【事件の表示】
　特許第２７３９４１３号「基板搬送用スカラ型ロボット」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
特許第２７３９４１３号の特許を維持する。
【理由】
１．［本件発明］
　本件特許第２７３９４１３号（平成５年５月２６日出願、平成１０年１月２３日設定登録。以下、「本件特許」という）に係る発明は、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。
　「減速機付きでモータ１３を中心部へ内蔵した基台上に該モータ１３の駆動により回動されるよう胴体５を取付け、該胴体５内には１対の減速機付きモータ７，７’を対称となる関係に取付け、各出力軸にはモータ７，７’の駆動で回動されるものとなる第１アーム４，４’の片側端部を取付け、且つ該第１アーム４，４’の他端部には各アーム４，４’の回動と共に、各アーム体内でプーリ及びタイミングベルトを介し一定比で回動されるものとなる支軸３ａ，３ａ’を該アーム４，４’の回動とは無関係の状態に突出させ、該支軸３ａ，３ａ’には第２アーム３，３’の片側端部を取付け、且つ該第２アーム３，３’の他端には各アーム３，３’の回動と共に各アーム体内でプーリ及びタイミングベルトを介して一定比で回動されるものとなる支軸２ａ，２ａ’を該アーム体３，３’の回動とは無関係の状態に突出させ、且つ該支軸２ａ，２ａ’には夫々れ基板１５，１５’を吸引止着するための１つがコ字形をなし、他の１つは上記コ字形内を干渉しないように作動する第３アーム２，２’を取付けしめ、該アーム２，２’により処理前基板を取り出し、処理箇所への搬送及び処理済み基板の返送を同一水平線上で互い違いの対称関係で同時進行するように構成したことを特徴とする基板搬送用スカラロボット。」（以下、「本件発明」という）
２．［特許異議申立に係る証拠］
　これに対し、各特許異議申立人が提出した証拠は、次の▲１▼〜▲６▼のとおりである。
▲１▼株式会社メックスが提出した証拠
甲第１号証：特開平２−１７２６８９号公報
　（以下、「第１引用例」という）
甲第２号証：特開昭６２−２１３９７７号公報
　（以下、「第２引用例」という）
甲第３号証：特開平４−１７１７４１号公報
　（以下、「第３引用例」という）
甲第４号証：特開平５−１０９８６６号公報
　（以下、「第４引用例」という）
甲第５号証：特開平２−８３１８２号公報
　（以下、「第５引用例」という）
甲第６号証：特開平６−６９３１５号公報
　（以下、「先願公報」という）
▲２▼株式会社イクイップ　ジャパンが提出した証拠
甲第１号証：特許第２７３９４１３号公報
　（以下、「本件特許公報」という）
甲第２号証：特開平４−３０４４７号公報
　（以下、「第６引用例」という）
甲第３号証：上記「第５引用例」と同じ
▲３▼依田昌三が提出した証拠
甲第１号証：特開平４−２９４９８４号公報
　（以下、「第７引用例」という）
甲第２号証：上記第１引用例と同じ
甲第３号証：上記第６引用例と同じ
甲第４号証：実願平３−７７０１６号（実開平５−２０８８２号のＣＤ−ＲＯＭ（以下、「第８引用例」という）
甲第５号証：特開昭６２−１９５１４３号公報
　（以下、「第９引用例」という）
甲第６号証：特開昭６０−１３５１９２号公報
　（以下、「第１０引用例」という）
甲第７号証：特開平４−８７７８５号公報
　（以下、「第１１引用例」という）
▲４▼桜井寿子が提出した証拠
甲第１号証：上記第５引用例と同じ
甲第２号証：特開昭６２−２２２９０６号公報
　（以下、「第１２引用例」という）
▲５▼株式会社安川電機が提出した証拠
甲第１号証：上記第６引用例と同じ
甲第２号証：上記第１０引用例と同じ
甲第３号証：上記第１引用例と同じ
▲６▼井戸勝敏が提出した証拠
甲第１号証：上記第３引用例と同じ
甲第２号証：「電子材料」第３０巻第８号（１９９１年８月１日株式会社工業調査会）第３８〜４５頁（以下、「第１３引用例」という）
３．［特許異議申立理由の概要］
　上記の各証拠に基づいて、各特許異議申立人が主張する特許異議申立理由の概要は、次のイ〜ハのとおりである。
　イ　発明の容易性について
　各特許異議申立人はいずれも、本件発明は、本件特許に係る出願前に頒布された刊行物に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、本件特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反して受けた旨主張し、当該刊行物として、株式会社メックスは上記第１〜第５引用例、株式会社イクイップ　ジャパンは上記本件特許公報及び第５、第６引用例、依田昌三は上記第１及び第６〜第１１引用例（ただし、第１１引用例については、本件発明との関係を直接云々するものではなく、アームを箱状のものとすることが記載されている旨を指摘している）、桜井寿子は上記第５及び第１２引用例、株式会社安川電機は第１、第６及び第１０引用例、井戸勝敏は第３及び第１３引用例を、それぞれ挙げている。　なお、上記刊行物のうち、株式会社イクイップジャパンの指摘した本件特許公報は、従来技術についての説明部分を引用するというものであるが、当該公報は、本件特許に係る出願前に頒布された刊行物とはいえないし、当該従来技術が本件特許に係る出願前に公知であることを明示する記載もないので、以下の検討の対象としない。
　ロ　先願発明との同一性について
　株式会社メックスは、本件発明は、本件特許に係る出願の日前の出願であって、その出願後に出願公開された、上記先願公報に係る特願平４−２４１２３９号の出願（以下、「先願」という。）の願書に最初に添付した明細書または図面に記載された発明（以下、「先願発明」という）と同一であると認められ、しかも、本件発明の発明者が先願発明の発明者と同一であるとも、また、本件特許に係る出願時において、その出願人が先願の出願人と同一であるとも認められないので、本件特許は特許法第２９条の２の規定に違反して受けた旨も主張している。
　ハ　明細書の記載不備について
　桜井寿子は、特許明細書の記載に関して、二つのチャックが同一水平線上を同時に移動すれば、それぞれのチャックに保持されたウエハーは衝突するはずであるが、かかる衝突をどのように回避するのか不明であるし、「互いに対称関係で動作する」という記載についてもその意味が把握しがたいから、本件特許は、特許法第３６条第４項及び第５項の規定を満たしていない出願について受けた旨を主張している。
４．［当審の判断］
　イ　発明の容易性について
（１）第１〜第１３引用例の記載事項
　上記各引用例の記載事項の概要は次のとおりである。
　第１引用例には、半導体ウエーハ等の搬送用ロボットに関して、調和駆動モータの回転を、連結された複数のロボット腕、プーリ及びタイミングベルトを介して直線運動に変換する機構と共に、かかる変換機構自体を、補助のモータ駆動装置によって回転することが示されている。（第３頁右下欄第１〜４行、第５頁左上欄第１行〜第６頁右下欄第１行、第１〜５図参照）
　第２引用例には、被加工物の搬送装置に関して、互いに反対方向に同期しつつ１８０度回転される一対の第１及び第２の駆動腕を支持台に配設し、ヒンジ結合された略同一長の第１の前腕及び第１の後腕と、同様の第２の前腕および第２の後腕とを相対向させて、該第１および第２の後腕の夫々の端部を前記第１および第２の駆動軸に固定すると共に、該第１および第２の前腕の夫々の端部を搬送台に回転自在に連結したものが記載されている。（第４頁左上欄第７行〜同頁左下欄第４行、第１、２図参照）
　第３引用例には、電子部品の自動搬送装置に関して、一方のハンド取付部を湾曲させることにより、二つの吸着ハンドを上下２段に配置し、夫々の吸着ハンドに対応する移動モータによって、各吸着ハンドを夫々独自に直線運動可能としたものが記載されている。（第２頁右下欄第１２行〜第３頁右下欄第２行、第１〜６図参照）
　第４引用例には、ウエハ移載ロボットに関して、同軸状に配置した２本のシャフトのそれぞれに、アームとウォンドとを高低差を持つように取り付けたものが記載されている。（第３頁第３欄第２１行〜同頁第４欄第６行、第１〜５図参照）
　第５引用例には、半導体ウエハー等を搬送するためのハンドリングユニットに関して、同軸状に配置した２本の回転軸のそれぞれに、アームとハンドとを取り付け、これらアームやハンドが同一水平面内で動作することを可能としたものが記載されている。（第２頁右上欄第１行〜第４頁左上欄第８行、第１〜１０図参照）
　第６引用例には、半導体ウエハ等の基板の移し換え装置に関して、それぞれの先端に基板保持部を取り付けた、二組の平行リンク機構からなる移し換えアームを左右一対に配置し、一方の基板保持部はコ字形の枠部を介して平行リンク機構より少し高い位置に設け、他方の基板保持部は上記のコ字形の枠部の内側を通過して上下にすれ違うことができるようにしたものが記載されている。（第２頁右下欄第１３行〜第５頁右上欄第１３行、第１〜６図参照）
　第７引用例には、半導体ウエハ処理装置等の高真空中で使用する無関節真空ロボットに関して、旋回駆動部の垂直上方に配置された回転ドラム内に２つのモータを配置し、それぞれのモータにより回転軸を駆動して、一対の弾性アームの先端が直線状に移動する曲げモーメントを加えるようにしたものが記載されている。（第５頁右欄第３２行〜第６頁左欄第３３行、第１〜５図参照）
　第８引用例の第１図には、双腕ロボットに関して、架台に回転駆動源を設けることが示されている。
　第９引用例には、ウエハ等の基板を搬送に用いられる、基板の高速交換装置に関して、一方の搬送アームをコの字状に形成すると共に、他方の搬送アームをコの字状部内を通過するように配置し、各搬送アームを夫々独自に直線運動可能としたものが記載されている。（第２頁右下欄第７行〜第３頁左上欄第４行、第１〜６図参照）
　第１０引用例には、スカラロボット型の搬送装置において、アームや可動フレームの駆動源に、減速機付モータを使用することが示されている。（第２頁左下欄第１行〜同頁右下欄第６行、第４図参照）
　第１１引用例には、半導体基板の処理装置などに用いられる基板搬送装置において、アーム部を備えたロボットを上下に配置すると共に、当該アームをプーリやベルトが収納される箱形に形成することが示されている。（第４頁左上欄第１５行〜第５頁右上欄第８行、第３図参照）
　第１２引用例には、ウエーハ搬送機構に関して、ウエーハを吸着して半径方向に直線移動する第１連結アームと、同じくウエーハを吸着して半径方向に直線移動する第２連結アームとを互いに独立して伸縮可能にターンテーブル上に設け、これら第１及び第２連結アームをターンテーブルの回転によって同時に回転させ、同一平面上で被検ウエーハのカセットからの取り出し・検査装置への載置と検査済みウエーハの検査装置からの受け取り・カセットへの返送とを同時に進行させるようにしたものが記載されている。（第３頁右上欄第第１９行〜第４頁左下欄第５行、第１〜６図参照）
　第１３引用例には、「クリーンロボットを採用したウェハ搬送装置」と題した記事中で、スカラ形クリーンロボットの開発経緯や、当該ロボットの機構及び作動原理が説明されており、ロボットアーム先端のフィンガは、ウエハを真空吸着するものであることが示されている。（第４１頁左欄下から４行〜第４５頁左欄下から８行、図７、９参照）
（２）発明の対比と判断
　本件発明と上記第１〜第１３引用例の記載とを対比すると、上記いずれの引用例にも、本件発明における「胴体５内には１対の減速機付きモータ７，７’を対称となる関係に取付け、各出力軸にはモータ７，７’の駆動で回動されるものとなる第１アーム４，４’の片側端部を取付け」ると共に、第１アームに取付けられる第２アーム３，３’の他端に「基板１５，１５’を吸引止着するための１つがコ字形をなし、他の１つは上記コ字形内を干渉しないように作動する第３アーム２，２’を取付けしめ、該アーム２，２’により処理前基板を取り出し、処理箇所への搬送及び処理済み基板の返送を同一水平線上」で行うという構成を採るものは示されていないことは明らかである。
　尤も、かかる構成の一部をなす事項に関して、胴体内に設けた１対のモータの各出力軸にアームの片側端部を取付けることについては、第６、第７引用例に、また、減速機付きモータについては第１０引用例に、それぞれ示されており、基板を吸引止着することについては第３、第１２及び第１３引用例に記載され、一方のアームをコ字形に形成し、他方のアームをコ字形部の内側を通過するように配置することについては、第６、第９の各引用例に、更に、アーム等による基板搬送を同一水平線上で行うことについては、第５引用例に、それぞれ記載されていることは、上記（１）で認定したとおりである。
　しかし、これら各引用例に散見される各構成を組み合わせるべき必然性や動機付けについては、いずれの引用例にも見当たらず、また他に示されてもいない以上、本件発明の上記構成が、上記の各引用例の記載に基づいて、当業者が容易に想到できるとはいえない。
　そして、本件発明は当該構成を備えることによって、基板の搬送を同一水平線上で無駄なく短時間で行うことが可能となって、基板交換のロス時間が、従来の凡そ３分の１という大幅に短縮できるという、格別の作用効果を奏するものと認められる。
　したがって、本件発明は、上記第１〜第１３の各引用例の記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　ロ　先願発明との同一性について
　先願明細書等には、「上記基板搬送装置１は、図１に示すように、図示しないモータや回転軸等を内蔵する駆動手段１０の上部に、水平方向に回転可能な回転基板１１（回転機構）を配設してなり、この回転基板１１上の対向位置に２つの伸縮アーム２０（移動機構）及びピンセット３０（基板保持部）が取り付けられている。各伸縮アーム２０は、基端部が回転基板１１に回転可能に取付けられる第１のアーム２１と、基端部が第１のアーム２１の先端部に回転可能に連結される第２のアーム２２とで構成されており、第２のアーム２２の先端に矩形板上のピンセット３０が回転可能に連結されている。なお、駆動手段１０は伸縮アーム２の水平方向の移動と、回転基板１１の水平方向の回転を司る公知のもので、例えば、伸縮アーム２０及び回転基板１１を水平方向に回転するモータ（図示せず）と、このモータの回転を伸縮アーム２０の節部に伝達するベルトやギア等の伝達部材（図示せず）にて形成されている」という記載（【００１６】の欄）や、第１０図及びその関連記載（【００２８】の欄）がある。
　本件発明と先願発明とを対比すると、先願発明における「ベルトやギア等」は、本件発明における「タイミングベルト」及び「プーリ」に相当するものであるから、本件発明と先願発明とは、アームの基本的な配置や作動機構、更には、アームをコ字状に形成することについても軌を一にするものといえる。
　しかし、先願明細書中の「上下両ピンセット３０の上面は異なる高さに設定される」という記載（【００１７】の欄）からも明らかなように、搬送される基板の位置は上下に離れているものであるし、基板の吸引止着についても先願明細書に全く言及がないところから、先願発明は、本件発明における「基板１５，１５’を吸引止着するための１つがコ字形をなし、他の１つは上記コ字形内を干渉しないように作動する第３アーム２，２’を取付け」、「該アーム２，２’により処理前基板を取り出し、処理箇所への搬送及び処理済み基板の返送を同一水平線上」で行う構成を欠くものであることが明らかである。
　しかも、かかる構成は周知慣用のものとはいえず、上記イの判断においても指摘したように、当該構成によって独自の作用効果を奏するのであるから、本件発明と先願発明とを同一のものとすることはできない。
　ハ　明細書の記載不備について
　桜井寿子が主張するとおり、本件特許明細書には、二つのチャックが「同一水平線上」を同時に移動する旨の記載があるが、各チャックに保持されたウエハーの衝突を回避できる軌跡で移動することは、図１Ｂの記載や技術常識からみて明らかであり、また、「互いに対称関係で動作する」という記載についても、例えば、当該明細書の「発明の効果」の欄において、チャックの「１つが処理済み基板の返送中、他の１つは処理前基板の取出し移送」することが例示されているように、各チャックの位置が対称関係となる状態で作業を行うことを意味することは、通常の知識に基づいて容易に理解できるところであるから、本件特許明細書の記載に、特許異議申立人が主張する不備があるとすることはできない。
５．［むすび］
　以上のとおりであるから、特許異議申立人の主張する理由及び証拠によっては、本件特許を取り消すべきものとすることはできない。
　また、他に、本件特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年４月３０日（１９９９．４．３０）