【事件の表示】
　特許第２７９０１１１号「プラズマ処理方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２７９０１１１号の特許を維持する。
【理由】
１．手続の経緯
　本件特許第２７９０１１１号の発明（以下、「本件発明」という。）は、昭和５８年１１月２日に出願した特願昭５８−２０４８１６号の一部を、特許法第４４条第１項の規定により平成８年３月１１日に新たな特許出願としたものであって、平成１０年６月１２日に特許の設定の登録がなされたところ、特許異議申立人高橋　学により特許異議の申立てがされたものである。
２．本件発明
　本件発明の要旨は、特許明細書及び図面の記載からみてその特許請求の範囲の第１項に記載された次のとおりのものと認める。
「プラズマ処理時に発生する光の発光強度を所定の時間間隔毎に順次サンプリングして検出すると共に、検出したときの発光強度をその検出の複数回前にサンプリング検出したときの発光強度と比較して変化分を求め、前記変化分同士を比較して終点を検出することを特徴とするプラズマ処理方法。」
３．特許異議申立の理由の概要
　特許異議申立人高橋学（以下「申立人」という。）は、本件発明は下記の甲第１号証刊行物及び甲第２号証刊行物に記載されたものに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、特許法第１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべき旨主張する。
　記
　甲第１号証：米国特許第４，２６３，０８８号明細書
　（１９８１年４月２１日発行）
　甲第２号証：特開昭５６−１５８８７２号公報
４．甲各号証の記載事項
（１）甲第１号証
　申立人が提示した甲第１号証には、プラズマエッチング反応の制御に関して次の事項ア及びイが記載されている。
ア．プラズマエッチング反応の検出について
「エッチング反応の進行は検出器３４によりモニタされる。検出器３４はかなりの広帯域の光電セル検出器又は光学フィルタ付き光電子増倍管のような光学検出器から構成することができる。検出器はまた質量分析器のようなものから構成することができる。この用途に特に有用なのは、略５２０ｎｍで最大のスペクトル感度を有する硫化カドミウムの光導電セルである。この光電セルは増幅器に接続されて、プラズマの光学的放射の強度に比例した出力電圧を与える。この光学的放射はエッチングの間高められ、これは除去の速度に比例する。」（第２欄第６４行〜第３欄第８行）および
「図１５は、反応をモニタする光電セル検出器３４の出力を示している。この検出器の出力は、ジェネレータコントローラ３５に電気的に接続されている。」（第４欄第５５行〜第５７行）
イ．　エッチングの終点判定について
「上述したエッチングの終了は、幾つかの事象のうちの一つの発生によって自動的に起こさせることができる。これらの事象は、例えば、ジェネレータがパルスモードになるようスイッチが入れられた後の決められた量の時間の経過、あるいは、図３の検出レベル４４と同等なエッチングプロセスの完了を表す予め決められたレベルへの検出器の出力の減少、あるいは、検出器の出力のレスポンスにおける特定のスロープの検出、が含まれる。この出力のスロープは、時刻Ｔ６に示されたスロープのような予め選択されたスロープと比較される。これらのいずれの事象の発生によっても、コントローラはジェネレータを停止して、反応を終了させる。あるいは、プロセスは予め選択されたスロープが検出されたときに、パルスモードにスイッチングすることによって制御することもできる。プロセスは電力供給が切り換えられた後に予め選択された時間が経過したとき終了することができる。」（第５欄第２９行〜第４６行）
（２）甲第２号証
　同じく甲第２号証には、フォトマスクの湿式エ
ッチングにおけるエッチング終了点検出方法について次の事項ウが記載されている。
ウ．　「第４図はフォトマスクが１回転する間の受光器の出力を示したものである。フォトマスクが１／４回転する毎に投受光器の光軸はマスク面外となり投光器からの光は途中の遮光物がないためこの間の出力は最大となり、図中ｂの部分である。この現象はフォトマスク１回転毎に４回発生する。１図中ａの部分が目的とする光透過率測定区域が通過することによる出力であり、エッチング開始時ｔ０では出力がないが、エッチング時間が、ｔ１，ｔ２…ｔｎ　と経過するにしたがって出力が大きくなる。したがって図中ａの部分の出力を経時的に検出し、エッチング終点時には出力が飽和するので、この時にエッチング終了の処置を行なう。受光器７、９は互いに９０度又は１８０度離してあり、両受光器の出力は第４図のｂの部分が経時的に一致し、ａの部分の出力は時間的に異なる所で発生する。両受光器からの出力をそれぞれの増幅器１０で増幅し、サンプリング回路１１において、第４図におけるａの部分のみを抽出する。この出力をＡ−Ｄ変換器１２でディジタル信号Ｙｎに変換する。そして演算回路１３はまず前後の差分をとり、それを連続した１０点位で平均化する。即ち
Ｈｍ＝（Ｙｎ−１１−Ｙｎ−１０）＋（Ｙｎ−１０−Ｙｎ−ａ）＋……＋（Ｙｎ−１−Ｙｎ）／１０
の処理をする。これをＤ−Ａ変換器１４でアナログ信号に変え、このアナログ信号を所定の低レベルで２値化し、この２値化信号が”１”から”０”になったときエッチングが終了したということになり、このエッチング終了信号を制御部１５に送る。」（第２頁左下欄第８行〜右下欄第１８行）
５．対比・判断
（１）本件発明の特徴点
　本件発明は、従来、プラズマエッチング等のプラズマ処理において、サンプリングタイムを小さくとると、発光強度信号に含まれる高周波のノイズによってサンプリングした強度信号の強度変化が不安定なものになって好適な終点検出ができず、また、サンプリングタイムを大きくとると、前記ノイズの影響は低減するが検出終点と真の終点との誤差が大きくなり、正確な終点検出を行うことができないという問題があること及び従来の検出値が予め定めた一定値以内となったときを終点とするというような終点検出方法では、被エッチング材料やガスの流量等によっても上記一定値は異なるため、エッチングの環境毎に最適な一定値を導き出すのは困難であるという問題があること（本件明細書の「発明が解決しようとする課題」の欄参照）に鑑みて、これらの技術的課題を解決するために、「検出したときの発光強度をその検出の複数回前にサンプリング検出したときの発光強度と比較して変化分を求め、前記変化分同士を比較して終点を検出する」点を発明の構成要件として採用したものである。
（２）対比
　先ず、甲第１号証には記載事項アとイからみて、プラズマの光学的放射の強度に比例した出力電圧が得られるフォトセル検出器を用いてプラズマエッチング反応時に発生する光の発光強度を検出すると共に、該検出器の出力のスロープをＦｉｇ５の時刻Ｔ６に示されたスロープのような予め選択されたスロープと比較して反応の終点を検出するプラズマエッチング処理方法が記載されている。
　そこで、本件発明と甲第１号証に記載のものとを対比すると、甲第１号証に記載された「スロープ」とは検出したときの発光強度をその前に検出したときの発光強度と比較した発光強度の変化分であり、また、「時刻Ｔ６に示されたスロープのような予め選択されたスロープ」とは、予め選択された一定値であるから、両者は、プラズマ処理時に発生する光の発光強度を検出すると共に、検出したときの発光強度をその前に検出したときの発光強度と比較して変化分を求め、この変化分の値に基づいて終点を検出するプラズマ処理方法の点では共通するが、少なくとも次の点で両者は相違する。
〈相違点〉
　本件発明は、検出したときの発光強度をその検出の複数回前にサンプリング検出したときの発光強度と比較して変化分を求め、前記変化分同士を比較して終点を検出するものであるのに対して、甲第１号証には、発光強度の変化分の求め方については具体的な言及がなく、得られた発光強度の変化分は予め選択された一定値と比較して終点を検出することが記載されている点。
（３）判断
　前記の相違点について検討すると、甲第２号証にはフォトマスクの湿式エッチングにおけるエッチング終了点検出方法として、エッチング進行度合検出用光透過率測定用区域を設けたフォトマスクを回転させ、９０度又は１８０度互いに離して配置された両受光器の出力から光透過率測定用区域が通過することによる出力ａをサンプリング回路１１にて抽出し、この出力ａのディジタル信号Ｙｎについて、まず前後の差分をとり、記載事項ウにおける前記の式に示すようにそれを連続した１０点位で平均化し、これをアナログ信号化し、さらに２値化信号化したものが１から０になったとき、エッチングを終了することが記載されている。
　すなわち、甲第２号証記載のものは、経時的に連続した複数の検出値の平均値をとって、この平均値を所定の値と比較して終点か否かを判断し、「否」であれば、更に同様の操作を繰り返すものである。
　これに対して、本件発明は、甲第２号証記載のような経時的に連続した複数の検出値の平均値を所定の値と比較するものではなく、検出値を複数回前の検出値と比較して変化分を求めるという操作を行い、このようにして求めた変化分同士を比較することによって終点を検出するものであり、このような構成については甲第２号証には記載及び示唆がない。
　なお、申立人は、甲第２号証に記載された１０点位での平均化の式を変形すればディジタル信号Ｙｎとその１１回前にサンプリングしたディジタル信号Ｙｎ−１１とを比較することと等価であり、相違点における本件発明の構成の一部である「検出したときの発光強度をその検出の複数回前にサンプリング検出したときの発光強度と比較して変化分を求め、」に相当する旨主張するが、この主張は認められるとしても、同号証に記載のものは、予め選択或いは定めた一定値を比較対象とする終点検出方法であって、検出値から求めた変化分同士を比較するものではないことは前示のとおりであり、また、甲第１号証記載のものも、検出値を予め選択されたスロープ（すなわち、「一定値」）と比較して反応の終点を検出するものであって、検出値から求めた変化分同士を比較するものではないから、甲第１、２号証の記載を相互に勘案しても、本件発明の「検出したときの発光強度をその検出の複数回前にサンプリング検出したときの発光強度と比較して変化分を求め、前記変化分同士を比較して終点を検出する」という構成の点については当業者が容易に想到し得たものとすることはできない。
　そして、本件発明は、前記相違点の構成を具備することにより、発光強度信号がノイズの影響を受けても変化分はこれを解消することができ、これにより安定した終点検出を行なうことができ、また、サンプリングタイムが短いので、検出した終点と真の終点との誤差を小さくでき、終点の検出を正確に行なうことができるという甲各号証に記載のものから予測し得ない明細書記載の格別な効果を奏し得るものである。
　従って、本件発明は甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
６むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年９月１０日（１９９９．９．１０）