(57)【要約】平面導波路回路（ＰＬＣ）のための変換分光計測定装置および方法。分光計は、典型的には、入力光信号を伝える入力光信号導波路と、複数のカプラであって、各々のカプラは、前記入力光信号導波路に接続され、各々のカプラは、前記入力光信号に関する合流光信号を伝送するカプラ出力を含むことと、インタリーブされた導波路マッハツェンダ干渉計（ＭＺＩ）のアレイであって、各々のＭＺＩは、少なくとも１つの入力ＭＺＩ導波路を有し、各々のＭＺＩ入力導波路は、それぞれのカプラ出力からの合流光信号を受信することとを含む。位相シフト回路を、ＭＺＩの少なくとも１つのアームに適用することができ、アーム上に能動的な位相シフトを誘導し、それによってＭＺＩにおける位相誤差を測定する。ＭＺＩからの光出力は、位相シフト回路による能動的な位相シフトの後、固有の位相誤差条件の下で測定される。
2013535677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面導波路回路（ＰＬＣ）上に実装された変換分光計測定装置であって、
入力光信号を伝える入力光信号導波路と、
複数のカプラであって、各々のカプラは、前記入力光信号導波路に接続され、各々のカプラは、前記入力光信号に関する合流光信号を伝送するカプラ出力を含むことと、
インタリーブされた導波路マッハツェンダ干渉計（ＭＺＩ）のアレイであって、各々のＭＺＩは、少なくとも１つの入力ＭＺＩ導波路を有し、各々のＭＺＩ入力導波路は、それぞれのカプラ出力からの合流光信号を受信することと、
前記ＭＺＩの少なくとも１つのアームに適用され、前記少なくとも１つのアーム上に能動的な位相シフトを誘導することにより、前記ＭＺＩにおける位相誤差を測定する位相シフト回路と
を備えることを特徴とする変換分光計測定装置。
【請求項２】
前記ＭＺＩからの光出力は、固有の位相誤差条件の下で、前記位相シフト回路による能動的な位相シフトの後に測定されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記位相シフト回路は、熱光学効果の下で動作するヒータを備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記ヒータは、非対称ＭＺＩの長い方のアームに適用されることを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記入力ＭＺＩ導波路の少なくともいくつかは、前記ＰＬＣの共通レイヤにおいて、それぞれの合流光信号が許容限度を超える減衰を起こすことなく伝わることを可能にする角度で交差することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記入力ＭＺＩ導波路は、約４５°よりも大きな角度で互いに交差することを特徴とする請求項５に記載の分光計。
【請求項７】
導波路交差の総数が各々のＭＺＩ導波路で等しくなるように配置されるダミー交差導波路をさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の分光計。
【請求項８】
平面導波路回路（ＰＬＣ）上に実装される変換分光計により測定する方法であって、
入力光信号を伝える入力光信号導波路を提供するステップと、
複数のカプラを提供するステップであって、各々のカプラは、前記入力光信号導波路に接続され、各々のカプラは、前記入力光信号に関する合流光信号を伝送するカプラ出力を含むことと、
インタリーブされた導波路マッハツェンダ干渉計（ＭＺＩ）のアレイを提供するステップであって、各々のＭＺＩは、少なくとも１つの入力ＭＺＩ導波路を有し、各々のＭＺＩ入力導波路は、それぞれのカプラ出力からの合流光信号を受信することと、
前記ＭＺＩの少なくとも１つのアームに適用され、前記少なくとも１つのアーム上に能動的な位相シフトを誘導することにより、前記ＭＺＩにおける位相誤差を測定する位相シフト回路を使用するステップと
を備えることを特徴とする方法。
【請求項９】
前記ＭＺＩからの光出力は、固有の位相誤差条件の下で、前記位相シフト回路による能動的な位相シフトの後に測定されることを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記位相シフト回路は、熱光学効果の下で動作するヒータを備えることを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
前記ヒータは、非対称ＭＺＩの長い方のアームに適用されることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記入力ＭＺＩ導波路の少なくともいくつかは、前記ＰＬＣの共通レイヤにおいて、それぞれの合流光信号が許容限度を超える減衰を起こすことなく伝わることを可能にする角度で交差することを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１３】
前記入力ＭＺＩ導波路が、約４５°よりも大きな角度で互いに交差することを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、２０１０年７月２８日に出願された、「PLANAR LIGHTWAVE FOURIER-TRANSFORM SPECTROMETER INCLUDING PHASE SHIFTING FOR ERROR CORRECTION」と題する、米国仮特許出願第６１／３６８，４１９号の優先権を主張し、同出願は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。本出願は、２０１０年２月２３日に出願された、「PLANAR LIGHTWAVE FOURIER-TRANSFORM SPECTROMETER」と題する、米国特許出願第１２／７１０，７６５号にも関連し、同出願も、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本発明は、一般に、平面光波回路に関する。より詳細には、本発明は、平面光波フーリエ変換分光計測定装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
可動部のない高分解能小型分光計は、光ファイバ通信ネットワーク、環境センシング、および医療診断における用途に大きな可能性を有する。空間ヘテロダイン分光法（ＳＨＳ：spatial heterodyne spectroscopy）は、マッハツェンダ干渉計（ＭＺＩ：Mach-Zehnder interferometer）から得られた定常的干渉パターンのフーリエ変換を使用する、干渉計測技法である。ＭＺＩアレイは１つの基板上に製作できるので、平面導波路型のＳＨＳアーキテクチャは、主要なソリューションの１つである。
【０００４】
製作されたＭＺＩの実際の光遅延は、設計値からずれる可能性が高く、ＭＺＩ毎に凍結された位相誤差は、ＭＺＩが正しいスペクトルを生成するのを妨げることがある。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】M. Oguma，Y. Nasu，H. Takahashi，H. Kawakami，E. Yoshida，「Single MZI-Based 1×4 DQPSK Demodulation」，ECOC 2007，10.33 (2007)
【非特許文献２】K. Okamoto，K. Takada，H. Aoyagi，「Fabrication of Fourier-Transform Integrated-Optic Spatial Heterodyne Spectrometer On Silica-Based Planar Waveguide」，Opt. Lett. vol. 35，no. 12，2103~2105ページ (2010)
【非特許文献３】T. Goh，S. Suzuki，A. Sugita，「Estimation of Waveguide Phase Error in Silica-Based Waveguides」，J. Lightwave Technol. vol. 15，no. 11，2107~2113ページ (1997）
【発明の概要】
【０００６】
本発明は、そのような分光計によって生成されたスペクトルにおける潜在的誤差を評価する問題に取り組む。
【０００７】
平面導波路回路（ＰＬＣ）のための変換分光計測定装置および方法である本発明によって、従来技術の短所は対処され、さらなる利点が提供される。分光計は、典型的には、入力光信号を伝える入力光信号導波路と、複数のカプラであって、各々のカプラは、前記入力光信号導波路に接続され、各々のカプラは、前記入力光信号に関する合流光信号を伝送するカプラ出力を含むことと、インタリーブされた導波路マッハツェンダ干渉計（ＭＺＩ）のアレイであって、各々のＭＺＩは、少なくとも１つの入力ＭＺＩ導波路を有し、各々のＭＺＩ入力導波路は、それぞれのカプラ出力からの合流光信号を受信することとを含む。位相シフト回路を、ＭＺＩの少なくとも１つのアームに適用することができ、アーム上に能動的な位相シフトを誘導し、それによってＭＺＩにおける位相誤差を測定する。ＭＺＩからの光出力は、位相シフト回路による能動的な位相シフトの後、固有の位相誤差条件の下で測定される。
【０００８】
一実施形態では、位相シフト回路は、熱光学効果の下で動作するヒータを備える。ヒータは、非対称ＭＺＩの長い方のアームに適用することができる。
【０００９】
入力ＭＺＩ導波路の少なくともいくつかは、ＰＬＣの共通レイヤにおいて、それぞれの合流光信号が許容限度を超える減衰を起こすことなく伝送することを可能にする角度で、一実施形態では約４５°よりも大きな角度で、交差することができる。ダミー交差導波路を配置して、導波路交差の総数が各ＭＺＩ導波路で等しくなるようにすることができる。
【００１０】
本発明の技法を通して、さらなる特徴および利点が実現される。本発明の他の実施形態および態様が、本明細書で詳細に説明され、特許請求される発明の一部と見なされる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
本明細書によれば、本発明と見なされる主題が、具体的に指摘され、明確に特許請求される。本発明の上記および他の目的、特徴、ならびに利点は、添付の図面と組み合わせて理解される以下の詳細な説明から明らかである。
【００１２】
【図１】インタリーブされたＭＺＩアレイを有する分光計の構成を示す図である。
【図２ａ】第ｋステージのＭＺＩを示す図である。
【図２ｂ】ヒータ出力に対する応答を示すグラフである。
【図３】ＭＺＩアレイにおける測定された有効屈折率変動を示すグラフである。
【図４】測定された位相誤差を考慮することによって補正された信号スペクトルを示すグラフである。
【図５】本発明にかかる位相シフト技法を使用する分光計の構成の概略図であり、マイクロヒータは、ＭＺＩの長い方のアーム上に配置され、熱光学効果を通して能動的な位相シフトを誘導する。
【図６】（測定された位相誤差分布を示す差込図とともに）狭帯域光が投入されたときのＭＺＩアレイからの正規化干渉出力のグラフである。
【図７】計算されたスペクトルと測定されたスペクトルの比較を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は、インタリーブされたＭＺＩアレイを有するＰＬＣ分光計の構成を示す図である。ＭＺＩの総数は、Ｎであり、経路長差の増分は、ΔＬ＝１６２μｍである。この例における導波路コアサイズは、４．５×４．５μｍ２であり、１．５％の屈折率差を有する。最小曲げ半径は、２ｍｍである。白い四角形は、方向性カプラまたは多モード干渉カプラからなる３ｄＢカプラを表す。ＭＺＩの導波路アームは、両側に意図的に斜行させ、導波路が互いに４５°よりも大きな角度で交差することができる。導波路交差の過剰損失は、交差角が４５°よりも大きい場合、１交差当たり約０．０２ｄＢほどにまで引き下げることができる。ダミー交差導波路を配置して、すべてのＭＺＩにおいて導波路交差の総数を等しくすることもできる。第ｋ（ｋ＝０〜Ｎ−１）のＭＺＩのクロスポート出力ｐ（ｋ）とスルーポート出力ｑ（ｋ）の両方を測定して、入力光分布の空間非一様性を補正することができる。第ｋ番目のＭＺＩを通過する信号ｓ（ｆ）の場合、正規化されたクロスポート出力は、導波路損失を無視できると仮定すると、次式によって与えられる。
【００１４】
【数１】
2013535677.tif 000003
【００１５】
ここで、βは、伝搬定数であり、ＦＳＲは、ΔＬによって決定される自由スペクトル領域（FSR: free spectral range）であり、
【００１６】
【数２】
2013535677.tif 000004
【００１７】
である。ｆ０は、異なるＭＺＩの位相遅延が２πの整数倍（β（ｆ０）ΔＬ＝２ｍπ）になる、リトロー周波数として表される。ＭＺＩ応答は、ＦＳＲで周期的に繰り返すので、バンドパスフィルタによって不要なスペクトル範囲をブロックする必要がある。離散コサインフーリエ変換に基づいて、入力スペクトル
【００１８】
【数３】
2013535677.tif 000005
【００１９】
は、測定された出力パワーＰ（ｋ）から次式によって計算することができる。
【００２０】
【数４】
2013535677.tif 000006
【００２１】
上式において、Ａは、定数であり、
【００２２】
【数５】
2013535677.tif 000007
【００２３】
の場合のＰ（ｋ）は、
【００２４】
【数６】
2013535677.tif 000008
【００２５】
であると仮定される。
【００２６】
ＦＳＲの上半分における信号
【００２７】
【数７】
2013535677.tif 000009
【００２８】
に対するＭＺＩ応答は、下半分における信号のＭＺＩ応答と同一の空間的縞表現（spatial fringe representation）を有するので、信号スペクトルの下半分だけを測定することができる。分光計の分解能は、
【００２９】
【数８】
2013535677.tif 000010
【００３０】
によって与えられ、ここで、ｎｃは、導波路の有効屈折率であり、ｃは、光速である。ＭＺＩアレイにおける有効屈折率変動によって引き起こされる位相誤差は、式（２）によって得られる信号の精度を悪化させる。第ｋのＭＺＩにおける位相誤差δφｋは、δφｋ＝（２π／λ０）δｎｃ（ｋ）Ｌｋと表され、ここで、δｎｃ（ｋ）は、有効屈折率変動を表し、Ｌｋは、図２ａに示されるように、ＭＺＩアーム長を表す。δφｋを測定するために、長さｌのヒータを、ＭＺＩアームのどちらか一方の上、チップの外部に配置することができる。熱光学効果の下のスルーポート透過率ｑ（ｋ）は、次式によって与えられる。
【００３１】
【数９】
2013535677.tif 000011
【００３２】
ここで、Ｈは、位相シフタに印加されるヒータ出力であり、αは、単位ヒータ出力当たりの熱光学屈折率変化の係数であり、λ０＝ｃ／ｆ０である。図２ｂは、熱光学位相走査測定の一例を示している。Ｈ０によって示される第１の消滅点（extinction point）は、位相誤差が補償される点に対応する。２つの隣接する消滅点間の出力ＨＴは、λ０の光路長変化に対応する。その場合、δφｋは、δφｋ＝２π・Ｈ０／ＨＴによって与えられる。有効屈折率変動は、δｎｃ（ｋ）＝（δφｋ／Ｌｋ）λ０／２πとして得られる。ＭＺＩアレイにおける測定されたδｎｃ（ｋ）が、図３に示されている。ある実験においては、それぞれ、Ｎ＝３２、ΔＬ＝１６２ｍｍ、およびλ０＝１５５０．１ｎｍである。
【００３３】
位相誤差を含む式（１）の離散化形式は、次式となる。
【００３４】
【数１０】
2013535677.tif 000012
【００３５】
は、Ｎ×Ｎ連立方程式によって解くことができる（逆重畳（deconvolution））。上述の手順を用いて補正された信号スペクトルが、図４のグラフによって示されている。スペクトルの主要部分は、正確に取り出されている。逆重畳技法の不完全性によって、周辺スペクトル領域におけるいくつかの振動ノイズの特徴が引き起こされることがある。
【００３６】
インタリーブされたＭＺＩアレイを有する例示的な平面導波路ＳＨＳの構成が、図５に示されており、ＭＺＩの長い方のアーム上にマイクロヒータチップが配置され、熱光学効果を通して能動的な位相シフトを誘導する。マッハツェンダ干渉計（ＭＺＩ）の数は、Ｎであり、個々のＭＺＩの２つのアームの間の光路差は、幾何学的な長さの差に導波路の有効屈折率を乗算したｎｃΔＬに相当する等しい増分で増加するように設計される。製作された分光計上の各ＭＺＩにおける実際の光遅延は、設計上の光遅延からずれており、ｋ＝０，１，２，…，Ｎ−１のとき、第（ｋ＋１）番目のＭＺＩに対する実際の光遅延を、ｋｎｃΔＬ＋Δｋによって表す。測定される光源出力のスペクトルは、ｍを整数、σ０をリトロー波数として、波数の単位でｍ／（ｎｃΔＬ）（＝σ０）から（ｍ＋１）／（ｎｃΔＬ）までの特定の自由スペクトル領域（ＦＳＲ）内に含まれると仮定する。ＦＳＲは、Ｍ個の部分に分割されて、デジタル化された波数が、σｎ＝σ０＋ｎ／（ＭｎｃΔＬ）、ｎ＝０，１，２，…，Ｍ−１となり、ここで、測定される光強度は、｛ｓｎ｝である。第（ｋ＋１）番目のＭＺＩの出力カプラにおけるクロスポートおよびスルーポートそれぞれの出力パワーを、ｐｋおよびｑｋによって表す。各ＭＺＩにおける伝搬損失が等しく、入力カプラおよび出力カプラが理想的である場合、クロスポート出力からの正規化されたパワーは、
【００３７】
【数１１】
2013535677.tif 000013
【００３８】
によって表され、ここで、
φｋｎ＝２π（ｋｎｃΔＬ＋Δｋ）［σ０＋ｎ／（ＭｎｃΔＬ）］、
【００３９】
【数１２】
2013535677.tif 000014
【００４０】
である。
【００４１】
通常、｜Δｋ｜／ΔＬ＜＜１である場合、φｋｎは、２πｋｍ＋２πｋｎ／Ｍ＋εｋによって近似され、ここで、εｋ＝２πσ０ΔＫであり、その結果、次式が得られる。
【００４２】
【数１３】
2013535677.tif 000015
【００４３】
ここで、εｋは、ＭＺＩの位相誤差である。補助ＭＺＩについて考察する。ここでは、その光遅延が元のＭＺＩの光遅延とサブミクロンの長さだけ異なり、そのため、その位相誤差φｋが、εｋとは異なる。そのクロスポートからの正規化された出力パワーは、次式となる。
【００４４】
【数１４】
2013535677.tif 000016
【００４５】
式（５）および式（６）から、
【００４６】
【数１５】
2013535677.tif 000017
【００４７】
の実部および
【００４８】
【数１６】
2013535677.tif 000018
【００４９】
虚部
【００５０】
【数１７】
2013535677.tif 000019
【００５１】
はそれぞれ、次式によって得られる。
【００５２】
【数１８】
2013535677.tif 000020
【００５３】
【数１９】
2013535677.tif 000021
【００５４】
【数２０】
2013535677.tif 000022
【００５５】
ここで、
【００５６】
【数２１】
2013535677.tif 000023
【００５７】
であり、
【００５８】
【数２２】
2013535677.tif 000024
【００５９】
である。
【００６０】
【数２３】
2013535677.tif 000025
【００６１】
である場合、
【００６２】
【数２４】
2013535677.tif 000026
【００６３】
は、
【００６４】
【数２５】
2013535677.tif 000027
【００６５】
に対して直交する信号と呼ばれる。すべてのｋについて、Ｕｋの実部および虚部が得られると、ラグランジュ補間も逆重畳技法も使用せずに、複素フーリエ変換だけを使用して、
【００６６】
【数２６】
2013535677.tif 000028
【００６７】
として、パワースペクトル｛ｓｎ｝を導出することができる。εｋからφｋへの能動的な位相シフトは、マイクロヒータを用いて各ＭＺＩのどちらかのアームを加熱することによって達成される。マイクロヒータは、第ｋ番目のＭＺＩの一方のアームを覆う。または、マイクロヒータは、図５に示されるように、（第ｋ番目のＭＺＩの両方のアームを同時に覆うのでなければ）上側（または下側）アームのいくつかの導波路を覆う。マイクロヒーティング要素および制御の任意の知られた変形形態を使用することもできる。静的な位相シフトは、異なる光遅延を有する補助ＭＺＩを各ＭＺＩに対して設置することによって、または各ＭＺＩにおいて２×２出力カプラをハイブリッド２×４カプラで置き換えることによって達成される（例えば、非特許文献１を参照）。両方の位相誤差を正確に測定でき、そのため、式（７）からＵｋを導出できるので、位相シフトをπ／２に正確に調整する必要はない。
【００６８】
この位相シフト技法を検証するために、シリカベースの平面導波路の長い方のアーム上にマイクロヒータを配置することによって、能動的な位相シフトを行う。その設計パラメータおよび伝搬特性は、例えば、非特許文献２を参照に詳細に説明されている。ＭＺＩの数は、Ｎ＝３２であり、光遅延の増分は、ｎｃΔＬ＝２４０μｍであり、いずれのＦＳＲも、１２５０ＧＨｚ幅であった。２種類の光源が使用される。一方は、１９３．４ＴＨｚでリトロー周波数になるように周波数が設定された、コヒーレントレーザであった。他方は、光バンドパスフィルタと結合されたエルビウム添加光ファイバ増幅器であった。増幅器からのＡＳＥは、ＦＷＨＭが１５０ＧＨｚである狭帯域光を生成するためのフィルタを通過した。測定された光スペクトルは、リトロー周波数を有するＦＳＲ内に含まれた。
【００６９】
フィルタリングされた光は、第１のＭＺＩに投入され、加熱されることなく、そのスルーポート出力ｐ０およびクロスポート出力ｑ０がそれぞれ測定され、
【００７０】
【数２７】
2013535677.tif 000029
【００７１】
が導出される。次に、レーザ光が、ＭＺＩに投入される。クロスポート出力は、式（５）のｎ＝０における成分であるｌ＋ｃｏｓε０に比例すべきである。ＭＺＩの上側アームが、わずかに加熱され、元の位相誤差ε０が、加熱前後のクロスポート出力パワーの間の変化から推定される（例えば、非特許文献３を参照）。位相誤差値ε０が決定されると、ε０＋π／２（＝φ０）の位相誤差におけるクロスポート出力が入手可能である。第３に、クロスポート出力が推定された出力に達するまで、ヒータに供給される電流が増やされる。最後に、フィルタリングされた光が、ＭＺＩに投入され、アームを加熱したまま、両方のパワーｐ０およびｑ０が測定され、直交する出力が、
【００７２】
【数２８】
2013535677.tif 000030
【００７３】
によって導出される。これら４つのステップは、ヒータを上方に滑らせることによって、最初のＭＺＩから最後のＭＺＩまで順番に繰り返すことができ、図６に示されるような、ｋ＝０，１，２，…，Ｎ−１についての一連のデータ
【００７４】
【数２９】
2013535677.tif 000031
【００７５】
および
【００７６】
【数３０】
2013535677.tif 000032
【００７７】
が得られる。
【００７８】
差込図には、測定された位相誤差分布も示されている。
【００７９】
【数３１】
2013535677.tif 000033
【００８０】
および
【００８１】
【数３２】
2013535677.tif 000034
【００８２】
を得るために、
【００８３】
【数３３】
2013535677.tif 000035
【００８４】
および
【００８５】
【数３４】
2013535677.tif 000036
【００８６】
において、ＤＣ成分が差し引かれるが、そのために、窓Ｗｋ＝０．５｛１＋ｃｏｓ［πｋ／（Ｎ−１）］｝によるアポダイズが行われる。それらを式（７）に代入し、中央域にゼロを埋め込むことによって１２８（＝Ｍ）個のデータからなる複素数列
【００８７】
【数３５】
2013535677.tif 000037
【００８８】
を生成し、その離散複素フーリエ変換を実行することによって、｛Ｕｋ｝内の最初のＮ個のデータが導出される。
【００８９】
その結果のパワースペクトルが、光スペクトルアナライザを用いて測定された実際のパワースペクトルと一緒に、図７に示されている。
【００９０】
導出されたスペクトルは、測定されたスペクトルと非常に良く一致する。生成された２５６個のデータからなる複素数列は、負の周波数成分を有さなかったので、１つのＦＳＲの全範囲が、スペクトル測定のために利用可能であった。２５６個のデータからなる実数列
【００９１】
【数３６】
2013535677.tif 000038
【００９２】
に対しては、離散フーリエコサイン変換が実行され、その結果のスペクトルも図に示されている。スペクトルは、位相誤差のためシャープになり、さらにＦＳＲの中央域に関して対称的になった。これは、フーリエコサイン変換に基づいた従来の方法の場合、利用可能なスペクトル領域がＦＳＲの半分であることを意味する。
【００９３】
一態様における本発明は、平面導波路ＳＨＳに投入された光の正しいスペクトルを明らかにするための上述の位相シフト技法を含む。この技法は、各ＭＺＩから直交する出力を生成することを特徴とし、複素フーリエ変換が、スペクトルを直接的に導出する。本方法は、３２個のＭＺＩを有するシリカベースの平面導波路ＳＨＳを用いて実験的に確かめられた。この技法の利点は、利用可能なスペクトル領域が、ＳＨＳの１つの自由スペクトル領域であり、フーリエコサイン変換に基づいた従来の方法を用いた場合の利用可能なスペクトル領域よりも２倍広いことである。
【００９４】
要約すると、平面導波路回路（ＰＬＣ）のための変換分光計測定装置および方法が開示される。一般に、分光計は、入力光信号を伝える入力光信号導波路と、複数のカプラであって、各々のカプラは、前記入力光信号導波路に接続され、各々のカプラは、前記入力光信号に関する合流光信号を伝送するカプラ出力を含むことと、インタリーブされた導波路マッハツェンダ干渉計（ＭＺＩ）のアレイであって、各々のＭＺＩは、少なくとも１つの入力ＭＺＩ導波路を有し、各々のＭＺＩ入力導波路は、それぞれのカプラ出力からの合流光信号を受信することとを含む。位相シフト回路を、ＭＺＩの少なくとも１つのアームに適用することができ、アーム上に能動的な位相シフトを誘導し、それによってＭＺＩにおける位相誤差を測定する。ＭＺＩからの光出力は、位相シフト回路による能動的な位相シフトの後、固有の位相誤差条件の下で測定される。
【００９５】
本明細書では、好ましい実施形態が詳細に示され、説明されたが、本発明の趣旨から逸脱することなく、様々な変更、追加、および置換などを行うことができ、したがって、それらは、以下の特許請求の範囲において規定される本発明の範囲内に存在すると見なされることが当業者には明らかであろう。
【図１】
2013535677.tif 000039
【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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