【事件の表示】
　特許第２７５４８０４号「薄膜磁気ヘッドの製造方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。　
　特許第２７５４８０４号の特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第2754804号の請求項１に係る発明は、平成１年11月20日に特許出願され、平成10年３月６日にその特許の設定の登録がなされ、その後、その特許について異議申立人矢野寛より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成11年６月７日に訂正請求がなされた後、訂正拒絶理由が通知され、訂正拒絶理由に対して意見書が提出されたものである。
２．訂正の適否について
〔2-1〕訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、次のとおりである。
(1)　訂正事項ａ
　特許明細書の特許請求の範囲の請求項１において「前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまで除去して」とあるのを、「前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまでエッチングにより除去して」と訂正する。
(2)　訂正事項ｂ
　特許明細書の発明の詳細な説明中課題を解決するための手段の項において「前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまで除去して」とあるのを、「前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまでエッチングにより除去して」と訂正する。
(3)　訂正事項ｃ
　特許明細書の発明の詳細な説明中発明の効果の項において「前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまで除去して」とあるのを、「前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまでエッチングにより除去して」と訂正する。
〔2-2〕訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
(1)　訂正事項ａについて
　上記訂正事項ａについては、特許請求の範囲の請求項１に記載の「除去」という構成をより限定した「エッチングにより除去」としようとするものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
  上記訂正事項ａに関連する記載として、特許明細書の発明の詳細な説明の実施例の項には「次に磁性層13を形成した側に一面にフォトレジストを塗布する。そして紫外線を媒体対向面の端部の内で、磁性層13以外の部分に照射して、その部分を現像液によって取り除く。次にイオンミーリングによってフォトレジストを取り除いた部分を基板８に達するまでエッチングし基板８に磁性層対向部8aを形成する。」（特許公報第４欄第26〜31行目を参照。）と記載されているので、上記訂正事項ａは、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 
(2)　訂正事項ｂ、ｃについて
　 上記訂正事項ｂ、ｃは、特許請求の範囲の請求項１の訂正に整合するように発明の詳細な説明を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
〔2-3〕独立特許要件
〈2-3-1〉訂正明細書の請求項１に係る発明
  訂正明細書の請求項１に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。（以下、「本件発明」という。）
  「磁性材料によって構成された下部磁性部を形成する工程と、前記下部磁性部上にギャップ層とコイル層を形成する工程と、前記コイル層上に下部磁性部と磁気回路を構成する上部磁性層を形成する工程を含む薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまでエッチングにより除去して、前記下部磁性部よりなる対向ぶを形成することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。」
〈2-3-2〉引用刊行物
　当審が通知した取消理由で引用した刊行物１（特開昭59- 16115号公報）には、次の事項が記載されている。
(i)　「本発明は以上のような従来の欠点を除去するためになされたもので、記録磁界の集中度を増大して記録効率を向上させると共に、クロストークを少なくした薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。」（第２頁左下欄第1〜6行目を参照。）
(ii)　「第２図は本発明の一実施例を説明するもので、・・・（中略）・・・
　本実施例にあっては基板１の磁気記録媒体摺動面６側に記録トラック部分のみを残すようにして除去部分である溝９が形成されている。これら溝９は導電層３の先端部近傍に達する程度の深さをもって形成されている。
　このような構造を持つ基板１の製作は第３図に示すようにして行われる。
　即ち、第３図に示すように、基板１の磁気記録媒体摺動面側にダイシングソー、ワイヤーソー、イオンミーリング、ドライエッチング等の手段により、溝９を形成し、その側面1a側に、前述した絶縁層２や、導電層３および上部磁性層４を形成する。そして、保護板５を接着した後、さらに磁気記録媒体摺動面を研削、研磨して仕上げる。」（第２頁左下欄第12行目〜右下欄第８行目を参照。）
(iii)　「第５図は本発明の他の実施例を説明するもので、本実施例にあっては溝として符号11で示すような溝を形成してある。この溝11は磁気記録媒体の摺動面全体にわたって設けられてはおらず、基板１の保護板５と接合される側の角部を、えぐるようにして設けられている。
　この溝11の形成方法は前述した実施例と同一であり、ダイシングソー、ワイヤーソー、イオンミーリング、ドライエッチングなどによって所定の溝を設けることにより得られる。
  このような構造を採用すると前述した実施例と同様の効果が得られる。例えばクロストークの減少について言えば、溝は磁気記録媒体摺動面方向の長さが大きいほどよいが、ある程度以上あれば効果は同様となる。本実施例の場合はこの磁気記録媒体摺動面方向の長さはギャップ深さの0.5〜５倍程度である。」（第３頁右上欄第７行目〜左下欄第３行目を参照。）
(iv)　「本発明によれば、磁性基板を用いた薄膜磁気ヘッドの磁性基板の磁気記録媒体摺動面側のトラック部以外の部分の少なくとも一部を除去した構造を採用しているため、磁束の集中度が増大し、記録磁界の発生効率を高め、クロストークが減少し、冷却効果の優れた薄膜磁気ヘッドを得ることができる。」（第４頁左上欄第11〜17行目を参照。）
  上記(i)〜(iv)の記載事項及び図面の記載を総合勘案すると、上記刊行物１には次の発明が記載されている。　
　磁性基板１を構成する工程と、前記磁性基板上に絶縁層２、ギャップ部７と導電層３を形成する工程と、前記導電層上に磁性基板と磁気回路を構成する上部磁性層４を形成する工程を含む薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、前記磁性基板の薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動面近傍部分のみをえぐるようにしてエッチングにより所定の溝11を形成した後、その側面側に絶縁層、導電層や上部磁性層を形成する薄膜磁気ヘッドの製造方法。
  同じく引用した刊行物２（特開昭57-44217号公報）には、次の発明が記載されている。
  下層パーマロイ膜２、下層パーマロイ膜上に絶縁層３、ギャップと導体層４を形成し、前記導体層上に下層パーマロイ膜と磁気回路を構成する上層パーマロイ膜５を形成した薄膜磁気ヘッドの製造方法において、前記上下２層のパーマロイ膜をあらかじめ所定トラック幅より広く形成した後、前記上下２層のパーマロイ膜の少なくとも記録再生面近傍を所定トラック幅を有するレジスト層６を用いて、前記記録再生面に垂直な方向より同時にエッチングすることにより前記所定トラック幅に形成する薄膜磁気ヘッドの製造方法。
〈2-3-3〉対比・判断
  本件発明と上記刊行物１に記載された発明とを対比すると、刊行物１に記載された発明における「磁性基板」及び「導電層」は、それぞれ、本件発明における「下部磁性部」及び「コイル層」に相当する。また、刊行物１に記載された発明における「磁性基板の薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動面近傍部分のみをえぐるようにしてエッチングにより所定の溝11を形成し」は、この溝11が磁性基板の中途に至るまで形成されているので、本件発明における「薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまでエッチングにより除去」に相当する。
  そうすると、本件発明と上記刊行物１に記載された発明とは、磁性材料によって構成された下部磁性部を形成する工程と、前記下部磁性部上にギャップ層とコイル層を形成する工程と、前記コイル層上に下部磁性部と磁気回路を構成する上部磁性層を形成する工程を含む薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまでエッチングにより除去して、前記下部磁性部よりなる対向部を形成することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法である点で一致するものの、対向部の形成の仕方に関し、刊行物１に記載された発明は、薄膜磁気ヘッドの磁性基板（下部磁性部）の媒体対向面近傍部分のみを磁性基板（下部磁性部）の中途に至るまで除去した後に導電層（コイル層）及び上部磁性層を形成するものであり、本件発明のように、上部磁性層を形成した後に上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを除去するものではない。
  上記刊行物２に記載された発明は、トラック幅に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみの上層パーマロイ膜（上部磁性層）及び下層パーマロイ膜（下部磁性部）を記録再生面に垂直な方向より同時にエッチングするものであるが、本件発明のように下部磁性部を中途に至るまで除去するものとはいえない。
  さらに、上記刊行物１に記載された発明は、磁性基板（下部磁性部）の薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動面近傍部分のみをえぐるようにしてエッチングにより所定の溝11を形成した後、その側面側に絶縁層、導電層（コイル層）や上部磁性層を形成するものであって、磁性基板（下部磁性部）のトラック幅は上部磁性層を形成する前に規制されることは明らかであるから、上部磁性層を形成した後に、上部磁性層と下部磁性層とを同時にエッチングする上記刊行物２に記載された発明を適用することはできない。
  そして、本件発明は、上部磁性層を形成した後に上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを下部磁性部の中途に至るまで除去する構成を含む構成により、下部磁性部と上部磁性膜は同じタイミングで、かつ媒体対向面において同じ幅で切断され、しかも同時に切断するために下部磁性部と上部磁性膜の対向部におけるずれなどはほとんど存在しなくなり、磁気記録媒体に作成されるデータトラックの幅をほぼ磁性層の幅と同じにする事ができるので、データトラック間を狭くすることができ、磁気記録媒体の記憶容量を大きくすることができる等の訂正明細書に記載された効果を奏するものである。
  したがって、本件発明は、上記刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到できたものとすることができない。また、本件発明は他の独立特許要件を満たさないものでもない。
〔2-4〕訂正請求に対するむすび
　以上のとおりであるから、訂正明細書の請求項１に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであり、この訂正は、特許法第120条の４第２項及び同条第３項で準用する同法第126条第2〜4項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立てについての判断
〔3-1〕特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人矢野寛は、特許明細書の請求項１に係る発明は、甲第１号証（特開昭59-16115号公報。上記刊行物１。）及び甲第２号証（特開昭57-44217号公報。上記刊行物２。）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第２項の規定により特許を受けることができないものである、もしくは、甲第３号証（特開平2-64908号公報参照）に記載された発明と同一であるから、特許法第29条の２の規定により特許を受けることができないものであり、特許明細書の請求項１に係る発明の特許は取り消されるべき旨を主張している。
〔3-2〕判断
〈3-2-1〉本件発明
  訂正明細書の請求項１に係る発明（本件発明）は、上記〈2-3-1〉において示したとおりのものである。
〈3-2-2〉特許法第29条第２項違反について
　甲第１号証（上記刊行物１）及び甲第２号証（上記刊行物２）に記載された発明は、それぞれ上記〈2-3-2〉において示したとおりのものであり、本件発明は、上記〈2-3-3〉において示したように甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
〈3-2-3〉特許法第29条の２違反について
  甲第３号証（本件出願の日前の出願であって、その出願後に出願公開された特願昭63-214838号の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「先願明細書」という。特開平2-64908号公報参照。））には、次の発明が記載されている。
  磁性材料によって構成された下部磁性層２を形成する工程と、前記下部磁性層上にギャップ層６とコイル層４を形成する工程と、前記コイル層上に下部磁性層と磁気回路を構成する上部磁性層８を形成する工程を含む薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を前記下部磁性層の中途に至るまでエッチングにより除去して、前記下部磁性層よりなる対向部を形成する薄膜磁気ヘッドの製造方法。
  本件発明と先願明細書に記載された発明とを対比すると、両者は上部磁性層を形成した後に上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を前記下部磁性層の中途に至るまでエッチングにより除去する点では一致するものの、先願明細書に記載された発明においてはコイル層等が配置された部分も含めた薄膜磁気ヘッドの全面にわたって除去するものであり、本件発明のように薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみに限定して除去するものではない。
  したがって、本件発明は先願明細書に記載された発明と同一であるとすることはできない。
〔3-3〕むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
  よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年２月１４日（２０００．２．１４）
【訂正の要旨】
〔訂正の要旨〕
　特許権者が求めている訂正の内容は、次のとおりである。
（１）　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１において「前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまで除去して」とあるのを、「前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまでエッチングにより除去して」と訂正する。
（２）　訂正事項ｂ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の発明の詳細な説明中課題を解決するための手段の項において「前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまで除去して」とあるのを、「前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまでエッチングにより除去して」と訂正する。
（３）　訂正事項ｃ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の発明の詳細な説明中発明の効果の項において「前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまで除去して」とあるのを、「前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまでエッチングにより除去して」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
薄膜磁気ヘッドの製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　磁性材料によって構成された下部磁性部を形成する工程と、前記下部磁性部上にギャップ層とコイル層を形成する工程と、前記コイル層上に下部磁性部と磁気回路を構成する上部磁性層を形成する工程を含む薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまで
エッチングにより
【発明の詳細な説明】
　産業上の利用分野
　本発明は、磁性基板の上にコイルや磁気コアを薄膜技術によって形成した薄膜磁気ヘッドに関するものである。
　従来の技術
　第７図は従来の薄膜磁気ヘッドを示す断面図である。第７図において１はフェライト等の磁性材料よって構成された基板、２は基板１の上に形成され、磁気ギャップとなるギャップ層で、ギャップ層２は二酸化けい素やアルミナ等の非磁性物をスパッタリングする事によって形成されている。３はギャップ層２の上に形成された層間絶縁層で、層間絶縁層３はフォトレジスト等によって構成されている。４は層間絶縁層３の上に形成されたコイル層、５はコイル層４を覆うように層間絶縁層３の上に形成された層間絶縁層、６は層間絶縁層５の上に形成された磁性層で、磁性層６は基板１とともに磁気回路を構成している。磁性層６はパーマロイ等の金属磁性物をスパッタリングする事により構成されている。７は積層された薄膜を保護するように形成された保護層である。以上の様に構成された薄膜磁気ヘッドは第７図に示す矢印のように磁束は流れる。又トラック幅は第８図に示す磁性層６の先端の幅ａをどの位にするかで調整していた。第８図は保護層７を形成する前の薄膜磁気ヘッドの平面図である。
　発明が解決しようとする課題
　しかしながら、前記従来の構成では磁性層６から媒体対向面に飛び出した磁束は基板１の磁性層６と対向する部分Ｃのみに入り込まず、第９図に示すように基板のかなり広い範囲に入り込んでいるので、実際に磁気記録媒体にデータを書き込むと、磁気記録媒体上のデータトラックの幅は磁性膜の幅ａよりもかなり幅広いものとなる。従って磁気記録媒体のデータトラックの間を広くとらなければ、記録の際に隣接するデータトラックのデータを壊したり、又は再生の際にノイズ多くなり、Ｓ／Ｎ比が悪くなるという不具合が生じる事があった。そのために磁気記録媒体のデータトラックの間を広くとる必要があり、磁気記録媒体の面密度の向上の妨げとなっていた。実際には書き込んだデータトラックの幅は磁性層６の幅ａの１．３倍になっている。
　本発明は前記従来の問題点を解決しようとするもので、磁性層の幅と磁気記録媒体上のデータトラックの幅をほぼ同じにする事ができ、データトラック間を狭くする事ができるので、磁気記録媒体の記録密度を向上させる事ができる薄膜磁気ヘッドを提供する事を目的としている。
　課題を解決するための手段
　この目的を達成するために磁性材料によって構成された下部磁性部を形成する工程と、前記下部磁性部上にギャップ層とコイル層を形成する工程と、前記コイル層上に下部磁性部と磁気回路を構成する上部磁性層を形成する工程を含む薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまで
エッチングにより
　作用
　この構成により製造された薄膜磁気ヘッドは、ほとんどの磁束が下部磁性部の対向部と磁性層との間で出入りするようになる。
　実施例
　第１図は本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッドを示す断面図である。第１図において８はＭｎ−ＺｎフェライトやＮｉ−Ｚｎフェライトのような磁性材料によって構成された基板で、基板８には第２図に示すように媒体対向面となる側に磁性層対向部８ａが設けられている。磁性層対向部８ａは後述の磁性層１３の幅と同じ幅になるように基板８の媒体対向面側に切欠８ｂ，８ｃを設ける事によって形成されている。第１図において９は基板８の切欠部８ｂ，８ｃ以外の部分に設けられたギャップ層、１０はギャップ層９の上に形成された層間絶縁層、１１は層間絶縁層１０の上に形成されたコイル層、１２はコイル層１１を覆う様に層間絶縁層１０の上に形成された層間絶縁層、１３は磁性層で、磁性層１３の媒体対向面側は磁性層対向部８ａに対向している。１４は積層された薄膜を保護する様に設けられた保護層である。
　以上の様に構成された薄膜磁気ヘッドの製造方法について説明する。先ず基板８に二酸化けい素やアルミナ等の非磁性物をスパッタリングする事によってギャップ層９を形成する。次にギャップ層９の上にフォトレジストを塗布し、紫外線を照射して所定の形状に硬化させ、層間絶縁層１０を形成する。次に層間絶縁層１０の上に銅等の良導体をスパッタリングする事によって、導電層を形成し、その導電層をエッチングして渦巻上のコイル層１１を形成する。次にコイル層１１を覆うようにフォトレジストを塗布し、紫外線を照射する事によって硬化させ、層間絶縁層１２を形成する。次にコイル層１１や層間絶縁層１０，１２頭の薄膜を積層した側に一面に金属磁性物をスパッタリングする事により金属磁性膜を形成する。次にこの金属磁性膜の上にフォトレジストを塗布し、所定の場合のフォトレジストに紫外線を照射する。次に現像液にフォトレジストを浸して洗うと、紫外線が照射された部分だけが残り、他の部分では洗い流される。次にイオンミーリング等でエッチングを行って、磁性層１３を形成する。次に磁性層１３を形成した側に一面にフォトレジストを塗布する。そして紫外線を媒体対向面の端部の内で、磁性層１３以外の部分に照射して、その部分を現像液によって取り除く。次にイオンミーリングによってフォトレジストを取り除いた部分を基板８に達するまでエッチングし、基板８に磁性層対向部８ａを形成する。この様子を第３図に示す。第３図は薄膜磁気ヘッドを媒体対向面側から見た平面図である。最後に保護層１４を形成する。
　以上の様に構成された薄膜磁気ヘッドの媒体対向面の磁束の流れを第３図に示す。
　第３図に示す矢印の様に磁性層１３から出た磁束はほとんど磁性層対向部８ａに入り込む。従って本実施例の薄膜磁気ヘッドで磁気記録媒体に記録した時のデータトラック幅は第４図に示す磁性層の幅Ｍとほぼ同じである。この事を以下に述べる実験によって説明する。先ず磁気記録媒体に薄膜磁気ヘッドで１データトラックを記録した。次のそのデータトラックを記録した時と同じ薄膜磁気ヘッドで、再生したその再生出力を測定した。次に薄膜磁気ヘッドをそのデータトラックから磁気記録媒体の半径方向にずらしていき、その度に再生出力を測定した。この結果を第５図及び第６図に示す。第５図及び第６図は従来及び本実施例の薄膜磁気ヘッドを用いた時の測定結果である。第５図及び第６図において、縦軸は薄膜磁気ヘッドをずらさない時の再生出力を１とした時の相対的な再生出力をとっている。横軸は、薄膜磁気ヘッドの磁性層の幅を１とした時のずれ量をとった。第５図に示すように従来の薄膜磁気ヘッドでは、ずれ量が１を越えても、すなわち磁性層の幅分磁気ヘッドがずれても再生出力が出ている。そしてずれ量が磁性層の幅の約１．３倍で再生出力が出なくなっている。これは磁性層の幅の約１．３倍の幅で、データトラックが形成されていると考えられる。一方第１図に示す薄膜磁気ヘッドではずれ量が磁性層の約１．１倍の所で再生出力が出なくなっている。すなわち磁性層の幅の約１．１倍の幅でデータトラックが形成されていると考えられる。
　以上のように本実施例によれば、基板８の媒体対向面側の端部において、磁性層１３の対向する部分以外を切り欠いて、磁性層対向部８ａを設けた事により、磁性層１３から飛び出した磁束はほとんど磁性層対向部８ａに入り込むので、磁気記録媒体上のデータトラックの幅をほぼ磁性層１３の幅Ｍに等しくする事が出来る。従ってデータトラック間を狭くする事ができ、磁性記録媒体の記憶容量を大きくすることができる。
　発明の効果
　本発明は磁性材料によって構成された下部磁性部を形成する工程と、前記下部磁性部上にギャップ層とコイル層を形成する工程と、前記コイル層上に下部磁性部と磁気回路を構成する上部磁性層を形成する工程を含む薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、前記上部磁性層を形成した後に前記上部磁性層の媒体対向面に合わせて薄膜磁気ヘッドの媒体対向面近傍部分のみを前記下部磁性部の中途に至るまで
エッチングにより
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッド示す断面図、第２図は本実施例の薄膜磁気ヘッドの基板示す斜視図、第３図は本実施例の薄膜磁気ヘッドを媒体対向面側から見た平面図、第４図は本実施例の薄膜磁気ヘッドの保護層を形成するまえの平面図、第５図及び第６図はそれぞれ従来及び本実施例における薄膜磁気ヘッドのずれ量と再生出力関係を示すグラフ、第７図は従来の薄膜磁気ヘッドを示す断面図、第８図は保護層を形成する前の従来の薄膜磁気ヘッドの断面図、第９図は薄膜軸ヘッドの磁束の流れを示す平面図である。
８……基板
８ａ……磁性層対向部
８ｂ，８ｃ……切欠部
９……ギャップ層
１０，１２……層間絶縁層
１１……コイル層
１３……磁性層
１４……保護層