【事件の表示】
　特許第２６６６１６１号「微細パタン投影露光方法」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２６６６１６１号の請求項１に係る特許を取り消す。
　同請求項２ないし５に係る特許を維持する。
【理由】
１．本件特許第２６６６１６１号は、平成３年６月３日に出願され、平成９年６月２７日にその特許権の設定登録がなされ、その後、依田昌三より特許の異議の申立てがなされ、取消理由が通知され、その指定期間内である平成１０年１２月８日に特許異議意見書が提出されたものである。
２．本件特許に対し、異議申立人依田昌三は、甲　第１号証として米国特許第４９４７４１３号明細書を、甲第２号証として特開昭６１−９１６６２号公報を、甲第３号証として特開昭６１−４１１５０号を、及び甲第４号証としてＫＴＩ　Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｓｅｍｉｎａｒ　Ｎｏｖ．　６−７，　１９８９ＳａｎＤｉｅｇｏ　ｐ．　２１７−２３０を提示し、本件特許の請求項１ないし５に係る発明は、甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、当該発明に係る特許は取り消されるべきものであり、
　また、請求項２に係る発明は、この構成に関する記載が発明の詳細な説明にないから、当業者が容易にその発明を実施することができる程度に明確かつ十分に発明の詳細な説明に記載されておらず、取り消されるべきである旨主張する。
３．上記取消理由は、異議申立人依田昌三が提示した甲各号証を引用し、本件特許の請求項１に係る発明は、甲１、３、４号証のいずれかに記載された発明に基づいて、及び本件特許の請求項２、３に係る発明は、甲第２号証及び甲第１、３、４号証のいずれかに記載された発明に基づいて、本件特許の請求項４に係る発明は、甲第２及び甲第４号証に記載された発明に基づいて、並びに本件特許の請求項５に係る発明は、甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、当該発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、
　また、請求項２に係る発明について、その対応する構成が実施例に記載されていないから、当該請求項に係る特許は、その明細書の記載が、特許法第３６条に規定する要件を満たさない出願に対してされたものであって、取り消すべきというものである。
４．本件特許の請求項１ないし５に係る発明は、願書に添付した明細書の特許請求の範囲に記載された次のとおりのものである。
　「【請求項１】パタンの描かれた物面マスクを照射する光線に対して、ｓｉｎα´＝（投影レンズの開口数）／（投影レンズの縮小倍率）で規定される角度α´の傾きを光軸に対して与えることを特徴とする微細パタン投影露光方法
　【請求項２】請求項１において、上記の要件を満たすような複数の、互いにインコヒーレントな照射光を重畳させることを特徴とする微細パタン投影露光方法。
　【請求項３】請求項２において、光軸に垂直な面内でみたときに、等角での４方向もしくは互いに直角の２方向からの傾斜照射を行うことを特徴とする微細パタン投影露光方法。
　【請求項４】請求項２において、光軸に対して軸対象かつ投影レンズの開口数に対応した角度での傾斜照射を行うことを特徴とする微細パタン投影露光方法。
　【請求項５】請求項１〜請求項４のいずれかにおいて、投影レンズ開口部に傾斜照射の範囲を対応させたときの開口部周辺の透過率を調整した投影レンズ開口を有することを特徴とする微細パタン投影露光方法。」
５．特許異議申立人依田昌三が提示した甲各号証に記載された事項は次のとおりである。
甲第１号証；リソグラフィー技術に関するものであり、「マスクフーリエ変換面の空間フィルタリングは、傾斜照射を有するリソグラフィーシステム、即ち、光源が光軸から外れ、空間フィルタが０次光と、一つの１次光のみに干渉を許すリソグラフィーシステムにおいて用いることができる。コヒーレント（または部分コヒーレント光源）を用いたときは、このフィルタリング技術および干渉技術は、（１００％に近いコントラストで）他のコヒーレントシステムの２倍の解像度を提供する。（第３欄８−１６行目）」及び「高周波格子もまた、第１０図に示すように、傾斜照射を用いて結像することができる。このシステムでは、入射光は、光軸と角度θをなし、また０次光は、フーリエ変換面で遮断されないが、２つの１次光のうちの一つが投影レンズの開口の縁によって遮断される。コヒーレント入射光にｘ方向からθの角度に相当する角度を与えられれば、幾何学結像のスペクトルは、光軸上の光源からの照射の場合と略同一であるが、第１１図に示す幾何学結像のスペクトル図に示すように、包絡線のｓｉｎｃ関数において、ξ−１／ｍｐの量でシフトした場合は異なる。格子周波数ξｇがξｃｃ−ξｏ（ξｃｃは本システムのコヒーレント遮断周波数である）よりも大きければ、一つの１次光はレンズ開口により止められる。すなわち、周波数（ξｇ＋ξｏ）に対応する角度の光は大きすぎてレンズを通過することができない。図１０に戻り、投影システム３０は、このシステムの光軸３３と角度θをなす位置に配置された点光源３２を用いている。第１図の構成と同様に、投影システム３０は、コンデンサレンズ１４と、投影レンズ１６と、典型的なマスク１８を用いており、マスク１８上に現れているパタンをウェーハ２０に変換することが望まれている。通常の投影レンズ開口２８が用いられ、これにより０次光と一つの１次光がこのシステム内を通過できるようになっている。（第９欄４４行目−第１０欄１５行目）」と記載され、第１０図には、傾斜照射を用いたリソグラフィーシステム３０が示され、光軸に対して角度θをなす照射ビームから入射した光のうち、０次光は、フーリエ変換面で遮断されないが、２つの１次光のうちの一つが投影レンズの開孔の縁によって遮断されるリソグラフィーシステムが示されている。そして、甲第１号証に記載されたものが、微細なパターンを露光することを前提とするものであることは明らかであるから、甲第１号証には、「マスク１８上に現れているパターンを投影レンズ１６を介してウェーハ２０に投影するに際し、システムの光軸３３に対して、角度θをなす位置に配置された点光源３２を用い、システム内に０次光と、一方の１次光のみを通過させて解像度を高めた微細パタン投影露光方法」の発明が記載されている。
　甲第２号証；投影露光装置に関するものであって、「オプチカルインテグレータ５は多数の棒状レンズを束ねたもので、はえの目レンズとも称され（第２頁右上欄６−８行目）」、「このオプチカルインテグレータ５を出た光は、アウトプットレンズ６およびコリメーションレンズ７によって、オプチカルインテグレータ５の各小レンズから出た光束がレチクル８上に重畳して当たるように集光される。（第２頁右上欄１２−１７行目）」及び「半導体集積回路の製造に使用すれば大幅な集積度向上が図れる（第５図左上欄４−５行目）」と記載され、第５図には、多数の棒状レンズを束ねたオプティカルインテグレータ５が示されている。
　甲第３号証；露光装置に関するものであり、「第４図に本発明による第２の実施例を示す。第１の実施例とのちがいは、レチクルの回折格子４１に入射する入射光源１１が、レチクルに対して斜めに入射していることである。この際、ビームエクスパンダ２０、コリメータレンズ３２１も同様に斜めに配置されている。レチクル上の格子に
入射した光は回折格子によって０次、±１次のように回折され第１フーリエ変換レンズ１５によって、フーリエ変換面ξで各々、６１、６２、６３にスペクトル像を結像する。この光学系では０次の６１と−１次の６２に集束した光のみが第２フーリエ変換レンズ１７を通過するように設計されている。＋１次の６３に集光した光は、レンズによって光がけられるが一部迷光としてウェハ１８上に入射するので、フーリエ変換面付近でスペーシャフィルタを置き、＋１次回折光をしゃ断する。（第３頁右下欄１２行目−第４頁左上欄９行目）」、「０次と−１次の回折光の強度が等しくならない場合は、フーリエ変換面ξに各々の光強度を等しくするためのフィルタを設置する。（第４頁左上欄１２−１５行目）」及び［従来のレンズの分解能の２倍以上の分解能を実現できる。（第５頁右上欄１−２行目）」と記載され、第４図には、レチクルに対して斜めに入射する入射光源を備えた投影露光装置が開示されている。
　甲第４号証；　「投影レンズの入射瞳において、中間の直径が入射瞳の直径にほぼ等しい細い環として結像させる照明（第２１８頁左欄３８−４２行目）」を用いた露光装置に関するものであり、「第２図ａは、ピッチ＝ａの等間隔の、線または空間格子の物体をコヒーレント照明する場合のこのような条件を示す。コヒーレント照明の場合は、回折光の最大角は、非回折光と比較して士ｂである。この最大角で１次回折光が通過する条件は、ａ　［ｓｉｎ（ｂ）］＝（ｌａｍｂｄａ）すなわち、ａｍｉｎ＝（ｌａｍｂｄａ）／ＮＡである。第２図ｂに示すように、より大きな角度でインコヒーレント照射を行うと、回折角度はコヒーレント光と比較して２倍になり、解像可能な最小限度のピッチはａｍｉｎ＝（ｌａｍｂｄａ）／２ＮＡとなる。インコヒーレント照明についての最大空間周波数（ピッチの逆数）は、２ＮＡ／（ｌａｍｂｄａ）であり、コヒーレント照射についての最大空間周波数は、ＮＡ／（１ａｍｂｄａ）である。（第２１８頁右欄３７行目−第２１９頁左欄６行目）」、「レチクル平面のいずれの点においても、このような設計に基づく照明は、中空の円錐状の光でなり、水平から１６゜以下の平均角度で入射し、約３゜の広がり角度を有する。（第２１９頁右欄２１−２５行目）」、「環状入射光は、理論による予測通りに、ずっと高いＭＴＦを有している。１．０μｍと０．９μｍピッチの格子パターンも環状照明で解像される（第２２１頁右欄３０−３３行目）」、及び「改良された光源は、中央が空洞であり、かつ、１０倍レンズの入射瞳に一杯になるように入射する細い環状光を結像するように設計される。この環は、内径が入射瞳の半径の９２％であり、その外径が入射瞳の半径の１０５．５％であるように設計される。（第２１９頁右欄１５−２０行目）」と記載され、第２図ｂには、斜め照射法に基づく露光方法が開示され、投影レンズの開口の下側ぎりぎりに非回折光が通過できるような最大限の角度で、照明を入射することにより、回折光の一つが上記開口の上側の縁ぎりぎりに通過でき、この一方、回折光の一つが上記開口によって遮断される様子が示されている。
６．そこで、本件特許の請求項１ないし５に係る発明に対する特許異議の申立について判断する。
（１）請求項１に係る発明について
　本件特許の請求項１に係る発明と、甲第１号証に記載されたものとを対比すると、両者は、「パタンの描かれた物面マスクを照射する光線に対して、所定角度の傾きを光軸に対して与える微細パタン投影露光方法」の点で一致し、請求項１に係る発明が、光軸に対する傾きの角度が「ｓｉｎα´＝（投影レンズの開口数）／（投影レンズの縮小倍率）で規定される角度α´」であるのに対し、甲第１号証に記載された発明は、「システム内に、０次光と一方の１次光のみを通過させるような角度θ」である点で異なる。
　そこで両者の相違点について検討すると、
　請求項１に係る発明は、その原理を示す第１図及びその説明（段落番号【００１１】）から、前記甲第１号証に記載された発明と同様、露光システム内を０次光と一方の１次光のみを通過させてパタンを結像させるものと認められる。
　そして、回折角２α′は、パタンのピッチと露光光の周波数で決まり、パタンのピッチが小さくなるほど回折角２α´が大きくなるものである。一方、０次光と一方の１次光が露光システム内を通過するためには、０次光と一方の１次光が共に入射瞳内を通過する必要があり、用いられる露光システムにおいて、最も小さなピッチのパタンを解像するためには、そのときの０次光と一方の１次光が、光軸Ｚに対して対称となる、すなわち、０次光と１次光がともに瞳の周縁を通過する場合であることは、当業者であれば容易に理解することができるものである。そして、光軸に対する傾きの角度が「ｓｉｎα´＝（投影レンズの開口数　）／（投影レンズの縮小倍率）で規定される角度α´」は、０次光が瞳の周縁を通過する条件に他ならないから、用いられる露光システムにおいて解像できるパターンのピッチをできる限り小さくするために、光軸の傾きを請求項１に係る発明のごとく設定することは、当業者であれば容易に想到することができるものである。
　したがって、請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載されたものに基づいて、当業者が容易に発明することができたものである。
（２）請求項２に係る発明について
　本件特許の請求項２に係る発明と前記甲第１〜４号証に記載されたものとを対比すると、前記甲各号証には、いずれにも、請求項２に係る発明の必須の構成である「複数の互いにインコヒーレントな照射光を重畳させる」構成が記載されていないし、かつ示唆もされていない。
　　なお、甲第２号証には、「オプチカルインテグレータ５の各小レンズから出た光束がレチクル８上に重畳して当たるよう集光される」ものが記載されており、異議申立人依田昌三は、「甲第２号証にはオプチカルインテグレータ５に関し、光束についてコヒーレント性を限定する記載はなく、また、これを示唆する記載もない。よって、インコヒーレントな場合も含まれると思量される。」と主張しているが、甲第２号証には、重畳される光束が互いにインコヒーレントであると限定する記載はなく、かつ、インコヒーレントであることについて何ら言及も示唆もされていないから、コヒーレント性を限定する記載がないからといって、甲第２号証に、互いにインコヒーレントな光束を重畳させるという技術思想が開示されているとすることはできない。
　したがって、本件特許の請求項２に係る発明は、前記甲第１〜４号証に記載された発明と同一であるとも、それらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることも、できない。
　また、段落【００１７】には、「複数の方向から互いにインコヒーレントな照射を用いれば、互いに独立に照射した場合に等しく、余分な干渉作用は生じない。」と記載されていることから、請求項２に対応する構成が明細書に記載されていないということはできず、明細書に記載不備があるとすることはできない。
（３）請求項３ないし４に係る発明について
　請求項３ないし４に係る発明についてみると、請求項３ないし４に係る発明は、請求項２に係る発明の構成を全て備えた上で、さらに限定を加えたものであるから、この限定した構成が甲第１〜４号証に記載されているとしても、前記のとおり、請求項２に係る発明が甲第１〜４号証に記載されたものに基づいて当業者が容易に発明をすることができない以上、請求項３ないし４に係る発明も、前記甲第１〜４号証に記載されたものに基づき当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（４）請求項５に係る発明について、
　本件特許の請求項５に係る発明と前記甲第１〜４号証に記載されたものとを対比すると、前記甲各号証には、いずれにも、請求項５に係る発明の必須の構成である「投影レンズ開口部に傾斜照射の範囲を対応させたときの開口部周辺の透過率を調整した投影レンズ開口」の構成が記載されていないし、かつ示唆もされていない。
　なお、甲第３号証には、０次と−１次の回折光の光強度を等しくするためのフィルタを用いることは記載されているが、このフィルタが開口部のどの部分の透過率を調整するかは記載されておらず、また、開口部周辺の透過率を調整すれば、０次と−１次の回折光の光強度が等しくなるということが、周知であるとする根拠もない。
７．したがって、本件特許の請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載されたものに基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、取り消されるべきものである。
　また、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件特許の請求項２ないし５に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に、本件特許の請求項２ないし５に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年６月２２日（１９９９．６．２２）