【事件の表示】
　特許第２８００１８８号「基板吸着装置」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８００１８８号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
（１）本件発明
本件特許第２８００１８８号発明（昭和６３年７月２０日出願、平成１０年７月１０日設定登録。）の請求項１ないし４に係る発明は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定されるとおりのものである。
（２）申立ての理由の概要
　特許異議申立人キャノン株式会社は、証拠として、甲第１号証（特開昭６２ー２４６３９号公報）及び甲第２号証（特開昭５３ー９０８７１号公報）を提出し、請求項１〜４に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、本件特許を取り消すべき旨主張している。
（３）甲号各証に記載の発明及び技術的事項  
　甲第１号証：「ウエハを減圧式の吸着により固定する吸着面を備えたウエハチャックであって、前記吸着面には前記ウエハと接触する上端面が平面形状の複数の突起と、前記減圧式の吸着のために前記突起と突起との間に前記上端面よりも大きな面積で形成された底面に貫通する減圧排気通路とが形成されているセラミック材から成るウエハチャック」を構成とした発明。
　甲第２号証：セラミックを焼結して構成されるチャック本体として「厚さ３〜１０ｍｍ，孔径１〜２φμ，２００〜３００メッシュ面粗度１０μ以下のものが好適な結果を収めたことが確認されている。」（公報第２頁右上欄第７行〜第９行）という技術的事項。
（４）対比・判断
(ａ) 請求項１に係る発明について
　本件請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）と甲第１号証に記載された発明とを対比するに、同号証記載の「ウエハ」、「減圧式の吸着」、「ウエハチャック」、「突起」、及び「減圧排気通路」は、本件発明の「薄板状基板」、「真空吸着」、「基板吸着装置」、「凸部」、及び「吸気孔」に相当するから、両者は、「薄板状基板を真空吸着により固定する吸着面を備えた基板吸着装置であって、前記吸着面には前記基板と接触する上端面が平面形状の複数の凸部と、前記真空吸着のために前記凸部と凸部との間に前記上端面よりも大きな面積で形成された底面に貫通する吸気孔とが形成されているセラミックスから成る基板吸着装置」の点で一致するが、次の点で相違している。
　本件発明は、「凸部の上端面、側面および前記凸部と凸部との間に形成された底面が、１０μｍ以上の気孔を１ｍｍ２当たり３００個以下とした緻密で均質なファインセラミックスから成る」というように、基板吸着装置が、数値をもって所定の特質を特定したセラミックスから成るのに対し、甲第１号証に記載された発明では、このような数値もって特定されたセラミックスから成るものではない点。
　よって、この相違点について検討するに、先ずはじめに、本件発明が解決しようとする技術的課題についてみると、半導体集積回路製造過程のリソグラフィー工程で中心的な役割を担うステッパーにおいては、ウエハを真空吸着して所定平面内に平坦化矯正するファインセラミックスからなるウエハホルダ（基板吸着装置）がよく使用されている。そして、この基板吸着面にはファインセラミックス特有の気孔が多数存在しており、このような吸着面では、一般に、ウエハを支持する凸部の上端面のみが滑らかに仕上げられているため、非接触部、即ち真空吸着溝の底面や前記凸部の側面等は比較的大きな凹凸を持つ粗い表面を有することとなり、それ故、当該吸着面の全面に多数存在する気孔ばかりでなく滑らかな接触部と粗い非接触部との境界の凹凸にも異物が引っかかり、これに起因してウエハ上面の平面度が悪化するという問題が生じると共に、この付着した異物の除去が困難であるという問題も生じてしまう。本件発明は、この問題を認識して、これらの不都合をなくそうとするところに解決すべき技術的課題があるものと認められる。
　本件発明は、基板吸着装置を、少なくとも、吸着面の全面、即ち、前記凸部の上端面、側面および前記凸部と凸部との間に形成された底面が、１０μｍ以上の気孔を１ｍｍ２当たり３００個以下とした緻密で均質なファインセラミックスから成ることを必須の構成とすることによって、前記技術的課題を解決しているものと認められる。
　そうしてみると、本件発明は、上記のような数値をもって所定の構成を表すものであり、しかも、この構成によって、甲第１号証記載の発明では期待できない技術的意味を有するのであるから、この点からみて同号証記載の発明から容易になしうるものであるとはいうことができない。
　そこで、甲第１号証に記載された発明に甲第２号証に記載された技術的事項を適用することにより、前記相違点に係る本件発明の構成が当業者であれば容易に想到することができるのであるかについて更に検討する。
　甲第２号証に記載されている前述した技術的事項からみて、同号証には、実質的に、１μｍ〜２μｍの気孔を１ｍｍ２当たり約１４０個以下としたセラミックでウエハ保持用のチャック本体を構成したことが開示されていると認められるが、ここでいう技術的意味は、真空引きによりウエハを吸引保持するに際し、ウエハが極めて薄いため、反り返ったり波打ったりする状態に保持されてしまう虞があるところ、前記のセラミックを用いれば好適な結果が得られ、このような不都合が生じないというのであって、本件発明が内在する技術的意味とは明らかに相違している。その上さらに、甲第２号証に、『基板吸着装置が、１μｍ〜２μｍの気孔を１ｍｍ２当たり約１４０個以下としたセラミックから成る』ことが実質的に記載されているからといっても、これにより、本件発明でいう、『基板吸着装置が、１０μｍ以上の気孔を１ｍｍ２当たり３００個以下とした緻密で均質なファインセラミックスから成る』ことが開示若しくは示唆されているとまでは必ずしもいうことができないから、これらの事柄からみて、甲第２号証記載のものは、本件発明が解決しようとする技術的課題について何ら認識されていないものであり、本件発明の技術思想を想到する動機となる技術が開示あるいは示唆されているとみることはできない。
　そして、本件発明は、所定の数値をもって特定した構成により、本件特許明細書に記載されている特有の効果を奏するものであるから、甲第１号証記載の発明に甲第２号証記載の技術的事項を取入れたとしても、本件発明のこの構成について当業者が容易に想到することができたとはいうことができない。
(ｂ) 請求項２〜４に係る発明について
　請求項３に係る発明と甲第１号証に記載された発明とを対比するに、両者間には、少なくとも、請求項１に係る発明と甲第１号証に記載された発明との先に指摘した相違点と同じ相違が存在するから、請求項１に係る発明についての判断と同様の理由により、前記甲号各証に記載されたものから当業者が容易に想到することができないことは明らかであるし、また、請求項２及び請求項４に係る発明は、それぞれ、請求項１に係る発明及び請求項３に係る発明を更に限定したものであるから、同じく、前記甲号各証に記載されたものから当業者が容易に想到することができないことも明らかである。
（５）むすび
　したがって、本件請求項１ないし４に係る発明は、甲号各証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとは認めることができないから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１ないし４に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１ないし４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年３月８日（２０００．３．８）