(57)【要約】【課題】  小型で容易かつ安価に製造できる角加速度センサを提供する。また角加速度の他に少なくとも特定方向の並進加速度をも検出可能とした一体型のセンサを提供する。【解決手段】  基部より突出する２、３ないし６本の枝を水晶２板のＹ軸方向に配置し、センサがＺ軸回りの回転角速度を与えられたとき、各枝部の撓みによってその平面電極と側面電極との間に発生する誘起電圧が並列または直列に加算されるように各電極を結線する。これによって並進加速度による誘起電圧は自動的に相殺され角加速度のみが検知可能なセンサが得られる。また枝部が４本以上あるとき、角加速度の検出を枝部の一部（２本または３本）のみで行い、余剰の枝部を用いて並進加速度を検出させ、検出項目の多い多機能センサとしてもよい。センサの加工技術は水晶振動子の製造技術が利用できる。【選択図】  図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
本体が水晶のＺ板から形成され、基部と、該基部から片持ち棒状をなしてそれぞれ＋Ｙ方向および−Ｙ方向に、互いに平行かつ逆向きに突出する一対の枝部を有し、前記各枝部の周囲には対向する面の電極同士がそれぞれ連結された平面電極と側面電極を有し、前記各枝部の平面電極と側面電極とは、前記センサのＺ軸回りの回転角加速度に対してはそれらの誘起電圧が並列または直列に加算されるように、かつ前記センサのＸ軸またはＹ軸方向の並進加速度に対してはそれらの誘起電圧が相殺されるように接続されて２つの検出端子を形成していることを特徴とする角加速度センサ。
【請求項２】
本体が水晶のＺ板から形成され、外周部を占める基部と、該基部から片持ち棒状をなして全てが＋Ｙ方向あるいは−Ｙ方向に突出する３本の枝部を有し、前記各枝部の周囲には対向する面の電極同士がそれぞれ連結された平面電極と側面電極を有し、前記各枝部の平面電極と側面電極とは、前記センサのＺ軸回りの回転角加速度に対してはそれらの誘起電圧が並列または直列に加算されるように、かつ前記センサのＸ軸またはＹ軸方向の並進加速度に対してはそれらの誘起電圧が相殺されるように接続されて２つの検出端子を形成していることを特徴とする角加速度センサ。
【請求項３】
本体が水晶のＺ板から形成され、外周部を占める基部と、該基部から内向きの片持ち棒状をなして＋Ｙ方向に突出する３本の枝部および−Ｙ方向に突出する３本の枝部を有し、前記各枝部の周囲には対向する面の電極同士がそれぞれ連結された平面電極と側面電極を有し、前記各枝部の平面電極と側面電極とは、前記センサのＺ軸回りの回転角加速度に対してはそれらの誘起電圧が並列または直列に加算されるように、かつ前記センサのＸ軸またはＹ軸方向の並進加速度に対してはそれらの誘起電圧が相殺されるように接続されて２つの検出端子を形成していることを特徴とする角加速度センサ。
【請求項４】
本体が水晶のＺ板から形成され、外周部を占める基部と、該基部から内向きの片持ち棒状をなして＋Ｙ方向あるいは−Ｙ方向に突出する４本ないし６本の枝部を有し、前記各枝部のうち＋Ｙ方向および−Ｙ方向に突出する一対の枝部、あるいは全てが＋Ｙ方向あるいは−Ｙ方向に突出する３本の枝部の周囲には対向する面の電極同士がそれぞれ連結された平面電極と側面電極とを設け、前記各枝部の平面電極と側面電極とは、前記センサのＺ軸回りの回転角加速度に対してはそれらの誘起電圧が並列または直列に加算されるように、かつ前記センサのＸ軸またはＹ軸方向の並進加速度に対してはそれらの誘起電圧が相殺されるように接続されて角加速度検出用の２つの検出端子を形成していると共に、前記一対の枝部あるいは前記３本の枝部を除いた他の枝部の周囲には、ＸおよびＹ方向の並進加速度を検出するための平面電極と側面電極、あるいはＺ方向の並進加速度を検出するための稜沿い電極を設けたことを特徴とする角加速度センサ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本考案は弾性体の変形を圧電的に検出して角加速度を計測するための角加速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】  物体の運動を知るために、その物体に搭載した、慣性力を利用した運動センサがよく用いられる。運動センサとしては簡単な構造で小型軽量な装置が適している。物体の並進運動の検出に関しては特定の方向の直線加速度に感度を有する加速度センサを用いることが多い。また物体の回転運動に関しては特定の方向の回転角速度に伴って振動質量に付加的に生じるコリオリ力によるセンサの振動の変形を検出するようにした、いわゆる振動ジャイロスコープがよく用いられる。これらの目的に沿って、極めて多種多様な形状構造の運動センサが提案されてきた。本考案では回転運動を検出するセンサを主題とする。【０００３】  振動ジャイロスコープでは振動質量に作用するコリオリ力を利用するため、回転角速度を測定する期間中、常時センサ振動体（例えば音叉）を一定の振幅で持続的に振動させておかねばならない。これは検出回路に含まれる発振回路において定常的な電力消費があることになり、電源容量に制約のある、例えば小型のウェアラブル機器等においては不利な条件である。一方、並進運動については、特定方向の並進加速度（直線加速度とも称する）が知れれば、速度はこれを積分して得られ、変位はその速度を更に積分して得られる。圧電性の材料で構成された並進加速度センサは加速度発生時のみ受動的に作用し、持続的な振動は不要で消費電力も少なく、発振回路も省略でき、検出回路も検波回路かなく比較的簡素化されている。【０００４】
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より、消費電力の低減や検出回路の簡素化を計ろうとした提案が、例えば下記文献によりなされている。
【非特許文献１】社団法人日本音響学会発行  日本音響学会２００３年春季研究発表会講演論文集ＩＩ  １２２３頁−１２２４頁  ３−１０−１６  角・加速度センサについて  富川義朗（山形大・工）
また同じ趣旨による特許出願、特願２００３−１８３５１５もなされている。
しかしこれらの提案において、実用性の高い角加速度センサの形態が全て提示されているわけではない。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】  本考案においては、実用性の高い、すなわち小型で容易かつ安価に製造できる角加速度センサを提案することを第１の課題および目的とする。また用途によっては、角加速度の他に少なくとも特定方向の並進加速度をも検出可能とした一体型の多機能センサを提案することを第２の課題および目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本考案の角加速度センサは以下の（１）〜（４）のいずれかの特徴を有する。
（１）本体が水晶のＺ板から形成され、基部と、該基部から片持ち棒状をなしてそれぞれ＋Ｙ方向および−Ｙ方向に、互いに平行かつ逆向きに突出する一対の枝部を有し、前記各枝部の周囲には対向する面の電極同士がそれぞれ連結された平面電極と側面電極を有し、前記各枝部の平面電極と側面電極とは、前記センサのＺ軸回りの回転角加速度に対してはそれらの誘起電圧が並列または直列に加算されるように、かつ前記センサのＸ軸またはＹ軸方向の並進加速度に対してはそれらの誘起電圧が相殺されるように接続されて２つの検出端子を形成していること。【０００７】  （２）本体が水晶のＺ板から形成され、外周部を占める基部と、該基部から片持ち棒状をなして全てが＋Ｙ方向あるいは−Ｙ方向に突出する３本の枝部を有し、前記各枝部の周囲には対向する面の電極同士がそれぞれ連結された平面電極と側面電極を有し、前記各枝部の平面電極と側面電極とは、前記センサのＺ軸回りの回転角加速度に対してはそれらの誘起電圧が並列または直列に加算されるように、かつ前記センサのＸ軸またはＹ軸方向の並進加速度に対してはそれらの誘起電圧が相殺されるように接続されて２つの検出端子を形成していること。【０００８】  （３）本体が水晶のＺ板から形成され、外周部を占める基部と、該基部から内向きの片持ち棒状をなして＋Ｙ方向に突出する３本の枝部および−Ｙ方向に突出する３本の枝部を有し、前記各枝部の周囲には対向する面の電極同士がそれぞれ連結された平面電極と側面電極を有し、前記各枝部の平面電極と側面電極とは、前記センサのＺ軸回りの回転角加速度に対してはそれらの誘起電圧が並列または直列に加算されるように、かつ前記センサのＸ軸またはＹ軸方向の並進加速度に対してはそれらの誘起電圧が相殺されるように接続されて２つの検出端子を形成していること。【０００９】  （４）本体が水晶のＺ板から形成され、外周部を占める基部と、該基部から内向きの片持ち棒状をなして＋Ｙ方向あるいは−Ｙ方向に突出する４本ないし６本の枝部を有し、前記各枝部のうち＋Ｙ方向および−Ｙ方向に突出する一対の枝部、あるいは全てが＋Ｙ方向あるいは−Ｙ方向に突出する３本の枝部の周囲には対向する面の電極同士がそれぞれ連結された平面電極と側面電極とを設け、前記各枝部の平面電極と側面電極とは、前記センサのＺ軸回りの回転角加速度に対してはそれらの誘起電圧が並列または直列に加算されるように、かつ前記センサのＸ軸またはＹ軸方向の並進加速度に対してはそれらの誘起電圧が相殺されるように接続されて角加速度検出用の２つの検出端子を形成していると共に、前記一対の枝部あるいは前記３本の枝部を除いた他の枝部の周囲には、ＸおよびＹ方向の並進加速度を検出するための平面電極と側面電極、あるいはＺ方向の並進加速度を検出するための稜沿い電極を設けたこと。
【考案の効果】
【００１０】  安価で品質に優れ加工法もほぼ確立している水晶のＺ板の特性を活用し、平板状のセンサに２本、３本または６本の角加速度検出用の枝部を無理なく配置し、それらの電極も無難に配置し結線できるので、角加速度に感受性を有するセンサを、小型化に適した簡素な構造でかつ廉価に製造できる。そして更にそれによって振動ジャイロスコープに代わる角加速度センサの利点を最大に活かすことができる。また枝部の一部を利用し、角加速度と共に並進加速度を検出するようにし、多機能センサを構成することもできる。また検出できる回転運動は板面内の回転であるので、回転面に対して平行な薄型のセンサが得られる利点もある。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１１】  水晶のＺ板を用い、これに含まれる３方向のＹ軸に沿った方向に２本（この場合は１つのＹ軸の正および負の向き）、３本（全てが３つのＹ軸の正または負の向き）、あるいは６本（３つのＹ軸の正および負の向き）にした片持ち棒状の枝部（同形であることが望ましい）と、それぞれの枝部の固定端を連結する基部をＺ板平面内に形成し、各枝部の周囲にはＺ板の表裏に形成し相互を連結した平面電極と、Ｘ軸の正負の面に当たる両側面に形成し相互を連結した側面電極（各枝部において対応する部位の電極は実質的に同形状であることが望ましい）とを設けて角加速度センサとする。【００１２】  センサがＺ軸回りに回転角速度を与えられたとき、各枝部の撓みによってその平面電極と側面電極との間に発生する誘起電圧または電荷が加算されるように、各電極を並列または直列に結線し、角加速度検出端子に接続する。これによって並進加速度が混在してもその誘起電圧は自動的に相殺され感度をほとんど持たない。こうして角加速度のみが検知可能なセンサが得られる。このセンサにおける枝部の形成および電極形成加工は、Ｚ板からエッチングにより水晶音叉振動子を形成しその脚部の周囲に励振用の電極を形成する従来の技術がほぼそのまま使用できるし、更に基部を基台に固定しセンサを気密容器に封入する方法も、水晶振動子の製造技術が利用できる。【００１３】  また枝部が４本以上あるとき、角加速度の検出を枝部の一部（２本または３本）のみで行い、余剰の枝部を用いて並進加速度を検出させ、あるいはセンサ特性の任意の補償の目的で使用し、検出項目の多い多機能センサ、あるいは精度を向上したセンサを実現させることもできる。
【実施例１】
【００１４】  図１は本考案のセンサの第１の実施例の平面図、図３はその枝部の断面図および電極の結線図の第１例である。図１のセンサは水晶のＺ板、すなわち結晶軸の１つであるＺ軸（光軸とも呼ばれる）にほぼ垂直な一様厚さの板からエッチング加工で所定の形状に切り出されたものである。Ｚ板のエッチング加工やマスクによる電極加工はかなり複雑な形状を形成することができることがわかっている。水晶のＺ板は図示のように互に１２０°の角度をなし等価な性質を有するＸ軸（電気軸）Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３と、それらにそれぞれ直交しているＹ軸（機械軸）Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３を板面内に含んでいる。ここで水晶材とＸ、Ｙ、Ｚ座標系は右手系を想定している。【００１５】  なお、水晶板の法線方向と結晶のＺ軸の方向とは約２０°以内の差があってもよいものとする。その場合、図示のように板面に沿って想定したＸ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３等の各軸は、真の結晶軸（各３本の電気軸および機械軸）になるべく近い方向に選ばれる。それらは真の方向とは多少異なる場合があるが、それはセンサに期待される性能が得られる限り許容されるものとする。他の実施例についても同様とする。しかし以下簡単のためにすべての結晶軸は板面内にあるものとして説明する。【００１６】  基部１はセンサの外周部に例えばリング状に形成される。基部１の内縁より、矩形断面を持ち片持ち棒状をなす３本の枝部２ａ、２ｂ、２ｃがセンサの中心１３に向けて互いに１２０°の間隔をなして突出している。３本の枝部の中心軸の方向はそれぞれＹ１、Ｙ２、Ｙ３軸と平行させる。また各枝部の固定端から自由端への向きは各Ｙ軸の正方向（または負方向）となる。図１のように基部１を外周部に設けると、基部１の平面面積を広く出来るので、接続電極１ａ、１ｂや、端子１１ａ、１１ｂ、固定部１０等の配置が容易になる利点がある。【００１７】  各枝部の表裏（上下）の面はＺ面、各側面は＋Ｘ面および−Ｘ面となる。各枝部の上面にはそれぞれ薄膜状の平面電極３ａ、３ｂ、３ｃを形成する。図示しないが下面にも上面と同形状の平面電極を、基部１の下面には接続電極１ａを上面側と重なるように設ける。また各枝部の両側面には、側面電極４ａ、４ｂ、４ｃを形成する。各枝部の左右の側面電極は平面電極を迂回横断する連結電極７ａ、７ｂ、７ｃによってそれぞれ連結されている。各側面電極の厚さは誇張して図示されている。なおすべての枝部と平面および側面電極は原則として同じ形状寸法であるとする。【００１８】  各枝部の平面電極３ａ、３ｂ、３ｃ、は基部１の表面に設けた連結電極１ａによって互に連結される。センサの下面側の平面電極も同様に連結され、表裏の平面電極は基部１に設けたスルーホール１ｃによって連結される。（スルーホールを用いず基部１や枝部の側面を経由する連結電極膜を設けてもよい。）また各枝部の両側面電極４ａ、４ｂ、４ｃは基部１上の連結電極１ｂによって連結される。連結電極１ａ、１ｂの一部は外部の検出回路（図示せず）との接続のために必要な膨大形状をなし、全ての平面電極を並列に連結した端子１１ａおよび全ての側面電極を並列に連結した端子１１ｂを形成する。【００１９】  図３は図１内に細い実線で示した円筒面９における各枝部２ａ、２ｂ、２ｃの断面図であって、各電極の接続方式の第１例をも示す。各枝部の上下面に設けた平面電極３ａ、３ｂ、３ｃおよび側面電極４ａ、４ｂ、４ｃ（電極膜の厚さを誇張して描いてある）を示し、更に図１に説明したように各電極膜が並列接続された状態（電極接続の第１例とする）と角速度検出用の端子１１（１１ａと１１ｂを総称したもの）を図示している。すなわち平面電極３ａ、３ｂ、３ｃを結んで１端子１１ａとし、側面電極４ａ、４ｂ、４ｃを結んで他の１端子１１ｂとしている。図３には各枝の断面に関する座標軸も示した。【００２０】  基部１は枝部２ａ、２ｂ、２ｃの自由な運動を妨げないように、図示しない台座（例えばセンサを収容する気密容器内の支持部材）の上に接着等の手段で固定される。下面に接着剤等が塗布される部分である固定部１０を、多数の打点を付して示した。今、台座およびセンサを図１においてセンサ中心１３の回りに反時計方向に回す（回転軸はＺ軸に平行
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と共に接線方向に加速される。一方各枝部の重心は慣性のために取り残される。そこで各枝部は点線で示した撓み曲線１２ａ、１２ｂ、１２ｃのように中心１３に関して同じ回転の向きに屈曲変形する結果になる。【００２１】  枝部２ａ、２ｂ、２ｃが板面内で撓み変形すると、水晶の圧電作用によりそれらの平面電極と側面電極との間に偏極により誘起される電荷とそれに基づく検出電圧が発生する。これは時計用の水晶音叉振動子等に広く用いられるいわゆるＸＹカット振動子の振動検出作用と同じである。各枝部は３つの（実質的に）等価な結晶軸に関して同じ関係にある（
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面電極と側面電極の極性および発生電荷の値はそれぞれ同一となる。３組の平面または側面電極が並列接続されているので、電荷は並列加算される関係となり、端子１１には角加
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【００２２】
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いるのが普通である。しかし運動学によれば物体に作用する任意の加速度は、ある軸（例えば図１の中心１３）の回りの回転角速度とある方向の並進加速度とに分解できる。図１の中心（軸）１３の回りの回転角加速度については上記のように本センサによって検出されることを示した。【００２３】  一方同時に作用する並進加速度も各枝部を撓ませ、それに比例する電圧を電極に発生するが、同一方向の電圧を発生するような各枝部の重心の移動方向は１２０°ずつ異なっているため、板面内のある並進加速度のそれら３方向の成分の合計はゼロであり、各枝の平面・側面電極を並列接続した状態では全体として打ち消されるので、並進加速度成分に関しては本センサは不感であることになる。これは角加速度センサとして好都合な性質である。
【実施例１の結線の他の例】
【００２４】  図４は実施例１（図１の基本形態）のセンサにおける電極接続の第２例で、３本の枝部２ａ、２ｂ、２ｃの電極を前例の如き並列ではなく直列接続とした例である。例えば側面電極４ａを角速度検出用の端子１１の一方とし、平面電極３ａと側面電極４ｂ、平面電極３ｂと側面電極４ｃを結び、平面電極３ｃを端子１１の他方としてある。このように接続
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各枝に発生する正負の電圧は前例と同様加算結果がゼロとなり、検出されないので、本例も角加速度センサとしてのみ機能する。
【実施例１の変形例】
【００２５】  図２は本考案のセンサの第１の実施例の変形例の平面図である。本例においては図１のセンサと同じく互に１２０°の角度をなしＹ１、Ｙ２、Ｙ３の各軸に沿う３本の同形の片持ち状の枝部２ａ、２ｂ、２ｃを有する。各枝部は共通の中心には向かわず、１つの円１４の共通接線となっている。各枝部をこのように入り組ませて配置した理由はセンサの相対的な小型化（枝部は感度を上げるためなるべく長く、かつセンサの面積は小さくする）ためである。平面電極３ａ、３ｂ、３ｃ、側面電極４ａ、４ｂ、４ｃは図１に準じて各枝部に設け、それらを図４に倣って接続電極１ａ、１ａｂ、１ｂｃ、１ｃを用いて直列接続した。各側面電極、側面電極の連結電極７ａ、７ｂ、７ｃ、上下面の平面電極同士を連結する連結電極８ａ、８ｂ、８ｃ、上記接続電極は図１よりも簡略な線画で示してある。
【００２６】  また基部１をリング状ではなく矩形の枠状としたが、一般に基部は十分な剛性が得られる限り特に形状を問われない。また基台への固定部１０を打点部で示したのも図１と同様
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略した。本変形例では各枝部の電極間に発生する電圧を直列としたが、図１（図３）に倣って並列接続することも可能である。ただし図３または図４を本変形例に適用するときは、各枝２ａ、２ｂ、２ｃの断面は図１のような円筒面での断面を展開したものではなく、各枝の長さの中程における断面を並べたものとみなせばよい。
【実施例２】
【００２７】  図５は本考案のセンサの第２の実施例の平面図である。本例も水晶のＺ板またはそれに
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ンサは６０°づつ向きを変える６本の同形の枝部を備え、外周の基部１から内向きに突出し、うち先端が−Ｙ方向に向かうものは２ａ、２ｃ、２ｅ、＋Ｙ方向に向かうものは２ｂ、２ｄ、２ｆである。各枝部の先端が尖らせてあるのは、なるべくセンサの外径を小さく、エッチング加工に必要な最小隙間を確保してしかも各枝部の有効長を増そうとした工夫である。各枝部には電極を設けるが、枝部が本数が第１実施例より倍増したためそれらの接続が益々複雑になるので、基部１をセンサの外周部に設けてそのスペースを確保する意味が一層強くなる。【００２８】  枝部は６本あるのでそれらの多彩な使い分けができるので、結線の例も多数になる。９は円筒面で、図６〜図１０における枝部断面の位置を示す。電極は枝部の中程から根元に
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るが、図１と同じ作用でセンサ中心から見て全ての枝部の先端は時計方向に撓む。
【実施例２の結線の第１例】
【００２９】  図６は本考案の第２の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第１例である。
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荷の極性を考慮して並列接続してある。平面電極３ａ〜３ｆ、側面電極４ａ〜４ｆの表示も図３、図４より簡略化してある（以下の他の断面図・接続図についても同様とする）。各枝部を固定端側から自由端側に向いて見たとき、隣り合う枝部を横切るＸ軸の方向は図
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と側面電極側に発生する電荷の極性は互いに逆になる。図６の並列接続はそれを考慮し、１つの枝部の平面電極と隣の側面電極とを結んである。端子１１には、電圧としては枝部１本分であるが、枝部６本分の電荷量が供給される。
【実施例２の結線の第２例】
【００３０】  図７は本考案の第２の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第２例である。
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する電荷の極性を第１例の場合と同様に考慮して直列接続してある。端子１１には１つの枝部に発生する角加速度電圧の６倍の電圧出力が生じることになる。
以上６本の枝部全てに設けた平面電極と側面電極を用いて角加速度を検出する結線例を２個挙げたが、他にもそのような結線例が可能である。例えば隣り合う２本の枝部の電極を直列（又は並列）にしたものの３組を並列（又は直列）にする場合である。
【実施例２の結線の第３例】
【００３１】  図８は本考案の第２の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第３例である。
本例においては６本の枝部のうち３本（２ａ、２ｃ、２ｅ）を用いて第１実施例の第１
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【００３２】
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四角柱状の枝部の４本の稜に沿った４つの長い電極膜を設け、断面で対角線の関係にある電極膜を予め接続し、電極５ｂ、６ｂ、５ｄ、６ｄ、５ｆ、６ｆとする。これら３組の電
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倍、電圧の１倍が取り出せる。これらの稜沿い電極で板面外（ｚ方向）の枝部の撓みが検出できることはよく知られている。また稜沿い電極は必ずしも図示のように稜を覆わなくても、Ｚ面またはＸ面だけに設けた分割電極でもよい（感度は劣るが）ことも知られてい
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【実施例２の結線の第４例】
【００３３】  図９は本考案の第２の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第４例である。
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とである。
【実施例２の結線の第５例】
【００３４】  図１０は本考案の第２の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第５例である。
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ズムは図９の結線の第４例と同じなので説明を省略する。また稜沿い電極５ｆ、６ｆを設
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成分が無視できる範囲内で有効である）についても説明を省略する。
【００３５】  平面電極３ｂ、３ｄと側面電極４ｂ、４ｄを設けた枝部２ｂ，２ｄを用いて並進加速度
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それら枝部の方向をＸ軸、Ｙ軸に選べば特に説明を要さず問題はない。しかし本例では枝部２ｂ、２ｄは１２０°の角度をなしている。例えば枝部２ｄの方向をＸ軸にとると、そ
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他の枝部２ｂの電極３ｂと４ｂからの検出電圧Ｅｂは並進加速度の両成分を含む。ＥｄとＥｂは、感度定数をＣとすると次式のようになる。（枝部および電極を同形とする。）
【数１】
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【数２】
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【００３６】  故に比較的簡単な回路的演算を行うことによって、２本の枝部から板面内の並進加速度
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【実施例３】
【００３７】  図１１は本考案のセンサの第３の実施例の平面図である。本例は２本の枝部のみで角加
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サ外周部を占める枠型の基部１のほぼ対向する内縁から、結晶軸のＹ軸の一つにに平行に、互いに反対向きに伸びる同形の２本の枝部２ａ、２ｂが突出している。各枝には、図示しないが平面電極と側面電極を設ける。固定部１０を打点して示す。また板面内の回転に
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【実施例３の結線の第１例】
【００３８】  図１４は本考案の第３の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第１例である。
断面は各枝部の中程でＹ軸に垂直な面であり、基部１の断面は図示されていない。本例
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【実施例３の結線の第２例】
【００３９】  図１５は本考案の第３の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第２例である。
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も不感である。
【実施例３の変形例１】
【００４０】  図１２は本考案のセンサの第３の実施例の第１の変形例の平面図である。
本例では基部１を枠形状とせず、平行な枝部２ａ、２ｂの片側に配置した。この配置は、センサのＸ方向の寸法を減じて小型化することが可能となる。各枝部による検出作用は実施例３と全く同様で、電極接続も図１４あるいは図１５の例が適用できる。
【実施例３の変形例２】
【００４１】  図１３は本考案のセンサの第３の実施例の第２の変形例の平面図である。
本例も基部１を枠形状とせず、平行な枝部２ａ、２ｂの間に配置して、ほぼＳ字あるいはＺ字型のセンサ形状を得ている。この配置も小型化が可能であり、検出作用も実施例３と同様で、電極接続も図１４あるいは図１５の例が適用できる。
【その他の実施例】
【００４２】  その他述べなかった実施例あるいはその変形例については、例えば次のようなものが考えられる。（１）実施例１の変形例で、センサの中心に置いた基部から、枝部２ａ、２ｂ、２ｃを基部１から外向きに放射状３方向に突出させたセンサ形状。基部は中心部から枝部の間において外周部、即ちセンサ輪郭の一部を占めるに至るまで広がった形状をしてもよい。（２）実施例２の変形例で、６本の枝部を前記（１）と同様に外向きに放射状６方向に突出させたセンサ形状。やはり基部が中心部から枝部の間において外周部に達していてもよい。
【００４３】  （３）第２実施例のような最大６本の枝部のうち逆向きに対向する２本の枝部を第３実施例に倣って角加速度検出に使用し、他の枝部を並進加速度検出に使用する。（４）Ｙ軸
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【００４４】  本考案の角速度センサの材質は、圧電性が３回回転対称性を持つ水晶を対称としているが、同様な特徴を有する圧電単結晶材料を用いても本考案と同様な構成で優れた各加速度センサが実現可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４５】  本考案の角加速度センサは常時発振させる必要もなく、回路も含めて簡単な構成で製造容易である。また回転軸方向の厚さも薄いので回転運動検出の用途における利用可能性は大きい。また多機能センサへの応用も可能で、産業上の利点が大きい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】  本考案のセンサの第１の実施例の平面図である。
【図２】  本考案のセンサの第１の実施例の変形例の平面図である。
【図３】  本考案の第１の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第１例である。
【図４】  本考案の第１の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第２例である。
【図５】  本考案のセンサの第２の実施例の平面図である。
【図６】  本考案の第２の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第１例である。
【図７】  本考案の第２の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第２例である。
【図８】  本考案の第２の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第３例である。
【図９】  本考案の第２の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第４例である。
【図１０】  本考案の第２の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第５例である。
【図１１】  本考案のセンサの第３の実施例の平面図である。
【図１２】  本考案のセンサの第３の実施例の第１変形例の平面図である。
【図１３】  本考案のセンサの第３の実施例の第２変形例の平面図である。
【図１４】  本考案の第３の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第１例である。
【図１５】  本考案の第３の実施例の枝部の断面図および電極の結線図の第２例である。
【符号の説明】
【００４７】１  基部
１ａ、１ｂ、１ａｂ、１ｂｃ、１ｃ  接続電極
１ｄ  スルーホール
２ａ、２ｂ、２ｃ  枝部
３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ、３ｆ  平面電極
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ  側面電極
５ｂ、５ｄ、５ｆ、６ｂ、６ｄ、６ｆ  稜沿い電極
７ａ、７ｂ、７ｃ、８ａ、８ｂ、８ｃ  連結電極
９  円筒断面
１０  固定部
１１、１１ａ、１１ｂ  端子
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ  撓み線
１３  センサの中心
１４  共通接線の円
Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３、Ｚ  結晶軸
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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