【事件の表示】
　特許第２８２１８８７号「超音波洗浄装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８２１８８７号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第２８２１８８７号に係る出願は、昭和６３年９月２９日に出願され、平成１０年９月４日にその特許の設定登録がなされ、その後、岩部英臣により、請求項１に係る特許について特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１０月２７日に意見書が提出されたものである。
　
II．本件発明
　本件特許の請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、その願書に添付した明細書（以下「本件特許明細書」という。）の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のものと認める。
「被洗浄物が収容された洗浄槽内に洗浄水供給経路を介して純水からなる洗浄水を供給し、該洗浄水に超音波を付加して被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置において、
前記洗浄水供給経路にガス溶解手段を設けて洗浄水にガスを溶解させたことを特徴とする超音波洗浄装置。」
　
III．取消理由の概要
　一方、当審において通知した取消理由の概要は、本件発明は、下記の刊行物１乃至９に記載された発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものであって、この発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるというにある。
刊行物１：特開昭４９−　６２０８８号公報
刊行物２：特開昭６１−２０７０２２号公報
刊行物３：電子技術　１９８５／１２臨時増刊号、ｐ135〜143（製造／検査装置編　洗浄装置）
刊行物４：特開昭６０−　２７６０３号公報
刊行物５：大矢晴彦監修「純水・超純水製造法−要素技術と応用システム−」、幸書房、昭和60年3月20日、ｐ162〜164、ｐ179〜182
刊行物６：島川正憲著「超音波工学−理論と実際−」、工業調査会、1975年6月30日、ｐ19〜21
刊行物７：Surface Control＆洗浄設計、Ｎｏ.33、1987年春号、日本科学技術情報センター、ｐ52〜55（精密洗浄を行なうための超音波洗浄機の特性と条件）
刊行物８：Surface Control＆洗浄設計、Ｎｏ．21、1984年春号、日本科学技術情報センター、ｐ50〜79（超音波洗浄機　その特性と効果的な使い方）
刊行物９：藤森聰雄著「やさしい超音波の応用〈新版〉」、秋葉出版、1988年9月20日、ｐ59〜64
　
IV．各刊行物の記載内容
　上記の各刊行物には、それぞれ次の事項が記載されている。
１．刊行物１
　特許請求の範囲の第２項には、
「洗浄槽と、その適当位置に配置された超音波振動発生装置と、洗浄槽の内部底面部に配設された多数の小孔を有する気泡発生装置と、この気泡発生装置に連通した気体供給管と、この管に気体を圧入する気体送出装置とを具備する洗浄装置。」と、
　第２頁右上欄第３行〜左下欄第１５行には、
「本発明はこのような点にかんがみ提案されたもので、洗浄液に超音波振動を加えると同時に気泡加えることを特徴とする。・・・（中略）・・・気泡の浮力により被洗浄物自体が揺り動かされ、かつ洗浄液の撹拌作用が得られ、超音波振動との相乗効果によって洗浄力が格段に向上する」と記載されている。
　また、第２図には洗浄装置の一実施例の断面図が記載されている。
　上記のことから、刊行物１には、以下の発明が記載されていると認める。
　被洗浄物が収容された洗浄槽、洗浄液に超音波振動を加えて被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、気泡を加え、被洗浄物を洗浄する洗浄装置。
２．刊行物２
　特許請求の範囲には、
「半導体基板等の純水洗浄装置に於て、超音波発振機能と、小気泡発生機能と、非イオン系界面活性剤滴下機能とを有する事を特徴とする純水洗浄装置。」と、
　第２頁左上欄第６行〜右上欄第２行には、
「窒素ガス等の小気泡を発生させるための配管２を設置する。・・・（中略）・・・超音波エネルギーによる小気泡の消滅時のエネルギーにより（キャビティーション効果）基板上面に強固に付着した異物を解離除去することができる・・・（中略）・・・超音波発振機能と小気泡発生機能との相互作用により、半導体上面に付着したゴミ・汚れ等の異物を容易に除去することが出来」と記載されている。
　また、第１図には、一実施例の縦断面図が記載されており、カスケード槽に純水給水口５が接続されている。
　上記のことから、刊行物２には、以下の発明が記載されていると認める。
　半導体基板が収容された槽内に純水給水口を介して純水を供給し、純水に超音波発振して半導体基板を洗浄する純水洗浄装置において、小気泡発生機能を設けた純水洗浄装置。
３．刊行物３
　洗浄物がシリコンウェーハでは、純水と超音波が洗浄工程で用いられることが記載されている。（第１３６頁の表１参照。）
　また、第１３８頁右欄第３行〜第２４行には、
「１．超音波洗浄の原理・・・（中略）・・・一般に液体中には、気体分子が無数に溶け込み分散しており、その液体中に強力な超音波を出すと、その振動は液体に対して、ある瞬間に減圧力、またつぎの瞬間には圧縮力として働きかけ、その振動が加えられている間はこの作用を繰返している。この中で液体に減圧力が作用すると、そのために液体に溶け込んでいる気体、ガスを吸着して気泡となる。・・・」と記載されている。
４．刊行物４
　特許請求の範囲には、
「処理すべき超純水に炭酸ガスを供給する装置を有し、この装置が、処理すべき超純水と接触しかつ炭酸ガスを処理すべき超純水中に透過させる疎水性透過性膜を備え、炭酸ガスの溶解により超純水の比抵抗を調整するようにしたことを特徴とする超純水の比抵抗調整器。」と、
　第２頁左下欄第３行〜第５行には、
「そしてこのように処理した超純水は例えば半導体の製造プロセスに使用した場合に後の工程に影響を及ぼすことがない。」と記載されている。
　上記のことから、刊行物４には、以下の発明が記載されていると認める。
　半導体の製造プロセスの超純水の流路に炭酸ガスを溶解させる超純水の比抵抗調整器。
５．刊行物５
　第１８０頁第５行〜第１０行には、
「一次純水製造装置より供給される一次純水は、一次純水タンクに貯められる。このタンクには、真空脱気され酸素や二酸化炭素をほとんど含まない一次純水が供給されるためにＮ２ガスがパージされている。Ｎ２はメンブレンフィルターでろ過され、減圧されたものを用いタンク内部が数十ｍｍＡｑ程度の陽圧となるように張込まれる。これは外部からの塵埃（じんあい）の進入を防ぐことにも役立つ。」と記載されている。
６．刊行物６
　第１９頁第３行〜第２０行には、
「2.8超音波キャビテーション・・・（中略）・・・この現象をキャビテーション（cavitation，空洞現象）といっている。このとき発生する気泡は、その液体の蒸気や、液体中に溶解していた気体よりなるが、・・・（中略）・・・超音波洗浄はキャビテーションに基因するところが大きいと考えられている。」と、
　第１９頁第３３行〜第２０頁第３行には、
「実験結果によれば、水の空気含有量によって、このしきい値は大きく変動する。・・・」と記載されている。
７．刊行物７
　第５２頁右欄第１１行〜第２１行には、
「(1)超音波洗浄はキャビテーションによって得られること。・・・」と記載されている。
８．刊行物８
　第５９頁左欄下から１１〜５行には、
「2)洗浄液・・・（中略）・・・水が適当であるが、空気が十分溶解している新しいものがよい。超音波を長時間照射したり、煮沸した水は脱気されているので効果が少ない。」と記載されている。
９．刊行物９
　第６２頁第９行〜第１０行には、
「(a)気体の飽和度・・・・・・一度加熱してから冷却するなどといった方法で脱気した水を用いると、キャビテイションは起こりにくくなる。」と記載されている。
　
Ｖ．対比・判断
　本件発明と各刊行物に記載されたものとを逐次対比する。
　刊行物１には、前述のものが記載されていることから、刊行物１に記載されたものは、本件発明と共通する、
「被洗浄物が収容された洗浄槽、洗浄水に超音波を付加して被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置。」
という構成を備えているということができる。
　しかしながら、刊行物１に記載されたものの気泡発生装置は、「気泡の浮力により被洗浄物自体が揺り動かされ、かつ洗浄液の撹拌作用」のために、洗浄槽内部に設けられたものであって、本件発明のように、洗浄水にガスを溶解させてキャビテーションを効果的に発生させるために、ガス溶解手段を、超音波洗浄装置の洗浄水供給経路に設けたものではない。
　したがって、刊行物１に記載されたものは、本件発明の構成要件である、「超音波洗浄装置において、前記洗浄水供給経路にガス溶解手段を設けて洗浄水にガスを溶解させた」構成（以下「構成要件Ａ」という。）を備えたものではない。
　刊行物２に記載されたものの、「半導体基板」及び「純水給水口」は、本件発明の「被洗浄物」及び「洗浄水供給経路」にそれぞれ相当することから、刊行物２に記載されたものは、本件発明と共通する、
「被洗浄物が収容された洗浄槽内に洗浄水供給経路を介して純水からなる洗浄水を供給し、該洗浄水に超音波を付加して被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置。」
という構成を備えているということができる。
　しかしながら、刊行物２に記載されたものの小気泡発生機能は、「超音波エネルギーによる小気泡の消滅時のエネルギーにより（キャビティーション効果）基板上面に強固に付着した異物を解離除去する」ため、すなわち、キャビテーション効果のための小気泡を直接発生させるために、槽内に設けられたものであって、本件発明のように、洗浄水にガスを溶解させてキャビテーションを効果的に発生させるために、ガス溶解手段を、超音波洗浄装置の洗浄水供給経路に設けたものではない。
　したがって、刊行物２に記載されたものは、上記構成要件Ａを備えたものではない。
　刊行物３には、前述のように超音波洗浄の原理及び液体中には気体分子が無数に溶け込み分散しているという一般的な事項が記載されているものの、上記構成要件Ａについては、記載も示唆もされていない。
　刊行物４には、前述のように超純水の流路に炭酸ガスを溶解させたものが記載されている。
　しかしながら、刊行物４に記載されたもののガスを溶解させるための構成は、超純水の比抵抗を調節するためである。ガス溶解手段を、超音波洗浄装置の洗浄水供給経路に設けること、又は、ガス溶解手段により、洗浄水にガスを溶解させてキャビテーションを効果的に発生させることについて、刊行物４に記載又は示唆があるものではない。
　したがって、刊行物４に、上記構成要件Ａが記載又は示唆されているものではない。
　刊行物５には、前述のように一次純水タンクにＮ２ガスをパージすることが記載されている。
　しかしながら、刊行物５に記載されたもののＮ２ガスのパージのための構成は、ガスを溶解することを目的としたものではなく、タンク内部を陽圧として外部から塵埃の進入を防ぐ等のためである。ガス溶解手段を、超音波洗浄装置の洗浄水供給経路に設けること、又は、ガス溶解手段により、洗浄水にガスを溶解させてキャビテーションを効果的に発生させることについて、刊行物５に記載又は示唆があるものではない。
　したがって、刊行物５に、上記構成要件Ａが記載又は示唆されているものではない。
　刊行物６乃至９には、前述の事項が記載されているものの、上記構成要件Ａに関しては、記載も示唆もされていない。
　また、前記刊行物１、２及び５に記載されたものの気泡発生及びＮ２ガスのパージの目的は、気泡の浮力による被洗浄物自体の揺り動かし、洗浄液の撹拌作用、小気泡の消滅時のエネルギーによるキャビテーション効果、及び、外部から塵埃の進入を防ぐ等を目的とするものであるのに対して、刊行物４に記載されたもののガスを溶解させるための構成は、超純水の比抵抗を調節することを目的としたもので、刊行物１、２及び５に記載されたものの目的と、刊行物４に記載されたものの目的とは、全く異なる。したがって、前記刊行物１、２又は５に記載されたものの気泡発生又はＮ２ガスのパージのための構成として、刊行物４に記載されたもののガスを溶解させるための構成を採用することが、容易にできたものとすることもできない。
　一方、本件発明は、超音波洗浄装置において、「洗浄水の溶存ガスが少ないと洗浄効果が低下する」（本件特許明細書《発明が解決しようとする課題》の欄）という知見に基づくものであり、上記構成要件Ａを備えることにより、「純水からなる洗浄水にガスを溶解させて超音波洗浄を行うように構成したので、洗浄時にキャビテーションを効果的に発生させることができる。したがって、キャビテーションの衝撃力により被洗浄物を効率よく洗浄することができる。」（本件特許明細書《効果》の欄）という、本件特許明細書に記載の効果を奏するものである。
　よって、本件発明が、刊行物１乃至９に記載の発明から、容易に発明をすることができたものとは認められない。
　なお、特許異議申立人は、平成１２年２月１０日付け上申書において、本件特許明細書の《実施例》の欄における「ガス吹込み式」の記載を取上げて、本件発明と気泡に関連した主張を行っている。しかしながら、本件特許明細書の上記「ガス吹込み式」の記載は、気泡を発生する手段としてではなく、洗浄水供給経路に設けられている「ガス溶解手段」の具体例として記載されているにすぎないものであるから、特許異議申立人の上記主張は採用できない。
　
VI．特許異議申立についての判断
１．申立理由の概要
　特許異議申立人岩部英臣は、前記のとおりの甲第１乃至９号証（前記刊行物１乃至９）を提出し、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、甲第１乃至９号証刊行物に記載された発明に基づき、容易に発明をすることができたものであり、この請求項に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたもので、取り消されるべきものであると主張している。
２．判断
　本件発明については、前記「Ｖ．対比・判断」のとおり、特許異議申立人岩部英臣が提出した甲第１乃至９号証（前記刊行物１乃至９）に記載された発明から容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
VII．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年２月１８日（２０００．２．１８）