【事件の表示】
　特許第２８０９５１７号「分岐合波光導波回路」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２８０９５１７号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理由】
１・手続の経緯
　特許第２８０９５１７号の特許請求の範囲の請求項１乃至３に係る発明は、平成２年１２月１０日に特許出願され、平成１０年７月３１日にその特許の設定登録がなされ、その後、河原　浩人より特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年９月７日に訂正請求がなされ、さらに、訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１０月１９日に補正がなされたものである。
２・訂正の適否についての判断
（１）補正の適否
　上記補正は、訂正請求書の訂正事項の明りょうでない記載の釈明をおこなうものである。
　したがって、上記補正は、訂正請求書の要旨を変更するものではないので、当該補正を認める。
（２）訂正の内容
　前記補正により本件訂正は、特許明細書の請求項１を下記「」のとおりに訂正し、これに伴い特許明細書の【００１３】の欄を訂正しようとするものである。
「【請求項１】　主導波路にテーパ導波路を接続すると共に該テーパ導波路の分岐点に、変曲点を有する複数の分岐光導波路を接続し、更に前記分岐光導波路にそれぞれ出力導波路を接続してなる分岐合波光導波路において、前記分岐光導波路の変曲点及び前記出力導波路との接続点に軸ずれを設け、前記テーパ導波路の分岐点における前記分岐導波路の間に前記分岐光導波路の界分布のピークのずれを補填するよう隙間を設けたことを特徴とする分岐合波光導波回路。」
（３）訂正の目的の適否
　訂正後の特許請求の範囲の請求項１は、特許明細書の請求項１の「隙間」をさらに限定するもので、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許明細書の【００２５】の記載からみて、願書に添付した明細書に記載された事項の範囲内のものである。
　又、特許明細書の【００１３】の欄の訂正は、特許請求の範囲の訂正に伴って、これに整合させるために【課題を解決するための手段】の欄を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当し、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、願書に添付した明細書に記載された事項の範囲内のものである。
（４）独立特許要件について
　［本件訂正発明］
　本件訂正発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載された事項により特定されるとおりのものと認める。（請求項１については、上記２．（２）訂正の内容の【請求項１】参照。）
　［引用刊行物に記載された事項］
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物１：１９９０年電子情報通信学会春期全国大会、
講演論文集、分冊４、通信・エレクトロニクス（１９９０年３月１８日〜２１日開催）
Ｃー１８６　「Ｙ分岐導波路の低損失化」には、「分岐導波路形状は低損失化のため、分岐点で波面が徐々に傾く、円弧により構成（２）した（図１）ここで、構造パラメータの曲率半径と共に、製作のバラツキを考慮して比屈折率差、分岐部のなまり幅についても検討した。・・・図より分岐損失は、２．０μｍ幅以下では変化が少なく、これ以上では単調に増加する。・・・その結果、波長１．３μｍ，１．５５μｍにおいて分岐損失０．２ｄＢ以下を実現するためには、・・・▲３▼分岐点のなまり幅を２．０μｍ以内とする、ことが明らかとなった。よって、本構造は、分岐部において微細な構造を含まないため、Ｙ分岐導波路の製作容易性及び再現性に対し有利であると言える。」と記載されている。又、図１には、主導波路と分岐導波路の間にテーパ導波路に相当する部分を介在したＹ分岐導波路が図示されている。
　同じく、引用した刊行物２：ＩＥＥ　ＰＲＯＣＥＥＤＩＮＧＳ−Ｈ　ＭＩＣＲＯＷＡＶＥＳ，ＯＰＴＩＣＳ　ＡＮＤ　ＡＮＴＥＮＮＡＳ．Ｖｏｌ．１２９，ＰａｒｔＨ，Ｎｏ５，１９８２年１０月発行、第２７８頁〜第２８０頁には、カーブした光導波路の伝送ロスを低減する技術が開示されており、特に、第２７８頁のアブストラクトの欄には、
「異なった曲率を持つ２本の単一モード導波路の接続点では、光の放射損失が発生する。この放射損失を低減させるために、曲率の中心方向にそれぞれの導波路を軸ずれさせる手段を提案する。軸ずれ量は、光パワーピーク中心と導波路軸中心とのシフト量と一致させる。」と記載されている。
　同じく、引用した刊行物３：１９９０年電子情報通信学会春期全国大会、講演論文集、分冊４、通信・エレクトロニクス（１９９０年３月１８日〜２１日開催）Ｃ−２０４　「アンテナ結合型Ｙ分岐光導波路の低角度分岐における最適設計」には、アンテナ結合型Ｙ分岐光導波路の分岐形状を最適化することで分岐損失を低減できることが開示されている。又、図１には、最適構造のＹ分岐導波路として、直線状の光導波路の一端両側面部に直線状の分岐用光導波路を、両分岐用光導波路が２θの角度をなすように、それぞれ接続したＹ分岐導波路において、前記直線状の光導波路の一端から幅２Ｗのスリットが設けられ、前記分岐用光導波路間の隙間を構成していることが図示されている。
　同じく、引用した刊行物４：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ，Ｖｏｌ．１９，Ｎｏ２４，Ｎｏｖ．１９８３　発行、第１００９頁〜第１０１０頁には、Ｙ分岐に代表される分岐回路の特性（特に分岐比）を安定化させる技術が開示されている。特に、第１００９頁左欄本文第６行乃至第２５行には、
「・・・Ｙ分岐導波路は・・・光の入射条件・・・を変化させるとその分岐比がばらつく問題が知られている。・・この問題を回避するにはとても長い混合領域や小さい分岐角度を採用することにより可能であるが、デバイスサイズが大きくなる結果を招くことになる。マルチモードファイバにおけるこの問題を回避する方法として、モードスクランブラーが知られている。・・・このモードスクランブラーは図１に示すようにくねくねした形状を有して・・・構成されている。・・・」と記載されている。
　同じく、引用した刊行物５：Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ，Ｖｏｌ．５６，Ｎｏ２，１９９０年１月８日発行、第１２０頁〜第１２１頁には、分岐部分の直前に高次モード除去領域を配置する技術即ちモード安定化領域を設ける技術が開示されている。特に、図１には、高次モード除去領域で、幅広のリン系ガラス（幅７μｍ）が幅細（幅５μｍ）に先細り加工されていることが図示されている。
　同じく、引用した刊行物６：光集積回路、昭和６０年２月２５日、株式会社オーム社発行、第２章には、「光導波路の理論」と題し、導波モードの分散特性、及び曲がり導波路の放射損失に関する事項が開示されている。
　同じく、引用した刊行物７：１６ｔｈ　Ｅｕｒｏｐｅａｎ　Ｃｏｆｅｒｅｎｃｅ　ｏｎ　Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ（１９９０年９月１６−２０日開催）１７５〜１７８頁には、方向性結合器のＳベンド特性が検討され、特に第１７７頁のｆｉｇ．４には、Ｓベンドの変曲点部に軸ずれを起こさせる点、及びＳベンドと直線導波路との接続点に軸ずれを起こさせる点が記載されている。
　［対比・判断］
　本件の請求項１に係る訂正発明（以下「本件訂正発明１」という。）と上記各引用刊行物記載の発明とを対比する。
　先ず、刊行物１記載の発明は、テーパ導波路の分岐点における分岐導波路の間に２μｍ以下のなまり幅（本件訂正発明の「隙間」に相当）を許容する点で、本件訂正発明１と類似する。しかし、刊行物１記載の発明は、単に、製造上の許容誤差の範囲を示すものにすぎず、本件訂正発明１の構成要件である「テーパ導波路の分岐点における前記分岐導波路の間に前記分岐光導波路の界分布のピークのずれを補填するよう隙間を設けた」（以下、「本件の構成要件」という。）構成を有するものではない。
　次いで、刊行物２及び刊行物７記載の発明は、直線導波路と曲線導波路との分岐部における界分布の不整合による結合損失を軸ずれを設けることで抑制する点で、本件訂正発明１と共通するが、上記本件の構成要件については、何も記載されておらず示唆もない。
　又、刊行物３記載の発明は、分岐用光導波路間に隙間を有する点で、一見、本件訂正発明１に類似している。しかし、刊行物３記載の発明は、アンテナ結合型Ｙ分岐光導波路に関するものであり、テーパ導波路を有しておらず、結局、上記本件の構成要件を備えていない。
　更に、刊行物４乃至６には、本件の請求項２又は３に係る発明のモード安定化領域に相当又は関係する発明が記載されているものの、上記本件の構成要件については、何も記載されていない。
　以上のとおり、上記引用刊行物１乃至７には、いずれも本件訂正発明１の構成要件である「テーパ導波路の分岐点における前記分岐導波路の間に前記分岐光導波路の界分布のピークのずれを補填するよう隙間を設けた」構成を備えておらず、しかも、この点が当該技術分野において、周知慣用手段であるとも認められない。
　したがって、本件訂正発明１は、刊行物１乃至７に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　又、請求項２及び３に係る訂正発明は、いずれも本件訂正発明１の構成の一部をさらに具体化して限定したものであるから、請求項１に係る発明と同様、刊行物１乃至７に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　したがって、本件の請求項１乃至３に係る訂正発明は特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
（５）訂正の適否についてのむすび
　以上のとおり、本件訂正は、特許法の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成６年改正前同法第１２６条１乃至３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３・特許異議の申立についての判断
　異議申立人河原　浩人は、甲第１号証乃至甲第６号証を提出し、本件の請求項１乃至３に係る発明は甲第１号証乃至甲第６号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件の請求項１乃至３に係る発明の特許は取り消されるべきである旨主張している。
　しかし、本件の請求項１乃至３に係る発明は上記のとおり訂正され、しかも、異議申立人の提出した甲第１号証乃至甲第６号証は、上記当審における取消理由で引用した刊行物１乃至６と同じである。
　してみれば、訂正された本件の請求項１乃至３に係る発明は、上記２．（４）独立特許要件の判断で示したと同様の理由により、甲第１号証乃至甲第６号証（刊行物１乃至６）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　また、他に本件の請求項１乃至３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１０月２７日（１９９９．１０．２７）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
（イ）訂正事項ａ
　特許明細書の請求項１の欄を、
「【請求項１】　主導波路にテーパ導波路を接続すると共に該テーパ導波路の分岐点に、変曲点を有する複数の分岐光導波路を接続し、更に前記分岐光導波路にそれぞれ出力導波路を接続してなる分岐合波光導波回路において、前記分岐光導波路の変曲点及び前記出力導波路との接続点に軸ずれを設け、前記テーパ導波路の分岐点における前記分岐導波路の間
に前記分岐光導波路の界分布のピークのずれを補填するよう隙間を設けたこ
（ロ）訂正事項ｂ
　特許明細書の【００１３】の欄を下記の通りに訂正する。
「【００１３】
　【課題を解決するための手段】
　斯かる目的を達成する本発明の構成は主導波路にテーパ導波路を接続すると共に該テーパ導波路の分岐点に、変曲点を有する複数の分岐光導波路を接続し、更に前記分岐光導波路にそれぞれ出力導波路を接続してなる分岐合波光導波回路において、前記分岐光導波路の変曲点及び前記出力導波路との接続点に軸ずれを設け、前記テーパ導波路の分岐点における前記分岐導波路の間
に前記分岐光導波路の界分布のピークのずれを補填するよう隙間を設けたこ
（５４）【発明の名称】
分岐合波光導波回路
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】　主導波路にテーパ導波路を接続すると共に該テーパ導波路の分岐点に、変曲点を有する複数の分岐光導波路を接続し、更に前記分岐光導波路にそれぞれ出力導波路を接続してなる分岐合波光導波回路において、前記分岐光導波路の変曲点及び前記出力導波路との接続点に軸ずれを設け、前記テーパ導波路の分岐点における前記分岐導波路の間
に前記分岐光導波路の界分布のピークのずれを補填するよう隙間を設けたこ
　　【請求項２】　前記主導波路に接続する入力直線導波路にモード安定化領域を有することを特徴とする請求項１記載の分岐合波光導波回路。
　　【請求項３】　前記モード安定化領域としてくびれ部を設けたことを特徴とする請求項２記載の分岐合波光導波回路。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
本発明は、分岐合波光導波回路に関するものであり、導波路の製作性を容易にするとともに再現性に優れた低損失回路が期待できるものである。
　　　【０００２】
　　【従来の技術】
　光集積回路において、光分岐回路，光合波回路は基本構成要素として必要不可欠なものである。このような分岐合波光導波路回路としては、従来より２本以上の分岐光導波路を有するＹ分岐光導波路が知られている。特にＹ分岐導波回路は、方向性結合器に比較して波長依存性が低いことから、１×Ｎスプリッタ光回路等への応用が期待されている。
　　　【０００３】
　従来のＹ分岐導波回路の構造を図１５及び図１６に示す。両図に示すよＹ分岐導波回路は、主導波路４、テーパ導波路８、分岐導波路５，６を順に接続してなる光導波路であり、テーパ導波路８と分岐導波路５，６の間には分岐点７が介在している。図１７及び図１８に示すように分岐導波路５，６は何れも変曲点ａを有し、この変曲点ａの前後において相互に逆方向に曲率半径Ｒで湾曲する曲線状導波路である。更に、分岐導波路５，６はそれぞれ出力導波路ｃに接続している。また、主導波路４の幅Ｗ４と分岐導波路５，６の幅Ｗ５，Ｗ６とは等しく、更に、分岐点７における分岐導波路５，６の間の幅（以下、なまり幅という）は零の理想的形状となっている。
　　　【０００４】
　このＹ分岐導波回路を製作するには、Ｓｉ　Ｃｌ４，Ｇｅ　Ｃｌ４，Ｔｉ　Ｃｌ４，Ｐｏ　Ｃｌ３，ＢＣｌ３等の塩化物を出発材料として、例えば、図１９〜図２３に示すように、シリコン基板１にクラッド層２、コアガラス層３を順次堆積し、次いでエッチング加工によりコア部以外のコアガラス層３を取り除いて光が伝搬する導波路として主導波路４、分岐導波路５，６及びテーパ導波路８を形成し、引き続き、クラッドガラス層２を堆積することにより行われる。
　　　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　従来、Ｙ分岐導波回路を低損失化するためには、第一に円弧状に湾曲する分岐導波路５，６の曲率半径を大きくすること、第二に理想的に鋭峻な分岐点７とすること、つまり、なまり幅を零とすることが重要である。しかし、上記の二つの事項を達成する上で、以下に示す問題がある。
　　　【０００６】
　第一に、分岐導波路５，６の曲率半径を大きくする為には回路サイズを大きくする必要があるが、現実には、回路サイズは基板の大きさにより制約を受けるので、曲率半径の増大には限界があった。また、１×Ｎ光スプリッタのように多段の分岐導波路によって構成された回路では、小さな曲率半径の導波路を使用するので、必然的に挿入損失が大きくなるという問題が生じる。
　　　【０００７】
　第二に、理想的な鋭峻な分岐点７を実現する上で、パターニング及びエッチングの精度等の原因により、図２４に示すように鋭峻な分岐点７とならず、分岐点７における分岐導波路５，６の幅ＷＢが零とならないで作成された場合に、大きな分岐損失を生じることになる。
　　　【０００８】
　次に、Ｙ分岐導波路の分岐比のバラツキにも問題がある。
　　　【０００９】第一に、従来構造においては分岐点７の形状が繊細なため、図２５に示すように分岐点７が非対称な形状となった場合には、大きな分岐損失が生じると共に分岐比にバラツキを生じることになる。また、再現性についても良好ではない。
　　　【００１０】
　第二に、１×Ｎ光スプリッタのように多段の分岐導波路で構成された回路では、前段の分岐導波路を通過した光は、その出力導波路、即ち後段の入力導波路において界分布が揺らぐため、分岐比にバラツキを生じることになる。
　　　【００１１】
　第三に、１×Ｎ光スプリッタに入出力ファイバを接続等の実装を行う場合、治具の工具精度、アライメント装置の機械精度の原因によって、入力ファイバと光回路の入力直線導波路が軸ずれを生じる場合がある。この場合には、導波路において、基本モードの他に高次モード、放射モードが励振されてしまうので、この結果、分岐比にバラツキを生じてしまうことになる。
　　　【００１２】
　本発明は、上記従来技術に鑑みて成されたものであり、分岐損失、分岐比のバラツキ及び再現性の問題を解消した低損失な光分岐合波回路を提供することを目的とするものである。
　　　【００１３】
　【課題を解決するための手段】
　斯かる目的を達成する本発明の構成は主導波路にテーパ導波路を接続すると共に該テーパ導波路の分岐点に、変曲点を有する複数の分岐光導波路を接続し、更に前記分岐光導波路にそれぞれ出力導波路を接続してなる分岐合波光導波回路において、前記分岐光導波路の変曲点及び前記出力導波路との接続点に軸ずれを設け、前記テーパ導波路の分岐点における前記分岐導波路の間
に前記分岐光導波路の界分布のピークのずれを補填するよう隙間を設けたこ
　　　【００１４】
　更に、主導波路に接続する入力直線導波路にモード安定化領域としてくびれ部を設けるようにすると、一層好適である。
　　　【００１５】
　　【実施例】
　図１〜図３に本発明の第一の実施例を示す。この実施例は、本発明をＹ分岐光導波路に適用したものである。即ち、このＹ分岐光導波路は、主導波路４、テーパ導波路８、分岐導波路５，６を順に接続してなるものであり、テーパ導波路８と分岐導波路５，６の間には分岐点７が介在している。この分岐点７において、分岐導波路５，６の間には、隙間ｄ１が設けられている。分岐導波路５，６は何れも変曲点ａを有し、この変曲点ａの前後で相互に逆方向に湾曲する曲線状導波路である。分岐導波路５，６のの変曲点ａには軸ずれｄ２が設けられるとともに、この分岐導波路５，６は出力導波路ｃと接続しており、その接続点ｂには軸ずれｄ３が設けられている。
　　　【００１６】
　ここで、図４に示すように、直線導波路の界分布のピークは導波路の中心に存在するが、曲線導波路の界分布は、曲率半径が小さくなるにしたがって、界分布のピークは外側に移動する。この為、入力導波路と分岐導波路との接続点、分岐導波路の変曲点ａ、分岐導波路と出力導波路ｃとの接続点ｂにおいて、軸ずれなく接続すると、従来技術のように界分布のピークの位置が異なるため、界分布不整合による損失が発生する。更に、上記界分布不整合による摂動のため、出力導波路ｃの界分布が左右に揺らぎ、分岐比のバラツキ発生の原因となる。尚、図５に示すように、曲線状導波路の接線方向Ｚに対して、直角方向外側向きをＸ軸の正方向とする。
　　　【００１７】
　これに対して、本実施例では、分岐導波路５，６の変曲点ａ、分岐導波路５，６と出力導波路ｃとの接続点ｂにおいて、軸ずれｄ２，ｄ３を設けて界分布のピークの位置を一致させたので、界分布不整合による損失の増加及び分岐比のバラツキを抑圧することができる。
　図６は、分岐点７における分岐導波路５，６の間の隙間ｄ１と挿入損失との関係を示すものである。同図に示すように、挿入損失を最小とする隙間ｄ１の値は０ではなく、約１μｍであることが判る。従って、分岐点７における分岐導波路５，６の間に隙間を設けない従来の場合（ｄ１＝０μｍ）よりも、その間の隙間をｄ１を約１μｍとするほうが、挿入損失が低下することになる。但し、図６では、ｄ２＝ｄ３＝０μｍと仮定した。
　　　【００１８】
　図７は、分岐導波路５，６の変曲点ａにおける軸ずれｄ２と挿入損失との関係を示すものである。同図に示すように、挿入損失を最小とする隙間ｄ２の値は０ではなく、０．２〜０．５μｍの間に存在することが判る。従って、軸ずれを与えない従来構造に比較し、本発明による構造は挿入損失を低減することができる。但し、図７では、ｄ３＝２ｄ２，ｄ１＝０〜３μｍと仮定した。
　図８は、分岐導波路の軸ずれｄ２，ｄ３の有無と出力導波路ｃでの界分布の摂動との関係を示すものである。横軸ｚは、分岐導波路５，６と出力導波路ｃの接続点ｂからの距離、縦軸ｘｏは界分布が最大となる位置を示すものである。軸ずれｄ２，ｄ３を設けた場合については図中に黒丸で示すように、白丸で示す軸ずれｄ２，ｄ３を設けない場合に比較し、軸ずれの効果により、界分布の不整合が解消され、出力導波路ｃの摂動が抑えられる様子が判る。
　尚、入力ファイバと光回路の軸ずれによって導波路内に励振された基本モード以外の高次モード、放射モードは閉じ込め効果が弱いので、長い直線導波路、曲線導波路、くびれ等のモード安定化領域を設けることにより除去することができる。この結果、導波路の界分布の摂動が抑えられ、分岐比のバラツキの無い良好な特性が得られる。
　　　【００１９】
　次に、本発明の第二の実施例について図９を参照して説明する。本実施例は、１×８スプリッター光回路に本発明を適用したものである。即ち、この１×８スプリッター光回路は、Ｙ分岐光導波路１８〜２５を３段７個接続したものであり、更に、入力ポート９、出力ポート１０〜１７が接続している。各Ｙ分岐光導波路１８〜２４は、図１０に示すように、テーパ導波路８と分岐導波路５，６の間がクラッドにより切り離された構造である。これは、分岐導波路５，６の狭い間隙に、クラッド材質を均一に導入するためである。
　このような構成を有する光回路は、次のような手順により作成される。
　先ず、直径３インチ、厚さ７００μｍのシリコン基板に火炎堆積法によって多孔質ガラス膜を堆積し、その堆積順序は、まずクラッド層として組成がＳｉ　Ｏ２−Ｐ２　Ｏ５−Ｂ２　Ｏ３の多孔質ガラス膜を堆積し、次いでコア層として組成がＳｉ　Ｏ２−Ｇｅ　Ｏ−Ｐ２　Ｏ５の多孔質ガラス膜を堆積した。多孔質ガラス膜を堆積した基板を温度１３９０度のＨｅとＯ２の混合雰囲気中で２時間熱処理した。次いで、反応性イオンエッチングにより光導波路パターンを形成した。更に、このコア層を覆うようクラッド層を形成する。この結果、図９に示す光導波路が形成され、１×８スプリッタ光回路の製作が完了する。但し、コアの寸法は８μｍ×８μｍ、ｄ１＝１μｍ、ｄ２＝０．４μｍ、ｄ３＝０．２μｍとした。
　この結果、出力ポート１０〜１７の挿入損失のバラツキは±０．３ｄＢ、Ｙ分岐導波路１段当たりの分岐損失は０．１ｄＢと非常に低損失で、しかも、そのバラツキが小さかった。
　　　【００２０】
　図１１は、本発明の第三の実施例を示すものである。本実施例は、モード安定化領域を備えた１×２スプリッタ光回路に関するものである。即ち、Ｙ分岐導波路２５の主導波路にはモード安定化領域として長い入力直線導波路（１５ｍｍ）２６が接続しており、このように長い入力直線導波路２６を設けることによって、閉じ込めの弱い基本モード以外のモードが減衰し、入力ファイバの位置ずれに対し分岐比のバラツキの小さな特性が得られた。尚、この回路のＹ分岐導波路は、第二の実施例と同様とした。
　　　【００２１】
　図１２は、本発明の第四の実施例を示すものである。本実施例は、モード安定化領域としてＳ字状に湾曲する曲線導波路を備えた１×２スプリッタ光回路に関するものである。即ち、Ｙ分岐導波路２７の主導波路にはモード安定化領域としてＳ字状に湾曲する曲線導波路２８が接続しており、このように曲線導波路２１を設けることによって、摂動の原因となる高次モード、放射モードの光が曲線導波路２８によって除去され、入力ファイバの位置ずれに対する分岐比のバラツキが小さくなった。尚、この回路のＹ分岐導波路２７は、第二の実施例と同様とした。
　　　【００２２】
　図１３は、本発明の第五の実施例を示すものである。本実施例では、モード安定化領域として入力直線導波路にくびれ部を形成した１×２スプリッタ光回路に関するものである。即ち、Ｙ分岐導波路２９の主導波路には入力直線導波路３０が接続しており、この入力直線導波路３０には図１４に示すように幅の狭くなったくびれ部３１が設けられている。このように入力直線導波路３０にくびれ部３１を形成することにより、摂動の原因となる高次モード、放射モードの光はくびれ部３１において除去され、入力ファイバの位置ずれに対する分岐比のバラツキが小さくなった。尚、この回路のＹ分岐導波路２９は、第二の実施例と同様とした。
　　　【００２３】
　本実施例では、モード安定化領域として入力直線導波路３０にくびれ部３１を設けたので、第四の実施例のようにＳ字状に湾曲する曲線導波路２８を設けた場合に比較して最適化した設計が可能である。即ち、曲線導波路の設計においては、広い波長にわたって基本モードの挿入損失を低くしつつ、高次モードの遮断波長領域で挿入損失を高くすることを両立するように最適化することは困難である。これに対して、くびれ部の導波路の設計では、広い波長にわたって基本モードの挿入損失を低くしつつ、高次モードの遮断波長領域で挿入損失を高くすることを両立することが可能である。
　　　【００２４】
　尚、上記第二、第三、第四、第五の実施例では、石英系ガラス導波路について説明したが、本発明は、このようなものに限られるものではなく、半導体導波路等他の導波路に対しても適用できるものである。更に、Ｔｉ拡散Ｌｉ　Ｎｂ　Ｏ３導波路、プロトン交換導波路、イオン交換導波路のような屈折率分布が分布関数の場合であっても、本発明は適用できるものである。
　　　【００２５】
　　【発明の効果】
　以上、実施例に基づいて具体的に説明したように、本発明は、分岐光導波路の変曲点及び出力導波路との接続点に軸ずれを設け、テーパ導波路の分岐点における分岐導波路の間に隙間を設けたので、曲線導波路における界分布のピークのずれを補填できる。この為に、導波路の製作性が容易となると共に再現性に優れた低損失な分岐合波光導波回路を提供することができる。更に、入力導波路にモード安定化領域を設けると、摂動の原囚となる高次モード、放射モードを除去して分岐比のバラツキを小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　本発明の一実施例に係るＹ分岐導波路の構成図である。
　　【図２】
　図１に示すＹ分岐導波路における分岐導波路の変曲点近傍を拡大して示す説明図である。
　　【図３】
　図１に示すＹ分岐導波路における分岐導波路と出力導波路との接続点近傍を拡大して示す説明図である。
　　【図４】
　直線導波路、曲線導波路における界分布を示すグラフである。
　　【図５】
　界分布における座標を示す説明図である。
　　【図６】
　テーパ導波部の分岐点における分岐導波路５，６の隙間ｄ１と挿入損失との関係を示すグラフである。
　　【図７】
　分岐導波路の変曲点における軸ずれｄ２と挿入損失との関係を示すグラフである。
　　【図８】
　軸ずれがの有無による界分布の摂動を示すグラフである。
　　【図９】
　本発明の第二の実施例に係る１×８スプリッタ光回路の平面図である。
　　【図１０】
　図９における１×８スプリッタ光回路のＹ分岐導波路を拡大して示す説明図である。
　　【図１１】
　本発明の第三の実施例を示す説明図である。
　　【図１２】
　本発明の第四の実施例を示す説明図である。
　　【図１３】
　本発明の第五の実施例を示す説明図である。
　　【図１４】
　図５に示すくびれ部を拡大して示す説明図である。
　　【図１５】
　従来のＹ分岐導波路の構成を示す説明図である。
　　【図１６】
　図１５中直線Ａ−Ｂで切断した断面図である。
　　【図１７】
　図１５のＹ分岐導波路における分岐導波路の変曲点近傍を拡大して示す説明図である。
　　【図１８】
　図１５のＹ分岐導波路における分岐導波路と出力導波路との接続点近傍を拡大して示す説明図である。
　　【図１９】
　従来のＹ分岐導波路の製作工程を示す説明図である。
　　【図２０】
　従来のＹ分岐導波路の製作工程を示す説明図である。
　　【図２１】
　従来のＹ分岐導波路の製作工程を示す説明図である。
　　【図２２】
　従来のＹ分岐導波路の製作工程を示す説明図である。
　　【図２３】
　従来のＹ分岐導波路の製作工程を示す説明図である。
　　【図２４】
　Ｙ分岐導波路の分岐点における分岐導波路の間に隙間が形成された様子を示す説明図である。
　　【図２５】
　Ｙ分岐導波路の分岐点が非対称的に形成された様子を示す説明図である。
　　【符号の説明】
　１　基板
　２　クラッド
　３　コア
　４　主導波路
　５　分岐導波路
　６　分岐導波路
　７　分岐点
　８　テーパ導波路
　９　入力ポート
　１０　出力ポート
　１１　出力ポート
　１２　出力ポート
　１３　出力ポート
　１４　出力ポート
　１５　出力ポート
　１６　出力ポート
　１７　出力ポート
　１８　Ｙ分岐導波路
　１９　Ｙ分岐導波路
　２０　Ｙ分岐導波路
　２１　Ｙ分岐導波路
　２２　Ｙ分岐導波路
　２３　Ｙ分岐導波路
　２４　Ｙ分岐導波路
　２５　Ｙ分岐導波路
　２６　入力直線導波路
　２７　Ｙ分岐導波路
　２８　入力直線導波路
　２９　Ｙ分岐導波路
　３０　入力直線導波路
　３１　くびれ部