【事件の表示】
　特許第２８０３５１０号「光ファイバ用ガラス母材の製造方法および装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８０３５１０号の請求項１及び請求項２に係る特許を維持する。
【理　由】
〔一〕　本件特許は、平成５年（１９９３）２月１０日の出願（特願平５−２２６９４号）であって、平成１０年７月１７日に特許権の設定の登録（特許第２８０３５１０号）がされ、平成１０年９月２４日に特許掲載公報が発行されたものである。
　本件特許の願書に添付した明細書（以下では、本件特許明細書という。）の特許請求の範囲の記載は、下記のとおりである。
「【請求項１】　反応容器内で気体状のガラス原料を加熱反応させることによりガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造するに際し、前記反応容器内から非堆積ガラス微粒子を排出するダクト内の排気ガス速度を15m/sec以上とすることを特徴とする光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
【請求項２】　上記反応容器から非堆積ガラス微粒子を排出するダクト内に該反応容器外の空気を導入することにより該反応容器内の圧力変動を小さくすることを特徴とする請求項１記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
【請求項３】　気体状のガラス原料を加熱反応させることによりガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造するための反応容器と、前記反応容器内から非堆積ガラス微粒子を排出するダクト、該ダクト内に該反応容器外又は該反応容器を設置した室外の大気を導入する手段と、前記ダクト内の排気ガス速度を15m/sec以上となるように調整する手段とを有することを特徴とする請求項１記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法を実施するための装置。」
　以下では、上記各請求項の構成の発明をその請求項番号に対応して、それぞれ本件特許発明１、同２、同３という。
　そして、平成１１年３月２３日付けで、本件特許発明は、甲第１号証から甲第８号証までの各刊行物に記載されている発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができた発明であるから、取り消すべきものであるとの特許異議の申立てがされ、当審は、同旨の取消理由を通知し（発送日、平成１１年８月６日）、また、同時に審尋書を送付した。
　これに対して、特許権者は、平成１１年１０月４日付けで、本件特許明細書の訂正を請求するとともに、特許異議意見書を提出した。
　
〔二〕　本件特許明細書の記載
　本件特許の願書に添付した明細書（以下では、本件特許明細書という。）及び図面には、下記の記載がある。
　ただし、以下の摘示文の記載位置の指示は、特許掲載公報による。
（イ）　【0002】【従来の技術】の一部（３欄２１〜２７行）
「上記反応によって生成するガラス微粒子（この場合 SiO２微粒子）は、通常その50〜90重量％が円柱状に堆積し多孔質のガラス母材を形成するが、残りは堆積せずに排気管６から反応容器外部へ排出される。排出された排気ガスは接続管７、ダクト８を通ってガラス微粒子除去器９に至り、ここでガラス微粒子を除去された後洗浄塔１０を経て排出される。」
（ロ）　【0003】【発明が解決しようとする課題】
「光ファイバ用ガラス母材製造装置は、周知のようにクリーンルーム内に設置されており、該クリーンルームはその清浄度を維持する為、室内を陽圧にしている。室内を陽圧に維持するには、クリーンルームから排気される空気の量は制御され限定される必要がある。当然光ファイバ用ガラス母材製造装置の反応容器を通して排出される空気も必要最小量となるよう装置化されているのが一般である。その為にダクト内の排気速度は7±3m/secと低く、非堆積ガラス微粒子（SiO２微粒子）がダクト内に滞留付着し、ダクト内を閉塞させていく。この為、従来は（＊１）2〜3ヶ月／回の頻度で光ファイバ用母材製造装置を停止し、ダクト内の清掃を実施する必要があり、生産効率が落ちること、（＊２）ダクトの閉塞により反応容器内の圧力が不安定となり安定に生産できない、という問題があった。更に、（＊３）ダクトの材質は水素と酸素の反応による生成熱により排ガス温度が高温となり、一般的な材質ではこれに耐えきれず、例えば耐熱ガラス、テフロン、高級金属例えば純ニッケルやニッケル基合金等の特殊で高価なダクト材料を使用する必要がある、という問題もあった。本発明はこれらの問題点を解決した光ファイバ用ガラス母材の製造方法および装置の提供をその課題とするものである。」〔当審注：上記中（＊ｎ）、ただし、ｎ＝１、２、３、は、本件特許明細書に記載されている、該当する数字ｎを丸で囲んだ数字の代わりに、便宜上、当審が用いたものである。〕
（ハ）　【0005】【作用】の一部
「ダクト内の非堆積ガラス微粒子の滞留付着を防止するのは従来困難とされていたが、ダクト内排気ガス速度を15m/sec以上、・・・とすることにより、ガラス微粒子の滞留付着が防止でき、ダクト閉塞を防ぐことが可能であることが本発明者等の実験により確認された。・・・。これに対し、本発明では排気ガス速度を上げるために多量の空気をダクトに導入するが、従来のようにクリーンルーム内の空気を反応容器を通してダクトに導入するのではなく、外気を反応容器直後の接続管とダクトに直接導入する。これによりクリー・ルームの陽圧を確保しつつ、且つダクト内の排気ガス速度を15m/sec以上と大きくすることが可能となり、ダクト内の閉塞現象を容易に長期間にわたり防止することができる。これにより反応容器内の圧力が安定し、光ファイバ用母材の生産効率を上げることができる。・・・。ダクト内の排気ガス速度として好ましくは20m/sec以上とする。これは平均20m/sec以上であれば最低でも15m/sec以上の排気ガス速度が確保できるからである。また、ダクトに外気を多量に導入することにより、反応容器から排気される高温の排ガスが稀釈され降温されるので、ダクトには例えば耐熱性塩化ビニル樹脂、ＦＲＰ等の一般的なダクト材質を使用することが可能となり、装置コストが低減できる。」
（当審注：上記中、「・・・」の部分は、転記を省略した部分である。以下でも、同様である。）
（ニ）【0010】【発明の効果】の概要
　本発明による光ファイバ母材の製造装置は、反応容器直後の排気ダクトに外気を導入することによりクリーンルームの清浄度維持とは無関係に排気ガス風量を上げることが可能であるから、排気ガス温度を下げることができ、且つダクト内排気ガス速度を15m/sec以上にできるので、非堆積ガラス微粒子によるダクトの閉塞がなく、反応容器の内圧を長期間安定に維持できるので、光ファイバ母材製造装置の生産効率を高めることができる。
　
〔三〕　訂正請求の可否
　以下では、本件特許明細書が本件訂正請求のとおりに訂正されている明細書を本件訂正明細書という。
　
（１）　訂正事項
（イ）　訂正事項ａ
　本件特許明細書の特許請求の範囲を減縮することを目的として、本件特許の特許請求の範囲の請求項１から同３までの全請求項を下記のとおり訂正する。
「【請求項１】　反応容器内で気体状のガラス原料を加熱反応させることによりガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造するに際し、前記反応容器内から非堆積ガラス微粒子を排出するダクト内に、該反応容器を設置した室外の大気を導入するとともに該ダクト内の排気ガス速度を15m/sec以上とすることを特徴とする光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
【請求項２】　気体状のガラス原料を加熱反応させることによりガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造するにための反応容器と、前記反応容器内から非堆積ガラス微粒子を排出するダクトと、該ダクト内に、該反応容器を設置した室外の大気を導入する手段と、前記ダクト内の排気ガス速度を15m/sec以上となるように調整する手段とを有することを特徴とする請求項１記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法を実施するための装置。」
　以下では、本件訂正請求明細書の上記各請求項の発明をその請求項番号に対応して、それぞれ本件訂正請求発明１及び同２という。
（ロ）　訂正事項ｂ
　本件特許明細書第４頁８行の「クリー・ルーム」を、誤記の訂正を目的として、「クリーンルーム」と訂正する。
（ハ）　訂正事項ｃ
　本件特許明細書第５頁１３行の「調製」を、誤記の訂正を目的として、「調整」と訂正する。
（ニ）　上記（イ）の訂正事項ａに対応して、明りょうでない記載の釈明として、本件特許明細書を下記のとおり訂正する。
（ａ）　訂正事項ａ１
　本件特許明細書３頁第１４行の「ダクト内の」を「ダクト内に、該反応容器を設置した室外の大気を導入するとともに該ダクト内の」と訂正する。
（ｂ）　訂正事項ａ２
　本件特許明細書第３頁第１７〜１９行の「２）上記反応容器・・・製造方法、」の記載を削除する。
（ｃ）　訂正事項ａ３
　本件特許明細書第３頁２０〜２４行の「３）気体状の・・・装置」の記載を「２）気体状のガラス原料を加熱反応させることによりガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造するための反応容器と、前記反応容器内から非堆積ガラス微粒子を排出するダクトと、該ダクト内に、該反応容器を設置した室外の大気を導入する手段と、前記ダクト内の排気ガス速度を15m/sec以上となるように調整する手段とを有することを特徴とする上記１）記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法を実施するための装置」と訂正する。
　
（２）　訂正の要件の検討
Ａ．　独立特許要件以外の要件について
（イ）　訂正事項ａの点
（ｉ）　訂正の目的
（ａ）　本件訂正請求は、その訂正事項ａにおいて、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に
「非堆積ガラス微粒子を排出するダクト内に、該反応容器を設置した室外の大気を導入するとともに」の要件を付加するものであるから、本件訂正請求は、この点で、本件特許明細書の特許請求の範囲を減縮することを目的としていると認められる。
（ｂ）　本件訂正請求は、その訂正事項ａにおいて、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項３の
「該ダクト内に該反応容器外又は該反応容器を設置した室外の大気を導入する手段」を「該ダクト内に、該反応容器を設置した室外の大気を導入する手段」に訂正することを、つまり、前者の記載から「該反応容器外又は」の部分を削除することを請求するものであるから、本件訂正請求は、この点で、本件特許明細書の特許請求の範囲を減縮することを目的とする訂正であると認められる。
　また、本件訂正請求は、訂正事項ａにおいて、本件訂正請求の請求項２が同請求項１を引用しているために、同時に、上記（ａ）で指摘した要件をも付加する訂正を請求するものとなっているが、この場合は、上記（ａ）で判断したとおりであるから、全体としても、本件特許明細書の特許請求の範囲を減縮する訂正を請求するものであると認められる。
（ｃ）　本件訂正請求は、訂正事項ａにおいて、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項２を削除するものであるが、この削除は、本件特許明細書の特許請求の範囲を減縮することを請求していることは明らかである。
（ｉｉ）　本件特許明細書等の記載事項の範囲内である点
　本件特許明細書の実施例１で参照されている本件特許の図面の図１には、クリーンルーム外に開口している管（外気導入配管１２）がクリーンルーム内で、コントロール弁１３を介してダクト８に接続されており、かつダクト８は反応容器１に接続されていることが示されていると認められる。クリーンルームが反応容器を設置した容器であることも明らかに見て取れる。
　一方、実施例１には、「ダクト８を流れる排ガスの速度を15m/sec以上（平均流速20m/sec）となるように外気コントロール弁１３を調製し、光ファイバを母材の製造を続けたところ、非堆積ガラス微粒子によるダクト８の閉塞は１８ヶ月以上も発生することなく」と記載されている。
　そうすると、本件特許明細書及び図面には、反応容器で発生した非堆積ガラス微粒子を排出するダクトにクリーンルーム外、つまり反応容器を設置した室外（この語は、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項３に使用されている。）の、大気が導入されていることが記載されていると認められる。また、この大気の導入とともに、「該ダクト内の排気ガス速度を15m/sec以上とする」ことも、記載されていると認められる。
　したがって、「非堆積ガラス微粒子を排出するダクト内に、該反応容器を設置した室外の大気を導入するとともに」の記載を本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に付加する訂正は、本件特許明細書に記載された事項の範囲内でする訂正であると認められる。
　また、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項３の記載において、「該反応容器外又は」の部分を削除する訂正は、選択肢の一つを単に削除する訂正であるから、本件特許明細書に記載された事項の範囲内でする訂正であると認められる。
（ｉｉｉ）　特許請求の範囲の実質的拡張・変更の点
　本件訂正請求は、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に
上記（ｉ）（ａ）で指摘した要件を付加する点においては、本件特許発明の課題及び作用に関する本件特許明細書の記載｛上記〔二〕（ロ）及び
同（ハ）参照｝からみて、また、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項３の記載において、「該反応容器外又は」の部分を削除する点においては、同請求項３の選択肢の一つを単に削除する訂正であって、残存する選択肢の内容に影響を及ぼすものとは認められないから、いずれの場合においても、本件特許明細書の特許請求の範囲を実質上拡張するか、又は変更する訂正を請求するものとは認められない。　
（ロ）　訂正事項ｂ及び訂正事項ｃの点
（ｉ）　訂正の目的
　本件特許明細書記載の技術的事項がクリーンルームに関するものであること、及び「クリー・ルーム」の語がなにを指す語であるか不明であることからみて、「クリー・ルーム」が「クリーンルーム」の誤記であることは明らかであるから、本件訂正は、その訂正事項ｂの点で、誤記の訂正を目的とする訂正であると認められる。
　また、本件特許明細書の「外気コントロール弁１３を調製し」の記載は、クリーンルーム系の操作としては意味不明であるから、「外気系トロール弁１３を調整し」の誤記であり、つまり、前者の「調製」は後者の「調整」の誤記であることは明らかであるから、本件訂正請求は、その訂正事項ｃの点で、誤記の訂正を目的とする訂正であると認められる。
（ｉｉ）　本件特許明細書の記載の範囲内である点
（平成６年法附則第６条第１項の規定により、なお従前の例による）及び本件特許明細書の特許請求の範囲を実質上拡張し、変更するものでない点
　本件訂正請求は、その訂正事項ｂ及び同ｃにおいて、明らかな誤記を訂正するものであるから、本件特許明細書の記載の範囲内でする訂正を、また、本件特許明細書の特許請求の範囲を拡張するのでも、また、変更するのでもない訂正を請求していると認められる。
（ハ）　訂正事項ａ１から同ａ３までの各訂正事項の点
　上記各訂正事項は、いずれも、上記訂正事項ａに対応して同じ内容に訂正するものであるから、本件訂正請求は、上記各訂正事項において、明りょうでない記載を釈明することを目的とする訂正を、また、本件特許明細書の記載の範囲内でする訂正であり、本件特許明細書の特許請求の範囲を実質上拡張するのでも、変更するのでもない訂正を請求するものであると認められる。
Ｂ．　独立特許要件
　以下では、本件訂正の訂正事項ａに関して、本件訂正請求発明１及び同２の独立特許要件について検討する。
（イ）　本件訂正請求発明１及び同２の容易性
（ｉ）　本件訂正請求発明１及び同２は、光ファイバ用ガラス母材製造装置系の反応容器を設置した室外の大気をダクト（以下では、一般にガラス母材製造装置系のダクトを本件ダクトという。）内に導入するとともに、このダクト内の排気ガス速度を15m/sec以上とすることによって、
（α）上記反応容器から発生する非堆積ガラス微粒子を上記ダクト内から効果的に排除することによって、このガラス微粒子がダクト内に滞留付着して、光ファイバ用母材製造装置を停止させなければならないことを避け、その結果、生産効率を上昇させ、
また、（β）上記ガラス微粒子によって上記ダクトが閉塞されて、上記反応容器内の圧力が不安定となることを避けることによって、安定に生産できるようにし、
さらに、（γ）本件ダクト材料に通常必要とされる耐高温排ガス性の材質を必要としないようにすることによって、安価なダクト材料を使用できるようにしたものであって｛上記〔二〕（ロ）及び同（ニ）参照｝、光ファイバ母材ガラス製造技術上、予想外に優れた総合的効果を奏したと認められる。
（ｉｉ）（ａ）　これに対して、本件特許の取消理由通知で引用した特開昭５６−１０４７３６号公報（甲第１号証）、特開昭５７−９５３８９号公報（甲第２号証）及び特開昭５７−６１６４１号公報（甲第３号証）には、
（α）光ファイバ用ガラス母材の製造装置で、火炎加水分解反応容器内の圧力変動を制御するために、反応容器外から気体を補充しながら、反応容器を排気することが記載されている。
　しかしながら、これらの引例のいずれにも、本件ダクトについて格別の記載はなく、また、光ファイバ用ガラス母材の製造装置系で発生するガラス微粒の、本件ダクト内での挙動（排気速度を含む。）を示唆する記載もなく、かつ、光ファイバ用ガラス母材製造装置系の反応容器外から補充する気体がこの反応容器を設置した室の室外気であることを示す具体的な記載もない。
（ｉｉ）（ｂ）　また、斎藤進六監修、「超微粒子ハンドブック」（１９９０年、株式会社フジ・テクノシステム）（甲第４号証）には、粉体輸送の一般的特性が、粉体工学会編、「粉体工学便覧」（昭和６１年、日刊工業新聞社）（甲第６号証）には、サイクロン型集塵装置の一般的特性が、昭和電機株式会社のCATALOG NO.A109〜1、「ＳＹＯＷＡ　ＤＵＳＴ ＣＯＬＬＥＣＴＯＲ　ＢＡＧ　ＦＩＬＴＥＲ ＳＹＳＴＥＭ」の表題のカタログ（甲第８号証）には、粉塵等の搬送に関して一般的なダクト内の風速を選定することが記載されている。
　しかしながら、上記引例のいずれにも、光ファイバ用ガラス母材の製造装置系で発生するガラス微粒子及びその本件ダクト内での挙動についてはなにも記載されていない。
　上記甲第４、６及び８の各号証刊行物には、一般的な各種微粒子の気体による搬送について一般的な技術事項が説明されているが、これらの引例の記載内容は、ダクト内に付着したガラス微粒子を除去する手段自体については、ある程度の示唆をするものであるとしても、生産の安定性など微妙な制御を要する系であると認められる本件ダクト内のガラス微粒子の気体による搬送に使用すること、及びその際の条件（本件訂正請求発明１及び同２では、本件ダクト内の排気ガス速度は15m/sec以上であるとされている。）についてはなにも示唆していない。
（ｉｉ）（ｃ）　したがって、上記（ｉｉ）（ａ）の各引例（甲第１号証から甲第３号証までの各刊行物）の記載の内容〔上記（ｉｉ）（ａ）（α）参照〕に上記（ｉｉ）（ｂ）の各引例の記載の内容を結合したとしても、本件訂正請求発明１及び同２の構成とはならないし、本件ダクトの排気制御を本件訂正請求発明１及び同２の構成に従えば、その生産効率、生産安定性及びダクト構造材の三者を同時に満たすことができることを示唆しているとは認められない。
（ｉｉｉ）　したがって、本件訂正請求発明１及び同２は、
上記（ｉｉ）（ａ）及び（ｉｉ）（ｂ）の各引例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
（ロ）　他に、本件訂正請求発明１及び同２が独立して特許を受けることができないとする理由を発見しない。
（ハ）　そうすると、本件訂正請求発明１及び同２は、いずれも、独立して特許を受けることができる発明であると認められる。
　
（３）　以上（１）及び（２）によれば、本件訂正請求は、訂正事項ａから同ｃまで、及び訂正事項ａ１から同ａ３までの各訂正事項において、平成６年法律１１６号附則第６条第１項の規定により、なお従前の例によるとされる特許法第１２０条の４第２項に規定する訂正の目的の要件を満たし、及び同条第３項の規定により準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの各項に規定する訂正の要件を満たしていると認められるから、本件訂正請求は、適法な訂正を請求するものであり、認めるべきものである。
　以下では、本件訂正請求によって訂正された特許明細書の特許請求の範囲の請求項１及び同２の構成｛上記〔三〕（１）（イ）参照｝の発明を、それぞれ本件特許発明１及び同２という。
　
〔四〕　本件特許発明１及び同２の特許は、上記〔三〕（２）Ｂ．に述べた理由と同じ理由によって、特許法第１１３条第１項第２号に規定するいずれの場合に該当するものとは認められず、また、他に本件特許を取り消すべき理由を発見しないから、特許法第１１３条第１項各号に規定するいずれかの場合に該当しているとは認められない。
　
〔五〕　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年３月２９日（２０００．３．２９）
【訂正の要旨】
（イ）　訂正事項Ａ
　本件特許明細書の特許請求の範囲を減縮することを目的として、本件特許の特許請求の範囲の請求項１から同３までの全請求項を下記のとおり訂正する。
「【請求項１】　反応容器内で気体状のガラス原料を加熱反応させることによりガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造するに際し、前記反応容器内から非堆積ガラス微粒子を排出するダクト内に、該反応容器を設置した室外の大気を導入するとともに該ダクト内の排気ガス速度を１５ｍ／ｓｅｃ以上とすることを特徴とする光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
【請求項２】　気体状のガラス原料を加熱反応させることによりガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造するための反応容器と、前記反応容器内から非堆積ガラス微粒子を排出するダクトと、該ダクト内に、該反応容器を設置した室外の大気を導入する手段と、前記ダクト内の排気ガス速度を１５ｍ／ｓｅｃ以上となるように調整する手段とを有することを特徴とする請求項１記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法を実施するための装置。」
（ロ）　訂正事項Ｂ
　誤記の訂正を目的として、本件特許明細書第４頁８行の「クリー・ルーム」を「クリーンルーム」、本件特許明細書第５頁１３行の「調製」を「調整」と訂正する。
（ハ）　上記（イ）の訂正事項１に対応して、明りょうでない記載の釈明として、本件特許明細書を下記のとおり訂正する。
（ａ）　本件特許明細書３頁第１４行の「ダクト内の」を「ダクト内に、該反応容器を設置した室外の大気を導入するとともに該ダクト内の」と訂正する。
（ｂ）　本件特許明細書第３頁第１７〜１９行の「２）上記反応容器・・・製造方法、」の記載を削除する。
（ｃ）　本件特許明細書第３頁２０〜２４行の記載を「２）気体状のガラス原料を加熱反応させることによりガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造するための反応容器と、前記反応容器内から非堆積ガラス微粒子を排出するダクトと、該ダクト内に、該反応容器を設置した室外の大気を導入する手段と、前記ダクト内の排気ガス速度を１５ｍ／ｓｅｃ以上となるように調整する手段とを有することを特徴とする上記１）記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法を実施するための装置」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
光ファイバ用ガラス母材の製造方法および装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　反応容器内で気体状のガラス原料を加熱反応させることによりガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造するに際し、前記反応容器内から非堆積ガラス微粒子を排出するダクト内
に、該反応容器を設置した室外の大気を導入するとともに該ダクト内
　
【請求項２】
に、該
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は光ファイバ用ガラス母材の製造方法および装置に関し、特にガラス微粒子体を堆積させて多孔質ガラス母材を製造する際の非堆積ガラス微粒子のダクト内への付着や滞留を防止して製造する方法および装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　光ファイバ用ガラス母材の製造法として気相反応を利用した製造方法、例えば内付法、外付法および気相軸付法等が知られている。これらの製造法は、例えば気体のガラス原料を水素・酸素炎バーナーから噴出させて、火炎加水分解反応をさせて、これにより生成するガラス微粒子を棒状に堆積させて多孔質の光ファイバ用母材を反応容器内部で製造する方法である。
　図２は、従来の光ファイバ母材製造装置の概略システムを説明する図であり、反応容器１の内部でバーナー２により噴出される原料ガス（ＳｉＣｌ４ガス）と水素ガス、酸素ガスの燃焼によってガラス微粒子が生成され、これが支持棒４に多孔質ガラス母材３として堆積される。支持棒４はチャック５に把持され、回転されると共にガラス微粒子の堆積に合わせて上方に引き上げられる。
　この種の方法において、反応容器内部において次の反応が生じている。即ち原料ガスとして例えばＳｉＣｌ４を用いた場合、次の数１のように水素と酸素の反応による生成熱の発生とＳｉＯ２微粒子の生成をみる。
　【数１】
　　Ｈ２＋１／２Ｏ２　　→Ｈ２Ｏ＋５７．８Ｋｃａｌ／ｍｏｌ
　　ＳｉＣｌ４＋２Ｈ２Ｏ→ＳｉＯ２＋４ＨＣｌ
　上記反応によって生成するガラス微粒子（この場合ＳｉＯ２微粒子）は、通常その５０〜９０重量％が円柱状に堆積し多孔質のガラス母材を形成するが、残りは堆積せずに排気管６から反応容器外部へ排出される。排出された排気ガスは接続管７、ダクト８を通ってガラス微粒子除去器９に至り、ここでガラス微粒子を除去された後洗浄塔１０を経て排出される。尚、反応容器内面に付着して残留するガラス微粒子もあるが、その割合は僅少である。
　また、水素と酸素の反応による生成熱も通常６０〜９０％が排出され、排出される空気（排ガス）の温度を高温としている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　光ファイバ用ガラス母材製造装置は、周知のようにクリーンルーム内に設置されており、該クリーンルームはその清浄度を維持する為、室内を陽圧にしている。室内を陽圧に維持するには、クリーンルームから排気される空気の量は制御され限定される必要がある。当然光ファイバ用ガラス母材製造装置の反応容器を通して排出される空気も必要最小量となるよう装置化されているのが一般である。その為にダクト内の排気速度は７±３ｍ／ｓｅｃと低く、非堆積ガラス微粒子（ＳｉＯ２微粒子）がダクト内に滞留付着し、ダクト内を閉塞させていく。この為、従来は▲１▼２〜３ヶ月／回の頻度で光ファイバ用母材製造装置を停止し、ダクト内の清掃を実施する必要があり、生産効率が落ちること、▲２▼ダクトの閉塞により反応容器内の圧力が不安定となり安定に生産できない、という問題があった。更に、▲３▼ダクトの材質は水素と酸素の反応による生成熱により排ガス温度が高温となり、一般的な材質ではこれに耐えきれず、例えば耐熱ガラス、テフロン、高級金属例えば純ニッケルやニッケル基合金等の特殊で高価なダクト材料を使用する必要がある、という問題もあった。
　本発明はこれらの問題点を解決した光ファイバ用ガラス母材の製造方法および装置の提供をその課題とするものである。
　【０００４】
　【課題を解決するための手段】
　上記課題を解決する手段として本発明は、
　１）反応容器内で気体状のガラス原料を加熱反応させることによりガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を製造するに際し、前記反応容器内から非堆積ガラス微粒子を排出するダクト内
に、該反応容器を設置した室外の大気を導入するとともに該ダクト内
　
２）
に、該
　【０００５】
　【作用】
　ダクト内の非堆積ガラス微粒子の滞留付着を防止するのは従来困難とされていたが、ダクト内排気ガス速度を１５ｍ／ｓｅｃ以上、特に好ましくは２０ｍ／ｓｅｃ以上とすることにより、ガラス微粒子の滞留付着が防止でき、ダクト閉塞を防ぐことが可能であることが本発明者等の実験により確認された。
　前記のように従来法では室内を陽圧に維持するため、反応容器を通して排出される空気も必要最小量となるようダクト内の排気速度は７±３ｍ／ｓｅｃであった。
　これに対し、本発明では排気ガス速度を上げるために多量の空気をダクトに導入するが、従来のようにクリーンルーム内の空気を反応容器を通してダクトに導入するのではなく、外気を反応容器直後の接続管とダクトに直接導入する。これにより
クリーンルーム
　また、ダクトに外気を多量に導入することにより、反応容器から排気される高温の排ガスが希釈され降温されるので、ダクトには例えば耐熱性塩化ビニル樹脂、ＦＲＰ等の一般的なダクト材質を使用することが可能となり、装置コストが低減できる。
　【０００６】
　本発明の光ファイバ用母材製造装置について図１を参照して詳細に説明する。図１は本発明の一実施態様を示す概略説明図であり、図２と共通する符号は図２と同じを意味する。反応容器１には排ガスを導く排気管６が取り付けられており、接続パイプ７を介してダクト８に非堆積ガラス微粒子が排出される。接続パイプ７にはクリーンルーム外から外気を導入する為の外気導入配管１２より、外気コントロール弁１３でダクト８内の排ガス速度が１５ｍ／ｓｅｃ以上、好ましくは２０ｍ／ｓｅｃ以上となるように調整された量の外気が導入される。クリーンルーム内のｎ台の光ファイバ用母材製造装置の全てにおいて同様に、反応容器１からの排ガスがダクト８に排出され、ガラス微粒子除去器９にて非体積ガラス微粒子が除去され、洗浄塔１０にてＨＣｌガスが除去され無害となった空気（排ガス）がファン１１で大気に放出される。尚、ガラス微粒子除去器９としては、電気集塵機、ベンチュリースクラバー等が、又洗浄塔１０としてはＨＣｌの中和液として苛性ソーダ水溶液をシャワーすることが一般的である。
　【０００７】
　【実施例】
　以下、実施例により本発明を詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
〔実施例１〕
　図１の本発明の構成により、反応容器１から排気する量は、光ファイバ母材の安定製造のために常に一定とし、ダクト８を流れる排ガスの速度を１５ｍ／ｓｅｃ以上（平均流速２０ｍ／ｓｅｃ）となるように外気コントロール弁１３を
調整
　従来法では前記のように２〜３回／月の頻度で清掃を実施していたことに比べ、本発明の効果が実証された。
図３に排気ガス速度とダクト清掃間隔の関係を示す。
　【０００８】
〔実施例２〕
　実施例１における平均的な水素量と排気風量よりダクト８を流れる排ガスの温度の実績を従来の装置と比較し、表１にまとめた。表１の結果から明らかなように、本発明ではダクト内排ガス温度が低く、ダクト材質として安価な耐熱塩化ビニル、ＦＲＰなどを使用できることがわかる。従来例の材質のうちガラスはパイレックスガラス（商標）製である。
　【０００９】
　【表１】
　【００１０】
　【発明の効果】
　以上の説明より明らかなように、本発明による光ファイバ母材の製造装置は、従来のクリーンルームに設置されている光ファイバ母材製造装置と異なり、反応容器直後の排気ダクトに外気を導入することによりクリーンルームの清浄度維持とは無関係に排気ガス風量を上げることが可能であるから、排気ガス温度を下げることができ、且つダクト内排気ガス速度を１５ｍ／ｓｅｃ以上にできるので、非堆積ガラス微粒子によるダクトの閉塞がなく、反応容器の内圧を長期間安定に維持できるので、光ファイバ母材製造装置の生産効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】は本発明の一具体例を示す概略説明図である。
　【図２】は従来法を説明する概略説明図である。
　【図３】は排ガス速度と清掃実施回数の関係を示すグラフ図である。
　【符号の説明】
　１　反応容器、　２　バーナー、　３　多孔質ガラス母材、　４　支持棒、　５　チャック、　６　排気管、　７　接続パイプ、　８　ダクト、　９　ガラス微粒子除去器、　１０　洗浄塔、　１１　ファン、　１２　外気導入配管、　１３　外気コントロール弁。
【図面】