【事件の表示】
　特許第２７８７６７９号「カラーフィルター」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７８７６７９号の特許を維持する。
【理由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第２７８７６７９号の特許請求の範囲に係る発明は、昭和６２年２月４日に特許出願され、平成１０年６月５日にその特許の設定登録がなされ、その後、特許異議申立人株式会社五島香里（以下「申立人」という。）より特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年８月２３日に訂正請求がなされたものであるが、さらに当該訂正請求について訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１０月２９日に当該訂正請求書に係る手続補正書が提出されたものである。
ＩＩ．訂正の適否についての判断
１．訂正請求書の補正の適否
　上記訂正請求書の補正では、訂正請求書の（３）の訂正の要旨における▲１▼訂正事項ａの請求項１および２に係る記載内容をさらに限定しようとするものであるから、特許請求の範囲の減縮を意図するものであり、また、訂正の要旨における▲２▼訂正事項ｂを上記▲１▼と整合させたもので、明りょうでない記載の釈明に該当するものであるから、訂正の要旨を変更するものではない。
２．訂正の内容
　上記補正された訂正請求は、以下の点について訂正を求めるものである。
▲１▼訂正事項ａ
▲１▼−１　特許請求の範囲の第１項中の「、前記樹脂と同一か又は他の樹脂（屈折率ｎ２）もしくは無機物（屈折率ｎ３）を用いて散乱防止層を形成してなり、かつ屈折率ｎ１とｎ２又はｎ１とｎ３の屈折率差が０．３以下」を特許請求の範囲の減縮を目的として、「アクリル樹脂（屈折率ｎ２）を用いて散乱防止層を形成してなり、かつ屈折率ｎ１とｎ２の屈折率差が０．３以下」と訂正する。
▲１▼−２　特許請求の範囲の第１項中の「屈折率がｎ１の樹脂」を特許請求の範囲の減縮を目的として、「屈折率がｎ１のポリアミド樹脂」と訂正する。
▲１▼−３　特許請求の範囲の第２項中の「前記樹脂」を特許請求の範囲の減縮を目的として、「前記ポリアミド樹脂」と訂正する。
▲２▼訂正事項ｂ
　上記の訂正事項ａの訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明との整合を図るために、明りょうでない記載の釈明を目的として、下記のとおりに訂正する。
ｂ−１）明細書第５頁第１１〜１９行目の「すなわち、本発明は、屈折率がｎ１の樹脂中に顔料を分散してなる着色樹脂を用いて、印刷工程またはフォトリソ工程によりパターン状に形成した着色樹脂層上に、前記樹脂と同一か又は他の樹脂（屈折率ｎ２）もしくは無機物（屈折率ｎ３）を用いて散乱防止層を形成してなり、かつ屈折率ｎ１とｎ２又はｎ１とｎ３の屈折率差が０．３以下であることを特徴とするカラーフィルターである。」を「すなわち、本発明は、屈折率がｎ１のポリアミド樹脂中に顔料を分散してなる着色樹脂を用いて、印刷工程またはフォトリソ工程によりパターン状に形成した着色樹脂層上にアクリル樹脂（屈折率ｎ２）を用いて散乱防止層を形成してなり、かつ屈折率ｎ１とｎ２の屈折率差が０．３以下であることを特徴とするカラーフィルターである。」と訂正する。
ｂ−２）明細書第６頁第９〜１２行目の「散乱防止層の樹脂の屈折率ｎ２もしくは無機物の屈折率ｎ３とのｎ１とｎ２又はｎ１とｎ３の屈折率差を０．３以下（｜ｎ１−ｎ２｜≦０．３又は｜ｎ１−ｎ３｜≦０．３）」を「散乱防止層のアクリル樹脂の屈折率ｎ２とのｎ１とｎ２の屈折率差を０．３以下（｜ｎ１−ｎ２｜≦０．３）」と訂正する。
ｂ−３）明細書第８頁第２〜３行目の「又は無機物（屈折率ｎ３）」を削除する
ｎ−４）明細書第９頁第５行目の「又はｎ１とｎ３」を削除する。
ｂ−５）明細書第９頁第１０〜１３行目の「例えば、アクリル系樹脂、ポリアミノ系樹脂（ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂）、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリカーポネート系樹脂、シリコン系樹脂等で、」を「例えば、ポリアミド樹脂で、」と訂正する。
ｂ−６）明細書第９頁第１７〜１９行目の「アクリル系樹脂としては、日本合成ゴム社製のＪＭＣ−２５や積水ファインケミカル社製のＲＦＧ等が挙げられる。」を削除する。
ｂ−７）明細書第１２頁第２〜５行目の「これ等の基を分子内に持つ芳香族系のポリアミド樹脂及びポリイミド樹脂の具体例を示すと、リソコートＰＡ−１０００（宇部興産（株）製）、リソコートＰＩ−４００（宇部興産（株）製）等が挙げられる。」を「これ等の基を分子内に持つ芳香族系のポリアミド樹脂の具体例を示すと、リソコートＰＡ−１０００（宇部興産（株）製）等が挙げられる。」と訂正する。
ｂ−８）明細書第１２頁第１０行目の「感光性ポリアミノ系樹脂」を「感光性ポリアミド樹脂」と訂正する。
ｂ−９）明細書第１３頁第１１〜１２行目の「感光性ポリアミノ系樹脂」を「感光性ポリアミド樹脂」と訂正する。
ｂ−１０）明細書第１４頁第５〜９行目の「前記着色樹脂層を形成する樹脂と同じ樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリウレタン、…Ｔａ２Ｏ３等の無機膜」を「アクリル樹脂」と訂正する。
ｂ−１１）明細書第１４頁第１６行目の「あるいは無機物」を削除する。
ｂ−１２）明細書第１５頁第２０行目の「ポリアミノ系樹脂」を「ポリアミド樹脂」と訂正する。
ｂ−１３）明細書第１７頁第１２行目の「樹脂中」を「ポリアミド樹脂中」と訂正する。
ｂ−１４）明細書第１７頁第１４〜１８行目の「前記樹脂と同一か又は他の樹脂（屈折率ｎ２）もしくは無機物（屈折率ｎ３）を用いて散乱防止層を形成し、かっ屈折率ｎ１とｎ２又はｎ１とｎ３の屈折率差が０．３以下」を「アクリル樹脂（屈折率ｎ２）を用いて散乱防止層を形成し、かつ屈折率ｎ１とｎ２の屈折率差が０．３以下」と訂正する。
ｂ−１５）明細書第２１頁第１８行目の「実施例２」を「参考例１」と訂正する。
ｂ−１６）明細書第２４頁第１８行目の「実施例３」を「参考例２」と訂正する。
ｂ−１７）明細書第２４頁第２０行目の「実施例２」を「参考例１」と訂正する。
ｂ−１８）明細書第２５頁第１行目の「カラーフィルター」を「参考例のカラーフィルター」と訂正する。
ｂ−１９）明細書第２５頁第６行目の「実施例４」を「参考例３」と訂正する。
ｂ−２０）明細書第２５頁第８行目の「実施例２」を「参考例１」と訂正する。
ｂ−２１）明細書第２５頁第９行目の「カラーフィルター」を「参考例のカラーフィルター」と訂正する。
ｂ−２２）明細書第２５頁第１４行目の「実施例５」を「実施例２」と訂正する。
ｂ−２３）明細書第２６頁第５行目の「実施例６」を「実施例３」と訂正する。
ｂ−２４）明細書第２６頁第１５行目の「実施例７」を「実施例４」と訂正する。
ｂ−２５）明細書第３０頁第１１行目の「実施例８」を「実施例５」と訂正する。
ｂ−２６）明細書第３０頁第１３行目の「実施例７」を「実施例４」と訂正する。
ｂ−２７）明細書第３０頁第１７行目の「実施例７」を「実施例４」と訂正する。
ｂ−２８）明細書第３１頁第１〜５行目の「屈折率がｎ１の樹脂中に顔料を分散してなる着色樹脂を用いて形成したパターン状の着色樹脂層上に、屈折率がｎ２の樹脂層もしくはｎ３の無機物層をｎ１とｎ２又はｎ１とｎ３の屈折率差が０．３以下」を「屈折率がｎ１のポリアミド樹脂中に顔料を分散してなる着色樹脂を用いて形成したパターン状の着色樹脂層上に、屈折率がｎ２のアクリル樹脂層をｎ１とｎ２の屈折率差が０．３以下」と訂正する。
ｂ−２９）明細書第３２頁第１１行目の「カラーフィルター」を「参考例のカラーフィルター」と訂正する。
３．訂正の目的の適否、新規事項の有無および拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、請求項１および２に係り、着色樹脂の原料樹脂をポリアミド樹脂に、散乱防止層の構成樹脂をアクリル樹脂にそれぞれ限定するものであり、特許請求の範囲の減縮に該当するものである。
　訂正事項ｂは、明細書の発明の詳細な説明の欄の記載内容を、特許請求の範囲の減縮に整合させるものであり、明りょうでない記載の釈明に該当するものである。
　そして、上記各訂正事項は本件の訂正前の特許明細書に実質上記載されている事項のみであるから、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
４．独立特許要件に係る判断
（本件異議申立に係る各甲号証に記載の発明）
（１）訂正明細書の特許請求の範囲に係る発明（以下「本件発明」という。）に対して、当審が通知した取消理由で引用した特願昭６１−１５９３５９号の願書に最初に添付された明細書および図面（以下「先願明細書」という。）には、以下の事項が記載されている。
（なお、摘示にあたっては、上記先願に係る公開公報（特開昭６３−１５２０４号公報）の頁行番等により行う。）
▲１▼「基板上に複数色の微細な着色画像を設け、着色画像を設けた基板上に着色画像との屈折率の差が０．００５以内であり、表面の平滑性が±０．５μｍ以内である透明樹脂層を設けてなるカラーフィルター。」
（特許請求の範囲）
▲２▼「本発明は、カラーフィルターに係り、更に詳しくは撮像管、固体撮像素子カラーファクシミリ用センサー等における色分解用カラーフィルターおよびカラー液晶表示装置等における色合成用カラーフィルターに関する。」
（公報第１頁左下欄第１２行〜第１６行）
▲３▼「第１図は本発明のカラーフィルターを示す。基板（１０）上に着色画像（１１ａ）（１１ｂ）（１１ｃ）が設けられ着色画像（１１ａ）（１１ｂ）（１１ｃ）を設けた基板（１０）上に着色画像との屈折率の差が０．００５以内であり、且つ表面の平滑性が±０．５μｍ以内である透明樹脂（１２）が設けられている。」
（公報第２頁右上欄第１９行〜左下欄第４行）
▲４▼「［作用］
　以下、簡単に発明のカラーフィルターの原理を説明する。
・・（中略）・・
　一般に透明樹脂の屈折率は１．５〜１．６であり、空気の屈折率は約１．０なので、例えば印刷法によるカラーフィルターの場合、第５図（ａ）の様な光の径路で、集光・散乱する。
・・（中略）・・
　実際に、インキのビヒクル単独での屈折率と顔料を分散させた後での屈折率は、ほぼ等しくθ１＝θ２、ａ＋ｃ→∞になり、第５図（ｂ）図示のような光の径路がとられ、本発明による効果は十分に達せられる。」
（公報第２頁右下欄第６行〜第３頁左上欄第１９行）
▲５▼「実施例１
　厚さ、１．１ｍｍ外形１００ｍｍ×１００ｍｍのソーダライムガラスを洗浄し、ドライオフセット法により、カラーフィルターを形成した。
・・（中略）・・
　前記ＰＳ版をオフセット校正機に装着し、赤インキを用いて印刷、熱硬化させた。この赤インキに対して、所定ピッチ分ＰＳ版をずらし、緑インキを用いて、熱硬化させた、更に青インキを用いて、同様に着色画素を形成し、赤、緑、青が規則正しく配列されたカラーフィルター層を得た。この時の膜厚を測定したところ、３〜４μｍであった。
　このカラーフィルター層の上にロジン変性フェノール、あまに油から成るペースト状透明樹脂をローラー塗布し、膜厚１０μｍを得た。この時の表面凹凸は、０．１μｍ以下であった。これを熱硬化し、目的のカラーフィルターを得た。
　カラーフィルター作成前に、ペースト状透明樹脂および赤、緑、青インキの屈折率を島津製作所製アッベ屈折計３Ｌ形によって計測したところ、それぞれ１．５２５１、１．５２６３、１．５２６１、１．５２６１の屈折率であった。
　本発明のカラーフィルターを用いて液晶による多色電気光学表示装置に実装し、評価したところ、優れた画質が得られた。
（以下、略）」
（公報第３頁左下欄第６行〜第４頁右上欄下から第７行「表２」末尾）
▲６▼第１図（第５頁左下欄）
　第１図には、基板（１０）上に赤、青、緑の各着色画像（１１ａ）（１１ｂ）（１１ｃ）が配列され、さらにその上に透明樹脂層（１２）が積層されているカラーフィルターの構造が示されている。
▲７▼第５図（第６頁中段）
　第５図は、第５図（ａ）および第５図（ｂ）の２つの図からなり、第５図（ａ）には、従来の着色画像のみが配列されているフィルターの場合、着色画像が光学素子の働きを有し、集光・拡散が起こる点が示され、第５図（ｂ）には、（ａ）図のものに透明樹脂層（１２）をさらに設けたことにより、透過光の集光・拡散が起こらない点が記載されている。
　ここで、先願明細書における「着色画像」は、本件各発明でいう「着色樹脂（層）」に相当することは、当業者に自明な事項である。
　以上の記載事項からみて、先願明細書には、「樹脂中に顔料を分散してなる屈折率がｎ１の着色樹脂を用いて、印刷工程またはフォトリソ工程によりパターン状に形成した着色樹脂層上に透明樹脂（屈折率ｎ２）を用いて散乱防止層を形成してなり、かつ屈折率ｎ１とｎ２との屈折率の差が０．００５以下であり、表面の平滑性が±０．５μｍ以下であることを特徴とするカラーフィルター。」に係る発明（以下「先願明細書記載の発明」という。）が記載されている。
（２）また、上記取消理由で引用した本件特許に係る出願の日前に頒布された刊行物である甲第２号証（特開昭６２−１４６２２号公報）には、以下の事項が記載されている。
▲１▼「（１）任意形状の配線用導電膜を設けた透明基板上に、ポリイミド樹脂、有機顔料、分散助剤を主成分とし、かつ任意の色数で所望の形状を呈する着色フィルター層と、透明ポリイミド樹脂層との二層を介在させ、前記の着色フィルター層の一部に少なくとも一個以上の第一のスルーホールを設け、該透明ポリイミド樹脂層には前記第一のスルーホールと同一位置に第二のスルーホールを設けてなる状態で、画素電極を各色別に設けることにより、前記配線用導電膜と画素電極を導通することを特徴とするカラーフィルター付電極板。
（２）着色フィルター層の上に透明ポリイミド樹脂層を積層してなる特許請求の範囲第１項記載のカラーフィルター付電極板。」
（特許請求の範囲第１項および第２項）
▲２▼「そのほか、ポリイミド樹脂は耐熱性に富むので、液晶表示装置の製作過程で不可欠とされる加熱処理に耐え、また、着色カラーフィルター層の上の透明ポリイミド樹脂層は、フィルター層として要求される物性から自由であり、表面の機械的強度を向上させること、化学的に安定な膜とすることなど、必要とされる諸物性を透明ポリイミド樹脂層に満足させることが容易である。」
（第５頁左下欄第８行〜第１５行）
▲３▼「（実施例１）
　１．１ｍｍ厚ガラス基板上にＩＴＯ導電膜をスパッタで成膜後、常法に従ってパターン化し配線用導電膜とした。
　次に東レ株式会社製”セミコファインＳＰ−９１０”９０．１ｇに対し顔料及び分散剤をそれぞれ各９．０ｇ、０．９ｇ添加して二本ロールで十分混練して赤・緑・青色ワニスを作った。・・（中略）・・
　次に、赤色ワニス１０ｇに対しＮ−メチル−２ピロリドン（以下ＮＭＰと記す）を２ｇ添加して、十分攪拌し前記１．１ｍｍ厚ガラス基板上にスピンナ１２５０ｒｐｍ６０秒間の回転塗布し、６０℃１５分間の乾燥後１３０℃６０分間プリベーフして赤色皮膜を形成した。次に該赤色皮膜上にポジ型ホトレジスト東京応化製”ＯＦＰＲ−ＩＩ”２５ｃｐを２０００ｒｐｍでスピンナーコートし、８０℃３０分間のプリベーフ後超高圧水銀燈でパターン露光しノンメタル現像液で現像し、更に該ノンメタル現像液で”ＯＦＰＲ−ＩＩ”の現像部に露出している該赤色皮膜をエッチング除去した。その後キシレン及び酢酸Ｎブチルの１対２混合溶液で”ＯＦＰＲ−ＩＩ”を剥膜し、２３０℃３０分間加熱焼成して赤色フィルターを形成した。次に緑色ワニス１０ｇに対しＮ−メチル−２ピロリドン（ＮＭＰ）を４ｇ添加し混合・攪拌して、該赤色フィルター上に１５００ｒｐｍ６０秒間回転塗布し、以下赤色ワニスの場合と同様な処理をして、赤色フィルターに接して緑色フィルターを形成した。次に、青色ワニス１０ｇに対しＮＭＰ２．５ｇを添加し混合攪拌後上記赤色及び緑色フィルター上に１５００ｒｐｍ６０秒間回転塗布した。以降赤色ワニスと同様に処理して、青色フィルターを形成した。・・（中略）・・
　次に東レ（株）ポリイミド樹脂商品名”セミコファインＳＰ−９１０”１０ｇに対しＮＭＰ１０ｇを添加し十分に混合してから３０００ｒｐｍで１０秒間の回転塗布後１５０℃３０分乾燥後ポジレジスト”ＯＦＰＲ−ＩＩ”を塗布し常法に従ってパターン形成した。・・（中略）・・”ＯＦＰＲ−ＩＩ”を剥膜後２５０℃３０分間更に３００℃３０分間の加熱焼成を行い透明ポリイミド樹脂層（１５）を形成した。」
（第５頁右下欄第１行〜第６頁左下欄第１８行）
　以上の記載事項からみて、甲第２号証には、「樹脂中に顔料を分散してなるの着色樹脂を用いて、印刷工程またはフォトリソ工程によりパターン状に形成した着色樹脂層上に透明樹脂を用いて樹脂層を形成してなり、かつ両樹脂の屈折率が実質的に同一であることを特徴とするカラーフィルター。」に係る発明（以下「甲第２号証記載の発明」という。）が記載されている。
（３）また、上記取消理由で引用した本件特許に係る出願の日前に頒布された刊行物である甲第３号証（特開昭５９−１２３２５９号公報）には、以下の事項が記載されている。
▲１▼「半導体基板上に形成された固体撮像素子と、前記固体撮像素子を保持収能するパッケージと、前記固体撮像素子上に設けられた透明基板上に少なくとも色フィルタ層あるいは光遮断フィルタ層を形成した光学フィルタと、前記パッケージの光入射面上に設けられた気密封止用透明キャップと、前記光学フィルタと透明キャップとの間隙に充填され屈折率が前記光学フィルタ透明基板並びに透明キャップと実質的に等しい透明樹脂層とを少なくとも備えたことを特徴とする固体撮像装置。」（特許請求の範囲）
▲２▼「第２図は本発明の一実施例の断面図である。
　第２図において、１１はセラミックパッケージ、１２は固体撮像素子、１３は透明ガラスによるキャップで、このキャップ１３により固体撮像素子１２はパッケージ１１内に気密封止されている。固体撮像素子１２上には透明ガラス基板上に、黄、シアンの補色型のドット状フィルタ層２０を形成した色フィルタ１４が接着積層されている。また、透明ガラスによるキャップ１３と色フィルタ１４のガラスとの間隙にはキャップ１３並びに色フィルタ１４のガラスとほぼ等しい１．５程度の屈折率を持った透明樹脂２０が充填されている。
　このような本発明の固体撮像装置では、色フィルタ１４のガラス界面１５とキャップ１３のガラス界面１７はそれぞれ屈折率のほぼ等しい透明樹脂と接しているため、これらの界面での光反射は生じることが無くなる。」
（第２頁左下欄第１８行〜右下欄第１４行）
▲３▼「以上詳細に詳明したように、本発明によれば、フレアによる黒レベル変動の非常に少ない固体撮像装置が得られるのでその効果は大きい。」
（第３頁左上欄第１８行〜第２０行）
　以上の記載事項からみて、甲第３号証には、「カラーフィルターのガラス基板とキャップ基板との間隙に当該両ガラス基板と実質的に等しい屈折率を有する透明樹脂を充填してなる界面反射によるフレアを防止してなる固体撮像装置。」に係る発明（以下「甲第３号証記載の発明」という。）が記載されている。
（４）さらにまた、上記取消理由で引用した本件特許に係る出願の日前に頒布された刊行物である甲第４号証（特開昭５５−５９４０６号公報）には、以下の事項が記載されている。
▲１▼「透明支持体上に、ストライプ状の無機系色素による薄膜を有し、かつ該色素薄膜の上および／または該色素薄膜と透明支持体との間に該色素薄膜と同じもしくは同程度の屈折率をもつ無機系透明薄膜を有することを特徴とする色分離フィルター。」
（特許請求の範囲第１項）
▲２▼「また、本発明の色分離フィルターはいわゆる吸収タイプであって、・・（中略）・・かつ反射が小さいため撮像管に組み込んだ場合にフレアーが生じない、及び多層干渉フィルターのような大きな透過率のリップルがないといった長所をもつ。」
（第２頁左上欄第２０行〜右上欄第６行）
▲３▼「本発明の色分離フィルターの構造例としては、・・（中略）・・第４図に示す如く透明支持体１上に無機系色素薄膜２ａを設け、ストライプ状に加工した後該色素薄膜と同じもしくは同程度の屈折率をもつ無機系透明薄膜３ａを全面に層設した構造；・・（中略）・・などがある。」
（第２頁右上欄第８行〜左下欄第１５行）
　以上の記載事項からみて、甲第４号証には、「透明支持体上に、ストライプ状の無機系色素による薄膜を有し、かつ該色素薄膜の上および／または該色素薄膜と透明支持体との間に該色素薄膜と同じもしくは同程度の屈折率をもつ無機系透明薄膜を全面に有することを特徴とする色分離フィルター。」に係る発明（以下「甲第４号証記載の発明」という。）が記載されている。
（５）最後に、上記取消理由で引用した本件特許に係る出願の日前に頒布された刊行物である甲第５号証（特開昭６０−１２９７０７号公報）には、以下の事項が記載されている。
▲１▼「支持体上に、粒径１μｍ以上の粒子が全粒子の１０重量％以下であるような粒径分布を有する顔料が透明樹脂中に分散されてなる透明着色画像が複数色パターン化されて設けられていることを特徴とするカラーフィルター。」
（特許請求の範囲第１項）
▲２▼「本発明においては、顔料は透明樹脂中に分散されるが、透明樹脂としては感光性樹脂が用いられる。特に水溶性あるいはアルコール溶性の感光性樹脂が好ましく、具体的には次のような化合物が用いられうる。
ａ）感光基を有する水溶性感光性樹脂
　ポリビニルアルコール／スチルバゾリウム系など。」
（第３頁右上欄第１２行〜第１９行）
▲３▼「次に、このようにして調製された顔料入り感光性樹脂組成物を支持体上に、スピンナ、ロールコータ、ディップコータ、ホイルコータ、バーコータなどの塗布装置により、乾燥時の膜厚が０．１〜１０μｍ好ましくは０．５〜３μｍ程度になるように塗布し、乾燥した後に所定開口パターンを有するマスクを介して、キセノンランプ、メタルハロゲンランプ、超高圧水銀灯などの光源を用いてパターン露光する。次いで水または水／有機溶媒などの現像液でスプレー現像するかあるいはディップ現像することによって非露光部を選択的に除去すればよい。」
（第５頁左上欄第１３行〜右上欄第４行）
　以上の記載事項からみて、甲第５号証には、「支持体上に、粒径１μｍ以上の粒子が全粒子の１０重量％以下であるような粒径分布を有する顔料が透明樹脂中に分散されてなる透明着色画像が複数色パターン化されて設けられていることを特徴とするカラーフィルターであって、当該パターン化が、感光性樹脂に該顔料を分散した後、支持体に塗布し、マスクを介してパターン露光した後現像する工程を繰り返して行ってなることを特徴とするカラーフィルター。」に係る発明（以下「甲第５号証記載の発明」という。）が記載されている。
（対比・判断）
（１）特許法第２９条の２に係る検討
　本件発明と上記先願明細書に記載の発明とを対比すると、次の点で明らかに相違している。
　本件発明では、着色樹脂層の材料として屈折率のｎ１のポリアミド樹脂を使用し、さらに散乱防止層の構成樹脂として屈折率ｎ２のアクリル樹脂を使用するのに対して、先願明細書記載の発明では、当該各樹脂を組み合わせて使用する点に係る記載がない点。
　そして、本件発明は、上記樹脂材料の組み合わせを使用することにより、本件特許明細書に記載の所期の優れた効果を奏するものである。
　したがって、本件発明と上記先願明細書記載の発明が同一であるとすることはできず、本願発明は、特許法第２９条の２の規定により、特許を受けることができないものではない。
（２）特許法第２９条に係る検討
　本件発明と上記甲第２号証ないし甲第５号証の各甲号証記載の発明とを対比すると、次の点で明らかに相違している。
　本件発明では、着色樹脂層の材料として屈折率のｎ１のポリアミド樹脂を使用し、さらに散乱防止層の構成樹脂として屈折率ｎ２のアクリル樹脂を使用するのに対して、上記各甲号証記載の発明では、当該各樹脂を組み合わせて使用する点に係る記載がない点。
　そこで、上記相違点について検討すると、本件発明は、当該相違点に係る構成事項を有することにより、本件特許明細書に記載の所期の優れた効果を奏するものであり、当該相違点は、実質的なものと認められる。
　してみると、本件発明は、上記甲第２号証ないし甲第５号証の各甲号証に記載の発明と同一ではないばかりでなく、当該各甲号証記載の発明から当業者が容易に発明し得たものでもないから、本件発明は、特許法第２９条第１項第３号に該当し、あるいは特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものではない。
（３）したがって、本件特許に係る明細書の特許請求の範囲に記載の発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
５．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項および同条第３項で準用する同法第１２６条第２項ないし第４項の訂正についての規定に適合するものであるから、当該訂正を認める。
ＩＩＩ．特許異議の申立についての判断
１．申立の理由の概要
　申立人は、証拠として上記ＩＩ．４で示した先願明細書および甲第２号証ないし甲第５号証を提示し、本件特許に係る明細書の特許請求の範囲に記載の発明が、特許法第２９条の２および特許法第２９条の規定により、特許を受けることができない旨主張し、特許を取り消すべきものである旨主張している。
２．判断
　本件特許に係る明細書の特許請求の範囲に記載の発明は、上記ＩＩ．４で示した理由により、申立人が提示した特許異議申立の理由および証拠方法によって、特許法第２９条の２あるいは同法第２９条の規定により、特許を受けることができないものとすることができず、当該発明に係る本件特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１２月１６日（１９９９．１２．１６）
【訂正の要旨】
（３）訂正の要旨
　▲１▼　訂正事項ａ
▲１▼−１　特許請求の範囲の第１項中の「、前記樹脂と同一か又は他の樹脂（屈折率ｎ２）もしくは無機物（屈折率ｎ３）を用いて散乱防止層を形成してなり、かつ屈折率ｎ１とｎ２又はｎ１とｎ３の屈折率差が０．３以下」を特許請求の範囲の減縮を目的として、「アクリル樹脂（屈折率ｎ２）を用いて散乱防止層を形成してなり、かつ屈折率ｎ１とｎ２の屈折率差が０．３以下」と訂正する。
▲１▼−２　特許請求の範囲の第１項中の「屈折率がｎ１の樹脂」を特許請求の範囲の減縮を目的として、「屈折率がｎ１のポリアミド樹脂」と訂正する。
▲１▼−３　特許請求の範囲の第２項中の「前記樹脂」を特許請求の範囲の減縮を目的として、「前記ポリアミド樹脂」と訂正する。
　▲２▼訂正事項ｂ
　上記の訂正事項ａの訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明との整合を図るために、明りょうでない記載の釈明を目的として、下記のとおりに訂正する。
ｂ−１）明細書第５頁第１１〜１９行目の「すなわち、本発明は、屈折率がｎ１の樹脂中に顔料を分散してなる着色樹脂を用いて、印刷工程またはフォトリソ工程によりパターン状に形成した着色樹脂層上に、前記樹脂と同一か又は他の樹脂（屈折率ｎ２）もしくは無機物（屈折率ｎ３）を用いて散乱防止層を形成してなり、かつ屈折率ｎ１とｎ２又はｎ１とｎ３の屈折率差が０．３以下であることを特徴とするカラーフィルターである。」を
　「すなわち、本発明は、屈折率がｎ１のポリアミド樹脂中に顔料を分散してなる着色樹脂を用いて、印刷工程またはフォトリソ工程によりパターン状に形成した着色樹脂層上にアクリル樹脂（屈折率ｎ２）を用いて散乱防止層を形成してなり、かつ屈折率ｎ１とｎ２の屈折率差が０．３以下であることを特徴とするカラーフィルターである。」と訂正する。
ｂ−２）明細書第６頁第９〜１２行目の「散乱防止層の樹脂の屈折率ｎ２もしくは無機物の屈折率ｎ３とのｎ１とｎ２又はｎ１とｎ３の屈折率差を０．３以下（｜ｎ１−ｎ２｜≦０．３又は｜ｎ１−ｎ３｜≦０．３）」を「散乱防止層のアクリル樹脂の屈折率ｎ２とのｎ１とｎ２の屈折率差を０．３以下（｜ｎ１−ｎ２｜≦０．３）」と訂正する。
ｂ−３）明細書第８頁第２〜３行目の「又は無機物（屈折率ｎ３）」を削除する。
ｂ−４）明細書第９頁第５行目の「又はｎ１とｎ３」を削除する。
ｂ−５）明細書第９頁第１０〜１３行目の「例えば、アクリル系樹脂、ポリアミノ系樹脂（ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂）、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、シリコン系樹脂等で、」を「例えば、ポリアミド樹脂で、」と訂正する。
ｂ−６）明細書第９頁第１７〜１９行目の「アクリル系樹脂としては、日本合成ゴム社製のＪＭＣ−２５や積水ファインケミカル社製のＲＦＧ等が挙げられる。」を削除する。
ｂ−７）明細書第１２頁第２〜５行目の「これ等の基を分子内に持つ芳香族系のポリアミド樹脂及びポリイミド樹脂の具体例を示すと、リソコートＰＡ−１０００（宇部興産（株）製）、リソコートＰＩ−４００（宇部興産（株）製）等が挙げられる。」を「これ等の基を分子内に持つ芳香族系のポリアミド樹脂の具体例を示すと、リソコートＰＡ−１０００（宇部興産（株）製）等が挙げられる。」と訂正する。
ｂ−８）明細書第１２頁第１０行目の「感光性ポリアミノ系樹脂」を「感光性ポリアミド樹脂」と訂正する。
ｂ−９）明細書第１３頁第１１〜１２行目の「感光性ポリアミノ系樹脂」を「感光性ポリアミド樹脂」と訂正する。
ｂ−１０）明細書第１４頁第５〜９行目の「前記着色樹脂層を形成する樹脂と同じ樹脂、ポリアミド，ポリイミド，ポリウレタン，・・・・・・・・・・Ｔａ２Ｏ３等の無機膜」を「アクリル樹脂」と訂正する。
ｂ−１１）明細書第１４頁第１６行目の「あるいは無機物」を削除する。
ｂ−１２）明細書第１５頁第２０行目の「ポリアミノ系樹脂」を「ポリアミド樹脂」と訂正する。
ｂ−１３）明細書第１７頁第１２行目の「樹脂中」を「ポリアミド樹脂中」と訂正する。
ｂ−１４）明細書第１７頁第１４〜１８行目の「前記樹脂と同一か又は他の樹脂（屈折率ｎ２）もしくは無機物（屈折率ｎ３）を用いて散乱防止層を形成し、かつ屈折率ｎ１とｎ２又はｎ１とｎ３の屈折率差が０．３以下」を「アクリル樹脂（屈折率ｎ２）を用いて散乱防止層を形成し、かつ屈折率ｎ１とｎ２の屈折率差が０．３以下」と訂正する。
ｂ−１５）明細書第２１頁第１８行目の「実施例２」を「参考例１」と訂正する。
ｂ−１６）明細書第２４頁第１８行目の「実施例３」を「参考例２」と訂正する。
ｂ−１７）明細書第２４頁第２０行目の「実施例２」を「参考例１」と訂正する。
ｂ−１８）明細書第２５頁第１行目の「カラーフィルター」を「参考例のカラーフィルター」と訂正する。
ｂ−１９）明細書第２５頁第６行目の「実施例４」を「参考例３」と訂正する。
ｂ−２０）明細書第２５頁第８行目の「実施例２」を「参考例１」と訂正する。
ｂ−２１）明細書第２５頁第９行目の「カラーフィルター」を「参考例のカラーフィルター」と訂正する。
ｂ−２２）明細書第２５頁第１４行目の「実施例５」を「実施例２」と訂正する。
ｂ−２３）明細書第２６頁第５行目の「実施例６」を「実施例３」と訂正する。
ｂ−２４）明細書第２６頁第１５行目の「実施例７」を「実施例４」と訂正する。
ｂ−２５）明細書第３０頁第１１行目の「実施例８」を「実施例５」と訂正する。
ｂ−２６）明細書第３０頁第１３行目の「実施例７」を「実施例４」と訂正する。
ｂ−２７）明細書第３０頁第１７行目の「実施例７」を「実施例４」と訂正する。
ｂ−２８）明細書第３１頁第１〜５行目の「屈折率がｎ１の樹脂中に顔料を分散してなる着色樹脂を用いて形成したパターン状の着色樹脂層上に、屈折率がｎ２の樹脂層もしくはｎ３の無機物層をｎ１とｎ２又はｎ１とｎ３の屈折率差が０．３以下」を「屈折率がｎ１のポリアミド樹脂中に顔料を分散してなる着色樹脂を用いて形成したパターン状の着色樹脂層上に、屈折率がｎ２のアクリル樹脂層をｎ１とｎ２の屈折率差が０．３以下」と訂正する。
ｂ−２９）明細書第３２頁第１１行目の「カラーフィルター」を　「参考例のカラーフィルター」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
カラーフィルター
（５７）【特許請求の範囲】
（１）屈折率がｎ１の
ポリアミド樹脂
アクリル樹脂（屈折率ｎ２）を用いて散乱防止層を形成してなり、かつ屈折率ｎ１とｎ２の屈折率差が０．３以下
（２）前記
ポリアミド樹脂
有する
（３）前記着色樹脂層が基板上に設けられたパターン状の着色樹脂層である特許請求の範囲第１項記載のカラーフィルター。
（４）前記着色樹脂層が基板上に感光性基を有する着色樹脂膜を塗布形成した後、所定のマスクにて露光、現像することにより形成したパターン状の着色樹脂層である特許請求の範囲第１項または第３項記載のカラーフィルター。
（５）前記基板がネマチック液晶又は強誘電性液晶からなる表示装置およびエレクトロクロミィー（ＥＣ）表示装置等の表示部である特許請求の範囲第３項または第４項記載のカラーフィルター。
（６）前記基板が固体撮像素子である特許請求の範囲第３項または第４項記載のカラーフィルター。
（７）前記基板がイメージセンサーの受光面である特許請求の範囲第３項または第４項記載のカラーフィルター。
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
　本発明はカラーフィルターに関し、特にカラーディスプレーやカラー撮像素子及びカラーセンサーなどの微細色分解用として好適なカラーフィルターに関するものである。
［従来の技術］
　従来、カラーフィルターとしては、基板上にゼラチン、カゼイン、グリューあるいはポリビニルアルコールなどの親水性高分子物質からなる媒染層を設け、その媒染層を色素で染色して着色層を形成する染色カラーフィルターが知られている。
　このような染色法では、使用可能な染料が多くフィルターとして要求される分光特性への対応が比較的容易であるが、媒染層の染色工程に、染料を溶解させた染色浴中に媒染層を浸漬するというコントロールの難しい湿式工程を採用しており、また各色毎に防染用の中間層を設けるといった複雑な工程を有するため歩留りが悪いといった欠点を有している。また染色可能な色素の耐熱性が１５０℃程度以下と比較的低く、該フィルターに熱的処理を必要とする場合には、使用が困難である上、染色膜自体の耐熱性、耐光性等の信頼性が劣るといった欠点も有している。
　これに対し、従来、ある種の着色材が透明樹脂中に分散されてなる着色樹脂を用いたカラーフィルターが知られている。
　例えば、特開昭５８−４６３２５号公報，特開昭６０−７８４０１号公報，特開昭６０−１８４２０２号公報，特開昭６０−１８４２０３号公報，特開昭６０−１８４２０４号公報，特開昭６０−１８４２０５号公報等に示されている様に、これらのカラーフィルターは、ポリアミノ系樹脂に着色材を混合した着色樹脂膜により形成されているために、耐熱性、耐光性等の特性に優れた有用なカラーフィルターである。
　さらに、近年ではカラーフィルターの製造工程を簡単にするために、感光性を有する、例えばポリイミド樹脂を用いた着色材を使用したカラーフィルターが開発されている。例えば、特開昭５７−１６４０７号公報、特開昭５７−７４７０７号公報、特開昭６０−１２９７０７号公報等に開示されている。
　しかしながら、前記の着色樹脂によりカラーフィルターを形成する方法においては、樹脂中に顔料を分散させるため、どうしても表面層の粗れを無くすのが難しく、前記着色樹脂層表面での入射光の散乱が大きく生ずるので、表示素子の表示品位やセンサーの色特性に悪影響を及ぼし、デバイスとして充分に満足のいくものでなかった。
［発明が解決しようとする問題点］
　本発明の目的は、上述の従来例のもつ欠点を解消せしめ、従来の着色樹脂層を使用することにより、カラーフィルターが有する耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の利点をそのまま保有すると共に、さらに表示品位やセンサーの色特性が良く、フレアの少ない優れたカラーフィルターを提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
　すなわち、本発明は、屈折率がｎ１の
ポリアミド樹脂
アクリル樹脂（屈折率ｎ２）を用いて散乱防止層を形成してなり、かつ屈折率ｎ１とｎ２の屈折率差が０．３以下
　一般に、凹凸のある表面に光が入射すると、その表面での光散乱は避けられない。そこで凹凸のある表面での散乱を防止する方法としては、前記着色樹脂層の表面の上に、もう一層コーティングし、前記表面における凹凸を緩和させる方法がとられる。しかしながら、凹凸はある程度緩和されるが、凹凸のある下の層である着色樹脂層とその上の層との境界面での反射散乱は避けられない。
　本発明は着色樹脂層の樹脂の屈折率ｎ１と、その上に形成された
散乱防止層のアクリル樹脂の屈折率ｎ２とのｎ１とｎ２の屈折率差を０．３以下（｜ｎ１−ｎ２｜≦０．３）
　第６図は、着色樹脂層と、その上層である散乱防止層により入射光が散乱する状態を示す説明図である。同第６図において、基板６１上に、樹脂６２中に顔料を分散させ、顔料粒子６３が分散している着色樹脂層を形成し、その上に散乱防止層６４を形成したカラーフィルターに、入射光６５を入射させたときに入射光６５が着色樹脂層と散乱防止層の間で散乱され、散乱光６６となる。
　カラーフィルターの着色樹脂層の表面が完全に平滑であれば、散乱はほとんど発生しないが、顔料を樹脂中に分散させてなる着色樹脂によるカラーフィルターの場合、顔料は樹脂に溶解せず、ある粒径で樹脂中に分散しているので、どうしても表面は粗れやすい。
　そこで、従来、前記着色樹脂層の表面粗さを少なくする方法として着色樹脂層の上にある程度の厚さ（例えば、１〜２μ）をもつ他の樹脂層又は無機物層をコーティングし、表面の粗さを平滑にする方法がとられていた。
　しかしながら、このような方法においても、着色樹脂層と上層の樹脂層の屈折率差がある場合は、その粗れた界面での散乱が生じるので、表示品位を低下させたり、フレアーによりカラー特性を損なう原因になっている。
　そこで、本発明のカラーフィルターは着色樹脂層の表面粗さから生ずる散乱を、着色樹脂（屈折率ｎ１）の上に、ｎ１との屈折率差が０．３以下になるような樹脂（屈折率ｎ２）を
形成して
　又、本発明のカラーフィルターは機械的特性や耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の耐久性の良い樹脂系及び顔料を用いた着色樹脂層から形成されているため、信頼性に優れた特性を有しているので、優れたカラーフィルターを簡易に設計することが可能であると共に、一般の印刷工程やフォトリソ工程のみの簡便な方法で微細なパターンを形成できるものである。
　また、屈折率がｎ１とｎ２の２つの層の界面での反射率Ｒｅｆ．は一般式
で与えられる。
　従って、この界面が凹凸状態の場合は、その界面で光が散乱される。
　本発明者等の実験により、この界面での散乱光が約１％を越えると、表示装置の表示品位やセンサーの色特性等の性能を低下させることが判明した。
　そこで、本発明者等は、散乱光を１％以下にする為に、
ｎ１とｎ２
　本発明のカラーフィルターの有する着色樹脂層を形成する樹脂としては、３００℃以下で硬化膜が得られるもの、例えば
ポリアミド樹脂
い。
　
尚、
　前記樹脂に感光性を持たせるには、感光性を有する基を分子内に持つようにすれば良い。
　本発明における感光性を有する基としては、以下に示す様な感光性の炭化水素不飽和基をもつ芳香族鎖であれば良く、例えば、
（１）安息香酸エステル類
（式中Ｒ１はＣＨＸ＝ＣＹ−ＣＯＯ−Ｚ−、Ｘは−Ｈ又は−Ｃ６Ｈ５、Ｙは−Ｈ又は−ＣＨ３、Ｚは−又はエチル基又はグリシジル基を示す）
（２）ベンジルアクリレート類
（式中Ｙは−Ｈ又はＣＨ３を示す）
（３）ジフェニルエーテル類
（式中Ｒ２はＣＨＸ＝ＣＹ−ＣＯＮＨ−、ＣＨ２＝ＣＹ−ＣＯＯ−（ＣＨ２）２−ＯＣＯ−又はＣＨ２＝ＣＹ−ＣＯＯ−ＣＨ２−を１ケ以上含むもの、Ｘ，Ｙは同基を示す）
（４）カルコン類及びその他化合物鎖
（式中Ｒ３はＨ−，アルキル基、アルコシキ基を示す）
等が挙げられる。
　これ等の基を分子内に持つ芳香族系の
ポリアミド樹脂の具体例を示すと、リソコートＰＡ−１０００（宇部興産（株）製）等
　一般にフォトリソ工程で用いられる感光性樹脂は、その化学構造によって差はあるものの、機械的特性をはじめ耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の耐久性に優れたものは少ない。これに対し、上記本発明の
感光性ポリアミド樹脂
　本発明のカラーフィルターの有する着色樹脂層を形成する顔料としては、有機顔料、無機顔料等のうち所望の分光特性を得られるものであれば、特に限定されるものではない。この場合、各材料を単体で用いることも、これらのうちのいくつかの混合物として用いることもできる。また、カラーフィルターの色特性及び諸性能から勘案すると有機顔料が好ましい。
　有機顔料としては、溶性アゾ系、不溶性アゾ系、縮合アゾ系等のアゾ系顔料をはじめ、フタロシアニン系顔料，そしてインジゴ系，アントラキノン系，ペリレン系，ペリノン系，ジオキサジン系，キナクリドン系，イソインドリノン系，フタロン系，メチン・アゾメチン系、その他金属錯体系を含む縮合多環系顔料、あるいはこれらのうちのいくつかの混合物が用いられる。
　又、着色樹脂層を形成するために使用する着色樹脂は、一例として挙げれば上記
感光性ポリアミド樹脂
　本発明のカラーフィルターの有する着色樹脂層は、前記着色樹脂をスピンナー，ロールコーター等の塗布装置により基板上に塗布し、フォトリソ工程によりパターン状に形成され、その層厚は所望とする分光特性に応じて決定されるが、通常は０．５〜５μｍ程度、好ましくは、１〜２μｍ程度が望ましい。
　なお、本発明のカラーフィルターは、着色樹脂層表面に、散乱防止の目的および保護膜としての機能を有する散乱防止層として、
アクリル樹脂
　散乱防止層の膜厚は、通常は０．５〜３μｍ程度、好ましくは０．５〜２μｍが望ましい。尚、散乱防止層を形成する
樹脂の屈折率
　以上説明した様な着色樹脂層を有するカラーフィルターは適当な基板上に形成することができる。例えば、ガラス板、透明樹脂板、樹脂フィルム、あるいはブラウン管表示面、撮像管の受光面、ＣＣＤ、ＢＢＤ、ＣＩＤ、ＢＡＳＩＳ等の固体撮像素子が形成されたウエハー、薄膜半導体を用いた密着型イメージセンサー、液晶ディスプレー面、カラー電子写真用感光体、エレクトロクロミィー（ＥＣ）表示装置の基板等があげられる。
　着色樹脂層と下地の基板間との接着性を更に増す必要がある場合には、基板上にあらかじめシランカップリング剤等で薄く塗布した後に着色樹脂パターンを形成するか、あるいは、あらかじめ着色樹脂中にシランカップリング剤等を少量添加したものを用いてカラーフィルターを形成することにより、一層効果的である。
　以下、図面を参照しつつ、代表的な本発明のカラーフィルターの形成法を説明する。
　第１図は本発明の感光性着色樹脂によるカラーフィルターの形成法を説明する工程図である。まず、第１図（ａ）に示すごとく、所望の分光特性を有する顔料を所定量配合された
ポリアミド樹脂
　そして第１図（ｃ）のごとく光硬化部分２ａを有した着色樹脂膜２を、未露光部分のみを溶解する溶剤（例えば、Ｎ−メチル−２−ピロリドン系溶剤等を主成分とするもの）にて超音波現像した後、リンス処理（例えば、１，１，１−トリクロロエタン等）を行なう。次いで、ポストベーク処理を行ない、第１図（ｄ）のごとき本発明のパターン状着色樹脂層４を得ることができる。
　なお、２色以上からなる本発明のカラーフィルターを形成する場合には、更に必要に応じて、すなわち用いられるフィルターの色の数に応じて、第１図（ａ）から第１図（ｄ）までの工程を、各色に対応した顔料を分散させた着色樹脂液をそれぞれ用いて繰り返して行ない、例えば、第１図（ｅ）に示した様な異なる色のパターン状着色樹脂層４，５及び６の３色からなるカラーフィルターを形成することができる。
　さらに、第１図（ｆ）に示すようにフィルター上部に、先に挙げたような材料から形成した保護をも兼ねた散乱防止層７ａを有しているものである。
［作用］
　本発明のカラーフィルターは、屈折率がｎ１の
ポリアミド樹脂
アクリル樹脂（屈折率ｎ２）を用いて散乱防止層を形成し、かつ屈折率ｎ１とｎ２の屈折率差が０．３以下
［実施例］
　以下に本発明の実施例を示す。
実施例１
　ガラス基板上に、所望の分光特性を得ることのできる青色着色樹脂材［ヘリオゲン　ブルー（Ｈｅｌｉｏｇｅｎ　Ｂｌｕｅ）Ｌ７０８０（商品名，ＢＡＳＦ社製，Ｃ．Ｉ．Ｎｏ．７４１６０）をＰＡ−１０００（商品名，宇部興産社製，ポリマー分１０％、溶剤＝Ｎ−メチル−２−ピロリドン）に顔料：ポリマー＝１：２配合に分散させ作製した感光性の着色樹脂材］をスピンナー塗布法により、２．０μｍの膜厚に塗布した。次に該着色樹脂層に８０℃、３０分間のプリベークを行なった後、形成しようとするパターン形状に対応したパターンマスクを介して高圧水銀灯にて露光した。露光終了後、該着色樹脂膜の未露光部のみを溶解する専用現像液（Ｎ−メチル−２−ピロリドンを主成分とする現像液）にて超音波を使用して現像し、専用リンス液（１，１，１−トリクロロエタンを主成分とするリンス液）で処理した後、１５０℃、３０分間のポストベークを行ない、パターン形状を有した青色着色樹脂膜を形成した。
　続いて、青色着色パターンの形成されたガラス基板上に、第２色目として緑色着色樹脂材［リオノール　グリーン（Ｌｉｏｎｏｌ　Ｇｒｅｅｎ）６ＹＫ（商品名，東洋インキ社製，Ｃ．Ｉ．Ｎｏ．７４２６５）をＰＡ−１０００（商品名，宇部興産社製，ポリマー分１０％、溶剤＝Ｎ−メチル−２−ピロリドン）に顔料：ポリマー＝１：２配合に分散させ作製した感光性の着色樹脂材］を用いる以外は、上記と同様にして、緑色着色パターンを基板上の所定の位置に形成した。
　さらに、この様にして青色及び緑色パターンの形成されている基板上に、第３色目として、赤色着色樹脂材［イルガジン　レッド（Ｉｒｇａｚｉｎ　Ｒｅｄ）ＢＰＴ（商品名，チバガイギー（Ｃｉｂａ−Ｇｅｉｇｙ）社製，Ｃ．Ｉ．Ｎｏ．７１１２７）をＰＡ−１０００（商品名，宇部興産社製，ポリマー分１０％、溶剤＝Ｎ−メチル−２−ピロリドン）に顔料：ポリマー＝１：２配合に分散させ作製した感光性の着色樹脂材］を用いる以外は、上記と同様にして、赤色着色パターンを基板上の所定の位置に形成した。この様にして、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３色ストライプの着色パターンを得た。
　さらに、前記着色樹脂（屈折率１．７０）層の上に、散乱防止層兼保護層として屈折率１．４９のアクリル系樹脂（積水ケミカル社製、ＲＦＧ）をスピンナーで１．０μｍの膜厚に塗布形成した。
　なお、前記樹脂の塗布方法としては、ロールコ一夕一法、印刷法等の通常用いられる塗布方法によっても達成されるものである。
　また、このようにして形成された３色カラーフィルターの分光特性を第２図に示す。
　得られたカラーフィルターの散乱光を積分球（（株）日立製作所製、２１０−２１０１）を用いて測定したところ、着色樹脂層と散乱防止層との界面での散乱強度は、０．４％以下となり、ヒーズ率が小さいので、コントラストも向上し、良好な表示品位のカラーフィルターを得ることができた。
　また、得られたカラーフィルターは耐熱性に優れ、２５０℃以上の温度にも耐え、これによりＣＦ上にＩＴＯのスパッタによる形成が可能となる。
　また、硬度が高く機械的特性が優れ、液晶セル内にスペーサーと接する形でＣＦを構成したものでも圧着時にＣＦが破損したりしない。さらに、耐溶剤性に優れ、硬化後は各溶剤に強く、各生産プロセス工程中に変化することがなく、また耐光性にも優れたものである。
比較例１
　保護層として屈折率１．３８のフッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）無機物を用いる以外は実施例１と同様の方法で、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３色ストライプの着色パターンを形成したカラーフィルターを作成した。
　得られた赤色，緑色，青色の着色パターンの散乱強度は１％以上となり各色で一定していなかった。
参考例１
　薄膜トランジスターを基板として、該基板上に本発明のカラーフィルターを形成してなるカラー液晶表示素子の作製を以下のようにして実施した。
　まず第３図（ａ）に示すように、ガラス基板（商品名：７０５９、コーニング社製）１上に１０００Åの層厚のＩ．Ｔ．Ｏ画素電極１１をフォトリソ工程により所望のパターンに成形した後、この面に更にＡｌを１０００Åの層厚に真空蒸着し、この蒸着層をフォトリソ工程により所望の形状にパターンニングして第３図（ｂ）に示すようなゲート電極１２を形成した。
　続いて、感光性ポリイミド（商品名：セミコファイン、東レ社製）を前記電極の設けられた基板１面上に塗布し絶縁層１３を形成し、パターン露光及び現像処理によってドレイン電極１８と画素電極１１とのコンタクト部を構成するスルーホール１４を第３図（ｃ）に示すように形成した。
　ここで、基板１を堆積槽内の所定の位置にセットし、堆積槽内にＨ２で希釈されたＳｉＨ４を導入し、真空中でグロー放電法により、前記電極１１，１２及び絶縁層１３の設けられた基板１全面に２０００Åの層厚のａ−Ｓｉからなる光導電層（イントリンシック層）１５を堆積させた後、この光導電層１５上に引続き同様の操作によって、１０００Åの層厚のｎ＋層１６を第３図（ｄ）に示したように積層した。この基板１を堆積槽から取り出し、前記ｎ＋層１６及び光導電層１５のそれぞれを、この順にドライエッチング法により所望の形状に第３図（ｅ）に示したようにパターンニングした。
　次に、このようにして光導電層１５及びｎ＋層１６が設けられている基板面に、Ａｌを１０００Åの層厚で真空蒸着した後、このＡｌ蒸着層をフォトリソ工程により所望の形状にパターンニングして、第３図（ｆ）に示すようなソース電極１７及びドレイン電極１８を形成した。
　最後に、画素電極１１のそれぞれに対応させて、実施例１と同様な方法により赤、青及び緑の３色の着色パターンを第３図（ｇ）に示すように形成した後、第３図（ｈ）の如くこの基板面全面に配向機能を付与した絶縁膜２２としての屈折率１．７５のポリイミド樹脂を１２００Åの層厚に塗布し、２５０℃、１時間の加熱処理によって樹脂の硬化を行ないカラーフィルターが一体化された薄膜トランジスターを作製した。
　このように作製されたカラーフィルター付き薄膜トランジスターを用いて更に、カラー用液晶表示素子を形成した。
　すなわち、ガラス基板（商品名：７０５９、コーニング社製）の一面に前記の方法と同様にして、１０００ÅのＩ．Ｔ．Ｏ電極層を形成し、更に該電極層上に配向機能を付与したポリイミド樹脂からなる層厚１２００Åの絶縁層を形成し、この基板と先に形成したカラーフィルター付き薄膜トランジスターとの間に液晶を封入して全体を固定して、カラー用液晶表示素子を得た。
　このようにして形成されたカラー用液晶表示素子は、表示品位の良好な機能を有するものであった。
参考例２
　３色カラーフィルターを画素電極上に設ける代わりに、対向電極上に設ける以外は
参考例１
参考例の
　このようにして形成されたカラー用液晶表示素子は、表示品位の良好な機能を有するものである。
参考例３
　３色カラーフィルターをまず対向基板上に形成した後に、対向電極を設ける以外は
参考例１
参考例の
　この様にして形成されたカラー用液晶表示素子は、表示品位の良好な機能を有するものであった。
実施例２
　ＣＣＤ（チャージ、カップルド、デバイス）の形成されたウエハーを基板として用い、ＣＣＤの有する各受光セルに対応して、カラーフィルターの有する各着色パターンが配置されるように、３色ストライプカラーフィルターを形成する以外は、実施例１と同様にして本発明のカラーフィルターを有するカラー固体撮像素子を形成した。
　このようにして形成されたカラー固体撮像素子は、フレアがなく、センサーの色特性の良好な機能を有するものであった。
実施例３
　ＣＣＤ（チャージ、カップルド、デバイス）の形成されたウエハーに、実施例１に於いて形成したカラーフィルターを、ＣＣＤの有する各受光セルに対応して、カラーフィルターの有する各着色パターンが配置されるように位置合わせをして貼着し、カラー固体撮像素子を形成した。
　このようにして形成されたカラー固体撮像素子は、フレアがなく、センサーの色特性の良好な機能を有するものであった。
実施例４
　第４図の部分平面概略図に示すような本発明のカラーフィルターを有するカラー用フォトセンサーアレイの形成を第５図に示した工程に従って以下のように実施した。
　まず、ガラス基板（商品名：７０５９、コーニング社製）１の上にグロー放電法によってａ−Ｓｉ（アモルファスシリコン）層からなる光導電層（イントリンシック層）１５を第５図（ａ）に示すように設けた。
　すなわち、Ｈ２で１０容量％に希釈されたＳｉＨ４をガス圧０．５０Ｔｏｒｒ、ＲＦ（Ｒａｄｉｏ　Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）パワー１０Ｗ、基板温度２５０℃で２時間基板上に堆積させることによって０．７μｍの膜厚の光導電層１５を得た。
　続いて、この光導電層１５上にグロー放電法により第５図（ｂ）に示すようにｎ＋層１６を設けた。
　すなわち、Ｈ２で１０容量％に希釈されたＳｉＨ４と、Ｈ２で１００ｐｐｍに希釈されたＰＨ３とを１：１０で混合したガスを原料として用い、その他は、先の光導電層の堆積条件と同様にして光導電層１５に連続して、０．１μｍの層厚のｎ＋層１６を設けた。
　次に、第５図（ｃ）に示すように電子ビーム蒸着法でＡｌを０．３μｍの層厚にｎ＋層１６上に堆積させて、導電層１９を堆積した。続いて、第５図（ｄ）に示すように導電層１９の光変換部となる部分に相当する部分を除去した。
　すなわち、ポジ型のマイクロポジット１３００−２７（商品名、Ｓｈｉｐｌｅｙ社製）フォトレジストを用いて所望の形状にフォトレジストパターンを形成した後、リン酸（８５容量％水溶液）、硝酸（６０容量％水溶液）、氷酢酸及び水を１６：１：２：１の割合で混合したエッチング溶液を用いて露出部（レジストパターンの設けられていない部分）の導電層１９を基板上から除去し、共通電極２１及び個別電極２０を形成した。
　次に、光変換部となる部分のｎ＋層１６を第５図（ｅ）に示すように除去した。
　すなわち、上記マイクロポジット１３００−２７フォトレジストを基板から剥離した後、平行平板型プラズマエッチング装置ＤＥＭ−４５１（日電アネルバ社製）を用いてプラズマエッチング法（別名リアクティブイオンエッチング法）でＲＦパワー１２０Ｗ、ガス圧０．１ＴｏｒｒでＣＦ４ガスによるドライエッチングを５分間行ない、露出部のｎ＋層１６及び光導電層１５の表面層の一部を基板から除去した。
　なお、本実施例では、エッチング装置のカソード材料のインプランテーションを防止するために、カソード上にポリシリコンのスパッタ用ターゲット（８インチ、純度９９．９９９％）を置き、その上に試料をのせ、カソード材料のＳＵＳが露出する部分はドーナッツ状に切抜いたテフロン（登録商標）シートでカバーし、ＳＵＳ面がほとんどブラズマでさらされない状態でエッチングを行なった。その後、窒素を３　Ｌ／ｍｉｎの速度で流したオーブン内で２０℃、６０分の熱処理を行なった。
　こうして作成されたフォトセンサーアレイの表面に、次に保護層を以下のようにして形成した。
　すなわち、フォトセンサーアレイ上にグロー放電法によって保護層７としてのシリコンナイトライド層を形成した。
　すなわち、Ｈ２で１０容量％に希釈されたＳｉＨ４と１００％ＮＨ３を１：４の流量比で混合した混合ガスを用い、その他は先のａ−Ｓｉ層を形成したのと同様にして、０．５μｍの層厚のシリコンナイトライド（ａ−ＳｉＮＨ）層からなる保護層７を第５図（ｆ）に示すように形成した。
　更に、この保護層７を基板として、実施例１と同様にして、青５、緑４、赤６の３色の着色パターンからなるカラーフィルターを形成し、第４図に示すように、各フォトセンサー上にそれぞれ着色フィルターが配置されたカラーフォトセンサーアレイを形成した。
　本実施例に於いて形成されたカラーフォトセンサーアレイに於いても、フレアがなく、色特性の良好な機能を有するものであった。
実施例５
　実施例１に於いて形成したカラーフィルターを、接着剤を用いて、
実施例４
　本実施例に於いて形成したカラーフォトセンサーも
実施例４
［発明の効果］
　本発明によれば、感光性基を分子内に有するか、もしくは感光性基を有しない屈折率がｎ１の
ポリアミド樹脂
屈折率がｎ２のアクリル樹脂層をｎ１とｎ２の屈折率差が０．３以下
　すなわち、着色樹脂層表面の凹凸から散乱される散乱強度が１．０％以下になるので、表示素子においては、その表示品位が大幅に向上する。また、センサー素子においても、同一の理由からコントラストが向上し、かつ色特性も良好なものとなる。
　また、本発明によれば、機械的強度にも優れ、かつ、耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の諸特性に優れた微細パターンを有するカラーフィルターが、簡便に作製できる着色樹脂材を用い、簡便な製造工程により作製することができる。従って、性能の良好なカラーフィルターを必要とする広範囲な各種デバイスヘの適用が可能となり、諸特性の優れたカラーデバイスを作製することが可能となった。
　さらに本発明によれば、着色樹脂中の着色材の種類や濃度と着色樹脂層の厚さをコントロールすることで容易に所望の分光特性を設計することが可能である。
【図面の簡単な説明】
　第１図（ａ）〜（ｆ）は本発明のカラーフィルターの形成法を説明するための工程図、第２図は実施例１に於いて得られた本発明のカラーフィルターの有する着色樹脂層の分光透過率を示すグラフ、第３図（ａ）〜（ｈ）は本発明の
参考例の
　１，６１：基板
　２：着色樹脂膜
　２ａ：光硬化部分
　３：フォトマスク
　４，５，６：パターン状着色樹脂層
　７：保護層
　７ａ，６４：散乱防止層
　８：赤色着色樹脂層の分光特性
　９：緑色着色樹脂層の分光特性
　１０：青色着色樹脂層の分光特性
　１１：画素電極
　１２：ゲート電極
　１３：絶縁層
　１４：スルホール
　１５：光導電層
　１６：ｎ＋層
　１７：ソース電極
　１８：ドレイン電極
　１９：導電層
　２０：個別電極
　２１：共通電極
　２２：絶縁膜
　６２：樹脂
　６３：顔料粒子
　６５：入射光
　６６：散乱光