【事件の表示】
　特許第２８３６０５６号「誘電体バリヤ放電ランプ」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２８３６０５６号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許（特許第２８３６０５６号）に係る発明についての出願は、平成５年９月１４日にされ、平成１０年１０月９日にその発明について特許権の設定の登録がされた。
　その後、その請求項１及び請求項２に係る特許について、特許異議申立人日本電池株式会社から特許異議の申立てがあり、平成１１年８月３１日に取消しの理由が通知されたところ、同通知において指定された期間内である平成１１年１１月９日に願書に添付した明細書及び図面の訂正が請求された。
ＩＩ．訂正の認否
１．訂正の内容
　平成１１年１１月９日付け訂正請求書により請求された願書に添付した明細書及び図面（以下、「特許明細書及び図面」という）の訂正（以下、「本件訂正」という）の内容は下記１のとおりである。
　同訂正請求書に添付した訂正した明細書（以下、「訂正明細書」という）の特許請求の範囲の記載は下記２のとおりである（以下、請求項１及び請求項２に記載した発明を、それぞれ、「訂正発明１」及び「訂正発明２」という）。
　　　　　　　記１（訂正の内容）
（ａ）請求項１及び請求項２の「導電性薄膜電極あるい導電性網状電極」（訂正前）を、「導電性網状電極」（訂正後）に訂正する。
（ｂ）請求項１の「電極端部の平均的厚さが」（訂正前）を、「放電空間に対向した部分における電極端部の平均的厚さが」（訂正後）に訂正する。
（ｃ）発明の詳細な説明において、［０００４］［０００５］［０００６］［０００７］［０００８］［０００９］［００１１］の欄を、特許請求の範囲の記載と整合するように訂正する。
　　　　　　　記２（訂正請求に係る特許請求の範囲）
（請求項１）放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該放電容器の少なくとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、該誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性網状電極の放電空間に対向した部分における電極端部の平均的厚さが該導電性網状電極の平均的な厚さを越えているように構成したことを特徴とした誘電体バリヤ放電ランプ。
（請求項２）該放電容器の外形が概略円筒状であり、該導電性網状電極が該放電容器の外側に設けられ、該導電性網状電極の放電空間に対向した部分における電極端部に針金、金属より線、金属テープ、金属網テープの中から選ばれた少なくとも一種を巻きつけた構成にしたことを特徴とした請求項１に記載の誘電体バリヤ放電ランプ
２．訂正の適否
（１）訂正の目的
　上記（ａ）は、訂正前の択一的な記載をその一方である「導電性網状電極」のみとするものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　上記（ｂ）は、請求前の「電極端部」についてその位置を特定するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　上記（ｃ）は、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とが整合するように訂正するものであるから、明瞭でない記載の釈明に該当する。
（２）新規事項
　特許明細書及び図面の図１、図３、図４を参照すると、電極端部は放電容器のうち誘電体バリヤ放電が発生する部分（放電空間）に対向して設けられている。
　したがって、上記（ａ）（ｂ）（ｃ）は、特許明細書及び図面に記載した事項の範囲内においてする訂正である。
（３）特許請求の範囲の拡張・変更
　上記（ａ）（ｂ）は特許請求の範囲の減縮に該当し、また、訂正の前後において産業上の利用分野、解決しようとする課題及び効果等に変更はない。
　したがって、上記（ａ）（ｂ）（ｃ）は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（４）独立特許要件
　（引用刊行物）
　当審が通知した取消しの理由で引用した下記の刊行物には、以下の記載がある。
　　　　　　　記（引用刊行物）
刊行物１：Ｐｕｒｅ＆Ａｐｐｌ．Ｃｈｅｍ，Ｖｏｌ６２，Ｎｏ．９ｐｐ１６６７−１６７４，１９９０
刊行物２：特開平２−７３５７号公報
刊行物３：社団法人電気学会「電離気体論」（昭和４４年４月３０日）１１４頁、１１５頁
　刊行物１には、「エキシマ生成用無性放電」に関し、下記の事項が記載されている。
（ア）「クオーツ板とステンレス板の間の放電ギャップで生成されるＵＶ放射は、金属リングに装着されたワイヤ・メッシュ高電圧電極を通って外に出る」（第１６６８頁１０行から１１行まで）
（イ）Ｆｉｇ．１を参照すると、「ワイヤ・メッシュ高電圧電極の周囲に装着される金属リングは、その厚さがワイヤ・メッシュ高電圧電極の厚さよりも厚く形成されていること」がみてとれる。
（ウ）「Ｆｉｇ．１に示した平面構造に加え、環状放電ギャップを有する円筒構造も使用した（Ｆｉｇ．４）」（第１６６８頁下より５行から同４行まで）
　刊行物２には、「高出力放射器」に関し、下記の事項が記載されている。
（エ）「第１図の板状高出力放射器は絶縁材料からなるスペーサ３によって互いに離された、代表的ギャップ幅１〜１０ｍｍの放電室４を仕切る石英またはサファイヤ板１と金属板２からなる。石英板１の外側表面はルミネッセンス層５で蔽われ、この層へたて線またはよこ線のみが見える比較的目の開きが大きい線網６が続く。この線網６および金属板２は放射器の２つの電極を形成する。（中略）放電室４は側面が常用法で閉鎖され、閉鎖前に排気され、不活性ガスまたは放電条件でエキシマーを系尾性する物質たとえば水銀、希ガス、希ガス−金属蒸気混合物、希ガス−ハロゲン混合物が充てんされ、」（第３頁左上欄２０行から右上欄１６行まで）
（オ）「第３図の高出力放射器は可視光を両側へ放射する。」（第４頁右上欄１１行から１２行まで）
（カ）「第５図には円筒型高出力放射器の断面が示される。」（第４頁左下欄９行から１０行まで）
　刊行物３には、「平行板電極」に関し、下記の事項が記載されている。
（キ）「たとえば、第３．１９図のような形の電極に電圧を加えると、周辺部に電界の集中が起こるので、まず、そこからコロナが発生し（中略）火花放電に移行してしまう。（中略）このような不都合を免れるためには、どうしても電極の周辺に適当な丸味を持たせなければならない。」（第１１４頁２４行から第１１５頁４行まで）
　（訂正発明１）
　訂正発明１と引用刊行物に記載された発明とを対比すると、訂正発明１の下記の構成（以下「構成Ａ」という）は、引用刊行物のいずれにも記載されておらず、また、引用刊行物に記載された事項を組み合わせることにより導き出すこともできない。
　　　　　　　　記（構成Ａ）
　「導電性網状電極の放電空間に対向した部分における電極端部の平均的厚さが導電性網状電極の平均的な厚さを越えている」
　そして、訂正発明１は、上記構成Ａにより、訂正明細書に記載された「電極端部における電界強度の集中が少なくなり、従って、電界強度が比較的均一になり、また、その強度も弱くなる。その結果、光出力の空間的な均一性、光出力の時間的なゆらぎおよび発光効率が改善される。」（訂正明細書［００８０］欄）との効果を得るものである。
　したがって、訂正発明１は引用刊行物に記載された発明である、とすることはできない。また、訂正発明１は引用刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることもできない。
　ここで、引用刊行物の記載事項及び組合せを検討する。
　訂正発明１は、「光出力の安定性、空間的な均一性、および発光効率は、誘電体に設けられた導電性網状電極の端部によって影響される」（訂正明細書［０００６］欄）との知見に基づき、上記構成Ａを採用することにより、上記効果を得るたものである。
　刊行物１には、「金属リングの厚さがワイヤ・メッシュ高電圧電極の厚さよりも厚く形成されていること」が記載されており、このことは、訂正発明１の「導電性網状電極の電極端部の平均的厚さが導電性網状電極の平均的厚さを越えている」及びその実施例である図４の構成に相当する。
　しかし、平均的厚さが導電性網状電極の平均的厚さを越えている電極端部が「放電空間に対向した部分であること」は記載されていない。なお、刊行物１のＦｉｇ．１によると、金属リングは放電ギャップの周縁の外側に配置されており、したがって放電ギャップに対向するものではない。
　また、刊行物１のＦｉｇ．４に記載された「ＨＶ　Ｇｅｎｅｒａｔｏｒ」から延びる線が「Ｐｅｎｅｔｒａｔｅｄ　Ｏｕｔｅｒ　Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ」及び「Ｉｎｎｅｒ　Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ」と接続される半円状の部分は単に接続を表示するもので、「導電性網状電極の電極端部の平均的厚さが導電性網状電極の平均的厚さを越えている」ことを示すものではない。
　さらに、刊行物１には、「電極端部の電界強度の集中が光出力の安定性、均一性、効率に影響する」という訂正発明１の課題についても認識がない外、この課題が刊行物１に記載された「エキシマ生成用無声放電」において周知の課題であるとも言えない。
　刊行物２には、「線網６」の端部に関しその形状及び放電室４との対向位置関係について言及がない。また、刊行物２にも、「電極端部の電界強度の集中が光出力の安定性、均一性、効率に影響する」という訂正発明１の課題について認識がない外、この課題が刊行物２に記載された「高出力放射器」において周知の課題であるとも言えない。
　刊行物３には、「平行板電極の周辺部は電解集中が起こりコロナ放電から火花放電にまで移行するので、このような不都合を免れるために電極の周辺に丸味を持たせる」ことが記載されているが、この場合の電極は「平行板電極」であって「網状電極」ではなく、また、「誘電体バリヤ放電ランプ」の電極を対象としたものでもない。
　したがって、引用刊行物のいずれにも、上記構成Ａについて記載されていない。
　また、刊行物１及び刊行物２のいずれにも、「電極端部の電界強度の集中が光出力の安定性、均一性、効率に影響する」という訂正発明１の課題について認識されていない上にこの課題が周知の課題であるとも言えないことから、電極端部に丸味を持たせ電界強度の集中の影響を回避することが刊行物３に記載されているとしても、刊行物１（又は刊行物２）と刊行物３とを組み合わせることにより上記構成Ａを導き出すことはできない。
　（訂正発明２）
　訂正発明２は、訂正発明１を引用してさらに限定したものであり、そして、訂正発明１についての判断は上記のとおりである。
　したがって、訂正発明２は、訂正発明１についての上記判断の理由と同じ理由により、上記引用刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
　（まとめ）
　以上のとおり、訂正発明１は引用刊行物に記載された発明であるとすることはできず、また、訂正発明１及び訂正発明２は、いずれも、引用刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることもできないから、特許出願の際独立して特許をうけることができるものである。
３．訂正の認否のまとめ
　以上、本件訂正は、特許法第１２０条の２第２項の規定及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するから、これを認める。
ＩＩＩ．本件発明
　上述のとおり、本件訂正を認めるから、本件特許の請求項１及び請求項２に係る発明は、訂正明細書及び図面の記載からみて、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された下記のとおりのものである。
　　　　記（訂正後の特許請求の範囲）
（請求項１）放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該放電容器の少なくとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、該誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性網状電極の放電空間に対向した部分における電極端部の平均的厚さが該導電性網状電極の平均的な厚さを越えているように構成したことを特徴とした誘電体バリヤ放電ランプ。
（請求項２）該放電容器の外形が概略円筒状であり、該導電性網状電極が該放電容器の外側に設けられ、該導電性網状電極の放電空間に対向した部分における電極端部に針金、金属より線、金属テープ、金属網テープの中から選ばれた少なくとも一種を巻きつけた構成にしたことを特徴とした請求項１に記載の誘電体バリヤ放電ランプ
ＩＶ．特許異議の申立てについて
１．申立ての概要
　特許異議申立人日本電池株式会社は、下記証拠（甲第１号証から甲第３号証まで）を提示し、請求項１に係る特許は特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものであり、さらに、請求項１及び請求項２に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、請求項１及び請求項２に係る特許は取り消すべきものである旨主張している。
　　　　　　　　　記（証拠）
甲第１号証：Ｐｕｒｅ＆Ａｐｐｌ．Ｃｈｅｍ，Ｖｏｌ６２，Ｎｏ．９　ｐｐ１６６７−１６７４，１９９０
甲第２号証：特開平２−７３５７号公報
甲第３号証：社団法人電気学会「電離気体論」（昭和４４年４月３０日）１１４頁、１１５頁
２．申立ての検討
　甲第１号証から甲第３号証までは、それぞれ、刊行物１から刊行物３までとして、取消しの理由において引用された。
　そして、本件特許の請求項１及び請求項２に係る発明は、上記ＩＩ（４）に示したとおり、引用刊行物に記載された発明であるとすることはできず、また、引用刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることもできない。
Ｖ．むすび
　したがって、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項１及び請求項２に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に請求項１及び請求項２に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定をする。
【異議決定日】
平成１１年１２月６日（１９９９．１２．６）
【訂正の要旨】
　　　　　　　記１（訂正の内容）
（ａ）請求項１及び請求項２の「導電性薄膜電極あるい導電性網状電極」（訂正前）を、「導電性網状電極」（訂正後）に訂正する。
（ｂ）請求項１の「電極端部の平均的厚さが」（訂正前）を、「放電空間に対向した部分における電極端部の平均的厚さが」（訂正後）に訂正する。
（ｃ）発明の詳細な説明において、［０００４］［０００５］［０００６］［０００７］［０００８］［０００９］［００１１］の欄を、特許請求の範囲の記載と整合するように訂正する。
（５４）【発明の名称】
誘電体バリヤ放電ランプ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該放電容器の少なくとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、該誘電体の
少なくとも一部に導電性網状電極
該導電性網状電極
放電空間に対向した部分における
該導電性網状電極
　【請求項２】　該放電容器の外形が概略円筒状であり、
該導電性網状電極
該導電性網状電極
放電空間に対向した部分における
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、例えば、光化学反応用の紫外線光源として使用される放電ランプの一種で、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成し、該エキシマ分子から放射される光を利用するいわゆる誘電体バリヤ放電ランプの改良に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】本発明に関連した技術としては、例えば、日本国公開特許公報平２ー７３５３号があり、そこには、少なくとも放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、誘電体バリヤ放電（別名オゾナイザ放電あるいは無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハンドブック」平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）によってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子から放射される光を取り出す放射器、すなわち誘電体バリヤ放電ランプについて記載されており、該放電容器は円筒状であり、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体の少なくとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、該光透過性誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプの構造が記載されている。上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、従来の低圧水銀放電ランプや高圧アーク放電ランプには無い種々の特長を有しているため有用である。しかし、上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、光出力の空間的な均一性および時間的な安定性が必ずしも十分では無く、また、発光効率が必ずしも十分では無いという問題があった。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、光出力の空間的な均一性および時間的な安定性が良好で、かつ、発光効率が高い円筒状誘電体バリヤ放電ランプを提供することである。
　【０００４】
　【課題を解決するための手段】上記本発明の目的は、少なくとも放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該放電容器の少なくとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、
該誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性網状電極の放電空間に対向した部分における電極端部の厚さを、該導電性網状電極の平均的な厚さを越えているように構成することによって達成される。
該導電性網状電極を該放電容器の外側に設け、該導電性網状電極の放電空間に対向する部分における電極端部
　【０００５】さらに、該円筒状導電性網の端部に巻きつけた該針金、金属糸縒り線、金属テープ、金属網テープの中から選ばれた少なくとも一種の部材に、電極リード線を接続した構成、あるいは、該導電性網状電極の端部に導電性ペーストを塗布した構成にすることによって、本発明の目的はよりいっそう達成できる。
　【０００６】
　【作用】誘電体バリヤ放電は、該「放電ハンドブック」に記載されているように、プラズマの直径が非常に小さく、かつ、放電の持続時間が非常に短い微小な放電プラズマ（以後これをマイクロプラズマと記す）の多数の集まりである。我々は、少なくとも放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該放電容器の少なくとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、
該誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が
導電性網状電極
導電性網状電極の放電空間に対向した部分における端部の厚さを該導電性網状電極
　【０００７】上記の光出力の時間的な安定性、空間的な均一性、および発光効率の改善の機構は、必ずしも明確ではないが、以下のようであると考えられる。すなわち、
導電性網状電極は、
導電性網状電極の終端部
　【０００８】少なくとも放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該放電容器の少なくとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、
該誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性網状電極の放電空間に対向した部分における電極端部の平均的厚さを該導電性網状電極の平均的な厚さを越えているように構成すると、
　【０００９】該放電容器の外形が概略円筒状であり、
該導電性網状電極
該導電性網状電極の放電空間に対向した部分における電極端部
該導電性網状電極の電極端部
該導電性網状電極
　【００１０】該導電性網状電極を軸方向に伸縮性を有するシームレスの円筒状導電性網で構成すると、該円筒状導電性網の中に概略円筒状である放電容器を挿入したのち、該円筒状導電性網を軸方向に引っ張ると、該導電性網状電極の半径は収縮して概略円筒状である該光透過性誘電体と該導電性網状電極は完全に密着するので一部分に空隙が生じることが無く、その結果、余分な放電が発生することがなく、この余分な放電によって、ランプの周辺における有害な化合物が発生せず、かつ、放電が安定になって光出力が安定になり、さらに、発光効率が上昇する。つまり、平板状の網状電極を丸めて、縫合線部を形成するような重なりが該導電性網状電極に生ずることはなく、該導電性網状電極は概略円筒状である該光透過性誘電体の表面において十分に均一であり、その結果、空間的に均一な放電が発生し、放電が安定になり光出力が安定な誘電体バリヤ放電ランプを得ることが出来る。
　【００１１】該導電性網状電極の電極端部に、銀、金、ニッケル、カーボン等を主成分にした導電性ペーストを塗布すると、簡単な作業で、任意な形状で電極端部の厚さを厚くすることが出来、従って電界強度の均一性をより改善できる。電極端部に巻きつけた該針金、金属より線、金属テープ、金属網テープの中から選ばれた少なくとも一種の部材に、電極リード線を接続した部分に導電性ペーストを塗布すると、
該導電性網状電極
　【００１２】
　【実施例】本発明の第１の実施例である同軸円筒形誘電体バリヤ放電ランプの概略図を図１に示す。放電容器１は全長約１５０ｍｍの石英ガラス製で、外径１４ｍｍの内側管２、内径約２５ｍｍの外側管３を同軸に配置して中空円筒状にしたものである。外側管３は誘電体バリヤ放電の誘電体バリヤと光取り出し窓部材を兼用しており、外面には光を透過する金属製網状電極４が設けられている。内側管２の外面には、光反射板を兼ねた厚さ０．００５ｍｍのアルミニウム蒸着膜電極５が設けられている。放電ギャップ７の距離は、５．５ｍｍになる。また、放電容器１の一端には、バリウムゲッター６が設けられている。
　【００１３】網状電極４は、図２にその一部を示すように、一本の金属線２３で、シームレスに円筒状に編んだもので円筒の円周方向２２ａ，２２ｂにループを繰り返し形成した構造の円筒状網で、金属線は直径０．１ｍｍのモネルで、大きな網目２４および小さな網目２５の面積は、それぞれ約２および１平方ミリメートルである。該円筒状金属網のなかに放電容器１を挿入し、ランプの軸方向に引っ張ることによって外側管３の外側に密接された網状電極４が形成された。すなわち、本発明の上記の構成によって、それぞれの円筒状網電極４は外側管３に隙間を有うさないで密着した。円筒状網電極４の電極端部１１ａ，１１ｂに、直径０．１ｍｍのステンレス線１２ａ，１２ｂをランプの軸方向に３ｍｍにわたって巻きつけた。ステンレス線１２ａに電極リード線９を接続し、その上に銀ペースト１３を約０．５ｍｍの厚さで塗布した。内側電極５の電極端部１０ａ，１０ｂには、銀ペースト１４ａ，１４ｂを厚さ約０．５ｍｍで、長さ５ｍｍにわたって塗布した。放電容器の放電ギャップ７に放電用ガスとしてキセノンガスを３００Ｔｏｒｒ封入した。周波数２０キロヘルツの電源８でランプ長１ｃｍあたり２ワットの電力で放電させたところ、光出力の空間的な均一性、光出力の時間的なゆらぎおよび発光効率が改善された誘電体バリヤ放電ランプが得られた。
　【００１４】本発明の第２の実施例である同軸円筒形誘電体バリヤ放電ランプの概略図を図３に示す。円筒状網電極４の電極端部１１ａ，１１ｂの構造以外は、第一の実施例と同一構成である。円筒状網電極４の電極端部を折り曲げて重ね、折り曲げ部３０ａ，３０ｂを形成し、その上にニッケルペースト３１ａ，３１ｂを約１ｍｍの厚さで塗布した。光出力の空間的な均一性、光出力の時間的なゆらぎおよび発光効率が改善された誘電体バリア放電ランプが得られた。
　【００１５】本発明の第３の実施例である円盤形誘電体バリヤ放電ランプの概略図を図４に示す。直径１００ｍｍ，厚さ１．５ｍｍの合成石英ガラス板からなる平板状誘電体４１と、アルミニウム製の平板状放電容器部材４５と、円筒状の石英ガラス４６によって、円盤形の放電容器４９を形成する。平板状誘電体４１は、誘電体バリヤ放電用誘電体と光取りだし窓部材を兼任しており、その外表面には直径０．１ｍｍのステンレス素線を２ｍｍ間隔で直交して編んだ構造の直径８０ｍｍの金属網電極４３が設けられている。内部電極は、平板状放電容器部材４５の中心に取り付けられた直径１ｍｍのアルミニウム棒からなる電極４４ａ、電極４４ａと同軸に平板状放電容器部材４５に取り付けられた肉厚１ｍｍのアルミニウムリングから成る電極４４ｂ，４４ｃから成り立っている。また、電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃは、平板状誘電体１の大気圧に対する補強部材を兼ねている。電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃは、平板状誘電体４１に接しているだけで、平板状誘電体４１に機械的に固定されていない。電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃおよび平板状放電容器部材４５の放電空間に面した部分を、ＭｇＦ２からなる誘電体４０で覆った。金属網電極４３の電極端部４８に、内径７５ｍｍ，外形８５ｍｍ，高さ２ｍｍのステンレスのリング５０を、金属網電極４３に電気的に接触させて設けた。リング５０の平板状誘電体４１への固定は、シリコンゴム系の接着剤５１を用いて行った。
　【００１６】放電用ガスとして３５０Ｔｏｒｒのキセノンガスを空所４７に封入し、電極４３と電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃの間に電源８で交流電圧を印加したところ、沿面放電プラズマ５２が平板状誘電体４１の近傍に発生し、キセノンのエキシマ分子から波長１７２ｎｍとその付近に最大値を有する紫外線が効率よく放射され、光出力の空間的な均一性、光出力の時間的なゆらぎおよび発光効率が改善された、小型の誘電体バリヤ放電ランプが得られた。
　【００１７】
　【発明の効果】上記したように、本発明によれば、光出力の空間的な均一性および時間的な安定性が良好で、かつ、発光効率が高い誘電体バリヤ放電ランプを提供できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の誘電体バリヤ放電ランプの実施例の説明図である。
　【図２】網状電極の説明図である。
　【図３】本発明の誘電体バリヤ放電ランプの他の実施例の説明図である。
　【図４】本発明の誘電体バリヤ放電ランプの他の実施例の説明図である。
　【符号の説明】
１　放電容器
２　内側管
３　外側管
４　網電極
５　アルミニウム蒸着膜電極
６　ゲッター
８　電源
２３　素線
２４，２５　網目
１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ　電極端部
１２ａ，１２ｂ　ステンレス線
１３，１４ａ，１４ｂ　銀ペースト
３０ａ，３０ｂ　円筒状網電極の折り返し部
３１ａ，３１ｂ　ニッケルペースト
４１　平板状誘電体
４３　光透過性網電極
４４ａ，４４ｂ，４４ｃ　内部電極
４５　平板状放電容器部材
４６　石英ガラス