【事件の表示】
　特許第２６５６８９５号「吸着パッド」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２６５６８９５号の特許を維持する。
【理由】
１．手続の経緯
　本件特許第２６５６８９５号発明は、平成５年９月１日の出願であって、平成９年５月３０日に特許の設定登録がなされ、その後、雨山　範子より特許異議の申立がなされ、当審において取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１０年９月５日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正請求の内容
　訂正請求は、本件特許に係る願書に添付した明細書（以下「本件特許明細書」という。）を訂正請求書に添付した訂正明細書（以下「本件訂正明細書」という。）のとおり訂正することを求めるものであり、その訂正の内容は次のとおりのものである。
▲１▼訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１に係る記載を、
「吸着パッドに形成したスカート部の基部を上反り状態とし、前記スカート部をベローズ形状とすると共に、吸着した板材を上反り状とするため前記吸着パッドの下面中央部に円弧状の突起部を設け、この円弧状の突起部表面に複数の連通溝を設け、吸引穴を前記突起部の中央と突起部の側面に貫通して設けると共に前記スカート部と突起部とを弾性部材により一体に形成したことを特徴とする吸着パッド。」と訂正する。
▲２▼訂正事項ｂ
　明細書の段落【０００８】を、
「　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、この発明は、吸着パッドに形成したスカート部の基郡を上反り状態とし、前記スカート部をベローズ形状とすると共に、吸着した板材を上反り状とするため前記吸着パッドの下面中央部に円弧状の突起部を投げ、この円弧状の突起部表面に複数の連通溝を設け、吸引穴を前記突起部の中央と突起部の側面に貫通して設けると共に前記スカート部と突起部とを弾性部材により一体に形成して吸着パッドを構成した。」と訂正する。
▲３▼訂正事項ｃ
　明細書の段落【００１３】を、
「吸着パッド１は、弾性部材にて製作され、スカート部５と円弧状の突起部７とが一体に形成されている。スカート部５の基部９は上反り状態に形成されていて、スカート部５は上下方向へ伸縮するベローズ形状となっている。更に、吸着パッド１に形成された円弧状の突起部７は、吸着パッド１の中央部に垂設され、突起部７の下面には複数の連通溝１１が設けられていて、この連通溝１１は例えば格子状の溝である。」と訂正する。
▲４▼訂正事項ｄ
　明細書の段落【００１６】を、
「板材ＷＴが上反り状に変形すると、板材ＷＴと積重された板材Ｗとの間が開き、この開□部より空気が入り分離が容易となる。また、従来の吸着パッドのごとく、積重された板材Ｗとの間に吸盤状の真空部を発生させないので、複数の板材Ｗを同時に吸引することなく、最上郡の板材ＷＴの上反りにより下の板材Ｗを引き離す力が生じるため確実に分離することができ、板材Ｗの多数枚取りを防止することができる。更に、スカート部５はベローズ形状になっているため吸着パッド１の中央部に一体に形成した突起部７があっても、吸着の際支障にならず、また、連通溝１１により板材ＷＴに対する密着度が高くはがれにくい。」と訂正する。
▲５▼訂正事項ｅ
　明細書の段落【００１８】を、
「　【発明の効果】
　以上のごとき実施例の説明より理解されるように、この発明によれば、特許請求の範囲に記載されたとおりの構成であるから、板材を吸着して搬出する際、積重された最上面を吸着パッドにて吸着すると、板材は上反り状態となる。このため、下の板材を引き離す力を生じさせ分離を良くし、板材端面部が開くため端面から空気が流入し分離し易い。更に、突起部に形成した連通溝により、板材に対する密着度が高くはがれにくい。而して、吸着材の多数枚取りを防止し、円滑な搬出作業が可能である。また、吸着パッドのスカート部と突起部は弾性部材により一体に形成してあるので、スカート部と突起部との間のシール構造が不要であり、構成が簡単になると共に製造が容易になるものである。」と訂正する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無および拡張・変更の存否
　ア．訂正事項ａは、特許請求の範囲の請求項１において、吸着パッドにおけるスカート部と突起部とが弾性都材により一体に形成してあることを限定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　また、この限定される事項は、本件特許明細書の段落【００１３】、図１及び図２の記載に基づくものであり、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　イ．訂正事項ｂ〜ｅは、訂正事項ａによる特許請求の範囲の訂正に伴い、発明の詳細な説明の記載を訂正するもので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
（３）独立特許要件の判断
　ア．本件訂正後の発明
　上記訂正請求に基づく本件請求項１に係る発明（以下、「本件訂正後の発明」という。）は、本件訂正明細書及び願書に添付された図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された前記２．（１）▲１▼のとおりのものと認める。
　イ．取消理由の概要
　一方、当審において通知した取消理由の概要は、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、引用文献１（特開平２−２９５８３４、特許異議申立人提出の甲第１号証）、引用文献２（実願平１−１５８６５号（実開平２−１０８９４４号）のマイクロフィルム、同甲第２号証）、引用文献３（実願昭６２−１７９３５４号（実開平１−８３７４０号）のマイクロフィルム、同甲第３号証）に記載された発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものであって、この発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるというにある。
　ウ．取消理由についての判断
　そこで、以下に、本件訂正後の発明に対して、上記取消理由について検討する。
　ウ−１
　各引用文献には次の事項が記載されている。
　ウ−１−１（引用文献１）
　パッド本体１の下面には、中央部が下方に突出する曲面状のウェーハ吸着面１ａが形成されていて、またパッド本体１の中央には上下に貫通する吸引通路１ｂが形成され、その下端は吸引口１ｃとなっており、前記ウェーハ吸着面１ａには吸引口１ｃから放射状に延在する吸引溝１ｄが形成されている。パッド本体１の外周部には環状のシール取り付け溝１ｅが形成されており、その溝１ｅにはスカート状の真空シール５が嵌め付けられていて、真空シール５の嵌め付け部分はＯリング６によってシールされていること。（明細書第２頁右上欄第１３行〜同頁左下欄第１５行参照）
　吸着された１枚目のウェーハＷは、第２図のようにウェーハ吸着面１ａに沿って反ること。（明細書第２頁右下欄第５〜７行）
　ウ−１−２（引用文献２）
　板材剥離装置３は、上下に延びる棒状のホルダ４と、該ホルダ４の先端に取付けられるバキュームカップ５と該バキュームカップ５内の中央部に位置すべく前記ホルダ４の先端に固着される棒状体６と、バキュームカップ５内を減圧するための吸引手段７とを備える。（明細書第６頁第９〜１４行、及び第１図参照）
　バキュームカップ５は、スカート部が弾性材からベローズ形状に形成されて、また棒状体６は、金属により形成されるものであること。（明細書第６頁第１７行〜第７頁第行）
　ホルダ４及び棒状体６には、一端がホルダ４の側面に開口しかつ他端がバキュームカップ５内で棒状体６の側面に開口する吸引通路８が突設されている。（明細書第７頁第１５行〜第８頁第１行）
　バキュームカップ５の吸着力により、板材２は棒状態６の先端当接部の周囲が浮上がるようにして灣曲する。（明細書第９頁第１１〜１４行、及び第２図参照）
　ウ−１−３（引用文献３）
　吸引パッド２０は、パッド本体１と、パッド本体先端部周囲に取り付けられた可撓性スカート２とからなる。パッド本体１は、例えば、金属もしくは硬質の樹脂からなり、円柱形で先端面１ａが凸状湾曲面になっている。（明細書第４頁第１４行〜第５頁第２行）
　パッド本体１内部には頂上面１ｂから先端面１ａにかけて貫通孔３が設けられている。貫通孔３の先端面１ａ側は二股になっており、二つの開口部３ａ，３ｂを有し、これら開口部３ａ，３ｂは吸引口となっている。可撓性スカート２は、例えば、シリコンゴムからなり、パッド本体１の先端部の周囲に取り付けられている。（明細書第５頁第５〜７行）
　被吸引ワーク５Ａは吸引パッド本体１の先端面１ａに吸着され、その湾曲面に沿って湾曲する。（明細書第５頁第１９行〜第６頁第１行）
　ウ−２
　そこで、本件訂正後の発明と各引用文献に記載された事項を対比すると、引用文献１記載の「パッド本体１」、引用文献２記載の「バキュームカップ５」、及び引用文献３記載の「パッド本体１」は、本件訂正後の発明の「吸着パッド」に、引用文献１記載の「スカート状の真空シール５」、及び引用文献３記載の「可撓性スカート２」は、本件訂正後の「スカート部」に、引用文献１の「ウェーハ吸着面１ａ」、引用文献２記載の「棒状体６」、及び引用文献３記載の「パッド本体１の先端面１ａ」は、本件訂正後の発明の「突起部」に、引用文献１記載の「吸引通路１ｂ」、引用文献２記載の「吸引通路８」、及び引用文献３記載の「貫通孔３」は本件訂正後の発明の「吸引穴」に、それぞれ相当するので、引用文献１乃至引用文献３に記載されたものは、吸着パッドにスカート部を設けると共に、吸着した板材を上反り状態とするため前記吸着パッドの下面中央部に突起部を設け、また吸引穴を前記突起部に貫通して設けた点で、本件訂正後の発明と共通している。
　しかしながら、引用文献１に記載されたものにおいては、スカート部は、ベローズ形状でなく、また吸着パッドの下面中央部に設けられた突起部とは別体に形成されて吸着パッドの外周部の溝に取り付けられており、そして、前記吸着パッドとスカート部との間はＯリングによってシールされている。
　また、引用文献２に記載されたものにおいては、弾性部材から形成された吸着パッドは、スカート部がベローズ形状とされているもののその基部は上反り状態となっておらず、また吸着パッドの下面中央部に設けられた突起部は前記スカート部とは別体に形成されている。
　さらに、引用文献３に記載されたものにおいては、スカート部はベローズ形状でなく、また吸着パッドの下面中央部に設けられた突起部とは別体に形成されて吸着パッドの周囲に取り付けられているにすぎない。
　すなわち、上記引用文献１〜引用文献３に記載の発明は、いずれも本件訂正後の発明を特定する事項である「吸着パッドに形成したベローズ形状のスカート部の基部を上反り状態とし、前記スカート部と突起部とを弾性部材により一体に形成した」事項を備えておらず当該事項により本件訂正後の発明は、本件訂正明細書に記載された「スカート部５の基部９は上反り状となっているので、板材Ｗの上反りに追従してスカート部５は縮小する。また、吸着パッドのスカート部と突起部は弾性部材により一体に形成してあるので、スカート部と突起部との間のシール構造が不要であり、構成が簡単になると共に製造が容易になるものである。」という効果を奏するものである。
　よって、本件訂正後の発明が引用文献１〜引用文献３に記載された発明に基づいて容易に発明をなし得たものと言うことはできない。
　以上から、本件訂正後の発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできない。
　エ．むすび
　以上のとおりであるから上記訂正請求は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第２項、同条第３項で準用する第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立てについての判断
（１）申立て理由の概要
　特許異議申立人は、甲第１号証（特開平２−２９５８３４号公報）、甲第２号証（実願平１−１５８６５号（実開平２−１０８９４４号）のマイクロフィルム）、及び甲第３号証（実願昭６２−１７９３５４号（実開平１−８３７４０号）のマイクロフィルム）を提出し、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証刊行物〜甲第３号証刊行物に記載された発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものであって、この発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである旨の主張をしている。
（２）判断
　しかしながら、本件特許明細書の特許請求の範囲は、前述のとおり訂正されることとなり、本件訂正後の発明は前記２．（３）ウにおいて述べたように、特許異議申立人が提出した甲第１号証刊行物〜甲第３号証刊行物に記載された発明に基づき容易に発明をすることができたものと認めることができない。
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件訂正後の発明に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件訂正後の発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年４月２０日（１９９９．４．２０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第２６５６８９５号発明の明細書（以下、「明細書」という。）を、訂正請求書に添付した訂正明細書のとおり、すなわち、次の各訂正事項ａ〜ｅのとおり訂正する。
▲１▼訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１に係る記載を、特許請求の範囲の限縮を目的として、「吸着パッドに形成したスカート部の基部を上反り状態とし、前記スカート部をベローズ形状とすると共に、吸着した板材を上反り状とするため前記吸着パッドの下面中央部に円弧状の突起部を設け、この円弧状の突起部表面に複数の連通溝を設け、吸引穴を前記突起部の中央と突起部の側面に貫通して設けると共に前記スカート部と突起部とを弾性部材により一体に形成したことを特徴とする吸着パッド。」と訂正する。
▲２▼訂正事項ｂ
　明細書の段落【０００８】を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、この発明は、吸着パッドに形成したスカート部の基郡を上反り状態とし、前記スカート部をベローズ形状とすると共に、吸着した板材を上反り状とするため前記吸着パッドの下面中央部に円弧状の突起部を設け、この円弧状の突起部表面に複数の連通溝を設け、吸引穴を前記突起部の中央と突起部の側面に貫通して設けると共に前記スカート部と突起部とを弾性部材により一体に形成して吸着パッドを構成した。」と訂正する。
▲３▼訂正事項ｃ
　明細書の段落【００１３】を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「吸着パッド１は、弾性部材にて製作され、スカート部５と円弧状の突起部７とが一体に形成されている。スカート部５の基部９は上反り状態に形成されていて、スカート部５は上下方向へ伸縮するベローズ形状となっている。更に、吸着パッド１に形成された円弧状の突起部７は、吸着パッド１の中央部に垂設され、突起部７の下面には複数の連通溝１１が設けられていて、この連通構１１は例えば格子状の溝である。」と訂正する。
▲４▼訂正事項ｄ
　明細書の段落【００１６】を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「板材ＷＴが上反り状に変形すると、板材ＷＴと積重された板材Ｗとの間が開き、この開□部より空気が入り分離が容易となる。また、従来の吸着パッドのごとく、積重された板材Ｗとの間に吸盤状の真空部を発生させないので、複数の板材Ｗを同時に吸引することなく、最上部の板材ＷＴの上反りにより下の板材Ｗを引き離す力が生じるため確実に分離することができ、板材Ｗの多数枚取りを防止することができる。更に、スカート部５はベローズ形状になっているため吸着パッド１の中央部に一体に形成した突起部７があっても、吸着の際支障にならず、また、連通溝１１により板材ＷＴに対する密着度が高くはがれにくい。」と訂正する。
▲５▼訂正事項ｅ
　明細書の段落【００１８】を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「　【発明の効果】
　以上のごとき実施例の説明より理解されるように、この発明によれば、特許請求の範囲に記載されたとおりの構成であるから、板材を吸着して搬出する際、積重された最上面を吸着パッドにて吸着すると、板材は上反り状態となる。このため、下の板材を引き離す力を生じさせ分離を良くし、板材端面部が開くため端面から空気が流入し分離し易い。更に、突起部に形成した連通溝により、板材に対する密着度が高くはがれにくい。而して、吸着材の多数枚取りを防止し、円滑な搬出作業が可能である。また、吸着パッドのスカート部と突起部は弾性部材により一体に形成してあるので、スカート部と突起部との間のシール構造が不要であり、構成が簡単になると共に製造が容易になるものである。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
吸着パッド
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】　吸着パッドに形成したスカート部の基部を上反り状態とし、前記スカート部をベローズ形状とすると共に、吸着した板材を上反り状とするため前記吸着パッドの下面中央部に円弧状の突起部を設け、この円弧状の突起部表面に複数の連通溝を設け、吸引穴を前記突起部の中央と突起部の側面に貫通して設け
ると共に前記スカート部と突起部とを弾性部材により一体に形成した
【発明の詳細な説明】
　　【産業上の利用分野】
　この発明は、吸着パッドに係り、更に詳細には、吸着材の多数枚取りを防止した吸着パッドに関する。
　　【従来の技術】
　従来の吸着パッドはスカート部が逆皿状をしていて、この吸着パッドにて板材を吸着して搬出するには、積重された板材の最上面の板材表面へ吸着パッドを当接させ、真空発生装置の作動によりスカート部の内部を真空状態として板材を吸着し搬出しているのが一般的である。
　　【発明が解決しようとする課題】
　ところで、上述した従来の吸着パッドでは、図３および図４に示されているごとく、積重された板材Ｗの最上面の板材ＷＴを搬出する際、吸着パッド１０１を板材ＷＴの上面へ当接させ、図示を省略した真空発生装置を作動させ吸着パッド１０１のスカート部１０１ａ内を真空状態とする。
　この時、図３に示されているごとく、板材ＷＴは逆皿状をしたスカート部１０１ａにならって、下の板材Ｗとの間に円形真空部Ｈ１が生じ、下の板材Ｗとの密着度を高め一枚取りがしにくくなる。
　更に、図４に示されているように、上述した状態より吸着パッド１０１を吊り上げると、円形真空部Ｈ１は大きくなり３枚目の板材Ｗとの間に円形真空部Ｈ２が生じ、密着を増長させる結果となる。
　このため、板材Ｗを複数枚同時に吸着し搬出することがあり、確実に一枚取りができず搬出作業に不都合が生ずるという問題があった。
　この発明の目的は、上記問題点を改善するために、吸着材の多数枚取りを防止し、円滑な搬出作業を可能とした吸着パッドを提供することにある。
　　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、この発明は、吸着パッドに形成したスカート部の基部を上反り状態とし、前記スカート部をベローズ形状とすると共に、吸着した板材を上反り状とするため前記吸着パッドの下面中央部に円弧状の突起部を設け、この円弧状の突起部表面に複数の連通溝を設け、吸引穴を前記突起部の中央と突起部の側面に貫通して設
けると共に前記スカート部と突起部とを弾性部材により一体に形成して
　　【作用】
　この発明の吸着パッドを採用することにより、吸着パッドを積重された板材の最上部の板材表面へ当接させて、吸着パッドに形成したベローズ形状のスカート部の内部を真空状態とする。
　スカート部の内部が真空状態となるにつれて、板材は吸着パッドに形成した円弧状の突起部に沿って上反り状態となり、最上部の板材が上反り状態となると、吸着された板材の端面部が開くので端面から空気が流入し板材間の分離が容易となる。
　　【実施例】
　以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
　図１を参照するに、一部図示を省略してあるが、吸着パッド１は支持軸３に設けられていて、支持軸３は上下左右に移動自在となっている。
　吸着パッド１は、弾性部材にて製作され、スカート部５と円弧状の突起部７と
が一体に
　そして、吸着パッド１の中心には吸引穴１３が穿設され、この吸引穴１３は前記連通溝１１に連通している。また、吸引穴１３の途中から横穴１５が穿設され、この横穴１５は前記突起部７の側面へ貫通されている。なお、吸引穴１３は図示を省略したが真空発生装置に連通されている。
　上記構成により、その作用としては、図２を参照するに、吸着パッド１を下降し積重された板材Ｗの最上部の板材ＷＴ上へ当接させる。そして、真空発生装置（図示省略）を作動せしめると、吸引穴１３および横穴１５を介してスカート部５の内部は真空状態となり、円弧状の突起部７に板材ＷＴは吸着し、突起部の円弧に沿って板材ＷＴは上反り状態となる。なお、この際、スカート部５はベローズ形状となり、スカート部５の基部９は上反り状となっているので、板材Ｗの上反りに追従してスカート部５は縮小する。
　板材ＷＴが上反り状に変形すると、板材ＷＴと積重された板材Ｗとの間が開き、この開口部より空気が入り分離が容易となる。また、従来の吸着パッドのごとく、積重された板材Ｗとの間に吸盤状の真空部を発生させないので、複数の板材Ｗを同時に吸引することなく、最上部の板材ＷＴの上反りにより下の板材Ｗを引き離す力が生じるため確実に分離することができ、板材Ｗの多数枚取りを防止することができる。更に、スカート部５はベローズ形状になっているため吸着パッド１の中央部
に一体に
　なお、この発明は、前述した実施例に限定されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他の態様で実施し得るものである。
　　【発明の効果】
　以上のごとき実施例の説明より理解されるように、この発明によれば、特許請求の範囲に記載されたとおりの構成であるから、板材を吸着して搬出する際、積重された最上面を吸着パッドにて吸着すると、板材は上反り状態となる。このため、下の板材を引き離す力を生じさせ分離を良くし、板材端面部が開くため端面から空気が流入し分離し易い。更に、突起部に形成した連通溝により、板材に対する密着度が高くはがれにくい。而して、吸着材の多数枚取りを防止し、円滑な搬出作業が可能である。
また、吸着パッドのスカート部と突起部は弾性部材により一体に形成してあるので、スカート部と突起部との間のシール構造が不要であり、構成が簡単になると共に製造が容易になるものである。
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　この発明の主要部を示し、吸着パッドの断面図である。
　　【図２】
　この発明の作用説明図である。
　　【図３】
　従来の吸着パッドの作用説明図である。
　　【図４】
　従来の吸着パッドの作用説明図である。
　【符号の説明】
　１　吸着パッド
　５　スカート部
　７　突起部
　９　基部
　１１　連通溝
　１３　吸引穴
　１５　横穴（吸引穴）