(57)【要約】  本発明は、アダマンチル構造を含むアクリレート系化合物を含む感光性組成物に関するものである。本発明による感光性組成物を用いて、薄膜の強度を損なうことなく剥離が容易な有機薄膜の製造が可能になる。
2013543993.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性組成物であって、
アルカリ可溶性高分子樹脂を含むバインダー樹脂と、
架橋性化合物と、
光重合開始剤と、
下記化学式１で表されるアクリレート系化合物と、及び
溶媒とを含んでなることを特徴とする、感光性組成物。
【化１】
2013543993.tif 000022
〔前記化学式１中、
Ｒ１ないしＲ４のうち少なくとも一つは、下記化学式２、化学式３、化学式４または化学式５で表されるものであり、
前記Ｒ１ないしＲ４のうち少なくとも一つ以外の残りは、水素、ハロゲン基、炭素数１ないし５のアルキル基、炭素数１ないし５のアルコキシ基及び炭素数１ないし５のハロアルキル基からなる群より選択されてなるものである。
【化２】
2013543993.tif 000023
【化３】
2013543993.tif 000024
【化４】
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【化５】
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（前記化学式２ないし化学式５式中、
Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７及びＲ８は互いに同一であるか異なっており、それぞれ独立して、水素、または炭素数１ないし５のアルキル基である。）］
【請求項２】
前記化学式１において、
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立して、前記化学式２、化学式３、化学式４または化学式５で表されるものであり、
Ｒ３及びＲ４は、水素であることを特徴とする、請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項３】
前記化学式１で表される化合物が、下記化学式６ないし化学式１３のうちいずれか一つで表される化合物であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の感光性組成物。
【化６】
2013543993.tif 000027
【化７】
2013543993.tif 000028
【化８】
2013543993.tif 000029
【化９】
2013543993.tif 000030
【化１０】
2013543993.tif 000031
【化１１】
2013543993.tif 000032
【化１２】
2013543993.tif 000033
【化１３】
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【請求項４】
前記アクリレート系化合物の含量が、感光性組成物の総重量を基準に0.8〜4重量%であることを特徴とする、請求項１〜３の何れか一項に記載の感光性組成物。
【請求項５】
前記アクリレート系化合物の含量が、架橋性化合物の重量を基準に5〜25重量%であることを特徴とする、請求項１〜４の何れか一項に記載の感光性組成物。
【請求項６】
前記バインダー樹脂が、カルボキシル基を含有するアクリル系バインダー樹脂であることを特徴とする、請求項１〜５の何れか一項に記載の感光性組成物。
【請求項７】
前記バインダー樹脂の含量が、感光性組成物の総重量を基準に１〜２０重量％であることを特徴とする、請求項１〜６の何れか一項に記載の感光性組成物。
【請求項８】
前記架橋性化合物の含量が、感光性組成物の総重量を基準に１〜３０重量％であることを特徴とする、請求項１〜７の何れか一項に記載の感光性組成物。
【請求項９】
前記光重合開始剤の含量が、感光性組成物の総重量を基準に０．１〜５重量％であることを特徴とする、請求項１〜８の何れか一項に記載の感光性組成物。
【請求項１０】
前記溶媒の含量が、感光性組成物の総重量を基準に４５〜９５重量％であることを特徴とする、請求項１〜９の何れか一項に記載の感光性組成物。
【請求項１１】
前記感光性組成物が、基材に適用して薄膜を形成する場合、薄膜強度が０．２４ＧＰａ以上であることを特徴とする、請求項１〜１０の何れか一項に記載の感光性組成物。
【請求項１２】
前記感光性組成物が、着色剤、硬化促進剤、熱重合抑制剤、界面活性剤、光増感剤、可塑剤、接着促進剤、充填剤及び接着助剤からなる群より選択される１種以上のものをさらに含んでなることを特徴とする、請求項１〜１１の何れか一項に記載の感光性組成物。
【請求項１３】
前記感光性組成物が、フォトアクリル用感光性組成物、タッチパネル保護材料用感光性組成物、カラーフィルタ用感光性組成物、ブラックマトリクス感光性組成物、オーバーコート層用感光性組成物、コラムスペーサー用感光性組成物、光硬化性塗料用感光性組成物、光硬化性インク用感光性組成物、光硬化性接着剤感光性組成物、印刷版用感光性組成物及びプリント配線板用感光性組成物からなる群より選択されてなるものであることを特徴とする、請求項１〜１２の何れか一項に記載の感光性組成物。
【請求項１４】
請求項１の化学式１で表されるアクリレート系化合物を含んでなる、現像性改善組成物。
【請求項１５】
請求項１〜１３の何れか一項に記載の感光性組成物を含んでなる、感光材。
【請求項１６】
前記感光材が、フォトアクリル用感光材、タッチパネル保護材料用感光材、カラーフィルタ製造用顔料分散型感光材、ブラックマトリクス形成用感光材、オーバーコート層形成用感光材、コラムスペーサー感光材及びプリント配線板用感光材からなる群より選択されるものであることを特徴とする、請求項１５に記載の感光材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、２０１０年１１月１９日付にて韓国特許庁へ提出された韓国特許出願第１０-２０１０-０１１５５５７号の出願日の利益を主張し、その内容はいずれも本明細書に含まれる。
【０００２】
本発明は、感光性組成物の現像性を増加させることのできるアクリレート系化合物を含む感光性組成物に関するものである。
【背景技術】
【０００３】
液晶表示素子のカラーフィルタを製造するに際し、感光性組成物は必須の材料として使用される。例えば、色を表すカラーピクセル、光を遮断するブラックマトリクス、ピクセル間の段差を補正するオーバーコート、液晶表示素子のセルギャップ(Cell-gap)を維持するコラムスペーサーなどは、いずれも感光性組成物をフォトリソグラフィ(光蝕刻工程)方法を用いて形成された厚さ５マイクロメートル以下の薄膜層から構成される。また、コラムスペーサーやオーバーコートに使用される感光性組成物は、薄膜トランジスタ層のパッシベーション用としても使用可能であるため、感光性組成物の特性は、カラーフィルタ、さらには液晶表示素子の生産性と品質に大きな影響を及ぼす。
【０００４】
カラーフィルタの製造後または薄膜トランジスタのパッシベーション工程以後に不良が発生することがある。これは空気中に浮遊する異物がくっつくか、保管中であるか工程進行による薄膜層の微細な損傷によるものでもある。このとき、不良部位が微細である場合、リペア工程を応用して局所的に処理することができるが、そうでない場合、カラーフィルタまたは薄膜トランジスター基板を再処理(リワーク、REWORK)して相対的に単価の高いガラス基板を再生する。再処理時に使用されるケミカル類は殆ど有毒なものであるので、なるべく低い温度や短い処理時間でガラスを再生できなければならない。
【０００５】
しかしながら、このような再処理過程を有利にするために薄膜を脆く形成すると、薄膜が損傷しやくなるか液晶表示素子の駆動時に残像のような問題を誘発するおそれがある。したがって、薄膜の強度を維持しつつ再処理が容易な薄膜を製造することができる組成物の開発が要望される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、強度を損なうことなく剥離が容易な薄膜を製造することができるアクリレート系化合物を含む感光性組成物を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、アルカリ可溶性高分子樹脂を含むバインダー樹脂、架橋性化合物、光重合開始剤、下記化学式１で表されるアクリレート系化合物及び溶媒を含む感光性組成物を提供する。
【化１】
2013543993.tif 000003
式中、
R1ないしR4のうち少なくとも一つは下記化学式２、化学式３、化学式４または化学式５で表され、
残りは水素、ハロゲン基、炭素数１ないし５のアルキル基、炭素数１ないし５のアルコキシ基及び炭素数１ないし５のハロアルキル基からなる群より選択され、
【化２】
2013543993.tif 000004
【化３】
2013543993.tif 000005
【化４】
2013543993.tif 000006
【化５】
2013543993.tif 000007
式中、
R5、R6、R7及びR8は互いに同一であるか異なっており、それぞれ独立して、水素、または炭素数１ないし５のアルキル基である。
【０００８】
本発明は、上記化学式１で表されるアクリレート系化合物を含む現像性改善組成物を提供する。
【０００９】
また、本発明は、上記感光性組成物を含む感光材を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によるアクリレート系化合物は、アダマンチル構造を中心に少なくとも一つのアクリレート基を含むことで、感光性組成物により有用に適用することができる。本発明による感光性組成物は、薄膜の強度を損なうことなくフォトリソグラフィ工程中に現像時間を短縮することができる特徴がある。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施例１の組成物を用いて現像した後、パターンが形成されるのかを電子走査顕微鏡で観察した結果を示す。
【図２】比較例２の組成物を用いて現像した後、パターンが形成されるのかを電子走査顕微鏡で観察した結果を示す。矢印で表示された幅は5.20μｍである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明をより詳細に説明する。
【００１３】
本発明による感光性組成物は、アルカリ可溶性高分子樹脂を含むバインダー樹脂、２つ以上の不飽和アクリル基を含む架橋性化合物、光重合開始剤、上記化学式１でに表されるアクリレート系化合物及び溶媒を含むことを特徴とする。
【００１４】
上記化学式１で表されるアクリレート系化合物は、アダマンチル構造を中心に少なくとも一つのアクリレート基を含む。
【００１５】
本発明によるアクリレート系化合物において、上記化学式１の置換基をより具体的に説明すれば、下記の通りである。
【００１６】
上記ハロゲン基としては、-F、-Cl、-Br、-Iなどが挙げられるが、これに限定されるものではない。
【００１７】
上記アルキル基は、直鎖または分岐鎖であってもよく、炭素数は特に限定されないが１ないし５であることが好ましい。具体的な例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、 ブチル基、t-ブチル基などがあるが、これに限定されるものではない。
【００１８】
上記アルコキシ基は炭素数１ないし５のものであってもよく、より具体的にメトキシ、エトキシ、イソプロピルオキシなどが挙げられるが、これに限定されるものではない。
【００１９】
上記ハロアルキル基は、炭素数１ないし５のものであってもよく、上記アルキル基の一つ以上の水素がハロゲン基で置換された作用基を意味する。
【００２０】
また、本発明による現像性改善組成物は、上記化学式１で表されるアクリレート系化合物を含むことを特徴とする。
【００２１】
上記現像性改善組成物は、上述した感光性組成物であってもよい。
【００２２】
上記化学式１において、R1及びR2は、それぞれ独立して、上記化学式２、化学式３、化学式４または化学式５で表され、R3及びR4は水素であってもよいが、これに限定されるものではない。
【００２３】
本発明によるアクリレート系化合物において、上記化学式１はより具体的に、下記化学式６ないし化学式１３のいずれか一つで表されることができる。
【化６】
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【化７】
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【化８】
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【化９】
2013543993.tif 000011
【化１０】
2013543993.tif 000012
【化１１】
2013543993.tif 000013
【化１２】
2013543993.tif 000014
【化１３】
2013543993.tif 000015
【００２４】
本発明によるアクリレート系化合物は、分子の中心構造がバルキー(Bulky)な多重環状をしていて、高分子薄膜がアルカリ現像液と反応して中和反応が進行されて溶解されるとき、より容易に薄膜内の分子を互いに離れやすくする役割を果たす。
【００２５】
本発明によるアクリレート系化合物は、アダマンチル構造を中心に少なくとも一つのアクリレート基を含むことで、感光性組成物により有用に適用することができる。本発明による感光性組成物は、薄膜の強度を損なうことなくフォトリソグラフィ工程中に現像時間を短縮することができる特徴がある。
【００２６】
本発明による感光性組成物において、上記化学式１で表されるアクリレート系化合物の含量は、感光性組成物の総重量を基準に0.8〜4重量%であるのが効果的であり、0.8〜3.2重量%であるのがより効果的である。上記化学式１で表されるアクリレート系化合物の含量が感光性組成物の総重量を基準に0.8重量%以上の場合に、剥離における改善効果が良く、4重量%以下の場合には、薄膜強度の阻害を防止する効果がある。
【００２７】
本発明による感光性組成物において、上記化学式１で表されるアクリレート系化合物の含量は、上記架橋性化合物の重量を基準に5〜25重量%であるのが効果的であり、5〜20重量%であるのがより効果的である。上記化学式１で表されるアクリレート系化合物の含量が、上記架橋性化合物の重量を基準に5重量%以上の場合、剥離における改善効果が良く、25重量%以下の場合には、薄膜強度の阻害を防止する効果がある。
【００２８】
本発明による感光性組成物はバインダー樹脂を含むことで、粘度を調節する効果があり、アルカリ現像液を用いたパターニングができるようにする効果がある。
【００２９】
上記バインダー樹脂としては、アルカリ可溶性バインダー樹脂など当業界で一般に使用されるものなどが使用できる。具体的には、カルボキシル基を含有するアクリル系バインダー樹脂を使用することができ、より具体的に、膜の機械的強度を付与するモノマーとアルカリ溶解性を付与するモノマーを共重合して構成されたものを使用することができる。
【００３０】
上記膜の機械的強度の調節に使用可能なモノマーとしては、例えば、ベンジル(メタ)アクリレート、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、t-ブチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2-フェノキシエチル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシ-3-クロロプロピル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、2-メトキシエチル(メタ)アクリレート、3-メトキシブチル(メタ)アクリレート、エトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシトリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ポリ(エチレングリコール)メチルエーテル(メタ)アクリレート、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、p-ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、p-ノニルフェノキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、ヘプチル(メタ)アクリレート、オキシル(メタ)アクリレート、ノニル(メタ)アクリレート、デシル(メタ)アクリレート、ラウリルメタアクリレート、メチルα-ヒドロキシメチルアクリレート、エチルα-ヒドロキシメチルアクリレート、プロピルα-ヒドロキシメチルアクリレート、ブチルα-ヒドロキシメチルアクリレートのような不飽和カルボキシ酸エステル類から選択される１種以上を使用することができるが、これらに限定されるものではない。
【００３１】
アルカリ溶解性を付与するモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、モノメチルマレイン酸、5-ノルボルネン-2-カルボキシル酸、モノ-2-((メタ)アクリロイルオキシ)エチルフタレート、モノ-2-((メタ)アクリロイルオキシ)エチルスクシネート、ω-カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートからなる群より選択される１種以上を使用することが効果的であるが、これらに限定されるものではない。
【００３２】
また、バインダー樹脂は、具体的には、重量平均分子量が3,000ないし150,000であるものを使用することができる。分子量が3,000以上であれば、現像工程時にパターンの消失発生を防止する効果があり、150,000以下であれば、粘度が高くなりコーティングが難しくなる問題を防止する効果がある。
【００３３】
上記バインダー樹脂の含量は、感光性組成物の総重量を基準に1〜20重量%であることが効果的であるが、これに限定されるものではない。バインダー樹脂の含量が1重量%以上であれば、アルカリ水溶液を用いたパターニングが可能となる効果があり、20重量%以下であれば、現像工程時のパターンの消失発生を防止する効果がある。
【００３４】
本発明による感光性組成物において、上記架橋性化合物としては、具体的に、エチレン系不飽和基を含む架橋性化合物を使用することができ、具体的に、二つ以上の不飽和アクリル基を含む架橋性化合物、三つ以上の不飽和アクリル基を含む架橋性化合物を使用することができる。具体的な例として、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレン基の数が2ないし14のポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、2-トリスアクリロイルオキシメチルエチルフタル酸、プロピレン基の数が2ないし14のプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートの酸性変形物とジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートの混合物(商品名で日本東亜合成社のTO-2348、TO-2349)などの多価アルコールをα,β-不飽和カルボキシル酸でエステル化して得られる化合物；トリメチロールプロパントリグリシジルエテールアクリル酸付加物、ビスフェノールＡジグリシジルエテールアクリル酸付加物などのグリシジル基を含む化合物に(メタ)アクリル酸を付加して得られる化合物；β-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートのフタル酸ジエステル、β-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートのトルエンジイソシアネート付加物などの水酸基またはエチレン性不飽和結合を持つ化合物と多価カルボキシル酸とのエステル化合物、またはポリイソシアネートとの付加物；メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸アルキルエステル；及び9,9'-ビス[4-(2-アクリロイルオキシエトキシ)フェニル]フルオレンからなる群より選択される１種以上を含むことができ、これらに限定されず、当技術分野に知られている一般的なものなどを使用することができる。場合によっては、これら化合物にシリカ分散体を使用することができるが、例えば、Hanse Chemie社製のNanocryl XP series(0596、1045、21/1364)とNanopox XP series(0516、0525)などがある。
【００３５】
上記架橋性化合物の含量は、感光性組成物の総重量を基準に1〜30重量%であるのが効果的であるが、これに限定されるものではない。
【００３６】
本発明による感光性組成物において、上記光重合開始剤としては、例えば、2,4-トリクロロメチル-(4'-メトキシフェニル)-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-(4'-メトキシスチリル)-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-(フィプロニル)-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-(3',4'-ジメトキシフェニル)-6-トリアジン、3-{4-[2,4-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン-6-イル]フェニルチオ}プロパン酸、2,4-トリクロロメチル-(4'-エチルビフェニル)-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-(4'-メチルビフェニル)-6-トリアジンなどのトリアジン系化合物；2,2'-ビス(2-クロロフェニル)-4,4',5,5'-テトラフェニルビイミダゾール、2,2'-ビス(2,3-ジクロロフェニル)-4,4',5,5'-テトラフェニルビイミダゾールなどのビイミダゾール化合物；2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、1-(4-イソプロピルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル(2-ヒドロキシ)プロピルケトン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2-メチル-(4-メチルチオフェニル)-2-モルホリノ-1-プロパン-1-オン(Irgacure-907)、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-ブタン-1-オン(Irgacure-369)などのアセトフェノン系化合物；Ciba Geigy社のIrgacure OXE 01、Irgacure OXE 02のようなO-アシルオキシム系化合物；4,4'-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4'-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系化合物；2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントンなどのチオキサントン系化合物；2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、ビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチルペンチルホスフィンオキシド、ビス(2,6-ジクロロベンゾイル)プロピルホスフィンオキシドなどのホスフィンオキシド系化
合物；3,3'-カルボニルビニル-7-(ジエチルアミノ)クマリン、3-(2-ベンゾチアゾリル)-7-(ジエチルアミノ)クマリン、3-ベンゾイル-7-(ジエチルアミノ)クマリン、3-ベンゾイル-7-メトキシ-クマリン、10,10'-カルボニルビス[1,1,7,7-テトラメチル-2,3,6,7-テトラヒドロ-1H,5H,11H-Cl]-ベンゾピラノ[6,7,8-ij]-キノリジン-11-オンなどのクマリン系化合物などを単独で使用するか、二つ以上を混合して使用することができる。
【００３７】
上記光重合開始剤の含量は、感光性組成物の総重量を基準に0.1〜5重量%であるのが効果的であり、これに限定されるものではない。
【００３８】
上記溶媒は、例えば、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、2-エトキシプロパノール、2-メトキシプロパノール、3-メトキシブタノール、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、エチル3-エトキシプロピオネート、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、ブチルアセテート、及びジプロピレングリコールモノメチルエーテルからなる群より選択された１種以上を含むことができるが、必ずしもこれに限定されるものではない。
【００３９】
上記溶媒の含量は、感光性組成物の総重量を基準に45〜95重量%であるのが効果的であり、これに限定されるものではない。
【００４０】
また、本発明による感光性組成物は、用途によって、着色剤、硬化促進剤、熱重合抑制剤、界面活性剤、光増感剤、可塑剤、接着促進剤、充填剤及び接着助剤からなる群より選択される１種以上をさらに含むことができる。
【００４１】
上記着色剤としては、１種以上の顔料、染料またはこれらの混合物を使用することができる。具体的に例示すれば、黒色顔料としては、カーボンブラック、黒鉛、チタンブラックなどのような金属酸化物などを使用することができる。カーボンブラックの例としては、シースト5HIISAF-HS、シーストKH、シースト3HHAF-HS、シーストNH、シースト3M、シースト300HAF-LS、シースト116HMMAF-HS、シースト116MAF、シーストFMFEF-HS、シーストSOFEF、シーストVGPF、シーストSVHSRF-HS及びシーストSSRF(東海カーボン(株))；ダイアグラムブラックII、ダイアグラムブラックN339、ダイアグラムブラックSH、ダイアグラムブラックH、ダイアグラムLH、ダイアグラムHA、ダイアグラムSF、ダイアグラムN550M、ダイアグラムM、ダイアグラムE、ダイアグラムG、ダイアグラムR、ダイアグラムN760M、ダイアグラムLR、#2700、#2600、#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#900、MCF88、#52、#50、#47、#45、#45L、#25、#CF9、#95、#3030、#3050、MA7、MA77、MA8、MA11、MA100、MA40、OIL7B、OIL9B、OIL11B、OIL30B及びOIL31B(三菱化学(株))；PRINTEX-U、PRINTEX-V、PRINTEX-140U、PRINTEX-140V、PRINTEX-95、PRINTEX-85、PRINTEX-75、PRINTEX-55、PRINTEX-45、PRINTEX-300、PRINTEX-35、PRINTEX-25、PRINTEX-200、PRINTEX-40、PRINTEX-30、PRINTEX-3、PRINTEX-A、SPECIAL BLACK-550、SPECIAL BLACK-350、SPECIAL BLACK-250、SPECIAL BLACK-100、及びLAMP BLACK-101(デグサ(株))；RAVEN-1100ULTRA、RAVEN-1080ULTRA、RAVEN-1060ULTRA、RAVEN-1040、RAVEN-1035、RAVEN-1020、RAVEN-1000、RAVEN-890H、RAVEN-890、RAV
EN-880ULTRA、RAVEN-860ULTRA、RAVEN-850、RAVEN-820、RAVEN-790ULTRA、RAVEN-780ULTRA、RAVEN-760ULTRA、RAVEN-520、RAVEN-500、RAVEN-460、RAVEN-450、RAVEN-430ULTRA、RAVEN-420、RAVEN-410、RAVEN-2500ULTRA、RAVEN-2000、RAVEN-1500、RAVEN-1255、RAVEN-1250、RAVEN-1200、RAVEN-1190ULTRA、RAVEN-1170(コロンビアカーボン(株))またはこれらの混合物などがある。また、色を帯びる着色剤の例としては、カーミン6B(C.I.12490)、フタロシアニングリーン(C.I. 74260)、フタロシアニンブルー(C.I. 74160)、ペリレンブラック(BASF K0084. K0086)、シアニンブラック、リノールイエロー(C.I.21090)、リノールイエローGRO(C.I. 21090)、ベンジジンイエロー4T-564D、ビクトリアピュアブルー(C.I.42595)、C.I. PIGMENT RED 3、23、97、108、122、139、140、141、142、143、144、149、166、168、175、177、180、185、189、190、192、202、214、215、220、221、224、230、235、242、254、255、260、262、264、272；C.I. PIGMENT GREEN 7、36；C.I. PIGMENT blue 15:1、15:3、15:4、15:6、16、22、28、36、60、64；C.I. PIGMENT yellow 13、14、35、53、83、93、95、110、120、138、139、150、151、154、175、180、181、185、194、213；C.I. PIGMENT VIOLET 15、19、23、29、32、37などがあり、その他に白色顔料、蛍光顔料なども用いることができる。顔料として使用されるフタロシアニン系錯化合物としては、銅の他に亜鉛を中心金属とする物質も使用可能である。
【００４２】
上記硬化促進剤としては、例えば、2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2,5-ジメルカプト-1,3,4-チアジアゾール、2-メルカプト-4,6-ジメチルアミノピリジン、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールトリス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(2-メルカプトアセテート)、ペンタエリスリトールトリス(2-メルカプトアセテート)、トリメチロールプロパントリス(2-メルカプトアセテート)、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、トリメチロールエタントリス(2-メルカプトアセテート)、及びトリメチロールエタントリス(3-メルカプトプロピオネート)からなる群より選択された１種以上を含むことができるが、これらに限定されるものではなく、当技術分野に一般的に知られているものなどを含むことができる。
【００４３】
上記熱重合抑制剤としては、例えば、p-アニソール、ハイドロキノン、ピロカテコール(pyrocatechol)、t-ブチルカテコール(t-butyl catechol)、N-ニトロソフェニルヒドロキシアミンアムモニウム塩、N-ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩及びフェノチアジン(phenothiazine)からなる群より選択された１種以上を含むことができるが、これらに限定されるものではなく、当技術分野に一般的に知られているものなどを含むことができる。
【００４４】
上記界面活性剤、光増感剤、可塑剤、接着促進剤、充填剤なども、従来の感光性樹脂組成物に含まれることができる全ての化合物が使用されることができる。
【００４５】
上記着色剤の含量は、感光性組成物の総重量を基準に1〜20重量%であるのが効果的であり、その他残りの添加剤の含量は、それぞれ独立して、感光性組成物の総重量を基準に0.01〜5重量であるのが効果的であるが、これに限定されるものではない。
【００４６】
一方、本発明による透明な感光性組成物は、ロールコーター(roll coater)、カーテンコーター(curtain coater)、スピンコーター(spin coater)、スロットダイコーター、各種の印刷、沈積などに使用され、金属、紙、ガラスプラスチック基板などの支持体上に適用されることができる。また、フィルムなどの支持体上に塗布した後、その他支持体上に転写するか、第１の支持体に塗布した後、ブランケットなどに転写し、さらに第２の支持体に転写することも可能であり、その適用方法は特に限定されない。
【００４７】
本発明の透明な感光性組成物を硬化させるための光源としては、例えば、波長が250ないし450nmの光を発散する水銀蒸気アーク(arc)、炭素アーク、Xeアークなどがあるが、必ずしもこれに限定されるものではない。
【００４８】
本発明の感光性組成物は、基材に適用して薄膜を形成する場合、薄膜強度が0.21GPa以上、具体的に0.24GPa以上である効果がある。薄膜強度が0.21GPa以上でさえあれば、薄膜の効果を得ることができ、0.24GPa以上でさえあれば、薄膜がより優秀である。そのため、本発明の感光性組成物から薄膜を形成する際に、薄膜強度を落とさずに、剥離を容易にする効果がある。上記基材は、例えば、金属、紙、ガラスプラスチック基板などの支持体などを含み、これに制限されない。
【００４９】
本発明による感光性組成物は、フォトアクリル用感光性組成物、タッチパネル保護材料用感光性組成物、TFT LCDカラーフィルタ用感光性組成物、TFT LCDまたは有機発光ダイオードのブラックマトリクス感光性組成物、オーバーコート層用感光性組成物、コラムスペーサー用感光性組成物、光硬化性塗料用感光性組成物、光硬化性インク用感光性組成物、光硬化性接着剤感光性組成物、印刷版用感光性組成物、及びプリント配線板用感光性組成物からなる群より選択されるものであってもよく、これに制限されない。
【００５０】
本発明による感光性組成物は、フォトアクリル用感光材、タッチパネル保護材料用感光材、TFT LCDカラーフィルタ製造用顔料分散型感光材、TFT LCDまたは有機発光ダイオード(OLED)のブラックマトリクス形成用感光材、LCDまたはOLEDのオーバーコート層形成用感光材、コラムスペーサー感光材、印刷版、プリント配線板用感光材及び透明感光材からなる群より選択される感光材として使用されることができる。また、PDP製造、OLED用隔壁材料、LED照明用隔壁材料などにも使用することができ、その用途は特に制限されない。
【００５１】
以下、本発明の理解を助けるために好ましい実施例、比較例及び試験例を提示する。しかし、下記の実施例、比較例及び試験例は本発明を例示するためのものであり、これによって本発明の範囲が限定されるものではない。
【００５２】
〈実施例〉
〈実施例１〉
本発明の効果を確認するために、次のような感光性組成物を作製した。アルカリ可溶性樹脂からなるバインダー BzMA/MAA(モル比：70/30、Mw：24,000)8重量部、架橋性化合物としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの化合物16重量部、光重合開始剤としてCiba-Geigy社のIrgacure 369(2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-ブタン-1-オン)1重量部と、上記化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)、有機溶媒であるPGMEAを入れて全体合計が100重量部になるようにした後、シェーカーを用いて３時間混合させた溶液を5マイクロメートルフィルタで得て使用した。
【００５３】
〈実施例２〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに1.6重量部(架橋性化合物の10%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００５４】
〈実施例３〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに2.4重量部(架橋性化合物の15%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００５５】
〈実施例４〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに3.2重量部(架橋性化合物の20%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００５６】
〈実施例５〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに4.0重量部(架橋性化合物の25%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００５７】
〈実施例６〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式７で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００５８】
〈実施例 7〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式７で表されるアクリレート系化合物1.6重量部(架橋性化合物の10%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００５９】
〈実施例８〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式７で表されるアクリレート系化合物2.4重量部(架橋性化合物の15%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００６０】
〈実施例９〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式７で表されるアクリレート系化合物3.2重量部(架橋性化合物の20%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００６１】
〈実施例１０〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式７で表されるアクリレート系化合物4.0重量部(架橋性化合物の25%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００６２】
〈実施例１１〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式８で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００６３】
〈実施例１２〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式８で表されるアクリレート系化合物1.6重量部(架橋性化合物の10%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００６４】
〈実施例１３〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式８で表されるアクリレート系化合物2.4重量部(架橋性化合物の15%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００６５】
〈実施例１４〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式８で表されるアクリレート系化合物3.2重量部(架橋性化合物の20%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００６６】
〈実施例１５〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式８で表されるアクリレート系化合物4.0重量部(架橋性化合物の25%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００６７】
〈実施例１６〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式９で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００６８】
〈実施例１７〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式９で表されるアクリレート系化合物1.6重量部(架橋性化合物の10%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００６９】
〈実施例１８〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式９で表されるアクリレート系化合物2.4重量部(架橋性化合物の15%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００７０】
〈実施例１９〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式９で表されるアクリレート系化合物3.2重量部(架橋性化合物の20%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００７１】
〈実施例２０〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式９で表されるアクリレート系化合物4.0重量部(架橋性化合物の25%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００７２】
〈実施例２１〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１０で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００７３】
〈実施例２２〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１０で表されるアクリレート系化合物1.6重量部(架橋性化合物の10%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００７４】
〈実施例２３〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１０で表されるアクリレート系化合物2.4重量部(架橋性化合物の15%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００７５】
〈実施例２４〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１０で表されるアクリレート系化合物3.2重量部(架橋性化合物の20%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００７６】
〈実施例２５〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１０で表されるアクリレート系化合物4.0重量部(架橋性化合物の25%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００７７】
〈実施例２６〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１１で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００７８】
〈実施例２７〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１１で表されるアクリレート化合物1.6重量部(架橋性化合物の10%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００７９】
〈実施例２８〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１１で表されるアクリレート系化合物2.4重量部(架橋性化合物の15%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００８０】
〈実施例２９〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１１で表示されるアクリレート系化合物3.2重量部(架橋性化合物の20%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００８１】
〈実施例３０〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１１で表されるアクリレート系化合物4.0重量部(架橋性化合物の25%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００８２】
〈実施例３１〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１２で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００８３】
〈実施例３２〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１２で表されるアクリレート系化合物1.6重量部(架橋性化合物の10%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００８４】
〈実施例３３〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１２で表されるアクリレート系化合物2.4重量部(架橋性化合物の15%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００８５】
〈実施例３４〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１２で表されるアクリレート系化合物3.2重量部(架橋性化合物の20%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００８６】
〈実施例３５〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１２で表されるアクリレート系化合物4.0重量部(架橋性化合物の25%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００８７】
〈実施例３６〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１３で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００８８】
〈実施例３７〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１３で表されるアクリレート系化合物1.6重量部(架橋性化合物の10%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００８９】
〈実施例３８〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１３で表されるアクリレート系化合物2.4重量部(架橋性化合物の15%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００９０】
〈実施例３９〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１３で表されるアクリレート系化合物3.2重量部(架橋性化合物の20%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００９１】
〈実施例４０〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１３で表されるアクリレート系化合物4.0重量部(架橋性化合物の25%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００９２】
〈実施例４１〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに0.5重量部(架橋性化合物の3%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００９３】
〈実施例４２〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに5.0重量部(架橋性化合物の31%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００９４】
〈実施例４３〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式７で表されるアクリレート系化合物0.5重量部(架橋性化合物の3%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００９５】
〈実施例４４〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式７で表されるアクリレート系化合物5.0重量部(架橋性化合物の31%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００９６】
〈実施例４５〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式８で表されるアクリレート系化合物0.5重量部(架橋性化合物の3%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００９７】
〈実施例４６〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式８で表されるアクリレート系化合物5.0重量部(架橋性化合物の31%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００９８】
〈実施例４７〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式９で表されるアクリレート系化合物0.5重量部(架橋性化合物の3%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【００９９】
〈実施例４８〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式９で表されるアクリレート系化合物5.0重量部(架橋性化合物の31%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【０１００】
〈実施例４９〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１０で表されるアクリレート系化合物0.5重量部(架橋性化合物の3%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【０１０１】
〈実施例５０〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１０で表されるアクリレート系化合物5.0重量部(架橋性化合物の31%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【０１０２】
〈実施例５１〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１１で表されるアクリレート系化合物0.5重量部(架橋性化合物の3%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【０１０３】
〈実施例５２〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１１で表されるアクリレート系化合物5.0重量部(架橋性化合物の31%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【０１０４】
〈実施例５３〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１２で表されるアクリレート系化合物0.5重量部(架橋性化合物の3%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【０１０５】
〈実施例５４〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１２で表されるアクリレート系化合物5.0重量部(架橋性化合物の31%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【０１０６】
〈実施例５５〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１３で表されるアクリレート系化合物0.5重量部(架橋性化合物の3%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【０１０７】
〈実施例５６〉
上記実施例１において化学式６で表されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)の代わりに化学式１３で表されるアクリレート系化合物5.0重量部(架橋性化合物の31%)を使用したことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【０１０８】
〈比較例１〉
上記実施例１において化学式６で表示されるアクリレート系化合物0.8重量部(架橋性化合物の5%)を使用していないことを除いては、実施例１と同様に進行した。
【０１０９】
〈比較例２〉
上記実施例１においてでアルカリ可溶性樹脂からなるバインダーBzMA/MAA(モル比：70/30、Mw：24,000)8重量部を使用していないことを除いては、実施例１と同様である。
【０１１０】
〈比較例３〉
上記実施例６においてアルカリ可溶性樹脂からなるバインダーBzMA/MAA(モル比： 70/30、Mw：24,000)8重量部を使用していないことを除いては、実施例１と同様である。
【０１１１】
〈比較例４〉
上記実施例１１においてアルカリ可溶性樹脂からなるバインダーBzMA/MAA(モル比：70/30、Mw：24,000)8重量部を使用していないことを除いては、実施例１１と同様である。
【０１１２】
〈比較例５〉
上記実施例１６においてアルカリ可溶性樹脂からなるバインダーBzMA/MAA(モル比：70/30、Mw：24,000)8重量部を使用していないことを除いては、実施例１６と同様である。
【０１１３】
〈比較例６〉
上記実施例２１においてアルカリ可溶性樹脂からなるバインダーBzMA/MAA(モル比：70/30、Mw：24,000)8重量部を使用していないことを除いては、実施例２１と同様である。
【０１１４】
〈比較例７〉
上記実施例２６においてアルカリ可溶性樹脂からなるバインダーBzMA/MAA(モル比：70/30、Mw：24,000)8重量部を使用していないことを除いては、実施例２６と同様である。
【０１１５】
〈比較例８〉
上記実施例３１においてアルカリ可溶性樹脂からなるバインダーBzMA/MAA(モル比：70/30、Mw：24,000)8重量部を使用していないことを除いては、実施例３１と同様である。
【０１１６】
〈比較例９〉
上記実施例３６においてアルカリ可溶性樹脂からなるバインダーBzMA/MAA(モル比：70/30、Mw：24,000)8重量部を使用していないことを除いては、実施例３６と同様である。
【０１１７】
〈試験例１〉 薄膜強度及び現像性試験
上記実施例及び比較例から得られた感光性組成物を用いてスピンコート、スリットコート、ディップコートまたはドクターブレードなどの方法で塗布して均一な薄膜を形成した後、100℃で200秒間プリベーク工程を行って溶媒を揮発させた。乾燥した薄膜の厚さは約4マイクロメートルだった。その後、5〜50マイクロメートルまで5マイクロメートル間隔の幅を持つラインで構成されたフォトマスクを用いて高圧水銀ランプ下で露光させた。上記露光された基板を25℃の温度で0.04%のKOH水溶液でスプレー方式で現像した後、純水で洗浄してエアブローによって乾燥させた。その後、210℃を維持するオーブンにて30分間処理して最終薄膜を形成した。
【０１１８】
上記薄膜の強度を確認するために、圧子を用いた実験を進行した。MTS社のNano-indenterとBerkovich Tipを用いて薄膜の強度を測定した。
【０１１９】
上記実験から得られた薄膜の剥離特性を確認するために、剥離液としては、ベンジルアルコールとイソプロピルアルコール、蒸溜水を1 : 39 : 60で混ぜた溶液にpH約14となるようにKOHを溶かした溶液を使用した。
【０１２０】
上記実験から得られた薄膜を約60℃に維持される剥離液に浸漬した後、薄膜がガラスから完全に除去されるまでの時間を測定した。剥離液のpHの変化を最小化するために、薄膜を浸漬した後には密封させた。
【０１２１】
上記実施例１〜５６及び比較例１の実験結果を下記の表１に示す。
【０１２２】
比較例１は基準となる実験であって、アクリレート系化合物を使用していない場合である。これに比べると、実施例１〜５６の場合、アクリレート系化合物の含量によって剥離時間が短縮することが分かる。このような現象は、アクリレート系化合物の中心に位置するアダマンチル構造がバルキー(bulky)な特性を持って、薄膜内への剥離液の浸透を容易にすることによるものと考えられる。また、投入量が架橋剤基準で25%以下、具体的に20%以下で使用する場合、薄膜の強度に大きな影響を与えないことが分かる。
【表１】
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【０１２３】
〈試験例２〉粘度及びパターニング試験
上記実施例及び比較例から得られた感光性組成物の粘度を確認するために、毛細管粘度計を用いた実験を進行した。Schott社のViscoClockを用いて粘度を測定した。
【０１２４】
また、パターニング効果を確認するために、上記実施例及び比較例の組成物を用いて現像した後、パターンが形成されるのかを電子走査顕微鏡を用いて観察した。
【０１２５】
上記実施例１〜５６、比較例１〜９の実験結果を下記表２に示す。
【０１２６】
比較例２〜９は基準となる実験であって、バインダーを使用していない場合である。バインダーを使用した場合、粘度が11〜20cStに調節されて薄膜を形成することができた。しかし、バインダーを使用していない場合には粘度が2.5cStに過ぎず、粘度調節が難しくて薄膜を形成することができなかった。
【０１２７】
また、バインダーを使用した場合はパターニングが可能だったが、バインダーを使用していない場合にはパターニング自体が不可能だった。実施例１の組成物を用いて現像した後、パターンが形成されるのかを電子走査顕微鏡で観察した結果を図１に示す。また、比較例２の組成物を用いて現像した後、パターンが形成されるのかを電子走査顕微鏡で観察した結果を図２に示す。図２は、パターンの形成が不可能であることを示す。下記表２のパターニング試験で○はパターニング可能を意味し、×はパターニング不可能を意味する。
【表２】
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【０１２８】
上述のように、本発明によるアクリレート系化合物は、アダマンチル構造を中心に少なくとも一つのアクリレート基を含むことにより、感光性組成物により有用に適用することができる。本発明による感光性組成物は、薄膜の強度を損なうことなくフォトリソグラフィ工程中の現像時間を短縮できる特徴がある。
【図１】
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【図２】
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【国際調査報告】
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