(57)【要約】  少なくとも１つの第１のエンドミラー（１）と第２のエンドミラー（２）とを有する、レーザシステムにおいてレーザビームを導光するためのミラー構成体では、両エンドミラー（１，２）が、光学的な共振器軸（ＯＡ）を有する共振器を画定し、前記レーザビームは入力レーザビーム（ＥＳ）として前記共振器内へ導光され、前記第１のエンドミラー（１）および前記第２のエンドミラー（２）においてそれぞれ複数回反射した後、出力レーザビーム（ＡＳ）として該共振器外へ導光される。その際には、前記第１のエンドミラー（１）および前記第２のエンドミラー（２）における反射の順序が、前記共振器内において前記第１のエンドミラーと前記第２のエンドミラーとの間において、前記共振器軸（ＯＡ）を回転軸として定義された回転方向を決定することにより、第１のビーム経路が決定され、前記共振器内において前記第１のエンドミラーと前記第２のエンドミラーとの間において、前記共振器軸（ＯＡ）を回転軸として定義された回転方向でレーザビームが回転する。前記回転方向が反転点において反転され、前記レーザビームが少なくとも部分的に、前記第１のビーム経路と逆方向の回転方向で前記共振器内を通過することにより、第２のビーム経路が決定されるように、該共振器は構成されている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザシステムにおいてレーザビームを導光するためのミラー構成体であって、
前記レーザシステムはとりわけ、フェムト秒パルスまたはピコ秒パルスを生成するためのレーザシステムであり、
前記ミラー構成体は少なくとも、
・第１のエンドミラー（１，７）と、
・凹面状の表面を有する第２のエンドミラー（２，９）と
を有し、
前記第１のエンドミラー（１，７）と前記第２のエンドミラー（２，９）とが、両エンドミラー（１，２，７，９）を相互に結ぶ光学的な共振器軸（ＯＡ）を有する共振器を構成し、
前記レーザビームは入力レーザビーム（ＥＳ）として前記共振器内へ導光され、前記第１のエンドミラー（１，７）および前記第２のエンドミラー（２，９）においてそれぞれ複数回反射した後、出力レーザビーム（ＡＳ）として該共振器外へ導光され、
前記第１のエンドミラー（１，７）および前記第２のエンドミラー（２，９）における反射の順序が、前記共振器内における前記第１のエンドミラーと前記第２のエンドミラーとの間において、前記共振器軸（ＯＡ）を回転軸として定義された回転方向を決定することにより、第１のビーム経路が決定される、ミラー構成体において、
前記回転方向が反転点において反転され、前記レーザビームが少なくとも部分的に、前記第１のビーム経路と逆方向の回転方向で前記共振器を通過することにより、第２のビーム経路が決定されるように、該共振器は構成されている
ことを特徴とする、ミラー構成体。
【請求項２】
前記共振器はヘリオット型セルとして構成されている、
請求項１記載のミラー構成体。
【請求項３】
前記第１のビーム経路と前記第２のビーム経路とは空間的に分離されている、
請求項１または２記載のミラー構成体。
【請求項４】
前記第１のビーム経路と前記第２のビーム経路とは、それ自体が反復する閉じられた同一のビーム経路を形成する、
請求項１から３までのいずれか１項記載のミラー構成体。
【請求項５】
前記第１のエンドミラー（１，７）および／または前記第２のエンドミラー（２，９）に入力結合ミラー（４）が前置されている、
請求項１から４までのいずれか１項記載のミラー構成体。
【請求項６】
前記ミラー構成体は、前記反転点を形成するための反転ミラー（５）を有し、
前記第１のビーム経路の通過後、前記反転ミラーにおいて回転方向を変化させる反射が行われる、
請求項１から５までのいずれか１項記載のミラー構成体。
【請求項７】
前記第１のエンドミラー（１，７）および前記第２のエンドミラー（２，９）それぞれにおける前記第１のビーム経路の反射点の数と前記第２のビーム経路の反射点の数とは同数であり、該反射点の数はとりわけ３，４または５つである、
請求項１から６までのいずれか１項記載のミラー構成体。
【請求項８】
前記反転ミラー（５）における反射により、前記第１のエンドミラー（１，７）および前記第２のエンドミラー（２，９）における前記第１のビーム経路の反射点の位置と前記第２のビーム経路の反射点の位置とが相互にずらされ、とりわけ前記共振器軸（ＯＡ）を中心として回転方向に相互にずらされる、
請求項６および７記載のミラー構成体。
【請求項９】
前記ミラー構成体は、前記入力レーザビーム（ＥＳ）および／または前記出力レーザビーム（ＡＳ）を集束させるための集束ミラー（３）を有し、
とりわけ、前記集束ミラー（３）の光軸は、前記光学的な共振器軸（ＯＡ）を含む平面内にある、
請求項１から８までのいずれか１項記載のミラー構成体。
【請求項１０】
前記第２のビーム経路の通過後、前記集束ミラー（３）によって前記出力レーザビーム（ＡＳ）が前記共振器軸（ＯＡ）に対して平行にずれるように、該集束ミラー（３）は配置されている、
請求項９記載のミラー構成体。
【請求項１１】
前記共振器は、前記第１のビーム経路と前記第２のビーム経路とを屈曲させる少なくとも１つの共用の屈曲ミラー（８）を有する、
請求項１から１０までのいずれか１項記載のミラー構成体。
【請求項１２】
前記共振器は、前記入力レーザビーム（ＥＳ）と前記出力レーザビーム（ＡＳ）とを分離する少なくとも１つの分離ミラー（６）を有する、
請求項１から１１までのいずれか１項記載のミラー構成体。
【請求項１３】
請求項１から１２までのいずれか１項記載のミラー構成体を含む、フェムト秒パルスまたはピコ秒パルスを生成または増幅するためのレーザシステム。
【請求項１４】
前記レーザシステムは、
・モード同期を実現するための可飽和吸収ミラーと、
・とりわけ電気光学変調器である、パルス出力結合部品と、
・とりわけＮｄ：ＹＶＯ４から成る、レーザ媒質と、
・前記レーザ媒質にポンピングするためのレーザダイオード光源と
を有する、請求項１３記載のレーザシステム。
【請求項１５】
レーザシステムにおけるレーザビーム導光方法であって、
前記レーザシステムはとりわけ、フェムト秒パルスまたはピコ秒パルスを生成するためのレーザシステムであり、
前記ミラー構成体は少なくとも、
・第１のエンドミラー（１，７）と、
・凹面状の表面を有する第２のエンドミラー（２，９）と
を有し、
前記第１のエンドミラー（１，７）と前記第２のエンドミラー（２，９）とが、両エンドミラー（１，２，７，９）を相互に結ぶ光学的な共振器軸（ＯＡ）を有する共振器を構成し、
前記レーザビーム導光方法は、
・前記レーザビームを入力レーザビーム（ＥＳ）として前記共振器内へ導光するステップと、
・前記第１のエンドミラー（１，７）および前記第２のエンドミラー（２，９）それぞれにおいて前記レーザビームが複数回反射した後に、該レーザビームを出力レーザビーム（ＡＳ）として出力結合させるステップと
を有し、
前記第１のエンドミラー（１，７）および前記第２のエンドミラー（２，９）における反射の順序が、前記共振器内において前記第１のエンドミラーと前記第２のエンドミラーとの間において、前記共振器軸（ＯＡ）を回転軸として定義された回転方向を決定することにより、第１のビーム経路が決定され、前記共振器軸を回転軸とする回転方向で前記レーザビームは前記共振器内において前記第１のエンドミラー（１，７）と前記第２のエンドミラー（２，９）との間で回転する、レーザビーム導光方法において、
前記回転方向を反転点において反転させ、前記レーザビームが少なくとも部分的に、前記第１のビーム経路と逆方向の回転方向で前記共振器を通過することにより、第２のビーム経路が決定される
ことを特徴とする、レーザビーム導光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザシステムにおいてレーザビームを導光するための、請求項１の上位概念に記載のミラー構成体と、該レーザシステムを有するレーザシステムと、請求項１５の上位概念に記載のレーザビームのビーム導光方法とに関する。
【０００２】
超短パルスを生成するレーザシステム、すなわち、フェムト秒領域またはピコ秒領域のパルス周期を有するパルスを生成するレーザシステムでは、たとえば低いパルス繰り返し周波数が必要である場合、すなわち、典型的には３０ＭＨｚ未満のパルス繰り返し周波数が必要とされる場合、エンドミラー相互間の距離を大きくしなければならないことが多い。このようなレーザシステムの共振器では、該共振器の長さを大きくしなければならないこと（４ｍを上回る長さ）の他にさらに、構成がコンパクトであることと、たとえば温度変化や機械的振動等により意図された通りに行われなかった光学素子の調整の影響を受けにくいことと、簡単に実用化できることとが必要とされる。
【０００３】
上述のようなレーザシステムの一例として、パルス出力結合方式ないしはキャビティダンピング方式のモード同期レーザ装置がある。このモード同期レーザ装置はたとえば、レーザ材料としてＮｄ：ＹＶＯ４を有し、かつ７．８Ｗ〜１０Ｗの平均出力すなわち１５．６μＪ〜１０μＪのパルスエネルギーを有し、５００ｋＨｚの繰り返し周波数において７．８Ｗの平均出力ないしは１５．６μＪのパルスエネルギーが実現され、１ＭＨｚの繰り返し周波数において１０Ｗの平均出力ないしは１０μＪのパルスエネルギーが実現される。このようなレーザシステムは、たとえば材料加工に使用される。
【０００４】
従来技術では、光ビームないしはレーザビームがミラー間において複数回反射し、この反射によって、小さい基本面積で全経路長が長くなるように、２つ以上のミラーを配置する種々の手法が記載されている。
【０００５】
上述の構成は通常、最初になされた報告書の著者の名前にちなんで命名されており、ホワイト型セル（J. U. White, J. Opt. Soc. Am. 32, 285（１９４２年））、ハンスト型セル（P. L. Hanst, Adv. Environ. Sci. Technol. 2, 91（１９７１年））や、おそらく最も使用されているセルであるヘリオット型セル（D. R. Herriott and H. J. Schulte, Appl. Opt. 4, 883（１９６５年）および米国特許第３，４３７，９５４号）がある。以下では、ヘリオット型セルを例として詳細に説明する。
【０００６】
複数回通過型ないしはマルチパス構成である上述のヘリオット型セルは、最も簡単な構成の場合、該ヘリオット型セルを画定するエンドミラーとしての２つのミラーから構成され、これら２つのミラーのうち少なくとも１つは凹面の表面を有し、両ミラーは相互間に所定の距離をおいて配置されている。このようなミラー構成体自体が光共振器を形成し、該共振器内部においてビームが複数回反射され、該共振器内部で複数回通過した後、ビームはそれ自体反復する。エンドミラーには、楕円または円を成すように一周する複数の反射点から成るパターンが形成される。典型的には、ビームはセルを１回通過した後、すなわち、同一のビーム経路を上述のように繰り返し通る前に、前記ミラー構成体から出力結合される。光共振器において使用される場合の出力結合では、複数の別個のミラーによって、上述のように閉じられたセル内のビーム経路を開放するか、または両ミラーのうちいずれかに孔を開けることによって該ビーム経路を開放することができる（たとえば、Kowalevicz 等による"Design principles of q-preserving multipass-cavity femtosecond lasers"，J. Opt. Soc. Am. B, Vol. 23, No. 4、２００６年４月を参照されたい）。
【０００７】
Kowalevicz 等による刊行物（"Generation of 150nj pulses from a ultiple-pass cavity Kerr-lens mode-locked Ti:AL201 oscilator"， Optic Letters Opt. Soc. Am., Vol. 23, No. 17，２００３年９月）や、SENNAROGLU A, FUJIMOTO J G 等による刊行物（"Compact Femtosecond Lasers Based on Novel Multipass Cavities"，IEEE Journal of Quantum Electronics, Vol. 40, No. 5，２００４年５月）にも、複数回通過式の公知のヘリオット型セルの例が記載されている。この例では、ヘリオット型セルでは、ビームがエンドミラーの反射点を（時計回りまたは反時計回りに）「一回り」した後、再帰性反射素子が該ビームをそれ自体に戻すように構成されている。
【０００８】
たとえばＥＰ１５８８４６１から、ビームを屈曲させる別のミラー構成体が公知である。このミラー構成体では、レーザビームが各反射面ごとに複数回反射し、屈曲装置に入射したビームと該屈曲装置から出射するビームとをビーム経路が含むように、２つの反射性の平面状の面が配置されている。この構成では、反射面は０°を超える開口角で、相互に相対的に方向決めされている。このような線形の配置により、ビームの進行経路はジグザグ状になり、両鏡面反射面上の複数の反射点は一直線上に位置し、該反射点の相互間の距離は変化する。したがってこのような構成では、ビーム屈曲に使用できるスペースは一平面のみである。すなわち２次元のみである。
【０００９】
それゆえ従来のミラー構成体では、反射回数は１回の通過にのみ制限されるか、または、ビーム屈曲は一平面のみで行われるだけであった。
【００１０】
本発明の課題はレーザシステムを改善することであり、とりわけ、ダイオードポンピング式のモード同期レーザシステムを改善することである。
【００１１】
また本発明は、コンパクト性が向上しおよび／またはロバスト性が上昇した上述のレーザシステムを提供することも課題とする。
【００１２】
前記課題は、請求項１ないしは１５に係る発明によって解決され、従属請求項に、請求項１ないしは１５に係る発明を発展させた実施形態が記載されている。
【００１３】
本発明は、レーザシステムにおいてレーザビームを導光するためのミラー構成体、ないしは、該ミラー構成体に対応する、レーザビームの導光方法に関する。本発明のミラー構成体は、エンドミラーとしてビームを屈曲させて導光するための共振器を画定する少なくとも２つのミラーをベースとし、該少なくとも２つのミラー間においてビームが複数回往復して導光され、各エンドミラーにおいて反射を生じさせる。ここでは、１つまたは複数のさらなる別のミラーを使用して、共振器内のビーム経路をさらに屈曲することができ、このことにより、システムのコンパクト性やシステムを使用した総合的な構成のコンパクト性をさらに向上させることができる。
【００１４】
このミラー構成体内にレーザビームを導光ないしは入力結合させることにより、該レーザビームは、共振器内において通る全てのビーム経路のうちの一部である第１のビーム経路を通過する。この最初の通過中のビーム経路はエンドミラー間に延在し、この最初の通過中に生じる反射点は円周上にあり、たとえば時計回り等である回転方向で、これらの反射点を通過する。１回通過した後、すなわち、すでに通過した経路ないしはビーム経路を再び通るときの開始点に達したら、ビームは反射して角度を変化して戻り、このことにより、次に通る第２のビーム経路は同一または同様の経路となり、かつ、エンドミラーにおける該第２のビーム経路の反射点により、第１のビーム経路からずれた経路ないしは回転方向にずれた経路となる。たとえば第１のビーム経路において各エンドミラーにおいてそれぞれ５回反射が行われると、戻り反射によって第２の経路は角度を変化させて形成され、その際にも、各エンドミラーごとにそれぞれ５つの反射点が生じるように構成される。その際には両エンドミラーは、第１のビーム経路の反射点パターンのスペース内に存在することができる。その際には、共振器内において、ないしは共振器を通ってビームが戻り導光される場合、回転方向は逆になり、このことにより、両ビーム経路は相互に逆の回転方向で相互に交差する形になる。このことは、エンドミラーにおけるビームパターンを観察して得られた重要な事実に基づいている。ビームが時計回りに回転するパターンと、反時計回りに回転するパターンとがあり、それ以外の点では、両パターンの特性は同じである。したがって原則的には、２つのエンドミラーを有するミラー構成体ないしはヘリオット型セルを２回通過することができる。１回目の通過の特性と２回目の通過の特性とは、回転方向以外は同じである。両ビームの角度が異なることにより、両ビームを分離することができる。
【００１５】
また、戻り反射角度および／またはさらなる別のビーム調整要素を適切に選択することにより、両ビーム経路のビーム導光の反射は同様であるが位置がずれていることの他に、基本的に、両ビーム経路のうちいずれかの経路の反射点の数をより多くすることもでき、たとえば、第１の経路では、両エンドミラーにおいて生じる反射点を４つとし、それに対して復路であるビーム経路は、反射点の数を２倍にして、すなわちこの場合には反射点を１０個にして形成することができる。両ビーム経路の反射点の比が整数であることにより、反射点の数が相互に異なってもなお、両ビームは相互に交差することができる。
【００１６】
従来技術から公知である構成では、実施形態に応じて、エンドミラー上の各点を時計回りに通るかまたは反時計回りに通り、その後に、ビームは逆方向に戻る。それに対して本発明では、反転点において回転方向を反転させることにより、両回転方向を同時に使用することができ、このことに伴い、反射点の数を増加し、ひいては、同じサイズで共振器長を長くすることができる。
【００１７】
さらに別のミラー部品を用いることにより、レーザビームの入力結合または出力結合を実現することができる。
【００１８】
本発明のミラー構成体ないしは相応の方法の実施例と、該ミラー構成体を使用するレーザシステムの実施例とが概略的に図示されており、以下、これらの実施例を単なる例として詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】レーザビーム用の本発明のミラー構成体ないしは本発明のレーザビーム導光方法の第１の実施例を示す。
【図２】レーザビーム用の本発明のミラー構成体ないしは本発明のレーザビーム導光方法の第１の実施例を示す。
【図３】レーザビーム用の本発明のミラー構成体ないしは本発明のレーザビーム導光方法の第１の実施例を示す。
【図４】レーザビーム用の本発明のミラー構成体ないしは本発明のレーザビーム導光方法の第１の実施例を示す。
【図５】レーザビーム用の本発明のミラー構成体ないしは本発明のレーザビーム導光方法の第１の実施例を示す。
【図６】レーザビーム用の本発明のミラー構成体ないしは本発明のレーザビーム導光方法の第１の実施例を示す。
【図７】レーザビーム用の本発明のミラー構成体ないしは本発明のレーザビーム導光方法の第１の実施例を示す。
【図８】レーザビーム用の本発明のミラー構成体ないしは本発明のレーザビーム導光方法の第１の実施例を示す。
【図９】屈曲ミラーを有する本発明の第２の実施例のミラー構成体を示す。
【図１０】屈曲ミラーを有する本発明の第２の実施例のミラー構成体を示す。
【図１１】本発明の第２の実施例のミラー構成体を有するレーザシステムを示す。
【００２０】
図１に、入力レーザビームＥＳとしてレーザビームが共振器に入力結合する際の状況を示す。この共振器は少なくとも、第１のエンドミラー１と、凹面の表面を有する第２のエンドミラー２とから、ヘリオット型セルとして構成される。この実施例にて示された両エンドミラー１および２の配置は、単なる一例として選択したものである。とりわけ、基本的には両ミラーの位置を入れ換えることもできる。両エンドミラー間には、これらエンドミラーを相互に繋ぐ光学的な共振器軸ＯＡが延在しており、この例では、この共振器軸ＯＡを一直線として示している。しかし屈曲構成では、光学的な共振器軸ＯＡを適切に屈曲させることもできる。共振器には、入力レーザビームＥＳおよび出力レーザビームＡＳを集束するための集束ミラー３が前置されている。
【００２１】
図２に示されているように、この集束ミラー３はレーザビームを入力結合ミラー４の方向に導くことにより、共振器自体の中に導く。集束ミラー３の軸は、共振器軸ＯＡを含む平面内にある。
【００２２】
次に、図３に示されているように、レーザビームは入力結合ミラー４から第１のエンドミラー１へ導光され、その後、図４に示されているように第２のエンドミラー２へ導光される。
【００２３】
図５に示されているように、第１のエンドミラー１と第２のエンドミラー２とにおいてそれぞれ複数回反射が行われる。この実施例では、エンドミラー１，２に４つの反射点が生じ、これらの反射点がそれぞれ正方形の頂点となるパターンを形成する。その際には、第１のエンドミラー１と第２のエンドミラーとにおける反射の順序が、共振器軸ＯＡを回転軸とする回転方向となる。すべての反射場所と、各反射間のビーム区間とが、上述の反射により定義された回転方向を有する第１のビーム経路を形成する。この第１のビーム経路は、時計回りまたは反時計回りの方向に延在することができる。このようにして、レーザビームは共振器内において、定義された回転方向で第１のエンドミラーと第２のエンドミラーとの間で往復して回転する。
【００２４】
従来技術の通常のヘリオット型セルないしはミラー構成体との相違点は、前記共振器は、回転方向が反転点において反転ないしは逆方向にされ、レーザビームが少なくとも部分的に、第１のビーム経路と逆方向の回転方向で共振器内を通過することにより、第２のビーム経路が決定されるように構成されることである。図６にこの状況を示す。この実施例では、反転点を形成するために反転ミラー５が使用され、第１のビーム経路の通過後にこの反転ミラー５によって、回転方向の変化を引き起こす戻り反射が引き起こされる。従来のヘリオット型セルでは、レーザビームはここで、システムから出力結合される。このレーザの出力結合は、図６中で点線の矢印によって示されている。
【００２５】
図７に示されているように、レーザビームは、回転方向が変化ないしは反転された第２のビーム経路を通って、共振器内を再び通過する。ここで、第１のビーム経路と第２のビーム経路とは空間的に分離されている。このようにして、第１のビーム経路と第２のビーム経路とは、それ自体が反復する閉じられた１つのビーム経路を成し、第１のビーム経路の開始点まで反射し戻ったときに再び通過する。その際には、第１のビーム経路と第２のビーム経路とがエンドミラー１，２において反射する反射点の数は等しくなり、とりわけ３つまたは４つまたは５つとなり、各エンドミラー１，２においてこれらの反射点は同じ円周上にある。その際には、反転ミラー５において反射することにより、第１のビーム経路と第２のビーム経路とで、第１のエンドミラー１および第２のエンドミラー２における反射点の位置は相互にずれるか、ないしは共振器軸ＯＡを中心として回転方向にずれる。この実施例ではレーザビームは、図５および図６に示された両エンドミラー１，２における両ビーム経路の反射点の各パターンをそれぞれ、反射点１−８の順に通る。両ビーム経路の方向が相互に異なることにより、回転方向が逆方向になる。
【００２６】
レーザビームは第２のビーム経路を通過した後、最終的に出力レーザビームＡＳとして共振器から出射する。このことは図７に示されている。ここでは、第２のビーム経路を通過した後に、集束ミラー３によって出力レーザビームＡＳが、共振器軸ＯＡに対して平行にずれるように、該集束ミラー３が配置されている。共振器ないしはミラー構成体はさらに、入力レーザビームＥＳと出力レーザビームＡＳとを分離する分離ミラー６を有することもできる。この分離ミラー６は図８に示されている。
【００２７】
図９〜１０に、本発明の第２の実施例のミラー構成体を示す。このミラー構成体は、第１のビーム経路と第２のビーム経路とを屈曲させる共用の屈曲ミラー８を有する。図１１に示されたレーザシステムを実現するためのこの構成では、さらにコンパクトな構成を実現するために、３つのミラー７，８，９から成るヘリオット型セルが用いられる。ここでも、入力レーザビームＥＳは、曲面鏡である集束ミラー３によって入力結合ミラー４に集束され、その後に１回、時計回りにミラー構成体の共振器を通過する。ビームは屈曲ミラー８において最後に反射した後、反転ミラー５に入射し、反時計回りに共振器に再度送られてこれを通過する。第２のビーム経路の最後、ひいては第２の回転の最後に、ビームは入力結合ミラー４に再度入射するが、この入射時のレーザビームの角度は逆になっている。このことにより、集束ミラー３から伝搬および反射した後、入力結合ミラーＥＳと出力結合ミラーＡＳとが空間的に分離される。出力レーザビームＡＳをより簡単に取り出せるようにするため、後置された小型の分離ミラー６が用いられる。
【００２８】
フェムト秒パルスまたはピコ秒パルスを生成または増幅するための一例のレーザシステムに、本発明の第２の実施例のミラー構成体を組み込んだ構成が、図１１に示されている。レーザシステムは、パルス出力方式ないしはキャビティダンピング方式のモード同期レーザ装置として構成される。このモード同期レーザ装置は、レーザ媒質ＸＴＡＬ１およびＸＴＡＬ２としてＮｄ：ＹＶＯ４結晶を含む。このような構成では、モード同期を実現するための可飽和吸収ミラーＳＥＳＡＭと、１／４波長板λ／４および薄膜偏光子ＴＦＰを有するポッケルスセルＰＣとがパルス出力結合部品として使用され、また、レーザ媒質ＸＴＡＬ１およびＸＴＡＬ２へのポンピングを行うためのレーザダイオード光源ＬＤ１およびＬＤ２とが使用される。さらに別の構成要素として、フォトダイオードＰＤと、パルス遅延発生器ＰＤＧと、ＢＢＯポッケルスセルＰＣ用の高電圧給電部ＨＶＤと、ミラー素子Ｍ１〜Ｍ１３とが使用される。その際には、図９，１０に示されたヘリオット型セルＨＺはミラー素子Ｍ８〜Ｍ１３によって構成され、ミラー素子Ｍ３はレーザシステムの出力結合ミラーとなる。それに対し、ヘリオット型セルの入力結合ミラーおよび出力結合ミラーとしてはミラー素子Ｍ９およびＭ１０が使用され、ミラー素子Ｍ８は集束ミラーとして使用される。ヘリオット型セルの第２のエンドミラーとして使用されるミラー素子Ｍ１１は、１６００ｍｍの曲率半径を有し、それに対して、第１のエンドミラーおよび屈曲ミラーとして使用されるミラー素子Ｍ１２およびＭ１３は平坦に形成されている。ミラー素子Ｍ１およびＭ４はダイクロイックミラーであり、これらのダイクロイックミラーは、ファイバ結合されたレーザダイオード光源ＬＤ１およびＬＤ２に接続されて、ポンピング装置として機能する。このような構成により、７．８Ｗ〜１０Ｗの出力が実現され、５００ｋＨｚの繰り返し周波数の場合に７．８Ｗの出力が実現され、１ＭＨｚの繰り返し周波数の場合に１０Ｗの出力が実現される。
【００２９】
しかし、図面中に示したレーザシステムは本発明のミラー構成体の用途の単なる一例であり、よって、本発明のミラー構成体の用途は図中のレーザシステムに限定されることがない。基本的には、コンパクトおよび／またはロバストな共振器や、長いビーム経路の組み込みを、限られたスペースにおいて実現しなければならない場合において、本発明のミラー構成体ないしは本発明のレーザビーム導光方法を使用できるレーザシステムは多数存在する。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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