【事件の表示】
　特許第２７４６４４７号「リードフレーム認識装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　　訂正を認める。
　　特許第２７４６４４７号の特許を維持する。
【理由】
１．手続の経緯
　本件特許第２７４６４４７号は、平成２年１月３１日の特許出願に係り、平成１０年２月１３日にその特許の設定登録がされ、その後、松下電器産業株式会社から特許異議の申立てがなされたので、当審より特許取消理由を通知したところ、その指定期間内である平成１１年４月２７日に訂正請求書が提出されたものである。
２．訂正の内容
　その訂正の内容は以下のとおりである。
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１について、
「半導体ペレットがマウントされるアイランドを有するリードフレームの下方側に光源を配置して、上記リードフレームの上方側に前記光源によるアイランドの影を撮像してアイランド位置を認識する認識手段を配置したことを特徴とするリードフレーム認識装置。」を、
「半導体ペレットがマウントされるアイランドを有するリードフレーム搬送ラインの前記リードフレーム位置決めポジションにおいて、透明窓材が嵌め込み固定された開口孔を有する板材と、前記開口孔を含む板材の上面にはスリガラス状に粗面形成された透明板を貼着した構造の支持プレートが配され、前記支持プレートは前記板材と前記透明窓材に連通し先端が前記透明板上面に開口する真空吸引用の配管を有し、前記開口孔の下方側に光源を配置して、上記リードフレームの上方側に前記光源によるアイランドの影を撮像してアイランド位置を認識する認識手段を配置したことを特徴とするリードフレーム認識装置。」に訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　明細書第７頁第３行（本件特許公報第４欄第１９〜２０行）の「の下方に近接させて光源を配置し」を、「搬送ラインの前記リードフレーム位置決めポジションにおいて、透明窓材が嵌め込み固定された開口孔を有する板材と、前記開口孔を含む板材の上面にはスリガラス状に粗面形成された透明板を貼着した構造の支持プレートが配され、前記支持プレートは前記板材と前記透明窓材に連通し先端が前記透明板上面に開口する配管を有し、前記開口孔の下方側に光源を配置して」に訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　明細書第７頁第９〜１５行（本件特許公報第４欄第２５〜３０行）の［作用］の項の「本発明に係るリードフレーム認識装置では、リードフレームの下方に光源を配置し、その光源による下方からの照明でリードフレームの影を認識手段により撮像するようにしたから、上記リードフレームの加工精度或いは表面状態に左右されることなくコントラストの良好な画像が得られ
る。」を、
「本発明に係るリードフレーム認識装置では、リードフレームの下方に光源を配置し、その光源による下方からの照明をスリガラス状に粗面形成された透明板を透過させることで、リードフレームの影を認識手段により撮像するようにしたから、上記リードフレームの加工精度或いは表面状態に左右されることなく、また色むらや干渉縞を防止して照射光を効率良く拡散させるため、コントラストの良好な画像が得られる。同時に、支持プレートに設けた透明板上面に閉口端を持つ配管を利用して、認識動作時にリードフレームを支持プレート上に真空吸引して密着することで、被写界深度が高精度に設定できてアイランドのエッジ部がぼやけることのない撮像が可能となる。」に訂正する。
（３）訂正事項ｄ
　明細書第１８頁第４〜１８行（本件特許公報第８欄第１１〜２２行）の［発明の効果］の項の「本発明に係るリードフレーム認識装置によれば、光源による下方照明でリードフレームの影を認識手段により撮像してそのアイランド位置を認識するようにしたから、プレスによる打抜き加工で作製したリードフレームのアイランドの周緑エッジ部にダレがあったり、或いはメッキ処理されていないリードフレームの表面が鏡面であったりすることにかかわりなく、コントラストの良好な適正画像が得られてアイランド位置を高精度に認識することができる。また、認識手段の可動部分に光源を取付けることなく構成できるため、光源に対する位置合わせが簡略化されると共に、上記可動部材の軽量化が図れて認識動作の高速化が実現容易となる。」を、
「本発明に係るリードフレーム認識装置によれば、光源による下方照明でリードフレームの影を認識手段により撮像してそのアイランド位置を認識するようにし、照明はスリガラス状に粗面形成された透明板を透過させたから、色むらや干渉縞を防止して照射光を効率良く拡散させており、プレスによる打抜き加工で作製したリードフレームのアイランドの周緑エッジ部にダレがあったり、或いはメッキ処理されていないリードフレームの表面が鏡面であったりすることにかかわりなく、コントラストの良好な適正画像が得られてアイランド位置を高精度に認識することができる。同時に、支持プレートに設けた透明板上面に開口端を持つ配管を利用して、認識動作時にリードフレームを支持プレート上に真空吸引して密着することで、被写界深度が高精度に設定できてアイランドのエッジ部がぼやけることのない撮像が可能となる。また、認識手段の可動部分に光源を取付けることなく構成できるため、光源に対する位置合わせが簡略化されると共に、上記可動部材の軽量化が図れて認識動作の高速化が実現容易となる。」に訂正する。
３．訂正の適否についての判断
（１）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張
・変更の存否
　訂正事項ａは、リードフレーム認識装置の構成に、「リードフレーム搬送ラインの前記リードフレーム位置決めポジションにおいて、透明窓材が嵌め込み固定された開口孔を有する板材と、前記開口孔を含む板材の上面にはスリガラス状に粗面形成された透明板を貼着した構造の支持プレートが配され、前記支持プレートは前記板材と前記透明窓材に連通し先端が前記透明板上面に開口する真空吸引用の配管を有」する構成を追加することにより、当該装置の構成を更に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮に相当する。
　訂正事項ｂ〜ｄは、上記特許請求の範囲の減縮にともなって不明りようとなった明細書の「発明の詳細な説明」の欄の記載を、特許請求の範囲の記載と整合するようにしたものであって、明りょうでない記載の釈明に該当する。
　そして、これら訂正事項ａ〜ｄは、いずれも特許明細書及び図面に記載された事項の範囲内のものであり、いわゆる新規事項を追加するものではなく、さらには実質上特許請求の範囲を拡張または変更するものではない。
（２）独立特許要件についての判断
（本件発明）
　訂正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項を構成とする発明（以下、本件発明という。）は、前記「２．訂正の内容」の「（１）訂正事項ａ」の項において記載したとおりのものである。
（取消理由の概要）
　前記取消理由の概要は、本件特許に係る発明は、下記の刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法２９条第２項の規定により特許を受けることができないとういものである。
　刊行物１：特開昭６０−８０２３１号公報（特許異議申立人が提出した甲第１号証）
　刊行物２：特開平１−９３８７０号公報　（同じく甲第２号証）
　刊行物３：特開平１−２１７９２９号公報（同じく甲第３号証）
（引用例の記載事項）
　刊行物１には、半導体素子のボンディング装置におけるリードフレームの自動送り位置決め機構の位置補正に関し、
「リードフレーム位置検出部１８はリードフレームの送り通路３２の上方に設けられる。フォトダイオード等からなる受光センサ１８１と、それと対向する、通路の下方に設けられる発光素子３９とで構成される。……何番目のダイオードから何番目のダイオード迄が“０”であるかを検知することによって当該ランド２が中心位置で停止したか否かを判定することができる。」
と記載されている。（第３頁左下欄第５行〜右下欄第１２行参照）
　刊行物２には、被ボンディング部材である基板３の上方に配置された該基板の位置・形状を認識するカメラと、該基板の下方に配置された認識用照明装置からなるものが記載されている。（第２頁右下欄第１９行〜第３頁左下欄第１行、及び第２図参照）
　刊行物３には、リードフレームのアイランド部を２値化画像として認識しアイランド部の位置ズレ量を検出する手段が記載されている。（特許請求の範囲参照）
（対比と判断）
　本件発明と刊行物１〜３に記載のものとを対比すると、本件発明が、リードフレーム搬送ラインのリードフレーム位置決めポジションにおいて、透明窓材が嵌め込み固定された開口孔を有する板材の上面にスリガラス状に粗面形成された透明板を貼着した構造の支持プレートが配され、この支持プレートは板材と透明窓材に連通し先端が前記透明板上面に開口する真空吸引用の配管を有する点を構成として有しているものであるのに対し、刊行物１〜３に記載のものは、いずれにもそのような構成を有しておらず、この点で両者は相違している。
　しかも、本件発明は、スリガラス状に粗面形成された透明板を有することにより、色むらや干渉縞を防止して照射光を効率良く拡散させることができ、コントラストの良好な適正画像が得られてアイランド位置を高精度に認識することができるとともに、支持プレートに設けた透明板上面に開口端を持つ配管を利用して、認識動作時にリードフレームを支持プレート上に真空吸引して密着することで、被写界深度が高精度に設定できてアイランドのエッジ部がぼやけることのない撮像が可能となるという訂正明細書に記載された顕著な作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明は、取消理由で引用した刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
　また、他に本件発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由及び証拠方法を発見しない。
　よって、本件発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができない発明ではない。
（むすび）
　以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書及び同条第３項で準用する同法第１２６条第２〜４項の訂正に関する規定が、平成６年法律第１１６号付則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされることから適用される、平成５年改正特許法第１２６条第１項ただし書、第２〜３項の規定に適合するので、本件訂正は認められるものである。
４．特許異議の申立てについての判断
（１）申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、前記刊行物１〜３であるところの甲第１〜３号証を提出し、本件特許に係る発明は甲第１〜３号証に記載された発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものであって、本件発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである旨の主張をしている。
（２）判断
　しかしながら、本件特許明細書の特許請求の範囲は前述のとおり訂正され、本件特許に係る発明は、前記において「本件発明」としたものであって、これについては、前記「３．訂正の適否についての判断」の「（２）独立特許要件についての判断」の項での説示より、特許異議申立人が提出した証拠から当業者が容易に発明をすることができないことは明らかである。
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立人の主張する理由及び提出した証拠方法によっては、本件発明、すなわち本件訂正後の請求項１の発明に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件訂正後の請求項１の発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年６月２３日（１９９９．６．２３）
【訂正の要旨】
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１について、
「半導体ペレットがマウントされるアイランドを有するリードフレームの下方側に光源を配置して、上記リードフレームの上方側に前記光源によるアイランドの影を撮像してアイランド位置を認識する認識手段を配置したことを特徴とするリードフレーム認識装置。」を、
「半導体ペレットがマウントされるアイランドを有するリードフレーム搬送ラインの前記リードフレーム位置決めポジションにおいて、透明窓材が嵌め込み固定された開口孔を有する板材と、前記開口孔を含む板材の上面にはスリガラス状に粗面形成された透明板を貼着した構造の支持プレートが配され、前記支持プレートは前記板材と前記透明窓材に連通し先端が前記透明板上面に開口する真空吸引用の配管を有し、前記開口孔の下方側に光源を配置して、上記リードフレームの上方側に前記光源によるアイランドの影を撮像してアイランド位置を認識する認識手段を配置したことを特徴とするリードフレーム認識装置。」に訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　明細書第７頁第３行（本件特許公報第４欄第１９〜２０行）の「の下方に近接させて光源を配置し」を、「搬送ラインの前記リードフレーム位置決めポジションにおいて、透明窓材が嵌め込み固定された開口孔を有する板材と、前記開口孔を含む板材の上面にはスリガラス状に粗面形成された透明板を貼着した構造の支持プレートが配され、前記支持プレートは前記板材と前記透明窓材に連通し先端が前記透明板上面に開口する配管を有し、前記開口孔の下方側に光源を配置して」に訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　明細書第７頁第９〜１５行（本件特許公報第４欄第２５〜３０行）の［作用］の項の
「本発明に係るリードフレーム認識装置では、リードフレームの下方に光源を配置し、その光源による下方からの照明でリードフレームの影を認識手段により撮像するようにしたから、上記リードフレームの加工精度或いは表面状態に左右されることなくコントラストの良好な画像が得られる。」を、
「本発明に係るリードフレーム認識装置では、リードフレームの下方に光源を配置し、その光源による下方からの照明をスリガラス状に粗面形成された透明板を透過させることで、リードフレームの影を認識手段により撮像するようにしたから、上記リードフレームの加工精度或いは表面状態に左右されることなく、また色むらや干渉縞を防止して照射光を効率良く拡散させるため、コントラストの良好な画像が得られる。同時に、支持プレートに設けた透明板上面に閉口端を持つ配管を利用して、認識動作時にリードフレームを支持プレート上に真空吸引して密着することで、被写界深度が高精度に設定できてアイランドのエッジ部がぼやけることのない撮像が可能となる。」に訂正する。
（３）訂正事項ｄ
　明細書第１８頁第４〜１８行（本件特許公報第８欄第１１〜２２行）の［発明の効果］の項の
「本発明に係るリードフレーム認識装置によれば、光源による下方照明でリードフレームの影を認識手段により撮像してそのアイランド位置を認識するようにしたから、プレスによる打抜き加工で作製したリードフレームのアイランドの周緑エッジ部にダレがあったり、或いはメッキ処理されていないリードフレームの表面が鏡面であったりすることにかかわりなく、コントラストの良好な適正画像が得られてアイランド位置を高精度に認識することができる。また、認識手段の可動部分に光源を取付けることなく構成できるため、光源に対する位置合わせが簡略化されると共に、上記可動部材の軽量化が図れて認識動作の高速化が実現容易となる。」を、
「本発明に係るリードフレーム認識装置によれば、光源による下方照明でリードフレームの影を認識手段により撮像してそのアイランド位置を認識するようにし、照明はスリガラス状に粗面形成された透明板を透過させたから、色むらや干渉縞を防止して照射光を効率良く拡散させており、プレスによる打抜き加工で作製したリードフレームのアイランドの周緑エッジ部にダレがあったり、或いはメッキ処理されていないリードフレームの表面が鏡面であったりすることにかかわりなく、コントラストの良好な適正画像が得られてアイランド位置を高精度に認識することができる。同時に、支持プレートに設けた透明板上面に開口端を持つ配管を利用して、認識動作時にリードフレームを支持プレート上に真空吸引して密着することで、被写界深度が高精度に設定できてアイランドのエッジ部がぼやけることのない撮像が可能となる。また、認識手段の可動部分に光源を取付けることなく構成できるため、光源に対する位置合わせが簡略化されると共に、上記可動部材の軽量化が図れて認識動作の高速化が実現容易となる。」に訂正する。
（５４）【発明の名称】
リードフレーム認識装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】半導体ペレットがマウントされるアイランドを有するリードフレーム
搬送ラインの前記リードフレーム位置決めポジションにおいて、透明窓材が嵌め込み固定された開口孔を有する板材と、前記開口孔を含む板材の上面にはスリガラス状に粗面形成された透明板を貼着した構造の支持プレートが配され、前記支持プレートは前記板材と前記透明窓材に連通し先端が前記透明板上面に開口する真空吸引用の配管を有し、前記開口孔の下方側に光源を配置して
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
　本発明はリードフレーム認識装置に関し、詳しくは半導体装置の製造におけるペレットマウント工程で使用され、リードフレームのアイランド上に半導体ペレットをマウントするに際して、上記アイランド位置を認識するリードフレーム認識装置に関する。
〔従来の技術〕
　半導体装置は、ペレットマウント工程、ワイヤボンディング工程、樹脂モールド工程などの各工程を経て製造される。上記ペレットマウント工程では、金属製リードフレームのアイランド上に半導体ペレットをマウンタにより搭載するが、この時、上記アイランド上に半導体ペレットを高精度にマウントするためにリードフレームを位置決めしなければならず、そのアイランド位置を認識するリードフレーム認識装置が必要となる。
　そこで、従来のリードフレーム認識装置を第１０図に示し説明する。まず、リードフレーム（１）、例えば第９図に示すように金属製の帯板状部材をプレスにより打抜き加工したものであり、半導体ペレット（図示せず）がマウントされるアイランド（２）と、このアイランド（２）の周辺近傍まで延びる多数のリード（３）（３）……とをタイバー（４）で連結一体化した構造である。このリードフレーム（１）は搬送ライン（５）上を送り爪（図示せず）により定ピッチで間欠送りされ、上記アイランド（２）が所定のポジションに達すると、リードフレーム（１）の側辺部のタイバー（４）に突設された孔（６）にパイロットピン（図示せず）を嵌入させることによりアイランド（２）を位置決めしている。このアイランド（２）の位置決めポジションＰの上側にリードフレーム認識装置（７）が設置されている。
　このリードフレーム認識装置（７）は、ＸＹテーブル（図示せず）から延びる可動ヘッド（８）にＣＣＤカメラ（９）及び光源（１０）が取付けられている。上記ＣＣＤカメラ（９）の先端から斜め下方へ向けて鏡筒（１１）が延びて搬送ライン（５）上に位置決めされたリードフレーム（１）のアイランド（２）の上方に対向配置される。一方、光源（１０）は上記可動ヘッド（８）の鏡筒（１１）の下端側方に−体的に取付けられ、上記アイランド（２）を斜め上方から照明する。
　上記リードフレーム認識装置（７）では、ＸＹテーブルを駆動させてＣＣＤカメラ（９）の鏡筒（１１）の下端を搬送ライン（５）上にあるリードフレーム（１）のアイランド（２）に位置合わせする。この状態で光源（１０）により斜め上方から搬送ライン（５）上のリードフレーム（１）のアイランド（２）を照明する。ＣＣＤカメラ（９）では上記アイランド（２）で反射した光を取り込んでそのアイランド（２）を撮像することによりアイランド位置を認識している。
〔発明が解決しようとする課題〕
　ところで、上述した従来のリードフレーム認識装置（７）では、ＣＣＤカメラ（９）及び光源（１０）をリードフレーム（１）の上方に配設し、光源（１０）によるアイランド（２）での反射光を上記ＣＣＤカメラ（９）で取り込んでアイランド（２）を撮像するようにしているために以下のような問題があった。
　まず、リードフレーム（１）は金属製の帯板状部材をプレスにより打抜き加工したものであるため、アイランド（２）の周縁エッジ部にダレが発生し易く、上記アイランド（２）とそれ以外の所とのコントラストがとり難くなってアイランド位置を精度良く認識することが困難であった。
　また、上記リードフレーム（１）にはその表面にメッキ処理を施したものやメッキ処理を施していないものがある。メッキ処理を施したリードフレーム（１）については、メッキ処理によりそのメッキ表面が粗面となり光源（１０）からの照射光が乱反射し易く、ＣＣＤカメラ（９）に反射光が取込み易くなっているので問題ないが、メッキ処理を施していないリードフレーム（１）ではその表面が鏡面となり光源（１０）からの照射光が乱反射し難く、ＣＣＤカメラ（９）に反射光が取込み難くなって適正な画像が得にくい。この問題は上記光源（１０）をＣＣＤカメラ（９）と同軸に配置することである程度解消され得るが、リードフレーム（１）の種類に応じて光源（１０）を斜方照明と同軸照明とに切換えることは構造的に複雑化して実現困難である。また、上述したメッキ処理の有無以外についてもリードフレーム（１）の品種が異なれば、それに対応させて光量合わせ等の調整作業を必ず行わなければならず作業効率も悪かった。
　更に、可動ヘッド（８）のＣＣＤカメラ（９）に光源（１０）を一体的に取付けた構造であるため、上記ＣＣＤカメラ（９）に対する光源（１０）の位置合わせを高精度に行うことが困難であるばかりでなく、可動ヘッド（８）の軽量化が難しくてＣＣＤカメラ（９）の位置決めの高速化も実現困難であった。
　そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案されたもので、多品種のリードフレームに対してそのアイランド位置を適正な画像で高精度に認識し得るリードフレーム認識装置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
　本発明における上記目的を達成するための技術的手段は、半導体ペレットが所定の位置にマウントされるアイランドを有するリードフレーム
搬送ラインの前記リードフレーム位置決めポジションにおいて、透明窓材が嵌め込み固定された開口孔を有する板材と、前記開口孔を含む板材の上面にはスリガラス状に粗面形成された透明板を貼着した構造の支持プレートが配され、前記支持プレートは前記板材と前記透明窓材に連通し先端が前記透明板上面に開口する配管を有し、前記開口孔の下方側に光源を配置して
〔作用〕
　本発明に係るリードフレーム認識装置では、リードフレームの下方に光源を配置し、その光源による下方からの照明
をスリガラス状に粗面形成された透明板を透過させることで、
、また色むらや干渉縞を防止して照射光を効率良く拡散させるため、
同時に、支持プレートに設けた透明板上面に開口端を持つ配管を利用して、認識動作時にリードフレームを支持プレート上に真空吸引して密着することで、被写界深度が高精度に設定できてアイランドのエッジ部がぼやけることのない撮像が可能となる。
〔実施例〕
　本発明に係るリードフレーム認識装置の実施例を第１図乃至第８図を参照しながら説明する。尚、第９図及び第１０図と同一、又は相当部分には同一参照符号を付す。
　本発明のリードフレーム認識装置（１７）は、第１図に示すように半導体ペレットが所定の位置にマウントされるアイランド（２）を有するリードフレーム（１）（第９図参照）が送り爪（図示せず）により定ピッチで間欠送りされる搬送ライン（５）と、この搬送ライン（５）上のリードフレーム（１）の下方に近接配置されて上記リードフレーム（１）を下方照明する光源（１８）と、リードフレーム（１）の上方に光源（１８）と対向させて配置され、光源（１８）による下方照明でリードフレーム（１）のアイランド（２）の影を撮像してアイランド位置を認識する認識手段（１９）とを基本構成とする。　以下、このリードフレーム認識装置（１７）の基本構成を具体的に説明する。
　まず、搬送ライン（５）は、第２図及び第３図に示すようにリードフレーム（１）の長手方向に沿う両側辺部を支持する左右一対の搬送レール（２０）（２０）からなり、上記リードフレーム（１）の一側辺部に穿設された送り用孔に送り爪（図示せず）を嵌入させることによりリードフレーム（１）を搬送レール（２０）（２０）上に載置した状態で第２図矢印Ａで示す方向に定ピッチで間欠送りする。尚、図では搬送ライン（５）上のリードフレーム（１）のアイランド（２）を認識するための位置決めポジションＰを示し、上記リードフレーム（１）はその一側辺部に穿設された位置決め用孔（６）（第９図参照）にパイロットピン（図示せず）を嵌入させて押圧することにより位置決め固定される。
　次に、光源（１８）は上記搬送ライン（５）の位置決めポジションＰに配設された複数本の直管状ランプ（２１）を取付板（２２）上に配置して構成される。この直管状ランプ（２１）はタングステン等のラインフィラメントを使用した管径の小さいものであり、その管軸をリードフレーム搬送方向Ａと一致させて配置される。なお、この直管状ランプ（２１）は後述する窓部分を均一に照明するものであればよく、ランプの配置関係は搬送方向Ａと直交させてもよい。また、取付板（２２）を搬送レール（２０）に装着することにより直管状ランプ（２１）をリードフレーム（１）の直下に近接配置する。また、図示しないが直管状ランプ（２１）の点灯による発熱を緩和するための空冷手段が設けられている。
　次に、上記搬送ライン（５）にあるリードフレーム（１）が載置される支持プレート（２３）について説明する。この支持プレート（２３）は、第４図及び第５図に示すようにステンレス製の帯状金属板（２４）の略中央部分に矩形状の開口孔（２５）を穿設し、この開口孔（２５）に同形のアクリル製の透明窓材（２６）を嵌め込み固定し、更に上記金属板（２４）及びこれと略面一の透明窓材（２６）との上面に金属板（２４）と略同一形状のガラス製透明板（２７）を貼着したものである。この支持プレート（２３）は、第２図に示すようにその長手方向がリードフレーム搬送方向Ａと同一方向に設置される、即ち直管状ランプ（２１）の管軸方向と一致するように搬送レール（２０）（２０）間に橋架され、その透明板（２７）の上面がリードフレーム（１）の搬送面となってリードフレーム（１）が載置支持される。この時、支持プレート（２３）の開口孔（２５）にある透明窓材（２６）の部位がリードフレーム（１）のアイランド（２）の直下に配される。従って、上記透明窓材（２６）の大きさはリードフレーム（１）の品種変更、即ちアイランド（２）の位置及び大きさに対応できるように設定される。上記支持プレート（２３）の金属板（２４）及び透明窓材（２６）にはその内部に連通するアイランド吸着用配管（２８）が形成され、この配管（２８）の透明窓材・側に延びる先端は透明板（２７）の上面に開口し、金属板側の基端は金属板（２４）の側面に開口して真空ポンプ等に配管接続される。また、上記透明板（２７）の透明窓材（２６）及び金属板（２４）との衝合面はスリガラス状に粗面形成され、これにより透明窓材（２６）の直下に複数本の直管状ランプ（２１）（２１）……を近接させて並置したことで発生する色むらや干渉縞を防止して照射光を効率良く拡散させる。
尚、前述した金属板（２４）はリードフレーム（１）を支持する上で変形しないように耐強度性に富んだ材質であればよく、例えばステンレスが好適である。
また、透明窓材（２６）としては配管加工が容易で透明な材質であればよく、例えばアクリル樹脂が好適である。更に、透明板（２７）はリードフレーム（１）が摺動する上で耐摩耗性に富んだ透明な材質であればよく、例えばガラスが好適である。
　最後に、搬送ライン（５）の位置決めポジションＰの上方に配置された認識手段（１９）について説明する。この認識手段（１９）は、第６図乃至第８図に示すようにリードフレーム（１）のアイランド（２）を撮像するＣＣＤカメラ（９）と、このＣＣＤカメラ（９）をＸＹ水平方向に位置調整するＸＹテーブル機構（２９）とで構成される。具体的に説明すると、ＣＣＤカメラ（９）の本体はＸＹテーブル機構（２９）から張り出した支持アーム（３０）の先端に傾斜して固定され、上記ＣＣＤカメラ（９）から斜め下方へ延びる鏡筒（１１）の下端にカメラ対物部（３１）が設けられて搬送ライン（５）上の位置決めポジションＰにあるリードフレーム（１）のアイランド（２）上方に対向配置される。一方、ＸＹテーブル機構（２９）では、前述したＣＣＤカメラ（９）の支持アーム（３０）の基端を第１のテーブル（３２）に固着し、この第１のテーブル（３２）をリニアガイド（３３）（３３）を介して第２のテーブル（３４）上に第８図Ｘ矢印方向にスライド自在に装着する。この第１のテーブル（３２）の一端からはＸ方向と直交する方向にステム（３５）を穿設し、そのステム（３５）の先端をナット（３６）に回転自．在に取付けられた２個のガイドローラ（３７）（３７）間に挿入配置する。上記ナット（３６）を固定ベース（３８）にＸ方向に沿って回転可能に軸架されたボールネジ（３９）に螺合状態で外挿し、そのボールネジ（３９）の一方の軸端をカップリング（４０）を介して固定ベース（３８）に固着された駆動用モータ（４１）に連結する。上記第１のテーブル（３２）を載置した第２のテーブル（３４）をリニアガイド（４２）（４２）を介して固定ベース（３８）上に第８図Ｙ矢印方向にスライド自在に装着する。
この第２のテーブル（３４）の−部にナット（４３）を固着し、このナット（４３）を固定ベース（３８）にＹ方向に沿って回転可能に軸架されたボールネジ（４４）に螺台状態で外挿し、そのボールネジ（４４）の一方の軸端をカップリング（４５）を介して固定ベース（３８）に固着された駆動用モータ（４６）に連結する。尚、上記固定ベース（３８）は基台（４７）上に取付けられる。
　以上説明したような構成からなるリードフレーム認識装置（１７）の動作を説明する。
　まず、搬送ライン（５）上を定ピッチで間欠送りされるリードフレーム（１）を位置決めポジションＰにてパイロットピンで位置決め固定する。この時、上記リードフレーム（１）の一部が支持プレート（２３）上に載置されており、そのアイランド（２）が透明窓材（２６）と対応した位置に配置される。ここで、上記パイロットピンのみではアイランド（２）の固定が不十分となる虞もあるため、支持プレート（２３）の配管（２８）を利用した真空引きにより上記アイランド（２）を支持プレート（２３）上に吸引して密着させる。これによりＣＣＤカメラ（９）による撮像に際して、被写界深度が高精度に設定できてアイランド（２）のエッジ部がぼやけることはない。
　次に、上述のようにして位置決め固定されたリードフレーム（１）のアイランド（２）に対して、認識手段（１９）におけるＣＣＤカメラ（９）のカメラ対物部（３１）をＸＹ水平方向に位置合わせする。まず、駆動用モータ（４６）の起動によりボールネジ（４４）を回転させて第２のテーブル（３４）をリニアガイド（４２）（４２）を介してＹ方向に沿って移動させる。この時、第１のテーブル（３２）はステム（３５）及びガイドローラ（３７）（３７）を介してその駆動機構と連結された状態のままで第２のテーブル（３４）に追従して移動し、その結果、支持アーム（３０）を介してＣＣＤカメラ（９）がＹ方向に移動する。また、駆動用モータ（４１）の起動によりボールネジ（３９）を回転させてナット（３６）のガイドローラ（３７）（３７）及びステム（３５）を介して第１のテーブル（３２）を第２のテーブル（３４）に対してリニアガイド（３３）（３３）でＸ方向に移動させる。これにより支持アーム（３０）を介してＣＣＤカメラ（９）がＸ方向に移動する。
　そして最後に、上述のようにしてＸＹテーブル機構（２９）により位置合わせされたＣＣＤカメラ（９）によるリードフレーム認識を実行する。即ち、搬送ライン（５）に位置する光源（１８）の直管状ランプ（２１）（２１）……を点灯させ、支持プレート（２３）上のリードフレーム（１）のアイランド（２）を透明窓材（２６）を介して下方照明する。
　この直管状ランプ（２１）（２１）……の下方照明によりＣＣＤカメラ（９）でリードフレーム（１）のアイランド（２）の影を撮像してそのアイランド位置を認識する。この時、ＣＣＤカメラ（９）では、直管状ランプ（２１）（２１）……からの照射光を直接に取り込んでアイランド（２）による明暗を認識するので、リードフレーム（１）のプレスによる打抜き加工での加工精度並びにメッキ処理の有無による表面状態などに左右されることなく、上記ＣＣＤカメラ（９）ではコントラストの良好な画像が得られる。そして、上記アイランド位置の認識後、この認識データに基づいてマウンタによりウェーハリングから半導体ペレットをピックアップし、アイランド（２）上に移送してマウントする。
〔発明の効果〕
　本発明に係るリードフレーム認識装置によれば、光源による下方照明でリードフレームの影を認識手段により撮像してそのアイランド位置を認識するようにし
、照明はスリガラス状に粗面形成された透明板を透過させたから、色むらや干渉縞を防止して照射光を効率良く拡散させており、
同時に、支持プレートに設けた透明板上面に開口端を持つ配管を利用して、認識動作時にリードフレームを支持プレート上に真空吸引して密着することで、被写界深度が高精度に設定できてアイランドのエッジ部がぼやけることのない撮像が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図乃至第８図は本発明の実施例を説明するためのもので、第１図はリードフレーム認識装置の概略構成図、第２図は搬送ライン及び光源の具体的構造を示す平面図、第３図は第２図の側面図、第４図は支持プレートを示す平面図、第５図は第４図の正面図、第６図は認識手段の具体的構造を示す一部省略部分を含む側面図、第７図は第６図の一部省略部分を含む正面図、第８図は第７図の平面図である。
第９図はリードフレームの一例を示す平面図である。
第１０図はリードフレーム認識装置の従来例を示す一部省略部分を含む概略構成図である。
（１）……リードフレーム、
（２）……アイランド、
（５）……搬送ライン、
（１８）……光源、
（１９）……認識手段
、
（２３）……支持プレート、
（２４）……金属板、
（２５）……開口孔、
（２６）……透明窓材、
（２７）……透明板、
（２８）配管。