(57)【要約】  【課題】  パッケージの寸法を縮小することだけでなく、既存する工程や設備を流用することができる、加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置を提供する。  【解決手段】本考案は、中央開口を有する金属導線架と、係一部の導線架を覆う絶縁ハウジングと、を有し、絶縁ハウジングから露出した導線架は、外部へのピンとされ、また、表面に、発光ダイオードチップが共晶形成される基板があり、基板と発光ダイオードチップとは、電気的に接続され、この基板は、導電接着剤により、金属導線架に実装されて、絶縁ハウジングの収納空間内に位置させ、これにより、発光ダイオードチップの発光エリアが、当該開口に面する、側面発光ダイオードパッケージ構造である。【選択図】図２
0003105064.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプと廃気体処理装置との間にあるパイプ上に設置される、加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置において、チャンバーと、
一端には、当該チャンバー内まで伸ばす加熱管が設けられる加熱器と、
当該チャンバー上に設けられ、気体をチャンバー内へ注入するための気体注入管と、
当該チャンバー上に位置し、気体が当該加熱管の熱エネルギーを取り出してから、当該気体を当該チャンバーから排出する気体排出管と、
当該パイプ上に設けられ、開口槽が環設される、接続管と、
内壁に楔形状の導流壁が設けられ、当該接続管に套設される時、当該楔形状の導流壁と当該開口槽の一つの側壁とが、気流スリットを形成し、また、その上には、当該気体排出管と接合するための気体排出管挿入口があり、気体が当該チャンバーから当該接続管に注入される、П形状の気体導流環と、
当該П形状気体導流環上に設けられ、当該П形状の気体導流環を封止する、カバーとを有すること、を特徴とする加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置。
【請求項２】
当該チャンバー内には、更に、複数の気体導流壁が設けられること、を特徴とする請求項1記載の加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置。
【請求項３】
当該気体導流壁の材質は、例えば、雲母、二酸化アルミニウム等等の断熱のよい材料であること、を特徴とする請求項２記載の加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置。
【請求項４】
当該流体による廃気パイプ内の粒子を低減する装置に使用される気体としては、例えば、窒素気体やアルゴン気体及び清潔空気など、加熱によるエアーブラストのない気体であること、を特徴とする請求項1記載の加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置。
【請求項５】
当該気体排出管の表面と気体排出管の挿入口とには、それぞれ、母スレッドと公スレッドとが形成されること、を特徴とする請求項1記載の加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置。
【請求項６】
当該楔形状の導流壁の角度は、45度であること、を特徴とする請求項1記載の加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置に関し、特に、気体処理器とポンプとの間に設けられ、加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディープサブミクロンである半導体素子を製造する場合、0.25ミクロンの時代であれば、350やそれ以上の工程に合わせるため、数多い、異なる気体が使用される。気体としては、概して、例えば、窒素(N2)や、酸素(O2)、ヘリウム(He)及びアルゴン(Ar)などのバルクガス(bulk
gas)と、プロセスガス(process gas)と、スペシャルガスとがある。
【０００３】
工程後にある廃気排除システムは、工場が建設されてから、2-3年後、パイプのエージングや腐食、生成物粉末の累積及び工程の拡充などにより、機体に供給される風量が不足であるため、よく、安全衛生上や不良率が悪化する問題が起こり、厳重である場合、管内の引火性気体や廃気処理装置(Local
Scrubber)が炎上して火災や爆発になる恐れがあるため、リスクは、高くて、この状況は、特に、半導体工場や光電工場によくある。そのため、排気量不足による機械の不良率の悪化や、安全衛生上の問題は、設備や工場管理人にとって、困る問題である。
【０００４】
従来の技術は、図１のように、パイプ16の中において、チャンバー(chamber)18から排出される気体が、ポンプ12と気体処理装置14との間にあるパイプ16の温度が低いため、凝縮や成膜及び粉末累積されることがないように、加熱帯10で、ポンプ12と気体処理装置14との間にあるパイプ16を加熱する。しかしながら、このような、加熱帯10による加熱する方式は、パイプ16に対して、直接に加熱するため、パイプ16には、材質や形状及び構造の変化が発生し、また、パイプ16内へ伝達する温度の制御が容易ではないため、埃の除去が有効的ではないし、パイプが熱を受けることにより破壊される。
【０００５】
そのため、本考案は、有効に、廃気パイプ内に、気体分子が累積され、粉末生成物が反応することが、防止できる、加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置を提供する。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
本考案の主な目的は、温度が比較的大きい渦巻気体を、ポンプと気体処理装置との間にあるパイプに注入して、廃気には、有効に、ポンプと気体処理装置との間のパイプ温度が階段的に急低下することと、濃度が高いことによる廃気核生成の確率を低減でき、パイプの中に粉末が累積される欠点を解決できる、加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置を提供する。
【０００７】
本考案の他の目的は、使用する時、チャンバーの表面が、常温状態に維持できるため、作業人員が火傷を受ける恐れをなくして、かつ、使用上の便利さを有する、加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本考案は、以上の目的を達成するために、チャンバーと、チャンバー内まで伸ばす加熱管が設けられる加熱器と、チャンバー上に設けられ、気体をチャンバー内へ注入するための気体注入管と、チャンバー上に位置し、チャンバー内から気体を排出して、加熱管の熱エネルギーを取り出す気体排出管と、開口槽が環設される接続管と、内壁に楔形状の導流壁が設けられる、П形状の気体導流環と、П形状の気体導流環を封止するカバーとがある、加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置である。
【考案の効果】
【０００９】
本考案の加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置は、有効に、廃気パイプ内に、気体分子が累積され、粉末生成物が反応することが防止できる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１０】
本考案の構造や特徴及び達成できる効果について、更に理解と認知できるため、図面を参照しながら、より良い実施例を詳しく説明する。
【００１１】
本考案は、主として真空ポンプと廃気体処理装置との間にあるパイプに応用され、廃気が、真空ポンプから排出された後、廃気体処理装置に到達するまでに、温度が比較的に低い廃気パイプと廃気パイプ内の気体とに接触することにより、廃気が粉末に凝縮するを防止できる、加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置である。
【００１２】
本考案にかかわる加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置的立体構造は、図２のようであり、本考案にかかわる加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置20は、チャンバー22と、一端には、チャンバー22内まで伸ばす加熱管24が設けられる加熱器26と、チャンバー22上に設けられ、気体をチャンバー22へ注入するための気体注入管28と、チャンバー22上に位置し、チャンバー22から気体を排出する気体排出管30と、廃気パイプ32と接続するための、開口槽(図に表示せず)が環設される接続管34と、内壁に角度が45度である楔形状の導流壁38が設けられ、П形状の気体導流環36が接続管34に套設される時、楔形状の導流壁38と開口槽の側壁40とが、環繞する気流スリット42を形成し、また、挿入穴44を有するП形状の気体導流環36と、П形状の気体導流環36を封止するカバー46とを有する。
【００１３】
更に、本考案は、チャンバー22の外壁を常温状態にして、従業人員が火傷を受けないため、チャンバー22内に複数の気体導流壁48を設置することもでき、気体導流壁48の材質は、例えば、雲母、二酸化アルミニウム等等の断熱のよい材料であり、また、容易に気体排出管30と挿入穴44とを接合するため、気体排出管30の表面と挿入穴44とには、それぞれ、母スレッドと公スレッドとが形成される。
【００１４】
図３は、本考案にかかわる加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置が、真空ポンプと廃気体処理装置の入り口端のパイプに設置される概念図であり、図において、本装置を強調するため、本装置を拡大して表示している。
【００１５】
図２と図３とを参照しながら、本考案にかかわる加熱流体により廃気パイプ内の粉末生成物を低減する装置20は、真空ポンプ50と廃気体処理器52との間にある廃気排出管32に接続される時、二つの係合装置54により接続管34と廃気排出管32とを接合することだけで、実装終了し、その後、気体排出管30を挿入穴44に接合して、気体注入管28から、例えば、窒素気体やアルゴン気体及び清潔空気など、加温によるエアーブラストのない気体を注入し、この時、気体は、気体導流壁48から形成される経路を介して、加熱管24の熱エネルギーを取り出して、気体排出管30から排出され、また、П形状の気体導流環36へ注入され、そして、気流スリット42から接続管34へ注入されることにより、真空ポンプ50から排出される廃気は、注入気体の熱エネルギーにより、温度が階段的に急減することを防止し、有効にパイプの中にある廃気の濃度を希釈して、その核生成の確率を低減し、また、気流スリット42が接続管34全体の周りにあるため、接続管34に入る気流が渦巻状態になり、更に有効に管壁に形成される粉末を除去することができる。
【００１６】
本考案は、実用新案の要件に満たすため、法に従って実用新案登録出願をする。以上の説明は、ただ、本考案のより良い実施例であり、本技術を良く分かるものであれば、本考案の考案精神に反しない、いろいろな等価な修正や変更は、すべて、本実用新案登録請求の範囲に含まれている。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】従来の、加熱帯でポンプと気体処理装置との間にあるパイプを加熱する実施例の概念図である。
【図２】本考案の構造概念図である。
【図３】本考案をポンプを気体処理装置とのパイプ上に設置する実施例の概念図である。
【符号の説明】
【００１８】
10     加熱帯
12     ポンプ
14     廃気体処理器
16     パイプ
18     チャンバー
20     装置
22     チャンバー
24     加熱器
26     加熱管
28     気体注入管
30     気体排出管
32     廃気排出管
34     接続管
36     П形状の気体導流環
38     楔形状の導流壁
40     開口槽の側壁
42     気流スリット
44     挿入穴
46     カバー
48     気体導流壁
50     真空ポンプ
52     廃気体処理器
【図１】
0003105064.tif 000003
【図２】
0003105064.tif 000004
【図３】
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