【事件の表示】
　特許第２８１１２３８号「基板取り出し装置」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２８１１２３８号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理由】
１．本件発明
　特許第２８１１２３８号（平成３年４月８日出願、平成１０年８月７日設定登録。）の請求項１及び２に係る発明は、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１及び２に記載されたとおりのものである。
２．申立の理由の概要
　申立人永田大樹は、証拠として甲第１号証（特開昭６２−３６２４２号公報）を提出し、請求項１及び２に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、特許を取り消すべき旨を主張している。
３．甲第１号証記載の発明
　甲第１号証には、第３頁左下欄第１０行〜第４頁左上欄第３行に「第６図はウエハカセットＷＫの開口部を見た正面図で、第５図のウエハＷＦが例えば２５枚収納される様子を示す。ここでウエハＷＦ２、ＷＦ３はウエハの種々の処理により弧状に変形した場合を強調して示してある。このようにウエハは厳密には平面性を失っているのが一般的とみなされるので、ウエハの取出し等の際フィンガＦＧの突入位置には細心の注意を払う必要がある。そこでフィンガの出入動作の前に予め各ウエハの位置を正確に検出し、かつフィンガＦＧの最安全突入位置即ち各ウエ八間の中心位置Ｐ１〜Ｐ２６等を算出しておけば良い。第７図Ａはそのための制御ブロック図、第８図はその制御手順を示すフローチャートで第１、７図のリードオンリーメモリＲＯＭにマイクロ命令として格納されているもので、以下この手順に従って動作を説明する。ステップＳＡ１ではまずウエハ位置検出手段例えばレーザセンサＰＳが下降を始め、例えば第６図の最上位置信号発生器ＫＳ４Ｕを検出したときからウエハ位置検出を開始する。センサＰＳが最初のウエハＷＦ２５を検出した段階で最初の距離ｄ２６が決定され、同様に２枚目のウエハＷＦ２４を検出した段階で距離ｄ２５が決定され、以下同様に最下部のｄ１まで検出する。このときセンサＰＳを一定の速度即ちセンサＰＳの応答速度以下の一定速度で上昇させても良いが、これにより全体検出速度の低下は免れ得ない。そこで第６図及び第７図Ｂの波形Ａとして示す如くウエハの存在しない位置ではセンサＰＳを高速に下降させ、ウエハの存在する位置では低速で移動させればよい。そのため、第７図ＡのＲＯＭの一部に標準的ウエハカセットにおける各ウエハの位置Ｄ１〜Ｄ２６を予め記憶させておき、この記憶内容に従って動作制御させれば良い。」と記載され、第４頁左下欄第５行〜第１２行に「以下、Ｄ２まで前記同様の作動を位置情報Ｄｍに従って繰り返し、最後にＲＯＭのアドレスＡＤ３を指定し、最下辺の位置情報Ｄ１に従って前記同様の作動を行ない、センサＰＳが最下位置信号発生器ＫＳ４Ｌを検出して下降を停止する。このようにして各ウエハの実際の位置を検出するので次からの本格的なウエハ取出し及び収納が極めて正確となる。」と記載され、また、第４頁右下欄第２行〜第１０行に「次いでステップＳＡ２では、検出した各ウエハ間の中心位置ｄ１／２〜ｄ２６／２をマイクロプロセッサＭＰＵが算出し、各値を第７図ＡのＲＡＭに図示の如く記憶させる。次いでウエハＷＦ１の取出しのためにフィンガＦＧを現在位置（最下位点）からステップＳＡ２で算出したｄ１／２の位置まで上昇させる（ステップＳＡ３）。これにより第６図の最安全点Ｐ１にフィンガＦＧを位置させることができる。」と記載されている。
４．対比・判断
（請求項１に係る発明について）
　請求項１に係る発明と甲第１号証に記載の発明とを対比すると、両者は保持アーム（甲第１号証に記載の発明の「フィンガＦＧ」が相当する。）が進入（甲第１号証に記載の発明の「突入」が相当する。）する高さ位置を設定する手段を備える点で一致しているが、その手段の具体的な構成として、請求項１に係る発明では「基板収納容器から基板を取り出す際に保持アームが前記基板収納容器内の各収納段へ進入する高さを、前記基板収納容器内への前記保持アームの進入を妨げない一律の間隔の標準アーム進入余裕だけ各収納段の被取り出し基板下面から下方に隔てた高さとして、前記基板収納容器における基板毎に設定するアーム進入高さ設定手段と、前記標準アーム進入余裕を狭小補正する狭小補正量を、容器載置台に載置された基板収納容器に応じて入力する補正量入力手段と、前記基板収納容器の最下段に収納された基板に関して前記アーム進入高さ設定手段が前記一律の標準アーム進入余裕に基づいて設定したアーム進入高さを、前記入力した狭小補正量に基づいて変更する最下段のアーム進入高さ変更手段と」を備えるのに対して、甲第１号証に記載の発明では「フィンガの出入動作の前に予め各ウエハの位置を正確に検出し、かつフィンガＦＧの最安全突入位置即ち各ウエハ間の中心位置Ｐ１〜Ｐ２６等を算出する」という手段、より詳細には「ウエハ位置検出手段例えばレーザセンサＰＳが下降を始め、最上位置信号発生器ＫＳ４Ｕを検出したときからウエハ位置検出を開始し、センサＰＳが最初のウエハＷＦ２５を検出した段階で最初の距離ｄ２６が決定され、同様に２枚目のウエハＷＦ２４を検出した段階で距離ｄ２５が決定され、以下同様に最下部のｄ１まで検出し、センサＰＳが最下位置信号発生器ＫＳ４Ｌを検出して下降を停止し、検出した各ウエハ間の中心位置ｄ１／２〜ｄ２６／２をマイクロプロセッサＭＰＵが算出し、各値をＲＡＭに記憶させてフィンガＦＧの最安全突入位置即ち各ウエハ間の中心位置Ｐ１〜Ｐ２６等を算出する」という手段を備える点で、両者は相違しており、この手段の具体的な構成の相違については、請求項１に係る発明の上記の手段の具体的な構成が、甲第１号証に記載の発明の上記の手段の具体的な構成から、当業者であれば容易に推考しうるものであるとはいえないものである。
　そして、請求項１に係る発明は、上記の手段の具体的な構成を備えたことにより、特許明細書に記載の効果を奏するものである。
　よって、請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
（請求項２に係る発明について）
　請求項２に係る発明と甲第１号証に記載の発明とを対比すると、両者は保持アーム（甲第１号証に記載の発明の「フィンガＦＧ」が相当する。）が進入（甲第１号証に記載の発明の「突入」が相当する。）する高さ位置を設定する手段を備える点で一致しているが、その手段の具体的な構成として、請求項２に係る発明では「基板収納容器から基板を取り出す際に保持アームが前記基板収納容器内の各収納段へ進入する高さを、前記基板収納容器における最下段以外の段に収納された基板については、該基板の下方への前記保持アームの進入を妨げない一律の間隔の標準アーム進入余裕だけ被取り出し基板下面から下方に隔てた高さに設定し、最下段に収納された基板については、該標準アーム進入余裕より狭小な下限アーム進入余裕だけ前記最下段に収納された基板下面から隔てた高さに設定するアーム進入高さ設定手段と、前記最下段に収納された基板に関するアーム進入高さの設定にアーム進入高さ設定手段が用いる前記下限アーム進入余裕を補正する補正量を、容器載置台に載置された基板収納容器に応じて入力する補正量入力手段と、前記下限アーム進入余裕を、前記入力した補正量に基づいて補正する補正手段と」を備えるのに対して、甲第１号証に記載の発明では「フィンガの出入動作の前に予め各ウエハの位置を正確に検出し、かつフインガＦＧの最安全突入位置即ち各ウエハ間の中心位置Ｐ１〜Ｐ２６等を算出する」という手段、より詳細には「ウエハ位置検出手段例えばレーザセンサＰＳが下降を始め、最上位置信号発生器ＫＳ４Ｕを検出したときからウエハ位置検出を開始し、センサＰＳが最初のウエハＷＦ２５を検出した段階で最初の距離ｄ２６が決定され、同様に２枚目のウエハＷＦ２４を検出した段階で距離ｄ２５が決定され、以下同様に最下部のｄ１まで検出し、センサＰＳが最下位置信号発生器ＫＳ４Ｌを検出して下降を停止し、検出した各ウエハ間の中心位置ｄ１／２〜ｄ２６／２をマイクロプロセッサＭＰＵが算出し、各値をＲＡＭに記憶させてフィンガＦＧの最安全突入位置即ち各ウエハ間の中心位置Ｐ１〜Ｐ２６等を算出する」という手段を備える点で、両者は相違しており、この手段の具体的な構成の相違については、請求項２に係る発明の上記の手段の具体的な構成が、甲第１号証に記載の発明の上記の手段の具体的な構成から、当業者であれば容易に推考しうるものであるとはいえないものである。
　そして、請求項２に係る発明は、上記の手段の具体的な構成を備えたことにより、特許明細書に記載の効果を奏するものである。
　よって、請求項２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
５　むすび
　以上のとおりであるから　特許異議申立の理由及び証拠によっては、請求項１及び２に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に請求項１及び２に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年８月２５日（１９９９．８．２５）