(57)【要約】　　　（修正有）【課題】べースの堅さを向上するウェーハ加工設備の機械ベース構造を提供する。【解決手段】内部フレーム２は、同一の太さのある縦方向のスチール６、横方向のスチール７及び垂直方向のスチール８とが溶接されている。外部スチールフレーム３には、内部フレーム２が収納され、内部フレーム２の縦方向又は横方向のスチールの端部と接触する箇所は、すべて溶接して接続されている。コンクリートは、内部フレーム２を外部スチールフレーム３の中に溶接して固定されたものの中に注入して、外部スチールフレーム３と凝らして一体になる。【選択図】　　　図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ加工設備の機械べース構造であって、
一つの内部フレームがあり、前記内部フレームは複数の同一の太さのある縦方向のスチール、横方向のスチール及び垂直方向のスチールで相互に溶接して一体であり、
一つの外部スチールフレームがあり、前記内部フレームを収納して溶接するスチールフレームに合わせるため、それを前記内部フレームの縦、横スチールの端部と接触する部は、すべて溶接で接続させて一体になっており、
一つのコンクリートがあり、前記コンクリートは前記内部フレームを前記外部スチールフレームの中に溶接して固定されたものの中に注入して、前記外部スチールフレームと凝らして一体であることを特徴とするウェーハ加工設備の機械ベース構造。
【請求項２】
コンクリートが凝らせて安定した表面に、表面処理がなされていることを特徴とする請求項１記載のウェーハ加工設備の機械べース構造。
【請求項３】
コンクリートの表面になされた表面処理は、一層の適切な厚さがあるエポキシ樹脂に被布されたものであることを特徴とする請求項２記載のウェーハ加工設備の機械べース構造。
【考案の詳細な説明】
【０００１】
【考案の属する技術分野】
本考案はウェーハ加工設備の機械ベース構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の直径８インチのウェーハを加工する設備の機械べースの構造は、すべてスチールで作成され、その構造の堅さ（Ｓｔｉｆｆｎｅｓｓ）の強度が高くないため、使用する場合、微振動（Ｖｉｂｒａｔｉｏｎ）の現象が生じるが、直径８インチのウェーハを加工する設備にとって、まだ許容の範囲以内にある。ところが、その機械べースの構造を直径３００ｍｍのウェーハを加工する設備の機械べースに使用する場合、その堅さは明らかに足りないので、その生じた振動の影響は許容範囲をたくさんオーバーしたため、直径３００ｍｍのウェーハを加工する設備に適用しなくなるのである。
【０００３】
従来の考案の構造は、図４、５をご参照ください。その実施形態のべ一ス１は、内部フレーム２、外部スチールフレーム３及び注入されたコンクリート４を結び付けて一体になることで構成されたことがわかる。その中に、内部フレーム２は複数の適切な太さがある竹節状のスチール５を使って、節で接続させて一体になる連続性を構成させてから、内部フレーム２を節で外部スチールフレーム３と接続させて一体となった後、全体をその外形と合わせる金型の中に、コンクリート４を注入して、内部フレームをコンクリートの中に凝らせて、その外部スチールフレーム３を外部と接続して固定された後、コンピューターを使って模擬試験を行った結果は、直径３００ｍｍのウェーハを加工する設備に適用することを証明されたものである。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】
本考案（以下はこの創作を称する）の主な目的は、従来の主要な技術内容を利用して、更に、その内部フレームの中にスチールとスチールとの間での各接点を溶接で固定させてから、それを外部スチールフレームの中に収納させた後、フレームのスチールの端部がスチールと接触する部分を改めて溶接で固定させて一体となり、その後、スチールフレームの中にコンクリートを注入して固定させ、全体連続性が構成されることで、そのべースの堅さ（Ｓｔｉｆｆｎｅｓｓ）を向上するウェーハ加工設備の機械ベース構造を提供することにある。
本考案の次の目的は凝らされたコンクリートの表面に表面処理をするウェーハ加工設備の機械ベース構造を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本考案は、ウェーハ加工設備の機械べース構造に関するものであって、一つの内部フレームがあり、前記内部フレームは複数の同一の太さのある縦方向のスチール、横方向のスチール及び垂直方向のスチールで相互に溶接して一体になるものであり、一つの外部スチールフレームがあり、前記内部フレームを収納して溶接するスチールフレームに合わせるため、それを前記内部フレームの縦、横スチールの端部と接触する部は、すべて溶接で接続させて一体になっており、一つのコンクリートがあり、前記コンクリートは前記内部フレームを前記外部スチールフレームの中に溶接して固定されたものの中に注入して、前記外部スチールフレームと凝らして一体になるものである。
【０００６】
【考案の実施の形態】
本考案のその他の目的、構造及び機能は、実施例を示す図を参照しながら、下記で説明する。
図１、３をご参照ください。本考案の実施例のべ一ス１は、内部フレーム２、外部スチールフレーム３及び注入されたコンクリート４を結び付けて一体になることで構成されるものである。その中に、内部フレーム２は複数の同一の太さのある縦方向のスチール６、横方向のスチール７及び垂直方向のスチール８で相互に溶接９して一体になることで、全体の連続性が構成された。その内部フレーム２をそれと接合する外部スチールフレーム３の中に入れて、その中に、外部スチールフレーム３と接触するそれぞれの縦方向のスチール６、横方向のスチール７の端部を外部スチールフレーム３と溶接９して、外部スチールフレーム３及び内部フレーム２の全体連続性が構成され、また、外部スチールフレーム３の中にコンクリート４を注入して、内部フレーム２を完全にコンクリートの中に凝らせてから、外部スチールフレーム３と一体になるよう凝らせる。又、その凝らすことが安定した後、コンピューターで模擬試験を行った結果、その堅さ（ｓｔｉｆｆｎｅｓｓ）は直径３００ｍｍのウェーハを加工する設備の機械べ一スに適用することを証明された。
【０００７】
又、凝らされて安定した後コンクリートの表面に表面処理を行える。本実施例に被布されたのは、適切な厚さがある樹脂１０である。その表面をスムーズにさせるため、その樹脂はエポキシ樹脂を使ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の実施例によるウェーハ加工設備の機械ベース構造の外観を示す斜視図である。
【図２】図１のコンクリートの内部フレーム及び外部スチールフレームの構造を示す説明図である。
【図３】図２の内部フレームを示す局部拡大の説明図である。
【図４】従来の実施例におけるウェーハ加工設備の機械ベース構造を示す説明図である。
【図５】従来の実施例におけるウェーハ加工設備の機械ベース構造を示す説明図である。
【符号の説明】
１　　べ一ス
２　　内部フレーム
３　　外部スチールフレーム
４　　コンクリート
５　　竹節状のスチール
６　　縦方向のスチール
７　　横方向のスチール
８　　垂直方向のスチール
９　　溶接
１０　　樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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