【事件の表示】
　特許第２８５００１８号「半導体基板の連続処理システム」の請求項１〜５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８５００１８号の請求項１〜５に係る特許を維持する。
【理　由】
１．[事件の経緯と本件発明]
　本件特許第２８５００１８号（請求項の数５、以下、「本件特許」という）は、平成元年６月３０日に出願された特願平１−１６８３３３号に係り、平成１０年１１月１３日に設定登録されたが、表記特許異議申立人より、全請求項に関して特許異議の申立があったもので、当該各請求項に係る発明は、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１〜５に、それぞれ記載された事項によって特定される次のとおりのものと認める。
【請求項１】「半導体基板にそれぞれ所定の加工を行う各プロセス加工部（５）を、該半導体基板の搬送機構（４）で結合し、該半導体基板の連続処理を行うシステムにおいて、前記各プロセス加工部（５）は、搬送機構（４）と該プロセス加工部（５）との間で半導体基板の移載を行う移載機構（１１）と、該半導体基板の識別を行うウェハ識別部（１３）と、該半導体基板の一時的収納を行うバッファ部（１２）と、から成るインタフェース部（６）を介して搬送機構（４）と結合し、　搬送機構（４）に結合しており、プロセス加工中の半導体基板を一時的に収納するために、該半導体基板を収納するためのウェハ収納部（１５）と、該ウェハ収納部（１５）と搬送機構（４）との間で半導体基板の移載を行う移載機構（１４）と、該半導体基板の識別を行うウェハ識別部（１６）と、該半導体基板の搬入・搬出が可能なキャリア搬入／搬出部（１７）と、から成るストッカ（７）と、
　前記搬送機構（４）の搬送を制御する搬送制御部（９）と、前記プロセス加工部（５）と、インタフェース部（６）と、ストッカ（７）と、搬送制御部（９）との間において、それぞれと通信し制御するシステム制御部（１０）とを備え、
　インタフェース部（６）のバッファ部（１２）は、半導体基板を収納すると同時に該インタフェース部（６）と着脱可能で該半導体基板の運搬を行うためのキャリアで構成し、
　ストッカ（７）のキャリア搬入／搬出部（１７）は、さらに、前記キャリアの着脱が可能であることを特徴とする半導体基板の連続処理システム。」
（この請求項１に係る発明を、以下、「本件発明」という）
【請求項２】「前記搬送機構（４）結合しており、各プロセス加工部（５）で処理した半導体基板を検査する検査装置（８）を備えていることを特徴とする請求項１記載の半導体基板の連続処理システム。」
【請求項３】「前記搬送機構（４）によって半導体基板を搬送し、
　システム制御部（１０）が、プロセス加工部（５）と、インタフェース部（６）と、ストッカ（７）と、搬送制御部（９）と、の間で通信し制御することによって、該システム制御部（１０）に予めプログラムした手順にしたがい各プロセス加工部（５）に半導体基板を搬送し、該半導体基板の連続処理を行い、
　半導体基板を次工程のプロセス加工部（５）へ搬送する場合に、該次工程が半導体基板の受け入れ容量を超える時は、該半導体基板をストッカ（７）へ搬送し、該ストッカ（７）では該半導体基板をウェハ識別部（１６）で個別識別した後にウェハ収納部（１５）に収納し、
　前記次工程が半導体基板の受け入れを可能とした時は、システム制御部（ｌ０）のプログラムにしたがって順にストッカ（７）のウェハ収納部（１５）から半導体基板を搬出し、ウェハ識別部（１６）で個別識別した後に該次工程に搬送し、
　前記各プロセス加工部（５）における各半導体基板の加工処理の優先順は、システム制御部（１０）がインタフェース部（６）と通信することによって決定し、該決定は、該インタフェース部（６）のウェハ識別部（１３）で個別識別しその後バッファ部（１２）に収納した半導体基板のうち、該システム制御部（１０）のプログラムにしたがって順に行うこと、
　を特徴とする請求項１記載の半導体基板の連続処理システム。」
【請求項４】「前記各プロセス加工部（５）は、各々同種の処理を行う複数個（５‐１１）（５‐１２）・・・が備えられており、次工程のプロセス加工部（５）への半導体基板の搬送は、同種の複数プロセス加工部（５‐１１）（５‐１２）・・・のうち、該複数のプロセス加工部のそれぞれと結合するインタフェース部（６）のバッファ部（１２）の空き容量が大きいプロセス加工部を選択して行うことを特徴とする請求項１記載の半導体基板の連続処理システム。」
【請求項５】「通常時は、請求項３の通りに作動し、
　他方、搬送機構（４）の故障時およびメンテナンス時には、半導体基板を該搬送機構（４）によらずに運搬し、
　システム制御部（１０）がプロセス加工部（５）と、インタフェース部（６）と、ストッカ（７）と、の間で通信し制御することによって、該システム制御部（１０）に予めプログラムした手順にしたがい各プロセス加工部（５）にキャリア単位での半導体基板の運搬を指示し、該半導体基板の連続処理を行い、
　キャリアを前工程から次工程へ運搬する場合は、まずキャリアをストッカ（７）のキャリア搬入／搬出部（１７）に装着し、
　前記ストッカ（７）ではキャリア中の半導体基板をウェハ識別部（１６）で個別識別した後にウェハ収納部（１５）に一旦収納し、次にシステム制御部（１０）の指示によって前記次工程へ運搬する半導体基板のみをウェハ収納部（１５）から搬出し、ウェハ識別部（１６）で個別識別した後にキャリア搬入／搬出部（１７）に装着したキャリアに収容し、
　前記収容の完了したキャリアを搬送機構（４）によらずに前記次工程へ運搬し、
　前記各プロセス加工部（５）における各半導体基板の加工処理の優先順は、システム制御部（１０）がインタフェース部（６）と通信することによって決定し、該決定は、該インタフェース部（６）のウェハ識別部（１３）で個別識別しその後バッファ部（１２）に収納した半導体基板のうち、該システム制御部（１０）のプログラムにしたがって順に行うこと、
　を特徴とする請求項１記載の半導体基板の連続処理システム。」
　
２．[特許異議申立に係る証拠と申立理由の概要]
　これに対し、特許異議申立人が提出した証拠は、次のとおりである。
甲第１号証：特開平２−２６５２５５号公報　　
甲第２号証：特開昭６２−２８６２４２号公報
　上記の各証拠に基づいて、特許異議申立人は、次の理由イ及びロの旨を主張している。
　理由イ　本件発明及び本件請求項２〜５のいずれの発明も、本件特許に係る出願前に出願され、本件特許に係る出願より後に出願公開された特許出願（特願平１−８７４６６号、上記甲第１号証は、当該特許出願に係る公開公報である）の、願書に最初に添付した明細書または図面に記載された発明（以下、「先願発明」という）と同一であり、しかも、上記本件各発明の発明者が先願発明の発明者と同一でなく、また、本件特許に係る出願時において、本件特許に係る出願人が上記先の特許出願の出願人と同一でもない。したがって、上記の本件各発明に係る本件特許は、特許法第２９条の２の規定に違反して受けたものであるから、これを取り消すべきである。
  理由ロ　本件発明及び本件請求項２〜５のいずれの発明も、本件特許に係る上記出願日より前に頒布された刊行物である、甲第２号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたもので、本件特許は特許法第２９条第２項の規定に違反して受けたものであるから、これを取り消すべきである。
　
３．［当審の判断］
　（１）理由イについて
　本件発明においては、各プロセス加工部（５）と搬送機構（４）との間に介在して、当該加工部と搬送機構とを結合する、「搬送機構（４）と該プロセス加工部（５）との間で半導体基板の移載を行う移載機構（１１）と、該半導体基板の識別を行うウェハ識別部（１３）と、該半導体基板の一時的収納を行うバッファ部（１２）と、から成るインタフェース部（６）」と、
「搬送機構（４）に結合しており、プロセス加工中の半導体基板を一時的に収納するために、該半導体基板を収納するためのウェハ収納部（１５）と、該ウェハ収納部（１５）と搬送機構（４）との間で半導体基板の移載を行う移載機構（１４）と、該半導体基板の識別を行うウェハ識別部（１６）と、該半導体基板の搬入・搬出が可能なキャリア搬入／搬出部（１７）と、から成るストッカ（７）」、
とが、本件発明の特徴的な構成をなすと共に、本件発明は、当該構成を備えることによって、明細書記載の作用効果を奏することが可能となるものであることは、上記１．における特許請求の範囲の認定と、特許明細書及び図面の記載から明らかである。　　　
　これら本件発明の特徴的な構成に関して、特許異議申立人は、甲第１号証に開示された、測定部（４０）及び処理部（５０、６０、７０）と移動部（１０）との間でウエハを受け渡す「ウエハハンドラー（８０）」が、本件発明の上記「インタフェース部」と「同等」のものであるとし、同じく、「移動部（１０）とキャリアストッカ（３０）との間でウエハを搭載したキャリアカセットの受け渡しを行う構成」が、上記本件発明の「ストッカ」に「相当」するものとしている。（特許異議申立書第２２頁第１４〜２６行参照）
　しかし、甲第１号証記載のウエハハンドラーは、半導体基板の識別や一時的収納を行う「ウェハ識別部」及び「バッファ部」を備えておらず、したがって、単に「ウエハを受け渡す」機能しか持たないものであるから、本件発明におけるインタフェース部と同等のものといえないことは明らかであるし、同様に、甲第１号証記載のキャリアストッカも、ウェハ識別装置等を備えていない点で、本件発明の「ストッカ」に相当するものとはいえない。
  このように、甲第１号証に、本件発明の特徴的な構成である「インタフェース部」と「ストッカ」についての開示がない以上、本件発明が先願発明と同一であるとすることはできない。
  また、本件請求項２〜５の発明は、本件発明を引用するものであり、上記の特徴的な構成として指摘した「インタフェース部」や「ストッカ」に係る構成を備えるものであるから、本件発明と同様に、甲第１号証に係る先願発明と同一のものとすることはできない。
　（２）理由ロについて
  甲第２号証に記載されているものは、特許異議申立人も認めているように、ウエハを「製品別または工程別に分類する」「ウエハ分類装置」であって、「半導体基板にそれぞれ所定の加工を行う」「プロセス加工部」を開示していない点で、本件発明とは基本的な構成を異にするというばかりでなく、上記理由イについての検討で指摘した「インタフェース部」と「ストッカ」についての記載も示唆もない。
　なお、このことに関して、特許異議申立人は、甲第２号証に記載されている「バーコードリーダ（１６、１７）」は、本件発明の「ウェハ識別装置」に相当し、「予め記憶されたプログラムに従う手順によりウエハの識別及び搬送等の制御を行うこと」が、本件発明と共通する旨の主張をしている（特許異議申立書第２９頁第１４〜２３行参照）。
　確かに甲第２号証には、「ウェハ識別装置」に相当するものが記載されているといえるが、当該識別装置を搬送機構やバッファ部等と一体のものとして形成することについては全く言及がない以上、甲第２号証には、本件発明における「インタフェース部」や「ストッカ」についての記載あるいは示唆がないとみるのが相当である。
　そうすると、本件発明が、上記甲第２号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえないし、同様に、本件請求項２〜５の発明についても、上記甲第２号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
５．[むすび]
　以上のとおりであるから、特許異議申立人の主張する理由及びその提出した証拠によっては、上記本件各特許を取り消すべきものとすることはできない。
　また、他に、特許異議申立に係る本件特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年２月８日（２０００．２．８）