(57)【要約】  本発明は、内室（３９）を有するプロセス・チャンバ（５）に関する。内室（３９）内には、ワークピース（３）のための収容領域（１５）が設けられている。プロセス・チャンバ（５）は、ワークピース（３）を導入又は導出するための開口（１２，１４）を有している。プロセス・チャンバは、ガス状流体を内室（３９）内に吹き込むための吹き込み装置（１７，１９，２５，２９，３３，３７，３５）を有している。ガス流体吹き込み装置は、開口（１２，１４）と、ワークピース（３）のための収容領域（１５）との間に流体流カーテン（２１，２３）を生成するための少なくとも１つのノズル（１７，１９）を有している。
2013519856.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークピース（３）のための収容領域（１５）を有する内室（３９）と、ワークピース（３）を導入又は導出するための開口（１２，１４）と、ガス状流体を前記内室（３９）内に吹き込むための吹き込み装置（１７，１９，２５，２９，３３，３７，３５）とを有するプロセス・チャンバ（５）において、
ガス状流体を吹き込むための前記吹き込み装置が、前記開口（１２，１４）と、ワークピース（３）のための前記収容領域（１５）との間に流体流カーテン（２１，２３）を生成するための少なくとも１つのノズル（１７，１９）又はアパーチャ（８０３）を有していることを特徴とする、プロセス・チャンバ（５）。
【請求項２】
ワークピース（３）のための前記収容領域（１５）がトンネル状に形成され且つ床（４１）及び天井（６）を有しており、前記少なくとも１つのノズル（１７，１９）又はアパーチャ（８０３）がスリット形状を有しており、該スリット形状は、前記内室（３９）の天井（６）を介して、前記床（４１）に対して傾斜した流れ方向（４０２）にガス状流体を供給するようになっていて、該供給は、前記流体カーテン（２１，２３）の前記開口（１２，１４）に向いた側で流動ロール（４０７）が空気から形成され、且つ、該流動ロールが吹き込まれた流体と少なくとも部分的に混合されるように行われることを特徴とする、請求項１に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項３】
前記少なくとも１つのノズル（１７，１９）又はアパーチャ（８０３）を介して前記内室（３９）内に吹き込まれるガス状流体はガイド成形材（２１１）に沿って前記内室（３９）へ案内されることを特徴とする、請求項１又は２に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項４】
前記ガイド成形材（６０６）が旋回可能なガイド翼部材（６０５）に形成されていることを特徴とする、請求項３に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項５】
前記ガイド成形材（２１１，１２１１）の前記開口（２１３，１２１３）に向いた側に、壁（２１５，１２１５）が配置されており、該壁は前記ガイド成形材（２１１，１２１１）と一緒に混合室（２１７，１２１７）を画定しており、該混合室内では、前記流体カーテン（２１，２３）の前記開口（１２，１４）に向いた側で形成された前記流動ロール（４０７，１４０７）からの流体が、前記開口（２１３，１２１３）の領域からの空気と混合され、且つ、前記ノズル（１７，１９，１０１７）又は前記アパーチャ（８０３）を通って流れるガス状流体によって前記内室（３９，１０３９）内に吸い込まれることを特徴とする、請求項３又は４に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項６】
前記壁（７０９，８０９）が、前記開口（２１３）の領域からの循環空気を貫流させるための１つ以上の開口（８１６）を有していることを特徴とする、請求項５に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項７】
前記ガイド成形材（２１１）の前記混合室（２１７）とは反対側に、ガス状流体のためのデッドスペースとして作用する副室（２１６）が形成されていることを特徴とする、請求項５又は６に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項８】
前記混合室（１２１７）内に、前記流動ロール（１４０７）から前記流体カーテン（１４０１）内へ流体を戻すためのガイド翼部材（１２１８）が配置されており、該ガイド翼部材に沿って前記流動ロール（１４０７）からのガス状流体が流れることができることを特徴とする、請求項５から７までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項９】
前記少なくとも１つのノズル（５０３）が該ノズル（５０３）を貫流する流体の流量を調節するための調節装置（５１１）を有しており、且つ／又は、前記入口側開口とワークピース（９１２）のための前記収容領域との間の前記流体流カーテンを種々の区分内で異なる状態に調節するために、複数のノズル（９０３，９０５，９０７）に、該ノズルを貫流する流体の流量を調節するための調節装置が設けられていることを特徴とする、請求項１から８までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項１０】
前記内室（１０３９）内に形成された流体流を制御するために、旋回可能な流れバリア（１２２０）が設けられていることを特徴とする、請求項１から９までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項１１】
ガス状流体を吹き込むための前記吹き込み装置が、ガス状流体を加熱するための加熱装置（４３，４４）を有していることを特徴とする、請求項１から１０までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項１２】
請求項１から１１までのいずれか１項に従って形成されたプロセス・チャンバ（５）を備えた、乾燥設備及び／又は硬化設備及び／又は塗装設備。
【請求項１３】
特に請求項１から１０までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバを運転するための、プロセス・チャンバ（５）を運転する方法であって、流体カーテンを生成するために、圧力負荷されたガス状流体をノズル（１７，１９）を通して案内し、そして該ノズル（１７，１９）に隣接して配置された混合室（２１７）内で、プロセス・チャンバ（５）の開口（２１３）の領域からの空気を、前記ノズル（１７，１９）から流れるガス状流体に混和する、プロセス・チャンバ（５）を運転する方法。
【請求項１４】
前記ノズル（１７，１９）を通って案内されたガス状流体が、前記混合室（２１７）を仕切るガイド成形材（２１１）に沿って案内され、該ガイド成形材は特に、ガス状流体のためのデッドスペースとして作用する、前記混合室に隣接して配置された副室（２１６）から該混合室（２１７）を分離することを特徴とする、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
特に請求項１から１０までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバを運転するための、特に請求項１３又は１４に記載のプロセス・チャンバ（５）を運転する方法であって、ノズル（１７，１９）を通って案内されたガス状流体流が、前記開口（１２，１４）とワークピース（３）のための前記収容領域（１５）との間に流体流カーテン（２１，２３）を生成するために絞られ又は遮断され、且つ／又は、ワークピース（３）が開口（１２，１４）を通して動かされたときに、前記流体流カーテン（２１，２３）の方向が変えられる、プロセス・チャンバ（５）を運転する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークピースのための収容領域を有する内室と、ワークピースを導入するための開口と、ガス状流体を内室内に吹き込むための吹き込み装置とを有するプロセス・チャンバに関する。
【背景技術】
【０００２】
車体に塗装及び被覆を施すための製造現場では、塗装されたばかりの車体又は腐食防止被覆が施された車体を乾燥させるために、乾燥設備が使用される。このような乾燥設備は、乾燥器トンネルとして形成されたプロセス・チャンバを有している。プロセス・チャンバ内には高温の空気が吹き込まれる。乾燥器トンネル内には乾燥ゾーンがある。乾燥ゾーンは、車体の形態を成すワークピースのための収容領域である。車体を乾燥させるために、この車体は搬送装置上で乾燥器トンネル内を動かされる。車体の乾燥させようとする塗膜又は被覆体は、汚染物質、特にダスト粒子によって損なわれるおそれがある。さらに、ワークピースを導入するための開口を通って、ガス流体がその熱とともに内室から逃げることがある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の課題は、少なくとも一時的に開かれる内室を有するプロセス・チャンバであって、特に簡単な手段によってこのような内室を周囲から効率的に熱分離することが可能になるようなプロセス・チャンバを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この課題は、ガス状流体を吹き込むための吹き込み装置が、開口と、ワークピースのための収容領域との間に流体流カーテンを生成するための少なくとも１つのノズル又は少なくとも１つのアパーチャを有している、冒頭で述べた形式のプロセス・チャンバによって解決される。ノズル又はアパーチャは有利には、周囲温度を超えて加熱され且つ／又は周囲圧力を超えて圧縮された空気（又は、相応に処理された不活性ガス、例えばＣＯ2又はＮ2）のための流出開口として役立つ。特に、プロセス・チャンバ内にはガス状流体が含有されている。ガス状流体には、１００℃を上回る温度レベル、もしくは５０°Ｋを上回る、プロセス・チャンバの周囲に対する温度差が対応している。１つの実施例では、流体は上方から下方へ向かってほぼ鉛直方向にプロセス・チャンバ内に流入させられる。別の有利な実施例では、ノズルを通って流入する流体は、プロセス・チャンバ内に含有された（ほぼ静止している）流体よりも２０°Ｋを上回る分だけ高い又は低い温度を有している。さらに、主として不動の又は調節可能なノズル形状が参照され、本発明はその都度、１つ以上の簡単なアパーチャで実現されることもできる。
【０００５】
ワークピースの収容領域は有利にはトンネル状に形成されている。収容領域は床及び天井を有している。少なくとも１つのノズルがほぼ方形の流出断面を有するスリット・ノズルとして形成されることにより、ガス状流体は、収容領域の天井を介して、床に対して傾斜した流れ方向に供給され、このガス状流体の供給は、流体カーテンの入口側開口に向いた側で流動ロールが空気から形成され、且つ、この流動ロールが吹き込まれた流体と少なくとも部分的に混合されるように行われる。
【０００６】
本発明の着想は特に、少なくとも１つのノズルを介して内室内に吹き込まれるガス状流体が、内室内に突入するガイド成形材に沿って案内されると、より少ないエネルギー消費で流体カーテンを生成し得ることである。特にこのようなガイド成形材を旋回させることができると有利である。これにより、流体流カーテンを水平方向に対して調節することが可能になる。流出方向と水平線との間の角度は９０°〜４０°で調節されると有利である。特に、ガイド成形材を旋回させることによって、ワークピースがプロセス・チャンバ内への進入時又は進出時に損なわれることはなくなる。
【０００７】
特に、ガイド成形材の、開口に向いた側に壁が配置されており、壁はガイド成形材と一緒に混合室を画定していると有利である。このような混合室は、流体カーテンの、開口に向いた側で（すなわちプロセス・チャンバの内室から外方に向かって）形成された流動ロールからの流体が、開口の領域からの空気と混合されるように位置決めされている。この流体はここで、ノズル又はアパーチャを通って流れるガス状流体によって内室内に吸い込まれる。
【０００８】
壁は、開口の領域からの循環空気を貫流させるための１つ以上の開口を有することができる。
【０００９】
ガイド成形材の、混合室とは反対側に、ガス状流体のための「デッドスペース」として作用する副室が形成されていることにより、ノズル又はアパーチャから発生する、ガス状流体からの流れが、ガイド成形材に沿って流動剥離が発生することなしに案内されることを保証することができる。「デットスペース」内には、デットスペースの外側よりも低い流れ速度が形成されていると有利である。混合室内に付加的なガイド翼部材が配置されていることにより、大量の流体を流動ロールから流体カーテン内に戻すことができる。
【００１０】
ガイド翼部材の、入口開口に向いた側に、ガイド成形材と一緒に滞留空間を画定する端壁が配置されていることによって、ガイド翼部材の領域内で内室の縁部領域内に導かれた、入口側開口の領域からの循環空気が屋外へ出るのを抑制することができる。
【００１１】
端壁が、入口側開口の領域からの循環空気を貫流させるための１つ以上の開口を有していると好都合である。少なくとも１つのノズルは、ノズルを貫流する流体の流量を調節するための調節装置を有することができる。複数のノズルに、ノズルを貫流する流体の流量を調節するための調節装置を設けることによって、入口側開口とワークピースのための収容領域との間の流体流カーテンを種々の区分内で異なる状態に調節することができる。
【００１２】
ガス状流体を吹き込むための吹き込み装置は、ガス状流体を加熱するための加熱装置を有することができる。これにより、プロセス・チャンバの開口の領域内で、凝縮物、例えば凝縮水が生じないようにすることができる。プロセス・チャンバは、乾燥設備及び／又は硬化設備内での使用に適している。特にプロセス・チャンバは塗装設備内に組み込むことができる。
【００１３】
プロセス・チャンバ内で、流体カーテンは、圧力負荷されたガス状流体で生成されてノズルを通して案内される。ノズルに隣接して配置された混合室内で、プロセス・チャンバの開口の領域からの空気は、ノズルから流れるガス状流体に混和される。ノズルを通って案内されたガス状流体は、混合室を仕切るガイド成形材に沿って案内される。このようなガイド成形材は特に、ガス状流体のためのデッドスペースとして作用する、混合室に隣接して配置された副室から混合室を分離する。
【００１４】
プロセス・チャンバは特に、ノズルを通して案内されたガス状流体流が開口とワークピースのための収容領域との間に流体流カーテンを生成するために絞られ又は遮断され、且つ／又は、ワークピースが開口を通って動かされたときに流体流カーテンの方向が変えられるように、運転することができる。このことは、流体カーテンが、プロセス・チャンバ内外へ動かされるワークピースの被覆体を損なわないことを保証する。
【００１５】
図面に概略的に示された実施例に基づいて、以下に本発明を詳述する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、車体用乾燥設備を示す図である。
【図２】図２は、乾燥設備のロックを示す縦断面図である。
【図３】図３は、ロックを三次元的に示す図である。
【図４】図４は、ロックの領域内の空気の流動状態を示す図である。
【図５】図５は、乾燥装置のための別のロックを示す縦断面図である
【図６】図６は、乾燥装置内のロックの別の実施態様を示す更なる縦断面図である。
【図７】図７は、乾燥装置内のロックの別の実施態様を示す更なる縦断面図である。
【図８】図８は、乾燥装置内のロックの別の実施態様を示す更なる縦断面図である。
【図９】図９は、乾燥設備内の乾燥器トンネルの横断面図である。
【図１０】図１０は、別のロックを示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１に示された、金属ワークピースを乾燥させるための設備１は、特に車体３のために構成されている。設備１は、乾燥器トンネル５として形成されたプロセス・チャンバを有している。乾燥器トンネル５を通って、スキッド７上で組み立てられた車体３は、搬送装置９によって移動せしめられることができる。搬送装置は電気的な駆動装置１０を有している。乾燥器トンネル５は金属薄板でライニングされている。乾燥器トンネル５は、開口１２を備えた入口側ロック１１と、開口１４を備えた出口側ロック１３とを有している。乾燥器トンネル５は、入口側ロック１１と出口側ロック１３との間に位置する乾燥区分１５を有している。乾燥区分１５は、ワークピースのための収容領域である。乾燥区分１５は、塗料及び／又は溶剤を含有した下地で被覆されたばかりの約１５台の車体３を多かれ少なかれ同時に乾燥させ得るように構成されていると有利である。このために、乾燥区分１５は、長さＬ＝４０ｍ、内法幅ｂが１．４０ｍ＜ｂ＜１．６０ｍ、そして内法高さｈが２．６０ｍ＜ｈ＜２．００ｍを有するように構成される。特に有利な実施例において、サイクル間隔５．２ｍ、１時間当たりの単位３０、及び滞留時間０．５時間の場合、７８ｍのトンネル長（幅ｂ外寸：３ｍ〜４．６ｍ、高さｈ外寸：２．８〜３．３ｍ）が生じる。乾燥区分１５内では、ベンチレータ６１によって、乾燥用空気が循環させられる。乾燥用空気を不変の温度に保つために、空気は、加熱装置６３を通って案内される。乾燥器トンネル５内のガス雰囲気から、溶剤を車体の塗料又は被覆体から導出するために、設備１内に排気のための導管６５が設けられている。この導管は、溶剤で負荷された空気を、乾燥器トンネル５から清浄化反応器６７に導入する。
【００１８】
乾燥器トンネル５の入口側ロック１１及び出口側ロック１３内には、流体流カーテン２１，２３を生成するためのそれぞれ１つのノズル１７，１９が設けられている。ノズル１７，１９には、圧縮器として作用する、新鮮空気のためのベンチレータ２５，２７を介して、乾燥器トンネル５の天井６の上方に配置されたチャンバ２９，３１を通して新鮮空気が供給される。ノズル１７，１９は有利には狭幅のスリット状の開口３３，３５を有している。これらのスリット状の開口は乾燥器トンネル５のほぼ全幅にわたって延びている。ノズル１７，１９のスリット状の開口３３，３５は、乾燥器トンネル５の内室３９内に開口している。ノズル１７，１９から流出した流体は、ガイド成形材２１１を備えたガイド薄板に沿って、乾燥器トンネルの内室内に案内されている。ノズル１７，１９を介して内室３９から導入される流体の温度をできる限り有利に検出するために、ガイド成形材２１１に温度センサ６９，７１が位置している。
【００１９】
流体流カーテン２１，２３は、有利にはそれぞれ水平線３７に対して４０°≦α≦６０°の角度を成して延びている。流体流カーテンは、乾燥器トンネル５の内室３９内に向けられている。ノズル１７，１９から流れる流体流は、乾燥器トンネル５の床４１に向かって広がっている。ノズル１７，１９の開口３３，３５からの間隔が増大するのに伴って、流体流カーテン２１，２３を形成する、ガス状流体としての新鮮空気の流れ速度は減少する。流体流カーテン２１，２３は、乾燥器トンネル５の内室３９内のガス雰囲気を周囲空気４２から分離する。
【００２０】
乾燥器トンネル５のガス雰囲気中の溶剤の濃度を検出するために、乾燥区分１５内に溶剤センサ７３が配置されている。ノズル１７，１９に導入された空気の形態を成すガス状流体は、加熱装置４３，４４内で所期プロセス温度Ｔsollに予熱されている。所期プロセス温度Ｔsollは有利には２００℃≦Ｔsoll≦２５０℃の温度範囲にある。流体流カーテン２１，２３が新鮮空気から成っていることにより、乾燥器トンネル５の乾燥ゾーン１５内の有機溶剤に対応する爆発下限界を超えないことを保証することができる。導入された流体の予熱は、乾燥器トンネル５の入口側ロック１１及び出口側ロック１３内に凝縮物が発生しないことを保証する。
【００２１】
乾燥ゾーン１５内の爆発限界を守るために、ノズル１７，１９を介して規定の新鮮空気の量が調節されることが特に可能である。ノズル１７，１９を介して乾燥器トンネル５内に導入される新鮮空気の量を調節するために、乾燥設備内に制御装置４５，４７が設けられていると有利である。制御装置４５，４７によって、ノズル１７，１９から出る流体流が調節される。流体流の調節は、センサ４９，５１によって検出された、乾燥器トンネルの乾燥ゾーン１５を通して動かされる車体の数に応じて、そして温度センサ６９，７１及び溶剤センサ７３の信号に基づいて行われる。流体流は、設備１の運転時に、乾燥器トンネル５内のガス雰囲気の組成のいわゆる爆発下限界を超えないように調節される。
【００２２】
図２は、図１における乾燥設備１の入口側ロック１１を示す断面図である。入口側ロック１１内のノズル１７は、スリット・ノズルである。ノズル１７には、加熱装置４４内で加熱された新鮮空気が管路２０１を介して導入される。管路２０１はチャンバ２０３内に開口している。チャンバ２０３内では、新鮮空気は空気フィルタ２０５、及び斜めに配置されたガイド薄板２０７を介してノズル１７に導かれる。ロック１１内のガイド薄板２０７は、回転軸線２０８を中心として矢印２１４の方向に旋回することができる。ガイド薄板２０７を旋回させると、フィルタ２０５へのアクセス通路が開かれ、これによりこの場所で保守作業を行うことができる。ノズル１７はスリット状の開口２０９を有している。ノズル１７のスリット状の開口２０９は、乾燥器トンネル５の天井６に対して後退した状態で配置されている。このことは、ノズル１７から出る流体流の流れ速度が高くても、入口側ロック１１を通して乾燥器トンネル５内に動かされる、まだ乾燥させられていない車両被覆体の損害及び損傷を回避することを可能にする。このような損傷の回避にとって重要なのは、乾燥器トンネル５の床４１からのノズル１７の開口の距離が比較的大きいことである。このことは、ノズル１７を後退させた状態で乾燥器トンネル５内に配置することによって達成することができる。このことは、ノズル１７から流れるガス状流体のパルスが乾燥器トンネルの中央で既に、車体３の対応被覆体が流体流カーテン２１により損傷され得ない程度に弱められることを保証する。
【００２３】
ノズル１７の開口２０９から出る流体流２１０は、ガイド翼部材として作用するガイド薄板の成形材２１１に沿って、乾燥器トンネル５の内部に案内されている。ガイド薄板２０７の成形材２１１の長さＬは、ノズル開口２０９のスリット幅Ｂの２０〜４０倍に相当する。
【００２４】
成形材２１１の、乾燥器トンネル５の入口側開口２１３に向いた側には、端壁２１５が設けられている。端壁２１５はロック１１の全幅にわたって延びている。端壁２１５は成形材２１１及び屋根棟状部材２１２と一緒に、ガス状流体２１９のための混合室２１７を画定している。混合室２１７は、乾燥器トンネル５の天井６に対して後退して配置されている。混合室２１７は、ロック１１内の、入口側開口２１３の上方に位置している。混合室２１７は入口側開口２１３に隣接している。成形材２１１を有するガイド薄板は、混合室２１７を副室２１６から分離している。副室２１６は乾燥器トンネル５の内部３９内に開いている。副室２１６は、乾燥器トンネル５からの空気のためのデッドスペースを形成している。ガイド成形材２１１を有するガイド薄板２１０の後ろ側に形成された副室によって、流体流２１０は、流動剥離なしにコアンダ効果に基づいてガイド成形材２１１に沿って案内される。
【００２５】
図３は、図２の入口側ロック１１を三次元的に示す図である。ノズル１７のスリット状の開口２０９は、乾燥器トンネル５の入口側開口２１３の全幅にわたって延びている。ノズル１７のスリット状の開口２０９は、極めて狭幅なので、ノズル１７から出た流体流は、広い流域全体にわたって種々異なる流出速度で流体流カーテンを形成する。このような流体流は、図１に示された乾燥設備１の周囲から乾燥器トンネル５の内部へ、汚染粒子３０１が取り込まれるのを阻止する。
【００２６】
図４は、図１に示された乾燥器トンネル５の縦断平面内における入口側ロック１１内の空気の流動状態を矢印によって示している。乾燥器トンネル５にスリット状ノズル１７を介して導入された新鮮空気は、ノズル１７の流出側で流体流カーテン４０１を生じさせる。ノズル１７の開口２０９から出発して、矢印４０２の方向に流れる新鮮空気から成る流体流カーテン４０１は、湾曲した棍棒４０３の形態を成して、入口ロック１１の底部４１に延びている。棍棒４０３は、入口側ロック１１の中央の高さＨにおいて、ノズル１７の開口２０９の幅Ｂによって規定される厚さＤを有している。流体流カーテン４０１の、乾燥器トンネル５の入口開口２１３に向いた側では、ノズル１７から流れた新鮮空気が、空気から成る流動ロール４０７を生成する。流動ロール４０７中で、空気は、矢印４０６で示された流れ方向で中心４０９を中心として流れる。中心４０９の領域内の空気はほとんど動かされない。流動ロール４０７中で循環させられる空気は、少なくとも部分的に、ノズル１７を介して吹き込まれた新鮮空気と混合されている。流動ロール４０７は、底部４１から入口側ロック１１の天井６まで延びている。
【００２７】
ガイド薄板１１１の入口開口２１３に向いた側に位置する端壁薄板２１５と、ガイド薄板２１１と、屋根棟状部材２１２とによって画定された混合室２１７は、流動ロール４０７内で循環させられた空気の僅かな部分を受容する。この混合室２１７内では、このような空気は多くの部分が、ノズル１７の開口２０９から流れたガス状流体によって同伴されて混和される。このことは、矢印４０２の領域内における流体カーテン４０１の体積流量を高める。このように、流体流カーテン４０１の体積流量は３０％以上が、ノズル１７から混合室２１７を介して流体流に導入されたガス状流体から成ることができる。その結果、吹き込まれる新鮮空気が比較的僅かな量でも、乾燥器トンネル５の床４１にまで延びる流体流カーテン４０１を生成することができる。
【００２８】
混合室２１７からの空気はこうして再び流動ロール４０７に導入される。このようなプロセスの結果、ノズル１７を介して乾燥器トンネル５の内室３９内に導入されたガス状流体の僅かな部分だけが、乾燥器トンネル５のロック１１の開口２１３を通って再び出て行くことになる。これにより、ノズル１７から流れるガス状流体は大部分が、矢印４０８の方向に従って乾燥器トンネル５の内部に達する。ノズル１７から流れるガス状流体によって、ロック１１の開口２１３の領域内には、流動ロール４０７内で循環させられる空気を含むバリアが生成される。このようなバリアによって、乾燥器トンネル５の内室３９が外部領域から熱分離されることになる。さらに、このようなバリアは、ダスト及び汚染粒子が乾燥器トンネル５の内室３９内に取り込まれることも阻止する。
【００２９】
図５は、乾燥設備のためのロック５０１の変更実施形態を示している。ロック５０１は、図１に示されたロック１１と比較して改変されたノズル形状によって新鮮空気を導入するためのノズル５０３を有している。ノズル５０３はダブルチャンバ型ノズルである。ノズル５３０はスリット状のノズル開口５０５とスリット状のノズル開口５０７とを有している。これらのノズル開口はそれぞれ、入口側ロック５０１の天井５０９の全幅にわたって延びている。ノズル５０３は旋回可能な制御フラップ５１１を含んでいる。制御フラップ５１１は、さらには図示されていないスピンドル駆動装置によって運動させることができる。しかし制御フラップの運動には、軸を備えた調節メカニズム又はケーブルも適している。制御フラップ５１１の旋回によって、チャンバ５１３を介してノズル５０３に導入された新鮮空気は、選択的にノズル開口５０７若しくはノズル開口５０９を通して又はノズル開口５０７，５０９を同時に通って案内されることができる。このことは、ノズル開口５０７，５０９から出る空気流を調量するのを可能にする。例えば制御フラップ５１１によって、乾燥器トンネルの入口側開口の領域における車体の位置に相応して、ノズル５０３からの空気流を変化させることが可能である。このような手段によって、車体に塗布された塗膜が、ノズル５０３からの新鮮空気によって形成された流体流によって損なわれることがなくなる。さらに、制御フラップ５１１によって、流体流カーテンの厚さＤ、ひいては乾燥器トンネルの内部に導入される新鮮空気の量及び／又は速度を調節することができる。
【００３０】
入口側ロック５０１の変更実施態様において、ノズルに複数のノズル開口及び複数の制御フラップを設けることにより、乾燥器トンネルのための新鮮空気流を調節することができる。
【００３１】
図６は、乾燥設備の入口領域又は出口領域内に空気カーテンを形成するための、ノズル６０３を備えたロック６０１の別の実施形態の断面を示している。
【００３２】
ロック６０１内のノイズ６０３には、ガイド翼部材として作用する、有利には旋回可能に配置されたガイド薄板６０５が対応配置されている。ガイド薄板は、任意には少なくとも部分的に湾曲された外輪郭を有している。特にガイド薄板はノズル６０３の全幅にわたって延びている。ノズル６０３の開口６０７における旋回可能なガイド薄板６０５は、ロック６０１の天井６０８に回転ヒンジ６１５で旋回可能に支承されている。旋回可能なガイド薄板６０５は、ロック６０１の内部６１１内に突入している。ガイド薄板６０５の輪郭の長さＬは、ノズル開口のスリット幅Ｂの約２０〜４０倍に相当する。旋回可能なガイド薄板６０５に対向して、ロック６０１内にはやはり端壁６０９が配置されている。旋回可能なガイド薄板６０５及び端壁６０９は、屋根棟状部材６１２と一緒に、ここでも混合室６１３を画定している。ガイド薄板６０５が旋回可能であることに基づいて、ロック６０１における混合室６１３の形状を変えることができる。
【００３３】
旋回のためにガイド薄板６０５には、さらには図示しない調節駆動装置が対応配置されている。複矢印６１７に応じてガイド薄板６０５を旋回させることにより、水平線６１６に対する設定角β、ひいてはノズル６０３から生成された、ロック６０１内の流体カーテンの方向を調節することが可能である。旋回によって、ノズル６０７から流れたガス状流体がそれに沿って案内される、ガイド薄板６０５により形成されたガイド翼部材の輪郭は変位される。これにより、ノズル６０３から流出する流体に基づいて、ガイド薄板６０５の、開口６１９に向いた側に形成された流動ロールの形状を変化させることができる。ガイド薄板６０５がロック６０１の天井６０８に向かって旋回させられることによって、ガス状流体がロック内に比較的平らに流入することができる。ガイド薄板６０５の上昇運動及び下降運動によって、ノズルから流れた流体の流れ方向を、ロック６０１を通って乾燥器トンネルの内部に移動させられる車体の位置及び形状に適合させることができる。こうして、乾燥器トンネル内で乾燥させられるようになっている、車体に被着された塗膜が吹き飛ばされることがないように、且つ乾燥器トンネル内で損傷を被ることがないようにすることができる。
【００３４】
図７は、乾燥設備の入口領域又は出口領域内に空気カーテンを形成するための、ノズル７０３を備えたロック７０１のさらに別の実施形態の断面を示している。ノズル７０３はディフューザを有している。ディフューザは、ノズルの狭められた断面に続いて設けられており、こうして流体の流動断面を拡張する。ディフューザが続いて設けられたノズル７０３はすなわち、ロック７０１の内部７１１に向かって拡張された断面を備えた流路７０４を有している。ロック７０１の構造はその他の点では図６のロック６０１の構造に相応する。ロック６０１及び７０１の互いに相応する構造群は従って図７では、図６と比較して１００の数だけ大きい符号で示されている。図６におけるロック６０１の端壁６０９とは異なり、ロック７０１は、周囲空気のための１つ又は２つ以上の流入開口を備えた端壁７０９を有している。端壁７０９は、篩状のパーフォレーションの形態を成す開口を有していると有利である。このような手段も、ロック７０１の周囲の上側領域７２１から空気を吸い込むことを可能にする。ロック７０１内にこのように吸い込まれた空気は、有利には、ロックの開口に形成された流動ロールからの空気と混合される。続いて、吸い込まれた空気と、流動ロールからの空気の一部とが、ディフューザから出た流体流中に混和される。
【００３５】
図８は、乾燥設備の入口領域又は出口領域内に空気カーテンを形成するための、開口８０４を備えたアパーチャ８０３を有するロック８０１のさらに別の実施形態の断面を示している。ロック８０１の構造は図７のロック７０１の構造に相応する。ロック７０１及び８０１の互いに相応する構造群は従って図８では、図７と比較して１００の数だけ大きい符号で示されている。図７におけるロック７０１の端壁７０９とは異なり、ロック８０１の端壁８０９は切欠き８１６を有した状態で構成されている。このような手段も、ロック８０１の周囲の上側領域８２１からの空気を、アパーチャ８０３によって生成された、ロックの開口における流動ロール中に受容するのを可能にする。
【００３６】
図９は、車体９１２を有する乾燥設備内の乾燥器トンネル９００の入口側ロック又は出口側ロック９０１を示す横断面図である。ロック９０１は、スリット状のノズル９０３，９０５，９０７を有している。これらのノズルは、ロック９０１の天井９１０に位置している。ノズル９０３，９０５，９０７は、さらには図示されない新鮮空気導入装置を介して、新鮮空気流９０９で負荷されることができる。ロック９０１内には制御フラップが設けられている。これらの制御フラップによって新鮮空気流９０９は、ノズル９０３，９０５，９０７を新鮮空気で別々に負荷するための種々異なる通路９１１，９１３及び９１５に分割されることができる。
【００３７】
このような手段は、乾燥器トンネルの開口に形成された流体流カーテン９１７の調節を可能にする。流体流カーテンは、ワークピース、例えば車体が開口の全幅Ｂにわたって貫通するのに相応して、種々異なる状態に調節されることができる。
【００３８】
図１０は、金属ワークピースを乾燥させるための設備内の乾燥器トンネルのための更なるロック１０１１を示す縦断面図である。図４に相応して、ここでもロック１０１１内の空気の流動状態が矢印で示されている。スリット状のノズル１０１７を介して乾燥器トンネルに導入された新鮮空気は、ノズル１０１７の流出側で流体流カーテン１４０１を生じさせる。「新鮮空気」という用語は、特に前圧縮され、加熱され、且つ／又は清浄化され、且つ／又は乾燥させられた空気であって、その状態パラメータが任意に調節されているものを意味する。
【００３９】
ノズル１０１７の開口１２０９から出発して、（矢印１４０２の方向に流れる新鮮空気から成る）流体流カーテン１４０１は、多かれ少なかれ湾曲した棍棒１４０３の形態を成して、ロック１０１１の床１０４１に向かって延びている。流体流カーテン１４０１の、ロック１０１１の入口開口１２１３に向いた側で、ノズル１０１７から流れる新鮮空気は、空気から成る流動ロール１４０７を生成する。流動ロール１４０７中で、空気は、矢印１４０６によって示された流れ方向で中心１４０９を中心として流れる。中心１４０９の領域内の空気は、ほとんど動かされない。流動ロール１４０７中で循環させられる空気は、少なくとも部分的に、ノズル１０１７を介して吹き込まれた新鮮空気と混合されている。流動ロール１４０７は底部１０４１から入口側ロック１０１１の天井１００６まで延びている。
【００４０】
ロック１０１１は、ガイド成形材を有するガイド薄板１２１１の、入口側開口１２１３に向いた側に、ノズル１０１７の開口１００９に隣接して、アーチ状の屋根棟状壁１２１５を有している。ガイド薄板１２１１及び屋根棟状壁１２１５は、下方に向かって開く混合室１２１７を仕切り、そして部分的に取り囲んでいる。混合室１２１７内には、図１０に示された実施例の場合、流れガイド部材１２１８が「流動翼」の形態を成して位置決めされている。流れガイド部材は、ノズル１０１７の開口１００９と同様に、ロック１０１１の全幅にわたって延びている。ガイド薄板１２１１は、混合室１２１７を副室１２１６から分離している。副室１２１６は空気のためのデッドスペースとして作用する。デッドスペース内では、残りのロック内（流動ロールの、元来無視するべき回転中心１４０９を除く）よりも低い流れ速度が存在する。
【００４１】
ロック１０１１の底部１０４１には、開口１２１３の領域内で、シルエット壁１２２０が配置されている。シルエット壁１２２０は特に流れバリアとして、もしくは床側の流れガイド部材として役立つ。シルエット壁１２２０は有利にはばね鋼又は他の耐温度性及び／又は耐腐食性鋼から成っている。シルエット壁１２２０は（水平方向）軸線１２２２を中心として矢印１２２４に従って旋回させられ又は折り畳まれることができる。
【００４２】
混合室１２１７は、本発明によれば、流動ロール１４０７中で循環させられる空気の僅かな部分を受容する。混合室１２１７内では、このような空気は流動翼１２１８によって、ノズル１７の開口１２０９から流れたガス状流体に案内される。空気はガス状流体によって同伴される。このことは、矢印１４０２の領域内における流体カーテン１４０１の体積流量を高める。このように、流体流カーテン１４０１の体積流は多くの部分が、ノズル１０１７から混合室１２１７を介して流体流に導入されたガス状流体から成ることができる。その結果、吹き込まれる新鮮空気が比較的僅かな量でも、乾燥器トンネル５の床１０４１まで延びる流体流カーテン１４０１を生成することができる。
【００４３】
混合室１２１７からの空気はこうして再び流動ロール１４０７に導入される。このようなプロセスの結果、ノズル１０１７を介して乾燥器トンネルの内室１０３９内に導入されたガス状流体の僅かな部分だけが、乾燥器トンネルのロック１０１１の開口１２１３を通って再び出て行くことになる。これにより、ノズル１０１７から流れるガス状流体は、大部分が矢印１４０８の方向に従って乾燥器トンネルの内部に達する。ノズル１０１７から流れるガス状流体によって、ロック１０１１の開口１２１３の領域内には、流動ロール１４０７内で循環させられる空気を含むバリアが生成される。このバリアは、乾燥器トンネルの内室１０３９を外部領域から熱分離し、さらに、ダスト及び汚染粒子が乾燥器トンネル内に取り込まれることも阻止する。ロック１０１１の床１０４１に設けられたシルエット壁１２２０によって、流動ロール１４０７は比較的は狭幅になる。ワークピースが乾燥器トンネル内で動かされるときだけ、シルエット壁は矢印１２２０に従って短時間にわたって床１０４１の方向に折り畳まれる。
【００４４】
要約すると、本発明の下記の有利な特徴を確認することができる。すなわち、プロセス・チャンバ５は内室３９を有している。内室３９内には、ワークピース３のための収容領域１５が設けられており、内室３９は、プロセス・チャンバの周囲に対して高められた又は低くされた温度を有している。プロセス・チャンバは、ワークピース３を導入又は導出するための、少なくとも一時的に周囲に向かって開く開口１２，１４を有している。プロセス・チャンバは、ガス状流体を内室３９内に吹き込むための吹き込み装置１７，１９，２５，２９，３３，３７，３５を有している。ガス流体吹き込み装置は、開口１２，１４と、ワークピース３４のための収容領域１５との間に流体流カーテン２１，２３を生成するために、少なくとも１つのノズル１７，１９を有している。導入されたガス状流体は、その物理的及び／又は化学的パラメータに関してコンディショニングされており、そして特にプロセス・チャンバの内室に対して且つ／又はプロセス・チャンバの周囲に対して、異なる温度を有している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【手続補正書】
【提出日】平成24年8月13日(2012.8.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
床（４１）と天井（６）とを有するトンネル状に形成された、ワークピース（３）のための収容領域（１５）を有する内室（３９）と、ワークピース（３）を導入又は導出するための開口（１２，１４）と、ガス状流体を前記内室（３９）内に吹き込むための吹き込み装置（１７，１９，２５，２９，３３，３７，３５）とを有するプロセス・チャンバ（５）であって、
ガス状流体を吹き込むための前記吹き込み装置が、前記開口（１２，１４）と、ワークピース（３）のための前記収容領域（１５）との間に流体流カーテン（２１，２３）を生成するための少なくとも１つのスリット状のノズル（１７，１９）又はアパーチャ（８０３）を有している、プロセス・チャンバ（５）において、
前記スリット状のノズル（１７，１９）又はアパーチャ（８０３）は、前記内室（３９）の天井（６）を介して、前記床（４１）に対して傾斜した流れ方向（４０２）でガイド成形材（２１１）に沿って前記内室（３９）内に前記ガス状流体を導入し、前記ガイド成形材は、前記開口（１２，１４）の上方で、前記天井（６）に対して後退した状態で配置された混合室（２１７）を仕切っており、該混合室からは、前記スリット状のノズル（１７，１９）又は前記アパーチャ（８０３）を通して前記内室（３９）内に導入されるガス状流体によって、前記開口（１２，１４）の領域から来た空気が同伴されて内室（３９）内に吸い込まれることを特徴とする、プロセス・チャンバ（５）。
【請求項２】
前記ガイド成形材（６０６）が旋回可能なガイド翼部材（６０５）に形成されていることを特徴とする、請求項１に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項３】
前記壁（７０９，８０９）が、前記開口（２１３）の領域からの循環空気を貫流させるための１つ以上の開口（８１６）を有していることを特徴とする、請求項１又は２に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項４】
前記ガイド成形材（２１１）の前記混合室（２１７）とは反対側に、ガス状流体のためのデッドスペースとして作用する副室（２１６）が形成されていることを特徴とする、請求項１から３までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項５】
前記混合室（１２１７）内に、ガイド翼部材（１２１８）が配置されていることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項６】
前記少なくとも１つのノズル（５０３）が、該ノズル（５０３）を貫流する流体の流量を調節するための調節装置（５１１）を有しており、且つ／又は、前記入口側開口とワークピース（９１２）のための前記収容領域との間の前記流体流カーテンを種々の区分内で異なる状態に調節するために、複数のノズル（９０３，９０５，９０７）に、該ノズルを貫流する流体の流量を調節するための調節装置が設けられていることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項７】
前記内室（１０３９）内に形成された流体流を制御するために、旋回可能な流れバリア（１２２０）が設けられていることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項８】
ガス状流体を吹き込むための前記吹き込み装置が、ガス状流体を加熱するための加熱装置（４３，４４）を有していることを特徴とする、請求項１から７までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項９】
請求項１から８までのいずれか１項に従って形成されたプロセス・チャンバ（５）を備えた、乾燥設備及び／又は硬化設備及び／又は塗装設備。
【請求項１０】
ワークピース（３）のための収容領域（１５）と、床（４１）と、天井（６）と、ワークピース（３）を導入又は導出するための開口（１２，１４）とを備えた内室（３９）を有しており、且つ、ガス状流体を前記内室（３９）内に吹き込むための吹き込み装置（１７，１９，２５，２９，３３，３７，３５）を含んでいるプロセス・チャンバ（５）を運転する方法であって、
少なくとも１つのスリット状のノズル（１７，１９）又はアパーチャ（８０３）によって前記天井（６）を介してガス状流体が吹き込まれ、該ガス状流体が前記開口（１２，１４）とワークピース（３）のための前記収容領域（１５）との間に配置された流体流カーテン（２１，２３）を生成する、方法において、
前記ガス状流体が、前記内室（３９）内に、前記開口（１２，１４）から離反する方向で前記床（４１）に向いた、該床（４１）に対して傾斜した流れ方向（４０２）で導入され、前記流体カーテン（２１，２３）の前記開口（１２，１４）に向いた側で、少なくとも部分的に前記吹き込まれた流体と混合された空気から成る流動ロール（４０７）が生成され、該流動ロールが前記床（４１）から前記天井（６）まで入口側ロック又は出口側ロック（１１，１３）内で延びることを特徴とする、プロセス・チャンバ（５）を運転する方法。
【請求項１１】
ガイド成形材（２１１）を用意し、前記少なくとも１つのノズル（１７，１９）又はアパーチャ（８０３）を介して前記内室（３９）内に吹き込まれるガス状流体は、前記ガイド成形材（２１１）に沿って前記内室（３９）内に案内されることを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記少なくとも１つのノズル（１７，１９）又はアパーチャ（８０３）を介して前記内室（３９）内に吹き込まれるガス状流体は、前記ガイド成形材（２１１）に沿って、流動剥離が発生することなしに案内されることを特徴とする、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記ガイド成形材（６０６）が、前記流体流カーテン（２１，２３）を調節するために旋回させられる、請求項１１又は１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記ガイド成形材（２１１，１２１１）の前記開口（２１３，１２１３）に向いた側に、壁（２１５，１２１５）を用意し、該壁は前記ガイド成形材（２１１，１２１１）と一緒に混合室（２１７，１２１７）を仕切っており、前記混合室内では、前記流体カーテン（２１，２３）の前記開口（１２，１４）に向いた側で形成された前記流動ロール（４０７，１４０７）からの流体が、前記開口（２１３，１２１３）の領域からの空気と混合され、且つ、前記ノズル（１７，１９，１０１７）又は前記アパーチャ（８０３）を通って流れるガス状流体によって前記内室（３９，１０３９）内に吸い込まれることを特徴とする、請求項１１又は１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記開口（１２，１４）とワークピース（３）のための前記収容領域（１５）との間の前記流体流カーテン（２１，２３）が絞られ又は遮断され、且つ／又は、ワークピース（３）が開口（１２，１４）を通って動かされたときに、前記流体流カーテン（２１，２３）の方向が変えられることを特徴とする、請求項１０から１４までのいずれか１項に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年3月28日(2013.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
床（４１）と天井（６）とを有するトンネル状に形成された、ワークピース（３）のための収容領域（１５）を有する内室（３９）と、ワークピース（３）を導入又は導出するための開口（１２，１４）と、ガス状流体を前記内室（３９）内に吹き込むための吹き込み装置（１７，１９，２５，２９，３３，３７，３５）とを有するプロセス・チャンバ（５）であって、
ガス状流体を吹き込むための前記吹き込み装置が、前記開口（１２，１４）と、ワークピース（３）のための前記収容領域（１５）との間に流体流カーテン（２１，２３）を生成するための少なくとも１つのスリット状のノズル（１７，１９）又はアパーチャ（８０３）を有している、プロセス・チャンバ（５）において、
前記スリット状のノズル（１７，１９）又はアパーチャ（８０３）は、前記内室（３９）の天井（６）を介して、前記床（４１）に対して傾斜した流れ方向（４０２）でガイド成形材（２１１）に沿って前記内室（３９）内に前記ガス状流体を導入し、前記ガイド成形材は、前記開口（１２，１４）の上方で、前記天井（６）に対して上方に後退した状態で配置された混合室（２１７）を仕切っており、該混合室からは、前記スリット状のノズル（１７，１９）又は前記アパーチャ（８０３）を通して前記内室（３９）内に導入されるガス状流体によって、前記開口（１２，１４）の領域から来た空気が同伴されて内室（３９）内に吸い込まれることを特徴とする、プロセス・チャンバ（５）。
【請求項２】
前記ガイド成形材（６０６）が旋回可能なガイド翼部材（６０５）に形成されていることを特徴とする、請求項１に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項３】
入口側ロック（１１）又は出口側ロック（１３）の壁（７０９，８０９）が、前記開口（１２，１４）の領域からの循環空気を貫流させるための１つ以上の開口（８１６）を有していることを特徴とする、請求項１又は２に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項４】
前記ガイド成形材（２１１）の前記混合室（２１７）とは反対側に、ガス状流体のためのデッドスペースとして作用する副室（２１６）が形成されていることを特徴とする、請求項１から３までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項５】
前記混合室（１２１７）内に、ガイド翼部材（１２１８）が配置されていることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項６】
前記少なくとも１つのノズル（５０３）が、該ノズル（５０３）を貫流する流体の流量を調節するための調節装置（５１１）を有しており、且つ／又は、前記入口側開口とワークピース（９１２）のための前記収容領域との間の前記流体流カーテンを種々の区分内で異なる状態に調節するために、複数のノズル（９０３，９０５，９０７）に、該ノズルを貫流する流体の流量を調節するための調節装置が設けられていることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項７】
前記内室（１０３９）内に形成された流体流を制御するために、旋回可能な流れバリア（１２２０）が設けられていることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項８】
ガス状流体を吹き込むための前記吹き込み装置が、ガス状流体を加熱するための加熱装置（４３，４４）を有していることを特徴とする、請求項１から７までのいずれか１項に記載のプロセス・チャンバ。
【請求項９】
請求項１から８までのいずれか１項に従って形成されたプロセス・チャンバ（５）を備えた、乾燥設備及び／又は硬化設備及び／又は塗装設備。
【請求項１０】
床（４１）と天井（６）とを有するトンネル状に形成された、ワークピース（３）のための収容領域（１５）を有する内室（３９）と、ワークピース（３）を導入又は導出するための開口（１２，１４）と、ガス状流体を前記内室（３９）内に吹き込むための吹き込み装置（１７，１９，２５，２９，３３，３７，３５）とを有するプロセス・チャンバ（５）であって、ガス状流体を吹き込むための前記吹き込み装置が、前記開口（１２，１４）と、ワークピース（３）のための前記収容領域（１５）との間に流体流カーテン（２１，２３）を生成するための少なくとも１つのスリット状のノズル（１７，１９）又はアパーチャ（８０３）を有している、プロセス・チャンバ（５）を運転する方法において、
前記ガス状流体が、前記内室（３９）内に、前記開口（１２，１４）から離反する方向で前記床（４１）に向いた、該床（４１）に対して傾斜した流れ方向（４０２）で導入され、前記流体流カーテン（２１，２３）の前記開口（１２，１４）に向いた側で、少なくとも部分的に前記吹き込まれた流体と混合された空気から成る流動ロール（４０７）が生成され、該流動ロールが前記床（４１）から前記天井（６）まで入口側ロック又は出口側ロック（１１，１３）内で延び、
ガイド成形材（２１１）を用意し、前記少なくとも１つのノズル（１７，１９）又はアパーチャ（８０３）を介して前記内室（３９）内に吹き込まれるガス状流体は、前記ガイド成形材（２１１）に沿って前記内室（３９）内に案内され、
前記ガイド成形材（２１１，１２１１）の前記開口（２１３，１２１３）に向いた側に、壁（２１５，１２１５）を用意し、該壁は前記ガイド成形材（２１１，１２１１）と一緒に混合室（２１７，１２１７）を仕切っており、前記混合室内では、前記流体流カーテン（２１，２３）の前記開口（１２，１４）に向いた側で形成された前記流動ロール（４０７，１４０７）からの流体が、前記開口（２１３，１２１３）の領域からの空気と混合され、且つ、前記ノズル（１７，１９，１０１７）又は前記アパーチャ（８０３）を通って流れるガス状流体によって前記内室（３９，１０３９）内に吸い込まれることを特徴とする、プロセス・チャンバ（５）を運転する方法。
【請求項１１】
前記少なくとも１つのノズル（１７，１９）又はアパーチャ（８０３）を介して前記内室（３９）内に吹き込まれるガス状流体は、前記ガイド成形材（２１１）に沿って、流動剥離が発生することなしに案内されることを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記ガイド成形材（６０６）が、前記流体流カーテン（２１，２３）を調節するために旋回させられる、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記開口（１２，１４）とワークピース（３）のための前記収容領域（１５）との間の前記流体流カーテン（２１，２３）が絞られ又は遮断され、且つ／又は、ワークピース（３）が開口（１２，１４）を通って動かされたときに、前記流体流カーテン（２１，２３）の方向が変えられることを特徴とする、請求項１０から１２までのいずれか１項に記載の方法。
【国際調査報告】
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