【事件の表示】
　特許第２７５２１８８号「光起電力装置及びその製造方法」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７５２１８８号の請求項１に係る特許を維持する。
【理由】
Ｉ．手続きの経緯
　本件特許第２７５２１８８号の請求項１に係る発明についての特許出願は、平成１年９月１８日にされ、平成１０年２月２７日にその発明について特許の設定登録がなされ、その後、佐藤正より特許異議の申立がなされ、平成１１年４月５日付けで取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年７月５日に訂正請求がなされた後、平成１１年８月１９日付けで訂正拒絶理由が通知され、その指定期間内である平成１１年８月１９日に訂正拒絶理由通知に対して手続補正書が提出されたものである。
ＩＩ．訂正の適否
ア．訂正請求に対する補正の適否について
　訂正請求の補正の内容は、特許請求の範囲の減縮若しくは明りょうでない記載の釈明を目的とし願書に添付された明細書（以下、「特許明細書」という。）の訂正の補正を行うものであり、当該補正は要旨を変更するものではないからこれを認める。
イ．訂正請求の内容
　平成１１年８月１９日付け手続補正書により補正された平成１１年７月５日付け訂正請求の内容は以下のとおりである。
ａ．特許請求の範囲の請求項１を
「透明電極，薄膜半導体層及び背面電極の積層体からなる光電変換素子と、前記透明電極側に設けられた透光性、絶縁性且つ可撓性の第１樹脂層と、前記背面電極側に設けられた絶縁性且つ可撓性を有すると共に、前記光電変換素子及び第１樹脂層が形成された支持基板からの前記第１樹脂層の分離に寄与し、前記光電変換素子が前記第１樹脂層側ヘカールしようとする内部応力より強い応力を有するべく収縮力を備えた第２樹脂層と、前記第１樹脂層上に設けられ透光性且つ可撓性を有すると共に、前記第１樹脂層、光電変換素子及び第２樹脂層の積層体の前記第２樹脂層側へのカールを解消させる収縮力を備えた第３樹脂層と、を備え、前記第２及び第３の樹脂層にて、収縮力を相殺してなる光起電力装置。」と訂正する
ｂ．特許明細書６頁９〜１８行（特許掲載公報２頁４欄１７〜２５行）にある「本発明は、…特徴とする。」を、「本発明は、透明電極，薄膜半導体層及び背面電極の積層体からなる光電変換素子と、前記透明電極側に設けられた透光性、絶縁性且つ可撓性の第１樹脂層と、前記背面電極側に設けられた絶縁性且つ可撓性を有すると共に、前記光電変換素子及び第１樹脂層が形成された支持基板からの前記第１樹脂層の分離に寄与し、前記光電変換素子が前記第１樹脂層側ヘカールしようとする内部応力より強い応力を有するべく収縮力を備えた第２樹脂層と、前記弟１樹脂層上に設けられ透光性且つ可撓性を有すると共に、前記第１樹脂層、光電変換素子及び第２樹脂層の積層体の前記第２樹脂層側へのカールを解消させる収縮力を備えた第３樹脂層と、を備え、前記第２及び第３の樹脂層にて、収縮力を相殺したことを特徴とする。」と訂正する。
ｃ．特許明細書７頁１８行（特許掲載公報２頁４欄４３行）にある「相殺されする事により」を「相殺される事により」と訂正する。
ウ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡帳・変更の存否
　上記ａの訂正は、特許請求の範囲の減縮とともに明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、実質的に特許請求の範囲を拡張・変更するものではなく、また、新規事項の追加にも該当しない。
　上記ｂの訂正は、ａの訂正により特許請求の範囲が訂正されたのに応じて、特許明細書の発明の詳細な説明を訂正し、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るものであるので、明りょうでない記載の釈明に該当し、また上記ｃの訂正は、誤記の訂正に該当し、上記ｂ、ｃの訂正はいずれも実質的に特許請求の範囲を拡張・変更するものではなく、新規事項の追加にも該当しない。
エ．独立特許要件
（本件発明）
　補正された平成１１年７月５日付け訂正請求により訂正された特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、訂正された特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのもの（以下、「本件発明」という。）と認める。
（引用刊行物）
　本件発明に対し、当審が取消理由通知において示した刊行物１（実願昭６１−１３７０２２号（実開昭６３−４３４５７号）のマイクロフィルム）の１頁４〜１０行には「光電変換膜が支持基板の一方の主面に被着された太陽電池、該太陽電池の受光面側に熱可塑性樹脂シートを介して接着された透光性プラスチック表面材、上記太陽電池の背面側に熱可塑性樹脂シートを介して接着された上記表面材と熱膨張係数がほぼ等しいプラスチック背面材、からなる太陽電池モジュール」、２頁１６行〜３頁２行には「表面材であるプラスチック材の熱膨張係数は太陽電池の支持基板を構成するガラス材のそれに較べ１桁以上大きいために、表面材を太陽電池に熱可塑性樹脂シートを介して接着する加熱工程後の常温状態復帰時に、表面材が支持基板に較べ大きく収縮し表面材の表面側が凹状となる反りが発生する。」、４頁１〜１８行には、「第１図は本考案太陽電池モジュールの概略的断面図、第２図はその分解断面図で、……該光電変換膜（２）及び支持基板（１）から太陽電池（ＳＣ）が構成されている。……（３）は上記太陽電池（ＳＣ）の受光面側に配置されたポリカーボネートやアクリル等のプラスチック材からなる透光性の表面材、（４）は該プラスチック表面材（３）を太陽電池（ＳＣ）の受光面に接着せしめるＰＶＢやＥＶＡ等の熱可塑性樹脂シートで、該熱可塑性樹脂シートの具体例である上記ＰＶＢやＥＶＡは共に厚み０．１ｍｍ〜数ｍｍ程度のシート状のもの」、５頁７〜１４行には「（５）は上記太陽電池（ＳＣ）の背面側に設けられたプラスチック背面材で、該背面材（５）は太陽電池（ＳＣ）と光源との間に位置しないために表面材（３）のように透光性である必要はないものの、上記表面材（３）とほぼ同一の熱膨張係数を備えた素材からなっている。（６）は上記プラスチック背面材（５）を太陽電池（ＳＣ）の背面に接着せしめるＰＶＢやＥＶＡ等の熱可塑性樹脂シ一ト」、５頁１８行〜７頁５行には、「而して、太陽電池（ＳＣ）の受光面及び背面に夫々対応してプラスチック表面材（３）及びプラスチック背面材（５）を一体的に接着すべく各々の接着面に熱可塑性樹脂シート（４）及び（６）を挟んで積層後、上述の減圧室にて１０Ｔｏｒｒ程度まで減圧し約１００℃〜１５０℃の加熱工程を約５分〜２０分程度施して熱可塑性樹脂シート（４）（６）を溶融脱気する。この加熱工程に於いて、太陽電池（ＳＣ）のガラス製支持基板（１）、プラスチック表面材（３）及びプラスチック背面材（５）は各々固有の熱膨張係数に基づいて熱膨張している。そして常温状態に復帰する途中に於いて、上記プラスチック表面材（３）及びプラスチック背面材（５）は樹脂シート（４）及び（５）の硬化により太陽電池（ＳＣ）のガラス製支持基板（１）に接着固定される訳であるが、斯る常温状態に復帰すると、先の加熱工程で大きく熱膨張していたプラスチック表面材（３）及びプラスチック背面材（５）は逆に大きく収縮しようとする。斯るプラスチック表面材（３）の収縮は該表面材（３）の表面側が凹状となる向きに反りを発生せしめようとするものの、ほぼ等しい熱膨張係数を持つプラスチック背面材（５）の収縮による反りが該背面材（５）の背面側が凹状となる向き、即ち表面材（３）の表面側が凸状となる向きに発生するために、両者の収縮により発生する反りは相殺される。従って、太陽電池（ＳＣ）はプラスチック表面材（３）の表面側にも、プラスチック背面材（５）の背面側にも反ることなく加熱工程前の平坦な状態を維持する。」とそれぞれ記載され、１０頁には、上記記載にて説明された第１図、第２図が記載されている。
　同じく示した、刊行物２（実願昭６２−１３２１５８号（実開昭６４−３７０６１号）のマイクロフィルム）の１頁５〜８行には「予め電気的に接続された複数個の太陽電池素子を、相対向する一主面に接着剤層を有する同一材料の二枚の耐候性樹脂シートで密着挟持した太陽電池モジュール。」、３頁８〜１１行には「第１図（ａ）は本考案の実施例を示す平面図であり、第１図（ｂ）は同図（ａ）中Ａ−Ａ線断面図である。図中、１…は太陽電池素子、２は可撓性透明シート、３は裏面シート」、４頁８〜１９行には「可撓性透明シート２はポリエステル、ポリカーボネート等の耐候性に優れた樹脂シートであり、その厚みは５０μｍ〜１ｍｍである。更に透明シート２の一主面には、裏面シート３及び太陽電池１０の受光面全面と密着するために接着剤層２１が形成されている。該接着剤層２１は熱溶融性のＥＶＡ等であり、その厚みは数１０〜数１００μｍである。裏面シート３は、前記透明シート２と同一材料が用いられ、若干の可撓性を有する程度の厚みで用いられる。裏面シート３の一主面には、透明シート２及び太陽電池１０の裏面全面と密着するためにＥＶＡ等の接着剤層３１が形成されている。」、６頁１２行〜最下行には「上述の太陽電池モジュールの両シート２、３を選択する際には、同一材料乃至は熱膨張率が互いに近似した材料とすることが重要である。太陽電池モジュールは炎天下に晒されるために、透明シート２の温度が８０℃以上にもなる。そのために太陽電池１０を挟持するシート２、３の熱膨張率を近似させることにより、太陽電池１０に歪み、ソリなどを防止し、太陽電池１０への無駄な応力が緩和できる。」との記載があり、１０頁には上記記載で説明された第１図が記載されている。
　同じく示した、刊行物３（特開平１−１９８０８１号公報）の１頁左下欄５〜１１行には「高分子フイルム基板上に薄膜太陽電池を形成し、その上に緩衝粘着フイルム層を介して保護フイルム層を積層したモジュールシートからなり、……太陽電池シート。」、２頁左上欄１７〜１９行には「本発明は、高分子フイルム基板上に薄膜太陽電池を形成した自在に折り曲げられる太陽電池ユニット」、同頁左下欄１〜８行には「本発明のこれらフイルム基板上に形成される薄膜太陽電池は、薄膜で折り曲げにより損傷しないものであれば良く、具体的に以下のアモルファスシリコン太陽電池等が挙げられる。アモルファスシリコン太陽電池は、アモルファスシリコン層を電極層ではさんだ構造が基本である。電極層としては、光入射側は、太陽光に対して透明である」、３頁左上欄４行〜右上欄５行には「この保護フイルム層は……可撓性の高さなどの観点から、透明高分子フイルムが選択される。透明高分子フイルムとしては、可視光領域で透明でかつ、耐候性が良好という面でポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、アクリレート……等のフイルムが用いられる。これらの厚さはハンドリング、可撓性保持という観点から１０〜１００μｍが好適に用いられる。又緩衝粘着フイルム層は前述の作用により熱可塑性樹脂等が用いられる。かかる熱可塑性樹脂としては透明性、耐候性、軟化点などの観点から、エチレン・酢酸ビニル共重合体、ポリビニルブチラール、アイオノマー、ポリエチレン樹脂を単一あるいは組み合わせて用いる。」、同頁右上欄１３行〜左下欄１行には「また必要に応じて、この反対面、つまり可撓性基板の裏側に、ポリエステルフイルムなどの高分子フイルム、もしくは腐蝕防止したアルミニウム金属箔をポリエステルフイルムなどで貼り合わせた防湿フィルムを裏面保護フイルム層として耐環境性改善の目的で設けても良い。これらは前述の表側の保護フイルム層と同様に熱可塑性樹脂からなる前述の緩衝粘着層を介してラミネート法等により積層される。」、４頁右下欄最下行〜５頁左上欄３行には「実施例２としては同じアイオノマー付ＰＥＴをユニットシート２０の表・裏両側にラミネートした太陽電池シート１０を製造した。」との記載がある。
　同じく示した、刊行物４（特開平１−１１９０７２号公報）の１頁左下欄５行〜右上欄２行には「支持体の表面上に耐熱性、可撓性及び電気絶縁性を有する透明プラスチック製の基板を形成する工程（Ａ）、上記工程（Ａ）において形成された基板の表面上に透明電極層を積層する工程（Ｂ）、上記工程（Ｂ）において形成された透明電極層の表面上に光起電性を有する半導体層を形成する工程（Ｃ）、上記工程（Ｃ）において形成された半導体層の表面に背面電極層を形成する工程（Ｄ）、上記工程（Ｄ）において形成された背面電極層の表面上に上記基板と同等の熱収縮性を有し、且つ耐熱性及び可撓性を有する電気絶縁層を形成する工程（Ｅ）、上記支持体を、エッチング処理により、上記の工程（Ａ）〜工程（Ｅ）を経て得られた可撓性光電変換素子から除去する工程（Ｆ）、よりなる可撓性光電変換素子の製造方法。」、３頁右上欄１６行〜左下欄６行には「基板を構成する透明なプラスチックは、……ポリイミドフィルムが耐熱性及び光透過性の面で良好であり特に推奨される。」、６頁右下欄１６行〜７頁左上欄１０行には「かくして得られた可撓性光電変換素子は高温で形成された後、常温に冷却したときに、その光電変換素子を熱膨張係数が大きい基板側にカールさせようとする熱収縮力が内部に発生するのに対して、該基板と熱膨張係数がほぼ同じ電気絶緑層を背面電極層を介して半導体層と高温で接合させることにより、常温に冷却したときに、その光電変換素子を熱膨張係数が大きい電気絶縁層側にカールさせようとする熱収縮力が内部に発生する。そしてこれらの相反する方向に可撓性光電変換素子をカールさせようとする熱収縮力が互いに打ち消し合う結果、可撓性光電変換素子をカールさせようとする見掛け上の熱収縮力が減少ないし消滅し、可撓性光電変換素子のカールの発生が防止される作用を有するものである。」、７頁右上欄１７〜２０行には「温度３００℃で１時間加熱してイミド化反応を完全に行い、上記支持体上に厚み５０μｍのポリイミドフィルムよりなる透明なプラスチック製の基板を形成した。」、同頁右下欄１６行〜８頁左上欄１行には「支持体を付けたまま背面電極層上に電極端子部分を除き基板用のポリイミド前駆体溶液と同様のポリイミド前駆体の溶液を、基板と同様の厚みになるように流延して皮膜形成し、熱風乾燥し、更に温度２００°Ｃ５時間加熱して完全にイミド化を行うことにより、電気絶縁層を形成した。」との記載がある。
　同じく示した、刊行物５（実願昭５９−１６５００１号（実開昭６１−７９５４８号）のマイクロフィルム）の１頁４〜９行には「柔軟性基板と、膜状光半導体層を有し、上記基板上に配置され、上記基板に面しない側から光エネルギが入射する光電変換部と、該光電変換部の光エネルギが入射する側に熱融着固定された透明樹脂フイルムとからなることを特徴とする光起電力装置。」、４頁１７行〜５頁１６行には「図面は本考案の一実施例の光起電力装置としての太陽電池を示し、斯る太陽電池は柔軟性を有し曲面などに容易に取着することができる。同図において、（１）は厚み０．１〜１ｍｍ程度の柔軟なステンレス、アルミニウムの金属などからなる基板、（２）は該基板上に配置された光電変換領域で、該光電変換領域は基板（１）側から厚み４０００Å〜１μｍ程度の膜状光半導体層（３）と、膜厚４００Å〜７００Å程度の酸化スズ、酸化インジウムスズ等の透明電極層（４）と、を順次積層せしめた積層構造を持つ。……（５）は光半導体層（３）の透明電極層（４）側に形成されたコーテイング用透明樹脂フイルムで、該フイルムは厚み８０〜１００μｍでナイロン部（５ａ）とポリエチレン部（５ｂ）の２層構造を有し、ポリエチレン部（５ｂ）にて光半導体層（３）の透明電極層（４）側に熱融着されている。」との記載があり、８頁には上記記載で説明された図面が記載されている。
　同じく示した、刊行物６（特開昭６０−２５０９４６号公報）の１頁左下欄１２〜１４行には「本発明は太陽電池モジュールの下部基板となる改良された裏面保護シートとして使用できるシート材料に関する」、２頁右下欄１７行〜３頁左上欄２行には「図面の第２図〜第４図は本発明のシート材料（裏面保護シート）（１０）の概略断面図で、（２）は耐熱性フィルム、（１）（４）は耐熱性フィルム（２）に蒸着された電気絶縁性ガラス状防湿皮膜、（３）は耐候性・耐熱性フィルム、（７）は充填剤層である。」との記載があり、５頁右上欄〜左下欄には上記記載において説明された第２図〜第４図が記載されている。
　同じく示した、刊行物７（特開昭５８−２７３７８号公報）の１頁左下欄４〜８行には「少なくとも一つの太陽電池素子が合成樹脂中に埋め込まれ支持体の上に載っているものにおいて、太陽電池素子が平面状で堅い素体によって補強され、支持体は可撓性に形成されたことを特徴とする太陽電池モジュール。」、２頁右下欄１４〜１７行には「本発明の目的は、太陽電池素子を曲げ応力から保護するが、しかしそれでもなお湾曲した面に載せることができるほど可撓性があるような太陽電池モジュールを提供することにある。」、３頁右下欄１０〜１７行には「合成樹脂は熱硬化性成形材料あるいは……熱硬化性合成樹脂は、注型法、浸透法、積層法あるいは被覆法で生成できる。」との記載がある。
（対比・判断）
　本件発明と刊行物１〜７に記載の発明とを対比すると、刊行物１〜７には光電変換素子の両面に樹脂層を配置して収縮力を相殺すること、光電変換素子の面上に異なる樹脂からなる積層体を設けることは示されているものの、一部の樹脂層（第２樹脂層）が「光電変換素子及び第１樹脂層が形成された支持基板からの前記第１樹脂層の分離に寄与し」、そのための該樹脂層の「収縮力」を規定し、「前記第１樹脂層、光電変換素子及び第２樹脂層の積層体の前記第２樹脂層側へのカールを解消させる収縮力を備えた」別の樹脂層（第３樹脂層）を備え、前記一部の樹脂層（第２樹脂層）及び別の樹脂層（第３樹脂層）にて「収縮力を相殺」することについて記載されておらず、その示唆もない。
　そして、本件発明は、上記の様な第１樹脂層、第２樹脂層及び第３樹脂層に関する構成要件を備えることにより、特許明細書記載の本件発明に特有の作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明は、刊行物１又は２に記載された発明であるとも、刊行物１〜７に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとも認められない。
（むすび）
　よって、本件発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
オ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第２項、同条第３項で準用する第１２６条第２項〜第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
ＩＩＩ．特許異議申立てについて
ア．特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、甲第１号証（実願昭６１−１３７０２２号（実開昭６３−４３４５７号）のマイクロフィルム）、甲第２号証（実願昭６２−１３２１５８号（実開昭６４−３７０６１号）のマイクロフィルム）、甲第３号証（特開平１−１９８０８１号公報）、甲第４号証（特開平１−１１９０７２号公報）、甲第５号証（実願昭５９−１６５００１号（実開昭６１−７９５４８号）のマイクロフィルム）、甲第６号証（特開昭６０−２５０９４６号公報）、甲第７号証（特開昭５８−２７３７８号公報）を提示し、訂正前の特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、甲第１号証又は甲第２号証に記載された発明であるか、若しくは甲第１〜７号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号の規定若しくは特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができず、訂正前の請求項１に係る発明の特許は取り消されるべきである旨主張している。
イ．対比・判断
　特許異議申立人が提示した甲第１〜７号証は、それぞれ取消理由通知に引用した刊行物１〜７であるから、各々ＩＩ．訂正の適否エ．独立特許要件（引用刊行物）に示した発明が記載されている。
　そして、上記ＩＩ．訂正の適否エ．独立特許要件（対比・判断）において判断したとおり、訂正後の請求項１に係る発明である本件発明は、特許異議申立人が提示した甲第１号証又は甲第２号証に記載された発明であるとも、甲第１〜７号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとも認められない。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては本件発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年９月３日（１９９９．９．３）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
１．特許請求の範囲の訂正
ａ．特許請求の範囲の請求項１を特許請求の範囲の減縮を目的として、
「透明電極，薄膜半導体層及び背面電極の積層体からなる光電変換素子と、前記透明電極側に設けられた透光性、絶縁性且つ可撓性の第１樹脂層と、前記背面電極側に設けられた絶縁性且つ可撓性を有すると共に、前記光電変換素子及び第１樹脂層が形成された支持基板からの前記第１樹脂層の分離に寄与し、前記光電変換素子が前記第１樹脂層側ヘカールしようとする内部応力より強い応力を有するべく収縮力を備えた第２樹脂層と、前記第１樹脂層上に設けられ透光性且つ可撓性を有すると共に、前記第１樹脂層、光電変換素子及び第２樹脂層の積層体の前記第２樹脂層側へのカールを解消させる収縮力を備えた第３樹脂層と、を備え、前記第２及び第３の樹脂層にて、収縮力を相殺してなる光起電力装置。」と訂正する
２．発明の詳細な説明の訂正
ｂ．特許明細書６頁９〜１８行（特許掲載公報２頁４欄１７〜２５行）にある「本発明は、…特徴とする。」を明りょうでない記載の釈明を目的として、「本発明は、透明電極，薄膜半導体層及び背面電極の積層体からなる光電変換素子と、前記透明電極側に設けられた透光性、絶縁性且つ可撓性の第１樹脂層と、前記背面電極側に設けられた絶縁性且つ可撓性を有すると共に、前記光電変換素子及び第１樹脂層が形成された支持基板からの前記第１樹脂層の分離に寄与し、前記光電変換素子が前記第１樹脂層側ヘカールしようとする内部応力より強い応力を有するべく収縮力を備えた第２樹脂層と、前記弟１樹脂層上に設けられ透光性且つ可撓性を有すると共に、前記第１樹脂層、光電変換素子及び第２樹脂層の積層体の前記第２樹脂層側へのカールを解消させる収縮力を備えた第３樹脂層と、を備え、前記第２及び第３の樹脂層にて、収縮力を相殺したことを特徴とする。」と訂正する。
ｃ．特許明細書７頁１８行（特許掲載公報２頁４欄４３行）にある「相殺されする事により」を誤記の訂正を目的として、「相殺される事により」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
光起電力装置及びその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】透明電極，薄膜半導体層及び背面電極の積層体からなる光電変換素子と、前記透明電極側に設けられた透光性、絶縁性且つ可撓性の第１樹脂層と、前記背面電極側に設けられた絶縁性且つ可撓性を有すると共に、
前記光電変換素子及び第１樹脂層が形成された支持基板からの前記第１樹脂層の分離に寄与し、前記光電変換素子が前記第１樹脂層側ヘカールしようとする内部応力より強い応力を有するべく
前記第１樹脂層、光電変換素子及び第２樹脂層の積層体の前記第２樹脂層側へのカールを解消させる
　【請求項２】支持基板上に、透光性、絶縁性且つ可撓性の第１樹脂層と透明電極、薄膜半導体層及び背面電極の積層体からなる光電変換素子と、絶縁性且つ可撓性を有し、収縮力の強い第２樹脂層とをこの順序で積層形成した後、前記第２樹脂層の収縮力を利用し、前記支持基板から第１樹脂層を剥離し、剥離後の第１樹脂層に透光性且つ可撓性を有し、収縮力を備えた第３樹脂層を設けることを特徴とする光起電力装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
　本発明は、フレキシビリティを有する光起電力装置及びその製造方法に関する。
（ロ）従来の技術
　従来からこの種フレキシビリティを有する光起電力装置として、第９図に示すように、ステンレス薄板等のフレキシビリティを有する基板（１２）上に、絶縁膜（１３）、金属背面電極（５）、光活性層をを含む薄膜半導体層（４）及び透明電極（３）を順次形成したものがある。
　しかしながら、この構造の光起電力装置を製造する場合、半導体層（４）上に透明電極（３）を形成する必要がある。そして、この透明電極（３）を形成する際に、半導体層（４）にダメージを与えないように、低温、低パワーで形成せざるを得ない。そのため、透過率が高く、シート抵抗が低い透明電極を形成する事が困難であり、光電変換効率が著しく低い欠点があった。
　一方、第１０図に示す如く、可撓性、透光性を有する第１樹脂層（２）上に順次透明電極（３）光活性層を含む薄膜半導体層（４）、背面金属電極（５）及び第２樹脂層（１４）を積層形成した、可撓性を有する光起電力装置の製造方法が特開平１−１０５５８１号公報に提案されている。
　ところで、上述した第１樹脂層（２）としては、従来より耐熱性に優れるポリイミド樹脂が、用いられている。そして、ポリイミド樹脂を使用しているために、可撓性を有し、折り曲げが可能であり、また曲面への貼付けも容易である。更に、薄膜半導体層（４）上に透明電極（３）を形成するプロセスが必要無いため、すなわち半導体層（４）形成に先立って透明電極を形成するので、低抵抗の透明電極を形成し得る。又、透明電極形成による薄膜半導体層へのダメージがなくなり、光電変換効率の向上を図ることができる。
　上述した従来の製造方法においては、第１樹脂層（２）としてポリイミド樹脂を、第２樹脂層（１４）としてＥＶＡシートを用いている。しかし、これらの素材が透湿性を有する事から、高湿度の環境に放置すると光発電部に剥離が生じ、光電変換効率が著しく低下し、実用上問題があった。
　又、前述した可撓性を有する光起電力装置の製造方法は、第１１図に示すように、ガラス等の支持基板（１）上に第１樹脂層（２）を形成し、透明電極（３）、薄膜半導体層（４）、金属電極（５）、ＥＶＡシート等の第２樹脂層（１４）を順次積層し、次に、第１２図に示すように、積層形成した基板（１）ごと水中に浸漬し、支持基板（１）と第１樹脂層（２）の間を分離する方法がとられている。
（ハ）発明が解決しようとする課題
　この場合、支持基板（１）と第１樹脂層（２）の間は、製造工程中においては、第２樹脂層（１４）を形成するまで剥離しないように、充分な密着力が必要である。しかしながら、第２樹脂層（１４）形成後は、支持基板（１）と第１樹脂層（２）の間とをスムーズに分離するために、密着力は弱い方が良い。ところが、従来は、工程中での剥離を防止するため密着力の高い支持基板（１）と第１樹脂層（２）を用いていることと、分離後に第１樹脂層（２）、透明電極（３）、薄膜半導体層（４）、背面電極（５）の積層体のみでは第１樹脂層（２）側へ素子がロール状にカールするので、このカールを防止するため、背面電極（５）の上面に積層体の持つ内部応力と同等の応力を持つ絶縁層（１４）を積層していた。具体的には、０．５ｍｍ〜１ｍｍ程度のＥＶＡ等の熱可塑性樹脂シートを熱圧着している。この場合、分離後にロール状にカールするのは防止できるが、支持基板（１）より第１樹脂層（２）を分離する工程において、水中に浸漬した後、徐々に水が支持基板（１）と第１樹脂層（２）の界面に侵入して、自然に分離するのを待つ必要があり、この分離のために２〜３日間の長時間を要した。又、無理に分離しようと力を加えると、第１２図に示したＡ部に強い応力がかかり、透明電極（３）と薄膜半導体層（４）の界面に剥離が生じ光電変換効率が大幅に損なわれるといった問題があった。
　本発明は、前述した透明性、可撓性を有する第１樹脂層を基板とする光起電力装置において、支持基板と第１樹脂層の間の分離が困難で長時間を要するという点と、高湿度環境下での信頼性に欠ける点を解決することをその課題とする。
（ニ）課題を解決するための手段
　本発明は、透明電極，薄膜半導体層及び背面電極の積層体からなる光電変換素子と、前記透明電極側に設けられた透光性、絶縁性且つ可撓性の第１樹脂層と、前記背面電極側に設けられた絶縁性且つ可撓性を有すると共に、
前記光電変換素子及び第１樹脂層が形成された支持基板からの前記第１樹脂層の分離に寄与し、前記光電変換素子が前記第１樹脂層側ヘカールしようとする内部応力より強い応力を有するべく
前記第１樹脂層、光電変換素子及び第２樹脂層の積層体の前記第２樹脂層側へのカールを解消させる
収
　また、本発明は、支持基板上に、透光性、絶縁性且つ可撓性の第１樹脂層と、透明電極、薄膜半導体層及び背面電極の積層体からなる光電変換素子と、絶縁性且つ可撓性を有し、収縮力の強い第２樹脂層とをこの順序で積層形成した後、前記第２樹脂層の収縮力を利用し、前記支持基板から第１樹脂層を剥離し、剥離後の第１樹脂層に透光性、絶縁性且つ可撓性を有し、収縮力を備えた第３の樹脂層を設けることを特徴とする。
（ホ）作用
　本発明では、支持基板上に第１樹脂層、透明電極、薄膜半導体層、金属電極、第２樹脂層を積層し、その後、支持基板より、斯る積層体を分離する際に、第２樹脂層の収縮力により積層体を第２樹脂層側にカールさせる内部応力が、支持基板より積層体を分離する力として働き、分離に要する時間が大幅に短縮される。
　そして、第１樹脂層側の表面に、第３樹脂層を積層した光起電力装置は第２及び第３の樹脂層が互いに相殺
される
（へ）実施例
　以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
　第１図ないし第８図は本発明の製造方法を各工程別に断面図である。
　まず、第１図に示すように、ガラス、セラミックス、金属等からなる支持基板（１）の一方の主面に透明性、絶縁性且つ可撓性を有する有機高分子からなる第１樹脂層（２）が５〜１００μｍの厚さで形成される。具体的には、透明ポリイミドのワニスをスピンコータあるいはロールコータ等で均一に塗布し、１００゜Ｃから３００℃まで段階的に昇温しながら処理する。ここで、膜厚が５μ以下では、後述の工程で第１樹脂層（２）を支持基板（１）から剥離した時に機械的強度が不十分であり、また、膜厚が１００μ以上では十分な光透過性が得られないことから、第１樹脂層（２）は上述のように膜厚５〜１００μｍが好ましい。
　次に、第２図に示すように、第１樹脂層（２）の上面に、酸化錫（Ｓｎ０２）、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）等からなる透明電極（３）が膜厚２０００〜５０００Åで形成される。
　続いて、第３図に示すように、透明電極（３）の上面に、内部に膜面に平行なｐｉｎ、ｐｎ接合等の半導体光活性層を含む半導体接合を備えた膜厚３０００〜７０００Åのアモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）、アモルファスシリコンカーバイド（ａ−ＳｉＣ）、アモルファスシリコンゲルマニウム（ａ−ＳｉＧｅ）等のアモルファスシリコン系の半導体膜（４）がプラズマＣＶＤ法や光ＣＶＤ法により形成される。
　そして、第４図に示すように、半導体層（４）の上面に、４０００Å〜２μｍ程度の厚さのアルミニウム（Ａｌ　）単層構造、または該アルミニウムにチタン（Ｔｉ）またはチタン銀合金（ＴｉＡｇ）を積層した２重構造、更には斯る２重構造を２重に積み重ねた金属背面電極（５）が形成される。
　然る後、第５図に示すように、背面電極（５）の上面に、２０μｍ／ｍｍ程度の厚さの収縮力の強い第２樹脂層が形成される。
　さて、本発明は、次の工程において、支持基板（１）から第１樹脂層（２）を分離する。本発明はこの分離工程において、両者の分離を容易にするべく、第２樹脂層（６）に強い収縮力を与える。すなわち、第１樹脂層（２）、透明電極（３）、半導体層（４）及び背面電極（５）からなる積層体が第１樹脂層（２）側ヘカールしようとする内部応力より強い応力を有するべく収縮力を持つ第２樹脂層（６）を形成するものである。具体的には、ポリイミド系、アクリル系等の熱硬化型のプラスチック材料のワニスをスピンナー、ロールコータ、スプレー等を用いて均一に塗布し、１００°Ｃ〜２００℃に昇温し、２０μｍ〜１ｍｍ程度の厚さに形成するか、あるいは防湿性、耐候性に優れた、２０μｍ〜１ｍｍ程度のＰＥＴ、フッ素系樹脂等のフィルムを金属電極（５）との間に２０μｍ〜１００μｍ程度のＥＶＡ等の熱可塑性樹脂シートを配し、１００℃〜１５０℃に加熱して０．１〜１０ｋｇ／ｃｍ２の圧力を加える熱溶着により、ＥＶＡ／ＰＥＴ、ＥＶＡ／フッ素系樹脂等の２重構造の第２樹脂層（６）を形成する。
　高温で形成し、常温に戻す事により、第２樹脂層（６）が収縮し、第２樹脂層（６）側へロール状にカールする応力が生じる。
　次に、第６図に示すように、支持基板（１）に積層形成された光起電力装置を水中に浸漬し、支持基板（１）から第１樹脂層（２）を分離する。この時、第２樹脂層（６）が収縮する力が、分離に寄与するため、３０分から１０時間程度の短時間で両者は分離する。この分離時には、収縮力が強い程分離が早い。また、第２樹脂層（６）の膜厚を厚くする事により、収縮力は強くなる。しかし、収縮力が強すぎると、分離後に光起電力装置がロール状にカールしたときに、ロール径が小さくなり、透明電極（３）と薄膜半導体層（４）の界面等に剥離が生じ、光電交換効率が大幅に損なわれる。そのため、支持基板（１）と第１樹脂層（２）の分離の速度と界面の剥離の問題を考慮すると、２ｃｍ〜１０ｃｍ程度のロール径にカールする程度が望ましい。
　第７図は分離後の断面図を示す。この第７図に示すように、この段階では前述のように第２樹脂層（６）側へロール状にカールする。
　その後、第８図に示すように、第１樹脂層（２）側の表面に、透明性、可撓性且つ収縮力を有する第３樹脂層（７）が積層形成される。具体的には、ポリイミド系アクリル系等の熱硬化型のプラスチック材料のワニスをロールコータあるいはスプレー等を用いて均一に塗布し、１００℃から２００℃に昇温し、２０μｍ〜１ｍｍ程度の厚さに形成するか、または、２０μｍ〜１００μｍのＰＥＴ、又はフッ素系樹脂フィルム等を第１樹脂層（２）との間に２０μｍ〜１００μｍ程度の厚さのＥＶＡ等の熱可塑性樹脂シートを介して、１００℃〜１５０℃に加熱し、０．１〜１０ｋｇ／ｃｍ２の圧力を加えて熱圧着により、ＥＶＡ〜ＰＥＴ、ＥＶＡ／フッ素系樹脂等の第２重構造の第３樹脂層（７）を形成しても良い。ここで、第３樹脂層（７）の収縮力は、第２樹脂層（６）の収縮力とが相殺される。すなわち、第３樹脂層（７）の熱収縮特性により生じる内部応力により、第７図に示した積相体のカールを解消し、第８図に示すように、カールのない光起電力装置が形成される。
　上述した製造方法で作製された本発明の光起電力装置は、透明電極（３）、薄膜半導体層（４）及び背面電極（５）の積層体からなる光電変換素子に、透明電極（３）側に第１樹脂層（２）と、背面電極（５）側に第２樹脂層（６）が設けられる。そして、第１樹脂層（２）上に第３樹脂層（７）が形成される。
　而して、第２樹脂層（６）と第３樹脂層（７）にて、収縮力が相殺され、カールのない光起電力装置が提供できる。
　また、第２樹脂層（６）及び第３樹脂層（７）にＰＥＴ、フッ素樹脂フィルムなどの防湿性の優れた素材を用いることにより、高湿度環境化において、水分による透明電極（３）、薄膜半導体層（４）、金属背面電極（５）の腐食が防止され、信頼性が向上する。
（ト）発明の効果
　以上説明したように、本発明の製造方法によれば、支持基板と第１樹脂層の分離に要する時を大幅に短縮できるので、短時間で、可撓性を有する光起電力装置を製造する事ができる。
　そして、第３樹脂層が形成された光起電力装置は、第２樹脂層と第３樹脂層が互いの収縮力を相殺し、光起電力装置がロール状にカールする事が防止できる。
【図面の簡単な説明】
　第１図ないし第８図は本発明の製造方法を工程別に夫々示す断面図、第９図及び第１０図は夫々、従来のフレキシビリティを有する光起電力装置を示す断面図、第１１図及び第１２図は従来の製造方法の一部の工程を示す断面図である。
１……支持基板、２……第１樹脂層、３……透明電極、４……半導体層、５……背面電極、６……第２樹脂、７……第３樹脂層。