【事件の表示】
　特許第２７３９６０９号「可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７３９６０９号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理由】
１．手続きの経緯
　特許第２７３９６０９号の請求項１乃至４に係る発明についての出願は、１９９１年２月２８日（パリ条約による優先権主張１９９０年３月２日、オーストリア国）を国際出願日とする出願であって、平成１０年１月２３日にその発明について特許の設定登録がなされたが、その特許について、特許異議申立人　菅原益夫より特許異議の申し立てがなされ、取消理由通知がなされたところ、指定期間内である平成１１年４月２８日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
ア．訂正の概要及び、その適否の判断
　特許権者が求めている訂正の内容は以下のとおりである。
ａ．請求項１の「ビームデバイダ（７）の上流に配置されるのは該ビームデバイダ（７）の入口においてレーザ光の定義された、好ましくは直線偏光を確立するために干渉計ハウジングまたはキヤリヤ（１または４）に接続される偏光手段（１１）であることを特徴とする可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計」の記載を「ビームデバイダ（７）の上流に、該ビームデバイダ（７）の入口においてレーザ光を直線偏光するための、１／４波長板（３０）とその下流側に配置される偏光器（３１）とを各光軸が互いに４５゜交差するように配置して構成される偏光手段（１１）を干渉計ハウジングまたはキャリア（１または４）に接続したことを特徴とする可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計」と訂正する。
ｂ．請求項３および４、明細書１２頁８行、１７頁５、６、１７および２０の各行、にある「傾斜屈折レンズ」の記載を「屈折率分布型レンズ」と訂正する。
ｃ．明細書２頁２１行−３頁１行の「本発明の第１の・・・により達成される。」の記載を「本発明の第１の変形例によれば、それはレーザ光供給用の１または複数の光フアイバの下流にかつビームデバイダの上流に配置されるのがビームデバイダの入口においてレーザ光を直線偏光を確立するために、１／４波長板とその下流側に配置される偏光器とを各光軸が互いに４５゜交差するように配置して構成される偏光手段を干渉計ハウジングまたはキャリアに接続したことにより達成される。」訂正する。
　上記ａに関する記載として「偏光・光学要素は第２図に示される。それらは１／４波板３０およびレーザ光がそれを通って参照符号３２により示される方向に通過する偏光器３１である。複屈折１／４波板の光軸３３は符号３４で示される偏光器３１の方向に対して４５゜である。偏光器は偏光手段の出力において定義された直線偏光を提供する一方１／４波板３０は出力での光効率またはパワーが偏光手段に入るレーザ光が幾つかの方向に直線的にのみ偏光される限り偏光手段の入力での偏光に関係ないことを提供する。」　（明細書１６頁５−１０行）の記載がある。
　よって、上記ａの訂正は、願書に添付した明細書に記載された範囲内で、１／４波長板と偏光器の関係を具体的に限定したものといえるから、特許請求の範囲の減縮に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、または変更するものではない。
　上記ｂの訂正は「傾斜屈折レンズ」なる用語は当該技術分野において一般的に用いられるものではなく、不明な用語であり、当該不明瞭な記載を、当該技術分野において一般的に用いられる「屈折率分布型レンズ」に訂正するものである。そして、上記訂正前の「傾斜屈折レンズ」と表現されていた構成は、その機能から見て「屈折率分布型レンズ」と同じ機能を有していることが見て取れるから、当該訂正は不明瞭な記載の釈明である。
　上記ｃの訂正は、詳細な説明の特許請求の範囲に対応する記載を、上記ａの訂正に合わせて訂正するものであるから、不明瞭な記載の釈明である。
イ．独立特許要件の判断
　以上のとおりであるから、訂正明細書の請求項１乃至４に係る発明（以下、それぞれ、本件発明１乃至４という）は、その特許請求の範囲の請求項１乃至４に記載された下記のとおりのものである。
　　　　　記
　【請求項１】そのハウジングまたはキヤリヤにレーザ光を測定ビームと基準ビームに分割するビームデバイダ、および再結合装置が堅固に接続され、可動測定ミラー等を経由して通される測定ビームおよび固定基準部分を経由して通される基準ビームが少なくとも１つの光学的干渉信号を形成する再結合装置において干渉する干渉計ヘツド、
　レ−ザ光送給用の少なくとも１つの可撓性の光フアイバが干渉計のレーザ光源と、ビームデバイダとの間に配置される干渉計ヘツドの外部に配置されるレーザ光源、および再結合装置からの１または複数の干渉計信号の評価のための光電検出装置からなる可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計において、
　レーザ光供給用の１または複数の光ファイバ（５）の下流にかつビームデバイダ（７）の上流に、該ビームデバイダ（７）の入口においてレーザ光を直線偏光するための、１／４波長板（３０）とその下流側に配置される偏光器（３１）とを各光軸が互いに４５゜交差するように配置して構成される偏光手段（１１）を干渉計ハウジングまたはキャリア（１または４）に接続したことを特徴とする可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計。
　【請求項２】前記偏光手段の入口に配置されるのが可撓性光ファイバ（５）またはそれに接続されたファイバ（５ａ）から発している光ビームを視準するための視準レンズ（３６，３６′）であることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計。
　【請求項３】前記視準レンズ（３６，３６′）が好ましくは筒状外部形状を有する屈折率分布型レンズであることを特徴とする請求の範囲第２項に記載の可動側定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計１０
　【請求項４】前記光ファイバ（５ａ）が前記屈折率分布型レンズ（それぞれ３６，３６′）に同心にまたは偏心して接着されることを特徴とする請求の範囲第３項に記載の可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計。
　本件発明１乃至４に対して当審が平成１１年１月１３日付けで通知した取消理由通知で引用した刊行物１乃至６には下記のとおりの記載がある。
刊行物１：特開平１−１００４０３号公報
　「第１図において、１は干渉光学系２を載置したステージ、３はその干渉光学系２に対してレーザ光を射出するレーザヘッドで、これにはコリメータレンズ４が設けられている。上記干渉光学系２は従来と同様に分割器２ａ、参照鏡２ｂ、移動鏡２ｃ、受光センサ２ｄ等から構成されている。６は半導体レーザ装置」（公報２頁右下欄４−１０行）
　「第６図、は第２実施例を示したもので、これは、コリメータレンズ４と干渉光学系２との間にλ／４板３１を介在させたものである。このλ／４板３１の結晶光学軸３１ａと偏波面保存ファイバー５のコア５ｂの楕円の長軸５ｃとのなす角度が第７図に示すように４５゜になっている。図において、３２は偏光ビームスプリッタ、３３，３４は第１，第２受光センサ、３５はハーフミラーである。
　いま、レーザヘッド３から直線偏光のレーザ光が射出されると、このレーザ光が後λ／４板３１によって円偏光となってこの円偏光のＰ偏光成分とＳ偏光成分とでπ／２の位相差が生じる。そして、この円偏光のレーザ光はハーフミラー３５によって参照光束と測定光束に分割され、これら光束が参照鏡、移動鏡で反射されて再度ハーフミラー３５に戻り、ここで、測定光束のＰ偏光成分と参照光束のＳ偏光成分とがそれぞれ干渉し、この干渉した干渉光束が偏光ビームスプリッタ３２に入射する。この入射した干渉光束のＰ偏光成分が偏光ビームスプリッタ３２を通過して第１受光センサ３３に受光され、Ｓ偏光成分が偏光ビームスプリッタ３２の斜面３２ａで反射して第２受光センサ３４に受光される。」（公報４頁右上欄８行−左下欄１０行）
刊行物２：特開昭６４−８４１０５号公報
　「次に、上記実施例の動作について説明する。レーザー装置１から所定周波数のコヒーレントな平面偏光レーザー光が出力されると、このレーザー光が偏波面保存光ファイバー２を介して測定部３に案内される。測定部３に入射された円偏光レーザー光は、偏光板４によって常光成分又は異常光成分の直線偏光に変換され、これがλ／４波長板５によって円偏光に変換されてビームスプリッタ６に入射される。したがって、ビームスプリッタ６に入射されたレーザー光は、ハーフミラー６ａによって透過光ＢＴとこれに対して９０度の角度を有する反射光ＢＲとに２分され、反射光ＢＲは端面に形成された全反射ミラー６ｂによって全反射されて再度ハーフミラー６ａに戻り、その半部がハーフミラー６ａを透過して干渉端面６ｃに達する。一方、透過光ＢＴは、被測定体１０に設けられた屈折率分布型レンズ１１に入射され、その出斜端に形成された全反射ミラー１１ｂで全反射されて、入射光と同一光路を通ってビームスプリッタ６に戻り、そのハーフミラー６ａで反射された半部が干渉端面６ｃに向かう。このため、干渉端面６ｃで反射光ＢＲの反射光と透過光ＢＴの反射光とが両者の光路差によって干渉を生じて干渉縞が形成される。
　この干渉縞は、レンズ７で拡大されて９０度の位相差を有するように所定距離離れた光電変換手段８ａ及び８ｂに照射され、これら光電変換手段８ａ及び８ｂから互いに９０度の位相差を有する干渉縞検出信号が出力される。」（公報３頁左下欄５行−右下欄１３行）
刊行物３：オプトエレクトロニクス技術’８２
ＩＩ−５屈折率分布型微小レンズ　光学工業技術協会発行　１−１８頁
　「セルフォックレンズにはレンズアレーとマイクロレンズの２種類の形態がある。・・マイクロレンズは光ファイバー伝送システムの構成に必要な各種光デバイスへの実用化が進んでおり」（１２頁３−６行）
　「ファイバーの端面相互の軸合せと密着を精密加工した治具を用いて成立させる方法を用いているが、セルフォックレンズを使用すると、▲１▼軸ずれの許容度が大きくなる。」（１３頁３−６行）
刊行物４：特公平１−３７６８２号公報
　「円偏光光ビーム１０２および１０４が通過する別の光路中には光ビーム１０２の右施円偏光を直線的な水平偏光に変化させ、光ビーム１０４の左施円偏光を直線的に垂直偏光に変化させるように１／４波長板１１０が設けられている。この光路中にはまた光ビームの一部をビーム分割器１１２を通して第２のビーム分割器１１６に送りかつ光ビームの第２の部分を後述するようにしてこのビーム分割器１１６に対して９０゜の角度で設けられた別のビーム分割器１５２に送るようにビーム分割器１１２が取付けられている。」（公報６欄３３−４３行）
刊行物５：コヒーレント光通信工学　オーム社発行　１９８９年６月２０日　２１５−２２４頁
　「図８・１２の回転位相板を例にとって説明しよう。第一の位相板ＰＰｌは、いわゆる（１／４）波長板であって、二つの直交する直線偏波間に９０度の位相差を与える。したがって、位相板の主軸を適当な角度に設定すると、任意の偏波状態を持つ入射光は、これによって図８・１２の下中央に示すように、斜の直線偏波に変換される。第二の位相板ＰＰ２は、いわゆる（１／２）波長板であって、直交する直線偏波間に１８０度の位相差を与える。したがって、主軸を適当な角度に設定すると出力の偏波は別の直線偏波（例えば垂直偏波）になる。」　（２２２頁下から２行−２２３頁５行）
刊行物６：光ファイバセンサ　オーム社発行　昭和６１年　２２６頁
　「直線偏波で光ファイバを励振し、出射光のうちそれと同一方向成分のみを偏光子で取り出す」（２２６頁表７・２右上欄）
（対比・判断）
　本件発明１と上記刊行物１乃至６に記載の発明とを対比すると、上記いずれの刊行物に記載の発明にも、本件発明１を特定する事項である「レーザ光を直線偏光するための、１／４波長板（３０）とその下流側に配置される偏光器（３１）とを各光軸が互いに４５゜交差するように配置して構成される偏光手段」が記載されておらず、当該事項により本件発明１は「光ファイバから出射される光は、最初に１／４波長板により円偏波され、次いで偏光器により偏光面が規定されて直線偏波された光に偏波されて、干渉ヘッドには常に偏波面が規定された光が入射されるため、結果として光軸のずれに対する許容度が大きくなる」という効果を有するものであり、本件発明１が上記刊行物１乃至６に記載のものから容易に発明をすることができたものとはいえない。
　そして、請求項２乃至４に記載された発明は請求項１の構成を引用し、当該構成を含むものであるから上記請求項１について対比・判断したとおりである。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項および同条第３項で準用する第１２６条第２−４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申し立てについて
ア．申立の概要
　特許異議申立人は特許異議申立時に、証拠として甲第１乃至６号証（当審が上記取消理由通知書で引用した刊行物１乃至６とその内容は同じである）を提出し、請求項１乃至４に係る発明は、甲第１乃至６号証に基づき当業者が容易に発明できたものであるから特許法第２９条第２項の規定に該当し、請求項１乃至４に係る発明の特許は、特許法第１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべきである旨主張している。
イ．判断
　特許異議申立人が提出した甲第１乃至６号証には、本件発明１を特定する事項である「レーザ光を直線偏光するための、１／４波長板（３０）とその下流側に配置される偏光器（３１）とを各光軸が互いに４５゜交差するように配置して構成さえる偏光手段」が記載されておらず、当該事項により本件発明１は「光ファイバから出射される光は、最初に１／４波長板により円偏波され、次いで偏光器により偏光面が規定されて直線偏波された光に偏波されて、干渉ヘッドには常に偏波面が規定された光が入射されるため、結果として光軸のずれに対する許容度が大きくなる」という効果を有するものであり、本件発明１が上記刊行物１乃至６に記載のものから容易に発明をすることができたものとはいえない。
　そして、請求項２乃至４に記載された発明は請求項１の構成を引用し、当該構成を含むものであるから上記請求項１について判断したとおりである。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由および、証拠によっては、本件請求項１乃至４に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１乃至４に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年８月１８日（１９９９．８．１８）
【訂正の要旨】
　　　訂正の要旨
ａ．請求項１の「ビームデバイダ（７）の上流に配置されるのは該ビームデバイダ（７）の入口においてレーザ光の定義された、好ましくは直線偏光を確立するために干渉計ハウジングまたはキヤリヤ（１または４）に接続される偏光手段（１１）であることを特徴とする可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計」の記載を、特許請求の範囲の減縮を目的として「ビームデバイダ（７）の上流に、該ビームデバイダ（７）の入口においてレーザ光を直線偏光するための、１／４波長板（３０）とその下流側に配置される偏光器（３１）とを各光軸が互いに４５゜交差するように配置して構成される偏光手段（１１）を干渉計ハウジングまたはキャリア（１または４）に接続したことを特徴とする可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計」と訂正する。
ｂ．請求項３および４、明細書１２頁８行、１７頁５、６、１７および２０の各行、にある「傾斜屈折レンズ」の記載を、不明瞭な記載の釈明を目的として「屈折率分布型レンズ」と訂正する。
ｃ．明細書２頁２１行−３頁１行の「本発明の第１の・・・により達成される。」の記載を、不明瞭な記載の釈明を目的として「本発明の第１の変形例によれば、それはレーザ光供給用の１または複数の光フアイバの下流にかつビームデバイダの上流に配置されるのがビームデバイダの入口においてレーザ光を直線偏光を確立するために、１／４波長板とその下流側に配置される偏光器とを各光軸が互いに４５゜交差するように配置して構成される偏光手段を干渉計ハウジングまたはキャリアに接続したことにより達成される。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計
【発明の詳細な説明】
　技術分野
　本発明は、そのハウジングまたはキヤリヤにレーザ光を測定ビームと基準ビームに分割するビームデバイダ、および再結合装置が堅固に接続され、可動測定ミラー等を経由して通される測定ビームおよび固定基準部分を経由して通される基準ビームが少なくとも１つの光学的干渉信号を形成する再結合装置において干渉する干渉計ヘッド、レーザ光送給用の少なくとも１つの可撓性の光ファイバが干渉計のレーザ光源とビームデバイダとの間に配置される干渉計ヘッドの外部に配置されるレーザ光源、および再結合装置からの１または複数の干渉計信号の評価のための光電検出装置からなる可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計に関する。
従来の技術
　長さを測定するための干渉計は既に知られている。代表的には、かかる干渉計において、測定ビームはその移動走行または位置が検出される筈である可動測定ミラーを経由して通される。干渉ビームは固定基準部分を通過する。測定ミラーから戻る測定ビームおよび基準部分から到来する基準ビームは例えばビームデバイダにより形成されることができる再結合装置において干渉する。公知のレーザ光波長によれば、それと相関される移動走行または測定ミラーデータが干渉信号から確かめられることが可能である。
　干渉計のレーザ光源と中央光学要素（とくにビームデバイダ、基準部分および再結合装置）との間の熱的分断を達成するために、これらの中央干渉計要素が干渉計においてともに結合されかつレーザ光源が干渉計ヘッドの外部に配置されることが既に示唆されており、その場合に１またはそれ以上の連続して接続される光ファイバがレーザ光をレーザ光源から干渉計ヘッドに供給する。しかしながら、レーザ光供給に可撓性光ファイバを使用するのには困難がある。これに反して、１または複数の干渉信号は測定ミラー等の位置にだけでなくまた、これが望ましい、レーザ光供給の１または複数の光ファイバの位置および負荷に依存する。
　それゆえ、本発明の目的は、少なくとも１つの可撓性光ファイバがレーザ光供給に使用されかつ光ファイバの位置または負荷が測定結果と干渉せず、かくして信頼し得るかつ干渉のない作動を許容するこの明細書の冒頭部分に記載された種類の干渉計を提供することにある。
発明の開示
　本発明の第１の変形例によれば、それはレーザ光供給用の１または複数の光ファイバの下流にかつビームデバイダの上流に配置されるのがビームデバイダの入口においてレーザ光を直線偏光を確立するために、１／４波長板とその下流側に配置される偏光器とを各光軸が互いに４５°交差するように配置して構成される偏光手段を干渉計ハウジングまたはキヤリヤに接続することにより達成される。
　本発明による「定義された」偏光に対する言及はレーザ光の付与された偏光条件（直線、楕円形または左方または右方円形）を、そして直線および楕円形の場合に関連して、実際の干渉計のビームデバイダに対する偏光されたレーザ光の付与された空間的な方向付けを意味する。直線偏光の場合において、空間的な方向付けは光ベクトルの振動方向の空間的位置により決定される一方、楕円形の偏光の場合において、それは楕円形の長短の半軸の空間的な位置により付与される。干渉計の信頼し得るかつ干渉の無い作動のために、干渉計の入口でのレーザ光の定義された偏光条件の維持が決定的な重要性からなる。それらの光学特性がレーザ光の偏光に依存する成分がしばしば干渉計に使用される。
　例えば、逆反射体の形である測定ミラーによる偏光の変化は干渉計の入口またはそこに配置されたビームデバイダでのレーザ光の偏光に依存する。加えて、干渉光ビーム（測定ビームおよび基準ビーム）の再結合に依存して、干渉は基準ビームと測定ビームが同一の偏光をもたらす範囲にのみ強度に関してそれ自体顕著である。とくに重要なものは１または複数の干渉信号が測定ミラーの運動に関連して例えばそれから前進／後退検出を導き出すために付与された偏光作用の再結合装置の下流で試験される場合の干渉計の入口でのレーザ光の偏光条件である。レーザ光を基準ビームおよび測定ビームに分割するためのビームスプリツタの入口での光に関するその偏光感度は例えば光グラスファイバのごとき通常の可撓性の光ファイバが実際の干渉計（干渉計ヘッド）へのレーザ光供給に使用されるならば、フアイバ端での偏光条件が空間的な位置ならびに光フアイバ上へのねじれ、機械的な圧力および緊張負荷に依存するため、問題が生じる。
　その問題に対する考え得る解決はレーザ光源から実際の干渉計へのレーザ光の供給のための空間的な偏光維持光フアイバの使用にある。その種の偏光維持フアイバを使用するとき、偏光条件は結合端で、すなわち光源に向かっている光フアイバの端部でチエツクされねばならない。他の方法では大部分の光効率が失われるかも知れない。実際には、連続する光フアイバはまた使用されないが、むしろ、取扱いをより容易にするため、装置は解放可能なフアイバコネクタによつてともに接続される複数の連続して接続される光フアイバ部分を使用する。偏光維持フアイバを使用するとき、それらのフアイバ（プラグ）接続はまた偏光作用を維持するように設計されねばならない。加えて、偏光維持フアイバを使用するとき、−過度に厳しくないとしても−厳しい曲率により一方の偏光モードから他方の偏光モードへクロストークがあるかも知れず、かつ偏光の変化を結果として生じるという危険がある。全体として、干渉計ヘツドの入口での偏光作用の所定の高い精度の確立は、偏光維持光フアイバのみにより、可能でないか、または許容できない高いコストでのみ可能であることが認められ得る。
　今や、本発明による思想はレーザ光供給のための光フアイバが光の偏光条件または方向を変化するが、レーザ光供給光フアイバの外部にビームデバイダの入口において定義されたレーザ光の偏光を供給する偏光手段を設ける方法に関連しないかまたは最後の詳細にまで関連しないことにある。原則として、ビームデバイダの入口でのレーザ光は定義された円形または楕円形偏光からなることもできる。しかしながら、ビームデバイダの入口でのレーザ光の偏光が直線であるならばより好都合であり、その点において「定義された」偏光はその場合にまた光ベクトルの振動方向の空間的な位置が実際の干渉計の入力においてビームデバイダに関連して固定される。
　本発明の第１の変形例によれば、その偏光手段はレーザ光供給用の１または複数の可撓性の光フアイバの下流にかつ測定および基準ビームへの分割用ビームデバイダの上流に配置される。それゆえ偏光装置は１または複数の光フアイバの、ビームデバイダに向かっている端部と、好ましくは光ファイバの近傍において、ビームデバイダとの間に配置される。後述される本発明の他の変形例は、実質上レーザ光供給用の１または複数の可撓性の光フアイバの、光源に向いている端部の上流に偏光手段を配置し、ビームデバイダの入口の近傍において偏光条件を検出し、そして調整手段によつて、ビームデバイダの入口でのレーザ光の偏光が固定されるように偏光手段により発生されるレーザ光の偏光を調整することを提供する。
　注意はまず偏光手段がビームデバイダに向かっている１または複数の光フアイバの端部と、ビームデバイダそれ自体との間に配置される状態に向けられる。全体として偏光手段がビームデバイダに関連して定義された位置に保持されるとくに好都合な構成は干渉計の偏光手段、１または複数のビームデバイダ、１または複数の再結合装置および多分さらに他の光学要素が堅固に干渉計ヘツドハウジングまたはキヤリヤに接続されるかまたはその中に固定して配置されることを提供し、そこで干渉計ヘツドは該干渉計ヘッドの外部に配置されるレーザ光源から１または複数の可撓性の光フアイバによつてレーザ光により供給される。干渉計ヘツドハウジングは、環境的要因および機械的な作用に関連して、その中に配置される光学要素用の良好な保護を提供する。干渉計ヘツドハウジングにおいてはとくに個々の光学要素を接続する光フアイバが、例えば接着剤により、干渉計ヘツドハウジングまたはキヤリヤに堅固に接続されることが可能であり、その結果光フアイバは、極端な機械的作用にも拘わらず、干渉計ヘツド内の所定位置におけるどのような移動も受けることができない。理解されることは、所定位置におけるかかる移動が偏光条件または干渉信号の望まない変化を生じかつしたがつて測定結果の偽造を結果として生じるということである。干渉計ヘツドが光が例えば結合出口（カツプリングアウト）レンズによつて測定部分上に通されかつ結合入口（カツプリングイン）レンズによつて測定ミラーでの反射後再び測定部分からヘッドに結合されるその種類の簡潔な性質からなるとき、それは光電評価装置がまた干渉計ヘツドの外部でそれ自体公知の方法において配置されかつ可撓性出力光フアイバによつて干渉計ヘツドから光干渉信号を受信するならば好都合である。再結合装置から到来する光干渉信号がその場合に、改善された評価、例えば可動測定ミラーの前進−後退検出器を許容する２つの移相された偏光成分に分割される場合に、それがそれらの軸線が互いに垂直でありかつビームデバイダの入口で偏光手段により画成される直線偏光方向に対して４５°にある偏光フイルタにより行われるならば好都合である。それらの偏光フイルタが干渉計ヘツド内に配置されるならば、干渉計ヘツドから光電評価装置に進む可撓性出力光フアイバの偏光特性が好都合に役目を果たさない。
　既述のごとく、干渉計のビームデバイダの入口での偏光手段の最も必須の目的は、定義された偏光条件、とくに予め定めた振動方向による直線偏光を確立することである。偏光手段が重大な欠点を伴うことなしに実際の状況において使用できるように、それは好適な特徴によれば偏光手段が常にその入口においてレーザ光の好適な直線偏光条件に拘わらず光を伝送する場合に望ましくかつ偏光手段の出力での光は定義された、好ましくは直線偏光を有する。明らかにその特徴は光が、偏光器の方向に対して垂直に、到来光の偏光の場合には伝送されないため簡単な偏光器それ自体によつて実施されることができない。しかしながら、その特徴は、偏光手段のより熟練した配置により、比較的簡単な手段を使用して実施され得る。その観点における実施例は後で詳細に説明される。干渉計の作動にとくに望ましいものは、絶対に必要とはしないが、偏光手段から好ましくは直線的に偏光される条件において発するレーザ光が、少なくとも偏光手段の入口でのレーザ光が直線的に偏光されるとき、偏光手段の入口でレーザ光の偏光から独立しているようになつている偏光手段の構成である。
　発しているレーザ光が、到来するレーザ光の直線偏光に拘わらず、同一の直線偏光方向および同一のレベルの強度からなる簡単な偏光手段は、実質上１／４波長の板およびその下流に配置される偏光器からなり、その軸線は互いに４５°になつている。偏光器は出力で直線偏光方向を画成しかつ１／４波長板は偏光手段の出力での光レベルの強度が偏光手段の入口で直線偏光から独立していることを提案する。
　レーザ光供給光フアイバの、ビームデバイダに向かつている端部と、ビームデバイダとの間に配置されることができる本発明による偏光手段のさらに他の好適な実施例は、偏光手段が可撓性の光フアイバまたはそれに接続されたフアイバから到来するレーザ光を拡張または分割する手段を有し、偏光手段が、その各々を通ってビーム部分が通過する互いに垂直に配置された偏光方向を備えた２つの偏光器を有し、該偏光器の下流に配置されるのが前記２つの偏光器に対して４５°に方向付けられかつそれを通って２つのビーム部分が通過する少なくとも１つの偏光器であり、そして最後に前記偏光器を通過した後２つのビーム部分をまとめるための手段が設けられることを提案する。
　本発明による偏光手段の実施例により、状況が２つのビーム部分がまとめられるとき完全な破壊干渉を伴わないことを保証するために、レーザ光の付与された入力偏光条件を取り扱うとき、２つのビーム部分がその再結合時異なる強度からなるように設けるのが望ましい。それは２つのビーム部分の一方の部分的な減衰により達成されることができる。しかしながら、そのために拡張されたレーザ光ビームが異なる大きさの区域で２つの互いに垂直に配置された偏光器において受光されるように設けられるならばより望ましい。
　本発明による偏光手段のさらに他の好適な実施例は偏光手段が入射レーザ光を互いに垂直に直線的に偏光される２つのビーム部分に分割するための分割手段を有し、加えて２つのビーム部分の少なくとも一方の偏光方向を反転するための偏光反転手段が設けられ、そして出力端に設けられるのが偏光反転出力によりそれらの直線偏光方向によつて互いに平行関係に反転されるビーム部分を重畳するための再結合手段であることを提案する。それらの偏光方向によつて平行な関係において反転される２つのビーム部分の再結合時幾つかの入力偏光作用との完全に破壊する干渉を回避するために、この実施例の偏光手段は再結合の上流の２つのビーム部分の間のまたは再結合時の位相差を調整するための手段を含むことができる。その調整手段は例えば光電要素または２つのビーム部分に関して幾何学的な走行長さ差異を変更する圧電素子であつてもよい。その再結合においてまたはその前に２つのビーム部分間の差を変化するためのそれらの素子は簡単でかつ精密な方法において調整可能である。好適な実施例によれば、それらの要素または２つのビーム部分に関連して位相差が直接または偏光手段の出力において直線的に偏光されたレーザ光の強度に依存して間接的に調整される。「直接的な」調整は偏光手段を出ているレーザ光の出力強度を検出しかつ例えば出力強度が最大であるようにその再結合の前のまたは再結合時の２つのビーム部分間の差を調整することにより可能である。発しているレーザ光の強度のレベルの「間接的な」調整は例えば２つのビーム部分がビームデバイダにおいて再び結合されるとき可能である。それらの出力の１つは偏光手段の出力を形成する一方他の出力は２次出力である。その２次出力での光の強度のレベルが実際の調整値またはパラメータとして検出されるならば、それは２次出力において強度のレベルを最小にすることにより可能であり、それにより偏光手段の出力を示す補完の主出力での強度のレベルを間接的に最大にする。
　本発明のさらに他の利点および特徴を以下の特別な記述においてより詳細に説明する。
図面の簡単な説明
　図面において、第１図は本発明による干渉計の実施例を示す概略平面図、第２図は本発明による偏光手段の実施例の必須の光学要素を示す概略斜視図、第３図は本発明による偏光手段の実施例を示す長手方向断面図、第４図は本発明による偏光手段のさらに他の実施例を示す斜視図、第５図は本発明による偏光手段のさらに他の実施例を示す概略平面図、第６図は光フアイバの設計構成を示す概略図、第７図はさらに他の実施例の概略平面図、そして第８図は本発明による干渉計のさらに他の変形例を示す概略図である。
発明を実施するための最良の形態
　第１図に示した干渉計は干渉計ヘツド１、該干渉計ヘツド１にレーザ光を供給するレーザ光源２（例えばヘリウムネオンレーザまたはレーザダイオード）および干渉計ヘツドから到来する光学干渉信号の評価のための光電検出および評価装置３からなる。干渉計ヘッド１は金属からなる閉止ハウジング４により閉じ込められかつその内部に単一モードのグラスフアイバにより接続されかつ後でより詳細に説明される複数の光学要素を収容する。可撓性の光フアイバ５によつて干渉計ヘツド１に供給されるレーザ光源２からのレーザ光は後でより詳細に説明される偏光手段によつて測定ビームおよび基準ビームに分割するビームデバイダ７へ進む。２部分からなるフアイバコネクタ６ａ，６ｂが光フアイバ５の解放可能な接続のために設けられる。
　測定ビームは干渉計ヘツドの外部に配置されかつ周囲媒体中に延在する測定部分上に単一モードグラスフアイバ８および結合出口レンズ９（屈折率分布型レンズ）によつて通される。基準ビームは干渉計ヘツド１内の基準ファイバ１０内に延在する。干渉計１２は二重矢印により示される方向に移動可能である要素（図示せず）に固定される。干渉計１２は、ビーム移動により、測定ビームを干渉計ヘツド１に反射する。測定ビームは別個の結合入口レンズ１３によつてグラスフアイバ１４へ通過する。レンズ９および１３の整列および固定はレンズホルダ９ｂおよび１３ｂ、ならびにそれに接続されるそれぞれフアイバホルダ９ａおよび１３ａによつて行われる。フアイバカプラの形である再結合装置１５において、測定部分から戻る測定ビームおよび基準フアイバ１０内に案内される基準ビームが干渉させられる。２つのさらに
　他のビームデバイダ１８および１９が再結合装置１５の２つの補完出力１６および１７に接続される。移相された光学干渉信号は偏光フイルタ２０ａ−ｄを経由して検出装置３に進みかつ２部分からなる多重フアイバコネクタ２２ａ，２２ｂを経由してハウジング４に解放可能に接続される可撓性光フアイバ２１’ａ−ｄに通る。干渉計１２の移動走行に加えて、干渉信号の移動方向および変調作用は相対的に互いに９０°移相される４つの干渉信号から公知の方法において確かめられることができる。そのために偏光フイルタ２０ａ−ｄは偏光手段１１により確立される直線偏光方向に対して４５°に方向付けられる。２つの偏光要素が同一測定部分を通過する。例えばλ／４板（１／４波長板、図示せず）が相対的に９０°を通る偏光方向の位相移動を発生するために基準通路１０内に配置されることができる。しかしながら、その位相移動が例えば干渉計１２それ自体に他の要素によつて発生されることができる。
　フアイバコネクタ２３に加えて、検出装置３は４つの光検出器２４ａ−ｄを有する。それら４つの光検出器２４ａ−ｄは電子ユニツト３ａにより評価される電気信号を光学干渉信号から発生する。結果（干渉計１２の位置）は表示装置２５によつて表示される。
　第１図に示した実施例において、平らな底部４ａを備えた、ハウジング４は、ビームデバイダ７および再結合装置１５が、例えば接着剤によつてそれに堅固に接続される堅固なキヤリヤ本体を形成する。測定ビームを搬送する光フアイバ部分８および１４および基準ビームを搬送する基準フアイバ１０はまた、例えば接着剤によつて、キヤリヤまたはハウジング底部４ａに堅固に接続される。かくして基準および測定ビームは干渉計ヘツド１内で空間的に別個な関係において延在する臨界領域内で最初に可撓性の光フアイバ部分８，１０および１４の位置の変化をすることができない。より詳細にはかかる位置の変化は光フアイバ部分の光学特性（例えば偏光）を変化しかつしたがつて望ましくなく再結合装置１５によつて発生された光学干渉信号を変更しかつしたがつて測定結果を偽造するかも知れない。
　全体としてビームデバイダ７、再結合装置１５、２つのレンズ９および１３、測定ビームを搬送する光フアイバ部分８および１４および基準ビームを搬送する基準フアイバ１０は干渉計ヘツドハウジング４（キヤリヤ本体）に堅固に接続され、かくして圧力、衝撃および衝突に感応しない要素を提供する。その機械的な作用に対する不感度は干渉計ヘツド内の他の要素および光フアイバがまた、例えば接着剤によつて、それに堅固に接続されるということによりさらに高められる。とくに干渉計ヘツドハウジング４にそれぞれ堅固に接続される光フアイバ５ａおよび２６が干渉計ヘツド１の入口２８からかつそれからビームデバイダ７へそれぞれレーザ光を案内するために設けられ、そして装置はまた再結合装置１５の下流の光学干渉信号を出力２９へ案内するためにハウジング４にまた堅固に接続される光フアイバ１６，１７および２１ａ−ｄを有する。加えて、例えば解放可能に閉止されるカバーにより密封して閉止されることができる実質上閉止されたハウジング４が機械的な干渉作用からの保護を付与する。加えて、かかるハウジングは環境条件の変動に対する感度の欠陥を強調する。
　干渉計ヘツド１内の光フアイバは実質上１平面（ハウジング４の平らな底部４ａ上に横たわる）内に配置され、かくして光フアイバ内で搬送されたレーザ光の偏光条件のどのような制御されない変化をも回避する。
　機械的な作用に関連する不感度が光学要素および光フアイバを適宜に固定することにより干渉計ヘツド１内で比較的容易に達成されることができる一方、それはレーザ光源２から干渉計ヘツド１へのレーザ光の供給に役立つ可撓性の光フアイバを有する場合ではない。それに反して、位置およびねじれの変化によりかつ可撓性光フアイバ（本実施例において、好都合な光ガイド特性のため、好ましくは単一モードのグラスフアイバ）上の機械的な圧縮および伸張負荷により、干渉計ヘッドに向かっている可撓性光フアイバ５の出力での偏光条件の変化がある。干渉計またはビームデバイダ７の入口でのレーザ光の偏光条件のそれらの変化が測定結果の許容し得ない偽造を生じる。それを回避するために、本発明によれば、本実施例において可撓性光フアイバ５またはそれに接続されるフアイバ５ａと、ビームデバイダ７との間に配置される偏光手段１１が設けられる。後でより詳細に説明されるこの偏光手段は、その入力での光の偏光条件に関係なく、その振動方向によつて定義されるレーザ光の直線偏光が偏光手段の出力においてまたは干渉計のビームデバイダ７の入口において発生することを提案する。干渉計ヘツドハウジング４内に配置されかつその中で保護される偏光手段１１はその必須の偏光−光学要素によつて第２図にかつその構造によつて第３図に対応する。
　第１図の偏光手段の必須の偏光−光学要素は第２図に示される。それらは１／４波板３０およびレーザ光がそれを通って参照符号３２により示される方向に通過する偏光器３１である。複屈折１／４波板の光軸３３は符号３４で示される偏光器３１の方向に対して４５°である。偏光器は偏光手段の出力において定義された直線偏光を提供する一方１／４波板３０は出力での光効率またはパワーが偏光手段に入るレーザ光が幾つかの方向に直線的にのみ偏光される限り偏光手段の入力での偏光に関係ないことを提供する。しかしながら、第２図に略示される偏光手段の入力において非直線偏光条件の場合において、出力偏光はいずれの場合においても直線的でありかつ偏光器３１により確立された方向３４にある。出力での強度のレベルがゼロになることができるのは、第２図に示した簡単偏光手段の入力において付与された円形の偏光の場合においてのみである。確かに実際に稀に発生するこの状況においてそれを回避するために、例えば１／４波板３０が偏光器３１に対して回転させられることが可能であり、その場合に固定の直線出力偏光方向が維持される。第３図に略示される１／４波板３０および偏光器３１は、第３図に示されるように、機械的なホルダ３５内に配置される。第３図に示される偏光手段１１の入口に配置されるのは光フアイバ５ａから発する光ビームを視準する（それを拡張しかつそれを平行ビームとして光学要素３０および３１を通過する）視準レンズ３６（屈折率分布型レンズ）である。光フアイバ５ａは接着剤３７によつて屈折率分布型レンズ３６に貼り付けられる。直線偏光条件（第１図参照）を維持しながら、定義された直線偏光条件において偏光手段から発するレーザ光がビームデバイダ７に供給されるようにするために、その位置によつて堅固に固定されかつ１平面内に置かれる光フアイバ２６が設けられる。その光フアイバに代えて、また偏光−維持フアイバを使用することができる。いずれにおいても偏光手段１１が偏光手段により確立される定義された直線偏光がまた実際に入口においてビームデバイダ７に発生するようにビームデバイダ７の近傍に配置されるならば望ましい。レーザ光を光フアイバ２６に結合するために、装置は屈折率分布型レンズの形でありかつ光フアイバ２６がそれに接着剤３９により接着される結合入口レンズ３８を有する。
　屈折率分布型レンズ３６および３８は管形状のホルダ３５内に容易に嵌合しかつ例えばその中にしっかり接着することができる筒状の外部寸法を有する。この簡単な筒状ホルダ３５は偏光手段１１の光学要素の最適なかつ永続的な整列を保証する。それゆえ全体的に偏光手段１１−それを通る光のの通路の方向に検討されるとき−はその入口端で視準レンズ３６、１／４波板３０、偏光器３１および出力側で結合入口レンズ３８を光をビームデバイダ７に進む光フアイバ２６に結合するために有する。端面からレーザ光源への逆反射を回避するために、光フアイバ５ａはまた僅かに偏心した関係においてレンズ３６に接着されることができる。
　第３図に示される実施例において１／４波板３０および偏光器３１は別個の形状の要素である。偏光器に対して４５°に方向付けられる「１／４波板」の組み合わせはまた箔として得られることができそして確かにここで使用されることができる。
　第４図はさらに他の実施例の概略図であり、実際の状況において確かに好都合である光学要素用ホルダは簡略化のために示してない。第４図に示した実施例は光フアイバ５ａから到来するレーザ光ビームの拡張のための収束レンズ３６’の形の装置を有する。該収束レンズ３６’には２つの密接して並置された偏光器４０および４１が続き、その偏光方向は互いに垂直である。光ビームは遭遇しかつ区域４０ａにおいて左方偏光器４０をかつ区域４１ａにおいて右方偏光器４１を通過する。２つの偏光器４０および４１の後ろに配置されるのはそれらの２つの偏光器４０および４１に対して４５°に方向付けられかつ収束レンズ３８’がそれに続く偏光器４２であり、収束レンズ３８’はビームデバイダ７に進む光フアイバ２６に２つのビーム部分（偏光器４０を通過したビームの左方半分および偏光器４１を通過したビームの右方半分）を共同して結合する。２つのビーム部分がまとめられる（光フアイバ２６への共同結合）とき、偏光手段での幾つかの入力偏光作用を伴っている状況において完全に破壊する干渉を防止するために、拡張されたレンズ光ビームが、第３図に示した状況と異なって、異なる大きさの区域４０ａおよび４１ａで２つの互いに直角の偏光器を含むことを提案することができる。しかしながら、また２つのビーム部分の一方を部分的に減衰するかまたは偏光器４０または偏光器４１に平行に向けられかつ例えば偏光手段からの出力強度に依存して調整される光電板をビーム通路に設けることができる。
　第５図は本発明による偏光器のさらに他の実施例の概略平面図である。視準レンズ３６により拡張される光ビームは光を図面の平面に対して垂直に直線的に偏光されるビーム部分４４ａおよび図面の平面において直線的に偏光されるビーム部分４４ｂに分割する偏光ビームデバイダ４３に進む。半波板４５はビーム部分４４ａがビーム部分４４ｂに対して平行に今や偏光されるようにビーム部分４４ａの偏光方向を９０°回転する偏光反転手段として作動する。同一方向に今や偏光される２つのビーム部分は方向変換ミラー４６および４７によつてビームデバイダの形でありかつそこで２つのビーム部分が再結合される再結合装置４８上に通る。パワー損失は２つのビーム部分が主出力４９において建設的に干渉しかつ２次出力５０において破壊的に干渉するとき回避される。それは２つのビーム部分の位相差または光波長差を調整する調整装置によつて達成されることができる。第５図に示される実施例の場合において、調整は主出力において直線的に偏光されたレーザ光の強度レベルに依存して間接的に行われる。２次出力５００強度は光検出器５１によつて検出されかつ測定信号は調整装置５２に通される。調整装置はビーム部分４４ｂの通路に配置されかつ２次出力５０での強度レベルが最小であるような方法においてそのビーム部分に関して光の波長を変更する光電素子５３を制御する。それは補完の主出力４９での強度レベルが最大であることを保証する。１／４波板５４がまた変更ビームデバイダの上流に設けられる。直線入力偏光時、その１／４波板は２つのビーム部分４４ａおよび４４ｂの強度レベルがそれらが２次出力５０において完全に破壊的に干渉することができるように同一であり、それにより強度の最大レベルが主出力において利用可能であることを提案する。また幾つかの円形偏光作用の場合において両ビーム部分に対して均一の分割を提供するために、１／４波板は多分またビーム通路から回転または移動可能になされることができる。
　本発明による偏光手段はまた単に光フアイバ要素により構成されることができ、その場合に偏光手段の光は光導波管、好ましくは光フアイバ内で安定して案内される。光フアイバ設計形状を使用するとき、光学要素の相互の調整は望むように除去される。第６図に示される実施例において、光フアイバ５ａによつて供給されるレーザ光を互いに垂直な関係において直線的に偏光される２つのビーム部分に分割する光フアイバ偏光ビームデバイダ４３’が設けられる。それら２つのビーム部分は２つの偏光維持フアイバ５８ａおよび５８ｂに案内される。光フアイバ５８ｂは互いに垂直な関係において最初に偏光される２つのビーム部分が次いで互いに平行な関係において偏光されるような方法で反転される。偏光維持光フアイバ５８ａおよび５８ｂは接続位置（スプライス位置５７ａおよび５７ｂ）によつて２×２方向カプラ４８’に至る光フアイバ５９ａおよび５９ｂにそれぞれ接続される。２×２方向カプラ４８’は再結合装置として役立ちかつ光フアイバ２６に進む主出力および光電ダイオード５１’に進む２次出力を有する。２つのビーム部分がファイバカプラ４８’において建設的に干渉する（光電ダイオード５１’において干渉最小）のを保証するために、２つのビーム部分アームにおける相対的な光の位相は正しい値に調整されねばならない。それは例えばフアイバ５９ｂで圧縮することにより行われ得る。調整装置５２’および圧電結晶６０によつて、方向カプラ４８’の２次出力で光電ダイオード５１’が印加された圧力かつそれとともに２つのビーム部分間の相対的な位相差を調整するとき、出力光フアイバ２６上の入力偏光に関係なくレーザ光の定義された直線偏光を保証する実際に調整された偏光手段を設けることができ、その場合にレーザ光は常に最大強度からなる（光電ダイオード５１’での強度の最小レベルに対する調整）。
　本発明は図示実施例に限定されるものでないことは明らかである。例えば、また偏光感知ミラーまたは他の偏光感知要素を使用することも可能である。実際の干渉計の構造はここでは本発明に必須であるようには重要でない。例えば干渉計は各々それぞれのビームデバイダから出発しかつ測定部分から戻る測定ビームの部分とそれらの固有の再結合装置において再結合される複数の基準分岐を有することができる。重要な事柄は実際の干渉計の入口においてレーザ光の定義された、好ましくは直線の偏光条件を確立偏光手段が設けられるということである。単一モードのグラスフアイバ以外の光フアイバも確かに考えられることができそしてレーザ光源からのレーザ光の供給に可能である。
　特定の実施例が第７図に示され、図において同一参照符号は第１図に現れる同一または同等の要素を示す。第１図の実施例に関連する実質的な差は偏光維持供給光フアイバ５’の使用にある。参照符号１１により総括的に示される偏光手段は単一偏光器６５である。この実施例において偏光維持フアイバ５’の出力での例えば直線偏光はほぼ固定されることのみ必要であり、それは低い調整費用のレベルで達成されることができる。例えば簡単な直線偏光器にすることができる偏光器６５はその場合にビームデバイダ７の上流の正確に定義された偏光作用を一定にする。偏光維持フアイバ５’は偏光器６５に供給された光が偏光器がいずれの場合にも光を伝達するように偏光器６５の偏光方向に十分な成分を含むことを保証する。例えばフアイバ５’の出力での直線偏光手段が偏光器６５の下流で、正確に定義された偏光により、それに衝突する光強度の大部分を有するために偏光器６５の偏光方向に対して±２０°にその値を固定すれば全く十分である。干渉計ヘツドの光フアイバ５ａは偏光維持することができる。しかしながら、干渉計ヘツドへの通常の単一モードのフアイバの格子接続により、また、偏光維持フアイバ５’の出力から、偏光器６５への十分に正確な偏光方向を有する光を供給することができる。偏光手段が干渉計に向いている可撓性の光フアイバの端部と、ビームデバイダとの間に配置される上述した実施例に加えて、また、第８図に示される偏光手段の装置に関して選択的なオプシヨンがある。より詳細には、本発明のこのさらに他の変形例によれば、偏光手段１１がレーザ光の供給のために可撓性の光フアイバ５の、光源に向いている端部の上流に配置され、レーザ光の偏光条件を検出するための装置６６は１または複数の可撓性の光フアイバの下流にかつ好ましくはビームデバイダ７の近傍に配置され、そして発している光の偏光条件によつて調整可能である偏光手段１１は予め定めた、好ましくは直線偏光のレーザ光が常にビームデバイダ７の入口に進むような方法において検出された偏光条件に依存して調整装置６８によつて調整されることが提案される。補助ビームデバイダ６７は、レーザ光の１部分を偏光検出装置６６に分岐するように、干渉計ヘツドのビームデバイダ７の上流に配置される。電線６９は装置６６の出力を調整装置６８の入力に接続する。発している光の偏光条件によつて調整されるべくなされる偏光装置１１は発しているレーザ光の偏光条件を変化するために好都合な光電および／または機械的に調整可能な要素からなる。出力偏光を調整するためのかかる装置は当該技術に熟練した者には公知であり、そして同様に偏光条件を検出するための装置、かつそのためにかかる装置はここでは詳細に説明しない。しかしながら、より複雑な構造および所定の活発な調整のため、上述した実施例は確かに特別な場合にのみ使用されることができる。しかしながらこの実施例はかかる特別な場合において確かに好都合である。
（５７）【特許請求の範囲】
　１．−そのハウジングまたはキヤリヤにレーザ光を測定ビームと基準ビームに分割するビームデバイダ、および再結合装置が堅固に接続され、可動測定ミラー等を経由して通される測定ビームおよび固定基準部分を経由して通される基準ビームが少なくとも１つの光学的干渉信号を形成する再結合装置において干渉する干渉計ヘツド、
　−レーザ光送給用の少なくとも１つの可撓性の光フアイバが干渉計のレーザ光源と、ビームデバイダとの間に配置される干渉計ヘツドの外部に配置されるレーザ光源、
　−および再結合装置からの１または複数の干渉計信号の評価のための光電検出装置からなる可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計において、
　レーザ光供給用の１または複数の光フアイバ（５）の下流にかつビームデバイダ（７）の上流に
、該ビームデバイダ（７）の入口においてレーザ光を直線偏光するための、１／４波長板（３０）とその下流側に配置される偏光器（３１）とを各光軸が互いに４５°交差するように配置して構成される偏光手段（１１）を干渉計ハウジングまたはキヤリヤ（１または４）に接続した
　２．前記偏光手段の入口に配置されるのが可撓性光フアイバ（５）またはそれに接続されたフアイバ（５ａ）から発している光ビームを視準するための視準レンズ（３６，３６’）であることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計。
　３．前記視準レンズ（３６，３６’）が好ましくは筒状外部形状を有する
屈折率分布型
　４．前記光フアイバ（５ａ）が前記
屈折率分布型
　５．前記偏光手段（１１）の１／４波板（３０）、偏光器（３１）、視準レンズ（３６）及び結合入口レンズ（３８）が機械的なホルダ（３５）内に調整可能にまたは堅固に保持されることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第４項のいずれか１項に記載の可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計。
　６．例えば管の形である前記ホルダ（３５）は、前記１／４波板（３０）、前記偏光器（３１）、前記視準レンズ（３６）及び前記結合入口レンズ（３８）がそれに嵌合される少なくとも１つの筒状孔を有することを特徴とする請求の範囲第５項に記載の可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計。
　７．再結合装置（１５）から到来する光学干渉信号が２つの移相された偏光成分に分割されかつ各成分が偏光フイルタ（２０ａ−ｄ）によつて案内され、２つの偏光フイルタ（２０ａ−ｄ）の軸線が互いに直交しておりかつ前記ビームデバイダ（７）の入口で前記偏光手段（１１）により画成されるその直線偏光方向に対して４５°にあることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第６項のいずれか１項に記載の可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計。
　８．前記偏光手段（１１）が可撓性の光フアイバ（５）またはそれに接続されたフアイバ（５’）から到来するレーザ光を拡張または分割する手段（３６’）を有し、前記偏光手段（１１）が、その各々を通ってビーム部分が通過する互いに垂直に配置された偏光方向を備えた２つの偏光器（４０，４１）からなり、該偏光器（４０，４１）の下流に配置されるのはまた前記２つの偏光器（４０，４１）に対して４５°に方向付けられかつそれを通って２つのビーム部分が通過する少なくとも１つの偏光器（４２）であり、そして最後に前記偏光器（４０，４１，４２）を通過した後前記２つのビーム部分をまとめるための手段（３８’）が設けられることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第７項のいずれか１項に記載の可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計。
　９．前記偏光手段（１１）が入射レーザ光を互いに垂直に直線的に偏光される２つのビーム部分（４４ａ，ｂ）に分割するための分割手段（４３）を有し、さらに２つのビーム部分の少なくとも一方（４４ｂ）の偏光方向を反転するための偏光反転手段（４５）が設けられ、そして出力端に設けられるのが偏光反転出力によりそれらの直線偏光方向によつて互いに平行関係に反転されるビーム部分（４４ａ，ｂ）が重畳される再結合手段（４８）であることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第７項のいずれか１項に記載の可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計。
　１０．前記偏光手段（１１）が２つのビーム部分（４４ａ，ｂ）の再結合前または再結合時それらの間の位相差を調整するための装置（５３）を有することを特徴とする請求の範囲第８項または第９項に記載の可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計。
　１１．−そのハウジングまたはキヤリヤにレーザ光を測定ビームと基準ビームに分割するビームデバイダ、および再結合装置が堅固に接続され、可動測定ミラー等を経由して通される測定ビームおよび固定基準部分を経由して通される基準ビームが少なくとも１つの光学的干渉信号を形成する再結合装置において干渉する干渉計ヘツド、
　−レーザ光送給用の少なくとも１つの可撓性の光フアイバが干渉計のレーザ光源と、ビームデバイダとの間に配置される干渉計ヘツドの外部に配置されるレーザ光源、
　−および再結合装置からの１または複数の干渉計信号の評価のための光電検出装置からなる可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計において、
　偏光手段がレーザ光供給用の１または複数の可撓性の光フアイバの、光源に向いている端部の上流に配置され、レーザ光の偏光条件を検出するための装置が、好ましくはビームデバイダの近傍において、１または複数の可撓性の光フアイバの下流に配置され、そして発している光の偏光条件によつて調整されるべくなされる前記偏光手段が予め定めた好ましくは直線偏光のレーザ光がビームデバイダの入口に一定に進むような方法において検出された偏光条件に依存して調整されることを特徴とする可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計。
　１２．前記偏光手段が発している光の偏光条件を変化するための光電要素および／または機械的に調整可能な要素を有することを特徴とする請求の範囲第１１項に記載の可動測定ミラー等の位置または移動走行決定用干渉計。