【事件の表示】
　特許第２７７５９２８号「表面分析装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおリ決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７７５９２８号の特許を維持する。
【理由】
１．手続の経緯
　本件特許第２７７５９２８号発明は、平成１年１１月２４日に特許出願され、平成１０年５月１日に特許の設定登録がなされ、その後、日本電子株式会社より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年８月２０日に訂正請求がなされ、訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１１月２６日に手続補正がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
（１）補正の適否について
　ア．補正の内容
　補正事項▲１▼
　全文訂正明細書（平成１１年８月２０日付け）中の特許請求の範囲の「ビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流、ビーム径の少なくともいずれか一つの変化を目視できるようビーム条件をグラフィックイメージで表示する」を、「前記表示手段に表示された電子ビームの流れ、明るさ、太さの少なくともいずれか一つを変更することによりビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流、ビーム径の少なくともいずれか一つの変化を目視できるようビーム条件をグラフィックイメージで表示する」と補正する。
　補正事項▲２▼
　全文訂正明細書（平成１１年８月２０日付け）中の発明の詳細な説明中の［課題を解決するための手段］の「ビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流、ビーム径の少なくともいずれか一つの変化を目視できるよう」（第２頁７行乃至９行）を、「電子ビームの流れ、明るさ、太さの少なくともいずれか一つを変更することによりビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流、ビーム径の少なくともいずれか一つの変化を目視できるよう」と補正する。
　イ．補正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記補正事項▲１▼は、グラフィックイメージで表示するビーム条件に対応したビーム加速電圧、ビーム電流、ビーム径の変化の表示形態を電子ビームの流れ、明るさ、太さの少なくともいずれか一つを変更することで表示することに限定したものであるから、上記全文訂正明細書に記載された事項の範囲内での補正であって、特許請求の範囲の減縮に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　上記補正事項▲２▼は、上記補正事項▲１▼の特許請求の範囲の補正に伴って、その特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の［課題を解決するための手段］の項の記載を一致させるために行った補正であるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする補正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　したがって、上記補正事項▲１▼、▲２▼は、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項により、なお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第２項の規定に適合するものである。
（２）訂正の適否について
　上記平成１１年１１月２６日付けの手続補正により補正された訂正明細書（以下、本件訂正明細書という。）について以下に検討する。
　ア．本件訂正明細書の特許発明
　本件訂正明細書の特許発明は、その特許請求の範囲に記載された下記の事項により特定されるとおりのものである。
　「（１）表面分析機器からビーム条件が入力されるデータ処理装置と、このデータ処理装置の出力が映像信号発生手段を介して入力される表示手段とを有し、前記表示手段に表示された電子ビームの流れ、明るさ、太さの少なくともいずれか一つを変更することによりビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流、ビーム径の少なくともいずれか一つの変化を目視できるようビーム条件をグラフィックイメージで表示することを特徴とする表面分析装置。」
　イ．訂正事項
　訂正事項▲１▼
　特許第２７７５９２８号発明の明細書（以下、特許明細書という）の特許請求の範囲において「ビーム条件をグラフィックイメージで表示する」とあるのを、「前記表示手段に表示された電子ビームの流れ、明るさ、太さの少なくともいずれか一つを変更することによりビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流、ビーム径の少なくともいずれか一つの変化を目視できるようビーム条件をグラフィックイメージで表示する」と訂正する。
　訂正事項▲２▼
　特許明細書第３頁第９行乃至第１１行中に「このデータ処理装置の出力が映像信号発生手段を介して入力される表示手段」とあるのを、「このデータ処理装置の出力が電子ビームの流れ、明るさ、太さの少なくともいずれか一つを変更することによりビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流、ビーム径の少なくともいずれか一つの変化を目視できるよう映像信号発生手段を介して入力され、ビーム条件をグラフィックイメージで表示する表示手段」と訂正する。
　ウ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項▲１▼に関する記載として、特許明細書には、下記の事項が記載されている。
　「一方、電子ビーム条件の表示を行う場合には、データ処理装置２からビーム条件に応じた信号が映像信号発生回路３を介して表示装置４に入力され、電子ビーム条件がグラフィックイメージとして表示装置４に表示される。
　これにより、表示装置４には、電子銃６、収束レンズ７、対物レンズ８、分析試料９のイメージとともに、電子ビーム条件が電子ビーム５の流れ、明るさ、太さにより表示される。
　表示装置４の表示面には、第２図のように電子ビーム５が、例えば、黄色の破線の流れで表示され、電子ビームを加速する加速電圧が低いときは破線の流れを遅く、逆に加速電圧が高いときには破線の流れを速くする。また、ビーム電流が小さいときは、破線の色を暗く、逆に大きいときは明るくする。更に、ビーム径が小さいときは、分析試料にあたる電子ビームの太さを細く、大きいときは太くする。また、電子ビームがＯＮの時は電子ビームを表示し、ＯＦＦの時は表示しないようにする。」（特許公報第３欄３８行乃至第４欄１６行）
　そうすると、上記訂正事項▲１▼は、特許明細書に記載された事項の範囲内において、データ処理装置からの出力を映像信号発生手段を介して表示手段に入力されたグラフィックイメージの表示内容ついて限定したものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　上記訂正事項▲２▼は、上記訂正事項▲１▼の特許請求の範囲の訂正に伴って、その特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の［課題を解決するための手段］の項の記載を一致させるために行った訂正であるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　エ．独立特許要件
　（引用刊行物１の記載事項）
　訂正明細書の特許発明に対して、当審が通知した平成１１年９月２日付けの訂正拒絶理由通知で引用した引用刊行物１（実願昭５９−１５６５３号（実開昭６０−１２９０６４号）のマイクロフィルム）には、電子顕微鏡における電子線光学系の動作状態を表示する装置の改良に関して下記の事項が図面とともに記載されている。
　「本考案は以上の欠点に鑑みなされたもので、電子顕微鏡に設けられた表示手段へ、該電子顕微鏡の電子線偏向系の動作状態又は電子レンズ系による観察モードを電子線の軌跡と共に図形表示するよう構成したことを特徴としている。」（第２頁１２行乃至１６行）
　「１１及び１２は電子線偏向用電源９及び電子レンズ用電源１０から電子線偏向系７及び電子レンズ系８に供給するアナログ信号をデジタル信号に変換するためのＡ／Ｄ変換器であり、夫々のＡ／Ｄ変換器１１及び１２よりの信号は制御回路１３に入力される。該制御回路１３には、ブラウン管６に表示すべき情報の種類を選択するための表示選択回路１４が接続されており、該表示選択回路１４の選択スイッチを操作することにより、電子線偏向系用の図形表示回路１５又は電子レンズ系用の図形表示回路１６に表示情報が入力される。１７は輝度変調回路であり、該図形表示回路１５又は１６よりの情報は輝度変調回路１７を介してブラウン管６に入力され表示される。」（第３頁１４行乃至第４頁８行）
　「この様に構成された装置において、表示選択回路１４に設けられた選択スイッチ１４ａをオンの状態として、電子線偏向用電源９の軸合せ用摘子（図示せず）を操作するとブラウン管６には、第４図に示すように電子線偏向系７を構成する偏向コイルの名称（略記号）と共に動作状態が図形表示される。ここで、７ａ，７ｂは例えば軸合せ用の偏向コイル（ＣＡＬ１，ＣＡＬ２）で、７ｃはイメージソフト用の偏向コイル（ＳＣ）で、ＳＰは試料である。第４図に示された動作状態は、軸合せ用の偏向コイル７ａ及び７ｂが励磁されている状態を示し、イメージソフト用の偏向コイル７ｃは動作が停止している状態が表示され、更に偏向コイル７ａ，７ｂの励磁状態によって、該偏向コイル７ａ，７ｂを通過する電子線１８が偏向された場合の電子線１８の軌跡も同時に表示されている。この電子線１８の偏向は、第１図の前面パネル３に設けられた電子線偏向用電源を調整する摘子（図示せず）を操作することにより、点線で表示するように偏向角が任意に可変され、第４図に示す実線（イ）は電子線１８がブランキング状態であることを示している。第５図は、選択スイッチ１４ａがオン状態で電子線偏向用電源９の焦点合せ用摘子（図示せず）を操作した場合の電子線偏向系７の状態が図形表示されており、第５図は、焦点合せ用として照射系の偏向コイル７ａ及び７ｂに交番電流を供給することにより、電子線１８が二方向に交互に偏向された場合を示すものである。第６図（Ａ），（Ｂ）は、選択スイッチ１４ｂがオンされた場合のブラウン管６の画面を示すもので、電子レンズ系８を構成する各レンズの名称（略記号）と共に動作状態が図形表示される。第６図（Ａ）において、８ａは対物レンズ（ＯＬ）、８ｂは対物ミニレンズ（ＯＭＬ）、８ｃは第１中間レンズ（１１Ｌ）、８ｄは第２中間レンズ（２１Ｌ）、８ｅは第３中間レンズ（３１Ｌ）、８ｆは投影レンズ（ＰＬ）、ＳＰは試料、ＳＲはスクリーンを示し、これらの各レンズの動作状態は第１図に示す前面パネル４に設けられたレンズ構成を選択するための操作ボタン（図示せず）によって選択される。第６図（Ａ）では点線で示した対物レンズ８ａ及び第１中間レンズ８ｃは励磁されていないことを示しており、このレンズ構成の場合は、例えば倍率５０倍の極低倍率で電子顕微鏡をスクリーン上で観察することができる。第６図（Ｂ）は他のレンズ構成が選択された場合の例であり、第６図（Ｂ）の場合は対物ミニレンズ８ｂが励磁されていない状態である。」（第４頁１５行乃至第７頁２行）
　「尚、本考案は以上の実施例に限定されず変形が可能である。本実施例においては、電子線偏向系と電子レンズ系を別々に選択して表示する様に構成したが、同時に表示する様に構成してもよく、又、図形表示と共に励磁強度等の数値データも同時に表示してもよい。」（第７頁１０行乃至１５行）
　そして、第４図からは、偏向コイルの励磁強度を調節することによって可変された偏向角に対応して電子線１８の軌跡が実線或いは２つの点線の状態に表示されることが、第５図からは、照射系の偏向コイル７ａ及び７ｂに交番電流を供給することにより、電子線１８が二方向（実線と点線）に交互に偏向されるように表示されることが見てとれる。
　（対比・判断）
　本件訂正明細書の特許発明と引用刊行物１に記載された発明とを対比すると、引用刊行物１に記載された発明の「電子顕微鏡」、「Ａ／Ｄ変換器１１，１２、制御回路１３及び表示選択回路１４」、「図形表示回路１５，１６及び輝度変調回路１７」及び「ブラウン管６」は、各々本件訂正明細書の特許発明の「表面分析装置」、「データ処理装置」、「映像信号発生手段」及び「表示手段」に相当し、引用刊行物１に記載された発明のブラウン管６も第４図乃至第６図のようにグラフィックイメージで表示するものであるから、両者は、「表面分析機器からビーム条件が入力されるデータ処理装置と、このデータ処理装置の出力が映像信号発生手段を介して入力される表示手段とを有し、表示手段によりグラフィックイメージで表示することを特徴とする表面分析装置。」で一致しており、下記の点で相違している。
　相違点；本件訂正明細書の特許発明では、表示手段が表示された電子ビームの流れ、明るさ、太さの少なくともいずれか一つを変更することによりビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流、ビーム径の少なくともいずれか一つの変化を目視できるようビーム条件をグラフイックイメ一ジで表示するのに対して、引用刊行物１に記載された発明では、表示手段が電子顕微鏡の電子線偏向系の動作状態又は電子レンズ系による観察モードを電子線の軌跡と共に図形表示（グラフィックイメージ）するものである点。
　上記相違点について検討するに、引用刊行物１に記載された発明でも電子線の軌跡をグラフィック表示しているが、グラフィック表示された電子線の軌跡は電子線偏向系の動作状態又は電子レンズ系による観察モードを表示するためのものであって、本件訂正明細書の特許発明のように電子線のビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流或いはビーム径の変化を目視できるように表示するものではなく、電子ビーム条件に対応したビーム加速電圧、ビーム電流或いはビーム径の変化については目視することができないものである。
　また、引用刊行物１には、表示手段が表示された電子ビームの流れ、明るさ、太さの少なくともいずれか一つを変更することによりビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流或いはビーム径の変化を目視できるようグラフィック表示することについては記載されておらず、示唆する記載も見いだすことができないものである。
　そして、本件訂正明細書の特許発明は、上記相違点のようなグラフィックイメージによる表示を採用することによって、電子ビーム条件を一目で確認することができ、あらゆる状態で電子ビーム条件の視認性を良くすることができるという格別な作用効果を奏するものと認める。
　したがって、本件訂正明細書の特許発明は、引用刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認めることができない。
　（むすび）
　以上のとおりであるから、上記訂正は、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定により、なお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第２項及び第３項において準用する第１２６条第２−４項の規定に適合するので当該訂正を認める。
３．特許異議の申立てについての判断
（１）本件特許発明
　本件請求項１に係る特許発明は、「２．訂正の適否についての判断」の「（２）訂正の適否について」の「ア．本件訂正明細書の特許発明」の項に記載した事項により特定されるとおりのものである。
（２）申立ての理由の概要
　特許異議申立人日本電子株式会社は、本件請求項１に係る特許発明は、甲第１号証に記載された発明、又は甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号、又は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、特許法第１１３条第２号の規定により取り消すべきものである旨主張している。
（３）対比・判断
　甲第１号証（実願昭５９−１５６５３号（実開昭６０−１２９０６４号）のマイクロフィルム）と本件請求項１に係る特許発明との対比・判断は、上記「２．訂正の適否についての判断」の「（２）訂正の適否について」の「エ．独立特許要件」の（対比・判断）の項に記載したとおりである。
　したがって、本件請求項１に係る特許発明は、甲第１号証の刊行物に記載された発明と同一であると認めることができないばかりでなく、甲第１号証の刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認めることができない。
（４）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１に係る特許発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１に係る特許発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１２月１７日（１９９９．１２．１７）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　１．特許第２７７５９２８号発明の明細書中特許請求の範囲において「ビーム条件をグラフィックイメージで表示する」とあるを、特許請求の範囲の減縮を目的として「前記表示手段に表示された電子ビームの流れ、明るさ、太さの少なくともいずれか一つを変更することによりビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流、ビーム径の少なくともいずれか一つの変化を目視できるようビーム条件をグラフィックイメージで表示する。」と訂正する。
　２．訂正された特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的として、明細書第３頁第９行〜第１１行中に「このデータ処理装置の出力が映像信号発生手段を介して入力される表示手段」とあるのを「このデータ処理装置の出力が電子ビームの流れ、明るさ、太さの少なくともいずれか一つを変更することによりビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流、ビーム径の少なくともいずれか一つの変化を目視できるよう映像信号発生手段を介して入力され、ビーム条件をグラフィックイメージで表示する表示手段」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
表面分析装置
（５７）【特許請求の範囲】
　（１）表面分析機器からビーム条件が入力されるデータ処理装置と、このデータ処理装置の出力が映像信号発生手段を介して入力される表示手段とを有し、
前記表示手段に表示された電子ビームの流れ、明るさ、太さの少なくともいずれか一つを変更することによりビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流、ビーム径の少なくともいずれか一つの変化を目視できるよう
【発明の詳細な説明】
　　［産業上の利用分野］
　本発明は電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等の表面分析装置におけるビーム条件表示に関する。
　　［従来技術］
　電子線マイクロアナライザ、走査型電子顕微鏡等の表面分析装置は直径数十オングストロームに絞った電子ビームで試料上を走査しつつ、ビームが通過するとき、各試料点から生じる種々の情報を電気的に検出し、走査に同期させて、ブラウン管上に画像として取り出すとともに、定性、定量分析ができるようにしたものである。
　電子ビームで照射された試料部からは、各種のシグナルが生じ、そのいずれを取り出して結像に用いるかにより、二次電子像、反射電子像、吸収電子像、起電力像、ルミネッセンス像、Ｘ線像、オージェ電子像などが観測できる。
　このような表面分析装置において、従来、ビームの加速電圧、ビーム径等のビーム条件はインジケータにディジタル表示したり、アナログメータに表示したりしている。
　　［発明が解決しようとする課題］
　上記のような従来のビーム条件表示方法では、自動分析中、特に、ＣＲＴ上に定性、定量分析結果やマッピング像の表示を行っている場合に、電子ビーム条件をモニタするには、わざわざインジケータ表示をみる必要があり、面倒であるとともに、視認性が悪いという問題点があった。
　本発明は上記のような従来技術の欠点を解消するために創案されたものであり、自動分析中に一目でビーム条件を確認することができる、表面分析装置を提供することを目的とする。
　　［課題を解決するための手段］
　上記目的を達成するために、本発明における表面分析装置は、表面分析機器からビーム条件が入力されるデータ処理装置と、このデータ処理装置の出力が
電子ビームの流れ、明るさ、太さの少なくともいずれか一つを変更することによりビーム条件に対応してビーム加速電圧、ビーム電流、ビーム径の少なくともいずれか一つの変化を目視できるよう
、ビーム条件をグラフィックイメージで表示する
　　［作用］
　上記のように構成された表面分析装置では、表面分析機器から試料の検出信号とともにビーム条件がデータ処理装置に入力され、このデータ処理装置の出力信号が映像信号発生手段に入力される。そして、映像信号発生手段からのビーム条件に応じた映像信号が表示装置に入力され、表示装置にビーム条件がグラフィックイメージで表示される。
　　［実施例］
　実施例について第１図の表面分析装置のブロック図と第２図の表示例により説明する。第１図において、電子線マイクロアナライザ１にデータ処理装置２が接続され、このデータ処理装置２が映像信号発生回路３を介して表示装置４に接続されている。電子線マイクロアナライザ１では、電子銃からの電子ビームによって試料上が走査され、各試料点から生じるＸ線、二次電子、反射電子、オージェ電子等が検出器により検出されてデータ処理装置２に取り込まれる。この時、同時に電子ビームの加速電圧、ビーム径等の電子ビーム条件が電子線マイクロアナライザ１からデータ処理装置２に入力されている。そして、データ処理装置２は検出信号により、定性分析・定量分析・線分析・面分析等の自動分析を行い、映像信号発生回路３を介して表示装置４に定性分析結果、定量分析結果あるいは成分別や濃度別のマッピング表示を行う。一方、電子ビーム条件の表示を行う場合には、データ処理装置２からビーム条件に応じた信号が映像信号発生回路３を介して表示装置４に入力され、電子ビーム条件がグラフィックイメージとして表示装置４に表示される。
　これにより、表示装置４には、電子銃６、収束レンズ７、対物レンズ８、分析試料９のイメージとともに、電子ビーム条件が電子ビーム５の流れ、明るさ、太さにより表示される。
　表示装置４の表示面には、第２図のように電子ビーム５が、例えば、黄色の破線の流れで表示され、電子ビームを加速する加速電圧が低いときは破線の流れを遅く、逆に加速電圧が高いときには破線の流れを速くする。また、ビーム電流が小さいときは、破線の色を暗く、逆に大きいときは明るくする。更に、ビーム径が小さいときは、分析試料にあたる電子ビームの太さを細く、大きいときは太くする。また、電子ビームがＯＮの時は電子ビームを表示し、ＯＦＦの時は表示しないようにする。この時、第２図の表示例のように、グラフィックイメージとともにディジタル表示も同時に表示することもできる。また、分析結果やマッピング表示とともに電子ビーム条件を同一画面に表示することもできる。
　なお、上記の実施例では、電子線マイクロアナライザに本発明を適用した場合を説明したが、走査型電子顕微鏡やイオンビームを用いた表面分析装置等にも本発明を適用することができる。
　　［発明の効果］
　以上説明したように、本発明は、電子ビーム条件をリアルタイムにモニタし、グラフィックイメージで表示するので、電子ビーム条件を一目で確認することができ、あらゆる状態で電子ビーム条件の視認性を良くすることができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図は電子線マイクロアナライザを用いた本発明の表面分析装置を示すブロック図、第２図は本発明のビーム条件表示の一例を示す図である。
１・・電子線マイクロアナライザ、２・・データ処理装置、３・・映像信号発生回路、４・・表示装置、５・・電子ビーム、６・・電子銃、７・・収束レンズ、８・・対物レンズ、９・・分析試料