(57)【要約】  電気輸送部品（１０；１１０；３１０；６０）は、第１の無機層（１６；１１６；６６）と、有機分断層（１２；１１２；６２）と、第２の無機層（１８；１１８；６８）とを有するバリア構造が設けられた基板（２０；１２０）を備え、有機分断層は第１および第２の無機層の間に挟まれ、有機分断層によって画成された平面には有機分断層内の少なくとも１つのトレンチ（１３；１１３）に収容された少なくとも１つの導電構造（１４；１１４；３１４；４１４；４１４−１，４１４−２；５１４；６１４−１，６１４−２；６４）が分散される。電気輸送部品の製造方法は、ａ）第１の無機層を設けるステップと、ｂ）第１の有機分断層を設けるステップと、ｃ）この有機分断層に少なくとも１つのトレンチを形成するステップと、ｄ）この少なくとも１つのトレンチに導電材料を堆積させるステップと、ｅ）第２の無機層を設けるステップと、を含む。この部品は、例えば光電気装置および電気光学装置に用いることもできる。【選択図】図２
2013501307.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の無機層（１６；１１６；２３６；６６）と、有機分断層（１２；１１２；６２）と、第２の無機層（１８；１１８；６８）とを有するバリア構造が設けられた基板（２０；１２０；２２０）を備える電気輸送部品（１０；１１０；２１０；３１０；６０）であって、前記有機分断層は前記第１および第２の無機層の間に挟まれ、前記有機分断層によって画成された平面には前記有機分断層内の少なくとも１つのトレンチ（１３；１１３）に収容された少なくとも１つの導電構造（１４；１１４；３１４；４１４；４１４−１，４１４−２；５１４；６１４−１，６１４−２；６４）が分散され、前記無機層（１８）の１つは前記導電構造（１４；１４−１，１４−２；６４）を前記有機分断層（１２；６２）から隔てる、電気輸送部品（１０；１１０；２１０；３１０；６０）。
【請求項２】
前記少なくとも１つのトレンチ（１３；１１３）は前記有機分断層（１２；１１２；６２）の深さ全体に広がる、請求項１に記載の部品。
【請求項３】
前記少なくとも１つの導電構造（１４）は前記平面の面積の０．１から１０％の範囲内の部分を占有し、前記占有部分は前記平面の前記面積全体にわたって規則的に分散される、請求項１に記載の部品。
【請求項４】
前記少なくとも１つの導電構造（１４）は線状セグメントを備える、請求項１に記載の部品。
【請求項５】
前記導電構造は反射材料（１１４Ｂ）の層を備える、請求項１に記載の部品。
【請求項６】
前記導電構造（１４）は、前記有機分断層（１２）によって形成された前記平面（１１）内の方向に延在する第１および第２の寸法Ｄ１、Ｄ２と、前記平面に直角に延在する、前記第１および第２の寸法の間の範囲内の値である第３の寸法Ｄ３とを有する細長い要素を備える、先行請求項の何れか１項に記載の部品（１０）。
【請求項７】
先行請求項の何れか１項に記載の部品（１０；１１０；６０）と、前記電気輸送部品の主表面に設けられた電気光学機能構造（４０；１４０）とを備え、前記電気光学機能構造は、第１および第２の導電層（４２，４６；１４２，１４６）と、前記導電層間に挟まれた少なくとも１つの電気光学機能層（４４；１４４）とを備え、前記導電層の少なくとも１つは前記少なくとも１つの導電構造（１４−１，１４−２；１１４−１，１１４−２；６４）に電気的に結合される、電気光学装置。
【請求項８】
請求項１乃至８の何れか１項に記載の部品（１０；１１０；６０）と、前記電気輸送部品の主表面に設けられた光電気機能構造（４０；１４０）とを備える光電気装置であって、前記光電気機能構造は第１および第２の導電層（４２，４６；１４２，１４６）と、前記導電層間に挟まれた少なくとも１つの光電気機能層（４４；１４４）とを備え、前記導電層の少なくとも１つは前記少なくとも１つの導電構造に電気的に結合される、光電気装置。
【請求項９】
電気輸送部品の製造方法であって、
ａ）第１の無機層を設けるステップと、
ｂ）前記第１の無機層の上に第１の有機分断層を設けるステップと、
ｃ）前記有機分断層に少なくとも１つのトレンチを形成するステップと、
ｄ）前記少なくとも１つのトレンチに導電材料を堆積させるステップと、
ｅ）第２の無機層を設けるステップと、
を含み、前記導電材料はステップｅ）の後で設けられる、方法。
【請求項１０】
前記部品は、前記導電材料を貫通して延在する切断線に沿って複数の部分に分けられる、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記パターンはソフトリソグラフィによって形成される、請求項９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気輸送部品に関する。本発明は、本製品を備えた電子装置にさらに関する。本発明は、本製品の製造方法にさらに関する。
【背景技術】
【０００２】
可撓性プラスチック基板上の大面積ＯＬＥＤライティングには、システムを駆動するために大電流を必要とする。陽極（例えばＩＴＯ）および陰極（例えばＢａ／Ａｌ）に現在用いられている薄膜材料は抵抗率が高く、大電流は大幅な電圧降下をもたらし、不均一な発光を決定付ける。プラスチック基板上に大面積の可撓性ＯＬＥＤ装置を製造するには、プラスチック基板上に追加の金属被覆構造が必要である。製造コストを下げるには、このような構造の金属被覆コーティングをインラインロールツーロール式ウェブコーティング法によってプラスチックフォイルのロールに施すことが好ましいであろう。したがって、発光装置およびエレクトロクロミック装置などの電気光学装置ばかりでなく、光起電製品などの光電気装置にも、一方では良好な導電率を有しながら他方では放射線に対して高い透過率を有する金属被覆構造が必要とされている。最新のロールツーロール式ウェブコーティング手法によると、連続基板の全面的金属被覆またはパターン化された金属被覆領域のためのシステムが報告されている（欧州特許出願公開第１６９３４８１号）。ただし、これらの手法では、比較的大きな金属的特徴が基板の上に設けられる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
本発明の第１の側面によると、請求項１に記載の改良された電気輸送部品が提供される。
【０００４】
本発明の第２の側面によると、請求項９に記載の電気輸送部品の改良された製造方法が提供される。
【０００５】
改良された電気輸送部品は、第１の無機層と、有機分断層と、第２の無機層とを有するバリア構造が設けられた基板を備える。この有機分断層内の複数のトレンチに、少なくとも１つの導電構造が収容される。この改良された製品においては、トレンチの壁が導電構造を支える。これにより、導電構造の縦横比の選択に関してより大きな自由度が得られる。ここで、縦横比は、有機分断層の平面に直角な導電構造の高さを有機分断層の平面内の上記構造の最小寸法で割った値として定義される。導電構造は、バリア構造の有機分断層内に収容される。これにより、有機分断層は二重の目的を果たすため、本部品の製造においては、無機層を分断し、かつ導電構造を収容する有機分断層を単一ステップで設けることができる。
【０００６】
特に有機光電子または電気光学構造には、湿気に敏感な材料が用いられることが多い。この実施形態による電気輸送部品を有機光電子または電気光学構造を備えた装置に適用すると、電気信号または電力の輸送機能がもたらされるばかりでなく、湿気に対する装置の保護ももたらされる。これらの無機層の１つは、導電構造を有機分断層から分離する。この実施形態において、導電構造は自由表面を有する。したがって、本発明による改良された電気輸送部品を電気光学装置または光電子装置に組み込むときに、これらの電気輸送部品と電気光学機能部品または光電子機能部品との間の電気的接触を効率的な方法でもたらすことができる。
【０００７】
改良された電気輸送部品と、これに取り付けられた、例えば電気輸送部品によって供給された電力を（可視）放射線に変換する、または電気輸送部品を介して輸送される電気信号によって制御される光学特性（例えばエレクトロクロミックセルにおける透過率）を有する、電気光学機能部品との組み合わせによって電気光学装置を形成することもできる。あるいは、改良された電気輸送部品に、（可視）放射線を電気エネルギーに変換する光電気機能部品を組み合わせることもできる。この場合、改良された電気輸送部品は、光電気部品が発生させた電力を外部端末に輸送するために働く。
【０００８】
より具体的には、電気輸送部品を備えた電気光学装置は、電気輸送部品の主表面に設けられた電気光学機能構造を備える。この電気光学機能構造は、第１および第２の導電層と、これらの導電層の間に挟まれた少なくとも１つの電気光学機能層とを備え、導電層の少なくとも１つは上記少なくとも１つの導電構造に電気的に結合される。
【０００９】
同様に、電気輸送部品を備えた光電気装置は、この電気輸送部品の主表面に設けられた光電気機能構造を備える。この光電気機能構造は第１および第２の導電層と、これらの導電層の間に挟まれた少なくとも１つの光電気機能層とを備え、導電層の少なくとも１つは上記少なくとも１つの導電構造に電気的に結合される。
【００１０】
改良された電気輸送部品はこのような導電構造を複数有しうるので、この電気輸送部品は、例えば電源の両極性を電気光学機能部品の片面に供給することも、光電気部品から両極性を受け取ることも可能である。その場合、電気輸送部品は不透明でもよい。あるいは、単一の導電構造のみを有する電気輸送部品を電気光学機能部品（または光電気機能部品）の両面に設け、それぞれを各極性の電気導体として用いることもできる。その場合、これら電気輸送部品の少なくとも１つは十分に高い透過率を有することが望ましい。
【００１１】
電気輸送部品が透過性であることも望まれる場合、上記少なくとも１つの導電構造は有機分断層の平面の面積の０．１％から２０％の範囲内の部分を占有し、この占有部分は上記平面の面積全体に規則的に分散される。占有部分がこれより大幅に大きいと、例えば３０％であると、吸収される放射線の量が相対的に高くなり、代償として電気輸送部品が設けられた装置、例えば光電池または発光ダイオード、の効率が下がる。占有部分が大幅に小さい場合、例えば０．０５％未満であると、少なくとも１つの導電構造の抵抗が相対的に高くなるため、効率が低下し、発光装置の場合は光出力が不均一になる。
【００１２】
一実施形態において、少なくとも１つの導電構造は線状セグメントを複数備える。線状セグメントは、その長さが幅より大幅に大きい、少なくとも１０倍大きい、曲線状または直線状のセグメントと考えられる。これにより、高い透過率を容易に得ることができる。
【００１３】
本部品の特定の一実施形態において、導電構造は、有機分断層によって形成された平面内の方向に延在する第１および第２の寸法Ｄ１、Ｄ２と、この平面に直角に延在する、第１および第２の寸法の間の範囲内の値を有する第３の寸法Ｄ３とを有する細長い要素を複数備える。この実施形態においては、（可視）放射線に対する高い透過率と高い導電率とが組み合わされる。
【００１４】
実用的な一実施形態において、導電構造は、Ａｇ、Ｃｕ、またはＡｌなどの導電性反射材料の層を備える。
【００１５】
一実施形態において、少なくとも１つのトレンチは有機分断層の深さ全体に広がる。これにより、電気輸送部品、または電気輸送部品を備えた電気装置、を、有機分断層を断ち切らずに、導電構造を貫通する複数の切断線で複数の部分に分けることができる。
【００１６】
電気輸送部品は、コンパクトに収納される製品、例えば巻き込み可能なディスプレイ、に使用できるように可撓性にすることもできる。
【００１７】
本発明による電気輸送部品は、本発明による魅力ある製造方法を可能にする。
【００１８】
本発明による電気輸送部品の製造方法は、
ａ）第１の無機層を設けるステップと、
ｂ）この第１の無機層の上に第１の有機分断層を設けるステップと、
ｃ）この有機分断層に少なくとも１つのトレンチを形成するステップと、
ｄ）この少なくとも１つのトレンチに導電材料を堆積させるステップと、
ｅ）第２の無機層を設けるステップと、
を含む。少なくとも１つのトレンチへの導電材料の堆積は、第２の無機層を設ける前でも後でも行いうる。
【００１９】
上記方法の魅力ある一実施形態において、有機分断層内の少なくとも１つのトレンチのパターンは、ソフトリソグラフィによって形成される。この方法では、スタンプ、例えばＰＤＭＳゴムスタンプ、を部分反応有機層に型押しすることによって、最大１０の縦横比を有しうるトレンチを形成することができる。あるいは、このパターン化された有機分断層を直接、または異方性エッチングを併用して、作成するフォトリソグラフィなど他の方法を用いることもできる。
【００２０】
本発明は、ロールツーロール法による大面積製品（例えば大面積のＯＬＥＤ、エレクトロクロミック窓、および太陽電池パネル）の製造に特に関する。電気輸送部品を半製品として一巻きのフィルム（長さ最大数ｋｍおよび幅１ｍ超）の形態に製造することもできる。
【００２１】
この電気輸送部品は、例えばポリエステル、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）またはポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）などのポリエチレン、あるいはカプトン（登録商標）などのポリイミドから製造された可撓性材料、例えばポリマーフォイル、の基板上に製造することも、あるいは鋼鉄またはガラスなどの硬質材料の基板上に製造することもできる。後の段階で電気輸送部品を基板から取り外すことが所望される場合は、例えば製造工程の完了後、または最終製品において電気輸送部品と他の１つ以上の部品とを統合した後に、電気輸送部品を基板から取り外すこともできる。
【００２２】
次に図面を参照しながら上記および他の側面をより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明による電気輸送部品の第１の実施形態を示す。
【図２】図１の線ＩＩ−ＩＩに沿った上記実施形態の断面を示す。
【図３Ａ】第１の実施形態の製造方法を示す。
【図３Ｂ】第１の実施形態の製造方法を示す。
【図３Ｃ】第１の実施形態の製造方法を示す。
【図４】本発明による電気輸送部品の第２の実施形態を示す。
【図５】本発明による電気輸送部品の第３の実施形態を示す。
【図６Ａ】本発明による一実施形態における導電構造を示す。
【図６Ｂ】本発明による別の実施形態における導電構造を示す。
【図６Ｃ】本発明による別の実施形態における導電構造を示す。
【図６Ｄ】本発明による別の実施形態における導電構造を示す。
【図７】本発明による電気光学または光電気装置の第１の実施形態を示す。
【図８】本発明による電気光学または光電気装置の第２の実施形態を示す。
【図９】本発明による電気光学または光電気装置の第３の実施形態を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下の詳細な説明には、本発明を完全に理解させるために特定の詳細が数多く記載されている。ただし、これら特定の詳細なしに本発明を実施しうることを当業者は理解されるであろう。他の例においては、本発明の側面を曖昧にしないように、周知の方法、手順、および部品は詳細に説明されていない。
【００２５】
本願明細書に使用されている用語は、特定の実施形態を説明することを目的としており、本発明を限定する意図はない。本願明細書に使用されている単数形「１つの（ａ、ａｎ）」、および「前記（ｔｈｅ）」は、文脈によって特に指示されていない限り、複数形も含むものとする。本明細書で使用されている用語「備える／含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ）」および／または「備えた／含んだ（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は、記載されている特徴、整数、ステップ、動作、要素、および／または構成要素の存在を明示するものであるが、他の１つ以上の特徴、整数、ステップ、動作、要素、構成要素、および／またはこれらの群の存在または追加を妨げるものではないことをさらに理解されるであろう。さらに、特に明記されていない限り、「または（ｏｒ）」は、包含的論理和を指すものであり、排他的論理和を指すものではない。例えば、ＡまたはＢという条件は、Ａが真であり（または存在し）、かつＢが偽である（または存在しない）場合、Ａが偽であり（または存在せず）、かつＢが真である（または存在する）場合、およびＡとＢの両方が真である（または存在する）場合の何れによっても満足される。
【００２６】
次に、本発明の実施形態が示されている添付図面を参照しながら、本発明をより詳細に説明する。ただし、この発明は、多くの異なる形態で具現化可能であり、本願明細書に記載の実施形態に限定されるものと解釈されるべきではない。むしろ、これらの実施形態は、この開示が完全かつ完璧であり、本発明の範囲が当業者に十分に伝わるように、提供されている。各図面においては、分かり易くするために層および領域のサイズおよび相対サイズが誇張されている場合もある。
【００２７】
要素または層が別の要素または層「の上に（ｏｎ）」、「に接続され（ｃｏｎｎｅｃｔｅｄ  ｔｏ」、または「に結合され（ｃｏｕｐｌｅｄ  ｔｏ）」と記されている場合は、当該要素または層をその別の要素または層の上に直接配置するか、直接接続するか、または直接結合することもできるが、介在要素または層を存在させうることも理解されるであろう。これに対して、要素が別の要素または層「の上に直接（ｄｉｒｅｃｔｌｙ  ｏｎ）」、「に直接接続され（ｄｉｒｅｃｔｌｙ  ｃｏｎｎｅｃｔｅｄ  ｔｏ）」、または「に直接結合され（ｄｉｒｅｃｔｌｙ  ｃｏｕｐｌｅｄ  ｔｏ）」と記されている場合は、介在要素または層は存在しない。本明細書全体にわたって同様の数字は同様の要素を指す。本願明細書に使用されている用語「および／または（ａｎｄ／ｏｒ）」は、対応付けられた１つ以上の列挙項目のあらゆる組み合わせを全て含める。
【００２８】
本願明細書では第１の、第２の、第３の、などの用語がさまざまな要素、部品、領域、層、および／または部分を説明するために使用されることがあるが、これらの要素、部品、領域、層、および／または部分はこれらの用語によって限定されるべきではないことを理解されるであろう。これらの用語は、１つの要素、部品、領域、層、または部分を別の領域、層、または部分から区別するためにのみ用いられている。したがって、以下に述べられている第１の要素、部品、領域、層、または部分は、本発明の教示内容から逸脱せずに、第２の要素、部品、領域、層、または部分と称することもできる。
【００２９】
本願明細書では、１つの要素または特徴が別の要素（単数または複数）または特徴（単数または複数）に対して図に示されているような関係にあることを説明するために、「の下に（ｂｅｎｅａｔｈ）」、「下方に（ｂｅｌｏｗ）」、「より低い（ｌｏｗｅｒ）」、「上方に（ａｂｏｖｅ）」、「より高い（ｕｐｐｅｒ）」などの空間的に相対的な用語が説明を簡単にするために使用される場合がある。これらの空間的に相対的な用語は、図に示されている向きに加え、使用中または動作中の装置のさまざまな向きも包含するものであることを理解されるであろう。例えば、図中の装置が裏返された場合、他の要素または特徴の「下方」または「真下」にある要素は、他の要素または特徴の「上方」に置かれることになる。したがって、例えば用語「下方に（ｂｅｌｏｗ）」は、上方および下方の両方の向きを包含することができる。装置は他の向き（９０度回転または他の向き）にも配置されうるので、本願明細書に用いられている空間的に相対的な記述子もその向きに応じて解釈されうる。
【００３０】
本願明細書においては、本発明の理想的な実施形態（および中間構造）の概略図である断面図を参照しながら本発明の複数の実施形態を説明する。したがって、例えば製造手法および／または許容誤差の結果として、図の形状からの変形も予想される。したがって、本発明の実施形態は、本願明細書に例示されている特定の領域形状に限定されると解釈されるべきではなく、例えば製造の結果としての形状の逸脱も含むものとする。
【００３１】
特に定義されていない限り、本願明細書に用いられているあらゆる用語は（技術的および科学的用語も含め）、本発明が属する分野の当業者によって一般に理解される意味と同じ意味を有する。一般に用いられる辞書に定義されているような用語は、関連技術の文脈における意味と一致する意味を持つと解釈されるべきであり、本願明細書において明示的に定義されていない限り、理想化された、または過剰に正式な、意味に解釈されないことをさらに理解されるであろう。本願明細書で言及されているあらゆる出版物、特許出願、特許、および他の参考資料は、参照によりその内容全体が本願明細書に組み込まれるものとする。不一致の場合は、定義を含め、本明細書が優先される。さらに、材料、方法、および例は単なる例示にすぎず、限定を意図したものではない。
【００３２】
図１および図２は、本発明による電気輸送部品の第１の実施形態を示す。図２は、図１の線ＩＩ−ＩＩに沿った部分断面を示す。分かり易くするために、図１および図２における寸法は一定の縮尺で示されていない。電気輸送部品１０は、有機分断層１２と、有機分断層１２内の少なくとも１つのトレンチ１３に収容されて、この有機分断層によって画成された平面１１に分散された少なくとも１つの導電構造１４とを備える。本願明細書において、少なくとも１つのトレンチ１３は、有機分断層の深さ全体に広がる。これにより、電気輸送部品１０は、導電構造に沿って延在する複数の切断線で、有機分断層を損傷することなく、複数のより小さな部分に切断されうる。
【００３３】
図示の実施形態においては、電気輸送部品１０は基板２０に設けられ、第１の無機層１６と、有機分断層１２と、第２の無機層１８とを備えたバリア構造が設けられる。有機分断層１２は、第１および第２の無機層１６および１８の間に挟まれる。
【００３４】
無機層は、１０〜２０００ｎｍの厚さを有し、公知の良好なバリア性能を有する透明な無機コーティング（ＡｌＯｘ、ＳｉＮｘ、ＳｉＯｘＮｙ）の何れでもよい。金属薄膜を無機層（単数または複数）に埋め込んでもよい。有機分断層は０．１〜１００μｍの厚さを有し、架橋（熱硬化性）材料、エラストマー、線状ポリマー、または分岐もしくは高分岐ポリマー系、あるいはこれらの何れかの組み合わせにすることができ、必要であれば光透過を引き続き保証するに十分な小さなサイズの無機粒子を充填することもできる。材料は、溶液から調製するか、または１００％固体材料として調製する。有機分断層の材料は、固有透湿度が低く、疎水性が高いことが好ましい。
【００３５】
本発明の上記および他の実施形態におけるバリア構造に適切な他の材料は、先に出願された欧州特許出願第０８１５６４９３．２号明細書に記載されている。図１および図２に示される実施形態において、有機分断層１２は、導電構造１４を収容する有機分断層も形成している。なお、有機分断層１２は、第２の無機層１８によって覆われているので、図１に破線で示されていることに留意されたい。これらの無機層のうちの一方、この場合は第２の無機層１８、は導電構造１４を有機分断層１２から分離している。この実施形態において、導電構造１４は、他の部品との統合のための接点として用いることができる自由表面を有する。
【００３６】
図１および図２に示す実施形態において、少なくとも１つの導電構造１４は、平面１１の面積の０．１％から２０％の範囲内、この場合約５％、の部分を占有する。この占有部分は、平面１１の面積全体に規則的に分散される。この少なくとも１つの導電構造１４は、長さＤ１および幅Ｄ２の線状セグメントを複数備える。Ｄ１／Ｄ２の比率は、約１５であり、幅Ｄ１は１〜１００μｍの範囲内である。平面１１に直角な方向の厚さＤ３は、例えば０．１〜１００μｍの範囲内である。
【００３７】
図１および図２の実施形態による電気輸送部品においては特に、導電構造１４は、有機分断層１２によって形成された平面１１内の方向に延在する第１および第２の寸法Ｄ１、Ｄ２と、平面１１に直角に延在する、第１および第２の寸法Ｄ１、Ｄ２の間の範囲内の値を有する第３の寸法Ｄ３とを有する細長い要素を複数備える。
【００３８】
図３Ａは、本発明による電気輸送部品、例えば図１および図２に示されているような部品、の製造方法を示す。図３Ａは、この方法による第１のステップを示す。このステップでは、有機分断層１２が設けられる。この場合、有機分断層１２は、無機材料の層１６を有する基板２０に設けられる。基板２０と無機材料の層１６との間に中間層、例えば平坦化層、が存在してもよい。同様に、無機材料の層１６と有機分断層１２との間に中間層が存在してもよい。
【００３９】
図３Ｂは、別のステップを示す。このステップでは、少なくとも１つのトレンチ１３が有機分断層１２に設けられる。例えば、有機分断層１２の表面に蛇行する単一のトレンチ１３を設けることも、相互に接続された複数のトレンチを設けることも、独立した複数のトレンチを設けることもできる。
【００４０】
図３Ｃに示されているように、必要であれば有機分断層１２を無機層１８によって覆うこともできる。少なくとも１つのトレンチを有機分断層に形成するために、例えば（ＰＤＭＳゴムスタンプを部分反応有機層に型押しする）ソフトリソグラフィを用いることもできる。これにより、最大１０の縦横比を有しうるトレンチが形成される。さらに、インプリント後の有機分断層を、例えば熱処理またはＵＶ放射を用いた重合によって、十分に硬化させる。
【００４１】
第１の無機バリア層の上にあるトレンチの底に有機物が一切残らないように、トレンチを処理する。この洗浄のために、プラズマエッチングを使用してもよい。残存する有機材料は、湿気の拡散経路を形成しうる。
【００４２】
さらに別のステップにおいて、少なくとも１つの導電構造１４を形成するための導電材料を少なくとも１つのトレンチ１３の内部に堆積させる。これにより、図１および図２に示されている部品が得られる。
【００４３】
表面への導電材料の広がりを少なくするために、上面を疎水性にし、トレンチを親水性にする。これらトレンチへの充填は、例えばスパッタリングによって、またはＭＯＣＶＤなどの蒸着によって単一ステップで行い、研磨またはエッチングステップをこれに組み合わせることもできる。トレンチの充填は２段階の工程で行うことが好ましい。例えば、蒸発金属（例えば欧州特許出願公開第１６９３４８１号のようにＡｌ）または溶液ベースの金属（例えばＡｇ、Ａｕ、Ｃｕ）をトレンチに充填し、その後に焼き付けステップ（１５０℃未満）を追加することができる。次の工程では、トレンチ内の材料の収縮を埋め合わせるために、材料をトレンチに完全に充填する。第２のステップで施される導電材料は、同一材料でもよいが、異なる材料でもよい。例えば、金属Ａｇ、Ａｕ、およびＣｕは、高反射率を有するため、第２の導電材料として好適である。この工程中、短絡を防止するために、電気輸送部品に組み付けられる機能部品の導電層のための接点領域がこの機能部品の別の導電層に直接接触しないように、構造設計に注意を払う必要がある。一代替方法において、導電材料は単一ステップで施される。
【００４４】
有機層および無機層を設けるために、それ自体が公知である真空または空気を用いたインラインロールツーロール式ウェブコーティングシステムを用いてもよい。このコーティングシステムは、巻き出しと、巻き取りと、その間にある複数の処理室とを組み合わせた複数の区間で構成される。各処理室は、例えば基板表面の前処理、または基板表面への無機層のコーティング、または基板表面への有機層のコーティング、または基板表面へのパターン化された有機層のコーティング、または有機コーティングされた表面の硬化用に専用化されている。
【００４５】
無機層は、熱蒸着、ｅビーム蒸着、スパッタリング、マグネトロンスパッタリング、反応性スパッタリング、反応性蒸着など、あらゆる種類の物理的蒸着方法、および熱化学蒸着（ＣＶＤ）、光支援化学蒸着（ＰＡＣＶＤ）、プラズマ援用化学蒸着（ＰＥＣＶＤ）など、あらゆる種類の化学蒸着方法によって設けうる。
【００４６】
有機層は、スピンコーティング、スロットダイコーティング、キスコーティング、ホットメルトコーティング、スプレーコーティングなど、あらゆる種類のコーティング手法、およびインクジェット印刷、グラビア印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、回転スクリーン印刷など、あらゆる種類の印刷手法によって設けうる。
【００４７】
図４は、本発明による部品の別の実施形態を示す。この図では、図１および図２の部分に対応する部分は、１００大きい参照符号が付されている。図４の実施形態において、導電構造１１４は、無機層１１６、１１８の間に配置される。図４に示されている実施形態において、少なくとも１つの導電構造１１４は、導電材料の二重層１１４Ａ、１１４Ｂである。層１１４Ａ、１１４Ｂは、同じ構成でも、異なる構成でもよい。例えば、第１の層１１４Ａを比較的安価な導電材料、例えばＡｌ、の層にし、第２の層１１４ＢをＡｇなどの反射率の高い導電材料にする。第２の層１１４Ｂは、その高反射により、放射された放射線が導電構造１１４内で失われることを防ぐ。これは、電気光学装置の放射線出力に好都合である。光電気装置においては、放射線エネルギーから電気エネルギーへの変換をより高い効率で行うことができる。層１１４Ｂに用いられる後者の材料は比較的高価であるが、層１１４Ａの存在により、層１１４Ｂを比較的薄くすることができる。
【００４８】
図４の実施形態は、導電構造１１４を形成する導電材料をトレンチ１１３に充填してから第２の無機層１８を設けるという事実は別として、図１および図２に示されている実施形態と同様に製造可能である。この場合、埋め込まれた導電構造１１４の上に第２の無機層１１８が設けられるので、トレンチを洗浄する必要はない。
【００４９】
図５では、図１に示されている部分に対応する部分は３００大きい参照符号が付されている。この図に示されているように、互いに隔てられた複数の導電構造３１０を１枚の共通の基板に設けることもできる。導電構造３１０の各々をそれぞれのバリア構造に配置することもできる。この場合、有機分断層は、例えば図２に示されているように、無機層によって完全に包封される。図５に示されている半完成品を切断線３２４に沿って切断すると、包封が半完成品と共にそのまま維持されるため、湿気に対する完全な保護がもたらされる。
【００５０】
少なくとも１つの導電構造は、図１および図５に示されているような迷路状にする必要はない。例えば図６Ａ〜６Ｄに示されているような他のトポロジーも適用しうる。分かり易くするために、これらの図には導電構造のみが示されている。図示の導電構造は、何れの実施形態にも使用可能であり、例えば図２または図４に示されている実施形態、あるいは他の実施形態、にも使用しうる。図６Ａにおいて、少なくとも１つの導電構造４１４は櫛形構造である。図６Ｂには、各々が櫛形構造の形態で互いに食い込んだ一対の導電構造４１４−１、４１４−２が示されている。図６Ｃは、迷路状の導電構造５１４の別の例を示す。他の構造、例えば蜂の巣の形態、も可能である。図６Ｄは、蛇行する複数の導電構造６１４−１、６１４−２が配置された一例を示す。この例には、例えば各導体が電源の一方の極性を伝えうる一対の導体が示されている。ただし、例えば制御信号を伝えるために、追加の導電構造が存在してもよい。
【００５１】
図７は、本発明による電気輸送部品１０とこの電気輸送部品の主表面に設けられた電気光学または光電気機能構造３０との組み合わせを備えた電気光学または光電気製品の一例を示す。図７に示されている実施形態において、電気輸送部品は、図２に示されているのと同様に有機分断層１２と無機層１６、１８とに対して配置された第１および第２の導電構造１４−１、１４−２を備える。これらの導電構造は、例えば図６Ｂまたは図６Ｄに示されているようなトポロジーを有しうる。電気光学または光電気機能構造４０は、第１および第２の導電層４２、４６と、導電層４２、４６の間に挟まれた少なくとも１つの電気光学機能層４４とを備える。両導電層４２、４６は、導電構造１４−１、１４−２にそれぞれ電気的に結合される。第１の導電層は、第１の導電構造１４−１に直接結合され、第２の導電構造１４−２から絶縁される。第２の導電層４６は、第１の導電層４２から絶縁されている直交導体４８を介して、第２の導電構造に結合される。追加のバリア構造５０が電気光学または光電気構造に設けられる。
【００５２】
図８では、図７の部分に対応する部分は、１００大きい参照符号が付されている。図８は、本発明による電気輸送部品１１０とこの電気輸送部品の主表面に設けられた電気光学または光電気機能構造１４０との組み合わせを備えた電気光学または光電気製品の別の例を示す。図８に示されている実施形態において、電気輸送部品１１０は、図４に示されているのと同様に有機分断層１１２と無機層１１６、１１８とに対して配置された第１および第２の導電構造１１４−１、１１４−２を備える。図７のように、これらの導電構造１１４−１、１１４−２は、例えば図６Ｂまたは図６Ｄに示されているようなトポロジーを有しうる。この場合、導電構造１１４−１、１１４−２に接続される複数の電気接点１２８を形成する追加の金属層が第２の無機層１１８に設けられる。そのため、導電材料が充填されるビアホール１２６が第２の無機層１１８に設けられる。
【００５３】
図９は、電気光学または光電気製品の別の例を示す。図９では、基板２０、７０にそれぞれ設けられた一対の電気輸送部品１０、６０の間に電気光学または光電気機能構造４０が挟まれている。両電気輸送部品１０、６０は、図１、図２の電気輸送部品に対応する。図９の部分に対応する電気輸送部品６０の部分は、５０大きい参照符号が付されている。図７の機能構造に対応する（電気光学または光電気）機能構造の部分は、同じ参照符号が付されている。この実施形態において、導電層４２、４６の各々は、対応する電気輸送部品１０、６０の導電構造１４、６４にそれぞれ結合される。
【００５４】
発光装置に用いる場合は、光出力を向上させるために、有機分断層の相対的に低い屈折率に比べ相対的に高い屈折率を有する散乱粒子を、導電構造を備えた有機分断層にさらに設けることもできる。あるいは、このような粒子を有する追加の層を存在させることもできる。例えば、このような層を電気輸送部品の基板の自由表面に設けることもできる。
【００５５】
特許請求の範囲において、単語「備える／含む（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は、他の要素またはステップを排除するものではなく、不定冠詞「１つの（ａまたはａｎ）」は複数を排除するものではない。単一の部品または他のユニットが特許請求の範囲に記載されているいくつかの項目の機能を果たすこともできる。いくつかの措置が互いに異なる請求項に記載されているという単なる事実は、これらの措置の組み合わせを都合よく使用することができないことを示すものではない。特許請求の範囲における参照符号は、何れも範囲を限定するものと解釈されるべきではない。
【図１】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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