【事件の表示】
　　特許第２７２９２９７号「半導体ウエハのセンタ合せ装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２７２９２９７号の特許請求の範囲第１項ないし第３項に記載された発明についての特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第２７２９２９７号は、昭和６２年１２月２４日の出願であって、平成９年１２月１９日に特許の設定登録がなされ、その後、村戸良至及び高橋　学（以下それぞれ、「申立人１」及び「申立人２」という。）より特許異議の申立てがなされ、その後、当審において取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年２月９日に訂正請求がなされた後、さらに、当審において訂正拒絶理由の通知がされ、その指定期間内である平成１２年１月１８日に訂正請求書の手続補正書が提出されたものである。
　
２．訂正請求書の手続補正について
２−１．補正の内容
２−１−１．補正事項ａ
　全文訂正明細書（補正前）の特許請求の範囲第１項を削除する。
２−１−２．補正事項ｂ
　前記第１項が削除されたことに伴い、その実施態様項であった第２項を第１項に組み入れて新たに第１項（必須要件項）とする、以下の補正を行う。
　全文訂正明細書（補正前）の特許請求の範囲第１、２項に記載の
「１．・・・（中略）・・・最小値Ｌminとの中点Ｌｃのいずれか２つ・・・（中略）・・・中心の方向Δθを算出する演算手段と、前記演算手段の出力に応じて前記ウエハの中心合せと平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。
２．前記ウエハ駆動手段は、前記ウエハを載置した回転手段全体を水平方向に移動させる手段である特許請求の範囲第１項に記載の半導体ウエハのセンタ合せ装置。」を、
「１．・・・（中略）・・・最小値Ｌminとの中間値Ｌｃのいずれか２つ・・・（中略）・・・中心の方向Δθを算出し、前記偏心量ΔＬと回転角度θmax又は回転角度θminとから偏位信号（ｘ，ｙ）を算出する演算手段と、前記演算手段から出力する偏心量ΔＬ及び偏心方向θｖに応じて又は偏位信号（ｘ，ｙ）に応じて前記ウエハを載置した回転手段全体を水平方向に移動させて前記ウエハの中心合せをし、前記演算手段から出力する平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ及び偏心方向θｖに応じて平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。」と補正する。
２−１−３．補正事項ｃ
　前記第１項が削除されたことに伴い、第３項を第２項に繰り上げて、以下の補正を行う。
　全文訂正明細書（補正前）特許請求の範囲第３項に記載の
「３．・・・（中略）・・・Δθを算出する演算手段と、前記ウエハをウエハ回転手段から他の位置に移載するウエハ駆動手段とを具備し、前記演算手段の出力を前記ウエハ回転手段及び前記ウエハ駆動手段に供給してウエハの中心位置を予め定められた中心位置に合わせると共にウエハ平坦部（または切欠部）の中心線を特定の角度に合わせる半導体ウエハのセンタ合せ装置。」を、
「２．・・・（中略）・・・Δθを算出する演算手段と、前記演算手段の出力に応じて前記ウエハの中心合せと平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備し、前記ウエハ駆動手段は、前記ウエハ回転手段から前記ウエハを他に移載する機構であり、前記ウエハの中心合せはウエハの移載時のウエハ移動量を前記演算手段の出力にて補正することによって行う手段である半導体ウエハのセンタ合せ装置。」と補正する。
２−１−４．補正事項ｄ
　前記第１項が削除されたことに伴い、その実施態様項であった第４項を第１項に組み入れて新たに第３項（必須要件項）とする、以下の補正を行う。
　全文訂正明細書（補正書）の特許請求の範囲第１、４項に記載の
「１．・・・（中略）・・・最小値Ｌminとの中点Ｌｃのいずれか２つ・・・（中略）・・・中心の方向Δθを算出する演算手段と、前記演算手段の出力に応じて前記ウエハの中心合せと平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。」、「４．前記演算手段は、・・・（中略）・・・特許請求の範囲第１項に記載の半導体ウエハのセンタ合せ装置。」を、
「３．・・・（中略）・・・最小値Ｌminとの中間値Ｌｃのいずれか２つ・・・（中略）・・・中心の方向Δθを算出し、前記偏心量ΔＬと回転角度θmax又は回転角度θminとから偏位信号（ｘ，ｙ）を算出する演算手段と、前記演算手段から出力する偏心量ΔＬ及び偏心方向θｖに応じて又は偏位信号（ｘ，ｙ）に応じて前記ウエハの中心合わせをし、前記演算手段から出力する平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ及び偏心方向θｖに応じて平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備し、前記演算手段は、・・・（中略）・・・半導体ウエハのセンタ合せ装置。」と補正する。
２−１−５．補正事項ｅ
　全文訂正明細書（補正前）の以下のア〜オの記載を明りょうでない記載の釈明を目的として、「中間値Ｌｃ」と補正する。
ア、全文訂正明細書の第８頁第２行の「中点Ｌｃ」
イ、全文訂正明細書の第８頁第１５行の「中点Ｌｃ」
ウ、全文訂正明細書の第８頁第１８行の「中点位置」
エ、全文訂正明細書の第８頁第１９行の「中点」
オ、全文訂正明細書の第１１頁第２３行の「中点」
　
２−２．当該補正の適否について
２−２−１．補正事項ａ
　全文訂正明細書（補正前）の特許請求の範囲第１項の削除は、特許請求の範囲の減縮に相当する。
２−２−２．補正事項ｂ
　全文訂正明細書（補正前）の特許請求の範囲第２項において、「中点Ｌｃ」を「中間値Ｌｃ」と補正することは、全文訂正明細書（補正前）に記載の
「・・・の出力を中点Ｌｃとして採用し、ウエハのセンタ偏位量
ΔＬ＝Ｌｃ−Ｌmin
を得る。」（第８頁第２〜５行）より、中点Ｌｃが「点」を示すものではなく、「値」を示すものであることが明らかであるから、この補正は明りょうでない記載の釈明に相当する。
　また、ウエハの中心合わせに用いるパラメータとして、演算手段で算出した「偏位信号（ｘ，ｙ）」を加え、更に、平坦部の中心合わせに用いるパラメータを「Δθ」、「θｖ」に限定した補正は、全文訂正明細書（補正前）の
「上記の結果からウエハセンタの現在位置座標
（ｘ，ｙ）＝（−ΔＬｃｏｓθmax，−ΔＬｓｉｎθmax）
を得る。これによってＸＹテーブルを駆動してセンタ合わせを行い、さらに先に得た平坦部中心位置角度Δθによって平坦部の中心を所定の角度となるようにターンテーブルを回転させる。」（第９頁第２〜６行）等の記載から特許請求の範囲の減縮に相当する。
２−２−３．補正事項ｃ
　全文訂正明細書（補正前）の特許請求の範囲第３項の補正は、訂正により不明りょうとなったウエハ駆動手段を、ウエハの中心合わせとウエハ平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合わせるためものと限定し、ウエハの中心合わせはウエハの移載時に行う手段とすることにより、実質的に特許明細書の特許請求の範囲第３項の構成とするものである。
　これは、全文訂正明細書（補正前）の
「さらにウエハをセンタ合せした後に別のステージに移載して加工を行うような場合には、・・・（中略）・・・加工ステージに移載されたウエハは加工ステージに対して正確にセンタ合せされた位置となる。」（第９頁第２８行〜第１１頁第２行）に記載されていることから特許請求の範囲の減縮に相当する。
２−２−４．補正事項ｅ
　全文訂正明細書（補正前）の特許請求の範囲第４項の補正における、「中間値Ｌｃ」、「偏位信号（ｘ，ｙ）」、平坦部の中心合わせに用いるパラメータを「Δθ」、「θｖ」に限定する点は、「２−２−２．補正事項ｂ」に記載した理由により特許請求の範囲の減縮に相当する。
２−２−５．補正事項ｆ
　発明の詳細な説明中の「中点Ｌｃ」、「中点」及び「中点位置」を「中間値Ｌｃ」と補正することは、「２−２−２．補正事項ｂ」に記載した理由により、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
２−２−６．まとめ
　以上のことから、補正事項ａ〜ｆは、特許請求の範囲の減縮、または明りょうでない記載の釈明を目的としており、訂正請求書の要旨を変更するものではないから、特許法第１２０条の４第３項で準用する同法第１３１条第２項の規定に適合しており、当該補正は認められる。
　
３．訂正請求について
３−１．訂正の内容
　前記補正が認められることにより、特許権者は、訂正請求書において、特許明細書（以下、指摘箇所は本件特許公報に基づく。）を下記の訂正事項ａ〜ｍのとおりに訂正しようとするものである。
３−１−１．訂正事項ａ
　特許明細書の特許請求の範囲第１項を削除する。
３−１−２．訂正事項ｂ
　前記第１項が削除されたことに伴い、その実施態様項であった第２項を第１項に組み入れて新たに第１項（必須要件項）とする、以下の訂正を行う。
　特許明細書の特許請求の範囲第１、２項に記載の
「１．・・・（中略）・・・変化率ｄＬｘ／ｄθを演算し、前記ウエハの偏心量ΔＬ、偏心方向θｖおよび平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出する演算手段と、前記演算手段の出力に応じて前記ウエハの中心合せと平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。
２．前記ウエハ駆動手段は、前記ウエハを載置した回転手段全体を水平方向に移動させる手段である特許請求の範囲第１項に記載の半導体ウエハのセンタ合せ装置。」を、
「１．・・・（中略）・・・変化率ｄＬｘ／ｄθを演算し、ｄＬｘ／ｄθの絶対値が変化率の上限値αの値以上となる最初の位置θ１と最後の位置θｎとを演算し、前記最大値Ｌmax及び最小値Ｌmin及び最大値Ｌmaxと最小値Ｌminとの中間値Ｌｃのいずれか２つから前記ウエハの偏心量ΔＬを演算すると共に、最大値Ｌmaxに対応したウエハの回転角度θmax又は最小値Ｌminに対応したウエハの回転角度θminから偏心方向θｖ を演算し、前記平坦部（または切欠部）の最初の位置θ１と最後の位置θｎとから平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出し、前記偏心量ΔＬと回転角度θmax又は回転角度θminとから偏位信号（ｘ，ｙ）を算出する演算手段と、前記演算手段から出力する偏心量ΔＬ及び偏心方向θｖに応じて又は偏位信号（ｘ，ｙ）に応じて前記ウエハを載置した回転手段全体を水平方向に移動させて前記ウエハの中心合せをし、前記演算手段から出力する平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ及び偏心方向θｖに応じて平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。」
と訂正する。
３−１−３．訂正事項ｃ
　前記第１項が削除されたことに伴い、その実施態様項であった第３項を第１項に組み入れて新たに第２項（必須要件項）とする、以下の訂正を行う。
特許明細書の特許請求の範囲第１、３項に記載の
「１．・・・（中略）・・・ウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。」、「３．前記ウエハ駆動手段は、・・・（中略）・・・特許請求の範囲第１項に記載の半導体ウエハのセンタ合せ装置。」を、
「２．・・・（中略）・・・ウエハ駆動手段とを具備し、前記ウエハ駆動手段は、・・・（中略）・・・半導体ウエハのセンタ合せ装置。」
と訂正する。
３−１−４．訂正事項ｄ
　前記第１項が削除されたことに伴い、その実施態様項であった第４項を第１項に組み入れて新たに第３項（必須要件項）とする、以下の訂正を行う。
　特許明細書の特許請求の範囲第１、４項に記載の
「１．・・・（中略）・・・変化率ｄＬｘ／ｄθを演算し、前記ウエハの偏心量ΔＬ、偏心方向θｖおよび平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出する演算手段と、前記演算手段の出力に応じて前記ウエハの中心合せと平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。」、「４．前記演算手段は、・・・（中略）・・・特許請求の範囲第１項に記載の半導体ウエハのセンタ合せ装置。」を、
「３．・・・（中略）・・・変化率ｄＬｘ／ｄθを演算し、ｄＬｘ／ｄθの絶対値が変化率の上限値αの値以上となる最初の位置θ１と最後の位置θｎとを演算し、前記最大値Ｌmax及び最小値Ｌmin及び最大値Ｌmaxと最小値Ｌminとの中点Ｌｃのいずれか２つから前記ウエハの偏心量ΔＬを演算すると共に、最大値Ｌmaxに対応したウエハの回転角度θmax又は最小値Ｌminに対応したウエハの回転角度θminから偏心方向θｖ を演算し、前記平坦部（または切欠部）の最初の位置θ１と最後の位置θｎとから平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出し、前記偏心量ΔＬと回転角度θmax又は回転角度θminとから偏位信号（ｘ，ｙ）を算出する演算手段と、前記演算手段から出力する偏心量ΔＬ及び偏心方向θｖに応じて又は偏位信号（ｘ，ｙ）に応じて前記ウエハの中心合せをし、前記演算手段から出力する平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ及び偏心方向θｖに応じて平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備し、前記演算手段は、・・・（中略）・・・半導体ウエハのセンタ合せ装置。」
と訂正する。
３−１−５．訂正事項ｅ
　特許明細書第３頁第５欄第２５行における「ウエハエッジ位置検出器５」を、「エッジ位置検出器５」と訂正する。
３−１−６．訂正事項ｆ
　特許明細書第３頁第５欄第４７行における「ＸＹ平面第１象現」を「ＸＹ平面第１象限」と訂正する。
３−１−７．訂正事項ｇ
　特許明細書第４頁第７欄第３行における「変化率ｄＬ／ｄθ」を、「変化率ｄＬｘ／ｄθ」と訂正する。                                           
３−１−８．訂正事項ｈ
　特許明細書第４頁第７欄第４行における「｛（ｄＬ／ｄθ）の絶対値｝≧α」を「｛（ｄＬｘ／ｄθ）の絶対値｝≧α」と訂正する。
３−１−９．訂正事項ｉ
　特許明細書第４頁第７欄第２９行における「としてθmax採用する。」を、「としてθmaxを採用する。」と訂正する。
３−１−１０．訂正事項ｊ
　特許明細書第５頁第９欄第３４〜３５行における「（第６図のフロー図におけるθ１とθｎとの中間の角度」を「（第６図のフロー図におけるθ１とθｎとの中間の角度）」と訂正する。
３−１−１１．訂正事項ｋ
　特許明細書第５頁第１０欄第１６行における「の装を」を「の装置を」と訂正する。
３−１−１２．訂正事項ｌ
　特許明細書第５頁第１０欄第３５行における「５……ウエハエッジ検出器」を「５……エッジ位置検出器」と訂正する。
３−１−１３．訂正事項ｍ
　特許明細書第４頁第７欄第２０行における「中点Ｌｃ」及び第４頁第７欄第３５行における「中点Ｌｃ」及び第４頁第７欄第３８行における「中点位置」及び「第４頁第７欄第４０行における「中点」及び第５頁第１０欄第２７行における「中点」を、それぞれ「中間値Ｌｃ」と訂正する。
　
　なお、特許権者は、訂正請求書において以下の（１）〜（７）を訂正要求事項として訂正を求めているが、これらはいずれも特許公報編纂時の誤植箇所についてのものであり、訂正する必要のないものであるので、訂正の対象とはならない。
　
（１）特許明細書第３頁第５欄第２行における「ウエハ全周の」を、「ウエハの全周の」と訂正することを求める。
（２）特許明細書第３頁第５欄第２２行における
「（ｘ，ｙ）＝（−ΔＬｃｏｓθmax’，−ΔＬｓｉｎθmax）」を、
「（ｘ，ｙ）＝（−ΔＬｃｏｓθmax，−ΔＬｓｉｎθmax）」と訂正することを求める。
（３）特許明細書第３頁第６欄第３３行における「エッジ位置の検出器」を「エッジ位置検出器」と訂正することを求める。
（４）特許明細書第３頁第６欄第４１行における「との左」を、「との差」と訂正することを求める。
（５）特許明細書第３頁第６欄第５０行における「最大値入Ｌmax」を「最大値Ｌmax」と訂正することを求める。
（６）特許明細書第４頁第８欄第１７行における
「（ｘ，ｙ）＝（−ΔＬｃｏｓθmax’，−ΔＬｓｉｎθmax）」を、
「（ｘ，ｙ）＝（−ΔＬｃｏｓθmax，−ΔＬｓｉｎθmax）」と訂正することを求める。
（７）特許明細書第５頁第９欄第１行における「センタ合せとした後」を、「センタ合せした後」と訂正することを求める。
　
３−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否について
３−２−１．訂正事項ａ
　特許明細書の特許請求の範囲第１項の削除は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
３−２−２．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲第１項が削除されたことに伴い、その実施態様項であった第２項の記載を組み入れて新たに第１項（必須要件項）とすることは、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。そして、新たな特許請求の範囲第１項は、更に以下の技術的限定を加えたものである。
　訂正前の「前記ウエハの偏心量ΔＬ」を、
「ｄＬｘ／ｄθの絶対値が変化率の上限値αの値以上となる最初の位置θ１と最後の位置θｎとを演算し、前記最大値Ｌmax及び最小値Ｌmin及び最大値Ｌmaxと最小値Ｌminとの中間値Ｌｃのいずれか２つから前記ウエハの偏心量ΔＬを演算する」と訂正することは、ΔＬの算出手段を具体化して記載したものである。
　訂正前の「偏心方向θｖ」を、
「最大値Ｌmaxに対応したウエハの回転角度θmax又は最小値Ｌminに対応したウエハの回転角度θminから偏心方向θｖ を演算し」と訂正することは、θｖの算出手段を具体的に記載したものである。
　訂正前の「平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ」を、
「前記平坦部（または切欠部）の最初の位置θ１と最後の位置θｎとから平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出し」と訂正することは、Δθの算出手段を具体的に記載したものである。
　さらに演算手段に、偏位信号（ｘ，ｙ）の算出手段として、
「前記偏心量ΔＬと回転角度θmax又は回転角度θminとから偏位信号（ｘ，ｙ）を算出する」を新たに加える訂正を行うものである。
　これらの訂正は、特許明細書の［実施例］中の第３頁第６欄第４７行〜第４頁第７欄第４１行及び同第３頁第５欄第１７〜２４行に記載されているものである。
　また、「前記演算手段の出力に応じて前記ウエハの中心合せと平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置」を、より下位概念である、
「前記演算手段から出力する偏心量ΔＬ及び偏心方向θｖに応じて又は偏位信号（ｘ，ｙ）に応じて前記ウエハを載置した回転手段全体を水平方向に移動させて前記ウエハの中心合せをし、前記演算手段から出力する平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ及び偏心方向θｖに応じて平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置」と限定するものである。
　すなわち、ウエハの中心合せと平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるウエハ駆動手段に用いるパラメータを具体的に限定するものである。
　この訂正は、特に特許明細書第３頁第６欄第４７行〜第４頁第７欄第４１行及び第４頁第８欄第３４〜３９行及び同第４頁第８欄第１６〜２１行に記載されているものである。
　更に、「中点Ｌｃ」を「中間値Ｌｃ」と訂正することについては、特許明細書に記載の
「・・・の出力を中点Ｌｃとして採用し、ウエハのセンタ偏位量
ΔＬ＝Ｌｃ−Ｌmin
を得る。」（第４頁第７欄第１９〜２３行）より、中点Ｌｃが「点」を示すものではなく、「値」を示すものであることが明らかであるから、「中間値Ｌｃ」と訂正することは明りょうでない記載の釈明に相当する。
　したがって、訂正事項ｂは特許請求の範囲の減縮および明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
３−２−３．訂正事項ｃ
　特許請求の範囲第１項が削除されたことに伴い、その実施態様項であった第３項の記載を組み入れて新たに第２項（必須要件項）とすることは、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
３−２−４．訂正事項ｄ
　特許請求の範囲第１項が削除されたことに伴い、その実施態様項であった第４項の記載を組み入れて新たに第３項（必須要件項）とし、更に「３−２−２．訂正事項ｂ」に記載した範囲内の技術的限定を加えたものである。
　したがって、訂正事項ｄは特許請求の範囲の減縮および明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
３−２−５．訂正事項ｅ，ｆ，ｇ，ｈ，ｉ，ｊ，ｋ，ｌ
　発明の詳細な説明中の誤記の訂正を目的とするものである。
３−２−６．訂正事項ｍ
　発明の詳細な説明中の「中点Ｌｃ」、「中点」及び「中点位置」は、ある地点を指すものではなく、値を表すものであることが特許明細書第４頁第７欄第１９〜２３行の記載事項から明らかであるので、これらを「中間値Ｌｃ」と訂正することは、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
３−２−７．発明の数が増加する点について
　訂正事項ａ〜ｄによると、訂正前は発明の数が１であるものを、訂正後は発明の数が３に増加するものである。
　これは、必須要件項に従属する並列的な関係にある３つの実施態様項を、必須要件項が削除されたことに伴い、それぞれ独立形式に訂正することにより新たに３つの必須要件項に整理するものであり、このような場合は特許請求の範囲の減縮に該当し、しかも特許請求の範囲を拡張または変更するものではないとするべきである。
３−２−８．まとめ
　以上のことから、訂正事項ａ〜ｍは、特許請求の範囲の減縮、明りょうでない記載の釈明、誤記の訂正を目的とするものであり、これらの訂正は、いずれも特許明細書に記載された事項の範囲内のものであって、しかも特許明細書の特許請求の範囲を実質的に拡張または変更するものではない。
　
３−３．独立特許要件の判断
　補正された全文訂正明細書（以下、「訂正明細書」という。）の特許請求の範囲第１〜３項に記載の発明（以下、それぞれ「訂正発明１〜３」という。）の独立特許要件について以下に検討する。
３−３−１．訂正発明１〜３について
　訂正発明１〜３は、その訂正明細書の特許請求の範囲第１〜３項に記載された以下の事項により構成されるものである。
「１．円形に整形され該円周の一部に平坦部（または切欠き部）を有する半導体ウエハのセンタ合せ装置であって、前記ウエハを回転させるウエハ回転手段と、前記ウエハのエッジ位置に関連する信号を非接触で得るエッジ位置検出器と、前記エッジ位置検出器の出力信号をウエハ回転角度に対応したデー夕として所定回転角度毎に記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶したウエハエッジ位置デー夕を読み出してウエハエッジ位置信号の最大値Ｌmax及び最小値Ｌmin 及び変化率ｄＬｘ／ｄθを演算し、ｄＬｘ／ｄθの絶対値が変化率の上限値αの値以上となる最初の位置θ１と最後の位置θｎとを演算し、前記最大値Ｌmax及び最小値Ｌmin及び最大値Ｌmaxと最小値Ｌminとの中間値Ｌｃのいずれか２つから前記ウエハの偏心量ΔＬを演算すると共に、最大値Ｌmaxに対応したウエハの回転角度θmax又は最小値Ｌminに対応したウエハの回転角度θminから偏心方向θｖ を演算し、前記平坦部（または切欠部）の最初の位置θ１と最後の位置θｎとから平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出し、前記偏心量ΔＬと回転角度θmax又は回転角度θminとから偏位信号（ｘ，ｙ）を算出する演算手段と、前記演算手段から出力する偏心量ΔＬ及び偏心方向θｖに応じて又は偏位信号（ｘ，ｙ）に応じて前記ウエハを載置した回転手段全体を水平方向に移動させて前記ウエハの中心合せをし、前記演算手段から出力する平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ及び偏心方向θｖに応じて平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。
２．円形に整形され該円周の一部に平坦部（または切欠き部）を有する半導体ウエハのセンタ合せ装置であって、前記ウエハを回転させるウエハ回転手段と、前記ウエハのエッジ位置に関連する信号を非接触で得るエッジ位置検出器と、前記エッジ位置検出器の出力信号をウエハ回転角度に対応したデー夕として所定回転角度毎に記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶したウエハエッジ位置データを読み出してウエハエッジ位置信号の最大値Ｌmax、最小値Ｌminおよび変化率ｄＬｘ／ｄθを演算し前記ウエハの偏心量ΔＬ、偏心方向θｖおよび平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出する演算手段と、前記演算手段の出力に応じて前記ウエハの中心合せと平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合わせるためのウエハ駆動手段とを具備し、前記ウエハ駆動手段は、前記ウエハ回転手段から前記ウエハを他に移載する機構であり、前記ウエハの中心合せはウエハの移載時のウエハ移動量を前記演算手段の出力にて補正することによって行う手段である半導体ウエハのセンタ合せ装置。
３．円形に整形され該円周の一部に平坦部（または切欠き部）を有する半導体ウエハのセンタ合せ装置であって、前記ウエハを回転させるウエハ回転手段と、前記ウエハのエッジ位置に関連する信号を非接触で得るエッジ位置検出器と、前記エッジ位置検出器の出力信号をウエハ回転角度に対応したデー夕として所定回転角度毎に記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶したウエハエッジ位置デー夕を読み出してウエハエッジ位置信号の最大値Ｌmax及び最小値Ｌmin 及び変化率ｄＬｘ／ｄθを演算し、ｄＬｘ／ｄθの絶対値が変化率の上限値αの値以上となる最初の位置θ１と最後の位置θｎとを演算し、前記最大値Ｌmax及び最小値Ｌmin及び最大値Ｌmaxと最小値Ｌminとの中間値Ｌｃのいずれか２つから前記ウエハの偏心量ΔＬを演算すると共に、最大値Ｌmaxに対応したウエハの回転角度θmax又は最小値Ｌminに対応したウエハの回転角度θminから偏心方向θｖ を演算し、前記平坦部（または切欠部）の最初の位置θ１と最後の位置θｎとから平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出し、前記偏心量ΔＬと回転角度θmax又は回転角度θminとから偏位信号（ｘ，ｙ）を算出する演算手段と、前記演算手段から出力する偏心量ΔＬ及び偏心方向θｖに応じて又は偏位信号（ｘ，ｙ）に応じて前記ウエハの中心合せをし、前記演算手段から出力する平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ及び偏心方向θｖに応じて平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備し、前記演算手段は、前記ウエハの偏心方向を前記ウエハの回転原位置に対する角度θｖとして算出する手段であり、前記ウエハ回転手段は前記ウエハをエッジ位置を検出するために前記ウエハを回転させた後に前記算出された偏心方向信号θｖに応じて前記ウエハ駆動手段の特定の軸方向と前記偏心方向とが一致するまで前記ウエハをさらに−θｖだけ回転させる手段であり、前記ウエハの中心合せは前記駆動手段の前記特定軸のみによって−ΔＬだけ水平移動させて行う半導体ウエハのセンタ合せ装置。」
３−３−２．取消理由の概要
　本件発明は、本願出願前に頒布された刊行物１（特開昭５９−１４７４４４号公報）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、取り消されるべきものである。
３−３−３．引用刊行物に記載された発明
　刊行物１（特開昭５９−１４７４４４号公報）には、シリコンウエハ等の位置合わせ装置に関する発明が開示されており、以下の事項が記載されている。
「本発明は、切欠部を有する円板状物体の位置合わせ方法、及びその装置に係り、特に切欠部の方向及び位置ずれ量を光学的に検出して非接触的かつ自動的に位置合わせを行なう方法及びその装置に関するものである。」（第１頁右下欄第９〜１３行）、
「円板の一部を切欠いた板状物１を真空吸着等の手段により固定チャック１５に固定保持し、モーター１６により回転ステージ１７を回転させながら光源１８により照射された板状物１の周縁部の変化を光電変換素子１９により検出すると、光電変換素子１９の出力は、切欠部で急激に変化する。この急激な変化が起った時の回転ステージ１７の回転角を検知することにより板状物１の回転方向を位置合せすることができる。」（第２頁右下欄第１行〜第１０行）
「本実施例は、直線的な切欠部１ａであるオリフラを有する円形板状物体１であるウエハの位置合わせに本発明を適用したもので、第４図は本発明方法の原理を説明するために模式化して描いた平面図である。
　板状物１をチャックして、その中心点Ｏ′の付近Ｏの回りに矢印のごとく回転させる。図示の寸法Ｅはチャック時の偏心量である。板状物１の周縁の対向せしめて光電変換素子１９を設置して周縁の位置を測定し、回転に伴の周縁位置の移動を検出する。板状物１の固定手段、回転駆動手段は図示を省略するが、第３図に示した従来装置と同様乃至類似の手段を用いることができる。
　上記のように板状物１を回転させた場合、回転に伴の周縁位置の変化は第５図に実線で示したカーブｒのごとくになる。この図表は横軸に回転角θ（ｒａｄ）を取り、縦軸に板状物の半径ｒ（ｍｍ）をとってある。
　本発明方法の原理は、上記の半径ｒの変化によって位置ずれの量を求めて自動的に位置合わせをするものであって、詳しくは、板状物１の水平方向の位置ずれ量は回転中心Ｏに対する偏心の方向θmax、又はθmin及び偏心量Ｅを求めることであり、又、回転方向の位置ずれ量は回転中心０に対する切欠の方向θｏを求めることに他ならない。θｏの方向は切欠部におけるｒの変化が最小値ｒｏとなる方向である。第５図の実線で示した検出結果が得られた場合は、ｒmax，ｒmin，θmax，θｏを検知することにより容易に位置ずれを求めることができる。即ち、水平方向の位置ずれ量は回転中心Ｏからみてθmaxの方向にＥ＝（ｒmax−ｒmin）／２だけずれており、回転方向の位置ずれは、回転中心Ｏと光電変換素子１９を結ぶ軸線に対してθｏの方向である。・・・板状物１の偏心方向と切欠部の方向が一致した場合ｒmax，ｒminのうちいずれか一方は切欠部の影響を受けない。従ってこの切欠部の影響を受けない方の検出値により偏心量Ｅを求めれば良い。・・・（中略）・・・
　以上の方法により、板状物１を回転ステージに対してどのような状態で取付けても、周縁部が光電変換素子１９の検出範囲を外れないかぎり、容易に水平方向、回転方向の位置ずれ量を検出することが可能である。」（第３頁右上欄第１０行〜第４頁左上欄第１５行および第４図〜第９図参照）、
「第６図の実施例は回転ステージ１７上に水平方向移動ステージであるＸステージ２０、Ｙステージ２１を乗せた構成をしており、板状物１はＸステージ２０上に取付けた固定チャック１５により裏面を真空吸着等の手段により固定保持する。光源１８は板状物１の周縁部を照射し、モータ１６を回転させることにより板状物１を回転させながら周縁部の変化を光電変換素子１９により検出し、その出力値をコントローラ２２に取込み、前述した方法により位置ずれ量を求める。この結果に基きコントローラ２２の指令によりモータ２３、２４を駆動し、水平方向の位置合わせを行なう。回転方向の位置合わせはモータ１６を駆動することにより行なう。・・・（中略）・・・
　第７図の実施例は水平方向移動ステージ２０，２１上に回転ステージ１７を取付けた構成をしており、・・・（中略）・・・
　第８図の実施例は上下方向移動ステージ２５上に回転ステージ１７を取付け、水平方向移動ステージ２０を独立して設けた構成をしており、位置ずれ検出時は板状物１を回転ステージ１７上に乗せ、位置合わせ時は水平方向移動ステージ２０上に乗せ換えて行なうものである。・・・（中略）・・・
　上述の各実施例において、光電変換素子１９は透過形のものを例示したが、反射形の光電変換素子を用いても同様の作用、効果が得られる。また、リニアイメージセンサを用いてもよい。」（第４頁左下欄第５行〜第５頁右上欄第１０行）、
「以上詳述したように、・・・（中略）・・・板状物体の表面および周縁部に接触することなく、該板状物体の回転方向の姿勢および平面内の位置を高精度で自動的に合わせることができる。・・・（中略）・・・」（第５頁右上欄第１７行〜左下欄第１８行）
３−３−４．対比・判断
３−３−４−１．訂正発明１について
　訂正発明１と刊行物１に記載された発明とを対比すると、両者には半導体ウエハのセンタ合せ装置に関する発明が開示されており、刊行物１に記載されている「ｒmax」「ｒmin」「ｒの変化」「θmax」「θmin」「偏心量Ｅ」「偏心の方向θmaxまたはθmin」「切欠の方向θｏ」は、それぞれ訂正発明１の「Ｌmin」「Ｌmax」「変化率ｄＬｘ／ｄθ」「θmin」「θmax」「ウエハの偏心量ΔＬ」「偏心方向θｖ」「平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ」に相当するものであり、両者は、これらのパラメータを用いて半導体ウエハの中心と切欠部の中心を特定の角度に合わせる手段を有するものである。
　しかしながら、訂正発明１ではウエハの平坦部の中心の方向Δθの算出手段として、ウエハエッジ位置信号の変化率ｄＬｘ／ｄθの絶対値が変化率の上限値αの値以上となる最初の位置θ１と最後の位置θｎとを演算し、θ１とθｎとから平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出しているが、刊行物１に記載された発明では、「θｏの方向は切欠部におけるｒの変化が最小値ｒｏとなる方向である。」（第３頁左下欄第１４〜１６行）と記載されているにとどまり、訂正発明１のように出力信号の変化量の大きい切欠き部の両端部付近の角度θ１、θｎの算出値からウエハの平坦部の中心の方向Δθを算出する手段は、なんら記載も示唆もされていない。
　そして、訂正発明１は、前記相違点によって「特にその両端部においては極めて大きな変化率を示すのでエッジ位置の検出器の出力の変化率を監視することによって平坦部の位置を検出することができる。」（訂正明細書第７頁第１９〜２１行）という作用効果を奏するものである。
　したがって、訂正発明１は、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　ゆえに、訂正発明１は、特許出願の際に独立して特許を受けることができるものである。
３−３−４−２．訂正発明２について
　訂正発明２と刊行物１に記載された発明を対比すると、両者には半導体ウエハのセンタ合せ装置に関する発明が開示されており、刊行物１に記載されている「ｒmax」「ｒmin」「ｒの変化」「偏心量Ｅ」「偏心の方向θmaxまたはθmin」「切欠の方向θｏ」は、それぞれ訂正発明２の「Ｌmin」「Ｌmax」「変化率ｄＬｘ／ｄθ」「ウエハの偏心量ΔＬ」「偏心方向θｖ」「平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ」に相当するものであり、両者は、これらのパラメータを用いて半導体ウエハの中心と切欠部の中心を特定の角度に合わせる手段を有するものである。
　しかしながら、訂正発明２では、ウエハの中心合わせを行うウエハ駆動手段が、「前記ウエハ回転手段から前記ウエハを他に移載する機構であり、前記ウエハの中心合せはウエハの移載時のウエハ移動量を前記演算手段の出力にて補正することによって行う手段」であるのに対し、刊行物１に記載された発明には、「ウエハを他に移載する」、すなわちウエハを回転手段以外に移載するようなウエハ駆動手段を有していない点において相違する。
　なお、刊行物１には、第８、９図の実施例として、ウエハの中心合わせは「回転ステージ１７」から「水平方向移動ステージ２０，２１」上に乗せ換え、ウエハ中心位置のずれ量を補正した後、再び「回転ステージ１７」に戻すことが開示されているが、この「水平方向移動ステージ２０，２１」は、「回転ステージ１７」上に乗せ換えを行う機構であり、「回転ステージ１７」以外にウエハを移載する機構ではない。
　そして、本件発明２は、前記相違点によって「さらにウエハをセンタ合せした後に別のステージに移載して加工を行うような場合には、ウエハのセンタ位置の算出のみ端縁検出に続けて行ない、センタ合せは移載時の移動量を装置間距離信号を補正することによって行うようにすれば、センタ合せ行程と移載行程とを一工程で行うことができるのでセンタ合せ装置のウエハ移動手段を省略できるとともにタクトタイムを短縮できる。」（訂正明細書第１０頁第１７〜２１行）という作用効果を奏するものである。
　したがって、訂正発明２は、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　ゆえに、訂正発明２は、特許出願の際に独立して特許を受けることができるものである。
３−３−４−３．訂正発明３について
　訂正発明３は、ウエハの「平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ」の算出手段について訂正発明１と同一の技術的限定を有するものであり、更に、ウエハの中心合わせとウエハの平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合わせる手段を具体的に記載したものである。
　したがって、本件発明３は、「３−３−４−１．訂正発明１について」に記載した理由により、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　ゆえに、訂正発明３は、特許出願の際に独立して特許を受けることができるものである。
　
３−４．訂正の認否
　以上のとおりであるから、本件訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項ただし書および同条第３項で準用する同法第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
４．特許異議申立について
４−１．本件発明１〜３について
　前述のように、本件訂正請求は、適法なものであるので、本件特許請求の範囲の第１〜３項に記載された発明の要旨は、前記「３−３−１．」において摘記したとおりの「訂正発明１〜３」である（以下、「本件発明１〜３」という。）。
　
４−２．異議申立理由の概要
４−２−１．申立人１は証拠方法として、
甲第１号証（米国特許第４，６３８，６０１号明細書）
甲第１号証の１（同甲第１号証公報の全訳文）
甲第２号証（米国特許第４，４５７，６６４号明細書）
甲第２号証の１（同甲第２号証公報の一部訳文）
甲第３号証（特開昭６２−４５０３９号公報）
甲第４号証（特開昭５７−１９８６４２号公報）
甲第５号証（特願昭６２−２１２８８８号（特開昭６４−５７６３９号）の願書に最初に添付した明細書及び図面）
甲第６号証（特開昭６０−８５５３６号公報）
を提出し、以下の理由で本件発明の特許は取り消されるべき旨を主張している。
（１）本件発明は、甲第１〜４号証、甲第６号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
（２）本件発明は、その出願の日前の出願であって、その出願後に公開された甲第５号証（以下「先願明細書」という。）に記載された発明と同一であると認められ、しかも本件発明に係る発明者は上記先願明細書に記載された発明の発明者と同一でも、本件出願の時において、その出願人が上記他の出願の出願人とも同一でもないので、本件発明の特許は、特許法２９条の２の規定に違反してされたものである。
４−２−２．申立人２は証拠方法として、
甲第１号証（特開昭５９ー１４７４４４号公報）
を提出し、以下の理由により、本件発明の特許を取り消されるべき旨を主張している。
（１）本件発明は、甲第１号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
４ー３．甲各号証の記載事項
４−３−１．申立人１の提出した甲第１〜６号証に記載の発明
４−３−１−１．甲第１号証
　甲第１号証（米国特許第４，６３８，６０１号明細書）には、平坦部のある円形外周を有するウエハをエッジ研削する方法および自動エッジ研削盤に関する発明が開示され、さらに、以下の事項が記載されている。
「要約
エッジ外形機は、ウェーハの形状とその幾何学的中心の位置とがコンピュータで測定されるように、光センサがウエハの外周の多数の点を測定する心出しステーションを使用している。回転ヘッドは、ウエハの幾何学的中心を固定軸に位置づけ、研削ステーションへ送られたウエハを回転チャックの中心軸に位置する幾何学的中心で位置づけるように働く。研削中に、研削ホイールは、ウエハの検出された形状と所定の形状との差に従って移動する。研削ホイールは、コンピュータから受信した信号に従って、心出しステーションと研削ステーションとを貫通している軸上を移動する。」（第１頁要約欄）
「自動エッジ研削盤は、・・・ウエハ積み卸しステーション、厚さ測定ステーション、心出しステーション、研削ステーション、・・・積み込みステーション、ウエハ送り機構とを具備する。」（第１欄第５９〜６２行）
「心出しステーションで使用される探針手段は、心出しされたウエハのエッジをウエハ外周の多数の点で感知し、感知されたエッジに応答して信号を発生する光センサーを使用している。例えば、光センサーは往復運動し、ウエハは回転して、光センサがウエハのエッジを感知すると停止する点に対応する一連の信号を得ることが出来る。元の位置からの移動距離に相当する各信号を光センサーにより得ることにより、真空ヘッドの回転軸などの一定点からの各感知された点の距離が計算される。」（第２欄第２０〜３３行）
「ウエハを心出しステーションから研削ステーションへ移動する送り機構が、ウエハを心出しステーションに係合する付属ヘッドを有するアームと、アームを昇降する手段と、およびアームを心出しステーションと研削ステーションとの間に伸張している縦軸へ垂直に平行に移動する手段とで構成されている。このようにして、ウエハの幾何学的中心は、実際に制御され、研削ステーション内で連続的に心出しされる。」（第２欄第４４〜５３行）
「実施例によれば、エッジ研削盤へ送られるウエハは、一般に、平坦部のある円形の外周を有する。心出しステーションの探針手段は、ウエハ外周の複数の点の測定値を表す一連の信号を発生するように働き、演算処理手段は、平坦部を位置づけてウエハの形状を定義するように、信号を解釈することが出来る。
次に、この値は、ウエハの所定のまたはプログラムされた形状に対し整合され、研削ホイールの動作をプログラムして、正確な円形の外周と正確な真っ直ぐな平坦部のあるウエハを得るように、信号が、研削ホイールのステッパーモーターへの伝達のために発生する。例えば、平坦部を研削するとき、チャックに対し前後に移動する研削ホイールの動きとチャックの回転は、真っ直ぐなエッジが形成されるように調整される。」（第３欄１０〜２６行）
「図２に関し、心出しステーション１３は、ウエハ２２を心出しする手段２６および心出しされたウエハ２２を縦軸Ｘに対し位置合わせする探針手段２７を備えている。」（第５欄第３〜６行）
「図６に示されているように、光センサー４８は、引っ込んだ位置から心出しステーションのウエハ２２に隣接した位置へ移動する。この点で、光センサー４８の二つに分岐した端部４９は、ウエハ２２の縁にまたがっている。動作中に、光センサー４８はウエハ２２に向かって移動し、ウエハ２２の縁を感知すると停止する。次に、信号が元の位置、即ち、休止位置から光センサーにより移動した距離に対応して、発生する。ウエハ２２が真空ヘッド２９と共に回転すると、複数の信号が元の位置から感知されたウエハの縁の距離に対応して発生するように、光センサー４８は往復する。この点でウエハの縁は、元の位置に対する光センサー４８の受容器の位置により決定される。
　真空ヘッド２９と従ってウエハ２２との回転中に、一連の信号を送るために、光センサー４８は演算処理手段１９へ接続されている。次に、演算処理手段１９は、真空ヘッドの回転軸などの固定点に対する各感知された点の距離を計算し、これらの信号からウエハの形状と幾何学的中心も決定する。
　ウエハ２２の形状と幾何学的中心が決定されると、シャフト３２がウエハ２２の幾何学的中心を縦軸Ｘ上に位置づけるために所定の増分を回転するように、演算処理手段１９は、信号をシャフト３２のモータ３７へ送る。例えば、図３に示されているように、幾何学的中心６１が軸Ｘから外れて位置するならば、シャフトと真空ヘッド２９は、幾何学的中心が軸Ｘへ移動されるように回転する。
　図５と６に関し、送り機構１７は、ウエハ２２を心出しステーション１３の真空ヘッド２９に経合する付属ヘッド６３を有するアーム６２を備えている。・・・（中略）・・・
　図４に関し、送り機構は、アーム６２が取り付けられているフレーム６５とフレーム６５を水平に移動する手段とを備えている。この手段は、光センサー４８とフレーム６５が滑動可能に取り付けられている一組の誘導レール６６とを移動する手段と同様なモータおよび誘導スクリュー構成体を備えている。図４に示されているように、レール６６は、アーム６２が心出しステーション１３と研削ステーション１４との間を縦軸Ｘに平行に移動するように、縦軸Ｘに平行に配置されている。
　上述のように、送り機構１７は、適切な流れで起動されるように、適切な回路６７を経て演算処理手段１９へ接続されている。」（第６欄第５５行〜第７欄第４８行）
「演算処理手段１９は、ウエハの形状が探針手段２７から受信された数組の信号から決定されるようにプログラムされる。これにより演算処理手段１９は、ウエハ２２の平坦部２４がウエハに対するばかりでなく、心出しステーション１３の真空ヘッド２９の位置に対しても、どこに配置されるかを決定することが出来る。
　その後、演算処理手段１９はプログラムされて、ウエハの幾何学的中心が位置づけられている平坦部と平行な平面を決定する。次に幾何学的中心がこの平面に位置づけられ、同時に、心出しステーション１３の軸３０と研削ステーション１４の回転チャック６８の中心軸９１とを通る縦軸Ｘに対して位置づけられる。次に、真空ヘッド２９は、ウエハの幾何学的中心を縦軸Ｘに置くように、決定された量だけ回転する。
・・・（中略）・・・
この点で、送り機構１７は、ウエハ２２の幾何学的中心６１をチャック６８の中心軸９１に配置する働きをする。」（第８欄第４８行〜第９欄４行）
「次に、ウエハの幾何学的中心もまた、真空ヘッド２９を幾何学的中心を縦軸Ｘに置くために十分な量だけ回転するように、演算処理手段１９とモータ３７へ送られた信号により決定される。次に、送り機構１７は、ヘッド６３を降下するように演算処理手段１９により起動されて、真空ヘッド６３内に発生し、一方、真空ヘッド２９を真空源から遮断して、ヘッド６３を上昇させる。次に、送り機構のアーム６２は、ウエハの幾何学的中心が研削ステーション１４のチャック６８の中心線上にあるまで、縦軸Ｘと平行な誘導レール６６により所定の量に移動される。次にヘッド６３は、降下して、ウエハ２２をチャック６８に置く。次にヘッド６３への真空が解放され、一方、真空がチャック６８へ加えられて、ウエハ２２を所定の位置に保持する。次に、送り機構１７は、最初の位置へ戻る。」（第１１欄第１０〜２７行）
４−３−１−２．甲第２号証
　甲第２号証（米国特許第４，４５７，６６４号明細書）には、ウエハの整列ステーションに関する発明が開示され、以下の事項が記載されている。
「ウエハ整列ステーションは、ウエハが平坦部を有するものにおいて、同ステーションの中心にウエハを整列させ、かつ当該ウエハの平坦部を所定の一空間方向に整列させるものであり、かつこれを自動的に達成することを目的としている。　ウエハ整列ステーション１０は、ウエハ１４を真空保持する真空チャック１２、同真空チャック１２の近傍に配置されてウエハ１４の端部のＸ軸、Ｚ軸方向の位置に応答するセンサー１６、真空チャック１２をθ軸周りに回動させ、Ｘ軸方向に移動させ、同Ｘ軸に直交するＺ軸方向に移動させるように当該真空チャック１２に接続、配設されたＸ，θ，Ｚ組体２２、上記センサー１６に接続されてＸ軸信号処理とＺ軸補正処理とをおこなう回路２４、Ｘ軸制御ライン３０、θ制御ライン３２、Ｚ軸制御ライン３４、真空信号ライン３６を介して上記Ｘ，θ，Ｚ組体２２に接続した演算処理装置２８等を具備して構成されている。
　そして、真空チャック１２がセンサー１６に対して完全一回転すると、センサー１６の検知信号が回路２４で処理、二値化されてから演算処理装置２８に送出され、同装置２８によって制御ライン３０、３２、３４、３６を介してＸ，θ，Ｚ組体２２を回動および移動並びに真空保持動作を制御してウエハ１４の中心を真空チャック１２の中心に位置決めする。次いで、演算処理装置２８は、回転制御信号θを発生して真空チャック１２を再度、一回転させてウエハ１４を完全一回転させ、このときセンサー１６から得られたデータは演算処理されてウエハ１４の平坦部の位置を決定し、修正信号を発して上記Ｘ，θ，Ｚ組体２２に供与することによって真空チャック１２を制御してウエハ平坦部を空間内で選択的な方向に位置決めするものであることが記載されている。」（第３欄第１１〜６３行、図１参照）
「また、演算処理装置２８の演算処理工程として、ウエハ１４の中心Ｃ’を真空チャック１２の中心Ｃに一致、整列させる心出し時には、ウエハ１４に及ぶ真空保持力を解除した状態で真空チャック１２をθ軸周りの回転ばかりでなく、直線軸であるＸ軸方向にも移動させて偏心量θを補正して心出しを遂行することが記載されている。
　さらに、この心出し終了後にウエハ１４の平坦部のＸ軸に対する角度βを決定し、β修正信号を発して空間内における所定方向に平坦部を位置決めすることが記載されている。しかもこのとき、ウエハ１４の平坦部の中心は、図５Ｃに示すデータ曲線のスタート位置とストップ位置とを平坦部の両端に対応付け、そのほぼ中間位置がウエハ平坦部の中心位置と決定する手法が記載されている。」（第７欄第１１行〜第１１欄第２８行、図４〜５Ｃ参照）
４−３−１−３．甲第３号証
　甲第３号証（特開昭６２−４５０３９号）には、円形盤状物体の角度位置決め装置に関する発明が開示され、さらに、以下の事項が記載されている。
　「この実施例の動作を説明する。まず、回転台８の上に吸着支持された載置台７の上面にウエハ６を吸着固定し、これを回転させる。微少切欠き６ａをリニアイメージセンサＣθが検出した位置で回転台８の回転を停止する。この状態ではまだウエハ６は回転台８の回転中心に対して偏心している。この偏心量を第５ａ図に示すようにウエハ６の半径方向に９０°ずつずらして４個配置したリニアイメージセンサＣａ〜Ｃｄによって読込む。例えば、Ｘ方向の偏心量をリニアイメージセンサＣａ，Ｃｃのデジタル出力差に応じてΔＸ、Ｙ方向はリニアイメージセンサＣｂ，ＣｄによりΔＹであると測定する。次に回転台８の吸着を解除し、それにより移動可能となった載置台７を偏心量の測定値に基づいてＸ方向にΔＸ、Ｙ方向にΔＹ移動させ、第５ｂ図に示すように回転中心Ｏに対するウエハの偏心を修正する。載置台７を移動させるのでウエハ６を直接圧接することはなくこの偏心調整は非接触で行なえる。修正終了後、載置台７は、再び回転台８に吸着固定される。
　微少切欠き６ａの回転方向のずれはリニアイメージセンサＣθの所定の中心画素ＣＭを一致させ回転方向のずれを精確にに修正する（第４ｂ図）。」
（第３頁右上欄第９行〜同頁左下欄第１７行、第１図〜第４ｂ図参照）
４−３−１−４．甲第４号証
　甲第４号証（特開昭５７−１９８６４２号公報）には、ウエハのオリエンテーションフラットの検出装置に関する発明が開示され、さらに、以下の事項が記載されている。
　「その目的とするところは、ウエハのオリエンテーションフラットの検出を光学的に非接触で容易に検出することができるウエハ位置検出装置を提供しようとするものである。」（第２頁左上欄第７〜１０行）
　「すなわち、第４図で示すように、情報処理装置１０は光電変換素子７からの入力情報を読取り、光電変換素子７がウエハ５の端部５ｂによって照射光が遮ぎられ「明」から「暗」になるピット位置を求め、これをパルスモーター１が１回転するまで続けることにより第５図で示すように、テーブル３の各回転位置におけるウエハ５の端部５ｂの位置を求めることができる。つぎに、各ピット位置の平均勾配を求め、その平均勾配の最大値（イ）と最小値（ロ）を求める。そして、最大値（イ）と最小値（ロ）の中間でピット位置の極大点（ハ）がオリエンテーションフラット５ａとして検出でき、その極大点（ハ）におけるパルスモーター１のパルスを計算することによりウエハ５のオリエンテーションフラット５ａの位置を検出することができる。」（第２頁左下欄第１２行〜同頁左下欄第７行、第４，５図参照）
４−３−１−５．甲第５号証
　甲第５号証（特願昭６２−２１２８８８号（特開昭６４−５７６３９号）の願書に最初に添付した明細書及び図面）には、ウエハプリアライメント方法についての発明が開示され、さらに以下の事項が記載されている。
「ラインセンシング機能を有する光センサ機構をウエハの外周近傍に配置し、ウエハの少なくとも一回転のセンシングで得た光量変化に応じてウエハの偏心量及びオリフラ中心位置を演算により求め、この演算結果に応じてウエハの位置合せを行うようにしたことを特徴とするウエハのプリアライメント方法。」（特許請求の範囲）
「（従来の技術）従来、光センサを用いたウエハの・・・（中略）・・・ウエハ２０を載置するサブチャック２３、ピンセット２４、Ｚステージ２５等を駆動してウエハ２０の偏心補正を行い・・・（中略）・・・位置決めを行っていた。」（第１頁左下欄第１６行〜同頁右下欄第１９行、第１２図参照）、
「演算結果に基づきウエハ２の位置決め装置が駆動され、ウエハ２の高精度なプリアライメントが行える。」（第４頁左下欄２〜４行）
「また、オリフラの中心位置を求める演算方法として、オリフラ位置の光センサによる検出波形を最終的には、第１０図に示される波形から最小自乗法によって近似する２次曲線に当てはめて算出することが示されている。」（第４頁左上欄下から６行〜同頁右上欄下から８行、第９，１０図参照）
４−３−１−６．甲第６号証
　甲第６号証（特開昭６０−８５５３６号公報）には、ウエハ位置決め装置に関する発明が開示され、さらに、以下の事項が記載されている。
「本発明は、半導体ウエハ処理装置などに用いられるウエハ位置決め装置に関するものである。」（第２頁左上欄第１０、１１行）
「本発明の目的は上記従来技術の欠点を無くしウエハに損傷を与えるおそれが無く、ウエハ外面に当接しないウエハ位置決め装置を提供することにある。」（第２頁左下欄第７〜１０行）
「コントローラ２０は、板状物１の周縁部の箇所の画像を取り込みながら、その画像処理をしてθテーブル１１を回転させ、切欠部２を検出する。
　すなわち、板状物１の周縁部データは、第１３図に示すような曲線となり、切欠部２の箇所のデータは、曲線の傾斜が変わり急峻な曲線となる。そのデータ群の中で、曲線の傾斜が急激に変化する点のデータＳ１、Ｓ２のうち、小さいほうのデータ（図の場合はＳ１である）と、Ｓ１ からＳ２までのデータ群の中の最小値Ｓminとの中間の値Ｓtypと同じ値の箇所の回転角度Θ１とΘ２の中間Θｘが、求めるべき回転方向の位置ずれ量となる。」（第４頁右下欄第９行〜第５頁左上欄第１行、第１１、１３図参照）
　また、第３、１１図には、ウエハを回転させるステージとＸ、Ｙステージを設けたウエハ位置決め装置が記載されている。
４−３−２．申立人２の提出した甲第１号証に記載の発明
４−３−２−１．甲第１号証
　申立人２の甲第１号証は、当審の取消理由通知書において引用した刊行物１と同一のものであるので、「３−３−３．引用刊行物に記載された発明」参照。
　
４−４．対比・判断
申立人の主張毎に申立理由について検討する。
４−４−１．申立人１の主張（１）について（２９条第２項）
４−４−１−１．本件発明１について
　以下に、本件発明１と甲第１〜４、６号証に記載されている発明を対比する。
　本件発明１は、ウエハエッジ位置信号からウエハの中心と平坦部の位置を得る演算手段を有し、特にウエハ平坦部の演算手段は、ウエハエッジ位置信号の変化率ｄＬｘ／ｄθの絶対値が変化率の上限値αの値以上となる最初の位置θ１と最後の位置θｎとを演算し、θ１とθｎとから平坦部の中心の方向Δθを算出するものである。
　これに対し、甲第１〜４、６号証に記載された発明について、特にウエハの平坦部（切欠部、オリエンテーションフラット、オリフラ）の検出方法に関しては、以下の記載がある。
　甲第１号証には、半導体ウエハのエッジ研削盤に関する発明が開示されており、その半導体ウエハのエッジ研削盤は、ウエハ２２の周縁部を研削する研削ステーション１４とその前段に位置する心出しステーション１３を有し、心出しステーション１３においては、研削ステーション１４へ半導体ウエハ２２を固定する際に正確に中心が固定されるように、ウエハ２２の幾何学的中心を光センサー４８と演算処理手段１９により求め、心出しステーション１３から研削ステーション１４へウエハ２２が送られる際に移動量を補正してウエハ２２の中心合わせを行うものである。
　そして、ウエハ２２の平坦部については光センサからの信号を演算処理手段１９にて演算処理して求めることが記載されているものの、その具体的演算手段については特に記載はない。
　甲第２号証のウエハ整列ステーションは、平坦部を有するウエハの周縁部を容量型センサにて検知し、演算処理装置にてウエハの中心と平坦部の角度を得て、Ｘ、θ、Ｚ軸を補正してウエハの中心合わせと平坦部の中心位置合わせを行うものである。
　そして、ウエハの平坦部については、図５Ｃに示されるようにウエハ周縁部の検知データ曲線が一定値より下がるスタート位置とストップ位置を平坦部の両端に対応付けその中間位置をウエハ平坦部の中心位置しているが、本件発明１のように検知データの変化率に相当するものを演算する旨の記載はない。
　甲第３号証の板状物体の角度位置決め装置は、回転台８上に９０°ずつずらして４個配置したリニアイメージセンサＣａ〜Ｃｄによってウエハの偏心量を求め、Ｘ、Ｙ方向に修正することによりウエハの中心合わせを行うものである。
　また、ウエハの微少切り欠き６ａの回転方向のずれは、別途設けたイメージセンサＣθにより求め、修正を行うものであるが、甲第２号証と同様にセンサ出力の変化率を演算する旨の記載はない。
　甲第４号証には、ウエハのオリエンテーションフラットの検出装置に関する発明が開示されている。
　その装置は、「第５図で示すように、テーブル３の各回転位置におけるウエハ５の端部５ｂの位置を求めることができる。つぎに、各ビット位置の平均勾配を求め、その平均勾配の最大値（イ）と最小値（ロ）を求める。そして、最大値（イ）と最小値（ロ）の中間でビット位置の極大点（ハ）がオリエンテーションフラット５ａとして検出でき、その極大点（ハ）におけるパルスモーター１のパルスを計算することによりウエハ５のオリエンテーションフラット５ａの位置を検出することができる。」（第２頁左下欄１７行〜同頁右下欄第７行、第４，５図参照）と記載されていることから、ウエハ周縁部を光電変換素子によって検知して検出値の平均勾配を求め、その平均勾配の最大値と最小値の中間からオリエンテーションフラットの位置を得るものであるが、前記平均勾配の最大値（イ）、最小値（ロ）における回転角度は、本件発明１の「θ１」「θｎ」に相当するものではない。
　甲第６号証には、ウエハの位置決め装置に関する発明が開示されており、
「コントローラ２０は、板状物１の周縁部の箇所の画像を取り込みながら、その画像処理をしてθテーブル１１を回転させ、切欠部２を検出する。すなわち、板状物１の周縁部データは、第１３図に示すような曲線となり、切欠部２の箇所のデータは、曲線の傾斜が変わり急峻な曲線となる。そのデータ群の中で、曲線の傾斜が急激に変化する点のデータＳ１、Ｓ２のうち、小さいほうのデータ（図の場合はＳ１である）と、Ｓ１ からＳ２までのデータ群の中の最小値Ｓminとの中間の値Ｓtypと同じ値の箇所の回転角度Θ１とΘ２の中間Θｘが、求めるべき回転方向の位置ずれ量となる。」（第４頁右下欄第９行〜第５頁左上欄第１行、第１１、１３図参照）と記載されていることから、切欠部を有するウエハを回転させながら周縁部の画像を検出し、そのデータ曲線の傾斜が急激に変化する点のデータＳ１、Ｓ２から、切欠部を検出するものであるが、前記「回転角度Θ１とΘ２」は、本件発明１の「θ１」「θｎ」に相当するものではない。
　以上を総合すると、本件発明１と前記甲第１〜４、６号証に記載された発明について対比すると、ウエハの平坦部の検出方法に関して本件発明１では、ウエハエッジ位置信号の変化率ｄＬｘ／ｄθの絶対値が変化率の上限値αの値以上となる最初の位置θ１と最後の位置θｎとを演算し、θ１とθｎとから平坦部の中心の方向Δθを算出しているが、前記甲第１〜４、６号証に記載された発明には、本件発明１のように出力信号の変化率の大きい切欠き部の両端部付近において、一定の変化率以上となる最初と最後の位置θ１、θｎから平坦部の中心の方向Δθを算出する手段は、何ら記載も示唆もされていない点において相違する。
　そして、本件発明１は、前記相違点によって「特にその両端部においては極めて大きな変化率を示すのでエッジ位置の検出器の出力の変化率を監視することによって平坦部の位置を検出することができる。」（訂正明細書第７頁第１９〜２１行）という作用効果を奏するものである。
　よって、本件発明１は、申立人１の甲第１〜４、６号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではないから、本件発明１の特許が、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものとすることはできない。
４−４−１−２．本件発明２について
　本件発明２は、ウエハエッジ位置信号を演算処理して得た値からウエハ中心合わせと平坦部の位置合わせを行うウエハ駆動手段について、「前記演算手段の出力に応じて前記ウエハの中心合わせと平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合わせるためのウエハ駆動手段とを具備し、上記ウエハ駆動手段は、前記ウエハ回転手段から前記ウエハを他に移載する機構であり、前記ウエハの中心合わせはウエハの移載時のウエハ移動量を前記演算手段の出力にて補正することによって行う手段である」との構成を有するものである。そして、本件発明２における「ウエハ駆動手段」は、ウエハ回転手段からウエハを他に移載する機構であるということができる。
　そこで、このような本件発明２と甲第１〜４、６号証に記載されている発明を以下に対比する。
　甲第１号証には、ウエハを他に移載する機構に関しては、平坦部を有するウエハ２２を心出しステーション１３に送り、光センサー４８の信号を演算処理手段１９に送り、ウエハ２２の形状と幾何学的中心とを決定した後、ウエハ２２の幾何学的中心を研削ステーション１４の中心に位置づけるために、ウエハ回転手段を所定量回転させ、次に送り機構１７のアーム６２によって、ウエハの幾何学的中心が研削ステーション１４のチャック６８の中心線上にあるまで、縦軸Ｘと平行な誘導レール６６により所定の量に移動させるものが記載されており、その機構は、心出しステーション１３から研削ステーション１４へウエハ２２が送られる際に移動量を補正してウエハ２２の中心合わせを行うものである。
　そして、本件発明２と対比すると、前記送り機構１７が本件発明２のウエハを他に移載するウエハ駆動手段に相当するものであるとしても、甲第１号証には、演算処理手段１９により求めたウエハ平坦部を含むウエハの形状について、研削ホイールにてウエハの平坦部を研削する際に調整されることが記載されているものの、ウエハ２２の平坦部の位置合わせが、どこのどのような手段にて行われているのかについては、具体的には何ら記載されていない。
　したがって、甲第１号証の送り手段１７は、本件発明２のウエハ駆動手段のようにウエハの平坦部の中心を特定の角度に合わせるためのものではない。
　甲第２号証は、検知データを演算処理装置してウエハの中心と平坦部の角度を得て、Ｘ、θ、Ｚ軸を補正してウエハの中心合わせと平坦部の中心位置合わせを行っているが、ウエハを他に移載する機構については何ら記載されていない。
　甲第３、４号証には、ウエハのエッジ位置データを演算処理してウエハの中心または平坦部を求めているが、これらの演算データに基づきウエハを動かす手段については何ら記載されていない。
　甲第６号証には、ウエハを回転させるステージとＸ、Ｙステージを設けたウエハ位置決め装置（第３、１１図）が開示されているが、ウエハを他に移載する機構については何ら記載されていない。
　以上のことから、本件発明２の「前記演算手段の出力に応じて前記ウエハの中心合わせと平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合わせるためのウエハ駆動手段とを具備し、上記ウエハ駆動手段は、前記ウエハ回転手段から前記ウエハを他に移載する機構であり、前記ウエハの中心合わせはウエハの移載時のウエハ移動量を前記演算手段の出力にて補正することによって行う手段である」という構成の点が甲第１〜４、６号証のいずれにも記載されていない点において、両者は相違している。
　そして、本件発明２は、前記相違点によって「さらにウエハをセンタ合せした後に別のステージに移載して加工を行うような場合には、ウエハのセンタ位置の算出のみ端縁検出に続けて行ない、センタ合せは移載時の移動量を装置間距離信号を補正することによって行うようにすれば、センタ合せ行程と移載行程とを一工程で行うことができるのでセンタ合せ装置のウエハ移動手段を省略できるとともにタクトタイムを短縮できる。」（訂正明細書第１０頁第１７〜２１行）という作用効果を奏するものである。
　よって、本件発明２は、甲第１〜４、６号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではないから、本件発明２の特許が、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものとすることはできない。
４−４−１−３．本件発明３について
　本件発明３は、ウエハの「平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ」の算出手段について本件発明１と同一の技術的限定を有するものである。
　したがって、本件発明３は、「４−４−１−１．本件発明１について」に記載した理由により、甲第１〜４、６号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではないから、本件発明３の特許が、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものとすることはできない。
４−４−２．申立人１の主張（２）について（２９条の２）
４−４−２−１．本件発明１について
　本件発明１におけるウエハの平坦部の中心の方向Δθの算出手段は、ウエハエッジ位置信号の変化率ｄＬｘ／ｄθの絶対値が変化率の上限値αの値以上となる最初の位置θ１と最後の位置θｎとを演算し、θ１とθｎとから平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出するものである。
　これに対し、先願明細書には、光センサの検出値から、ウエハの中心位置とオリフラの中心位置を演算し、この演算結果に応じてウエハの位置合わせを行うことは記載されているが、オリフラの中心位置の具体的な演算手段として記載されたものは、オリフラ位置の光センサによる検出波形を最終的には、第１０図に示される波形から最小自乗法によって近似する２次曲線に当てはめて算出するものである。（第４頁左上欄下から６行〜同頁右上欄下から８行、第９，１０図参照）
　ゆえに、先願明細書には、本件発明１のように出力信号の変化量の大きい切欠き部の両端部付近の角度θ１、θｎの算出値から平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出する手段はなんら記載も示唆もされていない。
　そして、本件発明１は、上記手段を有することによって「特にその両端部においては極めて大きな変化率を示すのでエッジ位置の検出器の出力の変化率を監視することによって平坦部の位置を検出することができる。」（訂正明細書第７頁第１９〜２１行）という作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、先願明細書に記載された発明と同一であるとすることはできず、本件発明１の特許は、特許法２９条の２の規定に違反してされたものではない。
４−４−２−２．本件発明２について
　本件発明２のウエハエッジ位置信号を演算処理して得た値からウエハ中心合わせと平坦部の位置合わせを行うウエハ駆動手段は、ウエハ回転手段からウエハを他に移載する機構である。
　これに対し、先願明細書には、光センサの検出値から、ウエハの中心位置とオリフラの中心位置を演算し、この演算結果に応じてウエハの位置合わせを行うことは記載されているが、具体的な位置決め機構については、
「（従来の技術）従来、光センサを用いたウエハの・・・（中略）・・・ウエハ２０を載置するサブチャック２３、ピンセット２４、Ｚステージ２５等を駆動してウエハ２０の偏心補正を行い・・・（中略）・・・位置決めを行っていた。」（第１頁左下欄第１６行〜同頁右下欄第１９行、第１２図参照）、
「演算結果に基づきウエハ２の位置決め装置が駆動され、ウエハ２の高精度なプリアライメントが行える。」（第４頁左下欄２〜４行）
と記載されているのみでウエハを他に移載する機構は何ら記載されていない。
　ゆえに、先願明細書には、本件発明２のウエハ駆動手段に関する「ウエハ駆動手段は、前記ウエハ回転手段から前記ウエハを他に移載する機構であり、前記ウエハの中心合わせはウエハの移載時のウエハ移動量を前記演算手段の出力にて補正することによって行う手段である」という構成は何ら記載されていない点において相違する。
　そして、本件発明２は、上記相違点によって「さらにウエハをセンタ合せした後に別のステージに移載して加工を行うような場合には、ウエハのセンタ位置の算出のみ端縁検出に続けて行ない、センタ合せは移載時の移動量を装置間距離信号を補正することによって行うようにすれば、センタ合せ行程と移載行程とを一工程で行うことができるのでセンタ合せ装置のウエハ移動手段を省略できるとともにタクトタイムを短縮できる。」（訂正明細書第１０頁第１７〜２１行）という作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明２は、先願明細書に記載された発明と同一であるとすることはできず、本件発明２の特許は、特許法２９条の２の規定に違反してされたものではない。
４−４−２−３．本件発明３について
　本件発明３は、ウエハの「平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ」の算出手段について本件発明１と同一の技術的限定を有するものである。
　したがって、本件発明１は、「４−４−２−１．本件発明１について」に記載した理由により、先願明細書に記載された発明と同一であるとすることはできず、本件発明３の特許は、特許法２９条の２の規定に違反してされたものではない。
４−４−３．申立人２の主張（１）について
　申立人２の甲第１号証は、当審の取消理由通知書において引用した刊行物１と同一のものであるので、「３−３．独立特許要件」に記載した理由により、本件発明１〜３は、申立人２の甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　したがって、本件発明１〜３の特許が、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものとすることはできない。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、申立人１及び２の特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１〜３の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜３の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年４月１８日（２０００．４．１８）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
　特許第２７２９２９７号発明の明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに訂正する。
　その訂正の内容は次のとおりである。
１，特許請求の範囲の減縮、明りょうでない記載の釈明または誤記の訂正を目的として次の訂正を行う。
１−１．訂正事項ａ
　特許明細書の特許請求の範囲第１項を削除する。
１−２．訂正事項ｂ
　前記第１項が削除されたことに伴い、その実施態様項であった第２項を第１項に組み入れて新たに第１項（必須要件項）とする、以下の訂正を行う。
　特許明細書の特許請求の範囲第１、２項に記載の「１．・・・（中略）・・・変化率ｄＬｘ／ｄθを演算し、前記ウエハの偏心量ΔＬ、偏心方向θｖおよび平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出する演算手段と、前記演算手段の出力に応じて前記ウエハの中心合せと平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。
２．前記ウエハ駆動手段は、前記ウエハを載置した回転手段全体を水平方向に移動させる手段である特許請求の範囲第１項に記載の半導体ウエハのセンタ合せ装置。」を、
「１．・・・（中略）・・・変化率ｄＬｘ／ｄθを演算し、ｄＬｘ／ｄθの絶対値が変化率の上限値αの値以上となる最初の位置θ１と最後の位置θｎとを演算し、前記最大値Ｌ　ｍａｘ及び最小値Ｌ　ｍｉｎ及び最大値Ｌ　ｍａｘと最小値Ｌ　ｍｉｎとの中間値Ｌｃのいずれか２つから前記ウエハの偏心量ΔＬを演算すると共に、最大値Ｌ　ｍａｘに対応したウエハの回転角度θ　ｍａｘ又は最小値Ｌ　ｍｉｎに対応したウエハの回転角度θ　ｍｉｎから偏心方向θｖを演算し、前記平坦部（または切欠部）の最初の位置θ１と最後の位置θｎとから平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出し、前記偏心量Δしと回転角度θ　ｍａｘ又は回転角度θ　ｍｉｎとから偏位信号（ｘ，ｙ）を算出する演算手段と、前記演算手段から出力する偏心量ΔＬ及び偏心方向θｖに応じて又は偏位信号（ｘ，ｙ）に応じて前記ウエハを載置した回転手段全体を水平方向に移動させて前記ウエハの中心合せをし、前記演算手段から出力する平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ及び偏心方向θＶに応じて平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。」
と訂正する。
１−３．訂正事項ｃ
　前記第１項が削除されたことに伴い、その実施態様項であった第３項を第１項に組み入れて新たに第２項（必須要件項）とする、以下の訂正を行う。
特許明細書の特許請求の範囲第１、３項に記載の
「１．・・・（中略）・・・ウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。」、「３．前記ウエハ駆動手段は、・・・（中略）・・・特許請求の範囲第１項に記載の半導体ウエハのセンタ合せ装置。」を、
「２．・・・（中略）・・・ウエハ駆動手段とを具備し、前記ウエハ駆動手段は、・・・（中略）・・・半導体ウエハのセンタ合せ装置。」
と訂正する。
１−４．訂正事項ｄ
　前記第１項が削除されたことに伴い、その実施態様項であった第４項を第１項に組み入れて新たに第３項（必須要件項）とする、以下の訂正を行う。
　特許明細書の特許請求の範囲第１、４項に記載の
「１．・・・（中略）・・・変化率ｄＬｘ／ｄθを演算し、前記ウエハの偏心量ΔＬ、偏心方向θｖおよび平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出する演算手段と、前記演算手段の出力に応じて前記ウエハの中心合せと平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備した半導体ウエハのセンタ合せ装置。」、「４．前記演算手段は、・・・（中略）・・・特許請求の範囲第１項に記載の半導体ウエハのセンタ合せ装置。」を、
「３．・・・（中略）・・・変化率ｄＬｘ／ｄθを演算し、ｄＬｘ／ｄθの絶対値が変化率の上限値αの値以上となる最初の位置θ１と最後の位置θｎとを演算し、前記最大値Ｌ　ｍａｘ及び最小値Ｌ　ｍｉｎ及び最大値Ｌ　ｍａｘと最小値Ｌ　ｍｉｎとの中点Ｌｃのいずれか２つから前記ウエハの偏心量ΔＬを演算すると共に、最大値Ｌ　ｍａｘに対応したウエハの回転角度θ　ｍａｘ又は最小値Ｌ　ｍｉｎに対応したウエハの回転角度θ　ｍｉｎから偏心方向θｖを演算し、前記平坦部（または切欠部）の最初の位置θ１と最後の位置θｎとから平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθを算出し、前記偏心量ΔＬと回転角度θ　ｍａｘ又は回転角度θ　ｍｉｎとから偏位信号（ｘ，ｙ）を算出する演算手段と、前記演算手段から出力する偏心量ΔＬ及び偏心方向θｖに応じて又は偏位信号（ｘ，ｙ）に応じて前記ウエハの中心合せをし、前記演算手段から出力する平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ及び偏心方向θｖに応じて平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備し、前記演算手段は、・・・（中略）・・・半導体ウエハのセンタ合せ装置。」
と訂正する。
１−５．訂正事項ｅ
　特許明細書第３頁第５欄第２５行における「ウエハエッジ位置検出器５」を、「エッジ位置検出器５」と訂正する。
１−６．訂正事項ｆ
　特許明細書第３頁第５欄第４７行における「ＸＹ平面第１象現」を「ＸＹ平面第１象限」と訂正する。
１−７．訂正事項ｇ
　特許明細書第４頁第７欄第３行における「変化率ｄＬ／ｄθ」を、「変化率ｄＬｘ／ｄθ」と訂正する。
１−８．訂正事項ｈ
　特許明細書第４頁第７欄第４行における「｛（ｄＬ／ｄθ）の絶対値｝≧α」を「｛（ｄＬｘ／ｄθ）の絶対値｝≧α」と訂正する。
１−９．訂正事項ｉ
　特許明細書第４頁第７欄第２９行における「としてθ　ｍａｘ採用する。」を、「としてθ　ｍａｘを採用する。」と訂正する。
１−１０．訂正事項ｊ
　特許明細書第５頁第９欄第３４〜３５行における「（第６図のフロー図におけるθｌとθｎとの中間の角度ｊを「（第６図のフロー図におけるθｌとθｎとの中間の角度）」と訂正する。
１−１１．訂正事項ｋ
　特許明細書第５頁第１０欄第１６行における「の装を」を「の装置を」と訂正する。
１−１２．訂正事項ｌ
　特許明細書第５頁第１０欄第３５行における「５……ウエハエッジ検出器」を「５……エッジ位置検出器」と訂正する。
１−１３．訂正事項ｍ
　特許明細書第４頁第７欄第２０行における「中点Ｌｃ」及び第４頁第７欄第３５行における「中点Ｌｃ」及び第４頁第７欄第３８行における「中点位置」及び「第４頁第７欄第４０行における「中点」及び第５頁第１０欄第２７行における「中点」を、それぞれ「中間値Ｌｃ」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
半導体ウエハのセンタ合せ装置
（５７）【特許請求の範囲】
１．円形に整形され該円周の一部に平坦部（または切欠き部）を有する半導体ウエハのセンタ合せ装置であって、前記ウエハを回転させるウエハ回転手段と、前記ウエハのエッジ位置に関連する信号を非接触で得るエッジ位置検出器と、前記エッジ位置検出器の出力信号をウエハ回転角度に対応したデータとして所定回転角度毎に記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶したウエハエッジ位置データを読み出してウエハエッジ位置信号の最大値Ｌｍａｘ及び最小値Ｌｍｉｎ及び変化率ｄＬｘ／ｄθを演算し、ｄＬｘ／ｄθの絶対値が変化率の上限値αの値以上となる最初の位置θｌと最後の位置θｎとを演算し，前記最大値Ｌｍａｘ及び最小値Ｌｍｉｎ及び最大値Ｌｍａｘと最小値Ｌｍｉｎとの
中間値
し、前記偏心量ΔＬと回転角度θｍａｘ又は回転角度θｍｉｎとから偏位信号（ｘ，ｙ）を算出
から出力する偏心量ΔＬ及び偏心方向θｖに応じて又は偏位信号（ｘ，ｙ）
をし、前記演算手段から出力する平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ及び偏心方向θｖに応じて
２．円形に整形され該円周の一部に平坦部（または切欠き部）を有する半導体ウエハのセンタ合せ装置であって、前記ウエハを回転させるウエハ回転手段と、前記ウエハのエッジ位置に関連する信号を非接触で得るエッジ位置検出器と、前記エッジ位置検出器の出力信号をウエハ回転角度に対応したデータとして所定回転角度毎に記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶したウエハエッジ位置データを読み出してウエハエッジ位置信号の最大値Ｌｍａｘ
、
および
、
および
前記演算手段の出力に応じて前記ウエハの中心合せと平坦部（または切欠部）の中心を特定の角度に合せるためのウエハ駆動手段とを具備し、前記ウエハ駆動手段は、前記ウエハ回転手段から前記ウエハを他に移載する機構であり、前記ウエハの中心合せはウエハの移載時のウエハ移動量を前記演算手段の出力にて補正することによって行う手段である
３．円形に整形され該円周の一部に平坦部（または切欠き部）を有する半導体ウエハのセンタ合せ装置であって、前記ウエハを回転させるウエハ回転手段と、前記ウエハのエッジ位置に関連する信号を非接触で得るエッジ位置検出器と、前記エッジ位置検出器の出力信号をウエハ回転角度に対応したデータとして所定回転角度毎に記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶したウエハエッジ位置データを読み出してウエハエッジ位置信号の最大値Ｌ　ｍａｘ及び最小値Ｌｍｉｎ及び変化率ｄＬｘ／ｄθを演算し、ｄＬｘ／ｄθの絶対値が変化率の上限値αの値以上となる最初の位置θｌと最後の位置θｎとを演算し、前記最大値Ｌｍａｘ及び最小値Ｌｍｉｎ及び最大値Ｌｍａｘと最小値Ｌｍｉｎとの
中間値
し、前記偏心量ΔＬと回転角度θｍａｘ又は回転角度θｍｉｎとから偏位信号（ｘ，ｙ）を算出する
をし、前記演算手段から出力する平坦部（または切欠部）の中心の方向Δθ及び偏心方向θｖに応じて
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
　本発明は、半導体製造装置において半導体ウエハを搬送するときにウエハのセンタおよび結晶方向を示す平坦部または切欠部を所定の角度に正確に合わせるための装置に関するものである。
〔従来の技術〕
　半導体ウエハの製造装置において、半導体ウエハを積重ねて収納するカセットから他のカセットヘ、または検査や加工のための各ステージヘ、あるいは各ステージ相互間の移送時にはウエハを正確にセンタ合せする必要がある。通常、カセットや各ステージにはこのセンタ合せ機能は備わっていないので、これらの間を移送する途中にセンタ合せ装置を追加する方法が行なわれている。
　第１０図はこのような従来装置の例を示す外形図であり、同図（ａ）はセンタリングカップと呼ばれる内径がテーパ伏に変化する容器１０１にウエハ１０２を落し込むものであり、同図（ｂ）はスクロールチャック１０３にてウエハ１０２を狭持することによってセンタ合せを行うものである。
〔発明が解決しようとする問題点〕
　上記のような従来装置においては、薄いウエハのエッジ部あるいは裏面をこすりながらセンタ合せをするものであるために、半導体製造装置において最も嫌われるゴミの発生がさけられず、またウエハを損傷する危険性があり、損傷を防止するためにはセンタ合せ操作をゆっくりソフトに行うことが必要となって高速化ができない欠点があった。
〔問題点を解決するための手段〕
　本発明は、ウエハがＮＣ装置などによって事前にほぼ真円に近い状態に加工されていることに着目し、ウエハを回転させてそのエッジ位置を回転角度に対応させて検出記憶し、検出信号の最大値、最小値によってウエハ位置の偏心量と方向とを算出し、この偏心データによってウエハのセンタ合せを行うようにしたものである。さらにウエハにはその結晶方向を示すために周辺部に平坦部（または切欠部）が設けられているが、これらの平坦部等の開始点および終了点においては他の部分におけるよりもエッジ位置の変化が急になるのでエッジ位置データの変化率が一定以上となったところを算出することによって、この平坦部等を搬送装置等の他のステージに対して特定の位置となるように同一の装置で行うようにしたものである。
〔作用〕
　本発明は上記のような構成として、ウエハの中心および平坦部（または切欠部）の位置をウエハを１回転させるだけで検出してウエハを載置した台ごと、あるいは本装置から他のステージに移載するときに中心および平坦部（または切欠部）の位置合わせを行うものである。
〔実施例〕
　第１図は、本発明の装置の実施例を示す構成図である。同図において１はセンタ合せの対象となる半導体ウエハでありターンテーブル２の上に載置されている。３はターンテーブル２を回転させるためのターンテーブル回転機構であり、電動機４にて駆動される。５はウエハ１の端縁（エッジ）位置を検出するための検出器であり、投光器５ａおよび光センサ５ｂからなる。この光センサ５ｂは受光量に応じて出力が特定の関係を保ちながら連続的に変化するものであり、ＣＣＤ（電荷結合素子）や商品名ＰＳＤ（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ　Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ　Ｄｅｔｅｃｔｏｒ　）とよばれる入射光量に対して出力が直線的に変化するものが望ましい。６はターンテーブル２の回転角度に相当する電動機４の回転量を検出しディジイタル信号を出力するエンコーダ、７は光センサ５ｂの出力とエンコーダ６の出力とを１対のデータとしてターンテーブル２の一定回転角度毎に記憶する記憶回路である。ここで光センサ５ｂの出力がアナログ信号である場合には記憶回路７と光センサ５ｂとの間にＡ／Ｄ変換器を設けておけばよい。８は記憶回路７の出力を読み出してウエハ１の中心位置の偏位量と方向とを算出し、修正信号（回転角度および水平方向位置の各信号）を出力する演算回路であり、マイクロコンピュータが利用できる。また演算回路にマイクロコンピュータを用いるときにはエッジ位置の検出時にテーブルを回転させウエハの各回転角度に対応する信号を記憶するための指令信号等を出力するようにもできる。９はターンテーブル駆動用電動機４の回転を制御するためのサーボ制御回路であり、演算回路８からの指令信号に応じて電動機４を駆動し、回転量がエンコーダ６の出力と一致するところで停止させる通常のサーボ制御回路である。１０はターンテーブル２をその回転駆動機構ごと図のＸＹ水平面内で移動させるためのＸＹテーブル式の移動機構であり、演算回路８の出力に応じてテーブル２を移動させてウエハ１の位置を修正するものであり、ＸＹテーブル駆動用制御回路１１によって位置制御される。
　第１図の装置において、平坦部や切欠部のないウエハのセンタ合わせを行うときの例を第２図のフローチャートを参照して説明する。第１図において、図示しない搬送装置によってウエハ１がターンテーブル２の上に載せられると電動機４が回転し、これによって駆動されるターンテーブル回転機構３によってウエハが所定角度（例えば１度）回転する。このときエッジ位置検出器５の光センサ５ｂは光センサ直下のウエハによって減量されて到達する光の量に応じた出力を発生し、この出力はウエハ回転量信号とともに一対のデータ（θｘ，Ｌｘ）として記憶回路７に記憶される。さらにターンテーブル２を所定角度回転し、エッジ位置の検出、記憶をくりかえし、ウエハが原位置（θｘ＝０）から３６０度回転するまで続ける。ウエハの全周のエッジ位置の検出が終了すると次に演算回路８は、記憶回路７に記憶されたデータを順次読み出し、エッジ位置信号の最大値Ｌｍａｘと最小値Ｌｍｉｎおよびそれぞれに該当するウエハの回転角度θｍａｘ，θｍｉｎを算出する。演算回路８はまた、このエッジ位置信号ＬｍａｘとＬｍｉｎとの差からウエハのターンテーブル２の回転中心に対する直径方向の偏心量信号
　ΔＬ＝（Ｌｍａｘ−Ｌｍｉｎ）／２
を得、また偏心角度信号θｖは同図の場合θｍｉｎに相当するから、ウエハのターンテーブル２の回転中心に対する中心位置のＸＹ平面における偏位信号はターンテーブルの中心位置の座標を（ｘ，ｙ）＝（０，０）とすると第４図（ｂ）から
　Ｘ座標＝ΔＬｃｏｓθｖ＝ΔＬｃｏｓθｍｉｎ
　Ｙ座標＝ΔＬｓｉｎθｖ＝ΔＬｓｉｎθｍｉｎ
となり、ウエハのターンテーブル２の回転中心に対する中心位置のＸ、Ｙ平面における偏位信号
（ｘ，ｙ）＝（ΔＬｃｏｓθｍｉｎ，ΔＬｓｉｎθｍｉｎ）
を得ることができる。また、θｍａｘ＝θｍｉｎ＋１８０度であるのでこれを上式に代入すると、
（ｘ，ｙ）＝（−ΔＬｃｏｓθｍａｘ，−ΔＬｓｉｎθｍａｘ）
が得られる。これらによってＸＹテーブル制御回路に位置修正信号を供給してセンタ合わせを行う。
　ここで
エッジ位置検出器５
　ここで、説明を簡単にするためにまずウエハ１として平坦部や切欠部のない円形のものについて説明する。
　このときの光センサ５ｂの出力変化の様子を第４図の線図にて示す。同図は横軸をウエハの回転角度θとし縦軸を光センサ５ｂの出力しとしてある。また同図（ａ）はその左部に示すようにウエハ１がターンテーブル２の中心と一致しているときの出力であり、この場合は先に述べたようにウエハ１がＮＣ工作装置などによって真円に加工されていることから光センサの出力は直線状となる。同図（ｂ）はウエハ１の中心がターンテーブル２の回転中心からＸＹテーブル１０のＸＹ平面第１
象限
　またＬ＝Ｌｍｉｎの時の角度θｍｉｎがウエハの回転開始前のＸＹ平面上での光センサ５ｂの方向からのウエハ１の偏心角度θｖに相当する。
　それ故、これらの信号から回転開始前のウエハのセンタ位置が座標
（ｘ，ｙ）＝（ΔＬｃｏｓθｍｉｎ，ΔＬｓｉｎθｍｉｎ）
にあることがわかる。
（θｍａｘを採用するときは、θｍａｘ＝θｍｉｎ＋１８０度であるのでこれを代入すると、
（ｘ，ｙ）＝（−ΔＬｃｏｓθｍａｘ，−ΔＬｓｉｎθｍａｘ）
となる）
　したがって、ＸＹテーブルをＸ方向に−ΔＬｃｏｓθｍｉｎ、Ｙ方向に−ΔＬｓｉｎθｍｍ（またはＸ方向に＋ΔＬｃｏｓθｍａｘ、Ｙ方向に＋ΔＬｓｉｎθｍａｘ）だけ移動させればウエハのセンタ合わせができることになる。
　本発明はさらに演算回路の内容を工夫してウエハの周縁部に平坦部（または切欠き部）が設けられている場合のセンタ合せおよび平坦部（または切欠部）の位置合せを同時に行うものであり、以下第５図ないし第９図によって詳細に説明する。
　第５図（ａ）は、周縁郡の一部に平坦部（イ）が設けているウエハの平面図であり、同図（ｂ）ないし（ｅ）はこのような形状のウエハが種々の方向に偏心してターンテーブル２に載せられたときのエッジ位置検出器の出力波形の例を示したものである。第５図（ａ）のような形状のウエハを回転させたとき、同図（ｂ）ないし（ｅ）に見られるようにその平坦部または切欠部（イ）において他の円周形状の部分とは甚しく異なった出力変化を示す。特にその両端部においては極めて大きな変化率を示すのでエッジ位置検出器の出力の変化率を監視することによって平坦部の位置を検知することができる。
　そこで本発明においてはエッジ位置検出信号の変化率が一定以上になったところを平坦部の両端と判断するように演算回路８を構成しておく。この場合、変化率の限界は円周部を検出しているときの最大変化率がウエハの偏心量によって異なるので、出力信号の最大値と最小値との差、即ち概略のウエハ偏心量、に応じて定めるようにすればよい。また平坦部（あるいは切欠部）の位置とウエハの偏心方向とによって偏心量の算出方法が異なるのでこれを判別することも必要となる。
　第６図にこれを行うときのフローチャートを示す。ここでステップ１から７までは平坦部のない第４図の場合と同じである。ここで、光センサ５ｂの出力信号のうち最大値と最小値は平坦部の存在のために真の値が得られていない可能性があるが、ステップ８ではステップ７で得られた最大値Ｌｍａｘと最小値Ｌｍｉｎとから（Ｌｍａｘ−Ｌｍｉｎ）を得、これによって変化率の上限値αを定める。
　次にステップ９にて角度θ＝０度から３６０度に至る間の出力信号Ｌの変化率
ｄＬｘ
　｛（
ｄＬｘ
となる最初の位置θ１と最後の位置θｎを探す。このθｌとθｎとの中間点
　Δθ＝｛（θｎ−θ１）／２｝＋θｌ
を求めると、回転原位置からこのΔθだけ回転した位置に平坦部の中心が存在することになる。
　次に出力最大（Ｌ−Ｌｍａｘ）となるときの角度θｍａｘが
　θ１≦θ　ｍａｘ≦θｎ
の関係にあるか否かを判断し、
　θ１≦θ　ｍａｘ≦θｎが成立する場合には先にウエハを回転することによって得られたステップ７の最大値Ｌｍａｘの位置は平坦部の中に含まれる第５図（ｃ）のような状態であるので真の最大値は得られていないことになる。そこで基準として最小値Ｌｍｉｎを採用し、Ｌｍｉｎに相当する角度θｍｉｎを偏位方向θｖ（センタずれの方向）とし、これより９０度離れた点（θｍｉｎ≦２７０度のときはθｍｉｎ＋９０度、θ　ｍｉｎ＞２７０度ではθｍｉｎ−９０度）の出力を
中間値
　ΔＬ＝Ｌｃ−Ｌｍｉｎ
を得る。この結果からウエハセンタの回転前の位置座標
（ｘ，ｙ）＝（ΔＬｃｏｓθｍｉｎ，ΔＬｓｉｎθｍｉｎ）
を得る。（但し、光センサ５ｂの方向を＋Ｘとする。）
　一方、出力Ｌが最大値Ｌｍａｘとなる角度θｍａｘがθｌとθｎとの間にないときは平坦部は他の位置にあるので最大偏位量としてステップ７で得られたＬｍａｘを採用し、偏位方向θｖに対応する値としてθｍａｘ
を
　次にθｍａｘの９０度隣の点θｆが平坦部内にあるか否かの判定を行い、平坦部内、即ちθｌないしθｎの間であれば２７０度先（または９０度手前）の点の出力を、また平坦部でなければその点の出力をそれぞれ
中間値
　ΔＬ＝Ｌｍａｘ−Ｌｃ
を得る。このとき、
中間値Ｌｃ
中間値Ｌｃ
　このときの検出器の出力波形の例を第７図に示す。
同図（ａ）は表１の１に、（ｂ），（ｃ）は表１の２に、（ｄ）は表１の３にそれぞれ相当する（但しθ１＜θｆ＜θｎのとき）。
　上記の結果からウエハセンタの現在位置座標
（ｘ，ｙ）＝（−△Ｌｃｏｓθｍａｘ，−△Ｌｓｉｎθｍａｘ）
を得る。これによってＸＹテーブルを駆動してセンタ合わせを行い、さらに先に得た平坦部中心位置角度Δθによって平坦部の中心を所定の角度となるようにターンテーブルを回転させる。
　なお、上記はθｍｉｎ位置を基準としたときのウエハ偏位量および偏位方向を算出する方法の１例を示したものであり、この算出方法はθｍａｘを基準に考えるものや標準正弦波と比較し、平坦部の位置データをこれから予測してＬｍａｘ、Ｌｍｉｎ、Ｌｃ、θｖ、Δθを算出するものなどその方法は任意である。
　なお、上記においては、ＸＹテーブルを用いて演算回路８の出力に応じてウエハターンテーブル２全体をＸＹ平面で２次元的に動かすことによってセンタ合せを行う例を説明したが、本発明はこのような構造の装置に限定されるものではない。例えばＸＹテーブルのかわりに一軸方向（例えばＸ軸）にのみ移動可能なテーブルを用いてもよい。この場合には前述の説明と同様にウエハを１回転させてウエハ中心の偏位量ΔＬと方向θｖとを算出し、センタ合せに際してはまずウエハターンテーブルを偏位角度を修正する方向（−θｖ）に回転し、偏位方向をＸ軸方向に一致させた後にターンテーブル全体を−ΔＬだけ移動する。（但し順序はこの逆でもまた回転とＸ軸方向修正とを同時に行ってもよい。）このようにするときにはターンテーブル位置の修正は一軸のみでよくなるので構造が簡単になるとともに制御も簡単になる。
　さらに第１図に示した実施例では、ウエハターンテーブル全体を水平方向に移動させまた回転させることによってセンタ合せと方向合せとを行ったが、本発明はこれに限るものではなく、偏差量を算出した後にウエハを一旦ターンテーブルから持ちあげてターンテーブルと分離し、この状態で水平方向に移動して再度ターンテーブルに載せるような三次元のハンドリング手段を用いて行うものでもよい。
　さらにウエハをセンタ合せした後に別のステージに移載して加工を行うような場合には、ウエハのセンタ位置の算出のみ端縁検出に続けて行ない、センタ合せは移載時の移動量を装置間距離信号を補正することによって行うようにすれば、センタ合せ工程と移載工程とを一工程で行うことができるのでセンタ合せ装置のウエハ移動手段を省略できるとともにタクトタイムを短縮できる。
　第８図はこのようにした本発明の別の実施例を示す外形図であり、ウエハのハンドリング手段として３次元ロボットを用いている。
　同図において２１はウエハのストッカーであり、図示しない他のステージでまとめられたウエハが収納されている。２２は加工ステージであり、センタ合せされたウエハに所定の加工を施すための加工装置が設けられている。２３は３軸（Ｘ軸＝水平方向、Φ軸＝回転方向、Ｚ軸＝上下方向）からなるロボットであり腕の先端にウエハを移送するための爪をもつている。２４はセンタ位置を検出するためのウエハセンタ検出機構であり、第１図の実施例におけるターンテーブル２、エッジ検出器５およびこれらの附属品から構成されている。２７はこれらを搭載したベースである。また同図においては制御装置は図示を省略してある。
　第８図の装置の動作を第９図のフローチャートによって説明する。第８図の装置において、まずロボット２３が腕を回転させてウエハストッカ２１からウエハを１枚取り出し約１８０度右回転してウエハセンタ検出機構２４のターンテーブル２の上に降す。ロボット２３の腕が退避した後にウエハセンタ検出機構のターンテーブル２によってウエハが１回転し、エッジ位置検出器５の出力によって前述の通りセンタ位置が算出される。この算出結果を図示しないロボット２３の制御回路に供給する。
　また、ウエハ１に設けられた平坦部や切欠き部を一定の方向に揃えるために先のエッジ位置検出操作によって得られた平坦部位置方向信号（第６図のフロー図におけるθｌとθｎとの中間の角度
）
　Δθ＝｛（θｎ−θｌ）／２｝＋θｌ
によつてこの平坦部が所定の位置となるまでターンテーブル２をさらに回転させた後に、ロボット２３の爪によってウエハをターンテーブルから持ち上げて約９０度左回転し、加工ステージ２２に移載する。このときロボット２２によるウエハの移動量をウエハセンタ検出機構２４と加工ステージ２２との間の真の位置関係に対して先にセンタ位置検出時に算出された信号によって補正した信号によって決定すれば、加工ステージに移載されたウエハは加工ステージに対して正確にセンタ合せされた位置となる。
　なお第８図の装置において、センタ位置検出操作によって偏心信号を得た後にロボット２３によってウエハをターンテーブルから一旦もち上げて偏心信号に応じてロボット２３のΦ軸、Ｘ軸によって移動させ、その後に再度ターンテーブルの上に降してセンタ合せを行う方法を採用してもよい。
〔発明の効果〕
　上記のように本発明においては、ウエハを単に１回転させるだけでエッジ位置の変化を非接触で検出し、これからウエハの偏心量と偏心方向および平坦部または切欠部の中心の存在方向とを同時に算出し、この算出結果に応じてウエハを移動させる装置であるので、従来装置のようにウエハエッジを損傷することがなく、またウエハを摺動しないのでゴミの発生もなくなるものである。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明の実施例を示す構成図、第２図は第１図の装置を平坦部のないウエハに対してセンタ合わせのみを行うときの動作を説明するためのフローチャート、第３図は第１図の実施例における検出器５の部分を拡大して示した図、第４図（ａ）および（ｂ）は円形のウエハに対する光センサ５ｂの出力の変化の様子を示す線図、第５図（ａ）は周縁部の一部に平坦部が設けられているウエハの例を示す平面図、第５図（ｂ）ないし（ｅ）は同図（ａ）のような形状のウエハが種々の方向に偏心してターンテーブルに載せられたときのエッジ位置検出器の出力波形の例を示す線図、第６図は周縁部の一部に平坦部を有するウエハの偏心量と方向とを算出するときのフローチャート、第７図（ａ）ないし（ｄ）は平坦部が
中間値Ｌｃ
　１……ウエハ、
　２……ターンテーブル、
　５……
エッジ位置検出器
　５ａ…投光器、
　５ｂ…光センサ、
　６……エンコーダ、
　７……記憶回路、
　８……演算回路、
　９……サーボ制御回路、
　１０……ＸＹテーブル、
　１１……ＸＹテーブル位置制御回路、
　２１……ウエハストッカ、
　２３……ロボット、
　２４……ウエハセンタ検出機構。