(57)【要約】      （修正有）【課題】ドデカカルボニルトリルテニウム（ＤＣＲ）の製造方法において、大量の粗ＤＣＲも効率よく昇華することができ、ＤＣＲを安定供給できる方法の提供。亦、前記製造方法に適用可能な昇華装置の提供。【解決手段】ＤＣＲからなる化学蒸着原料用の有機ルテニウム化合物の製造方法において、加熱容器１００を用いて、昇華法により、粗ＤＣＲ２０１から不純物元素を分離してＤＣＲを精製する工程を備え、精製工程ではＣＯ濃度３０〜１００％の雰囲気下で粗ＤＣＲを加熱して温度１００〜１３０℃で昇華させた後、冷却してＤＣＲを析出させるＤＣＲの製造方法。加熱蒸発部には粗ＤＣＲの載置し加熱する台として、ろ過精度５〜３０の焼結フィルター２００と加熱装置１０２を備え、下からＣＯを供給し、昇華されたＤＣＲの流路途中に不純物元素のトラップフィルター４００を備える昇華装置。【選択図】図１
2015086410.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
次式で示されるドデカカルボニルトリルテニウム（ＤＣＲ）からなる化学蒸着原料用の有機ルテニウム化合物の製造方法において、
【化１】
2015086410.tif 000010
昇華法により、粗ＤＣＲから不純物元素を分離してＤＣＲを精製する工程を備え、
前記精製工程では、一酸化炭素濃度３０〜１００％の雰囲気下で粗ＤＣＲを加熱して昇華させた後、冷却してＤＣＲを析出させるＤＣＲの製造方法。
【請求項２】
粗ＤＣＲの昇華は、温度１００〜１３０℃に加熱して行う請求項１に記載されたＤＣＲの製造方法。
【請求項３】
粗ＤＣＲの昇華は、一酸化炭素を１５０〜１０００ｓｃｃｍ流通させて行う請求項１又は請求項２に記載されたＤＣＲの製造方法。
【請求項４】
粗ＤＣＲの昇華は、ろ過精度５〜３０μｍの焼結フィルターの上方に配置した粗ＤＣＲに対し、焼結フィルター下方よりＣＯガスを供給して行う請求項１〜３のいずれかに記載されたＤＣＲの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載されたＤＣＲの製造方法の精製工程に適用される昇華装置において、
粗ＤＣＲが配置される載置手段と、粗ＤＣＲに一酸化炭素を供給するＣＯガス供給手段と、前記載置手段を加熱する手段と、を有する加熱蒸発部と、
前記加熱蒸発部に接続され、冷却器を有するＤＣＲ析出部と、
前記加熱蒸発部及び前記ＤＣＲ析出部内の気体を吸引する圧力調整手段と、を備え、
前記加熱蒸発部の載置手段に、ろ過精度５〜３０μｍの焼結フィルターが設置された昇華装置。
【請求項６】
加熱蒸発部には、不純物元素のトラップフィルターをさらに備える請求項５に記載された昇華装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ルテニウム薄膜又はルテニウム化合物薄膜を化学蒸着法により製造するための原料として有用なドデカカルボニルトリルテニウムの製造方法、及びその製造方法に使用する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＶＤ法（化学気相蒸着法）、ＡＬＤ法（原子層蒸着法）等の化学蒸着法によりルテニウム薄膜又はルテニウム化合物薄膜を製造する際、その原料化合物として従来から多くの有機ルテニウム化合物が知られている。それら有機ルテニウム化合物の中で、近年実用化が検討されているものとして、下記式で示されるドデカカルボニルトリルテニウム（Ｄｏｄｅｃａｃａｒｂｏｎｙｌ  Ｔｒｉｒｕｔｈｅｎｉｕｍ：以下、ＤＣＲと称する）がある。
【化１】
2015086410.tif 000003
【０００３】
ＤＣＲは、融点１５４〜１５５℃の常温で固体（橙色結晶）の物質である。ＤＣＲは、ＲｕとＣＯとから構成されるシンプルな分子構造であり、反応ガスを使用することなく熱分解のみで成膜できる。そして、成膜された薄膜中にハイドロカーボンなどの不純物を残留させ難く、固体原料であっても原料容器の仕様調整や適切なプロセス制御により薄膜の製造効率にも悪影響がないため、その活用が期待されている。
【０００４】
かかるＤＣＲの製造方法としては、ルテニウム化合物をカルボニル化して粗ＤＣＲとした後、粗ＤＣＲを昇華、再結晶、カラムクロマトグラフィー等によってＤＣＲに精製する方法がある（特許文献１）。ルテニウム化合物の合成で得られる粗ＤＣＲは、鉄Ｆｅ、アルミニウムＡｌ、クロムＣｒ等の不純物元素を微量に含有するため、合成後の精製が必要である。不純物元素は、その含有量が微量であっても、ルテニウム薄膜形成の際、発火現象を生じることがあるからである。
【０００５】
ＤＣＲに含まれる不純物元素を低減する精製手段としては、上記のうち昇華法が有効である。ＤＣＲは、減圧下で容易に昇華するため、不純物元素との昇華速度の違いを利用し、高純度のＤＣＲを製造できるからである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−０３６０５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ルテニウム薄膜の形成原料としてのドデカカルボニルトリルテニウム（ＤＣＲ）の提供にあたり、ルテニウムの用途拡大に追従すべく、ＤＣＲを工業的に利用可能なよう安定供給することが必要となる。しかしながら、従来の製造方法では、容易に生産規模を拡大できない。特に粗ＤＣＲの昇華においては、数十グラムといった少量の粗ＤＣＲを処理するには精製効率が良いものの、処理量を拡大し、例えば数キログラムの粗ＤＣＲを一度に処理できなかった。従来の昇華法では、８０℃前後に加熱して粗ＤＣＲを昇華させるが、かかる低温で粗ＤＣＲを昇華させようとすると、長時間の処理を要する上、大量の粗ＤＣＲを均一に処理できなかった。一方、単純に加熱温度を上げて昇華効率を向上させようとすれば、粗ＤＣＲの熱分解が生じ、結果的にＤＣＲの収率が低下してしまう。このように、既知のＤＣＲ製造方法は、大量の粗ＤＣＲを安定して昇華できるものではなかった。
【０００８】
そこで、本発明は、ＤＣＲの製造方法において、大量の粗ＤＣＲも効率よく昇華することができ、ＤＣＲを安定供給できる方法を提供する。また、かかる製造方法に適用可能な昇華装置に関する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者等は、上記課題を解決するための方法として、精製において昇華法を採用するＤＣＲの製造方法を基礎に検討することとした。上記の通り、ルテニウム薄膜の形成に適した原料として、不純物元素を低減するには、分離能の高い昇華法が有効なためである。そこで、本発明者等は、昇華法によりＤＣＲを精製する際、ＤＣＲの熱分解が生じる場合について検討した。
【００１０】
その結果、ＤＣＲを昇華させる雰囲気ガスの種類により、ＤＣＲの熱分解し始める温度が異なるものとなることを見出した。そこで、雰囲気ガスの選択により、ＤＣＲの熱分解を抑制しつつ、従来よりも高い加熱温度で昇華可能となり、大量の粗ＤＣＲを処理できる本発明に想到した。
【００１１】
すなわち本発明は、次式で示されるドデカカルボニルトリルテニウム（ＤＣＲ）からなる化学蒸着原料用の有機ルテニウム化合物の製造方法において、昇華法により、粗ＤＣＲから不純物元素を分離してＤＣＲを精製する工程を備え、この精製工程では、一酸化炭素濃度３０〜１００％の雰囲気下で粗ＤＣＲを加熱して昇華させた後、冷却してＤＣＲを析出させるＤＣＲの製造方法に関する。
【化１】
2015086410.tif 000004
【００１２】
本発明は、粗ＤＣＲを一酸化炭素（ＣＯ）雰囲気下で昇華させる点に特徴を有する。一酸化炭素を採用することで、ＤＣＲの熱分解を抑制しつつ、加熱温度を高めて大量の粗ＤＣＲを昇華させることが可能となる。一酸化炭素は、不純物を残留させにくい点でも、化学蒸着原料用のＤＣＲの製造において有用である。尚、本発明において「昇華」は、固体から気体への状態変化のみを示すものとし、気体から固体への変化は「凝固」と表す。
【００１３】
以下、本発明に係るＤＣＲの製造方法について詳細に説明する。本発明の方法において、精製対象である粗ＤＣＲは、一般的に知られている合成方法により入手できる。一般的なＤＣＲの合成方法では、得られたＤＣＲ中に、原料や装置の構成材料等に由来して、不純物元素が混入する。これら不純物元素の例としては、鉄（Ｆｅ）、リチウム（Ｌｉ）、ナトリウム（Ｎａ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、カルシウム（Ｃａ）、カリウム（Ｋ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、クロム（Ｃｒ）、マンガン（Ｍｎ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、亜鉛（Ｚｎ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、イットリウム（Ｙ）、モリブデン（Ｍｏ）、イリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ)、鉛（Ｐｂ）、トリウム（Ｔｈ）、ウラン（Ｕ）等が挙げられる。
【００１４】
本発明において「粗ＤＣＲ」とは、上記のような不純物元素を含有するＤＣＲをいう。具体的には、純度９０％以上のＤＣＲである。好ましくは、純度９８％以上のＤＣＲである。精製工程で不純物元素を分離するという本発明の目的より、不純物元素を所定量以上含有するものが粗ＤＣＲとして精製対象になるため、純度１００％のＤＣＲは除かれる。粗ＤＣＲは、不純物元素を、すべての元素の合計で５ｐｐｍ以上含んでいる場合、精製対象として本発明に好適である。
【００１５】
上記粗ＤＣＲを合成方法によって得るには、ルテニウム塩を原料として、カルボニル化する方法を利用できる。具体的には、ルテニウム塩を一酸化炭素により直接カルボニル化する方法（以下、直接法と称する）が好ましい。直接法のほか、例えば、ルテニウム塩を原料とし、これをアセチルアセトナトルテニウムを中間体とし、中間体をカルボニル化する合成方法も知られているが、中間体を経由する方法は工程数が多くなり不純物混入の機会が増える。直接法で粗ＤＣＲを合成する場合、反応条件としては、反応圧０．２〜０．９ＭＰａ、反応温度５０〜１００℃、反応時間１０〜３０時間が好ましい。
【００１６】
直接法の原料となるルテニウム塩は、塩化ルテニウム、酸化ルテニウム、硝酸ルテニウム、ヘキサアミンルテニウムクロライド、酢酸ルテニウムが好ましく、塩化ルテニウムが特に好ましい。これらの原料は市販されている物質であり、容易に入手できるからである。また、原料は高純度のものが好ましい。尚、ＤＣＲ等の有機金属化合物の合成においては、触媒作用を有する補助金属を用いることが多いが、本発明では補助金属の添加は不要である。補助金属の適用は、不純物の混入の要因になるためである。
【００１７】
粗ＤＣＲは、以上説明した合成方法にて入手できるが、本発明のＤＣＲの製造方法では、合成したＤＣＲに代えて、市販のＤＣＲを利用することもできる。
【００１８】
以上説明した粗ＤＣＲについて、不純物元素を分離するための精製工程を行う。従来の精製工程では、窒素、アルゴン等の不活性ガス雰囲気下で粗ＤＣＲを昇華するが、本発明では一酸化炭素（ＣＯ）雰囲気下で昇華させる。一酸化炭素を用いると、従来、粗ＤＣＲを昇華させる際の加熱温度を８０℃前後としていたところを、加熱温度１００〜１３０℃としても、ＤＣＲの熱分解が生じることなく、昇華効率及び収率の高い処理が実現できる。上述のとおり、従来と異なるガス雰囲気とすることで、ＤＣＲの熱分解温度が変化したためと考えられる。加熱温度は、１００℃未満では長時間の処理を要し、１３０℃を超えると、昇華速度は速くなるものの、ＤＣＲの熱分解が生じ始める。
【００１９】
本発明は、一酸化炭素雰囲気下で粗ＤＣＲを昇華させる際、一酸化炭素とともに、窒素、アルゴン等の不活性ガスを併用することも可能である。この場合、雰囲気ガス中の一酸化炭素濃度が３０％〜１００％の範囲内であることを要する。３０％未満であると、ＤＣＲの昇華温度を上昇させた場合にＤＣＲの熱分解が生じやすく、精製工程の収率を向上できない。
【００２０】
本発明では、粗ＤＣＲを昇華させる際、反応容器にＣＯガスを流通させて、上記のような一酸化炭素雰囲気とする。流通させる一酸化炭素（ＣＯ）の供給量は、１５０〜１０００ｓｃｃｍが好ましく、３００〜５００ｓｃｃｍがさらに好ましい。１５０ｓｃｃｍ未満であると粗ＤＣＲが熱分解する場合があり、１０００ｓｃｃｍを超えると粗ＤＣＲが加熱容器内に飛散し収率が低下する場合がある。また、昇華時における加熱容器内の圧力は、１３〜８０Ｐａ程度が好ましく、１３〜４０Ｐａがさらに好ましい。１３Ｐａ未満では一酸化炭素が粗ＤＣＲに充分に接触しにくいものとなり熱分解する場合があり、８０Ｐａを超えると昇華速度が低下する傾向となり、粗ＤＣＲの処理量が多い場合は昇華時間が長く必要になる。尚、加熱温度と、一酸化炭素供給量と、加熱容器内圧力とは相関関係があり、３種の設定値のうちいずれかを変更すると、他の設定値の好適範囲も変動する傾向がある。このため、上記した温度、ＣＯ供給量、圧力としては、他の２種の設定値が好適条件の範囲内である場合の好適値を示した。
【００２１】
ＣＯガスは、精製する粗ＤＣＲに対し、均一に分散して接触するように供給することが好ましい。一酸化炭素の供給が不均一になると、部分的にＤＣＲの熱分解が生じ、結果として昇華効率が低下するためである。このため、粗ＤＣＲの昇華は、ろ過精度５〜３０μｍの焼結フィルターを介して、粗ＤＣＲにＣＯガスを供給して行うことが好ましい。具体的には、かかる焼結フィルター上方に配置した粗ＤＣＲに対し、焼結フィルター下方からＣＯガスを供給する方法が採用できる。焼結フィルターの空隙を伝ってＣＯガスが均一に分散し、粗ＤＣＲに対しムラ無くＣＯガスを接触させることができる。尚、上記ろ過精度は公称値である。
【００２２】
本発明の精製工程では、以上の手順で粗ＤＣＲを昇華させた後、気化したＤＣＲを冷却して析出させて、不純物元素を低減したＤＣＲを回収する。ＤＣＲを冷却する温度は、２０℃以下が好ましい。
【００２３】
粗ＤＣＲを昇華させた後、析出させて得られたＤＣＲについては、再結晶、カラムクロマトグラフィー等の精製処理を、追加的に行っても良い。例えば、本発明の精製工程後に再結晶処理を行った場合、不純物元素に加え、合成未反応物の有機物等を分離できる。
【００２４】
以上説明した本発明の製造方法で得られるＤＣＲは、化学蒸着原料としてルテニウム薄膜やルテニウム化合物薄膜の製造に用いられる。本発明のＤＣＲを用いてルテニウム薄膜を形成する条件としては、成膜温度４０〜１５０℃、成膜圧力０．０１〜２６．６６Ｐａが好適である。かかる化学蒸着時、気化したＤＣＲが薄膜形成前に分解してしまうことを抑制するために、一酸化炭素（ＣＯ）ガスを利用できる。ＣＯガスを用いる場合、その流量は０．１〜１０００ｓｃｃｍが好適である。
【００２５】
以上説明したＤＣＲの製造方法では、上記した粗ＤＣＲの昇華を均一に進行させるため、昇華の際、粗ＤＣＲに対し一酸化炭素ガスを均一に接触させる必要がある。そこで、本発明に対応した昇華装置としては、粗ＤＣＲが配置される載置手段と、粗ＤＣＲに一酸化炭素を供給するＣＯガス供給手段と、前記載置手段を加熱する手段と、を有する加熱蒸発部と、前記加熱蒸発部に接続され、冷却器を有するＤＣＲ析出部と、前記加熱蒸発部及び前記冷却析出部内の気体を吸引する圧力調整手段とを備え、前記加熱蒸発部の載置手段に、ろ過精度（公称値）５〜３０μｍの焼結フィルターが設置された昇華装置を採用できる。
【００２６】
粗ＤＣＲの載置手段としては、ステンレス製で、ハニカム構造や網目構造の板が用いられているが、粗ＤＣＲに対し、この載置手段のみを介してＣＯガスを供給すると、高温で昇華させた場合、ＤＣＲの一部が熱分解する場合があった。粗ＤＣＲに対しＣＯガスが均一に接触しなかったためと考えられる。
【００２７】
そこで本発明の昇華装置は、載置手段に焼結フィルターを配置させるものであり、この焼結フィルターにより、ＣＯガスを粗ＤＣＲに対し均一に行き渡らせることができる。焼結フィルターは、ステンレス製、Ｔｉ、Ａｌ、セラミック等の焼結材からなるものであり、ろ過精度（公称値）は５〜３０μｍ、好ましくは５〜１５μｍ、さらに好ましくは５〜１０μｍである。また、断面厚み１〜３ｍｍが好ましい。尚、載置手段としては、焼結フィルターが差し込み可能な溝等であってもよく、必ずしもハニカム等の板状の載置台を要するものではない。すなわち、ハニカム等の板を用いることなく、焼結フィルターのみを載置台として、フィルター上に粗ＤＣＲを配置する装置であってもよい。
【００２８】
また、加熱蒸発部には、冷却析出部への不純物元素の混入を防ぐトラップフィルターをさらに備えることが好ましい。ＣＯガスの供給流により、加熱容器内に不純物元素が飛散し、ＤＣＲ析出部内に侵入することや、製品に混入するのを防ぐためである。トラップフィルターは粗ＤＣＲよりも下流側に設置することができ、複数設置してもよい。材質は、ステンレス、Ｔｉ、Ａｌ、セラミック等、形状はフィン、網、ハニカム等のものを採用できる。
【００２９】
加熱蒸発部は、載置手段を加熱する手段を有する。具体的には、ステンレスヒーター、ポリイミドヒーター、シリコンラバーヒーター、フレキシブルヒーター等を採用できる。加熱手段としては、ＤＣＲを配置する載置手段を加熱する手段（下部加熱手段と称する）の他に、加熱容器外周を加熱する加熱手段（外周加熱手段と称する）を備えることが好ましい。２種の加熱手段を個別に温度設定することで、粗ＤＣＲを昇華させる加熱温度の均一化を図れる。具体的には、外周よりも下部の設定温度を高くすると、粗ＤＣＲの処理量が多い場合の加熱温度ムラを低減できる。
【発明の効果】
【００３０】
ＤＣＲの製造方法において、大量の粗ＤＣＲも効率よく昇華することができ、大量のＤＣＲを安定供給可能となる。また、本発明の昇華装置によれば、ＣＯガスを均一に供給し、ＤＣＲ製造のための昇華効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施形態における加熱容器の概略断面図。
【図２】実施形態における昇華装置の概略断面図。
【図３】実施形態におけるＣＯガス濃度に対する昇華残渣量の観察写真。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明における最良の実施形態について説明する。
【００３３】
まず、以下工程により、昇華対象となるＤＣＲ粗結晶を得た。塩化ルテニウム１５８g(田中貴金属工業（株）製、ルテニウム含有量：３８．６７％、塩素含有量４７．４ｗｔ％)と１−プロパノール６０００ｍｌとを混合・攪拌し、これを反応容器である容量１０Ｌのオートクレーブ（鋼製）に導入した。そして、反応容器にトリエチルアミン２６９gを添加し、更に０．３５ＭＰａまで一酸化炭素ガスを封入した。一酸化炭素を供給して上記反応圧を保ったまま、反応温度８５℃に昇温させてＤＣＲの合成反応を進行させた。溶液を攪拌しながら１７時間反応させた。合成反応後、反応液を冷却し、濾過して濾過物を取り出し、橙色のＤＣＲ粗結晶１１６gを得た。このＤＣＲ粗結晶の純度は、９９％であった。
【００３４】
上記粗結晶の精製には、図１、図２に示す昇華装置を用いた。この昇華装置は、外周にヒーター（図示せず）を備える加熱容器１００内に、ヒーター１０２を備えるステンレス製の載置台１０１（ハニカム、網目構造）を備え、その上に焼結フィルター２００（ろ過精度（公称値）が１０μｍ、断面厚み３mm）、及びフランジ状の足部を備える筒状の内側容器２０２が設置され、この内側容器内に粗ＤＣＲ２０１を配置した。粗ＤＣＲの下流側には、トラップフィルター４００（ＳＵＳ、Ｔｉ製、フィン、網、ハニカム構造）を設置した。尚、加熱容器外周及び載置台内のヒーターは、それぞれ個別に加熱温度を設定できる。上記加熱容器１００は、冷却器を備えるＤＣＲ析出部Ｄに接続し、加熱蒸発部Ｖ内の気体を吸引するポンプ（図示せず）を有するものとした。
【００３５】
以上の昇華装置を用いて粗ＤＣＲの昇華試験を行うに先立ち、昇華中の供給ガスとしてＣＯガスとＮ２ガスの混合ガスを用い、ガス中のＣＯ濃度変化による昇華効率への影響を確認すべく、少量の粗ＤＣＲを昇華対象とした予備的な試験を行った。本試験では、表１に示すＣＯガス濃度となるよう、供給するガス中のＮ２ガスとＣＯガスとの混合比を３０：７０〜９５：５まで変化させた。その他の昇華条件としては、昇華するＤＣＲ粗結晶は５ｇとし、ＣＯ／Ｎ２混合ガス流量は５０ｓｃｃｍ、加熱温度を１０５℃とした。昇華後のＤＣＲについてＣＨＮ元素分析を行うとともに、昇華容器内の残渣量を測定した。
【００３６】
【表１】
2015086410.tif 000005
【００３７】
表１より、昇華時の供給ガス中のＣＯ濃度は、５〜７０％において昇華後のＤＣＲのＣＨＮ分析結果は良好であったものの、ＣＯ濃度５％では昇華容器内に一部メタル化した残渣がみられた（図３）。よって、供給ガス中のＣＯ濃度は、３０％以上が好適と考えられる。
【００３８】
第１実施形態
上記した昇華装置の焼結フィルター上に、ＤＣＲ粗結晶を１．５ｋｇ配置し、供給ガス流量５００ｓｃｃｍ、加熱温度１００℃、真空度２６．６Ｐａの条件にて昇華を行なった後、冷却水温度５℃でＤＣＲを析出させた（試験Ｎｏ.１−４）。本実施形態における供給ガスは、ＣＯのみ（ＣＯ濃度１００％）とした。また、表２に示すＣＯガス流量、加熱温度、昇華時間とした各実施例及び比較例についても、同様に昇華を行った。
【００３９】
【表２】
2015086410.tif 000006
【００４０】
昇華時にＣＯを供給した場合、粗ＤＣＲの処理量が多い場合（１５００ｇ）にも、昇華速度が大きく、高い収率でＤＣＲを得ることができた（試験Ｎｏ．１−４〜１−９）。一方、粗ＤＣＲが少量（１３０ｇ）である場合は、ＣＯガスを供給しなくとも、高い収率でＤＣＲを得ることができるものの、昇華速度が低いため目的の収率とするまでに長時間の処理を要した（試験Ｎｏ．１−１）。また、ＣＯガスを供給せずに大量（１５００ｇ）の粗ＤＣＲを昇華する場合、加熱温度が低いと（８０℃）（試験Ｎｏ.１−２）、短時間の昇華（１８.５ｈ）ではＤＣＲの収率が低く、加熱温度が高い（１１５℃）と（試験Ｎｏ．１−３）、昇華後のＤＣＲが黒色する熱分解がみられた。
【００４１】
ＣＯ流量１５０〜１０００ｓｃｃｍの範囲内では、昇華速度が大きく、収率の高いものとなった（試験Ｎｏ．１−８〜１−９）。圧力を８０．０Ｐａとした場合（試験Ｎｏ.１−７）、ＤＣＲの収率は２１％となったが、昇華速度は従来例（試験Ｎｏ.１−１）に比べ１０倍以上大きいものであった。このため、昇華時間を調整することで、従来よりもＤＣＲ収率を高めることが可能である。
【００４２】
物性測定：上記で得られたＤＣＲについて、昇華工程後、冷却部に採取されたＤＣＲ結晶について、ＩＣＰ−ＭＳにて不純物元素を測定したところ、表３に示す結果を得た。
【００４３】
【表３】
2015086410.tif 000007
【００４４】
上記結果より、昇華工程でＣＯガスを供給して得られたＤＣＲ（試験Ｎｏ.１−４）は、ＣＯガスを用いない従来の製法（少量のＤＣＲを低温で昇華する方法）で得られたＤＣＲ（試験Ｎｏ.１−１）と同様に高純度となった。
【００４５】
第２実施形態
焼結フィルターの厚みを３．０ｍｍ（試験Ｎｏ.２−１）及び１．７ｍｍ（試験Ｎｏ.２−２）とした昇華装置にて。粗ＤＣＲを精製した結果を表４に示す。昇華条件は第１実施形態の試験Ｎｏ．１−４と同様とした（ＤＣＲ１５００ｇ、ＣＯ流量５００ｓｃｃｍ、加熱温度１００℃、圧力２６．６Ｐａ、昇華時間１８．５ｈ）。試験Ｎｏ.２−２については、ＩＣＰ−ＭＳによる不純物元素の測定も行った。
【００４６】
【表４】
2015086410.tif 000008
【００４７】
表４より、焼結フィルターの厚みが３．０ｍｍ（試験Ｎｏ.２−１）であると、厚み１．７ｍｍ（試験Ｎｏ.２−２）の場合に比べ、昇華速度が大きく、高収率でＤＣＲを得ることができた。フィルターの厚みを増したことで、粗ＤＣＲに対しＣＯガスが充分に拡散して供給されたものと考えられる。
【００４８】
【表５】
2015086410.tif 000009
【００４９】
表５より、焼結フィルターの厚みを変化させた場合（試験Ｎｏ．２−２）も、従来の製法（少量のＤＣＲを低温で昇華する方法）で得られたＤＣＲ（試験Ｎｏ.１−１）と同様に高純度のＤＣＲを得られることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
以上説明したように、本発明によれば、ＤＣＲの大量生産が可能になるので、ＤＣＲについて幅広い用途で工業的利用可能となり、安定供給される。
【符号の説明】
【００５１】
１００  加熱容器
１０１  載置台
１０２  ヒーター
２００  焼結フィルター
２０１  粗ＤＣＲ
２０２  内側容器
４００  トラップフィルター
Ｖ  加熱蒸発部
Ｄ  ＤＣＲ析出部
【図１】
2015086410.tif 000011
【図２】
2015086410.tif 000012
【図３】
2015086410.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成27年2月20日(2015.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
次式で示されるドデカカルボニルトリルテニウム（ＤＣＲ）からなる化学蒸着原料用の有機ルテニウム化合物の製造方法において、
【化１】
2015086410.tif 000014
昇華法により、粗ＤＣＲから不純物元素を分離してＤＣＲを精製する工程を備え、
前記精製工程では、ろ過精度５〜３０μｍの焼結フィルターの上方に配置した粗ＤＣＲに対し、焼結フィルター下方よりＣＯガスを供給し、一酸化炭素濃度３０〜１００％の雰囲気下で粗ＤＣＲを加熱して昇華させた後、冷却してＤＣＲを析出させるＤＣＲの製造方法。
【請求項２】
粗ＤＣＲの昇華は、温度１００〜１３０℃に加熱して行う請求項１に記載されたＤＣＲの製造方法。
【請求項３】
粗ＤＣＲの昇華は、一酸化炭素を１５０〜１０００ｓｃｃｍ流通させて行う請求項１又は請求項２に記載されたＤＣＲの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載されたＤＣＲの製造方法の精製工程に適用される昇華装置において、
粗ＤＣＲが配置される載置手段と、粗ＤＣＲに一酸化炭素を供給するＣＯガス供給手段と、前記載置手段を加熱する手段と、を有する加熱蒸発部と、
前記加熱蒸発部に接続され、冷却器を有するＤＣＲ析出部と、
前記加熱蒸発部及び前記ＤＣＲ析出部内の気体を吸引する圧力調整手段と、を備え、
前記加熱蒸発部の載置手段に、ろ過精度５〜３０μｍの焼結フィルターが設置された昇華装置。
【請求項５】
加熱蒸発部には、不純物元素のトラップフィルターをさらに備える請求項４に記載された昇華装置。