(57)【要約】  本発明は、化学的および／または電気化学的な処理、特に導電性の層の無電解めっきするための装置（８）内においてプレート状の基板（１０）を搬送するための装置であって、該装置（８）が、回転する少なくとも１つの搬送エレメント（１４）を有していて、該搬送エレメント（１４）が、少なくとも部分的に鉱物ガラスから成っていて、搬送エレメント（１４）の搬送部分（２０）が、プレート状の基板（１０）のための回転対称的な少なくとも１つの載置エレメント（３４；４４）により形成されていて、載置エレメント（３４；４４）が、搬送エレメント（１４）上に被せ嵌められているか、または収縮嵌めされていることを特徴とする、化学的および／または電気化学的な処理のための装置に関する。
2013518186.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
化学的および／または電気化学的な処理、特に導電性の層の無電解めっきのための装置（８）内においてプレート状の基板（１０）を搬送する装置であって、該装置（８）が、回転する少なくとも１つの搬送エレメント（１４）を有していて、該搬送エレメント（１４）が、少なくとも部分的に鉱物ガラスから成っていて、搬送エレメント（１４）の搬送部分（２０）が、回転対称的な少なくとも１つの載置エレメント（３４；４４）によってプレート状の基板（１０）のために形成されていて、載置エレメント（３４；４４）が、搬送エレメント（１４）上に被せ嵌められているか、または収縮嵌めされていることを特徴とする、化学的および／または電気化学的な処理のための装置内においてプレート状の基板を搬送するための装置。
【請求項２】
搬送エレメント（１４）が、当該搬送エレメント（１４）を回転可能に支承するための、少なくとも部分的に鉱物ガラスにより形成された少なくとも１つの支承手段（２２）と、プレート状の基板（１０）に対する面状または線形の少なくとも１つの接触領域を備えた少なくとも１つの搬送部分（２０）とを有している、請求項１記載の装置。
【請求項３】
搬送エレメント（１４）が、軸、シャフト基部（２４）もしくはシャフト（４２）を有していて、該軸、シャフト基部（２４）もしくはシャフト（４２）が、鉱物ガラスを有し、かつ／または少なくとも部分的に鉱物ガラスから製造されていて、かつ少なくとも部分的に支承手段（２２）を形成している、請求項１または２記載の装置。
【請求項４】
軸、シャフト基部（２４）もしくはシャフト（４２）が、少なくとも部分的にガラスロッドまたはガラス管（３０）により形成されていて、該ガラス管（３０）が、少なくとも一方の側で閉じられた端面（３２）を有している、請求項３記載の装置。
【請求項５】
搬送部分（２０）が、ローラ（３６）または管の形態の、搬送エレメント（１４）の回転対称な中央部分を有していて、該ローラ（３６）／管が、両端面（２８）で、１つもしくは複数の支承手段（２２）のシャフト基部（２４）のための収容区分をそれぞれ有している、請求項１記載の装置。
【請求項６】
中央部分もしくは搬送部分（２０）の直径が、１つまたは複数の支承手段（２２）のシャフト基部（２４）の直径よりも大きく形成されている、請求項１または請求項５記載の装置。
【請求項７】
シャフト基部（２４）、および／または中央部分もしくは搬送部分（２０）の少なくとも表面が、鉱物ガラスから成っている、請求項５または６記載の装置。
【請求項８】
隣り合う２つの載置エレメント（４４）の側方の縁部の間の間隔が、約３００ｍｍよりも小さな値を有している、請求項１から７までのいずれか１項記載の装置。
【請求項９】
載置エレメントが、互いに対して表面接触しておらず、その幾何学形状に関して、小型ホイールおよび／またはディスクおよび／またはローラとして形成されている、請求項１から８までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１０】
ガラスの、媒体に接触する箇所における表面粗さが、１μｍよりも小さな値を有している、請求項１から９までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１１】
少なくとも１つの搬送エレメント（１４）が、特にシャフト基部（２４）の少なくとも１つに配置された回転伝動エレメントもしくは駆動ホイール（５０）を介して駆動されている、請求１から１０までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１２】
搬送エレメント（１４）が、支承手段収容部（２６）内に回転可能に配置されていて、支承手段収容部（２６）が、１つの通路に流体接続されている、請求項１から１１までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１３】
それぞれ対になって互いに上下に配置された、請求項１から１２までのいずれか１項記載の回転する多数の搬送エレメント（１４）を備えた輸送装置であって、該搬送エレメント（１４）の間を通って各プレート状の基板（１０）が移動可能であることを特徴とする、輸送装置。
【請求項１４】
請求項１から１２までのいずれか１項記載の装置もしくは請求項１３に記載の輸送装置により基板を搬送することを特徴とする、基板を処理するための方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１に記載の特徴を有する、化学的および／または電気化学的な処理、特に導電性の層を無電解めっきのための装置内でプレート状の基板を搬送するための装置に関する。
【０００２】
プレート状の基板を化学的または電気化学的に処理するためには処理装置が用いられる。処理装置では基板が処理槽に輸送され、この場合、たとえば金属のコーティング、特に銅が、フィルムまたはプレート状の基板の表面に析出され得る。プレート状の基板は、たとえばウェハ、ソーラセル、可撓性フィルム、特にプリント回路基板およびプリント回路フィルムのようなプリント配線板であってよい。プレート状の基板は、たとえば水平方向に輸送される。この場合、基板は、回転する同一の多数の搬送エレメントの間を輸送される。これらの搬送エレメントは駆動装置を使用することができ、搬送エレメントは、同時にプレート状の基板のための載置部と、輸送駆動装置とを成している。回転する各搬送エレメントは、２つの側で支承された回転するシャフトにより形成されている。シャフトは、プレート状の基板が接触しかつ輸送される円柱形の外周面を有しているか、またはたとえばその長さにわたって、ディスク状で円柱状の、プレート状の基板のための載置エレメントを有している。この載置エレメント上にプレート状の基板の下面が載置するか、もしくは載置エレメントが、基板の上面に当て付けられる。ペアの軸部もしくはシャフトは、真っ直ぐにかつ平行に配置されていなければならず、これにより、基板の上面および下面に対する接触面が、正確に互いに一致し、これによって、プレート状の基板の曲げおよび変形ならびにシャフトの偏心的な回転運動を可能な限り小さく維持することができる。
【０００３】
回転する搬送エレメントならびに槽に接触する全ての構成部材は、出来るだけ化学的に不活性であり、したがって化学的な作用に対して耐性であり、槽溶液と相互作用してはならない。特に、処理槽からの金属の析出を阻止することが望ましい。したがって、従来、シャフトのためには、たとえばＧｆＫ（ガラス繊維強化樹脂）またはＣｆＫ（炭素繊維強化樹脂）のようなプラスチックまたは貴金属またはチタン合金が使用されているのに対して、ディスク状の載置エレメントは、通常は適当な熱可塑性プラスチックから成っている。従来使用された、ＧｆＫまたはＣｆＫから成る軸もしくはシャフトにおける問題は、特に、これらの材料において微細な破片が剥離して、槽を汚染し得ることにより引き起こされる。さらに、コーティングされていない金属軸でも、顕著な、かつ場合によっては迅速に進行する金属析出が生じ得る。コーティングされた軸では、層厚さの均一さが大きな誤差を受けるという問題がある。
【０００４】
本発明の課題は、化学的に不活性であり、機械的に負荷可能な、回転する搬送エレメントを高い同心度（Rundlauf）で提供することであり、この場合、該搬送エレメントが、高いコーティング品質および製品品質を保証するために、プレート状の基板を正確にガイドし輸送することができるようにする。
【０００５】
この課題は、請求項１の特徴部に記載の特徴により解決される。本発明の有利な変化形の特徴は、請求項２以下に記載されている。課題を解決するために、本発明は、化学的または電気化学的な処理のための装置内でプレート状の基板を搬送するための装置を提案する。この装置は、特に導電性の層を無電解めっき（電気を使わずに析出する）するために働く。したがって、本発明は、プレート状の基板のための搬送装置の回転する搬送エレメントを含む。搬送装置は、化学的または電気化学的な処理装置の一部である。この場合、輸送は、有利には規定された輸送方向で行われる。この場合、複数の、同様に回転する別の搬送エレメントが一緒にプレート状の基板のための載置部を提供し、プレート状の基板は搬送方向で回転する搬送エレメント上を移動させられる。本発明によれば、回転する１つもしくは複数の搬送エレメントは、少なくとも部分的に鉱物ガラスから成っている。
【０００６】
本発明による装置の有利な態様によれば、搬送エレメントは、搬送エレメントを回転可能に支承するための少なくとも１つの支承手段と、プレート状の基板に対する面状または線形の少なくとも１つの接触領域を備えた少なくとも１つの搬送部分とを有している。搬送部分も支承手段も、それぞれ少なくとも部分的に鉱物ガラスから形成されていてよい。搬送エレメントは、軸もしくはシャフトを有していて、軸もしくはシャフトは、鉱物ガラスを含んでいて、かつ／または少なくとも部分的に鉱物ガラスから製造されていて、少なくとも部分的に支承手段を形成している。軸もしくはシャフトは、少なくとも部分的にガラスロッドまたはガラス管により形成されていてよい。ガラス管の使用時に、ガラス管が有利には両側で閉じられた端部を有している。
【０００７】
さらに、搬送エレメントの搬送部分は、プレート状の基板のための少なくとも１つの回転対称な載置エレメントにより形成されていてよい。これによって、搬送エレメントは、たとえば基板のための回転対称な載置エレメントを有していてよい。有利な変化形は、搬送部分が、ローラ（円柱体）または管の形態の回転対称な中央部分を有していて、ローラまたは管が、両端面において、１つもしくは複数の支承手段のシャフト基部（スタブシャフト）のための収容区分をそれぞれ有していることにある。ローラ自体は、その直径において、たとえば僅かに減径された中心領域によって段付けされて形成されていてよく、中心領域は、両側の外側縁部よりも、たとえば約０．０５〜１ｍｍ、有利には０．１〜０．３ｍｍだけ小さな直径を有していてよい。外側縁部は、より小さな直径を有する、該外側縁部にそれぞれ接続するシャフト基部もしくは支承手段に隣接している。これによって、プレート状の基板は、単に縁部側で、外側に位置する縁部上で搬送されるのに対して、基板の極めて大きな面積は、減縮された、もしくは僅かに縮径された中心の領域の上方に配置されていて、十分に無接触に搬送されることが確実にされ得る。ローラのこのような変化形によって、たとえばプリント配線版のためのベース材料として働くいわゆる加工素材の無接触の搬送が可能にされている。なぜならば、後に取り除かれる縁区分しか接触されないからである。
【０００８】
本発明による装置の別の態様によれば、搬送エレメントは、回転対称な中央部分の他に、中央部分の各両側において、軸センタリングされた軸ピンもしくはシャフト基部を有している。シャフト基部は、搬送エレメントの回転支承のために機能し、装置の対応する支承区分内に収容され得る。有利には、この態様では、中央部分もしくは搬送部分の直径は、１つまたは複数の支承手段のシャフト基部の直径よりも大きく形成されている。さらに、シャフト基部および／または中央部分もしくは搬送部分の少なくとも表面は、鉱物ガラスから成っている。既に述べたように、少なくとも１つの載置エレメントは、シャフトもしくはガラスロッド上に取り付けられ、かつ／または１つまたは複数の支承手段のシャフト基部の間に配置された、円柱状の外周面を有する少なくとも１つのローラによって形成されていてよい。中央部分におけるシャフト基部の取付けは、選択的に、搬送エレメント全体の一体的な形成によって、またはたとえば接着、溶接、プレス締結のような適当な接合工程によって、または適当な位置固定装置の形成によって行われてよい。
【０００９】
本発明による装置の択一的な形態は、載置エレメントが、少なくとも区分的に規則的に互いに対して間隔を空けて配置された、シャフトもしくはガラスロッド上に取り付けられたプラスチックディスクによって形成されていて、プラスチックディスクは、円柱状の外周面と、丸み付けされたエッジとを有している。選択的に、隣り合った２つの載置エレメントの側方の縁部の間の間隔は、３００ｍｍよりも小さな、有利には１００ｍｍよりも小さな値を有している。
【００１０】
図示された全ての態様において、ガラスの、媒体に接触する箇所における表面粗さが、１μｍよりも小さな値を有していると有利である。
【００１１】
さらに有利な形態は、少なくとも１つの搬送エレメントが、特に搬送エレメントのシャフト基部の一方に配置された、たとえば歯車等の形態の少なくとも１つの回転伝動エレメントを介して駆動されていることにある。
【００１２】
本発明は、最後に、上述の形態による多数の回転する搬送エレメントを備えた輸送装置を含む。搬送エレメントは、それぞれ対になって互いに上下に重なって配置されていてよく、これによって搬送エレメントの間を通してプレート状の基板を運動させることができる。
【００１３】
以下に、本発明の重要な態様の他に、別の態様および実施の形態をまとめる。本発明による搬送エレメントは、選択的に、駆動装置を有していてよい。さらに、回転する搬送エレメントは、２つの側、たとえば両側で支承されている。搬送エレメントは、回転するシャフトまたは軸として形成されていて、シャフトまたは軸は、その長さに沿って、プレート状の基板のための載置エレメントを有している。本発明によれば、シャフトの少なくとも１つの区分が鉱物ガラスから形成されている。本発明による搬送エレメントでは、シャフトの区分がガラスロッド、特に中空ガラスロッド、つまりガラス管から形成されていてよい。試験では、ガラス管の使用が、中実のガラスロッドに比べて利点を有していることが判った。なぜならば、管材料が小さな重量で有利な機械的な特性を有しているからである。シャフトとしてガラス管を使用する場合、有利には、両端面が閉じられている。これによって、処理媒体が侵入することはできない。侵入した処理媒体は、たとえば洗浄時に十分に取り除くことが困難である。
【００１４】
搬送エレメントは、回転対称な少なくとも２つの載置エレメントを有している。搬送エレメントの載置エレメントは、特に規則的に互いに対して間隔をおいてシャフトもしくはガラスロッドもしくはガラス管上に取り付けられた複数のホイール、たとえば円柱状または球形に湾曲された外周面および丸み付けされたエッジを有する複数のプラスチックディスクにより形成されていてよい。このプラスチックディスクは、有利には遊び無しに、シャフト上に、もしくはガラスロッドもしくはガラス管の円柱状の外周面上に位置固定されている。プラスチックディスクは、この場合、特に、収縮嵌めプロセスを用いてシャフト上に堅固に位置固定されていてよい。ディスクのプレス締結または接着も可能である。
【００１５】
さらにシャフトは、少なくとも一方の端部において、駆動伝動エレメントを有している。この駆動伝動エレメントは、たとえば、プラスチックまたは別の適当な材料から成る歯車によって形成されていてよい。この駆動伝動エレメントもしくは歯車は、選択的には、やはりシャフト上に収縮嵌めされ、かつ／またはシャフトに接着されていてよい。歯車は、選択的にシャフトにプレス締結されていてよく、場合によっては付加的に接着される。
【００１６】
本発明による搬送エレメントは、特にプレート状またはフィルム状の基板のための搬送シャフトとして機能する。このためには、搬送エレメントは、通常は輸送装置内で使用される。輸送装置は、上述の形態の１つによる、多くの場合それぞれペア状に互いに上下に重なって配置された回転する複数の搬送エレメントを有している。搬送エレメントの間を通って、それぞれプレート状またはフィルム状の基板が運動可能である。搬送シャフトの装着は、種々異なっていて、それぞれの使用目的に適合されていてよい。載置エレメントとは、搬送シャフトとは別個に形成された部分である。載置エレメントは、搬送シャフト上に被せ嵌められ、かつ形状接続式にまたは摩擦接続式に、たとえば収縮嵌めで、または材料接続式に、たとえば接着されて搬送シャフトに結合され得る。有利な態様では、載置エレメントは間隔を置いて組み付けられていて良い。載置エレメントは、その幾何学形状に関して、小型ホイールおよび／またはディスクおよび／またはローラとして形成されていてよい。例示的には、１つまたは複数の載置エレメントが球状またはボール形の接触面を有する丸い形状付与も設定可能である。それぞれの載置エレメントと、輸送されるべき基板との間の表面接触は、各載置エレメントの幾何学形状に応じて、線形または点状に形成され得る。たとえばプラスチックディスクにより形成されていてよい、被せ嵌められた、または収縮嵌めされた載置エレメントは、たとえばその取扱い時、シャフトの交換時および／または装置の別の保守時に、機械的な損傷に対するガラスシャフトの保護を提供する。このためには、それぞれ隣り合う載置エレメントの縁部間の間隔が、３００ｍｍよりも小さく、有利には１００ｍｍよりも小さいと有利である。
【００１７】
使用された、鉱物ガラスから成るシャフトは、多数の利点、たとえば十分な弾性を伴う特別な形状安定性を有している。これによって、塑性変形、つまり永久的な変形が排除されている。シャフトは、ある程度の負荷がかけられた場合に弾性的に変形し、かつ所望の使用目的のために必要となる頑丈さを提供する。さらにシャフトは、極めて温度耐性である。なぜならば、このシャフトは、著しい膨張無く高い温度に耐えることができるからである。機械的な負荷は、搬送される基板の比較的低い重量に基づき小さいので、ガラスは、全ての使用事例のために十分な剛性を有している。
【００１８】
ガラスシャフトは、必要な直径に関しても、同心度に関しても、高い精度で極めて廉価に形成され得る。約５００ｍｍから１メートルを超える長さのシャフトの場合、典型的な直径は約１０ｍｍである。中空に形成されたガラスシャフトの壁厚さは、このような寸法設計では、約２ｍｍである。シャフトの全長にわたる同心度の偏差もしくは偏心度は、この場合、有利には０．１ｍｍよりも小さく、直径における寸法精度は＋／−０．１５ｍｍよりも小さい。
【００１９】
ガラスシャフトおよび該ガラスシャフトに被せ嵌められたプラスチック小型ホイールを有するこのような搬送エレメントの使用領域は、化学的に中性な特性に基づいて、重要な全てのプロセスの大多数においてほぼ制限されない。なぜならば、当該エレメントの極めて長時間の使用後に初めて、その表面における金属コーティングが生じるからである。
【００２０】
念のために、本発明は、基板を処理するための方法を含むことを示唆しておく。この方法では、基板が上述の実施の形態の搬送または輸送装置により搬送される。
【００２１】
本発明を以下に有利な実施の形態につき、添付の図面につき詳しく説明する。図中の同様の部分には、同一の符号が備えられていて、したがって部分的に重複して説明される。基本的には、図示された実施の形態は、本願を図示するが、本願はこれに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】複数の搬送エレメントを備えた輸送装置を示す概略図である。
【図２】搬送エレメントの第１の実施の形態を示す概略図である。
【図３】搬送エレメントの第２の実施の形態を示す概略図である。
【図４】搬送エレメントの第３の実施の形態を示す概略図である。
【００２３】
図１に示した概略図は、プレート状の基板１０を搬送するための、該図１においては単に部分的にしか示されていない装置８内における搬送経路の一部を示している。プレート状の基板１０は、矢印１２の示す水平方向（搬送方向１２）に、回転する搬送エレメント１４の、相前後して配置されたペアの間を通って輸送される。搬送装置８の領域には、それぞれ水平方向に延びる回転軸線１６を中心として回転するこのような搬送エレメント１４が多数配置されていてよい。これらの搬送エレメント１４は、プレート状の基板１０を規定された搬送方向１２へ水平方向に輸送するために働き、この目的のために少なくとも部分的に、駆動装置（図１には図示せず）を使用することができる。回転する搬送エレメント１４が、このような駆動装置を使用している限り、駆動は、大抵の場合歯車等を介して、両側で支承された搬送エレメント１４の一方の側において行われる。
【００２４】
図１に概略的に図示された搬送装置８が、それぞれペアで上下に重なって配置された搬送エレメント１４を有していて、この場合、これらの搬送エレメント１４は、プレート状の基板１０が、上下に重なって配置された搬送エレメント１４の外周面１８の間を通って、上側かつ下側の転がり接触部を形成しながら輸送されるように間隔を空けているが、本発明はこの形態に限定されるものではない。同様に、基板１０の水平方向の輸送が、相前後して配置された搬送エレメント１４によってのみ行われる変化形も考えられる。この場合、搬送エレメントは、水平方向の載置／輸送平面を形成する。この場合、基板１０の上方に別の搬送エレメント１４が配置されることはない。
【００２５】
本発明によれば、搬送エレメント１４は、少なくとも部分的に鉱物ガラス（無機ガラス）から製造されていて、たとえば、搬送エレメント１４の支承手段（図２以降を参照）が鉱物ガラスから製造されていてよい。
【００２６】
搬送エレメント１４の第１の実施の形態である図２の概略図に示されているように、第１の実施の形態では、各搬送エレメント１４が、比較的大きな直径の搬送部分２０と、該搬送部分２０の両側に配置された、搬送エレメント１４を回転可能に支承するための支承手段２２とを有している。搬送部分２０は、中央部分とも呼称され得る。この円柱形の搬送部分２０の外周面１８は、プレート状の基板に対する面状または線形の接触領域を有している（図１を参照）。搬送部分２０も支承手段２２も、それぞれ少なくとも部分的に鉱物ガラスにより形成されていてよい。図示された実施の形態では、支承手段２２は、スタブシャフトもしくはシャフト基部（Wellenstumpf）２４またはシャフト区分により形成されている。シャフト区分は、アクスルボルトとして形成され得る。これに関して、「シャフト」またはシャフト基部２４の呼称が優先される。なぜならば、支承手段のこの部分が回転する一方で、支承手段収容部２６は、固定されていて、装置の部分内にアンカ固定されているからである。中央部分もしくは搬送部分２０の両端面２８に、かつ典型的には中央部分もしくは搬送部分２０の円筒状の外周面１８に対して同軸的に配置されたシャフト基部２４は、有利には鉱物ガラスから成っている。この軸もしくはシャフトもしくはシャフト基部２４は、少なくとも部分的にガラスロッドによってまたはガラス管３０によって形成されていてよい。ガラス管３０の使用時に、該ガラス管３０は少なくとも一方の側で、有利には両側で閉じられた端面３２を有している。
【００２７】
搬送エレメント１４の搬送部分２０は、図示された実施の形態では、プレート状の基板１０のための回転対称な載置エレメント３４によって形成されている。この場合、載置エレメント３４は、１つのローラ３６によって形成されている。このローラ３６は、両端面２８においてそれぞれ、支承手段２２の両シャフト基部２４のための収容区分（図示せず）を有している。
【００２８】
図３につき搬送エレメント１４の別の実施の形態の概略図が示すように、さらにローラ３６自体が直径を段付けされて形成されていてよい。このことは僅かに縮径された中心領域３８によって実現され得る。この中心領域３８は、両側の外縁部４０よりも、たとえば約０．０５〜１ｍｍだけ小さな直径を有していてよい。外縁部４０は、該外縁部４０にそれぞれ接続するより小さな直径のシャフト基部２４もしくは支承手段２２に接している。これによって、プレート状の基板１０が、縁側において外側に位置する縁部４０上でのみ搬送されるのに対して、基板１０の極めて大きな面積が、中心の減縮されたもしくは僅かに縮径された領域３８の上方に配置されていて、十分に無接触に搬送されることが保証され得る。ローラ３６のこのような変化形により、たとえばプリント配線板のためのベース材料として働くいわゆる加工素材（Nutzen）の無接触の搬送が可能にされている。なぜならば、後に除去される縁区分しか、ローラ３６の縁領域４０に沿って接触されないからである。
【００２９】
中央部分２０におけるシャフト基部２４の取付けは、図２および図３に示した変化形では、選択的に、搬送エレメント１４全体の一体的な形成によって、またはたとえば接着、溶接、プレス締結のような適当な接合方法によって、または適当な位置固定装置の形成によって行うことができる。選択的に、ローラ３６は、遊び無しに、一貫して延びるシャフトもしくはガラス管３０の円柱形の外周面上に、たとえば接着または選択的には収縮嵌め工程によっても位置固定され得る。
【００３０】
搬送エレメント１４の択一的な実施の形態に付き図４の概略図が示すように、搬送エレメント１４は、ガラス管３０から成る、両側で支承された一貫して延びて形成された回転するシャフト４２としても形成され得る。このシャフト４２は、その長さにわたって、プレート状の基板１０のための円柱状の複数の載置エレメント４４（図１を参照）を有している。この実施の形態では、中空に形成されたシャフト４２が、管状の鉱物ガラスから製造されていて、該鉱物ガラスの外周面４６上に円柱形またはディスク形の載置エレメント４４が被せ嵌められて、取り付けられている。各シャフト４２の両方の端面２８は、閉じられているので、ガラス管３０の内部に媒体が侵入しないようになっている。媒体は洗浄時に取り除くことが難しい。搬送エレメント１４の載置エレメント４４は、図示された実施の形態では、シャフト４２もしくはガラス管３０上に規則的に互いに対して間隔を置いて取り付けられた多数のプラスチックディスク４８によって形成されている。これらのプラスチックディスク４８は、円柱状の外周面および、場合によっては丸み付けされたエッジを有している。これらのプラスチックディスク４８は、遊びなしに、シャフト４２、もしくはガラス管３０の円柱状の外周面４６上に、有利には、収縮嵌めプロセスを用いて、または接着によって、または別の適切な接合方法によって位置固定されている。
【００３１】
図４に示した搬送エレメント１４の第３の実施の形態では、ディスク４８の形態の、互いに間隔をおいた載置エレメント４４が一緒に、中央部分もしくは搬送部分２０を形成しているのに対して、左右では、シャフト４２の、縁部側の載置エレメント４４から突出する区分が、それぞれ支承手段２２を形成している。支承手段２２は、支承ブロック（図示せず：図２および図４では、支承手段収容部２６）内に支承されていてよい。載置エレメント４４は、たとえばプラスチックおよび／または金属および／またはセラミック材料および／または鉱物ガラスによって形成されていてよい。
【００３２】
図４に示した実施の形態では複数のプラスチックディスク４８により形成されている、被せ嵌められた、または収縮嵌めされた載置エレメント４４は、機械的な損傷に対するガラスシャフト４２の良好な保護を、たとえば該ガラスシャフト４２の取扱い時、シャフト４２の交換時および／または装置の他の保守時に提供する。載置エレメント４４は、プラスチックまたは鉱物ガラスから成っている。
【００３３】
さらに、搬送エレメント１４もしくはシャフト４２は、少なくとも一方の端部に、駆動伝動エレメントを有している。この駆動伝達エレメントは、図２，図３および図４に示されているように、たとえば駆動ホイール５０、もしくはプラスチックまたは別の最適な材料から成る歯車により形成されていてよい。この駆動伝動エレメントもしくは駆動ホイール５０は、選択的に、同様にシャフト４２（図４）もしくは相応するシャフト基部２４上に収縮嵌めされ、かつ／または接着されていてよい。
【００３４】
図２および図３に示したローラ３６は、たとえばプラスチックから、または鉱物ガラスから、または別の材料から製造されていてよく、円柱状の外周面ならびに場合によっては僅かに丸み付けされたエッジを有していてよい。選択的には、ローラ３６は、図３に相応する１つまたは複数の減縮部等を有していてよいので、支持区分４０は、僅かに小さな直径を有する１つまたは複数の減縮部または段部により互いに分離されている。図示の実施の形態ではローラ３６により形成されている、被せ嵌められた、または収縮嵌めされた搬送部分２０は、機械的な損傷に対してガラスシャフト４２もしくは２４の良好な保護を、たとえばガラスシャフト４２，２４の取扱い時、シャフト４２の交換時および／または装置の別の保守時に提供する。
【００３５】
鉱物ガラスから成る、使用されたシャフト４２もしくはシャフト区分２４（図１〜図４を参照）は、多数の利点、たとえば十分な弾性を伴う特別な形状安定性を有している。塑性変形は、この使用時には生じない。さらにシャフト４２，２４は、極めて温度耐性である。なぜならば、シャフト４２，２４は、高温を著しい膨張なしに耐えることができるからである。機械的な安定性は、上述の使用目的のためには十分である。なぜならば、基板１０はしばしば極めて軽く形成されていて、使用されるシャフト４２，２４の著しい重量負荷をもたらさないからである。
【００３６】
使用されたガラスシャフトおよびガラス管は、必要な直径に関しても、同心度に関しても高い寸法安定性を有して極めて廉価に製造され得る。約５００ｍｍから１メートルを超えるシャフト２４の長さの場合、典型的な直径は約１０ｍｍである。中空に形成されたガラスシャフトの肉厚は、このような寸法設計では約２ｍｍ（＋／−３０％）である。この場合、シャフトの全長にわたる同心度の偏差もしくは偏心度（半径方向の振れ）は、有利には０．１ｍｍよりも小さく、直径における寸法精度は＋／−０．１５ｍｍであるか、それよりも小さくすることができる。ガラスシャフトおよび被せ嵌められたローラ３６またはプラスチック小型ホイール４８を備えたこのような搬送エレメント１４の利用範囲は、化学的に不活性な、もしくは中性の特性に基づいて、大多数の全ての重要なプロセスにおいて極めて多様である。
【００３７】
ガラスシャフトもしくは搬送エレメント１４は、通常、その両端部において、典型的にはプラスチックから成る適当な支承手段収容部２６内に、それぞれ滑り支承されている。支承手段収容部２６内で、ガラスシャフトもしくは搬送エレメント１４は、容易に回転可能に位置していて、たとえば保守目的または洗浄目的のために、支承手段収容部２６から上方に向かって取り出され得る。支承手段収容部２６内に回動可能に支承されていて、少なくとも一方が駆動ホイール５０を備え得る両側の軸ピンもしくはシャフト基部２４は、図２および図３において、それぞれ符号「２２」で示されている。支承手段収容部２６はシャフトを内部に支承するための一貫した開口、たとえば貫通孔、または袋状の開口、たとえば盲孔を有していてよい。開口は、１つの通路と流体接続していてよく、これによって、液体が一貫した開口から通路を介して導出可能である。たとえば、流体は、通路を介して、一貫した開口の下方に位置している別の領域内に導出され得る。通路は、たとえば約１ｍｍ〜１０ｍｍの直径を有していてよい。有利には、通路は約２ｍｍ〜５ｍｍの直径を有していてよい。
【００３８】
媒体に接触するガラス表面の表面粗さが、１μｍよりも小さく、有利には０．５μｍよりも小さく、特に有利には、０．１μｍよりも小さく形成されていると有利であることが判った。これによって、処理槽からの金属、特に無電解銅めっき槽からの銅の意図しない析出が効果的に抑制される。
【００３９】
上述の説明、図面、特許請求の範囲に開示された、本発明による特徴は、個別でも、任意の組合せにおいても、種々異なる形態での本発明の実現のために重要である。本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではない。むしろ本発明の思想を利用し、したがって同様に保護範囲に属する多数の変化形および改良形が考えられる。
【符号の説明】
【００４０】
８  処理機械／処理装置
１０  基板
１２  搬送方向、輸送方向
１４  搬送エレメント
１６  回転軸線
１８  外周面
２０  中央部分、搬送部分
２２  支承手段
２４  シャフト基部
２６  支承手段収容部
２８  端面
３０  ガラス管
３２  端面
３４  載置エレメント
３６  ローラ
３８  中心領域
４０  外側縁部
４２  シャフト
４４  載置エレメント
４６  外周面
４８  プラスチックディスク
５０  駆動ホイール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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