【事件の表示】
　特許第２６６００３６号「定量充填制御される充填方法の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　本件特許異議の申立てを却下する。
【理由】
（１）手続きの経緯
　本件特許２６６００３６号の請求項１〜５に係る発明は、平成１年１月１８日に出願され、平成９年６月６日にその特許の設定登録がなされ、その後、石田高次より特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１０年１２月２８日に訂正請求がなされ、訂正拒絶理由通知がなされて後、再度の取消理由通知がなされて、その指定期間内である平成１１年９月２日に訂正請求がなされたものである。なお、平成１０年１２月２８日になされた訂正請求は取り下げられた。
（２）訂正の適否についての判断
　（ｉ）訂正の内容
▲１▼発明の名称の訂正
　願書に添付された明細書（以下「特許明細書」という。）中の発明の名称を、「定量充填制御される充填方法」と訂正する。
▲２▼発明の訂正
　特許請求に範囲に記載される発明「【請求項１】流体の充填機における充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置し、定量充填する方法において、充填バルブの閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流大量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力し動作させることを特徴とする定量充填制御される充填方法。
　【請求項２】流体の充填中の実質的充填量を連続して測定し、充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量と、それ以前の充填時における充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量の差を基礎として演算処理し、次回の充填時における充填バルブ動作中の流体流出量の予測値を算出する請求項（１）に記載の定量充填制御される充填方法。
　【請求項３】流体の充填に要する時間を測定し、充填時間一定範囲内となるように充填タンクの内圧をタンク上部空間の気体圧力の調整で行う請求項（１）、（２）記載の定量充填制御される充填方法。
　【請求項４】充填ノズルまで直列に給液バルブと充填タンクと流量計と充填バルブを配置し、それぞれを連結し、かつ該流量計で流体流量を連続して測定し、その結果から次回充填時の充填バルブ開動作中に流出する流体流量値を算出する演算器と、充填タンク液面を検知して給液バルブを動作させる信号を出力し、かつ流量計からの流量信号と前記演算器の算出値とから充填バルブを作動させる信号を出力する制御装置とで構成される定量充填制御される充填装置。
　【請求項５】流体の流量計が質量流量計である請求項（４）に記載の定量充填制御される充填装置。」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、［【請求項１】流体の充填機における充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置し、定量充填する方法において、充填バルブの閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流大量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力し動作させるとともに、流体の充填に要する時間を測定し、充填時間一定範囲内となるように充填タンクの内圧をタンク上部空間の気体圧力の調整で行うことを特徴とする定量充填制御される充填方法。
　【請求項２】流体の充填中の実質的充填量を連続して測定し、充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量と、それ以前の充填時における充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量の差を基礎として演算処理し、次回の充填時における充填バルブ動作中の流体流出量の予測値を算出する請求項（１）に記載の定量充填制御される充填方法。」と訂正する
▲３▼特許明細書第３頁第１〜２行の訂正
　特許明細書第３頁第１〜２行に記載される「定量充填制御される充填方法とその装置」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「定量充填制御される方法」と訂正する。
▲４▼特許明細書第６頁第２行の訂正
　特許明細書第６頁第２行に記載される「定量充填方法とその装置」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「定量充填方法」と訂正する。
▲５▼特許明細書第６頁第９行〜第７頁第１７行の訂正
　特許明細書第６頁第９行〜第７頁第１７行に記載される、「流体の充填機における充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置し、定量充填する方法において、充填バルブの閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流大量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力し動作させることを特徴とする定量充填制御される充填方法であって、該方法における予測手段として、流体の充填中の実質的充填量を連続して測定し、充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量と、それ以前の充填時における充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量の差を基礎として演算処理し、次回の充填時における充填バルブ動作中の流体流出量の予測値を算出し、かつ流体の充填に要する時間を測定し、充填時間一定範囲内となるように充填タンクの内圧をタンク上部空間の気体圧力の調整で行い、充填時間の変動を防止するようにした。
　また、充填ノズルまで直列に給液バルブと充填タンクと流量計と充填バルブを配置し、それぞれを連結し、かつ該流量計で流体流量を連続して測定し、その結果から次回充填時の充填バルブ開動作中に流出する流体流量値を算出する演算器と、充填タンク液面を検知して給液バルブを動作させる信号を出力し、かつ流量計からの流量信号と前記演算器の算出値とから充填バルブを作動させる信号を出力する制御装置とで構成される定量充填制御される充填装置であって、特には流体の流量計が質量流量計である定量充填制御される充填装置である。」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「流体の充填機における充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置し、定量充填する方法において、充填バルブの閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流大量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力し動作させるとともに、流体の充填に要する時間を測定し、充填時間一定範囲内となるように充填タンクの内圧をタンク上部空間の気体圧力の調整で行うことを特徴とする定量充填制御される充填方法であって、該方法における予測手段として、流体の充填中の実質的充填量を連続して測定し、充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量と、それ以前の充填時における充填パルブの閉鎖動作中に流出した流体量の差を基礎として演算処理し、次回の充填時における充填パルブ動作中の流体流出量の予測値を算出するようにした。
　なお、該方法のための充填装置は、充填ノズルまで直列に給液バルブと充填タンクと流量計と充填バルブを配置し、それぞれを連結し、かつ該流量計で流体流量を連続して測定し、その結果から次回充填時の充填バルブ開動作中に流出する流体流量値を算出する演算器と、充填タンク液面を検知して給液バルブを動作させる信号を出力し、かつ流量計からの流量信号と前記演算器の算出値とから充填バルブを作動させる信号を出力する制御装置とで構成され、特に流体の流量計が質量流量計である定量充填制御される充填装置である。」と訂正する。
▲６▼特許明細書第７頁第１９行〜第８頁第１３行の訂正
　特許明細書第７頁第１９行〜第８頁第１３行に記載される、「充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置して定量充填する場合、充填バルブの閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流体量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力して動作させるものであり、その予測手段として、流体の充填中の実質的充填量を連続して測定し、充填バルブの閉鎖動作中に流出する流体量と、それ以前の充填時における充填バルブの閉鎖動作中に流出する流体量の差を基礎として演算処理し、次回の充填時における充填バルブ動作中の流体流出量を予測算出するものである。
　また、充填時間の変動を防止するために、タンク上部空間の気体圧力の調整を行って、充填時間が一定範囲内となるようにする。」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置して定量充填する場合、充填パルブの閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流体量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力して動作させ、充填時間の変動を防止するために、タンク上部空間の気体圧力の調整を行って、充填時間が一定範囲内となるようにするものであり、その予測手段として、流体の充填中の実質的充填量を連続して測定し、充填バルブの閉鎖動作中に流出する流体量と、それ以前の充填時における充填バルブの閉鎖動作中に流出する流体量の差を基礎として演算処理し、次回の充填時における充填バルブ動作中の流体流出量を予測算出するものである。」と訂正する。
（ｉｉ）訂正の目的の適否及び拡張・変更の存否
　訂正事項▲２▼は、実質的に特許明細書の特許請求の範囲の請求項１、２、４、５項に係る発明の削除であって、当該訂正事項は、特許請求の範囲の減縮に該当するものであり、また当該訂正事項は願書に添付した明細書または図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項▲１▼及び▲３▼〜▲６▼は、上記訂正事項▲２▼の特許請求の範囲の減縮に伴う明瞭でない記載の釈明に該当するものである。
　また、上記訂正事項▲１▼〜▲６▼により実質的に特許請求の範囲を拡張または変更するものでもなく、訂正後の特許請求の範囲に記載された発明が出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　（ｉｉｉ）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定により、なお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第２項、同条第３項で準用する第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
（３）特許異議の申立についての判断
　本件特許の請求項１、２、４、５に係る発明は、訂正の結果削除され、特許異議の申立の対象が存在しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年９月６日（１９９９．９．６）
【訂正の要旨】
　本件審判請求の訂正の要旨は、次の（ｉ）〜（ｖｉ）のとおりである。すなわち、
特許請求の範囲の減縮を目的として、
　（ｉ）特許請求の範囲の「【請求項１】流体の充填機における充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置し、定量充填する方法において、充填バルブの閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流大量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力し動作させることを特徴とする定量充填制御される充填方法。
　【請求項２】流体の充填中の実質的充填量を連続して測定し、充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量と、それ以前の充填時における充填パルブの閉鎖動作中に流出した流体量の差を基礎として演算処理し、次回の充填時における充填バルブ動作中の流体流出量の予測値を算出する請求項（１）に記載の定量充填制御される充填方法。
　【請求項３】流体の充填に要する時間を測定し、充填時間一定範囲内となるように充填タンクの内圧をタンク上部空間の気体圧力の調整で行う請求項（１）、（２）記載の定量充填制御される充填方法。
　【請求項４】充填ノズルまで直列に給液バルブと充填タンクと流量計と充填バルブを配置し、それぞれを連結し、かつ該流量計で流体流量を連続して測定し、その結果から次回充填時の充填バルブ開動作中に流出する流体流量値を算出する演算器と、充填タンク液面を検知して給液バルブを動作させる信号を出力し、かつ流量計からの流量信号と前記演算器の算出値とから充填バルブを作動させる信号を出力する制御装置とで構成される定量充填制御される充填装置。
　【請求項５】流体の流量計が質量流量計である請求項（４）に記載の定量充填制御される充填装置。」を、「【請求項１】流体の充填機における充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置し、定量充填する方法において、充填バルブの閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流大量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力し動作させるとともに、流体の充填に要する時間を測定し、充填時間一定範囲内となるように充填タンクの内圧をタンク上部空間の気体圧力の調整で行うことを特徴とする定量充填制御される充填方法。
　【請求項２】流体の充填中の実質的充填量を連続しで測定し、充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量と、それ以前の充填時における充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量の差を基礎として演算処理し、次回の充填時における充填バルブ動作中の流体流出量の予測値を算出する請求項（１）に記載の定量充填制御される充填方法。」と訂正する。
又、上記特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に伴う明りょうでない記載の釈明を目的として、
　（ｉｉ）願書に添付された明細書又は図面（以下「特許明細書」という。）の発明の名称「定量充填制御される充填方法とその装置］を、「定量充填制御される充填方法」と訂正する。
　（ｉｉｉ）同じく特許明細書第３頁第１〜２行（公報第２頁第３欄第２〜３行）の「定量充填制御される充填方法とその装置」を、「定量充填制御される方法」と訂正する。
　（ｉｖ）同じく特許明細書第６頁第２行（公報第２頁第４欄第５行）の「定量填方法とその装置」を、「定量充填方法」と訂正する。
　（ｖ）同じく特許明細書第６頁第９行〜第７頁第１７行（公報第２頁第４欄第１０〜３３行）の「流体の充填機における充填の前に充填タンクと流量計を配置し、定量充填する方法において、充填バルブの閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流大量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力し動作させることを特徴とする定量充填制御される充填方法であって、該方法における予測手段として、流体の充填中の実質的充填量を連続して測定し、充填の閉鎖動作中に流出した流体量と、それ以前の充填時における充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量の差を基礎として演算処理し、次回の充填時における充填バルブ動作中の流体流出量の予測値を算出し、かつ流体の充填に要する時間を測定し、充填時間一定範囲内となるように充填タンクの内圧をタンク上部空間の気体圧力の調整で行い、充填時間の変動を防止するようにした。
　また、充填ノズルまで直列に給液バルブと充填タンクと流量計と充填バルブを配置し、それぞれを連結し、かつ該流量計で流体流量を連続して測定し、その結果から次回充填時の充填バルブ開動作中に流出する流体流量値を算出する演算器と、充填タンク液面を検知して給液を動作させる信号を出力し、かつ流量計からの流量信号と前記演算器の算出値とから充填バルブを作動させる信号を出力する制御装置とで構成される定量充填制御される充填装置であって、特には流体の流量計が質量流量計である定量充填制御される充填装置である。」を、「流体の充填機における充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置し、定量充填する方法において、充填の閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流大量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力し動作させるとともに、流体の充填に要する時間を測定し、充填時間一定範囲内となるように充填タンクの内圧をタンク上部空間の気体圧力の調整で行うことを特徴とする定量充填制御される充填方法であって、該方法における予測手段として、流体の充填中の実質的充填量を連続して測定し、充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量と、それ以前の充填時における充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量の差を基礎として演算処理し、次回の充填時における充填バルブ動作中の流体流出量の予測値を算出するようにした。
　なお、該方法のための充填装置は、充填ノズルまで直列に給液バルブと充填タンクと流量計と充填バルブを配置し、それぞれを連結し、かつ該流量計で流体流量を連続して測定し、その結果から次回充填時の充填バルブ開動作中に流出する流体流量値を算出する演算器と、充填タンク液面を検知して給液バルブを動作させる信号を出力し、かつ流量計からの流量信号と前記演算器の算出値とから充填バルブを作動させる信号を出力する制御装置とで構成され、特に流体の流量計が質量流量計である定量充填制御される充填装置である。」と訂正する。
（ｖｉ）同じく特許明細書第７頁第１９行〜第８頁第１３行（公報第２頁第４欄第３５〜４７行）の「充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置して定量充填する場合、充填バルブの閉鎖信号をの閉鎖動作中に流出する流体量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力して動作させるものであり、その予測手段として、流体の充填中の実質的充填量を連続して測定し、充填バルブの閉鎖動作中に流出する流体量と、それ以前の充填時における充填バルブの閉鎖動作中に流出する流体量の差を基礎として演算処理し、次回の充填時における充填バルブ動作中の流体流出量を予測算出するものである。
　また、充填時間の変動を防止するために、タンク上部空間の気体圧力の調整を行って、充填時間が一定範囲内となるようにする。」を、「充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置して定量充填する場合、充填バルブの閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流体量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力して動作させ、充填時間の変動を防止するために、タンク上部空間の気体圧力の調整を行って、充填時間が一定範囲内となるようにするものであり、その予測手段として、流体の充填中の実質的充填量を連続して測定し、充填バルブの閉鎖動作中に流出する流体量と、それ以前の充填時における充填バルブの閉鎖動作中に流出する流体量の差を基礎として演算処理し、次回の充填時における充填バルブ動作中の流体流出量を予測算出するものである。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
定量充填制御される充填方法
（５７）【特許請求の範囲】
（１）
流体の充填機における充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置し、定量充填する方法において、充填バルブの閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流体量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力し動作させるとともに、流体の充填に要する時間を測定し、充填時間か一定範囲内となるように充填タンクの内圧をタンク上部空間の気体圧力の調整で行うことを特徴とする
（２）
流体の充填中の実質的充填量を連続して測定し、充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量と、それ以前の充填時における充填バルブの閉鎖動作中に流出した流体量の差を基礎として演算処理し、次回の充填時における充填バルブ動作中の流体流出量の予測値を算出する請求項（１）に記載の
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
　本発明は、飲料や医薬品、酒類、ゲル化物等、容器に充填するときの流体の充填機における定量充填制御される充填
方法に
（従来の技術）
　従来、流体の充填機において、流体を定量充填することは、歩留り管理上重要な要因であり、充填ノズルに流体の計量シリンダーを取付け、一定量ごと計量シリンダーを介して充填ノズルから容器に流体を充填する方法が実施されていた。
　さらに、近年、無菌充填方法による流体の充填が増加し、実開昭５８−１３３５９７号の如く、無菌化のための改良がされてきている。
　しかし、シリンダー計量による定量充填装置は、シリンダーの分だけ充填機構が大きくなり、無菌化のための構成が複雑になるため、計量部分を充填タンク内に設けた特開昭６２−１４６１９４号が提案されている。
　しかし、これも少ない計量の時は良いが、大きな充填量を充填する時や並列して複数個の容器に充填を行う時は、充填機構の大型化を避けるため、計量方法として流量計を用いて行うものが採用される。
　流量計を用いるものは、充填ノズルにおける開閉バルブの性能によって充填量か変動し易く、したがって初期充填時は大流量で充填し、規定量目に近づいたとき、バルブを小流量に変化させ定量充填させることを目的とした特開昭５６−１５１６９５号が提案されている。
　この案は、充填機の充填部分をコンパクトに設備できるとともに、規定量目に近い充填を可能としている。
（発明が解決しようとする課題）
　シリンダー計量による定量充填は、複数充填や大流量充填にすると装置構成が大きくなり、かつ充填中の量目の変更が困難であるという問題があり、また無菌充填には駆動部の無菌化が難しいという問題がある。
　また、流量計を使用するものは、従来技術の如く、バルブの開閉動作の間も流体が流れることによる充填量の変動があり、したがってバルブ性能が重要であることと、流体の性質の変更による流体流量の変化や、充填タンクの内圧や液面高さの変動による流量変動等によっても充填量の変動が避けられないため、ノズルの段階的閉鎖制御をしても、一定条件で作動するよう構成されているものは、流体の経時的変化や流体変更に対応できない。
　さらに、流量計で定量を検知してから充填バルブを動作させるまでの僅かな時間も流体は流れ続けるため、定量充填は単に流量計の検知による充填バルブの作動制御では実現できない。
　このように、充填量目を変動させる原因である充填流量の変動要因として、流体物性の変化に起因する配管の圧力損失の変化、充填タンク内のタンク上部空間における気体圧力の変動や、充填タンク内流体の液面高さの変動による流体圧力の変動及び充填バルブ動作時間の変動があげられる。
　また、この要因により、流体の時間当りの流速が変化するため、充填時間も変動させる結果となる。
　したがって、本発明は、特に無菌充填に有益な流量計を使用する定量充填
方法を
（課題を解決するための手段）
　本発明は以上のような目的を達成するため、次のような手段を講ずるものである。
　すなわち、流体の充填機における充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置し、定量充填する方法において、充填バルブの閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流体量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力し動作させる
とともに、流体の充填に要する時間を測定し、充填時間か一定範囲内となるように充填タンクの内圧をタンク上部空間の気体圧力の調整で行い、充填時間の変動を防止するようにした
するようにした。
　
なお、該方法のための充填装置は、
構成され、特に
（作用）
　本発明のものは、充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置して定量充填する場合、充填バルブの閉鎖信号をバルブの閉鎖動作中に流出する流体量を予測して、流量計の流量が定量に達する前に出力して動作させ
、充填時間の変動を防止するために、タンク上部空間の気体圧力の調整を行って、充填時間が一定範囲内となるようにす
（実施例）
　以下、図面に示す実施例にもとづいて説明する。
　図示のものは、充填バルブの前に充填タンクと流量計を配置した充填機構の概略図であって、第１図において、原料はタンク（７）からパイプ（９）の給液バルブ（１）を介して充填タンク（２）に供給され、更にパイプ（１０）の流量計（３）を介して充填バルブ（４）に供給され、パイプ（１１）を通じて容器に原料が充填される。
　（５）は制御装置であって、充填タンク（２）につながるパイプ（１２）の気体バルブ（６）やパイプ（９）中の給液バルブ（１）及びパイプ（１１）中の充填バルブ（４）を制御する。充填タンク（２）の液面制御は、液面センサー（８）の検知で制御装置（５）を介して給液バルブ（１）を開閉動作させることにより行われる。
　また、設定される量目となるように、流量計（３）の値と実質的流体充填量計測値（目標値）から充填バルブ（４）の作動時間を制御する。
　更に又、気体バルブ（６）は、次のようにして制御される。
　すなわち、流量計（３）による充填時間の計測値から気体バルブ（６）を制御するもので、これによって充填タンク上部空間の気体圧力を調整する。
　本発明のものは、流量計（３）により流体の充填中の実質的充填量を連続して測定し、その時の充填バルブ（４）の閉鎖動作中に流出する流体量と、それ以前の充填バルブの閉鎖動作中に流出する流体量の差を基礎として、制御装置（５）の演算器で演算処理して、次回の充填バルブ動作中の流体流出量予測値を算出し、流量計（３）の流量が定量に達する前に、充填バルブ（４）の閉鎖信号を制御装置（５）から出力すると共に、充填タンク（２）液面をセンサー（８）で検知して、給液バルブ（１）を動作させる信号を制御装置（５）から出力する。
　以上のように、制御装置（５）によって給液バルブ（１）、気体バルブ（６）及び充填バルブ（４）を制御して、充填される流体流量の変動を防止し、かつ充填時間を一定となるようにするものである。
　そして、充填操作は制御装置からバルブ開信号か出力されて、流量計で流量を計測すると共に、充填時間が計測されて規定量に達すると、バルブ閉鎖信号が制御装置より出力される。その後、ノズルからの流体の流出か完全に止まるまで、流量計が働き充填時間が計測されるとともに、充填量か算出されて予測値が制御装置で演算され、充填時間が規定内かどうかが判断され、規定時間内でないとき、タンク内圧調整を行う信号がバルブ（６）に伝えられ、更に充填タンク液面高さがそれでよいかどうかが判断されて、給液バルブ（１）に開閉制御信号が制御装置から送られるサイクルか繰り返されて充填か行われるのである。
　充填タンク（２）の流体量の制御は、前述の如く流体液面の検知によって行うか、流体の充填夕ンク内高さの変動を極力防止するため、給液バルブ（１）の給液動作開始液面と給液動作停止液面との差が少ないほど良い。　第２図は、充填時間が最適な範囲にある充填タンク（２）の圧力範囲を示すもので、充填時間が早すぎると流体の飛散や量目変動の要因性が高くなり、充填時間が長くなると製造能力が低下する。
　したがって、充填時間の変動は、充填速度に影響するため一定の範囲内とするのが望ましく、第２図に示すような最良充填圧力の範囲か自然に決定されてくる。
　また、第３図は充填バルブ（４）の開動作中に流れる流体量を示し、閉鎖指示からバルブ動作して完全に閉まるまでに流れる流体量を斜線部分で示す。
　充填時間が長くなることは、流体流量が低下し、充填バルブの閉鎖指示からバルブ閉鎖までの充填遅れ中の流体流出が小さくできて、量目制御がし易く、バルブ閉鎖信号は図上で右へずれ、斜線部分が小さくなる。
　充填時間が早くなることは、流体流量が上昇し、充填遅れ中の流体流出が大きくなり、量目制御がしにくく、バルブ閉鎖信号は図上で左へずれ、かつ斜線部分が増える。
　この理論による充填量と先の理論による充填時間の関係から、充填量を変動最少限にして制御するため、本発明では、バルブの閉鎖動作中に流出する斜線部分の流体量を予測して、流量が定量に達する前に充填バルブ（４）の閉鎖信号を出力するものである。
　なお、流量計は質量流量計、特にマイクロモーション質量流量計を使用すると、これは電圧で流速をはかるものであるため摺動部がなく、したがって無菌保持がし易いものであり、無菌充填には好適である。
　また、気体バルブ（６）の管系には、無菌保持のための無菌フィルターや圧力調整のレギュレーターを設ける。
（発明の効果）
　本発明によれば、次のような効果を奏する。
　▲１▼流体の物性変化による流量変化に対しても、自動的に充填バルブ作動か補正されるため、機器の調整に時間を要することなく、かつ定量性が良い。
　▲２▼充填時間が一定となるように充填タンク内圧力を増減し、タンク内の液面高さの変動や流体の粘度変化による圧力損失の変化を打ち消すため、充填精度か良くなり、かつ規定時間内に規定量の充填が可能となる。
　▲３▼バルブの予測動作が随時量目の測定とバルブの動作中の流出量の算出により調整されるため、流体の経時的粘性変化にも追従した充填が行なえる。
　▲４▼流体変更時の量目調整が自動的に行われ、人為的な機器の調整による切替え時間を削減できる。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明の充填機構概略図、
　第２図は充填時間と充填タンク圧力との関係を示す図、
　第３図は流量と充填時間との関係を示す図である。
　　　　（１）・・・・・給液バルブ
　　　　（２）・・・・・充填タンク
　　　　（３）・・・・・流量計
　　　　（４）・・・・・充填バルブ
　　　　（５）・・・・・制御装置
　　　　（６）・・・・・気体バルブ
　　　　（７）・・・・・原料タンク