【事件の表示】
　特許第２８２８０９０号「露光装置」の請求項１ないし１７に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２８２８０９０号の請求項１ないし１７に係る特許を維持する。
【理由】
（１）本件発明
　本件特許２８２８０９０号の出願は、昭和６３年４月２７日に出願した特願昭６３−１０２６８４号の一部を平成９年３月２４日に新たに出願したものであって、平成１０年９月１８日に設定登録され、その後、その特許について特許異議申立人キャノン株式会社より特許異議の申し立てがなされたものである。そしてその請求項１ないし１７に係る発明は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし１７により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】マスクのパターンが転写される基板を載置して２次元的に移動するステージと、該ステージの位置を計測するためのレーザ干渉計とを有する露光装置において、
前記レーザ干渉計の測定用ビームに対してほぼ平行に空気流を流す導風手段と；該導風手段からの空気流の流速を調整する調整手段と；
を有することを特徴とする露光装置。
　【請求項２】前記調整手段は、前記導風手段に設けられた面積可変の逃がし穴を含むことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
　【請求項３】前記調整手段は、前記導風手段の空気取り込み口のファンの速度や面積を可変にすることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
　【請求項４】前記調整手段は、前記レーザ干渉計の出力変動が小さくなるように前記空気流の流速を調整することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
　【請求項５】前記調整手段は、装置自体の動作精度に適した流速に前記空気流を調整することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
　【請求項６】前記調整手段は、前記ステージの動作状態に応じて前記空気流の流速を調整することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
　【請求項７】前記導風手段は、前記レーザ干渉計の測定用ビーム付近の気温とほぼ等しい温度の空気流を流すことを特徴とする請求項１又は４に記載の露光装置。
　【請求項８】前記導風手段は、前記空気流を層流化するための細分化部材を有することを特徴とする請求項１、４、７のいずれか一つに記載の露光装置。
　【請求項９】前記細分化部材は、熱伝導性が高く、熱容量の大きい材料で構成することを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
　【請求項１０】前記導風手段は、空気濾過フィルターを有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
　【請求項１１】前記導風手段は、前記空気流の送風口付近に温度センサを有し、該温度センサからの信号に基づき前記空気流の温度が所望の温度に保たれるようにフィードバック制御を行うことを特徴とする請求項１、４、７、８のいずれか一つに記載の露光装置。
　【請求項１２】マスクのパターンが転写される基板を載置して２次元的に移動するステージと、該ステージの位置を計測するためのレーザ干渉計とを有する露光装置において、
前記レーザ干渉計の測定用ビームのほぼ全長に対して、温度均一化、かつ層流化された空気流を流す導風手段をさらに有することを特徴とする露光装置。
　【請求項１３】前記測定用ビームを前記空気流が垂直に横切るように前記導風手段の送風口を配置したことを特徴とする請求項１２に記載の露光装置。
　【請求項１４】前記導風手段は、前記空気流を最適な流速に調整して前記測定用ビームに対して流すことを特徴とする請求項１２に記載の露光装置。
　【請求項１５】前記導風手段は、前記レーザ干渉計の測定用ビーム付近の気温とほぼ等しい温度の空気流を流すことを特徴とする請求項１２又は１４に記載の露光装置。
　【請求項１６】前記導風手段は、前記空気流の送風口付近に温度センサを有し、該温度センサからの信号に基づき前記空気流の温度が所望の温度に保たれるようにフィードバック制御を行うことを特徴とする請求項１２、１４、１５のいずれか一つに記載の露光装置。
　【請求項１７】前記導風手段は、空気濾過フィルターを有することを特徴とする請求項１２に記載の露光装置。」
（２）申立ての理由の概要
　特許異議申立人キャノン株式会社は、証拠として甲第１号証（特開昭６０−７９３５８号公報）、甲第２号証（「精密機械」
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（３）申立人が提出した甲各号証記載の発明
ア．特許異議申立人が提出した甲第１号証（特開昭６３−６５８４０号公報）には、次のことが図面とともに記載されている。
「複数の光学要素から成る投影光学系を介して、マスクのパターンを感光体に投影露光する装置において、前記投影光学系と感光体とを外気から遮断して気密状態に収納する収納容器と：該収納容器内の気体の温度と圧力とを所定の値に制御する気体制御装置と：該制御された気体を前記投影光学系の複数の光学要素間に流通させる手段を備えたことを特徴とする投影光学装置。」（特許請求の範囲）、
「（発明の目的）
　本発明は、上記問題点を解決すべく、温度及び気圧の変動による倍率誤差や焦点変動の発生を防止し得る投影光学装置を提供することを目的とする。
（発明の概要）
　そこで本発明は、・・・気体制御装置と、その気体を、投影光学系の構成要素である複数の光学要素（レンズエレメント）間に流通させる手段（ファン）とを設けることを技術的要点とする。」（２頁左上欄５〜１８行）、
「レチクルＲには所定の回路パターン等が形成されており、そのパターンの光像は投影レンズ７によって、感光材を塗布したウェハＷ上に投影される。」（２頁右上欄１１〜１４行）、
「移動ステージ８（以下、単にステージ８と呼ぶ）はウェハＷを載置するとともに、駆動部９により定盤１０の上を２次元的に移動するように設けられている。このステージ８の２次元的な位置はレーザ光を用いた光波干渉計（以下、レーザ干渉計とする）１１によって逐次測定されている。」（２頁右上欄１９行〜同頁左下欄５行）、
「チャンバー２０・・・このチャンバー２０の内部には、内部の気体（例えば空気）の温度を調整する温度調整装置１８が設けられている。この温度調整装置１８は、チャンバー２０内の下方の気体を上方へ送る送風機２１と、送風機２１から送られた気体１を所定の温度に調節して排出する温度制御部２２と、温度制御部２２からの気体をチャンバー２０の上側で排出するようなフィルター２３とで構成されている。温度制御部２２は、・・・温度センサー・・・により構成され、温度センサーが排出される気体の温度を検出し、その温度が所定値になるように制御回路により冷却機と加熱機を制御することによって、フィルター２３からは常に所定温度の気体が排出される。また、フィルター２３は、・・・常に清浄な気体をチャンバー２０内に排出する。」（２頁左下欄１７行〜同頁右下欄１９行）、
「本発明を、実施例のようにステージにレーザ干渉計を用いて位置測定するような露光装置に適用すると、レーザ光の波長が変動しないので、一定の波長係数を掛けるだけで特別な波長補正をしなくてよく、またレーザ光が通る空間の気体の屈折率の揺らぎも小さくなって、・・・ステージの位置決め精度が向上するという利点もある。」（４頁右下欄６〜１４行）
イ．特許異議申立人が提出した甲第２号証（「精密機械」
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「（ｂ）測定光束の光路中の大気変動．
　レーザ干渉測長器は、気温、気圧の影響を補正する付属装置をもっているのが普通であるが、これは光路中の大気の平均的状態に対応するものである。局所的に気温や気圧が変動して・・・測定誤差を生ずる。」（５０頁左欄２６〜３１行）、「空気噴流を利用してかなりエアーノイズを軽減することができる。この空気噴流は、方向が光束に直交し、光束直径の２倍程度以上の厚さをもつ層流でなければならない。図１０に、この目的で試作したブロワとノズルとを示す。」（５３頁左欄９〜１３行）、
　また、５３頁図１０には、エアーノイズ除去装置としてのブロワとノズルが記載され、ノズルの図の下方には「空気流の流速：１〜５ｍ／ｓｅｃＣ」との記載のあることがみてとれる。
ウ．特許異議申立人が提出した甲第３号証（「ＯＰｌｕｓ　Ｅ」株式会社新技術コミュニケーションズ（昭６２−６−５）Ｎｏ．９１、ｐ９９−１０５）には、レーザ応用計測における大気の影響に関し、次のことが図面とともに記載されている。
「３）干渉計の設計
　たいていの光応用計測は空気中で使用することになるので、ゆらぎを考慮した装置の設計が有効である。」（１０３頁左欄６〜９行）、
「４）環境
・・・この風を送る場合、網などを通してコヒーレントな空気の熱塊の径を小さくすれば、問題となる低周波成分をさらに小さくするのに有効である。・・・ゆらぎ効果の解消はあまり期待できない。」（１０３頁右欄２８行〜１０５頁左欄５行）
　また、１０４頁図１０には、風によるゆらぎの減少が示されており、風有りの場合と風無しの場合で、風有りの場合に波形が平坦であることがみてとれる。
（４）本件発明と申立人が提出した甲各号証記載の
発明との対比・判断
（請求項１に係る発明について）
　請求項１に係る発明と申立人が提出した甲各号証記載の発明とを対比すると、甲第１号証の「レチクルＲ」「ウェハＷ」「投影露光」「移動ステージ８」は請求項１に係る発明の「マスク」「基板」「転写」「２次元的に移動するステージ」に相当するから、両者は、「マスクのパターンが転写される基板を載置して２次元的に移動するステージと、該ステージの位置を計測するためのレーザ干渉計とを有する露光装置」である点で一致し、請求項１に係る発明が、「レーザ干渉計の測定用ビームに対してほぼ平行に空気流を流す導風手段」及び「導風手段からの空気流の流速を調整する調整手段」を有しているのに対し、甲第１号証のものは上記両手段を備えていない点で相違する。
しかしながら上記相違点は、甲第２，３号証にも記載されていないことから、本件請求項１に係る発明は、甲各号証のいずれかに記載の発明でも、また甲各号証に記載の発明から容易に推考しうるものでもない。
　なお申立人は、「甲第２号証を見れば、本件発明１の要件・・・とは空気流の方向が相違するだけである、『前記レーザ干渉計の測定用ビームに対して直交方向に空気流を流す導風手段』が記載されている。」（特許異議申立書１２頁１７〜２０行）と主張するが、申立人が前提技術であるとする甲第１号証のものは、「本発明は、・・・気体制御装置と、その気体を、投影光学系の構成要素である複数の光学要素（レンズエレメント）間に流通させる手段（ファン）とを設ける」と記載されるように、複数のレンズエレメント間に空気を流通させるものであって、そのために「温度調
整装置１８はチャンバー２０内の下方の気体を上方へ送る送風機２１と、送風機２１から送られた気体１を・・・チャンバー２０の上側で排出する」ものであって、投影露光装置の下方に配置されているレーザ干渉計の測定用ビームに対して空気流を流す導風手段を有するものではない。してみれば、レーザ干渉計の測定用ビームに対してほぼ平行に空気流を流す点が甲各号証に記載されていないのみならず、甲第１号証に導風手段に対応する技術的事項が存在せず、したがって甲第１号証に適用する契機をも欠くものであるから、請求項１に係る発明が、甲第２号証に記載された技術的事項を甲第１号証のものに適用して当業者が容易になし得たものである、ということはできない。
　また申立人は、「甲第２号証には、本件発明１の『ｃ．該導風手段からの空気流の流速を調整する調整手段』が示唆されている。」（特許異議申立書１２頁２７〜２８行）と主張するが、甲第２号証には、図１０のノズルの図の下方に「空気流の流速：１〜５ｍ／ｓｅｃＣ」との記載のあることはみてとれるが、該記載は導風手段であるノズルの設計上の流速を示すものとは認められても、その空気流の流速を調整する調整手段を示すものとは認められない。
（請求項２−１１に係る発明について）
　請求項２−１１に係る発明は請求項１に係る発
明の技術的事項をさらに限定したものであるから、請求項２−１１に係る発明についても、上記請求項１に係る発明についての判断と同様である。
（請求項１２に係る発明について）
　請求項１２に係る発明と甲第１号証の発明とは、「マスクのパターンが転写される基板を載置して２次元的に移動するステージと、該ステージの位置を計測するためのレーザ干渉計とを有する露光装置」である点で一致し、該露光装置が「レーザ干渉計の測定用ビームのほぼ全長に対して、温度均一化、かつ層流化された空気流を流す導風手段をさらに有する」点で相違点している。しかしながら、甲第１号証のものが、レーザ干渉計の測定用ビームに対して空気流を流す導風手段を有しないのは、請求項１に関して述べたとおりであるから、甲第２号証に「レーザ千渉計の測定用ビーム
に対して、層流化された空気流を流す導風手段」が記載されているとしても、甲第１号証に導風手段に対応する技術的事項が存在せず、したがって甲第１号証に適用する契機を欠くものであるから、甲第２号証の導風手段を甲第１号証に適用することにより請求項１２に係る発明が当業者にとって容易になし得るものである、ということはできない。
（請求項１３−１７に係る発明について）
　請求項１３−１７に係る発明は請求項１２に係る発明の技術的事項をさらに限定したものであるから、請求項１３−１７に係る発明についても、上記請求項１２に係る発明についての判断と同様である。
　以上のとおり、請求項１ないし１７に係る発明は、特許異議申立人が提出した甲各号証に記載された発明であるとはいえず、またそれらから当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。
（５）むすび
　したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、請求項１ないし１７に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に請求項１ないし１７に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年９月１６日（１９９９．９．１６）