(57)【要約】  電極装置、圧力センサー、及び圧力測定計が提供される。電極装置は、電極部と、電極部のラジアル方向の外周に配置される弾性変形部とを含む。ある力が電極装置に加えられるときに、弾性変形部を相応して変形させ、電極部を軸方向に移動させ得るよう、電極部は、弾性変形部と一体化される。
2013537972.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極部とそのラジアル方向の外周において設けられる弾性変形部とを備え、前記電極部と弾性変形部とが一体的に連結され、軸方向において応力を受ける際に、前記弾性変形部は、相応する変形が生じることができ、且つ前記電極部を軸方向に沿って移動させることを特徴とする可動電極装置。
【請求項２】
前記可動電極装置の軸方向において受ける応力の大きさが予め設定した値を越えない時、前記電極部が有する厚さは、電極部が変形しないように、または生じる変形を許容される範囲内に確保することができることを特徴とする請求項１に記載の可動電極装置。
【請求項３】
前記弾性変形部の断面の形状が、湾曲型、折れ線型または階段式の構造であることを特徴とする請求項１に記載の可動電極装置。
【請求項４】
前記弾性変形部の厚さが前記電極部の厚さより小さくなっており、前記弾性変形部は、プレス加工の方式で被加工部位を薄くして形成されることを特徴とする請求項３に記載の可動電極装置。
【請求項５】
ベースと、
前記ベースの上に設けられる口金と、
可動電極装置とを備え、
前記可動電極装置は、電極部とそのラジアル方向の外周において設けられる弾性変形部とを備え、
前記電極部と前記弾性変形部が一体的に連結され、前記可動電極装置が軸方向において応力を受ける際に、前記弾性変形部は、相応する変形が生じることができ、且つ前記電極部を軸方向に沿って移動させ、
前記可動電極装置と前記ベースとが密封されて固定され、よって、前記可動電極装置と前記ベースとの間には、エア収納が可能なエア室が形成され、前記口金と前記エア室とが連通されていることを特徴とする圧力センサー装置。
【請求項６】
前記可動電極装置の軸方向において受ける応力の大きさが予め設定した値を越えない時、前記電極部が有する厚さは、電極部が変形しないように、または生じる変形を許容される範囲内に確保することができることを特徴とする請求項５に記載の圧力センサー装置。
【請求項７】
前記弾性変形部の断面の形状が、湾曲型、折れ線型または階段式の構造であることを特徴とする請求項５に記載の圧力センサー装置。
【請求項８】
前記弾性変形部の厚さが前記電極部の厚さより小さくなっており、前記弾性変形部は、プレス加工の方式で被加工部位を薄くして形成されることを特徴とする請求項７に記載の圧力センサー装置。
【請求項９】
圧力センサー装置と、
固定電極とを備え、
前記圧力センサー装置は、ベースと、前記ベースの上に設けられる口金と、可動電極装置とを備え、
前記可動電極装置は、電極部とそのラジアル方向の外周において設けられる弾性変形部とを備え、前記電極部と弾性変形部とが一体的に連結され、前記可動電極装置が軸方向において応力を受ける際に、前記弾性変形部は、相応する変形が生じることができ、且つ前記電極部を軸方向に沿って移動させ、
前記可動電極装置と前記ベースとが密封されて固定され、よって、前記可動電極装置と前記ベースの間には、エア収納が可能な一つのエア室が形成され、
前記電極部の一側は、前記固定電極に対して平行に設置され、前記電極部の他の一側と前記弾性変形部と前記ベースとは、前記エア室を形成し、
前記口金と前記エア室とが連通されていることを特徴とする静電容量型圧力センサー。
【請求項１０】
前記可動電極装置の軸方向において受ける応力の大きさが予め設定した値を越えない時、前記電極部が有する厚さは、電極部が変形しないように、または生じる変形を許容される範囲内に確保することができることを特徴とする請求項９に記載の静電容量型圧力センサー。
【請求項１１】
前記弾性変形部の断面の形状が、湾曲型、折れ線型または階段式の構造であることを特徴とする請求項９に記載の静電容量型圧力センサー。
【請求項１２】
前記口金は、前記ベースの中部から全体的に延伸することによって形成されることを特徴とする請求項９に記載の静電容量型圧力センサー。
【請求項１３】
前記可動電極装置は、固定部を更に備え、前記固定部は、前記弾性変形部のラジアル方向の外周に設けられ、前記可動電極装置は、前記固定部を介して前記ベースと密封されて固定されることを特徴とする請求項９に記載の静電容量型圧力センサー。
【請求項１４】
静電容量型圧力センサーと、
マイクロ処理装置とを備え、
前記静電容量型圧力センサーは、圧力センサー装置と、固定電極とを備え、
前記圧力センサー装置は、ベースと、前記ベースの上に設けられる口金と、可動電極装置とを備え、
前記可動電極装置は、電極部とそのラジアル方向の外周において設けられる弾性変形部とを備え、前記電極部と弾性変形部とが一体的に連結され、前記可動電極装置が軸方向において応力を受ける際に、前記弾性変形部は、相応する変形が生じることができ、且つ前記電極部を軸方向に沿って移動させ、
前記可動電極装置と前記ベースとが密封されて固定され、よって、前記可動電極装置と前記ベースの間には、エア収納が可能な一つのエア室が形成され、
前記電極部の一側は、前記固定電極に対して平行に設置され、前記電極部の他の一側と前記弾性変形部と前記ベースとは、前記エア室を形成し、
前記口金と前記エア室とが連通され、
前記電極部と前記電極部との間の静電容量信号は、マイクロ処理装置に入力されることを特徴とする電子圧力計。
【請求項１５】
前記可動電極装置の軸方向において受ける応力の大きさが予め設定した値を越えない時、前記電極部が有する厚さは、電極部が変形しないように、または生じる変形を許容される範囲内に確保することができることを特徴とする請求項１４に記載の電子圧力計。
【請求項１６】
前記可動電極装置は、固定部を更に備え、前記固定部は、前記弾性変形部のラジアル方向の外周に設けられ、前記可動電極装置は、前記固定部を介して前記ベースと密封されて固定されることを特徴とする請求項１４に記載の電子圧力計。
【請求項１７】
ベースから外へ向いて口金を伸び出して一体化となるベースモジュールを形成し、
一つの電極板において予め必要とされる形状の電極部を残し、
予備用電極部のラジアル方向の外周電極板において弾性変形部を加工し、よって、前記電極板が軸方向において応力を受ける際に、前記弾性変形部は、相応する変形が生じることができ、且つ前記電極部を軸方向に沿って移動させ、
前記弾性変形部を介して前記電極部とベースを密着して固定し、且つ電極部と弾性変形部とベースとによってエア収納が可能な一つのエア室を形成し、
必要とされる形状の固定電極を製造し、
前記電極を固定電極に相対し且つ平行に設置して固定することにより、口金からエア室内に入る圧力が変化する際に、前記弾性変形部の変形によって前記電極部と固定電極の間の距離を変化させることができ、且つ圧力センサーの静電容量を変化させることができることを特徴とする静電容量型圧力センサーの製造方法。
【請求項１８】
プレス加工の方式で被加工部位を薄くすることにより、形成される弾性変形部の断面形状が曲線形、波形、折れ線形または階段式の構造、またはこれらの混合構造を有するようにすることを特徴とする請求項１７に記載の静電容量型圧力センサーの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動電極装置、静電容量型圧力センサー及び血圧測定設備に係り、具体的には、静電容量型圧力センサーの可動電極装置、圧力センサー及び当該圧力センサーを用いた圧力計に係わり、血圧の測定に特に適用するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子血圧計に用いられる圧力センサーは、２つの種類に分けられ、１つの種類は、半導体シリコン圧力センサーであり、もう１つの種類は、静電容量型圧力センサーである。
【０００３】
典型的な静電容量型圧力センサーとしては、例えば、日本発明特許「静電容量型圧力センサーの製造方法」、公開番号JP６３０７９５９に記載されているものが挙げられる。図１に示されるように、当該発明によって開示される静電容量型圧力センサーは、ベース１０と、ベース１０に固定されている口金１１及び弾性部材１２（elastic  member）と、ベースに固定されている固定電極板１５と、固定電極板１５と平行に配置されている可動電極板１４とを備える。そのうち、可動電極板１４と弾性部材１２（elastic  member）の間は、上下構造になっており、可動電極板１４は、ハンダ１３によって弾性部材１２に溶接されている。
【０００４】
本発明の発明人らは、公開番号がCN１９３２４６０で、発明名称が「静電容量型圧力センサーと当該センサーを用いた血圧計」である中国特許を提出している。図２と図３に示されるように、当該中国特許によって開示される圧力センサーは、ベースモジュール２１と、弾性部材２２と、可動電極２３と、固定電極（図示せず）とによって構成されている。その内、ベースモジュール２１は、口金２１cと、ベース２１bと、可動電極端子２１aとが一体化になっている金属パーツであり、可動電極２３は、ハンダによって弾性部材２２に溶接されている。
【０００５】
また、類似したものとしては、発明名称が「Center-Mount  Capacitive  Sensor  With  Overload  Protection」で、特許番号がUS６７１８８２７B１である米国特許に開示される一つの典型的な静電容量型圧力センサーである。当該特許において、コンデンサ極板６０と弾性体２０との間は、固定端子５０を介して接続される上下構造になっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の従来技術において、一つの問題としては、コンデンサ極板と弾性体などの部品をそれぞれ製造する必要があり、よって、製造コストが高くなっており、他の一つの問題としては、センサーを小型化にする必要がある際に（例えば、血圧計中のセンサーとして使用される場合）、小型化のコンデンサ極板と弾性体が上述の上下構造を採用する場合、接続上において難点が存在することである。例えば、薄型の弾性部材と小さい寸法の可動電極との間は、溶接する際において難点があり、このような難点によってセンサー生産効率の向上が直接に影響される。また、弾性部材と可動電極との間の溶接誤差によって更にセンサーの固定電極と可動電極との間において平行度誤差と距離誤差が生じてしまい、よって、センサーの線型性が劣化し、センサーの精度が影響される。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一つの局面によれば、電極部と、そのラジアル方向に設けられる弾性変形部とを含む可動電極装置を提供し、前記電極部と弾性変形部は、一体化に接続され、前記可動電極装置が軸方向において応力を受ける場合、前記弾性変形部は、相応する変形が生じることができ、且つ前記電極部を軸方向に沿って移動させる。
【０００８】
本発明の他の一つの局面によれば、口金と、ベースと、圧力センサー素子とを含む圧力センサー装置を提供し、前記べースには、口金が設けられ、前記圧力センサー素子は、電極部と、そのラジアル方向に沿って設けられる弾性変形部とを含み、前記電極部と弾性変形部は、一体化に接続され、前記圧力センサー素子が軸方向において応力を受ける場合、前記弾性変形部は、相応する変形が生じることができ、且つ前記電極部を軸方向に沿って移動させ、前記圧力センサー素子は、前記弾性変形部を介してベースに密着されて固定され、前記電極部と弾性変形部とベースとの間には、エア収納が可能な一つのエア室が形成され、前記口金と前記エア室は、連通されている。
【０００９】
また、本発明の一つの局面によれば、圧力センサー装置と、固定電極とを含む静電容量型圧力センサーを提供し、前記圧力センサー装置は、口金と、ベースと、可動電極装置とを含み、前記ベースには、口金が設けられ、前記可動電極装置は、電極部とそのラジアル方向に沿って設けられる弾性変形部とを含み、前記電極部と弾性変形部は、一体化に接続され、前記可動電極装置が軸方向において応力を受ける場合、前記弾性変形部は、相応する変形が生じることができ、且つ前記電極部を軸方向に沿って移動させ、前記可動電極装置は、前記弾性変形部を介してベースに密着されて固定され、前記電極部の一側は、前記固定電極に対して平行に設けられ、前記電極部の他の一側と弾性変形部とベースとは、エア収納が可能な一つのエア室を形成し、前記口金と前記エア室は、連通している。
【００１０】
更に、本発明のもう一つの局面によれば、静電容量型圧力センサーと、マイクロ処理装置とを含む電子圧力計を提供し、前記静電容量型圧力センサーは、圧力センサー装置と、固定電極とを含み、前記圧力センサー装置は、口金と、ベースと、可動電極装置とを含み、前記ベースには、口金が設けられており、その特徴として、前記可動電極装置は、電極部とそのラジアル方向に沿って設けられる弾性変形部とを含み、前記電極部と弾性変形部は、一体化に接続され、前記可動電極装置が軸方向において応力を受ける場合、前記弾性変形部は、相応する変形が生じることができ、且つ前記電極部を軸方向に沿って移動させ、前記可動電極装置は、前記弾性変形部を介してベースに密着されて固定され、前記可動電極装置とベースとの間には、エア収納が可能な一つのエア室が形成され、前記電極部の一側は、前記固定電極に対して平行に設けられ、前記電極部の他の一側と弾性変形部とベースとは、エア収納が可能な一つのエア室を形成し、前記口金と前記エア室は、連通しており、前記電極部と固定電極との間の静電容量信号は、マイクロ処理装置に入力される。
【００１１】
更に、すくなくとも一部の前記電極部は、可変容量コンデンサの可動電極の極板となる。
【００１２】
更に、前記電極部の軸方向において受ける応力の大きさが予めに設定した範囲を越えない場合、前記電極部が有する厚さは、電極部を変形させず、または発生する変形が許容範囲を越えないようにする厚さである。
【００１３】
更に、上記弾性変形部の断面（A−A）の形状は、曲線形、波形、折れ線形、または階段式の構造を有してもよく、またはこれらの混合構造であってもよい。
【００１４】
更に、前記弾性変形部の厚さは、前記電極部より小さくなっており、前記弾性変形部は、プレス加工によって被加工部位を薄くして形成される。
【００１５】
更に、前記可動電極装置には、更に可動電極固定部が設けられ、前記可動電極固定部は、前記弾性変形部の外周に設けられ、前記可動電極装置は、前記可動電極固定部を介してベースと密着されて固定される。
【００１６】
前記口金は、前記ベースの中部から全体的に延伸して形成され、更にベースから全体的に延伸して形成される可動電極端子を含み、口金とベースと可動電極端子とは、一体化の構造である。
【００１７】
更に、本発明のもう一つの局面によれば、以下のようなステップを含む静電容量型圧力センサーの製造方法を提供する。
【００１８】
ステップ１：導体を利用してベースを製造し、且つベースから外へ向いて口金を伸び出して一体化になるベースモジュールを形成し、
ステップ２：一つの電極板において予め必要とされる形状の電極を残し、当該電極は、同時に圧力を感受できる電極部となり、
ステップ３：予備用電極の外周電極板において弾性変形部を加工し、よって、電極板に加わる圧力が変化する時、前記弾性変形部は、次第に変形が生じることができ、
ステップ４：前記弾性変形部を介して前記電極をベースに密着して固定し、且つ電極と弾性変形部とベースとは、エア収納が可能な一つのエア室を形成し、
ステップ５：必要とされる形状の固定電極を製造し、
ステップ６：前記電極を固定電極に相対して且つ平行に設置して固定し、よって、口金からエア室内に入る圧力が変化する際に、前記弾性変形部の変形によって前記電極と固定電極との間の距離を変化させて圧力センサーの静電容量を変化させる。
【００１９】
更に、前記弾性変形部を加工する方法は、プレス加工の方式で被加工部位を薄くし、且つ断面（A−A）の形状が曲線形、波形、折れ線形、または階段式の構造を有するように、またはこれらの混合構造を有するようにすることである。
【発明の効果】
【００２０】
可動電極装置が、電極部とそのラジアル方向において一体に連結される弾性変形部とによって構成されるため、可動電極装置が軸方向において応力を受ける際に、弾性変形部が相応する変形が生じることができ、且つ前記電極部を軸方向に沿って移動させる。よって、可動電極装置は、機械式の圧力検出部品として機能するとともに、電子式の素子としても（可変容量の極板として）機能し、機械と電子の二重機能を一体化にしたものである。電極部と弾性変形部との間には、溶接の問題が存在せず、従来技術の可動電極と弾性部材との間における、溶接によって生じる一連の技術問題を巧みに回避し、ハンダ誤差が存在せず、組立ての工程がより簡便で、装着精度も高くなり、且つセンサーの製造効率を高めることができる。
【００２１】
以下、図面を参照しながら本発明の静電容量型圧力センサーについてより詳細な説明を行う。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】従来技術における一つの静電容量型圧力センサーの構造概略図である。
【図２】従来技術における他の一つの静電容量型圧力センサーの構造概略図である。
【図３】図２の立体分解図である。
【図４】一つの静電容量型圧力センサーの可動電極装置の構造概略図である。
【図５】図４のA-A断面図である。
【図６】もう一つの静電容量型圧力センサーの可動電極装置の構造概略図である。
【図７】図６のA-A断面図である。
【図８】また別の一つの静電容量型圧力センサーの可動電極装置の構造概略図である。
【図９】図８のA-A断面図である。
【図１０】また別の一つの静電容量型圧力センサーの可動電極装置の構造概略図である。
【図１１】図１０のA-A断面図である。
【図１２】一つの静電容量型圧力センサーの立体分解図である。
【図１３】図１２の組立て構造の概略図である。
【図１４】図１２の局部断面図である。
【図１５】図１２を反転した時の立体分解図である。
【図１６】本発明に係る静電容量型圧力センサーを利用する電子血圧測定設備の構成ブロック線図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明を更に詳しく説明するために、まず「軸方向」と「ラジアル方向」についてそれぞれ以下のように定義する：
軸方向は、板面に垂直する方向を指す。
【００２４】
ラジアル方向は、軸方向に垂直する方向を指す。
【実施例１】
【００２５】
図４と図５に示されるように、可変容量コンデンサの可動電極装置の一つの実施形態として、電極部１０１と、電極部１０１のラジアル方向の外周に設けられる弾性変形部１０２とが含まれる。弾性変形部１０２と電極部１０１が同一の平面に設置されてもよく、同一の平面に設置せずに、弾性変形部１０２と電極部１０１の間が一つの角度で連結されるように設置してもよい。図４と図５に示される可動電極装置には、更に当該可動電極装置を固定するために用いられる固定部１０３が含まれる。電極部１０１、弾性変形部１０２と、固定部１０３とを一括加工によって一体化の構造にさせてもよい。また、電極部１０１と弾性変形部１０２とをその他の方式で一体に連結させてもよい。電極部１０１は、比較的大きい厚さを備えることができるが、当該厚さは、電極部１０１の軸方向において受ける応力の大きさが予め設定した値を越えない場合、電極部１０１が変形しないように、または生じた変形が許容可能な範囲を越えないように確保する必要がある。弾性変形部１０２の断面（即ち、図４に示されるラジアル方向の線A-Aに沿って得られる断面）の形状は、湾曲構造を有してもよい。電極部１０１と比較して、弾性変形部１０２の厚さをできる限り薄型構造に加工する必要があり、よって、可動電極装置が軸方向において応力を受ける場合、弾性変形部１０２は、当該軸方向の応力に対応する変形が生じることができ、且つ電極部１０１全体を軸方向に沿って移動させることができる。
【００２６】
必要に応じて、電極部１０１を部分的にまたは完全に伝統意義での可変容量コンデンサの可動電極の極板にすることができる。そのため、本発明において、可動電極装置は、機械式の圧力検出部品として機能するとともに、電子式の素子としても（可変容量の極板として）機能し、機械と電子の二重機能を一体化にしたものである。
【００２７】
上記可変容量コンデンサの可動電極装置の製造方法は、その一つの実施形態において、以下のようなスッテプを含んでもよい。
【００２８】
ステップ１：一つの電極板において予め必要とされる形状の電極部１０１を残し、
ステップ２：予備用電極部１０１のラジアル方向の外周電極板において、プレス加工などの方式で被加工部位を薄くし、且つ規定形状の弾性変形部１０２を加工し、よって、可動電極装置の軸方向に加わる圧力が変化する時、前記弾性変形部102は、相応する変形が生じることができ、且つ電極部１０１を軸方向にそって移動させることができる。
【実施例２】
【００２９】
図６と図７に示されるように、可変容量コンデンサの可動電極装置の他の一つの実施形態として、電極部２０１と、弾性変形部２０２と、固定部２０３とが含まれる。本実施例と実施例１の区別点として、弾性変形部２０２のラジアル方向の線A-Aに沿って得られる断面形状が異なっていることである。実施例１における弾性変形部１０２の断面形状は、外へ向いて盛り上がっており（即ち、弾性変形部１０２は、外へ向いて盛り上げる曲面である）、本実施例における弾性変形部２０２の断面形状は、内へ向いて凹んでいる（即ち、弾性変形部２０２は、内へ向いて凹む曲面である）。その他の構造と製造方法は、実施例１と一致している。
【００３０】
応力を受ける際において弾性変形部を弾性変形させるために、弾性変形部が、実施例１と実施例２における二つの曲面が融合される方式を採用することができることは、当業者であれば理解すべきである。即ち、弾性変形部が波形曲面であってもよく、それと対応して、弾性変形部の断面形状が波形構造であってもよい。更に、応力を受ける際においての弾性変形を実現するために、弾性変形部が曲面構造を採用する以外、弾性変形部の断面形状がその他の非直線型の構造であってもよく、例えば、階段式の構造や折れ線型の構造にすることができる。
【実施例３】
【００３１】
図８と図９に示されるように、また別の可変容量コンデンサの可動電極装置として、電極部３０１と、弾性変形部３０２と、固定部３０３とが含まれる。本実施例と実施例１の区別点として、弾性変形部３０２のラジアル方向の線A-Aに沿って得られる断面形状が異なっていることである。本実施例において、弾性変形部３０２の断面形状は、階段式の構造である。弾性変形部３０２を製造する際において、被加工部位を階段式の構造にプレス加工することができる。その他の構造と製造方法は、実施例１と一致している。
【実施例４】
【００３２】
図１０と図１１に示されるように、また別の可変容量コンデンサの可動電極装置として、電極部４０１と、弾性変形部４０２と、固定部４０３とが含まれる。本実施例と実施例１の区別点として、弾性変形部４０２のラジアル方向の線A-Aに沿って得られる断面形状が異なっていることである。本実施例において、弾性変形部４０２の断面形状は、基本的に折れ線型の構造を呈する。弾性変形部４０２を製造する際において、被加工部位を折れ線型の構造にプレス加工することができる。その他の構造と製造方法は、実施例１と一致している。
【実施例５】
【００３３】
図１２−１５に示されるように、一つの静電容量型圧力センサーとして、上シールドカバー５０１と、圧力センサー装置と、固定電極５０７と、下シールドカバー５０９とが含まれる。その内、圧力センサー装置に、口金５０２と、ベース５０３と、可動電極装置と、可動電極端子５１１とが含まれており、ベース５０３の上に口金５０２が設けられる。可動電極装置に、電極部５０４と、電極部５０４のラジアル方向の外周に設けられる弾性変形部５０５と、固定部５０６とが含まれる。電極部５０４と弾性変形部５０５と固定部５０６は、一括加工による一体化構造になってもよい。電極部５０４の厚さは、電極部５０４の軸方向において受ける応力の大きさが予め設定した値（例えば、測定圧力の最大値）を越えない場合、電極部５０４が変形しないように、または生じた変形が許容可能な誤差範囲を越えないように確保する必要がある。弾性変形部５０５の断面形状（図１４を参照）は、基本的に波形の曲線を呈し、電極部５０４と比較して、弾性変形部５０５の厚さをできる限り薄型構造に加工する必要があり、よって、可動電極装置が軸方向において応力を受ける場合、弾性変形部５０５が相応する変形を生じることができ、且つ電極部５０４を軸方向に沿って移動させることができる。可動電極固定部５０６は、弾性変形部５０５のラジアル方向の外周に設けられる。電極部５０４は、可動電極固定部５０６を介してベース５０３と密着されて固定され、電極部５０４の一側、弾性変形部５０５、可動電極固定部５０６とベース５０３の間には、エア収納が可能なエア室５１２が形成され、口金５０２とエア室５１２は、連通している。固定電極５０７は、プリント基板５０８の銅箔の上に配置することができ、固定電極５０７の周りのプリント基板５０８には、取付け穴５１０を設けてもよい。可動電極端子５１１の一端は、電極部５０４と電気的に接続され、可動電極端子５１１の他の一端は、プリント基板５０８の上の可動電極端子取付け穴５１０内に挿入されて固定されており、電極部５０４の他の一側は、プリント基板５０８の上の固定電極５０７に対して平行に設けられる。圧力センサー装置と固定電極５０７は、閉めた上シールドカバー５０１と下シールドカバー５０９の間に設けられ、外からの電磁干渉を回避する。
【００３４】
作業時において、エア室５１２内にエアが入って可動電極装置に加わる圧力が変化すると、弾性変形部５０５に変形が生じ、弾性変形部５０５の変形によって電極部５０４と固定電極５０７の間の距離を変化させ、よって、圧力センサーの静電容量を変化させる。
【００３５】
上記静電容量型圧力センサーの製造方法には、以下のようなステップが含まれる。
【００３６】
ステップ１：導体を利用してベース５０３を製造し、且つベース５０３から外へ向いて口金５０２と可動電極端子５１１とを延出して一体化になるベースモジュールを形成し、
ステップ２：一つの電極板において予め必要とされる形状の電極部５０４を残し、
ステップ３：予備用電極部５０４のラジアル方向の外周電極板において、プレス加工などの方式によって波形などと言った弾性変形部５０５を加工し、且つ弾性変形部５０５のラジアル方向の外周において可動電極固定部５０６を残し、
ステップ４：固定部５０６を介して電極部５０４をベース５０３に密着して固定し、エア収納が可能な一つのエア室５１２を形成し、
ステップ５：プリント基板５０８の銅箔の上に規定形状の固定電極５０７を製造し、
ステップ６：固定電極５０７の周りのプリント基板５０８に取付け穴５１０を設け、可動電極端子５１１の一端を電極部５０４に電気的に接続し、可動電極端子の他の一端をプリント基板５０８の上の可動電極端子取付け穴５１０内に挿入して固定し、電極部５０４をプリント基板５０８の上の固定電極５０７に対して平行に設ける。
【００３７】
本実施例における静電容量型圧力センサーの可動電極装置が、実施例１乃至４の中の任意なる一つの実施例に記載の構造を採用することができ、且つ弾性変形部のラジアル方向の曲線に沿って得られる断面（A-A）の形状が、曲線形、波形、折れ線形、または階段式の構造を採用する以外、必要に応じてこれらの混合構造を採用することができることは、当業者であれば理解すべきである。
【実施例６】
【００３８】
図１５と図１６に示されるように、一つの電子血圧測定設備として、エアバッグ５３０と、圧力センサー５３１と、加圧ポンプ５３４と、送気逆止減圧弁５３５と、電池５３８と、電圧測定回路５３７と、定電圧回路５３６と、マイクロ処理装置５３２と、表示装置５３３と、スイッチ５３９とが含まれる。その内、エアバッグ５３０、加圧ポンプ５３４、送気逆止減圧弁５３５、電池５３８、電圧測定回路５３７、定電圧回路５３６、マイクロ処理装置５３２、表示装置５３３とスイッチ５３９は、いずれも従来の電子血圧計に用いられて公知となり且つ成熟した技術である。その内、マイクロ処理装置５３２は、圧力センサー５３１の入力信号に基づいて血圧値を算出して出力することができる。圧力センサーは、実施例５に示される静電容量型圧力センサーの構造を採用し、その内、プリント基板５０８は、血圧計のメイン回路基板である。口金５０２の頂端とエアバッグ５３０は連通されており、電極部５０４と固定電極５０７によって検出され且つエア圧力の変化によって生じる静電容量信号は、可動電極端子５１１と、固定電極５０７に連結されるプリント基板５０８とを経由してマイクロ処理装置５３２に入力される。
【００３９】
本発明を血圧測定に用いているが、それ以外の他の種類の気圧測定にも用いることができることは、当業者であれば理解すべきである。同様に、液圧の圧力変化にも用いることができ、即ち、各種の圧力測定に適用することができる。
【００４０】
以上において、図面を参照しながら本発明の例示的な実施形態について説明を行っているが、上記技術内容を異なる形で組み合わせて異なる技術的解決案を構成することは、当業者であれば容易に想到できる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【国際調査報告】
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