１が到達したとき、撮像部４で撮影するようにしてもよい。また、一定の速度で移動させるとともに、動画を撮影し、その動画のデータに基づいて、リアルタイムに異常を検出するような構成であってもよい。
【００８３】
（変形例）
本実施形態の光学部品の検査装置Ｂでは、照明部３ｂを駆動して出光部３１を平面視において被検レンズＬｓ周りに回転するようにしている。出光部３１から照射される照明光の被検レンズＬｓに対する照射方向を変更する構成であればよく、被検レンズＬｓを回転するような構成としてもよい。また、照明部３ｂ及び被検レンズＬｓの両方を回転する構成であってもよい。
【００８４】
（第３実施形態）
本発明にかかる光学部品の検査装置のさらに他の例について図面を参照して説明する。図１１は本発明にかかる光学部品の検査装置の異常検出の動作を示すフローチャートである。なお、本実施形態では、異常検出を異なる工程で行うものであり、表面検査装置の構成は、光学部品の検査装置Ｂと同じである。そのため、本実施形態の説明では、図７〜図９を参照するとともに、同じ部分の名前、符号を利用して説明する。また、図１１に示すフローチャートは、図１０に示すフローチャートのステップＳ２０２と、ステップＳ１０５の間にステップＳ３０１、Ｓ３０２が配置されているとともに、ステップＳ２０３が省略されている構成となっている。そのため、新たに変更されたステップについて主に説明し、その他のステップについては、必要に応じて説明するものとする。
【００８５】
本実施形態に示す光学部品の検査装置Ｂでは、出光部３１の照明光を出射する位置を変更し、被検レンズＬｓの写真を撮影した画像を記憶部８に記憶しておき、合成した画像に基づいて異常の検出を行うようにしている。
【００８６】
被検レンズＬｓに対して照明光を照射し、画像を撮像するとともに、撮像画像から表面反射光及び内部反射漏れ光の映り込みを削除した画像を記憶部８で記憶する。制御部７は、画像処理が可能な構成となっており、記憶部８に記憶されている映り込みを削除した画像を合成する（ステップＳ３０１）。なお、画像の撮影が１回目の場合、画像の合成は行わず、画像合成を行うための基準画像データを生成する。
【００８７】
制御部７は、合成された画像が被検査領域全体を含んでいるか否か判断する（ステップＳ３０２）。合成された画像が被検査領域全体を含んでいない場合（ステップＳ３０２でＮｏの場合）、制御部７は出光部３１の変更位置を決定し、出射位置変更部５ｂに変更後の位置の情報を送信する。そして、出射位置変更部５ｂは駆動部３２３を駆動させ、回動部３２２を移動して出光部３１の照明光を出射する位置を変更する（ステップＳ２０４）。その後の動作は、上述のとおりである。
【００８８】
一方、合成された画像が被検査領域全体を含んでいる場合（ステップＳ３０２でＹｅｓの場合）、制御部７は合成された画像を異常検出部６の検出部６２に送り、検出部６２は異常の検出を行う（ステップＳ１０５）。異常を検出したか否か判断し（ステップＳ１０６）、異常を検出した場合（ステップＳ１０６でＹｅｓの場合）、制御部７は異常が許容範囲であるか判断する（ステップＳ１０７）。異常が発見されなかった場合（ステップＳ１０６でＮｏの場合）又は異常が許容範囲内である場合（ステップＳ１０７でＹｅｓの場合）、制御部７は異常なしと判断する（ステップＳ１１１）。また、異常が許容範囲を超
えている場合（ステップＳ１０７でＮｏの場合）、制御部７は異常があると判断する（ステップＳ１０８）。
【００８９】
このような構成とすることで、異常を検出する面が確実に被検査領域の全面とすることが可能であり、異常を見逃すのを抑制することが可能である。また、画像が重なる部分を減らすように、照明光の出射位置（出光部３１の位置）を調整することで、撮影回数を減らすことができ、それだけ、検査に要する手間と時間を減らすことが可能である。さらに、異常の検出が１回であり、そのことからも、検査工程全体の手間と時間を減らすことが可能である。なお、本実施形態では、１個の出光部３１を回転させる構成の光学部品の検査装置Ｂを利用しているが、複数個の出光部を備え、照明光を出射する出光部を切り替える構成の光学部品の検査装置Ａを用いても同様の構成とすることが可能である。
【００９０】
（第４実施形態）
本発明にかかる光学部品の検査装置のさらに他の例について図面を参照して説明する。図１２は本発明にかかる光学部品の検査装置の他の例である表面検査装置の配置状態を示す斜視図であり、図１３は図１２に示す光学部品の検査装置の概略ブロック図である。図１２、図１３に示す光学部品の検査装置Ｃは、偏光調整部９を備えている以外は光学部品の検査装置Ａと同じである。そのため、光学部品の検査装置Ｃの説明では、実質上光学部品の検査装置Ａと同じ部分には同じ符号を付すとともに、同じ部分の詳細な説明は省略する。
【００９１】
被検レンズＬｓの形状や性質等によって、異常ではないが他の部分よりも浮き上がった像として撮影される部分（特異部分とする）がある場合がある。このような特異部分があると、異常検出部６が特異部分を異常と判断し、正確な判断が難しくなる場合がある。
【００９２】
そこで、図１２、図１３に示す光学部品の検査装置Ｃは偏光調整部９を備えている。偏光調整部９は、撮像部４の撮影部の前面に配置される偏光素子９１と、偏光素子９１の偏光方向を調整する偏光素子駆動部９２とを備えている。なお、本実施形態の光学部品の検査装置Ｃにおいて、第１出光部３１ａ、第２出光部３１ｂ及び第３出光部３１ｃから出射される光は、特異部分での反射光が所定の偏光となるような光である。
【００９３】
偏光素子９１は、所定の偏光方向の光を透過する（換言すると、所定の偏光方向の光を遮断する）素子である。このような素子としては、偏光板、偏光板と液晶の組み合わせたもの等を挙げることができるが、これに限定されるものではない。偏光素子駆動部９２は偏光素子９１を透過する光の偏光方向を調整するためのものである。偏光素子駆動部９２は、偏光素子９１として偏光板のみを用いている場合、偏光素子９１自体を回転するような回転機構を備えているものを挙げることができる。また、液晶を利用した構成の場合、液晶に印加する電圧を調整して、透過する光の偏光方向を調整する構成を有しているものを挙げることができる。偏光素子９１を透過する光の偏光方向を調整できるものを広く採用することが可能である。
【００９４】
光学部品の検査装置Ｃでは、偏光素子９１で特異部分で反射された光と同じ偏光方向の光を遮断し、撮像部４に入射するのを抑制している。これにより、特定部分（すなわち、所定の反射光）の映り込みを映らないようにすることができる。
【００９５】
このことから、偏光調整部９を用いて撮像部４に透過する光の偏光方向を調整（偏光）することで、被検レンズＬｓの特異部分で反射した光を異常としてご検出するのを抑制することが可能である
【００９６】
このような光学部品の検査装置Ｃは、図１４に示す成形被検レンズＬｓ２のような光学部品の表面検査を行うとき、大きな効果を奏する。成形被検レンズＬｓ２とは、金型に樹脂を流入させ、降下することで成形するものである。そして、図１４に示すように、成形被検レンズＬｓ２は、平面視において、正円形状ではなく、一部が平面状の樹脂を注入するための注入部が形成される。そして、この注入部で反射した散乱光は、表面での反射光と偏光方向が異なる。このように、偏光調整部９で注入部で反射した散乱光の透過を抑制することで、注入部での散乱光の影響を撮像画像から省くことが可能である。
【００９７】
第１出光部３１ａ、第２出光部３１ｂ及び第３出光部３１ｃから出射される照明光の偏光方向は予め決められているので、制御部７は、照明位置変更部５に照明光を出射する出光部の情報を送信するとともに、同様の情報を偏光素子駆動部９２にも送る。偏光素子駆動部９２は、出光部ごとに決められている偏光方向の光を遮断するように偏光素子９１を透過する偏光方向を調整する。
【００９８】
このように、特異部分（さらにいうと、被検査領域以外の部分）で反射した散乱光が撮像部４に入射するのを抑制することで、表面検査の精度を高めることができる。
【００９９】
（その他の実施形態）
上述しているように、被検査対象物（被検レンズＬｓ）の表面が曲率を有する凸面形状の場合、撮像部４で撮影した像には照明光の表面反射光及び内部反射漏れ光の像が含まれる。この像を小さくすることで、少ない撮影回数で表面全体を検査することが可能である。図２に示すように、被検レンズＬｓの表面の光軸Ｃ１と交差する部分の接線Ｌ１と出光部３１（３１ｂ）の光軸Ｃ２とがなす角を角度θとすると、角度θによって映り込みの大きさが変化する。被検レンズＬｓの表面の曲率にもよるが、角度θは、接線を挟んで被検レンズＬｓ側及び反対側に１５°の範囲内に収まっていることが好ましい。
【０１００】
上述した各実施形態では、凸形状の曲率面を表面とする被検レンズＬｓを被検査対象物としているが、これに限定されるものではなく、凹形状の曲率面を表面とするレンズであってもよい。なお、曲率面は球面であってもよいし非球面であってもよい。さらには、レンズに限定されるものではなく、暗視野像で表面を撮影するとき、表面反射光及び（又は）内部反射漏れ光の映り込みが発生するような光学部品を被検査対象物とすることも可能である。本発明にかかる光学部品の検査装置では、映り込みが発生するような光学部品でも傷、歪み等の欠陥や塵、埃等の異物の付着といった異常を正確に且つ確実に検出することが可能である。
【０１０１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこの内容に限定されるものではない。また本発明の実施形態は、発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の改変を加えることが可能である。
【符号の説明】
【０１０２】
Ａ、Ｂ、Ｃ  光学部品の検査装置
１  筐体
１０  基台
１１  支柱
１１１  照明保持部
１１２  撮像部保持部
２  検査ステージ
３、３ｂ  照明部
３１  出光部
３１ａ  第１出光部
３１ｂ  第２出光部
３１ｃ  第３出光部
３２  回転駆動部
３２０  支持レール
３２１  摺動溝
３２２  回転部
４  撮像部
５  出射位置変更部
６  異常検出部
６１  画像抽出部
６２  検出部
７  制御部
８  記憶部
９  偏光調整部
９１  偏光素子
９２  偏光素子駆動部
【図１】
2015227793.tif 000003
【図２】
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【図３】
2015227793.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
2015227793.tif 000009
【図６Ｃ】
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【図７】
2015227793.tif 000011
【図８】
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【図９】
2015227793.tif 000013
【図１０】
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【図１１】
2015227793.tif 000015
【図１２】
2015227793.tif 000016
【図１３】
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【図１４】
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