(57)【要約】【課題】  クリーンルーム内へ異なる構成部品を有する処理チャンバキットを移送するポータブルパッケージ。【解決手段】  クリーンルーム移送パッケージは、複数の異なる形状のチャンバ構成部品を有する処理チャンバキットを直接クリーンルーム環境に入れるのに有用である。パッケージは、第１リムを有する第１レッジと、第１レッジから外側へ延びる複数の第１トラフとを有する第１剛体トレーを備える。第２剛体トレーは、第１剛体トレーから取り外すことができる。第２剛体トレーは、第２リムを有する第２レッジを有し、第２リムは第１レッジの第１リムと結合して、それらの間にシールを形成する。第２剛体トレーはまた、第２レッジから外側へ延びる複数の第２トラフを有する。２つのトレーが組み立てられたとき、第１と第２トラフの対を向き合わすことにより、異なる内部表面プロファイルを有する複数のコンフォーマルセルが形成される。【選択図】          図１
0003106174.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
複数の異なる形状のチャンバ構成部品を有する処理チャンバキット用のクリーンルーム移送パッケージであって、
(a)  第１リムを有する第１レッジと、
前記第１レッジから外側へ延びる複数の第１トラフと
を有する第１剛体トレー、及び、
(b)  第１剛体トレーから取り外すことができる第２剛体トレー、を備え、前記第２剛体トレーは、
第２リムを有する第２レッジを有し、前記第２リムは前記第１レッジの前記第１リムと結合して、それらの間にシールを形成し、
前記第２剛体トレーはまた、前記第２レッジから外側へ延びる複数の第２トラフを有し、
前記第１と第２トラフの対を向き合わすことにより、異なる内部表面プロファイルを有する複数のコンフォーマルセルが形成され、各コンフォーマルセルの内部表面プロファイルは、チャンバ構成部品の外部表面プロファイルと適合し、移送中、コンフォーマルセル内の前記チャンバ構成部品の動きが最小になり、
前記第１、第２トレーの少なくとも一部は、実質的に透明であり、前記処理チャンバキットの各チャンバ構成部品の状態は、実質的に透明な部分を通して観察することができることを特徴とするクリーンルーム移送パッケージ。
【請求項２】
向合う前記第１、第２トラフは、実質的に同じ内部表面プロファイルを有し、相互に鏡像の関係に並置される請求項１に記載の移送パッケージ。
【請求項３】
前記第１、第２トレイの少なくとも一方は、任意の前記コンフォーマルセルの深さより大きい高さを有する剛体の側壁を有する請求項１に記載の移送パッケージ。
【請求項４】
側壁の対向する部分の各々は、ハンドルカットオフを備える請求項３に記載の移送パッケージ。
【請求項５】
前記側壁は、組合わせることができる１組の取り外し可能なパネルを備える請求項４に記載の移送パッケージ。
【請求項６】
前記第１、第２トラフの少なくとも一方は、前記ャンバ構成部品が前記トラフの内側に置かれるとき、前記チャンバ構成部品を接触点で保持する内向きの機械的バイアス力をかける形状のトラフ壁を有する請求項１に記載の移送パッケージ。
【請求項７】
前記第１、第２トレーの少なくとも一方のリム内に溝を備え、前期溝内にガスケットシールを備え、前記第１、第２トレーの間に気密シールを形成する請求項１に記載の移送パッケージ。
【請求項８】
前記第１、第２トレーをロックするため、ラッチとラッチタブを備える請求項１に記載の移送パッケージ。
【請求項９】
前記第１、第２トレーの少なくとも一部は、カラーと、関連付けられた処理チャンバキットとのリストを有するカラーコードテーブルから選択されたカラーに従って色が付けられる請求項１に記載の移送パッケージ。
【請求項１０】
前記カラーコードテーブルは、同一のチャンバ構成部品を有するが、異なるプロセスに使用されたか使用される処理チャンバキットのために異なるカラーを関連付ける請求項９に記載の移送パッケージ。
【請求項１１】
実質的に透明部分は、色が付けられている請求項９に記載の移送パッケージ。
【請求項１２】
複数の異なる形状のチャンバ構成部品を有する処理チャンバキット用のクリーンルーム移送パッケージであって、
(a)  第１リムを有する第１フレームと、
前記第１フレームから外側へ延びる複数の第１トラフと
を有する実質的に透明な第１剛体トレー、及び、
(b)  第１剛体フレームから取り外すことができる実質的に透明な第２剛体トレー、を備え、前記第２剛体トレーは、
第２リムを有する第２フレームと、
前記第２フレームから外側へ延びる複数の第２トラフとを有し、前記第２トラフは前記第１トラフと実質的に同一な内部表面プロフィールを有し、
(c)  前記第１又は第２フレームの溝内のガスケットシール、及び、
(d)  前記第１トレー上のラッチと、前記第２トレー上のラッチタブ、を備え、
前記第１と第２トレーが結合され、前記ラッチが前記ラッチタブ上に閉じられるとき、２つのトレー間に気密シールが形成され、
前記第１と第２トラフの対を向き合わすことにより、異なる内部表面プロファイルを有する複数のコンフォーマルセルが形成され、各コンフォーマルセルの内部表面プロファイルは、チャンバ構成部品の外部表面プロファイルと適合し、移送中、コンフォーマルセル内の前記チャンバ構成部品の動きが最小になり、
実質的に透明な前記第１又は第２トレーにより、前記処理チャンバキットの各チャンバ構成部品の状態をそこから観察することができることを特徴とするクリーンルーム移送パッケージ。
【請求項１３】
前記第１、第２トレイの少なくとも一方は、任意の前記コンフォーマルセルの深さより大きい高さを有する剛体の側壁を有し、前記側壁は、結合される１組の取り外し可能なパネルを備える請求項１に記載の移送パッケージ。
【請求項１４】
側壁の対向する部分の各々は、ハンドルカットオフを備える請求項１３に記載の移送パッケージ。
【請求項１５】
前記第１、第２トラフの少なくとも一方は、前記構成部品が前記トラフの内側に置かれるとき、前記チャンバ構成部品を接触点で保持するような内向きの機械的バイアス力をかけるような形状のトラフ壁を有する請求項１２に記載の移送パッケージ。
【請求項１６】
前記第１、第２トレーの少なくとも一部は、カラーと、関連付けられた処理チャンバキットとのリストを有するカラーコードテーブルから選択されたカラーに従って色が付けられた請求項１２に記載の移送パッケージ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、クリーンルーム内へ異なる構成部品を有する処理チャンバキットを移送するポータブルパッケージに関する。
【背景技術】
【０００２】
処理チャンバ構成部品をクリーンルーム環境内へ移送するのに、多くの異なる種類のパッケージングが使用される。クリーンルームは、環境中の微粒子量が制御され、集積回路チップとディスプレーの汚染のない処理を行うことのできる室である。１つの種類のパッケージングでは、個々のチャンバ構成部品は、シールされたプラスチックバッグにより取り囲まれる。フォームブロック母材のカットアウトの内側にネスト(nest)する。フォームブロック母材は、構成部品ボックス内に固定され、輸送コンテナ内で販売サイト又は顧客へ輸送される。クリーンルームフォームは、高度に圧縮されたスポンジ状ポリエチレンフォーム材料、例えばカリフォルニア州Ventura、FP TechnologiesのVoteform’s “Plastazote LD-24”である。フォームブロック母材は、クリーンルームフォームの個々のブロックからなり、これらが相互に結合されて必要なカットアウト形状を形成する。構成部品ボックスは、典型的にはプラスチック又は他の材料の側壁を有し、これらが金属縁で結合され、フォームのブロック母材で充填される。構成部品ボックスは、包装された構成部品をクリーンルーム環境へ容易に移送できるようにハンドルを有する。
【０００３】
従来のパッケージングは、移送と、このようなパッケージングをクリーンルーム環境で開くことに伴う多くの問題がある。例えば、従来のパッケージングは、しばしばクリーンルーム環境で汚染物質と不所望のガス放出を発生する。典型的には、輸送コンテナはクリーンルーム外で開梱され、内側構成部品ボックスは取り除かれる。クリーンルームフォームが使用されるとき、フォームブロック母材は、しばしばクリーンルーム環境で開梱される。しかし、このような開梱とフォームブロックから構成部品パーツを取り除く間に、フォームの個々の粒子又は小さい塊が剥げ落ち汚染物質粒子を生じる場合がある。更に、クリーンルームフォームは典型的には、約10から100ミクロンの大きさのポアがある多孔性の開いた細胞性の構造を有する。これらのポアにトラップされたガスは、クリーンルーム環境でガス放出する場合がある。３次元ブロック母材を作るのに使用されるフォームの分離したブロックの間の結合層もまた、ガス放出し又は高分子の汚染物質粒子を生じる場合がある。
【０００４】
ある場合は、ブロックのフォーム材料自体はクリーンルームに持ち込めず、個々のシールされた構成部品バッグは、開梱してクリーンルーム内へ運ぶ必要がある。このような移送の間に、個々の構成部品パーツの周りのシールパッケージを形成するのに使用する柔らかいプラスチックが破れ、内側のパーツが外の環境により汚染される場合がある。クリーンルーム環境内で柔らかいプラスチックバッグを次の使用まで保管することも難しい。柔らかいプラスチックバッグは、容易には積重ねることが出来ず、孔があくことがあるからである。更に、個々の構成部品パーツをある距離だけ運ぶことだけで、パーツを落とし損傷する危険がある。
【０００５】
フォーム材料と外箱により内部の内容物を視覚的に検査できないので、別の問題も起こる。例えば、チャンバ構成部品が閉じたボックス内で破損するか又は割れると、クリーンルーム環境でボックスが開かれるまで、その破損は発見されない。更に、パーツ流通倉庫等の中間移送ポイントで、パッケージされた構成部品の状態を顧客に輸送する前に検査するためには、コンテナを開かなければならず、構成部品パーツは汚染される。更に、国際輸送に伴う厳しい税関検査は、このようなコンテナを開き、税関官吏が内部の中身を確認することを要求するので、不都合な可能性のある環境でシールを破ることが必要になるかもしれず、航海が終わった後、パーツが廃棄されるかもしれない。
【０００６】
従来のフォームパッケージングの上にラベルをつけるのは困難なので、更に他の問題が起こる。典型的には、凹部領域は、フォームコンテナにルータ加工することにより機械加工され、凹部内に厚いエポキシ層がつけられる。ラベルは、厚いエポキシ層に貼り付けられる。しかし、このようなエポキシ材料は、低圧環境では又は環境の室温まで加熱されるとき、ガス放出する場合がある。更に、ルータ加工で、フォームは破片になり、欠陥のあるパッケージングを生じる場合がある。
【０００７】
相互に関連する多数の異なるチャンバ構成部品を有する処理チャンバキットを移送又は輸送するとき、他の問題が起こる。例えば、キットは、処理チャンバの壁面を覆うため、ライナーの異なる部分を備える。これらのライナーは、チャンバの動作中、日常的に清浄され、改装され、又は置き換えられるので、関連するライナーパーツのキットを同時に輸送する必要がある。このようなキットが別に梱包され輸送されるとき、販売センター又は税関でキットを再度組み立てる必要が生じ、資源を浪費し、部品を誤って組み立てる結果になる。従来のパッケージングを開梱し、キットの個々の構成部品をクリーンルーム内へ移送するとき、この問題は更に悪化する。特に使用前にある時間保管されるときは、クリーンルームで、構成部品は誤った場所に置かれ、他の部品と混ざる。チャンバのダウンタイムを減らすため、クリーンルームで保管し、構成部品パーツが故障し又はクリーニングが必要なとき、構成部品パーツの交換を迅速にできるようにすることが好ましい。シールされていない又は包装していないパーツキットはまた無くしやすく、取られ易い。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００８】
従って、敏感なチャンバ構成部品パーツが製作者からクリーンルーム環境へ安全に移送（輸送）されるパッケージングを有することが好ましい。パッケージングは、外部環境から気密シールを保持することが好ましい。パッケージングに容易にラベルを付けられることが好ましい。シールを破ることなく又はパッケージングを開くことなく、内部の部品を視覚的に検査できるパッケージングを有することが好ましい。関連するパーツのキットを移送し保管し、必要により確認することが好ましい。更に、パッケージングが、テーパ無しテープ、シール、ロック、又は他の手段と適合することが好ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
クリーンルーム移送パッケージは、複数の異なる形状のチャンバ構成部品を有する処理チャンバキットを直接クリーンルーム環境に入れるのに有用である。パッケージは、第１リムを有する第１レッジと、第１レッジから外側へ延びる複数の第１トラフとを有する第１剛体トレーを備える。第２剛体トレーは、第１剛体トレーから取り外すことができる。第２剛体トレーは、第２リムを有する第２レッジを有し、第２リムは第１レッジの第１リムと結合して、それらの間にシールを形成する。第２剛体トレーはまた、第２レッジから外側へ延びる複数の第２トラフを有する。２つのトレーが組み立てられたとき、第１と第２トラフの対を向き合わすことにより、異なる内部表面プロファイルを有する複数のコンフォーマル(conformal)セルが形成される。各コンフォーマルセルの内部表面プロファイルは、チャンバ構成部品の外部表面プロファイルと適合し、移送中、コンフォーマルセル内のチャンバ構成部品の動きは、最小になる。第１、第２トレーの少なくとも一部は、実質的の透明であり、処理チャンバキットの各チャンバ構成部品の状態は、実質的に透明な部分を通して観察することができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１０】
本考案のこれら及び他の特徴、態様、利点は、図面、考案の詳細な説明、実用新案登録請求の範囲からよりよく理解できるであろう。次の説明は、本考案の例示の特徴を例示するためのものであり、本考案を制限するものではない。
【００１１】
多数の異なるチャンバ構成部品24a-fを有する処理チャンバキット22を移送し保管するのに、ポータブル移送パッケージ20は有用である。パッケージ20により、環境に晒すことなく又シールを破ることなく、チャンバ構成部品24a-fをクリーンルーム環境に移送することができる。チャンバ構成部品24a-fは、処理チャンバ、プラットホーム、ガス源の一部であるパーツであり、これらは半導体ウェハ等の集積回路、フラットパネルディスプレーの製造に使用される。チャンバ構成部品24a-fは、塵粒子による汚染に敏感であり、周囲の外部環境に晒されるとき、容易に損傷する。例えば、空気による酸化、水蒸気による腐食である。
【００１２】
一般に、パッケージ20は、１対の第１、第２トレー50,60を備え、図３ｂと図５に示すようにこれらは組み立てられるとき、相互に対向し向き合う。ここに例示するパッケージ20は、本考案の例示の実施の形態であり、本考案の範囲を限定するものではない。トレー50,60は、移送中の外部の衝撃に絶えるのに十分なだけ剛性があり、滑らかで、弾性的で、ざらざらしていない表面を有し、フォームのパッケージングと異なり、チャンバ構成部品24a-fの表面に対して擦り付けられるとき、個々の粒子を放出しない。好ましくは、トレー50,60の表面は、連続的で、破損していず、多孔性でなく、チャンバ構成部品24a-fを受けるとき、又はトレー50,60内に置かれたチャンバ構成部品24a-fを開梱するとき、剥離する個々の粒子がない。例えば、１実施の形態では、トレー50,60の滑らかで柔軟性の表面は、約10ミクロンより小さいrms粗さを有する。組み立てられた１対のトレー50,60は、自立式レセプタクルとして作用し、チャンバ構成部品24a-fの処理チャンバキット22を受け、チャンバ構成部品24a-fをクリーンルーム内へ直接移送するために、作り付けのハンドルを有してもよい。組立てられた１対のトレー50,60は、ある期間クリーンルーム内にシールされた安定な環境で保管することが出来、チャンバ構成部品24a-fを処理チャンバ内で直接使用する必要があるときのみ、取り外し、トレー50,60内のチャンバ構成部品24a-fの任意の汚染を減少させることができる。
【００１３】
一般に、第１トレー50は、第１リム54を有する第１レッジ52を備え、この第１リムは、第２トレー60の第２レッジ62の対応する第２リム64と結合することができる。レッジ52,62は、相互に平行な剛体材料の平らな又は角度のついたストリップでもよい。レッジ52,62は、円形、方形、又は矩形の形状のフレームとして形作ることができる。リム54,64は、平面で実質的に相互に平行で、トレー54,64の周縁部の周りに一体的に形成されている。各リム54,64は、リム54,64を相互に結合し、表面シールを形成するのに十分な幅を有する。一般に、リム54,64は滑らかで連続的であるが、後述するように、そこから延びるシーリング突起部を有する。他の実施の形態のリム54,64を使用することが出来、例えばリム54,64は、トレー50,60で運ばれるチャンバ構成部品24a-fの中心軸又は中心面に対して、適合する鋭角と鈍角で斜めにする、即ち斜面にすることができる。
【００１４】
図２に示すように、第１トレー50内で、複数の第１トラフ56a-fは、第１レッジ52から外側に下側に延びる。この実施の形態では、第１レッジ52は、第１トラフ56a-fの周りに延び、取り囲むこともできる矩形のオープンフレームである。第１トラフ56a-fは、各々が処理チャンバ構成部品24a-fの一部にコンォーマルに適合する形状と大きさの内部容積を有する形状と大きさである。異なるトラフ56a-fが異なる処理チャンバ構成部品24a-fに適合する形状と大きさであるとき、凹所はセパレーターセクション120a-bにより縦方向に分離している。例えば、トラフ56aは、トラフ56aに受けられる処理チャンバ構成部品24aの一部の外部プロファイルに適合する１つの凹所を有するように成形することができる。トラフ56a-fは、異なる半径又は幅を有する凹面のような複数の凹所を有するように形成することができる。これらは、一体となって連続的に相互に移り、チャンバ構成部品24a-fの異なる環状の直径に適合するようになっている。
【００１５】
同様に、第２トレー60は、第２レッジ64から外側に延びる第２トラフ66a-fを有する。図３ｂと図５に示すように、２つのトラフ50,60が組み立てられるとき、特定の第２トラフ66aは、特定の第１トラフ56aと向き合い、内部表面プロファイル93aを有する独自のセル92aを画定し、この内部表面プロファイルは、特定のチャンバ構成部品24aの外部表面プロファイル94aに適合する。従って、各独自のコンフォーマルセル92a-fは、予め決めたチャンバ構成部品24a-fを確実に保持するような形の内部輪郭を有し、セル92a-fはチャンバ構成部品24a-fの輪郭に近接して適合するので、移送中のセル92a-f内の横又は縦方向の動きを最小にする。このように、第１、第２トラフ56a-f,66a-fの対を向き合わせることにより、異なる内部表面プロフィール93a-fを有する複数のコンフォーマルセル92a-fが形成される。各コンフォーマルセル92a-fの内部表面は、チャンバ構成部品24a-fの外部表面プロファイル94a-fに近接して適合する。例えば、特定のセル92aの外部プロファイル93aは、２つの表面93a,94aの間に約5〜約30ｍｍのギャップとなるように、チャンバ構成部品24aの外部プロファイル94aに近接して追従する。しかし、他のギャップの大きさでもよく、ギャップの大きさは、セル92a内に特定のチャンバ構成部品24aをどの程度きつく保持するのが好ましいかによる。
【００１６】
例えば、第１、第２トラフ56a-f,66a-fの対は、通常の機能又は通常の組立て目的のプロセスチャンバの関連パーツのキット22を作る１組のチャンバ構成部品24a-fを収容するような形状、大きさ、間隔とすることが出来る。例えば、トラフ56a-f,66a-fは、処理チャンバキット22のパーツである異なるチャンバ構成部品を保持するように構成することができる。例えば、１つの種類の処理チャンバキット22は、内部チャンバ壁面の一部を覆う壁面ライナーの異なるセグメント部分、又はガスディストリビュータの異なる部分を含む。処理チャンバキット22の他の例は、処理チャンバ内の基板の周りに置かれる同心リングの組立体、例えばシャドーリング、外側リング、ポンピングプレート等である。更に他の処理チャンバキット22には、フォーカスリング、チャンバ側壁ライナー、基板クランプリング等がある。処理チャンバキット22の各チャンバ構成部品24a-fは、第１、第２トラフ56a-f,66a-fの対により形成される整合するコンフォーマルセル92a-f内に適合する。
【００１７】
第１、第２トラフ56a-f,66a-fの対により形成される個々のコンフォーマルセル92a-fは、隣接するセル間に十分なギャップを保持する大きさのセパレータセクション120a-eにより分離し、各セル92a-f内のチャンバ構成部品24a-fが相互に接触しないようにすることができる。セパレータセクション120a-eは、トレー50,60が結合するとき、セル92a-fが相互に分離するような形状と大きさにすることができる。しかし、セル92a-fからのガス排気とパージを容易にするため、セパレータセクション120a-eは、セル92a-f間でガスの連通できる形状と大きさとし、セル92a-f内の空気が、セル組立体の全体にアクセスする１つの出口から排気され、同様に１つの入口から置換されるようにすることができる。好適なギャップの大きさは、隣接するチャンバ構成部品24a-fの大きさにより、例えば約5〜約40ｍｍである。しかし、セルa-f内でチャンバ構成部品24a-fをどのくらいきつく保持するのが好ましいかにより、他のギャップの大きさを使用することができる。
【００１８】
１実施の形態では、第２トレー60の第２トラフ66a-fは、第１トレー50の第１トラフ56a-fと実質的に同じ形状を有し、２つのトレー50,60が結合されるとき、第１トラフ56a-fと鏡像の関係で並置される。これらは実質的に同じ形状を有するので、後述するように、この実施の形態の両方のトレー50,60は、同じ断面プロファイルの１つの型を使用して経済的に製造することができる。また、この実施の形態は、円筒対称又は軸対象等の放射形対称を有するチャンバ構成部品24a-fを運ぶのに特に適している。実質的に同じ形状とは、同じ断面プロファイルを意味するが、プロファイルの内１つは、突出するノブ又は他のフィーチャ(feature)等の別のフィーチャを有してもよい。
【００１９】
更に他の実施の形態では、第１、第２トラフ56a-f,66a-fの１つ又はそれ以上は、トラフ壁178a-bを有し、このトラフ壁は、チャンバ構成部品24bがトラフ56bの内側に置かれるとき、チャンバ構成部品24bを１つ又は複数の接触点で保持するため、内向きの機械的バイアス力をかける。図４に示すように、トラフ壁178a-bは内側に延びるくぼみ180を有し、これはチャンバ構成部品24bがトラフ24bの内側に置かれるとき、押される。その結果、くぼみ180はチャンバ構成部品24bに接触点で弾性的な内向きのバイアス力をかけ、その力によりチャンバ構成部品24bはトラフ24bの内側に保持され、最小の表面積でチャンバ構成部品24bと直接接触する。対向するトラフ壁178a-bも、トラフ56b内に置かれたチャンバ構成部品24bに反対向きの力をかけるため、対応するくぼみ180a-bを有してもよい。このような内向きの力をかける他の方法を使用してもよい。例えば、少し押すようにするため、トラフ56bの外側表面上に取り付けられたコンプライアントリング構造、金属バネ、バネクランプ（図示せず）、及びトラフ56bの内側の適当な点に付けられたクリーンルームで使用できるコンプライアント(compliant)材料のパッドである。このような実施の形態は、チャンバ構成部品24a-f即ちチャンバ構成部品24a-fの表面を保持するのに有利である。チャンバ構成部品24a-fの表面は、移送中にトラフ壁178a-bの内側表面に対して擦り付けられるとき、もろく容易に損傷される。
【００２０】
１実施の形態では、第１又は第２トレー50,60を保持するため、剛体の側壁96a-dが設けられる。側壁96a-dは、トレー50,60の周りに延び、その高さは、第１、第２トラフ56a-f,66a-fの任意のものを超えるのに十分な高さである。側壁96a-dは、移送中合成を維持する垂直又は傾斜したプロファイルを有する。１実施の形態では、側壁96a-dは、レッジ52,62の面に垂直な実質的に垂直な平面の壁である。平面の壁は、壁の全ての４つの側面に沿って内側に延びる取り囲み周辺リップを有し、側壁構造の剪断強度を改善する。又は、クロスビーム、又は六角ユニットのパターン等の剛性強化構造を使用して、側壁96a-dの強度を強化することもできる。側壁96a-dは、埋め込み材料を有するエポキシ樹脂等の複合材料から作り、構造的な剛性を改善することもできる。
【００２１】
１実施の形態では、側壁96a-dは、１対の取外し可能パネル100a-dを備える。各取外し可能パネル100a-dは実質的に同じ形状で、パネル100a-dは１つの型から製造することができる。図２に、同じ形状を有する４つのパネル100a-dを示す。各パネル100a-dは、パネル100a-dの主側壁表面からへこんだ直角のリップ101a-dを備え、これがトレー50の周囲の下の対応する適合スロット102a-d内に適合する。外側に延びるトラフ56を有するトレー50のレッジ52は、４つの隣接する側壁パネル100a-d上に置かれ、側壁パネルの各リップ101a-dは、レッジ52の下側表面内で対応するスロット102a-d内に適合する。１組のネジ103a-lと接合クランプ105a-hを使用して、パネル100a-dをレッジ52に、又は相互に結合することができる。
【００２２】
第１、第２トレー50,60のリム54,64を結合し、トレー間に気密シール107を形成することができる。トレー50,60間の気密シール107により、内部のチャンバ構成部品24a-fを汚染させることなく移送することができる。例えば、図３ｂに示すように、１態様では、１つ又はそれ以上のトレー50,60のリム部分54,64は、Ｏリング又は柔らかいポリマーシール等のガスケット112a-bを受入れる溝108a-bを有してもよい。図３ｂと図５に示すように、第１トレー50に取り付けられたラッチ82a-dと、第２トレー60に取り付けられたラッチタブ84a-dにより、２つのトレー50,60が、トレー50,60間のガスケット112a-bでシールされ、それらの間に気密シール107を保持することができる。ラッチ82a-dは、従来のラッチでもよい。例えば、第１トレー50のパネル100a-dに取り付けられた波形の柔軟性ヒンジ部分122a-dを有し、ヒンジ部分122a-dから延びるつめ部分123a-dを有するプラスチックストリップでもよい。使用するときは、つめ部分123a-dはヒンジ式に動き、第２トレー60のパネル100a-dに取り付けられたラッチタブ84a-dの端部に力をかける。他の実施の形態では、第２トレー60のリム64の隆起した一連のＵ形ブルバスポスト(bulbuous post)が、第１トレー50のリム54内の対応するベル形くぼみ(indentation)に結合し、これらの間にシールを形成してもよい（図示せず）。更に他の実施の形態では、第２リム64が周辺リップを有し、これが第１リム54の対応するスロット内に適合し、シールを形成してもよく、トレー50,60を係合させた後、２つのリム54,64を引くことにより係合を解除することができる。
【００２３】
パッケージ20の気密シールの実施の形態は、１対のコンフォーマルセル92を排気する第１バルブ140と、排気されたセル92にガスを導入する第２バルブ144とを含むことができる。例えば、第１、第２バルブ140,144は、バルブ140,144の中央のバネ荷重されたピン148が変位するとき、ガスの排気又は導入を行うシュレーダーバルブでもよい。第１バルブ140は、シールされたセルを排気するポンプ156に結合していてもよく、第２バルブ144は、清浄で乾燥した空気（ＣＤＡ）又は不活性ガスをシールされたセルに導入するガス源160に結合していてもよい。または、１つのバルブが、排気とガスパージ即ち充填の機能に使用されてもよい（図示せず）。
【００２４】
側壁96a-d又は取外し可能パネル100a-dの対向する部分は、１対又はそれ以上の対の相互に向き合うハンドルカットアウト98a-dを有してもよい。ハンドルカットアウト98a-dにより、オペレータはパッケージ20を容易に持ち上げ、クリーンルームへ移送することができる。このようなハンドルカットアウト98a-dは、組立てられたパッケージ20の外へ延びず、そのためクリーンルームでの保管スペースが少なくてすむので有利である。ハンドルカットアウト98a-dは、移送中の破損にも抵抗する。ハンドルカットアウト98a-dはまた、トレー50,60に追加のパーツなしで、側壁96a-d又は取外し可能パネル100a-d内に容易に作ることが出来る。しかし、外部ハンドルを側壁96a-d又は取外し可能パネル100a-d、又はトレー50,60の他の表面に固定することもできる（図示せず）。
【００２５】
使用において、トレー50,60のうち一方、例えば第１トレー50が下側即ちベーストレーとして選択され、作業表面上に置かれる。各チャンバ構成部品24a-fは、下側トレー50の開いたトラフ56a-fの１つ内に直立して挿入される。トレー50を充填してから、他方のトレー60が上側即ちカバートレーとして使用され、下側トレー50のトラフ56a-fから延びるチャンバ構成部品24a-fの部分の上に適合される。次に、ラッチ82a-dがラッチタブ84a-dに係合され、下側トレー50上に上側トレー60を固定する。各チャンバ構成部品24a-fは、特定のチャンバ構成部品24a-fにコンフォーマルに適合するように作られたセル92a-f内に捕らえられ、他のチャンバ構成部品24a-fから分離される。更に、チャンバ構成部品24a-fは全て１つのパッケージ20内に含まれるので、販売者又は顧客がパーツの全体のキットを見つけるのがより簡単になる。更に、剛体のトレー50,60の少なくとも一部は、実質的に透明なポリマー材料で出来ているので、パッケージ20内で、特定のキット22に対応するものとして、チャンバ構成部品24a-fを識別するのがより容易である。
【００２６】
剛体のトレー50,60は、移送に望まれる剛性を与える多くの異なる材料から作ることができる。即ち、トレー50,60に形成され、トレー50,60内にチャンバ構成部品24a-fが置かれるとき、十分に剛性で衝撃を吸収し破損しない材料である。トレー50,60の剛体材料は、例えば、ＩＳＯ527に従い１ｍｍの速度で測定するとき、少なくとも約1800ＭＰａの弾性引張り係数を有する必要がある。
【００２７】
好ましくは、トレー50,60の少なくとも一部又はトレー50,60全体は、実質的に透明な剛体材料で出来ていて、トレー50,60の内側に保持されたチャンバ構成部品24a-fを視覚的に検査することができる。実質的に透明とは、可視光が透過する即ち透明であることを意味する。例えば、適当に透明な材料は、少なくとも約80％の可視光透過率を有することができる。組立てられたトレー50,60の第１又は第２トラフ56a-f,66a-fも又、表面研磨されて、透過光と見え方の明瞭さが向上するようにすることができる。透明な部分により、クリーンルームのオペレータは、シールを破って開かなくても、トレー50,60の内容物を検知又は検査することができる。
【００２８】
また、実質的の透明な部分により、識別ラベル、又は構成部品のバーコードをトレーの内側に貼り付けても、外側から見ることができる。こうすると、移送又は保管中ラベルの損傷を防止することができる。トレーの剛体の表面により、クリーンルームフォーム製品に必要であった凹所を機械加工したり、特別のエポキシ接着剤なしで、従来のラベルをトレー上に貼り付けることができる。
【００２９】
好適な実質的に透明な剛体材料は、高密度ポリエチレン等のヒートセットする熱可塑性ポリマーでもよい。例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、グリコール変性ＰＥＴ（ＰＥＴＧ）、配向したＰＥＴ（Ｏ-ＰＥＴ）、又はポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、又はこれらを相互に又は他の樹脂と混合したものである。好ましくは、透明な剛体材料は、型の形状になるように加熱されると柔らかくなる型成形可能な熱可塑性樹脂である、例えばイスラエルのPalram, Ramat Yohananにより製造されるPAL_G等のポリエチレンテレフタレートグリコール（ＰＥＴＧ）である。剛体のトレー50,60は、熱可塑性樹脂の１つのブランクシートから、従来のプラスチック成形技術を使用して、１つの一体の片として成形することができる。ブランクシートは、従来の熱成形技術と、真空補助、空気補助、機械的プラグ補助又は適合した型等の装置を使用して熱成形して、ヒートセットした薄い壁のトレーにすることができる。
【００３０】
トレー50,60を製造する１方法では、熱可塑性シートが、トレーの雄型又は雌型の上に置かれ、柔らかくなって型内に入るまで加熱する。予熱された熱可塑性シートに、対向する型の形状を使用して圧力をかけ、又は型の下からシートを真空引きすることにより、型（予熱されていてもよい）内に引き込まれる。例えば、シートが加熱され雌型内に柔らかくなって入ると、雄型を使用して加熱されたシートの他方の側にコンフォーマルな対応する圧力をかけ、雄型が次第に室温まで冷却されて、二次的な冷却型として作用する。熱可塑性シートは、加熱された型表面に対して、十分な時間接触を保持し、型のプロファイルに完全に適合するようにし、成形されたシートを室温まで冷却し、トレーの予備成形品を型のキャビティから取り出すことにより、ヒートセット（熱処理）される。型を通して真空引きし、トラップされた空気を引き出してもよい。次に、トレーの予備成形品は、トリミングされ又は他の方法で成形され、ハンドルカットアウト98a-dと他の突出部と形状を加え、ロッキングタブと他のフィーチャを形成する。シートは、そのＴｇ（ガラス転移温度）より上で、可他のキャビティ内に置かれている間に過度にたわむような温度より低い温度まで加熱される。熱形成プロセスで、シート温度は約120℃から約240℃の範囲が好適である。型は、木、樹脂、又はアルミニウム、鉄鋼等の金属で作ることができる。トレー50,60を少量製造するためには、このような柔らかい材料が使用される。
【００３１】
シングルプライのシートに代えて、マルチプライのシートを使用することもできる。マルチプライのシートは、ＰＥＴＧ等の熱可塑性ポリマーからなる第１プライと、繊維ガラスエポキシシート等の複合材料からなる第２プライを含むことができる。また、トレー50,60は、トラフ56,66の一部を実質的に透明な材料で作り、側壁96a-d又は取り外し可能パネル100a-dを、エポキシ樹脂に繊維ガラスのストランドを埋め込んだシートのようなより剛質の即ち強い材料で作ることができる。
【００３２】
他の実施の形態では、トレー50,60又はトレー50,60の一部は、アルミニウム又は鉄鋼等の金属から作ることができる。しかし、この実施の形態は、輸送後にチャンバ構成部品24a-fの状態をすかしてみること、トレー50,60の内側に置かれたラベルを調べることはできない。従って、トレー50,60は、不透明なレッジ52,62等の不透明な部分が、実質的に透明なトラフ56a-f,66a-fに結合するようにして、トラフ56a-f,66a-f内のチャンバ構成部品24a-fがトラフ56a-f,66a-fの透明な壁を通して見えるようにすることができる。
【００３３】
更に他の実施の形態では、トレー50,60の一部が、チャンバ構成部品24a-fのキット22即ちパーツのナンバーに対応する異なるカラーをリストするカラーコードテーブルから選択されたカラーで色をつけられている。例えば、トレー50,60の実質的の透明な部分に色をつけてもよく、トレー50,60の不透明な部分等の他の部分に色をつけてもよい。カラーはカラースペクトルから任意の可視の波長を含んでもよく、白又は黒を含んでもよい。カラーコードテーブルリストは、対応する処理チャンバキット22、チャンバ構成部品24a-f、又は処理の用途に関連付けられた個々のカラーをリストする。例えば、テーブルは、アルミニウムエッチングチャンバ処理キットと関連付けられた青色と、銅のチャンバキットに黄色又はオレンジ色をリストすることができる。このようなカラーコーディングにより、クリーンルームのオペレータが、特定のチャンバ又は用途に使用するスペアパーツを容易に識別し、適当に確認することができる。その結果、チャンバ構成部品24a-fを調べ昨日を求めるために、パッケージ20のシールを破る必要はなく、チャンバ構成部品24a-fの完全さを長期間保存することができる。
【００３４】
カラーコードテーブルのリストは、同じチャンバ構成部品24a-fを有するが、相互に互換性はない異なる処理の適用に使用する処理チャンバキット22に、異なるカラーを関連付けることができる。例えば、アルミニウムと銅の相互接続製造プロセスは、本来同じチャンバ構成部品24a-fを使用する処理チャンバキット22を使用する。しかし、いったんこのような処理チャンバキット22が、第１処理適用を行う第１の種類の処理チャンバに使われると、他の処理適用を行う第２の種類の処理チャンバに使うことはできない。第２の処理チャンバを汚染するかもしれないからである。アルミニウム蒸着又はエッチング等の１つの処理チャンバに使用されたチャンバ構成部品24a-fのキット22が、クリーニング又は再生に送られるとき、このような状況はしばしば起こる。チャンバ構成部品24a-fはクリーニングされ又は再生された後、顧客に送り返される。そのとき、チャンバ構成部品24a-fのパッケージ20は、前のアルミニウムの適用を示すようにカラーコードされ、チャンバ構成部品24a-fが誤って銅蒸着又はエッチングチャンバ又は方法に使用されないようにする。
【００３５】
パッケージ20は、積重ねタブ170と、これに対応し適合する凹部174を有し、クリーンルーム内で縦に積重ねることができる。例えば、図５に示すように、第１パッケージ20の第１トレー50の上面は、表面の４隅に４つのタブ170を有し、第２トレー60の底面に対応する凹部174を有してもよい。第１パッケージ20が第２パッケージ21の上に積重ねられると、第２パッケージ21の４つのタブ170は、第１パッケージ20の底面の対応する凹部174内にはめ込まれる。このタブと凹部のはめ込みにより、積重ねられたパッケージ20,21が相互にはめ込まれ、クリーンルームで保管されるとき、不安定にならない。
【００３６】
従って、本考案は、構成部品22のキット等のチャンバ構成部品24a-fを製造又は販売センターから顧客のクリーンルームへ直接移送できる移送パッケージ20を与える。剛性で不浸透性のトレーの表面は、容易にクリーニングできるので、パッケージ20は再使用可能である。トレー50,60は、容易に剥げ落ちる粒状の粒子がない滑らかな表面により、汚染を最小限にすることができる。また、コンフォーマルパッケージ20の各コンフォーマルセル92a-fは、処理チャンバキット22の特定のチャンバ構成部品24a-fを保持するのに使用され、チャンバ構成部品24a-fの形状にコンフォーマルであり（適合し）、移送中の破損を最小限にする。更に、セル92a-fの透明部分により、シールを破壊して物品を汚染することなく、パッケージ20の内容物を視覚的に検査し、各チャンバ構成部品24a-fを検査することが出来る。
【００３７】
本考案を好ましい実施の形態について詳細に説明したが、他の実施の形態も可能である。例えば、セル92a-fを併合し、異なる半径区分を有する連続的な容積を形成し、複雑な外面形状を有する1つのチャンバ構成部品を移送できるようにすることができる。更に、個々のセル92a-fの形状は、他の目的のため特別に作ることができる。例えば、構成部品のパーツと接触しない外面プロフィールを、輸送コンテナの対応する形状の凹部に合うような形状とすることができる。それゆえ、実用新案登録請求の範囲は、個々に記載した好適な実施の形態に限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】移送パッケージの分解斜視図であり、トラフを有する向き合った第１、第２トレーを示す。トラフは、異なるチャンバ構成部品を有する処理チャンバキットを保持するための１組のコンフォーマルセルを画定する。
【図２】取り外し可能なパネルを備える側壁を有するトレーの分解斜視図である。
【図３ａ】コンフォーマルセルを画定する１対のマッチングトレーを備える移送パッケージの分解斜視図である。各コンフォーマルセルは、処理チャンバキットの特定のチャンバ構成部品の外面プロフィールと適合する内面プロフィールを有する。
【図３ｂ】図３ａの移送パッケージを示し、トレーをチャンバ構成部品の周りに組み立て、バルブ出口を通って内側の空気を排気し、バルブ入口を通って清浄で乾燥した空気又は不活性ガスを入れた後である。
【図４】向き合う柔軟性窪みを有するトラフ壁を有するトラフの概略断面図である。この窪みは、圧縮されたとき、内向きの力をかけ、この力によりチャンバ構成部品を適所に保持する。
【図５】積重ねた移送パッケージングの概略断面図であり、相互に適合する積重ねタブと対応する凹部を示す。
【符号の説明】
【００３９】
20  ポータブル移送パッケージ
22  処理チャンバキット
24a-f  チャンバ構成部品
50  第１トレー
52  第１レッジ
54  第１リム
56a-f  第１トラフ
60  第２トレー
62  第２レッジ
64  第２リム
66a-f  第２トラフ
92a-f  コンフォーマルセル
93a-f  内部表面プロフィール
120a-e  セパレータセクション
【図１】
0003106174.tif 000003
【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図４】
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【図５】
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