(57)【要約】  これらの例示的実施形態によるシステムおよび方法が、遠心圧縮機用シール機構を提供する。シール機構は、順に配置された第１のドライガスシール、第２のドライガスシールおよび第３のドライガスシールを含む。各シールはそれ自体のシールガスを受け、それ自体の通気機構を有する。シールガス圧力が依然として十分に低い状態であるので、シールガスを供給するための専用の圧縮機は必要ではない。加えて、シールが故障した場合、処理ガスが大気中に放出される危険性は制限される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのインペラを含むロータ組立体と、
前記ロータ組立体に結合され、前記ロータ組立体を回転可能に支持するための軸受と、
ステータと、
前記ロータ組立体と前記軸受との間に配置されたシール機構と
を備え、前記シール機構が、
前記シール機構の内側近傍に配置され、第１の圧力で一次シールガスが供給される第１のドライガスシールと、
前記第１のドライガスシールに隣接して配置され、第２の圧力で第１のバッファガスが供給される第２のドライガスシールと、
前記第２のドライガスシールに隣接して配置され、第３の圧力でバッファガスが供給される第３のドライガスシールとを含む、
ターボ機械。
【請求項２】
前記一次シールガスが前記ターボ機構によって加圧されている処理ガスであり、前記一次バッファガスが燃料ガスであり、前記バッファガスが窒素である、請求項１記載のターボ機械。
【請求項３】
前記第１のドライガスシールの下流で回収された一次シールガスを前記ターボ機械内の回収システムに通気するように構成された第１の通気機構と、
前記第２のドライガスシールの下流で回収された一次バッファガスおよびバッファガスを前記ターボ機械に付随する燃焼部分に通気するように構成された第２の通気機構と、
前記第３のドライガスシールの下流で回収されたバッファガスを大気中に通気するように構成された第３の通気機構と
をさらに備える、請求項１又は２記載のターボ機械。
【請求項４】
前記ターボ機械から発生する前記処理ガスに付随する第１の圧力帯域が圧力Ｐ１を有し、前記第１の圧力帯域と前記第１のドライガスシールとの間に配置された第２の圧力帯域が圧力Ｐ２を有し、前記第１のドライガスシール内に配置された第３の圧力帯域が圧力Ｐ３を有し、前記第３の圧力帯域と前記第２のドライガスシールとの間に配置された第４の圧力帯域が圧力Ｐ４を有し、前記第２のドライガスシール内に配置された第５の圧力帯域が圧力Ｐ５を有し、前記第５の圧力帯域と前記第３のドライガスシールとの間に配置された第６の圧力帯域が圧力Ｐ６を有し、前記第３のドライガスシール内に配置された第７の圧力帯域が圧力Ｐ７を有し、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ４＞Ｐ３＞Ｐ６＞Ｐ５＞Ｐ７である、請求項１乃至３のいずれか１項記載のターボ機械。
【請求項５】
少なくとも１つのインペラを含むロータ組立体と、前記ロータ組立体に結合され、前記ロータ組立体を回転可能に支持するための軸受と、ステータとを有するターボ機械をシールするための方法であって、
前記ターボ機械によって加圧される処理ガスが、順に第１のドライガスシール、第２のドライガスシールおよび第３のドライガスシールの組合せを使用することにより前記軸受に到達しないように遮断するステップと、
前記第１のドライガスシールに一次シールガスを第１の圧力で供給するステップと、
前記第１のドライガスシールに隣接して配置された前記第２のドライガスシールに第２の圧力で一次バッファガスを供給するステップと、
前記第２のドライガスシールに隣接して配置された前記第３のドライガスシールに第３の圧力でバッファガスを供給するステップと
を含む方法。
【請求項６】
前記一次シールガスが調整された処理ガスであり、前記一次バッファガスが燃料ガスであり、前記バッファガスが窒素である、請求項５記載の方法。
【請求項７】
第１のドライガスシールに第１の圧力で第１のシールガスを供給するように構成されている第１のシールガス流入制御機構と、
第２のドライガスシールに第２の圧力で第２のシールガスを供給するように構成されている第２のシールガス流入制御機構と、
第３のドライガスシールに第３の圧力で第３のシールガスを供給するように構成されている第３のシールガス流入制御機構とを備え、
前記第１のシールガス、前記第２のシールガス、前記第３のシールガスが互いに異なる、ドライガスシール制御システム。
【請求項８】
前記第１のシールガスが処理ガスであり、前記第２のシールガスが燃料ガスであり、前記第３のシールガスが窒素である、請求項７記載のドライガスシール制御システム。
【請求項９】
前記第１の圧力、前記第２の圧力および前記第３の圧力のそれぞれが５１バール（Ｂａｒ）未満である、請求項７又は８記載のドライガスシール制御システム。
【請求項１０】
前記第１のシールガスを加熱、冷却およびろ過することの少なくとも１つを実施するために、前記第１のシールガス流入制御機構に付随する少なくとも１つのガス調整要素をさらに備える、請求項７乃至９のいずれか１項記載のドライガスシール制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、全体に圧縮機に関し、より具体的には、圧縮機内にドライガスシールシステムを提供することに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧縮機は、圧縮性の流体、例えばガスの粒子を、機械的エネルギーを使用することにより加速して、最終的に圧縮性流体の圧力を増加させる機械である。圧縮機は、ガスタービンエンジンの初段として運用することを含めて、多くの様々な用途に使用される。様々なタイプの圧縮機の中にいわゆる遠心圧縮機があり、遠心圧縮機では、ガス粒子を加速する遠心加速度によって、例えばガスが通過する遠心インペラを回転することによって、圧縮機に流入するガスに機械的エネルギーが作用する。より一般的には、遠心圧縮機は「ターボ機械」または「ターボ回転機械」として知られる機械の種類の一部であると言える。
【０００３】
遠心圧縮機は単一のインペラを備える、すなわち単段構成とすることができ、または直列の複数のインペラを備えることができ、その場合、圧縮機はしばしば多段式圧縮機と称される。遠心圧縮機の各段は、一般に、ガスが加速される入口導管、運動エネルギーを流入ガスに供給することができるインペラ、およびインペラを離れるガスの運動エネルギーを圧力エネルギーに転換するディフューザを含む。様々なタイプのガスが遠心圧縮機で使用されるが、その中のいくつかは、環境および／または工場内の労働者にとって有害または危険である。したがって、遠心圧縮機には、通常、インペラを支持する軸の端部に配置されるシールシステムを使用し、ガスが圧縮機から漏出し周辺環境を汚染することを防止する。単一ロータ遠心圧縮機は通常、このシールシステムの一部として２つの分離したシール、すなわち軸の各端部用に１つずつのシールを備えるが、しかしオーバーハング遠心圧縮機では、通常インペラのすぐ下流に配置された軸端部をシールすることで十分である。
【０００４】
最近、遠心圧縮機用シールシステムで、いわゆる「ドライ」ガスシールの使用が増加してきている。ドライガスシールは非接触型ドライランニングメカニカル面シールと説明されることがあり、それにはメイティングリングまたは回転環、およびプライマリリングまたは固定環が含まれる。作動中、回転環の溝が流体力学的力を生成し、それにより固定環が２つの環の間を分離し、２つの環の間に間隙を生成する。これらのシールは、潤滑油を必要としないので、「ドライ」と称され、特にメンテナンス要件を大幅に削減する。
【０００５】
遠心圧縮機用のそのようなドライガスシールは様々な構成で入手可能であり、例えば、流入ガスまたは処理ガスとして有毒または可燃性ガスを採用する圧縮機で主に使用される、いわゆるタンデム型構成で入手可能である。図１に示すように、タンデム型ドライガスシールシステムは、第１のシール２および第２のシール４を含み、両方が単一の収納容器内に包含されている。圧縮機の通常の作動中、第１のシール２は処理済みガスの総圧力を含むように作動するが、一方、第２のシール４は、第１のシール２が故障または過度に漏出する場合に限り作動するように設計されたバックアップとして作動する。一般に、圧縮機排出口から発生する調節されたガス流はシール２の上流に注入されて、ドライガスシールを処理ガスから分離する。非常に有害な処理ガス（例えば、高容量の硫化水素（Ｈ2Ｓ）を含むガス）および高いシール圧力を有する応用例では、低用量の硫黄を含む外部シールガス供給源、例えば、いわゆる「スイート（ｓｗｅｅｔ）」ガスが通常提供されて、処理ガスを周辺環境から分離する。高いシール圧力に起因して、遠心圧縮機から独立して作動する専用の往復圧縮機６が、シールガスシステムに供給するために使用される。タンデム型の第２のシール４は、より低い圧力（例えば、１０バール未満）の窒素を二次シールガスとして供給源８を介して受け取ることができて、有害／可燃性ガスが周囲にまったく漏れないことを保証する。
【０００６】
したがって、これらのタイプのドライガスシールシステムを装備する遠心圧縮機は、シールガスを提供することだけがその役目である追加の圧縮機もまた必要とするので、システム全体がますます複雑なものになる。単に複雑さが増すことに加えて、往復圧縮機６は、それらが貢献しようとする遠心圧縮機よりもメンテナンス要件が大きい可能性がある。さらに、タンデム型構成の第２のシール４がバックアップ能力を提供しても、やはり現在のドライガスシールシステムに欠陥があり、その場合は不都合なことに、大気中にある量のシールガスを放出することがある。
【０００７】
したがって、既存のシールシステムの上述の欠点を克服する、圧縮機用低排出ドライガスシールを設計し、提供することが望まれている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】TCHIGIQUE B: “GARNITURES GAZ PHILOSOPHIE D’ INSTRUMENTATION”,PETROLE ET TECHNIQUES, ASSOCIATION FRANCAISE DES TECHNICIENS DU PETROLE. PARIS, FR,no. 370, 1 February 1992 (1992-02-01),pages 42-47, XP000263671,ISSN: 0152-5425 figures 10-12
【発明の概要】
【０００９】
例示的実施形態により、例えば、遠心圧縮機用に使用可能であるシール機構を提供する。シール機構は、順に配置された第１のドライガスシール、第２のドライガスシールおよび第３のドライガスシールを含む。各シールはそれ自体のシールガスを受け、それ自体の通気機構を有する。処理ガスを通気システムから分離するシールガス圧力が依然として十分に低い状態であるので、シールガスを供給するための専用の圧縮機は必要ではない。本明細書に記載された例示的実施形態による有利な点には、例えば、潜在的に危険な処理ガスを良好に制御し、遠心圧縮機用シール機構に付随する複雑さ、およびメンテナンス要件を削減することが含まれる。しかし、当業者なら、そのような利点が１つまたは複数の添付の特許請求の範囲に明確に列挙される場合を除き、本発明を制限するものとして解釈するべきではないことを理解するであろう。
【００１０】
一実施形態によると、遠心圧縮機が、少なくとも１つのインペラを含むロータ組立体と、ロータ組立体に結合され、ロータ組立体を回転可能に支持するための軸受と、ステータと、ロータ組立体と軸受との間に配置されたシール機構とを備え、シール機構が、シール機構の内側近傍に配置され、第１の圧力で一次シールガスが供給される第１のドライガスシールと、第１のドライガスシールに隣接して配置され、第２の圧力で一次バッファガスが供給される第２のドライガスシールと、第２のドライガスシールに隣接して配置され、第３の圧力でバッファガスが供給される第３のドライガスシールとを含む。
【００１１】
別の実施形態によると、少なくとも１つのインペラを含むロータ組立体と、ロータ組立体に結合され、ロータ組立体を回転可能に支持するための軸受と、ステータとを有する遠心圧縮機をシールするための方法が、遠心圧縮機によって加圧される処理ガスが、順に第１のドライガスシール、第２のドライガスシールおよび第３のドライガスシールの組合せを使用することにより軸受に到達しないように遮断するステップと、第１のドライガスシールに一次シールガスを第１の圧力で供給するステップと、第１のドライガスシールに隣接して配置された第２のドライガスシールに第２の圧力で一次バッファガスを供給するステップと、第２のドライガスシールに隣接して配置された前記第３のドライガスシールに第３の圧力でバッファガスを供給するステップと
を含む。
【００１２】
添付の図面が例示的実施形態を図示する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】タンデム型シール機構の図である。
【図２】例示的実施形態によるシール機構を備えた多段式遠心圧縮機の概略図である。
【図３】例示的実施形態によるシール機構で使用される例示的ドライガスシールの部分断面図である。
【図４】例示的実施形態による３つのドライガスシールを含むシール機構の断面図である。
【図５】例示的実施形態による流入および流出流体制御を含むシール機構の図である。
【図６】例示的実施形態による圧縮機をシールするための方法を示す流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
例示的実施形態の以下の詳細な説明は添付の図面を参照する。異なる図面の同じ参照符号は同じまたは類似の要素を特定する。加えて、以下の詳細な説明は本発明を限定しない。その代わりに、本発明の範囲は添付の特許請求の範囲によって定義される。
【００１５】
これらの例示的実施形態によるシールシステムに関連して、次に考察するある状況を提供する目的で、図２はそのようなシールシステムが採用され得る多段式遠心圧縮機１０を概略的に図示する。図２では、圧縮機１０がボックスまたは筺体（ステータ）１２を含み、その内部には回転圧縮機軸１４が取り付けられ、回転圧縮機軸１４は複数の遠心インペラ１６を備える。ロータ組立体１８は、軸１４およびインペラ１６を含み、ロータ組立体１８の両側に配置されている軸受２０によって半径方向および軸方向に支持される。
【００１６】
多段式遠心圧縮機は、ダクト入口２２から流入処理ガスを取り入れ、処理ガスの粒子をロータ組立体１８の作動により加速し、次いで流入圧力よりも高い流出圧力で出口ダクト２４から処理ガスを配送するように作動する。処理ガスは、例えば、二酸化炭素、硫化水素、ブタン、メタン、エタン、プロパン、液化天然ガスまたはその組合せの任意の１つであってよい。シールシステム２６が、インペラ１６と軸受２０との間に設けられて、処理ガスが軸受２０に流れることを防止する。筺体１２は、軸受２０およびシールシステム２６の両方を被覆して、ガスが遠心圧縮機１０から漏出することを防止するように構成される。さらに図２では、インペラ１６によって生成された軸方向推力を補填するバランスドラム２７、バランスドラムのラビリンスシール２８、およびバランスドラム２７の外側の圧力を処理ガスがダクト２２を介して流入する圧力と同じ水準に維持するバランスライン２９が見られる。
【００１７】
例示的実施形態によると、各シールシステム２６は３つのドライガスシールを含み、それらは一体に協動して処理ガスが軸受２０の方に漏出することを封止する。一般的に言えば、シールシステム２６の各３つのドライガスシールは、例えば図３に示すように実施することができる。図３では、ドライガスシール３０が圧縮機軸１４上に固定されて、ガス流路３２に沿った、遠心圧縮機１０の内側から外側への処理ガスの流れを遮断する。各ドライガスシール３０は、圧縮機軸と共に回転し、固定環３６に対合する回転台３４を含む。作動中、回転台３４および固定環３６の少なくとも１つに形成された溝が、溝内にポンプで注入された加圧された流体を有し、加圧された流体は、固定環３６を回転台３４から分離させる流体力学的力を生成する効果を有する。これにより２つの環の間に間隙が生じ、その組合せが処理ガスの漏出を概ね防止するシールとして作動し、回転台３４と固定環３６との間に摩擦は存在しない。これらのタイプのドライガスシールの実施例は、米国特許第５，４９２，３４１号および第５，５２９，３１５号に見出すことができ、その開示は本明細書に参照として組み入れるものである。
【００１８】
図４は、例えば、例示的実施形態による３組のドライガスシールシステム２６を有する遠心圧縮機などの回転式機械の部分を図示する。図４では、３組のドライガスシールシステム２６が、圧縮機軸１４に沿って順に配置された３つの個別のドライガスシール４０、４２および４４を含む。この例示的実施形態では、ラビリンスシール４５が３組のドライガスシールシステム２６の上流に（インペラ近傍内側に）配置され、バリアシール４８が３組のドライガスシールシステム２６の下流に（すなわち軸受２０近傍外側に）配置されるが、当業者ならこの特定の構成が単に例示に過ぎず、ラビリンスおよび／またはバリアシールが他の実施形態から省かれてもよいことを理解するであろう。３つのドライガスシール４０、４２および４４のそれぞれは、各シールガス用にそれぞれ入口および出口を有する。より具体的には、第１段（一次）シール４０は入口４６および出口４８を有し、第２段（二次）シール４２は入口５０および出口５２を有し、第３段（三次）シール４４は入口５４および出口５６を有する。同様に、３つのドライガスシール４０、４２および４４のそれぞれは、回転台５８、６２、および６６ならびに固定環６０、６４および６８をそれぞれ有し、３つのドライガスシール４０、４２および４４のそれぞれは、処理ガスに付随する最大シール圧力に対処するように設計されている。
【００１９】
図５は、例示的実施形態による３組のドライガスシールシステム２６を流体圧力の観点から示す。図５では、この例示的実施形態により、一次シール段４０には、シールガスとして調整された（すなわち、適切にろ過、加熱および制御された）処理ガスが供給される。このシールガスは、例えば、７０〜４００バール（Ｂａｒ）の圧力で配送され、例えば３００バールの処理ガスよりも高い圧力で、圧力制御バルブ（ＰＶＣ）７０および付随するガス調整要素７２（図５に示す加熱器およびろ過器に必ずしも限定されず、例えば、冷却要素または他のガス調節要素を追加要素または代替要素として設けることができる）を介して第１のシール４０に供給することができる。シールガスは、すべての作動状態（例えば、加圧、起動、通常作動、停止など）で調整されたガスの流れを保証するために、ＰＣＶ７０によって流量または差圧が自動的に制御される。
【００２０】
この例示的実施形態によると、二次シール段４２が燃料ガスまたは他の適切なスイートガス供給源を第１のバッファガスとして供給され、一次バッファガスは圧力制御バルブ７４および付随するガス調整要素７６を介して、例えば、２０バールでドライガスシール４２に供給される。一次バッファガス（通常、スイート燃料ガスまたはプラントで利用できる他の適切なガス）は、サワーシールガスとスイートシールガスとを明確に分離することを保証する方法で、ＰＣＶ７４を介して圧縮機１０に注入される（例えば、図４の入口５０を介して）。同様に、三次シール段４４は、供給源からそのバッファガスとして窒素を供給され、その供給源は、ガスを４〜１０バールの圧力、例えば燃焼システム圧力よりも高い圧力でガスを配送し、ＰＣＶ７８および付随するガス調整要素８０によって４バールで第３のドライガスシール４４に制御可能に供給されることができる。しかし、この第３のドライガスシール４４に窒素を供給することは任意選択であり、したがって、第３のドライガスシール４４へのガス通路要素７９は省略することができることに留意されたい。さらに、バッファガス（この実施例では窒素）はまた、バリアシール８１に供給されることもある。
【００２１】
上記の、または図５に図示する具体的なガス圧力が単なる例示に過ぎず、他の圧力が使用されてもよいことを当業者なら理解するであろう。より一般的には、シールシステム２６を通るガス圧力は、図に図示した圧力帯を参照すると、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ４＞Ｐ３＞Ｐ６＞Ｐ５＞Ｐ７であり、圧力の段階的減少が帯域によって示されるように全体的に設定されるべきである。しかし、これらの圧力の値は例示的であるが、これらの値は十分低く、例えば、制限しない実施例の供給圧力は、１〜５０バール、または言い換えれば５１バール未満の範囲であるので、どのシールガス供給源も、シールガスを供給するための補助（例えば、往復式）圧縮機を用意する必要がないほどであることに留意されたい。これにより、例示的実施形態が、従来の圧縮機システムよりコスト効率が高く、メンテナンスをあまり必要としないものになる。
【００２２】
図５はまた、シールシステム２６の３つのシール段の最初の２つのそれぞれのための、圧力制御された通気機構を図示する。例えば、一次シール４０は、一次シール４０から漏出する処理ガスを回収システムに戻す通気機構８２を含む。通気機構８２は特に、シールガス圧力に所与の適切な圧力水準、この実施例では１０バールに設定された任意選択のＰＣＶ８４を含む。回収されたシールガス通気機構８２はまた、返却流路に沿って流量および圧力の変動（高い、または低い）を監視することができる流量および圧力監視計測器を装備し、その計測器のパラメータはシールの機能不良を示すことができる。これらの値を検出し、システム警告信号または停止信号を生成するために使用することができる。次いで、回収された処理ガスは回収システムに送られ、処理ガスループに注入される。
【００２３】
同様に、二次シール４２は通気機構８６を装備する。この例示的実施形態によると、一次通気は回収されたガス通気と同様に、流量および圧力監視計測器ならびにＰＣＶ８８を装備されて、圧力を定義された範囲内に保つ。この圧力は、通気機構８６が通気する、プラント燃焼システムで使用される圧力よりも高い圧力に設定することができる。流量および圧力の変動（高い、または低い）は、二次シール通気システム８６内の警告信号または停止信号を検出し、生成するために使用されることもできる。三次シール４４もまた通気機構９０を有し、通気機構９０は、シール機構２６の故障の場合に、高い背圧を回避するように寸法を合わせて作成され、窒素（または一次バッファガス）を大気中に通気する。
【００２４】
したがって、一例示的実施形態によると、少なくとも１つのインペラを含むロータ組立体と、ロータ組立体に結合され、ロータ組立体を回転可能に支持するための軸受と、ステータとを有する遠心圧縮機をシールするための方法が、図６の流れ図に示される方法ステップを含む。図６では、ステップ１００で、遠心圧縮機によって加圧された処理ガスが、順に第１のドライガスシール、第２のドライガスシールおよび第３のドライガスシールを使用することにより、軸受に到達しないように遮断される。この方法はさらに、第１のドライガスシールに一次シールガスを第１の圧力で供給するステップ（ステップ１０２）と、第１のドライガスシールに隣接して配置された第２のドライガスシールに第２の圧力で一次バッファガスを供給するステップ（ステップ１０４）と、第２のドライガスシールに隣接して配置された第３のドライガスシールに第３の圧力でバッファガスを供給するステップとを含む。
【００２５】
したがって、上記に基づいて、例示的実施形態が、潜在的に危険な処理ガスが大気中に放出されることを防止することができ、または少なくともその可能性がほとんどないようにする、遠心圧縮機用シール機構を提供することが分かるであろう。このシール機構は、例えば、硫化水素（Ｈ2Ｓ）などの処理ガスが存在する場合、特に有益である。加えて、これらの例示的実施形態は、ドライガスに対して実質的に不通気性である、遠心圧縮機用シール機構を生成し、その遠心圧縮機には非常に加圧されたシールガス生成専用の別の圧縮機が存在する必要はない。さらに、上記の例示的実施形態で図示し、説明したシール機構は３つのドライガスシールを有するが、他の例示的実施形態により、順に提供される４つ以上のドライガスシールもまた使用可能であることが理解されるであろう。
【００２６】
上記の例示的実施形態はすべての点において、本発明を制限するのではなく、本発明を例示するものであると意図する。したがって、本発明は、本明細書に含まれる説明から導き出すことができる詳細な実施で、多くの変形形態が当業者によって可能である。すべてのそのような変形形態および修正形態は、添付の特許請求の範囲によって定義される本発明の範囲および精神の範囲内であると考えられる。明確に定義しない限り、本出願の記載で使用されるすべての要素、作用または教示は、本発明に重要であり、または必須であるとして制限されるべきではない。加えて、本明細書に使用されると、冠詞「ａ」は１つまたは複数の項目を含むと意図するものである。
【符号の説明】
【００２７】
２  第１のシール
４  第２のシール
６  往復圧縮機
８  窒素供給源
１０  圧縮機
１２  筺体
１４  圧縮機軸
１６  インペラ
１８  ロータ組立体
２０  軸受
２２  ダクト入口
２４  出口ダクト
２６  シールシステム
２７  バランスドラム
２８  ラビリンスシール
２９  バランスライン
３０  ドライガスシール
３２  ガス流路
３４  回転台
３６  固定環
４０  第１のドライガスシール
４２  第２のドライガスシール
４４  第３のドライガスシール
４５  ラビリンスシール
４６  入口
４８  出口
４８  バリアシール
５０  入口
５２  出口
５４  入口
５６  出口
５８  回転台
６０  固定環
６２  回転台
６４  固定環
６６  回転台
６８  固定環
７０  圧力制御バルブ（ＰＶＣ）
７２  ガス調整要素
７４  圧力制御バルブ（ＰＶＣ）
７６  ガス調整要素
７８  圧力制御バルブ（ＰＶＣ）
７９  ガス通路要素
８０  ガス調整要素
８１  バリアシール
８２  通気機構
８４  圧力制御バルブ（ＰＶＣ）
８６  通気機構
８８  圧力制御バルブ（ＰＶＣ）
９０  通気機構
【図１】
2013511662.tif 000003
【図２】
2013511662.tif 000004
【図３】
2013511662.tif 000005
【図４】
2013511662.tif 000006
【図５】
2013511662.tif 000007
【図６】
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【国際調査報告】
2013511662.tif 000009
2013511662.tif 000010
2013511662.tif 000011