(57)【要約】【課題】半導体素子や平板ディスプレイを製造するための薄膜蒸着工程において、蒸着工程毎に所定の均一な量の蒸着ガスが供給できるようにする蒸着ガス供給装置を提供する。【解決手段】本発明に係る蒸着ガス供給装置（１００）は、蒸着物質が貯蔵される蒸着物質貯蔵部（２００）と、蒸着物質を加熱して蒸着ガスを発生させる蒸着物質蒸発部（３００）と、キャリアガスを供給するキャリアガス供給部（４００）とを備える蒸着ガス供給装置（１００）であって、蒸着物質貯蔵部（２００）と蒸着物質蒸発部（３００）との間に配置される蒸着物質供給部（５００）をさらに備え、蒸着物質供給部５００は、蒸着工程毎に蒸着物質蒸発部３００に所定の一定量の蒸着物質を供給することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着ガス供給装置であって、
蒸着物質を貯蔵する蒸着物質貯蔵部と、
前記蒸着物質を加熱して蒸着ガスを発生させる蒸着物質蒸発部と、
前記蒸着ガスを蒸着装置へ搬送するためのキャリアガスを供給するキャリアガス供給部と、
前記蒸着物質貯蔵部と前記蒸着物質蒸発部との間に配置され、蒸着工程毎に、前記蒸着物質蒸発部に対して一定量の前記蒸着物質を供給するように構成された蒸着物質供給部とを備えることを特徴とする蒸着ガス供給装置。
【請求項２】
前記蒸着物質蒸発部に連通して配置され、蒸着工程毎に、前記蒸着物質蒸発部の内部に残留した前記蒸着物質を排出するように構成された蒸着物質排出部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項３】
前記蒸着物質蒸発部の内部に配置されたヒータをさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項４】
前記ヒータが、該ヒータにより発生した熱の温度を測定するための温度測定器をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項５】
前記蒸着物質貯蔵部が、所定の大きさ以下の前記蒸着物質のみを通過させるフィルタ部を備えることを特徴とする請求項１に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項６】
前記蒸着物質貯蔵部が、その内部に貯蔵されている前記蒸着物質を観察するための第１の監視窓をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項７】
前記蒸着物質貯蔵部から前記蒸着物質供給部への前記蒸着物質の供給を観察するための第２の監視窓をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項８】
前記蒸着物質供給部が、
本体部と、
前記本体部の内部に回転可能に設置された回転式供給台と、
前記回転式供給台に形成され、前記蒸着物質貯蔵部から供給された前記蒸着物質が充填される充填部と、
前記回転式供給台の下側に配置され、前記本体部の内部空間を上下に仕切る隔離板と、
前記隔離板に形成され、前記充填部に対応する形状を有する供給孔とを備えており、
前記回転式供給台を所定の角度回転させて前記充填部を前記供給孔の真上の位置に移動させ、前記充填部に充填された前記蒸着物質を前記供給孔を通して落下させることができるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項９】
前記回転式供給台の回転角度を測定するための第１のセンサをさらに備えることを特徴とする請求項８に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項１０】
前記供給孔からの前記蒸着物質の落下を検出するための第２のセンサをさらに備えることを特徴とする請求項８に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項１１】
前記蒸着物質蒸発部から前記蒸着物質供給部への蒸着ガスの逆流を防止するための逆流防止ガスを提供する逆流防止ガス供給部をさらに備えることを特徴とする請求項８に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項１２】
前記蒸着物質貯蔵部から前記充填部へ前記蒸着物質を供給するための蒸着物質供給管をさらに備え、
前記供給孔を、前記隔離板における前記蒸着物質供給管の真下の位置に対して所定の角度をなす位置に形成したことを特徴とする請求項８に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項１３】
前記蒸着物質排出部が、
前記蒸着物質蒸発部の内部に上下反転可能に設置され、前記蒸着物質蒸発部内に残留した前記蒸着物質が堆積される蒸着物質受け台と、
前記蒸着物質受け台を上下反転させるための反転アクチュエータと、
前記蒸着物質蒸発部から排出された前記蒸着物質を保管するための蒸着物質保管筒とを備えており、
前記反転アクチュエータによって前記蒸着物質受け台を上下に反転させ、前記蒸着物質受け台上に堆積した前記蒸着物質を前記蒸着物質保管筒内へ落下させることができるようにしたことを特徴とする請求項２に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項１４】
前記蒸着物質受け台に結合され、内部に前記ヒータが挿入される管状のヒータ連結軸をさらに備え、
前記ヒータ連結軸が、前記反転アクチュエータの回転軸と同軸上に配置されたことを特徴とする請求項１３に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項１５】
前記反転アクチュエータの回転角度を測定するための第３のセンサをさらに備えることを特徴とする請求項１３に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項１６】
前記蒸着物質受け台と前記蒸着物質保管筒との間に配置されたゲートバルブと、
前記ゲートバルブを開閉するための空圧シリンダとをさらに備え、
前記蒸着物質受け台の上下反転動作に連動して前記空圧シリンダで前記ゲートバルブを開閉し、前記蒸着物質の排出時にだけ前記ゲートバルブが開放されるようにしたことを特徴とする請求項１３に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項１７】
前記蒸着物質保管筒が、その内部に保管された前記蒸着物質を観察するための第３の監視窓をさらに備えることを特徴とする請求項１３に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項１８】
前記蒸着物質蒸発部が、前記蒸着物質を均一に分散させるための分散部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の蒸着ガス供給装置。
【請求項１９】
前記蒸着物質蒸発部が、その内部に配置され、前記ヒータの熱を前記蒸着物質蒸発部の中心部へ伝導するための熱伝導部をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載の蒸着ガス供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着物質を均一に供給するための蒸着ガス供給装置に関し、より詳細には、半導体素子や平板ディスプレイを製造するための薄膜蒸着工程において、蒸着工程毎に所定の均一な量の蒸着ガスを供給することができる蒸着ガス供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子や平板ディスプレイの製造においては、様々な種類の薄膜が蒸着される。薄膜蒸着方法は、大きく分けて、物理気相蒸着法（ＰＶＤ：Physical Vapor Deposition）と、化学気相蒸着法（ＣＶＤ：Chemical Vapor Deposition）とがある。
【０００３】
化学気相蒸着法は、蒸着物質をガスの形態で基板表面に移動させ、前記ガスを反応させることにより基板表面に薄膜を蒸着させる方法である。化学気相蒸着法は、蒸着物質を選択することによって様々な種類の薄膜を形成することが可能であり、比較的簡単な作業工程で大量処理が可能であるという利点があるため、幅広く利用されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
化学気相蒸着法の場合、蒸着圧力は、蒸着物質をガスの形態で供給する蒸着ガス供給装置から供給される蒸着ガスの流量（すなわち、蒸着ガスの圧力）に直接的に影響を受ける。したがって、化学気相蒸着法において蒸着圧力を適切に制御するためには、何よりも蒸着ガス供給装置における蒸着ガスの圧力を正確に調節しなければならない。蒸着ガスの圧力調節は、蒸着速度を精密かつ一定に調節する必要がある場合に特に重要である。
【０００５】
しかしながら、従来の蒸着ガス供給装置では、蒸着ガスを発生させる蒸着物質蒸発部内に残留している蒸着物質の量によって蒸着物質の蒸発量が異なるため、蒸着ガスの圧力を正確に調節することができなかった。また、加熱による蒸着物質の気化及び凝縮過程が繰り返されると、蒸着物質の表面に形成される凹凸の形状及び表面積が変化し続けることにより、蒸着物質の表面で発生する蒸着ガスの蒸発量が異なるため、蒸着ガスの圧力を正確に調節することができなかった。
【０００６】
このように、蒸着ガスの圧力を正確に調節できない状態で蒸着工程が行われると、基板上に形成される薄膜の再現性及び歩留まりが低下するという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであって、本発明は、所定の均一な量の蒸着物質を蒸着物質蒸発部に供給し、蒸着工程毎に所定の均一な量の蒸着ガスを供給することができる蒸着ガス供給装置を提供することを目的とする。
【０００８】
また、本発明は、蒸着工程の完了後に、蒸着物質蒸発部内に残留している蒸着物質を蒸着物質蒸発部の外部に排出し、蒸着工程毎に所定の均一な量の蒸着ガスを供給することができる蒸着ガス供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明に係る蒸着ガス供給装置は、蒸着物質が貯蔵される蒸着物質貯蔵部と、前記蒸着物質に熱を印加して蒸着ガスを発生させる蒸着物質蒸発部と、キャリアガスを供給するキャリアガス供給部とを備える蒸着ガス供給装置であって、前記蒸着物質貯蔵部と前記蒸着物質蒸発部との間に配置される蒸着物質供給部をさらに備え、前記蒸着物質供給部は、蒸着工程毎に前記蒸着物質蒸発部に一定量の前記蒸着物質を供給することを特徴とする。
【００１０】
前記蒸着物質蒸発部に連結されて配置される蒸着物質排出部をさらに備え、前記蒸着物質排出部は、蒸着工程毎に前記蒸着物質蒸発部に残留する前記蒸着物質を排出することができる。
【００１１】
前記蒸着物質蒸発部の内側に配置されるヒータをさらに備えることができる。
【００１２】
前記ヒータは、温度をチェックする温度検出器をさらに備えることができる。
【００１３】
前記蒸着物質貯蔵部は、一定の大きさ以下の前記蒸着物質のみを通過させるフィルタ部を備えることができる。
【００１４】
前記蒸着物質貯蔵部は、内部に貯蔵されている前記蒸着物質を観察できる第１の監視窓をさらに備えることができる。
【００１５】
前記蒸着物質貯蔵部から前記蒸着物質供給部への前記蒸着物質の供給を観察できる第２の監視窓をさらに備えることができる。
【００１６】
前記蒸着物質供給部は、本体部と、前記本体部の内部に回転可能に設置される回転式供給台と、前記回転式供給台に形成される充填部と、前記本体部の内部を上下に区分する隔離板と、前記充填部に対応するように前記隔離板に形成される供給孔とを備え、前記充填部に外部から供給された前記蒸着物質が充填され、前記回転式供給台が任意の角度だけ回転し、前記充填部が前記供給孔の上部に位置すると、前記充填部に充填されていた前記蒸着物質が前記供給孔を介して落下し、前記蒸着物質蒸発部に供給され得る。
【００１７】
前記回転式供給台の回転の有無をチェックする第１のセンサをさらに備えることができる。
【００１８】
前記蒸着物質の落下の有無をチェックする第２のセンサをさらに備えることができる。
【００１９】
前記蒸着物質蒸発部から前記蒸着物質供給部への蒸着ガスの逆流を防止する逆流防止ガス供給部をさらに備えることができる。
【００２０】
蒸着物質供給管を介して前記蒸着物質が前記充填部に供給され、前記供給孔は、前記蒸着物質供給管と任意の角距離をおいて形成され得る。
【００２１】
前記蒸着物質排出部は、前記蒸着物質蒸発部の内部に上下反転可能に設置される蒸着物質受け台と、前記蒸着物質受け台の一端に連結される反転アクチュエータと、前記蒸着物質蒸発部から排出される前記蒸着物質を保管する蒸着物質保管筒とを備え、前記反転アクチュエータの動作により前記蒸着物質受け台が反転し、前記蒸着物質受け台上の前記蒸着物質が前記蒸着物質保管筒に移動することができる。
【００２２】
前記蒸着物質受け台に形成され、内側には前記ヒータが挿入される管状のヒータ連結軸をさらに備え、前記ヒータ連結軸は、前記反転アクチュエータの回転軸と同軸上に配置され得る。
【００２３】
前記反転アクチュエータの回転の有無をチェックする第３のセンサをさらに備えることができる。
【００２４】
前記蒸着物質受け台と連動して開閉するゲートバルブと、前記ゲートバルブに連結される空圧シリンダとをさらに備え、前記蒸着物質受け台の反転時、前記空圧シリンダは、前記ゲートバルブを開放させて前記蒸着物質を排出させることができる。
【００２５】
前記蒸着物質保管筒は、前記蒸着物質の排出を確認するための第３の監視窓をさらに備えることができる。
【００２６】
前記蒸着物質蒸発部は、前記蒸着物質を均一に分散させる分散部をさらに備えることができる。
【００２７】
前記蒸着物質蒸発部は、内側に配置される熱伝導部をさらに備え、前記熱伝導部により前記ヒータの熱が前記蒸着物質蒸発部の中心部まで伝導可能である。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、薄膜蒸着工程時、蒸着工程毎に均一な量の蒸着ガスを供給できるため、薄膜蒸着工程の再現性及び歩留まりを画期的に向上させる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の一実施形態に係る蒸着ガス供給装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る蒸着物質貯蔵部の一例を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る蒸着物質貯蔵部の他の例を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る蒸着物質供給部の構成を示す分解斜視図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る蒸着物質供給部の構成を示す部分断面斜視図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る蒸着物質蒸発部及び蒸着物質排出部の構成を示す図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る蒸着物質蒸発部及び蒸着物質排出部の構成を示す分解斜視図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る蒸着物質蒸発部及び蒸着物質排出部の構成を示す断面図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る蒸着ガス供給装置の動作を示す図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る蒸着ガス供給装置の動作を示す図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る蒸着ガス供給装置の動作を示す図である。
【図１２】本発明の一実施形態に係る蒸着ガス供給装置の動作を示す図である。
【図１３】本発明の他の実施形態に係る蒸着物質供給部の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
後述する本発明に関する詳細な説明は、本発明が実施できる特定の実施形態を例示として示す添付図面を参照する。これらの実施形態は、当業者が本発明を実施できるように十分に詳細に説明される。本発明の多様な実施形態は互いに異なるが、相互排他的である必要はない。例えば、ここに記載されている特定の形状、構造及び特性は一実施形態に関連し、本発明の精神及び範囲を逸脱しない範囲内で他の実施形態で実現可能である。また、各々の開示された実施形態における個別構成要素の位置または配置は、本発明の精神及び範囲を逸脱しない範囲内で変更可能であることが理解されなければならない。したがって、後述する詳細な説明は、限定的な意味として受け止めるべきではなく、本発明の範囲は、適切に説明された場合、その請求項が主張するのと均等なすべての範囲とともに添付した請求項によってのみ限定される。図面において、類似の参照符号は、様々な側面から同一または類似の機能を表し、長さ及び面積、厚さなどとその形態は、便宜上、誇張され得る。
【００３１】
以下、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を容易に実施できるようにするために、本発明の好ましい実施形態について、添付した図面を参照して詳細に説明する。
【００３２】
図１は、本発明の一実施形態に係る蒸着ガス供給装置１００の構成を示す図である。
【００３３】
まず、図１に示すように、本発明に係る蒸着ガス供給装置１００は、蒸着物質貯蔵部２００と、蒸着物質蒸発部３００と、キャリアガス供給部４００と、蒸着物質供給部５００とを備えて構成することができる。
【００３４】
ここで、蒸着物質貯蔵部２００、蒸着物質蒸発部３００、及び蒸着物質供給部５００は、蒸着物質供給管２５０を介して上下に連通配置されており、蒸着物質は、蒸着物質貯蔵部２００から蒸着物質供給部５００へ、そして、蒸着物質供給部５００から蒸着物質蒸発部３００へ、自由落下の原理により供給可能である。
【００３５】
以下、図２〜図５を参照して、本発明の一実施形態に係る蒸着ガス供給装置１００の構成について詳細に説明する。
【００３６】
まず、蒸着物質貯蔵部２００は、所定量の蒸着物質を貯蔵する機能を果たすことができる。また、蒸着物質貯蔵部２００は、後述する蒸着物質蒸発部３００に蒸着物質を供給する機能を果たすことができる。
【００３７】
図２は、本発明の一実施形態に係る蒸着物質貯蔵部２００の一例を示す図である。
【００３８】
図２に示すように、蒸着物質貯蔵部２００は、蒸着物質を貯蔵できるように所定の内部容積を有する容器で構成できる。蒸着物質貯蔵部２００は、外部の異質物が侵入したり、内部の蒸着物質が流出したりしないように強固に製作されることが好ましい。蒸着物質貯蔵部２００の材質は、ステンレス鋼を含むことができる。
【００３９】
さらに、図２に示すように、蒸着物質供給管２５０が蒸着物質貯蔵部２００に連通連結されていることを確認することができる。蒸着物質供給管２５０は、蒸着物質貯蔵部２００と蒸着物質蒸発部３００とを連通連結し、蒸着物質貯蔵部２００に貯蔵されている蒸着物質を蒸着物質蒸発部３００に供給できるようにする。
【００４０】
説明していない図面符号「２１０」は、蒸着物質貯蔵部２００にパージガスを供給するためのパージガス供給管を表す。
【００４１】
図３は、本発明の一実施形態に係る蒸着物質貯蔵部２００の他の例を示す図である。
【００４２】
図３に示すように、蒸着物質貯蔵部２００の内部には、所定の目の大きさを有するフィルタ部２２０が配置され得る。フィルタ部２２０としては、所定の目の大きさを有するメッシュ（mesh）が使用可能である。フィルタ部２２０の材質は、鉄またはアルミニウムを含むことができる。
【００４３】
フィルタ部２２０は、外部から供給された蒸着物質のうちの、所定の大きさ、すなわち、メッシュの目よりも小さい大きさの蒸着物質のみを蒸着物質蒸発部３００に供給できるようにする。これにより、所定の大きさ以下の蒸着物質のみが蒸着物質蒸発部３００に供給されるため、蒸着物質の粒子の大きさの不均一に起因して蒸着物質供給管２５０が詰まる現象を防止することができる。フィルタ部２２０のフィルタ効果を向上させるために、フィルタ部２２０を複数個配置することもでき、その場合、各フィルタ部２２０の目の大きさは互いに異なるように構成してもよい。
【００４４】
また、図示していないが、蒸着物質貯蔵部２００の一側には、蒸着物質貯蔵部２００の内部を観察するための第１の監視窓が設けられ得る。オペレータは、第１の監視窓を介して、蒸着物質貯蔵部２００内の蒸着物質の量と蒸着物質の状態を目視確認することができる。
【００４５】
図３に示す蒸着物質貯蔵部２００の構成及び作用は、フィルタ部２２０と第１の監視窓を除けば、図２に示す蒸着物質貯蔵部２００と同一であるので、これに関する詳細な説明は省略する。
【００４６】
一方、図１をさらに参照すると、蒸着物質貯蔵部２００と蒸着物質蒸発部３００とを連通連結する蒸着物質供給管２５０上にバルブＶが設けられていることを確認することができる。バルブＶは、蒸着ガス供給装置１００の整備作業時に、蒸着物質貯蔵部２００から蒸着物質供給部５００への蒸着物質の供給を制御する役割を果たす。また、バルブＶは、蒸着物質供給部５００から蒸着物質蒸発部３００へ所定量の蒸着物質が供給された後に、蒸着物質蒸発部３００に追加の蒸着物質が供給されないように蒸着物質供給管２５０を完全に閉鎖する役割を果たすことができる。
【００４７】
蒸着物質供給部５００への蒸着物質の供給を確認するために、蒸着物質貯蔵部２００から蒸着物質供給部５００につながる蒸着物質供給管２５０には、第２の監視窓２６０が設けられ得る。オペレータは、バルブＶの下端に設けられた第２の監視窓２６０を介して、蒸着物質がバルブＶを通過して蒸着物質供給部５００に供給されていることを確認することができる。第２の監視窓２６０の材質は、石英を含むことができる。
【００４８】
また、図１をさらに参照すると、後述する蒸着物質供給部５００と蒸着物質蒸発部３００とを連通連結する蒸着物質供給管２５０上には、冷却ユニット２７０が設置され得る。冷却ユニット２７０は、蒸着物質蒸発部３００において蒸着ガスを発生させるために加えられた熱が、蒸着物質供給管２５０を介して蒸着物質供給部５００に伝達されることを防止する機能を果たすことができる。
【００４９】
次に、蒸着物質蒸発部３００は、所定の内部容積を有する容器で構成され、蒸着物質供給部５００から供給された蒸着物質を加熱して蒸着ガスを発生させる機能を果たすことができる。蒸着物質蒸発部３００と蒸着物質供給管２５０との連結部位にはシール用Ｏリング３０２（図７）が配置され得る。蒸着物質蒸発部３００の具体的な構成については、図６〜図８を参照して後述する。
【００５０】
次に、キャリアガス供給部４００は、蒸着物質蒸発部３００にキャリアガスを供給する機能を果たすことができる。ここで、キャリアガスは、蒸着物質蒸発部３００で発生させた蒸着ガスを蒸着チャンバ（図示せず）に移動させる役割を果たすことができる。
【００５１】
図１をさらに参照すると、キャリアガス供給部４００は、ガス供給管４１０と、ガス排気管４２０とを備えて構成することができる。
【００５２】
ガス供給管４１０及びガス排気管４２０は、蒸着物質蒸発部３００の一側に連結可能である。また、ガス供給管４１０及びガス排気管４２０には、ガスの移動を制御するためのバルブが連結可能である。一方、キャリアガスとしては、不活性で、かつ蒸着ガスを蒸着チャンバに容易に移動させることが可能な高純度のアルゴン、ヘリウム、窒素などを使用できる。
【００５３】
次に、蒸着物質供給部５００は、蒸着物質供給管２５０を介して蒸着物質蒸発部３００に供給される蒸着物質の量を調節する機能を果たすことができる。特に、本発明の蒸着物質供給部５００は、蒸着工程毎に均一な量の蒸着物質を蒸着物質蒸発部３００に供給できるようにする。以下、図４及び図５を参照して、蒸着物質供給部５００の構成及び各構成要素の機能について説明する。
【００５４】
図４及び図５は、本発明の一実施形態に係る蒸着物質供給部５００の構成を示す分解斜視図及び部分断面斜視図である。
【００５５】
図４及び図５に示すように、蒸着物質供給部５００は、基本的に、本体部５１０と、回転式供給台５２０と、充填部５３０と、隔離板５４０と、供給孔５５０とを備えて構成することができる。
【００５６】
また、蒸着物質供給部５００は、第１のセンサ５６０と、第２のセンサ５７０とをさらに備えることができる。
【００５７】
さらに、蒸着物質供給部５００は、逆流防止ガス供給部５８０をさらに備えることができる。
【００５８】
まず、本体部５１０は、蒸着物質供給部５００の構成要素が設置される骨格としての役割を果たすことができる。本体部５１０は、蒸着物質供給管２５０の中間部に連結可能であり、内部に所定の空間を有する円筒状に構成可能である。また、本体部５１０は、外部の異質物が侵入したり、内部の蒸着物質が流出したりしないように強固に製作される。本体部５１０の材質は、ステンレス鋼を含むことができる。また、本体部５１０の下部内側を逆三角形の断面形状に構成し、蒸着物質が本体部５１０の外部に容易に排出できるようにすることが好ましい。
【００５９】
本体部５１０の内部に設置される構成要素の修理及び管理のために、本体部５１０の上部には、蓋５１２が開閉可能に設置され得る。蓋５１２の材質は、本体部５１０と同じように、ステンレス鋼を含むことができる。蓋５１２と本体部５１０との連結部位には、シール用Ｏリング５１４が配置され得る。一方、本体部５１０の一側には、一対の冷却管５０２が連結され得、本体部５１０の上部には、後述する逆流防止ガス供給部５８０が連結され得る。
【００６０】
次に、回転式供給台５２０は、本体部５１０の内部に回転可能に設置され、蒸着物質貯蔵部２００から蒸着物質蒸発部３００へ所定の一定量の蒸着物質を供給する機能を果たすことができる。回転式供給台５２０は、所定の厚さを有する円形のプレート状に構成可能である。回転式供給台５２０の中心軸は、回転アクチュエータ５２２に連結可能であり、回転アクチュエータ５２２の回転動作により、回転式供給台５２０は回転動作することができる。このとき、回転式供給台５２０は、予め設定された所定の角度（例えば９０度）ずつ回転動作することができる。一方、回転アクチュエータ５２２は、本体部５１０の上部外側に配置され得る。
【００６１】
回転式供給台５２０の回転を容易にするために、回転式供給台５２０の上部と下部には、テフロン（登録商標）材質のリング５１６がさらに配置され得る。
【００６２】
次に、充填部５３０は、回転式供給台５２０の所定の位置に形成され、蒸着物質供給管２５０を介して供給された蒸着物質が充填される空間としての役割を果たすことができる。充填部５３０は、所定の容積を有する底なし円筒状の空間として構成され得る。充填部５３０の容積は、１回の蒸着工程に要する蒸着ガスを発生させるのに必要な量の蒸着物質を貯蔵できる大きさであることが好ましい。
【００６３】
さらに、図４及び図５に示す実施形態では、２つの充填部５３０は、互いに９０度の角度をなして設けられているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、それ以上の角度で、例えば、互いに１８０度の角度をなして設けてもよい。
【００６４】
次に、隔離板５４０は、回転式供給台５２０の下側に設置され、本体部５１０の内部空間を上部と下部に仕切る機能を果たすことができる。また、隔離板５４０は、後述するように、供給孔５５０によって、充填部５３０に充填されている蒸着物質の蒸着物質蒸発部３００への供給を調節する機能を果たすことができる。
【００６５】
次に、供給孔５５０は、隔離板５４０に形成されており、充填部５３０に充填された蒸着物質を充填部５３０の開放下端から落下させて蒸着物質蒸発部３００へ供給する機能を果たすことができる。供給孔５５０は、隔離板５４０における蒸着物質供給管２５０の真下の位置に対して所定の角度をなして、例えば、充填部５３０間の角度である９０度の角度をなして設けることが好ましい。また、供給孔５５０の直径は、充填部５３０の開放下端の直径と同一に設定されることが好ましい。
【００６６】
このような構成を有する蒸着物質供給部５００では、蒸着物質は、回転式供給台５２０の充填部５３０、隔離板５４０の供給孔５５０を順に通過して蒸着物質蒸発部３００に供給される。このとき、回転式供給台５２０が回転動作し、回転式供給台５２０の充填部５３０が供給孔５５０の真上の位置に来るたびに、充填部５３０の容積に相当する量の蒸着物質が蒸着物質蒸発部３００に供給される。ここで、充填部５３０の容積は一定であり、充填部５３０に充填される蒸着物質の量も一定であるため、回転式供給台５２０の回転周期に応じて、蒸着物質蒸発部３００に所定の一定量の蒸着物質が供給されることとなる。
【００６７】
図４及び図５に示す実施形態では、回転式供給台５２０に形成された充填部５３０の数は２つになっているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、充填部５３０の数は、蒸着物質の単位時間あたりの供給量に応じて多様な変更が可能である。また、充填部５３０の数を変更しなくても、回転式供給台５２０の回転周期を短くするか、あるいは、充填部５３０の容積、例えば、充填部５３０の直径または高さ（すなわち、回転式供給台５２０の厚さ）を大きくすることによっても、蒸着物質の単位時間あたりの供給量を増やすことができる。言い換えれば、本発明において、蒸着物質供給部５００から蒸着物質蒸発部３００への蒸着物質の単位時間あたりの供給量は、回転式供給台５２０の回転周期、充填部５３０の数及び充填部５３０の容積などを変更することによって多様に変更することができ、本発明においては、いかなる場合でも、蒸着物質蒸発部３００への蒸着物質の単位時間あたり供給量を一定にすることができる。
【００６８】
次に、第１のセンサ５６０（図９）は、回転式供給台５２０と回転アクチュエータ５２２との連結部位に設置され、回転式供給台５２０が予め設定された所定の角度で回転したか否かをチェックする機能を果たすことができる。第１のセンサ５６０は、２つのセンサドッグ（図示せず）と、ドッグ検出部（図示せず）とから構成可能である。センサドッグ及びドッグ検出部は、回転式供給台５２０と回転アクチュエータ５２２とを連結する軸の所定の地点に設置可能である。この場合、オペレータは、センサドッグとドッグ検出部とが接触したか否かをチェックすることによって、回転式供給台５２０が予め設定された所定の角度（例えば９０度）で回転したか否かを確認することができる。
【００６９】
次に、第２のセンサ５７０は、本体部５１０の下部の一側に設置され、供給孔５５０を通って蒸着物質が落下したか否かをチェックする機能を果たすことができる。第２のセンサ５７０は、可視光を利用する光センサを用いることができる。第２のセンサ５７０は、本体部５１０の下部外側に配置された連結キャップ５７６の一側に、固定ブラケット５７２を用いて配置され得る。連結キャップ５７６は、第２のセンサ５７０及び第１の透明窓５７４の設置を容易にするために、本体部５１０の下部外側に配置される。本体部５１０と連結キャップ５７６との連結部位には、シール用Ｏリング５１８が配置され得る。
【００７０】
次に、逆流防止ガス供給部５８０は、本体部５１０の上部に連結され、蒸着物質蒸発部３００で発生した蒸着ガスが蒸着物質供給部５００に逆流するのを防止する機能を果たすことができる。このため、逆流防止ガス供給部５８０は、逆流防止ガスを本体部５１０に供給することができる。本体部５１０に供給された逆流防止ガスは、本体部５１０の内部を所定の圧力状態に維持する機能を果たすだけでなく、本体部５１０の内部に残留している蒸着物質を排出する機能も果たす。逆流防止ガスは、キャリアガス供給部４００と同一のラインを介して逆流防止ガス供給部５８０に供給され得る。逆流防止ガスはアルゴンであり得る。
【００７１】
図１をさらに参照すると、本発明に係る蒸着ガス供給装置１００は、蒸着物質排出部６００をさらに備えることができる。
【００７２】
蒸着物質排出部６００は、蒸着物質蒸発部３００内に残留している蒸着物質を排出する機能を果たすことができる。言い換えれば、蒸着物質排出部６００は、蒸着物質蒸発部３００に供給された蒸着物質のうちの、蒸着チャンバに供給されなかった蒸着物質を、自由落下の原理を用いて排出させる機能を果たすことができる。以下、図６〜図８を参照して、蒸着物質蒸発部３００及び蒸着物質排出部６００の構成及び各構成要素の機能について説明する。
【００７３】
図６、図７及び図８は、本発明の一実施形態に係る蒸着物質蒸発部３００及び蒸着物質排出部６００の構成を示す図、分解斜視図及び断面図である。
【００７４】
図６〜図８に示すように、蒸着物質蒸発部３００は、ヒータ３１０を備えて構成することができる。
【００７５】
ヒータ３１０は、蒸着物質蒸発部３００の内部に配置され、蒸着物質の気化に必要な熱を発生させる機能を果たすことができる。ヒータ３１０で発生させた熱は、後述する蒸着物質受け台６１０に堆積されている蒸着物質に印加可能である。ヒータ３１０は、所定の長さを有する円形のロッド状に構成可能である。ヒータ３１０による加熱効果を向上させるために、ヒータ３１０の先端部、すなわち、蒸着物質受け台６１０に接触するヒータ３１０の端部において発熱を集中させるようにする。
【００７６】
ヒータ３１０には、熱を発生させるために電源を供給する電源線３１２と、発生した熱の温度を測定する温度測定器３１４とが接続されている。温度測定器３１４としては、熱電対（thermocouple）を使用することが好ましい。熱電対は、本技術分野において広く知られた公知の構成要素であるため、熱電対の構成及び作用に関する詳細な説明は省略する。
【００７７】
ヒータ３１０の先端部は、後述する蒸着物質受け台６１０に密接に結合され得る。ヒータ３１０と蒸着物質受け台６１０との結合については後述する。
【００７８】
一方、図示していないが、蒸着物質蒸発部３００の下部内側には、円錐状の分散部（図示せず）が配置され得る。蒸着物質供給部５００から供給された蒸着物質は、分散部の表面に堆積され、分散部上で均一に分散させられる。これにより、蒸着物質蒸発部３００内に供給された蒸着物質に対してヒータ３１０の熱を迅速かつ均一に伝達できるため、蒸着物質を蒸着ガスにより容易に変換できるようになる。
【００７９】
円錐状の分散部の対称となる傾斜面には、階段状のパターン（図示せず）が形成され得る。階段状のパターンは、蒸着物質を分散部上に規則的に分布させる機能を果たすことができる。このとき、分散部の高さ中央部に位置する階段の幅よりも分散部の下縁部に位置する階段の幅がより大きくなるように形成できる。この階段状のパターンにより、蒸着物質に対してヒータ３１０の熱を効率よく伝達できるようになる。
【００８０】
また、円錐状の分散部において対称となる傾斜面には、階段状のパターンでなく、１／４の球状のパターン（図示せず）が形成されてもよい。場合によっては、四角形の階段状のパターンよりも直径を有する１／４の球状のパターンの方が蒸着物質を分散させるのに有利となり得る。
【００８１】
一方、図示していないが、蒸着物質蒸発部３００の内部には、熱伝導部（図示せず）が配置され得る。熱伝導部は、ヒータ３１０で発生させた熱を蒸着物質蒸発部３００の外壁から蒸着物質蒸発部３００の中心部まで迅速に伝導する機能を果たすことができる。これにより、蒸着物質の加熱が全体的に均一に行われ、蒸着物質の局所的な凝結及び硬化を防止することができる。熱伝導部は、ボール、メッシュ及び熱板などの形態で構成可能である。熱伝導部の材質は、銅、アルミニウムまたはステンレス鋼を含むことができる。
【００８２】
図６〜図８に示すように、蒸着物質排出部６００は、蒸着物質受け台６１０と、反転アクチュエータ６２０と、蒸着物質保管筒６３０とを備えて構成することができる。
【００８３】
また、蒸着物質排出部６００は、ゲートバルブ６５０と、エアシリンダ６６０とをさらに備えることができる。
【００８４】
まず、蒸着物質受け台６１０は、蒸着物質蒸発部３００の内部に上下反転可能に設置されており、蒸着物質供給部５００を介して供給された蒸着物質を一時的に滞在させる機能を果たすことができる。このとき、蒸着物質受け台６１０の上面を平板状に構成し、蒸着物質が蒸着物質受け台６１０上に容易に堆積されるようにすることが好ましい。また、蒸着物質受け台６１０の縁を蒸着物質蒸発部３００の内周面に密着させ、蒸着物質が蒸着物質受け台６１０と蒸着物質蒸発部３００の内壁との間をすり抜けることができないようにすることが好ましい。
【００８５】
蒸着物質受け台６１０の下部には、ヒータ連結軸６１２が結合され得る。ヒータ連結軸６１２は、所定の長さを有する管状に構成され得る。ヒータ連結軸６１２の内側には、ヒータ３１０が挿入可能である。ヒータ連結軸６１２の中心軸は、後述する反転アクチュエータ６２０の回転軸と同軸に設けられることが好ましい。ヒータ連結軸６１２にヒータ３１０が挿入されているとき、ヒータ３１０の離脱防止及び流動防止などのために、フランジ（図示せず）と、固定リング（図示せず）とがさらに配置され得る。蒸着物質受け台６１０及びヒータ連結軸６１２は、熱の伝達が容易な金属材質で構成でき、互いに同じ材質で構成できる。
【００８６】
次に、反転アクチュエータ６２０は、蒸着物質受け台６１０の一側に連結され、蒸着物質受け台６１０を上下に反転させる機能を果たすことができる。このため、反転アクチュエータ６２０の回転軸が蒸着物質受け台６１０の一側に連結可能である。蒸着物質受け台６１０と反転アクチュエータ６２０との連結を強固にするために、固定フランジ６２６と、固定リング６２８とがさらに配置され得る。
【００８７】
反転アクチュエータ６２０は、空圧によって動作することができる。この反転アクチュエータ６２０の動作のために、反転アクチュエータ６２０の一側には、一対の第１の空圧管６２２が連結可能である。一対の第１の空圧管６２２のうちの、一方の第１の空圧管６２２には空圧が供給されるようにし、他方の第１の空圧管６２２からは空圧が排出されるようにすることにより、反転アクチュエータ６２０が回転動作を行うようにすることができる。第１の空圧管６２２による空圧の供給方向が変更されると、反転アクチュエータ６２０の回転方向の変更が可能となる。本実施形態において、反転アクチュエータ６２０は、１回に１８０度回転動作することができる。
【００８８】
一方、反転アクチュエータ６２０の回転動作をチェックするために、第３のセンサ６２４が複数個設置可能である。第３のセンサ６２４は、反転アクチュエータ６２０の回転軸を基準として、互いに１８０度の角度をおいて設置されることが好ましい。オペレータは、反転アクチュエータ６２０の回転軸に設置されたセンサドッグ６２６と第３のセンサ６２４とが接触したか否かをチェックすることによって、反転アクチュエータ６２０が１８０度回転したか否かを確認することができる。
【００８９】
このような構成を有する反転アクチュエータ６２０の動作により、蒸着物質受け台６１０は反転することができる。蒸着物質受け台６１０の反転により、蒸着物質受け台６１０上に堆積していた蒸着物質は下部へ落下することができる。
【００９０】
次に、蒸着物質保管筒６３０は、蒸着物質蒸発部３００の下方に配置され、排出された蒸着物質を保管する機能を果たすことができる。蒸着物質保管筒６３０に保管された蒸着物質は、次回以降の蒸着工程に再使用されるか、あるいは完全に廃棄され得る。蒸着物質保管筒６３０は、所定の内部容積を有する円筒状に構成できる。蒸着物質を保管できるものであれば、蒸着物質保管筒６３０は、円筒状のもの以外にも、様々な形態で構成できる。
【００９１】
蒸着物質保管筒６３０の一側には、蒸着物質保管筒６３０内の蒸着物質を目視確認するための第３の監視窓６４０が所定の大きさに形成され得る。第３の監視窓６４０には、蒸着物質保管筒６３０の内部と外部とを隔離し、かつ蒸着物質の確認を容易にできるように、第２の透明窓６４２が配置され得る。この第２の透明窓６４２の材質は、石英を含むことができる。
【００９２】
ここで、第２の透明窓６４２の大きさが第３の監視窓６４０の大きさに合わせて製作された場合、第２の透明窓６４２の外周面と第３の監視窓６４０の内周面との間に遊びが発生し得る。これを防止するために、第２の透明窓６４２の外周面が蒸着物質保管筒６３０の内周面に密着できるように、第２の透明窓６４２を配置することが好ましい。一方、本実施形態において、第２の透明窓６４２は、蒸着物質保管筒６３０の形状に合わせて円筒状に構成できる。
【００９３】
蒸着物質保管筒６３０とゲートバルブ６５０とは、シール用Ｏリング６３２及び固定プレート６３４により強固に連結可能である。
【００９４】
次に、ゲートバルブ６５０は、蒸着物質蒸発部３００と蒸着物質保管筒６３０との間に配置され、排出された蒸着物質の移動を制御する機能を果たすことができる。ゲートバルブ６５０は、蒸着物質受け台６１０の反転動作と連動して開閉可能である。より具体的には、蒸着物質受け台６１０が上下反転したときは、蒸着物質受け台６１０から落下する蒸着物質が通過できるようにゲートバルブ６５０を開放し、蒸着物質受け台６１０が元の位置に復帰したときは、蒸着物質を通過させないようにゲートバルブ６５０を閉鎖するようにする。
【００９５】
さらに、図８に示すように、ゲートバルブ６５０は、バルブ本体部６５２と、ゲート６５４とを備えて構成することができる。
【００９６】
まず、バルブ本体部６５２は、蒸着物質蒸発部３００と蒸着物質保管筒６３０とを連通連結する機能を果たすことができる。バルブ本体部６５２は、管状に構成され、ゲート６５４により開閉可能である。
【００９７】
次に、ゲート６５４は、平板状に構成され、エアシリンダ６６０により水平に移動する機能を果たすことができる。ここで、ゲート６５４の移動及びエアシリンダ６６０の設置を容易にするために、バルブ本体部６５２の一側には、ゲートハウジング６５６が連結され得る。ゲートハウジング６５６の内部には、ゲート６５４が水平移動可能な空間が形成され得る。
【００９８】
次に、エアシリンダ６６０は、外部から供給される空圧によりゲートバルブ６５０を水平に動作させる機能を果たすことができる。エアシリンダ６６０には、一対の第２の空圧管６６２が連結可能である。一対の第２の空圧管６６２のうちの、一方の第２の空圧管６６２には空圧が供給されるようにし、他方の第２の空圧管６６２からは空圧が排出されるようにすることにより、エアシリンダ６６０は伸縮動作することができる。この場合、第２の空圧管６６２による空圧の供給方向が変更されることにより、エアシリンダ６６０の動作方向が変更されるため、ゲート６５４の移動方向は容易に変更可能である。
【００９９】
以下、図９〜図１２を参照して、本発明の一実施形態に係る蒸着ガス供給装置１００の動作について説明する。
【０１００】
図９〜図１２は、本発明に係る蒸着物質供給部５００の動作を示す図である。ここで、図９及び図１０は、図５のＡ方向における構成を示す図であり、図１１及び図１２は、図５のＢ方向における構成を示す図である。参考に、図９〜図１２において、陰影表示された部分は、蒸着物質を表す。
【０１０１】
まず、オペレータが、蒸着物質供給管２５０上に設けられたバルブＶを開放すると、蒸着物質が蒸着物質供給管２５０を介して自由に移動可能となる。
【０１０２】
次に、図９に示すように、蒸着物質貯蔵部２００に貯蔵されている蒸着物質は、自由落下の原理により蒸着物質供給管２５０を介して蒸着物質供給部５００に移動可能となる。そして、蒸着物質供給部５００の回転アクチュエータ５２２によって回転式供給台５２０を回転させ、回転式供給台５２０の充填部５３０を蒸着物質供給管２５０の真下に位置させる。これにより、蒸着物質供給管２５０を介して供給された蒸着物質が充填部５３０に移動し、充填部５３０に充填される。蒸着物質は充填部５３０に供給されて充填されるが、充填部５３０の開放下端は隔離板５４０によって閉じられているため、充填部５３０の開放下端から蒸着物質が排出されることはない。
【０１０３】
次に、充填部５３０内への蒸着物質の充填が完了すると、回転アクチュエータ５２２によって回転式供給台５２０を回転させる。図１０に示すように、回転式供給台５２０の回転に伴い、充填部５３０の位置が蒸着物質供給管２５０の真下の位置から移動していることが分かる。
【０１０４】
次に、図１１に示すように、回転アクチュエータ５２２によって回転式供給台５２０を予め設定された角度（例えば９０度）だけ回転させ、充填部５３０を隔離板５４０の供給孔５５０の真上に位置させる。このとき、オペレータは、第１のセンサ５６０により、回転式供給台５２０が予め設定された角度だけ回転したか否かをチェックすることができる。充填部５３０が隔離板５４０の供給孔５５０の真上に位置すると、充填部５３０に貯蔵されている蒸着物質は、充填部５３０の開放下端から供給孔５５０内へ落下し、供給孔５５０を通って蒸着物質蒸発部３００に供給される。このとき、オペレータは、第２のセンサ５７０により、蒸着物質が供給孔５５０を介して落下して供給されたか否かをチェックすることができる。
【０１０５】
一方、蒸着物質蒸発部３００で蒸着ガスを発生させ、蒸着ガスを蒸着チャンバに供給するとき、蒸着ガスが蒸着物質供給部５００に逆流するのを防止する必要がある。また、蒸着工程を行うための蒸着ガスの供給が完了した後、次回以降の蒸着工程に備えて蒸着物質供給部５００に残留している蒸着物質を排出する必要がある。
【０１０６】
このため、図１２に示すように、逆流防止ガス供給部５８０を介して逆流防止ガスを供給することができる。すなわち、充填部５３０を逆流防止ガス供給部５８０の真下に位置させた後、逆流防止ガスを供給すると、供給された逆流防止ガスは、充填部５３０を介して本体部５１０の内部に供給される。このように、供給されたガスによって本体部５１０の内部は所定の圧力が維持されるため、蒸着物質蒸発部３００から蒸着物質供給部５００への蒸着ガスの逆流を防止することができる。
【０１０７】
また、逆流防止ガス供給部５８０から供給されたガスによって、充填部５３０内に残留している蒸着物質を排出することができる。排出された蒸着物質は、供給孔５５０を通って蒸着物質蒸発部３００へ移動する。このようにして、充填部５３０内に残留している蒸着物質を、蒸着物質供給部５００から排出することができる。
【０１０８】
次に、蒸着物質供給部５００から供給された所定量の蒸着物質は、蒸着物質蒸発部３００の内部の蒸着物質受け台６１０上に堆積され得る。その後、ヒータ３１０を動作させると、ヒータ３１０で発熱した熱が蒸着物質受け台６１０上の蒸着物質に印加され、蒸着物質は蒸着ガス化され、ガス供給管６１０を介して供給されるキャリアガスとともに、ガス排気管６２０を介して蒸着チャンバに供給される。
【０１０９】
次に、蒸着工程の完了後、蒸着物質受け台６１０上に残留している蒸着物質を排出するために、反転アクチュエータ６２０の一側の第１の空圧管６２２に空圧を供給することで反転アクチュエータ６２０を動作させることができる。反転アクチュエータ６２０の回転動作により、蒸着物質受け台６１０が上下に反転し、残留している蒸着物質は落下する。このとき、オペレータは、第３のセンサ６２４により、反転アクチュエータ６２０が１８０度回転したか否かをチェックすることができる。
【０１１０】
次に、上述した反転アクチュエータ６２０の反転動作と連動してゲートバルブ６５０が開閉される。すなわち、反転アクチュエータ６２０が反転するように一方の第１の空圧管６２２に空圧が供給されると、同時にエアシリンダ６６０に連結された一方の第２の空圧管６６２にも空圧が供給され得る。これにより、蒸着物質受け台６１０が反転したとき、ゲート６５４はゲート本体部６５２を開放する方向に移動し、蒸着物質受け台６１０から落下する蒸着物質が蒸着物質保管筒６３０に容易に移動することができる。
【０１１１】
次に、蒸着物質の落下後、反転アクチュエータ６２０の他方の第１の空圧管６２２を介して空圧が逆に供給されると、蒸着物質受け台６１０は元の状態に復帰することができる。このとき、エアシリンダ６６０の他方の第２の空圧管６６２にも空圧が逆に供給されることにより、ゲート６５４はゲート本体部６５２を閉鎖する方向に移動し、蒸着物質保管筒６３０への経路は閉鎖可能である。
【０１１２】
最後に、落下する蒸着物質は蒸着物質保管筒６３０に保管可能である。このとき、オペレータは、第３の監視窓６４０を介して蒸着物質の量をチェックすることができ、蒸着物質保管筒６３０に保管された蒸着物質は、次回以降の蒸着工程に使用されるか、あるいは、完全に廃棄され得る。
【０１１３】
図１３は、本発明の他の実施形態に係る蒸着物質供給部５００の構成を示す断面図である。蒸着物質供給部５００は、中心軸を基準として対称となる形態で構成されるため、図面においては、蒸着物質供給部５００の構成を容易に把握できるように、中心軸を基準として一側のみを示している。
【０１１４】
図１３に示すように、回転式供給台５２０の上部には、飛散防止顎５９０が所定の高さに形成されていることが分かる。
【０１１５】
飛散防止顎５９０は、蒸着物質供給管２５０から充填部５３０に供給される蒸着物質が充填部５３０の周囲に飛散するのを防止する機能を果たすことができる。このため、飛散防止顎５９０は、回転式供給台５２０と同心円をなすように形成され、複数の飛散防止顎５９０の間に、充填部５３０が位置し得る。また、飛散防止顎５９０と充填部５３０との間に、飛散防止溝５９２が形成可能である。飛散防止溝５９２は、所定の容積を有するように形成され、飛散が防止された蒸着物質を一時的に滞在させる機能を果たすことができる。
【０１１６】
このような構成を有する飛散防止顎５９０及び飛散防止溝５９２により、蒸着物質が充填部５３０の周囲に飛散し、蒸着物質供給部５００の動作に影響を与えることを防止することができる。図１３に示す蒸着物質供給部の構成及び作用は、飛散防止顎５９０と飛散防止溝５９２を除けば、図４及び図５に示す蒸着物質供給部５００と同一であるので、これに関する詳細な説明は省略する。
【０１１７】
上記のような構成を有する本発明の蒸着ガス供給装置１００は、蒸着工程毎に一定量の蒸着物質を蒸着物質蒸発部３００に供給することができる。このように、蒸着物質蒸発部３００に供給された蒸着物質を全て気化させて蒸着チャンバに供給した場合、蒸着工程毎に蒸着ガスの圧力を一定に維持できるため、薄膜蒸着工程の再現性及び歩留まりを画期的に向上できるようになる。
【０１１８】
さらに、本発明の蒸着ガス供給装置１００は、各蒸着工程の完了後、蒸着物質蒸発部３００に残留する蒸着物質を外部に排出させることができる。これにより、蒸着工程毎に蒸着ガスの圧力をさらに一定にできるため、薄膜蒸着工程の再現性及び歩留まりをより一層向上できるようになる。
【０１１９】
本発明は、上述した好ましい実施形態を挙げて図示及び説明したが、上記の実施形態に限定されず、本発明の精神を逸脱しない範囲内で当該発明の属する技術分野における通常の知識を有する者によって多様な変形及び変更が可能である。その変形例及び変更例は、本発明と添付した特許請求の範囲内に属するとみなさなければならない。
【符号の説明】
【０１２０】
１００：蒸着ガス供給装置
２００：蒸着物質貯蔵部
２１０：パージガス供給管
２２０：フィルタ部
２５０：蒸着物質供給管
２６０：第２の監視窓
２７０：冷却ユニット
３００：蒸着物質蒸発部
３１０：ヒータ
３１２：電源線
３１４：温度測定器
４００：キャリアガス供給部
４１０：ガス供給管
４２０：ガス排気管
５００：蒸着物質供給部
５１０：本体部
５２０：回転式供給台
５３０：充填部
５４０：隔離板
５５０：供給孔
５６０：第１のセンサ
５７０：第２のセンサ
５８０：逆流防止ガス供給部
５９０：飛散防止顎
６００：蒸着物質排出部
６１０：蒸着物質受け台
６２０：反転アクチュエータ
６２２：第１の空圧管
６２４：第３のセンサ
６３０：蒸着物質保管筒
６４０：第３の監視窓
６４２：透明窓
６５０：ゲートバルブ
６５２：ゲート本体部
６５４：ゲート
６６０：エアシリンダ
６６２：第２の空圧管
【図１】
2013503256.tif 000003
【図２】
2013503256.tif 000004
【図３】
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【図４】
2013503256.tif 000006
【図５】
2013503256.tif 000007
【図６】
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【図７】
2013503256.tif 000009
【図８】
2013503256.tif 000010
【図９】
2013503256.tif 000011
【図１０】
2013503256.tif 000012
【図１１】
2013503256.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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