【事件の表示】
　特許第２７８２４０８号「基板処理装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
特許第２７８２４０８号の特許を維持する。
【理由】
（１）本件発明
　本件特許第２７８２４０８号の請求項１に係る発明（平成５年１１月５日出願、平成１０年５月２２日設定登録。）は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりである。
（２）特許異議の申立ての理由の概要
　特許異議申立人三浦邦彦は、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証（特開平５−１９０６４３号公報）及び甲第２号証（特開昭６０−１４６６０１号公報）に記載された発明に基づいて当業者が容易になし得た発明であり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであって、本件請求項１に係る発明は、取り消すべきものであると主張している。
（３）甲各号証記載の発明
　甲第１号証には、『「【００１８】昇降テーブル１８には、図２及び図３に示すように、第１及び第２の基板保持装置１５、１６の支持手段２２，２３が貫通し、かつ横方向に移動できるように孔１８ａ，１８ｂが形成されている。また、この孔１８ａ，１８ｂは、保持部４５，４６が図２左方の第１基板保持装置１５の姿勢では通過可能な大きさとなっている。昇降テーブル１８の上面には、キャリアＣが載置されたときの位置決めを行うための位置決め部材７０，７１が設けられている。位置決め部材７０，７１の上部は、キャリアＣの挿入を容易にするために面取り７０ａ，７１ａが形成されている。」、「【００２１】基板搬入時は、複数の基板が収納されたキャリアＣが、無人搬送車により搬入搬出部２に搬入される。搬入されたキャリアＣは、キャリア移載ロボット１０によって搬送され、基板移載装置３の昇降テーブル１８上に載置される。このとき、昇降テーブル１８上面には位置決め部材７０，７１が設けられ、しかも位置決め部材７０，７１には面取り７０ａ，７１ａが形成されているので、キャリアＣを容易に位置決めできる。」、「【００２２】キャリアＣが昇降テーブル１８上に載置されると、モータ７９が回転することにより、ボールねじ７８及びボールナット７７によって昇降テーブル１８は下降する。昇降テーブル１８が下降すると、キャリアＣ内に保持されていた基板の下端部が保持部４５に当たる。この状態でさらに昇降テーブル１８が下降すると、基板の下端部は保持部４５の溝４５ａ内に挿入される。」、「【００２３】次にモータ２５，２６を回転させ、回転ロッド３７，３８を９０゜回転させる。これにより、第１及び第２の基板保持装置１５，１６の保持手段２０，２１は９０゜回転し、ともに図２右方に示す姿勢となる。次に移動機構２４のエアシリンダ５５を作動させてプランジャ５６を後退させる。これにより、各リンク部材を介して移動プレート３１，３２は互いに接近する方向に移動する。したがって、保持手段２０，２１は図１に示すように、基板処理装置１の前後方向に延びて配置された状態となり、複数の基板が前後方向に並んだ状態となる。」、「【００２４】次に、基板搬送ロボット６を上昇させた状態で、基板移載装置３上方まで移動させる。そして、基板ロボット６を下降させて、アーム１１により基板の両側方を把持し、上昇させる。これにより、第１及び第２の基板保持装置１５，１６に保持された複数の基板が一括して基板搬送ロボット６側に引き渡される。基板搬送ロボット６は、基板処理槽４上方まで移動し、上昇している基板保持具１２に複数の基板を引き渡す。」、「【００２５】基板保持具１２は基板を保持したまま基板処理槽４内に下降し、この基板処理槽４内で、基板に対してエッチング、洗浄等の各種の表面処理が行われる。また、表面処理が施された基板は、乾燥装置５に搬送され、ここで乾燥が行われる。乾燥の終了した基板は、基板搬送ロボット６によって再び基板移載装置３上方に搬送される。」及び「【００３３】（ｅ）前記実施例では昇降テーブル１８を昇降させたが、基板保持装置１５，１６を昇降させてもよい。」』ことが記載されている。
　したがって、甲第１号証には、「孔１８ａ，１８ｂを有し、複数の基板からなる基板群を起立整列状態で収容する複数のキャリアＣから、該基板群をそれぞれ取り出して整列させて他の処理手段へ搬送する基板処理装置１において、第１及び第２キャリアＣを保持する位置決め部材７０，７１をそれぞれ有する昇降テーブル１８と、位置決め部材７０，７１の下降位置から上昇位置まで昇降可能に設けられ、第１／第２基板群を起立整列状態で保持する保持千段２０，２１を有する第１及び第２基板保持装置１５、１６と、第１及び第２基板保持装置１５、１６を下降位置から上昇位置の間で昇降する昇降駆動装置１９と、昇降駆動装置１９の上昇駆動により第１及び第２基板保持装置１５、１６を介して両基板群を上昇位置で保持した状態にて、両基板群を互いに向き合う方向へ回転ロッド３７，３８の回転により９０゜回転させる。次に両基板群の距離を狭める方向へ移動プレート３１，３２を互いに接近させてスライドさせる回転幅寄せ動作を行ない、第１及び第２基板保持装置１５、１６からその上昇位置で保持させかつ回転ロッド３７，３８と移動プレート３１，３２により回転幅寄せされた両基板群を受け取って搬送する基板搬送ロボット６と、を具備する基板処理装置１。」が記載されていると認める。
　甲第２号証には、「ワークをローディング（アンローディング）するのに、アームの旋回、アームの軸の往復動および主軸チャックの開閉の各動作を、同期連動したカムを使用することにより、ある動作に連動して次の動作を開始せしめ、各動作間の待機時間を少なくでき、全体として短時間で作業を行なうことができて、タクトの短い高速量産加工に対応し得る工作機械のオートローダを提供することを目的とする。（第２頁右上欄第１３行目〜同頁左下欄第１行目）」及び「このようにして、本発明は、アンローディングおよびローディングを、アーム旋回機構、アーム移動機構およびチャック開閉機構により連続して行なうことができ、しかも、これらの機構は、同期して回転するカムにより動作タイミングを決定されるので、各動作間における待機時間を極めて少なくして、短い時間で作業できるように作用する。（第３頁右上欄第１行〜第８行目）」ことが記載されている。
　したがって、甲第２号証には、「ワークをアームの旋回、アームの軸の往復動および主軸チャックの開閉の各動作を、同期連動したカムを使用することにより、ある動作に連動して次の動作を開始せしめ、各動作間の待機時間を少なくでき、全体として短時間で作業を行なうことができて、タクトの短い高速量産加工に対応し得る工作機械のオートローダ。」が記載されていると認める。
（４）本件発明と甲各号証記載の発明との対比判断
　本件請求項１に係る発明と甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明とを対比すると、甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明はいずれも、本件特許発明の必須の構成である、「昇降手段の上昇駆動により第１及び第２基板受け渡し具を介して両基板群を上昇位置で保持した状態にて、両基板群を互いに向き合う方向へ９０゜回転させつつ両基板群の距離を狭める方向へスライドさせる回転幅寄せ動作を行う回転スライド手段」を備えていない。
　そして、本件請求項１に係る発明は、上記構成を備えることにより、「第１及び第２基板受け渡し具により上昇位置にて保持された第１及び第２基板群を回転スライド手段により互いに向き合う方向へ９０゜回転させつつ両基板群の距離を狭める方向へスライドさせることにより、つまり、基板群の回転とスライドを同時に行なうことにより、幅寄せ動作を短時間に行なえ、生産性を向上させることができる。」という明細書記載の顕著な効果を奏すものである。
　したがって、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明から容易に推考しうるものということはできない。
　なお、本件特許公報の段落【００３９】に記載の実施例は、甲３号証に、「尚、前記モーターＭーの駆動と同時に、モーターＭ２を駆動し、スクリューシャフト９を回転すれば、回転軸２ｂは徐々に第１図中矢印（Ａ）に沿って回転軸２ａ方向へ移動し、従って９０度回転した反転台１０ａ，１０ｂ上の２つのキャリアーは端面で接当できる（第４頁左上欄第１２行〜第１７行目）」として記載されていると述べているが、甲３号証は、上記容易に推考できないとした甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明と同様に、本件請求項１に係る発明を取り消すことに足るものではない。
（５）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては本件請求項１に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年６月１０日（１９９９．６．１０）