(57)【要約】  本発明は、真空チャンバを排気する真空ポンプ輸送システム（１０）であって、真空ポンプ（１６）と、ガスを真空ポンプに運ぶ複数本のフォアライン（２２，２４）とを有し、第１の低真空チャンバ排気段では、ガスを真空ポンプに運ぶために第１のフォアライン装置（２２）を連結するのが良く、第２の高真空チャンバ排気段では、ガスを真空ポンプに運ぶためにフォアラインのうちの１本又は２本以上を有する第２のフォアライン装置（２２，２４）を連結するのが良く、第２のフォアライン装置は、第１のフォアライン装置の全流体運搬断面積よりも大きな全流体運搬断面積を有することを特徴とする真空ポンプ輸送システムに関する。
2013534987.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバを排気する真空ポンプ輸送システムであって、前記真空ポンプ輸送システムは、
真空ポンプと、ガスを前記真空ポンプに運ぶ複数本のフォアラインとを有し、第１の低真空チャンバ排気段では、ガスを前記真空ポンプに運ぶために第１のフォアライン装置を連結するのが良く、第２の高真空チャンバ排気段では、ガスを前記真空ポンプに運ぶために前記フォアラインのうちの１本又は２本以上を有する第２のフォアライン装置を連結するのが良く、前記第２のフォアライン装置は、前記第１のフォアライン装置の全流体運搬断面積よりも大きな全流体運搬断面積を有する、真空ポンプ輸送システム。
【請求項２】
前記第２のフォアライン装置の前記フォアラインのうちの少なくとも１本は、前記比較的低い真空チャンバ排気段の間、前記第１のフォアライン装置から隔離される、請求項１記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項３】
前記第２のフォアライン装置は、前記第１のフォアライン装置の前記フォアラインのうちの１本又は２本以上を有する、請求項１又は２記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項４】
前記第２のフォアライン装置は、前記複数本のフォアラインを有する、請求項３記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項５】
前記第１のフォアライン装置は、第１のフォアラインを有し、前記第２のフォアライン装置は、前記第１のフォアライン及び第２のフォアラインを有する、請求項１〜４のうちいずれか一に記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項６】
前記第１のフォアラインは、前記第２のフォアラインの断面積よりも小さい第１の断面積を有する、請求項５記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項７】
前記第１のフォアラインは、１０4〜１０5ｍｍ2の断面積を有し、前記第２のフォアラインは、１０5〜１０6ｍｍ2の断面積を有する、請求項６記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項８】
前記第１の比較的低い真空チャンバ排気段の間、ガスを前記真空ポンプに運ぶ前記第１のフォアライン装置を選択し、圧力が所定の圧力未満に減少すると又はチャンバ排気開始から所定の時点でガスを前記真空ポンプに運ぶ前記第２のフォアライン装置を選択するよう構成された制御ユニットを有する、請求項１〜７のうちいずれか一に記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項９】
前記所定の圧力は、０．１ｍｂａｒ〜１０ｍｂａｒである、請求項８記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項１０】
前記制御ユニットは、前記制御ユニットから受け取った制御信号に従って前記第１のフォアライン装置又は前記第２のフォアライン装置を通るガスの流量を制御するために少なくとも１つの弁に動作可能に接続されている、請求項８又は９記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項１１】
前記第２のフォアラインを前記真空ポンプ輸送システムから隔離するために前記第１のフォアラインの上流側に設けられた第１の弁及び前記第２のフォアラインの下流側に設けられた第２の弁を有する、請求項１０記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項１２】
前記制御ユニットは、前記真空ポンプ輸送システム内の圧力を検出するための圧力センサから圧力信号を受け取るよう動作可能に接続され、前記制御ユニット、前記圧力信号が所定量を下回る前記真空ポンプ輸送システム内の圧力の減少を指示している場合、制御信号を出力するよう構成されている、請求項８〜１１のうちいずれか一に記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項１３】
前記第１のフォアライン装置は、前記真空チャンバの容積よりも少なくとも一桁少ない容積を有し、前記第２のフォアライン装置は、前記真空チャンバの容積と同一桁数の又はこれよりも多い容積を有する、請求項１〜１２のうちいずれか一に記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項１４】
前記第２のフォアライン装置の前記全断面積は、排気速度が前記真空ポンプのポンプ輸送速度によって制限されるが、前記第２のフォアライン装置のコンダクタンスによっては制限されないよう寸法決めされている、請求項１〜１３のうちいずれか一に記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項１５】
前記真空ポンプは、一方又は両方のフォアライン装置によって第２の真空ポンプに連結され、前記第２の真空ポンプは、前記真空チャンバに連結されている、請求項１〜１４のうちいずれか一に記載の真空ポンプ輸送システム。
【請求項１６】
真空チャンバを排気する方法であって、前記方法は、流体を真空ポンプに運ぶ第１のフォアライン装置を連結して第１の比較的低い真空チャンバ排気段において前記第１のフォアライン装置を通ってガスを排気するステップと、ガスを前記真空ポンプに運ぶ第２のフォアライン装置を連結して第２の高い真空チャンバ排気段において前記第２のフォアライン装置を通ってガスを排気するステップとを有し、前記第２のフォアライン装置は、前記第１のフォアライン装置の全断面積よりも大きな全断面積を有する、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバを排気する真空ポンプ輸送（吸込み送出し）システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
多くの物品の製造には、真空チャンバの使用が必要である。例えば、シリコンウェーハの処理は、高真空中で行われる。加うるに、例えばフラットパネルディスプレイや太陽電池のような装置は、真空チャンバ内での処理を必要とする。これら後者の例では、真空チャンバは、比較的大型の物品も処理するために比較的大きな容積を有することが必要とされる場合がある。典型的には、処理サイクルの一部として、真空チャンバ内の圧力は、大気圧（１ｂａｒ）と、処理圧力（例えば、０．０１ｍｂａｒ）との間でサイクル動作することが必要になる。製造速度及び効率を向上させるため、真空ポンプ輸送システムによって真空チャンバからガスを排気することができる速度を増大させることが望ましい。
【０００３】
真空ポンプ輸送システムは、真空ポンプと、真空ポンプが真空チャンバからガスを排気することができるよう真空ポンプの入口を真空チャンバに連結するフォアラインとを有する場合がある。ガスの排気可能速度は、例えば、ポンプの圧縮度及び容量及び更にフォアラインのコンダクタンスに依存する。したがって、フォアラインに大きなコンダクタンスを与えてフォアラインが真空チャンバの排気に対して比較的小さい抵抗をもたらすようにすることが望ましい。フォアラインコンダクタンスが小さい場合、圧力を特に低圧で減少させることができる速度は、極めて遅くなる場合がある。さらに、コンダクタンスが低すぎる場合、高い真空標的圧力を達成することができない場合がある。広い断面又は直径を備えたパイプを用いると、大きなコンダクタンスを得ることができる。しかしながら、断面が広いと、フォアラインの内容積部が増大し、真空ポンプが例えば地下ポンプ輸送システムにおいてチャンバから或る程度の距離離して配置されている場合、フォアラインの内容積部は、比較的大きくなる場合がある。チャンバの容積がフォアラインの容積と同等である場合、真空チャンバ及びフォアラインの全体的容積が大きいことに起因してポンプダウンに悪影響を及ぼす場合がある。この点に関し、フォアラインの容積部は、真空チャンバの排気に加えて、所望圧力までの排気を必要とすることは理解されよう。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、真空チャンバを排気することができる速度を増大させるには、１つ又は複数の真空ポンプに大きなポンプ輸送速度又は圧縮度を与えていた。しかしながら、かかるポンプは、一般に、大型であり、電力を多く消費する。
【０００５】
本発明の目的は、改良型真空ポンプ輸送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、真空チャンバを排気する真空ポンプ輸送システムであって、真空ポンプと、ガスを真空ポンプに運ぶ複数本のフォアラインとを有し、第１の低真空チャンバ排気段では、ガスを真空ポンプに運ぶために第１のフォアライン装置を連結するのが良く、第２の高真空チャンバ排気段では、ガスを真空ポンプに運ぶためにフォアラインのうちの１本又は２本以上を有する第２のフォアライン装置を連結するのが良く、第２のフォアライン装置は、第１のフォアライン装置の全流体運搬断面積よりも大きな全流体運搬断面積を有する、ことを特徴とする真空ポンプ輸送システムを提供する。
【０００７】
本発明は又、真空チャンバを排気する方法であって、流体を真空ポンプに運ぶ第１のフォアライン装置を連結して第１の比較的低い真空チャンバ排気段において第１のフォアライン装置を通ってガスを排気するステップと、ガスを真空ポンプに運ぶ第２のフォアライン装置を連結して第２の高い真空チャンバ排気段において第２のフォアライン装置を通ってガスを排気するステップとを有し、第２のフォアライン装置は、第１のフォアライン装置の全断面積よりも大きな全断面積を有することを特徴とする方法を提供する。
【０００８】
本発明は、第３の観点では、真空チャンバ排気装置であって、真空ポンプを真空チャンバにその排気のために連結する複数個のフォアライン装置を有し、フォアライン装置は、真空チャンバと真空ポンプとの間に第１及び第２のフォアライン装置を形成するよう構成された複数本の導管及び弁を有し、第２のフォアライン装置は、第１のフォアライン装置よりもコンダクタンスの高いものであり、真空チャンバ排気装置は、使用にあたり、真空チャンバ内の圧力がしきい圧力よりも低下すると、第１の装置から第２の装置に切り替えるよう構成されていることを特徴とする真空チャンバ排気装置を提供する。
【０００９】
本発明を良好に理解するために、次に、例示として与えられているに過ぎない本発明の２つの実施形態について添付の図面を参照して説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１の真空ポンプ輸送システム及び真空チャンバの略図である。
【図２】４つの真空ポンプ輸送システムについてチャンバ内圧力を経過時間に対してプロットしたグラフ図である。
【図３】第２の真空ポンプ輸送システム及び真空チャンバの略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１を参照すると、真空チャンバ１２を排気する真空ポンプ輸送システム１０が示されている。真空ポンプ輸送システムは、真空チャンバ１２を約１ｍｂａｒ〜０．０１ｍｂａｒまで排気する真空ポンプ１６、例えばルーツポンプ、クローポンプ又はスクロールポンプを有する。２つ又は３つ以上のかかるポンプを直列に又は並列に設けても良く、真空ポンプという用語は、それに応じて解されるべきである。複数本のフォアライン２０又は導管が流体を真空チャンバ１２から真空ポンプ１６に運ぶために真空ポンプ１６を真空チャンバ１２に連結している。第１のフォアライン装置は、フォアラインのうちの１本又は２本以上を有し、この第１のフォアライン装置は、流体を運ぶための第１の全断面積を有する。第１のフォアライン装置は、低真空チャンバ排気段の間、ガスを真空ポンプに運ぶために連結されるのが良い。第２のフォアライン装置が１本又は２本以上のフォアラインを有し、第２のフォアライン装置は、第２の全断面積を有している。第２のフォアライン装置は、高い真空チャンバ排気段の間、ガスを真空ポンプに運ぶために連結されるのが良い。
【００１２】
第１のフォアライン装置の全断面積は、流体を低真空状態で運ぶために適切に寸法決めされている。代表的には、低真空状態では、フォアラインコンダクタンスは、高く、従って、ポンプ輸送速度の制限を阻止するには小さな断面積が妥当である。さらに、第１のフォアライン装置の比較的小さい全断面積は、真空チャンバ及びフォアライン装置の全容積を減少させる。第２のフォアライン装置の全断面積は、流体を高い真空状態で運ぶために適切に寸法決めされている。第２のフォアライン装置の全断面積は、真空チャンバからの排気速度が真空ポンプのポンプ輸送速度によって制限されるが、第２のフォアライン装置のコンダクタンスによっては制限されないよう寸法決めされている。したがって、チャンバ排気速度を増大させることができ、高い真空圧力を得ることができる。
【００１３】
図１に示されている例では、２本のフォアライン２２，２４が設けられている。真空ポンプ輸送システムは、弁２６，２８，３０を有している。主弁２６は、真空チャンバ１２を第１のフォアライン２２又は第２のフォアライン２４に沿って真空ポンプ輸送システム１０に連結するために動作可能である。弁２８，３０は、それぞれ、第２のフォアライン２４の上流側及び下流側に位置している。第１のフォアライン装置では、弁２８，３０は、第２のフォアライン２４を第１のフォアライン弁２２から隔離するよう閉じられ、従って、主弁２６が開いているとき、流体は、フォアライン２２に沿ってのみポンプに運ばれる。第２のフォアライン装置では、弁２８，３０は、流体が第１のフォアライン２２と第２のフォアライン２４の両方に沿って真空ポンプに運ばれるよう開かれる。
【００１４】
図示のように、第１のフォアライン２２は、第２のフォアライン２４の断面積よりも小さい断面積を有する。第１のフォアラインは、１０4〜１０5ｍｍ2の断面積を有するのが良く、第２のフォアラインは、１０5〜１０6ｍｍ2の断面積を有するのが良い。例えば、フォアラインは、断面が円形であるのが良く、第１のフォアラインは、１００ｍｍの直径及び約８，０００ｍｍ2の断面積を有するのが良く、第２のフォアラインは、３２０ｍｍの直径及び約８０，０００ｍｍ2の断面積を有するのが良い。フォアライン２２，２４の長さは、ほぼ同じであり、従って、第１のフォアラインは、第２のフォアラインのコンダクタンス及び容積よりも小さいコンダクタンス及び容積を有する。したがって、第２のフォアライン装置では、第２のフォアラインだけがガスを真空ポンプに運ぶのに連結されるのが良い。しかしながら、フォアライン２２は、第２のフォアライン装置の全断面積及びコンダクタンスを増大させるために両方のフォアラインを通ってガスを運ぶことができるようフォアライン２４に加えて用いられることが好ましい。
【００１５】
変形例として、同等なサイズの２本のフォアラインが第１のフォアライン装置において第１のフォアラインがガスを真空ポンプに運び、第２のフォアライン装置において、両方のフォアラインがガスを真空ポンプに運ぶよう採用されても良い。
【００１６】
さらに、多くのフォアラインが設けられても良く、第１の複数本のフォアラインが第１のフォアライン装置においてガスを真空ポンプに運ぶために選択されるのが良く、第２の複数本のフォアラインが第２のフォアライン装置においてガスを真空ポンプに運ぶために選択されるのが良い。第２のフォアライン装置は、第１のフォアライン装置のフォアラインの１本又は２本以上を有するのが良い。
【００１７】
多くの真空ポンプ輸送システムでは、真空ポンプは、例えば真空ポンプが地下に収納設置された状態で上のフロア上のクリーンルーム内に配置される真空チャンバに連結されるのが良い半導体製造プラントでは、真空チャンバから或る程度の距離離して配置されるのが良い。フォアラインの経路は、真空ポンプを真空チャンバに連結するために多くの回数曲がることが必要な場合がある。各曲がり及びフォアラインの曲がり角度は、コンダクタンスに影響を及ぼす。というのは、多数回の曲がりは、コンダクタンスを減少させるからである。したがって、距離及び曲がり回数は、第１及び第２のフォアライン装置のコンダクタンスを定める際に考慮に入れられる。
【００１８】
次に、図２に示されているグラフ図を参照する。このグラフ図は、ｘ軸上に秒単位でチャンバ排気開始からの経過時間に対してｙ軸上に単位ｍｂａｒでチャンバ内圧力をプロットしている。
【００１９】
このグラフ図は、１６０ｍｍフォアライン、２５０ｍｍフォアライン、３２０ｍｍフォアライン及び３２０／１００ｍｍフォアラインに関する曲線を示しており、これらフォアラインのうちの最後のものは、図１に示されているシステムの例である。試験された真空チャンバは、１ｍ3であり、フォアラインの各々は長さ１５ｍであり、真空チャンバと真空ポンプとの間に５つの曲がり部を有している。
【００２０】
単一の１６０ｍｍ直径フォアラインの場合、プロットは、当初比較的急であり、比較的低いコンダクタンス及び小さい容量の飽和ラインが低真空段の間、チャンバ排気速度の増大を可能にしていることを示している。この点に関し、１６０ｍｍフォアライン内の容積は少なく、従って、排気が必要なチャンバ及びフォアラインの全容積は減少する。しかしながら、これよりも高い真空段の間、プロットは、なだらかになる。というのは、１６０ｍｍフォアラインの比較的低いコンダクタンスがチャンバから排気することができるガスの量を制限するからである。この例では、コンダクタンスの制限は、真空ポンプ輸送システムが真空チャンバを０．０１ｍｂａｒの標的圧力まで排気するのを阻止する。その代わり、プロットは、約０．０３ｍｂａｒでは横這いである。
【００２１】
単一の２５０ｍｍ直径フォアラインの場合、プロットは、１６０ｍｍフォアラインと比較して、最初は緩やかである。というのは、２５０ｍｍフォアラインは、排気すべき容積が大きいからである。しかしながら、２５０ｍｍフォアラインのコンダクタンスは、１６０ｍｍフォアラインのコンダクタンスよりも大きいので、２５０ｍｍフォアラインを有する真空ポンプ輸送システムは、６０秒後、０．０１ｍｂａｒの標的圧力を得ることができる。
【００２２】
単一の３２０ｍｍフォアラインの場合、プロットは、この場合も又、２５０ｍｍフォアラインと比較して緩やかである。というのは、３２０ｍｍフォアラインは、排気すべき容積が大きいからである。しかしながら、３２０ｍｍフォアラインのコンダクタンスは、２５０ｍｍフォアラインのコンダクタンスよりも大きいので、３２０ｍｍフォアラインを有する真空ポンプ輸送システムは、ほんの４８秒後に０．０１ｍｂａｒの標的圧力を得ることができる。
【００２３】
図１に示されている２段３２０／１００ｍｍ直径フォアラインの場合、時刻０でのポンプダウンの開始時に、弁２６は、ガスを１００ｍｍフォアライン２２だけに沿って真空ポンプに運ぶよう動作する。弁２８，３０は、３２０ｍｍフォアライン２４を隔離するよう閉じられる。したがって、第１のフォアライン装置では、低真空チャンバ排気段の間、ガスは、比較的小さい断面積の１００ｍｍフォアライン２２を通ってチャンバから比較的迅速に排気される。チャンバがこの例では１ｍｂａｒである所定圧力に達すると又はこの場合２４秒である所定の経過時間後に、システムは、第１のフォアライン装置から第２のフォアライン装置に切り替える。詳細に説明すると、弁２８，３０は、ガスをフォアライン２４に沿って運ぶことができるよう開かれ、かくして、ガスは、チャンバ（１２）からポンプ（１０）まで１００ｍｍフォアライン２２と３２０ｍｍフォアライン２４の両方に沿って運ばれる。したがって、第２のフォアライン装置では、高い真空、即ち低圧チャンバ排気段の間、ガスは依然として、高い全コンダクタンスのフォアライン２２，２４を通ってチャンバから比較的迅速に排気される。したがって、ほんの４２秒後に０．０１ｍｂａｒの標的圧力に達する。或る場合において真空チャンバ内での処理が２４時間という長い時間にわたって多くの（全てではないとしても）サイクルにわたって起こると仮定すると、真空ポンプ輸送システム１０は、相当な全体的時間の節約を可能にする。
【００２４】
ポンプ排気が完了した後、処理が起こると、真空チャンバは、大気圧に戻ることができるようになり、その結果、処理された物品を取り出すことができる。真空チャンバが大気圧に戻ることができるようにする前に、弁２８，３０は、フォアライン２４をシステムの残部から隔離するよう閉じられる。したがって、フォアライン２４は、高い真空状態のままである。３２０ｍｍフォアライン（２４）は、チャンバポンプダウンの開始時に既に所望の低圧状態まで排気されていることが好ましい。３２０ｍｍフォアラインがまだ排気されていない場合、初期ポンプダウンは、標準のポンプダウンよりも僅かに遅いが、次のポンプダウンは、速くなる。次の真空チャンバのポンプダウン中、システムが第１のフォアライン装置を第２のフォアライン装置に切り替えると、約１ｍｂａｒの圧力状態にある真空チャンバと、約０．０１ｍｂａｒの圧力状態にあるあらかじめ排気されたフォアライン２４との間には圧力勾配が生じる。圧力の均圧化により、図２で理解できるようにチャンバ内圧力の迅速な減少が生じ、図２では、プロットは、２４秒の経過時間後、１ｍｂａｒの圧力と０．３５ｍｂａｒの圧力との間でほぼ垂直である。
【００２５】
再び図１を参照すると、制御ユニット３２は、制御ライン（破線で示されている）によって主隔離弁２６、上流側の補助弁２８及び下流側の補助弁３０に接続されている。制御ユニット３２は、適当なプログラム式コンピュータ又は特注処理ユニットであるのが良い。制御ユニットは、真空チャンバ内の圧力又は経過時間に従って第１のフォアライン装置又は第２のフォアライン装置を選択するために弁を制御するよう構成されている。チャンバ内圧力が圧力信号を制御ユニットに出力することができる圧力計を有する場合、かかる圧力計を用いるのが良く、かかる圧力計は、真空ポンプ輸送システム１０の一部をなさない。変形例として、真空ポンプ輸送システム１０は、圧力を検出して圧力信号を制御ユニット３２に出力する圧力計又はセンサ３４を有しても良い。例えばフォアライン２２内の圧力を測定するのが良い。圧力センサが存在しない場合、所定経過時間後に信号を処理ユニットに出力するためのクロック回路を設けるのが良く、その結果、処理ユニットは、第１のフォアライン装置と第２のフォアライン装置を切り替えることができるようになる。例えば、切り替え時間は、図２に示されているように２０〜３０秒又は２４秒であるのが良い。
【００２６】
グラフ図に示されている例では、システムは第１のフォアライン装置から第２のフォアライン装置に替わる際の所定の圧力は、１ｍｂａｒである。ただし、これは、０．１ｍｂａｒ〜１０ｍｂａｒであっても良い。好ましくは、システムは、第１の低コンダクタンスフォアライン装置の圧力勾配が緩やかになり始めてチャンバ排気が遅くなった時点で切り替えを行う。
【００２７】
第２の真空ポンプ輸送システム４０が図３に示されており、この第２の真空ポンプ輸送システムは、真空チャンバを１０-3〜１０-7ｍｂａｒの範囲に排気するようになっている。第２の真空ポンプ輸送システムは、流体を真空チャンバからフォアライン装置のうちの少なくとも一方を通して図１を参照して上述した真空ポンプ１６に運ぶよう連結された真空ポンプ１４、例えばターボ分子ポンプを有する。この例では、真空ポンプ１６は、ターボ分子ポンプ１４のためのバッキングポンプとして役立つ。ターボ分子ポンプを低真空状態で作動させると、必ずポンプの損傷が生じ又はポンプが停動するので、真空ポンプ１６は、まず、真空チャンバ及びターボ分子ポンプ内の圧力をターボ分子ポンプを安全に作動させることができる圧力まで低下させるよう作動される。適当な安全圧力は、１ｍｂａｒ〜１０-3ｍｂａｒであるのが良い。適当な安全圧力までの圧力の減少を達成するため、真空ポンプ１６は、図１を参照して上述したフォアラインとほぼ同じフォアラインにより真空ポンプ１４に連結され、説明が煩雑になるのを避けるため、フォアラインに関する図１及び図２の構成の説明全体を繰り返すことはしない。しかしながら、かいつまんで言えば、図３では、真空ポンプ１４は、主弁１８を介して真空チャンバに連結され、主弁１８は、真空ポンプ１４を真空チャンバから隔離するよう閉鎖可能であり、又、ガスが真空ポンプ１４まで流れることができるように開放可能である。ライン４２が真空ポンプ１４の排気部をフォアライン２４に連結している。
【００２８】
複数本のフォアライン２０がチャンバ１２から排気されたガスを真空ポンプ１６まで運ぶために真空ポンプ１６をチャンバ１２に連結している。第１のフォアライン装置は、フォアラインのうちの１本又は２本以上を有し、かかる第１のフォアライン装置は、第１の全断面積を有する。第１のフォアライン装置は、低真空チャンバ排気段（例えば、１ｍｂａｒの圧力まで）の間、ガスを真空ポンプ１６に運ぶために連結可能である。すなわち、チャンバ１２は、当初、フォアライン２２を介して排気される。第２のフォアライン装置は、１本又は２本以上のフォアラインを有し、この第２のフォアライン装置は、第１の断面積よりも大きな第２の全断面積を有する。第２のフォアライン装置は、高い真空チャンバ排気段（例えば、１ｍｂａｒの圧力未満）の間、ガスを真空ポンプ１６に運ぶために連結可能である。すなわち、チャンバ１２は、第２の排気段の間、両方のフォアライン２２，２４を介して排気される。この例では、真空ポンプを１ｍｂａｒを超える圧力で作動させることは安全ではなく、従って、真空ライン４２は、フォアライン２４にのみ連結される必要がある。というのは、真空ポンプ輸送システムは、ポンプ１４の安全作動圧力を超えた圧力では第２のフォアライン装置への切り替えを行うからである。真空ポンプ１４の安全作動圧力が切り替え圧力を超える（例えば、１ｍｂａｒを超える）場合、真空ラインは、両方のフォアライン２２，２４に連結されるのが良い。
【００２９】
図３の構成は、図１及び図２を参照して上述したように改造及び変形が可能である。
【図１】
2013534987.tif 000003
【図２】
2013534987.tif 000004
【図３】
2013534987.tif 000005