【事件の表示】
　特許第２６３６２２７号「電気めっき方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２６３６２２７号の特許を維持する。
【理由】
〔一〕　本件特許は、昭和６２年（１９８７）２月６日の出願であって（特願昭６２−２６５６０号）、平成９年（１９９７）４月２５日に特許権の設定の登録がされ（特許第２６３６２２７号）、平成９年７月３０日にその特許掲載公報が発行されたものである。
　これに対して、平成１０年１月２８日に特許異議の申立てがされた。
　当審は、平成１０年４月１４日付けで、取消理由を通知し、特許権者は、本件特許の願書に添付した明細書（平成６年１月３１日付けの手続補正書で補正された、全文訂正明細書。以下では、この明細書を本件特許明細書という。）について、平成１０年７月７日付けの特許異議意見書で意見を述べるとともに、同日付けで、本件特許明細書の訂正請求書を提出した。
　当審は、さらに、平成１１年３月２６日付けで、訂正拒絶理由を通知し、特許権者は、同日付けで手続補正書を提出し、平成１０年７月７日付けの訂正請求書及び全文訂正明細書を補正した。
　以下では、上記全文訂正明細書を本件訂正明細書という。
（１）　本件特許明細書の特許請求の範囲の記載は、下記のとおりである。
　「　めっき溶液中に大気を溶解させながら、または溶解させた後、この溶液によってめっき処理を施す電気めっき方法において、
　めっき槽と大気溶解槽とをポンプを介して連結してめっき溶液を循環させるとともに、めっき槽からの溶液を大気溶解槽の液面の上方より流下させることを特徴とする電気めっき方法。」
（２）　本件特許明細書の詳細な説明には、下記の記載がある。
　なお、摘示は、特許掲載公報による。
（イ）〔産業上の利用分野〕（１欄）
「　本発明は、例えば半導体装置製造工程で使用して好適な電気めっき方法に関する。」
（ロ）〔発明が解決しようとする問題点〕
「　ところが、従来の電気めっき方法においては、電流密度を所定の電流密度（１．５Ａ／ｃｍ２）より大きくすると、めっきする素材にひげ状のめっき材料が異常に多く析出していた。この結果、外観が悪くなるだけではなく、特に半導体材料にめっき処理を施す場合にはその析出物によってリード間が短絡することがあり、良好なめっき処理を施すことができないという問題があった。また、気泡を発生させる方法では、多孔体や圧縮空気源を必要とし、装置が複雑になるという欠点があった。
　本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、めっき処理の高速を図ることができるばかりか、良好なめっき処理を施すことができる電気めっき方法を提供するものである。」
（ハ）〔作用〕（３欄）
「　本発明においては、めっき槽から導かれた溶液を溶解液槽に流下させることにより大気が溶液中に溶解される。」
（ニ）〔実施例〕の一部（３欄２０行）
「　図は本発明に係る電気めっき方法に用いる電気めっき装置の概略を示す図である。同図において、符号１で示すものは電解液としてのめっき溶液（９００１）を貯留可能なめっき槽、２はこのめっき槽１の下方に設けられた大気溶解槽、・・・である。」（上記中、「・・・」の部分は、摘示を省略した部分である。）
（ホ）〔実施例〕の一部（３欄下段から４欄）
「　先ず、めっきを施すためのめっき槽１から約８０ｃｍ下方の大気溶解槽２に約４０ｌ／分のめっき溶液（ほうふっ化浴）を流下させることにより、めっき溶液中に大気を自然溶解させる。このとき、めっき溶液は殆ど透明で気泡による濁りはなく、また大気の溶解量はｐｐｍオーダである。」
（へ）〔実施例〕の一部（４欄５〜８行）
「　本発明の電気めっき方法を用いれば、電流密度を所定の電流密度（１．５Ａ／ｃｍ２）より大きくしても、めっきする素材に発生するひげ状のめっき材料の析出を抑制できることが多くの実験によって立証されている。」
（ト）〔実施例〕の一部（４欄１０行以下の段落）
「・・・気泡を発生させる方法では、めっき液中の気泡やめっき液表面の気泡が、被めっき物を取り出すときに被めっき物表面に付着して、しみ状の表面むらが発生するのに対して、本願発明ではそのようなことがない。さらに、同じく従来の気泡を発生させる方法では、めっき液の表面からの水の蒸発が多く、めっき液の管理に手間が多くかかるのに対して、本願発明ではそのようなことがない。」（上記中、「・・・」の部分は、摘示を省略した部分である。）
（チ）〔実施例〕の一部（４欄１８〜２１行）
「　また、本実施例においては、めっき溶液中に大気を溶解させた後にめっき処理を施す例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、大気を溶解させながらめっき処理を施しても実施例と同様の効果を奏する。」
〔二〕　訂正請求
（１）　訂正事項
（イ）　訂正事項（イ）
　本件特許明細書の特許請求の範囲、
　「請求項１　めっき溶液中に大気を溶解させながら、または溶解させた後、この溶液にめっき処理を施す電気めっき方法において、めっき槽と大気溶解槽とをポンプを介して連結してめっき溶液を循環させるとともに、めっき槽からの溶液を大気溶解槽の液面の上方より流下させることを特徴とする電気めっき方法。」
を
　「請求項１　めっき溶液中に大気を溶解させた後、この溶液にめっき処理を施す電気めっき方法において、めっき溶液を貯留可能なめっき槽と大気溶解槽とをポンプを介して連結してめっき溶液を循環させるとともに、めっき槽からの溶液を大気溶解槽の液面の上方より流下させることによって、めっき溶液に大気を溶解し、大気が溶解しためっき溶液により、１．５Ａ／ｃｍ２以上の電流密度で、被めっき物へのひげ状のめっき材料の析出が抑制されためっき物を得ることを特徴とする電気めっき方法。」
と訂正する。
　なお、以下では、上記のように訂正された特許請求の範囲の構成の発明を本件訂正特許発明という。
（ロ）　訂正事項（ロ）
　本件特許明細書（本件特許公報４欄１８〜２１行の
　「　また、本実施例においては、めっき溶液中に大気を溶解させた後にめっき処理を施す例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、大気を溶解させながらめっき処理を施しても実施例と同様の効果を奏する。」
を削除する。
（ハ）　訂正事項（ハ）
　本件特許明細書（本件特許公報の４欄２４行）の
　「溶解させながら、または」
を削除する。
（２）　訂正の可否
（イ）　訂正事項（イ）に関して
　訂正事項（イ）は、
（α）「大気を溶解させた後」と訂正する部分、
（β）「めっき溶液を貯留可能なめっき槽」と訂正する部分、
（γ）「流下させることによって、めっき溶液に大気を溶解し、大気が溶解しためっき溶液により、１．５Ａ／ｃｍ２以上の電流密度で、被めっき物へのひげ状のめっき材料の析出が抑制されためっき物を得る」と訂正する部分
を含んでいる。
（ｉ）訂正の目的
ａ．上記（α）の訂正部分
　本件特許明細書の特許請求の範囲の「めっき溶液中に大気を溶解させながら、または溶解させた後、」の記載は、「溶解させながら」電気めっきする場合と「溶解させた後」電気めっきする場合とを並列的に包含している。
　訂正事項（イ）の上記（α）の部分は、上記「溶解させながら」電気めっきする場合を削除し、上記「溶解させた後」電気めっきする場合に限定するものである。
ｂ．上記（β）の訂正部分
　訂正事項（イ）の上記（β）の部分は、「めっき槽」を「めっき溶液を貯留可能なめっき槽」に訂正するものであって、めっき槽の型を限定するものである。
ｃ．上記（γ）の訂正部分
　上記（γ）の訂正部分は、本件特許明細書の特許請求の範囲の「流下させる」の部分を「流下させることによって」と訂正し、さらに、「めっき溶液に大気を溶解し、大気が溶解しためっき溶液により、１．５Ａ／ｃｍ２以上の電流密度で、被めっき物へのひげ状のめっき材料の析出が抑制されためっき物を得る」という条件を付加することによって、単に溶液を流下させるだけでなく、溶液の流下の態様をも限定するものである。
ｄ．以上のａ．、ｂ．及びｃ．によれば、本件訂正は、訂正事項（イ）において、本件特許の特許請求の範囲を減縮することを目的とする訂正であると認められる。
（ｉｉ）新規事項
ａ．上記（α）の訂正部分
　上記〔一〕（２）（ホ）及び同（チ）の摘示事項によれば、上記（ｉ）ａ．の「溶解させた後」の場合は、本件特許明細書に記載されていた事項である。
ｂ．上記（β）の訂正部分
　上記〔一〕（２）（ニ）の摘示事項によれば、本件特許発明の実施例の記載において、本件特許発明の「めっき槽」として、「めっき溶液を貯留可能なめっき槽」が使用されていたことは、本件特許明細書に記載されていた事項である。
ｃ．上記（γ）の訂正部分
　上記〔一〕（２）（ホ）及び同（へ）の摘示事項によれば、本件特許発明では、「めっき槽からの溶液を大気溶解槽の液面の上方より流下させる」ことによって、「被めっき物へのひげ状のめっき材料の析出が抑制されためっき物を得る」ことができたことは、本件特許明細書に記載されていた事項である。
ｄ．以上、ａ．、ｂ．及びｃ．によれば、本件訂正は、訂正事項（イ）において、本件特許明細書に記載された事項の範囲内でする訂正であると認められる。
（ｉｉｉ）実質上の拡張・変更
ａ．上記（α）の訂正部分
　「溶解させた後」の場合と並列された「溶解させながら」の場合を削除しても、「溶解させた後」の場合の技術的な実質内容に、なんらかわりがあるとは認められない。
ｂ．上記（β）の訂正部分
　「めっき槽」を「めっき溶液を貯留可能なめっき槽」としても、上記〔一〕（２）（ロ）及び（ハ）に摘示した本件特許発明の目的及び作用を実質的に変更するものとは認められない。
ｃ．上記（γ）の訂正部分
　上記〔一〕（２）（ロ）及び（ハ）によれば、めっき溶液を流下させても、大気がめっき溶液にある程度溶解しなければ、１．５Ａ／ｃｍ２以上の電流密度で、被めっき物へのひげ状のめっき材料が被めっき物上に析出することが抑制できないことは、本件特許発明の基本的認識であると認められるから、本件特許発明の目的及び作用を実質的に変更するものとは認められない。
ｄ．したがって、本件訂正は、訂正事項（イ）において、本件特許の特許請求の範囲を実質上、拡張し、また、変更するものとは認められない。
（ｉｖ）独立特許要件
　本件特許異議の申立人は、本件特許発明は、甲第１号証刊行物〔森輝雄監修、二橋裕之編、「連続表面処理技術」（昭和６１年９月３０日、株式会社総合技術センター発行）、３４１〜３４８頁〕（以下では、本件引例という。）を引用して、本件特許発明は、本件引例に記載された発明（以下では、本件引例発明という。）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができた発明であると主張している。
　そこで、本件訂正特許発明は、本件引例発明に基づいて当業者が容易に発明できた発明であるかどうかについて、以下に判断する。
（Ｉ）本件引例の記載
（ａ）（５．３　めっきセル液循環方式）の一部（３４５頁１３行〜最終行）
「　連続めっき装置では、基板を槽内に投入するとき、基板を上下させずに平行に移動する為、めっきセルの基板投入口より流れ出るめっき液を、外部オーバーフローで受け管理槽に戻して、再度ポンプを介して、めっきセルに返す循環方式を採用している（図４参照）。
　めっき液は運転休止中は、全量が管理槽に貯えられ、ポンプ又は、濾過機を稼働して、めっきセル部に供給され、めっき処理を行なう状態になる。処理中はめっきセルには、管理槽から汲み上げた新鮮な液が供給され、めっきの高速化の補助をしている。
　めっきセルは、めっきの高速化・高効率化・めっき被膜の膜厚の均一性を得る為に、種々の工夫をこらしたものがあり、現在の連続めっき装置に採用されているものを、大略的に分類すると、ジェット流方式、越流方式、噴流方式の３種類となる。この３種類をそれぞれの特徴について説明する。」
（ｂ）図４には、
　「　めっきすべき基板が通過するための切り欠きを有するめっきセル、このめっきセルのまわりを囲み、かつ、同様の切り欠きを有する外部オーバーフロー受け、このオーバーフロー受けの底部に設けられたパイプ、このパイプの下部区域に設けられた管理槽並びにこの管理槽と上記めっきセルとを結ぶパイプ及びこのパイプラインに介在するポンプとからなる、連続めっき装置」
が示されている。
（ＩＩ）本件引例発明の認定
　上記（Ｉ）（ｉｉ）の連続めっき装置は、技術常識によれば、
　「　切り欠きを有するめっきセル中で、この切り欠きを通過させて基板を投入し、基板を電気めっきする方法であって、その際、このめっきセルのまわりを、切り欠きを有する外部オーバーフロー受けで囲み、めっきセルからのオーバーフローめっき液をこのオーバーフロー受けで受け、さらに、そのオーバーフローめっき液を、その底部に設けられたパイプを通して、このパイプの下部区域に設けられた管理槽に受けて貯留し、さらに、この管理槽中の貯留めっき液を、この管理槽と上記めっきセルとを結ぶパイプを通して、このパイプの途中に介在するポンプによって、上記めっきセルに再循環させる、連続めっき方法」
によって、運転されると認められる。
　以下では、上記構成の方法を本件引例発明の方法という。
（ＩＩＩ）本件訂正発明との比較、判断
（ａ）本件訂正発明と本件引例発明とを比較すると、めっき溶液をめっき槽から流下させて、めっき槽下部に設けた槽に受け、この下部槽とめっき槽とを結ぶパイプを通して、この下部槽内のめっき溶液をポンプによって、めっき槽に再循環させている点では、一致していると認められる。
（ｂ）しかしながら、下記の点で相違していると認められる。
（α）本件訂正発明の方法のめっき槽がめっき溶液を貯留可能なめっき槽であるのに対して、本件引例発明の方法のめっき槽は、切り欠きを有しているため、めっき溶液が貯留可能でないと認められる点
（β）本件引例発明には、本件訂正発明の「めっき溶液に大気を溶解し、大気が溶解しためっき溶液により、１．５Ａ／ｃｍ２以上の電流密度で、被めっき物へのひげ状のめっき材料の析出が抑制」する
という思想を欠いている点
（ｃ）引例発明の方法では、めっき槽が基板移送用の切り欠きを有するために、めっき溶液は必然的にめっき槽からあふれ出し〔上記（ｂ）（α）の相違点参照〕、したがって、めっき溶液に大気を溶解させる意図の有無にかかわらず〔上記（ｂ）（β）の相違点参照〕、このあふれ出ためっき溶液をめっき槽下部の管理槽に受けて、いったん貯留し、そのめっき溶液をめっき槽にポンプで再循環させなければならないと認められる。
　これによれば、めっき槽がめっき溶液を貯留可能な槽である場合（すなわち、本件訂正発明の方法の場合）では、わざわざめっき槽からめつき溶液を流下させるべき理由はないのであるから、めっき溶液に大気を溶解すればめっきの品質が改善されるという認識がなければ、当業者は、めっき溶液を貯留可能なめっき槽からめっき溶液を流下させることを想到する動機を欠き、したがって、本件訂正発明は、少なくとも、本件引例発明だけに基づいては、当業者が容易に発明をすることができた発明であるとは認められない。
　そして、本件訂正発明は、めっき溶液をめっき槽から流下させることによって、めっき溶液に大気を溶解させることによって、「１．５Ａ／ｃｍ２以上の電流密度で、被めっき物へのひげ状のめっき材料の析出が抑制」されるという優れた効果を奏することができたものと認められる。
　そうすると、本件訂正発明は、本件引例発明によっては、独立して特許を受けることができないとすることはできない。
（ｄ）また、本件訂正発明について、他に独立して特許を受けることができない理由を発見しない。
　したがって、本件訂正発明は、独立して特許受けることができる発明であると認められる。
（ロ）訂正事項（ロ）及び同（ハ）は、本件特許の特許請求の範囲を訂正する訂正事項（イ）｛上記（ｉ）ａ．参照｝に対応するものであるから、明りょうでない記載を釈明することを目的とする訂正であると認められる。
　また、訂正事項（ロ）及び同（ハ）は、いずれも並列された「溶解させながら」電気めっきする場合と「溶解させた後」電気めっきする場合のうち、前者を削除するものであるから、本件訂正は、訂正事項（ロ）及び同（ハ）において、本件特許明細書に記載された事項の範囲内でする訂正であり、また、実質上、特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないと認められる。
（ハ）以上によれば、本件訂正は、その訂正事項（イ）から（ハ）までの点で、特許法第１２０条の４第２項及び第３項に規定する要件を満たしていると認められる。
　したがって、本件訂正は、認められるべきものである。
〔三〕取消理由
　上記〔二〕（２）（イ）（ｉｖ）に述べた理由と同一の理由によって、本件訂正請求によって訂正された本件特許発明について、本件特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１１月１７日（１９９９．１１．１７）
【訂正の要旨】
（訂正の要旨）
（イ）訂正事項（イ）
　本件特許明細書の特許請求の範囲の記載を減縮することを目的として、
（ｉ）上記特許請求の範囲の「大気を溶解させながら、または溶解させた後」の記載を「大気を溶解させた後」と、
（ｉｉ）上記特許請求の範囲の「めっき槽と大気溶解槽とを」の記載中の「めっき槽」を「めっき溶液を貯留可能なめっき槽」と、
（ｉｉｉ）上記特許請求の範囲の「めっき槽からの溶液を大気溶解槽の液面の上方より流下させる」の記載中の「流下させる」を「流下させることによって、めっき溶液に大気を溶解し、大気が溶解しためっき溶液により、１．５Ａ／ｃｍ２以上の電流密度で、被めっき物へのひげ状のめっき材料の析出が抑制されためっき物を得る」と訂正することによって、
上記特許請求の範囲の記載を
　「請求項１　めっき溶液中に大気を溶解させた後、この溶液にめっき処理を施す電気めっき方法において、めっき溶液を貯留可能なめっき槽と大気溶解槽とをポンプを介して連結してめっき溶液を循環させるとともに、めっき槽からの溶液を大気溶解槽の液面の上方より流下させることによって、めっき溶液に大気を溶解し、大気が溶解しためっき溶液により、１．５Ａ／ｃｍ２以上の電流密度で、被めっき物へのひげ状のめっき材料の析出が抑制されためっき物を得ることを特徴とする電気めっき方法。」
と訂正する。
（ロ）訂正事項（ロ）
　明りょうでない記載を釈明することを目的として、本件特許明細書（本件特許公報４欄１８〜２１行の
　「　また、本実施例においては、めっき溶液中に大気を溶解させた後にめっき処理を施す例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、大気を溶解させながらめっき処理を施しても実施例と同様の効果を奏する。」
を削除する。
（ハ）訂正事項（ハ）
　明りょうでない記載を釈明することを目的として、本件特許明細書（本件特許公報の４欄２４行）の
　「溶解させながら、または」
を削除する。
（５４）【発明の名称】
電気めっき方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】めっき溶液中に大気を溶解させた後、この溶液によってめっき処理を施す電気めっき方法において、
めっき溶液を貯溜可能な
ことによって、めっき溶液に大気を溶解し、大気が溶解しためっき溶液により、１．５Ａｃｍ２以上の電流密度で、被めっき物へのひげ状のめっき材料の析出が抑制されためっき物を得る
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
　本発明は、例えば半導体装置製造工程で使用して好適な電気めっき方法に関する。
〔従来の技術〕
　従来、この種のめっき方法においては、めっき品質を改善するために、めっき溶液に対し次に示す手段が施されている。すなわち、めっき溶液の濃度や温度を変更すること、めっき溶液中に添加剤を混入すること、あるいはめっき溶液を撹袢すること等である。
　ところで、このような電気めっき方法においては、めっき処理の高速化を図るために、電流密度（単位時間当たりのめっき量を決定する因子）を高くすることが知られている。また、特開昭５４−１１５６４５号公報で提案されてるように多孔体を通して圧縮空気を圧送して液中に気泡を発生する方法や、特開昭５３−９９０４６号公報に開示されてるように、微小な通気孔を有する部材に圧縮空気を通して気泡を発生させる方法が知られている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
　ところが、従来の電気めっき方法においては、電流密度を所定の電流密度（１．５Ａ／ｃｍ２）より大きくすると、めっきする素材にひげ状のめっき材料が異常に多く析出していた。この結果、外観が悪くなるだけでなく、特に半導体材料にめっき処理を施す場合にはその析出物によってリード間が短絡することがあり、良好なめっき処理を施すことができないという問題があった。また、気泡を発生させる方法では、多孔体や圧縮空気源を必要とし、装置が複雑になるという欠点があった。
　本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、めっき処理の高速化を図ることができるばかりか、良好なめっき処理を施すことができる電気めっき方法を提供するものである。
〔問題点を解決するための手段〕
　本発明に係る電気めっき方法は、めっき溶液中に大気を溶解させる手法として、めっき槽の溶液を溶解液槽の液面上方より大気を介して流下させるものである。
〔作用〕
　本発明においては、めっき槽から導びかれた溶液を溶解液槽に流下させることにより大気が溶液中に溶解される。
〔実施例〕
　図は本発明に係る電気めっき方法に用いる電気めっき装置の概略を示す図である。同図において、符号１で示すものは電解液としてのめっき溶液（９００ｌ程度）を貯溜可能なめっき槽、２はこのめっき槽１の下方に設けられた大気溶解槽、３および４はこの大気溶解槽２と前記めっき槽１とを接続するパイプ、５はこれら両パイプ３、４のうち前記めっき槽１の上方で開口するパイプ４中に設けられたポンプである。また、この電気めっき装置には、この他図示しないが動力線の電圧を下げる変圧器、交流を整流する装置およびめっき溶液の温度を一定範囲に保つ装置等が備えられている。なお、図中矢印はめっき溶液が流動する方向を示し、符号Ａはめっき溶液面を示す。
　以下に、このように構成された電気めっき装置を用いる電気めっき方法について説明する。
　先ず、めっきを施すためのめっき槽１から約８０ｃｍ下方の大気溶解槽２に約４０ｌ／分のめっき溶液（ほうふっ化浴）を流下させることにより、めっき溶液中に大気を自然溶解させる。このとき、めっき溶液は殆ど透明で気泡による濁りはなく、また大気の溶解量はｐｐｍオーダである。次に、この溶液によってめっき素材（図示せず）に電流密度約１．５Ａ／ｃｍ２でめっき処理を施す。
　このようにして、めっき素材（図示せず）に対しめっきすることができる。
　本発明による電気めっき方法を用いれば、電流密度を所定の電流密度（１．５Ａ／ｃｍ２）より大きくしても、めっきする素材に発生するひげ状のめっき材料の析出を抑制できることが多くの実験によって立証されている。また、特開昭５４−１１５６４５号公報や特開昭５３−９９０４６号公報に開示されているような気泡を発生させる方法では、めっき液中の気泡やめっき液表面の気泡が、被めっき物を取り出すときに被めっき物表面に付着して、しみ状の表面むらが発生するのに対して、本願発明ではそのようなことがない。さらに、同じく従来の気泡を発生させる方法では、めっき液の表面からの水の蒸発が多く、めっき液の管理に手間が多＜かかるのに対して、本願発明ではそのようなことがない。
〔発明の効果〕
　以上説明したように本発明によれば、めっき溶液中に大気を溶解させた後、この溶液によってめっき処理を施すことにより、電流密度を高くすることができると共に、ひげ状の析出物の発生を抑制することができ、めっき処理の高速化を図ることができるばかりか、しみのない良好なめっき処理を施すことができる。また、めっき液の水の蒸発が少なく、めっき液の管理の手間を少なくすることができる。さらに、めっき液を循環させるポンプと溶解液を受ける槽を用意するだけで、めっき液中に空気を溶解させることができるから、装置が簡単に構成できる。
【図面の簡単な説明】
　図は本発明に係る電気めっき方法に用いる電気めっき装置の概略を示す図である。
　１・・・めっき槽、２・・・大気溶解槽、３、４・・・パイプ、
　５・・・・・・ポンプ。