【事件の表示】
　　特許第２７１３９８０号「Ｆｅ基軟磁性合金」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７１３９８０号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理由】
１．手続の経緯
　本件特許第２７１３９８０号号の請求項１及び請求項２に係る発明についての出願は、昭和６３年５月１７日に出願され、平成９年１０月３１日にその発明について特許の設定登録がなされ、その後、その特許について特許異議の申立てがなされ、取消通知がなされ、その指定期間内である平成１１年２月１０日に訂正請求がなされ、さらに、訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年８月２０日に訂正請求書の補正がなされ、再度、平成１１年１０月１８日に訂正拒絶理由通知の手交がなされると同時に訂正請求書の補正がなされたものである。
２．訂正の要旨
▲１▼特許請求の範囲の請求項１の「・・・微細結晶粒を有することを特徴とする・・・」を「・・・微細結晶粒が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Ａの結晶が８０％以上存在する合金を薄帯形状で高周波磁心に適用することを特徴とする・・・」と訂正し、
　請求項２の「微細結晶粒は合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Ａの結晶が８０％以上存在することを特徴とする請求項１のＦｅ基軟磁性合金」を
　「一般式
Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃＣｕａＭｂＹｃ
Ｍ：周期律表ＩＶａ，Ｖａ，ＶＩａ族元素またはＭｎ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ，Ｂ，Ｐ，Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
３＜ａ≦８　　　（原子％）
０．１≦ｂ≦８
３．１≦ａ＋ｂ≦１２
１５≦ｃ≦２８
で表わされ、微細結晶粒が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Ａの結晶が８０％以上存在する合金を薄帯形状でセンサー用磁性部品に適用することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金。」と訂正する。
▲２▼明細書第５頁１５行の「特に」を「次に示す」に、同頁第１７行の「特に」を「具体的には」に、同頁同行の「は」を「が」に、同頁１８行の「ことが好ましく」を「と共に」に、同頁１８〜１９行の「ことが好ましい」を「ものである」に、同８頁７行の「により得る」を「により薄帯を得る」に、同第９頁９行の「合金は」を「合金薄帯は」に、それぞれ訂正する。
▲３▼平成１年８月１１日付け手続補正書の６の（５）の第８頁７行「また、スパッタ法、蒸着法等により上記と同様の特性を薄膜として得ることも可能となる。」、明細書第７頁２０行〜第８頁１行の「あるいは、アトマイズ法などにより急冷粉末を得た後」、同第９頁２〜３行の「薄膜ヘッド」を、それぞれ削除する。
３．訂正の適否についての判断
３−１．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　平成１１年１０月１８日付けの訂正請求書の補正は、平成１１年２月１０日付け訂正請求書に記載された事項をさらに減縮するものであり、請求書の要旨を変更するものではないから、以下、平成１１年１０月１８日付けの手続補正書（訂正請求書）に記載された訂正の要旨に基づいて訂正の適否を検討する。
　▲１▼の訂正は、「微細結晶粒」を、明細書第５頁１７行〜末行の「特に微細結晶粒は、・・・ことが好ましい。」なる記載に基づき、その面積比及び結晶粒度の割合を粒径とその粒径の結晶粒が占める割合で限定するものであり、特許法第１２０条の４第２項ただし書第１号の特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　▲２▼及び▲３▼の訂正は、▲１▼の訂正による特許請求の範囲の記載と整合させるために、明細書の記載を訂正及び削除することにより明りょうとするものであり、特許法第１２０条の４第２項ただし書第２号の明りょうでない記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
３−２．独立特許要件
（本件発明）
　本件請求項１及び請求項２に係る発明は、訂正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された次のとおりのものである。
　「【請求項１】一般式
Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃＣｕａＭｂＹｃ
Ｍ：周期律表ＩＶａ，Ｖａ，ＶＩａ族元素またはＭｎ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ，Ｂ，Ｐ，Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
３＜ａ≦８　　　（原子％）
０．１≦ｂ≦８
３．１≦ａ＋ｂ≦１２
１５≦ｃ≦２８
で表わされ、微細結晶粒が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Ａの結晶が８０％以上存在する合金を薄帯形状で高周波用磁心に適用することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金。
　【請求項２】一般式
Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃＣｕａＭｂＹｃ
Ｍ：周期律表ＩＶａ，Ｖａ，ＶＩａ族元素またはＭｎ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ，Ｂ，Ｐ，Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
３＜ａ≦８　　　（原子％）
０．１≦ｂ≦８
３．１≦ａ＋ｂ≦１２
１５≦ｃ≦２８
で表わされ、微細結晶粒が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Ａの結晶が８０％以上存在する合金を薄帯形状でセンサー用磁性部品に適用することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金。」
（取消理由の概要）
　取消理由は、本件請求項１及び請求項２に係る発明は、特願昭６２−３０７２７３号の願書に最初に添付した明細書又は図面（特開平１−１４９９４０号公報参照）に記載された発明（以下、「先願明細書に記載された発明」という。）と同一であり、両者は、発明者が同一であるとも、出願時において出願人が同一であるとも認められないから、本件請求項１及び請求項２に係る発明の特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものである、というものである。
（先願明細書に記載された発明）
　先願明細書には、
　「（１）一般式
（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−ｘ−ｙ−ｚーαーβーγーδＣｕｘＳｉｙＢｚＭ’αＭ″βＸγＹδ（原子％）
（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ’はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ａｌ，白金属元素，Ｓｃ，Ｙ，希土類元素，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、ＸはＣ，Ｇｅ，Ｐ，Ｇａ，Ｓｂ，Ｉｎ，Ｂｅ，Ａｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、ＹはＬｉ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ａｇ，Ｃｄ，Ｐｂ，Ｂｉ，Ｎ，Ｏ，Ｓ，Ｓｅ及びＴｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，ｘ，ｙ，ｚ，α，β，γ及びδはそれぞれ　０≦ａ＜０．５，３≦ｘ≦１０，０≦ｙ≦３０，０≦ｚ≦２５，０．１≦α≦３０，０≦β≦１０，０≦γ≦２０及び０≦δ≦２を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも５０％が微細な結晶粒からなり、前記結晶粒の最大寸法で測定した粒径の平均が１０００Å以下の平均粒径を有することを特徴とするＦｅ基磁性合金。」（特許請求の範囲第１項）
が記載され、また、
　「本発明は高周波帯で用いるのに適するＦｅ基磁性合金、特に圧粉磁心や磁気シールド材に適する粉末化が容易で組織の大半が超微細な結晶粒からなるＦｅ基磁性合金に関するものである。」（第２頁左上欄４〜７行）
　「本発明合金は、主に１０００Å以下の粒径の超微細な均一に分布した結晶粒からなるが、より優れた軟磁性を示す合金の場合は５００Å以下の平均粒径を有する場合が多い。特に好ましい軟磁気特性はその粒径が２０〜２００Å平均の場合である。」（第３頁右下欄最下行〜第４頁左上欄４行）
　「実施例１
　原子％でＣｕ　５％，Ｓｉ　６．５％，Ｂ６％，Ｎｂ　３％及び残部実質的にＦｅからなる組成の溶湯から、単ロール法により幅５ｍｍ、厚さ１８μｍのリボンを作製した。
　Ｘ線回折および組織観察の結果、この合金リボンはアモルファス相主体であることが確認された。
　次にこの合金を外径１９ｍｍ、内径１５ｍｍのトロイダル状に巻きＮ２ガス雰囲気５５０℃に１時間保持後室温まで冷却し、磁気特性を測定した。
　飽和磁束密度Ｂｓは１１．１ｋＧ，１００ｋＨｚ，２ｋＧにおけるコア損失が５３０ｍＷ／ｃｃであった。１ｋＨｚにおける実効透磁率５５００、保磁力Ｈｃが０．１２０ｅ、飽和磁歪λｓが＋０．５×１０−６であった。この合金は組織観察の結果１０００Å以下の粒径の超微細な結晶粒からなることが確認された。
　この熱処理後の合金薄帯は著しく脆化しており、振動ミルにより粉砕したところ、Ｃｕ添加量が１ａｔ％の合金に比べ容易に微粉化でき２割程度粉砕時間が短縮された。
　次にこの合金粉末に耐熱性無機ワニスをバインダーとして７ｗｔ％加え、５００℃まで昇温し圧力を加えながら圧粉磁心を作製した。
　実効透磁率は１６０であり周波数特性も良好であった。」（第４頁右下欄２行〜第５頁左上欄６行）
　「本発明によれば、超微細結晶粒組織からなり粉末化が容易で軟磁気特性に優れた合金を得ることができるためその効果は著しいものがある。」（第６頁右上欄２〜４行）
とそれぞれ記載されている。
（対比・判断）
　本件請求項１に係る発明と取消理由に引用された先願明細書に記載された発明とを対比すると、両者は、一般式Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃＣｕａＭｂＹｃで表され、その成分組成が重複し、微細結晶粒を有する高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金である点で一致し、本件請求項１に係る発明が「薄帯形状で高周波磁心に適用する」Ｆｅ基軟磁性合金であるのに対し、先願明細書に記載された発明は、合金薄帯を振動ミル等粉砕し微粉化して圧粉磁心等を作製するための粉末化が容易なＦｅ基軟磁性合金である点で相違する。
　この相違点について検討すると、先願明細書に記載された発明は、粉末化を容易にするために、熱処理によって合金薄帯を脆化させるものであり、「薄帯形状で高周波磁心に適用する」ことを示唆するものではないから、本件請求項１に係る発明は、先願明細書に記載された発明と同一であるとは認められない。
　また、本件請求項２に係る発明は、適用対象が「センサー用磁性部品」であるが、本件請求項１に係る発明と「薄帯形状で・・・適用する」点では共通であるから、上記と同様の理由により、先願明細書に記載された発明と同一であるとは認められない。
（まとめ）
　したがって、本件請求項１及び請求項２に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできない。
３−３．訂正の適否についての結論
　よって、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項、同条第３項で準用する同法第１２６条第２項〜第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
４．特許異議申立てについての判断
４−１．申立て理由の概要
　特許異議申立人は、甲第１号証（特開平１−１４９９４０号公報）を提出して、本件請求項１，２に係る発明は、甲第１号証に係る特願昭６２−３０７２７３号の願書に最初に添付した明細書に記載された発明と同一であるから、本件請求項１，２に係る発明の特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものであり（理由１）、また、特許請求の範囲の請求項１において「微細結晶粒」の具体的構成の記載がなく本件請求項１に係る発明を把握することができず、請求項２の規定でも微細結晶粒が特定できないため、本件請求項１，２に係る発明の特許は、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものである（理由２）、と主張している。
４−２．当審の判断
　理由１について、
　上記３−２に述べたとおり、本件請求項１及び請求項２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であるとは認められないから、この点に理由はない。
　理由２について、
　訂正の結果、請求項１に「微細結晶粒」についての具体的構成が記載され、また、結晶粒径の測定方法は本件特許明細書に「ＴＥＭ観察」（第１１頁３〜４行）と記載されており、結晶粒径５０〜３００Ａを中心にその前後にわたる粒径の結晶を観察して微細結晶粒を特定していることは明らかであり、訂正前の請求項２（訂正後の請求項１，２）における規定で微細結晶粒は特定できるから、この点にも理由はない。
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１及び請求項２に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１及び請求項２に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１２月９日（１９９９．１２．９）
【訂正の要旨】
▲１▼特許請求の範囲の請求項１の「・・・微細結晶粒を有することを特徴とする・・・」を「・・・微細結晶粒が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Ａの結晶が８０％以上存在する合金を薄帯形状で高周波磁心に適用することを特徴とする・・・」と訂正し、
　請求項２の「微細結晶粒は合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Ａの結晶が８０％以上存在することを特徴とする請求項１のＦｅ基軟磁性合金」を
　「一般式
Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃＣｕａＭｂＹｃ
Ｍ：周期律表ＩＶａ，Ｖａ，ＶＩａ族元素またはＭｎ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ，Ｂ，Ｐ，Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
３＜ａ≦８　　　（原子％）
０．１≦ｂ≦８
３．１≦ａ＋ｂ≦１２
１５≦ｃ≦２８
で表わされ、微細結晶粒が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Ａの結晶が８０％以上存在する合金を薄帯形状でセンサー用磁性部品に適用することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金。」と訂正する。
▲２▼明細書第５頁１５行の「特に」を「次に示す」に、同頁第１７行の「特に」を「具体的には」に、同頁同行の「は」を「が」に、同頁１８行の「ことが好ましく」を「と共に」に、同頁１８〜１９行の「ことが好ましい」を「ものである」に、同８頁７行の「により得る」を「により薄帯を得る」に、同第９頁９行の「合金は」を「合金薄帯は」に、それぞれ訂正する。
▲３▼平成１年８月１１日付け手続補正書の６の（５）の第８頁７行「また、スパッタ法、蒸着法等により上記と同様の特性を薄膜として得ることも可能となる。」、明細書第７頁２０行〜第８頁１行の「あるいは、アトマイズ法などにより急冷粉末を得た後」、同第９頁２〜３行の「薄膜ヘッド」を、それぞれ削除する。
（５４）【発明の名称】
Ｆｅ基軟磁性合金
（５７）【特許請求の範囲】
（１）一般式
Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃＣｕａＭｂＹｃ
Ｍ：周期律表ＩＶａ，Ｖａ，ＶＩａ族元素またはＭｎ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ，Ｂ，Ｐ，Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
３＜ａ≦８　　　　（原子％）
０．１≦ｂ≦８
３．１≦ａ十ｂ≦１２
１５≦ｃ≦２８
で表わされ、
微細結晶粒が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Ａの結晶が８０％以上存在する合金を薄帯形状で高周波用磁心に適用することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金。
（２）一般式
Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃＣｕａＭｂＹｃ　
Ｍ：周期律表ＩＶａ，Ｖａ，ＶＩａ族元素またはＭｎ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ，Ｂ，Ｐ，Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
３＜ａ≦８　　　　（原子％）
０．１≦ｂ≦８
３．１≦ａ＋ｂ≦１２
１５≦ｃ≦２８
で表わされ、微細結晶粒が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Ａの結晶が８０％以上存在する合金を薄帯形状でセンサー用磁性部品に適用することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金。
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
　本発明は、
Ｆｅ基軟磁性合金
（従来技術）
　従来から、スイッチングレギュレータなど高周波で使用する磁心としては、パーマロイ、フェライトなどの結晶質材料が用いられている。
　しかしながら、パーマロイは比抵抗が小さいので高周波での鉄損が大きくなる。また、フェライトは高周波での損失は小さいが、磁束密度もせいぜい５０００Ｇと小さく、そのため大きな動作磁束密度での使用時にあっては、飽和に近くなりその結果鉄損が増大する。近時、スイッチングレギュレータに使用される電源トランス、平滑チョークコイル、コモンモードチョークコイルなど高周波で使用される磁心においては、形状の小形化が望まれているが、その場合、動作磁束密度の増大が必要となるため、フェライトの鉄損増大は実用上大きな問題となる。
　このため、結晶構造を持たない非晶質磁性合金が、高透磁率、低保磁力など優れた軟磁気特性を示すので最近注目を集めて一部実用化されている。これらの非晶質磁性合金は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉなどを基本とし、これに非晶質化元素（メタロイド）としてＰ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｇｅなどを包含するものである。
　しかしながら、これら非晶性質磁性合金の全てが高周波領域で鉄損が小さいというわけではない。例えば、Ｆｅ基非晶質合金は、安価であり５０〜６０Ｈｚの低周波領域ではケイ素鋼の約１／４という非常に小さい鉄損を示すが、１０〜５０Ｈｚという高周波領域にあっては著しく大きな鉄損を示し、とてもスイッチングレギュレータ等の高周波領域での使用に適合するものではない。これを改善するために、Ｆｅの一部をＮｂ、Ｍｏ、Ｃｒ等の非磁性金属で置換することにより低磁歪化し、低鉄損、高透磁率を図っているが、例えば樹脂モールド時の樹脂の硬化収縮等による磁気特性の劣化も比較的大きく、高周波領域で用いられる軟磁性材料としては、充分な特性を得られるに至っていない。
　一方、Ｃｏ基非晶質合金は、高周波領域で低鉄損、高角形比が得られるため可飽和リアクトルなどの電子機器用磁性部品に実用化されるが、コストが比較的高いものである。
（発明が解決しようとする課題）
　以上に述べたように、Ｆｅ基非晶合金は安価な軟磁性材料でありながら、磁歪が比較的大きく、Ｃｏ基非晶質合金に比べ鉄損、透磁率とも劣っており、高周波領域における用途には問題があった。一方Ｃｏ基非晶質合金は磁気特性は良好であるものの、素材の値段が高いため工業上有利ではなかった。
　したがって本発明は、上記問題点に鑑み、高周波領域において高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金を提供することを目的とする。
［発明の概要］
（課題を解決するための手段と作用）
　上記目的を達成するためにＦｅ基合金について種々検討を重ねた結果、一般式
Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃＣｕａＭｂＹｃ
Ｍ：周期律表ＩＶａ，Ｖａ，ＶＩａ族元素またはＭｎ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ，Ｂ，Ｐから選ばれる少なくとも１種以上
３＜ａ≦８　　　　（原子％）
０．１≦ｂ≦８
３．１≦ａ＋ｂ≦１２
１５≦ｃ≦２８
で表わされ、微細結晶粒を有する合金が軟磁性材料に優れた特性を有することを初めて見い出し本発明に至ったものである。
　本発明は上記組成を有する合金中に
次に示
　
具体的には
と共に
ものである。
　以下に、本発明合金の組成限定理由および微細結晶粒の限定理由について説明する。
　まず組成限定理由について説明する。
　Ｃｕは耐食性を高め、結晶粒の粗大化を防ぐと共に、鉄損、透磁率など軟磁気特性を改善するのに有効な元素であるが、あまり少ないと添加の効果が得られず、逆にあまり多いと磁気特性の劣化を生じるために、その範囲を３を越えて８原子％以下とした。好ましくは３を越えて５原子％以下である。
　Ｍは結晶粒径の均一化に有効であると共に、磁歪および磁気異方性を低減させ軟磁気特性の改善および温度変化に対する磁気特性の改善に有効な元素であるが、その量があまり少ないと添加の効果が得られず、逆にあまり多いと飽和磁束密度が低くなるため、その量を０．１〜１０原子％とした。好ましくは１〜７原子％、さらに好ましくは１．５〜５原子％である。ここでＭにおける各添加元素は上記効果と共にさらにそれぞれ、ＩＶａ族元素は最適磁気特性を得るための熱処理条件の範囲の拡大、Ｖａ族元素およびＭｎは耐脆化性の向上および切断等の加工性の向上、ＶＩａ族元素は耐食性の向上および表面性状の向上、Ａｌは結晶粒の微細化と共に磁気異方性の低減に有効であり、これにより磁歪、軟磁気特性の改善、等の効果を有している。
　前記Ｍの元素中特に低鉄損化にはＮｂ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｗが好ましく、特に高飽和磁束密度化のためにはＣｏが好ましい。
　Ｙは製造時における合金の非結晶化に有効な元素であり、その量があまり少ないと製造時における超急冷の効果が得られにくく上記状態が得られず、逆にあまり多いと飽和磁束密度が低くなり上記状態が得られにくくなるため、優れた磁気特性が得られなくなるため、その量を１５〜２８原子％とした。好ましくは１８〜２６原子％である。特に（Ｓｉ，Ｃ）／（Ｐ，Ｂ）の比は１以上が好ましい。
　上記本発明のＦｅ基軟磁性合金は、例えば液体急冷法により、非晶質合金薄帯を得た後、後前記非晶質合金の結晶化温度に対し−５０〜＋１２０℃、好ましくは−３０〜＋１００℃の温度で１分〜１０時間、好ましくは１０分〜５時間の熱処理を行い、意図する微細結晶を析出させる方法、等によ
り薄帯として
　次に本発明のＦｅ基軟磁合金の微細結晶粒について述べる。
　本発明において、あまり小さいと磁気特性の改善が図れず、逆にあまり大きいと磁気特性の劣化が発生するため、上記微細結晶粒中においても、結晶粒径５０〜３００Ａの結晶が８０％以上存在することが好ましい。
　本発明のＦｅ基軟磁性合金は高周波での軟磁気特性に優れているため、例えば磁気ヘッド、大電力用を含む高周波トランス、可飽和リアクトル、コモンモードチョークコイル、ノーマルモードチョークコイル、高電圧パルス用ノイズフィルタ、レーザ電源等に用いられる磁気スイッチなど高周波で用いられる磁心、電流センサー、方位センサー、セキュリティセンサー，トルクセンサー等の各種センサー用の磁性材料等磁性部品の合金
薄帯
（実施例）
　Ｆｅ７５−ａＣｕａＮｂ３Ｓｉ１２Ｂ１０なる合金においてａ＝０，２，４，６，８，１０について母合金を作成し、単ロール法により約１５μｍの非晶質合金薄帯を得た。
　上記薄帯につき合金の第１発熱ピークから得られる結晶化温度（昇温速度１０ｄｅｇ／ｍｉｎで測定）より２０℃高い温度で８０分間の熱処理を行った。
　得られた薄帯の耐食性を１ＮＨＣｌ中１００時間に浸漬した場合における初期値に対する減量分として測定した。その結果を第１図にまた、上記非晶質合金薄帯を巻回し、外径１８ｍｍ、内径１２ｍｍ、高さ４．５ｍｍのトロイダル状磁心に成形し、前記と同様の温度で熱処理を行った。
　得られた磁心の飽和磁化を試料振動型磁力計（ＶＳＭ）により測定した。その結果を併せて第１図に示す。
　第１図より明らかなように耐食性はＣｕ添加により大幅に改善され、３原子％を越えるとその値は０．５％以下となっている。また、Ｃｕ量が８原子％を越えると飽和磁化が７．５ＫＧとなりＣｏ基非晶質合金と同様の値となってしまう。したがって、耐食性と飽和磁化を満足するにはＣｕの値は３原子％を越えて８原子％以下である。
　なお鉄損はＸ＝０原子％を除きＢ＝２ＫＧ，ｆ＝１００ＫＨｚでの鉄損を測定したところ、２９０〜３３０ｍＷ／ｃｃにあり低鉄損化を実現している。
　上記合金組成の中でＦｅ７１．５Ｃｕ３．５Ｎｂ１３Ｓｉ１３Ｂ９の合金薄帯を巻回し外径１８ｍｍ、内径１２ｍｍ、高さ４．５ｍｍのトロイダル状磁心に成形した後、第１表に示す条件で熱処理を行った。なお比較として熱処理条件を約４３０℃で約８０分間の熱処理を行った磁心を製作した。得られた磁心にはＴＥＭ観察により微細結晶粒は析出していないことを確認した。
　上記本発明の微細結晶粒を存在する磁心と比較例り微細結晶が存在しない磁心についてそれぞれ５個用いＢ＝２ＫＧ，ｆ＝１００ＫＨｚでの熱処理後の鉄損とエポキシ樹脂モールド後の鉄損、磁歪、１ＫＨｚ，１０ｍＯｅでの透磁率および飽和磁束密度を測定し、それらの平均値を第１表に示す。
　上記第１表より明らかなように、本発明の合金は微細結晶粒を設けることにより、同組成の非晶質合金薄帯よりなる磁心に比べ鉄損特に樹脂モールド後の鉄損が低く、低磁歪で高透磁率であり、高周波において優れた軟磁気特性を示している。
［発明の効果］
　本発明の合金は、所望の合金組成において、微細結晶粒を設けることにより、高周波領域において高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金、
特に高周波用磁心またはセンサー用磁性部品に好適な高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明合金のＣｕの添加による耐食性と飽和磁化の変化を示すグラフである。