(57)【要約】流体噴出装置は、チャンバ、少なくとも１つの流体供給チャネル、及び該流体供給チャネルと前記チャンバとの間に配設された３つ以上の流体流入口を備えている。インクジェットプリンティングシステムは、流体噴出装置内の複数の流体供給チャネルに沿って配設されたチャンバを有する流体噴出装置を備えており、前記チャンバの第１の側部に沿って第１のチャネルが配設され、前記チャンバの第２の側部に沿って第２のチャネルが配設されている。該チャンバは、複数の流体流入口を有し、該チャンバと前記第１のチャネルとの間に第１の複数の流体流入口が配設され、該チャンバと前記第２のチャネルとの間に第２の複数の流体流入口が配設される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバと、
少なくとも１つの流体供給チャネルと、
前記流体供給チャネルと前記チャンバとの間に配設された３つ以上の流体流入口と
を備えている、流体噴出装置。
【請求項２】
前記流体流入口が、円筒形状、円錐形状、及びベル形状からなる１グループから選択された形状を有する、請求項１に記載の流体噴出装置。
【請求項３】
前記流体流入口が、第１の端部における幅の広い開口から第２の端部における幅の狭い開口へと先細になるテーパーのついた形状を有する、請求項１に記載の流体噴出装置。
【請求項４】
前記幅の広い開口が前記流体供給チャネルに対して開口し、及び前記幅の狭い開口が前記チャンバに対して開口している、請求項３に記載の流体噴出装置。
【請求項５】
前記幅の広い開口が前記チャンバに対して開口し、及び前記幅の狭い開口が前記流体供給チャネルに対して開口している、請求項３に記載の流体噴出装置。
【請求項６】
第１の個数の流体流入口が第１の流体供給チャネルと前記チャンバとの間に配設され、第２の個数の流体流入口が第２の流体供給チャネルと前記チャンバとの間に配設されている、請求項１に記載の流体噴出装置。
【請求項７】
前記複数の流体流入口が異なる構造的特徴を有しており、該構造的特徴が、形状、大きさ、向き、及び位置からなる１グループから選択されたものである、請求項１に記載の流体噴出装置。
【請求項８】
前記少なくとも１つの流体供給チャネルに沿って配設された複数のチャンバを備えており、第１のチャンバ内の流体流入口の形状、大きさ、向き、及び相対的な位置が、第２のチャンバ内の流体流入口の形状、大きさ、向き、及び相対的な位置と異なる、請求項１に記載の流体噴出装置。
【請求項９】
前記少なくとも１つの流体供給チャネルに沿って配設された複数のチャンバを備えており、第１のチャンバ内の流体流入口に関する半径が、第２のチャンバ内の流体流入口に関する半径と異なる、請求項１に記載の流体噴出装置。
【請求項１０】
前記チャンバの上側に配設されたノズルと、
前記チャンバの下側に配設された噴出素子であって、圧電式噴出素子及び熱抵抗式噴出素子からなる１グループから選択された、噴出素子と
を更に備えており、
前記流体流入口が前記チャンバの前記上側に配設されている、
請求項１に記載の流体噴出装置。
【請求項１１】
基板上に噴出素子を形成し、
該噴出素子を包囲するチャンバを形成し、該チャンバがチャンバ層により画定されるものであり、
少なくとも１つのチャネルを形成し、
１つのチャネルと前記チャンバとの間に延びる少なくとも３つの流体流入口を形成する、
という各ステップを含む、インクジェットプリントヘッドの作製方法。
【請求項１２】
前記流体流入口を形成する前記ステップが、異なる形状、大きさ、及び向きの流体流入口を形成するステップからなる、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記流体流入口を形成する前記ステップが、第１のチャネルと前記チャンバとの間に第１の複数の流体流入口を形成し、及び第２のチャネルと前記チャンバとの間に第２の複数の流体流入口を形成する、という各ステップからなる、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
流体噴出装置と、
該流体噴出装置内の複数の流体供給チャネルに沿って配設されたチャンバであって、該チャンバの第１の側部に沿って第１の流体供給チャネルが配設され、及び該チャンバの第２の側部に沿って第２の流体供給チャネルが配設されている、チャンバと、
該チャンバ内の複数の流体流入口であって、該チャンバと前記第１の流体供給チャネルとの間に第１の複数の流体流入口が配設され、及び該チャンバと前記第２の流体供給チャネルとの間に第２の複数の流体流入口が配設されている、複数の流体流入口と
とを備えている、インクジェットプリンティングシステム。
【請求項１５】
前記複数の流体供給チャネルに沿って配設された複数のチャンバを含み、第１のチャンバが、第２のチャンバの流体流入口とは異なる形状の流体流入口を有する、請求項１４に記載のインクジェットプリンティングシステム。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
従来のドロップ・オン・デマンド型インクジェットプリンタは、一般にインクジェットプリントヘッド内の２つの液滴形成機構の一方に基づいて分類される。サーマルバブルインクジェットプリンタは、インクが充填されたチャンバ内で加熱素子アクチュエータを使用してインクを蒸発させて、インク滴をノズルから強制的に噴出させるバブルを生成する。圧電式インクジェットプリンタは、インクが充填されたチャンバの壁に配設された圧電材料アクチュエータを使用して、インク滴をノズルから強制的に噴出させる圧力パルスを生成する。
【０００２】
何れの場合も、インク滴はインクチャンバからノズルを介して噴出され、該チャンバには、該チャンバとインク供給チャネルとの間に流体的な連絡を提供するインク流入口を介してインクが充填される。該インク流入口のサイズは、チャンバ内にインクを迅速に再充填する必要性と、インク滴の噴出又は噴射イベント中におけるインク供給チャネル内へのインクの逆流を最小限にする必要性との間の妥協の結果である。大きなインクジェット開口は、インクチャンバの一層速い再充填を提供するものであるが、圧電素子又は熱抵抗素子により生成された大量のインク滴噴出エネルギーをインク供給チャネル内へのインクの逆流により失わせてしまうものでもある。その結果として、インク滴を送り出すために一層多くの噴出エネルギーが必要となる。更に、インク供給チャネル内へのインクの大きな逆流は、該インク供給チャネル内での圧力振動を生じさせ、これにより隣接するインクチャンバに液圧的なクロストークが生じることになる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
インク流入口及びノズルの互いに対するサイズ設定は、一般に、インピーダンス整合として知られている。通常、インク流入口の半径のサイズは、ノズルの半径のサイズと同程度の大きさとなる。しかし、ノズルの半径のサイズに対する流入口の半径のサイズが不正であると、インピーダンス整合が悪化して、ノズル窮乏（すなわち、該ノズルを介して噴出されるインクが少なすぎる）が生じ、又は（特に噴出又は噴射周波数が増大した際に）インク滴速度及びインク滴体積に過度の振動が生じることとなり得る。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
【図１】一実施形態による流体噴出装置を組み込むのに適したインクジェットプリンティングシステムを示している。
【図２】一実施形態によるチャンバへの複数の流体流入口を有する流体噴出装置の一部を示す斜視図である。
【図３】一実施形態による噴出素子及びプリントヘッド基板の表現を含むインクジェットプリントヘッドの側面図を示している。
【図４】一実施形態による円筒形、円錐形、及びベル形状を含む例示的な形状を有する流体流入口を有するインクジェットプリントヘッドの側面図を示している。
【図５】一実施形態による流体噴出装置を作製する方法の一例のフローチャートを示している。
【発明を実施するための形態】
【０００５】
課題及び解決策の概要
上述のように、インクチャンバのノズルに対するインクチャンバの流入口の相対的なサイズ（すなわち、インピーダンス整合）は、インクジェットプリントヘッドのインク滴噴出性能における重要なファクタである。インク流入口とノズルとの間のインピーダンス整合が乏しいと、ノズル窮乏又は（特に高い噴出又は噴射周波数で）インク滴速度及びインク滴体積の過度の振動によってプリント品質が低下することになり得る。
【０００６】
従来、プリントヘッドのインクチャンバは、インクチャンバ内への１つ又は２つの大きなインク流入口しか有していなかった。（１つ又は複数の）流入口とノズルとの間のインピーダンスを整合させるという上述の課題に加えて、１つ又は２つのインク流入口しか有していないことにより、インクチャンバの形成時に使用することができる利用可能な形状が一般に制限されることになる。例えば、従来のチャンバは、エアバブルが形成され得る停滞スポットが生じるのを回避するために流入点及び流出点において一層細長くなるよう形成されなければならなかった。
【０００７】
本開示の実施形態は、一般に、インクチャンバ内への複数の（すなわち、３つ以上の）インク流入口を有するインクジェットプリントヘッドを介して、上述したような従来のプリントヘッドの欠点を克服する。このため、インクチャンバは、エアバブル、粒子、及びその他の汚染がノズルに到達するのを阻止するといった様々な利点を提供する多数の小さな流入口を有することが可能である。また、チャンバ内の様々な場所に多数のインク流入口を配置する能力は、チャンバの形状に大きな柔軟性を与えるものとなる。例えば、チャンバは、円形又は正方形に近い形状を有することが可能であり、これによりそれらを一層コンパクトにすることが可能である。例えば、インク流入口の形状を、チャンバ内で及び複数のチャンバのそれぞれで異ならせることにより、インクパージ動作中に流体の流れを改善させることが可能となり、また、インクチャネルの末端に向かって圧力低下が生じる場合にインク圧の制御を助けることが可能となる。更に、多数の小さな流入口は、チャンバの再充填時に一層低いフローインピーダンスを提供することができ、及びインク滴の噴出時に一層高いインピーダンスを提供することができる。これにより、インクの逆流及びそれに伴うクロストークの量が低減され、噴出／噴射周波数の増大が可能となり、並びに噴出性能及び全体的なプリント品質の改善のためにインク滴噴出エネルギーが維持される。複数の流入口を用いた設計はまた、単一のマスクを用いて複数の精確な小さな穴が作製されるMEMS作製技術に特に適したものである。
【０００８】
一実施形態では、流体噴出装置は、１つのチャンバと少なくとも１つの流体供給チャネルとを含む。該チャンバでは、該流体チャネルと該チャンバとの間に配設された３つ以上の流体流入口が存在する。別の実施形態では、インクジェットプリントヘッドの作製方法は、基板上に噴出素子を形成し、該噴出素子を包囲するチャンバを形成し、該チャンバがチャンバ層により画定されるものであり、少なくとも１つのチャネルを形成し、及び該チャネルと前記チャンバとの間に延びる少なくとも３つの流体流入口を形成する、という各ステップを含むものとなる。別の実施形態では、インクジェットプリンティングシステムは、流体噴出装置と、該流体噴出装置内の流体供給チャネルに沿って配設されたチャンバと、該チャンバ内の複数の流体流入口とを含み、該チャンバの第１の側部に沿って第１のチャネルが配設され、該チャンバの第２の側部に沿って第２のチャネルが配設され、該チャンバと前記第１のチャネルとの間に第１の複数の流体流入口が配設され、及び該チャンバと前記第２のチャネルとの間に第２の複数の流体流入口が配設されている。
例示的な実施形態
図１は、本書で開示する流体噴出装置を組み込むのに適したインクジェットプリンティングシステム100の一実施形態を示している。この実施形態では、流体噴出装置は、液滴噴射プリントヘッド114として開示されている。インクジェットプリンティングシステム100は、インクジェットプリントヘッドアセンブリ102、インク供給アセンブリ104、マウントアセンブリ106、媒体搬送アセンブリ108、電子コントローラ110、及び該インクジェットプリンティングシステム100の様々な電気部品に電力を供給する少なくとも１つの電源112を含む。インクジェットプリントヘッドアセンブリ102は、プリント媒体118上にプリントするために該プリント媒体118に向かって複数のオリフィス又はノズル116を介してインク滴を噴出する少なくとも１つのプリントヘッド（流体噴出装置）又はプリントヘッドダイ114を含む。プリント媒体118は、紙、カードストック、透明フィルム、マイラー（登録商標）といったあらゆるタイプの適当なシート材料である。典型的には、ノズル116は、インクジェットプリントヘッドアセンブリ102及びプリント媒体118が互いに相対的に移動する際にノズル116からのインクの正しく順序づけされた噴出によって文字、記号、及び／又はその他のグラフィクス又はイメージがプリント媒体118上にプリントされるように、１つ又は２つ以上の列又は配列で構成される。
【０００９】
インク供給アセンブリ104は、プリントヘッドアセンブリ102へ液体インクを供給し、及び該インクを収容するためのリザーバ120を含む。インクは、該リザーバ120からインクジェットプリントヘッドアセンブリ102へと流れる。インク供給アセンブリ104及びインクジェットプリントヘッドアセンブリ102は、一方向インク供給系または循環インク供給系の何れを形成することも可能である。一方向インク供給系では、インクジェットプリントヘッドアセンブリ102に供給される実質的に全てのインクがプリント中に消費される。一方、循環インク供給系では、プリントヘッドアセンブリ102に供給されたインクの一部のみがプリント中に消費される。プリント中に消費されなかったインクは、インク供給アセンブリ104へと戻される。
【００１０】
一実施形態では、インクジェットプリントヘッドアセンブリ102及びインク供給アセンブリ104は共に、インクジェットカートリッジまたはペン内に収容される。別の実施形態では、インク供給アセンブリ104は、インクジェットプリントヘッドアセンブリ102とは分離され、供給管等の中間接続手段を介してインクジェットプリントヘッドアセンブリ102へインクを供給する。何れの実施形態の場合にも、インク供給アセンブリ104のリザーバ120は、除去すること、交換すること、及び／又は再充填することが可能である。インクジェットプリントヘッドアセンブリ102及びインク供給アセンブリ104が共に１つのインクジェットカートリッジ内に収容されている一実施形態では、リザーバ120は、該カートリッジ内に配設されているローカルリザーバ並びに該カートリッジとは別個に配設されている一層大きなリザーバを含むものとなる。該別個の一層大きなリザーバは、該ローカルリザーバの再充填を行う働きをするものである。したがって、該別個の一層大きなリザーバ及び／又は該ローカルリザーバは、除去すること、交換すること、及び／又は再充填することが可能である。
【００１１】
マウントアセンブリ106は、媒体搬送アセンブリ108に対してインクジェットプリントヘッドアセンブリ102を位置決めし、該媒体搬送アセンブリ108は、インクジェットプリントヘッドアセンブリ102に対してプリント媒体118を位置決めする。このため、プリントゾーン122は、インクジェットプリントヘッドアセンブリ102とプリント媒体118との間の領域でノズル116に隣接して画定される。一実施形態では、インクジェットプリントヘッドアセンブリ102は走査式プリントヘッドアセンブリである。この場合、マウントアセンブリ106は、プリント媒体118を走査するためにインクジェットプリントヘッドアセンブリ102を媒体搬送アセンブリ108に対して移動させるキャリッジを含む。別の実施形態では、インクジェットプリントヘッドアセンブリ102は非走査式プリントヘッドアセンブリである。この場合、マウントアセンブリ106は、媒体搬送アセンブリ108に対する所定位置にインクジェットプリントヘッドアセンブリ102を固定する。このため、媒体搬送アセンブリ108がインクジェットプリントヘッドアセンブリ102に対してプリント媒体118を位置決めする。
【００１２】
電子コントローラまたはプリンタコントローラ110は、典型的には、インクジェットプリントヘッドアセンブリ102、マウントアセンブリ106、及び媒体搬送アセンブリ108と通信を行ってそれらの制御を行うための、プロセッサ、ファームウェア、及びその他の電子装置を含む。電子コントローラ110は、コンピュータ等のホストシステムからデータ124を受信し、及び該データ124を一時的に記憶するためのメモリを含む。典型的には、データ124は、電子式の、赤外線式の、光学式の、及びその他の情報送信経路に沿ってインクジェットプリンティングシステム100へと送られる。データ124は、例えば、プリントすべき文書及び／又はファイルを表すものである。この場合、データ124は、インクジェットプリンティングシステム100のためのプリントジョブを形成し、及び１つ又は２つ以上のプリントジョブコマンド及び／又はコマンドパラメータを含むものとなる。
【００１３】
一実施形態では、電子コントローラ110は、ノズル116からのインク滴の噴出に関してインクジェットプリントヘッドアセンブリ102を制御する。このため、電子コントローラ110は、文字、記号、及び／又はその他のグラフィクスまたはイメージをプリント媒体118上に形成する所与のパターンの噴出インク滴を画定する。該所与のパターンの噴出インク滴は、プリントジョブコマンド及び／又はコマンドパラメータによって決定される。
【００１４】
一実施形態では、インクジェットプリントヘッドアセンブリ102は、１つのプリントヘッド114を含む。別の実施形態では、インクジェットプリントヘッドアセンブリ102は、ワイドアレイまたはマルチヘッド式プリントヘッドアセンブリとなる。ワイドアレイ式の一実施形態では、インクジェットプリントヘッドアセンブリ102は、プリントヘッドダイ114を支持するキャリアを含み、該プリントヘッドダイ114と電子コントローラ110との間の電気的な連絡を提供し、及び該プリントヘッドダイ114とインク供給アセンブリ104との間の流体的な連絡を提供する。
【００１５】
一実施形態では、インクジェットプリンティングシステム100は、プリントヘッド114が圧電式インクジェットプリントヘッドであるドロップ・オン・デマンド型圧電式インクジェットプリンティングシステムである。該圧電式プリントヘッドは、インクその他の液滴をノズル116から強制的に出力させる圧力パルスを生成するためにインクチャンバ内に圧電式噴出素子を実装したものである。別の実施形態では、インクジェットプリンティングシステム100は、プリントヘッド114がサーマルインクジェットプリントヘッドであるドロップ・オン・デマンド型サーマルバブルインクジェットプリンティングシステムである。該サーマルインクジェットプリントヘッドは、インクを蒸発させてインクその他の液滴をノズル116から強制的に出力させるバブルを生成するためにインクチャンバ内に熱抵抗素子を実装したものである。
【００１６】
図２は、流体／インクチャンバ内への複数の流体／インク流入口（すなわち、３つ以上のインク流入口）を有するインクジェットプリントヘッド114として実施された一実施形態による流体噴出装置の一部の斜視図である。同図では、流体経路200の一例が、例えば、流体供給チャネル202から複数の流体流入口204を介してチャンバ206内へのインクの流れを説明する白い点線及び矢印200で示されている。噴出または噴射イベントが発生すると、流体は、矢印200で示すように、ノズルプレート208内に形成されているノズル116を介してチャンバ206外へ流出し続ける。この実施形態では、流体供給チャネル202は、チャンバ層210及びノズルプレート208によって画定される。供給チャネル202がチャンバ206に近接しているため、該供給チャネル202と該チャンバ206との間の複数の流体流入口204を介した流体的な連絡が容易となる。供給チャネル202は、チャンバ層210内に形成されるものとして示したが、別の実施形態では、複数の流体流入口204を介して供給チャネル202とチャンバ206との流体的な連絡が可能となるよう該供給チャネル202と該チャンバ206との近接性が維持される限り、該供給チャネル202は、プリントヘッド基板（図示せず）内といった他の場所に形成することが可能である。
【００１７】
図３は、噴出素子及びプリントヘッド基板の描写を含む、一実施形態によるインクジェットプリントヘッド114の側面図を示している。噴出素子300は、シリコン基板304上の薄膜層302内に一般に形成される。圧電式噴出素子300は、チャンバ206上に配置され及び例えば導電性異方性接着剤により圧電薄膜に対して接着されるダイアフラム層（特に図示せず）を含む。熱抵抗噴出素子300は、一般にキャビテーション障壁で被覆された熱抵抗器を含む。
【００１８】
図３は更に、流体／インク流入口204の拡大図を示している。図３に示す流体流入口204は円筒形状を有している。しかし、チャンバの再充填特性及び最小限の逆流特性（例えば、供給チャネル202からチャンバ内への低インピーダンスの再充填の流れ、及びチャンバから供給チャネルへの高インピーダンスの逆流）といった有益な流体の流れ特性を呈する様々な他の軸対称形状もまた意図されている。例えば、円筒形状の流体流入口204に加えて、円錐形状及びベル形状の流入口204が、かかる特性を提供することができる。
【００１９】
図４は、円筒形状、円錐形状、及びベル形状を含む、例示的な形状を有する流体流入口204を有するインクジェットプリントヘッド114の一実施形態の別の側面図を示している。図４の円錐形状の流入口400,404及びベル形状の流入口402といったテーパーのついた形状を有する流入口形状の場合、該流入口の向きは、該流入口の一層大きな開口を有する幅の広い方の端部が流体供給チャネル202に向かって面しまたは該流体供給チャネル202内へと開口する一方、該流入口の幅の狭い方の端部がチャンバ206内へと開口するようにすることが可能である。図４に示すように、例えば、円錐形状の流体流入口400の向きは、該流入口の一層大きな開口が供給チャネル202内へと開口し及び該流入口の一層狭い開口がチャンバ206内へと開口するようにすることが可能である。しかし、他の実施形態では、（例えば、チャンバ内の流体の循環または後述するようなパージ動作を促進させるために）テーパーのついた形状を有する流入口が上記とは異なる向き及び形状を有することが有利となる。かかる場合には、例えば、円錐形状の流体流入口404は、該流入口の一層大きな開口がチャンバ206内へと開口し及び該流入口の一層狭い開口がインク供給チャネル202内へと開口するような向きとすることが可能である。
【００２０】
特定のチャンバ206は、全て同じ形状、大きさ、及び向きからなる構造的な特徴を有する複数の流入口を有することが可能であり、及び／又は、チャンバ206は、互いに異なる形状、大きさ、及び向きからなる複数の構造的な特徴を有する複数の流入口を有することが可能である、ということは、図３及び図４の流体流入口204から明らかである。従って、第１の供給チャネルとの流体的な連絡を提供するためにチャンバの一領域に配設された複数の流入口は、第２の供給チャネルとの流体的な連絡を提供するためにチャンバの異なる領域に配設された複数の流入口とは異なる形状、大きさ、及び／又は向きのものとすることが可能である。更に、１つ又は２つ以上の供給チャネル202に沿って配設された多数のチャンバ206のうち、１つのチャンバの複数の流入口が、他のチャンバの複数の流入口とは異なる形状、大きさ、向き、及び／又は位置を有することが可能である。チャンバ206に対する流体流入口204の配置、大きさ、形状、及び向きのかかる可変構成により、１つの供給チャネルから別の供給チャネルへの流体の流れ（すなわち、チャンバ内の循環）を容易にすることが可能となる、エアバブルその他の汚染がノズルに達するのを防止する、チャンバの形状に一層大きな柔軟性を与えることが可能になる、パージ動作中のチャンバを介した流体の流れを改善する、及び流体圧力が低下し得る供給チャネル202の末端でのチャンバに対する流体圧力を制御する、といった利点を提供することが可能となる。
【００２１】
１つのチャンバ206内への複数の流体流入口204の３つ以上の個数は、特定の最大数によって異なるものであり、該最大数は、流体流入口204の長さとその半径との間の比に応じて及び１つ又は２つ以上の供給チャネル202に適切に近接しているチャンバ内の利用可能な空間に応じて決まるものである。これらのファクタは一般に、流入口204を形成するために使用されるマイクロファブリケーション技術、及び流入口204が形成される材料（例えばシリコン）に関連するものである。例えば、流体流入口204をエッチングする場合、該エッチングの深さ（すなわち、該流入口の深さ）は、該流入口の半径の10倍程度に制限される可能性がある。また、既述のように、チャンバ206に対する供給チャネル202の近接性は、該供給チャネル202と該チャンバ206との間の複数の流体流入口204を介した流体の連絡を容易にする。したがって、図２−４の実施形態では、例えば、流体流入口204は、チャンバ壁を介して下方に位置するまたは隣接する供給チャネル202に対するアクセスを提供する領域でチャンバ206に形成することが可能である。
【００２２】
図５は、一実施形態によるインクジェットプリントヘッド等の流体噴出装置を作製する方法500の一例のフローチャートである。該方法500は、図１−４に関して上述した流体噴出装置114の各実施形態に関するものである。該方法500は、特定の順序で列挙された複数のステップを含むものであるが、これは、かかるステップをその特定の順序またはその他の特定の順序で実行するよう制限するものではない、ということが理解されよう。一般に、方法500の各ステップは、エレクトロフォーミング、レーザアブレーション、異方性エッチング、スパッタリング、ドライエッチング、フォトリソグラフィ、キャスティング、モールディング、スタンピング、及び機械加工といった、当業者には周知の様々な精密なマイクロファブリケーション技術を使用して実行することが可能である。
【００２３】
方法500は、ブロック502で開始してシリコン基板304等の基板上に噴出素子を形成する。噴出素子は一般に薄膜層スタックという形で基板上に形成される。圧電式噴出素子は、例えば、導電性異方性接着剤により圧電層上に接着され及びチャンバ上に配置されたダイアフラム層を含む。熱抵抗式噴出素子は、一般にキャビテーション障壁で被覆された熱抵抗器を有する抵抗層を含む。方法500は、ブロック504へと続き、チャンバ層により画定され及び噴出素子を包囲するチャンバを形成する。ブロック506で、少なくとも１つの流体供給チャネルが形成される。該流体供給チャネルの形成は、前記チャンバに隣接しその側方に沿ってその上方又は下方に延びる複数の供給チャネルの形成を含むことが可能である。流体供給チャネルの形成はまた、プリントヘッドのチャンバ層内またはプリントヘッドの基板内における流体チャネルの形成を含む。
【００２４】
方法500のブロック508で、流体供給チャネルとチャンバとの間に延びる少なくとも３つの流体流入口がチャンバ内に形成される。該流体流入口の形成は、１つ又は２つ以上のチャンバ内における様々な形状、大きさ、向き、及び位置の流体流入口の形成を含むことができる。流体流入口の形成は更に、第１の供給チャネルとチャンバとの間で該チャンバ内に１グループの流体流入口を形成し、及び第２の供給チャネルと該チャンバとの間で該チャンバ内に別の１グループの流体流入口を形成することを含むことができる。方法500はまた、ブロック510で、前記チャンバ及び前記噴出素子に対応するノズルを有するノズルプレートを形成する。
【図１】
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【図５】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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