【事件の表示】
　特許第２８５９９９３号「静電チャックの製造方法」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２８５９９９３号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理由】
１．手続の経緯
　特許第２８５９９９３号に係る発明についての出願は、平成４年２月２０日の出願であって、平成１０年１２月４日にその発明について特許の設定登録がなされた後、その特許について、特許異議の申立てがなされたものである。
２．特許異議申立てについて
　ア．本件発明
　特許第２８５９９９３号の特許請求の範囲の請求項１乃至２に係る発明は、特許明細書の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至２に記載された事項によって特定されるとおりのものである。
　【請求項１】　絶縁性誘電体層とタングステンよりなる電極層を有する静電チャックの製造方法において、焼成して絶縁性誘電体層となるセラミックススラリーからグリーンシートを作製し、このグリーンシート上に焼成して電極層となるタングステン化合物を含むペースト層を形成したのち、このペースト層上に別のグリーンシートを積層して一体化したのち、これを焼成、還元することを特徴とする静電チャックの製造方法。
　【請求項２】　前記絶縁性誘電体層が窒化アルミニウムからなる請求項１に記載の静電チャックの製造方法。
　イ．申立ての理由の概要
　申立人岡田香は、「本件請求項１及び請求項２に係る各発明は、甲第１号証乃至甲第４号証に記載された技術より当業者が容易に発明できる程度のものである。従って、本件請求項１及び請求項２に係る各発明は、特許法第１１３条第１項第２号の規定により取消されるべきである。」旨主張する。
　ウ．証拠方法
　（１）甲第１号証：実願昭６３−１１９９４２号（実開平２−４３１３４号）のマイクロフイルム
　甲第１号証には、（ア）「静電チャック１は、グリーンシート２と、該グリーンシート２の上面に印刷された一方の電極３と、該一方の電極３を被覆する電気絶縁性のセラミック製絶縁保護膜４と、グリーンシート２の下面に印刷された金属性電気ヒータ５と、該電気ヒータ５を被覆する電気絶縁性のセラミック性絶縁保護膜６とを積層して、一体焼成されている」（５頁１０乃至１７行）、及び（イ）「一方に電極３は、タングステン（Ｗ）、・・・の導体ペーストを所定の印刷法を用いてグリーンシート２の上面に設置されている。」（６頁６行乃至９行）との記載がある。
　（２）甲第２号証：特開昭６１−２８６２８７号公報
　甲第２号証には、産業上の利用分野に関し、「本発明は、絶縁基板、・・・高熱伝導性絶縁材料として使用される窒化アルミニウム焼結体の表面処理に関するものであり、特に、窒化アルミニウムの焼結と表面処理が同時に行える窒化アルミニウム製基材の表面処理方法に関する。」、
　窒化アルミニウム製基材の表面処理方法に関し、「Ｗ、Ｍｏ及びこれらの硼化物、炭化物から選ばれた１種又は２種以上の１００重量部と、Ａｌ２Ｏ３の０．１〜５０重量部とからなる表面処理組成物を、窒化アルミニウム製基材上に塗布し、窒素を含む非酸化性雰囲気中で１５００〜２０００℃で焼結することを特徴とする窒化アルミニウム製基材の表面処理方法。」（特許請求の範囲、２頁右上欄１２行乃至１７行）、「ＡｌＮ製基材は、焼結されたものでも、粉末成形体のいずれでもよいが、粉末成形体であると、ＡｌＮ製基材の焼結と表面処理を同時に行うことができ好ましい。」（２頁左下欄１２行乃至１５行）、「表面処理組成物中のＷ、Ｍｏを範囲内で多くすると表面処理層に導電性をもたらすことができ、本発明を多層基板の製造に使用した場合、表面処理層自体を内層配線として用いることができる。」（２頁右下欄９行乃至１２行）、
　作用に関し、「Ｗ、Ｍｏあるいはそれらの硼化物、炭化物は、上記表面処理層と金属との濡れ性を改善する。」（２頁１９行乃至２０行）との記載がある。
　（３）甲第３号証：特開昭６２−１９７３７２号公報
　甲第３号証には、発明の目的に関し、（ア）「本発明は、・・・ＡｌＮ焼結前駆体を焼結すると同時にその表面に、・・・導電性メタライズ層を形成する方法の提供を目的とする。」、
　発明の概要に関し、（イ）「本発明の導電性メタライズ層を有するＡｌＮ焼結体の製造方法は、ＡｌＮの焼結前駆体にモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）およびそれらの１種若しくは２種以上を含有する化合物の群がら選ばれる少なくとも１種と、周期律表のＩＩＩ族元素、ＩＶａ族元素、希土類元素・・・、アクチノイド系元素及びそれらの１種若しくは２種以上を含有する化合物の群がら選ばれる少なくとも１種とを含むペーストを塗布し、ついで全体を同時に焼結することを特徴とする。」（２頁右下欄９行乃至２０行）、（ウ）「本発明方法に係るペーストは、焼結後メタライズ層に添加する２つのグループ成分Ｉ、ＩＩとそれらを分散せしめる媒体とで構成される。まず、グループ成分としては、Ｍｏ、Ｗ、Ｔａ及びこれら元素をそれぞれ１種若しくは２種以上含む化合物の群から選ばれる少なくとも１種である。・・・すなわち、Ｍｏ、Ｗ、Ｔａの単体金属；これらの各種酸化物；・・・これら元素の・・・アンモニウム塩・・・を上げることができる。」（３頁左上欄１８行乃至右上欄１８行）、（エ）「形成すべきメタライズ層の導電性を高めるという点では、とくにＭｏ、Ｗ、Ｔａの各種単体金属であることがこのましい。」（３頁左下欄１行乃至３行）、（オ）「グループＩの成分は、形成されたメタライズ層において主にその導電性及び耐熱性を高位の水準に維持するために有効成分であり、また、グループＩＩの成分は、上記成分を結着せしめてメタライズその強度を保持するに有効な成分であると推考される。」（４頁左上欄７行乃至１２行）、「焼結は窒素雰囲気中で行われる。」（４頁左下欄６行）
（４）甲第４号証：特開平４−３９５６号法公報
４．対比・判断
　（１）本件請求項１に係る発明について
（ア）甲第１号証に記載のものと本件請求項１に係る発明とを対比すると、甲第１号証のものでは、タングステンの導体ペースト層を形成したグリーンシート２と、この導体ペースト層上に別のグリーンシートを積層して一体焼成するのに対し、本件請求項１に係る発明では、グリーンシート上にタングステン化合物を含むペースト層を形成したのち、このペースト層上に別のグリーンシートを積層して一体化したのち、これを焼成、還元する点において相違している。
（イ）上記相違点について検討する。
　上記甲第２号証には、上記したように、絶縁基板、高熱伝導性絶縁材料として使用される窒化アルミニウム焼結体の表面処理、特に、窒化アルミニウムの焼結と表面処理が同時に行える窒化アルミニウム製基材の表面処理方法に関し、「Ｗ、Ｍｏ及びこれらの硼化物、炭化物から選ばれた１種又は２種以上の１００重量部と、Ａｌ２Ｏ３の０・１〜５０重量部とからなる表面処理組成物を、窒化アルミニウム製基材上に塗布し、窒素を含む非酸化性雰囲気中で１５００〜２０００℃で焼結することを特徴とする窒化アルミニウム製基材の表面処理方法。」（特許請求の範囲、２頁右上欄１２行乃至１７行）であって、「ＡｌＮ製基材が、粉末成形体であると、ＡｌＮ製基材の焼結と表面処理を同時に行うことができ好まし」（２頁左下欄１２行乃至１５行）く、「表面処理組成物中のＷ、Ｍｏを範囲内で多くすると表面処理層に導電性をもたらすことができ、本発明を多層基板の製造に使用した場合、表面処理層自体を内層配線として用いることができる。」（２頁右下欄９行乃至１２行）こと、そして作用に関し、「Ｗ、Ｍｏあるいはそれらの硼化物、炭化物は、上記表面処理層と金属との濡れ性を改善する。」（２頁１９行乃至２０行）との記載がある。
　上記の記載におけるＷの硼化物、炭化物は、文言上、タングステン化合物に相当するが、上記Ｗの硼化物、炭化物は表面処理層と金属との濡れ性を改善するものであり、また、甲第２号証には、上記したように、表面処理組成物中のＷを範囲内で多くすると表面処理層に導電性をもたらすことができ、多層基板の製造に使用した場合、表面処理層自体を内層配線として用いることができる旨の記載があっても、グリーンシート上にタングステン化合物を含むペースト層を形成したのち、このペースト層上に別のグリーンシートを積層して一体化したのち、これを焼成、還元する点について記載されていない。また、グリーンシート上に形成されたＷの硼化物、炭化物とＡｌ２Ｏ３とからなる表面処理組成物が窒素を含む非酸化性雰囲気中での焼成によって、表面処理組成物中のＷの硼化物、炭化物が金属タングステンとなる旨の記載はないし、また、窒素を含む非酸化性雰囲気中での上記表面処理組成物の焼成が、Ｗの硼化物、炭化物を含む表面処理組成物の焼成及び還元を意味し、Ｗの硼化物、炭化物が最終的に金属タングステンＷとなるようなことは記載されていない。
（ウ）同じく、上記の相違点について、異議申立人があげた甲第３号証には、「本発明の導電性メタライズ層を有するＡｌＮ焼結体の製造方法は、ＡｌＮの焼結前駆体にモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）およびそれらの１種若しくは２種以上を含有する化合物の群から選ばれる少なくとも１種と、周期律表のＩＩＩ族元素、ＩＶａ族元素、希土類元素・・・、アクチノイド系元素及びそれらの１種若しくは２種以上を含有する化合物の群から選ばれる少なくとも１種とを含むぺーストを塗布し、ついで全体を同時に焼結することを特徴とする。」（２頁右下欄９行乃至２０行）ものであって、「本発明方法に係るペーストは、焼結後メタライズ層に転化する２つのグループ成分Ｉ、ＩＩとそれらを分散せしめる媒体とで構成され」、「グループ成分Ｉとしては、Ｗを含む化合物の群から選ばれる少なくとも１種であ」り、「この酸化物；アンモニウム塩を上げることができる。」こと、及び「焼結は窒素雰囲気中で行われる。」（４頁左下欄６行）ことが開示されている。
　上記記載によれば、上記ペーストは、焼結後メタライズ層に転化する２つのグループ成分Ｉ、ＩＩとそれらを分散せしめる媒体とで構成され、グループ成分Ｉとして、Ｗを含む化合物、すなわちこの酸化物；アンモニウム塩を上げることができること、及び窒化アルミニウムの焼結前駆体に上記ペーストを塗布し、ついで全体を同時に焼結することが開示されていて、この「焼結は窒素雰囲気中で行われる。」ので、上記ペーストを焼結することについては開示されてはいるが、上記ペーストを還元することについては開示されていない。また、上記タングステン化合物を窒素雰囲気下で焼成すると、上記タングステン化合物が還元されて金属タングステンとなることが、周知の技術的事項であるとも認められない。
　（２）本件請求項２に係る発明について
　請求項２に係る発明は、上記請求項１に係る発明をさらに限定したものであって、上記請求項１に係る発明についての判断と同様の理由により、上記甲第１号証乃至甲第３号証には、グリーンシート上にタングステン化合物を含むペースト層を形成したのち、このペースト層上に別のグリーンシートを積層して一体化したのち、これを焼成、還元する点について記載されていないし、示唆するところもない。甲第４号証には、「絶縁膜６上に第２の電極２ａ、２ｂが設けられる。該電極２ａ、２ｂ上には絶縁膜４が形成され、・・・絶縁膜４は、・・・セラミックが使用される。このセラミックは・・・ＡｌＮ（窒化アルミニウム）が考えられる。」（３頁左下欄６行乃至１７行）との記載があるが、上記記載によれば、絶縁膜４として窒化アルミニウムが例示されているにすぎず、上記の点について記載されていないし、示唆するところもない。
　（３）そして、本件特許明細書の記載によれば、本件請求項１乃至２に係る発明は、請求項１乃至２に記載された事項により、本件特許明細書記載の効果を奏することが認められる。
　したがって、本件請求項１に係る発明は甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に想到することができる程度のものでもない。また、請求項２に係る発明は、甲第１号証乃至甲第４号証記載のものに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては本件請求項１乃至２に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１乃至２に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１１月２４日（１９９９．１１．２４）