(57)【要約】  非直線性が低減された、音波によって動作するフィルタ並びにその製造方法が開示される。フィルタは、第１メタライゼーション比を有する第１電気音響変換器と、第２メタライゼーション比を有する第２電気音響変換器とを含む。これらのメタライゼーション比は、０．２と０．８の間にあり、第１変換器のメタライゼーション比は、最大でも、第２変換器のメタライゼーション比の０．８倍である。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
音波によって動作するフィルタ（Ｆ）において、
表面弾性波又はガイドバルク弾性波のための、第１メタライゼーション比η１を有する第１電気音響変換器（ＴＤ１）と、第２メタライゼーション比η２を有する第２電気音響変換器（ＴＤ２）とを含み、
０．２≦η１≦０．８であり、
０．２≦η２≦０．８であり、
η１／η２≦０．８である、
ことを特徴とするフィルタ。
【請求項２】
前記第１変換器（ＴＤ１）は、Ｎ１個のフィンガと、静電容量Ｃ０１とを有し、
前記第２変換器（ＴＤ２）は、Ｎ２個のフィンガと、静電容量Ｃ０２とを有し、
Ｎ１＞Ｎ２であり、
０．９×Ｃ０２≦Ｃ０１≦１．１×Ｃ０２である、
ことを特徴とする請求項１記載のフィルタ。
【請求項３】
前記第１変換器（ＴＤ１）は、アパーチャＷ１を有し、
前記第２変換器（ＴＤ２）は、アパーチャＷ２を有し、
Ｗ１＞Ｗ２である、
ことを特徴とする請求項１又は２記載のフィルタ。
【請求項４】
前記フィルタは、Ｔｘ路（Ｔｘ）と、Ｒｘ路（Ｒｘ）とを備えるデュプレクサ（ＤＵ）であり、
前記第１変換器（ＴＤ１）と前記第２変換器（ＴＤ２）とは、前記Ｔｘ路（Ｔｘ）又は前記Ｒｘ路（Ｒｘ）から選択された１つの信号路において直列に接続されている、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項記載のフィルタ。
【請求項５】
前記フィルタはさらに、ＢＡＷ共振器（ＢＡＷ）を含み、
前記第１変換器（ＴＤ１）と前記第２変換器（ＴＤ２）とは、前記Ｒｘ路（Ｒｘ）において直列に接続されており、
前記ＢＡＷ共振器（ＢＡＷ）は、前記Ｔｘ路（Ｔｘ）において接続されている、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載のフィルタ。
【請求項６】
前記Ｔｘ路（Ｔｘ）と前記Ｒｘ路（Ｒｘ）との間に移相器（ＰＳ）が接続されている、
ことを特徴とする請求項４又は５記載のフィルタ。
【請求項７】
前記フィルタはさらに、アンテナ端子（Ａ）を含み、
前記第１変換器（ＴＤ１）は、前記アンテナ端子（Ａ）と前記第２変換器（ＴＤ２）との間に接続されている、
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項記載のフィルタ。
【請求項８】
前記第１変換器（ＴＤ１）と前記第２変換器（ＴＤ２）とは、同じ静電容量Ｃ０を有しており、
前記第１変換器（ＴＤ１）は、前記第２変換器（ＴＤ２）よりも多いフィンガ（ＥＦ）、又は、前記第２変換器（ＴＤ２）よりも小さいアパーチャ（Ｗ）を有する、
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項記載のフィルタ。
【請求項９】
並列にカスケード接続された変換器を含む、
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項記載のフィルタ。
【請求項１０】
音波によって動作するフィルタ（Ｆ）の製造方法において、
・第１メタライゼーション比η１を有する第１変換器（ＴＤ１）と、第２メタライゼーション比η２を有する第２変換器（ＴＤ２）とを備えるフィルタ（Ｆ）を用意するステップと、
・比率η１／η２を連続的に小さくし、η１＝０．２及びη２＝０．８まで非直線の成分を決定するステップと、
・不所望な周波数成分が最も少ないことによって傑出した前記比率η１／η２を調整する、
ことを特徴とする製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非直線性が低減された、音波によって動作するフィルタ、及び、その製造方法に関する。
【０００２】
音波によって動作するフィルタでは、電気音響変換器が、高周波信号と音波の間で変換を行う。このような変換器は、櫛形構造を有する交差指形変換器（英語：Inter Digital Transducer, IDT）とすることができ、表面弾性波（英語：SAW = Surface Acoustic Wave）又はガイドバルク弾性波（英語：GBAW = Guided Bulk Acoustic Wave）によって動作することができる。一般的にこのような変換器は、複数の電極フィンガを含んでおり、これらの電極フィンガは、互いに噛み合ってはいるが、電気的には絶縁されており、バスバーによって接続されている。
【０００３】
音波によって動作する公知のフィルタの問題点は、いわゆる非直線性である。非直線性という用語は、完全に直線的には動作しないフィルタ構造によって形成される干渉周波数成分の出現又は発生を意味している。アクティブ回路、つまり半導体素子を含み得る回路におけるこのような非直線性は、例えば相互変調積である。
【０００４】
本発明の課題は、非直線性が低減された、音波によって動作するフィルタを提供することである。さらなる課題は、非直線性が低減された、音波によって動作するフィルタの製造方法を提供することである。
【０００５】
上記課題は、一方では、請求項１に記載のフィルタによって解決され、他方では、独立請求項に記載の方法によって解決される。
【０００６】
このために、音波によって動作するフィルタにおいて、該フィルタは、表面弾性波又はガイドバルク弾性波のための、第１メタライゼーション比η１を有する第１電気音響変換器と、第２メタライゼーション比η２を有する第２電気音響変換器とを含み、０．２≦η１≦０．８であり、
０．２≦η２≦０．８であり、η１／η２≦０．８である、ことを特徴とするフィルタが開示される。
【０００７】
つまり、メタライゼーション比η１及びη２は、０．２と０．８の間にある。低い方のメタライゼーション比は、最大でも、高い方のメタライゼーション比の０．８倍である。
【０００８】
メタライゼーション比ηは、電極フィンガによって覆われた変換器の表面に対する尺度である。メタライゼーション比ηは、定量的に、実質的に以下の式によって表すことができる：
η＝ｄ／（ｄ＋ｐ）
【０００９】
この式のｄは、電極フィンガの幅であり、ｐは、隣接する電極フィンガ同士の間の（空き）間隔である。変換器の長さに亘ってメタライゼーション比ηが変化する場合には、上述した条件は、メタライゼーション比の平均値に相当する。
【００１０】
音波によって動作するフィルタにおいて、非直線性に基づいた干渉周波数成分に、種々異なる次数が割り当てられることが判明している。所期の１次の基本周波数の他に、２次、３次、及び、より高次の干渉周波数が発生することがある。特に有害なのは３次の干渉周波数である。なぜなら３次の干渉周波数は、基本周波数の桁（Orders of magnitude）にあるからである−図６を参照のこと。
【００１１】
音波によって動作する変換器を製造する際における基本的な問題は、メタライゼーション比が低い場合の構造化であることが判明している。
【００１２】
例えばリフトオフ方法においては、最初のステップにおいて、感光性のレジストがピエゾ圧電基板の上に被着される。レジストの露光および現像によって、レジストに電極構造のネガティブパターンが形成される。その後、後々に電極構造となる１つ又は複数の金属被覆（メタライゼーション）が、構造化されたレジストの上、乃至、基板表面の露出領域の上に、広面積に堆積される。リフトオフステップにおいて、残ったレジストが、上に堆積された金属被覆と共に除去され、これによって基板の上に配置された金属被覆だけが電極構造として残る。従って、特に低いメタライゼーション比ηは、製造に起因して不利である。なぜなら、基板の上に堆積された金属被覆は、横方向の大きさが小さいために保持力が僅かであるので、残ったレジストと一緒に除去されてしまうからである。同様のことが、類似の構造化方法にも当てはまる。
【００１３】
上述した、第１変換器に対する低いけれども低過ぎないメタライゼーション比により、非直線性が低減されているにもかかわらず、それでもなお所要の製造交差内で製造可能なフィルタが提供される。
【００１４】
特に、レジストの露光時に遠紫外線（DUV, deep ultra violett）の放射を用いる構造化の場合には、所定の製造交差を良好に維持することができる。遠紫外線は、３００ｎｍ以下の波長を有することができる。
【００１５】
１つの実施形態においては、第１変換器は、Ｎ１個のフィンガと、静電容量Ｃ０１とを有する。第２変換器は、Ｎ２個のフィンガと、静電容量Ｃ０２とを有する。この際、Ｎ１＞Ｎ２であり、以下のことが当てはまる。
０．９×Ｃ０２≦Ｃ０１≦１．１×Ｃ０２          （１）
【００１６】
２つの変換器の静電容量は、約１０％より大きくは変化しない。しかしながら、フィンガの個数は異なる。
【００１７】
１つの実施形態においては、第１変換器はアパーチャＷ１を有し、第２変換器はアパーチャＷ２を有し、Ｗ１＞Ｗ２である。
【００１８】
上述した特別な特徴的構成によって非直線性を低減できることが判明した。
【００１９】
１つの実施形態においては、フィルタは、送信信号路（Ｔｘ路）と、受信信号路（Ｒｘ路）とを備えるデュプレクサである。第１変換器と第２変換器は、Ｔｘ路又はＲｘ路から選択された１つの信号路において直列に接続されている。
【００２０】
第１変換器と第２変換器は１つの信号路において直接に接続されているので、この信号路に伝播する高周波信号は２つの変換器を順次に通過する。メタライゼーション比が異なるこれら２つの変換器による高周波信号の相互作用により、非直線性が低減されるということが判明した。
【００２１】
１つの実施形態においては、フィルタはさらに、バルク弾性波（英語：BAW = Bulk Acoustic Wave）によって動作する共振器を含む。この際、第１変換器と第２変換器は、デュプレクサのＲｘ路において直列に接続されている。ＢＡＷ共振器は、Ｔｘ路において接続されている。ＳＡＷ共振器とＢＡＷ共振器とを備えた回路は、ハイブリッド回路と呼ばれる。さらには、ハイブリッド回路のＢＡＷ共振器を、Ｒｘ路において接続することができる。
【００２２】
ＢＡＷ共振器は、比較的出力耐性があるので、比較的高出力の高周波信号が伝播するデュプレクサのＴｘ路において接続するために良好に適している。
【００２３】
デュプレクサ回路の１つの実施形態においては、Ｔｘ路とＲｘ路との間に移相器が接続されている。このような移相器は、λ／４線路を含むことができる。λ／４線路を備えた移相器よりも所要スペースが小さい移相器として、ＬＣ素子を含む移相器も考慮の対象となり得る。
【００２４】
このような移相器は、有利には、受信信号乃至受信信号の周波数に対して透過性であり、かつ、送信信号乃至送信信号の周波数を遮断する。
【００２５】
１つの実施形態においては、フィルタは、アンテナ端子を含む。第１変換器は、アンテナ端子と第２変換器の間に接続されている。
【００２６】
第２変換器を、アンテナ端子と第１変換器の間に接続することも可能である。
【００２７】
フィルタの１つの実施形態においては、第１変換器と第２変換器は、実質的に同じ静電容量Ｃ０を有している、又は、第１変換器の静電容量と第２変換器の静電容量は、５％又は１％より大きくは異ならない。第１変換器は、第２変換器よりも多くのフィンガ、又は、第２変換器よりも小さいアパーチャを有する。
【００２８】
１つの実施形態においては、音波によって動作するフィルタは、カスケード接続された構成の変換器を含む。これらの変換器は、直列又は並列にカスケード接続することができる。
【００２９】
共振器のカスケード接続の数は、１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０、又はそれ以上とすることができる。各々のカスケード接続の段は、１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０、又はそれ以上とすることができる。このようなカスケード接続、特に、ＳＡＷ共振器のこのようなカスケード接続は、基板上に何倍もの面積を必要とする。
【００３０】
しかしながら、−小型化の傾向が続いているにも拘わらず−非直線性の低減による品質向上の方が、所要面積が非常に小さい構造方式よりも重要であることがある。
【００３１】
音波によって動作するフィルタの製造方法は、以下のステップを含む：
・第１メタライゼーション比η１を有する第１変換器と、第２メタライゼーション比η２を有する第２変換器とを備えるフィルタを用意するステップと、
・比率η１／η２を連続的に小さくし、η１＝０．２及びη２＝０．８まで非直線性の成分を決定するステップと、
・不所望な周波数成分が最も小さいことによって傑出した前記比率η１／η２を決定及び調整するステップ。
【００３２】
つまり比率η１／η２は連続的に小さくされ、この際、メタライゼーション比η１は０．１を下回らず、メタライゼーション比η２は０．９を上回らない。メタライゼーション比η１又はη２を変化させていく際のステップ幅として、例えばΔη１，２＝±０．１、又は、Δη１，２＝±０．０５、又は、Δη１，２＝±０．０１が考慮の対象となり得る。
【００３３】
以下、本発明を、実施例及び概略図に基づいてより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】図１は、直列共振器及び並列共振器を備える梯子型回路を示す図である。
【図２】図２ａは、電気音響変換器と、数個の特性変数とを示す図であり、図２ｂは、より大きいメタライゼーション比を有する電気音響変換器を示す図である。
【図３】図３は、オーバーラップ重み付けを有する電気音響変換器を示す図である。
【図４】図４ａは、デュプレクサを示す図であり、図４ｂは、アース対称に導かれたＲｘポートを有するデュプレクサを示す図である。
【図５】図５ａは、信号路において並列にカスケード接続された共振器を示す図であり、図５ｂは、並列路において並列にカスケード接続された共振器を示す図である。
【図６】図６は、種々の次数の種々の周波数成分の相対的な周波数位置を示す図である。
【図７】図７は、メタライゼーション比が異なる場合における、種々の変換器の静電容量Ｃ０を示す図である。
【図８】図８は、一定の静電容量Ｃ０を維持すべき場合における、メタライゼーション比のフィンガ数の依存性を示す図である。
【００３５】
図１は、直列接続された直列共振器ＳＲ１，ＳＲ２と、並列路に接続された並列共振器ＰＲ１，ＰＲ２とを備えた梯子型のフィルタ回路を有するフィルタＦの可能な実施例を示す。非直線性が低減されたフィルタ回路を達成するために、２つの直列共振器ＳＲ１，ＳＲ２のメタライゼーション比が異なるように構成することが可能である。しかしながら、２つの並列共振器ＰＲ１，ＰＲ２のメタライゼーション比が異なるように構成することも可能である。さらには、２つの直列共振器ＳＲ１，ＳＲ２のうちの１つのメタライゼーション比と、２つの並列共振器ＰＲ１，ＰＲ２のうちの１つのメタライゼーション比とを異ならせることが可能である。
【００３６】
図２は、電極フィンガＥＦと、短フィンガＳＦと、バスバーＢＢ（英語：Bus Bar）とを備えた、表面弾性波のための第１音響変換器ＴＤ１を概略的に図示している。破線のサイン状の曲線は、変換器内で伝播する波長λの音波を表している。電極フィンガ乃至短フィンガの幅はｄで表されており、隣接配置された電極フィンガ同士の間隔はｐで表されている。従って、メタライゼーション比は、実質的に以下のようになる：
η＝ｄ／（ｄ＋ｐ）
【００３７】
和ｄ＋ｐは、実質的に、変換器の周波数位置を決定する。
【００３８】
電極フィンガＥＦのオーバーラップ領域、つまり、異なるバスバーに接続された２つの隣接する電極フィンガが形成する最大オーバーラップ長さは、アパーチャＷを規定している。一方の電極の電極フィンガの自由端部と、隣接するバスバーＢＢとの間の横断距離、又は、電極フィンガの自由端部と、他方の電極の、対向する短フィンガＳＦの端部との間の横断距離は、ｇ（英語：gap）によって表されている。個々の電極フィンガＥＦの長さは、ｌで表されている。
【００３９】
図２ｂは、第２変換器ＴＤ２を図示しており、第２変換器ＴＤ２は、変換器ＴＤ１とは異なるフィンガ幅ｄと、変換器ＴＤ１とは異なるフィンガ間隔ｐとを有する。変換器ＴＤ１のフィンガ幅ｄは、変換器ＴＤ２よりも小さく、変換器ＴＤ１のフィンガ間隔ｐは、変換器ＴＤ２よりも大きいので、変換器ＴＤ１のメタライゼーション比は、変換器ＴＤ２よりも小さくなっている。
【００４０】
このパラメータを最適化することによって、非直線性を回避できることが判明した。２つの変換器を有するフィルタ回路の場合、これら２つの変換器のメタライゼーション比ηが異なるように調整することによって、非直線性が低減されることが示されている。
【００４１】
図３は、電気音響変換器を図示しており、ここでは電極フィンガのオーバーラップ領域が、音波の伝播方向に沿って変化している。この図の"ｃｏｓ"が付された破線は、オーバーラップの程度をシンボル化したものである。図３に図示した変換器は、いわゆるコサイン重み付けを有する。
【００４２】
この場合には、メタライゼーション比を、音波の伝播方向に沿って変化させること、又は、一定とすることができる。
【００４３】
図４ａは、アンテナ端子Ａと、送信信号路Ｔｘと、受信信号路Ｒｘとを備えたデュプレクサ回路ＤＵを図示している。Ｔｘ路においてもＲｘ路においても、バンドパスフィルタＢＰＦが接続されている。ここでは送信信号路Ｔｘにおいて、バルク弾性波によって動作するバンドパスフィルタＢＡＷが接続されている。受信信号路Ｒｘにおいては、表面弾性波によって動作するＳＡＷバンドパスフィルタＢＰＦが接続されている。アンテナ端子ＡとＲＸ路のバンドパスフィルタＢＰＦとの間には、移相器ＰＳが接続されている。これによって電流密度、特に受信周波数における電流密度を最小化することができ、ひいては非直線性を最小化することができる。
【００４４】
図４ｂは、デュプレクサ回路を図示しており、この図４ｂのデュプレクサ回路は、Ｒｘポートがアース対称である−つまりバランスがとれている−よう構成されているという点で図４ａのデュプレクサ回路ＤＵとは異なっている。これに加えて、Ｒｘ路に接続されたバンドパスフィルタＢＰＦ自体がバラン機能を含むことができる。
【００４５】
図５ａは、フィルタ回路を図示している。このフィルタ回路は、１つの直列共振器が、並列にカスケード接続された構成になっているという点で、図１のフィルタ回路Ｆとは異なっている。この並列のカスケード接続は、２つの共振器ＳＲ１ａ及びＳＲ１ｂを含む。この回路において、カスケード接続された２つの共振器ＳＲ１ａ及びＳＲ１ｂは、実質的に２つ合わせて以下のようなインピーダンスを有するように定められている、すなわち、カスケード接続されていない元々の回路の場合にカスケード接続されていない単一の共振器が有するべきインピーダンスを有するように定められている。
【００４６】
図５ｂは、１つの並列共振器が、並列にカスケード接続された構成になっているという点で、図１のフィルタ回路Ｆとは異なっている。この並列のカスケード接続は、２つの共振器ＰＲ１ａ及びＰＲ１ｂを含む。カスケード接続された２つの共振器ＰＲ１ａ及びＰＲ１ｂの回路は、実質的に、カスケード接続されていない単一の共振器が有するべきインピーダンスを有する。
【００４７】
複数の直列のカスケード接続の場合には、直線性の改善が期待され得る。なぜなら、変換器１つあたりに印加される電圧が低減するからである。しかしながら、直列にカスケード接続された２つの変換器は、直列のカスケード接続のインピーダンスを、置き換えられた変換器のインピーダンスと一致させるために、実質的に、ピエゾ圧電基板上に何倍もの面積を必要とする。
【００４８】
複数の並列のカスケード接続の場合にも、フィルタ回路の直線性を格段に改善できることが判明した。このことは、並列にカスケード接続された複数の変換器によって、基板上における所要面積が増加しないという点において有利である。付加的な信号線路そのものは、ほんの僅かな付加面積を要するだけである。
【００４９】
図６は、種々異なる次数の高周波信号の周波数ｆの相対的な配置を図示している。縦軸は、電力Ｐの大きさである。"１"は、所期の１次の基本周波数を表している。２次の干渉周波数"２"の大きさは、実質的に基本周波数そのものの大きさだけ基本周波数とは異なっている。従って、基本周波数"１"と、２次の干渉周波数"２"との間の周波数差は比較的大きくなっており、このような周波数は、バンドパスフィルタ、ハイパスフィルタ、又はローパスフィルタによって良好に除去することができる。
【００５０】
"３"が付された周波数は、３次の干渉周波数である。この３次の干渉周波数は、基本周波数の高さにある周波数差によって、２次の干渉周波数"２"とは異なっている。従って一般的に、３次の干渉周波数は、ほぼ基本信号の周波数に存在している。このような３次の干渉周波数"３"は、従来のフィルタ手段によってフィルタリングすることができないか、又は、十分にはフィルタリングすることができない。
【００５１】
本発明は、この除去するのが難しい３次の干渉周波数"３"を、全く発生させないか、又は、低減された強度でしか発生させない手段を提供する。つまり、３次の干渉周波数"３"において低減された強度を有するフィルタが提供される。
【００５２】
図７は、種々の変換器の静電容量Ｃ０を図示している。曲線"ａ""ｂ""ｃ"は、調整された容量を有する変換器の、計算された静電容量を示している。この際、３つの変換器のアパーチャは全て一定である。３つの曲線において、メタライゼーション比ηは全て０．４〜０．８の間で変化される。各静電容量を、実質的に、自身のメタライゼーション比に依存せずに調整することができるということが明らかに見て取れる。
【００５３】
これらの静電容量は、それぞれ相応に方程式（１）に基づいてアパーチャ又はフィンガ数を調整することによって得られる。
【００５４】
例えば曲線"ｃ"の周りにある破線は、基準容量の約１１０％乃至９０％の容量−方程式（１）を参照のこと−を表している。
【００５５】
図８は、メタライゼーション比ηが変化する場合における、静電容量が一定の図７の変換器のためのフィンガ数を示している。曲線"ｄ"と"ｅ"は、図７の曲線"ａ"の静電容量を備える変換器を表している。曲線"ｆ"と"ｇ"は、曲線"ｂ"の静電容量を備える変換器を表している。曲線"ｈ"と"ｉ"は、曲線"ｃ"の静電容量を備える変換器を表している。
【００５６】
例えばメタライゼーション比η＝０．６５の変換器に対して、以下のことが当てはまる：
曲線"ｄ"による実施形態においては、変換器は、３７５個の電極フィンガと、８０μｍのアパーチャを有する。
曲線"ｅ"による実施形態においては、変換器は、３００個の電極フィンガと、１００μｍのアパーチャを有する。
曲線"ｆ"による実施形態においては、変換器は、２５０個の電極フィンガと、８０μｍのアパーチャを有する。
曲線"ｇ"による実施形態においては、変換器は、２００個の電極フィンガと、１００μｍのアパーチャを有する。
曲線"ｈ"による実施形態においては、変換器は、１２５個の電極フィンガと、８０μｍのアパーチャを有する。
曲線"ｉ"による実施形態においては、変換器は、１００個の電極フィンガと、１００μｍのアパーチャを有する。
【００５７】
つまり図７及び８は、一方では、非直線性を低減させるために変換器のメタライゼーション比をどのように変化させることができるかを示しており、他方では、所期の静電容量をどのようにして維持できるかを示している。静電容量の調整は、例えばフィルタ回路のインピーダンスマッチングにとって重要である。
【００５８】
本発明のフィルタ及び本発明の製造方法は、上に記載した実施例に限定されていない。複数の実施例の組み合わせも、本発明の実施例に含まれる。特に、"第１"及び"第２"変換器という名称は、回路における変換器の位置を表しているわけではない。
【符号の説明】
【００５９】
１，２，３  １次、２次、３次の周波数位置
ａ，ｂ，ｃ  静電容量
ｄ，ｅ，ｆ，ｇ，ｈ，ｉ  フィンガ数
Ａ  アンテナ端子
ＢＡＷ  バルク弾性波によって動作するバンドパスフィルタ
ＢＢ  バスバー
ＢＰＦ  バンドパスフィルタ
ＣＯＳ  コサイン重み付け
ｄ  フィンガ幅
ＤＵ  デュプレクサ
ＥＦ  電極フィンガ
Ｆ  フィルタ
ｇ  電極フィンガと、対向する電極又は対向する短フィンガとの間の間隔
ｌ  電極フィンガの長さ
λ  音波の波長
ｐ  フィンガ間隔
ＰＲ１，ＰＲ２  並列共振器
ＰＳ  移相器
Ｒｘ  受信信号路
Ｓ  短フィンガの長さ
ＳＦ  短フィンガ
ＳＲ１，ＳＲ２  直列共振器
ＴＤ１，ＴＤ２  第１変換器、第２変換器
Ｔｘ  送信信号路
Ｗ  アパーチャ
【図１】
2013539308.tif 000003
【図２ａ】
2013539308.tif 000004
【図２ｂ】
2013539308.tif 000005
【図３】
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【図４ａ】
2013539308.tif 000007
【図４ｂ】
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【図５ａ】
2013539308.tif 000009
【図５ｂ】
2013539308.tif 000010
【図６】
2013539308.tif 000011
【図７】
2013539308.tif 000012
【図８】
2013539308.tif 000013
【国際調査報告】
2013539308.tif 000014
2013539308.tif 000015
2013539308.tif 000016
2013539308.tif 000017
2013539308.tif 000018
2013539308.tif 000019