【事件の表示】
　特許第２８５２３８３号「スペーサー散布装置とスペーサー散布方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８５２３８３号の特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯　
　本件特許第２８５２３８３号の請求項１ないし４に係る発明は、平成１年６月２０日に特許出願され、平成１０年１１月２０日にその特許の設定登録がなされ、その後、山枡幸文より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１２月２０日付けで訂正請求がなされたものである。　
２．訂正の適否についての判断
（2-1）訂正の内容
　ａ）特許請求の範囲１中の「スペーサーを散布する装置」を、「スペーサーを散布し、散布後前記基板をイオンブローにより電気的に中性にするスペーサー散布装置」に訂正する。
　ｂ）特許請求の範囲２中の「基板を電気的に中性にする」を、「基板をイオンブローにより電気的に中性にする」に訂正する。
（2-2）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正は、特許請求の範囲の減縮に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
（2-3）独立特許要件の判断
（2-3-1）取消理由の概要
  当審が通知した取消理由は、概ね、次のとおりである。
　１）請求項１及び２に係る発明は先願明細書に記載された発明と同一であるから、その特許は特許法第２９条の２の規定に違反してされたものである。
　２）請求項１及び２に係る発明は刊行物に記載された発明であるか、又は刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その特許は特許法第２９条第１項第３号若しくは同条第２項の規定に違反してされたものである。
（2-3-2）本件訂正発明
　本件の請求項１〜４に係る発明は訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜４に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
「１．絶縁基板上に帯電させた状態のままスペーサーを散布し、散布後前記基板をイオンブローにより電気的に中性にするスペーサー散布装置であって、散布口より複数のスペーサーを吹き出す手段と、　
放電を生じさせ、前記スペーサーの各々を同じ極性に帯電させる手段と、　
を有することを特徴とするスペーサー散布装置。
　２．散布口より複数のスペーサーを吹き出して、前記スペーサーの各々を同じ極性に帯電させ、帯電させた状態のまま絶縁基板上に散布し、　
前記複数のスペーサーを散布した後、前記基板をイオンブローにより電気的に中性にすることを特徴とするスペーサー散布方法。　
　３．基板上に２種類のスペーサーを散布する際に、複数の第１のスペーサーの各々を同じ極性に帯電させて散布を行った後、前記基板を電気的に中性にし、その後、複数の第２のスペーサーを散布することを特徴とするスペーサー散布方法。　
　４．絶縁基板上に帯電させた状態のままスペーサーを散布する装置であって、散布口より複数のスペーサーを吹き出す手段と、　
放電を生じさせ、前記スペーサーの各々を同じ極性に帯電させる手段と、
を有し、
前記帯電させる手段は、一対の電極と、前記一対の電極間に電圧を印加する手段を有し、　
前記一対の電極間の距離と、前記一対の電極間に印加する電圧が、可変であることを特徴とするスペーサー散布装置。」　
（2-3-3）特許法第２９条の２についての判断
　（引用例記載の発明）
　当審が通知した取消理由で引用した先願明細書；特願昭６３−１１５５３３号（特開平１−２８４８３０号）の願書に最初に添付した明細書は又図面には、
「ａ．スペーサ材と接着剤粒子を噴射させる噴射手段、
ｂ．スペーサ材と接着剤粒子に電荷を付与する帯電手段、及び
ｃ．帯電したスペーサ材と接着剤粒子と、液晶セルを構成するためのプレートの背後に配置した電極との間に電気的引力を生じさせる電位を前記電極に付与する手段
を有するスペーサ材の散布装置。」（特許請求の範囲）、
「上記構成において、スペーサ材５はノズル１より分散媒・・・に分散した状態で大気中に噴射され、その後分散媒は気化する。スペーサ材５は、基板上に設けられた放電ピン３によって作られたコロナ放電空間内で負イオンとの衝突等により負に帯電する。この時、電極板４はグランドに接続されているため、この結果スペーサ材５と電極板４との間に電気的引力が働き、スペーサ材５は、電極板４の上に配置した基板３に到達、散布される。・・・又、コロナ放電器の放電ピン２には、１０ＫＶ〜１００ＫＶの電圧が印可されて、グランドに接続した電極板４との間で放電が発生する。」（２頁右上欄１９行〜左下欄１７行）と記載されている。　
  上記によれば、先願明細書には、
「放電ピンとグランドに接続した電極板４との間で発生した放電により負に帯電したスペーサ材がスペーサ材と電極板４との間に働く電気的引力により、基板３に散布されるスペーサ材の散布装置及び散布方法」の発明が記載されている。　
（対比判断）
　訂正された請求項１及び２に係る発明（以下、「本件発明１及び２」という。）と上記先願明細書に記載された発明（以下、「先願発明」という。」）とを対比する。
　先願発明の電極板は、常時グランドに接続されて、スペーサ材と電極板４との間に電気的引力を働かせるものであから、先願発明には、本件発明１及び２の構成要件である「散布後（請求項２においては、「散布した後、」）前記基板をイオンブローにより電気的に中性にする」構成は備わっていない。
  そして、本件発明１及び２は、上記構成要件を具備することにより、「散布の最中は基板（対象物）は電気的に浮いた状態にしておいて、散布終了後基板をアースと接続、或いはイオンブローにより電気的に中性にすることにより、後になって電荷を持ったほこり等の異物を引き寄せないようにすることができる。」（特許公報第４欄４０〜４４行参照）という明細書記載の作用効果を奏するものである。
  したがって、本件発明１及び２は、先願明細書に記載された発明と同一であるとすることはできない。　
（2-3-4）特許法第２９条１項及び２項についての判断
　（引用例記載の発明）
　同じく引用された刊行物；特開平１−９４３２１号公報（以下、「刊行物１」という。）には、プラスチックフィルム液晶表示素子に関し、
「［実施例１］・・・ノズル口からスペーサをスプレイし、高電界領域１３で、個々のスペーサーに電荷を与えて、アースにした台１４上に置いた下側プラスチックフィルム基板２へ衝突させて上記スペーサーを上記下側プラスチックフィルム基板２表面へ埋め込んだ。この時、上記スペーサーの埋め込み深さは、直流高電圧により制御できるためセルギャップは、スペーサーの径と直流電圧により決定される。・・・
［実施例２］スペーサーをプラスチックフィルム基板に埋め込む方法として、該スペーサーを高圧空気と共にノズルから前記プラスチックフィルム基板へ吹き付けることにより行なった。この場合、セルギャップはスペーサーの径と高圧空気の圧力及びノズルと基板間距離により決定される。・・［実施例３］スペーサーをプラスチックフィルム基板に埋め込む方法として、該スペーサーを分散させた液中へ上記プラスチックフィルム基板を浸漬後に引き上げ・・・プレス装置により一定の荷重でプレスすることにより行なった。」（２頁右上欄１６行〜右下欄９行）、
「本発明によれば、上下基板の間隔を一定に保持するためのスペーサーを、少なくとも該上下基板の一方の表面に一部埋め込むことにより、押したり、こすったり、更には曲げても表示外観の損なわないプラスチックフィルム液晶表示素子を提供できるという効果を有する。」（２頁右下欄１４〜１９行）と記載されている。
　上記によれば、刊行物１には、
「スペーサーをスプレイするノズル口、個々のスペーサーに電荷を与える制御可能な直流高電圧による高電界領域、プラスチックフィルム基板を置くアースにした台、を有するプラスチックフィルム基板にスペーサーを衝突させて埋め込む装置」（以下、「引用発明１」という。）及び
「ノズル口からスペーサーをスプレイし、制御可能な直流高電圧による高電界領域で個々のスペーサーに電荷を与え、アースにした台上に置いたプラスチックフィルム基板へスペーサーを衝突させるて埋め込む方法」（以下、「引用発明２」という。）の発明が記載されている。
　（対比判断）
　上記引用発明１及び２は、散布口より複数のスペーサーを吹き出して、前記スペーサーの各々を同じ極性に帯電させ、帯電させた状態のまま絶縁基板上に散布する点で、本件発明１及び２と類似する。
　しかし、引用発明１及び２は、帯電させたスペーサーを基板の表面に衝突させて、その一部を埋め込むものであり、アースにした（常時、アースに接続されている）台はそのための必須の構成要件であるから、本件発明１及び２とは、この点で基本的に相違する。しかも、引用発明１及び２は、本件発明１及び２の構成要件である「散布後（請求項２においては、「散布した後、」）前記基板をイオンブローにより電気的に中性にする」構成を備えていない。そして、この点が当該技術分野において、周知慣用手段であると認めるに足る証拠もない。
  しかも、本件発明１及び２は、上記構成要件を具備することにより、前掲の本件明細書に記載された作用効果を奏するものである。
  したがって、本件発明１及び２は、刊行物１に記載された発明であるとも、又、刊行物１に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。　
（2-3-5）むすび
　以上のとおり、本件発明１及び２は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
（2-4）訂正の適否のむすび
　したがって、上記訂正請求は、特許法の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる平成６年改正前同法第１２６条第１〜３項の規定に適合するから、当該訂正を認める。　
３・特許異議の申立てについての判断
（3-1）申立ての理由の概要　
　異議申立人は、甲第１号証乃至甲第３号証を提出し、本件特許は、概ね次の理由により取り消されるべき旨主張している。
　１）請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものである、
　２）請求項１に係る発明は、甲第２号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反して特許されたものである、
　３）請求項２，３に係る発明は、甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである、　４）請求項４に係る発明は、甲第２、３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである。
（3-2）当審の判断
　異議申立人の提出した甲第１号証は、上記先願明細書と、又、甲第２号証は刊行物１と同じであるから、上記異議申立人の主張１）、２）及び３）の請求項２に関する主張については、（2-3）独立特許要件の判断の項で述べたとおりである。
　そこで、残りの請求項３及び４に対する主張について検討する。
　（請求項３について）
  本件の請求項３に係る発明は、上記（2-3-2）本件訂正発明の請求項３に記載されたとおりの、２種類のスペーサーの散布方法に関するものである。
　これに対し、甲第２号証（刊行物１）には、２種類のスペーサーの散布方法はなにも記載されていない。又、液晶表示装置において、２種類のスペーサーを用いることが周知であることは、異議申立人の提出した参考資料等から認められるものの、本件のような製造方法が周知慣用手段であると認めるべき証拠はない。
  したがって、本件の請求項３に係る発明は、甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　（請求項４について）
  本件の請求項４に係る発明（以下、「本件発明４」という。）は、上記（2-3-2）本件訂正発明の請求項４に記載されたとおりの、スペーサー散布装置にある。
  これに対して、甲第３号証；特開昭５９−１７２６２８号公報には、明細書及び図面によれば、
「ニッケル板とポリエステル蓋の間に充填され、プラス、マイナスの極性に帯電したスペーサーが基板の上面側を移動する高電圧を印加された電極の極性に応じて交互に上昇し、基板の下面に前記スペーサーを次々付着させる液晶表示素子用セルの製造装置」の発明（以下、「引用発明３」という。）が記載され、更に、
「散布密度は印加電圧と、ニッケル板と基板との距離を変えることでコントロールすることができる。」（３頁右上欄１７〜１９行）と記載されている。
　そこで、本件発明４と刊行物１記載の引用発明１とを対比する。
  引用発明１の「プラスチックフィルム基板」、「ノズル口」、「スプレイ」、「高電界領域」は、本件発明４の「絶縁基板」、「散布口」、「散布」、「帯電させる手段」に相当するから、両者は、下記の点で相違し、その他の点で一致する。
　相違点１；本件発明４は、スペーサーを散布する装置であるのに対し、引用発明１はスペーサーを衝突させて埋め込む装置である点、
　相違点２；本件発明４は、帯電させる手段を、一対の電極と、前記一対の電極間に電圧を印加する手段を有し、前記一対の電極間の距離と、前記一対の電極間に印加する電圧が、可変としたのに対し、引用発明１は、直流高電圧を制御可能、即ち、印加電圧を可変にした点。
　上記相違点について検討する。
　先ず、引用発明１は、前掲のように、印加電圧を可変にすることによって、スペーサーの埋め込み深さを変えるものである。
　一方、引用発明３は、スペーサーの散布密度を印加電圧でコントロールする点で、本件発明４と同様の効果を奏する。
　しかし、引用発明３は、スペーサーを散布するための構成が、本件発明４及び引用発明１とは全く異なる上に、帯電手段がスペーサーをニッケル板とポリエステル蓋の間に充填し、プラス、マイナスの極性に帯電させるものであって、上記相違点２の本件発明４の構成はなにも備えていない。
　結局、引用発明１と引用発明３を寄せ集める動機付けがなく、仮に寄せ集めたとしても、上記相違点２の本件発明の構成を得ることはできない。
　したがって、本件発明４は、甲第２号証及び甲第３号証に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
（3-3）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立の理由及び証拠によっては、本件請求項１〜４に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年２月２１日（２０００．２．２１）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　１）訂正事項▲ａ▼
　特許請求の範囲１中の「スペーサーを散布する装置」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「スペーサーを散布し、散布後前記基板をイオンブローにより電気的に中性にするスペーサー散布装置」に訂正をするものである。
　２）訂正事項▲ｂ▼
　特許請求の範囲２中の「基板を電気的に中性にする」を特許請求の範囲の減縮を目的として、「基板をイオンブローにより電気的に中性にする」に訂正するものである。
（５４）【発明の名称】
スペーサー散布装置とスペーサー散布方法
（５７）【特許請求の範囲】
　１．絶縁基板上に帯電させた状態のままスペーサーを散布し、散布後前記基板をイオンブローにより電気的に中性にするスペーサー散布装置であって、散布口より複数のスペーサーを吹き出す手段と、
放電を生じさせ、前記スペーサーの各々を同じ極性に帯電させる手段と、
を有することを特徴とするスペーサー散布装置。
　２．散布口より複数のスペーサーを吹き出して、前記スペーサーの各々を同じ極性に帯電させ、帯電させた状態のまま絶縁基板上に散布し、
前記複数のスペーサーを散布した後、前記基板をイオンブローにより電気的に中性にすることを特徴とするスペーサー散布方法。
　３．基板上に２種類のスペーサーを散布する際に、複数の第１のスペーサーの各々を同じ極性に帯電させて散布を行った後、前記基板を電気的に中性にし、その後、複数の第２のスペーサーを散布することを特徴とするスペーサー散布方法。
　４．絶縁基板上に帯電させた状態のままスペーサーを散布する装置であって、
散布口より複数のスペーサーを吹き出す手段と、
放電を生じさせ、前記スペーサーの各々を同じ極性に帯電させる手段と、
を有し、
前記帯電させる手段は、一対の電極と、前記一対の電極間に電圧を印加する手段を有し、
前記一対の電極間の距離と、前記一対の電極間に印加する電圧が、可変であることを特徴とするスペーサー散布装置。
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
　本発明は液晶セル用の基板上にスペーサーを均一に散布する方法を提案し、さらにはスペーサーを均一に散布するための装置を提案するものであります。
〔従来の技術〕
　近年、液晶を用いたディスプレイが時計、電卓、ワープロなど多方面に利用されている。
　液晶ディスプレイは通常、一対の基板の間に液晶をはさみこんだ構造をしており、この一対の基板の間隔を均一にするためにガラスファイバーや球形の粒子等が、スペーサーとして用いられている。
　液晶セル作製の際のスペーサー散布工程において、従来用いられてきた方法の１つとしてスピンコート法がある。この方法は、１種類或いは複数の種類のスペーサーをアルコール、フロン等の溶媒にある割合で混合した混合液を基板上にある一定量滴下し、基板を回転することによってスペーサーを基板上の全面に存在せしめる方法である。しかしながらスピンコート法を用いた場合、一度基板上を混合液で浸し、その後乾燥が行われるため基板上にスペーサーの塊（数ケ〜数十ケ）が残ることが多く、そのまま基板の貼り合わせ工程に進んだ場合、スペーサーの塊の存在する部分とその周囲のセル厚がまわりの部分より大きくなってしまう。その結果基板に形成された電極間に電圧を加えた時の電界強度が他の部分より小さくなり液晶のスイッチングに悪影響を与えることが明らかになっている。さらにＳＴＮ型或いは強誘電性液晶を用いた表示装置のように液晶の屈折率異方性を利用して表示を行う場合には色ムラをも引き起こす。
　また一般にスペーサー周辺では液晶の配向不良領域が発生するが、スピンコート法により散布を行った場合スペーサーを基板全面に行き渡らせるために回転による遠心力を利用しているので、スペーサーが基板中心から放射状に配置されてしまい、前記配向不良領域が放射状に連なりそれが表示の際認識されてしまうため表示品質が大幅に低下してしまう。そのうえスピンコート法で複数の種類のスペーサーを散布する際にはスペーサーの重さの違いによって基板中心部分と周辺部分とではスペーサーの割合が変化し、その結果基板間隔の不均一性が生じる。
　スペーサーを散布するための他の方法として、スペーサーを適当な有機溶剤と混合して、その混合液をノズルを用いて散布する方法がある。この方法を用いた場合、混合液が基板に届く前にすべての有機溶剤成分を気化させるように、ノズルと基板の間の距離を調整する、或いは散布装置の内壁にヒーターを埋め込む等の方法で装置の温度をあげるなどの方法を用いて基板上にスペーサーの塊をスピンコート法に比較して少なくすることができる。
　しかしながら、この方法に用いる有機溶剤としては一般にフロン系の溶剤やＩＰＡ（イソプロピルアルコール）が多いが、現在フロンガスの使用による上空のオゾン層の破壊が問題となっているため、将来的にはフロンガスは使用不可能になるものと思われる。また、ＩＰＡを使用した場合、散布の際に散布装置内がＩＰＡの蒸気で満たされ、爆発の危険が非常に大きくなる。
　また散布の際、スペーサーを分散するために攪拌、或いは超音波の印加を行うが、攪拌ではスペーサーの塊を減らすことが難しく、超音波印加によればスペーサーの塊を若干減らすことができるが、超音波印加により、混合液の温度が上昇し、有機溶剤の気化が促進されることにより、混合液のスペーサー濃度が徐々に大きくなって、散布が進むにつれ同じ条件で散布を行っても基板上のスペーサーの量が増加してしまう。
　以上の理由により、フロン系溶剤或いはＩＰＡを使わずに散布する方法、好ましくは溶剤を用いないドライな方法が望まれていた。
〔発明の構成〕
　上記問題点を解決するために本発明は、基板上にスペーサーを散布する際に、スペーサーを帯電させることにより、スペーサーの凝集を防ぐスペーサー散布方法であり、さらには、スペーサーを散布する手段と、スペーサーを帯電させるために放電を生じせしめる手段を有するスペーサー散布装置であることを特徴とする。
　また、復数の種類のスペーサーを散布する際に第１のスペーサーを帯電させて散布した後、基板を電気的に中性にした後、第２のスペーサーを帯電させて散布を行うことを特徴とする。
　本発明において、スペーサーを帯電させる方法としては、従来静電塗装などに用いられてきたコロナ放電等、公知の方法を用いることができる。
　ただし従来の静電塗装においては、均一に、しかもムラなく塗装を行うため帯電した塗装粒子が対象物に到達した後電荷を逃してやり、電気的に中性な粒子とする必要があった。なぜなら帯電したままの状態では、対象物上のある点にある塗装粒子（帯電状態）が到達した後、その点のすぐ近傍に次の粒子が到達しようとしてもクーロン力により斥力をうけるため、到達できず、従って均一な塗装ができなくなるからである。しかしながら本発明において、スペーサー同志の間にはある程度の距離が必要であるため、このクーロン斥力を利用することができる。従って散布の最中は基板（対象物）は電気的に浮いた状態にしておいて、散布終了後基板をアースと接続、或いはイオンブローにより電気的に中性にすることにより、後になって電荷を持ったほこり等の異物を引き寄せないようにすることができる。
　本発明を用いることにより、フロン系或いはＩＰＡ等の溶剤を使わずにスペーサーを散布することができるのに加えて、基板上にスペーサーの塊を作ることなくスペーサーを散布できる。
　以下、実施例を用いて本発明を説明する。
〔実施例１〕
　本実施例においては、ＳＴＮ型液晶表示装置作製の際に本発明を用いた場合について示す。
　２枚のガラス基板上に公知のＤＣマグネトロンスパッタ法を用いて、ＩＴＯ薄膜を作製し、フォトリソ工程により電極を作製した。そして、基板の電極作製面上に印刷法によってポリアミック酸を塗布し、熱処理をすることによりポリイミド薄膜を得た。その後両方の基板上に綿布を用いてラビング工程を行った。この時ラビングの角度に注意する。
　次のスペーサー散布工程の後に行う貼り合わせ工程時に２枚の基板のラビングの角度が２４０℃の角度になるようにする。
　次に一方の基板のポリイミド薄膜作製面に第１図に示すようなスペーサー散布装置を用いて直径６．２μｍのＳｉＯ２からなる球形粒子を散布した。この時の散布の方法は基板（１）をテーブル（２）上に設置し、ドライエアー導入口（３）よりドライエアーをスペーサー槽（４）に導入し、スペーサー（５）を電極を兼ねる散布口（６）から吹き出して基板（１）上にスペーサーを散布する。この時同時に、互いに３０ｃｍ離れている電極（６），（７）間に１５ｋＶの電圧を加え、コロナ放電を生じさせ、スペーサーを帯電させる。なお、散布口（６）は電極を兼ねており、散布口の内径は１２μｍのものを使用した。また、散布中はスペーサーを分散させるため、窒素導入口（８）からＮ２を吹き出しておいた。
　これにより、おのおののスペーサーは同じ極性に帯電するため、基板上に散布されたスペーサーをある一定の距離以上離れて存在せしめることができ、基板上のスペーサーの数についても従来に比較して、場所による差がほぼなくなって均等に散布することができる。
　この後、他方（スペーサーを散布しなかった）の基板上にスクリーン印刷法によりエポキシ系の接着剤をシール印刷し、貼り合わせを行った。そして顕微鏡を用いて、実際に散布したスペーサーを計数した。その結果を第１表に「本実施例」として示す。また比較例として従来のスピンコート法（比較例１）や、溶剤にスペーサーを混合し、ノズルを用いて散布する方法（比較例２）を用いた場合についても示す。どの場合も散布されたスペーサー数が９０個／ｍｍ２になるように調整した後で行った実験結果である。また、どの場合も２０枚のセルを作製して第２図に示すＡ〜Ｌの１２ヶ所について計数し、平均を示した。
　表から明らかなように、本実施例においては非常に均一な散布ができ、基板上の場所による差がほとんどないことがわかる。それに比較してスピンコート法を用いると基板の中心部分にスペーサーが多数散布され均一性に欠け、また比較例２はスピンコート法に比較すると多少均一になってはいるが、本実施例には到底及ばない。
　さらにスピンコート法では、多数のスペーサーの塊が生じたが、本実施例においてはスペーサーの塊はほとんど生じなかった。
　この後で、公知の真空注入法を用いて液晶を注入した。液晶注入後のセルの状態はセルの中心部が膨らんでしまっているので、ここでセルに圧力を加えて余分な液晶をセルの外へ追い出した。この後セルの注入口を封止した。
　そして２枚の偏光板を３種類の方法でスペーサーを散布したすべてのセル（３種類×２０枚＝６０セル）に貼付して表示を行った。すると、スピンコート法を用いて散布を行ったセルに関しては色ムラが目立った。特にセルの中心部分は背景の色が黄色から赤色に変わっていて、中には紫色がかっている部分の目立つセルもあった。これは、セルの中心部分がまわりの部分に比較して厚くなっている。
　また、本実施例において用いたドライエアーは、その含有する水分が２ｐｐｍ程度のエアーを用いた。
もし、水分含有量が多いエアーを使用すると、スペーサー同志が離れにくくなる上に水分が基板上に残り、液晶注入工程の後に液晶とまざりあい、液晶の劣化を促進してしまうことがわかった。そのため、ドライエアー中の水分含有量は１％以下であることが必要である。
〔実施例２〕
　ＳＴＮ型液晶表示装置や、強誘電性液晶表示装置など複屈折効果を利用して表示を行う液晶表示装置の場合、基板の間隔が微妙に違っていると表示の際に色ムラを引き起こすことが知られている。この対策として大きさの違う２種類のスペーサーを散布することが非常に有効であることがわかっている。本実施例では強誘電性液晶表示装置を作製する際に、複数の種類のスペーサーを散布する場合について示す。
　実施例１と同様な工程により２枚の基板上にＩＴＯ電極を作製した。そして、一方の基板の電極作製面に実施例１と同様にポリイミド薄膜を作製し、ラビング処理を行った。
　そして第１図の装置を用いて直径２．５μｍのＳｉＯ２粒子を準備し、ドライエアーを導入口（３）より吹き出し、散布口（６）よりスペーサーを吹き出して基板（１）上に散布する。この時同時に３０ｃｍ離れて配置されている電極（６），（７）間で放電を生じさせスペーサーを帯電させる。なお、今回の散布においては、散布口（６）の内径が５μｍのものを用いた。また電極間にはやはり１５ｋＶを印加した。こうして２．５μｍ径のスペーサーの散布終了後、イオンブローを行い、十分時間が経過して基板上の電荷を中和した後、内径が１２μｍの散布口を用いて５．５μｍ径のスペーサーの散布に移る。
　まずスペーサー槽内のスペーサーを５．５μｍ径のエポキシ粒子に取りかえ、電極（６），（７）間の距離を５０ｃｍに配置する。
　本実施例のスペーサー散布は、２．５μｍ径のスペーサー（第１のスペーサーとする）を散布する際には、電極を３０ｃｍ離し、１５ｋＶ印加して放電を生じせしめたのに対し、５．５μｍ径のスペーサー（第２のスペーサーとする）を散布する際には電極間距離を５０ｃｍとし、８ｋＶの印加で放電を生じせしめた。すなわち、第１のスペーサーを散布する際の放電エネルギーは第２のスペーサーを散布する際の放電エネルギーよりも大きく、従って第１のスペーサーは第２のスペーサーよりも強く帯電するため、互いに及ぼすクーロン力が大きく、基板上に散布される単位面積あたりのスペーサー数は第１のスペーサーの方が第２のスペーサーより少なくなる。実際、基板上に散布されたスペーサーの計数を基板の貼り合わせ工程後で行った結果を実施例１と同様に第２表に示す。
　なお、実施例１と同様にＡ〜Ｌは計数点を示し、測定を行ったセルの数は２０枚である。
　なお第２表においては比較例３としてスピンコート法によって同じ２種類のスペーサーを散布した場合の計数結果を示す。本実施例，比較例３は、ともに基板上に散布される第１のスペーサーに関しては９０個／ｍｍ２、第２のスペーサーに関しては１５０個／ｍｍ２になるように調整した後行った。
　表から明らかなように本実施例を用いて複数の種類のスペーサーを散布した場合、非常に均一に散布することができた。
　さらに光の干渉を利用して第２図に示すＡ〜Ｌの１２ヶ所について基板間隔の測定を行い、その結果を第３表に示す。なお、測定値は２０枚のセルの平均値であって、単位はμｍである。
　表からわかるように、本実施例では基板間隔の均一性が非常に良く、実際に液晶を注入した後においても、色ムラは発見できなかった。しかし、スピンコート法を用いてスペーサー散布を行ったセル（比較例３）は基板間隔の均一性に欠け、実際液晶を注入したところセルの周辺部分は背景がうすい黄色であったのに対し、セルの中心部分が赤っぽく、場所によっては紫がかっている部分もあった。
　以上により、本実施例は複数の種類のスペーサーを散布する場合にも非常で有効であることが理解できる。
　また第１図において、ドライエアー導入口（３）から散布口（６）へのバイパスラインを設ければ、散布終了後にエアーをスペーサー槽（４）を通さずに吹き出すことができるので、散布工程とイオンブロー工程との切り換えを迅速に行うことができる。実際、バイパスラインを設けたことにより、タクトタイムを約半分にすることができた。
〔効果〕
　以上述べた内容から、本発明を用いることにより、フロン，ＩＰＡ等の溶剤を使わずに、しかも非常に均一にスペーサーを散布することができた。
　また、複数の種類のスペーサーを散布する時にも本発明は非常に有効で、スペーサーの塊をほとんどなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明によるスペーサー散布装置の概略図を示す。
　第２図は実施例におけるスペーサーの計数点，
基板間隔の測定点。
　１・・・基板
　２・・・テーブル
　３・・・ドライエアー導入口
　４・・・スペーサー槽
　５・・・スペーサー
　６・・・散布口をかねた電極
　７・・・電極
　８・・・窒素導入口