(57)【要約】  本発明は、容積測定装置によって優先方向での液体の容積流量（Ｑ）を測定する方法に関するものであり、この容積測定装置は、電子回路と、増分発生器と、回転角度変化を検出するためのセンサとを備え、このセンサは好ましくは、ダブル測定ブリッジ（１０２）にある２つの巨大磁気抵抗（ＧＭＲ）センサとして構成されている。ここで増分発生器（１０２）の第１の正弦波信号がサイン生信号（Ｓ１）であり、同じ角周波数ωを有するが、前記第１の信号（Ｓ１）に対して９０°位相のずれている増分発生器（１０２）の第２の正弦波信号がコサイン生信号（Ｓ１）であり、これらの生信号（Ｓ１）は好ましくはまず処理（１０３，Ｓ１＋）され、補間され、デジタル化（１０４，Ｓ２）され、このデジタル信号（Ｓ２）が評価ユニットで、好ましくは直交エンコーダカウンタ（１０８）を有するプロセッサユニットで処理され、評価される。さらに本発明は、容積流を直交信号によって測定する方法に関するものであり、直交信号は第１のセンサの第１の信号と、同じ角周波数ωであるが、９０°互いに位相のずれている第２のセンサの第２の信号とを含む。前記直交信号は、電子回路を有する容積測定装置によって優先方向での液体の流量（Ｑ）を決定するために用いられる。本発明はさらに、前記測定方法を実施するための容積測定装置、並びに容積流を測定するための容積測定装置で使用する少なくとも１つの直交エンコードインタフェース／直交エンコーダカウンタ（１０８）を備えるプログラミング可能なプロセッサユニットに関するものである。
2013543130.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
優先方向での液体の容積流量（Ｑ）を容積測定装置によって測定する方法であって、当該容積測定装置は、
・電子回路と、
・増分発生器、すなわち回転角度変化を検出するためのものであり、好ましくはダブル測定ブリッジ中の２つの巨大磁気抵抗（ＧＭＲ）センサとして構成されたセンサ（１０２）とを有し、
・前記増分発生器（１０２）の第１の正弦波信号はサイン生信号（Ｓ１）であり、
・前記増分発生器（１０２）の第２の正弦波信号信号は、同じ角周波数ωであるが、前記第１の信号（Ｓ１）に対して９０°位相のずれたコサイン生信号（Ｓ１）であり、
前記信号（Ｓ１）は、
・好ましくはまず処理され（１０３，Ｓ１＋）、
・補間／デジタル化（１０４，Ｓ２）され、
・当該デジタル信号（Ｓ２）が評価ユニットで、好ましくは直交エンコーダカウンタ（１０８）を備えるプロセッサユニットで処理され、評価され、
前記評価および処理は以下のステップを有する：
ａ）液体の流動を検出するステップ；
ｂ）液体の通流方向を決定するステップ；
ｃ）液体の流動の状態、すなわち優先方向での流動のジッタおよび／または振動を決定するステップ；
ｄ）前記デジタル信号（Ｓ２）を、流動の状態に依存して、パルスフィルタリング（Ｓ３）を行う出力段（１１０）に直交信号の形でさらに伝送するステップ；すなわち、
・優先方向での流動の場合：オリジナルのデジタル信号（Ｓ２）をさらに伝送し、
・ジッタおよび／または振動が存在する場合：デジタル信号（Ｓ２）を（液体の運動がない）基本信号に変換し、流動（基本信号）をシグナリングしない、変換したデジタル信号をさらに伝送する、
ことを特徴とする測定方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、
前記第１の信号（Ｓ２）および／または前記第２の信号（Ｓ２）の時間的変化を比較することにより液体の状態を決定し、すなわち、
・前記容積測定装置のゼロ位置から出発して、前記第１の信号（Ｓ２）が前記第２の信号（Ｓ２）の前に変化し（エッジ変化）、当該位相シフトにより周期的変化が行われる場合には、優先方向での流動の状態が存在し、
・一方の信号（Ｓ２）が一定であり、他方の信号（Ｓ２）が変化する場合には、ジッタの状態が存在し、
・前記容積測定装置のゼロ位置から出発して、前記第２の信号（Ｓ２）が前記第１の信号（Ｓ２）の前に変化し、当該位相シフトにより周期的変化が行われ（逆方向振動）、かつ引き続いて（逆振動の終了後に）前記容積測定装置のゼロ位置から出発して、前記第１の信号（Ｓ２）が前記第２の信号（Ｓ２）の前に変化し、当該位相シフトにより周期的変化が生じる場合には、振動の状態が存在する（順方向振動）、ことを特徴とする方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の方法において、
振動またはジッタの状態の決定後、振動またはジッタの間に、前記優先方向とは反対方向に搬送される液体の容積が、優先方向で搬送される液体の容積によりまず調整され（計数されたパルスの調整）、それから優先方向での流動の状態の決定が新たに行われる、ことを特徴とする方法。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか一項に記載の方法において、
測定および／または検出および／または状態決定のために、前記信号（Ｓ２）のエッジ変化が評価ユニットで、好ましくは直交エンコーダカウンタ（１０８）を備えるプロセッサユニットで、とりわけ好ましくは内部カウンタで計数および／または処理される、ことを特徴とする方法。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか一項に記載の方法において、
フェードアウトされた信号（Ｓ２）が別の出力端に出力され、好ましくは限界値を上回って初めて当該信号（Ｓ２）が完全にシグナリングされる、ことを特徴とする方法。
【請求項６】
第１のセンサの第１の信号と、同じ角周波数ωであるが、９０°互いに位相がずれている第２のセンサの第２の信号とを含む直交信号を用いて容積流を測定する方法であって、
前記直交信号は、優先方向での液体の流量（Ｑ）を決定するために、とりわけ請求項１から５までのいずれか一項に記載の、電子回路を備える容積測定装置によって使用され、
容積流量（Ｑ）に依存して、決定すべき液体の流量（Ｑ）の分解に使用される補間因数（ＩＰＦ１，ＩＰＦ２，ＩＰＦ３）が適合される測定方法。
【請求項７】
請求項６に記載の方法において、
前記調整されおよび／または使用された補間因数（ＩＰＦ１，ＩＰＦ２，ＩＰＦ３）が別個に通信され、前記種々の補間因数（ＩＰＦ１，ＩＰＦ２，ＩＰＦ３）は、好ましくは種々異なる電圧レベルによりシグナリングされる、ことを特徴とする方法。
【請求項８】
第１のセンサの第１の信号と、同じ角周波数ωであるが、９０°互いに位相がずれている第２のセンサの第２の信号とを含む直交信号を用いて容積流を測定する方法であって、
前記直交信号は、優先方向での液体の流量（Ｑ）を決定するために、とりわけ請求項１から５までのいずれか一項に記載の、電子回路を備える容積測定装置によって使用され、前記直交信号のパルス値適合（Ｓ４）が、出力ユニット（１１０）にさらに送出する前に行われる、ことを特徴とする測定/方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法において、
前記パルス値適合のために、あらかじめ規定されたプロセス値を備えるデータバンク、好ましくはルックアップテーブルにアクセスし、目下存在するプロセス条件に対する補正値を読み出し、当該補正値によって前記直交信号の補正を実行する、ことを特徴とする方法。
【請求項１０】
請求項１から９までのいずれか一項に記載の測定方法を実施するための容積測定装置において、
プログラミング可能なプロセッサ、例えばマイクロコントローラ、ＡＳＩＣ、ＦＰＡＧおよび／または少なくとも１つの直交エンコーダインタフェース／直交エンコーダカウンタ（１０８）を備えるＤＳＰが設けられており、これらは測定信号の評価を実施する、ことを特徴とする容積測定装置。
【請求項１１】
容積流を測定するための容積測定装置、とりわけ請求項１から９までのいずれ一項に記載の方法を実施するための容積測定装置で使用する少なくとも１つの直交エンコーダインタフェース／直交エンコーダカウンタ（１０８）を備えるプログラミング可能なプロセッサユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、優先方向での流体の容積流量を容積測定装置によって測定する方法に関するものであり、この容積測定装置は、電子回路と、増分発生器と、回転角度変化を検出するためのセンサとを備え、このセンサは好ましくはダブル測定ブリッジにある２つの巨大磁気抵抗（ＧＭＲ）センサとして構成されている。ここで増分発生器の第１の正弦波信号がサイン生信号であり、同じ角周波数ωを有するが、第１の信号に対して９０°位相のずれている増分発生器の第２の正弦波信号がコサイン生信号であり、これらの生信号は好ましくはまず処理され、補間され、デジタル化され、このデジタル信号が評価ユニットで、好ましくは直交エンコーダカウンタを有するプロセッサユニットで処理され、評価される。
【０００２】
さらに本発明は、容積流を直交信号によって測定する方法に関するものであり、直交信号は第１のセンサの第１の信号と、同じ角周波数ωであるが、９０°互いに位相のずれている第２のセンサの第２の信号とを含み、前記直交信号は、電子回路を有する容積測定装置によって優先方向での流体の流量を決定するために用いられる。本発明はさらに、前記測定方法を実施するための容積測定装置、並びに容積流を測定するための容積測定装置で使用する少なくとも１つの直交エンコーダインタフェース／直交エンコーダカウンタを備えるプログラミング可能なプロセッサユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００３】
流体量およびその流速の測定は、流体および方法技術的な広い範囲で、排水原理にしたがい動作する流量および容積測定システムによりカバーされる。
【０００４】
この測定システムではとりわけ、それぞれのプロセスにおける測定精度および測定ダイナミクスに対する要求が非常に高い。
【０００５】
ここではとりわけ、制御、監視または検査を高精度かつ迅速に実行しなければならないプロセスが取り扱われる。
【０００６】
さらに１つの装置によって多種多様なプロセス（例えば異なる物理特性を有する流体）を実行することがしばしばであり、このこともシステム全体の使用能力の幅に大きな要求を課す。
【０００７】
本発明は、前記の要求を十分に勘案するものである。このためにはまず、流量測定装置または容積測定装置において機械的成分と電子的成分との機能的相互作用を正確に適合して選択しなければならない。したがって、電子ユニットの構成に重要な意味があり、電子ユニットは対応して技術的に効率的に、高性能に、かつフレキシブルに構成しなければならない。測定システム全体並びにこれに所属する方法と対応する装置は、従来技術で公知の解決手段よりもインテリジェントであり、頑強であり、ユーザーフレンドリーでなければならない。
【０００８】
高効率のための基礎として、特許文献１によりすでに達成できる高い分解能が必要である。ここでは流量センサが測定室を有し、この測定室に媒体が供給され、再び排出され、この媒体の容積および／または流速が測定される。測定室には自由に回転可能に支承された測定素子がある。さらに少なくとも１つのセンサが、磁界および／または磁界の変化の測定のために設けられており、このセンサの出力信号が供給される回路装置も設けられている。このセンサは出力信号を送出し、回路装置に供給する。出力信号は、測定素子の個々の歯および所属の歯間をそれぞれ通過する際に最小値と最大値との間で周期的に変動する。歯とセンサとの相対位置に依存して、出力信号は再現可能な中間値をとる。回路装置は、１つまたは複数のセンサの出力信号から固有の出力信号を形成するように構成されており、この出力信号は、２つの歯の間を搬送される容積の部分容積に対して代表的な計数可能な値に中間値を変換する。
【０００９】
排水式メータは流体柱内に強固に張架されており、これにより流体循環系内のいずれの運動も識別する。これは測定システムのダイナミクスに対して非常に大きな利点である。
【００１０】
しかしシステム振動が発生し得る。通流静止フェーズでもこの種の振動が発生することがあり、通流フェーズ中に動作通流に重畳されることがある。その場合、この振動も同じように記録され、これはシステム全体の精度に不利に作用する。結果として、測定中に測定システムからパルスが発生し、このパルスは電子的評価によってエラーと解釈される。この場合、これは負の感度であり、分解能または補間因数の上昇とともに付加的に増大する。振動の強度に応じて、シングルチャネルパルスまたはパルスシーケンスの形でエラー信号が通流方向（優先方向）に、または動作方向に対して反対方向に形成される。
【００１１】
これまで従来技術で公知の測定評価装置および測定評価方法で問題なのは、システム振動および障害的で厄介なプロセス条件等を考慮して正確に測定することが困難なことである。
【００１２】
障害的で厄介なプロセス条件とは、例えば、前に述べた通流静止フェーズ中での流体システムにおける流体柱の変動、反対の通流方向への変動を伴う非連続な通流、高い分解能要求を伴う通流の帯域幅、評価ユニットの処理限界、並びに精度への高い要求である。
【００１３】
詳細にはこれらは、以下の望ましくなく回避すべき事象およびその原因である。
【００１４】
流体循環系内に脈動するシステム成分が存在する場合、例えばサーボ弁にジッタがある場合、または振動がシステム部分に印加される場合、例えばピストンポンプが自由回転する場合、流体柱の変動が流体システムに、通流静止フェーズ中に発生する。
【００１５】
反対の通流方向への変動を伴う非連続的通流は、例えば方法技術的には、高粘度の接着剤または濃縮剤が搬送されるマルチコンポーネント装置で発生する。搬送は例えばピストンポンプによって行われ、ピストンポンプはそのストローク運動によって、優先方向とは反対方向の通流を吸引フェーズ中に引き起こすことがある。
【００１６】
流体の物理的特性も環境特性に常に依存している。流体はその環境に実質的に適合し、これにより種々の物理的現象が生じる。それに応じてこの物理的現象は、結果として流量測定に大きな意味を持つ。
【００１７】
特定の影響またはプロセス条件の下で可変の物理的特性とは、とりわけ流動特性、「内部摩擦」とも称される流動性、流体の質量対容積の比、流体分子のほぼ自由な変位、流体表面と機械的表面との間の摩擦（「外部摩擦」とも称される）、例えば堆積のような機械的表面間の摩擦、金属システムコンポーネントの寸法の変化である。
【００１８】
プロセス条件は、以下のファクタによって決定される。
【００１９】
流体システムの圧力、流体および環境の温度、流速、機械的システムコンポーネントの構造および材料。
【００２０】
これら物理的背景全体は、とりわけ排水式メータによる流量測定技術では、いずれにしろ精度に影響する。
【００２１】
精度を高めることへの要求からも問題が生じる。多くのプロセスで高精度の測定が要求される。排水式メータでの精度は、とりわけプロセスに起因する環境および本来の流動の下では流体特性から影響を受ける。排水容積は、圧力、温度および流速のようなそれぞれの条件の下で、物理的流体特性ともにわずかに変化し、これにより測定偏差が発生する。
【００２２】
非常に高精度の測定が要求される場合、ユーザは、それぞれの流動および物理的流体特性に対する出力信号のパルス値を、評価の際に対応して調整しなければならない。それぞれの範囲および物理的流体特性に対するこれらのパラメータ、またはプロセス条件下での真の排水容積は、通常は参照テーブル、すなわちルックアップテーブル（略してＬＵＴ）から取り出されるか、またはファイルされており、このテーブルは後置の評価ユニットにプログラミングされている。ルックアップテーブルと換算アルゴリズムからの値により、対応するパルス値の評価が行われる。しかしこの方法はユーザに対する多大な労力を意味する。なぜならユーザは多くの場合、評価ユニットでのパラメータのプログラミングにより時間を掛けて運転開始しなければならず、とりわけ測定結果を、非常に手間暇を掛けて後処理しなければならない。このことは大きな時間損失であり、格段の付加コストが掛かる。
【００２３】
とりわけ前記の物理的な副次条件を考慮した測定の適合は、測定装置ですでに行っておくべきであり、後処理の終了時に初めて実行すべきではない。
【００２４】
さらなる問題は、測定すべき容積流の所望の帯域幅が広いことである。すなわち大きな通流帯域幅に高い分解能要求と評価ユニットの大きな処理限界が課せられる。
【００２５】
いくつかの装置では、流量測定システムまたは容積測定システムを、その容積範囲または流量測定範囲全体にわたって運転しなければならないこともある。または同じ装置により、１つのプロセスまたは複数のプロセスで異なる流量測定または速度測定を行わなければならない場合もある。
【００２６】
しかし加えてユーザは、ここに説明する補間方法の高分解能によって作成することのできる情報をできるだけ多く得ることを望む。しかしこの場合に問題となるのは、正しい補間因数を正確に調整することである。流量が多い場合、または速度が高い場合、後置接続された評価ユニットに対する入力周波数を処理できない場合も生じ得る。一方、補間因数が小さく、流量が少なく、または速度が低い場合の分解能は、多くの場合ユーザにとって小さすぎる。多くの場合、複数のシステムコンポーネントが、構造的大きさの異なる排水式メータを備える切り替え可能な２つの流体循環系の形で、この問題を解決するために使用される。したがって通流容積の異なる広い帯域幅を１つの測定装置でカバーする手段を提供すべきである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２７】
【特許文献１】特許国際公開第２００５／１１９１８５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２８】
本発明の基礎とする課題は、優先方向での流体の容積流を容積測定装置によって測定するための方法を提供することであり、この方法は前記の問題を考慮し、とりわけユーザーフレンドリーであり、時間が掛からず、正確な測定が可能であるように正確であるようにする。
【００２９】
さらに本発明の課題は、第１のセンサの第１の信号と、角周波数ωは同じであるが９０°互いに位相のずれている第２のセンサの第２の信号とを含む直交信号を用いて容積流を測定するための方法であって、前記直交信号は、電子回路を備える容積測定装置によって優先方向での流体の流量を決定するために用いられる方法を提供することであり、この方法によって測定の帯域幅を増大させ、測定精度をさらに向上させる。
【００３０】
本発明のさらなる課題は、測定方法を実施するための容積測定装置と、容積流を測定するための容積測定装置で使用する少なくとも１つの直交エンコーダインタフェース／直交エンコーダカウンタを備えるプログラミング可能プロセッサユニットを提供することであり、容積流を問題なく測定できるようにする。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
この課題は、容積測定装置によって優先方向での流体の容積流を測定するための請求項１に記載の方法によって、第１のセンサの第１の信号と、これと同じ角周波数ωであるが、９０°互いに位相がずれている第２のセンサの第２の信号とを含む直交信号を用いて容積流を測定する方法であって、前記直交信号は、優先方向での流体の流量を決定するために電子回路を備える容積測定装置によって使用される、請求項６または請求項８に記載の方法によって、測定方法を実施するための請求項１０に記載の容積測定装置によって、および容積流測定のための容積測定装置で使用するための少なくとも１つの直交エンコーダインタフェース／直交エンコーダカウンタを備える請求項１１に記載のプログラミング可能プロセッサユニットによって解決される。ユーザは本発明により、それぞれのプロセス条件に対する明確な調整を電子ユニットで直接実行することができる。したがってユーザは、測定に際して流体システムのノイズの影響を阻止することができ、よりフレキシブルに使用することができ、高精度を達成することができる。本発明により、信号コントロールおよび直交出力信号の制御のためのプロセッサユニットを備える信号処理集積電子回路が、排水式メータシステムで得られる。本発明はとりわけ以下の主たる特徴、改善／新規性：デジタル信号フィルタリング、学習機能による補間因数、およびパルス値適合を有する。
【００３２】
評価および処理は、優先方向での流体の容積流を容積測定装置によって測定するための方法内で行われる。この容積測定装置は、電子回路と、増分発生器と、回転角度変化を検出するためのセンサとを備え、このセンサは好ましくは、ダブル測定ブリッジにある２つの巨大磁気抵抗（ＧＭＲ）センサとして構成されている。ここで増分発生器の第１の正弦波信号がサイン生信号（Ｓ１）であり、同じ角周波数ωを有するが、前記第１の信号（Ｓ１）に対して９０°位相のずれている増分発生器の第２の正弦波信号がコサイン生信号（Ｓ１）であり、これらの生信号（Ｓ１）は好ましくはまず処理（Ｓ１＋）され、補間され、デジタル化（Ｓ２）され、このデジタル信号（Ｓ２）が評価ユニットで、好ましくは直交エンコーダカウンタを有するプロセッサユニットで処理され、評価される。
この方法は、以下のステップを有する。
ａ）流体の流動を検出するステップ；
ｂ）流体の通流方向を決定するステップ；
ｃ）優先方向での流体の流動の状態、すなわちジッタおよび／または振動を決定するステップ；
ｄ）前記デジタル信号（Ｓ２）を、流動の状態に依存して、パルスフィルタリングを行う出力段（１１０）に直交信号の形でさらに伝送するステップ；すなわち
・優先方向での流動場合：オリジナルのデジタル信号（Ｓ２）をさらに伝送し、
・ジッタおよび／または振動が存在する場合：デジタル信号（Ｓ２）を（流体の運動がない）基本信号に変換し、流動（基本信号）をシグナリングしない変換したデジタル信号をさらに伝送する。
【００３３】
流量測定のための生信号は、２つのＧＭＲ測定ブリッジと強磁性部分を備える歯車とを有するセンサによって形成される。ＧＭＲ測定ブリッジは、対応する歯車帆ジュールおよび歯車部分ためのチップに互いに間隔をおいて設けられている。この「ポールホイール」のモジュールまたは歯車部分は、センサに対応して設けられる。磁界は支持マグメットから送出される。ポールホイールの歯構造は、センサの個々のＧＭＲ層上にある支持マグメットの磁界を変調する。この変調は、磁界線がその方向変化に基づいて圧縮または伸長されることによって行われる。この変調された磁界強度は、測定ブリッジにあるＧＭＲ効果によって比例する電気信号に変換される。歯構造によって測定の際にサイン信号／コサイン信号が発生される同じ原理を、磁化されるポールホイールにより実現することもできる。
【００３４】
流体システムにおける振動は、流体柱の常時の往復運動によって発現される。排水式メータは完全に流体柱内に張架されているから、その運動も同様にその機械的測定機構に作用する。両方の方向への常時の回転運動が発生する。測定機構の振動は電子的走査システムによって検出され、パルスシーケンスまたはエッジシーケンスに変換される。これらのシーケンスの特性は流体柱の運動を正確に再現する。すなわち生成された容積パルスは排水された部分容積に比例する。したがって一方では振動する流体容積が測定され、他方では機械的測定機構の回転運動における種々の周波数が測定される。各振動はまず発生の際に方向変化を形成する。すなわち流動は短時間停止し、そして排水式メータの測定機構は優先方向とは反対方向に回転する。したがって短時間の「逆流y」が生じる。方向変化は、補間器に発生する直交信号（９０°位相のずれた２つの矩形信号）において識別される。チャネルの２つのエッジが直接順次連続し、他のチャネルの切り替えはない。これにより２つのチャネルの９０°位相またはエッジシーケンスが回転する。２つのチャネルの順次連続する切り替えは、振動の強度または測定された部分容積に依存しており、これらはさらに補間器の調整された補間因数に依存する。
【００３５】
エッジシーケンスが直ちに再度回転するか、すなわち次の切り替えが１つのチャネルで再度行われるか、または反対方向のパルスシーケンスまたはエッジシーケンスが発生する。前者は、機械装置もしくは流体柱のジッタの場合のように振動が小さいときに、および／または補間因数が小さく調整されているときに発生する。常時の方向変化が検知される。すなわち切り替えは１つのチャネルでだけ行われる。第２の場合は、流体容積もしくは回転経路が大きい振動のとき、および／または補間因数が大きく調整されているときに発生する。ここではエッジシーケンスまたはパルスシーケンスが反対方向に出力され、それから再び優先方向への方向変化、または出力位置への運動／回転が行われる。
【００３６】
信号フィルタリング機能はユーザに、エッジまたはパルスを振動フェーズ中にろ波除去する手段を提供し、これにより評価ユニットはエラーパルスを誤って解釈することがない。補間器の後置接続されたプロセッサユニットは直交エンコーダインタフェース（ＱＥＩ）を有しており、この機能を引き受ける。直交エンコーダインタフェースは４重評価部を有しており、形成された直交信号の各エッジ変化がこれによって記録され、計数される。さらにインタフェースは計数方向情報を有しており、この情報も同様にエッジ制御されて機能する。
【００３７】
プロセッサは動作時に各エッジ変化後にこの方向識別を問い合わせる。流量測定システムが通常動作またはその優先方向で実行される場合、補間器の２つの出力チャネルの状態が電子回路の信号出力端に直接出力される。振動の場合は信号フィルタリングが作動される。２つのチャネルの状態は、方向変化中には出力端にさらに出力されず、フェードアウトされる。方向変化のエッジは、直交エンコーダインタフェースのアップダウンカウンタにより計数される。続いて反対方向で発生された補間器のエッジもフェードアウトされ、集積されたカウンタで計数される。変化中に優先方向に戻ると、計数状態が減算され、引き続くエッジもさらにカウンタの値が０になるまで減算され（反対の優先方向での振動の調整−優先方向での逆振動）、振動の出発位置に再び達する。それまでは２つのチャネルのすべての切り替えは信号出力回路に送出されない。優先方向でのチャネルの次のエッジ変化は、再び電子回路の信号出力端に結び付けられる。これはユーザにとって有利であり、一方ではパルスが逆流の間はフェードアウトされ、他方では振動または回転が再び元に戻ってから初めてパルスが出力される。したがって過度の多くのエッジおよび過度に少ないエッジが出力されたり、部分容積が測定されたりしない（図１参照）。
【００３８】
デジタル信号フィルタリングは、必要な場合には対応して適合され、これにより不所望の信号はろ波除去され、フィルタ率を適合することができる。
【００３９】
第１の信号（Ｓ２）および／または第２の信号（Ｓ２）の時間的変化を比較することにより流体の状態を決定することによって、すなわち、
・前記容積測定装置のゼロ位置から出発して、前記第１の信号（Ｓ２）が前記第２の信号（Ｓ２）の前に変化し（エッジ変化）、当該位相シフトにより周期的変化が行われる場合には、優先方向での流動の状態が存在し、
・一方の信号（Ｓ２）が一定であり、他方の信号（Ｓ２）が変化する場合には、ジッタの状態が存在し、
・前記容積測定装置のゼロ位置から出発して、前記第２の信号（Ｓ２）が前記第１の信号（Ｓ２）の前に変化し、当該位相シフトにより周期的変化が行われ（逆方向振動）、かつ引き続いて（逆振動の終了後に）前記容積測定装置のゼロ位置から出発して、前記第１の信号（Ｓ２）が前記第２の信号（Ｓ２）の前に変化し、当該位相シフトにより周期的変化が生じる場合には、振動の状態が存在する（順方向振動）。
【００４０】
このようにして本方法を高精度にすることができ、不所望の状態または所要の状態を正確に識別することができる。
【００４１】
振動またはジッタの状態の決定後、振動またはジッタの間に、優先方向とは反対方向に搬送される流体の容積が、優先方向で搬送される流体の容積によりまず調整され（計数されたパルスの調整）、それから優先方向での流動の状態の決定が新たに行われる場合、ユーザは有効に搬送された流体容積についての正確の情報を得ることができる。
【００４２】
とりわけ測定／検出および／または状態決定のために信号のエッジ変化が評価ユニットで、好ましくは直交エンコーダカウンタを備えるプロセッサユニットで、好ましくは内部カウンタで計数および／または処理される。
【００４３】
フェードアウトされた信号（Ｓ２）が別の出力端および／または同じ出力端に出力され、好ましくは境界値を上回って初めてこれら信号（Ｓ２）が完全にシグナリングされる場合、ユーザはスイッチを介して境界値またはカウンタに対する制限されたエッジ数を調整することができ、これにより必要な場合には反対方向の流動を最終的に検出することができる。
【００４４】
本発明の各別の利点は、学習機能による補間適合の側面である。
【００４５】
ここで測定信号の補間は、測定システムの分解能を向上させるために用いられる。ここではアナログ信号（サイン生信号とコサイン生信号）が均等な区間で分散されデジタル化される。区間の数は補間率と称される。種々の補間方法がある。加算定理による補間、アークタンジェント補間、またはバーニア補間である。本開発で使用される補間は、アークタンジェント補間法に基づくものである。
【００４６】
この方法ではサイン信号およびコサイン信号が常時サンプリングされ、十分なビット分解能を有するＡ／Ｄ変換器を介してデジタル化される。これらのデジタル信号から、ＧＭＲセンサの下の歯の「角度情報」または「位置」をアークタンジェント関数により求めることができる。単位円（ｓｉｎ２＋ｃｏｓ２＝１）を考慮し、ｘ＝ａｒｃｔａｎ（Ｕｓｉｎ／Ｕｃｏｓ）を計算することにより発生器期間内に線形の周期的な部分領域が得られ、これらの部分領域から対応のデジタル切替点または閾値により、所要の率のＡ−Ｂ−Ｚパルス信号が生成される。切替点は、ルックアップテーブ（ＡＤＣのビット幅に基づく）または関数アルゴリズムによって求められる角度情報に比例する２進値である。Ｚ信号は、「基準マーク」としての絶対角度測定に用いられる信号である。この信号は、発生器期間中（少なくとも４５°で）一度生成される。この信号は流量測定には本来必要ないが、補間因数切り替えのための周期期間測定および流量ピーク識別のために使用され、解釈される。
【００４７】
第１のセンサの第１の信号と、これと同じ角周波数ωであるが、９０°互いに位相がずれている第２のセンサの第２の信号とを含む直交信号を用いて容積流を測定する方法であって、前記直交信号は、電子回路を有する容積測定装置によって優先方向での流体の流量を決定するために用いられる方法では、検出すべき流体の流量測定の分解に使用される補間因数が、容積流に依存して適合される。
【００４８】
好ましくは調整される補間因数および／または使用される補間因数が別個に関連し、種々の補間因数が好ましくは種々の電圧レベルを介してシグナリングされる。
【００４９】
動作時にプロセッサは、補間器の固有の周波数信号を介して切替時点を識別し、切替が補間器により開始される。
【００５０】
後置接続された評価ユニットは、それぞれの流量領域に対して補間因数の異なる作動を、別個の信号線路での対応する電圧レベルによって識別することができる。以下の電圧レベルが出力される：＋０ＶでのＩＰＥ１（例えばＧＮＤ）；＋２．２５ＶでのＩＰＦ２（例えばＶ０）、＋３．３ＶでのＩＰＦ３（例えばＶＤＤ）；＋５ＶでのＩＰＦ４（例えばＶＤＤＡ）。
【００５１】
補間因数を基準にした学習機能により、ユーザは、補間因数をそれぞれの流量領域に対して明示的に設定することができる。ここで補間因数の切替点は、運転中に一度指示され、または学習され、電子回路により記憶される。後続の通常動作では、補間因数の切替が自動的に行われる。別個の信号線路を介して、補間因数作動の状態が接続された評価部に通知される。
【００５２】
ユーザは補間因数間の切替を、これに所属する信号フィルタ調整（ＦＩＬＴ）により正確に設定することができる。補間因数学習機能のためのモードは、コーダスイッチ、挿入ブリッジでの調整により、キー操作後に作動される。作動は電子回路の通報装置（ＬＥＤ等）を介してユーザにシグナリングされる。その後ユーザは、異なる補間因数を有する流量領域の数をコーダスイッチで調整しなければならず、キー操作を介してコーダスイッチを操作しなければならない。とりわけ対応する補間因数を有する２から４の流量領域が有意義に調整可能である。
【００５３】
その後ユーザは、装置に流動のない状態で第１の補間因数とこれに所属するＦＩＬＴを設定することができる。ユーザは、それぞれのコーダスイッチで補間因数とＦＩＬＴを調整し、キーを操作する。次の補間因数をプログラミングするための引き継ぎと準備もユーザにシグナリングされる。その後ユーザは、次の補間因数を作動すべき流動を調整しなければならない。この時間の間、調整を正しく実行するために出力端で信号はもちろんアクティブである。対応する流動が調整されると、ユーザは次の補間因数およびＦＩＬＴをコーダスイッチにより調整し、再びキーを介して記憶を行わなければならない。
【００５４】
この調整方法では、好ましくは独立の周波数信号が電子ユニットによりまず測定され分析される。ポンプのような流体循環路におけるシステムパラメータのため、通流は通常、一定の値を有しておらず、平均値を中心に変動する。
【００５５】
流量分析中に、通流周波数の最大値と最小値が求められる。これらの値から、測定された通流の平均値に相当する切替時点に対してスイッチングヒステリシスが設定される。このスイッチングヒステリシスにより、切替時点の領域における補間因数の不所望の常時の変化が回避される。
【００５６】
例：第１の補間因数ＩＰＦ１から第２の補間因数ＩＰＦ２への変化は、切替時点により測定された最大値の領域に通流がある場合に初めて行われる。また通流周波数が、学習中に切替時点により測定された最小値の領域にある場合に初めて、ＩＰＦ２からＩＰＦ１への切替が行われる。
【００５７】
これらの手続は、各切替時点で実行される。最終的に記録された切替時点の後で、電子回路はユーザに、学習機能のコンフィギュレーションが終了し、作動されたことをシグナリングする。挿入ブリッジでの変化を介して学習機能を再び非作動にすることができる。
【００５８】
補間因数の機能をプログラミングするための別の手段は、コーダスイッチまたは電子的インタフェースを介する完全のパラメータ入力である。この調整方法では、個々のパラメータの数値、とりわけ補間因数ＩＰＦの数、スイッチング周波数、補間因数ＩＰＦ、信号フィルタ調整ＦＩＬＴおよびヒステリシス度（％）がコーダスイッチまたは電子インタフェースを介してステップごとにプログラミングされる。
【００５９】
この択一的調整方法は例えば、運転中に予増幅器で調整を実行するのがユーザにとって不可能な場合に使用される。この場合、ユーザは補間因数の切替のためのパラメータ化を前もって行っておくこともできる。
【００６０】
さらなる側面はパルス値適合である。
【００６１】
第１のセンサの第１の信号と、これと同じ角周波数ωであるが、９０°互いに位相がずれている第２のセンサの第２の信号とを含む直交信号を用いて容積流を測定する方法であって、前記直交信号は、電子回路を有する容積測定装置によって優先方向での流体の流量を決定するために用いられる方法では、直交信号のパルス値適合が、出力ユニットにさらに送出する前に行われる。
【００６２】
ここではパルス値適合のために、あらかじめ規定されたプロセス値を有するデータバンク、好ましくはルックアップテーブルにアクセスし、現在存在するプロセス条件に対する補正値が読み出され、この補正値によって直交信号が補正される。これについてはとくに図３を参照されたい。
【００６３】
この電子回路に組み込まれた機能「パルス値適合」は、対応するプロセス条件に対して正しい値またはパルス長を有する出力信号パルスをユーザに提供する。「周波数応答」のこの適合は、電子回路でもルックアップテーブルおよび変換アルゴリズムによって実行することができる。電子回路ユニットも同様に、それぞれのパラメータ条件の下で真に排水された容積からの対応するパラメータを必要とする。
【００６４】
しかしながら、従来技術で公知の方法との大きな相違は、この適合または精度の向上がすでに容積センサ電子回路で行われ、ユーザが付加的にプログラミングすることができなかったり、高い出費で入手しなければならなかったりする評価において初めて行われるのではないことである。さらにこのことはユーザに時間節約の潜在的可能性を提供する。
【００６５】
それぞれのプロセス条件に対するパラメータを外部の箇所により、または製造者自身で求め、補正パラメータの形で電子回路のメモリに伝送することができる。そして対応する測定のために高められた精度を有する機器が得られる。
【００６６】
偏差の最大部分はまず第一に流体の流動性、流速、圧力および温度により発生し、これらは簡単に再現することができる。
【００６７】
さらにユーザはプロセス条件下にある自分の装置の存在する箇所で補正パラメータ自体を求め（例えば秤での計測）、ＰＣソフトウエアと専用のインタフェースを用い、これを電子回路のメモリに伝送することができる。ユーザが複数の評価ユニットを使用する場合、ユーザはこれらを個別に適合する必要はない。
【００６８】
パルス値適合のためのハードウエアは、高分解能の補間器と１つまたは複数のプロセッサユニットから統合される。これらは、２つの直交コーダカウンタ（場合により１つのみ）、ビット幅の広い（例えば３２ビット）カウンタ、および個々のハードウエアコンポーネントをインタフェース通信（例えばＳＰＩ、Ｉ２Ｃ、ＢＩＳＳ、ＵＡＲＴ、またはＣＡＮ）を介して制御するための上位のプロセッサから統合される。
【００６９】
前もってとくに高精度の比較装置による測定プロセスによって、使用時でのそれぞれのプロセス条件下での測定偏差を確定し、記録しておかなければならない。これらの測定偏差または真の測定値を、市販のＰＣソフトウエアによる計算によって、または特別のＰＣソフトウエアによって補正値に変換し、電子回路メモリに伝送しなければならない。
【００７０】
後の運転では、まず電子回路が目下の周波数または流量値を読み出す。このタスクはビット幅の広いカウンタを用いて実行される。ビット幅が広いことは、大きな帯域幅にわたって周波数測定を行うための前提である。測定原理は、周期期間測定法またはパルス幅測定法に基づく。周期期間測定法またはパルス幅測定法では、各個々のパルスのパルス幅が測定され、そこから周波数が計算される。この測定法ではパルス幅およびパルスの持続時間が、高い一定のクロック周波数によって測定される。周期期間の逆数から周波数が計算される。パルス周期期間が例えば４０ＭＨｚ（これは０．０２５ｓの分解能に対応する）のクロック周波数により測定されるので、この測定自体は周波数が高くても非常に正確である。このように分解能が高いので、小さな周波数変化でも直ちに連続的に検出される。したがってこの測定方法は、正確な周波数測定、流動測定および質量流量測定に適する。評価すべき信号は補間器からゼロ信号（補間されない信号）によりすでに準備される。この３２ビット値により対応する補正値がルックアップテーブルから求められる。
【００７１】
ルックアップテーブルには所定数の補正値が周波数または周期期間（３２ビット値）とともに登録されている。この「支持点」から補間計算によって（ここでは、近似）、支持点間の対応する補正値が計算される。すなわち３２ビットカウンタから周期的に読み出された周波数値について、支持点の関数から対応する補正値が決定される。この補間は、線形方程式、２次方程式、または３次方程式で行われる。
【００７２】
補正値はエッジにおける対応する数を表し、これにより本来のパルス値適合が実施される。補間器は、例えば排水された容積増分当たりで２０４８エッジ程度の高いステップに調整しなければならない。この高く補間された信号は２つの直交エンコーダカウンタにさらに送出される。このカウンタはさらにエッジ評価のために４倍モードで動作し、出力信号の方向に依存するエッジシーケンスを連続的に並行して計数する。
【００７３】
各直交エンコーダカウンタでは、２つの限界値が特定のエッジ数の形でプログラミングされている。限界値に達すると２つのカウンタは対応するパルス信号を出力する。これらの信号は、ハイとローとの間の切換のための出力切換に用いられる。第１の直交エンコーダカウンタに対する限界値は、通常の場合、±５１２と±１５３６であり、第２の直交エンコーダカウンタに対する限界値は、±１０２４と±２０４８（Ｏ）である。
【００７４】
ここでは、補間されない信号期間または排水された容積増分内で４つの標準切替点が取り扱われることが分かる。補正値により対応する限界値または切替点が新たに決定され、パルス値または出力信号の周波数が変化される。
【００７５】
以下、例に基づいて適合を説明する。入力周波数は９００Ｈｚであり、これに対して出力周波数はパルス値適合により９１０Ｈｚである。これは正方向での−６エッジの補正値により達成される。以下の数式が計算のために使用される。
【数１】
2013543130.tif 000003
【００７６】
チャネルの切替点または限界値は５０６と１５１８エッジおよび１０１２と２０２４エッジにある（図３参照）。２つのカウンタは、第２の限界値に達すると新たに計数をスタートする（計数状態０）。
【００７７】
さらなる機能は、自動的センサ調整機能、流量ピーク監視、過温度監視、周波数超過監視、並びにセンサの故障の際のエラー通報である。
【００７８】
容積決定の測定方法を実施するための容積測定装置はプログラミング可能なプロセッサ、例えばマイクロコントローラ、ＡＳＩＣ、ＦＰＡＧおよび／または少なくとも１つの直交エンコーダインタフェース／直交エンコーダカウンタを備えるＤＳＰを有し、これらは測定信号の評価を実施する。
【００７９】
容積流の測定のための容積測定装置で使用するための少なくとも１つの直交エンコーダインタフェース／直交エンコーダカウンタを有するプログラミング可能なプロセッサは、ハードウエア側では容積流測定の実施に重要である。
【００８０】
さらなる有利な構成は図面に示されている。以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】逆方向振動が存在するときのパルスフィルタリング方法の適用例を示す図である。
【図２】時間に関して変化する流動の例を示す図であり、ここでは補間因数が変化される。
【図３】パルス値適合の例を示す図である。
【図４】パルスフィルタリング機能および補間因数機能に対する例としての信号処理を示す図である。
【図５】パルスフィルタリングおよび補間因数機能のための回路例を示す図である。
【図６】パルス値適合のための回路例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００８２】
以下、同じエレメントには同じ参照符号を使用する。
【００８３】
図１には、逆方向振動が存在する場合のパルスフィルタリング方法の適用例が示されている。測定容積は５ｍｌ（１増分当たり１．２５ｍｌの４倍）である。
【００８４】
振動の個々のステップが図示されている。すなわち、
１：静止状態
エッジ数：０
差分容積  ０ｍｌ
２：振動の開始とパルスフィルタリング作動；信号のフェードアウト
エッジ数：０
差分容積  ０ｍｌ
３：流体の運動、反対方向の符号
エッジ数：８
差分容積  １０ｍｌ
４：優先方向への振動の変化
エッジ数：２４
差分容積  ３０ｍｌ
５：優先方向への流体の運動
エッジ数：１６
差分容積  ２０ｍｌ
６：流体と搬送された容積の振動；
パルスフィルタリングの終了；信号が再び出力される。
エッジ数：０
差分容積  ０ｍｌ
【００８５】
図２には、時間ｔに関して変化する流量Ｑの例が示されており、ここでは補間因数ＩＰＦが変化される。
【００８６】
ここには種々の補間因数ＩＰＦ１，ＩＰＦ２およびＩＰＦ３が示されており、対応する流量ＱとＩｔｒで毎分ごとに相関される。
【００８７】
感度の適合が行われる。
【００８８】
存在するＩＰＦのシグナリングは別個の線路（電圧）を介して通信される。
【００８９】
図３は、パルス値適合の例を示す。
【００９０】
この図には上に述べた例がさらにグラフィックに図示されている。
【００９１】
補間されるパルス信号ＩＭＰの分解能は２０４８エッジである。
【００９２】
図４には、とりわけパルスフィルタリング機能および補間因数機能に対する信号処理の例が示されている。
【００９３】
上に述べたようにＧＭＲセンサ、支持マフネットおよびポールホイールの組み合わせによってサイン生信号および／またはコサイン生信号が生成される。これらの生信号はまず複数のステップで処理される。これが必要であるのは、正確な補間のためにはサイン信号とコサイン信号の三角関数特性が存在し、同じでなければならないからである。このために信号処理では、増幅、オフセット補正、位相補正、ノイズ減衰および／または信号制御が行われる。
【００９４】
増幅段では生信号の振幅が、補間器で処理可能な大きさに増幅される。機械的および物理的公差により、正弦波状信号には直流成分（オフセット）がある。デジタルポテンシオメータによってこの「オフセット」が調整される。回路においてこのことは、増幅の前または（回路に存在する）補間器の入力端で行われる。オフセット調整は、回路が存在する場合には補間器の特別モードによりマイクロコントローラμＣの周期期間測定と関連してキータッチごとに行われる。
【００９５】
さらなる段は、開発の既存の回路において補間器内の機能によって引き継がれる。しかしこれは別のハードウエアによって実現することもできる。
【００９６】
位相オフセット補正により、正しい補間に対して必要な９０°シフトも同様に行われる。正弦波信号に重畳されたノイズ作用は、その後、ローパスフィルタにより減衰される。
【００９７】
信号制御は、サイン／コサイン信号のオフセット変動および振幅変動がある場合に所定の公差範囲を保証する。ここでもＡＤＣが使用される。
【００９８】
本発明では、増幅制御およびオフセット制御が補間器の内部にある。その後、信号が上記のような補間方法により高分解能にデジタル化される。
【００９９】
ＡＢＺパルス信号のさらなる処理は、対応するプロセッサ（ここではマイクロコントローラ）によって実行される。マイクロコントローラは、システムのコントロールおよび評価ユニットを引き受ける。
【０１００】
直交エンコード入力の能力、エッジの計数、方向変化の非常に高速な検出により、本発明のパルスフィルタリングが最終的な出力の前に出力段を介して実行される。
【０１０１】
コーダスイッチによりユーザは、対応する調整を行うことができる。すなわち補間因数、フィルタリング度、優先方向、構造サイズ、自動的オフセット調整、およびさらなるフィーチャを実施することができる。
【０１０２】
図５は、パルスフィルタリングと補間因数機能のための例としての回路を示す。
【０１０３】
この図には、パルスフィルタリングおよび補間因数機能のための回路の個々のコンポーネントが詳細に示されている。
【０１０４】
図６は、パルス値適合のための回路を例として示す。
【０１０５】
信号生成、信号処理、および信号補間は、パルスフィルタリングおよび／または補間因数機能に対する回路では同じである。
【０１０６】
処理された信号は、とりわけシュミットトリガ回路を介してデジタル化される。この出力パルスは、通常、１倍の分解能を有する。すなわち１つの歯ごとに１つのパルスである。このＡ／Ｂパルスは、プロセッサの直交エンコードインタフェースを介してパルスフィルタリングのために使用され、これによりシステム変動によるノイズが値適合のプロセスに入り込まない。
【０１０７】
この場合、出力は「阻止」される。補間器のＺ信号も同様に、単純な周波数を再現する。この周波数は３２ビットカウンタを介し、周期期間測定法により連続的に測定される。測定値はプロセッサ（ここではＤＳＰコントローラ）により評価され、それぞれの偏差領域の対応する支持個所がルックアップテーブルから取り出される。ルックアップテーブルは、ボリュームメータの較正プロトコルからの偏差に比例する計数値を含む。
【０１０８】
この値により、近似計算またはプロセッサでの対応するアルゴリズム（ここでは補間とも称する）を介してパルス値補正のための限界値（カウンタ値）を２つの直交エンコーダカウンタのために求め、これに送信する。
【０１０９】
補間器の高分解能なＡ／Ｂ信号は、常時、直交エンコーダカウンタにより検出され、計数される。これらのカウンタは、各限界値検出の際に信号を出力回路にさらに送出し、フィードバックにより自立的にリセットする。出力段のチャネルは、直交エンコーダカウンタの各信号の際に変化し、これにより限界値または近似計算に依存する期間長を有する直交エンコーダ信号Ａ／Ｂが発生する。パルスの値は正しいレベルに適合される（１倍の分解能）。
【０１１０】
図示の実施例は限定的なものではなく、本発明の容積測定評価方法および測定装置の単なる可能な実施例である。
【符号の説明】
【０１１１】
１００  補間ユニット
１０１  ポールホイール
１０２  ダブル測定ブリッジを有する巨大磁気抵抗（ＧＭＲ）センサ
１０３  信号処理（増幅およびオフセット調整）
１０３１  位相
１０３２  ローパスフィルタ
１０３３  信号制御（利得＋オフセット）
１０４  補間器
１０５  第１のＥＥＰＲＯＭ
１０６  デジタルポテンシオメータ
１０７  第２のＥＥＰＲＯＭ
１０８  直交エンコーダカウンタ（ＱＥＩ）を有するプロセッサユニット［μＣ］
１０９  コーダスイッチ
１１０  出力段
１１１  シュミットトリガ回路  パルス単純化
１１２  コンフィギュレーション（Ｃｏｎｆｉｇ）およびルックアップテーブル（ＬＵＴ）用のＥＥＰＲＯＭ
１１３  システムクロック
１１４  周期期間測定用の３２ビットカウンタ
１１５  ＡＢＺ直交カウンタ１
１１６  ＡＢＺ直交カウンタ２
Ｓ１  サイン／コサイン生信号
Ｓ１＋  処理されたサイン／コサイン信号
Ｓ１ｉ  パルス・信号  １倍
Ｓ２  ＡＢＺ信号（補間からのパルス信号）
Ｓ２１  高分解能なＡＢ信号
Ｓ２２  Ｚ信号
Ｓ３  パルスフィルタリングした直交信号
Ｓ４  値適合したＡ／Ｂ信号
ＳＬ１  バス１
ＳＬ２  バス２
Ｇａ  限界値Ａ
Ｇｂ  限界値Ｂ
Ｋａ  チャネルＡ
Ｋａｌ  パルス値適合したチャネルＡ
Ｋｂ  チャネルＢ
Ｋｂｌ  パルス値適合したチャネルＢ
Ｉｍｐ  補間されたパルス信号
Ｘ  優先搬送方向
−Ｘ  反対方向の搬送方向（逆流）
Ｃｏ  フィルタリングなしの出力信号
Ｃｆ  フィルタリングした出力信号
Ａｆ  フィルタ機能の作動
Ｄｆ  フィルタ機能の非作動
ＩＰＦ１  補間因数１
ＩＰＦ２  補間因数２
ＩＰＦ３  補間因数３
Ｄｇ  制御線路の信号出力
Ｄｏ  学習機能なしの信号出力
Ｄｔ  学習機能付きの信号出力
Ｑ  流量（ｌ／ｍｉｎ）
Ｕ  電圧
ｔ  時間
【図１】
2013543130.tif 000004
【図２】
2013543130.tif 000005
【図３】
2013543130.tif 000006
【図４】
2013543130.tif 000007
【図５】
2013543130.tif 000008
【図６】
2013543130.tif 000009
【国際調査報告】
2013543130.tif 000010
2013543130.tif 000011
2013543130.tif 000012
2013543130.tif 000013
2013543130.tif 000014
2013543130.tif 000015
2013543130.tif 000016
2013543130.tif 000017
2013543130.tif 000018
2013543130.tif 000019