【事件の表示】
　特許第２７４６８３０号「動圧空気軸受装置およびその動圧発生用溝の作製方法」の請求項１ないし３、５ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７４６８３０号の請求項２に係る特許を維持する。
【理由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第２７４６８３０号の請求項１、２、３、５及び６に係る発明は、平成６年４月１日に出願（優先権主張平成５年５月１２日）され、平成９年１０月３日にそれらの特許の設定登録がされ、その後、峰康弘により特許異議の申立がなされ、特許の取消理由が通知され、その通知書で指定した期間内の平成１１年３月３０日に訂正請求がなされた後、その訂正請求に対して訂正拒絶理由が通知され、その通知書で指定された期間内の平成１１年８月９日付けで手続補正書が提出されたものである。
ＩＩ．訂正の適否
１．前記手続補正書による補正の適否
（補正の内容）
　補正の内容は、訂正請求書に添付した全文訂正明細書を次のように補正するものである。
▲１▼補正事項ａ
　前記全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１を削除し、以下の項の請求項番号を「請求項１」、「請求項２」及び「請求項３」に繰り上げるとともに、繰り上げられた請求項２（補正前の請求項３）に記載の「動圧発生用溝を刻設し、次いで、該動圧発生用溝が刻設された回転軸または軸受部材に所定のめっき処理を施してめっき皮膜を形成し、次いで、該めっき皮膜の表面を表面仕上げして前記動圧発生用溝の溝深さを変化させ高精度に形成することを特徴とする動圧発生用溝の作製方法。」を「動圧発生用溝を転造にて押圧刻設し、次いで、該動圧発生用溝が刻設された回転軸または軸受部材の溝を含む軸受部全面に所定の無電解ニッケルめっき処理を施してめっき皮膜を形成し、次いで、該無電解ニッケルめっき皮膜の溝部以外の表面を表面仕上げして前記動圧発生用の溝を２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するような深さに形成することを特徴とするポリゴンスキャナ用の動圧発生用溝の作製方法。」と補正する。
▲２▼補正事項ｂ
　前記全文訂正明細書の【発明の詳細な説明】の記載を、上記補正事項ａと整合するように補正する。
（補正の適否）
　上記補正事項ａは、前記全文訂正明細書における特許請求の範囲の請求項の削除及び補正前の請求項３に係る発明の構成に限定を加えるものであるから、特許請求の範囲の減縮に相当するものである。
　上記補正事項ｂは、前記補正事項ａに伴って生じる、前記全文訂正明細書における不明りょうな記載を解消するものであるから、明りようでない記載の釈明に相当するものである。
　また、前記補正事項ａ及びｂは、いずれも前記全文訂正明細書に記載された事項の範囲内であって、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　したがって、前記手続補正書による補正は、訂正請求書の要旨を変更するものではない。
　よって、前記手続補正書による補正は、特許法第１２０条の４第３項において準用する同法第１３１条第２項の規定に適合し、認められるものである。
２．訂正の内容
　前記手続補正書による補正が認められることにより、前記訂正請求によって本件特許明細書が訂正される事項は、以下のとおりと認める。
▲１▼訂正事項ａ
　特許明細書の特許請求の範囲の請求項１、２、３及び５を削除し、以下の項の請求項番号を「請求項１」、「請求項２」及び「請求項３」に繰り上げるとともに、繰り上げられた請求項２（訂正前の請求項６）に記載の「動圧発生用溝を刻設し、次いで、該動圧発生用溝が刻設された回転軸または軸受部材に所定のめっき処理を施してめっき皮膜を形成し、次いで、該めっき皮膜の表面を表面仕上げすること特徴とする動圧発生用溝の作製方法。」を、「動圧発生用溝を転造にて押圧刻設し、次いで、該動圧発生用溝が刻設された回転軸または軸受部材の溝を含む軸受部全面に所定の無電解ニッケルめっき処理を施してめっき皮膜を形成し、次いで、該無電解ニッケルめっき皮膜の溝部以外の表面を表面仕上げして前記動圧発生用の溝を２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するような深さに形成することを特徴とするポリゴンスキヤナ用の動圧発生用溝の作製方法。」と訂正する。
▲２▼訂正事項ｂ
　特許明細書の段落番号【００１２】、【００１４】、【００１８】、【００２０】、【００４９】及び【００５１】の記載を削除し、
段落番号【００１１】の「【課題を・・・ものである。」を「【課題を解決するための手段】」と、段落番号【００１７】の「【作用】・・・共通化される。」を「【作用】」と、段落番号【００４８】の「【発明・・・提供することができる。」を「【発明の効果】」とそれぞれ訂正する。
▲３▼訂正事項ｃ
　特許明細書の段落番号【００１６】の「請求項７」を「請求項３」と、段落番号【００１９】の「請求項４」を「請求項１」と、段落番号【００２２】の「請求項７」を「請求項３」と、段落番号【００２３】の「請求項５または６」を「請求項２」と、段落番号【００３４】の「請求項１・・・いずれか」を「請求項２」と、段落番号【００３７】の「請求項４〜６のいずれか」を「請求項１または２」と、段落番号【００４０】の「請求項３・・・いずれか」を「請求項２」と、段落番号【００４３】の「請求項７」を「請求項３」と、段落番号【００５０】の「請求項４」を「請求項１」と、段落番号【００５３】の「請求項７」を「請求項３」とそれぞれ訂正する。
▲４▼訂正事項ｄ
　特許明細書の段落番号【００１３】の「また・・・発明は」を「上記目的達成のため、請求項１記載の発明は」と訂正する。
▲５▼訂正事項ｅ
　特許明細書の段落番号【００１６】の文末行と【００１７】の文頭行の間に、次の記載を加入する。
「　なお、上記目的達成のため、回転軸と、該回転軸の表面に所定隙間を介して対向する軸受面を有する軸受部材と、から構成され、回転軸の表面または軸受部材の軸受面に動圧を発生させる動圧発生用溝を設けた動圧空気軸受装置において、前記回転軸の表面および軸受部材の軸受面の少なくとも接触可能な部位の一方に、潤滑性を有するめっき皮膜を形成し、他方に潤滑性を有する陽極酸化膜を形成して、回転軸の表面および軸受部材の軸受面間の滑りを向上させ、起動・停止時等に回転軸と軸受部材との接触があっても摩耗粉の発生を防止するとともに、めっき皮膜を形成した回転軸または軸受部材側に動圧発生用溝を設けることにより、動圧発生用溝の品質を低下させることなく潤滑性皮膜を陽極酸化膜によって形成できるようにしてもよい。この潤滑性は、例えば、テフロン、二硫化モリブデン、あるいは窒化ボロンのいずれかの成分により付与すればよい。
　また、回転軸と、該回転軸の表面に所定隙間を介して対向する軸受面を有する軸受部材と、から構成され、回転軸の表面または軸受部材の軸受面に動圧を発生させる動圧発生用溝を設けた動圧空気軸受装置において、前記回転軸および軸受部材の母材をアルミニウムあるいはアルミニウム合金により構成するとともに、磁石による磁気力により回転軸を浮上させる磁気軸受手段を設け、該回転軸の表面および軸受部材の軸受面の少なくとも接触可能な部位の両面ともに、炭化ケイ素あるいはダイヤモンドのいずれかの成分からなる耐摩耗材料を分散しためっき皮膜を形成して、回転軸および軸受部材は磁性を帯びてしまうことがなく、ラジアル方向には動圧軸受により、アキシャル方向には磁気軸受により非接触支持して、駆動停止時にも回転軸を浮上させて、摩耗を一層低減し、また、その回転軸の表面および軸受部材の軸受面間の耐摩耗性を向上させ、起動・停止時等に回転軸と軸受部材との接触があっても摩耗粉の発生を防止してロックしてしまうことを防止するとともに、動圧発生用溝の品質を低下することがないようにし、また、同一種のめっき皮膜を形成することにより皮膜を形成する設備を共通化して低コストに耐摩耗皮膜を形成することができるようにしてもよい。
　また、回転軸と、該回転軸の表面に所定隙間を介して対向する軸受面を有する軸受部材と、から構成され、回転軸の表面または軸受部材の軸受面に動圧を発生させる動圧発生用溝を設け、前記回転軸または軸受部材の一方を所定径の円柱状に形成し、他方に該円柱状の回転軸または軸受部材を挿入される所定径の円筒状中空を設ける動圧空気軸受装置において、前記動圧発生用溝を形成された前記回転軸の表面あるいは軸受部材の軸受面の挿入先端側あるいは被挿入先端側に、該動圧発生用構外の径と同一になるよう形成された所定幅の帯面を設けて、円柱状に形成した回転軸または軸受部材の一方を他方の円筒状中空に挿入する際に、動圧発生用溝を形成されていない回転軸あるいは軸受部材のエッジが動圧発生用溝に衝突することがなく、その衝突によって発生する傷等によってロックしてしまうことを防止することができるようにしてもよい。」
▲６▼訂正事項ｆ
　特許明細書の段落番号【００１５】の「また・・・ものである。」を「また、請求項２記載の発明は、回転軸の表面または該表面に所定隙間を介して対向する軸受部材の軸受面に、動圧を発生させる動圧発生用溝を形成する動圧発生用溝の作製方法において、まず、前記回転軸の表面または軸受部材の軸受面の何れか一方に動圧発生用溝を転造にて押圧刻設し、次いで、該動圧発生用溝が刻設された回転軸または軸受部材の溝を含む軸受部全面に所定の無電解ニッケルめっき処理を施してめっき皮膜を形成し、次いで、該無電解ニッケルめっき皮膜の溝部以外の表面を表面仕上げして前記動圧発生用の溝を２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するような深さに形成し、ポリゴンスキャナ用の動圧発生用溝を作製することを特徴とするものである。」と訂正する。
▲７▼訂正事項ｇ
　特許明細書の段落番号【００２１】の「請求項６・・・エッジ処理される。」を「請求項２記載の発明では、まず、回転軸の表面または軸受部材の軸受面の何れか一方に動圧発生用溝が転造により押圧刻設され、次いで、その回転軸または軸受部材の溝を含む軸受部全面に所定の無電解ニッケルめっき処理が施されてめっき皮膜が形成される。次いで、その無電解ニッケルめっき皮膜の表面が表面仕上げされて動圧発生用の溝が２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するポリゴンスキャナ用の深さに形成される。したがって、めっき皮膜が形成されている箇所とされていない箇所とに断層となることがなく、また母材が露出することがない。さらに、動圧発生用構外が表面仕上げされて溝深さが２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するポリゴンスキャナ用に高精度に形成され、エッジ処理される。」と訂正する。
▲８▼訂正事項ｈ
　特許細書の段落番号【００５２】の「請求項６・・・エッジ処理することができる。」を「請求項２記載の発明によれば、回転軸または軸受部材に動圧発生用溝を転造により押圧刻設するので、まず動圧発生用溝を転造によって容易に形成することができる。この後に、その動圧発生用溝を含む軸受部全面に所定の無電解ニッケルめっき皮膜を形成するので、無電解ニッケルめっき皮膜が形成されている箇所とされていない箇所とに断層となることがなく、めっき皮膜の剥離を防止することができ、母材が露出することがないので、酸化を防止することができ、溝深さを維持することができる。さらに、無電解ニッケルめっき皮膜の表面を表面仕上げして動圧発生用の溝が２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するポリゴンスキャナ用の深さに形成するので、溝深さがばらついていたり設定から外れていても溝深さを高精度に形成することができ、併せてエッジ処理することができる。」と訂正する。
３．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　前記訂正事項ａは、特許請求範囲の請求項の削除及び訂正前の請求項６に係る発明の構成に限定を加えるものであるから、特許明細書の特許請求の範囲の減縮に相当するものである。
　前記訂正事項ｂ乃至ｈは、前記訂正事項ａによって生じる特許明細書の不明りょうな記載を解消するものであるから、いずれも明りょうでない記載の釈明に相当する。
　さらに、前記訂正事項ａ乃至ｈは、いずれも特許明細書及び図面に記載された事項の範囲内であって、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
４．独立特許要件について
（訂正明細書の請求項２に係る発明）
　訂正明細書の請求項２に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項２に記載された次のとおりのものと認める。
「【請求項２】　回転軸の表面または該表面に所定隙間を介して対向する軸受部材の軸受面に、動圧を発生させる動圧発生用溝を形成する動圧発生用溝の作製方法において、
　まず、前記回転軸の表面または軸受部材の軸受面の何れか一方に動圧発生用溝を転造にて押圧刻設し、次いで、該動圧発生用溝が刻設された回転軸または軸受部材の溝を含む軸受部全面に所定の無電解ニッケルめっき処理を施してめっき皮膜を形成し、次いで、該無電解ニッケルめっき皮膜の溝部以外の表面を表面仕上げして前記動圧発生用の溝を２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するような深さに形成することを特徴とするポリゴンスキヤナ用の動圧発生用溝の作製方法。（以下、「本件第２発明」という。）」
（特許異議申立の理由）
　特許異議申立人の峰康宏は、甲第１号証刊行物である特開昭６３−２３５７１９号公報（以下、「刊行物」という。）を提出し、訂正前の請求項６に係る発明（上記「本件第２発明」に対応。）は、上記刊行物に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、訂正前の請求項６に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり（「申立理由１」）、また、訂正前の請求項６に係る記載には不備があるので、本件特許は、特許法第３６条第４項又は第５項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものである（「申立理由２」）ので、訂正前の請求項６に係る発明の特許は、取り消すべき旨主張する。
　なお、上記特許異議申立人により取り消しの申立がなされた訂正前の請求項１、２、３及び５に係る発明は、それらの請求項が前記訂正により削除されたため、独立特許要件についての判断は必要としないものとなった。
・申立理由１について
（刊行物の記載事項）
　上記刊行物には、ポリゴンミラー回転駆動装置等に使用可能な動圧気体軸受装置に関し、
「第１図において、符号１で示されているベースの中央部からはボス部１ａが立ち上がっており、ボス部１ａ内には支柱４が圧入されている。支柱４の上半部は径が小さくなっており、この小径部外周には二つのリング状の永久磁石７、１７が嵌め込まれて固定されている。永久磁石１７はベース１のボス部１ａ内にあり、永久磁石７は支柱４の上端部に固定されている。永久磁石７の上端には磁石押さえ１２が被せられ、永久磁石７が支柱４から抜け出るのを防止している。」（第２頁左上欄第１２行〜同頁右上欄第１行）、
「回転軸２は、Ａｌ材を用いて機械加工され、第２図に示されているように、表面にエッチング加工によってグルーブ１３が形成されている。そして、この回転軸２の表面には、ＳｉＣを含有した無電解複合Ｎｉメッキによって耐摩耗性被膜が形成されている。
　同様に、軸受け３もＡｌ材を用いて作られ、上記回転軸２の表面と対向する軸受３の表面には、潤滑アルマイトにより潤滑性被膜１５が形成さている。」（第２頁左下欄第１０〜１８行）及び「耐摩耗性処理を施した表面はラッピング処理を施すことが望ましい。これは、固い突起を残しておくと、潤滑性処理を施した柔らかい表面を傷付けることになるので、これを防止するためである。」（第３頁左下欄第１行〜５行）と記載されている。
（対比・判断）
　本件第２発明と、上記刊行物に記載された発明とを対比すると、刊行物に記載された「無電解複合Ｎｉメッキ」は本件第２発明の「無電解ニッケルめっき」に、同様に、「ラッピング処理」は「表面仕上」にそれぞれ相当することより、両者は、回転軸の表面または該表面に所定隙間を介して対向する軸受部材の軸受面に、動圧を発生させる動圧発生用溝を形成する動圧発生用溝の作製方法において、まず、前記回転軸の表面または軸受部材の軸受面の何れか一方に動圧発生用溝を刻設し、次いで、該動圧発生用溝が刻設された回転軸または軸受部材の溝を含む軸受部全面に所定の無電解ニッケルめっき処理を施してめっき皮膜を形成し、次いで、該無電解ニッケルめっき皮膜の溝部以外の表面を表面仕上げするポリゴンスキャナ用の動圧発生用溝の作製方法である点で一致し、以下の各点において相違する。
ａ．回転軸の表面または軸受部材の軸受面の何れか一方に動圧発生用溝を刻設するのに、本件第２発明では、転造にて押圧しているのに対し、刊行物に記載のものでは、エッチング加工している点。
ｂ．無電解ニッケルめっき皮膜の溝部以外の表面を表面仕上げすることにより、本件第２発明では、動圧発生用の溝を２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するような深さに形成しているのに対し、刊行物に記載のものでは、そのようなことについての言及がない点。
　そこで、上記各相違点について検討すると、上記相違点ｂに関して、刊行物に記載された動圧発生用溝もポリゴンスキャナ用のものであるので、該溝は、軸の高速回転により非接触支持するような深さに形成されることには本件第２発明と差がないものであるが、刊行物に記載された無電解ニッケルめっき皮膜の表面の「表面仕上げ」は、固い突起を削除して対向する表面を傷つけることを防止するものであり、該溝の深さを高精度に仕上げることを意図するものではない。しかも、上記相違点ａに関して、刊行物に記載のものは、該溝をエッチング加工、即ち、材料を除去する加工により形成するものであり、本件第２発明のように塑性変形をともなう転造にて押圧刻設されるものではない。そして、この様に転造にて押圧刻設された溝を含む軸受部全面に所定の無電解ニッケルめっき処理を施してめっき皮膜を形成し、次いで、上記相違点ｂに係る本件第２発明のように、該無電解ニッケルめっき皮膜の溝部以外の表面を表面仕上げすることにより、動圧発生用の溝を２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するような深さに形成することについて、刊行物には示唆する記載はなく、当業者が容易に想到できたものとすることはできない。
　したがって、本件第２発明は、上記刊行物に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
・申立理由２について
　申立理由２における記載不備である具体的な主張は、訂正後の請求項２に「表面仕上げ」なる記載がされているが、表面を切削するのか、研磨するのか、布等で拭くのか、洗浄するのか等が全く不明であり、具体的にどのような加工方法であるかについて、明細書に一切の記載がなく、発明の構成を十分に記載していないというものである。
　しかし、金属等の表面を仕上げる方法は、切削、研磨等の種々の加工方法が当業者において周知であり、そして、無電解ニッケルめっき皮膜の溝部位外の表面を「表面仕上げ」する加工方法は、当業者が本件第２発明を実施するのに際し、これら周知の加工方法から適宜に選択することができるものであるから、明細書においてその加工方法が記載されていないということだけで、特許請求の範囲に、特許を受けようとする発明の構成に欠くことができない事項が記載されていないとすること、または、発明の詳細な説明に、当業者が容易にその実施をすることができる程度に、その発明の構成が記載されていないとすることはできない。
　また、他に本件第２発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由は見当たらない。
　したがって、本件第２発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
５．むすび
　以上のとおりであるから、前記訂正は、特許法第１２０条の４第２項第１号及び第３号に掲げる事項を目的とし、同条第３項で準用する同法第１２６条第２項乃至第４項の規定にについて、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定により、なお従前の例によるとされることから適用される平成５年特許法第１２６条第１項ただし書き及び同条第２及び３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
ＩＩＩ．特許異議の申立についての判断
１．本件特許に係る発明
　本件特許第２７４６８３０号の請求項２に係る発明は、前記訂正が認められることから、前記全文訂正明細書及び図面の記載からみて、前記本件第２発明としたものである（以下、「ＩＩ．訂正の適否」の項と同様に、「本件第２発明」という。）。
２．異議申立の理由
　特許異議申立人の峰康宏が主張している上記本件第２発明に係る特許異議申立の理由は、上記「ＩＩ．訂正の適否」における「４．独立特許要件について（特許異議申立の理由）」の項に記載したとおりの申立理由１及び２である。
　なお、上記特許異議申立人により訂正前の請求項１、２、３及び５に係る発明に対しなされていた取り消しの申立は、それらの請求項が前記訂正により削除されたため、その申立についての判断は必要としないものとなった。
３．申立理由１について
　本件第２発明は、上記「ＩＩ．訂正の適否」における「４．独立特許要件について・申立理由１について」の項で検討したとおり、特許異議申立人が提出した刊行物に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
４．申立理由２について
　上記「ＩＩ．訂正の適否」における「４．独立特許要件について・申立理由２について」の項で検討したとおり、特許明細書の特許請求の範囲に、特許を受けようとする発明の構成に欠くことができない事項が記載されていないとすること、または、発明の詳細な説明に、当業者が容易にその実施をすることができる程度に、その発明の構成が記載されていないとすることはできない。
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠方法によっては、本件第２発明に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件第２発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年９月２日（１９９９．９．２）
【訂正の要旨】
　上記訂正請求における訂正の要旨は、次のとおりである。
１．特許請求の範囲の減縮を目的として、
▲１▼訂正事項ａ
　特許明細書の特許請求の範囲の請求項１、２、３及び５を削除し、以下の項の請求項番号を「請求項１」、「請求項２」及び「請求項３」に繰り上げるとともに、繰り上げられた請求項２に記載の「動圧発生用溝を刻設し、次いで、該動圧発生用溝が刻設された回転軸または軸受部材に所定のめっき処理を施してめっき皮膜を形成し、次いで、該めっき皮膜の表面を表面仕上げすること特徴とする動圧発生用溝の作製方法。」を、「動圧発生用溝を転造にて押圧刻設し、次いで、該動圧発生用溝が刻設された回転軸または軸受部材の溝を含む軸受部全面に所定の無電解ニッケルめっき処理を施してめっき皮膜を形成し、次いで、該無電解ニッケルめっき皮膜の溝部以外の表面を表面仕上げして前記動圧発生用の溝を２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するような深さに形成することを特徴とするポリゴンスキヤナ用の動圧発生用溝の作製方法。」と訂正する。
２．明細書中の明瞭でない記載の釈明を目的として、
▲２▼訂正事項ｂ
　特許明細書の段落番号【００１２】、【００１４】、【００１８】、【００２０】、【００４９】及び【００５１】の記載を削除し、
段落番号【００１１】の「【課題を・・・ものである。」を「【課題を解決するための手段】」と、段落番号【００１７】の「【作用】・・・共通化される。」を「【作用】」と、段落番号【００４８】の「【発明・・・提供することができる。」を「【発明の効果】」とそれぞれ訂正する。
▲３▼訂正事項ｃ
　特許明細書の段落番号【００１６】の「請求項７」を「請求項３」と、段落番号【００１９】の「請求項４」を「請求項１」と、段落番号【００２２】の「請求項７」を「請求項３」と、段落番号【００２３】の「請求項５または６」を「請求項２」と、段落番号【００３４】の「請求項１・・・いずれか」を「請求項２」と、段落番号【００３７】の「請求項４〜６のいずれか」を「請求項１または２」と、段落番号【００４０】の「請求項３・・・いずれか」を「請求項２」と、段落番号【００４３】の「請求項７」を「請求項３」と、段落番号【００５０】の「請求項４」を「請求項１」と、段落番号【００５３】の「請求項７」を「請求項３」とそれぞれ訂正する。
▲４▼訂正事項ｄ
　特許明細書の段落番号【００１３】の「また・・・発明は」を「上記目的達成のため、請求項１記載の発明は」と訂正する。
▲５▼訂正事項ｅ
　特許明細書の段落番号【００１６】の文末行と【００１７】の文頭行の間に、次の記載を加入する。
「　なお、上記目的達成のため、回転軸と、該回転軸の表面に所定隙間を介して対向する軸受面を有する軸受部材と、から構成され、回転軸の表面または軸受部材の軸受面に動圧を発生させる動圧発生用溝を設けた動圧空気軸受装置において、前記回転軸の表面および軸受部材の軸受面の少なくとも接触可能な部位の一方に、潤滑性を有するめっき皮膜を形成し、他方に潤滑性を有する陽極酸化膜を形成して、回転軸の表面および軸受部材の軸受面間の滑りを向上させ、起動・停止時等に回転軸と軸受部材との接触があっても摩耗粉の発生を防止するとともに、めっき皮膜を形成した回転軸または軸受部材側に動圧発生用溝を設けることにより、動圧発生用溝の品質を低下させることなく潤滑性皮膜を陽極酸化膜によって形成できるようにしてもよい。この潤滑性は、例えば、テフロン、二硫化モリブデン、あるいは窒化ボロンのいずれかの成分により付与すればよい。
　また、回転軸と、該回転軸の表面に所定隙間を介して対向する軸受面を有する軸受部材と、から構成され、回転軸の表面または軸受部材の軸受面に動圧を発生させる動圧発生用溝を設けた動圧空気軸受装置において、前記回転軸および軸受部材の母材をアルミニウムあるいはアルミニウム合金により構成するとともに、磁石による磁気力により回転軸を浮上させる磁気軸受手段を設け、該回転軸の表面および軸受部材の軸受面の少なくとも接触可能な部位の両面ともに、炭化ケイ素あるいはダイヤモンドのいずれかの成分からなる耐摩耗材料を分散しためっき皮膜を形成して、回転軸および軸受部材は磁性を帯びてしまうことがなく、ラジアル方向には動圧軸受により、アキシャル方向には磁気軸受により非接触支持して、駆動停止時にも回転軸を浮上させて、摩耗を一層低減し、また、その回転軸の表面および軸受部材の軸受面間の耐摩耗性を向上させ、起動・停止時等に回転軸と軸受部材との接触があっても摩耗粉の発生を防止してロックしてしまうことを防止するとともに、動圧発生用溝の品質を低下することがないようにし、また、同一種のめっき皮膜を形成することにより皮膜を形成する設備を共通化して低コストに耐摩耗皮膜を形成することができるようにしてもよい。
　また、回転軸と、該回転軸の表面に所定隙間を介して対向する軸受面を有する軸受部材と、から構成され、回転軸の表面または軸受部材の軸受面に動圧を発生させる動圧発生用溝を設け、前記回転軸または軸受部材の一方を所定径の円柱状に形成し、他方に該円柱状の回転軸または軸受部材を挿入される所定径の円筒状中空を設ける動圧空気軸受装置において、前記動圧発生用溝を形成された前記回転軸の表面あるいは軸受部材の軸受面の挿入先端側あるいは被挿入先端側に、該動圧発生用構外の径と同一になるよう形成された所定幅の帯面を設けて、円柱状に形成した回転軸または軸受部材の一方を他方の円筒状中空に挿入する際に、動圧発生用溝を形成されていない回転軸あるいは軸受部材のエッジが動圧発生用溝に衝突することがなく、その衝突によって発生する傷等によってロックしてしまうことを防止することができるようにしてもよい。」
▲６▼訂正事項ｆ
　特許明細書の段落番号【００１５】の「また・・・ものである。」を「また、請求項２記載の発明は、回転軸の表面または該表面に所定隙間を介して対向する軸受部材の軸受面に、動圧を発生させる動圧発生用溝を形成する動圧発生用溝の作製方法において、まず、前記回転軸の表面または軸受部材の軸受面の何れか一方に動圧発生用溝を転造にて押圧刻設し、次いで、該動圧発生用溝が刻設された回転軸または軸受部材の溝を含む軸受部全面に所定の無電解ニッケルめっき処理を施してめっき皮膜を形成し、次いで、該無電解ニッケルめっき皮膜の溝部以外の表面を表面仕上げして前記動圧発生用の溝を２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するような深さに形成し、ポリゴンスキャナ用の動圧発生用溝を作製することを特徴とするものである。」と訂正する。
▲７▼訂正事項ｇ
　特許明細書の段落番号【００２１】の「請求項６・・・エッジ処理される。」を「請求項２記載の発明では、まず、回転軸の表面または軸受部材の軸受面の何れか一方に動圧発生用溝が転造により押圧刻設され、次いで、その回転軸または軸受部材の溝を含む軸受部全面に所定の無電解ニッケルめっき処理が施されてめっき皮膜が形成される。次いで、その無電解ニッケルめっき皮膜の表面が表面仕上げされて動圧発生用の溝が２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するポリゴンスキャナ用の深さに形成される。したがって、めっき皮膜が形成されている箇所とされていない箇所とに断層となることがなく、また母材が露出することがない。さらに、動圧発生用構外が表面仕上げされて溝深さが２０，ＯＯＯｒｐｍ以上で非接触支持するポリゴンスキャナ用に高精度に形成され、エッジ処理される。」と訂正する。
▲８▼訂正事項ｈ
　特許細書の段落番号【００５２】の「請求項６・・・エッジ処理することができる。」を「請求項２記載の発明によれば、回転軸または軸受部材に動圧発生用溝を転造により押圧刻設するので、まず動圧発生用溝を転造によって容易に形成することができる。この後に、その動圧発生用溝を含む軸受部全面に所定の無電解ニッケルめっき皮膜を形成するので、無電解ニッケルめっき皮膜が形成されている箇所とされていない箇所とに断層となることがなく、めっき皮膜の剥離を防止することができ、母材が露出することがないので、酸化を防止することができ、溝深さを維持することができる。さらに、無電解ニッケルめっき皮膜の表面を表面仕上げして動圧発生用の溝が２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するポリゴンスキヤナ用の深さに形成するので、溝深さがばらついていたり設定から外れていても溝深さを高精度に形成することができ、併せてエッジ処理することができる。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
動圧空気軸受装置およびその動圧発生用溝の作製方法
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項
１
　所定径の円筒状中空を形成された回転軸と、該回転軸を挿入されて回転軸の内周表面に所定隙間を介して対向する軸受面に動圧を発生させる動圧発生用溝を設けられた軸受部材と、から構成された動圧空気軸受装置において、
　少なくとも前記回転軸をアルミニウムあるいはアルミニウム合金によって構成し、前記軸受部材の軸受面に対向する内周表面に薄肉のステンレス鋼を焼き嵌めしたことを特徴とする動圧空気軸受装置。
　　【請求項
２
　回転軸の表面または該表面に所定隙間を介して対向する軸受部材の軸受面に、動圧を発生させる動圧発生用溝を形成する動圧発生用溝の作製方法において、
　まず、前記回転軸の表面または軸受部材の軸受面の何れか一方に動圧発生用溝
を転造にて押圧
の溝を含む軸受部全面
無電解ニッケル
無電解ニッケル
溝部以外の
して前記動圧発生用の溝を２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するような深さに形成する
ポリゴンスキャナ用の
　　【請求項
３
　回転軸の表面または該表面に所定隙間を介して対向する軸受部材の軸受面に、動圧を発生させる動圧発生用溝を形成する動圧発生用溝の作製方法において、
　まず、前記回転軸の表面または軸受部材の軸受面の何れか一方の表面に動圧発生用溝と同一形状のマスクを形成し、次いで、該マスクが形成された回転軸または軸受部材に所定の第１めっき処理を施してマスク外に第１めっき皮膜を形成し、次いで、そのマスクを除去した後、所定の第２めっき処理を施して第１めっき皮膜の表面を含む回転軸の表面または軸受部材の軸受面に第２めっき皮膜を形成することを特徴とする動圧発生用溝の作製方法。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明は、高速回転機器に適用される動圧空気軸受装置およびその動圧発生用溝の作製方法に関し、例えば、複写機に搭載され高速回転するポリゴンスキャナ等に適用される動圧空気軸受装置およびその動圧発生用溝の作製方法に関する。
　　　【０００２】
　　【従来の技術】
　近年、レーザプリンタ、デジタル複写機、デジタルファクシミリ等の記録装置は、高速・高密度化に伴って、レーザビームを走査し光書込みするポリゴンミラーが搭載されたポリゴンスキャナの高速回転化および高回転精度化の要求が高くなっている。そのため、従来の玉軸受に代り、２０，０００ｒｐｍ以上の超高速回転するポリゴンスキャナには動圧空気を発生させることにより非接触支持する動圧空気軸受装置が採用されている。
　　　【０００３】
　従来、回転軸と、この回転軸の表面に所定隙間を介して対向する軸受面を有する軸受部材と、から構成され、回転軸の表面または軸受部材の軸受面に動圧を発生させる動圧発生用溝（例えば、ヘリングボーン溝）を設けた動圧空気軸受装置が知られている。この種の動圧空気軸受装置は起動・停止時の回転軸と軸受部材の接触、および過大な衝撃が加わったりあるいは輸送時の振動による回転軸と軸受部材の接触によって回転軸がロックしたり焼き付いてしまい回転不能になるという不具合があった。
　　　【０００４】
　このような不具合を解消するため、例えば、特開昭６３−２３５７１９号公報に記載された動圧空気軸受装置が提案されている。この動圧空気軸受装置（以降、第１従来例という）は、回転軸の表面にニッケルめっきを主成分とした耐摩耗性皮膜を形成し、軸受部材の軸受面にアルマイト皮膜に潤滑性を有する二硫化モリブデンを含侵させた潤滑性皮膜を形成して、起動・停止時の回転軸と軸受部材との接触による摩耗粉の発生を防止して長期にわたり安定した回転状態を維持するようになっている。
　　　【０００５】
　また、回転軸の表面または軸受部材の軸受面の一方にアルマイト皮膜（陽極酸化膜）を全面に形成し、他方に動圧発生用溝と同一形状のマスクを形成した後、アルマイト皮膜を形成して動圧発生用溝を作製することにより表面硬度を向上させたた動圧発生軸受装置（以降、第２従来例という）も提案されている。なお、この第２従来例では、回転軸、軸受部材および回転軸に取り付けられるミラーをアルミニウム合金で構成して熱膨張率を同一にすることにより高速回転したときの温度上昇によってアンバランス振動が発生することを防止している。
　　　【０００６】
　また、動圧空気軸受装置の動圧発生用溝の作製方法としては、回転軸または軸受部材にアルミニウムを用いてその回転軸の表面または軸受部材の軸受面に動圧発生用溝を形成する場合、アルミニウムの表面硬度は低いためその表面硬度を向上させる必要がある。また、動圧発生用溝の深さは軸受特性に大きく影響するため精度良く形成する必要がある。そのため、精度良く膜厚制御可能なめっき処理によって所定の膜厚および硬度を有するめっき皮膜を形成して動圧発生用溝を作製する方法がある。この動圧発生用溝の作製方法（以降、第３従来例という）は、まず、回転軸の表面または軸受部材の軸受面に動圧発生用溝と同一形状のマスクを形成する。次いで、マスクが形成された回転軸または軸受部材に所定のめつき処理を施してそのマスク外に所定膜厚および所定硬度を有するめっき皮膜を形成し、次いで、そのマスクを除去して所定溝深さの動圧発生用溝を形成する。
　　　【０００７】
　　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、このような第１従来例にあっては、回転軸に形成された耐摩耗性皮膜および軸受部材に形成された潤滑性皮膜によって起動・停止時の摩耗粉の発生を防止することは可能であるが、一方に耐摩耗性皮膜を、他方に潤滑性皮膜を形成するため異種の皮膜を形成する２工程が必要であり、それに伴って設備も増設しなければならずコスト高になってしまうという問題があった。
　　　【０００８】
　また、第２従来例にあっては、回転軸および軸受部材に形成したアルマイト皮膜により表面硬度を向上させることは可能であるが、アルマイト皮膜は微細片が脱落し易いためこのアルマイト皮膜により動圧発生用溝を作製しても、例えばスキャナ等を組み立てるまでに動圧発生用溝の品質が低下してしまうという問題があった。
　　　【０００９】
　また、第３従来例にあっては、マスク外にめっき皮膜を形成してそのマスクを除去することにより所定膜厚および所定硬度のめつき皮膜により所定溝深さの動圧発生用溝を形成することは可能であるが、マスクを除去することにより動圧発生用溝を形成するためめっき皮膜が形成されている箇所とされていない箇所とが明確に別れた断層となりそのめっき皮膜が剥離し易い。さらに、マスクが除去された箇所はアルミニウムが露出するので、酸化して溝深さを維持することができないという問題があった。
　　　【００１０】
　そこで、本発明は、高精度で高信頼性の動圧発生用溝を有する低コストの動圧空気軸受装置およびその動圧発生用溝の作製方法を提供することを目的とする。
　　　【００１１】
　　【課題を解決するための手段】
　　　【００１２】
　　　【００１３】
　
上記目的達成のため、請求項１記載の発明は、
　　　【００１４】
　　　【００１５】
　
また、請求項２
転造にて押圧
の溝を含む軸受部全面
無電解ニッケル
無電解ニッケル
溝部以外
して前記動圧発生用の溝を２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するような深さに形成し、ポリゴンスキャナ用の動圧発生用溝を作製する
　　　【００１６】
　請求項
３
　
なお、上記目的達成のため、回転軸と、該回転軸の表面に所定隙間を介して対向する軸受面を有する軸受部材と、から構成され、回転軸の表面または軸受部材の軸受面に動圧を発生させる動圧発生用溝を設けた動圧空気軸受装置において、前記回転軸の表面および軸受部材の軸受面の少なくとも接触可能な部位の一方に、潤滑性を有するめっき皮膜を形成し、他方に潤滑性を有する陽極酸化膜を形成して、回転軸の表面および軸受部材の軸受面間の滑りを向上させ、起動・停止時等に回転軸と軸受部材との接触があっても摩耗粉の発生を防止するとともに、めっき皮膜を形成した回転軸または軸受部材側に動圧発生用溝を設けることにより、動圧発生用溝の品質を低下させることなく潤滑性皮膜を陽極酸化膜によって形成できるようにしてもよい。この潤滑性は、例えば、テフロン、二硫化モリブデン、あるいは窒かボロンのいずれかの成分により付与すればよい。
　
また、回転軸と、該回転軸の表面に所定隙間を介して対向する軸受面を有する軸受部材と、から構成され、回転軸の表面または軸受部材の軸受面に動圧を発生させる動圧発生用溝を設けた動圧空気軸受装置において、前記回転軸および軸受部材の母材をアルミニウムあるいはアルミニウム合金により構成するとともに、磁石による磁気力により回転軸を浮上させる磁気軸受手段を設け、該回転軸の表面および軸受部材の軸受面の少なくとも触可能な部位の両面ともに、炭化ケイ素あるいはダイヤモンドのいずれかの成分からなる耐摩耗材料を分散しためっき皮膜を形成して、回転軸および軸受部材は磁性を帯びてしまうことがなく、ラジアル方向には動圧軸受により、アキシャル方向には磁気軸受により非接触支持して、駆動停止時にも回転軸を浮上させて、摩耗を一層低減し、また、その回転軸の表面および軸受部材の軸受面間の耐摩耗性を向上させ、起動・停止時等に回転軸と軸受部材との接触があっても摩耗粉の発生を防止してロックしてしまうことを防止するとともに、動圧発生用溝の品質を低下することがないようにし、また、同一種のめっき皮膜を形成することにより皮膜を形成する設備を共通化して低コストに耐摩耗皮膜を形成することができるようにしてもよい。
　
また、回転軸と、該回転軸の表面に所定隙間を介して対向する軸受面を有する軸受部材と、から構成され、回転軸の表面または軸受部材の軸受面に動圧を発生させる動圧発生用溝を設け、前記回転軸または軸受部材の一方を所定径の円柱状に形成し、他方に該円柱状の回転軸または軸受部材を挿入される所定径の円筒状中空を設ける動圧空気軸受装置において、前記動圧発生用溝を形成された前記回転軸の表面あるいは軸受部材の軸受面の挿入先端側あるいは被挿入先端側に、該動圧発生用溝外の径と同一になるよう形成された所定幅の帯面を設けて、円柱状に形成した回転軸または軸受部材の一方を他方の円筒状中空に挿入する際に、動圧発生用溝を形成されていない回転軸あるいは軸受部材のエッジが動圧発生用溝に衝突することがなく、その衝突によって発生する傷等によってロックしてしまうことを防止することができるようにしてもよい。
　　　【００１７】
　　【作用】
　　　【００１８】
　　　【００１９】
　請求項
１記載
　　　【００２０】
　　　【００２１】
　また、請求項
２
転造により押圧
溝を含む軸受部全面
無電解ニッケル
動圧発生用の溝が２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するポリゴンスキャナ用の深さに形成される。
２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するポリゴンスキャナ用に
　　　【００２２】
　請求項
３
　　　【００２３】
　　【実施例】
　以下、本発明を図面に基づいて説明する。
　図１は本発明に係る動圧空気軸受装置の第１実施例を適用したポリゴンスキャナの全体構成を示す断面図であり、図２はその第１実施例を示す図である。なお、本実施例は請求項２に記載の発明に対応する。
　　　【００２４】
　図１および図２において、１１はハウジングであり、ハウジング１１の中央部には固定軸１２（軸受部材）が垂直に嵌入・固定（例えば、焼き嵌めにより固定）されている。この固定軸１２の外周にはラジアル軸受面１３が設けられており、ラジアル軸受面１３（以下、単に軸受面１３ともいう）にはそれぞれ深さ数μｍのヘリングボーン溝１４、１５（動圧発生用溝）が周方向等間隔に各一対形成され、またヘリングボーン溝１４、１５と略同一の深さの凹部１６〜１８が形成されている。また、軸受面１３は円筒状中空を有する回転軸２１の内周面２１ａ（表面）に対向しており、固定軸１２の軸受面１３と回転軸２１の内周面２１ａとが所定の軸受隙間を隔てることにより、固定軸１２に対し回転軸２１が回転可能になっている。すなわち、固定軸１２および回転軸２１は動圧空気軸受装置を構成している。
　　　【００２５】
　回転軸２１の上部には、ミラー受けフランジ２２が形成され、ミラー押え２３によりポリゴンミラー２５が取り付けられている。ポリゴンミラー２５は回転軸２１の上部外周面２ｌｂに嵌合しており、回転軸２１の上部に螺合するボルト２４がミラー押え２３を介してこのポリゴンミラー２５をフランジ２２に押し付けている。また、ミラー押え２３はその中心部にアキシャル磁気軸受３０を構成するマグネット３２を保持するとともに、アキシャル磁気軸受３０に所定のダンピング特性を付与する上下振動減衰用の連通穴３４をポリゴンミラー２５との間で形成している。また、ミラー押え２３の上面部には回転時の不釣合修正用のバランス修正溝２３ａが形成されている。
　　　【００２６】
　アキシャル磁気軸受３０は、磁気軸受手段を構成し、固定軸１２の軸線上で互いに向い合う面を同極にして反発し合う３つのマグネット３１、３２、３３からなり、マグネット３１がマグネット３２の上方で上ケース３５に装着され、マグネット３３が固定軸１２の上端に固定されることによって、回転軸２１、ミラー押え２３、ポリゴンミラー２５およびマグネット３２が固定軸１２から常に上方に浮上するように付勢され、非接触で支持されている。
　　　【００２７】
　３６は、ポリゴンミラー２５を駆動する面対向型のモータである。このモータ３６は、回転軸２１に固定されたロータマグネット組立体３７と、その下面に対向するステータコイル部３８と、ホール素子（図示していない）とを有しており、ロータマグネット組立体３７はロータマグネット３７ａをヨークを兼ねたロータフランジ３７ｂによって回転軸２１に一体的に実装したモータ構成部となっている。このモータ組立体３７はミラー押え２３およびポリゴンミラー２５とともに回転軸２１に取り付けられることによって回転体２０を構成している。また、ロータマグネット３７ａには不釣合修正用のバランス修正溝３７ｃが形成されており、回転体２０が回転したときミラー押え２３に形成されたバランス修正溝２３ａとともに不釣合いによる振動を小さくして数ｍｇ以下の不釣合い量にするようになっている。このモータ３６はステータコイル部３８が所定の励磁方式で励磁されてロータマグネット組立体３７を回転させ、回転軸２１およびポリゴンミラー２５（回転体２０）を回転させることができる。そして、ポリゴンミラー２５の回転時には、固定軸１２の軸受面１３に形成されたヘリングボーン溝１４、１５および凹部１６〜１８内（図２（ｂ）に示すハッチング部）の空気が回転軸２１の回転方向に押し込められながら固定軸１２と回転軸２１の間の前記軸受隙間内にかき出されて動圧を発生し、この動圧が所定圧になると、固定軸１２から回転軸２１が完全に浮上（半径方向）して、非接触となり高速回転可能な状態となる。
　　　【００２８】
　また、回転軸２１は、図２（ａ）に示すように、回転体２０が回転したときの耐振性の向上、加工・組立性の改善、および回転体のバランスの安定化を図るため軽量かつ非磁性のアルミニウムあるいはアルミニウム合金により母材４３を構成している。また、この回転軸２１の内周面２１ａには固定軸１２の軸受面１３に接触しても摩耗粉が発生したりかじりが発生しないよう滑りを良くするためにニッケルめっき中にＰＴＦＥ（テフロン粒子）が分散した潤滑性皮膜４４（めっき皮膜）を形成している。
　　　【００２９】
　また、固定軸１２はアルミニウムまたはアルミニウム合金により構成しており、図２（ｂ）に示すように、軸受面１３にはヘリングボーン溝１４、１５、凹部１６〜１８および凹部１６よりも上方となる上端部側に軸受面１３と同一径の所定幅を有する帯面１９が形成されている。この固定軸１２の帯面１９は回転軸２１を中空内に挿入する際にスムーズな嵌挿を可能にして回転軸２１のエッジがヘリングボーン溝１４、１５等に衝突して傷つけてしまったり摩耗粉を発生させないようになっている。また、この固定軸１２の軸受面１３には図示していないが回転軸２１の内周面２１ａに形成した潤滑性皮膜４４と同様の工程によって潤滑性皮膜を形成するとともに外径・表面仕上げすることにより回転軸２１の内周面２１ａと固定軸１２の軸受面１３とが接触しても摩耗粉が発生したりかじりが発生しないようになっている。
　　　　【００３０】
　この固定軸１２は、まず所定形状に切削（又は研削）加工した後、ヘリングボーン溝１４、１５および凹部１６〜１８を公知のエッチングや転造等によって刻設し、次いで、公知の無電解ニッケルめっき液内に前記ＰＴＦＥを分散させためっき浴中に回転軸１２を浸して所定の複合めっき処理を行なってニッケルめっき内にＰＴＦＥが分散した前記潤滑性皮膜を形成する。なお、潤滑性を有する潤滑剤としてはＰＴＦＥの他に、二硫化モリブデン（ＭｏＳ２）あるいは窒化ボロン（ＢＮ）が好適である。次いで、前記潤滑性皮膜が形成された固定軸１２の外径仕上げしてヘリングボーン溝１４、１５の溝深さを確保した後、バレルまたはバフ加工することによりヘリングボーン溝１４、１５等のバリを除去するとともにエッジを丸めてさらに摩耗粉が発生したりかじりが発生しないようにする。なお、回転軸２１の潤滑性皮膜４４も同様な工程によって形成される。
　　　【００３１】
　このように本実施例では、回転軸２１の内周面２１ａおよび固定軸１２の軸受面１３に前記ＰＴＦＥ等が分散された潤滑性皮膜４４および前記潤滑性皮膜が形成されるため、内周面２１および軸受面１３間の滑りが向上され回転体２０の起動・停止時等に回転軸２１と固定軸１２との接触があっても摩耗粉が発生することがなくかじりの発生が防止される。
　　　【００３２】
　また、固定軸１２の上端部側に軸受面１３と同一径に形成され表面仕上げされた帯面１９が形成されるため、固定軸１２の軸受面１３と回転軸２１の内周面２１ａが擦れても摩耗粉の発生がなく、組み立てる際や回転軸２１が衝撃等によって移動したときに固定軸１２のヘリングボーン溝１４、１５等に回転軸２１のエッジが衝突して傷つけてしまったり摩耗粉が発生することが防止される。
　　　　【００３３】
　また、ヘリングボーン溝１４、１５をめっきを施した後、転造によって刻設するとめっき皮膜に断層が発生して加工困難となり、エッチングにより刻設する場合でもそのめっき皮膜をヘリングボーン溝１４、１５の深さ以上の厚さとなるよう処理しなければならずコスト高になってしまうが、ヘリングボーン溝１４、１５が刻設された後、前記潤滑性皮膜をヘリングボーン溝１４、１５等を含む軸受面１３に膜厚調整の容易な無電解ニッケルめっきにより形成されるので、容易に高精度に形成されて、その皮膜が形成されている箇所とされていない箇所の断層となることが防止され剥離が防止される。また母材４３が露出することが防止され酸化が防止されてヘリングボーン溝１４、１５等の溝深さが変化してしまうことが防止される。
　　　【００３４】
　したがって、高精度で高信頼性の動圧空気軸受装置を低コストに作製することができる。
　次に、図３は本発明に係る動圧空気軸受装置の第２実施例の要部を示す断面図であり、本実施例は請求項
２
　　　【００３５】
　同図において、５１は母材４３からなる回転軸であり、固定軸１２とともに動圧空気軸受装置を構成しており、上述第１実施例で説明したスキャナに適用される。この回転軸５１にはモータ組立体３７、ミラー押え２３およびポリゴンミラー２５が取り付けられて回転体２０を構成している。
　この回転軸５１は、固定軸１２を円筒状中空内に挿入され軸受面１３に対向する内周面５１ａ（表面）に公知の陽極酸化処理を施すことにより多孔質のアルマイト皮膜（陽極酸化膜）を形成した後、前記ＰＴＦＥを含侵させて潤滑性皮膜５４を形成して滑りを良くすることにより固定軸１２の軸受面１３に接触しても摩耗粉が発生したりかじりが発生しないようになっている。
　　　【００３６】
　本実施例では、上述第１実施例と同様の作用効果が得られるとともに、凹凸のない回転軸５１の内周面５１ａに陽極酸化膜からなる潤滑性皮膜５４が形成されるため、アルマイト皮膜の微細片が脱落してヘリングボーン溝１４、１５内に詰まって回転軸２１がロックしてしまったり、ヘリングボーン溝１４、１５の品質が低下してしまうことがない。
　　　　【００３７】
　次に、図４は本発明に係る動圧空気軸受装置の第３実施例の要部を示す断面図であり、本実施例は請求項
１または２
　同図において、６１は母材４３からなる回転軸、６２はステンレス鋼からなる固定軸（軸受部材）であり、回転軸６１および固定軸６２は動圧空気軸受装置を構成しており、上述第１実施例で説明したスキャナに適用される。
　　　　【００３８】
　固定軸６２は、ハウジング１１の中央部に垂直に嵌入・固定されており、軸受面１３にはヘリングボーン溝１４、１５、凹部１６〜１８、および帯面１９が形成され、固定軸６２の上端にはマグネット３３が固定されている。この固定軸６２は、第１実施例と同様に前記潤滑性皮膜が形成され外径・表面仕上げが施されている。また、回転軸６１はモータ組立体３７、ミラー押え２３およびポリゴンミラー２５が取り付けられて回転体２０を構成している。
　　　【００３９】
　この回転軸６１は、固定軸６２を円筒状中空内に挿入され軸受面１３に対向する内周面５１ａ（表面）に、かじりが発生し難い所定厚さのステンレス鋼からなるパイプ６４が例えば焼き嵌め等によって固着されている。この回転軸６１はアルミニウムあるいはアルミニウム合金からなる母材４３により構成するとともにその内周面６１ａｃｐイプ６４で構成することによって回転軸２１を軽量化するとともにかじりを防止するようになっている。
　　　【００４０】
　本実施例では、上述第１実施例と同様の作用効果が得られるとともに、前記軸受隙間を形成する固定軸６２および回転軸６１の内周面６１ａを同一材料によって構成することにより高速回転等によって温度上昇しても前記軸受隙間が変化することがなく、安定した回転が得られる。
　次に、図５は本発明に係る動圧空気軸受装置の第４実施例を示す図であり、（ａ）はその回転軸を示す断面図、（ｂ）はその軸受部材を示す平面図である。なお、本実施例は請求項
２
　　　　【００４１】
　同図において、７１は母材４３からなる回転軸、７２はアルミニウムまたはアルミニウム合金からなる固定軸（軸受部材）であり、回転軸７１および固定軸７２は動圧空気軸受装置を構成しており、上述第１実施例で説明したスキャナに適用される。
　固定軸７２は、ハウジング１１の中央部に垂直に嵌入・固定されており、軸受面１３にはヘリングボーン溝１４、１５、凹部１６〜１８、および帯面１９が形成されている。また、固定軸７２の上端にはマグネット３３が固定されている。また、回転軸７１はモータ組立体３７、ミラー押え２３およびポリゴンミラー２５が取り付けられて回転体２０を構成している。
　　　【００４２】
　この回転軸７１の内周面７１（表面）ａおよび固定軸７２のヘリングボーン溝１４、１５等を含む軸受面１３には、公知の無電解ニッケルめっき液中にＳｉＣ（炭化ケイ素）を分散させためっき浴内に浸して所定の複合めっき処理を行なってニッケルめっき中にＳｉＣが分散した耐摩耗性皮膜７４（回転軸７１にのみ図示）が形成されている。この耐摩耗性皮膜７４により回転軸２１の内周面２１ａおよび固定軸１２の軸受面１３の接触による摩耗粉の発生を防止し、かつ、かじりを防止するようになっている。なお、耐摩耗性性を有する耐摩耗材料としてはＳｉＣの他に、ダイヤモンドが好適である。そして、特に、固定軸７２はバレルまたはバフ加工することにより外径・表面仕上げしてヘリングボーン溝１４、１５の溝深さを確保しバリを除去するとともにエッジを丸めてかじりが生じないようにする。
　　　【００４３】
　本実施例では、上述第１実施例と同様の作用効果が得られる。
　次に、図６は請求項
３
　　　【００４４】
　同図において、８２はアルミニウムまたはアルミニウム合金からなる母材８３により構成された固定軸（軸受部材）であり、固定軸８２は回転軸２１とともに動圧空気軸受装置を構成しており、上述第１実施例で説明したスキャナに適用される。固定軸８２は、ハウジング１１の中央部に垂直に嵌入・固定されており、軸受面１３にはヘリングボーン溝１４、１５、凹部１６〜１８、および帯面１９が形成されている。また、固定軸８２の上端にはマグネット３３が固定されている。
　　　【００４５】
　この固定軸８２は、まず円柱形状に切削（又は研削）加工し、次いで、固定軸８２の軸受面１３に形成するヘリングボーン溝１４、１５および凹部１６〜１８に相当する箇所に公知のパターンニングにより同一形状のマスク８５を形成する。次いで、公知の無電解ニッケルめっき液中に前記ＰＴＦＥを分散させためっき浴内に固定軸８２を浸して所定の複合めっき処理（第１めっき処理）を行なってニッケルめっき中に前記ＰＴＦＥが分散した潤滑性皮膜８４ａ（第１めっき皮膜）をマスク８５が形成されていない母材８３表面に形成する。次いで、マスク８５を除去した後、前記めっき浴内に固定軸８２を再度浸して同様にの複合めっき処理（第２めっき処理）を行なって潤滑性皮膜８４ａと同質の潤滑性皮膜８４ｂ（第２めっき皮膜）を潤滑性皮膜８４ａ表面およびマスク８５が除去された母材８３表面に形成する。次いで、潤滑性皮膜８４ｂの外径仕上げしてヘリングボーン溝１４、１５の溝深さを確保した後、バレルまたはバフ加工することによりヘリングボーン溝１４、１５等のバリを除去するとともにエッジを丸めてさらに摩耗粉が発生したりかじりが発生しないようにする。
　　　【００４６】
　なお、潤滑性皮膜８４ａ、８４ｂは前記ＰＴＦＥに換え、二硫化モリブデンあるいは窒化ボロンを前記めっき液中に分散させ形成してもよい。また、潤滑性皮膜８４ａは潤滑剤を分散させずに単一の無電解ニッケルめっきにより形成してもよい。また、ＳｉＣやダイヤモンドを分散させ耐摩耗性皮膜を形成してもよい。
　本実施例では、上述第１実施例の作用効果に加え、潤滑性皮膜８４ａ、８４ｂを同一の無電解めっき処理により形成するので、ヘリングボーン溝１４、１５および凹部１６〜１８の作製および母材８３の酸化防止を同時に行なうことができ、低コスト化される。また、ヘリングボーン溝１４、１５等が膜厚調整の容易な無電解ニッケルめっきにより形成されるため、より高精度な溝深さに形成され、軸受特性がより向上される。
　　　【００４７】
　なお、上述実施例では、円柱状に形成され固定された軸受部材に動圧発生用溝を形成した動圧空気軸受装置の説明したが動圧発生用溝を回転軸の内周面に形成したり、円柱状に形成した回転軸にその動圧発生用溝を作製した動圧空気軸受装置に適用可能であることはいうまでもない。また、円筒状中空を有する回転軸からなる動圧空気軸受装置のみではなく、円柱の端面に動圧発生用溝を形成した動圧空気軸受装置に適用可能であることはいうまでもない。
　　　【００４８】
　　【発明の効果】
　　　【００４９】
　　　【００５０】
　請求項
１
る。
　　　【００５１】
　　　【００５２】
　
また、請求項２
まず転造によって回転軸または軸受部材に動圧発生用溝を、容易に押圧刻設して形成することができる。この後に、その動圧発生用溝を含む軸受部全面に所定の無電解ニッケルめっき皮膜を形成するので、無電解ニッケル
き、母材
無電解ニッケル
して動圧発生用の溝を２０，０００ｒｐｍ以上で非接触支持するポリゴンスキャナ用の深さに形成する
　　　【００５３】
　請求項
３
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　本発明に係る動圧空気軸受装置の第１実施例を適用したポリゴンスキャナの全体構成を示す断面図である。
　　【図２】
　その第１実施例を示す図であり、（ａ）はその回転軸を示す断面図、（ｂ）はその軸受部材を示す平面図である。
　　【図３】
　本発明に係る動圧空気軸受装置の第２実施例の要部を示す断面図である。
　　【図４】
　本発明に係る動圧空気軸受装置の第３実施例を示す図であり、（ａ）はその回転軸を示す断面図、（ｂ）はその軸受部材を示す平面図である。
　　【図５】
　本発明に係る動圧空気軸受装置の第４実施例を示す図であり、（ａ）はその回転軸を示す断面図、（ｂ）はその軸受部材を示す平面図である。
　　【図６】
　請求項７記載の発明に係る動圧発生用溝の作製方法の一実施例を説明する工程図である。
　　【符号の説明】
　１２、７２、８２　　固定軸（軸受部材、アルミニウムあるいはアルミニウム合金）
　１３　　軸受面
　１４、１５　　ヘリングボーン溝（動圧発生用溝）
　１９　　帯面
　２１、５１、６１、７１　　回転軸
　２１ａ、５１ａ、６１ａ、７１ａ　　内周面（表面）
　３０　　アキシャル磁気軸受（磁気軸受手段）
　４３、８３　　母材（アルミニウムあるいはアルミニウム合金）
　４４　　潤滑性皮膜（めっき皮膜）
　５４　　潤滑性皮膜（陽極酸化膜）
　６２　　固定軸（軸受部材、ステンレス鋼）
　６４　　パイプ（ステンレス鋼）
　７４　　耐摩耗性皮膜
　８４ａ　　潤滑性皮膜（第１めっき皮膜）
　８４ｂ　　潤滑性皮膜（第２めっき皮膜）
　８５　　マスク