(57)【要約】【課題】簡易な構造で気流を自在に制御可能なクリーンドームを提供する。【解決手段】内殻（フード）１２は、例えば透明なアクリル樹脂から形成され、経線Ｌ方向に延びる略矩形の開口１３が形成されている。この開口１３には、除塵ユニット１４が経線Ｌ方向に移動自在に取り付けられている。また、開口１３の経線Ｌ方向の両端部には、この開口１３を覆うスクリーン１６（遮蔽材）を収納するスクリーンボックス１７，１８がそれぞれ形成されている。さらに内殻１２の球面の一部には、内殻１２の内側と外側との間で空気が流通可能な通風口１５が形成されている。【選択図】　　　　図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部が球面を構成しており、該球面の経線方向に延びる略矩形の開口を有するドーム状のフードと、フィルタとファンとを有し、前記開口に沿って移動自在に支持される除塵ユニットと、前記除塵ユニットに隣接する前記開口の開放部分を覆い、前記除塵ユニットの移動に応じて遮蔽領域が変化する遮蔽材とを備えたことを特徴とするクリーンドーム。
【請求項２】
前記フードに外側に一定の隙間をあけて前記フードを覆う外殻と、前記フードの内側と前記隙間との間で空気を流通させる通風口とをさらに備え、前記フードの内気は前記通風口から前記隙間を経て前記除塵ユニットに向けて還流されることを特徴とする請求項１に記載のクリーンドーム。
【請求項３】
前記フードの下面には、前記フードを回転自在に支持する回転台座を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のクリーンドーム。
【考案の詳細な説明】
【０００１】
【考案の属する技術分野】
本考案は、ドーム内部を清浄な環境に保つ除塵ユニットを備えたクリーンドームに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体等を製造するクリーンルームでは、ＨＥＰＡフィルター等を備えた空気浄化装置を通して清浄化された、極めて塵の少ない空気を通気口から送り出すことで、クリーンルーム内を高度な清浄環境に保っている。こうしたクリーンルームの設置は、建築物全体や仕切られたフロアに除塵装置やダクトを設計、設置していく大規模な工事を伴う。一方、小型の製造装置だけを清浄環境下に置くなど、限定された領域だけを簡易的に清浄環境に保つ手段として、例えば、ドーム型の空気膜を設置して、この空気膜の内部だけを清浄環境に保つ、簡易的なクリーンルームが知られている。（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特許第２５４９９１０号公報
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したようなドーム型のクリーンルームにおいては、固定された通気口のみ備えているため、クリーンルーム内の特定の方向、例えば清浄環境下に置きたい装置等に向けて清浄な空気が当たるように気流の制御を行うことは、構造上困難であった。
【０００５】
本考案は、上記事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構造で気流を自在に制御可能なクリーンドームを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本考案によれば、少なくとも一部が球面を構成しており、該球面の経線方向に延びる略矩形の開口を有するドーム状のフードと、フィルタとファンとを有し、前記開口に沿って移動自在に支持される除塵ユニットと、前記除塵ユニットに隣接する前記開口の開放部分を覆い、前記除塵ユニットの移動に応じて遮蔽領域が変化する遮蔽材とを備えたことを特徴とするクリーンドームが提供される。
【０００７】
除塵された環境を簡易に実現するクリーンドームでは、設置する場所や機器の大きさによってフード内での機器の位置は変わる。このため、フード内で機器を清浄な環境に置くには、除塵ユニットから機器に向けて除塵された空気を直接吹き付けるようにするのが好ましい。
【０００８】
本考案によれば、除塵ユニットを開口の経線方向に沿って自在に移動可能にすることによって、クリーンドーム内での機器の配置に応じて、除塵された空気を直接吹き付けることを可能にする。経線方向に延びる開口に沿って除塵ユニットを移動自在に形成することで、気流を自在に調節することができるようになる。
【０００９】
前記フードに外側に一定の隙間をあけて前記フードを覆う外殻と、前記フードの内側と前記隙間との間で空気を流通させる通風口とをさらに備え、前記フードの内気は前記通風口から前記隙間を経て前記除塵ユニットに向けて還流されるようにしてもよい。こうしてクリーンドーム内で空気を還流させることによって、高い清浄度の環境を簡易に作ることが可能になり、機器の小型、軽量化にも寄与する。
【００１０】
前記フードの下面には、前記フードを回転自在に支持する回転台座を備えていてもよい。こうした回転台座を備えることによって、除塵ユニットをクリーンドームの緯線方向と経線方向の双方にその位置を自在に調節することが可能になる。これにより、クリーンドーム内に収容された機器がどのような位置に置かれていても、機器に向けて除塵ユニットから除塵された清浄な空気を直接当てることが可能になる。
【００１１】
【考案の実施の形態】
以下、本考案の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は、本考案のクリーンドームの概要を示す外観斜視図である。可搬性のある小型クリーンルームであるクリーンドーム１０は、例えば清浄な環境下に置く必要のある装置や部品等に被せて使用するための、底面が開放面を成す直径１．０ｍ程度の半球状のドーム外形であり、直径が異なる外殻１１と内殻（フード）１２の２つの半球状隔壁が入れ子構造になったものである。
【００１２】
内殻（フード）１２は、例えば透明なアクリル樹脂から形成され、経線Ｌ方向に延びる略矩形の開口１３が形成されている。この開口１３には、後ほど詳述する除塵ユニット１４が経線Ｌ方向に移動自在に取り付けられている。また、開口１３の経線Ｌ方向の両端部には、この開口１３を覆うスクリーン１６（遮蔽材）を収納するスクリーンボックス１７，１８がそれぞれ形成されている。さらに内殻１２の球面の一部には、内殻１２の内側と外側との間で空気が流通可能な通風口１５が形成されている。
【００１３】
内殻１２の外側には、内殻１２を覆うように、外殻１１が形成されている。この外殻１１は例えば透明なアクリル樹脂から形成され、内殻１２との間に空気還流空間（隙間）２１を形成している。なお、こうした外殻１１や内殻１２は、断面が真円以外にも、例えば断面が楕円を描く楕円球面を成していてもよい。
【００１４】
図２は、図１に示すクリーンドームの断面図である。外殻１１の一部には、空調機（図示せず）に接続された空調パイプ２２が貫通している。この空調パイプ２２は、例えば空調機から送り込まれる冷気を空気還流空間２１に導く役割を果たす。また、外殻１１および内殻１２の一部には、外殻１１および内殻１２を貫通する排気パイプ２３が形成されている。排気パイプ２３は、内殻１２の内側に設置された機器２４の稼動で発生した熱排気等を内殻１２内部に放出させずに、外殻１１の外側に導く役割を果たす。
【００１５】
図３は、除塵ユニットおよびその近傍の拡大断面図である。内殻１２の開口１３の両側辺には、溝状のレール２６が形成されている。除塵ユニット１４にはこのレール２６に摺動可能に係合する突起２７が形成されている。これにより、除塵ユニット１４は、開口１３の経線Ｌ方向（図１参照）に沿って自在に移動することができる。
【００１６】
除塵ユニット１４の両側には、スクリーンボックス１７，１８からそれぞれ引き出されたスクリーン１６の一端が固定されている。スクリーン１６は、スクリーンボックス１７，１８内で巻取り方向にそれぞれ付勢されている。また、スクリーン１６の両側縁はレール２６内に入り込んでいる。こうした構成によって、除塵ユニット１４を開口１３の経線Ｌ方向に沿って移動させると、スクリーン１６はスクリーンボックス１７，１８から引き出されたり巻き込まれたりして、除塵ユニット１４の両側の開口１３の開放部分がスクリーン１６で完全に覆われる。
【００１７】
なお、スクリーン１６は内殻１２の球面に倣って外側に膨らむように湾曲しているのが好ましい。スクリーン１６を外側に向けて湾曲させることで、内殻１２が加圧環境であってもスクリーン１６部分の強度を保つことが可能になる。
【００１８】
除塵ユニット１４は、ファン３１とフィルタ３２とを備えている。ファン３１は、例えばＣＰＵの冷却などに用いられる回転羽根とモータが一体になった小型のファンユニットが用いられれば良い。フィルタ３２は、グラスウールを主材としたペーパー状のフィルタ、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ　Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ　Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ　Ａｉｒ）フィルタが用いられればよく、集塵効果を高めるために長尺のものが屈曲されて収められており、慣性、拡散、衝突のフィルタ３作用により１μｍ以下の非常に微細な塵も捕捉することができる。
【００１９】
このようなフィルタ３２によって、除塵ユニット１４の下面からは、例えば１立方フィート中に微細な塵が１０個以下の清浄な空気が供給される。なお、フィルタ３２に用いられるフィルタ材は、前述したＨＥＰＡフィルタ以外にも、例えば、ＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ　Ｌｏｗ　Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ　Ａｉｒ）フィルタなど、更なる高性能のフィルタを用いても良い。
【００２０】
再び図２を参照して、クリーンドーム１０は、例えば、清浄な環境下で動作させる機器２４が設置されたテーブル３５に載置される。外殻１１および内殻１２がテーブル３５と接する底部には、内殻１２内を気密に保つパッキン３６が形成されている。パッキン３６は、例えば柔軟なゴムなどであればよい。
【００２１】
以上のような構成のクリーンドーム１０を動作させると、空気還流空間２１内の空気が除塵ユニット１４に吸引され、除塵ユニット１４から内殻１２の内部に除塵された清浄な空気が供給される。これにより、内殻１２内が加圧環境になるとともに空気還流空間２１内が負圧環境になるため、通風口１５では内殻１２から空気還流空間２１に向けて気流が形成される。
【００２２】
こうして、クリーンドーム１０の動作中は、除塵ユニット１４から内殻１２に除塵された清浄な空気が供給され続ける。そして、内殻１２内の機器２４から発生した塵を多く含んだ空気は、通風口１５から吸い出されて空気還流空間２１を除塵ユニット１４に向けて流れ、再び除塵ユニット１４で除塵された後、清浄な空気として内殻１２に供給される。
【００２３】
なお、空気還流空間２１には空調パイプ２２から冷却された空気が導入されても良い。これにより、機器２４で発生した熱により内殻１２内の温度が上昇することを防止できる。また、機器２４で発生した排気を排気パイプ２３から直接クリーンドーム１０外に直接排出すれば、内殻１２内の温度上昇や発塵を効果的に抑えることが可能になる。
【００２４】
除塵された環境を簡易に実現するクリーンドーム１０では、設置する場所や機器２４の大きさによって内殻１２内での機器の位置は変わる。このため、内殻１２内で機器２４を清浄な環境に置くには、除塵ユニット１４から機器２４に向けて除塵された空気を直接吹き付けるようにするのが好ましい。
【００２５】
除塵ユニット１４を開口１３の経線Ｌ方向（図１参照）に沿って自在に移動可能にすることによって、内殻１２内での機器２４の位置に応じて、除塵された空気を直接吹き付けることを可能にする。除塵ユニット１４を開口１３の経線Ｌ方向に沿って頂点方向に移動させれば、機器２４に向けて高角度から除塵された空気を吹き付けられる。
【００２６】
また、除塵ユニット１４を開口１３の経線Ｌ方向に沿って底面方向に移動させれば、機器２４の横方向から除塵された空気を吹き付けられる。この場合、除塵ユニット１４から比較的遠い位置にある機器まで、除塵された空気を直接吹き付けることができる。このように、経線Ｌ方向に延びる開口１３に沿って除塵ユニット１４を移動自在に形成することで、内殻１２内での機器２４の位置に応じて気流を自在に調節することができるようになる。
【００２７】
また、除塵ユニット１４の移動に応じて、除塵ユニット１４の両側の開口１３の開放部分がスクリーン１６の繰り出し、巻き込みによって確実に覆われるので、除塵ユニット１４の移動に関わらず内殻１２内の気密は確実に保たれ、空気還流空間２１にある除塵前の空気が内殻１２内に流入することがない。
【００２８】
なお、クリーンドーム全体を回転可能な構成にしてもよい。図４に示す第２の実施形態においては、クリーンドーム４０を構成する外殻１１と内殻１２との底部に、環状の回転台座４１を備えている。この回転台座４１によって、クリーンドーム４０全体は図４中の矢印Ｎで示す緯線方向に回転自在にすることができる。
【００２９】
除塵ユニット１４は、前述した実施例と同様に開口１３に沿って図４中の矢印Ｌで示す経線方向に移動自在に形成されている。こうした構成によって、本実施形態では、除塵ユニット１４を緯線方向Ｎと経線方向Ｌの双方にその位置を自在に調節することが可能になる。これにより、クリーンドーム４０内に収容された機器２４がどのような位置に置かれていても、機器２４に向けて除塵ユニット１４から除塵された清浄な空気を直接当てることが可能になる。なお、図４では第１の実施形態と同様の構成には同一の番号を付した。
【００３０】
また、クリーンドームに調温装置を備えていても良い。図５に示す第３の実施形態においては、クリーンドーム５０を構成する外殻１１と内殻１２との隙間である空気還流空間２１に、クリーンドーム５０を２つに隔てるように壁状に延びる調温装置５１が形成されている。こうした調温装置５１は、例えば熱交換器であればよい。
【００３１】
このようなクリーンドーム５０を２つに隔てる調温装置５１を形成することによって、除塵ユニット１４の動作で通風口１５から空気還流空間２１に排出された空気は、空気還流空間２１内を除塵ユニット１４に向けて流れていく途上で調温装置５１を通過する。調温装置５１を例えば冷却動作させていれば、機器２４で暖められて通風口１５から排出された空気を冷却してから除塵ユニット１４に送ることができる。これにより、クリーンドーム５０単体でも内殻１２内の温度を一定に保つことが可能になる。なお、図５では第１の実施形態と同様の構成には同一の番号を付した。
【００３２】
【考案の効果】
以上、詳細に説明したように、本考案のクリーンドームによれば、除塵ユニットを開口の経線方向に沿って自在に移動可能にすることによって、クリーンドーム内での機器の配置に応じて、除塵された空気を直接吹き付けることを可能にする。経線方向に延びる開口に沿って除塵ユニットを移動自在に形成することで、気流を自在に調節することができるようになる。
【００３３】
前記フードに外側に一定の隙間をあけて前記フードを覆う外殻と、前記フードの内側と前記隙間との間で空気を流通させる通風口とをさらに備え、前記フードの内気は前記通風口から前記隙間を経て前記除塵ユニットに向けて還流されるようにしてもよい。こうしてクリーンドーム内で空気を還流させることによって、高い清浄度の環境を簡易に作ることが可能になり、機器の小型、軽量化にも寄与する。
【００３４】
前記フードの下面には、前記フードを回転自在に支持する回転台座を備えていてもよい。こうした回転台座を備えることによって、除塵ユニットをクリーンドームの緯線方向と経線方向の双方にその位置を自在に調節することが可能になる。これにより、クリーンドーム内に収容された機器がどのような位置に置かれていても、機器に向けて除塵ユニットから除塵された清浄な空気を直接当てることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本考案のクリーンドームを示す外観斜視図である。
【図２】図２は、図１のクリーンドームの断面図である。
【図３】図３は、除塵ユニット付近を示す拡大断面図である。
【図４】図４は、本考案の第２実施形態を示す外観斜視図である。
【図５】図５は、本考案の第３実施形態を示す断面図である。
【符号の説明】
１０　クリーンドーム
１１　外殻
１２　内殻（フード）
１３　開口
１４　除塵ユニット
１６　スクリーン（遮蔽材）
２１　空気還流空間（隙間）
３１　ファン
３２　フィルタ
４１　回転台座
【図１】
0003097933.tif 000003
【図２】
0003097933.tif 000004
【図３】
0003097933.tif 000005
【図４】
0003097933.tif 000006
【図５】
0003097933.tif 000007