(57)【要約】【課題】容易にシステムの増設が可能であると共に、カードルを搬送するに際し収納ボックスを傷み難くした搬送システムを提供する。【解決手段】列設された複数のカードル収納ボックスと、該収納ボックスの列設方向に間隔付けて設けたレールと、該レール上を走行する台車と、該台車に積載され該台車の走行方向と直角方向に搬送する無端のコンベヤーとを具備し、該無端のコンベヤー上に積載されたカードルを、該コンベヤーによって前記カードル収納ボックスに搬送するようにした。【選択図】  図４
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
列設された複数のカードル収納ボックスと、該収納ボックスの列設方向に間隔付けて設けたレールと、該レール上を走行する台車と、該台車に積載され該台車の走行方向と直角方向に搬送する無端のコンベヤーと、該無端のコンベヤー上に積載され、該コンベヤーによって前記カードル収納ボックスに搬送されるカードルと、を具備したことを特徴とするカードル搬送収納システム。
【請求項２】
前記台車がカードルを収容しようとする前記収納ボックスの位置にくると、前記レールに設けたセンサでこれを検知して台車を停止させ、前記無端のコンベヤーで前記カードルの前記カードル収納ボックスへの移送が完了すると、前記台車に設けたセンサがこれを検知して前記コンベヤーを停止させるように構成してなる請求項１に記載のカードル搬送収納システム。
【請求項３】
前記カードル収納ボックス内には、前記無端のコンベヤーと略同一の高さのカードル載置台が無端のコンベヤーに近接して設置され、前記無端のコンベヤーで搬送されたカードルは、該カードル載置台上に載置される請求項１又は２に記載のカードル搬送収納システム。
【請求項４】
前記カードル載置台上には、前記カードルを送り易くするコロが設けられ、前記無端のコンベヤーには、前記カードルを挟んで前方に送るのをガイドするガイドローラーが設けられている請求項３記載のカードル搬送収納システム。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この考案は、半導体製造装置にガスを供給するカードルを、カードル収納ボックスに搬送収納するシステムに係り、詳記すればカードル収納ボックスを増設する場合も容易に増設可能なカードル搬送収納システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置にガスを供給するには、カードル収納ボックス内に収納した多数のカードルから供給していた。
【０００３】
カードル収納ボックス内のボンベのガスがなくなると、従来は、図１に示すように、箱１内に多数のボンベ２を積載し。これをホイストクレーン３で吊り下げて搬送し、カードル収納ボックス４内に収納していた。尚、多くの場合は、図１の（A）、（B）に示すようにボンベ２は縦の状態で搬送するが、ガスの種類によっては、（C）に示すようにボンベ２を横にして搬送していた。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ガスを多量に消費し、カードルを大量に使用するようになると、カードル収納ボックス４を増やす必要が生じる。しかしこの場合に上記システムでは、ホイストクレーンを伸ばさなければならないが、ホイストクレーンは、直進方向と直進方向に垂直方向とに移動させるようにしなければならないので、システムの増設が極めて困難であると共に場所的に不可能となる場合も生じている。そればかりか、カードルが揺れながら搬送されるので、カードルがカードル収納ボックス４に当たってボックス４が傷ついたり壊れたりする問題も生じる。
【０００５】
この考案は、このような問題点を解消しようとするものであり、容易にシステムの増設が可能であると共に、カードルを搬送するに際し収納ボックスが傷み難くした搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的に沿う本発明のうち請求項１に記載の発明は、列設された複数のカードル収納ボックスと、該収納ボックスの列設方向に間隔付けて設けたレールと、該レール上を走行する台車と、該台車に積載され該台車の走行方向と直角方向に搬送する無端のコンベヤーと、該無端のコンベヤー上に積載され、該コンベヤーによって前記カードル収納ボックスに搬送されるカードルと、を具備したことを特徴とする。
【０００７】
前記台車がカードルを収容しようとする前記収納ボックスの位置にくると、前記レールに設けたセンサでこれを検知して台車を停止させ、前記無端のコンベヤーで前記カードルの前記カードル収納ボックスへの移送が完了すると、前記台車に設けたセンサがこれを検知して前記コンベヤーを停止させるように構成するのが好ましい（請求項２）。
【０００８】
前記カードル収納ボックス内には、前記無端のコンベヤーと略同一の高さのカードル載置台が無端のコンベヤーに近接して設置され、前記無端のコンベヤーで搬送されたカードルは、該カードル載置台上に載置されるように構成するのが良い（請求項３）。
【０００９】
前記カードル載置台上には、前記カードルを送り易くするコロが設けられ、前記無端のコンベヤーには、前記カードルを挟んで前方に送るのをガイドするガイドローラーを設けるのが好ましい（請求項４）。
【考案の効果】
【００１０】
本考案によれば、従来の搬送システムと比べて、カードルの使用量が増加しても、容易にシステムの増設が可能であるほか、カードルを搬送するに際し収納ボックスが傷み難い利点が得られる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、前記の目的を達成するための本考案の好ましい実施の形態を、添付した図面に基づいて詳細に説明する。
【００１２】
図２〜図４は、本考案の一実施例を示すものであり、レール５上には、台車６の車輪７，７が嵌合し、台車６上にはカードルを積載する無端のチェンコンベヤー８，８が載置されている。車輪７，７は車軸９に嵌挿され、モータ１０によって回転するようになっている。前方車輪７，７の回転に伴い、後方の車輪（図示省略）を嵌挿した従動軸１２も回転するようになっている。尚、図３中、符号１１は、車輪７，７を外れないようにガイドするガイドローラーユニットである。
チェンコンベヤー８，８は、前後のスプロケットを無端のチェンで連結したものであるが、これは無端のベルトコンベヤーであっても、或はキャタピラーのような無限軌道であっても差し支えない。
【００１３】
チェンコンベヤー８，８は、前端の主軸１３の両端に固定したスプロケット１４と後端の軸の両端のスプロケットとを無端のチェーンで連結することにより構成している。主軸１３は、モータ１５で回転するようになっている。
【００１４】
図５に示すように、台車６がレール５上を走行してカードル収納ボックス１〜３の位置に達すると、レールに設けたセンサがこれを検知し、モータ１０を停止させて台車６を停止させるようになっている。
【００１５】
カードル収納ボックス１〜３の所定の位置で台車６が停止すると、モータ１５が回転してチェンコンベヤー８，８が回転するようになっている。チェンコンベヤー８，８上には、カードル（図示省略）が載置されているので、カードルはチェンコンベヤー８，８の回転に伴って前方に移送される。
【００１６】
図２及び図４に示すように、チェンコンベヤー８，８のカードル収納ボックス１〜３対向位置には、ガイドローラー１６，１６が設けられている。カードルは、このガイドローラー１６，１６に案内されて前方に送られるようになっている。
カードル収納ボックス１〜３内には、無端のコンベヤー８，８と略同一の高さのカードル載置台１７が無端のコンベヤーに近接して設置され、無端のチェーンコンベヤーで搬送されたカードルは、カードル載置台１７上に載置されるようになっている。
【００１７】
図４に示すように、カードル載置台１７上には、カードルを送り易くする多数のコロ１８が設けられている
カードルのカードル載置台１７上への移送が完了すると、台車に設けたセンサ１９がこれを検知して前記コンベヤー８，８を回転させるモータ１５の回転を停止させる。
【００１８】
本考案によれば、カードルの使用量が増加し、カードル収納ボックスを増やす必要が生じても、台車が走行するレールを延長するだけで良いので、システムの増設を極めて容易に行うことができる。
【００１９】
また、カードルは従来のように大きく揺れることなく搬送されるので、カードル収納ボックスにカードルが当たってボックスが傷ついたり壊れたりする恐れを無くすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】は、従来のカードル搬送システムを示す正面図である。
【図２】は、本考案に使用する無端のコンベヤを積載した台車の平面図である。
【図３】は、本考案に使用する無端のコンベヤを積載した台車の正面図である。
【図４】は、本考案のシステム全体を示す平面図である（カードル収納ボックスの屋根部は省略している）。
【図５】は、本考案のシステム全体を示す概略図である。
【符号の説明】
【００２１】
５          レール
６          台車
７          車輪
８          チェーンコンベヤー（無端のコンベヤー）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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