(57)【要約】入力媒体の区画内に電子デバイスを配置する方法が開示される。入力媒体の単一の区画内には、少なくとも１つの電子デバイスが梱包され得る。入力媒体の上面側の既知の位置は、検査装置により撮像される。入力媒体の区画の実際位置データは、既知の位置の画像、既知の位置の所与の目標位置データ、及び入力媒体の区画の所与の目標位置データに基づいて算出される。電子デバイス用の選取・配置装置は、入力媒体の区画の算出された実際位置データに基づいて制御される。出力媒体の実際の区画位置を定める方法が、類似の工程を用いて開示される。それらの工程により、電子デバイスは、入力媒体の区画から拾い上げられ、出力媒体の区画に移され、出力媒体の区画内に配置される。入力媒体の区画及び出力媒体の区画内に複数の電子デバイスを配置する装置も開示される。
2013530546.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力媒体の区画内に電子デバイスを配置する方法であって、
少なくとも１つの検査装置により２以上の数であるＮ個の実際の既知の位置であって前記入力媒体の上面側に形成された位置を撮像するステップと、
前記入力媒体に割り当てられた座標系内の前記Ｎ個の既知の位置の画像から、前記Ｎ個の既知の位置の実際位置データを定めるステップと、
前記Ｎ個の既知の位置の前記実際位置データ及び前記Ｎ個の既知の位置の所与の目標位置データから、前記Ｎ個の既知の位置の各々に対する実際の差分位置データを算出するステップと、
前記入力媒体の前記区画の前記所与の目標位置データ及び前記Ｎ個の既知の位置の前記実際の差分位置データから、前記入力媒体の前記区画の実際位置データを算出するステップと、
前記入力媒体の前記区画の前記実際位置データに基づいて、選取・配置装置を制御するステップと、
を含む、方法。
【請求項２】
前記入力媒体の前記区画の前記目標位置データが、前記入力媒体の前記区画の前記算出された実際位置データに従って、前記入力媒体の前記区画の前記実際位置データを算出する工程中又は工程後に更新される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記Ｎ個の既知の位置の前記目標位置データ及び前記入力媒体の前記区画の前記目標位置データが、コンピュータ支援設計（ＣＡＤ）データモデルに利用され得る、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記選取・配置装置が、前記入力媒体の各々の少なくとも１つの区画から少なくとも１つの電子デバイスを拾い上げ、出力媒体の各々の少なくとも１つの区画へ前記少なくとも１つの電子デバイスを移し、前記出力媒体の前記各々の少なくとも１つの区画内に前記少なくとも１つの電子デバイスを配置し、前記出力媒体の前記各々の少なくとも１つの区画の実際位置データが、前記選取・配置装置に伝達される、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
少なくとも２つの電子デバイスが、前記入力媒体の各々の区画から並列に同時に拾い上げられ、前記出力媒体の各々の区画へ並列に同時に移され、前記出力媒体の各々の区画内に並列に配置される、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記出力媒体の前記区画の前記実際位置が、
少なくとも１つの検査装置により２以上の数であるＭ個の実際の既知の位置であって前記出力媒体の上面側に形成された位置を撮像するステップと、
前記出力媒体に割り当てられた座標系内の前記Ｍ個の既知の位置の画像から、前記Ｍ個の既知の位置の実際位置データを定めるステップと、
前記Ｍ個の既知の位置の前記実際位置データ及び前記Ｍ個の既知の位置の所与の目標位置データから、前記Ｍ個の既知の位置の各々に対する実際の差分位置データを算出するステップと、
前記出力媒体の前記区画の前記所与の目標位置データ及び前記Ｍ個の既知の位置の前記実際の差分位置データから、前記出力媒体の前記区画の実際位置データを算出するステップと、
前記出力媒体の前記区画の前記実際位置データに基づいて、前記選取・配置装置を制御するステップと、
により定められる、請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記方法が、前記出力媒体の前記区画内に前記電子デバイスを配置する前に、前記出力媒体を計測し、前記出力媒体レイアウトを自動的に調節する工程を更に含む、請求項４に記載の方法。
【請求項８】
前記出力媒体レイアウトを自動的に調節する工程が、前記出力媒体上にテンプレートを教示し、前記出力媒体上に前記テンプレートの正確な位置を定めるように検査することにより実行される、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記方法が、前記出力媒体の前記区画内に前記電子デバイスを配置する前に、前記出力媒体を計測し、前記出力媒体の移送位置を自動的に調節する工程を更に含む、請求項６に記載の方法。
【請求項１０】
複数の電子デバイスを配置する装置であって、前記装置が、
入力媒体上の２以上の数であるＮ個の実際の既知の位置を撮像する少なくとも１つの検査装置と、
前記少なくとも１つの検査装置の画像視野内に前記Ｎ個の既知の位置のうちの少なくとも１つを置くように、前記少なくとも１つの検査装置と前記入力媒体との間に相対運動を与える移動手段と、
前記入力媒体の各々の少なくとも１つの区画から少なくとも１つの電子デバイスを拾い上げる少なくとも１つの選取・配置装置と、
前記電子デバイスが前記入力媒体の前記区画から正しく拾い上げられるように、前記入力媒体の前記区画の実際位置データを定め、前記少なくとも１つの選取・配置装置を制御する制御ユニットと、
を含む、装置。
【請求項１１】
前記入力媒体が、
前記入力媒体の単一の区画が、少なくとも１つの単一の電子デバイスを収容し、保存し得るように、前記入力媒体の上面側に各々が形成される、複数の区画と、
前記電子デバイスが前記入力媒体の前記区画内に保存されている場合、前記少なくとも１つの検査装置により各々が検出可能である、Ｎ個の既知の位置と、
を含む、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記入力媒体上の前記Ｎ個の既知の位置のうちの少なくとも１つが、前記入力媒体の前記上面側に形成される標識である、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記制御ユニットが、前記Ｎ個の既知の位置の画像、前記入力媒体の前記Ｎ個の既知の位置の目標位置データ、及び前記入力媒体の前記区画の目標位置データに基づいて、前記入力媒体の前記区画の前記実際位置データを定め、前記入力媒体の前記Ｎ個の既知の位置が、前記少なくとも１つの検査装置により撮像される、請求項１０に記載の装置。
【請求項１４】
前記装置が、前記制御ユニットに接続されているＣＡＤデータモデルを含み、前記ＣＡＤデータモデルが、
前記入力媒体上の前記Ｎ個の既知の位置の前記目標位置データと、
前記入力媒体の前記区画の前記目標位置データと、
を含む、請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
入力媒体の区画から出力媒体の区画内へ複数の電子デバイスを配置する装置であって、前記装置が、
前記入力媒体上の２以上の数であるＮ個の実際の既知の位置と前記出力媒体上の２以上の数であるＭ個の既知の位置とを撮像する少なくとも１つの検査装置と、
前記少なくとも１つの検査装置の画像視野内に前記入力媒体上の前記Ｎ個の既知の位置のうちの少なくとも１つを置くように、前記少なくとも１つの検査装置と前記入力媒体との間に相対運動を与え、前記少なくとも１つの検査装置の画像視野内に前記出力媒体上の前記Ｍ個の既知の位置のうちの少なくとも１つを置くように、前記少なくとも１つの検査装置と前記出力媒体との間に相対運動を与える移動手段と、
前記入力媒体の各々の少なくとも１つの区画から少なくとも１つの電子デバイスを拾い上げ、前記出力媒体の各々の少なくとも１つの区画へ前記少なくとも１つの電子デバイスを移し、前記出力媒体の前記各々の少なくとも１つの区画内に前記少なくとも１つの電子デバイスを配置する、少なくとも１つの選取・配置装置と、
前記電子デバイスが、前記入力媒体の前記区画から正しく拾い上げられ、前記出力媒体の前記区画へ正しく移され、前記出力媒体の前記区画内に正しく配置されるように、前記入力媒体の前記区画の実際位置データを定め、前記出力媒体の前記区画の実際位置データを定め、前記少なくとも１つの選取・配置装置を制御する制御ユニットと、
を含む、装置。
【請求項１６】
前記出力媒体上の前記Ｍ個の既知の位置のうちの少なくとも１つが、前記出力媒体の前記上面側に形成される標識である、請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
前記制御ユニットが、前記出力媒体の前記Ｍ個の既知の位置の画像、前記Ｍ個の既知の位置の目標位置データ、及び前記出力媒体の前記区画の目標位置データに基づいて、前記出力媒体の前記区画の前記実際位置データを定め、前記Ｍ個の既知の位置が、前記少なくとも１つの検査装置により撮像される、請求項１５に記載の装置。
【請求項１８】
前記装置が、前記制御ユニットに接続されているＣＡＤデータモデルを含み、前記ＣＡＤデータモデルが、
前記入力媒体上の前記Ｎ個の既知の位置の前記目標位置データと、
前記入力媒体の前記区画の前記目標位置データと、
前記出力媒体上の前記Ｍ個の既知の位置の前記目標位置データと、
前記出力媒体の前記区画の前記目標位置データと、
を含む、請求項１７に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本特許出願は、２０１０年６月３０日に出願され、その全ての内容が参照として本明細書に組み込まれている、米国特許出願第ＵＳ６１／３６０，４１１号の優先権を主張する。
【０００２】
本発明は、入力媒体の区画内に電子デバイスを配置する方法に関する。
【０００３】
本発明は、出力媒体の区画内に電子デバイスを配置する方法にも関する。
【０００４】
本発明は、入力媒体の区画内に複数の電子デバイスを配置する装置にも関する。
【０００５】
本発明は、出力媒体の区画内に複数の電子デバイスを配置する装置にも関する。
【背景技術】
【０００６】
電子デバイス、例えば、電子部品又は集積回路（ＩＣ）は、製造中に、トレイ内に移されることが多い。トレイの単一の区画（ポケット）内には、単一の電子デバイスが梱包され得る。電子デバイスは、トレイから拾い上げられた後、テープの区画（ポケット）内に配置され、梱包される。特に、少なくとも１つの電子デバイスは、トレイの各々の少なくとも１つの区画から拾い上げられ、テープの各々の少なくとも１つの区画に移され、次に、そのテープの各々の少なくとも１つの区画内に配置される。拾い上げ、移し、配置する工程は、選取・配置装置により実行され、それらの装置により、トレイ又はテープの単一の区画内には、それぞれ、単一の電子デバイスが梱包され得る。トレイからテープへ電子デバイスを移すこのプロセスは、「トレイをテープにとる」と呼ばれる。より一般的には、電子デバイスは、入力媒体から出力媒体へ移される。これにより、「トレイをテープにとる」は、単なる１つの可能な移送の種類であり、トレイは、入力媒体であり、テープは、出力媒体である。一般に、入力媒体は、トレイ又はテープであり得る。出力媒体も、トレイ又はテープであり得る。より一般的には、入力及び出力媒体は、電子デバイスを収容、保存、含有するのに適した、いずれかの種類の媒体若しくは区画又はポケット配置であり得る。以下では、用語「区画」及び「ポケット」は、同じ文脈で用いられ、電子デバイスを収容し、保存し、含有するのに適している、媒体の上面側のいずれかの窪み又は開口部を意味する。
【０００７】
例えば、入力媒体及び／又は出力媒体は、ＪＥＤＥＣ／ＥＩＡＣトレイであり得る、即ち、ＪＥＤＥＣ（電子デバイス技術合同協議会）に従って組み立てられ得る。加えて、入力媒体及び／又は出力媒体は、前記電子デバイス用に成形されたマトリクス担体であり得る。複数の区画を備えたマトリクスは、媒体の上面側に形成され、媒体の単一の区画は、少なくとも１つの電子デバイスを収容し、保存する。その媒体には、ＸＹ座標系が割り当てられる。媒体は、誤差を有する目標（理論的）寸法：マトリクス中の区画の横列数と、マトリクス中の区画の縦列数と、媒体の縁に対する媒体の第１区画のＸ及びＹ補正と、区画の間の間隔距離（ｄＸ、ｄＹ）とを含むＣＡＤ（コンピュータ支援設計）データモデルのような、理論的モデルにより定められる。しかしながら、そのような媒体の実際の寸法は、徐々に変化し、処理、温度、バッチ、更に供給元等により左右され得る。
【０００８】
例えば、入力媒体及び／又は出力媒体は、直線アレイ又は前記電子デバイス用の複数の区画のマトリクスを備えた柔軟性の担体である、テープであり得る。トレイと同様に、テープには、同じ又は別のＸＹ座標系が割り当てられ、そのテープは、誤差を有する目標寸法：ＥＩＡＪ（日本電子機械工業会）仕様に準ずる幅、長さ、高さ、間隔距離、及びＦ値を含むＣＡＤデータにより定められる。
【０００９】
出力媒体の区画内に電子デバイスを正確に十分に整えて配置するために、選取・配置装置は、
１）電子デバイス上の、例えば、電子デバイスの中央に定められた既知の位置から電子デバイスを拾い上げ、
２）移し、出力媒体中の区画の位置及び電子デバイスの寸法が知られている出力媒体の区画内に電子デバイスを配置しなければならない。
【００１０】
理想では、これらの位置は、同じ種類の全ての媒体に教示され得る。しかしながら、実際には、再較正を必要とする幾つかの誤差がある。２つの主要な誤差は、処理の変化及び媒体間の変化に由来する。設計によって、媒体間の変化に由来する誤差は、より大きなものであり、トレイのような媒体の変化は、１ｍｍまでである場合がある。これらの変化の理由の１つは、媒体が、大きな温度変化に曝されることである。媒体は、保持装置又は保持台上に留められる間に、加熱され、冷却される。
【００１１】
従って、一般的な目的は、選取・配置装置が、各々の入力媒体の区画内に配置された電子デバイス上に定められた既知の位置から電子デバイスを拾い上げ、次に、出力媒体中の区画に電子デバイスを移すことができるように、各々の新たな入力媒体に対して、選取・配置装置の拾い上げ位置を再較正することである。
【００１２】
必要とされる精度に応じて、上記の問題を解決するために、２つの周知の異なる方法を利用する。
【００１３】
第１の周知の方法について、出力媒体（例えば、テープ）の区画誤差の寸法が、入力媒体（例えば、トレイ）の区画誤差よりも十分に大きい場合、処理モデル内に定められた固定ＣＡＤデータのみが利用される。この場合、入力媒体による変化に由来する整列の狂いは、出力媒体の前記十分に大きな区画が、前記比較的小さな電子デバイスを収容し、保存する十分な空間を与えるので、問題ではない。
【００１４】
他の事例の第２の周知の方法として、区画の寸法と電子デバイスの寸法との間の差が小さい場合、正確な位置合わせが必要とされる。これは、電子デバイスに対する画像的位置合わせ（ＶＡ）、即ち、電子デバイスに対する画像計測法を利用した機械的位置合わせにより行われる。ここで、選取・配置装置に対する電子デバイスの位置又は位置データをそれぞれ定めるために、電子デバイスは、入力媒体の区画から拾い上げられ、次に、機械視覚式検査装置に移される。次に、この情報を利用して、出力媒体の区画に電子デバイスを正しく整列し、出力媒体の区画内に電子デバイスを落とす又は配置する。
【００１５】
多くの場合、１つばかりではなく幾つかの電子デバイスが、入力媒体の平行な区画から並列に同時に拾い上げられ、出力媒体の平行な区画内に並列に同時に配置される。ここでも、ＶＡを利用して、配置の狂いが起こらないように最適な補正を算出する。
【００１６】
ＶＡ法は、正確であり、信頼性のあるものであるが、幾分低速であることが、その不利な点である。各々の電子デバイスを検査装置に移す必要がある、又は、検査装置を電子デバイスに移す必要がある。次に、各々の電子デバイスをその場所で計測する。多くの場合、１つばかりではなく幾つかの電子デバイスを、対応する数のカメラを用いて検査装置に（又は、単一のカメラを用いて、対応する数の検査装置にそれぞれ）同時に移し、同時に検査する。
【００１７】
各々の検査装置（複数可）の各々の画像視野の各々の媒体の各々の電子デバイスをＶＡ検査することにより、入力媒体の各々の区画の実際の位置データ、即ち、補正された位置データは、各々の電子デバイスが出力媒体の各々の区画に配置される前に定められる。しかしながら、入力媒体の各々の電子デバイスを検査することは、入力媒体から出力媒体へ電子デバイスを移すプロセスを著しく長くし、特に、１時間当たりのユニット（電子デバイス）の全要求が高い場合、例えば、１時間当たりの２００００以上のユニットの全要求である場合に長くなる。
【００１８】
加えて、ＶＡは、不都合には、入力媒体の各々の区画から電子デバイスを中央で拾い上げることを保証していない。用語「中央での拾い上げ」は、入力媒体の各々の区画の中央を指す。
【００１９】
電子デバイスが入力媒体の区画の中央から外される場合のような、他の効果は、電子デバイスの落とし動作又は配置動作に影響を与え、たとえＶＡ検査が事前に実行されているとしても、出力媒体の各々の区画内への落とし又は配置が劣ることになり得る、即ち、出力媒体の各々の区画内への電子デバイスの配置が狂う可能性が高くなり得る。
【００２０】
ＶＡ検査を用いる場合、たとえ少なくとも１つの検査装置が、入力媒体の近くに配置されても、速度損失があまりにも大きくなる。しかしながら、ＶＡを用いなければ、多くの場合、処理モデルで入力媒体のＣＡＤデータを手動で調節せずに、異なる入力媒体を利用するのが難しくなり得る（第３の方法）。その第３の方法は、速度損失が更に大きい。
【００２１】
今のところ、入力媒体から出力媒体へ電子デバイスを移す２つの異なる技術がある。
１）入力媒体のＣＡＤデータのみを利用したブラインド移送：これにより、有利には、基本的な移送流れが生じ、速度損失がない。しかしながら、ブラインド移送により、不利には、精度が低くなる、及び／又は、複雑度が低くなる。
２）ＶＡ：必要であれば個別に、各々の電子デバイスに対して２次元（２Ｄ）補正及び回転補正をする：これにより、不利には、移送流れが遅くなり又は妨げられ、速度損失が高くなるが、ＶＡにより、有利には、複雑度が高くなる。
【００２２】
上の用語「複雑度」は、梱包された電子デバイスの密度、区画又は電子デバイスの小ささ、及び媒体中の区画又は電子デバイスの数それぞれを指す。媒体の対応する小さく密な区画内に梱包される電子デバイスが小さくなるほど、また電子デバイスの密度が高くなるほど、媒体中に梱包可能な電子デバイスの数が多くなり、媒体寸法が複雑になり、また電子デバイスを安全に且つ正確に拾い上げ、移し、配置する条件がより複雑になる。
【００２３】
要約すれば、ＶＡ法の利点は、ブラインド移送及びＣＡＤデータ調節法の不利点と一致し、ＶＡ法の不利点は、他の前記２つの方法の利点と一致する。故に、未解決な、前記３つの方法の不利な点を克服する又は少なくとも低減する必要がある。
【００２４】
米国特許第ＵＳ６，４４９，５３１Ｂ１は、ＩＣを手動で処理せずに、ＪＥＤＥＣ規格トレイにより梱包された集積回路を移す方法及び装置を開示する。実施形態は、第１トレイから第２トレイへＩＣを移す選取・配置システムと、モータ駆動装置と、真空でＩＣを拾い上げ、配置するヘッドとを含む。選取・配置システムは、入力装置からの命令を受信するプロセッサにより制御される。バッチ処理されるＩＣの第１トレイとＩＣが移されるべき先の第２トレイが、そのシステムへ運ばれる。操作員は、移される梱包物、移されるデバイスの量、及びトレイ内のデバイスの位置に関連するデータを入力する。次に、そのプロセッサは、選取・配置システムを制御し、操作員により入力されたデバイス位置情報に基づいて、入力された量のデバイスを第１トレイから第２トレイへ移す。ＩＣの手動処理がないので、導線が曲がる等のデバイスの損傷が排除され、デバイスの向きの狂い及び計数の狂いも排除される。前記方法及び前記装置は、ＶＡ及び検査装置を利用しない。
【００２５】
米国特許出願第ＵＳ２００９／０３５１１９Ａ１は、電子部品が供給されるトレイ処理機構と、その機構を利用して電子部品を検査する装置とを開示する。複数の工程でトレイを格納するためのトレイ配置ラックを与えることで、検査後に電子部品を収容するトレイが、ラック内に収容され、トレイ配置ラックの上にトレイ積重ラックを与えることで、検査工程での検査前に、電子部品が検査されていることにより取り出された空トレイが、トレイ積重ラック上に積み重ねされる。あるトレイが、検査後に電子部品で充たされ、降ろされる時、トレイ積重ラックから空のトレイを取り出し、その降ろされたトレイのラック位置に空のトレイを送り、空のトレイを再利用することができる。前記方法及び前記装置は、同様に、ＶＡ及び検査装置を利用しない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２６】
【特許文献１】米国特許第６，４４９，５３１号
【特許文献２】米国特許公開第２００９／０３５１１９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２７】
従って、本発明の目的は、入力媒体の区画内に電子デバイスを配置する方法を与えることである。その方法により、電子デバイスを十分に速く流すことができ、入力媒体から電子デバイスを十分に正確に拾い上げることができる。
【課題を解決するための手段】
【００２８】
上記の目的は、入力媒体の区画内に電子デバイスを配置する方法により達成され、その方法は、以下の工程：
少なくとも１つの検査装置によりＮ個の実際の既知の位置を撮像することと、それらのＮ個の既知の位置は、入力媒体の上面側に形成され、Ｎは、２以上であり、
入力媒体に割り当てられた座標系内のＮ個の既知の位置の画像から、Ｎ個の既知の位置の実際位置データを定めることと、
Ｎ個の既知の位置の実際位置データから、及び、Ｎ個の既知の位置の所与の目標位置データから、Ｎ個の既知の位置の各々に対する実際の差分位置データを算出することと、
入力媒体の区画の所与の目標位置データから、及び、Ｎ個の既知の位置の実際の差分位置データから、入力媒体の区画の実際位置データを算出することと、
入力媒体の区画の実際位置データに基づいて、選取・配置装置を制御することと
を含む。
【００２９】
そのように、本発明の方法は、本発明による変更された様式ではあるが、画像位置合わせも利用する。本発明によれば、ＶＡは、専ら、各々の媒体（例えば、トレイ又はテープ）上で利用され、前記媒体上の電子デバイスを考慮していない。本発明の方法により、電子デバイスを含む実際の区画位置を算出することができるが、区画内の電子デバイスの正確な局所位置は、上記の誤差のために知られていない。しかしながら、実際の区画位置は、電子デバイスの局所位置に対して極めて良好な近似を与える。
【００３０】
本発明の別の目的は、区画内に複数の電子デバイスを配置する装置を与えることである。その装置により、十分に速い流れの電子デバイス移送を可能にし、入力媒体の区画から電子デバイスを拾い上げるのに十分な精度を与える。
【００３１】
上記の目的は、複数の電子デバイスを配置する装置により達成され、その装置は、
入力媒体上のＮ個の実際の既知の位置を撮像する少なくとも１つの検査装置と、Ｎは、２以上であり、
少なくとも１つの検査装置の画像視野内にＮ個の既知の位置のうちの少なくとも１つを置くように、少なくとも１つの検査装置と入力媒体との間に相対運動を与える移動手段と、
入力媒体の各々の少なくとも１つの区画から少なくとも１つの電子デバイスを拾い上げる、少なくとも１つの選取・配置装置と、
電子デバイスが入力媒体の区画から正しく拾い上げられるように、入力媒体の区画の実際位置データを定め、少なくとも１つの選取・配置装置を制御する制御ユニットと
を含む。
【００３２】
更に、本発明の別の目的は、入力媒体の区画から出力媒体の区画へ、複数の電子デバイスを配置する装置を与えることである。その装置により、十分に速い流れの電子デバイス移送が可能になり、並びに、電子デバイスを正確に拾い上げ、出力媒体の区画へ移すことができる。
【００３３】
上記の目的は、入力媒体の区画から出力媒体の区画へ、複数の電子デバイスを配置する装置により達成され、その装置は、
入力媒体上のＮ個の実際の既知の位置と出力媒体上のＭ個の既知の位置とを撮像する少なくとも１つの検査装置と、Ｎ及びＭは、２以上であり、
少なくとも１つの検査装置の画像視野内に入力媒体上のＮ個の既知の位置のうちの少なくとも１つを置くように、少なくとも１つの検査装置と入力媒体との間に相対運動を与え、少なくとも１つの検査装置の画像視野内に出力媒体上のＭ個の既知の位置のうちの少なくとも１つを置くように、少なくとも１つの検査装置と出力媒体との間に相対運動を与える移動手段と、
入力媒体の各々の少なくとも１つの区画から少なくとも１つの電子デバイスを拾い上げ、出力媒体の各々の少なくとも１つの区画へ少なくとも１つの電子デバイスを移し、出力媒体の各々の少なくとも１つの区画内に少なくとも１つの電子デバイスを配置する少なくとも１つの選取・配置装置と、
電子デバイスが、入力媒体の区画から正しく拾い上げられ、出力媒体の区画へ正しく移され、出力媒体の区画内に正しく配置されるように、入力媒体の区画の実際位置データを定め、出力媒体の区画の実際位置データを定め、少なくとも１つの選取・配置装置を制御する制御ユニットと
を含む。
【００３４】
上記のように、トレイをテープにとる特定の実施形態では、上記の本発明の方法及び本発明の装置では、入力媒体がトレイであり、出力媒体がテープである。しかしながら、入力及び出力媒体が、電子デバイスを収容し、保存し、含有するのに適した、いずれかの種類の区画媒体又は装置であり得ることは、当業者に明らかである。
【００３５】
以下では、用語「移送プロセス」は、少なくとも１つの検査装置による検査及び撮像プロセスを含む、入力媒体の区画から出力媒体の区画へ電子デバイスを移すプロセスを意味する。
【００３６】
本発明の方法の一実施形態では、以下の工程が含まれる。第１工程では、Ｎ個の既知の位置が、少なくとも１つの検査装置により撮像される。それにより、Ｎ個の既知の位置が、入力媒体の上面側に、入力媒体の上面側により定められる平面内に形成される。Ｎは、２以上である。上記のように、１つばかりでなく幾つかの検査装置を利用して、対応する数のカメラで、対応する数の既知の位置を同時に検査することができ、前記数は、Ｎ以下である（又は、対応する数のカメラを備えた１つの検査装置を利用することができる）。次の工程では、入力媒体に割り当てられた座標系内のＮ個の既知の位置の画像から、Ｎ個の既知の位置の実際位置データを定める。次の工程では、Ｎ個の既知の位置の各々に対する実際の差分位置データは、Ｎ個の既知の位置の実際位置データから、及び、Ｎ個の既知の位置の所与の目標位置データから算出される。次の工程では、入力媒体の区画の所与の目標位置データから、及び、Ｎ個の既知の位置の実際の差分位置データから、入力媒体の区画の実際位置データを算出する。最後の工程では、入力媒体の区画の算出された実際位置データに基づいて、選取・配置装置を制御する。これにより、実際位置データは、選取・配置装置により入力媒体の区画から電子デバイスを十分に整えて拾い上げるのに重要な、補正された位置データを表す。
【００３７】
入力媒体上の既知の位置の数Ｎが、入力媒体の区画の数よりも十分に少ない数として選択され得るので、少なくとも検査装置による時間を浪費する検査プロセスは、ＶＡ法のような入力媒体の極めて多数の区画の各々に対してではなく、入力媒体上の僅かな数の位置、即ち、Ｎ個の既知の位置に対してのみ実行される。例えば、Ｎは、２〜４の整数として選択され得る。本発明の方法の有利な結果として、移送プロセス中の（例えば、トレイをテープにとる際の）検査プロセスの時間は、十分に小さな数Ｎを選択することにより著しく削減することができる。既に上述のように、２よりも大きな任意の数を選択することができる。それでもやはり、ＶＡに対する時間的な利点は、この数Ｎが大きくなるにつれて、より小さくなる。
【００３８】
本発明の方法の別の実施形態では、入力媒体の区画の目標位置データが、入力媒体の区画の算出された実際位置データに従って、入力媒体の区画の実際位置データを算出する工程中に又はその工程の後に更新される。このように、特定の種類の入力媒体では、この特定の種類の入力媒体を利用し、移送プロセスの実際の環境に従って、各々の移送プロセスの後に目標位置データを工程別に向上させることができ、それにより、処理、温度、バッチ、又は供給元による上記の影響を排除することができる。
【００３９】
本発明の方法の別の実施形態では、Ｎ個の既知の位置の目標位置データ及び入力媒体の区画の目標位置データは、コンピュータ支援設計（ＣＡＤ）データモデルに利用され得る。ＣＡＤデータモデルは、入力媒体の区画の目標位置データの上記の更新によっても向上され得る。
【００４０】
本発明の方法の別の実施形態では、選取・配置装置は、入力媒体の各々の少なくとも１つの区画から少なくとも１つの電子デバイスを拾い上げ、出力媒体の各々の少なくとも１つの区画へ少なくとも１つの電子デバイスを移し、出力媒体の各々の少なくとも１つの区画内に少なくとも１つの電子デバイスを配置し、これにより、少なくとも１つの電子デバイスを入力媒体から出力媒体へ移す全プロセスを実行する。これによって、選取・配置装置により出力媒体の区画内に電子デバイスを十分に整えて配置することを達成するために、出力媒体の各々の少なくとも１つの区画の実際位置データが、選取・配置装置に伝達される。
【００４１】
好ましくは、更に時間を節約するために、少なくとも２つの電子デバイスが、入力媒体の各々の区画から並列に同時に拾い上げられ、出力媒体の各々の区画へ並列に同時に移され、出力媒体の各々の区画内に並列に配置される。
【００４２】
本発明の方法の別の実施形態では、出力媒体の区画の実際位置が、入力媒体の区画内に電子デバイスを配置する上記の方法と同じ方法で定められる。従って、出力媒体の方法の実施形態に関する工程は、ここでは詳細には記載されず、違いのみが、以下に記載される。出力媒体の上面側により定められる平面内の、出力媒体の上面側のＭ（Ｎの代わりに）個の既知の位置は、少なくとも１つの検査装置により撮像される。Ｍは、２以上の選択される数である。加えて、Ｍは、Ｎに等しく、又は、Ｎと異なるように選択され得る。しかしながら、Ｎの選択に関する上記と同じ理由で、Ｍは、出力媒体の区画の数よりも十分に小さく選択されなければならない。出力媒体に割り当てられる座標系は、入力媒体に割り当てられる座標系と同じであってもよく、異なる座標系であってもよい。出力媒体の上面側のＭ個の既知の位置を撮像する少なくとも１つの検査装置は、入力媒体の上面側のＮ個の既知の位置に対する少なくとも１つの検査装置と同じであってもよく、異なる少なくとも１つの検査装置であってもよい。Ｍ個の既知の位置の画像からＭ個の既知の位置の実際位置データと、Ｍ個の既知の位置の実際の差分位置データと、出力媒体の区画の実際位置データとを定め、算出した後に、出力媒体の区画の実際位置データに基づいて選取・配置装置が制御される。
【００４３】
出力媒体の方法の実施形態に加えて又はその代わりに、出力媒体（出力媒体寸法）を計測することができ、出力媒体の区画内に電子デバイスを配置する前に、出力媒体レイアウトを自動的に調節することができる。出力媒体レイアウトを自動的に調節する工程は、出力媒体上にテンプレートを教示し、出力媒体上にテンプレートの正確な位置を定めるように検査することにより実行することができる。出力媒体の区画内に電子デバイスを配置する前に、出力媒体の移送位置も自動的に調節することができる。
【００４４】
入力媒体の区画内に複数の電子デバイスを配置する本発明の装置の一実施形態では、装置は、入力媒体上のＮ個の実際の既知の位置を撮像する少なくとも１つの検査装置を含み、Ｎは、２よりも大きい。その装置は、少なくとも１つの電子デバイスの画像視野内にＮ個の既知の位置のうちの少なくとも１つを置くように、少なくとも１つの検査装置と入力媒体との間に相対運動を与える移動手段と、入力媒体の各々の少なくとも１つの区画から少なくとも１つの電子デバイスを拾い上げる少なくとも１つの選取・配置装置と、電子デバイスが入力媒体の区画から正しく拾い上げられるように、入力媒体の区画の実際位置データを定め、少なくとも１つの選取・配置装置を制御する制御ユニットとを更に含む。
【００４５】
入力媒体は、複数の区画を含み、入力媒体の単一の区画は、少なくとも１つの電子デバイスを収容し、保存する。Ｎ個の既知の位置は、入力媒体の上面側に形成される。Ｎ個の既知の位置の各々は、電子デバイスが区画内に保存される時に、少なくとも１つの検査装置により検出され得る。本装置の制御ユニットは、入力媒体のＮ個の既知の位置の画像とＮ個の既知の位置の目標位置データと入力媒体の区画の目標位置データとに基づいて、入力媒体の区画の実際位置データを定める。これにより、Ｎ個の趣致の位置は、少なくとも１つの検査装置により撮像される。
【００４６】
入力媒体は、制御ユニットに接続されているＣＡＤデータモデルにより定められ得る。特に、ＣＡＤデータモデルは、制御ユニットの一部であり得る。ＣＡＤデータモデルは、入力媒体上のＮ個の既知の位置の目標位置データと、入力媒体の区画の目標位置データとを含む。
【００４７】
別の本発明の装置では、複数の電子デバイスを配置する入力媒体の実際の区画位置、並びに、複数の電子デバイスを配置する出力媒体の実際の区画位置が定められる。この装置は、同様に、上述のような装置及びその実施形態に組み立てられる。全ての重要な特徴は、特に、入力媒体と出力媒体とを利用する本方法の実施形態については、前に記載されている。従って、本発明のこの別の配置は、本明細書で詳細には記載されない。
【００４８】
本発明のこの別の装置の制御ユニットは、出力媒体上のＭ個の既知の位置の画像とＭ個の既知の位置の目標位置データと出力媒体の区画の目標位置データとに基づいて、出力媒体の区画の実際位置データを定める。これによって、Ｍ個の既知の位置は、少なくとも１つの検査装置により撮像される。
【００４９】
他の装置は、制御ユニットに接続されている、特に、制御ユニットの一部であるＣＡＤデータモデルを含み得る。ＣＡＤデータモデルは、入力媒体上のＮ個の既知の位置の目標位置データと、入力媒体の区画の目標位置データと、出力媒体上のＭ個の既知の位置の目標位置データと、出力媒体の区画の目標位置データとを含む。
【００５０】
入力媒体及び／又は出力媒体上の既知の位置は、入力媒体及び／又は出力媒体の生産プロセス中に既に付与する又は組み込むことができ、例えば、入力媒体及び／又は出力媒体の上面側と入力媒体及び／又は出力媒体の区画の外側の、点、線、長方形、交差又は他の形態及び／又は機能的構造である。代わりに又は加えて、入力媒体及び／又は出力媒体上の既知の位置のうちの少なくとも１つは、その後に、入力媒体及び／又は出力媒体の上面側の上記のような局所位置に付与又は形成される標識であり得る。各々の事例では、既知の位置は、少なくとも１つの検査装置により検出され得るべきである。
【００５１】
本発明の有利な実施形態は、従属請求項及び以下の記述で定められる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
本発明の動作特性及び様式は、ここで、付属の図面を伴う本発明の以下の詳細な記述でより完全に記述されることになる。
【００５３】
【図１】入力媒体上の既知の位置が本発明の方法又は本発明の装置に用いられる、入力媒体としてのトレイの概略上面図である。
【図２】図１による入力媒体の概略斜視図である。
【図３】出力媒体としてのテープの周りの領域が抽出された、概略部分上面図である。
【図４】電子デバイスを入力媒体の区画から出力媒体の区画へ移す本発明の装置の実施形態の概略図である。
【図５】本発明の方法及び本発明の装置に用いられ、定められるような様々な位置データを示す、入力媒体の実施形態の概略拡大図である。
【図６】本発明の方法及び本発明の装置に用いられ、定められるような様々な位置データを示す、出力媒体の概略拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００５４】
本発明の別の特徴、目的及び利点は、本発明の好ましい実施形態の以下の詳細な記述で説明されることになり、それらの実施形態は、限定されない実施例として用いられ、付属の図面を指す。本発明は、現時点で好ましい態様と見なされるものに対して記載されるが、請求されるような本発明は、開示された態様に限定されないと理解されるべきである。等価な要素は、基本的に、同じ参照番号を有し、繰り返しの説明は、省略されることもある。
【００５５】
更に、本発明は、記載される特定の方法、材料及び変更に限定されず、そのように、当然、変化し得ると理解される。本明細書で用いられる用語法は、単に特定の態様を記述する目的のためのものであり、添付される請求項によってのみ限定される本発明の範囲を限定することを意図していないとも理解される。特に定義されなければ、本明細書で用いられる全ての技術的及び科学的用語は、本発明が属する当該分野の当業者に通常理解されるものと同じ意味を有する。本発明の実施又は試験では、本明細書に記載されるものに類似の又は等価な、いずれかの方法及び装置を利用することができるが、好ましい方法及び装置は、ここで記載される。
【００５６】
図１は、入力媒体５としてのトレイの具体例の概略上面図であり、入力媒体５上の既知の位置２１、２２、２３が、本発明の方法又は本発明の装置１に用いられている（図４参照）。
【００５７】
入力媒体５は、複数の区画７を含む。各々の区画７は、入力媒体５の上面側５２に形成され、入力媒体５の単一の区画７は、少なくとも１つの電子デバイス３を収容し、保存することができる。図１によれば、全ての区画７は、電子デバイス３を含む。
【００５８】
入力媒体５には、座標系が割り当てられ、入力媒体５の区画７を有する主要面は、Ｘ及びＹ方向に広がり、入力媒体５の深さは、Ｚ方向に向く。区画７は、マトリクス形態で配置される。第１電子デバイス３１，１は、第１区画７１，１内に配置される。参照番号７１は、入力媒体５の縁６から入力媒体５の第１区画７１，１までのＸ方向の偏差を表す。参照番号７２は、入力媒体５の縁６から入力媒体５の第１区画７１，１までのＹ方向の偏差を表す。
【００５９】
上記のように、マトリクス中の区画７の縦列数のような他のデータと併せて、制御ユニット２９に接続されているＣＡＤデータモデル内に、Ｘ偏差７１、Ｙ偏差７２、及び２つの隣接する区画７の間の間隔距離７３（距離）も利用（保存）可能であり得る（図４参照）。
【００６０】
本発明の実施形態によれば、隣接する区画７の各々の４単位の四角形の中央では、十字構造が、入力媒体５の上面側５２に形成される。十字構造は、入力媒体５の生産プロセス中に付与され、組み込まれ又は形成されており、少なくとも１つの検査装置１５により検出され得る（図４参照、以下では、記述を簡略にするために、１つの検査装置１５のみが示されている）。従って、入力媒体５は、本発明の方法又は本発明の装置１に用いられるのに適している（図４参照）。なぜなら、前記十字構造は、本発明の方法及び本発明の装置１に対する既知の位置２と見なされるからである。しかしながら、上記のように、全てではないが、僅かな数の、ここでは、２つの十字構造のみが、本発明に従って撮像され、計測されるための既知の位置２１及び２３として用いられている。加えて、入力媒体５の縁６上の円形の別の標識が、既知の位置２２として用いられている。従って、この事例では、既知の位置２の数は、３である（Ｎ＝３）。計測プロセスに２つ以上の既知の位置２が用いられる事例では、目標データからの入力媒体５の２次元の偏差を定めることができる。補正は、２次元（ＸＹ）のものである。２を超える既知の位置２が用いられる場合、入力媒体本体に対する内部マトリクスの回転のような追加の情報も算出することができる。より多くの数の既知の位置２が用いられる場合、最小二乗整合を算出して、媒体を記述するパラメータ（例えば、トレイに対するＸ、Ｙ、ｄＸ、ｄＹ及び角度）に対する最良の整合を得ることになる。
【００６１】
既知の位置２が様々な形を取り得ることは、当業者に明らかである。いずれかの既知の位置２を用いることができ、区画７の中心も用いることができる。その場合、例えば、電子デバイス３の周りの十字線又は直線等のような基準標識を用いることができる。
【００６２】
これらの僅かな既知の位置２１、２２、２３のみが、撮像され、全ての電子デバイス３又は入力媒体５の全ての位置（即ち、この事例では、十字構造）を撮像する必要はない。低位数Ｎ＝３の検査工程のために、移送プロセス中の検査装置１５による全検査プロセスの時間は、著しく削減される。なぜなら、既知の位置２１、２２、２３の数Ｎ＝３は、従来技術のＶＡ法を用いる際に撮像され得る入力媒体５中の電子デバイス３の数よりも、著しく少ないからである。
【００６３】
当業者には、既知の位置２が、十字以外の他の構造及び／又は形及び／又は形状標識であってもよく、例えば、検査装置１５により検出され得る、点、線、長方形、又は、入力媒体５の上面側５２の他のいずかの形態及び／又は機能構造であってもよいと考えられる。既知の位置２は、電子デバイス３が、区画７内に配置又は保存される時も、検出可能でなければならないので、既知の位置２は、区画７の外に配置されるべきである。通常、既知の位置２は、入力媒体５の縁６の近くに及び／又は入力媒体５の隣接する区画７の間に配置される。
【００６４】
図２は、図１による入力媒体５（トレイ）の概略斜視図である。図２によれば、電子デバイス３のみが、各々の区画７内に配置又は保存される。各々の他の電子デバイス３が、拾い上げられ、出力媒体９に移されるので、他の全ての区画７は、空である（図３参照）。
【００６５】
図３は、本発明で利用される出力媒体９としてのテープの実施形態の概略部分上面図である。図１の入力媒体５と同様に、出力媒体９でも、複数の区画１１のマトリクスが、出力媒体９の上面側９２に形成される（ここでは、１つの線１１のみが示されている）。図示された出力媒体９の実施形態では、各々の区画１１が、各々の区画１１の中心に形成される穴８を有する。
【００６６】
移送プロセスの間に、電子デバイス３は、入力媒体５の区画７から拾い上げられ（図１〜２参照）、次に、出力媒体９へ移され、出力媒体９の区画１１内に配置される。
【００６７】
上記のように、出力媒体９の区画１１内に電子デバイス３を正しく且つ十分に整えて配置するために、少なくとも１つの選取・配置装置１３（図４参照、以下では、記述を簡略にするために、１つの選取・配置装置１３のみが示されている）が、電子デバイス３を拾い上げ、出力媒体９の定められた区画１１内に電子デバイスを配置する。
【００６８】
図１の入力媒体５と同様に、出力媒体９も、出力媒体９の上面側９２と区画１１の外側に、既知の位置２１、２２を有する。通常、出力媒体９は、リール（図示されず）上に保存され、移送プロセス用のリールから積み降ろされる。移送プロセスを効率的に監視するために、出力媒体９上の少なくとも２つの既知の位置２は、検査装置１５により検出可能でなければならない。出力媒体９の区画１１は、移送前に空であるので、基準標識、例えば、区画１１内の穴８も利用することができる。出力媒体９上の既知の位置２の数Ｍが、少なくとも２であることを必要とすることは、明らかである。再び、少なくとも２つの十字線は、既知の位置２１及び２２として利用され、本発明の方法の特定の実施形態に従い、本発明の装置１の特定の実施形態に従って、撮像され、計測される（図４参照）。その上、上記のように、出力媒体９上の既知の位置２１及び２２は、他のいずれかの構造及び／又は形のもの、並びに／若しくは、検査装置１５により検出可能なものであり得る。
【００６９】
入力媒体５に加えて、出力媒体９は、縁６の隣に常備穴１２の線を含む。図３による出力媒体９の拡大図に示されていない反対側の縁６も、一直線の穴１２も含んでもよい。縁６付近のこれらの穴１２は、移送装置３７により出力媒体９を移すために与えられる（図４参照）。移送装置３７は、出力媒体９を移すために、出力媒体９の穴１２と嵌合する嵌合要素を含む。
【００７０】
図４は、電子デバイスを入力媒体５から出力媒体９の区画１１内へ配置する本発明の装置１の実施形態の概略図である。入力媒体５の区画７ａ、７ｂ、７ｃの実際の位置は、複数の電子デバイス３を配置するのに用いられる。装置１は、少なくとも１つの装置１５を含み（以下では、記述を簡略にするために、１つの検査装置１５のみが示されている）、例えば、カメラ１５は、入力媒体５上のＮ個の実際の既知の位置（図１参照）を撮像するための対物レンズ１７を備えている。Ｎは、２以上である。
【００７１】
入力媒体５と検査装置１５との間に相対運動を与えるために、移動手段２３が与えられる。移動手段２３を用いて、検査装置１５が、Ｎ個の既知の位置２（図１参照）のうちの少なくとも１つに移され、そのため、各々の既知の位置２は、検査位置２１にあり、少なくとも１つの検査装置１５の画像視野１９内にある。前記相対運動は、入力媒体５に割り当てられるＸ、Ｙ、Ｚ座標系に対して記述することができる。
【００７２】
別の実施形態によれば、入力媒体５は、ステージ２７上に配置される。相対運動の種類に応じて、入力媒体５は、検査装置１５の画像視野内１９に各々の既知の位置２を配置するために、ステージ２７に対して移動可能である（図４に図示されず、この事例では、移動手段２３が、ステージ２７に割り当てられる、又は、そのステージ内に含まれる）、又は、入力媒体５が、図４の実施形態に従ってステージ２７上で動かないように配置される。後者の事例では、検査装置１５は、前記移動手段２３により、各々の既知の位置２に対して移動する。
【００７３】
検査装置１５の画像視野１９内に、出力媒体９上のＭ個の既知の位置２のうちの少なくとも１つを置くように、検査装置１５と出力媒体９との間に相対運動を与えるために、同じ移動手段２３又は別の移動手段を用いることができる。
【００７４】
装置１は、入力媒体５の各々の少なくとも１つの区画７ａ、７ｂ、７ｃから、少なくとも１つの電子デバイス３を拾い上げる少なくとも１つの選取・配置装置１３も含む（以下では、記述を簡略にするために、１つの選取・配置装置１３のみが示されている）。選取・配置装置１３は、入力媒体５の区画７ａ、７ｂ、７ｃの実際位置データに基づいて制御される。前記区画７ａ、７ｂ、７ｃの実際位置データは、本発明の方法に従って算出される（図５参照）。
【００７５】
続いて、選取・配置装置１３は、各々の電子デバイス３を区画７ａ、７ｂ、７ｃから出力媒体９の各々の区画１１へ移し、拾い上げられて移された電子デバイス３を区画１１内に配置する。本発明の装置の実施形態では、出力媒体９の各々の少なくとも１つの区画１１の実際位置データが、選取・配置装置１３に伝達される。
【００７６】
本発明の実施形態によれば、時間を節約するために、少なくとも２つの電子デバイス３が、入力媒体５の各々の区画７ａ、７ｂ、７ｃから並列に同時に拾い上げられ、並列に同時に移され、出力媒体９の各々の区画１１内に並列に配置される。この事例では、選取・配置装置１３は、対応する数の選取・配置要素１３１を与えなければならない。あるいは、各々の選取・配置装置１３が単一の選取・配置要素１３１を含む場合は、対応する数の選取・配置装置１３が与えられなければならない。
【００７７】
更に、装置１は、入力媒体５の区画７ａ、７ｂ、７ｃの実際位置データ（図５参照）を定め、選取・配置装置１３を制御する制御ユニット２９を含み、そのため、電子デバイス３は、入力媒体５の区画７ａ、７ｂ、７ｃから正しく拾い上げられる。特に、制御ユニット２９は、入力媒体５上のＮ個の既知の位置２の画像、Ｎ個の既知の位置２の目標位置データ、及び入力媒体５の区画７ａ、７ｂ、７ｃの目標位置データに基づいて、入力媒体５の区画７ａ、７ｂ、７ｃの実際位置データを定める。このように、入力媒体５上のＮ個の既知の位置２のみが、検査装置１５により撮像される。
【００７８】
向上された実施形態では、制御ユニット２９が、出力媒体９の区画１１の実際位置データ（図６参照）も定め、選取・配置装置１３を制御し、そのため、電子デバイス３は、出力媒体９の区画１１に正しく移され、その区画内に正しく配置される。特に、制御ユニット２９は、Ｍ個の既知の位置２の画像、Ｍ個の既知の位置２の目標位置データ、及び出力媒体９の区画１１の目標位置データに基づいて、出力媒体９の区画１１の実際位置データを定める。このように、出力媒体９上のＭ個の既知の位置２のみが、検査装置１５により撮像される。従って、制御ユニット２９は、各々の接続線２９１、２９２、２９３により、入力媒体５がその上部にあるステージ２７、検査装置１５、及び、出力媒体９がその上部にある移送装置３７に連結される。
【００７９】
ＣＡＤデータモデル３１は、制御ユニット２９に利用され得る。特に、ＣＡＤデータモデル３１は、図４に示されるような実施形態による制御ユニット２９の一部であり得る。第１実施形態では、ＣＡＤデータモデル３１は、入力媒体５上のＮ個の既知の位置２の目標位置データと、入力媒体５の区画７ａ、７ｂ、７ｃの目標位置データとを含み、保存する。より良くされた実施形態では、ＣＡＤデータモデル３１は、更に、出力媒体９上のＭ個の既知の位置２の目標位置データと、出力媒体９の区画１１の目標位置データとを含み、保存する。
【００８０】
門型構造３３は、装置１の様々な要素、例えば、図４の実施形態に示されるような選取・配置装置１３及び検査装置１５等の要素を移動及び／又は保持するのを補助する。この装置を用いて、選取・配置装置１３及び検査装置１５は、入力媒体５から出力媒体９へ、及び、その逆方向に移動することができる。
【００８１】
図５は、入力媒体５（トレイ）の実施形態の概略拡大図であり、その図は、本発明の方法及び本発明の装置１に利用される又は定められるような、様々な実際位置データと目標位置データとを示す。本発明の方法を示すために、図５には、間隔距離７３を間に有する区画７１，１〜７３，４が示されており、それらの区間は、実際の通常の入力媒体５が有するものよりも数が少ない。全ての目標位置は、破線により示され、全ての実際位置は、実線により示される。入力媒体５には、ＸＹ座標系が割り当てられる。
【００８２】
全ての目標区画７ｔａｒ，ｉ，ｊは、十分に整えられており、区画マトリクス中の横列に対してｉ＝１〜３であり、縦列に対してｊ＝１〜４である、即ち、それらの目標区画は、同じ水平方向の間隔距離７３ｔａｒ，ｈｏｒと同じ鉛直方向の間隔距離７３ｔａｒ，ｖｅｒとを有する。上記のように、目標区画７ｔａｒ，ｉ，ｊの目標位置データは、理論的位置データを表す、対応するＸ座標Ｘ７，ｔａｒ，ｉ，ｊ及びＹ座標Ｙ７，ｔａｒ，ｉ，ｊである。しかしながら、これらの目標位置データＸ７，ｔａｒ，ｉ，ｊ及びＹ座標Ｙ７，ｔａｒ，ｉ，ｊ は、処理、温度、バッチ、更に供給元等により左右されることが多く、従って、実際の区画７ａｃｔ，ｉ，ｊの実際位置データＸ７，ａｃｔ，ｉ，ｊ及びＹ座標Ｙ７，ｔａｒ，ｉ，ｊが生じる。
【００８３】
全く同様に、入力媒体５の全ての目標の既知の位置２ｔａｒ，ｋは、目標区画７ｔａｒ，ｉ，ｊに対して十分に整えられており、ｋ＝１〜Ｎである。目標の既知の位置２ｔａｒ，ｋの目標位置データは、理論的位置データを表す、対応するＸ座標Ｘ２，ｔａｒ，ｋ及びＹ座標Ｙ２，ｔａｒ，ｋである。しかしながら、これらの目標位置データＸ２，ｔａｒ，ｋ及びＹ座標Ｙ２，ｔａｒ，ｋも左右されることが多く、従って、実際の既知の位置２ａｃｔ，ｋの実際位置データＸ２，ａｃｔ，ｋ及びＹ座標Ｙ２，ｔａｒ，ｋが生じる。
【００８４】
本発明の方法によれば、第１工程では、入力媒体５の上面側５２のＮ個の実際の既知の位置２ａｃｔ，ｋは、検査装置１５により撮像される（図４参照）。
【００８５】
次の工程では、Ｎ個の既知の位置２ｔａｒ，ｋの実際位置データＸ２，ａｃｔ，ｋ及びＹ２，ａｃｔ，ｋは、ＸＹ座標系内のＮ個の既知の位置２ｔａｒ，ｋの画像から定められる。
【００８６】
次の工程では、Ｎ個の既知の位置２ｔａｒ，ｋの各々に対する実際の差分位置Ｘ２，ｄｉｆｆ，ｋ及びＹ２，ｄｉｆｆ，ｋデータが、Ｎ個の既知の位置２ｔａｒ，ｋの実際位置データＸ２，ａｃｔ，ｋ及びＹ２，ａｃｔ，ｋから、及び、Ｎ個の既知の位置２ｔａｒ，ｋの所与の目標位置データＸ２，ｔａｒ，ｋ及びＹ２，ｔａｒ，ｋから算出される：
（１）Ｘ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝Ｘ２，ａｃｔ，ｋ−Ｘ２，ｔａｒ，ｋ
（２）Ｙ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝Ｙ２，ａｃｔ，ｋ−Ｙ２，ｔａｒ，ｋ
【００８７】
次の工程では、マトリクスの横列の各々のｉ及びマトリクスの縦列の各々のｊに対して、入力媒体５の実際の区画７ａｃｔ，ｉ，ｊの実際位置データＸ７，ａｃｔ，ｉ，ｊ及びＹ７，ａｃｔ，ｉ，ｊが、各々の所与の目標位置データＸ７，ｔａｒ，ｉ、ｊ及びＹ７，ｔａｒ，ｉ，ｊから、及び、Ｎ個の既知の位置２ｋの実際の差分位置データＸ２，ｄｉｆｆ，ｋ及びＹ２，ｄｉｆｆ，ｋから算出される。
（３）Ｘ７，ａｃｔ，ｉ，ｊ＝ｆ（Ｘ７，ｔａｒ，ｉ、ｊ；Ｘ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝１…Ｎ；Ｙ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝１…Ｎ ）
（４）Ｙ７，ａｃｔ，ｉ，ｊ＝−ｆ（Ｙ７，ｔａｒ，ｉ，ｊ；Ｙ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝１…Ｎ；Ｙ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝１…Ｎ  ）
【００８８】
等式（３）及び（４）では、ｆが、Ｘ７，ｔａｒ，ｉ、ｊ、Ｘ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝１…Ｎ及びＹ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝１…Ｎの関数である。関数ｆは、Ｎが２よりも大きい場合、入力媒体５内の入力媒体マトリクスの可能な回転を考慮するべきである。Ｎ＞２の場合、各々の実際位置データＸ２，ｄｉｆｆ，ｋ及びＹ２，ｄｉｆｆ，ｋの補正は、関数ｆのパラメータの全ての差に依存する。
【００８９】
等式（３）及び（４）は、特定の既知の位置２ｋの単一のｋに対して算出することができる。あるいは、等式（３）及び（４）は、各々のＸ７，ａｃｔ，ｉ，ｊ及びＹ７，ａｃｔ，ｉ，ｊに対する平均がｋの各々の数にわたり算出されるように、より多く数のｋ、更には全てのｋについて算出される。各々の事例では、電子デバイス３（図１及び２参照）を十分に整えて区画７ｉ、ｊから拾い上げることに関して、入力媒体５の区画７ｉ，ｊの算出された実際位置データＸ７，ａｃｔ，ｉ，ｊ及びＹ７，ａｃｔ，ｉ，ｊに基づいて、選取・配置装置１３が制御される。
【００９０】
本発明の方法の実施形態によれば、入力媒体５の区画７ｉ、ｊの目標位置データＸ７，ｔａｒ，ｉ、ｊ及びＹ７，ｔａｒ，ｉ，ｊは、実際位置データＸ７，ａｃｔ，ｉ，ｊ及びＹ７，ａｃｔ，ｉ，ｊを算出する工程（３）及び（４）の間又はその後に、区画７ｉ、ｊの算出された実際位置データＸ７，ａｃｔ，ｉ，ｊ及びＹ７，ａｃｔ，ｉ，ｊに従って更新される。
【００９１】
図６は、出力媒体９（テープ）の実施形態の概略拡大図であり、その図は、本発明の方法及び本発明の装置１の実施形態に利用される又は定められるような、様々な実際位置データと目標位置データとを示す。本発明の方法を示すために、図６には、より大きな間隔距離を間に有する区画１１１，１〜１１３，４が示されており、それらの区画は、実際の通常の出力媒体９が有するものよりも数が少ない。全ての目標位置は、破線により示され、全ての実際位置は、実線により示されている。出力媒体９には、ＸＹ座標系が割り当てられ、その座標系は、入力媒体５に対するものと同じ又は別のものである。
【００９２】
全ての目標区画１１ｔａｒ，ｉ，ｊは、十分に整えられており、区画マトリクス中の横列に対してｉ＝１〜３であり、縦列に対してｊ＝１〜４である、即ち、それらの目標区画は、同じ水平方向の間隔距離と同じ鉛直方向の間隔距離とを有する。上記のように、目標区画１１ｔａｒ，ｉ，ｊの目標位置データは、理論的位置データを表す、対応するＸ座標Ｘ１１，ｔａｒ，ｉ，ｊ及びＹ座標Ｙ１１，ｔａｒ，ｉ，ｊである。しかしながら、これらの目標位置データＸ１１，ｔａｒ，ｉ，ｊ及びＹ座標Ｙ１１，ｔａｒ，ｉ，ｊ は、左右されることが多く、従って、実際の区画１１ａｃｔ，ｉ，ｊの実際位置データＸ１１，ａｃｔ，ｉ，ｊ及びＹ座標Ｙ１１，ｔａｒ，ｉ，ｊが生じる。
【００９３】
全く同様に、出力媒体９の全ての目標の既知の位置２ｔａｒ，ｋは、目標区画１１ｔａｒ，ｉ，ｊに対して十分に整えられており、ｋ＝１〜Ｍである。目標の既知の位置２ｔａｒ，ｋの目標位置データは、理論的位置データを表す、対応するＸ座標Ｘ２，ｔａｒ，ｋ及びＹ座標Ｙ２，ｔａｒ，ｋである。しかしながら、これらの目標位置データＸ２，ｔａｒ，ｋ及びＹ座標Ｙ２，ｔａｒ，ｋも左右されることが多く、従って、実際の既知の位置２ａｃｔ，ｋの実際位置データＸ２，ａｃｔ，ｋ及びＹ座標Ｙ２，ｔａｒ，ｋが生じる。
【００９４】
本発明の方法によれば、第１工程では、出力媒体９の上面側９２のＭ個の実際の既知の位置２ａｃｔ，ｋは、検査装置１５により撮像される（図４参照）。
【００９５】
次の工程では、Ｍ個の既知の位置２ｔａｒ，ｋの実際位置データＸ２，ａｃｔ，ｋ及びＹ２，ａｃｔ，ｋは、ＸＹ座標系内のＭ個の既知の位置２ｔａｒ，ｋの画像から定められる。
【００９６】
次の工程では、Ｍ個の既知の位置２ｔａｒ，ｋの各々に対する実際の差分位置Ｘ２，ｄｉｆｆ，ｋ及びＹ２，ｄｉｆｆ，ｋデータが、出力媒体９上のＭ個の既知の位置２ｔａｒ，ｋの実際位置データＸ２，ａｃｔ，ｋ及びＹ２，ａｃｔ，ｋから、及び、Ｍ個の既知の位置２ｔａｒ，ｋの所与の目標位置データＸ２，ｔａｒ，ｋ及びＹ２，ｔａｒ，ｋから算出される：
（５）Ｘ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝Ｘ２，ａｃｔ，ｋ−Ｘ２，ｔａｒ，ｋ＝１
（６）Ｙ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝Ｙ２，ａｃｔ，ｋ−Ｙ２，ｔａｒ，ｋ＝１
【００９７】
次の工程では、マトリクスの横列の各々のｉ及びマトリクスの縦列の各々のｊに対して、出力媒体９の実際の区画１１ａｃｔ，ｉ，ｊの実際位置データＸ１１，ａｃｔ，ｉ，ｊ及びＹ１１，ａｃｔ，ｉ，ｊが、各々の所与の目標位置データＸ１１，ｔａｒ，ｉ、ｊ及びＹ１１，ｔａｒ，ｉ，ｊから、及び、Ｍ個の既知の位置２ｋの実際の差分位置データＸ２，ｄｉｆｆ，ｋ及びＹ２，ｄｉｆｆ，ｋから算出される：
（７）Ｘ１１，ａｃｔ，ｉ，ｊ＝ｇ（Ｘ１１，ｔａｒ，ｉ、ｊ；Ｘ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝１…Ｎ；Ｙ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝１…Ｎ ）
（８）Ｙ１１，ａｃｔ，ｉ，ｊ＝−ｇ（Ｙ１１，ｔａｒ，ｉ，ｊ；Ｙ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝１…Ｎ；Ｙ２，ｄｉｆｆ，ｋ＝１…Ｎ  ）
【００９８】
ｇは、等式（３）及び（４）中の関数ｆと同様に且つ類似的に定義された関数である。Ｆ、出力媒体の間隔距離、等位のＸ、Ｙ、ｄＸ、ｄＹ等のような出力媒体９の他のパラメータも考慮している。等式（７）及び（８）は、出力媒体９上の特定の既知の位置２ｋの単一のｋに対して算出することができる。あるいは、等式（７）及び（８）は、各々のＸ１１，ａｃｔ，ｉ，ｊ及びＹ１１，ａｃｔ，ｉ，ｊに対する平均が、ｋの各々の数にわたり算出されるように、より多くの数ｋ、更には全てのｋについて算出される。各々の事例では、電子デバイス３’（図３を参照すること）を十分に整えて入力媒体５の区画７ｉ，ｊから出力媒体９の区画１１ｉ，ｊへ移すことに関して、及び、出力媒体９の区画１１ｉ，ｊ内に電子デバイス３を十分に整えて配置することに関して、出力媒体９の区画１１ｉ、ｊの算出された実際位置データＸ１１，ａｃｔ，ｉ，ｊ及びＹ１１，ａｃｔ，ｉ，ｊに基づいて、選取・配置装置１３が制御される。
【００９９】
本発明の方法の実施形態によれば、出力媒体９の区画１１ｉ，ｊの目標位置データＸ１１，ｔａｒ，ｉ、ｊ及びＹ１１，ｔａｒ，ｉ，ｊは、実際位置データＸ１１，ａｃｔ，ｉ，ｊ及びＹ１１，ａｃｔ，ｉ，ｊを算出する工程（７）及び（８）の間に又はその後に、区画１１ｉ、ｊの算出された実際位置データＸ１１，ａｃｔ，ｉ，ｊ及びＹ１１，ａｃｔ，ｉ，ｊに従って更新される。
【０１００】
最後に、特に、上記の模範的実施形態は、単に、請求される教示内容を記述するのに用いられ、模範的な実施形態に限定されないことに留意するべきである。しかしながら、当業者には、付属の請求項の保護範囲から逸脱せずに、本発明を変更及び修正することができると考えられ得る。
【符号の説明】
【０１０１】
１  装置、２１〜２Ｎ，２１〜２Ｍ  既知の位置、３，３１，１  電子デバイス、５  入力媒体、６  縁、７，７ｉ，ｊ，７ａ，７ｂ，７ｃ，１１，１１ｉ，ｊ  区画、８，１２  穴、９  出力媒体、１３  選取・配置装置、１５  検査装置、１７  対物レンズ、１９  画像視野、２１  検査位置、２３  移動手段、２７  ステージ、２９  制御ユニット、３１  ＣＡＤデータモデル、３３  門型構造、３７  移送装置、５２  入力媒体の上面側、７１  入力媒体の第１区画のＸ偏差、７２  入力媒体の第１区画のＹ偏差、７３  ２つの隣接する区画間の間隔距離、９２  出力媒体の上面側、１３１  選取・配置要素、２９１，２９２，２９３  接続線、Ｎ  入力媒体上の既知の位置（標識）の数、Ｍ  出力媒体上の既知の位置（標識）の数。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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