【事件の表示】
特許第２８１０７９７号「反射電子顕微鏡」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
特許第２８１０７９７号の特許を維持する。
【理由】
１．本件特許発明
　本件特許第２８１０７９７号（平成３年１月１１日出願、平成１０年７月３１日設定登録。）の請求項１に係る特許発明（以下、本件特許発明という。）は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである。
２．申立ての理由の概要
　申立人常世田明は、本件特許発明は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、特許法第１１３条第１項第２号の規定により取り消すべきものである旨主張している。
３．甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明
　甲第１号証（『Ｂ．Ｌｉｓｃｈｋｅ，Ｗ．Ｂｅｎｎｅｃｋｅ，Ｍ．Ｂｒｕｎｎｅｒ，Ｋ．Ｈ．Ｈｅｒｒｍａｎｎ，Ａ．Ｈｅｕｂｅｒｇｅｒ，Ｅ．Ｋｎａｐｅｋ，Ｐ．Ｓｃｈａｆｆｅｒ　ａｎｄ　Ｕ．Ｓｃｈｎａｋｅｎｂｅｒｇ著、“Ｍｕｌｔｉ−Ｂｅａｍ　Ｃｏｎｃｅｐｔ　ｆｏｒ　Ｎａｎｏｍｅｔｅｒ　Ｄｅｖｉｃｅｓ”，Ｊａｐａｎｅｓｅ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ，Ｖｏｌ．２８，Ｎｏ．１０，Ｏｃｔｏｂｅｒ，１９８９，ｐｐ．２０５８−２０６４、１９８９年１０月２０日発行』）には、ナノメータ素子製造用マルチビーム法に関して、下記の事項が記載されている。
　「§３．マルチビーム法によるナノメータパターン検査器
　電子ビームによるナノメータパターンの欠陥検査の物理的特性を評価する際に、電子の統計学的性質によりスループット（処理量）の問題が起こる。・・・中略・・・
　スループットを向上させるために、マルチビームを使った電子ビーム技術が提案されている。この方法は、何本かのビームが平行に試料を走査し、それぞれのビームが二次電子を発生する（図１１）。（図１１には一次電子ＰＥ（ｐｒｉｍａｒｙ　ｅｌｅｃｔｒｏｎ）に対応したビームのみが図示されているが、マスク／ウエハー上に線源および対応するプローブも幾つか示してある）。それぞれの主ビームは、走査型電子顕微鏡におけるビームと等価である。櫛の歯状のビームが、試料と電極の間に電圧Ｖをかけた減速界浸レンズ（ｄｅｃｅｌｅｒａｔｉｎｇ　ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ　ｌｅｎｓ）により試料上に合焦する。次に、この電圧により、それぞれのプローブで入射ビームの反対方向に生成される二次電子ＳＥが加速される。照明された部分の拡大像が電子光学鏡筒（ｅｌｅｃｔｒｏｎ−Ｏｐｔｉｃａｌ　ｃｏｌｕｍｎ）の上部に形成される。（図１１には、いくつかの二次電子ＳＥの行路しか示さなかった）。このシステムが有する各プローブで生成された二次電子ＳＥがそれぞれに結像されるこの機能は、エミッション電子顕微鏡（ｅｍｉｓｓｏｎ　ｅｌｅｃｔｒｏｎ　ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）の場合と等価である。例えば、ウィーンフィルターのような偏向システムが、軸外に置かれた一次元検出器（ｌｉｎｅａｒ　ｉｍａｇｅ　ｓｅｎｓｏｒ）上に二次電子像を形成する。
　この検出器は、対応する主プローブにより生成された二次電子を高感度にエリア検出する。異なる主ビームにより生成された信号は、空間的に分離される。櫛形プローブでの走査と同期してリアルタイムで蓄積情報を評価するために、コンピュターへの並列インターフェイスが必要である。櫛形線源の縮小像を試料上に結像する条件と二次電子源の拡大した像を一次元検出器上に同時に結像する条件とは、二次電子線行路上に中間像を結像することと図１１上のエネルギーＥ１とＥ２とを調整することにより満足される。これらの値は、主ビーム電圧と界浸レンズの電圧により調整できる。結果として得られたスループットの向上は、主ビームの数に比例する。その実験的検証のための試みが為されている。」（第２０６２頁［§３．マルチビーム法によるナノメータパターン検査器」の項）
　甲第２号証（『Ｈ．Ｒｏｓｅ著、“Ｔｈｅ　ｒｅｔａｒｄｉｎｇ　Ｗｉｅｎ　ｆｉｌｔｅｒ　ａｓ　ａ　ｈｉｇｈ−ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ　ｉｍａｇｉｎｇ　ｆｉｌｔｅｒ”，Ｏｐｔｉｋ　Ｖｏ１．７７，Ｎｏ．１，１９８７，２６−３４、１９８７年８月発行』）には、高性能結像フィルタとしての遅延Ｗｉｅｎフィルターに関して、下記の事項が記載されている。
　「要約
　遅延Ｗｉｅｎフィルターは、８０ｋＶ以下の領域での結像型電子電子分光において現在使われているＣａｓｔａｉｎｇ−Ｈｅｎｒｙフィルターの有望な代替手段となり得る。標準Ｗｉｅｎフィルターの直交した電気・磁気双極子場に、適切に選別した電気・磁気４極場と６極場を重ねることにより、システムは、公称エネルギーを持った電子に対して、３次収差まで球面レンズと同様に振舞う。一方、このフィルターは、公称エネルギーと異なる電子に対しては、球面レンズと回折素子の組合わせのように振舞う。エネルギー選別面で、高いエネルギー分散を得るためには、フィルターは、遅延静電レンズと加速静電レンズとの間に配置されねばならない。もし物体の中間像がフィルターの中央にあるとき、倍率の色収差と分散が無くなる。実際に使われるであろう２つの特別なシステムが詳しく検討される。」（第２６頁要約の項）
　「１．序論
　１９４９年にＧ．Ｍｏｌｌｅｎｓｔｅｄｔは、もし入射ビームがレンズの周辺ゾーンを通過するならば、静電レンズは非常に高感度なエネルギー分析器として使えることを証明した［１］。・・・中略・・・最近、分光器が固定ビーム電子顕微鏡（ＦＢＥＭ）の結像エネルギーフィルターとして盛んに使われるようになった。理想的なフィルターは、公称エネルギーＥｏの透過電子に対しては球面レンズ（ｒｏｕｎｄ　ｌｅｎｓ）のように、エネルギーがＥｏから変化した電子に対しては球面レンズとプリズムとの組合わせのように働く必要がある。さらに、エネルギーの選択は等色（ｉｓｏｃｈｒｏｍａｔｉｃ）つまり、選択されたエネルギーが物体の軸外の位置に依存しないという必要がある。この等色性（ｉｓｏｃｈｒｏｍａｔｉｃ）は、全ての２次の収差が除去されるか、または十分に抑えられるという条件が成り立てば、直進型フィルター（ｓｔｒａｉｇｈｔ−ｖｉｓｉｏｎ　ｆｉｌｔｅｒ）により満足させることができる。
　・・・中略・・・
　Ｗｉｅｎフィルターが未だ結像エネルギーフィルターとして使われていないことにはびっくりする。もし、顕微鏡への応用で、近軸光束（Ｇａｕｓｓｉａｎ　ｒａｙ　ｐａｔｈ）に影響を与えず、像面にも、エネルギー選別面にも新たな２次収差を発生させないような遅延Ｗｉｅｎフィルターの設計ができれば、Ｃａｓｔａｉｎｇ−Ｈｅｎｒｙフィルターの有望な代替手段として使われるだろう。これゆえ、Ｗｉｅｎフィルターの電子光学特性と結像エネルギーフィルターとしての適正について、以下に調査する。」（第２６頁乃至第２７頁「１．序論」の項）
　「４．結論
　我々は、遅延ＷｉｅｎフィルターがＣａｓｔａｉｎｇ−Ｈｅｎｒｙフィルターの改善された代替手段として設計できることを示した。不幸にも、有害な２次収差を除去するために必要な補正条件は、フィルターの端近くの場に於いては満足されなかった。しかし、残留収差が像品質やエネルギー分解能に影響しないようにフィルターの端近くの場（ｆｒｉｎｇｉｎｇ　ｆｉｅｌｄ）を適切に形成することは可能だろう。・・・中略・・・このフィルターは、良く補正されたエネルギー分光器および／または高分解能電子分光用分析器（ａｎａｌｙｓａｔｏｒ　ｆｏｒ　ｈｉｇｈ−ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ　ｅｒｅｃｔｒｏｎ　ｓｐｅｃｔｒｐｓｃｏｐｙ）として使うことができる。」（第３４頁「４．結論」の項）
４．対比・判断
　上記「３．甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明」の項で摘記したとおり、甲第１号証には、マルチビーム法によるナノメータパターン検査器に関して、軸外に置かれた一次元検出器（ｌｉｎｅａｒ　ｉｍａｇｅ　ｓｅｎｓｏｒ）上に二次電子像を形成するために、ウィーンフィルターのような偏向システムを使用することができることが、また、甲第２号証には、高性能結像フィルタとしての遅延Ｗｉｅｎフィルターに関して、遅延ＷｉｅｎフィルターがＣａｓｔａｉｎｇ−Ｈｅｎｒｙフィルターの改善された代替手段として使うことができる可能性があることが記載されているにすぎないものであって、本件特許発明の技術事項である「反射電子顕微鏡において、試料の前方に電場と磁場とより成るウィーンフィルターを配置し、該ウィーンフィルターの電場と磁場の強度を、一次電子ビームがウィーンフィルターを通過した際に偏向され、試料に垂直に入射するように、および、試料からの反射電子がウィーンフィルターを直進するような値にセットしたこと」については、甲第１号証及び甲第２号証には、記載されていないばかりでなく、示唆する記載も認めることができない。
　そして、本件特許発明は、上記技術事項によって特許明細書に記載された格別な作用効果を奏するものと認める。
　したがって、本件特許発明は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認めることができない。
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては本件特許発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件特許発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年６月２８日（１９９９．６．２８）