(57)【要約】  パターン付き基板上に高密度の間隙充填酸化ケイ素を形成するプロセスについて記載する。このようなプロセスは、特に狭いトレンチ内で間隙充填酸化ケイ素の密度を増大させる。密度は、広いトレンチおよび凹んだ開放領域内でも増大させることができる。処理の後では、狭いトレンチと広いトレンチ／開放領域内の間隙充填酸化ケイ素の密度は互いに接近し、エッチング速度の一致度が高まる。この効果は、パターンローディング効果の低減として説明することもできる。このプロセスは、酸化ケイ素を形成し、次いで平坦化するステップを伴う。平坦化により、狭いトレンチに近接して配置された新しい誘電体インターフェースが露出する。新しく露出されたインターフェースは、平坦化された表面をアニールし、かつ／またはプラズマに露出させることによって、高密度化処理を容易にする。
2013507003.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
狭いトレンチおよび凹んだ開放領域を有するパターン付き基板上でケイ素および酸素含有層を処理する方法であって、
前記狭いトレンチ内および前記凹んだ開放領域内を含む前記パターン付き基板上にケイ素および酸素含有層を形成するステップと、
前記ケイ素および酸素含有層を平坦化して、前記狭いトレンチ内に狭い間隙充填部分を残し、前記凹んだ開放領域内に広い間隙充填部分を残すステップであり、前記狭いトレンチの上の前記ケイ素および酸素含有層の一部分を除去して、対応する平坦化前の誘電体インターフェースよりも前記狭いトレンチの近くに配置された平坦化後の誘電体インターフェースを露出させることを含むステップと、
前記平坦化工程の後に前記基板を処理して前記狭い間隙充填部分の密度を増大させるステップであり、前記平坦化後の誘電体インターフェースを前記狭いトレンチにより近く配置することで、前記狭い間隙充填部分では、前記平坦化工程前に前記基板が処理された場合より密度を高くすることができるステップと
を含む方法。
【請求項２】
前記ケイ素および酸素含有層を形成するステップが、
プラズマ前駆体を遠隔プラズマ領域内へ流してプラズマ流出物を形成することと、
基板処理領域内で前記プラズマ流出物とケイ素含有前駆体の流れを組み合わせることであり、前記ケイ素含有前駆体の前記流れがプラズマによって励起されていないことと、
オゾン含有大気中で前記ケイ素および窒素含有層を硬化させて、前記層をケイ素および酸素含有層に変換することと
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記開放領域が、５０ｎｍ、１００ｎｍ、２００ｎｍ、５００ｎｍ、および１０００ｎｍの１つより大きい幅を有する広いトレンチである、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記狭いトレンチが、１００ｎｍ、７０ｎｍ、５０ｎｍ、３５ｎｍ、２５ｎｍ、および２０ｎｍの１つより小さい幅を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記基板を処理して密度を増大させた後の前記広い間隙充填部分のエッチング速度が、前記狭い間隙充填部分のエッチング速度の２０％、１５％、１０％、７％、５％、および３％の１つの範囲内である、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記基板を処理して密度を増大させる前記工程が、不活性ガスを含む大気中で前記基板をプラズマに露出させることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記大気が酸素をさらに含む、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記大気が水素をさらに含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記基板を処理して密度を増大させる前記工程が、前記基板を約４００℃、５００℃、６００℃、７００℃、または８００℃以上でアニールして前記狭い間隙充填部分の密度を増大させることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記ケイ素および酸素含有層を平坦化する前記工程が、前記基板を化学機械研磨することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記ケイ素および酸素含有層を平坦化する前記工程が、前記基板上で平坦化エッチングを実行することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記基板を処理して密度を増大させる前記工程が、前記広い間隙充填部分の密度も増大させる、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記基板を処理して密度を増大させる前記工程が、前記基板をプラズマに順次露出させ、次いで前記基板をアニールすることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
前記基板を処理して密度を増大させる前記工程が、前記基板を順次アニールし、次いで前記基板をプラズマに露出させることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
５００℃、６００℃、７００℃、および８００℃の１つを上回る基板温度で酸素含有大気中の前記ケイ素および酸素含有層をアニールした後で前記ケイ素および酸素含有層を平坦化するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
前記ケイ素および酸素含有層を処理する前記工程後、前記ケイ素および酸素含有層が本質的にケイ素および酸素からなる、請求項１に記載の方法。
【請求項１７】
前記ケイ素および酸素含有層が、スピンオンガラス（ＳＯＧ）、プラズマ強化ＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）酸化ケイ素、流動性の高いＣＶＤ（ＦＣＶＤ）酸化ケイ素、減圧ＣＶＤ（ＳＡＣＶＤ）酸化ケイ素、ＴＥＯＳオゾン酸化ケイ素、ＴＥＯＳオゾンＨ２Ｏ酸化ケイ素、非ドープシリケートガラス（ＵＳＧ）、およびリン酸ホウ素シリケートガラス（ＢＰＳＧ）の少なくとも１つを含む、請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本願は、Ｊｉｎｇｍｅｉ  Ｌｉａｎｇらによる「ＰＯＳＴ−ＰＬＡＮＡＲＩＺＡＴＩＯＮ  ＡＮＮＥＡＬ」という名称の２００９年１０月５日出願の米国仮特許出願第６１／２４８，６９３号の非仮出願であり、同願の出願日の利益を主張する。同願の開示全体を、あらゆる目的で参照により本明細書に組み込む。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの形状寸法は、数十年前の導入以来、劇的に低減してきた。現在の半導体製造機器は、４５ｎｍ、３２ｎｍ、および２８ｎｍの特徴寸法を有するデバイスを日常的に生産しており、さらに小さい形状寸法を有するデバイスを作るために、新しい機器が開発および実施されている。特徴寸法が低減する結果、デバイス上の構造的な特徴の空間寸法が低減する。デバイス上の間隙およびトレンチの幅は、この間隙を誘電体材料で充填するのが困難になるほど間隙の深さと幅のアスペクト比が大きくなるところまで狭くなっている。堆積する誘電体材料は、間隙が完全に充填される前に上部で詰まりやすく、間隙の中間にボイドまたはシームを生じさせる。
【０００３】
ここ数年、誘電体材料で間隙の上部を詰まらせないように、または形成されたボイドまたはシームを「回復」させるように、多くの技法が開発されてきた。ある種の手法は通常、エッチバックプロセスの前後で別個の堆積を行うことを伴う。この結果、堆積−エッチング−堆積という順序になるが、この順序では、堆積とエッチングの両方に対してより厳しいプロセス仕様を課すことがある。別の手法は、回転する基板表面に非常に流動性の高い前駆体材料を液相で塗布すること（例えば、ＳＯＧ堆積技法）から開始することである。これらの流動性の高い前駆体は、非常に小さい基板間隙内へ流れ込んで充填することができ、ボイドまたは弱いシームを形成しない。しかし、これらの非常に流動性の高い材料は、堆積させた後、硬化および焼入れして固体の誘電体材料にしなければならない。
【０００４】
堆積プロセスおよび／または後処理を修正することによって、より小さい応力を有する代替の間隙充填膜を生じさせることが必要とされている。これらのプロセス順序で、狭いトレンチと広いトレンチ内に類似の特性を有する膜を生じさせることも必要とされている。本願では、上記その他の必要に対処する。
【発明の概要】
【０００５】
パターン付き基板上に高密度の間隙充填酸化ケイ素を形成するプロセスについて記載する。このようなプロセスは、特に狭いトレンチ内で間隙充填酸化ケイ素の密度を増大させる。密度は、広いトレンチおよび凹んだ開放領域内でも増大させることができる。処理の後では、狭いトレンチと広いトレンチ／開放領域内の間隙充填酸化ケイ素の密度は互いに接近し、それによってエッチング速度の一致度が高まる。この効果は、パターンローディング効果の低減として説明することもできる。このプロセスは、酸化ケイ素を形成し、次いで平坦化するステップを伴う。平坦化により、狭いトレンチに近接して配置された新しい誘電体インターフェースが露出する。新しく露出されたインターフェースは、平坦化された表面をアニールし、かつ／またはプラズマに露出させることによって、高密度化処理を容易にする。
【０００６】
本発明の実施形態は、狭いトレンチおよび凹んだ開放領域を有するパターン付き基板上でケイ素および酸素含有層を処理する方法を含む。これらの方法は、狭いトレンチ内および凹んだ開放領域内を含むパターン付き基板上でケイ素および酸素含有層を形成するステップを含む。これらの方法は、ケイ素および酸素含有層を平坦化して、狭いトレンチ内に狭い間隙充填部分を残し、凹んだ開放領域内に広い間隙充填部分を残すステップを含む。ケイ素および酸素含有層を平坦化するステップは、狭いトレンチの上のケイ素および酸素含有層の一部分を除去して、対応する平坦化前の誘電体インターフェースよりも、狭いトレンチの近くに配置された平坦化後の誘電体インターフェースを露出させることを含む。これらの方法は、平坦化工程後に基板を処理して狭い間隙充填部分の密度を増大させるステップをさらに含む。処理中、平坦化後の誘電体インターフェースを狭いトレンチにより近く配置することで、狭い間隙充填部分では、平坦化工程前に基板が処理された場合より密度を高くすることができる。
【０００７】
追加の実施形態および特徴について、部分的には以下の説明で述べるが、部分的には、本明細書の説明を読めば当業者には明らかになり、または開示する実施形態の実施によって習得することができる。開示する実施形態の特徴および利点は、本明細書に記載する道具、組合せ、および方法を用いて実現および達成することができる。
【０００８】
本発明の性質および利点のさらなる理解は、本明細書の残りの部分および図面を参照することによって実現することができ、いくつかの図面全体にわたって、同じ参照番号を使用して類似の構成要素を指す。場合によっては、参照番号にサブラベルを関連付け、ハイフンに続いて複数の類似の構成要素のうちの１つを指す。既存のサブラベルを指定しないで参照番号を参照するときは、そのような複数の類似の構成要素をすべて参照するものとする。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】開示する実施形態によるケイ素含有膜を処理する選択されたステップを示す流れ図である。
【図２Ａ】エッチングされた酸化ケイ素膜および開示する実施形態によって準備されたエッチングされた酸化ケイ素膜の概略断面図である。
【図２Ｂ】エッチングされた酸化ケイ素膜および開示する実施形態によって準備されたエッチングされた酸化ケイ素膜の概略断面図である。
【図３】開示する実施形態による酸化ケイ素間隙充填膜を処理する選択されたステップを示す別の流れ図である。
【図４】開示する実施形態による基板処理システムを示す図である。
【図５Ａ】開示する実施形態による基板処理チャンバを示す図である。
【図５Ｂ】開示する実施形態による基板処理チャンバのシャワーヘッドを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
パターン付き基板上に高密度の間隙充填酸化ケイ素を形成するプロセスについて説明する。これらのプロセスは、特に狭いトレンチ内で間隙充填酸化ケイ素の密度を増大させる。密度は、広いトレンチおよび凹んだ開放領域内でも増大させることができる。処理の後では、狭いトレンチと広いトレンチ／開放領域内の間隙充填酸化ケイ素の密度は互いに接近し、それによってエッチング速度の一致度が高まる。この効果は、パターンローディング効果の低減として説明することもできる。このプロセスは、酸化ケイ素を形成し、次いで平坦化するステップを伴う。平坦化により、狭いトレンチに近接して配置された新しい誘電体インターフェースが露出する。新しく露出されたインターフェースは、平坦化された表面をアニールし、かつ／またはプラズマに露出させることによって、高密度化処理を容易にする。
【００１１】
トレンチ内の誘電体は、開放領域（または広いトレンチ）内の誘電体とは異なる特性を有することがある。これは、広いトレンチと比較すると、狭いトレンチ内では幾何形状がより制限されることに起因することがある。平坦化ステップ（例えば、平坦化エッチングまたは化学機械研磨、ＣＭＰ）後、周囲の大気への追加の露出により、積層膜を処理して間隙充填材料の密度を増大させ、また狭いトレンチ内と広いトレンチ（または凹んだ開放領域）内の材料の特性をより類似させることが可能になる。熱処理から利益を得る誘電体膜は、ＰＥＣＶＤ、ＡＰＣＶＤ、ＦＣＶＤ、ＳＯＧなどで堆積された酸化ケイ素などの比較的低密度の膜を含む。これらの方法は、流動性の高いＣＶＤ（ＦＣＶＤ）およびスピンオンガラス（ＳＯＧ）などの堆積中、流動性の高い膜に特定の有用性を提供することができる。狭いトレンチの内側と外側の特性の違いは、例えばフッ化水素ＨＦを含む湿式エッチングにおける湿式エッチング速度を比較することによって評価することができる。酸化ケイ素は、ケイ素および酸素含有層を意味する略称として、本明細書全体にわたって使用され、オキシ炭化ケイ素およびオキシ窒化ケイ素などの膜を含む。
【００１２】
特許請求の範囲の包含範囲を仮定上のプロセス機構に拘束することなく、平坦化後に積層膜を加熱することで、誘電体内に網状組織を再構築し、その結果、特にトレンチ内で湿式の緩衝酸化物エッチング（ＢＯＥ）速度を低減させると考えられる。高温で誘電体膜をアニールすると、引張り応力から圧縮応力へ膜を遷移させることがわかった。誘電体から水素のような材料を除去することは、別の可能な機構であり、再構築と同時に行うことができる。狭いトレンチ内の領域は、広いトレンチおよび開放領域内の領域より大きな利益を得ることがわかる。酸化ケイ素は、ＣＭＰ後のアニールから利益を得る誘電体の一例である。制限された形状寸法（狭いトレンチなど）内の酸化ケイ素の密度は、ＣＭＰ後のアニール中に増大され、それによって湿式エッチング速度（ＷＥＲ）の低減を引き起こすことができる。基板の物理的な湾曲もまた、膜の形成中および後処理中の圧縮層の存在によって、全体として軽減することができる。
【００１３】
平坦化された誘電体表面をプラズマに露出させることで、間隙充填誘電体の高密度化に関して類似の利益を提供することもわかった。プラズマ励起された大気中の平坦化された表面のイオン衝撃は、間隙充填誘電体の密度を増大させると考えられる。場合によっては、プラズマによって励起された大気に酸素を添加すると、酸素を供給し、それが組み込まれて酸化ケイ素になることによって、密度をさらに増大させるのを助ける。酸素は、比較的多孔質の間隙充填誘電体内に存在するボイド内へ組み込むことができ、および／または間隙充填誘電体内の材料に対する結合もより弱いことがあるより低密度の成分に取って代わることができる。酸素と組み合わせて水素を添加すると、水分が増大する結果、間隙充填誘電体の密度を増大させるのも助ける。
【００１４】
追加の詳細は、いくつかの例示的な方法について説明する中で提供する。図１は、本発明の実施形態による酸化ケイ素膜を作る方法１００における選択されたステップを示す流れ図である。方法１００は、狭い間隙またはトレンチおよび凹んだ開放領域を有するパターン付き基板を反応チャンバ内へ移動させるステップ１０２を含む。異なる実施形態では、凹んだ開放領域は、５０ｎｍ、１００ｎｍ、２００ｎｍ、５００ｎｍ、または１０００ｎｍより大きい幅を有する広いトレンチとすることができる。異なる実施形態では、狭いトレンチは、１００ｎｍ、７０ｎｍ、５０ｎｍ、３５ｎｍ、２５ｎｍ、または２０ｎｍより小さい幅を有することができる。狭いトレンチは、１：１より著しく大きい高さと幅のアスペクト比（ＡＲ）（すなわち、Ｈ／Ｗ）（例えば、５：１以上、６：１以上、７：１以上、８：１以上、９：１以上、１０：１以上、１１：１以上、１２：１以上など）を画定する高さおよび幅を有することができる。狭いトレンチおよび凹んだ開放領域の充填は、炭素を含まないケイ素前駆体およびラジカル窒素前駆体を基板処理領域に同時に提供するステップ１０４によって始まる。
【００１５】
炭素を含まないケイ素前駆体は、ケイ素前駆体の分類の中でもとりわけ、例えば、ケイ素および窒素前駆体、ケイ素および水素前駆体、またはケイ素、窒素、および水素含有前駆体とすることができる。これらの前駆体の特有の例は、シリルアミンの中でもとりわけ、Ｈ２Ｎ（ＳｉＨ３）、ＨＮ（ＳｉＨ３）２、およびＮ（ＳｉＨ３）３などのシリルアミンを含むことができる。これらのシリルアミンは、キャリアガス、反応性ガス、または両方として作用できる追加のガスと混合することができる。追加のガスの例は、ガスの中でもとりわけ、Ｈ２、Ｎ２、ＮＨ３、Ｎ２Ｈ４、Ｈｅ、およびＡｒを含むことができる。炭素を含まないケイ素前駆体の例はまた、シラン（ＳｉＨ４）を単独で、または他のケイ素含有ガス（例えば、Ｎ（ＳｉＨ３）３）、水素含有ガス（例えば、Ｈ２）、および／もしくは窒素含有ガス（例えば、Ｎ２、ＮＨ３、Ｎ２Ｈ４）と混合された状態で含むことができる。炭素を含まないケイ素前駆体はまた、ジシラン、トリシラン、より高次のシラン、および塩化シランを単独で、または互いに、もしくは前述の炭素を含まないケイ素前駆体と組み合わせて含むことができる。ケイ素前駆体は、炭素がないことに加えて、酸素のないものにすることができる。酸素がない結果、これらの前駆体から形成されるケイ素および窒素層内のシラノール（Ｓｉ−ＯＨ）基の濃度がより低くなる。堆積された膜内の余分なシラノール部分は、堆積された層からヒドロキシル（−ＯＨ）部分を除去する堆積後のステップ中に、多孔率および収縮率を増大させる可能性がある。
【００１６】
ラジカル窒素前駆体は、より安定した窒素前駆体から反応チャンバの外で生成された窒素ラジカル含有種である。例えば、ＮＨ３などの安定した窒素前駆体は、反応チャンバの外のプラズマユニット内で活性化させてラジカル窒素前駆体を形成することができ、次いでこのラジカル窒素前駆体が反応チャンバ内へ輸送される。異なる実施形態では、安定した窒素前駆体はまた、ＮＨ３およびＮ２、ＮＨ３およびＨ２、ＮＨ３およびＮ２およびＨ２、ならびにＮ２およびＨ２を含む混合物とすることができる。ＮＨ３の代わりに、またはＮＨ３に加えて、ヒドラジン（Ｎ２Ｈ４）を使用することができ、上記のＮ２および／またはＨ２と組み合わせることができる。生じさせるラジカル窒素前駆体は、・Ν、・ＮＨ、・ＮＨ２などの１つまたは複数を含むプラズマ流出物を含んでおり、プラズマ内で形成されたイオン化種を伴うことができる。
【００１７】
ラジカル前駆体は、前述の前駆体とともに遠隔プラズマ領域へ供給される窒素を含む場合、ラジカル窒素前駆体とすることができる。一般に、窒素を含まないラジカル前駆体でも、ケイ素および窒素含有層を形成することができる。ラジカル前駆体は、前駆体が混合および反応して堆積基板（例えば、半導体ウェーハ）上にケイ素および窒素層を堆積させる堆積領域から区切られた反応チャンバの一区域内に生成される。ラジカル前駆体がラジカル窒素前駆体である一実施形態では、安定した窒素前駆体は、遠隔プラズマ領域内へ流れ込み、プラズマによって励起される。安定した窒素前駆体（およびラジカル窒素前駆体）は、水素（Ｈ２）、窒素（Ｎ２）、アルゴン、ヘリウムなどのキャリアガスを伴うこともできる。本質的に窒素（Ｎ２）からなる入力ガス（追加の不活性キャリアガスの有無にかかわらない）から形成されるラジカル窒素前駆体もまた、開示する実施形態で有益な膜を生じさせることがわかった。ケイ素含有前駆体が所望の膜内で必要な窒素を提供する実施形態では、ラジカル窒素前駆体は、本質的に水素（Ｈ２）からなる入力ガス（および任意選択で不活性キャリアガス）から形成されるラジカル前駆体と交換することもできる。本明細書では、プラズマ内へ流れ込んで励起される前駆体をプラズマ前駆体と呼び、プラズマから流れ出るラジカル前駆体をプラズマ流出物と呼ぶ。
【００１８】
反応チャンバでは、炭素を含まないケイ素前駆体およびラジカル窒素前駆体が混合および反応して、堆積基板上にケイ素および窒素含有膜を堆積させる（１０６）。堆積されるケイ素および窒素含有膜は、実施形態のいくつかの方策の組合せと共形に堆積させることができる。他の実施形態では、堆積されたケイ素および窒素含有膜は、従来の窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）膜堆積技法とは異なり、流動性の高い特性を有する。形成の流動性の高い性質により、膜は、基板の堆積表面上の狭い間隙、トレンチ、および他の構造内へ流れ込むことができる。実施形態では、流動性の高い膜は、充填材料の中心の周りにボイドまたは弱いシームを作ることなく、高いアスペクト比を有する間隙を充填する。流動性の高い膜は、狭い間隙またはトレンチの上部を早まって詰まらせる可能性がより低い。
【００１９】
流動性は、ラジカル窒素前駆体と炭素を含まないケイ素前駆体との混合に起因する様々な特性によって生じることがある。これらの特性は、堆積された膜内のかなりの水素成分、および／または短鎖ポリシラザンポリマーの存在を含むことができる。これらの短鎖は、成長して網状組織をなし、膜の形成中および形成後により高密度の誘電体材料を形成する。例えば、堆積された膜は、シラザンタイプのＳｉ−ＮＨ−Ｓｉバックボーン（すなわち、Ｓｉ−Ｎ−Ｈ膜）を有することができる。ケイ素前駆体とラジカル窒素前駆体のどちらにも炭素がないとき、堆積されたケイ素および窒素含有膜にもまた、実質上炭素がない。もちろん、「炭素がない」とは、膜に微量の炭素すらないことを必ずしも意味するわけではない。前駆体材料内には、堆積されたケイ素および窒素前駆体内に入り込んだ炭素汚染物質が存在することがある。しかし、これらの炭素不純物の量は、炭素部分（例えば、ＴＥＯＳ、ＴＭＤＳＯなど）を有するケイ素前駆体内に見られるはずの量よりはるかに少ない。
【００２０】
ケイ素および窒素含有層の堆積に続いて、堆積基板に酸素含有大気中での処理を行うことができる（１０８）。開示する実施形態では、基板は最初に、オゾン含有大気中で硬化される。堆積基板は、硬化用の基板処理領域内に残すことができ、または基板は、異なるチャンバへ移動させることができ、そのチャンバ内でオゾン含有大気が導入される。異なる実施形態では、基板の硬化温度は、約４００℃以下、約３００℃以下、約２５０℃以下、約２００℃以下、または約１５０℃以下とすることができる。異なる実施形態では、基板の温度は、ほぼ室温以上、約５０℃以上、約１００℃以上、約１５０℃以上、または約２００℃以上とすることができる。開示する追加の実施形態によれば、上限のいずれかと下限のいずれかを組み合わせて、基板温度に対して追加の範囲を形成することができる。実施形態では、表面近くの網状組織を閉じて表面の下の酸化を妨害することがある原子状酸素の生成を回避するために、硬化中の基板処理領域には、プラズマは全くまたは実質上印加されない。硬化ステップ中の基板処理領域内へのオゾンの流量は、約２００ｓｃｃｍ以上、約３００ｓｃｃｍ以上、または約５００ｓｃｃｍとすることができ、通常、比較的より安定した分子状酸素のより大きい流れを伴う。硬化ステップ中のオゾンの分圧は、約１０トル以上、約２０トル以上、または約４０トル以上とすることができる。いくつかの条件（例えば、約１００℃〜約２００℃の基板温度）下では、変換が実質上完了することがわかっており、したがって実施形態では、酸素含有環境での比較的高温のアニールは不要であることがある。いくつかの実施形態では、平坦化は、ここで説明したオゾン処理に続いて行うことができる。
【００２１】
他の実施形態では、酸素含有大気への露出は、より高温の処理の形で継続される。ケイ素および窒素含有層の硬化に続いて、堆積基板を酸素含有大気中でアニールすることができる（１１０）。堆積基板は、酸素含有大気が導入されるとき、硬化に使用されたのと同じ基板処理領域内に残すことができ、または基板は、異なるチャンバへ移動させることができ、そのチャンバ内で酸素含有大気が導入される。酸素含有大気は、酸素含有ガスの中でもとりわけ、分子状酸素（Ｏ２）、オゾン（Ｏ３）、水蒸気（Ｈ２Ｏ）、過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）、および酸化窒素（ＮＯ、ＮＯ２など）などの１つまたは複数の酸素含有ガスを含むことができる。酸素含有大気はまた、遠隔で生成して基板チャンバ内へ輸送できる原子状酸素（Ｏ）、水酸化物（ＯＨ）などのラジカル酸素およびヒドロキシル種を含むことができる。酸素含有種のイオンが存在することもある。異なる実施形態では、基板の酸素アニール温度は、約１１００℃以下、約１０００℃以下、約９００℃以下、または約８００℃以下とすることができる。異なる実施形態では、酸素アニール中の基板の温度は、約５００℃以上、約６００℃以上、約７００℃以上、または約８００℃以上とすることができる。開示する追加の実施形態によれば、上限のいずれかと下限のいずれかを組み合わせて、基板温度に対して追加の範囲を形成することができる。パターン付き基板は、より高温の不活性環境内でさらにアニールすることができる。異なる実施形態では、不活性アニール中の基板の温度は、約８００℃以上、約９００℃以上、約１０００℃以上、または約１１００℃以上とすることができる。
【００２２】
次いでパターン付き基板は、化学機械研磨（ＣＭＰ）工具へ移動される。パターン付き基板上の酸化ケイ素を研磨して、酸化ケイ素層を平坦化する（１１０）。ＣＭＰなどの平坦化プロセスは通常、基板からより遠くへ延びる材料を、凹んだ材料より急速に除去し、その結果、選択可能な横方向の長さスケールにおいてさらなる平面性を得ることができる。横方向の長さスケールは通常、基板の「長さ」または直径より著しく小さい。凹んだ領域より上に延びる酸化ケイ素を優先的に除去するように調整されたエッチングプロセスを含む他の技法を使用して、表面を平坦化することもできる。実施形態では、延びた領域と凹んだ領域の両方から材料が除去される。ＣＭＰを使用する平坦化後、平坦化後の誘電体インターフェースが形成され、研磨前のインターフェースよりパターン付き基板近くに配置される。
【００２３】
平坦化後の誘電体インターフェースにより、（特に）狭いトレンチ内の材料を処理して、平坦化前に可能なはずのものより密度を増大させることができる。基板は、工程１０８に関連する議論で提示したすべてのプロセスパラメータ範囲および大気を含む平坦化前に、記載のように硬化およびアニールすることができる（１１２）。平坦化後の誘電体インターフェースにより、上記で提示したのと同じ実施形態で、すべての凹んだ領域内、特に狭いトレンチ内の材料の密度をさらに増大させることができる。酸素が存在することと、平坦化後の誘電体インターフェースが狭いトレンチにより近接することを組み合わせると、膜内に残った未反応の窒素を酸素にさらに置き換えることができる。言い換えれば、酸素の露出は、平坦化前はインターフェースから単に遠すぎた領域内で、ケイ素および窒素含有層からケイ素および酸素含有層への変換を進めることができる。ＣＭＰ後に可能になる追加の高密度化は、上にある誘電体層によってトレンチ内のＳｉＯ２の網状組織を維持できることを示す。上にある層を除去した後、トレンチ内のＳｉＯ２は、ＣＭＰ後のアニール中に自由に再構築することができる。トレンチの幾何形状を制限することで、ＣＭＰ前のアニール中に網状組織の再構築を抑制するのを助けることができ、一方、ＣＭＰ後の新しくなった露出により、著しい追加の網状組織の再構築を行うことができる。酸素含有大気は、前述の酸素含有化合物およびラジカルを含むことができる。実施形態では、酸素含有大気は、湿気を増大させ、網状組織の再構築を容易にし、凹んだ領域内の密度を増大させるために、水素をさらに含むことができる。
【００２４】
平坦化後のアニールを導入する結果、平坦化ステップ前のアニールを修正することができる。下流の処理に備えて膜を高密度化するのではなく、ＣＭＰ前のアニールでは、ＣＭＰステップに耐えるように膜を高密度化することのみを必要とする。これにより、処理の高温部分の必要を低減または解消することができる。実施形態では、膜は、オゾン含有環境中での低温の硬化を必要とする。他の実施形態では、膜は、オゾン含有環境中での低温の硬化および酸素含有環境中での低温のアニールを必要とする。層剥離および研磨の均一性を考慮することに加えて、ＣＭＰ前のアニールは、許容可能な欠陥レベルを可能にするように選択されるべきである。ＣＭＰ前のアニールではＣＭＰ後のアニールより熱負荷を低くすることができるため、場合によっては、平坦化後のアニールを含むことを使用して、処理中の流動性の高い膜に対する膜の亀裂を低減、軽減、制御、または防止することができる。ＣＭＰ後のアニールは、高温を有することがあるが、膜の厚さが低減され、それによってアニール中の膜の亀裂の可能性を低減させることができる。
【００２５】
いくつかの実施形態では、パターン付き基板は、狭いトレンチおよび凹んだ開放領域を含み、狭いトレンチと凹んだ開放領域はそれぞれ、上述したように酸化ケイ素で充填される。様々な効果の結果、狭いトレンチ内の酸化ケイ素の密度を、凹んだ開放領域内の酸化ケイ素の密度より低いことがある。これは、各材料がフッ化水素酸ベースのエッチング溶液（例えば、６：１の緩衝酸化物エッチング溶液）に露出されたときの湿式エッチング速度を測定することによって求めることができる。特有の試験構造を使用して、開示する実施形態による方法がトレンチ内の膜の品質に与える利益を実証した。この構造は、幅６０〜１２０ｎｍのトレンチおよび開放領域を有する。
【００２６】
図２Ａ〜２Ｂは、エッチングされた間隙充填酸化ケイ素膜および開示する実施形態によって処理されたエッチングされた間隙充填酸化ケイ素膜の概略断面図である。図２Ａの概略図は、トレンチ壁２０２間に複数のトレンチを有する支持基板２００を示す。ウェーハ全体を、流動性の高いケイ素および窒素含有膜で堆積させ、次いで、２００℃〜４００℃の蒸気中および８００℃〜１１００℃のＮ２中で硬化およびアニールした。次いでＣＭＰを使用して、パターン付き基板上のトレンチの上部までウェーハを平坦化した。窒化物停止層を設けて、所望の位置での研磨を停止するのを助けた。平坦化後の誘電体インターフェースの位置を、点線２０１で示す。６：１のＢＯＥで湿式エッチングを１０秒間行った後の、狭いトレンチ２０４−１および凹んだ開放領域２０５−１内の残りの酸化ケイ素を、実線を使用して示す。除去される材料の量は、ウェットリセスと呼ぶことができ、ＷＥＲに比例する。ウェットリセスは、異なる領域内で異なることがあり、例えばリセスは、トレンチの幅とともに変動することがある。狭い間隙充填部分２０４−１のエッチング速度は、広い間隙充填部分２０５−１のエッチング速度より大きく、その結果、エッチング後の誘電体インターフェースがより低くなる。ウェットリセスは、トレンチ幅６５ｎｍを有する狭いトレンチ内で約９０ｎｍであり、開放領域内で約３６ｎｍである。
【００２７】
ＣＭＰ後のアニール（不活性環境中）後の別の湿式エッチング速度の比較を、図２Ｂに示す。このとき、狭い間隙充填部分内の密度が増大されたため、狭い間隙充填部分２０４−２と広い間隙充填部分２０５−２の高さは類似している。図２Ｂの概略断面図では、異なる領域内のウェットリセスは実質上一致する。ウェットリセスは、狭いトレンチ内では３４ｎｍに低減され、開放領域内では３０ｎｍに低減された。ＣＭＰ後のアニール中、狭い間隙充填部分２０４−２と広い間隙充填部分２０５−２の両方の密度が増大したが、狭い間隙充填部分内の密度はより著しく増大した。これにより、狭い間隙充填部分のＷＥＲを、広い間隙充填部分のＷＥＲにより類似させることができる。基板を処理して密度を増大させた後の広い間隙充填部分のエッチング速度は、狭い間隙充填部分のエッチング速度の２０％、１５％、１０％、７％、５％、または３％の１つの範囲内である。
【００２８】
本明細書に提示する方法について、酸化ケイ素膜になるように後に処理される例示的なケイ素および窒素含有膜を使用して説明する。これらの方法は、ＳＡＣＶＤ、ＨＡＲＰ／ｅＨＡＲＰ膜（ＴＥＯＳオゾン酸化ケイ素／ＴＥＯＳオゾンＨ２Ｏ酸化ケイ素としても知られている）、スピンオンガラス（ＳＯＧ）、プラズマ強化ＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）酸化ケイ素、流動性の高いＣＶＤ（ＦＣＶＤ）酸化ケイ素、減圧ＣＶＤ（ＳＡＣＶＤ）酸化ケイ素を含む様々な方法を使用して堆積された酸化ケイ素ならびに他の誘電体の間隙充填膜（例えば、ＳｉＯＮ、ＳｉＯＣ）上で使用できることに留意されたい。これらの膜は、非ドープシリケートガラス（ＵＳＧ）とすることができ、またはドープすることができる（例えば、リン酸ホウ素シリケートガラス、ＢＰＳＧ）。トレンチおよび凹んだ開放領域内で密度を増大させることは、間隙充填材料を再び流すこと、または共形の堆積中に形成しうるシームを回復させることを伴うことができる。
【００２９】
硬化およびアニールなどの熱処理は、トレンチおよび凹んだ開放領域内で間隙充填酸化ケイ素の密度を増大させる唯一の方法ではない。パターン付き基板を含む基板処理領域内でプラズマを励起させることは、前述した熱ステップ（硬化および／もしくはアニール）の代わりに、または熱ステップに加えて使用することができる。そのようなプラズマも、間隙充填酸化ケイ素の密度を増大させることがわかった。プラズマおよび熱処理は、同時および／または順番に実行することができる。プラズマ処理は、別個のプラズマチャンバ内で実行することができ、または本明細書に記載する他のプロセスに対して使用されるのと同じチャンバ内で実行することができる。図３は、本発明の実施形態による酸化ケイ素膜を処理する方法３００における選択されたステップを示す流れ図である。方法３００は、図１の工程１１０と同様に、間隙充填酸化ケイ素層３０２を平坦化するステップを含む。次いでパターン付き基板は、酸素含有前駆体から形成された酸素含有プラズマ３０４中で処理される。例示的な酸素含有前駆体は、図１の工程１０８（および１１２）に関する議論で列挙した。酸素含有前駆体は通常、希ガス（Ｎｅ、Ａｒなど）などの不活性ガスを伴う。いかなる酸素含有前駆体も実質上もたないプラズマ励起された不活性ガスもまた、平坦化ステップに続いて間隙充填酸化ケイ素の密度を増大させることがわかった。酸素含有前駆体と水素含有前駆体をどちらも有するプラズマ励起された不活性ガスもまた、湿気の増大の結果、場合によっては役立つことがわかった。これらのプラズマベースのプロセスはすべて、密度を増大させ、狭いトレンチと凹んだ開放領域内でより類似の密度を生じさせることがわかった。図３の例示的なプロセスは、酸化ケイ素間隙充填層がアニールされたとき（３０６）、引き続き間隙充填層をさらに高密度化および均質化する。プラズマプロセスおよび熱プロセスが順番に適用されるとき、プラズマプロセスを熱プロセスの前に行っても、熱プロセスの後に行ってもよい。
【００３０】
プラズマ高密度化プロセス中、基板を含む基板処理領域内でプラズマが生じる。不活性の前駆体および反応性の前駆体（任意選択で）が基板処理領域内に流れ込み、その領域にプラズマ出力（例えば、ＲＦまたはマイクロ波）が印加されてガスを励起させる。プラズマ出力は、容量性および誘導性を含む様々な方法で印加することができる。いくつかの実施形態では、通常１３．５６ＭＨｚの高いＲＦ周波数（ＲＦ１）および３６０ＫＨｚの低いＲＦ周波数（ＲＦ２）で出力を供給する混合周波数としてＲＦ出力を供給し、基板処理領域内へ導入された反応種の分解を促進することができる。使用される特有の周波数は、場所によって変動することがあり、大半は、通信干渉を考慮することによって決定される。
【００３１】
開示する実施形態では、基板の温度は、約１００℃、約１５０℃、約２００℃、約２５０℃、または約３００℃より大きくすることができる。開示する実施形態では、基板の温度は、約６００℃、約５００℃、または約４００℃より小さくすることもできる。開示する追加の実施形態によれば、基板温度の上限のいずれかと下限のいずれかを組み合わせて、追加の温度範囲を形成することができる。開示する実施形態では、基板処理領域内の圧力は、約０．５トル、１トル、２トル、または４トルより大きくすることができる。開示する実施形態では、基板処理領域内の圧力は、約２０トル、約１５トル、約１０トル、約８トル、または約６トルを下回ることもできる。開示する追加の実施形態は、圧力の下限のいずれかと上限のいずれかを組み合わせることによって形成することができる。開示する実施形態では、プラズマを励起するために約１３．５６ＭＨｚが使用されたとき、ＲＦ出力は、約２５ワット〜約４００ワット、約５０ワット〜約３５０ワット、約１００ワット〜約３００ワット、または約１５０ワット〜約２５０ワットとすることができる。開示する追加の実施形態では、ＲＦ出力の上限のいずれかと下限のいずれかを組み合わせて、出力に対する追加の範囲を形成することができる。
【実施例】
【００３２】
例示的な基板処理システム
堆積システムの実施形態は、集積回路チップを生産するための、より大型の製造システム内に組み込むことができる。図４は、開示する実施形態による堆積チャンバ、焼成チャンバ、および硬化チャンバからなる１つのそのようなシステム４００を示す。この図では、１対のＦＯＵＰ（前方開口型統一ポッド）４０２が基板（例えば、直径３００ｍｍのウェーハ）を供給し、基板はロボットアーム４０４によって受け取られ、低圧保持領域４０６内に配置されてから、ウェーハ処理チャンバ４０８ａ〜ｆの１つに配置される。第２のロボットアーム４１０を使用して、基板ウェーハを保持領域４０６から処理チャンバ４０８ａ〜ｆへ輸送し、また戻すことができる。
【００３３】
処理チャンバ４０８ａ〜ｆは、基板ウェーハ上に流動性の高い誘電体膜を堆積、アニール、硬化、および／またはエッチングする１つまたは複数のシステム構成要素を含むことができる。一構成では、２対の処理チャンバ（例えば、４０８ｃ〜ｄおよび４０８ｅ〜ｆ）を使用して、基板上に流動性の高い誘電体材料を堆積させることができ、第３の対の処理チャンバ（例えば、４０８ａ〜ｂ）を使用して、堆積された誘電体をアニールすることができる。別の構成では、同じ２対の処理チャンバ（例えば、４０８ｃ〜ｄおよび４０８ｅ〜ｆ）は、基板上で流動性の高い誘電体膜の堆積とアニールの両方を行うように構成することができ、一方、第３の対のチャンバ（例えば、４０８ａ〜ｂ）は、堆積された膜のＵＶまたは電子ビーム硬化に使用することができる。さらに別の構成では、３対のチャンバ（例えば、４０８ａ〜ｆ）すべてが、基板上に流動性の高い誘電体膜を堆積および硬化させるように構成することができる。さらに別の構成では、２対の処理チャンバ（例えば、４０８ｃ〜ｄおよび４０８ｅ〜ｆ）は、流動性の高い誘電体の堆積とＵＶまたは電子ビーム硬化の両方に使用することができ、一方、第３の対の処理チャンバ（例えば、４０８ａ〜ｂ）は、誘電体膜をアニールするために使用することができる。流動性の高い誘電体膜に対する堆積チャンバ、アニールチャンバ、および硬化チャンバの追加の構成が、システム４００によって企図されることが理解されよう。
【００３４】
さらに、プロセスチャンバ４０８ａ〜ｆの１つまたは複数は、湿式の処理チャンバとして構成することができる。これらのプロセスチャンバは、湿気を含む大気中で流動性の高い誘電体膜を加熱することを含む。したがって、システム４００の実施形態は、堆積された誘電体膜上で湿式アニールと乾式アニールの両方を実行するために、湿式処理チャンバ４０８ａ〜ｂおよびアニール処理チャンバ４０８ｃ〜ｄを含むことができる。
【００３５】
図５Ａは、開示する実施形態による基板処理チャンバ５００である。遠隔プラズマシステム（ＲＰＳ）５１０はガスを処理することができ、次いでガスは、ガス入り口アセンブリ５１１を通って進む。ガス入り口アセンブリ５１１内に、２つの別個のガス供給チャネルが見られる。第１のチャネル５１２は、遠隔プラズマシステムＲＰＳ５１０を通過するガスを運び、一方、第２のチャネル５１３は、ＲＰＳ５００を迂回する。開示する実施形態では、第１のチャネル５１２は、プロセスガスに使用することができ、第２のチャネル５１３は、処理ガスに使用することができる。リッド（または導電性の上部部分）５２１および穴のあいた区画５５３を、間にある絶縁リング５２４とともに示す。絶縁リング５２４によって、穴のあいた区画５５３に対してリッド５２１に交流電位を印加することができる。プロセスガスは、第１のチャネル５１２を通ってチャンバプラズマ領域５２０内へ進み、チャンバプラズマ領域５２０内単独で、またはＲＰＳ５１０と組み合わせて、プラズマによって励起することができる。本明細書では、チャンバプラズマ領域５２０および／またはＲＰＳ５１０の組合せを、遠隔プラズマシステムと呼ぶことができる。穴のあいた区画（シャワーヘッドとも呼ぶ）５５３は、シャワーヘッド５５３の下にある基板処理領域５７０からチャンバプラズマ領域５２０を分離する。シャワーヘッド５５３により、チャンバプラズマ領域５２０内に存在するプラズマは、基板処理領域５７０内のガスを直接励起させるのを回避することができ、それでもなお励起された種は、チャンバプラズマ領域５２０から基板処理領域５７０内へ進むことができる。
【００３６】
シャワーヘッド５５３は、チャンバプラズマ領域５２０と基板処理領域５７０の間に位置決めされ、それによって、チャンバプラズマ領域５２０内で生じたプラズマ流出物（前駆体または他のガスの励起された誘導体）は、板の厚さを横切る複数の貫通孔５５６を通過することができる。シャワーヘッド５５３はまた、１つまたは複数の中空体積５５１を有し、中空体積５５１は、蒸気またはガス（ケイ素含有前駆体など）の形の前駆体で充填することができ、直接チャンバプラズマ領域５２０内ではなく、小さい孔５５５を通って基板処理領域５７０内へ進むことができる。開示するこの実施形態では、シャワーヘッド５５３は、貫通孔５５６の最小の直径５５０の長さより厚い。チャンバプラズマ領域５２０から基板処理領域５７０へ浸透する励起された種のかなりの濃度を維持するために、貫通孔の最小の直径５５０の長さ５２６は、シャワーヘッド５５３の途中に貫通孔５５６の直径がより大きい部分を形成することによって制限することができる。開示する実施形態では、貫通孔５５６の最小の直径５５０の長さは、貫通孔５５６の最小の直径と同じ程度以下とすることができる。
【００３７】
図示の実施形態では、シャワーヘッド５５３は、チャンバプラズマ領域５２０内でプラズマによって励起されると、酸素、水素、および／もしくは窒素を含有するプロセスガス、ならびに／またはそのようなプロセスガスのプラズマ流出物を（貫通孔５５６を介して）分散させることができる。実施形態では、第１のチャネル５１２を通ってＲＰＳ５１０および／またはチャンバプラズマ領域５２０内へ導入されるプロセスガスは、酸素（Ｏ２）、オゾン（Ｏ３）、Ｎ２Ｏ、ＮＯ、ＮＯ２、ＮＨ３、Ｎ２Ｈ４を含むＮｘＨｙ、シラン、ジシラン、ＴＳＡ、およびＤＳＡの１つまたは複数を含有することができる。プロセスガスはまた、ヘリウム、アルゴン、窒素（Ｎ２）などのキャリアガスを含むことができる。第２のチャネル５１３もまた、成長する膜または堆積された膜から望ましくない成分を除去するために使用されるプロセスガスおよび／もしくはキャリアガス、ならびに／または膜硬化ガスを送達することができる。プラズマ流出物は、プロセスガスのイオン化誘導体または中性誘導体を含むことができ、本明細書では、導入されたプロセスガスの原子状の成分を指して、ラジカル酸素前駆体および／またはラジカル窒素前駆体と呼ぶことができる。
【００３８】
実施形態では、貫通孔５５６の数は、約６０〜約２０００とすることができる。貫通孔５５６は、様々な形状を有することができるが、円形に形成するのが最も容易である。開示する実施形態では、貫通孔５５６の最小の直径５５０は、約０．５ｍｍ〜約２０ｍｍまたは約１ｍｍ〜約６ｍｍとすることができる。貫通孔の断面形状の選択には許容範囲もあり、円錐形、円筒形、または２つの形状の組合せとすることができる。異なる実施形態では、基板処理領域５７０内へガスを導入するために使用される小さい孔５５５の数は、約１００〜約５０００または約５００〜約２０００とすることができる。小さい孔５５５の直径は、約０．１ｍｍ〜約２ｍｍとすることができる。
【００３９】
図５Ｂは、開示する実施形態による処理チャンバとともに使用するためのシャワーヘッド５５３の底面図である。シャワーヘッド５５３は、図５Ａに示すシャワーヘッドに相当する。貫通孔５５６は、シャワーヘッド５５３の底部上でより大きい内径（ＩＤ）を有し、上部でより小さいＩＤを有する状態で示す。小さい孔５５５は、貫通孔５５６の間でも、シャワーヘッドの表面全体にわたって実質上均一に分散され、それによって、本明細書に記載する他の実施形態より均一の混合を提供するのを助ける。
【００４０】
シャワーヘッド５５３内の貫通孔５５６を通って到達したプラズマ流出物が、中空体積５５１から小さい孔５５５を通って到達したケイ素含有前駆体と混ざると、基板処理領域５７０内のペデスタル（図示せず）によって支持された基板上に、例示的な膜が生成される。基板処理領域５７０は、硬化などの他のプロセスのためにプラズマに対応するように装備することができるが、例示的な膜の成長中にはプラズマは存在しない。
【００４１】
シャワーヘッド５５３の上のチャンバプラズマ領域５２０内またはシャワーヘッド５５３の下の基板処理領域５７０内で、プラズマを着火することができる。処理チャンバの導電性の上部部分５２１とシャワーヘッド５５３の間に、通常無線周波数（ＲＦ）範囲内の交流電圧が印加され、堆積中にチャンバプラズマ領域５２０内でプラズマを着火する。基板処理領域５７０内の底部のプラズマを点けて膜を硬化させ、または基板処理領域５７０と境界をなす内部表面を洗浄するとき、上部のプラズマは、低い出力、または出力のない状態のままである。基板処理領域５７０内のプラズマは、シャワーヘッド５５３とチャンバのペデスタルまたは底部の間に交流電圧を印加することによって着火される。プラズマが存在する間に、基板処理領域５７０内へ洗浄ガスを導入することができる。
【００４２】
ラジカル窒素前駆体は、遠隔プラズマ領域内で生成されて基板処理領域内へ進み、基板処理領域内では、ラジカル窒素前駆体によってケイ素含有前駆体が励起される。実施形態では、ケイ素含有前駆体は、ラジカル窒素前駆体のみによって励起される。実施形態では、ラジカル窒素前駆体がケイ素含有前駆体に対する主な励起を確実に提供するように、プラズマ出力は本質的に、遠隔プラズマ領域のみに印加することができる。
【００４３】
チャンバプラズマ領域を用いる実施形態では、前駆体が混合および反応して堆積基板（例えば、半導体ウェーハ）上にケイ素および窒素層を堆積させる堆積領域から区切られた基板処理領域の一区域内で、励起されたプラズマ流出物が生成される。励起されたプラズマ流出物はまた、励起されていない不活性ガス（例示的な場合、アルゴン）を伴う。本明細書では、基板処理領域について、例えばケイ素および窒素含有層の成長中は「プラズマがない」と説明することができる。「プラズマがない」とは、この領域がプラズマをもたないことを必ずしも意味するわけではない。プラズマ領域内で生成されたイオン化種および自由電子は、区画（シャワーヘッド）内の貫通孔（開口）を通って進むが、炭素のないケイ素含有前駆体は、プラズマ領域に印加されるプラズマ出力によって実質上励起されない。チャンバプラズマ領域内のプラズマの境界は、画定するのが困難であり、シャワーヘッド内の開口を通って基板処理領域に侵入することがある。誘導結合されたプラズマの場合、基板処理領域内で直接、わずかな量のイオン化が生じることがある。さらに、基板処理領域内では、低強度のプラズマが生じることもあるが、形成される膜の所望の特徴はなくさない。励起されたプラズマ流出物の生成中、チャンバプラズマ領域（または、その点では遠隔プラズマ領域）よりプラズマのイオン密度がはるかに低強度であるすべての原因は、本明細書で「プラズマがない」という範囲から逸脱しない。
【００４４】
熱高密度化プロセスでは、基板を不活性大気中で加熱することができる。熱は、基板温度を上げるために抵抗性の加熱要素を含むことができるペデスタルによって供給することができる。プラズマ高密度化プロセス中、ＲＦ電源５４０は、シャワーヘッド５５３と図５Ａに示す構成要素の下のペデスタルの間に出力を印加する。プラズマ出力は、プロセスガス混合物を励起して、シャワーヘッド５５３とペデスタルによって支持された基板の間のほぼ円筒形の領域内にプラズマを形成する。シャワーヘッド５５３は導電表面を有し、または表面は、金属挿入物を絶縁して覆うことができる。位置にかかわらず、シャワーヘッド５５３の金属部分は、誘電体挿入物を介してＣＶＤチャンバ５００の残り部分から電気的に分離され、それによってシャワーヘッド５５３の電圧を、支持ペデスタルおよびリッド５２０に対して変動させることができる。リッド５２１と支持ペデスタルも電気的に分離され、したがって、チャンバプラズマ領域５２０内にプラズマを生じさせることなく、基板処理領域５７０内にプラズマを生じさせることができる。
【００４５】
基板処理システムは、システムコントローラによって制御される。例示的な実施形態では、システムコントローラは、ハードディスクドライバ、フロッピーディスクドライバ、および処理装置を含む。処理装置は、単一基板コンピュータ（ＳＢＣ）、アナログおよびデジタル入出力基板、インターフェース基板、ならびにステッパモータコントローラ基板を含む。ＣＶＤシステムの様々な部分は、基板、カードケージ、およびコネクタの寸法および型を規定するＶｅｒｓａ  Ｍｏｄｕｌａｒ  Ｅｕｒｏｐｅａｎ（ＶＭＥ）標準に適合する。ＶＭＥ標準はまた、バス構造について、１６ビットのデータバスおよび２４ビットのアドレスバスを有すると規定する。
【００４６】
システムコントローラは、ＣＶＤ機の活動のすべてを制御する。システムコントローラは、コンピュータ可読媒体内に記憶されたコンピュータプログラムであるシステム制御ソフトウェアを実行する。媒体はハードディスクドライバであることが好ましいが、媒体は、他の種類のメモリとすることもできる。コンピュータプログラムは、特定のプロセスのタイミング、ガスの混合、チャンバ圧力、チャンバ温度、ＲＦ出力レベル、サセプタの位置、および他のパラメータを指示する命令セットを含む。例えばフロッピーディスクまたは他の別の適当なドライバを含む他の記憶デバイス上に記憶された他のコンピュータプログラムを使用して、システムコントローラに命令することもできる。
【００４７】
基板上に積層膜を堆積させるプロセスまたはチャンバを洗浄するプロセスは、システムコントローラによって実行されるコンピュータプログラム製品を使用して実施することができる。コンピュータプログラムコードは、任意の従来のコンピュータ可読プログラミング言語、例えば、６８０００アセンブリ言語、Ｃ、Ｃ＋＋、Ｐａｓｃａｌ、Ｆｏｒｔｒａｎなどで書くことができる。適したプログラムコードは、従来のテキストエディタを使用して単一のファイルまたは複数のファイル内へ入力され、コンピュータのメモリシステムなどのコンピュータ使用可能媒体内で記憶または実施される。入力されたコードテキストが高級言語である場合、コードはコンパイルされ、次いで、その結果得られるコンパイラコードは、事前にコンパイルされたＭｉｃｒｏｓｏｆｔ  Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）のライブラリルーチンのオブジェクトコードとリンクされる。リンクされたコンパイル済みのオブジェクトコードを実行するには、システムユーザは、オブジェクトコードを呼び出し、コンピュータシステムにコードをメモリ内へロードさせる。次いでＣＰＵは、コードを読んで実行し、プログラム内で識別されたタスクを実行する。
【００４８】
ユーザとコントローラの間のインターフェースは、フラットパネル式の接触感知型モニタを介してなされる。好ましい実施形態では、２つのモニタが使用され、一方は、操作者用に洗浄室の壁に取り付けられ、他方は、サービス技術者用に壁の後ろに取り付けられる。２つのモニタは、同じ情報を同時に表示することができ、その場合、一度に一方だけが入力を受け入れる。特定のスクリーンまたは機能を選択するには、操作者は、接触感知型モニタの指定の領域に触れる。触れた領域では、強調色が変化し、または新しいメニューもしくはスクリーンが表示され、操作者と接触感知型モニタの間の通信を確認する。接触感知型モニタの代わりに、または接触感知型モニタに加えて、キーボート、マウス、または他のポインティングもしくは通信デバイスなどの他のデバイスを使用することができ、それによってユーザは、システムコントローラと通信することができる。
【００４９】
本明細書では、「基板」とは、その上に層が形成されるかどうかにかかわらず、支持基板とすることができる。支持基板は、様々なドーピング濃度およびプロファイルの絶縁体または半導体とすることができ、例えば、集積回路の製造で使用されるタイプの半導体基板とすることができる。本明細書では、「酸化ケイ素」と「ケイ素および酸素含有層」は区別なく使用され、かなりの濃度の窒素、水素、炭素などの他の元素成分を含むことができる。本明細書では、「励起状態」のガスとは、気体分子の少なくとも一部が振動によって励起、解離、および／またはイオン化された状態にあるガスを指す。ガスは、２つ以上のガスの組合せとすることができる。トレンチという用語を本明細書全体にわたって使用するが、エッチングされた幾何形状が必ずしも大きな水平アスペクト比を有することを示唆しない。表面の上から見ると、トレンチは、円形、楕円形、多角形、方形、または様々な他の形状に見えることがある。「前駆体」という用語は、表面から材料を除去または堆積させる反応を担う任意のプロセスガスを指すために使用される。「不活性ガス」という語句は、膜内に組み込まれたときに化学結合を形成しない任意のガスを指す。例示的な不活性ガスは希ガスを含むが、（通常）わずかな量が膜内に取り込まれたときに化学結合が形成されない限り、他のガスを含むことができる。本明細書では、共形の層とは、表面と同じ形状である表面上の概ね均一の材料層を指し、すなわち、層の表面と覆われている表面は、概ね平行である。堆積された材料は、１００％共形にできない可能性が高く、したがって「概ね」という用語は許容公差を可能にすることが、当業者には理解されるであろう。
【００５０】
本明細書では、湿式エッチング速度（ＷＥＲ）を測定し、湿式エッチング速度比（ＷＥＲＲ）を計算することによって、密度を評価した。これらの測定は、フッ化水素酸ベースの溶液中で時間指定されたエッチングを実行し、エッチング速度を毎秒ナノメートル単位で計算することによって行った。ＷＥＲＲは通常、同じ溶液中の誘電体サンプルのエッチング速度と熱酸化ケイ素のエッチング速度を比較することによって得られる。一般的な緩衝酸化物エッチング溶液は、水中で４０％のＮＨ４Ｆと水中で４９％のＨＦの６：１の体積比を含む。この溶液は、熱成長させた酸化ケイ素を２５℃で、毎秒約２ナノメートルでエッチングする。酸化ケイ素を形成する他の方法では、通常、酸化ケイ素膜の湿式エッチング速度はより速くなる。通常、湿式エッチング速度がより速いことは、酸化ケイ素膜の候補が、熱成長させた酸化ケイ素より低い密度を有することを示唆する。場合によっては、湿式エッチング速度比を使用して２つの非熱酸化ケイ素膜（または同じ膜の異なる部分）を比較し、その文脈で区別する。
【００５１】
いくつかの実施形態について説明したが、本発明の精神から逸脱することなく、様々な修正、代替構造、および均等物を使用できることが、当業者には理解されよう。さらに、本発明を不要に曖昧にするのを回避するため、複数のよく知られているプロセスおよび要素については説明しなかった。したがって、上記の説明は、本発明の範囲を限定すると解釈されるべきではない。
【００５２】
値の範囲が提供される場合、その範囲の上限と下限の間に介在するそれぞれの値はまた、文脈上別途明示しない限り下限の単位の１０分の１まで具体的に開示されることが理解される。記載の範囲内の任意の記載の値または介在する値と、その記載の範囲内の任意の他の記載の値または介在する値との間のより小さいそれぞれの範囲が包含される。これらのより小さい範囲の上限および下限は、独立して範囲内に包含または除外することができ、より小さい範囲内に限界のいずれかを含む範囲、限界をどちらも含まない範囲、または限界をどちらも含む範囲もそれぞれ、記載の範囲内の具体的に除外された限界に応じて、本発明の範囲内に包含される。記載の範囲が限界の一方または両方を含む場合、これらの包含される限界の一方または両方を除外する範囲も含まれる。
【００５３】
本明細書および添付の特許請求の範囲では、言及される名詞は、文脈上別途明示しない限り、複数の言及対象物を含む。したがって、例えば「プロセス」への言及は、複数のそのようなプロセスを含み、「前駆体」への言及は、当業者には知られている１つまたは複数の前駆体およびその均等物への言及を含み、以下同様である。
【００５４】
また、本明細書および以下の特許請求の範囲で使用する「含む」およびその活用形は、記載の特徴、整数、構成要素、またはステップの存在を指定するものであるが、１つまたは複数の他の特徴、整数、構成要素、ステップ、工程、または群の存在または追加を排除しない。
【図１】
2013507003.tif 000003
【図２Ａ】
2013507003.tif 000004
【図２Ｂ】
2013507003.tif 000005
【図３】
2013507003.tif 000006
【図４】
2013507003.tif 000007
【図５Ａ】
2013507003.tif 000008
【図５Ｂ】
2013507003.tif 000009
【国際調査報告】
2013507003.tif 000010
2013507003.tif 000011