(57)【要約】  本発明は、液体を処理する装置であって、フィルターと、液体用の入口と、液体用の第１の出口と、濾過された液体用の第２の出口とを有するフィルターモジュールであって、入口及び第１の出口はフィルターの第１の側に位置決めされており、第２の出口はフィルターの第２の側に位置決めされている、フィルターモジュールと、第１の紫外線源を有する第１の紫外線処理モジュールであって、フィルターモジュールの第１の出口に接続されており、フィルターモジュールから液体を受け取るとともに該液体を第１の紫外線源からの紫外線に暴露するように構成されている、第１の紫外線処理モジュールと、第２の紫外線源を有する第２の紫外線処理モジュールであって、フィルターモジュールの第２の出口に接続されており、フィルターモジュールから濾過された液体を受け取るとともに該液体を第２の紫外線源からの紫外線に暴露するように構成されている、第２の紫外線処理モジュールとを備える、液体を処理する装置に関する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を処理する装置であって、
フィルター（１８）と、液体用の入口（１２）と、液体用の第１の出口（１４）と、濾過された液体用の第２の出口（１６）とを有するフィルターモジュール（１０）であって、該入口（１２）及び該第１の出口（１４）は該フィルター（１８）の第１の側に位置決めされており、該第２の出口（１６）は該フィルターの第２の側に位置決めされている、フィルターモジュール（１０）と、
第１の紫外線源（２８）を有する第１の紫外線処理モジュール（２６）であって、該フィルターモジュール（１０）の該第１の出口（１４）に接続されており、該フィルターモジュール（１０）から液体を受け取るとともに前記液体を該第１の紫外線源（２８）からの紫外線に暴露するように構成されている、第１の紫外線処理モジュール（２６）と、
第２の紫外線源（４２）を有する第２の紫外線処理モジュール（４０）であって、該フィルターモジュール（１０）の該第２の出口（１６）に接続されており、該フィルターモジュール（１０）から濾過された液体を受け取るとともに前記液体を該第２の紫外線源（４２）からの紫外線に暴露するように構成されている、第２の紫外線処理モジュール（４０）と、
を備える、液体を処理する装置。
【請求項２】
装置は、フィルターモジュール（１０）の該第１の出口（１４）と該第１の紫外線処理モジュール（２６）との間の第１のベント（２４）と、該フィルターモジュール（１０）の該第２の出口（１６）と該第２の紫外線処理モジュール（４０）との間の第２のベント（３９）とを備え、それによって、第１のベント（２４）を開いて第２のベント（３９）を閉じると、該フィルターモジュール（１０）からの液体が該第１の紫外線処理モジュール（２６）にのみ到達し、第２のベント（３９）を開いて第１のベント（２４）を閉じると、該フィルターモジュール（１０）からの液体が該第２の紫外線処理モジュール（４０）にのみ到達する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
装置は、第３の紫外線源を有する第３の紫外線処理モジュール（４６）を更に備え、該第３の紫外線処理モジュール（４６）は、該第２の紫外線処理モジュール（４０）と直列で連結されており、該第２の紫外線処理モジュール（４０）から液体を受け取るとともに前記液体を該第３の紫外線源からの紫外線に暴露するように構成されている、請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
第２の紫外線処理モジュール（４０）は、該第１の紫外線処理モジュール（２６）に接続されており、該第１の紫外線処理モジュール（２６）から液体を受け取るとともに前記液体を該第２の紫外線源（４２）からの紫外線に暴露するように構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
フィルターモジュール（１０）の該入口（１２）は、該第１の紫外線処理モジュール（２６）に接続されており、該フィルターモジュール（１０）は、該第１の紫外線処理モジュール（２６）から液体を受け取るように構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
フィルター（１８）は、該フィルターモジュール（１０）の内部に位置決めされており、円筒形状を有する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
フィルター（１８）の保持側を洗浄するように構成されているフィルター浄化機構（２０）を更に備える、請求項１〜６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
フィルター浄化機構（２０）は、該フィルター（１８）の該保持側を洗浄する少なくとも１つの吸引要素（５２）を備え、該吸引要素（５２）は回動可能なパイプ（５６）に連結されている、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
回動可能なパイプの一端は、該フィルターモジュール（１０）の未濾過液体用の該第１の出口（１４）に接続されている、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
フィルター浄化機構（２０）は、該フィルター（１８）を超音波に暴露するように構成されている少なくとも１つの第１の超音波源を備える、請求項７〜９のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１１】
紫外線処理モジュール（２６、４０、４６）のうちの少なくとも１つは、該それぞれの紫外線処理モジュール（２６、４０、４６）内の液体を超音波に暴露するように構成されている第２の超音波源（３０、４４）を備える、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体、特にバラスト水及び産業プロセスからの（廃）水を処理及び殺菌する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
バラスト水は、船舶を安定させるとともにその耐航性を確保するために航洋船によって海から吸い上げられる。それにもかかわらず、第１の場所でバラスト水を吸い上げて第２の場所でバラスト水を放出することによって、異質の生態系への生物の移入が繰り返し起こる。これを克服するために、航洋船には一般に、吸い上げられたバラスト水を濾過するための粗目のメカニカルフィルターが設けられている。この場合、特許文献１に記載されているように、そのようなフィルターの定期的な保守及び浄化、又はさらには特定の期間後の交換が必要であることが不都合である。
【０００３】
特許文献２に改良が記載されている。経時により詰まるフィルター要素を洗い、それによって再生させる。それにもかかわらず、この場合にも、フィルター要素の内部に形成されるようなデブリが完全に除去される保証はない。さらに、洗うために用いられた、分離した汚染物質を含む大量の液体が処理されることなく海中に排出される。
【０００４】
したがって、現行の技術水準で知られているようなバラスト水を浄化する方法及び設備（device）は、バラスト水の処理時に不十分な適応性、信頼性及び環境的安全性しか提供しない。バラスト水を処理する既知の方法及び設備の使用には、比較的大きな保守努力が必要ではあるものの、異質の生態系への生物の移入に対して十分な保護を与えない。
【０００５】
同様の問題が、産業プロセスの液体の処理、特に産業廃水の処理において見られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２００４／００２８９５号
【特許文献２】国際公開第２００７／１３００２９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、本発明の１つの目的は、液体を処理及び殺菌する液体を処理する装置であって、少ない努力及び高い適応性で確実に動作し、処理される液体の十分な純度を保証することができる、液体を処理する装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的は、請求項１に記載の特徴の組み合わせによって解決される。有利な実施の形態は、従属請求項の主題である。
【０００９】
本発明による液体を処理する装置は、フィルターと、液体用の入口と、液体用の第１の出口と、濾過された液体（filtered liquid：濾液）用の第２の出口とを有するフィルターモジュールであって、入口及び第１の出口はフィルターの第１の側に位置決めされており、第２の出口はフィルターの第２の反対の側に位置決めされている、フィルターモジュールを備える。換言すると、入口を通って流入する液体のための液体用の第１の出口は、フィルターの上流に（フィルターの「前に」）位置決めされており、入口を通って流入する液体のための濾過された液体用の第２の出口は、フィルターの下流に（フィルターの「後に」）位置決めされている。したがって、入口を通って流れる液体は、フィルターモジュールの第２の出口へ流れるにはフィルターを通過しなければならないため、濾過された液体はフィルターモジュールの第２の出口を通ってフィルターモジュールから流れ出る。一方、フィルターの、入口と同じ側に位置決めされている第１の出口は、フィルターの（バック）フラッシングに用いられる大量の液体を、フィルターを通過させる必要なくフィルターモジュールから出るように方向付ける役割を果たす。
【００１０】
本発明による装置は、第１の紫外線源を有する第１の紫外線処理モジュールであって、フィルターモジュールの第１の出口に接続されており、フィルターモジュールから液体を受け取るとともに該受け取った液体を第１の紫外線源からの紫外線に暴露するように構成されている、第１の紫外線処理モジュールを更に備える。その際、フィルターの（バック）フラッシング中に用いられる大量の液体を、紫外線照射による処理に付すことができ、それによって殺菌効果が達成される。
【００１１】
さらに、本発明による装置は、第２の紫外線源を有する第２の紫外線処理モジュールであって、フィルターモジュールの第２の出口に接続されており、フィルターモジュールから濾過された液体を受け取るとともに該受け取った液体を第２の紫外線源からの紫外線に暴露するように構成されている、第２の紫外線処理モジュールを備える。第２の紫外線処理モジュールは、第１の紫外線処理モジュールとは別個のモジュールとして形成及び位置決めされている。
【００１２】
これによって、フィルターモジュールから第２の出口を通って流れ出る濾過された液体と、フィルターモジュールから該フィルターモジュールの第１の出口を通って流れ出る液体との両方を、それぞれの別々の紫外線処理モジュールにおいて紫外線照射に暴露し、それぞれの液体を殺菌することができることが有利である。特に、本発明によるバラスト水を処理する装置は、（バック）フラッシング作業において用いられた液体を、フィルターモジュールから流れ出た後で紫外線によって殺菌することができるという利点を提供する。
【００１３】
好ましくは、装置は、フィルターモジュールの第１の出口と第１の紫外線処理モジュールとの間の第１のベントと、フィルターモジュールの第２の出口と第２の紫外線処理モジュールとの間の第２のベントとを備える。したがって、装置の動作中に第１のベントが開いて第２のベントが閉じると、液体は、フィルターモジュールから第１の紫外線処理モジュールに向かってのみ流れる。したがって、フィルターモジュール内に存在する圧力に起因するか又は能動的な吸引を用いることに起因して、既に濾過されているがフィルターモジュール内に依然として存在する液体を、フィルターを通して「後方に」通すことによってフィルターのバックフラッシュを達成することができ、それによってフィルターの入口に面する側のデブリを分離して押し流す。加えて、フラッシングプロセスも行うことができ、更なる液体が、フィルターモジュールの入口を通ってフィルターモジュール内へ、また、フィルターの、デブリによって汚染されている側に沿って流れるため、デブリが分離されて第１の出口を通ってフィルターモジュールから洗い流される。これによって、フィルターから分離され、（バック）フラッシングに用いられた液体中に存在するデブリを、例えばバラスト水の処理における液体をバラスト水タンクに方向付けて戻すか又は海中に排出する前に、紫外線による処理に暴露することができることが有利である。
【００１４】
一方、第２のベントが開いて第１のベントが閉じると、フィルターモジュールからの液体は、第２の紫外線処理モジュールに向かってのみ流れるため、フィルターモジュールからの濾過された液体を続けて紫外線を用いた殺菌処理に付すことができる。
【００１５】
好ましくは、装置は、第３の紫外線源を有する第３の紫外線処理モジュールを更に備え、該第３の紫外線処理モジュールは、第２の紫外線処理モジュールと直列で接続されており、第２の紫外線処理モジュールから液体を受け取るとともに該液体を第３の紫外線源からの紫外線に暴露するように構成されている。これによって、第２の紫外線処理モジュール内の特定の「アイドル流」、すなわち第２の紫外線処理モジュールの幾何学的形状に起因して低いＵＶ強度にしか暴露されない流れを、第３のモジュールにおいて再度処理することができるため、紫外線による処理の効果が高まる。更なる紫外線処理モジュールを第１の紫外線処理モジュールの下流に直列に配置することもできる。
【００１６】
好ましくは、第２の紫外線処理モジュールは、第１の紫外線処理モジュールに接続されており、第１の紫外線処理モジュールから液体を受け取るとともに該液体を第２の紫外線源からの紫外線に暴露するように構成されている。したがって、第３の紫外線処理モジュールの代わりに、第２の紫外線処理モジュールにおいて、第１の紫外線処理モジュールにおいて紫外線によって既に処理されている液体を再度処理することができる。同様に、第１の紫外線処理モジュールは、第２の紫外線処理モジュールから液体を受け取るとともに、上記液体を第１のＵＶ源からの紫外線に暴露するように構成することができる。
【００１７】
好ましくは、フィルターモジュールの入口は、第１の紫外線処理モジュールに接続されており、フィルターモジュールは、第１の紫外線処理モジュールから処理した液体を受け取るように構成されている。したがって、第１の紫外線処理モジュールにおいて紫外線照射によって処理された液体を、続けてフィルターモジュールに方向付けて戻し、濾過することができる。
【００１８】
好ましくは、フィルターは、フィルターモジュールの内部に位置決めされており、円筒形状を有する。好ましくは、円筒形のフィルターは、フィルターモジュールの入口及び第１の出口を包囲し、入口／第１の出口を第２の出口から「隔てる」ため、流入する液体は、濾過された液体として第２の出口を通ってフィルターモジュールを出るには、フィルターを通ってから内部から出る。代替的には、入口と、第１の出口／第２の出口と、フィルターとは、流入する液体が第２の出口に到達するためにフィルターを通って外側へ出るように互いに対して配置することもできる。
【００１９】
特に好ましくは（preferably）、装置は、フィルターの、フィルターモジュールの液体用の入口に面している側、すなわち、フィルターの、保持されている物質が蓄積している側（保持（retentate）側）を洗浄するように構成されている、フィルターを洗浄する機構（device）を更に備える。これに関して、フィルターのこの側は、必ずしも入口に物理的に（完全に）面している必要はない。フィルターの保持側のそのようなデブリを単に機械的に分離させる、フィルターを洗浄する機構に加えて、特に、フィルターのこの側から吸引によってデブリを除去する、フィルターを洗浄する機構が含まれる。
【００２０】
特に好ましくは、フィルターを洗浄する機構はしたがってフィルターの保持側を洗浄する少なくとも１つの吸引要素を備える。フィルターの表面全体をできる限り洗浄するために、吸引要素（複数の場合もあり）が回動可能なパイプに好ましくは連結されており、このパイプには、フィルターモジュール内部の圧力に対してより低い圧力が存在する。比較的低い圧力は、適した吸引ポンプを用いるか又はベントによって達成することができ、それによってパイプの内部と周囲環境との間の圧力補正をもたらすことができる。好ましくは、吸引開口を提供する吸引要素の一端はさらに、洗浄されるべきフィルターの側と（ほとんど）接触しているため、フィルターモジュールの内部と回動可能なパイプの内部との間の圧力差によって、フィルターを通って吸引要素に入るバックフラッシュ流を生成することができる。吸引要素の他方の端はパイプに取り付けられているため、バックフラッシュ流がパイプに流れ込むことができる。
【００２１】
特に好ましくは、回動可能なパイプの一端は、フィルターモジュールの未濾過液体用の第１の出口に連結される。代替的には、パイプ自体がフィルターモジュールの第１の出口を形成する。それに従って吸引されたバックフラッシュ液体はしたがって、第１の紫外線処理モジュールにおいて紫外線照射を用いて殺菌に付されることができる。
【００２２】
フィルターの、未濾過液体と接触する側のデブリの吸引に対して代替的に又は付加的に、フィルターを洗浄する機構は好ましくは、フィルターに形成されるデブリを分離するためにフィルターを超音波に暴露するように構成されている少なくとも１つの第１の超音波源を備える。
【００２３】
特に好ましくは、上述した紫外線処理モジュールのそれぞれに、それぞれの紫外線処理モジュール内の液体を超音波に暴露するように構成されている個々の超音波源を設けることができる。これによって、液体中の更なる浄化効果が達成される。
【００２４】
特に好ましい実施の形態では、装置は、バラスト水を処理する装置として実現される。
【００２５】
本発明の更なる特徴及び利点は、添付図面を用いた実施形態の以下の説明と、特許請求の範囲とに示されている。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明によるバラスト水を処理する設備の概略図である。
【図２】好ましい実施形態によるバラスト水を処理する設備のフィルターモジュールの概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
図１には、フィルターモジュール１０を有する、バラスト水を処理する設備の形態の、液体を浄化及び殺菌する装置１００が示されており、フィルターモジュール１０は、中空の円形シリンダーの形状を有し、ステンレス鋼のパイプでできている。バラスト水の入口１２がフィルターモジュール１０の上端に位置決めされており、バラスト水の第１の出口１４が下端に位置決めされている。第２の出口１６がフィルターモジュール１０のパイプのマントルに設けられている。入口１２を通ってフィルターモジュール１０内に流入するバラスト水は、装置が動作する船舶のバラスト水タンク（図示せず）又は海から吸い上げることができる。
【００２８】
フィルターモジュール１０の内部には、中空の円形シリンダーの形態のフィルター１８が見られる。図１に示されるような実施形態では、入口１２及び第１の出口１４はフィルター１８の同じ側に位置決めされているため、入口１２を通って流れるバラスト水は、フィルター１８を通過することなく第１の出口１４を通ってフィルターモジュール１０から出ることができる。そのようなフラッシングプロセス中に、通過するバラスト水は、フィルター１８の内部のデブリを分離して押し流すことができ、それによってフィルター１８が洗浄される。
【００２９】
それにもかかわらず、入口１２及び第２の出口１６がフィルター１８の反対の側に位置決めされているため、入口１２を通って流れる液体は、該液体がフィルター１８を通過する場合には、第２の出口１６にしか到達することができない。
【００３０】
この意味で、第１の出口１４はフィルター１８の上流に位置決めされており、第２の出口はフィルター１８の下流に位置決めされている。それにもかかわらず、入口及び両方の出口は、入口及び第１の出口がフィルターの上流／「前」に位置決めされ、第２の出口がフィルターの下流／「後」に位置決めされるのであれば、フィルターモジュール１０の異なる場所に位置決めすることもできる。例えば、入口１２は、図１に示されているように上部からではなく、底部からフィルターモジュール１０につながることもできる。
【００３１】
フィルターモジュール１０の内部には、棒状の超音波源の形態の、フィルターを洗浄する機構２０が更に設けられており、該機構２０は、フィルター１８の内部に形成されているデブリを分離するためにフィルター１８の内部を超音波に暴露する。これに従って分離されたこのデブリは次いでフィルターモジュール１０の第１の出口１４を通って洗い流されることができる。代替的には、超音波源は、点状の（ピエゾ）ラジエーターの形態又は超音波源の他の一般的な形態で実現することもできる。特に、超音波のピエゾ電源を、フィルターモジュール１０の内部への照射のために該フィルターモジュール１０のマントルに位置決めすることができる。
【００３２】
図１に示されるような実施形態では、フィルターモジュール１０の第１の出口１４は、ベント２４が位置決めされているライン２２を介して第１の紫外線処理モジュール２６に接続されている。したがって、フィルターモジュール１０からの（バック）フラッシング液体を、第１の紫外線処理モジュール２６内に方向付けて、紫外線による処理に暴露することができる。このために、第１の紫外線処理モジュール２６は、石英コーティングによって囲まれている第１の紫外線源２８を有し、処理すべき液体流が循環する。
【００３３】
浄化効果を高めるために、モジュール２６内の液体を超音波に暴露する超音波源３０も、紫外線源に加えてモジュール２６内に設けられている。これに従って浄化及び殺菌された液体は次いで、ライン３２を介してバラスト水タンク（図示せず）に戻るように若しくは海中に方向付けることができるか、又はベント３６を有するライン３４を介してフィルターモジュール１０の入口１２に戻るように方向付けることができる。
【００３４】
フィルターモジュール１０の第２の出口１６は、ベント３９を有するライン３８を介して第２の紫外線処理モジュール４０に接続されており、該第２の紫外線処理モジュール４０は第２の紫外線源４２及び超音波源４４を有する。図１において分かるように、第１の紫外線処理モジュールと第２の紫外線処理モジュールとは、２つの別々に設計され別々に配置されている紫外線処理用のモジュールである。フィルターモジュール１０から第２の出口１６を通る濾過された液体はしたがって、濾過プロセス後に紫外線照射に暴露することができ、さらに超音波エネルギーに暴露することができる。これによって、更なる浄化効果が達成される。これに従って浄化及び殺菌されたバラスト水は次いで、第３の紫外線処理モジュール４６において更に処理することができるか、又は直ちにバラスト水タンク内に戻るように若しくは海中へ方向付けることができる。
【００３５】
第１のベント２４が閉じて第２のベント３９が開くと、バラスト水タンク又は海（図示せず）のいずれかから吸い上げられたバラスト水をフィルターモジュール１０内で濾過することもでき、続けて特に紫外線照射を用いて少なくとも第２の紫外線処理モジュール４０において更に処理することができる。一方、ベント３９が閉じてベント２４が開くと、フラッシング又はバックフラッシングによってフィルター１８の洗浄を行うことができる。フラッシングに関しては、バラスト水は入口１２を通ってフィルターモジュール１０に入り、フィルター１８の内側に沿って流れ、第１の出口１４を通ってフィルターモジュール１０から流れ出る間にフィルター１８の内部からデブリを洗い流す。バックフラッングに関しては、フィルター１８の「汚れていない」側の既に濾過されたバラスト水が、フィルター１８を（フィルターモジュール１０の内部とライン２２の内部との間の圧力差に起因して）反対方向に再度通過し、それによって、フィルター１８の、入口１２に面する「汚染されている」側からデブリを分離する。分離されたデブリは次いでフィルターモジュール１０から第１の出口１４を通って運び出される。
【００３６】
第１の出口１４を通ってモジュール１０から出る液体の殺菌効果及び浄化効果の増幅のために、第１の紫外線処理モジュール２６において処理した液体を、ベント５０を有する更なるライン４８を介して第２の紫外線処理モジュール４０内に方向付けることができる。
【００３７】
図２には、図１のフィルターモジュール１０の代替的な実施形態の断面図が示されている。
【００３８】
装置１００の第２の実施形態によると、フィルター１８の内部を洗浄する、図２に示されるようなフィルターモジュール１０は、第１の実施形態において設けられているような細長い超音波源の形態の、フィルターを洗浄する機構２０の代わりに、フィルター１８の、フィルターモジュール１０の入口１２に面する側を洗浄する２つの吸引要素５２を有する、フィルターを洗浄する機構２０を備える。
【００３９】
吸引要素５２は、それらのそれぞれの一端では、それぞれのブリッジ５４を介して回動可能なパイプ５６に接続されており、それらのそれぞれの他端では、フィルター１８の内側に取り付けられているか又は少なくともフィルター１８の内側に対して短い距離を有する。それぞれの吸引要素５２の、フィルター１８の内側に面する吸引開口（図示せず）を通して、フィルターモジュール１０からの液体を吸引要素５２内に、またブリッジ５４を介してパイプ５６内に吸い込むことができる。パイプ５６内に適した負圧を生成するためにポンプ５８がライン２２に設けられ、パイプ５６が第１の出口１４において該ライン２２内に分岐している。代替的には、ポンプの代わりに適したベントを使用することもでき、それによってパイプ５６の内部が周囲圧力に設定される。
【００４０】
この吸引と、フィルター１８の内側に吸引開口が近接していることとによって、基本的には既に濾過された液体のみがフィルター１８を通過し、それによって可能な限りのデブリが内側から分離され、吸引開口を通して吸引要素内へ、さらにパイプ５６を介してライン２２内に搬送される。
【００４１】
図２に断面で示されるような両方の吸引要素５２は、パイプ５６上に、周方向に１８０度だけ互いにずらして位置決めされているが、パイプ５６の軸方向に小さな重なりを有する。これによって、駆動機構（図示せず）を用いたパイプ５６の回動時に、両方の吸引要素５２がフィルター１８の内側全体を覆って洗浄することが確実になる。
【００４２】
パイプ５６は円筒形フィルターモジュール１０の中心に、フィルターモジュール１０の長手方向軸に対して平行に位置決めされている。
【００４３】
特許請求の範囲の範囲内で上述の実施形態の変更が可能である。
【符号の説明】
【００４４】
１０：フィルターモジュール
１００：液体を浄化及び殺菌する装置
１２：バラスト水の入口
１４：バラスト水の第１の出口
１６：第２の出口
１８：フィルター
２０：フィルターを洗浄する機構
２２：ライン
２４：ベント
２６：第１の紫外線処理モジュール
２８：第１の紫外線源
３０：超音波源
３２：ライン
３４：ライン
３６：ベント
３８：ライン
３９：ベント
４０：第２の紫外線処理モジュール
４２：第２の紫外線源
４４：超音波源
４６：第３の紫外線処理モジュール
４８：ライン
５０：ベント
５２：吸引要素
５４：ブリッジ
５６：パイプ
５８：ポンプ
【図１】
2013511391.tif 000003
【図２】
2013511391.tif 000004
【国際調査報告】
2013511391.tif 000005
2013511391.tif 000006
2013511391.tif 000007