【事件の表示】
　特許第２６６４０２５号「電子ビーム装置のクリーニング方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２６６４０２５号の特許を取り消す。
【理由】
１．手続の経緯
　出願　　　　　　　昭和６２年　６月１０日
　登録　　　　　　　平成　９年　６月２０日（特許第２６６４０２５号）
　特許掲載公報発行　平成　９年１０月１５日
　特許異議の申立て　平成１０年　４月１５日
　取消理由通知　　　平成１０年　９月　７日（発送日：平成１０年　９月１８日）
　意見書　　　　　　平成１０年１１月１７日
　訂正請求書　　　　平成１０年１１月１７日
　訂正拒絶理由通知　平成１１年　３月１６日（発送日：平成１１年　４月　６日）
２．訂正の適否
　本件訂正請求の訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項１の「電子ビーム装置に」を「電子ビーム装置（アンチコンタミネーションデバイスを有する電子ビーム装置を除く）に」と訂正するものである。
　ところで、この「アンチコンタミネーションデバイス」（以下「ＡＣＤ」という）とは何のことか検討するに、発明の詳細な説明には、ＡＣＤについて記載がなく、又、訂正請求書と同日付けの意見書をみても、ＡＣＤが何を指すか具体的に説明されていないため、「ＡＣＤを有する電子ビーム装置」が何を表すか不明である。さらに、当該技術分野において電子ビーム装置には、「ＡＣＤを有する電子ビーム装置」とそれを除いた「電子ビーム装置」との２種類があり、かつ、それらが明確に区別できるものであることを証する資料等も提示されていない。
　してみると、「電子ビーム装置（ＡＣＤを有する電子ビーム装置を除く）」は不明りょうな構成であり、この訂正をすることによって、特許請求の範囲の請求項１の記載は却って明りょうでないものとなるから、この訂正は、実質的に特許請求の範囲の減縮とはいえず、明りょうでない記載の釈明でもなく、又、誤記の訂正にも該当しない。さらに、「ＡＣＤを有する電子ビーム装置」は、願書に添付した明細書及び図面に記載されておらず、かつ、これらの記載から直接的かつ一義的に導き出せる事項とも認められない。
　そして、特許権者は、かかる点について、何の反論もしていない。
　したがって、本件訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書き各号に掲げられた事項を目的とするものではなく、又、同条第３項で準用する同法第１２６条第２項の規定に違反するので、本件訂正請求は認められない。
３．特許異議の申立てについて
（１）本件発明
　上記２．に記載したとおり、本件訂正請求が認められないので、本件特許異議の申立てがなされた特許に係る発明の要旨は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲第１項に記載された次のとおりのものと認める（以下「本件発明」という。）。
「電子ビーム装置に、Ｏ２又はＳＦ６又はＮＯ２又はこれらの一つ以上を含む混合ガスを導入し、かつ電子ビームが装置構成部品に照射された状態を形成して、装置構成部品に付着した汚れを除去することを特徴とする電子ビーム装置のクリーニング方法。」
　なお、本件特許は、昭和６２年６月１０日に出願されたものであるから、昭和６２年法律第２７号附則第３条第１項の規定により、従前の多項制が適用されるため、本件特許に関しては、第１項（必須要件項）についてのみ検討する。
（２）申立ての理由の概要
　本件特許異議の申立ての理由は、本件特許発明は、甲第１号証に記載された発明であるから特許法第２９条第１項第３号の規定により、又は、甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから同法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、さらに、請求項３に係る発明は、発明の詳細な説明に記載がないから特許法第３６条の規定により特許を受けることができない、というにあるものと認める。
〔証拠方法〕
甲第１号証：電子顕微鏡　Ｖｏｌ．１６　Ｎｏ．１　Ｐ．２〜Ｐ．１０（社団法人日本顕微鏡学会１９８１発行）
（３）引用刊行物に記載された事項
　当審が通知した取消理由において引用した刊行物１（特開昭５７−７４９５６号公報）には「本発明は電子線装置における電子線絞りおよびナイフエッジの汚染防止装置に関するものである。…（略）…電子ビームはこれら絞りの孔周辺やナイフエッジ端部周辺に衝突する際、雰囲気中の有機物を絞りやナイフエッジの上記部分に叩きつけ、物理吸着現象を起こす。これが絞りやナイフエッジの汚染の原因と考えられており、その主成分の大部分はカーボンであることが知られている。」（公報第１頁左欄第１１行〜右欄第２行）と、刊行物２（特開昭５８−２２３２４８号公報）には「近時、半導体ウエーハに微細パターンを描画、イオン注入および半導体ウエーハをエッチングする等の技術として、微細に絞ったイオンビームを利用したフォーカスイオンビーム装置が開発されている。この種の装置では、イオンビームの加速電圧が低い場合、イオンビームが真空中に浮遊しているハイドロカーボンを集めその衝突領域を汚すと云う、所謂コンタミネーション効果を生じる。」（公報第１頁右欄第８〜１６行）と、刊行物３（特開昭５３−５９６２号公報）には「本考案は電子顕微鏡、特に絞り板のコンタミネーション（汚れ）をクリニングできる機構を備えた電子顕微鏡に関するものである。」（公報第１頁左欄第１０〜１２行）及び「これらのガスは電子線の照射を受けると、分解してカーボンや炭化物となって、付近の壁などに付着する。絞り板の近傍では、電子線は細く絞られているため、電流密度が高く、ガスの分子と電子線との衝突の機会が高いため、絞り板は他の部分にくらべてコンタミネーションがより強くおこる。」（同第２頁左上欄第２〜８行）と記載されている．
　又、刊行物４（甲第１号証）には、「電子顕微鏡で像を観察する際、電子線が当たった部分が次第に暗くなったり，粒径が大きくなったりする試料汚染（ｂｅａｍ−ｉｎｄｕｃｅｄ　ｓｐｅｃｉｍｅｎ　ｃｏｎｔａｍｉｎａｔｉｏｎ，略してコンタミということが多いが，ここでは以下コンタミネーションということにする）」（甲第１号証第２頁左欄第２〜６行）、「カーボンブラックの粒子サイズが電子線の照射によって大きくなることに注目し，試料の種類，支持方法などによって異なることや，…（略）…それが試料上に吸着したハイドロカーポン分子に電子線が衝突する結果生ずることを…（略）…実験的に明確にしたのはＥｎｎｏｓである．」（同第２頁左欄第２０〜３１行）、「コンタミネーションの生成速度（ｃｏｎｔａｍｉｎａｔｉｏｎ　ｒａｔｅ，以下Ｒｃと略記）」（同第２頁右欄第６〜７行）、「試料室に種々のガスを導入した実験，Ｃ３Ｈ６や拡散ポンプ油の油蒸気でＲｃが大きくなること，酸素の分圧が高くなるとＲｃが負の値を示すことなどを観察した」（同第４頁左欄第１０〜１２行）、「電子線照射で試料がエッチされる現象について，…（略）…カーボンが除去されると考えた．…（略）…酸素についても，電子線によってＯ２＋あるいは０＋に電離し，それが反応することが考えられる．事実，真空度がいくぶん悪い状態で，試料を強い電子線で照射する場合には，ＡＣＤを使用してコンタミネーンョンを抑えると試料温度が低温であっても室温であっても，エッチングが必ず観察される．」（同第７頁左欄第２〜１３行）、「水の分子および酸素の分子が最も密接に関係していることがＦｕｋａｍｉのエンベロメンタル・セルの実験からも明らかになってきた．また，このエッチングを利用して表面についた汚れを取り除いて，きれいな表面にすることも可能である．」（同第７頁右欄第７〜１２行）ことが記載されている。
（４）当審の判断
　刊行物４の上記記載からみて、刊行物４には、試料表面につく試料汚染（コンタミネーション）は、試料上に吸着したハイドロカーボン分子に電子線が衝突する結果生ずること、酸素ガスの導入によって酸素分圧が高くなった状態で電子ビームを照射するとコンタミネーションにエッチングが起こること、このエッチングを利用して試料表面についた汚れを取り除くことも可能であること、が記載されており、結局、刊行物４には「電子顕微鏡に酸素ガスを導入し、電子線を試料表面に照射して試料表面に付着した試料汚染（コンタミネーション）を取り除く方法」が記載されていると認められる。
　してみると、本願発明と刊行物４に記載された発明とは、電子ビーム装置にＯ２ガスを導入し、電子ビームを照射することにより、汚れを除去する電子ビーム装置のクリーニング方法である点で一致し、ただ、除去される汚れが、本願発明では、装置構成部品に付着したものであるのに対して、刊行物４に記載された発明では、試料表面に付着したものである点で相違するものと認められる。
　この相違点について検討する．
　電子顕微鏡の絞り等に付着するコンタミネーション（汚れ）は、電子ビームが衝突する際、有機物が絞り等に叩きつけられて物理吸着現象を起こしたものであり、その主成分は炭素であること、は、刊行物１〜３に記載されるように、電子顕微鏡の分野において、周知の事項である。
　この周知の事項及び刊行物４の記載事項からみて、電子顕微鏡の絞り等装置構成部品につくコンタミネーンョンと試料表面につくコンタミネーションとは、共に炭素を主成分としており、同様の作用で形成されるものであることは明らかである。
　一方、刊行物４には、試料表面につくコンタミネーションは、酸素ガスを導入して電子線を照射するときれいにできることが記載されている。
　以上の点から、装置構成部品に付着した汚れ（コンタミネーション）も、酸素ガスを導入して電子線を照射することにより除去できることは当然のことであり、装置構成部品に付着した汚れを、刊行物４記載の発明の方法と同様の方法により除去するようにすることは、当業者が容易に想到し得たことであると認められる。
　したがって、本件発明は、上記刊行物１〜３に記載される周知の事項及び刊行物４に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであると認められる。
４．むすび
　以上のとおり、本件発明に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、平成６年法律第１１６号附則第１４条の規定に基づく平成７年政令第２０５号第４条第１項の規定により、本件特許を取り消す。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年７月２１日（１９９９．７．２１）