【事件の表示】
　特許第２８０５４７３号「真空蒸着方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８０５４７３号の特許を維持する。
【理由】
［１］手続の経緯
　本件特許第２８０５４７３号（昭和６１年１２月２７日出願、平成１０年７月２４日設定登録。）は、王子製紙株式会社により特許異議の申し立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１１月３０日に意見書が提出されたものである。
　
［２］本件発明
　本件特許に係る発明は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲第１項に記載されたとおりのものであるところ、その特許請求の範囲第１〜４項には次のとおりのものが記載されている（以下、まとめて「本件発明」という）。
　「１．走行する蒸着基材の所定部をマスキングテープにより遮蔽しつつ真空蒸着を行うに際して、マスキングテープを蒸着基材と接触させつつ蒸着基材とともに走行させ、真空蒸着室内の蒸着位置よりも上流且つ該蒸着基材との接触開始位置より上流の位置で蒸着物質蒸気に曝される該マスキングテープの面に蒸着防止用オイルを噴霧または接触転写により塗布することからなり、且つ該蒸着防止用オイルとしてパーフロロアルキルポリエーテルを用いることを特徴とする真空蒸着方法。
２．パーフロロアルキルポリエーテルの平均分子量が１０００〜１５０００の範囲にある特許請求の範囲第１項に記載の真空蒸着方法。
３．パーフロロアルキルポリエーテルが下式（１）〜（３）
式（１）　−（−Ｃ３Ｆ６Ｏ−）−
式（２）　−（−Ｃ３Ｆ６Ｏ−）−ｎ　−（−ＣＦ２Ｏ−）−ｍ　
式（３）　−（−Ｃ２Ｆ４Ｏ−）−ｎ　−（−ＣＦ２Ｏ−）−ｍ　
（ここでｎ，ｍは、パーフロロアルキルポリエーテル全体としてｌ０００〜１５０００の平均分子量を与える平均繰り返し単位数を示す）で示される繰り返し単位を有するものの夫々単独、またはこれらの中の２種以上の混合物である特許請求の範囲第１項に記載の真空蒸着方法。
４．蒸着膜が導体である特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の真空蒸着方法。」
　
［３］異議申立ての理由の概要
　申立人王子製紙株式会社は、証拠方法として、
　甲第１号証：特開昭５８−４５３７６号公報
　甲第２号証：米国特許第２８９８２４１号明細書
　甲第３号証：米国特許第２５９０５５７号明細書
　甲第４号証：米国特許第４０２２９２８号明細書
　甲第５号証：特開昭５７−２０７３２２号公報
を提示し、本件発明は、上記甲第１〜４号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、本件特許は、同法第１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべき旨主張している。
　
［４］甲第１〜５号証について
（１）甲第１号証
　上記甲第１号証の特開昭５８−４５３７６号公報には、電気コンデンサに使用する絶縁帯の金属蒸着における無金属条部の製造方法に関する発明が、第３〜７図とともに開示され、さらに、
　「絶縁帯が製造すべき無金属条部の領域において絶縁帯に接して同じ速度で絶縁帯と共に走行する無端の被覆帯で覆われ、この被覆帯は蒸着領域に進入する前に金属蒸着装置と対向する側が油で被覆され、蒸着領域を通過して被覆帯と絶縁帯とが分離した後に蒸発金属をはぎとることによって取り除くことにより、電気コンデンサに使用する絶縁帯の金属蒸着における無金属条部の製造方法において、先ず金属化すべき絶縁帯と被覆帯とを接触させ、次いで油の蒸発によって被覆を被覆帯の側面および絶縁帯の境界表面領域をも少しは覆うようにして形成し、その後に金属蒸着を行うことを特徴とする絶縁帯の金属蒸着における無金属条部の製造方法。」（特許請求の範囲第１項）、
　「本発明は、絶縁帯が製造すべき無金属条部の領域において絶縁帯に接して同じ速度で絶縁帯と共に走行する無端の被覆帯で覆われ、この被覆帯は蒸着領域に進入する前に金属蒸着装置と対向する側が油で被覆され、蒸着領域を通過して被覆帯と絶縁帯とが分離した後に蒸発金属をはぎとることによって取り除くようにした」（第２頁左上欄第９〜１８行）
が、それぞれ記載されている。
（２）甲第２号証
　上記甲第２号証の米国特許第２８９８２４１号明細書には、電気コンデンサー等の製造に使用する被覆ウエブの製造装置に関する発明が、第１図とともに開示され、さらに、以下のような技術的事項が記載されている。
　「この発明は、広がりを持つ支持体上の限られた領域にコーテイングを施す方法と、その方法でコーテイングされた支持体に関する。この発明の主たる応用分野は、薄い支持体で構成されるタイプの電気コンデンサの製造であって、前記の薄い支持体はコンデンサーの一方の電極を形成するために、紙、ポリスチレンなどの誘電体上に金属フィルムを析出させたものであっても、あるいは金属フィルムの上に誘電体を析出させたものであってもよい。」（第１欄第１６〜２５行参照）、
　「第１図はメタライジング装置（金属被覆装置）の配置を示す図面である。」（第１欄第４８〜４９行参照）、
　「第１図は、電気コンデンサーの製造に使用して好適なコーテイングされたウエブを製造するのに適した装置を示す。この具体例では、熱蒸着法でウエブ表面に金属が析出する。
　供給ロール１１から紙、ポリスチレン等のような誘電体のウエブ１０が、ガイドロール１２、１３、１４及び１５を経て巻取りロール１６に送られる。ロール１４と１５との間で、ウエブは主たる金属被覆区域１８の金属被覆ロール１７の表面と接するが、ロール１４及び１５は金属被覆開口の直ぐ近くに位置させることもできる。
　ウエブは予備金属被覆区域１９を通り、ここできわめて薄い金属のフィルムがウエブ上に析出する。このフィルムには銀が使用できるほか、主たる金属被覆区域１８での主たる金属の析出、たとえばカドミウムの析出を容易にするために、周期律表１Ｂまたは４Ｂ族から選ばれる類似の金属も使用できる。本発明は金属被覆方法それ自体に関するものではないので、これについてはここで詳しく説明しないが、熱蒸着法以外に所謂印刷法やカルボニル法も使用できる。
　ウエブの一端は、上記したように、金属の析出が起こらないようにする必要から、ウエブと接触してウエブと同じ速度で移動するマスク２１が使用される。最も単純な形では、このマスクは、紙、金属または誘電材料のストリップ、リボンまたはテープからなり、供給ロール２２から供給されてウエブと接触し、ロール１２〜１５及び１７を通って、巻取りロール２３に送られる。」（第１欄第６７行〜第２欄第２６行参照）、
　「ロール２２から供給されるマスクを使用する代わりに、エンドレスのマスクを使用することもできる。この場合、マスクは第１図に示すように配置され、ロール１２〜１５及び１７を通り、さらに、ロール２５及び２６を通過する。また、マスクに蓄積する金属の厚さを最小にするには、マスクの長さを長くする方が好ましいので、所望のマスク長を得るために、さらに、補助ロールを使用することもできる。このマスクは金属、例えばアルミニウム製であってよく、また、マスクへの金属の析出を防止するために、ワックス、グリースまたはシリコンオイルをマスクに塗布する装置を、たとえば区域２７に設けることが可能である。また、マスクからこれらを容易に除去する装置を、たとえば区域２８に作ることも可能である。金属を析出させるウエブの領域にグリースなどが到達しないようにすることは重要であるが、このことは好適な塗布装置や洗浄装置を使用し、グリースの塗膜厚を精密に調節することで達成できる。」（第２欄第４０〜５７行参照）。
（３）甲第３号証
　上記甲第３号証の米国特許第２５９０５５７号明細書には、紙などの長尺の支持体に析出する金属を、支持体の幅よりも小さい一つまたはそれ以上の帯状体とすることが要求される場合のメタライジング方法の改良に関する発明が、第７図とともに開示され、さらに、以下のような技術的事項が記載されている。
　「そのようにメタライジングされた長尺支持体の利用例の一つは、ロール形、すなわち、巻取り型静電気コンデンサの製造である。」（第１欄第７〜９行参照）、
　「第７図は、本発明の改良されたメタライジング方法の実施に適合する装置の概略図である。」（第２欄第２８〜３０行参照）、
　「そこに示す装置は、空気を通さない基板４０と、その基板の上に置かれた空気を通さないカバー４１とを備え、この両者は真空漏れのないチャンバー４２を形成している。チャンバー４２内への空気の漏洩を防ぐために、ガスケット４３のような適当なシール材が備えられている。真空ポンプ（図示略）は、メタライジング操作の進行中に、チャンバー内を高真空に保持する上で最も都合がよいので、基板４０又はカバー４１の何れかを介して接続される。」（第３欄第２４〜３４行参照）、
　「蒸発器は、蒸発させる金属（通常は亜鉛）が収容できるように設計された、電気的に加熱される小さい容器であって、その上端に金属蒸気の噴出口５６が設けられている。これから明白なように、当該噴出口の開放端は、誘電体長尺片５０の下側表面と、またマスキングテープ５４の下側表面と直に隣接している。
　マスキングテープの幅は、誘電体長尺片下側のメタライジングされない表面と同じ幅であって、こうしないと誘電体長尺片の下側表面は、蒸発器５５から放出される金属蒸気に直接曝されることになる。」（第３欄第５０〜６３行参照）。
（４）甲第４号証
　上記甲第４号証の米国特許第４０２２９２８号明細書には、真空中で材料表面に蒸気流が析出するのを防止するために、その表面にパーフロロポリエーテルを被覆する発明が、第１、２図とともに開示され、さらに、以下のような技術的事項が記載されている。
　「Ａ．防止液
　・・・
　この発明において防止液として使用される有機化合物は以下の一般式を有するパーフロロポリエーテル類である：
　−［（Ｏ−ＣＦＣＦ３−ＣＦ２−Ｏ−ＣＦＣＦ３−ＣＦ２）ｘ−Ｏ−ＣＦ２］ｎ−
ここで、ｘは全体として１〜２５の範囲にあり、ｎは全体として１〜２５の範囲にある。・・・
　防止液として本発明で採用されるパーフロロポリエーテルは、モンテカチーニ−エジソン社のフォンブリンＹＲ、フォンブリンＹＵ、フォンブリン２５・・・フォンブリンＹ０２の商標で販売されている化合物である」（第４欄第５０行〜第５欄第１０行参照）、
　「表１に異なる試料の数種の性質を提示する。
　
（表１内容の一部を以下に示す。）
　
　防止液　　　　　　　　　ＡＭＵ（平均分子量）
　フォンブリンＹＲ　　　　６７００
　フォンブリンＹＵ　　　　４３００
　フォンブリンＹ２５      ３２４０
　　・・・
　フォンブリンＹ０２　　　１１７０」（第５欄第２４〜３６行）
　
　「Ｂ．防止被覆への噴霧の適用
　・・・
　噴霧液は、好適な希釈液または溶剤を含む溶液の、或いは１００％濃度の・・・所望の分子量のパーフロロポリエーテルからなる。・・・１００％濃度のまたは溶液のいずれかの液体は、・・・テトラフロロメタンのような好適な揮発性プロペラントとともにエアロゾル缶のような好適な容器内に封印される。プロペラントは溶液を缶から噴霧状態にするためのものであり、このプロペラントは基板に当たった後、直ちに蒸発する。エアロゾル容器のプロペラント濃度は、２５％〜３５％プロペラント容量の範囲が好ましい。３３％容量のプロペラント濃度は満足する結果を得る。また、プロペラントはエアロゾル容器内の圧力下で空気または窒素化合物ガスからなる。また、１００％濃度のまたは溶液のいずれかの防止液は、好適なエアブラシ手段で基板表面上を噴霧する。」（第６欄第１９〜６８行参照）、
　「Ｄ．蒸発による適用
　被覆を適用する他の手段としては、蒸発蒸気を形成する真空内で防止液を蒸発させることであり、その蒸気は所望の基板表面上に析出する。第１図は真空室またはベルジャー１０の手段によるこの方法の概略を図示し、この手段の中には基板１２が図示しない好適な支持体に設けられている。通常の真空システムはベルジャーの内部を排気するものである。この真空システムは排気管１４を通じてベルジャー内へと接続する機構及び／または拡散ポンプを含んでいる。基板上に析出する材料を支持するるつぼのような蒸発源１６は、ベルジャーの底部の中に設けられる。そして、電気抵抗型の熱コイル１８は蒸発源を材料の蒸発温度に加熱するものである。また、この蒸発源１６は抵抗熱形のフィラメントからなり、材料はこのフィラメントのコイルの中に配置または支持される。付加した蒸発源２０はベルジャーの内側に設けられ、付加した電気抵抗型の熱コイル２２はこの蒸発源の周囲に設けられ、蒸発温度に防止液を加熱する。基板１２上には防止被覆２４が施されるものであるが、この基板はすでに述べた型の構造、たとえばプリント回路基板、半導体ボデイである。」（第７欄第４４行〜第８欄第１行参照）、
　「Ｅ．印刷法による適用
　基板表面への防止液の被覆を適用する他の手段としては、印刷法によるものであり、この方法では、１００％濃度の、或いは好適な液状の希釈剤または溶剤を含む溶液中のいずれかの防止液は、印刷用”インク”からなる。
　・・・
　第２図は、この発明の方法に使用するリリーフ印刷デザインの好適な印刷機構２６を概略的に図示する。印刷機構２６はプレートシリンダ２８と”印刷”シリンダ３０を含み、その両方とも所望のプラテン上で好適な手段により回転可能に設けられるが、このプラテン上では、所望の基板３２がプレートシリンダの下で線形移動する。基板上に印刷されるあらかじめ決められたパターンは、電子的または伝統的な通常の印刷工程により好適なリリーフプレートの中へ逆さまにモールドされる。１００％濃度の防止液の層、或いは好適な希釈液またはフロンＴＦのような溶剤の５０％容量までを含む溶液の防止液の層が、インクロール３０上を被覆するように覆う。この液層はプレートシリンダ２８によりピックアップされるが、このシリンダは第２図に図示した手段の基板上にあるパターン３４の中に液を、同様に印刷する。次に、この基板は真空室またはベルジャーの中に配置され、その後真空室またはベルジャーは排気され、そして、金属、カーボンのような所望の原材料で蒸発またはカソードスパッタリング技術によって蒸気流が形成される。」（第９欄第４８行〜第１０欄第１７行参照）。
　さらに、表１には、甲第４号証に記載の発明に使用されるパーフロロポリエーテルのＡＭＵ（平均分子量）が１１７０〜６７００であることが記載されている。
（５）甲第５号証
　上記甲第５号証の特開昭５７−２０７３２２号公報には、誘電体フィルムの表面に金属電極を蒸着などにより形成した金属化フィルムを巻回または積層することにより構成される金属化フィルムコンデンサに関する発明が、第１図とともに開示され、さらに、
　「まず、第１図ａ，ｂに示すようにポリプロピレンフィルム、ポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルムなどの誘電体フィルムの片面または両面に、真空蒸着法などによりアルミニウム、亜鉛等の金属電極２を前記誘電体フィルム１の幅方向の端部に０．５ｍｍ〜５ｍｍ程度の非金属化部分３を設けて形成することにより片面金属化フィルム４、両面金属化フィルム５を得る。」（第１頁右下欄第１１〜１８行参照）
が記載されている。
　
［５］本件発明の容易性について
（１）対比・判断
　本件発明と当審が通知した取消理由において引用した刊行物１（上記甲第２号証）に記載のものとを対比すると、刊行物１に記載の「ウエブ１０」、「マスク２１」、区域２７の「シリコンオイル」及び主たる金属被覆区域１８の「金属」は、本件発明における「蒸着基材」、「マスキングテープ」、「蒸着防止用オイル」及び「蒸着物質」に相当することは明らかである。また、刊行物１の第１図の記載からみて、ウエブ１０への蒸着位置よりも上流で、且つウエブ１０との接触開始位置より上流の位置で金属蒸気に曝されるマスク２１の面にシリコンオイルを塗布していると認められるから、本件発明と刊行物１に記載のものとは、「走行する蒸着基材の所定部をマスキングテープにより遮蔽しつつ蒸着を行うに際して、マスキングテープを蒸着基材と接触させつつ蒸着基材とともに走行させ、蒸着位置よりも上流且つ該蒸着基材との接触開始位置より上流の位置で蒸着物質蒸気に曝される該マスキングテープの面に蒸着防止用オイルを塗布する蒸着方法」の点で一致する。
　しかしながら、蒸着防止用オイルの塗布について、本件発明では、真空着室内において、パーフロロアルキルポリエーテルを噴霧または接触転写により塗布するものであるのに対し、刊行物１に記載のものでは、シリコンオイルを塗布するものである点で相違する。
　そこで上記相違点について検討すると、同じく引用した刊行物２（上記甲第４号証）の「Ｄ．蒸発による適用」の項には、第１図とともに、真空室内で基板１２の一部にパーフロロポリエーテル（このパーフロロポリエーテルの化学式は、本件発明におけるパーフロロアルキルエーテルの化学式（式（２））と同一のものである。）を蒸着させて防止被覆２４を施し、その後、基板１２の他の一部に金属を蒸着させること、表１には、このパーフロロポリエーテルの平均分子量が１０００〜１５０００の範囲内にあることが、それぞれ開示されており、また、「Ｂ．防止被覆への噴霧の適用」の項には、１００％濃度のパーフロロポリエーテルを噴霧することにより塗布することが開示され、さらに、「Ｅ．印刷法による適用」の項には、第２図とともに１００％濃度のパーフロロポリエーテルを印刷、すなわち、接触転写により基材に塗布することが開示されている。
　しかしながら、刊行物２に記載のものは、噴霧による塗布、接触転写による塗布は、いずれも真空室内で行うことは明らかではなく、また、いづれの場合も、基板にパーフロロポリエーテルを直接塗布するものであって、本件発明のようにマスキングテープの面に塗布するものではない。
　そうしてみると、刊行物２に、パーフロロポリエーテルの平均分子量が１０００〜１５０００の範囲にあるものについて、−（−Ｃ３Ｆ６−）−ｎ　−（−ＣＦ２Ｏ−）−ｍ　で示される繰り返し単位が記載されているとしても、刊行物１の記載では、シリコンオイルの塗布を真空蒸着室内で行うことは明らかではなく、刊行物１に記載の、蒸着による金属の析出を防止するシリコンオイルの塗布として、刊行物２に記載の、噴霧または接触転写によるパーフロロポリエーテルの塗布を適用してみても、本件発明における、「真空蒸着室内の・・・蒸着防止用オイルを噴霧または接触転写により塗布することからなり、且つ該蒸着防止用オイルとしてパーフロロアルキルポリエーテルを用いる」という構成を容易に想到し得るものではない。
　そして、本件発明は、上記の構成を有することにより、特許明細書に記載のように、テープマスク方式によるプロセス上の問題、すなわち、テープに蒸着物が付着積層し、剥離脱落することによるテープのたるみ、微粒子状となった積層蒸着物のテープからの飛散などが顕著に改善され、蒸着の生産性および得られた製品の品質が著しく向上する、という顕著な作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明は、刊行物１、２に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（２）特許異議申立人の主張
　申立人は、本件発明と甲第１号証に記載の発明とを対比すると、甲第１号証に記載の発明は、金属蒸着であって真空蒸着とは断っていない点（イ）、被覆帯（「マスキングテープ」に相当する。）を絶縁帯（「蒸着基材」に相当する。）に接触させた後に行い、蒸発させた油（「オイル」に相当する。）をテープ面に凝縮させて塗布している点（ロ）、塗布する油としてパーフロロアルキルポリエーテルの教示がない点（ハ）、でそれぞれ本件発明と相違し、相違点（イ）については、甲第１号証でいう「蒸着」は「真空蒸着」とその実体は同じであること、相違点（ロ）については、甲第２号証に記載のとおり被覆帯が絶縁帯と接触する以前に、油を塗布するを行うのは当然であること、また、本件発明の噴霧、接触転写による塗布方法は甲第４号証に記載されていること、さらに、相違点（ハ）については、甲第４号証にパーフロロアルキルポリエーテルと同一の油が記載されていること、をそれぞれ主張している。
　しかしながら、上記相違点（イ）、（ロ）については、上記甲第１号証には、走行する絶縁帯の所定箇所を被覆帯で覆って金属を蒸着させるに際し、被覆帯を絶縁帯とともに走行させ、蒸着区域より上流側で被覆帯に油の被覆を施すことが開示されているものの、真空蒸着であることは開示されておらず、甲第３号証に記載のように真空蒸着が周知の技術であるとしても、甲第１号証に記載の蒸着は真空蒸着とその実体は同じであると断定することはできない。
　また、異議申立人は、油の塗布を被覆帯に限りたい場合には、甲第２号証に記載のように被覆帯が絶縁帯と接触する以前に、油の塗布を行うのは当然であって、むしろ必然であるとしているが、甲第１号証に記載のものは、被覆帯の側面及び絶縁帯の境界表面領域まで油を被覆しており、油の被覆を被覆帯に限るとすることの記載も示唆も認められないから、上記主張は採用できない。
　さらに、上記相違点（ハ）については、上記甲第４号証にパーフロロアルキルエーテルと同一の油が記載されていることは、上記［４］（４）において述べたとおりである。なお、上記甲第５号証には、誘電体フィルムとしてポリプロピレンフィルム、ポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルムを使用し、蒸着する金属にアルミニウム、亜鉛などを使用したコンデンサ用金属化フィルムが記載されているにすぎない。
　
［６］むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって結論のとおり決定する。　                       
【異議決定日】
平成１２年３月９日（２０００．３．９）