(57)【要約】      （修正有）【課題】洗浄処理部において金属薄板上からの処理液の排出を速やかに行えるようにすることで、レジストの剥離処理部の剥離液が次の処理部である洗浄処理部に持ち出される量を低減し、洗浄処理部においても剥離したレジストを金属薄板上から容易に排除することができる剥離装置を提供する。【解決手段】剥離処理部５の複数のストレートロール１を、入口に最も近いものを最も低い位置とし、順次高くなるように配置すると共に、洗浄処理部６のロールをクラウンロール２とし、複数のクラウンロール２を、入口に最も近いものを最も高い位置とし、順次低くなるように配置する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロールツウロール方式のフォトリソ工程で使用されるレジスト剥離装置であって、
レジストを剥離または剥離し易くするための剥離液による処理を行う剥離処理部と、
剥離処理部で処理されたレジストに洗浄液を噴出することにより、残留しているレジストを剥離し、且つ洗浄を行う洗浄処理部を備えてなり、
剥離処理部は、複数のストレートロールと剥離液を吐出するための剥離液吐出部を備えてなり、
洗浄処理部は、複数のクラウンロールと洗浄液を吐出するための洗浄液吐出部を備えてなり、
剥離処理部の入口に最も近いストレートロールは最も低い位置に設けられており、隣接するストレートロールは単調に、順次高い位置に設けられ、洗浄処理部に最も近いストレートロールが最も高い位置に設けられており、
洗浄処理部の入口に最も近いクラウンロールは最も高い位置に設けられており、隣接するクラウンロールは単調に、順次低い位置に設けられ、洗浄処理部の出口に最も近いクラウンロールが最も低い位置に設けられていることを特徴とするレジスト剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状の被加工物を巻取り方式でフォトリソグラフィを用いて製造する製造工程（フォトリソ工程）で使用するレジスト剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスに使用されるリードフレームなどの金属薄板の微細加工部品を製造する技術としてはフォトリソグラフィが用いられている。フォトリソグラフィとは、加工する金属薄板などに感光性レジスト層を形成し、それに加工するパターンに対応した露光を行ったのち現像することにより、エッチングマスクとしてのレジストパターンが形成される。
【０００３】
その様にして得られたレジストパターン付の金属薄板ごと熱処理し、レジストパターンと金属薄板との密着性を向上し、且つレジストパターンのエッチング液に対する耐久性を高めた後、塩化第二鉄液など、使用する金属薄板の材料に対応したエッチング液を使用したスプレーエッチングなどのエッチング技術を用いてエッチング加工を行う。
その後、レジストパターンをレジスト剥離装置にて金属薄板から剥離することにより金属薄板の微細加工品を製造している。
【０００４】
この金属薄板の微細加工を行う場合、金属薄板の枚葉を使用する枚葉方式の場合と、金属薄板をロール状に巻き取った金属ロールを使用するロールツウロール方式で行う場合がある。
ロールツウロール方式の場合、枚葉方式より処理液の金属薄板上からの排出が悪い傾向がある。例えば、枚葉式では現像装置や剥離装置などの処理装置の中で処理液が金属薄板上に噴出されたあと、金属薄板の四方に流れて行き、金属薄板上から排出される。しかしロールツウロール方式では帯状の金属薄板の平面と平行で流れ方向と直交する方向は、金属薄板の幅が、ある有限の値であるため、枚葉式と変わりはないが、金属薄板の流れ方向には、金属薄板が続いており、枚葉方式とは大きく状況が異なっており、枚葉式の場合より処理液が排出され難い状況がある。処理液を移動させる力が働くことによって処理液は金属薄板上で移動し排出されて行くのであるが、帯状の金属薄板の流れ方向にほぼ水平を保って移動する場合は、積極的に処理液を移動させる力は、処理液が吐出された時の運動エネルギーだけであるため、処理液は金属薄板上から十分に排出されず、滞留する傾向にある。
【０００５】
この処理液の金属薄板上からの排出を促すため、従来は金属薄板を単に水平に搬送しながら、処理液を金属薄板に向けて均一にスプレーし、次の洗浄処理部で水洗するというのが通常であるが、例えば特許文献１には、処理装置の中で、流れ方向に直交する平面内で基板を傾斜させて搬送する傾斜搬送に関する例が開示されている。この場合は、処理液の排出は金属薄板の平面に平行で流れ方向と直交する方向に促進される。ロールツウロール方式の場合でも同様であるが、処理液を次ぎの洗浄処理部に持ち出す量が枚葉式より多くなるため、更なる処理液を持ち出す量の低減が望まれている。
【０００６】
ロールツウロール方式の剥離装置の剥離処理部では、金属薄板上のレジストを剥離処理液であるアルカリ液で十分な処理時間を確保してレジストを膨潤させ、剥離する工程であり、剥離処理液（アルカリ液）が剥離処理部から持ち出される量を極力低減することが重要であるが、その次の工程である洗浄処理部では、金属薄板上に残留しているレジストを除去し剥離処理液（アルカリ液）を洗浄し除去することが重要であるため、金属薄板上からできるだけ速やかに処理液（洗浄処理部では水または純水など）が排出されることが望ましい。  
【０００７】
一方、微細化の進行に伴い、金属薄板を薄くする方向にあり、吐出する処理液やエアーの圧力を低減する必要に迫られているため、ますます剥離したレジストを金属薄板上から排除する能力が低下する傾向にあり、洗浄処理部では処理液ができるだけ速やかに金属薄板上から排出される手段が望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−１９３２６７号公報
【特許文献２】特開２００４−１２６３１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記の問題点に鑑み、本発明はロールツウロール方式の剥離装置において、従来の水平搬送方式の剥離装置に比べ、洗浄処理部において金属薄板上からの剥離処理液の排出を速やかに行えるようにすることで、レジストの剥離処理部の剥離液が次の処理部である洗浄処理部に持ち出される量を低減し、洗浄処理部においては剥離したレジストを金属薄板上から速やかに排除することができる剥離装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決する手段として、請求項１に記載の発明は、ロールツウロール方式のフォトリソ工程で使用されるレジスト剥離装置であって、
レジストを剥離または剥離し易くするための剥離液による処理を行う剥離処理部と、
剥離処理部で処理されたレジストに洗浄液を噴出することにより、残留しているレジストを剥離し、且つ洗浄を行う洗浄処理部を備えてなり、
剥離処理部は、複数のストレートロールと剥離液を吐出するための洗浄液吐出部を備えてなり、
洗浄処理部は、複数のクラウンロールと洗浄液を吐出するための剥離液吐出部を備えてなり、
剥離処理部の入口に最も近いストレートロールは最も低い位置に設けられており、隣接するストレートロールは単調に、順次高い位置に設けられ、洗浄処理部に最も近いストレートロールが最も高い位置に設けられており、
洗浄処理部の入口に最も近いクラウンロールは最も高い位置に設けられており、隣接するクラウンロールは単調に、順次低い位置に設けられ、洗浄処理部の出口に最も近いクラウンロールが最も低い位置に設けられていることを特徴とするレジスト剥離装置である。
【発明の効果】
【００１１】
レジストの剥離処理部の剥離液が次の処理部である洗浄処理部に持ち出される量を低減し、洗浄処理部においては剥離したレジストを金属薄板上から速やかに排除することができる剥離装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の剥離装置の一例を示す概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の実施形態について、図面に基づき説明する。
図１は、本発明の剥離装置の一例を示す概略断面図である。
本発明の剥離装置８は、フォトリソ工程を構成するレジスト塗布工程、露光工程、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程のうち、レジスト剥離工程で使用される剥離装置
であり、剥離処理部５と洗浄処理部６を備えており、その両者は剥離処理部と洗浄処理部の接続部７で接続されている。  
【００１４】
剥離処理部５は、その前段のエッチング装置から連続的に送られてくる帯状の金属薄板９を支持し流れ方向に搬送するためのストレートロール１とレジストパターンを膨潤、剥離するための剥離液であるアルカリ液を金属薄板上に均一に吐出するための洗浄液吐出部３から構成されている。
【００１５】
剥離液吐出部３は、剥離処理部５において帯状の金属薄板９の流れ方向１０で最も下流部に備えられている。また剥離処理部５には複数のストレートロール１が備えられており、隣接するストレートロール１は単調に、順次高い位置に設けられ、剥離装置の搬入部１１（剥離処理部の搬入部、と記すこともできる。）に最も近いストレートロール１が最も低い位置に設けられており、剥離処理部５の中で剥離処理部と洗浄処理部の接続７に最も近いストレートロール１が最も高い位置に設けられている。これは、剥離液吐出部３から吐出されたアルカリ液が、帯状の金属板９の上を剥離装置の搬入部１１に向って流れるようにするためである。このようにする理由は、剥離処理部５から洗浄処理部６に持ち出されるアルカリ液の量を低減するためである。ストレートロール１というのは、通常のロールであり、ロールの長手方向の径が一定のロールのことである。
【００１６】
次に洗浄処理部６は、その前段の剥離処理部５から剥離処理部と洗浄処理部の接続部７を通って送られてくる帯状の金属薄板９を支持し、流れ方向に搬送するためのクラウンロール２と洗浄液吐出部４から構成されている。クラウンロール２は、通常のロールとは異なり、ロールの長手方向の中央の径が最も太く、ロールの両端に向って径が単調に細くなって行くロールを指す。
【００１７】
洗浄液吐出部４は、剥離処理部５において帯状の金属薄板９の流れ方向１０に複数備えられている。洗浄液吐出部４は、金属薄板上のレジストを吹き飛ばすのに十分強い噴出力で洗浄液吐出部４から噴出される。その必要とされる墳出力の強さは、前段の剥離処理部５の能力によって異なる。
【００１８】
また、洗浄処理部６には複数のクラウンロール２が備えられている。洗浄処理部６の中で、最も上流部にあたる剥離処理部と洗浄処理部の接続部７に最も近いクラウンロール２が最も高い位置に設けられており、隣接するクラウンロール２は単調に、順次低い位置に設けられ、剥離装置の搬出部１２に最も近いクラウンロール２が最も低い位置に備えられている。これは、洗浄液吐出部４から吐出された洗浄液である純水が、帯状の金属薄板９の上を剥離装置の搬出部１２に向って流れるようにするためである。またクラウンロール２を使用しているため、洗浄液吐出部４から噴出された純水は、帯状の金属薄板９の平面に平行で、流れ方向に直交する方向に流れる速度成分を持つため、その方向、すなわち帯状の金属薄板９の両脇にも純水が排出される。
【００１９】
そのため、剥離処理部５で膨潤し剥離し易くなっているレジストに、洗浄液吐出部４からレジストが剥離するのに十分強い噴出力で噴出された純水があたると、レジストは金属薄板上から剥離し、帯状の金属薄板９上を流れて、速やかにその両脇に排出される。このため、金属薄板から剥離したレジストが、金属薄板上に滞留し難いため、金属薄板の変形などの欠陥を発生し難くなる。
【００２０】
以上に説明したように、本発明の剥離装置８の剥離処理部５の流れ方向の最下流部にあるストレートロール１が剥離処理部５の中で最も高い位置にあるストレートロールであることにより、アルカリ液または剥離処理液が帯状の金属薄板９の流れる方向とは逆の方向に流れるため、剥離処理部５から洗浄処理部６に持ち出されるアルカリ液または剥離処理
液が減少し、また洗浄処理部６にクラウンロール２を使用し、洗浄処理部６の流れ方向の最上流部にあるクラウンルール２が洗浄処理部６の中にあるクラウンロール２の中で最も高い位置にあることにより、純水または洗浄液が帯状の金属薄板９の流れる方向と同じ方向に流れ、且つクラウンロールであるために帯状の金属薄板９の進行方向の左右両脇に純水または洗浄液が排出されるため、剥離したレジストが帯状の金属薄板９の上に滞留する時間が短縮されるため、レジストが残留することに起因する欠陥が減少する。
【符号の説明】
【００２１】
１・・・ストレートロール
２・・・クラウンロール
３・・・剥離液吐出部
４・・・洗浄液吐出部
５・・・剥離処理部
６・・・洗浄処理部
７・・・剥離処理部と洗浄処理部の接続部
８・・・剥離装置
９・・・帯状の金属薄板
１０・・・帯状の金属薄板の流れ方向
１１・・・剥離装置の搬入部
１２・・・剥離装置の搬出部
【図１】
2015012122.tif 000003