(57)【要約】　　　（修正有）【課題】ベース或いはボードを傷つけないようにし、ボードの湾曲や反りの状況を克服し、測定値の誤差を減らすことができる。【解決手段】機体に台板が設けられ、該台板の上にフラッティング機構とモニタが設けられ、台板の底部に距離測定機構が設けられ、台板が透明板とされ、複数の空気孔を具え、これら空気孔が真空吸引機の吸気管と連通し、フラッティング機構が自動上下移動可能で、且つプログラム制御により多段の停止高度を有し、距離測定機構が台板底部に取り付けられて横向きに往復移動可能とされ、且つ該距離測定機構が少なくとも、光学ゲージ、レーザー位置決め器、及びＣＣＤカメラを具え、該ＣＣＤカメラが測定点に焦点を合わせ、並びに撮影した画像をモニタに伝送する。【選択図】　　　図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
　機体に台板が設けられ、該台板の上方にフラッティング機構とモニタが設けられ、台板の底部に距離測定機構が設けられてなる単軸精密測定機において、
　該台板の底部の距離測定機構が、平行なスライドレールを利用して移動可能に設置された光学ゲージにより長さデータを読み取り、ＣＣＤカメラのキャプチャした二つの測定画像の中心相対位置を計算し、二つの測定点の長さを獲得し、
　該台板が透明とされ、複数の空気孔を具え、これら空気孔が真空吸引機の吸気管と連通し、
　該フラッティング機構が自動上下移動可能で、且つプログラム制御により多段の停止高度を具え、
　該距離測定機構が該台板底部に設けられて往復横向き移動可能で、少なくとも光学ゲージ、レーザー位置決め器、及びＣＣＤカメラを具え、該ＣＣＤカメラが測定点に焦点を合わせ、並びに撮影した画像をモニタに伝送することを特徴とする、単軸精密測定機。
【請求項２】
　請求項１記載の単軸精密測定機において、二つのＣＣＤカメラの倍率が異なるものとされたことを特徴とする、単軸精密測定機。
【請求項３】
　請求項１又は請求項２記載の単軸精密測定機において、機体の台板近くに少なくとも一つの温度センサが設けられ、該温度センサが台板付近の環境温度データを取得し、それにコンピュータに格納された温度補償プログラムの演算が組み合わされて、測定時の温度変化により発生する誤差を随時自動調整及び補償することを特徴とする、単軸精密測定機。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本考案は単軸精密測定機に係り、特に、基板或いは回路板の回路平面サイズと孔ピッチ等の測定を行なう測定機を指し、光学ロックポイントインデックスとコンピュータ直動測定のほか、真空吸引と多段フラッティング機構による固定でそのベース或いはボードを傷つけないようにし、並びにボードの湾曲や反りの状況を克服し、別に温度補償／校正装置を具え、材料の温度の違いによる伸縮量変化を防止し、測定値の誤差を減らすことができる、単軸精密測定機に関する。
【背景技術】
【０００２】
　周知の基板の製造には、少なくとも、原版パターニング、基板作成、回路板作成及び孔あけ等の作業があり、且つ現在基板の回路設計はますます細小化、細密化し、多層を有するものもあり、且つ後続の孔あけ及び電子部品実装等の作業はいずれも高速自動化設備により行なわれる。このため、基板と回路板の各部のサイズの精密な測定は非常に重要である。
【０００３】
　しかし、周知の測定工具２Ｄ、３Ｄで測定作業を行なう時、回路板と基板の測定面は上向きに置かれ、さらに台板上方のＣＣＤカメラで撮影し、画像を拡大し、目視位置決め方式で測定されるため、人の視覚の誤差を発生しやすい。次にＣＣＤカメラは上から下に撮影するため、回路板或いは基板の厚さの違いにより焦点距離の誤差を発生しやすく、このためにその測定結果に影響が生じる。さらにその台面の上方にカメラが取り付けられ、ゆえにフラッティング機構を設置できず、板の湾曲或いは反りにより測定精度に誤差が生じやすい。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
　本考案の主要な目的は、一種の単軸精密測定機を提供することにあり、それは、レーザーにより第１測定点位置を位置決め表示し、コンピュータで光学ゲージデータを自動的に読み取り、ＣＣＤで測定画像を自動キャプチャし並びに第１測定点と光学ゲージの相対中心位置を計算し、第２点位置に移動位置決めし測定する時、コンピュータが自動的に光学ゲージデータを自動的に読み取り、ＣＣＤで再度測定画像を自動キャプチャし、並びに第２測定点と光学ゲージの相対中心位置を計算し、二つの中心点の相対位置をコンピュータで計算して長さ距離を計算し、精密な測定値を獲得するものとする。
【０００５】
　本考案の次の目的は、一種の単軸精密測定機を提供することにあり、それは、測定待機面が透明台板上に平らに当接させられ、ＣＣＤカメラが下から上の撮影方式で画面を取得し、測定待機物の厚さの違いによるその撮影焦点距離及び測定の正確度への影響を発生させないものとする。
【０００６】
　本考案のまた一つの目的は、一種の単軸精密測定機を提供することにあり、それは、多段式フラッティング機構により、快速、便利に基板或いは回路板を平らに圧迫することができ、板の湾曲や反りの発生を防止して測定の正確度を高められるものとする。
【０００７】
　本考案のさらに一つの目的は、一種の単軸精密測定機を提供することにあり、それは、台板に近い部分に温度センサが設けられ、該温度センサが台面の環境温度信号を測定した後にコンピュータに入力してコンピュータが演算し、これにより測定待機物の異なる温度下の作業による材料の伸縮量を補償し、測定の正確度を確保できるものとする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
　請求項１の考案は、機体に台板が設けられ、該台板の上方にフラッティング機構とモニタが設けられ、台板の底部に距離測定機構が設けられてなる単軸精密測定機において、
　該台板の底部の距離測定機構が、平行なスライドレールを利用して移動可能に設置された光学ゲージにより長さデータを読み取り、ＣＣＤカメラのキャプチャした二つの測定画像の中心相対位置を計算し、二つの測定点の長さを獲得し、
　該台板が透明とされ、複数の空気孔を具え、これら空気孔が真空吸引機の吸気管と連通し、
　該フラッティング機構が自動上下移動可能で、且つプログラム制御により多段の停止高度を具え、
　該距離測定機構が該台板底部に設けられて往復横向き移動可能で、少なくとも光学ゲージ、レーザー位置決め器、及びＣＣＤカメラを具え、該ＣＣＤカメラが測定点に焦点を合わせ、並びに撮影した画像をモニタに伝送することを特徴とする、単軸精密測定機としている。
　請求項２の考案は、請求項１記載の単軸精密測定機において、二つのＣＣＤカメラの倍率が異なるものとされたことを特徴とする、単軸精密測定機としている。
　請求項３の考案は、請求項１又は請求項２記載の単軸精密測定機において、機体の台板近くに少なくとも一つの温度センサが設けられ、該温度センサが台板付近の環境温度データを取得し、それにコンピュータに格納された温度補償プログラムの演算が組み合わされて、測定時の温度変化により発生する誤差を随時自動調整及び補償することを特徴とする、単軸精密測定機としている。
【考案の効果】
【０００９】
　本考案の単軸精密測定機は、基板或いは製品の回路平面サイズと孔ピッチ等の測定を行なう測定機であり、光学ロックポイントインデックスとコンピュータ直動測定のほか、真空吸引と多段フラッティング機構による固定でそのベース或いはボードを傷つけないようにし、並びにボードの湾曲や反りの状況を克服し、別に温度補償／校正装置を具え、材料の温度の違いによる伸縮量変化を防止し、測定値の誤差を減らすことができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１０】
　本考案は台板が透明とされ、且つその上に複数の空気孔が設けられ、これら空気孔と真空吸引機の吸気管が連通し、フラッティング機構は自動的に上下に移動可能で、且つプログラム制御により、多段の停止高度を具え、距離測定機構は台板底部に設けられて往復横向き移動可能で、且つそのうち、少なくとも、光学ゲージ、レーザー位置決め機、及びＣＣＤカメラを具え、該ＣＣＤカメラが測定点に焦点を合わせ、並びに画像をモニタに伝送する。
【００１１】
　このほか、本考案によると、機体の台面に近い適当な部分に少なくとも一つの温度センサが設けられ、それが取得した温度データをコンピュータに送り、コンピュータに格納された温度補償プログラムにより、測定時の温度変化により発生する誤差を随時補償し、これにより良好な精密度を獲得する。
【実施例１】
【００１２】
　図１から図４に示されるように、本考案の単軸精密測定機は、機体１０に台板２０が設けられ、台板上方にフラッティング機構３０とモニタ４０が設けられ、台板２０の底部に距離測定機構５０が設けられてなる。本考案の特徴は以下のとおりである。
【００１３】
　台板２０は透明板とされ、且つその上に複数の空気孔２１を具え、これら空気孔２１は真空吸引機６０の吸気管６１と連通している。フラッティング機構３０はサーボモータ３１及びタイミングベルト３２により駆動されて上下移動可能とされ、且つプログラム制御により多段の停止高度を具えうる。距離測定機構５０は、台板２０底部に設けられて往復横向き移動可能で、且つそのうち少なくとも光学ゲージ５１、レーザー位置決め器５２及び二つのＣＣＤカメラ５３、５４を具えている。また、二つのＣＣＤカメラ５３、５４は同時にレーザー位置決め器５２の投射するマーキングライン上に焦点を合わせることができ、且つ二つのＣＣＤカメラ５３、５４の拡大倍率は異なり、それぞれ画像をモニタ４０に伝送して観察に供する。
【００１４】
　以上の構造が組み合わされて使用される時、基板或いは回路板はその測定面が台板２０を被覆し、並びに真空吸引機６０の吸引により台板２０に吸着固定され、次に、基板或いは回路板の厚さにより適当なコントロールキーが選択されて、フラッティング機構３０が適当な高度まで自動下降して適当な制圧力を発生し、これにより、本考案の構造は基板或いは回路板の測定面を傷つけることなく、且つ基板或いは回路板に湾曲或いは反りが発生するのを防止し、その測定面を平らに透明な台板２０の上に貼り付かせる。
【００１５】
　さらに、本考案中、単軸距離測定機構５０は透明台板２０の底部に固定されて自由に横移動可能で、横移動時に平行設置された光学ゲージ５１を利用して移動の距離を計算し、また、ＣＣＤカメラにより二つの測定点の画像を自動的に読み取り、並びに二つの測定点の相対中心位置を計算し、即ち二つの点間のサイズを測定し、測定物品の測定点の中心放置位置の偏移による錯誤を発生させない。
【００１６】
　上述したように、本考案の実施例中のＣＣＤカメラは二つの異なる倍率のＣＣＤカメラとされて、同一の測定点の画像をキャプチャし、そのうち一つのＣＣＤカメラ５３の撮影した画面は測定領域の大部分の画像であり、測定点とその周辺回路の関係位置と形状を見ることができ、これにより選択した測定点が正確であるか否かを確認でき、もう一つのＣＣＤカメラ５４は測定したい部分を最大に拡大して測定点の選択に供し、正確なポイント選択の機能を達成できる。また、本考案中のＣＣＤカメラ５３、５４と台板２０は固定された距離を保持し、測定物が下向きに透明な台板２０に固定される時、測定面からＣＣＤカメラ５３、５４の間の距離は不変で代わらず、基板或いは回路板の厚さの違いによる測定の正確度への影響を発生しない。
【００１７】
　このほか、本考案は機体１０の台板２０近くの適当な位置に少なくとも一つの温度センサ７０が設けられ、それが台板２０付近の環境温度データを取得した後、コンピュータに格納された温度補償プログラムの演算が組み合わされて、測定時の温度変化により発生した誤差を随時自動調整及び補償でき、これにより良好な精密度を得ることができる。
【００１８】
　さらに、上述の構造を実施する時、その機体外表に適当なパッケージがなされることにより外観がよくなると共に、機械或いは人の損傷を防止することができる（図５）。
【００１９】
　総合すると、本考案の単軸精密測定機ひゃ、確実に予期された目的を達成し、実用性と進歩性を具え、また、本考案の装置及びその組織形態は、その出願前に未公開並びに未使用であり、新規性を有している。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本考案の斜視図である。
【図２】本考案の局部仰視斜視図である。
【図３】本考案の正面組合せ図である。
【図４】本考案の側面組合せ図である。
【図５】本考案中の機構にケースを加えた実施例図である。
【符号の説明】
【００２１】
１０　機体　　　　２０　台板
３０　フラッティング機構　　　　４０　モニタ
５０　距離測定機構　　　　　　　６０　真空吸引機
７０　温度センサ
２１　空気孔　　　　　　　　　　３１　サーボモータ
３２　タイミングベルト　　　　　５１　光学ゲージ
５２　レーザー位置決め器　　　　５３、５４　ＣＣＤカメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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