【事件の表示】
　特許第２８６４３２６号「基板洗浄処理装置」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２８６４３２６号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理由】
１．本件発明
　本件特許第２８６４３２６号（特許法第４１条に基づく優先権主張を伴う平成５年６月１０日（優先日、平成４年９月２５日）の出願であって、平成１０年１２月１８日に設定登録）の請求項１及び２に係る発明（以下それぞれ「本件発明１」及び「本件発明２」という。）は、それぞれ特許請求の範囲の請求項１及び２に記載されたとおりのものである。
２．申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、証拠として甲第１号証（実願平３−９３６３５号（実開平４−９９２６９号）のマイクロフィルム）、甲第２号証（実願昭６１−１０１３５１号（実開昭６３−６７３８号）のマイクロフィルム）、甲第３号証（特開昭６３−１８４３５０号公報）及び　甲第４号証（特開平２−２２８０４８号公報）並びに参考資料１（特開昭６２−３０３３４号公報）、参考資料２（実願平１−９２３２３号（実開平３−３２４２８号）のマイクロフィルム）、参考資料３（特開平１−３０９３４８号公報）及び参考資料４（特開平４−３６４７５３号公報）を提出し、本件発明１及び２は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、特許を取り消すべき旨主張している。
３．甲各号証記載の発明
（１）甲第１号証
　▲１▼「図８は本考案に係る浸漬型基板処理装置を具備してなる基板処理ユニット５０の斜視図、図９はその要部の縦断正面図である。・・・（中略）・・・即ち、この基板処理ユニット５０は、基板収容カセットＣの搬入搬出部５１と、カセットＣの移載ロボット５５と、カセットＣから基板Ｗを取り出し又はカセットＣ内へ基板Ｗを装填するローダ・アンローダ装置６０と、本考案の第３の実施例に係る浸漬型基板処理装置６５と、基板Ｗの液切り乾燥装置７０と、カセットＣから取り出した複数の基板Ｗを保持して搬送する基板搬送ロボット７５と、複数種の薬液貯留容器６Ａ〜６Ｅとを具備して成り、単一の基板処理槽１内で複数種の一連の表面処理をなし得るように構成されている。
　上記カセット移載ロボット５５は、昇降及び回転自在で、矢印Ａ方向に移動可能に構成され、搬入搬出部５１に搬入されてきたカセットＣをローダ・アンローダ装置６０のテーブル６１上に移載し、また、処理済み基板を収容したカセットＣを当該テーブル６１から搬入搬出部５１へ移載するように構成されている。
　・・・（中略）・・・
　なお、リフター６２の上面には多数の等ピッチの基板保持溝６２ａが切設されており、この基板保持溝６２ａで複数の基板Ｗを起立整列状態で保持するように構成されている。
　上記基板搬送ロボット７５は、図８〜図９で示すように、昇降自在かつ矢印Ｂ方向に移動可能に設けられ、一対の挟持アーム７６・７６にそれぞれ基板保持杆７７・７７を付設して成り、上記リフター６２から受け取った複数の基板Ｗを基板保持杆７７で保持し、浸漬型基板処理装置６５内及び乾燥装置７０内へ順次搬送するように構成されている。なお、この基板保持杆７７にも上記リフター６２と同様の基板保持溝が切設されており、この基板保持溝で複数の基板Ｗを起立整列状態で保持するように構成されている。」（段落番号【００２９】乃至【００３１】）及び
　▲２▼図８、図９より、
　甲第１号証には、
　複数の基板を収容したカセットから基板を取り出し又はカセット内へ基板を装填するローダ・アンローダ装置と、複数の基板を一括して洗浄する浸漬型基板処理装置と、上記ローダ・アンローダと上記浸漬型基板処理装置との間で複数の基板を一括保持して搬送する基板搬送ロボットとを具備して成る基板処理ユニットにおいて、
　上記基板搬送ロボットは、移動可能に設けられ、左右一対の挟持アームと、挟持アームに設けられた基板保持杆とを備えて成り、基板保持杆に複数の基板保持溝を有し、基板保持溝で複数の基板を起立整列状態で一括保持するように構成した基板処理ユニットが記載されている。
（２）甲第２号証
　▲１▼「従来例のウエハ移し替え装置では、ウエハの移し替え時にウエハ溝１にウエハ３が接触するので、ウエハ溝１にウエハ３の成分が付着する。
　しかし、多段式炉でウエハを処理する場合、各チューブが同一プロセスであれば問題がないが、異なるプロセスであると、先に移し替えられたウエハの成分が次に移し替えるウエハに付着し、半導体製品の不良化の原因となる。
　そこで、各チューブ毎に専用のウエハ移し替え装置を配設し、上記問題点を解決することが考えられるが、この方法は多くのスペースと設備費を必要とするので問題がある。
　又、一台のウエハ移し替え装置の爪２を、異なるプロセスのチューブ毎に取り替えて使用することも考えられるが、交換作業が面倒で多くの時間を必要とするので稼働率が悪い。
　この考案は上記事情に鑑み、プロセスの異なる各チューブのウエハ移し替えを、他のプロセスの影響を受けることなく１台の装置で行うことを目的とする。」（明細書第２頁第１５行乃至第３頁第１５行）、
　▲２▼「次に、ローラ支持部材１０，１１を内方に移動させ、ウエハＷを掬うようにしながら、第１溝２０ａに接触させてチャッキングし、ウエハ移し替え装置ＴをＴ２の状態にする。
　更に、ローラ支持部材１０，１１を前記と逆方向に移動し、ウエハＷのチャッキングを解除した後、ステッピングモータにより支持ローラ１４〜１６と支持ローラ１７〜１９を互いに内方に９０度回転させて第２溝２０ｂを内側にし、前記要領でウエハＷのチャッキングなどを行う。
　このようにプロセスの異なるチューブ毎に支持ローラ１４〜１９を９０゜づつ回転させて、第１溝〜第４溝２０ａ〜２０ｄを順次内側にする。」（明細書第６頁第９行乃至第７頁第３行）及び
　▲３▼「このように、プロセスの異なるチューブ毎に、支持ローラを回転すれば、各プロセス専用のウエハの支持溝が現われるので、他のプロセスの成分が混入することはない。」（明細書第７頁第１２乃至１５行）より、
　甲第２号証には、
　支持ローラは複数組のチャック対向面を有し、各組のチャック対向面は複数の支持溝を有し、各組のチャック対向面でウエハを起立整列状態で一括保持するようにするとともに、プロセスが異なる毎に支持ローラを回転させて、チャック対向面を、各プロセス専用のチャック対向面にに切り換えて、他のプロセスの成分が混入することがないようにしたウエハ移し替え装置が記載されている。
（３）甲第３号証
　▲１▼「ウエハ処理槽２およびウエハ搬送用ホルダ７のウエハ１を保持する部分には、その詳細は後述するが、同一ピッチ・同一形状のガイド溝が刻まれている。ウエハ搬送用ホルダ７には、ウエハ搬送用ホルダ７と一体構造でウエハ搬送用ホルダ７を回転させることができる回転式チャックアーム１３が取付けられている。この回転式チャックアーム１３は移動アーム９によって上下左右に移動する。」（第３頁右下欄第８乃至１６行）、
　▲２▼「両者に同一ピッチ・同一形状のガイド溝を形成させたのは、ウエハ搬送用ホルダ７とウエハ処理槽２間で、ウエハ１を倒れされることなく、その受け渡しを容易にするためである。」（第４頁左上欄第８乃至１１行）及び
　▲３▼第１，２，３Ａ，３Ｂ図より、
　甲第３号証には、
　上下左右に移動する移動アームと、移動アームに設けられ略水平に突出した左右一対の回転式チャックアームと、回転式チャックアームに取付けられたウエハ搬送用ホルダとを備えてなり、ウエハ搬送用ホルダ複数のガイド溝にを有し、ウエハを起立整列状態で一括保持するように構成したウエハ搬送処理装置が記載されている。
（４）甲第４号証
　▲１▼「次に左右のウエハチャック５の回転軸８を中心としてウエハチャック５の相互の間隔が下部が狭くなる方向へ、ウエハチャック５の下端でのキャリヤ用ウエハ収納溝６の溝底の相互の間隔がウエハ４より狭くなるまで、すなわち第３図のようにウエハチャック５によってウエハ４が保持できるまで回転させる。・・・（中略）・・・そこでウエハチャック５は前記と逆方向に回転し、ウエハ４をウエハチャック５よりピッチ変換部３のウエハ収納溝９へ移動させる。・・・（中略）・・・
　次に、ピッチ変換部３の上にあるウエハチャック５は、ポート用ウエハ収納溝７が向い合う位置になるようにそれぞれ１８０゜回転させる。さらに前期と同様の手順にて、ピッチ変換部３より、ポート２の溝ピッチでウエハチャック５ヘウエハ４を移動させる。」（第２頁左下欄第１１行乃至右下欄第１６行）及び
　▲２▼第１乃至３図より、
　甲第４号証には、
　左右一対の水平な回転軸と、各回転軸に固定されたウエハチャックと、上記一対のウエハチャックは複数組のチャック対向面を有し、各組のチャック対向面は複数のウエハ収納溝を有し、各組のチャック対向面でウエハを起立整列状態で一括保持するように構成するとともに、回転軸の回転によりチャック対向面を切り換え可能に構成したウエハ移載機構が記載されている。
４．本件発明１及び２と甲各号証記載の発明との対比・判断
　本件発明１及び２と甲各号証とを対比すると、甲各号証には、いずれにも、本件発明１及び２がそれぞれ必須の構成とする「基板チャックのチャック対向面を、洗浄処理前の基板を保持するチャック対向面と洗浄処理済みの基板を保持するチャック対向面とに、切り換え可能に構成したこと」が記載されておらず、かつ、当該構成が示唆されているとすることもできない。
　なお、甲第２号証に記載されたものは、前記３．（２）のとおり、プロセスが異なる毎に支持ローラを回転させて、チャック対向面を、各プロセス専用のチャック対向面にに切り換えて、他のプロセスの成分が混入することがないようにしたものであり、チャック対向面を、各プロセス毎の専用のチャック対向面に切り換えるものであって、あるプロセスでの処理前と処理後とでチャック対向面を切り換えるものではなく、また、甲第２号証に記載されたどの事項からも、チャック対向面はあるプロセスでの処理前と処理後とで切り換えられるものであると読みとることができない。
　さらに、甲第２号証に記載された発明におけるプロセスとは、具体的にはウエハの炉での処理であって、洗浄ではなく、甲第２号証には、ウエハの洗浄については、何等の記載もされていない。
　そして、甲第２号証に記載された発明は、チャック対向面を、あるプロセスでの処理前と処理後とでチャック対向面を切り換えるものではなく、ウエハの洗浄に関するものでもないので、甲第２号証に記載された発明を、甲第１号証に記載された発明のごとく公知な基板処理洗浄処理装置に採用して、前記の構成要件である「基板チャックのチャック対向面を、洗浄処理前の基板を保持するチャック対向面と洗浄処理済みの基板を保持するチャック対向面とに、切り換え可能に構成したこと」とすることが容易であるとすることもできない。
　また、前記の構成要件については、参考資料１乃至４にも記載されていない。
　そして、本件発明１及び２は、前記の構成要件を備えることにより、未洗浄基板に付着した汚染物質が基板搬送チャックを介して洗浄済み基板に転移することによる洗浄済み基板の汚染を防止すること、あるいは、ウォータマークによる弊害を有効に防止することができ、これにより製品の歩留まりを高めることができるものである（本件特許公報第６欄第１８乃至２５行）。
　したがって、本件発明１及び２は、前記甲第１乃至第４号証及び参考資料１乃至４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
５．むすび
　したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１及び２に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１及び２に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１１月１８日（１９９９．１１．１８）