【事件の表示】
　特許第２８５４２５５号「誘電体バリア放電ランプ装置」の請求項１及び請求項２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。　
【結　論】
　特許第２８５４２５５号の請求項１及び請求項２に係る特許を維持する。
【理　由】
第一．手続きの経緯
　本件特許（特許第２８５４２５５号）は、平成６年１１月２５日に出願がされ、平成１０年１１月２０日に特許権の設定の登録がされた。
　その後、平成１１年８月３日に特許異議申立人・日本電池株式会社より特許異議の申立てがされた。
　
第二．本件発明
　本件特許の請求項１及び請求項２に係る発明は、願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という）及び図面の記載からみて、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された下記とおりのものである。
　　　　　　　記（特許請求の範囲）
（請求項１）外形が概略円筒状である光透過性の放電容器と、該放電容器の外面の少なくとも一部の全周に設けた金属網状電極と、該金属網状電極の内側に該放電容器と概略同軸に設けた内側電極と、該放電容器内に充填され、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスからなる円筒状誘電体バリア放電ランプと、複数本の該円筒状誘電体バリア放電ランプを並行に配置して収納し、該エキシマ分子から放出されるエキシマ光を取り出す光取り出し窓を有するランプハウスと、誘電体バリア放電を行うための電源を備えた誘電体バリア放電ランプ装置において、
　隣接した該円筒状誘電体バリア放電ランプの間に概略Ｖ字型の光反射板を設け、かつ、隣接した該円筒状誘電体バリア放電ランプの中心軸間の距離Ｘを該円筒状誘電体バリア放電ランプの直径Ｄの３．５倍以下に構成した事を特徴とする誘電体バリア放電ランプ装置。
（請求項２）該光取り出し窓に対面した隣接した該円筒状誘電体バリア放電ランプの円周の共通の接線を基準にした範囲Ｌを、該接線と該円筒状誘電体バリア放電ランプの管軸の両者に直角で、該光取り出し窓から遠ざかる方向に、該円筒状誘電体バリア放電ランプの直径の２５％の長さの範囲としたとき、該Ｖ字型光反射板の頂点がＬの範囲内に存在するように構成したことを特徴とする請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
　
第三．特許異議の申立て
１．特許異議の申立ての概要
　特許異議の申立てに係る請求項は、請求項１及び請求項２である。
　申立ての理由は下記１のとおりであり、提出された証拠方法は下記２のとおりである。
　　　　　　　記１（申立ての理由）
　請求項１及び請求項２に係る発明は、いずれも、甲第１号証から甲第４号証までに記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができず、請求項１及び請求項２に係る特許は特許法第１１３条第１項の規定により取り消されるべきである。
　　　　　　　記２（証拠方法）
甲第１号証：特開平６−２３１７３５号公報
甲第２号証：特開平１−２６１８３０号公報
甲第３号証：実公昭６０−４１９７０号公報
甲第４号証：特開平４−２２９６７１号公報
２．特許異議の申立ての検討
（１）甲各号証の記載
　甲各号証には、それぞれ、請求項１及び請求項２に係る発明に関連する事項として、下記の記載がある。
（甲第１号証：特開平６−２３１７３５号公報）
（ア）「本発明は、シリコンウエハ等に塗布されたフォトレジストを、紫外線照射下において該フォトレジストにオゾンを接触させて該フォトレジストを灰化して除去する、いわゆる灰化装置に関する。」（第２頁左欄１９行から２２行まで）
（イ）「実施例に使用した同軸円筒形誘電体バリヤ放電ランプの概略図を図２に示す。放電容器１３は石英ガラス製で内側管１４と外側管１５を同軸に配置して中空円筒状にしたものである。外側管１５は誘電体バリヤ放電の誘電体バリヤと光取り出し窓部材を兼任しており、その外面に光を透過する金属網からなる電極１７が設けられている。内側管１４の内径部には紫外線の反射板を兼ねた円筒状の金属電極１６が設けられている。円筒状の金属電極１６の内側には冷却用流体１９が流され、誘電体バリヤ放電ランプ全体の温度を低下させる。放電空間２０の一端にリング状のゲッター１８が設けられている。放電空間２０内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを封入して、誘電体１５の表面に設けられた金属網からなる透明電極１７と内側管１４の内径部の紫外線の反射板を兼ねた円筒状の金属電極１６に交流電源２１によって電圧を印加すると、放電空間２０内にいわゆる誘電体バリヤ放電、別名オゾナイザ放電あるいは無声放電が発生して、誘電体１５、透明電極１７を通して、高効率で紫外線が放射される。」（第３頁左欄１２行から３１行まで）
（甲第２号証：特開平１−２６１８３０号公報）
（ウ）「本発明は光アッシャーに係り、特にランプの使用中、紫外線照度が一定になり、処理条件を変えずに済む光アッシャーに関する。」（第１頁左下欄１７行から１９行まで）
（エ）「レジストの付着したウエーハ１は、ヒータを兼ねたステージ２の上に設置され、その上方には、紫外線ランプ３がある。紫外線ランプ３とウエーハ１との間は石英ガラス４にて隔てられ、ランプ３側のプ室７の中はガス導入・排出口６、６’よりガスが導入・排出され、所定のガスに置換されている。」（第２頁左上欄２行から８行まで）
（甲第３号証：実公昭６０−４１９７０号公報）
（オ）「本考案は紫外線洗浄装置の開閉扉に関するものである。」（第１頁左欄１３行から１４行まで）
（カ）「灯体１の内部上方には反射部材２を介して低圧水銀灯からなる紫外線ランプ３が配設され、被洗浄体が置れる下方に向けて紫外線が照射される。」（第１頁右欄２６行から２８行まで）
（甲第４号証：特開平４−２２９６７１号公報）
（キ）「本発明は放電条件下でビームを送出する充填ガスで充填された放電空間を有し、該放電空間の壁が第１及び第２管状誘導体によって形成されており、上記壁は夫々上記放電空間と離反した表面上に夫々外部電極と内部電極とを有し、更に、上記電極に接続された交流電流源を放電部への給電のために備えているものに関する。」（第２頁左欄４９行から右欄５行まで）
（ク）「支持体における半円筒状切欠部の反射能は金属的反射化部、例えば、フッ化マグネシウムシューム（ＭｇＦ２）から成る保護膜がその上に施されたアルミニウム膜により改善され得る。」（第３頁右欄２３行から２６行まで）
（ケ）「図３にはどのようにして図１−ｃによるシリンダービーム発生装置複数個を１つの面状ビーム発生装置を形成し得るかを示してある。電気的絶縁性であるが良好な熱伝導性の材料、例えばセラミックをベースとする材料から成る支持体９が、当該目的のため半円形状の横断面を有する並列平行溝１０を有し、上記平行溝は１外管径より大の寸法だけ相互に間隔をおかれている。上記溝１０は外部石英管１に適合されており、その際被覆により、ＵＶ−反射性材料、例えばアルミニウム（これはＭｇＦ２からの保護膜を有する）適合されている。」（第５頁左欄２７行から３６行まで）
（２）対比・判断
（ａ）請求項１に係る発明
　請求項１に係る発明と甲各号証に記載された発明とを対比すると、請求項１に係る発明の下記の構成（以下「構成Ａ」という）は、甲各号証のいずれにも記載されておらず、また、甲各号証に記載された事項を組み合わせることにより導き出すこともできない。
　　　　　　　記（構成Ａ）
　隣接した円筒状誘電体バリア放電ランプの間に概略Ｖ字型の光反射板を設け、かつ、隣接した円筒状誘電体バリア放電ランプの中心軸間の距離Ｘを円筒状誘電体バリア放電ランプの直径Ｄの３．５倍以下に構成した誘電体バリア放電ランプ装置。
  そして、請求項１に係る発明は、上記構成Ａにより、特許明細書に記載された、「金属網電極を使用した円筒状誘電体バリア放電ランプを複数本並列に並べた誘電体バリア放電ランプ装置においては、隣接する誘電体バリア放電ランプの中間部における該光取り出し窓面上の放射照度が、一本の該誘電体バリア放電ランプの配光分布の測定結果を隣接するランプについて重ね合わせて得られる予想値よりも著しく低い」（段落［０００５］）、「誘電体バリア放電ランプから放出されたエキシマ光の一部が、隣接した円筒状誘電体バリア放電ランプの金属網電極に吸収されるのが第一の原因である」（段落［０００６］）という「金属網電極を備えた円筒型誘電体バリア放電ランプを並列に並べた誘電体バリア放電ランプ装置に特有の現象」（段落［０００８］）を解消し、「円筒状誘電体バリア放電ランプから放出され、隣接する誘電体バリア放電ランプに向かうエキシマ光は、該概略Ｖ字型の光反射板で反射されて該光取り出し窓に向かうので、隣接する誘電体バリア放電ランプに直接入射して該金属網電極に吸収される事がなくなり、その結果、隣接する誘電体バリア放電ランプ間の直下の放射照度が十分に高くなり、高効率の誘電体バリア放電ランプ装置が得られる。」（段落［００１３］）ものである。
　したがって、請求項１に係る発明は甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
　以下、甲各号証の記載について検討する。
  甲第３号証及び甲第４号証には、「反射部材２」（上記（カ））及び「金属的反射化部」（上記（ク））「ＵＶ−反射性部材」」（上記（ケ））のように請求項１に係る発明の「光反射板」に対応する記載が見られるが、これらの形状はいずれも紫外線ランプ３又は外部石英管１の外径形状に沿う円弧形状にすぎず、請求項１に係る発明の「隣接した（誘電体バリア）放電ランプの間にＶ字型の光反射板を設け」ではない。　また、それらの形状は、放電ランプから放出された紫外線が隣接する放電ランプに直接入射することを妨げていないことから、甲第３号証及び甲第４号証には、請求項１に係る発明の上記「隣接した円筒状誘電体バリア放電ランプの金属網電極に吸収されるのが第一の原因である」との課題の認識はなく、さらに、他の甲各号証を見ても「隣接した放電ランプの間にＶ字型の光反射板を設け」に相当する記載もないことから、甲第３号証又は甲第４号証に記載された「反射部材２」又は「金属的反射化部」と他の甲各号証とを組み合せることもできない。
　加えて、甲第１号証から甲第４号証までのいずれにも、「Ｖ字型の光反射板」の存在と「放電ランプの中心軸間の距離Ｘを円筒状誘電体バリア放電ランプの直径Ｄの３．５倍以下に構成した」との比との組合せを示唆する記載もない。なお、「３．５倍以下」については特許明細書に、「Ｖ字型光反射板を設けない場合には、・・・３．５倍以下に構成すると、・・・金属網電極によるエキシマ光の吸収が著しく大きくなり、その結果、効率の低下や、・・・放射照度分布の不均一の拡大が発生する」（段落［００１４］）と記載されている。
　以上のように、甲各号証には上記構成Ａは記載されておらず、甲各号証に記載された事項を組み合わせても上記構成Ａを導き出すことはできない。
（ｂ）請求項２に係る発明
　請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明を引用してさらに限定したものであり、そして、請求項１に係る発明についての判断は上記のとおりである。
　したがって、請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明についての上記判断の理由と同じ理由により、甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
（ｃ）まとめ
　以上のとおり、請求項１及び請求項２に係る発明は、いずれも、特許異議申立人が提出した甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
（３）申立人の主張
　特許異議申立人は、「甲第３号証は前掲引用部分・・・主観的効果を述べているに止まる」（特許異議申立書第８頁１７行から第９頁１行まで）と主張するが、光反射板の存在と比（Ｘ／Ｄ）との組合せについては上述のように甲各号証に示唆する記載がなく、また、甲第３号証及び甲第４号証における比（Ｘ／Ｄ）の数値についても実測にすぎず数値の記載は見られないことから、特許異議申立人の上記主張は採用することができない。
　
第四．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項１及び請求項２に係る特許を取り消すことはできない。
  また、他に請求項１及び請求項２に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定をする。
平成１２年２月１６日
　審判長　特許庁審判官　新宮佳典
　　　　　特許庁審判官  島田信一
　　　　　特許庁審判官  渡邊　聡
【異議決定日】
平成１２年２月２１日（２０００．２．２１）