【事件の表示】
　特許第２８１７８９８号「分岐合波光導波回路」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２８１７８９８号の特許を維持する。
【理由】
（１）手続きの経緯
　　本件特許第２８１７８９８号発明は、平成２年７月６日に特許出願され、平成１０年８月２１日にその発明の特許がなされ、その後、河原　浩人より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年９月７日に訂正請求がなされたものである。
（２）訂正の適否についての判断
ア　特許請求の範囲の訂正
　ａ、訂正明細書の請求項（１）に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項（１）に特定された次のとおりのものである。
「（１）基板上のクラッド中に形成された、主導波路と該導波路から徐々に外径が拡大して延びる拡大導波路と該拡大導波路に接続される２本以上の分岐導波路とからなる火炎堆積法によって作製された分岐合波光導波回路において、前記拡大導波路と前記分岐導波路との接続部において両導波路軸が一致した状態で、両導波路の各端面が３〜１０μｍの間隙をもっていずれもが互いに平行に対向し、かつ、各分岐導波路同士を所定の間隔をもって分離したことを特徴とする分岐合波光導波回路。」
イ．発明の詳細な説明の訂正
ａ、明細書第５〜６頁（課題を解決するための手段）の項（特許掲載公報第３欄第４７行〜第４欄第６行）の「分岐合波光導波路回路において、」を「火炎堆積法によって作製された分岐合波光導波路回路において、」と訂正する。
ウ．訂正の目的の適否及び拡張・変更・新規事項の存否
　上記訂正ア．は、特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではなく、新規事項の追加もない。また、上記訂正イ．は、発明の詳細な説明の欄中の明瞭でない記載の釈明（特許請求の範囲の訂正に付随する訂正である。）を目的とするものであり、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、新規事項の追加もない。
エ．独立特許要件の判断
（引用刊行物に記載された発明）
　訂正明細書の請求項１に係る発明（以下、「本件請求項１に係る発明」という。）に対して、当審が通知した取消理由で引用した『１９９０年電子情報通信学会春季全国大会、講演論文集、分冊４，通信・エレクトロニクス（１９９０年３月１８日〜２１日開催）、第４−２４１頁』（以下、「第１引用例」という。）には、主導波路と該導波路から徐々に外径が拡大して延びるテーパ導波路と該テーパ導波路に接続される２本以上の分岐導波路とからなるＹ分岐導波路が記載され、同じく引用した『１９９０年電子情報通信学会春季全国大会、講演論文集、分冊４，通信・エレクトロニクス（１９９０年３月１８日〜２１日開催）、第４−２５９頁』（以下、「第２引用例」という。）には、主導波路と該主導波路に接続される２本以上の分岐導波路とからなるアンテナ結合型Ｙ分岐光導波路が記載され、同じく引用した特開昭６２−１１８３０８号公報（以下、「第３引用例」という。）には、基板（３）上に形成された、端部の断面積が徐々に減少したテーパー状の光伝送路（１ａ）、（１ｂ）を備えた直線状伝送路（１）に接続される２本以上の、端部に上記光伝送路（１ａ）、（１ｂ）と対応し距離ｄで平行に配置される光伝送路（２ａ）、（２ｂ）を備えた分岐用伝送路（２）とからなる光分岐回路において、各分岐用伝送路（２）同士を所定の間隔をもって分離したものが記載され、同じく引用した『Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ、Ｖｏｌ．２２，Ｎｏ．６、Ｍａｒｃｈ、１９８６発行、第３２１〜３２２頁』（以下、「第４引用例」という。）には、導波路同士を３μｍの間隔をもって分離し、狭い間隙が火炎堆積クラッドガラスで完全に充填されていることが分かると記載され、同じく引用した『ＪＯＵＲＮＡＬ　ＯＦ　ＬＩＧＨＴＷＡＶＥ　ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ　Ｖｏｌ．６，Ｎｏ．６、Ｊｕｎｅ．１９８８発行、第１００３〜１０１０頁』（以下、「第５引用例」という。）には、導波路同士を５μｍの間隔をもって分離し、狭い間隙が火炎堆積クラッドガラスで完全に充填されていることが分かると記載され、同じく引用した『ＩＳＤＮ時代の光ファイバ技術、１９８９年６月１０日、理工学社発行、第６−１〜６−５頁』（以下、「第６引用例」という。）には、接続損失の要因が記載さている。
（請求項１に係る発明についての対比・判断）
　本件請求項１に係る発明と第１引用例に記載の発明とを対比すると、本件請求項１に係る発明の「拡大導波路」は、第１引用例に記載の発明の「テーパ導波路」に相当するから、両者は、主導波路と該導波路から徐々に外径が拡大して延びる拡大導波路と該拡大導波路に接続される２本以上の分岐導波路とからなる分岐合波光導波回路で一致し、
（イ）本件請求項１に係る発明では、導波路が基板上のクラッド中に形成されたのに対して、第１引用例記載の発明では、そのような記載が無い点、
（ロ）本件請求項１に係る発明では、光導波路が回路が火炎堆積法によって作製されたのに対して、第１引用例記載の発明では、その点に関する記載が無い点、
（ハ）本件請求項１に係る発明では、前記拡大導波路と前記分岐導波路との接続部において両導波路軸が一致した状態で、両導波路の各端面が３〜１０μｍの間隙をもっていずれもが互いに平行に対向し、かつ、各分岐導波路同士を所定の間隔をもって分離したのに対して、第１引用例記載の発明では、その点に関する記載が無い点で相違する。
　本件請求項１に係る発明と第２引用例に記載の発明とを対比すると、第２引用例に記載の発明は、主導波路に接続される２本以上の分岐導波路とからなる光導波回路でのみ一致し、本件請求項１に係る発明の、その余の構成を有しない。
　本件請求項１に係る発明と第３引用例に記載の発明とを対比すると、本件請求項１に係る発明の「主導波路」、「分岐導波路」は、第３引用例に記載の発明の「直線状伝送路（１）」、「分岐用伝送路（２）」に相当するから、両者は、基板上に形成された、主導波路に接続される２本以上の分岐導波路とからなる分岐合波光導波回路において、導波路の各端面が所定の間隔をもっていずれもが互いに平行に対向し、かつ、各分岐導波路同士を所定の間隔をもって分離した分岐合波光導波回路で一致し、
（イ’）本件請求項１に係る発明では、導波路がクラッド中に形成されるのに対して、第３引用例に記載の発明には、そのような記載が無い点、
（ニ）本件請求項１に係る発明では、主導波路から徐々に外径が拡大して延びる拡大導波路を有するのに対して、第３引用例に記載の発明には、そのような記載が無い点、本件請求項１に係る発明では、光導波路が回路が火炎堆積法によって作製されたのに対して、第３引用例記載の発明では、その点に関する記載が無い点、
（ハ’）本件請求項１に係る発明では、前記拡大導波路と前記分岐導波路との接続部において両導波路軸が一致した状態で、両導波路の各端面が３〜１０μｍの間隙をもっていずれもが互いに平行に対向したのに対して、第３引用例記載の発明では、端部の断面積が徐々に減少したテーパー状の光伝送路（１ａ）、（１ｂ）を備えた直線状伝送路（１）に接続される２本以上の、端部に上記光伝送路（１ａ）、（１ｂ）と対応し距離ｄで平行に配置される光伝送路（２ａ）、（２ｂ）を備えた分岐用伝送路（２）である点で相違する。
　本件請求項１に係る発明と第４及び第５引用例に記載の発明とを対比すると、第４及び第５引用例に記載の発明は、火炎堆積法によって作製され導波路同士が所定の間隔をもって分離した点でのみ一致し、本件請求項１に係る発明の、その余の構成を有しない。
　最後に、本件請求項１に係る発明と第６引用例に記載の発明とを対比すると、第６引用例に記載の発明は、接続損失の要因に触れているのみで、本件請求項１に係る発明の、殆ど全ての構成を有しない。
　してみれば、第１〜６引用例のいずれにも上記（ハ）及び（ハ’）で示した、本件請求項１に係る発明の構成の一部が無い。
　そして、本件請求項１に係る発明は、上記（ハ）及び（ハ’）の点を有することによって、明細書記載の効果を奏するものであるから、本件請求項１に係る発明が、第１〜６引用例に記載された発明であるとも、第１〜６引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとも言えない。
　したがって、本件請求項１に係る発明は特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできない。
オ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第２項及び第３項で準用する第１２６条第２−４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
（３）特許異議の申立てについての判断
ア．　申立ての理由の概要
　申立人河原　浩人は、証拠として甲第１号証（１９９０年電子情報通信学会春季全国大会、講演論文集、分冊４，通信・エレクトロニクス（１９９０年３月１８日〜２１日開催）、第４−２４１頁、上記第１引用例）、甲第２号証（１９９０年電子情報通信学会春季全国大会、講演論文集、分冊４，通信・エレクトロニクス（１９９０年３月１８日〜２１日開催）、第４−２５９頁、上記第２引用例）、甲第３号証（特開昭６２−１１８３０８号公報、上記第３引用例）甲第４号証（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ、Ｖｏｌ．２２，Ｎｏ．６、Ｍａｒｃｈ、１９８６発行、第３２１〜３２２頁、上記第４引用例）、甲第５号証（ＪＯＵＲＮＡＬ　ＯＦ　ＬＩＧＩＴＷＡＶＥ　ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ　Ｖｏｌ．６，Ｎｏ．６、Ｊｕｎｅ．１９８８発行、第１００３〜１０１０頁、上記第５引用例）、甲第６号証（ＩＳＤＮ時代の光ファイバ技術、１９８９年６月１０日、理工学社発行、第６−１〜６−５頁、上記第６引用例）を提出し、請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の視定に違反してなされたものであるから、特許を取り消すべき旨主張しいる。
イ．判断
〔本件請求項１に係る発明〕
　申立人河原　浩人の主張に対し、甲第１〜６号証は、上記（２）エ．で示したとおりである。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１１月１０日（１９９９．１１．１０）
【訂正の要旨】
特許請求の範囲の減縮を目的として、下記（１）のように特許請求の範囲を訂正する。また、特許請求の範囲の訂正に応じて、発明の詳細な説明についても、適合性を持たせるために下記（２）のように訂正する。
（１）特許請求の範囲を次のとおり訂正する。
「（１）基板上のクラッド中に形成された、主導波路と害導波路から徐々に外径が拡大して延びる拡大導波路と該拡大導波路に接続される２本以上の分岐導波路とからなる火炎堆積法によって作製された分岐合波光導波回路において、前記拡大導波路と前記分岐導波路との接続部において両導波路軸が一致した状態で、両導波路の各端面が３〜１０μｍの間隙をもっていずれもが互いに平行に対向し、かつ、各分岐導波路同士を所定の間隔をもって分離したことを特徴とする分岐合波光導波回路。」
（２）明細書第５〜６頁（課題を解決するための手段）の項（特許掲載公報第３欄第４７行〜第４欄第６行）の「分岐合波光導波路回路において、」を「火炎堆積法によって作製された分岐合波光導波路回路において、」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
分岐合波光導波回路
（５７）【特許請求の範囲】
　（１）基板上のクラッド中に形成された、主導波路と該導波路から徐々に外径が拡大して延びる拡大導波路と該拡大導波路に接続される２本以上の分岐導波路とからなる
火炎堆積法によって作製された
　前記拡大導波路と前記分岐導波路との接続部において両導波路軸が一致した状態で、両導波路の各端面が３〜１０μｍの間隙をもっていずれもが互いに平行に対向し、かつ、各分岐導波路同士を所定の間隔をもって分離したことを特徴とする分岐合波光導波回路。
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
　本発明は、基板上に形成された１本の主導波路と２本以上の分岐導波路を有し、光の分岐及び合波を行う分岐合波光導波回路に関するものである。
（従来の技術）
　光集積回路において、光分岐回路及び光合波回路は、その基本構成要素として必要不可欠である。このような分岐合波光導波回路としては、従来より、２本以上の分岐光導波路を有するＹ分岐光導波回路が知られている。
　このＹ分岐光導波回路は、方向性結合器を用いた分岐光導波回路に比べ、波長依存性が無く、分岐比の偏差が小さいという長所を有しており、特に、１×Ｎスプリッタ等への応用が期待されている。
　第２図は、従来のＹ分岐光導波回路を示す構成図であって、同図の（ａ）は上面図、同図の（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線矢視方向の断面図である。第２図において、１は基板、２はクラッド、３１は主導波路、３２は主導波路３１から徐々に外径が拡大して延びる拡大導波路、３３，３４は分岐導波路である。
　このＹ分岐光導波回路は、各導波路３１，３２，３３，３４が基板１上のクラット２中に埋め込まれる形で形成されており、分岐導波路３３，３４の曲率半径をＲ、主導波路３１の幅Ｗ３１と分岐導波路３３，３４の幅Ｗ３３，Ｗ３４が全て等しく、かつ、分岐点４近傍の分岐導波路３３，３４に囲まれたクサビ形の先端幅が零であるような理想的な形状を有している。
　このようなＹ分岐光導波回路の作製は、例えば特開昭５８−１０５１１１号公報に開示されているような方法により行われる。
　即ち、ＳｉＣｌ４，ＧｅＣｌ４，ＴｉＣｌ４，ＰＣｌ３，ＢＣｌ３の塩化物を出発材料とし、例えば、まず、第３図の（ａ）乃至（ｃ）に示すように、シリコン等の基板１上にクラッド層２ａ、コア層３を順次堆積する。
　次いで、同図の（ｄ）に示すように、エッチング加工により、第２図に示す各導波路３１，３２，３３，３４に対応するコア層３の部分のみを残して除去し、その後、クラッド層２ａを堆積してＹ形の導波路を埋め込むことにより、分岐合波光導波回路としてのＹ分岐光導波回路が作製される。
（発明が解決しようとする課題）
　上記した分岐合波光導波回路においては、低損失化のため、分岐点４の形状が理想的な鋭峻形状に近い形状となるように作製される。
　しかしながら、現状の作製技術では、導波路が近接している分岐点４の近傍部を精度良く加工したり、クラッド層２ａで埋め込むことは困難であった。
　即ち、第４図の（ａ）に示すように、分岐点４近傍に形状変形が生じたり、同図の（ｂ）に示すように、クラッドガラスが分岐点４近傍の分岐導波路３３と３４との間に充填されずクラッド層２ａに空隙５が生じたり、同図の（ｃ）に示すように、分岐点４近傍の分岐導波路３３と３４との間にクラッドガラスの供給が足りないため、分岐導波路３３，３４が傾く等の導波路変形が生じる等、種々の不都合があった。
　このため、従来においては、分岐合波光導波回路を設計通りに再現性良く製作することが困難であった。
　また、従来のＹ分岐光導波回路においては、分岐点４近傍の不完全性のため、ＴＭ偏波光の方がＴＥ偏波光よりも散乱損失が大きくなるという分岐損失の偏波依存性が見られていた。
　本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、分岐点近傍でのパターン変形や導波路の埋め込み不良等が発生せず、製作が容易で、かつ、再現性に優れた低損失の分岐合波光導波回路を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
　上記目的を達成するため、本発明では、基板上のクラッド中に形成された、主導波路と該導波路から徐々に外径が拡大して延びる拡大導波路と該拡大導波路に接続される２本以上の分岐導波路とからなる
火炎堆積法によって作製された
（作用）
　本発明によれば、回路作製時に、主導波路、拡大導波路、分岐導波路をクラッドに埋め込む工程において、各導波路間、特に分岐点近傍に対してもクラッド材が十分に供給され、さらに導波路間隙が３μｍ未満でないことから導波路作製の容易性が確保され、また、導波路間隙が１０μｍより大きくないことから低損失性が確保される。
（実施例）
　第１図は、本発明に係る分岐合波光導波回路の第１の実施例を示す構成図であって、従来例を示す第２図と同一構成部分は同一符号をもって表す。即ち、２はクラッド、３１は主導波路、３２ａは主導波路３１から連続する拡大導波路、３３ａ，３４ａは分岐導波路である。
　分岐導波路３３ａ，３４ａは、曲率を持たない直線導波路でその分岐角度は１度に設定してあり、それぞれが拡大導波路３２ａと導波路軸が一致した状態で、端面３２０ａと３３０ａ及び３２０ａと３４０ａ同士が所定の間隙ＬＧＡＰをもって分離して形成されている。かつ、分岐導波路３３ａと３４ａ同士も互いの最接近距離が所定の間隔ＷＧＡＰをもって分離して形成されている。
　この拡大導波路３２ａと分岐導波路３３ａ及び３４ａとの導波路間隙ＬＧＡＰの値は、導波路作製技術の現状から３μｍ以上が望ましく、また、損失の増大等の点から１０μｍ以下が望ましい。
　このような構成の分岐合波光導波回路は、第３図に示す工程と同様の工程を経て作製される。
　即ち、例えば直径３インチ、厚さ７００μｍのシリコン基板１上に火炎堆積法によって、まず、クラッド層２ａとして組成がＳｉＯ２−Ｐ２Ｏ５−Ｂ２Ｏ３の多孔質ガラス膜を堆積する。
　次に、コア層３として組成がＳｉＯ２−ＧｅＯ２−Ｐ２Ｏ５−Ｂ２Ｏ３の多孔質ガラスを堆積し、その後、温度１３９０℃のＨｅとＯ２との混合雰囲気中で２時間熱処理する。
　次いで、反応性イオンエッチングにより上述したような光導波路パターンを形成する。その後、このコア層３を埋め込むように上記したと同様のクラッド層２ａを堆積することにより作製される。
　実際に、この方法によりコア寸法８×８μｍ、比屈折率差０．２５％を有する分岐合波光導波回路を作製した。
　第５図及び第６図は、上記した導波路間隙ＬＧＡＰ及び分岐導波路間隔ＷＧＡＰと導波回路損失との関係を示すグラフである。第５図の横軸は導波路間隙ＬＧＡＰの長さを、縦軸は分岐導波路間隔ＷＧＡＰが３μｍ，４μｍ，５μｍの場合の過剰損失を表し、また、第６図の横軸は導波路間隔ＷＧＡＰを、縦軸は導波路間隙ＬＧＡＰが４μｍの場合の過剰損失を表している。
　第５図から分かるように、導波路間隙ＬＧＡＰが１０μｍ程度では、過剰損失はほとんど無視できる。また、第６図から分かるように分岐導波路間隔ＷＧＡＰも４μｍ程度までは、過剰損失を０．３ｄＢ以下に抑えることができる。
　以上説明したように、本第１の実施例によれば、導波路間隙ＬＧＡＰを３〜１０μｍとしたので、従来の作製時のエッチング工程における導波路パターンの変形を防止することができる。
　また、主導波路３１、拡大導波路３２ａ、分岐導波路３３ａ，３４ａを埋め込むクラッド２が導波路間に入り込み易くなり、分岐導波路３３ａと３４ａ間に空隙が生じたり、２本の分岐導波路３３ａ，３４ａが互いに傾くような変形が防止される。
　従って、第１図の分岐合波光導波回路は、設計通りに再現性良く作製することができる。
　また、Ｙ分岐の分岐点近傍の不完全性が生じないため、ＴＭ偏波光がＴＥ偏波光よりも散乱損失が大きくなるという、分岐損失の偏波依存性を抑制することができる。
　第７図は、本発明に係る分岐合波光導波回路の第２の実施例を示す構成図である。
　本第２の実施例が前記第１の実施例と異なる点は、分岐導波路３３ｂ，３４ｂを曲率をもたない直線逆波路ではなく、曲率半径４０ｍｍ以上の曲線導波路により構成したことにある。なお、拡大導波路３２ｂの広がり角度は１度である。
　本第２の実施例においても、前記第１の実施例と同様の効果を得ることができる。
（発明の効果）
　以上説明したように、本発明によれば、拡大導波路と前記分岐導波路との接続部において両導波路軸が一致した状態で、両導波路の各端面が３〜１０μｍの間隙をもっていずれもが互いに平行に対向し、かつ、各分岐導波路同士を所定の間隔をもって分離したので、分岐点近傍でのパターン変形や導波路埋め込み不良を確実に防止でき、容易かつ再現性良く作製でき、従って分岐損失の偏波依存性を抑制することができ、極めて低損失の分岐合波光導波回路を提供できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明に係る分岐合波光導波回路の第１の実施例を示す構成図、第２図は従来例の構成図、第３図は分岐合波光導波回路の作製方法の説明図、第４図は従来の問題点の説明図、第５図は導波路間隙長と過剰損失との関係を示すグラフ、第６図は分岐導波路間隔と過剰損失との関係を示すグラフ、第７図は本発明に係る分岐合波光導波回路の第２の実施例を示す構成図である。
　図中、１…基板、２…クラッド、２ａ…クラッド層、３…コア層、３１…主導波路、３２ａ，３２ｂ…拡大導波路、３３ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂ…分岐導波路、ＬＧＡＰ…導波路間隙、ＷＧＡＰ…分岐導波路間隔。