【事件の表示】
　特許第２６２３０８５号「エキシマレーザ」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
特許第２６２３０８５号の特許を維持する。
【理由】
（１）手続の経緯
　本件特許第２６２３０８５号発明は、昭和６１年２月２５日に特許出願され、平成９年４月１１日にその特許の設定登録がなされ、その後サイマー　インコーポレイテッドより特許異議の申立てがなされ、平成１０年６月１８日付けで取消理由通知がなされ、平成１１年２月５日付けで訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年４月１３日に手続補正書が提出されたものである。
（２）訂正の適否についての判断
ア．訂正請求に対する補正の適否について
　訂正請求に対する補正は、訂正請求に係る訂正事項ａ、ｃを削除し、且つ訂正事項ｆ、ｇ中の訂正事項ａ、ｃに関連した記載を削除することを目的とするものである。よって、上記補正は、いずれも訂正請求書の要旨を変更するものではなく、特許法第１２０条の４第３項で準用する特許法第１３１条第２項の規定に適合するから、以下補正された訂正請求書に基いて検討する。
イ．訂正の内容
＊訂正事項ａ
　特許請求の範囲第（１）項中の１その出射側光学系により前記キャビティ内に戻す光量の比率を１％以上４９％以下の範囲としたこと」を、「その出射側光学系の反射率を出力レーザ光のレーザ出力が略最大となり、かつ充分に狭い線幅が得られる８％から２０％の範囲にしたこと」と訂正する。
＊訂正事項ｂ
　特許請求の範囲第（２）項を削除する。
＊訂正事項ｃ
　特許請求の範囲第（３）項を特許請求の範囲第（２）項に整理し、「特許請求の範囲第（１）項または第（２）項記載の」を、「特許請求の範囲第（１）項記載の」と訂正する。
＊訂正事項ｄ
　明細書第３頁第１２行〜第１８行に記載の「本発明によれば、キャビテイ内に波長選択素子を備えたエキシマレーザにおいて、その出射ミラーの反射率を１％以上４９％以下の範囲としたことを特徴としている。また、エキシマレーザのレーザ出力パワーを効率よく取り出す場合のみに限れば、出射ミラーの反射率を２％以上４３％以下の範囲とする。」を、「本発明は、キャビティ内に波長選択素子を備えたエキシマレーザにおいて、その出射側光学系の反射率を出力レーザ光のレーザ出力が略最大となり、かつ充分に狭い線幅が得られる８％から２０％の範囲にしたことを特徴としている。」と訂正する。
＊訂正事項ｅ
　明細書第８頁第９行〜第１５行に記載の「以上説明したように本発明によれば、エキシマレーザの出射ミラーの反射率を２％以上４３％以下にすることにより、レーザ出力を効率よく取り出すことができる。また、キャビティ内にエタロンを備えたエキシマレーザの出射ミラーの反射率を１％以上４９％以下にすることにより、」を、「以上説明したように本発明によれば、エキシマレーザの出射側光学系の反射率を８％から２０％の範囲にすることにより、」と訂正する。
ウ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、請求項１における、特許明細書の訂正前の特許請求の範囲の第（１）項に記載された「その出射側光学系により前記キャビテイ内に戻す光量の比率を１％以上４９％以下の範囲としたこと」を、より下位概念である「その出射側光学系の反射率を出力レーザ光のレーザ出力が略最大となり、かつ充分に狭い線幅が得られる８％から２０％の範囲にしたこと」と限定するものでありまた、出願当初の明細書の第５頁の第１９行〜第６頁の第３行の「この実験の結果、第２図に示すような出射ミラーの反射率とエキシマレーザの出力パワーとの関係を示すグラフを得ることができた。すなわち、出射ミラーの反射率が約８％のときに最大出力（１８０ｍＪ）を取り出すことができる。」という記載と、出願当初の明細書の第７頁第１行〜第３行の「第４図のグラフより、出射ミラーの反射率が約２０％のときに最大の単位線幅当りのレーザ出力（８．６ｍＪ／ｃｍ−１）を取り出すことができる。」という記載と、
出願当初の図面の第２図、第３図、第４図とを根拠とするものである。したがってこの訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｂは、特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｃは、不明りょうな記載の釈明を目的としたものである。
　上記訂正事項ｄ、ｅは、請求項１が訂正されたことに伴い特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るためのための訂正であり、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、不明りょうな記載の釈明を目的としたものである。
エ．独立特許要件の判断
（本件発明）
　訂正明細書の本件発明は、その特許請求の範囲の請求項１〜２に記載された次のとおりのものである。
「（１）キャビティ内に波長選択素子を備えたエキシマレーザにおいて、その出射側光学系の反射率を出力レーザ光のレーザ出力が略最大となり、かつ充分に狭い線幅が得られる８％から２０％の範囲にしたことを特徴とするエキシマレーザ。
（２）前記波長選択素子は、エタロンまたはグレーティングまたはエタロンとグレーティングとの組み合わせである特許請求の範囲第（１）項記載のエキシマレーザ。」
（引用例）
　訂正明細書の本件発明に対して、当審が平成１０年６月１８日付けの取消理由で引用した「Ｋｕｄｒｙａｖｔｓｅｖ　ａｎｄ　Ｋｕｚｍｉｎａ，′Ｅｘｃｉｍｅｒ　Ｇａｓ−ＤｉｓｃｈａｒｇｅＴｕｎａｂｌｅ　ＡｒＦ　Ｌａｓｅｒ゛，Ａｐｐ１ｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ　１３（１９７７）Ｐ１０７−１０８」　（以下、「引用例１」という。）はエキシマレーザに関する文献で、その第１０７頁右欄第５行乃至第８行には、「キャビティは、サード・オーダで作動する１２００ライン／ｍｍの回析グレーティング及び反射率３０％の平らで透明なアルミニウムミラーから形成されていた。」と記載されている。
　更に引用した「Ｌｏｒｅｅ　ｅｔ　ａｌ．，“Ｓｐｅｃｔｒａｌ　ｔｕｎｉｎｇ　ｏｆ　ＡｒＦ　ａｎｄ　ＫｒＦ　ｄｉｓｃｈａｒｇｅ　ｌａｓｅｒ”，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．３２（３）（１　Ｆｅｂ　１９７８），Ｐ１７１−１７３」（以下、「引用例２」という。）はエキシマレーザに関する文献で、その第１７２頁左欄第２８行乃至第３０行には、「ＡｒＦの波長には６０％の透過率及びＫｒＦの波長に６０％の透過率を有する平らな出力カプラーが使用された。」と記載されている。さらに同頁左欄第３８行乃至第４０行には「そのアレーは、３６００ライン／ｍｍのフォログラフィーのグレーティングを備えた０．５ｍのスペクトロメー夕の出力を調べた。」と記載されている。更に引用した「Ｍｕｃｋｅｎｈｅｉｍ　ｅｔ　ａｌ．，“Ｅｘｃｉｍｅｒ　ｌａｓｅｒ　ｗｉｔｈ　ｈｉｇｈ　ｓｐｅｃｔｒａｌ　ｂｒｉｇｈｔｎｅｓｓ　ｗｏｒｋｉｎｇ　ｉｎ　ｔｈｅ　ｒｅｇｅｎｅｒａｔｉｖｅ　ａｍｐｌｉｆｉｅｒ　ｒｅｇｉｍｅ”，ＴＯＰＩＣＡＬＭＥＥＴＩＮＧ　ＯＮ　ＥＸＣＩＭＥＲ　ＬＡＳＥＲＳ（１９８３），ＯＰＴＩＣＡＬ　ＳＯＣＩＥＴＹ　ＯＦ　ＡＭＥＲＩＣＡ，Ｉｎｃｌｉｎｅ　Ｖｉｌｌａｇｅ，Ｎｅｖａｄａ」（以下、「引用例３」という。）はエキシマレーザに関する文献で、その第１頁第３０行から第３１行には、「出力カプラーは、合理的な共振器性能を確実に得るために、反射率３０％を有する。」と記載されている。さらに、同頁第３７行から第３８行には、「さらに狭くするために、アパチャと出力カプラーとの間にエタロンを配置すること可能である。」と記載されている。
更に引用した「ＢＵＲＮＨＡＭ，“ＩＭＰＲＯＶＥＤ　ＰＥＲＦＯＲＭＡＮＣＥＯＦ　ＴＨＥ　ＤＩＳＣＨＡＲＧＥＤ　ＰＵＭＰＥＤ　ＸｅＣｌ　ＬＡＳＥＲ”，ＯＰＴＩＣＳ　ＣＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩＯＮＳ　Ｖ０ｌ．２４，Ｎｏ．２（Ｆｅｂｒｕａｒｙ　１９７８），Ｐ１６１−１６３」　（以下、「引用例４」という。）はエキシマレーザに関する文献で、その第１６１頁左欄第２６行乃至第２９行には、「光学共振器は、全反射器及び７０％の透過率を持つ出力カプラーから構成され、それぞれが１メートル離間した５メートルの曲率半径を持っていた。」と記載されている。さらに第１６２頁右欄下から第６行乃至第３行には「ＸｅＣｌレーザの波長選択性を研究するために、光学キャビティ内の全反射器をエシェルグレーティング（９８溝／ｍｍ、ブレーズ角６３゜）と取り替えた。」と記載されている。
更に引用した「Ａｒｍａｎｄｉｌｌｏ　＆　Ｇｉｕｌｉａｎｉ，“Ｅｓｔｉｍａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｍｉｎｉｍｕｍ　ｌａｓｅｒ　ｌｉｎｅｗｉｄｔｈ　ａｃｈｉｅｖａｌ　ｗｉｔｈ　ｇｒａｚｉｎｇ−ｇｒａｔｉｎｇ　ｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎ”，ＯＰＴＩＣＳＬＥＴＴＥＲＳ　Ｖｏ１．８，Ｎｏ．５（Ｍａｙ　１９８３），Ｐ２７４−２７６」（以下、「引用例５」という。）はエキシマレーザに関する文献で、その第２７４頁右欄第１行から第５行には、「図１は、実験のための配置を示し、キャビティーは、その一方の側が、未被覆の平らな出力カプラー（反射率４パーセント）により形成され、他方の側が、斜入射形グレーティング及び調整用ミラーである調整用リトロー・グレーティングにより形成されていた。」と記載されている。更に引用した「Ｒｅｉｎｔｊｅｓ，“Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｃｏｈｅｒｅｎｔ　ｔｕｎａｂｌｅ　ＶＵＶ　ｒａｄａｔｉｏｎ　ｎｅａｒ　ｔｈｅ　Ｌｙ−β　ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ　ｏｆ　ａｔｏｍｉｃ　ｈｙｄｒｏｇｅｎ”，ＯＰＴＩＣＳ　ＬＥＴＴＥＲＳ　Ｖｏ１．５，Ｎｏ．８（Ａｕｇｕｓｔ　１９８０），Ｐ３４２−３４４」（以下、「引用例６」という。）はエキシマレーザに関する文献で、その第３４２頁左欄第２７行乃至第２９行には、「調整は、キャビティの後側の９８．７６溝／ｍｍのエシェルグレーティングにより行われた。」と記載され、さらに、同頁左欄第３５行乃至第３８行には、「インジェクションロック型の共振器（スレーブ共振器）は、後ミラーとしての８０％の反射器及び３０％の反射率を得るために５０ｃｍＲＯＣ被覆されたレンズ出力カプラーを有する不安定な共振器構造においで作動された。」と記載されている。
（対比・判断）
　本件発明と引用例１乃至６とを対比すると、引用例１乃至６には、本件発明の必須の構成要件である、キャビティ内に波長選択素子を備えたエキシマレーザにおいて、「その出射側光学系の反射率を出力レーザ光のレーザ出力が略最大となり、かつ充分に狭い線幅が得られる８％から２０％の範囲にした」点について記載も示唆も認められない。
　したがって、本件発明が引用例１乃至６に記載された発明と同一発明であると認めることはできない。
　よって、本件発明は特許出願の際独立して特許を受けることができない発明であるとすることはできない。
オ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する特許法第１２６条第２から４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
（３）特許異議の申立てについての判断
ア．申立ての理由の概要
　申立人北村二郎は、甲第１号証（引用例１）、甲第２号証（引用例２）、甲第３号証（引用例３）、甲第４号証（引用例４）、甲第５号証（引用例５）、甲第６号証（引用例６）、甲第７号証（Ｍｃｋｅｅ，ｅｔ　ａｌ．“Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ　ａｎｄ　Ｂｅａｍ　Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ，Ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ　Ｓｐｅｃｔｒａｌ　Ｎａｒｒｏｗｉｎｇ，　ｏｆ　ａ　ＴＥＡ　Ｒａｒｅ−Ｇａｓ　Ｈａｌｉｄｅ　Ｅｘｃｉｍｅｒ　Ｌａｓｅｒ”ＩＥＥＥ　ＪＯＵＲＮＡＬ　ＱＵＡＮＴＵＭ　ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ　Ｖｏｌ．ＱＥ−１５，Ｎｏ５（Ｍａｙ　１９７９）Ｐ３３２−３３４：文献１）及び甲第８号証（Ｄｊｅｕ，“Ｂａｃｋｗａｒｄ　Ｒａｍａｎ　ｃｏｍｐｒｅｓｓｉｏｎ　ｏｆ　ＸｅＣｌ　ｌａｓｅｒ　ｐｕｌｓｅ　ｉｎ　Ｐｂ　ｖａｐｏｒ”Ａｐｐｌ．　Ｐｈｙｓ．　Ｌｅｔｔ．３５（９）１　Ｎｏｖ　１９７９）Ｐ６６３−６６５：文献２）を提示して本件旧請求項１乃至３記載の発明は、甲第１乃至８号証に記載された発明であるか、甲第１乃至８号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第１項第３号又は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、特許を取り消すべきものと主張している。
（引用例）
　甲第１乃至６号証は、（２）エの引用例の項で検討した引用例１乃至６と同一のものであり、それぞれ（２）エで述べた発明が記載されている。
　文献１はエキシマレーザに関する文献で、その第３３４頁の図４には、反射率１００％の反射ミラーＭ１、２４００ライン／ｍｍのグレーティング、レーザチャンバ及び反射率５０％の出力ミラーＭ２の配置が示され、さらに、同頁左欄第２行乃至第４行には、「ミラーＭ１及びＭ２は、１００％と５０％の反射率を得るために誘電被覆されていた。」と記載されている。
文献２はエキシマレーザに関する文献で、その第６６３頁右欄第１２行乃至第１７行には、「共振器は、３０ｃｍの能動レンズを備え、さらに、そのキャビティは、５０％反射率且つ１０ｍ半径のミラー及び７０ｃｍ離間した９８．７６溝／ｍｍ（６３°２６′）のエシェルグレーティングから構成されていた。ｌｍｍと１０ｍｍの厚みを持ち且つ面当たり７５％の反射率のキャビティ内固体石英エタロンが出力バンド幅を更に狭くするために使用された。」と記載されている。
（対比・判断）
　本件発明と引用例１乃至６及び文献１乃至２とを対比すると、引用例１乃至６及び文献１乃至２には、本件発明の必須の構成要件である、キャビティ内に波長選択素子を備えたエキシマレーザにおいて、「その出射側光学系の反射率を出力レーザ光のレーザ出力が略最大となり、かつ充分に狭い線幅が得られる８％から２０％の範囲にした１点についての記載はないし、この点を示唆する記載もない。
　そして、本件発明は、上記の構成をとることにより、明細書に記載されているように、「レーザ出力を大幅に減少させることなく線幅が狭く、かつ横モードの多いレーザ光を得ることができる。」という引用例１乃至６及び文献１乃至２にはない顕著な作用効果を奏するものである。
　よって、本件発明は、引用例１乃至６及び文献１乃至２に記載された発明であるとも、引用例１乃至６及び文献１乃至２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとも認めることはできない。
　また、他に本件特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年９月１０日（１９９９．９．１０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
＊訂正事項ａ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲第（１）項中の「その出射側光学系により前記キャビティ内に戻す光量の比率を１％以上４９％以下の範囲としたこと」を、「その出射側光学系の反射率を出力レーザ光のレーザ出力が略最大となり、かつ充分に狭い線幅が得られる８％から２０％の範囲にしたこと」と訂正する。
＊訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲第（２）項を削除する。
＊訂正事項ｃ
　不明りょうな記載の釈明を目的として、特許請求の範囲第（３）項を特許請求の範囲第（２）項に整理し、「特許請求の範囲第（１）項または第（２）項記載の」を、「特許請求の範囲第（１）項記載の」と訂正する。
＊訂正事項ｄ
　不明りょうな記載の釈明を目的として、明細書第３頁第１２行〜第１８行に記載の「本発明によれば、キャビテイ内に波長選択素子を備えたエキシマレーザにおいて、その出射ミラーの反射率を１％以上４９％以下の範囲としたことを特徴としている。また、エキシマレーザのレーザ出力パワーを効率よく取り出す場合のみに限れば、出射ミラーの反射率を２％以上４３％以下の範囲とする。」を、「本発明は、キャビティ内に波長選択素子を備えたエキシマレーザにおいて、その出射側光学系の反射率を出力レーザ光のレーザ出力が略最大となり、かつ充分に狭い線幅が得られる８％から２０％の範囲にしたことを特徴としている。」と訂正する。
＊訂正事項ｅ
　不明りょうな記載の釈明を目的として、明細書第８頁第９行〜第１５行に記載の「以上説明したように本発明によれば、エキシマレーザの出射ミラーの反射率を２％以上４３％以下にすることにより、レーザ出力を効率よく取り出すことができる。また、キャビティ内にエタロンを備えたエキシマレーザの出射ミラーの反射率を１％以上４９％以下にすることにより、」を、「以上説明したように本発明によれば、エキシマレーザの出射側光学系の反射率を８％から２０％の範囲にすることにより、」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
エキシマレーザ
（５７）【特許請求の範囲】
（１）キャビティ内に波長選択素子を備えたエキシマレーザにおいて、その出射側光学系の反射率を出力レーザ光の単位線幅当たりのレーザ出力が略最大となる１５％から２５％の範囲にしたことを特徴とするエキシマレーザ。
（２）前記波長選択素子は、エタロンまたはグレーティングまたはエタロンとグレーティングとの組み合わせである特許請求の範囲第（１）項記載のエキシマレーザ。
（３）キャビティ内に波長選択素子を備えたエキシマレーザにおいて、その出射側光学系の反射率を出力レーザ光のレーザ出力が略最大となり、かつ充分に狭い線幅が得られる８％から２０％の範囲にしたことを特徴とするエキシマレーザ。
（４）前記波長選択素子は、エタロンまたはグレーティングまたはエタロンとグレーティングとの組み合わせである特許請求の範囲第（３）項記載のエキシマレーザ。
【発明の詳細な説明】
　〔産業上の利用分野〕
　本発明はエキシマレーザに係り、特に高分解能投影露光用の光源として用いるエキシマレーザに関する。
　〔従来の技術〕
　従来のエキシマレーザについて、ラムダ・フィジックス社の商品を例にとって説明する。第８図に示すようにこのインジェクションロック方式のレーザは、全反射ミラー１１と出射ミラー１２からなる共振器、この共振器内に配設された分散プリズム１３、アパーチャ１４，１５および電極１６から構成されるオッシレーダ部１０と、ミラー１７，１８を介して光学的に接続され、ミラー２１，２２および電極２３から構成されるアンプ部２０とを有している。
　このレーザにおいてオッシレーダ部１０は、分散プリズム１３で波長を分け、アパーチャ１４，１５でビームを絞る作用をなし、これによって、スペクトル線幅が狭く、かつコヒーレントなビーム特性をもつレーザシグナルが得られる。そしてこのシグナルは不安定共振器を構成するアンプ部２０に注入同期されて、キャビテイモードで強制発振される。
　〔発明が解決しようとする問題点〕
　上記のような構成をもつエキシマレーザは、スペクトル線幅の狭いレーザ光を得ることができるが、同時に単一モード（コヒーレント性が高くなる）になるため、これを縮小投影光源として使用した場合、スペックル（縞）が発生して高い解像度を得ることができないという問題点があった。
　また、アパーチャ１４，１５を使用することから、レーザ出力が著しく低下するという欠点も有していた。
　本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、縮小投影に適したレーザ光を効率よく発振することができるエキシマレーザを提供することを目的とする。
　〔問題点を解決するための手段〕
　本発明は、キャビティ内に波長選択素子を備えたエキシマレーザにおいて、その出射側光学系の反射率を出力レーザ光の単位線幅当たりのレーザ出力が略最大となる１５％から２５％の範囲にしたことを特徴としている。また、キャビティ内に波長選択素子を備えたエキシマレーザにおいて、その出射側光学系の反射率を出力レーザ光のレーザ出力が略最大となり、かつ充分に狭い線幅が得られる８％から２０％の範囲にしたことを特徴としている。
　〔実施例〕
　以下、本発明を添付図面を参照して詳細に説明する。
　第１図は、全反射ミラー１と出射ミラー２とからなる共振器を備えたエキシマレーザのキャビティ内にエアギャップエタロン３を１個配置した例を示す。このエキシマレーザは、波長選択素子の１つである上記エアギャップエタロン３をキャビティ内に配置したため、横モードの数を減少させずに、エタロン３の透過特性によりスペクトル線幅の狭い縮小投影露光に好適なレーザ光を発振する。
　なお、５，５′はウインドであり、これらのウインドによって密閉されたチャンバ４内には、例えばアルゴンとフッ素の混合ガス、クリプトンとフッ素の混合ガスなどが充填されており、エキシマと呼ばれる励起状態の原子と基底状態の原子が結合してできる分子を用いたこのエキシマレーザは、波長が短く（ＡｒＦで１９３ｎｍ、ＫｒＦで２４８ｎｍの紫外）、また本質的に非コヒーレント性を有する。また、レーザ光の強度に関しては、エタロン３の入射断面積をレーザ光の断面積に対して十分大きく取れば、損失は反射及び拡散によるものだけであるから、強度の減少は少ない。
　さて、出射ミラーの反射率を高くすると、キャビティ内の光のターン数が多くなり、光強度の高い波長でパワーが集中するため、エタロンの設計値よりも線幅が狭くなる。ところが、出射ミラーの反射率を高くすると、レーザパワーが減少する。逆に、出射ミラーの反射率を低くしすぎると、レーザのモードが悪くなり、レーザの出力パワーが小さくなる。
　そこで、まず、エキシマレーザのレーザ出力パワーを効率よく取り出すための出射ミラーの反射率の最適化について考察する。
　図１に示すエキシマレーザのエアギャップエタロン３としてフリースペクトルレンジ４２ｃｍ−１”、フィネス７、有効径３０φのものを使用し、出射ミラーの反射率とＫｒＦのエキシマレーザの出力パワーとの関係を調べるべく実験を行なった。
　この実験の結果、第２図に示すような出射ミラーの反射率とエキシマレーザの出力パワーとの関係を示すグラフを得ることができた。すなわち、出射ミラーの反射率が約８％のときに最大出力（１８０ｍＪ）を取り出すことができる。ここで、最大出力の半値（９０ｍＪ）をエキシマレーザの効率の良否を判断するための閾値Ｔ１とすると、第２図のグラフからも明らかなように出射ミラーの反射率が２％以上４３％以下のとき出力を効率よく取り出すことができる。
　一方、前述したように出射ミラーの反射率を高くすると線幅が狭くなる。この関係を調べるための実験から第３図に示すような出射ミラーの反射率と線幅との関係を示すグラフを得ることができた。
　したがって、適当な線幅を確保することができ、かつ効率のよいレーザ出力を得るための出射ミラーの反射率の適当な範囲が存在する。
　第４図のグラフは、第２図におけるレーザ出力を第３図における線幅によって除算することによって得たもので、出射ミラーの反射率と単位線幅当りのレーザ出力との関係を示す。
　第４図のグラフより、出射ミラーの反射率が約２０％のときに最大の単位線幅当りのレーザ出力（８．６ｍＪ／ｃｍ−１）を取り出すことができる。ここで、上記最大の単位線幅当りのレーザ出力の半値幅（４．３ｍＪ／ｃｍ−１”）を単位線幅当りのレーザ出力の効率の良否を判断するための閾値Ｔ２とすると、第４図のグラフからも明らかなように出射ミラーの反射率が１％以上４９％以下のとき単位線幅当りのレーザ出力を効率よく取り出すことができる。
　なお、以上の実験によって得たレーザ光は、幅の狭いスリットを通過してもスペックルが発生せず、十分な数の横モードが存在することが判明した。
　また、第５図乃至第７図はそれぞれエアギャップエタロンの他の配置例を示すもので、第５図は全反射ミラー１とウインド５′との間に２個のエアギャップエタロン３を配置した場合を示し、第６図は全反射ミラー１とウインド５′との間に１個のエアギャップエタロン３を配置するとともに、キャビテイ外に１個のエアギャップエタロン３を配置した場合を示し、第７図は全反射ミラー１とウインド５′との間に２個のエアギャップエタロン３を配置するとともに、キャビテイ外に２個のエアギャップエタロン３を配置した場合を示す。
　これらの場合についてそれぞれ実験を行なったところ、第１図の場合と同様な結果が得られた。
　なお、実施例では、波長選択素子としてエタロンを用いた例を示したが、波長選択素子の種類は任意であり、例えばグレーテイング、エタロンおよびグレーティングの組み合わせを使用するようにしてもよい。
　また、実施例では、フロントミラーの反射率を変化させて出力結合のフィードバック比を変化させるようにしたが、他の方法を用いてもよい。たとえば不安定共振器等により出力結合のフィードバック比を調整するようにしてもよい。
　〔発明の効果〕
　以上説明したように本発明によれば、エキシマレーザの出射側光学系の反射率を１５％から２５％の範囲にすることにより、適当に狭い線幅を確保することができかつレーザ出力を効率よく取り出すことができる。またエキシマレーザの出射側光学系の反射率を８％から２０％の範囲にすることにより、レーザ出力を大幅に減少させることなく線幅が狭く、かつ横モードの多いレーザ光を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図および第５図乃至第７図はそれぞれエアギャップエタロンを備えたエキシマレーザを示す概略構成図。第２図は出射ミラーの反射率とレーザ出力との関係を示すグラフ、第３図は出射ミラーの反射率と線幅との関係を示すグラフ、第４図は出射ミラーの反射率と単位線幅当りのレーザ出力との関係を示すグラフ、第８図は従来のエキシマレーザの構成例を示した概念図である。
　１…全反射ミラー、２…出射ミラー、３…エアギャップエタロン、４…チャンバ、５，５′…ウインド。