【事件の表示】
　特許第２７５６６４８号「赤外線温度分布測定装置及びその測定方法」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７５６６４８号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理由】
（１）手続の経緯
　本件特許２７５６６４８号の発明は、昭和６３年２月１８日に出願された特願昭６３−３５５６３号の一部を平成７年２月８日に新たな特許出願としたものであって、平成１０年３月１３日に設定登録され、その後、特許異議の申立てがなされ、平成１１年８月１１日付け取消理由通知書により取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１０月２６日に訂正請求がなされた。
（２）訂正の適否についての判断
ア．訂正の内容
　特許権者が求めている訂正事項は、次のとおりである。
▲１▼　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求頃１を
「【請求項１】　被測定対象物からの赤外線を赤外線検出手段で検出して、該被測定対象物の温度測定を行う赤外線温度分布測定装置に於いて、
　外壁等の屋外建造物から成る上記被測定対象物の反射率の低い且つ放射率の高い領域での温度測定時に５〜８μｍの範囲にわたって感度波長を有する上記赤外線検出手段で温度測定して成ることを特徴とする赤外線温度分布測定装置。」に訂正する。
▲２▼　訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２を
「【請求項２】　被測定対象物からの赤外線を赤外線検出手段を介して検出して該被測定対象物の温度測定を行う赤外線温度分布測定方法に於いて、
　外壁等の屋外建造物から成る上記被測定対象物の反射率が低い且つ放射率の高い領域での温度測定時に５〜８μｍの範囲にわたって感度波長を有する赤外線検出手段を介して上記被測定対象物の温度測定を行うことを特徴とする赤外線温度分布測定方法。」に訂正する。
▲３▼　訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項３を
「【請求項３】　前記赤外線検出手段の前段に配した光学フィルタにより感度波長が５〜８μｍと成る様にしたことを特徴とする請求項１記載の赤外線温度分布測定装置。」に訂正する。
▲４▼　訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の請求項４を
「【請求項４】　前記赤外線検出手段の前段に配した光学フィルタにより感度波長が５〜８μｍと成る様にしたことを特徴とする請求項２記載の赤外線温度分布測定方法。」に訂正する。
▲５▼　訂正事項ｅ
　　明細書【００１０】を下記の如く訂正する。
　「【課題を解決するための手段】
　　この発明は、被測定対象物１０からの赤外線を赤外線検出手段１６で検出して、被測定対象物１０の温度測定を行う赤外線温度分布測定装置に於いて、外壁等の屋外建造物から成る被測定対象物１０の反射率の低い且つ放射率の高い領域での温度測定時に５〜８μｍの範囲にわたって感度波長を有する赤外線検出手段１６で温度測定を成すことを特徴とする赤外線温度分布測定装置及び赤外線温度分布測定方法である。」
▲６▼　訂正事項ｆ
　明細書【００１１】を下記の如く訂正する。
「【作用】
　本発明の赤外線温度分布測定装置及び赤外線温度分布測定方法によれば、ガラス又はこれと等価な物質例えば、モルタル、コンクリート壁、タイル等の反射率が低い物体の測温時に大気の窓以外の５〜８μｍの波長の赤外線の帯域を透過させる光学フィルタを通して赤外線検出器で赤外線をピックアップする様な感度波長を有する赤外検出手段を用いる様に成したので被測定対象物１０の周囲から放射される高温放射物３の影響を無視出来る程度に測定温度分布パターン上での反射像を低減可能なものが得られる。」
▲７▼　訂正事項ｇ
　明細書【００１５】の「光検出器の分光感度」を「光検出器の分光感度２３」と訂正する。
　同【００１５】の「カルバノミラー」を「ガルバノミラー」と訂正する。
▲８▼　訂正事項ｈ
　明細書【００１９】の「高温放射物体からの反影」を「高温放射物体からの反射」と訂正する。
▲９▼　訂正事項ｉ
　明細書【００２５】の「プルーとして表示」を「ブルーとして表示」と訂正する。
▲１０▼　訂正事項ｊ
　明細書【００２９】の「更に上述の構成では光検出手段１６を光検出器１６Ａと光学フィルタ１６Ｂの組合せによって構成したが光検出器１６Ａの組成を変更することで赤外線検出感度のピーク値を５〜８μｍ帯にシフトさせ帯域中心波長を略６．５μｍ近傍にした光学フィルタを作製することで、光学フィルタ１６Ｂを用いることなく、大気の窓以外に感度波長を持つセンサを得ることも出来る。」を削除し、以後の段落番号を繰り上げる。
イ．訂正の目的の適否及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａによる請求項１の訂正は、訂正前の赤外線温度分布測定装置において、被測定対象物を外壁等の屋外建造物に限定するとともに大気の窓以外に感度波長を有する範囲を５〜８μｍに限定するもので、本件明細書には、「被測定対象物１０は例えばガラス板、ガラス板に等価なタイル、コンクリート外壁、モルタル等でガラス板の様に二酸化ケイ素（Ｓｉ０２）を多量に含む建築構造体」（特許公報【００１３】）と記載され、また「従って、本例では略６．５μｍにピーク感度を有する光学フィルタ、即ち、光学帯域通過濾波器（ＢＰＦ）１６Ｂによって５〜８μｍの帯域の赤外線のみを通過させる様にすれば光検出器１６Ａには図１の符号２４で示す感度特性を有する５〜８μｍの赤外エネルギーのみが供給出来る。
　即ち、光学フィルタ１６Ｂと光検出器１６Ａによって図１及び図６で示した大気の窓２５ａ〜２５ｃ以外の赤外線波長領域２６の赤外線のみ透過させることの出来る領域２４を有する光検出手段１６が得られることは明らかである。」（同【００１７】【００１８】）と記載されているから、この訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とし、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内でなされ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　訂正事項ｂによる請求項２の訂正は、赤外線温度分布測定方法において、訂正事項ａと同様に、被測定対象物を外壁等の屋外建造物に限定すると共に大気の窓以外に感度波長を有する範囲を５〜８μｍに限定し、さらに被測定対象物の反射率が低い温度測定領域を反射率が低い且つ放射率の高い領域と限定するもので、この訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とし、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内でなされ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　訂正事項ｃによる請求頃３の訂正は、請求項１記載の赤外線温度分布測定装置において、赤外線検出手段の前段に配した光学フィルタにより５〜８μｍを得るように限定するもので、特許請求の範囲の減縮を目的とし、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内でなされ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　訂正事項ｄによる請求項４の訂正は、請求項２記載の赤外線温度分布測定方法を、請求項３と同様に、赤外検出手段の前段に配した光学フィルタにより５〜８μｍを得るように限定するもので、特許請求の範囲の減縮を目的とし、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内でなされ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　訂正事項ｅ、ｆ、ｊは請求項の訂正と整合をとるために、課題を解決するための手段（【００１０】）及び作用（【００１１】）を訂正し、光学フィルタを用いない場合に関する記載（【００２９】）を削除するものであり、明瞭でない記載の釈明を目的とするもので、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてなされ、また特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
▲６▼　訂正事項ｇ、ｈ、ｉは誤記の訂正を目的とするもので、明細書と図面を誤りなく対応させるもので、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の補正であり、また特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
ウ．独立特許要件の判断
（本件発明）
　訂正明細書の請求項１〜４に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１〜４に記載された事項により特定される次のとおりのものであると認められる。
　【請求項１】　被測定対象物からの赤外線を赤外線検出手段で検出して、該被測定対象物の温度測定を行う赤外線温度分布測定装置に於いて、
　外壁等の屋外建造物から成る上記被測定対象物の反射率の低い且つ放射率の高い領域での温度測定時に５〜８μｍの範囲にわたって感度波長を有する上記赤外線検出手段で温度測定して成ることを特徴とする赤外線温度分布測定装置。
　【請求項２】　被測定対象物からの赤外線を赤外線検出手段を介して検出して該被測定対象物の温度測定を行う赤外線温度分布測定方法に於いて、
　外壁等の屋外建造物から成る上記被測定対象物の反射率が低い且つ放射率の高い領域での温度測定時に５〜８μｍの範囲にわたって感度波長を有する赤外線検出手段を介して上記被測定対象物の温度測定を行うことを特徴とする赤外線温度分布測定方法。
　【請求項３】　前記赤外線検出手段の前段に配した光学フィルタにより感度波長が５〜８μｍと成る様にしたことを特徴とする請求項１記載の赤外線温度分布測定装置。
　【請求項４】　前記赤外線検出手段の前段に配した光学フィルタにより感度波長が５〜８μｍと成る様にしたことを特徴とする請求項２記載の赤外線温度分布測定方法。
（引用例）
　取消理由通知に引用した、第６６回「温度計測部会」資料、３１〜３８頁、（社）計測自動制御学会発行（以下、「引用例」という。）には、次に摘示するとおりの事項が記載されている。
　「放射温度計によるガラスの温度特性」に関し、図１（ｐ．３１及びｐ．３８）には、ガラスの透過特性及び反射特性が示されており、図２（ｐ．３２）には、燃焼ガス（Ｈ２Ｏ、ＣＯ２）の吸収特性が示されている。また、図１及び２に関連して、「１０ｍｍ以下のガラスでは波長が１μｍ以下のように短いときはその透過率が極めて大きい。２〜４μｍの波長域ではガラスは半透明状態となり５μｍ以上の長い波長域ではほとんど透過はなく不透明体である。しかし厚さが極めてうすい場合は８μｍ以上の波長でないと不透明とはならない。波長が８μｍを越えるとガラスの反射率は急激に増加する。このようなガラスの透過特性から短波長を使ってガラスのバルク温度を、２〜４μｍの中波長城で表面近傍の温度（表面下温度）を、５μｍ以上の波長域を使って表面温度をそれぞれ測定する放射温度計をえらぶことができる。」（３１頁１６〜２６行）
　「一般の板ガラスの表面温度測定には５μｍを中心とした狭波長帯が必要である。先にも述べた様に極薄のガラス板の温度測定には８μｍ近傍の波長が望ましいが、燃焼ガス中での測定では水蒸気の吸収度が大きいので注意が必要である。また８μｍより長い波長はガラスの反射率が大きくなることと、温度に対するエネルギーの変化が小さいことから使用するのは望ましくない。」（３１頁３２行〜３２頁７行）
　「ガラス表面温度を測定するような長波長の場合、図２からも判るように４．５〜８μｍの範囲で吸収のない領域はない。ガラス表面温度を測定するために選んだ５μｍを中心とした波長は、ガラスの透過率とガス吸収の妥協より選んだものであり注意深い使い方が望まれる。」（３２頁２０〜２３行）
（対比・判断）
［請求項１に係る発明について］
　請求項１に係る発明と、引用例に記載された発明とを対比すると、引用例に記載された発明は、被測定対象物が外壁等の屋外建造物から成ること及び赤外線検出手段が５〜８μｍの範囲にわたって感度波長を有することを開示ないし示唆するものではない。すなわち、引用例には、「ガラス製造プロセス」（３１頁２６行）等における温度測定における使用波長について考察され、「一般の板ガラスの表面温度測定には５μｍを中心とした狭波長帯が必要である。」「ガラス表面温度を測定するような長波長の場合、図２からも判るように４．５〜８μｍの範囲で吸収のない領域はない。ガラス表面温度を測定するために選んだ５μｍを中心とした波長は、ガラスの透過率とガス吸収の妥協より選んだものであり注意深い使い方が望まれる。」と記載されているが、屋外建造物の測温で５〜８μｍの範囲にわたる波長帯域を用いる点について記載も示唆もない。
　そして、この構成により請求項１に係る発明は、屋外建造物の温度計測時に太陽や建造物近傍の高温物体による熱反射の影響を受けない温度測定を行うことができるという顕著な効果を奏するものであるから、請求項１に係る発明が引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
［請求項２に係る発明について］
　請求項２に係る発明は、赤外線温度分布測定方法であって、外壁等の屋外建造物を被測定対象物とし、また５〜８μｍの範囲にわたって感度波長を有する赤外線検出手段を用いるものであるから、請求項１に係る発明と同様に、引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
［請求項３に係る発明について］
　請求頃３に係る発明は、請求項１に係る発明の赤外線温度分布測定装置において、赤外線検出手段の前段に配した光学フィルタにより５〜８μｍを得るように限定するものであるから、引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
［請求項４に係る発明］
　請求項４に係る発明は、請求項２に係る発明の赤外線温度分布測定方法を、赤外検出手段の前段に配した光学フィルタにより５〜８μｍを得るように限定するものであるから、引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　したがって、訂正明細書の請求項１〜４に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることができない。
エ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律１１６号、以下「平成６年改正法」という。）附則６条１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法１２０条の４第３項で準用する平成６年改正法による改正前の特許法１２６条１項ただし書、２項及び３項の規定に適合するので、訂正を認める。
（３）特許異議の申立についての判断
ア．申立ての理由の概要
　申立人日本電子株式会社は、甲第１号証を提出し、請求項１〜４に係る発明は甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法２９条２項の規定に違反してされたものであるから、特許を取り消すべきであると主張している。
イ．判断
　甲第１号証は、取消理由通知で示した刊行物と同じものであり、２．（２）ウで摘示したとおりの事項が記載され、２．（２）ウで示した理由により、請求項１〜４に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　なお、申立人は、甲第１号証には、４．５〜８μｍの波長域においては、水蒸気等のガスによる赤外線吸収帯が存在するので、板ガラスの表面温度をガス吸収の影響を極力排除して測温するためには、５μｍを中心とした狭波長帯域を選ぶべきことが開示されているのであって、本件発明はこの条件を無視してガラス表面温度の測定波長域として５〜８μｍを用いたものにすぎないから、当業者にとって容易に発明をすることができたものであると主張する。
　しかしながら、甲第１号証には、５μｍを中心とした狭波長帯域に代えて、５〜８μｍにわたる測定波長域とすることを開示ないし示唆する記載ははなく、かえって「ガラス表面温度を測定するために選んだ５μｍを中心とした波長は、ガラスの透過率とガス吸収の妥協より選んだものであり注意深い使い方が望まれる。」との記載は、５〜８μｍにわたって測定波長域を広げようとする発想を妨げるものと認められる。そして、本件発明が、屋外建造物の温度計測時に太陽や建造物近傍の高温物体による熱反射の影響を受けないで温度測定を行うことができるという作用効果を奏することを考慮すると、申立人の主張は採用できない。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１１月３０日（１９９９．１１．３０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
▲１▼　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求頃１を
「【請求項１】　被測定対象物からの赤外線を赤外線検出手段で検出して、該被測定対象物の温度測定を行う赤外線温度分布測定装置に於いて、
　外壁等の屋外建造物から成る上記被測定対象物の反射率の低い且つ放射率の高い領域での温度測定時に５〜８μｍの範囲にわたって感度波長を有する上記赤外線検出手段で温度測定して成ることを特徴とする赤外線温度分布測定装置。」に訂正する。
▲２▼　訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項２を
「【請求項２】　被測定対象物からの赤外線を赤外線検出手段を介して検出して該被測定対象物の温度測定を行う赤外線温度分布測定方法に於いて、
　外壁等の屋外建造物から成る上記被測定対象物の反射率が低い且つ放射率の高い領域での温度測定時に５〜８μｍの範囲にわたって感度波長を有する赤外線検出手段を介して上記被測定対象物の温度測定を行うことを特徴とする赤外線温度分布測定方法。」に訂正する。
▲３▼　訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項３を
「【請求項３】　前記赤外線検出手段の前段に配した光学フィルタにより感度波長が５〜８μｍと成る様にしたことを特徴とする請求項１記載の赤外線温度分布測定装置。」に訂正する。
▲４▼　訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項４を
「【請求項４】　前記赤外線検出手段の前段に配した光学フィルタにより感度波長が５〜８μｍと成る様にしたことを特徴とする請求項２記載の赤外線温度分布測定方法。」に訂正する。
▲５▼　訂正事項ｅ
　明瞭でない記載の釈明を目的として、明細書【００１０】を下記の如く訂正する。
　「【課題を解決するための手段】
　この発明は、被測定対象物１０からの赤外線を赤外線検出手段１６で検出して、被測定対象物１０の温度測定を行う赤外線温度分布測定装置に於いて、外壁等の屋外建造物から成る被測定対象物１０の反射率の低い且つ放射率の高い領域での温度測定時に５〜８μｍの範囲にわたって感度波長を有する赤外線検出手段１６で温度測定を成すことを特徴とする赤外線温度分布測定装置及び赤外線温度分布測定方法である。」
▲６▼　訂正事項ｆ
　明瞭でない記載の釈明を目的として、明細書【００１１】を下記の如く訂正する。
「【作用】
　本発明の赤外線温度分布測定装置及び赤外線温度分布測定方法によれば、ガラス又はこれと等価な物質例えば、モルタル、コンクリート壁、タイル等の反射率が低い物体の測温時に大気の窓以外の５〜８μｍの波長の赤外線の帯域を透過させる光学フィルタを通して赤外線検出器で赤外線をピックアップする様な感度波長を有する赤外検出手段を用いる様に成したので被測定対象物１０の周囲から放射される高温放射物３の影響を無視出来る程度に測定温度分布パターン上での反射像を低減可能なものが得られる。」
▲７▼　訂正事項ｇ
　誤記の訂正を目的として、明細書【００１５】の「光検出器の分光感度」を「光検出器の分光感度２３」と訂正し、同【００１５】の「カルバノミラー」を「ガルバノミラー」と訂正する。
▲８▼　訂正事項ｈ
　誤記の訂正を目的として、明細書【００１９】の「高温放射物体からの反影」を「高温放射物体からの反射」と訂正する。
▲９▼　訂正事項ｉ
　誤記の訂正を目的として、明細書【００２５】の「プルーとして表示」を「ブルーとして表示」と訂正する。
▲１０▼　訂正事項ｊ
　明瞭でない記載の釈明を目的として、明細書【００２９】の「更に上述の構成では光検出手段１６を光検出器１６Ａと光学フィルタ１６Ｂの組合せによって構成したが光検出器１６Ａの組成を変更することで赤外線検出感度のピーク値を５〜８μｍ帯にシフトさせ帯域中心波長を略６．５μｍ近傍にした光学フィルタを作製することで、光学フィルタ１６Ｂを用いることなく、大気の窓以外に感度波長を持つセンサを得ることも出来る。」を削除し、以後の段落番号を繰り上げる。
（５４）【発明の名称】
赤外線温度分布測定装置及びその測定方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　被測定対象物からの赤外線を赤外線検出手段で検出して、該被測定対象物の温度測定を行う赤外線温度分布測定装置に於いて、
　外壁等の屋外建造物から成る上記被測定対象物の反射率の低い且つ放射率の高い領域での温度測定時に５〜８μｍの範囲にわたって感度波長を有する上記赤外線検出手段で温度測定して成ることを特徴とする赤外線温度分布測定装置。
　【請求項２】　被測定対象物からの赤外線を赤外線検出手段を介して検出して該被測定対象物の温度測定を行う赤外線温度分布測定方法に於いて、
　外壁等の屋外建造物から成る上記被測定対象物の反射率が低い且つ放射率の高い領域での温度測定時に５〜８μｍの範囲にわたって感度波長を有する赤外線検出手段を介して上記被測定対象物の温度測定を行うことを特徴とする赤外線温度分布測定方法。
　【請求項３】　前記赤外線検出手段の前段に配した光学フィルタにより感度波長が５〜８μｍと成る様にしたことを特徴とする請求項１記載の赤外線温度分布測定装置。
　【請求項４】　前記赤外線検出手段の前段に配した光学フィルタにより感度波長が５〜８μｍと成る様にしたことを特徴とする請求項２記載の赤外線温度分布測定方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明は新しい感度波長帯を持つ赤外線放射カメラ等の赤外線温度分布測定装置及び赤外線温度分布測定方法に関する。
　【０００２】
　　【従来の技術】
　温度に依存して物体から放射されてくる赤外線を検出してその物体の温度を測定する赤外線温度分布測定装置としては従来種々のものが提案されている。大別して感度波長が約３〜５μｍの量子型の検出器でインヂウム・アンチモン又はセレン化鉛（ＩｎＳｂ：ＰｂＳｅ）を用いた赤外線温度分布測定装置及び約８〜１３μｍの量子型の検出器で水銀カドミウムテルル（ＨｇＣｄＴｅ）を用いた量子型赤外線温度分布測定装置並びに赤外線の全波長（約２〜１５μｍ）に感度を有する熱型検出器を用いた赤外線温度分布測定装置の３種類がある。前２者に対して熱型赤外線温度分布測定装置は感度が低く且つ応答性も遅く、従ってこの装置は実際には一点の温度を測定するのに多く使用され、一般に温度分布を測定するのには不適当である。
　【０００３】
　量子型赤外線温度分布測定装置は大気の吸収率と赤外波長の関係においていずれも図６に示すように吸収率の小さい、いわゆる“大気の窓”に対応して開発されたものであり、温度分布の測定に多用されている。
　【０００４】
　ここで感度波長が５〜８μｍの量子型赤外線温度分布測定装置は欠落していることが解るが、これは図６からも解るようにこの領域は水蒸気の吸収が大きく、従って例えば航空機や人工衛星からのリモートセンシング等ではほとんど使用されておらず、その為従来製品としてもこの赤外線波長帯域のセンサは存在していない。
　【０００５】
　　【発明が解決しようとする課題】
　ところで、上述した感度波長が８〜１３μｍの量子型赤外線温度分布測定装置は、一般的な測温には、長波長を検知することになり、プランクの法則からも明白なように程度良く、低温領域（例えば−５０℃）まで測温が可能になる。
　【０００６】
　しかしこの装置を用いて測温するとき、特に屋外でガラス、タイル、モルタル等の外壁診断等のため建物の温度を測温するような場合、反射の対象となる周辺に大きな温度分布、例えば隣のビル等のガラスで反射された太陽光等が存在すると、その高温物体からの反射の影響が無視できないものとなる。
　【０００７】
　例えば図３に示すように、透明ガラス又はスリガラス１に対して所定角度で赤外線温度分布測定装置２を配設してガラス１の温度を測温する場合、ガラス１の前でしかもその赤外線温度分布測定装置２の検出角度範囲内に図３に示すような高温物体３が存在した場合、測温した結果を見るとガラス１の温度分布上に高温物体３の反射像５Ａが現れ（図４Ａ参照）、正確にガラス１の温度を測温できない欠点がある。このことは図５に示すガラスの透過率、放射率、反射率を示す特性において、波長が８〜１３μｍの近傍では反射率が大きくなっていることからも解る。
　【０００８】
　また、上述した感度波長が３〜５μｍの量子型赤外線温度分布測定装置の場合、図５からも解るように波長が３〜５μｍの近傍では反射率は小さいが透過率が大きく（それに伴い放射率が小さくなっている）、３〜５μｍの波長を利用するのは望ましくなく、従って、従来の赤外線測定装置ではガラスの測温には４．８〜５．２μｍと云う狭い領域の赤外線を使用している。その結果、上述したような高温物体３の反射像は現れにくいが、この領域では波長が短く、又赤外線エネルギーを沢山とれないのでＳ／Ｎ比が劣化し、その測温できる領域は約１００℃以上と高く、常温やそれ以下の低温領域で測温できない欠点がある。
　【０００９】
　本発明は斯かる点に鑑み成されたもので、大気の窓に対応する赤外線感度波長を有する赤外線検出器を用いることなく、大気の窓に対応する波長領域以外の波長に赤外線感度波長を有する光検出器で被測定対象物の反射率が低く、また放射率の大きいものを測温する様に成したものであり、この様な赤外線検出器を用いた赤外線温度分布測定装置及びその測定方法を提供しようとするものであり、その目的とするところはガラス又はこれらと等価なモルタル外壁、タイル、コンクリート壁等の被測定対象物を周囲の高温放射物体からの赤外線反射の影響を受けることなく低温領域から常温領域まで測温可能な赤外線温度分布測定装置及び赤外線温度分布の測定方法を得ようとするものである。
　【００１０】
　　【課題を解決するための手段】
　この発明は、被測定対象物１０からの赤外線を赤外線検出手段１６で検出して被測定対象物１０の温度測定を行う赤外線温度分布測定装置に於いて、外壁等の屋外建造物から成る被測定対象物１０の反射率の低い、かつ放射率の高い領域での温度測定時に５〜８μｍの範囲にわたって感度波長を有する赤外線検出手段１６で温度の測定を成すことを特徴とする赤外線温度分布測定装置及び赤外線温度分布測定方法である。
　【００１１】
　　【作用】
　本発明の赤外線温度分布測定装置及び赤外線温度分布測定方法によれば、ガラス又はこれと等価な物質例えば、モルタル、コンクリート壁、タイル等の反射率が低い物体の測温時に大気の窓以外の５〜８μｍの波長の赤外線の帯域を透過させる光学フィルタを通して赤外線検出器で赤外線をピックアップする様な感度波長を有する赤外検出手段を用いる様に成したので被測定対象物１０の周囲から放射される高温放射物３の影響を無視出来る程度に測定温度分布パターン上での反射像を低減可能なものが得られる。
　【００１２】
　　【実施例】
　以下、本発明の赤外線温度分布測定装置及び赤外線温度分布測定方法を図面によって説明する。
　【００１３】
　図２は本例の量子型赤外線温度分布測定装置の検出部の構成の概要を示すもので被測定対象物１０は例えばガラス板、ガラス板に等価なタイル、コンクリート外壁、モルタル等でガラス板の様に二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を多量に含む建築構造体であり、これら物体の透過率、放射率、反射率は図５のガラスと略々等価である。これら被測定対象物１０の温度分布を測定するためのサーモトレーサ等の赤外線温度分布測定装置１１の検出部１２は赤外線の光学走査系、集光系、チョッパー、赤外線検出器及び各種駆動モータ並びにプリアンプ等で構成される。
　【００１４】
　即ち、被測定対象物１０のガラス板等から放射された赤外エネルギーを検出部１２の窓１３を介して走査系１４の例えばガルバノミラー等で被測定対象物１０の表面を左から右へ、上から下に水平及び垂直走査し、得られた赤外エネルギーを対物レンズ１５を介して図示しないがチョッパーでチョッピングした後に光検出手段１６（光学フィルタ１６Ｂ及び光検出器１６Ａを含む）で赤外エネルギーに比例した電気信号に変換して、プリアンプ１７で一定レベルに増幅する。更に温度検出回路１８で検出された被測定対象物１０のガラスの表面等の各温度は電気信号に変換されて表示装置や記録器等へ供給されて、温度表示及び記録が成される。
　【００１５】
　光検出器１６ＡとしてはＨｇＣｄＴｅを用いた量子型光検出器が用いられる。この光検出器の分光感度２３は赤外波長の略々１０μｍに感度のピークを持っている。光検出器１６は液体窒素で−１９６℃に常時冷却して赤外エネルギーを高感度に電気信号に変換する。１９はガルバノミラー等の駆動回路、２０は図示しないコンピュータ（ＣＰＵ）側からリモート信号によりＤＣモータで対物レンズ１５を前後に移動してフォーカス調整を行うフォーカス回路、又、各種フィルタ１６Ｂの切換及びレンジの切換はフィルタオン／オフ回路２２及びレンジ切換回路２１で行われる。
　【００１６】
　本例の上述の如き赤外線温度分布測定装置に用いられる光検出器１６Ａは例えばＨｇＣｄＴｅ系の検出器が用いられるがこれらの赤外線感度波長特性は図１の感度特性に示されている様に略々赤外線波長１μｍから立ち上がり１０μｍにピークの感度を有し、赤外線波長１３μｍに向かって立ち下がる様な特性を持っている。
　【００１７】
　従って、本例では略々６．５μｍにピーク感度を有する光学フィルタ、即ち、光学帯域通過濾波器（ＢＰＦ）１６Ｂによって５〜８μｍの帯域の赤外線のみを通過させる様にすれば光検出器１６Ａには図１の符号２４で示す感度特性を有する５〜８μｍの赤外エネルギーのみが供給出来る。
　【００１８】
　即ち、光学フィルタ１６Ｂと光検出器１６Ａによって図１及び図６で示した大気の窓２５ａ〜２５ｃ以外の赤外線波長領域２６の赤外線のみ透過させることの出来る領域２４を有する光検出手段１６が得られることは明らかである。
　【００１９】
　図１には図５で説明したガラスの透過率：τ及び放射率：ε、並びに反射率：ρが示されているが、光学フィルタ１６Ｂの感度波長（５〜８μｍ）では反射率：ρは略々０に近く、低い値を示すので周囲の高温放射物体からの反射の影響はなくなる。
　【００２０】
　然も、５〜８μｍの領域に亘るため、従来の４．８〜５．２μｍと云う狭い帯域の検出器に比べ感度波長が長く沢山の赤外線エネルギーを得ることができるので、Ｓ／Ｎ比を向上でき、従って常温領域の測温が可能となる。
　【００２１】
　因みに光学フィルタ１６Ｂを赤外線の光路上の焦点位置に配し、透明ガラス又はスリガラスを図３の如く配置して本装置で測温した場合高温物体３の反射像は無視し得る程度に低減させることができた。
　【００２２】
　この様な高温物体の反射像を透明なガラスの手前に置いた従来の画像及び本発明の画像パターンを図４Ａ及び図４Ｂに示す。
　【００２３】
　図４Ａは赤外線温度分布測定装置（サーモトレーサ：赤外線放射温度計）としての赤外線検出器の波長帯を７．７〜１３．２μｍにとった８〜１３μｍ波長帯の量子型赤外線温度分布測定装置で透明ガラス板１の手前に置いた高温物体３のガラス板への反射像温度分布パターンを示すものであり、図４Ｂは本発明の赤外線温度分測定装置としての赤外線検出器の波長帯を６．６〜８．３μｍにとった５〜８μｍ波長帯の量子型赤外線温度分布測定装置で透明ガラスの手前に置いた高温物体３のガラス板への反射像温度分布パターンを示すものである。
　【００２４】
　図４Ａ及び図４Ｂは机４上に垂直に立てられた厚さ２ｍｍの透明なガラス１の手前に沸騰した湯をカップに入れた高温物体３を載置して、ガラス１の温度分布を測温したものである。
　【００２５】
　図４Ａ及び図４Ｂに示す指標色の６Ａ部分は略２５．５℃〜２６．５℃の範囲で赤色であり、６Ｂ部分は略々２５．５℃〜２４．８℃で黄色から緑色であり、６Ｃ部分は略々２４．８℃〜２２．５℃でブルーとして表示される。
　【００２６】
　図４Ａの従来のサーモグラムではガラス板１に反射して写った反射像５Ａは黄色を示し、カップ３に書かれた金文字の文字像６まで写し出されている。尚コップ３の色は白色、ガラス板１の他の部分はブルーから緑の温度分布を示している。
　【００２７】
　これに対し、図４Ｂの本例の赤外検出器の様に５〜８μｍ感度を持つ赤外波長帯域のものでは反射像５Ｂはコップ３の形としてガラス板１上に投影されず、この部分の反射像５Ｂは緑色を示し、他の部分はブルーを示している。勿論カップの色は白色であり、本例によれば被測定対象物近傍に置かれた或いは周辺に配設された高温物体の影響が軽減された赤外線温度分布測定装置及びその測定方法が得られる。
　【００２８】
　上述の構成ではガラス（透明及び擦りガラス）の反射率、透過率、放射率を説明したが、ガラスと等価のＳｉＯ２を含むタイル、コンクリート外壁、モルタル等であっても略々同様の反射率、透過率、放射率特性を示し、同様に外壁の温度分布が５〜８μｍの帯域に感度を有する光検出手段１６で検出可能である。
　【００２９】
　上述の構成では光検出器１６Ａ及び光学フィルタの赤外線最適通過帯域を５〜８μｍとして説明したが例えば、光学フィルタ作製時の積層膜の厚みのコントロールにより５．１〜８．２μｍ或いは４．９〜８．１μｍになることもあるが、この様な誤差範囲は本例の最適通過帯域内に入ることは明らかである。
　【００３０】
　　【発明の効果】
　上述の如く本発明によれば、赤外検出手段として大気の窓以外の５〜８μｍ赤外線波長領域に感度を有するセンサによって、被測定対象物中の温度分布パターン中に周囲の高温放射物体の影響が投写されず反射の影響のない赤外線温度分布測定装置及びその測定方法が得られ、且つ低温から常温までの測温が可能となる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の赤外線温度分布測定装置の波長特性図である。
　【図２】
　本発明の赤外線温度分布測定装置の要部の構成図である。
　【図３】
　ガラスの熱画像測定図である。
　【図４】
　本発明及び従来の高温物体の反射像を示す図である。
　【図５】
　ガラスの透過率、放射率、反射率を示す特性図である。
　【図６】
　大地の吸収率を示す特性図である。
　【符号の説明】
　１０　被測定対象物
　１１　赤外線温度分布測定装置
　１２　検出部
　１６　光検出手段
　１６Ａ　光検出器
　１６Ｂ　光学フィルタ