(57)【要約】【課題】回折格子を用いた位相型光学的ローパスフィルタからの出射光に生じる明暗パターンを低減させた光学部品と、それを用いた撮像光学系を提供する。【解決手段】光学部品１ａは、透明材料１０の内部に、透明材料１０の屈折率と異なる屈折率を有し、周期配列された屈折率変化領域１１ａからなる回折格子２ａが形成された、光学的ローパスフィルタに用いられる光学部品であって、回折格子２ａの１つの周期に対応する屈折率変化領域１１ａは、レーザー光の照射により加工される加工ピッチが異なる複数の加工領域を有し、前記加工領域は、少なくとも、加工ピッチが大きい第１加工領域１１１ａと、加工ピッチが小さい第２加工領域１１２ａとを含む。【選択図】図１
2015011168.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明材料の内部に、前記透明材料の屈折率と異なる屈折率を有し、周期配列された屈折率変化領域からなる回折格子が形成された光学部品であって、
前記回折格子の１つの周期に対応する前記屈折率変化領域は、レーザー光の照射により加工される加工ピッチが異なる複数の加工領域を有し、
前記加工領域は、少なくとも、加工ピッチが大きい第１加工領域と、加工ピッチが小さい第２加工領域とを含む、光学的ローパスフィルタに用いられる光学部品。
【請求項２】
前記回折格子の周期をＰ［μｍ］、前記第１加工領域の加工ピッチをＬ１［μｍ］、前記第２加工領域の加工ピッチをＬ２［μｍ］とするとき、
１．６×１０５・Ｐ−２＜Ｌ２−Ｌ１＜２．４×１０５・Ｐ−２
の関係を有する請求項１に記載の光学部品。
【請求項３】
前記加工領域が、前記屈折率変化領域の位相分布に起因する明暗を相殺することを特徴とする請求項１又は２に記載の光学部品。
【請求項４】
周期配列された屈折率変化領域は、２次元的又は３次元的に周期的に配列されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光学部品。
【請求項５】
前記回折格子の加工ピッチＬ１及びＬ２が、それぞれ６μｍ以下である請求項１から４のいずれかに記載の光学部品。
【請求項６】
前記回折格子の加工ピッチＬ１及びＬ２の差が、６μｍ未満である請求項１から５のいずれかに記載の光学部品。
【請求項７】
前記屈折率変化領域は、前記透明材料に対して、０．１μｍ〜２μｍのいずれかの波長における屈折率が０．０００１以上異なる請求項１から６のいずれかに記載の光学部品。
【請求項８】
前記加工領域は、前記第１加工領域と前記第２加工領域との中間の加工ピッチからなる中間加工領域をさらに有する、請求項１から７のいずれか記載の光学部品。
【請求項９】
前記屈折率変化領域の屈折率が前記透明材料よりも高く、
前記第２加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の、前記レーザー光の照射方向に関する厚みが、前記第１加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の前記厚みより薄い請求項１から８のいずれかに記載の光学部品。
【請求項１０】
前記屈折率変化領域の屈折率が前記透明材料よりも高く、
前記中間加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の、前記レーザー光の照射方向に関する厚みが、前記第１加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の前記厚みより薄く、前記第２加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の前記厚みより厚い請求項９に記載の光学部品。
【請求項１１】
前記屈折率変化領域の屈折率が前記透明材料よりも低く、
前記第１加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の、前記レーザー光の照射方向に関する厚みが、前記第２加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の前記厚みより薄い請求項１から８のいずれかに記載の光学部品。
【請求項１２】
前記屈折率変化領域の屈折率が前記透明材料よりも低く、
前記中間加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の、前記レーザー光の照射方向に関する厚みが、前記第１加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の前記厚みより厚く、前記第２加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の前記厚みより薄い請求項１１に記載の光学部品。
【請求項１３】
前記透明材料は単結晶、ガラス、ガラスセラミックス、焼結体又は有機樹脂のいずれかであることを特徴とする請求項１から１２のいずれかに記載の光学部品。
【請求項１４】
前記透明材料は、パルス幅が１０フェムト（１０×１０−１５）秒以上１０ピコ（１０×１０−１２）秒以下のパルスレーザー光を該透明材料に照射させた場合において、該パルスレーザー光が入射する面から、前記パルスレーザー光を集光させる部位までの該パルスレーザー光の透過率Ｔが、集光倍率Ｍとの関係において、下記式（ａ）及び（ｂ）を満たす請求項１から１３のいずれかに記載の光学部品。
Ｔ≧１００／Ｍ２    （ａ）
Ｔ≧（Ｉｔｈ×２×１０−４）／（Ｉ０×Ｍ２）    （ｂ）
Ｍ：（π／４）１／２×（透明材料入射時のパルスレーザー光の直径）／（材料の集光体積の三乗根）
Ｉｔｈ：透明材料中のパルスレーザー光を集光させる部位で異なる屈折率を有する領域を形成するのに必要なパルスレーザービームの空間パワー密度［Ｗ／ｃｍ３］
Ｉ０：材料にパルス光が入射する面におけるパルスレーザー光のパワー密度［Ｗ／ｃｍ２］
【請求項１５】
前記光学部品が固体撮像素子の画素面に光学像を結像させる光学系に挿入されるものであり、前記画素面のうち０次光の入射する画素又は当該画素に隣接する画素に可視域の波長の＋１次光及び−１次光が入射するように、前記２以上の領域が配置されることを特徴とする、請求項１から１４のいずれかに記載の光学部品。
【請求項１６】
第１の前記回折格子と第２の前記回折格子とが、前記周期配列の配列方向が互いに異なるように重ねられている請求項１から１５のいずれかに記載の光学部品。
【請求項１７】
第１の前記回折格子及び第２の前記回折格子の周期配列が各々正弦波状の位相分布を有しており、前記周期配列の最大の位相差が０．４π以上０．９π［ラジアン］以下の範囲内にある請求項１６に記載の光学部品。
【請求項１８】
請求項１から１７のいずれか記載の光学部品と、撮像素子を有する撮像光学系。
【請求項１９】
前記回折格子の周期をＰ［μｍ］、前記屈折率変化領域の周期構造の１周期が１つの集束又は発散レンズとして作用するときの前記レンズの焦点距離をｆ［μｍ］、前記レンズの中心軸における前記レンズの主面から前記撮像素子までの距離をＨ［μｍ］、撮像素子の画素ピッチをＷ［μｍ］とした場合に、
ｆ／Ｈ＞０．１８×Ｐ／Ｗ
の関係を有する請求項１８に記載の撮像光学系。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品及び撮像光学系に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルスチルカメラ、デジタルビデオカメラ等の撮像装置は、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子が用いられており、撮像素子の画素ごとに外部信号として入る光の明暗の量を電気信号に変換し、画像を生成する。
画像を生成する過程において、撮像素子の画素ピッチによって決まるナイキスト周波数よりも高い空間周波数を有する撮影対象を撮像する場合、モアレや偽色が発生する。このようなモアレや偽色を防止するために、光学ローパスフィルタが用いられている。
【０００３】
このような光学ローパスフィルタを作製する方法として、超短パルスレーザー光を用いて、多光子吸収によって透明材料の内部を３次元的に加工する方法が知られている。このように、超短パルスレーザーを用いて光学部品を作製することで、材料内部の空間的に材料の表面と独立した空間に、所望の屈折率変化領域を有する光学部品を形成できる。
【０００４】
例えば、特許文献１には、時間幅が１０−１２秒以下の超短パルスレーザーを用いて材料内部に母材料とは屈折率が異なる領域を形成した回折格子と、それを利用した光学的ローパスフィルタが記載されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１８４８９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者らは、パルスレーザーを用いて材料に微細加工を施した光学素子において、透過光を制御するための手段として、加工材料、並びに加工領域の形状及びパターンについて鋭意研究を行い、有効な加工態様を見出してきた。
しかし、好ましい加工パターンを見出し、所望の光制御を実現していくのと同時に、意図せぬ透過光の振る舞いが現れる場合があった。材料内部に回折格子を加工することで得られる位相型光学的ローパスフィルタでは、加工領域の位相分布に起因して、回折格子の格子模様と同じような明暗パターンが出射光に生じる問題が生じていた。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、回折格子を用いた位相型光学的ローパスフィルタからの出射光に生じる明暗パターンを低減させた光学部品と、それを用いた撮像光学系を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、回折格子に、レーザー光の照射により加工される加工ピッチが異なる複数の加工領域を設けることで、光学的ローパスフィルタからの出射光に生じる明暗パターンの少なくとも一部を相殺できることを見出し、本発明を完成するに至った。
具体的には、本発明は以下のようなものを提供する。
【０００９】
（１）  透明材料の内部に、前記透明材料の屈折率と異なる屈折率を有し、周期配列された屈折率変化領域からなる回折格子が形成された光学部品であって、
前記回折格子の１つの周期に対応する前記屈折率変化領域は、レーザー光の照射により加工される加工ピッチが異なる複数の加工領域を有し、
前記加工領域は、少なくとも、加工ピッチが大きい第１加工領域と、加工ピッチが小さい第２加工領域とを含む、光学的ローパスフィルタに用いられる光学部品。
【００１０】
（２）  前記回折格子の周期をＰ［μｍ］、前記第１加工領域の加工ピッチをＬ１［μｍ］、前記第２加工領域の加工ピッチをＬ２［μｍ］とするとき、
１．６×１０５・Ｐ−２＜Ｌ２−Ｌ１＜２．４×１０５・Ｐ−２
の関係を有する（１）に記載の光学部品。
【００１１】
（３）  前記加工領域が、前記屈折率変化領域の位相分布に起因する明暗を相殺することを特徴とする（１）又は（２）に記載の光学部品。
【００１２】
（４）  周期配列された屈折率変化領域は、２次元的又は３次元的に周期的に配列されていることを特徴とする（１）から（３）のいずれかに記載の光学部品。
【００１３】
（５）  前記回折格子の加工ピッチＬ１及びＬ２が、それぞれ６μｍ以下である（１）から（４）のいずれかに記載の光学部品。
【００１４】
（６）  前記回折格子の加工ピッチＬ１及びＬ２の差が、６μｍ未満である（１）から（５）のいずれかに記載の光学部品。
【００１５】
（７）  前記屈折率変化領域は、前記透明材料に対して、０．１μｍ〜２μｍのいずれかの波長における屈折率が０．０００１以上異なる（１）から（６）のいずれかに記載の光学部品。
【００１６】
（８）  前記加工領域は、前記第１加工領域と前記第２加工領域との中間の加工ピッチからなる中間加工領域をさらに有する、（１）から（７）のいずれか記載の光学部品。
【００１７】
（９）  前記屈折率変化領域の屈折率が前記透明材料よりも高く、
前記第２加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の、前記レーザー光の照射方向に関する厚みが、前記第１加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の前記厚みより薄い（１）から（８）のいずれかに記載の光学部品。
【００１８】
（１０）  前記屈折率変化領域の屈折率が前記透明材料よりも高く、
前記中間加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の、前記レーザー光の照射方向に関する厚みが、前記第１加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の前記厚みより薄く、前記第２加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の前記厚みより厚い（９）に記載の光学部品。
【００１９】
（１１）  前記屈折率変化領域の屈折率が前記透明材料よりも低く、
前記第１加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の、前記レーザー光の照射方向に関する厚みが、前記第２加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の前記厚みより薄い（１）から（８）のいずれかに記載の光学部品。
【００２０】
（１２）  前記屈折率変化領域の屈折率が前記透明材料よりも低く、
前記中間加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の、前記レーザー光の照射方向に関する厚みが、前記第１加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の前記厚みより厚く、前記第２加工領域のうち前記レーザー光が照射された領域の前記厚みより薄い（１１）に記載の光学部品。
【００２１】
（１３）  前記透明材料は単結晶、ガラス、ガラスセラミックス、焼結体又は有機樹脂のいずれかであることを特徴とする（１）から（１２）のいずれかに記載の光学部品。
【００２２】
（１４）  前記透明材料は、パルス幅が１０フェムト（１０×１０−１５）秒以上１０ピコ（１０×１０−１２）秒以下のパルスレーザー光を該透明材料に照射させた場合において、該パルスレーザー光が入射する面から、前記パルスレーザー光を集光させる部位までの該パルスレーザー光の透過率Ｔが、集光倍率Ｍとの関係において、下記式（ａ）及び（ｂ）を満たす（１）から（１３）のいずれかに記載の光学部品。
Ｔ≧１００／Ｍ２    （ａ）
Ｔ≧（Ｉｔｈ×２×１０−４）／（Ｉ０×Ｍ２）    （ｂ）
Ｍ：（π／４）１／２×（透明材料入射時のパルスレーザー光の直径）／（材料の集光体積の三乗根）
Ｉｔｈ：透明材料中のパルスレーザー光を集光させる部位で異なる屈折率を有する領域を形成するのに必要なパルスレーザービームの空間パワー密度［Ｗ／ｃｍ３］
Ｉ０：材料にパルス光が入射する面におけるパルスレーザー光のパワー密度［Ｗ／ｃｍ２］
【００２３】
（１５）  前記光学部品が固体撮像素子の画素面に光学像を結像させる光学系に挿入されるものであり、前記画素面のうち０次光の入射する画素又は当該画素に隣接する画素に可視域の波長の＋１次光及び−１次光が入射するように、前記２以上の領域が配置されることを特徴とする、（１）から（１４）のいずれかに記載の光学部品。
【００２４】
（１６）  第１の前記回折格子と第２の前記回折格子とが、前記周期配列の配列方向が互いに異なるように重ねられている（１）から（１５）のいずれかに記載の光学部品。
【００２５】
（１７）  第１の前記回折格子及び第２の前記回折格子の周期配列が各々正弦波状の位相分布を有しており、前記周期配列の最大の位相差が０．４π以上０．９π［ラジアン］以下の範囲内にある（１６）に記載の光学部品。
【００２６】
（１８）  （１）から（１７）のいずれか記載の光学部品と、撮像素子を有する撮像光学系。
【００２７】
（１９）  前記回折格子の周期をＰ［μｍ］、前記屈折率変化領域の周期構造の１周期が１つの集束又は発散レンズとして作用するときの前記レンズの焦点距離をｆ［μｍ］、前記レンズの中心軸における前記レンズの主面から前記撮像素子までの距離をＨ［μｍ］、撮像素子の画素ピッチをＷ［μｍ］とした場合に、
ｆ／Ｈ＞０．１８×Ｐ／Ｗ
の関係を有する（１８）に記載の撮像光学系。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、回折格子を用いた位相型光学的ローパスフィルタからの出射光に生じる明暗パターンを低減させた光学部品と、それを用いた撮像光学系を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１実施形態における、光学部品の一例を示す断面図である。
【図２】回折格子の格子周期Ｐと、出射光に写り込む光の強さＣＧＲの関係を表すグラフである。
【図３】回折格子の加工ピッチＬと出射光に写り込む光の強さの関係を表すグラフである。
【図４】複数の回折格子を重ね合わせたときの位相分布を示す図である。
【図５】第２実施形態における、光学部品の一例を示す断面図である。
【図６】第３実施形態における、光学部品の一例を示す断面図である。
【図７】（ａ）実施例の光学部品を実装したカメラで撮影したときの写り込み像を拡大した写真と、（ｂ）当該写り込み像のコントラスト比を表すグラフである。
【図８】（ａ）比較例の光学部品を実装したカメラで撮影したときの写り込み像を拡大した写真と、（ｂ）当該写り込み像のコントラスト比を表すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
本発明の光学部品は、透明材料の内部に、前記透明材料の屈折率と異なる屈折率を有し、周期配列された屈折率変化領域からなる回折格子が形成された光学部品であって、前記回折格子の１つの周期に対応する前記屈折率変化領域は、レーザー光の照射により加工される加工ピッチが異なる複数の加工領域を有し、前記加工領域は、少なくとも、加工ピッチが大きい第１加工領域と、加工ピッチが小さい第２加工領域とを含むものであり、光学的ローパスフィルタに用いられるものである。
【００３１】
これにより、透明材料と屈折率変化領域との屈折率差による光の屈折や、屈折率変化領域の界面における光の反射が生じても、光学的ローパスフィルタからの出射光に生じる明暗パターンを低減できる。
【００３２】
以下、必要に応じて図を参照しながら、本発明の光学部品及び撮像光学系の実施形態について詳細に説明するが、本発明は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。なお、説明が重複する箇所については、適宜説明を省略する場合があるが、発明の趣旨を限定するものではない。
【００３３】
≪光学部品の第１実施形態≫
光学部品１ａは、例えば図１に示すように、透明材料１０の内部に透明材料１０よりも屈折率の高い屈折率変化領域１１ａからなる回折格子２を有しており、屈折率変化領域１１ａは、加工領域として第１加工領域１１１ａと第２加工領域１１２ａを有する。
図１は、光学部品１ａの一例を示す断面図である。
【００３４】
（屈折率変化領域）
屈折率変化領域１１ａは、透明材料１０との屈折率の違いで区別可能な、透明材料１０の内部に形成される空間領域であり、回折格子２ａを構成する。これにより、透明材料１０との屈折率差に起因する光学性質、特に位相差を制御できる。
【００３５】
ここで、位相（Φ；ｒａｄ．）は、一般に以下の式で表される。
Φ＝（ΔＬ×２π）／λ
ここで、屈折率変化領域１１ａと透明材料１０との屈折率差をΔｎ０、屈折率変化領域１１の厚みをＤとした場合、屈折率変化領域１１ａの光路長差ΔＬは、以下のようになる。
ΔＬ＝Δｎ０×Ｄ
従って、位相差は、Δｎ０あるいはＤを変えることで変化する。また、透過波面方向における位相差の変化量は、透過してきた光路のΔｎ０の変化とＤの積算で決まる。
【００３６】
本実施形態では、屈折率変化領域１１ａの屈折率が透明材料１０の屈折率よりも高く、屈折率変化領域１１ａと透明材料１０との屈折率差Δｎ０は、０．１μｍ〜２μｍのいずれかの波長について、０．０００１以上異なる。
特に、屈折率差Δｎ０を大きくすることで、屈折率変化領域１１ａの厚さＤを小さくしても所望の位相差を得られるため、回折格子２ひいては光学部品１ａの薄型化を図ることができる。従って、光学部品１ａの利用光の波長における屈折率変化領域１１ａと透明材料１０との屈折率差Δｎ０の差は、０．１μｍ〜２μｍのいずれかの波長について、好ましくは０．０００１以上、より好ましくは０．００１以上、さらに好ましくは０．０１以上としてもよい。
一方で、屈折率差Δｎ０を必要以上に大きくし過ぎないことで、透明材料１０と屈折率変化領域１１ａとの屈折率差による光の屈折や、透明材料１０と屈折率変化領域１１ａの界面における反射が低減されることで、回折格子２ａから出射光に生じる明暗パターンが低減されるため、後述する加工領域による明暗パターンの相殺を行い易くできる。従って、光学部品１ａの利用光の波長における屈折率変化領域１１ａと透明材料１０との屈折率差Δｎ０の差は、好ましくは０．５以下、より好ましくは０．３以下、さらに好ましくは０．２以下としてもよい。
【００３７】
（加工領域）
加工領域は、回折格子２ａの１つの周期Ｐに対応して設けられる、加工ピッチの異なる複数の領域であり、加工ピッチが最も大きい第１加工領域１１１ａ及び加工ピッチが最も小さい第２加工領域１１２ａを少なくとも有する。回折格子２ａの格子模様に対応して、加工領域に加工ピッチの変化した領域を設けることにより、出射光のうち屈折率変化領域１１ａを透過する光が増減する。すなわち、加工領域に加工ピッチの大きな領域を設けた場合、当該領域を透過する光が増加し、加工領域に加工ピッチの小さな領域を設けた場合、当該領域を透過する光が減少する。このような透過光の増減によって、位相型光学的ローパスフィルタである光学部品１ａの屈折率変化領域１１ａの位相分布に起因して生じていた、光学部品１ａからの出射光に生じる明暗パターンを低減でき、より好ましくは、当該明暗パターンを相殺できる。
【００３８】
屈折率変化領域１１ａから形成される回折格子２ａの周期Ｐ［μｍ］は、光学部品１ａを撮像素子の光学的ローパスフィルタとして用いる場合、撮像素子の画素ピッチをＷ［μｍ］として、以下の関係を満たすことが好ましい。
Ｐ≧０．５Ｗ
回折格子２ａの周期Ｐと撮像素子の画素ピッチＷがこの関係を満たすことで、回折格子２ａがレンズの効果を有しても格子の写り込みが小さくなり、加工ピッチの最大値と最小値の差、すなわち第１加工領域１１１ａと第２加工領域１１２ａの加工ピッチの差を小さくできるため、光学部品１ａの設計を行い易くできる。
【００３９】
第１加工領域１１１ａ及び第２加工領域１１２ａの加工ピッチは、それぞれ６μｍ以下であることが好ましい。これにより、第１加工領域１１１ａ及び第２加工領域１１２ａによって回折せずにそのまま透過する光が低減されるため、光学部品１ａを位相型光学的ローパスフィルタとして用いることができる。従って、第１加工領域１１１ａ及び第２加工領域１１２ａの加工ピッチは、好ましくは６μｍ以下、より好ましくは４μｍ以下、さらに好ましくは２μｍ以下、さらに好ましくは１μｍ以下とする。
【００４０】
また、第１加工領域１１１ａ及び第２加工領域１１２ａの加工ピッチは、第１加工領域１１１ａの加工ピッチをＬ１［μｍ］、第２加工領域１１２ａの加工ピッチをＬ２［μｍ］、回折格子２の格子周期をＰ［μｍ］とするとき、
１．６×１０５・Ｐ−２＜Ｌ２−Ｌ１＜２．４×１０５・Ｐ−２
の関係を有することが好ましい。
【００４１】
例えば、透明材料と屈折率変化領域との界面における光の屈折による写り込みによって、光学部品からの出射光に明暗パターンが生じると仮定した場合、一定の加工ピッチで形成された回折格子の格子周期Ｐ［μｍ］と、出射光に写り込む光の強さＣＧＲの関係は図２のように表され、以下の近似式のように近似される。
ＣＧＲ＝４２２０Ｐ−２
また、一定の加工ピッチで形成された回折格子の加工ピッチＬと出射光に写り込む光の強さの関係は図３のように表され、２個の回折格子の加工ピッチの差分（Ｌ２−Ｌ１）と、出射光に写り込む光の強さの差ＣＧＲの関係は、以下の近似式のように近似される。
ＣＧＲ＝０．０２１１（Ｌ２−Ｌ１）
これらの式から（Ｌ２−Ｌ１）について解くと、以下のような式が得られる。
Ｌ２−Ｌ１＝２×１０５・Ｐ−２
従って、加工ピッチの差Ｌ２−Ｌ１が２×１０５・Ｐ−２［μｍ］に近い値を取ることで、少なくとも光の屈折による写り込みによる明暗パターンを低減され易くなるため、光学部品１からの出射光に生じる明暗パターンをより低減し易くできる。
【００４２】
ここで、第１加工領域１１１ａ及び第２加工領域１１２ａの加工ピッチの差Ｌ２−Ｌ１は、好ましくは１．６×１０５・Ｐ−２［μｍ］、より好ましくは１．８×１０５・Ｐ−２［μｍ］、さらに好ましくは１．９×１０５・Ｐ−２［μｍ］を下限とする。一方で、加工ピッチの差Ｌ２−Ｌ１は、好ましくは２．４×１０５・Ｐ−２［μｍ］、より好ましくは２．２×１０５・Ｐ−２［μｍ］、さらに好ましくは２．１×１０５・Ｐ−２［μｍ］を上限とする。
【００４３】
また、第１加工領域１１１ａ及び第２加工領域１１２ａの加工ピッチの差Ｌ２−Ｌ１は、好ましくは６μｍ未満、より好ましくは４μｍ未満、さらに好ましくは２μｍ未満、さらに好ましくは１μｍ未満、さらに好ましくは０．８μｍ以下、さらに好ましくは０．５μｍ以下としてもよい。この差を大きくし過ぎないことで、光学部品１ａからの出射光の明暗パターンの逆転を低減できる。
【００４４】
透明材料１０に作製される第１加工領域１１１ａ及び第２加工領域１１２ａは、厚みが薄いことが好ましい。これにより、入射する光線の斜め成分の影響等による明暗パターンの強調が抑えられるため、光学部品１からの出射光に生じる明暗パターンをより低減し易くできる。従って、第１加工領域１１１ａ及び第２加工領域１１２ａの厚みは、それぞれ好ましくは４０μｍ以下、より好ましくは３０μｍ以下、さらに好ましくは２５μｍ以下としてもよい。特に、第１加工領域１１１ａの厚みは、好ましくは２２μｍ以下、より好ましくは２０μｍ以下、さらに好ましくは１８μｍ以下としてもよい。
【００４５】
特に透明材料１０が平板形状である場合、第２加工領域１１２ａのうち屈折率に変化が生じた領域は、第１加工領域１１１ａのうち屈折率に変化が生じた領域に比べて、透明材料１０の厚さ方向について薄いことが好ましい。特に、透明材料１０の厚さ方向にレーザー光を照射させて屈折率変化領域１１ａを作製した場合には、レーザー光の照射方向について、第２加工領域１１２ａのうちレーザー光が照射された領域が、第１加工領域１１１ａのうちレーザー光が照射された領域よりも薄いことが好ましい。
本実施形態のように、屈折率変化領域１１ａの屈折率が透明材料１０の屈折率よりも高くなるような態様において、加工ピッチが一定である場合には、回折格子２ａの凹部２１ａに入射した光は、凹部２１ａを透過した光は明るくなり易く、凸部２２ａを透過した光は暗くなり易い。このとき、凹部２１ａを有していて厚みの薄い加工領域を、加工ピッチの小さい第２加工領域１１２ａにすることで、回折格子２ａの凹凸によるレンズ効果等に起因した透過光の明暗を低減できる。
特に、レーザー光の照射方向について、第２加工領域１１２ａのうちレーザー光が照射された領域を、第１加工領域１１１ａの当該領域よりも薄くすることにより、照射するレーザー光の出力を変えることで第１加工領域１１１ａ及び第２加工領域１１２ａの異なる厚みを形成できるようになるため、より少ないレーザー照射回数での光学部品１ａの作製を可能にできる。
【００４６】
（光学部品）
このような光学部品１ａは、透明材料１０の内部に２次元的又は３次元的に周期配列された複数の屈折率変化領域１１ａからなる回折格子２ａを備えることで、回折光が得られる一方で、上述の屈折率差Δｎ０による透過光の屈折や、透明材料１０と屈折率変化領域１１ａの界面における反射による明暗パターンが相殺された出射光が得られる。そのため、光学部品１ａを空間周波数フィルタである光学的ローパスフィルタとして用いることが可能である。
【００４７】
光学的ローパスフィルタは、規則正しく画素が配列された固体撮像素子を備えたデジタルカメラ等において、画像サンプリングで起こるモアレを防ぐために、入射光のカットオフ周波数より高い空間周波数をカットすべく（細かな画像をぼかすべく）、撮像光学系に設置される光学部品である。光学的ローパスフィルタに入射した入射光は、光学的ローパスフィルタの内部に配置された回折格子により、回折光を含む出射光として２つの光に分離する。これにより、出射光では高い空間周波数成分がカットされるため、出射光を固体撮像素子に入射させた場合に、撮影像へのモアレ発生を低減できる。
【００４８】
ここで、第１の回折格子と第２の回折格子の周期配列を、各々正弦波状の位相分布を有するように構成した場合、第１及び第２の回折格子を重ね合わせたときの位相差は大きくなる。例えば、図４（ａ）のような位相差ａπの位相分布を有する第１の回折格子と、図４（ｂ）のような位相差ａπの位相分布を有する第２の回折格子を重ね合わせたときの位相分布は、図４（ｃ）のようになる（図４（ａ）〜（ｃ）では、位相差０の部分が黒色、位相差２πの部分が白色となるようなグレースケールで位相差を表した）。このとき、第１及び第２の回折格子の周期配列の最大の位相差を、各々０．４πラジアン以上０．９πラジアン以下の範囲内にすることが好ましい。
これらの最大の位相差を０．４πラジアン以上にすることで、０次光に対して十分に強い１次光を得易くできるため、光学部品をローパスフィルタとして機能し易くでき、モアレの低減効果を高めることができる。従って、最大の位相差は、好ましくは０．４πラジアン以上、より好ましくは０．５πラジアン以上、さらに好ましくは０．６πラジアン以上とする。
一方で、これらの最大の位相差を０．９πラジアン以下にすることで、２次光以上の高次の光の強度が必要以上に強くならないため、解像度の低下を抑えられる。従って、最大の位相差は、好ましくは０．９πラジアン以下、より好ましくは０．８πラジアン以下、さらに好ましくは０．７πラジアン以下とする。
【００４９】
（撮像光学系）
本発明の光学部品を光学的ローパスフィルタとして用い、光学部品からの出射光を図示しない撮像素子（固体撮像素子）の画素面に入射させることで、撮像光学系を構成することが好ましい。これにより、透明材料と空気の界面や、透明材料とその内部にある屈折率変化領域の界面において生じる、屈折や反射等の意図しない光の振る舞いによる撮影像への光ムラやパターンの形成が低減されるため、撮影像をより明瞭にすることができる。
【００５０】
撮像光学系は、回折格子を１枚有する光学部品を用いて構成してもよいが、回折格子を１枚有する光学部品を２枚用い、且つ、第１の光学部品と第２の光学部品とを、回折格子の周期配列の配列方向が互いに異なるように重ねて構成してもよい（図示せず）。また、上述のように、回折格子を２枚有し、これらの周期配列の配列方向が互いに異なるように構成された光学部品を用いてもよい。
【００５１】
ここで、回折格子を２枚用いて配列方向が互いに垂直になるように重ねた場合、出射光が縦方向と横方向に分離することで、３行３列の９つの隣接する撮像素子の範囲内に各々入射させることが可能である。これにより、高い空間周波数の画像成分がカットされた像を取り込むことになるので、撮影像へのモアレ発生を低減できる。このとき、３行３列に並んだ９つの撮像素子の画素に入射した０次光を含む回折光の回折効率は、高いほどモアレ抑制効果が高く、好ましくは５０％以上、より好ましくは６０％以上、最も好ましくは７０％以上であると良い。また、このとき０次光は、好ましくは０％を超え７０％未満、より好ましくは１％を越え６０％未満、最も好ましくは２０％を越え５０％未満である。
【００５２】
撮像光学系における光学部品（光学的ローパスフィルタ）と撮像素子の配置は、回折格子の周期をＰ［μｍ］、屈折率変化領域の周期構造の１周期が１つの集束又は発散レンズとして作用するときのレンズの焦点距離をｆ［μｍ］、レンズの中心軸におけるレンズの主面から撮像素子までの距離をＨ［μｍ］、撮像素子の画素ピッチをＷ［μｍ］とした場合に、以下の関係を有することが好ましい。
ｆ／Ｈ＞０．１８×Ｐ／Ｗ
光学部品と撮像素子の配置がこの関係を満たす場合、光学部品から出射されて撮像素子に入射する光に明暗パターンが生じ易くなる。しかし、本発明の光学部品を用いることで、このような場合であっても明暗パターンが低減されるため、光学系の設計の自由度を高めることができる。
ここで、レンズの焦点距離ｆは、回折格子を構成する屈折率変化領域の両側の表面を両凹レンズに見立てたときの当該両凹レンズの焦点距離ｆ１と、両凹レンズの両側に隣接する透明材料からなる凸レンズの焦点距離ｆ２、ｆ３の合計焦点距離とすることができる。
【００５３】
≪光学部品の第２実施形態≫
光学部品１ｂは、例えば図５に示すように、透明材料１０の内部に透明材料１０よりも屈折率の低い屈折率変化領域１１ｂからなる回折格子を有しており、屈折率変化領域１１ｂは、加工領域として第１加工領域１１１ｂと第２加工領域１１２ｂを有する。
図２は、光学部品１ｂの一例を示す断面図である。
【００５４】
（屈折率変化領域）
本実施形態では、屈折率変化領域１１ｂの屈折率が透明材料１０の屈折率よりも低く、屈折率変化領域１１ｂと透明材料１０との屈折率差Δｎ０は、０．１μｍ〜２μｍのいずれかの波長について、０．０００１以上異なる。
ここで、屈折率差Δｎ０の好ましい数値範囲については、第１実施形態と同様である。
【００５５】
（加工領域）
透明材料１０に作製される第１加工領域１１１ｂ及び第２加工領域１１２ｂの厚みは、第１実施形態と同様に厚みが薄いことが好ましい。
特に透明材料１０が平板形状である場合、第１加工領域１１１ｂのうち屈折率に変化が生じた領域は、第２加工領域１１２ｂのうち屈折率に変化が生じた領域に比べて、透明材料１０の厚さ方向について薄いことが好ましい。特に、透明材料１０の厚さ方向にレーザー光を照射させて屈折率変化領域１１ｂを作製した場合には、レーザー光の照射方向について、第１加工領域１１１ｂのうちレーザー光が照射された領域が、第２加工領域１１２ｂのうちレーザー光が照射された領域よりも薄いことが好ましい。
本実施形態のように、屈折率変化領域１１ｂの屈折率が透明材料１０の屈折率よりも低くなるような態様において、加工ピッチが一定である場合には、回折格子２ｂの凹部２１ｂに入射した光は、凹部２１ｂを透過した部分は暗くなり易く、凸部２２ｂを透過した部分は明るくなり易い。このとき、凹部２１ａを有していて厚みの薄い加工領域を、加工ピッチの大きい第１加工領域１１１ｂにすることで、回折格子２の凹凸によるレンズ効果に起因した透過光の明暗を低減できる。
【００５６】
≪光学部品の第３実施形態≫
光学部品１ｃは、例えば図６に示すように、加工領域として、第１加工領域１１１ｃと第２加工領域１１２ｃとの中間の加工ピッチＬ３からなる中間加工領域１１３ｃをさらに有する。これにより、屈折率変化領域１１ｃを透過する光の増減を３段階以上にできるため、ローパスフィルタからの出射光の明暗パターンをより滑らかな変化として低減し易くできる。
【００５７】
中間加工領域１１３ｃの透明材料１０の厚さ方向に関する厚みは、第１加工領域１１１ｃのうち屈折率に変化が生じた領域の当該厚みよりも薄く、第２加工領域１１２ｃのうち屈折率に変化が生じた領域の当該厚みよりも厚いことが好ましい。特に、透明材料１０の厚さ方向にレーザー光を照射させて屈折率変化領域１１ｃを作製した場合には、中間加工領域１１３ｃのうちレーザー光が照射された領域の、レーザー光の照射方向に関する厚みが、第１加工領域１１１ｃのうちレーザー光が照射された領域の当該厚みより薄く、第２加工領域１１２ｃのうちレーザー光が照射された領域の当該厚みより厚いことが好ましい。
これにより、入射光に対して、中間加工領域１１３ｃが第１加工領域１１１ｃ及び第２加工領域１１２ｃと中間の作用を有するため、回折格子２ｃの凹凸によるレンズ効果に起因した透過光の明暗をより滑らかな変化として低減し易くできる。
【００５８】
なお、中間加工領域は、複数の加工ピッチを有する複数の加工領域からなっていてもよい。このとき、中間加工領域の透明材料１０の厚さ方向に関する厚みは、加工ピッチの大きい加工領域ほど大きいことが好ましい。
【００５９】
また、本実施形態では、第１実施形態の構成を基に、中間加工領域をさらに有する形態について説明したが、第２実施形態の構成に中間加工領域をさらに有してもよい（図示せず）。この場合、中間加工領域の透明材料の厚さ方向に関する厚みは、第１加工領域のうち屈折率に変化が生じた領域の当該厚みよりも厚く、第２加工領域のうち屈折率に変化が生じた領域の当該厚みよりも薄くなるようにする。また、透明材料の厚さ方向にレーザー光を照射させて屈折率変化領域を作製した場合には、中間加工領域のうちレーザー光が照射された領域の、レーザー光の照射方向に関する厚みが、第１加工領域のうちレーザー光が照射された領域の当該厚みより厚く、第２加工領域のうちレーザー光が照射された領域の当該厚みより薄いことが好ましい。
【００６０】
≪光学部品の作製≫
以下、本発明の光学部品を作製する方法について説明する。
【００６１】
（透明材料）
光学部品の材料となる透明材料としては、ガラス、ガラスセラミックス、単結晶及び焼結体や、アクリル樹脂、ＰＥＴ樹脂及び塩化ビニル樹脂等の有機樹脂等の、光学部品に用いられる公知の材料を用いることができる。また、これらの材料は、必ずしもバルクの態様である必要はなく、透明な基板に形成された膜の態様であってもよい。
【００６２】
透明材料は、屈折率Ｎの領域を形成するために照射するパルスレーザー光が入射する面から、前記パルスレーザー光を集光させる部位までの該パルスレーザー光の透過率Ｔが、集光倍率Ｍとの関係において、下記式（ａ）及び（ｂ）を満たす材料であることが好ましい。
Ｔ≧１００／Ｍ２                          （ａ）
Ｔ≧（Ｉｔｈ×２×１０−４）／（Ｉ０×Ｍ２）  （ｂ）
ここで、Ｍは（π／４）１／２×（材料入射時のパルスレーザー光の直径）／（材料の集光体積の三乗根）であり、Ｉｔｈは材料中のパルスレーザー光を集光させる部位で異質相を形成するのに必要なパルスレーザービームの空間パワー密度（Ｗ／ｃｍ３）であり、Ｉ０は材料にパルス光が入射する面におけるパルスレーザー光のパワー密度（Ｗ／ｃｍ２）である。
【００６３】
また、透明材料としては、光学系全体での光学特性を高める観点から、透明であることが好ましい。ここで透明とは、光学部品の利用光が材料を透過しうることを意味する。透明材料の利用光に対する透過率は、最も透過率の高い波長に対して３０％以上、好ましくは４０％以上、より好ましくは５０％以上、さらに好ましくは８０％以上としてもよい。
【００６４】
特に可視光を利用する光学系に用いる光学部品を作製する場合、透明材料の可視光に対する透過率は、加工効率や光学特性への影響を考慮し、可視光の最も透過率の高い波長に対し透過率が７０％以上、好ましくは８０％以上、さらに好ましくは９０％以上としてもよい。例えばガラス材料を利用する場合、透過率が８０％になる最も短い波長（λ８０）は、好ましくは４７０ｎｍ以下、より好ましくは４５０ｎｍ以下、さらに好ましくは４２０ｎｍ以下としてもよい。
【００６５】
一方で、透明材料は、後述するパルスレーザーの波長の光に対して吸収又は反射が少なく、高い透過性を有することが好ましい。これにより、パルスレーザーの透明材料による吸収や反射が低減されるため、加工効率や加工品質の低下を抑えられる。従って、透明材料のパルスレーザーの波長の光に対する透過率は、好ましくは６０％以上、より好ましくは７０％以上、さらに好ましくは８０％以上としてもよい。
【００６６】
このような透明材料として、例えばＳｉＯ２系ガラス、Ｂ２Ｏ３系ガラス、Ｐ２Ｏ５系ガラス等を用いることが好ましい。これらの無機ガラス材料は、有機樹脂材料と比べて耐熱性や耐水性、耐薬品性が高いので光学部品としての使用用途が広いためである。また、単結晶材料と比較して光学特性に異方性がないからである。多成分ガラスを透明材料として用いた場合には、その組成によって、パルスレーザーの照射によって生じる屈折率変化を、透明材料よりも高くすることも低くすることもできる。
【００６７】
透明材料は、パルスレーザーを照射する前に表面を平坦化したり、表面を研磨したりすることが好ましい。これにより、表面におけるパルスレーザーの乱反射を低減できる。また、光学部品１で当該表面から光を透過させる場合には、光の光路のズレを低減できる。従って、透明材料の表面の平坦度は、好ましくは１０μｍ以下、より好ましくは２μｍ以下である。また、透明材料の表面粗さは、点平均粗さＲｚで１５０Å以下であることが好ましい。なお、透明材料の表面形状は、平面に限られる必要はなく、例えばレンズのような曲率を有する凹面や凸面を有していてもよく、高次の曲面を有していてもよい。
【００６８】
（レーザー光の照射）
上述の透明材料に、レーザー光（パルスレーザー）を照射することで屈折率変化領域を作製する。
【００６９】
パルスレーザーとしては、パルス幅がピコ秒（１０−１２ｓ）以下のレーザー光を好適に用いることができる。透明材料がガラスである場合、例えば、中心波長約８００ｎｍ、［パルス幅１０ｆｓ（１０−１５ｓ）〜１ｐｓ（１０−１２ｓ）］、繰り返し周波数１０Ｈｚ〜１００ＭＨｚ、０．１〜４．０μＪ程度のパルスエネルギーのフェムト秒パルスレーザーを用いることができる。このようなパルスレーザーを、例えば、倍率２０倍（開口率０．４５）の対物レンズ等を介して、１０〜５０００μｍのスキャン深さ、０．００５〜１００ｍｍ／秒程度のスキャン速度の条件で透明材料の内部に集光照射することで、透明材料の内部に多光子吸収を起こさせることで、屈折率変化領域を生成できる。
【００７０】
レーザー照射条件は、屈折率変化領域における屈折率の変化量や、屈折率変化領域の厚さ等によって変えることができる。
ここで、屈折率変化領域における屈折率の変化量を大きくするには、レーザー光によって照射されるエネルギー量を多くすることが好ましい。すなわち、レーザー光の出力を強めたり、ステージのスキャン速度を遅くしたり、レーザー光の繰り返し周波数を高めたり、レーザー光のパルス幅を狭くしたり、同じ部分に重複してレーザーを照射させたりする等、照射部分にあたるレーザーの総エネルギー量を増やすことで屈折率変化量を大きくできる。
【００７１】
このとき、第１加工領域、中間加工領域、第２加工領域の順に加工パワーを弱くして屈折率変化領域を作製することが好ましい。第１加工領域の加工パワーを強くし且つ第２加工領域の加工パワーを弱くすることで、１回のレーザー光のスキャンで加工される第１加工領域の厚みが第２加工領域に相対して大きくなるため、光学部品をより効率よく作製できる。
【００７２】
なお、レーザー光を照射する際、光スプリッタ、空間光変調器、ホログラム等の光素子を用いてパルスレーザー光を複数に分割してもよい。これにより、光学部品を効率よく作製できるばかりでなく、加工ピッチＬ１〜Ｌ３の大きさや、屈折率変化領域の加工ピッチＬ１〜Ｌ３毎の厚さや屈折率変化量を高精度に調整できる。
【実施例】
【００７３】
以下、本発明について、具体的な実施例を挙げて説明する。
【００７４】
［実施例１］
本実施例では、透明材料として厚さ０．５５ｍｍ、屈折率ｎｄ＝１．８００のＰ２Ｏ５系ガラスを用い、パルス幅が３２０ｆｓ、波長８００ｎｍ，繰り返し周波数２５０ｋＨｚ、倍率４０倍（Ｎ．Ａ．＝０．５５）のレンズで材料表面から１６０μｍの深さに集光照射し、ガラスを透過光に垂直な方向に５ｍｍ／ｓｅｃの走査速度で相対移動させることによって屈折率変化領域を形成し、加工ピッチＬ１が０．５０μｍの第１加工領域と、加工ピッチＬ２が０．２５μｍの第２加工領域からなる、周期Ｐが１２００μｍの縞状の回折格子からなる光学的ローパスフィルタを作製した。ここで、第１加工領域を作製するときのレーザー光線の出力は、対物レンズ直前のパワーで１０〜１６ｍＷ、第２加工領域を作製するときのレーザー光線の出力は１４〜２０ｍＷとして、加工ピッチごとに１回ずつレーザー光線を照射することで、第１加工領域及び第２加工領域の厚さに差を持たせた。このとき、屈折率変化領域の波長５５０ｎｍでの屈折率ｎは１．７８５であり、屈折率変化領域の加工厚さは、第１加工領域で１０．０〜１６．４μｍ、第２加工領域で１６．６〜２２．８μｍであった。
【００７５】
得られた光学的ローパスフィルタを、一方向の画素配列が画素周期４．８μｍのＣＭＯＳ（相補性金属酸化膜半導体）イメージセンサを用いた固体撮像素子からレンズ側に３．２ｍｍ離した位置に設置し、光学的ローパスフィルタの出射光におけるローパスフィルタ自身による撮影像への写り込みの評価を行った。
まずは、光学的ローパスフィルタの加工面側をデジタル一眼レフカメラのレンズ側に向けて実装し、写真の撮影を行った。一眼レフカメラの撮像素子はＡＰＳ−Ｃサイズの約１６００万画素のものを用いた。撮影条件として、約５００ｌｘの明るさの屋内で被写体は回折格子の写り込みが明確になるように白紙とした。カメラ設定は、ＡＷＢ、ｉｓｏ感度２００、シャッタースピードは絞り優先ＡＥ、絞り値は最も写り込みが明確になるＦ３２に設定し、レンズはズームレンズを用い、焦点距離は３５ｍｍとした。撮影写真はＪＰＥＧ形式で保存した。得られた出射光の撮影像（写り込み像）の拡大写真（３周期分）を、図７（ａ）に示した。
【００７６】
続いて、撮影された写真をオープンソース画像処理ソフトウェアＩｍａｇｅＪで開き、写真上に写り込んだ回折格子を横断するように直線的に選択し、ｐｌｏｔ  ｐｒｏｆｉｌｅを得ることで、出射光の明暗強度をグレースケールで取得した。距離［ピクセル］に対する明暗強度のグレースケールプロット（３周期分）を、図７（ｂ）に示した。
【００７７】
［比較例１］
比較例として、加工ピッチが０．２５μｍの加工領域のみからなる、周期Ｐが１２００μｍの縞状の回折格子からなる光学的ローパスフィルタを作製した。ここで、加工領域を作製するときのレーザー光線の出力は対物レンズ直前のパワーで１０〜２２ｍＷとした。屈折率変化領域の加工厚さは１０．０〜２２．８μｍであった。それ以外は、実施例１と同様の条件で光学的ローパスフィルタを作製した。比較例１の光学的ローパスフィルタについての、写り込み像の拡大写真（３周期分）を図８（ａ）に示し、距離に対するグレースケールプロット（３周期分）を図８（ｂ）に示した。
【００７８】
図７及び図８から明らかなように、実施例１では写り込み像の明暗パターンがほぼ消失し、出射光の明暗強度のグレースケールプロットにも明暗パターンは見られなかったのに対し、比較例１では写り込み像に明確な明暗パターンが見られ、その明暗パターンはグレースケールプロットからも明らかであった。
そのため、実施例１の光学的ローパスフィルタは、比較例１の光学的ローパスフィルタに比べて、出射光の明暗パターンを低減できることが明らかになった。
【００７９】
以上、本発明の実施の形態を例示の目的で詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に制約されることはない。当業者は本発明の思想及び範囲を逸脱することなく多くの改変を成し得、それらも本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００８０】
１ａ〜１ｃ    光学部品
１０    透明材料
１１ａ〜１１ｃ    屈折率変化領域
２ａ〜２ｃ    回折格子
１１１ａ〜１１１ｃ    第１加工領域
１１２ａ〜１１２ｃ    第２加工領域
１１３ｃ    第３加工領域
Ｌ１    第１加工領域の加工ピッチ
Ｌ２    第２加工領域の加工ピッチ
Ｌ３    第３加工領域の加工ピッチ
【図１】
2015011168.tif 000003
【図２】
2015011168.tif 000004
【図３】
2015011168.tif 000005
【図５】
2015011168.tif 000006
【図６】
2015011168.tif 000007
【図４】
2015011168.tif 000008
【図７】
2015011168.tif 000009
【図８】
2015011168.tif 000010