【事件の表示】
　特許第２８３４７９８号「反射型投影装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２８３４７９８号の特許を維持する。
【理由】
１．手続の経緯
　本件特許第２８３４７９８号の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、平成１年１１月７日に特許出願され、平成１０年１０月２日に設定登録され、その後、特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間である平成１１年６月１４日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
　ア．訂正の内容
　特許請求の範囲の請求項１
「液晶スイッチング用トランジスタアレイが形成されたアクティブマトリクス板を備えた液晶パネルを用いた投影装置において、
　前記アクティブマトリクス基板の裏面に粘着または圧着されたアクティブマトクス基板より熱伝導率が高い板状部材と、該板状部材を気体の強制気流より冷却する機構とを具えたことを特徴とする投影装置。」を、
「液晶スイッチング用トランジスタアレイが形成されたアクティブマトリクス板を備えた液晶パネルを用いた投影装置において、
　前記アクティブマトリクス基板の裏面に粘着または圧着されたアクティブマトクス基板より熱伝導率が高い複数の板状部材と、該板状部材を気体の強制気流より冷却する機構とを具えたことを特徴とする投影装置。」と訂正する。
　イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正は、特許請求の範囲の減縮に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　ウ．独立特許要件の判断
　（訂正発明）
　訂正後の本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下、訂正発明という。）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】液晶スイッチング用トランジスタアレイが形成されたアクティブマトリクス基板を備えた液晶パネルを用いた投影装置において、
　前記アクティブマトリクス基板の裏面に粘着または圧着されたアクティブマトリクス基板より熱伝導率が高い複数の板状部材と、該板状部材を気体の強制気流により冷却する機構とを具えたことを特徴とする投影装置。」
　（引用刊行物）
　取消理由通知に引用した刊行物１（特開平１一２０９４８２号公開公報）には、その第７、８図に示される従来技術においては、構造が大型かつ複雑になり、昇温に対する大型の冷却装置が必要となる問題点を解消することを目的とする（２頁石上欄１７行目〜左下欄２０行目）ことが記載されている。
　その目的を達成する手段として、液晶パネルの前面に集光レンズを、その裏面に全反射ミラーを設けて、液晶パネルの後側に冷却装置を付設する構成を採用している（特許請求の範囲）。
　更に、その第１〜６図は、実施例を示す図であり、基本的態様を示す第１図においては、ハロゲンランプ等の光源２、所定のカラー画像を形成する液晶パネル１、液晶パネル１の後面に添設された全反射ミラー８、有効スペースに添設された液冷式冷却装置９、スクリーン７が図示され、反射型の液晶画像投影装置（３頁左上欄１１行目〜右上欄１５行目）が記載されている。
　更に、その第５、６図に示される例には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）用の液晶パネルを９０°づつ位相を変えて併設された構成を示すものである（３頁右下欄１０行目〜４頁左上欄１６行目）ことが記載されている。
　その効果として、「液晶パネルの後部にフラットな全反射ミラーを設けて集光レンズ等を設けなくても良いために、その空間を有効利用出来て冷却装置が取り付けられるので液晶の昇温防止を図り、性能維持が図れるという効果が奏される。」（４頁左下欄４〜８行目）ことが記載されている。
　同じく刊行物２（実願昭６０−１２３９５９号（実開昭６２一３３０２７号）のマイクロフィルム）には、高品位画像を得るために液晶プロジェクターの液晶材を冷却する手段が開示されている（１頁１４行目〜２頁１２行目）。
　更に、その第１、２図に示されるように、液晶表示体１のガラス基板３の背面にシール用接着剤５を介して冷却部６が取り付けられ、この冷却部６の一部を構成するメッシュ部材９は熱伝導性の良い金属材料（銀、銅、アルミニウム）でつくられている（３頁１３行目〜５頁６行目）ことが記載されている。
　（対比・判断）
　訂正発明の「熱伝導率が高い複数の板状部材」を備えることは、上記刊行物Ｉ及び２のいずれにも記載も示唆もされておらず、当業者に周知又は自明のことでもない。
　そして、訂正発明は、「熱伝導率が高い複数の板状部材」を備えることにより、温度変化による板状部材と半導体基板との剥離を抑制することができるという作用効果を呈するものである。
　したがって、訂正発明は、刊行物１及び２に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものとすることができないから、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　エ．むすび
　以上のとおり、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項でさらに準用する第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立についての判断
　ア．異議申立の理由の概要
　異議申立人　原田清悟は、証拠として甲第１号証（上記刊行物１参照。）及び甲第２号証（上記刊行物２参照。）を提出し、特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、甲各号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであり、特許法第２９条第２項に違反して特許されたものであるから、その特許を取り消すべき旨主張している。
　イ．異議申立人が提出した甲各号証に記載の発明
　上記「２．ウ．（引用刊行物）」の記載を参照。
　ウ．本件発明と甲各号証に記載の発明との対比・判断
　上記「２．エ．（対比・判断）」の記載を参照。
　したがって、本件発明は、甲各号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものとすることができないから、特許法第２９条第２項に違反して特許されたものとすることができない。
　エ．むすび
　以上のとおり、異議申立の理由及び証拠によっては、本件発明についての特許を取り消すことができない。
　また、他に本件発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１２月９日（１９９９．１２．９）
【訂正の要旨】
　訂正の内容
　特許第２８３４７９８号の明細書の特許請求の範囲を請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち、
　「液晶スイッチング用トランジスタアレイが形成されたアクティブマトリクス基板を備えた液晶パネルを用いた投影装置において、
　前記アクティブマトリクス基板の裏面に粘着または圧着されたアクティブマトリクス基板より熱伝導率が高い
複数の
（５４）【発明の名称】
反射型投影装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　液晶スイッチング用トランジスタアレイが形成されたアクティブマトリクス基板を備えた液晶パネルを用いた投影装置において、
　前記アクティブマトリクス基板の裏面に粘着または圧着されたアクティブマトリクス基板より熱伝導率が高い
複数の
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
　本発明はアクティブマトリクス基板を一方の基板とする液晶パネル（以下ＬＣＤ）によって構成された反射型投影装置に関し、特に小型で高輝度な画面を実現しうる反射型投影装置に関する。
（ロ）従来の技術
　従来、自然光を利用した直視型ＬＣＤとして、シリコン基板上のスイッチングトランジスタの周辺に凹部を設けて、スイッチングトランジスタの誤動作を防止した方式（特公昭６１−３８４７２号公報）や、スイッチングトランジスタを他面に形成したシリコン基板の一方の面に機械的強度補強のため、保護板を密着させた構造があった。
　しかし、シリコン基板では結晶成長できる単結晶の大きさなどに制限があるため、直視型ＬＣＤにかわって拡大画像が表示できる反射型投影装置が考え出された。
　例えば、輝度の高い内部光源からの光を偏光ビームスプリッタやダイクロイックミラーで３原色に分けて３枚以上のＬＣＤに入射及び反射させ、接射レンズで画像を表示する反射型投影装置（特開昭６１−１３８８５号公報）が提案されている。
　第７図に従来の反射型投影装置を示す。
　第７図において、（１Ｒ）、（１Ｇ）、（１Ｂ）は透明なガラス基板（２）と、不透明なｃ−Ｓｉよりなる半導体基板（３）と、ガラス製の補強板（４）からなっており、それぞれ赤、緑及び青原色信号に基ずき、各画素部分毎に偏光面の回転を行うＬＣＤである。
　光源（３４）は高輝度のキセノンランプまたはメタルハライドランプから構成されている。
　光源（３４）からの光をだ円面鏡（３５）は集光する。
　集光された光は赤外線吸収型の凹レンズ（３６）によって平行光に変換される。
　平行光は遮光板（３７）の開口（３７ａ）によって、一定断面積に制限された後、可視光だけを通すをバンドパスフィルター（３８）で発熱源となる赤外線などを除去されて分光系に入射する。
　分光系は、偏光ビームスプリッタ（３０）と、青反射ダイクロイックミラー（３１）と、赤反射ダイクロイックミラー（３２）と、光路マッチングガラス（３３）とからなっている。
　光学系により青色光はそれぞれＬＣＤ（１Ｂ）、赤色光はＬＣＤ（１Ｒ）、緑色光はＬＣＤ（１Ｇ）に入射し、特定のパターンを持つ画像として反射される。
　ＬＣＤ（１Ｒ、１Ｇ、１Ｂ）からの３色の反射光はズーム投射レンズ（３９）に集光された後、スクリーン（４０）に投影されて、直視型ＬＣＤに比べて格段に大きな画像として知覚される。
　画面の高精細化と投射画面の高輝度化のために発熱の要因となる光量がシリコン基板上の半導体素子１個に対して増大する傾向がある。
　発熱を伴う反射型投影装置においては投影装置の冷却が必要である。
　半導体が正常に動作するトランジスタの接合温度は１２０〜１５０℃までであり、第１にはこの温度以下に冷却する。
　シリコン半導体は温度が１０℃上昇するごとに故障の頻度が約２倍になるといわれている。
　ＦＥＴは温度が高くなると、ＯＮ、ＯＦＦ電流が共に大きくなるが、この内、ＯＦＦ電流が増大するとＬＣＤにおいてリーク電流の増加につながり、スクリーン上の投射画像のコントラストが減少する。
　アクティブマトリクス型ＬＣＤは温度が高くなると、集積したＦＥＴ間のしきい値電圧Ｖｔｈの差が大きくなり、スクリーン上の投射画像の均一性が失われることがあった。
　また、ＬＣＤの冷却手段として、液体による放熱構造を用いた投影装置は投影装置が大きく重くなる傾向があった。
（ハ）発明が解決しようとする課題
　このように投影装置の高精細化をはかるためにＬＣＤの冷却に注意を払う必要がでてきた。
　そこで、本発明は投影装置を小型軽量に形成し、より高品位で均一な投射画像を得ることを目的とするものである。
（ニ）課題を解決するための手段
　本発明は、液晶スイッチング用トランジスタアレイが形成されたアクティブマトリクス基板を備えた液晶パネルを用いた投影装置において、前記アクティブマトリクス基板の裏面に粘着または圧着されたアクティブマトリクス基板より熱伝導率が高い板状部材と、該板状部材を気体の強制気流により冷却する機構とを具えたものである。
（ホ）作用
　放熱のしくみは３種類のモード（伝導、対流、輻射）がある。
　投射型表示装置において輻射はあまり期待できないので、主に伝導と対流によりＬＣＤは冷却される。
　伝導部の熱抵抗Ｒｃｄは（１）式により求められる。
　Ｒｃｄ＝１／（λ・Ｓ）　　　（１）
　Ｒｃｄ：液晶−板状部材の熱抵抗［Ｋ／Ｗ］
　１：熱流路の長さ［ｍ］
　λ：熱流路の部材の熱伝導率［Ｗ／（Ｋ・ｍ）］
　Ｓ：熱流路の面積［ｍ２］
　ＬＣＤを用いた反射型投影装置おいてＬＣＤの全面を熱伝導率の良い不透明な金属で覆うことは不可能なので板状部材として薄くて熱伝導率λの大きな材料を選択して熱抵抗を小さくする必要がある。
　次に対流部の熱抵抗Ｒｃｖは（２）式により求められる。
　Ｒｃｖ＝１／（α・Ｓ）　　　（２）
　Ｒｃｖ：板状部材−気体の熱抵抗［Ｋ／Ｗ］
　α：熱伝達率［Ｗ／（Ｋ・ｍ２）］
　Ｓ：気体が板状部材と接する面積［ｍ２］
　熱伝達率αは自然対流の空気において６〜３０Ｗ／（Ｋ・ｍ２）、流速３〜１５ｍ／ｓの強制対流の空気において１０〜２００Ｗ／（Ｋ・ｍ２）である。
　遠心ファンや軸流ファンを用いた強制対流の方が自然対流の方より熱抵抗が小さく優れている。
　一方面積は一般にヒートシンクと呼ばれる放熱器にて大きくすることができる。
　したがって本発明は板状部材に従来の基板の補強の他に伝導放熱器として働かせると共に強制対流を接触させて対流放熱器としても作用させたものである。
（へ）実施例
　第１図は本発明の実施例における反射型投影装置の放熱系を示す概略図である。
　（１）はＬＣＤであり、熱伝導率の低いガラス基板（２）と熱伝導率の比較的高い半導体基板（３）からなっている。
　半導体基板（３）側に半導体基板より熱伝導率の高い板状部材（５）が付着している。
　板状部材（５）の側面にヒートシンク（６）が設けられ、軸流ファン（７）からの強制気流にさらされている。
　分光系を含む本発明の反射型投影装置の部分断面図を第２図に示す。
　半導体基板（３）を一方の基板として持つＬＣＤ（１）に半導体基板（３）より熱伝導率が高い板状部材（５）が圧着されている。
　板状部材（５）はベリリア（ＢｅＯ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、銅（Ｃｕ）、銅−タングステン（Ｃｕ−Ｗ）、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）などの厚膜板の側面にヒートシンクを形成した後、ＬＣＤ（１）が圧着される部分をフライス盤などで薄く切削加工したものである。
　他の材料として表面を酸化した窒化アルミニウムＡｌＮ（特開平１−２２０４６２号公報）や窒化アルミニウム表面に積層体としてチタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）、金属（Ａｕ）からなる層を形成したＡｌＮ（特開平５１−２２３７３７号公報）などを板状部材として用いても良い。
　表１に代表的な材料の熱伝導率（λ）を示す。
　軸流ファン（７）からの強制気流（８）は伝導部の熱抵抗削減のため薄く形成された板状部材（５）から熱を奪った後、ヒートシンク部で大きな面積と流速によりさらに多くの熱量を吸収する。
　ＬＣＤ（１）のガラス基板から離れて赤反射ダイクロイックミラー（３２）が配置されている。
　赤反射ダイクロイックミラー（３２）からの赤色の入射光（９）はＬＣＤ（１）により特定形状の反射光（１０）として変換される。
　また、第３図に示すように板状部材（５）はヒートシンク（６）と分離して形成しても良い。
　ＨＩＰなどの焼結方法における簡単な形状への限定や焼結体の切削加工の制限を考えれば、セラミック系の板状部材（５）を単純な直方体に成形することは有用である。
　セラミック系の板状部材（５）の材料として、ベリリア（ＢｅＯ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などがあげられる。
　第３図で板状部材（５）の端部には２個または４個の金属製のヒートシンク（６）が嵌合されている。
　第４図に遠心ファン（１１）を利用し、複数の板状部材（５）と半導体基板（３）を接着させた構造の断面図を示す。
　複数の板状部材（５）は金属製の容器（１２）にロウ材（１３）でロウ付けされており、一方、半導体基板（３）にシリコーン樹脂製の接着材（１４）で接着されている。
　金属製の容器の側面にはヒートシンク（６）が同様に２個または４個嵌合されている。
　複数の板状部材（５）で半導体基板（３）と接着することにより、温度変化による板状部材（５）と半導体基板（３）との剥離を抑制することができる。
　第５図に本発明のｃ−Ｓｉを用いたＬＣＤの平面図を示す。
　１画素に対応する表示電極の横及び縦の外形線の長さと、１画素に対応するゲートライン（１５）及びドレインライン（１６）の中心線（１７）の長さとそれぞれの商が０．９以上なら、有効画素の百分率は８１％以上になる。
　ｃ−Ｓｉ中にドレイン（１８）、ソース（１９）及び補助容量（２０）は拡散層として設けられている。
　ゲートライン（１５）及びゲート（２１）は不純物をドープした多結晶シリコンで形成され、ソース（１９）と表示電極（２２）はコンタクトホール（２３）で接続されている。
　ＬＣＤの断面図を第６図に示す。
　板状部材（５）はロウ材（１３）または接着材（１４）によって半導体基板（３）と結合し、通常の半導体基板（３）の機械強度の補強のためのみならず、放熱材として働く。
　第６図において半導体基板（３）の表面に不純物が導入され、ドレイン（１８）、ソース（１９）及び補助容量（２０）が形成されている。
　熱酸化ＳｉＯ２（２４）が半導体基板（３）上に形成されている。
　熱酸化ＳｉＯ２（２４）はソース（１９）上に穴、ドレイン（１８）とソース（１９）間及び補助容量（２０）上に凹みが作成されている。
　熱酸化ＳｉＯ２（２４）の凹みにはドープした多結晶シリコンが充填され、ドレイン（１８）とソース（１９）間にゲート（２１）、補助容量（２０）上に導電膜（２５）が形成されている。
　ＣＶＤＳｉＯ２（２６）がゲート（２１）及び導電膜（２５）のある熱酸化ＳｉＯ２（２４）上に積層されている。
　ＣＶＤＳｉＯ２（２６）においてソース（１９）及び導電膜（２５）上にコンタクトホール（２３）が形成されている。
　ＣＶＤＳｉＯ２（２６）上にＡｌからなる表示電極が島状に形成され、コンタクトホール（２３）によりソース（１９）及び導電膜（２５）に接続されている。
　反射膜として働く表示電極上にポリイミドの配向膜（２７）が形成されている。
　半導体基板（３）と対向するガラス基板（２）上には一面にＩＴＯからなる透明電極（２８）が被着され、さらにその上にポリイミドの配向膜（２７）が形成され、前記配向膜（２７）は液晶（２９）に接している。
　表示電極（２２）は複数のドレインライン（１６）またはゲートライン（１５）間にまたがらない方が望ましい。
　なぜなら、隣接するラインの信号により表示のコントラストが低下することがあるからである。
　第５図のようにＡｌの表示電極でトランジスタが形成された側のドレインライン及びゲートラインを覆い、有効画素率を８１％以上とすることでｃ−Ｓｉ上のトランジスタのチャネルの遮光がなされる。
　本実施例の構造によれば、電子の移動度μの大きなｃ−Ｓｉを用いているのでアクティブマトリクス基板の周辺部に高速のシフトレジスタ、ラッチ、ドライバからなる駆動回路を形成できるばかりでなく、アクティブマトリクス基板内の画素の駆動用トランジスタの大きさを小さくすることが可能になるため、有効画素率の向上が容易にできる。
　本発明の実施例においては、ｃ−Ｓｉについて述べたが、ＬＣＤのアクティブマトリクス基板がガラスで形成されたとしても本発明の構成を実現することができる。
（ト）発明の効果
　ＬＣＤの裏面を板状部材により効率良く冷却できるので、発熱が問題となる投影装置において優れた効果がある。
　以上に述べたように本発明によれば、ＬＣＤの補強板に高熱伝導率の材料を用い、強制気流により各ＬＣＤを冷却したことにより、輝度及び品位の高い小型軽量の投影装置を作成することができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明による反射型投影装置のＬＣＤの冷却機構を示す分解見取図。
　第２図は本発明の第１の実施例のＬＣＤの冷却機構の断面図。
　第３図は本発明の第２の実施例のＬＣＤの冷却機構の断面図。
　第４図は本発明の第３の実施例のＬＣＤの冷却機構の断面図。
　第５図は本発明の反射型投影装置に用いられるＬＣＤの平面図。
　第６図は本発明の反射型投影装置に用いられるＬＣＤの断面図。
　第７図は従来例の反射型投影装置の概要図である。
　（１）……ＬＣＤ、（２）……ガラス基板、（３）……半導体基板、（４）……補強板、（５）……板状部材、（６）……ヒートシンク、（７）……軸流ファン、（８）……強制気流、（９）……入射光、（１０）……反射光、（１１）……遠心ファン、（１２）……金属製の容器、（１３）……ロウ材、（１４）……接着材、（１５）……ゲートライン、（１６）……ドレインライン、（１７）……中心線、（１８）……ドレイン、（１９）……ソース、（２０）……補助容量、（２１）……ゲート、（２２）……表示電極、（２３）……コンタクトホール、（２４）……熱酸化ＳｉＯ２、（２５）……導電膜、（２６）……ＣＶＤＳｉＯ２、（２７）……配向膜、（２８）……透明電極、（２９）……液晶、（３０）……偏光ビームスプリッタ、（３１）……青反射ダイクロイックミラー、（３２）……赤反射ダイクロイックミラー、（３３）……光路マッチングガラス、（３４）……光源、（３５）……だ円面鏡、（３６）……凹レンズ、（３７）……遮光板、（３７ａ）……開口、（３８）……バンドパスフィルター、（３９）……ズーム投射レンズ、（４０）……スクリーン。