【事件の表示】
　特許第２７７２２４３号「液体塗布ノズルの高さ検知装置およびそれを用いたノズルの高さ制御方法」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７７２２４３号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理由】
１．手続の経緯
　本件特許第２７７２２４３号は、平成６年８月１８日の出願であって、平成１０年４月１７日にその特許の設定登録がなされたものである。
　これに対し、特許異議申立人　日立テクノエンジニアリング株式会社は、甲第１号証［特開平５−２４１７９号公報］及び甲第２号証［特開平６−１１４３１３号公報］を提出し、本件の請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当し、請求項１、２に係る発明は、甲第１号証の記載に基いて、又請求項３に係る発明は、甲第１号証及び甲第２号証の記載に基いて、それぞれ当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定に違反しているから、請求項１〜３に係る特許を取り消すべきであるとする特許異議の申立を行った。
　そして、その後、当審において、請求項１及び２に対して取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年６月１９日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否について
２−１．訂正請求における訂正の要旨
　訂正の要旨は、以下のとおりである。
▲１▼特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項１における「そのノズルと一体的に移動する少なくとも一対の高さセンサ」を、「ノズルと一体的に移動する一対の高さセンサ」と訂正する。
▲２▼特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項２における「複数個の高さセンサ」、「少なくとも一の高さセンサ」を、それぞれ、「一対の高さセンサ」、「一の高さセンサ」と訂正する。
▲３▼明瞭でない記載の釈明を目的として、発明の詳細な説明【００１２】欄の「なおここにおいて、三個以上の高さセンサを、・・・こともできる。」を削除する。
▲４▼明瞭でない記載の釈明を目的として、発明の詳細な説明【００１３】、【００１４】及び【００１５】を削除し、【００１６】以降を繰り上げる。
▲５▼明瞭でない記載の釈明を目的として、発明の詳細な説明【００１６】（繰り上げ後の【００１３】）の「図５は、」を、「図３は、」と訂正する。
▲６▼明瞭でない記載の釈明を目的として、発明の詳細な説明【００１９】（繰り上げ後の【００１６】）の「なおこの場合にあって、・・・回避することができる。」を削除する。
▲７▼明瞭でない記載の釈明を目的として、【図面の簡単な説明】の【図３】【図４】を削除し、【図５】を【図３】に、【図６】を【図４】にそれぞれ繰り上げる。
▲８▼明瞭でない記載の釈明を目的として、図３及び図４を削除し、図５を図３に図６を図４にそれぞれ繰り上げる。
２−２．訂正の目的の適否及び拡張・変更の存否等
　上記訂正▲１▼、▲２▼は、それぞれ、請求項１、２における構成要件を更に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　訂正▲３▼〜▲８▼は、訂正された特許請求の範囲の記載に整合するように発明の詳細な説明の記載を訂正するものであるから、明瞭でない記載の釈明に該当する。
　また、上記いずれの訂正も、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでないし、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内においてなされたものであることは明らかである。
２−３．独立特許要件の判断
　訂正後の本件発明は、以下のとおりである。
　【請求項１】板状ワーク上で、それから所定の間隔をおいて移動されて、ワーク表面に液体材料を塗布するノズルと、このノズルに隣接し、ノズルの運動軌跡と重ならない位置に、ノズル中心に対して点対称に配置されて、ノズルと一体的に移動する一対の高さセンサとを具えてなる液体塗布ノズルの高さ検知装置。
　【請求項２】液体塗布ノズルを、板状ワーク上で、その板状ワークの各辺縁に沿って、一対の高さセンサと一体的に並進運動させ、板状ワークの上方に位置する一の高さセンサからの信号に基づいて液体塗布ノズルの高さをコントロールすることを特徴とする液体塗布ノズルの高さ制御方法。
　【請求項３】液体塗布ノズルを板状ワーク上で、複数個の高さセンサと一体的に移動させ、板状ワークの上方に位置する少なくとも一の高さセンサからの信号に基づいて液体塗布ノズルの高さをコントロールするとともに、全ての高さセンサが板状ワークの外側にはみだしたときには、液体塗布ノズルの高さコントロールを中断して、そのノズルの水平方向移動だけを行うことを特徴とする液体塗布ノズルの高さ制御方法。
　これに対し、取消理由で引用した引用例（異議申立人の提出した甲第１号証）には、基板とノズルを相対的に移動させて該基板上にペーストを塗布し、所望の形状のペーストパターンを描画する塗布描画装置について記載されており（【０００１】欄）、ノズル、基板間の間隔を計測するセンサである変位計測手段の基板面での測定点を、該ノズルのペースト塗布点からみて、該基板に対する該ノズルの移動方向とは異なる方向に位置するようにすることが記載され（【０００６】欄）、実施例の一つとして、第１２図、第１３図及びその説明である【００４１】〜【００４６】欄には、４つのファイバー対１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄが、その先端がペースト収納筒先端を中心とする同一円周上に等間隔に配置された装置が記載され、１９ａ、１９ｃのファイバー対に対する測定点ａ、ｃがＸ軸方向に、１９ｂ、１９ｄのファイバー対に対する測定点ｂ、ｄがＹ軸方向に配置されることにより、ノズルがＹ軸方向に移動するときにはａ、ｃの計測結果を、Ｘ軸方向に移動するときはｂ、ｄの計測結果を取り込むことも記載されており、この装置は、ノズルの移動方向に応じて、二対のファイバーのうちのある一対はノズルの運動軌跡と重ならない位置にあるものの、引用例は「一対の高さセンサ」を具えた高さ検知装置について記載するものではないから、訂正後の本件請求項１に係る発明は、引用例に記載された発明であるとはいえない。
　また、引用例は、二対の変位計のうち、ノズルの運動軌跡と重ならない位置にある一対の変位計からの計測結果を取り込むこと（第１２図及び第１３図）、ただ一つの光学変位計を移動させてノズルに対する測定点の位置を変化させること（第６図〜第１１図）を示しているにすぎず、一対の高さセンサを設けてそのうちの「板状ワークの上方に位置する一の高さセンサからの信号に基づいて液体塗布ノズルの高さをコントロールする」ことについて示唆するものではないから、訂正後の本件請求項２に係る発明は、引用例に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　また、他に、訂正後の本件請求項１、２に係る発明が特許出願の際独立して特許を受けることができないとすべき理由を発見しない。
　したがって、訂正後の本件請求項１、２に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであると認められる。
２−４．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、第１２０条の４第２項、同条第３項で準用する第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、上記訂正は認める。
３．異議申立について
　２−３．で検討したとおり、請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明でない。また、甲第１号証の第６〜１１図記載の装置は、ただ一つの光学変位計を移動させてノズルに対する測定点の位置を変化させるものであるから、光学変位計を対にして設ける必要のないものであるし、甲第１号証の第１２図及び第１３図記載の装置を、一対の高さセンサのみとした場合には、ノズルが特定の方向に移動する場合に、必ずノズルの移動方向に重なることになるので、請求項１に係る発明のように「ノズルの運用軌跡と重ならない位置に、」「一対の高さセンサ」を具えることが、甲第１号証の記載に基いて当業者が容易に想到することであるとすることはできない。
　また、請求項２に係る発明が、甲第１号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることがでないことは２−３．で検討したとおりである。
　さらに、甲第１号証には、請求項３に係る発明の「全ての高さセンサが板状ワークの外側にはみだしたときには、液体塗布ノズルの高さコントロールを中断して、そのノズルの水平方向移動だけを行う」という構成要件について記載も示唆もされていないし、甲第２号証も、「ノズルのペースト吐出口と基板の表面との間隙を計測する計測手段と、該計測手段の計測値が予め設定された閾値を越える期間、該ノズルのペースト吐出口と該基板の表面との間隙を該計測手段の計測値が該閾値を越える直前の値に保持する間隙保持手段と、該計測手段の計測値が該閾値を越えないとき、該ノズルのペースト吐出口と該基板の表面との間隙を予め指定された所定の値に調整する間隙調整手段とを設ける。」（【０００６】欄）と記載されているものの、これは、距離センサの計測位置が描画済みのペーストパターン上を間隙計測を行いつつ通過しても、ノズルと基板を所望の間隙に保持することができて所望のパターンを描画することができるようにすることを目的とするものであって（【０００５】欄）、「全ての高さセンサが板状ワークの外側にはみだしたとき」についての課題の認識がない上、この課題の解決手段を示すものでもないから、請求項３に係る発明は、甲第１号証及び甲第２号証を組み合わせても、当業者が容易に想到することができたものであるとすることはできない。
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件請求項１〜３に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年８月２６日（１９９９．８．２６）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
▲１▼特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項１における「そのノズルと一体的に移動する少なくとも一対の高さセンサ」を、「ノズルと一体的に移動する一対の高さセンサ」と訂正する。
▲２▼特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項２における［複数個の高さセンサ」、「少なくとも一の高さセンサ」を、それぞれ、「一対の高さセンサ」、「一の高さセンサ」と訂正する。
▲３▼明瞭でない記載の釈明を目的として、発明の詳細な説明【００１２】欄の「なおここにおいて、三個以上のセンサを、・・・こともできる。」を削除する。
▲４▼明瞭でない記載の釈明を目的として、発明の詳細な説明【００１３】、【００１４】及び【００１５】を削除し、【００１６】以降を繰り上げる。
▲５▼明瞭でない記載の釈明を目的として、発明の詳細な説明【００１６】（繰り上げ後の【００１３】）の「図５は、」を、「図３は、」と訂正する。
▲６▼明瞭でない記載の釈明を目的として、発明の詳細な説明【００１９】（繰り上げ後の【００１６］）の「なおこの場合にあって、・・・回避することができる。」を削除する。
▲７▼明瞭でない記載の釈明を目的として、【図面の簡単な説明】の【図３】【図４】を削除し、【図５】を【図３】に、【図６】を【図４】にそれぞれ繰り上げる。
▲８▼明瞭でない記載の釈明を目的として、図３及び図４を削除し、図５を図３に図６を図４にそれぞれ繰り上げる。
（５４）【発明の名称】
液体塗布ノズルの高さ検知装置およびそれを用いたノズルの高さ制御方法
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】　板状ワーク上で、それから所定の間隔をおいて移動されて、ワーク表面に液体材料を塗布するノズルと、このノズルに隣接し、ノズルの運動軌跡と重ならない位置に、ノズル中心に対して点対称に配置されて、ノズルとー体的に移動する
一対の高さセンサ
　　【請求項２】　液体塗布ノズルを、板状ワーク上で、その板状ワークの各辺縁に沿って、
一対の高さセンサ
一の高さセンサ
　　【請求項３】　液体塗布ノズルを板状ワーク上で、複数個の高さセンサと一体的に移動させ、板状ワークの上方に位置する少なくとも一の高さセンサからの信号に基づいて液体塗布ノズルの高さをコントロールするとともに、全ての高さセンサが板状ワークの外側にはみだしたときには、液体塗布ノズルの高さコントロールを中断して、そのノズルの水平方向移動だけを行うことを特徴とする液体塗布ノズルの高さ制御方法。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　この発明は、液体塗布ノズルの高さ検知装置および、それを用いたノズル高さ制御方法に関するものであり、液状、ペースト状、クリーム状等を呈する電子材料、接着剤その他の液体材料を、プリント基板、セラミック基板、ガラス基板などの板状ワークに対し、それの反り等の変形に影響されることのない、定常塗布を可能にするものである。
　　　【０００２】
　　【従来の技術】
　液体塗布ノズルから吐出した液体材料を、板状ワークの表面に、連続的もしくは間欠的に定常塗布するに際し、板状ワークに反り等の変形があって、ノズル先端と板状ワークとの距離が変化すると、吐出された液量、吐出形状等が不安定になることから、ノズル先端と、板状ワークの表面との間の距離の変動を防止すべく、たとえば、特開平２−１６９０６２号公報および特開平６−１１４３１３号公報に開示されているように、一の高さセンサを用いてノズル先端の高さをコントロールすることが行われていた。
　　　【０００３】
　　【発明が解決しようとする課題】
　ところが、このような従来技術において、塗布ノズルに隣接させて配置した高さセンサと、その塗布ノズルとの相対位置が一定のものにあっては、たとえば方形形状をなす板状ワークに液体を塗布するに際し、高さセンサを常に十分に機能させてその塗布を行うためには、板状ワークの輪郭形状よりも相当狭い領域内にしか液体を塗布することができないとう不都合があった。
　　　【０００４】
　このことを
図４
　　　【０００５】
　ところでこれに対し、特開平６−１１４３１３号公報に開示されているように、一の高さセンサの、ノズルに対する相対位置を変更可能ならしめた場合には、液体の塗布領域を、
図４
　　　【０００６】
　この発明は、従来技術の有するこのような問題点を解決することを課題として検討した結果なされたものであり、この発明の目的は、板状ワークの反り等の変形に十分に対処し得ることはもちろん、厳しい加工精度を必要とすることなしに、たとえば方形の板状ワークに対し、輪郭線で囲まれる全領域への液体の塗布を可能ならしめる、液体塗布ノズルの高さ検知装置および、それを用いたノズル高さ制御方法を提供することにある。
　　　【０００７】
　　【課題を解決するための手段】
　この発明の、液体塗布ノズルの高さ検知装置は、プリント基板、ガラス基板等の、多くは方形形状をなす板状ワークの上方で、そこから所定の間隔をおいて移動されて、ワーク表面に液体材料を塗布するノズルを設けるとともに、ノズルに隣接して、ノズルの運動軌跡と重ならない位置に、ノズル中心に対して点対称に配置され、そのノズルと一体的に移動される少なくとも一対の高さセンサを設けたものである。ところで、ここにおける高さセンサとしては、光を使用するもの、渦電流を検出するものなどを必要に応じて選択することができる。また、この発明のノズル高さ制御方法は、板状ワークの上方で、液体塗布ノズルを、板状ワークの各辺縁に沿って、少なくとも二個の高さセンサと一体的に並進運動させ、この運動に当って、板状ワークの上方に位置する少なくとも一の高さセンサからの信号に基づいて液体塗布ノズルの高さをコントロールするものである。そして他の方法は、液体塗布ノズルを板状ワーク上で、複数個の高さセンサと一体的に移動させ、板状ワークの上方に位置する少なくとも一の高さセンサからの信号に基づいて液体塗布ノズルの高さをコントロールするとともに、全ての高さセンサが板状ワークの外側にはみ出したときには、液体塗布ノズルの高さコントロールを中断して、そのノズルの水平方向移動だけを行うものである。
　　　【０００８】
　　【作用】
　この種の装置では、液体塗布ノズルの真上および真下のいずれにも高さセンサを配設することができず、従って、そのノズルと隣接する位置に、多くは数ｍｍの間隔をおいて高さセンサを配設することが一般的である。かかる状況の下で、この発明の装置では、液体塗布ノズルと一体的に移動する、ノズル中心に対して点対称に位置する少なくとも一対の高さセンサを設けていることから、一の高さセンサを除く他のセンサの全てが、板状ワークの外側にはみ出してもなお、残りの一のセンサをもって、板状ワークに対するノズル高さを十分に検知することができるので、板状ワークがたとえば矩形形状をなすものである場合に、液体塗布ノズルによる液体塗布領域を、その板状ワークの輪郭線位置まで拡大することができる。ところでこの場合には、計測演算部において、高さデータを取り込む、センサの少なくとも一つを選択するだけで各センサを必要に応じて使い分けることができるので、一の高さセンサを、ノズルに対して相対変位させる従来技術に比し、特別な作動機構部を設けることが不要であって、装置の小型、軽量化および装置構造の簡素化を実現し得ることはもちろん、加工精度に対する厳しい要求を総て不要ならしめて、装置コストを有効に低減させることができる。
　　　【０００９】
　またここで、少なくとも一対の高さセンサを、通常は並進運動を行うノズルの運動軌跡と重ならない位置に、ノズル中心に対して点対称に配設することで、対をなす高さセンサのそれぞれに、それ本来の機能を十分に発揮させることができる。これをいいかえれば、たとえば一対の高さセンサを、ノズルの運動軌跡に一致させた場合には、ノズルに先行するセンサはその機能を有効に発揮することはできるも、ノズルに後行するセンサからの高さ信号は、多くは、そのノズルによって塗布された液体材料の影響を含んでいるので、高い測定精度を期待することができない。しかもこの場合において、とくに、板状ワークの輪郭線に沿って液体材料を塗布するときは、ノズルに先行する一方のセンサが、その輪郭線をなぞって移動して高さを検知することになるが、ワークの輪郭線部分は一般に、高さ、平坦度ともに安定性に欠けることから、高い検知精度を得ることが困難である。
　　　【００１０】
　また、この発明の方法において、少なくとも一の高さセンサからの信号に基づいて液体塗布ノズルの高さをコントロールするときは、板状ワークの全表面にわたる塗布を、高い精度で制御して、各塗布部分での塗布量、塗布形状等を所期した通りのものとすることができる。
　　　【００１１】
　なおこの方法において、高さセンサの配設個数、配設態様などとの関連の下で、全ての高さセンサが板状ワークの外側にはみ出した状態となったときに、ノズルの高さコントロールを中断して、ノズルの水平方向移動だけを行う場合には、その中断中の移動距離は、ノズルと、それの移動方向前方側に位置するセンサとの間の、通常は数ｍｍ程度のわずかな距離であることから、特別のコントロールを行うまでもなく、塗布量、塗布形状等に及ぼす影響を十分少ならしめることができる。
　　　【００１２】
　　【実施例】
　以下にこの発明の実施例を図面に基づいて説明する。図１はこの発明の実施例を示す略線正面図であり、図２はその略線平面図である。ここで、板状ワーク１に対し、その上方へ所定の間隔をおいて配置され、たとえば、そこで、二次元直交座標軸ＸおよびＹの方向へ移動されて、その板状ワーク１の表面上に液体材料を塗布するノズル２を設けるとともに、このノズル２に隣接する位置で該ノズル２と一体的に移動する、図では、二個一対の高さセンサ３，４を、ノズル２に対し、それの通常の運動方向である、図のＸ軸方向およびＹ軸方向のいずれにも重なり合わない位置で、ノズル中心に対して点対称に配置する。またここでは、それぞれの高さセンサ３，４は計測演算部５に接続され、いずれか一方のセンサ信号が択一的に取り込まれるよう構成されている。
　　　【００１３】
　
図３は
　　　【００１４】
　その後は、ノズル２の移動方向を、ノズル中心の周りでのセンサ３，４の回動運動をもたらすことなく並進的に変更して、他方の高さセンサ４からの検知信号に基づいてノズル２の高さをコントロールすることにより、ノズル２は、図の右辺上を移動して、その辺縁上に液体材料を高い精度で塗布することができる。そしてこのことは、図の下辺辺縁上へ液体材料の塗布に当ってもまたほぼ同様であり、ノズル２が点ｇの近傍部分に至るまでは、センサ４によって、辺縁位置より幾分内側部分の高さ検知を行うことで、その下辺辺縁上に、高い精度で液体材料を塗布することができる。ところで、この場合もまた、ノズル２が点ｇの近傍部分に達すると、センサ３の他にセンサ４もワーク１の辺縁から外側へはみ出すことになるので、この場合もまた、そのはみ出しの後は、ノズル２の高さコントロールを中断して、ノズル２の水平塗布運動だけを行うことによって、点ｃについて述べたと同様に、点ｇ上への高精度の塗布を行うことができる。
　　　【００１５】
　そしてさらに、図の左辺に対しては、高さセンサ３を機能させてノズル２の高さをコントロールすることで、その辺縁上へ、これもまた所期した通りに高い精度で液体材料を塗布することができる。
　　　【００１６】
　従って、この場合においては、最大塗布軌跡を、板状ワーク１の方形輪郭線に一致させることができるのみならず、ワーク表面のいかなる部分に対しても、液体材料を十分高い精度で塗布することが可能となる。
　　　【００１７】
　以上、いずれか一方のセンサの作用下で、最大塗布軌跡をもたらす場合について説明したが、その最大塗布軌跡に囲まれる領域内での塗布に当っては、両センサ３，４を同時に機能させ、計測値の平均値、差などをもとに高さコントロールを行うこともできる。
　　　【００１８】
　　【発明の効果】
　かくしてこの発明によれば、高さセンサの作用下で、板状ワークに対するノズル高さを検知することにより、その板状ワークの反り等の変形に十分に対応することができ、また、通常は並進運動を行うノズルの運動軌跡に重ならない位置に、ノズル中心に対して点対称に配置した少なくとも一対のセンサを使い分けることより、たとえば方形形状をなす板状ワークの全ての部分に、液体材料を十分高い精度で塗布することが可能となる。そして、ここにおけるセンサの使い分けは、計測演算部でのセンサの選択によって行われるので、一の高さセンサ位置をノズルに対して相対変位させる従来技術に比し、特別の作動機構を不要にして、装置の小型、軽量化および製造の簡素化をもたらし得ることはもちろん、その作動機構に対する厳しい加工精度の要求を全く不要とすることができる。そしてまた、高さセンサの総てが、板状ワークの外側にはみ出した場合に、ノズルの高さコントロールを中断して、そのノズルに水平移動だけを行わせるときは、塗布精度にほとんど影響を及ぼすことなしに、ノズルの設置個数を必要最少限のものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　発明装置を例示する略線正面図である。
　　【図２】
　図１の略線平面図である。
　　【図３】
　図１、２に示す装置の最大塗布軌跡を示す略線平面図である。
　　【図４】
　従来装置の最大塗布軌跡を示す略線平面図である。
　【符号の説明】
１　板状ワーク
２　ノズル
３、４　高さセンサ
５　計測演算部
【図面】
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】