(57)【要約】  それぞれシリンダブロック（１３）と接続されるリアキャップ（１）とフロントキャップ（９）とを備えるコンパクト型高感度シリンダである。シリンダリアキャップ（１）に上通風孔（１５）が開口され、ピストン（５）にピストンロッド（８）が接続されており、シリンダリアキャップ（１）にメインシリンダ接続用のネジ孔（２）が形成されている。このシリンダは、両面バニシング・研磨機の分野に応用でき、軸方向の取付け寸法を有効に縮小させるようになっている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれシリンダブロック（１３）と接続されるシリンダリアキャップ（１）とシリンダフロントキャップ（９）とを備え、シリンダブロック（１３）に上通風孔（１５）が開口され、ピストンロッド（８）にピストン（５）が設置されるコンパクト型高感度シリンダであって、シリンダリアキャップ（１）にメインシリンダ接続用のネジ孔（２）が形成されていることを特徴とするコンパクト型高感度シリンダ。
【請求項２】
前記のピストンロッド（８）の端部に、引張センサと接続する端部ネジが刻まれていることを特徴とする請求項１記載のコンパクト型高感度シリンダ。
【請求項３】
前記のシリンダリアキャップ（１）とピストン（５）との間に、上バッファクッション（１４）が設けられ、シリンダフロントキャップ（９）とピストン（５）との間に、下バッファクッション（７）が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のコンパクト型高感度シリンダ。
【請求項４】
前記のピストン（５）に、ピストンシールリング（６）が設けられていることを特徴とする請求項１記載のコンパクト型高感度シリンダ。
【請求項５】
前記のピストンシールリング（６）に、低摩擦の潤滑グリースが塗布されていることを特徴とする請求項１記載のコンパクト型高感度シリンダ。
【請求項６】
前記のシリンダブロックの内壁に、ホーニング加工が施されており、その仕上げ度が０．４μｍ未満であることを特徴とする請求項１記載のコンパクト型高感度シリンダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、両面バニシング・研磨機の分野に関し、特に、両面バニシング・研磨機の上盤システムにおける圧力制御用のシリンダの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子専用加工設備の両面バニシング機における圧力制御として、一般的に、エアー制御が用いられ、シリンダは、一般的に実行手段として使用される。従来のバニシング設備の加圧シリンダには、一般的に、標準シリンダである通常のシリンダや低摩擦のシリンダが用いられる。両面バニシング・研磨設備の使用条件は、清潔度に対する要求が高く、設備が一般的にクリーンな施設内に使用されるため、設備の高さに対する制限があると共に、精密で安定な作動圧力が要求される。実際の生産において、市販の標準シリンダを使用すると、圧力の精度、構造寸法及び清潔要求が、ともに工程使用の要求に満足できない。
【発明の概要】
【０００３】
この発明は、従来技術の課題を解決するためになされたもので、標準シリンダによる設備の高さの過大と清潔の困難化との問題を解決するとともに、上盤システムの圧力に対する精確な制御を実現できるコンパクト型高感度シリンダを提供する。
【０００４】
上記目的を実現するために、この発明は、それぞれシリンダブロック（１３）と接続されるシリンダリアキャップ（１）とシリンダフロントキャップ（９）とを備え、シリンダブロック（１３）に上通風孔（１５）が開口され、ピストンロッド（８）にピストン（５）が設置されるコンパクト型高感度シリンダであって、シリンダリアキャップ（１）にメインシリンダ接続用のネジ孔（２）が形成されることを特徴とするコンパクト型高感度シリンダである。
【０００５】
前記のコンパクト型高感度シリンダにおいて、前記のピストンロッド（８）の端部に、引張センサと接続する端部ネジが刻まれる。
【０００６】
前記のコンパクト型高感度シリンダにおいて、前記のシリンダリアキャップ（１）とピストン（５）との間に、上バッファクッション（１４）が設けられ、シリンダフロントキャップ（９）とピストン（５）との間に、下バッファクッション（７）が設けられる。
【０００７】
前記のコンパクト型高感度シリンダにおいて、前記のピストン（５）に、ピストンシールリング（６）が設けられる。
【０００８】
前記のコンパクト型高感度シリンダにおいて、前記のピストンシールリング（６）に、低摩擦の潤滑グリースが塗布される。前記のシリンダシールリング（６）は、特殊ガム製のものである。
【０００９】
前記のシリンダブロックの内壁に、ホーニング加工が施されており、その仕上げ度が０．４μｍ未満である。これにより、シリンダ動作が素早くなり、その起動圧力が０．００５ＭＰａであり、通常のシリンダの起動圧力が０．０５ＭＰａである。
【発明の効果】
【００１０】
この発明に係る上盤システムの昇降と加圧とは、２つの直列するシリンダによって実行されており、メインシリンダが上盤システムの快速昇降の役割を担い、加圧シリンダが上盤システムの圧力制御の役割を担う。従来の標準シリンダを採用する時に、メインシリンダと加圧シリンダとは、連結フランジを介して接続されるため、実質的に軸方向の寸法を増加させるようになる。この発明において、加圧シリンダのリアキャップの厚さを増加して、リアキャップの中間位置に、メインシリンダのシリンダロッドの端部ネジと螺合できるネジ孔が開設されることで、メインシリンダが加圧シリンダに直接に接続されるため、その間の過渡的な接続フランジが省略できる。加圧シリンダは、シリンダロッド先端の外ネジが引張センサのネジと螺合できるように形成され、加圧シリンダが、引張センサに直接に接続されるため、その間の過渡的な接続フランジが省略できる。以上の構造によれば、軸方向の取付け寸法が有効に短縮されて、上盤システムの取付け寸法を大幅に縮小させるようになっている。フロントシリンダキャップが、溶接構造によって接続され、リアシリンダキャップが、皿小ねじによって接続されることで、シリンダの使用安全性を大幅に向上させるとともに、シリンダの外観がきれいで滑らかである。特殊のピストンシールは、シール効果を有効に確保するとともに、運動の低摩擦性を実現できるため、上盤システムの圧力に対する精確な制御を実現する有力な保証である。
【００１１】
この発明のコンパクト型高感度シリンダは、主に電子専用加工設備の両面バニシング・研磨機の上盤システムにおける圧力制御及び緩く昇降として使用されるが、他の精確な圧力制御及び低速で安定な動作制御が必要になる場合でも使用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】この発明の構造の模式図である。
【図２】昇降シリンダと加圧シリンダとの２つのシリンダを直列する構造の模式図である。
【００１３】
図において、１はシリンダリアキャップ、２はメインシリンダ接続用のネジ孔、３はシールリング、４はネジ接続孔、５はピストン、６はシールリング、７はバッファークッション、８はピストンロッド、９はフロントキャップ、１０は引張センサと接続する端部ネジ、１１はシールリング、１２は通風孔、１３はシリンダブロック、１４はバッファークッション、１５は通風孔、１６はメインシリンダレバー、１７はナットである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、この発明の原理と特徴を説明する。列挙した例は、この発明を説明するためのもので、この発明の範囲を限定することがない。
【００１５】
実施例１
実施例１のコンパクト型高感度シリンダは、それぞれシリンダブロック１３と接続するシリンダリアキャップ１とシリンダフロントキャップ９とを備え、シリンダブロック１３に上通風孔１５が開口され、ピストンロッド８にピストン５が設置され、シリンダリアキャップ１にメインシリンダ接続用のネジ孔２が形成される。前記のピストンロッド８の端部に、引張センサと接続する端部ネジが刻まれる。前記のシリンダリアキャップ１とピストン５との間に、上バッファークッション１４が設けられ、シリンダフロントキャップ９とピストン５との間に、下バッファークッション７が設けられる。前記のピストン５には、ピストンのシールリング６が設けられる。前記のピストンのシールリング６には、低摩擦の潤滑グリースが塗布される。加圧シリンダのフロントシリンダキャップとシリンダブロックとが、溶接構造によって接続され、リアシリンダキャップとシリンダブロックとが、皿小ねじによって接続されており、リアシリンダの中間位置に、メインシリンダのシリンダロッドの端部ネジと螺合できるネジ孔が開設される。加圧シリンダのシリンダロッドの端部ネジは、二段に分割されて、そのうち、先端の外ネジが引張センサのネジと螺合できる。シリンダのストロークの両端に弾性バッファが採用されて、シリンダは全体で低摩擦型のものが採用されるため、シールを確実に確保するとともに、運動の摩擦の低下を実現できる。シリンダの側面には、２つの通気孔が開口され、シリンダに低摩擦の潤滑グリースが添加されている。
【００１６】
実施例２
図２に示すように、前記のコンパクト型高感度シリンダは、メインシリンダ接続用ネジ孔２に介してメインシリンダに接続される。
【００１７】
このシリンダは、両面バニシング・研磨機を作動させる時に、上盤を緩く昇降させるとともに加工圧力を精密に制御するためのもので、メインシリンダロッド（又は他の作動機構）をシリンダのリアキャップにおけるネジ孔にネジ締めして、大きなストロークで速く昇降させる動作を行える。
【００１８】
前記の実施例は、この発明の好ましい実施例だけであり、この発明に対する制限とはならない。本発明の保護範囲は、この発明の精神と目的とを逸脱しない全ての変形、同等交替、改良を含む。
【図１】
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【図２】
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【手続補正書】
【提出日】平成23年8月31日(2011.8.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれシリンダブロック（１３）と接続されるシリンダリアキャップ（１）とシリンダフロントキャップ（９）とを備え、シリンダリアキャップ（１）に上通風孔（１５）が開口され、ピストンロッド（８）にピストン（５）が設置されるコンパクト型高感度シリンダであって、シリンダリアキャップ（１）にメインシリンダ接続用のネジ孔（２）が形成されていることを特徴とするコンパクト型高感度シリンダ。
【請求項２】
前記のピストンロッド（８）の端部に、引張センサと接続する端部ネジが刻まれていることを特徴とする請求項１記載のコンパクト型高感度シリンダ。
【請求項３】
前記のシリンダリアキャップ（１）とピストン（５）との間に、上バッファクッション（１４）が設けられ、シリンダフロントキャップ（９）とピストン（５）との間に、下バッファクッション（７）が設けられることを特徴とする請求項１又は２記載のコンパクト型高感度シリンダ。
【請求項４】
前記のピストン（５）に、ピストンシールリング（６）が設けられていることを特徴とする請求項１記載のコンパクト型高感度シリンダ。
【請求項５】
前記のピストンシールリング（６）に、低摩擦の潤滑グリースが塗布されていることを特徴とする請求項４記載のコンパクト型高感度シリンダ。
【請求項６】
前記のシリンダブロックの内壁に、ホーニング加工が施されており、その仕上げ度が０．４μｍ未満であることを特徴とする請求項１記載のコンパクト型高感度シリンダ。
【国際調査報告】
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