(57)【要約】  基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムが提供される。このシステムは、光を透明又は半透明基板（２６０）に照射するべく適合された第１照明ユニット（２１０）及び第１照明ユニット（２１０）が光を基板（２６０）に照射した際に基板（２６０）からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第１撮像ユニット（２２０）を含む第１チャネルと、光を基板（２６０）に照射するべく適合された第２照明ユニット（２１０）及び第２照明ユニット（２１０）が光を基板（２６０）に照射した際に基板（２６０）からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第２撮像ユニット（２３０）を含む第２チャネルと、それぞれ、第１撮像ユニット（２２０）によって取得された画像及び第２撮像ユニット（２３０）によって取得された画像を使用することによって基板（２６０）の２つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュール（２４０）と、基板（２６０）が欠陥を具備している際に、基板（２６０）の欠陥が基板（２６０）の２つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板（２６０）上に位置しているのか又は基板（２６０）の内部に位置しているのかを検出するべく適合された画像処理モジュール（２５０）と、を含む。この方法及びシステムを使用することにより、透明又は半透明基板（２６０）が欠陥を具備しているかどうかを検出及び分類可能である。
2013501211.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の欠陥を検出及び分類するシステムであって、
光を透明又は半透明の基板に照射するべく適合された第１照明ユニットと、第１照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第１撮像ユニットと、を含む第１チャネルと、
光を基板に照射するべく適合された第２照明ユニットと、第２照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第２撮像ユニットと、を含む第２チャネルと、
それぞれ、第１撮像ユニットによって取得された画像及び第２撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の２つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、
基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の２つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合された画像処理モジュールと、
を有するシステム。
【請求項２】
第１照明ユニット及び第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、
第１撮像ユニット及び第２撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、第１撮像ユニット及び第２撮像ユニットの光軸の夾角はゼロを上回っている請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
第１撮像ユニットは、第１照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第１照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、第２撮像ユニットは、第２照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第１照明ユニット及び第２照明ユニットは、１つの且つ同一の照明ユニットである請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
第１チャネルは、第１偏光方向を具備する第１偏光コンポーネントと、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第２偏光コンポーネントと、を更に含み、第１偏光コンポーネントは、第１照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第２偏光コンポーネントは、基板と第１撮像ユニットの間に配置され、
第１撮像ユニットは、第１照明ユニットによって照射されると共に、第１偏光コンポーネント、基板、及び第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第１照明ユニットによって照射されると共に第１偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第２撮像ユニットは、第２照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項２に記載のシステム。
【請求項５】
第１チャネルは、第１偏光方向を具備する第１偏光コンポーネントと、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第２偏光コンポーネントと、を更に含み、第１偏光コンポーネントは、第１照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第２偏光コンポーネントは、基板と第１撮像ユニットの間に配置され、
第２チャネルは、第１偏光方向を具備する第３偏光コンポーネントと、第２偏光方向を具備する第４偏光コンポーネントと、を更に含み、第３偏光コンポーネントは、第２照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第４偏光コンポーネントは、基板と第２撮像ユニットの間に配置され、
第１撮像ユニットは、第１照明ユニットによって照射される共に、第１偏光コンポーネント、基板、及び第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第１照明ユニットによって照射されると共に第１偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第２撮像ユニットは、第２照明ユニットによって照射されると共に、第３偏光コンポーネント、基板、及び第４偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニットによって照射されると共に第３偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第４偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項２に記載のシステム。
【請求項６】
第１チャネルは、第１反射器を更に含み、
第１反射器は、基板の１つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、基板からの且つ第１反射器に進入する光を反射するべく適合されており、
第１撮像ユニット及び第２撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第１撮像ユニットは、第１反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットは、基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第１撮像ユニット及び第２撮像ユニットは、１つの且つ同一の撮像ユニットであり、第１撮像ユニットによって取得される画像及び第２撮像ユニットによって取得される画像は、１つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
第１照明ユニット及び第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、
第１反射器は、第１照明ユニットによって基板に照射され、基板を通じて透過すると共に、第１反射器に進入した光を反射するべく、又は第１照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第１反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
第２撮像ユニットは、第２照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得し、且つ、
第１照明ユニット及び第２照明ユニットは、１つの且つ同一の照明ユニットである請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
第１照明ユニット及び第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、
第１チャネルは、第１偏光方向を具備する第１偏光コンポーネントと、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第２偏光コンポーネントと、を更に含み、第１偏光コンポーネントは、第１照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第２偏光コンポーネントは、第１反射器と第１撮像ユニットの間に配置され、
第１反射器は、第１照明ユニットによって照射され、第１偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第１反射器に進入した光を反射するべく、又は第１照明ユニットによって照射されると共に第１偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第１反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
第１撮像ユニットは、第１反射器によって反射されると共に第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第２撮像ユニットは、第２照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項６に記載のシステム。
【請求項９】
第１照明ユニット及び第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、
第１チャネルは、第１偏光方向を具備する第１偏光コンポーネントと、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第２偏光コンポーネントと、を更に含み、第１偏光コンポーネントは、第１照明ユニットと基板との間に配置され、且つ、第２偏光コンポーネントは、第１反射器と第１撮像ユニットとの間に配置され、
第２チャネルは、第１偏光方向を具備する第３偏光コンポーネントと、第２偏光方向を具備する第４偏光コンポーネントと、を更に含み、第３偏光コンポーネントは、第２照明ユニットと基板との間に配置され、且つ、第４偏光コンポーネントは、基板と第２撮像ユニットとの間に配置され、
第１反射器は、第１照明ユニットによって照射され、第１偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第１反射器に進入した光を反射するべく、又は第１照明ユニットによって照射されると共に第１偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第１反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
第１撮像ユニットは、第１反射器によって反射されると共に第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第２撮像ユニットは、第２照明ユニットによって照射されると共に、第３偏光コンポーネント、基板、及び第４偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、又は第２照明ユニットによって照射されると共に第１偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第４コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項６に記載のシステム。
【請求項１０】
第１照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、
第１反射器は、第１照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第１反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第２撮像ユニットは、第２照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項６に記載のシステム。
【請求項１１】
第１照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、
第２チャネルは、第１偏光方向を具備する第３偏光コンポーネントと、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第４偏光コンポーネントと、更に含み、第３偏光コンポーネントは、第２照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第４偏光コンポーネントは、基板と第２撮像ユニットの間に配置され、
第１反射器は、第１照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第１反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第１撮像ユニットは、第１反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第２撮像ユニットは、第２照明ユニットによって照射されると共に、第３偏光コンポーネント、基板、及び第４偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニットによって照射されると共に第１偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第４偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項６に記載のシステム。
【請求項１２】
第１チャネルは、第１反射器を更に有し、第１反射器は、基板の１つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、基板からの且つ第１反射器に進入する光を反射するべく適合されており、
第２チャネルは、第２反射器を更に含み、第２反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、基板からの且つ第２反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第１撮像ユニット及び第２撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第１撮像ユニットは、第１反射器によって反射された光を検知することによって第１画像を取得するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットは、第２反射器によって反射された光を検知することによって第２画像を取得するべく適合されており、且つ、
第１撮像ユニット及び第２撮像ユニットは、１つの且つ同一の撮像ユニットであり、第１画像及び第２画像は、１つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項１に記載のシステム。
【請求項１３】
第１照明ユニット及び第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、
第１反射器は、第１照明ユニットによって基板に照射され、基板を通じて透過すると共に、第１反射器に進入した光を反射するべく、又は第１照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第１反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、且つ、
第２反射器は、第２照明ユニットによって基板に照射され、基板を通じて透過すると共に、第２反射器に進入した光を反射するべく、又は第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第２反射器に進入した光を反射するべく、適合されている請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
第１照明ユニット及び第２照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、
第１反射器は、第１照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第１反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第２反射器は、第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第２反射器に進入した光を反射するべく適合されている請求項１２に記載のシステム。
【請求項１５】
第１照明ユニット及び第２照明ユニットは、１つの且つ同一の照明ユニットである請求項１３又は１４に記載のシステム。
【請求項１６】
第１照明ユニット及び第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、
第１チャネルは、第１偏光方向を具備する第１偏光コンポーネントと、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第２偏光コンポーネントと、を更に含み、第１偏光コンポーネントは、第１照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第２偏光コンポーネントは、第１反射器と１つの且つ同一の撮像ユニットの間に配置されており、
第１反射器は、第１照明ユニットによって照射され、第１偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第１反射器に進入した光を反射するべく、又は第１照明ユニットによって照射されると共に第１偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第１反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
１つの且つ同一の撮像ユニットは、第１反射器によって反射されると共に第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第１画像を取得するべく適合されており、且つ、
１つの且つ同一の撮像ユニットは、第２照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することにより、第２画像を取得するべく更に適合されている請求項１２に記載のシステム。
【請求項１７】
第１照明ユニット及び第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、
第１チャネルは、第１偏光方向を具備する第１偏光コンポーネントと、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第２偏光コンポーネントと、を更に含み、第１偏光コンポーネントは、第１照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第２偏光コンポーネントは、第１反射器と１つの且つ同一の撮像ユニットの間に配置され、
第２チャネルは、第１偏光方向を具備する第３偏光コンポーネントと、第２偏光方向を具備する第４偏光コンポーネントと、を更に含み、第３偏光コンポーネントは、第２照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第４偏光コンポーネントは、第２反射器と１つの且つ同一の撮像ユニットの間に配置され、
第１反射器は、第１照明ユニットによって照射され、第１偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第１反射器に進入した光を反射するべく、又は第１照明ユニットによって照射されると共に第１偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第１反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
１つの且つ同一の撮像ユニットは、第１反射器によって反射されると共に第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第１画像を取得するべく適合されており、
第２反射器は、第２照明ユニットによって照射され、第３偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第２反射器に進入した光を反射するべく、又は第２照明ユニットによって照射されると共に第３偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第２反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
１つの且つ同一の撮像ユニットは、第２反射器によって反射されると共に第４偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第２画像を取得するべく適合されている請求項１２に記載のシステム。
【請求項１８】
画像処理モジュールは、欠陥が２つの画像内に出現する位置が同一であるか、又は位置の間のオフセットが最大オフセットに等しい際に、欠陥が基板上の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の１つの表面上に位置した欠陥が２つの画像内に出現する位置の間のオフセットに等しい請求項１に記載のシステム。
【請求項１９】
画像処理モジュールは、欠陥が２つの画像内に出現する位置が同一でなく、且つ、位置の間のオフセットが最大オフセットを下回っている際に、欠陥が基板の内部の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の１つ表面上に位置した欠陥が２つの画像内に出現する位置の間のオフセットに等しい請求項１に記載のシステム。
【請求項２０】
第１撮像ユニット及び第２撮像ユニットは、予め規定された時間間隔において、同時に又は既定の期間を隔てて、基板からの光を検知することによって画像を取得するべく更に適合されている請求項１に記載のシステム。
【請求項２１】
第１撮像ユニット及び第２撮像ユニットのそれぞれのものは、２次元撮像ユニットであり、
画像構築モジュールは、第１撮像ユニット及び／又は第２撮像ユニットによって取得された画像が圧縮変形を具備している際に、第１撮像ユニット及び／又は第２撮像ユニットによって取得された画像を伸長させ、且つ、第１撮像ユニット及び／又は第２撮像ユニットによって取得された画像を伸長させた後に、それぞれ、第１撮像ユニットによって取得された画像及び第２撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の２つの画像を構築するべく、更に適合されている請求項１に記載のシステム。
【請求項２２】
基板の欠陥を検出及び分類するシステムであって、
第１照明ユニット及び第１撮像ユニットを含む第１チャネルであって、第１照明ユニットは、光を透明又は半透明基板に照射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットは、基板の１つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第１チャネルと、
第２照明ユニット及び第２撮像ユニットを含む第２チャネルであって、第２照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第２チャネルと、
第３照明ユニット及び第３撮像ユニットを含む第３チャネルであって、第３照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第３チャネルと、
それぞれ、第１撮像ユニットによって取得された画像、第２撮像ユニットによって取得された画像、及び第３撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の３つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、
基板の３つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、基板が、それぞれ、第１撮像ユニットによって取得された画像及び第２撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の２つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の３つの画像上に出現する異なる特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、欠陥を分類するべく、適合された画像処理モジュールと、
を有するシステム。
【請求項２３】
第１照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、且つ、第１撮像ユニットは、第１照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、且つ、第２撮像ユニットは、第２照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第３撮像ユニットは、第３照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項２２に記載のシステム。
【請求項２４】
第３照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置される請求項２３に記載のシステム。
【請求項２５】
第３チャネルは、第３反射器を更に含み、第３照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第３反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第３反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットは、第３反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項２３に記載のシステム。
【請求項２６】
第１チャネルは、第１反射器を更に含み、第１反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第１反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットは、第１反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項２３に記載のシステム。
【請求項２７】
第３照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、且つ、第３撮像ユニットは、第３照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第１撮像ユニットは、第１照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第２撮像ユニットは、第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項２２に記載のシステム。
【請求項２８】
第１照明ユニット及び第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置される請求項２７に記載のシステム。
【請求項２９】
第１照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、
第２チャネルは、第２反射器にを更に含み、第２照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、第２反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第２反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットは、第２反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項２７に記載のシステム。
【請求項３０】
第３チャネルは、第３反射器を更に含み、第３反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第３反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットは、第３反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項２７に記載のシステム。
【請求項３１】
第１照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、且つ、第１撮像ユニットは、第１照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、且つ、第２撮像ユニットは、第２照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第３チャネルは、第１偏光方向を具備する第５偏光コンポーネントと、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第６偏光コンポーネントと、を更に含み、第３照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置され、且つ、第５偏光コンポーネントは、第３照明ユニットと基板の間に配置され、第６偏光コンポーネントは、基板と第３撮像ユニットの間に配置され、且つ、第３撮像ユニットは、第３照明ユニットによって照射されると共に、第５偏光コンポーネント、基板、及び第６偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第３照明ユニットによって照射されると共に第５偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第６偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項２２に記載のシステム。
【請求項３２】
第１チャネルは、第１反射器を更に含み、第１反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第１反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットは、第１反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項３１に記載のシステム。
【請求項３３】
第３チャネルは、第１偏光方向を具備する第５偏光コンポーネントと、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第６偏光コンポーネントと、を更に含み、第３照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置され、第５偏光コンポーネントは、第３照明ユニットと基板の間に配置され、第６偏光コンポーネントは、基板と第３撮像ユニットの間に配置され、且つ、第３撮像ユニットは、第３照明ユニットによって照射されると共に、第５偏光コンポーネント、基板、及び第６偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第３照明ユニットによって照射されると共に第５偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第６偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第１撮像ユニットは、第１照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ
第２撮像ユニットは、第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項２２に記載のシステム。
【請求項３４】
第１照明ユニット及び第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置される請求項３３に記載のシステム。
【請求項３５】
第１照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、且つ、
第２チャネルは、第２反射器を更に含み、第２照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、第２反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第２反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットは、第２反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項３３に記載のシステム。
【請求項３６】
第１チャネルは、第１偏光方向を具備する第１偏光コンポーネントと、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第２偏光コンポーネントと、を更に含み、第１照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置され、第１偏光コンポーネントは、第１照明ユニットと基板の間に配置され、第２偏光コンポーネントは、基板と第１撮像ユニットの間に配置され、且つ、第１撮像ユニットは、第１照明ユニットによって照射されると共に、第１偏光コンポーネント、基板、及び第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第１照明ユニットによって照射されると共に第１偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検出することにより、画像を取得するべく適合されており、且つ、
第２チャネルは、第１偏光方向を具備する第３偏光コンポーネントと、第２偏光方向を具備する第４偏光コンポーネントと、を更に含み、第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置され、第３偏光コンポーネントは、第２照明ユニットと基板の間に配置され、第４偏光コンポーネントは、基板と第２撮像ユニットの間に配置され、且つ、第２撮像ユニットは、第２照明ユニットによって照射されると共に、第３偏光コンポーネント、基板、及び第４偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニットによって照射されると共に第３偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第４偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項２２に記載のシステム。
【請求項３７】
第３照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、且つ、第３撮像ユニットは、第１照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項３６に記載のシステム。
【請求項３８】
第３チャネルは、第３反射器を更に含み、第３反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第３反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットは、第３反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合される請求項３７に記載のシステム。
【請求項３９】
第３照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、且つ、第３撮像ユニットは、第３照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項３６に記載のシステム。
【請求項４０】
第３チャネルは、第３反射器を更に含み、
第３照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第３反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第３反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットは、第３反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項３６に記載のシステム。
【請求項４１】
第１照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置されており、且つ、第１撮像ユニットは、第１照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第２撮像ユニットは、第１照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第３チャネルは、第１偏光方向を具備する第５偏光コンポーネントと、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第６偏光コンポーネントと、を更に含み、第３照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置され、第５偏光コンポーネントは、第３照明ユニットと基板の間に配置され、第６偏光コンポーネントは、基板と第３撮像ユニットの間に配置され、且つ、第３撮像ユニットは、第３照明ユニットによって照射されると共に、第５偏光コンポーネント、基板、及び第６偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第３照明ユニットによって照射されると共に第５偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第６偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項２２に記載のシステム。
【請求項４２】
第２照明ユニットは、基板の１つの表面の外側に配置される請求項４１に記載のシステム。
【請求項４３】
第２チャネルは、第２反射器を更に含み、第２反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第２反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットは、第２反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項４１に記載のシステム。
【請求項４４】
第１チャネルは、第１反射器を更に含み、第１反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第１反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットは、第１反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項４１に記載のシステム。
【請求項４５】
第１撮像ユニット、第２撮像ユニット、及び第３撮像ユニットは、１つの且つ同一の撮像ユニットであり、第１撮像ユニットによって取得される画像、第２撮像ユニットによって取得される画像、及び第３撮像ユニットによって取得される画像は、１つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項２２に記載のシステム。
【請求項４６】
第１撮像ユニット及び第２撮像ユニットは、１つの且つ同一の撮像ユニットであり、第１撮像ユニットによって取得される画像及び第２撮像ユニットによって取得される画像は、１つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項２２に記載のシステム。
【請求項４７】
画像処理モジュールは、欠陥が２つの画像内に出現する位置が同一であるか、又は位置の間のオフセットが最大オフセットに等しい際に、欠陥が基板上の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の１つの表面上に位置した欠陥が２つの画像内に出現する位置の間のオフセットである請求項２２に記載のシステム。
【請求項４８】
画像処理モジュールは、欠陥が２つの画像内に出現する位置が同一でなく、且つ、位置の間のオフセットが最大オフセットを下回っている際に、欠陥が基板の内部の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の１つの表面上に位置した欠陥が２つの画像内に出現する位置の間のオフセットに等しい請求項２２に記載のシステム。
【請求項４９】
基板の欠陥を検出及び分類する方法であって、
第１チャネルをセッティングするステップであって、第１チャネルは、光を透明又は半透明の基板に照射するべく適合された第１照明ユニットと、第１照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第１撮像ユニットと、を含む、ステップと、
第２チャネルをセッティングするステップであって、第２チャネルは、光を基板に照射するべく適合された第２照明ユニットと、第２照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第２撮像ユニットと、を含む、ステップと、
画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第１撮像ユニットによって取得された画像及び第２撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の２つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、
画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の２つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合されている、ステップと、
を有する方法。
【請求項５０】
基板の欠陥を検出及び分類する方法であって、
第１チャネルをセッティングするステップであって、第１チャネルは、第１照明ユニットと、第１撮像ユニットと、を含み、第１照明ユニットは、光を透明又は半透明の基板に照射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットは、基板の１つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、
第２チャネルをセッティングするステップであって、第２チャネルは、第２照明ユニットと、第２撮像ユニットと、を含み、第２照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、
第３チャネルをセッティングするステップであって、第３チャネルは、第３照明ユニットと、第３撮像ユニットと、を含み、第３照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、
画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第１撮像ユニットによって取得された画像、第２撮像ユニットによって取得された画像、及び第３撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の３つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、
画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板の３つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、欠陥が、それぞれ、第１撮像ユニットによって取得された画像及び第２撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の２つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の３つの画像上に出現する異なる特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、欠陥を分類するべく適合されている、ステップと、
を有する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、２００９年７月３１日付けで出願された中華人民共和国特許出願第２００９１０１６１１０７．３号及び２００９年１１月２７日付けで出願された中華人民共和国特許出願第２００９１０２４６３８１．０号の優先権を主張する。これら２つの中華人民共和国特許出願の内容は、本引用により、そのすべてが本明細書に包含される。
【０００２】
本発明は、基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムに関する。
【背景技術】
【０００３】
現在、太陽光発電モジュール産業の太陽電池セル又は太陽電池モジュールに使用されるパターン又は構造を有する基板などの透明又は半透明の基板が多くの分野において使用されている。透明又は半透明基板には、製造プロセスにおいて、例えば、基板の表面上に位置する引っ掻き傷、汚れ、及び破れ泡（ｏｐｅｎ  ｂｕｂｂｌｅ）、並びに、基板の内部に位置する閉鎖泡（ｃｌｏｓｅ  ｂｕｂｂｌｅ）及び結石（黒色石、白色石、及びその他の色の石）などの様々な欠陥が生じることになる。従来技術には、透明又は半透明基板の欠陥をチェックするための多数の欠陥チェック解決策が提案されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、透明又は半透明基板の品質要件の厳格化に伴って、様々なタイプの欠陥ごとの品質管理基準が必要とされている。これに鑑み、透明又は半透明基板の欠陥を検出するのみならず、検出された欠陥が基板上に位置しているのか又は基板内に位置しているのかを弁別することが必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施例は、基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムを提供し、この方法及びシステムは、透明又は半透明基板の欠陥を検出及び分類可能である。
【０００６】
本発明による基板の欠陥を検出及び分類するシステムが提供され、このシステムは、光を透明又は半透明基板に照射するべく適合された第１照明ユニット及び第１照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第１撮像ユニットを含む第１チャネルと、基板に光を照射するべく適合された第２照明ユニット及び第２照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第２撮像ユニットを含む第２チャネルと、それぞれ、第１撮像ユニットによって取得された画像及び第２撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の２つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の２つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、その欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合された画像処理モジュールと、を有する。
【０００７】
本発明による基板の欠陥を検出及び分類するシステムが提供され、このシステムは、第１照明ユニット及び第１撮像ユニットを含む第１チャネルであって、第１照明ユニットは光を透明又は半透明基板に照射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットは、基板の１つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第１チャネルと、第２照明ユニット及び第２撮像ユニットを含む第２チャネルであって、第２照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第２チャネルと、第３照明ユニット及び第３撮像ユニットを含む第３チャネルであって、第３照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第３チャネルと、それぞれ、第１撮像ユニットによって取得された画像、第２撮像ユニットによって取得された画像、及び第３撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の３つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、基板の３つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、その欠陥が、それぞれ、第１撮像ユニットによって取得された画像及び第２撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の２つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、その欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の３つの画像上に出現する様々な特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、その欠陥を分類するべく適合された画像処理モジュールと、を有する。
【０００８】
本発明による基板の欠陥を検出及び分類する方法が提供され、この方法は、第１チャネルをセッティングするステップであって、第１チャネルは、光を透明又は半透明基板に照射するべく適合された第１照明ユニット及び第１照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第１撮像ユニットを含む、ステップと、第２チャネルをセッティングするステップであって、第２チャネルは、光を基板に照射するべく適合された第２照明ユニット及び第２照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第２撮像ユニットを含む、ステップと、画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第１撮像ユニットによって取得された画像及び第２撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の２つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の２つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合されている、ステップと、を有する。
【０００９】
本発明による基板の欠陥を検出及び分類する方法が提供され、この方法は、第１チャネルをセッティングするステップであって、第１チャネルは、第１照明ユニット及び第１撮像ユニットを含み、第１照明ユニットは、光を透明又は半透明基板に照射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットは、基板の１つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、第２チャネルをセッティングするステップであって、第２チャネルは、第２照明ユニット及び第２撮像ユニットを含み、第２照明ニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、第３チャネルをセッティングするステップであって、第３チャネルは、第３照明ユニット及び第３撮像ユニットを含み、第３照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第１撮像ユニットによって取得された画像、第２撮像ユニットによって取得された画像、及び第３撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の３つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板の３つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、基板が、それぞれ、第１撮像ユニットによって取得された画像及び第２撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の２つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板内の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の３つの画像上に出現する様々な特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、欠陥を分類するべく適合されている、ステップと、を有する。
【００１０】
本発明のこれらの及びその他の特徴、特性、及び利点については、添付の図面との関連において以下の詳細な説明を参照することにより、更に明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１Ａ】本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図１Ｂ】本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図１Ｃ】本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図１Ｄ】本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図１Ｅ】本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図１Ｆ】本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図１Ｇ】本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図１Ｈ】本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図１Ｉ】本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図１Ｊ】本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図１Ｋ】本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図２】本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。
【図３】本発明の第１実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。
【図４】本発明の第１実施例の変形による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。
【図５Ａ】本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図５Ｂ】本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図５Ｃ】本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図５Ｄ】本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図５Ｅ】本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図５Ｆ】本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図５Ｇ】本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図５Ｉ】本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図５Ｊ】本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図５Ｋ】本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図５Ｌ】本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図６】本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。
【図７】本発明の第２実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。
【図８Ａ】本発明の第２実施例の変形による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。
【図８Ｂ】本発明の第２実施例の変形による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面との関連において、本発明の実施例について説明することとする。
【００１３】
（第１実施例）
本発明の第１実施例は、基板の欠陥を検出及び分類する技術を提供する。
【００１４】
図１Ａ〜図１Ｋは、本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【００１５】
まず、図１Ａに示されているように、照明ユニットＬは、光を透明又は半透明基板Ｓに照射するべく基板Ｓの１つの表面Ｂ１の外側に配置されており、且つ、２つの１次元撮像ユニットＭ１及びＭ２は、それぞれ、照明ユニットＬによって基板Ｓに照射されると共に基板Ｓを通じて透過した光を検知することによって１次元画像を取得するべく基板Ｓの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置されている。１次元撮像ユニットＭ１の光軸と１次元撮像ユニットＭ２の光軸の夾角は、αである。ここでは、説明の利便のために、１次元撮像ユニットＭ１の光軸は、基板Ｓの表面Ｂ１及びＢ２に対して垂直であると仮定されている。基板Ｓが方向ｚに沿って運動した際に、１次元撮像ユニットＭ１及びＭ２は、それぞれ、照明ユニットＬによって基板Ｓに照射されると共に基板Ｓを通じて透過した光を特定の間隔において連続的に検知することによって１次元の画像を取得し、且つ、次いで、１次元撮像ユニットＭ１によって取得された１次元画像を使用して基板Ｓの画像を構築すると共に、１次元撮像ユニットＭ２によって取得された１次元画像を使用して基板Ｓの画像を構築する。
【００１６】
図１Ｂに示されているように、基板Ｓは、基板Ｓの左側のエッジとの関係において距離ｚ１を具備すると共に基板Ｓに対して垂直である位置に、２つの欠陥Ｄ１及びＤ２を具備するものと仮定されており、欠陥Ｄ１は、１次元撮像ユニットＭ１及びＭ２と同一の側である基板Ｓの表面Ｂ２上に位置しており、且つ、欠陥Ｄ２は、基板Ｓの内部に位置し、且つ、基板Ｓの表面Ｂ２との関係において距離ｈを具備している。
【００１７】
それぞれ、１次元撮像ユニットＭ１及びＭ２が、照明ユニットＬによって基板Ｓに照射されると共に基板Ｓを通じて透過した光を特定の間隔において連続的に検知することによって１次元画像を取得するプロセスにおいて、基板Ｓが方向ｚに沿って図１Ｃに示されている位置に運動した際に、１次元撮像ユニットＭ１によって取得される１次元画像は、欠陥Ｄ１及びＤ２を含み、基板Ｓが方向ｚに沿って図１Ｄに示されている位置に運動した際に、１次元撮像ユニットＭ２によって取得される１次元画像は、欠陥Ｄ１を含み、且つ、基板Ｓが方向ｚに沿って図１Ｅに示されている位置に運動した際に、１次元撮像ユニットＭ２によって取得される１次元画像は、欠陥Ｄ２を含む。
【００１８】
１次元撮像ユニットＭ１によって取得された１次元画像を使用することによって構築された基板Ｓの画像Ｘ１が図１Ｆに示されており、且つ、１次元撮像ユニットＭ２によって取得された１次元画像を使用することによって構築された基板Ｓの画像Ｘ２が図１Ｇに示されている。
【００１９】
図１Ｆに示されている基板Ｓの画像Ｘ１を図１Ｇに示されている基板Ｓの画像Ｘ２と比較することにより、基板Ｓの表面Ｂ２上に位置する欠陥Ｄ１が基板Ｓの画像Ｘ１内に出現する位置と基板Ｓの表面Ｂ２上に位置する欠陥Ｄ１が基板Ｓの画像Ｘ２内に出現する位置は、同一であるのに対して、基板Ｓの内部に位置する欠陥Ｄ２が基板Ｓの画像Ｘ１内に出現する位置と基板Ｓの内部に位置する欠陥Ｄ２が基板Ｓの画像Ｘ２内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、オフセットｄ’を具備していることがわかる。オフセットｄ’は、図１Ｅに示されているｄに正比例している。
【００２０】
【数１】
2013501211.tif 000003
【００２１】
ここで、ｎは、基板Ｓの屈折率であり、αは、１次元撮像ユニットＭ１の光軸と基板Ｓの表面の垂線の夾角である（ここでは、１次元撮像ユニットＭ１の光軸と１次元撮像ユニットＭ２の光軸の夾角を意味している）。ｈ及びαが増大するのに伴って、ｄが増大し、且つ、オフセットｄ’も増大することがわかる。換言すれば、αが大きくなるほど、ｈの検出精度が増大する。
【００２２】
更には、欠陥Ｄ２が基板Ｓの表面Ｂ２との関係において具備している距離ｈが最大である際には、即ち、欠陥Ｄ２が基板Ｓの別の反対側の表面Ｂ１上に位置している際には、欠陥Ｄ２が画像Ｘ１内に出現する位置と欠陥Ｄ２が画像Ｘ２内に出現する位置は、異なり（同一ではなく）、且つ、最大オフセットを具備している。
【００２３】
以上のことから、以下の規則が明らかとなる。１次元撮像ユニットＭ１の光軸と１次元撮像ユニットＭ２の光軸の特定の夾角が存在しており、且つ、１次元撮像ユニットＭ１の光軸が基板Ｓの表面に対して垂直である場合には、１次元撮像ユニットＭ１によって取得された１次元画像を使用することによって構築される基板Ｓの画像Ｘ１及び１次元撮像ユニットＭ２によって取得された１次元画像を使用することによって構築される基板Ｓの画像Ｘ２内において、基板Ｓの表面上に位置している欠陥が画像Ｘ１内に出現する位置と基板Ｓの表面上に位置している欠陥が画像Ｘ２内に出現する位置は、同一であるか、又は最大オフセットを具備し、且つ、基板Ｓの内部に位置している欠陥が画像Ｘ１内に出現する位置と基板Ｓの内部に位置している欠陥が画像Ｘ２内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、２つの位置の間のオフセットは、基板Ｓの表面Ｂ１上に位置している欠陥が画像Ｘ１内に出現する位置と基板Ｓの表面Ｂ１上に位置している欠陥が画像Ｘ２内に出現する位置の間のオフセットを下回っている。
【００２４】
実際には、１次元撮像ユニットＭ１又はＭ２の光軸が基板Ｓの表面に対して垂直であることは、必須ではなく、１次元撮像ユニットＭ１の光軸と１次元撮像ユニットＭ２の光軸の特定の夾角が存在している限り、１次元撮像ユニットＭ１によって取得された１次元画像を使用して構築される基板Ｓの画像Ｘ１及び１次元撮像ユニットＭ２によって取得された１次元画像を使用することによって構築される基板Ｓの画像Ｘ２内において、基板Ｓの表面上に位置している欠陥が画像Ｘ１内に出現する位置と基板Ｓの表面上に位置している欠陥が画像Ｘ２内に出現する位置は、同一であるか、又は最大オフセットを具備し、且つ、基板Ｓの内部に位置している欠陥が画像Ｘ１内に出現する位置と基板Ｓの内部に位置している欠陥が画像Ｘ２内に出現する欠陥は、同一ではなく、且つ、２つの位置の間のオフセットは、基板Ｓの表面Ｂ１上に位置している欠陥が画像Ｘ１内に出現する位置と基板Ｓの表面Ｂ１上に位置している欠陥が画像Ｘ２内に出現する位置の間のオフセットを下回っている。
【００２５】
上述の規則は、１次元撮像ユニットが撮像ユニットとして使用されている状態のみならず、２次元撮像ユニットが撮像ユニットとして使用されている状態にも、適用可能である。
【００２６】
但し、２次元撮像ユニットを撮像ユニットして使用する場合に、２次元撮像ユニットを基板Ｓとの関係において傾斜した状態に配置した場合には、即ち、２次元撮像ユニットの光軸と基板Ｓの表面の垂線の夾角がゼロを上回っている場合には、この状態で２次元撮像ユニットによって取得される画像は、２次元撮像ユニットの光軸と基板Ｓの表面の垂線の夾角がゼロである際に２次元撮像ユニットによって取得される画像との関係において、圧縮変形を具備することになる。例えば、図１Ｈに示されている正方形の場合に、２次元撮像ユニットの光軸と基板Ｓの表面の垂線の夾角がゼロである際に２次元撮像ユニットによって取得される画像が図１Ｊに示されており、且つ、２次元撮像ユニットの光軸と基板Ｓの表面の垂線の夾角がゼロを上回る際に２次元撮像ユニットによって取得される画像が図１Ｋに示されている。図１Ｊにおいては、取得される画像は、正方形であるが、図１Ｋにおいては、取得される画像は、台形である。図１Ｊに示されている画像との比較において、図１Ｋに示されている画像の底辺は、変化しておらず、且つ、その上辺及び高さが圧縮されていることがわかる。更には、２次元撮像ユニットの光軸と基板Ｓの表面の垂線の夾角が増大するのに伴って、２次元撮像ユニットによって取得される画像は、更に大きな圧縮変形を具備することになる。
【００２７】
従って、２次元撮像ユニットを撮像ユニットして使用する場合に、２次元撮像ユニットの光軸と基板Ｓの表面の垂線の夾角がゼロを上回っている場合には、２次元撮像ユニットによって取得された画像を使用して基板Ｓの画像を構築する前に、２次元撮像ユニットによって取得された画像のそれぞれのものの底辺の長さに従って、２次元撮像ユニットによって取得された画像のそれぞれのものの上辺及び高さを伸長させることにより、２次元撮像ユニットによって取得された画像の圧縮変形を除去する。
【００２８】
本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムは、上述の規則に基づいて実現されている。
【００２９】
図２は、本発明の第１実施例による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。図２に示されているように、基板の欠陥を弁別するシステム２００は、照明ユニット２１０と、第１撮像ユニット２２０と、第２撮像ユニット２３０と、画像構築モジュール２４０と、画像処理モジュール２５０と、を包含可能である。
【００３０】
照明ユニット２１０は、透明又は半透明基板２６０の１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、光を基板２６０に照射するべく適合されている。照明ユニット２１０によって基板２６０に照射される光は、非拡散光又は拡散光であってよい。照明ユニット２１０によって基板２６０に照射される光が拡散光であれば、基板２６０がパターン又は構造を有する基板である場合に、基板２６０のパターン又は構造による基板２６０の欠陥の検出に対する影響を低減可能であり、或いは、場合によっては、除去可能である。照明ユニット２１０は、照明ユニット２１０が基板２６０の幅全体にわたって光を基板２６０に照射することができるように、１つ又は複数の光源を包含可能である。
【００３１】
第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０は、それぞれ、基板２６０の別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置されており、且つ、照明ユニット２１０によって基板２６０に照射されると共に基板２６０を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第１撮像ユニット２２０の光軸と第２撮像ユニット２３０の光軸の夾角αは、ゼロを上回っている。第１撮像ユニット２２０及び照明ユニット２１０は、第１チャネルを形成し、且つ、第２撮像ユニット２３０及び照明ユニット２１０は、第２チャネルを形成しており、第１チャネル及び第２チャネルは、いずれも、明視野照明に属している。システム２００が動作するプロセスにおいて、基板２６０が方向ｚに沿って運動した際に、第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０は、それぞれ、照明ユニット２１０によって基板２６０に照射されると共に基板２６０を通じて透過した光を検知することによって既定の時間間隔において画像を取得する。
【００３２】
第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０は、１次元撮像素子及びエリアアレイ撮像素子によって形成可能であり、この場合に、１次元撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）１次元撮像素子、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）１次元撮像素子、又はその他のタイプの１次元撮像素子を包含可能であり、且つ、エリアアレイ撮像素子は、例えば、ＣＣＤエリアアレイ撮像素子、ＣＭＯＳエリアアレイ撮像素子、又はその他のタイプのエリアアレイ撮像素子を包含可能である。第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０が１次元撮像ユニットである際には、第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０のそれぞれのものは、一列にセッティングされた、線分の両側に千鳥状にセッティングされた、又は既定の間隔において配置されると共に線分との関係において既定の夾角を具備した１つ又は複数の１次元撮像素子を包含可能である。第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０がエリアアレイ撮像ユニットである際には、第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０のそれぞれのものは、配列としてセッティングされた、一列にセッティングされた、線分の両側に千鳥状にセッティングされた、又は既定の間隔において配置されると共に線分との関係において既定の夾角を具備した１つ又は複数のエリアアレイ撮像素子を包含可能である。
【００３３】
画像構築モジュール２４０は、第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０に接続されており、且つ、それぞれ、第１撮像ユニット２２０によって取得された画像及び第２撮像ユニット２３０によって取得された画像を使用することによって基板２６０の２つの画像を構築するべく、即ち、第１撮像ユニット２２０によって取得された画像を使用することによって基板２６０の１つの画像を、そして、第２撮像ユニット２３０によって取得された画像を使用することによって基板２６０の別の画像を構築するべく、適合されている。説明の利便のために、第１撮像ユニット２２０によって取得された画像を使用することによって構築される基板２６０の画像を画像Ｔ１と呼称し、且つ、第２撮像ユニット２３０によって取得された画像を使用することによって構築される基板２６０の画像を画像Ｔ２と呼称する。
【００３４】
この場合に、第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０が２次元撮像ユニットである際に、第１撮像ユニット２２０及び／又は第２撮像ユニット２３０によって取得される画像が圧縮変形を具備している場合には、第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０によって取得された画像を使用することによって基板２６０の２つの画像を構築する前に、画像構築モジュール２４０は、第１撮像ユニット２２０及び／又は第２撮像ユニット２３０によって取得された画像のそれぞれのものの底辺の長さに従って、第１撮像ユニット２２０及び／又は第２撮像ユニット２３０によって取得された画像のそれぞれのものの上辺及び高さを伸長させることにより、第１撮像ユニット２２０及び／又は第２撮像ユニット２３０によって取得された画像の圧縮変形を除去する。
【００３５】
画像処理モジュール２５０は、画像構築モジュール２４０に接続されており、且つ、画像構築モジュール２４０によって構築された画像Ｔ１及びＴ２を処理して基板２６０が欠陥を具備しているかどうかを判定し、且つ、基板２６０が欠陥Ｑを具備していると判定された際に、欠陥Ｑが画像Ｔ１内に出現する位置と欠陥Ｑが画像Ｔ２内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Ｑが基板２６０上に位置しているのか又は基板２６０の内部に位置しているのかを検出するべく適合されている。この場合に、欠陥Ｑが画像Ｔ１内に出現する位置と欠陥Ｑが画像Ｔ２内に出現する位置が同一であるか、又は欠陥Ｑが画像Ｔ１内に出現する位置と欠陥Ｑが画像Ｔ２内に出現する位置が最大オフセットＺＬに等しい際に、画像処理モジュール２５０は、欠陥Ｑが基板上に位置していると判定し、且つ、欠陥Ｑが画像Ｔ１内に出現する位置と欠陥Ｑが画像Ｔ２内に出現する位置が等しくなく、且つ、欠陥Ｑが画像Ｔ１内に出現する位置と欠陥Ｑが画像Ｔ２内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットＺＬを下回っている際に、画像処理モジュール２５０は、欠陥Ｑが基板２６０の内部に位置していると検出する。
【００３６】
ここで、画像処理モジュールは、本出願人によって２００９年２月２７日付けで出願された中華人民共和国特許出願第２００９１０１１７９９３．Ｘ号に開示されている解決策又は画像を処理して基板が欠陥を具備しているかどうかを判定するための現存する及び将来提案されるその他の解決策を使用することにより、基板２６０が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。
【００３７】
最大オフセットＺＬは、基板２６０の表面Ｂ１上に位置している欠陥が第１撮像ユニット２２０によって取得された画像を使用することによって構築された基板２６０の画像内に出現する位置と基板２６０の表面Ｂ１上に位置している欠陥が第２撮像ユニット２３０によって取得された画像を使用することによって構築された基板２６０の画像内に出現する位置の間のオフセットである。ここで、円及び多角形などの複数の等しく離隔したパターンによって形成された較正板を基板２６０の表面Ｂ１上に配置可能であり、且つ、較正板内の同一パターンが第１撮像ユニット２２０によって取得された画像を使用することによって構築された基板２６０の画像内に出現する位置と較正板内の同一パターンが第２撮像ユニット２３０によって取得された画像を使用することによって構築された基板２６０の画像内に出現する位置の間のオフセットを最大オフセットＺＬとして算出する。当業者がその他の既知の技術を使用して最大オフセットＺＬを取得することも可能であることは明らかである。
【００３８】
以下は、欠陥Ｑが画像Ｔ１及びＴ２内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Ｑが基板２６０上に位置しているのか又は基板２６０の内部に位置しているのかを検出する一例である。第１に、画像処理モジュール２５０は、欠陥Ｑが画像Ｔ１内に出現する位置の座標ＷＺ１と、欠陥Ｑが画像Ｔ２内に出現する位置の座標ＷＺ２と、を算出可能である。第２に、画像処理モジュール２５０は、座標ＷＺ１及びＷＺ２の差の絶対値ＪＺを算出可能である。第３に、画像処理モジュール２５０は、値ＪＺがゼロ又は最大オフセットＺＬに等しいかどうかを判定可能である。値ＪＺがゼロ又は最大オフセットＺＬに等しいことを判定結果が示している場合には、画像処理モジュール２５０は、欠陥Ｑが、基板２６０上に位置する欠陥であると検出可能であり、且つ、値ＪＺがゼロ及び最大オフセットＺＬに等しくないと判定結果が示している場合には、画像処理モジュール２５０は、欠陥Ｑが、基板２６０の内部に位置する欠陥であると検出可能である。
【００３９】
図３は、本発明の一実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。図３に示されているように、照明ユニット２１０は、パルス（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、…、Ｔｎ）ごとに一回ずつ、光を基板２６０に照射しており、且つ、各照射の持続時間は、１パルスの幅に等しい。第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０は、それぞれ、２パルスの間隔において１つの画像を取得しており、第２撮像ユニット２３０が画像を取得する時点は、第１撮像ユニット２２０が画像を取得する時点との関係において１パルスの幅の時間間隔を具備している。即ち、第２撮像ユニット２３０は、偶数番号を有するパルス（Ｔ２、Ｔ４、Ｔ６、…）において画像を取得しており、且つ、第１撮像ユニット２２０は、奇数番号を有するパルス（Ｔ１、Ｔ３、Ｔ５、…）において画像を取得している。
【００４０】
（第１実施例の変形例）
当業者は、上述の第１実施例においては、画像処理モジュール２５０が、画像構築モジュール２４０によって構築された画像Ｔ１及びＴ２を処理し、基板２６０が欠陥を具備しているかどうかを判定しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、画像処理モジュール２５０の代わりに、その他のモジュールを使用することにより、基板２６０が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。その場合には、画像処理モジュール２５０は、基板２６０が欠陥Ｑを具備していると判定された際にのみ、欠陥Ｑが画像Ｔ１及びＴ２内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Ｑが基板２６０上に位置しているのか又は基板２６０の内部に位置しているのかを検出するべく構成される。
【００４１】
当業者は、上述の第１実施例及びその変形においては、照明ユニット２１０が、各パルスにおいて１回ずつ、光を基板２６０に照射しており、且つ、各照射の持続時間は、１パルスの幅に等しいが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット２１０は、システム２００が動作している際に常に光を基板２６０に対して連続的に照射することも可能である。
【００４２】
当業者は、上述の第１実施例及びその変形においては、第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０が、それぞれ、２パルスの間隔において画像を取得しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０は、それぞれ、各パルスごとに又は２つを上回る数のパルスごとに、画像を取得する。
【００４３】
当業者は、上述の第１実施例及びその変形においては、第２撮像ユニット２３０が画像を取得する時点が、第１撮像ユニット２２０が画像を取得する時点との関係において、１パルスの幅の時間間隔を具備しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第２撮像ユニット２３０が画像を取得する時点は、第１撮像ユニット２２０が画像を取得する時点との関係において、ゼロパルスの又は２つ以上のパルスの幅の間隔を具備することも可能である。
【００４４】
当業者は、上述の第１実施例及びその変形においては、第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０が、同一の照明ユニット、即ち、照明ユニット２１０を使用しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット２１０は、第１照明ユニット２１０−１及び第２照明ユニット２１０−２を包含可能であり、第１撮像ユニット２２０は、第１照明ユニット２１０−１によって基板２６０に照射されると共に基板２６０を通じて透過した光を検知することによって画像を取得し、且つ、第２撮像ユニット２３０は、第２照明ユニット２１０−２によって基板２６０に照射されると共に基板２６０を通じて透過した光を検知することによって画像を取得する。図４は、本発明の別の実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。図４に示されているように、第１照明ユニット２１０−１及び第２照明ユニット２１０−２は、それぞれ、２パルスごとに１回ずつ、基板２６０に光を照射しており、且つ、各照射の持続時間は、１パルスの幅に等しく、第１照明ユニット２１０−１が光を基板２６０に照射する時点は、第２照明ユニット２１０−２が光を基板２６０に照射する時点との関係において、１パルスの幅の時間間隔を具備している。第１撮像ユニット２２０は、第１照明ユニット２１０−１が光を基板２６０に照射するパルスのそれぞれのものごとに画像を取得しており、且つ、第２撮像ユニット２３０は、第２照明ユニット２１０−２が光を基板２６０に照射するパルスのそれぞれのものごとに画像を取得している。第１照明ユニット２１０−１及び第２照明ユニット２１０−２は、それぞれ、一列に又は配列としてセッティングされた１つ又は複数の光源を包含可能である。
【００４５】
図４に示されている条件に加えて、当業者は、第１照明ユニット２１０−１が光を基板２６０に照射する時点と第２照明ユニット２１０−２が光を基板２６０に照射する時点は、同一であってもよく、或いは、第１照明ユニット２１０−１が光を基板２６０に照射する時点は、第２照明ユニット２１０−２が光を基板２６０に照射する時点との関係において、２つ以上のパルスの時間間隔を具備することも可能であることを理解するであろう。
【００４６】
当業者は、上述の第１実施例及びその変形においては、システム２００が動作する際に、基板２６０が運動する一方で、第１撮像ユニット２２０、第２撮像ユニット２３０、及び照明ユニット２１０は、運動していないが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、システム２００が動作する際に、基板２６０が運動せず、且つ、第１撮像ユニット２２０、第２撮像ユニット２３０、及び照明ユニット２１０が運動することも可能である。
【００４７】
当業者は、上述の第１実施例及びその変形に記述されている基板は、太陽光発電モジュール産業の太陽電池セル又は太陽電池モジュールに使用されるパターン又は構造を有する基板を包含可能であることを理解するであろう。
【００４８】
当業者は、第１撮像ユニット及び第２撮像ユニットの数は、基板の幅、撮像開口数、検出精度、及び基板の欠陥の推定最大数及び最小検出寸法に基づいて決定可能であることを理解するであろう。
【００４９】
当業者は、画像構築モジュール２４０及び画像処理モジュール２５０は、ソフトウェア、ハードウェア、及びソフトウェアとハードウェアの組合せによって実装可能であることを理解するであろう。
【００５０】
当業者は、上述の第１実施例及びその変形においては、基板２６０からの且つ第１撮像ユニット２２０によって受光される光及び基板２６０からの且つ第２撮像ユニット２３０によって受光される光が、照明ユニット２１０によって照射されると共に基板２６０を通じて透過した光（即ち、明視野照明）であるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット２１０が光を基板２６０に照射する角度は、基板２６０からの且つ第１撮像ユニット２２０によって受光される光及び／又は基板２６０からの且つ第２撮像ユニット２３０によって受光される光が、照明ユニット２１０によって照射された光を基板２６０が散乱させることから導出される光（暗視野照明）となるように、セッティング可能である。具体的には、照明ユニット２１０が光を基板２６０に照射する角度は、基板２６０からの且つ第１撮像ユニット２２０によって受光される光及び基板２６０からの且つ第２撮像ユニット２３０によって受光される光が、照明ユニット２１０によって照射された光を基板２６０が散乱させることから導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、照明ユニット２１０が光を基板２６０に照射する角度は、基板２６０からの且つ第１撮像ユニット２２０によって受光される光が、照明ユニット２１０によって照射されると共に基板２６０を通じて透過した光となり、且つ、基板２６０からの且つ第２撮像ユニット２３０によって受光される光が、照明ユニット２１０によって照射された光を基板２６０が散乱させることから導出された光となるように、セッティング可能であり、或いは、照明ユニット２１０が光を基板２６０に照射する角度は、基板２６０からの且つ第１撮像ユニット２２０によって受光される光が、照明ユニット２１０によって照射された光を基板２６０が散乱させることから導出された光となり、且つ、基板２６０からの且つ第２撮像ユニット２３０によって受光される光が、照明ユニット２１０によって照射されると共に基板２６０を通じて透過した光となるように、セッティング可能である。
【００５１】
当業者は、上述の第１実施例及びその変形においては、第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０が基板２６０の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、照明ユニット２１０が基板２６０の表面Ｂ１の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット２１０は、第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０と同様に、基板２６０の表面Ｂ２の外側に配置することも可能である。照明ユニット２１０を基板２６０の表面Ｂ２の外側に配置した場合には、第１撮像ユニット２２０は、照明ユニット２１０によって照射された光の基板２６０による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得可能であり、且つ、第２撮像ユニット２３０も、照明ユニット２１０によって照射された光の基板２６０による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得可能である。
【００５２】
更には、照明ユニット２１０が第１照明ユニット２１０−１及び第２照明ユニット２１０−２を含む場合には、第１照明ユニット２１０−１が光を基板２６０に照射する角度及び第２照明ユニット２１０−２が光を基板２６０に照射する角度は、基板２６０からの且つ第１撮像ユニット２２０によって受光される光が、第１照明ユニット２１０−１によって照射された光を基板２６０が散乱させることから導出される光となり、且つ、基板２６０からの且つ第２撮像ユニット２３０によって受光される光が、第２照明ユニット２１０−２によって照射された光を基板２６０が散乱させることから導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、第１照明ユニット２１０−１が光を基板２６０に照射する角度及び第２照明ユニット２１０−２が光を基板２６０に照射する角度は、基板２６０からの且つ第１撮像ユニット２２０によって受光される光が、第１照明ユニット２１０−１によって照射されると共に基板２６０を通じて透過した光となり、且つ、基板２６０からの且つ第２撮像ユニット２３０によって受光される光が、第２照明ユニット２１０−２によって照射された光を基板２６０が散乱させることから導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、第１照明ユニット２１０−１が光を基板２６０に照射する角度及び第２照明ユニット２１０−２が光を基板２６０に照射する角度は、基板２６０からの且つ第１撮像ユニット２２０によって受光される光が、第１照明ユニット２１０−１によって照射された光を基板２６０が散乱させることから導出される光となり、且つ、基板２６０からの且つ第２撮像ユニット２３０によって受光される光が、第２照明ユニット２１０−２によって照射されると共に基板２６０を通じて透過した光となるように、セッティング可能である。第１照明ユニット２１０−１及び第２照明ユニット２１０−２は、交互に又は同時に、光を基板２６０に照射可能である。
【００５３】
当業者は、上述の変形においては、第１照明ユニット２１０−１及び第２照明ユニット２１０−２が基板２６０の表面Ｂ１の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第１照明ユニット２１０−１及び第２照明ユニット２１０−２は、第１撮像ユニット２２０及び第２撮像ユニット２３０と同様に、基板２６０の表面Ｂ２の外側に配置することも可能である。第１照明ユニット２１０−１及び第２照明ユニット２１０−２を基板２６０の表面Ｂ２の外側に配置した場合には、第１撮像ユニット２２０は、第１照明ユニット２１０−１が光を基板２６０に照射した際に、第１照明ユニット２１０−１によって照射された光の基板１６０による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得可能であり、且つ、第２撮像ユニット２３０は、第２照明ユニット２１０−２が光を基板２６０に照射した際に、第２照明ユニット２１０−２によって照射された光の基板２６０による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得可能である。
【００５４】
当業者は、上述の変形においては、照明ユニット２１０が第１照明ユニット２１０−１及び第２照明ユニット２１０−２を含む場合に、第１チャネルは、第１撮像ユニット２２０及び第１照明ユニット２１０−１を含み、且つ、第２チャネルは、第２撮像ユニット２３０及び第２照明ユニット２１０−２を含んでいるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。
【００５５】
本発明のその他のいくつかの実施例においては、第１チャネルは、第１偏光方向を具備する第１偏光コンポーネントと、第１偏光方向に直交する第２偏光方向を具備する第２偏光コンポーネントと、を更に包含可能であり、第１偏光コンポーネントは、基板２６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、第１照明ユニット２１０−１と基板２６０の間にセッティングされ、第２偏光コンポーネントは、基板２６０の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１撮像ユニット２２０と基板２６０の間にセッティングされ、第１撮像ユニット２２０は、第１照明ユニット２１０−１によって照射されると共に、第１偏光コンポーネント、基板２６０、及び第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第１照明ユニット２１０−１によって照射されると共に第１偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板２６０による散乱から導出された後に第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得可能であり、且つ、第２撮像ユニット２３０は、第２照明ユニット２１０−２によって照射されると共に基板２６０を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニット２１０−２によって照射された光の基板２６０による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得可能である。
【００５６】
或いは、本発明のその他のいくつかの実施例においては、第２チャネルは、第１偏光方向を具備する第３偏光コンポーネントと、第２偏光方向を具備する第４偏光コンポーネントを更に包含可能であり、第３偏光コンポーネントは、基板２６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、第２照明ユニット２１０−２と基板２６０の間にセッティングされ、第４偏光コンポーネントは、基板２６０の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２撮像ユニット２３０と基板２６０の間にセッティングされ、第２撮像ユニット２３０は、第２照明ユニット２１０−２によって照射されると共に、第３偏光コンポーネント、基板２６０、及び第４偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニット２１０−２によって照射されると共に第３偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板２６０による散乱から導出された後に第４偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得可能であり、且つ、第１撮像ユニット２２０は、第１照明ユニット２１０−１によって照射されると共に基板２６０を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第１照明ユニット２１０−１によって照射された光の基板２６０による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得可能である。
【００５７】
或いは、本発明のその他のいくつかの実施例においては、第１チャネルは、第１偏光方向を具備する第１偏光コンポーネントと、第２偏光方向を具備する第２偏光コンポーネントと、を更に包含可能であり、且つ、第２チャネルは、第１偏光方向を具備する第３偏光コンポーネントと、第２偏光方向を具備する第４偏光コンポーネントと、を更に包含可能であり、第１偏光コンポーネントは、基板２６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、第１照明ユニット２１０−１と基板２６０の間にセッティングされ、第２偏光コンポーネントは、基板２６０の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１撮像ユニット２２０と基板２６０の間にセッティングされ、第３偏光コンポーネントは、基板２６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、第２照明ユニット２１０−２と基板２６０の間にセッティングされ、第４偏光コンポーネントは、基板２６０の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２撮像ユニット２３０と基板２６０の間にセッティングされ、第１撮像ユニット２２０は、第１照明ユニット２１０−によって照射されると共に、第１偏光コンポーネント、基板２６０、及び第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第１照明ユニット２１０−１によって照射されると共に第１偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板２６０による散乱から導出された後に第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得可能であり、且つ、第２撮像ユニット２３０は、第２照明ユニット２１０−２によって照射されると共に、第３偏光コンポーネント、基板２６０、及び第４偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニット２１−２によって照射されると共に第３偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板２６０による散乱から導出された後に第４偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得可能である。
【００５８】
当業者は、基板２６０の欠陥が基板２６０の内部の欠陥であるのか又は基板２６０上の欠陥であるのかを検出した後に、基板２６０の欠陥が基板２６０の画像Ｔ１及びＴ２内に出現する異なる特徴及び基板２６０の欠陥が基板２６０の内部の欠陥であるのか又は基板２６０上の欠陥であるのかに基づいて、基板２６０の欠陥を分類可能であることを理解するであろう。
【００５９】
例えば、基板２６０の画像Ｔ１が、第１照明ユニット２１０−１によって照射されると共に基板２６０を通じて透過した光を検知することによって取得された画像を使用することによって構築され、基板２６０の画像Ｔ２が、第２照明ユニット２１０−２によって照射された光の基板２６０による散乱から導出される光を検知することによって取得された画像を使用することによって構築され、且つ、第２照明ユニット２１０−２が光を照射する角度が、基板２６０の破れ泡が第２撮像ユニット２３０によって取得された画像内において可視状態となるようにセッティングされると仮定した場合に、基板２６０の欠陥が基板２６０の画像Ｔ１内に出現するのが楕円でああり、且つ、画像Ｔ１及びＴ２の比較によって、基板２６０の欠陥が基板２６０上に位置していると判明した場合には、基板２６０の欠陥は、破れ泡として分類される。
【００６０】
更には、例えば、基板２６０の画像Ｔ１が、第１照明ユニット２１０−１によって照射されると共に、第１偏光コンポーネント、基板２６０、及び第２偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第１撮像ユニット２２０によって取得された画像によって構築され、且つ、基板２６０の画像Ｔ２が、第２照明ユニット２１０−２によって照射されると共に、第３偏光コンポーネント、基板２６０、及び第４偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第２撮像ユニット２３０によって取得された画像によって構築されると仮定した場合に、基板２６０の欠陥が画像Ｔ１及びＴ２内に出現しており、且つ、基板２６０の欠陥が基板２６０の内部の欠陥であると検出された場合には、基板２６０の欠陥は、含有又は再結晶などの基板２６０の内部の応力又は光学歪タイプの欠陥として分類される。
【００６１】
（第２実施例）
本発明の第２実施例は、基板の欠陥を検出及び分類する技術を提供する。
【００６２】
図５Ａ〜図５Ｌは、本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【００６３】
第１に、図５Ａに示されているように、照明ユニットＬが、基板Ｓに光を照射するべく透明又は半透明基板Ｓの１つの表面Ｂ１の外側に配置されており、且つ、反射器Ｆ及び撮像ユニットＭが、基板Ｓの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置されている。反射器Ｆは、照明ユニットＬによって基板Ｓに照射されると共に基板Ｓを通じて反射器Ｆ内に透過した光を反射するべく適合されており、且つ、その光軸が基板Ｓの表面Ｂ１及びＢ２に対して垂直である撮像ユニットＭは、照明ユニットＬによって基板Ｓに照射されると共に基板Ｓを通じて透過した光と、反射器Ｆによって反射された光と、を検知することによって２次元画像を取得するべく適合されている。撮像ユニットＭによって取得される２次元画像は、照明ユニットＬによって基板Ｓに照射されると共に基板Ｓを通じて透過した光を検知することによって取得される第１画像と、反射器Ｆによって反射された光を検知することによって取得される第２画像と、を含み、第１画像及び第２画像は、図５Ｂに示されているように、分離されている。
【００６４】
照明ユニットＬによって照射されると共に基板Ｓを通じて反射器Ｆ内に透過する光は、基板Ｓの表面Ｂ１及びＢ２に対して垂直ではなく、従って、撮像ユニットＭによって取得される２次元画像内において、反射器Ｆによって反射された光を検知することによって取得される第２画像は、照射ユニットＬによって基板Ｓに照射されると共に基板Ｓを通じて透過した光を検知することによって取得される第１画像と比べて、圧縮変形を具備している。例えば、図５Ｃに示されている正方形の場合に、撮像ユニットＭによって取得される２次元画像において、照明ユニットＬによって基板Ｓに照射されると共に基板Ｓを通じて透過した光を検知することによって取得された第１画像が図５Ｄに示されており、且つ、反射器Ｆによって反射された光を検知することによって取得された第２画像が図５Ｅに示されている。図５Ｄにおいては、取得された画像は、依然として、正方形であるが、図５Ｅにおいては、取得された画像は、台形である。図５Ｄに示されている画像と比べて、図５Ｅに示されている画像の底辺は、変化しておらず、且つ、その上辺及び高さが圧縮されていることがわかる。反射器Ｆ及び撮像ユニットＭを基板Ｓとの関係においてセッティングした後に、撮像ユニットＭによって取得される２次元画像の第２画像の圧縮変形の判定を完了させる。このときには、例えば、円及び多角形などのパターンによって形成された較正板を基板Ｓ上に配置し、且つ、撮像ユニットＭによって取得される２次元画像の第２画像内のパターンの圧縮変形量を算出することにより、撮像ユニットＭによって取得される２次元画像の第２画像の圧縮変形量を予め判定可能である。
【００６５】
基板Ｓが方向ｚに沿って運動した際に、撮像ユニットＭは、照明ユニットＬによって基板Ｓに照射されると共に基板Ｓを通じて透過した光と、反射器Ｆによって反射された光と、を特定の間隔において連続的に検知することによって少なくとも１つの２次元画像を取得する。撮像ユニットＭによって取得された少なくとも１つの２次元画像のそれぞれのものに含まれる第２画像を既定の圧縮変形量に従って伸長させることにより、撮像ユニットＭによって取得された少なくとも１つの２次元画像のそれぞれのものの第２画像の圧縮変形を除去する。次いで、撮像ユニットＭによって取得された少なくとも１つの２次元画像に含まれる第２画像を使用して基板Ｓの画像を構築し、且つ、撮像ユニットＭによって取得された少なくとも１つの２次元画像に含まれる第１画像を使用して基板Ｓの画像を構築する。
【００６６】
図５Ｆに示されているように、基板Ｓは、基板Ｓの左側のエッジとの関係において距離ｚ１を具備すると共に基板Ｓに対して垂直である位置に、２つの欠陥Ｄ１及びＤ２を具備するものと仮定されており、欠陥Ｄ１は、撮像ユニットＭと同一の側である基板Ｓの表面Ｂ２上に位置しており、且つ、欠陥Ｄ２は、基板Ｓの内部に位置し、且つ、基板Ｓの表面Ｂ２との関係において距離ｈを具備している。
【００６７】
撮像ユニットＭが、照明ユニットＬによって基板Ｓに照射されると共に基板Ｓを通じて透過した光と、反射器Ｆによって反射された光と、を特定の間隔において連続的に検知することによって少なくとも１つの２次元画像を取得するプロセスにおいて、基板Ｓが方向ｚに沿って図５Ｇに示されている位置に運動した際に撮像ユニットＭによって取得される２次元画像の第１画像は、欠陥Ｄ１及びＤ２を含み、基板Ｓが方向ｚに沿って図５Ｉに示されている位置に運動した際に撮像ユニットＭによって取得される２次元画像の第２画像は、欠陥Ｄ２を含み、且つ、基板Ｓが方向ｚに沿って図５Ｊに示されている位置に運動した際に撮像ユニットＭによって取得される２次元画像の第２画像は、欠陥Ｄ１を含む。
【００６８】
撮像ユニットＭによって取得される少なくと１つの２次元画像に含まれる第１画像を使用することによって構築された基板Ｓの画像Ｘ１が図５Ｋに示されており、且つ、撮像ユニットＭによって取得される少なくとも１つの２次元画像に含まれる伸長された第２画像を使用することによって構築された基板Ｓの画像Ｘ２が図５Ｌに示されている。図５Ｋに示されている基板Ｓの画像Ｘ１を図５Ｌに示されている基板Ｓの画像Ｘ２と比較することにより、基板Ｓの表面Ｂ２上に位置している欠陥Ｄ１が基板Ｓの画像Ｘ１内に出現する位置と基板Ｓの表面Ｂ２上に位置している欠陥Ｄ１が基板Ｓの画像Ｘ２内に出現する位置は、同一であるのに対して、基板Ｓの内部に位置している欠陥Ｄ２が基板Ｓの画像Ｘ１内に出現する位置と基板Ｓの内部に位置している欠陥Ｄ２が基板Ｓの画像Ｘ２内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、オフセットｄ’を具備していることがわかる。オフセットｄ’は、ｈが増大するのに伴って増大することが研究から明らかになっている。更には、欠陥Ｄ２と基板Ｓの表面Ｂ２の間の距離ｈが最大値に到達した際には、即ち、欠陥Ｄ２が基板Ｓの表面Ｂ１上に位置している際には、欠陥Ｄ２が基板Ｓの画像Ｘ１内に出現する位置と欠陥Ｄ２が基板Ｓの画像Ｘ２内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、オフセットｄ’は、最大である。
【００６９】
上述の内容から以下の規則が明らかとなる。撮像ユニットＭによって取得される少なくとも１つの２次元画像の第１画像を使用することによって構築された基板Ｓの画像Ｘ１と撮像ユニットＭによって取得される少なくとも１つの２次元画像の第２画像を使用することによって構築された基板Ｓの画像Ｘ２の場合には、基板Ｓの表面上に位置している欠陥が基板Ｓの画像Ｘ１内に出現する位置と基板Ｓの表面上に位置している欠陥が基板Ｓの画像Ｘ２内に出現する位置は、同一であるか、又は２つの位置の間のオフセットが最大であるのに対して、基板Ｓの内部に位置している欠陥が基板Ｓの画像Ｘ１内に出現する位置と基板Ｓの内部に位置している欠陥が基板Ｓの画像Ｘ２内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、２つの位置の間のオフセットは、基板Ｓの表面Ｂ１上に位置している欠陥が基板Ｓの画像Ｘ１内に出現する位置と基板Ｓの表面Ｂ１上に位置している欠陥が基板Ｓの画像Ｘ２内に出現する位置の間のオフセットを下回っている。
【００７０】
本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムは、上述の規則に基づいて実現されている。
【００７１】
図６は、本発明の第２実施例による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。図６に示されているように、基板の欠陥を弁別するシステム３００は、照明ユニット３１０、反射器３２０、撮像ユニット３３０、画像構築モジュール３４０、及び画像処理モジュール３５０を包含可能である。
【００７２】
照明ユニット３１０は、透明又は半透明基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、基板３６０に光を照射するべく適合されている。照明ユニット３１０によって基板３６０に照射される光は、非拡散光又は拡散光であってよい。照明ユニット３１０によって基板３６０に照射される光が拡散光であれば、基板３６０がパターン又は構造を有する基板である場合に、基板３６０の欠陥のチェックに対する基板３６０のパターン又は構造の影響を低減可能であり、或いは、場合によっては、除去可能である。照明ユニット３１０は、照明ユニット３１０が基板３６０の幅全体にわたって光を基板３６０に照射することができるように、１つ又は複数の光源を包含可能である。
【００７３】
反射器３２０は、基板３６０の別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて反射器３２０内に透過した光を反射するべく適合されている。
【００７４】
撮像ユニット３３０は、基板３６０の別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置されており、且つ、撮像ユニット３３０の光軸は、基板３６０の表面Ｂ１及びＢ２に対して垂直である。撮像ユニット３３０は、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光と、反射器３２０によって反射された光と、を検知することにより、２次元画像を取得するべく適合されている。撮像ユニット３３０によって取得される２次元画像は、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光を検知することによって取得される第１画像と、反射器３２０によって反射された光を検知することによって取得される第２画像と、を含み、第１画像及び第２画像は、互いに空間的に分離されている。撮像ユニット３３０及び照明ユニット３１０は、第３チャネルを形成可能であり、且つ、反射器３２０、撮像ユニット３３０、及び照明ユニット３１０は、第４チャネルを形成可能であり、第３チャネル及び第４チャネルは、いずれも、明視野照明に属している。システム３００が動作するプロセスにおいては、基板３６０が方向ｚに沿って運動した際に、撮像ユニット３３０は、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光と、反射器３２０によって反射された光と、を検知することによって既定の時間間隔において少なくとも１つの２次元画像を取得する。
【００７５】
撮像ユニット３３０は、１つ又は複数の撮像素子によって形成可能である。撮像ユニット３３０を形成するための複数の撮像素子が存在する際には、複数の撮像素子は、配列としてセッティングされるか、一列にセッティングされるか、線分の両側に千鳥状にセッティングされるか、又は既定の間隔において配置されると共に線分との関係において既定の夾角を具備している。
【００７６】
画像構築モジュール３４０は、撮像ユニット３３０に接続されており、且つ、撮像ユニット３３０によって取得された少なくとも１つの２次元画像に含まれる第１画像及び第２画像をそれぞれ使用することによって基板３６０の２つの画像を構築するべく、即ち、撮像ユニット３３０によって取得された少なくとも１つの２次元画像に含まれる第１画像を使用することによって基板３６０の１つの画像を、そして、撮像ユニット３３０によって取得された少なくとも１つの２次元画像に含まれる第２画像を使用することによって基板３６０の別の画像を構築するべく、適合されている。説明の利便のために、撮像ユニット３３０によって取得された少なくとも１つの２次元画像に含まれる第１画像を使用することによって構築された基板３６０の画像を画像ＴＴ１と呼称し、且つ、撮像ユニット３３０によって取得された少なくとも１つの２次元画像に含まれる第２画像を使用することによって構築された基板３６０の画像を画像ＴＴ２と呼称する。
【００７７】
この場合に、撮像ユニット３３０によって取得された少なくとも１つの２次元画像のそれぞれのものに含まれる第２画像を使用することによって基板３６０の画像ＴＴ２を構築する前に、画像構築モジュール３４０は、撮像ユニット３３０によって取得された少なくとも１つの２次元画像のそれぞれのものに含まれる第２画像を伸長させることにより、撮像ユニット３３０によって取得された少なくとも１つの２次元画像のそれぞれのものに含まれる第２画像の圧縮変形を除去する。例えば、円及び多角形などのパターンによって形成された較正板を基板３６０上に配置し、且つ、撮像ユニット３３０によって取得された２次元画像に含まれる第２画像内のパターンの圧縮変形量を算出することにより、撮像ユニット３３０によって取得される少なくとも１つの２次元画像のそれぞれのものに含まれる第２画像の圧縮変形量を予め判定可能である。
【００７８】
画像処理モジュール３５０は、画像構築モジュール３４０に接続されており、且つ、基板３６０が欠陥を具備しているかどうかを判定し、且つ、基板３６０が欠陥Ｑを具備していると判定された際に、欠陥Ｑが画像ＴＴ１内に出現する位置と欠陥Ｑが画像ＴＴ２内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Ｑが基板３６０上に位置しているのか又は基板３６０の内部に位置しているのかを検出するべく、画像構築モジュール３４０によって構築された画像ＴＴ１及びＴＴ２を処理するように適合されている。この場合に、欠陥Ｑが画像ＴＴ１内に出現する位置と欠陥Ｑが画像ＴＴ２内に出現する位置が同一であるか、又は欠陥Ｑが画像ＴＴ１内に出現する位置と欠陥Ｑが画像ＴＴ２内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットＺＬに等しい際には、画像処理モジュール３５０は、欠陥Ｑが基板３６０上に位置していると検出し、且つ、欠陥Ｑが画像ＴＴ１内に出現する位置と欠陥Ｑが画像ＴＴ２内に出現する位置が同一ではなく、且つ、欠陥Ｑが画像ＴＴ１内に出現する位置と欠陥Ｑが画像ＴＴ２内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットＺＬを下回っている際には、画像処理モジュール３５０は、欠陥Ｑが基板３６０の内部に位置していると検出する。
【００７９】
ここで、画像処理モジュール３５０は、本出願人によって２００９年２月２７日付けで出願された中華人民共和国特許出願第２００９１０１１７９９３．Ｘ号に開示されている解決策又は画像を処理して基板が欠陥を具備しているかどうかを判定するための現存する又は将来提案されるその他の解決策を使用することによって基板３６０が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。
【００８０】
最大オフセットＺＬは、基板３６０の表面Ｂ１上に位置している欠陥が、撮像ユニット３３０によって取得された少なくとも１つの２次元画像に含まれる第１画像を使用することによって構築された基板３６０の画像に出現する位置と、基板３６０の表面Ｂ１に位置している欠陥が、撮像ユニット３３０によって取得された少なくとも１つの２次元画像に含まれる伸長された第２画像を使用することによって構築された基板３６０の画像内に出現する位置の間のオフセットである。ここで、円及び多角形などの複数の等しく離隔したパターンによって形成された較正板を基板３６０の表面Ｂ１上に配置可能であり、且つ、較正板内の同一のパターンが、撮像ユニット３３０によって取得された２次元画像の第１画像を使用することによって構築された基板３６０の画像内に出現する位置と、較正板の同一のパターンが、撮像ユニット３３０によって取得された２次元画像の伸長された第２画像を使用することによって構築された基板３６０の画像内に出現する位置の間のオフセットを最大オフセットＺＬとして算出する。当業者がその他の既知の技術を使用して最大オフセットＺＬを取得することも可能であることは明らかである。
【００８１】
以下は、欠陥Ｑが画像ＴＴ１及びＴＴ２に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Ｑが基板３６０上に位置しているのか又は基板３６０の内部に位置しているのかを検出する一例である。第１に、画像処理モジュール３５０は、欠陥Ｑが画像ＴＴ１内に出現する位置の座標ＷＺ１と、欠陥Ｑが画像ＴＴ２内に出現する位置の座標ＷＺ２と、を算出可能である。第２に、画像処理モジュール３５０は、座標ＷＺ１及びＷＺ２の差の絶対値ＪＺを算出可能である。第３に、画像処理モジュール３５０は、値ＪＺがゼロ又は最大オフセットＺＬに等しいかどうかを判定可能である。値ＪＺがゼロ又は最大オフセットＺＬに等しいと判定結果が示している場合には、画像処理モジュール３５０は、欠陥Ｑが、基板３６０上に位置している欠陥であると検出可能であり、且つ、値ＪＺがゼロ又は最大オフセットＺＬに等しくないと判定結果が示している場合には、画像処理モジュール３５０は、欠陥Ｑが、基板３６０の内部に位置している欠陥であると検出可能である。
【００８２】
図７は、本発明の一実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。図７に示されているように、照明ユニット３１０は、パルス（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、…、Ｔｎ）ごとに一回ずつ、光を基板３６０に照射し、且つ、各照射の持続時間は、１パルスの幅に等しい。撮像ユニット３３０は、各パルスの間隔において２次元画像を取得している。
【００８３】
１つの撮像ユニットのみを使用することによって２つのチャネルの画像が取得されるため、費用が低減されることが上述の実施例からわかる。更には、１つの撮像ユニットのみを使用することによって２つのチャネルの画像が取得されるため、画像の取得を妨げる要因によって生じる２つのチャネルの画像内における基板の欠陥の出現位置の変動が同一になり、且つ、従って、取得された画像を使用することにより、基板の欠陥が基板の表面上に位置しているのか又は基板の内部に位置しているのかの弁別が更に正確なものとなる。
【００８４】
（第２実施例の変形例）
当業者は、上述の第２実施例においては、基板３６０が欠陥を具備しているかどうかを判定するべく、画像構築モジュール３４０によって構築される画像ＴＴ１及びＴＴ２を画像処理モジュールが処理しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、画像処理モジュール３５０の代わりに、その他のモジュールを使用し、基板３６０が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。この場合には、画像処理モジュール３５０は、基板３６０が欠陥Ｑを具備していると判定された際にのみ、欠陥Ｑが画像ＴＴ１及びＴＴ２内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Ｑが基板３６９上に位置しているのか又は基板３６０の内部に位置しているのかを判定するべく構成される。
【００８５】
当業者は、上述の第２実施例及びその変形においては、撮像ユニット３３０の光軸が基板３６０の表面Ｂ１及びＢ２に対して垂直であるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、撮像ユニット３３０の光軸は、基板３６０の表面Ｂ１及びＢ２に対して垂直でなくてもよい。撮像ユニット３３０の光軸が基板３６０の表面Ｂ１及びＢ２に対して垂直でない場合には、撮像ユニット３３０によって取得される２次元画像において、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光を検知することによって形成される第１画像も、圧縮変形を具備することになり、且つ、第１画像の圧縮変形を第２画像のものと同一の方式によって判定可能であり、更には、撮像ユニット３３０によって取得された少なくとも１つの２次元画像に含まれる第１画像を使用することによって基板３６０の画像ＴＴ１を構築する前に、画像構築モジュール３４０は、撮像ユニット３３０によって取得された少なくとも１つの２次元画像のそれぞれのものに含まれる第１画像を伸長させることにより、撮像ユニット３３０によって取得された少なくとも１つの２次元画像のそれぞれのものに含まれる第１画像の圧縮変形を除去する。
【００８６】
当業者は、撮像ユニット３３０が反射器３２０によって反射された光を受光可能である限り、反射器３２０と基板３６０の間の間隔を実際的な要件に従って調節可能であり、且つ、反射器３２０によって反射された光と、照射ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光と、を撮像ユニット３３０において分離可能であることを理解するであろう。
【００８７】
当業者は、上述の第２実施例及びその変形においては、撮像ユニット３３０が各パルスごとに２次元画像を取得しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、撮像ユニット３３０は、更に多くの数のパルスごとに２次元画像を取得する。
【００８８】
当業者は、上述の実施例においては、照明ユニット３１０が、パルス（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、…、Ｔｎ）ごとに１回ずつ、光を基板３６０に照射し、且つ、各照射の持続時間が１パルスの幅に等しいが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット３１０は、システム３００が稼働する際に連続的に光を基板３６０に照射することも可能である。
【００８９】
当業者は、上述の第２実施例及びその変形においては、システム３００が動作する際に、基板２６０が運動する一方で、反射器３２０、撮像ユニット３３０、及び照明ユニット３１０は、運動していないが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、システム３００が稼働する際に、基板３６０は、運動せず、且つ、反射器３２０、撮像ユニット３３０、及び照明ユニット３１０が運動可能である。
【００９０】
当業者は、上述の第２実施例及びその変形においては、反射器３２０内に進入する光が、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光（即ち、明視野照明）であり、且つ、基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光が、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光（即ち、明視野照明）であるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、反射器３２０内に進入する光及び／又は基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光は、照明ユニット３１０によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光（即ち、暗視野照明）であってもよい。具体的には、照明ユニット３１０が光を基板３６０に照射する角度は、反射器３２０に進入する光及び基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光が、照明ユニット３１０によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、照明ユニット３１０が光を基板３６０に照射する角度は、反射器３２０に進入する光が、照明ユニット３１０によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光となり、且つ、基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光が、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光となるように、セッティング可能であり、或いは、照明ユニット３１０が光を基板３６０に照射する角度は、反射器３２０に進入する光が、照明ユニット３１０によって照射されると共に基板３６０を通じて透過した光となり、且つ、基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光が、照明ユニット３１０によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光となるように、セッティング可能である。
【００９１】
当業者は、上述の第２実施例及びその変形においては、システム３００が、１つの照明ユニットのみ、即ち、照明ユニット３１０を含み、且つ、第３チャネル及び第４チャネルの両方が、照明ユニット３１０を含んでいるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット３１０は、第１照明ユニットＦ１及び第２照明ユニットＦ２を更に包含可能であり、第３チャネルは、第１照明ユニットＦ１及び撮像ユニット３３０を包含可能であり、第４チャネルは、第２照明ユニットＦ２、反射器３２０、及び撮像ユニット３３０を包含可能であり、且つ、第１照明ユニットＦ１及び第２照明ユニットＦ２は、基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板３６０に照射するべく適合されている。
【００９２】
照明ユニット３１０が第１照明ユニットＦ１及び第２照明ユニットＦ２を含む場合には、第１照明ユニットＦ１及び第２照明ユニットＦ２が光を基板３６０に照射する角度は、反射器３２０に進入する光が、第２照明ユニットＦ２によって照射された光の基板３６０による散乱から導出された光又は第２照明ユニットＦ２によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光となり、且つ、基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光が、第１照明ユニットＦ１によって照射された光の基板３６０による散乱から導出された光又は第１照明ユニットＦ１によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光となるように、セッティング可能である。具体的には、第１照明ユニットＦ１及び第２照明ユニットＦ２が光を基板３６０に照射する角度は、反射器３２０に進入する光が、第２照明ユニットＦ２によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光となり、且つ、基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光が、第１照明ユニットＦ１によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光となるように、セッティングされ、或いは、第１照明ユニットＦ１及び第２照明ユニットＦ２が光を基板３６０に照射する角度は、反射器３２０に入射する光が、第２照明ユニットＦ２によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光となり、且つ、基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光が、第１照明ユニットＦ１によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光となるように、セッティングされ、或いは、第１照明ユニットＦ１及び第２照明ユニットＦ２が光を基板３６０に照射する角度は、反射器３２０に進入する光が、第２照明ユニットＦ２によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光となり、且つ、基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光が、第１照明ユニットＦ１によって照射された光の基板による散乱から導出される光となるように、セッティングされ、或いは、第１照明ユニットＦ１及び第２照明ユニットＦ２が光を基板３６０に照射する角度は、反射器３２０に進入する光が、第２照明ユニットＦ２によって基板に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光となり、且つ、基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光が、第１照明ユニットＦ１によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光となるように、セッティングされる。第１照明ユニットＦ１及び第２照明ユニットＦ２は、交互に又は同時に、光を基板３６０に照射可能である。
【００９３】
当業者は、第２実施例の上述の変形においては、照明ユニット３１０に含まれる第１照明ユニットＦ１及び第２照明ユニットＦ２が、基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第１照明ユニットＦ１は、基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置可能であり、且つ、第２照明ユニットＦ２は、基板３６０の表面Ｂ２の外側に配置可能である。
【００９４】
第１照明ユニットＦ１を基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置し、且つ、第２照明ユニットＦ２を基板３６０の表面Ｂ２の外側に配置した場合には、反射器３２０に進入する光は、第２照明ユニットＦ２によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光であり、且つ、第１照明ユニットＦ１が光を基板３６０に照射する角度をセッティングすることにより、基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光は、第１照明ユニットＦ１によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光又は第１照明ユニットＦ１によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光であってよい。
【００９５】
当業者は、第１照明ユニットＦ１を基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置した場合には、第１照明ユニットＦ１及び撮像ユニット３３０に加えて、第３チャネルは、第１偏光方向ＦＸ１を具備する第１偏光コンポーネントＰ１と、第１偏光方向ＦＸ１に直交する第２偏光方向ＦＸ２を具備する第２偏光コンポーネントＰ２と、を更に有することが可能であり、この場合に、第１偏光コンポーネントＰ１は、基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットＦ１と基板３６０の間に配置されており、且つ、第２偏光コンポーネントＰ２は、基板３６０の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、基板３６０と撮像ユニット３３０の間に配置され、基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光は、第１照明ユニットＦ１によって基板３６０に照射されると共に第１偏光コンポーネントＰ１、基板３６０、及び第２偏光コンポーネントＰ２を通じて透過した光又は第１照明ユニットＦ１によて照射されると共に第１偏光コンポーネントＰ１を通じて透過した光の基板３６０による散乱から導出された後に第２偏光コンポーネントＰ２を通じて透過した光であり、且つ、反射器３２０に進入する光は、第２照明ユニットＦ２によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光又は第２照明ユニットＦ２によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光であってよいことを理解するであろう。
【００９６】
当業者は、第２照明ユニットＦ２を基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置した場合には、第２照明ユニットＦ２、反射器３２０、及び撮像ユニット３３０に加えて、第４チャネルは、第１偏光方向ＦＸ１を具備する第３偏光コンポーネントＰ３と、第２偏光方向ＦＸ２を具備する第４偏光コンポーネントＰ４と、更に包含可能であり、この場合に、第３偏光コンポーネントＰ３は、基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＦ２と基板３６０の間に配置されており、且つ、第４偏光コンポーネントＰ４は、基板３６０の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、反射器３２０と撮像ユニット３３０の間に配置されており、反射器３２０に進入する光は、第２照明ユニットＦ２によって照射されると共に第３偏光コンポーネントＰ３及び基板３６０を通じて透過した光又は第２照明ユニットＦ２によって照射されると共に第３偏光コンポーネントＰ３を通じて透過した光の基板３６０による散乱から導出される光であり、反射器３２０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光は、反射器３２０によって反射されると共に第４偏光コンポーネントＰ４を通じて透過した光であり、且つ、基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光は、第１照明ユニットＦ２によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光又は第１照明ユニットＦ１によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光であってよいことを理解するであろう。
【００９７】
当業者であれば、第１照明ユニットＦ１及び第２照明ユニットＦ２を基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置する場合には、第１照明ユニットＦ１及び撮像ユニット３３０に加えて、第３チャネルは、第１偏光方向ＦＸ１を具備する第１偏光コンポーネントＰ１と、第２偏光方向ＦＸ２を具備する第２偏光コンポーネントＰ２と、を更に包含可能であり、且つ、第２照明ユニットＦ２、反射器３２０、及び撮像ユニット３３０に加えて、第４チャネルは、第１偏光方向ＦＸ１を具備する第３偏光コンポーネントＰ３と、第２偏光方向ＦＸ２を具備する第４偏光コンポーネントＰ４と、を更に包含可能であることを理解するであろう。この場合には、第１偏光コンポーネントＰ１は、基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットＦ１と基板３６０の間に配置されており、且つ、第２偏光コンポーネントＰ２は、基板３６０の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、基板３６０と撮像ユニット３３０の間に配置されており、基板３６０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光は、第１照明ユニットＦ１によって基板３６０に照射されると共に第１偏光コンポーネントＰ１、基板３６０、及び第２偏光コンポーネントＰ２を通じて透過した光又は第１照明ユニットＦ１によって照射されると共に第１偏光コンポーネントＰ１を通じて透過した光の基板３６０による散乱から導出された後に第２偏光コンポーネントＰ２を通じて透過した光である。第３偏光コンポーネントＰ３は、基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＦ２と基板３６０の間に配置されており、且つ、第４偏光コンポーネントＰ４は、基板３６０の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、反射器３２０と撮像ユニット３３０の間に配置されており、反射器３２０に進入する光は、第２照明ユニットＦ２によって照射されると共に第３偏光コンポーネントＰ３及び基板３６０を通じて透過した光又は第２照明ユニットＦ２によって照射されると共に第３偏光コンポーネントＰ３を通じて透過した光の基板３６０による散乱から導出される光であり、反射器３２０からの且つ撮像ユニット３３０によって受光される光は、反射器３２０によって反射されると共に第４偏光コンポーネントＰ４を通じて透過した光である。
【００９８】
当業者は、第１照明ユニットＦ１及び第２照明ユニットＦ２は、交互に又は同時に、散乱光又は非散乱光を照射可能であることを理解するであろう。
【００９９】
当業者であれば、上述の第２実施例においては、１つの反射器のみ、即ち、反射器３２０がシステム３００内にセッティングされており、撮像ユニット３３０は、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光と、反射器３２０によって反射された光と、を検知することによって２次元画像を取得するべく適合されており、且つ、撮像ユニット３３０によって取得される２次元画像は、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光を検知することによって取得された第１画像と、反射器３２０によって反射された光を検知することによって取得された第２画像と、を含み、第１画像及び第２画像は、空間的に互いに分離されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。
【０１００】
本発明のその他のいくつかの実施例においては、２つの反射器、即ち、反射器３２０及び第２反射器ＳＥがシステム３００内にセッティングされる。反射器３２０と同様に、第２反射器ＳＥは、基板３６０の別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて第２反射器ＳＥ内に透過した光を反射するべく適合されている。撮像ユニット３３０は、第２反射器ＳＥによって反射された光と、反射器３２０によって反射された光と、を検知することによって２次元画像を取得するべく適合されており、且つ、撮像ユニット３３０によって取得される２次元画像は、第２反射器ＳＥによって反射された光を検知することによって取得された第１画像と、反射器３２０によって反射された光を検知することによって取得された第２画像と、を含み、第１画像及び第２画像は、空間的に互いに分離されている。第２反射器ＳＥ、撮像ユニット３３０、及び照明ユニット３１０は、第３チャネルを形成可能であり、且つ、反射器３２０、撮像ユニット３３０、及び照射ユニット３１０は、第４チャネルを形成可能である。反射器３２０によって反射された光を検知することによって取得される第２画像と同様に、第２反射器ＳＥによって反射された光を検知することによって取得される第１画像も圧縮変形を具備する。従って、第２反射器ＳＥによって反射された光を検知することによって取得された第１画像を使用することによって基板３６０の画像を構築する前に、第２反射器ＳＥによって反射された光を検知することによって取得された第１画像を伸長させることにより、第２反射器ＳＥによって反射された光を検知することによって取得された第１画像の圧縮変形を除去する必要がある。
【０１０１】
当業者は、第２実施例の上述の変形においては、反射器３２０及び第２反射器ＳＥをシステム３００内にセッティングし、且つ、照明ユニット３１０を基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置した場合に、反射器３２０に進入する光及び第２反射器ＳＥに進入する光は、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光（即ち、明視野照明）であるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例におていは、反射器３２０及び第２反射器ＳＥをシステム３００内にセッティングし、且つ、照明ユニット３１０を基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置した場合に、反射器３２０に進入する光及び第２反射器ＳＥに進入する光は、照明ユニット３１０によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光（即ち、暗視野照明）であってもよい。具体的には、照明ユニット３１０が光を基板３６０に照射する角度は、反射器３２０に進入する光が、照明ユニット３１０によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光となり、且つ、第２反射器ＳＥに進入する光が、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光となるように、セッティングされるか、或いは、照明ユニット３１０が光を基板３６０に照射する角度は、反射器３２０に進入する光が、照明ユニット３１０によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光となり、且つ、第２反射器ＳＥに進入する光が、照明ユニット３１０によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光となるように、セッティングされるか、或いは、照明ユニット３１０が光を基板３６０に照射する角度は、反射器３２０に進入する光及び第２反射器ＳＥに進入する光が、照明ユニット３１０によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光となるように、セッティングされる。
【０１０２】
当業者は、第２実施例の上述の変形においては、反射器３２０及び第２反射器ＳＥをシステム３００内にセッティングした場合に、照明ユニット３１０が基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット３１０は、（図８Ａに示されているように）基板３６０に対して拡散光又は非拡散光を照射するべく、基板３６０の表面Ｂ２の外側に配置することも可能である。照明ユニット３１０を基板３６０の表面Ｂ２の外側に配置した場合には、基板３６０からの且つ反射器３２０に進入する光と、基板３６０からの且つ第２反射器ＳＥに進入する光は、照明ユニット３１０によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光である。
【０１０３】
当業者は、第２実施例の上述の変形においては、反射器３２０及び第２反射器ＳＥをシステム３００内にセッティングした場合に、システム３００は、１つの照明ユニットのみ、即ち、照明ユニット３１０を含んでいるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。
【０１０４】
本発明のその他のいくつかの実施例においては、反射器３２０及び第２反射器ＳＥをシステム３００内にセッティングした場合に、システム３００は、第１照明ユニットＺＭ１と、第２照明ユニットＺＭ２と、を包含可能である。この場合には、第１照明ユニットＺＭ１及び第２照明ユニットＺＭ２は、拡散光又は非拡散光を基板３６０に照射するべく、基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置され、第２反射器ＳＥ、撮像ユニット３３０、及び第１照明ユニットＺＭ１は、第３チャネルを形成し、反射器３２０、撮像ユニット３３０、及び第２照明ユニットＺＭ２は、第４チャネルを形成し、基板３６０からの且つ反射器３２０に進入する光は、第２照明ユニットＺＭ２によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光又は第２照明ユニットＺＭ２によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光であってよく、且つ、基板３６０からの且つ第２反射器ＳＥに進入する光は、第１照明ユニットＺＭ１によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光又は第１照明ユニットＺＭ１によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光であってよい。具体的には、第１照明ユニットＺＭ１及び第２照明ユニットＺＭ２が光を基板３６０に照射する角度は、基板３６０からの且つ反射器３２０に進入する光が、第２照明ユニットＺＭ２によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光となり、且つ、基板３６０からの且つ第２反射器ＳＥに進入する光が、第１照明ユニットＺＭ１によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光となるように、セッティング可能であり、或いは、第１照明ユニットＺＭ１及び第２照明ユニットＺＭ２が光を基板３６０に照射する角度は、基板３６０からの且つ反射器３２０に進入する光が、第２照明ユニットＺＭ２によって基板３６０に照射されると共に基板を通じて透過した光となり、且つ、基板３６０からの且つ第２反射器ＳＥに進入する光が、第１照明ユニットＺＭ１によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、第１照明ユニットＺＭ１及び第２照明ユニットＺＭ２が光を基板３６０に照射する角度は、基板３６０からの且つ反射器３２０に進入する光が、第２照明ユニットＺＭ２によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光となり、且つ、基板３６０からの且つ第２反射器ＳＥに進入する光が、第１照明ユニットＺＭ１によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光となるように、セッティング可能であり、或いは、第１照明ユニットＺＭ１及び第２照明ユニットＺＭ２が光を基板３６０に照射する角度は、基板３６０からの且つ反射器３２０に進入する光が、第２照明ユニットＺＭ２によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光となり、且つ、基板３６０からの且つ第２反射器ＳＥに進入する光が、第１照明ユニットＺＭ１によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光となるように、セッティング可能である。
【０１０５】
当業者は、反射器３２０及び第２反射器ＳＥをシステム３００内にセッティングした場合には、第２反射器ＳＥ、撮像ユニット３３０、及び第１照明ユニットＺＭ１に加えて、第３チャネルは、第１偏光方向ＦＸ１を具備する第１偏光コンポーネントＰ１と、第１偏光方向ＦＸ１と直交する第２偏光方向ＦＸ２を具備する第２偏光コンポーネントＰ２と、を更に包含可能であり、この場合に、第１偏光コンポーネントＰ１は、基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットＺＭ１と基板３６０の間に配置されており、且つ、第２偏光コンポーネントＰ２は、基板３６０の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、基板３６０と撮像ユニット３３０の間に配置されており、第２反射器ＳＥに進入する光は、第１照明ユニットＺＭ１によって基板３６０に照射されると共に第１偏光コンポーネントＰ１及び基板２６０を通じて透過した光又は第１照明ユニットＺＭ１によって照射されると共に第１偏光コンポーネントＰ１を通じて透過した光の基板３６０による散乱から導出される光であり、撮像ユニット３３０は、第２反射器ＳＥによって反射されると共に第２偏光コンポーネントＰ２を通じて透過した光を検知することによって第１画像を取得可能であり、且つ、反射器３２０に進入する光は、第２照明ユニットＺＭ２によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光又は第２照明ユニットＺＭ２によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光であってよいことを理解するであろう。
【０１０６】
当業者であれば、反射器３２０及び第２反射器ＳＥをシステム３００内にセッティングした場合には、第２照明ユニットＺＭ２、反射器３２０、及び撮像ユニット３３０に加えて、第４チャネルは、第１偏光方向ＦＸ１を具備する第３偏光コンポーネントＰ３と、第２偏光方向ＦＸ２を具備する第４偏光コンポーネントＰ４と、を更に包含可能であることを理解するであろう。この場合には、第３偏光コンポーネントＰ３は、基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＺＭ２と基板３６０の間に配置されており、且つ、第４偏光コンポーネントＰ４は、基板３６０の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、反射器３２０と撮像ユニット３３０の間に配置されており、反射器３２０に進入する光は、第２照明ユニットＺＭ２によって照射されると共に第３偏光コンポーネントＰ３及び基板３６０を通じて透過した光又は第２照明ユニットＺＭ２によって照射されると共に第３偏光コンポーネントＰ３を通じて透過した光の基板３６０による散乱から導出される光であり、撮像ユニット３３０は、反射器３２０によって反射されると共に第４偏光コンポーネントＰ４を通じて透過した光を検知することによって第２画像を取得可能であり、且つ、第２反射器ＳＥに進入する光は、第１照明ユニットＺＭ１によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光又は第１照明ユニットＺＭ１によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光であってよい。
【０１０７】
当業者は、反射器３２０及び第２反射器ＳＥをシステム３００内にセッティングした場合には、第２反射器ＳＥ、撮像ユニット３３０、及び第１照明ユニットＺＭ１に加えて、第３チャネルは、第１偏光方向ＦＸ１を具備する第１偏光コンポーネントＰ１と、第２偏光方向ＦＸ２を具備する第２偏光コンポーネントＰ２と、を包含可能であり、且つ、第２照明ユニットＺＭ２、反射器３２０、及び撮像ユニット３３０に加えて、第４チャネルは、第１偏光方向ＦＸ１を具備する第３偏光コンポーネントＰ３と、第２偏光方向ＦＸ２を具備する第４偏光コンポーネントＰ４と、を更に包含可能であることを理解するであろう。この場合には、第１偏光コンポーネントＰ１は、基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットＺＭ１と基板３６０の間に配置されており、且つ、第２偏光コンポーネントＰ２は、基板３６０の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、基板３６０と撮像ユニット３３０の間に配置されており、第２反射器ＳＥに進入する光は、第１照明ユニットＺＭ１によって基板３６０に照射されると共に第１偏光コンポーネントＰ１及び基板３６０を通じて透過した光又は第１照明ユニットＺＭ１によって照射されると共に第１偏光コンポーネントＰ１を通じて透過した光の基板３６０による散乱から導出される光であり、撮像ユニット３３０は、第２反射器ＳＥによって反射されると共に第２偏光コンポーネントＰを通じて透過した光を検知することによって第１画像を取得可能である。第３偏光コンポーネントＰ３は、基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＺＭ２と基板３６０の間に配置されており、且つ、第４偏光コンポーネントＰ４は、基板３６０の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、反射器３２０と撮像ユニット３３０の間に配置されており、反射器３２０に進入する光は、第２照明ユニットＺＭ２によって照射されると共に第３偏光コンポーネントＰ３及び基板３６０を通じて透過した光又は第２照明ユニットＺＭ２によって照射されると共に第３偏光コンポーネントＰ３を通じて透過した光の基板３６０による散乱から導出される光であり、且つ、撮像ユニット３３０は、反射器３２０によって反射されると共に第４偏光コンポーネントＰ４を通じて透過した光を検知することによって第２画像を取得可能である。
【０１０８】
当業者は、第２実施例の上述の変形においては、反射器３２０及び第２反射器ＳＥをシステム３００内にセッティングした場合に、第１照明ユニットＺＭ１及び第２照明ユニットＺＭ２が、基板３６０の表面Ｂ１の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第１照明ユニットＺＭ１及び第２照明ユニットＺＭ２は、（図８Ｂに示されているように）基板３６０の基板Ｂ２の外側に配置することも可能である。第１照明ユニットＺＭ１及び第２照明ユニットＺＭ２を基板３６０の表面Ｂ２の外側に配置可能である場合には、第２反射器ＳＥに進入する光は、第１照明ユニットＺＭ１によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光であり、且つ、反射器３２０に進入する光は、第２照明ユニットＺＭ２によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光である。
【０１０９】
当業者は、第１照明ユニットＺＭ１及び第２照明ユニットＺＭ２は、交互に又は同時に、散乱光又は非散乱光を基板３６０に照射可能であることを理解するであろう。
【０１１０】
当業者は、上述の実施例に記述されている基板は、太陽光発電モジュール産業の太陽電池セル又は太陽電池モジュールに使用されるパターン又は構造を有する基板を包含可能であることを理解するであろう。
【０１１１】
当業者は、画像構築モジュール３４０及び画像処理モジュール３５０は、ソフトウェア、ハードウェア、及びソフトウェアとハードウェアの組合せによって実装可能であることを理解するであろう。
【０１１２】
当業者は、基板３６０の欠陥が基板３６０の内部の欠陥であるのか又は基板３６０上の欠陥であるのかを検出した後に、基板３６０の欠陥が基板３６０の画像ＴＴ１及びＴＴ２内に出現する異なる特徴及び基板３６０の欠陥が基板３６０の内部の欠陥であるのか又は基板３６０上の欠陥であるのかに基づいて、基板３６０の欠陥を分類可能であることを理解するであろう。
【０１１３】
例えば、基板３６０からの且つ第２反射器ＳＥに進入する光が、照明ユニット３１０又は第１照明ユニットＺＭ１によって基板３６０に照射されると共に基板３６０を通じて透過した光であり、基板３６０からの且つ反射器３２０に進入する光が、照明ユニット３１０又は第２照明ユニットＺＭ２によって照射された光の基板３６０による散乱から導出される光であり、且つ、照明ユニット３１０又は第２照明ユニットＺＭ２が基板３６０に照射する角度が、基板３６０の破れ泡が撮像ユニット３３０によって取得される第２画像内において可視状態とならないように、セッティングされると仮定した場合に、基板３６０の欠陥が基板３６０の画像ＴＴ１内に出現するのが楕円であり、且つ、画像ＴＴ１及びＴＴ２を比較することによって基板３６０の欠陥が基板３６０上の欠陥であると判明した場合には、基板３６０の欠陥は、破れ泡として分類される。
【０１１４】
更には、例えば、基板３６０からの且つ第２反射器ＳＥに進入する光が、第１照明ユニットＺＭ１によって照射されると共に第１偏光コンポーネントＰ１及び基板３６０を通じて透過した光であり、撮像ユニット３３０が、第２反射器ＳＥによって反射されると共に第２偏光コンポーネントＰ２を通じて透過した光を検知することによって第１画像を取得し、基板３６０からの且つ反射器３２０に進入する光が、第２照明ユニットＺＭ２によって照射されると共に第３偏光コンポーネントＰ３及び基板３６０を通じて透過した光であり、且つ、撮像ユニット３３０が、反射器３２０によって反射されると共に第４偏光コンポーネントＰ４を通じて透過した光を検知することによって第２画像を取得すると仮定した場合に、基板３６０の欠陥が画像ＴＴ１及びＴＴ２内に出現しており、且つ、基板３６０の欠陥が基板３６０の内部の欠陥であると検出された場合には、基板３６０の欠陥は、包含又は再結晶などの基板３６０の内部の応力又は光学歪タイプの欠陥として分類される。
【０１１５】
（第３実施例）
当業者は、上述の第１及び第２実施例及びその変形においては、基板の欠陥を検出及び分類するシステムは、２つのチャネルのみを含んでいるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。
【０１１６】
本発明の第３実施例においては、システムは、画像構築モジュールＧＪ及び画像処理モジュールＣＬに加えて、３つのチャネル、即ち、第５チャネルＴＤ１、第６チャネルＴＤ２、及び第７チャネルＴＤ３を更に包含可能である。
【０１１７】
第５チャネルＴＤ１は、明視野照明に属している。第５チャネルＴＤ１は、第１照明ユニットＺＤ１及び第１撮像ユニットＣＤ１を包含可能であり、或いは、第１照明ユニットＺＤ１、第１反射器ＦＪ１、及び第１撮像ユニットＣＤ１を包含可能である。
【０１１８】
第５チャネルＴＤ１が第１照明ユニットＺＤ１及び第１撮像ユニットＣＤ１を含む場合には、第１照明ユニットＺＤ１は、基板ＪＰの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面の外部に配置され、且つ、第１照明ユニットＺＤ１によって基板ＪＢに照射されると共に基板ＪＢを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１１９】
第５チャネルＴＤ１が、第１照明ユニットＺＤ１、第１反射器ＦＪ１、及び第１撮像ユニットＣＤ１を含む場合には、第１照明ユニットＺＤ１は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第１反射器ＦＪ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットＺＤ１によって基板ＪＢに照射され、基板ＪＰを通じて透過すると共に、第１反射器ＦＪ１に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１反射器ＦＪ１によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１２０】
第６チャネルＴＤ２は、暗視野照明に属している。第６チャネルＴＤ２は、第２照明ユニットＺＤ２及び第２撮像ユニットＣＤ２を包含可能であり、或いは、第２照明ユニットＺＤ２、第２反射器ＦＪ２、及び第２撮像ユニットＣＤ２を包含可能である。
【０１２１】
第６チャネルＴＤ２が第２照明ユニットＺＤ２及び第２撮像ユニットＣＤ２を含む場合には、第２照明ユニットＺＤ２は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく配置されており、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＺＤ２によって照射される光の基板ＪＢによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１２２】
第６チャネルＴＤ２が、第２照明ユニットＺＤ２、第２反射器ＦＪ２、及び第２撮像ユニットＣＤ２を含む場合には、第２照明ユニットＺＤ２は、基板ＪＢの表面Ｂ１又はＢ２の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第２反射器ＦＪ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＺＤ２によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第２反射器ＦＪ２に進入する光を反射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２反射器ＦＪ２によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１２３】
第７チャネルＴＤ３は、第３照明ユニットＺＤ３、第１偏光方向を具備する第５偏光コンポーネントＰＺ５、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第６偏光コンポーネントＰＺ６、及び第３撮像ユニットＣＤ３を包含可能である。
【０１２４】
第３照明ユニットＺＤ３は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第５偏光コンポーネントＰＺ５は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に、且つ、第３照明ユニットＺＤ３と基板ＪＢの間に、配置され、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、第６偏光コンポーネントＰＺ６は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３と基板ＪＢの間に、配置され、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３は、第３照明ユニットＺＤ３によって照射されると共に、第５偏光コンポーネントＰＺ５、基板ＪＢ、及び第６偏光コンポーネントＰＺ６を通じて透過した光を検知することにより、又は第３照明ユニットＺＤ３によって照射されると共に第５偏光コンポーネントＰＺ５を通じて透過した光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第６偏光コンポーネントＰＺ６を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【０１２５】
この場合には、第１照明ユニットＺＤ１、第２照明ユニットＺＤ２、及び第３照明ユニットＺＤ３は、交互に又は同時に、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射する。
【０１２６】
画像構築モジュールＧＪは、上述の第１実施例に開示されている画像構築モジュール２４０と同一の動作原理である。具体的には、画像構築モジュールＧＪは、第１撮像ユニットＣＤ１、第２撮像ユニットＣＤ２、及び第３撮像ユニットＣＤ３に接続されており、且つ、それぞれ、第１撮像ユニットＣＤ１によって取得された画像、第２撮像ユニットＣＤ２によって取得された画像、及び第３撮像ユニットＣＤ３によって取得された画像を使用することによって基板ＪＢの３つの画像を構築するべく適合されている。説明の利便のために、第１撮像ユニットＣＤ１によって取得された画像を使用することによって構築される基板ＪＢの画像を画像ＴＴＴ１と呼称し、第２撮像ユニットＣＤ２によって取得された画像を使用して構築される基板ＪＢの画像を画像ＴＴＴ２と呼称し、第３撮像ユニットＣＤ３によって取得された画像を使用して構築される基板ＪＢの画像を画像ＴＴＴ３と呼称する。
【０１２７】
この場合には、第１撮像ユニットＣＤ１、第２撮像ユニットＣＤ２、及び第３撮像ユニットＣＤ３が２次元撮像ユニットである際に、第１撮像ユニットＣＤ１及び／又は第２撮像ユニットＣＤ２及び／又は第３撮像ユニットＣＤ３によって取得された画像が圧縮変形を具備する場合には、第１撮像ユニットＣＤ１、第２撮像ユニットＣＤ２、及び第３撮像ユニットＣＤ３によって取得された画像を使用することによって基板ＪＢの３つの画像を構築する前に、画像構築モジュールＧＪは、第１撮像ユニットＣＤ１及び／又は第２撮像ユニットＣＤ２及び／又は第３撮像ユニットＣＤ３によって取得された画像のそれぞれのものの長さ及び底辺に従って、第１撮像ユニットＣＤ１及び／又は第２撮像ユニットＣＤ２及び／又は第３撮像ユニットＣＤ３によって取得された画像のそれぞれのものの上辺及び高さを伸長させることにより、第１撮像ユニットＣＤ１及び／又は第２撮像ユニットＣＤ２及び／又は第３撮像ユニットＣＤ３によって取得された画像の圧縮変形を除去する。
【０１２８】
画像処理モジュールＣＪは、上述の第１実施例に開示されている画像処理モジュール２５０と同一の動作原理である。具体的には、画像処理モジュールＣＪは、画像構築モジュールＧＪに接続されており、且つ、基板ＪＢの欠陥Ｑを検出すると共に、欠陥Ｑが画像ＴＴＴ１〜ＴＴＴ３のうちの２つの画像に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Ｑが基板ＪＢ上に位置しているのか又は基板ＪＢの内部に位置しているのかを検出するべく、画像構築モジュールＧＪによって構築された画像ＴＴＴ１〜ＴＴＴ３を処理するように適合されている。この場合に、欠陥Ｑが２つの画像内に出現する位置が同一であるが、或いは、欠陥Ｑが２つの画像内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットＺＬに等しい際には、画像処理モジュールＣＬは、欠陥Ｑが基板ＪＢ上に位置していると検出し、且つ、欠陥Ｑが２つの画像内に出現する位置が同一ではなく、且つ、欠陥Ｑが２つの画像内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットＺＬを下回っている場合には、画像処理モジュールＣＬは、欠陥Ｑが基板ＪＢの内部に位置していると検出する。
【０１２９】
欠陥Ｑが基板ＪＢの内部の欠陥であるのか又は基板ＪＢ上の欠陥であるのかを検出した後に、画像処理モジュールは、欠陥Ｑが基板ＪＢの画像ＴＴＴ１〜ＴＴＴ３内に出現する異なる特徴及び欠陥Ｑが基板ＪＢの内部の欠陥であるのか又は基板ＪＢ上の欠陥であるのかに基づいて、欠陥Ｑを分類可能である。
【０１３０】
例えば、第２照明ユニットＺＤ２が光を照射する角度が、基板ＪＢの破れ泡が第２照明ユニットＣＤ１によって取得される画像内において可視状態とならないように、セッティングされると仮定された場合に、欠陥Ｑが基板ＪＢの画像ＴＴＴ１内に出現するのが楕円であり、且つ、欠陥Ｑが基板ＪＢの画像ＴＴＴ２内に出現しない場合には、欠陥Ｑは、破れ泡として分類可能である。
【０１３１】
更には、例えば、欠陥Ｑが基板ＪＢの画像ＴＴＴ１及びＴＴＴ２内に出現するのが楕円であり、且つ、欠陥Ｑが基板ＪＢの画像ＴＴＴ３内に出現せず、且つ、欠陥Ｑが基板ＪＢの内部の欠陥であると検出された場合には、欠陥Ｑは、基板ＪＢの内部の非応力又は光学歪タイプの欠陥として分類可能である。
【０１３２】
（第３実施例の変形例）
当業者であれば、上述の第３実施例においては、第６チャネルＴＤ２が、第２照明ユニットＺＤ２、第２反射器ＦＪ２、及び第２撮像ユニットＣＤ２を含む場合に、第２照明ユニットＺＤ２は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第６チャネルＴＤ２が、第２照明ユニットＺＤ２、第２反射器ＦＪ２、及び第２撮像ユニットＣＤ２を含む場合に、第２照明ユニットＺＤ２を基板ＪＢの表面Ｂ２の外側に配置することも可能である。
【０１３３】
当業者は、上述の第３実施例及びその変形においては、第５チャネルＴＤ１、第６チャネルＴＤ２、及び第７チャネルＴＤ３は、異なる照明モードを使用しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第５チャネルＴＤ１及び第６チャネルＴＤ２は、同一の照明モードを使用可能であり、且つ、第７チャネルＴＤ３は、第５チャネルＴＤ１及び第６チャネルＴＤ２が使用しているものとは異なる照明モードを使用可能である。以下、この詳細について説明する。
【０１３４】
第１に、第５チャネルＴＤ１及び第６チャネルＴＤ２は、明視野照明を使用し、且つ、第７チャネルＴＤ３は、暗視野照明を使用する。
【０１３５】
具体的には、第５チャネルＴＤ１は、第１照明ユニットＺＤ１及び第１撮像ユニットＣＤ１を包含可能であり、或いは、第１照明ユニットＺＤ１、第１反射器ＦＪ１、及び第１撮像ユニットＣＤ１を包含可能である。第５チャネルＴＤ１が第１照明ユニットＺＤ１及び第１撮像ユニットＣＤ１を含む場合には、第１照明ユニットＺＤ１は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットＺＤ１によって基板ＪＢに照射されると共に基板ＪＢを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第５チャネルＴＤ１が、第１照明ユニットＺＤ１、第１反射器ＦＪ１、及び第１撮像ユニットＣＤ１を含む場合には、第１照明ユニットＺＤ１は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第１反射器ＦＪ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットＺＤ１によって基板ＪＢに照射され、基板ＪＢを通じて透過すると共に、第１反射器ＦＪ１に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１反射器ＦＪ１によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１３６】
第６チャネルＴＤ２は、第２照明ユニットＺＤ２及び第２撮像ユニットＣＤ２を包含可能であり、或いは、第２照明ユニットＺＤ２、第２反射器ＦＪ２、及び第２撮像ユニットＣＤ２を包含可能である。第６チャネルＴＤ２が第２照明ユニットＺＤ２及び第２撮像ユニットＣＤ２を含む場合には、第２照明ユニットＺＤ２は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＺＤ２によって照射されると共に基板ＪＢを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第６チャネルＴＤ２が、第２照明ユニットＺＤ２、第２反射器ＦＪ２、及び第２撮像ユニットＣＤ２を含む場合には、第２照明ユニットＺＤ２は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第２反射器ＦＪ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＺＤ２によって照射され、基板ＪＢを通じて透過すると共に、第２反射器ＦＪ２に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２反射器ＦＪ２によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１３７】
第７チャネルＴＤ３は、第３照明ユニットＺＤ３及び第３撮像ユニットＣＤ３を包含可能であり、或いは、第３照明ユニットＺＤ３、第３反射器ＦＪ３、及び第３撮像ユニットＣＤ３を包含可能である。第７チャネルＴＤ３が第３照明ユニットＺＤ３及び第３撮像ユニットＣＤ３を含む場合には、第３照明ユニットＺＤ３は、基板ＪＢの表面Ｂ１又はＢ２の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットＺＤ３によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第７チャネルＴＤ３が、第３照明ユニットＺＤ３、第３反射器ＦＪ３、及び第３撮像ユニットＣＤ３を含む場合には、第３照明ユニットＺＤ３は、基板ＪＢの表面Ｂ１又はＢ２の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第３反射器ＦＪ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットＺＤ３によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第３反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第３反射器ＦＪ３によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１３８】
第２に、第５チャネルＴＤ１及び第６チャネルＴＤ２は、暗視野照明を使用し、且つ、第７チャネルＴＤ３は、明視野照明を使用する。
【０１３９】
具体的には、第５チャネルＴＤ１は、第１照明ユニットＺＤ１及び第１撮像ユニットＣＤ１を包含可能であり、或いは、第１照明ユニットＺＤ１、第１反射器ＦＪ１、及び第１撮像ユニットＣＤ１を包含可能である。第５チャネルＴＤ１が第１照明ユニットＺＤ１及び第１撮像ユニットＣＤ１を含む場合には、第１照明ユニットＺＤ１は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットＺＤ１によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第５チャネルＴＤ１が、第１照明ユニットＺＤ１、第１反射器ＦＪ１、及び第１撮像ユニットＣＤ１を含む場合には、第１照明ユニットＺＤ１は、基板ＪＢの表面Ｂ１又はＢ２の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第１反射器ＦＪ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットＺＤ１によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第１反射器ＦＪ１に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第１反射器ＦＪ１によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１４０】
第６チャネルＴＤ２は、第２照明ユニットＺＤ２及び第２撮像ユニットＣＤ２を包含可能であり、或いは、第２照明ユニットＺＤ２、第２反射器ＦＪ２、及び第２撮像ユニットＣＤ２を包含可能である。第６チャネルＴＤ２が第２照明ユニットＺＤ２及び第２撮像ユニットＣＤ２を含む場合には、第２照明ユニットＺＤ２は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＺＤ２によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第６チャネルＴＤ２が、第２照明ユニットＺＤ２、第２反射器ＦＪ２、及び第２撮像ユニットＣＤ２を含む場合には、第２照明ユニットＺＤ２は、基板ＪＢの表面Ｂ１又はＢ２の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第２反射器ＦＪ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＺＤ２によって照射された光の基板ＪＢによる散乱を通じて導出された後に第２反射器ＦＪ２に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２反射器ＦＪ２によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１４１】
第７チャネルＴＤ３は、第３照明ユニットＺＤ３及び第３撮像ユニットＣＤ３を包含可能であり、或いは、第３照明ユニットＺＤ３、第３反射器ＦＪ３、及び第３撮像ユニットＣＤ３を包含可能である。第７チャネルＴＤ３が第３照明ユニットＺＤ３及び第３撮像ユニットＣＤ３を含む場合には、第３照明ユニットＺＤ３は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットＺＤ３によって照射されると共に基板ＪＢを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第７チャネルＴＤ３が、第３照明ユニットＺＤ３、第３反射器ＦＪ３、及び第３撮像ユニットＣＤ３を含む場合には、第３照明ユニットＺＤ３は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第３反射器ＦＪ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットＺＤ３によって照射され、基板ＪＢを通じて透過すると共に、第３反射器ＦＪ３に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第３反射器ＦＪ３によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１４２】
第３に、第５チャネルＴＤ１及び第６チャネルＴＤ２は、明視野照明を使用し、且つ、第７チャネルＴＤ３は、偏光視野照明を使用する。
【０１４３】
具体的には、第５チャネルＴＤ１は、第１照明ユニットＺＤ１及び第１撮像ユニットＣＤ１を包含可能であり、或いは、第１照明ユニットＺＤ１、第１反射器ＦＪ１、及び第１撮像ユニットＣＤ１を包含可能である。第５チャネルＴＤ１が第１照明ユニットＺＤ１及び第１撮像ユニットＣＤ１を含む場合には、第１照明ユニットＺＤ１は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットＺＤ１によって基板ＪＰに照射されると共に基板ＪＢを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第５チャネルＴＤ１が、第１照明ユニットＺＤ１、第１反射器ＦＪ１、及び第１撮像ユニットＣＤ１を含む場合には、第１照明ユニットＺＤ１は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第１反射器ＦＪ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットＺＤ１によって基板ＪＢに照射され、基板ＪＢを通じて透過すると共に、第１反射器ＦＪ１に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１反射器ＦＪ１によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１４４】
第６チャネルＴＤ２は、第２照明ユニットＺＤ２及び第２撮像ユニットＣＤ２を包含可能であり、或いは、第２照明ユニットＺＤ２、第２反射器ＦＪ２、及び第２撮像ユニットＣＤ２を包含可能である。第６チャネルＴＤ２が第２照明ユニットＺＤ２及び第２撮像ユニットＣＤ２を含む場合には、第２照明ユニットＺＤ２は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＺＤ２によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第６チャネルＴＤ２が、第２照明ユニットＺＤ２、第２反射器ＦＪ２、及び第２撮像ユニットＣＤ２を含む場合には、第２照明ユニットＺＤ２は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第２反射器ＦＪ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＺＤ２によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第２反射器ＦＪ２に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２反射器ＦＪ２によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１４５】
第７チャネルＴＤ３は、第３照明ユニットＺＤ３、第１偏光方向を具備する第５偏光コンポーネントＰＺ５、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第６偏光コンポーネントＰＺ６、及び第３撮像ユニットＣＤ３を包含可能である。第３照明ユニットＺＤ３は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第５偏光コンポーネントＰＺ５は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に、且つ、第３照明ユニットＺＤ３と基板ＪＢの間に、配置され、第３撮像ユニットＣＤ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、第６偏光コンポーネントＰＺ６は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３と基板ＪＢの間に、配置され、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３は、第３照明ユニットＺＤ３によって照射されると共に、第５偏光コンポーネントＰＺ５、基板ＪＢ、及び第６偏光コンポーネントＰＺ６を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第３照明ユニットＺＤ３によって照射されると共に第５偏光コンポーネントＰＺ５を通じて透過した光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第６偏光コンポーネントＰＺ６を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【０１４６】
第４に、第５チャネルＴＤ１及び第６チャネルＴＤ２は、暗視野照明を使用し、且つ、第７チャネルＴＤ３は、偏光視野照明を使用する。
【０１４７】
具体的には、第５チャネルＴＤ１は、第１照明ユニットＺＤ１及び第１撮像ユニットＣＤ１を包含可能であり、或いは、第１照明ユニットＺＤ１、第１反射器ＦＪ１、及び第１撮像ユニットＣＤ１を包含可能である。第５チャネルＴＤ１が第１照明ユニットＺＤ１及び第１撮像ユニットＣＤ１を含む場合には、第１照明ユニットＺＤ１は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットＺＤ１によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第５チャネルＴＤ１が、第１照明ユニットＺＤ１、第１反射器ＦＪ１、及び第１撮像ユニットＣＤ１を含む場合には、第１照明ユニットＺＤ１は、基板ＪＢの表面Ｂ１又はＢ２の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第１反射器ＦＪ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１照明ユニットＺＤ１によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第１反射器ＦＪ１に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第１反射器ＦＪ１によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１４８】
第６チャネルＴＤ２は、第２照明ユニットＺＤ２及び第２撮像ユニットＣＤ２を包含可能であり、或いは、第２照明ユニットＺＤ２、第２反射器ＦＪ２、及び第２撮像ユニットＣＤ２を包含可能である。第６チャネルＴＤ２が第２照明ユニットＺＤ２及び第２撮像ユニットＣＤ２を含む場合には、第２照明ユニットＺＤ２は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＺＤ２によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第６チャネルＴＤ２が、第２照明ユニットＺＤ２、第２反射器ＦＪ２、及び第２撮像ユニットＣＤ２を含む場合には、第２照明ユニットＺＤ２は、基板ＪＢの表面Ｂ１又はＢ２の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第２反射器ＦＪ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２照明ユニットＺＤ２によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第２反射器ＦＪ２に進入する光を反射するべく適合されており、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第２反射器ＦＪ２によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１４９】
第７チャネルＴＤ３は、第３照明ユニットＺＤ３、第１偏光方向を具備する第５偏光コンポーネントＰＺ５、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第６偏光コンポーネントＰＺ６、及び第３撮像ユニットＣＤ３を包含可能である。第３照明ユニットＺＤ３は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第５偏光コンポーネントＰＺ５は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に、且つ、第３照明ユニットＺＤ３と基板ＪＢの間に、配置され、第３撮像ユニットＣＤ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、第６偏光コンポーネントＰＺ６は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３と基板ＪＢの間に、配置され、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３は、第３照明ユニットＺＤ３によって照射されると共に、第５偏光コンポーネントＰＺ５、基板ＪＢ、及び第６偏光コンポーネントＰＺ６を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第３照明ユニットＺＤ３によって照射されると共に第５偏光コンポーネントＰＺ５を通じて透過した光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第６偏光コンポーネントＰＺ６を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【０１５０】
第５に、第５チャネルＴＤ１及び第６チャネルＴＤ２は、偏光視野照明を使用し、且つ、第７チャネルＴＤ３は、明視野照明を使用する。
【０１５１】
具体的には、第５チャネルＴＤ１は、第１照明ユニットＺＤ１、第１偏光方向を具備する第１偏光コンポーネントＰＺ１、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第２偏光コンポーネントＰＺ２、及び第１撮像ユニットＣＤ１を包含可能である。第１照明ユニットＺＤ１は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第１偏光コンポーネントＰＺ１は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に、且つ、第１照明ユニットＺＤ１と基板ＪＢの間に、配置され、第１撮像ユニットＣＤ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、第２偏光コンポーネントＰＺ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１と基板ＪＢの間に、配置され、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１は、第１照明ユニットＺＤ１によって照射されると共に、第１偏光コンポーネントＰＺ１、基板ＪＢ、及び第２偏光コンポーネントＰＺ２を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第１照明ユニットＺＤ１によって照射されると共に第１偏光コンポーネントＰＺ１を通じて透過した光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第２偏光コンポーネントＰＺ２を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【０１５２】
第６チャネルＴＤ２は、第２照明ユニットＺＤ２、第１偏光方向を具備する第３偏光コンポーネントＰＺ３、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第４偏光コンポーネントＰＺ４、及び第２撮像ユニットＣＤ２を包含可能である。第２照明ユニットＺＤ２は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第３偏光コンポーネントＰＺ３は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に、且つ、第２照明ユニットＺＤ２と基板ＪＢの間に、配置され、第２撮像ユニットＣＤ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、第４偏光コンポーネントＰＺ４は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２と基板ＪＢの間に、配置され、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２は、第２照明ユニットＺＤ２によって照射されると共に、第３偏光コンポーネントＰＺ３、基板ＪＢ、及び第４偏光コンポーネントＰＺ４を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニットＺＤ２によって照射されると共に第３偏光コンポーネントＰＺ３を通じて透過した光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第４偏光コンポーネントＰＺ４を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【０１５３】
第７チャネルＴＤ３は、第３照明ユニットＺＤ３及び第３撮像ユニットＣＤ３を包含可能であり、或いは、第３照明ユニットＺＤ３、第３反射器ＦＪ３、及び第３撮像ユニットＣＤ３を包含可能である。第７チャネルＴＤ３が第３照明ユニットＺＤ３及び第３撮像ユニットＣＤ３を含む場合には、第３照明ユニットＺＤ３は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットＺＤ３によって照射されると共に基板ＪＢを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第７チャネルＴＤ３が、第３照明ユニットＺＤ３、第３反射器ＦＪ３、及び第３撮像ユニットＣＤ３を含む場合には、第３照明ユニットＺＤ３は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第３反射器ＦＪ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットＺＤ３によって照射され、基板ＪＢを通じて透過すると共に、第３反射器ＦＪ３に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第３反射器にＦＪ３によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１５４】
第６に、第５チャネルＴＤ１及び第６チャネルＴＤ２は、偏光視野照明を使用し、且つ、第７チャネルＴＤ３は、暗視野照明を使用する。
【０１５５】
具体的には、第５チャネルＴＤ１は、第１照明ユニットＺＤ１、第１偏光方向を具備する第１偏光コンポーネントＰＺ１、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第２偏光コンポーネントＰＺ２、及び第１撮像ユニットＣＤ１を包含可能である。第１照明ユニットＺＤ１は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第１偏光コンポーネントＰＺ１は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に、且つ、第１照明ユニットＺＤ１と基板ＪＢの間に、配置され、第１撮像ユニットＣＤ１は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、第２偏光コンポーネントＰＺ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１と基板ＪＢの間に、配置され、且つ、第１撮像ユニットＣＤ１は、第１照明ユニットＺＤ１によって照射されると共に、第１偏光コンポーネントＰＺ１、基板ＪＢ、及び第２偏光コンポーネントＰＺ２を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第１照明ユニットＺＤ１によって照射されると共に第１偏光コンポーネントＰＺ１を通じて透過した光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第２偏光コンポーネントＰＺ２を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【０１５６】
第６チャネルＴＤ２は、第２照明ユニットＺＤ２、第１偏光方向を具備する第３偏光コンポーネントＰＺ３、第１偏光方向と直交する第２偏光方向を具備する第４偏光コンポーネントＰＺ４、及び第２撮像ユニットＣＤ２を包含可能である。第２照明ユニットＺＤ２は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第３偏光コンポーネントＰＺ３は、基板ＪＢの１つの表面Ｂ１の外側に、且つ、第２照明ユニットＺＤ２と基板ＪＢの間に、配置され、第２撮像ユニットＣＤ２は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、第４偏光コンポーネントＰＺ４は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２と基板ＪＢの間に、配置され、且つ、第２撮像ユニットＣＤ２は、第２照明ユニットＺＤ２によって照射されると共に、第３偏光コンポーネントＰＺ３、基板ＪＢ、及び第４偏光コンポーネントＰＺ４を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第２照明ユニットＺＤ２によって照射されると共に第３偏光コンポーネントＰＺ３を通じて透過した光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第４偏光コンポーネントＰＺ４を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【０１５７】
第７チャネルＴＤ３は、第３照明ユニットＺＤ３及び第３撮像ユニットＣＤ３を包含可能であり、或いは、第３照明ユニットＺＤ３、第３反射器ＦＪ３、及び第３撮像ユニットＣＤ３を包含可能である。第７チャネルＴＤ３が第３照明ユニットＺＤ３及び第３撮像ユニットＣＤ３を含む場合には、第３照明ユニットＺＤ３は、基板ＪＢの表面Ｂ１又はＢ２の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットＺＤ３によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第７チャネルＴＤ３が、第３照明ユニットＺＤ３、第３反射器ＦＪ３、及び第３撮像ユニットＣＤ３を含む場合には、第３照明ユニットＺＤ３は、基板ＪＢの表面Ｂ１又はＢ２の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板ＪＢに照射するべく適合されており、第３反射器ＦＪ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第３照明ユニットＺＤ３によって照射された光の基板ＪＢによる散乱から導出された後に第３反射器ＦＪ３に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第３撮像ユニットＣＤ３は、基板ＪＢの別の反対側の表面Ｂ２の外側に配置され、且つ、第３反射器ＦＪ３によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【０１５８】
当業者は、上述の第３実施例及びその変形においては、第１撮像ユニットＣＤ１、第２撮像ユニットＣＤ２、及び第３撮像ユニットＣＤ３が、別個の撮像ユニットであるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第１撮像ユニットＣＤ１、第２撮像ユニットＣＤ２、及び第３撮像ユニットＣＤ３は、１つの且つ同一の撮像ユニットであり、或いは、第１撮像ユニットＣＤ１及び第２撮像ユニットＣＤ２は、１つの且つ同一の撮像ユニットである。第１撮像ユニットＣＤ１、第２撮像ユニットＣＤ２、及び第３撮像ユニットＣＥ３が、１つの且つ同一の撮像ユニットである場合には、第１撮像ユニットＣＤ１によって取得される画像、第２撮像ユニットＣＤ２によって取得される画像、及び第３撮像ユニットＣＤ３によって取得される画像は、１つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている。第１撮像ユニットＣＤ１及び第２撮像ユニットＣＤ２が１つの同一の撮像ユニットである場合には、第１撮像ユニットＣＤ１によって取得される画像と第２撮像ユニットＣＤ２によって取得される画像は、１つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている。
【０１５９】
当業者は、本発明の精神を逸脱することなしに、本発明の実施例の様々な修正及び変更を実施可能であり、且つ、それらの修正及び変更も、本発明の保護範囲に含まれることを理解するであろう。従って、本発明の保護範囲は、添付の請求項に規定されているとおりである。
【図１Ａ】
2013501211.tif 000004
【図１Ｂ】
2013501211.tif 000005
【図１Ｃ】
2013501211.tif 000006
【図１Ｄ】
2013501211.tif 000007
【図１Ｅ】
2013501211.tif 000008
【図１Ｆ】
2013501211.tif 000009
【図１Ｇ】
2013501211.tif 000010
【図１Ｈ】
2013501211.tif 000011
【図１Ｊ】
2013501211.tif 000012
【図１Ｋ】
2013501211.tif 000013
【図２】
2013501211.tif 000014
【図３】
2013501211.tif 000015
【図４】
2013501211.tif 000016
【図５Ａ】
2013501211.tif 000017
【図５Ｂ】
2013501211.tif 000018
【図５Ｃ】
2013501211.tif 000019
【図５Ｄ】
2013501211.tif 000020
【図５Ｅ】
2013501211.tif 000021
【図５Ｆ】
2013501211.tif 000022
【図５Ｇ】
2013501211.tif 000023
【図５Ｉ】
2013501211.tif 000024
【図５Ｊ】
2013501211.tif 000025
【図５Ｋ】
2013501211.tif 000026
【図５Ｌ】
2013501211.tif 000027
【図６】
2013501211.tif 000028
【図７】
2013501211.tif 000029
【図８Ａ】
2013501211.tif 000030
【図８Ｂ】
2013501211.tif 000031
【国際調査報告】
2013501211.tif 000032
2013501211.tif 000033