(57)【要約】  本発明によると、部品の電気接点により三枚以上のブレードのうちの少なくとも二枚の間の電気的な接続の確立を容易にするための、三枚以上のブレードを含む電気接点が提供されている。さらに、試験すべき電気部品を収容するのに好適な試験用プラットフォームにおいて、上述の電気接点の一個以上を含む試験用プラットフォームが提供されている。さらに、上述の電気接点のいずれか一個を含む保持用部材を含む試験機の部品において、試験機と協働できるように構成されている試験機の部品が提供されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品の電気接点により、三枚以上のブレードのうちの少なくとも二枚の間の電気的な接続の確立を容易にするための、三枚以上のブレードを含むことを特徴とする、電気接点。
【請求項２】
三枚以上のブレードが長手方向に延在する、請求項１に記載の電気接点。
【請求項３】
三枚以上のブレードが平行に配置されている、請求項１または２に記載の電気接点。
【請求項４】
三枚以上のブレードの一部または全部が平面的表面を含む、請求項１〜３のいずれか一つに記載の電気接点。
【請求項５】
平面的表面が、電気接点と協働することができる電気部品の平面に対し平行になるように構成されている、請求項４に記載の電気接点。
【請求項６】
三枚以上のブレードが、三枚以上のブレード各々を互いに電気的に絶縁するように構成されている二本以上の絶縁チャネルを画定するように配置されている、請求項１〜５のいずれか一つに記載の電気接点。
【請求項７】
三枚以上のブレード各々の幅が、二本以上の絶縁チャネルのうちの二本の幅に一枚のブレードの幅を加えた組合せが電気部品の電気接点の幅よりも小さくなるようなものである、請求項６に記載の電気接点。
【請求項８】
ブレードの一部または全部が、金、貴金属、ＢｅＮｉまたはＢｅＣｕの少なくとも一つを含んでいてよい、請求項１〜７のいずれか一つに記載の電気接点。
【請求項９】
ブレードの一部または全部がタングステンを含む、請求項１〜８のいずれか一つに記載の電気接点。
【請求項１０】
電気接点が、三枚以上のブレードを保持してそれらが互いに対し定位置にあるようにする保持用部材をさらに含む、請求項１〜９のいずれか一つに記載の電気接点。
【請求項１１】
試験すべき電気部品を収容するのに好適な試験用プラットフォームにおいて、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の一個以上の電気接点を含む試験用プラットフォーム。
【請求項１２】
一個以上の電気接点の少なくとも一部が同じ向きで配置されている、請求項１１に記載の試験用プラットフォーム。
【請求項１３】
請求項１〜１０のいずれか一つに記載の少なくとも一個の電気接点のいずれか一個を含む保持用部材を含む試験機の部品において、試験機と協働できるように構成されている試験機の部品。
【請求項１４】
試験機が、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の複数の電気接点を含む、請求項１３に記載の試験機の部品。
【請求項１５】
試験機と試験機の部品の協働を容易にするように構成されているガイド手段をさらに含む、請求項１３または１４に記載の試験機の部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気接点および試験用プラットフォームに関し、詳細には、ただし限定的にではなく、電気部品を試験するために用いられる電気接点と試験用プラットフォームに関する。
【背景技術】
【０００２】
電気部品を試験する既存の方法には、試験すべき部品を試験用プラットフォーム上に位置づけすることを含む。試験用プラットフォームは、電気部品に電力を供給するために使用される電気接点を含む。ひとたび電力が供給されると、電気部品の性能は監視される。電気部品の性能に基づいて、電気部品に欠陥があるか否かを判定することができる。
【０００３】
電気部品の試験を確実に成功させるためには、部品の電気接点が試験用プラットフォーム上の電気接点と電気的に接続している必要がある。このために、電気部品は、非常に特定的な所定の向きで非常に特定的な所定の場所に位置づけられなくてはならない。試験用プラットフォーム上において特定的な所定の向きでこのような特定的な所定の場所に電気部品を位置づけすることは、特に試験作業が高速で実施され多くの移動する機械部品が存在する工業的環境においては、達成が非常に困難である。電気部品の位置づけは、電気部品間の物理的変動に起因してさらに困難なものとなり、例えば、電気部品間の物理的変動は、製造段階中の金型のずれに起因して発生するかもしれない。
【０００４】
図１ａ〜ｆは、電気部品７の電気接点を試験用プラットフォーム１上の電気接点と電気的に確実に接続するために必要な電気部品７の的確な位置づけを達成することが、いかに困難であり得るかを示している。図１に示されている試験用プラットフォーム１は、六個の電気的ケルビン接点３ａ〜３ｆを含む。各電気的ケルビン接点３ａ〜３ｆは、「Ｉ」ブレード５ａおよび相対する「Ｌ」ブレード５ｂを含む。電気部品７の試験中、「Ｉ」ブレード５ａは信号供給端子を形成し、相対する「Ｌ」ブレード５ｂは信号検出端子を形成する（またはその逆）。
【０００５】
試験すべき電気部品７は、ピン９ａ〜ｆの形をした六個の電気接点を含む。電気部品７の試験を可能にするために、電気部品７は、各ピン９ａ〜ｆが試験用プラットフォーム１上の各対応する電気接点３ａ〜３ｆの「Ｉ」ブレード５ａと相対する「Ｌ」ブレード５ｂの間に電気的な接続を確立するように、プラットフォーム１上に位置づけされなければならない。電気部品７の試験中、各電気接点３ａ〜３ｆにおいて、試験信号は、「Ｉ」ブレード５ａ（すなわち信号供給端子を形成するブレード）により、ピン９ａ〜ｆを通して、相対する「Ｌ」ブレード５ｂ（すなわち信号検出端子を形成するブレード）へと伝送される。各信号検出端子において、試験信号が検出されて、ピン９ａ〜ｆが予想通りの試験信号を伝送および／または変更したか否かを判定する。こうして、六個のピン９ａ〜ｆ各々における電気部品７の性能を判定することができる。
【０００６】
図１（ａ）は、試験のために必要とされる特定的な所定の場所および向きにある場合の電気部品７を示す。この位置において各ピン９ａ〜ｆは、試験用プラットフォーム１上の各対応する電気接点３ａ〜３ｆの「Ｉ」ブレード５ａと相対する「Ｌ」ブレード５ｂの間に電気的な接続を確立する。その位置では、電気部品７を前述のように試験することができる。
【０００７】
図１（ｂ）は、Ｙ軸に沿って第一の方向にずれた電気部品７を示す。この位置では、ピン９ａ〜ｆ各々は、試験用プラットフォーム１上の各電気接点３ａ〜３ｆの「Ｉ」ブレード５ａと相対する「Ｌ」ブレード５ｂの間に電気的な接続を確立することができない。したがって、電気部品７を試験することはできない。
【０００８】
図１（ｃ）は、Ｙ軸に沿って第二の方向にずれた電気部品７を示す。この位置では、ピン９ａ〜ｆは、試験用プラットフォーム１上の各対応する電気接点３ａ〜３ｆの「Ｉ」ブレード５ａと相対する「Ｌ」ブレード５ｂの間に電気的な接続を確立することができない。したがって、電気部品７を試験することはできない。
【０００９】
図１（ｄ）は、Ｘ軸に沿って第一の方向にずれた電気部品７を示す。その位置では、ピン９ａ、９ｂおよび９ｃは、試験用プラットフォーム１上の電気接点３ａ、３ｂおよび３ｃの「Ｉ」ブレード５ａと相対する「Ｌ」ブレード５ｂの間に電気的な接続を確立することができない。したがって、電気部品７を試験することはできない。
【００１０】
図１（ｅ）は、Ｘ軸に沿って第二の方向にずれた電気部品７を示す。その位置では、ピン９ｃ、９ｄおよび９ｆは、試験用プラットフォーム１上の電気接点３ｄ、３ｅおよび３ｆの「Ｉ」ブレード５ａと相対する「Ｌ」ブレード５ｂの間に電気的な接続を確立することができない。したがって、電気部品７を試験することはできない。
【００１１】
図１（ｆ）は、正しい向きでプラットフォーム１上に位置づけされていない電気部品７を示し、電気部品７は、プラットフォーム１に対して回転している。この位置では、ピン９ｃおよび９ｄは、試験用プラットフォーム１上の電気接点３ｃおよび３ｄの「Ｉ」ブレード５ａと相対する「Ｌ」ブレード５ｂの間に電気的な接続を確立することができない。したがって、電気部品７を試験することはできない。
【００１２】
電気部品７の電気接点による試験用プラットフォーム１上の電気接点３ａ〜ｆのブレード５ａ、５ｂ間での電気的な接続の確立を容易にするため、多くの対策が講じられてきた。このような対策の一つが図２（ａ）〜図２（ｆ）に示されている。図１（ａ）〜図１（ｆ）で示されているプラットフォーム１とは異なり、図２で示されているプラットフォーム１０は、六個の電気接点３０ａ〜３０ｆを含み、ここで各電気接点３０ａ〜３０ｆは二枚の平行な「Ｉ」ブレード５０ａ、５０ｂを含む。各ブレード５０ａ、５０ｂは、長手方向の構成を有し、試験のためにチップ７がプラットフォーム１０上に位置づけされている場合にチップ７の平面５２に対し平行である平面的表面５１を含む。
【００１３】
電気部品７を試験するための原理は、図１に示されたプラットフォーム１について記載されたものと同じである。したがって、試験用プラットフォーム１０上の各対応する電気接点３０ａ〜３０ｆの二枚の「Ｉ」ブレード５０ａ、５０ｂ間に各ピン９ａ〜ｆが電気的な接続を確立するように、試験すべき電気部品７を位置づけすることが必要条件となる。電気部品７の試験中、各電気接点３０ａ〜３０ｆにおいて、信号は、第一の「Ｉ」ブレード５０ａ（これが電気信号を与える）からピン９ａ〜ｆを通過し、第二の「Ｉ」ブレード５０ｂ（これが電気信号を検出する、あるいはその逆）により測定される。こうして、六個のピン９ａ〜ｆ各々における電気部品７の性能を判定することができる。
【００１４】
図２（ａ）は、プラットフォーム１０上の理想的な試験位置にある場合の電気部品７を示す。この位置で各ピン９ａ〜ｆは、試験用プラットフォーム１０上の各対応する電気接点３０ａ〜３０ｆの二枚の平行な「Ｉ」ブレード５０ａ、５０ｂ間に電気的な接続を確立する。この位置では、電気部品７を前述のように試験することができる。
【００１５】
図２（ｄ）〜（ｆ）から明らかであるように、各電気接点３０ａ〜３０ｆの二枚の「Ｉ」ブレード５０ａ、５０ｂの構成のため、電気部品７のピン９ａ〜ｆは、電気部品７がＸ軸に沿ってずれている（図２（ｄ）および図２（ｅ）参照）かまたはプラットフォーム１０に対して回転している場合（図２（ｆ）参照）であっても、各電気接点３０ａ〜３０ｆの二枚の平行な「Ｉ」ブレード５０ａ、５０ｂ間に電気的な接続を正しく確立することができる。詳細には、二枚の「Ｉ」ブレード５０ａ、５０ｂの平行な構成および各「Ｉ」ブレード５０ａ、５０ｂの長手方向の構成は各々、電気部品７がＸ軸に沿ってずれている場合（図２（ｄ）および図２（ｅ）参照）またはプラットフォーム１０に対して回転している場合（図２（ｆ）参照）、ピン９ａ〜ｆによる各電気接点３０ａ〜３０ｆの二枚の平行な「Ｉ」ブレード５０ａ、５０ｂ間の電気的な接続の確立を容易にする。各ブレード５０ａ、５０ｂの平面的表面５１は、ブレード５０ａ、５０ｂとの電気的な接触を確立するのに使用可能な、各ブレード５０ａ、５０ｂにおける接触範囲を増大させることから、電気的な接続の確立も容易にする。したがって、電気部品７は、それが理想的な試験位置からずれた場合でもなお試験することができる。
【００１６】
しかしながら、図２（ａ）〜（ｆ）に示された対策が電気部品７のピン９ａ〜ｆによる試験用プラットフォーム１上の電気接点３ａ〜ｆのブレード５ａ、５ｂ間の電気的な接続の確立を容易にするとしても、電気部品７がＹ軸に沿ってずれている場合には、ピン９ａ〜ｆは各電気接点３０ａ〜３０ｆの二枚の平行な「Ｉ」ブレード５０ａ、５０ｂ間に正しい電気的な接続を確立することが、やはりできないことから、この対策はなおも満足のいくものではない。図２（ｂ）および図２（ｃ）は、電気部品７がＹ軸に沿ってずれている場合を示す。
【００１７】
したがって、それぞれが平面的表面を含む二枚の平行な「Ｉ」ブレード５０ａ、５０ｂを含む電気接点３０ａ〜ｆを提供することは、電気部品７がＸ軸に沿ってずれているかまたはプラットフォーム１０に対して回転している場合に、部品７の試験に必要とされる電気的な接続の確立を容易にする上で有効である。しかしながら、このような電気接点３０ａ〜ｆは、電気部品７がＹ軸に沿ってずれている場合に、ピン９ａ〜ｆによる、試験用プラットフォーム１上の電気接点３ａ〜ｆのブレード５ａ、５ｂ間の電気的な接続の確立を容易にするものではない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
本発明の目的は、上述の欠点の一つ以上を取り除くかまたは軽減することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の一態様によると、部品の電気接点による少なくとも二枚のブレード間の電気的な接続の確立を容易にするために、三枚以上のブレードを含む電気接点が提供されている。
【００２０】
本発明のさらなる態様によると、試験すべき部品を収容するのに好適な試験用プラットフォームにおいて、部品の電気接点により三枚以上のブレードのうちの少なくとも二枚の間に電気的な接続を確立することを容易にするために、それぞれが三枚以上のブレードを含む一個以上の電気接点を含む試験用プラットフォームが提供されている。
【００２１】
電気的な接続はケルビン接続であってよい。電気接点がケルビン接点を形成するためには、部品の電気接点は三枚以上のブレードのうちの少なくとも二枚を電気的に接続しなければならない。
【００２２】
部品は、電気部品であってよい。
【００２３】
三枚以上のブレードは、部品の電気接点により二枚以上のブレード間に電気的な接続を確立することを容易にし得る。
【００２４】
電気接点は、部品の電気端子であってよい。
【００２５】
三枚以上のブレードは長手方向に延在していてよい。
【００２６】
三枚以上のブレードは平行に配置されていてよい。
【００２７】
三枚以上のブレード各々は、「Ｉ」ブレードであってよい。
【００２８】
一個以上の電気接点の少なくとも一部は同じ向きで配置されていてよい。好ましくは、一個以上の電気接点の全部が同じ向きで配置されている。
【００２９】
三枚以上のブレード各々は、平面的表面を含んでいてよい。平面的表面は、電気部品が試験のために試験用プラットフォーム上に位置づけされた場合に、試験すべき電気部品の平面に対し平行であってよい。使用中、平面的表面は、試験中の電気部品の平面に対して平行である。
【００３０】
二本以上のチャネルを画定するために、三枚以上のブレードが配置されていてよい。二本以上のチャネル各々は、絶縁チャネルであってよい。絶縁チャネルは、三枚以上のブレード各々を互いに電気的に絶縁するように構成されていてよい。二本以上のチャネルの一部または全部は、互いに絶縁されていてよい。二本以上のチャネル各々は、０．１μｍ〜５０μｍの幅を有していてよい。好ましくは、二本以上のチャネル各々は３０μｍ未満の幅を有する。最も好ましくは、二本以上のチャネル各々は、２０μｍ未満の幅を有する。
【００３１】
三枚以上のブレード各々の幅は、二本以上の絶縁チャネルのうちの二本の幅に一枚のブレードの幅を加えた組合せが、電気部品の電気接点の幅よりも小さくなるようなものであってよい。好ましくは、三枚以上のブレード各々の幅は、二本以上の絶縁チャネルのうちの二本の幅に一枚のブレードの幅を加えた組合せが、製造公差を考慮に入れた後に電気部品の電気接点の幅よりも小さくなるようなものである。三枚以上のブレード各々の幅は、二本以上の絶縁チャネルのうちの一本の幅に三枚以上のブレードのうちの二枚の幅を加えた組合せが、電気部品の電気接点の幅よりも小さくなるようなものであってよい。好ましくは、三枚以上のブレード各々の幅は、二本以上の絶縁チャネルのうちの一本の幅に三枚以上のブレードのうちの二枚の幅を加えた組合せが、製造公差を考慮に入れた後に電気部品の電気接点の幅よりも小さくなるようなものであってよい。三枚以上のブレード各々は、２００μｍ以下の幅を有していてよい。好ましくは、三枚以上のブレード各々は、１５０μｍ以下の幅を有する。より好ましくは、三枚以上のブレード各々は１００μｍ以下の幅を有する。
【００３２】
ブレードの一部または全部は導電性の金属を含んでいてよい。好ましくは、ブレードの一部または全部は金属でコーティングされている。金属は、貴金属であってよい。ブレードの一部または全部は、金、ＢｅＣｕおよび／またはＢｅＮｉを含んでいてよい。ブレードの一部または全部は、金でコーティングされていてよい。ブレードの一部または全部は、ＢｅＣｕ材料またはＢｅＮｉ材料、あるいは、バネ効果、導電性および耐摩耗性を示す他の任意の材料でコーティングされていてよい。
【００３３】
ブレードの一部または全部は、硬化された先端部を含んでいてよい。好ましくは、ブレードの一部または全部は、タングステンを含む。最も好ましくは、一部または全部のブレードの先端部はタングステンを含む。
【００３４】
三枚以上のブレードは、互いに対し定位置にあるようにしっかりと固定されていてよい。好ましくは、三枚以上のブレードは、互いに対し定位置にあるように、製造段階中しっかり固定される。三枚以上のブレードは、鋳造されるか貼り合わせられていてよい。
【００３５】
電気接点はさらに、互いに対し定位置にあるように三枚以上のブレードを保持する保持用部材を含んでいてよい。
【００３６】
本発明のさらなる態様によると、上述の電気接点のいずれか一個を含む保持用部材を含む試験機の部品において、試験機と協働できるように構成されている試験機の部品が提供されている。
【００３７】
試験機の部品は複数の電気接点を含んでいてよい。
【００３８】
試験機の部品はさらに、試験機と試験機の部品の協働を容易にするガイド手段を含んでいてよい。例えば、ガイド手段は、試験機上の孔と協働するのに好適なピンであってよく、あるいはガイド手段は、試験機上のピンと協働するのに好適な孔であってよい。
【００３９】
本発明のさらなる態様によると、上述の電気接点のいずれか一個に係る電気接点を含む試験機が提供されている。
【００４０】
本発明の一実施形態について、ここで、以下で添付図面を参照しながら一例として説明する。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１ａ】電気部品の試験を可能にするために必要とされる、先行技術の試験用プラットフォーム上の電気部品の的確な位置づけを達成するにあたっての問題点。
【図１ｂ】電気部品の試験を可能にするために必要とされる、先行技術の試験用プラットフォーム上の電気部品の的確な位置づけを達成するにあたっての問題点。
【図１ｃ】電気部品の試験を可能にするために必要とされる、先行技術の試験用プラットフォーム上の電気部品の的確な位置づけを達成するにあたっての問題点。
【図１ｄ】電気部品の試験を可能にするために必要とされる、先行技術の試験用プラットフォーム上の電気部品の的確な位置づけを達成するにあたっての問題点。
【図１ｅ】電気部品の試験を可能にするために必要とされる、先行技術の試験用プラットフォーム上の電気部品の的確な位置づけを達成するにあたっての問題点。
【図１ｆ】電気部品の試験を可能にするために必要とされる、先行技術の試験用プラットフォーム上の電気部品の的確な位置づけを達成するにあたっての問題点。
【図２ａ】電気部品の試験のために必要とされる電気的な接続の確立を容易にするように構成された電気接点を含む先行技術の試験用プラットフォームを示す。
【図２ｂ】電気部品の試験のために必要とされる電気的な接続の確立を容易にするように構成された電気接点を含む先行技術の試験用プラットフォームを示す。
【図２ｃ】電気部品の試験のために必要とされる電気的な接続の確立を容易にするように構成された電気接点を含む先行技術の試験用プラットフォームを示す。
【図２ｄ】電気部品の試験のために必要とされる電気的な接続の確立を容易にするように構成された電気接点を含む先行技術の試験用プラットフォームを示す。
【図２ｅ】電気部品の試験のために必要とされる電気的な接続の確立を容易にするように構成された電気接点を含む先行技術の試験用プラットフォームを示す。
【図２ｆ】電気部品の試験のために必要とされる電気的な接続の確立を容易にするように構成された電気接点を含む先行技術の試験用プラットフォームを示す。
【図３】本発明に係る電気接点を含む、本発明に係る試験用プラットフォームの平面図を提供している。
【図４ａ】本発明に係る電気接点がどのようにして電気部品の試験に必要とされる電気的な接続の確立を容易にするかを示している。
【図４ｂ】本発明に係る電気接点がどのようにして電気部品の試験に必要とされる電気的な接続の確立を容易にするかを示している。
【図４ｃ】本発明に係る電気接点がどのようにして電気部品の試験に必要とされる電気的な接続の確立を容易にするかを示している。
【図４ｄ】本発明に係る電気接点がどのようにして電気部品の試験に必要とされる電気的な接続の確立を容易にするかを示している。
【図４ｅ】本発明に係る電気接点がどのようにして電気部品の試験に必要とされる電気的な接続の確立を容易にするかを示している。
【図４ｆ】本発明に係る電気接点がどのようにして電気部品の試験に必要とされる電気的な接続の確立を容易にするかを示している。
【図５ａ】本発明に係る試験機の部品の平面図を提供している。
【図５ｂ】図５ａに示された試験機の部品の電気接点の拡大図を提供している。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
図３は、本発明に係る試験用プラットフォーム１００の平面図を提供している。チップ２９の形をした試験すべき電気部品が、試験用プラットフォーム１００のステージ２５上に位置づけされている。
【００４３】
試験用プラットフォーム１００は、それぞれがステージ２５上に支持されている、本発明に係る六個の電気接点５１ａ〜ｆを含む。六個の電気接点５１ａ〜ｆは全て、ステージ２５上で同じ向きで配置されている。試験用プラットフォーム１００は、六個の電気接点を有するように限定されているわけではないということが理解される。試験用プラットフォーム１００は、さらに多くのまたはさらに少ない数の電気接点を有していてよい。例えば、試験用プラットフォーム１００は、１０個の電気接点または４個の電気接点を含んでいてよい。
【００４４】
各電気接点５１ａ〜ｆは三枚のブレード７１ａ〜ｃを含む。三枚のブレード７１ａ〜ｃは、ステージ２５の幅「ｇ」の一部分を横断して長手方向に延在し、各電気接点５１ａ〜ｆの三枚のブレード７１ａ〜ｃは平行に配列されている。三枚のブレード７１ａ〜ｃは、ブレード７１ａ〜ｃが互いに対し定位置を維持するように、製造段階中ステージ２５にしっかり固定されていてよい。
【００４５】
各電気接点５１ａ〜ｆの三枚のブレード７１ａ〜ｃは二本の絶縁チャネル１５ａ、１５ｂを画定する。絶縁チャネル１５ａ、１５ｂは、三枚のブレード７１ａ〜ｃ各々を互いに電気的に絶縁するように構成される。この特定の実施例において、絶縁チャネル１５ａ、１５ｂは各々１０μｍの幅「ｃ」を有する。ただし、絶縁チャネル１５ａ、１５ｂが他の任意の好適な寸法を有していてよいということが理解される。
【００４６】
各電気接点５１ａ〜ｆの三枚のブレード７１ａ〜ｃは各々、平面的表面１３を含む。各ブレード７１ａ〜ｃの平面的表面１３は、チップ２９が試験のために試験用プラットフォーム１００上に位置づけされた場合、チップ２９の平面１７に対し平行である。この特定の実施例において、三枚のブレード７１ａ〜ｃ各々は、幅「ｗ」を有する。各ブレード７１ａ〜ｃの幅「ｗ」は、絶縁チャネル１５ａ、１５ｂの幅「ｃ」に三枚以上のブレードのうちの二枚の幅「ｗ」を加えた組合せが、製造公差を考慮に入れた後に電気部品２９のピン１１ａ〜ｆの幅「ｅ」より小さくなるようなものである（すなわち２ｗ＋ｃ＜ｅ）。代替的には、三枚以上のブレード各々の幅「ｗ」は、絶縁チャネル１５ａ、１５ｂの二本の幅「ｃ」に一枚のブレード７１ａ〜ｃの幅「ｗ」を加えた組合せが、製造公差を考慮に入れた後に電気部品２９のピン１１ａ〜ｆの幅「ｅ」よりも小さくなるようなものであることが理解される（すなわち２ｃ＋ｗ＜ｅ）。この特定の実施例において、三枚のブレード７１ａ〜ｃ各々は、１００μｍの幅「ｗ」を有し、したがって、各ブレードの平面的表面１３は１００μｍの幅を有することになる。しかしながら、ブレード７１ａ〜ｃ（ひいては平面的表面１３）が他の任意の好適な寸法を有し得ることが理解される。この特定の実施例において、試験中の電気部品２９の各電気接点１１ａ〜ｆの幅「ｅ」は３００μｍである。
【００４７】
この特定の実施例において、三枚のブレード７１ａ〜ｃ各々は、金でコーティングされ、各ブレード７１ａ〜ｃの先端部１９にタングステンが具備されている。タングステンは、各ブレード７１ａ〜ｃの先端部１９を硬化する。ブレード７１ａ〜ｃを任意の別の好適な金属でコーティングするか、または全くコーティングしないことも可能であり、例えばブレード７１ａ〜ｃを任意の貴金属でコーティングすることもできる、ということが理解される。ブレード７１ａ〜ｃは、ＢｅＮｉ材料またはＢｅＣｕ材料、あるいは他の任意の導電性バネ材料を含み得る。
【００４８】
試験すべきチップ２９は、ピン１１ａ〜ｆの形をした六個の電気接点を含む。ただし、チップ２９は任意の数のピンを含むことができ、したがってチップ２９は六個より多いまたは少ないピンを有することができる、ということが理解される。図３では、チップ２９は、試験のために理想的な位置に示されている。試験のために理想的な位置において、チップ２９は、プラットフォーム１００のステージ２５上で完全に方形であり、ピン１１ａ〜ｆ各々は、対応する電気接点５１ａ〜ｆに対して対称的に位置づけされている。六個のピン１１ａ〜ｆ各々は、ステージ２５上で対応する電気接点５１ａ〜ｆと協働して、各電気接点５１ａ〜ｆの三枚のブレードのうちの任意の二枚または三枚のブレード７１ａ〜ｃ全ての間に電気的な接続を提供する。
【００４９】
チップ２９の試験のためには、各電気接点５１ａ〜ｆについて、チップ２９のピン１１ａ〜ｆが絶縁チャネル１５ａ、１５ｂの少なくとも一本を橋渡しして三枚のブレード７１ａ〜ｃのうちの少なくとも二枚の間に電気的な接続を提供するようにチップ２９をステージ２５上に位置づけすることが必要である。チップ２９の試験中、ピン１１ａ〜ｆにより電気的に接続されている二枚のブレード７１ａ〜ｃのうちの一枚は、試験中、信号供給端子として作用し、一方、二枚のブレード７１ａ〜ｃのうちのもう一枚は信号検出端子として作用するか、また、その逆の場合もあり得る。チップ２９の試験中、電流は、一つまたは複数の信号供給端子を提供するブレード７１ａ〜ｃからピン１１ａ〜ｆを流れ、電圧は、一つまたは複数の信号検出端子を形成するブレード７１ａ〜ｃにより検出され、測定される。六個のピン１１ａ〜ｆ各々におけるチップ２９の性能を監視することができ、こうして、チップ２９の全体的な性能を判定することができる。
【００５０】
図３に示されているように、チップ２９が試験のための理想的な位置に位置づけされている場合、ピン１１ａ〜１１ｆは、各ピン１１ａ〜１１ｆが三枚のブレード７１ａ〜ｃに接触し、こうして三枚のブレード７１ａ〜ｃ各々を電気的に接続するように、絶縁チャネル１５ａ、１５ｂの両方を橋渡しすることが分かる。したがって、チップ２９が試験のための理想的な位置に位置づけされた特殊な場合においては、チップ２９の試験中の信号供給端子を提供するために、三枚のブレード７１ａ〜ｃのうちのいずれか一枚または二枚を選択することができ、チップ２９の試験中の信号検出端子を提供するために、他のブレード７１ａ〜ｃのいずれかを選択することができる。
【００５１】
図４（ａ）〜（ｆ）に示されているように、図３に示された電気接点５１ａ〜ｆの構成は、チップ２９の試験のために必要とされる電気的な接続の確立を容易にする。図４（ａ）は、（図３に関して前述したように）理想的な試験位置におけるチップ２９を示している。図２（ａ）〜（ｆ）に描かれている先行技術の試験用プラットフォーム１０の電気接点３０ａ〜ｆと同様に、図４（ａ）〜図４（ｆ）に描かれている試験用プラットフォーム１００の電気接点５１ａ〜ｆは、チップ２９がＸ軸に沿ってずれている場合（図４（ｄ）および図４（ｅ）参照）またはステージ２５に対して回転している場合（図４（ｆ）参照）でさえ、各電気接点５１ａ〜ｆの三枚のブレード７１ａ〜ｃのうちの二枚の間にチップ２９のピン１１ａ〜ｆが電気的な接続を正しく確立するのを容易にする。より具体的には、各ブレード７１ａ〜ｃを長手方向になるように構成すること；同じ電気接点５１ａ〜ｆのブレード７１ａ〜ｃを平行になるように構成すること；そして平面的表面１３を含むように各ブレード７１ａ〜ｃを構成することが、それぞれ、チップ２９のピン１１ａ〜ｆが、必要とされる電気的な接続を確立するのを容易にする。例えば、平面的表面１３はブレード７１ａ〜ｃとの電気的な接触を確立するために使用可能な接触範囲を増大させることから、平面的表面１３を提供することで、チップ２９のピン１１ａ〜ｆが、必要とされる電気的な接続を確立することが容易になる。同様にして、各ブレード７１ａ〜ｃの長手方向の構成は、Ｘ軸に沿ってブレード７１ａ〜ｃの寸法を増大させ、したがってチップ２９のピン１１ａ〜ｆは、チップ２９がＸ軸に沿って変位させられた場合でも、ブレード７１ａ〜ｃとなおも接触することができる。ブレード７１ａ〜ｃの平行な構成は、チップ２９がＸ軸に沿って変位させられた場合でも、必要とされる電気的な接続の確立を可能にすることから、有利である。
【００５２】
こうして、チップ２９は、それがＸ軸に沿って理想的な試験位置からずれたかまたはステージ２５に対して回転してもはや理想的な試験位置にない場合でさえ、なおも試験することが可能である。
【００５３】
有利には、図４ｂ〜ｃに示されているように、電気接点５１ａ〜ｆの構成は、チップ２９がＹ軸に沿ってずれている場合に、各電気接点５１ａ〜ｆの三枚のブレード７１ａ〜ｃのうちの二枚の間にチップ２９のピン１１ａ〜ｆが電気的な接続を確立することをさらに容易にする。より具体的には、第三のブレードを含むように電気接点５１ａ〜ｆを構成することで、チップ２９がＹ軸に沿ってずれている場合に、各電気接点５１ａ〜ｆの三枚のブレード７１ａ〜ｃのうちの二枚の間に、チップ２９のピン１１ａ〜ｆが電気的な接続を確立することが容易になる。
【００５４】
図４（ｂ）に示されているように、試験すべきチップ２９は、Ｙ軸に沿って第一の方向（右方向）にずれている。第三のブレード７１ａ〜ｃを提供することで、チップ２９がＹ軸に沿って右にずれている場合に、チップ２９のピン１１ａ〜ｆがなおも各電気接点５ａ〜ｆのブレード７１ｂと７１ｃの間に電気的な接続を確実に確立することができる。したがって、ブレード７１ｂは、チップ２９の試験中、信号供給端子を提供するために使用され得、ブレード７１ｃは、チップ２９の試験中、信号検出端子を提供するために使用され得、また逆の場合もあり得る。こうして、チップ２９がＹ軸に沿って理想的な試験位置からずれているにも関わらず、チップ２９を正しく試験することができる。図４（ｃ）に示されているように、試験すべきチップ２９は、Ｙ軸に沿って第二の方向（左方向）にずれている。第三のブレード７１ａ〜ｃを提供することで、試験すべきチップ２９がＹ軸に沿って左にずれている場合に、チップ２９のピン１１ａ〜ｆが各電気接点５１ａ〜ｃのブレード７１ａと７１ｂの間に電気的な接続を確実に確立することができ、こうして、ブレード７１ａは、チップ２９の試験中、信号供給端子を提供するために使用され得、ブレード７１ｂは、チップ２９の試験中、信号検出端子を提供することができ、また逆の場合もあり得る。こうして、チップ２９がその理想的な試験位置からＹ軸に沿って左にずれている場合でさえ、チップ２９を正しく試験することができる。したがって、三枚以上のブレードを含むように電気接点５１ａ〜ｃを構成することで、Ｙ軸、Ｘ軸に沿ってずれたかまたはステージ２５またはプラットフォーム１００に対して回転した場合でさえ、チップ２９をなおも確実に試験することができる。
【００５５】
図５ａは、本発明に係る試験機の部品１１０の平面図を提供している。試験機の部品１１０は、三個の電気接点１０３ａ〜ｃを互いに対し定位置に保持する保持用部材１０１を含む。図５ｂは、電気接点１０３ａ〜ｃの拡大図を提供する。三個の電気接点１０３ａ〜ｃ各々は、ルート部材１０９ａ〜ｉにより保持用部材１０１に接続されている。任意には、三個の電気接点１０３ａ〜ｃは保持用部材１０１と一体化されていてよい。ルート部材１０９ａ〜ｉ各々は、保持用部材１０１からしだいに細くなりブレード１０７ａ〜ｃを形成する。三個の電気接点１０３ａ〜ｃ各々は三枚のブレード１０７ａ〜ｃを含む。各ブレード１０７ａ〜ｃは、長手方向に「Ｉ」の形状を有し、三枚のブレード１０７ａ〜ｃ各々は平行である。さらには、三枚のブレード１０７ａ〜ｃ各々は平面的表面８を含む。
【００５６】
試験機の部品１１０の一つ以上は、図３に描かれたプラットフォーム１００に類似するプラットフォームを試験機上に画定するために、試験機（図示せず）に接続することができる。保持用部材１０１はさらに、孔１０５ａ〜ｄの形をしたガイド手段を含む。孔１０５ａ〜ｄは、ユーザーが容易に試験機の部品１１０を試験機に調整できるようにする。例えば、試験機の部品１１０を試験機に接続する場合、各孔１０５ａ〜ｄは、試験機上にあるピンまたはネジを収容して、保持用部材１０１を試験機上の正しい位置に向かって誘導し、しっかりと固定し得る。
【００５７】
当業者には、添付の特許請求の範囲で定義された本発明の範囲から逸脱することなく、本発明の記述された実施形態に対するさまざまな修正および変更が明らかである。本発明は、具体的な好ましい実施形態に関連して記述されているが、請求された発明がこのような具体的な実施形態に不当に限定されるべきではないということが理解されるべきである。
【符号の説明】
【００５８】
１  試験用プラットフォーム
３ａ〜３ｆ  電気的ケルビン接点
５ａ、５ｂ  ブレード
７  電気部品
８  平面的表面
９ａ〜９ｆ  ピン
１０  試験用プラットフォーム
１１ａ〜１１ｆ  ピン
１３  平面的表面
１５ａ、１５ｂ  絶縁チャネル
１７  平面
１９  先端部
２５  ステージ
２９  チップ
３０ａ〜３０ｆ  電気接点
５０ａ、５０ｂ  ブレード
５１  平面的表面
５１ａ〜５１ｆ  電気接点
５２  平面
７１ａ〜７１ｃ  ブレード
１００  試験用プラットフォーム
１０１  保持用部材
１０３ａ〜１０３ｃ  電気接点
１０５ａ〜１０５ｄ  孔
１０７ａ〜１０７ｃ  ブレード
１０９ａ〜１０９ｉ  ルート部材
１１０  部品
【図１ａ−１ｆ】
2013541006.tif 000003
【図２ａ−２ｆ】
2013541006.tif 000004
【図３】
2013541006.tif 000005
【図４ａ−４ｆ】
2013541006.tif 000006
【図５ａ】
2013541006.tif 000007
【図５ｂ】
2013541006.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成25年7月30日(2013.7.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品（２９）の電気接点（１１ａ〜ｆ）により、三枚以上のブレード（７１ａ〜７１ｃ）のうちの少なくとも二枚の間の電気的な接続の確立を容易にするのに好適な三枚以上のブレード（７１ａ〜７１ｃ）を含む電気接点（５１ａ〜ｆ）であって、三枚以上のブレード（７１ａ〜７１ｃ）各々がステージ（２５）上に位置づけられ、三枚以上のブレード（７１ａ〜７１ｃ）各々がステージ（２５）の表面に平行な平面に直角に交わる異なる平面上に位置づけられていることを特徴とする、電気接点（５１ａ〜ｆ）。
【請求項２】
三枚以上のブレード（７１ａ〜７１ｃ）がステージ（２５）の表面を横断して平行に延在するように配置されている、請求項１に記載の電気接点（５１ａ〜ｆ）。
【請求項３】
三枚以上のブレード（７１ａ〜７１ｃ）の一部または全部が平面的表面（１３）を含む、請求項１に記載の電気接点（５１ａ〜ｆ）。
【請求項４】
三枚以上のブレード（７１ａ〜７１ｃ）が、三枚以上のブレード（７１ａ〜７１ｃ）各々を互いに電気的に絶縁するように構成されている二本以上の絶縁チャネル（１５ａ、１５ｂ）を画定するように配置されている、請求項１に記載の電気接点（５１ａ〜ｆ）。
【請求項５】
三枚以上のブレード（７１ａ〜７１ｃ）各々の幅（ｗ）が、二本以上の絶縁チャネル（１５ａ、１５ｂ）のうちの二本の幅に一枚のブレード（７１ａ〜７１ｃ）の幅（ｗ）を加えた組合せが電気部品（２９）の電気接点（１１ａ〜ｆ）の幅よりも小さくなるようなものである、請求項４に記載の電気接点（５１ａ〜ｆ）。
【請求項６】
ブレード（７１ａ〜７１ｃ）の一部または全部が、金、貴金属、ＢｅＮｉまたはＢｅＣｕの少なくとも一つを含む、請求項１に記載の電気接点（５１ａ〜ｆ）。
【請求項７】
ブレード（７１ａ〜７１ｃ）の一部または全部がタングステンを含む、請求項１に記載の電気接点（５１ａ〜ｆ）。
【請求項８】
電気接点（５１ａ〜ｆ）が、三枚以上のブレード（７１ａ〜７１ｃ）を保持してそれらが互いに対し定位置にあるようにする保持用部材（１００、１０１）をさらに含む、請求項１に記載の電気接点（５１ａ〜ｆ）。
【請求項９】
請求項１に記載の少なくとも一個の電気接点（５１ａ〜ｆ）のいずれか一個を含む保持用部材（１０１）を含む試験機の部品（１１０）。
【請求項１０】
試験機の部品（１１０）が、請求項１に記載の複数の電気接点（５１ａ〜ｆ）を含む、請求項９に記載の試験機の部品（１１０）。
【請求項１１】
複数の電気接点（５１ａ〜ｆ）の少なくとも一部が同じ向きで配置されている、請求項１０に記載の試験機の部品（１１０）。
【請求項１２】
試験機と試験機の部品の協働を容易にするために、試験機上の既定の位置へと試験機の部品を誘導するように構成されているガイド手段をさらに含む、請求項９に記載の試験機の部品（１１０）。
【国際調査報告】
2013541006.tif 000009
2013541006.tif 000010
2013541006.tif 000011