【事件の表示】
　特許第２５９７３９０号「振動波モータ駆動回路」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２５９７３９０号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第２５９７３９０号は、昭和６３年５月１７日に特許出願され、平成９年１月９日に特許の設定登録がなされ、その後、平成９年１０月２日に加瀬　宗之助より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１０年５月２０日に訂正請求がなされた後、さらに訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年５月３１日に手続補正（訂正請求書）がなされたものである。
ＩＩ．訂正の適否についての判断
　１．訂正明細書の請求項１〜３に係る発明
　訂正明細書の請求項１〜３に係る発明（以下、本件発明という。）は、その特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
「【請求項１】振動体に固着された電気ー機械エネルギー変換素子に周波電圧を印加することにより該振動体に振動波を発生させ、該振動波により被駆動体を駆動する振動波モータの駆動回路において、
　上記振動波モータの振動状態をモニターするためのモニター信号出力手段と、
　上記モニター信号
と基準位相器よりの所定の基準位相信号との位相ずれ量
ずれ量
定値
Ｄ−Ａコンバータを介して
　上記
ずれ量
　を具備
し、
　
上記禁止手段により上記周波数追尾手段の動作が禁止された場合には、上記電気ー機械エネルギー変換素子への駆動周波数を一定に維持する
　【請求項２】上記
ずれ量
ずれ量
　【請求項３】上記
ずれ量
ずれ量
　２．訂正の目的の適否及び拡張・変更の存否
　上記訂正は、上記特許請求の範囲の請求項１〜３の記載事項中、下線部の構成要件を限定したものであって、特許請求の範囲の減縮に該当し、あるいは明りょうでない記載の釈明をしあるいは誤記の訂正をしたものであって、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　３．独立特許要件の判断
　（１）引用刊行物の記載事項
　本件発明に対して、当審が通知した取消理由で引用した刊行物１（特開昭６１−２５１４９０号公報）には、「表面波モータの圧電体に入力される入力電圧と該圧電体の入力電圧が印加されていない部分から励振によって生じるモニター電圧との位相差を算出する位相差算出回路と、該位相差算出回路の出力に基づいて該入力電圧の周波数を制御する周波数制御回路とを備えたことを特徴とする表面波モータの駆動回路」（特許請求の範囲参照）が記載されている。
　同刊行物２（特開昭５９−１７２６１４号公報）には、「複数の露出制御モードのうちから所定の露出制御モードに切換え、該切換えによる上記所定の露出制御モードに応じた信号を発生する切換回路を備えるとともに、上記焦点検出のための合焦精度レベルを選択する選択回路を備え、上記切換回路からの信号を上記選択回路に入力させることにより、上記選択回路はその入力信号に応じた合焦精度レベルの信号を出力することを特徴とするカメラの自動焦点装置。」（特許請求の範囲参照）が記載されている。
　同刊行物３（周知技術）〔昭和４８年１１月３０日（株）電気書院発行、紙谷鉄男編「電動機制御システム」第１３２〜１３３頁〕には、図面第４・１０図　簡単なＯＮ−ＯＦＦ自動制御及び「もっとも簡単な自動制御の例を第４・１０図に示す。これは、タンクに水を汲み上げるポンプがあり水位がある位置以下に下がるとポンプをまわし、ある位置以上に上るとポンプを止めるものである。…用いられている。」（第１３３頁第３〜７行参照）が記載されている。
　（２）対比・判断
　本件発明（以下、前者という。）と上記引用刊行物１〜３に記載の事項（以下、後者という。）とを対比すると、後者のいずれも、少なくとも前者の構成要件である「上記モニター信号と基準位相器よりの所定の基準位相信号とのずれ量に基づき、該ずれ量が所定値になるようにＤ−Ａコンバータを介して上記周波電圧の周波数をアップもしくはダウンして駆動周波数を追尾する周波数追尾手段と、上記ずれ量が上記所定値を含む所定の範囲内にある場合には、上記周波数追尾手段の動作を禁止する禁止手段と、を具備し、上記禁止手段により上記周波数追尾手段の動作が禁止された場合には、上記電気ー機械エネルギー変換素子への駆動周波数を一定に維持する」構成を具備していない。
　そして、前者は上記構成要件を具備することにより、後者のいずれからも予測できない「振動波モータの駆動点が最適駆動周波数付近に対応するとき追従動作が禁止されるので、最適駆動周波数付近における微細な繰返し追従が生じなく、モータの音なりまたは回転ムラが抑制される。しかも最適駆動周波数が大きく外れても、自動的に追従動作ができるので、最適駆動周波数への復帰に複雑な制御が必要としなくなる。」という明細書記載のとおりの格別の作用効果を奏するものであるから、前者が後者に基づいて容易に発明をすることができたものとはいえない。
　したがって、本件発明は特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできない。
　４．その他の訂正について
　上記特許請求の範囲の訂正に伴い、明細書の明りょうでない記載の釈明をしたもの及び誤記の訂正をしたものであって、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　５．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項でさらに準用する第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
ＩＩＩ．特許異議の申立てについての判断
　１．申立ての理由の概要
　異議申立人　加瀬　宗之助は、甲第１号証（引用刊行物１）〜甲第３号証（引用刊行物３）を提出して、本件発明は、甲第１〜２号証並びに周知技術（甲第３号証）に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので特許法第２９条第２項の規定に該当し、その特許は取り消されるべきものである旨主張している。
　２．判断
　本件発明は、上記ＩＩ．３．で示したように、取消理由は存しないものである。
ＩＶ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年６月１６日（１９９９．６．１６）
【訂正の要旨】
訂正の理由
特許請求の範囲の減縮、不明瞭な記載の釈明及び誤記の訂正
訂正事項
▲１▼訂正事項ａ
平成８年８月１９日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１、請求項２及び請求項３に係る記載
「【請求項１】振動体に固着された電気一機械エネルギー変換素子に周波電圧を印加することにより該駆動体に振動波を発生さ一号、該振動波により被駆動体を駆動する振動波モータの駆動回路において、
　上記駆動波モータの振動状態をモニターするためのモニター信号出力手段と、
　上記モニター信号により抽出されるパラメータ値に基づき、該パラメータ値が所定の値になるように上記周波電圧の周波数をアップもしくはダウンして駆動周波数を追尾する周波数追尾手段と、
　上記パラメータ値が上記所定値を含む所定の範囲内にある場合には、上記周波数追尾手段の動作を禁止する禁止手段と、
　を具備することを特徴とする振動波モータ駆動回路。
　【請求項２】上記パラメータ値における所定の範囲は、上記振動波モータを一定負荷かつ一定温度下で同一の駆動状態を維持する場合における、該パラメータ値の変動範囲よりも広いことを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ駆動回路。
　【請求項３】上記バラメータ値における所定の範囲は、少なくとも上記周波電圧の周波数を±０．１ｋＨｚの範囲で変動させた際における、該バラメータ値の変動範囲を含むことを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ駆動回路。」
を、
　「【請求項１】振動体に固着された電気一機械エネルギー変換素子に周波電圧を印加することにより該
振
　上記
振
　上記モニター信号
と基準位相器よりの所定の基準位相信号との位相ずれ量
ずれ量
定値
Ｄ−Ａコンバータを介して
　上記パラメータ値が上記所定値を含む所定の範囲内にある場合には、上記周波数追尾手段の動作を禁止する禁止手段と、
　を具備
し、
　
上記禁止手段により上記周波数追尾手段の動作が禁止された場合には、上記電気一機械エネルギー変換素子への駆動周波数を一定に維持する
　【請求項２】上記
ずれ量
ずれ量
　【請求項３】上記
ずれ量
ずれ量
と訂正する。
▲２▼訂正事項ｂ
平成８年８月１９日付けの手続補正書の「７．補正の内容」の欄の（２）項によって補正しました、明細書中の第５頁第２０行目の「この発明によると」から第６頁第１７行目の「提供される。」に対応する記載
「この発明によると、振動体に固着された電気一機械エネルギー変換素子に周波電圧を印加することにより該駆動体に振動波を発生させ、この振動波により被駆動体を駆動する駆動波モータの駆動回路において、駆動波モータの振動状態をモニターするためのモニター信号出力手段と、モニター信号より抽出されるパラメータ値に基づき、このパラメータ値が所定の値になるように周波電圧の周波数をアップもしくはダウンして駆動周波数を追尾する周波数追尾手段と、パラメータ値が所定値を含む所定の範囲内にある場合には、周波数追尾手段の動作を禁止する禁止手段とを具備することを特徴とする振動波モータ駆動回路が提供される。」
を、
「この発明によると、振動体に固着された電気一機械エネルギー変換素子に局波電圧を印加することにより該
振
振
と基準位相器よりの所定の基準位相信号との位相ずれ量
ずれ量
定値
Ｄ−Ａコンバータを介して
ずれ量
し、上記禁止手段により上記周波数追尾手段の動作が禁止された場合には、上記電気一機械エネルギー変換素子への駆動周波数を一定に維持する
と訂正する。
▲３▼訂正事項ｃ
特許明細書第１１頁第６行目に記載の「Ｄ−ＦＦ１」を、「Ｄ−ＦＦ２」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
振動波モータ駆動回路
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】振動体に固着された電気一機械エネルギー変換素子に周波電圧を印加することにより該
振
　上記振動波モータの振動状態をモニターするためのモニター信号出力手段と、
　上記モニター信号
と基準位相器よりの所定の基準位相信号との位相ずれ量
ずれ量
定値
Ｄ−Ａコンバータを介して
　上記
ずれ量
　を具備
し、
　
上記禁止手段により上記周波数追尾手段の動作が禁止された場合には、上記電気一機械エネルギー変換素子への駆動周波数を一定に維持する
　【請求項２】上記
ずれ量
ずれ量
　【請求項３】上記
ずれ量
ずれ量
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
　この発明は、振動波モータを駆動する振動波モータ駆動回路に関する。
［従来の技術］
　振動波モータ、即ち超音波モータは９０度位相がずれ、同振幅および同周波数の駆動信号がモータ電極に供給されることにより発生する進行波によって回転されるモータである。このような振動波モータを駆動する振動波モータ駆動回路は例えば特開昭６２−１８９９８１などに開示されている。
　従来の振動波モータ駆動回路は振動波モータを駆動する駆動信号を出力する駆動基本回路部および駆動信号の周波数を最適駆動周波数に追尾させる帰還回路部とにより構成される。駆動基本回路部は第６図に示されるように電圧制御発振器（ＶＣＯ）１、分周・移相器２およびパワーアンプ３により構成され、帰還回路部は基準位相器５、波形整形回路６、駆動点検出回路７、ＵＰ／ＤＮカウンタ８およびＤ−Ａコンバータ９により構成される。
　第６図の駆動回路において、ＶＣＯ１の出力信号はリングカウンタにより構成される分周・移相器２によって４つの信号φ１〜φ４に分周される。信号φ１〜φ４ほ順次９０度位相がずれ、１／４周期分だけＨレベルとなるパルス信号である。これらのパルス信号φ１〜φ４はパワーアンプ３により電力増幅される。この場合、パルス信号φ１およびφ３がプッシュプル増幅され、第１信号に変換され、パルス信号φ２およびφ４がプッシュプル増幅され、第２信号に変換される。これら第１および第２信号は互いに９０度位相がずれ、同振幅および同周波数の駆動信号として振動波モータ４の電極４−ａおよび４−ｂに供給される。入力された駆動信号により振動波モータ４に進行波が生じ、振動波モータ４が回転する。
　振動波モータ４の誘導起電力ＶＥＢはモニタ信号として電極４−ｃを介して波形整形回路６に入力され、第７図に示す信号Ｖ′ＥＢに整形される。この信号Ｖ′ＥＢは駆動点検出回路７に入力され、基準位相器５からの基準位相信号（第７図）と比較される。駆動点検出回路７は入力信号Ｖ′ＥＢが基準位相信号より位相が進んでいるときにはＨレベル信号を出力し、遅れている時にはＬレベル信号を出力する。
　駆動点検出回路７からのＨまたはＬレベル信号はＵＰＩＤＮカウンタ８に入力され、このカウンタ８をＵＰカウントまたはＤＮカウントに切換え、カウンタ８は分周・移相器２の出力信号をタロックＣＬＫとしてカウント動作する。
　第７図において、タロックＣＬＫ▲１▼〜▲３▼においては、Ｖ′ＥＢが基準位相より進んでいるので、カウンタ８はＵＰカウントを行ない、ＣＬＫ▲４▼〜▲６▼においては、Ｖ′ＥＢが基準位相より遅れているので、カウンタ８はＤＮカウントを行なう。カウンタ８のカウント出力はＤ−Ａコンバータ９によりアナログ信号に変換され、駆動基準回路のＶＣＯ１に帰還される。このような帰還により、信号Ｖ′ＥＢの立上りが基準位相の立上りと一致するように駆動回路が動作し、駆動信号の周波数が最適駆動周波数に自動追従する。
［発明が解決しようとする課題］
　上記の振動波モータ駆動回路により、振動波モータが一定温度および一定負荷の条件で回転されていても、モータの加圧力を完全に均一にできないこと、または回転体の僅かな偏心により駆動信号の駆動周波数が周期的に最適駆動周波数から僅かに変化している。この駆動周波数の僅かな変化に対して帰還回路は追尾しており、この追尾動作、即ちカウンタのＵＰおよびＤＮカウント動作が第７図のＣＬＫ▲３▼および▲４▼において繰返し行われる。このようなＵＰ／ＤＮ繰返し動作状態において、駆動信号よりも低い周波数の繰返し動作信号が駆動信号に混入し、駆動信号がＦＭ波（周波数変調された波）に類似した信号となる。このＦＭ波化駆動信号により振動が発生し、可聴音が生じる。また、変調を受けた駆動信号により振動波モータが駆動されると、振動波モータの応答性が低下し、振動波モータに回転むらが生じる。従って、この発明の目的は、最適駆動周波数付近での駆動周波数の変化に対しては追従動作を禁止し、不所望な可聴音の発生を防止した振動波モータ駆動回路を提供することにある。
［問題点を解決するための手段及び作用］
　この発明によると、振動体に固着された電気一機械エネルギー変換素子に周波電圧を印加することにより該
振
と基準位相器よりの所定の基準位相信号との位相ずれ量
ずれ量
定値
Ｄ−Ａコンバータを介して
ずれ量
　上述のように、駆動周波数ｆ０が最適駆動周波数ｆα対して許容変動分±Δｆ０だけ変動しても、節ち駆動周波数にｆ０±Δｍ内の変動が生じても、ＶＣＯへの帰還信号は一定に保たれる。従って、駆動信号が周期的に最適周波数付近において変動しても、許容変動範囲においては駆動周波数ｆ０は一定に保たれ、不所望な可聴音の発生が防止される。
［実施例］
　第１図は第６図に示される振動波モータ駆動回路の帰還回路部をこの発明に従って改良して示している。同図において、駆動点検出回路７は第６図と同様に波形整形回路６から出力されるモニタ信号Ｖ′ＥＢと基準位相器５から出力される基準位相信号とに基づいて駆動点を検出する回路である。この駆動点検出回路７の出力端子は第６図の回路と同様にＵＰ／ＤＮカウンタ８を介してＤ−Ａコンバータ９に接続され、更にカウント禁止回路１０に接続される。このカウント禁止回路は更に基準位相器５および波形整形回路６の出力端子に接続される。カウント禁止回路１０は基準位相信号、モニタ信号および駆動点検出信号の相互関係によりカウンタ８のカウント動作を禁止する信号を出力する回路である。カウント禁止回路１０の出力端子はゲートＡＮ１の第１人力端子に接続される。このゲートＡＮ１の第２人力端子は第６図の回路に示される分周・移相器２の出力端子に接続される。
　第２図は第１図の駆動点検出回路７およびカウント禁止回路１０を更に具体的に示す帰還回路図である。この図によると、カウント禁止回路１０ほ遅延回路を構成するインバータＩＮ１およびＩＮ２、抵抗Ｒ１およりキャパシタＣ１、並びにＤフリップフロップ回路Ｄ−ＦＦ２およびゲートＡＮ２によって構成される。この回路において、インバータＩＮ２の入力端子は基準位相器５の出力端子に接続され、その出力端子は抵抗Ｒ１を介してインバータＩＮ１の入力端子に接続される。インバータＩＮ１の入力端子はキャパシタＣ１を介して接地される。インバータＩＮ１およびゲートＡＮ２の出力端子はＤ−フリップフロップＤ−ＦＦ２のタロック端子およびＤ端子に夫々接続される。ゲートＡＮ２に正入力端子は波形整形回路６の出力端子に接続される。
　駆動点検出回路７はＤ−フリップフロップＤ−ＦＦ１にて構成され、このＤ−ＦＦ１のクロック端子は基準位相器５の出力端子に接続され、その出力端子はカウンタ８のＵＰＩＤＮ端子およびゲートＡＮ２の負入力端子に接続される。
　第１図および第２図に示す回路において、基準位相器５から基準位相信号が駆動点検出回路７およびカウント禁止回路１０に供給されると、駆動点検出回路を構成するＤ−フリップフロップＤ−ＦＦ１およびカウント禁止回路１０のＤ−フリップフロップＤ−ＦＦ２のクロックタイミングは第３図に示すようになる。即ち、Ｄ−フリップフロップＤ−ＦＦ２はＤ−フリップフロップＤ−ＦＦ１からクロックタイミングがＢだけ遅延している。この遅延分Ｂはカウント禁止回路１０の遅延回路によって決まる。第３図に示すＤ−ＦＦ１およびＤ−ＦＦ２のタイミング関係において、領域Ａにて、モニタ信号Ｖ′ＥＢの立上り信号が入力されると、Ｄ−ＦＦ１の出力ＱはＨレベルとなる。この時、ゲートＡＮ２の出力はＬレベルであるので、Ｄ−ＦＦ２の出力ＱはＬレベルとなる。従って、ゲートＡＮ１は開放し、分周・移相器２からのクロックＣＬＫを通過させる。このクロックＣＫＬによりカウンタ８はカウントアップする。第３図のＢ領域にて、Ｖ′ＥＢが立上ると、Ｄ−ＦＦ１の出力ＱはＬレベルとなる。この結果、ゲートＡＮ２は開放し、モニタ信号Ｖ′ＥＢがＤ−ＦＦ２のＤ端子に入力される。Ｄ−ＦＦ２の出力ＱはＨレベルとなり、ゲートＡＮ１は閉成する。従って、カンウタ８のカウント動作は禁止される。第３図の領域Ｃにて、モニタ信号Ｖ′ＥＢが立上ると、Ｄ−ＦＦ１およびＤ−ＦＦ２の両方とも出力ＱがＬレベルとなる。従って、ゲートＡＮ１は開き、カウンタ８はダウンカウントに設定され、カウンタ８がカウントダウンする。
　上記の動作を第４図のタイムチャートを参照して説明する。
　先ず、モニタ信号Ｖ′ＥＢがＤ−ＦＦ１およびゲートＡＮ２に入力されると、Ｄ−ＦＦ１の出力ＱはＨレベルとなり、カウンタ８はＵＰカウントに設定される。この時、ゲートＡＮ２の正入力および負入力はＨレベルとなるので、このゲートＡＮ２の出力ＱはＬレベルとなる。従って、Ｄ−ＦＦ
２
　上記状態において、基準位相信号がＤ−ＦＦ１のクロック端子およびカウント禁止回路１０の遅延回路に入力されると、Ｄ−ＦＦ１の出力ＱはＨレベルで変わらない。カウント禁止回路１０の遅延回路の遅延時間の後にＤ−ＦＦ２にクロックが入力され、その後に分周・移相器２よりクロックＣＬＫ▲１▼がゲートＡＮ１に入力されると、カウンタ８はカウントアップする。この後、次のモニタ信号Ｖ′ＥＢ、基準位相信号（Ｄ−ＦＦ１ＣＬＫ）および遅延信号（Ｄ−ＦＦ２ＣＬＫ）が順次回路７および１０に供給されると、次のクロックＣＬＫ▲２▼に応答してカウンタ８はカウントアップされる。
　上記のようなカウントアップはクロックＣＬＫ▲３▼まで行われるが、クロック▲４▼に対応する信号ＤＦＦ１ＣＬＫ、ＤＦＦ２ＣＬＫおよびＶ′ＥＢの関係においては、基準位相信号ＤＦＦ１ＣＬＫの立上り後でかつクロックＤＦＦ２ＣＬＫの立上り前にモニタ信号Ｖ′ＥＢが立上っているので、Ｄ−ＦＦ１の出力ＱはＬレベル、Ｄ−ＦＦ２の出力ＱはＨレベルとなる。このとき、カウンタ８はＤＮに設定されるが、ゲートＡＮ１は閉成状態となるので、カウンタ８はカウント禁止状態となる。従って、ＣＬＫ▲４▼が分周・移相器２から出力されても、カウンタ８はカウントダウンせず、直前のカウント値に保持される。このカウント値がＤ−Ａコンバータ９によりアナログ信号に変換され、第６図に示すＶＣＯ１に供給されたとき、振動波モータ４へ供給される駆動信号の周波数は変化しない。この状態は次のクロックＣＬＫ▲５▼まで続く。即ち、ＣＬＫ▲３▼、▲４▼および▲５▼においては駆動周波数が一定の周波数に維持される。
　クロックＣＬＫ▲６▼では、モニタ信号Ｖ′ＥＢはクロックＤＦＦ１ＣＬＫおよびＤＦＦ２ＣＬＫの立上りの後に立上っているので、カウンタ８はＤＮカウントに設定され、ゲートＡＮ１は開成される。従って、この時にはカウンタ８はＣＬＫ▲６▼によりカウントダウンされる。カウントダウンのカウント値がＤ−Ａコンバータ９によりアナログ信号に変換され、ＶＣＯ１に入力されることにより、振動波モータ４には、駆動周波数が低下された駆動信号が入力される。振動波モータ４の回転速度が減少する。
　上記のような帰還回路による振動波モータの動作を第５図により説明する。
　ｆ０１およびｆ０２は振動波モータの負荷、加圧力、温度の変化に応じて決まる最適駆動周波数ｆαに対応する駆動周波数を示し、２Δｆ０は回転体の僅かな偏心等により最適駆動周波数に対応する駆動周波数ｆ０１およびｆ０２の付近にて生じる周波数の微細変化分を示す。この発明では、時間ｔ１以前の駆動周波数の変化がｆ０１−Δｆ０〜ｆ０１＋Δｍの範囲では、駆動周波数が上述のようにカウンタ８のカウント動作を禁止することにより最適駆動周波数ｆ０１に固定される。同様に駆動周波数の変化がｆ０２−Δｆ０〜ｆ０２＋Δｆ０の範囲では、駆動周波数はカウント禁止により最適駆動周波数ｆ０２に固定される。このΔｆ０の変化を除くようにカウント禁止回路１０の遅延岐路の遅延時間が決められている。即ち、一般に、振動波モータは２０ＫＨｚ〜１００ＫＨｚにて駆動され、最適駆動周波数に対応する駆動周波数ｆ０１、ｆ０２間の変化分Δｆは１ＫＨｚ〜５ＫＨｚであり、これにおける微細変化分Δｆ０は０．１ＫＨｚ〜０．２ＫＨｚの範囲にある。従って、この微細変化Δｆ０の影響を除去するようにカウント禁止回路１０の遅延回路の遅延時間が決められる。
　尚、時間ｔ１〜ｔ２においては、外部条件、即ち温度変化、加圧力の変化並びに負荷の変化による最適駆動周波数の変化であるのでこの変化に対しては帰還回路は追従動作をする。
　上記実施例において、モータ回転のスタート時または最適周波数のトビ越し時（なんらかの理由により駆動周波数が共振点から外れて全く別の周波数に飛んでしまう現象）にも、必ず最適駆動周波数に調整できる。何故ならば、カウンタが（Ｑ１…Ｑｎ）＝（１…１）であるときには、次のＵＰカウントにて（０…０）に復帰され、または（Ｑ１…Ｑｎ）＝（０…０）のとき、次のＤＮカウントで（１…１）に設定されるので、（Ｑ１…Ｑｎ）＝（０…０）の時をｆｍｉｎとし、（１…１）のときｆｍａｘとすると、回路が最適駆動周波数ｆ０が検出できなくても、ｆｍａｘ→ｆｍｉｎまたはｆｍｉｎ→ｆｍａｘのようにｆ０が検出できるまでスイープすれば、最適駆動周波数に復帰できる。
［発明の効果］
　上記のように振動波モータの駆動点が最適駆動周波数付近に対応するとき追従動作が禁止されるので、最適駆動周波数付近における微細な繰返し追従が生じなく、モータの音なりまたは回転ムラが抑制される。しかも最適駆動周波数が大きく外れても、自動的に追従動作ができるので、最適駆動周波数への復帰に複雑な制御が必要としなくなる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、この発明に従った振動波モータ駆動回路の帰還回路の回路図、第２図は第１図の帰還回路の詳細な回路図、第３図は駆動点検出回路およびカウント禁止回路のＤ−フリップフロップの動作タイミングを示すタイミングチャート図、第４図は第２図の動作を説明するタイミングチャート図、第５図は追従波形の図、第６図は従来の振動波モータ駆動回路の回路図、そして第７図は第６図の動作タイミングチャート図である。
７……駆動点検出回路、８……ＵＰ／ＤＮカウンタ、９……Ｄ−Ａコンバータ、１０……カウント禁止回路。