【事件の表示】
特許第２７５８６３８号「液体噴射記録ヘッド」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
訂正を認める。
　特許第２７５８６３８号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理由】
Ｉ．手続きの経緯
　本件特許第２７５８６３８号発明は、平成１年３月２７日に特許出願され、平成１０年３月１３日にその特許の設定登録がなされ、その後、牧田由男より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年６月８日に訂正請求がなされたものである。
ＩＩ．訂正の適否についての判断
１．訂正の要旨
　▲１▼訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１乃至３中の「満足する」を「満足するとともに前記発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極は熱酸化膜付きシリコン基板に形成される」と訂正するものである。
　▲２▼訂正事項ｂ
　特許明細書の発明の詳細な説明の記載中の、上記訂正事項ａにおけると同様箇所を同様に訂正するものである。
２．訂正の目的、新規事項禁止、拡張変更禁止の各要件の判断
　▲１▼訂正事項ａは、基板について、それに設けられる発熱抵抗層と電極との関係において、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項（特に、特許公報４頁７欄２０行、同８欄２行等参照。）の範囲内で限定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、上記各要件を満たすものである。
　▲２▼訂正事項ｂは、上記訂正事項ａとの整合を図るものであり、上記各要件を満たすものである。
３．独立特許要件の判断と訂正の適否のまとめ
　以下に述べるように、訂正後の発明は特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできないことから、上記訂正は、特許法１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２乃至４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
ＩＩＩ．異議申立についての判断
１．本件請求項１乃至３に係る発明
　本件請求項１乃至３に係る発明は、訂正明細書及び図面の記載からみて、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
　「【請求項１】液体を吐出して飛翔液滴を形成するためのオリフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴を形成するための熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路と、基板上に設けられた発熱抵抗層に電気的に接続される少なくとも一対の対置する第１の電極と第２の電極とを有し、これら電極の間に前記発熱抵抗層よりなる熱作用部が形成されている電気熱変換体を具備し、該電気熱変換体は連続駆動応答周波数が４ＫＨｚより高速で駆動される液体噴射記録ヘッドにおいて、前記第１及び第２の電極の抵抗値をＲｅ、前記発熱抵抗層の両電極間の抵抗値をＲｈとするとき、３Ｒｅ≦Ｒｈなる関係式を満足するとともに前記発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極は熱酸化膜付きシリコン基板に形成されることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
　【請求項２】液体を吐出して飛翔液滴を形成するためのオリフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴を形成するための熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路と、基板上に設けられた発熱抵抗層に電気的に接続される少なくとも一対の対置する第１の電極と第２の電極とを有し、これら電極の間に前記発熱抵抗層よりなる熱作用部が形成されている電気熱変換体を具備し、該電気熱変換体が１６本／ｍｍ以上の高密度で配列される液体噴射記録ヘッドにおいて、前記第１及び第２の電極の抵抗値をＲｅ、前記発熱抵抗層の両電極間の抵抗値をＲｈとするとき、３Ｒｅ≦Ｒｈなる関係式を満足するとともに前記発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極は熱酸化膜付きシリコン基板に形成されることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
　【請求項３】液体を吐出して飛翔液滴を形成するためのオリフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴を形成するための熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路と、基板上に設けられた発熱抵抗層に電気的に接続される少なくとも一対の対置する第１の電極と第２の電極とを有し、これら電極の間に前記発熱抵抗層よりなる熱作用部が形成されている電気熱変換体を具備し、該電気熱変換体は１６本／ｍｍ以上の高密度で配列され、かつ連続駆動応答周波数が４ＫＨｚより高速で駆動される液体噴射記録ヘッドにおいて、前記第１及び第２の電極の抵抗値をＲｅ、前記発熱抵抗層の両電極間の抵抗値をＲｈとするとき、３Ｒｅ≦Ｒｈなる関係式を満足するとともに前記発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極は熱酸化膜付きシリコン基板に形成されることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。」
２．異議申立の証拠
　これに対して、当審が通知した取消理由は、異議申立の理由及び証拠をそのまま採用したものであり、各証拠は次のとおりである。
　甲第１号証：特開昭５５−１１８８７１号公報
　液体を吐出して飛翔液滴を形成するためのオリフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴を形成するための熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路と、基板（基板１）上に設けられた発熱抵抗層（発熱抵抗体２）に電気的に接続される少なくとも一対の対置する第１の電極（個別リード電極５）と第２の電極（共通リード電極６）とを有し、これら電極の間に前記発熱抵抗層よりなる熱作用部が形成されている電気熱変換体を具備し、該電気熱変換体が８〜１６本／ｍｍ程度（７頁左上欄）の高密度で配列される液体噴射記録ヘッドにおいて、前記第１及び第２の電極の抵抗値をＲｅ、前記発熱抵抗層の両電極間の抵抗値をＲｈとするとき、３Ｒｅ≦Ｒｈなる関係式を満足する（Ｒｅ＝２０オーム、Ｒｈ＝２００オーム、６頁左下欄）液体噴射記録ヘッド、等が記載されている。
　また、前記発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極が形成される基板の実施例として、ＳｉＯ２を４μｍＲＦスパッタリングしたものが記載されている（６頁左下欄）。
　甲第２号証：特開昭５５−１３２２７０号公報
　液体を吐出して飛翔液滴を形成するためのオリフィス（オリフィス６）と、該オリフィスに連通し、前記液滴を形成するための熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路と、基板（基板１１）上に設けられた発熱抵抗層（発熱抵抗体層１３）に電気的に接続される少なくとも一対の対置する第１の電極（リード電極５１）と第２の電極（リード電極５２）とを有し、これら電極の間に前記発熱抵抗層よりなる熱作用部が形成されている電気熱変換体を具備し、該電気熱変換体が５〜３３本／ｍｍ（ピッチ３０〜２００μｍ、５頁左上欄）の密度で配列され、かつ連続駆動応答周波数が１０ＫＨｚで駆動される（７頁右上欄）液体噴射記録ヘッド、等が記載されている。
　また、前記発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極が形成される基板の実施例として、ＳｉＯ２スパッタ膜付きシリコン基板が記載されている（５頁左下欄）。
３．対比・判断
　甲第１号証記載の発明と甲第２号証記載の発明とは共に液体噴射記録装置に係り、目的も高速度で良質な印字を得るものであることから、これらを組み合わせることは容易である。
　そこで、本件請求項１乃至３に係る発明と、甲第１，２号証記載の発明及びこれらから容易に想到し得る発明とを対比するに、前者の各発明に共通の特定事項である、「発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極は熱酸化膜付きシリコン基板に形成される」ことについては、後者の各発明にない点で相違する（その余の点は、申立人の指摘の通り、後者の各発明及びそれらの何れかにある。）。
　上記相違点について検討するに、甲第２号証に、発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極が形成される基板を、ＳｉＯ２スパッタ膜付きシリコン基板とすることが記載されている　また、ＳｉＯ２膜形成一般において、スパッタリングや熱酸化の方法等が知られている。
　しかし、液体噴射記録ヘッドにおいて、発熱抵抗層や電極をシリコン基板表面を熱酸化して生成したＳｉＯ２膜上に形成したものは見当たらないのであり、且つ、本件請求項１乃至３に係る発明には、発熱部が高密度で高速駆動されることと熱酸化によるＳｉＯ２膜の特性の一つである強固緻さとの関連が伺われ、高密度で高速駆動される
発熱部領域の耐久性を向上するという効果が推測されることから、熱酸化によるＳｉＯ２膜形成方法自体が知られたものだとしても、本件請求項１乃至３に係る発明が熱酸化によるＳｉＯ２膜形成方法を採用していることには格別の意義があるものと認められる。
　したがって、本件請求項１乃至３に係る発明は、甲第１乃至２号証記載の発明と同一であるとも、これらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとも認められない。
ＩＶ．むすび
　したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１乃至３に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１乃至３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年８月１０日（１９９９．８．１０）
【訂正の要旨】
▲１▼訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１乃至３中の「満足する」を「満足するとともに前記発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極は熱酸化膜付きシリコン基板に形成される」と訂正するものである。
　▲２▼訂正事項ｂ
　特許明細書の発明の詳細な説明の記載中の、上記訂正事項ａにおけると同様箇所を同様に訂正するものである。
（５４）【発明の名称】
液体噴射記録ヘッド
（５７）【特許請求の範囲】
　１．液体を吐出して飛翔液滴を形成するためのオリフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴を形成するための熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路と、基板上に設けられた発熱抵抗層に電気的に接続される少なくとも一対の対置する第１の電極と第２の電極とを有し、これら電極の間に前記発熱抵抗層よりなる熱作用部が形成されている電気熱変換体を具備し、該電気熱変換体は連続駆動応答周波数が４ｋＨｚより高速で駆動される液体噴射記録ヘッドにおいて、前記第１及び第２の電極の抵抗値をＲｅ、前記発熱抵抗層の両電極間の抵抗値をＲｈとするとき、
　　　　　３Ｒｅ≦Ｒｈ
なる関係式を満足する
とともに前記発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極は熱酸化膜付きシリコン基板に形成される
　２．液体を吐出して飛翔液滴を形成するためのオリフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴を形成するための熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路と、基板上に設けられた発熱抵抗層に電気的に接続される少なくとも一対の対置する第１の電極と第２の電極とを有し、これら電極の間に前記発熱抵抗層よりなる熱作用部が形成されている電気熱変換体を具備し、該電気熱変換体が１６本／ｍｍ以上の高密度で配列される液体噴射記録ヘッドにおいて、前記第１及び第２の電極の抵抗値をＲｅ、前記発熱抵抗層の両電極間の抵抗値をＲｈとするとき、
　　　　　３Ｒｅ≦Ｒｈ
なる関係式を満足する
とともに前記発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極は熱酸化膜付きシリコン基板に形成される
　３．液体を吐出して飛翔液滴を形成するためのオリフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴を形成するための熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路と、基板上に設けられた発熱抵抗層に電気的に接続される少なくとも一対の対置する第１の電極と第２の電極とを有し、これら電極の間に前記発熱抵抗層よりなる熱作用部が形成されている電気熱変換体を具備し、該電気熱変換体は１６本／ｍｍ以上の高密度で配列され、かつ連続駆動応答周波数が４ｋＨｚより高速で駆動される液体噴射記録ヘッドにおいて、前記第１及び第２の電極の抵抗値をＲｅ、前記発熱抵抗層の両電極間の抵抗値をＲｈとするとき、
　　　　　３Ｒｅ≦Ｒｈ
なる関係式を満足する
とともに前記発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極は熱酸化膜付きシリコン基板に形成される
【発明の詳細な説明】
技術分野
　本発明は、液体噴射記録ヘッド、より詳細には、バブルを利用してインク滴を噴射させるようにした液体噴射記録ヘッドに関する。
従来技術
　液滴を吐出オリフィスから噴射させるに当って、発熱抵抗体等を用いて熱エネルギーを液体に付与し、エネルギーが付与された液体に急峻な体積増大を伴う状態変化を生じせしめ、その体積増大に基づく作用力によって液体を吐出噴射せしめて記録を行う所謂バブル液体噴射記録装置は、例えば、特開昭５９−１８４６６５号公報において公知である。而して、上記特開昭５９−１８４６６５号公報に記載された発明は、電極の抵抗値Ｒｅと発熱抵抗層の抵抗値Ｒｈを、
　　０．５≦Ｒｅ／Ｒｈ≦２．０…（１）
の関係式で規定して、発熱抵抗層で発生する発熱量のバラツキを小さくするようにしており、Ｒｅ／Ｒｈの値として１．０前後の値が最も望ましいとしている。しかしながら、仮にＲｅ＝Ｒｈ（又はＲｅ≒Ｒｈ）であったとしたら、発熱抵抗体の意味がなくなってしまう。又、上記関係式は、Ｒｈ＜Ｒｅである場合も含んでおり、電極の抵抗値の方が発熱体の抵抗値よりも大きいという、全く現実無視の条件を呈しており、結果として、大変矛盾した結論を導出したといわざるを得ない。
　又、特開昭５９−１８４６６５号公報で規定されるような条件は、その明細書中に記載されているように、１２本／ｍｍ程度の配列密度がそれほど高くないものに適用されるようであるが、より高密度な、たとえば１６本／ｍｍ以上の配列密度のものには、より微小なインク滴を安定して形成する必要があり、いいかえるならば、より微小、かつ高度にコントロールされた発熱抵抗体のパターン上に、より微小な気泡を安定して発生させる必要があり、前述のような矛盾を含むような条件では適用できない。さらに、たとえば、連続駆動応答周波数が４ｋＨｚより高速で駆動するような場合には、気泡生成からインク滴吐出の一連のサイクルに非常に高度かつ安定な条件が求められるため、前述のような矛盾を含むような条件では適用困難である。
目　　的
　本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、特に、１６本／ｍｍ以上の高密度に配列されたバブルジェット型インクジェット記録ヘッドにおいて、連続駆動応答周波数が４ｋＨｚより高速で安定して駆動させるために熱による気泡発生を効果的に行なうことを目的としてなされたものである。
構　　成
　本発明は、上記目的を達成するために、液体を吐出して飛翔液滴を形成するためのオリフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴を形成するための熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路と、基板上に設けられた発熱抵抗層に電気的に接続される少なくとも一対の対置する第１の電極と第２の電極とを有し、これら電極の間に前記発熱抵抗層よりなる熱作用部が形成されている電気熱変換体を具備し、該電気熱変換体は連続駆動応答周波数が４ｋＨｚより高速で駆動される液体噴射記録ヘッドにおいて、前記第１及び第２の電極の抵抗値をＲｅ、前記発熱抵抗層の両電極間の抵抗値をＲｈとするとき、
　　３Ｒｅ≦Ｒｈ
なる関係式を満足する
とともに前記発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極は熱酸化膜付きシリコン基板に形成される
　　３Ｒｅ≦Ｒｈ
なる関係式を満足する
とともに前記発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極は熱酸化膜付きシリコン基板に形成される
　　３Ｒｅ≦Ｒｈ
なる関係式を満足する
とともに前記発熱抵抗層およびそれに電気的に接続される電極は熱酸化膜付きシリコン基板に形成される
　第２図は、本発明が適用される液体噴射記録ヘッドの一例を示す斜視図、第３図は、該記録ヘッドを構成する蓋基板（第３図（ａ））と基板（第３図（ｂ））の分解斜視図、第４図は、蓋基板を裏側から見た斜視図で、図中、１は蓋基板（流路板）、２は基板、３は液体流入口、４は液体吐出口、５は溝、６はインク部屋を形成するための領域、７は個別（独立）電極、８は共通電極、９は発熱体で、基板２の表面には、発熱体９が共通電極８とともに形成されており、蓋基板１と、基板２とを接合することにより、溝５は液体（インク）流路及び吐出口４を形成し、領域６は流入口３から導入される記録液体（インク）を収容するための部屋を形成する。周知のように、基板２上に流路板１を接合した時に、流路板１の溝５と基板２の上面とでインク流路が形成され、このインク流路のインク吐出側下面の一部に発熱体９が配設された構造となり、該発熱体９によってインクを加熱して該インク中に気泡（バブル）を発生せしめ、その気泡の体積変化によってインク流路の端部よりインク滴を噴射させるものである。
　第５図（ａ）〜（ｇ）は、上述のごときバブル利用のインクジェットドロップジェネレータにおけるインク滴生成過程を示す図で、図中、１０はインク、２０は気泡、３０は生成されたインク滴で、その他流路板１、基板２、独立電極７、共通電極８、発熱体９等は第３図に示した通りであり、周知のように、発熱体９を一時的に加熱することによってインク滴３０を噴射させる。バブルインクジェットは、上述のようにして、流路内の液体（インク）を薄膜抵抗体によって通電加熱してインクを急激に沸騰させ、発生した気泡の圧力作用によって吐出口からインク液滴を吐出し、吐出した液滴を紙などの被記録物に着弾して、記録画素を形成する。
　本発明は、上述のごときバブルジェット型インクジェットの気泡を安定して発生させるようにしたものであるが、最初にバブルジェットの一般原理について説明する。
　気泡の発生・消滅過程は、ヒーター・流路の構成、通電加熱条件等によって変化し、インクジェット記録装置として実用的であるためには、次のような条件を満足することが必要である。
（１）吐出に充分な圧力が得られること。
（２）現象の再現性（気泡安定性）が良いこと。
（３）応答周波数が高いこと。
　このような条件は、日常的に見られる沸騰現象から考えると、達成困難であるように思われる。なぜなら、
（１）液滴を吐出させるためには、吐出口の液面の表面張力に打ち勝って滴形成をさせる必要がある。ところが、通常の沸騰現象では、沸騰開始温度は液体の沸点＋数℃以下であり、対応する蒸気圧は大気圧に比べてそんなに高くない。
（２）沸騰は、相変化と流れを伴なう複雑な伝熱現象であり、電気的・機械的現象に比べてはるかにランダムである。また、高周波数で繰り返し駆動するためには、発泡から消泡までの応答時間が短くなければならない。ところが、通常の沸騰条件下で温度上昇・下降の時定数を減少させるには限界がある。
　バブルジェット記録装置においては、熱伝導性の高い基板の上に熱伝導性の低い薄い層（蓄熱層）および薄い電気抵抗体層（ヒーター）を形成し、極めて短い加熱パルス（〜数μｓｅｃ）で高熱流束をインクに与えることによって、上の条件を満足させている。すなわち、
（１）薄膜技術によって形成された平滑な伝熱面に高熱流束を与えることによって、非常に高い温度（水系インクの場合〜３００℃）までインクを過熱することができる。このときの蒸気圧は、大気圧の数１０倍に達し、液滴を吐出させるのに充分である。
（２）バブルジェットにおける発泡は、ヒーター面のくぼみなどに捕捉された気体が発泡の核になる通常の沸騰現象と異なり、伝熱面近くのインクが過熱限界に到達することによって一斉に気化するので、現象の再現性が高い。
（３）加熱時には、蓄熱層の効果によってインクが充分に加熱される。加熱時間が短いためごく一部のインク（ヒーター上〜数μｍ）しか加熱されないうえ、気泡形成後は、蒸気の断熱効果によってヒーターからの伝熱はほとんど停止する。従って、気泡の成長とともにインクの温度および気泡内の圧力は、急激に低下し、キャビテーション気泡の状態となる。気泡の消滅速度は極めて大きく、気泡時に衝撃によるヒーターの破壊が問題となるほどである。余分の熱は、蓄熱層を通過して基板に逃げる。
　第１図は、本発明の動作原理を説明するための構成図で、同図は、第３図（ｂ）を拡大して、抵抗値測定点の定義を示すものである。今、電極の抵抗値Ｒｅ（第１の電極（独立電極７）、第２の電極（共通電極８）ともＲｅで表現する。）は、Ａ−Ｂ間あるいはＣ−Ｄ間の抵抗値である。なお、一般に電極は低抵抗材料で形成されるため、Ｒｅの値は小さい。そのため、Ａ−Ｂ間の抵抗値は、Ａ−Ｘ間の抵抗値としてもよい。ただしＸは、第２の電極８のオリフィス列方向の任意の点である。発熱抵抗層９の抵抗値ＲｈはＢ−Ｃ間の抵抗値であるが、Ｂ′−Ｃ′間、Ｂ″−Ｃ″間…でも同じである。
　本発明は、上記ＲｅとＲｈの関係が、
　　３Ｒｅ≦Ｒｈ…（２）
となるようにし、パルス状信号電圧を加えた場合に、発熱抵抗層が効果的に発熱し、記録液中で安定した気泡発生を行なわせるようにしたものである。
　（２）式のような条件にする理由は、電気熱変換体（発熱体９）が１６本／ｍｍ以上の高密度に配列され、かつ、連続駆動応答周波数４ｋＨｚより高速で駆動される場合には、その安定駆動を得るために、微小領域において、高速で気泡発生から成長、消滅をくりかえす必要があるので、気泡発生の瞬時性が最も重要となるからである。たとえば特開昭５９−１８４６６５号公報に開示されている条件不等式の左辺の等号条件の場合（０．５＝Ｒｅ／Ｒｈ）でも、単に気泡を発生させるということならば可能である。しかし、くりかえし、安定して高速で気泡を発生させることは、この条件ではできない。これは、この条件では、発熱抵抗層の抵抗値Ｒｈが小さすぎるために、ジュール熱が効率よく発生しにくいからである。　
　上記関係式（２）は、電極の材料、発熱抵抗層の材料を適切に選んだり、あるいは、電極又は発熱抵抗層のパターン寸法、厚さを適切に選ぶことにより達成される。
　なお、ここでは詳述しないが、電極あるいは発熱抵抗層等が記録液に接触する部分では、適当な保護膜が形成されていることはいうまでもない。
実施例１
　熱酸化膜付きシリコン基板に発熱体として、硼化ハフニウムを０．３μｍの厚さで２５μｍ×１２０μｍの大きさに形成し、電極として、アルミニウムを１μｍの厚さで形成した。この時の配列密度は１６本／ｍｍで、１２８エレメントとした。
　結果は、４．２ｋＨｚの連続駆動周波数で安定した気泡生成が行なわれ、インク滴吐出も良好であった。
実施例２
　実施例１の発熱体材料をＴａ・ＳｉＯ２とし、０．２μｍ厚さとした。その他はすべて、実施例１と同じである。
　結果は、４．４ｋＨｚの連続駆動周波数で安定した気泡生成が行なわれ、インク滴吐出も良好であった。
実施例３
　熱酸化膜付きシリコン基板に発熱体として、白金を０．４μｍの厚さで２０μｍ×８０μｍの大きさに形成し、電極として、金を１μｍの厚さで形成した。この時の配列密度は２４本／ｍｍで、１２８エレメントとした。
　結果は、４．１ｋＨｚの連続駆動周波数で安定した気泡生成が行なわれ、インク滴吐出も良好であった。
実施例４
　実施例３の白金のかわりに、アルミニウムを１μｍの厚さでつけ、他はすべて実施例３と同じにした。
　結果は、気泡発生は行なわれず、従ってインク滴も吐出しなかった。
効　　果
　以上の説明から明らかなように、本発明によると、上記関係式（２）の条件を満足することにより、発熱抵抗層の発熱が効果的に行なわれ、従って、それによる気泡発生も効果的かつ安定して行われるため、記録液吐出性能も高効率な安定した記録ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図は、本発明による記録ヘッドの抵抗値測定点の定義を説明するための要部拡大図、第２図は、本発明が適用される液体噴射記録ヘッドの一例を示す斜視図、第３図は、該記録ヘッドを構成する蓋基板（第３図（ａ））と基板（第３図（ｂ））の分解斜視図、第４図は、蓋基板を裏側から見た斜視図、第５図は、バブルジェット記録装置におけるインク滴の生成過程を説明するための図である。
１…蓋基板（流路板）、２…基板、３…液体流入口、４…液体吐出口、５…溝、６…インク部屋、７…個別（独立）電極、８…共通電極、９…発熱体。