(57)【要約】  細管の欠陥をチェックする渦電流試験の方法が提供される。この方法は、細管に渦電流プローブを通し、細管に沿った多数の位置の渦電流データを取得し、渦電流データを分析して、細管に沿った多数の位置の背景ノイズ・データを発生させ、渦電流データを分析して、細管に沿った多数の位置の抽出データを発生させ、抽出データの少なくとも一部に適用される１つ以上のルールのセットに基づいて細管に特定のカテゴリの欠陥が存在するか否かを判定することを含む。ルールの少なくとも１つが、抽出データの特定の部分を利用し、抽出データの特定の部分に関連する背景ノイズ・データの特定の部分の関数である閾値を用いる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
細管の欠陥をチェックする渦電流試験の方法であって、
前記細管に渦電流プローブを通し、前記細管に沿った多数の位置の渦電流データを取得することと、
前記渦電流データを分析して、前記細管に沿った多数の位置の背景ノイズ・データを発生させることと、
前記渦電流データを分析して、前記細管に沿った多数の位置の抽出データを発生させることと、
前記抽出データの少なくとも一部に適用される１つ以上のルールのセットに基づいて前記細管に特定のカテゴリの欠陥が存在するか否かを判定することとを含み、
前記ルールの少なくとも１つが、前記抽出データの特定の部分を利用し、前記抽出データの前記特定の部分に関連する前記背景ノイズ・データの特定の部分の関数である閾値を用いる
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記渦電流データを分析して抽出データを発生させることが、前記渦電流データ及び前記背景ノイズ・データを用いて前記抽出データを発生させることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記背景ノイズ・データを用いて、前記渦電流データから前記抽出データを発生させるための１つ以上の抽出閾値を生成する、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記渦電流データから前記抽出データを発生させることが、前記渦電流データの各片を前記抽出閾値の１つと比較して、前記渦電流データ片が前記抽出データであると見做されるべきか否かを判定することを含む、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記抽出データの前記特定の部分及び前記背景ノイズ・データの前記特定の部分が各々電圧である、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記抽出データの前記特定の部分及び前記背景ノイズ・データの前記特定の部分が各々位相角である、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記抽出データの前記特定の部分に関連する前記背景ノイズ・データが、前記抽出データの前記特定の部分に関連する前記細管の一部の周囲の前記細管の所定部分に関連する局所的ノイズ値である、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記抽出データの前記特定の部分に関連する前記背景ノイズ・データが、前記細管の特定の領域に関連する領域的ノイズ値である、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
細管の欠陥をチェックする渦電流試験のためのシステムであって、
前記細管に沿った多数の位置の渦電流データを取得するように構成された渦電流プローブ機構と、
プロセッサ及びメモリ・デバイスを含む処理ユニットを有するコンピュータ・システムとを含み、
前記メモリ・デバイスが、前記プロセッサにより実行可能な１つ以上のルーチンを記憶し、前記１つ以上のルーチンが、
前記渦電流データを分析して、前記細管に沿った多数の位置の背景ノイズ・データを発生させ、
前記渦電流データを分析して、前記細管に沿った多数の位置の抽出データを発生させ、
前記抽出データの少なくとも一部に適用される１つ以上のルールのセットに基づいて前記細管に特定のカテゴリの欠陥が存在するか否かを判定するための命令を含み、
前記ルールの少なくとも１つが、前記抽出データの特定の部分を利用し、前記抽出データの前記特定の部分に関連する前記背景ノイズ・データの特定の部分の関数である閾値を用いる
ことを特徴とするシステム。
【請求項１０】
前記渦電流データを分析して抽出データを発生させるための前記命令が、前記渦電流データ及び前記背景ノイズ・データを用いて前記抽出データを発生させるための命令を含む、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記背景ノイズ・データを用いて、前記渦電流データから前記抽出データを発生させるための１つ以上の抽出閾値を生成する、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記渦電流データから前記抽出データを発生させることが、前記渦電流データの各片を前記抽出閾値の１つと比較して、前記渦電流データ片が前記抽出データであると見做されるべきか否かを判定するための命令を含む、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記抽出データの前記特定の部分及び前記背景ノイズ・データの前記特定の部分が各々電圧である、請求項９に記載のシステム。
【請求項１４】
前記抽出データの前記特定の部分及び前記背景ノイズ・データの前記特定の部分が各々位相角である、請求項９に記載のシステム。
【請求項１５】
前記抽出データの前記特定の部分に関連する前記背景ノイズ・データが、前記抽出データの前記特定の部分に関連する前記細管の一部の周囲の前記細管の所定部分に関連する局所的ノイズ値である、請求項９に記載のシステム。
【請求項１６】
前記抽出データの前記特定の部分に関連する前記背景ノイズ・データが、前記細管の特定の領域に関連する領域的ノイズ値である、請求項９に記載のシステム。
【請求項１７】
前記渦電流プローブ機構が、前記渦電流プローブにより発生した信号をデジタル化する試験計器（４３）に結合された１対の差動コイル（３３、３５０）を有する渦電流プローブ（３１）を含む、請求項９に記載のシステム。
【請求項１８】
細管の欠陥をチェックする渦電流試験の方法であって、
前記細管に渦電流プローブを通し、前記細管に沿った多数の位置の渦電流データを取得することと、
前記渦電流データを分析して、前記細管に沿った多数の位置の抽出データを発生させることと、
前記抽出データの少なくとも一部に適用される１つ以上のルールのセットに基づいて前記細管に特定のカテゴリの欠陥が存在するか否かを判定することとを含み、
前記ルールの少なくとも１つが閾値を用い、前記閾値の値が前記細管に沿った位置に基づく反復パターンに従って調整される、
ことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の細管を含む熱交換器を検査する方法に関し、具体的には、ノイズの適応閾値処理を用いて熱交換器管を検査する非破壊方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば加圧水型原子力発電システムにおいて用いられる蒸気発生器等の熱交換器は、一般に、概ね円筒形の圧力容器内に配置された数千のＵ字形熱交換器細管を含む。熱交換器細管の端部は管板と呼ばれる横方向の板内で固定されており、この板が蒸気発生器を一次側及び二次側に分離する。原子炉からの加熱された一次流体は細管を通過して二次作動流体との間で熱伝達を行い、この二次作動流体が、発電に用いられるターボ機械類を駆動する。一次流体は放射性である場合がある。従って、発生器の二次側に原子炉冷却材が漏れて蒸気を汚染するのを防ぐため、伝熱細管は、亀裂、孔食、へこみ、及び細管壁の減肉等の欠陥及び劣化について定期的に検査しなければならない。劣化した細管が発見された場合、通常は両端で施栓される。蒸気発生器に数千の細管があることを考慮すると、少数の細管を施栓しても熱伝達の効率に容易に認められる影響を与えることはない。
【０００３】
渦電流の試験は周知であり、蒸気発生器細管の非破壊試験に広く用いられる方法である。一般に、蒸気発生器細管に対して渦電流試験を実行する際には、細管の中をセンサ又はプローブを前進させて信号を発生させ記録して、後で分析に使用する。例えば、米国特許第３，３０２，１０５号（様々なタイプの細管の欠陥の渦電流シグネチャーを例示し記載している）、また、米国特許第３，６９３，０７５号、第４，１９４，１４９号、第４，２０７，５２０号、及び第４，６３１，６８８号を参照のこと。１９８６年６月２４日に出願され本発明の譲受人に発行された米国特許第４，７６３，２７４号は、蒸気発生器の伝熱細管の欠陥を自動的に検出するための、原子力蒸気発生器細管の渦電流検査プロセス及び渦電流データのコンピュータ分析を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第３，３０２，１０５号
【特許文献２】米国特許第３，６９３，０７５号
【特許文献３】米国特許第４，１９４，１４９号
【特許文献４】米国特許第４，２０７，５２０号
【特許文献５】米国特許第４，６３１，６８８号
【特許文献６】米国特許第４，７６３，２７４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
自動分析システムは、欠陥カテゴリ化（flaw categorization）として一般に知られるものを採用する。これは、収集した渦電流データを分析し、細管の欠陥を特定して、論理ベースのルール・セットに基づいてカテゴリ化するプロセスである。論理ベースのルールは典型的には分析者によって規定される最小閾値のセットを用いる。閾値が低く固定されると、ノイズの多い細管について多数の誤った陽性の報告が作成される可能性があり、閾値が高く固定されると、ある特定の欠陥信号が見落とされるか、又は適切にカテゴリ化されない恐れがある。
【０００６】
このため、上述した最小閾値に関連する問題に対処する、熱交換器細管を検査する改良された非破壊方法が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一実施形態において、細管の欠陥をチェックする渦電流試験の方法が提供される。この方法は、細管に渦電流プローブを通し、細管に沿った多数の位置の渦電流データを取得することと、渦電流データを分析して、細管に沿った多数の位置の背景ノイズ・データを発生させることと、渦電流データを分析して、細管に沿った多数の位置の抽出データを発生させることと、抽出データの少なくとも一部に適用される１つ以上のルールのセットに基づいて細管に特定のカテゴリの欠陥が存在するか否かを判定することとを含み、ルールの少なくとも１つが、抽出データの特定の部分を利用し、抽出データの特定の部分に関連する背景ノイズ・データの特定の部分の関数である閾値を用いる。
【０００８】
別の実施形態において、提供されるシステムは、細管に沿った多数の位置の渦電流データを取得するように構成された渦電流プローブ機構と、プロセッサ及びメモリ・デバイスを含む処理ユニットを有するコンピュータ・システムとを含み、メモリ・デバイスが、プロセッサにより実行可能な１つ以上のルーチンを記憶し、その１つ以上のルーチンが、上述の方法を実施するための命令を含む。
【０００９】
更に別の実施形態において、細管の欠陥をチェックする渦電流試験の方法は、細管に渦電流プローブを通し、細管に沿った多数の位置の渦電流データを取得することと、渦電流データを分析して、細管に沿った多数の位置の抽出データを発生させることと、抽出データの少なくとも一部に適用される１つ以上のルールのセットに基づいて細管に特定のカテゴリの欠陥が存在するか否かを判定することとを含み。ルールの少なくとも１つが閾値を用い、閾値の値が細管に沿った位置に基づく反復パターンに従って調整される。
【００１０】
本発明のこれら及び他の目的、特性、及び特徴、並びに関連構成要素及び部分の組み合わせの動作方法及び機能並びに製造の経済性は、添付図面を参照して以下の説明及び添付の特許請求の範囲を考慮することで更に明らかとなろう。図面は全て本明細書の一部を形成し、同様の参照番号は様々な図面において対応する部分を表す。しかしながら、図面は例示及び記述目的のためだけのものであり、本発明の範囲を限定するものとしては意図されていないことが明瞭に理解されよう。本明細書及び特許請求の範囲において用いられる場合、単数形「ａ」、「ａｎ」、「ｔｈｅ」は、文脈によって明らかにそうではないと述べられていない限り、複数も含むものとする。
【００１１】
以下の好適な実施形態の説明を添付図面と関連付けて読むことから、本発明の更なる理解が得られよう。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】加圧水型原子炉発電所において原子力蒸気供給システムの一部を形成する典型的な蒸気発生器の概略図である。
【図２】図１に示す蒸気発生器の細管から渦電流データを取得するために用いるプローブ、試験計器、及びコンピュータ・システムの概略図である。
【図３】本発明の例示的な実施形態に従った、熱交換器細管を検査し、その欠陥をカテゴリ化する方法を例示するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
例えば、上、下、左、右、上方、下方、前、後、及びそれらの派生語であるが、これらに限定されない、本明細書において用いる方向についての用語は、図面に示す要素の配向に関するものであり、明示的に言及しない限り特許請求の範囲を限定でするものではない。
【００１４】
本明細書において用いる場合、２つ以上の部品又は構成要素が共に「結合されている」という記述は、それらの部品が直接に又は１つ以上の中間部品又は構成要素を介してつながれている又は共に動作することを意味するものである。
【００１５】
本明細書において用いる場合、２つ以上の部品又は構成要素が相互に「係合する」という記述は、それらの部品が直接に又は１つ以上の中間部品又は構成要素を介して相互に力を作用させることを意味するものである。
【００１６】
本明細書において用いる場合、「多数」という言葉は、１又は１よりも大きい整数（即ち複数）を意味する。
【００１７】
本発明を、図１に示す加圧水型原子炉発電所において原子力蒸気供給システムの一部を形成する典型的な蒸気発生器である、蒸気発生器の検査から発生した渦電流データの分析に適用するものとして説明する。蒸気発生器１は円筒形の本体部３を含み、その下端に半球形シェル５が設けられている。円筒形本体部３の下端にある管板７は、蒸気発生器１を、管板７よりも下方の一次側９と、管板７よりも上方の二次側１１と、に分割する。チャネル・ヘッドとも称される一次側９は、垂直方向の分割板１３によって、入口部１５及び出口部１７に二分割されている。二次側１１には数千のＵ字形細管１９（明確さのために２本の一部のみ図示する）が搭載され、その一端は管板７を貫通してチャネル・ヘッド９の入口部１５内に延び、他端は出口部１７内に延びる。細管１９は、連結棒２３によって支えられた一連の金属支持板２１及び防振バー２５によって、発生器の二次側１１で支持されている。細管１９に対するアクセスは人道２７を介することによって得られる。一次側の水は、入口ノズル２９を経て蒸気発生器１に入り、細管１９を通り、出口側１７に至る。
【００１８】
蒸気発生器１の細管１９の検査を行う際には、図２に概略的に示すように、１対の差動巻コイル３３及び３５の形態のプローブ３１を、電磁的に不活性な長い可撓性の棒３７の端部に装着する。この棒３７は検査対象の各細管１９に順次挿入される。
【００１９】
図１に示すように、プローブ３１を担持する棒３７は、駆動機構３９によって、選択した細管１９に入れたり細管１９から出したりする。棒３７を細管１９から引き出す際に、コイル３３及び３５は順次、典型的には４００ＫＨｚ、２００ＫＨｚ、１００ＫＨｚ、及び１０ＫＨｚである多数の周波数で多重化される。差動信号については、同時に測定される逆巻のコイル３３及び３５から測定値を取得する。絶対信号については、コイルの一方のみから測定値を取得し、この信号を、外部の基準コイル（図示せず）で発生したものと比較する。データは１秒当たり多数回（例えば毎秒４００回）取得する。即ち、一定ミリ秒毎に（例えば２．５ミリ秒毎に）、４個の差動信号及び４個の絶対信号を取得するシーケンスが反復される。更に、プローブ３１は一定公称速度で細管１９から引き出される。例えば、プローブ３１が毎秒１フィートの公称速度で引き出されると、データ・ポイントを約０．０３インチ離間させることができる。
【００２０】
渦電流試験の分野では周知のように、へこみ及び例えば壁の孔食、亀裂、減肉のような欠陥等の細管１９の多様な特徴、並びに支持板２１、管板７、及び防振バー２５等の隣接構造の存在が、プローブ・コイル３３及び３５の実効インピーダンスに影響を及ぼす。システムを較正するため、プローブが試験対象の細管ばかりでなくこの試験部も必ず通過するように、細管の試験部４が選択した細管１９の端部に接続される。試験部４１は、指定された直径の、２０％、４０％、６０％、及び１００％貫通した壁穴の形態の標準的な欠陥、並びに、細管を取り囲み支持板２１のものと同様の指標を発生させる標準的なリングが設けられている。これらの試験フィーチャ（feature）によって発生した信号も記録される。
【００２１】
プローブ３１が細管１９に沿って移動する際プローブ３１が発生する信号は、試験計器４３（図２）に供給される。試験計器４３は、プローブ３１が発生した信号をデジタル化して、多数のデータ・チャネルを生成する。ここで、各データ・チャネルは、採用している多数の周波数の何れについても、電圧（信号の振幅）又は位相（基準に対する信号の角度）情報を与えることができる。プローブ３１はコンピュータ・システム４５に作動的に結合されており、これが試験計器４３からデジタル・データを受信する。コンピュータ・システム４１は、マイクロプロセッサ又はマイクロコントローラでよいプロセッサ４７を有する処理ユニット、及びメモリ・デバイス４９を含む。また、コンピュータ４５は、例示的な実施形態ではコンピュータ画面であるディスプレイ５１も含む。例示的なメモリ・デバイス４９は、本明細書に記載するデータを記録するためのデータベース管理ソフトウェアを含む。また、例示的なメモリ・デバイス４９は、本明細書に記載し図３に示す方法のステップを実行するために、プロセッサ４７によって実行可能な１つ以上のソフトウェア・ルーチンを記憶する。
【００２２】
図３は、本発明の例示的な実施形態による、熱交換器細管を試験し欠陥をカテゴリ化する方法を示すフローチャートである。本発明を説明するために本明細書において用いる１つの例示的な、限定的ではない実施形態において、図３の方法は、図２に示すプローブ３１、試験計器４３、及びコンピュータ・システム４５を用い、図１に示す蒸気発生器１において実施することができる。しかしながら、この方法は、本発明の範囲から逸脱することなく、他のハードウェア構成を用いる他の熱交換器環境において実施可能であることは理解されよう。
【００２３】
図３を参照すると、この方法は細管１９にプローブ３１を通して、本明細書の別の箇所に記載したように渦電流信号が発生させるステップ５０で開始する。これらの信号は試験計器４３に供給され、そこで渦電流信号がデジタル化され、これに基づいて、プローブ３１のサンプリング・レート、試験計器４３のＡ／Ｄ変換器のサンプリング・レート、及びプローブ３１の移動速度に応じて、細管に沿った多数の位置の各々で多数の対象チャネルのデジタル・データが発生する。例えば、データ・ポイントは０．０３インチ離間したものとすることができる。本明細書の別の箇所に記載したように、それらのチャネルの各々は、多数の異なる周波数の電圧又は位相データを含む。次いでチャネル・データは、コンピュータ・システム４５に供給される。
【００２４】
次に、ステップ４３において、コンピュータ・システム４５は収集したチャネルを分析して、細管１９に沿った多数の位置で多数の対象チャネルの各々について背景ノイズ・データを発生させる。例えば背景ノイズ・データは、細管の長さに沿って０．５インチ毎に測定／発生させることができる。１つの具体的な、限定的ではない例示的な実施形態では、細管１９を多数の異なる対象領域に分割するが、対象領域毎に背景ノイズ・データを測定／発生させる頻度が異なる。この実施形態では、対象領域は、支持板領域、（支持板の間である）自由スパン領域、Ｕ字形曲げ領域、管板領域、及び防振バー領域である。自由スパン領域において、背景ノイズ・データは、０．３インチ刻みで移動させる細管１９の０．５インチ・ウィンドウについて測定／発生させるが、これらの値は調整することができる。Ｕ字形曲げ領域、管板領域、支持板領域、及び防振バー領域は支持構造領域と称され、それらの領域における背景ノイズは、その支持構造の中心部、縁部、又は全長に対して測定することができる。それぞれの場合で測定／発生したノイズ・データは、当該のチャネルにふさわしいもの（即ち適宜、測定した電圧又は位相）である。背景ノイズ・データは、それが多数の対象チャネルで収集したデータからどのように測定／発生したものであれ、コンピュータ・システム４５のメモリ・デバイス４９に記憶される。
【００２５】
次にステップ５４において、コンピュータ・システム４５は、背景ノイズ・データを多数の抽出閾値の基礎として用いることにより、抽出閾値を超えるデータのみが抽出されて後で使用されるように、多数の対象チャネルの各々における収集データから対象データを抽出する。抽出閾値は、ノイズ成分の性質／発生源及び全ノイズに対するその寄与に基づいて決定することができる。例示的な実施形態では、コンピュータ・システム４５は、多数の対象チャネルにおける各データ片を調べ、これを抽出閾値と比較することによって抽出を行う。この場合、抽出閾値は、調査対象のデータ片に対応する背景ノイズ・データより或る所定値だけ高い値である（例えば背景ノイズ・データに数％を加算した値）。調査対象のデータ片に対応する背景ノイズ・データは、局所的ノイズ値とすることができる（対象信号の周囲の小さい、例えば５インチのウィンドウ内のノイズ）。あるいは、調査対象のデータ片に対応する背景ノイズ・データは、その細管についての領域的ノイズ値（特定の対象領域のノイズ）とすることができる。これらの領域的ノイズ値は、自由スパン領域内の数百インチから、又はいくつかの構造縁部もしくは構造中心部から、取得することができる。通常、背景ノイズは細管製造ノイズ及び計器ノイズから成る。計器ノイズは首尾一貫しており、ある特定の値と予想されるが、細管製造ノイズはそうではない。ある細管のノイズ・レベルは別の細管に比べて数倍ということがあり得るからである。ノイズ分析の一部は、適正な抽出を行うための適用をするべくノイズ発生源とその特徴を突き止めることである。また、適正な抽出が行えるように、全ノイズ値から分離させなければならない、サービス条件（スケール、デポジット等）に因るノイズ寄与分を理解することも重要である。システムは、製造ノイズがデータベースに記憶されていない場合、製造時の生の渦電流データからこれを決定することができる。調査対象のデータ片が、その細管の背景ノイズから計算した抽出閾値を超える場合、これを対象抽出データと見做して後述するように更に考察する。
【００２６】
ステップ５６において、データを条件付けて更なる処理を行うために、多数の対象チャネルの各々において対象抽出データに１つ以上の信号処理技法を適用する。例えば、当技術分野において既知のように、支持板２１に関連する信号を排除し、劣化に関連する信号を増強するようなやり方で、ある特定の信号を混合する（抑制する）ことができる。フィルタ等の他の信号処理も使用可能である。
【００２７】
後述するようにノイズ・ベースの適応閾値を採用するルール・ベースの論理を用いて細管１９の欠陥をカテゴリ化するため、ステップ５８において、多数の対象チャネルの各々における対象抽出データをコンピュータ４５によって分析する。更に具体的には、コンピュータ・システム４５は、自動分析及び欠陥カテゴリ化システム（ソフトウェア・ルーチンはメモリ・デバイス４９に記憶されプロセッサ４７によって実行される）を実施するが、ここで、様々な所定の欠陥カテゴリが多数予め確立されており、例えば欠陥カテゴリは、摩耗、孔食、亀裂、又は一般にＮＱＩ（non-quantified indication：非定量化指標）と称されるものを指定することができる。各欠陥カテゴリはルール論理セットによって規定される。ルール論理は独自の数の個別ルールを有し、欠陥の存在を結論付けるためにはその各々が満たされなければならない。また、セット内の各ルールは、データ・タイプ（特定のチャネルからの電圧又は位相）、及び最小閾値（例えば０．１５Ｖ又は３０度）、及び最大閾値（例えば１０００．０Ｖ又は１５０度）を指定し、ルールを満たすためにはデータはその範囲でなければならない。通常、セット内のルールが１つでも満たされない場合、このセットはフェイル（failed）と見なされ、欠陥は存在しないことがわかる。従って、細管に沿った様々な位置においてこの分析及び欠陥カテゴリ化、特にルール論理を用いて多数の対象チャネルの各々における対象抽出データを調べることによって、欠陥が特定され報告されるか否かを判定することができる。
【００２８】
本発明によれば、個別ルールの１つ以上において、最小閾値は、そのチャネル、そして細管１９のその位置で測定し、発生させた背景ノイズの関数であるので、静的ではなく変化する。そのルールで任意の特定時点において用いられる背景ノイズ・データは、局所的ノイズ値（例えば５インチである、対象信号の周囲の小さいウィンドウ内のノイズ）とすることができる。あるいは、背景ノイズ・データは、その細管についての領域的ノイズ値（特定の対象領域でのノイズ）とすることができる。これらの領域的ノイズ値は、自由スパン領域における数百インチから、又はいくつかの構造縁部もしくは構造中心部から、取得することができる。適当であれば、隣接する細管のサンプリング・ノイズ値を用いて、評価の際のノイズ入力処理を強化することができる。例えば、ルールの最小閾値は０．１５Ｖから（背景ノイズの２倍）の範囲として指定することができるので、背景ノイズが０．０１Ｖであった場合、最小閾値は０．０２Ｖとなる（データにノイズが多く、（背景ノイズの２倍）が０．１５Ｖより高い場合、０．１５Ｖをルールに用いる。０．１５Ｖの小さい欠陥が高い背景ノイズのために見落とされることがないように、ルールの境界を０．１５Ｖとする）。同様に、ルールの最小閾値を３０度とすることができるが、背景ノイズが５度であった場合、この５度の位相ノイズを、評価／カテゴリ化のプロセスにおける信号変換及び測定に用いることができる。あるいは、位相角を、欠陥カテゴリ化の際の適応閾値処理時に単純に加算又は減算してもよい。
【００２９】
１つの例示的な実施形態において、欠陥カテゴリ化のためのルールは、特定のチャネル上で電圧又は位相が追従すべき特定の反復パターンを指定してもよい（このパターンはメモリ・デバイス４９に記憶される）。このパターンを用いることによって、適応閾値技法を使用可能であるか否かを判定する。適応閾値のレベルは、ある特定のノイズ・パターンに信号が従うか否か、及びその信号のうちどの程度従うかに応じて異なる。例えば、ピルガー圧延を施した細管（pilgered tube）の場合、ピルガー信号パターンが生成され、これは規則的な間隔（約２乃至３インチ毎）で反復する。また、これは細管全体での電圧及び位相ノイズの規則的な反復パターンを示し、この場合周期的なノイズのみが存在する。例えば、細管に沿って数百インチにわたって２乃至３インチ毎に反復する０．５乃至２．０Ｖ及び１７０度のノイズが存在する場合がある。このため、ルール・ベースの論理では、閾値をそのノイズについて周期的に、即ち周期的なノイズが存在する場合にのみ調整する必要があり、周期的なノイズが存在しない場合には必要性はなくなるか低くなる。
【００３０】
ステップ５８の後、対象抽出データが全て分析され、全ての欠陥がカテゴリ化されると、ステップ６０に示すように欠陥が報告される。
【００３１】
本発明の具体的な実施形態を詳細に説明したが、本開示の全体的な教示に鑑み、詳細において様々な変更及び変形を実施可能であることは当業者には認められよう。従って、開示した特定の実施形態は、添付の特許請求の範囲及びその均等物のいずれか及び全てが与えられる本発明の範囲に関して限定でなく例示のみとして意図される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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