【事件の表示】
　特許第２７１１４０１号「電子部品のレーザトリミング方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７１１４０１号の特許を維持する。
【理由】
Ｉ．［手続の経緯］
　本件特許第２７１１４０１号（以下、「本件特許」という）は、昭和６３年１１月２５日に出願された特願昭６３−２９８９０７号の特許出願に係り、平成９年１０月３１日に設定登録されたものであるが、本件特許に対し、日本電気株式会社及び雨山範子より、それぞれ特許異議の申立があったので、当審において、当該申立の理由を検討の上、特許取消理由を通知したところ、その通知書で指定した期間内の平成１１年４月２日付で、特許異議意見書と共に訂正請求書が提出されて、更に、当該訂正請求に対して当審より最終的に通知した、明細書の記載不備を指摘する訂正拒絶理由に対して、平成１１年８月２０日付で、上記訂正請求についての手続補正がされたものである。
ＩＩ．　［訂正請求について］
　１．訂正請求の補正について
　上記手続補正の概要は、次の▲１▼、▲２▼のとおりである。
　▲１▼当該手続補正前の訂正請求書に添付された全文訂正明細書における特許請求の範囲の請求項１において、「前記計測装置から入力される可変可能な距離データ信号に応じたトリミング距離にわたって」という記載を、「前記計測装置から入力される可変可能な距離データ信号はレーザ光の照射により電子部品の出力特性に影響を及ぼさない程度の温度上昇にとどまるように設定されるもので、当該距離データ信号に応じたトリミング距離にわたって」と補正する。
　▲２▼同全文訂正明細書第２頁第２０行から２１行の記載（「（課題を解決するための手段）」の欄）について、上記▲１▼の補正の内容に整合するように補正する。
　上記▲１▼及び▲２▼の補正は、特許明細書及び補正前の訂正明細書記載の発明の目的及び構成事項内において、特許明細書を訂正して、特許発明を当該手続補正前よりも更に限定して明確にしようとするもので、前記訂正請求書の要旨を変更するものではない。
　したがって、上記手続補正は、特許法第１２０条の４第３項で準用する同法第１３１条第２項の規定に適合する適法なものである。
　２．訂正の要旨
　前述のとおり、適法な補正がされた、本件特許異議申立に係る訂正請求における訂正の要旨は、次のイ〜ハのとおりである。
　イ　特許明細書の特許請求の範囲の請求項１において、「前記計測装置から入力される可変可能な距離データ信号に応じたトリミング距離にわたって」という記載を、「前記計測装置から入力される可変可能な距離データ信号はレーザ光の照射により電子部品の出力特性に影響を及ぼさない程度の温度上昇にとどまるように設定されるもので、当該距離データ信号に応じたトリミング距離にわたって」と訂正する。
　ロ　同じく請求項１において、「前記距離データ信号を短いトリミング距離に対応したものにすることを特徴とする」という記載を、「前記距離データ信号を短いトリミング距離に対応したものにするとともに第２のステップによるインターバル期間を増やすことを特徴とする」と訂正する。
　ハ　特許明細書の発明の詳細な説明中、「（課題を解決するための手段）」の記載について、上記イ及びロの訂正と同内容の訂正をする。
　３．訂正の適否
　（１）訂正の目的
　上記イ及びロの訂正は、本件特許に係る発明の必須の構成をより限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮であり、上記ハの訂正は、当該イ及びロの訂正に伴って生じる明細書の記載の齟齬を、訂正により解消しようとするもので、明瞭でない記載の釈明とみることができる。
　（２）新規事項の有無
　本件特許に係る、願書に添付した明細書及び図面の記載からみて、上記訂正の内容は、当該明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものである。
　（３）拡張、変更の有無
　上記訂正の内容は、訂正前の特許請求の範囲を実質的に拡張したり、変更したりするものではない。
　（４）独立特許要件の適否
　上記訂正後の特許請求の範囲に係る発明について、本件特許に係る出願の際、独立して特許を受けることができるものか否かについて検討する。
　＜訂正発明＞
　上記訂正に係る発明は、平成１１年８月２０日付で提出された全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項によって特定される次のとおりのものと認める。
「トリミング装置で電子部品のレーザトリミング対象部にレーザ光を照射して該レーザトリミング対象部をトリミングし、計測装置で前記電子部品の電気的出力特性を計測するとともに、その計測の結果に従う前記計測装置からの制御信号により前記トリミング装置の動作を制御して電子部品のレーザトリミング対象部のトリミングを行う方法であって、
　前記計測装置から入力される可変可能な距離データ信号はレーザ光の照射により電子部品の出力特性に影響を及ぼさない程度の温度上昇にとどまるように設定されるもので、当該距離データ信号に応じたトリミング距離にわたって前記トリミング装置から電子部品のレーザトリミング対象部にレーザ光を照射走査する第１のステップと、トリミング装置によるレーザ光照射走査を一旦停止して、前記計測装置による電気的出力特性の計測を行ってその計測結果である電気的出力特性の変化が終了するまで、前記レーザ光照射走査の停止状態を継続する第２のステップとを交互に繰り返してトリミングを行い、
　かつ、第１，第２のステップを繰り返すトリミング期間の開始直後では、前記距離データ信号を長いトリミング距離に対応したものにする一方、トリミング期間の終了間近では、前記距離データ信号を短いトリミング距離に対応したものにするとともに第２のステップによるインターバル期間を増やすことを特徴とする電子部品のレーザトリミンク方法。」（以下、「本件発明」という）
　＜特許取消理由と訂正拒絶理由について＞
　先ず、当審より通知した特許取消理由及び訂正拒絶理由についてみると、当該各理由の概要は、次のイ及びロのとおりである。
　イ　本件特許に係る発明は、その出願前に頒布された下記の引用刊行物に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、本件特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反して受けた。（特許取消理由及び１回目の訂正拒絶理由）
　ロ　特許請求の範囲の記載に基づく構成は、発明の詳細な説明中に記載された事項と対応しておらず、特許明細書の記載は特許法第３６条の規定を満たしていない。（２回目の訂正拒絶理由）
　上記２つの理由のうち、ロの明細書の記載不備に関する理由については、本件特許明細書が上記のとおり訂正されることにより、特許請求の範囲に記載された構成は、発明の詳細な説明の記載と対応したものとなり、本件特許明細書に記載の不備があるとすることはできない。したがって、以下、上記イの理由について検討する。
　＜引用刊行物とその記載事項＞
　上記イの理由に関して当審で引用した刊行物と、その記載事項の概要は次のとおりである。
　第１引用例　特開昭６０−１８６０４９号公報
　　（日本電気株式会社が提出した甲第１号証）
　第２引用例　特開昭５９−１６５４０１号公報
　　（雨山範子が提出した甲第２号証）
　上記第１引用例には、レーザ光による電子部品等のトリミング方法に関して、次の記載がある。
「第１図は、本発明に係る機能トリミング方法が実施される機能トリマの一実施例の構成図である。
　この機能トリマは、機能トリミング対象の厚膜モジュールや薄膜モジュールなどのワークＷ・・・の特性値を測定する測定装置２と、レーザビームを出力するレーザ発振器３と、レーザビームを走査するレーザビーム走査装置４と、これらを制御する処理装置５とから構成したものである。・・・ワークＷを・・・搬送位置決めしたのち、測定装置２とワークＷとを電気的に接続する。その後、ワークＷを動作状態にして当該特性値を測定装置２で測定し、その値Ｘｉを処理装置５に読取る。処理装置５は、測定値Ｘｉが、あらかじめ設定してある調整目標範囲（Ｓｏ±Ｔｏ）にあるか否かを判定する。ここで、Ｓｏは調整目標中心値、Ｔｏは許容公差である。
　いま、測定値Ｘ１が（Ｓｏ±Ｔｏ）の・・・範囲外であれば、測定値Ｘｉが粗調整目標範囲（Ｓｉ±Ｔｉ）にあるか否かを判定し、範囲外であれば・・・（Ｓｏ−Ｘｉ）に粗調切断定数（調整感度）Ｒ１を乗じた値（Ｓｏ−Ｘｉ）×Ｒ１＝Ｌｉｌを求め、レーザ発振器３を発振させながら、レーザビーム走査装置４を制御して、ワークＷ上の被トリミング部品、例えば抵抗体を、あらかじめ定められたトリミング開始点から、あらかじめ定められた方向に長さＬｉｌだけ切断し、レーザ発振とレーザビーム走査を停止する。次いで、再度特性値を測定して以上の動作を繰り返す。
　ここで、特性値Ｘｉが粗調整目標範囲（Ｓｉ±Ｔｉ）に到達し、または越えたとき、（Ｓｏ−Ｘｉ）に微調切断定数（調整感度）Ｒｏを乗じた値（Ｓｏ−Ｘｉ）×Ｒｏ＝Ｌｉｏを求め、粗調終了点から、あらかじめ定められた方向に９０度曲げて微調方向へトリミングをする。次いで、再度、特性値を測定して、同じ方向にトリミングを行い、特性値が調整目標範囲（Ｓｏ±Ｔｏ）になるまで、測定とトリミングを繰り返し、終了するとワークＷを着脱位置へ戻す。」（第２頁左上欄第１２行〜同左下欄第１５行）
「粗調整における切断係数Ｒ１は大きく設定して、粗調整におけるトリミングと測定の回数を低減して高速化を図り、微調整においては、調整感度の低いことを利用して微細な特性調整を達成することができる。」（第３頁右上欄第１２〜１６行）
　上記第２引用例には、小型膜形成抵抗体等のトリミングに関して、「抵抗の温度係数の大きい抵抗体のトリミングを実行する場合には、トリミングを途中で一旦停止し、抵抗体を常温に戻して抵抗値を測定した後、その抵抗値とトリミング長をもとに目標抵抗値を出すための残りのトリミング長を予め計算で求めて後所定のトリミングを実行する」ことにより、「抵抗体の高温度係数の影響を受けずに済み、抵抗値精度を高精度で得ることが可能になる」旨の記載がある。（第２頁左上欄第１８行〜同右上欄第６行参照）
　＜発明の対比＞
　本件発明と第１引用例記載の発明とを対比すると、第１引用例に記載されたトリミング方法も、本件発明と同じく「トリミング装置で電子部品のレーザトリミング対象部にレーザ光を照射して該レーザトリミング対象部をトリミングし、計測装置（測定装置）で前記電子部品の電気的出力特性（特性値）を計測するとともに、その計測の結果に従う前記計測装置からの制御信号により前記トリミング装置の動作を制御して電子部品のレーザトリミング対象部のトリミングを行う」ものといえる。そして、第１引用例記載のトリミング方法が、「（Ｓｏ−Ｘｉ）に粗調切断定数（調整感度）Ｒ１を乗じた値」として決定される、距離データ信号に応じたトリミング距離（Ｌｉｌ）にわたって前記トリミング装置から電子部品のレーザトリミング対象部にレーザ光を照射走査（レーザビーム走査装置４を制御）する第１のステップと、トリミング装置によるレーザ光照射走査を一旦停止して、前記計測装置による電気的出力特性の計測を行う第２のステップとを繰り返すものであって、且つ、第１，第２のステップを繰り返すトリミング期間の開始直後では、前記距離データ信号を長いトリミング距離に対応したものに（粗調整における切断係数Ｒｉは大きく設定）する一方、トリミング期間の終了間近では、前記距離データ信号を短いトリミング距離に対応したもの（微調整においては、調整感度の低いことを利用して微細な特性調整）にする点でも、本件発明と一致しているといえる。
　しかし、本件発明と第１引用例記載の発明とは、次の２点で相違している。
　相違点１：レーザ光照射装置の停止状態継続時間に関して、本件発明では、「電気的出力特性の変化が終了するまで」とし、また、トリミング期間の終了間近では、「第２のステップによるインターバル期間を増やす」のに対し、第１引用例には、当該継続時間の限定やインターバル期間の増減について格別の言及がない点。
　相違点２：切断距離を規定する距離データ信号に関して、本件発明では、「レーザ光の照射により電子部品の出力特性に影響を及ぼさない程度の温度上昇にとどまるように設定される」ものであるのに対し、第１引用例では、当該温度上昇に関する言及がない点。
　＜相違点についての判断＞
　先ず、相違点１について検討すると、上記のとおり、第２引用例には、「抵抗体を常温に戻して抵抗値を測定」することにより、「高温度係数の影響を受けずに済み、抵抗値精度を高精度で得ることが可能になる」旨が記載されている。そして、電気的出力の特性値を「高精度で得る」必要があることや、トリミングが進行するのに伴って、加工熱が蓄積されていくことは自明であるから、第１引用例記載のレーザ光照射装置の停止状態継続時間に関して、出力特性値の測定が、「高温度係数の影響を受け」ないようになるまで、つまり、「電気的出力特性の変化が終了するまで」とし、また、トリミング期間の終了間近では、抵抗体を常温に戻すためのインターバル期間を増やすようにすることは、当業者であれば、容易に想到しうる設計事項といえる。
　一方、相違点２について検討すると、距離データ信号を、「レーザ光の照射により電子部品の出力特性に影響を及ぼさない程度の温度上昇にとどまるように設定」することについては、いずれの引用例にも記載されていないし、これを示唆するものものない。
　そして、当該相違点２に関する構成を備える本件発明は、特許明細書記載のとおり、「電子部品の電気的出力特性に悪影響が生じてその計測が不正確なものにならないようにしつつ、トリミングの所要時間を短縮することができ」、「精度の高いトリミングを短時間で行うことを可能に」するという、いずれの引用例の記載からも予測できない格別の作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明を、上記第１及び第２引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものはいえない。
　また、本件発明については、後述する特許異議申立の理由をはじめとして、本件特許に係る出願の際、独立して特許を受けることができないとする他の理由も発見しない。
　（５）訂正の適法性
　上記（１）〜（４）で検討したところによれば、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項第１、３号に掲げる事項を目的とするものであって、同条第３項で準用され、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定により適用される、同法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、同条第２項及び第３項の規定に適合しているといえるので、上記訂正を認める。
ＩＩＩ．［特許異議申立理由の検討］
　１．特許異議申立人の主張
　特許異議申立人日本電気株式会社は、甲第１号証として、特開昭６０−１８６０４９号公報（上記第１引用例）を提出し、同じく雨宮範子は、甲第１号証として特開昭５９−１８８１５８号公報（以下、「第３引用例」という）、甲第２号証として特開昭５９−１６５４０１号公報（上記第２引用例）を提出して、日本電気株式会社は第１引用例に記載された発明に基づいて、雨宮範子は第３及び第２引用例に記載された発明に基づいて、いずれも、本件特許に係る発明は、当業者が容易に発明をすることができたものであって、本件特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反して受けた旨の主張をしている。
　２．当審の判断
　＜本件特許発明＞
　本件特許発明は、前記訂正が認められることにより、特許明細書である、上記訂正請求に係る、補正後の全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された、上記ＩＩ．３．（４）で「本件発明」としたものと認める。
　＜引用例の記載事項＞
　第１引用例及び第２引用例の記載事項は上記のとおりである。
　第３引用例には、「機能トリミング方式」として、ワークの「トリミング長」と「特性変化率」とが一般に漸増曲線を描く関係にあることから、「ワークの特性変化率の偏差に対し、各段階の特性変化率を予測して」、「特性値と調整目標値との差が大きいときは、その差に比例した長い距離をトリミング」し、「目標値に近づくに従って短い距離をトリミングする」ように、「特性変化率の実測値に基づいて比例係数」を漸減させることにより、「徐々に微調整に移行させる」旨の記載がある。（第３頁左上欄第４行〜同右下欄第４行参照）
　＜発明の対比と判断＞
　本件発明と第１引用例記載の発明との間に、上記の「相違点２」がある以上、本件発明が第１及び第２引用例の記載に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえないことは、上記ＩＩ．３．（４）で指摘したとおりである。
　そして、上記のとおり、第３引用例には、第１引用例と軌を一にする事項が記載されているが、上記相違点２に係る本件発明の構成を明示する記載はなく、また、当該構成を示唆するものもない。
　したがって、本件発明は、第１〜第３引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。
ＩＶ．［むすび］
　以上のとおりであるから、本件特許は、特許異議申立の理由および証拠によっては、取り消すことはできないし、また、他に取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年９月７日（１９９９．９．７）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨は、次のイ〜ハのとおりである。
　イ　特許明細書の特許請求の範囲の請求項１において、「前記計測装置から入力される可変可能な距離データ信号に応じたトリミング距離にわたって」という記載を、「前記計測装置から入力される可変可能な距離データ信号はレーザ光の照射により電子部品の出力特性に影響を及ぼさない程度の温度上昇にとどまるように設定されるもので、当該距離データ信号に応じたトリミング距離にわたって」と訂正する。
　ロ　同じく請求項１において、「前記距離データ信号を短いトリミング距離に対応したものにすることを特徴とする」という記載を、「前記距離データ信号を短いトリミング距離に対応したものにするとともに第２のステップによるインターバル期間を増やすことを特徴とする」と訂正する。
　ハ　特許明細書の発明の詳細な説明中、「（課題を解決するための手段）」の記載について、上記イ及びロの訂正と同内容の訂正をする。
（５４）【発明の名称】
電子部品のレーザトリミング方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　トリミング装置で電子部品のレーザトリミング対象部にレーザ光を照射して該レーザトリミング対象部をトリミングし、計測装置で前記電子部品の電気的出力特性を計測するとともに、その計測の結果に従う前記計測装置からの制御信号により前記トリミング装置の動作を制御して電子部品のレーザトリミング対象部のトリミングを行う方法であって、
前記計測装置から入力される可変可能な距離データ信号は
レーザ光の照射により電子部品の出力特性に影響を及ぼさない程度の温度上昇にとどまるように設定されるもので、当該距離データ信号
かつ、第１，第２のステップを繰り返すトリミング期間の開始直後では、前記距離データ信号を長いトリミング距離に対応したものにする一方、トリミング期間の終了間近では、前記距離データ信号を短いトリミング距離に対応したものにする
とともに第２のステップによるインターバル期間を増やす
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
　本発明は、ハイブリッドＩＣのような電子部品レーザトリミング方法に関する。
（従来の技術）
　一般的に電子部品、例えばハイブリッドＩＣのレーザトリミングにおいては、レーザ光をそのハイブリッドＩＣのレーザトリミング対象部に照射して連続トリミングしていた。そして、レーザトリミングを行ったタイミングから遅れて、そのレーザトリミングの結果としての出力特性の変化がするタイミングを持ったハイブリッドＩＣにあっては、両タイミングを一致させてオーバートリミングを防止するべくレーザトリミング速度を遅くしていた。
（発明が解決しようとする課題）
　したがって、このような時間的に遅い連続トリミングでは当然のことであるが、レーザトリミングに長時間がかかるという問題がある。
　また、この問題のみならずハイブリッドＩＣ内のレーザトリミング対象部に連続してレーザ光が照射されることになるので、その対象部に高い温度上昇を引き起こすことになる。そうすると、前記両タイミングの一致によりオーバートリミングの防止ができても、その温度上昇がハイブリッドＩＣの電気的な出力特性変化に大きな影響を与えることになることから、その出力特性を計測する計測装置での計測が不正確になり、結果として正確なトリミングが困難になるという問題がある。
　本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、レーザトリミング時間の短縮と正確なトリミングとを可能にすることを目的としている。
（課題を解決するための手段）
　このような目的を達成するために、本発明のレーザトリミング方法においては、トリミング装置で電子部品のレーザトリミング対象部にレーザ光を照射して該レーザトリミング対象部をトリミングし、計測装置で前記電子部品の電気的出力特性を計測するとともに、その計測の結果に従う前記計測装置からの制御信号により前記トリミング装置の動作を制御して電子部品のレーザトリミング対象部のトリミングを行う方法であって、前記計測装置からの可変可能な距離データ信号
はレーザ光の照射により電子部品の出力特性に影響を及ぼさない程度の温度上昇にとどまるように設定されるもので、当該距離データ信号
とともに第２のステップによるインターバル期間を増やす
（作用）
　本発明の方法によれば、第２のステップにおいては、計測装置による計測の結果、電子部品の電気的出力特性の変化が終了するまでは、トリミング装置から前記レーザトリミング対象部に対するレーザ光の照射を停止することから、電子部品のレーザトリミング対象部に対するオーバートリミングが防止される。
　また、レーザ光照射によって供給される熱がほとんど蓄熱されていないトリミング期間の開始直後では、第１のステップのトリミング距離を長くしても、電子部品の電気的出力特性に悪影響が生じる温度まで電子部品が急激に温度上昇することはない。そこで、トリミング期間の開始直後では、距離データ信号を長いトリミング距離に対応したものにすることで、第１のステップのトリミング距離を長くして、短時間のうちに長い距離のトリミングを行う。
　一方、レーザ光照射によって供給される熱の蓄熱が進行したトリミング期間の終了間近では、第１のステップのトリミング距離を長くすると、電子部品の電気的出力特性に悪影響が生じる温度まで容易に上昇してしまう。そこで、トリミング期間の終了間近では、距離データ信号を短いトリミング距離に対応したものにすることで、第１のステップのトリミング距離を短くするとともに、第２ステップによるインターバル期間（放熱期間）を増やした。これにより電子部品の電気的出力特性に悪影響が生じないようにしつつ、トリミングを行えるようになった。
（実施例）
　以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。
　第１図は本発明の実施例に係るレーザトリミング方法の説明に用いるブロック図である。第１図を参照して本発明の方法について説明すると、レーザ光源２とレーザ光線制御装置４とからなるトリミング装置６でもって、ハイブリッドＩＣのような電子部品８のレーザトリミング対象部、例えば抵抗部（図示していない）にレーザ光を照射する。このレーザ光の照射により電子部品８の抵抗部をレーザトリミングする。そして、テスト治具１０とテスター１２とからなる計測装置１４で電子部品８の電気的出力特性を計測する。
　その計測の結果に従う計測装置１４からの制御信号によりトリミング装置６のレーザ光線制御装置４の動作を制御し、レーザ光源２から電子部品の抵抗部にレーザ光を照射してそれのレーザトリミングを行う。
　このような基本的なレーザトリミング方法において、本発明はつぎの各ステップを繰り返すことを特徴としている。
　すなわち、本発明方法にあっては、第１のステップとして計測装置１４から可変可能な距離データ信号をトリミング装置６のレーザ光線制御装置４に出力する。そうすると、レーザ光線制御装置４は、この距離データ信号の入力に応答してレーザ光源２から電子部品８の抵抗部に対して所定の長さにわたってレーザ光を照射走査させる。ついで、第２のステップとして、計測装置１４による電子部品８の出力特性の計測の結果、その電子部品８の出力特性の変化が終了するまでは、トリミング装置６から電子部品８の抵抗部に対するレーザ光の照射を停止する。そして、このような両ステップを交互に交互に繰り返すことで電子部品８の抵抗部にレーザトリミングを施す。
　したがって、本発明の方法によれば、第１のステップにおける距離データが可変であるから、レーザ光の照射により電子部品８がその出力特性に影響を及ぼさない程度の温度上昇にとどまるようにまたオーバートリミングしない程度にその距離データを設定して当該電子部品８のレーザトリミング対象部である抵抗部に対してレーザトリミングを施すことができる。また、第２のステップにおいては、電子部品８の抵抗部に対するオーバートリミングが防止される。そして、このような両ステップとを交互に繰り返すとともに、その距離データを計測したデータにより判断することにより、電子部品があまり温度上昇せず、したがって電気的出力特性に悪影響が生じにくいトリミング期間の開始直後ではトリミング長を長く設定する一方、電気的出力特性に悪影響が生じる温度まで容易に上昇してしまうトリミング期間の終了間近ではトリミング長を短く設定することで、結果として、電子部品に悪影響を生じさせないようにしつつレーザトリミングの所要時間を短縮している。
　なお、本発明ではレーザトリミング対象部としては抵抗部であったが、レーザトリミング対象部としてはこれに限るものではなく、例えばコンデンサとかコイルなどの他のものであってもよいことは勿論である。
（発明の効果）
　以上説明したことから明らかなように本発明によれば、第２のステップにおいて、電子部品の電気的出力特性の変化が終了するまでトリミングを停止することでオーバートリミングを防止できるようになった。
　また、トリミング期間の開始直後では、トリミング期間を長くして、短時間のうちに長い距離のトリミングを行う一方、トリミング期間の終了間近では、距離データ信号を短いトリミング距離に対応したものにすることで、第１のステップのトリミング距離を短くするとともに、第２ステップによるインターバル期間（放熱期間）を増やして電子部品の電気的出力特性に悪影響が生じないようにしつつ、トリミングを行うようにした。そのため、電子部品の電気的出力特性に悪影響が生じてその計測が不正確なものにならないようにしつつ、トリミングの所要時間を短縮することができるようになった。
　このようトリミングを制御することで本発明は、精度の高いトリミングを短時間で行うことを可能にした。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の方法の実施に用いる装置のブロック図である。
２……レーザ光源、４……レーザ光線制御装置、６……トリミング装置、８……電子部品、１０……テスト治具、１２……テスター、１４……計測装置。