(57)【要約】【課題】本発明は、ウェハキャリアに関する。【解決手段】本発明の構成は、上端に掛け孔と挿入孔とが形成された一対の側面板と、前記側面板の両側面に固定されて側面板と側面板との間が一定間隔を有するようにし、内側の長さ方向に沿って固定突起によりスロットが形成された側面支持バーと、前記側面板の底面に固定されて側面板と側面板との間が一定間隔を有するようにし、上部の長さ方向に沿って固定突起によりスロットが形成された下面支持バーと、前記挿入孔に挿脱され、下側の長さ方向に沿って固定突起によりスロットが形成された遮蔽バーと、を含んでなり、前記スロットは、底面の幅方向の両端よりもその間の中心部分がさらに低く形成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端に掛け孔と挿入孔とが形成された一対の側面板と、
前記側面板の両側面に固定されて側面板と側面板との間が一定間隔を有するようにし、内側の長さ方向に沿って固定突起によりスロットが形成された側面支持バーと、
前記側面板の底面に固定されて側面板と側面板との間が一定間隔を有するようにし、上部の長さ方向に沿って固定突起によりスロットが形成された下面支持バーと、
前記挿入孔に挿脱され、下側の長さ方向に沿って固定突起によりスロットが形成された遮蔽バーと、を含んでなり、
前記スロットは、底面の幅方向の両端よりもその間の中心部分がさらに低く形成されることを特徴とするウェハキャリア。
【請求項２】
前記スロットの底面は、曲線又は傾斜面のうち選択されるいずれか一つからなることを特徴とする請求項１に記載のウェハキャリア。
【請求項３】
前記固定突起の断面形状は、下端から上端に行くほど幅が狭くなる形状であることを特徴とする請求項１に記載のウェハキャリア。
【請求項４】
前記固定突起は曲線形状であることを特徴とする請求項１に記載のウェハキャリア。
【請求項５】
前記固定突起は、側面の傾斜面が上端で接する形状であることを特徴とする請求項３に記載のウェハキャリア。
【請求項６】
前記固定突起の下端には角体がさらに形成されることを特徴とする請求項５に記載のウェハキャリア。
【請求項７】
前記角体は、側面が垂直となるように形成されるか、又は、固定突起の傾斜面よりも相対的に小さい傾斜角を有するように形成されることを特徴とする請求項６に記載のウェハキャリア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハキャリアに関し、特に、大量に収容されてウェハの流動を防止し、収容されたウェハが固定突起によりスムーズに誘導され、ウェハの損傷を防止することができるウェハキャリアに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体素子の生産工程は、露光、エッチング、拡散、蒸着などの工程を選択的に行う一連の過程によって行われ、拡散および蒸着工程は、高温の雰囲気下でプロセスガスを注入してシリコンウェハ上で反応を起こして行われる工程である。このような工程を行うための半導体の製造設備としてチューブ(ｔｕｂｅ)形態の炉(ｆｕｒｎａｃｅ)が多用されているが、一般に、このような形態の装備は、大量のウェハを一度にローディングして工程を行うバッチ(ｂａｔｃｈ)方式を適用し、半導体素子の製造工程上、薄膜を形成したり不純物イオンを拡散させる装備として用いられている。このような装備の中でも縦型拡散炉(ｖｅｒｔｉｃａｌ ｔｙｐｅ ｆｕｒｎａｃｅ)が多用されているが、縦型拡散炉は、化学気相蒸着装備として高温真空の雰囲気下でプロセスチャンバでプロセスガスを投入すると、プロセスガスが互いに反応して反応物質を形成すると同時に圧力の低い空間に拡散され、ウェハの表面に薄膜を積層する現象を利用するものである。
【０００３】
このようなウェハを大量に収容し移送させるための手段としてキャリアを用いるが、従来の一般的なキャリアは、左右の側面に一つずつプレートを備えた状態で、プレートの周りの面に沿って複数個の安着バーを固定させて上部方向が開放された形態となり、この開放された空間を通じてウェハをキャリアに収容させ、収容されたウェハを固定するために開放された上部に固定バーを固定させてウェハがキャリア内に安着した状態となるように維持させる。又、前記安着バーおよび固定バーには外周面に沿って複数個の固定突起が一定間隔を有して形成され、この固定突起の間にウェハが挿入される構造からなっている。
【０００４】
しかしながら、このように固定突起に挿入されたウェハは、固定突起と固定突起との間で固定突起との接触により摩擦が発生し、これにより固定突起との接触面にむらが生じるなどの問題点が発生した。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであって、本発明の目的は、大量に収容されてウェハの流動を防止し、収容されたウェハが固定突起によりスムーズに誘導され、ウェハの損傷を防止できるウェハキャリアを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の目的を達成するために次のような構成を有する。
【０００７】
本発明のウェハキャリアは、上端に掛け孔と挿入孔とが形成された一対の側面板と、前記側面板の両側面に固定されて側面板と側面板との間が一定間隔を有するようにし、内側の長さ方向に沿って固定突起によりスロットが形成された側面支持バーと、前記側面板の底面に固定されて側面板と側面板との間が一定間隔を有するようにし、上部の長さ方向に沿って固定突起によりスロットが形成された下面支持バーと、前記挿入孔に挿脱され、下側の長さ方向に沿って固定突起によりスロットが形成された遮蔽バーと、を含んでなり、前記スロットは、底面の幅方向の両端よりもその間の中心部分がさらに低く形成される。
【０００８】
又、前記スロットの底面は、曲線又は傾斜面のうち選ばれるいずれか一つからなることが望ましい。
【０００９】
そして、前記固定突起の断面形状は、下端から上端に行くほど幅が段々と狭くなることが望ましい。
【００１０】
なお、前記固定突起は曲線形状であることが望ましい。
【００１１】
そして、前記固定突起は、側面の傾斜面が上端で接する形状である。
【００１２】
なお、前記固定突起の下端には角体をさらに形成する。
【００１３】
そして、前記角体は、側面が垂直となるように形成されるか、又は、固定突起の傾斜面よりも相対的に小さい傾斜角を有するように形成される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によると、大量に収容されてウェハの流動を防止し、収容されたウェハが固定突起によりスムーズに誘導され、ウェハの損傷を防止できる効果がある。
【００１５】
なお、本発明によると、スロットに収容されるウェハをスロットの中心に位置させることにより、固定突起によるウェハの損傷を防止できる効果がある。
【００１６】
なお、結着手段の形状を様々にしてキャリア内の結束力を向上させることにより、左右流動を防止し、湿式および乾燥式工程で発生する温度変化およびケミカル反応による歪みを防止できる期待効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明のウェハキャリアを示す斜視図である。
【００１８】
【図２】図１に示す遮蔽バーを示す部分斜視図である。
【００１９】
【図３】図２に示す遮蔽バーの動作状態を示す部分断面図である。
【００２０】
【図４】本発明に係るスロットの形状を示す部分断面図である。
【図５】本発明に係るスロットの形状を示す部分断面図である。
【００２１】
【図６】本発明に係るウェハが収容される固定突起の形状を示す部分断面図である。
【図７】本発明に係るウェハが収容される固定突起の形状を示す部分断面図である。
【図８】本発明に係るウェハが収容される固定突起の形状を示す部分断面図である。
【図９】本発明に係るウェハが収容される固定突起の形状を示す部分断面図である。
【００２２】
【図１０】本発明におけるウェハキャリアの作動状態を示す作動図である。
【図１１】本発明におけるウェハキャリアの作動状態を示す作動図である。
【図１２】本発明におけるウェハキャリアの作動状態を示す作動図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の望ましい実施例を添付した図面を参考してより詳細に説明する。但し、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
【００２４】
【００２５】
図１は、本発明のウェハキャリアを示す斜視図であり、図２は、図１に示された遮蔽バーを示す部分斜視図であり、図３は、図２に示された遮蔽バーの動作状態を示す部分断面図であり、図４および図５は、本発明に係るスロットの形状を示す部分断面図であり、図６〜図９は、本発明に係るウェハが収容される固定突起の形状を示す部分断面図であり、図１０〜図１２は、本発明のウェハキャリアの作動状態を示す作動図である。
【００２６】
【００２７】
以下、添付の図面を参照して本発明の望ましい実施例を説明する。
【００２８】
図１および図２を参照すると、ウェハキャリア１０は、側面板１１０、側面支持バー１２０、下面支持バー１２０ａおよび遮蔽バー１３０からなる。
【００２９】
前記側面板１１０は、上部面の両側に環状の掛け孔１１２が形成され、前記掛け孔１１２の間に挿入孔１１４が形成され、前記側面板１１０の一側が挿入孔１１４と連結される支持面１１９が形成されている。そして、前記挿入孔１１４の下側に挿入孔１１４より拡張された円弧形状の安着孔１１６が形成され、前記安着孔１１６の面に沿って結合孔１１８が形成されている。すなわち、前記側面板１１０は、一対からなり、互いに向かい合う位置に支持面１１９が形成され、後述する支持板１３１が支持面に結着される。
【００３０】
前記側面支持バー１２０は、前記側面板１１０の両側面に結合され、側面板間の間隔を一定に維持させるものであり、内側に長さ方向に沿って一定の間隔を有して固定突起１２２によりスロット１２３が形成されている。
【００３１】
前記下面支持バー１２０ａは、前記側面板の下端部に備えられ、側面板間の間隔を一定に維持させるものであり、前記側面支持バー１２０のように上側に長さ方向に沿って固定突起１２２ａによりスロット１２３ａが形成されている。
【００３２】
前記遮蔽バー１３０は、前記挿入孔１１４に挿脱され、スロットに挿入されたウェハがウェハキャリアに固定されるようにするものであり、下側に長さ方向に沿って固定突起１３２によりスロット１３３が形成されている。また、遮蔽バー１３０の両端には支持面１１９に固定される支持板１３１が備えられ、前記支持板１３１から延びた結着手段１３４と、結着手段から延びた板状の取っ手１３６が形成されている。そして、前記結着手段１３４には外注面に沿って突出した嵌挿突起１３５が形成されている。
【００３３】
すなわち、前記ウェハキャリアは、側面板１１０を一定の間隔で離隔させた状態で、前記側面板間をスロット１２３、１２３ａが形成された側面支持バー１２０と下面支持バー１２０ａとを用いて固定させ、上部はウェハを挿入できる空間を形成して遮蔽バー１３０を挿入孔に挿入させ、ウェハをキャリアの内部に固定させて移動させることができるものである。この際、前記遮蔽バー１３０は、円弧形状の結着手段１３４に形成された嵌挿突起１３５が安着孔１１６内の結着孔１１８に挿入された状態で固定され、嵌挿突起と結着孔により遮蔽バーが左右に流動されることを防止することができる。
【００３４】
例えば、図３に示すように、側面板１１０の上部に遮蔽バー１３０を位置させた状態で、側面板と側面板との間にウェハ(Ｗ)を挿入させてスロットに固定させた後、前記遮蔽バー１３０の両端に備えられた結着手段１３４が挿入孔１１４に挿入され、挿入された結着手段１３４が安着孔１１６に安着した状態で嵌挿突起１３５が結着孔１１８に挿入される。この状態で、取っ手１３６を用いて結着手段を回転させて結着手段と安着孔とが完全に密着されるようにし、嵌挿突起が結着孔内に密着するようにして、遮蔽バーを側面板に完全に固定させることにより、遮蔽バーの流動を防止することができる。
【００３５】
【００３６】
一方、前記側面支持バー１２０、下面支持バー１２０ａおよび遮蔽バー１３０に形成されたスロット１２３、１２３、１３３は、図４に示すように、固定突起１３２と固定突起１３２との間に形成され、スロット１３３の底面１３３ａを幅(Ｗ)方向の両端からその中心側に行くほど低くなる曲線形状にすることにより、スロット１３３に挿入されたウェハが固定突起により干渉されることを最小化できる。また、図５に示すように、スロット１３３の底面１３３ａを両端から中心に傾斜した形状にすることにより、ウェハが固定突起に干渉されることを最小化できる。
【００３７】
【００３８】
特に、図６に示すように、前記固定突起１３２を上部に突出する曲線形状にすることにより、ウェハをスロットに挿入することができ、固定突起によりウェハが損傷することを防止できる。図７に示すように、固定突起１３２を下端から上部に行くほどその幅が段々と狭くなる傾斜面１３２ａの上端が互いに接点となる三角形状にすることにより、同じ効果を期待することができる。
【００３９】
なお、図８に示すように、固定突起１３２を傾斜面１３２ａの下側に角面１３２ｂをさらに形成させることもでき、図９に示すように、前記角体１３２ｂの側面１３２ｃを前記傾斜面１３２ａよりも傾斜角を小さくすることにより、挿入されるウェハをスロット内にスムーズに誘導することができる。
【００４０】
【００４１】
添付の図面を参照して本発明の操作状態を説明すると、図１０〜図１２に示すように、ウェハキャリア１０を位置させた状態で、遮蔽バー１３０を側面板１１０から分離させて側面支持バー１２０および下面支持バー１２０ａにより形成された空間にウェハ(Ｗ)が挿入されるようにする。挿入されたウェハは、前記側面支持バー１２０および下面支持バー１２０ａに形成されたスロット１２３、１２３ａに固定させ、順次積層される。この際、図４および図５に示すように、スロットの下面形状を下側に行くほど曲線にするか、又は、傾斜面形状にすることにより、挿入されたウェハを中心部分に位置させることが可能であり、図６〜図９に示すように、固定突起の形状を傾斜した形状にすることにより、挿入されるウェハをスロット側にスムーズに誘導することが可能である。
【００４２】
ウェハキャリアにウェハを全て挿入した後、側面板の上部に遮蔽バーを位置させて挿入孔に遮蔽バーの結束手段を挿入させると共に、挿入された結着手段が安着孔に安着するようにする。安着した結束手段は取っ手を用いて一定の角度で回転させて安着孔内に完全に固定させることにより、側面板から遮蔽バーが離脱したり流動されることを防止した後、掛け孔を用いて移送手段に結着させて移送させれば良い。この際、前記スロット内には、ウェハの挿入時に摩擦によってウェハが損傷することを防止するためのクッションなどが備えられることが望ましい。
【００４３】
一方、前記ウェハキャリアにおいて、前記側面支持バーおよび下面支持バーは、側面板に堅固に固定された状態で、前記側面板から遮蔽バーを挿脱する時に、嵌挿突起およびストッパーによって結束力を強化させることにより、湿式又は乾燥式により行われる半導体の製造工程で発生する温度変化により簡単に変形(歪みなど)することを防止できる。
【００４４】
本発明は上に記載した実施例により限定されず、当業者により多様な変形および変形を加えることができ、これは添付された請求項において定義される本発明の主旨と範囲に含まれる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2013503473.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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