(57)【要約】  一連の印刷ステップの間に基板の位置合わせを検出する方法は、第１の印刷ステーション内で基板の表面上へ印刷されたパターンを形成する少なくとも１つの印刷トラックの位置を検出ユニット内で検出するステップと、前記印刷トラックの少なくとも一部分内の基準点を決定するステップと、前記基準点の予測位置または事前検出位置と前記基準点の実際の位置とを検出ユニット内で比較するステップと、前記基準点の予測位置または事前検出位置と実際の位置とのオフセットを決定するステップと、決定されたオフセットを相殺するように、第２の印刷ステーションの印刷ヘッドと基板との互いの位置を調整するステップと、第１のパターン上へ第２のパターンを印刷するステップとを含む。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一連の印刷ステップの間に基板（１１）の位置合わせを検出する方法であって、
フィンガ（１５）とバスバー（１６）との間で選択された少なくとも１つの印刷トラックの位置を検出ユニット内で検出するステップであって、前記少なくとも１つの印刷トラック（１５、１６）を使用して、形成された太陽電池デバイスによって生成される電流の一部分を収集するもので、前記印刷トラック（１５、１６）が、第１の印刷ステーション（１２）内で前記基板（１１）の表面上へ印刷されたパターンを形成するステップと、
前記印刷トラック（１５、１６）の少なくとも一部分内の基準点（２２）を決定するステップと、
前記基準点（２２）の予測位置または事前検出位置と前記基準点（２２）の実際の位置とを検出ユニット内で比較するステップと、
前記基準点（２２）の前記予測位置または事前検出位置と前記実際の位置とのオフセットを決定するステップと、
前記決定されたオフセットを相殺するように、第２の印刷ステーション（１３）の印刷ヘッドと前記基板（１１）との互いの位置を調整するステップと、
前記第１のパターン上へ第２のパターンを印刷するステップと
を含む方法。
【請求項２】
前記検出するステップが、前記検出ユニットの特定の識別部材（１７）を用いて実行され、前記比較するステップが、前記検出ユニットの特定の比較部材（１９）を用いて実行される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記検出するステップおよび前記比較するステップの両方が、前記同じ検出ユニットによって実行される、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記比較の結果に従って、前記第２の印刷ステーション（１３）の前記印刷ヘッドの位置に対する前記基板（１１）の位置を調整するように、前記基板（１１）の位置の補正が命令される、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記比較の結果に従って、前記基板（１１）の位置に対する前記第２の印刷ステーションの前記印刷ヘッドの位置を調整するように、前記第２の印刷ステーション（１３）の前記印刷ヘッドの位置の補正が命令される、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記基板が、光電池を生産するためのウエハ（１１）であり、前記印刷トラックが、第２のトラック（１６）によって互いに接続された互いに対して実質上平行な複数の第１のトラック（１５）を含んでおり、前記検出するステップにおいて、前記少なくとも１つの基準点（２２）が、前記第１のトラック（１５）の１つと前記第２のトラック（１６）の１つとの少なくとも１つの交差点で検出される、請求項１ないし５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記識別ステップにおいて、少なくとも３つの基準点（２２）が検出される、請求項１ないし６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
一連の印刷ステップの間に基板（１１）の位置合わせを検出する装置であって、
前記基板（１１）上に少なくとも１つの印刷トラック（１５、１６）を堆積させるように構成された少なくとも１つの印刷ステーションであって、前記少なくとも１つの印刷トラック（１５、１６）が、フィンガ（１５）とバスバー（１６）の間で選択されて、形成された太陽電池デバイスによって生成される電流の一部分を収集するために使用される、少なくとも１つの印刷ステーションと、
前記印刷トラックの少なくとも一部分によって形成された少なくとも１つの基準点（２２）を使用して前記基板（１１）の位置を検出するように構成された少なくとも１つの検出ユニットと、
前記基板上の前記少なくとも１つの基準点（２２）の前記検出された位置に基づいて、前記少なくとも１つの印刷ステーション内で前記基板上に形成された印刷パターンの位置を調整するように適合された制御ユニットと
を備える装置。
【請求項９】
前記検出ユニットが、前記少なくとも１つの基準点（２２）の平面上の位置を検出できる識別部材（１７）と、前記基板上の前記基準点（２２）の予測位置または事前検出位置と実際の位置とを比較できる比較部材（１９）とを備えている、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記検出ユニットが、前記少なくとも１つの基準点（２２）の平面上の位置の検出と、前記基板上の前記基準点（２２）の予測位置または事前検出位置と実際の位置との比較をどちらも行うことができる単一の識別部材を備えている、請求項８に記載の装置。
【請求項１１】
前記識別部材が、前記基板（１１）の上方で前記基板に実質上垂直に位置決めされたビデオカメラ（２１）であって、前記少なくとも１つの基準点（２２）を検出するように構成されたビデオカメラ（２１）を備えている、請求項９に記載の装置。
【請求項１２】
前記比較部材が、前記識別部材（１７）の前記ビデオカメラ（２１）によって検出された画像と、前記基板（１１）の実際に検出された画像とを比較するように構成されたビデオカメラ（２１）を備えている、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記識別部材（１７）と前記比較部材（１９）の両方に電子的に接続された少なくとも１つの命令および制御ユニット（２０）を備えており、前記少なくとも１つの命令および制御ユニット（２０）が、前記識別部材（１７）と前記比較部材（１９）の間のデータの交換を管理するように、かつ前記比較部材（１９）とによって生成される比較信号を解釈するように構成されるか、または選択的に構成可能な、請求項８ないし１２のいずれか一項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、一般に、一連の印刷ステップの間に基板の位置合わせまたは位置を検出するために使用される方法および装置に関する。本発明の実施形態は、太陽電池デバイスを形成するために使用される基板上に導電トラックを形成するために使用することができる。
【背景技術】
【０００２】
印刷プロセスは通常、当技術分野、具体的にはセリグラフ印刷では知られており、１つまたは複数の印刷ステップを使用して基板上に印刷材料を堆積させ、対応する印刷トラックを画定する。
【０００３】
この技法は、基板、たとえばシリコンのウエハまたは薄いシート上に光電池を形成するために広く使用されることも知られている。通常、光電池形成プロセスの途中、次々と順に配置された異なる印刷ステーション内で、様々な印刷トラック、たとえば導電トラックが堆積される。
【０００４】
光電池の生産、したがって関連する印刷プロセスは、非常に精密な公差を受け、したがって、ある印刷ステーションと次の印刷ステーションの間の基板の移動および位置を制御する必要がある。
【０００５】
基板上に堆積されるパターンの位置のこの種の制御を実施するための１つの既知の技法は、位置合わせに使用される少なくとも１つのマーカ要素を、印刷プロセス中に同じ印刷材料で堆積させることである。次いで、各マーカの位置は、基板上のパターンの実際の位置合わせおよび位置決めを検出するために、後のステーションで検証される。
【０００６】
この既知の技法には、使用される印刷材料の量が増大することを含めて、マーカ要素を堆積させる必要に関していくつかの欠点があるが、生産時間、また印刷される導電トラックの増大は、望ましくない短絡を生じさせるなど、堆積されたパターンの電気的特性に影響を及ぼす可能性がある。さらに、導電トラックに対するマーカ要素の位置決めは、異なる印刷ヘッド内に形成される印刷パターンの均一性が欠けている可能性があるため、または各印刷ステーションのわずかな本質的な誤りのため、印刷ヘッドによって一貫しないことがある。この種の誤りは、マーカが互いに完全に位置合わせされた場合でも、印刷トラックの位置合わせ不良を引き起こす可能性がある。
【０００７】
さらに、堆積されたマーカは、光電池の使用可能な表面積を低減させ、それによって、太陽エネルギーを電気エネルギーに変換する太陽電池の能力に影響を及ぼす可能性がある。
【０００８】
現況技術のこれらの欠点は、シルクスクリーン印刷技法だけでなく、他の種類の印刷、たとえばレーザ印刷、インクジェットなどでも見られる可能性がある。
【０００９】
したがって、現況技術の欠点を克服する簡単で精密な信頼性の高い方式で、異なる動作ステーション内で基板の位置合わせを検出できる方法および装置が必要とされている。
【００１０】
本出願人は、現況技術の欠点を克服し、上記その他の目的および利点を得るために、本発明を考案、試験、および実施した。
【発明の概要】
【００１１】
本発明については、独立請求項に記載して特徴付け、従属請求項では、本発明の他の特徴または本発明の主な概念に対する変形形態について記載する。
【００１２】
上記の目的によれば、本発明による方法は、基板の表面上に印刷トラックが堆積される一連の印刷ステップにおいて、基板上のパターンの位置合わせを検出するために適用される。本発明の実施形態では、第１の印刷トラックの一部分は、後の印刷ステップで基板上に堆積される第２の印刷トラックの位置合わせおよび位置決めを助けるために、たとえば印刷トラックの交差点などの基準点として使用される。
【００１３】
具体的には、一連の印刷ステップの間に基板の位置合わせを検出する本発明による方法は、
フィンガとバスバーの間で選択された少なくとも１つの印刷トラックの位置を検出ユニット内で検出するステップであって、少なくとも１つの印刷トラックが、第１の印刷ステーション内で基板の表面上へ印刷されたパターンを形成する、ステップと、
前記印刷トラックの少なくとも一部分内の基準点を決定するステップと、
前記基準点の予測位置または事前検出位置と前記基準点の実際の位置を検出ユニット内で比較するステップと、
前記基準点の予測位置または事前検出位置と実際の位置の間のオフセットを決定するステップと、
決定されたオフセットを相殺するように、第２の印刷ステーションの印刷ヘッドと基板との互いの位置を調整するステップと、
第１のパターン上へ第２のパターンを印刷するステップと
を含む。
【００１４】
具体的には、本発明の一実施形態による方法では、基板の表面上に配置された印刷トラックの少なくとも一部分によって形成され、第１の印刷ステーション内で印刷された少なくとも１つの基準点の位置を、検出ユニットを使用して決定する識別ステップの完了と、次いでその位置を、印刷支持体上の基準点の予測位置または事前検出位置と比較する比較ステップの実行とを行う。
【００１５】
本発明の一実施形態では、比較ステップの結果は、印刷トラックによって形成された基準点の予測された位置と検出された位置の間に起こりうる既存のオフセットに従って、後の印刷ヘッドを位置合わせするために使用される。
【００１６】
別の実施形態では、支持体は、固定されたままである印刷ヘッドに対して位置合わせされる。
【００１７】
一実施形態では、１つまたは複数の印刷トラックは、後の印刷ステップで基板の位置を決定するための仮想基準点として使用される。したがって、印刷トラックの一部分を仮想基準点として使用することで、生産時間および材料を低減させながら、印刷トラックの完全性について妥協するリスクも低減させることができる。さらに、外部のマーカ要素を適用する代わりに、印刷トラック（複数可）上に見られる仮想基準点を使用することによって、後の印刷ステーションで行われる位置合わせに対するあらゆる補正が、印刷トラック（複数可）自体に直接関係することを保証し、したがって印刷トラックに対してマーカ要素を位置決めする際の誤りを回避することができる。
【００１８】
一実施形態では、基板は、たとえばシリコンウエハであって、その上に、導体ペーストから作製された印刷トラックが配置される。導体ペーストは、導体ペーストのトラックのアレイを含むパターンで堆積され、これらのトラックは、「フィンガ」として知られるように、互いに対して実質上平行に位置合わせされ、また「バスバー」として知られる少なくとも２つの横方向のトラックによって端部で接続される。一実施形態では、１つまたは複数の基準点は、フィンガとバスバーの間の交差点に形成される。一実施形態では、３つの基準点が形成され、前のステーション内で印刷されたフィンガおよびバスバーの位置に基づいて、後の印刷ステーション内でのウエハの正しい位置決めおよび位置合わせを保証するために、制御システムによって使用される。
【００１９】
本発明の上記の特徴を詳細に理解できるように、実施形態を参照すれば、上記で簡単に要約した本発明についてのより具体的な説明を得ることができる。実施形態の一部を、添付の図面に示す。しかし、本発明は他の等しく効果的な実施形態も許容しうるため、添付の図面は本発明の典型的な実施形態のみを示し、したがって本発明の範囲を限定すると見なすべきではないことに留意されたい。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明による装置の概略図である。
【図２】基板の可能な印刷構造の概略図である。
【図３】本発明による方法における比較ステップの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
理解を容易にするために、可能な場合、複数の図に共通の同一の要素を指すのに同一の参照番号を使用した。一実施形態の要素および特徴は、さらなる記述なしで他の実施形態にも有益に組み込めることが企図される。
【００２２】
本発明の実施形態は、光電池を生産するための装置１００において、ウエハ１１などの基板上に形成された印刷パターンに印刷デバイスを位置合わせするために使用可能な装置１０を全体として提供することができる。この場合、装置１０は、２つの印刷ステーション、それぞれ第１のステーション１２と第２のステーション１３の間に位置決めされたウエハ１１の位置合わせを検出するために使用される。一実施形態では、装置１００は、一連の印刷ユニットを備え、これらの印刷ユニットは、それぞれの印刷ステーション内に見られ、光電池を生産するための装置１００内で使用される。
【００２３】
図１は、本発明の位置合わせ装置１０を使用できる装置１００の一実施形態の概略等角図である。この実施形態では、装置１００は通常、２つのコンベヤ１１１、２つの印刷ステーション１２、１３、２つの出ていくコンベヤ１１２、ならびに命令および制御ユニット２０を含む。入ってくるコンベヤ１１１は、各コンベヤ１１１が入力コンベヤ１１３などの入力デバイスから未処理のウエハ１１を受け取り、それぞれの未処理のウエハ１１を２つの印刷ステーション１２、１３へ伝達できるように、並行処理構成で構成される。さらに、出ていくコンベヤ１１２は、各コンベヤ１１２が印刷ステーション１２、１３から処理済みのウエハ１１を受け取り、それぞれの処理済みのウエハ１１を出口コンベヤ１１４などのウエハ除去デバイスへ伝達できるように、並行に構成される。一実施形態では、入力コンベヤ１１３および出口コンベヤ１１４は、自動化された基板ハンドリングデバイスであり、より大きな生産ライン、たとえば装置１００に接続されたＳｏｆｔｌｉｎｅ（商標）という器具の一部である。一実施形態では、各出口コンベヤ１１４は、印刷ステーション１２、１３を介してウエハ１１上に堆積された材料を硬化させるために、炉１９９を通って処理済みのウエハ１１を輸送するように適合される。
【００２４】
一実施形態では、入ってくるコンベヤ１１１および出ていくコンベヤ１１２は、制御ユニット２０と通信するアクチュエータ（図示せず）を使用することによって、装置１００内の所望の位置にウエハ１１を支持および輸送するために、少なくとも１つのベルト１１６を含む。図１は、２ベルト式の基板伝達システムを概略的に示すが、本発明の基本的な範囲から変動することなく、他の種類の伝達機構を使用して、同じ基板の伝達機能および位置決め機能を実行することもできる。
【００２５】
具体的には、各ウエハ１１の上部表面は、形成された太陽電池デバイスによって生成される電流の一部分を収集するために使用される複数の印刷トラック、たとえば導電トラックを受け取るように適合される。図２および３に示す一例では、印刷トラックは、互いに対して実質上平行なフィンガと呼ばれる複数の第１のトラック１５と、第１のトラック１５との間に電気的接続を形成するように、第１のトラック１５に対して実質上垂直に交差するバスバーと呼ばれる第２のトラック１６とを含む。図２および３に示す各ウエハ１１上に提供される印刷パターンは、２つの印刷トラックを有するが、光電池の動作要件に応じて単一の印刷トラックまたは３つ以上の異なるトラックも使用できるため、この構成は、本明細書に記載する本発明の範囲に関して限定しようとするものではない。
【００２６】
印刷ステーション１２および１３は、ウエハ１１の表面上に異なる印刷層またはパターンを堆積させるように構成される。一例では、２つの印刷ヘッド１２および１３は、異なる相補的なパターンで第１のトラック１５および第２のトラック１６を堆積させるように特別に構成される。別の例では、２つの印刷ヘッド１２および１３を使用して、同じ印刷パターンを有する複数の重複する層、および／または異なる物理的もしくは化学的特性を有する材料層を形成することができる。
【００２７】
しかし、いずれにせよ、第１の印刷ステーション１２内で得られる印刷パターンは、第２の印刷ステーション１３内で得られる印刷パターンと厳密な相関関係で正確に位置合わせし、または他の方法で位置決めしなければならない。
【００２８】
一実施形態では、印刷ステーション１２および１３は、複数のアクチュエータ、たとえばステッパモータまたはサーボモータを含み、これらのアクチュエータは、命令および制御ユニット２０と通信し、印刷されているウエハ１１に対する関連するステーション１２、１３内に配置された印刷ヘッド４０の位置および／または角度配向を調整するために使用される。一実施形態では、印刷ヘッド４０は、金属シートまたは金属板であり、このシートを貫通して、孔、スロット、または他の開口などの複数の特徴が形成され、ウエハ１１の表面上でスクリーン印刷材料（すなわち、インクまたはペースト）のパターンおよび配置を画定する。通常、ウエハ１１の表面上に堆積されるスクリーン印刷パターンは、本明細書で以下に開示するように、アクチュエータおよびユニット２０で受け取った情報を使用してウエハ表面上の所望の位置で印刷ヘッドを配向させることによって、自動化された方法でウエハ１１に位置合わせされる。一実施形態では、印刷ステーション１２および１３は、約１２５ｍｍ〜１５６ｍｍの幅および約７０ｍｍ〜１５６ｍｍの長さを有するウエハ１１上に、金属または誘電体を含有する材料を堆積させるように適合される。一実施形態では、印刷ステーション１２および１３は、ウエハ１１の表面上に金属を含有するペーストを堆積させて、ウエハ１１の表面上に金属コンタクト構造を形成するように適合される。
【００２９】
本発明による装置１０は、ウエハ１１の移動方向に対して第１の印刷ステーション１２のすぐ下流に配置された識別または検出ステーション１７と、第２の印刷ステーション１３のすぐ上流に配置された比較ステーション１９と、少なくとも識別ステーション１７および比較ステーション１９に電子的に接続された命令および制御ユニット２０とを備える。
【００３０】
制御ユニット２０は、中央処理装置（ＣＰＵ）（図示せず）、メモリ（図示せず）、および支持回路（またはＩ／Ｏ）（図示せず）を含むことができる。ＣＰＵは、様々なチャンバプロセスおよびハードウェア（たとえば、コンベヤ、光学検査アセンブリ、モータ、流体デリバリハードウェアなど）を制御するために産業用の設定で使用される任意の形式のコンピュータ処理装置の１つとすることができ、システムおよびチャンバのプロセス（たとえば、基板の位置、プロセス時間、検出器信号など）を監視することができる。メモリは、ＣＰＵに接続されており、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、読取り専用メモリ（ＲＯＭ）、フロッピーディスク、ハードディスク、または任意の他の形式のローカルもしくは遠隔のデジタルストレージなど、容易に入手可能なメモリの１つまたは複数とすることができる。ソフトウェア命令およびデータは、ＣＰＵに指示するためにメモリ内に符号化して記憶することができる。支持回路はまた、従来の方法で処理装置を支持するためにＣＰＵに接続される。支持回路は、キャッシュ、電源、クロック回路、入出力回路、サブシステムなどを含むことができる。制御ユニット２０によって読取り可能なプログラム（またはコンピュータ命令）が、基板上でどのタスクを実行できるかを決定する。プログラムは、少なくとも基板の位置情報、制御される様々な構成要素の移動シーケンス、基板の光学検査システムの情報、およびこれらの任意の組合せを生成および記憶するためのコードを含む、制御ユニット２０によって読取り可能なソフトウェアであることが好ましい。
【００３１】
図面には示さないが、２つの印刷ステーション１２および１３間に１つまたは複数の処理チャンバを配置して、乾燥、印刷材料のドープ、高温アニール、得られるパターン上の位置合わせ、金属の印刷、または他の類似の機能などの印刷プロセスに対して相補的な様々な異なる動作ステップを実行できることに留意されたい。
【００３２】
識別ステーション１７は、ビデオカメラ２１、たとえばＣＣＤカメラを備え、ビデオカメラ２１は、第１の印刷ステーション１２を出た後にウエハ１１が通過する伝達平面６０に対して平行なウエハ１１の表面の上に、その表面に対して実質上垂直に配置される。
【００３３】
ビデオカメラ２１は、第１の印刷ステーション１２内で実行された印刷プロセスによって第１のトラック１５および第２のトラック１６が配置されたウエハ１１の上部表面の画像を検出するのに適している。検出された画像は、従来技術のマーカ要素または基準を使用することなく、第１のトラック１５と第２のトラック１６の間の少なくとも３つの交差点を検出するように、そしてトラック１５、１６自体によって直接提供された３つの基準点２２を確立するように、制御ユニット２０によって処理される。図２および３に示す一例では、基準点２２は、不連続な線によって囲まれた円形の領域として概略的に表す。一実施形態では、３つの基準点２２を検出して、ウエハ１１上に形成されたパターンの位置決めを識別する。構成によっては、３つ未満または４つ以上の基準点２２を検出すると望ましいことがある。
【００３４】
仮想基準点２２を含む画像内に含まれるデータは、命令および制御ユニット２０を用いてビデオカメラ２１から比較ステーション１９へ送られる。
【００３５】
比較ステーション１９は、第２の印刷ステーション１３への入口などにビデオカメラ２３、たとえばＣＣＤカメラを備え、ビデオカメラ２３も、ウエハ１１が通過する伝達平面の上に、その平面に対して垂直に配置される。
【００３６】
一実施形態では、ビデオカメラ２３は通常、基準点２２を使用することによって、基板の現在の位置がビデオカメラ２３の下にある状態で、ビデオカメラ２１によって検出されたウエハ１１の画像を仮想的に投影するのに適している。
【００３７】
このようにして、後の位置合わせステップ中に考慮するために、識別ステーション１７と比較ステーション１９の間のウエハ１１またはその支持体の移動を検出することができる。
【００３８】
一実施形態では、さらに、印刷トラック１５および１６上に識別された基準点２２の位置は、既知の位置と比較され、印刷ステーション１３内で後の印刷ヘッドを調整するために、制御ユニット２０に送られる。
【００３９】
図３では、実際の動作条件を表すためではなく、単にその機能を概略的に示すために、仮想的に投影された画像を一連の破線によって示す。
【００４０】
したがって、ビデオカメラ２１およびビデオカメラ２３によって検出された仮想の画像を比較することによって、基準点２２間の偏差を検出し、第１の印刷ステーション１２からの出口に位置決めされたビデオカメラ２１によって収集されたデータと、現在ビデオカメラ２３の下にあるウエハ１１の位置の違いを決定する。一実施形態では、この偏差は、第１のトラック１５と第２のトラック１６の交差点に形成された基準点２２を使用して直接検出および決定され、他の基準点を必要としない。
【００４１】
一実施形態では、制御ユニット２０内に提供されるソフトウェアが、２つのステーション１７および１９内で検出されたデータ間の比較を行う。
【００４２】
検出された偏差の値は、命令および制御ユニット２０へ送られ、命令および制御ユニット２０は、プログラム済みまたはプログラム可能な公差パラメータに従ってデータを処理し、場合によっては、図面には示さないが、ウエハ１１の位置を補正する実質上既知の種類のステーションに対して、第２の印刷ステーション１３の前にウエハ１１を正しく位置決めおよび位置合わせするように命令する。
【００４３】
しかし、本発明の分野および範囲から逸脱することなく、本明細書で前述した方法および装置１０に、部品またはステップの修正および／または追加を加えることができることが明らかである。
【００４４】
たとえば、ウエハ１１が常に最初の位置で静止したまま、印刷ステーション１２および１３がそれぞれウエハ１１の上に順次位置決めされて、関係する印刷トラック１５および１６を堆積させる方法および装置を提供することは、本発明の分野に入る。
【００４５】
この実施形態では、基準点２２を検出し、次にウエハ１１の予測される位置と比較して、ウエハ１１に対する第２の印刷ステーション１３の位置を補正し、関係する印刷ステーション１２および１３によって印刷された印刷トラック１５および１６の正しい位置合わせを保証する。
【００４６】
この実施形態では、必ずしも必要ではないが、基準点２２を検出する動作と、これらの基準点２２の位置と基準点２２の予測された位置とを比較する動作をどちらも実施できるように、識別ステーション１７と比較ステーション１９の両方の特徴を機能的に備える単一の検出ユニットを提供すると有利である。
【００４７】
本発明について、特定の例を参照して説明したが、基板の位置合わせを検出するために多くの他の同等の形式の方法および装置を当業者であれば確かに実現でき、これらは特許請求の範囲に記載する特徴を有し、したがってすべて特許請求の範囲よって定義される保護の範囲内に入ることも明らかである。
【図１】
2013504193.tif 000003
【図２】
2013504193.tif 000004
【図３】
2013504193.tif 000005
【国際調査報告】
2013504193.tif 000006
2013504193.tif 000007
2013504193.tif 000008