(57)【要約】      （修正有）【課題】簡易な構成で、十分な引張強度を確保しつつ、比較的サイズが小さいチップ状の電子部品であっても効率的に脱バインダ処理、焼成処理等を実行することができる加熱炉を提供する。【解決手段】本発明に係る加熱炉は、比較的小さいチップ状の電子部品２０を熱処理するために、少なくとも２基のローラ１１に掛け回された搬送ベルト１２と、搬送ベルトの表面に取り付けられた積載ベルト１３とを備え、積載ベルト１３は、チップ状の電子部品を積載可能な網状の積載面が、山折り１３１及び谷折り１３２を交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成されている。積載ベルト１３の代わりに、積載面が山折り１３１及び谷折り１３２を交互に繰返した蛇腹状の凹凸面で構成されている網状の積載部材を、一端が回動することが可能に一定間隔で複数取り付けても良い。【選択図】図１
2015049020.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップ状の電子部品を熱処理する加熱炉であって、
少なくとも２基のローラに掛け回された搬送ベルトと、
該搬送ベルトの表面に取り付けられた積載ベルトと
を備え、
該積載ベルトは、前記チップ状の電子部品を積載可能な網状の積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成されていることを特徴とする加熱炉。
【請求項２】
前記積載ベルトの積載面の上方に、前記チップ状の電子部品を積載可能な網状の積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成された積載治具が搭載されていることを特徴とする請求項１に記載の加熱炉。
【請求項３】
チップ状の電子部品を熱処理する加熱炉であって、
少なくとも２基のローラに掛け回された搬送ベルトと、
該搬送ベルトの表面に、一端が、回動することが可能に一定間隔で取り付けられた複数の積載部材と
を備え、
該積載部材は、前記チップ状の電子部品を積載可能な網状の積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成されていることを特徴とする加熱炉。
【請求項４】
前記積載部材の積載面は、山折部を挟んで隣接する一組の前記積載面ごとに、前記一端側と反対側の前記積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返し折り返した方向に対して垂直に起立するよう形成されていることを特徴とする請求項３に記載の加熱炉。
【請求項５】
前記積載部材は、前記搬送ベルトの上面を移動する間、前記搬送ベルトの搬送方向に対して斜め前方に所定の傾斜角度を維持するよう構成されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の加熱炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ状のセラミック電子部品の脱バインダ処理、焼成処理等の熱処理を実行する加熱炉に関する。
【背景技術】
【０００２】
チップ状のセラミック電子部品を製造する過程において、例えばセラミック成形体の脱バインダ処理、焼成処理等の熱処理を連続式熱処理炉、バッチ式熱処理炉等のような加熱炉によって実行する。例えば、セラミック成形体の焼成処理を実行する場合、セラミック成形体を熱処理用治具に収納した状態で加熱炉内を通過させる。セラミック成形体の脱バインダ処理においては、セラミック成形体を十分に加熱する必要があり、加熱が不十分である場合には焼成後の割れ発生等の原因となる。
【０００３】
セラミック成形体を十分に加熱するために、例えば加熱炉内に搬送装置としてコンベアを設置し、加熱炉内を通過する間、ヒータ、雰囲気ガス等により十分に加熱できるように工夫されている。しかし、製造コストを抑えるべく搬送速度を速めた場合、加熱時間自体が短くなることにより加熱が不十分になるおそれがある。したがって、搬送速度を低速に維持しつつ十分に加熱するためには、加熱炉の搬送方向の長さが長くなる傾向が強く、全体として製造コスト増大の要因となってしまう。
【０００４】
そこで、例えば特許文献１には、炉体内に設けられているコンベア（搬送装置）の上面が上下に波打つ凹凸面とされ、被処理物を上下に波打つ状態で積載して炉内を搬送する熱処理炉が開示されている。また、雰囲気ガス等の通気性を確保するために、コンベアの上面は、例えば金網等の通気性を有するもので形成されている。斯かる構成とすることにより、被処理物の下面側にも雰囲気ガス（加熱ガス）が流通して加熱効率を高めることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実開平０６−０１４８９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に開示されている熱処理炉では、複数の山形のバーを連結することにより、コンベアの上面を上下に波打つ凹凸面としている。コンベアの移動に伴って、連結した複数のバーは引張強度を確保することが困難であるために伸縮しやすく、形状の変形、破損等のおそれが高い。そこで、伸縮を抑制するために、網目を構成する金属線は一定の大きさの線径を必要とする。したがって、網目の間隔も相対的に大きくなることから、比較的サイズが小さいチップ状の電子部品については網目から抜け落ちるおそれがあり、脱バインダ処理、焼成処理等を実行することが困難であるという問題点があった。
【０００７】
本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであり、簡易な構成で、十分な引張強度を確保しつつ、比較的サイズが小さいチップ状の電子部品であっても効率的に脱バインダ処理、焼成処理等を実行することができる加熱炉を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明に係る加熱炉は、チップ状の電子部品を熱処理する加熱炉であって、少なくとも２基のローラに掛け回された搬送ベルトと、該搬送ベルトの表面に取り付けられた積載ベルトとを備え、該積載ベルトは、前記チップ状の電子部品を積載可能な網状の積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成されていることを特徴とする。
【０００９】
上記構成では、少なくとも２基のローラに掛け回された搬送ベルトと、該搬送ベルトの表面に取り付けられた積載ベルトとを備えており、該積載ベルトは、チップ状の電子部品を積載可能な網状の積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成されている。これにより、積載ベルトの積載面を、例えば比較的サイズが小さいチップ状の電子部品が抜け落ちない網状にした場合には、搬送ベルトをコンベアとして移動させるときであっても、比較的サイズが小さいチップ状の（セラミック）電子部品についても確実に脱バインダ処理、焼成処理等を実行することが可能となる。また、積載面が山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成されているので、単位時間当たりに処理されるチップ状の電子部品の数を増加させることができ、通気性も良いので雰囲気ガスを均質に当てることで、効率良く比較的短時間で脱バインダ処理、焼成処理等を実行することが可能となる。
【００１０】
また、本発明に係る加熱炉は、前記積載ベルトの積載面の上方に、前記チップ状の電子部品を積載可能な網状の積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成された積載治具が搭載されていることが好ましい。
【００１１】
上記構成では、積載ベルトの積載面の上方に、チップ状の電子部品を積載可能な網状の積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成された積載治具を搭載することにより、チップ状の電子部品を多層に積載することができるので、単位時間当たりに処理されるチップ状の電子部品の数を増加させることができ、効率良く比較的短時間で脱バインダ処理、焼成処理等を実行することが可能となる。
【００１２】
次に、本発明に係る加熱炉は、チップ状の電子部品を熱処理する加熱炉であって、少なくとも２基のローラに掛け回された搬送ベルトと、該搬送ベルトの表面に、一端が、回動することが可能に一定間隔で取り付けられた複数の積載部材とを備え、該積載部材は、前記チップ状の電子部品を積載可能な網状の積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成されていることを特徴とする。
【００１３】
上記構成では、少なくとも２基のローラに掛け回された搬送ベルトと、該搬送ベルトの表面に、一端が、回動することが可能に一定間隔で取り付けられた複数の積載部材とを備える。積載部材は、チップ状の電子部品を積載可能な網状の積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成されている。これにより、複数の積載部材の積載面を、比較的サイズが小さいチップ状の電子部品が抜け落ちない網状にした場合、搬送ベルトをコンベアとして移動させるときであっても、比較的サイズが小さいチップ状の（セラミック）電子部品についても確実に脱バインダ処理、焼成処理等を実行することが可能となる。また、積載面が山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成されているので、単位時間当たりに処理されるチップ状の電子部品の数を増加させることができ、通気性も良いので雰囲気ガスを均質に当てることで、効率良く比較的短時間で脱バインダ処理、焼成処理等を実行することが可能となる。さらに、積載部材の一端が回動することが可能に取り付けられているので、ローラの回転による搬送ベルトの移動に伴って積載部材が回動し、積載されているチップ状の電子部品を自動的に回収することが可能となる。
【００１４】
また、本発明に係る加熱炉は、前記積載部材の積載面は、山折部を挟んで隣接する一組の前記積載面ごとに、前記一端側と反対側の前記積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返し折り返した方向に対して垂直に起立するよう形成されていることが好ましい。
【００１５】
上記構成では、積載部材の積載面は、山折部を挟んで隣接する一組の積載面ごとに、一端側と反対側の積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返し折り返した方向に対して垂直に起立するよう形成されているので、積載部材が傾斜している場合であっても、搬送中にチップ状の電子部品が積載面からこぼれ落ちることを防止することができる。また、熱処理を完了したチップ状の電子部品を、積載面に残留させることなく回収することができる。
【００１６】
また、本発明に係る加熱炉は、前記積載部材は、前記搬送ベルトの上面を移動する間、前記搬送ベルトの搬送方向に対して斜め前方に所定の傾斜角度を維持するよう構成されていることが好ましい。
【００１７】
上記構成では、積載部材は、搬送ベルトの上面を移動する間、前記搬送ベルトの搬送方向に対して斜め前方に所定の傾斜角度を維持するよう構成されているので、単位時間当たりに処理されるチップ状の電子部品の数を増加させることができるとともに、積載されたチップ状の電子部品を取りこぼすことなく、確実に回収することが可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
上記構成によれば、積載ベルトの積載面を、例えば比較的サイズが小さいチップ状の電子部品が抜け落ちない網状にした場合には、搬送ベルトをコンベアとして移動させるときであっても、比較的サイズが小さいセラミック電子部品についても確実に脱バインダ処理、焼成処理等を実行することが可能となる。また、積載面が山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成されているので、単位時間当たりに処理されるチップ状の電子部品の数を増加させることができ、通気性も良いので雰囲気ガスを均質に当てることで、効率良く比較的短時間で脱バインダ処理、焼成処理等を実行することが可能となる。さらに、積載部材の一端が回動することが可能に取り付けられているので、搬送ベルトの回転に伴って積載部材が回動し、積載されているチップ状の電子部品を自動的に回収することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態１に係る加熱炉の構成を示す概略図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る加熱炉の積載ベルトの構成を示す部分斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る加熱炉の構成を示す概略図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係る加熱炉に用いる積載治具の構成を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態３に係る加熱炉の構成を示す概略図である。
【図６】本発明の実施の形態３に係る加熱炉の積載部材の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態に係る加熱炉について、図面に基づいて具体的に説明する。
【００２１】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る加熱炉の構成を示す概略図である。図１では、いわゆるロール方式の加熱炉を示している。図１に示すように、本実施の形態１に係る加熱炉は、少なくとも２基の、回転することが可能なローラ１１を設けており、２基のローラ１１に幅３００ｍｍの搬送ベルト１２を掛け回している。
【００２２】
搬送ベルト１２の表面には、チップ状の（セラミック）電子部品を積載可能な積載面が山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成された積載ベルト１３が取り付けられている。図２は、本発明の実施の形態１に係る加熱炉の積載ベルト１３の構成を示す部分斜視図である。
【００２３】
図２に示すように、本実施の形態１に係る加熱炉の積載ベルト１３は、線径０．１ｍｍ、目開き０．２ｍｍのニッケル製の金網を一辺１０ｍｍで山折り、谷折りを交互に繰り返して折り返し、幅３００ｍｍのベルト状に加工している。以後、折り返し方向とは、図２の矢印方向、すなわち蛇腹状の凹凸面を繰り返し折り返す方向を意味する。
【００２４】
積載ベルト１３の積載面は、隣接する二つの積載面、すなわち一の山折部の頂部１３１と隣接する谷折部の頂部１３２との間の二つの積載面が、互いに略同一の傾斜角度で対向している。具体的には、折り返し方向を含む縦断面において、隣接する二つの積載面がそれぞれ二等辺三角形（又は正三角形）をなすように形成されている。
【００２５】
つまり、山折部と谷折部との間の積載面がそれぞれ、山折部の頂部１３１を通り、折り返し方向に対して直交する面を中心として、山折部を挟んで隣接する一組の積載面ごとに互いに面対称となるよう形成されていれば良い。そして、谷折部の頂部１３２が、搬送ベルト１２の表面に取り付けられている。
【００２６】
図１に戻って、チップ状の（セラミック）電子部品２０、例えばチップ状セラミックコンデンサ、チップ状インダクタ等の積載体は、搬入口１５から加熱炉内に搬入され、積載ベルト１３の積載面に積載される。ローラ１１の回転による搬送ベルト１２の移動に伴って、積載ベルト１３の積載面に積載されたチップ状の電子部品２０が加熱炉内を通過する。
【００２７】
加熱炉内を通過中に、加熱炉内上部に設けられたガス噴出口１４から加熱された雰囲気ガスが噴射され、チップ状の電子部品２０を熱処理する。もちろん、ガス噴出口１４は加熱炉内上部に設けることに限定されるものではなく、加熱炉内下部に設けても良いし、加熱炉内側面部に設けても良い。
【００２８】
熱処理が完了したチップ状の電子部品２０は、加熱炉の搬出口、すなわち搬送ベルト１２による搬送完了位置の近傍に備えてある回収部１６に回収される。
【００２９】
本実施の形態１では、ニッケル製の金網をベルト状に加工し、積載ベルト１３の積載面を山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成しているが、特にこれに限定されるものではなく、チップ状の電子部品２０が抜け落ちることなく、雰囲気ガスのみが流通する大きさの貫通孔を有していれば良いので、例えば０．６ｍｍ×０．３ｍｍ程度の複数の貫通孔を有する金属板を、山折り、谷折りを交互に繰り返して蛇腹状に折り返してベルト状に加工しても良い。
【００３０】
搬送ベルト１２自体を山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成する場合、通気性を確保するべく、搬送ベルト１２に複数の貫通穴を設けるため引張強度が低下する。したがって、コンベアとして円滑にチップ状の電子部品２０を搬送することが困難である。一方、引張強度を高めるために、例えば網目を構成する金属線の線径を大きくした場合、網目の間隔も大きくなるので、比較的サイズの小さいチップ状の電子部品２０については網目から抜け落ちるおそれがあり、脱バインダ処理、焼成処理等を実行することが困難になる。
【００３１】
そこで、コンベアとして十分な引張強度を確保しつつ、比較的サイズの小さいチップ状の電子部品２０を積載するべく、搬送ベルト１２の表面に、上述した積載面が蛇腹状の凹凸面で構成されている積載ベルト１３を取り付けてある。これにより、搬送ベルト１２がコンベアとして移動した場合であっても、積載ベルト１３の積載面の蛇腹形状が延伸することにより形状が崩れることもなく、安定してチップ状の電子部品２０を搬送することができる。
【００３２】
以上のように本実施の形態１によれば、積載ベルト１３の積載面を、比較的サイズが小さいチップ状の電子部品２０が抜け落ちない網状にしてあるので、搬送ベルト１２をコンベアとして移動させるときであっても、比較的サイズが小さいチップ状の（セラミック）電子部品２０についても確実に脱バインダ処理、焼成処理等を実行することが可能となる。また、積載面が山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成されているので、単位時間当たりに処理されるチップ状の電子部品２０の数を増加させることができ、通気性も良いので雰囲気ガスを均質に当てることで、効率良く比較的短時間で脱バインダ処理、焼成処理等を実行することが可能となる。
【００３３】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２に係る加熱炉は、実施の形態１とほぼ同様の構成であるので、同一の符号を付することにより詳細な説明は省略する。本実施の形態２は、積載ベルト１３の上方に、さらにチップ状の電子部品２０を積載することが可能な積載治具を備える点で実施の形態１とは相違する。図３は、本発明の実施の形態２に係る加熱炉の構成を示す概略図である。図３では、いわゆるロール方式の加熱炉を示している。
【００３４】
図３に示すように、本実施の形態２に係る加熱炉は、実施の形態１と同様、少なくとも２基の、回転することが可能なローラ１１を設けており、２基のローラ１１に幅３００ｍｍの搬送ベルト１２を掛け回している。
【００３５】
搬送ベルト１２の表面には、チップ状の電子部品２０を積載可能な積載面が積載面が山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成された積載ベルト１３が取り付けられている。積載ベルト１３の構成は実施の形態１と同様であることから、詳細な説明は省略する。
【００３６】
本実施の形態２では、積載ベルト１３の積載面の上方に、さらにチップ状の電子部品２０を積載することができる積載治具１７を搭載している。図４は、本発明の実施の形態２に係る加熱炉に用いる積載治具１７の構成を示す斜視図である。
【００３７】
図４に示すように、本実施の形態２に係る積載治具１７は、線径０．１ｍｍ、目開き０．２ｍｍのニッケル製の金網を、一辺１０ｍｍで山折り、谷折りを交互に繰り返して折り返して、上方からの投影形状が縦横３００ｍｍの四辺形状になるよう加工されている。
【００３８】
積載治具１７の積載面は、隣接する二つの積載面、すなわち一の山折部の頂部１７１と隣接する谷折部の頂部１７２との間の二つの積載面が、互いに略同一の傾斜角度で対向している。具体的には、折り返し方向を含む縦断面において、隣接する二つの積載面がそれぞれ二等辺三角形（又は正三角形）をなすように形成されている。
【００３９】
つまり、山折部と谷折部との間の積載面がそれぞれ、山折部の頂部１７１を通り、折り返し方向に対して直交する面を中心として、山折部を挟んで隣接する一組の積載面ごとに互いに面対称となるよう形成されていれば良い。斯かる構成の積載治具１７を、積載ベルト１３の積載面に、互いの折り返し方向を一定の角度、例えば５〜９０度ずらして搭載することにより、積載ベルト１３と積載治具１７との間に雰囲気ガスが流通することが可能な空間を維持しつつ、単位時間当たりに処理されるチップ状の電子部品２０の数を増加させることができる。
【００４０】
なお、チップ状の（セラミック）電子部品２０、例えばチップ状セラミックコンデンサ、チップ状インダクタ等の積載体は、搬入口１５１及び搬入口１５２から加熱炉内に搬入され、それぞれ積載ベルト１３の積載面、積載治具１７の積載面に積載される。ローラ１１の回転による搬送ベルト１２の移動に伴って、積載ベルト１３の積載面及び積載治具１７の積載面に積載されたチップ状の電子部品２０が加熱炉内を通過する。
【００４１】
加熱炉内を通過中に、加熱炉内上部に設けられたガス噴出口１４から加熱された雰囲気ガスが噴射され、チップ状の電子部品２０を熱処理する。もちろん、ガス噴出口１４は加熱炉内上部に設けることに限定されるものではなく、加熱炉内下部に設けても良いし、加熱炉内側面部に設けても良い。
【００４２】
熱処理が完了し、積載ベルト１３の積載面に積載されたチップ状の電子部品２０は、加熱炉搬出口の近傍に備えてある回収部１６１に、積載治具１７の積載面に積載されたチップ状の電子部品２０は、同じく加熱炉搬出口の近傍に備えてある回収部１６２に積載治具１７とともに、それぞれ回収される。
【００４３】
本実施の形態２でも、ニッケル製の金網をベルト状に加工し、積載ベルト１３及び積載治具１７の積載面を山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成しているが、実施の形態１と同様、特にこれに限定されるものではなく、チップ状の電子部品２０が抜け落ちることなく、雰囲気ガスのみが流通する大きさの貫通孔を有していれば良いので、例えば０．６ｍｍ×０．３ｍｍ程度の複数の貫通孔を有する金属板を、山折り、谷折りを交互に繰り返して蛇腹状に折り返してベルト状に加工しても良い。
【００４４】
以上のように本実施の形態２によれば、積載ベルト１３の積載面の上方に、網状の積載面が山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成された積載治具１７を搭載することにより、チップ状の電子部品２０を多層の積載面に積載することができるので、単位時間当たりに処理されるチップ状の電子部品２０の数を増加させることができ、効率良く比較的短時間で脱バインダ処理、焼成処理等を実行することが可能となる。
【００４５】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３に係る加熱炉は、実施の形態１及び２と同様の構成であるので、同一の符号を付することにより詳細な説明は省略する。本実施の形態３でも、少なくとも２基のローラに掛け回された搬送ベルト１２を備えている。しかし、搬送ベルト１２の表面に、一端が回動することが可能に一定間隔で取り付けられた複数の積載部材を備えている点で実施の形態１及び２とは相違する。
【００４６】
図５は、本発明の実施の形態３に係る加熱炉の構成を示す概略図である。図５では、いわゆるロール方式の加熱炉を示している。
【００４７】
図５に示すように、本実施の形態３に係る加熱炉は、実施の形態１及び２と同様、少なくとも２基の、回転することが可能なローラ１１を設けており、２基のローラ１１に幅３００ｍｍの搬送ベルト１２を掛け回している。
【００４８】
搬送ベルト１２の表面には、チップ状の電子部品２０を積載可能な積載面が山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成された複数の積載部材２１が、一端を回動することが可能に取り付けられている。図６は、本発明の実施の形態３に係る加熱炉の積載部材２１の構成を示す斜視図である。
【００４９】
図６に示すように、本実施の形態３に係る積載部材２１は、線径０．１ｍｍ、目開き０．２ｍｍのニッケル製の金網を、一辺１０ｍｍで山折り、５ｍｍで谷折りを交互に繰り返して折り返して、上からの投影形状が縦横３００ｍｍの四辺形状になるよう加工されている。
【００５０】
このように折り返す一辺の長さを設定することにより、積載部材２１の積載面は、山折部を挟んで隣接する一組の積載面ごとに、すなわち一の山折部の頂部２１１と隣接する谷折部の頂部２１２との間の二つの積載面のうち、一端側とは反対側の積載面が、折り返し方向に対して垂直に起立するよう形成されている。これにより、積載部材２１が傾斜している場合であっても、搬送中にチップ状の電子部品２０が積載面からこぼれ落ちるのを防止することができる。
【００５１】
もちろん、積載部材２１の積載面は、実施の形態１及び２の積載ベルト１３、積載治具１７と同様、隣接する二つの積載面、すなわち一の山折部の頂部２１１と隣接する谷折部の頂部２１２との間の二つの積載面が、互いに略同一の傾斜角度で対向する構成であっても良い。
【００５２】
積載部材２１は、蝶つがい等の取り付け部材２１３により一端が、搬送ベルト１２に回動することが可能に一定間隔で取り付けられている。取り付けピッチ（間隔）は２０ｍｍ前後が好ましい。また、各積載部材２１の搬送ベルト１２の搬送方向側にストッパー２１４を取り付け、搬送ベルト１２の上面を移動する間は搬送方向に対して斜め前方に３０度前後傾斜した状態を維持している。傾斜角度は３０度前後に限定されるものではないが、一の積載部材２１に積載されたチップ状の電子部品２０が、他の積載部材２１に積載されたチップ状の電子部品２０と互いに接触することなく、サイズが小さい加熱炉であっても十分に加熱効率を高めるには、傾斜角度は３０度前後が適当である。
【００５３】
具体的には、図５に示すように、チップ状の（セラミック）電子部品２０、例えばチップ状セラミックコンデンサ、チップ状インダクタ等の積載体は、搬入口１５（図１参照）から加熱炉内に搬入され、積載部材２１の積載面に積載される。この時点で積載部材２１は、ストッパー２１４により、搬送ベルト１２の搬送方向に対して斜め前方に３０度前後傾斜した状態となっている。
【００５４】
そのまま、ローラ１１の回転による搬送ベルト１２の移動に伴って、積載部材２１の積載面に積載されたチップ状の電子部品２０が加熱炉内を通過する。図１に示すように、加熱炉内を通過中に、加熱炉内上部に設けられたガス噴出口１４から加熱された雰囲気ガスが噴射され、通過中のチップ状の電子部品２０を熱処理する。もちろん、ガス噴出口１４は加熱炉内上部に設けることに限定されるものではなく、加熱炉内下部に設けても良いし、加熱炉内側面部に設けても良い。
【００５５】
一の積載部材２１が加熱炉の搬出口近傍、すなわち搬送ベルト１２による搬送完了位置に接近した場合、一の積載部材２１は自重で鉛直方向へと傾斜を変える。これにより、積載面に積載されている、熱処理が完了したチップ状の電子部品２０は、加熱炉の搬出口近傍に備えてある回収部１６１に回収される。積載部材２１は、そのまま鉛直方向を向いた状態のまま、加熱炉下部を移動し、再度加熱炉の搬入口１５へ接近した時点では、搬送ベルト１２の搬送方向とは反対の方向へ傾斜した状態となっている。そこで、転換レバー２２等を搬送ベルト１２の搬送方向に移動させることにより、積載部材２１を搬送ベルト１２の搬送方向に対して斜め前方に傾斜させ、ストッパー２１４により搬送方向に対して斜め前方に３０度前後傾斜した状態へと移行させる。
【００５６】
本実施の形態３でも、ニッケル製の金網をベルト状に加工し、積載部材２１の積載面を山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成しているが、実施の形態１及び２と同様、特にこれに限定されるものではなく、チップ状の電子部品２０が抜け落ちることなく、雰囲気ガスのみが流通する大きさの貫通孔を有していれば良いので、例えば０．６ｍｍ×０．３ｍｍ程度の複数の貫通孔を有する金属板を、山折り、谷折りを交互に繰り返して蛇腹状に折り返してベルト状に加工しても良い。
【００５７】
以上のように本実施の形態３によれば、積載部材２１の積載面が山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成されているので、単位時間当たりに処理されるチップ状の電子部品２０の数を増加させることができ、通気性も良いので雰囲気ガスを均質に当てることで、効率良く比較的短時間で脱バインダ処理、焼成処理等を実行することが可能となる。さらに、網状の積載部材２１の一端が回動することが可能に複数取り付けられているので、ローラ１１の回転による搬送ベルト１２の移動に伴って、積載部材２１が回動し、積載されているチップ状の電子部品２０を自動的に回収することが可能となる。
【００５８】
なお、上述した実施の形態１乃至３は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更することができることは言うまでもない。例えば、折り返し方向を含む縦断面において、隣接する二つの積載面がそれぞれ二等辺三角形（又は正三角形）をなすように形成されていることに限定されるものではなく、台形状、あるいは台形状と三角形状とを組み合わせた形状をなすように形成されていても良い。
【００５９】
また、実施の形態２で積載ベルト１３の上方に搭載する積載治具１７は、底部に図示しない補強材を備え、該補強材をスペーサとして機能させることにより、積載ベルト１３と積載治具１７との間の空間を雰囲気ガスを流通させることが可能な流路としても良い。
【符号の説明】
【００６０】
１１  ローラ
１２  搬送ベルト
１３  積載ベルト
１４  ガス噴出口
１７  積載治具
２０  チップ状の電子部品
２１  積載部材
１３１、１７１、２１１  山折部の頂部
１３２、１７２、２１２  谷折部の頂部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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