【事件の表示】
　特許第２７２３１０６号「高電圧イオン打込み装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７２３１０６号の特許を維持する。
【理由】
〔１〕手続の経緯
　特許第２７２３１０６号の請求項１に係る発明についての出願は、昭和５８年１２月２日に特願昭５８−２２６８６０号にされた特許出願の一部を、平成８年８月８日付けで分割して新たに特許出願したものであっで、平成９年１１月２８日にその発明について特許の設定登録がなされ、その後、その特許について、異議申立人新井孝政により特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年３月８日に訂正請求がなされた後、訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年５月６日に訂正請求書の手続補正がなされたものである。
〔２〕補正の適否についての判断
　上記平成１１年５月６日付けの手続補正書による訂正請求書の補正は、訂正請求書に添付した全文訂正明細書の発明の詳細な説明の【００１６】の「・・・前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる二段の磁気四重極レンズを設け、かつ、前記イオン源、磁気四重極レンズ、高周波四重極加速器、試料基板を直線上に配置した・・・」を、「・・・前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる多段の磁気四重極レンズを設け・・・」と補正するものである。
　該補正は、明りょうでない記載を、明りょうとしたものであって、明りょうでない記載の釈明に相当する。
〔３〕訂正の適否についての判断
ア．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　特許権者が求めている訂正の内容は以下のａ、ｂのとおりである。
ａ．請求項１中「・・・前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる多段の磁気四重極レンズを設けたこと・・・」を「・・・前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる二段の磁気四重極レンズを設け、かつ、前記イオン源、磁気四重極レンズ、高周波四重極加速器、試料基板を直線上に配置したこと・・・」に訂正する。
ｂ．発明の詳細な説明の【０００６】の「・・・前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる多段の磁気四重極レンズを設け、・・・」を「・・・前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる二段の磁気四重極レンズを設け、かつ、前記イオン源、磁気四重極レンズ、高周波四重極加速器、試料基板を直線上に配置したことを特徴とし、・・・」に訂正する。
　上記ａの訂正事項に関連する記載として、願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という。）の発明の詳細な説明の【０００８】の「そして、本実施例ではイオン源１とＲＦＱタンク２の間にビーム収束用の二段の磁気四重極レンズ１２ａ、１２ｂをとりつけている。」の記載、及び「図１」から、イオン源、磁気四重極レンズ、高周波四重極加速器、試料基板が直線上に配置されているから、「前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる二段の磁気四重極レンズを設け、かつ、前記イオン源、磁気四重極レンズ、高周波四重極加速器、試料基板を直線上に配置したこと」は、特許明細書に記載されているものと認められる。
　そうすると、上記ａの訂正は、特許明細書に記載された事項の範囲内において高電圧イオン打込み装置を限定したものといえるから、特許請求の範囲の減縮に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　上記ｂの訂正は、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正であって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
イ．独立特許要件
（訂正明細書の請求項１に係る発明）
　訂正明細書の請求項１に係る発明は、その請求項１に記載された次のとおりのものである。
「イオン源から引出されたイオンビームを質量分離し、目的とするイオンを試料基板に所定の量だけ混入させるイオン打込み装置において、前記イオン源と試料基板との間に高周波四重極加速器を設け、該高周波四重極加速器で質量分離とイオンめ加速を同時に行うと共に、前記イオン源と高周波四重極加速器との間に、該イオン源から出たイオンビームの断面形状を前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる二段の磁気四重極レンズを設け、かつ、前記イオン源、磁気四重極レンズ、高周波四重極加速器、試料基板を直線上に配置したことを特徴とする高電圧不オン打込み装置。」
（引用刊行物）
　訂正明細書の請求項１に係る発明の特許に対して、当審が平成１０年１２月１６日付けで通知した取消理由で引用した刊行物１（ニューマトロン加速器ワークショップ報告書）には、「イオン源と試料との間に高周波四重極加速器を設け、該高周波四重極加速器で質量分離とイオンの加速を同時に行うと共に、前記イオン源と高周波四重極加速器との間に、該イオン源から出たイオンビームの断面形状を前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる多段の電気四重極レンズを設けた」点が図面とともに記載されており、刊行物２（特開昭５２−１３４４９２号公報）には、「イオン源装置において、引出し電極系の後に磁気四重極レンズを一個以上設けることにより上記のイオン源装置から引出される大口径の大電流イオンビームの断面形状を変化せしめ、以って質量分離器の使用にあたりこの大電流イオンビームを質量分離可能にならしめた」（第１頁左下欄第８〜１３行）点が図面とともに記載されており、刊行物３（「学術月報」Ｖｏｌ．３６）には、「新型のライナックは高周波四重極型（Ｒａｄｉｏ−Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ　Ｑｕａｄｒｕｐｏｌｅ；ＲＦＱ）とよばれるもの」（第１９頁第４〜６行）、「重イオンを加速するＬＩＴＬは、基礎科学の分野では原子・分子・固体物理学の研究、応用の分野では核融合炉材料の放射線損傷のシュミレーション実験研究、イオン注入による新材料開発・表面加工等多彩な利用が考えられる。」（第２４頁左欄第２６行〜同右欄第３行）点が図面とともに記載されている。
（対比・判断）
　訂正明細書の請求項１に係る発明（以下、「本件請求項１に係る発明」という。）と刊行物１〜３に記載された発明を対比すると、刊行物１〜３に記載された発明には、本件請求項１に係る発明に必須構成である「高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる二段の磁気四重極レンズを設け、かつ、前記イオン源、磁気四重極レンズ、高周波四重極加速器、試料基板を直線上に配置した」構成を具備していない。
　そして、本件請求項１に係る発明は、上記構成を備えることにより、「数１００ｋｅＶ〜数ＭｅＶ領域の種々の大電流イオンビームを効率よく打込みすることが可能となり、実用に供」するという顕著な効果を奏するものであり、本件請求項１に係る発明は、上記刊行物１〜３に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものではないし、上記刊行物１〜３に記載された発明を組み合わせても当業者が容易に発明をすることはできたものとすることもできない。
　また、当審が通知した平成１０年１２月１６日付け取消理由通知に記載した理由によっても、本件請求項１に係る発明が、特許出願の際独立して特許をうけることができないものとはいえない。
（むすび）
　以上のとおりであるから、上記訂正は特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する同法第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
〔３〕特許異議の申立てについて
ア．本件発明
　本件請求項１に係る発明は、上記〔２〕イ．（訂正明細書の請求項１に係る発明）のとおりである。
イ．申立ての理由の概要
　特許異議申立人新井孝政は、請求項１に係る発明は、甲第１号証（上記刊行物３と同じ）及び甲第２号証（上記刊行物２と同じ）に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定に該当するので、同法第１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべきである、と主張する。
ウ．判断
　請求項１に係る発明は、上記〔２〕（対比・判断）で判断したとおり、甲第１、２号証に記載された発明の基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできないし、甲第１、２号証に記載された発明を組み合わせても当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。
エ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年６月４日（１９９９．６．４）
【訂正の要旨】
［訂正の要旨］
▲１▼明細書中の「特許請求の範囲」の記載を以下のように訂正する。
　『１．イオン源から引出されたイオンビームを質量分離し、目的とするイオンを試料基板に所定の量だけ混入させるイオン打込み装置において、
　前記イオン源と試料基板との間に高周波四重極加速器を設け、該高周波四重極加速器で質量分離とイオンの加速を同時に行うと共に、前記イオン源と高周波四重極加速器との間に、該イオン源から出たイオンビームの断面形状を前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる
二段
かつ、前記イオン源、磁気四重極レンズ、高周波四重極加速器、試料基板を直線上に配置した
▲２▼明細書中の【０００６】の記載を以下のように訂正する。
　『【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、イオン源と試料基板との間に高周波四重極加速器を設け、この高周波四重極加速器で質量分離とイオンの加速を同時に行うと共に、前記イオン源と高周波四重極加速器との間に、該イオン源から出たイオンビームの断面形状を前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる
二段
かつ、前４記イオン源、磁気四重極レンズ、高周波四重極加速器、試料基板を直線上に配置したことを特徴とし
（５４）【発明の名称】
高電圧イオン打込み装置
（５７）【特許請求の範囲】
１．イオン源から引出されたイオンビームを質量分離し、目的とするイオンを試料基板に所定の量だけ混入させるイオン打込み装置において、
　前記イオン源と試料基板との間に高周波四重極加速器を設け、該高周波四重極加速器で質量分離とイオンの加速を同時に行うと共に、前記イオン源と高周波四重極加速器との間に、該イオン源から出たイオンビームの断面形状を前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる
二段
、かつ、前記イオン源，磁気四重極レンズ，高周波四重極加速器，試料基板を直線上に配置した
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明はイオン打込み装置に係り、特に数１００ｋｅＶ〜数ＭｅＶのエネルギーの大電流ビーム打込みに好適な高電圧イオン打込み装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来の工業的に使われているイオン打込み装置で高エネルギーイオンを得てこれを基板に打込む場合、イオン源から引出したビームを質量分離器により一旦目的としたイオン種に選別した後、これを加速電極リング等を並べた加速管を使い高エネルギーにしていた。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記従来技術の場合、高電圧印加に伴い、加速電極間の放電やいわゆるコロナ放電が発生し、実用上達成しうるエネルギーは高々、数１００ｋｅＶ程度であった（例えばＳｐｒｉｎｇｅｒ　Ｓｅｒｉｅｓ　ｉｎ　Ｅｌｅｃｔｒｏｐｈｓｉｃｓ　１０巻，‘Ｉｏｎ　Ｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ’，Ｓｐｒｉｎｇｅｒ−Ｖｅｒｌｏｇ社出版，１９８２年，３５１頁参照）。
　【０００４】
　また、数１００ｋｅＶの桁の加速を行うための加速管の長さは数ｍにも及び、巨大なイオン打込み装置となっていた。さらに、従来の加速リングを並べた後段加速管では、ビームを中心軸上に集める収束作用がないため、一般にビームは広がり、ビーム損失や試料基板で小口径ビームが得られなかった。又、質量分離器としては一般に磁場形質量分離器が使われているが、ビームを中心軸に集めるには特殊な入出射角度の設定や別の収束レンズ等を使わなければ、効率よい強い収束効果は得られなかった。
　【０００５】
　本発明の目的は、イオン源から引出されたビームをＲＦＱなる加速装置を使い、質量分離，加速，収束を同時に効率良く行い、数１００ｋｅＶ〜数ＭｅＶのイオンビームを使った高電圧イオン打込み装置を提供することにある。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、イオン源と試料基板との間に高周波四重極加速器を設け、この高周波四重極加速器で質量分離とイオンの加速を同時に行うと共に、前記イオン源と高周波四重極加速器との間に、該イオン源から出たイオンビームの断面形状を前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる
二段
、かつ、前記イオン源，磁気四重極レンズ，高周波四重極加速器，試料基板を直線上に配置したことを特徴とし、
　【０００７】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明の一実施例を図１により説明する。
　【０００８】
　図１において、本発明の打込み装置は、イオン源１，
高周波四重極加速器（ＲＦＱ）
ビーム収束用の二段の磁気四重極レンズ１２ａ，１２ｂ
　【０００９】
　高周波四重極加速器の構造を図２に示す。図２において、ＲＦＱタンク２は波うった形状をもつ四つの電極２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄからなり、相対する２ヶの電極の出っぱった部分では、残りの２組の電極がへこむよう周期的な波うった形状になっている。このＲＦＱタンク２は１種の空洞共振器を構成しており、これに数１０〜数１００ＭＨｚの周波数をもつ高周波電圧を印加すると、中心軸道部分に軸方向の加速電界が生じイオンは効率良く数ＭｅＶまで加速される。
　【００１０】
　図１において、イオン源１から引出されたイオンビームは一般に種々のイオン種を含むが、ＲＦＱタンク２の波うたせた周期，印加高周波電圧に応じ、ＲＦＱタンク２内で加速されるものは一種類のイオンだけであり、他のイオン種は発散して透過できない。又、ＲＦＱは一種の収束レンズを構成しているので、透過可能なビームは中心軸上に集まる収束作用を受ける。即ちＲＦＱタンク２の使用により、質量分離と加速，収束が同時に可能となる。また、イオン源１から出たビームは高数１０ｋｅＶでよいため、イオン源１の直流高圧電源の負担が軽く済み、また装置も小形化できた。
　【００１１】
　図１の実施例では、イオン種ごとに形状及び高周波電圧の異なったＲＦＱタンク２を使い、数ＭｅＶのＢ＋，Ｎ＋，Ｏ＋，Ａｓ＋，Ｐ＋，Ｈｅ＋等のイオンビームをパルス状に得ることができた。
　【００１２】
　イオン源には、特公昭５７−４０５６号公報，同５７−１１０９４号公報，同５７−１１０９３号公報，同５７−４１０５９号公報に記載されたマイクロ波イオン源を使用した。ビーム電流としては直流換算で数ｍＡの桁のＭｅＶイオンが得られた。
　【００１３】
　次に図１では、イオン種及び最終エネルギーを変えるたびにＲＦＱタンク２の構造を変える必要があった。このためＲＦＱタンク２として外部共振形ＲＦＱを使ったところ、１つのＲＦＱで種々のイオン種を加速し、基板にイオン打込みができた。
　【００１４】
　更に、イオン源１とＲＦＱタンク２の間にビーム収束用の二段の四重極レンズ１２ａ，１２ｂを設けることにより、次のような効果が得られる。即ち、一般に大電流イオン源のビーム断面は長方形断面である。これに対し、ＲＦＱのビーム通過部は数ｍｍ〜数ｃｍの半径をもつ円形部分である。
　【００１５】
　従って、イオン源１から引出されたビームをビーム損失なく有効に加速するにはビーム断面をＲＦＱ入射部に合った形状に変換する必要がある。本実施例では二段の磁気四重極レンズ１２ａ，１２ｂを使い、大電流ビームが有効にＲＦＱタンク２に導入され、打込み電流も１ｍＡ以上に改善された。
　【００１６】
　【発明の効果】
　以上説明した本発明の高電圧イオン打込み装置によれば、イオン源と試料基板との間に高周波四重極加速器を設け、この高周波四重極加速器で質量分離とイオンの加速を同時に行うと共に、前記イオン源と高周波四重極加速器との間に、該イオン源から出たイオンビームの断面形状を前記高周波四重極加速器の入射部に合った形状に変換せしめる磁気四重極レンズを設けたものであるから、数１００ｋｅＶ〜数ＭｅＶ領域の種々の大電流イオンビームを効率良く打込みすることが可能となり、実用に供し、その効果は著しく大である。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の高電圧イオン打込み装置の一実施例を示す図である。
　【図２】　図１中に用いられたＲＦＱタンクの詳細を一部破断して示す斜視図である。
　【符号の説明】
　１…イオン源、１′…イオンビーム、２…ＲＦＱタンク、３…打込み室、４…電流測定のためのファラデーカップ、５…試料基板、１２ａ，１２ｂ…磁気四重極レンズ。