(57)【要約】  ウェブ材料（Ｎ）への導電性材料の真空蒸着によってＲＦＩＤアンテナを製造するための方法であって、導電性材料の少なくとも第１および第２の蒸着が、アンテナの形状に対応するパターンに従って連続する工程にて実行される方法が説明される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性材料のウェブ材料への真空蒸着によってＲＦＩＤアンテナを製造するための方法であって、
ａ．気化源によって送り出される導電性材料が、製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応する表面についてのみウェブ材料に付着するよう、ウェブ材料への導電性材料の付着を防止する液体を、製造すべきＲＦＩＤアンテナのパターンに対して相補的なパターンに従って前記ウェブ材料へと塗布するステップと、
ｂ．ＲＦＩＤアンテナの形状に対応するパターンに従って、前記導電性材料の少なくとも第１の蒸着を実行するステップと、
ｃ．ＲＦＩＤアンテナを形成する導電性材料が所定の厚さに達するために充分な回数だけ、ステップ（ａ）および（ｂ）を繰り返すステップと
を特徴とする方法。
【請求項２】
１回目の塗布の後の前記液体の各々の塗布において、該液体の塗布における前記相補的なパターンが、それまでの段階において塗布された導電性材料に同調されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ａ．ウェブ材料を処理ローラの周囲に供給するステップと、
ｂ．前記相補的なパターンに従ってウェブ材料へと前記液体を塗布するステップと、
ｃ．製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応するパターンに従って前記ウェブ材料へと導電性材料を蒸着するステップと、
ｄ．ＲＦＩＤアンテナを形成する導電性材料が所定の厚さに達するために充分な回数だけ、ステップ（ａ）および（ｂ）を繰り返すステップと
を特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
供給経路に沿って直列に配置された少なくとも第１および第２の処理ローラを順に巡ってウェブ材料を送るステップと、
前記相補的なパターンに従ってウェブ材料へと前記液体を塗布するステップと、
第１の処理ローラに組み合わせられた第１の気化源によって、製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応するパターンに従って、前記ウェブ材料へと第１の量の導電性材料を蒸着するステップと、
前記相補的なパターンに従ってウェブ材料へと前記液体を再び塗布するステップと、
第２の処理ローラに組み合わせられた第２の気化源によって、製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応するパターンに従って、前記ウェブ材料へと第２の量の導電性材料を蒸着するステップと
を特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項５】
供給経路に沿って直列に配置されたさらなる処理ローラに組み合わせられたさらなる気化源によって、製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応するパターンに従って、前記ウェブ材料へとさらなる量の導電性材料を蒸着するステップ
を特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
各々の処理ローラの上流に液体塗布器を配置し、それぞれの処理ローラに組み合わせられた気化源によるそれぞれの量の導電性材料の蒸着に先立って、それぞれの塗布器によってウェブ材料へと前記液体を塗布することを特徴とする請求項４または５に記載の方法。
【請求項７】
ａ．処理すべきウェブ材料のリールを、繰り出し機と、処理ローラと、該処理ローラに組み合わせられた気化源と、巻き取り機とを少なくとも備える金属化システムに配置するステップと、
ｂ．処理すべきウェブ材料の前記リールを、前記繰り出し機によって繰り出すステップと、
ｃ．処理すべきウェブ材料の前記リールから繰り出されるウェブ材料を、供給経路に沿って処理ローラを巡って送るステップと、
ｄ．前記処理ローラの上流でウェブ材料へと前記液体を塗布するステップと、
ｅ．前記気化源によって、製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応するパターンに従って、ウェブ材料へと第１の量の導電性材料を蒸着するステップと、
ｆ．ウェブ材料を巻き取りリールに巻き取るステップと、
ｇ．処理すべきウェブ材料のリールの処理が終わった後で、巻き取りリールを繰り出し機に配置し、ステップ（ｂ）〜（ｆ）を１回以上繰り返し、同じパターンに従い、パターンを同調させて、さらなる量の導電性材料を蒸着するステップと
を特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項８】
ａ．処理すべきウェブ材料のリールを、少なくとも繰り出し機と、前記液体の塗布器と、処理ローラと、該処理ローラに組み合わせられた気化源と、巻き取り機とが配置された真空チャンバを備える金属化システムに配置するステップと、
ｂ．真空チャンバを閉じ、該真空チャンバ内に導電性材料の蒸着に充分な程度の真空を生成するステップと、
ｃ．処理すべきウェブ材料の前記リールを、前記繰り出し機によって繰り出すステップと、
ｄ．処理すべきウェブ材料の前記リールから繰り出されるウェブ材料を、供給経路に沿って処理ローラを巡って送るステップと、
ｅ．前記処理ローラの上流でウェブ材料へと前記液体を塗布するステップと、
ｆ．前記気化源によって、製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応するパターンに従って、ウェブ材料へと第１の量の導電性材料を蒸着するステップと、
ｇ．ウェブ材料を巻き取りリールに巻き取るステップと、
ｈ．前記蒸着チャンバの圧力を大気圧に戻すステップと、
ｉ．リールを巻き取り機から取り外すステップと、
ｊ．巻き取りリールを繰り出し機へと移すステップと、
ｋ．ステップ（ｂ）〜（ｊ）を１回以上繰り返し、同じパターンに従い、パターンを同調させて、さらなる量の導電性材料を蒸着するステップと
を特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項９】
ａ．処理すべきウェブ材料の送り出しリールを、繰り出し機と、前記液体の塗布器と、処理ローラと、該処理ローラに組み合わせられた気化源と、巻き取り機とを少なくとも備える金属化システムに配置するステップと、
ｂ．処理すべきウェブ材料の前記リールを、前記繰り出し機によって繰り出すステップと、
ｃ．処理すべきウェブ材料の前記リールから繰り出されるウェブ材料を、供給経路に沿って処理ローラを巡って送るステップと、
ｄ．前記処理ローラの上流でウェブ材料へと前記液体を塗布するステップと、
ｅ．前記気化源によって、製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応するパターンに従って、ウェブ材料へと第１の量の導電性材料を蒸着するステップと、
ｆ．ウェブ材料を巻き取りリールに巻き取るステップと、
ｇ．ウェブ材料を巻き取りリールから繰り出し、繰り出し機に位置するリールに再び巻き取るステップと、
ｈ．ＲＦＩＤアンテナを形成する導電性材料が所望の厚さに達するまで、ステップ（ｂ）〜（ｇ）を繰り返すステップと
を特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項１０】
導電性材料の各々の蒸着の後でウェブ材料から前記液体の残渣を取り除くことを特徴とする請求項１〜９の一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記残渣が、プラズマ処理によって取り除かれることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記プラズマ処理が、ヘリウム、酸素、またはこれらの混合物を使用して実行されることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記ウェブ材料が、連続的に送られることを特徴とする請求項１〜１２の一項に記載の方法。
【請求項１４】
前記ウェブ材料が、５０〜１０００ｍ／分の間の速度で送られることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
導電性材料をウェブ材料へと真空蒸着してＲＦＩＤアンテナを製造するためのシステムであって、
少なくとも１つの真空チャンバと、
ウェブ材料のリールのための少なくとも１つの繰り出し機と、
処理後のウェブ材料を巻き取るための少なくとも１つの巻き取り機と、
繰り出し機から巻き取り機までのウェブ材料の少なくとも１つの供給経路と、
少なくとも１つの気化源と、
製造すべきＲＦＩＤアンテナのパターンに対して相補的なパターンについて導電性材料の付着を防止するための前記気化源の上流に位置するウェブ材料への液体の少なくとも１つの塗布器と、
・塗布器をウェブ材料に対して同調させるためのシステムと
を備えるシステム。
【請求項１６】
少なくとも１つの処理ローラをウェブ材料の前記供給経路に沿って備えており、前記気化源が、該処理ローラに組み合わせられている請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
塗布器の同調システムが、ウェブ材料上の基準を検出するための少なくとも１つの検出器と、該検出器からの信号によって制御されるウェブ材料の長手方向の同調部材および横方向の同調部材とを備えている請求項１５または１６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記横方向の同調部材が、周囲をウェブ材料が送られる少なくとも１つのモータ駆動のローラを備えており、該少なくとも１つのモータ駆動のローラが、軸方向の制御された移動を備えており、横方向の同調が、該少なくとも１つのモータ駆動のローラの軸方向の移動によって制御される請求項１７に記載のシステム。
【請求項１９】
前記少なくとも１つのモータ駆動のローラが、処理ローラの上流に配置されている請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記少なくとも１つのモータ駆動のローラが、加圧ローラに組み合わせられ、ウェブ材料をリールから繰り出すための前記繰り出し機のけん引ユニットを形成している請求項１８または１９に記載のシステム。
【請求項２１】
前記長手方向の同調部材が、前記モータ駆動のローラの速度を操作することによってウェブ材料の張力を変化させる装置を備えている請求項１８、１９または２０に記載のシステム。
【請求項２２】
前記長手方向の同調部材が、ウェブ材料に対する液体塗布器ユニットの印刷ローラの回転速度を変化させる装置を備えている請求項１７〜２１の一項に記載のシステム。
【請求項２３】
ウェブ材料上の前記基準を検出するための２つの検出器をそれぞれ処理ローラの上流および下流に配置して備えている請求項１７〜２２の一項に記載のシステム。
【請求項２４】
直列に配置された複数の処理ローラを前記繰り出し機と前記巻き取り機の間のウェブ材料の供給経路に沿って備えており、各々の処理ローラに、気化源と、製造すべきＲＦＩＤアンテナのパターンに対して相補的なパターンについて導電性材料の付着を防止するための前記気化源の上流に位置するウェブ材料への液体の少なくとも１つのそれぞれの塗布器と、ウェブ材料に対する塗布器のそれぞれの同調システムとが組み合わせられている請求項１５〜２３の一項に記載のシステム。
【請求項２５】
各々の処理ローラにおいて、前記液体の残渣をウェブ材料から取り除くためのプラズマ処理ステーションを備えている請求項１５〜２４の一項に記載のシステム。
【請求項２６】
ＲＦＩＤアンテナを定める真空蒸着された導電性材料の複数のコーティングを備えており、各々のコーティングが、順に蒸着された複数の層の重ね合わせで構成されているウェブ材料。
【請求項２７】
導電性材料のコーティングが設けられたシート状の支持体を備えており、導電性材料のコーティングは、順に付着させられることによって重ねられた複数の層で構成されているＲＦＩＤアンテナ。
【請求項２８】
ＲＦＩＤアンテナに電気的につながった少なくとも１つの集積回路が適用されているシート状の支持体を備えており、ＲＦＩＤアンテナは、順に付着させられることによって重ねられた複数の層で構成された導電性材料の少なくとも１つのコーティングで構成されている電子装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＲＦＩＤ（高周波識別）技術に関する。特に、本発明は、ＲＦＩＤアンテナを製造するための技術の改善に関する。
【背景技術】
【０００２】
種々の種類のサービスへのアクセスおよび他の用途のための電子タグ、識別装置、および専用バッジの製造において、ＲＦＩＤ技術を基盤とする回路が、ますます頻繁に使用されるようになってきている。電子タグまたはＲＦＩＤタグが、ＲＦＩＤシステムにもとより備わる高い安全性ゆえに、バーコードなどの他の識別システムを徐々に置き換えている。
【０００３】
ＲＦＩＤタグには、さまざまな種類があり、それらの使用に利用される周波数によって分類される。さらに詳しくは、現行のＩＳＯ規格が、１２５／１３４ｋＨｚ、１３．５６ＭＨｚ、８６８／９１５ＭＨｚ、または２．４ＧＨｚを上回る周波数の動作周波数を規定している。ＲＦＩＤ装置は、能動式、半受動式、または受動式であってよい。能動式のシステムは、電池によって動作し、半受動式のシステムは、電池による電力を内部の回路を稼働の状態に維持するためだけに動作し、放射については情報を伝送する電波から受信されるエネルギの一部を使用し、受動式のシステムは、内部の電源を持たず、ＲＦＩＤ装置の情報を照会する読み取り機から転送される電波からエネルギを取り出す。
【０００４】
ＲＦＩＤ装置は、制御回路と比べてきわめて大きな寸法のアンテナを有する。これらのアンテナは、通常は、プラスチックフィルムまたは他のシート状の支持体の上に形成される。現在使用されている技術の１つは、フィルムへと金属または他の導電性材料の充分に厚い層の真空蒸着を実行することである。次いで、フィルムが、アンテナを形成すべく化学エッチングによって処理され、化学エッチングにおいて、金属で覆われるべきではない領域の金属が除去され、化学エッチング処理の後に残る金属層の残存部分によって回路が生成される。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、ＲＦＩＤ回路のためのアンテナを製造するための方法であって、従来からの技法のいくつかの問題および限界を克服可能にする新規な方法を提供する。実際に、本発明による方法は、ＲＦＩＤアンテナの形状に対応するパターンに従った導電性材料の少なくとも第１および第２の付着を、順次の工程にて実行する。
【０００６】
この形式のプロセスによれば、長い製造時間を必要とし、きわめて有毒かつ攻撃的な化学物質の使用によって引き起こされる環境汚染の問題も伴う技法である化学エッチングを必要とせずに、ＲＦＩＤ装置のアンテナを得ることができる。
【０００７】
本発明による方法のさらなる好都合な特徴および実施形態が、以下で説明され、本明細書の一体の一部分を形成する従属請求項に定められる。
【０００８】
考えられるいくつかの実施形態において、本発明による方法は、
ａ．ウェブ材料を処理ローラの周囲に供給するステップと、
ｂ．製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応するパターンに従って前記ウェブ材料へと導電性材料を蒸着するステップと、
ｃ．ＲＦＩＤアンテナを形成する導電性材料が所定の厚さに達するために充分な回数だけ、ステップ（ａ）および（ｂ）を繰り返すステップと
を含む。
【０００９】
他の実施形態によれば、本発明の方法は、
・供給経路に沿って直列に配置された少なくとも第１および第２の処理ローラを順に巡ってウェブ材料を送るステップと、
・第１の処理ローラに組み合わせられた第１の気化源によって、製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応するパターンに従って、前記ウェブ材料へと第１の量の導電性材料を蒸着するステップと、
・第２の処理ローラに組み合わせられた第２の気化源によって、製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応するパターンに従って、前記ウェブ材料へと第２の量の導電性材料を蒸着するステップと
を含む。
【００１０】
例えば、マルチチャンバシステムの供給経路に沿って直列に配置されたさらなる処理ローラに組み合わせられたさらなる気化源によって、製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応するパターンに従って、ウェブ材料へとさらなる量の導電性材料を蒸着することができると考えられる。
【００１１】
本発明の他の実施形態によれば、この方法は、
ａ．処理すべきウェブ材料のリールを、繰り出し機と、処理ローラと、前記処理ローラに組み合わせられた気化源と、巻き取り機とを少なくとも備える金属化システムに配置するステップと、
ｂ．処理すべきウェブ材料の前記リールを、前記繰り出し機によって繰り出すステップと、
ｃ．処理すべきウェブ材料の前記リールから繰り出されるウェブ材料を、供給経路に沿って処理ローラを巡って送るステップと、
ｄ．前記気化源によって、製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応するパターンに従って、ウェブ材料へと第１の量の導電性材料を蒸着するステップと、
ｅ．ウェブ材料を巻き取りリールに巻き取るステップと、
ｆ．処理すべきウェブ材料のリールの処理が終わった後で、巻き取りリールを繰り出し機に配置し、ステップ（ｂ）〜（ｅ）を１回以上繰り返して、同じパターンに従い、パターンを同調させて、さらなる量の導電性材料を蒸着するステップと
を含む。
【００１２】
製造すべきＲＦＩＤアンテナの形状に対応するパターンに従って導電性材料の蒸着を実行するために、気化源によって送り出される導電性材料が製造すべきＲＦＩＤアンテナに対応する表面においてのみウェブ材料に付着するよう、導電性材料のウェブ材料への付着を防止する液体を、製造すべきＲＦＩＤアンテナのパターンに対して相補的なパターンに従ってウェブ材料へと塗布することができる。塗布は、導電性材料の蒸着のたびに、蒸着に先立って繰り返される。塗布は、最初の塗布の後の塗布のたびに、液体が先行の蒸着工程において適用された導電性材料のパターンに同調して相補的なパターンに従って塗布されるように行われる。
【００１３】
好都合には、ウェブ材料を、導電性材料の蒸着のための１つ以上のステーションを通って連続的に送ることで、高い生産性を達成することができる。速度は、好都合には、５０ｍ／分〜１０００ｍ／分の間であってよい。
【００１４】
別の態様によれば、本発明は、導電性材料をウェブ材料へと真空蒸着してＲＦＩＤアンテナを製造するためのシステムであって、少なくとも１つの真空チャンバと、ウェブ材料のリールのための少なくとも１つの繰り出し機と、処理後のウェブ材料を巻き取るための少なくとも１つの巻き取り機と、好ましくは繰り出し機から巻き取り機までのウェブ材料の供給経路に沿った少なくとも１つの処理ローラと、前記処理ローラに組み合わせられた少なくとも１つの気化源と、製造すべきＲＦＩＤアンテナのパターンに対して相補的なパターンについて導電性材料の付着を防止するための前記気化源の上流に位置するウェブ材料への液体の少なくとも１つの塗布器と、塗布器をウェブ材料に対して同調させるためのシステムとを備えるシステムに関する。
【００１５】
本発明によるシステムのいくつかの実施形態においては、各々の蒸着段階において常に同じパターンに従って導電性材料を重ねるために、塗布器の同調システムが、ウェブ材料上の基準を検出するための少なくとも１つの検出器ならびに前記検出器からの信号によって制御される長手方向のウェブ材料同調部材および横方向のウェブ材料同調部材を備えており、長手方向および横方向について同調させつつ連続する段階において蒸着される複数の層の重ね合わせによって得られるコーティングが形成される。
【００１６】
システムは、例えば「ロール・ツー・ロール」の形式のマルチチャンバ式または単一チャンバ式のシステムであってよい。
【００１７】
本発明による方法およびシステムのさらなる好都合な特徴が、本明細書の一体の一部を形成する従属請求項に示される。
【００１８】
さらなる態様によれば、本発明は、ＲＦＩＤアンテナを定める真空蒸着された導電性材料の複数のコーティングを備えており、各々のコーティングが、順に蒸着された複数の層の重ね合わせで形成され、各々の層が真空において蒸着されているウェブ材料に関する。
【００１９】
さらに別の態様によれば、本発明は、導電性材料のコーティングが設けられたシート状の支持体（すなわち、ウェブまたはシートの形状の材料）を備えており、導電性材料のコーティングは、真空蒸着によって順に付着させられることによって重ねられた複数の層で構成されているＲＦＩＤアンテナに関する。
【００２０】
さらなる態様によれば、さらに本発明は、ＲＦＩＤアンテナに電気的につながった少なくとも１つの集積回路が適用されているシート状の支持体（すなわち、ウェブまたはシートの形状の材料の一部分）を備えており、ＲＦＩＤアンテナは、真空蒸着によって順に付着させられることによって重ねられた複数の層で構成された導電性材料の少なくとも１つのコーティングで構成されている電子装置に関する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
本発明を、明細書および添付の図面によって、よりよく理解することができる。
【図１】第１の実施形態における本発明によるシステムの概略の側面図を示している。
【図２Ａ】真空蒸着が実行される基板を形成するウェブ材料の処理を制御するための主たる部材の第１の実施形態における概略図を示している。
【図２Ｂ】真空蒸着が実行される基板を形成するウェブ材料の処理を制御するための主たる部材の第２の実施形態における概略図を示している。
【図３】本発明による方法を実行するためのマルチチャンバシステムの図を示している。
【図４】複数のＲＦＩＤアンテナが真空蒸着によって表面に形成されているプラスチックフィルムの一部分を示している。
【図５】図４のＶ−Ｖによる一部分の概略の拡大図（比例尺ではない）を示している。
【図６】アンテナとアンテナに電気的に接続された集積回路とを有するＲＦＩＤ装置を示している。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
最初に図１を参照すると、第１の実施形態が、真空金属化システムをもたらしており、そのような真空金属化システムが、全体として番号１で指し示され、チャンバが開かれた状態で概略の側面図にて示されている。
【００２３】
システム１は、真空チャンバ３を備えており、真空チャンバ３の内部に、処理すべきウェブ材料Ｂ（例えば、プラスチックフィルム）のリールのための繰り出し機５と、処理後の材料のリールＢ１の巻き取りのための巻き取り機７とが配置されている。巻き取り機７および繰り出し機５は、チャンバ３の部位３Ａに位置しており、部位３Ａには、リールＢから繰り出されたウェブ材料に金属材料が実際に付着させられるチャンバの第２の部位（３Ｂで指し示されている）に生成される真空と比べ、より軽い程度の真空が公知の方法で生成される。真空チャンバの２つの部位３Ａおよび３Ｂの分離は、全体が９で指し示されている仕切りバッフルによって得られ、仕切りバッフルは、処理ローラ１３に隣接して配置されたガードチャンバ１１を備えており、処理ローラ１３の周囲に、リールＢから繰り出されたウェブ材料Ｎが供給され、チャンバの部位３Ｂにおいて気化させられた金属材料を受け取る。
【００２４】
リールＢから繰り出され、リールＢ１に再び巻き付けられるウェブ材料Ｎの経路は、処理ローラ１３の上流および下流に配置された一連のさらなるローラによって定められている。より詳しくは、ウェブ材料Ｎの経路に沿って、第１のアイドルローラ１５と、第２のアイドルローラ１７と、スプレッダローラ１９と、ロードセル付きのアイドルローラ２１と、さらなるアイドルローラ２３と、キャプスタンローラ２５と、スプレッダローラ２７と、第５のアイドルローラ２９と、いわゆるダンサーローラ３１とが配置されている。
【００２５】
上述のローラの位置は公知であり、システムの要件、使用される装置の種類、ウェブ材料Ｎを形成する材料の種類、ならびに気化によってウェブ材料Ｎへと付着させられる金属または他の導電性材料に応じて変更可能である。
【００２６】
処理ローラ１３の下方には、例えば金属材料３５のコイルが供給されるジュール効果式の気化源（全体が３３で指し示されている）が配置されている。気化源を、例えば国際公開第２００７／０５７９２号に記載のように設計することができる。
【００２７】
処理ローラ１３に印刷ユニット３７が組み合わせられている。例えば、印刷ユニット３７は、例えば電気抵抗などの加熱素子４１が設けられた液体材料の供給源３９を備えることができる。加熱素子４１が、タンク３９に収容された液体を加熱し、気化させる。次いで、得られた蒸気が、印刷ユニット３７のアニロックスローラ４３上に凝縮する。アニロックスローラ４３が、凝縮した液体材料を、リールＢから繰り出されて処理ローラ１３へと供給されるウェブ材料が通過する印刷ニップを処理ローラ１３とともに形成する印刷ローラ４５へと移す。印刷ユニット３７を、例えば、その内容の全体が本明細書へと援用される国際公開第２００８／１１６６１７号に記載のとおりに設計することができる。
【００２８】
印刷ローラ４５には、フィルムまたはウェブ材料Ｎの金属化されるべきではない領域に一致する形状の隆起要素（すなわち、突出部）が設けられている。実際には、印刷ローラ４５は、供給源３３によって気化させられる導電性材料について、製造すべきＲＦＩＤアンテナの形状以外の領域においてはウェブ材料Ｎに付着しないようにする液体（例えば、油）を塗布する。印刷ローラ４５のくぼんだ領域が、金属化させるべき領域に一致し、すなわち導電性材料をウェブ材料Ｎへと付着させることによって得るべきアンテナの形状を有している。
【００２９】
図４が、ウェブ材料Ｎの一部分を示しており、ウェブ材料Ｎへの金属コーティングの真空蒸着によって製造されたＲＦＩＤ装置用の４つのアンテナ（全体としてＡで指し示されている）が示されている。したがって、これらのアンテナを製造するための印刷ローラ４５は、その表面に、ウェブ材料Ｎの金属化の領域に一致するくぼんだ領域を有し、周囲の全表面に液体を塗布し、供給源３３によって気化させられてウェブ材料Ｎ上に凝縮する導電性材料の付着を防止する。
【００３０】
特徴的なことに、本発明によれば、ＲＦＩＤアンテナを形成するための充分に厚い導電性材料のコーティングを得るために、複数回の真空蒸着作業が、同じプラスチックフィルムまたは他のウェブ材料Ｎについて順に実行され、各々の蒸着段階において、得るべき所望のコーティングの全体の厚さ（すなわち、アンテナＡの総厚さ）よりも小さい厚さの導電性材料の層が付着させられる。各々の蒸着段階において、導電性材料が、印刷ローラによって定められるパターンに従って適用され、各々の段階の蒸着領域が重ね合わせられる。
【００３１】
真空蒸着によって層を次々に付着させることによってアンテナＡを形成するコーティングの全体を形成するために、処理の各工程において、ウェブ材料Ｎと印刷ローラ４５との間の正確な同調が維持される必要があり、より詳しくは、先行の工程において付着させられた導電性材料と印刷ローラ４５上のパターンとの間の正確な同調が維持される必要がある。
【００３２】
この目的のため、好都合には、ウェブ材料Ｎに、ウェブ材料Ｎの辺Ｎｂに沿った基準マークまたはフォトセルマークＴを設けることができる（図４）。好都合には、基準マークＴは、斜辺を有し、すなわち該当の辺Ｎｂ（装置１におけるウェブ材料Ｎの供給の方向Ｆに平行である）に対して直角でない辺を有する台形または三角形の形状を有することができる。図４に示した概略的な例では、三角形または台形の形状の基準マークＴが設けられているが、これらのマークの形状に限られないことを理解すべきである。
【００３３】
装置１の内部には、好都合には、ウェブ材料Ｎの通過のたびに印刷ローラ４５によって形成されるパターンが、前回の通過において形成されたパターンに同調するよう、ウェブ材料Ｎの長手方向および横方向の両方の同調システムが設けられる。
【００３４】
図１に示した例では、繰り出し機５から巻き取り機７までのウェブ材料Ｎの経路に沿って、２つの光電制御装置５１および５３が設けられており、これらの装置５１および５３が、ウェブ材料Ｎ上の基準マークＴの位置を検出し、装置５１および５３によって特定された位置に関してウェブ材料の横方向および／または長手方向の位置を修正する。
【００３５】
考えられる一実施形態においては、長手方向の同調を、印刷ローラ４５の角度位置を制御することによって得ることができ、この目的のために、印刷ローラ４５は、処理ローラ１３を駆動する主モータとは異なるモータによって駆動される。この形式の構成が、図２Ａの実施形態に示されている。
【００３６】
この図においては、装置の主要な構成要素を、それらの実際の位置に一致する位置に図示するのではなく、あくまでも図示を簡単にする目的で、１つの平面に配置したウェブ材料Ｎの供給経路に沿って並べて図示している。処理ローラ１３が、電子制御の電動モータ６０（エンコーダ６２を備えている）によって駆動されて回転する。処理ローラ１３の下方に従来からのやり方で示されている印刷ローラ４５が、エンコーダ６３を備えるモータ６１によって駆動されて回転する。電子制御のモータ６１は、電子制御モジュールまたはユニット６５に接続され、エンコーダ６３ならびにウェブ材料Ｎ上の基準マークＴを読み取る光電制御装置５１および５３も、電子制御モジュールまたはユニット６５に接続される。
【００３７】
光電制御装置５１、５３の一方または他方のエンコーダ６３が、先行の処理工程において適用された金属コーティングについて、印刷ローラ４５の角度位置に対する長手方向の同調のずれ（すなわち、ウェブ材料Ｎの供給の方向Ｆに平行なずれ）を検出したとき、モータ６１が、印刷ローラ４５とウェブ材料Ｎとの間の微小なすべりによって印刷ローラ４５に修正の動きを付与し、印刷ローラ４５のパターンを先行の処理サイクルの際に形成されたコーティングに再び同期させる。
【００３８】
横方向の同調を得るための処置が、同じ光電制御装置５１、５３および制御ユニット６５による制御により、図示の例ではローラ１５および１７の間に配置されるモータ駆動のけん引ユニット６７において行われる。いくつかの実施形態においては、モータ駆動のけん引ユニット６７が、好都合にはモータ駆動のローラ６７Ａを備え、好ましくは対向するアイドルローラ６７Ｂを備える。モータ駆動のローラ６７Ａが、電子制御の電気モータ６９（エンコーダ７０を備えている）によって駆動されて回転する。２つのローラ６７Ａおよび６７Ｂは、両方のローラ６７Ａおよび６７Ｂを横方向（すなわち、ウェブ材料Ｎの供給の方向Ｆを横切るｆ６７によって示されている方向）に移動させ、この横移動にてウェブ材料Ｎを引っ張り、印刷ローラ４５の位置に対して横方向の中心合わせを行うことができる横方向の位置決め制御モータ７１によって規制されている。このやり方で、印刷ローラ４５と先行の処理工程において付着させたコーティングとの間に生じうるすべての横方向の同調ずれが修正される。モータ７１にエンコーダ７３が組み合わせられ、両方の構成要素７１および７３が、光電制御装置５１および／または５３から情報を受信する電子制御ユニット６５に接続されている。また、図示の例では、モータ６９およびエンコーダ７０も電子制御ユニット６５へと接続されている。
【００３９】
図２Ｂが、連続する導電性材料の付着の工程においてウェブ材料Ｎを同調させるシステムの別の実施形態を示している。図２Ａに示した実施形態の各部と同じまたは同等の部分は、同じ番号で指し示されている。図２Ｂにおいては、印刷ローラ４５が、エンコーダを備えるモータによって制御されるのではなく、処理ローラ１３およびアニロックスローラ４３によって摩擦で駆動される。これらの後者は、処理ローラ１３を駆動するエンコーダ６２を備える主モータ６０によって駆動されて回転する。印刷ローラ４５を駆動して回転させるためのこの形式の構成の解決策は、国際公開第２００８／１１６６１７号に記載されている。
【００４０】
この場合、横方向の同調が、図２Ａを参照して上述したやり方で得られる一方で、ウェブ材料Ｎの供給の方向Ｆに平行な長手方向の同調は、上述したけん引ユニット６７への作用によって達成される。この目的のため、モータ６９を、ウェブ材料Ｎに加わる張力を増加または減少させて、印刷ローラ４５について先行の工程で実行された導電性材料の付着によって得られたパターンに対する長手方向の同調を生じさせるように、中央制御ユニット６５によって加速または減速させることができる。
【００４１】
２つの構成のうちの一方または他方の上述のシステムにおいて、同じウェブ材料Ｎへの導電性材料の複数の真空蒸着サイクルを、各々の工程において印刷ローラ４５のパターンをきわめて正確なやり方で同調させつつ実行することができる。
【００４２】
したがって、ＲＦＩＤアンテナを製造するためのプロセスは、以下のとおりである。ウェブ材料Ｎの素材リールＢが、装置の内部で繰り出し機５に配置される。真空チャンバ３が閉じられ、チャンバ３の２つの部位３Ａ、３Ｂにおいて充分な真空の程度が得られるまで、圧力が下げられる。次いで、ウェブ材料ＮがリールＢから繰り出され、巻き取り機７のリールＢ１へと徐々に巻き取られる。ウェブ材料Ｎが、処理ローラ１３の周囲を運ばれ、供給源３３によって気化させられた導電性材料の気化および蒸着の領域に進入する前に、ウェブが、印刷ユニット３７によって、タンク３９からアニロックスローラ４３へと送り出された液体で、製造すべきアンテナＡのパターンに対して相補的であるパターンに従って濡らされる。気化源３３の前方を通過するとき、ウェブ材料Ｎは、供給源によって気化させられた導電性材料を受け取り、この導電性材料が、処理ローラ１３の冷却ゆえにウェブ材料Ｎ上に凝縮する。印刷ユニット３７によって適用された液体で濡らされた領域においては、導電性材料がウェブ材料Ｎに付着しない一方で、製造すべきアンテナＡに対応する形状の乾燥した領域には、導電性材料が付着する。印刷ユニットによって適用された液体は、リールＢ１へのウェブ材料Ｎの巻き取りに先立って蒸発できる。いずれにせよ、液体のわずかな痕跡は、以降の処理を損なうことはない（処理の際に残余の痕跡を除去するための手段も存在するが）。
【００４３】
リールＢの全体の処理が完了した跡で、装置が停止され、真空チャンバ３が大気圧へと戻され、リールＢ１が装置から取り外され、位置が変更される（すなわち、再び繰り出し機５に配置される）。上述のサイクルが、各々の工程において印刷ローラ４５によって定められる同じパターンに従って蒸着される各層が、高い精度で重ね合わせられるよう、先行の真空蒸着サイクルによって形成されたパターンについて印刷ローラ４５のパターンとの同調を維持するように注意しながら、１回以上繰り返される。
【００４４】
本発明によるプロセスのいくつかの別の実施形態においては、チャンバを常に真空の状態に保ち、リールを巻き取り機から取り外して再び繰り出し機に配置することをせずに、複数回の蒸着サイクルを行うことができる。この目的のために、以下の各工程を実行することができる。すなわち、処理されるべき材料のリールが繰り出し機５に配置され、ウェブ材料Ｎが、チャンバおよび処理ローラ１３の周囲を通って供給され、パターンに従って蒸着が実行され、処理後のウェブ材料Ｎが、巻き取り機７に配置されたリールＢ１に巻き取られる。ウェブ材料Ｎの１回目の通過が完了した後で、好ましくはウェブ材料Ｎの後端をリールＢの中心の巻き付け支持部から外すことなく、気化源３３および好ましくは印刷ユニット３７が停止され、リールが巻き取り機において繰り出され、リールＢ１が解かれてリールＢが再び形成される。再巻き取りの完了後に、ウェブ材料ＮをリールＢから処理ローラ１３の周囲へと送り出して、リールＢ１の周囲に巻き取りながら、蒸着サイクルが再び実行される。
【００４５】
これらの作業を、各回の通過において蒸着される導電性材料の量および到達すべき導電性材料が所望の厚さに応じて、１回以上繰り返すことができる。所望の厚さに達した後で、装置が大気圧に戻され、チャンバ３が開かれ、処理済みのリールＢ１が装置から取り出される。
【００４６】
このサイクルは、ウェブ材料Ｎの通過のたびに真空を取り戻す必要がないという利点を有する。さらに、処理される材料が、新たな通過のたびごとに空気中の酸素に触れることがなく、酸化現象の防止または軽減に関して有利である。
【００４７】
図５が、図４のアンテナＡの一部分の概略の拡大断面図（比例尺ではない）を示している。この図は、上述のとおりの３つの連続する処理工程にて導電性材料を付着させることによって得られた３つの層Ｓ１、Ｓ２、およびＳ３を概略的に示している。仕上がった製品において、３つの層Ｓ１、Ｓ２、およびＳ３は、完璧な同調に達することは不可能であるがゆえに長手方向および／または横方向において最小限のずれを有しているが、ほぼ完全に重なり合っている。得られる精度は、いずれの場合も、得られる製品について意図される目的にとって充分である。
【００４８】
図６が、アンテナＡが表面に形成されて集積回路Ｉへと電気的に接続されているウェブ材料Ｎの一部分を含むＲＦＩＤ装置またはタグ（全体としてＤで指し示されている）を製造するための上述のプロセスによって製造されたアンテナの使用を示している。
【００４９】
図１に示した形式の「ロール・ツー・ロール」の装置において同じ蒸着プロセスを実行する代わりに、アンテナＡを製造するための複数の層Ｓ１〜Ｓ３の複数回の順次の蒸着のプロセスを、マルチチャンバ蒸着装置での連続プロセスによって実行することも可能である。図３が、そのような形式の解決策を概略的に示している。
【００５０】
図３において、符号１０１が、繰り出しチャンバ１０３、巻き取りチャンバ１０５、および３つの真空蒸着チャンバ１０７、１０９、１１１を備えるマルチチャンバ装置の全体を指している。繰り出しチャンバ１０３に、素材（例えば、フィルムまたは他のウェブ材料Ｎ）のリールＢの繰り出し装置１１５が配置されている。処理後のウェブ材料Ｎを巻き取る巻き取り機１１７が、巻き取りチャンバ１０５に配置されている。ウェブ材料Ｎは、３つの真空蒸着チャンバ１０７、１０９、および１１１を通過し、各々の真空蒸着チャンバに、一式の気化源１２１、１２３、１２５が配置されている。気化源１２１、１２３、１２５の上方に、それぞれの処理ローラ１２７、１２９、１３１が配置されている。各々の処理ローラに、図１、図２Ａ、および図２Ｂに関して説明したユニット３７と同じやり方で設計されたそれぞれの印刷ユニット１３３、１３５、および１３７が組み合わせられている。各々の印刷ユニットに、例えばやはり図１、図２Ａ、および図２Ｂに関して説明したとおりに設計される同様のウェブ材料Ｎの長手方向および横方向の同調または中心合わせのシステムも、設けられている。
【００５１】
実際には、マルチチャンバ装置１０１は、蒸着チャンバ１０７、１０９、および１１１の各々について、図１に関して示した構成要素の配置を繰り返している。このやり方で、リールＢから繰り出されるウェブ材料Ｎのただ１回の通過で、蒸着チャンバ１０７、１０９、１１１の数と同数の導電性材料の層が、所定のパターンに従って蒸着される。
【００５２】
いくつかの実施形態においては、ウェブ材料の経路において、少なくとも１つのプラズマ処理ステーションを、好ましくは気化源のうちの１つまたは各々の気化源の下流に設けることができる。プラズマステーションは、ウェブ材料へと塗布されたマスキング液の残渣（あれば）を除去するために、ウェブ材料の表面のプラズマエッチング清掃作業を実行する。好ましくは、プラズマステーションは、ヘリウム、酸素、またはこれらの混合物を使用する。図１において、符号２２が、ローラ２１および２３の間に配置されたこの種のステーションを例として示している。同様に、プラズマステーションを、図示の他の実施形態にも設けることができる。
【００５３】
図面は、あくまでも本発明の現実的な実証として提示された一例を示しているにすぎず、この例について、本発明の根底にある考え方の範囲から逸脱することなく、形状態および配置の変更が可能であることを理解すべきである。添付の特許請求の範囲において、参照番号は、明細書および図面を参照しての特許請求の範囲の理解を容易にするために備えられており、特許請求の範囲によって表される保護の範囲を限定するものではない。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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