(57)【要約】本発明は、本体（１１０，１１２）および該本体に対し第１ベアリング（１２０，１２８；１２２，１２９；１２４，１３０；１２６，１３２）によって規定される第１回転軸Ａ３，Ａ４の周りに回転可能な第１部材（１１８，１１６）と、本体に対する第１回転軸の周りの第１部材の回転を生じさせる第１モータＭ３，Ｍ４と、を具えた計測装置に関する。第１部材とともに本体に対して移動できるよう、表面感知デバイス（１０２）が第１部材に取り付け可能である。第１モータは第１磁石（１５２，１５８）および少なくとも１つの金属コイル（１５４）を含むことができ、第１磁石および少なくとも１つの金属コイルは、互いに可動であるように第１軸に沿って離隔して搭載されている。
2013540981.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体および該本体に対し第１ベアリングによって規定される第１回転軸の周りに回転可能な第１部材と、
前記本体に対する前記第１回転軸の周りの前記第１部材の回転を生じさせる第１モータと、を具えた計測装置であって、
前記第１部材とともに前記本体に対して移動できるように表面感知デバイスが前記第１部材に取り付け可能であり、
前記第１モータが第１磁石および少なくとも１つの金属コイルを含み、前記第１磁石および前記少なくとも１つの金属コイルが、互いに可動であるように前記第１軸に沿って離隔して搭載されている、
ことを特徴とする計測装置。
【請求項２】
前記モータが第２磁石を含み、該第２磁石はスペーサにより前記第１軸に沿って前記第１軸から離隔しており、前記少なくとも１つの金属コイルが前記第１磁石と前記第２磁石との間に設けられていることを特徴とする計測装置。
【請求項３】
前記スペーサにより前記第１軸に沿って離隔した磁石のリングを２つ具え、当該磁石のリングの間にコイルのリングが懸架されて前記磁石と前記コイルが相対移動するようになっていることを特徴とする請求項２に記載の計測装置。
【請求項４】
前記磁石のリングのそれぞれは交互のＮ極とＳ極とを備えていることを特徴とする請求項３に記載の計測装置。
【請求項５】
一方の前記リングの磁石のＮ極は、他方の前記リングのＳ極に面し且つ軸方向に整列していることを特徴とする請求項４に記載の計測装置。
【請求項６】
前記第１磁石および前記第２磁石は、前記コイルを横切って主に前記第１軸と平行な方向に作用する磁界を発生することを特徴とする請求項２ないし５のいずれかに記載の計測装置。
【請求項７】
前記第１磁石および前記第２磁石は互いに対して固定されて磁石アセンブリを形成し、該磁石アセンブリの一方および前記少なくとも１つの金属コイルが前記モータのステータを形成し、前記磁石アセンブリの他方および前記少なくとも１つの金属コイルが前記モータのロータを形成することを特徴とする請求項２または６に記載の計測装置。
【請求項８】
前記第１モータが磁化可能な材料をさらに含み、該磁化可能な材料はスペーサにより前記第１軸に沿って前記第１磁石から離隔しており、前記少なくとも１つの金属コイルは前記第１磁石と前記磁化可能な材料との間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項９】
前記磁化可能な材料はプレートであり、第１磁石および前記プレートが互いに対して固定されて磁石アセンブリを形成し、該磁石アセンブリの一方および前記少なくとも１つの金属コイルが前記モータのステータを形成し、前記磁石アセンブリの他方および前記少なくとも１つの金属コイルが前記モータのロータを形成することを特徴とする請求項８に記載の計測装置。
【請求項１０】
前記少なくとも１つの金属コイルは、前記第１磁石が前記金属コイルおよび前記磁化可能な材料に対して移動可能となるように前記磁化可能な材料に固定されていることを特徴とする請求項９に記載の計測装置。
【請求項１１】
前記第１磁石および前記少なくとも１つの金属コイルの一方が前記第１部材に対して取り付け可能であることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の計測装置。
【請求項１２】
前記第１モータは、前記本体に対して前記第１部材を回転させるときに、前記第１軸の位置が実質的に固定されたままとなるよう、前記第１ベアリングに半径方向の力が実質的に作用しないように構成されていることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかに記載の計測装置。
【請求項１３】
前記第１モータがフレームレスモータであることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかに記載の計測装置。
【請求項１４】
前記第１モータがアイアンレス−コアモータであることを特徴とする請求項１ないし１３のいずれかに記載の計測装置。
【請求項１５】
前記第１回転軸が連続した回転測定軸であることを特徴とする請求項１ないし１４のいずれかに記載の計測装置。
【請求項１６】
前記測定装置の前記第１モータの位置がサーボ制御されることを特徴とする請求項１ないし１５のいずれかに記載の計測装置。
【請求項１７】
前記第１モータがダイレクトドライブモータであることを特徴とする請求項１ないし１６のいずれかに記載の計測装置。
【請求項１８】
プローブ装置を具えることを特徴とする請求項１ないし１７のいずれかに記載の計測装置。
【請求項１９】
前記第１部材に対して第２回転軸の周りに回転可能な第２部材を具え、当該回転が第２モータによって生じるものであることを特徴とする請求項１ないし１８のいずれかに記載の計測装置。
【請求項２０】
前記第２回転軸は、前記第１回転軸および前記第１回転軸からオフセットした回転軸の少なくとも一方を横切り得るものであることを特徴とする請求項１９に記載の計測装置。
【請求項２１】
前記第２モータはアイアンレスコアモータを含むことを特徴とする請求項１９または２０に記載の計測装置。
【請求項２２】
前記第１部材に取り付け可能な前記表面感知デバイスがプローブであることを特徴とする請求項１ないし２１のいずれかに記載の計測装置。
【請求項２３】
本体と、モータの制御下で前記本体に関して可動な第１部材とを備える計測装置であって、前記第１部材が表面感知デバイスに取り付け可能であり、前記モータが前記第１部材に接続されるロータと前記本体に接続されるステータとを含み、前記ロータおよび前記ステータの一方が、前記ロータおよび前記ステータの他方に対し、前記ロータの回転軸と実質的に平行な方向に主として作用する磁界を確立するための磁石アセンブリを含み、前記ロータおよび前記ステータの他方の少なくとも１つのコイルが、電流が搬送されたときに、前記磁石アセンブリによって確立される前記磁界と協働して前記ロータの回転を生じさせる磁界を発生し、前記ロータおよび前記ステータが軸方向に離隔している、ことを特徴とする計測装置。
【請求項２４】
磁石アセンブリは少なくとも一対の磁石を含み、対になった前記磁石は前記軸方向に離隔しており、前記磁石を相対移動させるために前記少なくとも１つのコイルが取り付けられていることを特徴とする請求項２３に記載の計測装置。
【請求項２５】
前記磁石アセンブリは複数対の磁石を含み、各対の磁石は軸方向に離隔且つ整列し、対をなす一方の磁石のＮ極が、対をなす他方の磁石のＳ極に面していることを特徴とする請求項２４に記載の計測装置。
【請求項２６】
複数のコイルを含み、各コイルは、電流が搬送されたときに、前記軸方向に前記コイルを通る磁界を発生することを特徴とする請求項２５に記載の計測装置。
【請求項２７】
本体と、パンケーキモータの制御下で前記本体に関して可動な第１部材とを具え、前記第１部材が表面感知デバイスに取り付け可能であることを特徴とする計測装置。
【請求項２８】
本体および該本体に対し第１ベアリングによって規定される第１回転軸の周りに回転可能な第１部材と、
前記本体に対する前記第１回転軸の周りの前記第１部材の回転を生じさせる第１モータであって、少なくとも１つのコイルに対し、前記軸の方向に主として作用する磁界を発生するための磁石を少なくとも１つ含んだ第１モータと、を具えた計測装置であって、
前記第１部材とともに前記本体に対して移動できるように表面感知デバイスが前記第１部材に取り付け可能である、
ことを特徴とする計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、計測装置に関するものである。本発明は、特にモータを備えた計測装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
計測装置は、座標測定装置、工作機械またはプローブアクチュエータなどの位置判定装置であり得、またそのような位置判定装置に搭載され得るものでもある。計測装置は関節型ジョイントを備えることができる。
【０００３】
位置判定装置（例えばＣＭＭを記載した特許文献１参照）はワークピースを測定するために使用することができ、一般にワークピースが支持されるテーブルに対して３方向ｘ，ｙ，ｚに移動可能なアームを備えている。ｘ，ｙ，ｚの各方向におけるアームの移動はトランスジューサによって測定され、アーム上に設けられたプローブアセンブリは、測定されるワークピース表面とアームとの関係を示す信号を生成する。これにより、ワークピース表面の位置を判定することができる。例えば数種の工作機械など、他の機械においては、テーブルがｘおよびｙ内で移動し、アームがｚ内で移動する。
【０００４】
計測装置はプローブ装置を含み得る。プローブ装置は、例えばプローブアクチュエータ、プローブヘッド、プローブ自体、あるいは、プローブアクチュエータまたはプローブヘッドとプローブとを備えたプローブアセンブリであり得る。割出し型（indexing）プローブアクチュエータまたはヘッド、および連続型（continuous）プローブアクチュエータまたはヘッドが知られており、それぞれ、特許文献２および３に記載されている。
【０００５】
少なくとも１つの回転軸を具えた計測装置が知られている。かかる計測装置の第１部材は、その少なくとも１つの回転軸の周りに、計測装置の第２部材に対して移動可能なものとすることができる。計測装置によって得られる測定値の精度（precision）および正確さ（accuracy）を実現する目的のためには、回転軸の位置は固定され且つ既知でなければならない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】米国特許第３，７２７，１１９号明細書
【特許文献２】国際公開２００６／０７９７９４号公報
【特許文献３】国際公開２００１／５７４７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
実際上、計測装置上またはその内部に作用する力は、原位置から離れる軸の移動を生じさせ得る。この移動は、例えば振れ（run-out）およびスウォッシュ（swash）として知られ得るものである。軸のそのような移動は、計測装置が軸の正確な位置、従って軸に取り付けられる測定プローブの正確な位置を常時知ることができなくなることから、計測装置によって得られる測定値が不正確となる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の形態はモータを記載する。モータはフレームレスモータとすることができる。
【０００９】
本発明の第２の形態は、
本体および該本体に対し第１ベアリングによって規定される第１回転軸の周りに回転可能な第１部材と、
前記本体に対する前記第１回転軸の周りの前記第１部材の回転を生じさせる第１モータと、を具えた計測装置であって、
前記第１部材とともに前記本体に対して移動できるように表面感知デバイスが前記第１部材に取り付け可能であり、
前記第１モータが、前記本体に対する前記第１部材の回転を生じさせたときに半径方向力が前記第１ベアリングに作用しないように配置されることで、前記第１軸の位置が実質的に固定されたままとなるようにした、
計測装置を提供する。
【００１０】
ベアリングに作用する半径方向力を実質的に取り除くことで、第１回転軸の位置をより正確に知ることができる。半径方向のベアリングの引き寄せが無いことで、通常直面する振れやスウォッシュの問題が低減され、ないしは除去することも可能となる。これにより、計測装置は、極めて堅牢なベアリングや広範な誤差マッピングを要することなく、対象の位置を正確に判定できるようになる。
【００１１】
好ましくは、前記第１モータは、前記本体に対する前記第１部材の回転を生じさせたときに軸方向力が前記第１ベアリングに作用しないように配置される。軸方向力が無いことで、堅牢性の低いベアリングを用いることが可能となる。
【００１２】
フレームレスモータは、それ自身のベアリングのセットを内在していないモータとすることができる。フレームレスモータは、それが取り付けられる軸のベアリングを用いて回転することができる。
【００１３】
第１モータは軸方向に構成されたモータ（axial arrangement motor）であってもよい。そのモータをアイアンレス−コアモータ（ironless-core motor）とすることができる。
【００１４】
アイアンレス−コアモータは、ロータおよびステータを有し、ロータおよびステータの少なくとも一方が実質的に鉄を含んでいないものである。実質的に鉄を含まないものとすることで、ロータまたはステータは非磁性のものとなり、これは磁石に吸引されないものとなり得る。モータが磁石部分とコイル部分を備えている場合、コイル部分を実質的に鉄を含んでいないもの、すなわち非磁性のものとすることができる。従って、アイアンレス−コアモータは、実質的に磁性材料が使用されていないコイルを含むことができる。
【００１５】
本発明の第３の形態は、アイアンレス−コアモータ、特にフレームレスのアイアンレス−コアモータを有する計測装置を記載する。アイアンレス−コアモータは計測装置のコンポーネントの移動を提供することができる。計測装置は第１回転軸を備えることができる。アイアンレス−コアモータは前記第１回転軸の周りの回転を生じさせることができる。前記第１回転軸を連続した回転軸とすることができる。
【００１６】
例えば座標位置決め装置に搭載された計測装置とともに使用されるとき、アイアンレス−コアモータは、計測装置に支持されるデバイスの、座標位置決め装置に対する移動を提供することができる。特に、当該移動は１以上の軸の周りの回転移動であり得る。計測装置が座標位置決め装置である場合、アイアンレス−コアモータは、計測装置に支持されるデバイスの、固定された表面に対する移動を提供することができる。
【００１７】
本発明の第４の形態は、
本体および該本体に対し第１ベアリングによって規定される第１回転軸の周りに回転可能な第１部材と、
前記本体に対する前記第１回転軸の周りの前記第１部材の回転を生じさせる第１モータと、を具えた計測装置であって、
前記第１部材とともに前記本体に対して移動できるように表面感知デバイスが前記第１部材に取り付け可能であり、
前記第１モータがフレームレスのアイアンレス−コアモータを備えている、
計測装置を提供する。
【００１８】
計測装置は、本体を機械の可動アームに取り付けるための取り付け手段を備えることができる。
【００１９】
本発明の第５の形態は、
本体を機械の可動アームに取り付けるための取り付け手段と、
該取り付け手段に対し第１回転軸の周りに回転可能な第１部材を有する本体であって、当該回転が第１モータによって行われるものであり、前記取り付け手段に対して前記表面感知デバイスが前記本体とともに移動できるよう、表面感知デバイスに取り付け可能な本体と、を具えた計測装置であって、
前記第１モータがフレームレスのアイアンレス−コアモータを備えている、
計測装置を提供する。
【００２０】
前記本体を支持体とすることができる。
【００２１】
本発明の第６の形態は、軸方向に配されたフレームレスモータを有する計測装置を提供する。
【００２２】
本発明の第７の形態は、
本体および該本体に対し第１ベアリングによって規定される第１回転軸の周りに回転可能な第１部材と、
前記本体に対する前記第１回転軸の周りの前記第１部材の回転を生じさせる第１モータと、を具えた計測装置であって、
前記第１部材とともに前記本体に対して移動できるように表面感知デバイスが前記第１部材に取り付け可能であり、
前記第１モータがフレームレスの軸モータ（axial motor）を備えている、
計測装置を提供する。
【００２３】
本発明の第８の形態は、
本体を機械の可動アームに取り付けるための取り付け手段と、
該取り付け手段に対し第１回転軸の周りに回転可能な第１部材を有する本体であって、当該回転が第１モータによって行われるものであり、前記取り付け手段に対して前記表面感知デバイスが前記本体とともに移動できるよう、表面感知デバイスに取り付け可能な本体と、を具えた計測装置であって、
前記第１モータが軸方向に構成されたフレームレスモータを備えている、
計測装置を提供する。
【００２４】
前記本体を支持体とすることができる。
【００２５】
前記第１回転軸は連続した回転計測軸であり得る。従って、第１軸の周りの極めて近接した複数のポイントに計測装置を位置付け可能とすることができる。それらのポイントは、例えば軸が位置付ける複数のポイントが互いに分離して離隔した分散ポイントである割出し回転軸と比較して、無限に近接したものであり得る。計測装置内の第１モータの位置はサーボ制御することができる。よって、計測装置をサーボ制御型計測装置とすることができる。計測装置内の第１モータの位置はブレーキによって制御することができる。
【００２６】
計測装置は、プローブアクチュエータまたはプローブヘッド、プローブ自体、あるいは、プローブアクチュエータまたはヘッドとプローブとを備えたプローブアセンブリなどのプローブ装置を備えることができる。プローブ装置は、連続型プローブアクチュエータまたはヘッドを備えることができる。プローブ装置は、割出し型プローブアクチュエータまたはヘッドを備えることができる。プローブアクチュエータまたはヘッドをサーボ制御される（servoing）プローブアクチュエータまたはヘッドとすることができ、プローブアクチュエータまたはヘッド内のモータの位置がサーボ機構によって制御されるものとすることができる。プローブアクチュエータ内のモータの位置はブレーキによって制御することができる。
【００２７】
計測装置はさらに、第１部材に対し第１回転軸の周りに回転可能な第２部材を備えることができる。前記回転は第２モータによって行われるものとすることができる。第２回転軸は第１回転軸を横切る方向とすることができる。第２回転軸を第１回転軸からオフセットしたものとすることができる。
【００２８】
第２モータはフレームレスのアイアンレス−コアモータを備えることができる。あるいは、第２モータは、例えば収容型（housed）またはフレームレスの鉄心モータあるいは収容型のアイアンレス−コアモータなどの公知のモータであってもよい。
【００２９】
計測装置は、第１および第２部材の少なくとも一方に対し、追加回転軸の周りに回転可能な少なくとも１つの追加部材を備えることができる。前記回転は少なくとも１つの追加モータによって行われるものとすることができる。追加回転軸は第１および第２回転軸の少なくとも一方を横切るもの、または第１および第２回転軸の少なくとも一方からオフセットしたものとすることができる。追加モータはフレームレスのアイアンレス−コアモータを備えることができる。あるいは、追加モータは、例えば収容型またはフレームレスの鉄心モータあるいは収容型のアイアンレス−コアモータなどの公知のモータであってもよい。
【００３０】
表面感知デバイスを、これとともに回転する第１部材に取り付けることができる。この取り付けは、直接的なものでも間接的なものでもよい。間接的に取り付ける場合には、表面感知デバイスを、例えば第２部材または追加部材を介して第１部材に取り付けることができる。表面感知デバイスを、これとともに回転する第２部材に取り付けることができる。この取り付けは、直接的なものでも間接的なものでもよい。表面感知デバイスを、これとともに回転する少なくとも１つの追加部材に取り付けることができる。
【００３１】
表面感知デバイスは、例えば測定プローブ、タッチトリガプローブ、ビデオプローブ、表面仕上げプローブまたは異種プローブの組み合わせなどであってもよい。測定プローブはまた、走査プローブとして知られているものである。
【００３２】
少なくとも１つのモータをダイレクトドライブモータとすることができる。少なくとも１つのモータをインダイレクトドライブモータとすることができる。
【００３３】
第１モータは軸モータまたはラジアルモータであってもよい。好ましくは、第１モータは軸モータである。軸モータはモータの軸に沿って間隔をおいて配された磁石およびコイルを含むものである一方、ラジアルモータはモータの回転軸のまわりに放射状に間隔をおいて配された磁石およびコイルを含むものである。
【００３４】
第１モータは第１軸の周りの部分的な回転を提供することができる。換言すれば、このモータは、計測装置の本体に対する、第１軸の周りの３６０度未満の第１部材の回転を生じさせることができるものであり得る。好ましくは、第１モータは第１軸の周りの１回転分の移動を提供する。換言すれば、このモータは、計測装置の本体に対する、第１軸の周りの３６０度にわたる第１部材の回転を生じさせることができるものであり得る。第１モータは第１軸の周りの１回転を超える移動を提供することができる。換言すれば、このモータは、計測装置の本体に対する、第１軸の周りの３６０度超にわたる第１部材の回転を生じさせることができるものであり得る。第１モータは第１軸の周りのほぼ制限の無い回転数分の移動を提供することができる。
【００３５】
第１モータをブラシレスモータとすることができる。あるいは、第１モータはブラシ付きモータであってもよい
第１モータは第１磁石を備えることができる。第１磁石はさらに少なくとも１つの金属コイルを備えることができる。第１磁石および少なくとも１つの金属コイルは、それらが互いに移動可能となるように取り付けることができる。少なくとも１つの金属コイルに電流を流すことで、少なくとも１つの金属コイルおよび第１磁石の相対回転を生じさせることができる。磁石および少なくとも１つの金属コイルの一方を第１部材に取り付けることができる。かかる取り付けは、直接的に行われるものでも、中間部材を介して行われるものでもよい。第１部材に取り付けられた、磁石および少なくとも１つの金属コイルの一方の回転によって、使用時における第１部材の回転を生じさせることができる。
【００３６】
さらに、第１モータは磁性材料を含み得る。当業者であれば、磁性材料とは磁石に吸着される材料を意味することを理解するであろう。第１磁石および磁性材料は、互いに対して固定されることで、磁石アセンブリを形成することができる。第１磁石および磁性材料は互いに間隔を置いたものとすることができ、その間隔付けはスペーサによって行われるものとすることができる。このスペーサは、第１磁石および磁性材料に対して固定されるものとすることでき、磁石アセンブリの一部を形成するものとすることができる。磁石アセンブリの間隔を置いた磁性材料および第１磁石間に、少なくとも１つの金属コイルを設けることができる。磁石アセンブリおよび少なくとも１つの金属コイルを相対的に移動可能なものとすることができる。
【００３７】
第１モータは、複数の磁石、例えば第１磁石および第２磁石を備えることができる。第１磁石および第２磁石は、互いに対して固定されることで、磁石アセンブリを形成することができる。第１磁石および第２磁石は互いに間隔を置いたものとすることができ、その間隔付けはスペーサによって行われるものとすることができる。このスペーサは、第１磁石および第２磁石に対して固定されるものとすることでき、磁石アセンブリの一部を形成するものとすることができる。磁石アセンブリの間隔を置いた第１磁石および第２磁石間に、少なくとも１つの金属コイルを設けることができる。第１磁石および第２磁石は、互いに相補的な形状および寸法のものとすることができる。
【００３８】
使用に際しては、少なくとも１つの金属コイルを計測装置のハウジングに固定することができ、その少なくとも１つの金属コイルに通電することで、少なくとも１つの金属コイルに対する磁石アセンブリの回転を生じさせることができる。あるいは、磁石アセンブリを計測装置のハウジングに固定することができ、その少なくとも１つの金属コイルに通電することで、磁石アセンブリに対する少なくとも１つの金属コイルの回転を生じさせることができる。換言すれば、磁石アセンブリおよび少なくとも１つの金属コイルの一方がモータのステータを形成し、磁石アセンブリおよび少なくとも１つの金属コイルの他方がモータのロータを形成するものとなり得る。
【００３９】
第１磁石および磁性材料を、互いに対して移動可能なものとすることができる。少なくとも１つの金属コイルを磁性材料に固定することができる。そうすることで、第１磁石は、磁性材料および少なくとも１つの金属コイルに対して移動可能となり得る（逆も同様である）。第１磁石および磁性材料は互いに間隔を置いたものとすることができ、その間隔付けは、例えば何らかのベアリングまたはスペーサおよびベアリングの組み合わせなどによって行うことができる。このスペーサは、第１磁石および磁性材料の少なくとも一方に対して固定され、第１磁石および磁性材料の他方に対して移動可能なものとすることができる。ベアリングは第１磁石および磁性材料の少なくとも一方とスペーサとの間に設けることができる。
【００４０】
計測装置は、本体に対する第１回転軸の周りの第１部材の回転を可能とするためのベアリングを備えることができる。モータの回転に用いられるベアリングが、本体に対する第１部材の回転を可能とするためのベアリング、すなわち第１軸ベアリングであってもよい。
【００４１】
使用に際し、金属製の材料および少なくとも１つの金属コイルを計測装置のハウジングに対して固定することができ、少なくとも１つの金属コイルに通電することによって、少なくとも１つの金属コイルに対する第１磁石の回転を生じさせることができる。あるいは、使用に際し、第１磁石を計測装置のハウジングに対して固定することができ、少なくとも１つの金属コイルに通電することによって、第１磁石に対する金属製の材料および少なくとも１つの金属コイルの回転を生じさせることができる。換言すれば、第１磁石および少なくとも１つの金属コイルの一方がモータのステータを形成し、第１磁石および少なくとも１つの金属コイルの他方がモータのロータを形成するものとなり得る。
【００４２】
磁性材料は、第１磁石と相補的な形状および寸法の磁性材料のプレートを備えることができる。
【００４３】
第１モータの第１磁石は複数の磁石を含むことができる。該複数の磁石をリング状に配することができる。第２磁石は複数の磁石を含むことができる。該複数の磁石もリング状に配することができる。複数の磁石は、Ｎ極とＳ極とがリングの周りに交互に位置するよう、環状に配することができる。前記リングは、例えば、モータの弧や、セグメントに分割されたリングなど不完全なリングであってもよいし、あるいは完全なリングであってもよい。リングの分割されたセグメントは、隣接したものであってもよいし、離隔したものであってもよい。
【００４４】
第１および第２磁石の少なくとも一方には、少なくとも１つの金属コイルから離れた側に磁性材料すなわちバックプレートを設けることができる。磁性材料すなわちバックプレートは、それが設けられる磁石と合うような形状および寸法とされ得る。
【００４５】
少なくとも1つの金属コイルは複数のコイルを含むことができる。該複数のコイルをリング状に配することができる。前記リングは、例えば、モータの弧や、セグメントに分割されたリングなど不完全なリングであってもよいし、あるいは完全なリングであってもよい。リングの分割されたセグメントは、隣接したものであってもよいし、離隔したものであってもよい。少なくとも1つの金属コイルは、第１および第２磁石の少なくとも一方を形成する複数の磁石の少なくとも１つの形状および寸法と相補形となるように形状および寸法が定められたものとすることができる。複数の金属コイルは、第１および第２磁石の少なくとも一方を形成する複数の磁石の形状および寸法と相補形となるように形状および寸法が定められたものとすることができる。好適には、すべてのコイルは、第１および第２磁石の少なくとも一方を形成する複数の磁石のそれぞれの形状および寸法と相補形となるように形状および寸法が定められたものとすることができる。コイルおよび磁石の相対数とコイルおよび磁石の寸法は、モータの効率を最適化し、モータのトルクリップルを最小化するように選択することができる。例えば、磁石ないしリング状の磁石を、少なくとも１つの金属コイルないしリング状の金属コイルよりも小さくして、リングの中心線は一致するが、磁石がその中心線から半径方向内方または外方に、コイルほどには張り出さないようにすることができる。あるいは、例えば磁石およびコイルが等寸法であってもよい。
【００４６】
本発明の第９の形態は、本体と、モータの制御下で前記本体に関して可動な第１部材とを備える計測装置であって、前記第１部材が表面感知デバイスに取り付け可能であり、前記モータが前記第１部材に接続されるロータと前記本体に接続されるステータとを含み、前記ロータおよび前記ステータの一方が、前記ロータおよび前記ステータの他方に対し、前記ロータの回転軸と実質的に平行な方向に主として作用する磁界を確立するための磁石アセンブリを含み、前記ロータおよび前記ステータの他方の少なくとも１つのコイルが、電流が搬送されたときに、前記磁石アセンブリによって確立される前記磁界と協働して前記ロータの回転を生じさせる磁界を発生し、前記ロータおよび前記ステータが軸方向に離隔している、計測装置を提供する。
【００４７】
磁石アセンブリは少なくとも一対の磁石を含み、対になった磁石を軸方向に離隔させ、磁石を相対移動させるために少なくとも１つのコイルを取り付けることができる。
【００４８】
磁石アセンブリは複数対の磁石を含み、各対の磁石を軸方向に離隔且つ整列させ、対をなす一方の磁石のＮ極が、対をなす他方の磁石のＳ極に面するようにすることができる。
【００４９】
磁石アセンブリは複数のコイルを含み、各コイルは、電流が搬送されたときに、ロータの回転軸に実質的に平行な軸方向でコイルを通る磁界を発生するものとすることができる。
【００５０】
本発明の第１０の形態は、本体と、パンケーキモータの制御下で前記本体に関して可動な第１部材とを備え、前記第１部材が表面感知デバイスに取り付け可能な計測装置を提供する。
【００５１】
本発明の第１１の形態は、
本体および該本体に対し第１ベアリングによって規定される第１回転軸の周りに回転可能な第１部材と、
前記本体に対する前記第１回転軸の周りの前記第１部材の回転を生じさせる第１モータであって、少なくとも１つのコイルに対し、前記軸方向に主として作用する磁界を発生するための磁石を少なくとも１つ含んだ第１モータと、を具えた計測装置であって、
前記第１部材とともに前記本体に対して移動できるように表面感知デバイスが前記第１部材に取り付け可能である、
計測装置を提供する。
【００５２】
第１モータに関連する記載は、備えられる第２モータおよび追加モータの少なくとも一方に適用可能なものである。
【００５３】
添付の図面を参照し、例として本発明の実施形態を説明する。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】プローブ装置が搭載された座標測定装置（ＣＭＭ）を示す。
【図２】図１に示された関節型プローブヘッドを通る断面図を示す。
【図３】図２に示されたプローブヘッドに用いられるものとしての鉄心を有するモータを通る断面図を示す。
【図４】フレームレスのアイアンレスコアモータを有するプローブ装置を通る断面図を示す。
【図５Ａ】アイアンレス軸モータを通る断面を示す。
【図５Ｂ】図５ａに示されたアイアンレス軸モータの分解図である。
【図６】追加されたアイアンレス軸モータを通る断面図を示す。
【図７】アイアンレスの軸方向配置モータを通る断面図を示す。
【図８】モータを通る断面図であり、磁石アセンブリによって確立される典型的な磁界を示している。
【発明を実施するための形態】
【００５５】
図１は座標測定装置（ＣＭＭ）を示しており、この装置は部分１６を載置可能なテーブル１２と、テーブル１２に対しＸ、ＹおよびＺに移動可能なクイル１４とを備えている。関節型プローブヘッド１８がクイル１４に取り付けられ、少なくとも２つの軸Ａ１，Ａ２の周りの回転を提供する。プローブ２０は関節型プローブヘッド１８に搭載される。従ってプローブ２０は、ＣＭＭ１０によってＸ、ＹおよびＺに移動可能且つ関節型プローブヘッド１８によって軸Ａ１およびＡ２の周りに回転可能である。
【００５６】
ＣＭＭ１０および関節型プローブヘッド１８にはモータが備えられ、プローブ２０を所望の位置および向きに駆動する。モータは、ＣＭＭ１０および関節型プローブヘッド１８に駆動信号を送出するコントローラ２２／コンピュータ２３によって制御される。
【００５７】
ＣＭＭ１０および関節型プローブヘッド１８の位置は、トランスジューサ（不図示）によって判定され、位置はコントローラ２２／コンピュータ２３にフィードバックされる。
【００５８】
図２は、図１に示された関節型プローブヘッド１８を通る断面図を示す。関節型プローブヘッド１８は、第１ハウジング部材１および第２ハウジング部材２を備える。第１ハウジング部材１は、図１に示したＣＭＭのクイル１４などの位置判定装置に取り付けるのに適合しており、第１軸Ａ１の周りで第１シャフトＳ１の角変位を生じさせるためのモータＭ１を収容する。第１シャフトＳ１には第２ハウジング部材２が取り付けられ、これは第２軸Ａ２の周りで第２シャフトＳ２の角変位を生じさせるためのモータＭ２を収容する。第２シャフトＳ２には、それとともに回転する、表面感知プローブなどの表面感知デバイス２０が取り付けられる。シャフトＳ１，Ｓ２の各々はそれぞれの回転軸Ａ１，Ａ２について無限に近接した、または極めて近接したポイントに位置づけることができ、それによって関節型プローブヘッドは連続型プローブヘッドとして知られるものとなる。このことは、プローブヘッドが搭載されるＣＭＭに対して、離散的な数の、運動学的に定義される表面感知プローブの向きが使用される割出しプローブとは対照的なものである。
【００５９】
表面感知プローブ２０は、プローブ本体９と、スタイラス８と、ワークピースに接触するためのスタイラスチップ５とを備える。示される表面感知プローブは接触感知プローブである。かかる接触感知プローブには、タッチトリガプローブや走査プローブが含まれる。一般的な走査の動作において、表面感知プローブワークピースの表面上で駆動され、ワークピース表面のポイントの測定値を作成することを可能にする。
【００６０】
関節型プローブヘッド１８に使用することができる他の種類のプローブには、光学式プローブ、容量型プローブおよび誘導型プローブが含まれる。
【００６１】
回転駆動機構Ｍ１，Ｍ２に対しては、コントローラ（図１において符号２２で示されるもの）から電気接続を介して電力が供給される。コントローラは、所要の一連の移動においてワークピース（図１において符号１６で示されるもの）の表面上を移動するよう、表面感知デバイス２０を制御するべくプログラムされている。プローブヘッド１８内のトランスジューサは駆動機構の角軸周りの角位置を示す信号をコントローラ内のサーボ制御ループに返送する。これらの信号は、プローブヘッドが搭載される機械の測定デバイスからの信号とともに、表面感知デバイス２０とワークピース表面との相対位置が正確に制御されるようにするものである。従って、図２を参照して説明した関節型プローブヘッド１８は連続的にサーボ制御されるプローブヘッドとなる。
【００６２】
図３は、図２に示したプローブに用いられるものとしての鉄心を有するモータ３０を通る断面図である。モータは鉄心３２で形成されたロータを有し、鉄心はその周囲に緊密にコイル巻きされる銅線（不図示）を有している。ロータはモータのスピンドル３４に取り付けられる。モータのハウジング４０には、鉄心３２の周囲でフレームを形成するリング状の磁石３６および３８が取り付けられる。配線の各端部は電流の供給部に接続される。配線に電流が供給されると、鉄心は磁石となり、モータ３０のハウジング４０に固定された磁石３６，３８と反発／吸着し合うことで、ロータひいてはスピンドル３４の回転を生じさせる。スピンドルの正確な位置、従ってスピンドルに支持されてそれとともに可動であるプローブの位置を知ることが極めて重要となる計測への応用においては、このモータは堅牢なベアリング４２，４４を必要とする。堅牢なベアリングは、ハウジングに取り付けられた磁石に向かってロータが引かれること、従ってスピンドルがその回転軸から離れるように引かれることを防止する目的で用いられる。振れおよびスウォッシュに対してベアリングを正確に設計すること、すなわちベアリングが横方向にふらついたり傾いたりしないようにすることは、極めて困難であり、従って高価なものとなり得る。さらに、軸の移動を提供するためのモータのステータおよびロータ間の磁力に対抗する必要性は、タスクをなお一層困難なものとする。堅牢なベアリングに代わるものとして、プローブチップの実際の位置と、スピンドルが磁力によって移動しないとした場合にプローブチップがあるべき位置との差を示すマップを作成することができる。これは誤差マップとして知られているものである。プローブチップがあるとシステムが考えている位置に誤差を加えることで、プローブの実際の位置を発見することができる。しかしながら、これらのマップは作成に時間を要するものであり、また、現在のところ測定値の全誤差を除去できるものではない。
【００６３】
図４は、フレームレスのアイアンレスコアモータを有するプローブ装置を通る断面図である。本実施形態においては、モータは一般にパンケーキモータと称される種類のものである。測定される物品と接触するスタイラス１０４を有するプローブ１０２が示されている。プローブ１０２はプローブヘッド１０６に取り付けられ、そしてプローブヘッドは座標測定機械のクイル１０８に取り付けられる。
【００６４】
慣例的には、使用時において、ＣＭＭのクイル１０８はスタイラス１０４が物品に触れるまで３直交軸のいずれかに移動するものであろう。３軸に関するクイル１０８の位置は、プローブヘッドおよびプローブ自体からの位置データとともに、物品の寸法を判定するために使用することができる。
【００６５】
クイル１０８の３軸の移動に加え、クイル１０８に取り付けられてクイル２０８およびプローブ１０２間に位置するプローブヘッド１０６は、互いに直交する２つの回転軸Ａ３，Ａ４の移動を測定装置に付加する手首の形態を有する。モータＭ３およびＭ４は２軸の回転のためにトルクを提供する。クイル１０８およびプローブヘッド１０６の双方を移動させ、またはクイルのみを移動させ、またはプローブヘッドのみを移動させることにより、プローブによってサンプルの測定値を取得することができる。
【００６６】
プローブヘッド１０６の関節により、クイルを単独で移動させるよりもさらに複雑な移動を行うことが可能となる。例えば、プローブヘッドの移動により、ボアの周りの螺旋状経路に沿ってスタイラス１０４を移動させることで、プローブがボアの長さ方向に沿った真円度を測定することができるようになる。スタイラス１０４の位置は、その回転位置およびＣＭＭの３軸の読みから計算することができる。
【００６７】
かかるプローブの回転移動には、プローブヘッドのベアリングの正確且つ反復性のある移動が必要である。本実施形態において、プローブ１０２は水平スピンドル１１６に保持されたキャリッジ１１４に搭載されている。スピンドル１１６は、ヘッド１０６の下部ハウジング１１２に接続される各端部にベアリングアセンブリを有している。下部ハウジング１１２はヘッド１０６の上部ハウジング１１０内の垂直スピンドル１１８（これもまた２つのベアリングアセンブリを有する）に接続される。
【００６８】
水平スピンドル１１６は下部ハウジング１１２に対して回転することができる。回転は、部分１２０と１２８および部分１２２と１２９を有する２つのベアリングアセンブリを用いることで実現される。ボール１２０および１２２の形状である雄型ベアリングは、例えば接着手段によってスピンドル１１６の端部に固定される。各ボールは、それぞれ雄型部分受容開口を有する支持部１２８および１２９の形状の雌型部分に収容され、スピンドルの可能な移動は回転「Ａ４」のみとなるようにされている。同様に、下部ハウジング１１２は垂直ハウジング１１８を介して回転可能に搭載される。２つのボール１２４および１２６の形状の雄型部分を備える２つのベアリングアセンブリが示されており、２つのボールは開口を有する支持部１３０および１３２の形状の２つの雌型部分に収容されて、これらが回転移動「Ａ３」を提供する。
【００６９】
公知の技術を用いて、非常に高い精度、すなわち全体的な真円度公差が０．１６μｍ未満のボール１２０、１２２、１２４および１２６を製造することができる。この精密な真球度によって、回転時におけるプローブの正確な移動が提供される。ボールは、セラミック、ルビーあるいは鋼材でなるものとすることができる。
【００７０】
スピンドル１１６および１１８は、それぞれ、固定支持部１２９および１３０を有し、また可動支持部１２８および１３２を有する。固定支持部はその搭載位置に対して固定される一方、可動支持部は関連する回転軸の方向に弾性的に移動することができる。
【００７１】
電力および信号経路ａ，ｂ，ｃ，ｄが示されている。経路「ａ」は軸Ａ４の周りにスピンドル１１６（従ってプローブ１０２）を回転させるためのモータＭ４に電力を提供する。経路「ｂ」は軸Ａ４の周りにスピンドル１１８（従って下部ハウジング１１２）を回転させるためのモータＭ３に電力を提供する。
【００７２】
スピンドル１１６および１１８の回転位置は、それぞれ、ロータリーエンコーダ１８６および１８８によって判定することができる。経路ｅおよびｃはエンコーダ信号のために提供される。
【００７３】
経路ａ、ｄおよびｅには回転カプリング１９０を有し、その２つの半体は、摺接型のもの（例えばスリップリングを用いたもの）、あるいは非接触型（例えば容量型、誘導型、赤外線、光学式またはＲＦによるリンク）のものとすることができる。回転カプリングによって、上部ハウジング１１０に対する下部ハウジング１１２の連続回転が可能となる。
【００７４】
モータＭ３およびＭ４は、下記のように図５を参照して詳述するフレームレスのアイアンレスコアモータとすることができる。
【００７５】
ここで示される図は図示の向きにおいて説明される。装置がその他の向き、例えば機械の水平アーム上にあるような向きや、その他の向きのアーム上にあるような向きなどでも用い得ることは理解されよう。
【００７６】
図５ａは、２つのバックプレート１５０，１５８、２つの磁石リング１５２，１５６、それらの磁石リングを離隔させるためのスペーサ１６０およびリング状の金属コイル１５４を備える軸方向アイアンレス−コアモータ１４０の断面を示す。
【００７７】
モータは、プローブヘッドのスピンドル１１６（図４参照）に沿ってスペーサ１６０により離隔される２つの磁石リング１５２，１５６を備える。スペーサは磁石リングを離隔状態に維持するのに十分に堅牢であるべきであり、例えば金属またはポリマーで作製することができる。磁石リングは、モータの中心に面する内側面１５２Ｉ，１５６Ｉとモータの外側に面する外側面１５２Ｏ，１５６Ｏとを有する。磁石リングの外側面１５２Ｏ，１５６Ｏは鋼製のバックプレートに取り付けられる。２つの磁石リング１５２，１５６、バックプレート１５０，１５８およびスペーサが共に磁石アセンブリを形成する。
【００７８】
磁石リング１５２，１５６間にはリング状の銅線コイルが、磁石およびコイルが互いに可動となるように懸架されている。この場合、コイルリングは本体に対して静止して保持され、本実施形態においては上部ハウジング１１０または下部ハウジング１１２である本体がステータを形成する。また、磁石アセンブリは第１部材に固定され、本実施形態においてはスピンドル１１８または１１６である第１部材が本体に対して回転可能なロータを形成する。銅線コイルはプレートに固定され、このプレートは、モータを用いることができるプローブのハウジングに接続可能である。プレートは、例えばプラスチックやファイバーベースの材料など、非磁性材料で作製することができる。銅線コイルは２つの部位で電流源に接続される。通常の電磁石と同様に、電流が流れる方向によって磁石アセンブリが移動する方向が定まる。電流がコイルに供給されるとコイルが磁力を帯びる。モータの回転に関連してコールを流れる電流をサーボ制御することで、モータからのトルクが提供される。
【００７９】
モータアセンブリの回転が生じると、モータアセンブリのスペーサが固定されるスピンドル１１６も回転し、これはプローブヘッドが搭載される機械に対するプローブの移動を生じさせる。
【００８０】
図５ａのモータはブラシレス型である。
【００８１】
当業者であれば、例えば、磁石がリングの周りに互いに離隔してリング状に配されている場合、リングが不完全なものである場合、および、リングがＮ極およびＳ極を交互に持つように磁化された１つの磁石で作製されている場合に、モータが作動することを理解できよう。
【００８２】
図５ａにおけるモータは軸モータ構成である。しかしながら、当業者であれば、モータはラジアルモータのように構成されたものでもよいことを理解できよう。かかるラジアルモータは、例えば磁心と、鋼製の外側ケーシングと、それらの間に位置するワイヤコイルとを含むものとすることができる。
【００８３】
この出願においてアイアンレスコアモータを使用することには、モータのステータおよびロータ間の軸方向または半径方向の引き寄せが最小化される、もしくはこれが無くなるという利点がある。よって、ロータおよびステータ間に堅牢なベアリングを不要としつつ、それらが互いに引き寄せられ、モータの回転を停止させてしまうことを防止できる。
【００８４】
フレームレスモータを使用することによって、フレーム付きモータのベアリングを計測軸のベアリングに連結するというよりむしろ、計測軸自体のベアリングを使用することが可能となる。
【００８５】
図５ａおよび図５ｂに示すモータの効率は鉄心モータの効率と比較できる。磁石およびバックプレートの構成は、コイルリングが位置付けられる磁界を強いものとする。
【００８６】
図５ｂは図５ａに示したアイアンレス−コアの軸モータ１４０の分解図である。部品の番号は図５ａのものに一致している。図示のように、磁石１５２，１５６は、磁石のＮ極およびＳ極が各リングの周りに交互に位置するよう配置される。図８から明らかなように、各極は、他のリング上の対応する対極と軸方向に整列する。このようにすることで、磁界は、磁束線によって示されるように、大部分がロータの回転軸に実質的に平行な方向においてコイル１５４に作用する。磁石１５２または１５６の対極が隣接する領域においては、回転軸に非平行な方向に磁界が作用することは勿論である。しかしながら、周方向に作用する磁界の比率は非常に小さい。
【００８７】
プレート１５０，１５８は磁化可能な材料で作製され、これらプレート１５０，１５８を超えて張り出す磁界の大きさが低減されるような磁界を形作る。これにより、モータの外部にある計測デバイスの部品に及ぼす磁界の影響が低減される。
【００８８】
本実施形態において、磁石１５２，１５６は、分離した磁石がバックプレート１５０，１５８に取り付けられたものとして示されている。しかしながら、バックプレート１５０，１５８に取り付けられる連続したリング状の材料で磁石を作製することも可能である。かかるリング状の材料はＮ極とＳ極とが交互に設けられるよう適切に分極されたものである。
【００８９】
図７にはスペーサ１６０も示されている。
【００９０】
それぞれの個別コイル１５４ａを見ることができる。コイルは磁石の寸法および形状に一致するよう寸法が定められ、形作られており、各コイルは磁石１５２，１５６の対極のフットプリント（軸方向で見た場合）内に合うものとなっている。これにより、モータの効率およびトルクリップルが改善される。また、コイルおよび磁石の相対数はモータの効率およびトルクリップルを最適化するように選択される。
【００９１】
図６は追加されたアイアンレス−コア軸モータ１４２を通る断面を示す。このモータは、第１バックプレート１５０および第２バックプレート１５８と、１つの磁石リング１５２と、その磁石リングおよび第１バックプレート１５０を第２バックプレート１５８から隔てるスペーサ１６０と、リング状金属コイル１５４とを備える。図５ａとは対照的に、第２の磁石リングは備えられていない。代わりに、２つのバックプレートおよび１つの磁石リングが磁石アセンブリを形成している。図５ａのモータと同様、磁石アセンブリがロータを形成し、コイルアセンブリがステータを形成する。当業者には明らかであろうが、その代わりに、磁石アセンブリがステータを形成し、コイルアセンブリが軸のシャフトに取り付けられてモータのロータを形成するようにすることもできる。
【００９２】
図５ａのモータの２つの磁石リングには、磁界が発生してロータに作用する半径方向の力が、図３に示されるモータと比較して非常に小さくなるような、よりよい磁界を提供するという利点がある。従って、モータの軸はその原位置から変位しにくいものとなる。
【００９３】
図３に示されるモータと比較してさらに有利な点は、モータが、それの占める空間の容積に対して、大きなトルクを発生できることである。特に、磁石の外側フレーム（例えば図３におけるロータ）をコイルの内側コア（図３におけるステータ）の周りに形成する必要なく、コイル１５４および／または磁石１５２／１５６をモータの外周に近接して配置することで、加えられた力に対して発生するトルクを最大限にすることができる。
【００９４】
モータの少なくとも１つが、図７に示されるモータのようなフレームレスの軸方向配置モータであってもよい。
【００９５】
図７はフレームレスの軸方向配置モータ１４４を通る断面を示す。モータ１４４は第１バックプレート１５０および第２バックプレート１５８と、１つの磁石リング１５２と、その磁石リングおよび第１バックプレート１５０を第２バックプレート１５８から隔てるスペーサ１６０と、リング状金属コイル１５４とを備える。図６のモータと比較して、モータ１４４のコイルリング１５４は第２バックプレート１５８に取り付けられている。図７のモータにおいては、モータ１４４、第１バックプレート１５０、磁石リング１５２およびスペーサ１６０は、第２バックプレート１５８およびコイルリング１５４に対し、ベアリング１７０上で可動である。よって、モータ１４４、第１バックプレート１５０、磁石リング１５２およびスペーサ１６０がモータのロータを形成し、第２バックプレート１５８およびコイルリング１５４がモータのステータを形成する。ロータおよびステータ形状の相対的な寸法は、モータの効率を最大化するように選択される。コイルリングは、磁石リングの半径に少なくとも等しい半径を有するものとすることができる。好ましくは、モータのコイルリングは磁石リングよりも大きい半径を有するものとすべきである。
【００９６】
ベアリング１７０はモータが嵌合する計測装置の軸のベアリングである。モータはフレームレス型のものであり、従って自らにはベアリングが設けられていないが、自らが嵌合する計測装置の軸のベアリングを使用する。
【００９７】
図７に示すモータは、軸方向配列型のモータ、すなわち、ロータおよびステータが回転軸に関して半径方向に配されるのではなく、回転軸に沿って離隔しているものである。
【００９８】
図７のモータにおいては、コイルリング１５４の内側には鉄心が無いが、コイルは第２バックプレート１５８に固定されているので、モータ１４４のステータおよびロータ間にはある程度の吸着が生じ得、従ってモータにはいくらかの軸方向の引き寄せが生じ得る。従って、モータが固定される計測装置の軸のベアリングは、この軸方向の引き寄せに抗するのに十分なだけ堅牢であるべきである。軸方向配列のモータとすることで、ロータおよびステータ間には軸方向の引き寄せのみが存在し、半径方向の引き寄せは存在しない。図７に示すモータにおいては、ベアリングには半径方向の力が実質的に作用せず、計測装置の軸の位置はモータが回転する際に実質的に固定されたままとなる。計測装置の軸の位置は実質的に固定されたままとなるので、鉄心モータを用いた場合に通常生じる振れやスウォッシュの問題が実質的に排除される。
【図１】
2013540981.tif 000003
【図２】
2013540981.tif 000004
【図３】
2013540981.tif 000005
【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
2013540981.tif 000008
【図６】
2013540981.tif 000009
【図７】
2013540981.tif 000010
【図８】
2013540981.tif 000011
【国際調査報告】
2013540981.tif 000012
2013540981.tif 000013