【事件の表示】
　　特許第２６８０９３０号「多成分溶剤クリーニング系」の請求項１ないし１０に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２６８０９３０号の請求項１ないし１０に係る特許を維持する。
【理由】
Ｉ．手続の経緯
　特許出願　　　　　　平成　４年１１月３０日
　（優先権主張日　１９９１年１２月２日，米国）
　設定登録　　　　　　平成　９年　８月　１日
　　　　　　　　　　（特許第２６８０９３０号）
　特許公報発行　　　　平成　９年１１月１９日
　特許異議の申立て　　平成１０年　５月１９日
　　（申立人
　　　　三井・デュポンフロロケミカル株式会社）
　取消理由通知　　　　平成１１年　３月１７日
　期間延長請求　　　　平成１１年　７月１９日
　意見書，訂正請求書　平成１１年１０月２０日
　上申書（特許権者）　平成１１年１０月２２日
ＩＩ．訂正の要旨
　平成１１年１０月２０日付けの訂正請求における訂正の要旨は次のとおりである。
１．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１に「前記の液体ヒドロフルオロカーボンを基剤とするリンス溶剤が前記有機又は炭化水素クリーニング液を前記部品から除去する工程；」（特許公報第１欄第１１〜１３行）とあるのを、「前記の液体ヒドロフルオロカーボンを基剤とするリンス溶剤が前記有機又は炭化水素クリーニング液を前記部品から除去する工程、この際、前記の液体ヒドロフルオロカーボンを基剤とするリンス溶剤が、少なくとも２５℃から１２０℃の沸点範囲で少なくとも２モル％の該有機クリーニング溶剤が相分離を起こすことなく該リンス溶剤と混和する混和性を有し、該部品の表面の該残留汚れまたは汚染物に対して該有機クリーニング液よりも低い溶解性を有し、該ヒドロフルオロカーボンが、水素、炭素、及びフッ素から成り、場合により、酸素、硫黄、窒素、およびリン原子から成る群から選ばれる官能基を含むものである；」に訂正する。
２．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項１に「を含んでなる、部品から残留汚れまたは表面汚染物を除去するための非水系クリーニング方法。」（同公報第２欄第４〜５行）とあるのを「を含んでなる、部品から残留汚れまたは表面汚染物を除去するための非水系クリーニング法であって、クロロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボンを使用しないで行なわれる方法。」に訂正する。
３．訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項４に「次の：（ａ）部品を、該部品から残留汚れまたは表面汚染物を実質的に除去するのに十分な溶解力を有する有機又は炭化水素クリーニング液を含有するクリーニング区画の中に導入する工程；（ｂ）前記部品を前記有機又は炭化水素クリーニング液から取り出し、そして前記汚れまたは表面汚染物に対して十分な溶解力であるが前記有機又は炭化水素クリーニング液に対しては少なくとも十分な溶解力を有する液体リンス剤を有する第一リンス区画の中で前記部品をリンスして前記部品から前記有機又は炭化水素クリーニング液を除去する工程であって、前記リンス剤が該化合物中に約３〜約８の炭素原子を含有して少なくとも６０重量％のフッ素を有する１または２以上のヒドロフルオロカーボン化合物から本質的になり、前記化合物が直鎖または分岐鎖を有して約２５℃〜約１２５℃の沸点を有する工程；（ｃ）工程（ａ）及び（ｂ）の間、燃焼抑制被覆を該クリーニング区画及び第一リンス区画の上に形成する工程であって、前記燃焼抑制被覆が実質的に純粋なヒドロフルオロカーボン蒸気から本質的になる工程；及び（ｄ）前記部品を乾燥する工程；を含んでなる、部品から残留汚れまたは表面汚染物を除去するための非水系クリーニング方法。」（同公報第３欄第１４〜３６行）とあるのを、「リンス剤が、約３〜約８の炭素原子を含有して少なくとも６０重量％のフッ素を有する１または２以上のヒドロフルオロカーボン化合物から本質的になり、前記化合物が直鎖または分岐鎖を有して約２５℃〜約１２５℃の沸点を有する、請求項１記載の方法。」に訂正する。
４．訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の請求項８に「ヒドロフルオロカーボンリンス剤を含有するリンス区画中に存在するあらゆる有機又は炭化水素クリーニング液が」（同公報第４欄第２５〜２７行）とあるのを、「ヒドロフルオロカーボンリンス剤を含有するリンス区画中に存在する有機又は炭化水素クリーニング液が」に訂正する。
５．訂正事項ｅ
　特許明細書第４頁第２６〜２９行（同公報第８欄第６〜９行）に「少なくとも一個のフッ素原子含み、場合によっては酸素、窒素、リン、水素または他のハロゲン原子のような他の原子もその骨格に付いているフルオロカーボン系の溶剤」とあるのを、「少なくとも一個のフッ素および水素原子を含み、場合によっては酸素、窒素またはリンのような他の原子もその骨格に付いているフルオロカーボン系の溶剤」に訂正する。
６．訂正事項ｆ
　特許明細書第５頁第５〜６行（同公報第８欄第１７〜１９行）に「ペルフルオロカーボン、ヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボン」とあるのを、「ペルフルオロカーボンまたはヒドロフルオロカーボン」に訂正する。
７．訂正事項ｇ
　特許明細書第８頁末行〜第９頁第３行（同公報第１２欄第２２〜２７行）に「ペルフルオロカーボンまたはヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボンのようなフルオロカーボン、あるいは所望によって炭素原子に酸素、硫黄、窒素、リンまたは他のハロゲン原子が付いているこれらフルオロカーボン類との混合物」とあるのを、「ペルフルオロカーボンまたはヒドロフルオロカーボンのようなフルオロカーボン、あるいは所望によって炭素原子に酸素、硫黄、窒素またはリンが付いているこれらフルオロカーボン類との混合物」に訂正する。
８．訂正事項ｈ
　特許明細書第９頁第６〜９行（同公報第１２欄第３１〜３５行）に「ヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボン系化合物または混合物から選ばれ、そしてかかるフルオロカーボンは他のハロゲン、酸素、硫黄、窒素およびリン原子から成る群から選ばれた他の官能基で置換されている場合もある。」とあるのを、「ヒドロフルオロカーボン化合物または混合物から選ばれ、そしてかかるフルオロカーボンは酸素、硫黄、窒素およびリン原子から成る群から選ばれた他の官能基で置換されている場合もある。」に訂正する。
９．訂正事項ｉ
　特許明細書第９頁第１０〜１１行（同公報第１２欄第３６〜３７行）に「推奨されるヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボン混合物は」とあるのを、「推奨されるヒドロフルオロカーボン混合物は」に訂正する。
１０．訂正事項ｊ
　特許明細書第２５頁第５行（同公報第２４欄第３０行）に「次いでヒドロクロロフルオロカーボン、」とあるのを、「次いで比較フルオロケミカルス溶剤であるヒドロクロロフルオロカーボン、」に訂正する。
１１．訂正事項ｋ
　特許明細書第２５頁第１０〜１１行（同公報第２４欄第３６〜３７行）に「本発明の方法によるリンス溶剤ＨＣＦＣ−１２３とで、」とあるのを「比較フルオロケミカルス溶剤であるリンス溶剤ＨＣＦＣ−１２３とで、」に訂正する。
１２．訂正事項ｌ
　特許明細書第２６頁下から第２行（同公報第２５欄第３４行）に「実施例１０」とあるのを、「実施例１０（比較例）」に訂正する。
１３．訂正事項ｍ
　特許明細書第２５頁第１１行（同公報第２４欄第３７行）に「９．９％以上」とあるのを、「９９．９％以上」に訂正する。
ＩＩＩ．訂正の適否に対する判断
１．訂正の目的、新規事項、拡張・変更
１．１　訂正事項ａについて
　上記訂正事項ａは、特許明細書の請求項１には液体ヒドロフルオロカーボンを基材とするリンス溶剤の物性及びヒドロフルオロカーボンの構成原子については何も限定されていなかったものを、それぞれ特定の物性及び特定の構成元素のものに限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮に相当する。
　そして、液体ヒドロフルオロカーボンを基材とするリンス溶剤の物性及びヒドロフルオロカーボンの構成原子については、特許明細書第９頁第５〜１３行（特許公報第１２欄第２９〜４１行）に「フルオロカーボンリンス溶剤は、少なくとも２５℃から１２０℃の沸点を有する、直鎖、分岐または環状構造を含むヒドロフルオロカーボン・・（中略）・・または混合物から選ばれ、そして、かかるフルオロカーボンは・・（中略）・・酸素、硫黄、窒素およびリン原子からなる群から選ばれた他の官能基で置換されている場合もある。推奨されるヒドロフルオロカーボン・・（中略）・・混合物は、少なくとも２５℃から１２０℃の沸点範囲で有機クリーニング溶剤に対してある程度の混合性を有している。そのため、少なくとも２モル％の炭化水素クリーニング溶剤が相分離を起こすことなくフルオロカーボン液と混ざる。」と記載されていたから、上記訂正事項ａは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
１．２　訂正事項ｂについて
　上記訂正事項ｂは、特許明細書の請求項１には、非水系クリーニング方法においてクロロフルオロカーボンまたはヒドロフルオロカーボンを使用するか否かについては何も限定されていなかったものを、クロロフルオロカーボンまたはヒドロフルオロカーボンを使用しないものに限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮に相当する。
　そして、特許明細書第８頁下から第２行〜第９頁第９行（特許公報第１２欄第２１〜３５行）に「かかる有機クリーニング溶剤は、また、全ての上記有機クリーニング溶剤と、直鎖、分岐または環状構造ペルフルオロカーボンまたはヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボンのようなフルオロカーボン、あるいは所望によって炭素原子に酸素、硫黄、窒素、リンまたは他のハロゲン原子が付いているこれらフルオロカーボン類との混合物、・・（中略）・・であってもよい。フルオロカーボンリンス溶剤は、少なくとも２５℃から１２０℃の沸点を有する、直鎖、分岐または環状構造を含むヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボン系化合物または混合物から選ばれ、そして、かかるフルオロカーボンは他のハロゲン、酸素、硫黄、窒素およびリン原子からなる群から選ばれたたの官能基で置換されている場合もある。」と、ヒドロフルオロカーボンとしてフッ素以外のハロゲン原子を有していないものを使用し得ることが示されていたから、上記訂正事項ｂは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
１．３　訂正事項ｃについて
　上記訂正事項ｃは、特許明細書の請求項４は、そこに記載された「前記リンス剤が該化合物中に約３〜約８の炭素原子を含有して少なくとも６０重量％のフッ素を有する１または２以上のヒドロフルオロカーボン化合物から本質的になり、前記化合物が直鎖または分岐鎖を有して約２５℃〜約１２５℃の沸点を有する」との記載を除いては、請求項１と実質的に同じ構成であるため、当該異なる構成だけを規定して請求項４を請求項１の従属形式で記載したものであるから、明りょうでない記載の釈明に相当し、また、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
１．４　訂正事項ｄについて
　上記訂正事項ｄは、特許明細書の請求項８には「ヒドロフルオロカーボンリンス剤を含有するリンス区画中に存在するあらゆる有機又は炭化水素クリーニング液が、有機又は炭化水素クリーニング液のヒドロフルオロカーボンに対する予め設定された低濃度で該ヒドロフルオロカーボンから分離して該ヒドロフルオロカーボン上に炭化水素クリーニング液相を形成し、」と記載されていたが、リンス区画内でヒドロフルオロカーボンリンス剤中に溶存している有機又は炭化水素クリーニング液は、溶解度に対応する所定の濃度になった時点でそのような濃度以上に存在する有機又は炭化水素クリーニング液がヒドロフルオロカーボンから分離して液相を形成し、その濃度未満の有機又は炭化水素クリーニング液はヒドロフルオロカーボン中に溶存していることは技術常識上明らかであるが、「あらゆる」との記載があるとそのような濃度未満の有機又は炭化水素クリーニング液も相分離するかのように解されることもあり得るので、これを削除することにより技術常識を逸脱した解釈が生じないようにしたものであるから、明りょうでない記載の釈明の相当し、また、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
１．５　訂正事項ｅ〜ｉについて
　上記訂正事項ｅ〜ｉは、請求項１が訂正されて本件特許発明におけるヒドロフルオロカーボンがフッ素以外の他のハロゲン元素を含まないものに限定されたことにともない、発明の詳細な説明の記載をこれに整合するように訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明の相当し、また、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
１．６　訂正事項ｊ〜ｌについて
　上記訂正事項ｊ〜ｌは、請求項１が訂正されて本件特許発明におけるヒドロフルオロカーボンがフッ素以外の他のハロゲン元素を含まないものに限定されたことにともない、実施例に含まれないものとなったものを比較例に訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明の相当し、また、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
１．７　訂正事項ｍ
　上記訂正事項ｍは、特許明細書の実施例８の（ａ）では、ヒドロクロロフルオロカーボンであるＨＣＦＣ−１２３を比較フルオロケミカルス溶剤としてリンス溶剤に使用した例であるとはいえ、同明細書第２頁第１０〜１６行（特許公報第５欄第４６行〜第６欄第６行）に記載のように、ＨＣＦＣは種々のクリーニング用途で素晴らしいＣＦＣ代替物であることが示された溶剤なので、実施例８におけるクリーニング・リンス結果が９．９％以上という低い値を包含する数値である筈はなく、「９９．９％以上」の誤記であると認められるから、誤記の訂正に相当し、また、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
２．独立特許要件
２．１　訂正明細書に記載された発明
　訂正明細書に記載された特許請求の範囲第１〜１０項の記載は次のとおりである。
　【請求項１】次の：
（ａ）部品を、該部品から残留汚れまたは表面汚染物を実質的に除去するのに十分な溶解力を有する有機又は炭化水素クリーニング液の中に導入する工程；
（ｂ）前記部品を前記有機又は炭化水素クリーニング液から取り出し、そして該有機又は炭化水素クリーニング液を含有するクリーニング区画とは別のリンス区画中に含有される液体ヒドロフルオロカーボンを基剤とするリンス溶剤中に曝すことにより前記部品をリンスする工程であって、前記の液体ヒドロフルオロカーボンを基剤とするリンス溶剤が前記有機又は炭化水素クリーニング液を前記部品から除去する工程、この際、前記の液体ヒドロフルオロカーボンを基剤とするリンス溶剤が、少なくとも２５℃から１２０℃の沸点範囲で少なくとも２モル％の該有機クリーニング溶剤が相分離を起こすことなく該リンス溶剤と混和する混和性を有し、該部品の表面の該残留汚れまたは汚染物に対して該有機クリーニング液よりも低い溶解性を有し、該ヒドロフルオロカーボンが、水素、炭素、及びフッ素から成り、場合により、酸素、硫黄、窒素、およびリン原子から成る群から選ばれる官能基を含むものである；
（ｃ）工程（ａ）及び（ｂ）の間、燃焼抑制被覆を該クリーニング区画及びリンス区画の上に形成する工程であって、前記燃焼抑制被覆が実質的に純粋なヒドロフルオロカーボン蒸気から本質的になる工程；及び
（ｄ）前記部品を乾燥する工程；
を含んでなる、部品から残留汚れまたは表面汚染物を除去するための非水系クリーニング法であって、クロロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボンを使用しないで行なわれる方法。
　【請求項２】クリーニング液が下記成分の混合物を含んでなる、請求項１記載の方法：
（ａ）前記組成物の全量を基準として少なくとも２重量％の量で存在しかつ前記部品から前記残留汚れまたは表面汚染物を実質的に除去することができる有機又は炭化水素成分；及び
（ｂ）３〜８の炭素原子と少なくとも６０重量％のフッ素を有する直鎖状または分岐状構造を有するヒドロフルオロカーボン成分。
　【請求項３】前記ヒドロフルオロカーボン成分が次の群から選ばれる、請求項２記載の方法：
（１）次の実験式を有する化合物：
　Ｃ３ＨｎＦ８−ｎ　　式中１≦ｎ≦４
（２）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ４ＨｎＦ１０−ｎ　式中１≦ｎ≦５
（３）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ５ＨｎＦ１２−ｎ　式中１≦ｎ≦６
（４）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ６ＨｎＦ１４−ｎ　式中１≦ｎ≦７
（５）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ７ＨｎＦ１６−ｎ　式中１≦ｎ≦８
（６）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ８ＨｎＦ１８−ｎ　式中１≦ｎ≦９。
　【請求項４】リンス剤が、約３〜約８の炭素原子を含有して少なくとも６０重量％のフッ素を有する１または２以上のヒドロフルオロカーボン化合物から本質的になり、前記化合物が直鎖または分岐鎖を有して約２５℃〜約１２５℃の沸点を有する、請求項１記載の方法。
　【請求項５】前記ヒドロフルオロカーボンが次の群から選ばれる、請求項４記載の方法：
（１）次の実験式を有する化合物：
　Ｃ３ＨｎＦ８−ｎ　式中１≦ｎ≦４
（２）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ４ＨｎＦ１０−ｎ　式中１≦ｎ≦５
（３）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ５ＨｎＦ１２−ｎ　式中１≦ｎ≦６
（４）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ６ＨｎＦ１４−ｎ　式中１≦ｎ≦７
（５）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ７ＨｎＦ１６−ｎ　式中１≦ｎ≦８
（６）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ８ＨｎＦ１８−ｎ　式中１≦ｎ≦９。。
　【請求項６】クリーニング区画が、ヒドロフルオロカーボン溶媒と混合された有機又は炭化水素クリーニング溶剤であってその結果できる混合液が前記部品から汚染物を実質的に除去するクリーニング溶剤を含有する方法であって、該混合液が、該炭化水素液よりも低い沸点を有する少なくとも幾らかの該ヒドロフルオロカーボンを蒸散させるのに十分な温度に加熱される結果、該クリーニング液を覆う蒸気ゾーンが本質的にフルオロカーボンを基剤とする燃焼抑制蒸気ゾーンとなる、請求項４記載の方法。
　【請求項７】前記ヒドロフルオロカーボンが次の群から選ばれる、請求項６記載の方法：
（１）次の実験式を有する化合物：
　Ｃ３ＨｎＦ８−ｎ　式中１≦ｎ≦４
（２）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ４ＨｎＦ１０−ｎ　式中１≦ｎ≦５
（３）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ５ＨｎＦ１２−ｎ　式中１≦ｎ≦６
（４）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ６ＨｎＦ１４−ｎ　式中１≦ｎ≦７
（５）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ７ＨｎＦ１６−ｎ　式中１≦ｎ≦８
（６）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ８ＨｎＦ１８−ｎ　式中１≦ｎ≦９。。
　【請求項８】ヒドロフルオロカーボンリンス剤を含有するリンス区画中に存在する有機又は炭化水素クリーニング液が、有機又は炭化水素クリーニング液のヒドロフルオロカーボンに対する予め設定された低濃度で該ヒドロフルオロカーボンから分離して該ヒドロフルオロカーボン上に炭化水素クリーニング液相を形成し、そして該リンス区画の上部に浮かんで該クリーニング区画内に戻るといった炭化水素クリーニング液のカスケード効果を提供するように、前記ヒドロフルオロカーボンリンス剤と前記有機又は炭化水素クリーニング液とを選択する、請求項４記載の方法。
　【請求項９】実質的に完全にヒドロフルオロカーボンだけを含有する第二リンス区画を備え、かつ予め設定された第一リンス区画の水準を維持するために及び分離した炭化水素クリーニング液を該クリーニング区画の方に押流す上澄除去作用を指向的に提供するために、実質的に純粋なヒドロフルオロカーボンリンス溶剤の第一リンス区画内へのカスケード効果を提供する工程を含んでなる、請求項４記載の方法。
　【請求項１０】該リンス区画を含有する構造物とは分離した構造物内に該クリーニング区画を収容する更なる工程を含んでなる、請求項４記載の方法。
（以下、各請求項に係る発明を「訂正発明１」〜「訂正発明１０」という。）
２．２取消理由の概要
　平成１１年３月１７日付けの取消理由の概要は、次のとおりである。
（１）本件特許の請求項１に係る発明は、下記引用例１に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当する。
　したがって、特許査定時の請求項１に係る発明の特許は特許法第２９条第１項の規定に違反してなされたものである。
（２）本件特許の請求項１〜１０に係る発明は下記引用例１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許査定時の請求項１〜１０に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
（３）本件特許明細書には記載不備があるから、本件請求項１〜１０に係る発明の特許は、明細書の記載が特許法第３６条第４項の規定に違反するものに対してなされたものである。
　　　　　　　　　　記
　引用例１：特公平３−５５１８９号公報　　　　　　　（甲第１号証に該当）
　引用例２：ヨーロッパ特許公開第４３１４５８号公報　（甲第２号証に該当）
　引用例３：米国特許第５０６４５５９号明細書　　　　（甲第４号証に該当）
２．３取消理由の（３）について
　そこでまず、上記取消理由の（３）について検討する。
　取消理由（３）は、本件特許の請求項１〜１０に係る発明は「ヒドロフルオロカーボン」を用いることを発明の構成に欠くことのできない事項としているが、本件特許の発明の詳細な説明には「ヒドロフルオロカーボン」が「クロロフルオロカーボン」及び「ヒドロクロロフルオロカーボン」を包含するか否かについて相反する記載があるので、特許請求の範囲と発明の詳細な説明の記載に矛盾があるというものである。
　しかしながら、発明の詳細な説明の記載が上記訂正請求によりが訂正された結果、本件訂正発明１〜１０における「ヒドロフルオロカーボン」は「クロロフルオロカーボン」及び「ヒドロクロロフルオロカーボン」を包含しないものであることが明確になったので、上記取消理由の（３）は解消された。
２．４　取消理由の（１）及び（２）について
２．４．１　各引用例の記載
（引用例１）
　上位引用例１には、「洗浄方法及び洗浄装置」の発明に関し、
（１−１）「沸点２０〜５０℃の範囲のクロロフルオロハイドロカーボンの飽和蒸気域中に複数の槽を設置し、（ａ）複数の槽の中の少なくとも一つに前記クロロフルオロハイドロカーボンと相溶性を有し且つ非共沸性で前記クロロフルオロハイドロカーボンより５０℃以上高い沸点を有する有機溶剤と前記クロロフルオロハイドロカーボンとの混合溶剤を収容し、前記クロロフルオロハイドロカーボンの沸点より高く前記有機溶剤の沸点より３０℃以上低い範囲の任意の温度に保持して混合溶剤中のクロロフルオロハイドロカーボンの蒸発と飽和蒸気域のクロロフルオロハイドロカーボンの吸収により混合溶媒中の有機溶剤とクロロフルオロハイドロカーボンとの混合比を平衡に保ち、（ｂ）複数の槽の中の少なくとも一つに実質的に前記クロロフルオロハイドロカーボンよりなる液を収容し加熱し沸騰状態に保持してクロロフルオロハイドロカーボンの飽和蒸気域を維持し、（ｃ）被洗浄物をまず前記混合溶剤中に浸潰し、（ｄ）ついで被洗浄物を沸騰状態に保持された前記クロロフルオロハイドロカーボン液中に浸潰することを特徴とする洗浄方法。」（第１欄第２行〜第２欄第１行）、
（１−２）「この発明は、洗浄方法及び洗浄装置、特に、金属、電子材料等に付着した油分その他の汚れを効率的に溶剤で洗浄する方法及び装置に関するものである。」（第３欄第２０〜２３行）、
（１−３）「本発明は、高温での洗浄力は大きいが毒性、引火性がある高沸点溶剤と、沸点以下の温度でしか使用できないため相対的に洗浄力は劣るが，非毒性、非引火性である沸点２０〜５０℃の範囲のクロロフルオロハイドロカーボンの両者の特性を生かし、その欠点を補った洗浄方法及び洗浄装置を提供することを目的とする。」（第３欄第４２行〜第４欄第４行）、
（１−４）「このようにして形成された第１溶剤の飽和蒸気域４中に設置された、第２溶剤と第１溶剤との混合溶剤を収容している第１槽３１を第１溶剤の沸点より高く第２溶剤の沸点より３０℃以上低い範囲の任意の温度に保持すると、混合溶剤中の第１溶剤の蒸気と飽和蒸気域の第１溶剤の吸収により混合溶剤中の第２溶剤と第１溶剤との混合比率はその温度における平衡値に保たれる。それ故、洗浄すべき汚れを最も効率的に洗浄できる組成に対応する温度条件を選定すればよい。本発明方法によるときは、第１槽の温度を選定することにより、第１槽における溶剤混合比率を任意の値に長時間安定して維持することが可能となり、安定した洗浄を行うことができる。」（第７欄第２〜１５行）、
（１−５）「第１槽から引き上げられた被洗浄物に付着した第２溶剤は、第２槽中の第１溶剤液により濯がれる」（第８欄第６〜７行）、
との記載がある。
（引用例２）
　上記引用例２には、「洗浄剤組成物」の発明に関し、
（２−１）「１．式ＣｎＦｍＨ２ｎ＋２−ｍで表される脂肪族フルオロハイドロカーボンを有効成分として含有する洗浄剤組成物（式中４≦ｎ≦６であり、６≦ｍ≦１２である）。」（第９頁第４２〜４５行）、
（２−２）「２．脂肪族フルオロハイドロカーボンが、式Ｃ４Ｆ６Ｈ４、・・（中略）・・、Ｃ５Ｆ１０Ｈ２、・・（中略）・・で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１つの化合物であることを特徴とするクレーム１記載の洗浄剤組成物。」（第９頁第４７〜４９行）、
（２−３）「４．炭化水素、アルコール、エステル及びケトンから選ばれる少なくとも１種の有機溶剤を含むクレイム１記載の洗浄剤組成物。」（第１０頁第１〜２行）、
（２−４）「ＩＣ部品、精密機械部品などを製造する際、組み立て工程で部品に付着したフラックス、ごみなどを除去するために、従来通常は有機溶媒を用いる洗浄が行われてきた。そのような洗浄剤として、１，１，２‐トリクロロ‐１，２，２‐トリフルオロエタン（Ｒ−１１３）が広く使われていた。Ｒ−１１３は不燃性で低毒性で安定性に優れている。しかもＲ−１１３は適度の溶解性を有しているので汚れのみを選択的に溶解し、金属、プラチチックス、エラストマー等を腐食することがない。フラックスを除去すべきプリント基板は主として金属、プラスチックス、エラストマー等からなる複合部品が多い。この点からもＲ−１１３は有利である。しかし最近Ｒ−１１３が成層圏のオゾン破壊をおこし、皮膚ガンの発生を引き起こす原因となる疑いがあるため、その使用が規制されつつある。オゾン層破壊の恐れが全くなく、フラックスや油の除去のための効果的な洗浄が達成される洗浄剤を提供することが本発明の目的である。」（第２頁第４〜１６行）、
（２−５）「我々は、上記目的を達成するために、研究を行い、下記のことを見いだした。特定の脂肪族フルオロハイドロカーボンが、（１）分子中に塩素を有しないのでオゾン層破壊の可能性が全くなく、（２）フラックス、油脂、ごみ等の洗浄力に優れる。（３）従来使用されてきたＲ−１１３と同様、適度の溶解度を有するので、ごみだけを選択的に溶解し、金属、プラスチックス、エラストマー等を腐食することがない。本発明は上記の新規な発見に基き完成された。」（第２頁第１９〜２４行）、との記載があるほか、
（２−６）実施例１の結果を表した第４〜５頁の「ｔａｂｌｅ１」には、各種フルオロハイドロカーボン単独の場合の洗浄効果は「Ｂ（わずかにフラックスが残存する）」（Ｎｏ．１，１０及び１９）であるのに対し、各種フルオロハイドロカーボンと各種有機溶剤とを混合した洗浄剤組成物の洗浄効果は「Ａ（フラックスを有効に除去できる）」（Ｎｏ．２〜９，１１〜１８，２０〜２７）であることが示されている。
（引用例３）
　上記引用例３には、Ｃ５Ｆ１０Ｈ２の一種であるＣＦ３ＣＨＦＣＨＦＣＦ２ＣＦ３の沸点が５０．０であること（第３欄第５９行）が示されている。
２．４．２　対比・検討
　引用例１に記載のものにおける「混合溶剤」、「実質的にクロロフルオロハイドロカーボンよりなる液」は、上記（１−５）に摘記した記載によれば、それぞれ、本件訂正発明１の「クリーニング液」及び「リンス溶剤」に相当し、同じく「被洗浄物」は、上記（１−２）に摘記した記載によれば、本件訂正発明１の「部品」が包含され、また、同じく「クロロフルオロハイドロカーボンの飽和蒸気」は、上位（１−３）に摘記した記載によれば、本件訂正発明１の「燃焼抑制被覆」に対応する。
　したがって、引用例１に記載のものでも当然に乾燥工程を有していることは明らかであるので、引用例１には、
『（ａ）部品を、沸点２０〜５０℃の範囲のクロロフルオロハイドロカーボンと相溶性を有し且つ非共沸性で前記クロロフルオロハイドロカーボンより５０℃以上高い沸点を有する有機溶剤と前記クロロフルオロハイドロカーボンとの混合溶剤からなり、前記クロロフルオロハイドロカーボンの沸点より高く前記有機溶剤の沸点より３０℃以上低い範囲の任意の温度に保持して混合溶剤中のクロロフルオロハイドロカーボンの蒸発と飽和蒸気域のクロロフルオロハイドロカーボンの吸収により混合溶媒中の有機溶剤とクロロフルオロハイドロカーボンとの混合比を平衡に保ったクリーニング液に導入する工程；
（ｂ）前記部品をクリーニング液から取り出し、そして前記クリーニング液を含有するクリーニング区画とは別のリンス区画中のクロロフルオロハイドロカーボンよりなるリンス溶剤中に曝すことにより前記部品をリンスする工程；
（ｃ）工程（ａ）及び（ｂ）の間、クロロフルオロハイドロカーボンの飽和蒸気からなる燃焼抑制被覆を概クリーニング区画及びリンス区画の上に形成する工程；
（ｄ）前記部品を乾燥する工程；を含んでなる部品から残留汚れまたは表面汚染物を除去するための非水系クリーニング方法。』
の発明が記載されているといえる。
　そこで、本件訂正発明１と引用例１に記載の発明とを対比すると、両者は、共に、
「（ａ）部品を、クリーニング液に導入する工程；
（ｂ）前記部品をクリーニング液から取り出し、そして前記クリーニング液を含有するクリーニング区画とは別のリンス区画中のリンス溶剤中に曝すことにより前記部品をリンスする工程；
（ｃ）工程（ａ）及び（ｂ）の間、燃焼抑制被覆を該クリーニング区画及びリンス区画の上に形成する工程；
（ｄ）前記部品を乾燥する工程；を含んでなる部品から残留汚れ又は表面汚染物を除去するための非水系クリーニング方法。」
である点では一致するが、少なくとも、
（１）クリーニング液が、本件訂正発明１では「部品から残留汚れまたは表面汚染物を実質的に除去するのに十分な溶解力を有する有機又は炭化水素クリーニング液」であるのに対し、引用例１に記載のものでは「クロロフルオロハイドロカーボンと相溶性を有し且つ非共沸性で前記クロロフルオロハイドロカーボンより５０℃以上高い沸点を有する有機溶剤と前記クロロフルオロハイドロカーボンとの混合溶剤」であって、それを「前記クロロフルオロハイドロカーボンの沸点より高く有機溶剤の沸点より３０℃以上低い範囲の任意の温度に保持して混合溶剤中のクロロフルオロハイドロカーボンの蒸発と飽和蒸気域のクロロフルオロハイドロカーボンの吸収により混合溶媒中の有機溶剤とクロロフルオロハイドロカーボンとの混合比を平衡」に保ったものであり、また、
（２）リンス溶剤の基剤となる溶剤が、本件訂正発明１では「ヒドロフルオロカーボン」であって、「水素、炭素、及びフッ素を必須元素として塩素を含まない」溶剤であるのに対し、引用例１に記載のものでは「塩素」を必須元素とする「クロロフルオロハイドロカーボン」であるので、両者はかかる点で相違している。
　したがって、本件訂正発明１は、引用例１に記載された発明であるとすることはできない。
　なお、本件訂正発明１は、ヒドロフルオロカーボンは、汚れまたは表面汚れに対する溶解力は小さくても、有機溶媒に対して素晴らしい溶解特性を有するという知見に基いて（本件特許明細書第４頁第２３〜２９行（特許公報第８欄第１〜１０行）参照）、汚れを含有するクリーニング溶剤を効率よく濯ぐことにより、最終的なクリーニング効果を高めようとした発明であって、洗浄工程の前段階であるクリーニング工程で使用されるクリーニング溶剤中に含まれる各成分の沸点やクリーニング溶剤の加熱温度を特定の条件に限定することは構成要件ではなく、クリーニング溶剤の組成にしても、リンス溶剤を含有する系であっても、本件特許明細書の実施例１、８、１２及び１３に示されているように、有機溶剤だけの系であってもよいものであることは明らかである。
　これに対し、引用例１に記載の発明では、上記相違点（１）に示したように、クリーニング溶剤に含まれる有機溶剤の沸点、クロロフルオロハイドロカーボンの沸点及び混合溶剤の加熱温度を特定の関係となるように限定しているが、これは、上記（１−３）及び（１−４）に適した記載によれば、沸点以下の温度でしか使用できないことが原因で相対的に劣るクロロフルオロハイドロカーボンの洗浄力を高めるために、洗浄すべき汚れを最も効率的に洗浄できる組成に対応する温度条件を選定することにより、溶剤混合比率を任意の値に長時間安定して維持するために採用されているものであって、引用例１には上述のクリーニング溶剤中の有機溶剤の沸点、クロロフルオロハイドロカーボンの沸点及び混合溶剤の加熱温度を特定しなくても所期の作用・効果が奏されることを示唆する記載はない。
　一方、上記引用例２には、式ＣｎＦｍＨ２ｎ＋２−ｍで表される脂肪族フルオロハイドロカーボンを有効成分として含有する洗浄剤組成物（式中、４≦ｎ≦６であり、６≦ｍ≦１２である）が記載され、その洗浄の対象が、ＩＣ部品、精密機械部品などの組み立て工程で付着したフラックス、塵挨などであること及びそれら脂肪族フルオロハイドロカーボンが、（１）分子中に塩素を有しないのでオゾン層破壊の可能性が全くなく、（２）フラックス、油脂、ごみ等を除去する能力に優れ、そして（３）従来使用されてきたＲ−１１３のような適度な溶解性を有することが示されてはいるが、ここに記載されている方法は、単なるヒドロフルオロカーボンを主成分として含有する洗浄剤組成物中で部品を洗浄する方法であって、この洗浄剤組成物は本件訂正発明１でいうクリーニング溶剤に相当するものであることは明らかである。
　したがって、上記（２−６）にはフルオロハイドロカーボン単独ではフルオロハイドロカーボンと各種有機溶剤との混合物よりも洗浄効果が劣ることが示されているばかりか、引用例２には「ヒドロフルオロカーボンは、汚れまたは表面汚れに対する溶解力は小さくても、有機溶媒に対して素晴らしい溶解特性を有する」という本件訂正発明１の知見を示唆する記載もないことを勘案すると、引用例２の記載は、引用例１に記載の発明において、クロロフルオロハイドロカーボンに変えてフルオロハイドロカーボンを採用し得ることを示唆するものであるとも、また、クロロフルオロハイドロカーボンに換えてヒドロフルオロカーボンを採用すれば有機溶剤の沸点、フルオロハイドロカーボンの沸点及び混合溶剤の加熱温度を特定の関係となるように限定することなしに所期の作用・効果を奏することまで示唆するものであるともすることはできない。
　なお、上記引用例３には、引用例２に記載されているＣ５Ｆ１０Ｈ２の一種であるＣＦ３ＣＨＦＣＨＦＣＦ２ＣＦ３の沸点が５０℃であることが示されているにすぎない。
　してみれば、引用例１〜３の記載を総合して勘案したところで、本件訂正発明１を想到することが当業者にとり容易であるとすることはできない。
　また、本件訂正発明２〜１０は、本件訂正発明１にさらに限定を加えた発明であるから、本件訂正発明１について述べたと同様の理由で引用例１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
２．５　独立特許要件に対する結論
　したがって、上記「ＩＩＩ．２．３」及び「ＩＩＩ．２．４」で述べたように、本件訂正発明１〜１０は独立特許要件を備えているものと認める。
３．訂正の認否
　したがって、上記「ＩＩＩ．１．」及び「ＩＩＩ．２．５」に述べたように、上記訂正は特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する同法第１２６条第２項から第４項までの規定にそれぞれ適合するものであるから、当該訂正を認める。
ＩＶ．特許異議の申立についての判断
１．申立理由の概要
　申立人は、証拠として甲第１号証（特公平３−５５１８９号公報、上記引用例１に該当。）、甲第２号証（ヨーロッパ特許公開第４３１４５８号公報、上記引用例２に該当。）、甲第３号証（特開平４−２８７９８号公報）、甲第４号証（米国特許第５０６４５５９号明細書、上記引用例３に該当）及び参考資料１（″Ｅｎｃｙｃｌｏｐｅｄｉａ　ｏｆ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｓｅｃｏｎｄ　Ｅｄｉｔｉｏｎ　Ｖｏｌｕｍｅ　９″、Ｊｏｈｎ　Ｗｉｌｅｙ　＆　Ｓｏｎｓ，Ｉｎｃ（１９６６），ｐ７４３−７４５）を提出し、本件特許の特許請求の範囲の請求項１〜１０に係る発明は、甲第１、２及び４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、該発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである旨を主張している。
２．当審の判断
２．１　本件発明
　上記「ＩＩＩ．３．」で述べたように、当該訂正を認めるので、本件特許の特許請求の範囲の請求項１〜１０に係る発明は、上記「ＩＩＩ．２．１」に摘記した訂正後の特許請求の範囲の請求項１〜１０に記載されたとおりのもの（以下、各請求項に係る発明を「本件発明１」〜「本件発明１０」という。）である。
２．２　申立理由についての判断
　申立人の申立理由及びその申立理由で引用された甲第１、２及び４号証は、それぞれ当審における取消理由通知で通知した理由（３）及び証拠として引用した引用例１〜３と同じであるから、上記「ＩＩＩ．２．４」で述べたのと同様の理由により、本件発明１〜１０は、甲第１、２及び４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　なお、上記甲第３号証は、甲第２号証の理解のために提出された甲第２号証に対応する日本特許出願の公開公報であり、また、参考資料１はクロロフルオロハイドロカーボンにはクロロフルオロカーボンが包含されることを示す参考資料でしかない。
Ｖ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１〜１０に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜１０に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１１月１２日（１９９９．１１．１２）
【訂正の要旨】
　平成１１年１０月２０日付けの訂正請求における訂正の要旨は次のとおりである。
１．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に「前記の液体ヒドロフルオロカーボンを基剤とするリンス溶剤が前記有機又は炭化水素クリーニング液を前記部品から除去する工程；」（特許公報第１欄第１１〜１３行）とあるのを、「前記の液体ヒドロフルオロカーボンを基剤とするリンス溶剤が前記有機又は炭化水素クリーニング液を前記部品から除去する工程、この際、前記の液体ヒドロフルオロカーボンを基剤とするリンス溶剤が、少なくとも２５℃から１２０℃の沸点範囲で少なくとも２モル％の該有機クリーニング溶剤が相分離を起こすことなく該リンス溶剤と混和する混和性を有し、該部品の表面の該残留汚れまたは汚染物に対して該有機クリーニング液よりも低い溶解性を有し、該ヒドロフルオロカーボンが、水素、炭素、及びフッ素から成り、場合により、酸素、硫黄、窒素、およびリン原子から成る群から選ばれる官能基を含むものである；」に訂正する。
２．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に「を含んでなる、部品から残留汚れまたは表面汚染物を除去するための非水系クリーニング方法。」（同公報第２欄第４〜５行）とあるのを「を含んでなる、部品から残留汚れまたは表面汚染物を除去するための非水系クリーニング法であって、クロロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボンを使用しないで行なわれる方法。」に訂正する。
３．訂正事項ｃ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の特許請求の範囲の請求項４に「次の：（ａ）部品を、該部品から残留汚れまたは表面汚染物を実質的に除去するのに十分な溶解力を有する有機又は炭化水素クリーニング液を含有するクリーニング区画の中に導入する工程；（ｂ）前記部品を前記有機又は炭化水素クリーニング液から取り出し、そして前記汚れまたは表面汚染物に対して十分な溶解力であるが前記有機又は炭化水素クリーニング液に対しては少なくとも十分な溶解力を有する液体リンス剤を有する第一リンス区画の中で前記部品をリンスして前記部品から前記有機又は炭化水素クリーニング液を除去する工程であって、前記リンス剤が該化合物中に約３〜約８の炭素原子を含有して少なくとも６０重量％のフッ素を有する１または２以上のヒドロフルオロカーボン化合物から本質的になり、前記化合物が直鎖または分岐鎖を有して約２５℃〜約１２５℃の沸点を有する工程；（ｃ）工程（ａ）及び（ｂ）の間、燃焼抑制被覆を該クリーニング区画及び第一リンス区画の上に形成する工程であって、前記燃焼抑制被覆が実質的に純粋なヒドロフルオロカーボン蒸気から本質的になる工程；及び（ｄ）前記部品を乾燥する工程；を含んでなる、部品から残留汚れまたは表面汚染物を除去するための非水系クリーニング方法。」（同公報第３欄第１４〜３６行）とあるのを、「リンス剤が、約３〜約８の炭素原子を含有して少なくとも６０重量％のフッ素を有する１または２以上のヒドロフルオロカーボン化合物から本質的になり、前記化合物が直鎖または分岐鎖を有して約２５℃〜約１２５℃の沸点を有する、請求項１記載の方法。」に訂正する。
４．訂正事項ｄ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の特許請求の範囲の請求項８に「ヒドロフルオロカーボンリンス剤を含有するリンス区画中に存在するあらゆる有機又は炭化水素クリーニング液が」（同公報第４欄第２５〜２７行）とあるのを、「ヒドロフルオロカーボンリンス剤を含有するリンス区画中に存在する有機又は炭化水素クリーニング液が」に訂正する。
５．訂正事項ｅ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書第４頁第２６〜２９行（同公報第８欄第６〜９行）に「少なくとも一個のフッ素原子含み、場合によっては酸素、窒素、リン、水素または他のハロゲン原子のような他の原子もその骨格に付いているフルオロカーボン系の溶剤」とあるのを、「少なくとも一個のフッ素および水素原子を含み、場合によっては酸素、窒素またはリンのような他の原子もその骨格に付いているフルオロカーボン系の溶剤」に訂正する。
６．訂正事項ｆ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書第５頁第５〜６行（同公報第８欄第１７〜１９行）に「ペルフルオロカーボン、ヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボン」とあるのを、「ペルフルオロカーボンまたはヒドロフルオロカーボン」に訂正する。
７．訂正事項ｇ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書第８頁末行〜第９頁第３行（同公報第１２欄第２２〜２７行）に「ペルフルオロカーボンまたはヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボンのようなフルオロカーボン、あるいは所望によって炭素原子に酸素、硫黄、窒素、リンまたは他のハロゲン原子が付いているこれらフルオロカーボン類との混合物」とあるのを、「ペルフルオロカーボンまたはヒドロフルオロカーボンのようなフルオロカーボン、あるいは所望によって炭素原子に酸素、硫黄、窒素またはリンが付いているこれらフルオロカーボン類との混合物」に訂正する。
８．訂正事項ｈ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書第９頁第６〜９行（同公報第１２欄第３１〜３５行）に「ヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボン系化合物または混合物から選ばれ、そしてかかるフルオロカーボンは他のハロゲン、酸素、硫黄、窒素およびリン原子から成る群から選ばれた他の官能基で置換されている場合もある。」とあるのを、「ヒドロフルオロカーボン化合物または混合物から選ばれ、そしてかかるフルオロカーボンは酸素、硫黄、窒素およびリン原子から成る群から選ばれた他の官能基で置換されている場合もある。」に訂正する。
９．訂正事項ｉ
　特許明細書第９頁第１０〜１１行（同公報第１２欄第３６〜３７行）に「推奨されるヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボン混合物は」とあるのを、「推奨されるヒドロフルオロカーボン混合物は」に訂正する。
１０．訂正事項ｊ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書第２５頁第５行（同公報第２４欄第３０行）に「次いでヒドロクロロフルオロカーボン、」とあるのを、「次いで比較フルオロケミカルス溶剤であるヒドロクロロフルオロカーボン、」に訂正する。
１１．訂正事項ｋ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書第２５頁第１０〜１１行（同公報第２４欄第３６〜３７行）に「本発明の方法によるリンス溶剤ＨＣＦＣ−１２３とで、」とあるのを、「比較フルオロケミカルス溶剤であるリンス溶剤ＨＣＦＣ−１２３とで、」に訂正する。
１２．訂正事項ｌ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書第２６頁下から第２行（同公報第２５欄第３４行）に「実施例１０」とあるのを、「実施例１０（比較例）」に訂正する。
１３．訂正事項ｍ
　誤記の訂正を目的として、特許明細書第２５頁第１１行（同公報第２４欄第３７行）に「９．９％以上」とあるのを、「９９．９％以上」に訂正する。
（５４）【発明の名称】
多成分溶剤クリーニング系
【発明の詳細な説明】
技術分野
　本発明は汚れた物品および装置を洗浄する方法およびそのための装置、更に詳しくは、部品をクリーニングするための有機溶剤および不燃性フルオロカーボンを使用する非水クリーニング系での部品（ｐａｒｔｓ）の脱融（ｄｅｆｌｕｘｉｎｇ）または脱脂に関する。
発明の背景
　溶剤蒸気相脱脂法および脱融法は、汚れた基体（ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）（例えば、プリント基板または加工金属板、ガラス、セラミックまたはエラストマー部品または複合材）をクロロカーボンまたはクロロフルオロカーボンまたはそれらの混合物のような不燃性の溶剤の沸騰液中に浸漬し、次いでこの部品を第二タンクまたはクリーニングゾーンで、第一クリーニングゾーンで使用したのと同じクロロカーボンまたはクロロフルオロカーボンなどの清浄な溶剤に浸漬するかまたは蒸留した溶剤をスプレーする方法であり、次いでその冷却した部品を温度が平衡に達するまで溶剤の凝縮蒸気中に保持することにより乾燥する。
　種々のタイプの部品の溶剤クリーニングは、普通、槽、ホイストを備えた槽、コンベヤーを備えた槽またはインライン式コンベヤー脱脂装置および脱融装置で行われる。このようなインライン式コンベヤー脱脂装置および脱融装置は１９８９年９月２１日に出願された出願中の米国特許出願第０７／４１０，２１６号［標題：冷却空気ロック蒸気シール（Ｃｏｌｄ　Ａｉｒ　Ｌｏｃｋ　ＶａｐｏｒＳｅａｌ）］であって、現在本発明の譲受人に帰属している米国特許第５，００７，１７９号明細書の中に開示されている。部品は、また、同じく本発明の譲受人が共有している１９９０年９月２５日に出願された米国特許出願第０７／５８７，８９３号明細書中に開示されているような上部開放式脱融または脱脂装置で洗浄されることもある。両タイプの装置共、その入口と出口は普通開放され、周囲の環境および装置内の溶剤と連通している。対流または拡散による装置からの溶剤の消散を最少にするために、この技術分野では通常、米国特許第４，２６１，１１１号明細書に説明されているように、脱脂／脱融タンク内の高温または室温ゾーン領域を覆う凝縮蒸気層（ｂｌａｎｋｅｔ）を生成させるために水冷または冷媒冷却コイルを利用している。
　さて、前述の溶剤蒸気相脱脂法では、クリーニング、リンスおよび乾燥工程で普通単一の有機クロロカーボンまたはクロロフルオロカーボン（ＣＦＣ）の液を使用することが知られている。過去には、ＣＦＣ−１１３およびフレオン系溶剤を使用することが特に普及していた。しかし、最近の科学的研究でその蒸気の環境への拡散が成層圏オゾンの地球規模での望ましくない破壊の多くの可能な原因の一つであるとしてその関連が指摘された。そして、現在は、そのようなクロロフルオロカーボンの製造と使用が規制され、米国では今世紀の終りまでに無くなるであろう。環境的関心に応えて、ここ数年の間に、ＣＦＣ系気相脱脂および脱融法に比べて環境的により受入れられ易い代替法を提供するために、ヒドロクロロフルオロカーボン（ＨＣＦＣ）系溶剤が開発された。この溶剤は種々のクリーニング用途で素晴らしいＣＦＣ代替物であることが示されたが、これらはＣＦＣの暫定的な代替物と考えられる。それらはＣＦＣよりは非常に低いとはいえ、小さいが一定のオゾン破壊性能をまた有しているからである。かくして、これらＨＣＦＣもまた、近い将来、地球的に無くすことが提案されている。一般に、塩素、臭素、またはヨウ素原子を含まない有機溶剤は成層圏オゾンの破壊に関与しないと信じられている。しかし、これらハロゲン原子を含まない、炭化水素類、アルコール類、エステル類、エーテル類、ケトン類などの有機化学製品は、通常、望ましくない燃焼性または反応性を持っている。ペルフルオロ化炭化水素およびヒドロフルオロカーボン類は溶剤としての多くの望ましい性質を有している。即ち、オゾン破壊性がなく；安定で、非反応性で、プラスチックとの相溶性が大きく；水置換性が良く；一般に無毒で不活性なので蒸気相溶剤クリーニング装置に理想的に適している。しかし、ペルフルオロカーボンは多くの普通の有機および無機性の汚れ、即ちフラックス（融剤）に対しては極めて貧溶媒である。ヒドロフルオロカーボンはその分子のフッ素含有量が減るに従って、ペルフルオロカーボンに比べて、限られてはいるが改善された洗浄性能を示す。しかし、フッ素含有量の低いヒドロフルオロカーボンはその炭化水素類似物に似た望ましくない燃焼性を呈し始める。
　水系クリーニング法のような他のタイプの洗浄法がある。水系クリーニング法は、一般に、洗浄剤または界面活性剤の水溶液中で基体または部品を洗浄し、次いで純水で何回も濯ぐ（リンス）工程を含んでいる。次いで、この部品は空気中でのゆっくりした蒸発、またはエネルギーの強い熱乾燥機で乾燥される。この方法は乾燥のためのエネルギーコストが高いことと、追加の資本投下および国および地方当局によって要求される水系廃水の下水への排出前の浄化のための操業コストのため必ずしも望ましくない。
　もう一つのクリーニング法である半‐水系クリーニング法は、界面活性剤の助けを借りるかまたは借りないで部品から除去されるオイル、ワックスおよびグリースに対する親和性の大きい、例えばテルペン類、エステル類または石油蒸留物からなる炭化水素系溶剤の中で基体をクリーニングすることから成る。このクリーニングされた基体から精製水を用いる多段リンス工程で高沸点の炭化水素系溶剤を濯ぎ落とす。炭化水素溶剤は相分離され、クリーニング浴に戻されるが、排水は下水に排出される前に処理されねばならない。従って、乾燥エネルギーおよび廃水の処理に関連する高いコストは前述の水系クリーニング法と同じように明かである。更なる欠点は炭化水素系溶剤が通常引火点を持つことであり、爆発を避けるために注意して取扱うか、または窒素のような不燃性の圧縮ガスで覆わなければならない。窒素ガスは凝縮ゾーンに含まれているフルオロカーボンの密な蒸気より遥かに逃げ易い。更に、幾つかの用途では、洗浄される基体が炭化水素溶剤と親和性を持つこともあり、或種のプラスチックまたは金属は水系リンス溶剤と親和性持たないことがあるので、水を吸収したり基体を錆びさせたりする。
発明の開示
　本発明の目的の一つは、環境的に見て安全な方法で部品を脱脂または脱融するための非水クリーニング系を提供することである。
　本発明のもう一つの目的は、リンスのために水を使用せず、水系廃水を浄化する必要がない非水クリーニング系を提供することである。そして、この非水クリーニング系は素材が水と親和性を有しない場合に用いられる。
　また、更なる目的は、リンス液を空気中でゆっくり蒸発させる方法または大きいエネルギーを必要とする熱的方法による乾燥の必要がない非水洗浄系を提供することである。
　なお更なる目的は、部品のクリーニングのために有機液体クリーニング剤を用い、そしてその有機クリーニング剤を部品から濯ぎ落とすためのリンス剤として有機クリーニング剤に対し少くとも弱い溶解度を有し、少量のエネルギーで部品から乾燥できるリンス剤を利用する非水クリーニング系を提供することである。
　本発明の方法による部品から残留汚れまたは表面の汚染を除去する非水クリーニング法は、その汚れを実質的に除去するのに十分な溶解力を有する有機クリーニング液に部品を接触させる工程、次いでリンスのためにその部品をその有機クリーニング液から、それを除去するための有機クリーニング液に対し少くともある程度の溶解度を持つリンス剤中に移す工程からなる。部品はリンス剤に浸漬されるか、リンス剤をスプレーされるか、リンス剤の蒸気に曝されるか、またはこれら方法を任意に組合わせた方法で処理される。蒸気から取出した時、部品は本質的に清浄で、乾燥している。
　望ましくは、本発明の非水クリーニング系は二つのタンクでのクリーニング法を用い、第一のタンクは有機溶剤を含み、第二のタンクはリンス剤を含んでいる。洗浄される部品または基体はコンベヤーでクリーニングタンクからリンスタンクに既知のコンベヤーまたはホイストで移送される。これらタンクは在来のまたは既知のインラインコンベヤー式脱脂／脱融装置の一部であってもよく、分離された上部開放式脱融タンク（複数）、またはクリーニングおよびリンスタンクまたは浴を含むように改良した上部開放式脱融タンク（複数）であってもよい。
　本発明のもう一つの態様では、部品から残留汚れまたは表面の汚染を除去する非水クリーニング法は基体または部品をその部品から残留汚れを除去するのに十分な溶解力の有機液体中に導入する工程を含んでなる。次いで、部品は第一液体溶剤より汚れまたは表面汚れに対する溶解力は小さいが、第一溶剤に対する素晴らしい溶解特性を有する第二有機溶剤と接触させてリンスされる。この第二溶剤（リンス剤）は二つまたはそれ以上の炭素原子から成る有機骨格に付いている少くとも一個のフッ素および水素原子を含み、場合によっては酸素、窒素またはリンのような他の原子もその骨格に付いているフルオロカーボン系の溶剤から選ばれることが望ましい。またそれ程望ましくはないが、リンス剤はアルコール類、エーテル類、エステル類、ケトン類、炭化水素類のような他の群の溶剤およびその他の非水溶媒から選ばれてもよい。次いでこの部品は第一有機クリーニング溶剤の燃焼性を、また若し燃焼性なら第二リンス溶剤の燃焼性を減らすか和らげる不活性な蒸気による覆いの下に保持することにより乾燥される。この場合、かかる燃焼性遮蔽蒸気被覆は窒素、二酸化炭素、ペルフルオロカーボンまたはヒドロフルオロカーボンの少くとも一種から成る。
　一つの態様では、炭化水素系溶剤とフルオロカーボン系溶剤の溶液に場合によっては脱脂剤への可溶化剤である界面活性剤を一緒に混合した系中でクリーニングが行われる。より蒸発し易いフルオロカーボンが燃焼性抑制被覆を提供する。回じフルオロカーボンは初期浸漬用の隣接リンス浴で、またはスプレーリンス液、それに続く気相での最終リンス用によく用いられる。
　最も簡単な実施態様では、クリーニングは炭化水素系溶剤とフルオロカーボン系溶剤の溶液が場合によっては可溶化剤である界面活性剤と一緒に混合されている一浴系中で行われる。より蒸発性であるフルオロカーボンが燃焼性抑制被覆を提供する。そして、このクリーニング用混合液に浸漬された汚れた部品が十分長い時間凝縮フルオロカーボン蒸気中に保持されるならば、その部品はその蒸気相から縞麗になって、乾燥されて取り出される。
　有機クリーニング溶剤は、エステル部位に少くとも一個の炭素原子を有する、直鎖または分岐アルキルまたはアルカノールのモノカルボン酸エステル類から選ばれ、そして最も望ましい溶剤は、引火点が２００Ｆ以上の物であり、またそれ程望ましくはないが、引火点が１５０Ｆ以上のものである。また、この有機液体は、線状または環状であって、その環に対し少くとも一個のエンド（ｅｎｄｏ）またはエキソ（ｅｘｏ）のオレフィン結合を含む炭化水素からも選ばれる。炭化水素クリーニング剤は、ピネンおよび／またはカンフェンを含むか、またはテルピネン、リモネン、テルピノーレン、テルピネオール、リナレオールおよびその他のテルペン族の関連化合物を含む。
　この有機クリーニング溶剤は、また、Ｃ１０からＣ３０の、直鎖、分岐または環状炭化水素から成ることもある。
　この有機クリーニング溶剤は、また、Ｒ１〜Ｒ１２グループで置換されたオレフィン性部位を含む炭化水素から成ることもあり、Ｒ１〜Ｒ１２は水素原子または１〜６の炭素原子を含むアルキル基であるか、または共に置換された基、即ち
から成ることもある。
　この有機クリーニング液は、また、以下の直鎖構造（１）、分岐構造（２）または環状構造（３）で規定される非環状または環状のモノオールまたはジオールから成ることもある：
　Ｒ（ＣＨ２）ｎＯＨ　　　　　（１）
（式中、ＲはＨ、ＯＨであり；ｎは１〜２０から選ばれる）
（式中、ｎは１〜２０から選ばれる）。
（式中、Ｒ１〜Ｒ９はアルキルまたは水素またはそれらの混合であり、ｎは０〜６である）。
　また、この有機液体は次のような直鎖、分岐または環状のモノまたはポリケトンから成ることもある：
（式中、ｎは０から６であり、Ｒ１〜Ｒ１０はアルキルまたは水素またはそれらの混合物である）。
　本発明で用いられる他のクリーニング液は次の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）および（ｅ）から成ることもある：
（ａ）次式のアルキルまたはアリールニトリル類：
　Ｒ−ＣＮ
（式中、Ｒはアルキル基（メチル、エチル、など）、フェニル基、アルキル置換フェニル基であることができる。）
　（ｂ）次式のアルキルベンゼン：
　（ｃ）次式の、ジエチルフタレートのようなアルキルエステル類：
　（ｄ）次式のポリエーテルアルカノール類：
（式中、Ｒ１は水素、アルキルまたはヒドロキシル基から選ばれ、Ｒ２は水素、アルキルまたはフルオロアルキル基から選ばれる。）
　（ｅ）次式で示されるトリフルオロベンゼンのような置換芳香族化合物：
（式中、Ｒ１〜Ｒ６は水素、アルキル基、フルオロアルキル基またはハロゲン基およびそれらの組合せから選ばれる。）
　かかる有機クリーニング溶剤は、また、全ての上記有機クリーニング溶剤と、直鎖、分岐または環状ペルフルオロカーボンまたはヒドロフルオロカーボンのようなフルオロカーボン、あるいは所望によって炭素原子に酸素、硫黄、窒素またはリンが付いているこれらフルオロカーボン類との混合物、また、所望によって、可溶化剤としての界面活性剤をも含む混合物であってもよい。
　フルオロカーボンリンス溶剤は、少くとも２５℃から１２０℃の沸点を有する、直鎖、分岐または環状構造を含むヒドロフルオロカーボン化合物または混合物から選ばれ、そしてかかるフルオロカーボンは酸素、硫黄、窒素およびリン原子から成る群から選ばれた他の官能基で置換されている場合もある。
　推奨されるヒドロフルオロカーボン混合物は、少くとも２５℃から１２０℃の沸点範囲で有機クリーニング溶剤に対してある程度の混合性を有している。そのため、少くとも２モル％の炭化水素クリーニング溶剤が相分離を起こすことなくフルオロカーボン液と混ざる。
　ヒドロフルオロカーボン類はその中に３から８個の炭素原子、水素およびフッ素を含んでいることが望ましい。この化合物は直鎖または分岐分子鎖を持っていることが望ましい。
　燃焼性の抑制は適当な蒸気被覆剤の使用によって維持される。リンス溶剤は他の直鎖、分岐または環状アルキルまたはアリールアルコール、エステル、ニトロ化合物、ニトロ環状化合物またはニトリル化合物、エーテル、ケトン、炭化水素およびその他の非水系溶媒から成る化合物または混合物から選ばれることもできる。
　本発明の更なる他の目的と利点は、以下の詳細な説明から、当該技術分野の熟練者には容易に明かになるであろう。ここでは、本発明の望ましい実施態様だけを、本発明の実施において予想される最良の様式を単に例示するという方法で示し、説明される。容易に分るように、本発明は別のそして異なる実施態様が可能であり、その幾つかの細部の点は本発明から逸脱することなく種々の明瞭な手段で修正することができる。従って、図面および説明は例示的な性質のものであり、限定を意図するものではないと考えるべきである。
図面の簡単な説明
　図１は本発明の複数溶剤非水クリーニング系で用いられる脱脂または脱融装置の部分模式図であり；
　図２は本発明で用いられる装置の別の実施態様を描写する模式図であり：
　図３は本発明で用いられる装置の更に別の実施態様を描写する模式図であり；
　図４は本発明のシステムを実施するための更に別の代替装置の部分模式図であり；
　図５は本発明で用いられる装置のもう一つの実施態様であり；そして
　図６は本発明で用いられる装置の更なる実施態様である。
本発明を実施するための最良の様式
　本発明は、その最も基本的な形において、新規の非水クリーニング法であって、半‐水系クリーニング法と溶剤蒸気脱脂溶剤法の最も魅力的特徴を組合せた方法である。具体的に説明すれば、洗浄される基体または部品（例えば、樹脂系フラックスで被覆されたプリント回路基板、または石油系、合成系または半合成系オイルまたはグリースで被覆された金属または非金属製部品）は先ず基体上の汚れまたは汚染物に対する親和性がフルオロカーボン系溶剤より大きい、暖かいまたは室温の炭化水素溶剤中で洗浄される。次いで、この部品は望ましくは炭化水素溶剤より低い沸点を有する不燃性のフルオロカーボン溶剤を含む第二タンクまたはクリーニング領域でスプレー法または浸漬法でリンスされる。フルオロカーボン溶剤は炭化水素溶剤に対して少くともある程度の溶解性を持っいるので、炭化水素溶剤は部品の表面から濯ぎ落とされる。次いで、このフルオロカーボン溶剤は既知の方法で蒸発により部品表面から乾燥される。この方法の利点は乾燥費用が非常に少なく、廃水処理コストと資本投下が実質的に不要で、操業時の安全性が向上することである。更に、リンスおよび乾燥工程でヒドロフルオロカーボンまたはペルフルオロカーボンを使用することにより、クロロカーボンまたはクロロフルオロカーボン溶剤系に比べて環境的利点が非常に向上することである。
　推奨される有機クリーニング剤は、脂肪族部位に少くとも６個の炭素原子を有し、エステル部位に少くとも１個の炭素原子を有する直鎖または分岐アルキルまたはアルカノールのモノカルボン酸エステル類から選ばれる。
　この有機液体は、線状または環状であって、その環に対し少くとも１個のエンド（ｅｎｄｏ）またはエキソ（ｅｘｏ）のオレフィン結合を含む炭化水素からも選ばれる。
　この炭化水素はピネンおよび／またはカンフェンであってもよい。
　推奨されるヒドロフルオロカーボンは次の各グループから選ばれる：
（１）次の実験式を持つ化合物：
　　　　　　Ｃ３ＨｎＦ８−ｎ　　式中　ｎ≦４
このクラスの代表例は：
ＣＨ２ＦＣＨ２ＦＣＨＦ２、　　　　ＣＨ２ＦＣＦ２ＣＦＨ２
ＣＦ２ＨＣＨ２ＣＦ２Ｈ、　　　　　ＣＦ２ＨＣＦＨＣＦ２Ｈである。
（２）次の実験式の直鎖または分岐化合物：
　　　　　　Ｃ４ＨｎＦ１０−ｎ　式中　ｎ≦５
このクラスの代表例は
ＣＨＦ２（ＣＦ２）２ＣＦ２Ｈ、　　ＣＦ３ＣＦ２ＣＨ２ＣＨ２Ｆ
ＣＨ３ＣＦ（ＣＨＦ２）ＣＨＦ２、　ＣＦ３ＣＨ２ＣＦ２ＣＨ２Ｆ
ＣＨ３ＣＨＦＣＦ２ＣＦ３、　　　　ＣＦ３ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ３
ＣＨ２ＦＣＦ２ＣＦ２ＣＨ２Ｆ、　　ＣＨＦ２ＣＨ（ＣＦ３）ＣＦ３
ＣＨＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ３である。
（３）次の実験式の直鎖または分岐化合物：
　　　　　　Ｃ５ＨｎＦ１２−ｎ　　式中　ｎ≦６
このクラスの代表例は：
ＣＨ３ＣＨＦＣＨ２ＣＦ２ＣＦ３、　ＣＦ３ＣＨ２ＣＦ２ＣＨ２ＣＦ３
ＣＨ３ＣＨＦＣＨＦＣＦ２ＣＦ３、　ＣＦ３ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨ３ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３、　ＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２ＣＨ２ＣＨ３
ＣＨ３ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３、　ＣＦ３ＣＨ２ＣＨＦＣＨ２ＣＦ３
ＣＨ２ＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３、ＣＦ３ＣＨ２ＣＦ２ＣＨ２ＣＨ２Ｆ
ＣＨＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨ３ＣＦ（ＣＦ２Ｈ）ＣＨＦＣＨＦ２
ＣＨ３ＣＦ（ＣＨＦＣＨＦ２）ＣＦ３
ＣＨ３ＣＨ（ＣＦ２ＣＦ３）ＣＦ３
ＣＨＦ２ＣＨ（ＣＨＦ２）ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨＦ２ＣＦ（ＣＨＦ２）ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨＦ２ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）２である。
（４）次の実験式の直鎖または分岐化合物：
　　　　　　Ｃ６ＨｎＦ１４−ｎ　式中　ｎ≦７
このクラスの代表例は：
ＣＨＦ２（ＣＦ２）４ＣＦ２Ｈ、　　ＣＦ３ＣＦ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨ３ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３、（ＣＦ３ＣＨ２）２ＣＨＣＦ３
ＣＨ３ＣＨ２ＣＦＨＣＦＨＣＦ２ＣＦ３
ＣＨ３ＣＨＦＣＦ２ＣＨＦＣＨＦＣＦ３
ＣＨ２ＦＣＨＦＣＨ２ＣＦ２ＣＨＦＣＦ３
ＣＦ２ＨＣＨＦＣＦ２ＣＦ２ＣＨＦＣＦ２Ｈ
ＣＨ２ＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２Ｈ
ＣＨＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＨＦ２
ＣＨＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨ３ＣＨ（ＣＨＦＣＨ２ＣＦ３）ＣＦ３
ＣＨ３ＣＦ（ＣＦ２Ｈ）ＣＨＦＣＨＦＣＦ３
ＣＨ３ＣＦ（ＣＦ３）ＣＨＦＣＨＦＣＦ３
ＣＨ３ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＨ３
ＣＨ３ＣＦ（ＣＦ３）２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨＦ２ＣＦ２ＣＨ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨＦ２ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ３である。
（５）次の実験式の直鎖または分岐化合物：
　　　　　　Ｃ７ＨｎＦ１６−ｎ　式中　ｎ≦８
このクラスの代表例は：
ＣＨ３ＣＨ２ＣＨ２ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨ３ＣＨＦＣＨ２ＣＦ２ＣＨＦＣＦ２ＣＦ３
ＣＨ３（ＣＦ２）５ＣＨ３
ＣＨ３ＣＨ２（ＣＦ２）４ＣＦ３
ＣＦ３ＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）３ＣＦ３
ＣＨ２ＦＣＦ２ＣＨＦ（ＣＦ２）３ＣＦ３
ＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２ＣＨＦＣＨＦＣＦ２ＣＦ３
ＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨ３ＣＨ２ＣＨ２ＣＨＦＣＦ（ＣＦ３）２
ＣＨ３ＣＨ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＨ３
ＣＨ３ＣＦ（ＣＦ３）ＣＨ２ＣＦＨＣＦ２ＣＦ３
ＣＨ３ＣＦ（ＣＦ２ＣＦ３）ＣＨＦＣＦ２ＣＦ３
ＣＨ３ＣＨ２ＣＨ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨＦ２ＣＦ（ＣＦ３）（ＣＦ２）３ＣＨＦ２
ＣＨＦ２ＣＦ（ＣＦ３）（ＣＦ２）３ＣＦ３である。
（６）次の実験式の直鎖または分岐化合物：
　　　　　　Ｃ８ＨｎＦ１８−ｎ　　式中　ｎ≦９
このクラスの代表例は：
ＣＨ３ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨ３（ＣＦ２）６ＣＨ３
ＣＦ３（ＣＦ２）６ＣＦ２Ｈ
ＣＨＦ２ＣＦ（ＣＦ３）（ＣＦ２）４ＣＦ３
ＣＨＦ２ＣＦ（ＣＦ３）（ＣＦ２）４ＣＨＦ２
ＣＨ３ＣＨ２ＣＨ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨ３ＣＦ（ＣＦ２ＣＦ３）ＣＨＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３
ＣＨ３ＣＨ２ＣＨ２ＣＨＦＣ（ＣＦ３）２ＣＦ３
ＣＨ３Ｃ（ＣＦ３）２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＨ３
ＣＨ３ＣＨ２ＣＨ２ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ（ＣＦ３）２
ＣＨ２ＦＣＦ２ＣＦ２ＣＨＦ（ＣＦ２）３ＣＦ３である。
　図１は本発明の方法で用いられる装置の一つのタイプの部分模式図である。ここで、容器１０は三つの浴（ｓｕｍｐ）：即ちクリーニング浴１５、洗浄浴２０およびリンス浴２５に分けられている。クリーニング用区画１５は一つまたはそれ以上の仕切り壁１７、１９で第二区画２０から分離されており、２０には容器１０に共通で、浴１５、２０および２５の全部を覆う不燃性凝縮蒸気の被覆３０または燃焼性抑制被覆を形成させるためにヒーター３４で沸点まで加熱されているフルオロカーボン液２２が入っている。区画２０は、また、基体を区画２０に入っているフルオロカーボン液に浸漬するか、または純粋なフルオロカーボン凝縮液の噴流１８に当てるかして（その際汚れた液は下の浴に流れ落ちる）、基体から塊の汚れと有機洗浄剤とを洗い流す場所でもある。クリーニング区画１５は所定のクリーニング用に処方された有機クリーニング溶剤の本体を入れるのに適している。この溶剤は、上に説明したように、また、強いクリーニングを必要とする場合には下記の実施例で示すように、有機炭化水素であり、強くないクリーニング用には有機炭化水素とフルオロカーボンのようなより弱い溶剤との混合物（この場合、基体との親和性を考慮することがより重要かも知れない）である。洗浄区画２０はクリーニング溶剤２４に対し少くとも僅かな溶解度を有するリンス剤２２を含むのに適するようになっている。本明細書を通じて用いられている、炭化水素クリーニング溶剤に対するリンス用フルオロカーボン溶剤の“僅かな溶解度”とは炭化水素クリーニング溶剤の少くとも２モル％がフルオロカーボン溶剤に溶けること定義される。適したリンス剤２２および本発明で推奨されるリンス剤は、上に説明したような、また下記の実施例で示すようなフルオロカーボン系の溶剤である。また場合によっては、区画２０より低い温度になっている第二のリンス用区画が第一リンス用区画の下流に用意されていることもあり、この区画もフルオロカーボン系溶剤を含むようになっている。区画２５の目的は痕跡量の残留汚れを除去するために基体を最後に浸漬してリンスすること、および蒸気ゾーン３０中で純粋の凝縮蒸気で基体がリンスされるように基体を冷ますことである。蒸気ゾーン３０は各区画１５、２０、２５の上部に形成されており、（発明者ランド（Ｒａｎｄ）の米国特許第４，２６１，１１１号明細書に開示されているような）この技術分野でよく知られているタイプの冷却コイル３２が蒸気ゾーンの上限を画成し、その３２は蒸気を凝縮させてその凝縮液を区画２５に戻す。炭化水素クリーニング溶剤２４とフルオロカーボンリンス液２２はそれら個々の相互溶解度で選択される。そのため相分離のような物理的分離法を用いて蓄積してきた汚れを除去し、そして綺麗な有機溶剤を元の浴に戻すことができる。そこで、図１に関連して、Ｕ字管型相分離機（示されていない）またはウエア（ｗｅｉｒ）またはスキマー（ｓｋｉｍｍｅｒ）が区画２０と連結され、フルオロカーボンの上に浮いて来る凝縮炭化水素を分離して除去するために用いられ、またこの分離装置（示されていない）は過剰の炭化水素液がリンスタンク２０からクリーニングタンク１５に逆流しないように配列されることに留意すべきである。
　図１の容器１０は上部開放型の脱融または脱脂装置として描かれている。しかしながら、容器１０はその設計形式ではコンベヤー（示されていない）法で部品をクリーニング浴１５からリンス浴２０および２５へ順次搬送するインラインタイプの脱脂または脱融装置の性格も持っていると理解すべきである。
　図２では、クリーニングタンク１５中の有機クリーニング液はフルオロカーボン系溶剤と混合されている場合がある。この場合のクリーニング液はフルオロカーボンが沸騰して出てくるのに十分な温度に加熱される。この場合フルオロカーボンの沸点は有機クリーニング液の沸点より少くとも１０℃低くなければならない。この混合液はコイル３３で加熱され、その結果生成する炭化水素液上に直接覆いかぶさる蒸気ゾーンは基本的にフルオロカーボンを基剤とする不燃性のまたは燃焼抑制性の蒸気ゾーンであって、爆発の可能性を最少限に抑える。このクリーニング液混合物は有機炭化水素とフルオロカーボン系溶剤の間の相の均一性を確保するために界面活性剤添加物を必要とする場合も必要としない場合もある。沸騰して出てくるフルオロカーボンの区画１５内の濃度は、蒸気凝縮物のこの区画への還流および／または体積または液の水準に感じるトランスデューサー（示されていない）を用いてリンス区画（複数）２０、２５からこの浴１５へ液をポンプで戻すことにより一定に保たれる。図１のこの変形法では、沸騰リンス浴２０は必要でないか、または区画１５と区画２５の間の任意の中間の温度の第二リンス浴としてだけ機能すると考えられる。浴２０が容器１０に不燃性被覆３０を形成させるフルオロカーボンを供給する三浴式変形法では、浴２０は加熱コイル３４で加熱され、加熱コイル３３は必要でない。浴１５が容器１０に不燃性被覆３０を形成させるフルオロカーボンを供給する二浴式変形法では、加熱コイル３３が優先され、加熱コイル３４は必要でない。浴１５が容器１０に不燃性被覆３０を形成させるフルオロカーボンを供給するこの二浴式変形法では、浴２０は必要でなく、浴２５はクリーニングされた基体を最終の凝縮液リンスのために蒸気凝縮ゾーンに持込む前の冷たいリンス浸漬浴となる。
　図３では、浴２０には炭化水素系クリーニング液で飽和したフルオロカーボン系リンス溶剤の溶液が入っている。この液は炭化水素が割合低い濃度で（例えば、１０モル％以下）フルオロカーボン中で相分離し、より比重の高いフルオロカーボンの上部に浮いて来て、カスケード効果によりクリーニング浴１５に戻る。一方、リンス浴（複数）２５ａまたは２５ｂは純粋のリンス溶剤を浴２０に流し込み、その液水準を維持すると同時に、更に直接的に、分離した有機相を沸騰浴１５の方に押流す上澄除去作用をする。
　図４では、沸騰浴１５には層に分かれたクリーニングゾーン１５ａおよび１５ｂを形成するのに十分な程度には混ざり合わない炭化水素とフルオロカーボンの両方が入っている。この並べ方の利点は、容器１０に不燃性蒸気被覆を形成させる加熱コイル３３がフルオロカーボンの多い相中に浸漬されているので、浴中の液が意図していた水準以下に落ちても不慮の火災が起きる可能性が小さくなることである。更に、沸騰するフルオロカーボン液には比重の小さい有機炭化水素の上層を掻き混ぜる作用があり、そのクリーニング性能を助ける。図３におけるように、フルオロカーボンリンス溶剤と炭化水素クリーニング溶剤は浴の液量を維持するためにそれぞれの浴に流し落とすか、ポンプで戻される。
　図５では、分離した構造物１１と１２の中に設置されることによって、炭化水素クリーニングゾーン１５がリンスゾーン２０および２５から分離されている。この構造は図５の容器１２で例示されているような在来のバッチ式溶剤蒸気脱脂または脱融装置を本発明のクリーニング法で構造的に変更する能力を与えることを意図している。容器１１から１２への有機溶剤のキャリオーバーはエヤーナイフ３７のような機械的装置によって減らす事ができる。窒素またはその他の不燃性圧縮ガスを炭化水素浴の上の蒸気ゾーンに送込み、多くのタイプの在来の半水系（有機クリーニング／水リンス系）クリーニング法に典型的な炭化水素の燃焼性または爆発の危険を減らす。二つのクリーニングゾーンを物理的に分離することによって前の実施態様のようなカスケーディング（流下）が止められているので、フルオロカーボン沸騰浴２０内で、クリーニング浴１５からキャリオーバーして残った炭化水素２０は、図１で説明したように、機械的に分離され、ポンプ４５で（模式的に示しているように）還流されるようになっている。
　図６の場合、浴１５内の有機クリーニング溶剤はリンス浴２５中のフルオロカーボン系リンス溶剤と混ざらないか、相溶性が小さいことを前提としている。これら溶剤が相互に混合して綺麗になった基体が再汚染される恐れがあるのを防ぐために、第一リンスゾーンにはカップリング溶剤（ブタノールのようなアルカノールまたはトリフルオロベンゼンのようなもう一つのフッ素系試薬、または任意の他のタイプの炭化水素）が入れられており、フルオロカーボンはこのカップリング溶剤と相溶性である。フルオロカーボン溶剤は有機クリーニング溶剤またはカップリング溶剤のどちらかより沸点が低いことが望ましい。この場合、浴２５内のフルオロカーボンは主として不燃性の蒸気で、浴１５および２０中の可燃性液体を覆う目的を果たし、主としてカップリング溶剤から成るリンス浴２０内の液の水準は浴２５からのフルオロカーボン液を補給することで維持される。カップリング溶剤浴２０中でリンスされた基体は浴（複数）２５ａおよび／または２５ｂ中で最終浸漬リンスされるか、最終リンスのためにフルオロカーボン凝縮蒸気ゾーン４２中に保持されるが、これはカップリング溶剤がフルオロカーボン溶剤と相溶性なのでうまく行える。
　　　　　　　　　　　　　　　
実施例
　以下の実施例を用いて、汚れた試験片を先ず有機クリーニング溶剤に浸漬し、次いでフッ素化学溶剤（フルオロケミカルス溶剤）てリンスした時に観測される予想以上のクリーニング性能を証明する。これら実施例では、ステンレス鋼試験片を種々の市販の石油、半合成および合成油で被覆した。市販の石油はパラフィン系の直鎖または分岐鎖飽和炭化水素である。これら油は全て冷却および潤滑目的で金属加工工業で用いられるものである。合成油は合成高分子と脂肪酸およびアミンを含んでいる。半合成油は石油と合成油との混合物である。本発明を証明するための試験に用いるクリーニング法は、試験片を有機クリーニング溶剤に３０秒浸漬し、次いでフルオロケミカルス浴剤に３０秒浸漬し、そして冷却コイルゾーンの中の液体の上方でフルオロケミカルス溶剤の凝縮蒸気で３０秒リンスすることからなる。クリーニング前後における試験片上の汚れの量を市販のＣＯ２電量分析計で測定し、炭素単位で表された表面上の有機性残存物の量をマイクログラムの感度で求めた。試験片上の残存物の試料を試料ボートに乗せて燃焼炉に入れ、酸素雰囲気中、６５０℃で燃焼させた。生成したＣＯ２およびその他の燃焼生成物をスクラバーを通し、何らかの阻害作用のあるハロゲン、硫黄、酸化窒素および水を除去した。次いでこの気体を、指示溶液を含む電量分析計のセルに通した。このガス流がこの溶液中を通過すると、ＣＯ２は定量的に吸収され、溶液中で試薬と反応して滴定できる酸を生成する。電流を自動的に調節して溶液を中性にし、総電流を積分し、そして結果を炭素のマイクログラムで示した。この方法は、感度が＋／−０．０１マイクログラム炭素で、表面上の炭素成分を再現性よく分析する最も感度のいい方法の一つである。この方法で洗浄される油は全て有機性であるから、炭素含有量をモニターすることは基体上の有機性汚れの量を高い再現性と高い感度で測定するための素晴らしい手段である。
　
実施例１
　有機溶剤として（Ｃ９〜Ｃ１１）のメチルエステルを用いた。分光学的方法での特性化は小量の枝分かれ成分の存在を示す。フルオロカーボンリンス剤として分岐ヒドロフルオロカーボン（Ｃ６Ｆ１３Ｈ）であるＨＦＣ５２‐１３が用いられた。このメチルエステルは金属試験片から石油系の油を室温で除去するのに有効であるが、クリーニング処理後にメチルエステル溶剤の薄膜が残る。ＨＦＣ５２‐１３では試験片の表面から油をクリーニングすることはできない。しかし、メチルエステルでクリーニングし、ＨＦＣ５２‐１３でリンス、次いでフルオロカーボン凝縮蒸気でリンスする方法は非常に有効で、高沸点エステルの薄膜の９９％以上を金属試験片から除去し、測定可能な痕跡量の油汚れも残らない。クリーニングの有効性を重量測定で評価した。以下の各実施例での対照試験片の測定では表面に約１０μｇの炭素が含まれていた。
　
実施例２
　それぞれ１０ｗｔ％、２０ｗｔ％、６８ｗｔ％の割合のアジピン酸、コハク酸、およびグルタール酸のジメチルエステルを実験室で合成して二塩基酸エステル型クリーニング溶剤混合物を調製した。汚れた試験片をこの二塩基酸エステルとＨＦＣ‐３６５（ＣＦ３ＣＨ２ＣＦ２ＣＨ３）の混合物中に５６℃で３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ‐３６５中に室温で３０秒浸漬し、そしてＨＦＣ‐３６５で３０秒間蒸気リンスした。つぎの結果が記録された：
　石油および合成油でのこの実験では、有機溶剤クリーニング工程とそれに続くフルオロケミカルス蒸気でのリンス工程を用いると試験片の表面は完全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９．９％）。実験（ｂ）と（ｅ）で、試験片を二塩基酸エステル中に３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。実験（ｃ）と（ｆ）で、試験片を二塩基酸エステルクリーニングせずにＨＦＣ‐３６５中に３０秒浸漬し、次いで空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。本実施例は、二塩基酸エステルまたは二塩基酸エステルとフルオロケミカルスとの混合物のいずれかの中に浸漬した汚れた試験片を完全に綺麗にするには、フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要なこと、そしてエステル単独でもフルオロケミカルス単独でも表面を完全に綺麗にするのには不十分なことを示すものである。
　
実施例３
　汚れた試験片を環状ケトンであるシクロヘキサノンとヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ‐３６５との５０／５０容量％混合液の中に５７〜５９℃で３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ‐３６５に室温で３０秒浸漬し、ＨＦＣ‐３６５で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された：
　有機溶剤クリーニング工程とそれに続くフルオロケミカルス蒸気でのリンス工程を用いた（ａ）〜（ｆ）の試験では、試験片の表面は完全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９．９％）。しかし、試験（ｂ）と（ｅ）で、試験片をシクロヘキサノン中に３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。実験（ｃ）と（ｆ）で、試験片をケトンクリーニング工程なしにＨＦＣ‐３６５中に３０秒浸漬し、次いで３０秒乾燥した場合、かなりの量の炭素が表面に残留した。本実施例は、ケトン（環状または非環状）またはケトンとフルオロケミカルスとの混合物のいずれかの中に浸漬した汚れた試験片を完全に綺麗にするには、フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要なこと、そしてケトン単独でもフルオロケミカルス溶剤単独でも表面を完全に綺麗にするのには不十分なことを示すものである。
　
実施例４
　汚れた試験片を環状アルカノールである液体シクロヘキサノールとヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ‐３６５との５０／５０容量％混合液の中に５７〜５９℃で３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ‐３６５に室温で３０秒浸漬してからＨＦＣ‐３６５で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された：
　石油での実験では、有機溶剤クリーニング工程とそれに続くフルオロケミカルス蒸気でのリンス工程を用いると、試験片の表面は完全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９．９％）。試験（ｂ）と（ｅ）で分るように、シクロヘキサノールは合成油のクリーニングではかなり貧溶媒であるが、試験（ｄ）に示したように、本発明のクリーニング法を用いれば合成油と有機溶剤の薄膜の大半を除去できた。また、試験（ｂ）と（ｅ）で、試験片をシクロヘキサノール中に３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。実験（ｃ）と（ｆ）で、試験片をアルカノールクリーニング工程なしにＨＦＣ‐３６５中に３０秒浸漬し、次いで３０秒乾燥した場合、かなりの量の炭素残滓が表面に残留した。本実施例は、アルカノール（環状または非環状）中に浸漬した汚れた試験片を完全に綺麗にするには、フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要なこと、そしてアルカノール単独でもフルオロケミカルス溶剤単独でも表面を完全に綺麗にするのには不十分なことを示すものである。
　
実施例５
　汚れた試験片を環状オレフィン、液体１，５‐ジメチルシクロクタジエンとヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ‐３６５との５０／５０容量％混合液の中に５７〜５９℃で３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ‐３６５に室温で３０秒浸漬してからＨＦＣ‐３６５で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された：
　石油および合成油でのこれらの実験では、有機溶剤クリーニング工程とそれに続くフルオロケミカルス蒸気でのリンス工程を用いると、試験片の表面は完全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９．８％）。しかし、実験（ｂ）と（ｅ）で、試験片を１，５‐ジメチルシクロオクタジエン中に３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。実験（ｃ）と（ｆ）で、試験片をオレフィン溶剤でクリーニングせずにＨＦＣ‐３６５中に３０秒浸漬し、次いで空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。本実施例は、オレフィン（環状または非環状）の中に浸漬した汚れた試験片を完全に綺麗にするには、フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要なこと、そしてオレフィン単独でもフルオロケミカルス溶剤単独でも表面を完全に綺麗にするのには不十分なことを示すものである。
　
実施例６
　汚れた試験片をフッ素化芳香族化合物である液体ベンゾトリフルオリドとヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ‐３６５との５０／５０容量％混合液の中に５７〜５９℃で３０秒浸債し、次いでＨＦＣ‐３６５に室温で３０秒浸漬してからＨＦＣ‐３６５で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された：
　石油および合成油でのこれらの実験では、有機溶剤クリーニング工程とそれに続くフルオロケミカルス蒸気でのリンス工程を用いると、試験片の表面は完全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９．８％）。しかし、実験（ｂ）と（ｅ）で、試験片をベンゾトリフルオリド中に３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。実験（ｃ）と（ｆ）で、試験片をフッ素化芳香族化合物でクリーニングせずにＨＦＣ‐３６５中に３０秒浸漬し、次いで空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。本実施例は、フッ素化芳香族系溶剤中に浸漬した汚れた試験片を完全に綺麗にするには、フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要なこと、そしてフッ素化芳香族系クリーニング溶剤単独でもフルオロケミカルス溶剤単独でも表面を完全に綺麗にするのには不十分なことを示すものである。
　
実施例７
　汚れた試験片をポリエーテルジオールであるポリエチレングリコール（分子量：２００）とメチルエステルの混合物５０容量％とヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ‐３６５の５０容量％の混合液の中に４５〜５０℃で３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ‐３６５に室温で３０秒浸漬してからＨＦＣ‐３６５で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された：
　石油および合成油でのこれらの実験では、有機溶剤クリーニング工程とそれに続くフルオロケミカルス蒸気でのリンス工程を用いると、試験片の表面は完全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９．８％）。しかし、実験（ｂ）と（ｅ）で、試験片をポリエチレングリコール／メチルエステル系溶剤混合物中に３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。実験（ｃ）と（ｆ）で、試験片をポリエチレングリコール／メチルエステル溶剤でクリーニングせずにＨＦＣ‐３６５中に３０秒浸漬し、次いで空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。本実施例は、グリコールとエステル中に侵漬した汚れた試験片を完全に綺麗にするには、フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要なこと、そしてこの混合有機溶剤単独でもフルオロケミカルス溶剤単独でも表面を完全に綺麗にするのには不十分なことを示すものである。
　
実施例８
　汚れた試験片をメチルエステルまたはポリエーテルジオール、ポリエチレングリコール（分子量：２００）とメチルエステルの混合物のいずれかの中に５７〜５９℃で３０秒浸潰し、次いで比較フルオロケミカルス溶剤であるヒドロクロロフルオロカーボン、ＨＣＦＣ−１２３または高フッ素化アルカン、ＨＦＣ−５２−１３のいずれかの中に室温で３０秒浸潰してからいずれかのフルオロケミカルス溶剤で３０秒蒸気リンスした。次の結果が得られた：
　（ａ）合成油およびグリース・ヴァルヴォリン（Ｖａｌｖｏｌｉｎｅ）はどちらもＰＥＧ−２００／メチルエステル−クリーニング溶剤混合物と比較フルオロケミカルス溶剤であるリンス溶剤ＨＣＦＣ−１２３とで、９９．９％以上金属試験片から除去された。
　（ｂ）合成油およびグリース・ヴァルヴォリンはどちらもＰＥＧ−２００／メチルエステル−クリーニング溶剤混合物と本発明の方法によるリンス溶剤ＨＦＣ‐５２‐１３とで９９．９％以上金属試験片から除去された。
　
実施例９
　汚れた試験片を市販のテルペン類と非イオン界面活性剤との混合物、バイオアクト（ＢＩＯＡＣＴ）ＥＣ‐７とＨＦＣ‐３６５との５０／５０容量％混合液の中に５７〜５９℃で３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ‐３６５に室温で３０秒浸漬してからＨＦＣ‐３６５で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された：
　石油および合成油でのこれらの実験では、有機溶剤クリーニング工程とそれに続くフルオロケミカルス蒸気でのリンス工程を用いると、試験片の表面は実質上完全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９．６％）。しかし、実験（ｂ）と（ｅ）で、試験片をテルペン溶剤混合物中に３０秒浸漬し、次いでＨＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。実験（ｃ）と（ｆ）で、試験片をテルペン溶剤でクリーニングせずにＨＦＣ‐３６５中に３０秒浸漬し、次いで空気中で３０秒乾燥すると、かなりの量の炭素が表面に残留した。本実施例は、テルペン溶剤中に浸漬した汚れた試験片を完全に綺麗にするには、フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要なこと、そしてこのテルペン溶剤単独でもフルオロケミカルス溶剤単独でも表面を完全に綺麗にするのには不十分なことを示すものである。
　
実施例１０（比較例）
　汚れた試験片を環状ケトンである液体シクロヘキサノンとヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ‐３６５との５０／５０容量％混合液の中に５６〜５９℃で３０秒浸漬し、次いで５％のヒドロクロロフルオロカーボン、ＨＣＦＣ‐１４１ｂと９０％のヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ‐３６５とからの低沸点混合物に室温で３０秒浸漬した後、ＨＣＦＣ‐１４１ｂ／ＨＦＣ‐３６５の凝縮共沸蒸気中で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された：
　石油および合成油でのこれらの試験では、有機溶剤クリーニング工程とそれに続くＨＣＦＣとＨＦＣのフルオロケミカルス混合物蒸気でのリンス工程を用いると、試験片の表面は実質上完全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９．８％）。しかし実験（ｂ）と（ｅ）で、試験片をケトンクリーニング溶剤に３０秒浸漬し、次いでＨＣＦＣ／ＨＦＣ蒸気リンスせずに空気中で３０秒乾燥しただけであると、かなりの量の炭素が表面に残留した。実験（ｃ）、（ｆ）、（ｈ）および（ｊ）で、試験片をＨＣＦＣ‐１４１ｂ／ＨＦＣ‐３６５共沸混合物中に３０秒浸漬し、次いで空気中で３０秒乾燥した場合、テルペン溶剤クリーニング工程を用いる本発明の二成分溶剤処理の場合より多くの量の炭素が表面に残留した。本実施例は、ＨＣＦＣ‐１４１ｂを含む混合物のような強力なフルオロケミカルス・リンス溶剤を用いた場合でさえ、有機溶剤（ケトン）クリーニング工程とそれに続くフルオロケミカルス蒸気工程の組合せはケトン溶剤単独またはフルオロケミカルス溶剤単独よりも基体を綺麗にするより大きいクリーニング効果があることを示すものである。
　
実施例１１
　汚れた試験片を環状ケトンである液体シクロヘキサノンとＨＦＣ‐３６５／ＦＣ‐７２（９５：５重量比）との５０／５０容量％混合液の中に５６〜５９℃で３０秒浸漬し、次いで５％のペルフルオロカーボン、ＦＣ‐７２と９５％のヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ‐３６５との非相分離混合物に室温で３０秒浸漬した後ＦＣ‐７２／ＨＦＣ‐３６５の凝縮共沸蒸気中で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された：
　上記のこれらの実験では、有機溶剤クリーニング工程とそれに続くフルオロケミカルス蒸気でのリンス工程を用いると、試験片の表面は完全にクリーニングされた（炭素除去率＞９９．９％）。試験片をＦＣ‐７２／ＨＦＣ‐３６５の混合物中に３０秒浸漬し、次いでシクロヘキサノン溶剤クリーニング工程なしに空気中で３０秒乾燥すると、より多い炭素が表面に残留した。本実施例は、ケトン溶剤中に浸漬された汚れた試験片を完全に綺麗にするには、フルオロケミカルス蒸気でのリンス工程が必要なこと、そしてケトン溶剤単独でもフルオロケミカルス溶剤単独でも表面を完全に綺麗にするのには不十分なことを示す。また、ＦＣ‐７２のようなペルフルオロカーボンは油に対しては非常に貧溶媒であることがよく知られているが、有機溶剤クリーニング工程と組合わせる本発明の蒸気リンスまたは浸漬リンス工程でヒドロクロロカーボンとまたはヒドロクロロフルオロカーボンとでも混合すると、この二成分溶剤法は個々の溶剤それ自身では完全に綺麗にできない試験片でも完全にクリーニングできることを示すものである。
　
実施例１２
　汚れた試験片を（前の実施例中のようには）クリーニング処理前にＨＦＣと混合されていない、環状アルコールである液体シクロヘキサノールに浸漬した。試験片を５６〜５９℃で３０秒浸漬し、次いでヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ‐３６５に室温で３０秒浸漬してからＨＦＣ‐３６５の凝縮共沸蒸気で３０秒蒸気リンスした。次の結果か記録された：
　この試験では、ＨＦＣから相分離する有機クリーニング溶剤のクリーニング性能が証明された。結果は混合された有機／溶剤系が評価された実施例４での結果の実験誤差の範囲内にある。興味あることに、本実施例では、クリーニング浴中でのＨＦＣ／有機溶剤混合物はクリーニング浴が有機溶剤（シクロヘキサノール）だけを含む場合より良好な洗浄効果を示す。
　
実施例１３
　汚れた試験片を（前の実施例中のように）クリーニング処理前にＨＦＣと混合されていない、環状ケトンである液体シクロヘキサノンに浸漬した。試験片を５６〜５９℃で３０秒浸漬し、次いでヒドロフルオロカーボン、ＨＦＣ−３６５に室温で３０秒浸漬してからＨＦＣ‐３６５の凝縮共沸蒸気で３０秒蒸気リンスした。次の結果が記録された：
　この試験では、ＨＦＣから相分離する有機クリーニング溶剤のクリーニング性能が証明された。結果は混合された有機／溶剤系が評価された実施例１２での結果の実験誤差の範囲内にある。本発明が前記で説明した目的の全てを満たすことは当該技術分野の熟練者には容易に分かるであろう。この明細書を読めば、普通の熟練者は、本明細書に広く開示しているように、本発明の種々の変更、均等物での置換およびその他の態様を行うことができるであろう。従って、本発明で認められる保護は付記された請求の範囲およびそれと同意義の文に含まれる定義にによってのみ限定されるものである。
（５７）【特許請求の範囲】
　１．次の：
　（ａ）部品を、該部品から残留汚れまたは表面汚染物を実質的に除去するのに十分な溶解力を有する有機又は炭化水素クリーニング液の中に導入する工程；
　（ｂ）前記部品を前記有機又は炭化水素クリーニング液から取り出し、そして該有機又は炭化水素クリーニング液を含有するクリーニング区画とは別のリンス区画中に含有される液体ヒドロフルオロカーボンを基剤とするリンス溶剤中に曝すことにより前記部品をリンスする工程であって、前記の液体ヒドロフルオロカーボンを基剤とするリンス溶剤が前記有機又は炭化水素クリーニング液を前記部品から除去する工程、この際、前記の液体ヒドロフルオロカーボンを基剤とするリンス溶剤が、少なくとも２５℃から１２０℃の沸点範囲で少なくとも２モル％の該有機クリーニング溶剤が相分離を起こすことなく該リンス溶剤と混和する混和性を有し、該部品の表面の該残留汚れまたは汚染物に対して該有機クリーニング液よりも低い溶解性を有し、該ヒドロフルオロカーボンが、水素、炭素、及びフッ素から成り、場合により、酸素、硫黄、窒素、およびリン原子から成る群から選ばれる官能基を含むものである；
　（ｃ）工程（ａ）及び（ｂ）の間、燃焼抑制被覆を該クリーニング区画及びリンス区画の上に形成する工程であって、前記燃焼抑制被覆が実質的に純粋なヒドロフルオロカーボン蒸気から本質的になる工程；及び
　（ｄ）前記部品を乾燥する工程；
を含んでなる、部品から残留汚れまたは表面汚染物を除去するための非水系クリーニング法であって、クロロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボンを使用しないで行なわれる方法。
　２．クリーニング液が下記成分の混合物を含んでなる、請求項１記載の方法：
　（ａ）前記組成物の全量を基準として少なくとも２重量％の量で存在しかつ前記部品から前記残留汚れまたは表面汚染物を実質的に除去することができる有機又は炭化水素成分；及び
　（ｂ）３〜８の炭素原子と少なくとも６０重量％のフッ素を有する直鎖状または分岐状構造を有するヒドロフルオロカーボン成分。
　３．前記ヒドロフルオロカーボン成分が次の群から選ばれる、請求項２記載の方法：
　（１）次の実験式を有する化合物：
　Ｃ３ＨｎＦ８−ｎ　　式中　１≦ｎ≦４
　（２）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ４ＨｎＦ１０−ｎ　式中　１≦ｎ≦５
　（３）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ５ＨｎＦ１２−ｎ　式中　１≦ｎ≦６
　（４）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ６ＨｎＦ１４−ｎ　式中　１≦ｎ≦７
　（５）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ７ＨｎＦ１６−ｎ　式中　１≦ｎ≦８
　（６）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ８ＨｎＦ１８−ｎ　式中　１≦ｎ≦９。
　４．リンス剤が、約３〜約８の炭素原子を含有して少なくとも６０重量％のフッ素を有する１または２以上のヒドロフルオロカーボン化合物から本質的になり、前記化合物が直鎖または分岐鎖を有して約２５℃〜約１２５℃の沸点を有する、請求項１記載の方法。
　５．前記ヒドロフルオロカーボンが次の群から選ばれる、請求項４記載の方法：
　（１）次の実験式を有する化合物：
　Ｃ３ＨｎＦ８−ｎ　　式中　１≦ｎ≦４
　（２）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ４ＨｎＦ１０−ｎ　　式中　１≦ｎ≦５
　（３）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ５ＨｎＦ１２−ｎ　式中　１≦ｎ≦６
　（４）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ６ＨｎＦ１４−ｎ　式中　１≦ｎ≦７
　（５）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ７ＨｎＦ１６−ｎ　式中　１≦ｎ≦８
　（６）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ８ＨｎＦ１８−ｎ　式中　１≦ｎ≦９。
　６．クリーニング区画が、ヒドロフルオロカーボン溶媒と混合された有機又は炭化水素クリーニング溶剤であってその結果できる混合液が前記部品から汚染物を実質的に除去するクリーニング溶剤を含有する方法であって、該混合液が、該炭化水素液よりも低い沸点を有する少なくとも幾らかの該ヒドロフルオロカーボンを蒸散させるのに十分な温度に加熱される結果、該クリーニング液を覆う蒸気ゾーンが本質的にフルオロカーボンを基剤とする燃焼抑制蒸気ゾーンとなる、請求項４記載の方法。
　７．前記ヒドロフルオロカーボンが次の群から選ばれる、請求項６記載の方法：
　（１）次の実験式を有する化合物：
　Ｃ３ＨｎＦ８−ｎ　　式中　１≦ｎ≦４
　（２）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ４ＨｎＦ１０−ｎ　　式中　１≦ｎ≦５
　（３）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ５ＨｎＦ１２−ｎ　式中　１≦ｎ≦６
　（４）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ６ＨｎＦ１４−ｎ　式中　１≦ｎ≦７
　（５）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ７ＨｎＦ１６−ｎ　式中　１≦ｎ≦８
　（６）次の実験式の直鎖状または分岐状化合物：
　Ｃ８ＨｎＦ１８−ｎ　式中　１≦ｎ≦９。
　８．ヒドロフルオロカーボンリンス剤を含有するリンス区画中に存在する有機又は炭化水素クリーニング液が、有機又は炭化水素クリーニング液のヒドロフルオロカーボンに対する予め設定された低濃度で該ヒドロフルオロカーボンから分離して該ヒドロフルオロカーボン上に炭化水素クリーニング液相を形成し、そして該リンス区画の上部に浮かんで該クリーニング区画内に戻るといった炭化水素クリーニング液のカスケード効果を提供するように、前記ヒドロフルオロカーボンリンス剤と前記有機又は炭化水素クリーニング液とを選択する、請求項４記載の方法。
　９．実質的に完全にヒドロフルオロカーボンだけを含有する第二リンス区画を備え、かつ予め設定された第一リンス区画の水準を維持するために及び分離した炭化水素クリーニング液を該クリーニング区画の方に押流す上澄除去作用を指向的に提供するために、実質的に純粋なヒドロフルオロカーボンリンス溶剤の第一リンス区画内へのカスケード効果を提供する工程を含んでなる、請求項４記載の方法。
　１０．該リンス区画を含有する構造物とは分離した構造物内に該クリーニング区画を収容する更なる工程を含んでなる、請求項４記載の方法。