【事件の表示】
　特許第２６７６７３２号「ペリクル貼付機」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２６７６７３２号の特許を取り消す。
【理由】
１．手続きの経緯
　本件特許第２６７６７３２号発明（以下「本件発明」という。）は、昭和６２年３月２日に特許出願され、平成９年７月２５日にその特許の設定がされ、その後異議申立人菅原益夫により特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１０年１０月８日に訂正請求がされた後、訂正拒絶理由が通知されたものである。
２．訂正の適否
（１）訂正発明
　訂正明細書の特許請求の範囲に記載されている発明の要旨は、その特許請求の範囲第１項に記載されているとおりの、
「第１のペリクルを保持する第１のペリクルホルダーと、
　前記第１のペリクルホルダーに支持される、マスクを保持するマスクホルダーと、
　第２のペリクルを保持する第２のペリクルホルダーと、
　前記第１のペリクルホルダーを前記第２のペリクルホルダー上に回転して、前記マスクの両面に前記第１と第２のペリクルを貼り付ける回転部と、
　マスクケースから自動的に前記マスクを取り出して前記マスクを前記マスクホルダーに保持してから、前記回転部を回転させて前記マスクの両面に前記第１と第２のペリクルを貼り付けたのちに前記マスクを前記マスクホルダーから取り出し、再び自動的に前記マスクケースへ前記マスクを収納するフォークと、
　前記マスクケースを収納する棚と
　を備えたことを特徴とするペリクル貼付機。」にあるものと認める（以下、これを「訂正発明」という。）。
（２）引用刊行物
　刊行物１：特開昭６２−３８４６８号公報
　刊行物２：特開昭６０−２６３９４２号公報
　刊行物３：特開昭５９−１８６３２０号公報
　刊行物４：特開昭５７−６４９３０号公報
　訂正発明に対して、当審か訂正拒絶理由通知において示した上記刊行物１〜４には以下の事項が記載されている。
　上記刊行物１には、
「本発明は、半導体製造プロセスにおいて使用されるマスクヘの塵挨付着を防止するペリクルをマスクヘ装着するペリクル装着装置に関するものである。」（第１頁左欄第１３〜１６行）、
「第９図は、従来のペリクル装着装置のセット準備状態断面図、第１０図は第９図のＡ−Ａ’矢視図、第１１図は従来のペリクル装着装置によるペリクル装着前の状態断面図である。
　図中、４はマスク、Ｐ１，Ｐ２はペリクル、１１は基台、１２はシリンダ、１２−１はプッシャー、１３は下部に設けられる第２のマウンタ、１５は枢支軸、１６はガイドピン、１７は位置決めピン、１８はマウント固定アームである。ペリクルＰ１，Ｐ２は第１のマウンタ１３、第２のマウンタ１４にセットする。
　ここで、マスク４はガイドピン１６により位置決めされる。
　ペリクルＰ２は真空バキュームにより第１のマウンタ１３に固定される。ペリクルＰ２及びマスク４をセットした後、第２のマウンタ１４を第９図に示される基台１１に設けられる枢支軸１５を中心に回動させ、このマウンタ１４の下面を位置決めピン１７により位置決めし、マウンタ固定アーム１８をセットすることにより、第１１図に示されるように第２のマウンタ１４は基台１１に固定される。このようにして、ペリクル装着の準備は終了する。
　この状態で、ペリクル装着装置はシリンダ１２の駆動によりプッシャー１２−１が上昇すると、第１のマウンタ１３とペリクルＰ２が押し上げられる。この状態でプッシャー１２−１が上昇をし続けることにより、第１２図に示されるように、ペリクルＰ１，Ｐ２はその接着剤塗布部がマスク４と当接し、ペリクルＰ１，Ｐ２はマスク４に装着される。」（第２頁左上欄第８行〜同頁右上欄第１６行）が図面とともに記載されている。
　上記記載から明らかなように、上記刊行物１には、「ペリクルＰ２を保持する第１のマウンタ１３と、この第１のマウンタ１３を支持する基台１１上で、マスク４を位置決めするガイドピン１６と、ペリクルＰ１を保持する第２のマウンタ１４と、前記第２のマウンタ１４を前記第１のマウンタ１３上に回転して、前記マスク４の両面に前記ペリクルＰ１，Ｐ２を接着する枢支軸１５と、を備えたペリクル装着装置」が記載されている。
　上記刊行物２には、
「本発明は、半導体集積回路（ＬＳＩ）の回転パターン露光装置に使用される露光用原画（レチクル又はマスク）に塵が付着しないように、該原画に装着される防塵膜の装着装置に関する。」（第１頁右欄第２〜５行）、
「フレーム２と原画３とは、例えば両面接着テープ等により両部品の接着面を接着固定する。このプレーム２を原画３に接着するに際しては、原画３内の回路パターン４上に誤って接着されないように両部品の相対位置決めが必要である。従来、この装着作業は手作業で行われているために、装着精度が悪くなり、また人間の手作業に起因する塵が発生するなどの欠点があった。」（第１頁左下欄第１７行〜第２頁左上欄第４行）、及び
「この発明の目的は、防塵膜の張られたフレームを原画上に塵が付着しないように、また高精度で迅速かつ自動的に装着できるようにした防塵膜装着装置を提供することである。」（第２頁左上欄第６〜９行）との記載がある。
　上記刊行物３には、
「人手によってマガジン内のレテイクルを取り扱うことは防塵のためには望ましいことではない。…（中略）…。しかし従来の装置ではマガジン内にレテイクルが露出したまま取付けられていたので人体からの塵がレテイクルに付着する恐れがあり、…（中略）…。
　本発明の目的はレテイクルを所定の位置へ搬送するまでは略密着状態にして防塵をしたレテイクルの搬送装置を提供することにある。」（第２頁左上欄第８行〜同頁右上欄第１行）、
　「第４図はこのケースをマガジン内に複数個装着するマガジン部２段とマガジン内からケースを取り出す搬送用フォーク及びその駆動機構、またレテイクル原画面で第２フォークでレテイクルを取り出す位置とケースぶた開閉機構を示した斜視図である。
　…（中略）…。
　レテイクルケース２０をマガジンから出し入れするための移動部材１４にはフォーク機構が取り付けられている。この移動部材はガイドレール２４に沿って上下にのみ自在に動くように固定ベース１６に取り付けられている。
　移動部材１４はエレベータ機構のごとくプーリー２１にかけられたワイヤ２２を介して上部に設けられたモータ７の回転によってガイドレール２４に沿った動きをする。
　…（中略）…。
　移動部材には水平方向に移動するフォーク２５，２６が設けられていて、…（中略）…。移動部材１４が必要なケースを取り出す位置で停止し、水平方向にフォーク２５，２６が延びケース下側に入る。この時、移動部材１４に設けられたリミットスイッチが動作し、フォーク２５，２６が完全に延びたことを指示すると同時に移動部材１４が僅かに上昇し、ケース２０を上げながらフォーク２５，２６で引き出される。この時、移動部材１４上にケースがあることの確認センサが動作し、またフォークが完全に戻ったことをオリジンセンサで確認をしてから、移動部材１４がケース開閉機構部１０位置に移動する。ケース開閉機構部１０には、エアシリンダ等によって扇形１５ａ，１５ｂ１５ｃ，１５ｄを同時に７０°回転できるように設けられている。またこの機構部１０の右側には第２フォーク２３がレテイクルが取り出せる状態で、待機している。
　第５図は移動部材がケース開閉機構部１０で停止した状態とレテイクル原画面で第２フォークでレテイクルを取り出す位置とケースぶた開閉機構で、ケースを開いた状態を示した斜視図である。
　…（中略）…。
　引き出されたレテイクルは微小露光装置露光面に搬送されて露光、焼付作業が行われる。
　…（中略）…。
　露光焼付が終わり第２のフォーク２３でもとのロード位置に戻ってきた時点でケース下ぶた２をロード位置まで下げ、第２フォーク２３上のレテイクルを戻す。下ぶたに戻されたレテイクルを移動部材が上ぶた位置まで上昇しケースを閉じ、エアシリンダによって扇形を閉じて、移動部材は所定のマガジン位置まで戻り、マガジン内に格納される。」（第３頁右上欄第７行〜第４頁右上欄第１３行）の記載がある。
　つまり上記刊行物３には、「レテイクル」の搬送を人手によって行うことに伴う塵汚染を回避することを目的として、「レテイクルケース」から自動的に「レテイクル」を取り出し、露光焼付を行ったのちに再び自動的に「レテイクルケース」へ「レテイクル」を収納する「フォーク機構」および「レテイクルケース」を収納する「マガジン」を備えた「レテイクル搬送装置」が記載されている。また、上記の「フォーク機構」は、前後、左右、上下に移動可能に構成されるものである（上述の記載事項或いは第４図又は第５図参照）。
　上記刊行物４には、
　「ところが、従来のような搬送装置では、この作業を人手によって行なっていた。このように、人手によって直接マスク又はレチクルを取り扱うことは、防塵のためには、望ましいことではない。…（中略）…。人体からのごみや塵を考慮すると、カートリツジ内のマスクやレチクルを保守のため取り換えることは容易に行えないという欠点を有していた。
　そこで、本発明の目的は、マスク又はレチクルを収納した容器から必要とするマスク又はレチクルを搬送先へ送る場合に、そのマスク又はレチクルを容器から搬送先へ摺動ずることなく運ぶ搬送装置を提供することにある。」（第２頁右上欄第３行〜同頁左下欄第５行）、
　「第４図は、このカセットを複数保持するカートリツジ部とガラス基板を取り出す搬送アーム及びその駆動機構を示した斜視図である。
　固定ベース１８の上には、カートリツジ１５及び複数のカートリツジ１４を図のように一列に固定する支柱４３が平行に設けられている。カートリツジ１４，１５にはそれぞれ対向する側に、溝が形成されていて、この溝に前述のようなカセットの突出部４，５が嵌入する。…（中略）…。
　コの字形の垂直移動部材３０は、カートリツジ１５の高さ方向に設けられた不図示のガイドレールに沿って上下にのみ自在に動くように、カートリツジ１５の側壁に取り付けられている。…（中略）…。
　そして、垂直移動部材３０には、カートリツジ１５の高さ方向と直交する方向に延びた水平案内部材３１が固定されている。この水平案内部材３１にもコの字状の水平移動部材４１が設けられていて、水平案内部材３１に設けられた不図示のガイドレールに沿って水平方向のみ移動可能である。…（中略）…。そして、水平移動部材４１には、支持部材４２を介してガラス基板を載せる搬送アーム１６かカセツトに対向するように設けられる。搬送アーム１６は第４図の如くフォーク形状を成し、そのフォーク部１６ａ，１６ｂがカセツトの開閉部材１の方へ向いている。…（中略）…。
　先にも述べたように、各カセツトの開閉部材１の側面部には、溝８が設けられている。この溝８は、開閉部材１を開閉するための開閉装置と係合するものである。この開閉装置は、第４図に示した開閉機構部２６、及び開閉の駆動力を与えるエアシリンダ２７から成る。開閉機構部２６は垂直移動部材３０に取り付けられていて、一体にＺ方向の移動を行なう。
　第５図は開閉機構部２６を側面からみた一部断面図である。この図は、モーター３７によって垂直移動部材３０を任意のカセツトに対応した所定位置まで移動させた状態を示す。…（中略）…。
　そこで、エアシリンダ２７が作動して、ボール２２ａが第５図中右方向へ移動すると、開閉ピン２０の時計方向の回転により、カセットの開閉部材１は第５図の位置から約９０°まで開閉する。
　以上の如く、開閉部材１が開くと、第４図に示した水平移動部材４１が図の位置からカセツトの方へ移動して、搬送アーム１６のフォーク部１６ａ，１６ｂがカセツトの内部へ挿入される。前述したように、エアシリンダ２７が作動してカセツトの開閉部材１が開く時、フォーク部１６ａ，１６ｂの固定ベース１８からの高さは、そのカセツトのガラス基板の下側の空隙における、ほぼ中心に位置する。従って、フォーク部１６ａ，１６ｂは、カセツト内のガラス基板の下側の空間部に挿入される。
　…（中略）…。このようにして持ち上げられたガラス基板１０は、搬送アーム１６をカセツトから引き出す方向に移動することによって、カセツト外に搬送される。その後、再びエアシリンダ２７が作動して、開閉部材１を閉成する。そして、ガラス基板１０は焼き付けのための露光装置やマスクやレチクルの検査装置に送られる。こうして、処理の終わったガラス基板１０は、先の取り出し動作と逆の動作によって再びカセツト内に収納される。」（第３頁右下欄第７行〜第６頁左上欄第７行）の記載がある。
　つまり上記刊行物４には、「ガラス基板」の搬送を人手によって行うことに伴う塵汚染を回避することを目的として、「カセツト」から自動的に「ガラス基板」を取り出し、露光焼付等を行ったのちに再び自動的に「カセツト」へ「ガラス基板」を収納する「搬送アーム」および「カセツト」を収納する「カートリツジ」を備えた「ガラス基板の搬送装置」が記載されている。また、上記の「搬送アーム」はフォーク部を有し、前後、左右、上下に移動可能に構成されるものである（上述の記載事項或いは、第４図等参照）。
（３）対比・判断
　訂正発明（以下、「前者」という。）と上記刊行物１記載の発明（以下、「後者」という。）とを対比すると、
　後者の
　「ペリクルＰ２」、
　「第１のマウンタ１３」、
　「第１のマウンタ１３を支持する基台１１上で」、
　「マスク４」、
　「マスク４を位置決めする」、
　「ガイドピン１６」、
　「ペリクルＰ１」、
　「第２のマウンタ１４」、
　「接着する枢支軸１５」、
　「ペリクル装着装置」、
　が、前者の
　「第１のペリクル」、
　「第１のペリクルホルダー」、
　「第１のペリクルホルダーに支持される」、
　「マスク」、
　「マスクを保持する」、
　「マスクホルダー」、
　「第２のペリクル」、
　「第２のペリクルホルダー」、
　「貼り付ける回転部」、
　「ペリクル貼付機」、
　にぞれぞれ相当することは明らかであるから、両者は、
「第１のペリクルを保持する第１のペリクルホルダーと、
　前記第１のペリクルホルダーに支持される、マスクを保持するマスクホルダーと、第２のペリクルを保持する第２のペリクルホルダーと、前記第１のペリクルホルダーを前記第２のペリクルホルダーに対して回転して、前記マスクの両面に前記第１と第２のペリクルを貼り付ける回転部とを備えたペリクル貼付機」
である点で一致し、以下の点で相違している。
　相違点１；
　前者が、マスクの保持された「第１のペリクルホルダー」をマスクの保持されていない「第２のペリクルホルダー」上に回転しているのに対して、後者は、マスクの保持されていない「第２のマウンタ１４」をマスクの保持されている「第１のマウンタ１３」上に回転している点。
　相違点２；
　前者が、「マスクケースから自動的に前記マスクを取り出して前記マスクを前記マスクホルダーに保持してから、前記回転部を回転させて前記マスクの両面に前記第１と第２のペリクルを貼り付けたのちに前記マスクを前記マスクホルダーから取り出し、再び自動的に前記マスクケースへ前記マスクを収納するフォークと、前記マスクケースを収納する棚と」を備えているのに対して、後者には、これらの構成事項が具体的に開示されていない点。
　上記相違点について検討する。
　上記相違点１は、マスクを保持している部材の配置関係が上下逆転しているのみであって、装置の設計上適宜選択される事項であるから実質的な差異とはいえない。
　上記相違点２について検討する。
　上記刊行物３に記載の「レテイクル」，「レテイクルケース」，「フォーク機構」及び「マガジン」、或いは上記刊行物４に記載の「カラス基板」，「カセット」，「搬送アーム」及び「カートリッジ」は、それぞれ、本件発明における「マスク」，「マスクケース」，「フォーク」及び「棚」に相当することは明らかである。よって、半導体ウエハの製造に関する分野において、マスクの搬送を人手によって行うことに伴う塵汚染を回避することを目的として、マスクケースから自動的にマスクを取り出し、このマスクに対して処理を行ったのちに再び自動的にマスクケースヘマスクを収納するフォークおよびマスクケースを収納する棚を配備すること、或いは必要に応じて、このフォークを、前後、左右、上下に移動可能に構成することは公知の事項といえる。
　また、上記刊行物２の記載から明らかなように、前者及び後者のような、マスクにペリクル（防塵膜）を付着させる装置において、マスクの搬送を人手によって行うことに伴う塵汚染を回避するという課題の認識自体、良く知られている事項といえる。
　してみると、上記刊行物１に記載の発明に上記刊行物２〜４に記載のような公知事項を適用して、上記相違点に挙げられた構成を上記刊行物１に記載のものに付加することは格別困難であるとはいえない。
　以上検討したように、訂正発明は上記刊行物１に記載の発明及び上記刊行物２〜４に記載の公知事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（４）むすび
　以上のとおりであるから、訂正明細書の特許請求の範囲に記載された発明は、上記刊行物１〜４に記載のものに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　したがって、本件訂正請求は、特許法第１２０条の４第３項で準用する同第１２６条第４項の規定に適合しないので、当該訂正は認められない。
３．特許異議申立てについての判断
（１）本件発明
　本件発明の要旨は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲第１項に記載されたとおりの、「マスクケースから自動的にマスクを取り出し、ペリクルを貼り付けたのちに再び自動的にマスクケースヘマスクを収納するフォーク及びマスクケースを収納する棚を備えたことを特徴とするペリクル貼付機。」にあると認める。
（２）引用刊行物
　刊行物ａ：特開昭６０−２６３９４２号公報
　刊行物ｂ：特開昭５９−１８６３２０号公報
　刊行物ｃ：特開昭５７−６４９３０号公報
　当審が通知した取消理由に引用した上記刊行物ａ〜ｃには以下の記載がある。
　刊行物ａ；上記２．（２）における「刊行物２」に関する記載内容を参照。
　刊行物ｂ；上記２．（２）における「刊行物３」に関する記載内容を参照。
　刊行物ｃ；上記２．（２）における「刊行物４」に関する記載内容を参照。
（３）対比・判断
　上記引用刊行物の記載から明らかなように、上記刊行物ａには、「マスク（「原画」）にペリクル（「防塵膜の張られたフレーム」）を自動的に貼り付けるペリクル貼付機（「防塵膜装着装置」）」が記載されている。
　本件発明と上記刊行物ａに記載のものとを比較すると、両者は、「マスクにペリクルを貼り付けるペリクル貼付機」である点で一致し、本件発明が、マスクケースから自動的にマスクを取り出し、ペリクルを貼り付けたのちに再び自動的にマスクケースヘマスクを収納する棚を備えているのに対して、上記刊行物ａに記載のものでは、このようなマスクの搬送に関する具体的な記載がない点で相違する。
　この相違点について検討する。
　まず、上記刊行物ｂに記載の「レテイクル」，「レテイクルケース」，「フォーク機構」及び「マガジン」、或いは上記刊行物ｃに記載の「ガラス基板」，「カセツト」，「搬送アーム」及び「カートリツジ」は、それぞれ、本件発明における「マスク」，「マスクケース」，「フォーク」及び「棚」に相当することは明らかである。よって、半導体ウエハの製造に関する分野において、マスクの搬送を人手によって行うことに伴う塵汚染を回避することを目的として、マスクケースから自動的にマスクを取り出し、このマスクに対して処理を行ったのちに再び自動的にマスクケースヘマスクを収納するフォークおよびマスクケースを収納する棚を配備すること、或いは必要に応じて、このフォークを、前後、左右、上下に移動可能に構成することは公知の事項といえる。
　そして、半導体製造に係わる分野では、塵を排除することが宿命となっており、そのために手作業を介さない自動化を行うことが常套手段であること、又は、上記刊行物ａにおいても、マスクの搬送を人手によって行うことに伴う塵汚染を回避するという課題の認識がなされていることを勘案すると、上記刊行物ａに記載の発明に上記刊行物ｂ，ｃに記載のような公知事項を適用して本件発明の構成に到達することは、当業者が容易に成し得ることである。
（４）むすび
　以上のとおり、本件発明は、上記刊行物ａ〜ｃの記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の一部の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第１項及び第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年９月２９日（１９９９．９．２９）