(57)【要約】【課題】移動速度を適切に制御し、安価で制御が簡易な検査装置および検査方法を提供すること。【解決手段】検査装置は、予め定められた規則に基づいて動作する駆動部と、検査対象であるワークが設置される設置部と、前記駆動部によって撮影部または前記設置部の一方または両方を移動させる機構と、前記撮影部が撮影するタイミングで前記機構の移動速度を最大速度よりも減速させるように、前記駆動部の駆動速度を制御する制御部と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め定められた規則に基づいて動作する駆動部と、
検査対象であるワークが設置される設置部と、
前記駆動部によって撮影部または前記設置部の一方または両方を移動させる機構と、
前記撮影部が撮影するタイミングで前記機構の移動速度を最大速度よりも減速させるように、前記駆動部の駆動速度を制御する制御部と、
を備える検査装置。
【請求項２】
前記制御部は、パルスによって前記駆動部を制御する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記撮影部の露光時間に基づいて、前記駆動部の駆動速度を制御する、
請求項１または請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記ワークを撮影する撮影部をさらに備える、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記ワークの一端から前記駆動部の駆動速度を制御し、前記ワークの他端では、前記駆動部を停止させる、
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記ワークの種類によって前記駆動部における駆動速度を減速させる加速度を変更する、
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記ワークを検査する前に、前記駆動部における駆動速度を減速させる加速度を決定し、決定した前記加速度を、前記ワークを検査するときの前記加速度として前記駆動部の駆動速度を制御する、
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記駆動部は、ステッピングモーターである、
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項９】
予め定められた規則に基づいて動作する駆動によって撮影部または検査対象であるワークが設置される設置部の一方または両方を移動させるステップと、
前記撮影部が撮影するタイミングで前記撮影部または前記設置部の一方または両方の移動速度を最大速度よりも減速させるように、前記駆動の駆動速度を制御するステップと、
を有する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドなどのワークの検査では、ワークの撮影と画像処理とが多用されている。例えば、特許文献１に記載の技術では、ワークを撮影するときに、ワークの移動速度を撮影間のワークの移動速度よりも低速にする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２０８６０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、ワークを移動させるモーターとして、サーボモーターを使用してフィードバック制御を行っている。このため、検査装置は、高価であり、また、制御が複雑であった。
【０００５】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、移動速度を適切に制御し、安価で制御が簡易な検査装置および検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、本発明の一態様は、予め定められた規則に基づいて動作する駆動部と、検査対象であるワークが設置される設置部と、前記駆動部によって撮影部または前記設置部の一方または両方を移動させる機構と、前記撮影部が撮影するタイミングで前記機構の移動速度を最大速度よりも減速させるように、前記駆動部の駆動速度を制御する制御部と、を備える検査装置である。
この構成によれば、検査装置は、予め定められた規則に基づいて動作する駆動部を用いて、ワークの移動時よりも低速でワークを移動させながらワークの移動を停止することなく、ワークの撮影をすることができ、検査対象のワークに対して撮像部のフォーカスが調整された状態で当該ワークを撮影することができる。
【０００７】
また、本発明の一態様は、前記制御部は、パルスによって前記駆動部を制御する、検査装置である。
この構成によれば、検査装置は、パルスによって、駆動部を制御することから安価であり、かつ駆動部の制御が簡易な検査装置および検査方法を提供することができる。
【０００８】
また、本発明の一態様は、前記制御部は、前記撮影部の露光時間に基づいて、前記駆動部の駆動速度を制御する、検査装置である。
この構成によれば、検査装置は、撮像部の露光時間によって駆動速度を制御するため、撮像部のフォーカスが調整された状態でワークを撮影することができる。
【０００９】
また、本発明の一態様は、前記ワークを撮影する撮影部をさらに備える、検査装置である。
この構成によれば、検査装置は、ワークの移動時よりも低速でワークを移動させながらワークの移動を停止することなく、検査対象のワークに対して撮像部のフォーカスが調整された状態でワークを検査するための画像を撮影することができる。
【００１０】
また、本発明の一態様は、前記制御部は、前記ワークの一端から前記駆動部の駆動速度を制御し、前記ワークの他端では、前記駆動部を停止させる、検査装置である。
この構成によれば、検査装置は、ワークの検査をワークの一端から駆動部を連続的に駆動させて実施し、ワークの他端で駆動部の駆動を停止させることができる。
【００１１】
また、本発明の一態様は、前記制御部は、前記ワークの種類によって前記駆動部における駆動速度を減速させる加速度を変更する、検査装置である。
この構成によれば、検査装置は、ワークの種類によって、撮影部が撮影する場合の減速させる加速度を変更することができるため、ワークの種類に応じた駆動部の駆動速度に制御することができる。
【００１２】
また、本発明の一態様は、前記制御部は、前記ワークを検査する前に、前記駆動部における駆動速度を減速させる加速度を決定し、決定した前記加速度を、前記ワークを検査するときの前記加速度として前記駆動部の駆動速度を制御する、検査装置である。
この構成によれば、検査装置は、事前検査として、ワークの種類に応じた減速させる加速度を決定することができるため、撮影部が撮影するときの駆動部の駆動即とを制御することができる。
【００１３】
また、本発明の一態様は、前記駆動部は、ステッピングモーターである、検査装置である。
この構成によれば、検査装置は、パルスによって、駆動部を制御することから安価であり、かつ駆動部の制御が簡易な検査装置および検査方法を提供することができる。
【００１４】
また、本発明の一態様は、予め定められた規則に基づいて動作する駆動によって撮影部または検査対象であるワークが設置される設置部の一方または両方を移動させるステップと、前記撮影部が撮影するタイミングで前記撮影部または前記設置部の一方または両方の移動速度を最大速度よりも減速させるように、前記駆動の駆動速度を制御するステップと、を有する検査方法である。
この構成によれば、検査装置は、最大速度よりも低速になったときに撮影部がワークを撮影することができるため、ワークの移動を停止することなく、撮像部のフォーカスが検査対象のワークに調整された状態で当該ワークを撮影することができる。
【００１５】
この発明によれば、検査装置は、予め定められた規則に基づいて動作する駆動部を用いて、ワークの移動時よりも低速でワークを移動させながらワークの移動を停止することなく、ワークの撮影をすることができ、検査対象のワークに対して撮像部のフォーカスが調整された状態で当該ワークを撮影することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係る検査装置の構成の一例を示す構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係る検査装置の機能構成の一例を示す概略ブロック図である。
【図３】本発明の実施形態に係る検査装置の処理を説明する説明図である。
【図４】本発明の実施形態に係る検査装置の処理と当該処理のタイミングとを説明する説明図である。
【図５】本発明の実施形態に係る検査装置の処理のタイミングと指示タイミングとを説明する説明図である。
【図６】本発明の実施形態に係る検査装置の処理の一例を示すフローチャートである。
【図７】本発明の実施形態に係る検査装置の処理のタイミングと比較例の検査装置の処理タイミングとを説明する説明図である。
【図８】本発明の実施形態に係る検査装置の検査時間と比較例の検査装置の検査時間とを説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
（実施形態）
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳しく説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る検査装置１００の構成の一例を示す構成図である。
検査装置１００は、パーソナルコンピューター（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ：ＰＣ）２００を備え、当該パーソナルコンピューター２００によって制御される。また、検査装置１００は、検査カメラ１０１と、アライメントカメラ１０２と、落射照明ＲＳと、ＸステージＳＴＸと、ＹステージＳＴＹと、ＺステージＳＴＺと、照明部３００と、を備える。
【００１８】
検査カメラ１０１とアライメントカメラ１０２のそれぞれは、検査装置１００のＺ軸方向に移動するＺステージＳＴＺに設置される。ＺステージＳＴＺは、予め定められた規則に基づいて動作するＺ駆動部によって駆動する。例えば、Ｚ駆動部は、ステッピングモーターである。ステッピングモーターは、パルスによって制御されるモーターである。本実施形態では、パーソナルコンピューター２００は、Ｚ駆動部についてフィードバック制御を行わない。
【００１９】
検査装置１００の検査カメラ１０１の下方には、検査装置１００のＸ軸方向に移動するＸステージＳＴＸが設置される。ＸステージＳＴＸには、検査装置１００のＹ軸方向に移動するＹステージＳＴＹが設置される。ＹステージＳＴＹには、検査対象であるワークＷが載せられる。なお、以下の説明においてＸステージＳＴＸとＹステージＳＴＹとを総称してＸＹステージと称する。
【００２０】
ワークＷは、検査対象のことであり、例えば、ウェハーである。ウェハーには、例えば、インクジェットノズルプレートのように微小な穴が開けられていることがある。ワークＷは、ロボットや人によって、検査を開始するときにＹステージＳＴＹに設置され、検査が終了すると当該ＹステージＳＴＹから除去される。
ＸステージＳＴＸの平面上の所定の位置には、開口部が設けられ、当該開口部に照明部３００が配置されている。
【００２１】
検査カメラ１０１は、レンズの倍率がアライメントカメラ１０２よりも高いカメラである。検査カメラ１０１は、ＸステージＳＴＸに設置されたワークＷを検査対象として撮影する。検査カメラ１０１は、撮影した画像を表す画像信号をパーソナルコンピューター２００に出力する。
アライメントカメラ１０２は、レンズの倍率が検査カメラ１０１よりも低いカメラである。アライメントカメラ１０２は、ＸＹステージ上におけるワークＷの検査位置を確認するためのカメラである。アライメントカメラ１０２は、撮影した画像を表す画像信号をパーソナルコンピューター２００に出力する。
【００２２】
落射照明ＲＳは、検査装置１００のＺステージＳＴＺ側からＸＹステージ側に向けて照らす照明であり、ＸＹステージに設置されたワークＷを照明する。
照明部３００は、ワークＷの下側からワークＷを照らす照明である。
【００２３】
図２は、本発明の実施形態に係る検査装置１００の機能構成の一例を示す概略ブロック図である。
検査装置１００は、制御部１１０と、パルス発生部１２０と、グラバー部１６０と、検査カメラ１０１と、ＸＹ駆動部１８０と、を備える。制御部１１０は、カウンタ部１３０と、記憶部１４０と、判定部１５０と、を備える。
ここで、制御部１１０と、パルス発生部１２０と、グラバー部１６０と、ＸＹ駆動部１８０は、パーソナルコンピューター２００に備えられている。また、図２では、検査装置１００について、図示した構成部以外の構成部について図示を省略している。
【００２４】
制御部１１０は、ワークＷを検査するときに、ワークＷの検査を開始することを表す指示信号をパルス発生部１２０に出力する。制御部１１０のカウンタ部１３０は、パルス発生部１２０から入力されるパルスの数をカウントし、カウントしたパルスの数と所定値に関する情報とを比較し、比較結果に基づいて、ＸＹ駆動部１８０の駆動を制御する指示信号をＸＹ駆動部１８０に出力する。また、制御部１１０の判定部１５０は、ＸＹ駆動部１８０に指示信号を出力してから所定時間経過すると、グラバー部１６０に画像の取得を指示する取得指示信号を出力する。また、制御部１１０は、パルスの数と所定値に関する情報とを比較し、比較結果に基づいて、指示信号をＸＹ駆動部１８０に出力し、リセット信号をカウンタ部１３０に出力する。
【００２５】
パルス発生部１２０は、制御部１１０から指示信号が入力されると、所定の周期でパルスを発生させる。そして、パルス発生部１２０は、発生させたパルスをカウンタ部１３０に出力する。
グラバー部１６０は、制御部１１０の判定部１５０から取得指示信号が入力されると、ワークＷを撮影させる撮影指示信号を検査カメラ１０１に出力する。また、グラバー部１６０は、検査カメラ１０１から入力された撮影画像を表す画像信号が入力されると、当該画像信号に対して、各種の画像処理を行う。
【００２６】
検査カメラ１０１は、グラバー部１６０から撮影指示信号が入力されると画像を撮影し、撮影した画像を表す画像信号をグラバー部１６０に出力する。
ＸＹ駆動部１８０は、撮影時に、予め定められた規則に基づいて駆動させられて、ＸステージＳＴＸおよびＹステージＳＴＹを移動させる。例えば、ＸＹ駆動部１８０は、ステッピングモーターである。ＸＹ駆動部１８０は、制御部１１０から入力される指示信号によって駆動が制御され、当該駆動によってＸステージＳＴＸおよびＹステージＳＴＹがワークを移動させる。本実施形態では、制御部１１０は、ＸＹ駆動部１８０について、予め定められた規則に基づいて制御を行い、フィードバック制御は行わない。
【００２７】
より詳細に、制御部１１０について説明する。
カウンタ部１３０は、パルス発生部１２０からパルスが入力されると、入力されたパルスの数をカウントする。カウンタ部１３０は、カウントしたパルス数を表すカウント信号を判定部１５０に出力する。また、カウンタ部１３０は、判定部１５０から入力されるカウンタをリセットすることを指示するリセット信号に基づいてパルス数のカウントをリセットして、カウントされているパルスの数を０に初期化する。
【００２８】
記憶部１４０は、第１所定値（所定の第１の値とも称する）の情報と、第２所定値（所定の第２の値とも称する）の情報と、を所定値に関する情報として記憶する。当該所定値に関する情報は、固定された情報として記憶部１４０が記憶してもよく、または、ユーザーによって可変に設定される情報として記憶部１４０が記憶してもよい。
また、記憶部１４０は、制御部１１０がＸＹ駆動部１８０の駆動を制御する際の波形を表す波形情報を記憶する。
【００２９】
判定部１５０は、カウンタ部１３０からカウント信号が入力されると、記憶部１４０から所定値に関する情報を読み出し、カウント信号が表すパルス数と所定値に関する情報とを比較して指示信号を出力するタイミングを判定し、判定結果に基づいてＸＹ駆動部１８０に指示信号を出力する。具体的には、判定部１５０は、パルス数が所定の第１の値未満から当該第１の値になったか否かを判定し、パルス数が所定の第１の値未満から当該第１の値になった場合、ＸＹ駆動部１８０に減速させることを指示する減速命令を指示信号として出力する。そして、判定部１５０は、指示信号を出力してから所定時間が経過すると、グラバー部１６０に取得指示信号を出力する。また、判定部１５０は、パルス数が、所定の第１の値よりも大きい所定の第２の値になったか否かを判定し、パルス数が所定の第２の値になった場合、ＸＹ駆動部１８０に加速させることを指示する加速命令を指示信号として出力する。そして、判定部１５０は、加速命令を表す指示信号をＸＹ駆動部１８０に出力すると同時に、カウンタ部１３０にリセット信号を出力する。
【００３０】
図３は、本発明の実施形態に係る検査装置１００の処理を説明する説明図である。
ワークＷの形状は、例えば四角形の平面を有する板状である。検査装置１００では、ワークＷを検査するときに、検査カメラ１０１によりワークＷを複数の小領域ごとに撮影する。例えば、ワークＷは、小領域Ａ１１、Ａ１２、Ａ１３、・・・、ＡＮ６、ＡＮ７のように区分けして撮影される。例えば、小領域Ａ２２は、当該小領域Ａ２２の周囲の小領域Ａ１１、Ａ１２、Ａ１３、Ａ２１、Ａ２３、Ａ３１、Ａ３２、Ａ３３のそれぞれと一部が重複する領域である。つまり、ワークＷの検査は、ワークＷの全体の領域を複数の小領域であって各小領域が隣接する小領域と一部重複する複数の行および複数の列に並んだ小領域に区分けして、実施される。この小領域のサイズは、例えば、検査カメラ１０１の視野サイズである。
【００３１】
検査装置１００は、まず、ワークＷの最上部の行の一端部から当該行の他端部に向けて連続して検査を実施する。この検査を実施するために、検査装置１００は、検査カメラ１０１の位置を固定して、ワークＷを他端部から一端部に向けて停止することなく移動させる。そして、検査装置１００は、検査カメラ１０１により一端部の小領域が撮影される位置から他端部の小領域が撮影される位置にワークＷが到達すると、ワークＷの移動を停止し、検査を開始したワークＷの一端部の角とは対角に位置する角に向けてワークＷを小領域分移動させた（つまり、１つの列の分ずらすように移動させた）後、ワークＷの次の下の行の他端部から一端部に向けて連続して検査を実施する。この場合には、検査装置１００は、検査カメラ１０１の位置を固定して、ワークＷを一端部から他端部に向けて停止することなく移動させる。さらに、区分けされた小領域が３行以上存在する場合には、検査装置１００は、上記と同様に、３行目以降の小領域についても順に検査を実施する。
【００３２】
図３の例では、検査装置１００は、まず、ワークＷの最上部の行の左端部の小領域Ａ１１から、それに対して右側へ続く小領域Ａ１２、小領域Ａ１３、小領域Ａ１４、小領域Ａ１５、小領域Ａ１６、小領域Ａ１７の順に、ワークＷの一端部である左端部から他端部である右端部に向けて小領域毎に連続して検査（１行目の検査）を実施する。そして、検査装置１００は、ワークＷの移動を停止した後、ワークＷを上の方向に１列分移動させて、ワークＷの他端部である右端部から一端部である左端部に向けて小領域毎に連続して検査（２行目の検査）を実施する。さらに、検査装置１００は、同様にして、３行目以降の小領域の検査を実施し、Ｎ行目（Ｎは１以上の整数）までの小領域の検査を実施する。
【００３３】
図４は、本発明の実施形態に係る検査装置１００の処理のタイミングを説明する説明図である。
ここでは、図３に示すワークＷの最上行の小領域Ａ１１、Ａ１２、Ａ１３、Ａ１４、Ａ１５、Ａ１６、Ａ１７のグループを検査グループＧＡ１として、当該検査グループＧＡ１におけるワークＷを移動させるＸＹステージの移動速度と検査カメラ１０１のシャッタータイミングとの関係について説明する。なお、ワークＷの２行目以降の小領域のグループについても同様である。
【００３４】
図４には、図３に示したものと同様なワークＷと、検査カメラ１０１のシャッタータイミングＴＰおよびワークＷを移動させる移動速度ＴＶのタイミングの一例を示してある。
検査カメラ１０１は、グラバー部１６０から撮影指示信号が入力されると、ワークＷの小領域の画像を撮影する。例えば、検査カメラ１０１は、時刻ｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４、ｔ５、ｔ６、ｔ７のそれぞれのタイミングにおいて撮影指示信号が入力されると、それをシャッタータイミングとして、画像を撮影する。これにより、検査カメラ１０１は、それぞれのシャッタータイミングに対応したワークＷ上の位置（行および列）の小領域の画像を撮影する。
【００３５】
このような撮影を実現するために、ＸＹ駆動部１８０は、まず、時刻ｔ０において制御部１１０から指示信号（開始の指示信号）が入力されると、ＸＹステージの移動を初速度ｖ０で開始することで、ワークＷの移動を初速度ｖ０で開始する。そして、ＸＹ駆動部１８０は、ＸＹステージの移動速度（ワークＷの移動速度）が最大速度ｖＨに到到達するまでＸＹステージの移動速度を徐々に加速させる。その後、ＸＹ駆動部１８０は、制御部１１０から指示信号（減速の指示信号）が入力されるまで、ワークＷの移動速度を最大速度ｖＨに維持し、制御部１１０から指示信号（減速の指示信号）が入力されるとＸＹステージの移動速度を減速させ、これにより、ワークＷの移動速度を減速させる。
【００３６】
例えば、ＸＹ駆動部１８０は、制御部１１０による指示信号（減速の指示信号）によって、時刻ｔ１において最大速度ｖＨよりも遅い速度ｖＬとなるように駆動速度（本実施形態では、モーターの駆動速度）が制御される。また、ＸＹ駆動部１８０は、時刻ｔ１において制御部１１０から指示信号（加速の指示信号）が入力されると、ＸＹステージの移動速度を加速させ、これにより、ワークＷの移動速度を加速させる。そして、ＸＹ駆動部１８０は、ＸＹステージの移動速度（ワークＷの移動速度）が最大速度ｖＨに到達すると、この最大速度ｖＨを維持する。その後、ＸＹ駆動部１８０は、次の減速の制御タイミングで、制御部１１０から指示信号（減速の指示信号）が入力されると、ＸＹステージの移動速度を減速させ、これにより、ワークＷの移動速度を減速させる。そして、ＸＹ駆動部１８０は、次の加速の制御タイミング（時刻ｔ２のタイミング）で、制御部１１０から指示信号（加速の指示信号）が入力されると、ＸＹステージの移動速度を加速させ、これにより、ワークＷの移動速度を加速させる。以降も同様に、ＸＹ駆動部１８０は、制御部１１０から入力される指示信号に応じて、減速や加速や一定速度の維持を繰り返して実施する。
【００３７】
図５を参照して、より詳細に制御部１１０およびＸＹ駆動部１８０によるワークＷの移動速度の制御について説明する。
図５は、本発明の実施形態に係る検査装置１００における指示タイミングを説明する説明図である。
制御部１１０は、時刻ｔ０においてＸＹ駆動部１８０に指示信号（開始の指示信号）を出力して、駆動部１８０の駆動を開始させる。これにより、ＸＹ駆動部１８０は、例えば、初速度ｖ０から予め定められた最大速度ｖＨまでＸＹステージの移動速度を加速し、最大速度ｖＨに到達すると、そのままの移動速度を維持する。
ここで、制御部１１０は、駆動部１８０の駆動を開始させるときに、パルス発生部１２０に指示信号（パルス発生開始の指示信号）を出力して、パルス発生部１２０により所定の周期でパルスを発生させる。これにより、パルス発生部１２０で発生されるパルスがカウンタ部１３０に出力される。
カウンタ部１３０は、パルス発生部１２０から入力されたパルスの数を表すカウント信号を判定部１５０に出力する。判定部１５０は、記憶部１４０に記憶された所定値に関する情報を読み出し、カウンタ部１３０から入力されたカウント信号と所定値に関する情報とに基づいて、指示信号を出力するタイミングを判定し、判定結果に基づいてＸＹ駆動部１８０に指示信号を出力する。
【００３８】
具体的には、判定部１５０は、パルス数が第１所定値となったか否かを判定し、パルス数が第１所定値となったと判定した場合には、減速命令を表す指示信号をＸＹ駆動部１８０に出力する。ここで、パルス数が０から増加して第１所定値に到達するタイミングが、パルスの発生の開始タイミングｔ６０から時間が経過して時刻ｔ６１に到達するタイミングに一致するように、予め設定される規則が定められている。
【００３９】
また、判定部１５０は、減速命令を表す指示信号を出力した後、パルス数が第２所定値となったか否かを判定し、パルス数が第２所定値となったと判定した場合には、加速命令を表す指示信号をＸＹ駆動部１８０に出力し、同時に、カウンタ部１３０におけるパルス数のカウントをリセットさせる。ここで、パルス数が第１所定値から増加して第２所定値に到達するタイミングが、時刻ｔ６１から時間が経過して時刻ｔ６２に到達するタイミングに一致するように、予め設定される規則が定められている。
【００４０】
上記のような判定部１５０からの指示信号に応じて、ＸＹ駆動部１８０は、減速命令を表す指示信号が入力された時刻ｔ６１において、ＸＹステージの移動速度を最大速度ｖＨから所定の加速度によって速度ｖＬに到達するまで減速する。また、ＸＹ駆動部１８０は、加速命令を表す指示信号が入力された時刻ｔ６２において、ＸＹステージの移動速度を速度ｖＬから所定の加速度によって最大速度ｖＨに到達するまで加速する。ＸＹステージの移動速度が最大速度ｖＨに到達すると、ＸＹ駆動部１８０は、この最大速度ｖＨを次の指示信号が入力されるまで維持する。以降も同様に、ＸＹ駆動部１８０は、減速命令および加速命令を表す指示信号に基づいて、駆動速度の減速および加速を繰り返して実施する。
【００４１】
図６は、本発明の実施形態に係る検査装置１００の処理の一例を示すフローチャートである。
ステップＳＴ１０１において、パルス発生部１２０は、制御部１１０からの指示信号に応じて所定の周期でパルスを発生させ、発生させたパルスをカウンタ部１３０に出力する。これにより、カウンタ部１３０は、パルス発生部１２０から入力されたパルスの数のカウントを開始する。
ステップＳＴ１０２において、判定部１５０は、記憶部１４０が記憶する所定値に関する情報を読み出し、カウンタ部１３０がカウントしたパルス数が第１所定値となったか否かを判定する。判定部１５０は、パルス数が第１所定値となったと判定した場合には、ステップＳＴ１０３に進む。一方、判定部１５０は、パルス数が第１所定値となっていないと判定した場合には、ステップＳＴ１０２の判定を繰り返して行う。
【００４２】
ステップＳＴ１０３において、判定部１５０は、減速命令を表す指示信号をＸＹ駆動部１８０に出力する。
ステップＳＴ１０４において、判定部１５０は、減速命令を表す指示信号を出力してから所定時間が経過すると、グラバー部１６０に取得指示信号を出力する。グラバー部１６０は、判定部１５０から取得指示信号が入力されると、撮影指示信号を検査カメラ１０１に出力する。検査カメラ１０１は、撮影指示信号が入力されると画像を撮影し、これにより、そのシャッタータイミングにおけるワークＷの小領域を撮影する。グラバー部１６０は、検査カメラ１０１が撮影した撮影画像を表す画像信号を取得する。
【００４３】
ステップＳＴ１０５において、判定部１５０は、記憶部１４０が記憶する所定値に関する情報を読み出し、カウンタ部１３０がカウントしたパルス数が第２所定値となったか否かを判定する。判定部１５０は、パルス数が第２所定値となったと判定した場合には、ステップＳＴ１０６に進む。一方、判定部１５０は、パルス数が第２所定値となっていないと判定した場合には、ステップＳＴ１０５の判定を繰り返して行う。
ステップＳＴ１０６において、判定部１５０は、加速命令を表す指示信号をＸＹ駆動部１８０に出力する。
ステップＳＴ１０７において、判定部１５０は、加速命令を表す指示信号を出力し、同時にカウンタ部１３０におけるパルス数のカウントをリセットさせる。そして、ステップＳＴ１０１に戻る。
【００４４】
図７（Ａ）〜図７（Ｃ）は、本発明の実施形態に係る検査装置１００の処理のタイミングと比較例の検査装置の処理タイミングとを説明する説明図である。
具体的には、図７（Ａ）は、本実施形態と比較する第１の比較例におけるシャッタータイミングと移動速度との関係を説明する説明図である。図７（Ｂ）は、本実施形態と比較する第２の比較例におけるシャッタータイミングと移動速度との関係を説明する説明図である。図７（Ｃ）は、本実施形態におけるシャッタータイミングと移動速度との関係を説明する説明図である。
【００４５】
図７（Ａ）において、移動速度は、移動開始とともに所定の加速度で加速され、所定の移動速度に到達すると、この移動速度が維持され続ける。このとき、カメラは、所定の移動速度で移動するＸＹステージに設置されたワークＷを所定のシャッタータイミングで撮影する。この第１の比較例では、ワークＷの移動速度が一定であるため、カメラの撮影画像がブレないように、高速で撮影可能なカメラ（シャッターの露光時間を短時間とすることが可能なカメラ）が用いられる必要がある。
【００４６】
図７（Ｂ）において、移動速度は、移動開始とともに所定の加速度で加速され、所定の移動速度に到達すると、この移動速度が維持され続ける。カメラは、所定の移動速度で移動するＸＹステージに設置されたワークＷを所定のシャッタータイミングで撮影する。このとき、カメラは、シャッターの露光時間よりも短い時間でフラッシュをワークＷに照射して撮影する。この第２の比較例では、ワークＷの移動速度が一定であるが、露光時間よりも短い時間でフラッシュを照射する必要があり、フラッシュの光強度が高い必要がある。
【００４７】
図７（Ｃ）において、移動速度は、移動開始とともに所定の加速度で加速され、所定の移動速度（最大速度ｖＨ）に到達すると、いったん、この移動速度が維持され続ける。その後、減速命令を表す指示信号によって、移動速度は、減速されて、最大速度ｖＨよりも遅い速度ｖＬとなる。その後、加速命令を表す指示信号によって、移動速度は、最大速度ｖＨまで加速され、最大速度ｖＨに到達する。検査カメラ１０１は、移動速度が最大速度ｖＨより遅い速度ｖＬになったときにＸＹステージに設置されたワークＷを撮影するようなシャッタータイミングで撮影する。このような本実施形態では、シャッタータイミングや露光時間によってワークＷの移動速度を制御して、ワークＷの移動速度をゼロにせずに加速や減速を行って最大速度ｖＨとそれよりも遅い速度ｖＬとの間で変化させる。これにより、検査装置１００は、例えば、図７（Ａ）のように高速で撮影可能なカメラが用いられる必要をなくし、図７（Ｂ）のように強力なフラッシュが用いられる必要をなくして、ワークＷを停止させることなく各小領域を撮影することができる。
本実施形態の検査装置１００では、ワークＷを撮影するタイミングにおける移動速度を、ワークＷを撮影しないタイミングにおける移動速度よりも低速にするため、結果として図７（Ａ）や図７（Ｂ）のように常に高速でワークＷが移動される構成ではないが、カメラの性能によらずに、ワークＷを停止させずに移動させたままでの撮影を実現することができる。
なお、本実施形態において、図７（Ｂ）のような露光時間とフラッシュタイミングを実現可能なフラッシュが用いられてもよい。
【００４８】
図８（Ａ）および図８（Ｂ）は、本発明の実施形態に係る検査装置１００の検査時間と比較例の検査装置の検査時間とを説明する説明図である。
具体的には、図８（Ａ）は、ワークＷを移動させて撮影するときに、ワークＷの撮影時にワークＷを停止させて撮影する場合の検査時間の一例である。図８（Ｂ）は、本実施形態に係るワークＷを移動させて撮影するときに、ワークＷの撮影時の移動速度を低速に制御し、ワークＷの撮影時以外の移動速度をワークＷの撮影時よりも高速に制御する場合の検査時間の一例である。
【００４９】
図８（Ａ）では、検査装置は、時刻ｔ４０においてワークの移動を開始し、移動速度を加速する。時刻ｔ４１において、移動速度は、所定の移動速度に到達する。また、検査装置は、移動速度が所定の移動速度に到達すると、当該移動速度を時刻ｔ４２まで維持し、時刻ｔ４２から所定の加速度で減速を開始する。そして、検査装置は、時刻ｔ４３において、ワークの移動を停止する。そのまま、検査装置は、ワークの移動を所定時間停止してワークを撮影し、時刻ｔ４４において、再度、ワークの移動を開始する。そして、検査装置は、ワークの移動速度を加速し、時刻ｔ４５において、所定の移動速度に到達すると、当該移動速度を時刻ｔ４６まで維持する。その後、検査装置は、時刻ｔ４６から所定の加速度によって減速を開始し、時刻ｔ４７においてワークの移動を停止する。
【００５０】
例えば、時刻ｔ４０から時刻ｔ４１までの時間、すなわちワークの移動開始時から所定の移動速度に到達するまでの時間は、０．０１５ｓである。また、時刻ｔ４１から時刻ｔ４２までの時間、すなわち、所定の移動速度を維持する時間は、０．０３５ｓである。また、時刻ｔ４２から時刻ｔ４３までの時間、すなわち、所定の移動速度から減速を開始して、ワークの移動を停止するまでの時間は、０．０１５ｓである。また、時刻ｔ４３から時刻ｔ４４までの時間、すなわち、ワークの移動を停止している時間は、０．０１５ｓである。
また、時刻ｔ４４から時刻ｔ４５までの時間、すなわち、ワークの移動を再度開始してから所定の移動速度に到達するまでの時間は、０．０１５ｓである。また、時刻ｔ４５から時刻ｔ４６までの時間、すなわち、所定の移動速度を再度維持する時間は、０．０３５ｓである。また、時刻ｔ４６から時刻ｔ４７までの時間、すなわち、所定の移動速度から減速を開始してワークの移動を再度停止するまでの時間は、０．０１５ｓである。また、時刻ｔ４７から時刻ｔ４８までの時間、すなわち、ワークの移動を再度停止している時間は、０．０１５ｓである。また、所定の移動速度は、３０ｍｍ／ｓである。
【００５１】
図８（Ｂ）では、検査装置１００は、時刻ｔ５０においてワークの移動を開始し、移動速度を加速する。時刻ｔ５１において、移動速度は、所定の移動速度に到達する。また、検査装置１００は、移動速度が所定の移動速度に到達すると、当該移動速度を時刻ｔ５２まで維持し、時刻ｔ５２から所定の加速度で減速を開始する。そして、時刻ｔ５３において、移動速度は、所定の移動速度よりも遅い所定の速度に到達する。そして、検査装置１００は、時刻ｔ５３において、再度、ワークの移動速度を加速し、時刻ｔ５４において、移動速度が所定移動速度に到達すると、当該移動速度を時刻ｔ５５まで維持する。そして、検査装置１００は、時刻ｔ５５から所定の加速度によって減速を開始する。移動速度は、時刻ｔ５６で所定の移動速度よりも遅い所定の速度に到達する。
【００５２】
例えば、時刻ｔ５０から時刻ｔ５１までの時間、すなわちワークの移動開始時から所定の移動速度に到達するまでの時間は、０．０１５ｓである。また、時刻ｔ５１から時刻ｔ５２までの時間、すなわち、所定の移動速度を維持する時間は、０．０３９１ｓである。また、時刻ｔ５２から時刻ｔ５３までの時間、すなわち、所定の移動速度から減速を開始して、所定の移動速度よりも遅い所定の速度に到達するまでの時間は、０．０１０ｓである。また、時刻ｔ５３から時刻ｔ５４までの時間、すなわち、検査装置１００がワークの移動を再度開始してから所定の移動速度に到達するまでの時間は、０．０１０ｓである。また、時刻ｔ５４から時刻ｔ５５までの時間、すなわち、所定の移動速度を再度維持する時間は、０．０４３３３ｓである。また、時刻ｔ５５から時刻ｔ５６までの時間、すなわち、所定の移動速度から減速を開始して、所定の移動速度よりも遅い所定の速度に再度到達するまでの時間は、０．０１０ｓである。また、所定の移動速度は、３０ｍｍ／ｓである。
【００５３】
このように、図８（Ａ）における検査時間は、時刻ｔ４０から時刻ｔ４８までの時間、すなわち１６０ｍｓかかるのに対し、図８（Ｂ）における検査時間は、時刻ｔ５０から時刻ｔ５６までの時間、すなわち１２７．４３ｍｓとなる。つまり、本実施形態の様に、ワークの移動を停止することなく検査する場合では、検査時間を短縮することができる。
【００５４】
このように、本実施形態によれば、検査装置１００は、予め定められた規則に基づいて動作する駆動部（ＸＹ駆動部１８０）と、検査対象であるワークが設置される設置部（ＸＹステージ）と、前記駆動部（ＸＹ駆動部１８０）によって撮影部（検査カメラ１０１）または前記設置部（ＸＹ駆動部１８０）の一方または両方を移動させる機構と、前記撮影部が撮影タイミングで前記機構の移動速度を最大速度よりも減速させるように、前記駆動部（ＸＹ駆動部１８０）の駆動速度を制御する制御部１１０と、を備える。
【００５５】
これにより、検査装置１００は、予め定められた規則に基づいて動作する駆動部（ＸＹ駆動部１８０）を用いて、ワークの移動時よりも低速でワークを移動させながらワークの移動を停止することなく、ワークの撮影をすることができ、検査対象のワークに対して撮像部のフォーカスが調整された状態で当該ワークを撮影することができる。
【００５６】
なお、上述した実施形態では、最大速度ｖＨよりも遅い速度ｖＬになったときにワークＷを撮影し、当該速度ｖＬから加速する一例について説明したが、撮影タイミングと、加速を開始するタイミングとが同じでなくてもよい。
なお、移動速度を減速させる加速度や移動速度を加速させる加速度を、ワークの重さによって、手動または自動で調整してもよい。
【００５７】
なお、ワークＷを検査するときに、移動速度や、移動速度を減速させる加速度や、移動速度を加速させる加速度を組み合わせて事前検査を行い、事前検査の結果に基づいて、移動速度における最大速度や、移動速度を減速させる加速度や、移動速度を加速させる加速度を決定してもよい。この場合、例えば、図３に示す検査グループＧＡ１とその下の行の検査グループとで異なる移動速度や、移動速度を減速させる加速度や、移動速度を加速させる加速度で事前検査を実行することも可能である。
【００５８】
なお、事前検査として、減速命令および加速命令の発生タイミングが異なるパターンである複数種類の制御パターンを用意し、検査装置１００においてそれぞれの制御パターンごとにその制御パターンにしたがったタイミングで減速命令および加速命令の指示信号を判定部１５０からＸＹ駆動部１８０に出力することで、複数種類の制御パターンについて検査を行い、検査装置１００やユーザーにより当該検査の結果の評価を行ってもよい。この場合、例えば、ワークＷごとに異なる制御パターンを用いて事前検査が行われてもよく、または、同一のワークＷにおける異なる行の検査グループごとに異なる制御パターンを用いて事前検査が行われてもよい。また、検査結果の評価は、任意の方法で行われてもよく、一例として、撮影された画像の焦点の合い具合、あるいは、撮影された画像に対してエッジ検出により検出したエッジの急峻具合が最も高い制御パターンを選択して使用することができる。事前検査と実際の検査とは、同一のワークＷについて行われてもよく、または、事前検査が実際に検査されるワークＷとは異なるワークＷについて行われてもよい。また、事前検査は、実際に検査されるそれぞれのワークＷごとに行われてもよく、または、実際に検査される複数のワークＷについて共通な１つ（または、２つ以上）のワークＷについて行われてもよい。
【００５９】
なお、上述した実施形態では、例えば、図３の様にワークＷの検査を、検査グループＧＡ１では左から右に、その下の検査グループでは、右から左に実行する一例を示したが、全ての検査グループにおいて同一の向き（左から右、または、右から左）に検査してもよい。また、このような左右方向の代わりに、上下方向が用いられてもよい。
なお、上述した実施形態では、検査カメラ１０１を固定してワークＷを設置したＸＹステージを移動させることで、検査カメラ１０１とワークＷとの相対的な位置関係を変化させる例を説明したが、これに代えて、例えば、ＸＹステージを固定して、検査カメラ１０１を移動させる構成が用いられてもよく、または、検査カメラ１０１とＸＹステージの両方を移動させる構成が用いられてもよく、さらに、検査カメラ１０１とワークＷとの相対的な位置関係を変化させる他の構成が用いられてもよい。
【００６０】
なお、上述した実施形態における検査装置１００の一部、または全部をコンピューターで実現するようにしてもよい。その場合、この制御機能を実現するためのプログラムをコンピューター読み取り可能な記憶媒体に記憶して、この記憶媒体に記憶されたプログラムをコンピューターシステムに読み込ませ、実行することによって実現してもよい。
【００６１】
なお、ここでいう「コンピューターシステム」とは、検査装置１００に内蔵されたコンピューターシステムであって、ＯＳや周辺機器などのハードウェアを含むものとする。また、「コンピューター読み取り可能な記憶媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭなどの可搬媒体、コンピューターシステムに内蔵されるハードディスクなどの記憶装置のことをいう。さらに「コンピューター読み取り可能な記憶媒体」とは、インターネットなどのネットワークや電話回線などの通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバーやクライアントとなるコンピューターシステム内部の揮発性メモリーのように、一定時間プログラムを保持しているものも含んでもよい。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよく、さらに前述した機能をコンピューターシステムにすでに記憶されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。
【００６２】
また、上述した実施形態における検査装置１００の一部、または全部を、ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）などの集積回路として実現してもよい。検査装置１００の各機能ブロックは個別にプロセッサー化してもよいし、一部、または全部を集積してプロセッサー化してもよい。また、集積回路化の手法はＬＳＩに限らず専用回路、または汎用プロセッサーで実現してもよい。また、半導体技術の進歩によりＬＳＩに代替する集積回路化の技術が出現した場合、当該技術による集積回路を用いてもよい。
【００６３】
以上、図面を参照してこの発明の一実施形態について詳しく説明してきたが、具体的な構成は上述のものに限られることはなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内において様々な設計変更などをすることが可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１００・・・検査装置、１０１・・・検査カメラ、１０２・・・アライメントカメラ、ＳＴＸ・・・Ｘステージ、ＳＴＹ・・・Ｙステージ、ＳＴＺ・・・Ｚステージ、Ｗ・・・ワーク、２００・・・パーソナルコンピューター、３００・・・照明部、ＲＳ・・・落射証明、１１０・・・制御部、１２０・・・パルス発生部、１３０・・・カウンタ部、１４０・・・記憶部、１５０・・・判定部、１６０・・・グラバー部、１８０・・・ＸＹ駆動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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