【事件の表示】
　特許第２８５６８１６号「要素搬送アライメント装置及び方法」の請求項１ないし２２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２８５６８１６号の請求項１ないし２２に係る特許を維持する。
【理由】
１．本件発明
　特許第２８５６８１６号（平成７年６月２２日出願（パリ条約による優先権主張１９８９年３月７日、米国）、平成１０年１１月１３日設定登録。）の請求項１〜２２に係る発明は、特許請求の範囲の請求項１〜２２に記載された以下の事項により特定されるものである。
　【請求項１】台上の要素の基準点の予め決められた位置からのミスアライメントの方向及び大きさを特徴化する特徴化手段と；
前記ミスアライメントの方向が予め決められた直線方向に沿うように要素を配置する手段と；
関節状２レッグアーム上に要素ホルダを有し、且つ前記直線方向に沿った前記ホルダの第１運動方向と、軸の周りの第２運動方向と、昇降方向の第３運動方向を創出するためにアームのレッグを曲げるための手段を有するリニアマニュピレータと；
前記マニュピレータを駆動して、前記ホルダに保持した前記要素を、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記直線方向に沿って移動させるアライメント手段と；
を備えたことを特徴とする要素搬送アライメント装置。
　【請求項２】台上の要素の基準点の予め決められた位置からのミスアライメントの方向及び大きさを特徴化する特徴化手段と；
前記ミスアライメントの方向が予め決められた直線方向に沿うように要素を配置する手段と；
関節状２レッグアーム上に要素ホルダを有し、且つ前記直線方向に沿った前記ホルダの第１運動方向と、軸の周りの第２運動方向と、昇降方向の第３運動方向を創出するためにアームのレッグを曲げるための手段を有するリニアマニュピレータと；
前記マニュピレータを駆動して、前記ホルダに保持した前記要素を、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記直線方向に沿った第１運動方向にオフセットした作業ステーションヘの第１、第２、第３の運動方向の正常な経路に沿って、作業ステーションヘと動かす手段と；
を備えたことを特徴とする要素搬送アライメント装置。
　【請求項３】前記特徴化手段が、前記要素を回転させ且つ回転中該要素のエッジ位置を検出するための手段を備えた請求項１又は２に記載の要素搬送アライメント装置。
　【請求項４】前記マニュピレータが、第１運動方向へのホルダの移動中ホルダの角度を保つための手段を備えた請求項１又は２に記載の要素搬送アライメント装置。
　【請求項５】前記マニュピレータのレッグが、第１運動方向への動作中に両レッグのホルダーに関する角度率の２倍の角度率で互いに動かされる請求項４に記載の要素搬送アライメント装置。
　【請求項６】前記アライメント手段が、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記直線方向に沿って移動させた前記要素を、前記台上に再配置する請求項１に記載の要素搬送アライメント装置。
　【請求項７】前記要素が半導体ウエハである請求項６に記載の要素搬送アライメント装置。
　【請求項８】前記要素が半導体ウエハであり、前記アライメント手段が、前記直線方向に関して予め決められた位置に前記ウエハの基準点を位置決めする手段を備えた請求項１に記載の要素搬送アライメント装置。
　【請求項９】前記マニュピレータが、前記ホルダ上の前記要素を作業ステーションまで運ぶものである請求項１に記載の要素搬送アライメント装置。
　【請求項１０】前記特徴化手段と組み合わされ、前記特徴化手段を、大きさの異なる要素に応じて調整して選択的に設定可能にするための制御装置と；
予め決められた要素の大きさに合わせて調整されるように前記特徴化手段を設定するために、前記マニュピレータに前記制御装置を操作させるための手段と；
を更に備えた請求項１又は２に記載の要素搬送アライメント装置。
　【請求項１１】台上の要素の基準点の予め決められた位置からのミスアライメントの方向及び大きさを特徴化する工程と；
前記ミスアライメントの方向が予め決められた直線方向に沿うように要素を配置する工程と、
関節状２レッグアーム上に要素ホルダを有し、且つ前記直線方向に沿った前記ホルダの第１運動方向と、軸の周りの第２運動方向と、昇降方向の第３運動方向を創出するためにアームのレッグを曲げるための手段を有するリニアマニュピレータを用いて、前記ホルダに保持した前記要素を、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記直線方向に沿って移動させるアライニング工程と；
を備えたことを特徴とする要素搬送アライメント方法。
　【請求項１２】台上の要素の基準点の予め決められた位置からのミスアライメントの方向及び大きさを特徴化する工程と；
前記ミスアライメントの方向が予め決められた直線方向に沿うように要素を配置する工程と、関節状２　レッグアーム上に要素ホルダを有し、目つ前記直線方向に沿った前記ホルダの第１運動方向と、軸の周りの第２運動方向と、昇降方向の第３運動方向を創出するためにアームのレッグを曲げるための手段を有するリニアマニュピレータを用いて、前記ホルダに保持した前記要素を、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記直線方向に沿った第１運動方向にオフセットした作業ステーションヘの第１、第２、第３の連動方向の正常な経路に沿って、作業ステーションヘと動かす工程と；
を備えたことを特徴とする要素搬送アライメン下方法。
　【請求項１３】前記特徴化する工程において、前記要素を回転させ、回転させている間前記要素のエッジ位置を検出する請求項１１又は１２に記載の要素搬送アライメント方法。
　【請求項１４】第１運動方向へのホルダの運動中、ホルダの角度位置を維持する請求項１１又は１２に記載の要素搬送アライメント方法。
　【請求項１５】第１運動方向への動作中に前記マニュピレータのレッグが両レッグのホルダーに関する角度比率の２倍の角度比率で互いに動かされる請求項１１又は１２に記載の要素搬送アライメント方法。
　【請求項１６】前記アライニング工程において、前記マニュピレータが前記台上の要素を再配置するように動作を行う請求項１１に記載の要素搬送アライメント方法。
　【請求項１７】前記要素が半導体ウエハである請求項１６に記載の要素搬送アライメント方法。
　【請求項１８】前記要素が半導体ウエハであり、前記アライニング工程において、前記直線方向に関して予め決められた位置に前記ウエハの基準点を位置させる請求項１１に記載の要素搬送アライメント方法。
　【請求項１９】前記ホルダ上の前記要素を作業ステーションに運ぶ工程を含む請求項１１に記載の要素搬送アライメント方法．
　【請求項２０】前記特徴化する工程において用いられる特徴化手段が、制御装置により大きさの異なる要素に応じて調整して選択的に設定可能であり、予め決められた要素の大きさに合わせて調整されろように前記特徴化手段を設定するために、前記マニュピレータに前記制御装置を操作させる工程を更に含む請求項１１又は１２に記載の要素搬送アライメント方法。
　【請求項２１】前記マニュピレータに、前記要素を動かす前に第１運動方向と第２運動方向の少なくとも一方向と同じ方向に予備動作を行わせた後、前記要素を動かす結果的動作を行わせるための手段を有し；
前記予備動作が結果的動作と同じ方向である；
請求項１又は２に記載の要素搬送アライメント装置。
　【請求項２２】前記マニュピレータに、前記要素を動かす前に第１運動方向と第２運動方向の少なくとも一方向と同じ方向に予備動作を行わせた後、前記要素を動かす結果的動作を行わせるための手段を有し；
前記予備動作が結果的動作と同じ方向である：
請求項１１又は１２に記載の要素搬送アライメント方法。
２．申立ての理由の概要
　特許異議申立人（高橋　学）は、甲第１号証として特開平１−１６９９３９号公報を提出して、請求項１〜２２の発明は、甲第１号証の刊行物に係る出願（特願昭６２−３２９３４１号）の願書に最初に添付された明細書又は図面に記載された発明であるので、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないものであるから、本件発明の特許を取り消すべき旨主張している。
３．甲第１号証に記載された発明
　甲第１号証の第３頁上段左欄第１８行〜同頁同段右欄第１行「１０はターンテーブル２をその回転駆動機構ごと図のＸＹ水平面で移動させるためのＸＹテーブル式の移動機構であり」と記載されており、第５頁上段右欄第２行〜同頁同段同欄第１３行には、「例えば、・・・・一軸方向（例えばＸ軸）にのみ移動可能なテーブルを用いてもよい。この場合には・・・・ウエハ中心の偏位量△１と方向θとを算出し、偏位角を修正する方向（−θ）に回転し、偏位方向をＸ軸方向に一致させた後にターンテーブル全体を−△１だけ移動する。・・・・修正は一軸のみでよくなるので・・・・制御も簡単になる。」と記載されている。同じく第５頁下段左欄第１１行〜には、「第８図は・・・・３次元ロボットを用いている。・・・・２２は加工ステージであり、・・・・２３は３軸（Ｘ軸＝水平方向、Φ軸＝回転方向、Ｚ軸＝上下方向）からなるロボットであり腕の先端にウエハを移送するための爪をもつている。２４はセンタ位置を検出するための・・・・ターンテーブル２，エッジ検出器５・・・・から構成されている。・・・・まずロボット２３が腕を回転させウエハストッカ２１からウエハを１枚取り出し・・・・ウエハセンタ検出機構２４のターンテーブル２の上に降ろす。・・・・エッジ位置検出器５の出力によって、・・・・センタ位置が算出される。この算出結果を・・・・ロボット２３の制御回路に供給する。・・・・この方向を一定の方向に揃える必要があるときは、・・・・所定の位置となるまでターンテーブル２をさらに回転させた後に、・・・・ウエハを・・・・持ち上げ・・・・加工ステージ２２に移載する。・・・・移動量を真の位置関係に対して・・・・算出された信号によって補正した信号によって決定すれば、・・・・移載されたウエハは加工ステージに対して正確にセンタ合せされた位置となる。・・・・偏心信号に応じてロボット２３のΦ軸、Ｘ軸によって移動させ、・・・・再度ターンテーブルの上に降してセンタ合せを行う方法を採用してもよい。」と記載されており、これらの記載及び図面の記載を総合すれば、甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付された明細書又は図面には、
　【記載事項１】
（１−１）　台である「ターンテーブル」上の要素であるウエハの基準点の予め決められた位置となる「ウエハのセンタ位置」からのミスアライメントの方向及び大きさを特徴化する手段である「エッジ検出器」及び「ウエハセンタ検出機構」と、前記ミスアライメントの方向が予め決められた直線方向である「Ｘ軸方向」に沿うように要素を配置する手段と、「腕」の先端に「ウエハ」のホルダとなる「爪」を有し、且つ前記「Ｘ軸」に沿った前記「爪」の第１の運動方向と、「Φ軸」の周りの第２の運動方向と、昇降方向である「Ｚ軸」方向である第３の運動方向の運動を創出するために「腕」を回転させ、かつ、「Ｘ軸」、「Ｚ軸」方向に動かす手段を有するマニュピレータ状の「ロボット」と、
（１−２）　前記「ロボット」を駆動して、前記「爪」に保持した前記「ウエハ」を、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記「Ｘ軸」方向に沿って移動させるように制御する手段と、を備えた要素搬送アライメント装置である「半導体ウエハのセンタ合わせ装置」の発明。
　【記載事項２】
（２−１）　上記（１−１）記載の構成を有しかつ
（２−２）　前記「ロボット」を駆動して、前記「爪」に保持した前記「ウエハ」を、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記「Ｘ軸」に沿った方向にオフセットして、作業の場である「加工ステージ」への第１、第２、第３の運動の方向の正常な経路に沿って、「加工ステージ」へと動かす手段と、を備えた「半導体ウエハのセンタ合わせ装置」の発明。
　【記載事項３】
（３−１）　「ターンテーブル」上の要素であるウエハの基準点の予め決められた位置となる「ウエハのセンタ位置」からのミスアライメントの方向及び大きさを特徴化する工程である「エッジ検出器」及び「ウエハセンタ検出機構」で「偏心信号」を得る工程と、前記ミスアライメントの方向が予め決められた直線方向である「Ｘ軸方向」に沿うように要素を配置する工程と、「腕」の先端に「ウエハ」のホルダとなる「爪」を有し、且つ前記「Ｘ軸」に沿った前記「爪」の第１の運動方向と、「Φ軸」の周りの第２の運動方向と、昇降方向である「Ｚ軸」方向である第３の運動方向の運動を創出するために「腕」を回転させ、かつ、「Ｘ軸」、「Ｚ軸」方向に動かす手段を有するマュピレータ状の「ロボット」と、
（３−２）　前記「ロボット」を用いてして、前記「爪」に保持した前記「ウエハ」を、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記「Ｘ軸」方向に沿って移動させる工程と、を備えたことを特徴とする要素搬送アライメント方法である半導体ウエハのセンタ合わせの方法の発明。
　【記載事項４】
（４−１）　上記（３−１）記載の工程を有しかつ
（４−２）　前記「ロボット」を駆動して、前記「爪」に保持した前記「ウエハ」を、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記「Ｘ軸」に沿った方向にオフセットして、作業の場である「加工ステージ」への第１、第２、第３の運動の方向の正常な経路に沿って、「加工ステージ」へと動かす工程と、を備えたことを特徴とする半導体ウエハのセンタ合わせ方法の発明。
が記載されるものと認められる。
　しかしながら、甲第１号証の刊行物には、３軸（水平方向、回転方向、上下方向）からなり腕を有するロボット及びターンテーブル２をその回転駆動機構ごと移動させるＸＹテーブル式の移動機構は、示されるものの、「関節状２レッグアーム上に要素ホルダを有し、且つ前記直線方向に沿った前記ホルダの第１運動方向と、軸の周りの第２運動方向と、昇降方向の第３運動方向を創出するためにアームのレッグを曲げるための手段を有するリニアマニュピレータ」及び同構成を有する「リニアマニュピレータ」を用いる方法に関しては、何ら記載されていないばかりでなく、それらを示唆する記載も認められない。
４．対比判断
４−１　本件請求項１の発明に関して
　本件請求項１の発明と甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付された明細書又は図面に記載された発明とを比較すると、甲第１号証には、上記【記載事項１】の発明が記載されているから、両発明は、
台上の要素の基準点の予め決められた位置からのミスアライメントの方向及び大きさを特徴化する特徴化手段と、前記ミスアライメントの方向が予め決められた直線方向に沿うように要素を配置する手段と、アーム上に要素ホルダを有し、且つ前記直線方向に沿った前記ホルダの第１運動方向と、軸の周りの第２運動方向と、昇降方向の第３運動方向を創出するための手段を有するマニュピレータと、前記マニュピレータを駆動して、前記ホルダに保持した前記要素を、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記直線方向に沿って移動させるアライメント手段と、を備えたことを特徴とする要素搬送アライメント装置。
の発明である点で一致するものの、本件請求項１の発明が、
「関節状２レッグアーム上に要素ホルダを有し、且つ前記直線方向に沿った前記ホルダの第１運動方向と、軸の周りの第２運動方向と、昇降方向の第３運動方向を創出するためにアームのレッグを曲げるための手段を有するリニアマニュピレータを有する」という構成（以下、「未開示構成Ｉ」という。）
を有するものであるのに対し、甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付された明細書又は図面には、３軸（水平方向、回転方向、上下方向）からなり腕を有するロボット及びターンテーブル２をその回転駆動機構ごと移動させるＸＹテーブル式の移動機構及び回動する腕を有するロボットが記載されるものの、関節状２レッグアームを用いる上記未開示構成Ｉに関しては、何ら記載されていない。
　また、上記未開示構成Ｉが自明の構成であるとする客観的証拠は何等ない。
　なお、特許異議申立人は、同点についても甲第１号証（特に第８図）に記載されている旨主張するが、甲第１号証に記載されている事項は、前記３に述べたとおりであるため、特許異議申立人の主張は採用できない。
　したがって、本件請求項１の発明を、その構成の一部である上記未開示構成Ｉを何等記載しない甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明であるとする特許異議申立人の主張は、採用できない。
４−２　本件請求項２の発明に関して
　本件請求項２の発明と甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付された明細書又は図面に記載された発明とを比較すると、甲第１号証には、上記【記載事項２】の発明が記載されているから、両発明は、
台上の要素の基準点の予め決められた位置からのミスアライメントの方向及び大きさを特徴化する特徴化手段と、前記ミスアライメントの方向が予め決められた直線方向に沿うように要素を配置する手段と、アーム上に要素ホルダを有し、且つ前記直線方向に沿った前記ホルダの第１運動方向と、軸の周りの第２運動方向と、昇降方向の第３運動方向を創出するための手段を有するマニュピレータと、前記マニュピレータを駆動して、
前記マニュピレータを駆動して、前記ホルダに保持した前記要素と、作業ステーションとの位置関係を、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記直線方向に沿った第１運動方向にオフセットした、作業ステーションヘの第１、第２、第３の運動方向の正常な経路に沿って、作業ステーションヘと動かす手段とを備えたことを特徴とする要素搬送アライメント装置。
の発明である点で一致するものの、
本件請求項２の発明が上記未開示構成Ｉを有するものであるのに対して、上記未開示構成Ｉに関しては、何ら記載されていない点。及び
本件請求項２の発明が、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記直線方向に沿った第１運動方向にオフセットを移動先である「作業ステーション」に対して行うものであるのに対して、甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付された明細書又は図面には、移動元である「ターンテーブル」をオフセットすることが記載されている点
の２点で相違している。
　そして、オフセットを行う対象が移動元であることと移動先であることとが、相対的な関係において同等であるか否かはさておき、甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付された明細書又は図面には、少なくとも、上記未開示構成Ｉに関しては、何ら記載されていない。
　また、上記未開示構成Ｉが自明の構成であるとする客観的証拠は何等ない。
　したがって、本件請求項２の発明を、その構成の一部である上記未開示構成Ｉを何等記載しない甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明であるとする特許異議申立人の主張は、採用できない。
４−３　本件請求項３〜１０及び請求項２１の発明に関して、
　本件請求項３〜１０の各発明及び請求項２１の発明は、それぞれ請求項１または請求項２を引用することにより特定されるものであり、上記未開示構成Ｉをそれぞれ構成として有するものである。そして、４−１に述べたように、甲第１号証には、上記未開示構成Ｉに関して何ら記載されていない。
　よって、請求項３〜１０の各発明及び請求項２１の発明の残余の構成を検討するまでもなく、それら各発明を、その発明の構成の−部を開示しない甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明とすることはできず、それらの発明に係る特許異議申立人の主張は採用できない。
４−４　本件請求項１１の発明に関して
　本件請求項１１の発明と甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付された明細書又は図面に記載された発明とを比較すると、甲第１号証には、上記【記載事項３】の発明が記載されているから、両発明は、
　台上の要素の基準点の予め決められた位置からのミスアライメントの方向及び大きさを特徴化する工程と、前記ミスアライメントの方向が予め決められた直線方向に沿うように要素を配置する工程と、アーム上に要素ホルダを有し、且つ前記直線方向に沿った前記ホルダの第１運動方向と、軸の周りの第２運動方向と、昇降方向の第３運動方向を創出するための手段を有するマニュピレータと、前記マニュピレータを駆動して、前記ホルダに保持した前記要素を、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記直線方向に沿って移動させるアライメント工程と、を備えたことを特徴とする要素搬送アライメント方法。
の発明である点で一致するものの、本件請求項１１の発明が、
「関節状２レッグアーム上に要素ホルダを有し、且つ前記直線方向に沿った前記ホルダの第１運動方向と、軸の周りの第２運動方向と、昇降方向の第３運動方向を創出するためにアームのレッグを曲げるための手段を有するリニアマニュピレータを用い」るという構成（以下、「未開示構成ＩＩ」という。）
を有するものであるのに対し、甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付された明細書又は図面には、３軸（水平方向、回転方向、上下方向）からなり腕を有するロボット及びターンテーブル２をその回転駆動機構ごと移動させるＸＹテーブル式の移動機構及び回動する腕を有するロボットを用いるものは記載されるものの、関節状２レッグアームを用いる上記未開示構成ＩＩに関しては、何ら記載されていない。
　また、上記未開示構成ＩＩが自明の構成であるとする客観的証拠は何等ない。
　なお、特許異議申立人は、同点についても甲第１号証（特に第８図）に記載されている旨主張するが、甲第１号証に記載されている事項は、前記３．に述べたとおりであるため、特許異議申立人の主張は採用できない。
　したがって、本件請求項１１の発明を、その構成の一部である、上記未開示構成ＩＩを何等記載しない甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明であるとする、特許異議申立人の主張は採用できない。
４−５　本件請求項１２の発明に関して
　本件請求項１２の発明と甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付された明細書又は図面に記載された発明とを比較すると、甲第１号証には、上記【記載事項４】の発明が記載されているから、両発明は、
台上の要素の基準点の予め決められた位置からのミスアライメントの方向及び大きさを特徴化する工程と、前記ミスアライメントの方向が予め決められた直線方向に沿うように要素を配置する工程と、アーム上に要素ホルダを有し、且つ前記直線方向に沿った前記ホルダの第１運動方向と、軸の周りの第２運動方向と、昇降方向の第３運動方向を創出するための手段を有するマニュピレータと、前記マニュピレータを駆動して、
前記ホルダに保持した前記要素と、作業ステーションとの位置関係を、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記直線方向に沿った第１運動方向にオフセットした、作業ステーションヘの第１、第２、第３の運動方向の正常な経路に沿って、作業ステーションヘと動かす工程とを備えたことを特徴とする要素搬送アライメント方法。
の発明である点で−致するものの、
本件請求項２の発明が上記未開示構成ＩＩを有するものであるのに対して、甲第１号証には上記未開示構成ＩＩに関しては、何ら記載されてない点、及び、
本件請求項１２の発明が、前記ミスアライメントの大きさに応じて前記直線方向に沿った第１運動方向に行うオフセットを、移動先である「作業ステーション」に対して行うものであるのに対して、甲第１号証には、移動元である「ターンテーブル」をオフセットすることが記載されている点の２点でで相違している。
　そして、オフセットを行う対象が、移動元であることと移動先であることとが、相対的な関係において同等であるか否かはさておき、甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付された明細書又は図面には、少なくとも、未開示構成ＩＩに関しては、何ら記載されていない。
　また、上記未開示構成ＩＩが自明の構成であるとする客観的証拠は何等ない。
　したがって、本件請求項１２の発明を、その構成の一部である上記未開示構成ＩＩを何等記載しない、甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明であるとする、特許異議申立人の主張は、採用できない。
４−６請求項１３〜２０及び請求項２２の発明に関して、
　本件請求項１３〜２０の各発明及び請求項２２の発明は、請求項１１または請求項１２を引用することによりそれぞれ特定されるものであり、上記未開示構成ＩＩをそれぞれ構成として有するものである。
　そして、４−４に述べたように、甲第１号証には、上記未開示構成ＩＩに関しては、何ら記載されていない。
　よって、請求項１３〜２０の各発明及び請求項２２の発明の残余の構成を検討するまでもなく、それら各発明を、その発明の構成の一部を開示しない甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明とすることはできず、それらの発明に係る特許異議申立人の主張は採用できない。
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１〜２２の発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜２２の発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１０月２７日（１９９９．１０．２７）