【事件の表示】
　特許第２８１５９２６号「磁性コア」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８１５９２６号の特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第２８１５９２６号の請求項１に係る発明についての出願は、平成１年９月２８日に特許出願され、平成１０年８月１４日にその発明についての特許の設定登録がなされ、その後、その特許について、特許異議申立人日立金属株式会社より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１０月１２日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
　イ．訂正の内容
　特許権者が求める訂正の内容は、特許請求の範囲を以下のとおり訂正し、発明の詳細な説明をこの特許請求の範囲の訂正に合わせて訂正するものである。
【請求項１】
　板厚１０μｍ以下のＣｏ基アモルファス軟磁性合金薄帯の巻回体からなる磁性コアであって、
　前記巻回体のパッキングファク夕が１０％〜　６５％の範囲にあり、かつ前記Ｃｏ基アモルファス軟磁性合金は、
　一般式：[(Co１-a Fea )1ーbーｃ Mb M′ｃ ]100-x-ySixBy　（式中、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ、Ｃｒ＋Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ＋Ｗから選ばれた少なくとも１種を、Ｍ′はＮｂおよびＴａから選ばれた少なくとも１種を表し、ａ、ｂ、ｃ、ｘおよびｙは０．０３≦ａ≦０．０８、０．０２≦ｂ≦０．０６、０≦ｃ≦０．０３、０．０２≦ｂ＋ｃ≦０．０８、１０≦ｘ≦１５（ａｔ％）、１０≦ｙ≦１５（ａｔ％）、２３≦ｘ＋ｙ≦２８（ａｔ％）を満足する数である）
　で表されることを特徴とする磁性コア。
　
　ロ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正は明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載の、「軟磁性合金薄帯」を、「一般式：[(Co１-a Fea )1ーbーｃ Mb M′ｃ ]100-x-ySixBy（式中、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ、Ｃｒ＋Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ＋Ｗから選ばれた少なくとも１種を、Ｍ′はＮｂおよびＴａから選ばれた少なくとも１種を表し、ａ、ｂ、ｃ、ｘおよびｙは０．０３≦ａ≦０．０８、０．０２≦ｂ≦０．０６、０≦ｃ≦０．０３、０．０２≦ｂ＋ｃ≦０．０８、１０≦ｘ≦１５（ａｔ％）、１０≦ｙ≦１５（ａｔ％）、２３≦ｘ＋ｙ≦２８（ａｔ％）を満足する数である）で表されるＣｏ基アモルファス軟磁性合金薄帯」に、訂正するものである。
　そして、この訂正は、特許請求の範囲を減縮するものであり、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであって、新規事項を追加するものでも、特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　したがって、この訂正は、特許法第１２０条の４第２項、及び同法第１２０条の４第３項において準用する同法第１２６条第２項，第３項の規定に適合する。
　
　ハ．独立特許要件の判断
　（１）引用刊行物
刊行物１　　特開昭６３ー１７７４０５号公報
刊行物２　　特開平１ー１１０７０７号公報
刊行物３　　「電気学会研究会資料　MAGー85ー181
　　　　　　〜193」１９８５年１２月２０日発行
　
　（２）刊行物に記載された事項
　刊行物１には、高周波帯域で使用する高周波磁心に関し、占積率（磁心体積に対する実質に磁心が占める体積の比率）が低いと、磁心の大型化が避けられないという問題があり、一方、帯状の非晶質磁性材料を張力を加えて巻回した高周波磁心において、張力を増加すると占積率が増加する反面、鉄損も増加することが記載されている。
　刊行物２には、「組成比：（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−ｘ−ｙ−ｚ−α−β−γＣｕｘＳｉｙＢｚＭ′αＭ″βＸγ（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，ＺＦ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも一種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ａｌ，白金属元素、Ｓｃ,Ｙ，希土類元素、Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、ＸはＣ，Ｇｅ，Ｐ，Ｇａ，Ｓｂ，Ｉｎ，Ｂｅ，Ａｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，ｘ，ｙ，ｚ，α，β及びγはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦ｘ≦３，６≦ｙ≦２５，３≦ｚ≦１５，１４≦ｙ＋ｚ≦３０，１≦α≦１０，０≦β≦１０，０≦γ≦１０を満たす。）」により表わされる組成を有する鉄基軟磁性合金コアに関し、板厚が５μｍ〜２５μｍの合金薄帯から形成されている磁心が記載されており、巻磁心を作成する場合、張力をかけながら薄帯を巻いた方が占積率が上がり好ましい結果が得られること（第８頁左下欄第３行〜第５行）、及び板厚が１５μｍの場合に占積率６４％とすること（第９頁右下欄第１４行）も記載されている。
　刊行物３には、供試磁心ＡＴ６として、テープ厚みが７μｍ、テープ幅が４．０ｍｍ、内径が４．０ｍｍ、外径が４．９ｍｍ、有効断面積が０．６２ｍｍ２の、コバルトを主成分とするアモルファス磁性薄帯をトロイダル磁心とした小型環状磁心が記載されており、このパッキングファクタは、有効断面積/[高さ×（外形ー内径）/２]×１００＝０．６２/[４×（４．９ー４．０）/２]×１００＝３４．４であると認められる。
　
　（３）刊行物１〜刊行物３との対比・判断
　訂正明細書の請求項１に係る発明と刊行物１〜刊行物３に記載された各発明とを対比すると、刊行物１，刊行物３には、磁性合金の組成が明らかにされておらず、刊行物２には、磁性合金の組成が記載されているが、この磁性合金は、鉄基軟磁性合金であって、訂正明細書の請求項１に係る発明の構成である、「一般式：[(Co１-a Fea )1ーbーｃ Mb M′ｃ ]100-x-ySixBy（式中、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ、Ｃｒ＋Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ＋Ｗから選ばれた少なくとも１種を、Ｍ′はＮｂおよびＴａから選ばれた少なくとも１種を表し、ａ、ｂ、ｃ、ｘおよびｙは０．０３≦ａ≦０．０８、０．０２≦ｂ≦０．０６、０≦ｃ≦０．０３、０．０２≦ｂ＋ｃ≦０．０８、１０≦ｘ≦１５（ａｔ％）、１０≦ｙ≦１５（ａｔ％）、２３≦ｘ＋ｙ≦２８（ａｔ％）を満足する数である）」（以下、一般式Ａと云う）、で表されるＣｏ基アモルファス軟磁性合金とは、ＦｅとＣｏの含有量において相違する。
　そして、訂正明細書の請求項１に係る発明は、前記一般式Ａで表されるＣｏ基アモルファス軟磁性合金の構成により、板厚１０μｍ以下のＣｏ基アモルファス軟磁性合金薄帯の表面性を高めると共に、ピンホールなどの欠陥の発生を防止すると云う効果を奏するものであると認められるから、訂正明細書の請求項１に係る発明は、刊行物１〜刊行物３に記載された各発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは云えない。
　したがって、訂正明細書の請求項１に係る発明は、出願の際独立して特許を受けることができるものであるから、特許法第１２０条の４第３項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合する。
　
　ニ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項、及び同法第１２０条の４第３項において準用する同法第１２６条第２項〜第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３.特許異議の申立てについて
　イ. 本件発明
　本件請求項１に係る発明は、前記２.イに記載したとおりのものである。
　　
　ロ. 申立ての理由の概要
　特許異議申立人　日立金属株式会社は、甲第１号証〜甲第４号証を引用し、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証〜甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定によって特許を受けることができないものであり、したがって、本件請求項１に係る特許は、特許法第１１３条第１項第２号の規定に該当し、取り消すべきものである、旨の主張をしている。
　ハ. 判断
　（１）甲第１号証（特開昭６３ー２２８６０１号公報）には以下の事項が記載されており、甲第２号証（特開昭６３ー１７７４０５号公報）、甲第３号証（特開平１ー１１０７０７号公報）、及び甲第４号証（「電気学会研究会資料　MAGー85ー181〜193」１９８５年１２月２０日発行）（刊行物１〜刊行物３）には、前記２.ハ.（２）に記載したとおりの事項が記載されている。
　甲第１号証
　「非晶質合金からなる厚さ寸法ｔｒなるリボンを厚さ寸法ｔｉなる絶縁物を介在させ円筒状に卷回積層して形成したコアにおいて、ｔｒ＝５〜５０μｍとすると共に、前記コアの空隙率を０．５以下としたことを特徴とする非晶質合金コア。」（特許請求の範囲の請求項１）
　「本発明において、リボンの厚さ寸法ｔｒが小さいとコアの空隙率を増大するため不都合であり、５μｍ以上とするのが好ましい。一方リボンの厚さ寸法ｔｒがあまりに大であると空隙率は低下するが、コアの損失を増大させるため不都合である。」（第２頁左上欄第１５行〜第１９行）
　「次に第３図において破線で示すように、コア損失相対値はリボン板厚の増大につれて、上方を凹とする曲線状に増加する。この場合コア損失相対値は、リボン板厚が最も一般的な値である２０μｍのときのコア損失を１．０として示したものである。同図から明らかなように、リボン板厚が
５０μｍを越えると、コア損失相対値は１．５を越えることとなり、コアとしての実用性が認められない。従ってリボン板厚は５０μｍ以下とするのが好ましい。」（第２頁右下欄第１９行〜第３頁左上欄第７行）
　「本実施例においては、組成Ｃｏ６９．６　Ｆｅ０．４　Ｍｎ６．０　Ｓｉ１５　Ｂ９なる非晶質合金によって形成したコアについて記述したが、他の組成のコアについても同様の作用を期待できる。」（第３頁右上欄下から第１０行〜第７行）
　
　（２）本件請求項１に係る発明を甲第１号証〜甲第４号証に記載された各発明とを夫々対比すると、甲第１号証には、「組成Ｃｏ６９．６　Ｆｅ０．４　Ｍｎ６．０　Ｓｉ１５　Ｂ９なる非晶質合金」の記載はあるものの、これは、本件請求項１に係る発明の構成要件とする、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ、Ｃｒ＋Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ＋Ｗから選ばれた少なくとも１種、及びＮｂおよびＴａから選ばれた少なくとも１種を有するものではない。また、甲第２号証，甲第４号証には、磁性合金の組成が明らかにされておらず、甲第３号証には、磁性合金の組成が記載されているが、前記２.ハ.（３）において述べたとおり、この磁性合金は、鉄基軟磁性合金であって、本件請求項１に係る発明の構成要件である、前記一般式Ａで表されるＣｏ基アモルファス軟磁性合金とは、ＦｅとＣｏの含有量において相違する。
　結局、甲第１号証〜甲第４号証には、本件請求項１に係る発明の構成要件である、前記一般式Ａで表されるＣｏ基アモルファス軟磁性合金について記載がない。
　そして、本件請求項１に係る発明は、前記一般式Ａで表されるＣｏ基アモルファス軟磁性合金の構成により、板厚１０μｍ以下のＣｏ基アモルファス軟磁性合金薄帯の表面性を高めると共に、ピンホールなどの欠陥の発生を防止すると云う効果を奏するものであると認められるから、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証〜甲第４号証に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは云えない。
　
４.以上のとおりであり、本件請求項１に係る発明についての特許は、異議申立人の申立て理由及び証拠方法によっては、取り消すべきものとすることはできない。
　また、他に本件請求項１に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年２月１４日（２０００．２．１４）
【訂正の要旨】
　▲１▼訂正事項ａ
　明細書の特許請求の範囲の請求項１の記載、
「板厚１０μｍ以下の軟磁性合金薄帯の巻回体からなる磁性コアであって、前記巻回体のパッキングファクタが１０％〜６５％の範囲にあることを特徴とする磁性コア。」
を、
「板厚１０μｍ以下の
Ｃｏ基アモルファス
り、かつ前記Ｃｏ基アモルファス軟磁性合金は、
　　
一般式：［（Ｃｏ１−ａＦｅａ）１−ｂ−ｃ　Ｍｂ　Ｍ´ｃ］１００−ｘ−ｙＳｉｘ　Ｂｙ
　（式中、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ、Ｃｒ＋Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ＋Ｗから選ばれた少なくとも１種を、Ｍ´はＮｂおよびＴａから選ばれた少なくとも１種を表し、ａ、ｂ、ｃ、ｘおよびｙは０．０３≦ａ≦０．０８、０．０２≦ｂ≦０．０６、０≦ｃ≦０．０３、０．０２≦ｂ＋ｃ≦０．０８、１０≦ｘ≦１５（ａｔ％）、１０≦ｙ≦１５（ａｔ％）、２３≦ｘ＋ｙ≦２８（ａｔ％）を満足する数である）
　
で表される
と訂正する。
　▲２▼訂正事項ｂ
　明細書の第６頁第６〜８行の「一般式：［（Ｃｏ１−ａＦｅａ）１−ｂ−ｃ　Ｍｂ　Ｍ´ｂ］１００−ｘ−ｙＳｉｘ　Ｂｙ」を、
　「一般式：［（Ｃｏ１−ａＦｅａ）１−ｂ−ｃ　Ｍｂ　Ｍ´
ｃ
と訂正する。
　▲３▼訂正事項ｃ
　１）　明細書の第５頁第１１〜１４行の「すなわち本発明は、板厚１０μｍ以下の軟磁性合金薄帯の巻回体からなる磁性コアであって、前記巻回体のパッキングファクタが１０％〜６５％の範囲にあることを特徴とするものである。」を、
　　「板厚１０μｍ以下の
Ｃｏ基アモルファス
り、かつ前記Ｃｏ基アモルファス軟磁性合金は、
　　一般式：［（Ｃｏ１−ａＦｅａ）１−ｂ−ｃ　Ｍｂ　Ｍ´ｃ］１００−ｘ−ｙＳｉｘ　Ｂｙ
　
（式中、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ、Ｃｒ＋Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ＋Ｗから選ばれた少なくとも１種を、Ｍ´はＮｂおよびＴａから選ばれた少なくとも１種を表し、ａ、ｂ、ｃ、ｘおよびｙは０．０３≦ａ≦０．０８、０．０２≦ｂ≦０．０６、０≦ｃ≦０．０３、０．０２≦ｂ＋ｃ≦０．０８、１０≦ｘ≦１５（ａｔ％）、１０≦ｙ≦１５（ａｔ％）、２３≦ｘ＋ｙ≦２８（ａｔ％）を満足する数である）
　
で表される
　２）　明細書第６頁第１〜３行の「本発明の磁性コアに用いる軟磁性合金薄帯としては、例えばＣｏ基アモルファス合金薄帯やＦｅ基超微細結晶合金薄帯等が例示される。」を、「本発明の磁性コアに用いる軟磁性合金薄帯
は、
からなるものである
　３）　明細書第６頁第４〜５行の「上記Ｃｏ基アモルファス合金は、例えば下記の一般式で表されるものである。」を、「上記Ｃｏ基アモルファス合金は
、下
　４）　明細書第７頁第２０行〜第１２頁第８行の「また、上記Ｆｅ基軟磁性合金薄帯は、例えば下記の一般式で合金組成が表され、かつ粒径１０００Å以下と言った超微細結晶を面積比で例えば２５％〜９５％程度有しているものである。………なお、上記Ｆｅ基軟磁性合金において、０、Ｓ等の通常のＦｅ系合金にも含まれているような不可避的な不純物を微量含んでいてもよい。」を削除する。
　５）　明細書第１２頁第９〜１１行の「本発明に用いる軟磁性合金薄帯は、上述したＣｏ基アモルファス合金薄帯やＦｅ基超微細結晶合金薄帯等を厚さ１０μｍ以下としたものである。」を、「本発明に用いる軟磁性合金薄帯は、上述したＣｏ基アモルファス合金薄
帯を
　６）　明細書第１４頁第１４〜１７行の「Ｃｏ基アモルファス合金薄帯を適用する際には単ロール法等を用いて薄帯を作製し、またＦｅ基超微細結晶合金薄帯を適用する場合においても、一旦アモルファス状態の薄帯を作製する。」を、「Ｃｏ基アモルファス合金薄帯を適用する際には単ロール法等を用いて薄帯を作製
する
　７）　明細書第１６頁第２〜１７行の「また、Ｆｅ基超微細結晶合金を適用した場合には、アモルファス状の薄帯を所定のパッキングファクタ内で巻回した後、このアモルファス合金の結晶化温度以上の適当な温度で、３０分〜１５時間熱処理することにより、粒径１０００Å以下の超微細結晶粒が析出させ、所望の高周波化に対応した磁性コアが得られる。………この範囲において特に安定した軟磁気特性を得ることができる。」を削除する。
　８）　明細書第２１頁第４行〜第２５頁第３行の「実施例４　Ｆｅ７２Ｃｕ１Ｖ６Ｓｉ１３Ｂ８で示される合金組成物を調合、溶解し、Ｆｅ基超微細結晶合金作製用母合金とし、以下に示す条件下での単ロール法によって、まずアモルファス状の薄帯を作製した。………第２表の結果から明らかなように、本発明範囲のパッキングファクタを有する磁性コアは、いずれも低損失が得られることが分る。」を削除する。
　９）　明細書第２５頁第１８行〜第２６頁第３行の「第１図は本発明の一実施例のＣｏ基アモルファス合金薄帯を用いた磁性コアの鉄損および総磁束量を従来例と比較して示すグラフ、第２図は本発明の他の実施例のＦｅ基超微細結晶合金薄帯用いた磁性コアの鉄損および総磁束量を従来例と比較して示すグラフである。」を、「第１図は本発明の一実施例のＣｏ基アモルファス合金薄帯を用いた磁性コアの鉄損および総磁束量を従来例と比較して示すグラ
フで
　１０）　図面の第２図を削除する。
（５４）【発明の名称】
磁性コア
（５７）【特許請求の範囲】
（１）板厚１０μｍ以下の
Ｃｏ基アモルファス
　前記巻回体のパッキングファクタが１０％〜６５％の範囲にあ
り、かつ前記Ｃｏ基アモルファス軟磁性合金は、
　
一般式：［（Ｃｏ１−ａＦｅａ）１−ｂ−ｃ　Ｍｂ　Ｍ´ｃ］１００−ｘ−ｙＳｉｘ　Ｂｙ
（式中、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ、Ｃｒ＋Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ＋Ｗから選ばれた少なくとも１種を、Ｍ´はＮｂおよびＴａから選ばれた少なくとも１種を表し、ａ、ｂ、ｃ、ｘおよびｙは０．０３≦ａ≦０．０８、０．０２≦ｂ≦０．０６、０≦ｃ≦０．０３、０．０２≦ｂ＋ｃ≦０．０８、１０≦ｘ≦１５（ａｔ％）、１０≦ｙ≦１５（ａｔ％）、２３≦ｘ＋ｙ≦２８（ａｔ％）を満足する数である）
　
で表される
【発明の詳細な説明】
　［発明の目的］
　　（産業上の利用分野）
　　本発明は、ノイズフィルター、可飽和リアクトル、スパイクノイズ低減用超小形インダクタンス素子、各種トランス、チョークコイル、零相変流器、磁気ヘッド等に用いられる高周波で高透磁率が要求される用途に適した極薄の軟磁性合金薄帯を用いた磁性コアに関する。
　　（従来の技術）
　　近年、電子機器の小型軽量化、高性能化の要求に伴い、重要な機能部分として用いられている磁性部品にも高性能化が必要となってきている。
　たとえば磁気増幅器を組込んだスイッチング電源が広く用いられるようになってきているが、この磁気増幅器を構成する主要部は可飽和リアクトルであり、角形磁化特性に優れた磁心材料が必要とされている。また、上述したように近年の電子機器の小型軽量化、高性能化の要求が高まるにつれて、スイッチング電源にも小型軽量化が強く要望されており、これを実現するためにスイッチング周波数をより高周波化することが求められている。そこで、可飽和リアクトルを構成する磁心には、高周波域において損失が少ないことが強く望まれている。
　しかし、従来から磁心材料として使用されているＦｅ−Ｎｉ結晶質合金からなるセンデルタ（商品名）等は、２０ｋＨｚ以上の高周波域においてはうず電流損が著しく増大し、高周波域での使用に適合するものではない。また、高周波域で低鉄損、高角形比が得られるアモルファス合金を用いたものにおいても、ＭＨｚ域では鉄損が増大するため、実用的には２００〜５００ｋＨｚ程度に限られている。
　これに対して、一般に金属材料では板厚を薄くすることにより鉄損を抑え、高周波特性を改善できることが知られており、アモルファス合金においても厚さを低減することが検討されており、スイッチング周波数をＭＨｚにした電源を実現するために、さらに板厚を薄くすることが試みられている。
　一方、最近、Ｃｏ基アモルファス合金とほぼ同等の軟磁気特性をもつＦｅ基超微細結晶合金が報告されている（ＥＰＯ　Ｐｕｂｌｉｃａｔｉｏｎ　Ｎｏ　０２７１６５７、特開昭６３−３２０５０４号公報等参照）。この合金は、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｂ系合金等にＣｕとＮｂ、Ｗ、Ｔａ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｍｏ等の１種とを添加し、一旦アモルファス合金と同様の薄帯として形成した後、その結晶化温度以上の温度域で熱処理することによって、微細な結晶粒を析出させたものである。
　このようなＦｅ基超微細結晶合金においても、高周波特性を改善するために板厚を低減することが試みられている。
　　（発明が解決しようとする課題）
　　上述したように、各種磁性コアには低鉄損が高周波域（〜ＭＨｚ域）まで要求されており、これらは機器の高効率、小形軽量化、また磁性コアの小形化、高性能化などにつながる。そして、このような要求を満足するために、磁性コアを構成する軟磁性合金薄帯を極めて薄くすることが試みられている。
　ところで、通常、磁性コアは上記Ｃｏ基アモルファス合金薄帯やＦｅ基超微細合金薄帯等の軟磁性合金薄帯を巻回することによって構成しているが、従来から使用しているような厚さ２０μｍ程度の軟磁性合金薄帯と同様に巻回体を構成すると、新たな問題が発生することが本発明者らの実験によって始めて明らかとなった。
　すなわち、厚さ２０μｍ程度の軟磁性合金薄帯を用いた磁性コアは、一般にパッキングファクタが７５％〜８５％程度となるように巻回したものを用いているが、これと同等の巻回体を例えば厚さ１０μｍ以下と言ったような極薄の軟磁性合金薄帯で形成すると、応力が上昇して極薄の軟磁性合金薄帯の低損失を充分に生かすことができなくなってしまう。
　本発明は、このような知見に基づいてなされたもので、極薄の軟磁性合金薄帯の低損失という特性を充分に生かし、かつ小型化および高周波域への実用的な対応を可能にした磁性コアを提供することを目的とするものである。
　［発明の構成］
　　（課題を解決するための手段と作用）
　　すなわち本発明は、板厚１０μｍ以下の
Ｃｏ基アモルファス
り、かつ前記Ｃｏ基アモルファス軟磁性合金は、
　一般式：［（ＣＯ１−ａＦｅａ）１−ｂ−ｃ　Ｍｂ　Ｍ´ｃ］１００−ｘ−ｙ　Ｓｉｘ　Ｂｙ
（式中、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ、Ｃｒ＋Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ＋Ｗから選ばれた少なくとも１種を、Ｍ´はＮｂおよびＴａから選ばれた少なくとも１種を表し、ａ、ｂ、ｃ、ｘおよびｙは０．０３≦ａ≦０．０８、０．０２≦ｂ≦０．０６、０≦ｃ≦０．０３、０．０２≦ｂ＋ｃ≦０．０８、１０≦ｘ≦１５（ａｔ％）、１０≦ｙ≦１５（ａｔ％）、２３≦ｘ＋ｙ≦２８（ａｔ％）を満足する数である）
　
で表される
　ここで、本発明で言うパッキングファクタ（Ｐｆ）とは、巻同体を構成する軟磁性合金薄帯の実体積と巻回体のかさ体積との比率を示すものであり、次式で表されるものである。
　本発明の磁性コアに用いる軟磁性合金薄帯
は、
からなるものである
　上記Ｃｏ基アモルファス合金は
、下
　一般式：［（Ｃｏ１−ａＦｅａ）１−ｂ−ｃ　Ｍｂ　Ｍ´
ｃ
（式中、ＭはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ、Ｃｒ＋Ｗ、Ｃｒ＋Ｍｏ＋Ｗから選ばれた少なくとも１種を、Ｍ´はＮｂおよびＴａから選ばれた少なくとも１種を表し、ａ、ｂ、ｃ、ｘおよびｙは下記の式を満足する数である。
　０．０３≦ａ≦０．０８
　０．０２≦ｂ≦０．０６
　　　　０≦ｃ≦０．０３
　０．０２≦ｂ＋ｃ≦０．０８
　　　１０≦ｘ≦１５（ａｔ％）
　　　１０≦ｙ≦１５（ａｔ％）
　　　２３≦ｘ＋ｙ≦２８（ａｔ％））
　ここで、上記（Ｉ）式におけるＦｅは磁歪を制御する元素であり、Ｆｅ量を規定するａの値が０．０３〜０．０８の範囲で行われる。より好ましくは０．０４〜０．０７の範囲である。
　Ｍは合金溶融時の粘性を下げ、ロールとの濡れ性を改善し、合金の表面性改善およびピンホールの低減に有効な元素であり、その量があまり少ないと添加の効果が得られず、ピンホール等の少ない良好な極薄薄帯は得られ難く、逆にあまり多いとキュリー温度が低くなると共に、添加による効果向上が見られなくなるため、Ｍ量を規定するｂの値は０．０２〜０．０６の範囲が好ましい。Ｍ´は結晶化温度向上による熱処理温度範囲の拡大と磁気特性の向上および熱安定性の改善に有効な元素であり、Ｍ´量を規定するｃの値は０．０３以下をすることが好ましい。また、ＭとＭ´との合計量を規定するｂ＋ｃの値としては０．０２〜０．０８の範囲が好ましい。０．０２未満では上記効果が小さく、０．０８を超えるとキュリー温度が低くなりすぎ実用的でない
。
　
本
帯を
　ここで、本発明で言う軟磁性合金薄帯の板厚とは平均板厚ｔであり、下記の式によって求められるものである。
　なお、平均板厚測定時の長さは１ｍ以上が好ましいものとする。
　本発明の磁性コアは、上述したような極めて薄いの軟磁性合金薄帯をパッキングファクターが１０％〜６５％の範囲、さらに好ましくは１５％〜６０％となるように巻回した巻回体によって構成されているものである。パッキングファクターの値を上記範囲に限定したのは以下の理由による。
　すなわち、パッキングファクターが１０％未満であると、磁性コア断面積に対する総磁束量が小さくなりすぎ、要求される総磁束量を満足するためにはコアの大型化を招き、結果として小型化に繋がらなくなってしまう。また、パッキングファクターが６５％を超えると、磁性コアとしての鉄損が増大し、極薄の軟磁性合金薄帯が有する低鉄損を発揮することができなくなってしまう。これは、パッキングファクターが６５％を超える場合、巻回した層間に応力が加わりやすく、特に板厚１０μｍ以下の極薄薄帯では薄帯の断面積が小さいため、その応力の影響が大きくなるためと考えられる。
　このように、パッキングファクターの値を１０％〜６５％の範囲に設定することによって、極薄の軟磁性合金薄帯が有する低鉄損を充分に発揮することが可能となり、高周波域における低損失を確保した高周波化に対応した磁性コア、例えば可飽和リアクトル、スパイクノイズ低減用超小形インダクタンス素子、零相変流器等に適した磁性コアが得られる。また、このような磁性コアを使用した磁気部品と他の電子部品とを組合せることによって、スイッチング電源のような電子装置が得られる。
　本発明の磁性コアは、例えば以下のようにして製造される。
　まず、板厚１０μｍ以下の軟磁性合金薄帯を作製する。Ｃｏ基アモルファス合金薄帯を適用する際には単ロール法等を用いて薄帯を作製
する
　すなわち、減圧下あるいは不活性ガス雰囲気で下記の条件を満足させつつ冷却ロールに溶融金属を射出し、溶融金属を超急冷させる。上記製造条件とは、合金溶湯を射出するノズル形状、ノズルと冷却ロールとの距離、射出圧、冷却ロールの材質および周速等であり、それぞれ好ましい範囲は次の通りである。ノズル形状は矩形状とし、短辺を０．２ｍｍ以下とする。ノズルと冷却ロールとの距離は、０．２ｍｍ以下が好ましく、射出時の圧力は０．０３ｋｇ／ｃｍ２以下が好ましい。冷却ロールの材質はＣｕ基合金やＦｅ基合金が、また周速は２０ｍ／ｓｅｃ以上が好ましい。また、合金溶湯を射出する際の雰囲気は１０−２Ｔｏｒｒ以下の減圧下や６０Ｔｏｒｒ以下の不活性雰囲気下が好ましい。
　このようにしてピンホール等が少ない良好な薄帯を作製した後、Ｃｏ基アモルファス合金を適用した場合には、所定のパッキングファクタ内で巻回した後、結晶化温度以下でキュリー温度以上の温度範囲による歪取り熱処理を行い、冷却することによって、所望の高周波化に対応した磁性コアが得られる
。
　
ま
　なお、軟磁性合金薄帯を巻回する際には、予め絶縁層を薄帯の少なくとも一方の面に形成しておくことが好ましい。
　　（実施例）
　　以下、実施例を参照して本発明をさらに詳細に説明する。
実施例１
　［（Ｃ０．９４Ｆｅ０．０６）０．９５Ｍｏ０．０５］７４（Ｓｉ０．５Ｂ０．５）２６
　で示される合金組成物を調合、溶解し、アモルファス合金作製用母合金とし、以下に示す条件下での単ロール法によってアモルファス合金薄帯を作製した。
　溶融金属の射出時のノズルの形状は５ｍｍ×０．１５ｍｍのスリット形状とし、ノズルと冷却ロールとの間隔は０．１ｍｍとした。また、冷却ロールの材質はＦｅを用いた。このような単口ール装置を真空チャンバ内に配置し、真空チャンバ内を５×１０−５Ｔｏｒｒまで予備真空排気した後、Ｈｅガスを３０Ｔｏｒｒまで封入し、周速５７ｍ／ｓｅｃに制御された冷却ロールの周面上に圧力０．０２ｋｇ／ｃｍ２で溶融金属を射出し、超急冷して板厚５．２μｍ、幅４．８ｍｍの長尺なＣｏ基アモルファス合金薄帯を得た。なお、得られた薄帯は、表面性に優れかつピンホールなどの少ない良好なものであった。
　次に、上記長尺極薄のＣｏ基アモルファス薄帯を種々のパッキングファクタで外径１５ｍｍ×内径１０ｍｍのトロイダル状に巻回し、これら巻回体に４４０℃、４０分の条件で歪取り熱処理を施した後、２℃／ｍｉｎの速度で冷却してそれぞれ磁性コアを得た。
　このようにして得た各磁性コアの高周波磁気特性として、２ＭＨｚの鉄損を磁気特性評価装置・ＳＹ−８６１７（商品名、岩通社製）を用いて測定した。また総磁束量も測定した。これらの結果を第１図に示す。
　同図から明らかなように、本発明のパッキングファクタ値内の磁性コアは、いずれも低い鉄損値を示しており、またパッキングファクタが６５％を超えると急激に鉄損値が上昇することが分る。なお、総磁束量はパッキングファクタと共に低下しており、１０％未満では実用に耐えないことが分る。
実施例２
　第１表に示す合金組成物を出発原料としてそれぞれ用い、実施例１の同様な作製条件下でそれぞれＣｏ基アモルファス合金薄帯を作製し、第１表に示すパッキングファクタの磁性コアを実施例１と同様にして作製した。なお、巻回後の熱処理は、各アモルファス合金に対する最適条件下で行った。
　各磁性コアの鉄損を実施例１と同様にして測定した。その結果を合せて第１表に示す。
　第１表の結果から明らかなように、本発明範囲のパッキングファクタを有する磁性コアは、いずれも低鉄損が得られることが分る
。
　［発明の効果］
　以上説明したように本発明によれば、板厚１０μｍ以下の軟磁性合金薄帯を用い、パッキングファクタを１０％〜６５％の範囲とした磁性コアは、極薄の軟磁性合金薄帯が有する高周波領域での軟磁気特性、例えば低鉄損を充分に発揮することが可能となる。これによって、例えばノイズフィルター、可飽和リアクトル、スパイクノイズ低減用超小形インダクタンス素子、トランス、各種チョークコイル、零相変流器、磁気ヘッド等に用いられる高周波域で優れた軟磁気特性が要求され、かつ小形化された磁性コアを実用レベルで提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明の一実施例のＣｏ基アモルファス合金薄帯を用いた磁性コアの鉄損および総磁束量を従来例と比較して示すグラ
フで
【図面】