【事件の表示】
　特許第２７０８１７１号「干渉計」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７０８１７１号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理由】
１．手続きの経緯
　特許第２７０８１７１号の請求項１乃至３に係る発明についての出願は、昭和６３年３月２日（パリ条約による優先権主張１９８７年３月２日米国）に出願され、平成９年１０月１７日にその発明について特許の設定登録がなされたが、その特許について、特許異議申立人　菅原益夫より特許異議の申し立てがなされ、取消理由通知がなされたところ、期間延長請求書にて延長された指定期間内である平成１１年５月２７日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
ア．訂正の概要及び、その適否の判断
　特許権者が求めている訂正の内容は以下のとおりである。
ａ．請求項１の「前記ビーム・スプリッタ手段と熱平衡状態にあり］の記載を「前記ビーム・スプリッタ手段に熱的に接触してこれと熱平衡状態にあり」と訂正する。
　上記ａに関する記載として、「基準ビーム１３と測定ビーム１５とは干渉計の光学アセンブリ２０に向い、ここで基準ビーム１３は反射して検出器１７に戻され、測定ビーム１５は可動測定鏡２１に伝えられる３可動鏡２１の鏡面２２は測定ビームを反射して光学アセンブリ２０に戻し、次に検出器１７に戻す。」（明細書６頁１７行−７頁２行）の記載がある。そして、第１図を見ると、光源から出力されたビーム（基準ビーム・測定ビーム）が、通過する構成要素としては、一体で構成された光学アセンブリ内のみであることが見て取れる。さらに、該光学アセンブリは、基準ビームと、測定ビームの光学アセンブリ内の通過光路長が同じとなるように、複数のビームスプリッタ、１／４波長板から構成されている。したがって、該光学アセンブリを構成する要素（ビームスプリッタ、１／４波長板）は一体で構成されているから、熱的に接触し熱平衡状態にあることが理解できる。
　したがって、上記ａに関する訂正は明細書に記載された事項の範囲内で、光学手段の構成を減縮し明瞭にしたものといえるから、不明瞭な記載の釈明に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、または変更するものではない。
イ．独立特許要件の判断
　以上のとおりであるから、訂正明細書の請求項１乃至３に係る発明（以下、それぞれ、本件発明１乃至３という）は、その特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載されたとおりのものである。
　そして、上記本件発明１乃至３は、本件発明１がその特許請求の範囲に記載された下記の事項により特定されるとおりのものであり、本件発明２乃び３が請求項１を引用するものである。
　　　　　記
　【請求項１】光ビームを発生する光源手段と、光検出器と、前記光ビームを基準ビームと測定ビームとに分離するビーム・スプリッタ手段と、可動測定面に装着され、実質的に光路長を持たない反射手段と、前記ビーム・スプリッタ手段に熱的に接触してこれと熱平衡状態にあり、該ビーム・スプリッタ手段と協働して、基準経路に沿う前記基準ビーム、および前記可動測定面上の前記反射手段への往復距離を含む測定経路に沿う前記測定ビームを、それぞれ前記検出器に向けるための光学要素を有する光学手段と、を備えて成り、前記基準経路と前記測定経路とは、屈折率がほぼ同じの異なる光学要素を通り、前記光学手段を通してほぼ同じ光路長を有し、前記ビーム・スプリッタ手段および前記光学手段を通して前記基準経路の光路長および前記測定経路の光路長において熱的に誘起された変動が互いに補償されることを特徴とする干渉計。
　本件発明１乃至３に対して当審が平成１０年１１月１３日付けで通知した取消理由通知で引用した、本件出願の日前の他の出願であって、その出願後に出願公開された先願発明（特願昭６１−６８０５７号）の願書に最初に添付した明細書または図面（以下、先願明細書という）には下記のとおりの記載がある。
先願明細書：（特願昭６３−６８０５７号（特開昭６２−２２３６０４号公報参照））
　「本発明は、物体の位置の変化および運動の測定法に係わり、光干渉計とプリズム及び反射鏡から構成された干渉測長光学系による運動の６自由度の測定法に関する。」（公報１頁左下欄１６行−右下欄２行）
　そして、図１を参酌すると、入射された光は、二つの偏光ビームスプリッタ・キューブコーナプリズム・１／２波長板が一体になった光学手段と、これとは別体で設けられた１／４波長板を光路として反射出力されており、該光学手段内では反射鏡▲６▼及び▲７▼にて反射される光の光路長が同じであることが見て取れる。
（対比・判断）
　本件発明１と上記先願明細書に記載された発明とを対比すると、本件発明１は、光が通過する光路上に存在するすべての要素が一体で構成され、「ビーム・スプリッタ手段に熱的に接触してこれと熱平衡状態にあり、該ビーム・スプリッタ手段と協働して、基準経路に沿う前記基準ビーム、および前記可動測定面上の前記反射手段への往復距離を含む測定経路に沿う前記測定ビームを、それぞれ前記検出器に向けるための光学要素を有する光学手段」であるのに対し、先願明細書に記載された発明では、光路上にある１／４波長板はビームスプリッタとは離間されて設けられており、熱的に接触し熱平衡状態にあるとはいえない。
　また、請求項２乃び３に記載された発明は請求項１の構成を引用する構成を含むものであるから上記請求項１について対比したとおりである。
　そして、本件発明１乃至３は、上記「ビーム・スプリッタ手段に熱的に接触してこれと熱平衡状態にあり、該ビーム・スプリッタ手段と協働して、基準経路に沿う前記基準ビーム、および前記可動測定面上の前記反射手段への往復距離を含む測定経路に沿う前記測定ビームを、それぞれ前記検出器に向けるための光学要素を有する光学手段」であることにより「温度の変化を補償し」、「高熱安定性干渉計を提供する」ことが可能であるという効果を奏する。
　したがって、本件発明１乃至３と上記先願明細書に記載された発明とは実質的に同一とはいえない。
　よって、本件発明１乃至３は特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項および同条第３項で準用する第１２６条第２−４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申し立てについて
ア．申立の概要
　特許異議申立人は特許異議申立時に、証拠として甲第１号証（上記先願明細書と同じ）を提出し、請求項１乃至３に係る発明は、先願明細書である甲第１号証に記載された発明と同一であると認められ、しかも、本件発明１乃至３の発明者が上記先願明細書に記載された発明の発明者と同一であるとも、また、本件の出願の時に、その出願人が上記他の出願の出願人と同一であるとも認められないので、本件発明１乃至３は、特許法第２９条の２第１項の規定に該当し、または、本件発明１乃至３はその明細書に不備があり、特許法第３６条第３項及び第４項の規定に違反して特許された
ものであるから、本件発明１乃至３の特許は、特許法第１１３条第１項第２号または同法同条同項第４号の規定により取り消されるべきものである旨主張している。
イ．判断
ａ．特許法第２９条の２について
　特許異議申立人が提出した甲第１号証には本件発明１乃至３を特定する事項である「ビーム・スプリッタ手段に熱的に接触してこれと熱平衡状態にあり、該ビーム・スプリッタ手段と協働して、基準経路に沿う前記基準ビーム、および前記可動測定面上の前記反射手段への往復距離を含む測定経路に沿う前記測定ビームを、それぞれ前記検出器に向けるための光学要素を有する光学手段」が記載されておらず、当該事項により本件発明１乃至３は「温度の変化を補償し」、「高熱安定性干渉計を提供する」ことが可能であるという効果を奏することは明白である。
　したがって、本件発明１乃至３が上記甲第１号証に記載された発明と実質的に同一とはいえない。
ｂ．特許法第３６条について
　異議申立人の主張する明細書の記載不備はおおむね以下の点にあると認める。
▲１▼請求項１に記載された「ビームスプリッタと熱的平衡状態にある」は詳細な説明に対応する実施例の記載がなく、当該構成がどのような構成を指すか不明瞭である。
▲２▼請求項１に記載された構成では、詳細な説明に記載された目的が達成されるか不明瞭である。
不明瞭な点▲１▼について
　本件図面の第１図を見れば、光源から出力された光は光学手段２０を介して、基準ビームは光学手段２０内のみを通り、また、測定ビームは、光学手段内を通り、該光学手段から出たビームが測定面で反射し再び光学手段内を通り検出手段に出力されることが見て取れる。ここで、上記２つのビームが通過する装置は、いずれも光学手段のみであり、該光学手段はすべての構成が一体で構成され、一体であるが故にこれらの一部に温度変化が生じたとき熱が伝導して、熱平衡状態になることが理解できる。
　してみると、請求項１に記載された熱平衡状態とは、上記実施例に記載された、光学手段が一体に構成されることにより、その一部に温度変化が生じたとしても、光学手段全体にその熱の変化が伝導する構成を指すことは自明のことである。
不明瞭な点▲２▼について
　上記のとおり、本件請求項１に記載された構成において、光学手段が一体で構成されると、その一部で温度変化が生じたとしても、その熱が光学手段全体に伝導するから、光学手段が熱により変形して生じる誤差も、光学手段全体に生じるものとなり、基準ビームおよび、検出ビームはいずれもこの光学手段のみを通過することから、熱による形状の変化から生じる誤差も互いに相殺されることは自明のことであり、高熱安定性干渉計が得られることが理解できる。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由および、証拠によっては、本件発明１乃至３の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１乃至３の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年７月２９日（１９９９．７．２９）
【訂正の要旨】
　　　　　　訂正の要旨
ａ．請求項１の「前記ビーム・スプリッタ手段と熱平衡状態にあり」の記載を特許請求の範囲の減縮を目的として［前記ビーム・スプリッタ手段に熱的に接触してこれと熱平衡状態にあり」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
干渉計
（５７）【特許請求の範囲】
（１）光ビームを発生する光源手段と、
　光検出器と、
　前記光ビームを基準ビームと測定ビームとに分離するビーム・スプリッタ手段と、
　可動測定面に装着され、実質的に光路長を持たない反射手段と、
　前記ビーム・スプリッタ手段
に熱的に接触してこれと熱平衡状態にあり、
　を備えて成り、
　前記基準経路と前記測定経路とは、屈折率がほぼ同じの異なる光学要素を通り、前記光学手段を通してほぼ同じ光路長を有し、前記ビーム・スプリッタ手段および前記光学手段を通して前記基準経路の光路長および前記測定経路の光路長において熱的に誘起された変動が互いに補償されることを特徴とする干渉計。
（２）前記光ビームが、平面偏光基準成分と、該基準成分に垂直な平面偏光測定成分とを備え、
　前記ビーム・スプリッタ手段が、前記光源手段からの前記光ビームが入射する第１の面と、該第１の面と対向する第２の面と、該第１の面に隣接する第３の面および第４の面とを備えた四角形の断面を有し、前記第１の面と対角線的に平面偏光ビーム・スプリッタ面を備えており、前記光学手段が、前記第２の面に装着された透明の四分の一波長板と、前記第３の面に装着されたキューブ・コーナと、前記第４の面に装着された反射型四分の一波長板とを備え、
　前記基準経路が、前記ビーム・スプリッタ手段を通り、前記反射型四分の一波長板を二度通って、再び前記ビーム・スプリッタ手段を通り、前記キューブ・コーナを通り、前記ビーム・スプリッタ手段を通り、前記反射型四分の一波長板を二度通って再び前記ビーム・スプリッタ手段を通り、前記検出器へと入り、
　前記測定経路が、前記ビーム・スプリッタ手段を通り、前記透明の四分の一波長板を通り、前記反射手段に達し、再び前記透明の四分の一波長板を通り、前記ビーム・スプリッタ手段を通り、前記キューブ・コーナを通り、前記ビーム・スプリッタ手段を通り、前記透明の四分の一波長板を通って前記反射手段に達し、再び前記透明の四分の一波長板を通り、前記ビーム・スプリッタ手段を通って前記検出器へ入ることを特徴とする請求項（１）記載の干渉計。
（３）前記光ビームが、平面偏光基準成分と、該基準成分に垂直な平面偏光測定成分とを備え、
　前記ビーム・スプリッタ手段が、
　高さ面、底面、および斜面を有し、該斜面上に偏光ビーム・スプリッタ面を有するポロ・プリズムと、
　前記高さ面に平行で前記光源手段からの光ビームが入射する第１の面と、該第１の面に隣接し前記斜面に接続された第２の面と、前記第１の面に平行な第３の面と、前記第２の面に平行な第４の面とを有し、前記ポロ・プリズムに接続れた平行四辺形プリズムと、
　を備えた複合プリズムであり、
　前記光学手段が、
　前記底面上に装着された第１の透明な四分の一波長板と、該第１の透明な四分の一波長板上に装着されたキューブ・コーナと、前記高さ面上に装着された第２の透明な四分の一波長板と、前記平行四辺形プリズムの、前記第３の面上に装着された第３の透明な四分の一波長板と、前記第４の面上の反射性被膜とを備え、
　前記干渉計が、前記測定面の近くに装着された、実質的に光路長を有しない固定の反射手段をさらに備え、
　前記基準経路が、前記ビーム・スプリッタ手段を通り、前記第２の四分の一波長板を通って前記固定の反射手段に達し、再び前記第２の四分の一波長板を通り、前記ビーム・スプリッタ手段を通り、前記第１の四分の一波長板を通り、前記キューブ・コーナを通り、再び前記第１の四分の一波長板を通り、前記ビーム・スプリッタ手段を通って前記反射性被膜に達し、前記第３の四分の一波長板を通って前記固定の反射手段に達し、再び前記第３の四分の一波長板を通り、前記ビーム・スプリッタ手段を通って前記検出器に達し、
　前記測定経路が、前記ビーム・スプリツタ手段を通って前記反射性被膜に達し、前記第３の四分の一波長板を通って前記測定面上の前記反射手段に達し、再び前記第３の四分の一波長板を通って前記反射性被膜に達し、前記ビーム・スプリッタ手段を通り、前記第１の四分の一波長板を通り、前記キューブ・コーナを通り、再び前記第１の四分の一波長板を通り、前記ビーム・スプリッタ手段を通り、前記第２の四分の一波長板を通って前記測定面上の前記反射手段に達し、再び前記第２の四分の一波長板を通り、前記ビーム・スプリッタ手段を通って前記検出器に達する、
　ことを特徴とする請求項（１）記載の干渉計。
【発明の詳細な説明】
　〔発明の技術分野〕
　本発明は一般に干渉計に関し、特に高温での安定度の高い干渉計に関する。
　〔発明の技術的背景及びその問題点〕
　干渉計は基準点と可動点との距離の変化を二点間の光路長の変化を測定することによって測定する。光路長の変化は可動点から反射した測定ビームと固定経路をたどる基準ビームとによって生ずる干渉模様のしまの数を数えることによって測定する。
　光路長（ＯＰＬ）は、ビームの経路の長さとビームが通過する媒体の屈折率との積である。一般に、ＯＰＬは屈折率の低い空気を通る多数の線分と、屈折率の高いガラスまたは他の或る媒体を通る多数の線分とから構成されている。　　ＯＰＬが、温度変化が測定器の光学要素の屈折率に及ぼす影響により変化すると、測定器は、あたかも測定すべき距離が変ったかのように、距離の変化を誤って記録することになる。
　熱的に生ずる誤差を排除する初期の努力は最大の誤差源、光学装置の機械的支持体に向けられた。温度変動を補償するため、支持体は基準ビーム経路内の光学要素の位置の変化が測定ビーム経路内の要素の位置の変化と同じであるように配置されていた。
　最近では、干渉計は測定精度を上げる必要のある用途、たとえば大規模集積回路用ウェハー・ステッパに使用されてきている。このため更に熱的に発生する誤差を補償する必要が生じた。
　一つの解決法は１９８４年４月２７日に出願され、本出願と共通に譲渡された同時係属中の米国出願第６０４，７０２号「無効経路最短の膨張計付干渉計（Ｍｉｎｉｍｕｍ　Ｄｅａｄｐａｔｈ　Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ　ａｎｄ　Ｄｉｌａｔｏｍｅｔｅｒ）」に述べられている。開示された装置は基準ビームと測定ビームとに対して共通の経路を有する干渉計光学装置を組込んでいる。光学装置を通って同じ経路をたどるビームについては、光学要素の寸法または屈折率の変化は両ビームのＯＰＬに同等に影響する。この技法は微分干渉計に特に適している。しかしながら、これには複雑な光学装置が必要であり、このため計器の光学的効率が下り、しかも経費がかさむ。
　〔発明の目的〕
　本発明の目的は、比較的低価格で、光学的効率が高くあまり複雑でない光学系を備え、かつ心出しや使用が容易な高熱安定性干渉計を提供することである。
　〔発明の概要〕
　本発明の好ましい実施例は、基準ビームと測定ビームとが熱平衡状態にある光学要素を通る別々の、ただし光学的には同等の経路をたどる光学系を組込むことによって温度の変化を補償している。すなわち、光学装置の屈折率の高い媒体を通る光路長は長さは同じであるが、同じ経路をたどらない。ビームは無理に同じ経路をたどるようにはなっていないので、必要な光学要素の数は減り、より短いＯＰＬを利用することができて、複雑さが減り、光学的効率が良くなり、心合せが容易になり、費用が少なくなる。
　〔発明の実施例〕
　本発明の好ましい実施例は第１図に示す平面鏡干渉計である。干渉計は光源１１を使用して基準ビーム１３と測定ビーム１５とを発生する。光源１１は図面の平面内に直線偏光した周波数ｆ１の基準ビーム１３と図面の平面に垂直に直線偏向した周波数ｆ２の測定ビームとを発生する２周波数レーザであるのが好ましい。基準ビーム１３と測定ビーム１５とは干渉計の光学アセンブリ２０に向い、ここで基準ビーム１３は反射して検出器１７に戻され、測定ビーム１５は可動測定鏡２１に伝えられる。可動鏡２１の鏡面２２は測定ビームを反射して光学アセンブリ２０に戻し、次に検出器１７に戻す。検出器１７は混合偏光子を使用して二つのビームを混合し、光検出器を使用して発生した干渉模様のしまを検出する。
　本発明の教示によれば、光学アセンブリ２０の光学要素は、基準ビーム１３と測定ビーム１５とが、その要素が熱的平衡状態にある光学アセンブリ２０を通って等価な光路長をたどるように配置されている。光学アセンブリ２０は、入射光ビームに対して４５゜の角を成すビーム分割面２４を備えた偏光ビーム・スプリッタ２３と、四分の一波長板２５および２７と、キューブ・コーナ２９と、から構成されている。四分の一波長板２５は両面とも透明であるが、四分の一波長板２７はその一方の表面に高反射率被膜が施されている。四分の一波長板２５および２７は同じ厚さで且つ同じ材料で作られている。四分の一波長板２５および２７はビームが四分の一波長板を２回横切るごとにビームの偏光面９０°だけ効果的に回転させる。このように、光学アセンブリ２０の基準経路内の要素は測定経路内のその対応物と材料および大きさが同じになっている。
　基準ビーム１３の経路はビーム分割面２４により四分の一波長板２７まで反射され、ここでその偏光状態が変る。次に偏光ビーム・スプリッタ２３を通過するビーム１３はキューブ・コーナ２９により反射され、再び編光ビーム・スプリッタ２３を通って四分の一波長板２７に戻り、ここで再びその偏光状態を変える。次に、ビーム１３はビーム分割面２４により、その元の経路に平行な経路に沿って検出器１７の方に反射される。
　測定ビーム１５は、基準ビーム１３と垂直に偏光されているが、ビーム分割面２４を通り、四分の一波長板２５を通って可動鏡２１に達し、ここで光学アセンブリ２０の方に反射して戻され、再び四分の一波長板２５を通過する。今度はビーム１５はビーム分割面２４によりキューブ・コーナ２９に向けて反射され、ここでビーム分割面２４に戻り、ビーム分割面２４は測定ビーム１５を逆に四分の一波長板２５を通して可動測定鏡２１に向け、次に逆に四分の一波長板２５を通す。偏光状態がもう一度変って、測定ビーム１５はビーム分割面２４を通って検出器１７に達する。
　第１図を検討して、基準ビーム１３と測定ビーム１５とが共通経路をたどらない所では、光学アセンブリ２０の要素を通るそれらの光路長が同等であることがわかる。特に、ビーム・スプリッタおよび四分の一波長板２７を通る基準ビーム１３の経路ａはビーム・スプリッタおよび四分の一波長板２５を通る測定ビーム１５の経路ａ′と同じ長さである。同様に、基準ビーム１３の経路ｂは測定ビーム１５の経路ｂ′と同じ長さである。またビーム分割面２４からキューブ・コーナ２９までの、および戻りの経路Ｃは基準ビーム１３と測定ビーム１５の両者に共通である。したがって、光学アセンブリ２０の温度が変って光学要素の寸法と屈折率とに影響を与えると、基準ビーム１３と測定ビーム１５の光路長は、光学アセンブリ２０の要素が熱平衡状態のままであれば、同等に影響を受けることになる。
　本発明の微分測定への応用を示す別の実施例を第２図に示す。ここでは光学装置は基準ビームを可動鏡３３の近くに設置した基準鏡３１に向けることができるようになっている。これにより測定ビームと基準ビームとの間の「無効経路」差が最小となり、光学アセンブリと可動鏡３３との間の空中経路に生ずる熱的誤差が更に補償される。
　第２図の実施例では、光学アセンブリ３０は偏光ビーム・スプリッタ３５を備えており、これは断面が三角形のポロ・プリズム３７から成る複合プリズムであり、入射ビームに対して４５゜を成す偏光ビーム分割面３６を備えており、平行四辺形プリズム３４に接続されている。
　ビーム・スプリッタ３５にはビーム分割面３６に平行な鏡面３８がある。光学アセンブリ３０はまたキューブ・コーナ３９と四分の一波長板４１、４３および４５とを備えている。透明な四分の一波長板４１、４３および４５は同じ厚さで且つ同じ材料で作られている。
　基準ビーム１３はビーム・スプリッタ３５に向けられ、ここで、その最初の通過時には、ビーム分割面３６を通過し、四分の一波長板４１を通って基準鏡３１に達し、ここで反射して再び四分の一波長板４１を通ってビーム・スプリッタ３５の方に戻される。偏光状態が変って、ビーム１３は今度は面３６により反射されて四分の一波長板４３を通ってキューブ・コーナ３９まで下り、ここで反射され、偏光状態が変った状態で再び四分の−波長板４３を通って戻る。ビーム１３は今度は面３６を通ってビーム・スプリッタ３５の鏡面３８に達し、ここで四分の一波長板４５を通って基準鏡３１に向い、逆に四分の一波長板４５を通って面３８に達し、ここでビームは面３６の方に下り、ここで検出器１７の方に反射される。
　測定ビーム１５は、ビーム１３に垂直に偏光されているが、その最初の通過時に面３６により鏡面３８に向って反射され、四分の一波長板４５を通って可動測定鏡３３に向い、逆に四分の一波長板４５を通って鏡面３８に戻る。四分の一波長板を通過したことにより偏光状態が変って、ビーム１５は下に向って面３６を通過し、四分の一波長板４３を通ってキューブ・コーナ３９へ、逆に、偏光状態が変った状態で再び四分の一波長板４３を通って面３６に戻り、ここでビーム１５は反射されて四分の一波長板４１を通って可動測定鏡３３に向い、次に逆に四分の一波長板４１を通り、ここで最後に再びその偏光状態が変った状態で、測定ビーム１５は面３６を通って検出器１７に達する。
　第２図で基準ビーム１３と測定ビーム１５との経路を検査すると、ビームが共通でない経路をたどる所では、それらの長さが同等であることが明らかになる。したがって、基準ビーム１３の経路ａ、ｂ、およびｃは測定ビーム１５のａ′、ｂ′、およびｃ′と同じ長さである。
　〔発明の効果〕
　以上説明したように、本発明を用いることにより、高熱安定度の良い干渉計を、比較的低価格で、光学的効率が高く、あまり複雑でない光学系で構成することができ、また心出しや使用が容易に行なえるように構成することができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明の一実施例による干渉計の概略図、第２図は本発明の別の実
施例による干渉計の概略図である。
　１１：光源、１７：検出器
　２０：光学アセンブリ、２１：可動測定鏡
　２３：偏光ビーム・スプリッタ
　２５、２７：四分の一波長板
　２９：キューブ・コーナ