(57)【要約】印刷ヘッドの複数のノズルの性能を評価する方法は、基板の表面上に試験マークを印刷するためにノズルの各々を反復して操作する工程であって、そのノズルにより印刷される試験マークの各々は異なる時間に印刷される、工程を含む。ノズルの各々の反復された操作の間、少なくとも一度、試験マークの少なくとも一部が表面から消去される。そのノズルにより印刷された試験マークは、そのノズルの性能を示す特徴について検査される。【選択図】図２
2013539405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷ヘッドの複数のノズルの性能を評価する方法であって、前記方法は、
基板の表面上に試験マークを印刷するために前記複数のノズルの各々を反復して操作する工程であって、前記ノズルにより印刷される前記試験マークの各々は異なる時間に印刷される、工程と、
前記ノズルの各々を反復して操作する工程の間に少なくとも一度、前記試験マークの少なくとも一部を前記表面から消去する工程と、
前記ノズルの性能を示す特徴に関して、前記ノズルにより印刷された前記試験マークを検査する工程と、
を含む、方法。
【請求項２】
前記試験マークを検査する工程は、前記試験マークの各々の画像を獲得する工程、および獲得した前記画像を検査する工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
評価した前記性能が所定の基準と一致する場合、印刷適用に使用するように選択される印刷ヘッドのノズルの群に含めるように前記複数のノズルのうちの１つのノズルを受け入れる工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記試験マークを消去する工程は、前記表面をワイパーで擦る工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記表面を前記ワイパーで擦っている間、前記ワイパーと前記表面との間にワイパーホイルを挿入する工程を含む、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記表面を加熱する工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記基板の表面はガラスまたはセラミックを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記特徴は、前記試験マークの位置または前記試験マークの厚さを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
印刷ヘッドの複数のノズルの安定性を評価する方法であって、前記方法は、
試験マークを印刷するために前記複数のノズルの各々を反復して操作する工程であって、前記ノズルにより印刷される前記試験マークの各々は異なる時間に印刷される、工程と、
前記ノズルの安定性を決定するために前記ノズルにより印刷された前記試験マークを比較する工程と、
を含む、方法。
【請求項１０】
前記試験マークを比較する工程は、
前記複数のノズルのうちの１つのノズルにより印刷された前記試験マークの各々の画像を獲得する工程と、
前記ノズルの安定性の欠如を示す試験マーク間の相違を検出するために前記画像を比較する工程と、
を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
決定した安定性が所定の基準と一致する場合、印刷適用に使用するように選択される印刷ヘッドのノズルの群に含めるように前記複数のノズルのうちの１つのノズルを受け入れる工程を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記ノズルの各々を反復して操作する工程の間に少なくとも一度、前記試験マークの少なくとも一部を前記表面から消去する工程を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
前記試験マークを比較する工程は、前記試験マークの位置を比較する工程または前記試験マークの厚さを比較する工程を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
印刷ヘッドの複数のノズルの性能を評価するシステムであって、前記システムは、
複数のノズルの各々により基板表面上に印刷された試験マークの画像を獲得するための画像装置と、
獲得された前記画像の特徴を検出するように構成されるプロセッサであって、前記特徴は前記ノズルの性能を示す、プロセッサと、
前記基板表面から前記試験マークを消去するための消去装置と、
を含む、システム。
【請求項１５】
ワイパーが前記基板表面を擦る場合、前記消去装置は、前記試験マークを消去するための前記ワイパーを含む、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
前記ワイパーが前記基板表面を擦る場合、前記消去装置がワイパーホイルを分配するためのディスペンサーを含み、前記ワイパーホイルが前記ワイパーと前記基板表面との間に挿入される、請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
前記ワイパーホイルは紙を含む、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記ワイパーは、摩耗材料により少なくとも部分的に囲まれる弾性材料を含む、請求項１５に記載のシステム。
【請求項１９】
前記摩耗材料は合成樹脂繊維を含む、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記基板表面を前記印刷ヘッド、前記画像装置、および前記消去装置のうちの１つ以上に運搬するための運搬装置を含む、請求項１４に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は印刷システムに関する。より具体的には、本発明は印刷ヘッドのノズルの評価に関する。
【背景技術】
【０００２】
印刷される文字または図形を形成するために基板にインクを堆積するために最初に開発されたインクジェット印刷の技術はさらなる用途に適用されている。一例として、インクジェット印刷技術は半導体基板の表面に金属導体材料を堆積させるのに適用されている。従って、例えば、インクジェット印刷技術は、太陽光発電のための光電池などの半導体ベースの電子デバイス上に電気的接続を堆積させるのに適用され得る。
【０００３】
インクジェットプリンタの印刷ヘッドは典型的に多数のノズルを備え、そのノズルを通して印刷液（例えばインク）が分配され得る。ノズルは典型的に一次元または二次元アレイの形態で配置される。ノズルのアレイは典型的に、並べられるノズルの列またはラインを含む。
【０００４】
インクジェット印刷技術の少なくとも一部の適用に関して、アレイのノズルは、アレイの他のノズルと並べられることが考えられ得る。従って、その適用に使用される各ノズルは、その適用に使用される他のノズルにより堆積される印刷液に関して特定の空間関係で印刷液を堆積させることが考えられ得る。そのような適用の一例には、半導体の表面上に導体材料のラインを堆積させることが含まれ得る。導体材料のラインが所望の厚さを有するように、印刷ヘッドと基板との間の相対運動はアレイのノズルの列に平行な方向であり得る。運動の過程の間、列の複数のノズルは、表面上に同期化して導体材料を堆積させ得る。運動に起因して、各ノズルにより堆積される材料は、導体材料の印刷されたラインの形態であり得る。この場合、列（最初を除く）のノズルの各々は、以前のノズルにより堆積された以前に堆積されたラインの上に導体材料のラインまたは層を堆積させることが考えられる。一貫してかつ正確にそのようにできないと、導体材料の堆積されたラインの質が低下し得る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の実施形態の目的は、印刷ヘッドが、一貫して並べられるように印刷適用の一部として材料を堆積することを確実にするように印刷ヘッドのノズルの評価を提供することである。
【０００６】
本発明の実施形態のさらなる目的は、再利用可能な基板を用いるノズルの評価を提供することである。
【０００７】
本発明の他の目的および利点は、本発明を読み、添付の図面を検討した後、明らかになるだろう。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
従って、本発明の一部の実施形態によれば、印刷ヘッドの複数のノズルの性能を評価する方法であって、その方法は、基板の表面上に試験マークを印刷するために複数のノズルの各々を反復して操作する工程であって、そのノズルにより印刷される試験マークの各々は異なる時間に印刷される、工程；ノズルの各々を反復して操作する工程の間、少なくとも一度、表面から試験マークの少なくとも一部を消去する工程；およびそのノズルの性能を示す特徴に関して、そのノズルにより印刷された試験マークを検査する工程を含む、方法が提供される。
【０００９】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、試験マークを検査する工程は、試験マークの各々の画像を獲得する工程と、獲得した画像を検査する工程とを含む。
【００１０】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、その方法は、評価した性能が所定の基準と一致する場合、印刷適用に使用するように選択される印刷ヘッドのノズルの群に含めるように複数のノズルのうちの１つのノズルを受け入れる工程を含む。
【００１１】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、試験マークを消去する工程は、表面をワイパーで擦る工程を含む。
【００１２】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、その方法は、表面をワイパーで擦っている間、ワイパーと表面との間にワイパーホイルを挿入する工程を含む。
【００１３】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、その方法は、表面を加熱する工程を含む。
【００１４】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、基板の表面は、ガラスまたはセラミックを含む。
【００１５】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、その特徴は、試験マークの位置または試験マークの厚さを含む。
【００１６】
本発明の一部の実施形態によれば、印刷ヘッドの複数のノズルの安定性を評価する方法であって、その方法は、試験マークを印刷するために複数のノズルの各々を反復して操作する工程であって、そのノズルにより印刷される試験マークの各々は異なる時間に印刷される、工程；およびそのノズルの安定性を決定するためにそのノズルにより印刷された試験マークを比較する工程を含む、方法がさらに提供される。
【００１７】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、試験マークを比較する工程は、複数のノズルのうちの１つのノズルにより印刷された試験マークの各々の画像を獲得する工程；およびそのノズルの安定性の欠如を示す試験マーク間の相違を検出するために画像を比較する工程を含む。
【００１８】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、その方法は、決定した安定性が所定の基準と一致する場合、印刷適用に使用するように選択される印刷ヘッドのノズルに群に含めるように複数のノズルのうちの１つのノズルを受け入れる工程を含む。
【００１９】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、その方法は、ノズルの各々を反復して操作する工程の間、少なくとも一度、試験マークの少なくとも一部を表面から消去する工程を含む。
【００２０】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、試験マークを比較する工程は、試験マークの位置を比較する工程または試験マークの厚さを比較する工程を含む。
【００２１】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、印刷ヘッドの複数のノズルの性能を評価するシステムが提供され、そのシステムは、複数のノズルの各々により基板表面上に印刷された試験マークの画像を獲得するための画像装置；獲得された画像の特徴を検出するように構成されるプロセッサであって、その特徴はそのノズルの性能を示す、プロセッサ；および基板表面から試験マークを消去するための消去装置を含む。
【００２２】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、ワイパーが基板表面を擦る場合、消去装置は、試験マークを消去するためのワイパーを含む。
【００２３】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、ワイパーが基板表面を擦る場合、消去装置がワイパーホイルを分配するためのディスペンサーを含み、ワイパーホイルがワイパーと基板表面との間に挿入される。
【００２４】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、ワイパーホイルは紙を含む。
【００２５】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、ワイパーは、摩耗材料により少なくとも部分的に囲まれる弾性材料を含む。
【００２６】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、摩耗材料は合成樹脂繊維を含む。
【００２７】
さらに、本発明の一部の実施形態によれば、そのシステムは、基板表面を印刷ヘッド、画像装置、および消去装置のうちの１つ以上に運搬するための運搬装置を含む。
【００２８】
本発明をより良く理解し、その実際の適用を認識するために、以下の図面が提供され、本明細書以下で参照される。図面は例のみとして与えられ、本発明の範囲を決して限定するものではないことに留意すべきである。同様の構成要素は同様の参照番号により示される。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る、印刷ヘッドノズル安定性評価のためのシステムの概略図である。
【図２】図２は、本発明の一実施形態に係る、印刷ヘッドノズル安定性評価のための試験マークの堆積を概略的に示す。
【図３】図３は、本発明の一実施形態に係る、印刷ヘッドノズル安定性評価基準を概略的に示す。
【図４Ａ】図４Ａは、本発明の一実施形態に係る、再生可能な基板を用いる印刷ヘッドノズル安定性評価を概略的に示す。
【図４Ｂ】図４Ｂは、本発明の一実施形態に係る、ワイパーの構造を概略的に示す。
【図５】図５は、本発明の一実施形態に係る、印刷ヘッドノズル安定性評価方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下の詳細な説明において、本発明の完全な理解を提供するために複数の特定の詳細が記載される。しかしながら、本発明はこれらの特定の詳細を必要とせずに実施されてもよいことは当業者により理解されるだろう。他の例において、本発明を曖昧にしないように、周知の方法、手順、構成要素、モジュール、装置および／または回路の詳細は記載していない。
【００３１】
本発明の実施形態は、例えば命令、例えばコンピュータ実行可能命令をコードし、含み、または記憶する、メモリ、ディスクドライブ、もしくはＵＳＢフラッシュメモリなどのコンピュータもしくはプロセッサ可読媒体、またはコンピュータもしくはプロセッサ記憶媒体などの物品を含んでもよく、プロセッサまたはコントローラにより実行される場合、それらは本明細書に開示される方法を実施する。
【００３２】
本発明の実施形態によれば、印刷ヘッドの各ノズルの質が評価される。評価の結果として、ノズルは、印刷適用に使用するために選択されるノズルの群に含まれるように受け入れられてもよい。例えば、ノズルの安定性の評価は、印刷液を基板の表面上に堆積させることによって異なる時点（例えば周期的）に各ノズルにより反復して印刷される試験マークを比較することからなってもよい。異なる時点において単一ノズルにより印刷された試験マークは、そのノズルで印刷された場合の矛盾し、不規則な、または不安定ないずれかの挙動を検出するために、互いに比較され得る。さらに、ヘッドの異なるノズルにより印刷された試験マークが互いに比較されてもよい。ノズルの１つにより印刷された試験マークが、所定の安定性基準（および任意の他の品質基準）と一致することが試験マークの分析により示された場合、そのノズルは、選択されるノズルの群に含まれるように受け入れられてもよい。基準との一致は典型的に、単一のノズルにより印刷されたマークが互いに一致することを示し（例えばノズルが一貫してかつ安定に印刷することを示す）、それらが、他のノズルにより印刷されたマークと一致することを示す（例えば印刷液の適切なアラインメントおよび分配の許容可能な速度を示す）。
【００３３】
選択されるノズルの群に含むための基準は、印刷された試験マークにより測定可能なノズルの特性の値を含んでもよい。例えば、印刷ヘッドの他のノズルにより印刷された試験マークから横方向にずれて、または試験マークについての所望の横方向の位置から横方向にずれて一貫して試験マークを印刷するノズルは、選択されるノズルの群に含まれることを拒絶され得る。
【００３４】
ノズル印刷の安定性の評価は、ノズルの過去の試験の記録した結果（ノズル性能の履歴とも称される場合がある）との比較を含んでもよい。評価は、異なる時点で実施された試験に対する様々な重要性または関連性を割り当てる重み付け計数を含んでもよい。例えば、最近実施した試験の結果が、最近実施していない以前の試験の結果より重要であると割り当てられてもよい。
【００３５】
典型的に、試験マークの評価は、画像装置（例えばカメラ、ビデオカメラ、またはスキャナ）により試験マークの画像を獲得し、分析することを含む。安定性の不足は、異なる時点において単一ノズルにより印刷された試験マークの画像間の相違により示されてもよい。
【００３６】
本発明の実施形態によれば、ノズルの評価は再利用可能な基板上に試験マークを印刷することを含んでもよい。試験マークは、基板の再利用前に、（試験マークの任意の種類の除去を参照して理解するために）除去または消去されてもよい。例えば、試験マークは、試験マークの検査または画像化後に消去されてもよい。あるいは、基板の表面が、以前に印刷されたマークで覆われた場合、さらなる印刷を防ぐかまたは困難にし、試験マークを識別可能にする程度まで試験マークは消去されてもよい。あるいは、試験マークは、周期的にまたは所定の基準に従って消去されてもよい。
【００３７】
本発明の実施形態に係るノズル評価は、プリンタまたは印刷システムが、印刷ヘッドの複数のノズルの中からノズルの１つ以上の群を選択できるようにし得る。選択は、基板上への反復印刷および試験マークのパターンの自動検査の結果として実施されてもよい。自動検査は、ノズルの１つ以上の群を識別でき、その群の中で、ノズルの群は、互いに並べられ、（例えば、各マークを形成するために堆積した印刷液の量に関して）互いに類似しているマークを一貫して印刷する。１つ以上の識別されたノズルの群は、印刷操作の間、使用のために選択されてもよい。印刷操作の間、ノズルの選択された群は、基板上に協働して印刷液（例えばインクまたは金属導体材料）を堆積させるように作動されてもよい。
【００３８】
例えば、本発明の一実施形態に係るノズル安定性評価の結果、印刷ヘッド（例えば、ノズル間に約７０μｍの分離距離を有する２５６個のノズルを含む）のノズルの列からノズルの群（例えば１０個のノズル）の選択が得られ得る。選択された群のノズルは、単一の直線に沿って反復可能な量の導体材料を基板上に一貫して堆積できると識別される。このような選択された群の印刷適用は、典型的に、基板上の印刷ヘッドの単一通過の間、導体材料の単一の多層ラインを半導体基板上に堆積させるように選択された群のノズルの操作を含んでもよい。
【００３９】
例えば、印刷装置は、（例えば印刷ヘッド、基板またはその両方の直線運動により）印刷ヘッドと基板との間に直線相対運動を生じてもよい。典型的に、直線運動はノズルの列に平行な方向である。直線相対運動の間、基板の表面上の特定の位置が、選択された群のノズルの各々の反対側に連続して見出され得る。選択された群のノズルの全てまたは一部は、各ノズルが、そのノズルと現在反対側にある基板表面上の位置において導体材料を堆積させるように、同時にまたは連続して（または異なる時点でその両方で）作動されてもよい。従って、選択された群の第１のノズルが基板上の特定の位置に導体材料を堆積させた後、続いて第２のノズルが、第１のノズルにより堆積された導体材料の上部に、より多くの導体材料を堆積させる。従って、導体材料の第２の層が第１の層の上に堆積される。従って、印刷適用の間に作動するノズルの数は、各々の印刷されたライン上に堆積される導体材料の層の数（例えば１０）を超えない。
【００４０】
典型的に、各々の堆積された層は、後の層の堆積前に凝固され得るので、ノズルの適切なアラインメントにより、多層ラインの幅が、単一層の幅とほぼ等しくなることが確保され得る。この例において特に、不必要にラインの幅を拡大しないように、ノズルジェットの方向性（インクが分配される横方向）が特に重要であり得る。この場合、特に、各ノズルは、以前に堆積された層の上部に可能な限り近接してその層を堆積すべきである。
【００４１】
印刷ヘッドのノズルの評価は、印刷ヘッドの各ノズル、または印刷ヘッドのノズルのサブセット（例えばノズルのアレイの単一の列）の各ノズルが、所定の順序で試験基板に印刷するように作動する、印刷操作を実施することを含む。例えば、印刷ヘッドと基板との間の直線相対運動の間、各ノズルは連続して、細長い線部分（または破線）の形態で試験マークを印刷してもよい。次いで、画像システムが、印刷された試験マークのパターンの画像（複数も含む）を獲得してもよい。マークの分析は、性能が他のノズルの性能から著しく外れる、それらのノズルを識別できる。このような外れることは、他のノズルにより印刷された試験マークの位置に対して横方向または縦方向にずれた試験マーク（例えば、他のノズルから異なって向けられるノズルを示す）、あるいは他の試験マークより厚いかまたは薄い試験マーク（例えば、他のノズルの分配速度と異なる速度で材料を分配するノズルを示す）の印刷を含んでもよい。獲得された画像は、その後の試験結果との後での比較のために保存されてもよい。
【００４２】
印刷操作は所定の間隔で反復されてもよい。例えば、試験マークのパターンは、同じ基板表面上、または異なる基板表面上の別の位置において後の時間に印刷されてもよい。別の例として、試験マークは、基板表面から消去されてもよいか、またはそうでなければ除去されてもよい。次いで別のセットの試験マークが試験基板上の同じ位置に印刷されてもよい。次いで後に印刷された試験マークのパターンの画像が獲得され、分析されてもよい。後に獲得された試験画像の分析は、以前に獲得された試験画像の保存された結果と新たに獲得された結果との比較を含んでもよい。ノズルの１つにより印刷された試験マークの出現の画像間の有意な変化は、ノズルが、可変の一貫性のない不安定なまたは不規則な挙動で印刷することを示し得る。
【００４３】
典型的には、適用に必要とされるノズルの数（例えば上述の例のように１０）が、ノズルの選択される群に含むように選択されてもよい。選択される群についてのノズルは、（試験パターンの画像の分析により示される）挙動が所定の基準を満たす、それらのノズルの中から選択されてもよい。その基準は、時間にわたる一貫性ならびにマークの位置および質が規定の制限の範囲内にあることを含んでもよい。
【００４４】
所定の基準を満たす受容可能なノズルの数は、必要とされるノズルの数より多くてもよい。受容可能なノズルの数が必要とされるノズルの数より多い場合、群について選択されるノズルは、ノズル試験の間に最適に実施されるそれらのノズルであってもよい。例えば、スコアが各ノズルに割り当てられてもよい。スコアは、そのノズルにより印刷された試験マークの分析に基づいてもよい。スコアは、特定の印刷適用に対するマークの様々な特性の相対的重要性（例えば予想される位置に対する位置、印刷されたマークの薄さまたは厚さ、一貫性などの特性）に基づいた式に基づいて計算されてもよい。あるいは、群に含まれるノズルは、それらの間隔またはノズル性能試験の間のノズルの性能に関連しない他の基準に基づいた受容可能なノズルの中から選択されてもよい。あるいは、ノズルは、群に含まれる受容可能のノズルの中からランダムに選択されてもよい。あるいは、ノズルは、群に含まれる受容可能なノズルの中から順番で選択されてもよい（例えば、１セットのノズルが、１つの印刷ジョブの間の操作のために選択され、第１のセットと部分的に重なってもよい異なるセットが、異なる印刷ジョブのために選択されてもよい）。
【００４５】
受容可能なノズルの数が、必要とされるノズルの数より少ない場合、印刷ヘッドは、１つまたは複数の適用には不適格であり得る。あるいは、例えば、厳格な要求を必要としない適用に関して、要求は、必要とされる数のノズルを群に含むように緩和されてもよい。
【００４６】
図１は、本発明の一実施形態に係る、印刷ヘッドノズル安定性評価のためのシステムの概略図である。印刷ヘッドノズル安定性評価システム１０は、印刷ヘッド１２と、画像装置１６と、制御装置２０とを備える。
【００４７】
印刷ヘッド１２は、印刷液（例えばインクまたは導体材料）を分配するためのノズル１４を備える。分配された印刷液は基板１８上に堆積され得る。印刷ヘッド１２が基板１８上に印刷液を堆積している間、基板１８および印刷ヘッド１２は互いに対して移動する。典型的には、基板１８は印刷ヘッド１２を超えて移動されてもよい。
【００４８】
印刷ヘッド１２のノズル１４は基板１８上に試験マークを印刷するように印刷液を堆積させる。印刷は、ノズル１４の１つにより堆積される印刷液が、別のノズルにより堆積される印刷液と識別できるように構成される。例えば、ノズルの列の各ノズル１４は一度に操作されてもよい。基板１８が印刷ヘッド１２に対して移動すると、各ノズル１４は試験マークを基板１８上に連続して堆積させる。従って、一連の試験マークが基板１８上に印刷され得る。ノズル１４が作動する順序が既知である場合、各試験マークを印刷するノズル１４は、そのシリーズ内の試験マークの位置により決定されてもよい。例えば、マークは、そのシリーズの１つの終わりにおいて既知の参照試験マークから続けてカウントされてもよい。あるいはまたはさらに、基板１８は、１つまたは複数の基準マークまたはラインでマークされてもよい。各試験マークは、基準マークに対する既知の位置（名目上、ノズル１４の印刷挙動に依存する）において基板１８上に印刷されてもよい。
【００４９】
図２は、本発明の一実施形態に従う、印刷ヘッドノズル安定性評価のための試験マークの堆積を概略的に示す。
【００５０】
印刷ヘッド１２のノズル１４は列１５の形態で配置される。列１５の各ノズル１４は、順に、試験マーク２６を基板１８上に堆積させる。特定のノズル１４により基板１８上に印刷された特定のマーク２６の例は線１７により示される。例えば、基板１８は、ガラス、セラミック、または半導体材料の表面を備えてもよい。基板１８上の試験マーク２６の印刷の間、基板１８は、印刷ヘッド１２に対して矢印２５により示された方向において、（単一の方向および一定の速度において）直線的に移動される。矢印２５により示された方向は、列１５の方向と実質的に平行である。直線相対運動は、基板１８、印刷ヘッド１２、またはその両方の直線運動により実現され得る。相対的直線運動に起因して、各マーク２６が、細長いマークの形態（例えば破線またはハイフンの形態）で基板１８上に印刷されてもよい。
【００５１】
例えば、列１５に配置される２５６個のノズル１４を含む印刷ヘッド１２において、２５６個の試験マーク２６が、名目上の線形配置において基板１８上に印刷され得る。例えば、基板１８が約１５０ｍｍ長である場合、試験マーク２６の各々は、ミリメートル長のおよそ半分より長くなくてもよい。
【００５２】
基板１８は、さらなるセットの試験マーク２６で、さらに１回または複数回マークされてもよい。例えば、制御装置２０は、２回以上、互いに基板１８および印刷ヘッド１２を移動させるように構成されてもよい。例えば、基板輸送装置またはシステムは、さらなるセットの試験マーク２６を印刷するために基板１８を印刷ヘッド１２に戻すように構成されてもよい。さらなるセットの試験マーク２６は、定期的に所定の間隔（例えば１分に１回）、ランダムな間隔、または印刷ヘッドノズル安定性評価システム１０の人の操作により示されるように自動的に印刷されてもよい。例えば、さらなるセットの試験マーク２６を印刷するために、基板１８が印刷ヘッド１２に戻る時間ごとに、基板１８は、横方向に変位されてもよいか、またはそうでなければさらなるセットの試験マーク２６が、試験マーク２６の以前のセットである基板１８の表面の異なる部分に印刷される。従って、試験マーク２６の各セットは、以前に印刷されたセットから識別可能であり得る。
【００５３】
基板１８は、基準線２７などの１つ以上の基準マーク（または基準マークのセット）でマークされてもよい。基準線２７は、試験マーク２６を堆積または評価するための空間的基準を提供してもよい。
【００５４】
図１を再び参照すると、試験マークで印刷した後に、基板１８は、基板輸送装置１３により画像装置１６まで輸送または運搬されてもよい。両方向矢印により概略的に示されている、基板輸送装置１３は、当該技術分野において公知の１つ以上の基板運搬装置、またはそのような装置の組み合わせもしくはシリーズを表し得る。そのような運搬装置としては、例えば、コンベヤベルト、ロボットアーム、流体（液体または気体）ベースの流れ基板運搬シスステム、または移動プラットフォームが挙げられ得る。
【００５５】
画像装置１６は、１つ以上のビデオまたはさらにカメラ、スキャナ、または基板１８上の試験マーク２６の画像を獲得できる任意の他の装置を備えてもよい。画像装置１６のコンポーネント装置は、異なるスペクトル領域に敏感な画像装置を備えてもよい。基板１８が画像装置１６に運搬される場合、画像装置１６は、基板１８上の試験マークの１つ以上の画像を獲得するように操作されてもよい。画像装置１６の解像度は、互いから個々の試験マーク２６を識別し、その関連したノズル１４の選択に関係し得る試験マーク２６の任意の特徴を分解するのに十分であり得る。
【００５６】
複数のセットの試験マークが基板１８上に印刷される事象において、各セットの試験マークの印刷後、および別のセットの印刷前に、基板１８は画像装置１６に輸送されてもよい。あるいは、２つ以上のセットの試験マークが基板１８に印刷された後にのみ、基板１８は画像装置に輸送されてもよい。
【００５７】
制御装置２０はプロセッサ２２およびデータ記憶装置２４を含む。制御装置２０は２つ以上の別の装置を表してもよい。別の装置は、関連または重複する機能を実施してもよいか、あるいは互いに独立してもよい。制御装置２０は、印刷ヘッドノズル安定性評価システム１０に関連または一体化されている印刷ヘッド１２、画像装置１６、および任意の他の装置もしくはシステム（例えばコンベヤまたは輸送装置）からのデータまたは信号と通信してもよく、それらの操作を制御してもよい。
【００５８】
プロセッサ２２は１つ以上の処理装置を表してもよい。処理装置は、印刷ヘッドノズル安定性評価システム１０、印刷ヘッド１２（またはプロセッサがコンポーネントであるプリンタもしくは印刷装置）、または画像装置１６と通信するコンピュータと関連付けられてもよい。プロセッサ２２は、印刷ヘッド１２および画像装置１６の操作を制御するための命令を作成してもよい。プロセッサ２２は、画像装置１６により獲得される画像データを分析するように構成されてもよい。例えば、プロセッサ２２は、異なる時点で印刷された試験マーク２６の画像を比較するように構成されてもよい。
【００５９】
データ記憶装置２４は、集合的に、１つ以上の揮発性または不揮発性、固定または除去可能なデータ記憶またはメモリ装置を表してもよい。データ記憶装置は、印刷ヘッド１２および画像装置１６の操作を制御するため、画像装置１６により獲得される画像または他のデータを分析するためのプログラム命令を記憶するように構成されてもよい。データ記憶装置は、画像装置１６により獲得される画像データを記憶するように構成されてもよい。
【００６０】
画像装置１により獲得される画像データは、制御装置２０のプロセッサ２２により分析されてもよい。分析の結果として、ノズル１４の一部が、選択されるノズルの群に含めるように選択されてもよい。例えば、分析は、獲得された画像の残りから印刷された試験マークの画像を識別すること、各試験マークを少なくとも部分的に特徴付ける特性値（例えば、位置、方向、長さ、幅または厚さ、均一性）を計算することを含んでもよい。複数のセットの試験マークが単一のウェハに印刷される事象において、分析はまた、試験マークのセットを互いから識別することを含んでもよい。試験マークの各画像は、時間にわたる特性値の一貫性または安定性を決定するために、以前にまたは後に印刷される試験マークの画像と比較されてもよい。
【００６１】
選択されるノズルの群の選択後、制御装置２０または別の印刷制御装置が、基板上のパターンを堆積または印刷するために印刷ヘッド１２を操作してもよい。制御装置は、所望のパターンを堆積させるように印刷液を分配するためにノズル１４の操作を制御する。選択の結果として、制御装置は、印刷液を分配することを、選択されるノズルの群に含んだそれらのノズルに制限してもよい。
【００６２】
図３は、本発明の一実施形態に係る、印刷ヘッドノズル安定性評価基準を概略的に示す。
【００６３】
試験マーク２６は、印刷ヘッドと基板との間の直線運動の間に、印刷ヘッドのノズルにより印刷されたマークの画像を表す。試験マーク２６’は、同じ印刷ヘッドの同じノズルにより、同じようにではあるが、別の時間に印刷されたマークの画像を表す。例えば、試験マーク２６は基板上の１つの位置で印刷されてもよく、一方、試験マーク２６’は、例えば図３に示すように、同じ基板上の横方向に変位した位置で印刷された。あるいは、試験マーク２６および２６’は、図３に示すように、別々に印刷された２セットのマークの例示目的のために並列で表してもよい。例えば、試験マーク２６’は、直線的にまたはそうでなければ試験マーク２６が印刷された同じ基板上、または試験マーク２６が基板から消去されるかまたはそうでなければ除去された後、別の基板上もしくは同じ基板上の移動させた位置に印刷されてもよい。
【００６４】
試験マーク２６および２６’は分析されてもよい。分析により、特定の試験マーク２６を印刷したノズルおよびその対応する試験マーク２６’が選択されたノズルの群に含まれるか否かが示され得る。
【００６５】
試験マーク２６および２６’の分析は典型的に、試験マーク２６および２６’の相対位置の分析を含む。ライン２８は、試験マーク２６の名目上の位置および方向を表す代表的な仮想ラインである。例えば、ライン２８は、試験マーク２６に対する直線の線形フィット（例えば少なくとも正方形または他のフィット）を表してもよい。同様に、ライン２８’は、試験マーク２６’の名目上の位置および方向を表す。
【００６６】
あるいは、ライン２８および２８’は、基板表面上に提供（例えばエッチング）される基準線または基準線に対する位置を表してもよい。例えば、試験マーク２６および２６’は基板の細長い領域内に印刷されてもよい。細長い領域は、平行線（例えば図２における基準線２７）により基板表面上に画定されてもよい。試験マーク２６および２６’は、名目上、画定しているラインの間の真ん中にある仮想中心線に沿って印刷される（中心ラインは典型的に、試験マーク２６または２６’の検出および分析を邪魔しないように実際には目に見えない）。この場合、ライン２８および２８’は、細長い領域の仮想中心線を表してもよい。
【００６７】
試験マーク２６とライン２８の１つの間の横方向距離が所定の横方向距離を超える場合、または試験マーク２６’とライン２８’の１つの間の横方向距離が所定の横方向距離を超える場合、マークを印刷したノズルが、他の列のノズルのように同じ相対的横方向において印刷液を一貫して分配しないことが示され得る。次いで関連したノズルが、選択されるノズルの群内に含まれる選択から排除されてもよい。
【００６８】
例えば、範囲外の試験マーク２６ａは、それぞれ試験マーク２６および試験マーク２６’の他のものより線２８および線２８’からのより長い横方向の距離として示される。
【００６９】
試験マーク２６および２６’の分析は、試験マーク２６および２６’のサイズまたは視認性の分析を含んでもよい。試験マーク２６または２６’の出現（例えば幅または厚さ、あるいは画像バックグラウンドに対するマークの画像の相対的色または階調レベルにより特徴付けられる光学的重み）は他の試験マーク２６または２６’の出現とは異なってもよい。例えば、ノズル選択システムに関連する画像装置が、試験マーク２６または２６’の幅を分解するために十分な解像度を有する場合、幅（例えば幅の平均または他の特性値）が、試験マーク２６または２６’の出現を特徴付けるために使用されてもよい。あるいはまたはさらに、試験マーク２６または２６’の出現は、試験マーク２６または２６’の光学的重みにより特徴付けられてもよい。このような出現の相違により、異なって出現するマークを有するノズルは、列の他のノズルと同じ速度でインクを一貫して分配しないことが示され得る。従って、その関連したノズルは、選択されるノズルの群に含まれることから除外されてもよい。
【００７０】
例えば、目に見えない試験マーク２６ｂは完全に消失して示される。これにより、対応するノズルが印刷液を全く分配しない（または非常に弱く分配する）ことが示され得る。濃い試験マーク２６ｃは試験マーク２６および２６’の他のものより厚く示される。これにより、対応するノズルが、列の他のノズルより速い速度で印刷液を分配することが示され得る。薄い試験マーク２６ｄは、試験マーク２６および２６’の他のものより薄く示される。これにより、対応するノズルが、列の他のノズル低い速度で印刷液を分配することが示され得る。従って、目に見えない試験マーク２６ｂ、濃い試験マーク２６ｃ、または薄い試験マーク２６ｄのいずれかに対応するノズルは、選択されるノズルの群に含めることから除外されてもよい。
【００７１】
試験マーク２６および２６’の分析は、同じノズルにより印刷された試験マーク２６と試験マーク２６’との間の位置または出現の変化の分析を含んでもよい。試験マーク２６の出現（例えば厚さまたは重み）または位置が、その対応する試験マーク２６’のものと異なる場合、関連するノズルが、安定または一貫した方式で作動することが示され得る。例えば、ノズルが、不安定または可変速度で印刷液を分配すること、あるいはノズルが、不安定または可変の方向において印刷液を分配することが示され得る。従って、関連するノズルは、選択されるノズルの群に含めることから除外されてもよい。
【００７２】
例えば、第１の試験マーク２６ｅの出現は、対応する第２の試験マーク２６ｅ’の出現とは異なる（重みがある（濃い））。これにより、第１の試験マーク２６ｅおよび第２の試験マーク２６ｅ’を印刷したノズルが、印刷の間に堆積される印刷液の質（または堆積速度）に関して不安定であることが示され得る。従って、そのノズルは、選択されるノズルの群に含めることから除外されてもよい。
【００７３】
別の例として、ライン２８に対する第１の試験マーク２６ｆの横方向の位置は、ライン２８’に対する対応する試験マーク２６ｆ’の横方向の位置とは異なる（反対かつ大きい）。相対的な横方向の位置のこの相違により、第１の試験マーク２６ｆおよび第２の試験マーク２６ｆ’を印刷したノズルは、印刷の間に印刷液が分配される横方向に関して不安定であることが示され得る。従って、そのノズルは、選択されるノズルの群に含めることから除外されてもよい。
【００７４】
試験マーク２６および２６’が印刷される表面上の試験基板は、試験マーク２６および２６’の印刷および分析を容易にするように選択されてもよい。従って、試験基板は、例えば、ダミー（例えば回路を含まない）シリコンウェハ、ガラスまたはセラミックウェハまたはスライド、あるいは紙またはボール紙の適切に成形された部分を含んでもよい。さらなる考慮により、試験基板の選択にさらに影響を与えることができる。例えば、使い捨ての様式（例えば、表面を印刷した試験マークで満たした後にダミーシリコンウェハを捨てる）でダミーシリコンウェハを用いることは、他の代替法より高価になり得る。しかしながら、印刷システムが設計される基板（例えばシリコンウェハ）と、その特性（例えば密度、厚さまたは質量）が異なる安価な使い捨て試験基板（例えば紙またはボール紙）の使用は、配置または操作に関する問題を引き起こす場合がある。本発明の一実施形態に係る１つの解決策は、関連特性（例えば寸法および質量）が、システムが設計される基板（例えばシリコンウェハ）のものと同様である再利用可能な試験基板（例えばガラスまたはセラミック表面を有する）を提供することである。
【００７５】
本発明の一実施形態に係るノズル選択は、再利用可能な基板上に印刷液を堆積させることを含んでもよい。ノズル選択設定またはシステムは、再利用前に基板から堆積された印刷液を消去またはそうでなければ除去するための装置を含んでもよい。
【００７６】
図４Ａは、本発明の一実施形態に係る、再利用可能な基板を使用する印刷ヘッドノズル安定性評価を概略的に示す。
【００７７】
再利用可能な基板を用いるノズル選択のシステムは、マーク消去装置３０を有する印刷ヘッドノズル安定性評価システム１０を含んでもよい。再利用可能な基板１９（例えば平坦なガラスまたはセラミックプレート）は印刷ヘッド１２に輸送または運搬されてもよい。印刷ヘッド１２は再利用可能な基板１９上に試験マーク２６のセットを堆積させてもよい。
【００７８】
試験マーク２６のさらなるセットが、後の時間に再利用可能な基板１９上に印刷されてもよい。試験マーク２６の１つ以上のセットが再利用可能な基板１９上に印刷された後、再利用可能な基板１９は画像装置１６に輸送されてもよい。画像装置は試験マーク２６の１つ以上の画像を獲得してもよい。試験マーク２６の獲得した画像または特徴は試験マーク２６の分析のために保存されてもよい。
【００７９】
再利用可能な基板１９は定期的に再利用されてもよい。再利用前に、再利用可能な基板１９はマーク消去装置３０に運搬されてもよい。マーク消去装置３０は、印刷された試験マーク２６の全てまたは合計を再利用可能な基板１９の表面から除去するように操作されてもよい。例えば、印刷ヘッド１２もしくは画像装置１６を制御する制御装置、または別の制御装置が、マーク消去装置３０の操作を制御してもよい。
【００８０】
試験マークの各セットが画像装置１６により画像化された後、マーク消去装置３０は、試験マーク２６を再利用可能な基板１９から除去するように操作されてもよい。あるいは、再利用可能な基板１９の表面が試験マーク２６で満たされた場合、マーク消去装置３０は、試験マーク２６を再利用可能な基板１９から除去するように操作されてもよい。あるいはまたはさらに、マーク消去装置３０は、人の操作者により示されるか、または他の所定の基準に従って、所定の間隔で試験マーク２６を再利用可能な基板１９から除去するように操作されてもよい。
【００８１】
マーク消去装置３０は、機械的摩耗、摩擦、または剥離を再利用可能な基板１９に適用することによって、試験マーク２６を再利用可能な基板１９から除去するように構成されてもよい。再利用可能な基板１９の表面が、直接擦られないか、または摩耗により損傷されないように十分に硬い表面を有する材料から再利用可能な基板１９は構成されてもよい。例えば、再利用可能な基板１９はガラスまたはセラミック表面を含んでもよい。
【００８２】
再利用可能な基板１９の１つ以上の表面は、マーク消去装置３０により容易に消去されないラインまたは他のマーキング（例えば基準線またはマーキング）を含んでもよい。例えば、消去されないマーキングは、エッチングまたはスクラッチングプロセスにより形成されてもよいか、再利用可能な基板１９内または内部に導入されてもよいか、または消去されないもしくは恒久的なインク、色素もしくは塗料の適用により形成されてもよい。
【００８３】
試験マーク２６を形成するために再利用可能な基板１９の表面に堆積される印刷液が凝固されることを確保するために１つ以上の技術が適用されてもよい。このような凝固は、試験マーク２６を形成するために再利用可能な基板１９上に堆積されるインクが、（例えば試験マーク２６の拡散、不鮮明化、または滲みを防ぐように）凝固するまで所定の位置にあることを確保し得る。凝固はまた、消去装置３０による試験マーク２６の消去を容易にできる。加熱装置３１により概略的に表されるそのような凝固技術には、例えば、基板を加熱すること、または電磁放射を堆積された印刷液に適用することが含まれ得る。例えば、再利用可能な基板１９は、印刷ヘッド１２による再利用可能な基板１９上での印刷前に、（例えば約１５０℃〜２３０℃の温度に）予熱されてもよい。例えば、再利用可能な基板１９は、真空を適用することにより加熱された金属面またはチャックにより保持されてもよい。
【００８４】
摩耗の代替としてまたは摩耗に加えて、マーク消去装置は、再利用可能な基板１９の表面から試験マーク２６を遊離または除去するための１つ以上の他の技術を適用できる。そのような技術には、例えば、音波または超音波、機械的動作（例えば振動または振盪）、流体（液体または気体）動作、放射線（例えばレーザ光）、熱、または化学的因子の適用が含まれ得る。
【００８５】
マーク消去装置３０はワイパー３２を含む。ワイパー３２は、再利用可能な基板１９の表面を擦るように操作されてもよい。例えば、ワイパー３２は、ワイパー３２と再利用可能な基板１９との間の相対運動の間、再利用可能な基板１９に対して押されてもよい。例えば、ワイパー３２は、円形断面（図４に示す）を有してもよく、再利用可能な基板１９の表面と接触する間に回転されてもよい。別の例として、再利用可能な基板１９がワイパー３２を通して運搬される場合、ワイパー３２は再利用可能な基板１９に対して押されてもよい。別の例として、ワイパー３２は、直線運動により、再利用可能な基板１９に対して擦られるかまたは押されてもよい。
【００８６】
再利用可能な基板１９を擦る場合、ワイパー３２には、再利用可能な基板１９からの印刷された試験マーク２６の除去のためまたは除去を促進するように設計される外面が提供されてもよい。例えば、ワイパー３２の外面は摩耗性であってもよい。そのような摩耗性は、ワイパー３２が再利用可能な基板１９を擦る場合、再利用可能な基板１９から試験マーク２６を擦り取ることを容易にできる。
【００８７】
典型的に、ワイパー３２の外面の少なくとも一部は材料が提供されてもよい。例えば、試験マーク２６が消去された後、試験マーク２６の粒子を収集するような被覆材であってもよい。このように、被覆材は、清浄度を保存でき、ワイパー３２の有用な寿命を増加できる。例えば、被覆材は、材料の除去可能なシートまたはホイルである、ワイパーホイル３４を含んでもよい。例えば、ワイパーホイル３４は、ワイパー３２の摩耗外面をワイパーホイル３４により接触できるように十分に薄い、薄い紙（例えばティシューまたは濾紙）などの材料を含んでもよい。
【００８８】
マーク消去装置３０は、ワイパー３２の外面を覆うかまたは包むためにワイパーホイル３４を継続して提供するように構成されてもよい。例えば、マーク消去装置３０は、新たな（またはきれいな）ワイパーホイル３４を提供するためにホイルディスペンサー３６を含んでもよい。例えば、ホイルディスペンサー３６は、ワイパーホイル３４を分配するために回転可能なホイルのロールの形態であってもよい。あるいは、ホイルディスペンサー３６は、折り畳まれたスタックまたは同様の構造からワイパーホイル３４を分配してもよい。
【００８９】
消去の間、ワイパーホイル３４がワイパー３２と再利用可能な基板１９との間に位置するように、ワイパーホイル３４はワイパー３２周囲を少なくとも部分的に覆う。従って、ワイパー３２の動きにより、試験マーク２６を除去するように、再利用可能な基板１９に対してワイパーホイル３４を擦ることができる。使用後、ワイパーホイル３４の使用された部分は、（周囲でワイパーホイル３４の使用された部分が包まれ得るローラーの形態の）ホイル受け取り部（ｆｏｉｌ  ｔａｋｅ−ｕｐ）３８により受け取られてもよい。ホイル受け取り部３８により受け取られたホイルは、所望の場合、捨てられてもよい。
【００９０】
ホイルディスペンサー３６およびホイル受け取り部３８は、マーク消去装置３０の操作の間、連続してワイパーホイル３４を進展させてもよい。あるいは、ホイルディスペンサー３６およびホイル受け取り部３８は、（例えば、ワイパー３２を覆うワイパーホイル３４の部分が、汚れ、すり切れた場合または交換する必要がある場合）ワイパーホイル３４を周期的にまたは必要に応じて進展させてもよい。
【００９１】
あるいは、ワイパー３２の一部または全てを覆うためのホイルまたは他の表面は、交換するまで、ワイパー３２周囲または別の拭き取り面を覆ってもよい。例えば、拭き取りホイルは、必要に応じて手動で、または自動操作されるディスペンサーもしくはラッピング機構により交換されてもよい。
【００９２】
印刷ヘッドノズル安定性評価システム１０は、両方向矢印により概略的に表される、基板輸送装置１３を備えてもよい。基板輸送装置１３は、例えば、印刷ヘッド１２から画像装置１６まで、画像装置１６からマーク消去装置３０まで、およびマーク消去装置３０から戻って印刷ヘッド１２まで再利用可能な基板１９を運搬するように構成されてもよい。輸送装置１３によるこの一連の運搬は、異なる時点における試験マーク２６の複数のセットの反復した印刷および画像化を可能にするように周期的に反復されてもよい。
【００９３】
ワイパーは、消去可能な基板から試験マークの除去を容易にするように構成されてもよい。
【００９４】
図４Ｂは、本発明の一実施形態に従ったワイパーの構造を概略的に示す。
【００９５】
ワイパー３２’は、マーク消去装置３０（図４Ａ）などのマーク消去装置のワイピング（拭き取り）要素を表す。ワイパー３２’の構造は平坦な面（例えば、直線状の摩擦動作の使用に好適なように）を有して示されているが、ワイパー３２（図４Ａ）などの円筒形または円形のワイパーの構造は、同心状に配置される同様のコンポーネントを含んでもよい。
【００９６】
ワイパー３２’はコア３５を含んでもよい。例えば、コア３５は、金属または他の硬質材料を含んでもよい。コア３５は弾性要素３７により部分的にまたは完全に囲まれてもよい。例えば、弾性要素３７はゴムまたは弾性高分子材料を含んでもよい。弾性要素３７は、摩耗要素３９により部分的または完全に囲まれてもよい。摩耗要素３９は、粗い、エンボス加工されたまたは隆起した外面を示してもよい。例えば、摩耗要素３９は、例えば、合成樹脂繊維の洗浄パッドに見られる材料と同様の粗いまたは繊維状の材料を含んでもよい。摩耗要素３９は、ワイパーホイル３４などの交換可能なワイパー材料により部分的または完全に囲まれてもよい。
【００９７】
図５は、本発明の一実施形態に係る印刷ヘッドノズル安定性評価方法のフローチャートである。
【００９８】
ノズル選択方法４０は、基板の表面上に試験マークのセットを堆積させるかまたは印刷することを含む（工程４２）。例えば、基板は再利用可能な基板であってもよいか、または単一の使用を意図されてもよい。
【００９９】
試験マークの印刷されたセットの画像が獲得されてもよい（工程４４）。画像は獲得されると（または１つ以上の画像処理技術の適用後）、保存または記憶されてもよい。あるいは、画像は、パラメータまたはその画像において試験マークを特徴付ける特性値を抽出するために分析されてもよい。この場合、特性値は記憶されてもよい。
【０１００】
試験マークのセットの以前の画像が獲得されなかった場合（工程４８）、または以前に画像化されたセットの数が分析に不十分である場合、試験マークのより多くのセットが印刷されてもよく、それらの画像が獲得されてもよい（工程４２に戻る）。
【０１０１】
基板が再利用される場合、以前に印刷された試験マークは、より多くの試験マークを堆積させる前に基板から除去されてもよい（工程４７）。そうでなければ、さらなる試験マークが、異なる基板上または同じ基板の別の部分上に印刷されてもよい（工程４７は実施されない）。
【０１０２】
試験マークの十分な数のセットが以前に印刷され、画像化される（および分析される）場合、試験マークの画像（またはそれらの特性値）が比較されてもよい（工程４８）。例えば、各マークを特徴付ける特性値が、セットの各々における対応する試験マークについての特性値の平均（または他の典型的な）値と比較されてもよい。あるいはまたはさらに、時間にわたって対応する試験マークの出現の変化の典型的な値（例えばセットの全てにおける試験マークの特性値の標準偏差または分散）が計算されてもよい。
【０１０３】
試験マークの分析が、（例えば所定の基準に従って）１つ以上のマークについての（他の試験マークからまたは標準から）許容可能でない程度の偏差または変化を示す場合（工程５０）、それらのマークを印刷したノズルは、選択されるノズルの群に含まれることから拒絶される（工程５２）。例えば、ノズルは、変化により証明されると、安定性の欠如に起因して拒絶されてもよい。ノズルは、他の試験マークの分析から決定される標準から、または独立した標準もしくは条件から一貫して（または時折）逸れるノズルにより印刷された試験マークを拒絶されてもよい。例えば、試験マークは、所定の基準と一致しない位置または出現（中心ラインから極端に遠くに外れて印刷されたまたは基準ラインから離れすぎてもしくは近すぎて印刷された、非常に多くまたは非常に少なく印刷された）を有してもよい。
【０１０４】
１つ以上のマークについての変化の計算された程度が許容可能である場合、対応するノズルは、選択されるノズルの群に含めるのに適し得る（工程５４）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【国際調査報告】
2013539405.tif 000009
2013539405.tif 000010