(57)【要約】光学検査システム及び方法が提供される。加工対象物輸送機構が加工対象物（１２）をノンストップで移動させる。照明装置（４０）が、ライトパイプを含み、第一及び第二のストロボ照明野タイプを提供するように構成されている。第一（３）及び第二（５）のカメラ（２）アレイが、加工対象物（１２）の立体画像化を提供するために配設されている。第一のカメラアレイ（３）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第一の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第二の複数の画像を生成するように構成されている。第二のカメラアレイ（５）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第三の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第四の複数の画像を生成するように構成されている。処理装置が、第一、第二、第三及び第四の複数の画像の少なくともいくつかを記憶し、他の装置に提供する。
2013505465.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工対象物をノンストップで輸送するように構成された加工対象物輸送機構、
第一のストロボ照明野タイプ及び第二のストロボ照明野タイプを提供するように構成された照明装置であって、照明装置が、前記加工対象物に近い第一端及び前記第一端とは反対側にあり、前記第一端から離間した第二端を有するライトパイプを含み、ライトパイプが、少なくとも一つの反射性側壁を有し、前記第一端が出口アパーチャを有し、前記第二端が少なくとも一つの第二端アパーチャを有して、それらを通して前記加工対象物の視認を提供する、照明装置、
前記加工対象物をデジタル式に画像化するように構成された第一のカメラアレイであって、第一のカメラアレイが、第一の照明野を用いて前記加工対象物の第一の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて前記加工対象物の第二の複数の画像を生成するように構成された、第一のカメラアレイ、
前記加工対象物をデジタル式に画像化するように構成された第二のカメラアレイであって、第二のカメラアレイが、前記第一の照明野を用いて前記加工対象物の第三の複数の画像を生成し、前記第二の照明野を用いて前記加工対象物の第四の複数の画像を生成するように構成され、前記第一及び第二のカメラアレイが、前記加工対象物の立体的画像化を提供するように構成されている、第二のカメラアレイ、及び
前記照明装置ならびに前記第一及び第二のカメラアレイに操作可能に結合された処理装置であって、処理装置が、前記第一、第二、第三及び第四の複数の画像の少なくともいくつかを他の装置に提供するように構成されている、処理装置
を含む光学検査システム。
【請求項２】
前記第一のカメラアレイが非テレセントリック光学素子を含み、前記第一のカメラアレイのカメラが、加工対象物移動方向に対して垂直な軸に沿って互いに整列しており、前記第一のカメラアレイのカメラが、互いに重複する視野を有する、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項３】
前記第一のカメラアレイが非テレセントリック光学素子を含み、前記第二のカメラアレイのカメラが、加工対象物移動方向に対して垂直な軸に沿って互いに整列しているが、加工対象物移動方向において前記第一の複数のカメラから離間している、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項４】
前記第一のカメラアレイがテレセントリック光学素子を有し、前記第一のカメラアレイのカメラが、加工対象物移動方向に対して垂直な軸に沿って互いに整列しており、互いに重複しない視野を有し、
テレセントリック光学素子を有する第三のカメラアレイをさらに含み、前記第三のカメラアレイのカメラが、加工対象物移動方向に対して垂直な軸に沿って互いに整列しており、互いに重複しない視野を有し、前記第一及び第三のカメラアレイが、互い違いに位置する視野を有し、
前記第二のカメラアレイがテレセントリック光学素子を有し、前記第二のカメラアレイのカメラが、加工対象物移動方向に対して垂直な軸に沿って互いに整列しており、互いに重複しない視野を有し、
テレセントリック光学素子を有する第四のカメラアレイをさらに含み、前記第四のカメラアレイのカメラが、加工対象物移動方向に対して垂直な軸に沿って互いに整列しており、互いに重複しない視野を有し、前記第二及び第四のカメラアレイが、互い違いに位置する視野を有する、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項５】
前記処理装置への加工対象物移動の指示を提供するための、前記加工対象物輸送機構に操作可能に結合されたエンコーダをさらに含む、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項６】
前記指示が約１００ミクロンの解像度を有する、請求項５記載の光学検査システム。
【請求項７】
前記照明装置が少なくとも一つのアーク灯を含む、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項８】
前記照明装置が少なくとも一つの発光ダイオードを含む、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項９】
前記ライトパイプが複数の反射性側壁を含む、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項１０】
前記少なくとも一つの反射性側壁が、照明を方位角方向に混合しながらも照明仰角を保存する湾曲した反射面を含む、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項１１】
前記照明装置が、照明の少なくとも一部分を所望の光源仰角に反射させるように配置された少なくとも一つのミラーを含む、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項１２】
前記少なくとも一つのミラーが、前記照明の一部分を前記少なくとも一つの反射性側壁に向けて所望の仰角で反射させるように傾けられている、請求項１１記載の光学検査システム。
【請求項１３】
前記照明装置が、前記第二端の近くに配置された照明混合チャンバを含み、前記混合チャンバ及び前記ライトパイプが、少なくとも一つの第二端アパーチャそれぞれと整列した少なくとも一つの拡散板アパーチャを有する半透明の拡散板によって分けられている、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項１４】
第一の光源が、ストロボ照明を前記混合チャンバの中に導入するように構成されている、請求項１３記載の光学検査システム。
【請求項１５】
第二の光源が、ストロボ照明を前記拡散板と前記第一端との間で前記ライトパイプの中に導入するように構成されている、請求項１４記載の光学検査システム。
【請求項１６】
さらなる照明を、前記拡散板と、前記第一端との間で前記ライトパイプの中に導入するように構成された第三の光源をさらに含む、請求項１５記載の光学検査システム。
【請求項１７】
前記処理装置が、前記第一、第二、第三及び第四の複数の画像を前記他の装置に提供するための高速データ転送バスを含む、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項１８】
前記処理装置が、画像を前記他の装置に提供しながら同時に前記第一及び第二のカメラアレイから画像を取得し、記憶するように構成されている、請求項１７記載の光学検査システム。
【請求項１９】
前記高速データ転送バスが、周辺機器相互接続エクスプレス（ＰＣＩｅ）バスにしたがって作動する、請求項１８記載の光学検査システム。
【請求項２０】
前記他の装置が、少なくとも部分的に前記第一、第二、第三及び第四の複数の画像に基づいて前記加工対象物上の形体に関する検査結果を提供するように構成されている、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項２１】
構造化された光を前記加工対象物に投射するように構成された構造化された投光器をさらに含む、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項２２】
前記構造化された投光器が、ランダムなドットパターンを投射するように構成されている、請求項２１記載の光学検査システム。
【請求項２３】
前記構造化された投光器が、少なくとも一つのレーザ縞を投射するように構成されている、請求項２１記載の光学検査システム。
【請求項２４】
前記構造化された投光器が、少なくとも一つの正弦波干渉縞を前記加工対象物に投射するように構成されている、請求項２１記載の光学検査システム。
【請求項２５】
前記第一及び第二のカメラアレイが、前記加工対象物に対して直角な面に対して傾けられている、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項２６】
前記第一のカメラアレイが、前記加工対象物の表面に対して実質的に垂直である角度から前記加工対象物を見るように向けられている、請求項１記載の光学検査システム。
【請求項２７】
製品を検査する方法であって、
製品と、一対のカメラアレイとの間に相対動を生じさせること、
前記相対動の間に、前記製品に対して第一の照明野タイプをストロボ照明しながら同時に前記一対のカメラアレイの第一のカメラアレイからライトパイプを介して第一の画像セットを取得すること、
取得された第一の画像セットによって少なくとも第一の縫合画像を生成すること、
前記製品に対して前記第一の照明野タイプをストロボ照明しながら第二のカメラアレイから前記ライトパイプを介して第二の画像セットを取得すること、
前記第二のカメラアレイから取得された前記第二の画像セットから少なくとも第二の縫合画像を生成すること、及び
少なくとも部分的に前記第一及び第二の縫合画像に基づいて前記製品に関する検査結果を決定すること
を含む方法。
【請求項２８】
前記相対動の間に、前記製品に対して第二の照明野タイプをストロボ照明しながら同時に前記一対のカメラアレイの前記第一のカメラアレイからライトパイプを介して第三の画像セットを取得すること、
取得された第三の画像セットによって少なくとも第三の縫合画像を生成すること、
前記製品に対して前記第二の照明野タイプをストロボ照明しながら前記第二のカメラアレイから前記ライトパイプを介して第四の画像セットを取得すること、
前記第二のカメラアレイから取得された前記第四の画像セットから少なくとも第四の縫合画像を生成すること、及び
少なくとも部分的に前記第一、第二、第三及び第四の縫合画像に基づいて前記製品に関する検査結果を決定すること
をさらに含む、請求項２７記載の方法。
【請求項２９】
前記第一の照明野タイプが暗視野である、請求項２８記載の方法。
【請求項３０】
前記第二の照明野タイプが曇天である、請求項２９記載の方法。
【請求項３１】
前記第一の照明野タイプが明視野である、請求項２９記載の方法。
【請求項３２】
前記第一の照明野タイプが構造化された照明である、請求項２８記載の方法。
【請求項３３】
前記第一の照明野タイプが背面照明である、請求項２８記載の方法。
【請求項３４】
前記背面照明が近赤外波長を有する、請求項３３記載の方法。
【請求項３５】
前記第一及び第二の照明野タイプが交互に付勢される、請求項２８記載の方法。
【請求項３６】
画像縫合を使用して前記製品の位置誤差を修正する、請求項２７記載の方法。
【請求項３７】
縫合を使用して加工対象物の反りを修正する、請求項２７記載の方法。
【請求項３８】
前記一対のカメラアレイから画像を収集しながら、少なくともいくつかの画像を他の装置に提供することをさらに含む、請求項２７記載の方法。
【請求項３９】
前記一対のカメラアレイが、前記製品を立体的に見るように配設されており、前記方法が、前記第一及び第二の画像セットの少なくとも一つに基づいて三次元表面情報を計算することをさらに含む、請求項２７記載の方法。
【請求項４０】
前記検査結果が二次元及び三次元画像データに基づく、請求項３９記載の方法。
【請求項４１】
前記製品が太陽電池である、請求項２７記載の方法。
【請求項４２】
前記製品が太陽電池であり、前記方法が、太陽電池認識マークを使用して座標フレームを確立することをさらに含む、請求項４１記載の方法。
【請求項４３】
検査結果が、コレクタフィンガ高さ、コレクタフィンガ幅及びコレクタフィンガ位置合わせの少なくとも一つを示す、請求項４１記載の方法。
【請求項４４】
前記検査結果が太陽電池の反りを示す、請求項４１記載の方法。
【請求項４５】
前記検査結果が太陽電池ウェーハジオメトリを示す、請求項４１記載の方法。
【請求項４６】
前記検査結果が前記太陽電池中の欠けの存在を示す、請求項４１記載の方法。
【請求項４７】
前記検査結果が前記太陽電池中の亀裂の存在を示す、請求項４１記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
背景
自動化太陽電池製造における進歩は、より高いスループット、収率及び電池変換効率を可能にしている。たとえば、結晶系シリコン太陽電池に導電層を適用するための市販の自動化機器は、通常、１秒あたりセル１個の速度でメタライゼーションをスクリーンプリントする。メタライゼーション層の正確な位置合わせを要する、セル変換効率を改善するための比較的新しい技術、たとえば選択的エミッタ法、メタルラップスルー法及びプリントオンプリント法が採用されている。セル効率はまた、太陽電池によって生成された電流を集めるメタライズされたコレクタフィンガの高さ：幅比によっても影響される。これらのフィンガは、セル作用面積の不必要な日射遮蔽を避けるために幅狭くプリントされなければならないが、導電率を高めるために背高くプリントされなければならない。また、薄いシリコン太陽電池の壊れやすさ及び製造中に反ろうとするそれらの傾向が、自動化取り扱い機器にとって、欠けや亀裂を避けるために難題を呈する。反ったウェーハは、たとえば、数多くの製造工程のいずれかの間に真空固定されるとき、又はスクリーンプリント工程中に圧力が加えられるとき、割れるおそれがある。これらの工業的要求を考慮すると、高い工程収率を保証するために、太陽電池製造工程の至る所に分散される自動化光学検査システムの必要性が生じた。精密位置合わせ、より狭く、高い形体及びウェーハ反りの検出の必要性の増大を考えると、従来技術よりも速いだけでなく、より高解像度の二次元及び三次元の太陽電池検査をより良く提供することができる自動化光学検査システムを提供することが有益であろう。
【０００２】
概要
光学検査システム及び方法が提供される。加工対象物輸送機構が、加工対象物をノンストップで輸送するように構成されている。照明装置が、第一のストロボ照明野タイプ及び第二のストロボ照明野タイプを提供するように構成されている。照明装置は、加工対象物に近い第一端及び第一端とは反対側にあり、第一端から離間した第二端を有するライトパイプを含む。ライトパイプはまた、少なくとも一つの反射性側壁を有する。第一端は出口アパーチャを有し、第二端は少なくとも一つの第二端アパーチャを有して、それらを通して加工対象物の視認を提供する。第一のカメラアレイが、加工対象物をデジタル式に画像化するように構成されている。第一のカメラアレイは、第一の照明野を用いて加工対象物の第一の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて形体の第二の複数の画像を生成するように構成されている。第二のカメラアレイが、加工対象物をデジタル式に画像化するように構成されている。第二のカメラアレイは、第一の照明野を用いて加工対象物の第三の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて形体の第四の複数の画像を生成するように構成されている。第一及び第二のカメラアレイは、加工対象物の立体的画像化を提供するように構成されている。処理装置が照明装置ならびに第一及び第二のカメラアレイに操作可能に結合されている。処理装置は、第一、第二、第三及び第四の複数の画像の少なくともいくつかを記憶し、第一、第二、第三及び第四の複数の画像を他の装置に提供するように構成されている。
【図面の簡単な説明】
【０００３】
【図１】本発明の実施態様の、カメラアレイ及びコンパクトな組み込み照明装置を備えた自動化高速光学検査システムの立断面図である。
【図２】本発明の実施態様の、重複する視野を有する複数のカメラの立面図である。
【図３】本発明の実施態様の検査システムのシステムブロック図である。
【図４】輸送コンベヤ、太陽電池及び第一の照明野タイプを用いて取得されたカメラアレイ視野の平面図である。
【図５】輸送コンベヤ、太陽電池及び第二の照明野タイプを用いて取得されたカメラアレイ視野の平面図である。
【図６】図６Ａ〜６Ｄは、本発明の実施態様にしたがって、第一及び第二の照明野タイプが交互にある状態で様々な位置において取得された加工対象物及びカメラアレイ視野を示す。
【図７】照明方向を画定するための座標系である。
【図８】カメラアレイ視野を照明する公知の線光源の斜視図である。
【図９】図８に示す照明装置の照明方向の極座標プロットである。
【図１０】本発明の実施態様の例示的な中空ライトパイプ照明装置の斜視図である。
【図１１】図１０に示す照明装置の入力照明方向の極座標プロットである。
【図１２】図１０に示す照明装置の出力照明方向の極座標プロットである。
【図１３】本発明の実施態様のライトパイプ壁の反射面の斜視図である。
【図１４】図１４Ａ〜Ｂは、図１３に示す反射面の断面図である。
【図１５Ａ】本発明の実施態様のライトパイプ照明装置及びカメラアレイの斜視図である。
【図１５Ｂ】本発明の実施態様のライトパイプ照明装置及びカメラアレイの切り欠き斜視図である。
【図１６】本発明の実施態様のカメラアレイ及び多数の光源を備えた照明装置の切り欠き斜視図である。
【図１７Ａ】本発明の実施態様の照明装置及びカメラアレイの切り欠き斜視図である。
【図１７Ｂ】本発明の実施態様にしたがって使用されるシェブロン形ミラーの断面図である。
【図１８】本発明の実施態様の照明装置及びカメラアレイの切り欠き斜視図である。
【図１９】図１８に示す照明装置及びカメラアレイの第二の切り欠き斜視図である。
【図２０】図１８及び１９に示す照明装置の照明方向の極座標プロットである。
【図２１】本発明の実施態様の検査センサの断面斜視図である。
【図２２】図２１に示す照明装置の照明方向の極座標プロットである。
【図２３】本発明の実施態様の、立体配置に配設された二つのカメラアレイの斜視図である。
【図２４】本発明の実施態様の、組み込み照明装置を備えた、立体配置に配設された二つのカメラアレイの切り欠き斜視図である。
【図２５】本発明の実施態様にしたがって配設された二つのカメラアレイ及び構造化された投光器の斜視図である。
【図２６】本発明の実施態様にしたがって配設された二つのカメラアレイ及び構造化された投光器の斜視図である。
【図２７】本発明の実施態様のカメラアレイ及び構造化された投光器の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００４】
例示的実施態様の詳細な説明
本発明の実施態様は一般に、高価で精巧な動作制御ハードウェアの必要なしに多重照明二次元及び三次元画像の高速取得を行うコンパクトな検査システム及び方法を提供する。異なる照明タイプを用いて取得された画像の処理が検査能力及び結果をかなり高めることができる。
【０００５】
図１は、本発明の実施態様の、自動化検査に適した、加工対象物の高コントラスト高速デジタル画像を生成するためのシステムの立断面図を示す。カメラアレイ４は、好ましくは等間隔に配設されたカメラ２Ａ〜２Ｈからなる。各カメラ２Ａ〜２Ｈは、加工対象物がカメラ２Ａ〜２Ｈに対して相対動を起こすとき、同時に加工対象物又は基材、たとえばシリコン太陽電池１２上の長方形区域を画像化し、デジタル化する。照明装置４５が、ストロボ照明と呼ばれる、一連のパルス化短期間照明野を提供する。各照明野の短い期間が太陽電池１２の画像を効果的に「フリーズ」させて動きのぶれを抑える。カメラアレイ４により、露光ごとに異なる照明野タイプを用いて、太陽電池１２上の位置ごとに二つ以上の画像セットが生成される。検査しなければならない太陽電池１２上の特定の形体に依存して、異なる照明野タイプを用いて生成された反射画像の連結処理によって検査結果をかなり高めることもできる。照明装置４５のさらなる詳細は、図２１及び２２の詳述において提供する。
【０００６】
加工対象物輸送コンベヤ２６が太陽電池１２をＸ方向にノンストップモードで並進移動させて、カメラアレイ４による太陽電池１２の高速画像化を提供する。コンベヤ２６は、モータ１８によって駆動されるベルト１４を含む。場合によって用いられるエンコーダ２０がモータのシャフト位置を計測し、ひいては、太陽電池１２が移動した概算距離を計算することができる。太陽電池１２が移動した距離を計測し、コード化する他の方法としては、時間ベース、音ベース又は視覚ベースのコード化法がある。ストロボ照明を使用し、太陽電池１２を停止させないことにより、カメラアレイ４による画像化の前に加速し、減速し、定着させる時間浪費的な輸送ステップが除かれる。二つの照明野タイプで１５６mm×１５６mmの寸法の太陽電池１２の完全な８０メガピクセル画像２枚を完全に捕獲するために要する時間は約１秒以下で達成することができると考えられる。
【０００７】
図２は、カメラ２Ａ〜２Ｈによってそれぞれ画像化される太陽電池１２上の各視野３０Ａ〜３０ＨのＹ次元位置を示す。太陽電池１２上のすべての位置を完全に画像化するために、隣り合う視野の間にわずかな重複がある。検査工程中、別々の視野３０Ａ〜３０Ｈの画像は重複領域において一つの連続的な画像へとデジタル式に併合、すなわち縫合される。別々のカメラの一次元アレイとして配設された例示的なカメラアレイ４が図１及び２に示されている。図示するように、カメラ２Ａ〜２Ｈは、非テレセントリック的に画像化するように構成されている。これは、視野３０Ａ〜３０Ｈを重複させることができる利点を有する。しかし、非テレセントリック画像化システムの倍率、すなわち有効解像度は、太陽電池１２の厚さ及び反りの量が変化するとともに変化する。太陽電池１２の反り、厚さ変化及び他のカメラ整列誤差の影響は、画像縫合によって補正することができる。もう一つの実施態様において、カメラアレイを二次元アレイに配設することもできる。たとえば、別々のカメラを、隣り合う視野どうしが重複する１列４台で２列のカメラアレイに配設することもできる。検査システムの費用、速度及び性能目標に依存して、視野どうしが重複しないアレイをも含め、カメラアレイの他の配設が有利であることもある。たとえば、テレセントリック画像化システムを備えた互い違いに位置するカメラアレイを使用することもできる。
【０００８】
図３は検査システム９２のブロック図である。検査アプリケーションプログラム７１は、好ましくは、システムコンピュータ７６上で稼働する。検査プログラム７１への入力としては、たとえば、太陽電池１２ジオメトリ、メタライゼーションプリントジオメトリならびにプリント欠陥、色欠陥、縁の欠け、微小亀裂サイズ及びソーマークの検査許容限界がある。照明及びカメラ校正データを検査プログラム７１に入力することもできる。
【０００９】
検査プログラム７１は、コンベヤインタフェース７２を介して太陽電池１２の輸送方向及び速度によってプログラマブルロジックコントローラ２２を構成する。検査プログラム７１はまた、PCI Expressインタフェースを介して、カメラアレイ４の後続の各画像取得の間のエンコード２０のカウント数によって主エレクトロニクスボード８０を構成する。あるいはまた、太陽電池１２の既知の速度に基づいて時間ベースの画像取得シーケンスを実行することもできる。検査プログラム７１はまた、個々のフラッシュランプ出力レベルを有するストロボボード８４だけでなく、検査の前に適切な構成パラメータをカメラ２Ａ〜２Ｈの中にプログラム又は他のやり方でセットする。
【００１０】
パネルセンサ２４は、検査システム９２に装填されるときの太陽電池１２の縁を感知し、この信号が主ボード８０に送られて画像取得シーケンスを開始させる。主ボード８０は、適切な信号を生成してカメラアレイ４による各画像露光を開始させ、ストロボボード８４に命令して適切なフラッシュランプ８７及び８８を正しいタイミングで付勢させる。ストロボモニタ８６が、フラッシュランプ８７及び８８によって放出された光の一部分を感知し、このデータは、わずかなフラッシュランプ出力変動に関して画像データを補正するために主エレクトロニクスボード８０によって使用されることもできる。画像メモリ８２が提供され、好ましくは、少なくとも一つの太陽電池１２に関して生成されたすべての画像を記憶するのに十分な容量を含む。たとえば、一つの実施態様において、カメラアレイ中の各カメラは約５メガピクセルの解像度を有し、メモリ８２は約２．０ギガバイトの容量を有する。カメラ２Ａ〜２Ｈからの画像データは、各カメラが速やかに後続の露光に備えることができるよう、画像メモリバッファ８２に高速で転送することができる。これが、太陽電池１２を検査システム９２に通してノンストップで輸送し、少なくとも二つの異なる照明野タイプを用いて太陽電池１２上の各位置の画像を生成することを可能にする。画像データは、最初の画像がメモリ８２に転送されるとただちに、PCI Express（ＰＣＩｅ）のような高速電気インタフェースを介して画像メモリ８２から読み出されてＰＣメモリに読み込まれ始めることができる。同様に、検査プログラム７１は、画像データがＰＣメモリ中で利用可能になるとただちに検査結果を計算し始めることができる。
【００１１】
以下、図４〜６を参照して画像取得工程をさらに詳細に説明する。
【００１２】
図４は、輸送コンベヤ２６及び太陽電池１２の平面図を示す。カメラ２Ａ〜２Ｈが重複する視野３０Ａ〜３０Ｈをそれぞれ画像化して、カメラアレイ４の有効視野３２を生成する。視野３２は、第一のストロボ照明野タイプを用いて取得される。太陽電池１２はコンベヤ２６によってＸ方向にノンストップで輸送される。太陽電池１２は、好ましくは、画像取得工程中に５％未満しか変動しない速度で移動するが、より大きな速度変動及び加速を受け入れることもできる。
【００１３】
一つの好ましい実施態様において、各視野３０Ａ〜３０Ｈは約５００万の画素を有し、画素解像度は１７ミクロンであり、範囲はＸ方向に３４mm、Ｙ方向に４５mmである。各視野３０Ａ〜３０Ｈは、隣り合う視野とでＹ方向に約３mm分だけ重複して、各カメラ２Ａ〜２Ｈの中心間距離はＹ方向に４２mmである。もう一つの実施態様において、カメラアレイ４は四つのカメラ２Ａ〜２Ｄのみからなる。この実施態様において、カメラアレイ視野３２は、約５：１の、Ｘ方向に比べてＹ方向に大きなアスペクト比を有する。
【００１４】
図５は、図４に示すその位置からプラスのＸ方向に移動した位置にある太陽電池１２を示す。たとえば、太陽電池１２は、図４におけるその位置から約１５mm前進していることができる。有効視野３３は、重複する視野３０Ａ〜３０Ｄで構成され、第二の照明野タイプを用いて取得される。
【００１５】
図６Ａ〜６Ｄは、第一及び第二の照明野タイプを交互に用いて取得されたカメラアレイ視野３１、３３、３４及び３５の時間シーケンスを示す。太陽電池１２はＸ方向にノンストップで移動していることが理解されよう。図６Ａは、太陽電池１２全体に関して画像取得中の一つのＸ位置における太陽電池１２を示す。視野３１は、図４を参照して詳述したように第一のストロボ照明野タイプを用いて取得される。図６Ｂは、Ｘ方向にさらに移動した太陽電池１２及び図５を参照して詳述したように第二のストロボ照明野タイプを用いて取得された視野３３を示す。図６Ｃは、Ｘ方向にさらに移動した太陽電池１２及び第一の照明野タイプを用いて取得された視野３４を示し、図６Ｄは、Ｘ方向にさらに移動した太陽電池１２及び第二の照明野タイプを用いて取得された視野３５を示す。
【００１６】
第一の照明野タイプを用いて取得された画像どうしを位置合わせし、デジタル式に併合、すなわち縫合するのに十分な重複画像情報を有するために、視野３１と視野３４との間にはＸ次元に小さな重複がある。また、第二の照明野タイプを用いて取得された画像どうしを位置合わせし、デジタル式に併合するのに十分な重複画像情報を有するために、視野３３と視野３５との間にはＸ次元に小さな重複がある。Ｘ方向に３３mmの範囲を有する視野３０Ａ〜３０Ｈの実施態様においては、同じ照明野タイプを用いて取得された視野どうしの間でＸ方向に約５mmの重複が効果的であることがわかった。さらに、異なる照明タイプを用いて取得された視野どうしの間ではＸ方向に約１５mmの変位が好ましい。
【００１７】
収集される視野の数を増し、同じ照明野タイプを用いて生成された画像どうしを位置合わせし、デジタル式に併合、すなわち縫合するのに十分な画像重複を保証することにより、太陽電池１２上の各形体の画像を二つ以上の照明野タイプを用いて取得することもできる。最後に、照明タイプごとに生成された縫合画像を互いに対して位置合わせすることができる。好ましい実施態様において、システム費用を減らすため、加工対象物輸送コンベヤ２６は、検査要求基準よりも低い位置精度を有する。たとえば、エンコーダ２０は１００ミクロンの解像度を有することができ、コンベヤ２６は０．５mm以上の位置精度を有することができる。Ｘ方向における視野の画像縫合が太陽電池１２の位置誤差を補正する。
【００１８】
各照明野が空間的に均一であり、一貫した角度から照明することが望ましい。また、照明システムがコンパクトであり、高い効率を有することが望ましい。図７〜９を参照して、二つの従来技術照明システムである線光源及びリング光源の問題点を論じる。線光源は、高い効率を有するが、投射光の方位角における均一性に劣る。リング光源は、投射光の方位角において良好な均一性を有するが、コンパクトではなく、大きなアスペクト比のカメラアレイとで使用される場合、効率が劣る。
【００１９】
図７は照明の座標系を画定する。方向Ｚは太陽電池１２に対して垂直であり、方向Ｘ及びＹは、太陽電池１２又は他の加工対象物上の水平位置を画定する。角度βは照明の仰角を画定する。角度γは、法線に対する照明光線角度を冗長に画定する。角度αは光線の方位角である。ほぼすべての方位角及び仰角からの照明は曇天照明と呼ばれる。主に水平に近い低い仰角βからの照明は暗視野照明と呼ばれる。主に垂直に近い高い仰角βからの照明は明視野照明と呼ばれる。良好な汎用照明システムは、視野全体にかけて均一な放射照度を有する光照射野を作り出し（空間均一性）、視野全体にかけて一貫した角度から照明する（角度均一性）。
【００２０】
図８は、カメラアレイ視野３２を照明する公知の線光源４８を示す。線光源４８は、ＬＥＤアレイ４６を使用して、光を狭い長方形の視野３２に効率的に集中させることができる。線光源４８を使用する欠点は、標的が、光源に面する二つの方向から対称な照明を受けるが、視野の長軸に面する方向からは光を受けないということである。
【００２１】
図９は、二つの線光源の照明方向を示す二軸極座標プロットである。極座標プロットは、光源４８にもっとも近い方向（０°及び１８０°の方位角）から強い照明がカメラアレイ視野３２によって受けられ、９０°及び２７０°の方位角からは照明が受けられないことを示す。方位角が０°と９０°の間で変化するとき、光源仰角は低下し、光源はより小さな角度に対面し、より少ない光しか受けられなくなる。カメラアレイ視野３２は、方位角とともに強さ及び仰角が変化する光を受ける。線光源４８は視野３２を効率的に照明するが、方位角における均一性が劣る。対照的に、公知のリング光は、方位角において良好な均一性を有するが、大きなアスペクト比のカメラ視野３２にとって許容可能な空間均一性を提供するために大きく作られなければならない。
【００２２】
リング光は、方位角において許容可能な均一性を提供するために使用することができるが、Ｙ方向に約１７０mmのカメラ視野３２の場合、リング光は、許容可能な空間均一性を提供するためには非常に大きくならなければならない。一般的な検査用途の場合、十分な空間均一性を提供するためには、リング光は直径５００mmを超える必要があると考えられる。この大きすぎるリングは、いくつかの点で市場ニーズを満たすことができない。大きなサイズがアセンブリライン上の貴重な空間を消費し、大きな光源は、構築するのに費用を要し、照明角が作業の場全体で一貫せず、非常に非効率的である。光出力が５００mm円の有意な部分で散乱する一方、実際には太陽電池の細い長方形しか画像化されない。
【００２３】
ライトパイプと呼ばれる光学装置を使用すると、照明のための非常に均一な光照射野を生成することができる。たとえば、米国特許第１，５７７，３８８号は、フィルムゲートを背面照明するために使用されるライトパイプを記載している。しかし、従来のライトパイプは、均一な照明を提供するためには物理的に長くなる必要がある。
【００２４】
図１０〜１２を参照してライトパイプ原理の簡単な説明を提供する。その後、図１３〜１７を参照して、均一な照明に求められるライトパイプの長さを有意に減らす本発明の実施態様を説明する。一つの実施態様において、ライトパイプの内壁は、光を一方向だけに散乱させる反射材で構築されている。本発明のもう一つの実施態様において、ライトパイプは、均一かつ効率的に照明された加工対象物の画像を取得するためにカメラアレイの簡単な組み込みを可能にする入力及び出力ポートで構成されている。
【００２５】
図１０は、光源６０及びライトパイプ６４からなる照明装置６５を示す。中空の箱形ライトパイプ６４が、記載されるように使用されると、均一な暗視野照明パターンを生成する。カメラ２が、ライトパイプの両端のアパーチャ６７及び６９を通してライトパイプ６４の長手方向に加工対象物１１を見おろす。光源６０、たとえば放物線状反射板中のアーク灯が、光が所望の仰角で下降するような内反射面を有するライトパイプ６４の入口アパーチャ６７の中に光を投射するように配設されている。あるいはまた、光源仰角の範囲が加工対象物１１における所望の仰角範囲に一致する限り、レンズ付きＬＥＤ又は他の光源を使用することもできる。光源は、ストロボ照明型又は連続型のいずれであってもよい。光源６０からの扇形の光線は、最後に側壁の一つに衝突するまでパイプを横切って下方に進む。扇形の光線はパイプの角で方位角方向に分割され、拡がるが、仰角は保存される。その後、この拡大した扇形の光線は拡がり、多くの異なる側壁部分に衝突して、そこで方位角方向にさらに拡がり、ランダム化されるが、仰角においてはほとんど変化しない。数多くの反射ののち、出口アパーチャ６８及び加工対象物１１においてはすべての方位角が存在する。したがって、標的上のすべての地点が、すべての方位角からの光によって照明されるが、元の光源に存在した仰角からの光によってしか照明されない。加えて、加工対象物１１における照明野は空間的に均一である。空間的に均一な照明の条件の場合にリング光に必要なサイズとは対照的に、ライトパイプ６４の横方向の大きさが視野よりもわずかに大きいだけであることに注目すること。
【００２６】
図１１は、小さな範囲の仰角及び方位角からのほぼ平行な光線束である光源における照明方向の極座標プロットを示す。
【００２７】
図１２は、加工対象物１１における光線の極座標プロットであり、光源の角度的拡がりが比較のために含まれている。加工対象物１１においてはすべての方位角が存在するが、光源の仰角は保存されている。
【００２８】
照明装置６５を出る光の仰角は光源６０に存在するものと同じであるため、この角度を特定の用途に合わせて調節することは相対的に容易である。より低い照明仰角が望まれるならば、光源をより水平線に近く照準すればよい。光は、ライトパイプの下縁よりも低い角度からは標的に到達することができないため、照明角の下限はライトパイプ下縁の離間距離によって決まる。照明方位角をランダム化、すなわち均一化するためには何回かの反射が必要であるため、照明仰角の上限はライトパイプ６６の長さによって決まる。所与の長さのライトパイプ６４の場合、仰角が増すにつれ、加工対象物１１に到達するまでの跳ね返りの回数は減る。
【００２９】
多角形ライトパイプホモジナイザはその角でしか新たな方位角を形成せず、したがって、均一な出力を得るためには多数回の反射が必要である。ライトパイプ側壁のすべての部分が光パターンを方位角方向に拡げる、又はランダム化することができるならば、より少ない回数の反射しか要らず、Ｚ方向のライトパイプの長さを減らして、照明装置をより短く及び／又はＹ方向により幅広にすることができるであろう。
【００３０】
図１３及び１４は、光を一軸のみに拡散又は散乱させるライトパイプ側壁を有する本発明の実施態様を示す。この実施態様においては、仰角を維持しながらも光束の方位角が反射のたびに拡がることが好ましい。これは、図１３に示すような湾曲したファセット付き反射面７０をライトパイプ側壁６６の内面に加えることによって達成される。側壁６６の断面図が図１４Ａ及び１４Ｂに示されている。図１４Ａは、平行な光線束６２が反射面７０上の円柱形湾曲の軸に対して垂直に拡がる様子を示す。図１４Ｂにおいて、光線束６２の反射の角度は反射面７０上の円柱形湾曲の軸に沿って維持されている。したがって、反射面７０の各地点の表面法線がＺ成分を有しないため、光源の仰角は維持される。反射面７０の湾曲した、すなわちファセット付きの表面は、ライトパイプ壁６６の全面にわたって反射のたびに一定範囲の新たな方位角を作り出し、したがって、光源の方位角は速やかにランダム化される。本発明の実施態様は、屈折面、回折面及び反射面の組み合わせをライトパイプ側壁６６の内面に使用して実現することができる。
【００３１】
一つの態様において、反射面７０は円柱の切片において湾曲している。これが、一次元ランベルト面を近似しながら入射光を一つの軸には均等に拡げるが、他方の軸には拡げない。この形状はまた、シートメタルにおいて形成しやすい。もう一つの態様において、反射面７０は正弦波形状を有する。しかし、正弦波形状は、山と谷がより多くの湾曲を有し、斜辺においては湾曲が小さいため、光束６２の角度の拡がりは、斜辺よりも山と谷において強くなる。
【００３２】
図１５Ａ及び１５Ｂは、カメラアレイ４のためのライトパイプ照明装置４１の内面に適用された湾曲した反射面を示す。ライトパイプ照明装置は側壁６６及び光源８７を含む。一次元拡散反射面７０が、平面的な反射性内面で構成されたライトパイプよりも速やかに方位角をランダム化する。これが、よりコンパクトなライトパイプを使用することを可能にし、それが、カメラアレイ４をより加工対象物に近づけることを可能にする。図１５Ｂは、数回の反射ののち光線が方位角においてランダム化される様子を示す。
【００３３】
多数の光源が使用されるならば、ライトパイプ照明装置４２は、照明装置４１に比べてＺ方向に短縮することができる。多数の光源、たとえば平行なＬＥＤの列は、空間的に均一な光源を達成するために必要な合計反射回数を減らし、ひいては、必要なライトパイプ長さを減らす。照明装置４２は、同じくストロボ式アーク灯光源であることができる光源８７Ａ〜８７Ｅによって照明される。
【００３４】
図１７Ａ〜１７Ｂに示す本発明のもう一つの態様において、照明装置４３は、光源８７からの入力ビームの部分を所望の光源仰角に反射させるミラー６７を含む。多光源の実施態様と同様に、これもまた、比較的短いライトパイプの中で空間的に均一な光照射野を生じさせる。ミラー６７は、標的の視認を妨げないようにカメラとカメラとの間に配置され、また、各ミラーが光源６７からの光の一部分を遮るように異なる高さで配置されている。ミラー６７は、光を所望の仰角でライトパイプ側壁６６に向けて反射させるように成形されており、ライトパイプ側壁において、湾曲した反射面７０が光源方位角方向を速やかにランダム化する。ミラー６７の断面図が図１７Ｂに示されている。ミラー６７は、たとえば、一連のシェブロンに形成されている平坦なミラーであることができる。
【００３５】
本発明のもう一つの実施態様において、図１８及び１９は、カメラアレイ４とで一体化された照明装置４４を示す。光は、光源８８により、ミラー５４及び５５、上アパーチャ板５８及び拡散板５２によって画定された光混合チャンバ５７の中に注入される。５４、５５及び５８の内面は反射性であるが、拡散板５２は、好ましくは、半透明の光拡散材料で構成されている。上板５８にはアパーチャ５６が設けられ、拡散板５２にはアパーチャ５０が設けられて、カメラ２が遮られずに加工対象物を見ることができるようにしている。拡散板５２及びアパーチャ５０をより見やすくするために、図１８と比べて、図１９においてはミラー５５が除かれている。
【００３６】
光源８８によって投射された光はミラー５４及び５５ならびにアパーチャ板５８によって反射される。光が混合チャンバ５７中で反射するとき、拡散板５２もまた、この光の一部分を反射させ、混合チャンバ５７の中に戻す。混合チャンバ５７内での複数回の反射ののち、拡散板５２は均一に照明される。拡散板５２を通って伝達された光は、図１３及び１４を参照して詳述したような、反射面７０で構成されている照明装置４４の下寄り区分の中に放出される。反射面７０は、拡散板５２によって放出された照明仰角を保存する。結果は、加工対象物１２における空間的に均一な照明野である。図２０は、照明装置４４の出力照明方向を示す極座標プロットである。照明装置４４は、照明がほぼすべての仰角及び方位角からほぼ等しいために曇天と呼ばれる、図２０に示すような出力光照射野を作り出す。しかし、出力仰角の範囲は、拡散板５２の拡散性によって制御することができる。
【００３７】
図２１は、光学検査センサ９４のもう一つの実施態様を示す。光学検査センサ９４は、カメラアレイ４及び組み込まれた照明装置４５を含む。照明装置４５は、独立制御される曇天照明及び暗視野照明を容易にする。光源８７を付勢することによって暗視野照明場が太陽電池１２上に生成される。光源８８を付勢することによって曇天照明場が太陽電池１２上に生成される。図２２は曇天照明及び暗視野照明の極座標プロット及び照明方向を示す。一つの態様において、光源８７及び８８は、太陽電池１２のノンストップ輸送による動きのぶれ効果を抑えるためにストロボ照明する。
【００３８】
様々な物体形体の画像コントラストが、形体ジオメトリ、色、反射性及び各形体に入射する照明の角スペクトルを含むいくつかの要因に依存して異なるということが当業者によって理解されよう。各カメラアレイの視野は、異なる照明要件を有する多種多様な形体を含むことがあるため、本発明の実施態様は、加工対象物１２上の各形体及び位置を二回以上画像化することによってこの難題に取り組み、これらの画像それぞれは、異なる照明条件下で捕獲されたのち、デジタルメモリに記憶される。一般に、異なる照明場タイプを用いて取得された二つ以上の画像からの物体形体データを使用することにより、検査性能を改善することができる。
【００３９】
本発明の実施態様は、暗視野照明場及び曇天照明場のような二つの照明タイプに限定されず、特定の照明装置構成にも限定されないということが理解されよう。光源は、加工対象物１２に対して直接投射することもできる。光源はまた、様々な波長、すなわち色を有することができ、加工対象物１２に対して様々な角度に配置されることができる。光源を加工対象物１２の周囲に様々な方位角で配置して、様々な四半分から照明を提供することもできる。光源は、加工対象物１２の動きを「フリーズ」させ、画像における動きのぶれを抑えるのに十分なエネルギーの光パルスを放出する多数の高出力ＬＥＤであることもできる。明視野照明場を生成する、又は加工対象物１２の基材を透過して、検査される形体を背面照明する光源を含む数多くの他の照明構成が本発明の範囲内である。たとえば、シリコンは近赤外波長において半透明であるため、基材中の微小亀裂及び穴を検査するために太陽電池１２をストロボ近赤外光で背面照明するのに特に効果的である。
【００４０】
いくつかの太陽電池検査要件が、三次元画像データを全速生産速度で捕獲する必要を強いる。これらの要件としては、メタライゼーションプリント高さ及びウェーハの反りを計測することがある。コレクタフィンガの輪郭のような三次元情報は、たとえば周知のレーザ三角測量、位相プロフィロメトリー又はモアレ法を使用して計測することもできる。本発明に譲受人に譲渡された米国特許第６，５７７，４０５号（Kranzら）は、代表的な三次元画像化システムを記載している。立体視ベースのシステムもまた、高速三次元画像データを生成することができる。
【００４１】
立体視システムは周知である。市販の立体システムは１９世紀の立体鏡までさかのぼる。近年には、二つのカメラ立体画像対（Scharstein及びSzeliskiによる「A Taxonomy and Evaluation of Dense Two-Frame Stereo Correspondence Algorithms」）又は多数のカメラ（Robert T. Collinsによる「A Space-Sweep Approach to True Multi-Image Matching」）を評価するためのかなりの量の作業がコンピュータの使用において実施されている。この最後の参考文献は、航空偵察のために標的に対して動かされる一つのカメラに言及している。
【００４２】
代替の立体視システムは、反射光パターンにおける明白なテキスチャを作り出すために、構造化された光パターンを標的、すなわち加工対象物に投射する（Sing Bing Kang、Jon A. Webb、C. Lawrence Zitnick及びTakeo Kanadeによる「Multibaseline Stereo System with Active Illumination and Real-time Image Acquisition」）。
【００４３】
太陽電池検査要件を満たすための高速二次元及び三次元画像データを取得するために、多数のカメラアレイを、カメラアレイ視野を重複させながら、立体配置に配設することができる。そして、太陽電池をカメラアレイに対してノンストップで移動させることができる。多数のストロボ照明野が太陽電池の画像を効果的に「フリーズ」させて動きのぶれを抑える。
【００４４】
図２３は、立体配置に配設されたカメラアレイ６及び７を示す。カメラアレイ６及び７は、重複するカメラアレイ視野３７によって太陽電池１２を画像化する。見やすくするため、照明システムは除かれている。
【００４５】
図２４は、立体画像データの高速取得のための、照明装置４０を組み込まれた光学検査センサ９８の切り欠き斜視図である。カメラアレイ３及び５が、太陽電池１２における視野が重複する状態で、立体配置に配設されている。太陽電池１２は、検査センサ９８に対してノンストップで移動する。カメラアレイ３及び５の視野３６が遮られないよう、上アパーチャ板５９はアパーチャ５６を含み、半透明な拡散板５３はアパーチャ５０を含む。光源８８の付勢が太陽電池１２上に曇天照明野タイプを作り出し、光源８７の付勢が暗視野照明野タイプを作り出す。太陽電池１２を透過する、又はその縁を通過する光がカメラアレイ３及び５によって捕獲されるようなストロボ照明装置の適当な配設により、背面照明のような他の照明野タイプを達成することもできる。画像取得シーケンスは、たとえば、ストロボ曇天、暗視野及び背面照明野タイプを交番させながら両方のカメラアレイ３及び５によって同時に捕獲される一連の重複画像であることができる。
【００４６】
再びブロック図３を参照すると、光学検査センサ９８の機能ブロック図は光学検査センサ９４のブロック図に非常に似ている。しかし、光学検査センサ９８の場合、カメラアレイ４は除かれ、カメラアレイ３及び５によって取って代わられ、このカメラアレイ３及び４が他方で主エレクトロニクスボード８０にインタフェースされている。画像メモリ８２は、好ましくは、一つの太陽電池１２に関してカメラアレイ３及び５によって生成されたすべての画像を記憶するのに十分な容量を含む。画像データは、画像メモリ８２から読み出され、PCI Express（ＰＣＩｅ）のような高速電気インタフェースを介してシステムコンピュータ７６に転送される。
【００４７】
アプリケーション検査プログラム７１が、カメラアレイ３及び５からの画像データの間の画像形体の不一致又はオフセットを使用する公知の立体法によって三次元画像データを計算する。太陽電池ウェーハ１２の性質及び欠陥、たとえばウェーハジオメトリ、縁の欠け、穴、亀裂、微小亀裂、表面検査、反り、ソーマーク及び色に関してアプリケーションプログラム７１によって検査結果が計算される。位置、厚さ、幅、長さ及び途切れに関するプリント検査結果もまた、アプリケーションプログラム７１によって計算することができる。また、基準点、たとえば太陽電池１２の表面上にレーザエッチングされたものを計測することにより、メタライズされたプリントの位置合わせを高めることもできる。これらの基準点は、多くの場合、暗視野照明画像において良好なコントラストを示し、位置合わせを計測するための座標系を確立するために使用することができる。二次元及び／又は三次元画像データの組み合わせをこれらの検査計算のいずれにも使用することができる。
【００４８】
図２５は、カメラアレイ６及び７が、太陽電池１２におけるカメラアレイ視野３７が重複する状態で立体配置に配設されているもう一つの実施態様を示す。見やすくするために、組み込まれた曇天及び暗視野照明装置は除かれている。立体視システムは、物体上に観測可能な構造が存在しない場合、働かないことがある。これを解決する方法は、立体配置に配設されたカメラによって見ることができる人工的構造又は「テキスチャ」をパターン化された光源によって表面に加えることである。構造化された投光器８がカメラアレイ視野３７の上方でストロボ光パターンを太陽電池１２に投射する。光パターンは、たとえば、レーザ縞、一連のレーザ縞又はランダムなドットパターンであることができる。カメラアレイ６及び７によって見られる投射パターンの不一致をアプリケーションプログラム７１によって使用して三次元画像データを計算することができる。画像取得シーケンスは、ストロボ曇天、暗視野及び構造化された光パターン照明野タイプを交番させながらカメラアレイ６及び７によって同時に捕獲される一連の重複画像であることができる。
【００４９】
図２６は、立体配置に配設されたカメラアレイ６及び７ならびに構造化された投光器８を有するもう一つの実施態様を示す。見やすくするために、組み込まれた曇天及び暗視野照明装置は除かれている。太陽電池１２形体の二次元計測を改善するために、カメラアレイ６は、太陽電池を垂直方向から見、図２５に示すように斜めからは見ないように配設されている。
【００５０】
図２７は、太陽電池１２上のカメラアレイ視野３８を見るように配設されたカメラアレイ６を有するもう一つの実施態様を示す。構造化された投光器８がカメラアレイ視野３８の上方でストロボ光パターンを太陽電池１２に投射する。光パターンは、たとえば、レーザ縞、一連のレーザ縞、正弦波パターン又はランダムなドットパターンであることができる。公知の方法により、カメラアレイ６によって観測される投射光パターンの位置を計測することによって太陽電池１２までの射程及びその形体が計算される。見やすくするため、場合によって用いられる曇天、暗視野、明視野、背面照明又は他の光源は示されていない。
【００５１】
好ましい実施態様を参照して本発明を説明したが、当業者は、本発明の真意及び範囲を逸脱することなく、形態及び詳細において変更を加えることができることを理解するであろう。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【国際調査報告】
2013505465.tif 000032
2013505465.tif 000033