(57)【要約】  本発明は、絶縁性材料からなり、第一の貯留部及び第一の貯留部に連通する、二つの内壁にそれぞれ電極が備えられた第二の貯留部を含む基板並びに、絶縁性材料からなり、突起を含み基板に固定されて第一の貯留部を満たす液体から離れた位置と液体に圧力を印加する少なくとも一つの第二の位置との間を突起が移動できる柔軟なメンブレンを含み、それによって少なくとも部分的に第一の貯留部から第二の貯留部へ二つの電極と機械的に接触するように液体を排出し、液体の二つの電極との前記機械的接触が二つの電極の間の抵抗または静電容量を形成する、圧力センサを形成するデバイスに関する。タッチスクリーンの製造に応用される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性の材料からなり、第一の貯留部（２０）及び前記第一の貯留部と連通し、二つの内壁のそれぞれに電極（２１０，２１１）が備えられた第二の貯留部（２１）を含む基板（２）並びに、
絶縁性の材料からなり、突起（３０）を含み、前記突起が前記第一の貯留部を満たす液体（４）から離隔された位置と前記液体に圧力を印加する少なくとも一つの第二の位置との間を移動できるように基板に固定された柔軟なメンブレン（３）を含み、それによって少なくとも部分的に前記第一の貯留部から前記第二の貯留部へ二つの前記電極と機械的に接触するように前記液体を排出し、前記液体の二つの前記電極との前記機械的な接触が二つの前記電極の間の抵抗または静電容量を形成するようにされた、圧力センサを形成するデバイス（１）。
【請求項２】
前記絶縁性の基板が、柔軟であるような厚さを有する、請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記絶縁性の基板が、プラスチック材料からなる、請求項１または２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記絶縁性の基板が、ポリエチレン類、好適にはポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）から選択される、請求項３に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記液体が、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＤＯＴ）ポリマー、ポリアニリンまたは電解質のような導電性である、請求項１から４のいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記液体が、ポリ（スチレンスルフォナート）ナトリウム（ＰＳＳ）ポリマーのような半導体性である、請求項１から４のいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項７】
前記液体が、絶縁性である、請求項１から４のいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項８】
前記柔軟なメンブレンが、プラスチック材料からなる、請求項１から７のいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項９】
前記柔軟なメンブレンが、ポリエチレン（ＰＥ）からなる、請求項８に記載の圧力センサ。
【請求項１０】
前記メンブレンが、絶縁性フィルムで覆われた金属シートである、請求項１から７のいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項１１】
前記第一の貯留部が、隣接する側面の突起とほぼ補完的な形状を有し、圧力が前記突起に印加されると、前記側面によって、前記液体が前記第一の貯留部から前記第二の貯留部へ排出されることができる、請求項１から１０のいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項１２】
前記突起が、平行六面体形状を有する、請求項１１に記載の圧力センサ。
【請求項１３】
前記第一の貯留部及び前記第二の貯留部が結合され、前記第二の貯留部が前記第一の貯留部の上に位置する、請求項１から１２のいずれか一項に記載の圧力センサ。
【請求項１４】
ａ）絶縁性の材料からなる、第一の貯留部（２０）及び前記第一の貯留部と連通する第二の貯留部の一部（２１’）を含む基板（２）を製造する段階、
ｂ）前記第二の貯留部の底部をメタライズして第一の電極（２１１）及び前記第一の電極に接続された電気的接続線（Ｌ２）の一部を形成する段階、
ｃ）絶縁性材料からなる、突起（３０）を含む柔軟なメンブレン（３）を製造する段階、
ｄ）前記メンブレンの表面（３１）または絶縁性材料からなり前記突起の側で前記メンブレンと固定された層（６）をメタライズして第二の電極（２１０）及び前記第二の電極と接続される第二の電気的接続線の一部を形成する段階、
ｅ）前記第一の貯留部の一部を液体（４）によって満たす段階、並びに
ｆ）前記柔軟なメンブレンを前記基板に固定して、前記突起を前記第一の貯留部に対向させ、前記液体から離れた位置と前記液体に圧力を印加する少なくとも一つの第二の位置との間を前記突起が移動できるようにする段階、の各段階を含み、
それによって少なくとも部分的に、前記第一の貯留部から前記二つの電極によって規定された前記第二の貯留部へ前記液体を排出してそれらを機械的に接触させ、前記液体の前記二つの電極との前記機械的接触が前記二つの電極の間の抵抗または静電容量の変化をもたらす圧力センサ（１）を形成するデバイスを製造するための方法。
【請求項１５】
前記段階ａ）が、絶縁性基板をエンボス加工またはエッチングすることによって実施される、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記段階ｃ）が、モールド加工、エンボス加工またはエッチングによって実施される、請求項１４または１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記段階ｅ）の後、前記液体で満たされていない前記第一の貯留部の部分及び前記第二の貯留部に真空が形成される、請求項１４から１６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１８】
前記段階ｆ）が、前記メンブレンを前記基板上に位置合わせして接合することにより実施される、請求項１４から１７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１９】
単一の基板（２）及び単一のメンブレン（３）を有する、請求項１から１８のいずれか一項に記載の複数の圧力センサ（１）を含み、前記センサが、所定の間隔に従って表面全体に渡って均一に配置され、それぞれの前記センサの二つの前記電極のうち一方が、規定線（Ｌｉ）によってその他全ての複数の前記センサの二つの前記電極のうち一方と接続され、それぞれの前記センサの二つの前記電極のうちもう一方が、規定列（Ｃｏｌ）によってその他全ての複数の前記センサの二つの前記電極のうちもう一方と接続され、前記線が、ある電位と接続され、前記列が、前記線の電位と異なる電位と接続される、タッチスクリーン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気的に絶縁性の材料からなる基板を含む圧力センサを形成するデバイスに関する。
【０００２】
本発明はまた、そのようなセンサの製造方法に関する。
【０００３】
本発明によって包含される特に注目する応用は、タッチスクリーンの製造である。
【背景技術】
【０００４】
現在、多くの圧力センサが知られている。より一般的には、機械的な圧力によって、制御回路が用いることができる電気的信号を供給することが可能であるような素子であるとして圧力センサを定義することが可能である。
【０００５】
圧力センサは、タッチスクリーンの一部として使用が拡大しているため、近年開発が増加している。タッチスクリーンによって、特に使用者がインターフェースパネル上で指またはスタイラスで画像及び／または文字のインターフェースによって示された正確な領域に圧力を印加することにより、様々な機能を達成することができるようになる。一般には、そのためタッチスクリーンは、インターフェースパネルの所定の領域における所定の圧力を判別するのに適したものであり、そのため、電気信号のソフトウェア処理システムに接続される制御回路は、所定の圧力を画像及び／または文字インターフェース領域に関連して解釈し、それによって所望の操作を駆動させることができる。
【０００６】
ここで、アップル社によって作り出された、ガラス平板上に印加された圧力を検出することが可能である複数の圧力センサを含むタッチスクリーンに関する様々な商業的実施形態を引用することができる。
【０００７】
それらのタッチスクリーン応用において、圧力センサは、二つの異なるカテゴリに分類することができる。
【０００８】
抵抗型圧力センサは、導電性材料からなる層または複数のパッドでそれぞれ覆われ、抵抗性材料の層によって互いに離隔された二枚の平板を含む。外部インターフェースを有する平板に圧力が印加されると、金属導電パッドまたは層が、抵抗性層によって接触状態となり、電気抵抗の変化が発生し、正確な領域におけるこの電気的な変化が、圧力が印加された位置を検出するのに用いられる。静電容量型圧力センサの場合、電荷が外部インターフェースを有するガラス平板上に蓄積される。圧力がこの平板上に印加されると、過剰な静電容量が導入される。この過剰分は測定が可能である。平板表面全体に渡る複数の圧力センサの分布によって、圧力が印加された領域の座標を決定することが可能になる。
【０００９】
発明者は、様々な応用に関して、プラスチック技術を用いて形成された圧力センサを有することは、特に柔軟性基板が想定されることを可能にするため、有益であると考えている。加えて、発明者は、そのような圧力センサの感度の向上が有益であると考えている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従って、本発明の目的は、プラスチック技術を用いて形成されることができ、その感度を向上することができる新しい型の圧力センサを提案することである。
【００１１】
本発明のもう一つの目的は、タッチスクリーンのための基礎として用いられる圧力センサを提案することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このことを行うために、本発明は、圧力センサを形成するデバイスに関し、デバイスは、第一の貯留部及び前記第一の貯留部と連通しその二つの内壁にそれぞれ電極が備えられた第二の貯留部を含む絶縁性の材料からなる基板並びに、絶縁性の材料からなり、突起を含み、前記基板に固定され、前記突起が前記第一の貯留部を満たす液体から離隔された位置と、前記液体に圧力を印加する少なくとも一つの第二の位置との間を移動することができるように前記基板に固定された柔軟なメンブレンを含み、それによって少なくとも部分的に前記第一の貯留部から前記第二の貯留部へ二つの前記電極と機械的に接触するように前記液体を排出し、前記液体の二つの前記電極との前記機械的接触が二つの前記電極の間の抵抗または静電容量を形成する。
【００１３】
本発明によれば、高い感度があるポリエチレンナフタレートＰＥＮのようなプラスチック材料からなる柔軟な基板上に圧力センサを形成することが可能である。
【００１４】
そのような圧力センサの反応時間、つまり柔軟なメンブレン上に、典型的には使用者の指によって圧力が印加される瞬間と二つの電極間の短絡回路が制御回路によってソフトウェア処理ユニットで検出される瞬間との間に経過する時間は、非常に短い。液体が絶縁性である場合には、高い電気誘電率を有する材料を選択することができ、このことによって二つの電極間で短絡回路である間、センサの高い静電容量を得ることが可能となる。
【００１５】
タッチスクリーンの使用において、また圧力が使用者の指によって印加されると考えられる場合において、第一および第二の貯留部の体積が液体に関して約５ｍｍ３であること、二つの電極の間の距離が約１ｍｍであること、及び二つの電極間に印加される電圧が約０．５ボルトであることが提示される。
【００１６】
本発明に従う圧力センサの精度のさらなる向上のために、第一および第二の貯留部の体積を１０ｍｍ３に減少させることを考えることが可能である。
【００１７】
本発明に従う圧力センサは、高い検出再現性を有し、特に、移送される（排出される）液体の体積は、基板内で決定される初期体積によって固定された大きさであり、この初期体積は校正され、センサの耐用期限を通じて一定を保つ。
【００１８】
有利な実施形態に従えば、絶縁性基板は、柔軟であるような厚さを有する。
【００１９】
絶縁性基板は、好適にはプラスチック材料からなり、有利にはポリエチレン類から選択され、好適にはポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）である。また、カプトン（登録商標）のようなポリイミド、ポリプロピレン類及びポリカーボネート類からも選択することが可能である。
【００２０】
また、セラミックまたはシリカで絶縁性基板を製造することも考えることが可能である。
【００２１】
液体に関して三つの代替例を考えることができる。
【００２２】
液体はポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＤＯＴ）ポリマーまたはポリアニリンあるいは電解質のような導電性であることができ、この場合二つの電極間に形成される短絡回路は、結果的に様々な抵抗となる。
【００２３】
液体は、絶縁性であることもでき、この場合二つの電極間に形成される短絡回路は、結果的に様々な静電容量となる。
【００２４】
液体は、ポリ（スチレンスルフォナート）ナトリウムポリマーのような半導体性であることもできる。この場合、二つの電極間に形成される短絡回路は、液体の導電性に従って、結果的に様々な抵抗または様々な静電容量のどちらかとなる。
【００２５】
換言すれば、液体の導電性を選択するだけで、静電容量型センサまたは抵抗型センサのどちらかを製造することが可能である。
【００２６】
代替的な実施形態に従えば、柔軟なメンブレンはプラスチック材料からなり、有利にはポリエチレン（ＰＥ）である。
【００２７】
他の一実施形態に従えば、メンブレンは絶縁性フィルムで覆われた金属シートである。
【００２８】
圧力下における液体の排出を最適化するために、第一の貯留部は好適には短い距離を除いて突起とほぼ補完的である形状を有し、圧力が突起に印加されたときに、前記短い距離によって第一の貯留部から第二の貯留部に向けて液体が排出されることが可能である。後者はそのため平行六面体形状を有することができる。
【００２９】
製造を簡略化するために、第一の貯留部及び第二の貯留部は結合され、第二の貯留部は第一の貯留部の上部にある。
【００３０】
本発明はまた、圧力センサを形成するデバイスを製造する方法に関し、デバイスを製造する方法は、ａ）絶縁性材料からなる、第一の貯留部及び前記第一の貯留部と連通した第二の貯留部の一部を含む基板を製造する段階、ｂ）前記第二の貯留部の底部をメタライズして第一の電極及び前記第一の電極に接続される電気的接続線の一部を形成する段階、ｃ）絶縁性材料からなる、突起を含む柔軟なメンブレンを製造する段階、ｄ）前記メンブレンの表面または絶縁性材料からなり前記突起の側で前記メンブレンに固定された層をメタライズして第二の電極及び前記第二の電極に接続された第二の電気的接続線の一部を形成する段階、ｅ）前記第一の貯留部の一部を液体で満たす段階、並びにｆ）前記柔軟なメンブレンを前記基板に固定して、前記突起を前記第一の貯留部に対向させ、前記液体から離れた位置と前記液体に圧力を印加する少なくとも一つの第二の位置との間を前記突起が移動できるようにする段階、の各段階を含み、それによって少なくとも部分的に、前記第一の貯留部から二つの前記電極によって規定された前記第二の貯留部へ前記液体を排出してそれらを機械的に接触させ、前記液体の二つの前記電極との前記機械的接触によって二つの前記電極間の抵抗または静電容量の変化をもたらす。
【００３１】
前記段階ａ）を実施するために、絶縁性基板をエンボス加工またはエッチングすることが可能である。
【００３２】
前記段階ｃ）は、好適にはモールド加工、エンボス加工またはエッチングによって実施される。
【００３３】
有利には、前記段階ｅ）の後に、前記液体によって満たされていない前記第一の貯留部の部分及び前記第二の貯留部の部分に真空を形成する。液体で満たされていない貯留部の部分を真空にすることは、利点として、電極の酸化を防ぐことが可能になり、そのため本発明に従うセンサの耐用期限を増大させることが可能になる。この真空化段階は、柔軟なメンブレンと基板とを固定する段階ｆ）の間に行うことができる。
【００３４】
前記段階ｆ）は、前記メンブレンを前記基板上に位置合わせして接合することにより実施することができる。シーリングまたは溶着のようなその他どのような技術を考えることも可能である。
【００３５】
説明された方法は、メンブレンに固定された二つの電極の一方を形成することを可能にする。従って、圧力がメンブレンに印加されると、第二の貯留部の形状特性もまた変化する。従って、二つの電極の間の抵抗または静電容量の変化の測定によって、メンブレンに印加された圧力の値を正確に決定することが可能になる。
【００３６】
二つの電極が基板に固定される場合には、第二の貯留部の形状特性は変化せず、そのため抵抗または静電容量の二値的な変化、つまり液体と電極の間の機械的接触が形成されるか否かに依存して全てか無かという結果が得られる。
【００３７】
最後に、本発明は、タッチスクリーンに関し、タッチスクリーンは、単一の基板及び単一のメンブレンを有する上述した複数の圧力センサを含み、前記センサは所定の間隔に従って表面全体に渡って均一に配置され、それぞれの前記センサの二つの前記電極のうち一方は、規定線（Ｌｉ）によってその他全ての複数の前記センサの二つの前記電極の一方と接続され、それぞれの前記センサの二つの前記電極のうちもう一方は、規定列（Ｃｏｌ）によってその他全ての複数の前記センサの二つの前記電極のうちもう一方と接続され、前記線はある電位（Ｌ２）と接続され、前記列は前記線の電位と異なる電位（Ｌ１）と接続される。
【００３８】
その他の利点及び特徴は、以下の図を参照しながら以下の詳細な説明を読むことにより、より明確になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１Ａ】本発明に従う圧力センサの断面図であって、圧力が印加されていない位置にある状態である。
【図１Ｂ】本発明に従う圧力センサの断面図であって、圧力が印加された位置にある状態である。
【図１Ｃ】センサの二つの電極の電気的な接触を示す、図１Ａ及び１Ｂに従う圧力センサの上面図である。
【図２】本発明に従う圧力センサの製造のそれぞれの段階を示す断面図である。
【図２Ａ】図２の断面図に対応する上面図である。
【図３】本発明に従う圧力センサの製造のそれぞれの段階を示す断面図である。
【図３Ａ】図３の断面図に対応する上面図である。
【図４】本発明に従う圧力センサの製造のそれぞれの段階を示す断面図である。
【図４Ａ】図４の断面図に対応する上面図である。
【図５】本発明に従う圧力センサの製造のそれぞれの段階を示す断面図である。
【図５Ａ】図５の断面図に対応する上面図である。
【図６】本発明に従う圧力センサの製造のそれぞれの段階を示す断面図である。
【図６Ａ】図６の断面図に対応する上面図である。
【図７】本発明に従う圧力センサの製造のそれぞれの段階を示す断面図である。
【図７Ａ】図７の断面図に対応する上面図である。
【図８】本発明に従う圧力センサの製造のそれぞれの段階を示す断面図である。
【図９Ａ】本発明に従う圧力センサの製造の段階を示す上面図である。
【図１０】本発明に従う圧力センサの製造のそれぞれの段階を示す断面図である。
【図１０Ａ】図１０の断面図に対応する上面図である。
【図１１】本発明に従う圧力センサの製造のそれぞれの段階を示す断面図である。
【図１２】一定の所定の間隔の行列に従って配置された本発明に従う複数の圧力センサを含むタッチスクリーンの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
「下方」及び「上方」という語句は、重力を基準に用いられることを明記する。従って、下方電極は底部電極であり、上方電極は頂部電極である。
【００４１】
図１Ａは、圧力が印加されていない（Ｐ＝０）位置にある本発明に従う圧力センサ１を形成するデバイスを示す。圧力センサ１は、絶縁性材料２からなる、柔軟なメンブレン３が固定された基板を含む。
【００４２】
基板２は、好適にはポリエチレンナフタレートＰＥＮのような、柔軟になる厚さ（例えばｅが約１２５μｍ）を有するプラスチックフィルムから形成される。
【００４３】
基板１は、液体４で部分的に満たされた第一の貯留部２０を含む。第二の貯留部２１は第一の貯留部２０の上方に配置されて第一の貯留部２０と接続される。この第二の貯留部２１は、その下方内壁及び上方内壁に、二つの電極２１０及び２１１を含む。
【００４４】
柔軟なメンブレン３は、図１Ａに示されるように平行六面体形状の突起３０を含み、この形状は、短い距離を除いて第一の貯留部２０の形状とほぼ補完的である。メンブレンは、記載された例においては、ポリエチレン（ＰＥ）からなる。柔軟なメンブレン３と基板２との固定は、圧力がないときには突起が第一の貯留部２０に対して対向し、合致するようにされ、液体４からは離れている（図１Ａ）。
【００４５】
圧力がメンブレン３に印加された場合（Ｐ＞０）、突起３０が液体を押す位置となり、液体を少なくとも部分的に第一の貯留部２０から第二の貯留部２１へ排出することにより、二つの電極２１０と２１１との間に機械的接触を形成する。この液体４の二つの電極２１０及び２１０への機械的な接触は、それらの間に短絡回路を形成する。
【００４６】
電極２１０、２１１のそれぞれは、異なる電位を有する電気的な接続線Ｌ１及びＬ２に接続される（図１Ｃ）。
【００４７】
液体４は、記載された例においては、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＤＯＴ）またはポリアニリンのような導電性ポリマーである。
【００４８】
二つの電極２１０と２１１との間の短絡回路は電気抵抗を形成するので、１に示された圧力センサは抵抗型圧力センサである。
【００４９】
本発明に従う圧力センサを製造する各段階が、図３から１１及び対応する上面図である図３Ａから１１Ａに示されている。
【００５０】
ＰＥＮのような、例えば約１２５μｍの厚さｅの柔軟な材料からなる基板２から開始し（図２及び２Ａ）、この基板２のエンボス加工またはエッチング段階をまず行って、互いに接続された第一の貯留部２０及び第二の貯留部２１’の一部（図３及び３Ａ）を得る。
【００５１】
高精度なセンサに関しては、リソグラフィックエッチングによって製造される場合、図３に示されるｅ１からｅ４の寸法を、次の範囲にすることが可能である。ｅ１は、１μｍから３μｍである。ｅ２は１μｍから３μｍである。ｅ３は、１００ｎｍから１μｍである。ｅ４は、１００ｎｍから１μｍである。
【００５２】
同様に、高精度なセンサに関しては、エンボス加工によって製造される場合、ｅ１からｅ４の寸法を、次の範囲にすることが可能である。ｅ１は、１０μｍから５００μｍである。ｅ２は１μｍから５００μｍである。ｅ３は、１００ｎｍから１０μｍである。ｅ４は、１μｍから１００μｍである。
【００５３】
本明細書においては、寸法ｅ１及びｅ４は、第一の貯留部２０のそれぞれ幅及び高さを表し、ｅ２及びｅ３は第二の貯留部２１のそれぞれ幅及び高さを表す。
【００５４】
有利には、形状２２が、どのような鋭角も避けるように、第一の貯留部の入り口において基板の実施形態に与えられる。図１Ａ及び１Ｂに示すように、この形状２２は、円錐台形状である。従って、センサのメンブレン３は、圧力Ｐが印加されているときは鋭角に支えられてはいない。このことは、より大きな柔軟性及び大きさを提供する。加えて、このことは早期にメンブレンを損傷することがないようにできる。換言すれば、そのために耐用期限が増加される。
【００５５】
本発明のセンサの所望の精度及びそれゆえ所望の寸法に依存して、一つまたはその他の技術（エンボス加工またはリソグラフィックエッチング）が好適となるであろう。
【００５６】
次いで、貯留部２１’の底部のメタライゼーション段階が、電極２１１及び電気的接続線Ｌ２を得るように実施される（図４及び４Ａ）。
【００５７】
次いで、絶縁性の層が、電気的接続線を第二の貯留部２１’の部分から絶縁するように成膜される（図５及び５Ａ）。
【００５８】
次いで、第一の貯留部２０は、所定量だけ液体４で満たされる（図６及び６Ａ）。液体は、記載された例においてはポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＤＯＴ）またはポリアニリンのような導電性ポリマーである。
【００５９】
上述した柔軟なＰＥＮ基板２を製造するこれらの段階と同時に、柔軟なメンブレンが製造される。
【００６０】
そのため、初めに、好適にはモールド加工、エンボス加工またはエッチングによって、柔軟なＰＥメンブレン３が、第一の貯留部２０の形状とほぼ補完する形状を有する突起３０を有するように製造される（図７及び７Ａ）。
【００６１】
次いで、突起の表面３１の側に、絶縁性の層６が、後に、メタライズされた電極２１０を絶縁するように成膜される（図８）。
【００６２】
次いで、絶縁性の層６の上において、実際のメタライゼーション段階が、第二の電極２１０及び電気的接続線Ｌ１を得るように実施される（図９Ａ）。
【００６３】
次いで、他の絶縁性の層７が、電気的接続線Ｌ１を電気的に絶縁するように成膜される（図１０及び１０Ａ）。
【００６４】
柔軟な基板が製造され、第一の貯留部が液体４で部分的に満たされ（図６及び６Ａ）、柔軟なメンブレンが製造される（図１０及び１０Ａ）と、メンブレン３を基板２上に、突起３０が第一の貯留部２０に対向して合致し、二つの電極２１０及び２１１が互いに対向するように位置合わせして固定する段階が実施される（図１１）。
【００６５】
図示された例において、第一の貯留部２０を満たす液量は、約５ｍｍ３である。選択されるｅ１からｅ４の精度及び寸法に依存して、液量を１００ｐＬから１０ｍｍ３の間で決定することが可能である。メンブレンと基板とを固定する（組み立て）段階の間、第一の貯留部２０及び第二の貯留部２１の一部は、真空下に置かれる。そのため、電極２１０及び２１１の酸化が防止され、そのため本発明に従うセンサの耐用期限が増加される。
【００６６】
タッチスクリーンを製造するために、複数の圧力センサが、単一の基板２及び単一のメンブレン３から製造され、センサは図１２に示されるように所定のピッチに従って表面全体に渡って均一に配置される。そのため、各センサ１の二つの電極のうち一方の電極２１０は、規定する幾何学的線Ｌｉによって電気的接続線Ｌ２で、その他全ての複数のセンサの二つの電極のうち一方の電極２１０と接続される。各センサの二つの電極のうちもう一方の電極２１１は、規定する幾何学的列Ｃｏｌによって電気的接続線Ｌ１で、その他全ての複数のセンサの二つの電極のうちもう一方の電極２１１と接続される。
【００６７】
線Ｌ２は、ある電位と接続され、列Ｌ１は、線と異なる電位に接続される。
【００６８】
換言すれば、規定の間隔でスクリーンの表面全体に渡って本発明に従う圧力センサ１の構造を繰り返すことにより、この表面全体に渡って覆い、従って画素化することが可能になる。
【００６９】
そのため、タッチスクリーン上に圧力が印加されたか否か及び印加された正確な領域を精度よく知ることが可能になる。
【００７０】
その他の改善や応用は、本発明の範囲を逸脱しないで実施することが可能である。
【００７１】
そのため、上述した圧力センサ１がタッチスクリーンの実施形態を参照して説明されたが、その他の応用にも用いることが可能である。
【符号の説明】
【００７２】
１  圧力センサ
２  基板
３  メンブレン
４  液体
２０  第一の貯留部
２１  第二の貯留部
２１０、２１１  電極
３０  突起
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２】
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【図２Ａ】
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【図３】
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【図３Ａ】
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【図４】
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【図４Ａ】
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【図５】
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【図５Ａ】
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【図６】
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【図６Ａ】
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【図７】
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【図７Ａ】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図１０】
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【図１０Ａ】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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