(57)【要約】【課題】上面の撥インク性およびその耐ＵＶ／Ｏ３性が良好な隔壁を形成でき、ならびにアルカリ溶解性が良好な、ネガ型感光性樹脂組成物を製造できる部分加水分解性縮合物または撥インク剤の提供。上面に良好な撥インク性を有する隔壁を形成できるネガ型感光性樹脂組成物の提供。ＵＶ／Ｏ３照射処理を経ても撥インク性が良好に保持できる硬化膜および隔壁の提供。ドット内にインクを均一塗布できる光学素子の提供。【解決手段】フルオロアルキレン基および／またはフルオロアルキル基と加水分解性基とを有し、酸性基を有しない第１の加水分解性シラン化合物と、酸性基と加水分解性基とを有する第２の加水分解性シラン化合物とを含む混合物の部分加水分解縮合物。【選択図】図１Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フルオロアルキレン基および／またはフルオロアルキル基と加水分解性基とを有し、酸性基を有しない第１の加水分解性シラン化合物と、酸性基と加水分解性基とを有する第２の加水分解性シラン化合物とを含む混合物の部分加水分解縮合物。
【請求項２】
前記酸性基が、カルボキシ基、フェノール性水酸基またはスルホ基である、請求項１に記載の部分加水分解縮合物。
【請求項３】
前記第１の加水分解性シラン化合物が下式（ｃ−１）で表される化合物である、請求項１または２に記載の部分加水分解縮合物。
（Ａ−ＲＦ１１）ａ−Ｓｉ（ＲＨ１１）ｂＸ１１（４−ａ−ｂ）・・・（ｃ−１）
（式（ｃ−１）中、各記号は以下の通りである。
ＲＦ１１は、少なくとも１つのフルオロアルキレン基を含む、炭素原子数１〜１６の２価の有機基またはエーテル性酸素原子を含む炭素原子数２〜１６の２価の有機基である。
ＲＨ１１は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
ａは１または２、ｂは０または１、ａ＋ｂは１または２である。
Ａはフッ素原子または下式（Ｉ）で表される基である。
−Ｓｉ（ＲＨ１２）ｃＸ１２（３−ｃ）・・・（Ｉ）
ＲＨ１２は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
ｃは０または１である。
Ｘ１１およびＸ１２は加水分解性基である。
Ｘ１１が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
Ｘ１２が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
Ａ−ＲＦ１１が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。）
【請求項４】
前記第２の加水分解性シラン化合物が、下式（ｃ−２ｕ）で表される単位と加水分解性シリル基とを有する化合物、環状のカルボン酸無水物と、アミノ基を有する加水分解性シラン化合物との反応物、または、エチレン性二重結合と、水酸基またはカルボキシ基およびその誘導体を有する化合物と、ヒドロシラン類との反応物である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の部分加水分解縮合物。
【化１】
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（式（ｃ−２ｕ）中、Ｒ２２は式：−Ｒ２５−ＣＯＯＨ（ここで、Ｒ２５は炭素原子数１〜１０の２価の炭化水素基、またはフェニレン基を示す。）で表される基である。）
【請求項５】
前記混合物がさらに下式（ｃ−３）で表される第３の加水分解性シラン化合物を含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の部分加水分解縮合物。
ＳｉＸ３４・・・（ｃ−３）
（式（ｃ−３）中、Ｘ３は加水分解性基を示し、４個のＸ３は互いに異なっていても同一であってもよい。）
【請求項６】
フッ素原子の含有割合が１０〜５５質量％である、請求項１〜５のいずれか一項に記載の部分加水分解縮合物。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の部分加水分解縮合物を含む撥インク剤。
【請求項８】
請求項７に記載の撥インク剤、光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）および溶媒（Ｄ）を含むことを特徴とする、ネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項９】
さらに、１分子中に２つ以上のエチレン性二重結合を有し、酸性基を有しない架橋剤（Ｅ）を含む、請求項８に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
請求項８または９に記載のネガ型感光性樹脂組成物を基板表面に塗布し、溶媒（Ｄ）を除去し、露光してなることを特徴とする、硬化膜。
【請求項１１】
請求項１０に記載の硬化膜からなることを特徴とする、隔壁。
【請求項１２】
複数のドットと請求項１１に記載の隔壁とを備えることを特徴とする、光学素子。
【請求項１３】
下式（ｃ−２ａ）で表される化合物。
【化２】
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（式（ｃ−２ａ）中、各記号は以下の通りである。
Ｒ２１は式：−ＣＯＯＲ２４（ここで、Ｒ２４は炭素原子数１〜６の炭化水素基を示す。）で表される基、または水素原子が炭素原子数１〜１０の炭化水素基に置換されていてもよいフェニル基である。
Ｒ２２は式：−Ｒ２５−ＣＯＯＨ（ここで、Ｒ２５は炭素原子数１〜１０の２価の炭化水素基、またはフェニレン基を示す。）で表される基である。
Ｘ２は加水分解性基であり、３個のＸ２は互いに異なっていても同一であってもよい。
Ｑ２は炭素原子数１〜１０の炭化水素基である。
ｍは１以上の整数、ｎは１以上の整数である。）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部分加水分解縮合物、並びに、これを用いた撥インク剤、ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、隔壁および光学素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ（Electro-Luminescence）素子においては、発光層等の有機層をインクジェット（ＩＪ）法にてパターン印刷する方法がある。かかる方法においては、ドットの輪郭に沿って隔壁を設け、その内部に、形成する層の材料を含むインクを注入し、これを乾燥および／または加熱等することにより所望のパターン膜を形成する。
上記方法においては、隣接するドット間におけるインクの混色防止とドット内におけるインクの均一塗布のため、隔壁上面は撥インク性を有する一方、隔壁側面は親インク性を有する必要がある。
【０００３】
上記隔壁は例えば、感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィ法によりパターン形成される。
例えば、感光性樹脂組成物に表面自由エネルギーが小さい撥インク剤を含ませると、塗膜を乾燥させる際に溶媒が蒸発する過程で、撥インク剤がその他の固形成分との間に働く斥力によって空気側（塗膜の上面側）に移行することを利用して、得られる隔壁の上面に撥インク性を付与することができる。かかる方法では、撥インク剤の上面移行性が重要である。また、現像後にドット内に撥インク剤が残存しないことが重要である。
【０００４】
有機ＥＬ素子においては、現像後にドット内に残る感光性樹脂組成物の残渣によって、発光層等の有機層が劣化しやすくなる。そこで、ドット内の現像残渣除去のため、インク注入前に基材の表面全体に対して通常、ＵＶ（紫外線）／Ｏ３（オゾン）照射処理を行う。ＵＶ／Ｏ３照射処理後も、隔壁上面の撥インク性が良好に保持されることが重要である。
【０００５】
従来、撥インク剤としては、炭素−炭素結合を主とする主鎖と、フッ素原子を有する側鎖とを含むアクリル系重合体が知られている。しかしながら、アクリル系重合体からなる撥インク剤は撥インク性の耐ＵＶ／Ｏ３性が低く、有機ＥＬ素子の隔壁用途としては不充分である。
【０００６】
特許文献１には、表面自由エネルギーが充分に小さく、形成される隔壁は上面が良好な撥インク性を有し、かつ、ＵＶ／Ｏ３照射処理を経てもその撥インク性が良好に保持される含フッ素加水分解性シラン化合物の加水分解縮合物からなるシリコーン系の撥インク剤を含むネガ型感光性樹脂組成物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開第２０１０／０１３８１６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来のシリコーン系の撥インク剤は、アルカリ現像液への溶解性が不充分な傾向にある。アルカリ現像液はリサイクルされ、再使用される場合がある。撥インク剤のアルカリ溶解性が不充分であると、現像液のリサイクル過程で析出しやすい。そのため、撥インク剤の析出物が現像液の配管あるいはタンク等に徐々に付着し、リサイクル処理に支障を来す恐れがある。
【０００９】
本発明は、上面の撥インク性およびその耐ＵＶ／Ｏ３性が良好な隔壁を形成でき、ならびにアルカリ溶解性が良好な、ネガ型感光性樹脂組成物を製造できる、加水分解性シラン化合物の部分加水分解縮合物の提供を目的とする。
本発明は、上面の撥インク性およびその耐ＵＶ／Ｏ３性が良好な隔壁が形成でき、ならびにアルカリ溶解性が良好なネガ型感光性樹脂組成物を製造できる、撥インク剤の提供を目的とする。
本発明は、隔壁上面に良好な撥インク性を付与する隔壁を形成できる、ネガ型感光性樹脂組成物の提供を目的とする。
本発明は、上面に良好な撥インク性を有し、ＵＶ／Ｏ３照射処理を経てもその撥インク性が良好に保持される、硬化膜および隔壁の提供を目的とする。
本発明は、隔壁の上面に良好な撥インク性を有し、ドット内に撥インク剤が残存しにくい特性を有するため、ドット内にインクを均一塗布できる隔壁を有する、光学素子の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、以下［１］〜［１３］の構成を有する部分加水分解縮合物、撥インク剤、ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、隔壁、光学素子および化合物を提供する。
【００１１】
［１］フルオロアルキレン基および／またはフルオロアルキル基と加水分解性基とを有し、酸性基を有しない第１の加水分解性シラン化合物と、酸性基と加水分解性基とを有する第２の加水分解性シラン化合物とを含む混合物の部分加水分解縮合物。
［２］前記酸性基が、カルボキシ基、フェノール性水酸基またはスルホ基である、［１］の部分加水分解縮合物。
［３］前記第１の加水分解性シラン化合物が下式（ｃ−１）で表される化合物である、［１］または［２］の部分加水分解縮合物。
（Ａ−ＲＦ１１）ａ−Ｓｉ（ＲＨ１１）ｂＸ１１（４−ａ−ｂ）・・・（ｃ−１）
（式（ｃ−１）中、各記号は以下の通りである。
ＲＦ１１は、少なくとも１つのフルオロアルキレン基を含む、炭素原子数１〜１６の２価の有機基またはエーテル性酸素原子を含む炭素原子数２〜１６の２価の有機基である。
ＲＨ１１は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
ａは１または２、ｂは０または１、ａ＋ｂは１または２である。
Ａはフッ素原子または下式（Ｉ）で表される基である。
−Ｓｉ（ＲＨ１２）ｃＸ１２（３−ｃ）・・・（Ｉ）
ＲＨ１２は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
ｃは０または１である。
Ｘ１１およびＸ１２は加水分解性基である。
Ｘ１１が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
Ｘ１２が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
Ａ−ＲＦ１１が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。）
［４］前記第２の加水分解性シラン化合物が、下式（ｃ−２ｕ）で表される単位と加水分解性シリル基とを有する化合物、環状のカルボン酸無水物と、アミノ基を有する加水分解性シラン化合物との反応物、または、エチレン性二重結合と、水酸基またはカルボキシ基およびその誘導体を有する化合物と、ヒドロシラン類との反応物である、［１］〜［３］のいずれかの部分加水分解縮合物。
【化１】
2015227387.tif 000003
（式（ｃ−２ｕ）中、Ｒ２２は式：−Ｒ２５−ＣＯＯＨ（ここで、Ｒ２５は炭素原子数１〜１０の２価の炭化水素基、またはフェニレン基を示す。）で表される基である。）
［５］前記混合物がさらに下式（ｃ−３）で表される第３の加水分解性シラン化合物を含む、［１］〜［４］のいずれかの部分加水分解縮合物。
ＳｉＸ３４・・・（ｃ−３）
（式（ｃ−３）中、Ｘ３は加水分解性基を示し、４個のＸ３は互いに異なっていても同一であってもよい。）
［６］フッ素原子の含有割合が１０〜５５質量％である、［１］〜［５］のいずれかの部分加水分解縮合物。
【００１２】
［７］前記［１］〜［６］のいずれかの部分加水分解縮合物を含む撥インク剤。
【００１３】
［８］前記［７］の撥インク剤、光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）および溶媒（Ｄ）を含む、ネガ型感光性樹脂組成物。
［９］さらに、１分子中に２つ以上のエチレン性二重結合を有し、酸性基を有しない架橋剤（Ｅ）を含む、［８］のネガ型感光性樹脂組成物。
【００１４】
［１０］前記［８］または［９］のネガ型感光性樹脂組成物を基板表面に塗布し、溶媒（Ｄ）を除去し、露光してなる硬化膜。
［１１］前記［１０］の硬化膜からなる隔壁。
［１２］複数のドットと前記［１１］の隔壁とを備える光学素子。
【００１５】
［１３］下式（ｃ−２ａ）で表される化合物。
【化２】
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（式（ｃ−２ａ）中、各記号は以下の通りである。
Ｒ２１は式：−ＣＯＯＲ２４（ここで、Ｒ２４は炭素原子数１〜６の炭化水素基を示す。）で表される基、または水素原子が炭素原子数１〜１０の炭化水素基に置換されていてもよいフェニル基である。
Ｒ２２は式：−Ｒ２５−ＣＯＯＨ（ここで、Ｒ２５は炭素原子数１〜１０の２価の炭化水素基、またはフェニレン基を示す。）で表される基である。
Ｘ２は加水分解性基であり、３個のＸ２は互いに異なっていても同一であってもよい。
Ｑ２は炭素原子数１〜１０の炭化水素基である。
ｍは１以上の整数、ｎは１以上の整数である。）
【発明の効果】
【００１６】
本発明の部分加水分解縮合物は、上面の撥インク性およびその耐ＵＶ／Ｏ３性が良好な隔壁が形成でき、ならびにアルカリ溶解性が良好な、ネガ型感光性樹脂組成物を製造できる。
本発明の撥インク剤は、上面の撥インク性およびその耐ＵＶ／Ｏ３性が良好な隔壁が形成でき、アルカリ溶解性が良好なネガ型感光性樹脂組成物を製造できる。
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、上面に良好な撥インク性を有する隔壁を形成できる。
本発明の硬化膜および隔壁は、上面に良好な撥インク性を有し、ＵＶ／Ｏ３照射処理を経てもその撥インク性が良好に保持される。
本発明の光学素子は、隔壁の上面に良好な撥インク性を有し、ドット内に撥インク剤が残存しにくい特性を有するため、ドット内にインクを均一塗布できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１Ａ】本発明に係る硬化膜からなる隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図１Ｂ】本発明に係る硬化膜からなる隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図１Ｃ】本発明に係る硬化膜からなる隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図１Ｄ】本発明に係る硬化膜からなる隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図１Ｅ】本発明に係る硬化膜からなる隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図２Ａ】本発明に係る硬化膜からなる隔壁を用いたパターン膜の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図２Ｂ】本発明に係る硬化膜からなる隔壁を用いたパターン膜の製造方法を模式的に示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本明細書において、「（メタ）アクリロイル基」は、「メタクリロイル基」と「アクリロイル基」の総称である。（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、および（メタ）アクリル樹脂もこれに準じる。
【００１９】
本明細書において、式（ｘ）で表される基を、単に基（ｘ）と記載することがある。
本明細書において、式（ｙ）で表される化合物を、単に化合物（ｙ）と記載することがある。
ここで、式（ｘ）、式（ｙ）は、任意の式を示している。
【００２０】
本明細書における「側鎖」とは、繰り返し単位が主鎖を構成する重合体において、主鎖を構成する炭素原子に結合する、水素原子またはハロゲン原子以外の基である。
【００２１】
本明細書における「感光性樹脂組成物の全固形分」とは、感光性樹脂組成物が含有する成分のうち後述する硬化膜を形成する成分を指し、感光性樹脂組成物を１４０℃で２４時間加熱して溶媒を除去した残存物から求める。なお、全固形分量は仕込み量からも計算できる。
【００２２】
本明細書においては、感光性樹脂組成物を塗布した膜を「塗膜」、それを乾燥させた膜を「乾燥膜」、さらにそれを硬化させて得られる膜を「硬化膜」という。
硬化膜は、パターン膜でもよいし、パターンが形成されていない膜でもよい。
本明細書において、隔壁の「上面」は、隔壁の表面のみを示す用語として用いる。したがって、隔壁の「上面」には、隔壁の側面は含まれない。
【００２３】
本明細書における「インク」には、光学的および／または電気的な機能を有する液体全般が含まれる。
本明細書における「インク」には、インクジェット（ＩＪ）法によるパターン印刷に用いられるインク全般が含まれる。
有機ＥＬ素子、液晶素子のカラーフィルタおよび有機ＴＦＴ（Thin Film Transistor）アレイ等の光学素子において、各種構成要素をＩＪ法によりパターン印刷できる。本明細書における「インク」には、かかる用途に用いられるインクが含まれる。
【００２４】
本明細書における「撥インク性」とは、上記インクをはじく性質であり、撥水性と撥油性の両方を有する。撥インク性は例えば、インクを滴下したときの接触角により評価できる。
本明細書における「耐ＵＶ／Ｏ３性」とは、ＵＶ／Ｏ３照射処理後も撥インク性が良好に保持される特性をいう。
【００２５】
本明細書における「ドット」とは、光学素子における光変調可能な最小領域を示す。有機ＥＬ素子、液晶素子のカラーフィルタ、および有機ＴＦＴアレイ等の光学素子においては、白黒表示の場合に１ドット＝１画素であり、カラー表示の場合に例えば３ドット（Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）等）＝１画素である。
【００２６】
以下、本発明の実施の形態を説明する。なお、本明細書において特に説明のない場合、％は質量％を表す。
【００２７】
［部分加水分解縮合物］
本発明の部分加水分解縮合物は、フルオロアルキレン基および／またはフルオロアルキル基と加水分解性基とを有し、酸性基を有しない第１の加水分解性シラン化合物と、酸性基と加水分解性基とを有する第２の加水分解性シラン化合物とを含む混合物（以下、加水分解性シラン化合物混合物ともいう。）の部分加水分解縮合物である。
部分加水分解縮合物は、通常、分子量分布を有する組成物である。
【００２８】
加水分解性シラン化合物混合物は、上記の第１の加水分解性シラン化合物と第２の加水分解性シラン化合物とを必須成分として含み、任意に、後述する第３〜５の加水分解性シラン化合物を含むことが好ましい。さらに、第１〜５の加水分解性シラン化合物以外の加水分解性シラン化合物を含んでもよい。
【００２９】
本発明の部分加水分解縮合物は、ネガ型感光性樹脂組成物またはポジ型感光性樹脂組成物等に含ませる撥インク剤に適用できる。該組成物は、光学素子の各種構成要素のＩＪ法によるパターン形成における隔壁形成用の組成物として好適である。隔壁の形成過程で撥インク剤が上面に移行し、隔壁上面に薄い撥インク層が形成され、隔壁上面に撥インク性が付与できる。ＵＶ／Ｏ３照射処理を経てもその撥インク性が良好に保持される。また、ドット内に撥インク剤が残存しにくい。本発明の部分加水分解縮合物は、アルカリ溶解性が良好である。なお、本発明の撥インク剤は、他の用途にも使用可能である。
【００３０】
本発明の部分加水分解縮合物におけるフッ素原子の含有割合（以下、フッ素原子含有率ともいう。）は、撥インク性、その耐ＵＶ／Ｏ３性および加水分解性シラン化合物混合物における相溶性の点から、１０〜５５質量％が好ましく、１２〜４０質量％がより好ましく、１５〜３０質量％が特に好ましい。
【００３１】
（第１の加水分解性シラン化合物）
本発明における第１の加水分解性シラン化合物は、フルオロアルキレン基および／またはフルオロアルキル基と、加水分解性基とを有し、酸性基を有しない化合物である。
加水分解性基としては、アルコキシ基、ハロゲン原子、アシル基、イソシアナート基、アミノ基およびアミノ基の少なくとも１つの水素がアルキル基で置換された基等が挙げられる。加水分解反応により水酸基（シラノール基）となり、さらに分子間で縮合反応してＳｉ−Ｏ−Ｓｉ結合を形成する反応が円滑に進みやすい点から、炭素原子数１〜４のアルコキシ基およびハロゲン原子が好ましく、メトキシ基、エトキシ基および塩素原子がより好ましく、メトキシ基およびエトキシ基が特に好ましい。
第１の加水分解性シラン化合物は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００３２】
第１の加水分解性シラン化合物を用いることで、部分加水分解縮合物はフルオロアルキレン基および／またはフルオロアルキル基を有する。部分加水分解縮合物を含むネガ型感光性樹脂組成物を用いると、隔壁の上面に良好な撥インク性を付与できる。さらに、良好な撥インク性はＵＶ／Ｏ３照射処理を経ても保持される。
なお、第１の加水分解性シラン化合物の上記効果をより発現するためには、第１の加水分解性シラン化合物がフルオロアルキル基、ペルフルオロアルキレン基またはペルフルオロアルキル基を有することがより好ましく、ペルフルオロアルキル基を有することが特に好ましい。また、エーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキル基も好ましい。すなわち、第１の加水分解性シラン化合物として最も好ましくは、ペルフルオロアルキル基および／またはエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキル基を有する化合物である。
【００３３】
第１の加水分解性シラン化合物としては、下式（ｃ−１）で表される化合物が好ましい。
（Ａ−ＲＦ１１）ａ−Ｓｉ（ＲＨ１１）ｂＸ１１（４−ａ−ｂ）・・・（ｃ−１）
式（ｃ−１）中、各記号は以下の通りである。
ＲＦ１１は、少なくとも１つのフルオロアルキレン基を含む、炭素原子数１〜１６の２価の有機基またはエーテル性酸素原子を含む炭素原子数２〜１６の２価の有機基である。
ＲＨ１１は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
ａは１または２、ｂは０または１、ａ＋ｂは１または２である。
Ａはフッ素原子または下式（Ｉ）で表される基である。
−Ｓｉ（ＲＨ１２）ｃＸ１２（３−ｃ）・・・（Ｉ）
ＲＨ１２は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
ｃは０または１である。
Ｘ１１およびＸ１２は加水分解性基である。
Ｘ１１が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
Ｘ１２が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
Ａ−ＲＦ１１が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
【００３４】
ＲＨ１１およびＲＨ１２は、炭素原子数１〜３の炭化水素基が好ましく、メチル基が特に好ましい。
式（ｃ−１）中、ａが１であり、ｂが０または１であることが特に好ましい。
Ｘ１１およびＸ１２の具体例および好ましい様態は上記の通りである。
【００３５】
第１の加水分解性シラン化合物としては、下式（ｃ−１ａ）で表される化合物が特に好ましい。
Ｄ−ＲＦ１２−Ｑ１１−ＳｉＸ１１３・・・（ｃ−１ａ）
式（ｃｘ−１ａ）中、各記号は以下の通りである。
ＲＦ１２は炭素原子数２〜１５のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいペルフルオロアルキレン基である。
Ｄはフッ素原子または下式（Ｉａ）で表される基である。
−Ｑ１２−ＳｉＸ１２３・・・（Ｉａ）
Ｘ１１およびＸ１２は加水分解性基である。
３個のＸ１１は互いに異なっていても同一であってもよい。
３個のＸ１２は互いに異なっていても同一であってもよい。
Ｑ１１およびＱ１２は炭素原子数１〜１０のフッ素原子を含まない２価の有機基を示す。
【００３６】
式（ｃ−１ａ）においてＤがフッ素原子である場合、ＲＦ１２は、炭素原子数４〜８のペルフルオロアルキレン基、および、炭素原子数４〜１０のエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキレン基が好ましく、炭素原子数４〜８のペルフルオロアルキレン基がより好ましく、炭素原子数６のペルフルオロアルキレン基が特に好ましい。
また、式（ｃ−１ａ）においてＤが基（Ｉａ）である場合、ＲＦ１２は、炭素原子数３〜１５のペルフルオロアルキレン基、および、炭素原子数３〜１５のエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキレン基が好ましく、炭素原子数４〜６のペルフルオロアルキレン基が特に好ましい。
【００３７】
ＲＦ１２が上記例示した基であると、本発明の部分加水分解縮合物によって、上面の撥インク性とその耐ＵＶ／Ｏ３性が良好な隔壁を形成できる、ネガ型感光性樹脂組成物が得られ、かつ、化合物（ｃ−１ａ）は溶媒への溶解性に優れる。
【００３８】
ＲＦ１２の構造としては、直鎖構造、分岐構造、環構造、および部分的に環を有する構造等が挙げられ、直鎖構造が好ましい。
【００３９】
ＲＦ１２の具体例としては、以下の基が挙げられる。
−（ＣＦ２）４−、−（ＣＦ２）６−、−（ＣＦ２）８−、
−ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−。
−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）−、−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）−、−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２−、−ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）−、−ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）−。
【００４０】
Ｑ１１およびＱ１２は、右側の結合手にＳｉが、左側の結合手にＲＦ１２がそれぞれ結合するとして表示した場合、具体的には、−（ＣＨ２）ｉ１−（ｉ１は１〜５の整数。）、−ＣＨ２Ｏ（ＣＨ２）ｉ２−（ｉ２は１〜４の整数。）、−ＳＯ２ＮＲＸ１−（ＣＨ２）ｉ３−（ＲＸ１は水素原子、メチル基またはエチル基、ｉ３は１〜４の整数であり、ＲＸ１と（ＣＨ２）ｉ３との炭素原子数の合計は４以下の整数である。）、−（Ｃ＝Ｏ）−ＮＲＸ１−（ＣＨ２）ｉ４−（ＲＸ１は上記同様であり、ｉ４は１〜４の整数であり、ＲＸ１と（ＣＨ２）ｉ４との炭素原子数の合計は４以下の整数である。）で表される基が好ましい。Ｑ１１およびＱ１２としては、ｉ１が２〜４の整数である−（ＣＨ２）ｉ１−がより好ましく、−（ＣＨ２）２−が特に好ましい。
【００４１】
なお、ＲＦ１２がペルフルオロアルキレン基である場合、Ｑ１１およびＱ１２としては、−（ＣＨ２）ｉ１−で表される基が好ましい。ｉ１は２〜４の整数がより好ましく、ｉ１は２が特に好ましい。
ＲＦ１２がエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキレン基である場合、Ｑ１１およびＱ１２としては、−（ＣＨ２）ｉ１−、−ＣＨ２Ｏ（ＣＨ２）ｉ２−、−ＳＯ２ＮＲＸ１−（ＣＨ２）ｉ３−、および−（Ｃ＝Ｏ）−ＮＲＸ１−（ＣＨ２）ｉ４−で表される基が好ましい。この場合においても、−（ＣＨ２）ｉ１−がより好ましく、ｉ１が２〜４の整数がさらに好ましく、ｉ１は２が特に好ましい。
【００４２】
Ｄがフッ素原子の場合、化合物（ｃ−１ａ）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
Ｆ（ＣＦ２）４ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｆ（ＣＦ２）６ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｆ（ＣＦ２）６ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｆ（ＣＦ２）８ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｆ（ＣＦ２）３ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ（ＣＦ２）２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
Ｆ（ＣＦ２）２Ｏ（ＣＦ２）２Ｏ（ＣＦ２）２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３。
【００４３】
Ｄが基（Ｉａ）である場合、化合物（ｃ−１ａ）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
（ＣＨ３Ｏ）３ＳｉＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）４ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
（ＣＨ３Ｏ）３ＳｉＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）６ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
（ＣＨ３Ｏ）３ＳｉＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）６ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
（ＣＨ３Ｏ）３ＳｉＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）２ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ（ＣＦ２）２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ（ＣＦ２）２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３。
なかでも、Ｆ（ＣＦ２）６ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３およびＦ（ＣＦ２）３ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ（ＣＦ２）２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３が特に好ましい。
【００４４】
加水分解性シラン化合物混合物における第１の加水分解性シラン化合物の含有割合は、該混合物から得られる部分加水分解縮合物におけるフッ素原子含有率が１０〜５５質量％、より好ましくは１２〜４０質量％、特に好ましくは１５〜３０質量％となる割合であることが好ましい。第１の加水分解性シラン化合物の含有割合が上記範囲の下限値以上であると、部分加水分解縮合物の撥インク性が良好であり、上限値以下であると、該混合物中の他の加水分解性シラン化合物との相溶性が良好である。
【００４５】
（第２の加水分解性シラン化合物）
本発明における第２の加水分解性シラン化合物は、酸性基と加水分解性基とを有する化合物である。フルオロアルキレン基およびフルオロアルキル基は有しないことが好ましい。
酸性基は、カルボキシ基、フェノール性水酸基またはスルホ基が好ましい。
加水分解性基としては、第１の加水分解性シラン化合物の加水分解性基と同様のものを用いることができる。
第２の加水分解性シラン化合物は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００４６】
酸性基を含む第２の加水分解性シラン化合物を用いることで、本発明の部分加水分解縮合物はアルカリ溶解性が良好となる。
本発明の部分加水分解縮合物はアルカリ溶解性が良好であるため、該縮合物を撥インク剤として含むネガ型感光性樹脂組成物の露光および現像に用いたアルカリ現像液のリサイクルが効率的となる。具体的には、アルカリ現像液のリサイクル過程での配管あるいはタンク等への撥インク剤の析出が抑制される。
【００４７】
本発明の部分加水分解縮合物のアルカリ溶解性が良好な点から、第２の加水分解性シラン化合物の酸解離定数ｐＫａは１１以下であることが好ましい。
【００４８】
第２の加水分解性シラン化合物としては、
（１）下式（ｃ−２ｕ）で表される単位と加水分解性シリル基とを有する化合物（以下、化合物（１）ともいう。）
（２）環状のカルボン酸無水物と、アミノ基を有する加水分解性シラン化合物との反応物（以下、化合物（２）ともいう。）
（３）エチレン性二重結合と、水酸基またはカルボキシ基およびその誘導体を有する化合物と、ヒドロシラン類との反応物（以下、化合物（３）ともいう。）
が挙げられる。
第２の加水分解性シラン化合物は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００４９】
化合物（１）は、下式（ｃ−２ｕ）で表される単位と加水分解性シリル基を有する化合物である。
【化３】
2015227387.tif 000005
式（ｃ−２ｕ）中、Ｒ２２は式：−Ｒ２５−ＣＯＯＨ（ここで、Ｒ２５は炭素原子数１〜１０の２価の炭化水素基、またはフェニレン基を示す。）で表される基である。
【００５０】
化合物（１）は、加水分解性シラン化合物混合物中の他の加水分解性シラン化合物との相溶性が良好になる点で、下式（ｃ−２ｖ）で表される単位をさらに有していてもよい。
【化４】
2015227387.tif 000006
式（ｃ−２ｖ）中、Ｒ２１は式：−ＣＯＯＲ２４（ここで、Ｒ２４は炭素原子数１〜６の炭化水素基を示す。）で表される基、または水素原子が炭素原子数１〜１０の炭化水素基に置換されていてもよいフェニル基である。
【００５１】
化合物（１）としては、下式（ｃ−２ａ）で表される化合物が挙げられる。
【化５】
2015227387.tif 000007
式（ｃ−２ａ）中、各記号は以下の通りである。
Ｒ２１およびＲ２２は上述の通りである。
Ｑ２は炭素原子数１〜１０の炭化水素基である。
Ｘ２は加水分解性基であり、３個のＸ２は互いに異なっていても同一であってもよい。
ｍは０以上の整数であり、ｎは１以上の整数である。
【００５２】
化合物（ｃ−２ａ）としては、下式（ｃ−２ａ−１）で表される化合物、下式（ｃ−２ａ−２）で表される化合物および下式（ｃ−２ａ−３）で表される化合物が好ましい。
【化６】
2015227387.tif 000008
【化７】
2015227387.tif 000009
【化８】
2015227387.tif 000010
【００５３】
化合物（ｃ−２ａ）は例えば、エチレン性二重結合と基Ｒ２１とを有する単量体と、エチレン性二重結合と基Ｒ２２とを有する単量体と、式：ＳＨ−Ｑ２−ＳｉＸ２３で表される化合物とを、重合開始剤等の存在下で重合反応させることで、合成できる。Ｒ２１、Ｒ２２、Ｘ２およびＱ２は、前述の通りである。
【００５４】
化合物（ｃ−２ａ−１）は例えば、メタクリル酸メチル（ＭＭＡ）、アクリル酸（ＡＣ）および３−メルカトプロピルトリメトキシシランを、プロピレングルコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）等の溶媒存在下、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）等の重合開始剤の存在下で、重合して合成できる。
化合物（ｃ−２ａ−２）は、ＭＭＡをスチレン（Ｓｔ）に、化合物（ｃ−２ａ−３）はＭＭＡをＳｔに、ＡＣを４−ビニル安息香酸に変更することで、化合物（ｃ−２ａ−１）と同様にして合成できる。
【００５５】
化合物（２）は、環状のカルボン酸無水物と、アミノ基を有する加水分解性シラン化合物との反応物である。環状のカルボン酸無水物としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、および無水フタル酸等が挙げられる。環状のカルボン酸無水物は重合体の一部として含まれていてもよい。アミノ基を有する加水分解性シラン化合物としては、公知のアミノシランを使用できる。
【００５６】
化合物（２）としては、下式（ｃ−２ｂ−１）で表される化合物、および下式（ｃ−２ｂ−２）で表される化合物が好ましい。
【化９】
2015227387.tif 000011
【化１０】
2015227387.tif 000012
【００５７】
化合物（ｃ−２ｂ−１）は例えば、無水マレイン酸と３−アミノプロピルトリメトキシシランとをプロピレングルコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）等の溶媒存在下で、反応させることで、合成できる。
化合物（ｃ−２ｂ−２）は、無水マレイン酸を無水フタル酸に変更することで、化合物（ｃ−２ｂ−１）と同様にして合成できる。
【００５８】
化合物（３）は、エチレン性二重結合と、水酸基またはカルボキシ基およびその誘導体を有する化合物と、ヒドロシラン類との反応物である。
エチレン性二重結合としては、（メタ）アクリロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルオキシ基およびビニルオキシアルキル基等の付加重合性を有する二重結合が挙げられる。
エチレン性二重結合と、水酸基とを有する化合物としては、炭素原子数３〜３０の化合物が好ましく、フッ素原子を含んでいてもよい。例えば、下式（ｉ）で表される化合物が挙げられる。
ＨＯ（ＲＦ）ａ（ＲＨ）２−ａＣ（ＣＨ２）ｂＣＨ＝ＣＨ２・・・（ｉ）
式（ｉ）中、ＲＦはエーテル性酸素原子を含んでいてもよい炭素原子数１〜６のフルオロアルキル基、ＲＨは水素原子または炭素原子数１〜６の炭化水素基、ａは１または２、ｂは１〜４の整数を示す。
エチレン性二重結合と、カルボキシ基およびその誘導体を有する化合物としては、無水マレイン酸、無水フタル酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物、メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物、３，４，５，６−テトラハイドロフタル酸無水物、ｃｉｓ−１，２，３，６−テトラハイドロフタル酸無水物および４，７−エポキシ−ｃｉｓ−１，２，３，６−テトラハイドロフタル酸無水物等が挙げられる。
ヒドロシラン類としては、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、トリプロポキシシラン、メトキシジエトキシシラン、ジメトキシエトキシシランおよびトリクロロシラン等が挙げられる。
【００５９】
化合物（３）としては、下式（ｃ−２ｃ−１）で表される化合物、および下式（ｃ−２ｃ−２）で表される化合物が好ましい。
【化１１】
2015227387.tif 000013
【化１２】
2015227387.tif 000014
【００６０】
加水分解性シラン化合物混合物における第２の加水分解性シラン化合物の含有割合は、第１の加水分解性シラン化合物の１モルに対して、０．０１〜１０モルが好ましく、０．１〜７モルが特に好ましい。含有割合が上記範囲の下限値以上であると、部分加水分解縮合物のアルカリ溶解性が良好であり、上限値以下であると、硬化膜の上面に良好な撥インク性を付与できる。
【００６１】
（第３の加水分解性シラン化合物）
本発明における第３の加水分解性シラン化合物は、下式（ｃ−３）で表される化合物である。
ＳｉＸ３４・・・（ｃ−３）
式（ｃ−３）中、Ｘ３は加水分解性基を示し、４個のＸ３は互いに異なっていても同一であってもよい。Ｘ３としては、前記Ｘ１１およびＸ１２と同様の基が用いられる。
第３の加水分解性シラン化合物は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００６２】
化合物（ｃ−３）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。また、化合物（ｃ−３）として、必要に応じてその複数個を予め部分加水分解縮合して得た部分加水分解縮合物を用いてもよい。
Ｓｉ（ＯＣＨ３）４、Ｓｉ（ＯＣＨ２ＣＨ３）４、
Ｓｉ（ＯＣＨ３）４の部分加水分解縮合物（例えば、コルコート社製のメチルシリケート５１（商品名））、
Ｓｉ（ＯＣＨ２ＣＨ３）４の部分加水分解縮合物（例えば、コルコート社製のエチルシリケート４０、エチルシリケート４８（いずれも商品名））。
【００６３】
加水分解性シラン化合物混合物に化合物（ｃ−３）を含ませることで、本発明の部分加水分解縮合物を撥インク剤として含むネガ型感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜において、撥インク剤が上面移行した後の造膜性を高められる。化合物（ｃ−３）中の加水分解性基の数が多いことから、上面移行した後に部分加水分解縮合物同士が良好に縮合し、上面全体に薄い膜を形成できる（造膜性に優れる）と考えられる。
また、加水分解性シラン化合物混合物に化合物（ｃ−３）を含ませることで、部分加水分解縮合物は汎用の炭化水素系の溶媒に溶解しやすくなる。
【００６４】
加水分解性シラン化合物混合物における化合物（ｃ−３）の含有割合は、第１の加水分解性シラン化合物と第２の加水分解性シラン化合物との合計１モルに対して、０．０５〜５モルが好ましく、０．１〜３モルが特に好ましい。含有割合が上記範囲の下限値以上であると部分加水分解縮合物の造膜性が良好であり、上限値以下であると、硬化膜の上面に良好な撥インク性を付与できる。
【００６５】
（第４の加水分解性シラン化合物）
本発明における第４の加水分解性シラン化合物は、下式（ｃ−４）で表される加水分解性シラン化合物である。
（Ｙ−Ｑ４）ｇ−Ｓｉ（ＲＨ４）ｈＸ４（４−ｇ−ｈ）・・・（ｃ−４）
式（ｃ−４）中の記号は、以下の通りである。
Ｙはエチレン性二重結合を有する基である。
Ｑ４は炭素原子数１〜６のフッ素原子を含まない２価の有機基である。
ＲＨ４は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
Ｘ４は加水分解性基である。
ｇは１または２、ｈは０または１、ｇ＋ｈは１または２である。
Ｙ−Ｑ４が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
Ｘ４が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
【００６６】
ＲＨ４としては、前記ＲＨ１１およびＲＨ１２と同様の基が用いられる。
Ｘ４としては、前記Ｘ１１およびＸ１２と同様の基が用いられる。
Ｙとしては、（メタ）アクリロイルオキシ基およびビニルフェニル基が好ましく、（メタ）アクリロイルオキシ基が特に好ましい。
Ｑ４の具体例としては、炭素原子数２〜６のアルキレン基およびフェニレン基等が挙げられる。なかでも、−（ＣＨ２）３−が好ましい。
ｇが１であり、ｈが０または１であることが好ましい。
第４の加水分解性シラン化合物は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００６７】
化合物（ｃ−４）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３、
ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３、
［ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２）３］ＳｉＣＨ３（ＯＣＨ３）２、
［ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２）３］ＳｉＣＨ３（ＯＣ２Ｈ５）２。
【００６８】
加水分解性シラン化合物混合物に化合物（ｃ−４）を含ませることで、本発明の部分加水分解縮合物を撥インク剤として含むネガ型感光性樹脂組成物を硬化してなる隔壁の製造において、撥インク剤の隔壁上面での定着性を向上できる。
【００６９】
化合物（ｃ−４）はエチレン性二重結合を有する基Ｙを有するため、本発明の部分加水分解縮合物を撥インク剤として含むネガ型感光性樹脂組成物の露光時に、この基を介して撥インク剤同士あるいは撥インク剤とネガ型感光性樹脂組成物中のエチレン性二重結合を有する他成分とが共重合することができる。これらの作用効果によって、露光後に、撥インク剤が硬化膜上面に化学的に結合することから、定着性が向上すると考えられる。
【００７０】
加水分解性シラン化合物混合物における化合物（ｃ−４）の含有割合は、第１の加水分解性シラン化合物と第２の加水分解性シラン化合物との合計１モルに対して、０．０１〜５モルが好ましく、０．０５〜３モルが特に好ましい。含有割合が上記範囲の下限値以上であると、撥インク剤の上面移行性および定着性が良好であり、また、ネガ型感光性樹脂組成物の貯蔵安定性が良好である。上限値以下であると撥インク剤の撥インク性が良好である。
【００７１】
（第５の加水分解性シラン化合物）
本発明における第５の加水分解性シラン化合物は、下式（ｃ−５）で表される化合物である。
（ＲＨ５）ｊ−ＳｉＸ５（４−ｊ）・・・（ｃ−５）
式（ｃ−５）中、各記号は以下の通りである。
ＲＨ５は炭素原子数１〜６の炭化水素基を示す。
Ｘ５は加水分解性基を示す。
ｊは２または３である。
ＲＨ５が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
Ｘ５が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
【００７２】
ＲＨ５としては、前記ＲＨ１１およびＲＨ１２と同様の基が用いられる。
Ｘ５としては、前記Ｘ１１およびＸ１２と同様の基が用いられる。
第５の加水分解性シラン化合物は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００７３】
化合物（ｃ−５）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
（ＣＨ３）３−Ｓｉ−ＯＣＨ３、（ＣＨ３ＣＨ２）３−Ｓｉ−ＯＣＨ２ＣＨ３、（ＣＨ３）３−Ｓｉ−ＯＣＨ２ＣＨ３、（ＣＨ３ＣＨ２）３−Ｓｉ−ＯＣＨ３、（ＣＨ３）２−Ｓｉ−（ＯＣＨ３）２、（ＣＨ３）２−Ｓｉ−（ＯＣＨ２ＣＨ３）２、（ＣＨ３ＣＨ２）２−Ｓｉ−（ＯＣＨ２ＣＨ３）２、（ＣＨ３ＣＨ２）２−Ｓｉ−（ＯＣＨ３）２。
【００７４】
加水分解性シラン化合物混合物において化合物（ｃ−３）を用いる場合、ネガ型感光性樹脂組成物を硬化してなる隔壁において、その上面の端部に盛り上がりが形成される場合がある。これは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等によって観察されるレベルの微小なものである。本発明者は、この盛り上がりにおいて、他の部分よりもＦおよび／またはＳｉの含有量が多いことを確認した。
上記盛り上がりは隔壁等として特に支障を来すものではないが、本発明者は、化合物（ｃ−３）の一部を加水分解基の数の少ない化合物（ｃ−５）に置き換えることで、上記盛り上がりの発生が抑えられることを見出した。
加水分解基の数の多い化合物（ｃ−３）によって生成されるシラノール基同士の反応により、撥インク剤の造膜性が増す。しかしながら、その反応性が高いが故に、上記盛り上がりが起こると考えられる。そして、化合物（ｃ−３）の一部を加水分解基の数の少ない化合物（ｃ−５）に置き換えることで、シラノール基同士の反応が抑えられ、上記盛り上がりの発生が抑えられると考えられる。
【００７５】
加水分解性シラン化合物混合物における化合物（ｃ−５）の含有割合は、第１の加水分解性シラン化合物と第２の加水分解性シラン化合物との合計１モルに対して、０．０１〜５モルが好ましく、０．０５〜３モルが特に好ましい。含有割合が上記範囲の下限値以上であると、隔壁上面の端部の盛り上がりを抑制できる。上限値以下であると撥インク剤の撥インク性が良好である。
【００７６】
（その他の加水分解性シラン化合物）
加水分解性シラン化合物混合物は、第１〜５の加水分解性シラン化合物以外の任意の加水分解性シラン化合物を１種または２種以上含むことができる。
【００７７】
（好ましい加水分解性シラン化合物の組み合わせ）
本発明の部分加水分解縮合物は、化合物（ｃ−１ａ）と化合物（ｃ−２ａ）とを含む混合物の部分加水分解縮合物であることが好ましく、化合物（ｃ−１ａ）と化合物（ｃ−２ａ）と化合物（ｃ−３）とを含む混合物の部分加水分解縮合物であることがより好ましく、化合物（ｃ−１ａ）と化合物（ｃ−２ａ）と化合物（ｃ−３）と化合物（ｃ−４）とを含む混合物の部分加水分解縮合物であることがさらに好ましく、化合物（ｃ−１ａ）と化合物（ｃ−２ａ）と化合物（ｃ−３）と化合物（ｃ−４）と化合物（ｃ−５）とを含む混合物の部分加水分解縮合物であることが特に好ましい。
【００７８】
本発明の部分加水分解縮合物が、化合物（ｃ−１ａ）と化合物（ｃ−２ａ）とを含み、化合物（ｃ−３）と化合物（ｃ−４）と化合物（ｃ−５）とを任意で含み、化合物（ｃ−１ａ）中の基Ｄがフッ素原子である混合物の部分加水分解縮合物である場合の、平均組成式を下式（ＩＩ）に示す。
【００７９】
【化１３】
2015227387.tif 000015
式（ＩＩ）中、ｎ１〜ｎ５は構成単位の合計モル量に対する各構成単位のモル分率を示す。ｎ１＞０、ｎ２＞０、ｎ３≧０、ｎ４≧０、ｎ５≧０、ｎ１＋ｎ２＋ｎ３＋ｎ４＋ｎ５＝１である。その他の各符号は、上述の通りである。ただし、Ｄはフッ素原子である。
【００８０】
なお、実際は加水分解性基またはシラノール基が残存した生成物（部分加水分解縮合物）であるので、この生成物を化学式で表すことは困難である。式（ＩＩ）で表される平均組成式は、本発明の部分加水分解縮合物において加水分解性基またはシラノール基の全てがシロキサン結合となったと仮定した場合の化学式である。また、式（ＩＩ）において、化合物（ｃ−１ａ）、（ｃ−２ａ）、（ｃ−３）〜（ｃ−５）にそれぞれ由来する単位は、ランダムに配列していると推測される。
【００８１】
式（ＩＩ）で表される平均組成式中の、ｎ１：ｎ２：ｎ３：ｎ４：ｎ５は、加水分解性シラン化合物混合物における化合物（ｃ−１ａ）、（ｃ−２ａ）、（ｃ−３）〜（ｃ−５）の仕込み組成と一致する。
各成分のモル比は、各成分の効果のバランスから設計される。
ｎ１は、０．０５〜０．４が好ましい。
ｎ２は、０．０１〜０．８が好ましく、０．１〜０．６５が特に好ましい。
ｎ３は、０〜０．８好ましく、０．１〜０．５が特に好ましい。
ｎ４は、０〜０．２が好ましく、０．０１〜０．２が特に好ましい。
ｎ５は、０〜０．２が好ましく、０〜０．１が特に好ましい。
なお、上記各成分の好ましいモル比は、化合物（ｃ−１ａ）中のＤが基（Ｉａ）である場合も同様である。
【００８２】
部分加水分解縮合物の数平均分子量（Ｍｎ）は、５００以上が好ましく、１，０００，０００未満が好ましく、１０，０００未満が特に好ましい。数平均分子量（Ｍｎ）が下限値以上であると、ネガ型感光性樹脂組成物を用いて硬化膜を形成する際に、撥インク剤としての部分加水分解縮合物が上面移行しにくい。上限値未満であると、本発明の部分加水分解縮合物の溶媒への溶解性が良好になる。
部分加水分解縮合物の数平均分子量（Ｍｎ）は、製造条件により調節できる。
【００８３】
（部分加水分解縮合物の製造）
本発明の部分加水分解縮合物は、上述した加水分解性シラン化合物混合物を、公知方法により加水分解および縮合反応させることで製造できる。
この反応には、通常用いられる塩酸、硫酸、硝酸およびリン酸等の無機酸、あるいは、酢酸、シュウ酸およびマレイン酸等の有機酸を触媒として用いることが好ましい。
上記反応には公知の溶媒を用いることができる。
【００８４】
［ネガ型感光性樹脂組成物］
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、上記の本発明の部分加水分解縮合物からなる撥インク剤（Ｃ）および溶媒（Ｄ）を含有する。必要に応じて、架橋剤（Ｅ）および着色剤（Ｆ）を含有してもよい。
以下、各成分について説明する。
【００８５】
（アルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ））
アルカリ可溶性樹脂には符号（ＡＰ）、アルカリ可溶性単量体には符号（ＡＭ）を付して、それぞれ説明する。
【００８６】
アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、１分子中に酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂が好ましい。アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）が分子中にエチレン性二重結合を有することで、ネガ型感光性樹脂組成物の露光部は、光重合開始剤（Ｂ）から発生したラジカルにより重合して硬化する。このように硬化した露光部はアルカリ現像液にて除去されない。また、アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）が分子中に酸性基を有することで、アルカリ現像液にて、硬化していないネガ型感光性樹脂組成物の非露光部を選択的に除去できる。その結果、所望のパターンの硬化膜、すなわち隔壁を形成できる。
【００８７】
酸性基としては、カルボキシ基、フェノール性水酸基、スルホ基およびリン酸基等が挙げられ、これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
エチレン性二重結合としては、（メタ）アクリロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルオキシ基およびビニルオキシアルキル基等の付加重合性を有する二重結合が挙げられる。これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。なお、エチレン性二重結合が有する水素原子の一部または全てが、メチル基等のアルキル基で置換されていてもよい。
【００８８】
アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、酸性基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖とを有する樹脂（Ａ−１）、およびエポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とが導入された樹脂（Ａ−２）等が挙げられる。これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００８９】
樹脂（Ａ−１）は、例えば、以下の（ｉ）または（ｉｉ）の方法で合成できる。
（ｉ）側鎖に酸性基以外の反応性基、例えば、水酸基、およびエポキシ基等の反応性基を有する単量体と、側鎖に酸性基を有する単量体とを共重合させ、反応性基を有する側鎖と、酸性基を有する側鎖とを有する共重合体を得る。次いで、この共重合体と、上記反応性基に対して結合し得る官能基およびエチレン性二重結合を有する化合物を反応させる。または、側鎖にカルボキシ基等の酸性基を有する単量体を共重合させた後、酸性基に対して結合し得る官能基およびエチレン性二重結合を有する化合物を反応後に酸性基が残る量、反応させる。
【００９０】
（ｉｉ）上記（ｉ）と同様の酸性基以外の反応性基を側鎖に有する単量体と、この反応性基に対して結合し得る官能基および保護されたエチレン性二重結合を有する化合物を反応させる。次いで、この単量体と側鎖に酸性基を有する単量体とを共重合させた後、エチレン性二重結合の保護を外す。または、側鎖に酸性基を有する単量体と、側鎖に保護されたエチレン性二重結合を有する単量体とを共重合させた後、エチレン性二重結合の保護を外す。
なお、（ｉ）および（ｉｉ）は溶媒中で実施することが好ましい。
【００９１】
上記方法のうちでも、（ｉ）の方法が好ましく用いられる。以下、（ｉ）の方法について具体的に説明する。
【００９２】
反応性基として水酸基を有する単量体としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールモノ（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、２−ヒドロキシエチルアリルエーテル、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ビス（ヒドロキシメチル）（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。
【００９３】
反応性基として水酸基を有する単量体を用いる場合、共重合させる酸性基を有する単量体は、後述のカルボキシ基を有する単量体の他に、リン酸基を有する単量体として、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルフォスフェート等が挙げられる。水酸基を反応性基として有する単量体と酸性基を有する単量体との共重合は、従来公知の方法で行うことができる。
【００９４】
得られた共重合体と反応させる、水酸基に対して結合し得る官能基およびエチレン性二重結合を有する化合物としては、エチレン性二重結合を有する酸無水物、イソシアナート基とエチレン性二重結合とを有する化合物、塩化アシル基とエチレン性二重結合とを有する化合物等が挙げられる。
エチレン性二重結合を有する酸無水物としては、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸無水物、ｃｉｓ−１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸無水物、および２−ブテン−１−イルサクシニックアンハイドライド等が挙げられる。
イソシアナート基とエチレン性二重結合とを有する化合物としては、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、および１，１−ビス（（メタ）アクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート等が挙げられる。
塩化アシル基とエチレン性二重結合とを有する化合物としては、（メタ）アクリロイルクロライド等が挙げられる。
【００９５】
反応性基としてエポキシ基を有する単量体としては、グリシジル（メタ）アクリレート、および３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート等が挙げられる。
反応性基としてエポキシ基を有する単量体と共重合させる酸性基を有する単量体としては、上記水酸基を反応性基として有する単量体で説明したのと同様の単量体が使用でき、エポキシ基を反応性基として有する単量体と酸性基を有する単量体の共重合についても、従来公知の方法で行うことができる。
【００９６】
得られた共重合体と反応させる、エポキシ基に対して結合し得る官能基およびエチレン性二重結合を有する化合物としては、カルボキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物等が挙げられる。かかる化合物の具体例としては、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸およびこれらの塩、二塩基酸の場合はモノエステル等が挙げられる。なお、ここで生じた水酸基とカルボン酸の脱水縮合部分が環状構造の一部をなす酸無水物とを反応させ、樹脂（Ａ−１）中にカルボキシ基を導入してもよい。
【００９７】
反応性基としてカルボキシ基を有する単量体としては、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸およびこれらの塩、二塩基酸の場合はモノエステル等が挙げられる。なお、これらの単量体は上述した酸性基を有する単量体としても用いられる。
【００９８】
反応性基としてカルボキシ基を有する単量体を用いる場合、上記の通り、この単量体を重合させる。得られた重合体と反応させる、カルボキシ基に対して結合し得る官能基およびエチレン性二重結合を有する化合物として、エポキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物が挙げられる。かかる化合物としては、グリシジル（メタ）アクリレート、および３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート等が挙げられる。なお、この場合、カルボキシ基を有する重合体と反応させる、カルボキシ基に対して結合し得る官能基およびエチレン性二重結合を有する化合物の量は、反応後に重合体においてカルボキシ基が酸性基として側鎖に残る量とする。
【００９９】
樹脂（Ａ−２）は、エポキシ樹脂と、後述するカルボキシ基とエチレン性二重結合とを有する化合物とを反応させた後に、多価カルボン酸またはその無水物とを反応させることにより合成することができる。
具体的には、エポキシ樹脂と、カルボキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物とを反応させることにより、エポキシ樹脂にエチレン性二重結合が導入される。次に、エチレン性二重結合が導入されたエポキシ樹脂に多価カルボン酸またはその無水物を反応させることにより、カルボキシ基を導入することができる。
【０１００】
エポキシ樹脂としては特に限定されず、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、下式（Ａ−２ａ）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂、下式（Ａ−２ｂ）で表されるフルオレニル置換ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、および下式（Ａ−２ｃ）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂等が挙げられる。
【０１０１】
【化１４】
2015227387.tif 000016
（式（Ａ−２ａ）中、ｖは１〜５０の整数であり、２〜１０の整数が好ましい。またベンゼン環の水素原子はそれぞれ独立に、炭素原子数１〜１２のアルキル基、ハロゲン原子、または、一部の水素原子が置換基で置換されていてもよいフェニル基で置換されていてもよい。）
【０１０２】
【化１５】
2015227387.tif 000017
（式（Ａ−２ｂ）中、Ｒ３１、Ｒ３２、Ｒ３３およびＲ３４は、それぞれ独立に、水素原子、塩素原子または炭素原子数１〜５のアルキル基であり、ｗは０または１〜１０の整数である。）
【０１０３】
【化１６】
2015227387.tif 000018
（式（Ａ−２ｃ）中、ベンゼン環の水素原子はそれぞれ独立に炭素原子数１〜１２のアルキル基、ハロゲン原子、または、一部の水素原子が置換基で置換されていてもよいフェニル基で置換されていてもよい。ｚは０または１〜１０の整数である。）
【０１０４】
なお、式（Ａ−２ａ）〜（Ａ−２ｃ）で表されるエポキシ樹脂と、カルボキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物とを反応させた後に、多価カルボン酸無水物を反応させる場合、多価カルボン酸無水物として、ジカルボン酸無水物およびテトラカルボン酸二無水物の混合物を用いることが好ましい。
【０１０５】
カルボキシ基とエチレン性二重結合とを有する化合物としては、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸およびこれらの塩、二塩基酸の場合はモノエステルが好ましく、（メタ）アクリル酸が特に好ましい。
【０１０６】
アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、現像時の硬化膜の剥離が抑制されて、高解像度のパターンを得ることができる点、ラインパターンの直線性が良好である点、平滑な硬化膜表面が得られやすい点で、樹脂（Ａ−２）を用いることが好ましい。
樹脂（Ａ−２）としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、および式（Ａ−２ａ）〜（Ａ−２ｃ）で表されるエポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂が特に好ましい。
【０１０７】
アルカリ可溶性単量体（ＡＭ）としては、例えば、酸性基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖とを有する単量体（Ａ−３）が好ましく用いられる。酸性基およびエチレン性二重結合は、アルカリ可溶性樹脂（ＡＭ）と同様である。
単量体（Ａ−３）としては、２，２，２−トリアクリロイルオキシメチルエチルフタル酸等が挙げられる。
【０１０８】
ネガ型感光性樹脂組成物に含まれるアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中のアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性単量体（Ａ）の含有割合は、５〜８０質量％が好ましく、１０〜６０質量％が特に好ましい。含有割合が上記範囲であると、ネガ型感光性樹脂組成物の光硬化性および現像性が良好である。
【０１０９】
（光重合開始剤（Ｂ））
本発明における光重合開始剤（Ｂ）は、光重合開始剤としての機能を有する化合物であれば特に制限されず、光によりラジカルを発生する化合物が好ましい。
【０１１０】
光重合開始剤（Ｂ）としては、メチルフェニルグリオキシレート、９，１０−フェナンスレンキノン等のα−ジケトン類；ベンゾイン等のアシロイン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のアシロインエーテル類；チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類；ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類；アセトフェノン、２−（４−トルエンスルホニルオキシ）−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、２，２'−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−メトキシアセトフェノン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン等のアセトフェノン類；アントラキノン、２−エチルアントラキノン、カンファーキノン、１，４−ナフトキノン等のキノン類；２−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸（ｎ−ブトキシ）エチル等のアミノ安息香酸類；フェナシルクロライド、トリハロメチルフェニルスルホン等のハロゲン化合物；アシルホスフィンオキシド類；ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等の過酸化物；１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、アセチルオキシム等のオキシムエステル類、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、ｎ−ブチルアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、ジエチルアミノエチルメタクリレート等の脂肪族アミン類；２−メルカプトベンズイミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、１，４−ブタノールビス（３−メルカプトブチレート）、トリス（２−メルカプトプロパノイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）等のチオール化合物等が挙げられる。
【０１１１】
光重合開始剤（Ｂ）のなかでも、ベンゾフェノン類、アミノ安息香酸類、脂肪族アミン類およびチオール化合物は、その他のラジカル開始剤と共に用いると、増感効果を発現することがあり好ましい。
光重合開始剤（Ｂ）としては、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、エタノン１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、および２，４−ジエチルチオキサントンが好ましい。さらに、これらとベンゾフェノン類、例えば、４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンとの組み合わせが特に好ましい。
光重合開始剤（Ｂ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【０１１２】
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の光重合開始剤（Ｂ）の含有割合は、０．１〜５０質量％が好ましく、０．５〜３０質量％がより好ましく、５〜１５質量％が特に好ましい。含有割合が上記範囲であると、ネガ型感光性樹脂組成物の光硬化性および現像性が良好である。
【０１１３】
（撥インク剤（Ｃ））
本発明のネガ型感光性樹脂組成物における撥インク剤（Ｃ）の含有割合は、０．０１〜１０質量％が好ましく、０．１〜６質量％がより好ましく、０．５〜５質量％が特に好ましい。含有割合が上記範囲であると、ネガ型感光性樹脂組成物の貯蔵安定性が良好になり、またネガ型感光性樹脂組成物からなる隔壁上面の撥インク性およびその耐ＵＶ／Ｏ３性が良好となる。
【０１１４】
（溶媒（Ｄ））
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、溶媒（Ｄ）を含有することで粘度が低減され、ネガ型感光性樹脂組成物の基材表面への塗布がしやすくなる。その結果、均一な膜厚のネガ型感光性樹脂組成物の塗膜が形成できる。
溶媒（Ｄ）としては公知の溶媒が用いられる。
【０１１５】
ネガ型感光性樹脂組成物における溶媒（Ｄ）の含有割合は、５０〜９９質量％が好ましく、６０〜９５質量％がより好ましく、６５〜９０質量％が特に好ましい。
【０１１６】
（架橋剤（Ｅ））
本発明における架橋剤（Ｅ）としては、１分子中に２個以上のエチレン性二重結合を有し、酸性基を有しない化合物が好ましい。ネガ型感光性樹脂組成物が架橋剤（Ｅ）を含むことにより、露光時におけるネガ型感光性樹脂組成物の硬化性が向上し、低い露光量でも隔壁を形成することができる。
【０１１７】
架橋剤（Ｅ）としては、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、ε−カプロラクトン変性トリス−（２−アクリロキシエチル）イソシアヌレート、およびウレタンアクリレート等が挙げられる。
【０１１８】
光反応性の点からは、多数のエチレン性二重結合を有することが好ましい。例えば、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレートおよびウレタンアクリレート等が好ましい。
架橋剤（Ｅ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【０１１９】
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の架橋剤（Ｅ）の含有割合は、１０〜６０質量％が好ましく、２０〜５５質量％が特に好ましい。
【０１２０】
（着色剤（Ｆ））
本発明における着色剤（Ｆ）としては、カーボンブラック、アニリンブラック、アントラキノン系黒色顔料およびペリレン系黒色顔料、具体的には、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、６、７、１２、２０、３１等が挙げられる。赤色顔料、青色顔料および緑色顔料等の有機顔料および／または無機顔料の混合物を用いることもできる。
本発明のネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の着色剤（Ｆ）の含有割合は、１５〜６５質量％が好ましく、２０〜５０質量％が特に好ましい。上記範囲であると得られるネガ型感光性樹脂組成物は感度が良好であり、また、形成される隔壁は遮光性に優れる。
【０１２１】
（その他の成分）
本発明のネガ型感光性樹脂組成物はさらに、必要に応じて、熱架橋剤、高分子分散剤、分散助剤、シランカップリング剤、微粒子、リン酸化合物、硬化促進剤、増粘剤、可塑剤、消泡剤、レベリング剤、ハジキ防止剤および紫外線吸収剤等の他の添加剤を１種または２種以上含有してもよい。
【０１２２】
本発明によれば、露光および現像後に得られる隔壁の上面に良好な撥インク性を付与することができ、かつ、ＵＶ／Ｏ３照射処理を経てもその撥インク性が良好に保持され、ドット内に撥インク剤が残存しにくい特性を有するネガ型感光性樹脂組成物を提供できる。
本発明のネガ型感光性樹脂組成物に含まれる撥インク剤（Ｃ）はアルカリ溶解性が良好であるので、ネガ型感光性樹脂組成物の露光および現像におけるアルカリ現像液のリサイクルが効率的である。
【０１２３】
［隔壁］
本発明の隔壁は、上記の本発明のネガ型感光性樹脂組成物を基材表面に塗布し、露光および現像してなるパターンを有する硬化膜である。
以下、隔壁の製造方法の１例を、図１Ａ〜１Ｅを用いて説明するが、隔壁の製造方法は以下に限定されない。
【０１２４】
図１Ａに示すように、基材１０の表面全体にネガ型感光性樹脂組成物を塗布して、塗膜２１を形成する。このとき、塗膜２１中には撥インク剤（Ｃ）が全体的に溶解し、均一に分散している。なお、図中、撥インク剤（Ｃ）は模式的に示してあり、実際にこのような粒子形状で存在しているわけではない。
【０１２５】
次に図１Ｂに示すように、塗膜２１を乾燥させて、乾燥膜２２とする。乾燥方法としては、加熱乾燥、減圧乾燥および減圧加熱乾燥等が挙げられる。
溶媒（Ｄ）の種類にもよるが、加熱乾燥の場合、加熱温度は５０〜１２０℃が好ましい。
この乾燥過程において、撥インク剤（Ｃ）は乾燥膜の上面およびその近傍に移行する。
【０１２６】
次に図１Ｃに示すように、所定パターンの開口部３１を有するフォトマスク３０を介して、乾燥膜２２に対して、光Ｌを照射し、露光する。乾燥膜２２を露光した後の膜を露光膜２３と称す。露光膜２３において、符号２３Ａは露光部、符号２３Ｂは非露光部である。この工程において、露光部２３Ａが光硬化する。
【０１２７】
照射する光Ｌとしては、可視光；紫外線；遠紫外線；ＫｒＦエキシマレーザ光、ＡｒＦエキシマレーザ光、Ｆ２エキシマレーザ光、Ｋｒ２エキシマレーザ光、ＫｒＡｒエキシマレーザ光、Ａｒ２エキシマレーザ光等のエキシマレーザ光；Ｘ線；電子線等が挙げられる。
照射する光Ｌとしては、波長１００〜６００ｎｍの光が好ましく、３００〜５００ｎｍの光がより好ましく、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）またはｇ線（４３６ｎｍ）を含む光が特に好ましい。
【０１２８】
露光方式としては、全面一括露光、スキャン露光等が挙げられる。同一箇所に対して複数回に分けて露光してもよい。この際、複数回の露光条件は同一でも一でなくても構わない。
露光量は、上記いずれの露光方式においても、例えば、５〜１，０００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、５〜５００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましく、５〜３００ｍＪ／ｃｍ２がさらに好ましく、５〜２００ｍＪ／ｃｍ２が特に好ましく、５〜５０ｍＪ／ｃｍ２が最も好ましい。なお、露光量は、照射する光の波長、ネガ型感光性樹脂組成物の組成および塗膜の厚さ等により、適宜好適化される。
【０１２９】
単位面積当たりの露光時間は特に制限されず、用いる露光装置の露光パワーおよび必要な露光量等から設計される。なお、スキャン露光の場合、光の走査速度から露光時間が求められる。
単位面積当たりの露光時間は通常１〜６０秒程度である。
【０１３０】
次に図１Ｄに示すように、アルカリ現像液を用いた現像を行い、所望パターンを有する硬化膜２４が形成される。硬化膜２４においては、先の露光における露光部２３Ａが凸部２４Ａとなり、非露光部２３Ｂがパターン開口部２４Ｂとなる。
なお、この工程において、非露光部２３Ｂの撥インク剤（Ｃ）はアルカリ現像液に良好に溶解し、パターン開口部２４Ｂには残存しない。
【０１３１】
パターンを有する硬化膜２４は、図１Ｅに示すように、さらに加熱してもよい。加熱温度は１３０〜２５０℃が好ましい。加熱により撥インク剤（Ｃ）は硬化膜内に強固に結合し、より表面近くで薄い層を形成する。
【０１３２】
上記加熱後、有機ＥＬ素子の発光層等の有機層をＩＪ法にてパターン印刷するための隔壁等の用途では通常、パターン開口部２４Ｂ内に残るネガ型感光性樹脂組成物の現像残渣を除去するために、基材１０に対してＵＶ／Ｏ３照射処理がなされる。
【０１３３】
本発明のネガ型感光性樹脂組成物によれば、上面が良好な撥インク性を有し、かつ、ＵＶ／Ｏ３照射処理を経てもその撥インク性を良好に保持され、ドット内に撥インク剤が残存しない特性を有する隔壁が形成される。
【０１３４】
本発明の隔壁は、ＩＪ法にてパターン印刷を行う際に、インク注入領域を画定する隔壁として利用できる。
本発明の隔壁はその上面が良好な撥インク性を有するので、ＩＪ法にてパターン印刷を行う際に、隔壁で囲まれた領域内に均一にインクを塗布できる。また、隔壁を超えて所望しない領域にインクが注入されることを抑制し、インクを所望パターンで良好に印刷することが可能となる。
図２Ａに示すように、硬化膜２４を形成した後（図１Ｅ）、インクジェットヘッド４０からインク５１を滴下して、硬化膜２４のパターン開口部２４Ｂにインク５１を注入する。次いで乾燥および／または加熱等して溶媒を除去し、図２Ｂに示すように、所望のパターン膜５２が得られる。
【０１３５】
［光学素子］
本発明の光学素子は、複数のドットと上記の本発明の隔壁とを備える。
光学素子としては、有機ＥＬ素子、液晶素子のカラーフィルタ、および有機ＴＦＴアレイ素子等が挙げられる。
【０１３６】
有機ＴＦＴアレイ素子とは、複数のドットが平面視マトリクス状に配置され、各ドットに画素電極とこれを駆動するためのスイッチング素子としてＴＦＴが設けられ、ＴＦＴのチャネル層を含む半導体層として有機半導体層が用いられる素子である。
有機ＴＦＴアレイ素子は、有機ＥＬ素子、あるいは液晶素子等に、ＴＦＴアレイ基板として備えられる。
【０１３７】
有機ＥＬ素子は例えば、以下のように製造できる。
ガラス等の透光性基板にスズドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）等の透光性電極をスパッタ法等によって成膜する。この透光性電極は必要に応じてパターニングされる。
次に、本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用い、塗布、露光および現像を含むフォトリソグラフィ法により、各ドットの輪郭に沿って、平面視格子状に隔壁を形成する。
次に必要に応じて、公知方法により隔壁で囲まれたドットに対して親インク化処理を施す。
次に、ドット内に、ＩＪ法により、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、正孔阻止層および電子注入層の材料をそれぞれ塗布および乾燥して、これらの層を順次積層する。ドット内に形成される有機層の種類および数は適宜設計される。
最後に、アルミニウム等の反射電極を蒸着法等によって形成する。
【実施例】
【０１３８】
以下に実施例を用いて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、例１〜４および例１１〜１２が実施例、例５および例１３が比較例である。
【０１３９】
各測定は以下の方法で行った。
［数平均分子量（Ｍｎ）、質量平均分子量（Ｍｗ）］
分子量測定用の標準試料として市販されている重合度の異なる複数種の単分散ポリスチレン重合体のゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）を、市販のＧＰＣ測定装置（東ソー社製、装置名：ＨＬＣ−８３２０ＧＰＣ）を用いて測定した。ポリスチレンの分子量と保持時間（リテンションタイム）との関係をもとに検量線を作成した。
各試料について、テトラヒドロフランで１．０質量％に希釈し、０．５μｍのフィルタを通過させた後、上記装置を用いてＧＰＣを測定した。上記検量線を用いて、ＧＰＣスペクトルをコンピュータ解析することにより、試料の数平均分子量（Ｍｎ）および質量平均分子量（Ｍｗ）を求めた。
［アルカリ溶解性］
撥インク剤の溶液に、等体積の０．２％（ＣＨ３）４ＮＯＨ水溶液を添加して振とうした。
撥インク剤のアルカリ可溶性を下記基準に基づき、評価した。
○（良好）：（ＣＨ３）４ＮＯＨ水溶液を添加後の溶液が透明である。
×（不可）：（ＣＨ３）４ＮＯＨ水溶液を添加後の溶液が不透明である。
【０１４０】
以下の例において用いた化合物の略号を以下に示す。
（部分加水分解縮合物の原料としての加水分解性シラン化合物）
化合物（ｃ−１ａ）に相当する化合物（ｃ−１ａ−１）：ＣＦ３（ＣＦ２）５ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン社製）、
化合物（ｃ−３）に相当する化合物（ｃ−３−１）：Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４（コルコート社製）、
化合物（ｃ−４）に相当する化合物（ｃ−４−１）：（ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３（東京化成工業社製）。
【０１４１】
（アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ））
ＣＣＲ−１２３５： クレゾールノボラック型エポキシアクリレート、固形分６３％、日本化薬社製。
【０１４２】
（光重合開始剤（Ｂ））
ＩＲ９０７：商品名；２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン、チバ・ガイギー社製、商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ９０７。
【０１４３】
（増感剤）
ジエチルジアミノベンゾフェノン：東京化成工業社製。
【０１４４】
（溶媒（Ｄ））
ＰＧＭＥ：プロピレングリコールモノメチルエーテル。
【０１４５】
（架橋剤（Ｅ））
Ａ９５３０：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合品、新中村化学工業社製。
【０１４６】
［例１：第２の加水分解性シラン化合物（ｃ−２ａ−１）の合成］
撹拌機と温度計を備えた５０ｃｍ３の三口フラスコに、３−メルカトプロピルトリメトキシシラン（東京化成工業社製）の０．４ｇ、メタクリル酸メチル（ＭＭＡ）（東京化成工業社製）の１．０ｇ、アクリル酸（ＡＣ）（東京化成工業社製）の２．２ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）（関東化学社製）の３０ｍｇ、ＰＧＭＥ（関東化学社製）の３１．５ｇを入れ、６０℃で１２時間撹拌した。ガスクロマトグラフィにより、原料の３−メルカトプロピルトリメトキシシラン、ＭＭＡおよびＡＣのピーク消失を確認し、第２の加水分解性シラン化合物（ｃ−２ａ−１）のＰＧＭＥ溶液（濃度：１０質量％）を得た。
得られた化合物（ｃ−２ａ−１）のｐＫａは、プロピオン酸のｐＫａから約４．８９と推定される。
【０１４７】
［例２：撥インク剤（Ｃ１）の製造］
撹拌機を備えた５０ｃｍ３の三口フラスコに、化合物（ｃ−１ａ−１）の０．５ｇ、化合物（ｃ−３−１）の０．８ｇ、および化合物（ｃ−４−１）の０．９ｇ、例１で製造した化合物（ｃ−２ａ−１）のＰＧＭＥ溶液の９．６ｇ（化合物（ｃ−２ａ−１）は０．９６ｇ）、さらに、ＰＧＭＥの９．５ｇを入れ、室温で撹拌しながら、１％硝酸水溶液の１．２ｇを滴下した。滴下終了後、さらに５時間撹拌し、撥インク剤（Ｃ１）のＰＧＭＥ溶液（濃度：１０質量％）を得た。
数平均分子量（Ｍｎ）および質量平均分子量（Ｍｗ）、アルカリ溶解性の評価結果を表１に示す。
【０１４８】
［例３：第２の加水分解性シラン化合物（ｃ−２ｂ−１）の合成］
撹拌機と温度計を備えた５０ｃｍ３の三口フラスコに、無水マレイン酸（東京化成工業社製）の２．３３ｇ、３−アミノプロピルトリメトキシシラン（東京化成工業社製）の１．２７ｇ、ＰＧＭＥ（関東化学社製）の３１．５ｇを入れ、室温で１２時間撹拌した。ガスクロマトグラフィにより、原料の無水マレイン酸および３−アミノプロピルトリメトキシシランのピーク消失を確認した。また１Ｈ−ＮＭＲにより、無水マレイン酸由来のピーク位置がシフトしていることを確認した。第２の加水分解性シラン化合物（ｃ−２ｂ−１）のＰＧＭＥ溶液（濃度：１０質量％）を得た。
【０１４９】
［例４：撥インク剤（Ｃ２）の製造］
撹拌機を備えた５０ｃｍ３の三口フラスコに、化合物（ｃ−１ａ−１）の０．５ｇ、化合物（ｃ−３−１）の０．２７ｇ、および化合物（ｃ−４−１）の０．３７ｇ、例３で製造した化合物（ｃ−２ｂ−１）のＰＧＭＥ溶液の１８.９ｇ（化合物（ｃ−２ｂ−１）は１．８９ｇ）、さらに、ＰＧＭＥの１．２６ｇを入れ、室温で撹拌しながら、１％硝酸水溶液の１．２ｇを滴下した。滴下終了後、さらに５時間撹拌して、撥インク剤（Ｃ２）のＰＧＭＥ溶液（濃度：１４質量％）を得た。
Ｍｎ、Ｍｗおよびアルカリ溶解性の評価結果を表１に示す。
【０１５０】
［例５：第２の加水分解性シラン化合物（ｃ−２ａ−２）の合成］
撹拌機と温度計を備えた５０ｃｍ３の三口フラスコに、３−メルカトプロピルトリメトキシシラン（東京化成工業社製）の０．４ｇ、スチレン（Ｓｔ）（東京化成工業社製）の０．４２ｇ、ＡＣ（東京化成工業社製）の２．６４ｇ、ＡＩＢＮ（関東化学社製）の３０ｍｇ、ＰＧＭＥ（関東化学社製）の３０．１ｇを入れ、６０℃で１２時間撹拌した。ガスクロマトグラフィにより、原料の３−メルカトプロピルトリメトキシシラン、ＳｔおよびＡＣのピーク消失を確認し、第２の加水分解性シラン化合物（ｃ−２ａ−２）のＰＧＭＥ溶液（濃度：１０質量％）を得た。
得られた化合物（ｃ−２ａ−２）のｐＫａは、プロピオン酸のｐＫａから約４．８９と推定される。
【０１５１】
［例６：撥インク剤（Ｃ３）の製造］
撹拌機を備えた５０ｃｍ３の三口フラスコに、化合物（ｃ−１ａ−１）の０．５ｇ、化合物（ｃ−３−１）の０．８３ｇ、化合物（ｃ−４−１）の０．９４ｇ、例５で製造した化合物（ｃ−２ａ−２）のＰＧＭＥ溶液の９．２ｇ（化合物（ｃ−２a−２）は０．９２ｇ）を入れ、さらに、ＰＧＭＥの９．５ｇを入れ、室温で撹拌しながら、１％硝酸水溶液を１．２ｇ滴下した。滴下終了後、さらに５時間撹拌して、撥インク剤（Ｃ３）のＰＧＭＥ溶液（濃度：１０質量％）を得た。
Ｍｎ、Ｍｗおよびアルカリ溶解性の評価結果を表１に示す。
【０１５２】
［例７：第２の加水分解性シラン化合物（ｃ−２ａ−３）の合成］
撹拌機と温度計を備えた５０ｃｍ３の三口フラスコに、３−メルカトプロピルトリメトキシシラン（東京化成工業社製）の０．４ｇ、Ｓｔ（東京化成工業社製）の１．０６ｇ、4−ビニル安息香酸（ＶＢＡ）（東京化成工業社製）の４．５３ｇ、ＡＩＢＮ（関東化学社製）の３０ｍｇ、ＰＧＭＥ（関東化学社製）の５２．８ｇを入れ、６０℃で１２時間撹拌した。ガスクロマトグラフィにより、原料の３−メルカトプロピルトリメトキシシラン、ＳｔおよびＶＢＡのピーク消失を確認し、第２の加水分解性シラン化合物（ｃ−２ａ−３）のＰＧＭＥ溶液（濃度：１０質量％）を得た。
得られた化合物（ｃ−２ａ−３）のｐＫａは、安息香酸のｐＫａから約４．２１と推定される。
【０１５３】
［例８：撥インク剤（Ｃ４）の製造］
撹拌機を備えた５０ｃｍ３の三口フラスコに、化合物（ｃ−１ａ−１）の０．５ｇ、化合物（ｃ−３−１）の０．８３ｇ、化合物（ｃ−４−１）の０．９４ｇ、例７で製造した化合物（ｃ−２ａ−３）のＰＧＭＥ溶液の１５．７８ｇ（化合物（ｃ−２a−３）は１．５７８ｇ）、さらに、ＰＧＭＥの９．５ｇを入れ、室温で撹拌しながら、１％硝酸水溶液を１．２ｇ滴下した。滴下終了後、さらに５時間撹拌し、撥インク剤（Ｃ４）のＰＧＭＥ溶液（濃度：１０質量％）を得た。
Ｍｎ、Ｍｗおよびアルカリ溶解性の評価結果を表１に示す。
【０１５４】
［合成例１：部分加水分解縮合物（Ｇ１）の製造］
撹拌機を備えた５０ｃｍ３の三口フラスコに、化合物（ｃ−１ａ−１）の０．５ｇ、化合物（ｃ−３−１）の０．８ｇ、化合物（ｃ−４−１）の０．９ｇ、ＰＧＭＥの９．９ｇを入れ、１％硝酸水溶液を１．１ｇ滴下した。滴下終了後、さらに５時間撹拌して、撥インク剤（Ｇ１）のＰＧＭＥ溶液（濃度：１０質量％）を得た。
Ｍｎ、Ｍｗおよびアルカリ溶解性の評価結果を表１に示す。
【０１５５】
【表１】
2015227387.tif 000019
【０１５６】
［例１１］
（ネガ型感光性樹脂組成物ＲＥ１の製造）
アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）であるＣＣＲ−１２３５の４．０ｇ、架橋剤（Ｅ）であるＡ９５３０の５．０ｇ（固形分として２．５ｇ、残りは溶媒のＰＧＭＥ）、光重合開始剤（Ｂ）であるＩＲ９０７の１．４ｇ（固形分として０．２８ｇ、残りは溶媒のＰＧＭＥ）、増感剤であるジエチルジアミノベンゾフェノンの２．０ｇ（固形分として０．２ｇ、残りは溶媒のＰＧＭＥ）、例２で製造した撥インク剤（Ｃ１）のＰＧＭＥ溶液の０．５ｇ（固形分として０．０５ｇ、残りは溶媒のＰＧＭＥ）、ＰＧＭＥの７．２ｇを攪拌用容器に入れ、３０分間攪拌して、ネガ型感光性樹脂組成物ＲＥ１を製造した。
【０１５７】
（硬化膜の製造）
１０ｃｍ四方のガラス基板をエタノールで３０秒間超音波洗浄し、次いで、５分間のＵＶ／Ｏ３処理を行った。ＵＶ／Ｏ３処理には、ＵＶ／Ｏ３発生装置としてＰＬ２００１Ｎ−５８（センエンジニアリング社製）を使用した。２５４ｎｍ換算の光出力は１０ｍＷ／ｃｍ２であった。なお、以下の全てのＵＶ／Ｏ３処理においても本装置を使用した。
上記洗浄後のガラス基板表面に、スピンナを用い、上記ネガ型感光性樹脂組成物を毎分２，１００回転の回転数で２０秒間塗布した後、１００℃で２分間ホットプレート上で乾燥させ、膜厚２．４μｍの乾燥膜を形成した。得られた乾燥膜に対して、フォトマスクを介して、３６５ｎｍ換算の露光出力が２０ｍＷ／ｃｍ２である超高圧水銀ランプのＵＶ光を全面一括照射した。露光の際に、３３０ｎｍ以下の光はカットした。また、乾燥膜とフォトマスクとの離間距離は５０μｍとした。
フォトマスクとしては、有機ＥＬ素子のＴＦＴアレイ基板において、各ドットの発光層をＩＪ法で形成するための各ドットの輪郭に沿った隔壁パターンに応じた開口パターンを有するフォトマスク（パターン形成領域：１０ｃｍ×５ｃｍ）を用いた。
次いで、上記露光処理後のガラス基板を０．２％テトラメチル水酸化アンモニウム水溶液に４０秒間浸漬して現像し、非露光部を水により洗い流し、乾燥させた。次いで、これをホットプレート上、２２０℃で６０分間加熱することにより、フォトマスクの開口パターンに対応した隔壁パターンを有する硬化膜を得た。
【０１５８】
得られたネガ型感光性樹脂組成物および硬化膜については、以下の評価を実施した。評価結果は表２に示す。
（評価）
＜ネガ型感光性樹脂組成物の貯蔵安定性＞
ネガ型感光性樹脂組成物を冷蔵庫（庫内温度：５℃）で３０日間保存した後、組成物の外観を目視で観察し、下記基準に基づき評価した。
○（良好）：無色透明である。
△（可）：微白濁が見られる。
【０１５９】
＜隔壁上面のＰＧＭＥＡ接触角、ガラス基板の表面露出部の水接触角＞
隔壁上面（露光部）のＰＧＭＥＡ接触角と、ガラス基板の表面露出部（非露光部、現像により塗膜が除去された部分、ドット）の水接触角を下記の方法で測定した。
静滴法により、ＪＩＳ  Ｒ３２５７「基板ガラス表面のぬれ性試験方法」に準拠して、測定表面の３ヶ所にＰＧＭＥＡ滴／または水滴を載せ、その接触角を測定した。液滴は２μＬ／滴とし、測定は２０℃で行った。接触角は、３測定値の平均値から求めた。なお、ＰＧＭＥＡは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの略号である。
上記測定後、ガラス基板の硬化膜が形成された側の表面全体に、ＵＶ／Ｏ３照射処理を３分間（光量は２５４ｎｍ換算で１，８００ｍＪ／ｃｍ２）行った。ＵＶ／Ｏ３処理後、隔壁上面（露光部）のＰＧＭＥＡ接触角と、ガラス基板の表面露出部（非露光部）の水接触角を同様に測定した。
【０１６０】
［例１２〜１５］
表２に示すように撥インク剤を変更した以外は例１１と同様にして、ネガ型感光性樹脂組成物と硬化膜を製造した。
【表２】
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【０１６１】
例２、４、６および８で製造した撥インク剤は、アルカリ溶解性が良好であった。例１１〜１４で製造したネガ型感光性樹脂組成物は、例２、４、６および８で製造した撥インク剤を含むため、アルカリ現像液のリサイクルが効率的である。
一方、合成例１で製造した撥インク剤は、アルカリアルカリ溶解性が不充分であった。例１５で製造したネガ型感光性樹脂組成物は、合成例１で製造した撥インク剤を含むため、アルカリ現像液のリサイクルが効率的でない。
例１１〜１４で得た硬化膜は、いずれも隔壁上面の撥インク性に優れ、ＵＶ／Ｏ３照射を経ても該撥インク性が保持されることを確認した。
【産業上の利用可能性】
【０１６２】
本発明の部分加水分解縮合物は、有機ＥＬ素子、液晶素子のカラーフィルタ、および有機ＴＦＴアレイ等の光学素子において、インクジェット法によるパターン印刷を行う際の隔壁形成用の感光性樹脂組成物等に含ませる撥インク剤等として好適に用いることができる。
本発明の隔壁は、有機ＥＬ素子において、発光層等の有機層をＩＪ法にてパターン印刷するための隔壁（バンク）、あるいは液晶素子においてカラーフィルタをＩＪ法にてパターン印刷するための隔壁（この隔壁はブラックマトリクス（ＢＭ）を兼ねることができる。）等として利用できる。
本発明の隔壁はまた、有機ＴＦＴアレイにおいて導体パターンまたは半導体パターンをＩＪ法にてパターン印刷するための隔壁等として利用できる。
本発明の隔壁は例えば、ＴＦＴのチャネル層をなす有機半導体層、ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極、ゲート配線、およびソース配線等をＩＪ法にてパターン印刷するための隔壁等として利用できる。
【符号の説明】
【０１６３】
１０：基材、２１：塗膜、２２：乾燥膜、２３：露光膜、２３Ａ：露光部、２３Ｂ：非露光部、２４：硬化膜、２４Ａ：凸部、２４Ｂ：パターン開口部、３０：フォトマスク、５２：パターン膜、Ｌ：光。
【図１Ａ】
2015227387.tif 000023
【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
2015227387.tif 000026
【図１Ｅ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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