(57)【要約】本発明は、特に濾過装置（１）の汚染監視装置（６）用の差圧測定装置（７）に関する。高い測定精度を得るために、差圧測定装置（７）は、シリンダー（１２）内に往復動可能に配置され、上記シリンダー（１２）内において第１圧力室（１４）を第２圧力室（１５）から隔てるピストン（１３）と、該ピストン（１３）に連結固定され、上記シリンダー（１２）の外部から第１圧力室（１４）を通って案内される第１ピストンロッド（１６）と、圧力センサー（８）とを備え、上記圧力センサー（８）は、上記第１ピストンロッド（１６）の該圧力センサーに対する押圧による圧縮力を測定するために、上記シリンダー（１２）の外部で該第１ピストンロッド（１６）と協働する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダー（１２）内に往復動可能に配置され、該シリンダー（１２）内において第１圧力室（１４）を第２圧力室（１５）から隔てるピストン（１３）と、
上記ピストン（１３）に連結固定され、上記シリンダー（１２）の外部から上記第１圧力室（１４）を通って案内される第１ピストンロッド（１６）と、
圧力センサー（８）とを備え、
上記圧力センサー（８）は、上記第１ピストンロッド（１６）の該圧力センサーに対する押圧による圧縮力を測定するために、上記シリンダー（１２）の外部で該第１ピストンロッド（１６）と協働するものであることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項２】
請求項１記載の差圧測定装置において、
上記ピストン（１３）は、
上記第１圧力室（１４）に露出する第１ピストン面（１７）と、
上記第２圧力室（１５）に露出する第２ピストン面（１８）と、
を備え、
上記第１ピストン面（１７）と上記第２ピストン面（１８）とが同じ面積であることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の差圧測定装置において、
上記ピストン（１３）に連結固定され、上記シリンダー（１２）の外部から上記第２圧力室（１５）を通って案内される第２ピストンロッド（１９）を更に備えていることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項４】
請求項３記載の差圧測定装置において、
上記第１及び第２ピストンロッド（１６，１９）が同じ横断面（２０）を有すること、及び、上記第１及び第２ピストン面（１７，１８）が、それぞれ上記ピストンロッド（１６，１９）を環状に囲うことの少なくとも一方を満たすことを特徴とする差圧測定装置。
【請求項５】
請求項３又は４記載の差圧測定装置において、
上記第２ピストンロッド（１９）は、上記シリンダー（１２）の外部においてチャンバー（２２）に進入しており、
上記チャンバーは、上記第１ピストンロッド（１６）と協働する上記圧力センサー（８）の表面部（２３）に対して流体接続されていることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項６】
請求項５記載の差圧測定装置において、
上記チャンバー（２２）は、上記第１及び第２ピストンロッド（１６，１９）並びに上記ピストン（１３）を介して、上記表面部（２３）に流体接続されていることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項７】
請求項５又は６記載の差圧測定装置において、
上記チャンバー（２２）と上記第２圧力室（１５）との間に、上記第２ピストンロッド（１９）と協働する少なくとも１つのシール部材（２４）が設けられていることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１つに記載の差圧測定装置において、
上記圧力センサー（８）と上記第１圧力室（１４）との間に、上記第１ピストンロッド（１６）と協働する少なくとも１つのシール部材（２５）が設けられていることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１つに記載の差圧測定装置において、
上記第１ピストンロッド（１６）は、上記第１及び第２圧力室（１４，１５）が同じ圧力下にある初期状態において、圧力センサー（８）に支持されることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１つに記載の差圧測定装置において、
上記第１圧力室（１４）に流体接続された第１圧力接続部（２８）と上記第２圧力室（１５）に接続された第２圧力接続部（２９）とを有するとともに、上記シリンダー（１２）を収容するハウジング（２７）を更に備え、
上記圧力センサー（８）及び上記チャンバー（２２）は、上記ハウジング（２７）内に配置可能であることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項１１】
濾過装置（１）用の汚染監視装置であって、
上記濾過装置（１）は、該濾過装置（１）の濾過室（２）内において流入側（４）を清浄側（５）から隔てる濾材（３）を備え、
上記汚染監視装置（６）は、請求項１〜１０のいずれか１つに記載の差圧測定装置（７）を備え、
上記第１圧力室（１４）は、上記清浄側（５）に流体接続可能であり、
上記第２圧力室（１５）は、上記流入側（４）に流体接続可能であり、
上記圧力センサー（８）に、上記差圧に応じて上記濾材（３）の汚染度を決定する評価装置（９）が接続されていることを特徴とする汚染監視装置。
【請求項１２】
濾過室（２）内において流入側（４）を清浄側（５）から隔てる濾材（３）と、
請求項１〜１０のいずれか１つに記載の差圧測定装置（７）とを備え、
上記第１圧力室（１４）は、上記清浄側（５）に流体接続され、
上記第２圧力室（１５）は、上記流入側（４）に流体接続されていることを特徴とする濾過装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、差圧測定装置、特に濾過装置の汚染監視装置用の差圧測定装置に関する。また、本発明は、上記差圧測定装置を備えた濾過装置用の汚染監視装置に関する。さらに、本発明は、上記汚染監視装置及び上記差圧測定装置を備え、特に液体の濾過を目的とした濾過装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
不純物を流体から取り除く働きをする濾過装置は、一般的に、流入側を清浄側から隔てる濾材を備える。濾過装置を用いる際には、取り除かれた不純物が濾材の流入側に蓄積し、その結果、濾材が汚染されてしまう可能性がある。汚染の増大に伴って、濾材による流れ抵抗も増大し、それに伴い濾材への圧力荷重も増大する。濾材が損傷してしまう危険性と、濾過装置が備えられた装置系において流量が非常に少量となってしまう危険性とを減らすためには、濾材の汚染度を監視することが得策である。濾材の汚染度が一定の度合いを超えれば、濾材は洗浄又は交換されなければならない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
濾材の汚染度は流れ抵抗と相関するので、汚染度の監視のために、流入側と清浄側との間の差圧を用いることが可能である。これを行うためには、流入側及び清浄側の絶対圧の測定を行う圧力センサーを、流入側と清浄側とに１つずつ配置することが原理的には可能である。その後、流入側と清浄側との間に働く差圧が、対応する評価装置によって決定される。濾過装置やそれを備えた装置系が比較的高い圧力レベルで動作し、許容差圧が動作圧と比べてかなり低いような手順において問題が生じる。圧力センサーは、通常±１％程度の測定公差を有する。高い圧力レベルでは、例えば２００バールに達する圧力下で、測定圧は±２バールの誤差を有する。そのような絶対圧センサーが、流入側及び清浄側の両者で差圧測定のために用いられれば、公差は累積し、その結果、測定差圧は±４バールの誤差を有する。例えば、２０バール程度の僅かな差圧が、動作圧に対して許容出来たとしても、この手続きにおける測定誤差は差圧に対して±２０％になると推測されなければならない。そのような測定誤差がある場合において、濾過装置の故障を防止可能とするためには、許容差圧は相応に縮小されなければならず、その結果、メンテナンス間隔が必要以上に短くなり、不必要な非稼働時間が装置系にもたらされてしまう。
【０００４】
本発明は、濾過装置や関係する汚染監視装置、或いは差圧測定装置用の、改善された実施形態を特定しようとする課題に関するものであり、特に、測定精度の向上によって特徴付けられる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題は、本発明に係る独立請求項の記載事項によって解決される。さらに有利な実施形態は従属請求項の記載事項によって特定される。
【０００６】
本発明は、差圧のみを圧力センサーに用いるという基本概念に基づく。その結果、圧力センサーは、比較的小さな差圧を直接的に、そしてそれぞれの圧力レベルとは独立して、測定出来る。これによって、とりわけ、許容差圧に適合した圧力センサーの使用が可能となる。上記の数値例に関して言えば、２０バールを測定上限とし、この場合もやはり測定精度が１％である圧力センサーの設計が可能となり、その結果、±０．２バールの測定誤差が発生し得る。単体のセンサーのみが必要となるので、測定公差が２倍になることはない。したがって、差圧を比較的高い精度で決定することが可能である。上記の発明が解決しようとする課題で説明された例と比較すれば、測定精度が向上することの利点は明らかである。流入側と清浄側との差圧が小さくなるに従って、今回提示される本発明の利点は一層有効となる。種々の油圧系では、動作圧は、或る場合においては約２００バールになり得るが、その一方、濾材の許容差圧は約５バールである。２つの絶対圧センサーによる測定が行われた場合、各々のセンサーは２００バールまで測定可能であるが、測定精度は、測定差圧の値と丁度同じオーダーとなる。本発明に係る差圧センサーを用いることによって、この５バールが測定されるように設計可能であり、その結果、測定公差は０．０５バールとなる。
【０００７】
本発明によると、圧力センサー単体を使用することによって、シリンダー内に往復動可能に配置されかつ該シリンダー内において第１圧力室を第２圧力室から隔てるピストンを備えた差圧測定装置を可能足らしめる。ピストンはピストンロッドを介して圧力センサーを動作させる。ピストン及びシリンダーは、２つの圧力室間で優勢に働く差圧のみを、ピストンロッドを介して圧力センサーへと伝えるように、互いに調整されている。こうした構成のため、絶対圧が高くとも測定差圧を除いて互いに相殺し合い、その結果、測定差圧のみがピストンへ働く合力として振る舞い、対応する変位力をピストンへ与える。そしてピストンは、ピストンロッドを介して変位力を圧力センサーへと伝達する。
【０００８】
有利な実施形態によれば、ピストンは、第１圧力室に露出する第１ピストン面と、第２圧力室に露出する第２ピストン面と、を備えている。第１ピストン面及び第２ピストン面は、製作公差の範囲内で同じ面積となっている。つまり、向かい合った位置にある２つの圧力室内の高圧は、形状の選択次第でピストンに概ね等しく働き、結局のところ、差圧のみが合力としてピストンに作用する。
【０００９】
とりわけ有利な実施形態によれば、ピストンは、圧力センサーと協働する第１ピストンロッドに加えて、シリンダーの外部から第２圧力室を通って案内される第２ピストンロッドを更に備えることが出来る。この方策によって、流体圧により逆方向に動作する２つのピストン面を同じ面積とすることが、上記測定をさらに容易にする。２つのピストン面は、それぞれのピストンロッドに対して同軸上に広がる環状面によって形成される。２つのピストンロッドは、同一の横断面を適切に有するため、流体圧による動作を示す２つのピストン面を同じ面積とすることが一層容易となる。
【００１０】
別の有利な実施形態によれば、第２ピストンロッドは、シリンダーの外部でチャンバーに進入可能であり、チャンバーは、第１ピストンロッドと協働する圧力センサーの表面部に対して流体接続される。２つのピストンロッドの端面間に働く圧力と、それに応じた力とが概ね釣り合いに達する結果、最終的にはピストンに作用する２つの圧力室間に働く差圧のみが、圧力センサーに抗してピストンを押し動かす。
【００１１】
この場合、第２ピストンロッドと協働するチャンバーが、２つのピストンロッドとピストンとを介して圧力センサーの表面部に流体接続される実施形態が有利である。この方策によって、圧力センサーとチャンバーとの間の流体接続をとりわけ容易に実現することが可能となる。
【００１２】
更に別の有利な実施形態によれば、第１ピストンロッドは、２つの圧力室が同じ圧力下にある初期状態において、力や圧力を与えないような方法で圧力センサーに支持されていても良い。それ故、ピストンロッドと圧力センサーとが緩く接触することが好ましい。原理的には、ピストンロッドが、圧力センサーに連結固定されていても良い。
【００１３】
本発明のさらなる重要な特徴及び利点は、従属請求項と、図面、そして図面に基づいた形態についての関連した説明によって与えられる。
【００１４】
上述の特徴、及び、これから以下で説明される特徴は、それぞれの場合において特定される組み合わせにおいてのみならず、他の組み合わせや単体であっても、本発明の趣旨から逸脱することなく利用出来ることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、汚染監視装置を備えた濾過装置の、回路図に類似した動作原理図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の好ましい典型的な実施形態は図面に示され、以下の記載によってさらに詳細に説明される。
【００１７】
図１は、汚染監視装置を備えた濾過装置の、回路図に類似した動作原理図を示す。片側断面図で示されるように、汚染監視装置は差圧測定装置と共に動作する。
【００１８】
図１によれば、濾過装置１は濾過室２を備え、濾過室２内において濾材３が流入側４を清浄側５から隔てる。原則として、濾過装置１は、液体状又は固体状の不純物を、気体状又は液体状の流体から濾過して取り除くために利用される。濾過装置１は、好ましくは、液体の濾過に利用されるが、油圧系に利用することも可能である。例えば、濾過装置１を、冷却潤滑系における冷却潤滑剤の洗浄に利用することも可能である。
【００１９】
フィルター装置１は、差圧測定装置７を有する汚染監視装置６を備えている。汚染監視装置６は、濾過装置１の濾材３の汚染度を監視するために用いられる。濾材３の汚染度は濾材３の流れ抵抗と相関し、この流れ抵抗は、フィルター装置１の動作中、流入側４と清浄側５との間に生じる差圧と相関するため、汚染監視装置６は差圧測定装置７と連動して動作する。差圧測定装置は、厳密に１つの圧力センサー８を有する。原理上、ただ１つの圧力センサー８で間に合う。しかしながら、２つ以上の圧力センサー８が余分に備えられていても良い。汚染監視装置６は、適切な方法で（例えば信号線１０を介して）圧力センサー８に接続される評価装置９も備えている。加えて、評価装置９はディスプレイ装置１１に接続されており、ディスプレイ装置１１は、圧力センサー８による測定差圧、及び／又は、それと相関する汚染度を知らせる。評価装置９は、圧力センサー８から受け取った差圧に応じて、濾材３の汚染度を決定することが出来る。この決定された汚染度が、予め定められた制限値を超えれば、それに伴う警告信号がディスプレイ装置１１を介して出力される。
【００２０】
差圧測定装置７は、シリンダー１２と、シリンダー１２内に往復動可能に配置されるピストン１３とを備えている。ピストン１３は、シリンダー１２内において第１圧力室１４を第２圧力室１５から隔てる役割も果たす。第１ピストンロッド１６がピストン１３に連結固定されている。第１ピストンロッド１６は、第１圧力室１４内を通るように、シリンダー１２外部から案内される。第１ピストンロッド１６は、圧力センサー８が第１ピストンロッド１６の圧力センサー８に対する押圧による圧縮力を測定可能なように、シリンダー１２の外部で圧力センサー８と協働する。
【００２１】
ピストン１３は、同じ面積を有するようになされた第１ピストン面１７と第２ピストン面１８とを有する。第１ピストン面１７は、第１圧力室１４に面するか又は露出している一方、第２ピストン面１８は、第２圧力室１５に面するか又は露出している。これに応じて、２つのピストン面１７，１８に対して互いに逆方向に向く圧縮力が、ピストン１３に作用するため、２つの圧力室１４，１５の間の差圧に相当する合力のみがピストン１３に作用し、その合力がピストン１３を押し動かし、それに伴って第１ピストンロッド１６を圧力センサー８に抗して押し動かす。
【００２２】
２つのピストン面１７，１８が、とりわけ単純な方法で、同じ面積に形成可能なように、ピストン１３は、シリンダー１２の外部から第２圧力室１５内を通って案内される第２ピストンロッド１９に連結固定される。これに伴い、２つのピストンロッド１６，１９は、互いにピストン１３の反対端となるように形成される。２つのピストンロッド１６，１９が同一の横断面２０を有することは有益である。２つのピストンロッド１６，１９はピストン１３と同軸上に配置され、２つのピストン面１７，１８は、各々のピストンロッド１６，１９の軸周りを環状に囲う環状面として形成される。ピストン面１７，１８の面積は、シリンダー１２の横断面２１からピストンロッド１６，１９各々の横断面２０を差し引くことによって得られる。ピストンロッド１６，１９の各々は、好ましくはピストン１３と一体になるように形成される。
【００２３】
ここで示される実施形態では、第２ピストンロッド１９は、シリンダー１２の外部でチャンバー２２に進入している。このチャンバー２２は、圧力センサー８の表面部２３に流体接続される。表面部２３は、圧力測定すべく第１ピストンロッド１６と協働する表面部２３である。チャンバー２２の表面部２３への流体接続によって、２つのピストンロッド１６，１９の軸端周辺では同じ圧力となるので、ピストン面１７，１８に作用する差圧のみが、ピストン１３を押し動かす。チャンバー２２を、圧力センサー８の表面部２３に流体接続するために、２つのピストンロッド１６，１９は中空ロッドとして、またピストン１３は中空ピストンとしてそれぞれ形成される。その結果、チャンバー２２は、２つのピストンロッド１６，１９及びピストン１３を介して、圧力センサー８の表面部２３と流体接続出来る。
【００２４】
チャンバー２２と第２圧力室１５との間には、第２ピストンロッド１９と協働するシール部材２４を設けることが出来る。このシール部材２４は、特に、スロットルシールギャップとして機能するフラットシールとして設計可能である。こうしたフラットシールは、例えば、互いに協働する２つの合わせ面によって形成可能である。加えて、圧力センサー８と第１圧力室１４との間に、第１ピストンロッド１６と協働する少なくとも１つのシール部材２５を設けることが出来れば有益である。このシール部材２５も、２つの合わせ面によって実現されかつスロットルシールギャップとして機能するフラットシールの形態で形成出来れば有益である。２つの圧力室１４，１５の圧力レベルは、高い場合もあるが、２つのシール部材２４，２５によってチャンバー２２と表面部２３とに、非常に限られた範囲でのみ影響を及ぼすか、或いは全く及ぼさない。結果として、環状の軸受け２６によって第１ピストンロッド１６と圧力センサー８との間に生じる差圧は小さな値であり、２つの圧力室１４，１５間の差圧の測定においては実質的に重要ではないと推測出来る。
【００２５】
第１ピストンロッド１６は、２つの圧力室１４，１５が同じ圧力であるとき（例えば濾過装置１の動作前にあるとき）の初期状態において、圧力センサー８上に支持され得る。この支持は緩く、力や圧力を与えない。
【００２６】
差圧測定装置７を実現するために、シリンダー１２と、第１圧力室１４に流体接続される第１圧力接続部２８と、第２圧力室１５に流体接続される第２圧力接続部２９とを有するハウジング２７を備えることも可能である。このハウジング２７は、圧力センサー８を収容するための収容部３０をも有する。この収容部３０は、ねじ込み式閉止栓３１によって閉止可能であり、この結果、ハウジング２７内で、圧力センサー８の位置固定と初期荷重とを同時に実現することが可能となる。圧力センサー８と評価装置９との間の電気的な接続を、閉止栓３１を通じてもたらすことが可能である。チャンバー２２は、ハウジング２７内部において、シリンダー１２に挿入されたカバー３２内に形成される。第２圧力接続部２９も、ここで示される例ではカバー３２内に形成される。
【００２７】
第１圧力接続部２８は、濾過装置１の動作時に第１圧力室１４に清浄側の圧力が及ぶように、濾過室２の清浄側５に取り付けられる。第２圧力接続部２９は、濾過装置１の動作時に第２圧力室１５に流入側の圧力が及ぶように、濾過室２の流入側４に取り付けられる。
【００２８】
ここに示される差圧測定装置７は、以下の様に動作する。
【００２９】
濾過装置１の動作時に、不純物を含んだ流入側の供給流３３が、流入側４に供給される。その流れが濾材３を通過する際に圧力が低下し、不純物が概ね取り除かれた清浄側の排出流３４が、清浄側５から排出される。供給流３３及び排出流３４の圧力レベルは比較的高く、例えば約２００バール程度になり得る。より高い流入側圧力が第２圧力室１５にも及ぶ一方、より低い清浄側圧力が第１圧力室１４にも及ぶ。２つのピストン面１７，１８の面積が等しいため、流入側４と清浄側５との間の差圧に対応する力のみが、結果的にピストン１３にもたらされる合力となる。この合力が、圧力センサー８の方向へとピストン１３を押し動かす。ピストン１３は、第１ピスンロッド１６を介して圧力センサー８上に支持されているから、ピストン１３にもたらされる合力に由来する圧縮力は、第１ピストンロッド１６を経由して圧力センサー８へと導かれる。例えば、流入側４と清浄側５との間の差圧は、各系への供給流量の不足や濾材３の損傷を防止するために、わずか２０バール又は５バール程度である。それに伴って、圧力センサー８は、２０バール又は５バールを絶対圧の測定上限とするように設計されなければならない。圧力センサー８の通常の測定精度は、圧力測定において想定される測定範囲の約１％に相当するから、２０バールを測定上限とした設計には±０．２バールに相当する測定誤差が、５バールを測定上限とした設計には±０．０５に相当する測定誤差がそれぞれ生じる。
【００３０】
従って、各々が比較的高い圧力レベルにある２つの圧力間の差圧を測定しなければならないという事実にも拘わらず、ここに示された差圧測定装置７は極めて精密に動作する。
【００３１】
評価装置９は、圧力センサー８の測定信号から、測定差圧及びこれと相関する濾材３の汚染度を決定する。許容出来ない程高い差圧や汚染度が得られた場合は直ちに、それに応じた警告信号をディスプレイ装置１１を介して出力することが出来る。原理的には、装置系の緊急停止をさらに想定できる。しかしながら、差圧や汚染度に対する限界値を逐次変化させて、異なる測定を行う様な、階層的に連なった測定を行うことが好ましい。
【図１】
2013528803.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成24年8月4日(2012.8.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダー（１２）内に往復動可能に配置され、該シリンダー（１２）内において第１圧力室（１４）を第２圧力室（１５）から隔てるピストン（１３）と、
上記ピストン（１３）に連結固定され、上記シリンダー（１２）の外部から上記第１圧力室（１４）を通って案内される第１ピストンロッド（１６）と、
圧力センサー（８）とを備え、
上記圧力センサー（８）は、上記第１ピストンロッド（１６）の該圧力センサーに対する押圧による圧縮力を測定するために、上記シリンダー（１２）の外部で該第１ピストンロッド（１６）と協働するものであり、
上記ピストン（１３）に連結固定される第２ピストンロッド（１９）を更に備え、
上記第２ピストンロッド（１９）は、上記シリンダー（１２）の外部から上記第２圧力室（１５）を通って案内されるとともに、上記シリンダー（１２）の外部においてチャンバー（２２）に進入しており、
上記チャンバーは、上記第１ピストンロッド（１６）と協働する上記圧力センサー（８）の表面部（２３）に対して流体接続されていることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項２】
請求項１記載の差圧測定装置において、
上記ピストン（１３）は、
上記第１圧力室（１４）に露出する第１ピストン面（１７）と、
上記第２圧力室（１５）に露出する第２ピストン面（１８）と、
を備え、
上記第１ピストン面（１７）と上記第２ピストン面（１８）とが同じ面積であることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の差圧測定装置において、
上記第１及び第２ピストンロッド（１６，１９）が同じ横断面（２０）を有することを特徴とする差圧測定装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載の差圧測定装置において、
上記第１及び第２ピストン面（１７，１８）が、それぞれ上記ピストンロッド（１６，１９）を環状に囲うことを特徴とする差圧測定装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載の差圧測定装置において、
上記チャンバー（２２）は、上記第１及び第２ピストンロッド（１６，１９）並びに上記ピストン（１３）を介して、上記表面部（２３）に流体接続されていることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１つに記載の差圧測定装置において、
上記チャンバー（２２）と上記第２圧力室（１５）との間に、上記第２ピストンロッド（１９）と協働する少なくとも１つのシール部材（２４）が設けられていることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１つに記載の差圧測定装置において、
上記圧力センサー（８）と上記第１圧力室（１４）との間に、上記第１ピストンロッド（１６）と協働する少なくとも１つのシール部材（２５）が設けられていることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１つに記載の差圧測定装置において、
上記第１ピストンロッド（１６）は、上記第１及び第２圧力室（１４，１５）が同じ圧力下にある初期状態において、圧力センサー（８）に支持されることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１つに記載の差圧測定装置において、
上記第１圧力室（１４）に流体接続された第１圧力接続部（２８）と上記第２圧力室（１５）に接続された第２圧力接続部（２９）とを有するとともに、上記シリンダー（１２）を収容するハウジング（２７）を更に備えていることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項１０】
請求項９記載の差圧測定装置において、
上記圧力センサー（８）及び／又は上記チャンバー（２２）は、上記ハウジング（２７）内に配置可能であることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項１１】
濾過装置（１）用の汚染監視装置であって、
上記濾過装置（１）は、該濾過装置（１）の濾過室（２）内において流入側（４）を清浄側（５）から隔てる濾材（３）を備え、
上記汚染監視装置（６）は、請求項１〜１０のいずれか１つに記載の差圧測定装置（７）を備え、
上記第１圧力室（１４）は、上記清浄側（５）に流体接続可能であり、
上記第２圧力室（１５）は、上記流入側（４）に流体接続可能であり、
上記圧力センサー（８）に、上記差圧に応じて上記濾材（３）の汚染度を決定する評価装置（９）が接続されていることを特徴とする汚染監視装置。
【請求項１２】
濾過室（２）内において流入側（４）を清浄側（５）から隔てる濾材（３）と、
請求項１〜１０のいずれか１つに記載の差圧測定装置（７）とを備え、
上記第１圧力室（１４）は、上記清浄側（５）に流体接続され、
上記第２圧力室（１５）は、上記流入側（４）に流体接続されていることを特徴とする濾過装置。
【国際調査報告】
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