【事件の表示】
　特許第２７８２５６６号「膜濾過装置」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７８２５６６号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理由】
１．手続きの経緯
　本件の特許２７８２５６６号の発明は、平成３年１２月２７日に特許出願され、平成１０年５月２２日にその特許の設定登録がなされたものである。
　これに対して、その後片山晴子より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年７月１９日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正事項
（イ）明細書の「特許請求の範囲」の欄
　特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項１を次のとおり訂正請求されている。
「【請求項１】濾過槽内に開放型の膜モジュールが複数配備されている膜濾過装置、あるいは濾過槽内に開放型の膜モジュールが配備されている膜濾過装置を２個以上並列して有しており、各膜濾過装置から得られた処理水を処理水槽に導入するようにした膜濾過装置において、一つあるいは一部の膜モジュールからの処理水を前記処理水槽に導入することなく、直接に残りの膜モジュールの透過側にポンプにより送り、該膜モジュールを洗浄する洗浄水として使用することを特徴とする膜濾過装置。」
（ロ）明細書の「発明の詳細な説明」の欄
　特許請求の範囲の減縮に伴う明りょうでない記載の釈明を目的として、明細書の発明の詳細な説明の段落【０００７】の第３行〜第６行の記載を次のとおり訂正請求されている。
「すなわち、１）濾過槽内に開放型の膜モジュールが複数配備されている膜濾過装置、あるいは濾過槽内に開放型の膜モジュールが配備されている膜濾過装置を２個以上並列して有しており、各膜濾過装置から得られた処理水を処理水槽に導入するようにした膜濾過装置において、一つあるいは一部の膜モジュールからの処理水を前記処理水槽に導入することなく、直接に残りの膜モジュールの透過側にポンプにより送り、該膜モジュールを洗浄する洗浄水として使用することを特徴とする膜濾過装置。」
（２）訂正の目的の適否及び拡張・変更の存否
　上記訂正は、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明に該当し、また新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
（３）独立特許要件の判断
（本件訂正発明）
　本件訂正発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】濾過槽内に開放型の膜モジュールが複数配備されている膜濾過装置、あるいは濾過槽内に開放型の膜モジュールが配備されている膜濾過装置を２個以上並列して有しており、各膜濾過装置から得られた処理水を処理水槽に導入するようにした膜濾過装置において、一つあるいは一部の膜モジュールからの処理水を前記処理水槽に導入することなく、直接に残りの膜モジュールの透過側にポンプにより送り、該膜モジュールを洗浄する洗浄水として使用することを特徴とする膜濾過装置。
　【請求項２】該膜濾過装置に、該濾過装置内で薬品の濃度の調整、混和、循環および中和を行う設備を設置し、薬品洗浄を該膜モジュールを該装置から取り外すことなく行うことを特徴とする請求項１記載の膜濾過装置。」
（引用刊行物）
　当審が取消理由通知において引用した刊行物１及び２には、それぞれ次の事項が記載されている。
引用刊行物１：特開昭６０−１６６００３号公報
▲１▼「濾過装置の濾材エレメントを逆洗する方法であって、原液入口、濃縮液出口、透過液出口ノズルを有する濾材エレメント複数個を夫々のノズルに対応する配管ラインに併列に連結した配管系において、該濾材エレメントの中の少なくとも１個の濾材エレメントからの透過液圧を、連結された透過液配管を介して他の濾材エレメントの透過液側に伝えることにより逆洗することを特徴とする濾材エレメントの相互逆洗方法。」（第１頁左欄）
▲２▼「このようになった状態で、洗浄工程に入るわけであるが、この時半透膜モジュール２個のうちのどちらかの１個には原液を供給しない状態、例えば弁２を開にしたまま弁２’を閉とし、同時に全開となっていた弁６−６を適度に閉とする。このようにすれば・・・もう一つの半透膜モジュール３’は原液側に液圧がかからず、逆に透過液側に半透膜モジュール３からの液圧がかかることにより逆洗作用が働くことになる。」（第２頁下段右欄）
▲３▼「即ち本発明のポイントは原液側の液圧で、且つ複数個の濾過エレメントが夫々の透過液でお互いに逆洗し合うことにある。」（第３頁上段左欄）
引用刊行物２：特開昭６０−２２９０５号公報
▲１▼「被処理液を、半透膜を透過して得られる精製液と、半透膜を透過しないで取り出される濃縮液とに分離する半透膜モジュールを洗浄するにあたり、前記モジュールの、精製液および濃縮液の吐出口を洗浄ポンプの供給口へ、該ポンプの吐出口を前記モジュールの、被処理液の供給口へ夫々接続して循環流路を形成すると共に、該流路にタンクを介在せしめて、タンク内に、クエン酸、塩酸、陰イオン系界面活性剤から選ばれた処理剤と、前記半透膜を透過して得られた純水、または別に得られた軟水あるいは蒸留水から選ばれた処理水とを投入し、ポンプを運転することを特徴とする半透膜モジュールの洗浄方法」（第１頁左欄）
▲２▼「この装置を用いて、モジュールの洗浄を行うにあたっては、・・・タンク２５内に、・・・処理剤と、・・・処理水とを投入する。」（第２頁下段左欄）
（対比・判断）
（イ）請求項１に係る発明（以下、「訂正発明１」という）について
　引用例１に記載の「膜濾過装置」（以下、「引用例発明」という）は、膜濾過した処理水をそのまま洗浄水として利用する目的のものである点では、本件訂正発明１と共通しているが、その具体的な構成の点で相違する。
　すなわち、本件訂正発明１は、複数の開放型膜モジュールが濾過槽内に配備される形式の「膜濾過装置」であるのに対し、引用例発明は、膜モジュールが配管ラインに並列に連結される形式の「膜濾過装置」である。また、本件訂正発明１は、処理水をポンプにより膜モジュールの透過側に送給するのに対し、引用例発明は、配管系の弁の開放度合いの調節による液圧の差を利用するものであるから、両者は、その構成の点で相違するものである。
　そして、上記引用例１には、本件訂正発明１の上記構成を示唆する記載も見あたらないから、本件訂正発明１は、上記引用例１に記載された発明であるとは云えないし、引用例発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとも云えない。
　次に、上記引用例２について検討すると、この引用例２に記載された「膜洗浄装置」は、処理槽内に貯留された処理水を利用するものであるから、本件訂正発明１とはその目的や構成の点で別異のものである。
　したがって、本件訂正発明１は、上記引用例１に記載された発明であるとは云えないし、また上記引用例１及び引用例２に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとも云えないから、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
（ロ）請求項２に係る発明
　この発明も、本件訂正発明１を引用してなるものであるから、上記（イ）で述べたと同様の理由により、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
（４）むすび
　以上のとおり、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項、同条第３項で準用する第１２６条第２項乃至第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについての判断
（１）特許異議申立人片山晴子の主張
　特許異議申立人は、証拠方法として、甲第１号証（上記引用刊行物１と同じ）及び甲第２号証（上記引用刊行物２と同じ）を提出して、本件特許は、次の（イ）及び（ロ）の理由により取り消されるべきであると主張している。
（イ）本件請求項１に係る発明は、上記甲第１号証に記載された発明であるか、上記甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。また本件請求項２に係る発明も、上記甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１及び２に係る発明は、特許法第２９条第１項第３号又は第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
（ロ）本件特許明細書には、具体的な装置の構成について、その大きさ、装置の材料が記載されておらず、また膜モジュールの構成についても、その形状、構造、材質が記載されていない。さらにこの膜モジュールに如何なる組成の処理液をどのような速度及び量で通ずるものであり、逆洗にあたってはどの程度の時間洗浄液を通ずるのか、そしてこの逆洗処理の結果どのような効果が得られるのか等記載されていないから、本件特許明細書は、旧特許法第３６条第４項乃至第６項に規定する要件を満たしていない。
（２）当審の判断
上記（イ）の主張について
　この主張については、上記２．（３）で述べたとおりであるから、特許異議申立人の上記（イ）の主張は採用することができない。
上記（ロ）の主張について
　本件特許に係る発明は、上記２．（３）に示すとおりの構成であり、本件発明の目的を達成するために必要な構成が記載されていると云える。また、本件発明の膜濾過装置については、その大きさや材料、膜モジュールの材質等さらには処理液の組成や処理時間等が記載されていなくても、本件特許明細書の記載の範囲で当業者であれば本件発明を容易に実施しうることは明らかである。さらに、本件発明の効果についても、特許明細書に記載されているから、本件特許明細書には、特許異議申立人が主張するほどの記載不備はない。
　したがって、特許異議申立人の上記（ロ）の主張も採用することができない。
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１１月１８日（１９９９．１１．１８）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
特許第２７８２５６６号発明の特許明細書を平成１１年７月１９日付け訂正請求書に添付された全文訂正明細書のとおりに、すなわち次の（イ）及び（ロ）のとおりにそれぞれ訂正するものである。
（イ）「特許請求の範囲」の欄
請求項１をその減縮を目的として訂正し、特許請求の範囲を次のとおりに訂正する。
「【請求項１】濾過槽内に開放型の膜モジュールが複数配備されている膜濾過装置、あるいは濾過槽内に開放型の膜モジュールが配備されている膜濾過装置を２個以上並列して有しており、各膜濾過装置から得られた処理水を処理水槽に導入するようにした膜濾過装置において、一つあるいは一部の膜モジュールからの処理水を前記処理水槽に導入することなく、直接に残りの膜モジュールの透過側にポンプにより送り、該膜モジュールを洗浄する洗浄水として使用することを特徴とする膜濾過装置。
　【請求項２】該膜濾過装置に、該濾過装置内で薬品の濃度の調整、混和、循環および中和を行う設備を設置し、薬品洗浄を該膜モジュールを該装置から取り外すことなく行うことを特徴とする請求項１記載の膜濾過装置。」
（ロ）「発明の詳細な説明」の欄
特許請求の範囲の減縮に伴う明りょうでない記載の釈明を目的として、明細書の発明の詳細な説明の段落【０００７】の第３行〜第６行の記載を次のとおり訂正する。
「すなわち、１）濾過槽内に開放型の膜モジュールが複数配備されている膜濾過装置、あるいは濾過槽内に開放型の膜モジュールが配備されている膜濾過装置を２個以上並列して有しており、各膜濾過装置から得られた処理水を処理水槽に導入するようにした膜濾過装置において、一つあるいは一部の膜モジュールからの処理水を前記処理水槽に導入することなく、直接に残りの膜モジュールの透過側にポンプにより送り、該膜モジュールを洗浄する洗浄水として使用することを特徴とする膜濾過装置。」
（５４）【発明の名称】
膜濾過装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　
濾過槽内に開放型の
濾過槽内に開放型の
膜モジュールの透過側にポンプにより送り、該
　【請求項２】　該膜濾過装置に、該濾過装置内て薬品の濃度の調整、混和、循環およひ中和を行う設備を設置し、薬品洗浄を該膜モジュールを該装置から取り外すことなく行うことを特徴とする請求項１記載の膜濾過装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は河川水、井水、湖沼水、し尿、用水及び廃水なとの原水に含まれる懸濁物を濾過するための膜濾過装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　一般的な膜濾過工程では、精密濾過工程においても、限外濾過工程においても、膜濾過に使用する膜モジュールを分類すると、膜の外側から内側に液体を濾過する外圧型膜モジュールとその反対に膜の内側から外側に液体を濾過する内圧型膜モジュールとに分類される。
　また、濾過のために膜モジュールに原水を送る方式としては、原水を加圧的に膜に圧入させる方式と吸引的に膜を透過させる方式とがある。
　【０００３】
　膜濾過の洗浄工程では、洗浄は処理水洗浄および／あるいは空気を用いたバブリングによって行うのが基本である。
　処理水洗浄の場合、図４に示したような設備によって、処理水を一旦処理水槽に貯留し、ポンプあるいは他の方法で加圧して処理水を膜モジュールに送って洗浄を行う。空気洗浄は膜濾過装置の底部て膜モジュールの下部に散気管を設置するなどして、空気の気泡を送って膜モジュールの洗浄を行う。
　また、処理水洗浄および／あるいは空気を用いたバブリングによって洗浄した後、洗浄廃水は膜装置から完全にドレンする方法が効果的である。
　【０００４】
　処理水を一旦処理水槽に滞留させ、処理水洗浄を行うと、処理水槽の汚れなどが膜内部に流入して逆汚染することがある。
　また、原水に溶解性マンガンか含まれているような場合、溶解性物質は膜を通過するので溶解性マンガンは処理水槽に入り、処理水槽に消毒用の塩素が添加されると酸化されて溶解性マンガンが固形化する。この固形物が膜内部を汚染することもある。
　【０００５】
　膜モジュールの膜の汚染が進行して、バブリングや処理水洗浄などの通常の洗浄で、透過水量が回復しなくなった場合には薬品洗浄を行う。
　薬品洗浄は濃度を調整した苛性ソーダ水溶液、ＨＣｌ液あるいは次亜塩素酸ソーダ水溶液などの洗浄液に膜を長時間侵すか、薬液を膜を通して循環させるかて行う。薬液の循環、または薬品洗浄後の廃液の中和が必要なため、膜モジュールを濾過装置から取り外して別途の薬品洗浄装置で行い、再度もとの濾過装置に取り付けるのが一般的な工程である。
　しかしながら、膜モジュールを濾過装置から取り外したり、再度もとの濾過装置に取り付けたりすることを実際に行うことは非常に労力や時間を要することである。
　【０００６】
　【発明か解決しようとする課題】
　本発明の目的は上記膜濾過の洗浄工程における問題点を解消し、簡単でかつ効率よく膜の洗浄を行うことにある。また、薬液による洗浄が必要な時も膜モジュールを濾過装置から取り外すことなく膜の洗浄を行うことにある。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　上記課題は本発明の濾過装置を開発することによって解決することができる。
　すなわち、１）
濾過槽内に開放型の
濾過槽内に開放型の
を２個以上並列して有しており、各膜濾過装置から得られた処理水を処理水槽に導入するようにした膜濾過装置において、
前記処理水槽に導入することなく、
膜モジュールの透過側にポンプにより送り、該
　【０００８】
　および、２）該膜濾過装置に、該濾過装置内て薬品の濃度の調整、混和、循環および中和を行う設備を設置し、薬品洗浄を該膜モジュールを該装置から取り外すことなく行うことを特徴とする前記（１）記載の膜濾過装置を開発することにある。
　【０００９】
　また本発明の膜濾過方法は膜モジュールが複数配備されているが、膜モジュールが配備されている膜濾過装置が複数並列して存在し、相互に配管などで連結されていることによって可能となる。
　開放型の膜モジュールの使用が便利な場合には、膜モジュールと吸引ポンプとの組み合わせで原水を吸引的に膜を透過させる方式とすることが有利である。
　【００１０】
　膜濾過の洗浄工程においては、処理水側からの汚染を防止するためには膜濾過した処理水を一旦処理水槽に溜めて用いるのではなく、処理水をそのまま洗浄水として使用することが最適である。
　処理水を直接洗浄水として使用することは、複数の膜モジュール（または膜濾過装置）を使用して、濾過の役割りの膜モジュール（または膜濾過装置、以下膜濾過装置は省略する）の処理水を弁の切替えによって洗浄すべき膜モジュールに送水することによって行われる。
　【００１１】
　本発明の濾過装置では膜モジュールを装置から取り外すことなく膜の洗浄が行え、また装置内で薬品の濃度の調整、混和、循環および中和を行えることが特徴である。
　【００１２】
　膜モジュールを装置から取り外すことなく膜を洗浄し、濾過装置内で薬品の濃度の調整、混和、循環および中和を行う本発明の工程は、先ず装置内を原水または処理水で充満し、規定量の薬品を添加して、バブリング機能を利用して薬品を装置内て希釈し、洗浄機能て希釈薬品を膜に通しながら装置内に循環して膜を洗浄し、洗浄か終了した後、中和用の薬品を添加してバブリンク機能を利用して装置内の液を中和し、洗浄工程を終了する工程よりなる。
【００１３】
　上記工程においては薬品を直接濾過装置内に添加して希釈する方式について記載したが、別の方式、すなわち別途薬品槽で薬品を規定濃度に希釈してその希釈薬品液を例えばエジェクターにより濾過装置に吸引庄入させる方式や注入ポンプで注入する方式で行ってもよい。
　【００１４】
　本発明の膜濾過装置に使用するポンプは、膜モジュールが濾過槽中に開放型の膜モジュールとして浸漬されているとき、膜濾過は既に上記した通り吸引ポンプを使用して吸引濾過方式て行われる。しかしながら本発明の膜濾過装置では膜モジュールの洗浄が濾過に使用するのど同一のポンプで行われることもある。また装置内で薬品の濃度の調整、混和、循環および中和などの操作が行われる場合には定量送液性が要求される。従って、本発明の膜濾過装置に使用するポンプとしては容積ネジポンプのような加圧および吸入方式に可変でかつ定量性のあるポンプが望ましい。
　しかしながら、本発明の膜濾過装置に使用するポンプは定量ポンプに限定されることはなく、弁などを用いて定量性の付与や加圧および吸入の変更を行って、通常の送液ポンプも使用することができる。
　【００１５】
　膜モジュールを薬品を用いて洗浄する場合に用いる薬品としては、苛性ソーダ、次亜塩素酸ソーダ、過酸化水素水、塩酸、その他公知の多くの薬品が使用できる。
　【００１６】
　また、上記複数の膜モジュールを使用して、濾過の役割りの膜モジュールの処理水を、弁の切替えによって洗浄すべき膜モジュール（または膜濾過装置）に送水する設備と、薬品の濃度の調整、混和、循環および中和を行う設備とを同一濾過装置に設備して、上記１）および２）に記載の目的を同一濾過装置で行うことも可能である。
　【００１７】
　しかしまた、複数の膜濾過装置が存在する場合には、その複数の膜濾過装置の間に配管などによって相互に連結して、その内一部の膜濾過装置は膜濾過工程を行っている時点で、他の一部の膜濾過装置が膜洗浄の工程を行っているという膜濾過方式も本発明の膜濾過装置の１変形である。
　【００１８】
　さらにまた、上記同様に複数の膜濾過装置が存在する場合に、その内一部の膜濾過装置にのみ薬品の濃度の調整、混和、循環および中和を行う設備を設置して、他の一部の膜濾過装置の膜の薬品洗浄には前記一部の膜濾過装置の薬品調整設備など利用して薬品洗浄を行うことも本発明の膜濾過装置の１変形である。
　その他種々の変形が上記処理水洗浄方式と薬品洗浄方式の組み合わせで考えられるがそれらはすべて本発明の膜濾過装置の範疇に属する。
　【００１９】
　【実施例】
　以下、具体的実施例を示して本発明を説明するが、以下の説明は本発明の膜洗浄の１例であり本発明がこれに限定されるものではない。
　【００２０】
　（実施例−１）
　図１に示した本発明の膜濾過装置では、該装置の濾過槽１は原水で充満されており、その濾過槽１中に３本の外圧型膜モジュールか浸漬されている。
　３本の外圧型膜モジュール３（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ）はそれぞれ三方弁５（５Ａ、５Ｂ、５Ｃ）を経由して流出管１２て処理水槽４に連結されており、その途中に吸引ポンプ２と流出弁６が　配置されている。
　【００２１】
　三方弁５の構造は図３に示したようで、弁の操作で流出系と循環系とに切替えられる。
　濾過槽１の底部には散気管１１が設けられており、ブロア１０で散気管１１に空気を送り、濾過モジュール３に気泡を供給して空気による洗浄ができる。また散気弁と濾過槽１の上部の排気排水弁８を閉じて、加圧弁を開き、ブロアを運転して濾過槽１に加圧空気を送り膜濾過装置内を加圧してドレン弁７より排水できるようになっている。
　【００２２】
　濾過を行う時は、排気排水弁８を開き、ブロア系の弁は閉じ、三方弁５を流出系とし、流出弁を開き、原水を供給しなから吸引ポンプ２で吸引して濾過を行い、濾過した処理水を処理水槽４に送る。
　濾過槽１の洗浄を行う時には、通常は三方弁５を循環系とし、処理水槽からポンプで処理水を送って洗浄するが、本発明の膜濾過装置では既に上記した通り処理水側からの汚染を防止するために処理水槽からの処理水で洗浄するのではなく、処理水をそのまま洗浄水として使用する方式となっている。
　すなわち、図１の装置では例えば三方弁５Ａを循環系に切替え、三方弁５ＢおよびＣは流出系とし、流出弁６は閉じて、膜モジュール３Ｂおよび３Ｃからの処理水を吸引ポンプ２で直接三方弁５Ａを経て膜モジュール３Ａに注入して洗浄する。
　【００２３】
　三方弁５Ａ、５Ｂ、５Ｃは順次循環系に切替え、それぞれ循環系に切替えられた膜モジュールを洗浄する仕組みとなっている。
　吸引ポンプ２は弁の切替えによって吸引圧か変動しても送水量は変動しない容積ポンプとすることが望ましい。なお、三方弁にかえて二方弁を２個用いても構わない。
　【００２４】
　図１に膜濾過装置では、各膜モジュール毎の洗浄方法を示したが、複数の膜濾過装置か存在する場合には、その内一部の膜濾過装置は膜濾過工程を行っていて、処理水が流出しているその処理水を他の一部の膜濾過装置の膜モジュールに送ってその膜洗浄を行なう膜濾過方式が行える。
　【００２５】
　膜洗浄が終了後ドレン工程では、ドレン弁７を開の状態とし、排気排水弁を閉じ、加圧弁を開の状態としてフロア１０を駆動すると濾過槽１内の水は空気源の圧力で排水するのが好ましい。
　【００２６】
　図２を使用して、薬品を用いて洗浄する場合について説明する。
　図２において、膜濾過槽１は原水て満たされた状態にあるとする。
　膜濾過槽１に直接薬液を添加して膜濾過槽１中で所定の薬品濃度に希釈する場合には、予め膜濾過槽１の容積は知られているので、洗浄に必要な濃度になるような量の薬液を添加し、槽底の散気管からの空気のバブリングによって槽中の薬液の濃度を均一にする。
　【００２７】
　もし、原水が汚染状態にあり、槽中の原水に直接添加することが不適当な場合には槽内の原水の全量をドレン後処理水槽の処理水を槽内に送水し充満させて、上記同様にして所定濃度の洗浄液を得る。
　【００２８】
　所定濃度の洗浄液が得られたら、槽中の洗浄液を循環しての洗浄操作にはいる。槽中の洗浄液を循環するためには、膜モジュール１５の一つ例えば１５Ａの三方弁２０Ａを循環系の状態とし、他の三方弁２０Ｂおよび２０Ｃは流出系の状態とする。処理水ポンプ１８を起動し、洗浄液を膜モジュール１５Ｂおよび１５Ｃから吸引し膜モジュール１５Ａに膜の内側より注入して膜を透過させる。この洗浄液の循環を膜モジュール１５Ａの膜の濾過抵抗値が新品の状態になるまで行い、その後膜モジュール１５Ｂの三方弁２０Ｂを循環系の状態とし、他の三方弁２０Ｃおよび２０Ａは流出系の状態というように三方弁を切り換えてすべての膜モジュールを洗浄する。
　【００２９】
　薬液による洗浄が終了したら、槽中に中和用の薬品を添加して槽中の液の３本の膜モジュールを通しての循環を続け、槽内の液が中和されたことをｐＨ測定によって確認して、洗浄の全工程を終了する。
　膜モジュールの洗浄が終了したら、直ちに通常の膜濾過処理を再開することができる。
　上記説明は膜濾過槽１に直接薬液を添加して膜濾過槽１中で所定の薬品濃度に希釈する場合について説明したが、他の方式として、薬品槽２３からエジェクタ２２を使用して薬液を吸引し、膜モジュール１５を通して膜濾過槽１に薬液を添加する方式や別途薬液注入ポンプを使用して注入する方式も行うことができる。
　【００３０】
　活性汚泥処理法による汚水処理工程に膜濾過装置を利用して効率よく汚泥を分離・濃縮することができる。すなわち、処理槽中あるいは沈澱池中に膜モジュールを侵漬して吸引方式で膜濾過で汚泥を上澄水と濃縮汚泥とに分離して汚泥を濃縮し、活性汚泥処理工程の効率化をはかることができる。
　【００３１】
　活性汚泥処理法による汚水処理工程に膜濾過装置を利用した場合に、本発明の洗浄方式を利用すると便利である。
　活性汚泥処理法による汚水処理工程の場合には処理槽中に直接薬品を添加することは不適当で、薬品槽中で薬品を希釈して、処理槽中に添加することが望まれる。
　【００３２】
　【発明の効果】
　本発明は膜モジュールが配備されている膜濾過装置において、ポンプ好ましくは定量ポンプと、弁とを配置して、膜処理水を直接洗浄水として使用する膜洗浄を行うことができる。
　また、この膜濾過装置に、必要ならば薬品槽を設けて、薬液による膜洗浄を膜モジュールを装置から取り外すことなく、効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　図１は本発明の膜濾過装置による膜モジュールを洗浄する工程のフロー図。
　【図２】
　図２は本発明の膜濾過装置により、膜モジュールを薬液により洗浄する工程のフロー図。
　【図３】
　図３は本発明の膜濾過装置に使用する三方弁の流路を説明する図。
　【図４】
　図４は加圧ポンプによる膜濾過の工程フロー図。
　【符号の説明】
　１　　濾過槽　　　　　　　　　　１４　　濾過槽
　２　　吸引ポンプ　　　　　　　　１５Ａ　膜モジュールＡ
　３Ａ　膜モジュールＡ　　　　　　１５Ｂ　膜モジュールＢ
　３Ｂ　膜モジュールＢ　　　　　　１５Ｃ　膜モジュールＣ
　３Ｃ　膜モジュールＣ　　　　　　１６　　ブロア
　４　　処理水槽　　　　　　　　　１７　　散気管
　５Ａ　三方弁Ａ　　　　　　　　　１８　　処理水ポンプ
　５Ｂ　三方弁Ｂ　　　　　　　　　１９　　処理水槽
　５Ｃ　三方弁Ｃ　　　　　　　　　２０Ａ　三方弁Ａ
　６　　流出弁　　　　　　　　　　２０Ｂ　三方弁Ｂ
　７　　ドレン弁　　　　　　　　　２０Ｃ　三方弁Ｃ
　８　　排気排水弁　　　　　　　　２１　　洗浄弁
　９　　加圧弁　　　　　　　　　　２２　　エジェクター
　１０　ブロア　　　　　　　　　　２３　　薬品槽
　１１　散気管　　　　　　　　　　２４　　流出管
　１２　流出管　　　　　　　　　　２５　　洗浄管
　１３　洗浄管