【事件の表示】
　特許第２７５３８９３号「露光装置」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２７５３８９３号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理由】
１．手続の経緯
　特許第２７５３８９３号の請求項１、２に係る発明は、平成２年１０月５日に出願され、平成１０年３月６日にその設定登録がなされ、その後、申立人　菅原　益夫より特許異議申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年８月１６日付けで特許異議意見書が提出されたものである。
２．特許異議の申立てについての判断
２−１．申立ての理由の概要
　申立人　菅原　益夫は、本件の請求項１及び請求項２に係る発明は甲第１〜４号証の刊行物に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであり、特許法第１１３条第２号の規定により取り消されるべきものである旨主張している。
　平成１１年５月１１日付で当審が通知した取消理由通知の概要も、特許異議の申立の理由の概要と同主旨である。
２−２．本件の発明
　本件の請求項１及び請求項２に係る発明は、特許第２７５３８９３号明細書の特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された以下の事項によって特定されるものである。
　「【請求項１】光源からのレーザ光で原板を照明して前記原板上のパターンを基板上の複数領域に投影光学系を介して順に投影露光するために前記基板をステップ移動させる露光装置において、前記投影光学系を支持する鏡筒定盤を空気バネを用いて支持する複数のマウントと、前記マウントのそれぞれを固定する固定フレームと、前記鏡筒定盤の振動を検出する振動検出器と、前記振動検出器の検出出力に基づいて発生される前記鏡筒定盤の振動を制振するための力を前記固定フレーム側から前記鏡筒定盤に作用させるアクチュエータと、前記光源に対する前記鏡筒定盤の相対位置を検出する位置検出器と、前記位置検出器の検出出力に基づいて前記光源に対して前記鏡筒定盤が所定の相対位置関係となるように前記アクチュエータを制御する制御手段を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】前記振動検出器は前記鏡筒定盤のＸ，Ｙ，Ｚの各方向の振動を検出し、前記アクチュエータは前記鏡筒定盤をＸ，Ｙ，Ｚの各方向に関して制振及び位置決めすることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。」（以下、「本件発明１」及び「本件発明２」という。）
２−３．甲第１〜４号証の刊行物における記載事項
　刊行物１：特開昭６２−２４６２６号公報（甲第１号証）
　刊行物２：特開昭６３−１９８３２６号公報（甲第２号証）
　刊行物３：特開昭６３−１３８７３１号公報（甲第３号証）
　刊行物４：特開昭６２−１６５９１６号公報（甲第４号証）
［刊行物１］
　刊行物１において、マイクロリソグラフィーに使用される振動遮断装置は、第１図を参照して理解されるように、光学系を有する投影装置（３６）を作業台（６）に設けられた塔（３８）で支持し、作業台（６）は、空気が供給される支持手段（８又は３２）で支持されている。その第４図を参照すると、マイクロリソグラフィーに使用される振動遮断装置は、加速度測定手段（８６、９８）の出力により線形フオーサＬＦ（７４、７６、９４）を作動させ、作業台（６）を制振させるものである。
　第８ページ左上欄第１６行〜右上欄第４行には、「支持手段８は、作業台６を床の振動から絶縁するため、床１０上で作業台６を支持する。…支持手段８は・・・ボンベチャンバ１６内で垂直方向に摺動可能なピストン１４有する空気ボンベ１２によって与えられる…柔らかいバネである。」と記載されている。
　また、第８ページ左下欄第４〜１７行には、「適当な光学系を有する投影装置３６は、ウェーハ４の露光のため、ステージ３４上部に隔離されるように、作業台６上の枠または塔３８に支持される。…投影装置３６は、…１０の係数に従って影像を縮小し、１ｃｍの露光影像をウェーハ上に投影する６インチウェーハならば…ステップ／リピート方法によって約１８０回の露光が必要となる。」と記載されている。
　さらに第９ページ左上欄第１５行〜石下欄第６行には、「第４図は、本発明によるマイクロリソグラフィ装置であり、…力の印加手段は、…線型フオーサまたは線型モータが使用され…床１０と作業台６の間に力をかける。この８および３２等の支持手段は、隣接する７４や７６等の線型フオーサを有することが望ましいが、４点懸垂装置…の組み合わせも可能である。作業台の垂直方向加速度を検出するため、７８等の加速度測定手段が作業台６に搭載…され、更に、線型フオーサ７６への帰環ループ８０に動作的に結合され、床１０に対する作業台６の位置の動き、もしくはその変化に無関係に、検出した加速度に対抗する力をかけることによって、作業台６を能動的に絶縁する。・・・・・・他の線型フオーサ９４は、側壁基準部９６と作業台６の間に水平方向の力を引加するために設けられる。作業台６の水平方向加速度を検出するため、水平加速度計９８が作業台に接続され…フオーサ９４に達することができる。…更に、水平加速度計９８は、帰還ループによってフオーサ７４に達する。」と記載されている。
　第１３ページ左上欄第１２行〜右上欄２行には、「本発明は、構造上の共振を受ける第１部分と第１部分より共振の少ない、多い、または、ほぼ等しい構造上の共振を受ける第２部分とに構成される本体にも適用可能であって、ここでは、力を引加する手段は、実効上第２部分を基準として、第１部分と第２部分との間に力を引加する。…例えば、第２部分は比較的硬く、…該硬い部分は床または他の基準部位に固定されてもよい」と記載されている。
なお、光源及び原板について直接的に記載されていないが、ウェーハ上に影響を露光する装置であって且つ投影装置３６を有するリソグラフィ装置が開示されていることから、このリソグラフィ装置が露光用の光源と原板とを有することは当然である。
　すなわち、刊行物１には、以下の発明の開示がある。
「光源からの光で原板を照明して原板上のパターンをウェーハ上の複数領域に投影装置３６を介して順に投影露光するためにウェーハをステップ移動させるリソグラフィ装置において、
投影装置３６を支持する作業台６を空気ピストン１４を用いて支持する複数の支持手段８，３２と、
支持手段８，３２のそれぞれを固定する基準部位と、作業台６の振動を検出する加速度測定手段７８，８６，９８と、
加速度測定手段７８，８６，９８の検出出力に基づいて発生される作業台６の振動を制振するための力を基準部位側から作業台６に作用させるフオーサ７４，７６，９４とを備えるリソグラフィ装置。
加速度測定手段７８，８６，９８は作業台６の水平及び垂直の各方向の振動を検出し、フオーサ７４，７６，９４は作業台６を水平及び垂直の各方向に関して制振する。」
［刊行物２］
　これは、「マスクパターンを高精度に基板に位置合わせして焼付けるプロキシミテイ露光又は投影露光に有効なＸ線露光装置に関する」ものである（第２ページ左上欄第１７〜２０行）。
　そして、第３ページ右上欄第５〜１６行には、「その第１図に示す実施例のＸ線露光装置は、床１に固定された架台２と、これに固定されたＸ線源３と、マスク６とウエハ７の位置合せを行なうマスク・ウエハ位置合せ装置９と、これのマスク・ウエハ位置合せ用架台（定盤）１０と、弁１２を有する空気ばね等から構成された防振台１１と、Ｘ線源３とマスク・ウエハ位置合せ装置９との相対的位置の検出手段としての位置センサ１５ａ，１５ｂ，１５ｃと、Ｘ線源３とマスク・ウエハ位置合せ装置９との相対的位置ずれ量を演算するとともに位置ずれを修正するコントローラ１６とを備えて構成されている。」と記載されている。
　また、第４ページ右上欄第１２〜左下欄第１０行には「位置センサ１５ａ，１５ｂ，１５ｃは、…Ｘ線源３とマスク・ウエハ位置合せ装置９との相対的位置を検出し、その検出結果をコントローラ１６に送り込むようになっている。前記コントローラ１６は、前記位置センサ１５ａ，１５ｂ，１５ｃからＸ線源３とマスク・ウエハ位置合せ装置９との相対的位置の検出結果を取り込み、これに基づいてＸ線源３とマスク・ウエハ位置合せ装置９との相対的位置ずれ量を後述の（１）〜（５）式のように算出し、…転写誤差Ｇを消去する方向に移動させ、前記転写誤差Ｇを修正する機能とを有している」と記載されている。
　さらに、第５ページ右上欄第１１〜１５行には「また第１図において防振台１１を前記のように制御可能な空気ばねで構成し、コントローラ１６によりこの空気ばねの空気圧をエアバルブ１２により制御すれば転写誤差Ｇの修正も可能である。その圧力補正信号を符号１８で示す。」と記載されている。
　また、第５ページ右下欄第１０〜ｌ１行には、Ｘ線露光装置がステップ＆リピート式で露光することを開示する。このため、このＸ線露光装置は、マスク６のパターンをウエハ７上の複数領域に順に露光するために基板をステップ移動させるものである。
　なお、第１図及び第４図では、プロキシミテイ露光（マスク６とウエハ７とを所定間隔離し、投影光学系を用いない露光）が開示されているが、本発明は「プロキシミテイ露光又は投影露光に有効なＸ線露光装置」と記載されている。従って、投影露光であればマスクとウエハとの間に何らかの投影光学系が介在し、その投影光学系を介してマスク上のパターンをウエハに投影露光することになる。第１図及び第４図では、マスク６とウエハ７とがマスク・ウエハ位置合せ装置９に載置されているため、投影露光方法においては必然的に投影光学系がマスク・ウエハ位置合せ装置９に載置され得ることが推考しえる。
　してみると、刊行物２には、以下の発明が記載されている。
「Ｘ光源３からのＸ線光でマスク６を照明してマスク６のパターンをウエハ７上の複数領域に投影光学系を介して順に投影露光するためにウエハ７をステップ移動させる露光装置において、
投影光学系を支持するマスク・ウエハ位置合せ装置９を空気バネを用いて支持する複数の空気ばね１１と、
空気ばねｎのそれぞれを固定する床１と、
Ｘ光源３に対するマスク・ウエハ位置合せ装置９の相対位置を検出する位置センサ１５と、
位置センサ１５の検出出力に基づいてＸ光源３に対してマスク・ウエハ位置合せ装置９が所定の相対位置関係となるように空気ばね１１を制御するコントローラ１６を有することを特徴とする露光装置。」
［刊行物３］
これは、「露光に用いられるビームラインの位置を検出しこのビームラインが転写パターンの入った原版と転写露光される基板とに対して垂直かつ所定の位置関係になるように露光装置本体またはビームラインの位置を調整し、以後その位置合せ状態を保持するよう制御するようにした露光装置に関する」ものである（第１ページ左下欄第１８〜右上欄第４行）。
　そして、特許請求の範囲には、「露光ビーム照射源と、該露光ビームを用いて原版上のパターンを基板上に転写露光する露光装置本体と、該露光装置本体に対する上記露光ビームの位置を検出する検出手段と、該検出手段の検出結果に基いて該露光ビームと露光装置本体とを所定の位置関係となるように相対的に移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする露光装置」と記載されている。
　また、第３ページ左下欄第１０〜１８行には、「第２図（ａ），（ｂ）において、１はＸ線露光装置、２（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ）は駆動装置である。駆動装置２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの４ケ所の駆動装置により、Ｘ線露光装置１をＸ，Ｙ方向にそれぞれ平行移動したり、Ｘ，Ｙをそれぞれ軸としたωＸ，ωＹ方向に回転移動することができる。３は図示していない電子軌道装置の発光点より放射される放射光、４は発光点からの放射Ｘ線３を集束させる放射光集束部である」と記載されている。
　また、第４ページ左上欄第９〜１７行には「２４は信号処理部で、Ｘ線検出器１３，１５，１６からのＸ線ビームの位置信号を処理してビーム軸の位置を算出し、また、位置検出器１９，２３からの信号により露光装置１の位置を算出する。制御部２５は、信号処理部２４からの出力に従い、露光装置１の位置調整用駆動部２を動かし、Ｘ線ビーム検出の際にはステージ１２，１４の駆動およびＸ線検出器１６の移動制御を行なう」と記載されている。なお、位置調整用駆動部２は、第２図から理解されるように、床（地面）側から露光装置１の位置を制御している。
　すなわち刊行物３には以下の発明が記載されている。
「光源からのエキシマレーザ光３で原板を照明して原板上のパターンを基板上の領域に露光するために基板を移動させる露光装置１において、
露光装置１を支持する複数の位置調整用駆動部２と、
位置調整用駆動部２のそれぞれを固定する床と、光源に対する露光装置１の相対位置を検出する検出器１３，１５，１６と、
検出器１３，１５，１６の検出出力に基づいて光源に対して露光装置１が所定の相対位置関係となるように位置調整用駆動部２を制御する制御部２５を有することを特徴とする露光装置。」
［刊行物４］
　これには、エキシマ光源を分離し、エキシマレーザ光を露光装置本体に導く発明が開示されている。
　第２ページ右上欄第１０〜１９行には、「レンズ系、ウエハステージ、マスクホルダー等の本体と光源をそれぞれ別体の防振台に乗せ、光源を出たエキシマー光をレンズ系に導くために、…第１のミラーと…第２のミラー間の光軸が前記２つの防振台の振動方向に一致するように組み合わせる。つまり、光源と本体とが分離された構成となる」と記載されている。
　つまり、振動が伝わってこないように、本体を防振台に載せる必要があること、振動が生じても光軸がずれないようにする必要があることが開示されている。
２−４．対比・判断
２−４−１．（本件発明１）
　本件発明１と刊行物１に記載された発明とを対比する。本件発明１は、「振動検出器の検出出力に基づいて発生される前記鏡筒定盤の振動を制振するための力を前記固定フレーム側から前記鏡筒定盤に作用させるアクチュエータ」を備え、「光源に対する前記鏡筒定盤の相対位置を検出する位置検出器と、前記位置検出器の検出出力に基づいて前記光源に対して前記鏡筒定盤が所定の相対位置関係となるように前記アクチュエータを制御する制御手段」を備えている。すなわち、本件発明１は、アクチュエ一夕が鏡筒定盤の振動を制振するための力を作用させるとともに、光源に対して鏡筒定盤が所定の相対位置関係となるよう作用するものである。これに対して、刊行物１に記載された発明においては、アクチュエータに相当するフォーサが鏡筒定盤に相当する作業台を制振するための力を作用させているが、光源に対して作業台が所定の相対位置関係となるように該フォーサが作用しているとは認められない。なぜなら、刊行物１において、フォーサの入力としては加速度測定装置からの出力のみが示されており、光源に対する作業台の相対位置を検出する位置検出器は存在せず、かつ、その出力がフォーサに接続されることも示されていないからである。
　そこで、刊行物１に記載された発明に、光源に対する作業台の相対位置を検出する位置検出器と、前記位置検出器の検出出力に基づいて前記光源に対して前記作業台が所定の相対位置関係となるようにフォーサを制御する制御手段」を付加することが当業者にとって容易であったか否かを検討する。刊行部２〜４を検討すると、当該技術分野において、位置検出手段により、光源とマスク・ウエハ位置合わせ装置（鏡筒定盤に相当）との相対的位置ずれ量を検出して、空気ばね、駆動装置等により誤差を消去する方向に制御することは刊行物２，３において公知である。しかし、制振のために作用する部材（アクチュエータ）によって、光源とマスク・ウエハ位置合わせ装置との相対的位置ずれを解消するよう制御することは、刊行物１〜４には記載されておらず、当業者といえども容易に想到できた事項とは認められない。なお、申立人は、特許異議申立書において「制振することができれば、甲第２、３号証で開示されたように位置決めすることは当然にできることである。」と主張しているが、「制振」と「位置決め」とは全く別異の作用をなすものであり、異なる作用を共通の部材（アクチュエータ）で行うことは、刊行物１〜４に示されていないから、当該主張は失当である。
　そして、本件発明１は、この点により、明細書記載の効果を奏するものと認められる。
　従って、本件発明１は、甲第１〜４号証の刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものとすることはできない。
２−４−２．（本件発明２）
　本件発明２は、本件発明１を特定する事項である「振動検出器」及び「アクチュエータ」を技術的に限定したものであって、本件発明２と、刊行物１に記載された発明とを対比すると、両者の間には、２−４−１で述べた相違と同じ相違が存在する。
　してみると、２−４−１で述べた理由と同じ理由により、本件発明２は、甲第１〜４号証の刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものとすることはできない。
３．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件の請求項１及び請求項２に係る発明を取り消すことはできない。
　そして、他に本件の請求項１及び請求項２に係わる発明を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１１月９日（１９９９．１１．９）