(57)【要約】【課題】ロッドのガタつきやふらつきを防止でき、且つ自己潤滑機能及びシール機能も備えた案内部材を具備し、ロッドの前進・後退動作が安定し、特に前進したロッドがガタついたりふらついたりすることなく、常に中心位置に静止できるアクチュエータを提供する。【解決手段】シリンダ１１内に配置されたロッド１５をロッド駆動手段（モータ２０、ボールねじ軸１３、ボールねじナット１４）によりシリンダ１１先端から突出前進させると共に、該前進させた状態からシリンダ１１内に後退させるように前進・後退自在に構成したアクチュエータにおいて、シリンダ１１に、内径がロッドの外径より小さく、内周が該ロッドの外周部に摺接し、少なくとも該摺接面を含む所定部分が弾性を有する材料からなり、且つ自己潤滑性を有するリング部材３２を備えた案内部材３０を取り付けた。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
シリンダと、ロッドと、ロッド駆動手段を具備し、前記シリンダ内に配置された前記ロッドを前記ロッド駆動手段により該シリンダ先端から突出前進させると共に、該前進させた状態から該シリンダ内に後退させるように前進・後退自在に構成したアクチュエータにおいて、
前記シリンダに、内径が前記ロッドの外径より小さく、内周が該ロッドの外周部に摺接し、少なくとも該摺接面を含む所定部分が弾性を有する材料からなり、且つ自己潤滑性を有する案内部材を取り付けたことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータにおいて、
前記案内部材は、その内周部が前記ロッドの外周部に摺接する弾性を有するリング状部材を具備することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項２に記載のアクチュエータにおいて、
前記案内部材は、複数の前記リング状部材を、それらの間に隔離板を介在させ又は隔離板を介在させずに積層した積層構造体を具備することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のアクチュエータにおいて、
前記案内部材は、前記シリンダの先端に取り付けたことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のアクチュエータにおいて、
前記ロッド駆動手段は、前記シリンダ内に配設されたボールねじ軸と、該ボールねじ軸に螺合しボールねじ軸の回転に応じて前進・後退するボールねじナットと、前記ボールねじ軸を回転させるモータと、を備えた構成であることを特徴とするアクチュエータ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、シリンダ内にロッドを駆動手段により前進・後退自在に配置したアクチュエータに関するものであり、前進・後退するロッドがガタついたりふらついたりすることなく、特に前進したロッドがガタついたりふらついたりせず所定の位置に静止できる案内部材を具備するアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ロッドを前進・後退させることで制御対象を押引するアクチュエータとして、ロッド駆動手段に油圧シリンダやエアシリンダを用いたアクチュエータがあった。このうち、油圧シリンダを用いたアクチュエータは、シリンダ内に往復自在に設置されたピストンに取り付けたロッドが、シリンダから外部に突出した構成で、シリンダ内には作動流体として油が封入されている。そのためシリンダからロッドが突出する部分には、シリンダとロッドとの隙間を密封してシリンダ内の油が外部に漏れることを防止するＯリング等のシール部材が取り付けられている。この油がロッドの外周面に付着することでシール部材の潤滑性が保たれていた。
【０００３】
一方、エアシリンダを用いたアクチュエータは、やはりシリンダ内に往復自在に設置されたピストンに取り付けたロッドが、シリンダから外部に突出した構成で、シリンダ内には作動流体として空気や他の気体が封入されている。そのためシリンダからロッドが突出する部分には、シリンダとロッドとの隙間を密封してシリンダ内の気体が外部に漏れることを防止するＯリング等のシール部材が取り付けられている。そしてＯリングをロッドの外周面に摺接させるため、ロッドに油等の潤滑剤を供給している。
【特許文献１】特開２００３−３０１９１３号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ロッド駆動手段に油圧シリンダやエアシリンダを用いた上記アクチュエータは、シリンダとロッドとの隙間を密封する、弾性を有し且つ内径がロッド外径より小さいＯリング等のシール部材が取り付けられているため、このシール部材の弾性力により、常にロッドが中心位置になるように付勢されており、ロッドのガタつきやふらつきは少ない。しかしながら、油圧シリンダでは作動油の漏れが発生したり、エアシリンダでは大きな排気音が発生する等の問題があり、近年、環境への配慮等から、ロッド駆動手段として油圧シリンダやエアシリンダでない駆動手段を用いたアクチュエータが多くなってきた。
【０００５】
このようなアクチュエータとして、例えば、筒状のシリンダ後端部に電動モータが固定され、シリンダ内に電動モータの回転に応じて回転するねじ軸と、ねじ軸に螺合するナットが収納され、ナットに一体に固定されたロッドが、シリンダの先端部から外部に突出して構成されている。このアクチュエータは、モータを回転させることでねじ軸が回転し、これに螺合されたナットが、ねじ軸の軸方向に沿ってスライド移動することでロッドがシリンダの先端から突出前進し、後退するようになっている。
【０００６】
上記アクチュエータでは、シリンダ内に作動流体を封入する必要がないため、シリンダとロッドとの隙間部を密封する弾性を有するシール部材は必要がない。そのため、特許文献１に記載のアクチュエータのように、シリンダ（ハウジング）とロッドとの隙間部分にシール部材を取り付けずに使用する場合が多い。このように弾性を有するシール部材がないと、その弾性力によりロッドが中心位置になるように付勢されることが期待できないから、ロッドにガタつきやふらつきが発生するという問題がある。
【０００７】
また、上記ロッド駆動手段に油圧シリンダやエアシリンダを用いないアクチュエータにおいて、シリンダとロッドとの隙間部からシリンダの内部への異物の侵入を防止するためには、この部分に、塵埃等の異物を除去する簡易なダストシールを取り付けたものもある。ところがこの簡易なダストシールには、ロッドが中心位置になるように付勢する弾性力がないから、ロッドのガタつきやふらつきを防止する作用は期待できない。また、ロッドのガタつきやふらつきを防止するため、シリンダに剛性材料からなる案内部材を設けることも考えられるが、剛性材料からなる案内部材では、ロッドを滑らかに移動させるため、該案内部材とロッドの間に隙間を設ける必要がある。そのため、この隙間によるロッドのガタつきやふらつきが、ロッドが前進した時拡大されるという問題がある。また、ロッドと案内部材の摩耗を防止し、移動を滑らかにするため潤滑剤を供給する潤滑機構を新たに設けなければならないという問題もある。
【０００８】
本考案は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、ロッド駆動手段に油圧シリンダやエアシリンダを用いないアクチュエータにおいて、ロッドのガタつきやふらつきを防止でき、且つ自己潤滑機能及びシール機能も備えた案内部材を具備し、ロッドの前進・後退動作が安定、特に前進したロッドがガタついたりふらついたりすることなく、常に中心位置に静止できるアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため請求項１に記載の考案は、シリンダと、ロッドと、ロッド駆動手段を具備し、シリンダ内に配置されたロッドをロッド駆動手段により該シリンダ先端から突出前進させると共に、該前進させた状態から該シリンダ内に後退させるように前進・後退自在に構成したアクチュエータにおいて、シリンダに、内径がロッドの外径より小さく、内周が該ロッドの外周部に摺接し、少なくとも該摺接面を含む所定部分が弾性を有する材料からなり、且つ自己潤滑性を有する案内部材を取り付けたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の考案は、請求項１に記載のアクチュエータにおいて、案内部材は、その内周部がロッドの外周部に摺接する弾性を有するリング状部材を具備することを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の考案は、請求項２に記載のアクチュエータにおいて、案内部材は、複数のリング状部材を、それらの間に隔離板を介在させ又は隔離板を介在させずに積層した積層構造体を具備することを特徴とする。
【００１２】
請求項４に記載の考案は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のアクチュエータにおいて、案内部材は、シリンダの先端に取り付けたことを特徴とする。
【００１３】
請求項５に記載の考案は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のアクチュエータにおいて、ロッド駆動手段は、シリンダ内に配設されたボールねじ軸と、該ボールねじ軸に螺合しボールねじ軸の回転に応じて前進・後退するボールねじナットと、ボールねじ軸を回転させるモータと、を備えた構成であることを特徴とする。
【考案の効果】
【００１４】
請求項１に記載の考案によれば、シリンダに、内径がロッドの外径より小さく、内周が該ロッドの外周部に摺接し、少なくとも該摺接面を含む所定部分が弾性を有する材料からなり、且つ自己潤滑性を有する案内部材を取り付けたので、案内部材の弾性力により、ロッドが常に径方向中心位置になるように付勢されるから、ロッドがガタついたりふらついたりすることなく、常に中心位置に位置し、特にロッドが最大に前進した状態で中心位置に静止することが期待できる。また、案内部材は自己潤滑性を有するから、別途潤滑剤供給手段を設ける必要がない。また、案内部材はロッドの外周部に密接に摺接しているから、シール機能も有し、外部からシリンダ内に異物が侵入することがなく、異物侵入に起因する種々のトラブル発生原因を除去することができると共に、シリンダ内部でロッドに付着した異物も除去するから、シリンダ外に露出したロッドの外観を常に良好な状態に維持できる。従って、塵埃等が多い環境下でも良好な動作性能を発揮できる。
【００１５】
請求項２に記載の考案によれば、案内部材はその内周部がロッドの外周部に摺接する弾性を有するリング状部材を具備するので、簡単な構成でロッドのガタつきやふらつき等を抑えて安定した動作が得られると共に、ロッドの外周部に付着した異物を除去することができる。
【００１６】
請求項３に記載の考案によれば、案内部材は、複数のリング状部材を、それらの間に隔離板を介在させ又は隔離板を介在させずに積層した積層構造体を具備するので、より効果的にロッドのガタつきやふらつき等を抑えて安定した動作が得られると共に、ロッド外周に付着した異物を確実に除去することができる。
【００１７】
請求項４に記載の考案によれば、案内部材をシリンダの先端に取り付けたので、より効果的にロッドのガタつきやふらつき等を抑えて安定した動作が得られると共に、異物除去機能をより効果的に発揮できる。
【００１８】
請求項５に記載の考案によれば、ロッド駆動手段はシリンダ内に配設されたボールねじ軸と、ボールねじ軸に螺合し、ボールねじ軸の回転に応じて前進・後退するボールねじナットと、ボールねじ軸を回転させるモータとを備えた構成であるので、このようなモータ駆動のアクチュエータに、請求項１乃至４に記載のアクチュエータが有する効果を持たせることができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本考案の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１に本考案の一実施形態に係るシール機構（防塵構造）を備えたアクチュエータ１０の概略側断面図を示す。また、図２、図３はそれぞれアクチュエータ１０の平面図及び下面図で、図４、図５はそれぞれアクチュエータ１０の左側面図と右側面図である。これらの図に示すようにアクチュエータ１０は、筒状に形成されたシリンダ１１の一端部（後端部）１１ａにモータ（サーボモータ）２０が固定され、シリンダ１１内にモータ２０の回転に応じて回転するボールねじ軸１３と、ボールねじ軸１３に螺合するボールねじナット１４が収納され、ボールねじナット１４に一体に固定されたロッド１５が、シリンダ１１の他端部（先端部）１１ｂから外部に突出している。このアクチュエータ１０は、モータ２０を回転させることでボールねじ軸１３を回転させ、これに螺合したボールねじナット１４をボールねじ軸１３の軸方向に移動させることで、ロッド１５をその方向に沿って前進・後退させる。以下、アクチュエータ１０の各構成部分について詳細に説明する。
【００２０】
モータ２０は、シリンダ１１の後端部１１ａに取り付けられたブラケット１７にボルト４１で固定されている。モータ２０からシリンダ１１の内部に向かって突出したモータ軸２１は、カップリング１６によってボールねじ軸１３の後端部１３ａと同一軸心状に接続固定されている。カップリング１６は、シリンダ１１の内周側に取り付けたベアリング２２によってその回転が自在に支持されており、モータ軸２１の回転に応じて、カップリング１６とボールねじ軸１３とが一体に回転する。カップリング１６は、その一端に勘合されたロックナット１９でベアリング２２の内周輪に固定されている。なお、１８はカップリング１６に圧入されたボールねじ軸１３の後端部１３ａを固定するボルトである。
【００２１】
次に、ボールねじ軸１３は、シリンダ１１内に配置したボールねじナット１４の貫通孔１４ａに挿通され、貫通孔１４ａ内で図示しないボールを介してボールねじナット１４に螺合している。詳述すると、ボールねじ軸１３の側面には、螺旋状のボール転動溝が所定のピッチで形成され（図示せず）、ボールねじナット１４の貫通孔１４ａの内側面には、ボールねじ軸１３に形成されたボール転動溝と対向する負荷ボール溝が螺旋状に形成されており（図示せず）、これらボール転動溝及び負荷ボール溝の間を転動するボールを介してボールねじ軸１３とボールねじナット１４とが互いに螺合している。また、ボールねじナット１４には、ボール転動溝と負荷ボール溝との間を螺旋状に転動したボールを再び元の位置に戻すための戻り通路（図示せず）が設けられており、ボールは、ボールねじ軸１３とボールねじナット１４との間で無限循環する。
【００２２】
従って、ボールねじ軸１３が回転すると、ボールねじ軸１３のボール転動溝とボールねじナット１４の負荷ボール溝との間をボールが転動し、ボールねじナット１４が、シリンダ１１内を、ボールねじ軸１３の回転数に応じたストロークでボールねじ軸１３の軸方向に沿って移動する。このときボールねじナット１４は図示しない振れ防止部材により該ボールねじ軸１３と伴に回転することなく、軸方向に沿って移動するように案内されている。
【００２３】
また、ボールねじナット１４の先端部１４ｂには、ロッド１５がねじ込まれて固定されている。ロッド１５はその内部に中空部１５ａを有する筒状に形成され、中空部１５ａの内径はボールねじ軸１３の外径よりも大きく構成されている。ボールねじ軸１３の回転によりボールねじナット１４は軸方向に沿ってモータ２０側へ後退した際に、ボールねじナット１４から突出した部分のボールねじ軸１３がロッド１５の中空部１５ａ内に収納される。
【００２４】
なお、シリンダ１１の上面には開口部（図示せず）が設けられ、この開口部からシリンダ１１内に収納したボールねじ軸１３に潤滑油が供給される。また、シリンダ１１の下面には、固定ボルト用の挿通孔４５が複数設けられており、アクチュエータ１０を利用する装置のフレーム等に直接固定することができるように構成されている。
【００２５】
シリンダ１１の先端部１１ｂには、案内部材３０がボルト４２で固定されている。図６に案内部材３０の拡大図を示す。同図（ａ）は案内部材３０の正面図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）のＸ―Ｘ部分断面図である。また、図７は案内部材３０に取り付けた部品を分解した状態を示す図である。これらの図に示すように、案内部材３０はブラケットブッシュ３１を具備し、ブラケットブッシュ３１にはその内部に設けた貫通孔３６に、金属板をロッド状に形成したすべりブッシュ３５が嵌め込まれ、これが貫通孔３６の内周部に固定されている。さらに、貫通孔３６内のすべりブッシュ３５よりも先端部３６ａ側に、発泡ポリウレタン等で形成された弾性を有するリング状部材（環状板部材）３２が複数個（図では２個）積層され、これら隣り合うリング状部材３２の間、及びその両外側に金属板材で形成されたリング状隔離板３２が挟まれ、このリング状部材３２と隔離板３３とが貫通孔３６の内周部に勘合した止環３４によって貫通孔３６の内周部に固定されている。
【００２６】
そして、図１に示すように、シリンダ１１の先端部１１ｂに取り付けられた案内部材３０のブラケットブッシュ３１の貫通孔３６にロッド１５が挿通されて、このロッド１５は貫通孔３６からシリンダ１１の外部に突出している。そして、貫通孔３６内で、すべりブッシュ３５及びリング状部材３２の内周部がロッド１５の外周部に当接している。ここで弾性を有するリング状部材３２の内径は、ロッド１５の外径より小さく形成されており、リング状部材３２の内周面はロッド１５の外周面に密接しており、更にリング状部材３２の弾性力により、ロッド１５は常に貫通孔３６の中心位置に位置するように付勢されている。ロッド１５が前進・後退すると、すべりブッシュ３５の内周部及びリング状部材３２の内周部が、ロッド１５の外周部に摺接する。これによりロッド１５の外周部は、すべりブッシュ３５によって支持及び案内されると共に、リング状部材３２の弾性力により常に貫通孔３６の中心位置に位置するように付勢されている。
【００２７】
ここで、上記リング状部材３２は、一例として、その引張強さが３０〜５０ｋｇ／ｃｍ3、伸び率が３００〜５００％、反発弾性が３０〜６０％程度の物性を有する、例えば連続気泡の発泡ポリウレタンに、潤滑剤を３０〜５０重量％ほど吸収保持させたものを用いると好適である。また、発泡ポリウレタンの他にも焼結樹脂等の連続発泡気泡体や、羊毛フェルト等の繊維交絡体を所定の形状に成形した後に、これに潤滑剤を吸収保持させたものでもよい。さらに、シール部材３２をゴムや合成樹脂で形成する場合には、これらのゴムや合成樹脂に予め潤滑剤を混合保持させてから所定の形状に成形したものや、モノマーを重合してゴムや合成樹脂を製造する段階でモノマー中に潤滑剤を混合し、得られた潤滑剤含有のゴムや合成樹脂を所定の形状に成形したものを用いてもよい。
【００２８】
次に、アクチュエータ１０の動作について説明する。モータ２０を正回転させると、その回転がモータ軸２１に固定されたボールねじ軸１３に伝達され、ボールねじ軸１３の回転に応じてボールねじナット１４がスライド移動することで、ボールねじナット１４に取り付けたロッド１５が前進する。一方、モータ２０の回転を逆回転にすれば、ボールねじナット１４が前記とは逆方向にスライド移動し、ロッド１５は後退する。ロッド１５が前進・後退するにあたって、ロッド１５はすべりブッシュ３５及びリング状部材３２で支持・案内される。
【００２９】
ここで、リング状部材３２は弾性を有し、ロッド１５の外周部とリング状部材３２の内周部とが、いわゆる締まりばめの状態で当接しているため、ロッド１５は、上記したリング状部材３２の弾性力により、常に貫通孔３６の中心位置に位置するように付勢されている。従って、すべりブッシュ３５のみでロッド１５を支持・案内する場合と比較して、ロッド１５のガタつきやふらつきが減少するから、ロッド１５の芯出し作業等が行い易くなる。特に、ロッド１５を最前部まで前進させたときでも、ロッド１５の先端部分のふらつきが抑えられるのでロッド１５が安定する。また、ロッド１５を前進・後退させる際にもその動作が安定し、ロッド１５の振動を抑制できる。
【００３０】
リング状部材３２は、ロッド１５の外周部に密接しているので、このリング状部材３２がシリンダ１１とロッド１５との隙間部をシールする機能を有し、アクチュエータ１０を塵埃などの異物が存在する環境下で使用した場合でも、シリンダ１１とロッド１５との隙間部からシリンダ１１内に異物が入り込むことを防ぐことができる。
【００３１】
また、ロッド１５が前進・後退する際に、リング状部材３２がロッド１５の外周部に摺接することで、リング状部材３２がロッド１５の外周面に付着した異物を除去する。これによって、ロッド１５が前進してシリンダ１１の外部に露出した際にその外周面に付着した異物が、シリンダ１１の内部に入り込むことを防げる。
【００３２】
ところで、すべりブッシュ３５は、ロッド１５の外周部との間に潤滑剤を供給せずに用いることも可能であるが、製品使用の初期段階における異常摩耗を防ぐため、アクチュエータ１０の組み立て時に、予めすべりブッシュ３５の内周部に潤滑剤が塗布されている。そのため、ロッド１５が前進・後退すると、すべりブッシュ３５から出た摩耗粉が混ざり合って黒色になった潤滑剤がロッド１５の外周部に付着する。ここで、従来の防塵構造に用いていたダストシールでは、ロッド１５の側面に付着した異物を除去することはできないため、ロッド１５の黒色の潤滑剤が付着した部分がシリンダ１１の外部に露出してしまい、その外観が損なわれていたが、本考案の案内部材３０では、ロッド１５の外周に付着した異物を除去できるリング状部材３２がロッド１５に密接するので、ロッド１５の外周部に付着した摩耗粉と混ざり合って黒色になった潤滑剤も確実に除去されるため、ロッド１５の黒色に変色した部分がシリンダ１１の外部に露出せず、その外観が損なわれるおそれがなくなる。
【００３３】
さらに、案内部材３０は、ロッド１５が前進・後退する方向に沿って複数のリング状部材３２が積層された積層構造体を備えているため、リング状部材３２のロッド１５が前進・後退する方向に沿った厚みが十分に確保される。従って、リング状部材３２とロッド１５の接触部分の面積が大きくなり、これによってもロッド１５を中心位置に付勢する効果が得られ、ロッド１５のガタつきやふらつきが抑えられてその動作が安定する。それに加えて、リング状部材３２が積層されることによってその厚みが十分に確保されるので、ロッド１５がシリンダ１１の外側に露出した際にその側面に付着した塵埃等の異物がシリンダ１１の内部に侵入することを確実に防止できると共に、ロッド１５がシリンダ１１内部に位置する際にその側面に付着した摩耗粉等の異物がシリンダ１１の外部に露出することを防げる。さらに、複数のリング状部材３２によって、ロッド１５に付着した異物を多段階で除去することができるので、ロッド１５に付着した微細な異物も確実に取り除くことができる。
【００３４】
さらに、リング状部材３２には予め潤滑剤を吸収保持させることで、いわゆる自己潤滑機能を具備させてあるので、リング状部材３２はロッド１５の側面に対して滑らかに摺動する。従って、リング状部材３２とロッド１５との摩擦抵抗が小さくなり、ロッド１５の推力の損失を抑えることができる。また、リング状部材３２に予め潤滑剤を吸収保持させてあるので、ロッド１５に別途の手段で潤滑剤を供給する必要がなく、アクチュエータ１０の構造が簡単で部品点数が少なくなり、製造コストが抑えられる。特にリング状部材３２として、上記したように発泡ポリウレタンに潤滑剤を吸収保持させたものを用いれば、長期に渡ってロッド１５に十分な潤滑剤を供給し続けることができ、メンテナンスフリーが実現される。
【００３５】
なお、リング状部材３２は、その全体が弾性を有する材料で構成される必要はなく、少なくともロッド１５の外周面に密接する内周面を含む所定部分が弾性を有する材料で構成されていればよい。即ち、自己潤滑性を有し、且つロッド１５を中心位置に付勢する弾性力を有する構成であればよい。また、リング状部材３２の形状、個数は上記実施形態に示したものに限られるものではない。即ち、上記実施形態では、リング状部材３２がロッド１５の前進・後退方向に沿って２個積層されたものを示したが、リング状部材３２の数はこれに限られるものではなく、３個以上積層して取り付けても良いし、或いは１個のみでもよい。また、上記実施形態ではロッド駆動手段として、モータ２０でボールねじ軸１３を回転させ、ボールねじ軸に螺合するボールねじナット１４を介してロッド１５を駆動させるように構成したが、ロッド駆動手段としてはこれに限定されるものではなく、例えばリニアモータを用いロッドを直接又は間接的に駆動するように構成してもよい。また、油圧シリンダやエアシリンダのように油漏れや騒音等の環境問題を引き起こさない駆動手段であれば、これを利用することが可能である。
【００３６】
以上本考案の実施形態を説明したが、本考案は上記実施形態に限定されるものではなく、実用新案登録請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお直接明細書及び図面に記載のない何れの形状・構造・材質であっても、本願考案の作用・効果を奏する以上、本願考案の技術的思想の範囲内である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本考案に係るシール機構を備えたアクチュエータ１０の概略側断面図である。
【図２】アクチュエータ１０の平面図である。
【図３】アクチュエータ１０の下面図である。
【図４】アクチュエータ１０の左側面図である。
【図５】アクチュエータ１０の右側面図である。
【図６】案内部材３０を示す図で、同図（ａ）は案内部材３０の正面図で、同図（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ部分断面図である。
【図７】案内部材３０の分解図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０      アクチュエータ
１１      シリンダ
１１ａ    後端部
１１ｂ    先端部
１３      ボールねじ軸
１３ａ    後端部
１４      ボールねじナット
１４ａ    貫通孔
１４ｂ    先端部
１５      ロッド
１５ａ    中空部
１６      カップリング
１７      ブラケット
１９      ロックナット
２０      モータ
２１      モータ軸
２２      ベアリング
３０      案内部材
３１      ブラケットブッシュ
３２      リング状部材
３３      隔離板
３４      止環
３５      すべりブッシュ
３６      貫通孔
３６ａ    先端部
３６ｂ    後端部
４１      ボルト
４２      ボルト
４５      挿通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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