【事件の表示】
　特許第２６６８７６８号「電気的特性測定用プローブ装置」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２６６８７６８号の請求項１ないし２に係る特許を取り消す。
【理由】
１　本件発明
　本件特許第２６６８７６８号（平成５年１２月１６日出願、平成９年７月４日設定登録）の請求項１及び２に係る各特許発明は、特許明細書及び図面からみて、その特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】測定対象となる試料を載せる試料台と、その試料台上の試料に接触せしめられる測定針とを有し、外部で計測器と接続して前記試料の電気的特性の評価を行う電気的特性測定用プローブ装置において、前記試料台につき、その試料接触面の導電部を計測用電極として、その計測用電極を含めて絶縁体を介挿せしめた三重電極構造とし、且つ前記計測器から計測用電極までの間を連絡する計測線の構成につき、該計測線を中心軸電極として絶縁体を介挿せしめた同じく三重電極構造とし、試料台の中間電極を計測線の中間軸電極に繋いでガード用に前記計測器に連絡すると共に、試料台の最下側電極を計測線の最外軸電極に繋いで計測器のシャーシに繋ぎ計測器のシャーシと同電位になるようにしたことを特徴とする電気的特性測定用プローブ装置。
【請求項２】請求項１に記載された電気的特性測定用プローブ装置の構成を備えると共に、その試料台の構成中に、試料の加熱又は冷却が可能な加熱装置又は冷却装置が設置されていることを特徴とする電気的特性測定用プローブ装置。」
２　引用刊行物記載の発明
　先の取消理由通知において引用した刊行物１〜刊行物３には、つぎのとおりの発明が記載されている。
（１）刊行物１（特開平２−２２０４５３号公報）
　半導体ウエファ上に形成されている半導体集積回路などのウエファ上電子回路を、それに探針を接触させて検査するウエファ上電子回路検査装置（２頁〔産業上の利用分野〕）に関し、「従来のウエファ上電子回路検査装置の場合、ウエファ載置台６自体が、外部から電磁遮蔽されていないため、ウエファ５を通る電流が、ウエファ載置台６を通る過程で、雑音の影響を受けるおそれを有する。」（５頁左下欄１５〜１９行）ことから提案された発明が記載され、その実施例４は、以下のとおりである。
　「第４図に示す本発明によるウエファ上電子回路検査装置は、次の事情を除いて、第２図で上述した従来のウエファ上電子回路検査装置と同様の構成を有する。
　すなわち、ウエファ載置台６を構成している絶縁材部２３内に、ウエファ載置部２４を取囲んでいる電磁遮蔽体５１が設けられている。（略）
　また、同軸コネクタ２６が、３軸コネクタ５２に置換され、そして、その３軸コネクタの接地用端子（外部導体）がウエファ載置台６の基部２１に連結され、また、第１の信号用端子（中心導体）がウエファ載置台６のウエファ載置部２４にリード線５３を介して連結され、策２の信号用端子（中心導体と外部導体間の断面環状導体）が電磁遮蔽体４１（５１の誤りと認める。）にリード線５４を介して連結されている。」（９頁右上欄１７行左下欄１５行）
　ウエファ載置部２４上にはウエファ５が載置され、［ウエファ５上に形成される電子回路検査を行う場合において、検査用信号の授受は、探針１０の外、同軸線８２及び３軸コネクタ３１と、その３軸コネクタ３１から検査装置本体に延長している３軸線（図示せず）を介して行われる。」（８頁右上欄１２行〜１７行）
　「第４図に示す本発明によるウエファ上電子回路検査装置の場合、電磁用遮蔽体５１を有するので、第２図で上述した従来のウエファ上電子回路検査装置の場合に比しより高い電磁遮蔽効果を得ることができるとともに、電磁遮蔽体５１が３軸コネクタ４２の第２の信号用端子に連結されているので、電磁遮蔽体４１（５１の誤記と認める。）に、３軸コネクタ５２とリード線５４を介して、ウエファ載置部２４と同じ電位を印加させることができるので、電磁的な誘導雑音を有効に回避することができる。」（９頁右下欄１０〜１５行）
（２）刊行物２（実願平２−２２５６号（実開平３−９５６４５号）のマイクロフィルム）
　半導体の微小電流測定に用いるプローブ針に関し（１頁〔産業上の利用分野〕）、「従来のプローブ針は外皮をシールドとして使用するため静電気的ノイズには強いが電磁気的ノイズに弱いという問題点があった。この考案は上記のような問題点を解決するためになされたもので、最外皮の内側にさらに金属ガード層を設けて両方のノイズ防止効果を目的としたものである。」　（２頁〔考案が解決しようとする課題〕）
　また、「測定器（５）よりのガード出力は、市販の低雑音ケーブル（６）及びコネクタ（７）を経由してプロープ針に加えられる。」（同頁１５〜１７行）との記載及び手続補正書の訂正図面（第１図）によれば、タングステン針（１）は、それぞれ絶縁物（２）を介してガード金属皮膜（３）とシールド金属皮膜（４）で被われ、最外皮のシールド金属皮膜（４）は低雑音ケーブル（６）に接続され、測定器（５）内で接地されていることが認められる。
（３）刊行物３（実願昭５８−１１１７８７号（実開昭６０−１９９７７号）のマイクロフィルム
　温度を変えながら行われる半導体測定用の試料台に関し（２頁３〜４行）、「試料台１は上部に試料２をマウントする面と熱交換部３と冷凍部４とから成る。冷却装置はガス圧縮機６、冷凍部４、低圧ガス用パイプ７および高圧ガス用パイプ８から成り、ガスの断熱膨脹を利用して冷却を行う種類のものである。加熱装置は熱媒体加熱機９と循環用ポンプ１０とから成り、加熱された熱媒体はパイプ１１により熱交換部３に供給される。」（４頁１４行〜５頁１行）。
３　対比・判断
（１）請求項１に係る発明（以下、「本件発明１」という。）について
　本件発明１と刊行物１に記載された発明（以下、「引用発明１」という。）とを対比すると、本件発明１の「試料台」、「測定針」、試料台における「計測用電極」「中間電極」「最下側電極」は、それぞれ、引用発明１の「ウエファ載置台６」、「探針１０」、ウエファ載置台６における「ウエファ載置部２４」「電磁用遮蔽体５１」「基部２１」に相当するから、引用発明１の試料台であるウエファ載置台も３重電極構造であり、また、引用発明１においても、３軸コネクタ５２の最外軸電極が基部２１に連結され、中心軸電極がウエファ載置部２４にリード線５３を介して連結され、中間電極が電磁遮蔽体５１にリード線５４を介して連結され、さらに、３軸コネクタ５２は本件発明の計測器に相当する検査装置本体に計測線に相当する３軸線で接続されると認められるから、本件発明１と引用発明１とは、「測定対象となる試料を載せる試料台と、その試料台上の試料に接触せしめられる測定針とを有し、外部で計測器と接続して前記試料の電気的特性の評価を行う電気的特性測定用プローブ装置において、前記試料台につき、その試料接触面の導電部を計測用電極として、その計測用電極を含めて絶縁体を介挿せしめた三重電極構造とし、且つ前記計測器から計測用電極までの間を連絡する計測線の構成につき、該計測線を中心軸電極として絶縁体を介挿せしめた同じく三重電極構造とし、試料台の中間電極を計測線の中間軸電極に繋いでガード用に前記計測器に連絡すると共に、試料台の最下側電極を計測線の最外軸電極に繋いでなることを特徴とする電気的特性測定用プローブ装置。」で一致し、本件発明１が、計測線の最外側電極を計測器のシャーシに繋ぐことによって、試料台の最下側電極を計測器のシャーシと同電位になるようにしたのに対して、引用発明１では、この構成に関し明らかでない点で相違する。
　そこで、相違点について検討すると、刊行物２には、半導体の微小電流測定に用いるプローブ針に関し、３軸構成とされたプローブ針が３軸のケーブルを介して計測器に接続され、ケーブルの最外側電極が計測器内で接地されていることが認められ、一般に計測器内で接地することは計測器のシャーシに繋ぐことであることを考慮すると、本件発明１のように計測線の最外側電極を計測器のシャーシに繋ぐことは、当業者にとっては格別のことではなく、普通に採用しうるものといわざるをえない。（ちなみに、本件明細書においても、「従来の試料台が試料接触面の計測用電極を含め絶縁体を介挿させた二重構造であり、その最下側電極を測定器のシャーシに繋ぐ」（本件特許公報４欄３７〜３９行）「最下側電極（通常測定器側で接地）」（同４２〜４３行）と記載されている。）
　したがって、本件発明１は、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に推考し得たものである。
（２）請求項２に係る発明（以下、「本件発明２」という。）について
　本件発明２と引用発明１とを対比すると、本件発明１と引用発明１との相違点に加えて、本件発明２が、その試料台の構成中に、試料の加熱又は冷却が可能な加熱装置又は冷却装置が設置されているのに対し、引用発明１はこれを備えていない点で相違すると認められるが、刊行物３にも記載されているように、試料に温度変化を与えるために、試料台に加熱装置又は冷却装置を設けることは周知であるから、引用発明１の試料台の構成中に加熱装置又は冷却装置を設けることは、当業者が適宜なし得るものと認められる。
　したがって、本件発明２は、刊行物１〜刊行物３に記載された発明に基づいて、当業者が容易に推考し得たものである。
　特許権者は、特許異議意見書で、刊行物１及び２には、いずれも試料台自身内部から発生するノイズの影響を排除するという思想は存在せず、３重電極構造にした上に最外側電極を計測器のシャーシに繋いで同電位とする構成もないから、本件発明の構成は容易に発明しうるものではないと主張するが、引用発明１の課題は、「ウエファ載置台６自体が、外部から電磁遮蔽されていないため、ウエファ５を通る電流が、ウエファ載置台６を通る過程で、雑音の影響を受けるおそれを有する。」というもので、そのために、試料台（ウエファ載置台）を３重電極構造としたものであるから、３重電極構造の外側からのノイズを遮蔽しようとする点において本件発明の課題と共通し、また、上述のように、３重電極構造の最外側電極を計測器のシャーシに繋いで同電位とすることは、当業者にとって普通のことであり、さらに、作用効果についても、本件発明が、当業者の予測を越えた格別の作用効果を奏するとは認めらないから、特許権者の主張は採用できない。
４　むすび
　以上のとおり、請求項１に係る発明は、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１に係る発明の特許は特許法２９条２項の規定に違反してなされたものである。
　請求項２に係る発明は、刊行物１〜刊行物３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項２に係る発明の特許は特許法２９条２項の規定に違反してなされたものである。
　したがって、請求項１ないし請求項２に係る発明の特許は、特許法１１３条２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年４月２８日（１９９９．４．２８）