【事件の表示】
　特許第２６６３６８３号「搬送台車の除振装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　本件特許異議の申立てを却下する。
【理由】
１．手続きの経緯
　本件特許第２６６３６８３号の請求項１ないし請求項３に係る発明は、平成２年６月２９日に特許出願され、平成９年６月２０日のその特許権の設定登録がなされ、その後、畑中芳美より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、訂正請求がなされた後、訂正拒絶理由がなされ、補正がなされたものである。
２．訂正請求に対する補正について
　平成１１年５月２３日付の補正は、訂正請求書の要旨を変更するものでないから、適法になされている。（なお、補正書として提出された平成１１年２月１９日付けの書面は、訂正請求書の要旨を変更するものであるから、補正書として採用しない。）
３．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
▲１▼特許請求の範囲の請求項３を削除する。
▲２▼明細書〔平成８年１１月５日付の手続補正書第２頁第１９ないし２５行、及び第３頁第１２ないし１６行（本件特許公報第４欄第５０行ないし第５欄第９行、及び第５欄第３２ないし３８行）〕の「また、請求項３に記載の発明は・・・・特徴とする。」及び「また、請求項３に記載の発明によれば・・・・抑制される。」の記載を削除する。
▲３▼明細書第１６頁第９ないし１０行（本件特許公報第９欄第４４行）の「増幅部３１ａ」を「増幅部３２ａ」と訂正する。
▲４▼明細書〔平成８年１１月５日付の手続補正書第３頁第２６ないし２７行（本件特許公報第１０欄第２９行）〕の「駆動擦る」を「駆動する」と訂正する。
▲５▼明細書〔平成８年１１月５日付の手続補正書第３頁第２９ないし第４頁第４行（本件特許公報第１０欄第３３ないし３８行）〕の「また、請求項３に記載の発明によれば・・・・効果が得られる。」の記載を削除する。
（２）訂正の目的、新規事項及び拡張・変更について
▲１▼の訂正について
　この訂正は、特許請求の範囲の請求項を削除するものであるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書き第１号に規定された特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
▲２▼及び▲５▼の訂正について
　これらの訂正は、▲１▼の訂正に伴い、明細書の発明の詳細な説明の記載を整合させたものであるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書き第３号に規定された明りょうでない記載の釈明を目的にするものである。
▲３▼の訂正について
　この訂正は、「増幅部」の符号３１ａという明らかな誤記を正しい符号３２ａに訂正するものであるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書第２号に規定された誤記の訂正を目的にするものである。
▲４▼の訂正について
　この訂正は、仮名遣いの明らかな誤記を訂正するものであるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書第２号に規定された誤記の訂正を目的にするものである。
　そして、上記の各訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、又、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではなく、さらに、訂正後における特許請求の範囲に記載されている事項により特定される発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるから、特許法第１２０条の４第３項で準用する第１２６条第２項ないし第４項の規定に適合する。
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記の訂正を認める。
３．特許異議の申立てについての判断
本件請求項３は、訂正の結果削除された。
　したがって、特許異議の申立ての対象が存在しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年６月１１日（１９９９．６．１１）
【訂正の要旨】
▲１▼特許請求の範囲の請求項３を特許請求の範囲の減縮を目的として削除する。
▲２▼平成８年１１月５日付けの手続補正書第２頁第１９ないし２５行、第３頁第１２ないし１６行（本件特許公報第４欄第５０行ないし第５欄第９行、及び第５欄第３２ないし３８行）の「また、請求項３に記載の発明は・・・・特徴とする。」及び「また、請求項３に記載の発明によれば・・・・抑制される。」の記載を明りょうでない記載の釈明を目的として削除する。
▲３▼明細書第１６頁第９ないし１０行（本件特許公報第９欄第４４行）の「増幅部３１ａ」を誤記の訂正を目的として「増幅部３２ａ」と訂正する。
▲４▼平成８年１１月５日付の手続補正書第３頁第２６ないし２７行（本件特許公報第１０欄第２９行）の「駆動擦る」を誤記の訂正を目的として「駆動する」と訂正する。
▲５▼平成８年１１月５日付けの手続補正書第３頁第２９ないし第４頁第４行（本件特許公報第１０欄第３３ないし３８行）の「また、請求項３に記載の発明によれば・・・・効果が得られる。」の記載を明りょうでない記載の釈明を目的として削除する。
（５４）【発明の名称】
搬送台車の除振装置
（５７）【特許請求の範囲】
（１）台車本体と、前記台車本体の上部に防振部材を介して支持された荷台とを有する搬送台車において、
　前記荷台に作用する振動の加速度を検出する加速度検出手段と、
　前記加速度検出手段により検出された加速度信号を速度信号に変換する変換手段と、
　前記荷台に取り付けられた第１の電磁石と、
　前記第１の電磁石に対向配置され、前記台車本体に取り付けられた第２の電磁石と、
　前記第１の電磁石と前記第２の電磁石との間に配され、支持棒を介して前記荷台に取り付けられた磁性板と、
　前記速度信号に基づいて、前記第１または第２の電磁石のうちから、前記荷台に生じた振動を減衰させるためのものを選択する選択手段と、
　前記選択手段により選択された前記第１または第２の電磁石のいずれかへ前記速度信号に応じたレベルの電流を供給する制御手段と
　を具備することを特徴とする搬送台車の除振装置。
（２）台車本体と、前記台車本体の上部に防振部材を介して支持された荷台とを有する搬送台車において、
　前記荷台に作用する振動の加速度を検出する加速度検出手段と、
　前記加速度検出手段により検出された加速度信号を速度信号に変換する変換手段と、
　基端部が前記荷台に取り付けられ、先端部が前記荷台の下面に当接されており、
　その弾性力により前記荷台に対して上向きの力を付与する板バネと、
　前記板バネの前記基端部近傍の下面に取り付けられ、前記板バネを介して、供給電圧に応じて前記荷台を上方向へ移動させる第１の圧電素子と、
　前記板バネの前記基端部の上面に取り付けられ、前記板バネを介して、供給電圧に応じて前記荷台を下方向へ移動させる第２の圧電素子と、
　前記速度信号に基づいて、前記第１または第２の圧電素子のうちから、前記荷台に生じた振動を減衰させるためのものを選択する選択手段と、
　前記選択手段により選択された前記第１または第２の圧電素子のいずれかへ前記速度信号に応じたレベルの電圧を供給する制御手段と
　を具備することを特徴とする搬送台車の除振装置。
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
　この発明は、シリコンウエハなどを搬送する搬送台車に用いて好適な搬送台車の除振装置に関する。
「従来の技術」
　従来より、シリコンウエハの搬送を行う搬送台車（例えば自立無人車）には防振構造が採用されている。この防振構造により、クリーンルーム内の空気を排出する目的で床面に開けられたグレーティングによる衝撃や変位加振による振動を抑制し、シリコンウエハの破損を防止している。
　第１０図は、上述した防振構造の搬送台車１を示す概略構成図であり、この図に示すように台車本体１ａと荷台１ｂとの間に防振ゴム２，２が介挿されており、これらによって荷台１ｂの振動が遮断される。ここで、第１１図は荷台１ｂと積載物３と防振ゴム２，２からなる振動系における周波数と伝達率の関係を示したグラフであり、このグラフに示すように、当該振動系の固有周波数よりも高い周波数の振動が遮断されているのがわかる。なお、伝達率は第１０図に示すように、台車本体１ａの変位ｚｏと積載物３の変位ｚとの比で表される。
　「発明が解決しようとする課題」
　ところで、台車本体１ａの振動の遮断を防振ゴム２，２によって行う場合、同防振ゴム２，２の特性から固有振動数を１０Ｈｚ以下にするのは難しく、このため１０Ｈｚ前後の周波数を遮断することができなかった。
また、グレーティング４（第１０図参照）上を走行する際に生じる振動の周波数は、同グレーティング４のピッチと搬送台車１の走行速度とから決まり、その基本周波数が数Ｈｚ〜１０Ｈｚ位になる。このため、その基本周波数あるいはその高調波成分が防振ゴム２の固有振動数に一致し、共振を起こしてしまう。そして、この際の共振倍率が１０倍程度になるので、共振点では台車本体１ａの振動が１０倍の増幅されて荷台１ｂに伝達されてしまう。
　この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、共振倍率を低くして荷台の振動を小さくすることができる搬送台車の除振装置を提供することを目的としている。
「課題を解決するための手段」
　請求項１に記載の発明は、台車本体と、前記台車本体の上部に防振部材を介して支持された荷台とを有する搬送台車において、前記荷台に作用する振動の加速度を検出する加速度検出手段と、前記加速度検出手段により検出された加速度信号を速度信号に変換する変換手段と、前記荷台に取り付けられた第１の電磁石と、前記第１の電磁石に対向配置され、前記台車本体に取り付けられた第２の電磁石と、前記第１の電磁石と前記第２の電磁石との間に配され、支持棒を介して前記荷台に取り付けられた磁性板と、前記速度信号に基づいて、前記第１または第２の電磁石のうちから、前記荷台に生じた振動を減衰させるためのものを選択する選択手段と、前記選択手段により選択された前記第１または第２の電磁石のいずれかへ前記速度信号に応じたレベルの電流を供給する制御手段とを具備することを特徴とする。
　また、請求項２に記載の発明は、台車本体と、前記台車本体の上部に防振部材を介して支持された荷台とを有する搬送台車において、前記荷台に作用する振動の加速度を検出する加速度検出手段と、前記加速度検出手段により検出された加速度信号を速度信号に変換する変換手段と、基端部が前記荷台に取り付けられ、先端部が前記荷台の下面に当接されており、その弾性力により前記荷台に対して上向きの力を付与する板バネと、前記板バネの前記基端部近傍の下面に取り付けられ、前記板バネを介して、供給電圧に応じて前記荷台を上方向へ移動させる第１の圧電素子と、前記板バネの前記基端部の上面に取り付けられ、前記板バネを介して、供給電圧に応じて前記荷台を下方向へ移動させる第２の圧電素子と、前記速度信号に基づいて、前記第１または第２の圧電素子のうちから、前記荷台に生じた振動を減衰させるためのものを選択する選択手段と、前記選択手段により選択された前記第１または第２の圧電素子のいずれかへ前記速度信号に応じたレベルの電圧を供給する制御手段とを具備することを特徴とする。
「作用」
　請求項１に記載の発明によれば、荷台が振動すると、加速度検出手段から加速度信号が出力され、この加速度信号は、変換手段により速度信号に変換される。これにより、選択手段は、上記速度信号に基づいて第１または第２の電磁石のうちから振動を減衰させるためのものを選択する。次いで、制御手段は、上記選択された第１または第２の電磁石のいずれかのものへ速度信号に応じたレベルの電流を供給する。これにより、当該電磁石へ磁性板が、振動の方向と逆方向に引きつけられ、この結果、荷台の振動が抑制される。
　また、請求項２に記載の発明によれば、荷台が振動すると、加速度検出手段から加速度信号が出力され、この加速度信号は、変換手段により速度信号に変換される。これにより、選択手段は、上記速度信号に基づいて第１または第２の圧電素子のうちから振動を減衰させるためのものを選択する。次いで、制御手段は、上記選択された第１または第２の圧電素子のいずれかのものへ速度信号に応じたレベルの電圧を供給する。これにより、当該圧電素子が駆動され、板バネを介して振動の方向と逆方向に荷台が移動され、この結果、荷台の振動が抑制される。
「実施例」
　以下、図面を参照してこの発明の実施例について説明する。
◇第１実施例
　第１図は、この発明の第１実施例による除振装置を適用した搬送台車７を示す概略構成図である。なお、この図に示す台車本体７ａは断面図で示している。また、この図において前述した第１０図と共通する部分には同一の符号を付してその説明を省略する。
　この図において、台車本体７ａには、その上部中央に貫通孔８が開けられており、この貫通孔８に位置するように電磁石９が同台車本体７ａに固定されている。この電磁石９には増幅部１０から電流が供給されるようになっている。また、台車本体７ａの内部には、図示のように水平方向に支持板１１が取付けられており、この上面中央には前記電磁石９に対向して電磁石１２が固定されている。この電磁石１２には増幅部１３から電流が供給されるようになっている。
　荷台７ｂの下面には、下方へ伸びる支持棒１４，１４がそれぞれ離間して取付けられており、この支持棒１４，１４の先端に磁性材（以下鉄板）１５が取付けられている。この場合、鉄板１５は電磁石９と電磁石１２との中間に位置するように前記支持板１１の位置および支持棒１４，１４の長さが決定されている。また、荷台７ｂの下面中央部には加速度センサ１６が取付けられており、これによって荷台７ｂの振動が検出される。加速度センサ１６の出力信号は制御部１７に供給され、制御部１７は供給される出力信号に基づいて増幅部１０，１３の出力レベルを制御する。すなわち、制御部１７は、加速度センサ１６の出力信号を積分して速度信号を算出し、この速度信号に基づいて増幅部１０，１３の出力レベルを決定する。この場合、制御部１７は荷台７ｂが下方に移動した場合には電磁石９を動作させ、荷台７ｂが上方に移動した場合には電磁石１２を動作させる。
　このように構成された搬送台車１において、車輪６がグレーティング４の溝に落ちるとき、防振ゴム２，２が伸ばされて荷台７ｂが下向きの力を受け、下方へ移動する。この運動が加速度センサ１６にて検出され、その検出信号が制御部１７に供給される。制御部１７は供給された検出信号を積分し、荷台７ｂの速度を算出する。このときの速度信号は負になるので、制御部１７は電磁石９を選択し、これに荷台７ｂの速度に応じた制御力を発生させるように増幅器１０の出力レベルを制御する。これにより、増幅器１０の出力レベルに応じた吸引力で鉄板１５が電磁石９により引上げられる。このとき、電磁石９から荷台７ｂに作用する力は同荷台７ｂの運動に対する抵抗力（減衰力）となる。
　一方、車輪６がグレーティング４の溝から上がるとき、防振ゴム２，２が圧縮されて荷台７ｂが上向きの力を受け、上方へ移動する。このとき速度信号は正になるので、制御部１７は電磁石１２を選択し、これに荷台７ｂの速度に応じた制御力を発生させるように増幅器１３の出力レベルを制御する。これにより、増幅器１３の出力レベルに応じた吸引力で鉄板１５が電磁石１２により引下げられる。この場合も電磁石１２から荷台７ｂに作用する力は同荷台７ｂの運動に対する減衰力となる。このように、電磁石９，１２はそれぞれ荷台７ｂの速度に応じた減衰力のみを同荷台７ｂに与え、防振ゴム２，２は静止時の荷重を受け持つ。
　なお、上記第１実施例においては、一組の電磁石９，１２を設けた場合について説明したが、荷台７ｂの四隅にそれぞれ一組づつ配置すれば、上下方向の振動のみならず、ピッチング、ローリングの制御もできる。また、水平方向にも四組の電磁石を設置すれば、水平２方向の並進運動とヨーイングの制御もできる。
ここで参考として、第２図にこの第１実施例のブロック線図を示す。なお、この図における各記号の意味は次の通りである。
Ｚ：荷台の上下方向の変位【ｍ】
Ｚ０：台車本体の上下方向変位【ｍ】
ｍ：荷台および積載物の総重量【ｋｇ】
Ｋ：防振ゴムのばね定数【Ｎ】
Ｃ：防振ゴムの減衰係数【Ｎ】
Ｋｓ：加速度センサのゲイン【Ｖ】
Ｋ１：積分ゲイン【Ｖ】
Ｋｏ：増幅部のゲイン【Ｖ】
ｅ：コイル電圧【Ｖ】
ｉ：コイル電流【Ａ】
Ｒ：コイル抵抗【Ω】
Ｎ：コイル巻き数【Ｔ】
μ０：真空中の透磁率【Ｖｓ】
Ａｇ：磁極面積【ｍ２】
σ：ギャップ長【ｍ】
Ｗ：ギャップの定常値【ｍ】
Ｐｇ：ギャップ部のパーミアンス【Ｈ】
Ｐｌ：漏れパーミアンス【Ｈ】
Φｇ：ギャップ部の有効磁束【Ｗｂ】
Φｌ：漏れ磁束【Ｗｂ】
Φｔ：総磁束【Ｎ】
ｆ：荷台に働く力【Ｎ】
ｆ１：電磁石１２の吸引力【Ｎ】
ｆ２：電磁石９の吸引力【Ｎ】
ｓ：ラプラス演算子
「・」：時間ｔに関する微分を表す
　また、第４図および第５図は、台車本体７ａが第３図に示すような上下方向の振動を受けたときに、荷台７ｂの変位がどのように変化するのかをシュミレーションで示した結果を示す波形図である。第４図は、防振ゴム２，２だけで荷台７ｂを支えているときの振動を示す波形図であり、振動の全振幅は０．９ｍｍになっている。これに対して第５図は、荷台７ｂの速度に応じて電磁石９または１２を制御したときの振動を示す波形図であり、振動の全振幅は３０μｍとなり、防振ゴム２，２のみの場合と比較して３０分の１に減少しているのがわかる。
◇第２実施例
　第６図は、この発明の第２実施例による除振装置を適用した搬送台車２０を示す概略構成図である。この実施例においては、前述した第１実施例において使用した電磁石９，１２に代って圧電素子２３ａ，２３ｂを使用したものである。この図において、台車本体２０ａの上面の前部および後部（進行方向に対して）には方形状のブロック２１ａ，２１ｂが取付けられており、これらの上端には基端部を固定して板ばね２２ａ，２２ｂが取付けられている。これら板ばね２２ａ，２２ｂの先端部が、荷台２０ｂが静止した状態で同荷台２０ｂの下面に当接するようになっている。また、各板ばね２２ａ，２２ｂの基端部側の上下面にはそれぞれ圧電素子２３ａ，２３ａ，２３ｂ，２３ｂが取付けられている。ここで、圧電素子２３ａ，２３ｂは共に台車本体２０ａと荷台２０ｂに対して同様に取付けられ、かつその作用も同様であるので、以下圧電素子２３ａについてのみ説明する。
　前記板ばね２２ａの上面に取付けられた圧電素子２３ａには増幅部２４ａから電圧が印加され、同板ばね２２ａの下面に取付けられた圧電素子２３ａには増幅部２５ａから電圧が印加されるようになっている。この場合、各圧電素子２３ａ，２３ａに印加される電圧の値は、荷台２０ｂの上面に取付けられた加速度センサ１６ａの出力値に基づいて制御部２６ａにより決定される。すなわち、制御部２６ａは荷台２０ｂが下方に移動した場合には下側の圧電素子２３ａを動作させ、荷台２０ｂが上方に移動した場合には上側の圧電素子２３ａを動作させる。
　このように構成された搬送台車２０の除振装置において、荷台２０ｂが下向きの力を受け、下方へ移動すると、この移動が加速度センサ１６ａによって検出され、検出信号が制御部２６ａに供給される。制御部２６ａは供給された検出信号を積分し、荷台２０ｂの速度を算出する。このときの速度信号は負となるので、制御部２６ａは下側の圧電素子２３ａに速度に応じた電圧を印加するように増幅器２５ａの出力を設定し、板ばね２２ａを上向きに曲げる。この場合、板ばね２２ａから荷台２０ｂに働く力は、荷台２０ｂの運動に対する減衰力となる。
　一方、荷台２０ｂが上向きの力を受け、上方へ移動すると、制御部２６ａから出力される速度信号が正となるので、制御部２６ａは上側の圧電素子２３ａに速度に応じた電圧を印加するように増幅器２５ａの出力を設定し、板ばね２２ａを下向きに曲げる。この場合も板ばね２２ａから荷台２０ｂに働く力は、荷台２０ｂの運動に対する減衰力となる。このように、圧電素子２３ａ，２３ａは荷台２０ｂに対して速度に応じた減衰力だけを与え、防振ゴム２，２は静荷重を受け持つ。
　なお、この第２実施例においては、二つ組の圧電素子２３ａ，２３ｂを設けた場合について説明したが、上述した第１実施例と同様に荷台２０ｂの四隅にそれぞれ一組づつ配置すれば、上下方向の振動のみならず、ピッチング、ローリングの制御もできる。また、水平方向にも四組の電磁石を設置すれば、水平２方向の並進運動とヨーイングの制御もできる。
　ここで、参考として、第７図にこの第２実施例のブロック線図を示す。なお、この図における各記号の意味は次の通りである。
Ｚ：荷台の上下方向の変位【ｍ】
Ｚ０：台車本体の上下方向変位【ｍ】
ｍ：荷台および積載物の総重量【ｋｇ】
Ｋ：防振ゴムのばね定数【Ｎ】
Ｃ：防振ゴムの減衰係数【Ｎ】
Ｋｓ：加速度センサのゲイン【Ｖ】
Ｋ１：積分ゲイン【Ｖ】
Ｋｆ：圧電素子のゲイン【Ｖ】
ｆ：荷台に働く力【Ｎ】
ｆ１：圧電素子が発生する制御力【Ｎ】
ｆ２：圧電素子が発生する制御力【Ｎ】
ｓ：ラプラス演算子
「・」：時間ｔに関する微分を表す
　また、この第２実施例における振動抑制効果も上述した第１実施例と同一の結果が得られた。
◇第３実施例
　第８図は、この発明の第３実施例による除振装置を適用した搬送台車２７を示す概略構成図である。この実施例においては、前述した第１実施例において使用した電磁石９，１２に代わってリニア直流モータ２８ａ，２８ｂを使用したものである。
　この図において、台車本体２７ａの上面前部および後部には、リニア直流モータ２８ａ，２８ｂが取付けられている。リニア直流モータ２８ａは可動コイル２９ａと永久磁石３０ａとから構成されており、永久磁石３０ａに対して可動コイル２９ａが上下に移動するようになっている。リニア直流モータ２８ｂもこれと同様に構成されている。ここで、リニア直流モータ２８ａ，２８ｂは共に台車本体２７ａと荷台２７ｂに対して同様に取付けられ、その作用も同様であるので、以下リニア直流モータ２８ａについてのみ説明する。
　前記リニア直流モータ２８ａの可動コイル２９ａは、その上端が棒部材３１ａを介して荷台２７ｂに接続されている。この可動コイル２９ａへは増幅部３２ａから電流が供給されるようになっている。この場合、可動コイル２９ａに供給される電流の値は、荷台２７ｂの上面に取付けられた加速度センサ１６ａの出力値に基づいて制御部３３ａによって決定される。
　このように構成された搬送台車２７の除振装置において、荷台２７ｂが下向きの力を受け、下方へ移動すると、この運動が加速度センサ１６ａにて検出され、この検出信号が制御部３３ａに供給される。制御部３３ａは供給された検出信号を積分し、荷台２７ｂを速度を算出する。このときの速度信号は負となるので、制御部３３ａはその速度に応じた正の電流を増幅部３２ａから出力させ、可動コイル２９ａを上方へ移動させる。
　一方、荷台２７ｂが上向きの力を受け、上方へ移動すると、このとき速度信号が正となるので、制御部３３ａはその速度に応じた負の電流を増幅部３２ａから出力させ、可動コイル２９ａを下方へ移動させる。
　なお、この第３実施例においては、二組のリニア直流モータ２８ａ，２８ｂを設けた場合について説明したが、上述した第１および第２実施例と同様に荷台２７ｂの四隅にそれぞれ一組づつ配置すれば、上下方向の振動のみならず、ピッチング、ローリングの制御もできる。また、水平方向にも四組のリニア直流モータを設置すれば、水平２方向の並進運動とヨーイングの制御もできる。
　また、参考として第９図にこの第３実施例のブロック線図を示す。なお、この図における各記号の意味は次の通りである。
Ｚ：荷台の上下方向の変位【ｍ】
Ｚ０：台車本体の上下方向変位【ｍ】
ｍ：荷台および積載物の総重量【ｋｇ】
Ｋ：防振ゴムのばね定数【Ｎ】
Ｃ：防振ゴムの減衰係数【Ｎ】
Ｋｓ：加速度センサのゲイン【Ｖ】
Ｋ１：積分ゲイン【Ｖ】
Ｋｆ：リニア直流モータのゲイン【Ｎ】
ｆ：荷台に働く力【Ｎ】
ｆ１：リニア直流モータの推力【Ｎ】
ｓ：ラプラス演算子
「・」：時間ｔに関する微分を表す
　また、この第３実施例における振動抑制効果も上述した第１および第２実施例と同一の結果が得られた。
「発明の効果」
　以上説明したように、請求項１に記載の発明によれば、荷台に作用する振動の加速度信号が変換された速度信号に基づいて、制御手段により第１または第２の電磁石を駆動するように制御して、荷台の振動を抑制するようにしたので、共振倍率を低くして荷台の振動を小さくするという効果が得られる。
　また、請求項２に記載の発明によれば、荷台に作用する振動の加速度信号が変換された速度信号に基づいて制御手段により第１または第２の圧電素子を駆動するように制御して、荷台の振動を抑制するようにしたので、共振倍率を低くして荷台の振動を小さくすることができるという効果が得られる。
　また、本発明によれば、電気的に制振制御を行っているので、電気的制御以外の制御に比して振動が発生してから振動が抑制されるまでの時間が短い、すなわち、応答性が良いという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
　第１図はこの発明の第１実施例による除振装置を適用した搬送台車を示す概略構成図、第２図は同第１実施例のブロック線図、第３図〜第５図は同第１実施例の効果を説明するための図、第６図はこの発明の第２実施例による除振装置を適用した搬送台車を示す概略構成図、第７図は同第２実施例のブロック線図、第８図はこの発明の第３実施例による除振装置を適用した搬送台車を示す概略構成図、第９図は同第３実施例のブロック線図、第１０図は従来の除振構造の搬送台車を示す概略構成図、第１１図は従来技術の問題点を説明するための図である。
２，２……防振ゴム（防振部材）、３……積載物、４……グレーティング、６……車輪、７ａ，２０ａ，２７ａ……台車本体、７ｂ，２０ｂ，２７ｂ……荷台、９，１２……電磁石、１０，１３，２４ａ，２５ａ，３２ａ……増幅部、１５……磁性材（９，１２，１５は制動手段）、１６，１６ａ，１６ｂ……加速度センサ（加速度検出手段）、１７，２６ａ，３３ａ……制御部（制御手段）、２２ａ，２２ｂ……板ばね、２３ａ，２３ｂ……圧電素子（２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂは制動手段）、２８ａ，２８ｂ……リニア直流コイル（２８ａ，２８ｂは制動手段）。