(57)【要約】簡単に組み立ておよび／または設置されガス供給システムがガス構成要素に適合することを可能にする、最初は可撓性のある締結システムを含むガス供給システム。ガス構成要素の組立が完了すると、締結システムは堅固になり、それによりガス構成要素を支持レールに固定する。摺動固定ガス配送システムは、ガスシステム構成要素底面が独立して入口封止および出口封止用の封止平面を確立することを可能にする。ガス構成要素取り付け穴用の側面間隔が組立中に浮いて、不整列の機会が減少するようになる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの多岐管ブロックを支持するためのレールと、
ガス構成要素に接続するための少なくとも１つの接続口をそれぞれ有する、第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックと、
前記第１の多岐管ブロックおよび前記第２の多岐管ブロックに固定可能なガス構成要素であって、そこに固定されたとき、前記第１の多岐管ブロックおよび前記第２の多岐管ブロックの各接続口と通信するための一次接続口および二次接続口を有する実装面を含むガス構成要素と、
前記一次ブロックおよび前記二次ブロックを前記レールに固定するための摺動固定部材と
を備えるガス配送システムであって、
前記摺動固定部材が、前記ガス構成要素を前記多岐管ブロックに組立てるために、前記第１の多岐管ブロックおよび前記第２の多岐管ブロックを一次段階予圧下で前記レールに固定するように構成され、前記摺動固定部材が、前記ガス構成要素が前記多岐管に固定されるとき、前記第１の多岐管ブロックおよび前記第２の多岐管ブロックを前記一次段階よりも大きい二次段階予圧で前記レールに固定するように構成されている、ガス配送システム。
【請求項２】
前記摺動固定部材が摺動固定クリップおよびスペーサブロックを含み、前記スペーサブロックが前記第１の多岐管ブロックと前記第２の多岐管ブロックとの間に挿入され、前記第１の多岐管ブロックと前記第２の多岐管ブロックを所定の距離に離隔し、前記摺動固定部材を支持するように適合されている、請求項１に記載のガス配送システム。
【請求項３】
前記スペーサブロックが前記摺動固定クリップを２つの支持位置でその中央部分で支持する、請求項１または２のいずれか一項に記載のガス配送システム。
【請求項４】
前記支持位置が前記レールの長手軸から離隔されている、請求項１から３のいずれか一項に記載のガス配送システム。
【請求項５】
前記スペーサブロックが、前記第１の多岐管ブロックおよび前記第２の多岐管ブロックの少なくとも１つの上の対応する凹所または突起と嵌合するための凹所または突起を含み、それにより前記スペーサブロックを前記多岐管ブロックに連結する、請求項１から４のいずれか一項に記載のガス配送システム。
【請求項６】
前記スペーサブロックが前記摺動固定クリップの前記中央部分をその外側縁部近傍で支持して、前記ガス構成要素が前記多岐管ブロックに取り付けられるとき、前記中央部分の偏向可能な部分の屈曲を可能にする、請求項１から５のいずれか一項に記載のガス配送システム。
【請求項７】
前記スペーサブロックが、前記ガス構成要素の取り付け中に前記第１の多岐管ブロックと前記第２の多岐管ブロックとの間の相対的な動きを可能にするように変形可能である、請求項１から６のいずれか一項に記載のガス配送システム。
【請求項８】
前記摺動固定クリップが、中央部分および前記レールに係合するための前記中央成形部分から延在する各脚部分を有し、それにより前記摺動固定部材と前記レールとの間に少なくとも１つの多岐管ブロックを捕捉する、請求項１から７のいずれか一項に記載のガス配送システム。
【請求項９】
前記中央部分が、偏向可能な部分を含み、偏向されたとき、脚部分のうちの少なくとも１つの張力を増加させて、それにより前記二次段階へ前記予圧を増加させる、請求項１から８のいずれか一項に記載のガス配送システム。
【請求項１０】
前記摺動固定クリップが全体にＣ字型であり、前記摺動固定クリップの少なくとも１つの遠位端が前記レールの面に連結するための連結機構を含む、請求項１から９のいずれか一項に記載のガス配送システム。
【請求項１１】
前記レールが、側方に離隔された多岐管ブロック支持面の間に長手方向に延在する導管および前記ガス構成要素に熱を提供するための、前記導管内の加熱要素を含む、請求項１から１０のいずれか一項に記載のガス配送システム。
【請求項１２】
前記摺動固定クリップおよび前記スペーサブロックが単一部品として形成される、請求項１から１１のいずれか一項に記載のガス配送システム。
【請求項１３】
少なくとも１つの多岐管ブロックを支持するためのレールと、
ガス構成要素に接続するための少なくとも１つの接続口を有する多岐管ブロックと、
前記多岐管ブロックを前記レールに固定するための摺動固定部材と
を備えるモジュール式ガス供給多岐管システムであって、
前記摺動固定部材が、ガス構成要素を前記多岐管ブロックに固定することを促進するために、前記多岐管ブロックを一次段階予圧下で前記レールに固定するように構成され、前記摺動固定部材が、前記ガス構成要素が前記多岐管に固定されるとき、前記多岐管ブロックを前記一次段階よりも大きい二次段階予圧下で前記レールに固定するように構成されている、モジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項１４】
前記摺動固定部材が摺動固定クリップおよび前記摺動固定部材を支持するためのスペーサブロックを含む、請求項１３に記載のモジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項１５】
前記スペーサブロックがその中央部分で前記摺動固定クリップを２つの支持位置で支持する、請求項１３から１４のいずれか一項に記載のモジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項１６】
前記支持位置が前記レールの長手軸から離隔されている、請求項１３から１５のいずれか一項に記載のモジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項１７】
前記摺動固定クリップが、中央部分および前記レールに係合するための前記中央部分から延在する各脚部分を有し、それにより前記摺動固定部材と前記レールとの間に前記少なくとも１つの多岐管ブロックを捕捉する、請求項１３から１６のいずれか一項に記載のモジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項１８】
前記中央部分が、偏向可能な部分を含み、偏向されたとき、脚部分のうちの少なくとも１つの張力を増加させて、それにより前記二次段階へ前記予圧を増加させる、請求項１３から１７のいずれか一項に記載のモジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項１９】
前記摺動固定部材が、前記レールまたは前記多岐管ブロックの少なくとも１つに摺動式に係合して、前記一次段階予圧下にあるとき、その間の相対的動きを可能にする、請求項１３から１８のいずれか一項に記載のモジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項２０】
前記スペーサブロックが、前記第１の多岐管ブロックおよび前記第２の多岐管ブロックの少なくとも１つの上の対応する凹所または突起と嵌合するための凹所または突起を含み、それにより前記スペーサブロックを前記多岐管ブロックに連結する、請求項１３から１９のいずれか一項に記載のモジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項２１】
前記スペーサブロックが前記摺動固定部材の前記中央部分をその外側縁部近傍で支持して、前記ガス構成要素が前記多岐管ブロックに取り付けられるとき、前記中央部分の偏向を可能にする、請求項１３から２０のいずれか一項に記載のモジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項２２】
前記スペーサブロックが、前記多岐管ブロックと前記摺動固定部材との間の相対的な限定された動きを可能にするように変形可能である、請求項１３から２１のいずれか一項に記載のモジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項２３】
前記摺動固定部材および前記スペーサブロックが単一部品として形成される、請求項１３から２２のいずれか一項に記載のモジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項２４】
前記多岐管ブロックに固定された前記ガス構成要素をさらに備える、請求項１３から２３のいずれか一項に記載のモジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項２５】
前記摺動固定部材が全体にＣ字型であり、前記摺動固定部材の少なくとも１つの遠位端が前記レールの面に連結するための連結機構を含む、請求項１３から２４のいずれか一項に記載のモジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項２６】
前記レールが、側方に離隔された多岐管ブロック支持面の間に長手方向に延在する導管および前記ガス構成要素に熱を提供するための、前記導管内の加熱ストリップを含む、請求項１３から２５のいずれか一項に記載のモジュール式ガス供給多岐管システム。
【請求項２７】
レール上の第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックを離隔するための中央スペーサ部分と、
前記中央スペーサ部分から延在し、ガス供給システムの前記レールに係合するように適合された脚部分と
を備える多岐管ブロックをモジュール式ガス供給多岐管のレールに固定するための摺動固定部材であって、
前記摺動固定部材が、ガス構成要素を前記多岐管ブロックに固定することを促進するために、前記多岐管ブロックを一次段階予圧下で前記レールに固定するように構成され、前記摺動固定部材が、前記ガス構成要素が前記多岐管に固定されるとき、前記多岐管ブロックを前記一次段階よりも大きい二次段階予圧下で前記レールに固定するように構成されている、摺動固定部材。
【請求項２８】
前記中央スペーサ部分が、多岐管ブロックに連結する凹所または突起を含む、請求項２７に記載の摺動固定部材。
【請求項２９】
前記中央スペーサ部分が、ガス構成要素の取り付け中に、前記第１の多岐管ブロックと前記第２の多岐管ブロックとの間の相対的な動きを可能にするように変形可能である、請求項２６から２７のいずれか一項に記載の摺動固定部材。
【請求項３０】
前記摺動固定部材が全体にＣ字型を有する摺動固定クリップを含み、前記摺動固定クリップの少なくとも１つの遠位端が、前記レールの面に取り付けられるとき、前記レールの面に連結するための連結機構を含む、請求項２６から２９のいずれか一項に記載の摺動固定部材。
【請求項３１】
第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックを摺動固定部材で支持レールに取り付けるステップであって、前記第１の多岐管ブロックおよび前記第２の多岐管ブロックのそれぞれがガス構成要素の接続口と通信するための少なくとも１つの接続口を有し、前記摺動固定部材が、前記第１の多岐管ブロックおよび前記第２の多岐管ブロックを一次量の予圧で前記レールに固定するように適合されているステップと、
ガス構成要素を前記第１の多岐管ブロックおよび前記第２の多岐管ブロックに取り付けるステップと
を備えるガス配送システムを組み立てる方法であって、
前記摺動固定部材が、前記ガス構成要素を前記多岐管ブロックに組立てるために、前記第１の多岐管ブロックおよび前記第２の多岐管ブロックを一次段階予圧下で前記レールに固定するように構成され、前記一次段階予圧が相対的動きを可能にし、前記摺動固定部材が、前記ガス構成要素が前記多岐管に取り付けられるとき、前記第１の多岐管ブロックおよび前記第２の多岐管ブロックを前記一次段階よりも大きい二次段階予圧で前記レールに固定する、ガス配送システムを組立てる方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、２００９年１０月２９日に出願した米国特許出願第６１／２５６，２５４号の優先権を主張するものであり、参照により本明細書に組み込まれるものとする。
本発明は、全体的にガス配送システムに関し、より具体的にはガス構成要素を結合するためのシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガス配送システムは半導体装置の製造用ガスを分配するために使用される。半導体装置の製造で使用されるガスはしばしば非常に有害で、腐食性がある。これらの材料の多くは液体原料から蒸気として引き出され、蒸気が凝縮して液体に戻ることを防止するために加熱されねばならない。これらのシステムには高度のモジュール性、非常に良好な液漏れ完全性が必要であり、非常に小さい実装面積を占めねばならない。これらの要求を達成する典型的な方法は表面実装システムによる。
【０００３】
表面実装システムは典型的には、プロセスガスを１つの構成要素の出口からシステム内の次の構成要素の入口にもたらすために取り付けまたはブロックが必要である。典型的なシステムは、２つの多岐管ブロックをそれらが入口封止および出口封止の両方用の共通平面を確立するように一体に結合する。分かるであろうが、多岐管ブロックの接続口をガス構成要素の接続口に位置合わせすることを保証するために、これには構成要素の厳密な公差が必要とされることがある。現在のシステムは、多岐管基板を、型板を使用して金属板に取り付けて、適切な基板位置を確立することによって製造される。これは非常に時間がかかり、これらのシステムは例えば１６の個別のガス流路を有することが一般的であり、かなり大きくなることがあるので、この下方金属板をアルミニウムから作成することが典型的である。アルミニウムは重量を軽減するのに役立つが、ヒートシンクとして働いて、加熱が必要な構成要素から熱を引き抜く。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
今日市場で入手可能なこのようなシステムには多くの種類があるが、そのようなシステムは一般に非常に厳密な機械公差が必要であり、組立が遅く、および／または困難であり、加熱することが困難であることがある。さらに、そのようなシステムは高価になりがちである。
【０００５】
本発明は、簡単に組み立ておよび／または設置され、ガス供給システムがガス構成要素に適合することを可能にする、最初は可撓性のある締結システムを含むガス供給システムを提供する。ガス構成要素の組立が完了すると、締結システムは堅固になり、それによりガス構成要素を支持レールに固定する。そのシステムにより、典型的な製造公差に適応するために、非常に厳密で時間がかかる実装板を設計することの必要性が減少する。摺動固定式ガス配送システムは、ガスシステム構成要素底面が独立して入口封止および出口封止用の封止平面を確立することを可能にする。加えて、ガス構成要素取り付け穴用の側面間隔が組立中に「浮く」ことが可能になり、取り付け穴が厳密な公差を必要とせず、金属封止に対して金属に応力を加えることがある不整列の機会が減少するようになる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、ガス配送システムが、少なくとも１つの多岐管ブロックを支持するためのレールと、ガス構成要素に接続するための少なくとも１つの接続口をそれぞれ有する、第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックと、第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックに固定可能なガス構成要素であって、そこに固定されたとき、第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックの各接続口と通信するための一次接続口および二次接続口を有する実装面を含むガス構成要素と、一次ブロックおよび二次ブロックをレールに固定するための摺動固定部材とを備える。摺動固定部材が、ガス構成要素を多岐管ブロックに組立てるために、第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックを一次段階予圧下でレールに固定するように構成され、ガス構成要素が多岐管に固定されるとき、第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックを一次段階よりも大きい二次段階予圧でレールに固定するように構成されている。
【０００７】
摺動固定部材はまた、スペーサブロックとして働いて、第１の多岐管ブロックと第２の多岐管ブロックとの間に適切な、ほぼ正確な間隔を設定することができる。したがって、摺動固定部材が、レールに係合するための摺動固定クリップ部分および多岐管ブロックを離隔するためのスペーサブロック部分の両方を含むことができる。スペーサブロック部分は摺動固定クリップ部分から分離されることができ、またはそれと共に一体に形成されることができる。摺動固定部材は、多岐管ブロック内の対応する１組の凹所と嵌合するための１組の突起を含み、それにより摺動固定部材を多岐管ブロックに連結することができる。
【０００８】
一実施形態では、スペーサブロック部分が摺動固定クリップ部分を、摺動固定クリップの中央からどちらかのクリップ端部に向かって約３／１の距離で対称的な方法で支持する。摺動固定クリップ端部は組立時に摺動固定クリップ部分がレールに係合するまで、レールに向かって下方に変形される。スペーサブロック部分が摺動固定クリップを中央から離れた２つの支点で支持するので、端部が下方に押し下げられてレールに係合するとき、摺動固定クリップ中央は引き上げられる。これは本質的に中央で案内される１対の「単純支持型」片持ち梁と等価である。このように支持される片持ち梁は、相対的に軽い保持力を提供する。本発明の場合、その結果、摺動固定部材およびガス多岐管ブロックはそれらの位置を自己調節して、ガス構成要素が多岐管ブロックに設置されると、ガス構成要素の位置に従うことができる。
【０００９】
ガス構成要素組立体が完成すると、ガス構成要素が多岐管ブロックまで下方に最終的に動きを増加することにより、ガス構成要素底面が、摺動固定クリップの引き上げられた中央部分に接触し、その中央部を２つの支点と同じ高さまたはその下方に押し下げる。この最終的な摺動固定クリップの位置は、このとき固定された支持を有する１対の片持ち梁に本質的に等価である。このように支持された片持ち梁は偏向された梁端部を最初の位置に維持するために２倍の力が本質的に必要である。
【００１０】
摺動固定クリップが、中央部分およびレールに係合するための中央部分から延在する各脚部分を有することができ、それにより摺動固定部材とレールとの間に少なくとも１つの多岐管ブロックを捕捉する。中央部分が、偏向可能な部分を含み、偏向されたとき脚部分のうちの少なくとも１つの張力を増加させて、それにより二次段階へ予圧を増加させる。摺動固定クリップが全体にＣ字型であることができ、摺動固定クリップの少なくとも１つの遠位端がレールの面に連結するための連結機構を含むことができる。摺動固定クリップおよびスペーサブロックが単一部品として形成されることができる。レールが、側方に離隔された多岐管ブロック支持面の間に長手方向に延在する導管およびガス構成要素に熱を提供するための、導管内の加熱要素を含むことができる。
【００１１】
本発明の別の実施形態によれば、モジュール式ガス供給多岐管システムが、少なくとも１つの多岐管ブロックを支持するためのレールと、ガス構成要素に接続するための少なくとも１つの接続口を有する多岐管ブロックと、多岐管ブロックをレールに固定するための摺動固定部材とを備える。摺動固定部材が、ガス構成要素を多岐管ブロックに固定することを促進するために、多岐管ブロックを一次段階予圧下でレールに固定するように構成され、ガス構成要素が多岐管に固定されるとき、多岐管ブロックを一次段階よりも大きい二次段階予圧下でレールに固定するように構成されている。
【００１２】
摺動固定部材が摺動固定クリップおよび摺動固定部材を支持するためのスペーサブロックを含むことができる。スペーサブロックがその中央部分で摺動固定クリップを２つの支持位置で支持することができる。支持位置がレールの長手軸から離隔されることができる。
【００１３】
摺動固定部材が、中央部分およびレールに係合するための中央部分から延在する各脚部分を有することができ、それにより摺動固定部材とレールとの間に少なくとも１つの多岐管ブロックを捕捉する。中央部分が、偏向可能な部分を含むことができ、偏向されたとき脚部分のうちの少なくとも１つの張力を増加させて、それにより二次段階へ予圧を増加させる。摺動固定部材が、レールまたは多岐管ブロックの少なくとも１つに摺動式に係合することができて、一次段階予圧下にあるとき、その間の相対的動きを可能にする。
【００１４】
そのシステムはまた、第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックをレール上に所定の距離に離隔するように構成されたスペーサブロックを含むことができる。スペーサブロックが、第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックの少なくとも１つの上の対応する凹所または突起と嵌合するための凹所または突起を含むことができ、それによりスペーサブロックを多岐管ブロックに連結することができる。スペーサブロックが摺動固定部材の中央部分をその外側縁部近傍で支持することができて、ガス構成要素が多岐管ブロックに取り付けられるとき、中央部分の偏向を可能にする。スペーサブロックが、ガス構成要素の取り付け中に、第１の多岐管ブロックと第２の多岐管ブロックとの間の相対的な動きを可能にするように変形可能であることができる。摺動固定部材およびスペーサブロックが単一部品として形成されることができる。摺動固定部材が全体にＣ字型であることができ、摺動固定部材の少なくとも１つの遠位端がレールの面に連結するための連結機構を含むことができる。レールが、側方に離隔された多岐管ブロック支持面の間に長手方向に延在する導管およびガス構成要素に熱を提供するための導管内の加熱ストリップを含むことができる。
【００１５】
別の態様によれば、多岐管ブロックをモジュール式ガス供給多岐管のレールに固定するための摺動固定部材が、レール上の第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックを離隔するための中央スペーサ部分と、中央スペーサ部分から延在し、ガス供給システムのレールに係合するように適合された脚部分とを備える。摺動固定部材が、ガス構成要素を多岐管ブロックに固定することを促進するために、多岐管ブロックを一次段階予圧下でレールに固定するように構成され、摺動固定部材が、ガス構成要素が多岐管に固定されるとき、多岐管ブロックを一次段階よりも大きい二次段階予圧下でレールに固定するように構成されている。中央スペーサ部分が、多岐管ブロックに連結するための凹所または突起を含むことができる。中央スペーサ部分が、ガス構成要素のそれへの取り付け中に、第１の多岐管ブロックと第２の多岐管ブロックとの間の相対的な動きを可能にするように変形可能であることができる。摺動固定部材が全体にＣ字型であることができ、摺動固定部材の少なくとも１つの遠位端が、レールの面に取り付けられるとき、レールの面に連結するための連結機構を含む。
【００１６】
本発明の別の態様によれば、ガス配送システムを組立てる方法が、第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックを摺動固定部材で支持レールに取り付けるステップであって、第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックのそれぞれが、ガス構成要素の接続口と通信するための少なくとも１つの接続口を有し、摺動固定部材が、第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックを一次量の予圧でレールに固定するように適合されているステップと、
ガス構成要素を第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックに取り付けるステップとを備える。摺動固定部材が、ガス構成要素を多岐管ブロックに組立てるために、第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックを一次段階予圧下でレールに固定するように構成され、一次段階予圧が相対的動きを可能にし、摺動固定部材が、ガス構成要素が多岐管に取り付けられるとき、第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックを一次段階よりも大きい二次段階予圧でレールに固定する。
【００１７】
本発明の追加の特徴が、図面と併せて考察されるとき、以下の詳細な説明から明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明による、レール上の第１の多岐管ブロックおよび第２の多岐管ブロックに固定されたガス構成要素を有する例示的な摺動固定ガス配送システムの図である。
【図２】ガス構成要素が多岐管ブロックから分離された、図１の摺動固定ガス配送システムの図である。
【図３】本発明による、摺動固定部材を含む例示的な摺動固定多岐管の斜視図である。
【図４】図３の摺動固定部材の横断面図である。
【図５】レール上に設置された図３の摺動固定部材の別の横断面図である。
【図６】ガス構成要素が設置されたとき、摺動固定部材の最終的構成を示す横断面図である。
【図７】一次状態の例示的な摺動固定クリップの拡大図である。
【図８】二次状態の例示的な摺動固定クリップの拡大図である。
【図９】本発明による、部分的に組立てられた、別の例示的な摺動固定ガス配送システムの斜視図である。
【図１０】本発明による、部分的に組立てられた、例示的な摺動固定ガス配送システムの別の斜視図である。
【図１１】固定されたガス構成要素を有する、図６および７の摺動固定ガス配送システムの斜視図である。
【図１２】別の例示的な摺動固定ガス配送システムの斜視図である。
【図１３】図１２の摺動固定ガス配送システムの拡大された部分の図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図面を詳細に、最初に図１および２を参照すると、例示的な摺動固定ガス配送システムが符号１０で全体に示される。システム１０は、第１の多岐管ブロック１８および第２の多岐管ブロック２２を支持するためのレール１４を含む。多岐管ブロック１８および２２はそれぞれ、ガス構成要素３４の実装面３０上の各接続口に接続するように適合された少なくとも１つの接続口２６を有する。ガス構成要素３４は、穴３８を通って延在することができるボルト３５または他の適切な固定具を介して、第１の多岐管ブロック１８および第２の多岐管ブロック２２に固定される。摺動固定部材４２は、スペーサブロック部分３６および摺動固定クリップ部分４４を含み、第１の多岐管ブロック１８および第２の多岐管ブロック２２をレール１４に固定する。分かるであろうが、複数の多岐管およびガス構成要素組立体が、本発明に従ってレール１４上に設けられることができる。
【００２０】
本明細書により詳細に説明されるように、摺動固定部材４２は、組立のために一次段階予圧下で第１の多岐管ブロック１８および第２の多岐管ブロック２２をレール１４に固定するように構成され、ガス構成要素３４を多岐管ブロック１８および２２に固定し、ガス構成要素３４がボルトまたは類似のものなどを介して多岐管に固定されるとき、一次段階よりも大きい二次段階予圧で第１の多岐管ブロック１８および第２の多岐管ブロック２２をレール１４に固定するように構成される。加えて、第１の多岐管ブロック１８および第２の多岐管ブロック２２をレール１４に軽く保持することにより、摺動固定部材４２は、ガス構成要素３４が多岐管ブロック１８および２２に締め付けられると、第１の多岐管ブロック１８および第２の多岐管ブロック２２の接続口２６がガス構成要素３４の接続口に自立整列することを可能にする。
【００２１】
次に、図３を参照すると、参照符号４５で全体に示される、摺動固定システム１０のガス多岐管組立体が、ガス構成要素３４が取り外された状態で図示されている。図示された実施形態の各多岐管ブロック１８および２２は、一次半分および二次半分を含み、各半分が接続口２６を有する。管状部分４６は一次半分および二次半分を一体に結合し、各多岐管ブロックの２つの接続口２６の間に流体が流れるための通路を提供する。そのような多岐管ブロック１８および２２は時々Ｈブロックとして言及され、しばしば各半分の管スタッブ（例えば、管状部分）を溶接することにより一体に作成される。
【００２２】
多岐管ブロック１８および２２は、レール１４の多岐管支持面５０および５２上に載置される。図示された実施形態の多岐管支持面５０および５２は、レール１４の側方外側縁部にある。多岐管支持面５０と５２との間に長手方向に延在する導管５６がある。このように多岐管ブロック１８および２２を支持することにより、多岐管ブロックの周りに空気間隙を生成し、それにより多岐管ブロックとレール１４との間の熱伝導に有効な面領域を制限する。多岐管ブロックは摺動固定部材４２によってレール１４に固定される。
【００２３】
例示的実施形態での摺動固定部材４２は、中央部分５７、およびレール１４に係合された脚部分５８を有する全体にＣ字型の摺動固定クリップ４４を含む。脚部分５８はそれぞれ、タブ６２（図４参照）の形態の係合機構を有し、タブ６２はレール１４の端部に連結して、それにより摺動固定部材４２をレール１４に固定する。分かるであろうが、図５で最もよく分かるように、摺動固定部材４２は摺動固定クリップ部分４４の脚部分５８をレール１４の端部の上に滑らせることによりレール１４に設置される。この点で、摺動固定クリップ部分４４は、タブ６２がレールに係合するために、脚５８がわずかに圧縮され得るような大きさにされることができる。一旦係合すると、次いで摺動固定部材４２は一次段階の予圧を多岐管ブロック１８および２２に加え、それにより多岐管ブロック１８および２２をレール１４に固定する。
【００２４】
分かるであろうが、この一次段階予圧は、その後ガス構成要素３４を多岐管ブロック１８および２２に設置するために、多岐管ブロック１８および２２をレール１４上のほぼ正確な位置に維持するために典型的には十分である。加えて、その段階の予圧は多岐管ブロック１８および２２および／またはレール１４間の相対的運動を一般に可能にすることができ、多岐管ブロック１８および２２の接続口２６をガス構成要素３４の接続口に最終的に位置合わせすることが、ガス構成要素３４自体の取り付け中に生じることが可能であり、したがって多岐管ブロック１８および２２および／またはガス構成要素３４の製造に必要な公差を非常に減少させる。
【００２５】
図４を参照すると、摺動固定部材４２が横断面で示される。分かるであろうが、この実施形態では摺動固定クリップ４４は、スペーサブロック部分３６によって図面のＳと符号をつけられた２つの位置で支持される。スペーサブロック部分３６は摺動固定クリップ部分４４を対称的な方法で、摺動固定クリップ中央からどちらかのクリップ端部に向かって約１／３の距離で支持する。
【００２６】
図５では、レール１４に設置された摺動固定部材４２が図示されている。分かるであろうが、摺動固定部材４２を設置するために、摺動固定クリップ部材４４の中央部分５７の端部が、摺動固定クリップ部分４４がレール１４に係合するまで、レール１４組立体に向かって下方に変形される。スペーサブロック部分３６は中央から外れた２つの支点で摺動固定クリップ４４を支持するので、端部が押し下げられてレール１４に係合するとき、摺動固定クリップ中央は引き上げられ、それにより開放されるとき予圧を生成する。これは一次段階予圧に相当する。
【００２７】
例えば、摺動固定クリップ４４は、中央で案内された、１対の「簡単に支持された」片持ち梁に本質的に等価である。このように支持された片持ち梁は相対的に軽い保持力を提供する。本発明の場合、その結果、摺動固定部材４２およびガス多岐管ブロックはそれらの位置を自立調節して、ガス構成要素が設置されるとき、ガス構成要素の位置に従う。分かるであろうが、支持構成は所望の予圧効果に応じて変更され得る。例えば、３つの支持位置が提供されてもよく、または支持位置が異なる平面にあってもよい。
【００２８】
図６を参照すると、摺動固定部材４２が、隣接する多岐管ブロックに固定されたガス構成要素を有して現れるように（例えば図１に示すように）、図示されている。図６では見やすいようにガス構成要素は図示されていない。ガス構成要素の多岐管ブロックへの組立が完成すると、ガス構成要素が多岐管ブロックまで下方に最終的な増加分を移動することにより、ガス構成要素底面（例えば実装面）が摺動固定クリップ４４の上昇した中央部分に接触し、それを２つの支点Ｓと同じ高さまたはそれより下に移動させる。この最終的な摺動固定クリップ４４の位置は、このとき固定された支持を有する１対の片持ち梁に本質的に等価である。このように支持された片持ち梁は、偏向された梁端部を初期位置に維持するために２倍の力が本質的に必要である。したがって、摺動固定部材４２によってレール１４に対して多岐管ブロックに加えられる保持力は、図５の保持力の約２倍の大きさであり、二次段階予圧に相当する。
【００２９】
図７を参照すると、例示的な摺動固定クリップ部材４４がレール１４に固定されているときではあるが、ガス構成要素が多岐管ブロック上に設置される前に現れるように詳細に図示されている。言及したように、摺動固定クリップは全体にＣ字型であり、中央部分５７および中央部分５７から延在する脚部分５８を含む。タブ６２が、説明されたようにレール１４に係合するために脚部分５８上に設けられている。中央部分５７はその偏向可能部分６４を含み、例示的実施形態では、全体に弓形であるが他の形状が使用されてよい。この偏向可能な部分６４は摺動固定部材４２をレール１４に設置する間に偏向されることができ、それにより多岐管１８および２２をレール１４に固定するための一次段階予圧を提供することができる。留意されるように、ガス構成要素３４が多岐管ブロック１８および２２に固定されるとき、偏向可能部分はスペーサブロック部分３６とガス構成要素３４の実装面３０との間に圧縮され、予圧の量が一次段階よりも大きい二次段階に増加される。
【００３０】
図８を参照すると、摺動固定クリップ４４が、ガス構成要素３４が多岐管ブロック１８および２２に固定されるときに現れるように、図示されている。矢印Ａで示されるように、偏向可能部分６４はガス構成要素によって下方に圧縮されている。摺動固定クリップ４４の形状およびそれがスペーサブロック３６によって支持される方法によって、偏向可能部分６４の下方への偏向が脚５８を矢印Ｂの方向に上方に引き上げる要因となり、それにより、ガス構成要素３４が多岐管ブロック１８および２２にボルト留めされるとき、摺動固定部材４２によって多岐管ブロック１８および２２に加えられる予圧を増加させる。
【００３１】
図９〜１１を参照すると、最初に図９を参照すると、摺動固定ガス配送システムの別の実施形態が様々な組立段階で図示されている。図９では、多岐管ブロック１８および一体型スペーサブロック／摺動固定部材６８がレール１４上に支持される。一般に、多岐管ブロック１８および２２の両方がレール１４上に配置され、次いで一体型摺動固定部材６８がそれに設置されるであろう。しかし、一体型摺動固定部材６８の詳細を示すために、図９では第２の多岐管ブロック２２が除去されている。
【００３２】
一体型摺動固定部材６８は、中央スペーサブロック部分７０および中央スペーサブロック部分７０から延在する脚部分７２を含む。中央スペーサブロック部分７０は多岐管ブロック１８および２２を離隔するように構成され、多岐管ブロック１８および２２内の各凹所（図示せず）に係合するための位置決めスタッド７４を有し、それにより多岐管ブロック１８および２２を一体型摺動固定部材６８に連結する。脚部分７２は、前述の実施形態の摺動固定クリップ４４と類似の方法でレール１４に係合する。したがって、この実施形態では、摺動固定クリップおよびスペーサブロックは単一の部品として形成されることができる。
【００３３】
分かるであろうが、この実施形態の一体型摺動固定部材６８は、ガス構成要素３４を多岐管ブロック１８および２２に固定する前に、レール１４に設置されるとき、一次段階予圧を加えるように構成される。この目的を達成するために、脚部分７２は、可撓性のあるように構成され、係合タング７８がその遠位端で、リップ８０などのレール１４の面に係合するためにレール１４に向かって下方に屈曲できるようになる。このように、タング７８をレール１４に設置した後、予圧が多岐管ブロック１８および２２に加えられる。図１０は、一体型摺動固定部材６８と共にレール１４上に支持された多岐管ブロック１８および２２の両方を図示する。
【００３４】
図１１では、ガス構成要素３４がボルト８２を介して多岐管ブロック１８および２２に固定されている。前述の実施形態のように、ガス構成要素３４が多岐管ブロック１８および２２に固定されると、一体型摺動固定部材６８が多岐管ブロック１８および２２をレール１４に締め付ける。これは、ガス構成要素とレール１４との間に挿入された一体型摺動固定部材６８の中央部分および／または脚部分を圧縮することにより達成される。
【００３５】
分かるであろうが、この実施形態のレール１４は、ガス構成要素３４が多岐管ブロック１８および２２に固定されるとき、一体型摺動固定部材６８のタング７８を受けるための複数の選択的溝８４を含む。溝８４はレール１４の各側面上のリップ８０の下に配置される。また分かるであろうが、脚７２はガス構成要素３４が設置される間に下方に屈曲されることができて、それによりタング７８は、多岐管ブロック１８および２２をレール１４に固定するために溝８４に係合することができる。ガスシステム構成要素が取り付けられるとき、摺動固定が移動されるとき生じる横向きの把持行動が起こるであろう。
【００３６】
図９に戻ると、この把持行動は、脚部分７２の遠位端を互いに向かって内側に回転させる傾向がある力の結果として達成され、その力は一体型摺動固定部材６８がガス構成要素とレールとの間に圧縮されるとき発達する。分かるであろうが、圧縮されない状態の脚部分７２の上方部分は多岐管ブロック１８および２２の最上面より上方に延在する。したがって、ガス構成要素が多岐管ブロックに固定されるとき、各脚部分７２は下方に押され、それにより脚部分７２に加えられるモーメントが生じ、そのモーメントが把持行動をもたらす。
【００３７】
図１２および１３を参照すると、摺動固定ガス配送システム９０が、熱を多岐管ブロック１８および２２および／またはガス構成要素３４のガス流路に供給するための加熱要素９２（例えば電気的加熱要素）を有して図示されている。加熱要素９２は、多岐管ブロック１８および２２の下側のレール１４の導管５６内に設けられている。導管５６の残りの部分は絶縁体９４で充填され得る。可撓性のある泡状絶縁体が使用されて、上向きに荷重を提供して、多岐管基板と緊密な接触を保証することができる。加熱要素９２および／または絶縁体９４が接着剤９６を介して、または任意の他の適切な方法によってレール１４に固定可能である。
【００３８】
本発明による摺動固定ガス供給システムは、漏れに至らずに輸送衝撃および振動に耐えることができる。これは変動荷重のかかる片持ち梁による摺動固定設計で達成される。摺動固定システムを有するガスシステム基板の最初の組立体は、基板入口および出口をほぼ適切な位置に配置し、それらを約６．３５０ｋｇ（１４ポンド）の軸方向の力で保持する。小さい量の横方向の調節が、基板を上方ガス構成要素に位置合わせできるようにすることが可能である。ガス構成要素が完全に設置されると、すなわち封止を及ぼすために多岐管基板に締め付けられると、片持ち梁荷重が中央部を押し下げることにより変化する。これはより高い保持力（例えば１２．７０ｋｇ（２８ポンド））をもたらし、効果的に多岐管基板を最適位置に固定する。
【００３９】
本発明は特定の好ましい１つまたは複数の実施形態に関連して図示され、説明されてきたが、本明細書および添付の図面を読み、理解すると、等価の変更形態および修正形態が当業者に思いつくことは明らかである。特に、上述の要素（構成要素、組立体、装置、組成など）によって達成される様々な機能に関して、そのような要素を説明するために使用される用語（「手段」に対する参照を含む）は、そうではないと指示されない限り、本明細書で説明された本発明の例示的な１つまたは複数の実施形態内の機能を達成する開示された構造に構造上は等価ではないけれども、説明された要素の具体的な機能を達成する任意の要素に相当する（すなわち機能的に等価である）と意図されるものである。加えて、本発明の具体的な特徴は、１つまたは複数のいくつかの図示された実施形態のみに関連して上記に説明されてきた可能性があるが、そのような特徴は、所望され、かつ任意の所与のまたは具体的な適用のために有利であり得るように、他の実施形態の１つまたは複数の他の特徴に組み合わせることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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