【事件の表示】
　特許第２８２９３６７号「ウェーハ移載方法」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２８２９３６７号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理由】
１．［事件の経緯と本件発明］
　本件特許第２８２９３６７号（請求項の数２、以下、「本件特許」という）は、平成２年８月３日（以下、「出願日」という）に出願された特許出願（特願平２−２０６５０２号）の一部を、特許法第４４条第１項に規定する新たな特許出願とした特願平８−８０８４７号に係り、平成１０年９月２５日に設定登録されたが、表記特許異議申立人より、全請求項に関して特許異議の申立があったもので、当該各請求項に係る発明は、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２に、それぞれ記載された事項によって特定される次のとおりのものと認める。
　【請求項１】「ウェーハが装填された複数のカセットと、ウェーハを所定の間隔をもってウェーハの水平面に対して垂直方向に複数枚保持するボートとを有し、反応室内に該ウェーハを保持したボートを装入し、該反応室内に反応ガスを供給し、加熱してウェーハに所定の処理を行う装置に於けるカセットから該ボートヘのウェーハ移載方法に於いて、予め設定されたボート内での製品ウェーハ、モニタウェーハの配列となる様、ボート上での製品ウェーハ不足分についてはダミーウェーハで補充しつつ移載を行うことを特徴とするウェーハ移載方法。」（この請求項１に係る発明を、以下、「本件発明」という）
　【請求項２】「予め設定したボート内での製品ウェーハ、モニタウェーハの配列となる様、予め設定したモニタウェーハの位置を変えずにボート上での製品ウェーハ不足分についてはダミーウェーハで補充しつつ移載を行う請求項１のウェーハ移載方法。」
２．［特許異議申立に係る証拠と申立理由の概要］
　これに対し、特許異議申立人が提出した証拠は、次のとおりである。
甲第１号証：特開平２−１６８６４４号公報
甲第２号証：特開昭６１−１６８９３４号公報
参考資料１：特開平１−１７９４１３号公報
参考資料２：特開平２−１１０９５２号公報
　上記の各証拠に基づいて、特許異議申立人は、本件発明及び請求項２に係るいずれの発明も、本件特許に係る上記出願日より前に頒布された刊行物である、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたもので、本件特許は特許法第２９条第２項の規定に違反して受けたものであるから、これを取り消すべき旨主張している。
３．［当審の判断］
　（１）甲各号証の記載事項
　▲１▼　甲第１号証には、「カセット治具から熱処理装置用石英治具及び熱処理装置用石英治具からカセット治具ヘウエハを移し換えることに好適な移し換え装置及び方法」（第２頁右上欄下から４〜１行）に関して、次の記載がある。
「ＣＶＤ装置の治具に１００枚程度のウエハを移し換える」（第２頁左下欄下から４〜３行）
「ダミーウエハ、プロセスチェックウエハを使用する場合、あらかじめこれらのウエハを人手でカセットに入れておくことになる。」（第２頁右下欄第１〜３行）
「石英治具はウエハを水平に収納し且つ上下動可能に形成され」（第３頁左上欄第１３〜１４行）
「このウエハ移し換え装置７は、・・・載置テーブル１２上に配置された複数のカセット１０と・・・から構成されており、使用する目的にあったウエハ移載ハンド、例えばプロセスウエハ移載ハンド３２、モニタウエハ移載ハンド３３、ダミーウエハ移載ハンド３４等に自動ハンド交換装置１４を用いて交換する。・・・一方、ウエハ移し換え装置７の側方には拡散装置等の熱処理装置１８が配置されており、この熱処理装置１８内には石英治具９が設けられている。この石英治具９は熱処理装置１８内の搬送機構によって、熱処理装置１８内のヒータ部に挿入され、ウエハ８が所定の処理を受けることとなる。」（第３頁右下欄第８行〜第４頁左上欄下から４行）
「次に、本実施例の動作について説明する。・・・ＡＣサーボモータ等によるサーボ制御によって、滑らかにダミーウエハ用ハンド３４は水平状態になるように姿勢変更を行う。・・・微速下降によってダミーウエハ８（Ｆ）は石英治具９上に置き去られるようにして載置される。・・・同様のウエハ移し換え方法によってプロセスウエハ８（Ａ）は石英治具９上に移載される。この時、ウエハ８の移載経路が石英治具９上の移載位置にかかわらず、いつも同一位置となるようウエハ枚数の検出結果から、石英治具９が所定量移動する。
　このようにして、ダミーウエハ８（Ｆ）、プロセスウエハ８（Ａ）、モニタウエハ８（Ｅ）、・・・ダミーウエハ８（Ｆ）、と順次移し換えを行うことにより、石英治具９の上段よりウエハ８を詰めて移し換えることができる。・・・このような実施例によれば、石英治具の上段又は下段よりウエハを詰めて移し換えができるとともに、ウエハ移載ハンドを自動ハンド交換装置を用いて使い分けることにより、モニタウエハ、ダミーウエハ等の対応を自動化することができ高機能化が図れる。」（第５頁左上欄第６行〜右下欄第３行）
　▲２▼　甲第２号証には、「ウエハを処理する際の、例えばイオン注入装置においてウエハにイオン注入する際のウエハハンドリング方法」（第２頁左上欄第１３〜１５行）に関して、次の記載がある。
「一般的に言えば、カセット７または９へのウエハ２の収納枚数よりも、ディスク４へのウエハの装着枚数の方が少ないので、・・・１ロットを数回に分けて処理したりするが、その場合、最後の処理では、ウエハ２がディスク４の装着枚数にどうしても満たない場合がある。このような場合に、ウエハ２が装着されていない箇所があるままイオン注入を行うと、ディスク４に不具合を生じる。・・・そのような不具合が生じるのを防止するため、ディスク４に供給するウェハ２が不足した場合は、例えばダミーウェハを装着する等してからイオン注入しなければならない。」（第２頁右下欄第１２行〜第３頁左上欄第１１行）
「上記エンドステーションにおけるウエハハンドリング方法を説明する。まず、未注入のウエハ２の入った２個のカセット２２Ａ、２２Ｂを装着すると、カセット２２Ａの下段よりウエハ２を１枚ずつ取り出してそれをストッカー２６Ａのダミーウエハ２ｄのすぐ下より順次入れて、カセット２２Ａの全てのウエハ２をストッカー２６Ａに移し替える。カセット２２Ｂ内のウエハ２も同様にストッカー２６Ｂに全て移し替えて、カセット２２Ａ、２２Ｂを一旦空にする。
　次いで、ストッカー２６Ａの最下段から順次ウエハ２を搬出してディスク４に供給し、ディスク４上の位置Ｐ１から位置Ｐ９に順次ウエハ２を装着し、その後ディスク４を高真空の注入室（図示省略）内に入れてイオン注入を行う。」（第４頁左下欄第６〜２０行）
「ディスク４に供給するウエハが不足してダミーウエハを使用する場合は、ストッカー２６Ａ、２６Ｂの上段のダミーウエハ２ｄをディスク４に供給し、・・・」（第５頁左上欄第９〜１２行）
　▲３▼　参考資料１では、半導体ウエハの拡散炉処理を行う場合に、処理対象となる実ウエハ以外にモニタウエハやダミーウエハを、ボート上の任意の位置に配置すること（第３頁左下欄第１２〜１９行参照）が、また、参考資料２では、半導体製造ラインにおいてはモニターウエハーが使用されること（第２頁左上欄下から５行〜同右上欄下から５行参照）がそれぞれ指摘されている。
　（２）発明の対比と相違点の検討
　甲第１号証記載の「石英治具」は、本件発明の「ボート」に相当しており、同様に「プロセスウエハ」は「製品ウェーハ」に相当し、甲第１号証で、熱処理装置の例として挙げている「ＣＶＤ装置」は、「反応室内に反応ガスを供給し、加熱してウェーハに所定の処理行う装置」といえる。
　したがって、本件発明と甲第１号証記載の発明とは、「ウェーハが装填された複数のカセットと、ウェーハを所定の間隔をもってウェーハの水平面に対して垂直方向に複数枚保持するボートとを有し、反応室内に該ウェーハを保持したボートを装入し、該反応室内に反応ガスを供給し、加熱してウェーハに所定の処理を行う装置に於けるカセットから該ボートヘのウェーハ移載方法」である点では一致しているといえるが、本件発明の「予め設定されたボート内での製品ウェーハ、モニタウェーハの配列となる様、ボート上での製品ウェーハ不足分についてはダミーウェーハで補充しつつ移載を行う」ことについて、甲第１号証では言及されていない点では相違している。
　（３）相違点の検討
　そこで、この相違点について検討すると、上記甲第２号証には、特許異議申立人が指摘するように、本件発明での「ボート」に対応する「ディスク」に供給するウェハが不足した場合に、ダミーウェハを装着する旨の記載がある。
　しかし、この甲第２号証で指摘しているのは、未処理ウエハを収納するカセットの収納枚数よりも、処理用のディスクヘのウエハの装着枚数の方が少ないために、「数回に分けて処理」する際の「最後の処理」で、残った未処理ウエハの枚数が、ディスクの装着枚数に満たない場合の問題への対処であり、この問題は、本件発明の「拡散ＣＶＤ装置による処理ウェーハ総枚数は処理工程が進むに従い、処理不良等の原因で減少し、変動することが多」いために、「ボート上でのウェーハ配置を所定のものとするには、減少した分のウェーハを補充しなければならない」（【０００５】参照）という技術課題とは、技術的な背景において相違している。
　したがって、甲第２号証にダミーウエーハに関する上記記載があるからといって、上記相違点として指摘した、本件発明の「予め設定されたボート内での製品ウェーハ、モニタウェーハの配列となる様、ボート上での製品ウェーハ不足分についてはダミーウェーハで補充しつつ移載を行う」という構成（以下、「相違点の構成」という）が記載されているといえないのみならず、本件発明の基礎となる技術課題や技術思想を示唆したものともいえない。
　また、当該相違点の構成は、モニタウエーハやダミーウエーハの使用の必要性を示唆したにとどまる参考資料１、２の記載を参酌しても、やはり当業者が想到しうるというものではないことも明らかである。
　そして、当該相違点の構成を備える本件発明は、明細書記載のとおり、「ウェーハを補充することなく、他の処理条件を変更して同一処理を行う方法では、諸条件の変更量を決定するのが非常に困難で、変更量を決定する為、事前に何回もの試し処理を必要とし」、「頻繁に処理ウェーハの枚数が変動した場合、前記変更量の決定の為に多大な時間を要し、作業者の作業量も増大し作業者に負担をかける」（【０００９】）という、上記いずれの証拠にも示されていない技術課題を解決して、「拡散・ＣＶＤ装置に供される製品ウェーハに変動があっても、人手作業による不足分ウェーハの補充をする必要がなく、所望のウェーハ配列となる様ウェーハの移載が行われるので、ウェーハの移載能率を大幅に向上し得、又工程途中の人手作業を省略できるので、半導体製造工場に於ける工程の安定化、製品品質の安定化、自動化の促進、工場内の無塵化が図れる」という、格別の作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明が、上記甲第１、２号証及び参考資料１、２の記載に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　（４）請求項２の発明について
　請求項２に係る発明は、本件発明を引用するものであり、本件発明と同様に、上記相違点の構成を備えるものであるから、上記甲号証及び参考資料の記載に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
５．［むすび］
　以上のとおりであるから、特許異議申立人の主張に係る理由及び証拠によっては、本件特許を取り消すべきものとすることはできない。
　また、他に、本件特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１０月８日（１９９９．１０．８）