【事件の表示】
　特許第２６８１０５５号「ウェーハ移送方法及び装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２６８１０５５号の特許請求の範囲第１項、第３項、第５項ないし第８項に記載された発明についての特許を維持する。
【理由】
（１）手続の経緯
　本件特許第２６８１０５５号発明は、昭和６２年５月１５日（１９８６年５月１６日優先権主張米国）に特許出願され、平成９年８月８日にその特許の設定登録がなされ、その後吉川喜一郎及び高橋学より特許異議の申立てがなされ、平成１１年２月５日付けで取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年８月２３日に訂正請求がなされたものである。
（２）訂正の適否についての判断
ア．訂正の内容
＊訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１における、「１．垂直チャンバ，ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するフアーネス装置に具備したウエーハ移送装置であって、当該ウエーハ移送装置が、ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、前記ボートを支持するための少なくとも１個のボート支持部を有する回転可能な回転式テーブルから成り、前記ボートを前記ボート支持部に支持し、前記回転式テーブルを回転させて、前記ボートを前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で運搬することを特徴とする、ところのウエーハ移送装置。」を、
「１．垂直チャンバ；ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通して前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するファーネス装置に具備したウェーハ移送装置であって、当該ウエーハ移送装置が、ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、回転式テーブルから成り、前記回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウェーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持する、ところのウエーハ移送装置。」と訂正する。
＊訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２を削除する。
＊訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項３における、「３．垂直チャンバ；ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段；前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段；及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウエーハを移送するためのウエーハ移送方法であって、前記カセットの前記スロットと、前記ボートの前記スロットとの間でウエーハを移送する工程；及び前記ウェーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、から成り、前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブルに設けた少なくとも１個のボート支持部に前記ボートを支持し、前記回転式テーブルを回転することによって行われることを特徴とする、ウエーハ移送方法。」を、
「３．垂直チャンバ；ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；ウェーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段；前記ウェーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段；及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウェーハを移送するためのウエーハ移送方法であって、前記カセットの前記スロットと、前記ボートの前記スロットとの間でウエーハを移送する工程；及び前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、から成り、前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる、ところのウエーハ移送方法。」と訂正する。
＊訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の請求項４を削除する。
イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、ウエーハ移送装置において「回転式テーブル」、「ボート」、「ボート支持部」の構成に関し、請求項１における、「前記ウェーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、前記ボートを支持するための少なくとも１個のボート支持部を有する回転可能な回転式テーブルから成り、前記ボートを前記ボート支持部に支持し、前記回転式テーブルを回転させて、前記ボートを前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で運搬することを特徴とする」点を「前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、回転式テーブルから成り、前記回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持する」点に限定し明確にするものであるから、特許請求の範囲の減縮及び不明りょうな記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない（新請求項１は、実施態様項である請求項２の内容を実質的に取り込んだものである）。
　上記訂正事項ｃは、ウエーハ移送方法において「回転式テーブル」、「ボート」、「ボート支持部」の構成に関し、請求項３における、「前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブルに設けた少なくとも１個のボート支持部に前記ボートを支持し、前記回転式テーブルを回転することによって行われることを特徴とする」点を「前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる」点に限定し明確にするものであるから、特許請求の範囲の減縮及び不明りょうな記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない（新請求項３は、実施態様項である請求項４の内容を実質的に取り込んだものである）。
　上記訂正事項ｂ及びｄは、特許請求の範囲の請求項２及び４を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
ウ．独立特許要件の判断
［第３６条第４項違反について］
　特許明細書における「前記ボートを支持するための少なくとも１個のボート支持部を有する回転可能な回転式テーブル」との記載の点は、訂正後の特許請求の範囲の請求項１及び請求項３の記載において、「前記回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持する」点及び「前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる」点が明記されることにより、「テーブル上の異なる位置で１個のボートを支持する構造」であることが明瞭になっている。よって本件特許明細書には不備はない。
［第２９条の２違反について］
（本件発明）
　訂正明細書の本件請求項１及び３に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１及び３に記載された次のとおりのものである。
「１．垂直チャンバ；ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するファーネス装置に具備したウェーハ移送装置であって、当該ウエーハ移送装置が、ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、回転式テーブルから成り、前記回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウェーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持する、ところのウエーハ移送装置。」
「３．垂直チャンバ；ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；ウェーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段；前記ウェーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段；及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウエーハを移送するためのウエーハ移送方法であって、前記カセットの前記スロットと、前記ボートの前記スロットとの間でウエーハを移送する工程；及び前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、から成り、前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる、ところのウエーハ移送方法。」
（先願明細書）
　本件出願日前に出願され本件出願（本件優先権主張日）後に出願公開された特願昭６０−１３５０８６号（特開昭６１−２９１３３５号公報参照）の願書に最初に添附した明細書又は図面（以下先願明細書という）には、半導体移換え装置が第１乃至１７図とともに記載されている。そして先願明細書（公報の第２頁右下欄第１２行〜第１８行参照）には「第１図及び第２図はＣＶＤ装置の下方でウエハをバスケットからカートリッジに移換える状態を示し、第１図は平面図、第２図は正面図である。カートリッジ１は、回動する１対のハンドラの一方のハンドラ１７−１に支承され、バスケット２は、カートリッジ１に対向して４個積重ねられ、支持台４上に載置される。」と記載され、先願明細書（公報の第３頁右上欄第６行〜第１９行参照）には「かくしてウエハを収容したカートリッジ１は、ハンドラ１７−１の回動によって図示しないＣＶＤ装置の挿入孔下に送られ、エレベータテーブル１８によってＣＶＤ装置内に挿入され、所定の処理が施される。未処理のウエハカートリッジをＣＶＤ装置に挿入するに先立って、処理が終了したウエハカートリッジはＣＶＤ装置から脱出、下降し、他方のハンドラ１７−２に支承され、エレベータテーブル１８から離脱して回動し、充分に冷却されてからバスケット２に対向する位置に送られ、前記とは逆の手順によって４個のバスケット２−４、２−３、２−２、２−１に順次処理済みのウエハが移換えられる。」と記載されている。
（対比・判断）
　本件請求項１及び３に係る発明と先願明細書記載の発明とを対比すると、先願明細書記載の発明には、本件請求項１及び３に係る発明の必須の構成要件である、ウエーハ積載位置に位置するボートとカセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段又は前記工程か、回転式テーブルによるウエーハ移送装置又はウエーハ移送方法において、「回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持する」点又は「回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる」とする点について記載されていない。
　したがって、本件請求項１及び３に係る発明が先願明細書に記載された発明と同一発明であると認めることはできない。
　よって、本件発明は特許出願の際独立して特許を受けることができない発明であるとすることはできない。
エ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する特許法第１２６条第２から４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
（３）特許異議の申立てについての判断
ア．申立ての理由の概要
　申立人吉川喜一郎は、証拠として甲第１号証（米国特許第３７４９３８３号明細書）、甲第２号証（特開昭５８−７５８４０号公報）、甲第３号証（特開昭６０−２５８４５９号公報）、甲第４号証（特開昭５９−３９３４１号公報）及び甲第５号証（実願昭５７−３４６９０号（実開昭５８−１３８３３４号）のマイクロフィルムによる全文公開明細書）を提示し、本件請求項１、２の発明は甲第３乃至５号証記載の周知技術を勘案すると甲第１号証或いは甲第２号証に記載の発明と同一であり、請求項３、４の発明は甲第３乃至５号証記載の周知技術を勘案すると甲第１号証記載の発明と同一であり、また請求項５乃至８の発明は甲第１号証及び甲第４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許は特許法第２９条第１項第３号或いは同条第２項の規定に違反してなされたものであり、特許を取り消すべきであると主張している。
　同じく、申立人高橋学は、証拠として甲第１号証（特開昭５９−３９３４１号公報）、甲第２号証（特開昭５８−７５８４０号公報）、甲第３号証（特開昭６０−２５８４５９号公報）、甲第４号証（「電子材料」１９８６年３月号第１１４〜１１６頁）及び甲第５号証（特開昭６１−１４４８２１号公報）を提示し、本件請求項１、２及び３、４の発明は、甲第１号証乃至甲第５号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反し、また本件特許明細書の特許請求の範囲の記載において、「回転式テーブル」は「テーブル上の異なる位置で１個のボートを支持する構造」であるべきところ、「・・・少なくとも１個のボート支持部」と記載されているから本件特許明細書の特許請求の範囲の記載には不備があり同法第３６条第４項違反であるから、特許を取り消すべきであると主張している。
　なお申立人高橋学の提出した甲第２乃至５号証の表示と申立書第２乃至２２頁に記載の甲第２乃至５号証の内容とが不一致のため、申立書第２乃至２２頁に記載のものを甲第２乃至５号証とした。
イ．特許法３６条第４項違反について
　申立人高橋学が本件特許明細書の特許請求の範囲の記載において、「回転式テーブル」は「テーブル上の異なる位置で１個のボートを支持する構造」であるべきところ、「・・・少なくとも１個のボート支持部」とされているから本件特許明細書の特許請求の範囲の記載には不備があると主張する点は、（２）ウ．独立特許要件の判断の［第３６条第４項違反について］の項で検討したとおり、訂正により記載不備は解消している。
ロ．特許法第２９条第１項第３号又は特許法第２９条第２項違反について
（本件発明）
　訂正明細書の本件発明は、特許請求の範囲の請求項１、３及び５乃至８に記載されたとおりのものである。
（引用例）
　申立人吉川喜一郎が提出した甲第１号証には、半導体デバイス製造装置、特に半導体ウエハ上に半導体材料のエピタキシアル層を成長する装置に関し、「この新規な装置は、底部に開口部が形成される加熱チャンバーを有する炉と、製造されるデバイス用の保持台を上昇及び下降する昇降手段と、及び保持台を炉に装填し、且つ保持台を炉から取り出す、昇降手段と関連して協働する装填器具とから構成される。・・・装填器具は、昇降手段の前後に滑動自在のキャリッジ上で回転する、アーム両端部の中間で枢着されるアームから構成される。そのアームは、昇降手段が保持台をアームから、かつ加熱チャンバーの開口部を通して吊り上げできるように、保持台を昇降手段の上に配設するようになっている。」（１欄３０行〜４３行）と記載され、図１及び図２には、２つの炉１２及び１４と、炉への装填及び取り出しをする、炉と関連して協働する装填器具１６から構成される装置１０が示され、図３及び図４には装填器具１６が示され、「装填器具１６は、炉１２と１４との間でレール７０及び７２に沿って水平方向に滑動自在に移動できるように配設されるキャリッジ８２から構成される。細長いアーム８４は、キャリッジ８２から上側へ延びる枢軸８６の回りに水平回転できるように、その反対側両端部の中間で枢着される。」（３欄３０行〜４０行参照。）と記載され、「基板ウエハ３２の保持台３４上の載置を容易にするために、かつ処理されたウエハ３２を非常に高温の保持台３４から取り外すために、保持台３４がその垂直軸の回りに回転できるように、保持台３４をアーム８４の端部上で支持する手段が設けられる。」（３欄４８行〜５２行）と、また、「仕切１２８とテーブル棚１２２との間の空間１３０は、作業者がウエハ３２を保持台３４へ載置し、かつ保持台３４から取り外すのに利用される。」（４欄４２〜４５行）と記載されている。
　同甲第２号証には、「複数の半導体ウエハーを水平に積み重ねたバスケットを、収納し加熱するための縦型加熱炉と加熱処理剤および加熱処理後のバスケットを保管しておくための回転形保管室が設けられ、且つ、上記加熱炉と保管室との間を自動的にバスケットを運搬する機構が併設されたことを特徴とする半導体用加熱処理炉」（特許請求の範囲）に係る発明が記載され、「運搬機構１５（１６の誤記。）はフォークを差し出して、バスケット２０の円台形２１下部に差し込み、持ち上げて１８０°回転する。そうすると、バスケット２０が回転形保管室１６（１７の誤記。）に至り、次にフォークを下げてその位置にバスケット２０を置いてフォークを引き込める。このような動作によって自動的に保管室１７と挿入ステージ１４との間を連絡する運搬機構１６を用いるものである。」（２頁左下欄１６行〜同頁右下欄３行）と記載されている。
　同甲第３号証には、縦型熱処理炉用ウエハー移換装置に関して、該装置は、「ウエハーを所定間隔で整列収容するための第１の収容治具（例えばキャリア）と、上記ウエハーを上記所定間隔と実質的に同一の間隔で整列収容するための互いに平行な収容溝を有する第２の収容治具（例えば石英ボート）と、上記第１の収容治具に収容されている上記ウエハーを上記第２の収容治具に移し換えて上記収容溝に整列配置するためのウエハー移換手段とをそれぞれ具備する」（２頁左上欄１３行〜２０行）と記載され、第１図が示されると共に、「まず例えばボートステーション１２７ｈ上に載置されている石英ボート６７をボート移送機構部５のアーム１４１により縦型拡散炉部４のハウジング１３０の上面１３０ａ上に載置されているボートステーション１３７上に載置する。次にボートローダ１３２の昇降軸１３２ａの回転及び昇降動作により、アーム１３２ｂの先端に取り付けられている吊上げ具１３４をボートステーション１３７上に載置されている石英ボート６７のフック部６７ｋの少し下方に位置させる。次にボートローダ１３２の昇降軸１３２ａを上昇させて吊上げ具１３４を石英ボート６７のフック部６７ｋに引っ掛けることにより石英ボート６７を吊り上げる。次にボートローダ１３２の昇降軸１３２ａを回転させて石英ボート６７を縦型拡散炉１３１の真上に位置させた後、昇降軸１３２ａを下降させて石英ボード６７を縦型拡散炉１３１内に導入する。この後、所定の熱処理を行う。」（１０頁左上欄１６行〜同頁右上欄１３行）と記載されている。
　同甲第４号証には、薄板状被処理物の加熱処理装置が記載され、第１図及び第２図が示されるとともに、「以上において、先ず２５枚のウエハー８…を収納した左側のカセット９を若干降下せしめ、カセット９に収納されているウエハー８…のうち最下段に位置するウエハーを無端ベルト１４上に載せる。するとウエハー８は無端ベルト１４によって昇降部材１７上まで送り出される。このときリミットスイッチによってシリンダユニット１６が作動し、昇降部材１７が上昇し、無端ベルト２０によってウエハー８が昇降部材１７の先端部まで搬送される。そしてウエハー８が昇降部材１７の先端部までくるとリミットスイッチにより無端ベルト２０の駆動が停止し、昇降部材１７がもとの位置まで下降する。すると、ウエハー８はアーム部材２１，２１の先端部に乗り移る。次いでアーム部材２１，２１はウエハー保持体２８に向って移動し、ウエハーを保持体２８の柱２９に形成した溝部３１に係止せしめる。」（２頁右下欄１４行〜３頁左上欄１１行）と記載されている。
　同甲第５号証には、「ウエハ上にシリコン膜又はシリコン窒化膜等の絶縁被膜を形成させる減圧ＣＶＤ装置のウエハ給材機構であって、予めカセットキヤリヤに収容した複数の該ウエハをウエハホルダーに積みかえ、該ホルダーは上下に移動するリフト機構と、回転機構を備えた前記減圧ＣＶＤ装置のエンドキヤップに自動的に配設されてなることを特徴とするウエハ自動給材機構」（実用新案登録請求の範囲）か記載されている。
　申立人高橋学の提示した甲第１号証、甲第２号証及び甲第３号証は、申立人吉川喜一郎が提示した甲第４号証、甲第２号証及び甲第３号証とそれぞれ同一のものであり上記に記載のとおりの発明が記載されている。
　申立人高橋学の提示した甲第４号証の第２図には、ケミカルドライエッチング装置ＣＤＥ−ＶＩＩＩの搬送系の図が示され、「ウェハの入ったカセットをロード部にセットしスタートボタンを押すと、ウェハは専用カセットに移し替えられる。ロボットは引き続きアンロード側の空のカセットをロード側に運び、次のウェハが移し替えられる。一方エッチングの終了したウェハは専用カセットごとアンロード部に運ばれ、そこで通常のカセットに移し替えられる。移し替えなどの一連の搬送動作は、ほとんどエッチング中に行われるためロスタイムが少ない。」（１１５頁右欄１８行〜２６行）と記載されている。
　同甲第５号証には、従型熱処理炉用ウエハ移換装置が記載されている。
なお同号証は、本件優先権主張日以降の昭和６１年７月２日に公知になった文献であり、本件発明の進歩性を判断する際の証拠としては採用できない。
（対比・判断）
［請求項１に係る発明について］
　本件請求項１に係る発明と各申立人の提示した甲号各証記載の発明とを対比すると、いずれの証拠にも、本件請求項１に係る発明の必須の構成要件である、ウエーハ積載位置に位置するボートとカセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段又は前記工程が、回転式テーブルから成るウエーハ移送装置において、「回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウェーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持する」点が記載乃至示唆されていないから、本件請求項１に係る発明が申立人吉川喜一郎の提示した甲第１或いは第２号証に記載された発明であるとも、また申立人高橋学の提示した甲第１乃至第４号証に記載の発明から当業者が容易になし得たものとも認められない。
［請求項３に係る発明について］
　本件請求項３に係る発明と各申立人の提示した甲号各証記載の発明とを対比すると、いずれの証拠にも、本件請求項３に係る発明の必須の構成要件である、ウエーハ積載位置に位置するボートとカセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記工程が、回転式テーブルによるウエーハ移送方法において、「回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウェーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる」点か記載乃至示唆されていないから、本件請求項３に係る発明が申立人吉川喜一郎の提示した甲第１号証に記載された発明であるとも、また申立人高橋学の提示した甲第１乃至第４号証に記載の発明から当業者が容易になし得たものとも認められない。
「請求項５及び請求項６に係る発明について］
　請求項５及び請求項６に係る発明と申立人吉川喜一郎の提示した甲第１号証及び甲第４号証記載の発明とを対比すると、同甲第１号証及び甲第４号証記載の発明には、請求項５及び請求項６に係る発明の必須の構成要件である、ウエーハ移送装置のウエーハ積載位置に位置するボートとカセットとの間でウエーハを移送するための手段が
「（１）円弧状に回動可能で半径方向に移動可能な、ウエーハを支持するためのパドル、（２）前記カセット或いは前記ボートのスロットにあるウェーハを支持した前記パドルを半径方向に移動して、前記カセット或いは前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の半径方向のズレを検出するための手段、
（３）前記ウエーハを支持した前記パドルを左右に回動し、前記パドル上に支持した前記ウエーハ周縁の２カ所の位置を感知して、予めわかっている前記パドルの回転方向の中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の回転方向のズレを検出するための手段、及び（４）前記半径方向のズレ及び前記回転方向のズレを補償して、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置を前記ボート或いは前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの実際の中心位置を予測中心位置に一致させるように、前記ウエーハを支持した前記パドルを前記ボート或いは前記カセットの前記スロットヘと移動させるための制御手段」の点が記載乃至示唆されていない。
　そして請求項５及び請求項６に係る発明は、上記の点により明細書記載の作用効果を奏するものと認められる。
　したがって、請求項５及び請求項６に係る発明は、申立人吉川喜一郎の提示した甲第１号証及び甲第４号証記載の発明から当業者が容易になし得たものとは認められない。
「請求項７及び請求項８に係る発明について］
　請求項７及び請求項８に係る発明と申立人吉川喜一郎の提示した甲第１号証及び甲第４号証記載の発明とを対比すると、同甲第１号証及び甲第４号証記載の発明には、請求項７及び請求項８に係る発明の必須の構成要件である、ウエーハ移送方法におけるウエーハ積載位置に位置するボートとカセットとの間でウエーハを移送するための工程が「（１）カセット或いはボートのスロットにあるウエーハをパドルで支持し、前記パドルを半径方向に移動して、前記カセット或いは前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の半径方向のズレを検出する工程、（２）前記ウエーハを支持した前記パドルを左右に回動し、前記パドル上に支持した前記ウエーハ周縁の２カ所の位置を感知して、予めわかっている前記パドルの回転方向の中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の回転方向のズレを検出する工程、及び（３）前記半径方向のズレ及び前記回転方向のズレを補償して、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置を前記ボート或いは前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置に一致させるように、前記ウエーハを支持した前記パドルを前記ボート或いは前記カセットの前記スロットヘと移動させる工程」の点が記載乃至示唆されていない。
　そして請求項７及び請求項８に係る発明は、上記の点により明細書記載の作用効果を奏するものと認められる。
　したがって、請求項７及び請求項８に係る発明は、申立人吉川喜一郎の提示した甲第１号証及び甲第４号証記載の発明から当業者が容易になし得たものとは認められない。
　また、他に本件特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１０月２８日（１９９９．１０．２８）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
＊訂正事項ａ
　特許請求の範囲の減縮及び不明りょうな記載の釈明を目的として、特許請求の範囲の請求項１を「１．垂直チャンバ；ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するファーネス装置に具備したウエーハ移送装置であって、当該ウエーハ移送装置が、ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、回転式テーブルから成り、前記回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持する、ところのウェーハ移送装置。」と訂正する。
＊訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項２を削除する。
＊訂正事項ｃ
特許請求の範囲の減縮及び不明りょうな記載の釈明を目的として、特許請求の範囲の請求項３を「３．垂直チャンバ；ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段；前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段；及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウエーハを移送するためのウエーハ移送方法であって、前記カセットの前記スロットと、前記ボートの前記スロットとの間でウエーハを移送する工程；及び前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、から成り、前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる、ところのウエーハ移送方法。」と訂正する。
＊訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項４を削除する。
（５４）【発明の名称】
ウエーハ移送方法及び装置
（５７）【特許請求の範囲】
　１．垂直チャンバ；ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンハの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するファーネス装置に具備したウエーハ移送装置であって、
　当該ウエーハ移送装置が、
　ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、
　前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、
　前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための前記手段が、回転式テーブルから成り、
　前記回転式テーブルが、前記回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持する、ところのウエーハ移送装置。
３．垂直チャンバ；ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段；前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段；及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウエーハを移送するためのウエーハ移送方法であって、
　前記カセットの前記スロットと、前記ボートの前記スロットとの間でウエーハを移送する工程；及び
　前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、
から成り、
　前記ボートを運搬する前記工程が、回転式テーブル上に設けた第１の位置に支持した第１の前記ボートが前記ウエーハ積載位置にあるとき、前記第１の前記ボート内にウエーハを積載し又は前記第１の前記ボートからウエーハを取り出し、一方、前記回転式テーブル上に設けた第２の位置に支持した第２の前記ボートが、前記チャンバ側ボート位置にあって、前記回転式テーブルの前記第２の位置から取り外されて前記昇降器手段によって前記垂直チャンバの内部へ上昇され又は前記垂直チャンバから前記昇降器手段によって下降された前記ボートを前記回転式テーブルの前記第２の位置で支持するように、前記第１の位置で前記第１の前記ボート、前記第２の位置で前記第２の前記ボートを少なくとも支持することによって行われる、
ところのウエーハ移送方法。
５．垂直チャンバ；ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するファーネス装置に具備したウエーハ移送装置であって、
　当該ウエーハ移送装置が、
　ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、
　前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、
　前記ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための前記手段が：
　前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置とが予めわかっており、
　（１）円弧状に回動可能で半径方向に移動可能な、ウエーハを支持するためのパドル、
　（２）前記カセットの前記スロットにあるウエーハを支持した前記パドルを半径方向に移動して、前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の半径方向のズレを検出するための手段、
　（３）前記ウエーハを支持した前記パドルを左右に回動し、前記パドル上に支持した前記ウエーハ周縁の２カ所の位置を感知して、予めわかっている前記パドルの回転方向の中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の回転方向のズレを検出するための手段、及び
　（４）前記半径方向のズレ及び前記回転方向のズレを補償して、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置を前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置に一致させるように、前記ウエーハを支持した前記パドルを前記ボートの前記スロットヘと移動させるための制御手段、
から成る、
ところのウエーハ移送装置。
６．垂直チャンバ；ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；及びチャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段を有するファーネス装置に具備したウエーハ移送装置であって、
　当該ウエーハ移送装置が、
　ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段と、
　前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段とから成り、
　前記ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための前記手段が：
　前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置とが予めわかっており、
　（１）円弧状に回動可能で半径方向に移動可能な、ウエーハを支持するためのパドル、
　（２）前記ボートの前記スロットにあるウエーハを支持した前記パドルを半径方向に移動して、前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の半径方向のズレを検出するための手段、
　（３）前記ウエーハを支持した前記パドルを左右に回動し、前記パドル上に支持した前記ウエーハ周縁の２カ所の位置を感知して、予めわかっている前記パドルの回転方向の中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の回転方向のズレを検出するための手段、及び
　（４）前記半径方向のズレ及び前記回転方向のズレを補償して、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置を前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置に一致させるように、前記ウエーハを支持した前記パドルを前記カセットの前記スロットヘと移動させるための制御手段、
から成る、
ところのウエーハ移送装置。
７．垂直チャンバ；ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段；前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段；及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウエーハを移送するためのウエーハ移送方法であって、
　前記カセットと前記ウエーハ積載位置に位置する前記ボートとの間でウエーハを移送する工程；及び
　前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、
から成り、
　前記カセットと前記ウエーハ積載位置に位置する前記ボートとの間でウエーハを移送する前記工程が：
　前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置とが予めわかっており、
　（１）前記カセットの前記スロットにあるウエーハをパドルで支持し、前記パドルを半径方向に移動して、前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の半径方向のズレを検出する工程、
　（２）前記ウエーハを支持した前記パドルを左右に回動し、前記パドル上に支持した前記ウエーハ周縁の２カ所の位置を感知して、予めわかっている前記パドルの回転方向の中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の回転方向のズレを検出する工程、及び
　（３）前記半径方向のズレ及び前記回転方向のズレを補償して、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置を前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置に一致させるように、前記ウエーハを支持した前記パドルを前記ボートヘと移動させる工程、
から成る、
ところのウエーハ移送方法。
８．垂直チャンバ；ウエーハを保持するためのスロットを有するカセット；前記垂直チャンバで処理される多数のウエーハを保持するためのスロットを有するボートであって、前記垂直チャンバの下方端を通じて前記垂直チャンバの内部及び外部へ出し入れできる形状を有するボート；ウエーハ積載位置に位置する前記ボートと前記カセットとの間でウエーハを移送するための手段；前記ウエーハ積載位置とチャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬するための手段；及び前記チャンバ側ボート位置に位置した前記ボートを前記垂直チャンバの内部へと上昇し、前記ボートを前記垂直チャンバの内部から下降させるための昇降器手段、から成るファーネス装置において、ウエーハを移送するための方法であって、
　前記カセットと前記ウエーハ積載位置に位置する前ボートとの間でウエーハを移送する工程；及び
　前記ウエーハ積載位置と前記チャンバ側ボート位置との間で前記ボートを運搬する工程、
から成り、
　前記カセットと前記ウエーハ積載位置に位置する前記ボートとの間でウエーハを移送する前記工程が：
　前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置とが予めわかっており、
　（１）前記ボートの前記スロットにあるウエーハをパドルで支持し、前記パドルを半径方向に移動して、前記ボートの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の半径方向のズレを検出する工程、
　（２）前記ウエーハを支持した前記パドルを左右に回動し、前記パドル上に支持した前記ウエーハ周縁の２カ所の位置を感知して、予めわかっている前記パドルの回転方向の中心位置と、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置との間の回転方向のズレを検出する工程、及び
　（３）前記半径方向のズレ及び前記回転方向のズレを補償して、前記パドルに支持した前記ウエーハの実際の中心位置を前記カセットの前記スロットにおけるウエーハの予測中心位置に一致させるように、前記ウエーハを支持した前記パドルを前記カセットの前記スロットヘと移動させる工程、
から成る、
ところのウエーハ移送方法。
【発明の詳細な説明】
発明の背景
　本発明は、ウエーハの加熱及び／又は処理用ファーネス（ｆｕｒｎａｃｅ）装置、特に、ファーネス装置で使用される、ウエーハを収容するためのカセットと、ウエーハ運搬用ボートとの間で半導体製造に使用されるウエーハを移送するためのウエーハ移送方法及び装置に関する。
　本発明はまた、垂直型ファーネスの内外部に出し入れされる、ウエーハを積載したボートの移送方法及び装置に関する。
　ウエーハは、比較的壊れやすい基板材料（例えば、シリコン）から成る。ファーネスの加熱及び／又は処理に用いるチャンバの内部でウエーハを支持するためのボートも、通常、比較的壊れやすい材料（例えば、石英）から成る。また、ウエーハ及びボート上のコーティングは、非常に壊れやすく、容易に破損する。よって、これら材料は、カセットとボートとの間でウエーハを移送する過程でカセット又はボートにウエーハのエッジが衝突してしまったとき、欠損したり剥離する。
　ボートとカセットとの間でのウエーハの移送は、ウエーハのエッジとカセット又はボートとの間での欠損や剥離の原因となる接触を回避するために高い精度で行なわれなければならない。
　上述のような接触があったり、いずれの材料がウエーハ又はボートから欠損しても、ウエーハ上の電気回路は損傷を受け得る。この回路は、ともに密に集積され、超小型の伝導性の配線又は経路を有し、シリコン、石英又はコーティングの粒子のようなあらゆる異物を許容できない。ボートに挿入され、ファーネスで加熱されるウエーハは、カセットのスロットに積載されてファーネス挿入装置に供給される。ウエーハは、ファーネスの加熱チャンバ内にボートを配置する前にカセットからボートへ移送され、ウエーハは、ファーネス内で加熱及び／又は処理サイクルを受けた後に、ボートから取り出されカセットへ戻される。
　カセットとボートとの間でウエーハを移送する場合、手動を介在させることなく清潔な環境内で動作できる自動機構によって移送を行うことが望ましい。
　また、通常、各処理サイクルにはかなりの時間が必要とされるため、１つのボートでウエーハを保持した多数のカセットを取扱うことのできるほど大型であることが一般に望ましい。１度に多くのウエーハを処理することは、生産速度を高める。非常に多くのウエーハを多数の別々のカセットから１つのボート内へ入れることを可能にするためには、挿入機構は、送り元（カセット又はボート）からウエーハを拾い上げ、送り先（ボート又はカセット）ヘウエーハを移送する過程で、円弧状に垂直かつ半径方向にウエーハを移動させることができなければならない。
　このため、ウエーハの移送機構は、精密な構成を有し、精密に動作しなければならない。
　装置に固有の寸法許容誤差から生じるウエーハ中心の予測位置又は校正位置からの実際のウエーハ中心の位置の変化又は差を調節することもまた、装置は可能でなけれはならない。ウエーハ中心の変化又は「ずれ」は、計測されて有効に補正されなければならず、これにより、ウエーハとボート及びカセットとの間で起こり得る上述のようなエッジの接触が移送動作中に除かれるべきである。
発明の概要
　本発明の第１の目的は、ボート又はカセットとウエーハのエッジとが全く接触せずにウエーハ移送機構全体にわたってウエーハを移動させることである。
　本発明の第２の目的は、移送される様々な外径をもつウエーハに起因する一貫しないウエーハの取扱いによる影響を取り除くことである。この目的は、装置内の送り元と送り先との間でのウエーハの移送経路の間にウエーハの円弧にわたる両エッジの境界を検査することによって達成される。ウエーハの外径の変化による影響は、ウエーハを保持するパドルの中心に関するウエーハの中心の実際の「ずれ」を測定することによってなくなり、パドルはこの測定された「ずれ」を補償するために必要な横方向量（又は角回転）だけ位置を変えられる。これは、送り先ヘウエーハを連続的に移送するのに必要とされる真の中心位置上に、パドルではなくウエーハを配置する。
　装置の種類やウエーハの直径が様々であるため、機構的な変位誤差がパドルで拾い上げたときに生じ得る。パドルの中心に対するウエーハの中心は、実際の「ずれ」を測定することによって決定できる。パドルは、この測定／校正（ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ）の「ずれ」を補償するために必要な横方向量（又は角回転）だけ位置を変える。これは、ウエーハを拾い上げている間に発生する全ての誤差をなくし、非常に正確にウエーハを送り出すための許容誤差を装置が維持できる。これが、本発明の重要な目的である。
　本発明の第３の目的は、一方のボートがウエーハ積載位置でウエーハを受け、他方のボートが垂直チャンバ側ボート位置でボートを受け取るか又は垂直チャンバ内に上昇されるように、ボートを運搬するための手段（ボート交換機構）を提供することである。この目的は、回転テーブルを使用することによって達成される。
　本発明の特定的な実施例では、ウエーハ加熱及び／又は処理用のファーネス装置が、ウエーハ移送機構付近に多数のカセット及びボートを配置するように構成されるウエーハ移送モジュールから成る。カセットは、カセット内の個々のスロットに個々のウエーハを保持し、ボートは、ボートが処理チャンバに入れられるときに、処理されるウエーハを保持するための多数のスロットを有する。
　ボートは、ウエーハがカセットのスロットとボートのスロットとの間で移送される間、ウエーハ積載位置の真上で保持される。ウエーハ移送機構は、送り元（カセット又はボート）で個々のウエーハを拾い上げるパドルを有し、送り先（ボート又はカセット）ヘウエーハを運搬する。ウエーハは、上面に開口を有するパドル上に真空装置によって保持される。パドル上面の開口は、ウエーハの下面で覆われるか又は封じられる。パドルは垂直方向に移動して、ウエーハを持上げたり、配置したりできる。また、カセット内外及びボート内外へと半径方向に移動できる。パドルはまた、移送行程において円弧状に移動できる。
　ウエーハ移送機構は、それぞれ垂直方向、半径方向及び回転方向にパドルを移動させるための垂直、半径方向及び回転モータ駆動部を含む。
　制御装置が、この垂直、半径方向及び回転モータの動作を制御する。
　ウエーハ移送機構は、パドルの半径方向の移動量を検出するための半径方向センサを含む。その移動は、カセット又はボートからウエーハを引き出す工程に含まれる。
　パドルの真空装置は、上述のようなパドル上でのウエーハの保持の他に、ボート又はカセット内のスロットにあるウエーハの垂直位置を検出するための垂直方向センサ信号を与える。
　また、θセンサが、パドル上に保持したウエーハの中心に対するパドルの中心のあらゆる「ずれ」（ｏｆｆｓｅｔ）の量の検出及び測定のために使用される。
　３つのセンサが制御装置と連動して、各カセットのスロット及び各ボートのスロットにおけるウエーハの予測中心を（３座標系で行なわれる校正手順によって）確立する。
　θセンサはまた、制御装置と連動して、ウエーハの実際の移送中に生じるようなウエーハの中心に対するパドルの中心のあらゆる横方向の「ずれ」を検出し、補償する。制御装置はこの「ずれ」を解消するために必要な回転量だけ横方向にパドルの位置を変え、これにより、各ウエーハは、送り先ヘウエーハを連続して移送するために要求される真の中心の位置上で、パドルではなくウエーハの実際の中心をもつスロット位置へ送られる。従って、ウエーハは、ウエーハのエッジとスロットのエッジとの間に所望の間隔をもったスロット内に入る。
　「ずれ」の量は、パドル上の各ウエーハの２つの向き合うエッジを検査することによって測定される。
　２つのエッジの位置をみつけることで、ウエーハ移送機構がパドルの未修正位置に関してではなく移送機構でのウエーハの実際の位置に関してウエーハを移動させるができる。
　これは、ウエーハの側部エッジの位置におけるウエーハ移送装置に固有の大きな変化も有効になくすことができる。
　パドル上にウエーハの真の中心を位置することによって、ウエーハ移送装置は、送り先の構造とウエーハのエッジとを全く接触させずに、高精度でその送り先に各ウエーハを挿入することができる。
　上述の特徴を組み入れ且つ上述のように機能するウエーハ移送装置及び方法は、本発明の他の特定の目的を成す。
　本発明の他の目的は、以下の説明及び特許請求の範囲から明らかになり、図面で説明される。図面は、例として本発明の好適実施例及びその本質並びにこれらの本質を適用するため意図される最良の形態と現在考えられるものを示す。同一又は均等の本質を実施する本発明の他の実施例が用いられてもよく、構造上の変更が本発明及び特許請求の範囲を逸脱することなく当業者によって所望されるように行なわれ得る。
好適実施例の説明
　本発明の実施例に従って構成されるファーネス装置が、第１図に符号２１で示される。
　ファーネス装置２１は、垂直ファーネス２３、ボート交換ユニット２５、カセットホルダ装置２７、ウエーハ移送モジュール機構２９、及び制御装置３１から成る。
　ウエーハ移送モジュール機構２９の構成の詳細を第２図に示す。
　ウエーハ移送モジュール機構は、パドル３３を含む。パドル３３は、以下で詳説さるように、カセット３７内のスロットとボート３９内のスロットとの間でウエーハを移送する過程でウエーハ３５を拾い上げ、保持するために使用される。
　このような移送の過程でウエーハ３５を拾い上げ、保持する場合、パドル３３は、第１図でそれぞれＺ、Ｒ及びθの文字で示す垂直（Ｚ）方向、半径（Ｒ）方向及び回転（θ）方向に移動できる。
　ウエーハ移送モジュール機構２９は、カセット３７からボート３９へ、又は、ボート３９からカセット３７への両方向にウエーハを移送するために使用される。つまり、垂直ファーネス２３内で加熱されるべきウエーハがカセットからボートへ移送され、このウエーハとともにボートが運ばれる。また、垂直ファーネス２３内で加熱及び／又は処理サイクルを受けたウエーハをボート３９からカセット３７へと移送する。
　第１図では、ボート３９が、ウエーハ積載位置上に示されている。支柱４０上のボート３９は、回転式テーブル４１によってこのウエーハ積載位置に支持されている。この回転式テーブルは、駆動モータ４３、及びそれに連結した滑車及び駆動ベルトによって回転させることができ、（第１図で太い矢印によって示すように）１８０度だけ回転してウエーハを積載したボート３９を垂直チャンバ２３の直下のチャンバ側ボート位置４３へ移送する。
　昇降器４５が、リフトアーム４７を含む。このリフトアーム４７が、チャンバ側ボート位置４３でボート３９を支持する支柱の下方フランジ４９と係合し、第１図に示するように、垂直チャンバ２３の下方端へとボート３９を上昇させる。昇降器４５は、昇降アーム４７を上下移動させるための昇降器駆動モータ５１及び回転可能な昇降ねじ５３を含む。
　垂直チャンバ２３は、第１図に示す実施例では、垂直軸線方向にのびたほぼ管状の部材５５内に形成された容器から成る。この部材５５は、第１図に示す実施例では、石英から成る。
　チャンバ包囲部５７が、容器、及び容器内でボート３９のスロットに保持されているウエーハ３５を加熱する。
　加熱が終了すると、ボート３９が、垂直チャンバ２３からチャンバ側ボート位置４３の回転式テーブル４１へと昇降器４５によって下降される。
　以上のような回転式テーブル４１から成るボート交換機構２５は、１つのボート３９が垂直チャンバ２３内で加熱されている間に別のボート３９ではウエーハ３５を積載したり、取り出したりできる、という連続的な動作を可能にする。
　本発明の特定の実施例においても、ボート３９は、石英から成る。
　上述のとおり、石英及び、石英表面のコーティング又は蒸着物が、ウエーハ３５のエッジと衝突したとき、それは容易に欠損したり、剥離する。また、シリコンウエーハ及びそのコーティングも、ウエーハのエッジがボート又はカセットと衝突したとき、容易に破損する。
　ウエーハ３５上に形成される電子回路の小型化及び高精度化に際し、発生する異物（例えば、石英、シリコン又はコーティングの微粒子）により、良好な回路を所望の生産量だけ得ようとすることが困難である、という問題がある。このことから、このような微粒子の発生を防止しなければならない。
　ウエーハ３５のエッジとカセット又は石英製ボート３９内のウエーハ支持スロットの側部との間の接触を無くすことは、カセット３７とボート３９との間でのウエーハの移送を行う場合に伴う装置の許容誤差に対して重要な問題である。この許容誤差は、特定の送り元にあるウエーハの実際の中心がその特定の送り元でのウエーハの予測又は測定した中心から「ずれ」るという結果を生じることがある。この「ずれ」の量は、「ずれ」が検出されてそのウエーハをその送り元からその送り先へ移送する行程でパドルの位置を適切に調節することによって有効に解消されなければ、ウエーハのエッジが送り先のエッジに衝突してしまう。
　上述のとおり、パドル３３は、各ウエーハの移送のため３座標方向に移動可能である。
　第１図に示すように、垂直チャンバ２３内で加熱を行う以前、ボート３９に積載されるウエーハ３５は、カセット保持装置２７の多数のカセット３７内に収容されている。カセット３７の各々は、カセット支持棚６１上に支持される。多数の棚６１が、棒６３によって支持される。棒６３の各々は、駆動機構６５によって（第１図で太い矢印によって図示するように）所定の角度だけ回転される。これにより、カセット３７が、カセット保持装置２７の内外へ容易に出し入れできる。
　カセット３７の各々は、第１図に示すように、カセット内の個々のスロットに多数のウエーハ３５を保持することができる。カセットのスロットは垂直方向に整列し、スロットの間隔の大きさの許容誤差は非常に小さいものであるが、特定のカセット３７内の個々のウエーハの予測位置を校正する場合、例えば最上部にあるスロットのような、単一のスロットの単一のカセットの中心位置を決定することは十分に可能である。
　ウエーハ３５は、後側に平坦面を有するカセットに挿入された後、カセット３７がカセット保持装置２７内に入れられる。
　石英製ボート３９は、図示のとおり、４本の石英棒７１を有する。変形的に、石英製ボートが、４本以上の棒を有してもよい。第４図に示すとおり、各々の棒７１には、ウエーハ３５を受け取って保持するための多数のスロット７３が垂直方向に間隔をあけて形成されている。
　ウエーハ３５をスロット７３に挿入する場合、ウエーハは、ウエーハ３５のエッジとスロット７３の側部との間で接触せずにスロット内に移動されなければならない。このため、ウエーハは、適切な垂直方向の高さＺ及び半径方向距離Ｒで挿入されなければならず、パドル３３の半径方向の移動Ｒの方向でウエーハをボート内に入れるとき、バトル３３上にあるウエーハ３５の実際の中心が、ウエーハの所望の中心と実質的に直線的に整合しなければならない。
　ウエーハ３５がスロット７３内に挿入されると、ウエーハは、スロットの下方面がウエーハ３５の下側と係合、支持するまで、ゆっくりと下げられる。
　ボート３９のスロット７３の垂直方向の配列とスロット同士の間隔は、比較的小さい許容誤差に維持される。しかし、個々のボートはスロットの位置で幾らか変化したり、支柱又は回転式テーブル上のボートの位置はボートが取り付けられ又は交換されるとき変化したり、また、ボートが受ける加熱及び冷却サイクルのためボートが幾らかの焼結ひずみを受けることがあり、スロット７３の位置を校正する場合、最上部のスロット、ボートの中間部付近のスロット、及び最下部のスロットの位置を校正することが望ましい。
　第３図は、ボート３９の最上部、中間部及び最下部のスロットでのウエーハの中心位置の校正について示す。ボート内の他のスロットの位置は、挿間（ｉｎｔｅｒｐｏｌａｔｉｏｎ）によって決定される。
　次に、第２図を参照して、ウエーハ移送ジュール機構２９の構成及び動作態様について説明する。
　真空ライン８１がパドル３３及びパドル３３の上面にあるポート８３に接続され、パドル３３がウエーハ３５の下面に係合すると、ウエーハ３５がポート８３に吸引されてパドル３３上に確実に保持される。また、この吸引が作用する点は、ある特定位置でウエーハの垂直方向の位置の指示を与え、この情報は、第１図で説明した垂直方向センサの情報として制御装置３１に供給される。制御装置では、この信号情報に選択した増分が加えられ、この位置ヘウエーハを逆に挿入するときに使用される垂直方向のレベルの基準を生成する。このことから、ウエーハに適した最下部及び最上部の間隙をもったスロット構造を与えることができる。
　レール８４に沿ったパドル３３の半径方向の移動は、Ｒ駆動モータ８５及びこれに連結する駆動ベルト８７によってなされる。モータ８５は、支持板８９に取り付けられている。
　この支持板８９は、シャフト９１によってθ方向（第２図で太い矢印によって示す）に軸線９２に関して回転可能である。シャフト９１の上端部が支持板８９に接続され、円筒管９３内の上部及び底部付近にあるベアリング９５によって、円筒管９３内で回転できるように取り付けられている。ベアリング９５は、円筒管９３の下方端に図示される（第２図を参照）。
　シャフト９１は、第２図で示すように、θ駆動モータ９７及びこれに連結した滑車及び駆動ベルトによって回転される。
　円筒管９３はまた、リフトアーム１０１に接続されている。リフトアーム１０１は、駆動ねじ１０５によって上下方向に駆動され、レール１０３上を滑動する。駆動ねじ１０５は、第２図で示すように、Ｚ駆動モータ１０７及びこれに連結した滑車及びベルトによって回転される。
　本発明の特定の実施例で、Ｚ駆動モータ１０７、θ駆動モータ９７及びＲ駆動モータ８５は、ステッパモータである。
　パドル３３及びこのパドルに吸着したウエーハ３５のエッジか、ボートやカセットと接触せずに装置２１内で三次元座標系のすべての方向にわたって移動できる、ということが本発明の重要な特徴である。
　本発明は、センサを使用することによって達成される。センサは、まず各送り元でウエーハの中心の予測位置を校正するために使用され、次に各ウエーハ移送の行程でパドル３３上でウエーハの中心の実際の位置を決定するために使用される。
　パドルの中心に対するパドル上のウエーハの中心のあらゆる横方向の「ずれ」を測定し、次に、この「ずれ」を効果的に無くすためにパドル３３の位置を変えることのためにセンサを使用する、ということが本発明の特に重要な特徴である。次に、パドル３３は、送り先ヘウエーハを連続的に移送するために必要な真の中心位置上にウエーハの実際の中心を位置して送り先（ボート又はカセット内のスロット）ヘウエーハ３５を挿入できる。ウエーハの取り上げ中に発生するあらゆる誤差が無くなり、装置は、ウエーハの移送に必要な許容誤差を維持することができる。
　第１図、第２図及び第３図に示すように、ウエーハ移送モジュール機構２９は、Ｒセンサ１１１を含む。このＲセンサ１１１は、パドル８３がウエーハ３５を移動させたときにＲセンサ１１１の垂直方向の線上でパドル３３の後方エッジをとらえるたびにＲセンサ１１１が始動されるような支持板８９上の位置に取り付けられる。よって、このＲセンサ１１１によって、カセット内のスロット又はボート内のスロットのいずれか一方にあるウエーハの中心の半径方向距離が、円筒管９３及びその内部の回転可能なシャフト９１の垂直方向の軸線に関して決定される。この距離がわかっているとき、制御装置３１は、次にＲ駆動モータ８５を制御して関連のスロット内にウエーハを挿入し又はそこからウエーハを取り出す場合に、この半径方向距離だけウエーハを移動することができる。
　第１図、第２図、第５Ａ−５Ｃ図及び第６Ａ−６Ｃ図に示すように、ウエーハ移送モジュール機構２９は、θセンサ１１３を含む。
　θセンサ１１３は、パドル３３の側部エッジ（第５Ａ−５Ｃ図参照）及びパドル３３に保持されるウエーハ３５の側部エッジ（第６Ａ−６Ｃ図参照）の両方を検出することができる固定位置に取り付けられる。
　第２図で示すように、θセンサ１１３は、円筒管９３に接続されたアーム１１５上に取り付けることができる。
　校正中に、θセンサは、θ方向におけるパドル３３の回転軸９２に対してパドル３３の中心線を校正するために（第５Ａ−５Ｃ図で示すように）使用される。
　第５Ａ図に示すように、パドル３３が反時計回り方向に回転し、パドル３３の左手側のエッジがセンサ１１３上を通過するとき、この左手側のエッジの位置が、センサ１１３によって検出される。
　第５Ｃ図で示すようにパドル３３が時計回り方向に回転し、パドル３３の右手側のエッジがセンサ１１３上を通過するとき、この右手側のエッジの位置は、センサ１１３によって検出される。
　パドルの側部エッジ位置は（図で示すように）それぞれ角度θ１及びθ２として表わされ、パドル３３の中心線の位置は従って角度θ１とθ２との間の中間にある。
　当然に、第５Ａ−５Ｃ図を参照して、パドル３３がパドルの中心線とウエーハの実際の中心とを完全に整列させて各ウエーハを取り上げることが望ましい。しかし、実用上、ウエーハの中心はパドル３３の中心線から横方向に外れることがあり、この横方向の「ずれ」の量が、上述したように、コーティング等の物質を欠損したり剥離する力で１箇所以上のスロット表面にウエーハのエッジを衝突させる、という問題を発生させる。従って、この横方向の「ずれ」を測定して、上述のような接触（又は衝突）を防止するために、「ずれ」を補償しなければならない。パドルの中心に関する実際のウエーハの中心の横方向の「ずれ」を測定し且つ補償することは、ウエーハのボートからカセットヘの移送において重要なことである。本発明は、また、このウエハ移送動作における「ずれ」を補償することを特徴とする。
　横方向の「ずれ」は、２回測定される。
　第１の測定は、カセット内のウエーハの予測位置（上述のとおり、通常は単に最上部スロット）及びボートの最上部、最下部及び中間部スロット内のウエーハの予測位置（上述のとおり）を校正する過程における動作より以前に行なわれる。
　第２の測定は横方向の「ずれ」に関し、送り元から送り先への各ウエーハの各移送に関連した動作中に行なわれる。
　第６Ａ図から第６Ｃ図までを参照して、最初に、θセンサ１１３がウエーハ３５の左手側のエッジを検出するまで（第６Ａ図で示すように）反時計回りのθ方向にパドルを回転させる。このとき、センサが角度θＡを指示する。
　次に、第６Ｃ図で示すように、パドル３３を時計回りの方向に回転し、ウエーハ３５の右手側のエッジを感知させ、角度θＢを測定する。
　次に、ウエーハの実際の中心は、２つの検出された角度の間の中間点となる。ウエーハのこの中心線の角度がパドル３３の中心線の予め計算された角度と異なる場合、制御装置３１は次に、適切な角度方向にパドル３３を回転させてパドルの中心とパドル上に保持されたウエーハの中心との間の横方向「ずれ」を無くす。これにより、ウエーハは、上述のような接触もなくボート３９又はカセット３７内のスロットに移送される。
　要約すると、最初の校正が、各カセット及び各ボートに対して行なわれ、カセット又はボートのスロット内の各ウエーハの中心の予測位置を決定する。カセットを校正する場合は、通常、カセットの最上部スロットでのウエーハの中心の位置だけを校正するだけで十分である。ボートを校正する場合は、一般に、上述のとおり、第３図で示すように、ボートの最上部スロット、中間部スロット、及び最下部スロットを校正することが望ましい。
　次に、θセンサ１１３は、校正した中心からのパドル３３上のウエーハの実際の中心のあらゆる横方向の「ずれ」を検出し測定するために使用され、θ駆動ユニットは、ウエーハ３５がボート又はカセット内のスロットに挿入される以前にこのような横方向の「ずれ」を補償するために適切な方向に駆動される。
　本発明の好適実施例を図示して説明してきたが、これらの変更及び変形が可能であり、従って詳細な説明に制限されるものではなく、特許請求の範囲内でそのような変更及び変形を行なえることを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
　第１図は、本発明の実施例に従って構成されるファーネス装置の詳細な構成を示す。
　第２図は、第１図のファーネス装置のウエーハ移送モジュール機構の詳細な構成を示す。
　第３図は、第１図のファーネス装置内で使用されるボートの校正中にウエーハがボートのスロットに挿入し又は取り出す方法を詳細に示す説明図である。
　第４図は、第３図の４−４線部分拡大図である。
　第５Ａ図〜第５Ｃ図は、第１図のウエーハ移送モジュール機構のパドルがパドルの中心を校正する行程でθセンサより上で円弧を成して移動される方法を示す部分拡大平面図である。
　第６Ａ図〜第６Ｃ図は、θセンサがパドル上で保持されるウエーハの実際の中心を見つけるために用いられる方法を示す部分拡大平面図（第５Ａ図〜第５Ｃ図に対応する）である。次に、ウエーハの中心に対するパドルの中心のあらゆる横方向「ずれ」が、第１図で示すウエーハ移送モジュール機構によって補償されて除去される。
主要符号
２１…ファーネス装置
２３…垂直型チャンバ
２５…ボート交換ユニット（機構）
２７…カセット保持装置
２９…ウエーハ移送モジュール機構
３１…制御装置
３３…パドル
３５…ウエーハ
３７…カセット
３９…ボート
４１…回転式テーブル
４３…チャンバ側ボート位置
４５…昇降器
４７…リフトアーム
５３…リフトねじ
６５…駆動機構
７１…石英製棒
７３…スロット
８３…ポート
８５…Ｒ駆動モータ
８９…支持板
９１…シャフト
９２…軸線
９７…θ駆動モータ
１０１…リフトアーム
１０３…レール
１０７…Ｚ駆動モータ
１１１…Ｒセンサ
１１３…θセンサ