【事件の表示】
　特許第２７６６１９０号「無しゅう動真空ゲートバルブ」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７６６１９０号の特許を維持する。
【理由】
　　１．手続の経緯
　本件特許第２７６６１９０号に係る出願は、平成６年７月２８日に特許出願されたものであって、その特許請求の範囲の請求項１に記載された発明は、同１０年４月３日に設定登録された。その後、その特許請求の範囲の請求項１について特許異議の申立て、及び取消理由の通知がなされ、取消理由通知の指定期間内である同１１年７月１９日に願書に添付した明細書及び図面について訂正請求がなされたが、当該訂正請求は同平成１１年１０月１２日付けで取り下げされ、２回目の取消理由通知の指定期間内である同１１年１０月１２日に願書に添付した明細書及び図面について訂正請求がなされたものである。
　　２．訂正の要旨
　上記訂正請求は、本件特許明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおり訂正することを求めたものであるが、その要旨は次の▲１▼〜▲５▼のとおりである。
　▲１▼特許請求の範囲の請求項１の記載を、特許請求の範囲の減縮、及び誤記の訂正を目的として、
「【請求項１】弁箱１の弁座１Ｂａを有する開口１Ｂを、前記弁箱１にその一端が設けられたシールベローズ１３を介して移動しかつ傾動する弁棒９に設けられた弁体８で開閉するようにした無しゅう動真空ゲートバルブにおいて、前記弁箱１上に設けられた複数のシリンダ２，３の各ロッド端２ａ，３ａに設けられた連結体４と、前記弁体８に設けられたＯリング８ａと、前記連結体４に設けられカム孔６を有するカム体７と、前記弁棒９の端部に設けられ前記カム孔６と係合するカムフォロワ１０と、前記カム体７にスプリング１１を介して接続され前記シールベローズ１３の他端が接続されたスライド体１２と、前記カム体７の下面に形成され前記スプリング１１の上端を受ける第１凹部７ａと、前記スライド体１２の上面に形成され前記スプリング１１の下端を受ける第２凹部１２ｃとを備え、前記スプリング１１の長手方向は前記弁棒９の長手方向に沿って配置され、前記カム体７の直動により前記弁棒９及び弁体８が直動及び傾動を行うと共に、前記各シリンダ２，３の内側にはガイド孔５０を有する一対のガイド体５１が設けられ、前記スライド体１２に設けられたガイドローラ５２が前記ガイド孔５０に係合され、前記カム孔６は、前記カムフォロワ１０を直線案内する直線案内部６ａと前記カムフォロワ１０をロックするためのロック部６ｂとを有すると共に前記直線案内部は互いに傾斜角度が異なる第１カムリードＤ１及び第２カムリードＤ２を有し、前記弁体８が閉弁時には、前記第１カムリードＤ１で前記Ｏリング８ａが前記弁座１Ｂａに接し、前記第２カムリードＤ２で前記Ｏリング８ａが締められ、開弁時には前記第２カムリードＤ２で前記Ｏリング８ａの前記弁座１Ｂａに対する粘着力に抗して前記Ｏリング８ａをはがすように構成したことを特徴とする無しゅう動真空ゲートバルブ。」
と訂正する。
　▲２▼段落番号【０００５】の記載を、明瞭でない記載の釈明を目的として、
「【課題を解決するための手段】
　本発明による無しゅう動真空ゲートバルブは、弁箱の弁座を有する開口を、前記弁箱にその一端が設けられたシールベローズを介して移動しかつ傾動する弁棒に設けられた弁体で開閉するようにした無しゅう動真空ゲートバルブにおいて、前記弁箱上に設けられた複数のシリンダの各ロッド端に設けられた連結体と、前記弁体に設けられたＯリングと、前記連結体に設けられカム孔を有するカム体と、前記弁棒の端部に設けられ前記カム孔と係合するカムフォロワと、前記カム体にスプリングを介して接続され前記シールベローズの他端が接続されたスライド体と、前記カム体の下面に形成され前記スプリングの上端を受ける第１凹部と、前記スライド体の上面に形成され前記スプリングの下端を受ける第２凹部とを備え、前記スプリングの長手方向は前記弁棒の長手方向に沿って配置され、前記カム体の直動により前記弁棒及び弁体が直動及び傾動を行うと共に、前記各シリンダの内側にはガイド孔を有する一対のガイド体が設けられ、前記スライド体に設けられたガイドローラが前記ガイド孔に係合され、前記カム孔は、前記カムフォロワを直線案内する直線案内部と前記カムフォロワをロックするためのロック部とを有すると共に前記直線案内部は互いに傾斜角度が異なる第１カムリード及び第２カムリードを有し、前記弁体が閉弁時には、前記第１カムリードで前記Ｏリングが前記弁座に接し、前記第２カムリードで前記Ｏリングが締められ、開弁時には前記第２カムリードで前記Ｏリングの前記弁座に対する粘着力に抗して前記Ｏリングをはがすようにした構成である。」
と訂正する。
　▲３▼段落番号【０００９】の記載を、明瞭でない記載の釈明を目的として、
　「【０００９】　前記カム体７には、複数のスプリング１１を介して断面コ型をなすスライド体１２が接続され、前記弁棒９はこのスライド体１２の貫通孔１２ａを貫通している。前記スライド体１２と弁棒９は密合状に一体化接続され、このスライド体１２の凹部１２ｂ内には、前記弁箱１のボンネットフランジ１ａ上にその一端１３ａを固定したシールベローズ１３の他端１３ｂが接続されている。従って、弁棒９が貫通する弁箱１の貫通孔１Ａは、前述のシールベローズ１３及びスライド体１２によって密閉状に保持され、弁棒９作動時における弁箱１内の機密が保持される。
　また、前記スプリング１１は、カム体７の下面に形成され前記スプリング１１の上端を受ける第１凹部７ａと、前記スライド体１２の上面に形成され前記スプリング１１の下端を受ける第２凹部１２ｃとの間に伸縮自在に位置決め配置されていると共に、前記スプリング１１の長手方向は前記弁棒９の長手に沿って配置される。」
と訂正する。
　▲４▼段落番号【００１０】の記載を、明瞭でない記載の釈明を目的として、
　「【００１０】前記カム孔６は、図２から図４で示すように、カムフォロワ１０を直線案内する直線案内部６ａと、このカムフォロワ１０をメカニカルにロックするためこの直線案内部６ａと連続形式のロック部６ｂと、から構成されており、このロック部６ｂにカムフォロワ１０が係合すると、弁棒９はロックされた状態となるように構成されている。また、前記各シリンダ２，３の内側に設けた縦孔５０内には、図５で示すように、前記スライドたい１２の外側に設けたガイドローラ５２が係合されている。
　前記カム孔６の前記直線案内部６ａにおける第１カムリードＤ１及びＤ２に相当する部分の傾斜角度は、後述の図６で示されるように、互いに異なって形成されている。」
と訂正する。
　▲５▼願書に添付した図面の【図１】、【図２】、【図３】、【図４】、及び【図６】の記載を、明瞭でない記載の釈明、及び誤記の訂正を目的として、添付図面の通り訂正する。
　　３．訂正の適否
　（あ）訂正の目的、新規事項・拡張又は変更の存否
　（１）．上記▲１▼の訂正について
　上記▲１▼の訂正は、特許請求の範囲の請求項１において、
「弁箱１の開口１Ｂ」を「弁箱１の弁座１Ｂａを有する開口１Ｂ」と、
「連結体４と、」を「連結体４と、前記弁体８に設けられたＯリング８ａと、」と、
「スライド体１２と、を備え、」を「スライド体１２と、前記カム体７の下面に形成され前記スプリング１１の上端を受ける第１凹部７ａと、前記スライド体１２の上面に形成され前記スプリング１１の下端を受ける第２凹部１２ｃとを備え、前記スプリング１１の長手方向は前記弁棒９の長手方向に沿って配置され、」と、
「直線案内部６ａと、前記カムフォロワ６をロックするためのロック部６ｂと、からなること」を「直線案内部６ａと前記カムフォロワ１０をロックするためのロック部６ｂとを有すると共に前記直線案内部６ａは互いに傾斜角度が異なる第１カムリードＤ１及び第２カムリードＤ２を有し、前記弁体８が閉弁時には、前記第１カムリードＤ１で前記Ｏリング８ａが前記弁座１Ｂａに接し、前記第２カムリードＤ２で前記Ｏリング８ａが締められ、開弁時には前記第２カムリードＤ２で前記Ｏリング８ａの前記弁座１Ｂａに対する粘着力に抗して前記Ｏリング８ａをはがすように構成したこと」と訂正することによって、構成要件を附加して構成を限定するものであり、特許請求の範囲の請求項１を減縮するものと認められる。
　そして、この▲１▼の訂正に関連する記載は、特許明細書の段落番号【０００９】、【００１２】、【００１３】、及び図１〜６に示されているので、上記▲１▼の訂正は、特許明細書及び図面に記載された事項の範囲内において、訂正したものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　（２）．上記▲２▼〜▲４▼の訂正について
　上記▲２▼〜▲４▼の訂正は、上記▲１▼の訂正に伴って、特許請求の範囲の記載と整合させるために発明の詳細な説明の訂正をするものであり、明瞭でない記載の釈明に相当する。そして、この訂正は、特許明細書に記載した事項の範囲内であり、又、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　（３）．上記▲５▼の訂正について
　上記▲５▼の訂正は、上記▲１▼〜▲４▼の特許請求の範囲の記載及び発明の詳細な説明の記載の訂正に伴って、図面の符号の追加訂正をし、更に図面の符号の誤記を訂正するものであり、明瞭でない記載の釈明、及び誤記の訂正に相当する。そして、この訂正は、特許明細書に記載した事項の範囲内であり、又、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　（い）、独立特許要件について
　（１）．上記平成１１年１０月１２日付け訂正請求書に添付された訂正明細書の特許請求の範囲請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、同訂正明細書の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものと認める。
　（２）．これに対して、当審で通知した取消理由で引用した先願発明（特願平５−３４２７６０号（特開平７−８３３３６号）・特許異議申立の理由に引用された甲第１号証）の明細書及び図面には、以下の事項が記載されている。
　第２頁第２欄第１〜２２行中（請求項４）には、「弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上記デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、このピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨークと、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、上記ヨークとブロックを互いに連結する、ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔と、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばねと、上記ブロックを上下動及び移動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイドとより成り、上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになることを特徴とするゲートバルブ。」、
　第４頁第６欄第１７〜２６行中に「【００２５】図８は本発明の更に他の実施例を示し、この例においては、板状カム１７やリンク１８を用いずブロック１０の上部に上記枢軸１１の向きと直角の向きに突出するピン１９を設け、このピン１９に係合する斜めの長孔２０を有する袖片２１を上記ヨーク７の下端から垂下せしめる。
　【００２６】この例においてはヨーク７をブロック１０に接近するように移動せしめた際、上記斜めの長孔２０によってブロック１０の上部が上記各実施例と同様横方向に移動されるようになる。」
　そして、上記記載、及び第１，２図の記載を併せて見ると、先願発明の明細書及び図面には、
　「弁箱１の弁座２を有する開口を、前記弁箱１にその一端が設けられた筒状ベローズ９を介して移動しかつ傾動する弁ロッド８に設けられた弁デスク３で開閉するようにしたゲートバルブにおいて、前記弁箱１上に設けられた複数のシリンダ４の各ピストンロッド６端に設けられたヨーク７と、前記ヨーク７に設けられ傾斜長孔２０を有する袖片２１と、前記弁ロッド８の端部に設けられ前記傾斜長孔２０と係合するピン１９と、前記袖片２１にばね１５を介して接続され前記筒状ベローズ９の他端が接続されたブロック１０とを備え、前記袖片２１の直動により前記弁ロッド８及び弁デスク３が直動及び傾動を行うと共に、前記各シリンダ４の内側にはガイド溝１２を有する一対のシリンダ４が設けられ、前記ブロック１０に設けられた枢軸１１が前記ガイド溝１２に係合され、前記長孔２０は、傾斜しており、ピン１９を案内することによって弁デスク３を開閉するように構成した無しゅう動ゲートバルブ。」
が記載されていると認められる。
　（３）．対比・判断
　（３−１）．本件発明と、上記先願明細書及び図面に記載された発明とを対比する。
　上記刊行物１に記載された発明の「弁座２」、「筒状ベローズ９」、「弁ロッド８」、「弁デスク３」、「ゲートバルブ」、「シリンダ４」、「ピストンロッド６」、「ヨーク７」、「傾斜長孔２０」、「袖片２１」、「ピン１９」、「ばね１５」、「ブロック１０」、「ガイド溝１２」、「枢軸１１」は、それぞれ本件発明の「弁座１Ｂａ」、「シールベローズ１３」、「弁棒９」、「弁体８」、「無しゅう動真空ゲートバルブ」、「シリンダ２，３」、「ロッド端２ａ，３ａ」、「連結体４」、「カム孔６」、「カム体７」、「カムフォロワ１０」、「スプリング１１」、「スライド体１２」、「ガイド孔５０」、「ガイドローラ５２」に相当する
　したがって、両者は、
　「弁箱の弁座を有する開口を、前記弁箱にその一端が設けられたシールベローズを介して移動しかつ傾動する弁棒に設けられた弁体で開閉するようにした無しゅう動真空ゲートバルブにおいて、前記弁箱上に設けられた複数のシリンダの各ロッド端に設けられた連結体と、前記連結体に設けられカム孔を有するカム体と、前記弁棒の端部に設けられ前記カム孔と係合するカムフォロワと、前記カム体にスプリングを介して接続され前記シールベローズの他端が接続されたスライド体とを備え、前記カム体の直動により前記弁棒及び弁体が直動及び傾動を行うと共に、前記各シリンダの内側には一対のガイド孔が設けられ、前記スライド体に設けられたガイドローラが前記ガイド孔に係合され、前記カム孔は、傾斜した長孔であり、カムフォロワを案内することによって弁体を開閉するように構成した無しゅう動ゲートバルブ。」
の点で一致するものの、
　先願発明は、本件発明の構成に欠くことのできない事項である▲１▼「カム体の下面に形成されスプリングの上端を受ける第１凹部と、スライド体の上面に形成され前記スプリングの下端を受ける第２凹部とを備え、前記スプリングの長手方向は弁棒の長手方向に沿って配置した」構成、▲２▼「カム孔は、カムフォロワを直線案内する直線案内部と前記カムフォロワをロックするためのロック部とを有すると共に前記直線案内部は互いに傾斜角度が異なる第１カムリード及び第２カムリードを有し、弁体が閉弁時には、前記第１カムリードでＯリングが弁座に接し、前記第２カムリードで前記Ｏリングが締められ、開弁時には前記第２カムリードで前記Ｏリングの前記弁座に対する粘着力に抗して前記Ｏリングをはがすように構成した」構成を備えていない点で相違している。
　そして、上記▲１▼▲２▼の構成が従来周知及び自明の事項であると見ることはできない。
　本件発明は、上記▲１▼▲２▼の構成を備えたものであることにより、その出願の日前の出願であって、その出願後に出願公開された特願平５−３４２７６０号（特開平７−８３３３６号）の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明（先願発明）と同一であるとは認められない。
　したがって、本件発明は、特許出願の際、独立して特許を受けることができない発明とすることはできない。
　（３−２）．上記に示すとおりであるから、本件訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項乃至第４項の規定に適合するものであり、当該訂正を認める。
　　４．特許異議の申立ての判断
　（あ）、本件発明
　本件特許第２７６６１９０号の請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、前記訂正請求書に添付された訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものと認める。
　（い）、申立ての理由の概要・判断
　特許異議申立人は、上記先願発明を提示し、本件発明は、その出願の日前の出願であって、その出願後に出願公開された先願発明と同一であるから、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものでり、本件特許を取り消すべき旨主張している。
　これに対して、本件発明は、前記「３．訂正の適否についての判断」の「（い）、独立特許要件の判断」において検討したとおり、特許異議申立人が提示した上記先願発明と同一とすることができない。
　　５．むすび
　以上のとおりであるから、本件訂正請求は合法になされたものであり、特許異議申立人が主張する理由及び提出した証拠によっては、本件請求項１に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１０月２７日（１９９９．１０．２７）
【訂正の要旨】
　▲１▼特許請求の範囲の請求項１の記載を、特許請求の範囲の減縮を目的として、
　【請求項１】弁箱１の弁座１Ｂａを有する開口１Ｂを、前記弁箱１にその一端が設けられたシールベローズ１３を介して移動しかつ傾動する弁棒９に設けられ一た弁体８で開閉するようにした無しゅう動真空ゲートバルブにおいて、前記弁箱１上に設けられた複数のシリンダ２，３の各ロッド端２ａ，３ａに設けられた連、結体４と、前記弁体８に設けられたＯリング８ａと、前記連結体４に設けられカム孔６を有するカム体７と、前記弁棒９の端部に設けられ前記カム孔６と係合するカムフォロワ１０と、前記カム体７にスプリング１１を介して接続され前記シールベローズ１３の他端が接続されたスライド体１２と、前記カム体７の下面に形成され前記スプリング１１の上端を受ける第１凹部７ａと、前記スライド体１２の上面に形成され前記スプリング１１の下端を受ける第２凹部１２ｃとを備え、前記スプリング１１の長手方向は前記弁棒９の長手方向に沿って配置され、前記カム体７の直動により前記弁棒９及び弁体８が直動及び傾動を行うと共に、前記各シリンダ２，３の内側にはガイド孔５０を有する一対のガイド体５１が設けられ、前記スライド体１２に設けられたガイドローラ５２が前記ガイド孔５０に係合され、前記カム孔６は、前記カムフォロワ１０を直線案内する直線案内部６ａと前記カムフォロワ１０をロックするためのロック部６ｂとを有すると共に前記直線案内部は互いに傾斜角度が異なる第１カムリードＤ１及び第２カムリードＤ２を有し、前記弁体８が閉弁時には、前記第１カムリードＤ１で前記Ｏリング８ａが前記弁座１Ｂａに接し、前記第２カムリードＤ２で前記Ｏリング８ａが締められ、開弁時には前記第２カムリードＤ２で前記Ｏリング８ａの前記弁座１Ｂａに対する粘着力に抗して前記Ｏリング８ａをはがすように構成したことを特徴とする無しゅう動真空ゲートバルブ。」
と訂正する。
　▲２▼段落番号【０００５】の記載を、明瞭でない記載の釈明を目的として、
「【課題を解決するための手段】
　本発明による無しゅう動真空ゲートバルブは、弁箱の弁座を有する開口を、前記弁箱にその一端が設けられたシールベローズを介して移動しかつ傾動する弁棒に設けられた弁体で開閉するようにした無しゅう動真空ゲートバルブにおいて、前記弁箱上に設けられた複数のシリンダの各ロッド端に設けられた連結体と、前記弁体に設けられたＯリングと、前記連結体に設けられカム孔を有するカム体と、前記弁棒の端部に設けられ前記カム孔と係合するカムフォロワと、前記カム体にスプリングを介して接続され前記シールベローズの他端が接続されたスライド体と、前記カム体の下面に形成され前記スプリングの上端を受ける第１凹部と、前記スライド体の上面に形成され前記スプリングの下端を受ける第２凹部とを備え、前記スプリングの長手方向は前記弁棒の長手方向に沿って配置され、前記カム体の直動により前記弁棒及び弁体が直動及び傾動を行うと共に、前記各シリンダの内側にはガイド孔を有する一対のガイド体が設けられ、前記スライド体に設けられたガイドローラが前記ガイド孔に係合され、前記カム孔は、前記カムフォロワを直線案内する直線案内部と前記カムフォロワをロックするためのロック部とを有すると共に前記直線案内部は互いに傾斜角度が異なる第１カムリード及び第２カムリードを有し、前記弁体が閉弁時には、前記第１カムリードで前記Ｏリングが前記弁座に接し、前記第２カムリードで前記Ｏリングが締められ、開弁時には．一前記第２カムリードで前記Ｏリングの前記弁座に対する粘着力に抗して前記Ｏリングをはがすようにした構成である。」
と訂正する。
　▲３▼段落番号【０００９】の記載を、明瞭でない記載の釈明を目的として、
　「【０００９】前記カム体７には、複数のスプリング１１を介して断面コ型をなすスライド体１２が接続され、前記弁棒９はこのスライド体１２の貫通孔１２ａを貫通している。前記スライド体１２と弁棒９は密合状に一体化接続され、このスライド体１２の凹部１２ｂ内には、前記弁箱１のボンネットフランジ１ａ上にその一端１３ａを固定したシールベローズ１３の他端１３ｂが接続されている。従って、弁棒９が貫通する弁箱１の貫通孔１Ａは、前述のシールベローズ１３及びスライド体１２によって密閉状に保持され、弁棒９作動時における弁箱１内の機密が保持される。
　また、前記スプリング１１は、カム体７の下面に形成され前記スプリング１１の上端を受ける第１凹部７ａと、前記スライド体１２の上面に形成され前記スプリング１１の下端を受ける第２凹部１２ｃとの間に伸縮自在に位置決め配置されていると共に、前記スプリング１１の長手方向は前記弁棒９の長手に沿って配置される。」
と訂正する。
　▲４▼段落番号【００１０】の記載を、明瞭でない記載の釈明を目的として、
　「【００１０】前記カム孔６は、図２から図４で示すように、カムフォロワ１０を直線案内する直線案内部６ａと、このカムフォロワ１０をメカニカルにロックするためこの直線案内部６ａと連続形式のロック部６ｂと、から構成されており、このロック部６ｂにカムフォロワ１０が係合すると、弁棒９はロックされた状態となるように構成されている。また、前記各シリンダ２，３の内側に設けた縦孔５０内には、図５で示すように、前記スライドたい１２の外側に設けたガイドローラ５２が係合されている。
　前記カム孔６の前記直線案内部６ａにおける第１カムリードＤ１及びＤ２に相当する部分の傾斜角度は、後述の図６で示されるように、互いに異なって形成されている。」
と訂正する。
　▲５▼願書に添付した図面の【図１】、【図２】、【図３】、【図４】、及び【図６】の記載を、明瞭でない記載の釈明、及び誤記の訂正を目的として、添付図面の通り訂正する。
（５４）【発明の名称】
無しゅう動真空ゲートバルブ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】弁箱（１）の弁座（１Ｂａ）を有する開口（１Ｂ）を、前記弁箱（１）にその一端が設けられたシールベローズ（１３）を介して移動しかつ傾動する弁棒（９）に設けられた弁体（８）で開閉するようにした無しゅう動真空ゲートバルブにおいて、前記弁箱（１）上に設けられた複数のシリンダ（２，３）の各ロッド端（２ａ，３ａ）に設けられた連結体（４）と、前記弁体（８）に設けられたＯリング（８ａ）と、前記連結体（４）に設けられカム孔（６）を有するカム体（７）と、前記弁棒（９）の端部に設けられ前記カム孔（６）と係合するカムフォロワ（１０）と、前記カム体（７）にスプリング（１１）を介して接続され前記シールベローズ（１３）の他端が接続されたスライド体（１２）と、前記カム体（７）の下面に形成され前記スプリング（１１）の上端を受ける第１凹部（７ａ）と、前記スライド体（１２）の上面に形成され前記スプリング（１１）の下端を受ける第２凹部（１２ｃ）とを備え、前記スプリング（１１）の長手方向は前記弁棒（９）の長手方向に沿って配置され、前記カム体（７）の直動により前記弁棒（９）及び弁体（８）が直動及び傾動を行うと共に、前記各シリンダ（２，３）の内側にはガイド孔（５０）を有する一対のガイド体（５１）が設けられ、前記スライド体（１２）に設けられたガイドローラ（５２）が前記ガイド孔（５０）に係合され、前記カム孔（６）は、前記カムフォロワ（１０）を直線案内する直線案内部（６ａ）と前記カムフォロワ（１０）をロックするためのロック部（６ｂ）とを有すると共に前記直線案内部（６ａ）は互いに傾斜角度が異なる第１カムリード（Ｄ１）及び第２カムリード（Ｄ２）を有し、前記弁体（８）が閉弁時には、前記第１カムリード（Ｄ１）で前記Ｏリング（８ａ）が前記弁座（１Ｂａ）に接し、前記第２カムリード（Ｄ２）で前記Ｏリング（８ａ）が締められ、開弁時には前記第２カムリード（Ｄ２）で前記Ｏリング（８ａ）の前記弁座（１Ｂａ）に対する粘着力に抗して前記Ｏリング（８ａ）をはがすように構成したことを特徴とする無しゅう動真空ゲートバルブ。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明は、無しゅう動真空ゲートバルブに関し、特に、パーティクルの発生を極小とするための新規な改良に関する。
　　　【０００２】
　　【従来の技術】
　従来、用いられていたこの種の無しゅう動真空ゲートバルブとしては、例えば、本出願人による特公平５−４９８６６号公報に開示された構成を挙げることができる。
　すなわち、この特公平５−４９８６６号公報に開示された構成では、弁棒を下げて弁体を開口の弁座位置に位置させ、この弁棒を傾動させることによって弁体を弁座に押圧させ、弁箱の開口を閉じるようにしていた。
　　　【０００３】
　　【発明が解決しようとする課題】
　従来の無しゅう動真空ゲートバルブは、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
　すなわち、弁棒が最長時に閉弁するため、大型のバルブの場合、弁棒の径が大形化し、バルブ自体も大形化することになっていた。
　また、弁棒と弁体とはスプリングを介して作動自在な状態で結合されているため、作動時のパーティクルの発生を避けることは不可能であり、より高クリーン度を要求される半導体製造装置のチャンバには不適であった。
　また、エアシリンダと腕部材により弁棒を傾動させる際に、押圧部材と腕部材との当接部分からのパーティクルの発生を防止することは不可能であった。
　また、従来構成では、直動動作と傾動動作とを連係して行っていたため、開閉速度が遅くなっていた。
　　　【０００４】
　本発明は、以上のような課題を解決するためになされたもので、特に、パーティクルの発生を極小とした無しゅう動真空ゲートバルブを提供することを目的とする。
　　　【０００５】
　　【課題を解決するための手段】
　本発明による無しゅう動真空ゲートバルブは、弁箱の弁座を有する開口を、前記弁箱にその一端が設けられたシールベローズを介して移動しかつ傾動する弁棒に設けられた弁体で開閉するようにした無しゅう動真空ゲートバルブにおいて、前記弁箱上に設けられた複数のシリンダの各ロッド端に設けられた連結体と、前記弁体に設けられたＯリングと、前記連結体に設けられカム孔を有するカム体と、前記弁棒の端部に設けられ前記カム孔と係合するカムフォロワと、前記カム体にスプリングを介して接続され前記シールベローズの他端が接続されたスライド体と、前記カム体の下面に形成され前記スプリングの上端を受ける第１凹部と、前記スライド体の上面に形成され前記スプリングの下端を受ける第２凹部とを備え、前記スプリングの長手方向は前記弁棒の長手方向に沿って配置され、前記カム体の直動により前記弁棒及び弁体が直動及び傾動を行うと共に、前記各シリンダの内側にはガイド孔を有する一対のガイド体が設けられ、前記スライド体に設けられたガイドローラが前記ガイド孔に係合され、前記カム孔は、前記カムフォロワを直線案内する直線案内部と前記カムフォロワをロックするためのロック部とを有すると共に前記直線案内部は互いに傾斜角度が異なる第１カムリード及び第２カムリードを有し、前記弁体が閉弁時には、前記第１カムリードで前記Ｏリングが前記弁座に接し、前記第２カムリードで前記Ｏリングが締められ、開弁時には前記第２カムリードで前記Ｏリングの前記弁座に対する粘着力に抗して前記Ｏリングをはがすようにした構成である。
　　　【０００６】
　　【作用】
　本発明による無しゅう動真空ゲートバルブにおいて、各シリンダを作動させることにより、各ロッド、連結体、カム体、スライド体を介して弁棒及び弁体が上昇又は下降の直動を行い、弁体は弁箱の開口に対応した状態となる。
　前述の状態下で、さらに、シリンダを作動させてカム体を直動させると、弁棒の端部のカムフォロワがカム体のカム孔の直線案内部に沿って移動するため弁棒は傾動し、同時に、弁体も傾動して開口の弁座に密合することによって開口の閉弁が行われる。
　さらに、シリンダを作動させるカム体を直動させると、カムフォロワはカム孔の曲折したロック部に係合し、弁棒は傾動したままのロック状態を維持し、シリンダの駆動状態を解除した後も弁棒の傾動による開口の閉弁を維持することができる。
　また、開口の閉弁を開弁に切換える場合は、各シリンダを逆モードに作動させて、連結体、カム体及びスライド体を前述とは逆方向に直動させることによって開弁することができる。
　　　【０００７】
　　【実施例】
　以下、図面と共に本発明による無しゅう動真空ゲートバルブの好適な実施例について詳細に説明する。
　図１において符号１で示されるものは、周知の開口１Ｂを有する弁箱であり、この弁箱１は、クリーンルームで用いられる半導体製造装置のチャンバ間に配設されている。
　前記弁箱１のボンネットフランジ１ａ上には複数のエア型のシリンダ２，３が設けられ、この各シリンダ２，３の各ロッド２ａ，３ａの端部には板状の連結体４がねじ５により固定されている。
　　　【０００８】
　前記連結体４の一面４ａには、その側部にシリンダ２，３の軸線に対して傾斜した形状のカム孔６を有するカム体７が設けられ、このカム体７の凹部７ａ内には、前記弁箱１内の弁体８に接続された弁棒９の端部に形成されたローラ型のカムフォロワ１０が係合して配設されている。
　　　【０００９】
　前記カム体７には、複数のスプリング１１を介して断面コ型をなすスライド体１２が接続され、前記弁棒９はこのスライド体１２の貫通孔１２ａを貫通している。前記スライド体１２と弁棒９は密合状に一体化接続され、このスライド体１２の凹部１２ｂ内には、前記弁箱１のボンネットフランジ１ａ上にその一端１３ａを固定したシールベローズ１３の他端１３ｂが接続されている。従って、弁棒９が貫通する弁箱１の貫通孔１Ａは、前述のシールベローズ１３及びスライド体１２によって密閉状に保持され、弁棒９作動時における弁箱１内の気密が保持されている。
　また、前記スプリング１１は、カム体７の下面に形成され前記スプリング１１の上端を受ける第１凹部７ａと、前記スライド体１２の上面に形成され前記スプリング１１の下端を受ける第２凹部１２ｃとの間に伸縮自在に位置決め配置されていると共に、前記スプリング１１の長手方向は前記弁棒９の長手方向に沿って配置されている。
　　　【００１０】
　前述カム孔６は、図２から図４で示すように、カムフォロワ１０を直線案内する直線案内部６ａと、このカムフォロワ１０をメカニカルにロックするためこの直線案内部６ａと連続形成のロック部６ｂと、から構成されており、このロック部６ｂにカムフォロワ１０が係合すると、弁棒９はロックされた状態となるように構成されている。また、前記各シリンダ２，３の内側に設けた縦孔５０内には、図５で示すように、前記スライド体１２の外側に設けたガイドローラ５２が係合されている。
　前記カム孔６の前記直線案内部６ａにおける第１カムリードＤ１及びＤ２に相当する部分の傾斜角度は、後述の図６で示されるように、互いに異なって形成されている。
　　　【００１１】
　次に、動作について述べる。
　まず、図１及び図２の開弁状態において、各シリンダ２，３を作動させることにより、各ロッド２ａ，３ａ、連結体４、カム体７及びスライド体１２を介して弁棒９及び弁体８が図２から図３のように下降し、同時に、シールベローズ１３が図３のように縮小すると共に、弁体８は弁箱１の開口１Ｂに対応した状態となる。
　　　【００１２】
　前述の状態下で、さらに、シリンダ２，３を作動させてカム体７を下降させると、弁棒９の端部のカムフォロワ１０がカム体７のカム孔６の直線案内部６ａに沿って移動するため弁棒９は傾動し、同時に、弁体８も図４で示すように傾動して開口１Ｂの弁座１Ｂａに密合することによって開口１Ｂの閉弁が行われる。
　　　【００１３】
　さらに、シリンダを作動させてカム体７を直動させると、カムフォロワ１０はカム孔６の曲折したロック部６ｂに係合し、弁棒９は傾動したままのロック状態を維持し、各シリンダ２，３の駆動状態を解除した後も弁棒９の傾動による開口１Ｂの閉弁を維持することができる。また、開口１Ｂの閉弁を開弁に切換える場合は、各シリンダ２，３を逆モードに作動させて、連結体４、カム体７及びスライド体１２を前述と逆方向に直動させることによって開弁することができる。なお、前述の動作においては、図６で示すように、弁体８の閉弁時は、第１カムリードＤ１でＯリング８ａが弁座１Ｂａに接し、第２カムリードＤ２でＯリング８ａが締められ、開弁時は第２カムリードＤ２でＯリング８ａの弁座１Ｂａに対する粘着力に抗してＯリング８ａをはがすための作用をなしている。
　　　【００１４】
　　【発明の効果】
　本発明による無しゅう動真空ゲートバルブは、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。すなわち、シリンダによる連結体、カム体及びスライド体の直動のみで、カム孔に係合するカムフォロワを介して弁棒を直動と傾動の両方を行わせることができ、パーティクルの発生が少なく、スーパークリーンルームでの使用に対して従来のような特別な防塵対策も必要がなく、大幅なコストダウンを達成することができる。また、カム体とカム孔を介して１動作で直動と傾動を行うため、従来よりも大幅に高速の開閉動作を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　本発明による無しゅう動真空ゲートバルブを示す正面構成図である。
　　【図２】
　図１のＡ−Ａ断面図である。
　　【図３】
　図２の半閉弁動作の構成図である。
　　【図４】
　図２の完全閉弁動作の構成図である。
　　【図５】
　図１の開弁状態を示す断面図である。
　　【図６】
　カム孔を示す構成図である。
　　【符号の説明】
　　１　　弁箱
　１Ｂ　　開口
　２，３　シリンダ
　　４　　連結体
　　６　　カム孔
　６ａ　　直線案内部
　６ｂ　　ロック部
　　７　　カム体
　　８　　弁体
　　９　　弁棒
　１０　　カムフォロワ
　１１　　スプリング
　１２　　スライド体
　１３　　シールベローズ
　５０　　ガイド孔
　５２　　ガイドローラ
【図面】
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】