(57)【要約】  本発明は、Ｘ線放射１０の発生に関するもので、特には介入的画像化に適合されたＸ線発生装置に関するものである。近接照射治療は、生体内動作に適した小型化されたＸ線発生装置２を必要とする。特に、患者の身体内に配置されるＸ線発生装置２は、Ｘ線源に高電圧及び／又は冷却の両方を供給するための専用の配線を必要とする。従って、当該Ｘ線発生装置２内で高電圧をローカルに発生するための機械エネルギ源を使用すると共に、更に該機械エネルギ源をＸ線源の冷却のために使用するようなＸ線発生装置２が提供される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械エネルギ源を使用するＸ線発生装置であって、
電子放出エレメントと、
電子収集エレメントと、
機械供給エレメントと、
機械電気変換エレメントと、
ハウジングと、
を有し、
前記機械供給エレメントは前記機械電気変換エレメントに機械エネルギ源を供給し、
前記機械電気変換エレメントは前記機械供給エレメントにより供給される機械エネルギを電気エネルギに変換し、
前記電気エネルギは前記電子放出エレメントと前記電子収集エレメントとの間で電子を加速し、
前記電子放出エレメント及び前記電子収集エレメントはＸ線放射を発生するために動作的に結合され、
前記機械エネルギ源は前記ハウジングの外側から供給される、
Ｘ線発生装置。
【請求項２】
前記機械供給エレメントが流体供給エレメント及び流体制御エレメントの少なくとも一方を有している請求項１に記載のＸ線発生装置。
【請求項３】
前記流体制御エレメントが前記機械電気変換エレメントに流体を供給する請求項１又は請求項２に記載のＸ線発生装置。
【請求項４】
前記流体制御エレメントが微小流体圧エレメント、ＭＥＭＳ微小流体圧エレメント、微小流体圧変調器及びＭＥＭＳ微小流体圧変調器からなる群から選択される１つのエレメントである請求項２又は請求項３に記載のＸ線発生装置。
【請求項５】
前記機械電気変換エレメントが高電圧発生エレメント及び圧電高電圧発生エレメントからなる群から選択される１つのエレメントである請求項１ないし４の何れか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項６】
前記流体供給エレメント及び前記流体制御エレメントが、電気エネルギを発生するために前記機械電気変換エレメントに機械的流体エネルギを供給するように動作的に結合されている請求項２ないし５の何れか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項７】
前記流体制御エレメントが、高電圧の発生を制御するために前記機械電気変換エレメントに対する流体の流れを制御する請求項２ないし６の何れか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項８】
前記流体の流れの制御が、音響エレメント及び特には音響波である音響エネルギのうちの少なくとも一方を使用する請求項７に記載のＸ線発生装置。
【請求項９】
前記流体の流れの制御が、高電圧の発生に影響を与えるために前記高電圧発生エレメントに供給される前記流体の流れの流体の量、流体の強度及び流体の速度のうちの少なくとも１つに影響を与えるような、前記音響波の周波数、振幅及び持続期間のうちの少なくとも１つの制御を含む請求項８に記載のＸ線発生装置。
【請求項１０】
前記機械供給エレメント、前記流体供給エレメント及び前記流体制御エレメントのうちの少なくとも１つが、更に、特に前記電子放出エレメント及び前記電子収集エレメントの少なくとも一方を冷却するために流体を前記電子放出エレメント及び前記電子収集エレメントの少なくとも一方に供給する請求項１ないし９の何れか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項１１】
前記ハウジングが、
前記機械エネルギ源を当該ハウジング内に供給するための第１の機械的開口と、
前記ハウジングから前記機械エネルギ源を供給するための第２の機械的開口と、
を更に有し、
前記機械エネルギ源が流体であり、
前記第１の機械的開口及び前記第２の機械的開口が流体開口である、
請求項１ないし１０の何れか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項１２】
当該Ｘ線発生装置が、特にはＸ線放射の生体内又は人体内発生用に適合された可搬型Ｘ線発生装置である請求項１ないし１１の何れか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項１３】
当該Ｘ線発生装置がＸ線放射の連続的発生に適合された動作モードを有し、
前記高電圧の発生が前記高電圧発生エレメントの圧縮及び／又は膨張を含む、
請求項１ないし１２の何れか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項１４】
機械エネルギ源を使用して高電圧を発生する方法であって、
電気エネルギの発生のために機械エネルギ源を機械電気変換エレメントに供給するステップと、
高電圧の発生のために前記機械エネルギ源を変調するステップと、
を有する方法。
【請求項１５】
機械エネルギ源により発生される電気エネルギを使用してＸ線放射を発生する方法であって、
電気エネルギの発生のために、機械エネルギ源をハウジングの外部から機械電気変換エレメントに供給するステップと、
電子放出エレメントと電子収集エレメントとの間での電子の加速のために、前記電子放出エレメント及び前記電子収集エレメントの少なくとも一方に前記電気エネルギを供給するステップと、
を有し、
前記電子放出エレメント及び前記電子収集エレメントが、Ｘ線放射を発生するために動作的に結合されている、
方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、広くはＸ線発生技術に関する。本発明は、特には、機械エネルギ源を使用するＸ線発生装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、近接照射治療（brachytherapy）及び介入的画像化（interventional imaging）の分野における他の応用のためのＸ線源は、特化されたＸ線発生装置を必要としている。特に、内部Ｘ線撮影は、可能性として患者の身体内で、即ち生体内においてもＸ線放射を発生するための小型化されたＸ線源又はＸ線発生装置を必要とする。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このように、特に、例えば当該Ｘ線発生装置へ所要の高電圧給電を行うことにより及び恐らくは動作中に当該Ｘ線源内に発生する熱により課される患者へのリスクを最小限にしながら、患者の身体内でＸ線放射を発生するための信頼性のある小型Ｘ線発生装置を提供することに対する需要が存在し得る。
【０００４】
英国特許第969,842号は、圧電的に給電されるＸ線管を記載している。
【０００５】
IEEE Spectrum, Prachi Patel, "Music-Powered Microfluidics", July 2009（http://:spectrum.ieee.org/biomedical/diagnostics/musicpowered-microfluidics）は、音響的に駆動される微小流体微小電気機械システムを記載している。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
従って、独立請求項に記載された機械エネルギ源を用いたＸ線発生装置及び方法が提供される。
【０００７】
本発明の好ましい実施例は、従属請求項から導き出すことができる。
【０００８】
本発明によれば、Ｘ線発生装置であって、該Ｘ線発生装置内で高電圧をローカルに発生するために例えば流体源等の機械エネルギ源を使用すると共に、更に該機械エネルギ源を当該Ｘ線源の冷却のために使用するＸ線発生装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本発明によるＸ線発生装置の一実施例を示す。
【図２】図２のａ〜ｈは、本発明による機械供給エレメントの動作実施例を示す。
【図３】図３は、機械エネルギ源により発生される電気エネルギを使用してＸ線放射を発生する方法の一実施例を示す。
【図４】図４は、機械エネルギ源を使用して高電圧を発生する方法の一実施例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
Ｘ線発生装置の小型化を考察する場合の一つの局面は、該Ｘ線発生装置の所望の温度を維持しながら、恐らくは小さな真空化されたハウジング内でＸ線放射を発生するための高電圧を発生する場合に見ることができる。外部の高電圧源が使用される場合、該外部高電圧源から当該Ｘ線発生装置までの専用のケーブル接続が必要とされるであろう。該Ｘ線発生装置が少なくとも一時的に患者の身体内に配置される場合、これに従う配線が、患者の身体の一部を経て内部の該Ｘ線発生装置まで走る必要がある。
【００１１】
従って、斯様な高電圧配線はかなり細いケーブルとして具現化されることが必要とされ得、当該配線のケーブル及び絶縁体の組み合わせの最大絶縁能力を制限することになる。更に、Ｘ線放射の発生は、恐らくは、人体内の動作には規定的に適さない温度に関連するような相当の量の熱も発生するので、介入的画像化（interventional imaging）のためのＸ線発生装置は、冷却されることが必要とされ得る。このような冷却は、当該当該Ｘ線発生装置にも供給される例えば液体又は気体物質等の流体を利用することができる。冷却流体の供給は外部流体源を必要とし得、かくして、該冷却流体は患者の身体の外部から患者の身体内に配置された当該Ｘ線発生装置へと移送されねばならないと同時に、加熱された冷却流体も当該Ｘ線源から外部へと除去される必要があり得る。このような冷却流体の伝達は、患者の身体を介して当該Ｘ線発生装置まで設けられる配線の直径により制限され得る。
【００１２】
本発明の要旨は、特にＸ線発生装置内で高電圧をローカルに発生し、かくして、高電圧配線の絶縁に起因する問題を回避し又は少なくとも制限することに見られる。特に、例えば機械電気変換エレメントに影響を与える圧力、応力又は力等のローカルな機械エネルギを用いることにより、特には高電圧等の電気エネルギを、外部高電圧供給部を設ける必要性なしに、当該Ｘ線発生装置内で発生することができる。これに応じる機械力の一例は、機械電気変換エレメントを使用することにより高電圧を発生するためのローカルな圧力を発生するために、患者の身体の外部から当該Ｘ線発生装置に供給される流体物質であり得る。
【００１３】
このように、電気エネルギは、機械エネルギ源が機械／電気変換エレメントに、特には変調された態様で、供給されることにより発生される。斯様にして発生されたエネルギ、特には高電圧は、Ｘ線放射の発生のために電子を加速すべく電子放出エレメント及び電子収集エレメントの少なくとも一方に供給することができる。
【００１４】
同時に、高電圧を発生するために使用される流体は、例えば冷却液又は冷却ガス等の冷却補助物質として使用することもできる。
【００１５】
例えば陰極エレメント等の電子放出エレメント及び例えば陽極エレメント等の電子収集エレメントの両者には、上記機械エネルギ源又は流体を用いて冷却がなされ得る。
【００１６】
これによる冷却は、動作中における（即ちＸ線放射の発生中における）当該Ｘ線発生装置の周囲の組織に対する損傷を回避するために、該身体内Ｘ線発生装置に対して実質的に３７℃の温度を維持することができる。一例は、力又は圧力を受けた場合に高電圧を発生するように構成された圧電高電圧発生器を使用するものとすることができる。上記圧力、又は一般的に言うと機械エネルギ源は、当該小型Ｘ線発生装置の真空ハウジング内に配設された微小流体微小電気機械（ＭＥＭＳ）エレメントを使用することにより供給することができる。例えば上記微小流体ＭＥＭＳエレメント等の機械供給エレメントに供給される機械エネルギ源は、液滴を使用して高圧を発生するために変調することができる。圧電エレメントとの組み合わせで使用される該高圧は、高電圧を発生するために使用することができ、該高電圧はＸ線放射の発生のために電子放出エレメントと電子収集エレメントとの間での電子加速のために使用することができる。
【００１７】
ＭＥＭＳ変調器のシーケンスの変化は、圧力を変更及び制御することができ、従って前記高電圧（特には、高電圧シーケンス）を制御することができる。高電圧シーケンスとは、個別に設定し得る、複数の可能性のある高電圧値と理解することができる。ＭＥＭＳ変調器のシーケンスとは、専用の高電圧値を得るために機械エネルギ源を前記機械電気変換エレメントに供給する場合の圧力のシーケンスと理解することができる。
【００１８】
上記高電圧シーケンスを制御及び／又は変調することにより、発生されるＸ線放射ビームの専用の良好に規定された複数のスペクトルを、特には個別に定められたエネルギを有するように制御及び発生することができる。
【００１９】
上記高電圧のパルスシーケンス、即ち時間が決められたオン及びオフは、前記機械供給エレメント、及び／又は該機械供給エレメントに及び次いで前記機械／電気変換エレメントに供給される機械エネルギ源により制御することができる。これにより、発生される高電圧の値、従って専用のスペクトルを制御することができる。
【００２０】
前記変調は、前記機械エネルギ源により外部から行うことができるか、又は前記機械供給エレメントにより行うことができる。上記機械／電気変換エレメントに対する機械エネルギ源の供給を前記機械供給エレメント、流体供給エレメント及び流体制御エレメントのうちの少なくとも１つにより制御するために、当該ハウジング内には制御エレメントが存在することができる。
【００２１】
本Ｘ線発生装置は、Ｘ線放射の連続的発生に適合された動作モードを有することができる。言い換えると、前記機械電気変換エレメントの流体滴による連続的又はパルス的衝撃により、実質的な連続動作モード又はパルス動作モードを達成することができる。このように、Ｘ線放射の発生は、結果として実質的に瞬時の高電圧及び続くＸ線放射の発生につながる流体又は機械エネルギ源の十分な流れにのみ依存するものと考えることができる。該流体の流れは、当該Ｘ線発生装置への流体の供給、及び例えば少なくとも１つの専用の周波数を可能性として有する音響信号等による前記真空引きされたハウジング内の流体供給エレメントの制御のうちの一方を、例えば外部的に制御することにより制御することができる。
【００２２】
また、本Ｘ線発生装置は高電圧を高電圧発生エレメントの加圧（圧縮）又は減圧（膨張）のいずれによっても発生することができる。言い換えると、自然圧縮の結果として高電圧が発生し得、又は前記機械電気変換エレメントに機械的力を供給することができ、次いで該力が自然に開放されて高電圧を発生することができる。
【００２３】
ここで図１を参照すると、本発明によるＸ線発生装置の一実施例が示されている。
【００２４】
図１によるＸ線発生装置２は、電子放出エレメント４、即ち陰極エレメントを有し、該電子放出エレメントからは電子収集エレメント６、即ち陽極エレメントに向かって個々の電子８を有する電子ビーム８が加速される。電子放出エレメント４と電子収集エレメント６との間には電子８の加速のために電位が設けられる。電子収集エレメント６に衝突する電子８はＸ線放射１０を発生し、該Ｘ線放射は図１に示されるようにハウジング２２を所定の方向で貫通する。
【００２５】
上記電子放出エレメント４及び電子収集エレメント６は、通常のＸ線源を構成するものと考えることができる。しかしながら、電子ビームの発生のためには、カーボン・ナノチューブに基づく低温エミッタを使用することもできる。
【００２６】
電子放出エレメント４と電子収集エレメント６との間に加速電位を発生させるために高電圧が必要とされ、該所要の高電圧を発生するために例えば圧電エレメント１４等の機械電気変換エレメント１４が使用される。これに従う機械電気変換エレメント１４は、該機械電気変換エレメント１４に供給される例えば圧力又は力等の機械エネルギ源を用いるものと見ることができ、該機械エネルギは、次いで、電気エネルギに変換される。機械電気変換エレメント１４により発生される電気エネルギを使用することにより、高電圧が発生され、その結果、電子放出エレメント４と電子収集エレメント６との間に電子８の加速のための電位が生じる。
【００２７】
上記機械エネルギ源又は力は、機械供給エレメント１２により供給することができ、該機械供給エレメントは機械エネルギ源又は力を前記機械電気変換エレメント１４に供給するように構成される。
【００２８】
機械エネルギ源１６又は流体源１６は、真空引きされたハウジング２２の外部に配置される。流体源１６は、流体を、真空引きされたハウジング２２の外部から内部へ、特には機械供給エレメント１２へ第１機械開口２６ａ又は第１流体開口２６ａを介して流体供給エレメント１８により供給する。従って、流体供給エレメント１８により、流体は機械供給エレメント１２に対して、恐らくは該機械供給エレメント１２に機械エネルギ源を供給するための特定の圧力を有して供給される。流体源１６の流体は、機械電気変換エレメント１４又は圧電エレメント１４により高電圧を発生するために必要とされるエネルギを供給すると共に、機械供給エレメント１２、機械電気変換エレメント１４、電子放出エレメント４及び電子収集エレメント６の少なくとも１つを冷却することもできる。該流体は、配管２３を用いることにより当該真空引きされたハウジング内を循環させることができる。
【００２９】
機械供給エレメント１２は、更に、機械電気変換エレメント１４により高電圧を発生するために、特には該発生を制御するために、特定の圧力、速度及び／又は大きさ（amplitude）を有するように流体（即ち、流体滴）の衝突を制御するための流体制御エレメント２０を有することができる。
【００３０】
機械供給エレメント１２及び流体制御エレメント２０は、例えば微小電気機械システム流体圧エレメント又は変調器等の微小流体圧エレメントとして構成することができる。流体滴の変調は、例えば音響エレメント２１又はスピーカにより制御することができ、斯かるエレメント又はスピーカは、図１では例示的に真空引きされたハウジング２２の外部に配置されているが、恐らくは機械供給エレメント１２に取り付けられて又は該エレメント１２内に組み込まれて、該真空引きされたハウジング２２内に配置することもできる。
【００３１】
本発明によれば当該Ｘ線発生装置２に外部から供給されるための専用の高電圧供給部は必要とされないが、機械供給エレメント１２、流体供給エレメント１８、流体制御エレメント２０及び音響エレメント２１の少なくとも１つを制御し及び／又は斯かる少なくとも１つに電源を供給するために、当該Ｘ線発生装置２に更なる配線接続部又はケーブルを設けることもできることに注意すべきである。これに従う配線接続部は、機械エネルギ源１６からの接続部に加えて、又は該接続部内に設けることができる。例えば、流体を供給及び除去するためのチューブは、当該Ｘ線発生装置２の内部にエネルギ源及び／又は制御信号を供給するためのケーブルを更に有することができる。機械供給エレメント１２、流体供給エレメント１８、流体制御エレメント２０及び音響エレメント２１の少なくとも１つに対する電源は、Ｘ線放射の発生のための高電圧を供給するために要する電源よりも大幅に弱いものであると考えることができることに注意すべきである。これに従う電源は、弱電源と称することができる。制御を行い及び応じた弱電源を設けることは、例えば人体組織を介して外部から当該Ｘ線発生装置２への制御信号及び／又はエネルギのＲＦ送信を使用することも考えられる。
【００３２】
当該Ｘ線発生装置２の筐体は、付加的な非真空引きハウジング内に配置された真空引きハウジング２２を有することができる。機械供給エレメント１２、流体供給エレメント１８、流体制御エレメント２０、機械電気変換エレメント１４及び音響エレメント２１の少なくとも１つは、図１に示されるように真空引きハウジング２２内に配置することができるか、又は該真空引きハウジング２２の外部ではあるが上記非真空引きハウジング内に配置することもできる。高電圧を供給し、及び／又は冷却流体を供給及び排出するためのラインは、上記非真空引きハウジング内の真空引きハウジング２２を貫通することができる。
【００３３】
このようにして、音響エレメント２１から生じる音響波は、機械電気変換エレメント１４に衝突する機械エネルギ源１６又は流体源１６を制御することができる。流体源１６又は流体滴の大きさ、速度及び圧力なるパラメータの何れか１つを制御することにより、高電圧の発生、特には高電圧のシーケンスを制御することができ、結果として、個別の異なるエネルギを持つ複数の個別に発生されたＸ線ビーム１０（又は個別に発生されたＸ線ビーム１０のスペクトル）が生じる。
【００３４】
高電圧の発生の後、当該流体は配管２３により電子収集エレメント６へ、即ち当該Ｘ線発生装置２の陽極へ該陽極６を冷却するために供給することができる。このようにして、配管２３内の流体を用いることにより、該陽極から熱を伝導除去することができる。第２の機械的開口２６ｂ又は第２流体開口２６ｂが、真空引きハウジング２２内から当該流体を排出することを可能にする。
【００３５】
第１の機械的開口２６ａ及び第２の機械的開口２６ｂは、例えば単一の機械的開口に統合することができ、該単一の機械的開口には、当該Ｘ線発生装置２の真空引きハウジング２２に入力冷却流体を供給すると共に該Ｘ線発生装置２の真空引きハウジング２２からの熱い出力流体を排出するための配管が取り付けられる。両開口は、ハウジング２２内の真空に対して特に真空気密的であることが必要とされる。
【００３６】
Ｘ線放射１０の発生のために、当該Ｘ線発生装置２には機械エネルギだけが供給され、特に電気エネルギは供給されないと理解することができる。電子加速によるＸ線発生に要する高電圧は、微小電気機械微小流体圧変調器により発生され及び／又は変調される機械力により作動される機械電気変換エレメント１４又は圧電エレメント１４（特には、圧電型高電圧発生器）から発生される。到来する加圧された冷却流体、液体又は気体は、或る段階で圧力発生のために使用することができ、更なる段階では前記陽極において該陽極の材料を冷却するために使用することができる。この順序は、勿論、逆にすることもできる。
【００３７】
上記高電圧発生器のために、例えばジルコン酸チタン酸鉛圧電セラミック等の異なる材料の組み合わせを使用することもできる。
【００３８】
ここで、図２を参照すると、本発明による機械供給エレメントの動作実施例が示されている。
【００３９】
図２のａ〜ｈは、４つの個別の流体チャンネル２８ａ〜ｄを有するエレメントを用いた微小電気機械微小流体エレメントを示す。例えば外部音響波を用いて何のチャンネルが現在活性化されているかに依存して、個々の流体チャンネル２８ａ〜ｄから流出する滴の量、大きさ及び速度を制御することができ、かくして、機械電気変換エレメント１４による高電圧の発生を制御する。
【００４０】
例えば、楽音が個別の滴を個別のチャンネル２８ａ〜ｄに沿って移動させることができる。楽音を組み合わせると共に、これら楽音を適切な時点で供給することにより、当該流体を複数の流体チャンネル２８ａ〜ｄに沿って移動させることができ、混合、分割及び選別（ソート）することさえできる。個々のチャンネルは、個別の音響波又は音（トーン）を用いて個別に作動させるために、個々の物理的特性、例えば長さ、直径及び特に個々の共振周波数を有することができる。言い換えると、各流体チャンネル２８ａ〜ｄは、結果として各チャンネル２８ａ〜ｄに対して固有の共振周波数が得られるように、精密に定められた長さ及び直径を有することができる。例えば、４つの個別の周波数を用いることにより、個々の流体チャンネル２８ａ〜ｄは個別に制御することができる。
【００４１】
このように、周波数を組み合わせることにより、複数の個別の流体チャンネル２８ａ〜ｄでさえも実質的に同時に制御することができる。各流体チャンネル２８ａ〜ｄは固有の周波数で共振することができ、当該共振振動を増幅することができ、結果として内部圧力が増加する。当該周波数の振幅を増加させると、音響波又は音は移動速度を増加させることになる一方、音響波の持続期間を増加させることは、当該流体チャンネル２８ａ〜ｄ内で滴を更に遠くへ移動させることを可能にする。言い換えると、複数の流体チャンネル２８ａ〜ｄ内での複数の流体の流れを制御するために、単一の駆動力を使用することができる。音響エレメント２１は、例えば電気信号を音響波に変換する圧電トランスジューサとすることができる。
【００４２】
ここで、図３を参照すると、機械エネルギ源を用いてＸ線放射を発生する方法の一実施例が図示されている。
【００４３】
機械エネルギ源を用いてＸ線放射を発生する該方法３０は、電気エネルギの発生のために機械エネルギ源を真空引きハウジング２２の外部から機械電気変換エレメント１４へ供給するステップ３２と、電子放出エレメント４と電子収集エレメント６との間での電子８の加速のために電子放出エレメント４及び電子収集エレメント６の少なくとも一方に上記電気エネルギを供給するステップ３４とを有する。電子放出エレメント４及び電子収集エレメント６は、Ｘ線放射１０の発生のために動作的に結合されている。
【００４４】
次に、図４を参照すると、機械エネルギ源を用いて高電圧を発生する方法の一実施例が図示されている。
【００４５】
機械エネルギ源を用いて高電圧を発生する該方法４０は、電気エネルギの発生のために機械エネルギ源を機械電気変換エレメント１４へ供給するステップ４２と、高電圧の発生のために上記機械エネルギ源を変調するステップ４４とを有する。
【００４６】
尚、"有する"なる用語は他の構成要素又はステップを排除するものではなく、単数形は複数を排除するものではないことに注意されたい。また、異なる実施例に関連して、及び特に異なる請求事項において記載された構成要素は組み合わせることができる。
【００４７】
また、請求項における符号は当該請求項の範囲を限定するものと見なしてはならないことに注意すべきである。
【符号の説明】
【００４８】
２        Ｘ線発生装置
４        電子放出エレメント
６        電子収集エレメント
８        電子／電子ビーム
１０      Ｘ線放射
１２      機械供給エレメント
１４      機械電気変換エレメント／圧電エレメント／高電圧発生エレメント
１６      機械エネルギ源／流体源
１８      流体供給エレメント
２０      流体制御エレメント
２１      音響エレメント／スピーカ
２２      真空引きハウジング
２３      配管
２４      冷却
２６a,b   第１及び第２の機械的開口
２８a,b   流体チャンネル
３０      機械エネルギ源により発生される電気エネルギを用いてＸ線放射を発生する方法
３２      機械エネルギ源を供給するステップ
３４      電気エネルギを電子放出エレメント／電子収集エレメントに供給するステップ
４０      機械エネルギ源を用いて高電圧を発生する方法
４２      機械エネルギ源を供給するステップ
４４      機械エネルギ源を変調するステップ。
【図１】
2013530491.tif 000003
【図２ａ−ｈ】
2013530491.tif 000004
【図３】
2013530491.tif 000005
【図４】
2013530491.tif 000006
【国際調査報告】
2013530491.tif 000007
2013530491.tif 000008