(57)【要約】  基板の特徴の上に窒化ケイ素を含むパッシベーション層を形成する方法が記載される。堆積方法の第１のステージでは、シリコン含有ガスおよび窒素含有ガスを含む誘電体堆積ガスが処理ゾーン内に導入され、エネルギーを与えられて、窒化ケイ素層を堆積させる。第２のステージでは、誘電体堆積ガスの組成とは異なる組成を有する処置ガスが処理ゾーン内に導入され、エネルギーを与えられて、窒化ケイ素層を処置する。第１のステージおよび第２のステージは、複数回実施することができる。
2013522913.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の特徴上にパッシベーション層を形成する方法であって、前記パッシベーション層が窒化ケイ素層を備え、前記方法が、
（ａ）プロセスゾーン内に複数の特徴を有する基板を準備する段階と、
（ｂ）第１のステージにおいて、前記プロセスゾーン内に、シリコン含有ガスおよび窒素含有ガスを含む誘電体堆積ガスを導入し、前記誘電体堆積ガスにエネルギーを与えて、前記特徴上に窒化ケイ素層を堆積させる段階と、
（ｃ）第２のステージにおいて、前記プロセスゾーン内に、前記誘電体堆積ガスとは異なる組成を有する処置ガスを導入し、前記処置ガスにエネルギーを与えて、前記窒化ケイ素層を処置する段階と、
（ｄ）前記第１のステージおよび第２のステージを複数回実施する段階と
を含む方法。
【請求項２】
前記処置ガスが窒素含有ガスを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記誘電体堆積ガスの前記シリコン含有ガスの流れを停止し、一方前記窒素含有ガスの流れを継続することによって、前記処置ガスを形成することを（ｃ）が含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
シランを含むシリコン含有ガスならびにアンモニアおよび窒素を含む窒素含有ガスを導入する段階を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
約１：１：８から約２：１：２０であるＳｉＨ４：ＮＨ３：Ｎ２の比を提供する段階を含む、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
６３３ｎｍの波長で偏光解析法を使用して測定されるとき、１．８８未満である屈折率ｎを有する窒化ケイ素層を堆積させるように、プロセス条件を設定する段階を（ｂ）が含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
窒化ケイ素の前記パッシベーション層のエッチングと熱酸化物層のエッチングのウェットエッチ速度比ＷＥＲＲが５．２未満である窒化ケイ素層を堆積させるようにプロセス条件を設定する段階を（ｂ）が含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記基板を約１８０℃から約５５０℃の温度で維持する段階を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
（ｉ）金属含有材料を含む相互接続もしくはコネクタバンプ、
（ｉｉ）シリコンビア、または
（ｉｉｉ）酸化物構造
のうちのいずれか１つを備える複数の高アスペクト比の特徴を有する基板を準備する段階を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
（ｉ）水素含有ガスを含む洗浄ガスを前記処理ゾーン内に提供する段階、および（ｉｉ）前記洗浄ガスにエネルギーを与えて、前記基板の前記特徴上の自然酸化膜を取り除く水素含有核種を含む、エネルギーを与えられた洗浄ガスを形成する段階を含む最初の洗浄ステージを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
（ｉ）シランを含むソーキングガスを前記処理ゾーン内に提供する段階、および（ｉｉ）前記基板を約１００℃から約２４０℃の温度に維持して、前記基板の前記特徴上に接着層を堆積させる段階を含む最初のソーキングステージを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
（１）前記処理ゾーン内に、（ｉ）ＳｉＨ４、ＮＨ３およびＮ２、（ｉｉ）トリシリルアミン、ＮＨ３およびＮ２、（ｉｉｉ）ＳｉＨ４もしくはＮ２、または（ｉｖ）トリシリルアミンもしくはＮ２化学物質を含むライナガスを導入することと、
（２）前記ライナガスにエネルギーを与え、プラズマを形成し、前記基板の前記特徴上に共形のライナを堆積させることであって、前記共形のライナが、約１００Åより厚い厚さおよび少なくとも約１００ＭＰａの引張応力を有することと
によって前記特徴上に共形のライナを堆積させる段階を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
層の厚さにわたって応力勾配を有する窒化ケイ素層を備える共形のライナを堆積させる段階を含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記堆積プロセス期間に、ＳｉＨ４の流量を高流量から低流量に制御すること、および前記プロセスゾーンの周りの１対のプロセス電極に印加される印加ＲＦ電力の比を変えることにより共形のライナを堆積させる段階を含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
連続的に、窒化ケイ素層を堆積させることおよび前記堆積した窒化ケイ素層を部分的にエッチング除去することにより、窒化ケイ素層を堆積させる段階を含む、請求項１２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、基板上に電子回路を製造するために使用される高アスペクト比の特徴上の、窒化ケイ素を含むパッシベーション層の形成に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路、ディスプレイ回路、メモリ回路、電源回路、光電池回路などの電子回路は、一層高密度に、かつより複雑になっている。これらの回路の特徴の寸法は、より小さくなり、基板にわたってより高い空中密度が可能になる。これらの特徴としては、コネクタバンプ、相互接続、半導体または酸化物の特徴、ゲート、電極、抵抗器、ビアおよびその他多数が挙げられる。そのような特徴のアスペクト比は、特徴の幅または水平寸法がより小さくなるにつれて増加する。なぜならば、特徴の垂直寸法は、同じ断面積を実現するためにより大きくならねばならないからである。アスペクト比は特徴の高さと幅の比であるが、特徴を保護するためまたは電気的に分離するために特徴がパッシベーション層によってカバーされるとき、アスペクト比は特に問題である。
【０００３】
例として、パッシベーション層１０を使用して、図１Ａおよび図１Ｂに示すように、特徴１２をカバーして、特徴を他の材料でコーティングする前または期間に、特徴１２の金属含有面の酸化を防止することができる。特徴１２としては、相互接続１３（図１Ａ）およびコネクタバンプ１４（図１Ｂ）が挙げられる。相互接続１３を使用して、基板１５上の能動デバイスおよび受動デバイスを接続する。例えば、コネクタバンプ１４をフリップチップパッケージングで使用して、集積回路チップと外部環境の間の相互接続点としての機能を果たす。コネクタバンプ１４は、ボンディングパッド上に形成され、ダイが上下逆に「フリップされた」回路となり、コネクタまたは回路板に直接ハンダ付けされることが可能になり、これによって、従来のワイヤボンドおよびホイルコネクタの時間および費用を節約する。相互接続１３とコネクタバンプ１４の両方は、パッシベーション層１０によりカバーされる。
【０００４】
しかし、相互接続１３またはコネクタバンプ１４のアスペクト比が約０．２を超える値に増加すると、特徴１２の周り、特に特徴の凹部の隅１７に、連続し、共形で、かつ実質的に欠陥のないパッシベーション層１０を堆積させることが、ますます困難になる。図１Ａを参照すると、パッシベーション層１０は、相互接続１３の隅１７でパッシベーション層１０を開裂する、継目１６などの欠陥１１を成形する。コネクタバンプ１４上のパッシベーション層１０は、コネクタバンプ１４の基部の周りの隅１７にも継目１６を形成する場合がある。
【０００５】
継目問題は、チップパッケージング、再分配層（ＲＤＬ）、またはＳｉ貫通電極（ＴＳＶ）銅もしくはタングステンビアにおける、凹部の隅１７の幾何学的要素によって悪化することが多い。例えば、図１Ｃに示すように、シリコンビア１８など高アスペクト比の特徴１２は、誘電体層１９を貫通して形成される開孔を備えており、開孔は、電気的導電性材料で充填され、相互接続１３など下にある特徴とコネクタバンプ１４など上にある特徴の間の接続を形成する。シリコンビア１８と上にあるコネクタバンプ１４がパッシベーション層１０でコーティングされると、パッシベーション層１０の、コネクタバンプ１４およびシリコンビア１８との交点において形成される凹部の隅１７で、継目１６が発生することが多い。高アスペクト比の特徴１２のさらに別の例は、パッシベーション層１０でカバーされる酸化物構造（図示せず）を備える。酸化物構造としては、Ｓｉ貫通電極中に形成される酸化物ライナ層、または基板の裏側におけるビア接続を顕示することを可能にする、Ｓｉ貫通電極の銅ピラーの上部に形成される酸化物層など、二酸化ケイ素含有構造が挙げられる。この場合も、欠陥１１が、そのような特徴１２をカバーするパッシベーション層１０内にできる。
【０００６】
複雑な形状寸法を有する、特にシャープエッジおよび鋭角を有する凹部の隅１７を備える特徴１２の領域におけるパッシベーション層１０内の欠陥１１は、マイクロクラック、ヘアラインクラック、およびさらに別のものなど、他の種類のものでもあり得る。しかし、これらの高アスペクト比を有する特徴１２を形成し、これらの特徴の形状寸法および他の寸法を維持し、一方依然としてそのようなパッシベーション層１０内に欠陥が生じることを防ぐ方法は明らかではない。
【０００７】
したがって、これらおよび他の欠損を含む様々な理由で、特徴の周りにパッシベーション層を堆積させる様々な方法の発達にもかかわらず、パッシベーション層の堆積のさらなる改善が、連続して捜し求められている。
【発明の概要】
【０００８】
基板の特徴の上に、窒化ケイ素層を含むパッシベーション層を形成する方法は、処理ゾーン内に複数の特徴を有する基板を準備することを含む。第１のステージでは、シリコン含有ガスおよび窒素含有ガスを含む誘電体堆積ガスが処理ゾーン内に導入され、エネルギーを与えられて、特徴の上に窒化ケイ素層を堆積させる。第２のステージでは、誘電体堆積ガスとは異なる組成を有する処置ガスが処理ゾーン内に導入され、エネルギーを与えられて、窒化ケイ素層を処置する。第１のステージおよび第２のステージは、複数回実施される。
【０００９】
方法は、水素含有ガスを含む洗浄ガスを処理ゾーン内に提供すること、および洗浄ガスにエネルギーを与えて、基板上の特徴上の自然酸化膜を取り除く水素含有核種を含む、エネルギーを与えられた洗浄ガスを形成することを含む最初の洗浄ステージを含むことができる。
【００１０】
さらに別のバージョンにおいて、最初のソーキングステージは、シランを含むソーキングガスを処理ゾーン内に提供すること、および基板を約１００から約２４０℃の温度に維持して、基板の特徴上に接着層を堆積させることを含む。
【００１１】
さらに別のバージョンにおいて、方法は、特徴上に、約１００Åより厚い厚さ、および少なくとも約１００ＭＰａの引張応力を有する、共形のライナを堆積させることを含む。共形のライナは、（１）処理ゾーン内に、（ｉ）ＳｉＨ４、ＮＨ３およびＮ２、（ｉｉ）トリシリルアミン、ＮＨ３およびＮ２、（ｉｉｉ）ＳｉＨ４もしくはＮ２、または（ｉｖ）トリシリルアミンもしくはＮ２化学物質を含むライナガスを導入すること、ならびに（２）ライナガスにエネルギーを与え、プラズマを形成することによって堆積させることができる。
【００１２】
本発明のこれらの特徴、態様および利点は、本発明の例を説明する、以下の記載、添付の特許請求の範囲、および添付図面に関して、より良く理解されるであろう。しかし、特徴のそれぞれは、単に特定の図面の内容ではなく、本発明において一般に使用することができ、本発明はこれらの特徴の任意の組合せを含むことを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１Ａ】相互接続である高アスペクト比の特徴をカバーするパッシベーション層の隅における継目を示す、基板の概略断面図である。（従来技術）
【図１Ｂ】上にあるパッシベーション層の隅における継目を有する、基板上のコネクタバンプの概略断面図である。（従来技術）
【図１Ｃ】ビアを備える高アスペクト比の特徴を有し、パッシベーション層の隅における継目を示す、基板の概略断面図である。（従来技術）
【図２Ａ】基板上に相互接続を備え、相互接続の、底部の凹部の隅において継目なく共形のコーティングを実現するパッシベーション層を示す、高アスペクト比の特徴の概略断面図である。
【図２Ｂ】コネクタバンプを覆って堆積される均一な堆積を有する共形のパッシベーション層を示す、基板上のコネクタバンプの概略断面図である。
【図２Ｃ】コネクタバンプおよびビアを覆う均一なパッシベーション層の堆積を示す、ビアおよび上にあるコネクタバンプの概略断面図である。
【図３】基板の特徴上にサブ層を有するパッシベーション層を堆積させるプロセスの例示的なバージョンの流れ図である。
【図４】パッシベーション層を形成および処置すること、最初の洗浄およびソーキングプロセスを実施すること、および基板上に応力をかけた共形のライナを堆積させることに好適な基板処理チャンバの実施形態の概略図である。
【図５】コネクタバンプを備える高アスペクト比の特徴を覆って堆積される窒化ケイ素のパッシベーション層の隅に、欠陥がないことを示す、走査型電子顕微鏡写真である。
【図６】比較的高い屈折率を有する窒化ケイ素のパッシベーション層の隅に沿って、継目がないことを示す、走査型電子顕微鏡写真である。
【図７】パッシベーション層の隅に継目またはクラックがないことを示す、薄い共形のライナを覆って堆積される窒化ケイ素のパッシベーション層を備える、高アスペクト比の特徴の走査型電子顕微鏡写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
パッシベーション層２０を堆積および処置プロセスを使用して基板２２上に堆積し、図２Ａから図２Ｃに示すように、基板２２の特徴２４上に、連続し、共形で、かつ実質的に欠陥のないコーティングを形成することができる。基板２２は、例えば、半導体ウエハ、化合物半導体、または誘電体であって良い。半導体ウエハは、シリコン、ゲルマニウム、またはシリコンゲルマニウムの単結晶または少数の大きな結晶を含む。例示的な化合物半導体は、ガリウムヒ素を含む。好適な誘電体としてはガラスパネルまたはディスプレイを含み、材料の中でもとりわけ、ホウリンケイ酸ガラス、リンケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、およびリンケイ酸ガラスを挙げることができる。
【００１５】
パッシベーション層２０は、図２Ａに示すように単一の層、または図２Ｂに示すように複数の層２０ａ〜ｄであって良い。例えば、パッシベーション層２０は、単一の誘電体層２５またはそれぞれが誘電体層２５ａ、ｂを備える複数の層２０ａ、ｂであって良い。パッシベーション層２０をもうけて、外部環境とこれらの材料の反応速度を減少させることによって、特徴２４の下にある材料の露出した面を不動態化する。例えば、金属含有材料を含む特徴を、またはたとえ金属含有材料からなる特徴であっても、覆って堆積されるパッシベーション層２０は、特徴の金属含有面上の、自然酸化膜の形成を減少することができる。誘電体層は、例えば、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、または他のそのような材料であって良い。典型的には、誘電体層は、１０００オングストローム未満の厚さに、または５００オングストロームの厚さにでさえ堆積される。
【００１６】
パッシベーション層２０は、誘電体層２５の下に堆積され、誘電体層２５を特徴２４の露出した面２８に接着させる接着層２７など、他の層２０ｃも含むことができる。接着層２７を、誘電体層２５と同一の材料、誘電体材料の変種、または異なる材料から構成することができる。例えば、誘電体層２５が窒化ケイ素層を備えるとき、接着層２７は、シリコンに富んだ窒化ケイ素層であって良い。
【００１７】
パッシベーション層２０は、誘電体層２５の下に形成される共形のライナ２９など、別の構成要素層２０ｄをさらに含むことができる。共形のライナ２９は、接着層２７を覆って堆積させることができる。共形のライナ２９は、接着およびステップカバレッジを促進する働きをする。好適な共形のライナ２９は、シリコン前駆体として、ＳｉＨ４またはＴＳＡから作られるＳｉ３Ｎ４膜からなる。
【００１８】
パッシベーション層２０の全体が、他の従来型のプロセスを使用して基板２２上に既に形成された特徴２４上に堆積される。特徴２４は、基板２２の平らな平面から外側に延在する、異なる形状および断面プロファイルを有することができる。例えば、特徴２４は、相互接続１３、コネクタバンプ１４、シリコンビア１８、酸化物構造、もしくはこれらの組合せまたは他の形状および構造を含むことができ、いくつかの例が図２Ａから図２Ｃの中に提供される。パッシベーション層２０は、下にある特徴２４の共形なカバレッジを、０．２より大きい、または５より大きくさえ、または１０より大きくさえある、高さと幅の比を有する高アスペクト比の特徴２６についてさえ実現する。例えば、パッシベーション層２０を堆積して、図２Ａの相互接続１３、図２Ｂのコネクタバンプ１４、または図２Ｃの誘電体層１９内のコネクタバンプ１４およびビア１８など、金属含有材料を含む特徴２４をカバーすることができる。この応用例において、パッシベーション層２０は、これらの特徴２４の金属含有面の酸化を防止または減少する。
【００１９】
パッシベーション層２０の製造が、基板２２を処理するための例示的なプロセスおよび例示的なプロセスチャンバに関して、ここで記載されることになる。オプションのステップを有する例示的なプロセスが、図３の流れ図に示される。本明細書に記載のプロセスのうちのいずれかを、図４に示される好適なチャンバの例示的なバージョンである、プロセスチャンバ４０のプロセスゾーン４２内に基板２２を配置することにより実施することができる。プロセスおよびプロセスチャンバ４０の例示的なバージョンが図３および図４において図示される一方、当業者に明らかであるように、他のプロセスを使用することができ、これらのプロセスを他のプロセスチャンバ内で実施することができることを理解されたい。したがって、本明細書に図示されるプロセスおよびチャンバの例示的なバージョンを使用して、本特許請求の範囲を制限するべきでない。
【００２０】
場合によっては、パッシベーション層２０を基板２２上に堆積させる前に、特徴２４、特に、図３の流れ図に示されるような金属含有材料を含むものの露出した面を洗浄するために最初の洗浄ステージを実施することが望ましい場合がある。特徴２４が電気的な相互接続１３またはコネクタバンプ１４など、金属または金属含有材料から作られるとき、特徴２４の露出した面は、酸化され自然酸化膜を形成する。洗浄プロセスは、酸素含有環境への露出から、特徴２４の面上に形成される自然酸化膜または他のプロセス堆積物を除去する。洗浄プロセスは、例えば、アルミニウム、銅、チタン、タングステン、もしくはこれらの合金および化合物、または他の材料といった、金属含有材料を含む特徴２４の面を洗浄することができる。
【００２１】
洗浄プロセスの一バージョンにおいて、水素含有ガスを含む洗浄ガスを使用して、特徴２４の面上に形成される自然酸化物を除去する。洗浄プロセスは、Ｈ２、またはＮ２およびＮＨ３、またはＨ２Ｏ、またはＳｉＨ４用など、好適な水素含有ガスにエネルギーを結合することにより形成される、水素含有プラズマ核種を含む、エネルギーを与えられた洗浄ガスに基板２２を曝す。水素含有ガスの好適な体積流量は、約１００ｓｃｃｍから約１８リッター／分である。水素含有プラズマ核種は、特徴２４上に形成される自然酸化膜の酸素成分と化学的に反応し、排出することができる揮発性の水酸基核種または水蒸気を形成し、このことによって、特徴２４の面から自然酸化膜を除去すると考えられる。したがって、エネルギーを与えられた水素含有ラジカルは、特徴２４上の自然酸化膜と特に相互作用して、周囲の層の構造に望ましくない損傷を与えない。
【００２２】
例示的な洗浄ガス組成は、約５００から約３０００ｓｃｃｍ（例えば、約１０００ｓｃｃｍ）の体積流量で、Ｈ２を含む、または本質的にＨ２からなる。別の例において、洗浄ガスは、約５０から約３００ｓｃｃｍ（例えば、約１６０ｓｃｃｍ）の体積流量でのＮＨ３と、約１０００Ｌ／分から約３０，０００Ｌ／分（例えば、約１８，０００Ｌ／分）の体積流量でのＮ２の混合物を含む。さらに別の例において、洗浄ガスは、約５００から約３０００ｓｃｃｍ（例えば、約１０００ｓｃｃｍ）の体積流量でのＨ２と、約５０から約３００ｓｃｃｍ（例えば、約１６０ｓｃｃｍ）の体積流量でのＮＨ３の混合物を含む。これらの例において、基板２２がプロセスゾーン４２内に配置され、洗浄ガス組成がチャンバ４０内に導入されて、約１．５から約８．０トルの圧力範囲、または９．０トルにさえ維持される。次いで、約５０から約７００ワット（例えば、１５０ワット）の出力レベルで、プロセスゾーン４２の周りのプロセス電極４４ａ、ｂにＲＦエネルギーを結合することにより、プラズマが洗浄ガスから形成される。プロセス電極４４を、約５０ｍｍ（２００ミル）から約１５０ｍｍ（６００ミル）の間隔で維持することができる。基板１０の温度は、４００℃など、約１８０から約５５０℃で維持される。
【００２３】
洗浄プロセスの後、オプションの、最初のソーキングステージを実施して、特徴２４を覆って接着層２７を堆積させることができる。この接着層は、堆積されると、最終的なパッシベーション層２０の一部を形成する。このプロセスの一バージョンにおいて、基板２２上の特徴２４は、シランを含むソーキングガスに曝され、例えば、シリコンに富んだ窒化ケイ素の薄層を含む接着層を堆積させる。薄いシリコンに富んだ窒化ケイ素層は、約１０Åから約１００Åの厚さを備える。
【００２４】
例示的なソーキングプロセスにおいて、基板２２がプロセスゾーン４２に搬送され、例えば約１８０℃など、約１００℃から約２４０℃の温度で維持される。次いで、シラン、アンモニア、および窒素を含むソーキングガスがプロセスゾーン４２内に導入され、基板２２を、シリコンに富んだガス環境内に、温度でソーキングすることが可能となる。ソーキングガスの好適な組成は、約２００から約８００ｓｃｃｍ（例えば、約５００ｓｃｃｍ）の体積流量のシラン、約２００から約８００ｓｃｃｍ（例えば、約４５０ｓｃｃｍ）の体積流量のアンモニア、約４０００から約１２，０００ｓｃｃｍ（例えば、約８０００ｓｃｃｍ）の体積流量の窒素を含む。ソーキングガスは、約１から約５トル（例えば、２．２トル）の圧力で維持される。ソーキングプロセスを、約５から３０秒（例えば、約１０秒）の間、実施することができる。ソーキングプロセス期間に、ＲＦエネルギーは電極４４ａ、ｂに印加されず、代わりに、基板２２をソーキングガス中に温度でソーキングして、シリコンに富んだ窒化ケイ素の薄層を形成することが可能となる。ソーキングプロセスは、特徴２４が銅からなるコネクタバンプ１４を備えるとき、特に適用可能である。
【００２５】
オプションのライニングプロセスにおいて、共形のライナ２９が特徴２４を直接覆って、またはソーキングプロセスで形成される接着層を覆って堆積される。共形のライナ２９は、パッシベーション層２０の一部も形成し、上にある層が、より高い共形性を有して特徴２４のプロファイルに堆積させることを可能にする。一バージョンにおいて、共形のライナ２９は、Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ、Ｓａｎ  ＪｏｓｅのＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒからの、ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ  ＦＸ−１００など、分光偏光解析法または単波長偏光解析法を使用する膜厚および応力測定器によって測定されるとき、少なくとも約１００ＭＰａの内在引張応力を備える。特徴２４の露出した面と上にあるパッシベーション層２０の間のインターフェイスにおける応力勾配を減少させることによって、共形のライナ２９は、欠陥１１を減少させると考えられる。共形のライナ２９は、トリアミノシランなど、０．１４未満の低い固着係数を有するプラズマ核種の形成から生じる。低い固着係数の核種は、特徴２４の露出した面における表面エネルギーを減少させ、共形のライナ２９が特徴２４の底部隅３０で凹部プロファイルをカバーし、したがって、継目をもたらす、これらの底部隅３０における高応力の集中を回避することを可能にする。一バージョンにおいて、共形のライナ２９は、例えば約１００オングストローム未満の厚さを有する薄層である。共形のライナ２９は、シリコン含有ガスおよび窒素含有ガスを含むライナガスをプロセスゾーン４２内に導入すること、および流量、圧力、プラズマ出力など、上述のプロセス条件のいずれかで、ライナガスにプラズマでエネルギーを与えることによって堆積させることができる。ライナガスの好適な組成は、シランを含むシリコン含有ガス、およびアンモニアと窒素の混合物を含む窒素含有ガスを含む。別のバージョンにおいて、ライナガスの別の組成は、トリシリルアミン（ＴＳＡ）を含むシリコン含有ガス、および窒素、またはアンモニアと窒素の混合物を含む窒素含有ガスを含む。さらに別のバージョンにおいて、ライナガスは、シランまたはトリシリルアミンなどシリコン含有ガスのみ、または窒素など窒素含有ガスのみを含む。各場合において、ライナガスは、ＰＥＣＶＤチャンバなど平行プレートリアクタに印加されるＲＦ電力により形成されるプラズマによって、エネルギーを与えられる。
【００２６】
オプションの洗浄およびライニングプロセスの後、パッシベーション層２０の誘電体層２５が堆積され、特徴２４を共形にカバーする。堆積プロセスによって、高アスペクト比の特徴２６など特徴２４の底部隅３０において、均一かつ連続であり、実質的に欠陥１１がない誘電体層２５の堆積が可能となる。
【００２７】
一バージョンにおいて、窒化ケイ素層を含むパッシベーション層２０は、基板２２上に堆積される。このプロセスにおいて、基板２２は、チャンバ４０のプロセスゾーン４２内に配置され、堆積プロセス期間、比較的低温に加熱される。特徴２４、特に高アスペクト比の特徴２６の形状に共形なパッシベーション層２０を堆積させることに、低い堆積温度が重要である。共形によって、パッシベーション層２０が、下にある特徴２４のプロファイルにしたがい、特徴２４の露出した面全体ならびに特徴２４間の間隔３２を覆う比較的均一な厚さを有することを意味する。一バージョンにおいて、誘電体堆積プロセス期間に、基板２２は、約１８０℃から約５５０℃の温度、または約１６０℃から約４２０℃の温度にさえ加熱される。これらの温度は、典型的には６００℃、または７００℃さえ超える、従来技術の温度よりも非常に低い。
【００２８】
第１の堆積ステージにおいて、シリコン含有ガスおよび窒素含有ガスを含む、誘電体堆積ガスがプロセスゾーン４２内に導入される。シリコン含有ガスは、シリコンを含むガスであり、ガスまたは蒸気の流れの中で提供されるシリコン含有化合物であって良い。シリコン含有ガスは、シラン、ジシラン、トリメチルシリル（ＴＭＳ）、トリス（ジメチルアミノ）シラン（ＴＤＭＡＳ）、ビス（第三−ブチルアミノ）シラン（ＢＴＢＡＳ）、ジクロロシラン（ＤＣＳ）、またはこれらの混合物であって良い。一バージョンにおいて、シリコン含有ガスは、シラン（ＳｉＨ４）を含む。好適なシラン流量は、約５０から約２０００ｓｃｃｍ、または約４００から約１０００ｓｃｃｍである。窒素含有ガスは、アンモニア（ＮＨ３）、窒素（Ｎ２）、またはこれらの混合物であって良い。一バージョンにおいて、窒素含有ガスは、アンモニアと窒素の混合物を含む。アンモニアの好適な流量は、約１００から約１０００ｓｃｃｍ、または約４００から約８００ｓｃｃｍでさえある。窒素ガスは、窒素原子の源としてだけでなく、プロセスゾーン４２内で形成されるプラズマのエネルギーおよび性質を制御する希釈ガスとして機能する。希釈ガスは、シリコン含有ガスまたは窒素含有ガスと比較して比較的大量に加えられる。希釈ガスは、プラズマ中のエネルギーを与えられた核種と反応性核種の比を制御するよう機能し、反応性ガスの分子の数と比較して多数の希釈ガス分子間の多数の衝突を介してエネルギーを移送することにより、プラズマ内で追加の核種を解離するためにも使用することができる。一例において、希釈ガスは窒素であって良い。窒素は、窒化ケイ素の堆積における窒素含有ガス状核種の源、およびプラズマを生成し維持するためのエネルギーを与えられた分子の源の両方として機能することができる。窒素の好適な流量は、約５０００から約２５，０００ｓｃｃｍ（例えば、約８０００から約１２，０００ｓｃｃｍ）である。
【００２９】
一実施形態において、誘電体堆積ガスは、シラン、アンモニア、および窒素の混合物を含む。有利なことに、誘電体堆積ガスのそのような組成は、堆積される層内でより高い窒素とシリコンの比を実現し、このことによって、約１．８から約２．０の、または約１．８８から約１．９８のより高い屈折率でさえもたらす。好ましいバージョンにおいて、誘電体堆積ガスは、シラン、アンモニア、および窒素の混合物を含み、ＳｉＨ４：ＮＨ３：Ｎ２の体積比が約１：１：８から約２：１：２０である。これらの比において、誘電体堆積ガスは、より低い固着係数をもたらすプラズマ中のより高いアミン核種のために、より共形のカバレッジを実現することが見出された。誘電体堆積ガスは、プロセスゾーン４２内または離れたゾーン（図示せず）内でエネルギーを与えられ、プロセスガス核種を活性化し、基板２２上に材料を堆積させる。一バージョンにおいて、誘電体堆積ガスは、プロセスゾーン４２の周りにあるプロセス電極４４ａ、ｂにＲＦエネルギーを結合することによりエネルギーを与えられて、プロセスゾーン４２内でプラズマが形成される。プラズマを生成するために、電極出力レベルは、典型的には、約５００から約１６００ワット、または約８００から約１５００ワットにさえ維持される。好適な電極間隔は、約５ｍｍ（２００ミル）から約２０ｍｍ（８００ミル）である。
【００３０】
本堆積プロセスによって、プロセスゾーン４２内に導入される誘電体堆積ガスの圧力を制御することにより、従来型のプロセスと比較して、少なくとも約１００℃だけ低い温度で堆積させることが可能となる。堆積ガスの圧力が低いことは、堆積されるパッシベーション層２０内の特定の核種の濃度を増加するため、例えば、窒化ケイ素を含むパッシベーション層２０内の窒素の濃度を増加するため、望ましい。さらに、低い堆積圧力でイオンボンバードメント成分を増加することによって、より密度の高いパッシベーション層２０を作り出す。誘電体堆積ガスの好適な圧力は、約１．５トルから約６トル、または約２から約４トルでさえある。
【００３１】
誘電体堆積ステージの一例において、窒化ケイ素からなる誘電体層２５は、フリップチップ基板上のコネクタバンプなどの特徴２４を覆って堆積された。コネクタバンプは、約０．２から約１０のアスペクト比を有する高アスペクト比の特徴２６であった。堆積プロセスにおいて、基板２２は１８０℃の温度に維持された。８２０ｓｃｃｍの流量のシラン、５９０ｓｃｃｍの流量のアンモニア、および１０Ｌ／分の流量の窒素を含む誘電体堆積ガスが、プロセスゾーン４２内に導入された。誘電体堆積ガスは、３．５トルの圧力で維持された。ＲＦ電力が、１１ｍｍ（４５０ミル）の間隔で維持されたプロセス電極４４ａ、ｂに、１０００の電力レベルで印加された。
【００３２】
誘電体堆積ステージの別の例において、窒化ケイ素を含む誘電体層２５は、コネクタバンプである特徴２４を覆って堆積された。堆積プロセスにおいて、基板２２は、４００℃の温度で維持され、誘電体堆積ガスは、４．２トルの圧力で維持された。残りは、例１内と同一の条件とする。窒化ケイ素を含む堆積されるパッシベーション層２０は、１０００オングストローム未満の厚さ、または５００オングストロームの厚ささえ有することができる。有利なことに、薄いシリコン層は、高アスペクト比の特徴２６を含む下にある特徴２４の、より共形のカバレッジを実現する。
【００３３】
窒化ケイ素の誘電体層２５の堆積の後、堆積されたパッシベーション層２０は、プラズマ処置ステージでさらに処置される。この処置ステージにおいて、処置ガスがプロセスゾーン４２内に導入される。処置ガスは、不活性ガスなど、非反応性ガスであって良い。好適な不活性ガスとしては、ヘリウムまたはアルゴンが挙げられる。そのようなまたは他の不活性ガスのために好適な流量は、約２，０００ｓｃｃｍから約２０，０００ｓｃｃｍである。例えば、好適な非反応性ガスとしては、アンモニア、窒素、またはその混合物など、窒素含有ガスが挙げられる。一バージョンにおいて、非反応性ガスは、アンモニアまたは窒素、またはその混合物を含む。非反応性ガスのために好適な流体は、約２，０００ｓｃｃｍから約２０，０００ｓｃｃｍである。例えば、約５，０００ｓｃｃｍから約１５，０００ｓｃｃｍの流量でアンモニアおよび窒素を含む処置ガスをチャンバ４０に導入し、３．５トルの圧力で維持することができる。事前選択された処置ガスは、プロセスチャンバ４０内のプロセス電極４４ａ、ｂ間にエネルギーを結合することにより、堆積された窒化ケイ素層を処置するためのプラズマを形成するようにエネルギーを与えられる。プロセス電極４４ａ、ｂは、約７５から約１，６００ワットの出力レベルで電極にＲＦエネルギーを結合することによって、エネルギーを与えることができる。処置プロセスにおいて、水素原子が堆積されたパッシベーション層２０から追い出されると考えられる。堆積された層２０内に水素が存在することは、湿気のために望ましくない。したがって、堆積されたパッシベーション層２０を処置することにより水素を除去すること、および処置ガスが窒素含有ガスを含むことが、膜の密度を高くする働きをする。
【００３４】
堆積および処置プロセスは、特に誘電体層２５が高アスペクト比の特徴２６上に堆積されるとき、堆積されるパッシベーション層２０の欠陥形成に対する耐性を強化するため、複数サイクルで実施される。複数サイクルのプロセスにおいて、堆積および処置ステージは、それぞれ複数回実施される。複数サイクルのプロセスは、高アスペクト比の特徴２６の底部隅３０における継目など欠陥の形成に、堆積されるパッシベーション層２０が抵抗する能力を強化する。複数サイクルプロセスにおいて、プロセスゾーン４２内への誘電体堆積ガスの流れが停止または変化され、処置ガスの組成を実現するために誘電体堆積ガスの組成を変化することにより、処置ガスの流れが開始または始動される。例えば、処置ガスは、シリコン含有ガスのない、上述したアンモニアおよび窒素、またはその混合物など、窒素含有ガスを含むことができる。処置ステージは、単に、誘電体堆積ガスのシリコン含有ガスの流れを停止し、一方窒素含有ガスの流れを継続して、誘電体堆積ガスを処置ガスに変換し、シランの流れを停止し、一方アンモニアおよび窒素の流れを継続し、アンモニアおよび窒素にエネルギーを与えてプラズマを形成することにより実施される。このバージョンは、膜の密度を高くするために、有利に使用される。
【００３５】
堆積されたパッシベーション層２０の屈折率（ｎ）（窒化ケイ素層の屈折率など）が、特徴、特に高アスペクト比の特徴２６の底部隅３０および他の幾何学的な移行領域における堆積された層の欠陥１１のレベルに影響を及ぼすことも発見された。屈折率は、堆積されるパッシベーション層２０内における窒素の量に反比例する測定値であると考えられる。窒素に富んだパッシベーション層２０は、より低いＳｉ−Ｈ含有量を実現し、このことが、今度は安定な膜を実現する。窒化ケイ素を含む望ましいパッシベーション層２０は、１．８８より高い屈折率、または１．９２の屈折率さえ有することがさらに決定された。一例において、屈折率は、以前に記載した、ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ膜測定装置を使用し、６３３ｎｍの波長で偏光解析法を使用して測定された。したがって、一バージョンにおいて、プロセス条件は、６３３ｎｍの波長で偏光解析法を使用して測定されるとき、１．８８未満である屈折率（ｎ）を有する窒化ケイ素層を堆積させるようにも設定することができる。
【００３６】
屈折率制御プロセスの第１の例において、１．８８未満の所望の屈折率を得るための好適なプロセス条件は、以下であった。（１）１８０℃の基板温度、（２）８２０ｓｃｃｍの流量のシラン、５９０ｓｃｃｍの流量のアンモニア、８０００ｓｃｃｍの流量の窒素を含むガス組成、（３）２．２トルのチャンバガス圧力、および（４）１０８０ワットの電極出力レベルおよび６４０ミル（１６．３ｍｍ）の電極間隔。第２の例において、シランの流量が８２０ｓｃｃｍで維持され、アンモニアの流量が５９０ｓｃｃｍであったことを除いて、全てのプロセス条件は、第１の例と同一であった。
【００３７】
熱酸化物をエッチングするウェットエッチ速度に対する、窒化ケイ素の堆積されたパッシベーション層２０の、ウェットエッチ速度比ＷＥＲＲが、堆積された層の欠陥１１のレベルに影響を及ぼしたことも発見された。熱酸化物は、熱プロセスにより堆積される二酸化ケイ素であり、例えば、垂直もしくは水平拡散炉または急速熱処理機内で、８００℃から１２００℃の高温で成長する。ＷＥＲＲは０．３から約５．２であるように決定された。ＷＥＲＲが、特徴、特に高アスペクト比の特徴２６の底部隅３０および他の幾何学的な移行領域における完全性に、影響を及ぼした。したがって、堆積プロセス条件は、パッシベーション層２０と熱酸化物のエッチングのウェットエッチ速度比ＷＥＲＲが５．２未満である窒化ケイ素層を堆積させるように設定された。
【００３８】
さらに別の方法において、高アスペクト比の特徴２６など、特徴２４を覆って堆積されるパッシベーション層２０内の欠陥１１の数が、層の厚さにわたって応力勾配を有するパッシベーション層２０を堆積させることによって減少する。例えば、応力勾配を有する窒化ケイ素を含むパッシベーション層２０は、堆積プロセス期間に、１つまたは複数のガスの流量を制御することによって堆積させることができる。このバージョンにおいて、堆積されるパッシベーション層２０は、層内のシリコンと窒素の比に、徐々の変化、または段階状の変化を有する窒化ケイ素を含む。パッシベーション層２０は、層２０の厚さにわたって、シリコンと窒素の、少なくとも第１および第２の比を備える。これは、誘電体堆積ガスの組成を変化させることにより行われ、堆積プロセス期間に、大流量から小流量への第１のガス変化をする。例えば、窒化ケイ素は、シラン（ＳｉＨ４）を含むシリコン含有ガス成分、アンモニア（ＮＨ３）を含む窒素ガス成分、および窒素（Ｎ２）を含む希釈ガス成分を含むプロセスガスを使用して堆積させることができる。最初に、シリコン含有成分と窒素含有成分の第１の比を備える誘電体堆積ガスを使用して、プロセスガスのプラズマがプロセスゾーン内で生成される。その後、シリコン含有成分と窒素含有成分の第２の比を備える処置ガスを使用して、プロセスガスのプラズマがプロセスゾーン内で生成される。シリコン含有成分と窒素含有成分の第１の比は、約１００：１未満であり、シリコン含有成分と窒素含有成分出力レベルの第２の比は、少なくとも約１である。例えば、シランとアンモニアの比は、堆積プロセス期間に、約１：１から約６：１に進むよう変えることができる。
【００３９】
別のバージョンにおいて、応力勾配を有する窒化ケイ素を含むパッシベーション層２０を、基板２２の周りで、１対のプロセス電極４４ａ、ｂに印加されるＲＦ電力を制御することにより堆積させることができる。このプロセスにおいて、プロセスガスがプロセスゾーン４２の中に導入され、プロセスガスは、本明細書で記載のように、シリコン含有成分から窒素含有成分を含む。プロセスゾーン４２内のプロセスガスのプラズマは、プロセスゾーン４２の周りの電極に第１の出力レベルでエネルギーを印加することにより生成される。その後、シリコンと窒素の第２の比を有する窒化ケイ素が、電極４４ａ、ｂに印加されるエネルギーを第２の出力レベルに変えることにより堆積される。一バージョンにおいて、第１の出力レベルは、第２の出力レベルより少なくとも約１００ワット高い。例えば、第１の出力レベルは、約２００ワット未満を備えることができ、第２の出力レベルは、少なくとも約５００ワットを備える。このプロセスにおいて、基板２２上に堆積される窒化ケイ素内のシリコンと窒素の比が、堆積される層の応力に影響を及ぼす。
【００４０】
別のバージョンにおいて、窒化ケイ素を含むパッシベーション層２０は、それぞれが異なる応力レベルを有する複数の個別の窒化ケイ素サブ層を備え、各層にとっての応力が徐々にまたは段階状に増加する層を実現する。例えば、パッシベーション層２０の応力は、第１の応力から、第１の応力より少なくとも１００ＭＰａ低い第２の応力に増加することができる。第１の応力は、約６００から約１０００ＭＰａであって良く、第２の圧力は、約５００から約９００ＭＰａであって良い。一バージョンにおいて、第１の圧力は、８００ＭＰａであり、第２の圧力は７００ＭＰａである。プロセスゾーン４２内のガス圧の変化は、プロセスゾーン４２内で形成されるプラズマの密度を変化させる。より密度の高いプラズマは、限定された空間の一定の体積内に、より多数の気体イオンおよび核種を有するものである。より密度の高いプラズマは、より密度が低いプラズマから堆積されるパッシベーション層２０よりも密度が高いパッシベーション層２０を堆積させる。より密度が高いパッシベーション層２０はより高い応力レベルを有し、したがって、結果として得られるパッシベーション層２０は、異なる密度を備える異なる層を有する多層構造を備える。
【００４１】
上に記載したバージョンにおいて、堆積されるパッシベーション層２０は、シリコンと窒素の比が層の厚さにわたって変わる組成勾配を有する窒化ケイ素層を備える。例えば、パッシベーション層２０は、シリコンと窒素の比が厚さにわたって、少なくとも約４０％変わる組成勾配を有することができる。窒化ケイ素層も、シリコンと窒素の比が厚さにわたって、約０．４から約１．５だけ変わる組成勾配を有することができる。
【００４２】
また別のバージョンにおいて、パッシベーション層２０は、連続的に堆積させることおよび堆積した窒化ケイ素層をエッチング除去することによって堆積される層である。例えば、このプロセスは、堆積された層の一部をエッチング除去し、特徴２４の底部隅３０における凹部プロファイルを変えることができる。このバージョンにおいて、堆積および同時にエッチングするプロセスは、基板２２をプロセスチャンバ４０のプロセスゾーン４２内に配置すること、パッシベーション層２０を一定の厚さに堆積した後、銅バンプの側壁および底部を部分的にエッチングし、底部隅における凹部プロファイルを変えることができるよう、遠隔プラズマ内のフッ素ベースの化合物など、エネルギーを与えられたエッチングガスを導入することによって実施される。堆積およびエッチングプロセスは、複数サイクルで実施され、底部隅における凹部プロファイルを丸みを帯びたプロファイルに変更する。したがって、パッシベーション層２０は、欠陥なく堆積させることができる。
【００４３】
上で記載したプロセスを実施するため使用することができる基板処理チャンバ４０の実施形態が、図４に図示される。チャンバ４０は、例示的なチャンバを図示するために提供される。しかし、当業者には明らかであるように、他のチャンバも使用することができる。したがって、本発明の範囲は、本明細書で記載の例示的なチャンバに限定されるべきでない。一般的に、プロセスチャンバ４０は、基板２２（シリコンウエハなど）の処理に好適な、プラズマ化学気相堆積（ＰＥ−ＣＶＤ）チャンバであり、好適なチャンバは、Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ、Ｓａｎｔａ  ＣｌａｒａのＡｐｐｌｉｅｄ  ＭａｔｅｒｉａｌｓからのＰｒｏｄｕｃｅｒ（登録商標）  ＳＥタイプチャンバである。チャンバ４０は、天井５２、側壁５４、および底壁５６を含む筐体壁４８を備え、筐体壁４８はプロセスゾーン４２を取り囲む。チャンバ４０は、プロセスゾーン４２の周りの筐体壁４８の少なくとも一部に裏打ちをするライナ（図示せず）も備えることができる。３００ｍｍシリコンウエハを処理するために、チャンバ４０は、典型的には約２０，０００から約３０，０００ｃｍ３、より典型的には、約２４，０００ｃｍ３の体積を有する。
【００４４】
プロセスサイクル期間に、基板支持体５８が下げられ、基板２２が入り口ポート６２を通され、ロボットアームなど基板搬送体６４により基板支持体５８上に配置される。基板支持体５８は、ローディングおよびアンローディングのための下の位置と基板２２の処理のための調整可能な上の位置の間で移動することができる。基板支持体５８は、密閉された電極４４ａを含み、チャンバ４０内に導入されるプロセスガスからプラズマを生成することができる。基板支持体５８は、ヒータ６８により加熱することができ、ヒータ６８は、電気的な抵抗加熱素子（図示）、加熱ランプ（図示せず）、またはプラズマ自体であって良い。基板支持体５８は、典型的には、基板２２を受けるための受取面を有し電極４４ａおよびヒータ６８をチャンバ環境から保護するセラミック構造を備える。使用する際は、高周波（ＲＦ）電圧が電極４４ａに印加され、直流（ＤＣ）電圧がヒータ６８に印加される。基板支持体５８内の電極４４ａは、基板２２を支持体５８に静電的にクランプするためにも使用することができる。基板支持体５８は、基板支持体５８上の基板２２の周囲を少なくとも部分的に囲む、１つまたは複数のリング（図示せず）も備えることができる。
【００４５】
基板２２が基板支持体５８上にロードされた後、支持体５８はガス分配器７２により近い処理位置に上げられ、その間に所望の間隔間隙距離、ｄｓをもうける。間隔距離は、約２ｍｍから約１２ｍｍであって良い。ガス分配器７２は、基板２２の全体にわたって均一にプロセスガスを分散するため、プロセスゾーン４２の上に置かれる。ガス分配器７２は、本明細書に記載のプロセスガスのいずれかを形成する第１および第２のガスもしくはガスの混合物の２つの独立した流れ、または別個の流れの堆積ガスおよび処置ガスを、ガスがプロセスゾーン４２の中に導入される前にガスの流れを混合することなく、プロセスゾーン４２に別個に送達することができる。別法として、ガス分配器がプロセスガスを前もって混合し、その後前もって混合したプロセスガスをプロセスゾーン４２に提供することができる。ガス分配器７２は、プロセスガスがそこを通って通過することを可能にする孔７６を有する面板７４を備える。面板７４は、典型的には金属でできており、そこに電圧または電位を印加することが可能となり、このことにより、チャンバ４０内の電極４４ａとして機能する。好適な面板７４は、陽極酸化コーティングを有するアルミニウムで作ることができる。
【００４６】
基板処理チャンバ４０は、第１および第２のガス供給８０ａ、ｂも備え、ガス分配器７２にプロセスガスを送達し、ガス供給８０ａ、ｂは、それぞれガス源８２ａ、ｂ、１つまたは複数のガスコンジット８４ａ、ｂ、および１つまたは複数のガスバルブ８６ａ、ｂを備える。一バージョンにおいて、第１のガス供給８０ａは、第１のガスコンジット８４ａおよび第１のガスバルブ８６ａを備え、ガス源８２ａからガス分配器７２の第１の入り口７８ａに誘電体堆積ガスを送達し、第２のガス供給８０ｂは、第２のガスコンジット８４ｂおよび第２のガスバルブ８６ｂを備え、第２のガス源８２ｂからガス分配器７２の第２の入り口７８ｂに処置ガスを送達する。
【００４７】
プロセスガスは、電磁エネルギー、例えば高周波電圧エネルギーをプロセスガスに結合することによってエネルギーを与えられ、プロセスガスからプラズマを生成することができる。誘電体堆積ガスにエネルギーを与えるため、（ｉ）ガス分配器７２、天井５２、またはチャンバ側壁５４であって良い、第１の電極４４ａと（ｉｉ）支持体５８内の電極４４ｂの間に電圧が印加される。電極４４ａ、ｂの対の間に印加される電圧は、プロセスゾーン４２内のプロセスガスにエネルギーを容量的に結合する。典型的には、電極４４ａ、ｂに印加される電圧は、高周波で発振する交流電圧である。一般的に、高周波とは、約３ｋＨｚから約３００ＧＨｚの範囲を対象とする。本出願では、低い高周波は、約１ＭＨｚ未満、より好ましくは約１００ＫＨｚから１ＭＨｚ（例えば、約３００ＫＨｚ）である周波数である。また、本出願では、高い高周波は、約３ＭＨｚから約６０ＭＨｚ、より好ましくは約１３．５６ＭＨｚである周波数である。選択された高周波電圧が、約１０Ｗから約１０００Ｗの出力レベルで第１の電極４４ａに印加され、第２の電極４４ｂは、典型的には接地される。しかし、使用される具体的な高周波範囲および印加される電圧の出力レベルは、堆積される材料の種類に依存する。
【００４８】
チャンバ４０は、ガス排気９０も備え、チャンバ４０から使用済みプロセスガスおよび副産物を除去し、プロセスゾーン４２内のプロセスガスの所定の圧力を維持する。一バージョンにおいて、ガス排気９０は、プロセスゾーン４２からの使用済みプロセスガスを受け取るポンピングチャネル９２、排気ポート９４、スロットルバルブ９６、および１つまたは複数排気ポンプ９８を含み、チャンバ４０内のプロセスガスの圧力を制御する。排気ポンプ９８としては、１つまたは複数のターボ分子ポンプ、低温ポンプ、粗引きポンプ、および１つより多い機能を有する組合せ機能ポンプが挙げられる。チャンバ４０はチャンバ４０の底壁５６を通る入り口ポートまたはチューブ（図示せず）も備え、チャンバ４０内にパージングガスを送達することができる。パージングガスは、典型的には、入り口ポートから基板支持体５８を通って、環状ポンピングチャネルに上向きに流れる。パージングガスを使用して、処理期間に、不要な堆積から基板支持体５８の表面および他のチャンバ構成要素を保護する。パージングガスを使用して、プロセスガスの流れに所望のやり方で影響を及ぼすこともできる。
【００４９】
チャンバ４０の動作および動作パラメータを制御するため、コントローラ１０２ももうけられる。コントローラ１０２は、例えば、プロセッサおよびメモリを備えることができる。プロセッサは、メモリ内に記憶されたコンピュータプログラムなど、チャンバ制御ソフトウェアを実行する。メモリは、ハードディスクドライブ、読取り専用メモリ、フラッシュメモリまたは他の種類のメモリであって良い。コントローラ１０２は、フロッピディスクドライバおよびカードラックなど、他の構成要素も備えることができる。カードラックは、シングルボードコンピュータ、アナログおよびデジタル入出力ボード、インターフェイスボードおよびステッパモータコントローラボードを含むことができる。チャンバ制御ソフトウェアは、タイミング、ガスの混合、チャンバ圧力、チャンバ温度、マイクロ波出力レベル、高周波数出力レベル、支持位置、および特定のプロセスの他のパラメータを規定する命令の組を含む。
【００５０】
チャンバ４０は、例えば、基板支持体５８内の第１の電極４４ａおよびチャンバ４０内の第２の電極４４ｂなど、様々なチャンバ構成要素に電力を送達する電源１０４も備える。プロセス電極４４ａ、ｂに電力を送達するため、電源１０４は、選択された高周波および所望の選択可能な出力レベルを有する電圧を提供する、高周波電圧源を備える。電源１０４は、単一の高周波電圧源、または高い高周波および低い高周波の両方を提供する複数の電圧源を含むことができる。電源１０４は、ＲＦ整合回路も含むことができる。電源１０４は、静電気帯電源をさらに備え、基板支持体５８内でしばしば静電チャックする電極への静電気帯電を実現する。ヒータ６８が基板支持体５８内で使用されるとき、電源１０４は、ヒータ６８に適切な制御可能電圧を提供するヒータ電源も含む。ガス分配器７２または基板支持体５８にＤＣバイアスが印加されるとき、電源１０４は、ガス分配器７２の面板７４の導電性金属部分に接続されるＤＣバイアス電圧源も含む。電源１０４は、例えば、モータおよびチャンバ４０のロボットといった、他のチャンバ構成要素用の電力源も含むことができる。
【００５１】
基板処理チャンバ４０は、熱電対または干渉計など、温度センサ（図示せず）も備え、チャンバ４０内で、構成要素表面または基板２２の表面など表面の温度を検出する。温度センサは、そのデータをチャンバコントローラ１０２に中継することができ、チャンバコントローラ１０２は、次いで温度データを使用して、基板支持体５８内の抵抗加熱素子を制御することにより処理チャンバ４０の温度を制御する。
【００５２】
以下に記載の方法によって堆積される、誘電体層２５、接着層２７、および共形のライナ２９のうちの１つまたは複数を備えるパッシベーション層２０は、従来の堆積方法において底部隅３０に生じた継目などの欠陥が実質的にないことが見出された。さらに、パッシベーション層２０が、図２Ａに示すように、相互接続１３などの複雑な形状で高アスペクト比の特徴２６を覆う、連続し共形のコーティングとして堆積した。同様に、コネクタバンプ１４上に堆積したパッシベーション層２０も、図２Ｂに示すように、コネクタバンプ１４の円形の露出した面２８にわたって均一な厚さを有する平滑で連続する層を形成した。さらに、コネクタバンプ１４の基部の周りの底部隅３０には、いかなるクラックまたは継目１６もなかった。コネクタバンプ１４およびシリコンビア１８を含む、高アスペクト比の特徴２６上に堆積したパッシベーション層２０のさらに別の例が、図２Ｃに示される。この場合も、充填されたシリコンビア１８の上にあるコネクタバンプ１４のインターフェイス内の底部隅３０に、クラック欠陥はないことが見出された。
【００５３】
従来型の堆積プロセスで形成される欠陥は、特徴２４の熱膨張により引き起こされる、これらの領域における熱応力に起因して生じると考えられる。高アスペクト比の特徴２６は、高さの方向に大きな寸法変化を有し、さらに特徴２４のより高い高さとより狭い幅の間で、寸法変化に著しい差がある。パッシベーション層２０の現在の方法により堆積されたパッシベーション層２０は、膜の屈折率およびＷＥＲＲ比に反映される、膜のより高い密度のため、欠陥のない共形のコーティングを実現したと、さらに考えられる。またさらに、堆積されたパッシベーション層２０は、様々なソーキングプロセス、堆積および処置プロセス、ならびに共形ライナ堆積プロセスで生成されるガス状またはプラズマ核種の低い固着係数のため、相互接続１３またはコネクタバンプ１４など下にある特徴２４の複雑な形状寸法の上さえ共形であったとも考えられる。
【００５４】
以下の写真は、特徴２４上に堆積した窒化ケイ素の誘電体層２５を備えるパッシベーション層２０に欠陥がないことを示す。例えば図５は、コネクタバンプ１４を備える特徴２４を覆って堆積される窒化ケイ素の誘電体層２５を備えるパッシベーション層２０の底部隅３０に、継目がないことを示す、走査型電子顕微鏡写真である。さらに、ＳＥＭ顕微鏡写真は、下にある特徴２４の断面プロファイルの輪郭に厳密にしたがう、パッシベーション層２０の平滑で共形なプロファイルも示す。この例において、パッシベーション層２０は、４００℃の堆積温度で堆積された窒化ケイ素の誘電体層２５からなる。さらに、複数サイクルの堆積および処置プロセスを使用して、窒化ケイ素の誘電体層２５を形成した。この例では、１００サイクルの堆積プラズマ処置が行われて、パッシベーション層２０を作成した。
【００５５】
別の例として、図６は、銅バンプを備える高アスペクト比の特徴２６を覆って堆積される窒化ケイ素からなるパッシベーション層２０の底部隅３０に沿って、継目がないことを示す、走査型電子顕微鏡写真である。この写真は、パッシベーション層２０が、欠陥なく高アスペクト比の特徴２６上に形成されたことを、さらに図示する。この例では、窒素を含む誘電体層２５が、１８０℃の堆積温度で堆積され、６３３ｎｍの波長で偏光解析法を使用して測定されるとき、１．８８より高い高屈折率を有する堆積層をもうけた。
【００５６】
さらに別の例では、図７は、窒化ケイ素の誘電体層２５を備えるパッシベーション層２０を有する銅バンプを備える高アスペクト比の特徴２６の、走査型電子顕微鏡写真を示す。窒化ケイ素層は、１８０℃の堆積温度で堆積され、窒化ケイ素の共形なライナ２９を覆って１０００Åの厚さを有する。ＳＥＭ顕微鏡写真は、下にある特徴２４の断面プロファイルに厳密にしたがう、パッシベーション層２０の平滑で共形なプロファイルも示す。
【００５７】
すなわち、パッシベーション層２０の現在の方法により堆積されたパッシベーション層２０は、特徴が高アスペクト比の特徴２６であるときでさえ、特徴２４の隅および縁部に実質的に欠陥がない、共形のコーティングを実現したことがわかる。またさらに、堆積したパッシベーション層２０は、パッシベーション層２０の窒化ケイ素層ならびに他の層を堆積させるためプラズマ中に形成されたガス状のプラズマ核種の固着係数がより良かったので、相互接続１３またはコネクタバンプ１４など鋭いまたは凹部隅を有する下にある特徴２４の形状寸法を覆って共形であった。
【００５８】
本発明の例示的な実施形態が示され記載されているが、当業者なら本発明を組み込み、やはり本発明の範囲である他の実施形態を考案することができる。さらに、用語「下に（ｂｅｌｏｗ）」、「上に（ａｂｏｖｅ）」、「底部（ｂｏｔｔｏｍ）」、「上部（ｔｏｐ）」、「上へ（ｕｐ）」、「下へ（ｄｏｗｎ）」、「第１の（ｆｉｒｓｔ）」および「第２の（ｓｅｃｏｎｄ）」および他の相対的または位置を示す用語は、図の中の例示的な実施形態に関して示され、置き換え可能である。したがって、添付の特許請求の範囲は、本発明を説明するため本明細書で記載した好ましいバージョン、材料、または空間的配置の記載に限定されるべきでない。
【図１Ａ】
2013522913.tif 000003
【図１Ｂ】
2013522913.tif 000004
【図１Ｃ】
2013522913.tif 000005
【図２Ａ】
2013522913.tif 000006
【図２Ｂ】
2013522913.tif 000007
【図２Ｃ】
2013522913.tif 000008
【図３】
2013522913.tif 000009
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
2013522913.tif 000014
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