【事件の表示】
　特許第２５００７８８号「マスフローコントローラ装置及びその校正方法」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２５００７８８号の請求項２に係る特許を取り消す。
　同請求項１に係る特許を維持する。
【理由】
１．手続きの経緯
　本件特許２５００７８８号発明は、以下の経緯を有するものである。
平成５年１１月１１日：特許出願
平成８年３月１３日　：特許権設定登録
平成８年１１月２９日：特許異議の申立（安藤純男）
平成９年２月２４日　：取消理由通知
平成９年４月２８日　：意見書、訂正請求
平成９年１０月７日　：審尋書
平成９年１２月１６日：回答書
平成１１年４月９日　：訂正拒絶理由通知
２．訂正の適否についての判断
　上記平成９年４月２８日付けの訂正請求に対して、当審は、平成１１年４月９日付けで以下の趣旨の訂正拒絶理由を通知したが、指定した期間内に何ら意見も補正もなされていない。そして当該訂正拒絶理由の内容は依然として維持できるものである。
　したがって、上記訂正拒絶理由で通知した理由により当該訂正請求は認めることができない。
［訂正拒絶理由の趣旨］
　訂正明細書の請求項２に係る発明は刊行物１（特開平２−１９６４２３号公報）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際に独立して特許を受けることができないものである。よって、この訂正請求は特許法第１２０条の４第３項で準用する同法第１２６条第４項の規定に適合しない
３．特許異議申立についての判断
（１）請求項１及び請求項２に係る発明
　本件特許第２５００７８８号の請求項１及び請求項２に係る発明（以下、それぞれ本件発明１及び本件発明２という）は、上記のとおり訂正が認められないので、その特許明細書の特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された次の事項によって特定されるとおりのものである。
　【請求項１】真空処理室内を真空にした時の真空度と一定時間後の真空度とをそれぞれ、圧力計で測定してその差の値を求め、次で、再び真空処理室内を真空にした時の真空度とプロセスガスをマスフローコントローラによって設定流量値で一定時間流した後の真空度とをそれぞれ、圧力計で測定してその差の値を求め、前記２つの差の値、一定時間、真空処理室と圧力計との総体積、及び温度との関係式より前記マスフローコントローラの実流量値を求め、前記設定流量値に実流量値が等しくなるように流量設定の補正を行なうマスフローコントローラ装置の校正方法。（以下、本件発明１という）
　【請求項２】真空ポンプに接続された真空処理室と、該真空処理室内に流すプロセスガスの流量を設定するガス流量設定入力部及び入力された設定流量のプロセスガスを前記真空処理室内に流すマスフローコントローラから成るマスフローコントローラ装置において、前記真空処理室内の圧力を測定する圧力計と、入力された設定流量を真空処理室内に一定時間だけ流し、真空処理室内の圧力増加値より実際に流したガス流量を演算して求める実流量演算部と、実流量と設定流量とを比較してその差から補正値を求める補正値演算部と、前記補正値に基づいて前記マスフローコントローラの流量を補正する補正手段とを具備するマスフローコントローラ装置。（以下、本件発明２という）
（２）本件発明１について
（２）−１　申立ての理由の概要
　本件発明１は、本件出願前に頒布された刊行物である甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条２項の規定に違反し、取り消されるべきものである。
（２）−２　甲各号証の記載事項
・甲第１号証（特開昭５８−９０１２４号公報）には、図面と共に次の事項が記載されている。
（ア）「第３図は本発明になる流量測定装置の構成図である。　２９は流量測定装置、３０は較正される熱式マスフローコントローラ、３１は容器、３２は圧力計、３３はバルブ、３４は演算制御回路、３５は表示器、３６は気体の入力口、３７は気体の流出口、３８は容器３１の容積記憶回路、３９は計時回路、４０はマスフローコントローラ３０の流量指示計である。　気体入力口３６から入力されてマスフローコントローラ３０で一定流量になるように制御され、容器３１に導入される。　測定開始前はバルブ３３は開で流出口３７から流出される。　測定開始時にバルブ３３を開としその時の容器３１の圧力Ｐを圧力計３２で読み、計時回路３９を作動して定時間ｔ秒後に再度圧力計３２で容器３１内の圧力Ｐを読みとる。測定を終了するとバルブ３３を開にして容器３１の気体を流出口３７から流出させる。　容器３１の容積をＶとするとボイルシャルルの法則により
ＰＶ＝ｎＲＴ
　但し、Ｔ；絶対温度，Ｒ；気体定数，ｎ；モル数
　従って、上記測定結果による標準状態における質量流量Ｑは、測定中容積変化のない容器を使用することにより
Ｑ＝（ｎ２−ｎ１）・Ｒ・（ＴＳ／ＰＳ）・（６０／ｔ）
Ｑ＝（Ｖ／ＲＴ）（Ｐ２−Ｐ１）Ｒ・（ＴＳ／ＰＳ）・（６０／ｔ）
Ｑ＝（Ｐ２−Ｐ１）／ＰＳ・（ＴＳ／Ｔ）・Ｖ・（６０／ｔ）　　▲１▼
　但し、Ｔ；測定時の温度，ＰＳ；標準圧
　　　　ＴＳ；標準温度
　　　　ｎ１；Ｐ１測定時の容器内の気体モル数
　　　　ｎ２；Ｐ２　測定時の容器内の気体モル数
Ｔ＝ＴＳ、ＰＳ＝１気圧とすると
Ｑ＝（Ｐ２−Ｐ１）・Ｖ・（６０／ｔ）　　▲２▼
　従って、容器３１の容積Ｖを予め測定して容積記憶回路３８にセットしておけば測定開始時と終了時の圧力Ｐ１とＰ２およびその間の時間ｔを測定すれば質量流量を演算制御回路３４で計算し表示器３５に表示する。　表示器３５の指示値とマスフローコントローラ３０の流量指示計４０の指示値とを比較して較正を行う。」（第３図およびその説明である３頁左上欄第４行乃至左下欄第３行）
（イ）「以上説明したように本発明によれば、容器と圧力測定手段とにより乾式の流量測定が可能なので、すべての気体について精度よく質量流量を測定することが可能である。」（４頁右上欄１行乃至５行）
・甲第２号証（特開平２−１９６４２３号公報）には、次の事項が記載されている。
（ウ）「半導体装置の製造に用いられる真空処理装置、特に真空チャンバ内に気体を導入してウエーハに各種の処理を施す装置に関し、小容量真空チャンバであってもＭＦＣの校正に際して、圧力上昇法が適用できる真空処理装置の提供を目的とし、」（１頁左下欄１７行乃至同頁右下欄４行）
（エ）「図において半導体製造に用いられる従来の真空処理装置は、真空チャンバ１および真空チャンバ内の圧力を表示する圧力計２と、それぞれバルブ３を介して真空チャンバに接続された複数のＭＦＣ４とバルブ５を介して真空チャンバ１に接続された排気装置６とを具えている。」
（２頁左上欄１６行乃至同頁右上欄２行）
（オ）「またＭＦＣ４の流量に比べて真空チャンバ１の容量が極めて大きい場合は、気体の流入に伴う真空チャンバ１の圧力変化を利用してＭＦＣ４の流量を較正する。圧力上昇法と称されるこの方法は予め到達真空度まで引かれた真空チャンバ１に、該当するバルブ３を開きいずれか一つのＭＦＣ４を通して気体を流入せしめる。　この際、バルブ５は閉塞されており真空チャンバ１は排気装置６から切り離されている。したがってＭＦＣ４を通過した気体によって真空チャンバ１内の圧力が上昇し、真空チャンバ１の容量が既知であれば圧力上昇比からＭＦＣ４の気体流量を算出できる。　即ち、図において主真空チャンバ１の容積をＶ、圧力をＰとすると、Ｎｍｏｌ／ｓｅｃの速度でｔ秒間ＭＦＣ４を通って気体が流れた時の圧力Ｐは、初期圧力は無視すると次の式で与えられる（但しＲは気体定数、Ｔは気体の絶対温度）。
Ｐ≡△Ｐ＝（ＲＴ／Ｖ）・Ｎ・ｔ
　したがって主真空チャンバ１の容積ＶとＭＦＣ４を通過する気体の速度Ｎが判れば、主真空チャンバ１の圧力変化△Ｐは上式によって算出でき、この圧力変化△Ｐを計測値と比較することによりＭＦＣ４の流量を容易に較正することができる。」（２頁右上欄８行乃至左下欄１１行）
・甲第３号証（特開平１−１１０２１８号公報）には、次の事項が記載されている。
（カ）「図中、８は出力のリップルを減少させるためにバッファとして作用する容器、９は気体流量計により算出された流量Ｑと流出路Ｂから流出するべき基準流量ＱＳとを比較する流量比較部、１０は流量比較部９の出力信号に応じて気体の最低圧力を調整する最低圧力調整部、１１は前記最低圧力と圧力センサ１により検出された容器Ａ内の気体の圧力とを比較し、その結果に応じて信号を出力する圧力比較部、１２は圧力比較部１１の出力信号に応じて制御されるガスポンプや電磁弁等の流入量調整部、また１３は圧力比較部１１及び流入量調整部１２により構成される流入量制御部である。」（第３図および、４頁左下欄１３行乃至右下欄４行）
（２）−３対比、判断
　本件発明１と上記甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明とを対比すると、本件発明１の構成要件である「真空処理室内を真空にした時の真空度と一定時間後の真空度とをそれぞれ、圧力計で測定してその差の値を求め、次で、再び真空処理室内を真空にした時の真空度とプロセスガスをマスフローコントローラによって設定流量値で一定時間流した後の真空度とをそれぞれ、圧力計で測定してその差の値を求め、前記２つの差の値、一定時間、真空処理室と圧力計との総体積、及び温度との関係式より前記マスフローコントローラの実流量値を求める」過程のうち「真空処理室内を真空にした時の真空度と一定時間後の真空度とをそれぞれ、圧力計で測定してその差の値を求める」点は、上記甲第１号証乃至甲第３号証の何れにも記載も示唆もされていない。
　この点に関して、異議申立人が提出した参考資料１（真空技術実務読本　中山勝矢著）には、容器内の単位時間当たりの真空リーク量を求める技術的事項が記載されているが、これは容器の良否又はリーク箇所の発見の容易性のために行っているものであって、本件発明１のように該リーク量に基づいて真空度を補正する点については開示されていない。
　また、異議申立人の回答書において添付された添付資料１（真空技術ハンドブック）には、「真空槽内の壁面からの放出ガスおよび内部機構からの放出ガスの影響をできるだけ少なくするには、導入ガス量を多くすることである。」点が記載されているが、リーク量に基づいて真空度を補正する点については開示されていない。
　さらに、資料２及び添付資料２乃至３をみても、リーク量に基づいて真空度を補正する技術的事項は記載されていない。
　そして、本件発明１は、上記構成により、「真空リークを除去した校正用プロセスガスの正確な実流量を得ることができる。」という効果を奏するものである。
（３）本件発明２について
（３）−１　刊行物の記載事項
・取消理由通知で引用した刊行物（特開平２−１９６４２３号公報）は上記甲第２号証と同一であり、刊行物１の記載事項は（２）−２の甲第２号証の記載事項に記載されたとおりである。そして、上記記載事項により、刊行物１には、「排気装置に接続された真空チャンバと、気体を該真空チャンバ内に流すＭＦＣにおいて、前記真空チャンバの圧力を測定する圧力計により、Ｎｍｏｌ／ｓｅｃの速度でｔ秒間気体を流したときの真空チャンバ内の圧力の上昇を計測し、圧力上昇比からＭＦＣの気体流量を算出し、該ＭＦＣの流量を校正する」ことが記載されている。
（３）−２　対比・判断
　本件発明２と刊行物１記載の発明とを対比すると、刊行物１記載の「排気装置」、「真空チャンバ」及び「ＭＦＣ」は、本件発明２の「真空ポンプ」、「真空処理室」及び「マスフローコントローラ」に相当し、刊行物１記載の「気体」は記載事項（ウ）のようにウェーハの処理に用いられているから本件発明２の「プロセスガス」に相当する。また、「Ｎｍｏｌ／ｓｅｃの速度でｔ秒間の流量」及び「算出される気体流量」は本件発明２の「設定流量」及び「実流量」に相当し、また、刊行物１記載の発明においても、記載事項（オ）に示されている気体状態方程式に基づき演算により実流量を算出しているものであるから当然「実流量演算部」を有しているものであり、さらに、校正するときには、当然算出した気体流量と設定流量とを比較するものであるから、刊行物１記載の「Ｎｍｏｌ／ｓｅｃの速度でｔ秒間気体を流したときの真空チャンバ内の圧力の上昇を計測し、圧力上昇比からＭＦＣの気体流量を算出し、該ＭＦＣの流量を校正する」ことは、本件発明２の「真空処理室内の圧力を測定する圧力計と、設定流量を真空処理室内に一定時間だけ流し、真空処理室内の圧力増加値より実際に流したガス流量を演算して求める実流量演算部と、実流量と設定流量とを比較してその差からマスフローコントローラの流量を補正する」ことに相当する。
　したがって、両者は「真空ポンプに接続された真空処理室と、設定流量のプロセスガスを前記真空処理室内に流すマスフローコントローラから成るマスフローコントローラ装置において、真空処理室内の圧力を測定する圧力計と、設定流量を真空処理室内に一定時間だけ流し、真空処理室内の圧力増加値より実際に流したガス流量を演算して求める実流量演算部と、実流量と設定流量とを比較してその差からマスフローコントローラの流量を補正するするマスフローコントローラ装置」である点で一致し、次の点で相違する。
　相違点
　本件発明２では、「ガス流量設定入力部」、、「補正値演算部」及び「補正手段」を具備しているのに対して、刊行物１にはこの点が明示されていない点。
　そこで、上記相違点について検討すると、刊行物１記載の発明でも、「Ｎｍｏｌ／ｓｅｃの速度でｔ秒間」という流量を設定しているのであるから、何等かの入力部が必要不可欠であり、その際に本件発明２と同様に「ガス流量設定入力部」を設けることは当業者が当然考慮すべき事項である。また、刊行物１には、実流量と設定流量からマスフローコントローラを校正する点が明示されているから、それを手段化して、実流量と設定流量とを比較してその差から補正値を求める「補正値演算部」及び流量を補正する「補正手段」を設けることは当業者であれば容易に想到し得る程度のものにすぎない。
４、むすび
　以上のとおりであるから、請求項１に係る発明は、特許異議申立書の理由及び証拠によってはその特許を取り消すことはできない。また、他に請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　また、請求項２に係る発明の特許は刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。したがって請求項２に係る発明の特許は、特許法第２９条２項の規定に違反してされたものであり、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおりに決定する。
【異議決定日】
平成１１年１０月２５日（１９９９．１０．２５）