【事件の表示】
　特許第２８８６４１１号「シリコンウエハのエッチング液およびその方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８８６４１１号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
Ａ．本件発明
　本件特許第２８８６４１１号（平成５年４月３０日出願、平成１１年２月１２日設定登録。）の請求項１〜２に係る発明は、特許明細書および図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜２に記載された次のとおりのものである。
『【請求項１】重量％比で、ＨＦ／ＨＮＯ３＝０．３０〜０．４０、（ＨＦ＋ＨＮＯ３）／ＣＨ３ＣＯＯＨ＝０．８０〜３．００、（ＨＦ＋ＨＮＯ３）／Ｈ２Ｏ＝０．８０〜２．９０、の組成を有する溶液にシリコンを０．３６〜０．８０ｍｏｌ ／リットル溶解したことを特徴とするシリコン半導体ウ工ハのエッチング液。
【請求項２】請求項１記載のエッチング液を用い、該エッチング液の温度を２０〜６０℃の温度に調整し、ウ工ハを揺動させながら該エッチング液に浸漬することを特徴とするシリコン半導体ウ工ハのエッチング方法。』
（以下、請求項１〜２に係る発明を、それぞれ、本件発明１、本件発明２という。）。
Ｂ．申立の理由の概要
　特許異議申立人　渡辺　尚吾（以下、申立人という。）は、証拠として、甲第１号証[特開平３−１５３７号公報］、甲第２号証［「エレクトロニクス用結晶材料の精密加工技術」（昭６０−１−３０）株式会社サイエンスフォーラム発行、ｐ．４４０〜４４３］、及び甲第３号証［特開昭５９−２１９４７６号公報］を提出し、（１）特許明細書には、本件発明１の目的が記載されておらず、また、本件発明１に係るエッチング液をエッチむらが発生する従来の方法にも用いると記載されていることからみて本件発明１がその発明の詳細な説明の欄に記載された発明であるといえないから、本件発明１に係る特許は特許法第３６条第４項及び第５項に規定する要件を満足しない出願に対してなされたものであり取り消されるべきであり、（２）本件発明１は甲第１号証に従来の方法として記載された発明と実質同一であるから、本件発明１に係る特許は特許法第２９条第１項第３号の発明に対してなされたものであり取り消されるべきであり、（３）本件発明２は甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明２に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり取り消されるべきである、と主張している。
Ｃ．甲各号証の記載内容
　甲第１号証には、「ＨＦ／ＨＮＯ３＝０．２５〜１．００、ＨＦ＋ＨＮＯ３／ＣＨ３ＣＯＯＨ＝１．５〜５．０、ＨＦ＋ＨＮＯ３／Ｈ２Ｏ＝３〜９（いずれも重量比）の組成を有する混酸に１１〜１７ｇ／ｌのシリコンを溶解したエッチング液を用いることを特徴とするシリコン半導体ウエーハのエッチング方法。」（特許請求の範囲）の発明が記載され、「ＨＦ＋ＨＮＯ３／Ｈ２Ｏ＝３〜９・・・（省略）・・・３以下になるとエッチング速度が低下する。」（第３頁右上欄１〜７行参照）、「エッチウエーハ周縁の丸みを帯び始めた点Ａと周縁の最外側Ｂとの半径方向の距離Ｌ・・・（省略）・・・粗さＲａをもって小さなピッチの面粗さを表現し、さらに濾波最大うねりＷＣＭをもって大きな面粗さ（通常うねりといわれる）を表すこととした。」（第３頁右下欄１０〜１８行参照）、「第１表は、本発明と従来の方法における各種組成のエッチング液によってエッチングしたときの形状精度を一覧表にしたものである。」（第４頁左上欄７〜９行）、「本発明の方法によればＬ、ＷＣＭ及びＲａがすべて従来方法のものより小さい。従来方法の中にはＲａが本発明のＲａに近くなる場合もあるが、ＬとＷＣＭは大きい。またシリコンの溶解量が本発明の方法の範囲を越えて大きい場合に、従来方法でも本発明の方法に近い形状精度を示すが、特にＷＣＭ、Ｒａでは満足できない。Ｒａが大きいと表面の光沢度が失われるので目視で判別できる。」（第４頁左下欄１〜８行）との記載とともに、第１表として、ＨＦ／ＨＮＯ３、ＨＦ＋ＨＮＯ３／ＣＨ３ＣＯＯＨ、ＨＦ＋ＨＮＯ３／Ｈ２Ｏ、およびＳｉ溶解量（ｇ／ｌ）が、それぞれ、従来の方法１では、０．２９，２．４２，３．２２，１８、従来の方法２では、０．２９，２．４２，３．２２，２０、従来の方法３では、０．３０，２．１３，２．１３，２、従来の方法５では０．２９，２．４２，１．９０，１１．５であることが記載されている。
　甲第２号証には、試料の運動とエッチング特性について記載され、「エッチング速度の液温依存性は図一２のように５℃あたり１μｍ／ｍｉｎの上昇となっており、精度の高いエッチングには逐次の液温制御は欠かせない。」（第４４１頁左欄下から５〜２行）、「以上の結果からウェーハの自転のみでは均一なエッチングは困難なことから、自公転可能な実験装置（図一８）を試作してウエーハの運動とエッチング厚さ分布の関係が見当された。図一９は自公転の組合わせとエッチングされたウエーハの厚さ変動の割合を示したものである。この結果では公転数が小さくても自転数を増大させることによって平坦性のよい厚さ変動の少ないエッチングが可能であることを示している。図一７の基礎データの結果は、ウェーハ上のすべての点の相対速度を一致させる。すなわち自公転数を一致させたとき、最も均一性がよくなることになるが、現実には、自転数を公転数の３倍前後にするとよいことになる。」（第４４２頁左欄下から３行〜同頁右欄１０行）の記載とともに、図−２として液温を約２０℃から約３３℃に変化させたときのエッチング速度（第４４１頁参照）が記載されている。
　甲第３号証には、エッチング装置について記載され、「反応槽２２には多数枚のウエーハ２７が収納されたバスケット２８が浸潰されており、バスケットの回転により自転し、かつ上下に揺動する。」（第２頁左上欄５〜８行）ことが記載されている。
Ｄ．申立人の主張の検討
Ｄ−１．（１）の主張について
　特許明細書には、本件発明１がなにを目的とするものであるかについて特に明示はないが、その段落番号【０００６】に「蛍光灯下でむらとして観察される場合がある（以下、このむらをエッチむら１と称する。）。・・・集光灯（１０〜３０万ルクス程度の光を照射する装置）下において色むらとして観察される場合がある（以下、このむらをエッチむら２と称する。）。」と記載され、段落番号【０００８】に「ラッピングウエハのエッチング液としては、・・・で代表されるように拡散律速の条件下で化学エッチングされていた。あるいは、・・・に開示されているように、・・・拡散律速系のエッチング液にて、化学エッチングされていた。いずれの場合も、拡散律速系のエッチング液であり、・・・エッチむら１は発生しにくいが、エッチむら２は発生し易いという欠点を有していた。一方、反応律速系のエッチング液はエッチむら２は発生しにくいが、エッチむら１が発生し易いという欠点があった。」と記載され、段落番号【００１６】〜【００２０】及び【００２２】に、エッチング液の成分の数値限定をエッチむらとの関連で規定した旨が記載され、段落番号【００２８】に「本発明のエッチング液を用いて、揺動を加えた場合はエッチむら１および２は発生しないが、揺動がない場合はエッチむら１がやや観察された。」と記載され、段落番号【００２９】の発明の効果の欄に「本発明は、・・・エッチむらの生じないウエハを提供できる。」と記載されていることからみて、本件発明１がエッチむらの生じないウエハを提供することを目的とするものであることは自明であり、また、本件発明１に係るエッチング液を用いることにより該目的が達成しうることは特許明細書中の表１を用いた本件発明１に関する記載からみて明らかであり、本件発明１に係るエッチング液の使用の態様にその目的を達成できないような場合があることが従来の方法の態様として記載されているとの理由のみで、特許明細書に本件発明１に係るエッチング液がその目的を達成できるものとして記載されていないとすることはできない。
　したがって、本件特許明細書の記載が、申立人の主張した上記の点において、特許法第３６条第４項及び第５項に規定する要件を満足しないものであるとすることはできないから、（１）の主張は採用できない。
Ｄ−２．（２）の主張について
　甲第１号証には、その特許請求の範囲に記載された発明を説明するための従来方法として、上記Ｃに示したように、従来の方法１，２，３，および５が記載されているものの、各方法において用いるエッチング液の組成は、Ｓｉ溶解量を（ｇ／ｌ）から（ｍｏｌ／ｌ）に換算して示すと、ＨＦ／ＨＮＯ３、ＨＦ＋ＨＮＯ３／ＣＨ３ＣＯＯＨ、ＨＦ＋ＨＮＯ３／Ｈ２Ｏ、およびＳｉ溶解量（ｍｏｌ／ｌ）が、それぞれ、従来の方法１では、０．２９，２．４２，３．２２，０．６４、従来の方法２では、０．２９，２．４２，３．２２，０．７１、従来の方法３では、０．３０，２．１３，２．１３，０．０７、従来の方法５では０．２９，２．４２，１．９０，０．４１であり、いずれのエッチング液の組成も本件発明１のエッチング液の組成と異なるものであり、また、従来の各方法におけるＨＦ／ＨＮＯ３、ＨＦ＋ＨＮＯ３／ＣＨ３ＣＯＯＨ、ＨＦ＋ＨＮＯ３／Ｈ２Ｏ、およびＳｉ溶解量を、それら相互の関係を無視して、それぞれの指標の最大値及び最小値の間で任意に変化させることを示す記載もないから、甲第１号証に、上記指標をその最大値及び最小値の範囲内で変化させた、ＨＦ／ＨＮＯ３＝０．２９〜０．３０、（ＨＦ＋ＨＮＯ３）／ＣＨ３ＣＯＯＨ＝２．１３〜２．４２、（ＨＦ＋ＨＮＯ３）／Ｈ２Ｏ＝１．９０〜３／２２、Ｓｉ溶解量＝０．０７〜０．７１の組成であるエッチング液が従来の方法として記載されているとすることはできない。
　したがって、本件発明１が甲第１号証に従来の方法として記載された発明と実質同一であるとすることはできず、本件発明１に係る特許が特許法第２９条第１項第３号の発明に対してなされたものであるとすることはできないから、（２）の主張は採用できない。
Ｄ−３．（３）の主張について
　本件発明２は、本件発明１に係るエッチング液を用いることを構成とするものであるところ、甲第１号証には、Ｄ−２で示したように、本件発明１に係るエッチング液は記載されておらず、エッチむらの生じないウエハを提供するという課題についても記載するところがなく、甲第１号証の従来の方法は、その特許請求の範囲に記載された発明のような形状精度に係る効果を奏さないことを説明するために記載されたものであるから、甲第１号証の記載をみても、そこに記載された従来方法のエッチング液の組成をエッチむらの生じないウエハを提供するという観点で変化させること、エッチむらの生じないウエハを提供できる組成として本件発明１に係るエッチング液の組成に想到すること、さらには、該組成を採用することが本件発明２のような効果をもたらすであろうと想到することが当業者にとって容易であったとすることはできない。
　また、甲第２号証及び甲第３号証には、上記Ｃで述べた内容が記載されているものの、エッチング液の組成とエッチむらとの関係について何ら記載するところがないから、甲第２号証及び甲第３号証の記載に甲第１号証の記載を合わせ検討しても、本件発明１に係るエッチング液の組成を採用すること及び該組成を採用することにより本件発明２のような効果を奏するであろうことを当業者が容易に想到できたとすることはできない。
　したがって、本件発明２は甲第１〜３号証に記載された発明に基づいても当業者が容易に発明をすることができたものでなく、本件発明２に係る特許が特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり取り消されるべきであるとすることはできないから、（３）の主張は採用することができない。
Ｅ．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１〜２に係る特許は、申立人の特許異議申立の理由および証拠によっては取り消すことができない。
　また、他に本件発明１〜２に係る特許を取消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年３月２４日（２０００．３．２４）