(57)【要約】  本発明は、対象物上に配置された感光層において露光された構造を作り出すための露光システムに関し、該露光システムは、対象物を受容する対象物キャリアと露光装置とを備え、対象物キャリア及び露光装置は相互に変位可能であり、露光装置から出る露光ビームの各々によって露光ユニットが露光スポットを感光層上に形成可能となるように、露光装置は露光スポットを制御された位置で感光層上に形成することができる。本発明の提案によれば、一連の第１露光ビームを発生させる少なくとも一つの第１露光ユニット及び一連の第２露光ビームを発生させる少なくとも一つの第２露光ユニットが、少なくとも一つの偏向要素に関連付けられ、その第１露光ビーム又は第２露光ビームは、変位中に同偏向要素によって偏向可能であり、第１露光ビームに対する反射領域及び第２露光ビームに対する反射領域が、連続方向にて相互にオフセットして偏向要素に配置される。
2013511737.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象（２２）を収容する対象支持体（１４）と露光装置（３０）とを有する、対象（２２）上に配置された感光層（２４）内に露光された構造（２６）を発生させる露光設備であって、その場合に対象支持体（１４）と露光装置（３０）が送り方向（１６）に互いに対して移動可能であって、かつその場合に、露光装置（３０）が、列方向（５３）に互いに連続するように配置された１列（５２）の放射出口開口部（５４）を有することによって、露光装置（３０）により送り方向（１６）に対して横方向に露光スポット（４２）が感光層（２４）上に位置制御されて形成可能であって、前記放射出口開口部から露光ビーム（５６）が出射し、前記露光ビームの各々により感光層（２４）上に結像ユニット（１００）によって露光スポット（４２）が形成可能であり、かつ前記露光ビームの各々が、少なくとも１つの反射面（８４）を備えた、移動方向に移動する偏向部材を有する少なくとも１つの偏向ユニット（７０）によって、列方向（５３）に対して横方向かつ送り方向（１６）に対して斜めに延びる偏向方向（７４）に偏向可能であるので、偏向方向（１４）において各露光ビーム（６０）によって、多数の互いに連続する露光スポット位置（９０）内で互いに少なくとも部分的に重なる露光スポット（４２）が発生可能である、前記露光された構造を発生させる露光設備において、
少なくとも１つの偏向部材（７２）に、第１の露光ビーム（６０ａ）を発生させる露光ユニット（５０ａ）の少なくとも１つの第１のセット（６１ａ）と、第２の露光ビーム（６０ｂ）を発生させる露光ユニット（５０ｂ）の少なくとも１つの第２のセット（６１ｂ）が対応づけられており、その第１ないし第２の露光ビーム（６０ａ、６０ｂ）が、同一の偏向部材（７２）によってそれが移動する際に偏向可能であって、
移動する偏向部材（７２）に、それぞれの第１のセット（６１ａ）ないし第２のセット（６１ｂ）の各第１と各第２の露光ビーム（６０）のための少なくとも１つのミラー面領域（８９ａ、８９ｂ）が設けられており、かつ
第１の露光ビーム（６０ａ）のためのミラー面領域（８９ａ）と第２の露光ビーム（６０ｂ）のためのミラー面領域（８９ｂ）が、列方向（５３）に互いに対して変位して偏向部材（７２）に配置されている、
ことを特徴とする、対象上に配置された感光層内に露光された構造を発生させる露光設備。
【請求項２】
ミラー面領域（８９ａ、８９ｂ）が、列方向にオフセット（Ｖ）を有し、前記オフセットが少なくとも、露光ビーム（６０ａ、６０ｂ）のセット（６１ａ、６１ｂ）の２つの互いに連続する露光ビーム（６０ａ、６０ｂ）の間隔（ＡＢ）に相当する、ことを特徴とする請求項１に記載の露光設備。
【請求項３】
オフセット（Ｖ）が、２つの互いに連続する露光ビーム（６０ａ、６０ｂ）の間隔（ＡＢ）の数倍に相当する、ことを特徴とする請求項２に記載の露光設備。
【請求項４】
偏向部材の正確なアライメントを保証するために、偏向部材（７２）が対向する側において支承されている、ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項５】
偏向部材（７２）が、片側で駆動装置（１３０）によって駆動可能である、ことを特徴とする請求項４に記載の露光設備。
【請求項６】
送り方向（１６）に対して横方向に延びる横方向（３８）に互いに連続して配置された偏向部材（７２）が、交互にそれぞれ対向する側において駆動装置（１３０）によって駆動可能である、ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項７】
第１と第２の露光ユニット（５０ａ、５０ｂ）の第１と第２の露光ビーム（６０ａ、６０ｂ）のミラー面領域（８９）が、感光層（２４）上に送り方向（１６）に対して垂直に延びるアライメント領域（１２２）に関して次のように、すなわち第１の露光ユニット（５０）の１つの偏向区間（ＡＳａｘ）の露光スポット位置（９０ａｘｙ）の１つと、それに関連する、第２の露光ユニット（５０）の該当する偏向区間（ＡＳｂｘ）の露光スポット位置（９０ｂｘｙ）が、このアライメント領域（１２２）内に位置するように、配置されている、ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項８】
アライメント領域（１２２）が、送り方向（１６）に広がり（Ｂ）を有し、前記広がりが、露光ビーム（６０）のセット（６１）の偏向区間（ＡＳ）の１つのものの最後の露光スポット位置（９０）と、後続の偏向区間（ＡＳ）の第１の露光スポット位置（９０）との間の間隔（１２４）に相当する、ことを特徴とする請求項７に記載の露光設備。
【請求項９】
少なくとも１つの偏向ユニット(７２)に、第１の露光ビーム（６０ａ）の第１のセット（６１ａ）を発生させる少なくとも１つの第１の露光ユニット（５０ａ）と、第２の露光ビーム（６０ｂ）のセットを発生させる少なくとも１つの第２の露光ユニット（５０ｂ）が対応づけられており、その第１ないし第２の露光ビーム（６０ａ、６０ｂ）が、同一の偏向部材（７２）によってそれが移動する際に偏向可能であり、かつ
第１と第２の露光ビーム（６０ａ、６０ｂ）が、移動方向に対して横方向に延びる列方向（５３）において互いに対して変位して感光層（２４）上に当接する、ことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項１０】
露光装置（３０）のすべての露光ユニット（５０）が、互いに対して次のように、すなわち感光層上の該当する偏向区間（ＡＳｘ）の互いに関連する露光スポット位置（９０xy）が、送り方向（１６）に対して垂直に延びるアライメント領域（１２２）内に位置するように、配置されている、ことを特徴とする請求項９に記載の露光設備。
【請求項１１】
アライメント領域（１２２）が送り方向（１６）に、露光ユニット（５０）の１つのものの１つの偏向区間（ＡＳｘ）の最後の露光スポット位置（９０ｘＮ）と、後続の偏向区間（ＡＳｘ＋１）の第１の露光スポット位置（９０ｘ＋１）との間の送り方向（１６）における間隔（１２４）に相当する、広がり（Ｂ）を有している、ことを特徴とする請求項１０に記載の露光設備。
【請求項１２】
第１と第２の露光ビーム（６０ａ、６０ｂ）のセット（６１ａ、６１ｂ）のそれぞれ互いに関連する露光スポット位置（９０）が、送り方向（１６）に対して垂直に延びるアライメントライン（１２０）から、最大で露光スポット位置（９０）の露光スポット（４２）の直径に相当する間隔を有している、ことを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項１３】
第１の露光ユニット（５０ａ）の１つの偏向区間（ＡＳｘ）の１つの露光スポット位置（９０ａｘｙ）を通り、かつ送り方向（１６）に対して垂直に方向付けされたアライメントライン（１２０）が、それに関連する、第２の露光ユニット（５０ｂ）の該当する偏向区間（ＡＳｘ）の露光スポット位置（９０ｂｘｙ）と交差する、ことを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項１４】
第１の露光ビーム（６０ａ）の少なくとも１つのセット（６１ａ）が、偏向部材（７２）の一方の長手側（７９ａ）上に当接し、第２の露光ビーム（６０ｂ）の少なくとも１つのセット（６１ｂ）が、前記一方の長手側に対向する長手側（７９ｂ）上に当接する、ことを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項１５】
露光ビーム（６０1、６０2）の少なくとも２つのセットのそれぞれ露光ビーム（６０1、６０2）が、偏向部材（７２）の同一のミラー面領域（８９）上に当接して、それによって感光層（２４）上へ反射されることを特徴とする請求項１の前文または請求項１から１４のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項１６】
少なくとも２つの露光ビーム（６０1、６０2）が、互いに対して鋭角（２Φ）をなしてミラー面領域（８９）上に当接する、ことを特徴とする請求項１５に記載の露光設備。
【請求項１７】
少なくとも２つの露光ビーム（６０1、６０2）が、中心軸（１８０）に対して対称に延びている、ことを特徴とする請求項１６に記載の露光設備。
【請求項１８】
少なくとも２つの露光ビーム（６０1、６０2）が、感光層（２４）上に露光スポット（４２1、４２2）を発生させ、その偏向区間（ＡＳ）が共通の偏向ライン（ＡＬ）上に位置している、ことを特徴とする請求項１５から１７のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項１９】
少なくとも２つの露光ビームの１つのもの（６０1）の露光スポット（４２1）が、偏向ライン（ＡＬ）の部分片上に位置し、少なくとも２つの露光ビームの他のもの（６０2）の露光スポット（４２2）が、偏向ライン（ＡＬ）の他の部分片上に位置している、ことを特徴とする請求項１７に記載の露光設備。
【請求項２０】
１つの露光ビーム（６０1）の最後の露光スポット（４２1）が、他の露光ビーム（６０2）の第１の露光スポット（４２2）と重なるように配置されている、ことを特徴とする請求項１８または１９に記載の露光設備。
【請求項２１】
少なくとも２つの露光ビーム（６０1、６０2）が、露光スポット（４２1、４２2）を発生させ、前記露光スポットのそれぞれ隣接する露光スポット（４２1、４２2）が少なくとも部分的に重なり合うことを特徴とする請求項１８から２０のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項２２】
互いに連続する露光ビーム（６０）の露光スポット（４２）が、互いに対して平行な偏向方向（６８）に沿って移動可能である、ことを特徴とする請求項１から２１のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項２３】
少なくとも１つの露光ユニット（５０）の露光ビーム（６０）が、偏向ユニット（６４）によって同時かつ同程度に偏向可能である、ことを特徴とする請求項１から２２のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項２４】
露光ユニット（５０）の露光ビーム（６０）が、互いに対して実質的に平行に方向付けされて、感光層（２４）上に当接する、ことを特徴とする請求項１から２３のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項２５】
露光ビーム（６６）によって発生される各露光スポット（４２）の、それぞれの偏向方向（７４）における移動が、偏向区間（ＡＳ）にわっって行なわれ、前記偏向区間が露光ユニット（５０）の各露光ビーム（６６）のためにほぼ等しい大きさである、ことを特徴とする請求項１から２４のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項２６】
１つの偏向区間（ＡＳ）の最後の露光スポット位置（９０）の露光スポット（４２）と、後続の偏向区間（ＡＳ）の第１の露光スポット位置（９０）の露光スポット（４２）が、送り方向（１６）に対して平行に延びる基準直線（１６０）に関して次のように、すなわち前記基準直線（１６０）がこれらの露光スポット位置（９０）内に発生された露光スポット（４２）と交差するように配置されている、ことを特徴とする請求項１から２５のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項２７】
送り方向（１６）に対して平行に延びる、偏向区間（ＡＳ）の最後の露光スポット位置（９０）を通る基準直線（１６０）が、後続の偏向区間（ＡＳ）の第１の露光スポット位置（９０）の露光スポット（４２）と交差する、ことを特徴とする請求項１から２６のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項２８】
前記後続の偏向区間（ＡＳ）の第１の露光スポット位置（９０）が、基準直線（１６０）から、最大で露光スポット（４２）の半分の直径に相当する間隔を有している、ことを特徴とする請求項２７に記載の露光設備。
【請求項２９】
複数の露光ユニット（５０）が設けられており、その場合に露光ユニット（５０）が偏向方向（７４）に互いに対して距離をおいて配置されている、ことを特徴とする請求項１から２８のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項３０】
複数の露光ユニット（５０）の偏向方向（７４）が、互いに対して実質的に平行に延びている、ことを特徴とする請求項２９に記載の露光設備。
【請求項３１】
複数の露光ユニット（５０）の列方向（５３）が、互いに対して実質的に平行に延びている、ことを特徴とする請求項２９または３０に記載の露光設備。
【請求項３２】
複数の露光ユニット（５０）が、送り方向（１６）に対して平行に延びる基準直線（１６０）に関して次のように、すなわち露光ユニット（５０）の最後の偏向区間（ＡＳ）の最後の露光スポット位置（９０）の露光スポット（４２）および後続の露光ユニット（５０）の第１の偏向区間（ＡＳ）の第１の露光スポット位置（９０）の露光スポット（４２）と交差するように、配置されている、ことを特徴とする請求項２９から３１のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項３３】
露光ユニット（５０）の最後の偏向区間（ＡＳ）の最後の露光スポット位置（９０）を通って延びる基準直線（１６０）が、後続の露光ユニット（５０）の第１の偏向区間（ＡＳ）の第１の露光スポット位置（９０）の露光スポット（４２）と交差する、ことを特徴とする請求項１から３２のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項３４】
前記第１の露光スポット位置（９０）が基準直線（１６０）から、最大で第１の露光スポット位置（９０）の露光スポット（４２）の半分の直径に相当する間隔を有している、ことを特徴とする請求項１５に記載の露光設備。
【請求項３５】
ミラー面領域（８８）が、共通のミラー面（８４）の部分領域である、ことを特徴とする請求項１から３４のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項３６】
ミラー面領域（８８）が、露光ビーム（６０）がこのミラー面領域へ当接する当接方向に対して揺動可能である、ことを特徴とする請求項１から３５のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項３７】
ミラー面領域（８８）が、平坦な面領域である、ことを特徴とする請求項１から３６のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項３８】
ミラー面領域（８８）が、共通の平面内に位置している、ことを特徴とする請求項３７に記載の露光設備。
【請求項３９】
露光ユニット（５０）の露光ビーム（６０）が当接する、ミラー面領域（８８）が、同一の平面内に位置している、ことを特徴とする請求項３７または３８に記載の露光設備。
【請求項４０】
各露光ビーム（６０）のための偏向部材（７２）が、複数のミラー面領域（８８）を有している、ことを特徴とする請求項１から３９のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項４１】
各露光ビーム（６０）のための偏向ユニット（６４）が、次々に使用される複数のミラー面領域（８８）を有している、ことを特徴とする請求項４０に記載の露光設備。
【請求項４２】
複数のミラー面領域（８８）が、回転可能に配置されたミラーボディ（８０）の周面側によって形成されている、ことを特徴とする請求項１から４１のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項４３】
ミラーボディ（８０）が、軸（８２）を中心に回転するように配置されている、ことを特徴とする請求項４２に記載の露光設備。
【請求項４４】
ミラー面領域（８８）が、軸（８２）を中心に等しい径方向間隔で配置されている、ことを特徴とする請求項４２または４３に記載の露光設備。
【請求項４５】
ミラーボディ（８０）が、その軸（８２）を中心に一定の回転数で回転する、ことを特徴とする請求項４２から４４のいずれか１項に記載の露光設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象を収容する対象支持体と露光装置とを有する、対象上に配置された感光層上に露光された構造を発生させる露光設備に関するものであって、その場合に対象支持体と露光設備は送り方向に互いに対して移動可能であり、かつその場合に露光装置によって送り方向に対して横方向に露光スポットが位置制御されて感光層上に次のようにして、すなわち露光装置が、列方向に互いに連続して配置された１列の放射出口領域を備えた少なくとも１つの露光ユニットを有し、その放射出口領域から露光ビームが出射されることにより、形成可能であり、その露光ビームの各々によって、結像ユニットにより感光層上に露光スポットが形成可能であり、かつその露光ビームの各々が、少なくとも１つの反射面を備えた、移動方向に移動する偏向部材を有する少なくとも１つの偏向ユニットによって、列方向に対して横方向かつ送り方向に対して斜めに延びる偏向方向に偏向可能であるので、偏向方向における各露光ビームによって、多数の互いに連続する露光スポット位置において互いに少なくとも部分的に重なる露光スポットが形成可能である。
【背景技術】
【０００２】
この種の露光設備は、従来技術から、たとえば特許文献１から、知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開公報WO2008/071374
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の露光設備においては、露光ユニットと偏向ユニットを互いに対してできる限りコンパクトに配置する、という問題がある。というのは、偏向方向における個々の露光ビームの偏向が比較的小さく、さらに露光ユニット当たり発生可能な露光ビームの数が、同様に技術的な制約を受けるからである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この課題は、冒頭で挙げた種類の露光設備において、本発明によれば、少なくとも１つの偏向部材に、露光ビームを発生させる露光ユニットの第１のセットと、露光ビームを発生させる露光ユニットの少なくとも１つの第２のセットが対応づけられており、その第１と第２の露光ビームが同一の偏向部材によってそれが移動する際に変更可能であること、移動する偏向部材に、それぞれ第１のセットないし第２のセットの各第１および各第２の露光ビームのための、少なくとも１つのミラー面領域が設けられていること、および第１の露光ビームのためのミラー面領域と第２の露光ビームのためミラー面領域が、列方向に互いに対して変位して、偏向部材に配置されていることによって、解決される。
【０００６】
本発明に係る解決の利点は、この解決によって、偏向ユニットにより少なくとも２つの露光ユニットの露光ビームのセットを偏向し、それに伴ってできる限りコンパクトな構造を達成する可能性が生じることに見られる。
【０００７】
偏向方向が、送り方向に対して斜めに延びていることによって、偏向方向が列方向に対して横方向に延びているにもかかわらず、少なくとも１つの露光ユニットの種々の露光ビームによって同時に、送り方向に対して横方向に並ぶ露光スポットを露光する可能性が生じる。
【０００８】
特に好ましい解決においては、ミラー面領域が列方向にオフセット（変位）を有し、そのオフセットが少なくとも、１セットの露光ビームの２つの互いに連続する露光ビームの間隔に相当する。
【０００９】
この種のオフセットが、感光層上に露光スポット位置を最適に配置することを可能にする。
【００１０】
オフセットが露光ビームのセットの２つの互いに連続する露光ビームの間隔の数倍に相当すると、さらに良好である。
【００１１】
偏向部材の構造に関して、これまで詳しい記載はなされていない。
【００１２】
偏向部材の正確なアライメントを保証するために、偏向部材を対向する側において支承すると、効果的である。
【００１３】
偏向部材は、支承する必要があるだけでなく、移動方向に移動させるためには、駆動もされなければならないので、特に好ましい解決においては、偏向部材が駆動装置によって片側において駆動可能である。
【００１４】
本発明に係る露光設備の特に効果的かつコンパクトな構造は、送り方向に対して横方向に延びる横方向において互いに連続して配置された偏向部材が、交互にそれぞれ対向する側において駆動装置によって駆動可能な場合に、得られる。
【００１５】
それによって、駆動装置が互いに対して特に場所をとらずに配置される。
【００１６】
本発明に係る露光設備の他の好ましい実施形態においては、第１と第２の露光ユニットの第１と第２の露光ビームのミラー面領域が、感光層上に送り方向に対して垂直に延びるアライメント領域に関して次のように、すなわち第１の露光ユニットの１つの偏向区間の１つの露光スポット位置と、それに関連する、第２の露光ユニットの該当する偏向区間の露光スポット位置が、このアライメント領域内に位置するように、配置されている。
【００１７】
その場合に、アライメント領域は、送り方向における偏向部材の延びの最大で２０分の１に相当する広がりを有することができる。
【００１８】
しかし、個々の露光ユニットを互いに対して特に正確な位置に保持するために、好ましくは、アライメント領域は送り方向に、１セットの露光ビームの１つの偏向区間の最後の露光スポット位置と、後続の偏向区間の最初の露光スポット位置との間の間隔に相当する広がりを有する。
【００１９】
本発明に係る露光設備の上述した特徴の代りに、あるいはそれに加えて、他の好ましい実施形態においては、少なくとも１つの偏向部材に、第１の露光ビームのセットを発生させる少なくとも１つの第１の露光ユニットと、第２の露光ビームのセットを発生させる少なくとも１つの第２の露光ユニットが対応づけられており、その第１ないし第２の露光ビームが同一の偏向部材によって、それが移動する際に偏向可能であって、かつ第１と第２の露光ビームが、移動方向に対して横方向に延びる列方向において互いに対して変位して感光層上に当接する。
【００２０】
この解決は、それによって露光ユニットが互いに対し、かつ偏向ユニットに対して最適に配置される、という利点を有している。
【００２１】
その場合に、露光装置のすべての露光ユニットが互いに対して次のように、すなわち感光層上で該当する偏向区間の互いに関連する露光スポット位置が、送り方向に対して垂直に延びるアライメント領域内に位置するように、配置されていると、特に効果的である。
【００２２】
この場合においても、アライメント領域は、送り方向における偏向部材の広がりの最大で２０分の１に相当する広がりを有することができる。
【００２３】
しかし、アライメント領域が送り方向に、送り方向における１つの露光ユニットの１つの偏向区間の最後の露光スポット位置と後続の偏向区間の第１の露光スポット位置との間の間隔に相当する広がりを有していると、特に効果的である。
【００２４】
この種の解決においては、露光ユニットの互いに対する位置の十分に小さい偏差が達成され、それが、感光層上の露光すべき領域の決定を簡単に実施できるようにする。
【００２５】
本発明に係る露光設備の他の好ましい実施形態においては、第１と第２の露光ビームの互いに関連するそれぞれの露光スポット位置は、送り方向に対して垂直に延びるアライメントラインから、最大で露光スポット位置の露光スポットの直径に相当する間隔を有する。
【００２６】
他の好ましい解決において、第１の露光ユニットの１つの偏向区間の１つの露光スポット位置を通って延び、かつ送り方向に対して垂直に方向付けされたアラインメントラインは、それに関連する、第２の露光ユニットの該当する偏向区間の露光スポット位置と交差するので、２つの露光ユニットは互いに対して、露光すべき構造の露光を簡単に行なうことができるように、正確に位置決めされる。
【００２７】
本発明に係る露光設備において、少なくとも１つのセットの第１の露光ビームと少なくとも１つのセットの第２の露光ビームが、偏向部材の同一の長手側上に当接し、この長手側上に形成されるミラー面領域によって反射されるようにすることもできる。
【００２８】
他の好ましい解決においては、少なくとも１つのセットの第１の露光ビームが、偏向部材の一方の長手側上に当接し、少なくとも１つのセットの第２の露光ビームが、一方の長手側に対向する長手側上に当接する。
【００２９】
この解決の利点は、それによって第１の露光ビームを発生させる露光ユニットと、第２の露光ビームを発生させる露光ユニットを、場所をとらないように最適に配置することができ、特にその少なくとも部分領域が偏向部材の対向する側に位置するように、配置できることに、見られる。
【００３０】
従ってこの解決の枠内において、複数セットの第１の露光ビームと複数セットの第２の露光ビームが、偏向部材上に当接することが、考えられる。
【００３１】
上述した解決の代りに、あるいはそれに加えて、冒頭で挙げた課題は、冒頭で挙げた種類の露光設備によっても解決され、その場合に本発明によれば、露光ビームの少なくとも２セットの各々から、それぞれ１つが偏向部材の同一のミラー面領域上へ当接し、それから感光層上へ反射される。
【００３２】
この解決の利点は、それによって特に、高い解像度のために極めてコンパクトな解決が提供され、その解決が同様に、簡単なやり方で感光層を面を覆うように露光する可能性をひらくことに見られる。
【００３３】
その場合に、露光ビームが互いに対して鋭角をなして同一のミラー面領域上へ当接するので、２つの露光ビームがミラー面領域から異なる方向へ偏向され、従って感光層上の異なる場所に配置された露光スポットを生じさせると、効果的である。
【００３４】
特に効果的な解決においては、露光ビームは、中心軸に対して対称に延びる。
【００３５】
その場合に、露光ビームは次のように、すなわちそれぞれ１つの露光ビームの露光スポットが、該当する偏向区間に沿って移動可能であるように、偏向することができ、その場合に偏向区間は、好ましくは互いに対して平行に延びるが、互いに対して面一ではない。
【００３６】
その場合に、特に好ましい解決においては、少なくとも２つの露光ビームが感光層上に、共通の偏向ライン上に位置する露光スポットを発生させる。
【００３７】
その場合に、個々の露光ビームの露光スポットは、偏向ライン上に次のように、すなわちある露光ビームの露光スポットが偏向ラインの部分片上に位置し、他の露光ビームの露光スポットが偏向ラインの他の部分片上に位置するように、配置することができる。しかしそれによって、偏向ラインの部分片の間に間隙が残るので、一方の露光ビームの露光スポットの列と、他の露光ビームの露光スポットの列が互いに移行しない可能性が生じる。
【００３８】
互いの移行を達成するために、好ましくは、一方の露光ビームの最後の露光スポットが、他の露光ビームの第１の露光スポットと少なくとも部分的に重なるように配置されるので、全体として偏向区間の２つの部分片も互いに重なるように移行し、従って露光ビームの露光スポットによって、偏向区間全体にわたってつながるように露光し、従ってつながり合って露光された領域を形成する、可能性がひらかれる。
【００３９】
特に好ましい解決においては、さらに、露光ビームが露光スポットを発生させ、そのうちのそれぞれ隣接する露光スポットが、少なくとも部分的に重なり合う。
【００４０】
この条件によっても、露光ビームの露光スポットを、偏向区間に沿ってつながり合って露光された領域を形成するために利用できることが、保証される。
【００４１】
さらに、少なくとも１つの露光ユニットの互いに連続する露光ビームの露光スポットが、互いに対して平行な偏向方向に沿って移動可能であると、効果的である。というのは、それによって種々の露光ビームによって発生可能な露光スポットの簡単な同時の位置決めを実現できるからである。
【００４２】
さらに、少なくとも１つの露光ユニットの露光ビームが、偏向ユニットによって同時かつ同程度に偏向可能であるので、それによってこれらの露光ビームによって発生される露光スポットの位置決めが簡略化されると、効果的である。というのは、制御ユニットのために露光スポットの相対位置が定められるからである。
【００４３】
感光層内の光化学的プロセスもできるだけ同程度に調節し、かつすべての露光ビームにおいてもできる限り同一の光化学的変換プロセスを得るために、好ましくは、露光ユニットの露光ビームは互いに対して実質的に平行に方向付けされて、感光層上に当接するので、露光ビームのアライメントによって異なる作用が発生することはない。
【００４４】
さらに、露光ビームによって発生される各露光スポットのそれぞれの偏向方向における移動が、露光ユニットの各露光ビームにためにほぼ等しい大きさの偏向区間にわたって行なわれると、効果的である。それによって簡単なやり方で、露光スポットの位置決めが制御ユニットによって定められ、かつ実施される。
【００４５】
種々の露光ビームによって発生される露光スポットが次のように、すなわち種々の露光ビームの露光スポットによって、特に横方向の成分を有する、つながり合った構造が形成可能であるように、位置決め可能であることを達成するために、好ましくは、ある偏向区間の最後の露光スポット位置の露光スポットと、列方向において後続の偏向区間の最初の露光スポット位置の露光スポットが、送り方向に対して平行に延びる基準直線に関して次のように、すなわちその基準直線が、これらの露光スポット位置内で発生される露光スポットと交差するように、配置されている。
【００４６】
この条件によって、ある露光ビームの最後の露光スポット位置および列方向において後続の露光ビームの最初の露光スポット位置の露光スポットが、送り方向に対して横方向に互いに対して次のように、すなわち送り方向に適切に移動した場合にそれらが少なくともわずかに重なり合うように、配置されることが保証される。
【００４７】
送り方向に対して平行に、ある偏向区間の最後の露光スポット位置を通って延びる基準直線が、後続の偏向区間の最初の露光スポット位置の露光スポットと交差すると、特に効果的である。
【００４８】
この条件によって−それぞれの露光スポットの中心点が露光スポット位置と見なされると仮定して−、送り方向に適切に移動した場合に２つの露光スポットが、少なくともほぼ半分まで重なり合うことが、保証され、感光層内に種々の偏向区間の露光スポットにわたってつながり合った構造を発生させようとする場合に好ましい条件である。
【００４９】
後続の偏向区間の最初の露光スポット位置が、基準直線から、最大で露光スポットの半分の直径に相当する距離を有しているので、２つの露光スポットの重なりがさらに大きく、すなわち少なくとも直径の半分になるが、通常はこれよりも大きいと、さらに効果的である。
【００５０】
本発明に係る解決の枠内で、できる限り多くの露光スポットを同時に発生させることができるようにするために、好ましくは、複数の露光ユニットが設けられており、その場合に露光ユニットは、偏向方向に互いに対して距離をおいて配置されている。
【００５１】
さらに、この種の複数の露光ユニットにおいて、複数の露光ユニットの偏向方向が互いに対して平行に延びているので、それによって制御ユニットにとって、個々の露光スポット位置の決定が、より簡単かつより効率的に実施可能となる。
【００５２】
複数の露光ユニットは、互いに対して次のように、すなわち互いに連続する露光ユニットの列方向が、互いに対して角度をもって延びるように、配置することができる。
【００５３】
さらに、ある実施例においては、複数の露光ユニットの列方向が、互いに対して実質的に平行に延びているので、最終的に複数の露光ユニット内の個々の列も、互いに対して平行に方向付けされている。
【００５４】
露光ユニットが複数である場合でも、それによって発生可能な露光スポットによってつながり合った構造を形成することができるようにするために、複数の露光ユニットは送り方向に対して平行に延びる基準直線に関して次のように、すなわち基準直線が、ある露光ユニットの最後の偏向区間の最後の露光スポット位置の露光スポットおよび偏向方向または横方向において後続の露光ユニットの最初の偏向区間の最初の露光スポット位置の露光スポットと交差するように、配置されている。それによっても、種々の露光ユニットの露光スポットによって、少なくとも横方向の成分をもって延びる、つながり合った構造を発生させることができるようにするために、２つの露光スポットの少なくともわずかな重なりが保証される。
【００５５】
しかし重なりは、露光ユニットの最後の偏向区間の最後の露光スポット位置を通って延びる基準直線が、偏向方向または横方向において後段のものの最初の偏向区間の最初の露光スポット位置の露光スポットと交差すると、さらに良好であって、それによって露光スポット位置がそれぞれの露光スポットの中心点によって定義される事実に基づいて、２つの露光スポットは少なくともほぼ半分まで重なる。
【００５６】
重なりのためにさらに好ましい条件において、第１の露光スポット位置は基準直線から、第１の露光スポット位置の露光スポットの最大で半分の直径に相当する距離を有している。
【００５７】
偏向ユニットに関して、これまで詳しい記載はなされていない。
【００５８】
本発明に係る解決の枠内で、原則的に、各露光ビームのために、専用の偏向ユニットを設けることが考えられ、その場合に偏向ユニットは異なるように作動することもできる。
【００５９】
この種の露光設備を形成する理由から好ましい解決として、偏向ユニットは露光ビームの各々のために、ミラー面領域を有している。
【００６０】
その場合に、個々のミラー面領域は、常に互いに対して独立して移動可能であるようにすることができる。しかし、構造的に簡単にする理由からは、露光ユニットのミラー面領域が共通に移動可能であると、効果的である。
【００６１】
ミラー面領域が、共通のミラー面の部分領域であると、特に効果的にミラー面領域が実現される。
【００６２】
このミラー面領域によって偏向を達成するために、ミラー面領域が、その上に露光ビームが当接する当接方向に対して揺動可能であると、効果的である。というのは、ミラー面領域のこの種の揺動運動は、機械的に簡単なやり方で実現できるからである。
【００６３】
原則的に、ミラー面領域は、それによってたとえば同時にさらに合焦も実施することができるようにするために、彎曲させることもできるが、構造的に特に簡単な解決においては、ミラー面領域は平坦な面領域である。
【００６４】
構造的に、すべてのミラー面領域が共通の平面内に位置していると、特に効果的であって、それが揺動運動の実施を簡単にする。
【００６５】
この解決において、ミラー面領域を次のように、すなわち露光ユニットの露光ビームが当接するミラー面領域が、同一の平面内に位置するように、配置すると、特に効果的である。
【００６６】
それぞれの露光ビームのできる限り効率的な偏向を達成するために、露光ユニットは各露光ビームのために複数のミラー面領域を有している。
【００６７】
その場合に、各露光ビームのための偏向ユニットが、露光ビームを偏向するために次々と使用されるミラー面領域を有しているので、各露光ビームが互いに連続して使用される多数のミラー面領域によって偏向されると、特に効果的である。
【００６８】
このような数の多数のミラー面領域は、複数のミラー面領域が回転可能に配置されたミラーボディの周面側によって形成されていると、構造的に特に簡単に実現される。
【００６９】
その場合に、ミラーボディは、軸を中心に振動するように揺動することができる。
【００７０】
しかし、できる限り高い偏向速度を得るためには、ミラーボディが常に軸を中心に回転するように配置されていると、特に効果的である。
【００７１】
この場合において、好ましくは、ミラー面領域は軸を中心に等しい径方向間隔で配置されており、その場合にミラー面領域は好ましくは軸に対して平行に延びている。
【００７２】
ミラー面の位置を、それぞれ然るべき露光スポット位置に定められたように対応づけることができるようにするために、好ましくは、ミラーボディはその軸を中心に一定の速度で回転する。
【００７３】
本発明に係る解決の枠内で、放射出口領域から出射する露光ビームをどのようにして発生させるか、について詳しい記載はなされていない。たとえば、放射出口領域は、直接、放射源、たとえばレーザーダイオードの出口領域とすることができる。
【００７４】
しかし、放射出口領域が、光波ガイドファイバーの端部であると、さらに効果的である。
【００７５】
従って、放射領域と放射源を互いに分離して配置する可能性が生じる。
【００７６】
しかし、各個々の放射領域内の強度を所望に制御することができるようにするために、各光波ガイドファイバーに専用の放射源が対応づけられているので、この放射源の強度制御によって、それが放射源自体の強度制御であろうと、後段の強度制御部材のそれであろうと、放射出口領域から出射する強度が制御可能となる。
【００７７】
その場合に好ましくは、放射源として同様にレーザーが設けられており、そのレーザーは、構造が簡単である理由から、好ましくは半導体レーザーである。
【００７８】
その場合に、放射源が、露光装置から分離して配置された放射発生ユニット内に配置されていると、特に効果的である。というのは、その場合には放射源を効率的に冷却する可能性が生じ、かつ特に、放射源から発生される熱に基づいて、露光装置によって発生可能な露光スポット位置の精度に関して熱的な問題が生じる危険がないからである。
【００７９】
本発明に係る解決の他の特徴と利点が、実施例の以下の説明および図面表示の対象である。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明に係る露光設備の第１の実施例を図式的に示す斜視図である。
【図２】対象支持体上に配置された、感光層と場合によってはその中に発生させるべき構造とを有する対象を、部分的に拡大して示す斜視図である。
【図３】露光スポットが形成可能な露光領域の部分領域の一部を図式的に示している。
【図４】対応づけられた露光ユニットを有する２つの偏向ユニットの一部を図式的に示している。
【図５】図４の５−５線に沿った断面図である。
【図６】偏向方向における２本の露光ビームの移動とともに、図４の偏向ユニットの機能を図式的に拡大して示している。
【図７】露光ユニットの２本の露光ビームによって発生可能な露光スポット位置と露光スポットを拡大して示す部分的な表示である。
【図８】図３と同様の、発生可能な露光スポット位置を、偏向ユニットのミラーボディおよびアライメント領域の表示と共に示している。
【図９】対応づけられた偏向ユニットを有する露光装置の、並べて配置された露光ユニットを図１の８−８線に沿って図式的に拡大して示す断面図である。
【図１０】第２の実施例の、図６と同様の表示である。
【図１１】第２の実施例の、図７と同様の表示である。
【発明を実施するための形態】
【００８１】
図１に示す露光装置の第１の実施例は、全体を符号１０で示す機械ベースを有し、その機械ベースがガイド１２を有しており、そのガイドに沿って対象支持体１４が、一方で送り方向１６に移動可能に案内されており、他方では、駆動装置、たとえばリニアドライブによって、好ましくは正確な位置で移動可能である。
【００８２】
その場合にガイド１２は、たとえば、機械ベース１０の、支持面１８とは逆の側に配置されており、かつ図２に示すように、対象支持体をその、機械ベース１０とは逆の上側１０上に対象２２が載置可能かつ固定可能であるように、案内し、その対象は、ここでも対象支持体１４とは逆の側に感光層２４を有しており、その層内に適切な露光によって、感光層２４の材料の光学的変換によって構造２６を発生させることができる。
【００８３】
たとえば、この種の構造２６は、層２８、たとえば対象２２の銅層２８の個々の領域を選択的に覆うために用いられ、それによってその後、たとえばエッチングプロセスの枠内で層２８の、構造２６によって覆われていない箇所が除去されるので、層２８は、構造２６によって覆われている領域内でのみ存続する。
【００８４】
感光層２４の光学的変換による、図２に示す構造２６の形成は、全体を符号３０で示す露光装置によって行なわれ、その露光装置は、送り方向１６に対して横方向に延びる操作方向３１に移動可能かつ位置決め可能にブリッジ３２に配置されており、そのブリッジは、ガイド１２の両側で機械ベース１０に支持され、かつその他においてはガイド１２を越えて延びている。
【００８５】
図示の実施例において、本発明に係る露光装置３０によって、感光層２４を備えた対象２２を有する対象支持体１４が１回移動する場合に、感光層２４が送り方向１６にこの１回移動する動きにおいて、構造領域３４の内部でこの構造領域３４内に設けられているすべての構造２６を露光によって形成することが可能であって、その場合に露光装置３０は構造領域３４の内部に設けられる、必要とされる全部の構造２６を形成するために、感光層２４が送り方向１６に一回移動する動きで構造領域３４をその長手方向３６にも、その横方向３８にも一気に露光することができ、対象支持体１４を送り方向１６６にさらに移動させる必要はない。
【００８６】
この構造領域３４の内部ですべての必要とされる構造２６を形成することができるようにするために、露光装置３０に対応づけられた露光領域４０の内部で、図１と部分的に図３に示すように、個々の露光スポット４２が形成可能であって、その露光スポットは露光領域４０の内部に次のように、すなわち露光領域４０内に存在するすべての露光スポット４２の合計が、横方向３８において構造領域３４の広がり全体にわたって横方向３８に延びる、横方向３８に中断されずにつながっている線形の構造を発生させるのに必要な、すべての露光スポット４２を含むように、配置されており、そのために露光スポット４２は、横方向３８に互いに連続するこれらの露光スポット３２が重なり合うように、配置されている。
【００８７】
他の言葉で言うと、露光領域４０の内部に発生可能な露光スポット４２は、次のような大きさを有し、かつ次のように配置されている。すなわち、送り方向１６における対象２２の移動を考慮して、これらの露光スポットによって面を覆うように、感光層２４の全構造領域３４内に、長手方向３６と横方向３８における露光スポット４２の平面的な広がりによってもたらされる解像の枠内で、すべての可能な構造２６が形成可能である。
【００８８】
しかしまた、第１の実施例の変形において、対象支持体１４を一回送り方向１６の方向へ移動させ、次にそれとは逆に移動させることも考えられるので、図１に示す初期位置から始まって対象支持体１４の往復運動が、構造領域３４内の所望の広範な露光をもたらすので、たとえば、送り方向１６の方向に移動する動きおいて、横方向１６に見て、操作方向３１における露光装置３０の第１の位置で、より小さく選択された露光領域４０によって構造領域３４の半分を露光し、露光装置３０がそれに対応づけられた露光領域４０と共に操作方向３１においてそれとは逆の動きで第２の位置へ移動した後に、他の半分を露光することが、考えられる。
【００８９】
露光領域４０の内部に露光スポット４２を必要な数と位置で形成することができるようにするために、図４に示すように、露光装置３０内に複数の露光ユニット５０が設けられており、その露光ユニットの各々は、図５に示すように、列方向５３に互いに連続し、かつ互いに距離をおいて配置された一連の放射出口領域５４を有しており、その放射出口領域からそれぞれ露光ビーム５６が出射し、その露光ビームが光学系５８によってコリメートされた露光ビーム６０に変形され、その場合にその後、コリメートされた露光ビーム６０が、図４と５に示すように、露光ビーム６０のセット６１を形成し、かつ方向変換ユニット６２によってその伝播方向に対して横方向に方向変換され、その場合に各セットが図４に示す、偏向部材７２を有する偏向ユニット７０上に当接し、その偏向部材は、図４に示すように、コリメートされた露光ビーム６０を、偏向方向７４において列方向に対して横方向に移動すべき露光ビーム７６に方向変換する。
【００９０】
偏向ユニット７０は、偏向部材７２として、たとえばミラーボディ８０を有しており、そのミラーボディは、軸８２に対して対称に配置された、軸８２に対して平行に延びるミラー面８４を有しており、そのミラー面が好ましくはミラーボディ８０の外表面側に配置されている（図６）。
【００９１】
好ましくは、ミラー面８４は、周方向８６に実質的に互いに隣接し、かつその長手方向８６とその横方向８８において同一の長さないし幅にわたって延びているので、すべてのミラー面８４が同一の広がりを有している。
【００９２】
さらに、すべてのミラー面８４は平坦な面であるので、ミラーボディ７０は、最も簡単な場合において、規則的な四角形の横断面を有し、その場合にミラー面８４の数は、たとえば４より多く、１００より少ない。
【００９３】
好ましい形態において、ミラー面８４の数は、３０より多く、５０より少ない。
【００９４】
ミラー面８４の各々は、それぞれミラー面領域８９によって、露光ビーム６０のそれぞれのセット６１の、方向変換ユニット６２によって方向変換された、コリメートされたそれぞれ１本の露光ビーム６０を、ミラーボディ８０のそれぞれの回転位置に従って次のように、すなわち図６と７に示すように、ミラー面８４の第１の位置において、たとえばセット６１の第１の移動する露光ビーム６６１が第１の露光スポット位置９０１１に第１の露光スポット４２１１を発生させるように、反射し、その露光ビームはその後、偏向装置７４の方向に偏向区間ＡＳにわたってさらに、最後のＮ番目の露光スポット位置９０１Ｎまで移動し、その露光スポット位置はそれぞれのミラー面８４の次の位置、すなわち露光ビーム６０１がミラー面８４のまだアクティブに利用される領域上に当接し、従ってそのミラー面によって反射されて、最後の露光スポット位置９０１Ｎに対応づけられた露光スポット４２１Ｎを発生させる位置、に相当する。
【００９５】
その後、ミラーボディ８０が回転方向９２にさらに回転すると、露光ビーム６０１は次のミラー面８４のアクティブに利用される領域上へ当接し、そのミラー面がその後露光ビーム６０１をさらに移動する露光ビーム６６１として反射し、それがまた第１の露光スポット位置９０１１内に露光スポット４２１１を発生させる。
【００９６】
従ってミラーボディ８０が軸８２を中心に常に回転することによって、露光ビーム６０ｘによって発生される露光スポット４２ｘ１が、感光層２４上で偏向区間ＡＳにわたって第１の露光スポット位置９０ｘ１から最後のＮ番目の露光スポット位置９０ｘＮまで常に移動する。
【００９７】
従って、偏向区間ＡＳの領域内で偏向方向６８に沿って、特にそれぞれの露光スポット４２ｘｙがそれぞれの露光スポット位置９０ｘｙにある場合に、定められたように選択可能な露光スポット位置９０ｘｙ内の露光スポット４２ｘによって感光層２４の露光を実施する可能性が生じ、その場合に感光層４２上のこの位置においてのみ、それぞれの露光ビーム６６ｘの能動化によって、すなわち、たとえば放射出口５４ｘに対応付けられた放射源をオンにすることによって、十分な強度で露光が行なわれ、その露光によってこの露光スポット４２ｘｙの領域内の感光層内で光化学的変換を達成することができる。
【００９８】
偏向区間ＡＳｘの内部の残りの露光スポット位置９０ｘｙ内で感光層２４の露光が行なわれない場合に、それぞれの放射出口５４ｘに対応づけられた放射源は、これら残りの露光スポット位置９０ｘｙを通過する際にオンにされず、あるいは、それぞれの露光スポット４２ｘｙの領域内の感光層２４の光化学的変換をもたらすことのできない強度で、駆動される。
【００９９】
移動する露光ビーム６６を感光層２４上に合焦させ、従ってそれぞれの露光ビーム６６によって発生される露光スポット４２の広がりを調節するために、偏向ユニット７０と感光層２４の間にさらに、光学ユニット１００が設けられており、その光学ユニットは露光ビーム６６の各々のために、たとえばレンズシステムの形式の、専用の結像光学系１０５を有しており、その結像光学系をそれぞれの移動する露光ビーム６６が通過し、それに伴って露光スポット４２の定められた大きさと露光スポット４２内の定められた強度分布とを有するそれぞれの露光スポット４２上で、感光層２４上に合焦される。
【０１００】
特に結像光学系１０４の好ましい結像特性は、ミラー面７４の有効なミラー面領域７８の間の平均の間隔が、結像光学系１０４の焦点距離ｆにほぼ相当する場合に、与えられるので、移動する露光ビームのための結像比率はテレセントリック系に基づいて実質的に等しく、従って露光スポット４２も実質的に同一の大きさと実質的に同一の強度分布を有する（図６）。
【０１０１】
好ましくはさらに、感光層２４上の露光スポット４２内のそれぞれの露光ビーム６６の最適な合焦を得るために、結像光学系１０４と露光すべき感光層２４との間の間隔も、結像光学系１０４の焦点距離ｆにほぼ相当する（図６）。
【０１０２】
本発明によれば、各偏向ユニット７２に複数の、たとえば２つの露光ユニット５０、すなわち第１の露光ユニット５０ａと第２の露光ユニット５０ｂが対応づけられており、それらは、それぞれ露光ビーム６６ａないし６６ｂの、偏向方向７４に移動する側６１ａと６１ｂを得るために、ミラーボディ８０の異なる長手側７９ａと７９ｂに光を当てる場合に、たとえば第１の露光ビーム６０ａのセット６１ａと第２の露光ビーム６０ｂのセット６１ｂによって異なるミラー面８４ａと８４ｂに当接する。
【０１０３】
たとえば、露光ユニット５０ａと５０ｂはミラーボディ８０に対して次のように、すなわち光を当てられるミラー面８４ａと８４ｂが、感光層２４に対して横方向、特に垂直かつ軸８２を通って延びる対称平面１１０の異なる側に位置するように、配置されている。
【０１０４】
好ましくは、光を当てられるミラー面８４ａと８４ｂは、対称平面１１０に対して鏡対称に位置している。
【０１０５】
ミラー面８４ａと８４ｂが感光層２４に対して異なる方向に傾斜して延びており、かつ第１の露光ビーム６０ａと第２の露光ビーム６０ｂのセット６１ａ、６１ｂが異なる方向から感光層へ当接することによって、この種の露光ビーム６０ａ、６０ｂによって発生される露光スポット４２ａと４２ｂは、ミラーボディ８０が回転方向９２に回転する場合に、偏向方向７４において同方向に移動する。
【０１０６】
図８に示すように、露光ユニット５０ａと５０ｂの露光ビーム６０ａと６０ｂのセット６１ａ、６１ｂおよびそれに伴ってこれらの露光ビーム６０ａ、６０ｂによって照射されるミラー面領域８９ａｘ、８９ｂｘは、ミラーボディ８０の軸８２の方向に、そしてそれに伴ってそれに対して平行な列方向５３においても、互いに対してオフセットＶをもって配置されており、そのオフセットはそれぞれのセット６１ａまたは６１ｂの個々の露光ビーム６０ａまたは６０ｂの間の間隔の多数倍に、そしてそれに伴って列方向５３に互いに連続する２つの偏向区間ＡＳｘとＡＳｘ＋１の間の間隔ＡＢの多数倍となるので、それぞれ互いに関連する露光スポット位置９０ａｘｘと９０ｂｘｘ、従ってたとえば露光スポット位置９０ａ１Ｎと９０ｂ１Ｎは、送り方向１６に対して垂直に延びるアライメントライン１２０の両側に位置するアライメント領域１２２の内部に配置されており、そのアライメント領域は送り方向１６に幅Ｂを有し、その幅は、送り方向１６に互いに連続する２つの偏向区間ＡＳｘとＡＳｘ＋１の間隔１２４よりも小さく、好ましくはアライメント領域１２４の幅Ｂは、最大で露光スポット４２の広がりと同じ大きさであるので、アライメントライン１２０はすべての関連する露光スポット４２ａ、４２ｂと交差する。
【０１０７】
ミラーボディ８０を場所をとらずに配置することができるようにするために、ミラーボディは片側において軸８２を中心に駆動ユニット１３０によって駆動されるが、両側において回転可能に軸承されており、その場合に横方向３８において送り方向１６に対して横方向に互いに連続するミラーボディ８０の駆動ユニット１３０は、それぞれ対向する側に配置されているので、１つの駆動ユニット１３０は、送り方向１６において露光スポット４０の前に位置し、後続の駆動ユニットは送り方向１６において露光スポットの後ろに位置している。
【０１０８】
さらに、図６と９に示すように、駆動ユニット１３０の各々は、さらにセンサ１３２を有しており、そのセンサは光学的に、すなわちたとえば放射源１３４から発生されて、ミラー面において反射される、検出器１３８上に当接する測定ビーム１３６を介して、直接ミラーボディ８０の回転位置とそれに伴って特にミラー面８４の位置を検出して、全体を符号１４０で示す制御ユニットへ伝達することができる。
【０１０９】
この制御ユニット１４０は、駆動ユニット１３０を、一定の速度で回転するように駆動し、さらに露光スポット４２の照明を制御する。
【０１１０】
露光ビーム５６の発生に関して、これまで詳しい説明はなされていない。
【０１１１】
好ましくは露光ビーム５６を発生させるために、露光装置３０とは別に放射形成ユニット１５０が設けられており、それが多数の放射源１５２、たとえばレーザーダイオードを有し、その場合に放射源１５２の各々から発生された放射は、光波ガイド１５４内へ結合され、その光波ガイドは放射形成ユニット１５０から露光装置３０へ延びており、かつ放射出口領域５４を形成する終端面を有しており、その放射出口領域から露光ビーム５６が出射する。
【０１１２】
放射形成ユニット１５０を露光ユニット５０とは別に配置することは、それによって放射源をその駆動のために最適に配置し、かつそれによって発生された熱を最適に逃がす可能性が生じ、露光装置３０の熱的な影響がそれとは結びつけられない、という利点を有している。
【０１１３】
むしろ、露光装置３０と感光層２４は、放射形成ユニット１５０から熱的に分離されており、従って放射形成ユニット１５０によってもたらされる熱的な効果に基づいて露光装置３０の領域内で精密性が損なわれる危険はない。
【０１１４】
その場合に、放射形成ユニット１５０は、露光装置３０の上方に距離をおいて配置することができるが、光波ガイド１５４が十分に長く形成される場合には、放射形成ユニット１５０を機械ベース１０の側方に、たとえば制御ユニット１４０と並べて、配置する可能性も生じる。
【０１１５】
すでに示したように、放射形成ユニット１５０のために、一方で、それぞれの駆動ユニット１３０に対応づけられたセンサ１３２を介してそれぞれのミラーボディ８０の回転位置を正確に検出し、従ってミラー面８４のどの領域がアクティブに利用される領域であるか、それぞれ所定の時点で偏向区間ＡＳに沿ってそれぞれ発生される露光スポット４２がどの露光スポット位置９０にあるか、を定めることができるようにし、従ってこの露光スポット位置９０において感光層２４の露光を実施すべきか否かを決定し、かつこの決定に従って、それぞれの露光スポット４２を発生させるために設けられている放射源１５２を、それが放射を供給し、それが露光スポット４２の領域内で感光層２４内に光化学的効果を作動させるように駆動し、あるいはオフにし、あるいはその強度に関して、それぞれの露光スポット位置９０内にある露光スポット４２の領域内に光化学的効果が生じない程度に減少させる、可能性がある。
【０１１６】
多数の個別露光スポット４２によってつながり合った構造２６を形成することができるようにするために、偏向区間ＡＳの内部で個々の露光スポット位置９０内の個々の露光スポット４２を、それらが−少なくとも横方向の成分をもって延びる、つながり合った構造２６を形成するために−互いに重なり合うように位置決めすることができるようにするためだけでなく、列方向５３に互いに連続する露光ビーム６６によって発生可能な露光スポット４２も重なり合うように配置するために、列方向５３は送り方向１６に対して角度αで次のように、すなわち送り方向１６に対して平行な、たとえば露光ユニット５０の第１の露光ビーム６６１の最後の露光スポット位置９０１Ｎを通る基準直線１６０が、列方向５３において後続の露光ビーム６６２の第１の露光スポット位置９０２１内の露光スポット４２２１に接し、好ましくは交差するように、延びているので、最後の露光スポット４２１Ｎが送り方向１６に、後続の露光ビーム６６２の第１の露光スポット４２２１の送り位置まで移動することによって、２つの露光スポット４２１Ｎと４２２１は、互いに重なり合って配置されることができ、従って第２の露光ビーム６６２の露光ビーム４２２も、第１の露光ビーム６６１の露光スポット４２１と共につながり合った構造２６を形成するために、利用することができる。
【０１１７】
後続の露光ビーム６６ｘ＋１のそれぞれ第１の露光スポット４２ｘ＋１に対する露光ビーム６６ｘのそれぞれ最後の露光スポット４２ｘＮのこの相対配置は、露光ユニット５０のすべての露光ビーム６６と露光スポット４２において設けられているので、理論的にこの露光ユニット５０のすべての露光スポット４２は、横方向３８の成分をもって、この露光ユニット５０の露光ビーム６０のセット６１の広がり全体にわたって横方向３８に延びる、つながり合った構造２６を発生させるために、利用することができる。
【０１１８】
それぞれのセット６１の種々の露光ビーム６６によって発生される、露光スポット４２の配置に関連して記載されたのと同様にして、第１と第２の露光ユニット５０ａ、５０ｂなども、互いに対して次のように、たとえば図３に示すように、第１の露光ユニット５０の、たとえば露光ユニット５０ａの、最後の露光位置９０ＮＮを通る、送り方向１６にたいして平行な基準直線１７０が、横方向３８において後続の露光ユニット、たとえば露光ユニット５０ｂの第１の露光位置９０ｂ１１の露光スポット４２ｂ１１に接し、あるいは交差するように配置されているので、横方向３８において互いに連続するすべての露光ユニット、たとえば露光ユニット５０ａと５０ｂによって発生可能な露光スポット４２も、露光ユニット５０、たとえば露光ユニット５０ａの露光スポット４２が重なり合って配置され、かつ最後の露光ビーム６６Ｎの最後の露光スポット４２ＮＮが、横方向３８において後続の露光ユニット、たとえば露光ユニット５０ｂの第１の露光ビーム６６１の第１の露光スポット４２１１と重ねて配置することができることによって、つながり合った構造２６を発生させるために利用することができる。
【０１１９】
露光領域４０が横方向３８において感光層２４の幅全体にわたって、あるいは少なくとも感光層２４の露光し、かつ構造２６を発生させるために設けられている領域にわたって延びていることを前提として、感光層２４の、露光領域４０によって覆われる全領域内に、つながり合った、あるいはその場合につながり合っていない構造２６も発生させることができる。
【０１２０】
従って、露光装置３０のすべての露光ユニット５０は、互いに対してそのように配置されているので、感光層２４上にその横方向３８全体にわたって、かつ長手方向３６全体にわたって、送り運動１６を利用しながら、任意の領域内に任意に形成された、つながり合った構造２６を発生させる可能性が生じ、その構造は長手方向３６にも、横方向３８にも、あるいはそれに対して各角度で延びることができる。
【０１２１】
そのために、制御ユニット１５０は、対象支持体１４の位置の検出によって送り方向１６における感光層２４の位置も、ミラーボディ８０の回転位置によって個々に発生可能な、偏向区間ＡＳに沿った露光スポット４２の位置も検出し、従って、付加的にさらに、適切な時点でそれぞれの放射源１５２を適切に駆動することによって、感光層２４上に設けられている露光領域４０の各箇所に露光スポット４２を形成することができ、その場合にこれは、好ましくは放射源１５２の適切な駆動によって、送り方向１６における対象支持体１４の唯一の動きで行なわれる。
【０１２２】
構造２６を発生させるために露光スポット４２を位置決めする場合の十分な精度のために、送り方向１６における速度が次のような程度の大きさ、すなわち周方向８６に互いに連続する２つのミラー面領域８８から露光ビーム６６によって発生される露光スポット４２が、最大で露光スポット４２の半分の直径、さらに良いのは、５分の１から１０分の１の領域内の値だけ互いに対して変位する程度の大きさであり、すなわち著しい範囲で重なると、効果的である。
【０１２３】
図１０と１１に示す、本発明に係る露光設備の第２の実施例において、それぞれのミラー面領域８９、たとえばミラー面領域８９ｂ１上に、それぞれ第２の露光ビーム６０ｂの２つのセット６１1と６１2の露光ビーム６０1と露光ビーム６０2が当接し、それらは同一のミラー面領域８９ｂ１から次のように、すなわち露光スポット位置９０111と９０211内に露光スポット４２111と４２211が発生可能であり、その後露光スポット位置９０１１Ｎと９０２１Ｎ内に露光スポット４２１１Ｎと４２２１Ｎまでの他の露光スポット４２1１ｘと４２2１ｘが発生可能であるように、方向変換され、その場合に露光スポット４２1１ｘが同一の偏向ラインＡＬ上の部分領域内に、露光スポット４２2１ｘが他の部分領域内に位置し、露光スポット４１1１ｘと４２2１ｘは少なくとも部分的に重なり合って配置されているので、−第１の実施例におけるのと同様に−それぞれの偏向区間ＡＳに沿って、並べて配置された露光スポット４２1１ｘと４２2１ｘが重なり合うことによって、横方向３８に感光層２４のつながり合った領域が露光可能となる。
【０１２４】
好ましくは、セット６１1と６１2の露光ビーム６０1と６０2は、それぞれ中心軸１８０に対して角度Φで延びており、すなわち互いに角度２Φを形成し、ミラー面８４のアクティブに利用される領域に基づいて、ミラー面ボディ８０から発生される偏向角度は、同様に２Φであり、軸８２を中心にミラーボディ８０が回転する場合に露光ビーム６６1１と６６2１の各々が、その偏向角度にわたって移動する。
【０１２５】
従って、偏向方向７４における移動が小さい場合でも、露光領域４０全体において偏向区間ＡＳにわたって面を覆うように露光する可能性が生じる。
【０１２６】
第２の実施例においても、対称平面１１０の異なる側から、第１の露光ビーム６０ａと第２の露光ビーム６０ｂの複数セット６１が、ミラーボディ８０上に当接し、第１の実施例に記述されるように、そのミラーボディによって偏向される。
【０１２７】
露光設備の基本構造および残りの特徴に関して、第１の実施例についての説明が参照される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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