(57)【要約】【課題】優れた導電性を有する導通パターンが高い歩留まりで製造できる導電性材料の製造方法を提供する。【解決手段】支持体上に少なくともハロゲン化銀乳剤層を有する導電性材料前駆体を像様に露光する露光工程、該露光工程により露光された導電性材料前駆体を現像し、銀からなる導通パターンを析出させる現像工程、および該現像工程により現像された導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層を有する側の面に５ｍＳ／ｍ以下の電導度を有する水を供給し、現像後のハロゲン化銀乳剤層を除去する水洗工程、を少なくとも具備する導電性材料の製造方法。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に少なくともハロゲン化銀乳剤層を有する導電性材料前駆体を像様に露光する露光工程、該露光工程により露光された導電性材料前駆体を現像し、銀からなる導通パターンを析出させる現像工程、および該現像工程により現像された導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層を有する側の面に５ｍＳ／ｍ以下の電導度を有する水を供給し、現像後のハロゲン化銀乳剤層を除去する水洗工程、を少なくとも具備する導電性材料の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持体上に少なくともハロゲン化銀乳剤層を有する導電性材料前駆体を用いた導電性材料の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電気回路、電磁波シールド材、タッチパネル等の用途において導電性材料の需要が急速に伸びている。中でも、パーソナル・デジタル・アシスタント（ＰＤＡ）、ノートＰＣ、ＯＡ機器、医療機器、あるいはカーナビゲーションシステム等の入力手段として利用されるタッチパネル用途での需要が多くなってきている。
【０００３】
タッチパネル用途の電極（導電性材料）としては、一般にＩＴＯからなる導電膜が支持体上に形成されたものが使用されてきた。しかしながらＩＴＯ導電膜は屈折率が大きく、光の表面反射が大きいため、全光線透過率が低下する問題や、可撓性が低いため屈曲した際にＩＴＯ導電膜に亀裂が生じて電気抵抗値が高くなる問題があった。
【０００４】
ＩＴＯに代わる導電膜を有する導電性材料として、基板上に薄い触媒層を形成し、その上にレジストパターンを形成した後、めっき法によりレジスト開口部に金属層を積層し、最後にレジスト層およびレジスト層で保護された下地金属を除去することにより、導電性パターンを形成するセミアディティブ方法が、例えば特開２００７−２８７９９４号公報、特開２００７−２８７９５３号公報などに開示されている。
【０００５】
また近年、銀塩写真感光材料を導電性材料前駆体として用いる方法も提案されている。例えば特開２００３−７７３５０号公報、特開２００５−２５０１６９号公報、および特開２００７−１８８６５５号公報等では、支持体上に物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層を少なくともこの順に有する導電性材料前駆体に、可溶性銀塩形成剤および還元剤をアルカリ液中で作用させて、銀からなる導通パターンを形成させる銀錯塩拡散転写法を利用した技術が開示されており、特開２００７−５９２７０号公報では、支持体上に実質的に硬膜剤を含まない未硬膜のハロゲン化銀乳剤層有する導電性材料前駆体に、ポリヒドロキシベンゼン系等の現像主薬を含む現像液を作用させ、該現像主薬の酸化化合物によってゼラチンを始めとする水溶性ポリマーを架橋し、画像状に硬膜することで支持体上に銀からなる導通パターンを形成させる、硬化現像法を利用した技術が開示されている。
【０００６】
上記した導電性材料前駆体を用いて導通パターンを作製した場合、高精細でかつ均一な線幅を再現することができることに加え、銀は金属の中で最も導電性が高いため、全光線透過率と導電性を高いレベルで両立させることが可能となる。またこの方法で得られた導電材料はＩＴＯ導電膜よりも可撓性が高く折り曲げに強いという利点がある。
【０００７】
更に上記した導電性材料前駆体を用いて導通パターンを作製する場合、例えば特開２００７−２２５８８４号公報に記載された連続露光装置や、特開２００６−１９０５３５号公報（特許文献１）に記載された処理装置を使用することにより、ロール状に巻き取られた長尺の導電性材料前駆体を用いて、支持体上に複数の導通パターンを形成した後、ロール状に巻き取るという、所謂ロール・ツー・ロールの製造方法が採用可能であり、優れた生産性にて導通パターンを作製することができる。しかしながら、長尺の支持体上に導通パターンを大量に製造する際、断線などに起因する歩留まりの低下が生じる場合があり、改善が求められていた。
【０００８】
一方、銀錯塩拡散転写法を利用して導通パターンを作製する場合、現像工程にて現像された後のハロゲン化銀乳剤層は、水洗工程にて温水によって除去され、その後のリンス工程（水洗工程において完全に除去しきれなかった現像液成分やハロゲン化銀乳剤層成分を除去する工程）で、イオン交換処理された純水を用いて濯ぐことが従来から知られており、このことは例えば前述した特開２００６−１９０５３５号公報や、特開２００７−２４０５９３号公報（特許文献２）等に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−１９０５３５号公報
【特許文献２】特開２００７−２４０５９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、優れた導電性を有する導通パターンが高い歩留まりで製造できる導電性材料の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の上記課題は以下の発明によって達成される。
（１）支持体上に少なくともハロゲン化銀乳剤層を有する導電性材料前駆体を像様に露光する露光工程、該露光工程により露光された導電性材料前駆体を現像し、銀からなる導通パターンを析出させる現像工程、および該現像工程により現像された導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層を有する側の面に５ｍＳ／ｍ以下の電導度を有する水を供給し、現像後のハロゲン化銀乳剤層を除去する水洗工程、を少なくとも具備する導電性材料の製造方法。
【発明の効果】
【００１２】
本発明により、優れた導電性を有する導通パターンが高い歩留まりで製造できる導電性材料の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に用いる処理装置の一例を示す概略側断面図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明を詳細に説明する。
【００１５】
本発明の導電性材料の製造方法にて得られる導通パターンは、銀からなる。ここで銀からなるとは、導通パターンを構成する金属に占める銀の割合が９７質量％以上であることを意味し、より好ましくは９９質量％以上である。他の金属としては、ハロゲン化銀乳剤層が含有するハロゲン化銀粒子を製造する際、物理熟成に使用されるタリウム、ロジウム、イリジウム、金、セレン等が挙げられる。
【００１６】
導通パターンはメッシュパターンであることが好ましく、該メッシュパターンの形状としては、例えば正三角形、二等辺三角形、直角三角形等の三角形、正方形、長方形、菱形、平行四辺形、台形等の四角形、（正）六角形、（正）八角形、（正）十二角形、（正）二十角形等の（正）ｎ角形、星形等を組み合わせた形状が挙げられ、またこれらの形状の単独の繰り返し、あるいは２種類以上の複数の形状の組み合わせが挙げられる。中でも正方形もしくは菱形であることが好ましい。メッシュパターンを構成する細線の線幅は２０μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは１０μｍ以下である。メッシュパターンの繰り返し間隔（格子間隔）は、１０００μｍ以下が好ましく、７００μｍ以下がさらに好ましい。またメッシュパターン部を構成する細線厚みは薄すぎると必要な導電性を確保し難くなる。よってその厚みは０．０５〜５μｍが好ましく、より好ましくは０．１〜１μｍである。
【００１７】
抵抗膜式タッチパネルや静電容量方式タッチパネル等のタッチパネル用途において電極として使用される導電性材料は、ディスプレイ上にて手で操作される光透過性導電部と、該導電部で感知された電気信号を外部に取り出す周辺配線部を有する。該光透過性導電部としてＩＴＯ導電膜を用いる場合、一般的にはＩＴＯ導電膜を形成した後、更に銀ペーストなどを用いて周辺配線部を作製するなど、ＩＴＯ導電膜を作製するのとは別の工程が必要となり、生産性があまり良くなかった。これに対し本発明のハロゲン化銀乳剤層を有する導電性材料前駆体を用いた製造方法では、光透過性導電部として用いる導通パターンと周辺配線部が同時に形成できるため、また前述したようにロール・ツー・ロールの製造方法が採用可能であることから、極めて高い生産性にて製造することが可能となる。
【００１８】
上記した周辺配線部は、複数の導通パターンにより感知された電気信号を外部に取り出すための配線である。通常このような配線はディスプレイ上にて目立たなくすることを目的に、また表示装置に対するディスプレイ部の割合を高めるため、可能な限りディスプレイの枠部分に集中するように配置される。周辺配線部のラインアンドスペースとしては、１００μｍ／１００μｍ以下が好ましく、７５μｍ／７５μｍ以下がより好ましく、更には５０μｍ／５０μｍ以下がより好ましい。なお本発明において上記した周辺配線部のラインアンドスペースは、周辺配線部において配線が最も密に存在している箇所におけるラインアンドスペースである。
【００１９】
次に本発明の導電性材料の製造方法について詳細に説明する。本発明の導電性材料の製造方法は、支持体上に少なくともハロゲン化銀乳剤層を有する導電性材料前駆体（以下、前駆体とも記載）を像様に露光する露光工程、該露光工程により露光された前駆体を現像し、銀からなる導通パターンを析出させる現像工程、および該現像工程により現像された前駆体のハロゲン化銀乳剤層を有する側の面に５ｍＳ／ｍ以下の電導度を有する水を供給し、現像後のハロゲン化銀乳剤層を除去する水洗工程、を少なくとも具備する。
【００２０】
露光工程では、ハロゲン化銀乳剤層を有する導電性材料前駆体を像様に露光する。該工程で用いる露光方法としては、例えばメッシュ状のパターンが描画された原稿と、導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層を有する側の面を密着して露光する方法、あるいは該原稿を利用せずに、各種レーザー光を用いて該パターンを走査露光する方法等がある。レーザー光で露光する方法においては、例えば４００〜４３０ｎｍに発振波長を有する青色半導体レーザー（バイオレットレーザーダイオードとも云う）を用いることができる。また特開２００７−２２５８８４号公報、特開２００８−１１６５１４号公報、特開２００８−２４１９８７号公報、特開２００９−１７５２８７号公報等に記載される、円筒体を利用した連続露光装置も好ましく用いることができる。
【００２１】
本発明に用いる導電性材料前駆体は、支持体上に少なくともハロゲン化銀乳剤層を有し、現像処理後のハロゲン化銀乳剤層は水洗除去される前駆体である。なお、現像によりハロゲン化銀粒子は銀に還元されるため、現像後のハロゲン化銀乳剤層は実質的にハロゲン化銀粒子を含有しない場合もあるが、本発明では便宜上、現像工程以降であってもハロゲン化銀乳剤層と記載する。
【００２２】
かかる導電性材料前駆体としては、例えば特開２００３−７７３５０号公報、特開２００５−２５０１６９号公報、および特開２００７−１８８６５５号公報等に記載される銀錯塩拡散転写法により銀からなる導通パターンを形成する導電性材料前駆体、および特開２００７−５９２７０号公報に記載される、硬化現像法を利用して銀からなる導通パターンを形成する導電性材料前駆体が挙げられる。
【００２３】
前記した露光方法にて像様（所望するパターン形状）に露光された前駆体は、現像工程にて現像される。上述した銀錯塩拡散転写法を利用して導通パターンを形成する際に使用する現像液は、可溶性銀錯塩形成剤及び還元剤を含有するアルカリ液である。可溶性銀錯塩形成剤は、ハロゲン化銀を溶解し可溶性の銀錯塩を形成させる化合物であり、還元剤はこの可溶性銀錯塩を還元して物理現像核上に金属銀を析出させるための化合物である。
【００２４】
現像液が含有する可溶性銀錯塩形成剤としては、チオ硫酸ナトリウムやチオ硫酸アンモニウムのようなチオ硫酸塩、チオシアン酸ナトリウムやチオシアン酸アンモニウムのようなチオシアン酸塩、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸水素カリウムのような亜硫酸塩、オキサゾリドン類、２−メルカプト安息香酸及びその誘導体、ウラシルのような環状イミド類、アルカノールアミン、ジアミン、特開平９−１７１２５７号公報に記載のメソイオン性化合物、米国特許第５，２００，２９４号明細書に記載のようなチオエーテル類、５，５−ジアルキルヒダントイン類、アルキルスルホン類、他に、「Ｔｈｅ  Ｔｈｅｏｒｙ  ｏｆ  ｔｈｅ  ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ  Ｐｒｏｃｅｓｓ（４ｔｈ  ｅｄｉｔｉｏｎ，ｐ４７４〜４７５）」、Ｔ．Ｈ．Ｊａｍｅｓ著に記載されている化合物が挙げられる。これらの可溶性銀錯塩形成剤の中でもアルカノールアミンを含有する現像液で現像した場合、特に優れた導電性を有する導通パターンが得られるため、好ましい。
【００２５】
アルカノールアミンとしては、例えばＮ−（２−アミノエチル）エタノールアミン、ジエタノールアミン、Ｎ−メチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ−エチルジエタノールアミン、ジイソプロパノールアミン、エタノールアミン、４−アミノブタノール、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミン、３−アミノプロパノール、Ｎ−エチル−２，２′−イミノジエタノール、２−メチルアミノエタノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール等が挙げられる。
【００２６】
これらの可溶性銀錯塩形成剤は単独で、または複数組み合わせて使用することができる。
【００２７】
現像液に用いられる還元剤は、Ｒｅｓｅａｒｃｈ  Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ  Ｉｔｅｍ  １７６４３（１９７８年１２月）および１８７１６（１９７９年１１月）、３０８１１９（１９８９年１２月）に記載されているような写真現像の分野で公知の現像主薬を用いることができる。例えば、ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、メチルハイドロキノン、クロルハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン類、アスコルビン酸及びその誘導体、１−フェニル−４，４−ジメチル−３−ピラゾリドン、１−フェニル−３−ピラゾリドン、１−フェニル−４−メチル−４−ヒドロキシメチル−３−ピラゾリドン等の３−ピラゾリドン類、パラメチルアミノフェノール、パラアミノフェノール、パラヒドロキシフェニルグリシン、パラフェニレンジアミン等が挙げられる。これらの還元剤は単独で、または複数組み合わせて使用することができる。
【００２８】
可溶性銀錯塩形成剤の含有量は、現像液１リットル当たり、０．００１〜５モルが好ましく、より好ましくは０．００５〜１モルの範囲である。還元剤の含有量は現像液１リットル当たり０．０１〜１モルが好ましく、より好ましくは０．０５〜１モルの範囲である。また現像液のｐＨは１０以上が好ましく、更に１１〜１４が好ましい。所望のｐＨに調整するために、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ剤、リン酸、炭酸などの緩衝剤を単独、または組み合わせて含有させる。また、現像液は、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸カリウム等の保恒剤を含むことが好ましい。
【００２９】
次に硬化現像法を利用して導通パターンを形成する際に使用する現像液（硬化現像液）について説明する。硬化現像法とは、光センサーのハロゲン化銀粒子を像様に露光して潜像を形成し、これを触媒としてハロゲン化銀を還元する時に、ゼラチンの硬化作用を有する還元剤を用い、金属銀を形成すると同時に金属銀周囲のゼラチンを硬化させ、画像を形成させた後、水洗除去して非硬化部を洗い流す方法である。ゼラチンの硬化作用を有する還元剤とは、詳細にはハロゲン化銀を還元でき、かつ該還元剤の酸化体によってハロゲン化銀乳剤層を硬化可能な還元剤である。
【００３０】
上記したハロゲン化銀乳剤層を硬化可能な還元剤としては、例えばハイドロキノン、カテコール、クロロハイドロキノン、ピロガロール、ブロモハイドロキノン、イソプロピルハイドロキノン、メチルハイドロキノン、２，３−ジクロロハイドロキノン、２，３−ジメチルハイドロキノン、２，３−ジブロモハイドロキノン、１，４−ジヒドロキシ−２−アセトフェノン、２，５−ジメチルハイドロキノン、４−フェニルカテコール、４−ｔ−ブチルカテコール、４−ｓ−ブチルピロガロール、４，５−ジブロモカテコール、２，５−ジエチルハイドロキノン、２，５−ベンゾイルアミノハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン系還元剤が挙げられ、特にベンゼン核の少なくとも１，２位または１，４位にヒドロキシル基が置換したポリヒドロキシベンゼン系還元剤が好ましい。また該現像液は３−ピラゾリドン類、例えば１−フェニル−３−ピラゾリドン、１−ｐ−トリル−３−ピラゾリドン、１−フェニル−４−メチル−３−ピラゾリドン、１−フェニル−４，４−ジメチル−３−ピラゾリドン、及び１−ｐ−クロロフェニル−３−ピラゾリドン等の公知の写真現像液に用いる還元剤を、上記ポリヒドロキシベンゼン系還元剤と併せて使用することも可能である。
【００３１】
硬化現像法にて導通パターンを作製する場合、アルカリ性の条件下で該現像主薬の酸化体を安定してハロゲン化銀乳剤層に作用させることが重要であり、このような観点から、上記したポリヒドロキシベンゼン系還元剤は現像液が含有するのではなく、導電性材料前駆体が有するハロゲン化銀乳剤層が含有することが好ましい。
【００３２】
硬化現像液はアルカリ性物質、例えば水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化リチウム、第３燐酸ナトリウム、あるいはアミン化合物、粘稠剤、例えばカルボキシメチルセルロース、カブリ防止剤、例えば臭化カリウム、現像変性剤、例えばポリオキシアルキレン化合物、ハロゲン化銀溶剤、例えばチオ硫酸塩、チオシアン酸塩、環状イミド、チオサリチル酸、メソイオン性化合物等の添加剤等を含有することができる。硬化現像液のｐＨは通常１０〜１４である。通常の銀塩写真現像液に用いる保恒剤、例えば亜硫酸ナトリウムなどは硬化現像による硬化反応を停める作用があるので、硬化現像液では保恒剤は少なくとも２０ｇ／Ｌ以下の使用量、好ましくは１０ｇ／Ｌ以下の使用量が好ましい。また該硬化現像液は膨潤抑制剤を含有することが好ましい。膨潤抑制剤としては後述する前駆体に含有させるのと同様の膨潤抑制剤を用いることができる。好ましい膨潤抑制剤の含有量は５０〜３００ｇ／Ｌ、好ましくは１００〜２５０ｇ／Ｌである。
【００３３】
本発明において現像処理を行う方法としては、浸漬方式であっても塗布方式であってもよい。浸漬方式は、例えば、タンクに大量に貯留された処理液中に、導電性材料前駆体を浸漬しながら搬送するものであり、塗布方式は、例えば導電性材料前駆体上に処理液を１平方メートルあたり４０〜１２０ｍｌ程度塗布するものである。前述した硬化現像液を用いる場合には塗布方式にし、硬化現像液は再利用せず使い切りとすることが好ましい。
【００３４】
本発明における好ましい現像処理条件については、以下の通りである。現像温度は２〜３０℃であることが好ましく、より好ましくは１０〜２５℃である。現像時間は１０〜３００秒であることが好ましい。
【００３５】
次に水洗工程について説明する。本発明では、現像工程により現像された導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層を有する側の面に５ｍＳ／ｍ以下の電導度を有する水を供給し、現像後のハロゲン化銀乳剤層を水洗除去する。該水洗除去はハロゲン化銀乳剤層のみだけでなく、ハロゲン化銀乳剤層および必要に応じて設けられる中間層や保護層の除去も同時に行われる。
【００３６】
導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層を有する側の面に供給する５ｍＳ／ｍ以下の電導度を有する水としては、水を複式蒸留、イオン交換樹脂、逆浸透膜、およびＥＤＩ（電気再生式イオン交換装置）等を利用した公知の方法で処理することで得ることが可能である。また本発明における電導度は２５℃における電導度であり、例えば横河電機（株）製、ＳＣ７２等を用いて測定することが可能である。
【００３７】
５ｍＳ／ｍ以下の電導度を有する水を、現像工程で現像された導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層を有する側の面に供給する方法としては、５ｍＳ／ｍ以下の電導度を有する水が投入された水洗槽中に、現像後の導電性材料前駆体を浸漬する方法、あるいは現像後の導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層を有する側の面に、５ｍＳ／ｍ以下の電導度を有する水をシャワーやスリット等の吹き掛け手段から供給する方法等が挙げられる。現像後のハロゲン化銀乳剤層は大量の現像液を含有しているため、例えば前者の方法を利用した場合、水洗槽に５ｍＳ／ｍ以下の電導度を有する水を大量に補充する必要がある。このため５ｍＳ／ｍ以下の電導度を有する水をハロゲン化銀乳剤層を有する側の面に供給する方法としては、後者のシャワーやスリット等の吹き掛け手段から供給する方法が好ましい。
【００３８】
従来技術では、特開２００６−１９０５３５号公報や、特開２００７−２４０５９３号公報等に記載されるように、現像後のハロゲン化銀乳剤層の水洗除去には温水が利用され、噴出された温水は水洗貯留槽に貯留され、該貯留槽から温水を再度シャワーノズルに供給して循環して使用することが一般的であった。これに対し、現像された導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層を有する側の面に５ｍＳ／ｍ以下の電導度を有する水を供給して現像後のハロゲン化銀乳剤層を水洗除去することで、優れた導電性を有する導通パターンが高い歩留まりで製造できるという事実は、当業者といえども予測できない驚くべき事実であった。
【００３９】
現像後のハロゲン化銀乳剤層の水洗除去に用いられる水の温度は３０〜４５℃であることが好ましい。また水洗除去に用いられる水の電導度は５ｍＳ／ｍ以下であるが、２ｍＳ／ｍ以下とした場合、より高い導電性を有する導通パターンが得られるため、好ましい。
【００４０】
以下、図面を用いて本発明を詳細に説明する。図１は本発明に用いる処理装置の一例を示す概略側断面図である。
【００４１】
図１において、ロール状の導電性材料前駆体１２（例えば特開２００７−２２５８８４号公報に記載された連続露光装置にて露光して巻き取った導電性材料前駆体１２）は、巻き出し軸１１に装着され、図中矢印の方向に連続的に巻き出されて搬送される。導電性材料前駆体１２は、内巻き（ハロゲン化銀乳剤層を有する側の面を内側にして巻き取られている）になっている。巻き出し軸１１には、張力制御手段１３が接続されている。ロール状の導電性材料前駆体１２の最上巻きと最下巻きには、処理装置の搬送経路の全長に相当する長さのリードフィルムが設けられており、巻き出されたウエブＦの製品となる部分（導通パターンが形成される部分）には常に搬送速度および張力が制御された状態となっている。
【００４２】
ウエブＦが搬送されて現像槽２０に入る前に、ウエブＦは反転ローラ２１で搬送方向が反転される。この反転ローラ２１と後述の反転ローラ２２によって、現像槽２０中でウエブＦのハロゲン化銀乳剤層を有する側の面は非接触の状態で搬送される。現像槽２０は、図１に示すように縦長で薄型の槽が好ましく、槽内の下部に設けられている反転ローラ２２でウエブＦの裏面（ハロゲン化銀乳剤層を有さない側の面）を支持しながら搬送方向を反転させることによって、小さい設置スペースで現像時間（現像液に浸漬している時間）を稼ぐことができる。
【００４３】
現像槽２０の容量は、ウエブＦの幅寸法によっても異なるが、通常３０〜５０リットル程度が適当である。現像槽２０には現像液２３がほぼ満杯に貯留されており、現像処理によって消費された現像液は、図示しない補充装置で補充されるようになっている。また現像槽２０は、図示しない恒温装置で所望の温度範囲に温度調節されるようになっている。本発明において、現像開始時点とは、現像槽２０の現像液２３にウエブＦが浸入した時点である。従って、反転ローラ２１が現像開始前のハロゲン化銀乳剤層を有する側の面に接触する最後の固体物（ローラ）であり、後述するローラ対４２までは、ウエブＦのハロゲン化銀乳剤層を有する側の面は非接触で搬送される。
【００４４】
現像槽２０から搬出されたウエブＦは、空中現像部２４で引き続き現像され、水洗処理部３０に搬送される。水洗処理部３０において、ウエブＦは、まず、シャワーノズル３１から噴出された水（２５℃における電導度が５ｍＳ／ｍ以下の水）により、ハロゲン化銀乳剤層および必要に応じて設けられる中間層や保護層等が水洗除去されて、物理現像核上に銀からなる導通パターン、あるいは硬化現像により得られた銀からなる導通パターンが露出する。次に、リンス処理部４０において、シャワーノズル４１から噴出された水により、前記した水洗処理部３０にて除去しきれなかった不要成分を完全に除去する。水洗処理部３０の最後端にはエアナイフ３２が取り付けられており、シャワーノズル３１から噴出される水が下流側に流れ込まないようにしている。
【００４５】
シャワーノズル３１から噴出される水は、ウエブＦの両端部から落下し、水洗液貯留槽３３に貯留される。水洗液貯留槽３３に貯留された水の電導度は、ウエブＦにより持ち込まれた現像液成分や、水洗除去されたハロゲン化銀乳剤層等の成分の影響により次第に上昇するものの、ウエブＦのハロゲン化銀乳剤層を有さない側の面の水洗には使用可能である。図１では水洗液貯留槽３３に貯留された水は、循環ポンプ３５によって、シャワーノズル３１Ｂに供給される。水洗液貯留槽３３の容量は、３０〜５０リットル程度が適当である。水の配管経路にはフィルタ３４が設置されており、水中に浮遊している銀スラッジ等の浮遊物を除去している。水洗液貯留槽３３には図示しないヒーターが取り付けられており、３５〜４０℃程度に温調されていることが好ましい。
【００４６】
シャワーノズル３１から噴射する水の水圧は０．０５〜０．５ＭＰａであることが好ましい。またシャワーノズル３１から噴射される水の噴射角度は９０〜１１５°の範囲とすることが好ましい。水洗処理部３０内に設けられるシャワーノズル３１の数は複数であることが好ましく、例えば図１では、複数のシャワーノズル３１を有するシャワーユニットが水洗処理部３０内に３列設けられている。
【００４７】
リンス処理部４０において使用される水の電導度は特に規定しないが、電導度が５ｍＳ／ｍ以下の水を利用した場合、より高い導電性を有する導通パターンが得られるため、好ましい。シャワーノズル４１から噴出された水は、ウエブＦの水洗に使用された後、リンス液貯留槽４３に貯溜される。リンス液貯留槽４３の容量は、３０〜５０リットル程度が適当である。リンス液貯留槽４３には、循環ポンプ４５、フィルタ４４、および図示しないヒーターが取り付けられており、リンス液貯留槽４３に貯留された水は、シャワーノズル４１Ｂに供給され、ウエブＦのハロゲン化銀乳剤層を有さない側の面のリンスに好ましく利用される。
【００４８】
リンス処理部４０において不要成分が水洗除去されたウエブＦは、ローラ対４２を経て、乾燥部５０で乾燥され、巻き取り軸６１でロール状に巻き取られる。ローラ対４２は、ウエブＦに付着した余分の水分を乾燥部５０に持ち込まないために取り付けられている。ローラ対４２は、スポンジ状の柔らかいローラであり、挟持力は弱い。ローラ対４２に加えられる圧力は、０．０５ＭＰａから０．５ＭＰａの範囲が適当であり、好ましくは０．０５ＭＰａから０．２ＭＰａの範囲である。
【００４９】
乾燥部５０には、複数の温風乾燥機５１が設置されており、温風によってウエブＦを乾燥させる。乾燥温度としては、３０℃以上であればよいが、生産性の観点から、４０〜８０℃が適当であり、好ましくは５０〜６５℃が適当である。巻き取り軸６１には、該軸を駆動回転できる張力制御手段６３（例えば、トルクモータ）が取り付けられている。張力制御手段６３は、現像部２０以降のウエブＦの蛇行を抑制するために、ウエブＦに高い張力を加えており、４ｋｇｆ／ｍから１５ｋｇｆ／ｍの範囲が適当である。符号６２は、導通パターンが形成された導電性材料がロール状に巻き取られたものである。
【００５０】
次に、支持体上に少なくともハロゲン化銀乳剤層を有し、現像処理後にハロゲン化銀乳剤層が水洗除去される導電性材料前駆体について説明する。該前駆体としては、銀錯塩拡散転写法により銀からなる導通パターンを形成する導電性材料前駆体、および硬化現像法により銀からなる導通パターンを形成する導電性材料前駆体が挙げられる。
【００５１】
本発明の導電性材料前駆体が有する支持体は、全光線透過率が６０％以上である支持体が好ましい。また支持体はフレキシブル性を有する樹脂フィルムであることが好ましい。このような支持体としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状ポリオレフィン樹脂等が挙げられる。また支持体の厚みは５０〜３００μｍであることが好ましく、更にロール・ツー・ロールの製造方法にて導電性材料を製造する場合、支持体の長さは少なくとも５ｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１０ｍ以上である。また支持体の幅としては、３００ｍｍ以上であることが好ましく、より好ましくは５００ｍｍ以上である。
【００５２】
銀錯塩拡散転写法により銀からなる導通パターンを形成する導電性材料前駆体は、支持体上に少なくとも物理現像核層およびハロゲン化銀乳剤層をこの順に有する。さらには、非感光性層を支持体から最も遠い最外層（保護層）および／又は物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層の間（中間層）に有していても良い。非感光性層は、親水性ポリマーを主たるバインダーとして含有する層である。ここでいう親水性ポリマーとは、前述した現像液で容易に膨潤し、下層のハロゲン化銀乳剤層まで現像液成分を容易に浸透させるものであれば任意のものが選択できる。該親水性ポリマーとしては、ゼラチン、アルブミン、カゼイン、ポリビニルアルコール等が挙げられ、特に好ましい親水性ポリマーは、ゼラチン、アルブミン、カゼイン等のタンパク質である。非感光性層が含有する親水性ポリマーの量は、ハロゲン化銀乳剤層の総バインダー量に対して２０質量％〜１００質量％の範囲が好ましく、特に３０質量％〜８０質量％が好ましい。
【００５３】
上記した非感光性層には、必要に応じて写真業界では公知の界面活性剤、ポリマーラテックス、マット剤、滑り剤、などを含有してもよい。また後述するように、セーフライト耐性向上のために染料を含有させることは好ましい。さらに、現像処理後のハロゲン化銀乳剤層の水洗除去を妨げない限りにおいて、架橋剤により硬膜させることも可能である。
【００５４】
物理現像核層が含有する物理現像核としては、重金属あるいはその硫化物からなる微粒子（粒子サイズは１〜数十ｎｍ程度）が用いられる。例えば、金、銀等のコロイド、パラジウム、亜鉛等の水溶性塩と硫化物を混合した金属硫化物等が挙げられる。これらの物理現像核の微粒子層は、真空蒸着法、カソードスパッタリング法、コーティング法によって支持体上に設けることができる。物理現像核層における物理現像核の含有量は、固形分で１平方メートル当たり０．１〜１０ｍｇ程度が適当である。
【００５５】
物理現像核層は親水性バインダーを含有することもできる。親水性バインダーの量は、物理現像核の固形分量に対して１０〜５００質量％が好ましい。親水性バインダーとしては、ゼラチン、アラビアゴム、セルロース、アルブミン、カゼイン、アルギン酸ナトリウム、各種デンプン、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、アクリルアミドとビニルイミダゾールの共重合体等を用いることができる。好ましい親水性バインダーは、ゼラチン、アルブミン、カゼイン等のタンパク質である。
【００５６】
支持体として樹脂フィルムを用いる場合、支持体と物理現像核層との間にタンパク質からなるベース層（タンパク質含有ベース層；以降、単にベース層と云う）を有することは好ましい。支持体とベース層の間には、更に塩化ビニリデンやポリウレタン等の易接着層を有することは好ましい。ベース層に用いられるタンパク質としては、ゼラチン、アルブミン、カゼインあるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。ベース層におけるタンパク質の含有量は１平方メートル当たり１０〜１０００ｍｇが好ましい。
【００５７】
物理現像核層は、架橋剤（硬膜剤）を含有することが好ましい。架橋剤としては例えばクロム明ばんのような無機化合物、ホルマリン、グリオキザール、マレアルデヒド、グルタルアルデヒドのようなアルデヒド類、尿素やエチレン尿素等のＮ−メチロール化合物、ムコクロル酸、２，３−ジヒドロキシ−１，４−ジオキサンの様なアルデヒド類、２，４−ジクロロ−６−ヒドロキシ−ｓ−トリアジン塩や、２，４−ジヒドロキシ−６−クロロートリアジン塩のような活性ハロゲンを有する化合物、ジビニルスルホン、ジビニルケトンやＮ，Ｎ，Ｎ−トリアクロイルヘキサヒドロトリアジン、活性な三員環であるエチレンイミノ基やエポキシ基を分子中に二個以上有する化合物類、高分子硬膜剤としてのジアルデヒド澱粉等が挙げられ、特に、グリオキザール、グルタルアルデヒド、３−メチルグルタルアルデヒド、サクシンアルデヒド、アジポアルデヒド等のジアルデヒド類が好ましい。架橋剤は、ベース層および物理現像核層に含まれる合計のタンパク質に対して０．１〜３０質量％を物理現像核層に含有させるのが好ましい。
【００５８】
ハロゲン化銀乳剤層が含有するハロゲン化銀乳剤粒子の形成には、順混合、逆混合、同時混合等の、当業界では周知の方法が用いられる。中でも同時混合法の１種で、粒子形成される液相中のｐＡｇを一定に保ついわゆるコントロールドダブルジェット法を用いることが、粒径のそろったハロゲン化銀乳剤粒子が得られる点において好ましい。好ましいハロゲン化銀乳剤粒子の平均粒径は０．２５μｍ以下、特に好ましくは０．０５〜０．２μｍである。本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤のハロゲン化物組成には好ましい範囲が存在し、塩化物を８０モル％以上含有するのが好ましく、特に９０モル％以上が塩化物であることが特に好ましい。
【００５９】
ハロゲン化銀乳剤は、必要に応じて粒子の形成あるいは物理熟成の過程において、亜硫酸塩、鉛塩、タリウム塩、ロジウム塩もしくはその錯塩、イリジウム塩もしくはその錯塩を共存させても良い。また、種々の化学増感剤によって増感することができ、イオウ増感法、セレン増感法、貴金属増感法など当業界で一般的な方法を、単独、あるいは組み合わせて用いることができる。また本発明においてハロゲン化銀乳剤は必要に応じて色素増感することもできる
【００６０】
ハロゲン化銀乳剤層はハロゲン化銀粒子の保護コロイドとしてバインダーを含有する。バインダーとしては天然ポリマー、水溶性の合成ポリマー、非水溶性の合成ポリマーが挙げられる。天然ポリマーとしてはゼラチン、カゼイン、アルブミンなどのタンパク質、澱粉、デキストリン等の多糖類、セルロースおよびその誘導体（例えばカルボキシルメチルセルロース、ヒドロキシルプロピルセルロース、メチルセルロースなど）、アルギン酸、カラギーナン、フコイダン、キトサン、ヒアルロン酸などを用いることができ、その中でも最も好ましい天然ポリマーはゼラチンである。またコハク化ゼラチンなど公知の方法で修飾した天然ポリマーを用いることもできる。水溶性の合成ポリマーとしては、例えばポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、ポリビニルメチルエーテル、ポリエチレンオキサイド、ポリビニルアミン、ポリリジン、ポリアクリル酸等が挙げられる。また、これらのグラフト重合ポリマーなども用いることができる。
【００６１】
非水溶性の合成ポリマーとしての高分子ラテックスとしては単独重合体や共重合体など各種公知の樹脂を用いることができる。単独重合体としては酢酸ビニル、塩化ビニル、スチレン、メチルアクリレート、ブチルアクリレート、メタクリロニトリル、ブタジエン、イソプレン等があり、共重合体としてはエチレン・ブタジエン、スチレン・ブタジエン、スチレン・ｐ−メトオキシスチレン、スチレン・酢酸ビニル、酢酸ビニル・塩化ビニル、酢酸ビニル・マレイン酸ジエチル、メチルメタクリレート・アクリロニトリル、メチルメタクリレート・ブタジエン、メチルメタクリレート・スチレン、メチルメタクリレート・酢酸ビニル、メチルメタクリレート・塩化ビニリデン、メチルアクリレート・アクリロニトリル、メチルアクリレート・ブタジエン、メチルアクリレート・スチレン、メチルアクリレート・酢酸ビニル、アクリル酸・ブチルアクリレート、メチルアクリレート・塩化ビニル、ブチルアクリレート・スチレン等がある。高分子ラテックスの平均粒径は０．０１〜１．０μｍであることが好ましく、更に好ましくは０．０５〜０．８μｍである。
【００６２】
ハロゲン化銀乳剤層の銀／ゼラチン質量比は２以上であることが好ましく、ハロゲン化銀乳剤を銀換算で３ｇ／ｍ２以上含有することが好ましい。更に好ましくは銀／ゼラチン質量比が２．５〜３．５、ハロゲン化銀乳剤塗布量は銀換算で３．５〜４．０ｇ／ｍ２である。銀／ゼラチン質量比は高すぎるとハロゲン化銀粒子の保護コロイドとしてのゼラチンの割合が不足することとなり、塗布液中でハロゲン化銀粒子の沈降が起きやすくなるため好ましくない。
【００６３】
上記した導電性材料前駆体の各層には、さらに種々の目的のために、公知の写真用添加剤を用いることができる。これらは、Ｒｅｓｅａｒｃｈ  Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ  Ｉｔｅｍ  １７６４３（１９７８年１２月）および１８７１６（１９７９年１１月）、３０８１１９（１９８９年１２月）に記載、あるいは引用された文献に記載されている。
【００６４】
次に、硬化現像法により銀からなる導通パターンを形成する際に利用される導電性材料前駆体について説明する。
【００６５】
硬化現像法により導通パターンを形成する導電性材料前駆体が有する支持体としては、前述した銀塩拡散転写法により導通パターンを形成する導電性材料前駆体と同様の支持体が利用される。また支持体はベース層を有することが好ましい。
【００６６】
硬化現像法により導通パターンを形成する導電性材料前駆体は、前記した支持体上にハロゲン化銀乳剤層を有する。該ハロゲン化銀乳剤層が含有するハロゲン化銀のハロゲン元素は、塩素、臭素、ヨウ素及びフッ素のいずれであってもよく、これらを組み合わせてもよい。ハロゲン化銀乳剤粒子の形成には、順混合、逆混合、同時混合等の方法が用いられる。中でもコントロールドダブルジェット法を用いることが、粒径のそろったハロゲン化銀乳剤粒子が得られる点において好ましい。好ましいハロゲン化銀乳剤粒子の平均粒径は０．２５μｍ以下、特に好ましくは０．０５〜０．２μｍである。
【００６７】
ハロゲン化銀乳剤層が含有するバインダーとしては水溶性バインダーが好ましく、ゼラチン、カゼインなどのタンパク質が好ましい。またハロゲン化銀（銀換算）とバインダーとの質量比（銀／総バインダー）は０．５以上であることが好ましく、より好ましくは１．５〜３．５であり、好ましい総バインダー量は０．０５〜３ｇ／ｍ２、更に好ましくは０．１〜１ｇ／ｍ２である。
【００６８】
ハロゲン化銀乳剤層は、ハロゲン化銀乳剤層を硬化可能な化合物を含有することが好ましく、該化合物としては前述した現像液が含有する化合物と同様の化合物が挙げられる。中でも、ベンゼン核の少なくとも１，２位または１，４位にヒドロキシル基が置換した化合物が好ましい。
【００６９】
またハロゲン化銀乳剤層は膨潤抑制剤を含有することが好ましい。本発明における膨潤抑制剤とは導電性材料前駆体を硬化現像液で処理する際に、ハロゲン化銀乳剤層が含有する水溶性バインダーが膨潤するのを防ぐことによって、得られる導通パターンの画質の低下を防ぎ、また導電性を上げるために含有せしめる。膨潤抑制剤として作用するかどうかはｐＨ３．５の５％ゼラチン水溶液に膨潤抑制剤０．３５モル／Ｌになるよう加えてゼラチンの沈澱が発生するかどうかで調べられ、この試験でゼラチンの沈澱が発生するような薬品は全て膨潤抑制剤として作用する。膨潤抑制剤の具体例としては、例えば硫酸ナトリウム、硫酸リチウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム、硝酸ナトリウム、硝酸カルシウム、硝酸マグネシウム、硝酸亜鉛、塩化マグネシウム、塩化ナトリウム、塩化マンガン、燐酸マグネシウムなどの無機塩類、あるいは例えばベンゼンスルホン酸、ジフェニルスルホン酸、５−スルホサリチル酸、ｐ−トルエンスルホン酸、フェノールジスルホン酸、α−ナフタレンスルホン酸、β−ナフタレンスルホン酸、１，５−ナフタレンスルホン酸、１−ヒドロキシ−３，６−ナフタレンジスルホン酸、ジナフチルメタンスルホン酸などのスルホン酸類、例えばポリビニルベンゼンスルホン酸、無水マレイン酸とビニルスルホン酸の共重合物、ポリビニルアクリルアミドなどの高分子沈澱剤として用いられる化合物などが挙げられる。これら膨潤抑制剤は単独でも組み合わせて用いても良いが、無機塩類、特に硫酸塩類を使用することが好ましい。膨潤抑制剤の好ましい含有量は０．０１〜１０ｇ／ｍ２、更に好ましくは０．１〜２ｇ／ｍ２である。
【００７０】
硬化現像法により導通パターンを形成する導電性材料前駆体は、上記したハロゲン化銀乳剤層の他に、非感光性層を支持体から最も遠い最外層（保護層）として有していても良い。該最外層は、当業界で公知の界面活性剤、現像抑制剤、イラジエーション防止色素、顔料、マット剤、滑剤などを含有することができる。
【００７１】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、無論この記述により本発明が制限されるものではない。
【実施例】
【００７２】
（実施例１）
支持体として幅が６６０ｍｍ、長さが４０ｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（全光線透過率９０％、厚み１００μｍ）を用いた。物理現像核層を塗布する前に、このフィルムにゼラチンを５００ｍｇ／ｍ２含有するベース層を塗布、乾燥し、一旦ロール状に巻き取った。
【００７３】
次に、硫化パラジウムゾル液を下記のようにして作製し、得られたゾルを用いて物理現像核液を作製した。
【００７４】
＜硫化パラジウムゾルの調製＞
Ａ液    塩化パラジウム                                  ５ｇ
塩酸                                          ４０ｍＬ
蒸留水                                    １０００ｍＬ
Ｂ液    硫化ソーダ                                  ８．６ｇ
蒸留水                                    １０００ｍＬ
Ａ液とＢ液を撹拌しながら混合し、３０分後にイオン交換樹脂の充填されたカラムに通し硫化パラジウムゾルを得た。
【００７５】
＜物理現像核液組成／１ｍ２あたり＞
前記硫化パラジウムゾル                              ０．４ｍｇ
２質量％のグルタルアルデヒド溶液                  ０．０８ｍＬ
１０質量％ＳＰ−２００水溶液                        ０．５ｍｇ
（日本触媒（株）製ポリエチレンイミン；平均分子量１０，０００）
【００７６】
この物理現像核液を硫化パラジウムが固形分で０．４ｍｇ／ｍ２になるように、ベース層の上に塗布した。
【００７７】
続いて、上記物理現像核層を塗布した側と反対側の面に下記組成の裏塗り層を塗布した。
＜裏塗り層組成／１ｍ２あたり＞
ゼラチン                                                ２ｇ
不定形シリカマット剤（平均粒径５μｍ）                ２０ｍｇ
染料１                                              ２００ｍｇ
界面活性剤（Ｓ−１）                                ４００ｍｇ
【００７８】
【化１】
2015133240.tif 000002
【００７９】
【化２】
2015133240.tif 000003
【００８０】
続いて、支持体に近い方から順に下記組成の中間層、ハロゲン化銀乳剤層、及び最外層を上記物理現像核層の上に塗布し、ロール状に巻き取った。ハロゲン化銀乳剤は、写真用ハロゲン化銀乳剤の一般的なダブルジェット混合法で製造した。このハロゲン化銀乳剤は、塩化銀９５モル％と臭化銀５モル％で、平均粒径が０．１５μｍになるように調製した。このようにして得られたハロゲン化銀乳剤を定法に従いチオ硫酸ナトリウムと塩化金酸を用い、金イオウ増感を施した。こうして得られたハロゲン化銀乳剤は銀１ｇあたり０．５ｇのゼラチンを含む。
【００８１】
＜中間層組成／１ｍ２あたり＞
ゼラチン                                            ０．５ｇ
界面活性剤（Ｓ−１）                                  ５ｍｇ
【００８２】
＜ハロゲン化銀乳剤層組成／１ｍ２あたり＞
ゼラチン                                            １．０ｇ
ハロゲン化銀乳剤                                    ６．０ｇ銀相当
１−フェニル−５−メルカプトテトラゾール            ３．０ｍｇ
界面活性剤（Ｓ−１）                                  ２０ｍｇ
【００８３】
＜最外層組成／１ｍ２あたり＞
ゼラチン                                                １ｇ
不定形シリカマット剤（平均粒径３．５μｍ）            １０ｍｇ
界面活性剤（Ｓ−１）                                  １０ｍｇ
【００８４】
このようにして得た導電性材料前駆体を、特開２００７−２２５８８４号公報に記載の連続露光機で露光した。露光光源は三菱電機照明株式会社製直管蛍光ランプＦＬ４０ＳＤを用いた。露光の際に用いた透過原稿は、細線幅１０μｍ、格子間隔が３００μｍの菱形のメッシュパターンを有し、該メッシュパターンは幅が５ｍｍ、長さが３００ｍｍの短冊状である。また個々の短冊状のメッシュパターンの両端には、該メッシュパターン部の抵抗値を測定するための画像部（幅が５ｍｍ、長さが２ｍｍ）を設けた。そして該透過原稿はこのような短冊状の画像を４０本有する。
【００８５】
上記した導電性材料前駆体の先端部と後端部にリードフィルムをつなぎ合わせ、得られるメッシュパターンの細線幅が、上記した透過原稿のメッシュパターンの細線幅と同じになるように連続露光機のラインスピードを調整し、４０本の短冊状の導通パターンを１セットとし、この画像を１００セット露光し、一旦巻き取った。
【００８６】
その後、露光した導電性材料前駆体を、図１に記載した処理装置で処理した。現像槽２０に２２℃の下記組成の拡散転写現像液を満たし、現像液に７５秒間浸漬するように処理装置のラインスピードを調整した。水洗処理部３０のシャワーノズル３１には、温純水タンクより、２５℃における導電度が０．２ｍＳ／ｍの水を３５℃とした温純水を供給し、現像処理後のウエブＦが有する中間層、ハロゲン化銀乳剤層、および最外層を水洗除去した。ウエブＦのハロゲン化銀乳剤層を有さない側の面には、水洗液貯留槽３３に貯留された水をシャワーノズル３１Ｂから供給し、裏塗り層を水洗除去した。
【００８７】
さらに水洗処理部３０を通過したウエブＦに対し、リンス処理部４０において不要成分を水洗した。リンス処理部４０のシャワーノズル４１には、温純水タンクより、２５℃における導電度が０．２ｍＳ／ｍの水を３５℃に保温した温純水を供給し、ウエブＦの導通パターンが形成された面を水洗した。ウエブＦの導通パターンが形成されていない反対側の面には、シャワーノズル４１Ｂに水洗液貯留槽４３に貯留された水を供給し、水洗した。そしてその後、乾燥部５０にて、５５℃温風によってウエブＦを乾燥させ、巻き取り軸６１に巻き取った。このようにして、実施例１の導電性材料を得た。なお得られたメッシュパターン部は透過原稿の細線幅および格子間隔を忠実に再現しており、またメッシュパターン部を構成する細線の厚みは０．１２μｍであった。
【００８８】
＜拡散転写現像液組成＞
水酸化カリウム                                        ７０ｇ
ハイドロキノン                                        ３０ｇ
１−フェニル−３−ピラゾリドン                          ３ｇ
亜硫酸カリウム                                      １５０ｇ
Ｎ−メチルエタノールアミン                              ４ｇ
８５％リン酸                                          ３４ｇ
臭化カリウム                                        １．５ｇ
全量を水で１０００ｍＬとする。
ｐＨ＝１２．２に調整する。
【００８９】
（実施例２）
実施例１の導電性材料の製造において、水洗処理部３０のシャワーノズル３１から供給した温純水を、２５℃における導電度が４．０ｍＳ／ｍの水を３５℃に保温した温純水に変更した以外は実施例１と同様にして、実施例２の導電性材料を得た。
【００９０】
（実施例３）
実施例１の導電性材料の製造において、リンス処理部４０のシャワーノズル４１から供給した温純水を、２５℃における導電度が１０ｍＳ／ｍの水を３５℃に保温した温純水に変更した以外は実施例１と同様にして、実施例３の導電性材料を得た。
【００９１】
（実施例４）
実施例１の導電性材料の製造において作製した露光済みの導電性材料前駆体を１０本準備し、実施例１と同様にして１０本連続して現像処理し、１０本目の導電性材料を実施例４の導電性材料として得た。
【００９２】
（比較例１）
実施例１の導電性材料の製造において、水洗処理部３０のシャワーノズル３１から供給した温純水を、２５℃における導電度が６．０ｍＳ／ｍの水を３５℃に保温した温純水に変更した以外は実施例１と同様にして、比較例１の導電性材料を得た。
【００９３】
＜歩留まりの評価＞
上記した実施例１〜４および比較例１の導電性材料が有する１００セットの導通パターンそれぞれについて、個々の導通パターンが有する４０本のパターンの抵抗値を抵抗計（日置電機（株）製ＲＭ３５４８）を用いて測定した。４０本中一本でも断線が確認されたものは不良品として除外し、歩留まり率を表１に示した。
【００９４】
＜平均抵抗値＞
１００セットの導通パターン中、先頭から１セット目、５０セット目、および１００セット目の導通パターンが有する４０本の導通パターンの抵抗値を測定し、この平均抵抗値を表１に示した。
【００９５】
【表１】
2015133240.tif 000004
【００９６】
表１の結果から、本発明によって優れた導電性を有する導通パターンが高い歩留まりで製造できることが判る。
【符号の説明】
【００９７】
１１  巻き出し軸
１２  導電性材料前駆体
２０  現像槽
２４  空中現像部
３０  水洗処理部
３１  ４１  シャワーノズル
４０  リンス処理部
５０  乾燥部
Ｆ    ウエブ
【図１】
2015133240.tif 000005