【事件の表示】
　　特許第２８５１０５５号「炉芯管装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８５１０５５号の特許を維持する。
【理　由】
（１）手続の経緯
　特許第２８５１０５５号は、平成１年４月１０日に特許出願され、平成１０年１１月１３日にその特許の設定登録がなされ、その後、渡部　賢一、三浦　邦彦　より請求項１に係る発明に対して特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年１月１１日に訂正請求がなされたものである。
　
（２）訂正の適否についての判断
ア．訂正明細書の請求項１に係る発明
　訂正明細書の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「半導体ウェーハを熱処理するための炉芯管本体の開口部とハウジングの炉芯管支持部との間にＯリングを配置してシールした状態で炉芯管本体を支持する炉芯管装置において、前記炉芯管本体は、均熱領域に存在する主部が透明石英で形成され、均熱領域を外れた開口部が開口端部まで不透明石英で形成され、かつ開口部の外周面に形成された開口補強部が透明石英で形成されており、該炉芯管本体の開口補強部とハウジングの炉芯管支持部との間に前記Ｏリングが配置されることを特徴とする炉芯管装置。」
　
イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１における「開口部が不透明石英で形成され」を「開口部が開口端部まで不透明石英で形成され」とする訂正は、特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　また、明細書第３頁第５〜１５行の訂正は、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るための、明りょうでない記載の釈明に該当する。
　
ウ．独立特許要件の判断
（刊行物に記載された発明）
　特開昭６４−１２５２３号公報（以下、「刊行物１」という。）には、
「耐熱材料によって透明に形成されたチューブ本体の開口部に、肉厚で不透明な縁部を設けた熱処理用チューブ。」（特許請求の範囲）、
「熱処理用チューブは、石英などの耐熱材料で円筒状に形成されており、被処理物としてたとえば半導体ウエーハ２を収容するチューブ本体４と、縁部６とから成っており、炉体内に収容されてその周面側に設置された加熱手段としてのヒータ１０によって加熱するものである。チューブ本体４および縁部６は共に成形によって独立して加工され、縁部６は熱抵抗を高めるために肉厚に設定されるとともに、不透明化した石英などの耐熱材料によって構成されて、チューブ本体４の開口部に一体に溶接などの固着手段によって接合されている。そして、縁部６は、チューブ本体４を支持するために、肉厚のフランジ１２を形成している。このように構成すると、チューブ本体４側の熱は、チューブ本体４の中央部から開口部に伝わって縁部６に至るが、その場合、縁部６がチューブ本体４に比較して肉厚に成っているので比熱が高いため、熱伝導が生じにくく、かつ、不透明になっているため、熱抵抗が高く、熱伝導を抑制することができるのである。このため、熱処理用チューブの開口部側に設置される搬出入機構やその他の機構部分に対する温度上昇を抑えることができる。」（第２頁左上欄第１１行〜右上欄第１４行）、
「そして、マニホールド本体２４には外側チューブ２０Ａの外周部に上部マニホールド２６が固定されており、この上部マニホールド２６が、内部に冷却水を通して冷却を行う水冷ゾーンを成している。また、マニホールド本体２４は、外側チューブ２０Ａを包囲する円筒状を成し、その内部に外側チューブ２０Ａを支持するための外側マニホールド２８がシール部材としてのＯリング４０，４２を介在させて設置されている。この外側マニホールド２８には、外側チューブ２０Ａのフランジ１２を囲い込むように支持突部４４が設置され、この支持突部４４は、外側チューブ２０Ａの開口部に一体に形成されたフランジ１２の周面に対向する傾斜面部４６を備えている。この傾斜部４６と、フランジ１２の周面との間には、シール部材としてのＯリング４０が設置されて気密性が保持されているとともに、フランジ１２および支持突部４４の上面間には、両者に跨る保持枠４８がフランジ１２側にステンレスなどの金属や、フッ素樹脂板などのリング状の介在物５０を設置して取付ねじ５２によって着脱可能に固定されている。」（第３頁左上欄第３行〜右上欄第４行）が、第１図、第２図と共に記載されている。
　すなわち、刊行物１には「半導体ウエーハを熱処理するための熱処理用チューブと支持突部との間にＯリングを配置してシールする熱処理用チューブにおいて、前記熱処理用チューブは、チューブ本体が透明に形成された石英で形成され、前記チューブ本体の開口部に接合された肉厚のフランジを備えた肉厚の縁部は不透明化された石英で構成されており、該熱処理用チューブの縁部に形成されたフランジの周面と支持突部に形成された傾斜面部との間に前記Ｏリングが配置されることを特徴とする熱処理用チューブ。」が記載されていると認められる。
　
　実願昭５５−１２８９０号（実開昭５７−５１６３９号）の願書に添付された明細書及び図面の内容を撮影したマイクロフィルム（以下、「刊行物２」という。）には、
「フランジ部を不透明石英製とした石英製気密容器において、その不透明石英製フランジ部の端面に透明石英層を溶接して設け、この透明石英層にシール材を介して接合すべき部材を接合してなる石英製気密容器のフランジ部構造。」（実用新案登録請求の範囲）、
「半導体製造装置の加熱反応容器として使用される石英製気密容器（反応管も含む）はそのフランジ部にシール用Ｏリングを介して接合すべき管のフランジ部又は蓋を接合したフランジ部構造を有している。気密容器は高温度になるためそのフランジ部の高温度によりシール用Ｏリングが劣化し気密性が悪化するのを回避するため、気密容器のフランジ部は透明石英より熱線に対する遮蔽性に優れている不透明石英で作られているが、不透明石英は多数の気泡を含んでおり、このような不透明石英製のフランジ部の端面はいかに研磨を施しても微視的にかなりの凹凸があり、高気密性を保持し難い。」（第１頁第１４行〜第２頁第６行）、
「以下図面によって本考案の一実施例を説明すると、１は透明石英製気密容器（反応管も含む）、２はその不透明石英製フランジ部を示し、本考案においては不透明石英製フランジ部２の端面３に透明石英層４を溶接して設け、この透明石英層４にシール用Ｏリング５を介して接続すべき蓋６を接合してなる。なお、接合すべき部材は蓋に限らず、反応ガスの出入を行なう管のフランジ又は排気のためのフランジである場合もある。」が、図面と共に記載されている。
　すなわち、刊行物２には「半導体製造装置の加熱反応容器として使用される石英製気密容器（反応管も含む）のフランジ部と、接合すべき管のフランジ部又は蓋との間にＯリングを配置してシールするフランジ部構造において、前記石英製気密容器は、フランジ部を不透明石英製とした透明石英製気密容器（反応管も含む）であって、その不透明石英製フランジ部の端面に透明石英層が溶接して設けられており、該透明石英層と、接合すべき管のフランジ部又は蓋との間に前記Ｏリングが配置されることを特徴とするフランジ部構造。」が記載されていると認められる。
　
　「石英ガラス加工技術ハンドブック」東京理化学硝子器械工業協同組合、昭和６３年３月発行、第５５〜５７頁（以下、「刊行物３」という。）には、
「フランジの製作法としては、管径の大小や手法の継承のしかたによって多岐にわたり、どの方法が最前であるかは、あらゆる方法を試した上でなければ決定できるものではない。・・・しかし、共通していることは、フランジの厚みと直径、幅などの寸法は設計に合わせて石英ガラス板からリング状に削取ることと、これをガラス管端部に溶着することである。」（第５５頁第８〜１４行）が、外径８０ｍｍのガラス管の端部をリングの端部よりも３ｍｍ内側に位置するようにはめて、ガラス棒を肉もり溶着する方法で中口径フランジを製作する工程を示した表７．２と図１９と共に記載されている。
　
（対比・判断）
　本件発明と刊行物１に記載された発明を対比すると、本件発明の「炉芯管本体」、「ハウジングの炉芯管支持部」、「開口補強部」は、刊行物１に記載された発明の「熱処理用チューブ」、「支持突部」、「フランジ」に相当する。
　従って、本件発明と刊行物１に記載された発明は、
「半導体ウェーハを熱処理するための炉芯管本体の開口部とハウジングの炉芯管支持部との間にＯリングを配置してシールした状態で炉芯管本体を支持する炉芯管装置において、前記炉芯管本体は、均熱領域に存在する主部が透明石英で形成され、均熱領域を外れた開口部が開口端部まで不透明石英で形成され、かつ開口部の外周面に形成された開口補強部が石英で形成されており、該炉芯管本体の開口補強部とハウジングの炉芯管支持部との間に前記Ｏリングが配置されることを特徴とする炉芯管装置。」である点で一致し、
　本件発明では、開口部が不透明石英で形成され、かつ開口補強部が透明石英で形成されているのに対して、刊行物１に記載された発明では、縁部及びフランジが共に不透明石英で形成されている点で相違する。
　
　そこで、この相違点について検討する。
　引用例２には、「不透明石英は多数の気泡を含んでおり、このような不透明性のフランジ部の端面はいかに研磨を施しても微視的にかなりの凹凸があり、高気密性を保持し難い。」ので、「不透明石英フランジ部の端面に透明石英層を溶接して設け、この透明石英層にシール材を介して接合すべき部材を接合」すべきであることが記載されている。
　また、引用例３には、中口径フランジを形成する方法として、ガラス管の端部がリングの端部よりも内側に位置するように、ガラス管にリングをはめて、ガラス棒を肉もり溶着する方法が記載されている。
　そして、引用例１の第１図に示された縁部の断面形状と引用例３の図１９の右上の図を比較すれば、引用例１に記載された発明の縁部を引用例３に記載された中口径フランジを形成する方法を用いて作製することは、当業者が容易に想到することができたものと認められる。
　しかしながら、仮に、引用例１に記載された発明に、引用例２，３に記載された発明を組み合わせて、不透明石英ガラス管に、高気密を保持するために透明石英ガラスのリングを組み合わせてフランジを形成したとしても、引用例３に記載された製造方法を使用する限り、不透明石英ガラス管の端部は透明石英ガラスリングの端部よりも内側に位置することにならざるを得ないから、この結果得られた炉芯管装置の不透明石英は開口端部までは形成されないことになる。
　従って、引用例１に記載された発明に、引用例２，３に記載された発明を組み合わせたとしても、開口部を不透明石英で形成し、かつ開口補強部が透明石英で形成されている炉芯管装置において、開口部を開口端部まで不透明石英で形成することを当業者が容易に想到し得たとすることはできない。
　そして、本件発明は、開口部が開口端部まで不透明石英で形成されていることにより、明細書に記載された、「均熱領域からの光輻射を散乱せしめることができ、Ｏリングに光輻射によって伝達される熱を大幅に抑制でき・・・Ｏリングの熱劣化を抑制でき・・・保守コストおよび運転効率を改善できる」という顕著な効果を奏することができるものと認められる。
　従って本件発明が、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
（まとめ）
　本件発明は特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
エ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２６条の規定に適合するので、当該訂正を認める。
（３）特許異議申立てについての判断
ア．申立ての理由の概要
　申立人　渡部　賢一　は、実願昭５５−１２８９０号（実開昭５７−５１６３９号）の願書に添付された明細書及び図面の内容を撮影したマイクロフィルム（以下、「甲第１号証」という。）、特開昭６４−１２５２３号公報（以下、「甲第２号証」という。）、及び「石英ガラス加工技術ハンドブック」東京理化学硝子器械工業協同組合、昭和６３年３月発行、第５５〜５７頁（以下、「甲第３号証」という。）の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張している。
　
　申立人　三浦　邦彦　は、特開昭６４−４４０１７号公報（以下、「甲第４号証」という。）、及び実願昭５５−１２８９０号（実開昭５７−５１６３９号）の願書に添付された明細書及び図面の内容を撮影したマイクロフィルム（以下、「甲第１号証」という。）の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張している。
　
イ．判断
　上記甲第１〜３号証には、上記「（２）訂正の適否についての判断　ウ．独立特許要件の判断（刊行物に記載された発明）」で示した事項が記載されている。
　また、甲第４号証には、「高温反応部１ａと、Ｏリング２を装着した開口部との間に、環状の不透明石英部１ｂが形成されている。」（第２頁左上欄第２０行〜右上欄第２行）が第１図と共に記載されている。
　しかしながら、上記「（２）訂正の適否についての判断　ウ．独立特許要件の判断　（対比・判断）」で示したように、本件発明は甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　また、甲第１〜３号証に甲第４号証を組み合わせたとしても、開口部を不透明石英で形成し、かつ開口補強部が透明石英で形成されている炉芯管装置において、開口部を開口端部まで不透明石英で形成することを当業者が容易に想到し得たとすることもできない。
　従って、両申立人の前記各主張はいずれも採用できない。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年３月２４日（２０００．３．２４）
【訂正の要旨】
　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の「半導体ウェーハを熱処理するための炉芯管本体の開口部とハウジングの炉芯管支持部との間にＯリングを配置してシールした状態で炉芯管本体を支持する炉芯管装置において、前記炉芯管本体は、均熱領域に存在する主部が透明石英で形成され、均熱領域を外れた開口部が不透明石英で形成され、かつ開口部の外周面に形成された開口補強部が透明石英で形成されており、該炉芯管本体の開口補強部とハウジングの炉芯管支持部との問に前記Ｏリングが配置されることを特徴とする炉芯管装置。」という記載を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「半導体ウェーハを熱処理するための炉芯管本体の開口部とハウジングの炉芯管支持部との間にＯリングを配置してシールした状態で炉芯管本体を支持する炉芯管装置において、前記炉芯管本体は、均熱領域に存在する主部が透明石英で形成され、均熱領域を外れた開口部が開口端部まで不透明石英で形成され、かつ開口部の外周面に形成された開口補強部が透明石英で形成されており、該炉芯管本体の開口補強部とハウジングの炉芯管支持部との問に前記Ｏリングが配置されることを特徴とする炉芯管装置。」と訂正する。
　訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的として、明細書第３頁第５行から第１５行までの「本発明の炉芯管装置は、半導体ウェーハを熱処理するための炉芯管本体の開口部とハウジングの炉芯管支持部との間にＯリングを配置してシールした状態で炉芯管本体を支持する炉芯管装置において、前記炉芯管本体は、均熱領域に存在する主部が透明石英で形成され、均熱領域を外れた開口部が不透明石英で形成され、かつ開口部の外周面に形成された開口補強部が透明石英で形成されており、該炉芯管本体の開口補強部とハウジングの炉芯管支持部との間に前記Ｏリングが配置されることを特徴とする。」という記載を、「本発明の炉芯管装置は、半導体ウェーハを熱処理するための炉芯管本体の開口部とハウジングの炉芯管支持部との間にＯリングを配置してシールした状態で炉芯管本体を支持する炉芯管装置において、前記炉芯管本体は、均熱領域に存在する主部が透明石英で形成され、均熱領域を外れた開口部が開口端部まで不透明石英で形成され、かつ開口部の外周面に形成された開口補強部が透明石英で形成されており、該炉芯管本体の開口補強部とハウジングの炉芯管支持部との間に前記Ｏリングが配置されることを特徴とする。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
炉心管装置
（５７）【特許請求の範囲】
　半導体ウェーハを熱処理するための炉芯管本体の開口部とハウジングの炉芯管支持部との間にＯリングを配置してシールした状態で炉芯管本体を支持する炉芯管装置において、前記炉芯管本体は、均熱領域に存在する主部が透明石英で形成され、均熱領域を外れた開口部が
開口端部まで
【発明の詳細な説明】
（１）発明の目的
　［産業上の利用分野］
　本発明は、炉芯管装置に関し、特に、炉芯管本体の開口部の少なくとも一部を不透明石英によって形成することによりその開口部に対して配設されたＯリングの熱劣化を防止してなる炉芯管装置に関するものである。
　［従来の技術］
　従来、この種の炉芯管装置としては、全体として透明石英によって形成された炉芯管本体の開口部に対してＯリングを配設することにより炉芯管本体の開口部とハウジングの炉芯管支持部との間のシールを達成してなるものが提案されていた。
　［解決すべき問題点］
　しかしながら、従来の炉芯管装置では、炉芯管本体が全体として透明石英によって形成されていたので、（ｉ）高温に維持された均熱領域から光輻射によって熱がその開口部まで伝達されており開口部に配設されたＯリングを比較的短時間の内に劣化せしめてしまう欠点があり、ひいては（ｉｉ）保守コストが増大しかつ運転効率が劣化せしめられてしまう欠点があった。
　そこで、本発明は、これらの欠点を除去すべく、少なくとも炉芯管本体の開口部近傍を不透明石英によって形成することにより均熱領域からの光輻射を散乱せしめて炉芯管本体の開口部に配設したＯリングの熱劣化を抑制してなる炉芯管装置を提供せんとするものである。
（２）発明の構成
　［間題点の解決手段］
　本発明の炉芯管装置は、半導体ウェーハを熱処理するための炉芯管本体の開口部とハウジングの炉芯管支持部との問にＯリングを配置してシールした状態で炉芯管本体を支持する炉芯管装置において、前記炉芯管本体は、均熱領域に存在する主部が透明石英で形成され、均熱領域を外れた開口部が
開口端部まで
　［作用］
　本発明にかかる炉芯管装置は、上述の構成を有するので、
　（ｉ）均熱領域からの光輻射を散乱せしめＯリングに光輻射によって伝達される熱を大幅に抑制する作用
をなし、ひいては
　（ｉｉ）Ｏリングの熱劣化を抑制する作用
をなし、結果的に
　（ｉｉｉ）保守コストおよび運転効率を改善する作用
をなす。
　［実施例］
　次に、本発明にかかる炉芯管装置について、その好ましい実施例を挙げ、具体的に説明する。しかしながら、以下に説明する実施例は、本発明の理解を容易化ないし促進化するために記載されるものであって、本発明を限定するために記載されるものではない。換言すれば、以下に説明される実施例において開示される各部材は、本発明の精神ならびに技術的範囲に属する全ての設計変更ならびに均等物置換を含むものである。
　第１図は、本発明にかかる炉芯管装置の第１の実施例を示す断面図であって、特に、開口部２１Ａ周面に形成された開口補強部２１Ｂの端面においてＯリング６２によりシールをなす場合を示している。
　第２図は、本発明にかかる炉芯管装置の第２の実施例を示す断面図であって、開口部２１Ａの周面に形成された開口補強部２１Ｂの肩部テーパ面においてＯリング６２によりシールをなす場合を示している。
　第３図は、本発明にかかる炉芯管装置の第３の実施例を示す断面図であって、特に、主部２１Ｃの開口部外周面に対して開口部２１Ａが溶接などによって配置されており、かつ開口部２１Ａ周面に形成された開口補強部の端面においてＯリング６２によりシールをなす場合を示している。
（第１の実施例）
　まず、第１図を参照しつつ、本発明にかかる炉芯管装置の第１の実施例について、その構成を詳細に説明する。
　１０は、縦型熱処理炉であって、半導体ウェーハを熱処理するための本発明にかかる炉芯管装置２０と、炉芯管装置２０の周囲に適宜の間隔を介して所望により配設されており炉芯管装置２０において均熱領域を確保することを容易化するための均熱管３０と、均熱管３０の周囲に配設された加熱部材４０と、加熱部材４０の周囲に配設された断熱管５０と、ステンレスなどの適宜の材料で形成されており炉芯管装置２０を炉芯管支持部６１によって保持するハウジング６０と、ハウジング６０の炉芯管支持部６１の下端面に対して直接に当接される炉蓋本体７１を有する炉蓋装置７０とを備えている。
　本発明にかかる炉芯管装置２０は、均熱領域を外れた開口部２１Ａの少なくとも一部が不透明石英で形成されかつ開口部２１Ａの外周面に形成された開口補強部２１Ｂおよび均熱領域に存在する主部（すなわち均熱部）２１Ｃが透明石英によって形成されており内部空間に形成された均熱領域で半導体ウェーハを熱処理するための炉芯管本体２１と、断熱管５０の外部から炉芯管本体２１の外周面まで延長されたのち炉芯管本体２１の軸方向に延長されその頂部から内部空間に対して適宜の処理ガスを供給するためのガス供給管２２と、炉芯管本体２１の開口部２１Ａの近傍に開口されかつ断熱管５０の外部へ延長されており使用済の処理ガスを炉芯管本体２１の内部空間から外部へ向けて排除するためのガス排出管２３を包有している。ガス供給管２２およびガス排出管２３は、ともに、断熱管５０の内部に位置する部分がなるべく多く石英などの適宜の材料によって形成されていることが好ましい。
　均熱管３０は、たとえば炭化珪素などによって作成されており、炉芯管装置２０に均熱領域を確保ないし拡張すべく炉芯管装置２０のほぼ全長を包囲するように配設されている。
　加熱部材４０は、均熱管３０の外方に配設されており、炉芯管装置２０の軸方向にそってなるべく大きな均熱領域を確保するために適宜に配設されている。
　断熱管５０は、グラスファイバなどの適宜の材料によって形成されており、炉芯管装置２０，均熱管３０および加熱部材４０を全体として包囲している。
　ハウジング６０は、炉芯管装置２０に包有された炉芯管本体２１の開口部２１Ａ端面および開口補強部２１Ｂ端面を上面によって支持する炉芯管支持部６１と、炉芯管支持部６１の上面（支持面ともいう）に形成された凹所（支持溝ともいう）６１ａに配設され炉芯管本体２１の開口補強部２１Ｂ端面に当接されることにより炉芯管本体２１と炉芯管支持部６１の支持面との間のシールを達成するためのＯリング６２と、炉芯管支持部６１の内部に形成されておりＯリング６２の支持溝６１ａをなるべく包囲するよう形成されＯリング６２を冷却するための冷却媒体（たとえば冷却水）を案内する案内通路６３とを備えている。
　炉蓋装置７０は、ハウジング６０に包有された炉芯管支持部６１の下面に当接されており半導体ウェーハを支持するための熱処理治具（図示せず）を載置せしめるための炉蓋本体７１と、炉蓋本体７１の下面を支持しており炉蓋本体７１を炉芯管支持部６１の下面（すなわち炉芯管本体２１の開口部２１Ａ端面）に向けて接近離間せしめる炉蓋移動部材７２と、炉蓋移動部材７２の上面凹所に対して配設されており炉蓋本体７１が炉芯管支持部６１の下面に対して当接されるとき緩衝材として機能する弾性部材７３と、炉蓋移動部材７２の一端部に対して配設された駆動シャフト７４と、炉蓋本体７１の上面周囲に形成された配設溝７５に対して配設されておりハウジング６０に包有された炉芯管支持部６１の下面に対して当接され炉芯管支持部６１との問のシールを確保するＯリング７６と、炉蓋本体７１の内部に形成されておりＯリング７６を冷却するための冷却媒体（たとえば冷却水）を案内する案内通路７７とを備えている。
　更に、第１図を参照しつつ、本発明にかかる炉芯管装置の第１の実施例について、その作用を詳細に説明する。
（Ｏリング６２の熱劣化防止）
　断熱管５０の内周面に配設された加熱部材４０は、電源を接続することにより発熱せしめられる。加熱部材４０によって発生された熱は、均熱管３０を介して炉芯管本体２１に与えられる。これにより炉芯管本体２１の主部すなわち均熱部２１Ｃは、所定の温度（たとえば１２００℃）に維持される。均熱部２１Ｃの熱は、主として光輻射によって拡散される。
　炉芯管本体２１の開口部２１Ａは、このとき少なくとも一部が不透明石英によって形成されているので、均熱部２１Ｃから輻射された光をその内部に存在する気泡によって乱反射する。このため均熱部２１Ｃから輻射された光は、開口補強部２１Ｂに対しほとんど伝達されない。
　したがって、本発明によれば、開口補強部２１Ｂに対して当接されたＯリング６２に光輻射によって伝達される熱を大幅に削減でき、ひいてはＯリング６２の熱劣化を十分に防止できる。
（半導体ウェーハの熱処理）
　炉蓋装置７０の炉蓋本体７１には、炉蓋移動部材７２が駆動シャフト７４によって降下せしめられ半導体ウェーハの移載位置に到達すると、適宜の移載装置によって熱処理すべき半導体ウェーハが載置される。
　炉蓋本体７１は、半導体ウェーハが載置されたのち駆動シャフト７４によって炉蓋移動部材７２が上昇せしめられることによりハウジング６０に含まれた炉芯管支持部６１の下面すなわち開口周面に当接される。
　この状態で、処理ガスが、ガス供給管２２を介して矢印Ａ１，Ａ２方向に供給され、炉芯管本体２１の頂部からその内部空間に対し矢印Ａ３で示すごとく供給される。炉芯管本体２１の内部空間では、加熱部材４０による加熱によって半導体ウェーハの熱処理が実行される。使用済みの処理ガスは、矢印Ｂ１，Ｂ２で示すごとくガス排出管２３を介して炉芯管本体２１の開口部２１Ａから外部へ排出される。
　半導体ウェーハの熱処理が完了すると、炉蓋装置７０の炉蓋本体７１は、再び駆動シャフト７４によって炉蓋移動部材７２を降下せしめることにより、炉芯管本体６１の下面（すなわち炉芯管本体２１の開口部２１Ａ端面）から離間され当初の移載位置へ復帰される。炉蓋移動部材７２が移載位置に到達したのち、適宜の移載装置によって炉蓋本体７１の上面から処理済の半導体ウェーハが除去される。
　以下、上述の動作が反復される。
（第２の実施例）
　加えて、第２図を参照しつつ、本発明にかかる炉芯管装置の第２の実施例について、その構成および作用を詳細に説明する。
　第２の実施例では、Ｏリング６２が炉芯管本体２１の開口補強部２１Ｂの肩部に形成されたテーパ面およびハウジング６０のテーパ面に接触して配設されかつその開口補強部２１Ｂのテーパ面およびハウジング６０のテーパ面に対しＯリング６２を押圧する押圧部材６４がハウジング６０および開口補強部２１Ｂの上面に対して配設されており、ハウジング６０の内部および押圧部材６４の内部に対しＯリング６２を冷却するための冷却媒体（たとえば冷却水）を案内するための案内通路６３Ａ，６３Ｂを形成してなることを除き、第１の実施例と同一の構成および作用を有する。
　したがって、ここでは、便宜上、第１の実施例の部材に対応する部材に対し同一の参照番号を付し、その詳細な説明を省略する。
（第３の実施倒）
　また、第３図を参照しつつ、本発明にかかる炉芯管装置の第３の実施例について、その構成および作用を詳細に説明する。
　第３の実施例は、開口部２１Ａが主部２１Ｃの開口部外周面に対して溶接などによって配設される構成を有しており、開口部２１Ａ周面に形成された開口補強部２１Ｂの端面に配置されたＯリング６２に対する光輻射に伴なう熱伝達量を第１の実施例に比べ一層削減する作用をなすことを除き、第１の実施例と同一の構成および作用を有する。
　したがって、ここでは、便宜上、第１の実施例の部材に対応する部材に対し同一の参照番号を付し、その詳細な説明を省略する。
（具体例）
　最後に、本発明にかかる炉芯管装置の理解を一層深めるために、第１の実施例にそいつつ、具体的な数値を挙げ説明する。
（実施例）
　内径が２５０ｍｍで高さが１０００ｍｍである炉芯管本体の開口部をその端面から７０ｍｍまでを不透明石英によって形成し、かつその均熱部および開口補強部を透明石英によって形成した炉芯管装置を用いて、炉芯管本体の内部空間を外部空間との間の差圧を１００ｍｍＨ２Ｏとしたのち、運転を開始し、均熱部の温度を１２００℃に維持した。
　運転開始から１０時間経過時点において、炉芯管本体の内部空間と外部空間との間の差圧を測定したところ、１００ｍｍＨ２Ｏに維持されていた。
（比較例）
　炉芯管本体の全体を透明石英で形成して、実施例を反復したところ、運転開始から２時間経過時点において、炉芯管本体の内部空間と外部空間との間の差圧が０ｍｍＨ２Ｏとなった。
　上述した実施例と比較例とを比較すれば明らかなように、本発明によれば、Ｏリングの熱劣化を防止できる。
　なお、上述においては、縦型熱処理炉に使用される炉芯管装置について主として説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、横型熱処理炉に使用される炉芯管装置についても適用できる。
　また、開口補強部２１Ｂが透明石英によって形成されるものとして説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、開口補強部２１Ｂを不透明石英で形成する場合も包摂している。ただしこの場合は、開口補強部２１Ｂは、シールを確保するためにアニール処理する必要がある。
（３）発明の効果
　上述より明らかなように、本発明にかかる炉芯管装置は、
　（ｉ）均熱領域からの光輻射を散乱せしめることができ、Ｏリングに光輻射によって伝達される熱を大幅に抑制できる効果
を有し、ひいては
　（ｉｉ）Ｏリングの熱劣化を抑制できる効果
を有し、結果的に
　（ｉｉｉ）保守コストおよび運転効率を改善できる効果
を有する。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明にかかる炉芯管装置の第１の実施例を示す断面図、第２図は本発明にかかる炉芯管装置の第２の実施例を示す断面図、第３図は本発明にかかる炉芯管装置の第３の実施例を示す断面図である。
　１０……縦型熱処理炉
　２０……炉芯管装置
　２１……炉芯管本体
　２１Ａ……開口部
　２１Ｂ……開口補強部
　２１Ｃ……均熱部
　２２……ガス供給管
　２３……ガス排出管
　３０……均熱管
　４０……加熱部材
　５０……断熱管
　６０……ハウジング
　６１……炉芯管支持部
　６１ａ……配設溝
　６２……Ｏリング
　６３，６３Ａ，６３Ｂ……案内通路
　６４……押圧部材
　７０……炉蓋装置
　７１……炉蓋本体
　７２……炉蓋移動部材
　７３……弾性部材
　７４……駆動シャフト
　７５……配設溝
　７６……Ｏリング
　７７……通水路