(57)【要約】【課題】高精細化が可能な固体撮像装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】実施形態によれば、撮像基板部と、レンズ部と、カラーフィルタ部と、を含む固体撮像装置が提供される。撮像基板部は、複数の画素を含む第１領域と、複数の画素を含む第２領域と、を含む主面を有する。レンズ部は、主面に対して垂直な第１方向において主面と離間する。レンズ部は、主面に投影したときに第１領域の複数の画素と重なる第１レンズと、主面に投影したときに第２領域の複数の画素と重なる第２レンズと、を含む。カラーフィルタ部は、撮像基板部とレンズ部との間に設けられ撮像基板部と離間する。カラーフィルタ部は、第１領域と第１レンズとの間に設けられ第１色を有する第１カラーフィルタと、第２領域と第２レンズとの間に設けられ第１色とは異なる第２色を有する第２カラーフィルタと、を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素を含む第１領域と、複数の画素を含む第２領域と、を含む主面を有する撮像基板部と、
前記主面に対して垂直な第１方向において前記主面と離間するレンズ部であって、前記主面に投影したときに前記第１領域の前記複数の画素と重なる第１レンズと、前記主面に投影したときに前記第２領域の前記複数の画素と重なる第２レンズと、を含むレンズ部と、
前記撮像基板部とレンズ部との間に設けられ前記撮像基板部と離間したカラーフィルタ部であって、前記第１領域と前記第１レンズとの間に設けられ第１色を有する第１カラーフィルタと、前記第２領域と前記第２レンズとの間に設けられ前記第１色とは異なる第２色を有する第２カラーフィルタと、を含むカラーフィルタ部と、
を備えた固体撮像装置。
【請求項２】
前記撮像基板部と前記カラーフィルタ部との間に設けられた光透過性の樹脂層をさらに備えた請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記撮像基板部と前記カラーフィルタ部との間に設けられた複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズ部をさらに備え、
前記複数のマイクロレンズのそれぞれは、前記複数の画素のそれぞれと前記カラーフィルタ部との間に配置される請求項１または２に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記撮像基板部と前記カラーフィルタ部との間に設けられた複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズ部と、
前記マイクロレンズ部と前記カラーフィルタ部との間に設けられた光透過性の樹脂層と、
をさらに備え、
前記複数のマイクロレンズのそれぞれは、前記複数の画素のそれぞれと前記樹脂層との間に配置され、
前記複数のマイクロレンズの屈折率は、前記樹脂層の屈折率よりも高い請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記複数の画素のそれぞれの、前記主面に対して平行な第２方向に沿った長さは、前記第１レンズの前記第２方向に沿った長さの６倍以上１００倍以下である請求項１〜４のいずれか１つに記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記撮像基板部と前記レンズ部との間の、前記第１方向に沿った距離は、前記第１レンズの、前記主面に対して平行な第２方向に沿った距離の０．５倍以上５倍以下である請求項１〜５のいずれか１つに記載の固体撮像素子。
【請求項７】
前記複数の画素の、前記主面に対して平行な第２方向に沿ったピッチは、前記複数のマイクロレンズのそれぞれの前記第２方向に沿った長さの３倍以上５０倍以下である請求項１〜６のいずれか１つに記載の固体撮像装置。
【請求項８】
前記第１レンズは、前記カラーフィルタ部に対向する第１面と、前記第１面とは反対側の第２面と、を有し、
前記第１面は、前記主面に対して平行であり、
前記第２面は、曲面の部分を有する請求項１〜７のいずれか１つに記載の固体撮像装置。
【請求項９】
前記第１領域に含まれる前記複数の画素から得られた第１信号に含まれる第１輝度情報と、前記第２領域に含まれる前記複数の画素から得られた第２信号に含まれる第２輝度情報と、に基づいて像データを生成する第１処理と、
前記生成した像データに色情報を付与する第２処理と、
含む処理を実施する信号処理部をさらに備えた請求項１〜８のいずれか１つに記載の固体撮像装置。
【請求項１０】
前記複数の画素を含む第１領域と、複数の画素を含む第２領域と、を含む主面を有する撮像基板部の前記主面の上に、光透過性の樹脂層を形成し、
前記樹脂層の上に、前記主面に投影したときに前記第１領域と重なり第１色を有する第１カラーフィルタと、前記主面に投影したときに前記第２領域と重なり前記第１色とは異なる第２色を有する第２カラーフィルタと、を含むカラーフィルタ部を形成し、
前記カラーフィルタ部の上に、前記主面に投影したときに前記第１領域と重なる第１レンズと、前記主面に投影したときに前記第２領域と重なる第２レンズと、を含むレンズ部を形成する固体撮像装置の製造方法。
【請求項１１】
前記レンズ部の形成は、
前記カラーフィルタ部の上に前記第１レンズ及び前記第２レンズとなる樹脂膜を形成し、
前記第１レンズ及び前記第２レンズの形状に対応した凹凸が設けられた型を前記樹脂膜の表面と接触させて、前記樹脂膜の前記表面に前記凹凸を反映した凹凸を形成し、
前記樹脂膜を硬化させて前記第１レンズ及び前記第２レンズを形成することを含む請求項１０記載の固体撮像装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、固体撮像装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＣＭＯＳイメージセンサやＣＣＤイメージセンサなどの固体撮像装置において、高精細化が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１０９５４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、高精細化が可能な固体撮像装置及びその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態によれば、撮像基板部と、レンズ部と、カラーフィルタ部と、を含む固体撮像装置が提供される。前記撮像基板部は、複数の画素を含む第１領域と、複数の画素を含む第２領域と、を含む主面を有する。前記レンズ部は、前記主面に対して垂直な第１方向において前記主面と離間する。前記レンズ部は、前記主面に投影したときに前記第１領域の前記複数の画素と重なる第１レンズと、前記主面に投影したときに前記第２領域の前記複数の画素と重なる第２レンズと、を含む。前記カラーフィルタ部は、前記撮像基板部とレンズ部との間に設けられ前記撮像基板部と離間する。前記カラーフィルタ部は、前記第１領域と前記第１レンズとの間に設けられ第１色を有する第１カラーフィルタと、前記第２領域と前記第２レンズとの間に設けられ前記第１色とは異なる第２色を有する第２カラーフィルタと、を含む。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的断面図である。
【図２】第１の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的平面図である。
【図３】図３は、第１の実施形態に係る固体撮像装置の動作を例示するフローチャート図である。
【図４】第１の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的断面図である。
【図５】第１の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的断面図である。
【図６】第１の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的断面図である。
【図７】第２の実施形態に係る固体撮像装置の製造方法を例示するフローチャート図である。
【図８】図８（ａ）〜図８（ｃ）は、第２の実施形態に係る固体撮像装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
【図９】第２の実施形態に係る固体撮像装置の製造方法を例示するフローチャート図である。
【図１０】図１０（ａ）〜図１０（ｃ）は、第２の実施形態に係る固体撮像装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。  
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。  
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１の実施形態）  
図１は、第１の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的断面図である。  
図２は、第１の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的平面図である。  
図１は、図２のＡ１−Ａ２線断面図である。
【０００９】
図１及び図２に表したように、本実施形態に係る固体撮像装置１１０は、撮像基板部１０と、レンズ部２０と、カラーフィルタ部３０と、を含む。
【００１０】
撮像基板部１０は、複数の画素１２を含む。撮像基板部１０は、主面１０ａを有する。主面１０ａに対して平行な平面内に複数の画素１２が配置される。
【００１１】
主面１０ａに対して垂直な方向をＺ軸方向（第１方向Ｄ１）とする。Ｚ軸方向に対して垂直な１つの方向をＸ軸方向とする。Ｚ軸方向とＸ軸方向とに対して垂直な方向をＹ軸方向とする。
【００１２】
主面１０ａは、例えば、複数の領域を含む。主面１０ａは、例えば、第１領域１１ａと、第２領域１１ｂと、第３領域１１ｃと、を有する。
【００１３】
第１領域１１ａは、複数の画素１２を含む。第２領域１１ｂは、複数の画素１２を含む。第３領域１１ｃは、複数の画素１２を含む。
【００１４】
画素１２には、例えば、ｐｎ接合を含むフォトダイオードが用いられる。画素１２の構成は、任意である。画素１２は、例えば、可視光や赤外光の光信号を電気信号に変換する。撮像基板部１０として、例えば、シリコン基板が用いられる。撮像基板部１０には、画素１２の他に、ＣＭＯＳ素子などを含む回路部などが設けられても良い。回路部は、後述する信号処理部７０を含んでも良い。
【００１５】
レンズ部２０は、第１方向Ｄ１において、主面１０ａと離間する。第１方向Ｄ１（Ｚ軸方向）は、主面１０ａに対して垂直な方向である。レンズ部２０は、複数のレンズ２１ｏ（例えば、第１レンズ２１ａ、第２レンズ２１ｂ及び第３レンズ２１ｃなど）を含む。
【００１６】
第１レンズ２１ａは、主面１０ａに投影したときに、第１領域１１ａの複数の画素１２と重なる。第２レンズ２１ｂは、主面１０ａに投影したときに、第２領域１１ｂの複数の画素１２と重なる。第３レンズ２１ｃは、主面１０ａに投影したときに、第３領域１１ｃの複数の画素１２と重なる。
【００１７】
レンズ２１ｏには、光透過性の材料が用いられる。レンズ２１ｏには、例えば、光透過性の樹脂が用いられる。レンズ２１ｏには、アクリル樹脂またはエポキシ樹脂などが用いられる。レンズ２１ｏとして、ガラスなどを用いても良い。
【００１８】
カラーフィルタ部３０は、撮像基板部１０とレンズ部２０との間に設けられる。カラーフィルタ部３０は、撮像基板部１０と離間する。カラーフィルタ部３０は、複数のカラーフィルタ３１ｏ（例えば、第１カラーフィルタ３１ａ、第２カラーフィルタ３１ｂ及び第３カラーフィルタ３１ｃなど）を含む。
【００１９】
第１カラーフィルタ３１ａは、第１領域１１ａと第１レンズ２１ａとの間に設けられる。第１カラーフィルタ３１ａは、第１色を有する。
【００２０】
第２カラーフィルタ３１ｂは、第２領域１１ｂと第２レンズ２１ｂとの間に設けられる。第２カラーフィルタ３１ｂは、第２色を有する。第２色は、第１色とは異なる。
第３カラーフィルタ３１ｃは、第３領域１１ｃと第３レンズ２１ｃとの間に設けられる。第３カラーフィルタ３１ｃは、第３色を有する。第３色は、第１色とは異なり、第２色とは異なる。
【００２１】
例えば、第１色、第２色及び第３色のそれぞれは、赤、緑及び青のそれぞれに対応する。実施形態において、第１色、第２色及び第３色は、任意である。例えば、第２カラーフィルタ３１ａの吸収のピーク波長は、第１カラーフィルタ３１ａの吸収のピーク波長とは異なる。例えば、第３カラーフィルタ３１ｃの吸収のピーク波長は、第１カラーフィルタ３１ａの吸収のピーク波長とは異なり、第２カラーフィルタ３１ｂの吸収のピーク波長とは異なる。例えば、第２カラーフィルタ３１ａの透過のピーク波長は、第１カラーフィルタ３１ａの透過のピーク波長とは異なる。例えば、第３カラーフィルタ３１ｃの透過のピーク波長は、第１カラーフィルタ３１ａの透過のピーク波長とは異なり、第２カラーフィルタ３１ｂの透過のピーク波長とは異なる。
【００２２】
カラーフィルタ３１ｏには、例えば、樹脂と、樹脂に分散された着色材と、を含む。樹脂には、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂またはポリイミド樹脂などが用いられる。着色材として、例えば、顔料や染料などが用いられる。カラーフィルタ３１ｏの厚さ（Ｚ軸方向に沿った長さ）は、例えば、０．５マイクロメートル（μｍ）以上５μｍ以下である。
【００２３】
この例では、樹脂層４１が設けられている。樹脂層４１は、撮像基板部１０とカラーフィルタ部３０との間に設けられている。樹脂層４１は、光透過性である。樹脂層４１には、アクリル樹脂またはエポキシ樹脂などが用いられる。この例では、樹脂層４１の屈折率は、約１．５である。
【００２４】
樹脂層４１により、カラーフィルタ部３０は撮像基板部１０と離間している。これにより、レンズ部２０も、撮像基板部１０と離間する。
【００２５】
撮像基板部１０とレンズ部２０との間の、第１方向（Ｚ軸方向）に沿った距離Ｄｓ１は、例えば、１０μｍ以上８０μｍ以下である。この例では、距離Ｄｓ１は、４５μｍ以上５５μｍ以下（約５０μｍである）。
【００２６】
図２に例示したように、レンズ部２０に含まれる複数のレンズは、六方状に配置される。実施形態は、これに限らず、複数のレンズの配置及び平面形状は、任意である。
【００２７】
この例では、第２レンズ２１ｂの大きさは、第１レンズ２１ａの大きさと同じである。この例では、第３レンズ２１ｃの大きさは、第１レンズ２１ａの大きさと同じである。
【００２８】
レンズ部２０のレンズ２１ｏの大きさ（幅）は、画素１２の大きさよりも大きい。第１方向Ｄ１に対して垂直な１つの方向を第２方向Ｄ２とする。第２方向Ｄ２は、主面１０ａに対して平行である。この例では、第２方向Ｄ２において、レンズ２１ｏの幅は最大となる。
【００２９】
レンズ２１ｏ（例えば第１レンズ２１ａ）の第２方向Ｄ２に沿った長さを、レンズ長Ｌ１とする。レンズ長Ｌ１は、例えば、１０μｍ以上１００μｍ以下である。この例では、レンズ長Ｌ１は、２５μｍ以上３５μｍ以下（例えば３０μｍである）。
【００３０】
一方、複数の画素１２のそれぞれの第２方向に沿った長さを、画素長ｄ１とする。画素長ｄ１は、例えば、０．５μｍ以上３μｍ以下である。この例では、画素長ｄ１は、例えば、１．０μｍ以上１．５μｍ以下（例えば、１．４μｍ）である。
【００３１】
複数の画素１２の第２方向におけるピッチを、画素ピッチｐ１とする。画素ピッチｐ１は、例えば、１μｍ以上５μｍ以下である。この例では、画素ピッチｐ１は、例えば、２．０μｍ以上３．０μｍ以下（例えば、２．８μｍ）である。
【００３２】
例えば、画素長ｄ１は、レンズ長Ｌ１の６倍以上１００倍以下である。この例では、画素長ｄ１は、レンズ長Ｌ１の７倍以上７２以下である。
【００３３】
例えば、画素ピッチｐ１は、レンズ長Ｌ１の３倍以上５０倍以下である。
【００３４】
例えば、距離Ｄｓ１は、レンズ長Ｌ１の０．５倍５倍以下である。
【００３５】
実施形態に係る固体撮像装置１１０においては、光は、レンズ部２０及びカラーフィルタ部３０を経て、画素１２に入射する。画素１２に入射した光の強度に応じて、画素１２で得られる電気信号が変化する。
【００３６】
図３は、第１の実施形態に係る固体撮像装置の動作を例示するフローチャート図である。  
図３は、信号処理部７０（図１参照）において実施される処理を例示している。  
図３に表したように、本実施形態においては、輝度情報による像を生成する（ステップＳ１０）。そして、生成された像データに色情報を付与する（ステップＳ２０）。
【００３７】
例えば、信号処理部７０においては、第１処理を実施する。第１処理においては、第１領域１１ａに含まれる複数の画素１２から得られた第１信号に含まれる第１輝度情報と、第２領域１１ｂに含まれる複数の画素１２から得られた第２信号に含まれる第２輝度情報と、に基づいて像データを生成する。信号処理部７０においては、さらに第２処理を実施する。第２処理においては、生成した像データに色情報を付与する。
【００３８】
例えば、輝度情報及び色情報に基づいて、隣り合うマイクロレンズに対応したデータの差を導出して、距離情報を再構成する参考例が考えられる。この場合、色情報に関するデータ処理が行われるため、処理が複雑である。
【００３９】
これに対して、本実施形態においては、まず、輝度情報に基づいて距離情報が再構成されて、像データが生成される。その後、色情報が追加される。これにより、再構成の際の処理が簡単になり、有利である。
【００４０】
本実施形態に係る固体撮像装置１１０においては、１つのカラーフィルタ３１ｏは、複数の画素１２を含む大きい面積で設けられる。カラーフィルタ３１ｏの位置の誤差が、検出信号に与える影響が小さくなる。
【００４１】
例えば、カラーフィルタのそれぞれを、画素１２のそれぞれに対応させて設ける参考例がある。この場合、１つのカラーフィルタのピッチは、画素ピッチと同じである。カラーフィルタの位置精度が低い場合、混色が生じ易い。混色は、画素が高精細になると、顕著になる。従って、このような参考例においては、高精細化が困難である。
【００４２】
一方、本実施形態においては、１つのカラーフィルタ３１ｏは、複数の画素１２を含む大きな面積で設けられる。１つのカラーフィルタ３１ｏにおける位置ずれは、１つの画素１２においては、縮小される。このため、カラーフィルタ３１ｏの位置の誤差による混色が抑制される。すなわち、本実施形態において、画素１２が小さくなった場合においても、混色が生じ難い。本実施形態によれば、混色が抑制されるため、高精細化が容易になる。
【００４３】
図１に例示したように、本実施形態においては、レンズ２１ｏの上面が凸状であり、下面が平面である。すなわち、第１レンズ２１ａは、第１面２１ａａと、第２面２１ａｂと、を有する。第１面２１ａａは、カラーフィルタ部３０に対向する。第２面２１ａｂは、第１面２１ａａとは反対側の面である。第１面２１ａａは、主面１０ａに対して平行である。第１面２１ａａは、平面である。第２面２１ａｂは、曲面の部分を有する。
【００４４】
第１面２１ａａが平面であり、カラーフィルタ３１ｏも平面状である。カラーフィルタ３１ｏにおける厚さは、面内（Ｘ−Ｙ平面内）で、実質的に均一である。カラーフィルタ３１ｏにおける光学特性（例えば色）は、面内で均一にし易い。
【００４５】
本実施形態において、１つのカラーフィルタ３１ｏの面内の第１部分を通過した光が、複数の画素１２の１つに入射する。１つのカラーフィルタ３１ｏの面内の第２部分を通過した光が、複数の画素１２の別の１つに入射する。１つのカラーフィルタ３１ｏにおける色の面内の均一性を高めることで、複数の画素１２に入射する光の色が均一になる。これにより、色特性の良好な撮像が可能になる。
【００４６】
図４は、第１の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的断面図である。  
図４は、図２のＡ１−Ａ２線に相当する断面図である。  
図４に表したように、本実施形態に係る別の固体撮像装置１１１においては、撮像基板部１０、レンズ部２０及びカラーフィルタ部３０に加えて、マイクロレンズ部５０がさらに設けられている。マイクロレンズ部５０は、撮像基板部１０とカラーフィルタ部３０との間に設けられる。これ以外は、固体撮像装置１１０と同様である。
【００４７】
マイクロレンズ部５０は、複数のマイクロレンズ５２を含む。複数のマイクロレンズ５２のそれぞれは、複数の画素１２のそれぞれと、カラーフィルタ部３０との間に配置される。
【００４８】
この例では、樹脂層４１が設けられており、マイクロレンズ部５０は、撮像基板部１０と樹脂層４１との間に設けられている。複数のマイクロレンズ５２のそれぞれは、複数の画素１２のそれぞれと、樹脂層４１と、の間に配置される。
【００４９】
マイクロレンズ５２は、例えば、画素１２の感光部分に、光を集光する。これにより、感度が向上できる。
【００５０】
複数のマイクロレンズ５２の屈折率は、例えば、樹脂層４１の屈折率よりも高い。これにより、光の屈折効果を利用して、光を集光することができる。
【００５１】
例えば、樹脂層４１の屈折率は、約１．５である。このとき、マイクロレンズ５２の屈折率は、１．５よりも高く設定される。例えば、マイクロレンズ５２として、窒化シリコン（または酸窒化シリコン）などが用いられる。このとき、マイクロレンズ５２の屈折率は、約２．２である。  
固体撮像装置１１１においても、高精細化が可能な固体撮像装置が提供できる。マイクロレンズ５２を設けることで、感度が向上できる。
【００５２】
図５は、第１の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的断面図である。  
図５は、図２のＡ１−Ａ２線に相当する断面図である。  
図５に表したように、本実施形態に係る別の固体撮像装置１１２においても、撮像基板部１０、レンズ部２０及びカラーフィルタ部３０が設けられる。この例では、撮像基板部１０と、カラーフィルタ部３０、との間の領域は、空隙４２とされる。これ以外は、固体撮像装置１１０と同様である。
【００５３】
撮像基板部１０と、カラーフィルタ部３０、との間の領域（空隙４２）には、例えば、空気または不活性ガスなどが充填される。
【００５４】
例えば、この例では、レンズ長Ｌ１は、約３０μｍである。このとき、距離Ｄｓ１は、約３０μｍである。距離Ｄｓ１は、例えば、２５μｍ以上３５μｍ以下である。距離Ｄｓ１、例えば、２８μｍ以上３２μｍ以下である。  
固体撮像装置１１２においても、高精細化が可能な固体撮像装置が提供できる。
【００５５】
図６は、第１の実施形態に係る固体撮像装置を例示する模式的断面図である。  
図６は、図２のＡ１−Ａ２線に相当する断面図である。  
図６に表したように、本実施形態に係る別の固体撮像装置１１３においては、撮像基板部１０と、カラーフィルタ部３０、との間の領域は、空隙４２とされる。そして、マイクロレンズ部５０が設けられる。これ以外は、固体撮像装置１１０と同様である。  
固体撮像装置１１３においても、高精細化が可能な固体撮像装置が提供できる。
【００５６】
（第２の実施形態）  
本実施形態は、固体撮像装置の製造方法に係る。  
図７は、第２の実施形態に係る固体撮像装置の製造方法を例示するフローチャート図である。  
図７に表したように、本実施形態に係る製造方法においては、樹脂層４１を形成する（ステップＳ１１０）。そして、カラーフィルタ部３０を形成する（ステップＳ１２０）。そして、レンズ部２０を形成する（ステップＳ１３０）。以下、これらの処理の例について説明する。
【００５７】
図８（ａ）〜図８（ｃ）は、第２の実施形態に係る固体撮像装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。  
図８（ａ）に表したように、撮像基板部１０は、複数の画素１２を含む第１領域１１ａと、複数の画素１２を含む第２領域１１ｂと、を含む。この撮像基板部１０の主面１０ａの上に、光透過性の樹脂層４１を形成する。
【００５８】
図８（ｂ）に表したように、樹脂層４１の上に、カラーフィルタ部３０を形成する。カラーフィルタ部３０は、第１カラーフィルタ３１ａと、第２カラーフィルタ３１ｂと、を含む。第１カラーフィルタ３１ａは、主面１０ａに投影したときに、第１領域１１ａと重なる。第１カラーフィルタ３１ａは、第１色を有する。第２カラーフィルタ３１ｂは、主面１０ａに投影したときに、第２領域１１ｂと重なる。第２カラーフィルタ３１ｂは、第１色とは異なる第２色を有する。
【００５９】
図８（ｃ）に表したように、カラーフィルタ部３０の上に、レンズ部２０を形成する。レンズ部２０は、第１レンズ２１ａと、第２レンズ２１ｂと、を有する。第１レンズ２１ａは、主面１０ａに投影したときに第１領域１１ａと重なる。第２レンズ２１ｂは、主面１０ａに投影したときに第２領域１ｂと重なる。
【００６０】
本製造方法においては、複数の画素１２を含む大きなサイズのカラーフィルタ３１ｏが形成される。カラーフィルタ３１ｏの位置精度が緩和され、生産性が向上する。
【００６１】
樹脂層４１の形成には、印刷、スピンナ塗布などの任意の手法が用いられる。樹脂層４１の形成には、例えば、フォトリソグラフィが用いられる。レンズ部２０の形成には、例えば、フォトリソグラフィまたはインプリント法など用いられる。
【００６２】
以下、レンズ部２０の形成方法の例を説明する。この方法では、インプリント法が用いられる。  
図９は、第２の実施形態に係る固体撮像装置の製造方法を例示するフローチャート図である。  
図９に表したように、本実施形態に係る製造方法のレンズ部２０の形成においては、樹脂膜を形成する（ステップＳ１３１）。そして、樹脂膜に凹凸を形成する（ステップＳ１３２）。そして、樹脂膜を硬化させる（ステップＳ１３３）。以下、これらの処理の例について説明する。
【００６３】
図１０（ａ）〜図１０（ｃ）は、第２の実施形態に係る固体撮像装置の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。  
図１０（ａ）に表したように、カラーフィルタ部３０の上に樹脂膜２２を形成する。樹脂膜２２は、レンズ２１ｏ（第１レンズ２１ａ、第２レンズ２１ｂ及び第３レンズ２１ｃなど）となる。
【００６４】
図１０（ｂ）に表したように、型６０（モールド）が用意される。型６０には、凹凸６１が設けられている。凹凸６１の形状は、レンズ２１ｏ（第１レンズ２１ａ、第２レンズ２１ｂ及び第３レンズ２１ｃなど）の形状に対応している。型６０の凹凸６１を、樹脂膜２２と接触させる。
【００６５】
図１０（ｃ）に表したように、樹脂膜２２の表面に、凹凸６１を反映した凹凸２３が形成される。樹脂膜２２の凹凸２３は、第１レンズ状凹凸２４ａ、第２レンズ状凹凸２４ｂ及び第３レンズ状凹凸２４ｃなどを含む。
【００６６】
樹脂膜２２を硬化させて、レンズ２１ｏを形成する。すなわち、第１レンズ状凹凸２４ａから第１レンズ２１ａが形成される。第２レンズ状凹凸２４ｂから第２レンズ２１ｂが形成される。第３レンズ状凹凸２４ｃから第３レンズ２１ｃが形成される。
【００６７】
硬化においては、例えば、加熱、及び、光照射の少なくともいずれかが実施される。硬化の処理には、樹脂膜２２の特性に応じた処理が行われる。硬化の少なくとも一部は、例えば、凹凸６１が樹脂膜２３と接触している状態で行われる。硬化の少なくとも一部は、例えば、凹凸６１が、樹脂膜２３と離間している状態で行われても良い。
【００６８】
この例では、レンズ部２０の形成に、インプリント法が用いられる。実施形態においては、レンズ２１ｏのサイズは、画素１２のサイズよりも大きい。このため、レンズ２１ｏの形成において、精度が緩和される。このため、生産性の高い手法を用いることができる。
【００６９】
本実施形態においては、高精細化が可能な固体撮像装置を高い生産性で製造することができる。
【００７０】
実施形態によれば、高精細化が可能な固体撮像装置及びその製造方法を提供できる。
【００７１】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明の実施の形態は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、固体撮像装置に含まれる撮像基板部、画素、マイクロレンズ、カラーフィルタ部、カラーフィルタ、レンズ部、レンズ、及び信号処理部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
【００７２】
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
【００７３】
その他、本発明の実施の形態として上述した固体撮像装置及びその製造方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての固体撮像装置及びその製造方法も、本発明の実施の形態の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
【００７４】
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【００７５】
１０…撮像基板部、  １０ａ…主面、  １１ａ〜１１ｃ…第１〜第３領域、  １２…画素、  ２０…レンズ部、  ２１ａａ…第１面、  ２１ａｂ…第２面、  ２１ａ〜２１ｃ…第１〜第３レンズ、  ２１ｏ…レンズ、  ２２…樹脂膜、  ２３…凹凸、  ２４ａ〜２４ｃ…第１〜第３レンズ状凹凸、  ３０…カラーフィルタ部、  ３１ａ〜３１ｃ…第１〜第３カラーフィルタ、  ３１ｏ…カラーフィルタ、  ４１…樹脂層、  ４２…空隙、  ５０…マイクロレンズ部、  ５２…マイクロレンズ、  ６０…型、  ６１…凹凸、  ７０…信号処理部、  １１０〜１１３…固体撮像装置、  Ｄ１…第１方向、  Ｄ２…第２方向、  Ｄｓ１…距離、  Ｌ１…レンズ長、  ｄ１…画素長、  ｐ１…画素ピッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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