【事件の表示】
　特許第６４２９０３１号発明「シルセスキオキサン化合物及び変性シリコーン化合物を含むインプリント材料」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６４２９０３１号の明細書、特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正明細書、訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項［１〜１３］について訂正することを認める。
　特許第６４２９０３１号の請求項１〜１３に係る特許を取り消す。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第６４２９０３１号（以下「本件特許」という。）の請求項１〜１３に係る特許についての経緯は次のとおりである。
　平成２５年１０月３０日　　：優先日
　平成２６年１０月　６日　　：出願（ＰＣＴ／ＪＰ２０１４／０７６７０２）
　平成３０年１１月　９日　　：特許登録
　平成３０年１１月２８日　　：特許掲載公報発行
　令和　元年　５月２７日　　：特許異議申立人佐藤正興による請求項１〜１３に係る特許に対する特許異議の申立て
　令和　元年　７月３０日付け：取消理由通知書
　令和　元年　９月２７日　　：訂正請求書・意見書（特許権者）
　令和　元年１１月１８日　　：意見書（特許異議申立人）
　令和　２年　１月　９日付け：決定の予告
　令和　２年　３月１３日　　：意見書（特許権者）
第２　訂正の適否
　１　訂正の内容
　令和元年９月２７日付け訂正請求書による訂正（以下「本件訂正」という。）は、次のとおりである（下線は訂正箇所として特許権者が付したものである。）。
　なお、本件訂正は、一群の請求項である訂正後の請求項１〜１３について請求されている。また、本件訂正のうち、明細書の訂正は、一群の請求項である訂正後の請求項１〜１３に係る訂正である。
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１について、
「下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分及び（Ｄ）成分を含有し、前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合が５質量％以上２５質量％以下であるインプリント材料。
（Ａ）：下記式（１）で表される繰り返し単位を有し、式中Ｘ０で表される重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物
（Ｂ）：下記式（２）で表される繰り返し単位を有し、末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物
（Ｃ）：光重合開始剤
（Ｄ）：溶剤
【化１】
（式中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立にメチル基、エチル基、プロピル基又はイソプロピル基を表し、Ｒ０はメチレン基、エチリデン基、又はプロパン−２，２−ジイル基を表し、ｋは０乃至３の整数を表す。）」を、
「下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分及び（Ｄ）成分を含有し、前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合が
２０
［但し、当該インプリント材料は当該（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有しない］
（Ａ）：下記式（１）で表される繰り返し単位を有し、式中Ｘ０で表される重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物
（Ｂ）：下記式（２）で表される繰り返し単位を有し、末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物
（Ｃ）：光重合開始剤
（Ｄ）：溶剤
【化１】
（式中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立にメチル基、エチル基、プロピル基又はイソプロピル基を表し、Ｒ０はメチレン基、
−ＣＨ（ＣＨ３）−
（２）訂正事項２
　願書に添付した明細書（以下「本件明細書」という。）の段落【０００５】に記載された
「具体的には、モールドに対する離型力が０ｇ／ｃｍより大きく０．８ｇ／ｃｍ以下、なおかつ例えば２６０℃の温度に曝しても分解物の昇華が起こらない硬化膜が形成される材料を提供することを目的とする。」を、
「具体的には、モールドに対する離型力が０ｇ／ｃｍより大きく０．
６５
（３）訂正事項３
　本件明細書の段落【０００６】に記載された
「本発明者らは、上記の課題を解決するべく鋭意検討を行った結果、重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物、及び末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物、を含有し、前記重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物と前記末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物の合計１００質量％に対し当該末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物の割合を５質量％以上２５質量％以下とし、更に光重合開始剤及び溶剤を含有する組成物をインプリント材料として使用することを見出した。」を、
「本発明者らは、上記の課題を解決するべく鋭意検討を行った結果、重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物、及び末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物、を含有し、前記重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物と前記末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物の合計１００質量％に対し当該末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物の割合を
２０
（４）訂正事項４
　本件明細書の段落【０００７】に記載された
「すなわち、本発明は、第１観点として、下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）及び（Ｄ）成分を含有し、前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合が５質量％以上２５質量％以下であるインプリント材料に関する。
（Ａ）：下記式（１）で表される繰り返し単位を有し、式中Ｘ０で表される重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物
（Ｂ）：下記式（２）で表される繰り返し単位を有し、末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物
（Ｃ）：光重合開始剤
（Ｄ）：溶剤
【化１】
（式中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立に炭素原子数１乃至３のアルキル基を表し、Ｒ０は炭素原子数１乃至３のアルキレン基を表し、ｋは０乃至３の整数を表す。）」を、
「すなわち、本発明は、第１観点として、下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）及び（Ｄ）成分を含有し、前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合が
２０
［但し、当該インプリント材料は当該（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有しない］
（Ａ）：下記式（１）で表される繰り返し単位を有し、式中Ｘ０で表される重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物
（Ｂ）：下記式（２）で表される繰り返し単位を有し、末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物
（Ｃ）：光重合開始剤
（Ｄ）：溶剤
【化１】
（式中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立に
メチル基、エチル基、プロピル基又はイソプロピル
メチレン基、−ＣＨ（ＣＨ３）−基、又はプロパン−２，２−ジイル
（５）訂正事項５
　本件明細書の段落【００５４】乃至段落【００５６】及び段落【００６０】乃至段落【００６２】それぞれに記載された「実施例」を、「
参考
（６）訂正事項６
　本件明細書の段落【００７０】及び【００７１】それぞれに記載された「実施例１乃至実施例１２」を「実施例
４乃至実施例６、実施例１０
、参考例１乃至参考例３、参考例７乃至参考例９
（７）訂正事項７
　本件明細書の段落【００７２】に記載された
「【表１】
」を、
「【表１】
」と訂正する。
（８）訂正事項８
　本件明細書の段落【００７３】に記載された「実施例１乃至実施例１２」を、「実施例
４乃至実施例６及び実施例１０
６５
　２　訂正要件の判断
（１）訂正事項１について
　ア　訂正の目的
　訂正事項１は、次の内容、すなわち、
　(i)　「前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合」（以下「Ｂ割合」という。）を、「
５
２０
　(ii)　「インプリント材料」について、「
［但し、当該インプリント材料は当該（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有しない］
　(iii)　「
エチリデン基
−ＣＨ（ＣＨ３）−基
　からなるものである（下線は当審が付した。以下同じ。）。
　よって、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第１号に規定する特許請求の範囲の減縮及び同第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　イ　新規事項追加の有無
（ア）上記ア(i)の訂正について
　本件明細書の【００５７】、【００５８】、【００６３】及び【００６４】には、いずれも、「（Ａ）成分・・・及び（Ｂ）成分・・・の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合は
２０
　よって、当該訂正は、新規事項を追加するものではない。
（イ）上記ア(ii)の訂正について
　本件明細書の【００５７】に記載された実施例４に係るインプリント材料は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有していない。すなわち、実施例４は、「ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００を８ｇ、Ｘ−２２−１６０２を２ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．２５ｇ（ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００及びＸ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、ピルビン酸エチル１９ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ａ４を調製した。」ものであるところ、このインプリント材料では、「ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００」が「（Ａ）成分」に相当するとともに、「Ｘ−２２−１６０２」が「（Ｂ）成分」に相当する。そして、これらの（Ａ）成分及び（Ｂ）成分に相当する化合物は重合性基を有する化合物であると認められる一方、これら以外の化合物（すなわち、「Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯ」及び「ピルビン酸エチル」）は重合性基を有する化合物ではないと認められる。よって、実施例４に係るインプリント材料は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有していない。
　このように、本件明細書には、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有しないインプリント材料が記載されているから、当該訂正は、新規事項を追加するものではない。
（ウ）上記ア(iii)の訂正について
　本件明細書の【０００９】には、「エチリデン基［−ＣＨ（ＣＨ３）−基］」との記載がある。
　よって、当該訂正は、新規事項を追加するものではない。
（エ）小括
　したがって、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　ウ　特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記ア及びイにも照らせば、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　エ　訂正事項１の小括
　よって、訂正事項１は、訂正要件を満たす。
（２）訂正事項２について
　ア　訂正の目的
　訂正事項２は、本件明細書の【０００５】における「モールドに対する離型力が０ｇ／ｃｍより大きく０．
８
６５
　そこで、本件明細書に記載された各実施例（同【００７２】の【表１】）に基づき離型力の上限の値をみると、その値は「０．８」（実施例７）であり、このときのＢ割合は、同【００６０】のとおり、５質量％である。つまり、本件訂正前において、離型力の上限の値（「０．８」）は、本件訂正前の請求項１におけるＢ割合の下限の値（「５質量％」）に対応していたものである。
　そして、本件訂正後においても、離型力の上限の値は、本件訂正後の請求項１におけるＢ割合の下限の値に対応している。すなわち、本件明細書に記載された各実施例のうち、本件訂正後の請求項１（Ｂ割合が２０質量％以上２５質量％以下である。）に対応する実施例は、実施例４〜６及び実施例１０〜１２であると認められるところ、これらにおける離型力の上限の値は「０．６５」（実施例１０）であり、このときのＢ割合は、同【００６３】のとおり、２０質量％である。よって、本件訂正後で離型力の上限の値とされている「０．６５」は、本件訂正後の請求項１におけるＢ割合の下限の値である「２０質量％」に対応している。
　このように、訂正事項２は、本件訂正によりなされた（Ｂ割合の下限の値に係る）請求項１の訂正に伴い、（離型力の上限の値に係る）明細書の記載を訂正後の請求項１の記載と整合させるために行うものである。
　よって、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　イ　新規事項追加の有無
　上記アからも明らかなとおり、訂正事項２は、新規事項を追加するものではない。
　したがって、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　ウ　特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記ア及びイにも照らせば、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　エ　訂正事項２の小括
　よって、訂正事項２は、訂正要件を満たす。
（３）訂正事項３について
　ア　訂正の目的
　訂正事項３は、本件明細書の【０００６】における「前記重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物と前記末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物の合計１００質量％に対し当該末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物の割合」（すなわち、Ｂ割合）について、「
５
２０
　そうすると、訂正事項３が、本件訂正によりなされた請求項１の訂正に伴い、明細書の記載を訂正後の請求項１の記載と整合させるために行うものであることが明らかである。
　よって、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　イ　新規事項追加の有無
　上記アからも明らかなとおり、訂正事項３は、新規事項を追加するものではない。
　したがって、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　ウ　特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記ア及びイにも照らせば、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　エ　訂正事項３の小括
　よって、訂正事項３は、訂正要件を満たす。
（４）訂正事項４について
　ア　訂正の目的
　訂正事項４は、次の内容、すなわち、
　(i)　「前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合」（Ｂ割合）について、「
５
２０
　(ii)　「インプリント材料」について、「
［但し、当該インプリント材料は当該（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有しない］
　(iii)　「Ｒ１及びＲ２」について、「それぞれ独立に炭素原子数１乃至３のアルキル基」を表していたものから「
メチル基、エチル基、プロピル基又はイソプロピル基
　(iv)　「Ｒ０」について、「炭素原子数１乃至３のアルキレン基」を表していたものから「
メチレン基、−ＣＨ（ＣＨ３）−基、又はプロパン−２，２−ジイル
　からなるものである。
　しかるに、いずれの訂正も、明細書の記載を訂正後の請求項１の記載と整合させるために行うものであるといえる。
　よって、訂正事項４は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　イ　新規事項追加の有無
　上記アのとおり、訂正事項４は、明細書の記載を訂正後の請求項１の記載と整合させるために行うものであるところ、訂正後の請求項１に係る訂正事項１は、上記（１）イ［訂正事項１についての新規事項追加の有無］のとおり、新規事項を追加するものではない。よって、訂正事項４も、新規事項を追加するものではない。
　したがって、訂正事項４は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　ウ　特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記ア及びイにも照らせば、訂正事項４は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　エ　訂正事項４の小括
　よって、訂正事項４は、訂正要件を満たす。
（５）訂正事項５について
　ア　訂正の目的
　訂正事項５は、本件明細書の【００５４】乃至【００５６】及び【００６０】乃至【００６２】それぞれに記載された「実施例」を、「
参考
　したがって、訂正事項５は、本件訂正によりなされた請求項１の訂正に伴い、明細書の記載を訂正後の請求項１の記載と整合させるために行うものである。
　よって、訂正事項５は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　イ　新規事項追加の有無
　上記アからも明らかなとおり、訂正事項５は、新規事項を追加するものではない。
　したがって、訂正事項５は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　ウ　特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記ア及びイにも照らせば、訂正事項５は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　エ　訂正事項５の小括
　よって、訂正事項５は、訂正要件を満たす。
（６）訂正事項６について
　ア　訂正の目的
　訂正事項６は、本件明細書の【００７０】及び【００７１】それぞれに記載された「実施例１乃至実施例１２」を「実施例
４乃至実施例６、実施例１０
、参考例１乃至参考例３、参考例７乃至参考例９
　しかるに、上記（５）ア［訂正事項５についての訂正の目的］のとおり、本件訂正前の実施例１〜３及び７〜９は、「参考例」に位置づけられるべきものであった。そして、実施例４〜６及び１０〜１２は、本件訂正後の請求項１においても、引き続き、「実施例」に位置づけられるものである。
　そうすると、訂正事項６も、訂正事項５と同様に、本件訂正によりなされた請求項１の訂正に伴い、明細書の記載を訂正後の請求項１の記載と整合させるために行うものであるといえる。
　よって、訂正事項６は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　イ　新規事項追加の有無
　上記アからも明らかなとおり、訂正事項６は、新規事項を追加するものではない。
　したがって、訂正事項６は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　ウ　特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記ア及びイにも照らせば、訂正事項６は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　エ　訂正事項６の小括
　よって、訂正事項６は、訂正要件を満たす。
（７）訂正事項７について
　ア　訂正の目的
　訂正事項７は、上記１（７）のとおりであるが、これは、要するに、本件訂正前の「実施例１」〜「実施例３」及び「実施例７」〜「実施例９」を、それぞれ、「
参考
参考
参考
参考
　そして、上記（５）ア［訂正事項５についての訂正の目的］のとおり、本件訂正前の実施例１〜３及び７〜９は、「参考例」に位置づけられるべきものであった。
　そうすると、訂正事項７も、訂正事項５と同様に、本件訂正によりなされた請求項１の訂正に伴い、明細書の記載を訂正後の請求項１の記載と整合させるために行うものである。
　よって、訂正事項７は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　イ　新規事項追加の有無
　上記アからも明らかなとおり、訂正事項７は、新規事項を追加するものではない。
　したがって、訂正事項７は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　ウ　特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記ア及びイにも照らせば、訂正事項７は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　エ　訂正事項７の小括
　よって、訂正事項７は、訂正要件を満たす。
（８）訂正事項８について
　ア　訂正の目的
　訂正事項８は、次の内容、すなわち、
　(i)　本件明細書の【００７３】に記載された「実施例１乃至実施例１２」を、「実施例
４乃至実施例６及び実施例１０
　(ii)　同段落に記載された「０．８ｇ／ｃｍ」を「０．
６５
　からなるものである。
　そして、(i)及び(ii)の訂正は、それぞれ、上記（５）ア［訂正事項５についての訂正の目的］及び上記（２）ア［訂正事項２についての訂正の目的］と同様に、本件訂正によりなされた請求項１の訂正に伴い、明細書の記載を訂正後の請求項１の記載と整合させるために行うものである。
　よって、訂正事項８は、特許法第１２０条の５第２項ただし書き第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
　イ　新規事項追加の有無
　上記アからも明らかなとおり、訂正事項８は、新規事項を追加するものではない。
　したがって、訂正事項８は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　ウ　特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記ア及びイにも照らせば、訂正事項８は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　エ　訂正事項８の小括
　よって、訂正事項８は、訂正要件を満たす。
（９）訂正要件の判断の小括
　以上のとおり、本件訂正は、訂正要件を満たす。
　よって、本件特許の明細書、特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正明細書、訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項［１〜１３］について訂正することを認める。
第３　取消理由通知（決定の予告）の概要
　本件訂正後の請求項１〜１３に係る特許に対して、当審がした令和２年１月９日付け取消理由通知（決定の予告）の要旨は、次のとおりである。なお、以下、「甲第１号証」などの表記は、「第」及び「号証」を省いて、「甲１」などと表記する。
　１　本件訂正後の請求項１〜１３に係る発明は、その優先日前日本国内または外国において頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である甲１に記載された発明及び周知技術に基いて、その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、当該各請求項に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　２　本件訂正後の請求項１〜１３に係る発明は、その優先日前日本国内または外国において頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった文献である甲２に記載された発明及び周知技術に基いて、その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、当該各請求項に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　引用文献等一覧
　１．特開２００５−９２０９９号公報（甲１）
　２．特開２０１１−５４６８２号公報（甲２）
　３．特開２０１２−９９６３８号公報（甲３、周知例）
　４．「シルセスキオキサン誘導体　「光硬化性ＳＱシリーズ」」、東亜合成グループ研究年報　ＴＲＥＮＤ　２００９　第１２号、２７頁〜３０頁（甲４の１、周知例）
　５．「新機能を創造するナノインプリント技術　−総論と将来展望−」、精密工学会誌、Ｖｏｌ．７６，Ｎｏ．２，２０１０，１３７頁〜１４２頁（甲６の１、周知例）
　６．特開２００９−７３０７８号公報（周知例。特許異議申立書５２頁下から５行〜下から４行に特定されている文献である。）
第４　取消理由通知（決定の予告）に記載した取消理由についての当審の判断
　当審は、甲１発明に基づく進歩性欠如（上記第３［取消理由通知（決定の予告）の概要］の１）及び甲２発明に基づく進歩性欠如（上記第３［取消理由通知（決定の予告）の概要］の２）の各取消理由により、本件特許の請求項１〜１３についての特許を取り消すべきであると判断する。
　その理由は、以下のとおりである。
　１　本件訂正発明の認定
　本件訂正は上記第２のとおり認められたので、本件訂正後の請求項１〜１３に係る発明（以下、それぞれ、「本件訂正発明１」〜「本件訂正発明１３」といい、これらの発明を総称して、「本件訂正発明」という。）は、訂正特許請求の範囲の請求項１〜１３に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
［本件訂正発明１］
「下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分及び（Ｄ）成分を含有し、前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合が２０質量％以上２５質量％以下であるインプリント材料［但し、当該インプリント材料は当該（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有しない］。
（Ａ）：下記式（１）で表される繰り返し単位を有し、式中Ｘ０で表される重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物
（Ｂ）：下記式（２）で表される繰り返し単位を有し、末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物
（Ｃ）：光重合開始剤
（Ｄ）：溶剤
【化１】
（式中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立にメチル基、エチル基、プロピル基又はイソプロピル基を表し、Ｒ０はメチレン基、−ＣＨ（ＣＨ３）−基、又はプロパン−２，２−ジイル基を表し、ｋは０乃至３の整数を表す。）」
［本件訂正発明２］
「前記（Ａ）成分が完全かご型構造及び／又は不完全かご型構造、並びにランダム構造及びはしご型構造の混合体からなる、請求項１に記載のインプリント材料。」
［本件訂正発明３］
「（Ｅ）成分として界面活性剤を更に含有する、請求項１又は請求項２に記載のインプリント材料。」
［本件訂正発明４］
「前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の重合性基がアクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、ビニル基又はアリル基である、請求項１乃至請求項３のうちいずれか一項に記載のインプリント材料。」
［本件訂正発明５］
「前記式（１）で表される繰り返し単位において、式中ｋは３を表す、請求項１乃至請求項４のうちいずれか一項に記載のインプリント材料。」
［本件訂正発明６］
「請求項１乃至請求項５のうちいずれか一項に記載のインプリント材料から作製され、パターンが転写された膜。」
［本件訂正発明７］
「請求項６に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた光学部材。」
［本件訂正発明８］
「請求項６に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた固体撮像装置。」
［本件訂正発明９］
「請求項６に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えたＬＥＤデバイス。」
［本件訂正発明１０］
「請求項６に記載のパターンが転写された膜を備えた半導体素子。」
［本件訂正発明１１］
「請求項６に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた太陽電池。」
［本件訂正発明１２］
「請求項６に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えたディスプレイ。」
［本件訂正発明１３］
「請求項６に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた電子デバイス。」
　以下、次の略語を用いる。
　本件訂正発明１に特定されている「
前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計１００質量％に対」する「当該（Ｂ）成分の割合」を、「Ｂ割合」という
　本件訂正発明１に特定されている
「下記式（１）で表される繰り返し単位を有し、式中Ｘ０で表される重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物」
を、「特定シルセスキオキサン化合物」という
　本件訂正発明１に特定されている
「下記式（２）で表される繰り返し単位を有し、末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物」
を「特定シリコーン化合物」という
　２　甲１及び甲２の記載事項の認定
（１）甲１について
　ア　本件特許に係る出願の優先日前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった甲１（特開２００５−９２０９９号公報）には、次の事項が記載されている。
（ア）「【特許請求の範囲】」、
「
下記一般式（１）で表される３官能シラン化合物を加水分解し縮合させた加水分解縮合物であり、かつ一のケイ素原子の９０％以上が他の３つのケイ素原子とシロキサン結合してなるポリシロキサンを含み、光学物品の微細凹凸構造を形成するのに用いられることを特徴とする硬化性樹脂組成物。
　　　
ＲＳｉＸ３　　　　　・・・　一般式（１）
　
ただし、前記一般式（１）中、Ｒは、反応性不飽和基又は開環重合性基を含む基を表す。Ｘは、水酸基、又は加水分解性基を表す。
（イ）「前記一般式（１）において、Ｒは、反応性不飽和基又は開環重合性基を含有する基を表す。前記反応性不飽和基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、非芳香族の不飽和炭素−炭素結合（二重結合又は三重結合）を有する基、などが挙げられ、これらの中でも、エチレン性不飽和基が好適である。
　前記エチレン性不飽和基としては、炭素数２〜２０のものが好ましく、２〜１５のものがより好ましく、２〜１０のものが更に好ましく、例えば、（メタ）アクリロイル基、(メタ)アクリロイルオキシプロピル基、ビニル基、ビニルオキシ基、アリル基、シンナモイル基、等が挙げられ、これらの中でも、（メタ）アクリロイル基が特に好ましい。
　前記開環重合性基としては、炭素数２〜２０のものが好ましく、２〜１５のものがより好ましく、２〜１０のものが更に好ましく、例えば、エポキシ基、オキセタニル基、オキサゾリル基、等が挙げられ、これらの中でも、エポキシ基が特に好ましい。」（【００１８】）、
「以下、本発明に好適に使用されるラダーポリマー又はラダーオリゴマーの具体例を例示するが、これらに限定されるものではない。」（【００３８】）、
「【表４】
」（【００３９】。当審注：「Ｓ−６」〜「Ｓ−１４」までの表は省略。）、
「【表５】
」（【００４０】）、
「【表８】
」（【００４９】。当審注：「Ｓ−３７」〜「Ｓ−４７」までの表は省略。）、
「本発明の硬化性樹脂組成物には、前記
ポリシロキサンに加えて、硬度、脆性、基材への密着性、防塵性（帯電防止性）、防汚性、離型性等の観点から、更に必要に応じて、硬化剤、微粒子、シランカップリング剤、界面活性剤、離型剤等の各種添加剤を配合する
「前記硬化剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、分子中にエチレン性不飽和基（例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、ビニルオキシ基、アリル基等）、開環重合性基（例えば、エポキシ基、オキセタニル基、オキサゾリル基等）、反応性シリル基（例えば、アルコキシシリル基、アセトキシシリル基、ヒドロキシシリル基等）、重付加反応性基（例えば、イソシアネート基＋水酸基等、ビニル基＋ヒドロシリル基等）、重縮合反応性基（例えば、多塩基酸又はその無水物、Ｎ−メチロール基、アルデヒド基、カルボニル基、活性メチレン基、ヒドラジン基等）、などを有するモノマー、オリゴマー、又はプレポリマーが挙げられる。
　また、ブロックイソシアネートのように、分解反応の結果として架橋性を示す官能基を有するものも好適に挙げることができるが、好ましくは活性エネルギー線の作用により迅速に硬化するものであり、特にエチレン性不飽和基又は開環重合性基を有する化合物が好ましい。」（【００５４】）、
「前記シランカップリング剤は、防汚性、密着性等の観点から使用することができ、例えば、前記一般式（１）のシラン化合物又は非加水分解性のシラン化合物等を挙げることができる。特にシリカ等の微粒子を併用する場合に、マトリックスと粒子間の結合力を高める意味で有効な場合がある。
　前記シランカップリング剤の添加量は、硬化性樹脂組成物の全固形分の０．１〜３０質量％が好ましく、０．５〜２０質量％がより好ましく、１〜１０質量％が更に好ましい。」（【００５９】）、
「前記界面活性剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、フッ素系界面活性剤及びシリコーン系界面活性剤のいずれも使用することができる。
　前記フッ素系界面活性剤としては、例えば、スリーエム社製のフロラードＦＣ−４３１等のパーフルオロアルキルスルホン酸アミド基含有ノニオン、大日本インキ社製のメガファックＦ−１７１、Ｆ−１７２、Ｆ−１７３、Ｆ−１７６ＰＦ等のパーフルオロアルキル基含有オリゴマー等が挙げられる。
　前記シリコーン系界面活性剤としては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール等のオリゴマー等の各種の置換基で側鎖や主鎖の末端が変性されたポリジメチルシロキサン等が挙げられる。
　前記界面活性剤の添加量は、硬化性樹脂組成物の全固形分に対し０．００１〜１０質量％が好ましく、０．０１〜５質量％がより好ましく、０．５〜５質量％が更に好ましい。」（【００６０】）、
「前記微細凹凸構造を形状転写法により形成する場合には樹脂層には離型剤成分が含まれていることが好ましい。前記離型剤成分としては、シリコーン系素材が好ましい。該離型剤成分としては、市販品を用いることができ、例えば、ＡＫ−５、ＡＫ−３０、ＡＫ−３２（いずれも東亜合成株式会社製）、サイラプレーンＦＭ０２７５、サイラプレーンＦＭ０７２１(いずれもチッソ株式会社製)、ＫＦ−１００Ｔ、Ｘ−２２−１６９ＡＳ、ＫＦ−１０２、Ｘ−２２−３７０１ＩＥ、Ｘ−２２−１６４Ｂ、Ｘ−２２−１６４Ｃ、Ｘ−２２−５００２、Ｘ−２２−１７３Ｂ、Ｘ−２２−１７４Ｄ、Ｘ−２２−１６７Ｂ、Ｘ−２２１６１ＡＳ(いずれも、信越化学工業株式会社製)、ＲＭＳ０３３（アズマックス株式会社製）、などが挙げられる。」（【００６１】）、
「前記離型剤成分の添加量は、硬化性樹脂組成物の全固形分に対し１〜２０質量％が好ましく、２〜１５質量％がより好ましく、３〜１０質量％が更に好ましい。」（【００６２】）、
「本発明の硬化性樹脂組成物には、更に必要に応じて硬化触媒又は開始剤を配合することができる。例えば、エチレン性不飽和基の重合を開始するためにはラジカル重合開始剤が添加される。該ラジカル重合開始剤としては、熱の作用によりラジカルを発生する重合開始剤、又は活性エネルギー線の作用によりラジカルを発生する重合開始剤のいずれの使用も可能である。」（【００６３】）、
「前記熱の作用によりラジカル重合を開始する化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、有機過酸化物、無機過酸化物、有機アゾ化合物、ジアゾ化合物、などが好適である。前記有機過酸化物としては、例えば、過酸化ベンゾイル、過酸化ハロゲンベンゾイル、過酸化ラウロイル、過酸化アセチル、過酸化ジブチル、クメンヒドロぺルオキシド、ブチルヒドロぺルオキシド、等が挙げられる。前記無機過酸化物として、例えば、過酸化水素、過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム等が挙げられる。前記有機アゾ化合物としては、例えば、２−アゾービスーイソブチロニトリル、２−アゾービスープロピオニトリル、２−アゾ−ビスーシクロヘキサンジニトリル等が挙げられる。前記ジアゾ化合物としては、例えば、ジアゾアミノベンゼン、ｐ−ニトロベンゼンジアゾニウム、等が挙げられる。」（【００６４】）、
「前記活性エネルギー線の作用によりラジカル重合を開始する化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アセトフェノン類、ベンゾイン類、ベンゾフェノン類、ホスフィンオキシド類、ケタール類、アントラキノン類、チオキサントン類、アゾ化合物、過酸化物類、２，３−ジアルキルジオン化合物類、ジスルフィド化合物類、フルオロアミン化合物類、芳香族スルホニウム類、などが挙げられる。前記アセトフェノン類としては、例えば、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアセトフェノン、１−ヒドロキシジメチルフェニルケトン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−４−メチルチオ−２−モルフォリノプロピオフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン等が挙げられる。前記ベンゾイン類としては、例えば、ベンゾインベンゼンスルホン酸エステル、ベンゾイントルエンスルホン酸エステル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等が挙げられる。前記ベンゾフェノン類としては、例えば、ベンゾフェノン、２，４−ジクロロベンゾフェノン、４，４−ジクロロベンゾフェノン、ｐ−クロロベンゾフェノン等が挙げられる。前記ホスフィンオキシド類としては、例えば、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキシド等が挙げられる。
　なお、これらの光ラジカル重合開始剤と併用して増感色素も好ましく用いることができる。」（【００６５】）、
「前記熱又は活性エネルギー線の作用によってラジカル重合を開始する化合物の添加量としては、炭素−炭素二重結合の重合が開始する量であれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記硬化性樹脂組成物の全固形分に対し０．１〜１５質量％が好ましく、０．５〜５質量％がより好ましい。」
（【００６６】）、
「本発明の硬化性樹脂組成物は、前記ポリシロキサンを必須成分として、更に必要に応じてその他の成分を適宜配合して製造することができる。この場合、前記成分のいずれかが液状化合物である場合、該成分を溶剤として他の成分を溶解することができれば、別途溶剤を添加する必要はないが、このケースにあてはまらない場合には溶剤を用いて各構成成分を溶解することにより硬化性樹脂組成物を製造することができる。」（【００７１】）、
「（光学物品）
　本発明の光学物品は、本発明の前記硬化性樹脂組成物を用いて形成される微細凹凸構造層を有し、更に必要に応じてその他の部材を有する。
　前記微細凹凸構造層におけるポリシロキサンの縮合率（シロキサン結合を介して他の３つのケイ素原子と結合している一のケイ素原子(Ｔ３)の割合）は９５％以上が好ましく、９８％以上がより好ましく、１００％が最も好ましい。前記ポリシロキサンの縮合率が９５％未満であると、皮膜硬度が不足したり、硬化収縮により微細凹凸形状の変形が問題になることがある。」（【００７４】）、
「前記光学物品としては、可視光波長以下の周期的微細凹凸構造を利用した光学素子であれば特に制限はなく、微細凹凸のサイズ、形状に応じて適宜選択することができ、例えば、反射防止膜、反射防止フィルム、偏光分離素子、光導波路、レリーフホログラム、レンズ、光カード、光ディスク等の各種用途が挙げられる。これらの中でも、反射防止膜、反射防止フィルム等の反射防止材料用途に特に好適に用いられる。なお、前記光学物品の用途の詳細については、菊田久雄電子情報通信学会論文　Ｊ８３−Ｃ（３），ｐ．１７３−１８１（２０００）、などに詳細に記載されている。」（【００７５】）、
「前記光学物品の最表面における微細凹凸構造の凹凸周期（Λ）は１０〜４００ｎｍが好ましく、また、微細凹凸構造層の屈折率をｎとした時、Λ＜４００／ｎ（ｎｍ）がより好ましい。このような条件では可視光の散乱が起こらない。
　前記微細凹凸の高さ（深さ）は、５０〜１０００ｎｍが好ましく、２００〜１０００ｎｍがより好ましく、３００〜１０００ｎｍが更に好ましい。」（【００７６】）、
「前記微細凹凸形状の形成方法としては、特に制限はなく、公知の方法の中から目的に応じて適宜選択することができるが、安価であり、大面積加工の安定製造の観点から、相補的な微細凹凸構造を有するスタンパーを圧接して樹脂に形状を転写する方法、又は２種類の樹脂等の相分離を利用し、適切な溶剤を用いて１成分のみを溶出することにより微細凹凸構造を形成する方法等が好適に挙げられ、これらの中でも、特にスタンパーを用いた形状転写法が好ましい。」（【００７９】）、
「前記紫外線硬化樹脂に対して形状転写を行う場合には、（１）未硬化又は半硬化の樹脂を支持体に塗設した上に、前記スタンパーで圧接し、更に支持体の裏側から紫外線を照射して形状を転写しながら樹脂層を硬化させた後、スタンパーを剥離する方法、（２）未硬化又は半硬化の樹脂層にスタンパーを圧接して形状転写を行い、スタンパーを剥離した後に、紫外線照射を行って樹脂層を硬化させる方法、などがあり、本発明ではいずれの形態も好ましく用いられる。」（【００８２】）、
「−反射防止膜−
　本発明の光学物品としての反射防止膜は、本発明の前記硬化性樹脂組成物を用いて形成される微細凹凸構造層からなる。
　この場合、支持体の上に微細凹凸形状を保有する樹脂層を形成してから、装置（例えば、ディスプレイ等の画像表示装置）に配置して用いられることが好ましいが、微細凹凸構造層を装置に直接配置しても構わない。」（【００８７】）
（ウ）「【実施例】」、
「以下、本発明の実施例について説明するが、本発明はこの実施例に何ら限定されるものではない。」（【０１０４】）、
「（実施例１）
−硬化性樹脂組成物の調製−
　合成例１のポリシロキサン「Ｓ−５」９５質量部、離型剤としてのＲＭＳ０３３（商品名、アズマックス社製 メタクリロイル変性シリコーンオイル）５質量部、及び光ラジカル重合開始剤としてのイルガキュア（ＩＲＧ）９０７（商品名、チバスペシャリティーケミカル社製）５質量部を、メチルエチルケトンに３０質量％（固形分）となるように溶解し、実施例１の硬化性樹脂組成物を調製した。」（【０１１２】）、
「（実施例２）
−硬化性樹脂組成物の調製−
　合成例１のポリシロキサン「Ｓ−５」８０質量部、硬化剤としてのＤＰＨＡ（商品名、日本化薬社製、多官能硬化剤ＫＡＹＡＲＡＤ）１５質量部、離型剤としてのＲＭＳ０３３(商品名、アズマックス社製 メタクリロイル変性シリコーンオイル)５質量部、及び光ラジカル重合開始剤としてのイルガキュア（ＩＲＧ）９０７（商品名、チバスペシャリティーケミカル社製）５質量部を、メチルエチルケトンに３０質量％（固形分）となるように溶解し、実施例２の硬化性樹脂組成物を調製した。」（【０１１３】）、
「（実施例３）
−硬化性樹脂組成物の調製−
　合成例１のポリシロキサン「Ｓ−５」６５質量部、アクリロイル基修飾シリカ分散液（ＡＳｉＯ２、固形分２０質量％）２０質量部、硬化剤としてのＤＰＨＡ（商品名、日本化薬社製、多官能硬化剤ＫＡＹＡＲＡＤ）１０質量部、離型剤としてのＲＭＳ０３３(商品名、アズマックス社製 メタクリロイル変性シリコーンオイル)５質量部、及び光ラジカル重合開始剤としてのイルガキュア（ＩＲＧ）９０７（商品名、チバスペシャリティーケミカル社製）５質量部を、メチルエチルケトンに３０質量％（固形分）となるように溶解し、実施例３の硬化性樹脂組成物を調製した。」（【０１１４】）、
「（実施例４）
−硬化性樹脂組成物の調製−
　合成例１のポリシロキサン「Ｓ−５」５０質量部、硬化剤としてのＤＰＨＡ（商品名、日本化薬社製、多官能硬化剤ＫＡＹＡＲＡＤ）４５質量部、離型剤としてのＲＭＳ０３３(商品名、アズマックス社製 メタクリロイル変性シリコーンオイル)５質量部、及び光ラジカル重合開始剤としてのイルガキュア（ＩＲＧ）９０７（商品名、チバスペシャリティーケミカル社製）５質量部を、メチルエチルケトンに３０質量％（固形分）となるように溶解し、実施例４の硬化性樹脂組成物を調製した。」（【０１１５】）、
「（実施例５）
−硬化性樹脂組成物の調製−
　ポリシロキサン「Ｓ−１７」８０質量部、硬化剤としてのセロキサイド２０２１Ｐ（商品名、ダイセル化学工業株式会社製、２官能脂環式エポキシ硬化剤）、離型剤としてのＸ−２２−１６３Ｂ（商品名、信越シリコーン株式会社製、エポキシ基変性シリコーンオイル）５質量部、及び光重合開始剤としてのＵＶＩ６９９０（商品名、ユニオンカーバイド日本株式会社製）５質量部を、メチルエチルケトンに３０質量％（固形分）となるように溶解し、実施例５の硬化性樹脂組成物を調製した。」（【０１１６】）、
「（実施例６）
−硬化性樹脂組成物の調製−
　ポリシロキサン「Ｓ−３５」９０質量部、硬化剤としてのＤＰＨＡ（商品名、日本化薬社製、多官能硬化剤ＫＡＹＡＲＡＤ）５質量部、離型剤としてのＸ−２２−１６３Ｂ（商品名、信越シリコーン株式会社製、エポキシ基変性シリコーンオイル）５質量部、及び光重合開始剤としてのＵＶＩ６９９０（商品名、ユニオンカーバイド日本株式会社製）５質量部をメチルエチルケトンに３０質量％（固形分）となるように溶解し、実施例６の硬化性樹脂組成物を調製した。」（【０１１７】）、
「（実施例７）
−硬化性樹脂組成物の調製−
　ポリシロキサン「Ｓ−４８」５質量部、硬化剤としてのセロキサイド２０２１Ｐ（商品名、ダイセル化学工業株式会社製 ２官能脂環式エポキシ硬化剤）、離型剤としてのＲＭＳ０３３(商品名、アズマックス社製 メタクリロイル変性シリコーンオイル)５質量部、及び光ラジカル重合開始剤としてのイルガキュア（ＩＲＧ）９０７（商品名、チバスペシャリティーケミカル社製）５質量部を、メチルエチルケトンに３０質量％（固形分）となるように溶解し、実施例７の硬化性樹脂組成物を調製した。」（【０１１８】）、
「【表１０】
＊表１０中、（　）内の数字は各成分の質量部を表す。」（【０１２１】）、
「−反射防止フィルムの作製−
　厚み１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に実施例１〜７及び比較例１〜２の各硬化性樹脂組成物をバーコーターを用いて膜厚３μｍになるように塗布した後、９０℃にて５分間乾燥した。
　次に、該フィルムの樹脂層塗布面上に、周期約２５０ｎｍ×高さ約２５０ｎｍの円錐形状の周期的微細凹凸構造を有するＮｉ材質のスタンパーを押し当て、１ＭＰａの圧力をかけて１分間スタンパーとフィルムを圧接した後、ＰＥＴフィルムの裏面から７５０ｍＪ／ｃｍ２のエネルギーで紫外線を照射して樹脂層を硬化させた。その後、フィルムとスタンパーを剥離し、更に、窒素雰囲気下（酸素濃度０．１％）、樹脂層の表面から７５０ｍＪ／ｃｍ２のエネルギーで紫外線を照射して、表面に微細凹凸構造の形成された実施例１〜７及び比較例１〜２の各反射防止フィルムを作製した。」（【０１２２】）
　イ　上記アによれば、甲１には、【００５３】及び請求項１の記載に基づいた、次の発明（以下「甲１発明」という。）が記載されていると認められる。なお、甲１発明の認定に用いた段落等を参考までに括弧内に付してある（以下同じ。）。
「ポリシロキサンに加えて、硬度、脆性、基材への密着性、防塵性（帯電防止性）、防汚性、離型性等の観点から、硬化剤、微粒子、シランカップリング剤、界面活性剤、離型剤等の各種添加剤を配合した、硬化性樹脂組成物であって、（【００５３】）
　前記ポリシロキサンは、下記一般式（１）で表される３官能シラン化合物を加水分解し縮合させた加水分解縮合物であり、かつ一のケイ素原子の９０％以上が他の３つのケイ素原子とシロキサン結合してなるポリシロキサンを含み、光学物品の微細凹凸構造を形成するのに用いられる硬化性樹脂組成物、
ＲＳｉＸ３・・・一般式（１）
ただし、前記一般式（１）中、Ｒは、反応性不飽和基又は開環重合性基を含む基を表す。Ｘは、水酸基、又は加水分解性基を表す。（【請求項１】）」
（２）甲２について
　ア　本件特許に係る出願の優先日前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった甲２（特開２０１１−５４６８２号公報）には、次の事項が記載されている。
（ア）「【特許請求の範囲】」、
「
光照射により重合する重合性基を有するシロキサンポリマー（Ａ）と、
　
末端変性シロキサン化合物（Ｂ）と、
　
重合開始剤（Ｃ）と、
　
を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
「
末端変性シロキサン化合物（Ｂ）が下記式（Ｂ１）で表され
【化１】
式（Ｂ１）中、
ｓは、１〜２０の整数であり、
Ｒ３は、メチル基または水素原子であり、
Ｒ４は、炭素数１〜９のアルキレン基であり、
Ｘ、Ｙは独立に、炭素数１〜
のアルキル基
であり、
【化２】
Ｚは、
（ＩＩ）で表される基（式（ＩＩ）中Ｒ３’はメチル基または水素原子であり；Ｒ４’は炭素数１〜９のアルキレン基）である
【化３】
」（【請求項２】）、
「
前記シロキサンポリマー（Ａ）が下記一般式（Ａ１）で表される
【化４】
式（Ａ１）中、Ｒ１は、エチレン性不飽和二重結合を含有する基であり、Ｒ０は炭素数１〜９のアルキレン基であり、異なるＲ０を有する場合があってもよく、Ｒ２はアルキル基、アリール基、または水素原子であり、異なるＲ２を有する場合があってもよく、ｍ：ｎは５０：５０〜１００：０の範囲である
「
シロキサンポリマー（Ａ）と末端変性シリコーンオイル（Ｂ）の質量比（Ｗ（Ａ）／ＷＢ））が３０／７０〜９０／１０の範囲である
（イ）「【発明を実施するための形態】」、
「実施の形態に係る感光性樹脂組成物は、光照射により重合する重合性基を有するシロキサンポリマー（Ａ）と、末端変性シロキサン化合物（Ｂ）と、重合開始剤（Ｃ）と、を含有する。以下、実施の形態に係る感光性樹脂組成物の各成分について詳述する。なお、実施の形態に係る感光性樹脂組成物の用途は、特に限定されないが、リソグラフィ、特にナノインプリントリソグラフィの他に、その透明性を活かして照明器具などの保護膜や光散乱膜への適用が可能である。」（【００１１】）、
「式（Ａ１）中、Ｒ１におけるエチレン性不飽和二重結合を含有する基としては、末端にエチレン性不飽和二重結合を有するものが好ましく、特に、下記式で表されるものが好ましい。」（【００１４】）、
「【化２】
」（【００１５】）、
「式（Ａ１）で表されるシロキサンポリマーとして、特に好ましくは下記式（Ａ１−１）あるいは下記式（Ａ１−２）で示されるものが挙げられる。」（【００２１】）、
「【化４】
」（【００２３】）、
「（Ｂ）末端変性シロキサン化合物
　実施の形態に係る感光性樹脂組成物を構成する末端変性シロキサン化合物（Ｂ）（以下、（Ｂ）成分ということがある。）は、末端変性シリコーンオイルの一種であり、下記式（Ｂ１）で表される。」（【００２６】）、
「シロキサンポリマー（Ａ）と末端変性シリコーンオイル（Ｂ）の質量比[Ｗ（Ａ）／Ｗ（Ｂ）]の好ましい範囲は、３０／７０〜９０／１０であり、より好ましくは３５／６５〜８０／２０であり、さらに好ましくは４０／６０〜７５／２５である。質量比[Ｗ（Ａ）／Ｗ（Ｂ）]が３０／７０以上であると、光照射により得られる硬化膜における硬化収縮の抑制硬化が高まる。一方、質量比[Ｗ（Ａ）／Ｗ（Ｂ）]が９０／１０より以下であると、本願組成物の各成分の相溶性や安定性に優れ、本願組成物を無溶剤化する場合に好適となる。」（【００３４】）、
「（Ｃ）重合開始剤
　重合開始剤（Ｃ）（以下、（Ｃ）成分ということがある。）は、光照射時にシロキサンポリマー（Ａ）の重合を開始、促進させる化合物であれば、特に限定されない・・・。」（【００３５】）、
「これらの重合開始剤は市販のものを用いることができ、たとえばＩＲＧＡＣＵＲＥ　９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ　３６９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ　６５１、（いずれも、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）等が市販されている。これらの重合開始剤は、いずれか１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。」（【００３７】）、
「なお、実施の形態に係る感光性樹脂組成物に溶媒（Ｄ）を添加することも可能である。溶媒（Ｄ）としては、特に（Ｂ）成分との相溶性が良好なことから、アルコール類が好ましく、具体的には・・・などが挙げられる。これらの溶剤は、いずれか１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。上記のなかでも、鎖状構造のアルコール類が好ましく、特に好ましくは、イソプロピルアルコール、エタノール、メタノール、１−ブトキシ−２−プロパノールである。」（【００３９】）、
「（パターン形成方法）
　図１は、実施の形態に係る感光性樹脂組成物を用いたナノインプリントリソグラフィによるパターン形成方法を示す工程図である。」（【００４０】）、
「まず、図１（Ａ）に示すように、基板１０に、感光性樹脂組成物２０を塗布し、感光性樹脂組成物２０の塗布層を形成する。基板１０は、ポリカーボネート基板、アクリル系基板、ガラス基板、フィルム、半導体微細加工が施されるＳｉウェハ、銅配線、絶縁層などからなる。」（【００４１】）、
「感光性樹脂組成物２０を塗布する際は、バーコーター、ダイコーター、ロールコーター、リバースコーター、スリットコーター、スプレー等を用いる。感光性樹脂組成物２０は、その後に実施されるパターン形成等の加工のため基板１０に塗布されたときの厚みが均一であることが好ましい。このため、感光性樹脂組成物２０を基板１０上に積層する際には、バーコーター、またはダイコーターが好適である。」（【００４２】）、
「次に、図１（Ｂ）に示すように、感光性樹脂組成物２０が積層された基板１０に、凹凸構造の所定パターンが形成されたモールド３０を、感光性樹脂組成物２０に対向して押し付け、感光性樹脂組成物２０をモールド３０の凹凸構造のパターンに合わせて変形させる。」（【００４３】）、
「次に、図１（Ｃ）に示すように、モールド３０を押圧した状態で、感光性樹脂組成物２０に露光を行う。具体的には、紫外線（ＵＶ）などの電磁波が感光性樹脂組成物２０に照射される。露光により、モールド３０が押圧された状態で感光性樹脂組成物２０が硬化し、モールド３０の凹凸構造が転写された感光性樹脂組成物２０からなるレジスト膜が形成される。なお、モールド３０は、照射される電磁波に対して透過性を有する。」（【００４４】）、
「次に、図１（Ｄ）に示すように、基板１０からモールド３０を剥離する。これにより、硬化した状態の感光性樹脂組成物２０が基板１０上にパターニングされる。このように、感光性樹脂組成物２０が硬化した状態でモールド３０を基板１０から剥離することにより、モールド３０の押圧を低圧化しつつ、形成されるパターン形状の、モールド３０の凹凸構造に対する追随性を向上させることができる。」（【００４５】）、
「このようにして、耐熱性、耐クラック性を有する良好な加工膜を得ることができる。について、シロキサン結合(Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ)を主骨格に有さないような有機系の化合物を用いた場合は、本発明の感光性樹脂組成物よりも耐熱性に劣り、また仮に耐熱性を有する有機系の化合物であっても、ナノインプリントリソグラフィによる加工の容易性が劣ると考えられる。本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、３〜１００μｍの厚膜を形成した後、さらにその膜表面を容易に加工することが可能である。」（【００４６】）
（ウ）「【実施例】」、
「以下、本発明の実施例を説明するが、これら実施例は、本発明を好適に説明するための例示に過ぎず、なんら本発明を限定するものではない。」（【００４７】）、
「下記表１に示す各成分を混合、溶解して感光性樹脂組成物を調整した。」（【００４８】）、
「【表１】
表１中の記号はそれぞれ以下のものを示す。なお、「（Ａ）／（Ｂ）」は（Ａ）成分と（Ｂ）成分の質量比である。（Ｃ）成分［］の数値は、（Ａ）成分および（Ｂ）成分を１００質量部としたときの配合量である。
（Ａ）−１：下記式（Ａ）−１で表される化合物（Ｍｗ２０００、東レ・ファインケミカル（株）製、式中の括弧の隅にある値はモル比である）」（【００４９】）、
「【化９】
（Ａ）−２：下記式（Ａ）−２で表される化合物（Ｍｗ２０００、東レ・ファインケミカル（株）製、式中の括弧の隅にある値はモル比である）」（【００５０】）、
「【化１０】
（Ｂ）−１：テトラエトキシシラン
（Ｂ）−２：下記式（Ｂ）−２で表される化合物（ｍは３〜８、Ｍｗ４００〜７００）」（【００５１】）、
「【化１１】
（Ｂ）−３：下記式（Ｂ）−３で表される化合物（ｍは５〜１０、粘度１０ｃｍ２／ｓ）」（【００５２】）、
「【化１２】
（Ｃ）−１：ＩＲＧＡＣＵＲＥ９０７（Ｃｉｂａ社製）」（【００５３】）
　イ　上記アによれば、甲２には、甲２の請求項１を引用する請求項２を引用する請求項３を引用する請求項４において、式（Ｂ１）におけるＺが式（ＩＩ）であり、式（Ｂ１）におけるＸ、Ｙが独立に炭素数１〜３のアルキル基であり、式（Ａ１）におけるＲ０が炭素数１〜３のアルキレン基である場合に基づいた、次の発明（以下「甲２発明」という。）が記載されていると認められる。
「光照射により重合する重合性基を有するシロキサンポリマー（Ａ）と、
　末端変性シロキサン化合物（Ｂ）である末端変性シリコーンオイル（Ｂ）と、
　重合開始剤（Ｃ）と、
　を含有する感光性樹脂組成物であって、（【請求項１】）
　末端変性シロキサン化合物（Ｂ）が下記式（Ｂ１）で表され、
【化１】
　式（Ｂ１）中、
　ｓは、１〜２０の整数であり、
　Ｒ３は、メチル基または水素原子であり、
　Ｒ４は、炭素数１〜９のアルキレン基であり、
　Ｘ、Ｙは独立に、炭素数１〜３のアルキル基であり、
　Ｚは、式（ＩＩ）で表される基（式（ＩＩ）中Ｒ３’はメチル基または水素原子であり；Ｒ４’は炭素数１〜９のアルキレン基）であり、
【化３】
（【請求項２】）
　前記シロキサンポリマー（Ａ）が下記一般式（Ａ１）で表され、
【化４】
　式（Ａ１）中、Ｒ１は、エチレン性不飽和二重結合を含有する基であり、Ｒ０は炭素数１〜９のアルキレン基であり、異なるＲ０を有する場合があってもよく、Ｒ２はアルキル基、アリール基、または水素原子であり、異なるＲ２を有する場合があってもよく、ｍ：ｎは５０：５０〜１００：０の範囲であり、（【請求項３】）
　シロキサンポリマー（Ａ）と末端変性シリコーンオイル（Ｂ）の質量比（Ｗ（Ａ）／Ｗ（Ｂ））が３０／７０〜９０／１０の範囲である、（【請求項４】）
　感光性樹脂組成物。」
　３　甲１発明に基づく進歩性欠如
（１）本件訂正発明１について
　ア　本件訂正発明１と甲１発明との対比
（ア）甲１発明における「ポリシロキサン」は、次のとおり、本件訂正発明１における特定シルセスキオキサン化合物であるといえる。
　甲１発明における「ポリシロキサン」は、「一般式（１）で表される３官能シラン化合物を加水分解し縮合させた加水分解縮合物」であるとともに、一般式（１）で表される３官能シラン化合物は、「反応性不飽和基又は開環重合性基」を含む基「Ｒ」を有している。そうすると、甲１発明における「ポリシロキサン」は、「−（Ｒ−）ＳｉＯ１．５−」で表されるシルセスキオキサン化合物であるといえる。そして、甲１発明における「ポリシロキサン」の「Ｒ−」は、「反応性不飽和基又は開環重合性基」である。
　よって、甲１発明における上記シルセスキオキサン化合物は、本件訂正発明１における「式（１）で表される繰り返し単位を有し、式中Ｘ０で表される重合性基を２つ以上有する」との要件を満たすことになるから、特定シルセスキオキサン化合物である。
（イ）本件訂正発明１の特定シリコーン化合物は、本件訂正後の明細書（以下「本件訂正明細書」という。）の【００１８】の「本発明のインプリント材料における（Ｂ）成分の割合は、上記（Ａ）成分と（Ｂ）成分の合計１００質量％に対し、５質量％以上２５質量％以下である。この割合が５質量％未満である場合には十分な低離型力性を得ることができ」ないとの記載からみて、離型力を小さくする機能があるものと認められる。よって、本件訂正発明１の特定シリコーン化合物と甲１発明の「離型剤」とは、「離型剤」である点で共通する。
（ウ）甲１発明の「硬化性樹脂組成物」は、本件訂正発明１の「インプリント材料」と、「材料」である点で共通する。
　イ　一致点及び相違点の認定
　上記アによれば、本件訂正発明１と甲１発明とは、
「下記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分を含有する材料。
　（Ａ）：特定シルセスキオキサン化合物
　（Ｂ）：離型剤」
　である点で一致し、次の点で相違する。
［相違点１の１］（Ｂ）成分である離型剤について、本件訂正発明１は、特定シリコーン化合物であるのに対し、甲１発明は、そうとは特定されていない点。
［相違点１の２］（Ｃ）成分について、本件訂正発明１は、「光重合開始剤」であるのに対し、甲１発明は、「光重合開始剤」を含んでいるとは特定されていない点。
［相違点１の３］（Ｄ）成分について、本件訂正発明１は、「溶剤」であるのに対し、甲１発明は、「溶剤」を含んでいるとは特定されていない点。
［相違点１の４］「材料」について、本件訂正発明１は、「インプリント材料」であるのに対し、甲１発明は、「硬化性樹脂組成物」であって、「インプリント材料」であるとは特定されていない点。
［相違点１の５］Ｂ割合について、本件訂正発明１は、「２０質量％以上２５質量％以下」であるのに対し、甲１発明は、特定されていない点。
［相違点１の６］本件訂正発明１は、「当該インプリント材料は当該（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有しない」ものであるのに対し、甲１発明は、そのように特定されていない点。
　ウ　相違点１の１について
（ア）甲１の【００６１】には、離型剤成分として、「Ｘ−２２−１６９ＡＳ」、「Ｘ−２２−１６４Ｂ」及び「Ｘ−２２−１６４Ｃ」を用いることができる旨が記載されている。
　そして、これらの離型剤成分は、それぞれ、下図で製品名が「Ｘ−２２−１６９ＡＳ」、「Ｘ−２２−１６４Ｂ」及び「Ｘ−２２−１６４Ｃ」であるとして表されたシリコーンオイルであると認められる。
　なお、この認定は、「信越シリコーン　反応性・非反応性変性シリコーンオイル」のカタログ（https://www.silicone.jp/catalog/pdf/ModifiedSiliconeFluid_J.pdf、２０１８年９月、上図はその抜粋）に基づいて行ったものであるところ、上記カタログの発行日は、本件特許に係る出願の優先日の後であるけれども、当該優先日前においても、これらの製品名が具体的に意味する内容に特段の変更はないものと推認される。
（イ）しかるに、甲１に記載されたこれらの離型剤成分（Ｘ−２２−１６９ＡＳ、Ｘ−２２−１６４Ｂ、Ｘ−２２−１６４Ｃ）は、特定シリコーン化合物に相当するものと認められる。なお、Ｘ−２２−１６４Ｂ及びＸ−２２−１６４Ｃについての当該認定は、これらの化合物が、本件訂正明細書の【００１６】に、本件訂正発明１の「（Ｂ）成分の化合物」の例として記載されていることからも裏付けられる。
　そうすると、甲１発明の離型剤として、これらの離型剤成分（Ｘ−２２−１６９ＡＳ、Ｘ−２２−１６４Ｂ、Ｘ−２２−１６４Ｃ）のいずれか一つを選択して、相違点１の１のようにすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
（ウ）これに対し、特許権者は、令和２年３月１３日付け意見書（以下、単に「意見書」という。）９頁６行〜１１頁４行において、「（Ｂ）：離型剤」を一致点とした認定及び相違点１の１の認定（上記イ）が誤っている旨主張し、その根拠として、
　(i)　本件訂正発明１の（Ｂ）成分は、引き剥がし力の程度までをも考慮した点において、それを考慮しない甲１発明の「離型剤」とは異なること、
　(ii)　本件訂正発明１の（Ｂ）成分は、必須成分である点において、任意成分である甲１発明の「離型剤」とは異なること、
　を挙げる。
　しかしながら、(i)については、本件訂正発明１の（Ｂ）成分が、引き剥がし力の程度までを考慮するものであるのだとしても、それが「離型剤」といえることには変わりないから、特許権者の主張は、上記イでした「（Ｂ）：離型剤」を一致点とする認定を左右しない。
　(ii)については、組成物に含まれる成分が必須成分なのか任意成分なのかは、当該組成物における構成上の差異をもたらすものではないし、さらにいえば、このように構成上の差異をもたらさないことは、次の点、すなわち、甲１発明の「離型剤」が、離型性の観点からは、配合されることが望ましい（甲１の【００５３】）ものである以上、当業者が、甲１の記載に基づき「離型剤」を含む甲１発明を把握することに差し支えがない点、からみても、明らかである。
　したがって、特許権者の主張は、失当である。
　エ　相違点１の２について
　甲１の【００６３】には、本発明の硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、活性エネルギー線の作用によりラジカルを発生する重合開始剤を使用できる旨が記載されているところ、同【００６５】末文（「なお、これらの光ラジカル重合開始剤と併用して・・・」と記載されている。）によれば、かかる「活性エネルギー線の作用によりラジカル重合を開始する化合物」として、光ラジカル重合開始剤も想定されていると解される。
　そうすると、甲１発明において、光ラジカル重合開始剤を含むようにして、相違点１の２のようにすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　オ　相違点１の３について
　甲１の【００７１】には、溶剤を用いて各構成成分を溶解することにより硬化性樹脂組成物を製造することができる旨が記載されている。また、甲１の【００８２】には、甲１に記載された発明における感光性樹脂を、未硬化又は半硬化の状態で支持体に塗設する旨が記載されているところ、支持体に樹脂を塗設する場合に溶剤を用いることは技術常識でもある。さらに、甲１の各実施例（【０１１２】〜【０１１８】）は、溶剤を用いている。
　そうすると、甲１発明において、必要に応じて溶剤を用いて、相違点１の３のようにすることは、当業者が適宜なし得たことである。
　カ　相違点１の４について
　甲１には、甲１に記載された硬化性樹脂組成物を用いて微細凹凸構造層が形成されること（【００７４】）、微細凹凸構造の凹凸周期（Λ）は１０〜４００ｎｍが好ましく、凹凸の高さは５０〜１０００ｎｍが好ましいこと（【００７６】）、微細凹凸形状の形成方法としては、スタンパーを用いた形状転写法が好ましいこと（【００７９】）、が記載されている。そうすると、甲１には、甲１に記載された硬化性樹脂組成物をインプリント材料に使用することが記載されていると認められる。
　よって、甲１発明に係る硬化性樹脂組成物をインプリント材料に使用するようにして、相違点１の４のようにすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　キ　相違点１の５について
（ア）ａ　甲１の【００６２】には、「前記離型剤成分の添加量は、硬化性樹脂組成物の全固形分に対し１〜２０質量％が好ましく、２〜１５質量％がより好ましく、３〜１０質量％が更に好ましい。」と記載されている。そして、甲１の【００５３】には、「本発明の硬化性樹脂組成物には、・・・離型性の観点から、・・・離型剤・・・を配合することができる。」と記載されている。よって、当業者は、甲１発明に配合されている離型剤成分につき、離型性の観点から、その添加量を調整できるといえる。
　他方で、当業者は、甲１発明が「硬化性」樹脂組成物に係るものであることから、その「硬化」が阻害されてはならないことも当然に認識する。
　このように、当業者は、甲１発明において、離型性の確保と硬化性の確保の双方に着目する契機があるといえるところ、このような当業者からすれば、甲１発明において、離型剤成分の添加量を多くすれば、硬化性樹脂組成物の離型性が優れることとなる一方で、重合性成分の濃度が低下して硬化を阻害するおそれがあることが自明であるし、逆に、離型剤成分の添加量を少なくすれば、硬化物の離型性が劣ることとなることも自明である。また、硬化物の離型性は、硬化性樹脂組成物を構成する成分の種類にも影響を受けることが明らかである。
　以上によれば、甲１発明において、離型剤成分の添加量を、硬化を阻害しない範囲で所望の離型性が得られるように、硬化性樹脂組成物を構成する成分の種類に応じて最適化することは、当業者が適宜なし得たことである。
　ｂ　ところで、甲１の上記記載は、硬化性樹脂組成物の全固形分に対する離型剤成分の添加量につき「１〜２０質量％が好まし」いとしているにとどまるから、甲１発明において、前記離型剤成分の添加量が「２０質量％」を超えた場合を排除しているとは解されない。そして、上記ａで認定した定性的な傾向が、甲１発明において、前記離型剤成分の添加量が「１〜２０質量％」とされた場合のみならず、「２０質量％」を超えた場合であっても維持されることは、明らかである。
　そうすると、甲１発明において、離型剤成分の添加量を、硬化を阻害しない範囲で所望の離型性が得られるように、硬化性樹脂組成物を構成する成分の種類に応じて最適化しつつ、その結果、Ｂ割合が２０質量％以上２５質量％以下であるようにすることも、当業者が適宜なし得たことといえる。
（イ）ａ　これに対し、特許権者は、本件訂正発明１の（Ｂ）成分は、（Ａ）成分と特定の割合で組み合わせることにより、初めて本件訂正発明１の効果を発現させるものであって、（Ｂ）成分単独で本件訂正発明１の効果を発現させるものではない一方、甲１発明の離型剤は、単に離型性を付与する任意成分に過ぎないから、甲１に離型剤成分及びその添加量に関する記載があったからといって、当該記載に基づいて、直ちに特定のシリコーン化合物と特定のシルセスキオキサン化合物とを特定の割合で組み合わせることが容易に想到されることにはならない旨主張する（意見書１１頁下から１２行〜１２頁３行）。
　しかしながら、特許権者の主張は、上記（ア）の認定判断を左右するものではない。
　ｂ　さらに、特許権者は、
　(i)　本件訂正発明１におけるＢ割合と甲１発明における離型剤成分の添加量とは、基準が異なる、
　(ii)　甲１の【００６２】の離型剤成分の添加量は、特段の技術的意義を有するものではない、
　(iii)　同【００６２】には、離型剤成分の添加量は、最大でも２０質量％以下であることが好ましい旨の記載があるにもかかわらず、当該記載に反して、離型剤成分の添加量を２０質量％以上２５質量％以下にする積極的な動機は言い出せない、
　などと主張する（意見書１２頁下から１３行〜１３頁４行）。
　しかしながら、(i)については、Ｂ割合と甲１発明における離型剤成分の添加量とが基準が異なるとしても、それをもって、ただちに、上記（ア）の認定判断が左右されることにはならないし、このことは、次の点、すなわち、甲１発明における添加量（質量％）は、硬化性樹脂組成物の全固形物に対する離型剤成分の添加量であるから、当該添加量（質量％）の分母を構成する全固形分の質量は、「ポリシロキサン」と「離型剤成分」以外の物質をも含み得るのであり、よって、当該添加量（質量％）でいう２０質量％が、本件訂正発明１のＢ割合に換算すると、２０質量％以上の値となるという点、からみても明らかである。
　(ii)については、甲１の【００６２】の記載の技術的意義については、上記（ア）ａのとおり、甲１発明において、離型剤成分の添加量を多くすれば、硬化性樹脂組成物の離型性が優れることとなる一方で、重合性成分の濃度が低下して硬化を阻害するおそれがあること、逆に、離型剤成分の添加量を少なくすれば、硬化物の離型性が劣ることとなることが、自明である。そして、このような技術的意義が自明である以上、当業者は、上記（ア）ａ及びｂのとおり、甲１発明において相違点１の５に係る構成に至るのである。
　(iii)については、上記（ア）ｂで認定判断したとおりである。
　なお、本件訂正発明においてＢ割合を２０質量％以上２５質量％以下としたことに格別の効果がないことは、後述（後記ケ）する。
　したがって、特許権者の主張は、失当である。
　ク　相違点１の６について
　甲１発明は、ポリシロキサンに加えて、「硬度、脆性、基材への密着性、防塵性（帯電防止性）、防汚性、離型性等の観点から、硬化剤、微粒子、シランカップリング剤、界面活性剤、離型剤等の各種添加剤を配合した」ものであるところ、これらの添加剤のうち、相違点１の６の判断に関連して問題となる重合性基含有化合物には、離型剤のほか、硬化剤やシランカップリング剤などが考えられる。
　しかしながら、甲１においては、【００５３】及び【００５９】によれば、硬化剤は硬度などの関係から、また、シランカップリング剤は基材への密着性や防汚性などの関係から、いずれも、「必要に応じて」配合することができるものと位置づけられているにとどまるのであり、実際、甲１の【０１２１】の実施例１では、硬化剤やシランカップリング剤は含まれていない。
　そうすると、甲１発明において、離型性の観点から離型剤を配合することを維持しつつ、所望の硬度などの関係で、硬化剤を配合することを不要とし、さらに、基材への密着性や防汚性などの観点からも、シランカップリング剤を配合することを不要として、相違点１の６のようにすることは、当業者が適宜なし得たことである。
　ケ　本件訂正発明１の効果について
（ア）本件訂正発明１の効果である、低離型力性を有するとともに、例えば２６０℃の温度に曝されても分解物の昇華が見られないという効果（本件訂正明細書の【０００８】）は、甲１の記載に基づいて予測可能である。
　すなわち、甲１発明には「離型剤」が配合されているところ、離型剤の添加量をある程度大きくすれば、離型性がよくなること、すなわち、離型力が小さくなることは、当業者にとって自明である。
　また、甲１の【００３９】のＳ１〜Ｓ５や【００４９】のＳ３５〜Ｓ３６は、シルセスキオキサン化合物であるところ、これらの化合物は、その構造からみて変形しにくいことが明らかであるから、当業者は、これらの化合物が耐熱性に優れることを予測できる。他方、甲１の【００６１】に記載された離型剤である「Ｘ−２２−１６９ＡＳ」、「Ｘ−２２−１６４Ｂ」及び「Ｘ−２２−１６９Ｃ」は、長鎖状の化学構造を有するから、当業者は、これらの離型剤が、シルセスキオキサン化合物に比べて耐熱性に劣ることを予測できる。
　そうすると、当業者は、甲１発明において、これらのシルセスキオキサン化合物及び離型剤を採用した場合に、前者の配合割合が増加すれば耐熱性に優れる方向になるとともに後者の配合割合が増加すれば耐熱性に劣る方向になることも予測できる。
　よって、本件訂正発明１の効果である、低離型力性を有するとともに、例えば２６０℃の温度に曝されても分解物の昇華が見られないという効果は、甲１の記載に基づいて、当業者が予測可能なものである。
　本件訂正発明１の他の効果も、甲１の記載に基づいて当業者が予測可能なものである。
（イ）特許権者は、本件発明１の効果は甲１発明の効果とは異質なものであり、また、予測できるものではない旨主張し、その根拠として、
　(i)　本件発明１は、低離型力性と耐熱性とを両立した硬化膜を形成できるという効果を奏するのに対し、甲１発明は、光学特性及び耐傷性に優れた微細凹凸構造保有型の光学物品を生産するのに好適な硬化性樹脂組成物を提供できるという効果を有することから、両発明の間で作用効果は共通しないこと、
　(ii)　甲１発明における離型剤成分の添加量は最大でも２０質量％以下であり、実施例において、当該添加量はすべて５質量部であることから、甲１発明における離型力は、本件発明１における離型力よりも高いと推測されること、
　を挙げる（意見書１３頁１４行〜１４頁３行）。
　しかしながら、(i)については、特許権者の主張は、上記（ア）の認定判断を左右するものではない。
　（ii）については、甲１発明において、離型剤成分の添加量が２０質量％以下の場合に相当するＢ割合の値は、本件訂正発明１のＢ割合の値とさほど相違するものではないから、甲１発明の離型力の大きさも、本件訂正発明１のそれと比べて、さほど相違するものではないし、いずれにせよ、上記（ア）のとおり、本件訂正発明１の効果である低離型力性を有するという効果は、甲１の記載に基づいて、当業者が予測可能である。
　したがって、特許権者の主張は、失当である。
　コ　本件訂正発明１についての小括
　したがって、本件訂正発明１は、甲１発明及び甲１に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（２）本件訂正発明２について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明２と甲１発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点１の１〜相違点１の６で相違するとともに、次の点で一応相違する。
［相違点１の７］（Ａ）成分である特定シルセスキオキサン化合物について、本件訂正発明２は、「完全かご型構造及び／又は不完全かご型構造、並びにランダム構造及びはしご型構造の混合体からなる」のに対し、甲１発明は、そうであるのか明らかでない点。
　イ　相違点１の１〜相違点１の６の判断
　上記（１）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点１の７の判断
　甲４の１の２７頁右欄下から８行〜下から５行のとおり、シルセスキオキサン誘導体は、ランダム構造やかご型構造などの混合物からなっているのが通常であるし、このようになっていることは周知でもある（以下「周知技術１」という。）。
　そうすると、相違点１の７は実質的ではないといえるし、仮に実質的であるとしても、甲１発明の「ポリシロキサン」を相違点１の７のように構成することは、当業者が適宜なし得たことにすぎず、このようにしたことによる格別の効果があるわけでもない。
　エ　本件訂正発明２の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明２についての小括
　したがって、本件訂正発明２は、本件訂正発明１で説示した理由も踏まえると、甲１発明、甲１に記載された技術的事項及び周知技術１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（３）本件訂正発明３について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　甲１発明の「界面活性剤」は、本件訂正発明３の「界面活性剤」に相当する。
　よって、本件訂正発明３と甲１発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致するとともに、本件訂正発明３で追加的に特定された事項でも一致するが、相違点１の１〜相違点１の７で相違ないし一応相違する。
　ここで、本件訂正発明３と甲１発明との一致点を書き下しておくと、次のとおりである。
［一致点］
「下記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分を含有する材料。
　（Ａ）：特定シルセスキオキサン化合物
　（Ｂ）：離型剤
　であって、（Ｅ）成分として界面活性剤を更に含有する、材料。」
　イ　相違点１の１〜相違点１の７の判断
　上記（１）及び（２）で説示したのと同様である。
　ウ　本件訂正発明３の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　エ　本件訂正発明３についての小括
　したがって、本件訂正発明３は、本件訂正発明１及び２で説示した理由も踏まえると、甲１発明、甲１に記載された技術的事項及び周知技術１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（４）本件訂正発明４について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明４と甲１発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（３）ア［本件訂正発明３についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点１の１〜相違点１の７で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点１の８］特定シルセスキオキサン化合物の重合性基について、本件訂正発明４では、「アクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、ビニル基又はアリル基である」のに対し、甲１発明では、そうであるのか明らかではなく、
　特定シリコーン化合物の重合性基について、本件訂正発明４では、「アクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、ビニル基又はアリル基である」のに対し、甲１発明は、特定シリコーン化合物であるとすら特定されていない点。
　イ　相違点１の１〜相違点１の７の判断
　上記（１）及び（２）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点１の８の判断
　甲１の【００１８】には、甲１発明の「Ｒ」として、（メタ）アクリロイル基、（メタ）アクリロイルオキシプロピル基、ビニル基、アリル基が好ましい旨例示されており、同【００３８】には、同【００３９】のＳ１〜Ｓ５（重合性基がアクリロイルオキシ基又はメタアクリロイルオキシ基である。）や同【００４９】のＳ３５〜Ｓ３６（重合性基がアクリロイルオキシ基又はメタアクリロイルオキシ基である。）が、甲１に記載された発明におけるポリシロキサンとして好適である旨記載されている。そうすると、甲１発明のポリシロキサンとして、重合性基が、（メタ）アクリロイル基、（メタ）アクリロイルオキシプロピル基、ビニル基、アリル基のうちのいずれかであるものを採用することは、当業者が容易に想到し得たことである。
　また、相違点１の１における判断で示したとおり、甲１発明の離型剤成分として、Ｘ−２２−１６９ＡＳ、Ｘ−２２−１６４Ｂ又はＸ−２２−１６４Ｃ（重合性基がメタアクリロイルオキシ基である。）を採用することも、当業者が容易に想到し得たことである。
　そして、これらを同時に採用することも、インプリント材料の技術分野において、重合性基として（メタ）アクリロイルオキシ基を備えたシルセスキオキサンと、末端が（メタ）アクリル変性されたシリコーンオイルとを併せて用いることが周知技術（周知技術２）でもあることに照らして、格別困難ではないし、格別の効果があるともいえない。
　ここで、周知技術２を認定するための周知例としては、
　甲２の【００１１】・【００１２】・【００２１】・【００２３】・【００３２】・【００３３】等、
　甲３の【０１１６】の実施例Ｇ及びＫ等（当該各実施例におけるＳ１は、【０１２５】のとおり、信越化学社製Ｘ−２２−１６０２であるところ、これは、両末端にメタクリル基を有するポリジメチルシロキサンであると認められる（この認定は、特開２００８−２２４７５０号公報の【０１０１】に基づいて行った。また、当該Ｘ−２２−１６０２は、本件訂正明細書の【００１７】に、本件訂正発明の（Ｂ）成分の例として記載されている。）。また、実施例Ｇ及びＫ中のＣ１は、【０１２３】のとおり、アクロルオキシプロピル基を備えた籠形シルセスキオキサンである。）、
　特開２００９−７３０７８号公報の請求項１・【００７５】・【００７８】・【００７９】等、
　を参照されたい。
　よって、相違点１の８は、甲１発明、甲１に記載された技術的事項及び周知技術２に基づいて当業者にとって容易に想到し得たことであるし、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけでもない。
　エ　本件訂正発明４の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明４についての小括
　したがって、本件訂正発明４は、本件訂正発明１〜３で説示した理由も踏まえると、甲１発明、甲１に記載された技術的事項、周知技術１及び周知技術２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（５）本件訂正発明５について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明５と甲１発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（３）ア［本件訂正発明３についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点１の１〜相違点１の８で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点１の９］（Ａ）成分である特定シルセスキオキサン化合物について、本件訂正発明５では、式（１）で表される繰り返し単位において、式中ｋは３であるのに対し、甲１発明では、そうであるとは特定されていない点。
　イ　相違点１の１〜相違点１の８の判断
　上記（１）〜（４）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点１の９の判断
　相違点１の８における判断と同様の理由で、甲１発明のポリシロキサンとして、重合性基がアクリロイルオキシプロピル基又はメタアクリロイルオキシプロピル基のもの（甲１の【００３９】のＳ１〜Ｓ５や【００４９】のＳ３５〜Ｓ３６、【００１８】の「（メタ）アクリロイルオキシプロピル基」）のもの。）を採用することは、当業者が容易に想到し得たことであり、このようにして得られた構成における「ｋ」の値は３である。
　よって、相違点１の９は、甲１発明及び甲１に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に想到し得たものであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけでもない。
　エ　本件訂正発明５の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明５についての小括
　したがって、本件訂正発明５は、本件訂正発明１〜４で説示した理由も踏まえると、甲１発明、甲１に記載された技術的事項、周知技術１及び周知技術２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（６）本件訂正発明６について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明６と甲１発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（３）ア［本件訂正発明３についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点１の１〜相違点１の９で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点１の１０］本件訂正発明６は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜であるのに対し、甲１発明は、「硬化性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点１の１〜相違点１の９の判断
　上記（１）〜（５）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点１の１０の判断
　甲１の【００７４】・【００７５】には、硬化性樹脂組成物の用途として、可視光波長以下の周期的微細凹凸構造を利用した光学素子である反射防止膜や反射防止フィルムが記載されているから、相違点１の１０は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけでもない。
　エ　本件訂正発明６の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明６についての小括
　したがって、本件訂正発明６は、本件訂正発明１〜５で説示した理由も踏まえると、甲１発明、甲１に記載された技術的事項、周知技術１及び周知技術２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（７）本件訂正発明７について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明７と甲１発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（３）ア［本件訂正発明３についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点１の１〜相違点１の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点１の１１］本件訂正発明７は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えた光学部材であるのに対し、甲１発明は、「硬化性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点１の１〜相違点１の１０の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点１の１１の判断
　甲１の【００８７】には、甲１に記載された発明の光学物品としての反射防止膜は、甲１に記載された硬化性樹脂組成物を用いて形成される微細凹凸構造層からなり、この場合、支持体の上に微細凹凸形状を保有している樹脂層を形成する旨が記載されている。
　そうすると、相違点１の１１は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけではない。
　エ　本件訂正発明７の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明７についての小括
　したがって、本件訂正発明７は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲１発明、甲１に記載された技術的事項、周知技術１及び周知技術２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（８）本件訂正発明８について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明８と甲１発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（３）ア［本件訂正発明３についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点１の１〜相違点１の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点１の１２］本件訂正発明８は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えた固体撮像装置であるのに対し、甲１発明は、「硬化性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点１の１〜相違点１の１０の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点１の１２の判断
　甲６の１の１４０頁右欄２０行〜２６行に記載されているとおり、ナノインプリント技術が高精度マイクロレンズ製造に用いられており、マイクロレンズアレイはデジタルカメラや携帯カメラに搭載されていることが技術常識である。
　そうすると、相違点１の１２は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけではない。
　エ　本件訂正発明８の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明８についての小括
　したがって、本件訂正発明８は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲１発明、甲１に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術２及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（９）本件訂正発明９について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明９と甲１発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（３）ア［本件訂正発明３についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点１の１〜相違点１の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点１の１３］本件訂正発明９は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えたＬＥＤデバイスであるのに対し、甲１発明は、「硬化性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点１の１〜相違点１の１０の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点１の１３の判断
　甲６の１の１４０頁左欄９行〜１５行に記載されているように、ナノインプリント技術が携帯電話から液晶テレビのフラットパネルディスプレイに用いられることは技術常識である。
　そうすると、相違点１の１３は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけではない。
　エ　本件訂正発明９の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明９についての小括
　したがって、本件訂正発明９は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲１発明、甲１に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術２及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（１０）本件訂正発明１０について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明１０と甲１発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（３）ア［本件訂正発明３についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点１の１〜相違点１の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点１の１４］本件訂正発明１０は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えた半導体素子であるのに対し、甲１発明は、「硬化性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点１の１〜相違点１の１０の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点１の１４の判断
　甲６の１の１４０頁右欄下欄下から８行〜１４２頁左欄９行に記載されているように、ナノインプリントの応用分野に半導体デバイスが含まれることは技術常識である。
　そうすると、相違点１の１４は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけではない。
　エ　本件訂正発明１０の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明１０についての小括
　したがって、本件訂正発明１０は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲１発明、甲１に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術２及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（１１）本件訂正発明１１について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明１１と甲１発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（３）ア［本件訂正発明３についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点１の１〜相違点１の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点１の１５］本件訂正発明１１は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えた太陽電池であるのに対し、甲１発明は、「硬化性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点１の１〜相違点１の１０の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点１の１５の判断
　甲６の１の１３７頁左欄末行に記載されているように、ナノインプリントの応用分野に太陽電池が含まれることは技術常識である。
　そうすると、相違点１の１５は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけではない。
　エ　本件訂正発明１１の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明１１についての小括
　したがって、本件訂正発明１１は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲１発明、甲１に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術２及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（１２）本件訂正発明１２について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明１２と甲１発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（３）ア［本件訂正発明３についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点１の１〜相違点１の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点１の１６］本件訂正発明１２は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えたディスプレイであるのに対し、甲１発明は、「硬化性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点１の１〜相違点１の１０の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点１の１６の判断
　甲６の１の１４０頁左欄９行〜１５行に記載されているように、ナノインプリントの応用分野にディスプレイ部材が含まれることは技術常識である。
　そうすると、相違点１の１６は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけではない。
　エ　本件訂正発明１２の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明１２についての小括
　したがって、本件訂正発明１２は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲１発明、甲１に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術２及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（１３）本件訂正発明１３について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明１３と甲１発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（３）ア［本件訂正発明３についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点１の１〜相違点１の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点１の１７］本件訂正発明１３は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えた電子デバイスであるのに対し、甲１発明は、「硬化性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点１の１〜相違点１の１０の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点１の１７の判断
　甲６の１の１３７頁右欄１行に記載されているように、ナノインプリントの応用分野に半導体デバイスが含まれることは技術常識であり、半導体デバイスは、電子デバイスの一種であると解される。
　そうすると、相違点１の１７は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけではない。
　エ　本件訂正発明１３の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明１３についての小括
　したがって、本件訂正発明１３は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲１発明、甲１に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術２及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（１４）甲１発明に基づく進歩性欠如についての小括
　以上のとおり、本件訂正発明１〜１３は、甲１発明、甲１に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術２及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　４　甲２発明に基づく進歩性欠如
（１）本件訂正発明１について
　ア　対比
　甲２発明の「シロキサンポリマー（Ａ）」は、式（Ａ１）において、Ｒ０が炭素数１〜３のアルキレン基であり、Ｒ１がエチレン性不飽和二重結合を含有する基であるから、特定シルセスキオキサン化合物であるといえる。
　甲２発明の「末端変性シリコーンオイル化合物（Ｂ）」は、式（Ｂ１）において、Ｚが式（ＩＩ）であり、Ｘ、Ｙは独立に、炭素数１〜３のアルキル基であるから、特定シリコーン化合物であるといえる。
　甲２発明のＢ割合は、［Ｗ（Ａ）／Ｗ（Ｂ）］が３０／７０〜９０／１０であることからみて、７０〜１０質量％であると認められる。
　甲２発明の「重合開始剤（Ｃ）」は、本件訂正発明１の（Ｃ）成分である「光重合開始剤」と、「重合開始剤」である点で共通する。
　甲２発明の「感光性樹脂組成物」は、本件訂正発明１の「インプリント材料」と、「材料」である点で共通する。
　イ　一致点及び相違点の認定
　上記アによれば、本件訂正発明１と甲２発明とは、
「下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分を含有する材料。
　（Ａ）：特定シルセスキオキサン化合物
　（Ｂ）：特定シリコーン化合物
　（Ｃ）：重合開始剤
」で一致し、次の点で相違する。
［相違点２の１］（Ｃ）成分である重合開始剤について、本件訂正発明１は、「光」重合開始剤であるのに対し、甲２発明は、「光」重合開始剤であるとは特定されていない点。
［相違点２の２］（Ｄ）成分に関して、本件訂正発明１は、「溶剤」を含んでいるのに対し、甲２発明は、含んでいない点。
［相違点２の３］材料について、本件訂正発明１は、「インプリント材料」であるのに対し、甲２発明は、「インプリント材料」であるとは特定されていない点。
［相違点２の４］Ｂ割合について、本件訂正発明１は、２０質量％以上２５質量％以下であるのに対し、甲２発明は、１０〜７０質量％である点。
［相違点２の５］本件訂正発明１は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有しないのに対して、甲２発明は、そのように特定されていない点。
　ウ　相違点２の１について
　甲２発明は「感光性樹脂組成物」に係るものであるから、甲２発明の「重合開始剤（Ｃ）」は、光重合開始剤であると解するのが自然である。
　また、いずれにせよ、甲２の【００３５】には、重合開始剤（Ｃ）が、光照射時にシロキサンポリマー（Ａ）の重合を開始、促進させる化合物であればよい旨記載されている。
　よって、相違点２の１は、実質的ではないし、仮に、実質的であるとしても、甲２発明において、「重合開始剤（Ｃ）」を光重合開始剤として、相違点２の１のようにすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　エ　相違点２の２について
　甲２の【００３９】には、実施の形態に係る感光性樹脂組成物に溶媒（Ｄ）を添加することも可能である旨記載されている。また、甲２の【００４１】・【００４２】には、感光性樹脂組成物が塗布されることが記載されているところ、一般に、塗布をする際に、溶媒を添加したものを塗布することは技術常識でもある。
　そうすると、甲２発明において、溶媒（Ｄ）を添加して、相違点２の２のようにすることは、当業者が必要に応じて適宜なし得たことである。
　オ　相違点２の３について
　甲２の【００１１】には、実施の形態に係る感光性樹脂組成物の用途として、ナノインプリントリソグラフィが可能である旨記載されている。
　よって、甲２発明をナノインプリントリソグラフィ用途として、相違点２の３のようにすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　カ　相違点２の４について
（ア）甲２の【００３４】には、甲２発明の（Ａ）と（Ｂ）との質量比［Ｗ（Ａ）／Ｗ（Ｂ）］が、３０／７０以上（Ｂ割合に換算すると、７０質量％以下）であると、光照射により得られる硬化膜における硬化収縮の抑制効果（なお、同段落の「抑制硬化」は「抑制効果」の誤記であると認められる。）が高まる旨が記載されるとともに、当該質量比が９０／１０以下（Ｂ割合に換算すると、１０質量％以上）であると、甲２に記載された組成物の各成分の相溶性や安定性に優れ、無溶剤化する場合に好適となる旨が記載されている。さらに、同段落には、当該質量比が、より好ましくは、３５／６５以上（Ｂ割合に換算すると、６５質量％以下）かつ８０／２０以下（Ｂ割合に換算すると、２０質量％以上）である旨が記載されている。
　そうすると、硬化収縮の抑制効果を、より好ましく高める観点から、当該質量比を、８０／２０を上限として大きくする（すなわち、Ｂ割合を、２０質量％を下限として小さくする）ことは、当業者が、適宜なし得たことである。
　なお、甲２発明において当該質量比を大きくすると（Ｂ割合を小さくすると）、甲２の上記【００３４】によれば、無溶剤化により適しにくくなる方向になるといえるから、この判断は、相違点２の２の判断と整合する。
（イ）これに対し、特許権者は、甲２発明は、厚膜形成に適した感光性樹脂組成物の提供を課題とするものであり、甲２において、末端変性シロキサン化合物（Ｂ）が離型力を小さくする作用効果を有することを認識できる記載はないとか、甲２発明において、末端変成シロキサン化合物（Ｂ）の割合を２０質量％以上２５質量％以下にする積極的な動機は見いだせないなどと主張する（意見書１６頁下から７行〜１７頁下から２行）。
　しかしながら、特許権者の主張は、上記（ア）の認定判断を左右するものではない。
　なお、本件訂正発明においてＢ割合を２０質量％以上２５質量％以下としたことに格別の効果がないことは、後述（後記ク）する。
　したがって、特許権者の主張は、失当である。
　キ　相違点２の５について
　甲２発明は、所定のシロキサンポリマー（Ａ）、所定の末端変成シリコーンオイル（Ｂ）及び重合開始剤（Ｃ）があれば足りる感光性樹脂組成物であるから、他に重合性基を有する化合物を含有しないことが想定されているといえる。実際、甲２の【００４９】に記載された各実施例は、他に重合性基を有する化合物を含有していない。
　よって、相違点２の５のようにすることは、当業者が適宜なし得たことである。
　ク　本件訂正発明１の効果について
（ア）本件訂正発明１の効果である、低離型力性を有するとともに、例えば２６０℃の温度に曝されても分解物の昇華が見られないという効果（本件訂正明細書の【０００８】）は、甲２の記載に基づいて予測可能である。
　すなわち、甲２発明で特定されたシロキサンポリマーは、シルセスキオキサン化合物であって、その化学構造からみて変形しにくいことが明らかであるから、当業者は、このシロキサンポリマーが耐熱性に優れることを予測できる。
　他方、甲２発明で特定された末端変性シロキサン化合物は、シリコーンオイルの一種であるところ（甲２の【００２６】）、シリコーンオイルに離型剤としての作用があることは技術常識であるから、当該化合物の添加量をある程度大きくすれば、離型性がよくなること、すなわち、離型力が小さくなることは、当業者にとって自明である。さらに、この化合物は、長鎖状の化学構造を有するから、当業者は、シルセスキオキサン化合物と比べて耐熱性に劣ることを予測できる。
　そうすると、当業者は、甲２発明において、このようなシルセスキオキサン化合物及び末端変性シロキサン化合物を採用した場合に、前者の配合割合が増加すれば耐熱性に優れる方向になるとともに後者の配合割合が増加すれば耐熱性に劣る方向になることも予測できる。
　よって、本件訂正発明１の効果である、低離型力性を有するとともに、例えば２６０℃の温度に曝されても分解物の昇華が見られないという効果は、甲２の記載に基づいて、当業者が予測可能なものである。
　本件訂正発明１の他の効果も、甲２の記載に基づいて当業者が予測可能である。
（イ）これに対し、特許権者は、本件発明１の効果は甲２発明の効果とは異質なものであり、また、予測できるものではない旨主張し、その根拠として、
　(i)　本件発明１は、低離型力性と耐熱性とを両立した硬化膜を形成できるという効果を奏するのに対し、甲２発明は、厚膜形成に適した感光性樹脂組成物を提供できるという効果を有することから、両発明の間で作用効果は共通しないこと、
　(ii)　甲２において、シロキサンポリマー（Ａ）と末端変性シロキサン化合物（Ｂ）とを特定の割合で組み合わせることにより、甲２発明の感光性樹脂組成物より得られる硬化膜に低離型力性と耐熱性とを発現させることは記載も示唆もないこと、
　を挙げる（意見書１８頁１１行〜下から５行）。
　しかしながら、(i)及び(ii)ともに、特許権者の主張は、上記（ア）の認定判断を左右するものではない。
　ケ　本件訂正発明１についての小括
　よって、本件訂正発明１は、甲２発明及び甲２に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（２）本件訂正発明２について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明２と甲２発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点２の１〜相違点２の５で相違するとともに、次の点で一応相違する。
［相違点２の６］（Ａ）成分である特定シルセスキオキサン化合物について、本件訂正発明２は、「完全かご形構造及び／又は不完全かご形構造、並びにランダム構造及びはしご型構造の混合体からなる」のに対し、甲２発明は、そうであるのか明らかでない点。
　イ　相違点２の１〜相違点２の５の判断
　上記（１）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点２の６の判断
　上記３（２）ウ［本件訂正発明２に対する甲１発明に基づく進歩性欠如における相違点１の７の判断］と同様の理由で、シルセスキオキサン誘導体は、ランダム構造やかご型構造などの混合物からなっているのが通常であるし、このようになっていることは周知（周知技術１）であるから、相違点２の６は実質的ではないといえるし、仮に実質的であるとしても、甲２発明の「シロキサンポリマー（Ａ）」を相違点２の６のように構成することは、当業者が適宜なし得たことにすぎず、このようにしたことによる格別の効果があるわけでもない。
　エ　本件訂正発明２の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明２についての小括
　よって、本件訂正発明２は、甲２発明、甲２に記載された技術的事項及び周知技術１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（３）本件訂正発明３について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明３と甲２発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点２の１〜相違点２の６で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点２の７］
　本件訂正発明３が「（Ｅ）成分として界面活性剤を更に含有する」のに対し、甲２発明はそうではない点。
　イ　相違点２の１〜相違点２の６の判断
　上記（１）及び（２）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点２の７の判断
　この種の感光性樹脂組成物に界面活性剤を含有させることは周知技術（例えば、甲１の【００５３】・【００６０】を参照。）である（周知技術３）。
　よって、相違点２の７は、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１及び周知技術３に基づいて当業者が適宜なし得たことにすぎないし、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけでもない。
　エ　本件訂正発明３の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明３についての小括
　よって、本件訂正発明３は、本件訂正発明１〜２で説示した理由も踏まえると、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１及び周知技術３に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（４）本件訂正発明４について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　甲２発明の「末端変性シリコーンオイル化合物（Ｂ）」は、その構造からみて、重合性基がアクリロイルオキシ基又はメタアクリロイルオキシ基である。よって、甲２発明は、本件訂正発明４のうち、「（Ｂ）成分の重合性基がアクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基」である点を備えている。
　そうすると、本件訂正発明４と甲２発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、さらに、「前記」「（Ｂ）成分の重合性基がアクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基」「である」点でも一致するが、相違点２の１〜相違点２の７で相違ないし一応相違し、さらに、次の点で相違する。
［相違点２の８］
　「前記（Ａ）成分」である特定シルセスキオキサン化合物の重合基について、本件訂正発明４は、「アクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、ビニル基又はアリル基である」のに対し、甲２発明は、そのように特定されておらず、エチレン性不飽和二重結合を含有する基であると特定されている点。
　イ　相違点２の１〜相違点２の７の判断
　上記（１）〜（３）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点２の８の判断
　甲２の【００１４】・【００１５】には、シロキサンポリマー（Ａ）の一般式である（Ａ１）において、エチレン性不飽和二重結合を含有する基（Ｒ１）が、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基であることが特に好ましい旨記載されている。
　よって、相違点２の８は、当業者が容易に想到し得たことであるし、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけでもない。
　エ　本件訂正発明４の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明４についての小括
　よって、本件訂正発明４は、本件訂正発明１〜３で説示した理由も踏まえると、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１及び周知技術３に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（５）本件訂正発明５について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明５と甲２発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（４）ア［本件訂正発明４についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点２の１〜相違点２の８で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点２の９］特定シルセスキオキサン化合物について、本件訂正発明１は、式（１）中のｋが３であるのに対し、甲２発明は、そのように特定されておらず、Ｒ０が炭素数１〜３のアルキレン基であると特定されている点。
　イ　相違点２の１〜相違点２の８の判断
　上記（１）〜（４）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点２の９の判断
　甲２の【００２１】・【００２３】には、甲２発明の式（Ａ１）で表されるシロキサンポリマーとして特に好ましい構成（Ａ１−２）が記載されており、そこでの「ｋ」の値は３である。
　よって、甲２発明の式（Ａ１）で表されるシロキサンポリマーとして（Ａ１−２）のものを採用して、相違点２の９のようにすることは、当業者が容易に想到し得たことであるし、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけでもない。
　エ　本件訂正発明５の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明５についての小括
　よって、本件訂正発明５は、本件訂正発明１〜４で説示した理由も踏まえると、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１及び周知技術３に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（６）本件訂正発明６について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明６と甲２発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（４）ア［本件訂正発明４についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点２の１〜相違点２の９で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点２の１０］本件訂正発明６は、「インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜」であるのに対し、甲２発明は、「感光性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点２の１〜相違点２の９の判断
　上記（１）〜（５）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点２の１０の判断
　甲２発明の感光性樹脂組成物を、「インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜」として用いることは、甲２の【００１１】及び【００４１】〜【００４６】等の記載からみて、当業者が適宜なし得たことにすぎないし、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけでもない。
　エ　本件訂正発明６の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明６についての小括
　よって、本件訂正発明６は、本件訂正発明１〜５で説示した理由も踏まえると、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１及び周知技術３に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（７）本件訂正発明７について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明７と甲２発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（４）ア［本件訂正発明４についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点２の１〜相違点２の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点２の１１］本件訂正発明７は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えた光学部材であるのに対し、甲２発明は、「感光性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点２の１〜相違点２の１０の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点２の１１の判断
　甲６の１の１３７頁左欄下から５行〜下から３行に記載されているように、ナノインプリント技術が光学部材に用いられることは技術常識である。
　そうすると、相違点２の１１は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけでもない。
　エ　本件訂正発明７の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明７についての小括
　よって、本件訂正発明７は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術３及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（８）本件訂正発明８について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明８と甲２発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（４）ア［本件訂正発明４についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点２の１〜相違点２の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点２の１２］本件訂正発明７は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えた光学部材であるのに対し、甲２発明は、「感光性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点２の１〜相違点２の１０の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点２の１２の判断
　上記３（８）ウ［本件訂正発明８の甲１に基づく進歩性欠如における相違点１の１２の判断］で認定したとおり、ナノインプリント技術が高精度マイクロレンズ製造に用いられており、マイクロレンズアレイはデジタルカメラ、携帯カメラに搭載されていることが技術常識である。
　そうすると、相違点２の１２は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけではない。
　エ　本件訂正発明８の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明８についての小括
　よって、本件訂正発明８は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術３及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（９）本件訂正発明９について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明９と甲２発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（４）ア［本件訂正発明４についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点２の１〜相違点２の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点２の１３］本件訂正発明９は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えたＬＥＤデバイスであるのに対し、甲２発明は、「感光性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点２の１〜相違点２の１０の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点２の１３の判断
　上記３（９）ウ［本件訂正発明９の甲１に基づく進歩性欠如における相違点１の１３の判断］で認定したとおり、ナノインプリント技術が携帯電話から液晶テレビのフラットパネルディスプレイに用いられることは技術常識である。
　そうすると、相違点２の１３は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけではない。
　エ　本件訂正発明９の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明９についての小括
　よって、本件訂正発明９は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術３及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（１０）本件訂正発明１０について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明１０と甲２発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（４）ア［本件訂正発明４についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点２の１〜相違点２の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点２の１４］本件訂正発明１０は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えた半導体素子であるのに対し、甲２発明は、「感光性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点２の１〜相違点２の１０の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点２の１４の判断
　上記３（１０）ウ［本件訂正発明１０の甲１に基づく進歩性欠如における相違点１の１４の判断］で認定したとおり、ナノインプリントの応用分野に半導体デバイスが含まれることは技術常識である。
　そうすると、相違点２の１４は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけではない。
　エ　本件訂正発明１０の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明１０についての小括
　よって、本件訂正発明１０は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術３及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（１１）本件訂正発明１１について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明１１と甲２発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（４）ア［本件訂正発明４についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点２の１〜相違点２の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点２の１５］本件訂正発明１１は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えた太陽電池であるのに対し、甲２発明は、「感光性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点２の１〜相違点２の１５の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点２の１５の判断
　上記３（１１）ウ［本件訂正発明１１の甲１に基づく進歩性欠如における相違点１の１５の判断］で認定したとおり、ナノインプリントの応用分野に太陽電池が含まれることは技術常識である。
　そうすると、相違点２の１５は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけではない。
　エ　本件訂正発明１１の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明１１についての小括
　よって、本件訂正発明１１は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術３及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（１２）本件訂正発明１２について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明１２と甲２発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（４）ア［本件訂正発明４についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点２の１〜相違点２の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点２の１６］本件訂正発明１０は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えたディスプレイであるのに対し、甲２発明は、「感光性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点２の１〜相違点２の１０の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点２の１６の判断
　上記３（１２）ウ［本件訂正発明１２の甲１に基づく進歩性欠如における相違点１の１６の判断］で認定したとおり、ナノインプリントの応用分野にディスプレイ部材が含まれることは技術常識である。
　そうすると、相違点２の１６は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけではない。
　エ　本件訂正発明１２の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明１２についての小括
　よって、本件訂正発明１２は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術３及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（１３）本件訂正発明１３について
　ア　対比、一致点及び相違点の認定
　本件訂正発明１３と甲２発明とは、上記（１）イ［本件訂正発明１についての一致点及び相違点の認定］及び上記（４）ア［本件訂正発明４についての対比、一致点及び相違点の認定］で認定した一致点で一致し、相違点２の１〜相違点２の１０で相違ないし一応相違するほか、次の点で相違する。
［相違点２の１７］本件訂正発明１３は、インプリント材料から作製され、パターンが転写された膜を基材上に備えた電子デバイスであるのに対し、甲２発明は、「感光性樹脂組成物」である点。
　イ　相違点２の１〜相違点２の１０の判断
　上記（１）〜（６）で説示したのと同様である。
　ウ　相違点２の１４の判断
　上記３（１３）ウ［本件訂正発明１３の甲１に基づく進歩性欠如における相違点１の１７の判断］で認定したとおり、ナノインプリントの応用分野に半導体デバイスが含まれることは技術常識であり、半導体デバイスは、電子デバイスの一種であると解される。
　そうすると、相違点２の１７は、当業者が適宜なし得たことであり、この相違点が加わることによって格別の効果があるわけではない。
　エ　本件訂正発明１３の効果について
　上記（１）で説示したのと同様である。
　オ　本件訂正発明１３についての小括
　よって、本件訂正発明１３は、本件訂正発明１〜６で説示した理由も踏まえると、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術３及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（１４）甲２発明に基づく進歩性欠如についての小括
　以上のとおり、本件訂正発明１〜１３は、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術３及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　５　取消理由通知（決定の予告）に記載した取消理由についての当審の判断の小括
　以上のとおりであるから、本件訂正発明１〜１３に係る特許は、取消理由通知（決定の予告）に記載した取消理由によって取り消されるべきものである。
第５　取消理由通知（決定の予告）において採用しなかった特許異議申立理由についての当審の判断
　１　「特許法第２９条第１項第３号及び同第２項について（その１）」、「特許法第２９条第２項について（その１）」及び「特許法第２９条第２項について（その２）」の特許異議申立理由について
　特許異議申立人は、甲１の実施例５（【０１１６】・【０１２１】等）に記載された発明（以下「甲１の２発明」という。）を主引用発明とした上で、
　本件訂正発明１〜１３が新規性及び進歩性を欠如する（特許法第２９条第１項第３号及び同第２項について（その１））旨主張し、
　さらに、甲２に記載された発明を副引用発明とした上で、本件訂正発明４〜１３が進歩性を欠如する（特許法第２９条第２項について（その１））旨主張し、
　さらに、甲３に記載された発明を副引用発明とした上で、本件訂正発明４〜１３が進歩性を欠如する（特許法第２９条第２項について（その２））旨主張するが、以下のとおり、採用することができない。
　ここで、特許異議申立人は、上記第３で挙げたもののほか、以下の証拠を提出している。
　甲４の２：東亞合成研究年報１２号（http://www.toagosei.co.jp/develop/theses/detail/no12.html）
　甲５の１：森秀晴、「機能性シルセスキオキサン微粒子の創製」、ネットワークポリマー、２０１１年、Ｖｏｌ．３２、Ｎｏ．５、２５９頁〜２６７頁
　甲５の２：森秀晴、「機能性シルセスキオキサン微粒子の創製」（https://www.jstage.jst.go.jp/article/networkpolymer/32/5/32_259/_article/-char/ja/）
　甲６の２：松井真二、「展望　新機能を創造するナノインプリント技術　−総論と将来展望−」（https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/76/2/76_2_137/_article/-char/ja/）
　参考資料１：特開２００８−１８９８２１号公報
　参考資料２：坂井信支（外１名）、「光ナノインプリント用光硬化性樹脂とその特性評価方法」、高分子論文集、２００９年、Ｖｏｌ．６６、Ｎｏ．３、８８頁〜９６頁
　参考資料３：特開２０１０−１４１０６４号公報
（１）甲１の２発明の認定
　甲１の実施例５（【００３９】・【００４０】・【０１１６】・【０１２１】・【０１２２】等）に基づき、次の甲１の２発明を認定する。
「８０質量部のポリシロキサンＳ−１７、
　１５重量部の硬化剤としてのセロキサイド２０２１Ｐ、
　５質量部の離型剤としてのＸ−２２−１６３Ｂ、
　５重量部の光重合開始剤としてのＵＶＩ６９９０を、
　３０質量％（固形分）となるように、メチルエチルケトンに溶解して
　調製された、
　硬化性樹脂組成物であって、（【０１１６】・【０１２１】）
　厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に上記硬化性樹脂組成物をバーコーターを用いて膜厚３μｍになるように塗布した後、９０℃にて５分間乾燥し、該フィルムの樹脂層塗布面上に、周期約２５０ｎｍ×高さ約２５０ｎｍの円錐状の周期的微細凹凸構造を有するＮｉ材質のスタンパーを押し当て、１ＭＰａの圧力をかけて１分間スタンパーとフィルムを圧接した後、ＰＥＴフィルムの裏面から７５０ｍＪ／ｃｍ２のエネルギーで紫外線を照射して樹脂層を硬化させ、その後、フィルムとスタンパーを剥離し、更に、窒素雰囲気下（酸素濃度０．１％）、樹脂層の表面から７５０ｍＪ／ｃｍ２のエネルギーで紫外線を照射して、表面に微細凹凸構造の形成された反射防止フィルムを作製するための、（【０１２２】）
　硬化性樹脂組成物。
ここで、Ｓ−１７は、次のラダーポリマー又はラダーオリゴマーであって、
（【００３９】）
　Ｒ１とＲ２が、次のとおりのもの。
（【００４０】のＳ−１７）
」
（２）本件訂正発明１について
　ア　本件訂正発明１と甲１の２発明との対比
　甲１の２発明の「ポリシロキサンＳ−１７」は、本件訂正発明１の（Ａ）成分である特定シルセスキオキサン化合物に相当する。
　甲１の２発明の「離型剤としてのＸ−２２−１６３Ｂ」は、下図で「Ｘ−２２−１６３Ｂ」として表されたシリコーンオイルであると認められるから、本件訂正発明１の（Ｂ）成分である特定シリコーン化合物に相当する。
　なお、この認定は、「信越シリコーン　反応性・非反応性変性シリコーンオイル」のカタログ（https://www.silicone.jp/catalog/pdf/ModifiedSiliconeFluid_J.pdf、２０１８年９月、上図はその抜粋）に基づいて行ったものであるところ、上記カタログの発行日は、本件特許に係る出願の優先日の後であるけれども、当該優先日前においても、これらの製品名が具体的に意味する内容に特段の変更はないものと推認される。
　甲１の２発明のＢ割合は、５／（８０＋５）＝５．９質量％であると認められる。
　甲１の２発明の「光重合開始剤としてのＵＶＩ６９９０」は、本件訂正発明１の（Ｃ）成分である「光重合開始剤」に相当する。
　甲１の２発明の「メチルエチルケトン」は、本件訂正発明１の（Ｄ）成分である「溶媒」に相当する。
　甲１の２発明の「硬化性樹脂組成物」は、「厚さ１００μｍの・・・表面に微細凹凸構造の形成された反射防止フィルムを作製するための」ものであるから、本件訂正発明１の「インプリント材料」であるといえる。
　イ　一致点及び相違点の認定
　上記アによれば、本件訂正発明１と甲１の２発明とは、
「下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分及び（Ｄ）成分を含有するインプリント材料。
　（Ａ）：特定シルセスキオキサン化合物
　（Ｂ）：特定シリコーン化合物
　（Ｃ）：光重合開始剤
　（Ｄ）：溶剤」
である点で一致し、次の点で相違する。
［相違点３の１］Ｂ割合について、本件訂正発明１は、「２０質量％以上２５質量％以下」であるのに対し、甲１の２発明は、５．９質量％である点。
［相違点３の２］本件訂正発明１は、「当該インプリント材料は当該（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有しない」ものであるのに対し、甲１の２発明は、そうではなく、「１５重量部の硬化剤としてのセロキサイド２０２１Ｐ」を含有している点。
　ウ　相違点３の１の判断
　甲１の２発明のＢ割合は、５．９質量％であるところ、かかる数値は、甲１の実施例５という特定の実施例におけるものであることをも踏まえれば、特許異議申立人が提出したその余の証拠を考慮しても、当該数値を本件訂正発明１で特定された値にする特段の動機は見当たらず、よって、相違点３の１は、当業者が容易に想到し得たものとはいえない。
　エ　本件訂正発明１についての小括
　したがって、本件訂正発明１は、甲１の２発明ではなく、また、相違点３の２について判断するまでもなく、甲１の２発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
（３）本件訂正発明２〜１３について
　本件訂正発明２〜１３は、いずれも、相違点３の１に係る構成を含むものであるから、本件訂正発明１と同様に、甲１の２発明ではなく、また、甲１の２発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　また、特許異議申立人は、本件訂正発明４〜１３について、甲１の２発明に加え、甲２に記載された発明又は甲３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである旨主張するが、上記と同様に、相違点３の１に係る構成を容易に想到することができない以上、採用できない。
（４）「特許法第２９条第１項第３号及び同第２項について（その１）」、「特許法第２９条第２項について（その１）」及び「特許法第２９条第２項について（その２）」の特許異議申立理由についての小括
　以上のとおり、本件訂正発明１〜１３に係る特許を、これらの異議申立理由によって取り消すことはできない。
　２　「特許法第２９条第１項第３号及び同第２項について（その２）」の特許異議申立理由について
　特許異議申立人は、甲２の実施例５（【００４９】等）に記載された発明（以下「甲２の２発明」という。）を主引用発明とした上で、本件訂正発明１〜１３が新規性及び進歩性を欠如する旨主張するが、以下のとおり、採用することができない。
（２）甲２の２発明の認定
　甲２の実施例５（【００４８】〜【００５３】・【００３５】・【００３７】等）に基づき、次の甲２の２発明を認定する。
「（Ａ）成分としての（Ａ）−１、
　（Ｂ）成分としての（Ｂ）−３、
　（Ａ）と（Ｂ）との質量比が、（Ａ）／（Ｂ）＝９０／１０、
　重合開始剤としてのＩＲＧＡＣＵＲＥ９０７を、
　混合、溶解して調整した、
　感光性樹脂組成物。
　ここで、（Ａ）−１は、次のものであって、
（【００５０】）
　（Ｂ）−３は、次のものである。
（【００５３】）
」
（２）本件訂正発明１について
　ア　本件訂正発明１と甲２の２発明との対比
　甲２の２発明の「（Ａ）−１」は、本件訂正発明１の（Ａ）成分である特定シルセスキオキサン化合物に相当する。
　甲２の２発明の「（Ｂ）−３」は、本件訂正発明１の（Ｂ）成分である特定シリコーン化合物に相当する。
　甲２の２発明は、特定シルセスキオキサン化合物及び特定シリコーン化合物以外に重合性基を有する化合物を含有しないと解される。
　甲２の２発明のＢ割合は、１／（１＋９０／１０）＝１０質量％であると認められる。
　甲２の２発明の重合開始剤である「ＩＲＧＡＣＵＲＥ９０７」は、本件訂正発明１の（Ｃ）成分である「光重合開始剤」に相当する。
　甲２の２発明の「感光性樹脂組成物」は、本件訂正発明１の「インプリント材料」と、「材料」である点で共通する。
　イ　一致点及び相違点の認定
　上記アによれば、本件訂正発明１と甲２の２発明とは、
「下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分を含有する材料［但し、当該材料は当該（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有しない］。
　（Ａ）成分：特定シルセスキオキサン化合物
　（Ｂ）成分：特定シリコーン化合物
　（Ｃ）成分：光重合開始剤
」である点で一致し、次の点で相違する。
［相違点４の１］Ｂ割合について、本件訂正発明１は、「２０質量％以上２５質量％以下」であるのに対し、甲２の２発明は、１０質量％である点。
［相違点４の２］本件訂正発明１が（Ｄ）成分である「溶剤」を含有しているのに対し、甲２の２発明は、各成分を「混合、溶解して」いるものであるが、溶剤を含有しているのかは明らかでない点。
［相違点４の３］「材料」について、本件訂正発明１は「インプリント材料」であるのに対し、甲２の２発明は「インプリント材料」とは特定されていない点。
　ウ　相違点４の１の判断
　甲２の２発明のＢ割合は、１０質量％であるところ、かかる数値は、甲２の実施例５という特定の実施例におけるものであることをも踏まえれば、特許異議申立人が提出したその余の証拠を考慮しても、当該数値を本件訂正発明１で特定された値にする特段の動機は見当たらず、よって、相違点４の１は、当業者が容易に想到し得たものとはいえない。
　エ　本件訂正発明１についての小括
　したがって、本件訂正発明１は、甲２の２発明ではなく、また、相違点４の２及び４の３について判断するまでもなく、甲２の２発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
（３）本件訂正発明２〜１３について
　本件訂正発明２〜１３は、いずれも、相違点４の１に係る構成を含むものであるから、本件訂正発明１と同様に、甲２の２発明ではなく、また、甲２の２発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
（４）「特許法第２９条第１項第３号及び同第２項について（その２）」の特許異議申立理由についての小括
　以上のとおり、本件訂正発明１〜１３に係る特許を、この異議申立理由によって取り消すことはできない。
　３　「特許法第３６条第４項第１号及び同条第６項第１号違反の理由」に係る特許異議申立理由について
（１）実施可能要件について
　特許異議申立人は、本件訂正明細書の発明の詳細な説明が、（メタ）アクリロイルオキシ基などの光ラジカル重合性の重合性基を備えるシルセスキオキサン化合物と、同種の重合性基を備えるシリコーン化合物と、光ラジカル重合開始剤と、溶剤と、を含有するインプリント材料及びその硬化物を記載しているに留まる以上、当該発明の詳細な説明は、本件訂正発明１において規定するシルセスキオキサン化合物、シリコーン化合物及び重合開始剤を用いたときに、インプリント材料及びその硬化物を製造し使用するための十分な手がかりを当業者に与えておらず、技術常識を考慮しても、本件訂正発明１〜３及び５〜１３を実施するに当たり、当業者に期待しうる程度を越える過度な試行錯誤を求めるものであり、実施可能要件を満たさない旨主張する。
　しかしながら、光重合開始剤を用いた重合反応自体は技術常識にすぎないものであるから、本件訂正明細書に接した当業者は、その技術常識に照らして、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分を用いて適宜インプリント材料を製造できるというのが相当である。
　したがって、本件訂正明細書の発明の詳細な説明の記載は、本件訂正発明１〜３及び５〜１３について、実施可能要件を満たしている。
（２）サポート要件について
　特許異議申立人は、本件訂正発明１〜３及び５〜１３は、本件訂正発明の課題である「硬化後、離型時においてモールドからパターンが転写された膜を容易に剥がすことができるすなわち低離型力性を有するインプリント材料、及び２００℃を超える温度においても分解物の昇華が起こらない高耐熱性を有する硬化膜が形成されるインプリント材料を提供することであり、更に、当該材料から作製され、パターンが転写された膜を提供することである。具体的には、モールドに対する離型力が０ｇ／ｃｍより大きく０．６５ｇ／ｃｍ以下、なおかつ例えば２６０℃の温度に曝しても分解物の昇華が起こらない硬化膜が形成される材料を提供することを目的とする。」を解決できることを当業者が認識できるように記載された範囲を超えているといえるから、当該各発明の記載は、サポート要件を満たさない旨主張する。
　しかしながら、本件訂正明細書（【００７２】）は、離型力が０．６５ｇ／ｃｍ以下、かつ、２６０℃の温度に曝しても分解物の昇華が起こらない硬化膜が形成される材料に係る実施例を６種類示している。しかも、本件訂正明細書の各実施例、各参考例及び各比較例（【００７２】）からみて、本件訂正発明は、（Ａ）成分であるシルセスキオキサン化合物が耐熱性を向上させる成分である一方、（Ｂ）成分であるシリコーン化合物が低離型力をもたらす成分であることが明らかであり、そのことは、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の構造からみても、明らかである。そうすると、当業者であれば、技術常識に照らして、本件訂正発明１〜３及び５〜１３に係る範囲まで、発明の詳細な説明に記載された内容を拡張ないし一般化できるといえる。
　したがって、本件訂正発明１〜３及び５〜１３の記載は、サポート要件を満たしている。
（３）「特許法第３６条第４項第１号及び同条第６項第１号違反の理由」に係る特許異議申立理由についての小括
　以上のとおり、本件訂正発明１〜３及び５〜１３に係る特許を、この異議申立理由によって取り消すことはできない。
第６　むすび
　本件訂正発明１〜１３は、上記第４の３のとおり、甲１発明、甲１に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術２及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、また、上記第４の４のとおり、甲２発明、甲２に記載された技術的事項、周知技術１、周知技術３及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。そうすると、本件訂正発明１〜１３に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって、本件訂正発明１〜１３に係る特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
令和２年４月２２日（２０２０．４．２２）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
シルセスキオキサン化合物及び変性シリコーン化合物を含むインプリント材料
　【技術分野】
　【０００１】
　本発明は、インプリント材料（インプリント用膜形成組成物）及び当該材料から作製され、パターンが転写された膜に関する。より詳しくは、硬化後、離型時においてモールドから前記パターンが転写された膜を容易に剥離可能であるとともに、２００℃を超える温度での加熱工程に対する耐熱性を備えた硬化膜が形成されるインプリント材料、並びに当該材料から作製され、パターンが転写された膜に関するものである。
　【背景技術】
　【０００２】
　１９９５年、現プリンストン大学のチョウ教授らがナノインプリントリソグラフィという新たな技術を提唱した（特許文献１）。ナノインプリントリソグラフィは、任意のパターンを有するモールドを樹脂膜が形成された基材と接触させ、当該樹脂膜を加圧すると共に、熱又は光を外部刺激として用い、目的のパターンを硬化された当該樹脂膜に形成する技術であり、このナノインプリントリソグラフィは、従来の半導体デバイス製造におけるフォトリソグラフィ等に比べて簡便・安価にナノスケールの加工が可能であるという利点を有する。
　したがって、ナノインプリントリソグラフィは、フォトリソグラフィ技術に代わり、半導体デバイス、オプトデバイス、ディスプレイ、記憶媒体、バイオチップ等の製造への適用が期待されている技術であることから、ナノインプリントリソグラフィに用いる光ナノインプリントリソグラフィ用硬化性組成物について様々な報告がなされている（特許文献２、特許文献３）。さらに、シリコーン骨格を有する化合物及び光重合開始剤を含む光インプリント材料が特許文献４に開示されている。
　【０００３】
　ナノインプリントリソグラフィにおいて高価なモールドを使用する場合、モールドの長寿命化が求められるが、硬化された樹脂膜からモールドを引き剥がす力、すなわち離型時における引き剥がし力（以下、本明細書では「離型力」と略称する。）が大きいとモールドへ樹脂が付着しやすくなり、モールドが使用不可能となりやすくなる。このためナノインプリントリソグラフィに用いる材料（以下、本明細書では「インプリント材料」と略称する。）には低離型力性（硬化された樹脂膜をモールドから容易に剥離出来る特性）が求められることとなる。また、デバイス作製ではベーク、はんだ付け等、加熱工程を経ることがある。場合によっては、前記加熱工程で２６０℃程度の温度に曝されることもあり、その時に膜の耐熱性が低く、当該膜から分解物の昇華が起こると、デバイス内部や、デバイスを作製する装置及び機器を汚染してしまい、大きな問題となる。更にデバイスの種類によっては、熱に曝される箇所で使用されることもあり、そのような場合も同様の問題が起こるため、固体撮像装置、太陽電池、ＬＥＤデバイス、ディスプレイなどの製品では、光学部材として作製した構造物に対して高度な耐熱性が求められる。
　しかし、これまでにインプリント材料として種々の材料が開示されているものの、低離型力と、２００℃を超える温度、例えば２６０℃において分解物の昇華が起こらない耐熱性とを兼ね備えた材料の報告はなされていない。
　【先行技術文献】
　【特許文献】
　【０００４】
　【特許文献１】米国特許第５７７２９０５号明細書
　【特許文献２】特開２００８−１０５４１４号公報
　【特許文献３】特開２００８−２０２０２２号公報
　【特許文献４】特開２０１３−０６５７６８号公報
　【発明の概要】
　【発明が解決しようとする課題】
　【０００５】
　本発明は、上記の事情に基づいてなされたものであり、その解決しようとする課題は、硬化後、離型時においてモールドからパターンが転写された膜を容易に剥がすことができるすなわち低離型力性を有するインプリント材料、及び２００℃を超える温度においても分解物の昇華が起こらない高耐熱性を有する硬化膜が形成されるインプリント材料を提供することであり、更に、当該材料から作製され、パターンが転写された膜を提供することである。具体的には、モールドに対する離型力が０ｇ／ｃｍより大きく０．
６５
　【課題を解決するための手段】
　【０００６】
　本発明者らは、上記の課題を解決するべく鋭意検討を行った結果、重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物、及び末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物、を含有し、前記重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物と前記末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物の合計１００質量％に対し当該末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物の割合を
２０
　【０００７】
　すなわち、本発明は、第１観点として、下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）及び（Ｄ）成分を含有し、前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合が
２０
［但し、当該インプリント材料は当該（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有しない］
　（Ａ）：下記式（１）で表される繰り返し単位を有し、式中Ｘ０で表される重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物
　（Ｂ）：下記式（２）で表される繰り返し単位を有し、末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物
　（Ｃ）：光重合開始剤
　（Ｄ）：溶剤
　【化１】
（式中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立に
メチル基、エチル基、プロピル基又はイソプロピル
メチレン基、−ＣＨ（ＣＨ３）−基、又はプロパン−２，２−ジイル
　第２観点として、前記（Ａ）成分が完全かご型構造及び／又は不完全かご型構造、並びにランダム構造及びはしご型構造の混合体からなる、第１観点に記載のインプリント材料に関する。
　第３観点として、（Ｅ）成分として界面活性剤を更に含有する第１観点又は第２観点に記載のインプリント材料に関する。
　第４観点として、前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の重合性基がアクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、ビニル基又はアリル基である、第１観点乃至第３観点のうちいずれか一つに記載のインプリント材料に関する。
　第５観点として、第１観点乃至第４観点のうちいずれか一つに記載のインプリント材料から作製され、パターンが転写された膜に関する。
　第６観点として、第５観点に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた光学部材に関する。
　第７観点として、第５観点に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた固体撮像装置に関する。
　第８観点として、第５観点に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えたＬＥＤデバイスに関する。
　第９観点として、第５観点に記載のパターンが転写された膜を備えた半導体素子に関する。
　第１０観点として、第５観点に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた太陽電池に関する。
　第１１観点として、第５観点に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えたディスプレイに関する。
　第１２観点として、第５観点に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた電子デバイスに関する。
　【発明の効果】
　【０００８】
　本発明のインプリント材料から作製された硬化膜は、低離型力性を有するとともに、例えば２６０℃の温度に曝されても分解物の昇華が見られない。
　また本発明のインプリント材料は、光硬化が可能であり、かつモールドの凹凸形状を有する面からの剥離時にパターンの一部に剥がれが生じないため、所望のパターンが正確に形成された膜が得られる。したがって、良好な光インプリントのパターン形成が可能である。
　また、本発明のインプリント材料は、任意の基材上に製膜することができ、インプリント後に形成されるパターンが転写された膜は、太陽電池、ＬＥＤデバイス、ディスプレイなどの、高透明性が求められる部材を使用する製品へ好適に用いることができる。
　さらに、本発明のインプリント材料は、前記（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｄ）成分の化合物の種類及び含有割合を変更することで、硬化速度、動的粘度、及び形成される硬化膜の膜厚をコントロールすることができる。したがって、本発明のインプリント材料は、製造するデバイス種と露光プロセス及び焼成プロセスの種類に対応した材料の設計が可能であり、プロセスマージンを拡大できるため、光学部材の製造に好適に用いることができる。
　【発明を実施するための形態】
　【０００９】
＜（Ａ）成分＞
　（Ａ）成分である重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物は、主鎖骨格がＳｉ−Ｏ−Ｓｉ結合であり、前記式（１）で表される繰り返し単位の式中に１．５個の酸素原子を有し、当該式中のＸ０で表される重合性基を２つ以上有する化合物を示す。当該重合性基としては、例えば、アクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、ビニル基、アリル基が挙げられる。ここで、アクリロイルオキシ基はアクリロキシ基と、メタアクリロイルオキシ基はメタアクリロキシ基と表現されることがある。さらに、前記式（１）においてＲ０で表される炭素原子数１乃至３のアルキレン基としては、例えば、メチレン基、エチリデン基［−ＣＨ（ＣＨ３）−基］、プロパン−２，２−ジイル基［−Ｃ（ＣＨ３）２−基］が挙げられる。
　【００１０】
　上記（Ａ）成分の化合物は、市販品として入手が可能であり、その具体例としては、ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００、ＭＡＣ−ＳＱ　ＴＭ−１００、ＡＣ−ＳＱ　ＳＩ−２０、ＭＡＣ−ＳＱ　ＳＩ−２０、ＭＡＣ−ＳＱ　ＨＤＭ（以上、東亞合成株式会社製）を挙げることができる。
　【００１１】
　前記（Ａ）成分の化合物は、例えば、下記式（３）で表される化合物又は下記式（４）で表される化合物を用いて合成することも可能である。
　【化２】
（式中、３つのＲ３はそれぞれ独立にメチル基又はエチル基を表し、Ｒ４は水素原子又はメチル基を表し、３つのＱはそれぞれ独立にハロゲノ基を表す。）
　【００１２】
　上記式（３）で表される化合物としては、例えば、３−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−アクリロイルオキシプロピルトリエトキシシラン、メタクリル酸３−（トリメトキシシリル）プロピル及びメタクリル酸３−（トリエトキシシリル）プロピルが挙げられる。上記式（４）で表される化合物としては、例えば、３−アクリロイルオキシプロピルトリクロロシラン、メタクリル酸３−（トリクロロシリル）プロピルが挙げられる。
　【００１３】
　上記（Ａ）成分の化合物は、重量平均分子量が例えば７００乃至７０００のシルセスキオキサン化合物を使用することができ、そのような化合物を単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
　【００１４】
　本発明のインプリント材料における（Ａ）成分は、パターン転写後の膜に対して耐熱性を付与し、２００℃を超える温度、例えば２６０℃の温度下において分解物の昇華を抑制することができる。また、（Ａ）成分の種類、分子量及び含有割合を変更することで、インプリント材料の動的粘度、インプリント時の硬化速度、及び形成される硬化膜の膜厚をコントロールすることができる。
　【００１５】
＜（Ｂ）成分＞
　（Ｂ）成分である末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物は、分子内にシリコーン骨格（シロキサン骨格）を有し、当該分子の末端に重合性基を２つ有する化合物を示す。そのシリコーン骨格については、前記式（２）においてＲ１及びＲ２がそれぞれ独立にメチル基、エチル基、プロピル基又はイソプロピル基を表す場合が挙げられるが、特に、Ｒ１及びＲ２がいずれもメチル基を表すジメチルシリコーン骨格が好ましい。さらに、前記重合性基としては、例えば、アクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、ビニル基、アリル基が挙げられる。ここで、アクリロイルオキシ基はアクリロキシ基と、メタアクリロイルオキシ基はメタアクリロキシ基と表現されることがある。
　【００１６】
　上記（Ｂ）成分の化合物としては市販品として入手が可能であり、その具体例としては、Ｘ−２２−１６４、Ｘ−２２−１６４ＡＳ、Ｘ−２２−１６４Ａ、Ｘ−２２−１６４Ｂ、Ｘ−２２−１６４Ｃ、Ｘ−２２−１６４Ｅ、Ｘ−２２−２４４５、Ｘ−２２−１６０２（以上、信越化学工業株式会社製）が挙げられる。
　【００１７】
　上記（Ｂ）成分の化合物は、単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
　【００１８】
　本発明のインプリント材料における（Ｂ）成分の割合は、上記（Ａ）成分と（Ｂ）成分の合計１００質量％に対し、５質量％以上２５質量％以下である。この割合が５質量％未満である場合には十分な低離型力性を得ることができず、２５％を超える場合には２００℃を超える温度、例えば２６０℃の温度に曝されたときに分解物の昇華が起こる。
　【００１９】
＜（Ｃ）成分＞
　（Ｃ）成分である光重合開始剤としては、光硬化時に使用する光源に吸収をもつものであれば、特に限定されるものではないが、例えば、ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシ−ｉｓｏ−ブチレート、２，５−ジメチル−２，５−ビス（ベンゾイルジオキシ）ヘキサン、１，４−ビス［α−（ｔｅｒｔ−ブチルジオキシ）−ｉｓｏ−プロポキシ］ベンゼン、ジ−ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシド、２，５−ジメチル−２，５−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルジオキシ）ヘキセンヒドロペルオキシド、α−（ｉｓｏ−プロピルフェニル）−ｉｓｏ−プロピルヒドロペルオキシド、ｔｅｒｔ−ブチルヒドロペルオキシド、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルジオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、ブチル−４，４−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルジオキシ）バレレート、シクロヘキサノンペルオキシド、２，２’，５，５’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−アミルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ヘキシルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシカルボニル）−４，４’−ジカルボキシベンゾフェノン、ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシベンゾエート、ジ−ｔｅｒｔ−ブチルジペルオキシイソフタレート等の有機過酸化物；９，１０−アントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−クロロアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン等のキノン類；ベンゾインメチル、ベンゾインエチルエーテル、α−メチルベンゾイン、α−フェニルベンゾイン等のベンゾイン誘導体；２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−１−［４−｛４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）ベンジル｝−フェニル］−２−メチル−プロパン−１−オン、フェニルグリオキシリックアシッドメチルエステル、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−１−ブタノン、２−ジメチルアミノ−２−（４−メチル−ベンジル）−１−（４−モリホリン−４−イル−フェニル）−ブタン−１−オン等のアルキルフェノン系化合物；ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド等のアシルホスフィンオキサイド系化合物；１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１，２−オクタンジオン２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノンＯ−アセチルオキシム等のオキシムエステル系化合物が挙げられる。
　【００２０】
　上記化合物は、市販品として入手が可能であり、その具体例としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）６５１、同１８４、同５００、同２９５９、同１２７、同７５４、同９０７、同３６９、同３７９、同３７９ＥＧ、同８１９、同８１９ＤＷ、同１８００、同１８７０、同７８４、同ＯＸＥ０１、同ＯＸＥ０２、同２５０、Ｄａｒｏｃｕｒ（登録商標）１１７３、同ＭＢＦ、同４２６５、Ｌｕｃｉｒｉｎ（登録商標）ＴＰＯ（以上、ＢＡＳＦジャパン株式会社製）、ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）ＤＥＴＸ、同ＭＢＰ、同ＤＭＢＩ、同ＥＰＡ、同ＯＡ（以上、日本化薬株式会社製）、ＶＩＣＵＲＥ−１０、同５５（以上、ＳＴＡＵＦＦＥＲ　Ｃｏ．ＬＴＤ製）、ＥＳＡＣＵＲＥ（登録商標）ＫＩＰ１５０、同ＴＺＴ、同１００１、同ＫＴＯ４６、同ＫＢ１、同ＫＬ２００、同ＫＳ３００、同ＥＢ３、トリアジン−ＰＭＳ、トリアジンＡ、トリアジンＢ（以上、日本シイベルヘグナー株式会社製）、アデカオプトマーＮ−１７１７、同Ｎ−１４１４、同Ｎ−１６０６（株式会社ＡＤＥＫＡ製）が挙げられる。
　【００２１】
　上記（Ｃ）成分の光重合開始剤は、単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
　【００２２】
　本発明のインプリント材料における（Ｃ）成分の含有量は、上記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総質量に対して、０．１ｐｈｒ乃至３０ｐｈｒであることが好ましく、１ｐｈｒ乃至２０ｐｈｒであることがより好ましい。（Ｃ）成分の含有量の割合が０．１ｐｈｒ未満の場合には、十分な硬化性が得られず、パターニング特性の悪化が起こるからである。ここで、ｐｈｒとは、（Ａ）成分および（Ｂ）成分の総質量１００ｇに対する、光重合開始剤の質量を表す。
　【００２３】
＜（Ｄ）成分＞
　本発明における（Ｄ）成分である溶剤は、上記（Ａ）成分である重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物及び（Ｂ）成分である末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物の粘度調節の役割を果たす。
　【００２４】
　上記溶剤としては、例えば、トルエン、ｐ−キシレン、ｏ−キシレン、スチレン、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコ−ルジメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール、１−オクタノール、エチレングリコール、ヘキシレングリコール、ジアセトンアルコール、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、プロピレングリコール、ベンジルアルコール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、２，３−ブタンジオール、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソプロピルケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルｎ−ブチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、ピルビン酸エチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸イソブチル、酢酸ｎ−ブチル、乳酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｔｅｒｔ−ブタノール、アリルアルコール、ｎ−プロパノール、２−メチル−２−ブタノール、イソブタノール、ｎ−ブタノール、２−メチル−１−ブタノール、１−ペンタノール、２−メチル−１−ペンタノール、２−エチルヘキサノール、トリメチレングリコール、１−メトキシ−２−ブタノール、イソプロピルエーテル、１，４−ジオキサン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、ジメチルスルホキシド、Ｎ−シクロヘキシル−２−ピロリジンが挙げられ、上記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の粘度を調節することができるものであれば、特に限定されるものではない。
　【００２５】
　上記（Ｄ）成分の溶剤は、単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
　【００２６】
　上記（Ａ）成分乃至（Ｃ）成分、並びに後述する（Ｅ）成分及びその他添加剤を含む全成分から（Ｄ）成分の溶剤を除いたものとして定義される固形分は、本発明のインプリント材料に対して１０質量％乃至９０質量％となる量にて含有することが好ましい。
　【００２７】
＜（Ｅ）成分＞
　本発明のインプリント材料においては、（Ｅ）成分として界面活性剤が添加されていてもよい。（Ｅ）成分である界面活性剤は、得られる塗膜の製膜性を調整する役割を果たす。
　【００２８】
　上記界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロックコポリマー類、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタントリステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤；商品名エフトップ（登録商標）ＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５２（三菱マテリアル電子化成株式会社）、商品名メガファック（登録商標）Ｆ−５５３、同Ｆ−５５４、同Ｆ−５５６、同Ｆ−４７７、同Ｆ１７１、同Ｆ１７３、同Ｒ−０８、同Ｒ−３０、同Ｒ−３０Ｎ（ＤＩＣ株式会社製）、フロラードＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（住友スリーエム株式会社製）、商品名アサヒガード（登録商標）ＡＧ７１０、サーフロン（登録商標）Ｓ−３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０２、同ＳＣ１０３、同ＳＣ１０４、同ＳＣ１０５、同ＳＣ１０６（旭硝子株式会社製）等のフッ素系界面活性剤；及びオルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業株式会社製）を挙げることができる。
　【００２９】
　上記界面活性剤は、単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。界面活性剤が使用される場合、その割合は、上記（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分の総質量に対して、好ましくは０．０１ｐｈｒ乃至４０ｐｈｒ、より好ましくは０．０１ｐｈｒ乃至１０ｐｈｒである。
　【００３０】
＜その他添加剤＞
　本発明のインプリント材料は、本発明の効果を損なわない限りにおいて、必要に応じて、エポキシ化合物、光酸発生剤、光増感剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、密着補助剤又は離型性向上剤を含有することができる。
　【００３１】
　上記エポキシ化合物としては、例えば、Ｘ−２２−２０４６、Ｘ−２２−３４３、Ｘ−２２−２０００、Ｘ−２２−４７４１、Ｘ−２２−１６３、Ｘ−２２−１６３Ａ、Ｘ−２２−１６３Ｂ、Ｘ−２２−１６３Ｃ、Ｘ−２２−１６９ＡＳ、Ｘ−２２−１６９Ｂ、Ｘ−２２−１７３ＢＸ、Ｘ−２２−１７３ＤＸ、Ｘ−２２−９００２、ＫＦ−１０２、ＫＦ−１０１、ＫＦ−１００１、ＫＦ−１００２、ＫＦ−１００５、ＫＦ−１０５（以上、信越化学工業株式会社製）、エポリード（登録商標）ＧＴ−４０１、同ＰＢ３６００、セロキサイド（登録商標）２０２１Ｐ、同２０００、同３０００、ＥＨＰＥ３１５０、ＥＨＰＥ３１５０ＣＥ、サイクロマー（登録商標）Ｍ１００（以上、株式会社ダイセル製）、ＥＰＩＣＬＯＮ（登録商標）８４０、同８４０−Ｓ、同Ｎ−６６０、同Ｎ−６７３−８０Ｍ（以上、ＤＩＣ株式会社製）が挙げられる。
　【００３２】
　上記光酸発生剤としては、例えば、ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）ＰＡＧ１０３、同ＰＡＧ１０８、同ＰＡＧ１２１、同ＰＡＧ２０３、同ＣＧＩ７２５（以上、ＢＡＳＦジャパン株式会社製）、ＷＰＡＧ−１４５、ＷＰＡＧ−１７０、ＷＰＡＧ−１９９、ＷＰＡＧ−２８１、ＷＰＡＧ−３３６、ＷＰＡＧ−３６７（以上、和光純薬工業株式会社製）、ＴＦＥ−トリアジン、ＴＭＥ−トリアジン、ＭＰ−トリアジン、ジメトキシトリアジン、ＴＳ−９１、ＴＳ−０１（株式会社三和ケミカル製）が挙げられる。
　【００３３】
　上記光増感剤としては、例えば、チオキサンテン系、キサンテン系、ケトン系、チオピリリウム塩系、ベーススチリル系、メロシアニン系、３−置換クマリン系、３，４−置換クマリン系、シアニン系、アクリジン系、チアジン系、フェノチアジン系、アントラセン系、コロネン系、ベンズアントラセン系、ペリレン系、ケトクマリン系、クマリン系、ボレート系が挙げられる。
　【００３４】
　上記光増感剤は、単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。当該光増感剤を用いることによって、ＵＶ領域の吸収波長を調整することもできる。
　【００３５】
　上記紫外線吸収剤としては、例えば、ＴＩＮＵＶＩＮ（登録商標）ＰＳ、同９９−２、同１０９、同３２８、同３８４−２、同４００、同４０５、同４６０、同４７７、同４７９、同９００、同９２８、同１１３０、同１１１ＦＤＬ、同１２３、同１４４、同１５２、同２９２、同５１００、同４００−ＤＷ、同４７７−ＤＷ、同９９−ＤＷ、同１２３−ＤＷ、同５０５０、同５０６０、同５１５１（以上、ＢＡＳＦジャパン株式会社）が挙げられる。
　【００３６】
　上記紫外線吸収剤は、単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。当該紫外線吸収剤を用いることによって、光硬化時に膜の最表面の硬化速度を制御することができ、離型性を向上できる場合がある。
　【００３７】
　上記酸化防止剤としては、例えば、ＩＲＧＡＮＯＸ（登録商標）１０１０、同１０３５、同１０７６、同１１３５、同１５２０Ｌ（以上、ＢＡＳＦジャパン株式会社）が挙げられる。
　【００３８】
　上記酸化防止剤は、単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。当該酸化防止剤を用いることで、酸化によって膜が黄色に変色することを防止することができる。
　【００３９】
　上記密着補助剤としては、例えば、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−アクリロキシプロピルトリメトキシシランが挙げられる。当該密着補助剤を用いることによって、基材との密着性が向上する。当該密着補助剤の含有量は、上記（Ａ）成分及び上記（Ｂ）成分の総質量に対して、好ましくは５ｐｈｒ乃至５０ｐｈｒ、より好ましくは１０ｐｈｒ乃至５０ｐｈｒである。
　【００４０】
　上記離型性向上剤としては、例えば、フッ素含有化合物が挙げられる。フッ素含有化合物としては、例えば、Ｒ−５４１０、Ｒ−１４２０、Ｍ−５４１０、Ｍ−１４２０、Ｅ−５４４４、Ｅ−７４３２、Ａ−１４３０、Ａ−１６３０（以上、ダイキン工業株式会社製）が挙げられる。
　【００４１】
＜インプリント材料の調製＞
　本発明のインプリント材料の調製方法は、特に限定されないが、（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分、（Ｄ）成分、並びに任意成分である（Ｅ）成分及び所望によりその他添加剤を混合し、インプリント材料が均一な状態となっていればよい。
　また、（Ａ）成分乃至（Ｅ）成分並びに所望によりその他添加剤を混合する際の順序は、均一なインプリント材料が得られるなら問題なく、特に限定されない。当該調製方法としては、例えば、（Ａ）成分に（Ｂ）成分を所定の割合で混合する方法が挙げられる。また、これに更に（Ｃ）成分、（Ｄ）成分、（Ｅ）成分を混合し、均一なインプリント材料とする方法も挙げられる。さらに、この調製方法の適当な段階において、必要に応じて、その他の添加剤を更に添加して混合する方法が挙げられる。
　【００４２】
＜光インプリント及びパターンが転写された膜＞
　本発明のインプリント材料は、基材上に塗布し光硬化させることで所望の硬化膜を得ることができる。塗布方法としては、公知又は周知の方法、例えば、スピンコート法、ディップ法、フローコート法、インクジェット法、スプレー法、バーコート法、グラビアコート法、スリットコート法、ロールコート法、転写印刷法、刷毛塗り、ブレードコート法、エアーナイフコート法を挙げることができる。
　【００４３】
　本発明のインプリント材料が塗布される基材としては、例えば、シリコンウエハ、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）が製膜されたガラス（以下、本明細書では「ＩＴＯ基板」と略称する。）、シリコンナイトライド（ＳｉＮ）が製膜されたガラス（ＳｉＮ基板）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）が製膜されたガラス、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、アクリル、プラスチック、ガラス、石英、セラミックス等からなる基材を挙げることができる。また、可撓性を有するフレキシブル基材、例えばトリアセチルセルロース、ポリエチレンテレフタレート、ポリメタクリル酸メチル、シクロオレフィン（コ）ポリマー、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリイミド、ポリアミド、ポリオレフィン、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルスルフォン、並びにこれらポリマーを組み合わせた共重合体からなる基材を用いることも可能である。
　【００４４】
　本発明のインプリント材料を硬化させる光源としては、特に限定されないが、例えば、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、無電極ランプ、メタルハライドランプ、ＫｒＦエキシマーレーザー、ＡｒＦエキシマーレーザー、Ｆ２エキシマーレーザー、電子線（ＥＢ）、極端紫外線（ＥＵＶ）を挙げることができる。また、波長は、一般的には、４３６ｎｍのＧ線、４０５ｎｍのＨ線、３６５ｎｍのＩ線、又はＧＨＩ混合線を用いることができる。さらに、露光量は、好ましくは、３０乃至２０００ｍＪ／ｃｍ２、より好ましくは３０乃至１０００ｍＪ／ｃｍ２である。
　【００４５】
　なお、前述の（Ｄ）成分である溶剤を用いる場合には、光照射前の塗膜及び光照射後の硬化膜の少なくとも一方に対し、溶剤を蒸発させる目的で、ベーク工程を加えてもよい。ベークするための機器としては、特に限定されるものではなく、例えば、ホットプレート、オーブン、ファーネスを用いて、適切な雰囲気下、すなわち大気、窒素等の不活性ガス、又は真空中で加熱することができるものであればよい。ベーク温度は、溶剤を蒸発させる目的では、特に限定されないが、例えば、４０℃乃至２００℃で行うことができる。
　【００４６】
　光インプリントを行う装置は、目的のパターンが得られれば特に限定されないが、例えば、東芝機械株式会社製のＳＴ５０、同社製のＳＴ５０Ｓ−ＬＥＤ、Ｏｂｄｕｃａｔ社製のＳｉｎｄｒｅ（登録商標）６０、明昌機工株式会社製のＮＭ−０８０１ＨＢ等の市販されている装置が挙げられる。そして当該装置を使用して、基材上に塗布されたインプリント材料とモールドとを圧着し、光硬化後に離型する方法を用いることができる。
　【００４７】
　また、本発明のパターンが転写された膜を作製する際に用いる光インプリント用モールド材としては、例えば、石英、シリコン、ニッケル、アルミナ、カルボニルシラン、グラッシーカーボン、ポリジメチルシリコーンを挙げることができるが、目的のパターンが得られるなら、特に限定されない。また、モールドは、離型性を高めるために、その表面にフッ素系化合物等の薄膜を形成する離型処理を行ってもよい。離型処理に用いる離型剤としては、例えば、ダイキン工業株式会社製のオプツール（登録商標）ＨＤ、同ＤＳＸが挙げられるが、目的のパターンが得られるなら、特に限定されない。
　【００４８】
　光インプリントのパターンサイズはナノメートルオーダーであり、具体的には１ミクロン未満のパターンサイズに準ずる。
　【００４９】
　なお、本発明において、離型力を評価する９０°剥離試験とは、一般に接着物（本発明ではインプリント材料から形成された硬化膜に相当する）を被着物（本発明では基材として使用するフィルムに相当する）に貼付けし、所定時間後に所定の剥離速度で９０°方向に引き剥がす際に生じる抵抗力（張力）を測定する試験である。通常、測定はＪＩＳ　Ｚ０２３７を参考にした評価法にて実施される。ここで測定された抵抗力を被着物の幅あたりに換算した値を離型力として評価することができる。
　そして本発明のインプリント材料をフィルム上に塗布し、当該フィルム上の塗膜をモールドの凹凸形状を有する面に接着させ、続いて当該塗膜を、モールドの凹凸形状を有する面を接着させたまま光硬化させ、その後フィルム上の硬化膜をモールドの凹凸形状を有する面から９０°剥離する試験において計測された離型力、すなわち、当該フィルム上の硬化膜をモールドの凹凸形状を有する面から完全に剥離したときの荷重を当該フィルムの横幅１ｃｍあたりに換算した値は、０ｇ／ｃｍより大きく０．８ｇ／ｃｍ以下であることが好ましい。この離型力は、前記範囲において小さい値ほどより好ましい。
　【００５０】
　こうして本発明のインプリント材料から作製され、パターンが転写された膜、さらに当該膜を備えた半導体素子並びに当該膜を基材上に備えた光学部材、固体撮像素子、ＬＥＤデバイス、太陽電池、ディスプレイ及び電子デバイスも本発明の対象である。
　【実施例】
　【００５１】
　以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を更に詳しく説明するが、本発明は、これら実施例に限定されるものでない。
　【００５２】
　後述する合成例１に示すポリマーの重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（以下、本明細書ではＧＰＣと略称する。）による測定結果である。測定には、（株）島津製作所製ＧＰＣシステムを用いた。当該ＧＰＣシステムの構成と、測定条件は下記のとおりである。
＜ＧＰＣシステム構成＞
システムコントローラ：ＣＢＭ−２０Ａ、カラムオーブン：ＣＴＯ−２０、オートサンプラ：ＳＩＬ−１０ＡＦ、検出器：ＳＰＤ−２０Ａ及びＲＩＤ−１０Ａ、排気ユニット：ＤＧＵ−２０Ａ３
ＧＰＣカラム：Ｓｈｏｄｅｘ（登録商標）ＫＦ−８０４Ｌ及びＫＦ−８０３Ｌ
カラム温度：４０℃
溶媒：テトラヒドロフラン
流量：１ｍＬ／分
標準試料：異なる重量平均分子量（１９７０００、５５１００、１２８００、３９５０、１２６０、５８０）のポリスチレン６種
　【００５３】
（合成例１）
　２０００ｍＬの四つ口フラスコに、３−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン４８６．９８ｇ及びメタノール４００．５３ｇを仕込み、攪拌下１０℃に冷却し、０．１Ｎ塩酸水溶液１１２．２３ｇとメタノール２００．２６ｇの混合溶液を１０〜２５℃で３０分かけて滴下した。その後、室温で一時間攪拌し、還流下３時間攪拌した。この溶液に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（以下、本明細書ではＰＧＭＥＡと略称する。）８２０ｇを添加しながら減圧濃縮してＰＧＭＥＡ溶液へ置換し、６００．０ｇのシルセスキオキサン化合物ＰＧＭＥＡ溶液を得た。このシルセスキオキサン化合物ＰＧＭＥＡ溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテル（以下、本明細書ではＰＧＭＥと略称する。）１２０．０ｇを加え、４０℃で２時間加熱し、シルセスキオキサン化合物のＰＧＭＥＡ／ＰＧＭＥ溶液（ＰＳ−１）を得た。得られたＰＳ−１の固形分濃度を、ハロゲン水分計（ＨＲ８３−Ｐ、メトラー・トレド株式会社製）にて１５０℃で測定したところ、固形分濃度は５０％であった。本合成例１で得られたシルセスキオキサン化合物の重量平均分子量を、ＧＰＣにより測定したところ、１１００であった。このシルセスキオキサン化合物は、前記式（１）で表される繰り返し単位を有し、当該式中、Ｘ０はアクリロイルオキシ基を表し、Ｒ０はメチレン基を表し、ｋは３を表す。
　【００５４】
［インプリント材料の調製］
＜
参考
　ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００（東亞合成株式会社製）（以下、本明細書では「ＡＣ−ＳＱＴＡ−１００」と略称する。）を９．５ｇ、Ｘ−２２−１６０２（信越化学株式会社製）（以下、本明細書では「Ｘ−２２−１６０２」と略称する。）を０．５ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ（登録商標）ＴＰＯ（ＢＡＳＦジャパン株式会社製）（以下、本明細書では「Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯ」と略称する。）を０．２５ｇ（ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００及びＸ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、ピルビン酸エチル１９ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ａ１を調製した。本
参考
　【００５５】
＜
参考
　ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００を９ｇ、Ｘ−２２−１６０２を１ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．２５ｇ（ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００及びＸ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、ピルビン酸エチル１９ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ａ２を調製した。本
参考
　【００５６】
＜
参考
　ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００を９ｇ、Ｘ−２２−１６０２を１ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．２５ｇ、メガファック（登録商標）Ｒ−３０Ｎ（ＤＩＣ株式会社製）（以下、本明細書では「Ｒ−３０Ｎ」と略称する。）を０．００５１ｇ（ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００、Ｘ−２２−１６０２及びＬｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯの総量に対して０．０５ｐｈｒ）、ピルビン酸エチル１９ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ａ３を調製した。本
参考
　【００５７】
＜実施例４＞
　ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００を８ｇ、Ｘ−２２−１６０２を２ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．２５ｇ（ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００及びＸ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、ピルビン酸エチル１９ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ａ４を調製した。本実施例では、（Ａ）成分に該当するＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００及び（Ｂ）成分に該当するＸ−２２−１６０２の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合は２０質量％である。
　【００５８】
＜実施例５＞
　ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００を８ｇ、Ｘ−２２−１６０２を２ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．２５ｇ（ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００及びＸ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、Ｒ−３０Ｎを０．００５１ｇ（ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００、Ｘ−２２−１６０２及びＬｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯの総量に対して０．０５ｐｈｒ）、ピルビン酸エチル１９ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ａ５を調製した。本実施例では、（Ａ）成分に該当するＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００及び（Ｂ）成分に該当するＸ−２２−１６０２の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合は２０質量％である。
　【００５９】
＜実施例６＞
　ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００を７．５ｇ、Ｘ−２２−１６０２を２．５ｇ、ＬｕｃｉｒｉｎＴＰＯを０．２５ｇ（ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００及びＸ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、ピルビン酸エチル１９ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ａ６を調製した。本実施例では、（Ａ）成分に該当するＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００及び（Ｂ）成分に該当するＸ−２２−１６０２の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合は２５質量％である。
　【００６０】
＜
参考
　合成例１で得たＰＳ−１（固形分濃度５０質量％）を９．５ｇ、Ｘ−２２−１６０２を０．２５ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．１２５ｇ（ＰＳ−１から溶剤を除いた固形分及びＸ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、ＰＧＭＥＡ４．７７ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ａ７を調製した。本
参考
　【００６１】
＜
参考
　合成例１で得たＰＳ−１を９ｇ、Ｘ−２２−１６０２を０．５ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．１２５ｇ（ＰＳ−１から溶剤を除いた固形分及びＸ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、ＰＧＭＥＡ５．０２ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ａ８を調製した。本
参考
　【００６２】
＜
参考
　合成例１で得たＰＳ−１を９ｇ、Ｘ−２２−１６０２を０．５ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．１２５ｇ（ＰＳ−１から溶剤を除いた固形分及びＸ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、Ｒ−３０Ｎを０．００２６ｇ（ＰＳ−１から溶剤を除いた固形分、Ｘ−２２−１６０２及びＬｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯの総量に対して０．０５ｐｈｒ）、ＰＧＭＥＡ５．０２ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ａ９を調製した。本
参考
　【００６３】
＜実施例１０＞
　合成例１で得たＰＳ−１を８ｇ、Ｘ−２２−１６０２を１ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．１２５ｇ（ＰＳ−１から溶剤を除いた固形分及びＸ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、ＰＧＭＥＡ５．５２ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ａ１０を調製した。本実施例では、（Ａ）成分に該当するＰＳ−１から溶剤を除いた固形分及び（Ｂ）成分に該当するＸ−２２−１６０２の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合は２０質量％である。
　【００６４】
＜実施例１１＞
　合成例１で得たＰＳ−１を８ｇ、Ｘ−２２−１６０２を１ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．１２５ｇ（ＰＳ−１から溶剤を除いた固形分及びＸ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、Ｒ−３０Ｎを０．００２６ｇ（ＰＳ−１から溶剤を除いた固形分、Ｘ−２２−１６０２及びＬｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯの総量に対して０．０５ｐｈｒ）、ＰＧＭＥＡ５．５２ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ａ１１を調製した。本実施例では、（Ａ）成分に該当するＰＳ−１から溶剤を除いた固形分及び（Ｂ）成分に該当するＸ−２２−１６０２の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合は２０質量％である。
　【００６５】
＜実施例１２＞
　合成例１で得たＰＳ−１を７．５ｇ、Ｘ−２２−１６０２を１．２５ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．１２５ｇ（ＰＳ−１から溶剤を除いた固形分及びＸ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、ＰＧＭＥＡ５．７７ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ａ１２を調製した。本実施例では、（Ａ）成分に該当するＰＳ−１から溶剤を除いた固形分及び（Ｂ）成分に該当するＸ−２２−１６０２の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合は２５質量％である。
　【００６６】
＜比較例１＞
　ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００を１０ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．２５ｇ（ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００の量に対して２．５ｐｈｒ）、ピルビン酸エチル１９ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ｂ１を調製した。本比較例では、（Ｂ）成分の割合は０質量％である。
　【００６７】
＜比較例２＞
　ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００を７ｇ、Ｘ−２２−１６０２を３ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．２５ｇ（ＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００、Ｘ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、ピルビン酸エチル１９ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ｂ２を調製した。本比較例では、（Ａ）成分に該当するＡＣ−ＳＱ　ＴＡ−１００及び（Ｂ）成分に該当するＸ−２２−１６０２の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合は３０質量％である。
　【００６８】
＜比較例３＞
　合成例１で得たＰＳ−１を７ｇ、Ｘ−２２−１６０２を１．５ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．１２５ｇ（ＰＳ−１から溶剤を除いた固形分とＸ−２２−１６０２の総量に対して２．５ｐｈｒ）、ＰＧＭＥＡ６．０２ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ｂ３を調製した。本比較例では、（Ａ）成分に該当するＰＳ−１から溶剤を除いた固形分及び（Ｂ）成分に該当するＸ−２２−１６０２の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合は３０質量％である。
　【００６９】
＜比較例４＞
　Ｘ−２２−１６０２を１０ｇ、Ｌｕｃｉｒｉｎ　ＴＰＯを０．２５ｇ、ピルビン酸エチル１９ｇを混合し、インプリント材料ＰＮＩ−ｂ４を調製した。本比較例では、（Ｂ）成分の割合は１００質量％である。
　【００７０】
［光インプリント及び離型力試験］
　実施例
４乃至実施例６、実施例１０
、参考例１乃至参考例３、参考例７乃至参考例９
　【００７１】
［耐熱性評価］
　実施例
４乃至実施例６、実施例１０
、参考例１乃至参考例３、参考例７乃至参考例９
　【００７２】
　【表１】
　【００７３】
　表１の結果から実施例
４乃至実施例６及び実施例１０
６５
６５
６５
　【産業上の利用可能性】
　【００７４】
　本発明のインプリント材料は、当該材料から形成された硬化膜（パターンが転写された膜）をモールドから容易に剥離することができ、且つ、耐熱性にも優れることから、当該インプリント材料から得られる硬化膜は太陽電池、ＬＥＤデバイス、ディスプレイなどの製品へ好適に用いることができる。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分及び（Ｄ）成分を含有し、前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計１００質量％に対し、当該（Ｂ）成分の割合が
２０
［但し、当該インプリント材料は当該（Ａ）成分及び（Ｂ）成分以外に重合性基を有する化合物を含有しない］
　（Ａ）：下記式（１）で表される繰り返し単位を有し、式中Ｘ０で表される重合性基を２つ以上有するシルセスキオキサン化合物
　（Ｂ）：下記式（２）で表される繰り返し単位を有し、末端に重合性基を２つ有するシリコーン化合物
　（Ｃ）：光重合開始剤
　（Ｄ）：溶剤
　【化１】
（式中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立にメチル基、エチル基、プロピル基又はイソプロピル基を表し、Ｒ０はメチレン基、
−ＣＨ（ＣＨ３）−
　【請求項２】
前記（Ａ）成分が完全かご型構造及び／又は不完全かご型構造、並びにランダム構造及びはしご型構造の混合体からなる、請求項１に記載のインプリント材料。
　【請求項３】
（Ｅ）成分として界面活性剤を更に含有する、請求項１又は請求項２に記載のインプリント材料。
　【請求項４】
前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の重合性基がアクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、ビニル基又はアリル基である、請求項１乃至請求項３のうちいずれか一項に記載のインプリント材料。
　【請求項５】
前記式（１）で表される繰り返し単位において、式中ｋは３を表す、請求項１乃至請求項４のうちいずれか一項に記載のインプリント材料。
　【請求項６】
請求項１乃至請求項５のうちいずれか一項に記載のインプリント材料から作製され、パターンが転写された膜。
　【請求項７】
請求項６に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた光学部材。
　【請求項８】
請求項６に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた固体撮像装置。
　【請求項９】
請求項６に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えたＬＥＤデバイス。
　【請求項１０】
請求項６に記載のパターンが転写された膜を備えた半導体素子。
　【請求項１１】
請求項６に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた太陽電池。
　【請求項１２】
請求項６に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えたディスプレイ。
　【請求項１３】
請求項６に記載のパターンが転写された膜を基材上に備えた電子デバイス。