【事件の表示】
　特許第２８２７９１１号　「ガス制御装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８２７９１１号の特許を維持する。
【理　由】
I．手続の経緯
　
　本件特許第２８２７９１１号発明は、昭和５７年１０月２９日に出願された特願昭５７−１８９０５３号の一部を特許法第４４条第１項の規定により、平成６年８月３日に、特願平６−１８２１４８号として新たに特許出願したものであって、平成１０年９月１８日に特許の設定の登録がなされたところ、その特許に対し、東谷　満（以下、「申立人」という。）より特許異議の申立てがなされ、取消理由の通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１１月２２日に訂正請求がなされた。
　　
II．訂正の適否についての判断
　　
１．訂正の内容
　願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という。）の特許請求の範囲の記載中の「前記第二の経路の途中には、前記可変バルブから下流側の前記ガス供給管内の不要ガスを排気清浄化するときに開かれる第三のバルブが設けられ、」という記載を、「前記第二の経路の途中には、前記可変バルブから上流側の前記ガス供給管内の不要ガスを排気清浄化するときに開かれる第三のバルブが設けられ、」と訂正する。
２．訂正の目的、新規事項禁止、拡張・変更禁止の各要件についての判断
　特許明細書の【００１３】には、「図４は本発明の実施例を示す図である。同図はガス配管を清浄にするための可変バルブ２のバイパスバルブ１１を設けた装置構成であり、ガス源から可変バルブ２までの配管部分の不要ガスを排気清浄化するときに、処理時間が短縮できる。」との記載があり、図４における可変バルブ２のバイパスバルブ１１（これは「第三のバルブ」に相当する。）はガス源から可変バルブ２までの配管部分の不要ガスを排気清浄化するために設けられることが示されている。
　また、特許明細書の【０００５】には、「前記第一のバルブは前記可変バルブに対して前記ガスの流れの方向の下流側に配置され、前記第一の経路の途中で、前記可変バルブに対して前記ガスの流れの方向の上流側で分岐し、前記可変バルブに対して前記ガスの流れの方向の下流側かつ前記第一のバルブに対して前記ガスの流れの方向の上流側で前記第一の経路に合流するガス供給管の第二の経路を有し、前記第二の経路の途中には、第三のバルブが設けられ、」との記載があり、この記載中における「上流側」及び「下流側」の用語の用い方からして、「ガス源から可変バルブ２までの配管部分の不要ガス」は可変バルブの「上流側」にあることは明らかである。
　そうすると、特許明細書の特許請求の範囲の「前記第二の経路の途中には、前記可変バルブから下流側の前記ガス供給管内の不要ガスを排気清浄化するときに開かれる第三のバルブが設けられ、」という記載中の「下流側」という記載は「上流側」の誤記であることは明らかである。
　従って、前記訂正は、誤記の訂正を目的とするものである。
　また、この訂正は願書に最初に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてされたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
３．独立特許要件について
３−１．当審が通知した取消理由の概要
（１）特許法第３６条第５項違反について
  特許明細書の特許請求の範囲中の「前記第二の経路の途中には、前記可変バルブから下流側の前記ガス供給管内の不要ガスを排気清浄化するときに開かれる第三のバルブが設けられ、」という記載は、発明の詳細な説明に記載した発明の構成に欠くことのできない事項のみを記載したものではないから、本件特許発明についての特許は、特許法第３６条第５項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。
（２）本件特許発明は、下記の刊行物１に記載された発明であるか、下記の刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許発明の特許は特許法第２９条第１項ないし第２項の規定に違反してされたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　記
　刊行物１：電子材料、１９７６年１２月号、工業調査会発行、ｐ．95〜101
　刊行物２：特開昭５７−７７０２１号公報
　刊行物３：特開昭５５−７１６１８号公報
　刊行物４：特開昭５４−９１０４８号公報
　（なお、刊行物１ないし４は、特許異議申立書に添付された甲第１〜４号証に該当する。）
３−２．特許法第３６条第５項違反についての判断
　特許明細書の特許請求の範囲中の「前記第二の経路の途中には、前記可変バルブから下流側の前記ガス供給管内の不要ガスを排気清浄化するときに開かれる第三のバルブが設けられ、」という記載を「前記第二の経路の途中には、前記可変バルブから上流側の前記ガス供給管内の不要ガスを排気清浄化するときに開かれる第三のバルブが設けられ、」と訂正したことにより、特許請求の範囲には、発明の詳細な説明に記載した発明の構成に欠くことのできない事項のみを記載したものとなった。
　従って、本件特許にかかる出願は、特許法第３６条第５項に規定する要件を満たすものとなった。
３−３．特許法第２９条第１項、同条第２項違反について
３−３−１．訂正後の発明の要旨
　訂正後の発明の要旨は訂正明細書及び図面の記載から見て、その特許請求の範囲第１項に記載された次のとおりのものである。
「減圧可能な容器内に前記容器外からガス供給管を介してガスを供給するためのガス制御装置において、前記容器内に第一のガスを供給するための第一のガス供給源と、前記容器内に第二のガスを供給するための第二のガス供給源とを有し、前記第一のガス供給源から供給されるガスと前記第二のガス供給源から供給されるガスとは切り換え可能に構成されており、
前記第一及び前記第二のガス供給源から前記容器に至るガス供給管の第一の経路の途中には前記ガス供給管を通過するガスの流量を所定値に保持するための可変バルブと、前記ガスを前記容器内へ供給可能とするモードとその供給を停止するモードとの切り換えを可能とするための第一のバルブとが設けられ、かつ、前記第一のバルブは前記可変バルブに対して前記ガスの流れの方向の下流側に配置され、前記第一の経路の途中で、前記可変バルブに対して前記ガスの流れの方向の上流側で分岐し、前記可変バルブに対して前記ガスの流れの方向の下流側かつ前記第一のバルブに対して前記ガスの流れの方向の上流側で前記第一の経路に合流するガス供給管の第二の経路を有し、
前記第二の経路の途中には、前記可変バルブから上流側の前記ガス供給管内の不要ガスを排気清浄化するときに開かれる第三のバルブが設けられ、
前記可変バルブが設けられた部位と前記第一のバルブが設けられた部位との区間には前記可変バルブの側から供給される前記ガスを前記第一の経路の途中から分岐させて系外へ強制的に排出させるための第一のガス排出手段が接続され、前記第一のガス排出手段の前記ガスの排出経路の途中には前記ガスを前記系外へ排出可能とするモードとその排出を停止するモードとの切り換えを可能とするための第二のバルブが設けられ、
前記第一のガス排出手段とは独立に、前記容器からガスを排出するための第二のガス排出手段が設けられていることを特徴とするガス制御装置。」
（以下、「訂正発明」という。）
３−３−２．引用刊行物の記載事項
（１）刊行物１
　刊行物１の本文及び図面には、ポリＳｉ膜を生成するための減圧ＣＶＤ装置に関して次の記載及び示唆がある。
［本文中の記載事項について］
（1-1）「ガスシステムは図２に示すようにマスフローコントローラ、流量計、エアバルブ、微少調整ニードルバルブ、フィルタ、レギュレータなどの部品をＳＵＳ材チューブで配管したものからできている。ポリＳｉ膜生成のシーケンスはスタートボタンを押すことにより、後は自動的に動作が行えるよう省力化している。」（第９６頁右欄下から４行〜第９７頁左欄第４行）
（1-2）「上記主要構成部以外で装置として重要なことは高濃度のＳｉＨ４ガスを使用するための排気処理である。ＳｉＨ４ガスは空気と広い混合比で爆発的に燃焼するので特に大気と接触する反応路出口の処理を安全に行う必要がある。…（中略）…筆者らは排出ＳｉＨ４ガスを不活性Ｎ２ガスで希釈させる簡便な方法により高濃度ＳｉＨ４ガス（１０〜１００％）を安全に処理する排気処理装置を開発し、５年前から使用している。したがって減圧下のＣＶＤ膜生成での生成速度の小さい欠点は高濃度ＳｉＨ４ガスを用いることにより改善されるといえる。」（第９７頁左欄第２１〜３６行）
［９７頁の図２から読みとれる事項について］
（1-3）パージ用Ｎ２の供給源及びＳｉＨ４／Ｈｅガスの供給源からの各ガス経路を合流させ、この合流点と各ガス供給源の間に「エア駆動バルブ」を設けること
（1-4）前記各ガス経路が合流してから反応炉に至るガス供給経路の途中に「マスフローコントローラ（ＭＦＣ１）」を設け、その下流側に「三方ハンドバルブ」、「ＳｉＨ４／Ｈｅの流量計（ＦＬ３）」、「ニードルバルブ（ＦＣ２）」、「エア駆動バルブ」「混合ガスの流量計（ＦＬ４）」及び「エア駆動バルブ」をこの順に設けること。
（1-5）前記ガス供給経略の途中に「マスフローコントロ一ラ（ＭＦＣ１）」の上流側で分岐しその下流側で「三方ハンドバルブ」に接続されるバイパス経路を設けること。
（1-6）前記「三方ハンドバルブ」は、ガス供給経略を「マスフロ一コントーラ（ＭＦＣ１）」を設けた経路と前記バイパス経路との二つの経路に切り換えるものであること。
（1-7）前記「混合ガスの流量計（ＦＬ４）」から反応炉に向かうガス供給経路の途中から分岐して排気へと向かう分岐経路を設け、この分岐経路の途中に「エア駆動バルブ」を設けること。
（２）刊行物２〜４
　刊行物２〜４には、減圧可能な容器内に、ガス供給管を介して複数のガス供給源からガスを供給するためのガス制御装置において、複数のガス供給源からのガスをそれぞれ切り替え可能に供給できるように構成することが記載されている。
３−３−３．対比・判断
（１）訂正発明の構成及び効果について
　訂正発明は、「第二の経路の途中には、前記可変バルブから上流側の前記ガス供給管内の不要ガスを排気清浄化するときに開かれる第三のバルブが設けられ」る点及び「前記可変バルブが設けられた部位と前記第一のバルブが設けられた部位との区間には前記可変バルブの側から供給される前記ガスを前記第一の経路の途中から分岐させて系外へ強制的に排出させるための第一のガス排出手段が接続され」る点をそれぞれ構成要件として備えることにより、「ガス源から可変バルブ２までの配管部分の不要ガスを排気清浄化するときに、処理時間が短縮できる。」（特許明細書【００１３】）という効果を奏するものである。
（２）刊行物１〜４記載の発明との対比
（２−１）刊行物１について
　刊行物１記載のものは、前記「II．３．３−３．（1-4）」で摘記したように、「マスフローコントローラ（ＭＦＣ１）」と反応炉との間に、「三方ハンドバルブ」、「ＳｉＨ４／Ｈｅの流量計（ＦＬ３）」、「ニードルバルブ（ＦＣ２）」、「エア駆動バルブ」「混合ガスの流量計（ＦＬ４）」及び「エア駆動バルブ」をこの順に設けている。
　これに対して、訂正発明においては、刊行物１記載のものにおける「マスフローコントローラ（ＭＦＣ１）」に相当する「可変バルブ」と刊行物１記載のものにおける「反応炉」に相当する「減圧可能な容器」との間には、第二の経路の合流部、「可変バルブ」の下流側に設けられる第一のガス排出手段に接続される分岐路及びその下流側に設けられる「第一のバルブ」がそれぞれ設けられるのであり、刊行物１記載のものにおける、「三方ハンドバルブ」、「ＳｉＨ４／Ｈｅの流量計（ＦＬ３）」、「ニードルバルブ（ＦＣ２）」、「エア駆動バルブ」「混合ガスの流量計（ＦＬ４）」は設けられていない。
　また、刊行物１記載のものにおいては、第二の経路は「マスフローコントローラ（ＭＦＣ１）」の下流側に配置される「三方ハンドバルブ」に直接に接続されており、第二の経路の途中にはバルブが設けられていないが、訂正発明においては、「第二の経路」は可変バルブの下流側で「第一の経路」に合流し、その「第二の経路」の途中に「第三のバルブ」が設けられている。
　上記のとおりであるから、刊行物１には、訂正発明の「第二の経路の途中には、前記可変バルブから上流側の前記ガス供給管内の不要ガスを排気清浄化するときに開かれる第三のバルブが設けられ」る点及び「前記可変バルブが設けられた部位と前記第一のバルブが設けられた部位との区間には前記可変バルブの側から供給される前記ガスを前記第一の経路の途中から分岐させて系外へ強制的に排出させるための第一のガス排出手段が接続され」る点のいずれについても記載及び示唆がないとせざるを得ない。
　そして、訂正発明は、上記のような構成を備えることにより、「ガス源から可変バルブ２までの配管部分の不要ガスを排気清浄化するときに、処理時間が短縮できる。」という効果を奏するものであると認められるところ、刊行物１記載のものは、訂正発明の「可変バルブ２」に相当する「マスフローコントローラ（ＭＦＣ１）」の出口から訂正発明の「第一のガス排出手段」に相当する排出手段が接続される分岐路に至るまでには、「三方ハンドバルブ」、「ＳｉＨ４／Ｈｅの流量計（ＦＬ３）」、「ニードルバルブ（ＦＣ２）」、「エア駆動バルブ」「混合ガスの流量計（ＦＬ４）」が設けられているため、その排気抵抗は大きくなるものと認められ、訂正発明の上記のような効果は奏することができるとは認められない。
（２−２）刊行物２〜４について
  刊行物２〜４には、訂正発明の上記の構成、すなわち、「第二の経路の途中には、前記可変バルブから上流側の前記ガス供給管内の不要ガスを排気清浄化するときに開かれる第三のバルブが設けられ」る点及び「前記可変バルブが設けられた部位と前記第一のバルブが設けられた部位との区間には前記可変バルブの側から供給される前記ガスを前記第一の経路の途中から分岐させて系外へ強制的に排出させるための第一のガス排出手段が接続され」る点のいずれについても記載及び示唆がない。
（２−３）刊行物１〜４記載の発明を組み合わせる点について
　刊行物１〜４のいずれにも訂正発明の上記構成について記載がないのであるから、刊行物１〜４に記載のものを相互に勘案しても訂正発明の上記構成については当業者が容易に想到し得たものとすることはできない。
（３）まとめ
  上記のとおりであるから、訂正発明は刊行物１に記載された発明であるとも、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものともすることはできないから、訂正発明の特許が、特許法第２９条第１項又は２項の規定に違反してされたものとすることはできない。
　したがって、訂正発明は特許出願の際に独立して特許を受けることができるものである。
４．訂正の認否
上記のとおりであるから、本件訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項ただし書及び同条第３項において準用する同法第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
III．特許異議申立について
　
１．本件発明
　前述のように、本件訂正は適法なものであるので、本件特許に係る発明は、前記「II．３−３−１」において摘記したとおりの「訂正発明」である（以下、「本件発明」という。）。
２．特許異議申立の理由の概要
　申立人は、証拠方法として下記の甲第１〜４号証を提出し、本件特許発明は、甲第１号証に記載された発明であるか、甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その特許は、特許法第２９条第１項又は同条第２項の規定に違反してなされたものである旨及び本件特許は、特許法第３６条第５項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである旨をそれぞれ主張している。
　甲第１号証：電子材料、１９７６年１２月号、工業調査会発行、ｐ．95〜101
　甲第２号証：特開昭５７−７７０２１号公報
　甲第３号証：特開昭５５−７１６１８号公報
　甲第４号証：特開昭５４−９１０４８号公報
３．対比・判断
　申立人の主張する特許異議申立ての理由及び証拠方法は、当審が取消理由通知において示した取消理由及び証拠方法と同一のものである。
　従って、上記「II．３−２」及び「II．３−３−３．（２）」で述べたと同じ理由により、本件発明の特許が、特許法第３６条、特許法第２９条第１項又は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものとすることはできない。
　
IV．むすび
　
　上記のとおりであるから、本件発明の特許は、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては取り消すことはできない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年２月２４日（２０００．２．２４）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
　特許第２８２７９１１号発明の明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに訂正する。
　その訂正の内容は次のとおりである。
　誤記の訂正を目的として、特許請求の範囲の記載中の
　「前記第二の経路の途中には、前記可変バルブから下流側の前記ガス供給管内の不要ガスを排気清浄化するときに開かれる第三のバルブが設けられ、」という記載を、
　「前記第二の経路の途中には、前記可変バルブから上流側の前記ガス供給管内の不要ガスを排気清浄化するときに開かれる第三のバルブが設けられ、」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
ガス制御装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　減圧可能な容器内に前記容器外からガス供給管を介してガスを供給するためのガス制御装置において、
前記容器内に第一のガスを供給するための第一のガス供給源と、前記容器内に第二のガスを供給するための第二のガス供給源とを有し、前記第一のガス供給源から供給されるガスと前記第二のガス供給源から供給されるガスとは切り換え可能に構成されており、
前記第一及び前記第二のガス供給源から前記容器に至るガス供給管の第一の経路の途中には前記ガス供給管を通過するガスの流量を所定値に保持するための可変バルブと、前記ガスを前記容器内へ供給可能とするモードとその供給を停止するモードとの切り換えを可能とするための第一のバルブとが設けられ、かつ、前記第一のバルブは前記可変バルブに対して前記ガスの流れの方向の下流側に配置され、前記第一の経路の途中で、前記可変バルブに対して前記ガスの流れの方向の上流側で分岐し、前記可変バルブに対して前記ガスの流れの方向の下流側かつ前記第一のバルブに対して前記ガスの流れの方向の上流側で前記第一の経路に合流するガス供給管の第二の経路を有し、
前記第二の経路の途中には、前記可変バルブから
上
前記可変バルブが設けられた部位と前記第一のバルブが設けられた部位との区間には前記可変バルブの側から供給される前記ガスを前記第一の経路の途中から分岐させて系外へ強制的に排出させるための第一のガス排出手段が接続され、
前記第一のガス排出手段の前記ガスの排出経路の途中には前記ガスを前記系外へ排出可能とするモードとその排出を停止するモードとの切り換えを可能とするための第二のバルブが設けられ、
前記第一のガス排出手段とは独立に、前記容器からガスを排出するための第二のガス排出手段が設けられていることを特徴とするガス制御装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は真空装置にガスを導入する場合の制御装置に関し、特にガス導入の自動制御およびガス導入量を安定にさせるための装置構成に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来の真空装置にガスを導入する方法は、ガス流量を制御するためのガス流量コントローラ（マスフローコントローラ）あるいは可変ニードルバルブを直接、あるいはストップバルブを介在させて真空槽に接続させる方法であったので、ガスを流入させる時点においては真空槽内のガス圧力が必ず連続的に変化し、ガス圧力が変動する時間が長いという欠点があった。
　【０００３】
　さらに実例を挙げて説明すると図１ａの従来の装置構成においては真空槽１に直接マスフローコントローラあるいは可変ニードルバルブなどで構成される可変バルブ２が接続されており、真空槽１にガスを流入させない場合には可変バルブは零点に設定しておく。真空槽１にガスを流入させる場合には可変バルブ２を手動あるいは自動操作によって所定のガス流量（あるいは所定のガス圧力）に達するまで、開かなければならない。この操作中に真空槽１のガス圧力は連続的に上昇し、安定なガス圧力に達するのに時間がかかる。自動操作の場合には特に所定のガス流量（あるいはガス圧力）より一度オーバな値に達し、再び可変バルブを閉じる操作の繰返しを行うことが多いので、安定なガス流量（あるいはガス圧力）に達するまでの時間が長くなる。前記図１ｂは可変バルブ２が零点にあっても完全にガスの流れを停止できない場合とか、急激にガス流を停止させる場合に、真空漕１と可変バルブ２の間にストップバルブ３を介在させた装置構成であるが、ガスを流入し始める場合にはａの場合と同じく、ガス流量（あるいはガス圧力）が安定するまで時間がかかる。また可変バルブ２が完全に閉状態にできず、長時間放置されている場合には、ストップバルブ３と可変バルプ２の配管部分４にガスが溜まるため、ストップバルブ３を閉状態から開状態に切り替えた瞬間に、上記配管部４に溜まっていた圧力の高いガスが真空槽１に流入する不都合な現象が起こる。また、特開昭５７−２９５７７号公報にはガス供給源とガス導入バルブ（ストップバルブ）との間にガスを供給経路から分岐させて系外に排出する手段を設けることにつき開示されている。しかし、同公報には、上記ガスの排出と真空室の減圧とを一つのポンプにより行なうことについて開示されており、ガスを供給経路から分岐させて排出するためのポンプと真空室を減圧するためのポンプとを独立に動作させることについては開示がない。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明の目的は真空槽にガスを供給する装置において、ガス流量あるいはガス圧力をより短時間で安定化する装置構成を提供することにある。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　本発明の要旨は、減圧可能な容器内に前記容器外からガス供給管を介してガスを供給するためのガス制御装置において、前記ガスの供給源から前記容器に至るガス供給管の第一の経路の途中には前記ガス供給管を通過するガスの流量を所定値に保持するための可変バルブと、前記ガスを前記容器内へ供給可能とするモードとその供給を停止するモードとの切り換えを可能とするための第一のバルブとが設けられ、かつ、前記第一のバルブは前記可変バルブに対して前記ガスの流れの方向の下流側に配置され、前記第一の経路の途中で、前記可変バルブに対して前記ガスの流れの方向の上流側で分岐し、前記可変バルブに対して前記ガスの流れの方向の下流側かつ前記第一のバルブに対して前記ガスの流れの方向の上流側で前記第一の経路に合流するガス供給管の第二の経路を有し、前記第二の経路の途中には、第三のバルブが設けられ、前記可変バルブが設けられた部位と前記第一のバルブが設けられた部位との区間には前記可変バルブの側から供給される前記ガスを前記第一の経路の途中から分岐させて系外へ強制的に排出させるための第一のガス排出手段が接続され、前記第一のガス排出手段の前記ガスの排出経路の途中には前記ガスを前記系外へ排出可能とするモードとその排出を停止するモードとの切り換えを可能とするための第二のバルブが設けられ、前記第一のガス排出手段とは独立に、前記容器からガスを排出するための第二のガス排出手段が設けられていることを特徴とするガス制御装置、にある。
　【０００６】
　【作用】
　本発明は上記構成になるので、例えばドライエッチング装置の自動化において、排気操作およびエッチング操作の自動化は比較的に安易に達成された。ガス流量あるいはガス圧力制御において自動化が困難であったことに基づいて、従来より優れたガス供給方式が容易となった。また、自動化とともにガス流量あるいはガス圧力の調整時間の短縮、およびガス流量およびガス圧力の安定性や、再現性に極めて効を奏するようになった。
　【０００７】
　【実施例】
　以下、本発明の実施例を説明する。図２は真空装置にガスを供給する場合に、中間排気配管系５を設けた本発明の基本構成を示す。真空槽１はあらかじめ排気ポンプ系６によってバルブ７を経て排気されている。供給ガスはボンベまたは液体源などを用いたガス源８から源圧弁９を経てマスフローコントローラあるいはニードルバルブなどの可変バルブ２に接続している。ただしガス源の圧力が低い場合には減圧弁９を必ずしも必要としない。可変バルブ２から真空槽１の間には少なくとも１つのバルブ３があり、並列して他の排気ポンプ系５との間にも少なくとも１つのバルブ１０がある。排気ポンプ系５と６はいずれも可変バルブ２によって、流れるガス流量を十分排気できるだけの能力をもつ必要がある。実際にガスを真空槽に供給する場合には一度所定のガス流量あるいはガス圧力を測定するために、バルブ１０を閉じバルブ３を開として排気ポンプ系６にガスを流し流量調整を行っておくのがよい。可変バルブは所定のガス流量に適した調整位置に固定しておく。真空槽１にガスを供給する必要のない場合にはバルブ３を閉じバルブ１０を開とし、可変バルブ２とバルブ３および１０の間の配管部４にガスが溜らないように排気ポンプ系５を流しておき、真空槽にガス供給する場合にバルブ１０を閉、バルブ３を開とする。バルブ１０とバルブ３の開閉のタイミングはバルブの動作機構によって差があるのであらかじめ時定数の調整をしておくのがよい。
　【０００８】
　本発明のガス供給の装置構成と前記図１に示した従来装置構成によるガス圧力の時間変化曲線を図３に示す。図３ａは通常用いられているスパッタ装置あるいは反応性スパッタエッチング装置で、真空槽が約６０ｌの容積の装置にＡｒ，Ｏ２，Ｈ２，ＣＦ４，ＳＦ６などのガス種をマスフローコントローラを用いて流した場合のガス圧力の時間変化を示す。ほぼ安定なガス圧力に達するまでの時間はガス種に限らず約２分であった。本発明のガス配管の装置構成では図３ｂのごとく約１０数秒で安定なガス圧力に到達した。
　【０００９】
　図３ｂの場合に比べて図３ａの場合の方がガス圧力が定常値に到達するまでにより多くの時間を有する理由は次の通りである。即ち、例えば、図１ｂの構成の場合、可変バルブ２を所定のガス流量を流せるようにその弁を所定の状態に保持するように制御しても、その弁を閉状態から所定の開状態へ移行させることとなるので、ガスが定常流になるまでには所定の時間を必要とする。また、配管部分４に溜っていた圧力の高いガスが真空槽１内へ急激に流入するので、真空槽１内のガス圧力が」時的に定常値に比べて高い圧力となり、同様にガス圧力が定常値で安定するまでの時間を長引かせる原因となる。
　【００１０】
　これに対して、図２の構成の場合には、所定の流量を保持できるように可変バルブ２を所定の状態に保持し、ストップバルブ３を閉じ、かつ、バルブ１０を開の状態に保持することによりガス源８から配管部４を介して排気ポンプ系５の方向へ定常状態のガスを流しておく。次に、バルブ１０を閉とし、ストップバルブ３を開くことにより、ガスは真空槽１へ供給されることになる。この切り換え動作前にガスは配管部４を定常状態で流れているので、この切り換えに伴う真空槽１内の圧力の安定に要する時間は図１ｂの構成の場合に比べて短くてすむ。可変バルブ２を閉から開の状態に変化させることに伴うガス圧力の安定に要する時間は実質的に考慮する必要がないからである。同様に、この構成の場合には配管部分４にガスが溜ることは実質的に無いということができるので、ガスが溜ることに伴うガス圧力の安定に要する時間も実質的に必要でないということができるからである。この点からも、真空槽１内の圧力が定常値に到達する時間を短縮することができる。
　【００１１】
　また従来方式では各ガス導入時毎に調整が必要であり、再現性の良い値に設定するための熟練を要すが、本発明ではストップバルブの開閉だけであるので、再現性に優れていた。
　【００１２】
　本実験で得られた特性は他の容積値を有する各種真空装置に応用できるのはもちろんであるが、真空槽の容積および本排気ポンプ系の排気速度に応じて、中間排気ポンプ系の排気速度もできるだけ同一にするのが望ましい。本実施例によれば、ガスを供給経路から分岐させて排出するためのポンプと真空室を減圧するためのポンプとを独立に動作させることにより、真空室の容積およびガス供給経路の配管の容積等に応じてそれぞれのポンプのパワーをコントロールできる。このため、真空室の排気系の排気速度と配管の排気系の排気速度とを効率良く調整でき、より短時間でガス圧力を調整することができる。
　【００１３】
　図４は本発明の実施例を示す図である。同図はガス配管を清浄にするための可変バルブ２のバイパスバルブ１１を設けた装置構成であり、ガス源から可変バルブ２までの配管部分の不要ガスを排気清浄化するときに、処理時間が短縮できる。この場合には可変バルブ２の調整位置は固定のままでよい。バルブ１２はガス源のガスを供給するときに閉状態にしておき、直接可変バルブ２に圧力がかからないために有効であるのと同時に、長時間真空槽１にガス供給をしないときに、バルブ１２を閉にしてガスを止めるために有効である。
　【００１４】
　図５は本発明の他の実施例を示す図である。同図はガスが高価であるとか、ポンプを劣化させる種類の場合に有効なガス配管の装置構成である。ガス源１３が高価なガスあるいは塩素系ガスや酸化性ガスのようにポンプを劣化させるガス源の場合には、排気ポンプ系５に流すガスは、できるだけ不活性で低価なガスに切り替えるのがよい。ガス源１４は上記目的の切り替えガス源で、通常Ｎ２、Ａｒガスを用いるのがよい。排気ポンプ系５に流す時間が短かい場合には、ガスを切り替えないでもよいが、排気ポンプ系５には、ポンプ保護のため活性ガスのトラップ１５，１６を設けるのがよい。トラップ１５，１６は１つでもよいが、ガスが多量の場合には両者を交互に使用し、一方が使われている間に、他方をＮ２ガスなどのパージラインを設けて清浄化しておくのが効率的である。
　【００１５】
　【発明の効果】
　本発明によれば、真空装置内にガスを供給する装置において、ガス流量あるいはガス圧力をより短時間で安定化することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　従来のガスの供給系の装置構成図。
　【図２】
　本発明によるガス供給系の装置構成図。
　【図３】
　本発明によるガス圧力の時間変動特性図。
　【図４】
　本発明の参考例であるガス供給系の装置構成図。
　【図５】
　本発明の参考例であるガス供給系の装置構成図。
　【符号の説明】
　１…真空槽、２…可変バルブ（ニードルバルブ、マスフローコントローラなど）、３…ストップバルブ、４…ガス配管の一部、５…中間排気ポンプ系、６…真空槽用主排気ポンプ系、７…ストップバルブ、８…ガス源、９〜１２…ストップバルブ、１３〜１４…ガス源、１５〜１６…トラップ。
【図面】