(57)【要約】      （修正有）【課題】光源を冷却する冷却部材の小型化かつ構成のシンプル化を図る。【解決手段】光源装置は、複数の固体光源と、複数の冷却面を有し、異なる冷却面にそれぞれ設けられた複数の固体光源を冷却する１つの冷却部材１１０と、を備え、１つの冷却部材１１０で複数の固体光源を冷却し、冷却部材の内部に所定の温度に維持された循環液を取り込み、排出するためのホース等の配管の数を低減する。また、同一の冷却面に複数の固体光源を設けないことで、冷却部材のサイズを小さくする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の固体光源と、
複数の冷却面を有し、異なる前記冷却面にそれぞれ設けられた前記複数の固体光源を冷却する１つの冷却部材と、
を備える、光源装置。
【請求項２】
前記各固体光源から出射された光を同一方向に進行させる複数の反射部材を備える、請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記固体光源は、第１の固体光源と第２の固体光源とを有し、
前記第１の固体光源および前記第２の固体光源は、対向する前記冷却面にそれぞれ設けられる、請求項１に記載の光源装置。
【請求項４】
前記固体光源はさらに第３の固体光源を有し、
前記冷却部材は、対向する２つの前記冷却面を備える第１部材と、前記第１部材と接続され当該第１部材の前記各冷却面に対して直交する第２部材とからなる略Ｔ字形状の部材として形成され、
前記第２部材のうち前記第１部材が接続される面と対向する面が冷却面となって、当該冷却面に前記第３の固体光源が設けられる、請求項３に記載の光源装置。
【請求項５】
前記固体光源はさらに第３の固体光源を有し、
前記冷却部材は、対向する２つの前記冷却面を備える第１部材と、前記第１部材と接続され当該第１部材の前記各冷却面に対して直交する第２部材とからなる略Ｌ字形状の部材として形成され、
前記第２部材のうち前記第１部材が接続される面と対向する面が冷却面となって、当該冷却面に前記第３の固体光源が設けられる、請求項３に記載の光源装置。
【請求項６】
前記冷却部材の内部には、所定の温度に維持された循環液が循環する流路が形成されている、請求項１に記載の光源装置。
【請求項７】
前記複数の固体光源のうち少なくともいずれか１つの固体光源と前記冷却部材との間に、熱電素子が設けられる、請求項１に記載の光源装置。
【請求項８】
光源部と、
入射された光を変調し合成する光変調合成系と、
前記光源部から出射された光を前記光変調合成系へ導く照明光学系と、
前記光変調合成系から出射された画像を投射する投射光学系と、
からなり、
前記光源部は、
複数の固体光源と、
複数の冷却面を有し、異なる前記冷却面にそれぞれ設けられた前記複数の固体光源を冷却する１つの冷却部材と、
を備える、映像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、複数の光源を備える光源装置およびこれを備える映像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
固体光源の一つである半導体レーザは、発光した光の直進性が高く、高輝度で色純度が高いため、プロジェクタ用の光源に適している。半導体レーザをプロジェクタ用の光源として用いる場合、半導体レーザは高温になり、安定して所望の波長の光を出力するためにはその温度を所定温度に維持する必要がある。そこで、半導体レーザを冷却するための冷却部材として冷却ジャケットを半導体レーザの背面側に設置し、冷却ジャケット内部に冷却液を循環させることで半導体レーザを冷却している。
【０００３】
例えば特許文献１には、投写型映像表示装置に設けられた３つの光源部を２つの冷却系によって冷却する構成が開示されている。各光源部はそれぞれ異なる熱伝導部に設けられ、各光源部の発した熱はそれぞれの熱伝導部を介して冷媒流路を流れる冷媒に熱伝導される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−０９０３１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記特許文献１に記載の発明は、２つの光源部を１つの冷却系で冷却している。このため、冷却系の数は低減できるが、光源部が設けられた各熱伝導部と冷却系とを連結する配管の数は大きく低減することはできず、装置サイズが大きくなる。
【０００６】
図１５に映像表示装置の一例としてプロジェクタ１０の概略構成を示す。図１５に示すように、プロジェクタ１０は、赤、青、緑の３つの光源１１、１３、１５と、当該光源から出射した光を画像としてスクリーン等に表示させるプロジェクタ光学系１８とからなる。赤色の光源１１および青色の光源１３には例えば半導体レーザ装置を用いることができる。また、緑色の光源１５には例えば第二高調波発生（Second harmonic generation；ＳＨＧ）を利用したレーザ光源を用いることができる。光源１５から出射した光は、ファイバー１５ｃを介してファイバーバンドル部１７からプロジェクタ光学系１８へ入射する。プロジェクタ光学系１８は、例えば偏光ビームスプリッターや、反射型液晶パネル、投射光学系等からなる。
【０００７】
ここで、各光源１１、１３、１５には、それぞれを冷却する冷却部材として、冷却ジャケット１２、１４、１６が設けられている。各冷却ジャケット１２、１４、１６には冷却のための循環液をジャケット内に入れる導入口となる継手部１２ａ、１４ａ、１６ａと循環液が排出される排出口となる継手部１２ｂ、１４ｂ、１６ｂとが設けられている。継手部１２ａ、１２ｂ、１４ａ、１４ｂ、１６ａ、１６ｂは、循環液を所定の温度に保持する温度調節装置２０と冷却ジャケット１２、１４、１６との間で循環液を循環させるためのホース３１、３２、３３、３４が接続される。
【０００８】
図１５のように各光源１１、１３、１５をそれぞれ冷却ジャケット１２、１４、１６により冷却すると、継手の箇所が多くなり、ホース３１、３２、３３、３４の数も多くなる。このため、ホース３１、３２、３３、３４の取り回しにスペースが必要となる。また、ホース３１、３２、３３、３４の本数や長さ、冷却ジャケット１２、１４、１６の数が増加すると、循環液の圧力が高くなって循環液の流量が減少し、冷却性能が低下する。
【０００９】
冷却ジャケットおよびホースの数を減らすため、例えば図１６に示すように、２つの光源１１、１３を１つの冷却ジャケット１９で冷却する構成も考えられる。しかし、継手箇所は２つ少なくなるものの冷却ジャケット１９のサイズが大きくなり、重量が増加してしまう。
【００１０】
そこで、光源を冷却する冷却部材の小型化かつ構成のシンプル化が求められていた。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本開示によれば、複数の固体光源と、複数の冷却面を有し、異なる冷却面にそれぞれ設けられた複数の固体光源を冷却する１つの冷却部材と、を備える、光源装置が提供される。
【００１２】
また、本開示によれば、光源部と、入射された光を変調し合成する光変調合成系と、光源部から出射された光を光変調合成系へ導く照明光学系と、光変調合成系から出射された画像を投射する投射光学系と、からなり、光源部は、複数の固体光源と、複数の冷却面を有し、異なる冷却面にそれぞれ設けられた複数の固体光源を冷却する１つの冷却部材と、を備える、映像表示装置が提供される。
【００１３】
本開示によれば、複数の固体光源を１つの冷却部材の異なる冷却面にそれぞれ設けて冷却する。１つの冷却部材で複数の固体光源を冷却できるので、冷却部材の内部に所定の温度に維持された循環液を取り込み、排出するためのホース等の配管の数を低減することができる。また、同一の冷却面に複数の固体光源を設けないことで、冷却部材のサイズを小さくすることができる。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように本開示によれば、光源を冷却する冷却部材を小型化することができ、かつその構成をシンプルにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本開示の第１の実施形態に係る半導体レーザ装置を備えるプロジェクタの概略構成を示す概略構成図である。
【図２】同実施形態に係る第１の冷却ジャケットの外観を示す斜視図である。
【図３】同実施形態に係る第１の冷却ジャケットの内部構成を示す斜視図である。
【図４】図３のＡ−Ａ切断線における断面図である。
【図５】ＣＡＮパッケージを配列したＣＡＮパッケージアレイの一構成例を示す斜視図である。
【図６】本開示の第２の実施形態に係る半導体レーザ装置を備えるプロジェクタの概略構成を示す概略構成図である。
【図７】同実施形態に係る冷却部材の構成を示す背面図である。
【図８】本開示の第３の実施形態に係る半導体レーザ装置を備えるプロジェクタの概略構成を示す概略構成図である。
【図９】同実施形態に係る冷却ジャケットの外観を示す斜視図である。
【図１０】同実施形態に係る冷却ジャケットの内部構成を示す斜視図である。
【図１１】本開示の第４の実施形態に係る半導体レーザ装置を備えるプロジェクタの概略構成を示す概略構成図である。
【図１２】同実施形態に係る冷却ジャケットの外観を示す斜視図である。
【図１３】同実施形態に係る冷却ジャケットの内部構成を示す斜視図である。
【図１４】本開示の第５の実施形態に係る半導体レーザ装置を備えるプロジェクタの概略構成を示す概略構成図である。
【図１５】本開示の関連技術に係るプロジェクタの構成を示す概略構成図であって、３つの光源をそれぞれ異なる冷却部材によって冷却する一構成例を示す。
【図１６】本開示の関連技術に係るプロジェクタの構成を示す概略構成図であって、３つの光源のうち２つの光源を１つの冷却部材によって冷却する一構成例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に添付図面を参照しながら、本開示の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１７】
なお、説明は以下の順序で行うものとする。
１．第１の実施形態（直方体形状の冷却ジャケット）
１．１．プロジェクタの概略構成
１．２．冷却ジャケットの構成
２．第２の実施形態（ヒートパイプを使用した冷却ジャケットの共有）
３．第３の実施形態（Ｔ字形状の冷却ジャケット）
３．１．プロジェクタの概略構成
３．２．冷却ジャケットの構成
４．第４の実施形態（Ｌ字形状の冷却ジャケット）
４．１．プロジェクタの概略構成
４．２．冷却ジャケットの構成
５．第５の実施形態（熱電素子の利用）
【００１８】
＜１．第１の実施形態＞
［１．１．プロジェクタの概略構成］
まず、図１を参照して、本開示の第１の実施形態に係るプロジェクタ１０の概略構成について説明する。なお、図１は、本実施形態に係る半導体レーザ装置１００を備えるプロジェクタ１０の概略構成を示す概略構成図である。本実施形態に係るプロジェクタ１０は、赤、青、緑の３つの光源１２０、１３０、１５０と、当該光源から出射した光を画像としてスクリーン等に表示させるプロジェクタ光学系１８０とからなる。
【００１９】
赤色の光源１２０および青色の光源１３０には例えば半導体レーザ装置を用いることができる。また、緑色の光源１５０には例えば第二高調波発生を利用したレーザ光源を用いることができる。光源１５２から出射した光は、ファイバー１５２を介してファイバーバンドル部１７０からプロジェクタ光学系１８０へ入射する。
【００２０】
プロジェクタ光学系１８０は、入射された光を変調し合成する光変調合成系と、光源１２０、１３０、１５０から出射された光を光変調合成系へ導く照明光学系と、光変調合成系から出射された画像を投射する投射光学系と、を有している。プロジェクタ光学系１８０には、例えばマイクロミラー反射型パネルを使用したＤＬＰ（Digital Light Processing）方式や、透過型液晶パネルを使用したＬＣＤ（Liquid Crystal Display）方式、反射型液晶パネルを使用したＬＣＯＳ（Liquid
crystal on silicon）方式等を利用することができる。
【００２１】
なお、本技術におけるプロジェクタ１０に用いる表示パネル方式は、上記の方式に限定されない。また、プロジェクタ光学系１８０の構成は各表示パネル方式において一般的な構成を適用することができる。このため、本明細書ではプロジェクタ光学系１８０についての詳細な説明を省略する。
【００２２】
各光源１２０、１３０、１５０は、冷却部材である冷却ジャケット１１０、１６０により冷却され、所定の温度範囲内の温度に維持されている。図１に示すように、第１の冷却ジャケット１１０には対向する面に光源１２０と光源１３０とが設けられており、１つの冷却部材によって２つの光源１２０、１３０を冷却している。第１の冷却ジャケット１１０および光源１２０、１３０からなるモジュールを半導体レーザ装置１００という。
【００２３】
図１に示す構成では、光源１２０、１３０からそれぞれが出射された光の進行方向は、プロジェクタ光学系１８０に入射する光の入射方向に対して略直交する。したがって、光源１２０、１３０からそれぞれが出射された光は全反射ミラー１４２、１４４によって全反射されて進行方向が変えられた後、プロジェクタ光学系１８０へ入射される。なお、半導体レーザ装置１００は、全反射ミラー１４２、１４４を備えていてもよい。
【００２４】
第２の冷却ジャケット１６０は、光源１５０が設けられている。光源１５０は、第２の冷却ジャケット１６０に接して設けられることで所定の温度に維持される。
【００２５】
第１の冷却ジャケット１１０および第２の冷却ジャケット１６０の内部には、温度調節装置２０によって所定の温度に調整された循環液が循環している。温度調節装置２０には、例えば、液温を管理しながら循環液をポンプで循環させるサーモチラーを用いてもよい。循環液には、例えば水を用いることができる。あるいは、循環液ポンプ、リザーバータンク、ラジエター、ラジエター冷却用強制空冷ファン等からなる冷却ユニットを温度調整装置２０として用いてもよい。冷却ユニットは外気の風を利用して冷却するため、冷却ユニットを温度調整装置２０として用いた場合、第１の冷却ジャケット１１０および第２の冷却ジャケット１６０は外気温度以下には冷却されない。
【００２６】
温度調節装置２０から排出された循環液は、ホース３１を介して導入口から第１の冷却ジャケット１１０に導入されて第１の冷却ジャケット１１０内を循環した後、排出口から排出される。第１の冷却ジャケット１１０の排出口から排出された循環液は、ホース３２を介して第２の冷却ジャケット１６０の導入口から導入されて第２の冷却ジャケット１６０内を循環した後、排出口から排出される。第２の冷却ジャケット１６０の排出口から排出された循環液は、ホース３３を介して温度調節装置２０に戻る。
【００２７】
［１．２．冷却ジャケットの構成］
図２〜図４に基づいて、本実施形態に係る冷却ジャケットの構成を説明する。図２は、本実施形態に係る第１の冷却ジャケット１１０の外観を示す斜視図である。図３は、本実施形態に係る第１の冷却ジャケット１１０の内部構成を示す斜視図である。図４は、図３のＡ−Ａ切断線における断面図である。なお、本実施形態において、第１の冷却ジャケットと第２の冷却ジャケット１６０との構成は同一であるとする。このため、以下では第１の冷却ジャケット１１０の構成についてのみ詳細に説明する。
【００２８】
第１の冷却ジャケット１１０は、図２および図３に示すように、内部に循環液が流れる流路１１５が形成された本体部１１１と、一端が本体部１１１の流路１１５と接続され、他端がホース３１、３２と接続される継手部１１６、１１８とからなる。
【００２９】
本体部１１１は、光源１２０、１３０が設置される２つの冷却面を備える部材であって、例えば銅やアルミニウム等の熱伝導率の高い金属から構成される。なお、冷却ジャケットの材質として銅を用いる場合には、循環液の流速が速かったり気泡が多かったりする場合等には潰食（エロージョン・コロージョン）により腐食することがある。また、冷却ジャケットの材質としてアルミニウムを用いる場合には、循環液として水を使用すると冷却ジャケットと循環液との接触部分が錆びてしまう。このため、循環液として水を使用する場合には、アルミニウムからなる冷却ジャケットの流路内部に錆防止処理をする必要がある。あるいは、アルミニウムからなる冷却ジャケットを用いる場合には、循環液として錆防止成分を含む不凍液を使用する必要がある。なお、耐食性を重視した場合には、冷却ジャケットの材質として、熱伝導率は銅やアルミニウムよりは劣るがステンレス材を選択してもよい。
【００３０】
本体部１１１は、流路１１５が形成された流路形成部１１２と、流路形成部１１２に形成された流路１１５の開口を覆うカバー部１１４とからなる。
【００３１】
流路形成部１１２には、例えば図３に示すように、循環液によって流路形成部１１２の冷却面が全体的に冷却されるように流路１１５が形成されている。流路１１５は、例えば直方体の金属部材の一面を削って形成してもよい。流路１１５は、本体部１１１の冷却面に設けられる光源１２０、１３０を効率的に冷却できるように冷却面全体を網羅するように形成されるのがよく、例えば図３に示すようにジグザグ状に形成してもよい。このとき、継手部１１６と連通する流路１１５の入側と継手部１１８と連通する流路１１５の出側とを同一面に設けることで、ホースを効率的に引き回すことができる。
【００３２】
カバー部１１４は、流路形成部１１２の流路１１５が開口する面を覆う板状部材である。カバー部１１４は、循環液が流路１１５から漏れないように、例えばロウ付け等によりシールされて流路形成部１１２に固定される。このように、本体部１１１を、流路形成部１１２に流路１１５を形成した後カバー部１１４で覆って作成することで、流路１１５を容易に形成することができる。
【００３３】
継手部１１６、１１８は、流路形成部１１２に形成された流路１１５とホース３１、３２とを接続する中空の部材である。継手部１１６は、循環液の導入口となる流路１１５の一端に連結される。継手部１１８は、循環液の排出口となる流路１１５の他端に連結される。
【００３４】
第１の冷却ジャケット１１０には、図４に示すように、本体部１１１のカバー部１１４側の表面（以下、「第１の冷却面」ともいう。）１１４ａに光源１２０が設けられる。光源１２０は、例えば複数の半導体レーザ素子を配列した半導体レーザチップアレイ１２２ａ、１２２ｂとからなる。半導体レーザチップアレイ１２２ａ、１２２ｂは、それぞれねじ１２４ａ、１２４ｂ、１２４ｃ、１２４ｄによって第１の冷却面１１４ａに固定されている。
【００３５】
一方、第１の冷却ジャケット１１０の流路形成部１１２側の表面（以下、「第２の冷却面」ともいう。）１１２ａには、光源１３０が設けられる。光源１３０は、光源１２０と同様、例えば複数の半導体レーザ素子を配列した半導体レーザチップアレイ１３２ａ、１３２ｂとからなる。半導体レーザチップアレイ１３２ａ、１３２ｂは、それぞれねじ１３４ａ、１３４ｂ、１３４ｃ、１３４ｄによって第２の冷却面１１２ａに固定されている。
【００３６】
このように、第１の冷却ジャケット１１０に光源１２０、１３０を直接固定することで、部材間の熱抵抗が小さくなり、冷却効率を高めることができる。また、第１の冷却ジャケット１１０と光源１２０、１３０との間に他の部材を設ける必要もないことから、半導体レーザ装置１００の軽量化も実現できる。
【００３７】
なお、本実施形態では光源１２０、１３０は、それぞれ２つの半導体レーザチップアレイ１２２ａ、１２２ｂ、１２４ａ、１２４ｂから構成したが、本技術はかかる例に限定されず、１または複数の半導体レーザチップアレイから構成してもよい。また、半導体レーザチップアレイ１２２ａ、１２２ｂ、１２４ａ、１２４ｂの冷却面１１４ａ、１１２ａへの固定方法は、ねじ固定でなくてもよく、他の固定方法であってもよい。
【００３８】
さらに、半導体レーザチップアレイ１２２ａ、１２２ｂ、１２４ａ、１２４ｂの代わりに、半導体素子を円筒の金属に収納して形成されたＣＡＮパッケージを配列したＣＡＮパッケージアレイを光源として用いてもよい。例えば赤色の光源は半導体レーザチップアレイにより構成し、緑色および青色の光源はＣＡＮパッケージアレイにより構成してもよい。
【００３９】
ＣＡＮパッケージを配列したＣＡＮパッケージアレイの一構成例を図５に示す。図５に示すＣＡＮパッケージアレイ１２６は、複数のＣＡＮパッケージ１２７と、ホルダー１２８と、固定部材１２９とからなる。ホルダー１２８に一列に配置されたＣＡＮパッケージ１２７は、上方から固定部材１２９によって挟み込まれて固定される。固定部材１２９には、ホルダー１２８に配置されたＣＡＮパッケージ１２７の発光部分が露出するように複数の開口部１２９ａが形成されている。ＣＡＮパッケージアレイ１２６の作製時に、ホルダー１２８にＣＡＮパッケージ１２７の位置決め部材を用いると、精度よくかつ容易にＣＡＮパッケージアレイ１２６を作製できる。本実施形態に係る光源としてこのようなＣＡＮパッケージアレイ１２６を光源として用いてもよい。
【００４０】
光源部１２０、１３０は、流路１１５を流れる循環液により効率よく冷却できるように、流路１１５の近傍に設けられる。例えば図４に示すように、半導体レーザチップアレイ１２２ａ、１３２ａが対向して設けられた領域に流路１１５の約半分が位置し、半導体レーザチップアレイ１２２ｂ、１３２ｂが対向して設けられた領域に流路１１５の他の部分が位置するようにする。これにより、各半導体レーザチップアレイイ１２２ａ、１２２ｂ、１３２ａ、１３２ｂを略均一に冷却させることができる。
【００４１】
以上、第１の実施形態に係る半導体レーザ装置１００を備えるプロジェクタ１０について説明した。かかる半導体レーザ装置１００によれば、第１の冷却ジャケット１１０の異なる面に光源１２０、１３０を設けることで、例えば図１６に示したような構成と比較して水冷ジャケット１１０のサイズを小さくすることができる。特に、本実施形態に係る発明のように第１の冷却ジャケット１１０の対向する面を冷却面１１２ａ、１１４ａとすることで、光源１２０、１３０を略均一に効率よく冷却することができる。
【００４２】
＜２．第２の実施形態＞
次に、図６および図７に基づいて、第２の実施形態に係る半導体レーザ装置２００を備えるプロジェクタ１０の構成について説明する。図６は、本開示の第２の実施形態に係る半導体レーザ装置２００を備えるプロジェクタ１０の概略構成を示す概略構成図である。図７は、本実施形態に係る冷却部材の構成を示す背面図である。本実施形態に係る半導体レーザ装置２００は、第１の実施形態に係る半導体レーザ装置１００と比較して、２つの光源１２０、１３０を冷却する冷却部材が冷却ジャケット１１０、放熱プレート２１０および受熱プレート２２０とから構成される点で相違する。なお、以下において、第１の実施形態に係るプロジェクタ１０と同一構成の部材については同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００４３】
本実施形態に係るプロジェクタ１０は、赤、青、緑の３つの光源１２０、１３０、１５０と、当該光源から出射した光を画像としてスクリーン等に表示させるプロジェクタ光学系１８０とからなる。これらは第１の実施形態と同様に構成してもよい。
【００４４】
各光源１２０、１３０、１５０は、冷却部材である冷却ジャケット１１０、１６０により冷却され、所定の温度範囲内の温度に維持されている。なお、光源１５０を冷却する第２の冷却ジャケット１６０は、第１の実施形態と同様に構成してもよい。
【００４５】
光源１２０、１３０は、第１の冷却ジャケット１１０により冷却される。第１の冷却ジャケット１１０も、図２および図３に示した第１の実施形態に係る第１の冷却ジャケット１１０と同様に構成される。
【００４６】
本実施形態に係る第１の冷却ジャケット１１０は、図６に示すように、プロジェクタ光学系１８０と対向する面（以下、「冷却面」ともいう。）に光源１２０が設けられ、冷却面と反対側の面に放熱プレート２１０が設けられている。放熱プレート２１０は、図６および図７に示すようにヒートパイプ２３０を介して受熱プレート２２０と接続されている。受熱プレート２２０は、プロジェクタ光学系１８０と対向する面に光源１３０が設けられている。
【００４７】
すなわち、第１の冷却ジャケット１１０内を循環する循環液によって、光源１２０が冷却されるとともに放熱プレート２１０が冷却される。一方、受熱プレート２２０は、光源１３０の熱を吸収し、ヒートパイプ２３０によってその熱が冷却された放熱プレート２１０へ伝達される。このように、光源１３０を受熱プレート２２０に設けてその熱を効率的に吸収し、吸収された熱をヒートパイプ２３０によって放熱プレート２１０へ移動させることで、冷却ジャケットに直接設けられていない光源１３０も冷却することができる。
【００４８】
かかる構成とすることで、第１の冷却ジャケットの冷却面および受熱プレート２２０の光源設置面をプロジェクタ光学系１８０に対向させて配置できる。すなわち、光源１２０、１３０から出射された光を、全反射ミラー等を用いることなく直接プロジェクタ光学系１８０へ入射させることができる。
【００４９】
なお、ヒートパイプ２３０は、例えば図７に示すように、例えば５本のヒートパイプ２３１、２３２、２３３、２３４、２３５を放熱プレート２１０と受熱プレート２２０との配列方向に沿って配置してもよい。このとき、放熱プレート２１０および受熱プレート２２０において、光源１２０、１３０の設置位置に対応する部分にヒートパイプ２３０を設置することで、光源１２０、１３０の熱を効率よく放出することができる。なお、ヒートパイプ２３０の数は、図７に示す例に限定されず、１または複数のヒートパイプ２３０を設けてもよい。また、ヒートパイプ２３０の設置の仕方についても、図７に示す例に限定されず、適宜変更可能である。
【００５０】
第１の冷却ジャケット１１０および第２の冷却ジャケット１６０の内部には、温度調節装置２０によって所定の温度に調整された循環液が循環している。温度調節装置２０から排出された循環液は、ホース３１を介して導入口から第１の冷却ジャケット１１０に導入されて第１の冷却ジャケット１１０内を循環した後、排出口から排出される。第１の冷却ジャケット１１０の排出口から排出された循環液は、ホース３２を介して第２の冷却ジャケット１６０の導入口から導入されて第２の冷却ジャケット１６０内を循環した後、排出口から排出される。第２の冷却ジャケット１６０の排出口から排出された循環液は、ホース３３を介して温度調節装置２０に戻る。
【００５１】
以上、本実施形態に係る半導体レーザ装置２００を備えるプロジェクタ１０について説明した。本実施形態に係る半導体レーザ装置２００では、第１の冷却ジャケット１１０の冷却面で光源１２０を冷却するとともに、冷却面と反対側の面に放熱プレート２１０を設ける。放熱プレート２１０は、ヒートパイプ２３０を介して、光源１３０が設けられた受熱プレート２２０と接続される。これにより、１つの冷却ジャケットによって２つの光源１２０、１３０を冷却することができ、プロジェクタ１０のサイズを小さくすることができる。
【００５２】
＜３．第３の実施形態＞
次に、図８〜図１０に基づいて、第３の実施形態に係る半導体レーザ装置３００を備えるプロジェクタ１０の構成について説明する。図８は、本開示の第３の実施形態に係る半導体レーザ装置３００を備えるプロジェクタ１０の概略構成を示す概略構成図である。図９は、本実施形態に係る冷却ジャケット３１０の外観を示す斜視図である。図１０は、本実施形態に係る冷却ジャケット３１０の内部構成を示す斜視図である。
【００５３】
本実施形態に係る半導体レーザ装置３００は、第１の実施形態に係る半導体レーザ装置１００と比較して、３つの光源１２０、１３０、３２０を１つの冷却ジャケット３１０によって冷却する点で相違する。なお、以下において、第１の実施形態に係るプロジェクタ１０と同一構成の部材については同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００５４】
［３．１．プロジェクタの概略構成］
本実施形態に係るプロジェクタ１０は、赤、青、緑の３つの光源１２０、１３０、３２０と、当該光源から出射した光を画像としてスクリーン等に表示させるプロジェクタ光学系１８０とからなる。本実施形態において、３つの光源１２０、１３０、３２０は、すべて半導体レーザ素子等の固体光源からなるものとする。
【００５５】
プロジェクタ光学系１８０は、入射された光を変調し合成する光変調合成系と、光源１２０、１３０、３２０から出射された光を光変調合成系へ導く照明光学系と、光変調合成系から出射された画像を投射する投射光学系と、を有している。プロジェクタ光学系１８０は、第１の実施形態と同様に構成してもよい。
【００５６】
各光源１２０、１３０、３２０は、側面からみて略Ｔ字形状に形成された１つの冷却部材である冷却ジャケット３１０により冷却され、所定の温度範囲内の温度に維持されている。図８に示すように、冷却ジャケット３１０の第１部材（後述する「第１の流路形成３１２Ａ」および「カバー部３１３」からなる部材）には、光源１２０と光源１３０とが対向して設けられている。また、冷却ジャケット３１０の第２部材（後述する「第２の流路形成３１２Ｂ」および「カバー部３１４」からなる部材）に光源３２０がプロジェクタ光学系１８０と対向するように設けられている。冷却ジャケット３１０および光源１２０、１３０、３２０からなるモジュールを半導体レーザ装置３００という。
【００５７】
図８に示す構成では、光源１２０、１３０からそれぞれが出射された光の進行方向は、プロジェクタ光学系１８０に入射する光の入射方向に対して略直交する。したがって、光源１２０、１３０からそれぞれが出射された光は全反射ミラー１４２、１４４によって全反射されて進行方向が変えられた後、プロジェクタ光学系１８０へ入射される。なお、半導体レーザ装置３００は、全反射ミラー１４２、１４４を備えていてもよい。
【００５８】
各光源１２０、１３０、３２０は、冷却ジャケット３１０により冷却され、所定の温度範囲内の温度に維持されている。冷却ジャケット３１０の内部には、温度調節装置２０によって所定の温度に調整された循環液が循環している。温度調節装置２０から排出された循環液は、ホース３１を介して導入口から冷却ジャケット３１０に導入されて冷却ジャケット３１０内を循環した後、排出口から排出される。冷却ジャケット３１０の排出口から排出された循環液は、ホース３２を介して温度調節装置２０に戻る。
【００５９】
［３．２．冷却ジャケットの構成］
冷却ジャケット３１０は、図９および図１０に示すように、内部に循環液が流れる流路３１５が形成された本体部３１１と、一端が本体部３１１の流路３１５と接続され、他端がホースと接続される継手部３１６、３１８とからなる。
【００６０】
本体部３１１は、光源１２０、１３０、３２０が設置される３つの冷却面を備える部材であって、例えば銅やアルミニウム等の熱伝導率の高い金属から構成される。本体部３１１は、流路３１５が形成された流路形成部３１２と、流路形成部３１２に形成された流路３１５の開口を覆うカバー部３１３、３１４とからなる。
【００６１】
流路形成部３１２は、継手部３１６、３１８が接続される第１の流路形成部３１２Ａと、第１の流路形成部３１２Ａに対して直交するように設けられる第２の流路形成部３１２Ｂとからなる。第１の流路形成部３１２Ａは、継手部３１６、３１８が接続される面と反対側の面が、第２の流路形成部３１２Ｂにおいて光源３２０が設けられる側と反対側の面の中央部分に連結されている。すなわち、図９に示すように、本体部３１１は側面からの形状が略Ｔ字形状に形成されている。第１のカバー部３１３は第１の流路形成部３１２Ａに設けられ、第２のカバー部３１４は第２の流路形成部３１２Ｂに設けられる。
【００６２】
流路形成部３１２には、例えば図１０に示すように、循環液が流路形成部３１２内部を全体的に循環するように流路３１５が形成されている。流路３１５は、第１の実施形態に係る流路形成部１１２に形成された流路１１５と同様、例えば直方体の金属部材の一面を削って形成してもよい。流路３１５は、本体部３１１の冷却面に設けられる光源１２０、１３０、３２０を効率的に冷却できるように冷却面全体を網羅するように形成されるのがよい。流路３１５は、例えば図１０に示すように流路形成部３１２内を蛇行するように形成してもよい。このとき、継手部３１６と連通する流路３１５の入側と継手部３１８と連通する流路３１５の出側とを同一面に設けることで、ホースを効率的に引き回すことができる。
【００６３】
カバー部３１３、３１４は、流路形成部３１２の流路３１５が開口する面を覆う板状部材である。カバー部３１３、３１４は、循環液が流路３１５から漏れないように流路形成部３１２に固定される。
【００６４】
継手部３１６、３１８は、流路形成部３１２に形成された流路３１５とホース３１、３２とを接続する中空の部材である。継手部３１６は、循環液の導入口となる流路３１５の一端に連結される。継手部３１８は、循環液の排出口となる流路３１５の他端に連結される。
【００６５】
光源１２０は、図８に示すように、本体部３１１の第１のカバー部３１３側の表面（以下、「第１の冷却面」ともいう。）３１３ａに設けられる。光源１３０は、冷却ジャケット３１０の第１の流路形成部３１２Ａ側の表面（以下、「第２の冷却面」ともいう。）３１２ａに設けられる。光源３２０は、冷却ジャケット３１０の第２の流路形成部３１２Ｂ側の表面（以下、「第３の冷却面」ともいう。）３１４ａに設けられる。
【００６６】
各光源１２０、１３０、３２０は、第１の実施形態と同様、例えば複数の半導体レーザ素子を配列した１または複数の半導体レーザチップアレイから構成することができる。各光源１２０、１３０、３２０を構成する半導体レーザチップアレイは、それぞれねじ等の固定部材によって第１の冷却面３１３ａ、第２の冷却面３１２ａ、第３の冷却面３１４ａにそれぞれ固定されている。
【００６７】
このように、冷却ジャケット３１０に光源１２０、１３０、３２０を直接固定することで、部材間の熱抵抗が小さくなり、冷却効率を高めることができる。また、冷却ジャケット３１０と光源１２０、１３０、３２０との間に他の部材を設ける必要もないことから、半導体レーザ装置３００の軽量化も実現できる。
【００６８】
以上、本実施形態に係る半導体レーザ装置３００を備えるプロジェクタ１０について説明した。本実施形態に係る半導体レーザ装置３００では、冷却ジャケット３１０の異なる面に光源１２０、１３０、３２０を設けることで、例えば図１６に示したような構成と比較して水冷ジャケット３１０のサイズを小さくすることができる。また、温度調節装置２０と冷却ジャケット３１０との間で循環される循環液を２つのホース３１、３２によって移送することができるので、ホース３１、３２を引き回すスペース等が不要となる。さらに、本実施形態に係る発明のように１つの冷却ジャケット３１０ですべての光源１２０、１３０、３２０を冷却することで、光源１２０、１３０、３２０を略均一に効率よく冷却することができる。
【００６９】
＜４．第４の実施形態＞
次に、図１１〜図１３に基づいて、第４の実施形態に係る半導体レーザ装置４００を備えるプロジェクタ１０の構成について説明する。図１１は、本開示の第４の実施形態に係る半導体レーザ装置４００を備えるプロジェクタ１０の概略構成を示す概略構成図である。図１２は、本実施形態に係る冷却ジャケット４１０の外観を示す斜視図である。図１３は、本実施形態に係る冷却ジャケット４１０の内部構成を示す斜視図である。
【００７０】
本実施形態に係る半導体レーザ装置４００は、第３の実施形態に係る半導体レーザ装置３００と比較して、冷却ジャケットの形状を略Ｌ字形状とした点で相違する。なお、以下において、第３の実施形態に係るプロジェクタ１０と同一構成の部材については同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００７１】
［４．１．プロジェクタの概略構成］
本実施形態に係るプロジェクタ１０は、赤、青、緑の３つの光源１２０、１３０、４２０と、当該光源から出射した光を画像としてスクリーン等に表示させるプロジェクタ光学系１８０とからなる。本実施形態において、３つの光源１２０、１３０、４２０は、すべて半導体レーザ素子等の固体光源からなるものとする。
【００７２】
プロジェクタ光学系１８０は、入射された光を変調し合成する光変調合成系と、光源１２０、１３０、４２０から出射された光を光変調合成系へ導く照明光学系と、光変調合成系から出射された画像を投射する投射光学系と、を有している。プロジェクタ光学系１８０は、第１の実施形態と同様に構成してもよい。
【００７３】
各光源１２０、１３０、４２０は、側面からみて略Ｌ字形状に形成された１つの冷却部材である冷却ジャケット４１０により冷却され、所定の温度範囲内の温度に維持されている。図１１に示すように、冷却ジャケット４１０の第１部材（後述する「第１の流路形成４１２Ａ」および「カバー部４１３」からなる部材）には、光源１２０と光源１３０とが対向して設けられている。また、冷却ジャケット４１０の第２部材（後述する「第２の流路形成４１２Ｂ」および「カバー部４１４」からなる部材）に光源４２０がプロジェクタ光学系１８０と対向するように設けられている。冷却ジャケット４１０および光源１２０、１３０、４２０からなるモジュールを半導体レーザ装置４００という。
【００７４】
図１１に示す構成では、光源１２０、１３０からそれぞれが出射された光の進行方向は、プロジェクタ光学系１８０に入射する光の入射方向に対して略直交する。したがって、本実施形態においても第３の実施形態と同様、光源１２０、１３０からそれぞれが出射された光は全反射ミラー１４２、１４４によって全反射されて進行方向が変えられた後、プロジェクタ光学系１８０へ入射される。なお、半導体レーザ装置４００は、全反射ミラー１４２、１４４を備えていてもよい。
【００７５】
各光源１２０、１３０、４２０は、冷却ジャケット４１０により冷却され、所定の温度範囲内の温度に維持されている。冷却ジャケット４１０の内部には、温度調節装置２０によって所定の温度に調整された循環液が循環している。温度調節装置２０から排出された循環液は、ホース３１を介して導入口から冷却ジャケット４１０に導入されて冷却ジャケット４１０内を循環した後、排出口から排出される。冷却ジャケット４１０の排出口から排出された循環液は、ホース３２を介して温度調節装置２０に戻る。
【００７６】
［４．２．冷却ジャケットの構成］
冷却ジャケット４１０は、図１２および図１３に示すように、内部に循環液が流れる流路４１５が形成された本体部４１１と、一端が本体部４１１の流路４１５と接続され、他端がホースと接続される継手部４１６、４１８とからなる。
【００７７】
本体部４１１は、光源１２０、１３０、４２０が設置される３つの冷却面を備える部材であって、例えば銅やアルミニウム等の熱伝導率の高い金属から構成される。本体部４１１は、流路４１５が形成された流路形成部４１２と、流路形成部４１２に形成された流路４１５の開口を覆うカバー部４１３、４１４とからなる。
【００７８】
流路形成部４１２は、継手部４１６、４１８が接続される第１の流路形成部４１２Ａと、第１の流路形成部４１２Ａに対して直交するように設けられる第２の流路形成部４１２Ｂとからなる。第１の流路形成部４１２Ａは、継手部４１６、４１８が接続される面と反対側の面が、第２の流路形成部４１２Ｂにおいて光源４２０が設けられる側と反対側の面の一端側に連結されている。すなわち、図１２に示すように、本体部４１１は側面からの形状が略Ｌ字形状に形成されている。第１のカバー部４１３は第１の流路形成部４１２Ａに設けられ、第２のカバー部４１４は第２の流路形成部４１２Ｂに設けられる。
【００７９】
流路形成部４１２には、例えば図１３に示すように、循環液が流路形成部４１２内部を全体的に循環するように流路４１５が形成されている。流路４１５は、例えば直方体の金属部材の一面を削って形成してもよい。流路４１５は、本体部４１１の冷却面に設けられる光源１２０、１３０、４２０を効率的に冷却できるように冷却面全体を網羅するように形成されるのがよい。流路４１５は、例えば図１３に示すように、第１の流路形成部４１２Ａと第２の流路形成部４１２Ｂとの内部を行き来しながら蛇行するように形成してもよい。このとき、継手部４１６と連通する流路４１５の入側と継手部４１８と連通する流路４１５の出側とを同一面に設けることで、ホースを効率的に引き回すことができる。
【００８０】
カバー部４１３、４１４は、流路形成部４１２の流路４１５が開口する面を覆う板状部材である。カバー部４１３、４１４は、循環液が流路４１５から漏れないように流路形成部４１２に固定される。
【００８１】
継手部４１６、４１８は、流路形成部４１２に形成された流路４１５とホース３１、３２とを接続する中空の部材である。継手部４１６は、循環液の導入口となる流路４１５の一端に連結される。継手部４１８は、循環液の排出口となる流路４１５の他端に連結される。
【００８２】
光源１２０は、図１１に示すように、本体部４１１の第１のカバー部４１３側の表面（以下、「第１の冷却面」ともいう。）４１３ａに設けられる。光源１３０は、冷却ジャケット４１０の第１の流路形成部３１２Ａ側の表面（以下、「第２の冷却面」ともいう。）４１２ａに設けられる。光源４２０は、冷却ジャケット４１０の第２の流路形成部３１２Ｂ側の表面（以下、「第３の冷却面」ともいう。）４１４ａに設けられる。
【００８３】
各光源１２０、１３０、４２０は、第１の実施形態と同様、例えば複数の半導体レーザ素子を配列した１または複数の半導体レーザチップアレイから構成することができる。各光源１２０、１３０、４２０を構成する半導体レーザチップアレイは、それぞれねじ等の固定部材によって第１の冷却面４１３ａ、第２の冷却面４１２ａ、第３の冷却面４１４ａにそれぞれ固定されている。
【００８４】
このように、冷却ジャケット４１０に光源１２０、１３０、４２０を直接固定することで、部材間の熱抵抗が小さくなり、冷却効率を高めることができる。また、冷却ジャケット４１０と光源１２０、１３０、４２０との間に他の部材を設ける必要もないことから、半導体レーザ装置４００の軽量化も実現できる。
【００８５】
以上、本実施形態に係る半導体レーザ装置４００を備えるプロジェクタ１０について説明した。本実施形態に係る半導体レーザ装置４００では、冷却ジャケット４１０の異なる面に光源１２０、１３０、４２０を設けることで、例えば図１６に示したような構成と比較して水冷ジャケット４１０のサイズを小さくすることができる。また、温度調節装置２０と冷却ジャケット４１０との間で循環される循環液を２つのホース３１、３２によって移送することができるので、ホース３１、３２を引き回すスペース等が不要となる。さらに、本実施形態に係る発明のように１つの冷却ジャケット４１０ですべての光源１２０、１３０、４２０を冷却することで、光源１２０、１３０、４２０を略均一に効率よく冷却することができる。
【００８６】
なお、本実施形態に係るＬ字形状の冷却ジャケット４１０は、第３の実施形態に係るＴ字形状の冷却ジャケット３１０と比較して流路４１５の作成が容易である。一方、第３の実施形態に係るＴ字形状の冷却ジャケット３１０を用いると、光源１２０、１３０を冷却ジャケット３１０の第２の流路形成部３１２Ｂからはみ出さないように設けることが可能である。したがって、冷却ジャケット３１０を用いる場合、本実施形態に係るＬ字形状の冷却ジャケット４１０を用いる場合よりも半導体レーザ装置３００をコンパクトに形成することができる。
【００８７】
＜５．第５の実施形態＞
次に、図１４に基づいて、第５の実施形態に係る半導体レーザ装置５００を備えるプロジェクタ１０の構成について説明する。図１４は、本開示の第５の実施形態に係る半導体レーザ装置４００を備えるプロジェクタ１０の概略構成を示す概略構成図である。
【００８８】
本実施形態に係る半導体レーザ装置５００は、第４の実施形態に係る半導体レーザ装置４００と比較して、冷却ジャケット４１０の第１の冷却面４１３ａと光源１２０との間に熱電素子５１０を設けた点で相違する。なお、本実施形態に係るプロジェクタ１０の構成は、第４の実施形態に係るプロジェクタ１０と略同一なため、その詳細な説明は省略する。以下では、半導体レーザ装置５００について、第４の実施形態に係る半導体レーザ装置４００との相違点を主として説明する。
【００８９】
冷却ジャケット４１０の第１の冷却面４１３ａと赤色の光源１２０との間に設けられる熱電素子５１０は、光源１２０の温度をより所望の温度に維持するために機能する。熱電素子５１０は、例えばペルチェ素子等意より構成される。本実施形態に係る半導体レーザ装置５００では、例えば図１４に示すように、３つの熱電素子５１２、５１４、５１６が設けられる。なお、熱電素子５１０の数はかかる例に限定されず、１または複数設けられてもよい。
【００９０】
熱電素子５１０が設けられた赤色の光源１２０は、青色の光源１３０や緑色の光源４２０と比較して、温度が１度変化するときの波長の変化の程度が大きい。このため、本実施形態に係る半導体レーザ装置５００では、波長が温度変化の影響を受けやすい赤色の光源１２０に熱電素子５１０を設けている。しかし、本技術はかかる例に限定されず、他の光源１３０、４２０と冷却ジャケット４１０との間に熱電素子５１０を設けてもよい。すべての光源１２０、１３０、４２０に熱電素子５１０を設けることで、各光源の寿命を略同一にすることもできる。
【００９１】
以上、本実施形態に係る半導体レーザ装置５００を備えるプロジェクタ１０について説明した。本実施形態に係る半導体レーザ装置５００は、冷却ジャケット４１０の異なる面に光源１２０、１３０、４２０を設けることで、例えば図１６に示したような構成と比較して水冷ジャケット４１０のサイズを小さくすることができる。また、温度調節装置２０と冷却ジャケット４１０との間で循環される循環液を２つのホース３１、３２によって移送することができるので、ホース３１、３２を引き回すスペース等が不要となる。
【００９２】
さらに、本実施形態に係る発明のように１つの冷却ジャケット４１０ですべての光源１２０、１３０、４２０を冷却することで、光源１２０、１３０、４２０を略均一に効率よく冷却することができる。また、冷却ジャケット４１０と少なくともいずれか１つの光源１２０、１３０、４２０との間に熱電素子５１０を設けることで、光源温度を高精度に所望の温度に維持することができる。
【００９３】
以上、添付図面を参照しながら本開示の好適な実施形態について詳細に説明したが、本開示の技術的範囲はかかる例に限定されない。本開示の技術分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本開示の技術的範囲に属するものと了解される。
【００９４】
例えば、上記実施形態では、光源１２０、１３０、３２０、４２０として半導体レーザ素子を用いるとしたが、本技術はかかる例に限定されない。例えば、光源１２０、１３０、３２０、４２０はＬＥＤ等の固体光源であってもよい。
【００９５】
また、上記実施形態において、光源１２０は赤色、光源１３０は青色、光源１５０、３２０、４２０は緑色として説明したが、本技術はかかる例に限定されない。上記各実施形態において使用する光源の色は赤、青、緑以外の色であってもよい。また、冷却部材におけるそれぞれの色の光源の配置位置も上記実施形態の例に限定されるものではなく、光源の色によってその配置は限定されるものではない。
【００９６】
なお、以下のような構成も本開示の技術的範囲に属する。
（１）複数の固体光源と、
複数の冷却面を有し、異なる前記冷却面にそれぞれ設けられた前記複数の固体光源を冷却する１つの冷却部材と、
を備える、光源装置。
（２）前記各固体光源から出射された光を同一方向に進行させる複数の反射部材を備える、前記（１）に記載の光源装置。
（３）前記固体光源は、第１の固体光源と第２の固体光源とを有し、
前記第１の固体光源および前記第２の固体光源は、対向する前記冷却面にそれぞれ設けられる、前記（１）または（２）に記載の光源装置。
（４）前記固体光源はさらに第３の固体光源を有し、
前記冷却部材は、対向する２つの前記冷却面を備える第１部材と、前記第１部材と接続され当該第１部材の前記各冷却面に対して直交する第２部材とからなる略Ｔ字形状の部材として形成され、
前記第２部材のうち前記第１部材が接続される面と対向する面が冷却面となって、当該冷却面に前記第３の固体光源が設けられる、前記（３）に記載の光源装置。
（５）前記固体光源はさらに第３の固体光源を有し、
前記冷却部材は、対向する２つの前記冷却面を備える第１部材と、前記第１部材と接続され当該第１部材の前記各冷却面に対して直交する第２部材とからなる略Ｌ字形状の部材として形成され、
前記第２部材のうち前記第１部材が接続される面と対向する面が冷却面となって、当該冷却面に前記第３の固体光源が設けられる、前記（３）に記載の光源装置。
（６）前記冷却部材の内部には、所定の温度に維持された循環液が循環する流路が形成されている、前記（１）〜（５）のいずれか１項に記載の光源装置。
（７）前記複数の固体光源のうち少なくともいずれか１つの固体光源と前記冷却部材との間に、熱電素子が設けられる、前記（１）〜（６）のいずれか１項に記載の光源装置。
（８）光源部と、
入射された光を変調し合成する光変調合成系と、
前記光源部から出射された光を前記光変調合成系へ導く照明光学系と、
前記光変調合成系から出射された画像を投射する投射光学系と、
からなり、
前記光源部は、
複数の固体光源と、
複数の冷却面を有し、異なる前記冷却面にそれぞれ設けられた前記複数の固体光源を冷却する１つの冷却部材と、
を備える、映像表示装置。
【符号の説明】
【００９７】
１０                                            プロジェクタ
２０                                            温度調節装置
３１、３２、３３、３４                          ホース
１００、２００、３００、４００、５００          半導体レーザ装置
１１０、１６０、２１０、３１０、４１０          冷却ジャケット
１１１、３１１、４１１                          本体部
１１２、３１２Ａ、３１２Ｂ、４１２Ａ、４１２Ｂ  流路形成部
１１４、３１３、３１４、４１３、４１４          カバー部
１１５、３１５、４１５                          流路
１１６、１１８、３１６、３１８、４１６、４１８  継手部
１２０、１３０、１５０、３２０、４２０          光源
１４２、１４４                                  全反射ミラー
１７０                                          ファイバーバンドル部
１８０                                          プロジェクタ光学系
２１０                                          放熱プレート
２２０                                          受熱プレート
２３０                                          ヒートパイプ
５１０、５１２、５１４、５１６                  熱電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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