(57)【要約】      （修正有）【課題】光源から発せられた光の結合を容易にする装置および装置の製造方法を提供する。【解決手段】ＨＡＭＲ装置２００は、スライダ２０３と、スライダの外面２０５上に配置されたレーザダイオード２０２と、スライダの外面の上方に延びる突起２０７とを含む。突起はスライダと一体的であり、突起を有する単一部品のスライダを形成する。レーザダイオードは光共振器２２４を含み、光共振器は一方側に全反射ミラー２２３Ａ、他方側に部分反射ミラー２２３Ｂを有する。レーザダイオードから発される光は、突起中の導波路２１０の入力導波路２２２内に照射される。【選択図】図２
2015038798.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置であって、前記装置は、
スライダと、
前記スライダの外面上に配置された光源とを備え、前記光源は、前記スライダの前記外面に対して実質的に平行に整列された光共振器を含み、前記装置はさらに、
前記スライダの前記外面の上方に延びる突起を備え、前記突起は、前記光源に光結合された光路変換要素を含む、装置。
【請求項２】
前記突起は、前記スライダと一体的である、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記スライダの外面は、上面と、底面と、リーディング表面と、トレーリング表面と、２つの対向する側面とを含み、
前記光共振器は、前記上面に実質的に平行に整列される、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記光路変換要素は、前記光源からの出力光を前記光共振器に対して実質的に垂直な方向に向けるように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記光路変換要素は、導波路を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記導波路は、少なくとも一つの端部を含み、前記少なくとも一つの端部は、前記少なくとも一つの端部上に配置された反射防止コーティングを有する、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記光路変換要素は、光指向性ミラーを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記光源は、水平方向キャビティ端面発光レーザダイオードを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記光源は、前記スライダの上面に対して実質的に平行に整列された光共振器を含み、
前記光路変換要素は、前記スライダの外面と接するように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記光路変換要素の少なくとも一部は、前記スライダの前記上面の上方に延びる、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記スライダは、導波路を含み、
前記突起は、前記光源と前記導波路との位置合わせ用の止め部として機能するように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
前記スライダは、前記スライダの上面に配置された複数のはんだバンプを含み、前記はんだバンプは、前記光源を前記スライダに電気的、機械的、および熱的に結合するように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項１３】
前記突起は、導波路を含み、
前記スライダの前記上面に配置された少なくとも２つのはんだバンプは、前記少なくとも２つのはんだバンプのリフローに応じて、前記光源の出力光と前記導波路の入力部との間の位置合わせを容易にする、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
方法であって、前記方法は、
導波路要素の複数のセットをウェハ上にパターン堆積するステップを備え、前記導波路要素の各セットは、その突起部中に光路変換要素を含み、前記方法はさらに、
前記ウェハをスライスして、前記導波路要素の前記複数のセットの一部を含むスライダバーを製造するステップと、
前記スライダバーをパターンエッチングして、スライダを製造するステップとを含み、各スライダは外面の上方に延びる突起を有し、前記突起は前記導波路要素の１つのセットを備え、前記方法はさらに、
前記スライダバーをダイシングして、スライダ本体を製造するステップを備える、方法。
【請求項１５】
前記ウェハは、ＡｌＴｉＣを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記パターン堆積は、フォトリソグラフィおよび堆積を含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
前記パターン堆積は、前記光路変換要素を形成するために、導波路材料およびクラッド材料のフォトリソグラフィおよび堆積の複数のステップを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記スライダ本体を傾斜エッチングして、前記光路変換要素を形成するステップをさらに含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１９】
方法であって、前記方法は、
スライダを提供するステップを備え、前記スライダは、外面およびトレーリングエッジと、前記スライダの前記トレーリングエッジに沿って配置された光導波路とを有し、前記方法はさらに、
前記トレーリングエッジに実質的に垂直な方向に、前記スライダの前記外面の上方に突起をパターン堆積するステップを備え、前記突起は、前記光導波路に光結合された光路変換要素を含む、方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００１】
発明の詳細な説明
概要
実施形態は、スライダと、スライダの外面上に配置された光源と、スライダの外面の上方に延びる突起とを含む装置に関する。光源は、スライダの外面に対して実質的に平行に整列された光共振器を含む。突起は、光源に光結合された光路変換素子を含む。
【０００２】
他の実施形態は、スライダと、スライダの外面の上方に延びる突起とを含む装置を製造する方法に関する。１つの方法は、複数の導波路要素をウェハ上にパターン堆積し、複数の導波路要素は、その突起中に光路変換素子を含むステップと、ウェハをスライスして、複数の導波路要素を含むスライダバーを製造するステップと、複数の導波路要素を含むスライダバーをダイシングして、ウェハ上に配置されたスライダ本体を製造するステップと、スライダ本体をパターンエッチングして、外面の上方に延びる突起を有するスライダバックパッドを製造し、突起は光路変換素子を含むステップとを含む。
【０００３】
上記の概要は、本開示の開示される各実施形態またはすべての実施例を記載することを意図するものではない。以下の図および詳細な説明は、より具体的に例示的な実施形態を例証する。
【０００４】
明細書全体を通して、添付の図面を参照し、図中、同一の参照番号は同一の要素を示す。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
【図１】開示されるスライダを含む装置の一実施形態の斜視図である。
【図２】図１に図示する装置の一実施形態のより詳細な側面図である。
【図３】外面の上方に延びる突起を有する開示されるスライダの一実施形態の斜視図である。
【図４】外面の上方に延びる突起を有する、開示されるスライダの別の実施形態の斜視図である。
【図５】開示される装置の一実施形態の斜視図である。
【図６Ａ】開示されるスライダを製造する方法の一実施形態の平面図である。
【図６Ｂ】開示されるスライダを製造する方法の一実施形態の斜視図である。
【図６Ｃ−６Ｄ】開示されるスライダを製造する方法の一実施形態の斜視図である。
【図７Ａ−７Ｂ】開示されるスライダの製造方法の２つの実施形態を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００６】
詳細な説明
図は必ずしも縮尺通りではない。図中に用いられる同一の番号は、同一の部品を指す。しかしながら、ある図中である部品を指すのにある番号を用いても、同じ番号で示される別の図中の当該部品を限定することを意図するものではないことが理解されるであろう。
【０００７】
以下の説明では、本願の記述の一部をなすとともにいくつかの特定の実施形態を例示する添付の図面のセットが参照される。他の実施形態が想定され、これらは本開示の範囲から逸脱することなく行われ得ることが理解されるべきである。したがって、以下の詳細な説明は、限定的な意味で捉えられるべきではない。
【０００８】
特に記載がないかぎり、本明細書および請求項で用いられる特徴サイズ、量、および物性を表わす数字はすべて、すべての場合において「約」という用語により修飾されるものとして理解されるべきである。したがって、別段の記載がないかぎり、上記の明細書および添付の請求項に記載される数値パラメータは、本明細書中に開示される教示を利用して、当業者により得ようとされる所望の特性に応じて変化し得る近似値である。終点による数値範囲の使用は、その範囲内のすべての数字（たとえば、１〜５は、１、１．５、２、２．７５、３、３．８０、４、および５を含む）およびその範囲内の任意の範囲を含む。
【０００９】
ここに開示されるさまざまな実施形態は、概ね、磁気書込ヘッドの一部であり得る磁気書込装置へのレーザダイオードの結合を容易にする装置および装置の製造方法に関する。装置は、スライダと、スライダの外面上に配置された光源と、スライダの外面の上方に延びる突起とを含む。光源は、スライダの外面に対して実質的に平行に整列された光共振器を含む。突起は、光源に光結合された光路変換素子を有する。
【００１０】
本開示は概ね、ハードドライブなどの磁気記録デバイスに用いられる読取−書込ヘッドに関する。特に、本開示は、磁気媒体の面データ密度を増加させるために用いられ得る、熱アシスト型磁気記録（ＨＡＭＲ）に関する。ＨＡＭＲデバイスでは、特殊な構成の磁気媒体において、情報ビットが高温で記憶層中に記録される。熱の使用は、さもなければ磁気媒体の面データ密度を限定するおそれがある超常磁性効果を克服することができる。このため、ＨＡＭＲデバイスは、小さく限定された媒体部分（スポットサイズ）を加熱するために光子エネルギーを照射するレーザを含み得、同時に、磁気書込ヘッドは記録のために媒体に磁場を印加する。
【００１１】
極めて小さく限定されたホットスポットを達成する１つの方法は、ハードドライブスライダの空気軸受表面近傍に配置されたプラズモン光アンテナまたはアパーチャなどの光近接場トランスデューサ（ＮＦＴ）を使用することである。光は、光源（たとえばレーザダイオード）からスライダ内に集積された光学部品に照射され得る。このような集積された光学部品は、それぞれの屈折率間に高コントラストを有するコア層およびクラッド層から形成される導波路を含み得る。導波路中に伝搬する光は、平面型固浸ミラー（ＰＳＩＭ）などの集光要素に向けられてもよい。ＰＳＩＭは、エネルギーをＮＦＴに集中させてもよい。ＮＦＴによって、エネルギーが非常に小さなスポットで媒体に照射される。
【００１２】
導波路、ＮＦＴ、およびＰＳＩＭは、スライダ内に形成され得る集積光デバイスである。集積光学部品の分野は一般的に、基板上に光学デバイスを構築することに関し、これらはときに電子部品と組み合わされて、機能的システムまたはサブシステムを生み出す。光は、層堆積技術を用いて基板上に堆積された導波路を介して部品間に伝達され得る。これらの導波路は、中間のコア層は比較的高い屈折率を有する材料の層として、上部／底部のクラッド層は比較的低い屈折率を有する材料の層として形成され得る。上述のＮＦＴおよびＰＳＩＭを含む他の光学部品も同様に形成され得る。
【００１３】
ＨＡＭＲスライダでは、光はレーザダイオードなどの光源からこれらの集積光学部品内に照射される。光をスライダ内に照射する１つの方法は、外部に設置されたレーザからスライダ内に作られた光導波路またはグレーティング結合器を介して光をスライダ内に照射することである。光源からの光は、磁気記録媒体中の小さな体積を急速に加熱してその保磁力を低下させるのに十分な出力を有する必要がある。これにより、媒体が冷却されてその保磁力を増加させ、磁化を封じ込める前に、発生された磁場は、小さな体積において磁気媒体を磁場に整列させるようにすることができる。たとえばレーザダイオードにおけるレーザ出力は、レーザの光学システムの光共振器の長さと相互に関連し得る。レーザをスライダの方向に向ける１つの方法は、添付の図面に図示するように、レーザの光共振器をスライダの外面に沿って整列させることである。添付の図面は、スライダの外面に対して実質的に平行に整列させられたスライダを図示する。
【００１４】
図１は、開示されるスライダを含むＨＡＭＲ装置１００の一実施形態の斜視図である。ＨＡＭＲ装置１００はＨＡＭＲスライダ１０３を含む。レーザダイオード１０２などの光源は、ＨＡＭＲスライダ１０３のトレーリィングエッジ表面１０４の近くのＨＡＭＲスライダ１０３の外面１０５上に位置する。レーザダイオード１０２は、ＨＡＭＲスライダ１０３の空気軸受表面（「媒体側表面」とも呼ぶ）１０９上に一方のエッジを有する読取／書込ヘッド１０６の近くに光を照射する。媒体側表面１０９は、デバイス動作中に移動する媒体表面（図示せず）の近くに保持される。
【００１５】
レーザダイオード１０２は、読取／書込ヘッド１０６の近傍の点で媒体を加熱するために電磁エネルギーを供給する。導波路１１０などの光結合部品は、ＨＡＭＲスライダ１０３内に一体的に形成され、レーザダイオード１０２から記録媒体に光を伝送する。特に、導波路１１０およびＮＦＴ１１２は、読取／書込ヘッド１０６近くに位置し、書込動作中に媒体を局所的に加熱してもよい。この例において、レーザダイオード１０２は端面発光デバイスであってもよいが、導波路１１０およびＮＦＴ１１２は、任意の光源および光伝送機構とともに用いられてもよいことが認識されるであろう。たとえば、端面発光レーザの代わりに面発光レーザ（ＳＥＬ）を使用してもよい。
【００１６】
図１は、ＨＡＭＲスライダ１０３の外面１０５上に配置されたレーザダイオード１０２を示す。レーザダイオード１０２は、図１に示されるように、スライダの外部に設置されてもよい。レーザダイオード１０２は、ＨＡＭＲスライダ１０３の外面１０５に対して実質的に平行に整列された光共振器（図示せず）を含む。レーザダイオード１０２の光共振器から発される光は、レーザダイオード１０２から出て、外面１０５に対して実質的に平行な方向に沿って入力導波路１２２内に注入され得る。ＨＡＭＲ装置１００は、ＨＡＭＲスライダ１０３の外面１０５の上方に延びる突起１０７を含む。図１では、ＨＡＭＲスライダ１０３の突起１０７は、ＨＡＭＲスライダ１０３に一体化された部品であり、これは、ＨＡＭＲスライダ１０３および突起１０７が、以下にさらに説明するように製造される一体的な構造（単一部品）からなることを意味する。ＨＡＭＲスライダ１０３の突起１０７、入力導波路１２２、光路変換要素１０８、および入力導波路１２２は、レーザダイオード１０２の出力に光結合される。光路変換要素１０８は、入力導波路１２２からの光を導波路１１０内に方向変換させる。導波路１１０は、レーザダイオード１０２からのエネルギーを記録媒体に向けるように構成される。光路変換要素１０８は、湾曲導波路、ミラー、または、入力導波路１２２からの光を導波路１１０に方向変換させる任意の他の光学要素を含み得る。図１に図示する実施形態では、光はスライダの表面に対して実質的に垂直な方向に方向変換され、ＮＦＴ１１２にエネルギーを供給するように光結合される。
【００１７】
ＨＡＭＲデバイスは、典型的な磁気媒体の面データ密度を限定する超常磁性効果を克服するために、上記のタイプの光学デバイスを利用して磁気記録媒体（たとえばハードディスク）を加熱する。ＨＡＭＲ媒体に書込む際、光は、書込が行なわれるトラック上の小さなホットスポット内に集束され得る。光は導波路１１０を通って伝搬し、導波路から直接または集光要素を介してＮＦＴ１１２に結合される。結合器、ミラー、プリズムなどの他の光学要素もスライダと一体的に形成されてもよい。ＨＡＭＲ記録ヘッドに用いられる光学要素は、一般的に集積光学デバイスと呼ばれる。
【００１８】
回折限界として知られるものの結果として、光学部品を用いて光の波長の約半分未満の寸法に集光させることができない。一部のＨＡＭＲ設計で用いられるレーザは、７００〜１５５０ｎｍのオーダの波長を有する光を生じるが、所望のホットスポットは５０ｎｍ以下のオーダである。したがって、望ましいホットスポットサイズは、光の波長の半分をゆうに下回る。光学的集光器を用いて望ましいホットスポットサイズを得ることは、回折がこのスケールで限界となるため不可能である。その結果、ＮＦＴ１１２を使用して媒体上にホットスポットを作る。
【００１９】
ＮＦＴ１１２は、意図される波長で局所的表面プラズモン共鳴に達するように設計された近接場光学デバイスである。導波路１１０および／または他の光学要素は、ＮＦＴ１１２が位置するトランスデューサ領域（たとえば焦点）上に光を集束させる。ＮＦＴ１１２は、この光の集束に応じて表面プラズモン共鳴を達成するように設計されている。共鳴点では、金属表面での電子の集団振動により、高電界がＮＦＴ１１２を囲む。この電界の一部が記憶媒体内を通り抜けて、吸収されることにより、記録されている媒体上のスポットの温度を上昇させる。一般的にＮＦＴは、アルミニウム、金、銀、銅、またはこれらの合金などの表面プラズモン（「プラズモン金属」）を支持する材料からなる。ＮＦＴは他の材料を有してもよいが、それらの外面上に表面プラズモンを支持する材料を有する必要がある。
【００２０】
図２は、図１に図示するＨＡＭＲ装置の一実施形態のより詳細な側面図である。ＨＡＭＲ装置２００は、スライダ２０３と、スライダ２０３の外面２０５上に配置されたレーザダイオード２０２と、スライダ２０３の外面２０５の上方に延びる突起２０７とを含む。図２に示されるように、突起２０７はスライダ２０３と一体的であり、突起２０７を有する単一部品のスライダ２０３を形成し得る。レーザダイオード２０２は光共振器２２４を含み、この実施形態では、光共振器２２４は一方側に全反射ミラー２２３Ａ、他方側に部分反射ミラー２２３Ｂを有する。光共振器２２４は外面２０５に沿って整列され、スライダ２０３の外面２０５に対して実質的に平行に整列されてもよい。レーザダイオード２０２から発される光は、突起２０７中の導波路２１０の入力導波路２２２内に照射される。光路変換要素２０９は、レーザダイオード２０２から入力導波路２２２内に照射される光を方向変換するように構成されている。たとえば、一部の実施形態では、光路変換要素は、図２に示されるように、入力光の方向を光共振器２２４に対して実質的に垂直な方向に変更してもよい。図２に示される実施形態では、導波路２１０および光路変換要素２０７は、突起２０７内に埋込まれ、以下により詳しく説明するように突起２０７と一体的となるように製造される。レーザダイオードは、リフローはんだバンプ２３０により、機械的に、熱的に、および／または電気的にスライダに結合され得る。スライダ２０３の上面２０５上に配置された少なくとも２つのはんだバンプ２３０は、少なくとも２つのはんだバンプのリフローに応じて、レーザダイオード２０２の出力光と導波路２２２の入力部との間の位置合わせを容易にする。
【００２１】
図３および図４は、外面の上方に延びる突起を有する、開示されるスライダの２つの実施形態の斜視図である。図３は、外面３０５を有するスライダ３００の例示である。スライダ３００は、光源（図示せず）と、図示されるスライダ３００の外面の上方に延びる突起３０７とを含む装置の一部である。図３では、突起３０７は、スライダ３００の幅の実質的に中央に位置する。しかしながら、他の実施形態では、矢印３０８により示されるように、突起３０７はスライダ３００の幅に沿って（図３中のｙ−軸に沿って）任意の場所に位置し得る。はんだバンプ３３０は、これらの一部が電気配線３３５に取付けられており、レーザダイオード（図示せず）と電気的、熱的、および／または機械的に連通している。少なくとも２つのはんだバンプ３３０を用いて、鉛直方向（図３中ｚ−軸に沿って）、水平方向（図３中ｘ−軸に沿って）、またはこれらの方向の組合せにおいて、スライダ表面３０５にレーザダイオードをセルフアライメントさせることができる。レーザダイオードは、光路変換要素（さまざまな実施形態では、導波路またはミラー中に湾曲部を含んでもよい）がレーザダイオードに光結合されるようにアライメントされる。
【００２２】
図４は、外面４０５を有するスライダ４００の例示である。スライダ４００は、光源（図示せず）と、図示されるスライダ４００の外面の上方に延びる突起４０７とを含む装置の一部である。図４では、突起４０７は、スライダ４００のエッジ側に位置する。はんだバンプ４３０は、その一部が電気配線４３５に取付けられており、レーザダイオード（図示せず）と電気的、熱的、および／または機械的に連通している。少なくとも２つのはんだバンプ４３０を用いて、レーザをスライダ表面４０５にセルフアライメントさせることができる。
【００２３】
いくつかの実施形態では、装置の突起は、スライダの実質的に中心に位置し得る。他の実施形態では、装置の突起は、スライダの実質的に中心でなく、スライダの幅に沿った任意の場所に位置し得る。いくつかの他の実施形態では、突起は、スライダのほぼ全幅にわたって延びてもよい。一般的に、スライダの外面の上方に延びる突起の位置または形状に限定はない。突起の形状は、図３および図４に示されるように立方体の角部を含み得、または、他の実施形態では、丸まった角部もしくは任意の他の形状を有し得る。開示される突起は、スライダの外面の上方に延び得、光源に光結合された光路変換要素を含み得る。
【００２４】
図５は、開示される装置の別の実施形態の斜視図である。図５は、装置５００の一部であるスライダ表面（バックパッド５０５とも呼ぶ）を有するスライダ５０４を図示する。レーザダイオード５０２は、装置５００から取外されており、はんだバンプの位置が見えている。装置５００は、スライダの外面の少なくとも一部を形成するスライダバックパッド５０５を有するスライダ５０４を含む。突起５０７は、スライダバックパッド５０５上に配置される。いくつかの実施形態では、突起５０７は、スライダ５０４および突起５０７が一体化された構造を形成するように、スライダ５０４の一体的な部品である。レーザダイオード５０２（突起５０７とスライダバックパッド５０５との間に点線により図５中に示される）は、スライダバックパッド５０５に対して実質的に平行に整列させられた光共振器を有する。突起５０７は、スライダバックパッド５０５の外面の上方に延び、レーザダイオード５０２に光結合された光路変換要素（図示せず）を含む。スライダバックパッド５０５上のはんだバンプ５３０は、レーザダイオード５０２と電気的、機械的、および／または熱的に接続するために用いられる。はんだバンプの一部（はんだバンプ５３５など）は電気配線を含む。スライダバックパッド５０５上の相互接続パッド５３６は、装置５００の、たとえば記録ヘッドジンバルアセンブリなどのＨＡＭＲシステムの他の部品への電気的、機械的および／または熱的結合を可能にする。
【００２５】
開示される装置において、突起はスライダの製造中にその場（in situ）で製造される。スライダの一部は、たとえば、シリコンまたはＡｌＴｉＣなどからなり得る。突起は、アルミナなどの高誘電材料からなり得る。上述のように、突起は、導波路およびその中に埋込まれた光路変換要素を含む。導波路は、たとえば酸化タンタルからなり得る。
【００２６】
図６Ａは、開示されるスライダの製造方法の一実施形態の平面図である。ウェハ６００（ＡｌＴｉＣまたはシリコン）には、スライダとなるものを形成する一連の堆積層がパターニングされており、処理が仕上がった後に、各スライダは、埋込まれた導波路およびスライダの外面の上方に延びる光路変換要素を有する突起を有する。埋込まれた導波路および光路変換要素（ここでは突起導波路要素と呼ぶ）を有する、後に突起となる繰返されたパターン形成層は、フォトリソグラフィなどのパターン形成技術の後に、パターン形成層を堆積または印刷することにより、ウェハ６００上に形成される。さまざまな屈折率の材料を用いて、突起導波路および／または光路変換要素を形成することができ、一部の実施形態では、光路変換要素は、方向変換または湾曲された導波路であり得る。
【００２７】
各々が突起導波路要素の１つのセットを有する突起部を含む複数のスライダ６０２は、図６Ａに示されるように同時にパターン形成され得る。図６Ａでは一連の７つのパターンがウェハ６００にわたって図示されているが、典型的なウェハの両端にわたって多くのそれ以上のパターンが収められ得る。これらの一連のパターンは、ウェハから切削されてスライダバー６１０を形成し得る。一部の実施形態では、スライダバーは約６０〜約７０個のスライダを有し得、各スライダは、突起および突起導波路要素の１つのセットを含む。ウェハ６００は、線６２０に沿ってスライスされて、ウェハから個々のスライダバー６１０を分離し得る。スライダバー６１０は、一端に突起を有する複数のスライダ６０２を有する。スライダバー６１０は、図６Ｂに示されるように複数のスライダ本体６０４を含む。
【００２８】
図６Ｃは、鉛直方位のスライダバー６１０を示す。スライダバー６１０は複数のスライダ本体６０４を含む。スライダ本体６０４の面上の領域６１５は、最終的に（さらなる処理後）、スライダの外面の上方に延びる突起となる領域を示す。斜線領域６０７は、スライダバー６１０から除去され、その後ダイシングされて、図６Ｄに図示するように個々のスライダ本体６０４を形成し得る。
【００２９】
開示される装置を製造するための製造方法は、複数のスライダをウェハ上にパターン堆積するステップを含み、各スライダは、突起導波路要素を有する突起を含む。突起導波路要素は、たとえば、導波路および光路変換要素を含む。突起導波路要素は、突起内に一体的な部品として形成され得る。さらなる製造方法は、ウェハをスライスして、突起および突起導波路要素を有する複数のスライダ本体を含むスライダバーを製造するステップと、スライダ本体をパターンエッチングし、外面の上方に延びる突起を有するスライダを製造するステップと、突起および突起導波路要素を有する複数のスライダを含むスライダバーをダイシングし、個別のスライダ本体を製造するステップとを含む。
【００３０】
一部の実施形態では、パターン堆積は、周知のフォトリソグラフィマスキングと、その後のエッチングおよび／または堆積とを含み得る。堆積は、蒸着、スパッタリング、プラズマ堆積、化学気相蒸着、または、当該技術分野で周知である光学もしくは電子材料を堆積する方法を含み得る。パターン堆積は、三次元印刷などの材料がパターン形成された堆積物を作製する他の方法も含み得る。パターンエッチングは、フォトリソグラフィまたは上記の堆積方法のいずれかによるマスク材料の堆積を用いて基板の一部をマスキングすることを含む。パターン堆積は、埋込導波路および／または光路変換要素を形成するために用いられ得る導波路材料およびクラッド材料のフォトリソグラフィおよび堆積の複数のステップを含み得る。一部の実施形態では、スライダ本体は傾斜エッチングされて（slope etched）、光路変換要素を形成し得る。エッチングは、イオンエッチング、反応性イオンエッチング、または、集積光学部品および電子部品の技術分野で周知の材料を除去する他の方法を用いて行なわれ得る。さらに、エッチングは、ラスターイオンビーム(rastered ion beam)を用いて達成されることもできる。
【００３１】
図７Ａおよび図７Ｂは、開示されるスライダの減法的（subtractive）および加法的（additive）製造方法を図示する。図７Ａは、突起７０７を含むスライダ本体７０４を図示する。突起７０７は、突起７０７内に埋込まれた導波路７１０を含む。突起７０７は光路変換要素７０５も含む。一部の実施形態では、光路変換要素７０５は、図７Ａに示されるように、スライダ７００の外面７０６上にあり得る。製造中、導波路７１０および光路変換要素７０５（本実施形態ではミラー）を含む突起７０７を形成する層は、矢印により示される方向に導波路材料を連続的にパターン形成および堆積することにより、スライダ本体７０４上に製造され得る。最終スライダ本体を作るために、パターン形成エッチングを用いて過剰な材料７１２をスライダ本体７０４から除去し、エッチング後にスライダ本体７０４の外面の上方に延びる突起７０７を製造することができる。
【００３２】
図７Ｂは、加法的製造方法により開示されるスライダを作る方法を図示する。埋込導波路７０６は、上記と同様に、水平方向の矢印により示される方向に光学層を連続的にパターン形成および堆積することにより製造される。埋込導波路７０６は、スライダ７０４のエッジ７０９、たとえばトレーリングエッジと同一平面上にある。次に、光路変換要素７０５を含む突起７０８は、突起７０８が図示されるようにスライダ外面７０２の上方に延びるように、図７Ｂ中の鉛直方向矢印により示される方向の一連のパターン形成堆積物により形成される。突起７０８は、表面７０２と実質的に同一平面上である導波路部７０６ａを含む。
【００３３】
開示される装置は、スライダの外面に対して実質的に平行に整列させられた光共振器を含む光源を含む。光源がレーザダイオードであるとき、この方位は、他の方位と比べて比較的長い光共振器、ひいてはより大きな出力を可能にする。一部の実施形態では、突起は、レーザダイオードの水平方向の位置合わせの止め部として作用し得る。開示される装置は、スライダの上面上に配置された複数のはんだバンプも含む。はんだバンプは、スライダの外面上に配置された光源からの光を電気的に、機械的に、および／または熱的に連結するように構成される。スライダの上面上に配置された少なくとも２つのはんだバンプは、少なくとも２つのはんだバンプのリフローに応じて、光源の出力光と導波路の入力部との間の位置合わせを容易にする。はんだバンプは、たとえば鉛直方向に、光源と導波路の入力部とのセルフアライメントを可能にする。はんだバンプは、水平方向の位置合わせにも役立ち得る。
【００３４】
本明細書中に引用されたすべての引用文献および公報は、それらが本開示と直接矛盾しない限り、その全体が引用により明確に本開示中に援用される。特定の実施形態を本明細書中に例示し、記載したが、本開示の範囲を逸脱することなく、さまざまな代替的なおよび／または同等の実施例が、図示および説明された特定の実施形態の代わりに行なわれ得ることが当業者であれば認識されるであろう。本出願は、ここに記載した特定の実施形態の如何なる適応またはバリエーションも包含することを意図する。したがって、本開示は、請求項およびその同等物によってのみ限定されることを意図する。本明細書中で引用されたすべての引用文献は、引用によりその全体がここに援用される。
【符号の説明】
【００３５】
２００  ＨＡＭＲ装置、２０２  レーザダイオード、２０３  スライダ、２０５  外面、２０７  突起、２０９  光路変換要素、２１０  導波路、２２２  入力導波路、２２３Ａ  全反射ミラ−、２２３Ｂ  部分反射ミラー、２２４  光共振器、２３０  リフローはんだバンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ−６Ｄ】
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【図７Ａ−７Ｂ】
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【外国語明細書】
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