【事件の表示】
　特許第２７５５７０２号「耐摩耗性部材」の請求項１，４　に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２７５５７０２号の請求項１，４に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第２７５５７０２号に係る発明についての出願は、平成１年７月２７日に特許出願され、平成１０年３月６日に特許の設定登録がなされ、その後、平成１０年１１月２５日に特許異議申立人 京セラ株式会社（以下、「申立人」という。）により特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年４月２３日に訂正請求がなされた後、申立人宛て審尋がなされ、その指定期間内である平成１１年８月６日に回答書が提出され、更に訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１２月２０日に手続補正がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正請求に対する補正の適否
　当該補正は訂正請求書について、特許請求の範囲請求項１の「非品質相のみに偏析部が存在し、その最大偏析部が１００μｍ以下である」を「非晶質の最大偏析部が１００μ以下であり、かつ窒化ケイ素粒子の粒界に窒化チタンが分散している」と補正するものであるが、窒化ケイ素粒子の粒界に窒化チタンが分散していることは、訂正請求書に添付された訂正明細書の第５頁第１３〜１５行に記載されている事項であるから、訂正請求書の要旨を変更するものでなく、特許法第１２０条の４第３項において準用する同法第１３１条第２項の規定に適合する。
（２）訂正の内容
　上記補正後の訂正請求書に記載された訂正の内容は、特許請求の範囲請求項１の「非品質相の最大偏析部が１００μｍ以下である」を「非晶質の最大偏析部が１００μ以下であり、かつ窒化ケイ素粒子の粒界に窒化チタンが分散している」と訂正するというものである。
（３）訂正の目的の適否、新規事項追加の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項は、請求項１の耐摩耗性部材の発明に、「窒化ケイ素粒子の粒界に窒化チタンが分散している」構成を付加したものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、「窒化ケイ素粒子の粒界に窒化チタンが分散している」ことは、願書に添付した明細書の第１０頁第９〜１２行に記載されているから、この訂正事項は新規事項の追加に該当せず、また、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
（４）独立特許要件の判断
　当審は、引用例（特願平１−１７５３１４号（特開平２−１２４７７１号公報））を証拠として、請求項１，４に係る発明は特許法第２９条の２項の規定により特許を受けることができないことを理由として、その特許を取り消すべき旨の取消理由を通知した。
ア．訂正明細書の請求項１，４に係る発明
　平成１１年１２月２０日付け手続補正により補正された訂正明細書の請求項１，４に係る発明は、その請求項１，４に記載された事項により特定される次のとおりのものである（以下、「訂正後発明１」，「訂正後発明４」という。）。
「（１）窒化ケイ素を主成分とするセラミックス焼結体からなる耐摩耗性部材であって、このセラミックス焼結体に存在する焼結助剤成分を主として構成される非晶質の最大偏析部が１００μｍ以下であり、かつ窒化ケイ素粒子の粒界に窒化チタンが分散していることを特徴とする耐摩耗性部材。
（４）前記耐摩耗性部材は転がり軸受部材である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の耐摩耗性部材。」
イ．引用例の記載事項
　取消理由で引用した引用例（特願平１−１７５３１４号の明細書（特開平２−１２４７７１号公報））には、次のとおりの事項が記載されている。
ａ．「７０重量％以上の窒化珪素と３０重量％以下の焼結助剤とから構成される窒化珪素基焼結体であって、該焼結体中には、気孔が実質的になく、かつ上記窒化珪素中の不純物および焼結助剤のうちの少なくとも焼結助剤から成り最大長が１０μｍを越える偏析部を具備しないことを特徴とする転がり軸受材料用窒化珪素基焼結体。」（第１頁特許請求の範囲請求項１）
ｂ．「転がり疲労寿命に優れかつその寿命のバラツキが少ない転がり軸受材料となる。」（第３頁右下欄第１０〜１１行）
ウ．対比・判断
　訂正後発明１と引用例に記載された発明（以下、「引用発明」という。）とを対比すると、引用発明は訂正後発明１を特定する事項である「窒化ケイ素粒子の粒界に窒化チタンが分散している」事項を備えていない。
　したがって、訂正後発明１は引用発明と同一であるとはいえない。
　また、訂正後発明４は、訂正後発明１の「耐摩耗性部材」を「転がり軸受部材」と技術的に更に限定するものであるから、訂正後発明１と同様の理由により引用発明と同一であるとはいえない。
　したがって、訂正後発明１，４は、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができない発明ではないから、特許出願に際して独立して特許を受けることができるものである。
エ．むすび
 以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２−４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについての判断
（１）本件発明
　本件特許請求の範囲の請求項１，４に係る発明は、平成１１年１２月２０日付け手続補正により補正された訂正明細書の請求項１，４に記載されたとおりのものである（以下、「本件発明１」，「本件発明４」という。）。
（２）特許異議の申立て理由の概要
　申立人は、証拠として甲第１号証（取消理由で引用した引用例に相当する。）を提出し、本件発明１，４は甲第１号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないことを理由として、その特許を取り消すべき旨を主張している。
（３）対比・判断
　「２．（４）ウ」で述べたとおりの理由により、本件発明１，４は甲第１号証に記載された発明と同一であるとはいえない。
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠方法によっては、本件発明１，４に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１，４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年２月２日（２０００．２．２）
【訂正の要旨】
　特許第２７５５７０２号「耐摩耗性部材」の明細書を、以下のとおり訂正する。
ａ．特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項１の「非品質相の最大偏析部が１００μｍ以下である」を「非晶質の最大偏析部が１００μ以下であり、かつ窒化ケイ素粒子の粒界に窒化チタンが分散している」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
耐摩耗性部材
（５７）【特許請求の範囲】
（１）窒化ケイ素を主成分とするセラミックス焼結体からなる耐摩耗性部材であって、
このセラミックス焼結体に存在する焼結助剤成分を主として構成される非晶質相の最大偏析部が１００μｍ以下であ
り、かつ窒化ケイ素粒子の粒界に窒化チタンが分散している
（２）前記セラミックス焼結体は、焼結助剤として０．１〜５重量％の酸化イットリウムと、０．１〜５重量％の酸化チタニウムとを含有し、残部が実質的に窒化ケイ素からなるセラミックス混合物を成形、焼結してなる請求項１記載の耐摩耗性部材。
（３）焼結助剤として、０．１〜５重量％の酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ハフニウムからなる群より選ばれた少なくとも１種を含有する請求項２記載の耐摩耗性部材。
（４）前記耐摩耗性部材は転がり軸受部材である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の耐摩耗性部材。
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
　本発明は耐摩耗性部材に関し、特に転がり疲労特性に優れ、転がり軸受用部材に好適な耐摩耗性部材に関する。
（従来の技術）
　窒化ケイ素セラミックスは、優れた耐熱性、耐食性、耐摩耗性を有するため、苛酷な条件下で使用される産業用機械部品に用いる材料として期待されており、ベアリングの転動体であるボールやローラの材質として窒化ケイ素セラミックス部材の適用が試みられている。
　ところで、窒化ケイ素自身は焼結性が極めて悪く、この窒化ケイ素を主成分とするセラミックス焼結体は、添加物による緻密化焼結、窒化反応を利用する反応焼結などの方法によって製造されている。
　これらの焼結方法のうち、前者の添加物による緻密化焼結は各種の焼結方法と組合せての使用が可能であり、たとえば窒化ケイ素粉末に焼結助剤を添加した混合粉末を用いて、射出成形法、プレス法などにより成形体を作製した後、常圧下または雰囲気加圧下で焼結したり、ホットプレス法により成形と焼結とを一工程で行うなど、製品の形状や用途に応じて、それぞれ適した方法が用いられる。
　また、窒化ケイ素に酸化アルミニウム、酸化イットリウムを添加すると、液相焼結のメカニズムによって焼結体が高密度化することが発見され、焼結性を高めるための焼結助剤の開発が進んでいる。
　このような焼結助剤としては、Ｍｇ、Ａｌ、Ｙ、Ｓｃ、Ｌａ、Ｃｅなどの酸化物や窒化物などが知られており、単独またはこれらの組合せで使用されている。
　しかし、上述した焼結助剤は、その添加量によってはセラミックス焼結体中の粒界に非晶質相として残留し、この非晶質相は高温で軟化するため窒化ケイ素セラミックスの高温強度を低下させる原因ともなる。
　このため、焼結助剤の添加量および組成について、種々の検討がなされている。
　また、ベアリング用部材としてセラミックスを用いる場合、常圧焼結によるものではセラミックス内部に発生する空孔、いわゆるポアのサイズが大きく耐圧強度が低下するため、比較的ポアの発生しにくいホットプレス法、あるいは雰囲気加圧焼結にＨＩＰ（熱間静水圧プレス）処理を組合せる方法によって、窒化ケイ素セラミックスの成形を行っている。
（発明が解決しようとする課題）
　このように、窒化ケイ素の優れた性質を最大限に生かすような焼結方法が様々な角度から検討されているものの、窒化ケイ素を用いて作製された転がり軸受は、原料の混合具合、焼結時の温度条件など製造プロセス上の諸因子によって転がり疲労寿命のばらつきが大きく、軸受にとって重要な性質である転がり疲労特性が低下するという問題がある。
　また、セラミックス製の軸受は、金属製軸受を使用できない溶融金属の軸受として使用されることが多く、溶融金属に対する耐食性に優れていることが要求されるが、一般にセラミックス焼結体は添加した焼結助剤部分から腐食されやすいという問題がある。
　したがって、特性のばらつきがなく、耐食性の高い窒化ケイ素部材が望まれている。
　本発明はこのような課題を解決するためになされたもので、転がり疲労寿命、耐食性に優れ、しかも部材の特性にばらつきのない耐摩耗性部材を提供することを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
　本発明の耐摩耗性部材は、窒化ケイ素を主成分とするセラミックス焼結体からなる耐摩耗性部材であって、このセラミックス焼結体に存在する焼結助剤成分を主として構成される非晶質相の最大偏析部が１００μｍ以下であることを特徴としている。
　このような偏析部は、焼成によってセラミックス焼結体の内部から表面まで複数分布して形成されるものであり、一つの焼結体において、様々な大きさを有している。
　本発明は、この偏析部が摺動特性に及ぼす影響に着目してなされたものである。
　上述したような偏析部が存在する窒化ケイ素セラミックスを、耐摩耗部材、たとえば転がり軸受として使用した場合、いずれかの偏析部がある大きさ以上であると、この部分から剥離が生じ、転がり軸受が破壊される。
　本発明者によれば、偏析部の最大径が１００μｍ以下であれば、実用上の支障となる剥離を生じさせることがない。
　したがって、すべての偏析部の大きさ（最大径）が所定の大きさ以下（１００μｍ以下）である窒化ケイ素焼結体を用いることによって、窒化ケイ素部材の転がり疲労特性を向上させることができる。
　また、本発明の耐摩耗性部材は、窒化ケイ素を主成分とするセラミックス焼結体からなる耐摩耗性部材であって、焼結助剤として０．１〜５重量％の酸化イットリウムと、０．１〜５重量％の酸化チタニウムとを含有することを特徴としている。
　酸化イットリウムは焼結助剤として、他の成分と混合して用いることが好ましく、酸化チタニウムと、さらに酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ハフニウムなどを０．１〜５重量％の範囲で添加してもよい。
　酸化イットリウムの添加量は余り少ないと焼結促進の効果が得られず、余り多いと窒化ケイ素焼結体の内部で非晶質相の偏析部が大きくなりやすく、転がり疲労寿命の低下やばらつきを生じさせる。
　酸化イットリウムは、５重量％までで、本発明における適切な効果をもたらす。
　また、酸化チタニウムの添加量は、余り少ないと、転がり疲労寿命向上の効果が得られず、余り多く添加してもそれ以上の効果向上はみられない。実用には、５重量％以下が好ましい。
　なお、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ハフニウムなどは、窒化ケイ素の焼結性を高めるために添加するのが好ましいが、一方、非晶質相の偏析部を小さく抑えるためには、焼結助剤の合計量が少ないほど良い。
　これらを添加する場合には、余り少ないと焼結促進の効果が得られず、余り多いと焼結助剤としての合計量が多くなりすぎるため好ましくない。
　上述した焼結助剤としての成分の組合せは、作製した耐摩耗性部材の使用目的に応じて適宜選択される。
（作用）
　本発明の耐摩耗性部材は、窒化ケイ素焼結体の内部に存在する非晶質相の偏析部の大きさを、１００μｍ以下としているため、転がり疲労特性を向上させることができる。
　これまで、転がり疲労寿命はセラミックス焼結時に生じるポアの有無によるものと考えられていた。そして、このようなポアを除去するためにＨＩＰ処理を施し、長寿命の転がり軸受を得ていた。
　しかし、ポアのないセラミックスでも転がり疲労寿命の短いものがあり、セラミックの転がり疲労寿命に影響する基本的な因子が充分には明らかにされていなかった。
　しかし、電子顕微鏡反射電子像による窒化ケイ素セラミックスの組織検査結果から、ＨＩＰ処理によって、あらかじめ存在していたポアの内部に焼結助剤が埋まり込み、この部分で非晶質相を形成していることが判明した。
　このように非晶質相が局部的に集中した偏析部がセラミックスの表面および内部に存在すると、ほとんどの場合、その偏析部から剥離を起こし、転がり軸受が破壊してしまうのである。
　したがって、この偏析部の大きさ（最大径）を所定の大きさ（１００μｍ以下）とすることにより、窒化ケイ素部材の剥離を防ぎ、転がり軸受の長寿命化を図ることができる。
　また、本発明の耐摩耗性部材は、焼結助剤として０．１〜５重量％の酸化イットリウムと、０．１〜５重量％の酸化チタニウムとを添加しており、上記範囲で焼結助剤を添加することにより、転がり疲労寿命を向上させ、さらに耐食性を向上させることができる。
　特に、酸化チタニウムの添加によって転がり疲労寿命を大幅に向上させることができる。
　これは、酸化チタニウムが焼結工程において窒化ケイ素と反応して窒化チタン
を生成し、この窒化チタンが粒界相に分散して粒界相を強化するためと考えられる。
（実施例）
　次に、本発明の実施例について説明する。
実施例１
　窒化ケイ素粉末に焼結助剤としてＹ２Ｏ３５重量％と、ＴｉＯ２１重量％と、Ａ１２Ｏ３２重量％とを添加し、原料粉末を調製した。
　この原料粉末を、７５０ｋｇ／ｃｍ２の圧力でプレス成形し、焼結は５ａｔｍの加圧雰囲気下、１７５０℃、４時間の条件で行い、さらに窒素ガス中、１０００ａｔｍ、１８００℃のＨＩＰ処理を施した。
　このような組成を有する焼結助剤を添加して得た転がり軸受用窒化ケイ素部材について、転がり疲労寿命試験を複数回行い、ワイブル確率紙を用いて破壊確率のワイブルプロットを行った。これを第１図に実線で示す。
　なお、転がり疲労寿命の測定は、窒化ケイ素材料自身の転がり疲労寿命やそのばらつきを調べるために、形状の単純なスライト型試験機を用いて、作用荷重とその繰返し数が明確になるように、試料円板と円周３等分に配置された鋼球との間の転がり疲労寿命を求めることにより行った。
　転がり疲労寿命は、荷重４００ｋｇｆ、回転数１５００ｒ．ｐ．ｍの条件下で、窒化ケイ素試料円板が剥離した時点までとし、鋼球が先に剥離した場合は鋼球のみを交換して試験を継続した。
　この試験結果をプロットして得た直線の傾きからパラメータｍを求めた。
　パラメータｍから、転がり疲労寿命のばらつきがわかる。すなわち、パラメータｍの値が大きいと、直線の傾きが大きく、狭い範囲で転がり疲労寿命が分布しているということであり、ばらつきが小さいということである。
　これとは反対に、パラメータｍの値が小さいと、直線の傾きが小さい、広い範囲で転がり疲労寿命が分布しているということであり、ばらつきが大きいということである。
　さらに、Ｙ２Ｏ３の添加量を５重量％から１重量％の範囲で変化させて窒化ケイ素部材を上述した条件で作製し、転がり疲労寿命を測定した。
　また、これらの転がり軸受用窒化ケイ素部材の耐食性試験を行った。
　耐食性試験の条件は、ＨＣｌ、ＨＮＯ３、Ｈ２ＳＯ４の３種の溶液を９０℃とし、それぞれの溶液中に転がり軸受用窒化ケイ素部材を１００時間浸漬し、浸漬後の窒化ケイ素部材の重量減少率と、強度保持率を求めた。
　これら転がり疲労試験の結果と耐食性試験の結果を第１表（試料Ｎｏ．７〜１１）に示す。
　なお、重量減少率および強度保持率の値は％で示した。
　この実施例で得た窒化ケイ素部材は、転がり疲労寿命に優れ、全ての試料板が１０７サイクルをクリアした。これは、従来の鋼材の１０倍以上の値である。
　また、耐食性についても良好な結果が得られた。
　次いで、この実施例による組成を有する原料粉末を用い、この原料粉末を金型プレスにより所定形状に成形し、焼成した後、焼結体を加工して、呼び直径３／８インチ（９．５２５ｍｍ）の窒化ケイ素玉軸受を作製した。
　得られた窒化ケイ素玉軸受は、上述した試験結果を裏付けるように転がり疲労寿命および耐食性が高く、転がり軸受製品として非常に優れたものであった。
比較例１
　窒化ケイ素粉末に焼結助剤としてＹ２Ｏ３５重量％と、Ａｌ２Ｏ３２重量％とを添加し、原料粉末を調製した。
　この原料粉末を、７５０ｋｇ／ｃｍ２の圧力でプレス成形し、焼結は５ａｔｍの加圧雰囲気下、１７５０℃、４時間の条件で行い、さらに窒素ガス中、１０００ａｔｍ、１８００℃のＨＩＰ処理を施した。
　この転がり軸受用窒化ケイ素部材について、実施例１と同一条件で転がり疲労寿命試験を行い、ワイブルプロットを行った。
　この結果を実施例１の結果と併せて第１図に破線で示す。
　同図から明らかなように、ＴｉＯ２を添加しない転がり軸受用窒化ケイ素部材は、パラメータｍ値が小さく、プロットの直線が横軸に対して小さい傾きで広い範囲で続き、転がり疲労寿命のばらつきが大きい。
比較例２
　窒化ケイ素粉末に焼結助剤としてＹ２Ｏ３の添加量を２０重量％から６重量％の範囲で変化させ、さらにＡ１２Ｏ３を第１表に示したように５重量％または２重量％と、ＴｉＯ２１重量％とを添加し、原料粉末を調製した（第１表試料Ｎｏ．１〜６）。
　この原料粉末を、７５０ｋｇ／ｃｍ２の圧力でプレス成形し、焼結は５ａｔｍの加圧雰囲気下、１７００〜１７５０℃、の条件で行い、さらに窒素ガス中、ｌ０００ａｔｍ、１７００〜１９００℃のＨＩＰ処理を施した。
　得られた種々の転がり軸受用窒化ケイ素部材について転がり疲労寿命試験および耐食性試験を実施例１と同一条件で行った。
　これらの結果を第１表にまとめて示す。
比較例３
　窒化ケイ素粉末に、焼結助剤としてＹ２Ｏ３の添加量を５重量％、３重量％、１重量％とし、それぞれにＡｌ２Ｏ３を２重量％添加した３種類の原料粉末を調製し、上記実施例１と同一条件で転がり軸受用窒化ケイ素部材を作製し、転がり疲労寿命試験および耐食性試験を行った。
　すると、Ｙ２Ｏ３の添加量が５重量％の試料においては転がり疲労寿命の低下がみられ、残りの２種類においては転がり疲労寿命の平均値は変らないものの、ワイブルパラメータｍ値が非常に小さくなり、ばらつきが大きくなっていた。
　このｍ値は、Ｙ２Ｏ３の添加量を５重量％、３重量％、１重量％とした試料の順に、それぞれ、０．８、５．５、７．３であった。
　すなわち、Ｙ２Ｏ３の添加量が５重量％以下であってもＴｉＯ２を添加しない場合、得られた転がり軸受け用窒化ケイ素部材の転がり疲労寿命のばらつきが大きく、信頼性に難点を有することがわかった。
　なお、耐食性については実施例１の結果とほぼ同程度であった。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（以下余白）
　第１表に示した結果から明らかなように、焼結助剤としてＹ２Ｏ３の添加量を５重量％以下にすることによって、転がり疲労寿命を大幅に向上させることができ、同時に耐食性も向上させることができた。
　そして、ＴｉＯ２を添加することによって、転がり軸受け用窒化ケイ素部材の転がり疲労寿命のばらつきをより抑え、信頼性の向上を図ることができた。
　なお、この実施例では、ＴｉＯ２の添加量を１重量％としているが、０．１〜５重量％の範囲であれば同様の効果が得られる。
　また、Ｙ２Ｏ３とＴｉＯ２のほかに加える成分としては、この実施例による酸化アルミニウムに限らず、窒化アルミニウム、酸化ハフニウムなどを使用しても良く、Ｙ２Ｏ３とＴｉＯ２のみでも同様の効果を得ることができる。
実施例２
　窒化ケイ素粉末に焼結助剤としてＹ２Ｏ３５重量％と、Ａｌ２Ｏ３２重量％と、ＴｉＯ２１重量％とを添加し、原料粉末を調製した。
　この原料粉末を用いて、成形、焼結、ＨＩＰの条件を変化させ、種々の偏析サイズを有する転がり軸受用窒化ケイ素部材を得た。
　ここでの偏析サイズとは、窒化ケイ素焼結体内部に存在する複数の偏析部の中で、最も大きい偏析部の最大径を意味している。
　そして、これらの窒化ケイ素部材について転がり疲労寿命を測定した。
　それぞれの条件は次のとおりである。
　成形条件は圧力を１ｔ〜２ｔ／ｃｍ２の範囲で変化させ、焼結条件は加圧範囲で１〜１０ａｔｍ、焼成温度を１７００〜１９００℃の範囲で変化させ、ＨＩＰ条件は１０００ａｔｍにおいて温度を１７００〜１９００℃の範囲で変化させた。
　これらの転がり疲労試験結果を第２表に示す。
　これらの結果から、偏析サイズが１００μｍ以下であれば、長寿命の転がり軸受用窒化ケイ素部材が得られ、偏析サイズの大きな窒化ケイ素部材と比較すると、その転がり疲労寿命は１０倍以上も長いことが明らかとなった。
　次いで、この実施例のように、窒化ケイ素焼結体内部に存在する偏析サイズが全てｌ００μｍ以下である窒化ケイ素部材を用い、呼び直径９．５２５ｍｍのセラミックス玉軸受を作製した。
　得られたセラミックス玉軸受は、上述した試験結果を裏付けるように転がり疲労寿命が長く、転がり軸受製品とし非常に優れたものであった。
　なお、焼結助剤として、この実施例による組成以外の場合、たとえばＹ２Ｏ３を多く含有する場合でも、偏析サイズをコントロールすることによって、それ相応の転がり疲労寿命改善を行うことができた。
　さらに、転がり疲労寿命と偏析サイズとの関係が明らかになったことから、転がり軸受用窒化ケイ素部材を製造するにあたって、ある程度の製造条件の指針が得られた。
［発明の効果］
　以上説明したように、本発明によれば、非晶質相の偏析部が１００μｍ以下である窒化ケイ素セラミックスを使用することによって、転がり疲労寿命が長く、寿命のばらつきがない耐摩耗性部材を得ることができる。
　また、焼結助剤として酸化イットリウム量を５重量％以下とし、これに酸化チタニウムを加えることにより、転がり疲労寿命を向上させることができ、寿命のばらつきがない高信頼性の耐摩耗性部材を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、転がり疲労試験の結果をワイブルプロットで示す図である。