(57)【要約】【課題】本発明は、一般的には、ＲＦＩＤアンテナが、コンテナ上に取付けられたＲＦＩＤタグから情報を入手することを可能にする装置に関する。【解決手段】本装置は、アンテナが発生したＲＦ場を、ＲＦＩＤタグの近くの位置に再現する。ピックアップデバイスと、ピックアップデバイスに電気的に結合された再現デバイスとを具備する。あるいは、アンテナとＲＦＩＤタグとの間を走るＲＦ場のための磁路を作る少なくとも１つの磁気ロッドを具備する。あるいは、ピックアップアンテナと再現アンテナとを具備し、再現アンテナは、該再現アンテナからＲＦＩＤタグの近くにＲＦ信号を伝送するようになっている。【選択図】図５
2015016996.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無線周波数識別送信デバイスが、ある貯蔵位置に着座しているあるコンテナに取付けられた無線周波数識別タグから情報を入手することを可能にする装置であって、
再現デバイスを備え、上記再現デバイスは、上記コンテナが上記貯蔵位置に着座している時に、上記コンテナに取付けられた無線周波数識別タグが上記再現デバイスに接近するように上記貯蔵位置に対して位置決めされ、上記再現デバイスは上記貯蔵位置に取付けられかつ上記コンテナから分離されており、
ピックアップデバイスを更に備え、上記ピックアップデバイスは、上記無線周波数識別送信デバイスのアンテナを上記ピックアップデバイスに接近させることができるように上記貯蔵位置に対して位置決めされ、上記ピックアップデバイスの位置は上記貯蔵位置に対して固定されており、
上記無線周波数識別送信デバイスが、無線周波数信号を、上記ピックアップデバイスと上記再現デバイスを介して上記コンテナに取付けた上記無線周波数識別タグへ送信し、
上記ピックアップデバイスが上記無線周波数識別送信デバイスによって放射された上記無線周波数信号を受信し送信できるように、上記無線周波数識別送信デバイスが、ロボットによって上記ピックアップデバイスに接近操作され、
関連無線周波数識別タグを有し上記貯蔵位置に着座しているコンテナが、関連無線周波数識別タグを有する異なったコンテナと置き換えられ、上記再現デバイスと上記ピックアップデバイスが、上記無線周波数識別送信デバイスと、上記異なったコンテナと関連した無線周波数識別タグとの間の通信が可能である、
ことを特徴とする装置。
【請求項２】
上記ピックアップデバイスは、磁気コイルからなることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
上記再現デバイスは、磁気コイルからなることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
上記ピックアップデバイスは、電磁アンテナからなることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
上記再現デバイスは、電磁アンテナからなることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
上記ピックアップデバイスは、上記無線周波数識別送信デバイスが上記ピックアップデバイスに接近して位置している時に、上記無線周波数識別送信デバイスと電磁結合を形成することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
上記ピックアップデバイスは、上記無線周波数識別送信デバイスが上記ピックアップデバイスに接近して位置している時に、上記無線周波数識別送信デバイスと磁気結合を形成することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項８】
上記再現デバイスは、上記無線周波数識別タグと電磁結合を形成することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項９】
上記再現デバイスは、上記無線周波数識別タグと磁気結合を形成することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
あるコンテナ上に取付けられた無線周波数識別タグから情報を入手するシステムであって、
複数の貯蔵位置を有し、上記複数の貯蔵位置の各１つが１つのコンテナを格納するようになっているコンテナ貯蔵デバイスと、
無線周波数信号を放射する送信デバイスと、
複数の無線周波数識別ブリッジと、
を備え、
上記複数の無線周波数識別ブリッジの各１つは単一の貯蔵位置に関連付けられ、且つ、
再現デバイスを含み、上記再現デバイスは、上記コンテナが上記貯蔵位置内に着座している時に、上記コンテナに取付けられた上記無線周波数識別タグが上記再現デバイスに接近するように上記貯蔵位置に対して位置決めされ、上記再現デバイスは上記貯蔵位置に取付けられかつ上記コンテナから分離されており、
ピックアップデバイスを更に含み、上記ピックアップデバイスは、上記送信デバイスを上記ピックアップデバイスに接近操作することができるように上記貯蔵位置に対して位置決めされ、上記ピックアップデバイスの位置は上記貯蔵位置に対し固定され、
上記送信デバイスが、無線周波数信号を、上記ピックアップデバイスと上記再現デバイスを介して上記コンテナに取付けた上記無線周波数識別タグへ送信し、
上記複数の無線周波数識別ブリッジの上記ピックアップデバイスが上記送信デバイスによって放射された上記無線周波数信号を受信し送信できるように、上記送信デバイスが、ロボットによって上記ピックアップデバイスに接近操作され、
関連無線周波数識別タグを有し上記貯蔵位置に着座しているコンテナが、上記関連無線周波数識別タグを有する複数の異なったコンテナの一つと刻々と置き換えられ、上記再現デバイスと上記ピックアップデバイスが、上記送信デバイスと、上記複数の異なったコンテナのその時の一つと関連した上記無線周波数識別タグとの間の通信が可能である、
ことを特徴とするシステム。
【請求項１１】
上記ピックアップデバイスは、磁気コイルからなることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
上記再現デバイスは、磁気コイルからなることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１３】
上記ピックアップデバイスは、電磁アンテナからなることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１４】
上記再現デバイスは、電磁アンテナからなることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１５】
上記ピックアップデバイスは、上記送信デバイスが上記ピックアップデバイスに接近して位置している時に、上記送信デバイスと電磁結合を形成することを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１６】
上記ピックアップデバイスは、上記送信デバイスが上記ピックアップデバイスに接近して位置している時に、上記送信デバイスと磁気結合を形成することを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１７】
上記再現デバイスは、上記無線周波数識別タグと電磁結合を形成することを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１８】
上記再現デバイスは、上記無線周波数識別タグと磁気結合を形成することを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的には、改良された無線周波数識別（ＲＦＩＤ）システムに関する。より特定的には、本発明は、半導体製造設備のためのＲＦＩＤシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
普通のＲＦＩＤシステムは３つの部分、即ち、（i）走査アンテナ、（ii）データを解釈するデコーダを有するトランシーバ、及び（iii）情報でプログラムされているトランスポンダ（無線周波数タグ）を有している。
【０００３】
走査アンテナは、比較的短い距離内に無線周波数信号を放射する。無線周波数（ＲＦ）放射は２つのことを行う。それは、トランスポンダタグ（即ち、ＲＦＩＤチップ）との通信手段を与え、そして受動型ＲＦＩＤタグの場合には、ＲＦＩＤデバイスと通信してエネルギを供給する。ＲＦＩＤデバイスは電池を含む必要はなく、従って、極めて長期間にわたって使用可能状態に留まることができる。
【０００４】
走査アンテナは、ある表面に恒久的に取付けることができる。ハンドヘルドアンテナも使用可能である。一般的に言えば、アンテナは、必要とされる如何なる形状であることもできる。ＲＦＩＤタグが走査アンテナの場を通過する時に、タグはアンテナからの活動化信号を検出する。この時点でＲＦＩＤチップが“目覚め”、タグはそのマイクロチップ上の情報を送信して走査アンテナにピックアップさせる。
【０００５】
更に、ＲＦＩＤタグは２つの型、即ち能動型または受動型の一方であることができる。能動型ＲＦＩＤタグは、電源を内蔵している。能動型ＲＦＩＤタグの１つの長所は、読取り器をタグから遙かに離間させても信号を受信できることである。これらのデバイスの若干が10年までの寿命スパンで作られているとは言え、寿命スパンが限定されていることは事実である。一方、受動型ＲＦＩＤタグは電池を必要とせず、遙かに小さくすることができ、そして寿命スパンは実質的に制限されない。受動型及び能動型両タグＲＦＩＤシステムは、一般的に読取り範囲が約１ｍであるという制約を有しており、たとえそれを効率的に１ｍに到達するようにしてもアンテナを極めて大きくする必要があり、従って高価になる。
【０００６】
ＲＦＩＤタグは、バーコードまたは他の光学的に読取る技術が役立たないようないろいろな環境で読取ることができる。タグは物体の表面にある必要はなく（従って、摩耗を受けることがない）、読取り時間は典型的に100ミリ秒以下であり、そして多数のタグをアイテム毎にではなく、一度に読取ることができる。
【０００７】
ＲＦＩＤシステムは、半導体製造環境または製造設備に独特な難題を課している。例えば、300ｍｍファブにおいては、ウェーハはフロントオープニングユニファイドポッド（ＦＯＵＰ）と呼ばれるコンテナ内に封入され、対応するキャリヤ識別情報を格納しているＲＦＩＤタグが各ＦＯＵＰに取付けられる。ＦＲＩＤタグ内に格納された情報は、例えば処理ツールのロードポート上に取付けられているＲＦＩＤ読取り器によって検索される。検索された情報は制御センターへ中継され、制御センターは相応にコマンドを発行して処理ツールに動作を指令する。一般に、ある製造設備内には数百のＲＦＩＤ読取り器が存在する。莫大な数のＲＦＩＤ読取り器はＲＦＩＤ動作に付加的なコストを追加する。
【０００８】
半導体製造設備内の普通の自動化材料取扱システム（ＡＭＨＳ）は、設備を通してＦＯＵＰを輸送し、各コンテナを追跡する。各ＦＯＵＰは、就中、ロットＩＤ、如何に多くのウェーハがＦＯＵＰ内に格納されているか、ウェーハの処理のどのステージ（１つまたは複数の）を受けたか、ＦＯＵＰを送る次の処理ステージは何か、等を識別するＲＦＩＤタグを含む。ＡＭＨＳシステムは、そのコンテナの内容目録（インベントリ）を調べる必要があることが多い。そのためには、ＲＦＩＤタグを読取ってコンテナを積極的に識別する必要がある。各コンテナ上のＲＦＩＤタグを読取るのは難問である。単にＡＭＨＳストッカーまたはＡＭＨＳ輸送システムのバッファ（以下に、オーバーヘッドバッファまたはＯＨＢともいう）内に格納されているＦＯＵＰ上のＲＦＩＤタグを読取るだけでも、幾つかのステップを遂行しなければならないことが多い。
【０００９】
普通のストッカーの場合には、ストッカーコントローラが先ずストッカーロボットに命令してＦＯＵＰにアクセスさせ、ＦＯＵＰを貯蔵棚（ストレージシェルフ）から取り出させ、次いでＦＯＵＰを、ＲＦＩＤ読取り器が設けられている専用の棚上に配置させる。ＲＦＩＤタグを読取り、データベースを更新した後に、ストッカーコントローラはロボットに命令してＦＯＵＰを自由貯蔵棚上に戻させる。
【００１０】
普通のＡＭＨＳ輸送システムの場合には、コンテナは輸送ビークル上に、または輸送ルートに沿う貯蔵バッファ／棚にアクセス可能なビークル上に配置されている。ＡＭＨＳ内の材料を調べるために、輸送コントローラは先ずＦＯＵＰにアクセスするようにビークルをスケジュールしなければならない。ビークルは貯蔵棚からＦＯＵＰを取り出し、ＦＯＵＰをストッカー（一般的に、ＲＦＩＤ読取り器を有している）へ送る。ＲＦＩＤ読取り器によって動作可能にされたストッカーはＦＯＵＰのＲＦＩＤタグを読取り、ＦＯＵＰを貯蔵棚へ戻し、ＦＯＵＰを、そのＦＯＵＰを始めに取り出した貯蔵棚へ、または別の自由貯蔵棚へ戻して格納する。明らかに、このプロセスは資源及び時間を大きく消費する。更に、この調査プロセスが進行している間は他の仕事を実行することはできない。従ってこの調査プロセスは、ファブの生産性を著しく制限する、または低下させる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
一方、ＲＦＩＤ読取り器を各貯蔵棚上に配置すると極めて高価になり、複雑な解決策である。従って、改良されたＲＦＩＤシステムに対する要望が存在している。本発明は、改良されたＲＦＩＤシステムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の一面は、ＲＦＩＤタグの読取り距離を増加させるための低コスト解決策を提供することである。一実施の形態では、本発明は、貯蔵位置に着座しているコンテナ上に配置されたＲＦＩＤタグに近付けたアンテナから放射されるＲＦ場を伝送するＲＦＩＤブリッジを備えている。アンテナとＲＦＩＤタグとの間の距離は、従来のＲＦアンテナ及びＲＦＩＤタグ配置を用いて可能である距離と比較して、数桁も増加する。
【００１３】
本発明の別の面は、複数のＲＦＩＤタグを読取るのに必要なＲＦＩＤ読取り器の数を最小にしたＲＦＩＤシステムを提供することである。一実施の形態では、本発明は、ＲＦＩＤブリッジが各コンテナ貯蔵位置に専用されるシステムを提供する。単一のＲＦアンテナを各ＲＦＩＤブリッジの各ピックアップデバイスの間で移動させ、各コンテナのＲＦＩＤタグ内に格納されている情報を入手することができる。
【００１４】
本発明の更に別の面は、アンテナとＲＦＩＤタグとの間でＲＦ場を伝送するために、外部電力を殆ど、もしくは全く必要としないＲＦＩＤシステムまたは装置を提供することである。一実施の形態では、ＲＦＩＤブリッジは、ピックアップデバイス、再現デバイス、及びピックアップデバイスと再現デバイスとの間にＲＦ信号を伝送する信号伝送手段を備えている。一実施の形態では、ピックアップデバイスはアンテナとの磁気結合を形成している。別の実施の形態では、ピックアップデバイスはアンテナとの電磁結合を形成している。再現デバイスもＲＦＩＤタグと磁気結合、または電磁結合を形成することができる。
【００１５】
本発明の更に別の面は、コンテナ上のＲＦＩＤタグの配置（例えば、コンテナの前面、コンテナの後面、コンテナの上面等）には関係なく、コンテナに取付けられたＲＦＩＤから情報を入手することができるＲＦＩＤシステムを提供することである。各ＲＦＩＤブリッジの再現デバイスは、コンテナが貯蔵位置に着座している時にＲＦタグが再現デバイスに近付くように構成されている。従って、再現デバイスを貯蔵位置に対していろいろな位置に位置決めすることができる。
【００１６】
本発明の別の面は、幾つかのコンテナのＲＦＩＤタグ内に格納されている情報を迅速に入手することができるＲＦＩＤシステムを提供することである。一実施の形態では、貯蔵位置は、例えば３つのコンテナを格納するための複数の貯蔵領域を含む。各貯蔵領域のために専用ＲＦＩＤブリッジを用いることによって、各ＲＦＩＤタグ内に格納されている情報を迅速に入手するのに、場合によってはアンテナを各ピックアップコイル間でほんの数インチだけ移動させればよい。この情報を入手するのに、コンテナを移動させる必要は全くない。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態の概要図である。
【図２】本発明の代替実施の形態の概要図である。
【図３】本発明に組入れることができる回路の一実施の形態の回路図である。
【図４】本発明に組入れることができる回路の別の実施の形態の回路図である。
【図５】本発明に組入れることができる回路の更に別の実施の形態の回路図である。
【図６】本発明による拡張アセンブリの一実施の形態の概要図である。
【図７】本発明の更に別の実施の形態の概要図である。
【図８】本発明に組入れることができる回路の更に別の実施の形態の回路図である。
【図９】本発明による拡張アセンブリの別の実施の形態の概要図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１−９を参照して以下に説明する本発明は、給電されているアンテナとＲＦＩＤタグとの間で無線周波数（ＲＦ）場を伝える種々のシステムを提供する。本発明の多くの実施の形態は、ＲＦＩＤ読取り器がコンテナ貯蔵位置に対して移動する、またはその逆の応用に適している。
【００１９】
図１は、ＲＦＩＤシステム１００を示している。この実施の形態では、ＲＦＩＤシステム１００は、就中、送信デバイス１０２、ＲＦＩＤ読取り器１０８、ＲＦＩＤタグ１０６、及びＲＦＩＤブリッジ１３０を含んでいる。ＲＦＩＤ送信デバイス１０２及びＲＦＩＤ読取り器またはインタロゲータ１０８は、如何なる数のメカニズムまたはデバイス１０４内に収容しても差し支えない。一実施の形態では、ＲＦＩＤ送信デバイス１０２及びＲＦＩＤ読取り器１０８は、頭上輸送（ＯＨＴ）ビークルのような輸送ビークル内に収容されている。別の実施の形態では、ＲＦＩＤ送信デバイス１０２及びＲＦＩＤ読取り器１０８はロボットアームメカニズム１０４（図９参照、詳細は後述）内に収容され、操作される。本発明を説明するだけの目的から、本発明の種々の実施の形態を、ロボットアームメカニズム１０４だけを参照して説明することにする。
【００２０】
図１は、送信デバイス１０２に電気的に結合されているＲＦＩＤ読取り器１０８を示している。ＲＦＩＤ読取り器１０８は、基本的に、マイクロプロセッサまたはデジタル信号プロセッサによって制御されるＲＦ送信器及び受信器である。アシストテクノロジース社（ Asyst Technologies, Inc. ）製モデルNo. ATR9100のような普通のＲＦＩＤ読取り器を使用することができる。他のＲＦＩＤ読取り器も、本発明に使用することができる。送信デバイス１０２は、限定するものではないが、ＲＦＩＤアンテナ、ワイヤーコイル、または磁芯（例えば、ポットコア、Ｅ字形コア、Ｕ字形コア、等）を有するワイヤーコイルを含むいろいろなデバイスからなることができる。
【００２１】
ＲＦＩＤタグ１０６は、一実施の形態では、コンテナ２に取付けられている（例えば、図６参照）。ＲＦＩＤタグ１０６は、限定するものではないが、貯蔵位置構造、プロセスツール、または度量衡ツールのような他の構造に取付けることもできる（詳細は後述）。本発明と共に使用することができるＲＦＩＤタグ１０６の１つの型は、テキサスインスツルーメンツ（ Texas Instrument ）製の低周波ＲＦＩＤタグ（ＴＩＲＩＳ）を含む。他のＲＦＩＤタグも、本発明に使用することができる。
【００２２】
ＲＦＩＤタグ１０６及び送信デバイス１０２は、距離ｄ１だけ離間している。上述したように、従来のＲＦＩＤ読取りシステムは、ＲＦＩＤ送信デバイス１０２がＲＦＩＤタグ１０６に接近していない限りＲＦＩＤタグ１０６上に格納されている情報を読取ることはできない。説明の目的だけのために、この実施の形態では距離ｄ１は１−３ｍである。この場合、従来のＲＦＩＤアンテナは、このような遠い距離のＲＦＩＤタグを読取ることはできない。距離ｄ１は、他の距離であることができる。
【００２３】
送信デバイス１０２とＲＦＩＤタグ１０６との間にＲＦＩＤブリッジ１３０を配置することによってこの問題が解消され、ＲＦＩＤ送信デバイス１０２は、従来のＲＦＩＤ読取り器よりも離れた距離からＲＦＩＤタグ１０６を読取ることができるようになる。この実施の形態では、ＲＦＩＤブリッジ１３０は、ケーブル１１６によって再現デバイスまたはコイル１１４に電気的に結合されているピックアップデバイスまたはコイル１１２を含む。ＲＦＩＤブリッジ１３０は、実質的に、送信デバイス１０２とＲＦＩＤタグ１０６との間にＲＦ信号を伝送するために変成器結合されたケーブル延長部として機能する。図１に示すように、ピックアップコイル１１２は、ＲＦＩＤ送信デバイス１０２との電気または磁気結合を形成している。ピックアップコイル１１２と送信デバイス１０２との間の電気結合は、他の受動材料（例えば、非磁性及び／または非導電性材料）を用いて形成することもできる。
【００２４】
動作中、ロボットアームメカニズム１０４は、送信デバイス１０２によって放射された無線周波数信号１１０をピックアップコイル１１２が受信、またはピックアップできるまで、送信デバイス１０２をピックアップコイル１１２に近付ける。再現コイル１１４は無線周波数信号１１０を再現する（図１にＲＦ信号１１０’として示されている）。ＲＦ信号１１０’はＲＦＩＤタグ１０６を包み込み、この時点で送信デバイス１０２はＲＦＩＤタグ１０６を読取ることができる。
【００２５】
ＲＦＩＤブリッジ１３０は、送信デバイス１０２とＲＦＩＤタグ１０６との間で、実質的には２つの空芯変成器を通してＲＦ信号１１０を伝送する。ピックアップコイル１１２と送信デバイス１０２との間の電気結合は、この実施の形態では、空気、真空、または何等かの非磁性及び／または非導電性材料を通してである。従って、ピックアップコイル１１２及び送信デバイス１０２は各々、第１の空気・変成器のコイルとして機能する。再現コイル１１４とＲＦＩＤタグ１０６との間の電気結合も、空気、真空、または何等かの非磁性及び／または非導電性材料を通してである。従って、再現コイル１１４及びＲＦＩＤタグ１０６は各々、第２の空気・変成器のコイルとして機能する。勿論、第１及び第２の変成器のコイル間（例えば、ピックアップコイル１１２と送信デバイス１０２との間、及び／または再現コイル１１４とＲＦＩＤタグ１０６との間）の電気結合は、他のガスを通してであることもできる。
【００２６】
ＲＦＩＤ読取り器１０８は、送信デバイス１０２を介してＲＦＩＤタグ１０６からデータを取得し、そのデータを処理するためにコンピュータに引き渡す。再現された無線信号１１０’がＲＦＩＤタグ１０６を“目覚め”させる。再現された無線信号１１０’の範囲内の各ＲＦＩＤタグ１０６は、その独自の識別番号及びデータを、ＲＦＩＤブリッジ１３
０を通して送信デバイス１０２へ戻すように伝送する。送信デバイス１０２は、これらの識別番号を電子的に“聴取”し、この情報をＲＦＩＤ読取り器１０８へ戻す。これでＦＲＩＤ読取り器１０８及びＲＦＩＤタグ１０６は無線“会話”の準備が整い、これは、ＲＦ
ＩＤタグ１０６が物理的に取付けられている対象（例えば、ＦＯＵＰ、ＳＭＩＦポッド、等）に関する情報を交換するために使用することができる。この会話は、ＲＦＩＤタグ１０６がＲＦＩＤ読取り器１０８の範囲外に出るまで（例えば、ＲＦＩＤタグ１０６が最早再現された無線信号１１０’の範囲内に存在しなくなるまで）、またはＲＦＩＤタグ１０６からの応答がＲＦＩＤ読取り器１０８によって回復できなくなるまで、継続される。
【００２７】
ピックアップコイル１１２は、ケーブル１１６によって再現コイル１１４に電気的に接続されている。単にケーブル１１６の長さを伸縮させることによって、ピックアップコイル１１２と再現コイル１１４との間の離間距離を如何様にも調整することができる。一実施の形態では、ケーブル１１６は長さが1.5ｍ、インピーダンスが50オームの同軸ケーブルからなっている。しかしながら、如何なる長さのケーブル１１６も使用することもでき、ケーブル１１６は如何なるインピーダンスを有することもできる。ピックアップコイル１１２及び再現コイル１１４は、限定するものではないが、印刷回路基板等のような他のデバイスを通して通信することができる。
【００２８】
図２は、ＲＦＩＤシステム３００を示している。システム３００は、ロボットアームメカニズム３０４、ＲＦＩＤタグ３０６、及びＲＦＩＤブリッジ３３０を含む。この実施の形態では、１対の磁気ロッド（ダイポール接続形態）を使用して、明確な有形の戻り路を有する無線周波数（ＲＦ）場を作る。ロボット３０４は、就中、送信デバイス３０２及びＲＦＩＤ読取り器３０８を含む。送信デバイス３０２及びＲＦＩＤ読取り器３０８は、ケーブル（例えば、データケーブル）によって電気的に結合することも、または無線で互いに通信することもできる。
【００２９】
ＲＦＩＤブリッジ３３０は、第１の磁気ロッド３１２及び第２の磁気ロッド３１４を含む。第１の磁気ロッド３１２及び第２の磁気ロッド３１４は各々、単片構造からなることも、または複数の密に接続された片からなることもできる。この実施の形態では、ＲＦＩＤブリッジ３３０が送信デバイス３０２へ戻すＲＦ場のための制御された戻り路３１７を磁性材料が提供している。図２の実施の形態は、ＲＦ場３１０の転送効率が高く、また近傍デバイスからの妨害、及び近傍金属または磁性材料に起因する電子的挙動の変化に対して頑丈である。
【００３０】
動作中、ロボット３０４は送信デバイス３０２をＲＦＩＤブリッジ３３０に近付ける。ＲＦＩＤブリッジ３３０は、送信デバイス３０２が放射した無線周波数３１０を受信する。詳述すれば、第１の磁気ロッド３１２が、送信デバイス３０２の第１の端３０３から磁束３１５を引き出す。第２の磁気ロッド３１４は、送信デバイス３０２の第２の端３０５から磁束３１０を引き出す。両ロッド３１２及び３１４を同時に用いて送信デバイス３０２から磁束３１０を引き出すことによって、ＲＦＩＤタグ３０６と送信デバイス３０２との間のＲＦ結合が改善される。好ましい実施の形態では、そして送信デバイス３０２とＲＦＩＤタグ３０６との間の場の結合を最適化するために、磁気ロッド３１２及び３１４はそれらが角度θをなすように構成されている。図２に示すように、ＲＦＩＤタグ３０６に近い側のロッド３１２と３１４との間のギャップ３２０のサイズは、ＲＦＩＤタグ３０６の内側に位置しているＲＦＩＤ送信デバイス（図示してない）の高さに類似させることが好ましい。送信デバイス３０２に近い側のロッド３１２と３１４との間のギャップ３２２のサイズは、送信デバイス３０２の第１の端３０３と第２の端３０５との間の距離に類似させることが好ましい。ロッドの端間のギャップは、他の距離であっても差し支えない。
【００３１】
ＲＦＩＤブリッジ３３０は、ロッド３１２及び３１４の第１の端３２８及び３２９からロッド３１２及び３１４の第２の端３２４及び３２６まで伝送する磁束３１０の量を最大にする。また、ＲＦＩＤブリッジ３３０は、ロッド３１２及び３１４の第２の端３２４と３２６との間に位置する空間３２０によってもたらされる漏洩磁束の量を最小にする。同時に、ＲＦＩＤブリッジ３３０はまた、送信デバイス３０２と、ロッド３１２及び３１４の第１の端３２８及び３２９との間の磁気結合を最大にする。
【００３２】
図２（及び図７）の実施の形態を図１と比較すると、送信デバイス３０２のための読取り範囲がより限定されている。ロッド３１２及び３１４（図２の実施の形態）及び磁気ロッド４１４（図７の実施の形態）における損失は、一般に、ケーブル１１６をベースとする配列（図１の実施の形態）における損失よりも大きい。更に、図１と比較して、図２及び７の実施の形態は、ロッド３１２及び／または３１４の長さにわたって位置し得る近傍外部材料に、より大きく感応する。従って、構造または支持材料及び／または磁性材料は、ロッド３１２及び３１４（図７の実施の形態においてはロッド４１４）から可能な限り遠去けることが好ましい。
【００３３】
図１−２、５、及び７に示すＲＦＩＤブリッジ１３０は、従来の半導体（並びに他の業種）製造設備に設置することが容易である。例えば、ＲＦＩＤブリッジ１３０は、安価なハードウェアを使用して既存貯蔵位置の側に固定することができる。再現コイル１１４は、コンテナ２が貯蔵位置に格納された時にコンテナのＲＦＩＤタグ１０６が位置する付近の貯蔵位置の何処かに簡単に取付けられる。ピックアップコイル１１２は、ロボット１０４上の送信デバイス１０２がアクセス可能な貯蔵位置の何処かに取付けることができる。ケーブル１１６は、再現コイル１１４をピックアップコイル１１２に電気的に接続する。換言すれば、ＲＦＩＤブリッジ１３０は極めて柔軟なシステムまたは装置なのである。
【００３４】
図３−４、及び８は、本発明に使用することができる回路の異なる実施の形態を示している。図３は、ロボット１０４、ＲＦＩＤブリッジ１３０、及びＲＦＩＤタグ１０６の間の関係の概要図である。送信デバイス１０２をピックアップコイル１１２に近付けると、それらは実効的に空気・変成器を形成する。この実施の形態では、ＲＦ無線１０８と送信デバイス１０２とを接続する共振回路は、キャパシタＣ１及びキャパシタＣ２、及び送信デバイス１０２のインダクタンス（アセンブリ１３０からの結合インダクタンスを含む）を含み、これらが同調回路を形成している。（無線エレクトロニクス回路最適化の制約の故に）ＲＦＩＤ無線はアンテナ及び関連ケーブルを１つの共振回路と見るのを好むことが多い。従って、図３の実施の形態の共振回路は、ケーブルの送信デバイス１０２に接続されている側上のキャパシタＣ１及びＣ２によって形成されている。ＲＦＩＤブリッジ１３０は、一般的に、非共振誘導性アセンブリ（少なくとも、ＲＦＩＤ読取り器のための関心周波数に関して）からなる。ＲＦＩＤブリッジ１３０は、送信デバイス１０２とピックアップコイル１１２との間の結合から得られる空気・変成器を通して、送信デバイス１０２に誘導的に結合される。
【００３５】
図４は、共振回路をＲＦＩＤブリッジ１３０に頼ることができる実施の形態を示している。この実施の形態では、キャパシタＣ３及びＣ４がＲＦＩＤブリッジ１３０の側にあり、インダクタンスは再現コイル１１４及びピックアップコイル１１２のインダクタンスである。従って、送信デバイス１０２及びＲＦＩＤ読取り器１０８は、主に非共振誘導性アセンブリ（少なくとも、ＲＦＩＤ読取り器のための関心周波数に関して）である。図４の実施の形態は、最も効果的である場合にはより大きい巻線電流を、従ってより大きい磁束を供給する。
【００３６】
図５は、ＲＦＩＤブリッジ２３０を示している。この実施の形態では、ＲＦＩＤブリッジ２３０は、第１の電磁（ＥＭ）アンテナ２１２及び第２のＥＭアンテナ２１４を含んでいる。第１のＥＭアンテナ２１２は、デバイス２１６によって第２のＥＭアンテナ２１４に電気的に結合されている。デバイス２１６は、単なる例示であるが、ケーブル、印刷回路基板、等からなることができる。第１のＥＭアンテナ２１２は、第２のＥＭアンテナ２１４に無線で接続することもできる。図１の実施の形態と同様に、第２のＥＭアンテナ２１４は、ＦＯＵＰが着座している時に、または静止位置にある時に、アンテナ２１４がＲＦＩＤタグ１０６の近くに位置するように、ストッカー棚、バッファ棚、ツール、等の上に位置決めされる。第１のＥＭアンテナ２１２は、送信デバイス２０２をＥＭアンテナ２１２に容易に近付けることができるならば、何処に位置決めしても差し支えない。
【００３７】
図５の実施の形態は、図１の実施の形態と同じように動作する。第１のＥＭアンテナ２１２は、送信デバイス２０２が第１のＥＭアンテナ２１２の範囲内に到来すると、送信デバイス２０２から放射される信号をピックアップする。第１のＥＭアンテナ２１２は、ビークル送信デバイス２０２からの信号をピックアップし、その信号を、デバイス２１６を通して（または、もしデバイス２１６が存在しなければ、無線で）第２のＥＭ送信デバイス２１４へ伝送する。第２のＥＭアンテナ２１４はＲＦＩＤタグ１０６と通信し、ＲＦＩＤタグ情報を第１のＥＭアンテナ２１２へ戻す。この情報は、ビークルのＲＦＩＤ読取り器１０８へ戻して中継される。
【００３８】
図６は、ＲＦＩＤシステム１００の一実施の形態を示している。この実施の形態では、各ＲＦＩＤブリッジ１３０は貯蔵位置１５０に取付けられる。即ち、ＲＦＩＤブリッジ１３０ａが、貯蔵位置１５０ａに取付けられている。ＲＦＩＤブリッジ１３０ｂが、貯蔵位置１５０ｂに取付けられている。ＲＦＩＤブリッジ１３０ｃが、貯蔵位置１５０ｃに取付けられている。これら３つの貯蔵位置１５０は、ストッカー内の３つの貯蔵棚、３つのバッファ棚、３つの処理ツール等の代表である。
【００３９】
各ＲＦＩＤブリッジ１３０の再現コイル１１４は、貯蔵位置１５０に取付けられる。図６に示すピックアップコイル１１２は、各貯蔵位置１５０の前面に取付けられている。ピックアップコイル１１２は、ピックアップコイル１１２に送信デバイス１０２が容易にアクセス可能であるならば貯蔵棚１５０の他の位置に取付ける、または確保することができる（詳細は後述する）。通信デバイスまたはケーブル１１６は、ピックアップコイル１１２を再現コイル１１４に電気的に結合する。
【００４０】
再現コイル１１４は、貯蔵位置１５０の如何なる部分にも取付ける、または確保することができる。図６の実施の形態では、再現コイル１１４は、コンテナ２が貯蔵位置１５０内に格納された時に、コンテナ２上に取付けられているＲＦＩＤタグ１０６の近くに再現コイル１１４が位置するように、貯蔵位置１５０の上側部分１５２に取付けられている。ＲＦＩＤブリッジ１３０が柔軟であるので、ＲＦＩＤタグ１０６がコンテナ２の何処に取付けられていようとも、システム１００はＲＦＩＤタグ１０６を読取ることができる。もし、ＲＦＩＤタグ１０６がコンテナ２の後面に取付けられていれば、コンテナ２が貯蔵位置１５０に着座した時に再現コイル１１４がＲＦＩＤタグ１０６を読取ることができるように、再現コイル１１４を貯蔵位置１５０の後方部分１５４に取付ければよい。
【００４１】
再現コイル１１４のＲＦ磁場がＲＦＩＤタグ１０６を越えて伸び、再現コイル１１４とＲＦＩＤタグ１０６との間の空気／真空ギャップを横切ることができるようにするためには、再現コイル１１４をＲＦＩＤタグ１０６に近付ける必要がある。ピックアップコイル１１２を含むＲＦＩＤブリッジ１３０の他方の端は、送信デバイス１０２を近付けた時に送信デバイス１０２が発生するＲＦ磁場をピックアップコイル１１２が受信できる場所に配置することが好ましい。
【００４２】
アーム１０７の先端１１５に位置している送信デバイス１０２を有するロボット１０４は、送信デバイス１０２を１つのピックアップコイル１１２に近付けるように運動可能である。その点において、ピックアップコイル１１２は、送信デバイス１０２が放射する無線波または信号１１０をピックアップする。ロボット１０４は、送信デバイス１０２をＦＯＵＰ ２上のＲＦＩＤタグ１０６までさまざまに伸ばす必要はない。１つのコンテナ２を移動させずに各コンテナ２内の内容目録を識別するために、ロボット１０４は送信デバイス１０２を各ピックアップコイル１１２の間で移動させることができる。図６は、複数の貯蔵位置１５０にアクセスするために、ロボットアーム１０７を伸張／収縮させる（矢印１２０で示す）、回転させる（矢印１２２で示す）ことができることを示しており、また上昇／下降させることができる。
【００４３】
ピックアップコイル１１２は、送信デバイス１０２が種々の距離から放射する信号をピックアップ、即ち受信することができる。一実施の形態では、ロボット１０４は、ピックアップコイル１１２の５ｃｍ以内に送信デバイス１０２を移動させる。次いで、ピックアップコイル１１２は信号を再現コイル１１４へ伝送し、再現コイル１１４はＲＦＩＤタグ１０６と通信する。再現コイル１１４は、ＲＦＩＤタグ情報をピックアップコイル１１２へ戻して伝送する。この情報は、ＲＦＩＤ読取り器１０８へ戻して中継される。ＲＦＩＤ読取り器１０８が特定のＲＦＩＤタグ１０６から情報を入手すると、ロボット１０４は直ちに送信デバイス１０２を別のＲＦＩＤタグ１０６へ移動させることができる。これは、製造設備の貴重な時間を節約する。大きいアンテナを使用し、空気を通してＲＦＩＤタグの読取りパワーを転送する従来の方法に比して、ＲＦＩＤブリッジ１３０は受動的なＲＦＩＤタグを読取るためのより小型の、受動的な、そして高価ではない解決策を提供する。
【００４４】
ＲＦＩＤブリッジ１３０は、コンテナ２上のＲＦＩＤタグ１０６の取付け位置を選択する際に、従来のＲＦＩＤシステムより大きい柔軟性を与える。現在は、コンテナがストッカー内に格納されている時に、ＲＦＩＤタグをＲＦＩＤ読取り器及び特定の貯蔵位置に取付けられているアンテナと対面させるために、ＲＦＩＤタグをコンテナの前面に取付けなければならない。このタグ位置が、貯蔵の配向、及び貯蔵デバイス及びロボットのアクセス空間及び経路の物理的レイアウトを大きく制約する。ＲＦＩＤブリッジ１３０は、ＲＦＩＤタグ１０６をコンテナ２上の何処にでも取付けることを可能にする。即ち、ＲＦＩＤは、コンテナ、貯蔵棚、及びロボット間の物理的関係を更に制約することはない。ピックアップコイル１１２は、単に送信デバイス１０２がアクセスできればよい。図６は、各ＲＦＩＤタグ１０６がコンテナ２の前面に取付けられていることを示している。ＲＦＩＤタグ１０６が例えばコンテナ２の後面に取付けられていても（図示してない）、ピックアップコイル１１２は貯蔵位置１５０の前面に留まり、再現コイル１１４だけを移動させる。即ち、再現コイル１１４を、ＲＦＩＤタグ１０６に近い位置まで移動させる。それでもケーブル１１６は、再現コイル１１４をピックアップコイル１１２に接続し続ける。ピックアップコイル１１２は貯蔵位置１５０の前面に留まり、送信デバイス１０２はＲＦＩＤタグ１０６がコンテナ２のどの表面上に位置していても読取ることができる。
【００４５】
図６の実施の形態は、更に、送信デバイス１０２と貯蔵位置１５０との間に位置する外部材料／デバイス（例えば、機械的支持または他の構造）からのＲＦ妨害の量を最小にする。従って貯蔵棚１５０は、鉄またはクロムのような金属または別の磁性材料からなることができる。貯蔵棚１５０は、他の多くの材料からなることができる。貯蔵棚１５０は、電子／ＲＦ雑音を発生する他の電気的／電子的デバイスを有することもできる。これらの妨害を最小化するために、ケーブル１１６は、例えばツイステッドペア及び／またはシールデッドペアまたは同軸であることができ、また鉄製のチャンネルまたはサスペンションワイヤー上に（近傍の電気／電子デバイスのための隣接する交流電力／信号ワイヤーと共に）配線することができる。この型のワイヤーは、隣接する交流電力ケーブルからの雑音、または鉄金属との電子的相互作用を原因とするそれ程重大ではない劣化を生ずる。
【００４６】
ＲＦＩＤタグを読取るために必要な電力レベルは、一般的に、ＲＦＩＤアンテナとＲＦＩＤタグとの間の距離の３乗で増加するから、従来のＲＦＩＤシステムはより長い距離でＲＦＩＤタグを読取るためには大きいＲＦ電力を発生しなければならない。これは、種々の電力、ＥＭＩ、及び安全上の理由からＲＦＩＤアンテナとＲＦＩＤタグとの間に許容される実際の距離を制限する。説明している本発明の実施の形態は各々、送信デバイス１０２とピックアップコイル１１２との間、及びＲＦＩＤタグ１０６と再現コイル１１４との間の通信に必要なＲＦ電力が小さくてよいので、動作に必要な電力は小さい。システムの総合電力要求が低いので、本発明はより安価なＲＦＩＤ無線を使用することが可能になり、システムのコストを低下させる。ＲＦ電力要求が低いことは、改良された品質制御をももたらす。もし、追跡している材料が例えばＦＯＵＰ内に格納されているウェーハであれば、ウェーハが曝されるＲＦエネルギはより低いことが好ましい。大きいＲＦエネルギはウェーハを破壊するか、または品質を劣化させるからである。低電力要求はまた、応用または法令が低ＲＦ電力制約を要求するような場合に、新しい使用を可能にする。
【００４７】
図７は、ＲＦＩＤブリッジ４３０のモノポール構成を示している。この実施の形態では単一の磁気ロッド４１４が使用され、明確な有形戻り経路を用いずにＲＦ場４１０を発生する。ロボット４０４は、就中、送信デバイス４０２及びＲＦＩＤ読取り器４０８を含んでいる。ＲＦＩＤブリッジ４３０は、この実施の形態では、単一の磁気ロッド４１４からなっている。磁気ロッド４１４は、単片構造、または複数の密に接続された片からなることができる。磁気ロッド４１４はモノポール構造であり、低磁気抵抗の磁性材料を介して磁束４１０の広がりにわたって伸びている。ＲＦ場のための戻り路４１７は、空気を通してである。図７の実施の形態は、戻り路４１７が高い磁気抵抗を呈する空気を通るので、図２の実施の形態程効率的ではない。戻り路４１７は、近傍の雑音源からの妨害にも曝され、近傍金属または磁性材料からの非システマティック（決定及び／または制御することが容易でない）電子的挙動によって影響され得る。ＲＦＩＤタグ４０６は、これらの効果を最小化するために磁気ロッド４１４の下に位置させることが好ましい。勿論、ＲＦＩＤタグ４０６を他所に位置決めすることもできる。
【００４８】
図８は、ＲＦＩＤシステム１００が２つの共振回路を含み得ることを示している。共振回路は、送信デバイス１０２及びピックアップコイル１１２によって形成される空気・変成器の各側に１つずつ存在している。この場合、キャパシタＣ５及びＣ６が送信デバイス１０２と組合されて１つの共振回路を構成している。キャパシタＣ７及びＣ８は、ＲＦＩＤブリッジ１３０の側に第２の共振回路を構成している。この構成は、電子的設計にある課題をもたらすが（臨界結合より大きい場合の共振スプリット）、それ以外は実行可能なオプションである。
【００４９】
図９は、ＲＦＩＤシステム５００を示している。この実施の形態では、各貯蔵位置５５０は種々のサイズの１つまたはそれ以上の、この実施の形態では３つまでのコンテナを格納することができる。従って各貯蔵位置５５０は、システム５００が各コンテナの内容目録及び／または貯蔵位置を決定できるように、３つのＲＦＩＤブリッジ５３０を含んでいる。各貯蔵位置５５０は如何なる数のコンテナ２をも格納することができ、複数の貯蔵位置５５０を例えば垂直にスタックしてストッカー状装置を構成することができる。このシステム５００は柔軟且つ効率的な貯蔵空間を提供し、種々のサイズのコンテナを貯蔵位置５５０の何れかの中に格納することを可能にする。
【００５０】
図９は、貯蔵位置５５０ａが３つのＲＦＩＤブリッジ、即ち、ＲＦＩＤブリッジ５３０ａ１、ＲＦＩＤブリッジ５３０ａ２、及びＲＦＩＤブリッジ５３０ａ３を含むことを示している。各ＲＦＩＤブリッジ５３０ａは、貯蔵位置５５０ａ内の貯蔵領域に専用されている。例えば、再現コイル５１４ａ１はトップ貯蔵領域に専用され、再現コイル５１４ａ２は中央貯蔵領域に専用され、そして再現コイル５１４ａ３は下側貯蔵領域に専用される。図９に示されているコンテナ２は、コンテナの左側に取付けられているＲＦＩＤタグ５０６を含む。従って、各再現コイル５１４ａは、コンテナ２が１つの貯蔵領域内に着座した時に、再現コイル５１４ａがＲＦＩＤタグ５０６に接近するように、またはその付近に位置するように貯蔵位置５５０ａに位置決め、または取付けられる。ＲＦＩＤタグ５０６が各コンテナ２の異なる位置（例えば、コンテナのトップ）に取付けられていれば、再現コイル５１４ａは各々、貯蔵位置の対応する位置に取付けることができる。
【００５１】
各ＲＦＩＤブリッジ５３０ａは、送信デバイス５０２が容易にアクセスできる位置（例えば、貯蔵位置５５０ａの前方、もし貯蔵位置が天井取付けであれば貯蔵位置５５０ａの下、等）に位置決めされているピックアップコイル５１２ａを含む。ＲＦＩＤブリッジ５３０ａ１はピックアップコイル５１２ａ１を含み、ＲＦＩＤブリッジ５３０ａ２はピックアップコイル５１２ａ２を含み、そしてＲＦＩＤブリッジ５３０ａ３はピックアップコイル５１２ａ３を含む。各ピックアップコイル５１２ａは、導体５１６ａによって再現コイル５１４ａに接続されているように図示されている。好ましい実施の形態では、ピックアップコイル５１２ａ１−５１２ａ３は、ロボット５０４が送信デバイス５０２を各ピックアップコイル５１２ａに容易に近付けることができるように、垂直にスタックされている。各ＲＦＩＤブリッジ５３０ａは、他の構成を有することができる。例えば、ピックアップコイル５１２ａは、アンテナ（例えば、図５）、電磁デバイス、磁気デバイス、等からなることができる。
【００５２】
ＲＦＩＤタグ５０６は、コンテナ２の容量またはサイズのような他の情報を含むこともできる。従って、ロボット５０４はＲＦＩＤタグ５０６を読取って、コンテナ２のサイズ（例えば、大容量ＦＯＵＰまたは小容量ＦＯＵＰ）、貯蔵位置５５０が空であるか否か、等々を決定することができる。コンテナ存在センサーは最早不要であり、能動型及び／または被給電エレクトロニクスは貯蔵位置５５０から排除される。ＲＦＩＤブリッジは材料コストを、並びに設置及び保守コストをも引き下げる。
【００５３】
従来のシステムでは、同じ情報を得るために、ＲＦＩＤアンテナを各個々のコンテナのＲＦＩＤタグへ近付けなければならなかった。本発明では、貯蔵領域毎に専用ＲＦＩＤブリッジが設けられているので、ＲＦＩＤ読取り器５０８は貯蔵位置５５０ａ内に格納されている各コンテナ２の内容目録を容易に決定し、及び／またはその貯蔵領域が空であるか否かを決定することができる。動作中、ロボット５０４は送信デバイス５０２をピックアップコイル５１２ａ３に近付け、下側貯蔵領域内に着座しているコンテナ２ｂの内容目録を入手する。次いで、ロボット５０４は送信デバイス５０２をピックアップコイル５１２ａ２に近付け、中央貯蔵領域内に着座しているコンテナ２ａの内容目録を入手する。次いで、ロボット５０４は送信デバイス５０２をピックアップコイル５１２ａ１に近付け、上側貯蔵領域が空であることを決定する。３つの決定の全てが、送信デバイス５０２を短い距離（例えば、ピックアップコイル５１２ａ１とピックアップコイル５１２ａ３との間の距離）移動させるだけで達成されている。代替として、ＲＦＩＤ送信デバイス５０２を３つのピックアップコイル５１２ａ１、５１２ａ２、及び５１２ａ３全部の通信範囲内に移動させ、その後に、何等の付加的な距離をも移動させることなく、３つのピックアップコイルの全部を読取ることができる。
【００５４】
貯蔵位置５５０ｂも、３つのＲＦＩＤブリッジ、即ち、ＲＦＩＤブリッジ５３０ｂ１、ＲＦＩＤブリッジ５３０ｂ２、及びＲＦＩＤブリッジ５３０ｂ３を含んでいる。各ＲＦＩＤブリッジ５３０ｂは、貯蔵位置５５０ｂ内の貯蔵領域に専用される。即ち、再現コイル５１４ｂ１は貯蔵位置５５０ｂ内の貯蔵領域に専用され、再現コイル５１４ｂ２は中央貯蔵領域に専用され、そして再現コイル５１４ｂ３は下側貯蔵領域に専用される。
【００５５】
各ＲＦＩＤブリッジ５３０ｂは、送信デバイス５０２が容易にアクセス可能な位置に位置決めされているピックアップコイル５１２ｂを含む。ＲＦＩＤブリッジ５３０ｂ１はピックアップコイル５１２ｂ１を含み、ＲＦＩＤブリッジ５３０ｂ２はピックアップコイル５１２ｂ２を含み、そしてＲＦＩＤブリッジ５３０ｂ３はピックアップコイル５１２ｂ３を含む。各ピックアップコイル５１２ｂは、導体５１６ｂによって再現コイル５１４ｂに接続されている。好ましい実施の形態では、ピックアップコイル５１２ｂ１−５１２ｂ３は、ロボット５０４が送信デバイス５０２を各ピックアップコイル５１２ｂに容易に近付けることができるように、垂直にスタックされている。各ＲＦＩＤブリッジ５３０ｂは、他の構成を有することができる。例えばピックアップコイル５１２ｂは、アンテナ（例えば、図５）、電磁デバイス、磁気デバイス、等からなることができる。
【００５６】
貯蔵位置５５０ｂは２つのコンテナ、即ち、コンテナ２ｃ及びコンテナ２ｄを格納しているように図示されている。コンテナ２ｃは大容量コンテナであり、ボトム貯蔵領域及び中央貯蔵領域を占有している。コンテナ２ｄは図９に示したコンテナ２ａ及び２に類似し、トップ貯蔵領域を占有している。各再現コイル５１４ｂは、小容量コンテナまたは大容量コンテナの何れのＲＦＩＤタグ５０６からも情報を入手することができるように、貯蔵位置５５０ｂ上に配置されている。ロボット５０４が送信デバイス５０２をピックアップコイル５１２ｂ３に近付けると、ＲＦＩＤ読取り器１０８はコンテナ２ｃのＲＦＩＤタグ５０６内に格納されている情報を入手する。ロボット５０４が送信デバイス５０２をピックアップコイル５１２ｂ２に近付けても、再現コイル５４１ｂ２の近くにはＲＦＩＤタグ５０６が位置していないので、ＲＦＩＤ読取り器１０８は情報を入手しない。ロボット５０４が送信デバイス５０２をピックアップコイル５１２ｂ１に近付けると、ＲＦＩＤ読取り器１０８はコンテナ２ｄのＲＦＩＤタグ５０６内に格納されている情報を入手する。
【００５７】
貯蔵位置５５０ｃは２つのコンテナ、即ち、コンテナ２ｅ及びコンテナ２ｆを格納しているように図示されている。コンテナ２ｅはボトム貯蔵領域を占有し、コンテナ２ｆはトップ貯蔵領域を占有している。中央貯蔵領域は空である。各再現コイル５１４ｃは、３つの貯蔵領域の何れかに格納されているコンテナ上のＲＦＩＤタグ５０６から情報を入手することができるように、貯蔵位置５５０ｃ上に配置されている。ロボット５０４が送信デバイス５０２をピックアップコイル５１２ｃ３に近付けると、ＲＦＩＤ読取り器１０８はコンテナ２ｅのＲＦＩＤタグ５０６内に格納されている情報を入手する。ロボット５０４が送信デバイス５０２をピックアップコイル５１２ｃ２に近付けても、中央貯蔵領域は空であるのでＲＦＩＤ読取り器１０８は情報を入手しない。ロボット５０４が送信デバイス５０２をピックアップコイル５１２ｃ１に近付けると、ＲＦＩＤ読取り器１０８はコンテナ２ｆのＲＦＩＤタグ５０６内に格納されている情報を入手する。
【００５８】
ＲＦＩＤタグを遠隔的に読取るための上述したメカニズム及び方法は単なる例示に過ぎず、本発明はこれらに限定されるものではないことを理解されたい。ＲＦＩＤ読取り範囲を拡張する方法及びシステムの好ましい実施の形態を説明したが、当業者ならば、システム内に若干の長所が達成されていることを理解できよう。また、本発明の範囲及び思想から逸脱することなく種々の変更、順応、及び代替実施の形態を考え得ることも理解されよう。例えば、ストッカーに関連してのＲＦＩＤブリッジ１３０の使用も、半導体製造設備内の他の機器と関連して使用することができ、また多くの上述した本発明の概念は他の非半導体製造応用への使用にも等しく適用されることは明白である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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