(57)【要約】【課題】検査対象物の欠陥をラインスキャンカメラ等によって確実に検出できる接続型プリズムシートおよびプリズムシート付きライン光照射装置を提供する。【解決手段】プリズムシート３０，３０どうしが接続される接続部３０Ａにおける接続端３２Ａ、３２Ｂが、単位プリズム３１ａの長手方向と交差する方向に斜めに切断され、かつ互いに平行な切断端３２Ａ、３２Ｂとされ、プリズムシート３０、３０どうしは、これらの切断端間Ｓより単位プリズム３１ａの長手方向における少なくとも一方の側に、単位プリズム３１ａの一部３１ｂが位置するようにして、接続されているので、検査対象物の欠陥をラインスキャンカメラ等によって確実に検出できる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリズムが平行に複数並列されたプリズム列を有する複数のプリズムシートどうしを前記プリズムの並列方向に接続してなる接続型プリズムシートであって、
前記プリズムシートどうしが接続される接続部に、前記プリズムの並列方向と交差する方向である長手方向において、前記プリズムの一部が位置するようにして、前記プリズムシートどうしが接続されていることを特徴とする接続型プリズムシート。
【請求項２】
前記プリズムシートどうしが接続される前記接続部における接続端は、前記プリズムの長手方向と交差する方向に切断され、かつ互いに平行な切断端とされ、
前記プリズムシートどうしは、これらの切断端間より前記プリズムの長手方向における少なくとも一方の側に、前記プリズムの一部が位置するようにして、接続されていることを特徴とする請求項１に記載の接続型プリズムシート。
【請求項３】
ライン状の光を照射可能なライン光照射装置と、このライン光照射装置から出射されるライン状の光を拡散させる複数のプリズムシートを接続してなる接続型プリズムシートとを備えたプリズムシート付きライン光照射装置であって、
前記プリズムシートはプリズムが平行に複数並列されたプリズム列を有し、
前記プリズムシートどうしが接続される接続部に、前記プリズムの並列方向と交差する方向である長手方向において、前記プリズムの一部が位置するようにして、前記プリズムシートどうしが接続されていることを特徴とするプリズムシート付きライン光照射装置。
【請求項４】
前記プリズムシートどうしが接続される前記接続部における接続端は、前記プリズムの長手方向と交差する方向に切断され、かつ互いに平行な切断端とされ、
前記プリズムシートどうしは、これらの切断端間より前記プリズムの長手方向における少なくとも一方の側に、前記プリズムの一部が位置するようにして、接続されていることを特徴とする請求項３に記載のプリズムシート付きライン光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接続型プリズムシートおよびライン状の光を照射できるプリズムシート付きライン光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ライン光照射装置の一例として特許文献１に記載のものが知られている。このライン光照射装置は、ケーシング内に概略長尺状をなす複数のＬＥＤ配線基板を長手方向に配置した構成となっており、各ＬＥＤ配線基板が、長手方向に沿って列状に設けられた複数のＬＥＤ備えている。ケーシングは、左右一対の側板および底板を有し、頂板側に開口部が形成され、この開口部からＬＥＤを光源とするライン状の光が外部に向けて出射されるようになっている。
【０００３】
このようなライン光照射装置を利用して、検査対象物にライン状の光を照射し、傷等の欠陥の有無を検査する検査装置は、例えば図１４（ａ）に示すように、ライン光照射装置１と、ラインスキャンカメラ４とを備えた構成となっており、ライン光照射装置１からライン状の光を検査対象物Ｗに照射し、この光の欠陥Ｋでの散乱光をラインスキャンカメラ４で検出することによって、傷等の欠陥Ｋの有無を検査している。なお、検査対象物Ｗは、ロール状に巻かれており、このロールから巻き出されて巻取りロール側に転送される検査対象物Ｗの表面の所定の範囲にライン光照射装置１からライン状の光を照射している。
【０００４】
このような検査装置では、検査対象物Ｗの転送（搬送）方向と交差する方向、つまり、ライン光照射装置１から出射される光Ｈと平面視において交差する方向に延びる欠陥Ｋに対しては、ライン光照射装置１から出射される光Ｈを当該欠陥Ｋで散乱させ、この散乱光をラインスキャンカメラ４で検出することはできるのに対し、検査対象物Ｗの転送方向と平行な方向、つまり、ライン光照射装置１から出射される光Ｈと平面視において平行な方向に延びる欠陥Ｋ１に対しては、図１４（ｂ）に示すように、散乱する光の方向が異なるため、当該散乱光Ｈ１をラインスキャンカメラ４で検出することは困難である。
【０００５】
そこで、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、ライン光照射装置１の光が出射される出射面にプリズムシート３０を取り付け、このプリズムシート３０によってライン光照射装置１から出射される光を左右に屈折させて、欠陥Ｋ１に照射することで、図１（ｂ）に示すように、ライン光照射装置１から出射される光Ｈと平行な方向に延びる欠陥Ｋ１に対しても、当該欠陥Ｋ１で光を散乱させ、この散乱光Ｈ１をラインスキャンカメラ４で検出することができる。このように、プリズムシート３０によって、直進する光を左右に屈折させる技術については、例えば特許文献２に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１８６０１５号公報
【特許文献２】特開２００６−１７４８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、プリズムシートは、プリズム形状が形成された金型を使用して製造されるが、例えば、検査対象物の幅方向の長さが、数メートルになった場合、この長さに応じた長さを有するプリズムシートを製造するには、金型を大型化しなければならず、手間とコストがかかるという問題がある。
そこで、所定長さの複数の帯状のプリズムシートをその長さ方向に接続して、長いプリズムシート（接続型プリズムシート）を製造することが考えられるが、以下のような問題がある。
【０００８】
すなわちまず、図１５に示すように、プリズムシート３０は、三角柱形状の単位プリズム３１ａが平行に多数並列されたプリズム列３１を有しており、単位プリズム３１ａの幅（単位プリズム３１ａの並列方向における断面三角形状の単位プリズムの辺の長さ）は、例えば５０μｍ程度である。
一方、帯状のプリズムシート３０、３０どうしを、それらの対向する短辺（接続端）どうしを突き合わせて長手方向に接続する場合、これら接続端間に隙間Ｓが発生してしまう。なぜなら、プリズムシート３０は樹脂によって形成されており、熱に起因して膨張や収縮が生じ易いため、前記隙間Ｓを完全に無くすことは困難であるからである。
【０００９】
このように、プリズムシート３０、３０どうしを接続すると、図１５に示すように、プリズムシート３０、３０の接続端間に隙間Ｓが生じてしまうが、この隙間Ｓが例えば０．５ｍｍ程度であっても、例えば、単位プリズム３１ａの幅が５０μｍ程度である場合は１０個程度欠落してしまい、２５μｍ程度である場合は２０個程度欠落してまう。
このように、隙間（接続端間）Ｓにおいては相当個数の単位プリズム３１ａが欠落してしまうので、この隙間Ｓにおいては、ライン光照射装置１からの光が屈折せずに、直進して検査対象物に照射されることになる。したがって、この光の直進方向に、当該方向と平行な欠陥があると、この欠陥での光の散乱光をラインスキャンカメラで検出することができず、欠陥を検出できないという問題がある。
【００１０】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、検査対象物の欠陥をラインスキャンカメラ等によって確実に検出できる接続型プリズムシートおよびプリズムシート付きライン光照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するために、本発明の接続型プリズムシートは、プリズムが平行に複数並列されたプリズム列を有する複数のプリズムシートどうしを前記プリズムの並列方向に接続してなる接続型プリズムシートであって、
前記プリズムシートどうしが接続される接続部に、前記プリズムの並列方向と交差する方向である長手方向において、前記プリズムの一部が位置するようにして、前記プリズムシートどうしが接続されていることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明のプリズムシート付きライン光照射装置は、ライン状の光を照射可能なライン光照射装置と、このライン光照射装置から出射されるライン状の光を拡散させる複数のプリズムシートを接続してなる接続型プリズムシートとを備えたプリズムシート付きライン光照射装置であって、
前記プリズムシートはプリズムが平行に複数並列されたプリズム列を有し、
前記プリズムシートどうしが接続される接続部に、前記プリズムの並列方向と交差する方向である長手方向において、前記プリズムの一部が位置するようにして、前記プリズムシートどうしが接続されていることを特徴とする。
【００１３】
ここで、「プリズム列」とは、同じ形状のプリズムが並列されたものは勿論のこと、大きさが異なりかつ相似形の大小のプリズムが交互に並列されたもの、形状や大きさの異なる複数種類のプリズムがランダムに並列されたものを含む意味である。
同じ大きさ、形状のプリズムが並列されたプリズム列におけるプリズムは「単位プリズム」と称する場合もある。
また、「プリズムシートどうしが接続されている」とは、例えばプリズムシートどうしを突き当てまたは近接させた状態で当該プリズムシートを例えばライン型光照射装置の筐体やその他の基板等に固定することによって、プリズムシートどうしが間接的に接続されている場合と、プリズムシートどうしを突き当てまたは近接させた状態でこれらが接着テープや溶着等によって直接接続されている場合の双方を含む意味である。
また、前記プリズムシート付きライン装置において、接続型プリズムシートは、ライン光照射装置に一体的に設けられたものと、ライン光照射装置から離れた位置に別体に設けられたものの双方を含む。
【００１４】
本発明の接続型プリズムシートおよびプリズムシート付きライン光照射装置においては、プリズムシートの接続部に、プリズムの長手方向において、プリズムの一部が位置しており、当該接続部においてプリズムの全部が欠落していない。
したがって、ライン光照射装置からプリズムシートの接続部に向けて出射された光は、当該接続部に一部が位置するプリズムで所定の方向に屈折して検査対象物の欠陥に照射されるので、この欠陥での光の散乱光をラインスキャンカメラで検出することによって、当該欠陥を検出することができる。
【００１５】
本発明の前記構成において、前記プリズムシートどうしが接続される前記接続部における接続端は、前記プリズムの長手方向と交差する方向に切断され、かつ互いに平行な切断端とされ、
前記プリズムシートどうしは、これらの切断端間より前記プリズムの長手方向における少なくとも一方の側に、前記プリズムの一部が位置するようにして、接続されているのが好ましい。
【００１６】
このような構成によれば、プリズムシートどうしの接続端間に隙間が生じていた場合、この隙間では、プリズムの長手方向の一部が欠落するが、全部欠落することはなく、単位プリズムの長手方向において、隙間（切断端間）より少なくとも一方側に単位プリズムの一部が存在する。
したがって、ライン光照射装置からプリズムシートの接続部に向けて出射された光は、切断端間よりプリズムの長手方向における少なくとも一方の側に、一部が位置するプリズムで所定の方向に屈折して検査対象物の欠陥に照射されるので、この欠陥での光の散乱光をラインスキャンカメラで検出することによって、当該欠陥を検出することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、プリズムシートの接続部に、プリズムの長手方向において、プリズムの一部が位置しているので、検査対象物の欠陥をラインスキャンカメラ等によって確実に検出できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態に係るライン光照射装置を示すもので、（ａ）はライン光照射装置を模式的に示した斜視図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ矢視図である。
【図２】同、ライン光照射装置の斜視図である。
【図３】同、ライン光照射装置の断面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る接続型プリズムシートの一例を示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。
【図５】同、プリズムシートの接続方法の第１例を説明するための平面図である。
【図６】同、プリズムシートの接続方法の第２例を説明するための平面図である。
【図７】同、プリズムシートの接続方法の第３例を説明するための平面図である。
【図８】同、プリズムシートをケーシングに取り付ける方法を説明するための斜視図である。
【図９】同、プリズムシートに重ねる各種シートを説明するための断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る接続型プリズムシートの他の複数の例を示す平面図である。
【図１１】ライン光とプリズムシート切断端間（隙間）との関係の一例を説明するためのもので、（ａ）は検査漏れが生じる場合を説明するための図、（ｂ）は検査漏れが生じない場合を説明するための図である。
【図１２】ライン光とプリズムシート切断端間（隙間）との関係の他の例を説明するためのもので、（ａ）は検査漏れが生じる場合を説明するための図、（ｂ）は検査漏れが生じない場合を説明するための図である。
【図１３】本発明の実施の形態に係るプリズムシートの他の複数の例を示す正面図である。
【図１４】従来のライン光照射装置の一例を示すもので、（ａ）はライン光照射装置を模式的に示した斜視図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ矢視図である。
【図１５】従来のプリズムシートの一例を示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１（ａ）は、本発明の実施の形態に係るプリズムシート付きライン光照射装置を模式的に示した斜視図である。このプリズムシート付きライン光照射装置は、ライン状の光を照射可能なライン光照射装置１と、接続型プリズムシート３とを備えている。
【００２０】
ライン光照射装置１は、例えば検査対象物Ｗの所定照射領域にライン状の光を照射するもので、ラインスキャンカメラ等の撮像装置４で前記所定照射領域を撮影し、得られた画像データを、画像処理装置（図示しない）に取り込んで例えば傷や汚れ等欠陥の有無の自動検査を行う製品検査システム等に用いられる。
【００２１】
具体的には、ライン光照射装置１は、図２および図３に示すように、ケーシング５と、このケーシング５に収容される複数のＬＥＤ配線基板６と、ケーシング５に収容される棒状レンズであるロッドレンズ７と、接続型プリズムシート３と、保護板としての透光板８とを備えている。
ケーシング５は、長尺金属製で、長手方向に直交する断面が概略コの字形状をなすものであり、長手方向に延びる底壁部５１およびこの底壁部５１の長手方向両辺から上部に延びる一対の左右側壁部５２、５３を有している。
底壁部５１の裏面には、ＬＥＤ配線基板６からの熱を外部に放出するための放熱フィン５Ｆが長手方向に沿い、かつ長手方向と直交する方向に所定間隔で複数枚設けられている。また、ケーシング５の長手方向一端部および他端部には、前後側壁５４、５５がねじ等により固定さている。これにより、ケーシング５は、上部に概略矩形状の光射出口５Ｈが形成されている。なお、後側壁５５からはＬＥＤに電力を供給するための電気ケーブル９が延出している。
【００２２】
ＬＥＤ配線基板６は、複数のＬＥＤ６１を搭載した長尺状の基板であり、ケーシング５の底壁部５１の上面に固定されている。また、ＬＥＤ配線基板６は、長尺状のプリント配線基板の表面に複数のＬＥＤ６１を、光軸を略一定方向に揃えて長辺方向に直線状となるように、短辺方向に１列または複数列（図３においては１列）に実装したものである。ＬＥＤ６１は、例えば薄い矩形板状をなすパッケージの中央にＬＥＤ素子を配設した表面実装型のものである。
【００２３】
ロッドレンズ７は、ケーシング５の左右側壁部５２、５３の長手方向の長さと略同一長さを有する、断面概略円形状をなす集光レンズである。このロッドレンズ７は、ケーシング５内においてＬＥＤ配線基板６の上方に長手方向に沿って設けられている。また、ロッドレンズ７の光軸は、複数のＬＥＤ６１の光軸と一致している。
【００２４】
前記接続型プリズムシート３は、図４に示すように、ライン光照射装置１から出射されるライン状の光を拡散させる複数のプリズムシート３０を長手方向に接続してなるものである。なお、図４（ａ）は接続型プリズムシート３の正面図、（ｂ）は同平面図である。
プリズムシート３０は、図４において左右に長尺な帯状のシートであり、単位プリズム（プリズム）３１ａが平行に多数並列されたプリズム列３１を有している。単位プリズム３１ａは三角柱形状のものであり、プリズムシート３０の短手方向に延在し、かつプリズムシート３０の長手方向に一定間隔で多数形成されている。したがって、プリズムシート３０は、その長手方向に沿って山と谷が連続してなる断面鋸歯状のプリズム部（プリズム列３１）を有した構造となっている。なお、単位プリズム３１ａの断面は二等辺三角形状となっており、長さが等しい辺どうし間に形成される頂部が、光が照射される側、つまりライン光照射装置１側に向き、この頂部と対向する辺が一直線上に配置されている。
【００２５】
また、１枚のプリズムシート３０の短辺長さは、例えば２５ｍｍ程度、長辺の長さは例えば３０００ｍｍ程度であるのに対し、単位プリズム３１ａの幅（単位プリズム３１ａの並列方向（図４において左右方向）における断面三角形状の単位プリズム３１ａの辺の長さ）Ｐは５０μｍ程度である。したがって、図４では、単位プリズム３１ａを大きく誇張して描いているが、実際は幅Ｐが５０μｍ程度の細かい多数の単位プリズム３１ａが連続して多数設けられている。
【００２６】
このようなプリズムシート３０は長手方向に接続されることで、接続型プリズムシート３を構成するが、プリズムシート３０、３０どうしが接続される接続部３０Ａに、単位プリズム３１ａの並列方向と交差（直交）する方向である長手方向（図４（ｂ）において上下方向）において、単位プリズム３１ａの一部が位置するようにして、プリズムシート３０、３０どうしが接続されている。
すなわちまず、長手方向に隣接するプリズムシート３０、３０どうしが接続される接続端３２Ａ、３２Ｂは、単位プリズム３１ａの長手方向（図４（ｂ）において上下方向）と交差し、かつ、少なくとも１つの単位プリズム３１ａを横切るように斜めに切断された切断端３２Ａ、３２Ｂとされている。
【００２７】
具体的には、一方のプリズムシート３０の切断端３２Ａは、単位プリズム３１ａの長手方向に対して所定の角度だけ傾斜してなる傾斜辺３２Ａとなっており、他方のプリズムシート３０の切断端３２Ｂは、単位プリズム３１ａの長手方向に対して所定の角度だけ傾斜してなる傾斜辺３２Ｂとなっている。そして、これら切断端（切断辺）３２Ａ、３２Ｂは互いに平行となっており、例えばこれら切断端間の隙間（単位プリズム３１ａの長手方向と交差する方向における隙間）Ｓは、０．５ｍｍ〜１．５ｍｍ程度となっている。
【００２８】
また、プリズムシート３０、３０どうしは、これらの切断端間（隙間Ｓ）より単位プリズム３１ａの長手方向における少なくとも一方の側に、単位プリズム３１ａの一部３１ｂが位置するようにして、接続されている。つまり、図４（ｂ）に示すように、接続部３０Ａにおいて、隙間Ｓの少なくとも一方の側には、単位プリズム３１ａの一部３１ｂが位置している。
具体的には、一方（左方）のプリズムシート３０の切断端３２Ａの突出端３２Ａ１は、他方（右方）のプリズムシート３０の切断端３２Ｂの突出端３２Ｂ１より他方のプリズムシート３０側に位置し、他方（右方）のプリズムシート３０の切断端３２Ｂの突出端３２Ｂ１は、一方のプリズムシート３０の切断端３２Ａの突出端３２Ａ１より一方のプリズムシート３０側に位置している。したがって、単位プリズム３１ａの長手方向（図４（ｂ）の上下方向）において、隙間Ｓは貫通していない。このため、接続部３０Ａにおいて、隙間Ｓの少なくとも一方の側には、単位プリズム３１ａの一部３１ｂが位置することになる。
【００２９】
隣接するプリズムシート３０、３０どうしを接続する場合、例えば、図５に示すように、切断端３２Ａ、３２Ｂを互いに突き合わせたうえで、当該切断端３２Ａ、３２Ｂを含むようにして、プリズムシート３０、３０の表面に透明な接着テープ３５を貼り付けることによって行う。接着テープ３５はプリズムシート３０、３０の一方の表面にのみ貼り付けてもよいし、両方の表面に張り付けてもよい。
【００３０】
また、図６に示すように、切断端３２Ａ、３２Ｂを互いに突き合わせたうえで、当該切断端３２Ａ、３２Ｂの端を跨ぐようにして、プリズムシート３０、３０の長辺方向に沿う縁部どうしを溶着部３６によって結合することによって、隣接するプリズムシート３０、３０どうしを接続してもよい。
さらに、図７に示すように、切断端３２Ａ、３２Ｂを含む切断端部どうしをプリズムシート３０の厚さ方向に重ね合わせたうえで、この部分を溶着によって接続してもよい。
【００３１】
このようにして製造された接続型プリズムシート３は、例えば、図３および図８に示すように、保護カバーとしての透光板８とＬＳＤ（レンズ拡散板）１０との間に設けられている。そして、ケーシング５から後側壁５５を取り外したうえで、透光板８、接続型プリズムシート３およびＬＳＤ１０を重ねた状態で、ケーシング５の長手方向に沿ってスライドさせて、当該ケーシング５内に挿入することによって、接続型プリズムシート３がケーシング５に取り付けられる。
また、接続型プリズムシート３をケーシング５に取り付けた状態において、図９に示すように、接続型プリズムシート３は、透光板８とＬＳＤ１０とによって挟まれるとともに、単位プリズム３１ａの頂部を、光が出射される側、つまりＬＥＤ配線基板６側に向けて配置されている。
したがって、ＬＥＤ配線基板６のＬＥＤ６１から出射された光は、ロッドレンズ７で集光され、さらにＬＳＤ１０を介して接続型プリズムシート３に至り、この接続型プリズムシート３で所定の方向に屈折して、透光板８を透過したうえで、検査対象物に照射される。
【００３２】
本実施の形態によれば、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、ライン光照射装置１から出射されるライン状の光は、接続型プリズムシート３によって、検査対象物Ｗの転送（搬送）方向に対して所定角度だけ左右に屈折された光Ｈとなって、検査対象物Ｗの所定の照射範囲に照射される。したがって、ライン光照射装置１から出射される光と平行な方向に延びる欠陥Ｋ１に対しても、当該欠陥Ｋ１で前記屈折した光Ｈを散乱させ、この散乱光Ｈ１をラインスキャンカメラ４で検出することができる。
【００３３】
また、図４に示すように、接続型プリズムシート３において、プリズムシート３０、３０どうしの接続端３２Ａ、３２Ｂ間に隙間Ｓが生じていた場合、この隙間Ｓでは、単位プリズム３１ａの長手方向の一部が欠落するが、全部欠落することはなく、単位プリズム３１ａの長手方向において隙間（切断端間）Ｓより少なくとも一方側に単位プリズム３１ａの一部３１ｂが存在する。
したがって、ライン光照射装置１から接続型プリズムシート３の接続部３０Ａに向けて出射された光は、切断端間Ｓより単位プリズム３１ａの長手方向における少なくとも一方の側に、一部３１ｂが位置する単位プリズム３１ａで所定の方向に屈折して検査対象物Ｗの欠陥Ｋ１に照射されるので、この欠陥Ｋ１での光の散乱光をラインスキャンカメラ４で検出することによって、当該欠陥Ｋ１を検出することができる。
なお、ライン光照射装置１から出射された光の一部は前記隙間Ｓから抜けるので、その分、単位プリズム３１ａの一部３１ｂで屈折される光の光量は少なくなるが、欠陥Ｋ１を検出するには十分な光量である。
【００３４】
また、接続型プリズムシート３は、帯状のプリズムシート３０の端部を長手方向に対して傾斜して切断し、その切断端３２Ａ、３２Ｂを突き合わせて、接着テープ３５で接続するだけでよいので、容易に製造できる。
【００３５】
なお、本実施の形態では、接続型プリズムシート３として、帯状のプリズムシート３０の端部を長手方向に対して傾斜して切断し、その切断端３２Ａ、３２Ｂを接続したものを使用したが、この他、以下のような接続型プリズムシート３Ａ〜３Ｄを使用してもよい。
【００３６】
接続型プリズムシート３Ａでは、図１０（ａ）に示すように、プリズムシート３０の接続端を、単位プリズム３１ａの長手方向と交差（直交）する方向に切断された切断端３ａと、この切断端３ａの両端からそれぞれ単位プリズム３１ａの長手方向に切断された切断端３ｂ，３ｂとから構成し、この切断端３ａ、３ｂ、３ｂでプリズムシート３０、３０どうしを接続している。このような接続部３０Ｂには、単位プリズム３１ａの長手方向において、単位プリズム３１ａの一部３１ｂが位置している。
【００３７】
接続型プリズムシート３Ｂでは、図１０（ｂ）に示すように、プリズムシート３０の接続端を、単位プリズム３１ａの長手方向と交差する方向に曲線状に切断された切断端３ｃによって構成し、この切断端３ｃでプリズムシート３０、３０どうしを接続している。このような接続部３０Ｃには、単位プリズム３１ａの長手方向において、単位プリズム３１ａの一部３１ｂが位置している。
【００３８】
接続型プリズムシート３Ｃでは、図１０（ｃ）に示すように、プリズムシート３０の接続端を、単位プリズム３１ａの長手方向に切断された切断端３ｄ、３ｄと、この切断端３ｄ、３ｄを繋ぎ、かつ円弧の一部を構成するような切断端３ｅによって構成し、この切断端３ｄ、３ｄ、３ｅでプリズムシート３０、３０どうしを接続している。このような接続部３０Ｄには、単位プリズム３１ａの長手方向において、単位プリズム３１ａの一部３１ｂが位置している。
【００３９】
接続型プリズムシート３Ｄでは、図１０（ｄ）に示すように、プリズムシート３０の接続端を、単位プリズム３１ａの長手方向と交差（直交）する方向に切断された切断端３ｆと、単位プリズム３１ａの長手方向に切断された切断端３ｇとによって階段状の切断端を構成し、この切断端の端部に単位プリズム３１ａの長手方向と斜めに交差する方向に切断された切断端３ｈを設けている。このような接続部３０Ｅには、単位プリズム３１ａの長手方向において、単位プリズム３１ａの一部３１ｂが位置している。
【００４０】
以上のような接続型プリズムシート３Ａ〜３Ｄでは、プリズムシート３０、３０どうしの接続部３０Ａ〜３０Ｄに、単位プリズム３１ａの長手方向において、単位プリズム３１ａの一部３１ｂが位置しており、当該接続部３０Ａ〜３０Ｄにおいて単位プリズム３１ａの全部が欠落していない。
したがって、ライン光照射装置１から接続型プリズムシート３Ａ〜３Ｄの接続部３０Ａ〜３０Ｄに向けて出射された光は、当該接続部３０Ａ〜３０Ｄに一部３１ｂが位置する単位プリズム３１ａで所定の方向に屈折して検査対象物Ｗの欠陥Ｋ１に照射されるので、この欠陥Ｋ１での光の散乱光をラインスキャンカメラ４で検出することによって、当該欠陥を検出することができる。
【００４１】
ここで、ライン光照射装置１から照射されるライン状の光（ライン光）と切断端間（隙間）との関係について、図１１および図１２を参照して説明する。
図１１および図１２において、符号Ｌ１，Ｌ２はそれぞれ所定幅ｈ１，ｈ２を有するライン光を示す。なお、ライン光Ｌ１，Ｌ２はそれぞれ斜めの鎖線で示す部分において接続型プリズムシート３Ｃ，３Ｄを通る。
図１１（ａ）に示すように、円弧の一部を構成するような切断端３ｅがライン光Ｌ１と交差する部分は単位プリズム３１ａと略平行となる。したがって、この部分ではその両側に単位プリズム３１ａの一部３１ｂは存在せず、この切断端３ｅのこの部分（単位プリズム３１ａと略平行となる部分）における隙間においてライン光Ｌ１は直進するため検査漏れが生じる。
これに対して図１１（ｂ）に示すように、円弧の一部を構成するような切断端３ｅがライン光Ｌ２と交差する部分は単位プリズム３１ａと略平行となる。しかし、この部分ではその両側（図１１（ｂ）において上下側）に単位プリズム３１ａの一部３１ｂが存在し、この切断端３ｅこの部分（単位プリズム３１ａと略平行となる部分）における隙間においてライン光Ｌ２は一部３１ｂで屈折するため、検査漏れが生じることがない。
【００４２】
また、図１２（ａ）示すように、単位プリズム３１ａの長手方向に切断された切断端３ｇがライン光Ｌ１と交差する部分は単位プリズム３１ａと略平行となる。したがって、この部分ではその両側に単位プリズム３１ａの一部３１ｂは存在せず、この切断端３ｇこの部分（単位プリズム３１ａと略平行となる部分）における隙間においてライン光Ｌ１は直進するため検査漏れが生じる。
これに対して図１２（ｂ）に示すように、単位プリズム３１ａの長手方向に切断された切断端３ｇがライン光Ｌ２と交差する部分は単位プリズム３１ａと略平行となる。しかし、この部分ではその一方の側（図１２（ｂ）において下側）に単位プリズム３１ａの一部３１ｂが存在し、この切断端３ｇのこの部分（単位プリズム３１ａと略平行となる部分）における隙間においてライン光Ｌ２は一部３１ｂで屈折するため、検査漏れが生じることがない。
【００４３】
以上のように、単位プリズムと略平行な切断端（接続端）を有する接続型プリズムシートによって検査漏れを無くするには、プリズムシートの単位プリズム（プリズム）と略平行な切断端（接続端）がライン光と交差する部分において、この平行な切断端の端より少なくとも一方の側をライン光の幅に収める必要がある。
【００４４】
なお、本実施の形態では、プリズムシート３０として、二等辺三角柱形状の単位プリズム３１ａを平行に並列したものを使用したが、この他、図１３（ａ）〜（ｅ）に示すような、単位プリズムを有するプリズムシート３０１〜３０５を使用してもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１  ライン光照射装置
３、３Ａ〜３Ｄ  接続型プリズムシート
４  ラインスキャンカメラ
３０、３０１〜３０５  プリズムシート
３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄ、３０Ｅ  接続部
３１ａ  単位プリズム（プリズム）
３２Ａ、３２Ｂ、３ａ〜３ｈ  切断端（接続端）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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