【事件の表示】
　特許第２９１９２０８号「拡散炉装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９１９２０８号の特許を維持する。
【理　由】
（１）手続の経緯
　特許第２９１９２０８号は、平成４年１２月１７日に特許出願され、平成１１年４月２３日にその特許の設定登録がなされ、その後、高橋　学　より請求項１に係る発明に対して特許異議の申立てがなされたものである。
　
（２）特許異議申立てについて
ア．本件発明
　本件特許の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「温度制御部により制御されるヒーターを備え半導体基板の熱処理及び不純物の拡散を行なう拡散炉装置において、前記ヒーター温度を検出する熱電対と補償導線との接続端子部の温度変化を検出する温度センサと、この検出した温度をもとに前記接続端子部の起電力の補正をする補正回路とを有することを特徴とする拡散炉装置。」
　
イ．申立ての理由の概要
　申立人　高橋　学　は、特開平１−１２５９２５号公報（甲第１号証）及び特開昭５４−５４７９号公報（甲第２号証）に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張している。
　
ウ．判断
（刊行物に記載された発明）
　特開平１−１２５９２５号公報（以下、「刊行物１」という。）には、
「（従来の技術）・・・この温度調整装置の従来例を第３図を参照して説明する。同図において、酸化拡散炉１内にはヒータ２が配置され、このヒータ２の温度を検出する熱電対３が前記ヒータ２に設けられている。前記熱電対３出力は、前記酸化拡散炉１外に設けられ、この熱電対３回路の中継器であるジャンクションボックス４内に接続されている。前記ジャンクションボックス４は、前記熱電対３をケーブル５に接続するものである。そして、前記ケーブル５を引き回してこれを温度調整部６に配線することで、熱電対３の温度検出出力をこの温度調整部６に入力するようになっている。そして、前記熱電対３による温度検出出力に基づき、前記温度調整部６によって前記ヒータ２の温度調整を実行するようになっている。
（発明が解決しようとする問題点）上述した従来の熱処理炉の温度調整装置にあっては、前記ケーブル５として温度補償導線を使用していたが、前記熱電対３の出力電圧が微少であるので、前記ケーブル５を引き回すことによってヒータ電源による電磁界のノイズの重畳によって、信号に対する雑音の占める比が大きくなり、Ｓ／Ｎ比の悪い信号となり正確な温度調整を実行することができない。」（第１頁右下欄第３行〜第２頁左上欄１２行）、
「（実施例）以下、本発明装置を半導体ウエハを酸化拡散処理するための酸化拡散炉の温度調整に適用した一実施例について、図面を参照して具体的に説明する。熱処理炉の温度調整装置は、第１図に示すように、酸化拡散炉１内に円筒状ヒータ２を配置し、このヒータ２に加熱温度検出用として熱電対３を配置している点は従来通りである。また、本実施例では、前記熱電対３近傍のを前記酸化拡散炉１外近傍に中継器１０を配置し、この中継器１０よりシールドケーブル２０を介して予め設定した温度に自動的に制御する温度調整部６に入力している。前記中継器１０については、第２図を参照して説明する。・・・前記中継器１０の内部には、前記熱電対３の出力端が配線され、この出力端は比較器１４に接続されている。また、前記比較器１４の他方の入力には、前記中継器１０内部に配置した接点補償用熱電対１５の出力が接続されている。尚、この接点補償用熱電対１５は、例えば白金抵抗体等で構成されている。」（第２頁左下欄第２行〜右下欄第９行）、
「上記中継器１０内には温度補償を行うための接点補償用熱電対１５が設けられ、ヒータ電流などによる外乱を温度検出用熱電対３と同様に受け、この熱電対１５の出力には雑音成分のみが出力される。従って、この雑音成分出力と雑音が重畳した温度検出用熱電対３出力とを比較器１４で比較演算することにより、温度信号から雑音分を除去することができる。」（第３頁右上欄第８〜１５行）が、第１図、第２図、第３図と共に記載されている。
　すなわち、刊行物１には「温度調整部６によってヒータ２の温度調整を実行するようになっている、半導体ウエハを酸化拡散処理するための酸化拡散炉において、
　ヒータ電流などによる外乱を、前記ヒータ２の温度を検出する温度検出用熱電対３と同様に受け、雑音成分のみを出力する接点補償用熱電対１５と、
　この雑音成分出力と、雑音が重畳した温度検出用熱電対３の出力とを比較演算することにより、温度信号から雑音信号を除去する比較器１４とを有することを特徴とする酸化拡散炉。」が記載されていると認められる。
　特開昭５４−５４７９号公報（以下、「刊行物２」という。）には、
「本発明はガラスのテンパリング用の炉のような多圏域型の装置に使用するに特に適する形式の熱電対読取回路に関するものである。」（第２頁左下欄第２〜４行）、
「本発明は読取回路の導体への熱電対の接続から生ずる冷接点誤差を補償するために基準熱電対を使用する。」（第２頁右下欄第３〜５行）、
「複数の熱電対が等温接点ブロックで読取回路の導体に接続されて、演算増巾器に選択的に接続される。基準熱電対が等温接点ブロックの温度を感知し、この基準熱電対は基準接点補償装置を通して演算増巾器に選択的に接続される。コンピュータが演算増巾器からの出力信号を感知し記憶する。基準熱電対が演算増巾器に接続された時に発生される出力信号は、複数の熱電対の入力の各々によって発生された出力信号から減算されて、等温接点ブロックにおいて導入される冷接点誤差がなく、且つオフセット誤差がなく、熱電対の接点温度に比例する信号を与える。」（第２頁右下欄第１２行〜第３頁左上欄第３行）、
「熱電対１０は種々の既知の異なる導体の対でつくることができ、例えばクロメル、アルメルでつくられ、読取回路導体１４は典型的には銅でつくられる。」（第３頁右上欄第７〜１０行）が、図面と共に記載されている。
　すなわち、刊行物２には「ガラスのテンパリング用の炉のような装置に使用するに特に適する形式の熱電対読取回路において、
　複数の熱電対１０が読取回路の導体１４に接続される基準接点ブロックの温度を感知する基準熱電対と、
　この基準熱電対が演算増巾器に接続された時に発生される出力信号を、複数の熱電対の入力の各々によって発生された出力信号から減算して、等温接続ブロックにおいて導入される冷接点誤差をなくすコンピュータとを有することを特徴とする熱電対読取回路。」が記載されていると認められる。
　
（対比・判断）
　本件発明と刊行物１に記載された発明を対比すると、本件発明の「温度制御部」、「ヒーター」、「半導体基板の熱処理及び不純物の拡散を行なう拡散炉装置」、「ヒーター温度を検出する熱電対」は、それぞれ刊行物１に記載された発明の「温度調整部６」、「ヒータ」、「半導体ウエハを酸化拡散処理するための酸化拡散炉」、「ヒータ２の温度を検出する温度検出用熱電対３」に相当する。
　従って、本件発明と刊行物１に記載された発明は、
「温度制御部により制御されるヒーターを備えた半導体基板の熱処理及び不純物の拡散を行なう拡散炉装置」である点で一致し、
　本件発明が「ヒーター温度を検出する熱電対と補償導線との接続端子部の温度変化を検出する温度センサ」を有するのに対して、刊行物１に記載された発明は「ヒータ電流などによる外乱を、前記ヒータ２の温度を検出する温度検出用熱電対３と同様に受け、雑音成分のみを出力する接点補償用熱電対１５」を有する点（相違点１）、
　本件発明が「検出した温度をもとに接続端子部の起電力の補正をする補正回路」を有するのに対して、刊行物１に記載された発明が「雑音成分出力と、雑音が重畳した温度検出用熱電対３の出力とを比較演算することにより、温度信号から雑音信号を除去する比較器１４」を有する点（相違点２）で相違する。
　
　また、刊行物２に記載された発明も、本件発明を特定する事項である「ヒーター温度を検出する熱電対と補償導線との接続端子部の温度変化を検出する温度センサ」という構成を備えていない。
　そして、本件発明は前記構成を備えることにより、「熱電対素線と補償導線の接続端子部が熱電対として作用する為に生じる測定誤差分を補正する機能を持つため、接続端子部の温度が変化しても、ヒーターの温度を安定かつ正確にモニターできる」という顕著な効果を奏するものと認められる。
　従って、本件発明が、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　なお、申立人は、特許異議申立書において、甲第１号証には「「中継器１０」内に「接点補償用熱電対１５」を設けて、実質的にこの「中継器１０」内の温度を検出することが示され」ていると主張する。　しかしながら、甲第１号証には「上記中継器１０内には温度補償を行うための接点補償用熱電対１５が設けられ、ヒータ電流などによる外乱を温度検出用熱電対３と同様に受け、この熱電対１５の出力には雑音成分のみが出力される。」と明示されているから、これと反する「「接点補償用熱電対１５」が「中継器１０」内の温度を検出する」という申立人の主張は採用できない。（そもそも、「接点補償用熱電対１５」の熱接点と冷接点は共に断熱構造を有する「中継器１０」の内部にあり、温接点と冷接点との間に温度差はほとんど存在しないから、この「接点補償用熱電対１５」に「中継器１０」内の温度に対応した熱起電力が生じないことは明らかである。）
　さらに申立人は、特許異議申立書において「甲第２号証には、上記「読取回路導体１４」として銅からなる導線を使用することが記載されておりますが、銅からなる導線が補償導線として用いられることは、当業者において周知の事項でありますから、甲第２号証の「基準熱電対１８」が、実質的に構成要件Ｂの「温度センサ」に相当するものであることは明らかであります。」と主張する。
　しかしながら、補償導線とは「熱電対の測温部から計器（または冷接点）まで熱電対素線に置き換えて使用される導線。計器までの距離が遠いような場合に、熱電対素線の節約あるいは途中の抵抗を減少させる目的で、熱電対と同じ起電力をもつように作られた合金線を用いる。Ｒ熱電対では白金側にＮｉ（２％）−Ｃｕ合金線を、Ｐｔ−Ｒｈ（１３％）側にＣｕ線を、またＫ熱電対ではアルメル側にＮｉ（３０％）−Ｃｕ合金を、クロメル側にＣｕ線またはＦｅ線を連結して用いる。・・・」（岩波　理化学辞典）というものであるから、甲第２号証の「読取回路導体１４」が補償導線であるということはできない。したがって、「甲第２号証の「基準熱電対１８」が実質的に構成要件Ｂの「温度センサ」に相当するものであることは明らかであります。」という申立人の主張も採用できない。
　以上の通りであるから、「前記ヒーター温度を検出する熱電対と補償導線との接続端子部の温度変化を検出する温度センサと」という構成要件が、甲第２号証に開示された事項であり、また甲第１号証に示唆されている事項であるとする申立人の特許異議申立書における主張は、その主張の前提を欠くので、いずれも採用できない。
　
（むすび）
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては本件発明についての特許を取り消すことはできない。
　
　また、他に本件発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年３月２８日（２０００．３．２８）