【事件の表示】
　特許第２６８３０９８号「エンコーダー」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
訂正を認める。
　特許第２６８３０９８号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理由】
Ｉ．手続の経緯
本件特許第２６８３０９８号発明は、平成１年５月１２日に特許出願され、平成９年８月８日に特許の設定登録がなされ、その後、ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年７月３０日に訂正請求がなされたものである。
ＩＩ．訂正の適否についての判断
　（１）訂正明細書の請求項１乃至５に係る発明
　訂正明細書の請求項１乃至５に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１乃至５に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
　「（１）偏光ビームスプリッターで分割した光束Ｒ１と光束Ｒ２を回折格子に入射せしめ、該光束Ｒ１が該回折格子で反射回折されて生じる第１回折光と該光束Ｒ２が該回折格子で反射回折されて生じる第２回折光とを干渉させて干渉光を形成し、該干渉光を光電変換することにより該光束Ｒ１及びＲ２と該回折格子の相対的な変位を検出するエンコーダーにおいて、該光束Ｒ１が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路へ向かって該第１回折光が射出し、該光束Ｒ２が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路に向かって該第２回折光が射出するよう該光束Ｒｌ及びＲ２を該回折格子に入射せしめる光学手段を有すると共に前記第１回折光と前記第２回折光を前記偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリッターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する構成としたことを特徴とするエンコーダー。
　（２）前記光束Ｒ１及びＲ２の波長をλ、前記回折格子の格子ピッチをＰとする時、前記光学手段が、前記光束Ｒ１及びＲ２をθ０＝ｓｉｎ−１（λ／２Ｐ）なる入射角θ０で前記回折格子に入射せしめることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のエンコーダー。
　（３）前記光束Ｒ１及びＲ２の波長をλ、前記回折格子の格子ピッチをＰとする時、前記光学手段が、前記光束Ｒ１及びＲ２をθ０＝ｓｉｎ−１（λ／２Ｐ）なる入射角θ０とは異なる入射角で前記回折格子に入射せしめることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のエンコーダー。
　（４）前記光学手段が、レーザーと該レーザーからのレーザー光按前記光束Ｒ１と前記光束Ｒ２とに分割する前記偏光ビームスプリッターと該偏光ビームスプリッターからの前記光束Ｒ１を反射して前記回折格子に向ける第１反射鏡と該偏光ビームスプリッターからの前記光束Ｒ２を反射して前記回折格子に向ける第２反射鏡とを有し、前記第１回折光が該第１反射鏡を介して該偏光ビームスプリッターに向けられ、前記第２回折光が該第２反射鏡を介して該偏光ビームスプリッターに向けられ．該偏光ビームスプリッターで前記第１及び第２回折光の光路が重畳せしめられることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のエンコーダ。
　（５）第１の偏光ビームスプリッターで分割した光束Ｒ１と光束Ｒ２を回折格子に入射せしめ、該光束Ｒ１が該回折格子で反射回折されて生じる第１回折光と該光束Ｒ２が該回折格子で反射回折されて生じる第２回折光とを干渉させて干渉光を形成し、該干渉光を光電変換することにより該光束Ｒ１及びＲ２と該回折格子の相対的な変位を検出するエンコーダーにおいて、該回折格子を回転物体の円周上に形成し、該光束Ｒ１が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路へ向かって該第１回折光が射出し、該光束Ｒ２が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路に向かって該第２回折光が射出するよう該光束Ｒ１及びＲ２を該回折格子上の点Ｐ１に入射せしめる第１光学手段と、該第１回折光が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路へ向かって第１再回折光が射出し、該第２回折光が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路へ向かって第２再回折光が射出するよう該第１及び第２回折光を該回転物体の回転中心に関して該点Ｐ１と略対称な位置にある該回折格子上の点Ｐ２に入射させて反射回折せしめる第２光学手段とを有し、前記第１回折光と前記第２回折光を前記第１偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後第２の偏光ビームスプリッターによって光路分離し、且つ該第１及び第２再回折光を干渉させて干渉光を形成するに際して前記第１再回折光と前記第２再回折光を前記第２偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリッターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する構成とし、該干渉光を光電変換することにより前記回転物体の回転状態を検出することを特徴とするエンコーダー。」
　（２）訂正事項
　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１中の「光束Ｒ１と光束Ｒ２を」を「偏光ビームスプリッターで分割した光束Ｒ１と光束Ｒ２を」と訂正するとともに、同請求項中の「該光束Ｒ１が該回折格子に入射するときの・・・該回折格子に入射せしめる光学手段を有することを特徴とする」を「該光束Ｒ１が該回折格子に入射するときの・・・該回折格子に入射せしめる光学手段を有すると共に前記第１回折光と前記第２回折光を前記偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリッターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する構成としたことを特徴とする」と訂正する。
　これに伴い、特許請求の範囲の請求項４中の「前記光束Ｒ１と前記光束Ｒ２とに分割するビームスプリッター」を「前記光束Ｒ１と前記光束Ｒ２とに分割する前記偏光ビームスプリッター」と訂正するとともに、同請求項中のすべての「該ビームスプリッター」を「該偏光ビームスプリッター」と訂正する。
　更に、これに伴い、明細書第７頁４行目「光束Ｒ１と光束Ｒ２を」を「偏光ビームスプリッターで分割した光束Ｒ１と光束Ｒ２を」に、また、同頁１５乃至１６行目「有することを」を「有すると共に前記第１回折光と前記第２回折光を前記偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリッターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する構成としたことを」に、それぞれ訂正する。
　訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項５中の「光束Ｒｌと光束Ｒ２を」を「第１の偏光ビームスプリッターで分割した光束Ｒ１と光束Ｒ２を」と訂正するとともに、同請求項中の「該第１及び第２再回折光を干渉させて干渉光を形成し、」を「前記第１回折光と前記第２回折光を前記第１偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後第２の偏光ビームスプリッターによって光路分離し、且つ該第１及び第２再回折光を干渉させて干渉光を形成するに際して前記第１再回折光と前記第２再回折光を前記第２偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリッターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する構成とし、」と訂正する。
　訂正事項Ｃ
　特許請求の範囲の請求項５中の「検出を測定する」を、「変位を検出する」と訂正し、また、同請求項中の「入射する時の光路とほぼ光路へ向かって」を「入射する時の光路とほぼ同じ光路へ向かって」と訂正する。
　（３）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張変更の存否
　上記訂正事項ａに関連する記載として、願書に添付した明細書（以下、特許明細書という。）の第８頁７行乃至１０行には、「光源１から出射した波長λのレーザー光束を・・・平行光束にし、この平行光束を偏光ビームスプリッター４に入射させて・・・２光束Ｒ１，Ｒ２に分割する。」と記載されており、同明細書の第９頁２行乃至第１０頁８行には、「光路Ｌ１を逆行する＋１次回折光と光路Ｌ２を逆行する−１次回折光は・・・再び偏光ビームスプリッター４にて重ねあわせられる。・・・これらの光束は・・・重なり合って射出する。重なりあった２光束は、１／４波長板７を通過して・・・この光束を非偏光ビームスプリッター９にて等光量の２光束に分割したあと、一方の光束から偏光素子１０を用いて特定の偏光成分のみを分離して取り出し、受光素子Ｓ１に入射させ、もう一方の光束から偏光素子１１を用いて特定の偏光成分のみを分離して取り出し、受光素子Ｓ２に入射させれば各受光素子Ｓ１，Ｓ２からそれぞれ周期的な信号が出力される。」と記載されている。
　そうすると、上記訂正事項ａの請求項１の訂正は、特許明細書に記載された事項の範囲内において、光路に設ける光学手段を限定したものといえるから、特許請求の範囲の減縮に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。また、上記訂正事項ａの請求項４の「前記光束Ｒ１と前記光束Ｒ２とに分割するビームスプリッター」を「前記光束Ｒ１と前記光束Ｒ２とに分割する前記偏光ビームスプリッター」と訂正するとともに、同請求項中のすべての「ビームスプリッター」を「偏光ビームスプリッター」と訂正すること、及び、上記特許明細書の発明の詳細な説明の訂正は、上記請求項１の訂正した記載との整合を図るために、明りょうでない記載の釈明を目的としてなされた訂正であって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｂに関連する記載として、特許明細書の第１１頁１７行乃至第１２頁１行には、
「この平行光束を・・・偏光ビームスプリッター面４１によって・・・２光束Ｒｌ，Ｒ２に分割し、」と記載されており、又、同明細書の第１２頁１６行乃至第１５頁１０行には、「光束Ｒ１は偏光ビームスプリッター面４１を透過した直線偏光（Ｐ偏光）であるから光束Ｒ１の＋１次回折光（Ｒ１＋）は・・・偏光ビームスプリッター面４１を透過しプリズム３１から光束（Ｒ１＋）と重なりあって出射する。・・・偏光ビームスプリッター面４２によって光束（Ｒ１＋）を光路Ｌ３に沿って進行させ光束（Ｒ２−）を光路Ｌ４に沿って進行させ、・・・光束（Ｒ１＋）の＋１次再回折光（Ｒ１＋＋）は元の光路Ｌ３を逆進し、・・・偏光ビームスプリッター面４２で反射され、・・・一方、光束（Ｒ２−）の−１次再回折光（Ｒ２−−）は・・・偏光ビームスプリッター面４２を透過して＋１次再回折光（Ｒｌ＋＋）と重なりあってプリズム３２を出射する。重なりあった２光束は１／４波長板７３を通過することにより・・・この光束を非偏光ビームスプリッター９にて等光量の２光束に分割した後、一方の光束を偏光素子１０を用いて特定の偏光成分のみを分離してとりだして受光素子Ｓ１に入射させ、もう一方を偏光素子１１を用いて特定の偏光成分のみを分離して取り出して受光素子Ｓ２に入射させれば、受光素子Ｓ１，Ｓ２からそれぞれ回転ディスク板５の回転量に応じた周期的な信号が出力される。」と記載されている。
　そうすると、上記訂正事項ｂは、特許明細書に記載された事項の範囲内において、光路に設ける光学手段を限定したものといえるから、特許請求の範囲の減縮に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｃは、請求項５の「検出を測定する」及び「入射する時の光路とほぼ光路へ向かって」が文として意味を成さない明らかな誤記であるので、それぞれ「変位を検出する」及び［入射する時の光路とほぼ同じ光路へ向かって」と訂正したものであるから、上記訂正事項ｃは、誤記の訂正を目的としてなされた訂正であって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　（４）独立特許要件
　（引用刊行物）
　訂正明細書の請求項１乃至５に係る発明の特許に対して、当審が通知した取消理由で引用した刊行物１（特開昭５９−１６３５１７号公報）には、反射形のスケールを用いて可干渉光の回折光の干渉を利用してスケールの移動量を測定し、位相差板による光の位相遅れを利用してスケールの移動方向を測定することができるようにした光学式スケール読取装置に関して、下記の事項が図面とともに記載されている。
　「第３図は本発明の一実施例を示す構成図である。図において、２０は可干渉性光源、Ｌ２１はレンズ、Ｍ２１は複数の回折光を同一方向に導くハーフミラー、２１はスケール、２２は第１の位相差板、Ｍ２２は反射回折光を２方向に分離させるビームスプリッタ、２３は第１の偏光板、２４は第２の位相差板、２５は第２の偏光板、ＰＤ１、ＰＤ２は受光素子、・・・中略・・・可干渉性光源２０としては例えば半導体レーザが用いられ、位相差板２２，２４としては例えばハーフミラーが用いられ、・・・中略・・・一方、ハーフミラーＭ２２を通過した光は１／４波長板２４を通過する。このとき、該波長板の遅軸を＋１次（または−１次）に一致させると、＋１次（または−１次）が−１次（または＋１次）に対し位相が９０゜遅れる。これを第２の偏光板２５を通して第１の偏光板２３と同様に＋１次，−１次回折光を干渉させると偏光板２５の通過光を受ける第２の受光素子ＰＤ２の出力もスケール２１の移動に応じて正弦波状の出力となり、ＰＤ１の出力に比べ位相が９０゜遅れる（または進む）ことになる。この位相差９０゜の出力は一般的にこの種のスケール読取装置で行われているように、増幅器２６，２７で増幅した後、波形成形回路２８で波形成形し、演算回路２９で所望の分割能に分割し、方向を弁別してカウンタ３０で計数しスケールの移動距離として表示するか又は帰還してスケールの位置制御用に用いられる。」（第３頁左上欄１０行乃至第４頁左上欄１０行）
　また、第６図（ｅ）には、レーザからのレーザ光をビームスプリッタによって２つの光束に分割し、分割された一方の光束を反射させて回折格子に向ける第１反射鏡と、分割された他方の光束を反射させて回折格子に向ける第２反射鏡とを有し、回折格子で回折された第１回折光を第１反射鏡を介して該ビームスプリッタに向け、回折格子で回折された第２回折光を第２反射鏡を介して該ビームスプリッタに向けて、ビームスプリッタで前記第１及び第２回折光の光路を重畳させる光学系を採用することが見てとれる。（第６図（ｅ）参照）
　同じく引用した刊行物２（特開昭６１−６６９２６号公報）には、ロータリーエンコーダーに関して、下記の事項が図面とともに記載されている。
　「円板の周囲上に格子模様を複数個等角度に配置した放射格子と前記放射格子と連結した回転物体と前記放射格子に光束を入射させる為の第１の照明手段と前記放射格子に入射した前記光束からの回折光のうち特定の次数の２つの回折光を前記第１の照明手段による光束の前記放射格子上の入射位置に対する前記回転物体の回転中心と略点対称の位置に各々１／４波長板を介して再度入射させる為の第２の照明手段と前記放射格子により再度回折された特定の次数の２つの回折光を重ね合わせた後、前記重ね合わせた光束を４つの光束に分割する為の光分割手段と前記光分割手段により分割された４つの光束を各々偏光方位を４５度ずつずらした４つの偏光板を介して受光する為の４つの受光手段とを有し、前記４つの受光手段からの出力信号を利用して前記回転物体の回転角度を求めたことを特徴とするロータリーエンコーダー。」（特許請求の範囲）
　（対比・判断）
　訂正明細書の請求項１に係る発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、刊行物１には、上記引用刊行物の項で摘記した事項が記載されているにすぎないものであって、訂正明細書の請求項１に係る発明を特定する技術事項である「前記第１回折光と前記第２回折光を前記偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリッターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する」ことについては、記載されていないものである。
　したがって、訂正明細書の請求項１に係る発明が刊行物１に記載された発明と同一であるとは認めることができない。
　訂正明細書の請求項２乃至４に係る発明は、上記訂正明細書の請求項１に係る発明を特定する技術事項を含むものであるから、同様に刊行物１に記載された発明と同一であるとは認めることができない。
　訂正明細書の請求項５に係る発明と刊行物１及び２に記載された発明とを対比すると、刊行物１及び２には、上記引用刊行物の項で摘記した事項が記載されているにすぎないものであって、訂正明細書の請求項５に係る発明を特定する技術事項である「前記第１再回折光と前記第２再回折光を前記第２偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリッターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する」ことについては、記載されておらず、示唆する記載も見出すことができないものである。
　そして、訂正明細書の請求項５に係る発明は、回折格子の格子ピッチが光の波長オーダーになっても干渉光を形成するための回折光を容易に取り出すことができる等の格別な作用効果を奏するものと認める。
　したがって、訂正明細書の請求項５に係る発明は、上記引用刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認めることができない。
　（５）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は特許法第１２０条の４第２項及び同条３項において準用する特許法第１２６条第２−４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
ＩＩＩ．特許異議の申立てについて
　（本件発明）
　本件請求項１乃至５に係る発明は、ＩＩ．訂正の適否についての判断の（１）訂正明細書の請求項１乃至５に係る発明の項に記載したとおりの、その特許請求の範囲の請求項１乃至５に記載された事項により特定されるものである。
　（申立ての理由の概要）
　特許異議申立人ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社は、本件請求項１乃至４に係る発明は、甲第１号証または甲第２号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反して特許されたものであるから、本件請求項１乃至４に係る発明の特許は取り消されるべきであり、また、本件請求項５に係る発明は、甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、本件請求項５に係る発明の特許は取り消されるべきである旨主張している。
　（対比・判断）
　甲第１号証（特開昭５９−１６３５１７号公報）及び甲第３号証（特開昭６１−６６９２６号公報）と本件請求項１乃至５に係る発明との対比・判断は、上記ＩＩ．訂正の適否についての判断の（４）独立特許要件の（対比・判断）の項で示したとおりである。
　甲第２号証（実願昭５５−１５７４２０号（実開昭５７−８１５１０号）のマイクロフィルム）には、回折格子を用いた位置検出器に関して、下記の事項が図面とともに記載されている。
　「移動方向に対して垂直な格子溝を有する回折格子と、該回折格子に単色平行光を垂直に入射せしめる手段と、該回折格子により生起される回折光のうち一組の同一次数の回折光をとり出して、これらを干渉せしめる手段と、該干渉光を光電変換せしめて得られる電気信号をもとに、該回折格子の移動位置を検出する手段を具備してなることを特徴とする位置検出器。」（実用新案登録請求の範囲）
　そこで、本件請求項１に係る発明と甲第２号証に記載された発明とを対比すると、甲第２号証には、本件請求項１に係る発明を特定する技術事項である「前記第１回折光と前記第２回折光を前記偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリッターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する」ことについては、記載されていないものである。
　したがって、本件請求項１に係る発明が甲第２号証に記載された発明と同一であるとは認めることができない。
　本件請求項２乃至４に係る発明は、上記本件請求項１に係る発明を特定する技術事項を含むものであるから、同様に甲第２号証に記載された発明と同一であるとは認めることができない。
　本件請求項５に係る発明と甲第２号証に記載された発明とを対比すると、甲第２号証には、本件請求項５に係る発明を特定する技術事項である
「前記第１再回折光と前記第２再回折光を前記第２偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリッターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する」ことについては、記載されておらず、示唆する記載も見出すことができないものである。
　そして、本件請求項５に係る発明は、回折格子の格子ピッチが光の波長オーダーになっても干渉光を形成するための回折光を容易に取り出すことができる等の格別な作用効果を奏するものと認める。
　したがって、本件請求項５に係る発明は、甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認めることができない。
　（むすび）
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１乃至５に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１乃至５に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年８月２７日（１９９９．８．２７）
【訂正の要旨】
　１．特許第２６８３０９８号発明の特許請求の範囲の請求項１中の「光束Ｒ１と光束Ｒ２を」とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として「偏光ビームスプリッターで分割した光束Ｒ１と光束Ｒ２を」と訂正するとともに、同請求項中の「該光束Ｒ１が該回折格子に入射するときの・・・該回折格子に入射せしめる光学手段を有することを特徴とする」を特許請求の範囲の減縮を目的として「該光束Ｒ１が該回折格子に入射するときの・・・該回折格子に入射せしめる光学手段を有すると共に前記第１回折光と前記第２回折光を前記偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリッターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する構成としたことを特徴とする」と訂正する。
　２．上記特許請求の範囲の請求項１の訂正した特許請求の範囲の減縮に伴い、特許請求の範囲の請求項４中の「前記光束Ｒ１と前記光束Ｒ２とに分割するビームスプリッター」を訂正した請求項１の記載との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的として「前記光束Ｒ１と前記光束Ｒ２とに分割する前記偏光ビームスプリッター」と訂正するとともに、同請求項中のすべての「該ビームスプリッター」を上記訂正した記載との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的として「該偏光ビームスプリッター」と訂正する。
　３．特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的として、明細書第７頁４行目の「光束Ｒｌと光束Ｒ２を」を「偏光ビームスプリッターで分割した光束Ｒｌと光束Ｒ２を」に、また、同頁１５乃至１６行目の「有することを」を「有すると共に前記第１回折光と前記第２回折光を前記偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリッターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する構成としたことを」に、それぞれ訂正する。
　４．特許請求の範囲の請求項５中の「光束Ｒ１と光束Ｒ２を」を特許請求の範囲の減縮を目的として「第１の偏光ビームスプリッターで分割した光束Ｒ１と光束Ｒ２を」と訂正するとともに、同請求項中の「該第１及び第２再回折光を干渉させて干渉光を形成し、」を特許請求の範囲の減縮を目的として「前記第１回折光と前記第２回折光を前記第１偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後第２の偏光ビームスプリッターによって光路分離し、且つ該第１及び第２再回折光を干渉させて干渉光を形成するに際して前記第１再回折光と前記第２再回折光を前記第２偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリッターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する構成とし、」と訂正する。
　５．特許請求の範囲の請求項５中の「検出を測定する」を、誤記の訂正を目的として「変位を検出する」と訂正し、また同請求項中の「入射する時の光路とほぼ光路へ向かって」を、誤記の訂正を目的として「入射する時の光路とほぼ同じ光路へ向かって」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
エンコーダー
（５７）【特許請求の範囲】
（１）偏光ビームスプリツターで分割した光束Ｒ１と光束Ｒ２を回折格子に入射せしめ、該光束Ｒ１が該回折格子で反射回折されて生じる第１回折光と該光束Ｒ２が該回折格子で反射回折されて生じる第２回折光とを干渉させて干渉光を形成し、該干渉光を光電変換することにより該光束Ｒ１及びＲ２と該回折格子の相対的な変位を検出するエンコーダーにおいて、該光束Ｒ１が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路へ向かって該第１回折光が射出し、該光束Ｒ２が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路に向かって該第２回折光が射出するよう該光束Ｒ１及びＲ２を該回折格子に入射せしめる光学手段を有すると共に前記第１回折光と前記第２回折光を前記偏光ビームスプリッターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリッターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する構成としたことを特徴とするエンコーダー。
（２）前記光束Ｒ１及びＲ２の波長をλ、前記回折格子の格子ピツチをＰとする時、前記光学手段が、前記光束Ｒ１及びＲ２をθ０＝ｓｉｎ−１（λ／２Ｐ）なる入射角θ０で前記回折格子に入射せしめるとを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のエンコーダー。
（３）前記光束Ｒ１及びＲ２の波長をλ，前記回折格子の格子ピツチをＰとする時、前記光学手段が、前記光束Ｒ１及びＲ２をθ０＝ｓｉｎ−１（λ／２Ｐ）なる入射角θ０とは異なる入射角で前記回折格子に入射せしめることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のエンコーダー。
（４）前記光学手段が、レーザーと該レーザーからのレーザー光を前記光束Ｒ１と前記光束Ｒ２とに分割する前記偏光ビームスプリツターと該偏光ビームスプリツターからの前記光束Ｒ１を反射して前記回折格子に向ける第１反射鏡と該偏光ビームスプリツターからの前記光束Ｒ２を反射して前記回折格子に向ける第２反射鏡とを有し、前記第１回折光が該第１反射鏡を介して該偏光ビームスプリツターに向けられ、前記第２回折光が該第２反射鏡を介して該偏光ビームスプリツターに向けられ、該偏光ビームスプリツターで前記第１及び第２回折光の光路が重畳せしめられることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のエンコーダ。
（５）第１の偏光ビームスプリツターで分割した光束Ｒ１と光束Ｒ２を回折格子に入射せしめ、該光束Ｒ１が該回折格子で反射回折されて生じる第１回折光と該光束Ｒ２が該回折格子で反射回折されて生じる第２回折光とを干渉させて干渉光を形成し、該干渉光を光電変換することにより該光束Ｒ１及びＲ２と該回折格子の相対的な変位を検出するエンコーダーにおいて、該回折格子を回転物体の円周上に形成し、該光束Ｒ１が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路へ向かって該第１回折光が射出し、該光束Ｒ２が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路に向かって該第２回折光が射出するよう該光束Ｒ１及びＲ２を該回折格子上の点Ｐ１に入射せしめる第１光学手段と、該第１回折光が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路へ向かって第１再回折光が射出し、該第２回折光が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路へ向かって第２再回折光が射出するよう該第１及び第２回折光を該回転物体の回転中心に関して該点Ｐ１と略対称な位置にある該回折格子上の点Ｐ２に入射させて反射回折せしめる第２光学手段とを有し、前記第１回折光と前記第２回折光を前記第１偏光ビームスプリツターから重なり合って射出させた後第２の偏光ビームスプリツターによって光路分離し、且つ該第１及び第２再回折光を干渉させて干渉光を形成するに際して前記第１再回折光と前記第２再回折光を前記第２偏光ビームスプリツターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリツターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する構成とし、該干渉光を光電変換することにより前記回転物体の回転状態を検出することを特徴とするエンコーダー。
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
　本発明はエンコーダーに関し、特に、回折格子と回折格子に入射する光束の相対的な変位を、回折格子から射出するいくつかの回折光同志を干渉させて形成した干渉光を光電変換することにより検出するエンコーダーに関する。
　〔従来技術〕
　従来より、ＮＣ工作機械等で、被検物体の位置や角度変位を検出するセンサーとしてエンコーダーが使用されている。そして、近年この種のエンコーダーに対して高分解能化と高精度化が益々要求されてきている。
　変位検出用の光学式スケールとして回折格子を用い、回折格子の記録密度を数ミクロン／ピツチにし、回折格子から射出するいくつかの回折光を互いに干渉させることでスケールの変位に応じた周期信号を得る方式の高分解能、高精度なエンコーダーが既に知られているが、更なる高精度化、高分解能化のために回折格子の記録密度を波長オーダー程度に上げると、回折光の回折角度（回折格子からの射出角）が大きくなり、光学部品の配置が面倒になるという問題点が発生する。
　例えば、第６図に示す従来のエンコーダーは以下のような動作によってスケールの変位に応じた信号を発生させている。
　レーザーダイオード１からの光束をコリメータレンズ２で平行光束にして回折格子５上の点Ｐ１に垂直に入射させ、点Ｐ１から射出した＋１次反射回折光（Ｒ１＋）をミラー６を介してビームスプリツター４まで戻すと同時に点Ｐ１から射出した−１次反射回折光（Ｒ１−）をミラー６２を介してビームスプリツター４まで戻し、ビームスプリツター４を介して±１反射回折光を重ねあわせて干渉させる。回折格子５が格子１ピツチ分だけ移動するあいだに＋１次回折光の波面の位相が『２π進み』−１次回折光の波面の位相が『２π遅れる』という原理によって、２光束を干渉させて形成した干渉光で格子１ピツチの移動に応じて２周期の明暗変化が観測される。即ち回折格子５の格子本数の２倍の周期信号が取り出せる。
　しかしながら、前述したように、回折格子５の記録密度（ピツチ）が細かくなるほど回折光の回折角が大きくなるので、回折格子５から射出する回折光の射出角が９０゜近くなる。従って、回折格子５に接触しないようにミラー６１，６２を回折格子５の近傍に設置しなければならず、このような設置は極めて面倒である。更に、回折格子の格子ピッチをレーザーダイオード１からの光束の波長以下にすると、回折光が取り出せなくなり、回折格子５の変化を検出することすら不可能になる。
〔発明の概要〕
　本発明の目的は、上記従来の問題点を解消し、高分解能化を容易に行なうことが可能なエンコーダーを提供することにある。
　この目的を達成するために、本発明のエンコーダーは、偏光ビームスプリッターで分割した光束Ｒ１と光束Ｒ２を回折格子に入射せしめ、該光束Ｒ１が該回折格子で反射回折されて生じる第１回折光と該光束Ｒ２が該回折格子で反射回折されて生じる第２回折光とを干渉させて干渉光を形成し、該干渉光を光電変換することにより該光束Ｒ１及びＲ２と該回折格子の相対的な変位を検出するエンコーダーにおいて、該光束Ｒ１が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路へ向かって該第１回折光が射出し、該光束Ｒ２が該回折格子に入射する時の光路とほぼ同じ光路に向かって該第２回折光が射出するよう該光束Ｒ１及びＲ２を該回折格子に入射せしめる光学手段を有すると共に前記第１回折光と前記第２回折光を前記偏光ビームスプリツターから重なり合って射出させた後１／４波長板を通過させ、非偏光ビームスプリツターにて分割しておのおのから偏光素子によって特定の偏光成分を取り出して検出する構成としたことを特徴としている。
　本発明の更なる特徴と具体的な形態は後述する実施例に記載されている。
〔実施例〕
　第１図は本発明の一実施例を示す概略図であり、同図において１はレーザーダイオードから成る光源、２はコリメーターレンズ、４は偏光ビームスプリツター、５はピツチＰを有する回折格子、６１，６２はミラー、７は１／４波長板、９は非偏光ビームスプリツター、１０と１１は偏光素子（偏光板や偏光ビームスプリツターなど）、Ｓ１，Ｓ２は受光素子である。光源１から出射した波長λのレーザー光束をコリメーターレンズ２によって平行光束にし、この平行光束を偏光ビームスプリッター４に入射させて互いに偏光方位が直交した２光束Ｒ１，Ｒ２に分割する。ここで、光束Ｒ１は偏光ビームスプリツター４で反射したＳ偏光光であり、光束Ｒ２は偏光ビームスプリツター４を透過したＰ偏光光である。光束Ｒ１はミラー６１を介して形成された光路Ｌ１を進行して、光束Ｒ２はミラー６２を介して形成された光路Ｌ２を進行する。そして、光束Ｒ１及びＲ２は各々１／４波長板７を通過した後、回折格子５上の点Ｐ１に入射角θ０［＝ｓｉｎ−１（λ／２ｐ）］で入射し、光束Ｒ１及びＲ２が回折格子５で反射回折されて得られる、光束Ｒ１の＋１次回折光（Ｒ１＋）と光束Ｒ２の−１次回折光（Ｒ２−）がそれぞれ１／４波長板７を介して元の光路Ｌ１，Ｌ２に向かう。光路Ｌ１を逆行する＋１次回折光と光路Ｌ２を逆行する−１次回折光は各々ミラー６１，６２で反射して偏光ビームスプリツター４に向けられ、再び偏光ビームスプリツター４にて重ねあわせられる。＋１次回折光は１／４波長板７の作用でＰ偏光光と成っており、又、−１次回折光は１／４波長板７の作用でＳ偏光光と成っているので、これらの光束は何ら損失なく偏光ビームスプリツター４から重なり合って射出する。重なりあった２光束は、１／４波長板７を通過して互いに偏光面が逆向きに回転する円偏光となるので、この互いに逆回りの円偏光光同志が合成された光束の偏光状態は直線偏光となる。この光束の偏光方位は回折格子５の変位に応じて変化する光束（Ｒ１＋）と光束（Ｒ２−）との波面の位相差によって決まり、位相差が０，１／４π，２／４π，３／４π，４／４π，５／４π，…，８／４πと変化していくあいだに、この直線偏光光束の偏光方位は、４５゜，６７．５゜，９０゜，１１２．５゜，１３５゜，１５７．５゜，…，２２５゜（４５゜）と回転していく。そこで、この光束を非偏光ビームスプリツター９にて等光量の２光束に分割したあと、一方の光束から偏光素子１０を用いて特定の偏光成分のみを分割して取り出し、受光素子Ｓ１に入射させ、もう一方の光束から偏光素子１１を用いて特定の偏光成分のみを分離して取り出し、受光素子Ｓ２に入射させれば各受光素子Ｓ１，Ｓ２からそれぞれ周期的な信号が出力される。ここで偏光素子１０，１１で取り出す偏光成分の方位を互いに４５゜ずらしておけば、受光素子Ｓ１，Ｓ２に入射する干渉光の明暗変化のタイミングが互いに１／４周期（出力信号の位相で１／２π）だけずれる。従って、これらの互いに９０゜位相がずれた２相の周期信号を電気的に増幅、２値化をして処理することにより回折格子５の変化量及び変位方向を検出することができる。この検出方法に関しては周知の技術であるので、本願で具体的に説明することは省略する。
　本エンコーダーによれば、たとえ回折格子５のピツチが光源１からの光束の波長λと等しくなったとしても、光束Ｒ１及びＲ２の入射角θ０＝３０゜、±１次回折光（Ｒ１＋，Ｒ２−）の射出角
〜
　第２図は本発明をロータリーエンコーダーに適応した第２実施例を示す斜視図であり、同図において、１はレーザーダイオードから成る光源、２はコリメーターレンズ、３１，３２はプリズム、４１，４２はプリズム３１，３２中の偏光ビームスプリツター面、５は回転デイスク板（回折格子）、６３，６４，６５，６６はミラー、７１，７２，７３は１／４波長板、８は１／２波長板、９は非偏光ビームスプリツター、１０，１１は偏光素子（例えば偏光板や偏光プリズム）、Ｓ１，Ｓ２は受光素子である。
　光源１から射出した波長λのレーザー光束をコリメーターレンズ２によって平行光束にし、この平行光束をプリズム３１に入射させてプリズム３１の所定箇所に設けたミラー面や偏光ビームスプリツター面４１によって対称な光路Ｌ１，Ｌ２に沿って進む２光束Ｒ１，Ｒ２に分割し、各々の光束Ｒ１，Ｒ２をミラー６３で反射せしめて１／４波長板７１を通過させてから回転デイスク板５上に設けた格子ピツチＰの放射状回折格子の第１の点（Ｐ１）に同時に入射させる。ここで、回折格子で回折して点Ｐ１から射出する複数の回折光のうち光束Ｒ１の＋１次反射回折光と光束Ｒ２の−１次反射回折光が各々元の光路Ｌ１，Ｌ２を逆進する方向に出射するようにあらかじめ光束Ｒ１，Ｒ２の入射角θ０をθ０＝ｓｉｎ−１（λ／２Ｐ）に設定しておく。また光束Ｒ１とＲ２は、偏光ビームスプリツター面４１で分割された時点で偏光面が互いに直交した直線偏光になっているが、１／４波長板７１を往復通過することで光束Ｒ１とＲ２の偏光面が入れ替わる。この１／４波長板７１の作用は第１図の実施例の２つの１／４波長板７のそれと同様であり、光束Ｒ１は偏光ビームスプリツター面４１を透過した直線偏光（Ｐ偏光）であるから光束Ｒ１の＋１次回折光（Ｒ１＋）は１／４波長板７１を介してＳ偏光となり、偏光ビームスプリツター面４１で反射しプリズム３１から出射する。また光束Ｒ２は偏光ビームスプリツター面で反射した直線偏光（Ｓ偏光）であるから光束Ｒ２の−１次回折光（Ｒ２−）は１／４波長板７１を介してＰ偏光となり、偏光ビームスプリツター面４１を透過しプリズム３１から光束（Ｒ１＋）と重なりあって出射する。光束Ｒ１の＋１次回折光（Ｒ１＋）と光束Ｒ２の−１次回折光（Ｒ２−）は、重なりあったままプリズム３のミラー６４，６５により伝送され１／２波長板８を透過してプリズム３２に入射する。そして、プリズム３２の所定箇所に設けたミラー面や偏光ビームスプリツター面４２によって光束（Ｒ１＋）を光路Ｌ３に沿って進行させ光束（Ｒ２−）を光路Ｌ４に沿って進行させ、各々ミラー６６で反射せしめて１／４波長板７２を通過させた後に回転デイスク板５上に設けた放射状回折格子の第２の点（Ｐ２）に角度θ０で入射させる、ここで、１／２波長板８は＋１次回折光（Ｒ１＋）の偏光面をＳ偏光からＰ偏光に変換し、−１次回折光（Ｒ２−）の偏光面をＰ偏光からＳ偏光に変換している。また、点Ｐ１とＰ２は回転デスク板５の回転軸０に対して対称な位置関係に設定しておく。回折格子で反射回折して点Ｐ２より出射した複数の反射回折光のうち、光束（Ｒ１＋）の＋１次再回折光（Ｒｌ＋＋）は元の光路Ｌ３を逆進し、１／４波長板７２を再び通過してＳ偏光になりプリズム３２内の偏光ビームスプリツター面４２で反射されプリズム３２を射出する。一方、光束（Ｒ２−）の−１次再回折光（Ｒ２−−）は元の光路Ｌ４を逆進し１／４波長板７２を再び透過してＰ偏光になりプリズム３２内の偏光ビームスプリツター面４２を透過して＋１次再回折光（Ｒｌ＋＋）と重なりあってプリズム３２を出射する。重なりあった２光束は１／４波長板７３を通過することにより互いに偏光面が逆向きに回転する円偏光となるので、この互いに逆回りの円偏光同志が合成された��束の偏光状態は直線偏光となる。この直線偏光光束の偏光方位は、回転デイスク板５の回転に応じて変化する＋１次再回折光（Ｒｌ＋＋）と−１次再回折光（Ｒ２−一）の波面の位相差によって決まり、位相差が０，π／４，２π／４，３π／４，４π／４，５π／４，…，８π／４と変化していくあいだに直線偏光光束の偏光方位は４５゜，６７．５゜，９０゜，１１２．５゜，１３５゜，１５７．５゜，…，２２５゜（４５゜）と回転していく。そこで、この光束を非偏光ビームスプリツター９にて等光量の２光束に分割した後、一方の光束を偏光素子１０を用いて特定の偏光成分のみを分離してとりだして受光素子Ｓ１に入射させ、もう一方を偏光素子１１を用いて特定の偏光成分のみを分離して取り出して受光素子Ｓ２に入射させれば、受光素子Ｓ１，Ｓ２からそれぞれ回転デイスク板５の回転量に応じた周期的な信号が出力される。ここで偏光素子１０と１１で取り出す偏光成分を互いに４５゜ずらしておけば、受光素子Ｓ１，Ｓ２に入射する干渉光の明暗変化のタイミングが互いに１／４周期（出力信号の位相でπ／２）だけずれる。従って、第１図の実施例同様、これらの互いに９０゜位相がずれた２相の周期信号を電気的な増幅や二値化の処理をしてやれば、回転デイスク板５の回転角度や回転方向を検出することができる。
　本ロータリーエンコーダーにおいても、回転デイスク板５の放射状回折格子のピツチが光源１からの光束の波長λと等しくなったとしても、光束Ｒ１及びＲ２の点Ｐ１及びＰ２に対する入射角を３０゜程度にすることができ、また、±１次回折光及び±１次再回折光の射出角も３０゜程度にすることができる。従って、光学系の配置に制約を受けることなく高分解能なエンコーダーを作成することが可能である。
　更に、本ロータリーエンコーダーは光束Ｒ１及びＲ２を回転デイスク板５上に互いに対称な点Ｐ１，Ｐ２で回折させているので、回転デイスク板５の回転中心０と放射状回折格子の中心（放射中心）の偏心の影響を軽減させた、高精度の回転状態の検出を達成している。
　また、プリズム３１からプリズム３２へ伝送される±１次回折光の光路がほぼ共通であるため、周囲の温度変動により互いに光路長差が大きく生じることがなく、極めて安定した検出が行なえる。
　以上の実施例の説明で回折光の次数として＋１次や−１次を用いているが、本願では、±符号は第５図（Ａ），（Ｂ）に示すように、回折格子５の移動方向と光束の進行方向がずらされる方向が一致するほうを＋、それと逆の場合を−としている因みに、第５図（Ａ）は第６図の従来例における入射光と回折光の状態を模式的に表わしており、第５図（Ｂ）は第１図の第１実施例における入射光（Ｒ２）と回折光の状態を表わしている。両図を比較すると明らかな通り、従来例では入射光の光路とは全くはずれた光路に向かって射出する±１次回折光を用いているのに対し、本発明では入射光の光路とほぼ同一（同一或はその近くの光路）の光路に向かって射出する−１次回折光を用いている。このような形にすることで前述した効果を生むのである。上記各実施例のエンコーダーで用いた回折光の次数１はあくまでも一例であって２次でもそれ以上でもよいことは言うまでもない。また、上記各実施例で２次以上の回折光を用いれば更に分解能を高めた変位の検出が可能になる。このようなことは後述する他の実施例に対しても当てはまる。
　本発明では、干渉光を形成する回折光として反射回折光を用いる。従って、回折格子としては反射率の高いものが有用である。上記各実施例で用いた回折格子はガラス基板上にクロム等から成る光反射部を周期的に並べた、所謂振幅型回折格子であるが、ガラスやプラスチツクなどに周期的な溝を形成して凹凸部にＡｌ等の反射膜を施した、所謂位相型回折格子を使用しても良い。この位相型回折格子は量産性に優れ、また±１次回折光の回折効率を上げることができるので、本発明のエンコーダーに好適である。
　第３図及び第４図は各々第１及び第２図の実施例の光学系の光路を一部変更したものである。　第３図は、回折格子５に入射する光束Ｒ１，Ｒ２の入射角を第１図の場合からわずかに変えて往路の光路（Ｌ１，Ｌ２）と復路の光路（Ｌ５，Ｌ６）をわずかにずらしたもので、基本構造は第１図の光学系と等しい。第１図において点Ｐ１から射出した光束Ｒ１の＋１次反射回折光と光束Ｒ２の正反射光（零次回折光）は同一光路Ｌ１を進行し、互いに偏光面の違によって偏光ビームスプリツター４で光束Ｒ１の＋１次回折光のみ反射されるはずであるが、光学部品の不完全さによっては、光束Ｒ２の正反射光も偏光ビームスプリツター４でわずかに反射され受光素子Ｓｌ，Ｓ２側へ導びかれ、ゴースト光（ノイズ）になってしまう。また、光束Ｒ１の正反射光（零次回折光）が−１次反射回折光の光路Ｌ２を経て偏光ビームスプリツター４をわずかでも透過すると同様にゴースト光になってしまう。そこで第３図でＬ１，Ｌ２，Ｌ５，Ｌ６に示すように光路を設定しておけば、上記のゴースト光の光路と干渉光を形成する所望の回折光の光路が互いにずれるので、ゴースト光の受光素子Ｓ１，Ｓ２への入射を免れることができる。
　第４図は回転デイスク板５に入射する光束Ｒ１，Ｒ２の入射角を第２図の場合からわずかに変えて往路の光路（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４）と復路の光路（Ｌ５，Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８）をわずかにずらしたもので、基本的には第２図のエンコーダーと全く同じ光学部品を使用できる。第２図において点Ｐ１から射出した光束Ｒ１の＋１次回折光（Ｒ１＋）と光束Ｒ２の正反射光（零次回折光）は同一光路Ｌ１を進行し、偏光ビームスプリツター面４１にて互いの偏光面の違いによって光束Ｒ１の＋１次回折光（Ｒ１＋）のみ反射されるはずであるが、光学部品の不完全さによっては、光束Ｒ２の正反射光の一部も偏光ビームスプリツター面４１で反射され伝送されてしまうので上述の通りゴースト光（ノイズ）が発生することがある。光束Ｒ１の正反射光（零次回折光）、点Ｐ２から射出する光束（Ｒ１＋）の正反射光（零次再回折光）、及び光束（Ｒ２−）の正反射光（零次再回折光）も同様である。ところが、第４図でＬ１，Ｌ２，Ｌ５，Ｌ６，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ７，Ｌ８に示すように光路を設定しておけば上記のゴースト光の光路が干渉光を形成する回折光の光路からずれるので、ゴースト光の受光素子Ｓ１，Ｓ２への入射を免れることができる。
〔発明の効果〕
　以上説明したように、回折格子に入射させる２つの光束の入射角を適切に設定して、所望の回折光を実質的に元の光路（入射時の光路）に戻すことで、回折格子の格子ピツチが光の波長オーダーになっても干渉光を形成するための回折光を容易に取り出すことができる。従って、高精度、高分解能なエンコーダーが実現される。更に、回折格子に光束を導く光学部品と回折格子から生じた所望の回折光を取り出す光学部品を共用できるので、回折格子の読み取り光学系が非常に簡単かつ小型にまとまるといった効果がある。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明の一実施例を示す概略図。第２図は本発明のロータリーエンコーダーへ適応した第２実施例を示す斜視図。第３図及び第４図は各々第１図及び第２図の実施例の変形例を示す図。第５図（Ａ），（Ｂ）は回折光の回折次数の符号を説明するための説明図。第６図は回折光の干渉を利用した従来のエンコーダーを示す説明図。
１……光源
２……コリメーターレンズ
３，３１，３２……プリズム
４……偏光ビームスプリツター
４１，４２……偏光ビームスプリツター面
５……回折格子または回転デイスク板
６１，６２，６３，６４，６５，６６……ミラー
７，７１，７２，７３……１／４波長板
８……１／２波長板
９……非偏光ビームスプリツター
１０，１１……偏光素子
Ｓ１，Ｓ２……受光素子