【事件の表示】
　特許第２７１０４３３号「単結晶引上装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２７１０４３３号の特許を維持する。
【理由】
１．手続きの経緯と発明の要点
　本件特許第２７１０４３３号は、平成２年１月２４日に出願され、平成９年１０月２４日に設定の登録がなされたものである。その特許発明は、平成１０年２月１０日に発行された特許公報に掲載された明細書及び図面の記載よりみて、その特許請求の範囲に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】　炉本体内に配されたルツボの上方に筒状の輻射熱遮断体と単結晶冷却筒が設けられると共に、ルツボの外周に設けられた保温筒の上部に複数の係止部によって輻射熱遮蔽体が支持され、チョクラルスキー法を用いて、このルツボ内に収納された融液から単結晶を引上げる単結晶引上装置において、
上記単結晶冷却筒の上部に雰囲気ガスの導入管が連結され、かつ上記単結晶冷却筒の外周部であって上記炉本体の上部に分岐管の流出口が形成されると共に、上記導入管と分岐管とが互いに連結されて同一の雰囲気ガス供給源から雰囲気ガスが供給される一方、上記導入管と分岐管のうち少なくとも一方にバルブが設けられ、
前記輻射熱遮蔽体は、前記分岐管の流出口の下方に、かつ前記単結晶冷却筒と前記保温筒との間隙を仕切るようにこれらと離間して配されていることを特徴とする単結晶引上装置。」
　本件発明のねらいとするところは、これを、明細書及び図面の記載に基づいて摘示すると、以下のように要約される。
　すなわち、本件発明は、「第４図」に示されている単結晶引上装置（特公昭５７−４０１１９号公報に記載の発明に係る装置、掲載省略）、あるいは、特開平１−１０００８６号公報、特公昭５７−１５０７９号公報、特開平１−１０００８７号公報に記載されている単結晶引上装置、を先行技術、前提従来技術としているものであり、これら従来技術においては、いずれも、次に記載する点で問題があることから、すなわち、「第４図」の装置においては、
「単結晶４の上部の肩部が、上記輻射熱遮蔽体１２の下端に接近する状態および単結晶が輻射熱遮蔽体に入る場合、また結晶冷却筒１３の下端に接近する状態および単結晶が輻射熱遮蔽体１２に入る場合には、単結晶冷却筒８内を流下しているアルゴンガスの流路面積が減少」し、「融液面で加熱されたアルゴンガスが上昇気流となりアルゴンガスの融液面への流れを阻害するため、融液５からの反応ガスの排気も効果的に行われない状態が生じ、結晶面での温度が変動するため、引き上げられた結晶に結晶欠陥が生じたり酸素濃度が変化したり、また結晶が有転位化することもある。」
（公報第３欄第２２行ないし第３２行）点で、また、「特開平１−１０００８６号公報」は、上記の問題点を解消するものとして提案された発明であって、「輻射熱遮蔽体１２」が「保温筒の上端」に、「複数の係止部によって」部分的に取り付けられ、その係止部の「空隙部にもアルゴンガスが流れる構造」に設定されることにより、「発生するＣＯガスの侵入をより効果的に防止すると共に、ＳｉＯを含む加熱されたアルゴンガスを冷たいガス流によりアスピレータの作用で吸い出」すことができるよう設定されているものであるが、この構成に基づく解決手段によっても、「単結晶４の上部の肩部が、上記輻射熱遮蔽体１２の下端に接近する状態になると、アルゴンガスが主として輻射熱遮蔽体の係止部に流れ、その後に融液面へ流れる流速が急激に増加し、また流路も乱れ」、「この現象は結晶が単結晶冷却筒１３の下端に接近する状態でも生じ」、「この結果、流速の増大により結晶表面および結晶成長界面が冷却され、結晶径が増大し、これを補償するためヒータ熱供給を急増することにより温度バランスが変動し、単結晶の成長および品質に悪影響を及ぼす」という点で「問題があった」ものであること（公報第３欄第３２行ないし第４８行）、そして、「特公昭５７−１５０７９号公報」において提案された「単結晶製造装置」は、「雰囲気ガス（アルゴンガス）の流路を２系統とし、雰囲気ガスの流量を単結晶引き上げ段階に応じて制御して、単結晶引き上げ条件の変動を緩和しようとする」ものであるが、「２つの流入管に導入する雰囲気ガスの流量をそれぞれ制御するため、機構が複雑になる上に、単結晶引き上げ段階に対する流量制御用のプログラムが必要であり、コストが嵩む」ものであること（公報第３欄第４９行ないし第４欄第１３行）、
そしてさらに、「特開平１−１０００８７号公報」に提案された装置は、「アルゴン流を単結晶冷却筒の内部と外部に分岐しただけでは引き上げ初期の制御が難しく有転位化する確立が高かった」こと（公報第４欄第１３行ないし第１６行）、以上の点でいずれも問題があったことから、
「本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、比較的簡単な構造でかつ炉本体内の雰囲気ガスの流れの変動を効果的に抑制できると共に、高品質無転位単結晶を円滑にかつ確実に得ることができる単結晶引上装置を提供」しようというものであり（公報第４欄第１７行ないし第２１行）、前示構成はその解決手段を提示するものである。（公報第４欄第２３行ないし第３７行）
　すなわち、本件発明は、請求項１において、その前提としている要件事項を、従来技術とし、この従来技術に基づく装置における雰囲気ガスの流路設計を、
「単結晶冷却筒の上部に雰囲気ガスの導入管が連結され、かつ単結晶冷却筒の外周部であって炉本体の上部に分岐管の流出口が形成されると共に、導入管と分岐管とが互いに連結されて同一の雰囲気ガス供給源から雰囲気ガスが供給される一方、上記導入管と分岐管のうち少なくとも一方にバルブが設けられ、輻射熱遮蔽体は、分岐管の流出口の下方に、かつ単結晶冷却筒と保温筒との間隙を仕切るようにこれらと離間して配されている」関係に設定することにより、
「引上開始時よりアルゴンガスは輻射熱遮蔽体１２の開口部と係止部に流れ、加熱された上昇気流の抵抗も含めて融液面を整流にてＳｉＯを含む加熱アルゴンガスが吸い出され」、「引上単結晶の上部が輻射熱遮蔽体１２の下端に接近する状態になると、単結晶冷却部内のアルゴンガスの流路抵抗が大きくなり、従って、必然的に導入管よりも分岐管から黒鉛ルツボ外側に供給されるガスの流量が増加し、ＳｉＯを含む加熱されたアルゴンガスが吸い出される量が増大し、再び導入管からのガス流量が増大するが、この変動は係止部に流れるガスに加算されるだけなので大幅に緩和されながらバランスされ」（公報第４欄第３９行ないし第５０行）、これにより、「引上単結晶が輻射熱遮蔽体および単結晶冷却筒に接近し、冷却されていく過程に於いて単結晶冷却筒内を流下する雰囲気ガスの流路抵抗が増大すると、自動的に導入管よりも分岐管から炉本体内に供給される雰囲気ガスの流量が増加するとともに、輻射熱遮蔽体の内部の雰囲気ガスが上端から外部に流出し易くなり、係止部側を流下する雰囲気ガスの流量が増加して、融液面上への雰囲気ガスの流れの変化を抑制することにより、従来装置にくらべて構造が簡単でかつ安価な上に、酸素濃度変化もなく、結晶欠陥も少ない無転位単結晶を円滑にかつ確実に引上成長させることができる」という効果が奏せられるものである。（公報第６欄第２１行ないし第４０行）
２．異議申立人の主張の概要
　異議申立人（千葉県市川市新田５丁目３番４号　森　謙一）の主張の概要は、
　本件特許発明は、甲第１号証ないし甲第３号証から、当業者が容易に発明をすることが出来たものであるから、特許法第２９条第２項の規定によって、特許を受けることが出来ないものであり、この発明の特許は、取り消されるべきものである、
というものである。
３．甲各号証の記載内容
　甲第１号証（特開平１−１０００８６号公報）には、
「チョクラルスキー法によって単結晶を引上げ成長させる単結晶引上装置において、円筒部とこの円筒部の下端に続いて内方に先細りした傾斜筒部とを一体成形した又は分割組み立てたリフレクタ本体と、このリフレクタ本体の円筒部の上端縁に設けられ、かつ保温筒の上部に支持された複数の係止部とを具備したことを特徴とする単結晶引上装置」、が記載されている。（特許請求の範囲）
　甲第２号証（特開平１−１０００８７号公報）には、
「チョクラルスキー法によって単結晶を引き上げ成長させる単結晶引上装置において、筒本体部とこの筒本体部の下端に続いて内方に先細りした傾斜筒部とを一体成形した又は分割組み立てたリフレクタ本体と、このリフレクタ本体の筒本体部の上端外縁に設けられ、かつ保温部の上部に支持された複数の係止部と、上記リフレクタ本体の筒本体部の上端内縁に設けられた円環状カバーとを具備したことを特徴とする単結晶引上装置。」が記載され（特許請求の範囲）、その「炉本体１」内に供給するアルゴンガスについては、「アルゴンガスの流れを冷却筒１２の内部及び外部の二系統とし、かつ、冷却筒１２の内部側にアルゴンガスを供給する供給管から分岐したバイパス管により冷却筒１２の外部側にアルゴンガスを供給するようにすることによって、シリコン融液４の表面部に流れるアルゴンガスの流量及び流速を容易にコントロールでき」るようにしてなる実施の態様が示されている。〔第２頁左下欄〜同頁右下欄、第１図（但し、図面の掲載は省略）〕
　甲第３号証（特公昭５７−１５０７９号公報）には、
「回転軸端に載置される坩堝と、該坩堝を加熱する発熱体と前記坩堝の上方にある前記回転軸と同心で、上下に滑動でき、先端部に種子結晶を保持する回転軸と、該回転軸と同軸な単結晶引上げ管を兼ねる雰囲気ガスの流入管と、該流入管に流量を調整して雰囲気ガスを導入する手段とを有する単結晶製造装置において、前記流入管と同軸な第２の１個又は複数個の流入管と、該第２の流入管に雰囲気ガスを前記導入する手段と、独立に又は連動し該雰囲気ガス流量を調整して導入する手段とを有することを特徴とする単結晶製造装置。」
が記載されている。（特許請求の範囲）
４．対比判断
　本件発明と甲第１号証ないし甲第３号証とを対比すると、本件発明は、前示列挙した特定の従来装置を前提技術とし、これらの前提技術においては、単結晶引上げ操作中に、雰囲気ガスの流路面積に変動が生じること、あるいはガス流速の変動とこの変動により流路に乱れが生じること、あるいは二つの流入管の流量を制御することによる制御システム自体が複雑且つ困難である、等に基づく不都合な点があったことから、このような問題を生じることのない装置を提供しようとするもので、すなわち、炉本体内の雰囲気ガスの流れの変動を効果的に抑制し、高品質無転位単結晶を円滑確実に得ることができる単結晶引上装置を比較的簡単な構造の装置設計により提供しようというものであることは前示摘示のとおりであり、そして、前掲摘示した発明の構成は、前示ねらいを達成するための解決手段を示しているものである。
　対して、甲第１号証ないし甲第３号証は、そのいずれもこれは、本件発明において問題があったものと指摘されているところの従来技術そのものに外ならず、そこには、本件発明が意図している特有なねらいについて、これを窺わせる記載はないし、そのために講じた特有な構成に基づく解決手段についても、これを、窺わせる記載はない。
　してみれば、本件発明は、その特有なねらいとこれを解決するための特有な構成に基づく解決手段について示唆するところのない甲各号証から容易に導き出すことが出来たものである、とすることは出来ない。
　本件発明は、その前提としている従前の技術に対して、特有なねらいとこれに基づく特有な技術思想を有するものであり、また、これにより特有な作用効果を奏するものであること前述したとおりであるが、
異議申立人は、本件発明とその前提従来技術である甲第１号証との間に、ねらいとするところとそれに基づく技術思想に違いがあるにもかかわらず、これを無視し、ただ、両者の違いを、本願発明は、雰囲気ガスの流路設計を、導入管以外にも分岐管に基づいて設定しているのに対して、甲第１号証には、導入管のみによるもので分岐管の設定がない点で、両者は、その構成に差異があるにすぎないものととらえ、しかも両者のこの構成の違いは、甲第２号証ないし甲第３号証に示唆するところであるので、結局、本件発明は、甲第１号証に、甲第２号証ないし甲第３号証を結びつけることによって容易に発明をすることが出来たものである、と主張しているものである。
　確かに、甲第２号証には、「炉本体１内に供給するアルゴンガスの流れを冷却筒１２の内部及び外部の二系統とし、かつ、冷却筒１２の内部側にアルゴンガスを供給する供給管から分岐したバイパス管により冷却筒１２の外部側にアルゴンガスを供給する」態様の雰囲気ガス流路設計が示されているものではある。すなわち、炉内の雰囲気ガスは、「導入管」以外にも「分岐管」による二系統の流路手段によることが示されているものではが、ここに開示された二系統の流路手段は、その中の「導入管」からの「内部側」流路は、冷却筒１２と筒状リフラク９とが、カバー１３によって一体に連結され、これによって、「分岐管」による「外部側」流路に対して気密に遮断されて設計されているものである。
　これに対して、本件発明は、その輻射熱遮蔽体（リフラクタ）は、ルツボの「外周に」離間して「設けられ」ている「保温筒の上部に複数の係止部によって・・・支持され」ていると共に、ルツボの上方に離間して設置されている冷却筒とルツボの外周に離間して設けられている前示保温筒に対しては、「冷却筒と前記保温筒との間隙を仕切るように」かつ「これらと離間して」設置しているものであるから、輻射熱遮蔽体（リフラクタ）と冷却筒との間には、間隙が存在しているものであって、この間隙によって、「内部側」流路と「外部側」流路とが通じている構造に設定されているものである。
　そして、この関係は、甲第１号証も同様である。
　すなわち、流路手段が、カバーによって、「内部側」流路と「外部側」流路が気密に遮断された構造に設計されている甲第２号証と、「内部側」と「外部側」とが相通じて設計されている本件発明、甲第１号証とは、この点で基本的に異なるものであり、甲第２号証をして、本件発明と甲第１号証との差異を示しているものであるとすることは出来ない。
　また、甲第３号証には、雰囲気ガスを、「単結晶引上げ管を兼ねる雰囲気ガスの流入管」とこれに「同軸な第２の・・・流入管」の二系統の流入手段により、単結晶の成長に合わせて、その「流量を」、「独立に又は連動し」て制御することが記載されてはいるが、その開示された装置構造は、冷却筒に相当する「単結晶引上げ管を兼ねる雰囲気ガスの流入管」と「坩堝」とが、互いに離間し、相対しているだけで、その間に、輻射熱遮蔽体はない。
　すなわち、甲第３号証は、輻射熱遮蔽体のない装置であって、そこには、当然のこととして輻射熱遮蔽体によるガスの流路抵抗問題そのものはなく、輻射熱遮蔽体が設置されている本件発明、甲第１号証とは、基本的に異なっているものであり、甲第３号証をして、本件発明と甲第１号証との差異を示しているものであるとすることも出来ない。　以上のとおりであるから、異議申立人の主張する理由と証拠によっては、本件発明の特許は、これを取り消す、とすることができない。
５．むすび
　したがって、本件特許異議申立は、理由あるものとすることが出来ない。
　また、他に本件請求項に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年８月４日（１９９９．８．４）